(57)【要約】【課題】砥石車の磨耗を少なくして、複数の正四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する。【解決手段】ロ−タリ−テ−ブル６上に水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に、水平面に対し垂直方向に昇降可能な砥石車３を砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝をワ−ク表面にｍ本形成し、ついで、ロ−タリ−テ−ブル６を９０度回転させた後、再び、ロ−タリ−テ−ブル６上に傾斜した状態で固定された前記Ｖ溝が形成された平板状ワ−ク表面に砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝をｎ本形成することにより複数の正四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する。砥石車の磨耗が小さく、寿命が長い。【選択図】          図１
2004148431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥石軸に軸承され、かつ、水平面に対し垂直方向に昇降可能なプレ−ン砥石車と平板状ワ−クとの相対的な移動により平面基板上に底面に対する稜面角度がθ度と（９０−θ）度、頂稜角度が９０度、隣り合う頂稜のピッチ幅がＬ、高さがＨの断面直角三角形状の山稜複数を前後にｎ列規則的に配列したワ−クを製造する方法であって、
１）ロ−タリ−テ−ブル上に水平面に対しθ度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している前記砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ・ｓｉｎ  （９０−θ）となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
２）ついで砥石車と水平面に対しθ度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅Ｌ・ｃｏｓ  θとなる量だけ横方向に移動させ、
３）再び、水平面に対しθ度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ・ｓｉｎ  （９０−θ）となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返してｎ列の山稜をワ−クに形成する、
ことを特徴とする、複数の山稜が規則的に配列したワ−クを製造する方法。
【請求項２】
砥石軸に軸承され、かつ、水平面に対し垂直方向に昇降可能なプレ−ン砥石車と平板状ワ−クとの相対的な移動により平面基板上に底面に対する稜面の角度θが４５度、稜線長さがＬ、底辺長さがＬ、高さＨがＬ／２、隣り合う山頂のピッチ幅がＬの正四角錐突起物の複数を左右にｍ列、前後にｎ列規則的に配列したワ−クを製造する方法であって、
１）ロ−タリ−テ−ブル上に水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
２）ついで砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅Ｌ／２１／２となる量だけ横方向に移動させ、
３）再び、水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返してｍ列の山稜をワ−クに形成した後、ロ−タリ−テ−ブルを９０度回転させ、さらに、砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの位置を相対的に移動させて砥石車を加工開始点に位置させ、
５）ロ−タリ−テ−ブル上に水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定されている前記Ｖ溝が形成された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
６）ついで砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅Ｌ／２１／２となる量だけ横方向に移動させ、
７）再び、水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
８）以下、前記６）と７）の工程を繰り返してｎ列の山稜をワ−クに形成することを特徴とする、複数の正四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する方法。
【請求項３】
ベッド上に水平に設けられた左右移動テ−ブル、ベッドに対し垂直方向に昇降可能な砥石軸に軸承された砥石車、前記砥石軸を前後方向に移動可能な移動機構、前記左右移動テ−ブル上に固定されたチルト機能付ロ−タリ−テ−ブル、ならびに、左右位置測定器、前後位置測定器、垂直方向位置測定器およびこれら位置制御機構を備える研削装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示器（特開２０００−９８３８３号、特開平１０−２０１２４号）の導光板鋳型材のような複数の山稜錐突起を規則的に配列したワ−ク、および液晶表示器の拡散反射板用鋳型材のような複数の正四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する方法、およびそれらの加工に用いる研削装置に関する。本発明の複数の正四角錐突起を規則的に配列したワ−クの製造方法は、壁紙やエンボスフィルム（特開平８−２５４９５６号、特開２００１−３０２９９９号）用のエンボスパタ−ン金型部材、液晶表示器の拡散反射用樹脂フィルム形成用金型部材（特開平８−２２７０７１号、同９−３０４７６７号、同９−３４４７６７号、特開２００２−１４２０８号、同２００２−２２９７１４号）、複数の半導体チップ積層構造体（特開２００１−２１７３７３号）、移動体の光通信に用いる導光体（特開２００２−４８９２０号）等の加工に利用できる。
【従来の技術】
【０００２】
液晶表示器の複数の山稜錐突起を規則的に配列した導光板鋳型材を製造する方法として、ニッケルメッキしたステンレス平板上に２種のダイヤモンドカッタ−を用い、先にダイヤモンドカッタ−１で段付け加工し、ついでダイヤモンドカッタ−２でＶ溝加工して複数の山稜錐突起を規則的に配列した導光板鋳型材を製造することは知られている（特開２００１−１５００６４号）。
【０００３】
また、図６に示す平面基板上に複数の四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する方法としては、次の方法が知られている。
（ａ）平板状ワ−クにＶ溝ダイヤモンドバイトを用いて左右、前後方向に等ピッチで切削加工して複数の四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する方法
（ｂ）ワ−クの四側面をアンギュラ−プランジ研削する方法（特開２００１−２１７３７３号）
（ｃ）ダイヤモンドバイトを用い、回転軸廻りに回転する円筒状ロ−ラ表面にバイトの先端を配置し、前記バイトをバイト軸線に沿って往復移動させてロ−ラ表面に凹部の列を形成し、ついで、前記ロ−ラを回転させながらバイトをロ−ラの回転軸線に平行な方向に移動させることによりロ−ラの周方向に対して所定の角度で傾斜する凹部の列を形成してエンボス型ロ−ラを製造し、シ−ト状物の表面に塗布された光硬化性アクリル系樹脂コ−ト剤膜を前記エンボス型ロ−ラで成形し、ついで光照射して硬化させ複数の正四角錐突起を規則的に配列したシ−ト状物を製造する方法（特開２００２−１４２０８号）
（ｄ）鋳型部材をピッチ研削する方法（特開２００２−２２９７１４号）
【０００４】
上記特開２００２−２２９７１４号公報には、具体的な研削方法および研削装置を示すものではないが、ダイヤモンドバイトを用いた切削研削加工か、あるいは、公知の平面研削装置と上記（ａ）のバイト加工方法の技術を組み合わせ推測すると、砥石軸に軸承された外周端面が山型の回転砥石３を備える図４と図５に開示される平面研削装置１を用い、次の工程を経て加工するものと推測される。
１）左右に移動可能なテ−ブル４上に固定された電磁チャック６の上に平板状ワ−ク２を載せ、前記回転砥石３を下降させてワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、回転砥石によるワ−クへの切込深さが所望の深さとなった時点で回転砥石を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
２）ついで回転砥石と前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅となる量だけ砥石軸を後退させ、
３）再び、平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石によるワ−クへの切込深さが所望の深さとなった時点で回転砥石を上昇することによりワ−ク表面より後退（回転砥石を後方に移動）させ、
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返してｍ列の山稜をワ−クに形成した後、Ｖ溝が（ｍ＋１）本形成されたワ−クを９０度回転させて電磁チャック上に置き、さらに、回転砥石を前方向に移動させて回転砥石を加工開始点に位置させ、
５）磁気チャック上に固定されている前記Ｖ溝が形成された平板状ワ−ク表面に回転砥石３を下降させて平板状ワ−ク２に切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、回転砥石によるワ−クへの切込深さが所望の深さとなった時点で回転砥石を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
６）ついで回転砥石と回転砥石と前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅となる量だけ砥石軸を後退させ、
７）再び、平板状ワ−ク表面に回転砥石を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、回転砥石によるワ−クへの切込深さが所望の深さとなった時点で回転砥石を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
８）以下、前記６）と７）の工程を繰り返してｎ列の山稜をワ−クに形成することにより複数（縦ｍ列、横ｎ列）の正四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する。
【０００５】
図４と図５に成形研削装置の一例を示す。これら図において、１は研削装置、２はワ−ク、３は砥石、４は水平方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能な摺動テ−ブル、５は作業台部、６は電磁（マグネット）チャック、７は前後方向（Ｚ軸方向）に往復移動可能なサドル、８は操作盤、８ｂは砥石上下切り込み手動パルス発生器ボタン、９はコラム、１０は砥石軸頭、１１は砥石軸、１２は砥石３を垂直方向（Ｙ軸方向）に移動する昇降機構、１３はモ−タ−、１４は螺合体、１５はネジ軸、１６は軸受、１７は安全保護カバ−、１８は研削液供給ノズル、１９はベッド、２０はタンク、２１はフィルタ−、２２はポンプ、２４は制御ユニット部である。
【０００６】
図４と図５にはＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の位置測定器は示されていないが、ドイツのハイデンハイン（Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ  ＧｍｂＨ）社製またはジ−メンス（Ｓｉｅｍｅｎｓ  ＡＧ）社製、あるいは日本のファナック株式会社製の位置測定器が左右移動テ−ブル４、サドル７およびコラム９に設けられており、制御ユニット部２４にパルス信号が送られ、図に示されていないが表示器にワ−クに対する砥石の位置が表示される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前記（ａ）のバイト加工方法は、加工に長時間要する。（ｂ）のアンギュラ−プランジ研削方法は、四角錐のピッチがミクロンメ−トルオ−ダ−であると加工が困難である。（ｃ）のエンボス型ロ−ラ−によるフィルムへの転写方法は、ロ−ラのバイト加工方法を提案するが、直接ワ−クであるフィルムに機械加工を施すものではない。
推測される（ｄ）の研削方法は、回転砥石の磨耗が激しい。特に、四角錐のピッチが１〜４０μｍのミクロンメ−トルオ−ダ−であるとピッチ研削加工中、何度も回転砥石を取りかえる必要が生じる。
【０００８】
本発明は、ワ−ク研削中の砥石車の磨耗程度が小さく、かつ、市場より容易に入手できる砥石車を用いてミクロンメ−トル（μｍ）オ−ダ−からミリメ−トル（ｍｍ）オ−ダ−のピッチ幅で溝加工することにより平面基板上に断面が直角三角形形状の山稜複数を規則的に配列したワ−ク、および平面基板上に正四角錐突起物の複数を規則的に配列したワ−クを製造する方法、ならびにそれらの加工に用いる研削装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１は、砥石軸に軸承され、かつ、水平面に対し垂直方向に昇降可能なプレ−ン砥石車と平板状ワ−クとの相対的な移動により平面基板上に底面に対する稜面角度がθ度と（９０−θ）度、頂稜角度が９０度、隣り合う頂稜のピッチ幅がＬ、高さがＨの断面直角三角形状の山稜複数を前後にｎ列規則的に配列したワ−クを製造する方法であって、
１）ロ−タリ−テ−ブル上に水平面に対しθ度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している前記砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ・ｓｉｎ  （９０−θ）となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
２）ついで砥石車と水平面に対しθ度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅Ｌ・ｃｏｓ  θとなる量だけ横方向に移動させ、
３）再び、水平面に対しθ度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ・ｓｉｎ  （９０−θ）となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返してｎ列の山稜をワ−クに形成する、
ことを特徴とする複数の山稜が規則的に配列したワ−クを製造する方法を提供するものである。
【００１０】
ワ−クをθ度傾斜した状態でプレ−ン砥石を用いてＶ溝加工を施すことにより複数の山稜が規則的に配列したワ−クを製造するので、砥石の磨耗が少ない。また、山稜の傾斜が異なったものであっても１個の砥石で加工できる。
【００１１】
本発明の請求項２は、砥石軸に軸承され、かつ、水平面に対し垂直方向に昇降可能なプレ−ン砥石車と平板状ワ−クとの相対的な移動により平面基板上に底面に対する稜面の角度θが４５度、稜線長さがＬ、底辺長さがＬ、高さＨがＬ／２、隣り合う山頂のピッチ幅がＬの正四角錐突起物の複数を左右にｍ列、前後にｎ列規則的に配列したワ−クを製造する方法であって、
１）ロ−タリ−テ−ブル上に水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
２）ついで砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅Ｌ／２１／２となる量だけ横方向に移動させ、
３）再び、水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返してｍ列の山稜をワ−クに形成した後、ロ−タリ−テ−ブルを９０度回転させ、さらに、砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの位置を相対的に移動させて砥石車を加工開始点に位置させ、
５）ロ−タリ−テ−ブル上に水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定されている前記Ｖ溝が形成された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
６）ついで砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅Ｌ／２１／２となる量だけ横方向に移動させ、
７）再び、水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させ、
８）以下、前記６）と７）の工程を繰り返してｎ列の山稜をワ−クに形成することを特徴とする、複数の正四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する方法を提供するものである。
【００１２】
正四角錐突起のピッチ幅よりも広い幅の平坦な研削面を有する砥石車を用い、水平面に対して４５度傾斜されたワ−ク表面に溝を形成していくので、砥石車の磨耗程度が小さく、かつ、ミクロンメ−トル（μｍ）オ−ダ−からミリメ−トル（ｍｍ）オ−ダ−のピッチ幅の溝加工が可能となる。
【００１３】
本発明の請求項３は、ベッド上に水平に設けられた左右移動テ−ブル、ベッドに対し垂直方向に昇降可能な砥石軸に軸承された砥石車、前記砥石軸を前後方向に移動可能な移動機構、前記左右移動テ−ブル上に固定されたチルト機能付ロ−タリ−テ−ブル、ならびに、左右位置測定器、前後位置測定器、垂直方向位置測定器およびこれら位置制御機構を備える研削装置を提供するものである。
【００１４】
複数の山稜または正四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する装置であり、チルト機能付ロ−タリ−テ−ブルを用いるので、ワ−クを傾斜して保持できる。また、横列にＶ溝を形成したのち、ロ−タリ−テ−ブルを９０度回転させ、前に形成されたＶ溝に対して直交するＶ溝を加工して正四角錐突起を複数形成することが可能である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。
図１は、本発明のワ−クの加工方法の一工程を示す部分正面図、図２は本発明の研削装置の斜視図、および図３は本発明のワ−クの加工に用いる市販のチルト式ロ−タリ−テ−ブルの斜視図である。
【００１６】
図２に示すＮＣ成形研削装置１において、２は平板状ワ−ク、３はプレ−ン型の砥石車で、研削作用面である外周縁断面は長方形状である。該砥石車の回転軸方向の外周縁幅は、四角錘突起のピッチ幅より広ければよく、４０μｍ〜１８０ｍｍ幅が好ましい。砥石車の両側面は垂直（９０度）な面を成している。
【００１７】
４は左右方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能なテ−ブル、５は作業台、６０はチルト（Ｔｉｌｔ）式ロ−タリ−テ−ブル、６は磁気チャック、７はサ−ボモ−タ駆動により前後方向（Ｚ軸方向）に移動可能なサドル、８は操作盤、８ｂは砥石上下切り込み手動パルス発生器ボタン、９はコラム、１０は砥石軸頭、１１は砥石軸、１２は砥石軸頭をサ−ボモ−タ駆動により垂直方向（Ｙ軸方向）に移動する昇降機構、１３はモ−タ−、１４は螺合体、１５はボ−ルスクリュ−ネジ、１６は軸受、１７は安全保護カバ−、１８は研削液供給ノズル、１９はベッド、２０はタンク、２１はフィルタ−、２２はポンプ、２４は制御ユニット部である。
【００１８】
左右往復移動可能なテ−ブル４は、ベッド１９上に設けられた一対の案内面を滑べるサドル７に設けられたＶ字型軌道部により位置決めされ、左右移動テ−ブル４はその係合部（スライダ）により案内面（ガイドレ−ル）に摺動自在に支えられる。
【００１９】
チルト（Ｔｉｌｔ）式ロ−タリ−テ−ブルは、ドイツのＥｌｂ社、ファナック株式会社、津田駒株式会社、株式会社ミツトヨ、株式会社ダイアディックシステムズ等より入手できる。ロ−タリ−テ−ブルを傾斜させる方式は、回転軸にロ−タリ−テ−ブルを回転自在に支持固定した回転軸方式、クレ−ドル（揺り篭）方式、梃子方式いずれであってもよい。
図３に示すチルト（Ｔｉｌｔ）式ロ−タリ−テ−ブル６０において、６は磁気チャックでロ−タリ−テ−ブル６１上に固定される。６２はケ−シングで、中にはロ−タリ−テ−ブル６１を回転させるサ−ボモ−タが収納されている。６３はサ−ボモ−タで前記ロ−タリ−テ−ブル６１を支持する送り台を傾斜させる軸を回転させる。
【００２０】
ワ−ク２は、左右移動テ−ブル４上に固定して備えられたチルト式ロ−タリ−テ−ブルの磁気チャック６上に固定され、チルト（傾斜）機構によりロ−タリ−テ−ブルの磁気チャック６を傾斜できる。平板状ワ−ク２のチルト式ロ−タリ−テ−ブル６０への固定は、ワ−クが金属素材のときは磁気チャック６を用いて行い、ワ−クがガラス、樹脂、セラミック、シリコン基板等の非磁性素材であるときはロ−タリ−テ−ブル６１に固定具もしくは接着剤を用いて固定する。
【００２１】
平面基板上に底面に対する稜面角度がθ度と（９０−θ）度、頂稜角度が９０度、隣り合う頂稜のピッチ幅がＬ、高さがＨの断面直角三角形状の山稜複数を前後にｎ列規則的に配列したワ−クを製造する工程は、次の通りである。
【００２２】
１）ロ−タリ−テ−ブル６１の磁気チャック６上に平板状ワ−ク２を固定し、ついで、サ−ボモ−タ６３を駆動してロ−タリ−テ−ブル６１を水平面に対しθ度傾斜させる。この傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転しているプレ−ン型の砥石車３を下降させて平板状ワ−ク２に切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ・ｓｉｎ  （９０−θ）となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させる。
【００２３】
２）ついで砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅Ｌ・ｃｏｓ  θとなる量だけ横方向に移動させ、
３）再び、水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ・ｓｉｎ  （９０−θ）となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させる。
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返して（ｎ＋１）本のＶ溝をワ−クに加工することによりｎ列の山稜がワ−クに形成される。
【００２４】
具体的には、前記ｎ列の山稜の断面積がθ＝４５度、４５度および９０度、隣り合う頂稜のピッチ幅がＬの直角二等辺三角形であるときは、ロ−タリ−テ−ブルの傾斜角を４５度と設定し、次の工程を経てワ−クを加工する。
【００２５】
１）チルト式ロ−タリ−テ−ブル６０の磁気チャック６上に平板状ワ−ク２を固定し、ついで、サ−ボモ−タ６３を駆動して磁気チャック６を水平面に対し４５度に傾斜した状態とするとワ−クの水平面に対する角度は４５度となる。
サドル７およびテ−ブル４を砥石軸に対し移動し、砥石車を加工または上昇させて研削開始点に位置させる。
左右移動テ−ブル４を左右に往復反転移動させるとともに、前記４５度に傾斜して固定された平板状ワ−ク２表面に回転している砥石車３を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行って谷の角度が９０度のＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石軸頭を上昇（砥石車を上昇）することにより砥石車をワ−ク表面より後退させる。
【００２６】
２）ついで砥石車３と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−ク２の距離がピッチ幅Ｌ／２１／２となる量だけサドル７を後方に退させることによりワ−クから砥石車の相対的位置をＬ／２１／２となる量横方向に移動させる。
【００２７】
３）再び、水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク２表面に回転している砥石車３を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させる（図１は３本のＶ溝をワ−ク２に砥石車３で研削した状態を示す）。
【００２８】
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返してｎ列の山稜（Ｖ溝はｎ＋１本）をワ−クに形成する。
【００２９】
前記ｎ列の山稜の断面積がθ＝６０度、（９０−θ）＝３０度および９０度の直角三角形で、隣り合う頂稜のピッチ幅がＬであるときは、ロ−タリ−テ−ブルの傾斜角θを６０度と設定し、次の工程を経てワ−クを加工する。
【００３０】
１）チルト式ロ−タリ−テ−ブル６０の磁気チャック６上に平板状ワ−ク２を固定し、ついで、サ−ボモ−タ６３を駆動して磁気チャック６を水平面に対し６０度に傾斜した状態とするとワ−クの水平面に対する角度は６０度となる。
サドル７およびテ−ブル４を砥石軸に対し移動し、砥石車を加工または上昇させて研削開始点に位置させる。
左右移動テ−ブル４を左右に往復反転移動させるとともに、前記６０度に傾斜して固定された平板状ワ−ク２表面に回転している砥石車３を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行って谷の角度が９０度のＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さが３１／２Ｌ／２となった時点で砥石軸頭を上昇（砥石車を上昇）することにより砥石車をワ−ク表面より後退させる。
【００３１】
２）ついで砥石車３と水平面に対し６０度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−ク２の距離がピッチ幅Ｌ／２となる量だけサドル７を後方に退させることによりワ−クから砥石車の相対的位置をＬ／２となる量横方向に移動させる。
【００３２】
３）再び、水平面に対し６０度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク２表面に回転している砥石車３を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さが３１／２Ｌ／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させる（図１は３本のＶ溝をワ−ク２に砥石車３で研削した状態を示す）。
【００３３】
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返してｎ列の山稜（Ｖ溝はｎ＋１本）をワ−クに形成する。
【００３４】
なお、ロ−タリ−テ−ブルの水平面に対する傾斜角度を（９０−θ）＝３０度と設定したときは、砥石車によるワ−クへの切込深さはＬ／２、砥石車３の横方向移動のピッチ幅は３１／２Ｌ／２と変更される。
【００３５】
次に、平面基板上に一辺の長さがＬの正方形を底面に有する対する正四角錐突起物を加工する方法について述べる。
一辺の長さがＬの正方形を底面に有する対する正四角錐突起物は、稜面角度θが４５度、稜線長さがＬ、底辺長さがＬ、頂点から底面の中心点に到る高さがＬ／２、隣り合う頂点のピッチ幅はＬ、頂点から側面の正三角形底辺の中点までの距離はＬ／２１／２と計算される。
この正四角錐突起物の複数を平面基板上に左右にｍ列、前後にｎ列規則的に配列したワ−クを製造するには、次の工程を経て行われる。
【００３６】
１）チルト式ロ−タリ−テ−ブル６０の磁気チャック６上に平板状ワ−ク２を固定し、ついで、サ−ボモ−タ３６を駆動して磁気チャック６を水平面に対し４５度に傾斜した状態とするとワ−クの水平面に対する角度は４５度となる。
サドル７およびテ−ブル４を砥石軸に対し移動し、砥石車を加工または上昇させて研削開始点に位置させる。
左右移動テ−ブル４を左右に往復反転移動させるとともに、前記４５度に傾斜して固定された平板状ワ−ク２表面に回転している砥石車３を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行って谷の角度が９０度のＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石軸頭を上昇（砥石車を上昇）することにより砥石車をワ−ク表面より後退させる。
【００３７】
２）ついで砥石車３と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−ク２の距離がピッチ幅Ｌ／２１／２となる量だけサドル７を後方に退させることによりワ−クから砥石車の相対的位置をＬ／２１／２となる量横方向に移動させる。
【００３８】
３）再び、水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク２表面に回転している砥石車３を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させる。
【００３９】
４）以下、前記２）と３）の工程を繰り返してｍ列の山稜（Ｖ溝はｍ＋１本）をワ−クに形成した後、ロ−タリ−テ−ブルを９０度回転させ、さらに、砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの位置を相対的に移動させて砥石車を加工開始点に位置させる。
【００４０】
５）チルト式ロ−タリ−テ−ブル６０の磁気チャック６上に水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定されている前記Ｖ溝が（ｍ＋１）本形成された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車３を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させる。
【００４１】
６）ついで砥石車と水平面に対し４５度に傾斜した前記Ｖ溝が加工された平板状ワ−クの距離がピッチ幅Ｌ／２１／２となる量だけ横方向に移動させ、
【００４２】
７）再び、水平面に対し４５度に傾斜した状態で固定された平板状ワ−ク表面に回転している砥石車を下降させて平板状ワ−クに切込をかけつつストロ−ク研削を行ってＶ溝を前記ワ−ク表面に形成し、砥石車によるワ−クへの切込深さがＬ／２１／２となった時点で砥石車を上昇することによりワ−ク表面より後退させる。
【００４３】
８）以下、前記６）と７）の工程を繰り返してｎ列の山稜（Ｖ溝はｎ＋１本）をワ−クに形成することにより、縦ｍ列、横ｎ列の正四角錘突起物がワ−クに形造られる。縦（ｍ＋１）本のＶ溝と横（ｎ＋１）本のＶ溝が交差することにより縦ｍ列、横ｎ列の複数の正四角錐突起が平面基板上に規則的に配列したワ−クが製造される。
【００４４】
ワ−クの素材としては、タングステン・カ−ボン合金、タングステン・モリブテン合金、ステンレス、サ−メット、ハステロイ、ニッケルクロム鋼、銅、アルミニウム、洋白、ＡｌＴｉＣ、銅メッキステンレス板、ニッケルメッキアクリル樹脂板、ガラス板、セラミック、樹脂、シリコン基板、半導体基板等が挙げられる。砥石車はワ−ク素材に応じてダイヤモンドブレ−ド、ダイヤモンド砥石、ＣＢＮ砥石、グリ−ンカ−ボン砥石（ＧＣ）、炭化珪素砥石、アルミナ砥石等適宣選択される。
【００４５】
ワ−クの正四角錐突起のピッチ幅Ｌは加工ワ−クの用途により異なる。壁紙用プレス型鋳物部材であれば０．３〜２ｍｍ、積層半導体基板なら２〜１０ｍｍ、液晶表示器（ＬＣＤ）の光拡散反射板なら３０〜１００μｍ、移動体の光通信システムに用いる導光体なら６〜１０μｍが一般である。
【００４６】
ストロ−ク研削する際の左右テ−ブル４のストロ−ク幅は用途により異なるが２〜１５０ｍｍ、ストロ−ク回数は５０〜３００回／分、砥石車３のワ−ク２面切り込む速度は０．１〜１ｍｍ／分、砥石車３の回転数は３，０００〜８，０００ｍｉｎ−１である。
【００４７】
砥石車３の外周縁の磨耗がひどくなったら砥石車の加工面（外周縁）をドレッシングする。このドレッシングの時期は、溝の深さ、溝幅、砥石種類に依存する。ドレッサには、ダイヤモンド砥石、ＣＢＮ砥石等を用いる。
【００４８】
【実施例】
実施例１
研削に用いるＣＮＣ成形研削装置として、株式会社  岡本工作機械製作所のハイスピ−ドストロ−ク研削盤  ＰＦＧ５００ＤＸＮＣＳ（商品名）を用い、この左右移動テ−ブル４上にチルト式ロ−タリ−テ−ブル６０を設置した。砥石車３として外径が１８０ｍｍ、外周縁幅が６ｍｍの両側面が垂直面（プレ−ンタイプ）のダイヤモンド砥石車を用い、このブレ−ドを前記成形研削装置の砥石軸に装着した。
【００４９】
また、ワ−クとして、縦４０ｍｍ、横４０ｍｍ、厚み２．０ｍｍの正方形状タングステンカ−ボンアロイ（ＷＣ）を用い、これを左右移動テ−ブル上に固定されたチルト式ロ−タリ−テ−ブル６０の磁気チャック６上に固定した。
【００５０】
このワ−クの表面に一辺の長さ（Ｌ）が１．０ｍｍの正四角錐突起物（平面基板底面に対する稜面角度θが４５度、稜線長さが１．０ｍｍ、底辺長さが１．０ｍｍ、頂点から底面中心点間の高さＨが０．５０ｍｍ、隣接する頂点間のピッチ距離が１．０ｍｍ）の複数を左右に３８列、前後に３８列規則的に配列したワ−クを製造するのに、ストロ−ク幅４２ｍｍ、ストロ−ク回数は５０回／分、砥石車のワ−ク面切り込む速度は０．１ｍｍ／分、切込深さは１／２１／２ｍｍ、砥石車のワ−クに対する横移動（ピッチ）幅１／２１／２ｍｍ、横砥石車の回転数５，０００ｍｉｎ−１、スパ−クアウト回数５秒／溝、ドレスは２５溝加工毎の条件で、既述した（１）から（８）の工程を経て加工を行った。
【００５１】
１枚のワ−ク加工中、砥石車の破損はなく、また、Ｖ溝部の欠けもなかった。
【００５２】
実施例２
研削に用いるＣＮＣ成形研削装置として、株式会社  岡本工作機械製作所のハイスピ−ドストロ−ク研削盤  ＰＦＧ５００ＤＸＮＣＳ（商品名）を用い、この左右移動テ−ブル４上にチルト式ロ−タリ−テ−ブル６０を設置した。砥石車３として外径が１２０ｍｍ、外周縁幅が１ｍｍの両側面が垂直面（プレ−ンタイプ）の銅ニッケルメッキダイヤモンド砥石車を用い、このブレ−ドを前記成形研削装置の砥石軸に装着した。
【００５３】
また、ワ−クとして、縦３インチ（約７６．２ｍｍ）、横３インチ、厚み２．０ｍｍの正方形状ニッケル・銅メッキステンレス板を用い、これを左右移動テ−ブル上に固定されたチルト式ロ−タリ−テ−ブル６０の磁気チャック６上に固定した。
【００５４】
このワ−クの表面に、隣接する山稜間の距離（ピッチ幅）は７０．７０μｍ、断面形状が一辺の長さ（Ｌ）が５０μｍ、５０μｍ、７０．７０μｍの直角二等辺三角形の山稜を左右に６５３３列（前後の余白部は各１５ｍｍ幅）規則的に配列したワ−クを製造するのに、ストロ−ク幅７０．７０μｍ、ストロ−ク回数は１５０回／分、砥石車のワ−ク面切り込む速度は１０．０μｍ／分、切込深さは５０μｍｍ、砥石車のワ−クに対する横移動（ピッチ）幅５０μｍｍ、横砥石車の回転数５，０００ｍｉｎ−１、スパ−クアウト回数５秒／溝、ロ−タリ−テ−ブル傾斜角度４５度、ドレスは２５溝加工毎の条件で、既述した（１）から（４）の工程を経て加工を行った。
【００５５】
１枚のワ−ク加工中、砥石車の破損はなく、また、Ｖ溝部の欠けもなかった。
【００５６】
【発明の効果】
本発明の複数の正四角錐突起を規則的に配列したワ−クを製造する方法は、ワ−クに形成される突起物のピッチ幅よりも広い研削面の幅を有する砥石車を用いてワ−クを傾斜した状態で加工するので、砥石車の寿命が長い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワ−クの加工方法のうち、一工程を示す部分正面図である。
【図２】本発明のＮＣ研削装置の斜視図である。
【図３】市販のチルト式ロ−タリ−テ−ブルの斜視図である。（公知）
【図４】研削装置の斜視図である。（公知）
【図５】研削装置の側面図である。（公知）
【図６】液晶表示器の四角錐突起を有する反射板の部分斜視図である。（公知）
【符号の説明】
１      ＮＣ研削装置
２      ワ−ク
３      砥石車
４      左右移動テ−ブル
６      磁気チャック
６０      チルト式ロ−タリ−テ−ブル
７      コラム
【図１】
2004148431.tif 000003
【図２】
2004148431.tif 000004
【図３】
2004148431.tif 000005
【図４】
2004148431.tif 000006
【図５】
2004148431.tif 000007
【図６】
2004148431.tif 000008