(57)【要約】【課題】蛍光体の混色や色抜けと共に、蛍光体下異物を検査できるようにする。【解決手段】ＲＧＢの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物であるワーク（ＰＤＰ）１０を検査する際、前記ワーク１０における所定の検査位置に対して、ＵＶ光源３６から供給される紫外光をライトガイド２２により斜めに照射し、カメラ２０により撮像して検査画像を入力する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＲＧＢの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査方法であって、
前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射して撮像することを特徴とする蛍光体検査方法。
【請求項２】
前記紫外光を照射する斜め方向の角度を、３０°〜７０°にすることを特徴とする請求項１に記載の蛍光体検査方法。
【請求項３】
ＲＧＢの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査装置であって、
前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射する紫外光照明手段と、
同照明手段による光照射下で同検査位置を撮像して検査画像を入力する画像入力手段と、
入力された検査画像を処理して前記蛍光体の欠陥を検査する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする蛍光体検査装置。
【請求項４】
前記紫外光を照射する斜め方向の角度を３０°〜７０°に調整可能であることを特徴とする請求項３に記載の蛍光体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、蛍光体検査方法及び装置、特にプラズマディスプレイパネルに配列形成されている蛍光体を検査する際に適用して好適な、蛍光体検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７（Ａ）は、いわゆるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰとも言う）の背面板１０のイメージを示す概略平面図であり、同図（Ｂ）は破線位置の断面を拡大したイメージを示す概略断面図である。このＰＤＰ背面板１０は、その断面形状から分かるように一方向に平行に延びる多数の境界壁を構成するリブ１２を有していると共に、隣接するリブ１２とリブ１２の間にはそれぞれＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の色を発光する異なる種類の蛍光体が交互に配列形成された構造を有している。
【０００３】
ＰＤＰは、上記蛍光体の付着の良否によって発色精度が左右されることから、該蛍光体の欠陥を検査することが重要である。このような蛍光体の欠陥としては、図８に各色の蛍光体が発色した状態のイメージを示すように、Ｇの蛍光体上にＢの蛍光体が部分的に付着しているような混色欠陥や、Ｂの蛍光体に一部付着欠けが生じている色抜け欠陥がある。
【０００４】
このような蛍光体１４の混色や色抜けの欠陥に対しては、図９に正面方向から見たイメージを示すように、検査対象物であるＰＤＰ背面板（図中、ワーク）１０の上方に配置したカメラ２０により、同じく上方に配置したＵＶ光源２２から該ワーク１０の上面にＵＶ（紫外）光を照射しながら撮像し、入力される画像に基づいて検査する方法がある。
【０００５】
ところで、蛍光体１４の欠陥としては、その他にも、図１０（Ａ）、（Ｂ）にそれぞれ前記図７（Ａ）、（Ｂ）に相当する平面図と横断面図を示すと共に、縦断面図を同図（Ｃ）に示すように、蛍光体１４の下に埋もれた蛍光体下異物がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記図９に示したように、ＵＶ光を垂直に近い上方から照射する場合や、拡散光（図示せず）として照射する場合は、図１１にＰＤＰ背面板１０のイメージを示すように、蛍光体１４が白で示すようにほぼ均一に発光するため、検査用カメラ２０で撮像しても、図中破線で示すように前記蛍光体下異物は画像上に現われないことから検査できないという問題がある。
【０００７】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、蛍光体の混色や色抜けと共に、蛍光体下異物も検査することができる蛍光体検査方法及び装置を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ＲＧＢの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査方法であって、前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射して撮像することにより、前記課題を解決したものである。
【０００９】
本発明は、又、ＲＧＢの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査装置であって、前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射する紫外光照明手段と、同照明手段による光照射下で同検査位置を撮像して検査画像を入力する画像入力手段と、入力された検査画像を処理して前記蛍光体の欠陥を検査する画像処理手段と、を備えたことにより、同様に前記課題を解決したものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１１】
図１は、本発明に係る第１実施形態の蛍光体検査装置全体を示す概略斜視図、図２は該検査装置の制御系の要部構成を示すブロック図である。
【００１２】
本実施形態の検査装置は、検査対象物であるワーク（ＰＤＰ背面板）１０を載置するステージ３０と、ラインセンサカメラ（画像入力手段）２０と照明部２２とを有する検査部と、該検査部をＸ方向とＹ方向にそれぞれ移動させる２軸の搬送部３２と、上記カメラ２０から入力される検査画像の画像データを処理する画像処理部と、装置全体を制御する制御部とを備えている。なお、画像処理部と制御部はコンピュータ３４により実現されている。
【００１３】
本実施形態の蛍光体検査装置の特徴を、検査部を拡大して模式的に示す図３を用いて説明する。
【００１４】
この検査装置では、上記検査部が有するラインセンサカメラ２０は、該ワーク１０における検査位置を垂直上方から撮像可能な位置に配置されている。又、上記照明部であるライトガイド２２が、ＵＶ光源３６から供給されるＵＶ光を、上記検査位置に斜め上方から照射可能な位置に配置されている。
【００１５】
上記ライトガイド２２によるＵＶ光の蛍光体形成面（基板）に対する傾斜角度は、実験的に最適な角度に決定すればよいが、通常３０°〜７０°程度に設定することができる。又、その際、ワーク１０が、一方向だけにストライプ状にリブ１２が延びているＰＤＰの場合には、照明光を照射する斜め方向を該リブ１２に平行にすることが、該リブ１２による影が生じないようにできるため、容易且つ確実に全面検査が可能となることから好ましい。
【００１６】
以上のように、ＵＶ光を斜め方向から照射することにより、蛍光体下異物が存在する部分は、図４（Ａ）に断面を拡大して示すように、他の蛍光体面より凸状態になっているため、同図（Ｂ）にイメージを示すように、ＵＶ光がよく当たる面は周囲と同じかそれ以上に明るくなるのに対し、反対側のＵＶ光がよく当たらない面は暗くなる。
【００１７】
従って、このような照明の下でカメラ２０により撮像すると、図４（Ｂ）と同様の検査画像が得られ、画像上の（明）暗部の存在から、蛍光体下異物の欠陥を検出することができる。なお、このような効果を得るためには指向性の強い照明光を使用することが望ましいが、蛍光灯タイプのような拡散光であってもよく、効果は落ちるものの視野に対して斜めから照明することにより同様な画像が得られる。
【００１８】
次に、本実施形態の作用を、図５のフローチャートに従って説明する。
【００１９】
まず、前記搬送部３２により検査部のカメラ２０等を目標とする検査位置に移動し（ステップ１）、位置決めした後、ライトガイド２２による斜め方向からのＵＶ光照射下で該カメラ２０により撮像して検査画像を入力し（ステップ２）、入力された画像データについて前記画像処理部で差分処理を行なう（ステップ３）。
【００２０】
この差分処理は、図６（Ａ）に前記図４（Ｂ）に相当する検査画像のイメージを示すと共に、ラインＬにおけるラインセンサの出力のイメージを同図（Ｂ）に示すように、定ピッチ（ここでは１ピッチ）のパターン間について輝度値の差分をとることに当たる。同図（Ｂ）に矢印を付して示したように隣接するパターン間の差分処理の後、その処理結果について所定の閾値を超えている画素を２値化して２値画像（図示せず）とし（ステップ４）、その位置をラベリングした後（ステップ５）、そのラベリング領域の大小等により良否判定を行なう（ステップ６）。この図５の例では、全パターンが４つ表示されている中で左から２番目のパターンに蛍光体下異物があるため輝度が大きく減少していることから、この位置がラベリングされることになる。
【００２１】
その後、対象とする全範囲の検査が終了するまで、同様にステップ１〜ステップ６の処理を繰り返す（ステップ７）。
【００２２】
以上詳述した本実施形態によれば、蛍光体の混色や色抜けの検査精度を低下させることなく、蛍光体下異物をも確実に画像による検査を行なうことができる。
【００２３】
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、蛍光体の混色や色抜けと共に、蛍光体下異物をも確実に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る一実施形態の蛍光体検査装置の全体を示す概略斜視図
【図２】上記検査装置が備えている制御系の要部を示すブロック図
【図３】上記検査装置の検査部を抽出して示す説明図
【図４】実施形態の効果を示す説明図
【図５】実施形態の作用を示すフローチャート
【図６】上記検査装置により撮像した検査画像のイメージと、ラインセンサ出力のイメージを示す説明図
【図７】ＰＤＰ背面板の特徴を示す平面図と横断面図
【図８】ＰＤＰ背面板で発光する蛍光体の混色と色抜けの欠陥のイメージを示す説明図
【図９】ＰＤＰ背面板の蛍光体を発光させて検査する様子を示す概略正面図
【図１０】ＰＤＰ背面板で発生する蛍光体下異物の特徴を示す平面図、横断面、縦断面図
【図１１】従来の問題点を示す説明図
【符号の説明】
２０…カメラ
２２…ライトガイド
３６…ＵＶ光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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