(57)【要約】【課題】低温と高温で行う電子部品の電気的特性試験をタイムリー（短時間）で行えるようにすること。【解決手段】電子部品１をセットして試験を行うテストヘッド２と、前記電子部品１を低温にするための風を発生する低温専用温度発生器４と、前記電子部品１を高温にするための風を発生する高温専用温度発生器６と、温度試験装置内の制御を行うコントロール部７とを備え、前記コントロール部７は、先ず、低温専用温度発生器４又は高温専用温度発生器６のいずれか一方の温度発生器からの送風で前記電子部品１の試験を行い、次に、他方の温度発生器からの送風に切り換えて前記電子部品１の試験を行う。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品をセットして試験を行うテストヘッドと、
前記電子部品を低温にするための風を発生する低温専用温度発生器と、
前記電子部品を高温にするための風を発生する高温専用温度発生器と、
温度試験装置内の制御を行うコントロール部とを備え、
前記コントロール部は、先ず、低温専用温度発生器又は高温専用温度発生器のいずれか一方の温度発生器からの送風で前記電子部品の試験を行い、次に、他方の温度発生器からの送風に切り換えて前記電子部品の試験を行うことを特徴とした温度試験装置。
【請求項２】
複数の前記電子部品を収容したトレイを収納するトレイ収納部を備えることを特徴とした請求項１記載の温度試験装置。
【請求項３】
前記電子部品の高温時の試験と低温時の試験の試験項目を変更して実施することを特徴とした請求項１又は２記載の温度試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ（集積回路）等の電子部品の電気的特性の試験において、低温及び高温試験をタイムリー（短時間）に行うことができる温度試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えばＩＣ等を０℃〜７０℃の動作保証を行う場合、ＩＣ等の電気的特性の試験において、低温及び高温試験を手動で設定した温度（例えば、０℃と７０℃）の２回に分けて実施しており、トータルの試験時間が長かった。
【０００３】
図４は従来例の説明図である。図４において、ＩＣの温度試験装置には、ＩＣ１、試験機のテストヘッド２、ホース３、温度発生器４が設けてある。ＩＣ１は、電気的特性試験をする電子部品である。試験機のテストヘッド２は、ＩＣ１を搭載して電気的特性の試験するためのソケット、ＩＣ１を駆動するためのドライバ、出力を検出するためのコンパレータ等を備えるものである。ホース３は、温度発生器４からの高温又は低温の風をＩＣ１に導くものである。温度発生器４は、設定した温度を発生するため、高温用のヒータ、低温用のコンプレッサ等を備えるものである。
【０００４】
低温試験（例えば０℃）と高温試験（例えば７０℃）を実施する場合、まず、低温試験として、発生温度を低温に手動で設定し、温度発生器４からホース３を通して、ＩＣ１に低温の送風を行い０℃になったらＩＣ１の電気試験を行う。次に、高温試験として、発生温度を高温に手動で切り換え、温度発生器４からホース３を通して、ＩＣ１に高温の送風を行い７０℃になったらＩＣ１の電気試験を行う。この電気的特性試験において、温度発生器４は、０℃の低温から７０℃の高温状態（又は高温から低温状態）になるまで１０分以上の時間が必要であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のものは、次のような課題があった。
【０００６】
ＩＣ等の電子部品の電気的特性試験を低温と高温で行う際、一つの温度発生器４で低温試験が終了して、高温に切り換えた際、温度発生器４自体とホース３等も同時に高温に加熱する必要があり、切り換えに要する時間が長くなるものであった。
【０００７】
本発明はこのような従来の課題を解決し、低温と高温で行う電子部品の電気的特性試験をタイムリー（短時間）で行えるようにすることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の温度試験装置の説明図である。図１において、１はＩＣ（電子部品）、２は試験機のテストヘッド、３、５はホース、４は低温専用温度発生器、６は高温専用温度発生器、７はコントロール部である。
【０００９】
本発明は、上記従来の課題を解決するため次のような手段を有する。
【００１０】
（１）：電子部品１をセットして試験を行うテストヘッド２と、前記電子部品１を低温にするための風を発生する低温専用温度発生器４と、前記電子部品１を高温にするための風を発生する高温専用温度発生器６と、温度試験装置内の制御を行うコントロール部７とを備え、前記コントロール部７は、先ず、低温専用温度発生器４又は高温専用温度発生器６のいずれか一方の温度発生器からの送風で前記電子部品１の試験を行い、次に、他方の温度発生器からの送風に切り換えて前記電子部品１の試験を行う。このため、低温と高温で行う電子部品の電気的特性試験を短時間に切り換えて行うことができる。
【００１１】
（２）：前記（１）の温度試験装置において、複数の前記電子部品１を収容したトレイを収納するトレイ収納部を備える。このため、多数の電子部品を自動機で容易に電気的特性試験することができる。
【００１２】
（３）：前記（１）又は（２）の温度試験装置において、前記電子部品１の高温時の試験と低温時の試験の試験項目を変更して実施する。このため、不必要な試験項目を省き、より短時間で電気的特性試験を行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】（１）：温度試験装置の説明
図１において、温度試験装置には、ＩＣ１、試験機のテストヘッド２、ホース３、低温専用温度発生器４、ホース５、高温専用温度発生器６、コントロール部７が設けてある。ＩＣ１は、電気的特性試験をする電子部品である。試験機のテストヘッド２は、搭載したＩＣ１の電気的特性の試験するためのドライバやコンパレータ等を備えるものである。ホース３は、低温専用温度発生器４からの低温の風をＩＣ１に導くものである。低温専用温度発生器４は、低温発生用のコンプレッサを備えるものである。ホース５は、高温専用温度発生器６からの高温の風をＩＣ１に導くものである。高温専用温度発生器６は、加熱用のヒータを備え高温を発生するものである。コントロール部７は、試験機のテストヘッド２、低温専用温度発生器４、高温専用温度発生器６等の温度試験装置内の制御を行うものである。
【００１４】
なお、ＩＣの電気的特性試験では、ＩＣの入力端子への入力（テストパターン等）に対し、出力端子の波形（パルス数、パルスレベル、パルス幅等）を観測する。また、電気的特性試験では、テストパターン依存性のもの、セットアップタイムに関するもの等の機能試験や負荷試験等がある。更に、低温時にのみ効果がある（不良が出やすい）試験と高温時にのみ効果がある試験があるため、低温試験と高温試験での温度に対応して試験項目を変更することもできる。
【００１５】
（２）：電気的特性試験の説明
図２は電気的特性試験のフローチャートである。以下、図２の処理Ｓ１〜Ｓ１０に従って、コントロール部７が行う電気的特性試験の説明をする。
【００１６】
Ｓ１：電気的特性試験が開始すると、コントロール部７は、低温専用温度発生器４からの温度Ａ（この例では低温の０℃）の風をホース３を通してＩＣ１に送り、処理Ｓ２に移る。
【００１７】
Ｓ２：コントロール部７は、試験機のテストヘッド２上のＩＣ１の温度が０℃になったかどうか判断する。ＩＣ１の温度が０℃になった場合は処理Ｓ３に移り、０℃でない場合は０℃になるまで待つ。
【００１８】
Ｓ３：コントロール部７は、試験機のテストヘッド２でＩＣ１の電気的特性試験を実行し、処理Ｓ４に移る。
【００１９】
Ｓ４：コントロール部７は、試験機のテストヘッド２でＩＣ１の電気的特性試験を終了し、処理Ｓ５に移る。
【００２０】
Ｓ５：コントロール部７は、低温専用温度発生器４からの低温（温度Ａ）の　送風を停止し、処理Ｓ６に移る。
【００２１】
Ｓ６：コントロール部７は、高温専用温度発生器６からの温度Ｂ（この例では高温の７０℃）の風をホース５を通してＩＣ１に送り、処理Ｓ７に移る。
【００２２】
Ｓ７：コントロール部７は、試験機のテストヘッド２上のＩＣ１の温度が７０℃になったかどうか判断する。ＩＣ１の温度が７０℃になった場合は処理Ｓ８に移り、７０℃でない場合は７０℃になるまで待つ。
【００２３】
Ｓ８：コントロール部７は、試験機のテストヘッド２でＩＣ１の電気的特性試験を実行し、処理Ｓ９に移る。
【００２４】
Ｓ９：コントロール部７は、試験機のテストヘッド２でＩＣ１の電気的特性試験を終了し、処理Ｓ１０に移る。
【００２５】
Ｓ１０：コントロール部７は、高温専用温度発生器６からの高温（温度Ｂ）の送風を停止し、この試験を終了する。
【００２６】
なお、上記の例では、低温試験を行ってから高温試験を行ったが、逆に高温試験を行ってから低温試験を行うこともできる。
【００２７】
（３）：試験電子部品の移動の説明
ＩＣ等の複数の電子部品の電気的特性試験を低温と高温で実施する場合、部品収納部のトレイに入れられた複数の電子部品をトレイごと温度試験装置にセットする。電気的特性試験が必要なトレイが複数ある場合、先ず、一つのトレイの電子部品の低温試験を行い、終わったトレイを部品収納部に戻し、次のトレイをセットして電子部品の低温試験を行う。そして、全てのトレイの電子部品の低温試験が終了したら、次に、低温試験が終了した最後のトレイの電子部品の高温試験を行い、試験の終わったトレイを部品収納部に戻し、次のトレイ（低温試験が終了した部品収納部のトレイ）の電子部品の高温試験を行うようにする。
【００２８】
図３はトレイを用いた電気的特性試験の説明図である。図３において、上方から見た温度試験装置には、温度試験部１０と部品収納部１１が設けてある。温度試験部１０には、試験機のテストヘッド２、ソケット２１、トレイ収納部Ｃが設けてある。また、部品収納部１１には、トレイ収納部Ａ、トレイ収納部Ｂが設けてある。
【００２９】
（トレイ収納部の電子部品の電気的特性試験の説明）
先ず、電気的特性試験を行いたい複数のＩＣ１が収納されたトレイ（複数のトレイ、例えば１０段）を部品収納部１１のトレイ収納部Ａに収納する（矢印▲１▼参照）と、その後は以下のように自動機（コントロール部７）で自動的にＩＣ１の電気的特性試験（低温及び高温試験）が行われる。
【００３０】
トレイ収納部Ａの一つ目のトレイ（例えば最上段）が温度試験部１０のトレイ収納部Ｃにセットされる（矢印▲２▼参照）。温度試験部１０では、トレイ収納部Ｃ内のＩＣ１（例えば左上のＩＣから）を試験機のヘッド２のソケット２１にセットして低温試験（又は高温試験）を行う（矢印▲３▼参照）。この試験をトレイ収納部Ｃ内の全てのＩＣ１で行う。試験の終わったトレイを部品収納部１１のトレイ収納部Ｂに収納する（矢印▲４▼参照）。
【００３１】
温度試験部１０には、トレイ収納部Ａの二つ目のトレイがトレイ収納部Ｃにセットされる。このトレイ内のＩＣ１の低温試験（又は高温試験）を行い、試験が全て終わったらトレイを部品収納部１１のトレイ収納部Ｂに収納する。このようにして、トレイ収納部Ａ内の最後のトレイまでの全てのＩＣ１の低温試験（又は高温試験）を行って、終わったトレイをトレイ収納部Ｂに収納する。なお、最後のトレイは、低温試験が終わったら引き続き次の試験（高温試験）を行うこともできる。
【００３２】
次に、部品収納部１１のトレイ収納部Ｂのトレイ（例えば最上段）をトレイ収納部Ｃにセットして高温試験（又は低温試験）を行う。この試験は、トレイ内のＩＣ１（例えば左上にＩＣから）を試験機のヘッド２のソケット２１にセットして高温試験（又は低温試験）を行う。全てのＩＣ１の試験が終わったらこのトレイをトレイ収納部Ａに収納する。
【００３３】
温度試験部１０には、トレイ収納部Ｂの二つ目のトレイがトレイ収納部Ｃにセットされる。このトレイ内のＩＣ１の高温試験（又は低温試験）を行い、試験が全て終わったらトレイを部品収納部１１のトレイ収納部Ａに収納する。このようにして、部品収納部１１のトレイ収納部Ｂの最後のトレイまでの全てのＩＣ１の高温試験（又は低温試験）を行って、トレイをトレイ収納部Ａに収納する。
【００３４】
これで、最初に収納したトレイ収納部Ａ内のトレイの全ての温度試験が終了することになる。なお、不良品は、別に設けた不良品棚に収納するか、不良品のマークを付け別の所で取り除くようにすることもできる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次のような効果がある。
【００３６】
（１）：コントロール部で、先ず、低温専用温度発生器又は高温専用温度発生器のいずれか一方の温度発生器からの送風で電子部品の試験を行い、次に、他方の温度発生器からの送風に切り換えて電子部品の試験を行うため、低温と高温で行う電子部品の電気的特性試験を短時間に切り換えて行うことができる。
【００３７】
（２）：複数の前記電子部品を収容したトレイを収納するトレイ収納部を備えるため、多数の電子部品を自動機で容易に電気的特性試験することができる。
【００３８】
（３）：電子部品の高温時の試験と低温時の試験の試験項目を変更して実施するため、不必要な試験項目を省き、より短時間で電気的特性試験を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の温度試験装置の説明図である。
【図２】実施の形態における電気的特性試験のフローチャートである。
【図３】実施の形態におけるトレイを用いた電気的特性試験の説明図である。
【図４】従来例の説明図である。
【符号の説明】
１　ＩＣ（電子部品）
２　試験機のテストヘッド
３、５　ホース
４　低温専用温度発生器
６　高温専用温度発生器
７　コントロール部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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