(57)【要約】【課題】アニール領域の残留垂直磁化成分を除去し、十分に広いパワーマージンをばらつきなく安定して得られる磁壁移動型光磁気記録媒体の提供。【解決手段】基板上に磁性膜を成膜する工程と、前記基板の前記磁性膜が設けられた側からレーザ光を照射し、前記磁性膜の記録トラックをアニール処理する工程と、前記アニール処理中或いは処理後、前記アニール領域に前記基板表面に対して平行な磁界を印加する工程とを経て磁壁移動型光磁気記録媒体を製造する。【選択図】　　　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報の再生に寄与し、磁壁が移動する磁壁移動層と、情報に応じた記録磁区を保持するメモリ層と、前記磁壁移動層とメモリ層の間に配置され、前記両層よりキュリー温度が低いスイッチング層とを備え、前記磁壁移動層は各記録トラック間で互いに磁気的に分断されている磁壁移動型光磁気記録媒体において、
前記分断領域上に接して、或いは、近接して設けられた面内磁気異方性を有する磁性膜を有することを特徴とする磁壁移動型光磁気記録媒体。
【請求項２】
磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法において、基板上に磁性膜を成膜する工程と、前記基板の前記磁性膜が設けられた側からレーザ光を照射し、前記磁性膜の記録トラック間をアニール処理する工程と、前記アニール処理中或いは処理後、前記アニール領域に前記基板表面に対して平行な磁界を印加する工程とを有することを特徴とする磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記磁界は、前記記録トラックの幅方向と平行であることを特徴とする請求項２に記載の磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
基板上に磁性膜を有し、前記磁性膜の記録トラック間がアニール処理された磁壁移動型光磁気記録媒体に情報の記録及び／又は再生を行う記録再生装置において、前記媒体にレーザ光を照射し、情報の記録及び／又は再生を行う光ピックアップと、前記アニール処理された領域に前記基板表面に対し平行な磁界を印加し、前記アニール領域の磁化を初期化する手段を有することを特徴とする記録再生装置。
【請求項５】
前記初期化は、前記媒体のフォーマット時に行われることを特徴とする請求項４に記載の記録再生装置。
【請求項６】
前記初期化は、記録或いは再生の直前に行われることを特徴とする請求項４に記載の記録再生装置。
【請求項７】
前記初期化は、記録動作が中断している間を利用して行われことを特徴とする請求項４に記載の記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザー光により記録及び／又は再生を行う光磁気記録媒体、特に、磁壁の移動を利用し記録磁区を拡大して再生する磁壁移動型光磁気記録媒体、該媒体の製造方法及び該媒体の記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
情報の書き換え可能な大容量メモリの一つとして、レーザー光を用いて再生、記録を行う光磁気記録媒体が注目されている。再生光学系のレーザー波長λと対物レンズの開口数ＮＡによりビームウェスト径２Ｗｏ（２Ｗｏ＝Ｋ・λ／ＮＡ）が決まるので、光磁気記録媒体は信号再生時の空間周波数が２ＮＡ／λ程度まで検出可能である。しかしながら、光磁気記録媒体のさらなる大容量化への要求は高まる一方である。この要求を満たす目的で、すなわち、光磁気記録媒体の記録密度を波長λと開口数ＮＡで決まる回折限界を超える密度にまで高めるために記録媒体の構成や読み取り方法を工夫し、記録密度を改善する技術が開発されている。
【０００３】
以下に光学的な回折限界を超えた微小記録磁区長まで記録密度を上げた光磁気記録媒体の例を示す。
【０００４】
例えば、特開平３−９３０５８、特開平６−１２４５００号においては、磁気的に結合される再生層と記録層とを有してなる多層膜の記録層に信号記録を行うとともに、再生層の磁化の向きを一方向に揃えた後（特開平６−１２４５００号の磁化方向は面内）、レーザー光を照射して加熱し、再生層の昇温領域に記録層に記録された信号を転写しながら読み取る信号再生方法が提案されている。
【０００５】
この方法によれば、再生用のレーザー光のスポット径に対して、信号が検出される領域（アパーチャー）を十分に小さくできるため、再生時の符号間干渉を減少させ、光学的な検出限界λ／２ＮＡ以下のピット周期の信号が再生可能となる。以上の再生方法はＭＳＲ（ａ　ｍａｇｎｅｔｉｃａｌｌｙ　ｉｎｄｕｃｅｄ　ｓｕｐｅｒ−ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ　ｒｅａｄｏｕｔ　ｍｅｔｈｏｄ）再生方式と呼ばれている。
【０００６】
また、別の例として、上記ＭＳＲ再生方式の欠点を補った構成が特開平６−２９０４９６号において提案されている。上記ＭＳＲ再生方式では、再生用のレーザーのスポット径に対して有効に使用される信号検出領域が小さくなるため、再生信号振幅が大幅に低下し十分な再生出力が得られない欠点を有している。
【０００７】
一方、特開平６−２９０４９６号に開示された構成では、再生信号振幅を低下させることなく光学的な検出限界以下の周期の信号が高速で再生可能となり、記録密度並びに転送速度を大幅に向上できる。すなわち、特開平６−２９０４９６号においては、媒体上に温度分布をもたせ、この温度分布と磁壁エネルギーの温度依存性とにより、記録マークの磁壁に再生光スポット（７４）内へ移動する圧力を誘発させる（図７参照）。図７中記載の第二の磁性層（７３２）のキュリー温度近傍まで磁性層が昇温された場合、第一の磁性層（７３１）と他の磁性層との交換結合が切断され、記録トラックの両サイドの磁気的結合分断領域の存在により、第一の磁性層（７３１）の磁壁（７２）が瞬間的に再生光スポット（７４）内へ移動する。そして、その結果、再生光スポット（７４）内の原子スピン（７１）の向きが反転して全て一方向に揃い、記録マークが拡大される。従って、再生信号振幅は記録されている磁壁の間隔（すなわち記録マーク長）によらず、常に一定かつ最大の振幅になり、光学的な回折限界に起因した波形干渉等の問題から完全に解放されるのである。以上の再生方法はＤＷＤＤ（ｄｏｍａｉｎ　ｗａｌｌ　ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ　ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）再生方式と呼ばれている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ＤＷＤＤ再生方式の再生原理である、第一の磁性層（磁壁移動層）の磁壁を再生光スポット内へ移動させ、第三の磁性層（メモリ層）からの転写磁区を拡大させるには、記録トラックの両サイドの磁気的結合分断領域の形成が必要とされる。この磁気的結合分断領域は少なくとも磁壁移動層上に形成されていなければならない。また、この磁気的結合分断領域は、非磁性、あるいは、面内磁化膜である必要がある。このようにすることにより磁区の拡大に際し、磁気的結合分断領域には磁壁が存在せず、あるいは、存在してもエネルギーの小さい磁壁が形成されるのみであるため、スムーズな磁壁の移動を可能にし、情報記憶媒体として利用できる特性を示すようになるのである。
【０００９】
この磁気的結合分断領域を形成する方法として、記録トラックの両サイドの磁性膜を高いパワーでレーザー光を照射することによりその磁性膜の磁気的性質を変質させて行う方法、いわゆる、レーザーアニール処理法がある。レーザーアニール処理法には、大きく分けて、記録層側から光を入射して行うレーザーアニール処理法（以後、膜面アニール処理法と表記）と記録層とは反対面の基板側から光を入射させて行うアニール処理法（以後、基板側アニール処理法と表記）の二つが存在する。膜面アニール処理法は、アニール処理に用いる光学系の特徴から、基板側アニール処理法よりもレーザー光のスポット径が小さく、同出力のレーザーを用いたとしても、比較的低いレーザー出力でアニールすることができる。このため、膜面アニール処理法は、アニール処理の高速対応に適しており、媒体の製造上、有利な処理法となっている。
【００１０】
このようなレーザーアニール処理法により作製されたＤＷＤＤ媒体において、信号品位上問題なく、かつ、隣接トラックのデータを破壊することのない使用可能なパワー範囲（以後、記録パワーマージンと表記）を求めたところ、ディスク間、ひいては、トラック間で記録パワーマージンのばらつきが確認された。特に、記録層側からレーザー光を入射させて行う膜面アニール処理法により作製されたＤＷＤＤ媒体においてこの記録パワーマージンのばらつき現象が多く見られた。
【００１１】
本発明者が鋭意研究を重ねた結果、記録パワーマージンのばらつきはレーザーアニールされた領域における磁化状態と深い関係があることを突き止めた。即ち、記録トラック間がレーザーアニールにより十分に面内方向に磁化が配向している場合は記録パワーマージンのばらつきは少ないが、アニールが十分でなく部分的に垂直磁化成分が残っているような状態、つまり、媒体に応じて、或いは記録トラック間に応じてこの垂直磁化成分の割合が不均一なことに起因して記録パワーマージンがばらつきを持つことを突き止めた。また、膜面アニール処理法では、第三の磁性層側からレーザー光を入射させてアニール処理を行うため、原理的に確実な磁気的分断を必要とする第一の磁性層に対して、アニール処理が不十分になりやすく、その結果、記録パワーマージンのばらつきが特に顕著に観測されるということも突き止めた。
【００１２】
記録パワーマージンは、データ記録の際の信頼性に大きく関わることであり、メディアとしては、十分に広いパワーマージンがばらつきなく安定して得られることが要求される。
【００１３】
本発明は上記問題に鑑みなされたものであり、レーザーアニール処理法による磁壁移動型光磁気記録媒体、特に膜面アニール処理法による磁壁移動型光磁気記録媒体に対し、十分広い記録パワーマージンをばらつきなく安定に持ち合わせるためのＤＷＤＤ媒体、該媒体の製造方法を提案することを第一の目的とするものである。
【００１４】
また、本発明により作製した磁壁移動型光磁気記録媒体において、製造出荷直後の媒体に対しては記録パワーマージンのばらつきはなく良好な特性を示すが、さまざまな環境下でのさまざまなドライブによる記録を繰り返すたびに、記録パワーマージンにばらつきが発生してしまう媒体の存在が確認された。これは、磁気的結合分断領域における垂直磁気異方性を示す成分が残存する媒体に対して見られる現象であった。すなわち、本発明により初期化後では磁気的結合分断領域の磁化はすべて面内に配向していたのが、あらゆる環境下での実使用の中で繰り返し記録動作を行うことにより、磁気的結合分断領域に垂直磁化成分が発生し、その結果、記録パワーマージンのばらつきになっているということが分かった。そこで、本発明の第二の目的として、以上のような経時的な問題を解決する記録再生装置を提案するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的は以下の構成により達成される。
【００１６】
すなわち、磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法において、基板上に磁性膜を成膜する工程と、前記基板の前記磁性膜が設けられた側からレーザ光を照射し、前記磁性膜の記録トラックをアニール処理する工程と、前記アニール処理中或いは処理後、前記アニール領域に前記基板表面に対して平行な磁界を印加する工程とを有することを特徴とする磁壁移動型光磁気記録媒体の製造方法。
【００１７】
磁性膜を成膜した直後では、記録トラック（図１の１１）はランダムな着磁状態を形成している。このようなランダムな着磁状態をアニールした場合、レーザーアニールパワー不足や磁性層組成チューニングが不十分であったりなどが原因で未記録トラック（図１の１２）、特に未記録トラック上の磁壁移動層における磁化状態が完全な面内磁化状態にならず、部分的に垂直成分が残留したものとなる。そして、この残留垂直磁化成分が記録パワーマージンのばらつきを引き起こしているということが判明した。本発明者は、このような残留垂直磁化成分をアニール処理と同時、或いはアニール処理直後に図２に示すような面内方向の磁界印加することにより除去し、ばらつきのない良好な記録パワーマージン特性を得られる磁壁移動型光磁気記録媒体の提供を可能とした。
【００１８】
また、上記目的は以下の構成によっても達成される。
【００１９】
すなわち、情報の再生に寄与し、磁壁が移動する磁壁移動層と、情報に応じた記録磁区を保持するメモリ層と、前記磁壁移動層とメモリ層の間に配置され、前記両層よりキュリー温度が低いスイッチング層とを備え、前記磁壁移動層は各記録トラック間で互いに磁気的に分断されている磁壁移動型光磁気記録媒体において、
前記分断領域上に接して、或いは、近接して設けられた面内磁気異方性を有する磁性膜を有することを特徴とする磁壁移動型光磁気記録媒体。
【００２０】
アニール領域の残留垂直磁化成分を除去する簡易な構成の一つは、アニール処理による磁気的分断領域上の磁壁移動層にのみ接して、或いは、近接して面内磁気異方性を有する磁性膜を形成し、交換結合、あるいは、静磁結合により磁壁移動層の隣接部位を面内磁化状態にすることである。
【００２１】
また、上記目的は以下の構成により達成される。
【００２２】
すなわち、基板上に磁性膜を有し、前記磁性膜の記録トラック間がアニール処理された磁壁移動型光磁気記録媒体に情報の記録及び／又は再生を行う記録再生装置において、前記媒体にレーザ光を照射し、情報の記録及び／又は再生を行う光ピックアップと、前記前記アニール処理された領域に前記基板表面に対し平行な磁界を印加し、前記アニール領域の磁化を初期化する手段を有することを特徴とする記録再生装置。
【００２３】
アニール領域の残留垂直磁化成分は、媒体の出荷当初存在しなくても環境或いは経時変化により新たに発生してくる可能性がある。本発明の記録再生装置によれば、後天的に発生した残留垂直磁化成分の除去が可能になり、媒体の出荷後においても記録パワーマージンのばらつきを安定して抑制することが可能になる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
本実施例における光磁気記録媒体の基本構成図を図８に示す。本実施例で使用した基板（８１）は、ポリカーボネート（ＰＣ）を用いて射出成形により作製した。基板（８１）はトラックピッチは０．５５μｍ、グルーブ幅０．４２μｍ、溝深さは０．０３μｍのグルーブ記録用基板である。グルーブ幅は溝深さの半値幅で規定している。また、本実施例では、溝を形成しているランドの延長線上にサーボ用のピットが形成されており、このサーボピットを利用してサンプルサーボによりトラッキング動作を行っている。本実施例では射出成形基板にポリカーボネート（ＰＣ）を用いたが、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、アモルファスポリオレフィン（ＡＰＯ）等を成形材料として用いてもよい。また、紫外線硬化樹脂による、いわゆる２Ｐ成形基板を使用することもできる。また、本実施例では、グルーブ記録用基板を用いたが、当然、ランド記録用基板でも、ランド・グルーブ記録用基板でも使用可能である。
【００２５】
以上のようにして作製した基板上に記録膜をスパッタ法により成膜した。記録膜としては、基板上に第一の誘電体層（８２）（ＳｉＮ）、磁壁が移動する磁壁移動層としての第一の磁性層（８３１）（ＧｄＦｅＣｏ、膜厚４０ｎｍ）、ゴースト現象を抑制するための調整層としての第四の磁性層（８３４）（ＴｂＦｅＣｏ、膜厚２０ｎｍ）、第一の磁性層、第三の磁性層よりキュリー温度が低いスイッチング層としての第二の磁性層（８３２）（ＴｂＦｅ、膜厚１０ｎｍ）、記録磁区を蓄積するメモリ層としての第三の磁性層（８３３）（ＴｂＦｅＣｏ、膜厚８０ｎｍ）、第二の誘電体層（８４）（ＳｉＮ）が順次積層されている。各誘電体層としては、上記誘電体層の他に、例えば、ＡｌＮ、ＳｉＯ２、ＳｉＯ、ＺｎＳ、ＭｇＦ２などの透明誘電材料が使用できる。また、第二の磁性層（８３２）、第三の磁性層（８３３）、第四の磁性層（８３４）としては、上記磁性材料を含む種々の磁性材料によって構成することが考えられるが、例えば、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏなどの希土類金属元素の一種類あるいは二種類以上が１０〜４０ａｔ％と、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉなどの遷移金属の一種類あるいは二種類以上が６０〜９０ａｔ％で構成される希土類・遷移金属非晶質合金によって構成し得る。また、耐食性向上などのために、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐｔ、Ｉｎなどの元素を少量添加してもよい。
【００２６】
以上のようにして作製した光磁気記録媒体のランドに、ディスク回転速度３．０ｍ／ｓでλ＝４０５ｎｍ、ＮＡ＝０．８５の光学系を用いたレーザー光を照射するレーザーアニール処理を施し未記録トラック（磁気的分断領域）を形成した。アニールパワーはＰａ＝６．４ｍＷである。このときのアニ−ル処理は、レーザー光を磁性膜が形成された基板膜面側から照射して行っている。この処理により、各ランドでランド中心に向かって垂直磁気異方性から膜面内磁気異方性へと磁気異方性が変質しており、アニールパワーが高いほどランド上の磁性は膜面内磁気異方性を強まる。
【００２７】
そして上記アニール処理後、ディスク回転速度２．４ｍ／ｓで、記録膜上の磁界強度５００Ｏｅ、磁界の方向が基板表面及びランド幅方向に平行な面内方向の直流磁界を印加させながら、レーザーパワー３．５ｍＷ（λ＝４０５ｎｍ、ＮＡ＝０．６５）のレーザー光を基板側からランドに照射して、少なくともランド上における磁壁移動層の磁化状態がランド幅方向に平行な面内磁化状態となるディスクの初期化を行った。ここでの磁界発生装置は、図３（ａ）に示すように、ディスク全面に面内方向にＤＣ磁界が印加されるように電磁石３１が設置されたものである。
【００２８】
以上のようにして作製された光磁気記録媒体を用いて、クロスライト特性の測定を行った。クロスライト特性の測定は、所定の記録パワーで変調磁界を印加しながらＮトラック（Ｎ番目のグルーブ）に記録し、ついで、Ｎ±１トラックに記録し、その後、Ｎトラックの信号を再生して、再生信号のｂＥＲを測定する手順で行った。ディスク回転速度２．４ｍ／ｓ、磁界強度３００Ｏｅで、（１，７）変調による０．０８０μｍ／ｂｉｔの信号を記録した。光学系は、λ＝６５０ｎｍ、ＮＡ＝０．６である。情報の再生は、記録と同一の光学系で、ディスク回転速度２．４ｍ／ｓ、レーザーパワー２．４ｍＷで行った。
【００２９】
以上のようにして１０トラックのクロスライト特性を求めた。この時の典型的なクロスライト特性が図４であり、ｂＥＲ＜５×１０−４で規定した記録パワーマージンΔは、１０トラックでΔ＝１５．４±０．２％であった。
【００３０】
（比較例）
初期化を行わなかったこと以外は、実施例１と同様にして媒体の作製、及び、測定を行った。このとき、典型的なクロスライト特性が図５であり、ｂＥＲ＜５×１０−４で規定した記録パワーマージンΔは、１０トラックでΔ＝１３．５±１．５％であった。
【００３１】
（実施例２）
図３（ｂ）に示すような電磁石３１により面内方向にＤＣ磁界を印加させながらレーザ源３３より出射されたレーザ光を対物レンズ３４で絞り、媒体３２上の未記録トラック３６に光スポット３５として照射してレーザーアニールができる装置を用いて、初期化とアニ−ル処理を同時に行ったこと以外は実施例１と同様にして媒体の作製、及び、測定を行った。このとき、ｂＥＲ＜５×１０−４で規定した記録パワーマージンΔは、１０トラックでΔ＝１５．３±０．２％であった。
【００３２】
（実施例３）
本実施例における光磁気記録媒体の基本構成図を図６に示す。本実施例で使用した基板は、実施例１で用いたものと同じものである。
【００３３】
基板上に記録膜を以下のようにして成膜した。まず始めに、基板（６１）上に第一の誘電体層（６２）（ＳｉＮ）、及び、面内磁気異方性を有する第五の磁性層（６３５）（Ｆｅ、膜厚１５ｎｍ）を順に積層した。第五の磁性層（６３５）としては、上記磁性材料を含む種々の磁性材料によって構成することが考えられるが、例えば、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏなどの希土類金属元素の一種類あるいは二種類以上が１０ａｔ％以下あるいは４０ａｔ％以上と、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉなどの遷移金属の一種類あるいは二種類以上が６０ａｔ％以下あるいは９０ａｔ％以上で構成される希土類・遷移金属非晶質合金によって構成しても良い。また、耐食性向上などのために、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐｔ、Ｉｎなどの元素を少量添加してもよい。これを、図９に示すイオンミリング装置を用い、媒体９１を回転させながらイオン源９２からのイオンビーム９３により、記録トラックであるグルーブ上の第五の磁性層（６３５）のみをエッチングした。従って、未記録トラックであるランド部には第五の磁性層（６３５）が積層されている。これに、磁壁が移動する磁壁移動層としての第一の磁性層（６３１）（ＧｄＦｅＣｏ、膜厚４０ｎｍ）、ゴースト現象を抑制するための調整層としての第四の磁性層（６３４）（ＴｂＦｅＣｏ、膜厚２０ｎｍ）、第一の磁性層、第三の磁性層よりキュリー温度が低いスイッチング層としての第二の磁性層（６３２）（ＴｂＦｅ、膜厚１０ｎｍ）、記録磁区を蓄積するメモリ層としての第三の磁性層（６３３）（ＴｂＦｅＣｏ、膜厚８０ｎｍ）、第二の誘電体層（６４）（ＳｉＮ）が順次積層されている。
【００３４】
以上のようにして作製された光磁気記録媒体に対して、実施例１と同様にして測定を行った。このとき、ｂＥＲ＜５×１０−４で規定した記録パワーマージンΔは、１０トラックでΔ＝１５．５±０．２％であった。
【００３５】
（実施例４）
初期化工程を省いたこと以外は、実施例１と同様にして媒体の作製を行った。このようにして作製された媒体を、図１０に示す装置構成の光磁気ディスクドライブを用いて記録再生した。すなわち、初期化磁界発生装置（１０２）により、記録トラックに形成された記録磁区に影響を与えない強度の磁界を媒体に対し面内方向（基板表面と平行な方向）に印加して、未記録トラックの磁化を面内方向に着磁させる。このとき、初期化磁界発生装置（１０２）は長手方向記録による磁気ディスクで用いているような通常の磁気ヘッドでも良いし、未記録トラックの磁化を面内方向に着磁できるのであれば永久磁石でもよい。そして、光ピックアップ（１０３）、及び、磁気ヘッド（１０４）を用いて、媒体（１０１）の記録トラックに対し記録再生を行う。
【００３６】
なお、この着磁（初期化）動作は、再生動作直前に行っても良いが、初期化磁界によるデータ破壊を確実に避けるために、フォーマット時や情報の記録動作直前、或いは記録動作が中断している間に行った方が良い。
【００３７】
以上のようにして初期化、及び、記録再生したディスクに対し、実施例１と同様にしてクロスライト特性の測定を行った結果、ｂＥＲ＜５×１０−４で規定した記録パワーマージンΔは、１０トラックでΔ＝１５．３±０．３％であった。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように、本発明の光磁気記録媒体及び製造方法によれば、磁気的結合分断領域である未記録トラック上の磁壁移動層は垂直磁気異方性を有しながらも磁化は面内方向に配向しており、これにより、特性のばらつきにともなう記録パワーマージンのばらつきが抑制され、データ記録の際の信頼性が向上する。また、未処理のままでは記録パワーマージンにばらつきがある媒体においても、本発明の記録再生装置を用いることにより、記録パワーマージンのばらつきは抑制され、ＤＷＤＤ媒体として利用できる組成マージン、または、アニールパワーマージンを広げ、製造マージンの拡大をもたらすことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明で用いる光磁気記録媒体の記録トラックと未記録トラックの配置関係を説明した概略図
【図２】本発明で製造時に印加される磁界方向を説明した模式図
【図３】本発明の第１実施例で用いる製造装置の模式図
【図４】本発明による光磁気記録媒体のクロスライト特性
【図５】従来からの光磁気記録媒体のクロスライト特性（比較例）
【図６】本発明の第３実施例で用いた光磁気記録媒体の基本構成図
【図７】ＤＷＤＤ再生方式の原理図
【図８】本発明の第１、２、４実施例、及び比較例で用いた光磁気記録媒体の基本構成図
【図９】本発明の第３実施例で用いるイオンミリング装置を示す模式図
【図１０】本発明の記録再生装置を示す模式図
【符号の説明】
（１１）　記録トラック
（１２）　未記録トラック
（２１）　記録トラック
（２２）　未記録トラック
（２３）　初期化磁界（面内方向）
（２４）　垂直磁化
（３１）　電磁石
（３２）　光磁気記録媒体
（３３）　レーザー源
（３４）　対物レンズ
（３５）　光スポット
（３６）　未記録トラック
（６１）　基板
（６２）　第一の誘電体層
（６３１）　第一の磁性層
（６３２）　第二の磁性層
（６３３）　第三の磁性層
（６３４）　第四の磁性層
（６３５）　第五の磁性層
（６４）　第二の誘電体層
（７１）　原子スピン
（７２）　磁壁
（７３１）　第一の磁性層
（７３２）　第二の磁性層
（７３３）　第三の磁性層
（７４）　光スポット
（８１）　基板
（８２）　第一の誘電体層
（８３１）　第一の磁性層
（８３２）　第二の磁性層
（８３３）　第三の磁性層
（８３４）　第四の磁性層
（８４）　第二の誘電体層
（９１）　媒体
（９２）　ミリング用イオン源
（９３）　イオンビーム
（１０１）　光磁気記録媒体
（１０２）　初期化磁界発生装置
（１０３）　光ピックアップ
（１０４）　磁気ヘッド図９
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004139696.tif 000008
【図７】
2004139696.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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