(57)【要約】【課題】ドライフィルムレジスト１を基板３にラミネ−ト装置において、レジストが圧着ロ−ルへの汚染することがなくラミネ−トできるとともに幅の異なるドライフィルムレジストでも適用できるようにする。【解決手段】ドライフィルムレジスト１のエッジ部４に塗布されたレジストを圧着前に除去すのに、ドライフィルムレジスト１の両端から所定の位置にカッタ−２で切り込みを入れ、粘着テ−プロ−ル５から粘着テ−プを送り込み切れ目がいれられたエッジ部４のレジストを粘着テ−プに付着させ、レジストが付着された粘着テ−プを巻き取る。【選択図】      図１
2004148584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レジストが表面に塗布されるドライフィルムレジストから保護フィルムを剥がす剥離手段と、前記保護フィルムが剥がされた前記ドライフィルムレジストを走向させ基板に送り込む複数のロ−ラと、送り込まれる前記ドライフィルムレジストを前記基板とともに挟み込み前記ドライフィルムレジストを前記基板に被着させる一対の圧着ロ−ルと、送り込まれる前記ドライフィルムレジストの両端部から内側に向け所定の幅の位置に切り込み入れ付着する前記レジストを分離する一対のカッタ−と、切り込み入れられ前記ドライフィルムレジストの両端部の分離された前記レジストを接着除去する粘着テ−プとを備えることを特徴とするラミネ−ト装置。
【請求項２】
前記レジストが付着された前記粘着テ−プを巻き取るロ−ルを備えることを特徴とする請求項１記載のラミネ−ト装置。
【請求項３】
前記カッタ−は、円盤状であって回転することで前記レジストに切り込み入れることを特徴とする請求項１または請求項２記載のラミネ−ト装置。
【請求項４】
前記カッタ−は、前記巻き取りロ−ルの回転軸に同軸に取り付けられることを特徴とする請求項２または請求項３記載のラミネ−ト装置。
【請求項５】
前記ドライフィルムレジストの両端部に対応し配置される前記カッタ−および前記粘着テ−プの間隔を変える間隔調整機構を備えることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載のラミネ−ト装置。
【請求項６】
前記複数のロ−ラに送り出される前記ドライフィルムレジストに張力を与えるバキュウムプレ−トを備えることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５記載のラミネ−ト装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性ドライフィルムであるドライフィルムレジストを基板に重ね接着するラミネ−ト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、感光性ドライフィルムは、プリント配線基板やプラズマディスプレイの基板等の金属膜の微細加工に用いられていた。すなわち、この感光性ドライフィルムは、ベ−スとなるベ−スフィルムに感光性レジストが塗布されたドライフィルムレジストと呼ばれるもので、このドライフィルムレジストの感光性レジストをフォトリソグラフィ技術によりパタ−ンを感光させ、パタ−ンを現像し、その現像部分をエッチング除去し、形成されたパタ−ンを金属膜に転写させ、エッチング除去し微細加工を施している。
【０００３】
また、このドライフィルムレジストは、基板に貼り付ける前または保管状態では、ドライフィルムレジストの感光性レジストを保護する保護フィルムを重ねてロ−ル状に巻き付けられている。そして、ロ−ル状に巻き付けられたドライフィルムレジストは、原反ロ−ルと呼ばれていた。
【０００４】
このドライフィルムレジストを基板にラミネ−トする際は、原反ロ−ルから保護フィルムを伴うドライフィルムレジストを引き出し、保護フィルムを引き剥がし、ドライフィルムレジストを圧着ロ−ルにより基板に押しつけ、基板にドライフィルムレジストをラミネ−トしていた。
【０００５】
しかしながら、ドライフィルムレジストをラミネ−トする際に、ドライフィルムレジストのエッジ部から感光性レジストがはみ出し圧着ロ−ルに付着し、経時的に作業を行うことにより滲み出した感光性レジストは圧着ロ−ラに積層される。そして、高温に伴って感光性レジストが硬化し、この硬化された付着物を除去することが困難となるという問題があった。
【０００６】
また、この硬化された付着物が圧着ロ−ルに付着したままの状態で、幅の異なる基板にラミネ−トすると、ドライフィルムレジストに付着物による圧痕が発生する。この圧痕が次工程である露光・現像後にその部位の剥がれが生じ、パタ−ンに欠陥が発生する問題があった。
【０００７】
図３（ａ）および（ｂ）は従来の一例におけるラミネ−ト装置を説明するための図である。上述した問題を解消するラミネ−ト装置は、図３に示すように、基材１３０の表裏面に保護フィルムが剥がされたドライフィルムレジスト１１０，１１１をラミネ−トするラミネ−トロ−ル１２０，１２５を備えている。
【０００８】
そして、ドライフィルムレジスト１１０，１１１の両端部に対応するラミネ−トロ−ル１２０，１２５の部分に溝１２０Ａおよび１２５Ａを形成し、ドライフィルムレジスト１１０，１１１の両端部との接触を回避し、ドライフィルムレジスト１１０，１１１から滲み出るレジストがラミネ−トロ−ル１２０，１２５を汚染するのを防止している（特許文献１参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−６２０２４号公報（第５−６頁、図１）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のラミネ−ト装置では、溝の位置が限定されているので、幅の異なるドライフィルムレジストを基板にラミネ−トしようとしても、ドライフィルムレジストの両端部が溝と一致せず、ドライフィルムレジストの両端部は圧着ロ−ル（ラミネ−トロ−ル）に押圧され、レジストが滲み出し、圧着ロ−ルを汚染させるという問題は避けられない。
【００１１】
また、同じ幅のドライフィルムレジストをラミネ−トするにしても、繰り返してドライフィルムレジストを基板にラミネ−トする内に、溝に落とし込まれたレジストが積層し、この積層したレジストがロ−ルの回転に伴って溝からレジストが移動しドライフィルムレジストや圧着ロ−ルを汚染させるという懸念がある。
【００１２】
従って、本発明の目的は、レジストが圧着ロ−ルへの汚染することがなくラミネ−トできるとともに幅の異なるドライフィルムレジストでも適用できるラミネ−ト装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、レジストが表面に塗布されるドライフィルムレジストから保護フィルムを剥がす剥離手段と、前記保護フィルムが剥がされた前記ドライフィルムレジストを走向させ基板に送り込む複数のロ−ラと、送り込まれる前記ドライフィルムレジストを前記基板とともに挟み込み前記ドライフィルムレジストを前記基板に被着させる一対の圧着ロ−ルと、送り込まれる前記ドライフィルムレジストの両端部から内側に向け所定の幅の位置に切り込み入れ付着する前記レジストを分離する一対のカッタ−と、切り込み入れられ前記ドライフィルムレジストの両端部の分離された前記レジストを接着除去する粘着テ−プとを備えるラミネ−ト装置である。
【００１４】
また、前記レジストが付着された前記粘着テ−プを巻き取るロ−ルを備えることが望ましい。そして、好ましくは、前記カッタ−は、円盤状であって回転することで前記レジストに切り込み入れることである。さらに、前記カッタ−は、前記粘着テ−プを巻き取りロ−ルの回転軸に同軸に取り付けられることが望ましい。
【００１５】
一方、前記ドライフィルムレジストの両端部に対応し配置される前記カッタ−および前記粘着テ−プの間隔を変える間隔調整機構を備えることが望ましい。また、前記複数のロ−ラに送り出される前記ドライフィルムレジストに張力を与えるバキュウムプレ−トを備えることが望ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるラミネ−ト装置の構成を示す図である。このラミネ−ト装置は、図１に示すように、原反ロ−ル８から引き出されるドライフィルムレジスト１から保護フィルム１ａを引き剥がすロ−ラ１４と引き剥がされた保護フィルム１ａを巻き取る巻き取りロ−ル１０と、保護フィルム１ａが剥がされたドライフィルムレジスト１を走向させ基板３に送り込む複数のロ−ラ１１，１２，１３と、送り込まれるドライフィルムレジスト１を基板３とともに挟み込みドライフィルムレジスト１を基板３に被着させる一対の圧着ロ−ル７ａ，７ｂと、送り込まれるドライフィルムレジスト１の両端のエッジ部４から内側に向け所定の幅の位置に切り込み入れ付着するレジストを分離する一対のカッタ−２と、切り込み入れられドライフィルムレジスト１の両端のエッジ部４の分離されたレジストを接着除去し該粘着テ−プを巻を送り込む一対の粘着テ−プロ−ル５とを備えている。
【００１８】
また、ドライフィルムレジスト１から分離されたレジストが付着される粘着テ−プを巻き取る巻き取りロ−ル６を備えることが望ましい。そして、好ましくは、カッタ−２は、円盤状であって、図示していないモ−タによって回転される。そして、ドライフィルムレジスト１のレジストに切り込み入れることである。ただし、ドライフィルムレジスト１のベ−スフィルムは切断しない。要は、マスクパタ−ンを形成される領域外であるドライフィルムレジスト１の両端部のレジストのみ除去することである。
【００１９】
一方、ドライフィルムレジスト１のエッジ部４に対応し配置されるカッタ−２および粘着テ−プロ−ル５の間隔を変える間隔調整機構１５ｂ，１５ｃ，１５ａを備えることが望ましい。この間隔調整機構１５ｂ，１５ｃ，１５ａは、回転軸が二つに分離され、分離された回転軸の一端はスプラインシャフトに形成されている。そして、二つの回転軸のスプラインシャフトをはめ込むスリ−ブを設け、このスリ−ブの内壁から突出するキ−がスプラインシャフトの溝に入り回転を伝達する構造になっている。そして、適切の間隔に設定されれば、運転中に間隔が変わらないように、スプラインシャフトとスリ−ブは固定される。
【００２０】
また、複数のロ−ラ１１，１２，１３によって基板３送り出されるドライフィルムレジスト１に張力を与えるバキュウムプレ−ト９を備えることが望ましい。このバキュウムプレ−ト９は、ドライフィルムレジスト１と接する面が滑らかに仕上げられた金属製のケ−スである。そして、後段は円弧状に形成され、ドライフィルムレジスト１が円滑に供給されるようになっている。さらに、ドライフィルムレジスト１と接する面に多数の真空吸着が形成され、ドライフィルムレジスト１が離脱しないようにされている。そして、ドライフィルムレジスト１との接触摩擦により発生する電荷を逃がすためにバキュウムプレ−ト９はア−ス接地されている。
【００２１】
図２は本発明の他の実施の形態におけるラミネ−ト装置の一部を示す斜視図である。このラミネ−ト装置は、図２に示すように、粘着テ−プ５ａを送り出す粘着テ−プロ−ル５の回転軸１６に同軸にカッタ−２を取り付けたことである。それ以外の構成要素は、前述の実施の形態とおなじである。
【００２２】
このカッタ−２を粘着テ−プロ−ル５の回転軸１６と同軸することにより機構がより簡単になるという利点がある。このラミネ−ト装置の動作は、前述の実施の形態のラミネ−ト装置と同じであるので、説明は省略する。
【００２３】
ただ、ドライフィルムレジスト１の両端部に塗布されたレジスト１８に切れ目１７の位置だけ変更する場合は、カッタ−２の両側にあって、回転軸１６にはめられているカラ−の長さを変えてカッタ−２の位置を変える。そして、カラ−の交換と平行して、幅の異なる巻き取りロ−ル６および粘着テ−プロ−ル５も交換する必要がある。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、ドライフィルムレジストを基板に圧着時に、ドライフィルムレジストの両端部からレジストが滲み出ないようにするために、予め圧着前にドライフィルムレジストの両端部のレジストを除去してから、圧着するので、レジストが滲みでることなく圧着できる。従って、付着物を除去すといったメンテナンスが不要となり、装置の稼働率が向上するという効果がある。
【００２５】
また、ドライフィルムレジストの幅に応じて、対応する構成部分を調整する手段を設けることによって、装置の汎用性が向上するという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態におけるラミネ−ト装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の他の実施の形態におけるラミネ−ト装置の一部を示す斜視図である。
【図３】従来の一例におけるラミネ−ト装置を説明するための図である。
【符号の説明】
１    ドライフィルムレジスト
１ａ    保護フィルム
２    カッタ−
３    基板
４    エッジ部
５    粘着テ−プロ−ル
６，１０    巻き取りロ−ル
７ａ，７ｂ    圧着ロ−ル
８    原反ロ−ル
９    バキュウムプレ−ト
１１，１２，１３    ロ−ラ
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ    間隔調整機構
１６    回転軸
【図１】
2004148584.tif 000003
【図２】
2004148584.tif 000004
【図３】
2004148584.tif 000005