(57)【要約】【課題】搬送室内の気圧調整が容易でエアーの送風量を大きく増加させなくてもクリーン環境を保持することができる局所クリーン化搬送室および局所クリーン化処理装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、ハンドリングユニットを挟んでウエハ搬送室の床面に設けられファンフィルタユニットからのエアーを排出する多数の開口と、これらの開口の少なくとも一部を被いその開口率を調整する開口率調整機構とを備えるものである。【選択図】      図１
2004165331.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンドリングユニットを有し、ファンフィルタユニットにより清浄なエアーを室内に送風して局所クリーン化をする局所クリーン化搬送室において、
前記ハンドリングユニットを挟んで前記所クリーン化搬送室の床面に設けられ前記ファンフィルタユニットからのエアーを排出する多数の開口と、これらの開口の少なくとも一部を被いその開口率を調整する開口率調整機構とを備える局所クリーン化搬送室。
【請求項２】
さらに、前記局所クリーン化搬送室は、局所クリーン化ウエハ搬送室であり、前記ハンドリングユニットは、前記ウエハハンドリングユニットであり、このウエハハンドリングユニットに隣接してプリアライメントステージを有し、前記多数の開口は、所定の間隔で配列され、前記開口率調整機構は、前記開口を被うカバーを有し、このカバーがスライド調整されるものであり、前記ウエハハンドリングユニットのコントローラが前記プリアライメントステージの下側に設けられている請求項１記載の局所クリーン化ウエハ搬送室。
【請求項３】
ハンドリングユニットを有し、ファンフィルタユニットにより清浄なエアーを室内に送風して局所クリーン化をする局所クリーン化搬送室を有する局所クリーン化処理装置において、
前記ハンドリングユニットを挟んで前記所クリーン化搬送室の床面に設けられ前記ファンフィルタユニットからのエアーを排出する多数の開口と、これらの開口の少なくとも一部を被いその開口率を調整する開口率調整機構とを備える局所クリーン化処理装置。
【請求項４】
ウエハハンドリングユニットを有し、ファンフィルタユニットにより清浄なエアーを室内に送風して局所クリーン化をする局所クリーン化ウエハ搬送室を有する局所クリーン化ウエハ処理装置において、
前記ウエハハンドリングユニットを挟んで前記ウエハ搬送室の床面に設けられ前記ファンフィルタユニットからのエアーを排出する多数の開口と、これらの開口の少なくとも一部を被いその開口率を調整する開口率調整機構とを備える局所クリーン化ウエハ処理装置。
【請求項５】
さらに、前記ウエハハンドリングユニットに隣接してプリアライメントステージを有し、前記多数の開口は、所定の間隔で配列され、前記開口率調整機構は、前記開口を被うカバーを有し、このカバーがスライド調整されるものであり、前記ウエハハンドリングユニットのコントローラが前記プリアライメントステージの下側に設けられている請求項４記載の局所クリーン化ウエハ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、局所クリーン化搬送室および局所クリーン化処理装置に関し、詳しくは、局所クリーン化半導体処理装置において、搬送室内の気圧調整が容易でエアーの送風量を大きく増加させなくてもクリーン環境を保持することができるような局所クリーン化ウエハ搬送室に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ＩＣの素材に用いられるウエハは、表面に異物が付着すると品質が劣化するので光学式の異物検査装置により検査される。検査は流れ作業により行われ、ウエハカセットに収納されたウエハは、例えば、検査ステージに搬送されてチャック部にエア−吸着され、回転される。
そのため、従来、ウエハのプリアライメントステージあるいは検査ステージには、モータ等による回転機構が設けられている。この回転機構を用いてウエハを回転させて角度位置決め（θ位置決め）し、特に、Ｖノッチ位置決めの場合には、３点でウエハの外周と接触するサイドチャック方式で角度位置決めと中心位置決めが行われる（例えば、特許文献１参照。）。しかし、モータ等による回転機構を用いてウエハを回転させるので、回転部の摺動等による金属粒子の発塵の問題がある。
【０００３】
一方、ウエハに形成される配線パターンが微細化されて、それが０．２５μｍ以上のプロセスになり、かつ、ウエハの径が３００ｍｍ程度の大口径になると、異物の影響もそれだけ大きくなる。その分、ウエハ自体と、ウエハに形成されたチップの歩留まりも低下する。そのため、従来の半導体製造装置が設置されている部屋だけのクリーン化では済まなくなる。いくら室内のクリーン度を上げてもそれには限界があるので、局所クリーン化システム、いわゆるミニエンシステムで半導体ウエハの処理が行われる。
局所クリーン化装置は、通常、密閉度の高い装置とされ、内部を陽圧に保持することで、外部からの異物の侵入を防止する。そのクリーン度は、クラス０．０１程度まで清浄化される。そして内部の陽圧は、ファンからの空気をフィルタを通して内部に清浄空気を送込むことで行われる。
ウエハ等の処理対象ワークの装置への搬入、装置からの搬出は、通常、密閉されたポッドに収納されて行われ、ポッドは、独立では密閉状態にあって、装置に機密装着されて蓋が開く機構ＦＯＵＰ（ＦＲＯＮＴ  ＯＰＥＮＩＮＧ  ＵＮＩＦＩＥＤ  ＰＡＤ）が装備されている（例えば、特許文献２の図１，図８参照。）。そして、その内部には、ウエハを搬送してプリアライメントステージでプリアライメントし、検査ステージに搬送するウエハ搬送装置を内蔵している。
ウエハ搬送装置やプリアライメントステージでの発塵による異物は、装置の天井部に設けられた空気清浄用のファンフィルタユニット（ＦＦＵ）から吐き出されるクリーンなダウンフローのエアーにより、装置の下側から外部へと排出される（例えば、特許文献３の図３，図７参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平４−３２００４３号公報
【特許文献２】
特開２０００−１７３９１１号公報
【特許文献３】
特開２０００−１８８３２０号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
空気清浄用のＦＦＵから吐き出されるクリーンなダウンフローのエアーの風量は、クリーン環境を保持するためにウエハ搬送室内の気圧が一定の陽圧になるように制御される。
局所クリーン化ウエハ搬送室は、定期的に清浄化されるが、通常、使用期間が長くなると、排気圧が高くなり、ウエハ搬送室内の気圧を一定にするためにＦＦＵから吐き出される風量が大きくなる。
ＦＦＵから吐き出される風量が大きくなると、その分、フィルタの目詰まりが発生し易くなり、さらにフィルタ処理したエアーに含まれる塵埃が十分に排除されなくなって、クリーン度が低下する原因になる。また、ＦＦＵから吐き出される風量が大きくなると、搬送装置等に衝突してエアーの流れが乱れ、異物が留まり、舞うことになる。それがウエハを汚染する原因になる。
この発明の目的は、以上に鑑みてなされたものであって、搬送室内の気圧調整が容易でエアーの送風量を大きく増加させなくてもクリーン環境を保持することができる局所クリーン化搬送室および局所クリーン化処理装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するためのこの発明の局所クリーン化搬送室および局所クリーン化処理装置の特徴は、ハンドリングユニットを挟んで局所クリーン化搬送室の床面に設けられファンフィルタユニットからのエアーを排出する多数の開口と、これらの開口の少なくとも一部を被いその開口率を調整する開口率調整機構とを備えるものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
このように、この発明にあっては、ハンドリングユニットを挟んで搬送室内の床面にＦＦＵからのエアーを排出する開口を多数設けて、この開口の開口率を調整するようにしているので、エアーの送風量が大きく増加するようなときには、送風量を増加させなくても、開口率を増加させることで搬送室の内圧を調整することができる。
その結果、搬送室内の気圧調整が容易でエアーの送風量を大きく増加させなくてもクリーン環境を保持することができる局所クリーン化搬送室および局所クリーン化処理装置を容易に実現することができる。
【０００８】
【実施例】
図１は、この発明の局所クリーン化搬送室を有するウエハ検査装置の内部の状態を説明する概略図、図２は、図１の縦断面図、図３は、ミニエンシステムのウエハ検査装置の外観図である。
図３において、２０は、ミニエンシステムのウエハ検査装置であって、１０は、その局所クリーン化ウエハ搬送室である。局所クリーン化ウエハ搬送室１０の上部には、室内に風を送るファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１１が装備されていて、その空気吹出し側の前面には空気を浄化するフィルタが設けられている。１２ａ，１２ｂは、１３枚あるいは２５枚のウエハを収納したポッドであり、ＦＯＵＰオープナ１３ａ，１３ｂの上に載置される。
なお、ポッド１２ａ，１２ｂは、装置正面側にある開口に機密性の蓋がある。この蓋は、ポッド１２ａ，１２ｂがＦＯＵＰオープナ１３ａ，１３ｂに装着されたときにそれぞれのオープナにより開放される。
【０００９】
図３におけるポッド１２ａが載置された装置右側のＦＯＵＰオープナ１３ａは、ウエハロード位置（ロードポート）にあって、装置内部のプリアライメントステージ側に対応している。ポッド１２ｂが載置された左側のＦＯＵＰオープナ１３ｂはウエハアンロード位置（アンロードポート）にある。
この局所クリーン化ウエハ搬送室１０の内部を示す図１において、１４は、ウエハハンドリングユニットであり、検査が終了したウエハを検査ステージ１６から取出してポッド１２ｂへと移送する。そして、次の検査ウエハをポッド１２ａから取出してプリアライメントステージ１５へと送り、プリアライメント後にウエハを検査ステージ１６へと移送する。なお、１４ａは、ウエハハンドリングユニットのユニット移動機構（そのガイドレール部分）である。
プリアライメントステージ１５は、テーブルにウエハを載置して中心の位置決め（中心出し）とＶノッチあるいはオリフラ（ＯＦ）の方向の位置決め（θ位置決め）をするステージである。これは、Ｘ−Ｙ移動機構を有するＸ−Ｙステージ１５ａと、回転するθステージ１５ｂとを有している。
【００１０】
局所クリーン化ウエハ搬送室１０の床板１には、ＦＦＵ１１（図２参照）からのエアーを排出する開口として、ウエハハンドリングユニット１４のガイドレール１４ａを挟んで所定の間隔で矩形の開口２，２，…が均等に配列されて前後２列設けられている。そして、この開口２の一部を塞ぐ、移動カバー３，３が２列のそれぞれの開口２をカバーするようこれら開口２に対応して床板１上に設けられている。
図２は、局所クリーン化ウエハ搬送室１０の縦断面図である。中央部には、ウエハハンドリングユニット１４が設けられている。天井側に設けられたＦＦＵ１１は、ファン１１ａとフィルタ１１ｂとからなる。
そして、局所クリーン化ウエハ搬送室１０のウエハハンドリングユニット１４とプリアライメントステージ１５等を制御するコントローラ１７がプリアライメントステージ１５の下側に設けられている。さらに、局所クリーン化ウエハ搬送室１０の床面は、図２に示すように、二重構造になっている。床板１は、筐体５の底面の底板５ａに対して上部に位置する床面になっている。この上部にある床板１に所定間隔で開口２が設けられていて、この開口２の上に移動カバー３が設置されている。
その結果、ＦＦＵ１１からのエアー６は、開口２を経て、上部の床板１と底板５ａとの間の空間を経て、排気孔７等を介して外部に排出される。
【００１１】
図２の下側に示す床板１と移動カバー３との関係の拡大図と図１の平面図に示すように、移動カバー３が床板１の上をスライドするように配置されて、それにより開口２を被う量が調整できるようになっている。言い換えれば、開口２の開口率が移動カバー３により調整される調整機構が形成されている。そのため、移動カバー３の両端には、長孔３ａ（図１参照）がそれぞれ設けられていて、この長孔３ａを貫通して移動カバー３を固定する固定ねじ４が床板１に移動カバー３の両端の位置で螺合している。
そこで、両側の固定ねじ４を緩めて、手動で移動カバー３をスライドさせることで、開口２の開口率が調整できる。最初の開口率は、４０％程度に抑えて、低くしておき、エアーの送風量が大きく増加するような制御になっているときには、５０％からそれ以上の開口率に増加させる。これによりエアーの送風量の制御が戻り、その風量を大きく増加させなくて済む。なお、エアーの送風量が大きく増加するような制御になっているか否かは、例えば、ＦＦＵ１１のファンの電流あるいは電圧で検出する。
なお、ＦＦＵ１１の風量は、直接風量計で測定してもよく、移動カバー３の調整位置を確認するために、長孔３ａの周囲に開口率を示す目盛りを設けておく。
その結果、装置内に風を送るＦＦＵ１１のダウンフローする風量がこの開口２の開口率を調整することで調整可能になる。
【００１２】
また、移動カバー３は床板１に沿って設けられているので、手動ではなく、現在の風量に応じて移動機構により自動的に移動させて風量が増加しないように制御してもよい。この場合には、移動カバー３とこれの移動機構とを床板１の裏側に配置するとよい。それにより、移動機構による発塵の搬送室内への流入の問題は発生しない。
さらに、この実施例では、ウエハハンドリングユニット１４のコントローラ１７がプリアライメントステージ１５の下側に設けられているので、局所クリーン化ウエハ搬送室１０は、その内部の凹凸部が少なく、かつ、開口２がウエハハンドリングユニット１４のガイドレール１４ａを挟んで設けられているので、ダウンフローのエアーの流れに乱れが発生し難い。そこで、塵埃が上部に舞い上がり難い構造になる。
【００１３】
以上説明してきたが、実施例では、床面の開口を矩形にした例を挙げているが、開口は、矩形に限定されるものではない。
さらに、この発明の局所クリーン化ウエハ搬送室は、図１の実施例では、ウエハ検査装置に使用している例を挙げているが、この発明は、ウエハ検査装置をはじめとして、ウエハ露光装置等、ウエハ処理装置一般に適用できることはもちろんである。さらに、この発明は、このようなウエハ処理装置に限らず、液晶基板をはじめとして各種のワークを搬送する処理装置に適用できる。
【００１４】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、この発明にあっては、ハンドリングユニットを挟んで搬送室内の床面にＦＦＵからのエアーを排出する開口を多数設けて、この開口の開口率を調整するようにしているので、エアーの送風量が大きく増加するようなときには、送風量を増加させなくても、開口率を増加させることで搬送室の内圧を調整することができる。
その結果、搬送室内の気圧調整が容易でエアーの送風量を大きく増加させなくてもクリーン環境を保持することができる局所クリーン化搬送室および局所クリーン化処理装置を容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明の局所クリーン化搬送室を有するウエハ検査装置の内部の状態を説明する概略図である。
【図２】図２は、図１の縦断面図である。
【図３】図３は、ミニエンシステムのウエハ検査装置の外観図である。
【符号の説明】
１…床板、２…開口、
３…移動カバー、３ａ…長孔、４…固定ねじ、
５…筐体、５ａ…底板、６…エアーの流れ、
７…排気孔、１０…局所クリーン化ウエハ搬送室、
１１…ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）、
１２ａ，１２ｂ…ポッド、
１３ａ，１３ｂ…ＦＯＵＰオープナ、
１４…ウエハハンドリングユニット、１５…プリアライメントステージ、
１６…検査ステージ、１７…コントローラ、２０…ミニエンシステムのウエハ検査装置。
【図１】
2004165331.tif 000003
【図２】
2004165331.tif 000004
【図３】
2004165331.tif 000005