(57)【要約】【課題】回転の絶対位置情報を多回転であっても検出可能とした回転センサ付軸受を提供する。【解決手段】回転側軌道輪２、固定軌道輪３、および転動体４からなる転がり軸受部１を有する。保持器５に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する被検出部７と、被検出部７に対向したアナログ出力の磁気センサからなる磁気検出部８とを備える。被検出部７の磁気検出部８に対する磁気特性は、保持器５の１回転に対して１周期として変化させる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転側軌道輪、固定軌道輪、転動体、および保持器からなる転がり軸受部と、上記保持器に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する被検出部と、被検出部に対向したアナログ出力の磁気センサからなる磁気検出部とを備えた回転センサ付軸受。
【請求項２】
請求項１に記載の回転センサ付軸受において、被検出部の磁気検出部に対する磁気特性を、保持器の１回転に対して１周期として変化させた回転センサ付軸受。
【請求項３】
回転側軌道輪、固定軌道輪、転動体、および保持器からなる転がり軸受部と、上記保持器に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する保持器側の被検出部と、この保持器側の被検出部に対向したアナログ出力の磁気センサからなる第１の磁気検出部と、回転側軌道輪に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する軌道輪側の被検出部と、この軌道輪側の被検出部に対向したアナログ出力の磁気センサからなる第２の磁気検出部とを備えた回転センサ付軸受。
【請求項４】
請求項３に記載の回転センサ付軸受において、保持器側の被検出部の磁気特性を保持器の１回転に対して１周期として変化させ、かつ軌道輪側の被検出部の磁気特性を回転側軌道輪の１回転に対して１周期として変化させた回転センサ付軸受。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の回転センサ付軸受において、転がり軸受部の軸方向の両側に、被検出部とこれに対向する磁気検出部の組をそれぞれ配置した回転センサ付軸受。
【請求項６】
請求項５に記載の回転センサ付軸受において、転がり軸受部の転動体が複列であり、各列の転動体をそれぞれ保持する２つの保持器を有し、これら２つの保持器に、上記両側の被検出部をそれぞれ固着した回転センサ付軸受。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の回転センサ軸受において、転がり軸受部は予圧を与えて使用するものとした回転センサ付軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、各種の機器における回転検出、たとえば、舵角センサのように回転範囲が一定領域に限定された軸の回転検出や、モータ軸の位置検出等に使用される回転センサ付軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転センサ付軸受の一般的な構成を図１０に示す。同図において、回転センサ付軸受５１は、回転側軌道輪である内輪５２、固定側軌道輪である外輪５３、転動体５４、保持器５５からなる転がり軸受で構成されており、回転側軌道輪（たとえば内輪５２）に環状の磁気エンコーダ５６が固定され、非回転側軌道輪（たとえば外輪５３）に磁気センサ５７が、上記磁気エンコーダ５６に対向して固定されている。磁気センサ５７としては、ホール素子、ホールＩＣなどが使われる。磁気エンコーダ５６は、例えばゴム磁石からなり、図１１に示すように円周方向にＮ極とＳ極を交互に着磁したものである。磁気センサ５７は、樹脂ケース５８内に挿入された状態で樹脂モールドされ、この樹脂ケース５８は金属ケース５９を介して外輪５３に嵌着させることで、外輪５３に固定されている。図１１に磁気センサの配置を示す。２つの磁気センサ５７ａ，５７ｂは出力位相差（電気角）が９０°になるように配置されている。
【０００３】
このように構成することにより、内輪５２の回転に伴い、磁気センサ５７が磁気エンコーダ５６の磁気変化を検出し、その検出信号は図１２のように位相が９０°ずれたインクリメンタルな回転パルス信号となる。この信号から内輪５２の回転数や回転方向を知ることができる。上記構成の回転センサ付軸受は、小型でかつ組立調整が不要であり、さらに堅牢などの特徴を有しており、モータ支持軸受などに利用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１０のような構成では、回転軸の相対的な回転角度のみ検出できるだけであって、絶対位置情報はわからない。また、回転軸が多回転するような場合に、多回転での絶対位置情報を知ることは困難である。
【０００５】
この発明の目的は、回転の絶対位置情報を多回転であっても検出可能とした回転センサ付軸受を提供することにある。
この発明の他の目的は、電源投入時にイニシャライズ動作を行うことなく、絶対位置の検出が可能なものとすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明の回転センサ付軸受は、回転側軌道輪、固定軌道輪、転動体、および保持器からなる転がり軸受部と、上記保持器に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する被検出部と、被検出部に対向したアナログ出力の磁気センサからなる磁気検出部とを備えたものである。
転がり軸受部は、回転側軌道輪が回転するのに伴って、保持器が回転側軌道輪よりも減速して回転する。この保持器の回転により、保持器に固定された被検出部が磁気検出部で検出され、保持器の回転が検出される。上記の減速の比は、転がり軸受部の寸法諸元によって異なるが、概ね２．５前後となる。また、保持器の回転位置と回転側軌道輪の回転位置とには一定の関係が生じる。そのため、保持器の回転位置が検出されることで、回転側軌道輪の回転位置が検出される。保持器に固定された被検出部は磁気特性が円周方向に周期的に変化するが、磁気検出部としてアナログ出力の磁気センサを用いているので、出力を電気的に処理することで、被検出部の磁気特性の１周期の中間における位置検出が行える。上記変化の周期を保持器の１回転に対して特定の周期に設定し、あるいは電源投入時にイニシャライズや適宜の原点認識手段を併用することで、絶対角度の検出が可能になる。このように、保持器は回転側軌道輪に対して減速しているため、その減速比に応じた回転側軌道輪の回転数の範囲で絶対位置検出が可能となる。例えば減速比が２．５であれば２．５回転の範囲で絶対位置検出が可能になる。
【０００７】
この発明において、被検出部の磁気検出部に対する磁気特性を、保持器の１回転に対して１周期として変化させても良い。
保持器の１回転に対して１周期の変化となる磁気特性であると、保持器の回転位置の絶対位置が検出され、電源投入時にイニシャライズを行うことなく、絶対位置を検出することができる。この場合に、回転側軌道輪の数回転の範囲の絶対位置検出が可能になる。
【０００８】
この発明における他の回転センサ付軸受は、回転側軌道輪、固定軌道輪、転動体、および保持器からなる転がり軸受部と、上記保持器に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する保持器側の被検出部と、この保持器側の被検出部に対向したアナログ出力の磁気センサからなる第１の磁気検出部と、回転側軌道輪に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する軌道輪側の被検出部と、この軌道輪側の被検出部に対向したアナログ出力の磁気センサからなる第２の磁気検出部とを備えたものである。
このように保持器の被検出部に対応する第１の磁気検出部に加えて、回転側軌道輪に固定された被検出部およびこれに対向する第２の被検出部を設けた場合、これら２つの磁気検出部から得られる信号を電気的に処理することで、回転側軌道輪の正逆の数回転の範囲の絶対位置検出が行える。
【０００９】
この回転センサ付軸受において、保持器側の被検出部の磁気特性を保持器の１回転に対して１周期として変化させ、かつ軌道輪側の被検出部の磁気特性を回転側軌道輪の１回転に対して１周期として変化させても良い。
この構成の場合、電源投入時にイニシャライズを行うことなく、回転側軌道輪の正逆数回転の範囲の絶対位置検出が行える。
【００１０】
この発明の上記いずれかの構成の回転センサ付軸受において、転がり軸受部の軸方向の両側に、被検出部とこれに対向する磁気検出部の組をそれぞれ配置しても良い。この場合に、転がり軸受部の転動体が複列であって、それぞれの列の転動体を保持する２つの保持器を有する場合は、これら２つの保持器に上記両側の被検出部をそれぞれ固着しても良い。
このように両側に被検出部と磁気検出部の組を設けることで、検出信号を多重化できるため、片側の磁気検出部が故障した場合のサポートを行うことが可能となり、回転センサ付軸受の信頼性向上につながる。
【００１１】
この発明において、転がり軸受部は予圧を与えて使用するものとすることが好ましい。軌道輪の軌道面と転動体との間に隙間や滑りがあると保持器の回転に遅れを生じるが、予圧を与えることで上記滑りが防止され、保持器の回転検出による回転側軌道輪の精度の良い回転検出が行える。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明の第１の実施形態を図１ないし図６と共に説明する。図１（Ａ）に示す回転センサ付軸受は、転動体４を介して互いに回転自在な回転側軌道輪２および固定側軌道輪３を有する転がり軸受部１と、保持器５に固定した被検出部７と、この被検出部７に対して固定側軌道輪３の一端部に取付けられた磁気検出部８と、磁気検出回路基板１１とを備える。転がり軸受部１は深溝玉軸受であり、たとえば、その内輪が回転軌道輪２となり、外輪が固定側軌道輪３となる。回転側軌道輪２の外径面および固定側軌道輪３の内径面には転動体４の軌道面２ａ，３ａが形成されており、転動体４は保持器５で保持されている。回転側軌道輪２と固定側軌道輪３の間の環状空間は、被検出部７および磁気検出部８の設置側とは反対側の端部がシール部材６で密封されている。
【００１３】
被検出部７はアキシアル型のものであって、磁気検出部８に対する磁気特性を連続的に変化させた環状の部品とされている。具体的には環状のバックメタル７ｂと、その片側に設けられた周方向に向けて変化する磁極Ｎ，Ｓの極対が１つ着磁された磁気発生部材７ａとを有する。この被検出部７は、バックメタル７ｂが保持器５と固着されており、保持器５と一体となって回転可能となる。保持器５と被検出部７との固着構造としては、保持器５が樹脂であれば、保持器５の側面に爪を設け、被検出部７を爪で固定しても良いし、樹脂成形時に被検出部７を組込んでも構わない。また、保持器５が樹脂であれば、被検出部７の磁力に影響を与えることもない。磁気発生部材７ａは、たとえばゴム磁石が用いられ、バックメタル７ｂに加硫接着される。磁気発生部材７ａはプラスチック磁石や焼結磁石で形成されたものであっても良い。
【００１４】
磁気検出部８は、磁束密度に対応した出力信号を発生する２つの磁気センサ８ａ，８ｂからなる。これら２つの磁気センサ８ａ，８ｂは、図１（Ｂ）のように円周方向に所定の間隔（ここでは電気的に９０°位相差）を持たせて配置されている。これら両磁気センサ８ａ，８ｂは、共にアナログ出力のセンサからなり、たとえば、ホール素子、アナログ出力のホールＩＣなどを使用することができる。これら磁気検出部８ａ，８ｂは、図１（Ａ）のように磁気検出回路基板１１に実装され、この磁気検出回路基板１１と共に樹脂ケース９内に挿入した後に樹脂モールド材１２を流し込んでから固められる。この樹脂ケース９を、金属ケース１０を介して固定側軌道輪３に固定することにより、磁気検出部８ａ，８ｂおよび磁気検出回路基板１１が固定軌道輪３に取付けられている。磁気検出回路基板１１は、磁気検出部８への電力供給および磁気検出部８の出力信号を処理して外部に出力するための回路を実装した基板である。
【００１５】
ここで、回転側軌道輪２が回転すると、被検出部７は回転側軌道輪２と同じ方向に減速されて回転する。その理由は、軸受部１が、いわば遊星減速機として作用するからであり、回転側軌道輪２を太陽歯車、転動体４を遊星歯車、固定側軌道輪３を内歯車、保持器５をキャリアと見なすと理解し易い。減速比は軸受寸法諸元により異なるが、概ね２．５前後になる。たとえば、減速比を２．５と仮定すると、回転側軌道輪２が２．５回転する間に、保持器５は１回転する。この時、転動体４と各軌道輪２，３の軌道面２ａ，３ａとの間に隙間や滑りがあると保持器５の回転に遅れを生じるので、これを防止する目的で軸受１に予圧を与えて使用することが好ましい。または、軸受１として４点接触軸受を使用することでも保持器５の遅れを防止できる。
【００１６】
図２は、回転側軌道輪２の回転に伴う磁気センサ８ａ，８ｂの検出信号の波形を示すものである。回転側軌道輪２が約２．５回転、すなわち機械角で９００°回転する間に、位相差が９０°の正弦波状の信号が出力される。磁気検出部８としてアナログ出力のホールＩＣを用いた場合、その電源電圧Ｖｃの半分の値Ｖｃ／２を基準として、磁気発生部材７ａの着磁強度に比例した正弦波出力が得られる。これらの出力信号を電気的に処理し、正弦波信号を内挿してｎ分割すれば、回転側軌道輪２の約２．５回転をｎ分割することになる。たとえば、分割数ｎが２５６であれば、回転側軌道輪２の約２．５回転の間を２５６分割して絶対位置表示することが可能となる。
【００１７】
図３は９０°位相差の正弦波１周期を内挿分割するための一例である。磁気センサ８ａ，８ｂの出力の中点（Ｖｃ  ／２）を０として、磁気センサ８ｂの出力信号を磁気センサ８ａの出力信号で割ることで得られる出力比ｂ／ａ（図中１点鎖線）と、磁気センサ８ａ，８ｂの象限判別から得られる正弦波１周期内の象限位置を元にして、出力比ｂ／ａと位置の関係を示す補正テーブルから電気角で３６０°内の位置を知ることができ、この値を元にして電気角で３６０°の範囲を内挿分割する。
【００１８】
図４は２つの磁気センサ８ａ，８ｂの信号から内挿分割により回転パルス信号を作る処理回路例であり、磁気検出回路基板１１内に実装されている。処理回路１３は、磁気センサ８ａ，８ｂの出力比を求める除算器１４、象限判別部１５、および補正演算部１６からなり、補正演算部１６に補正テーブル１６ａが設けられている。磁気センサ８ａの出力をａ、磁気検出部８ｂの出力をｂとすると、除算器１４はその出力比ｂ／ａを求める。出力比の求め方は、アナログ信号処理で求めても良いし、除算器１４の入力段に図示しないＡ／Ｄ変換回路を内蔵させてデジタル的な処理をしても構わない。象限判別部１５は、被検出部７の１極対から得られる電気角３６０°の範囲を象限判別して補正演算部１６に入力される。補正演算部１６では、出力比ｂ／ａと象限判別結果とを元にして、補正テーブル１６ａ内に予め出力比と電気角との対応を付けた記憶事項と対応させることで、電気角で３６０°の範囲をｎ分割する。この処理回路として、Ａ／Ｄ変換器とメモリを内蔵したワンチップマイコンを用いれば、回路が簡略化されて好都合である。
【００１９】
図４のようにｎ分割した信号をコード出力として多ビット（ｂｉｔ）で取り出せば、回転側軌道輪２の２．５回転で、図５（Ａ）（Ｂ）に示すような０からｎ−１を繰り返すコード出力が得られる。
なお、ここでは信号分割の手法として磁気センサ８ａ  ，８ｂの出力比を元に求めたが、磁気センサ８ａ，８ｂの正弦波出力を元にした他の内挿分割方法であっても構わない。
【００２０】
このように、この実施形態の回転センサ付軸受によると、１極対（Ｎ，Ｓペア）を着磁した被検出部７を保持器５に固定し、外輪からなる固定側軌道輪３に磁気検出部８を固定した構成であるため、内輪である回転側軌道輪２の約２．５回転で被検出部７が１回転する。この時、磁気検出部８としてアナログ出力タイプの磁気センサを用いて電気角で９０°の出力位相差になるように２つの磁気センサ８ａ，８ｂを配置したため、回転側軌道輪２の約２．５回転で１周期のアナログ正弦波（ｓｉｎθ、ｃｏｓθ）が得られ、これを電気的に処理することで、回転側軌道輪２の２．５回転中の絶対位置検出が可能となる。すなわち、軸受部１の回転側軌道輪２が回転するのに伴って、保持器５は回転側軌道輪２よりも減速して回転することを利用し、その減速機構を応用したものであるため、回転側軌道輪２の数回転（この例では２．５回転）中の絶対位置検出が行える。
【００２１】
図６ないし図７は第２の実施形態を示すものである。図１の構造では、回転側軌道輪（内輪）２の２．５回転の範囲を絶対位置出力が可能であるのに対して、第２の実施形態では、回転側軌道輪（内輪）２の正逆２．５回転、つまり、±２．５回転の範囲内を絶対位置検出可能とするものである。
図６（Ａ）は第２の実施形態の構成を示す断面図である。この実施形態において、特に説明する事項の他は、第１の実施形態と同じである。第１の実施形態との相違は、回転側軌道輪２に新たに被検出部１８を固着し、それに対向する位置に第２の磁気検出部１９を追加したことにある。被検出部１８および磁気検出部１９により第２の位置検出部２２が構成される。被検出部１８は、環状のバックメタル１８ｂと、その外周に設けられて周方向に向けて変化する磁極Ｎ，Ｓが１極対だけ着磁された磁気発生部材１８ａを有する。この被検出部１８はバックメタル１８ｂを介して回転側軌道輪２に圧入固着されている。磁気発生部材１８ａはたとえばゴム磁石が用いられ、バックメタル１８ｂに加硫接着される。磁気発生部材１８ａはプラスチック磁石や焼結磁石で形成されたものであっても良く、この場合は、バックメタル１８ｂは必ずしも設けなくても良い。
図６（Ｂ）は保持器５に固着した被検出部７と第１の磁気検出部８の構成を示すもので、先に述べた図１（Ｂ）と同じ構成のため説明を省略する。被検出部７と第１の磁気検出部８とで第１の位置検出部２１を構成する。
【００２２】
図６（Ｃ）は第２の実施形態として追加した第２の位置検出部２２の構造を示している。磁気検出部１９は、磁束密度に応じて出力信号を発生する２つの磁気センサ１９ａ，１９ｂからなる。これら２つの磁気センサ１９ａ，１９ｂは、被検出部１８の円周方向に所定の間隔（ここでは電気的に９０°位相差）を持って、対向する位置に配置されている。これら両磁気センサ１９ａ，１９ｂは共にアナログセンサからなり、たとえば、ホール素子、アナログ出力のホールＩＣなどを使用することができる。これら磁気センサ１９ａ，１９ｂは、図６（Ａ）のように磁気検出回路基板１１′に実装される。
【００２３】
磁気センサ８ａ，８ｂと磁気センサ１９ａ，１９ｂの出力例を図７（Ａ）に示す。図７（Ａ）中、回転側軌道輪２の２．５回転で１周期の正弦波信号（磁気センサ８ａ，８ｂ）は第１の位置検出部２１からの出力であり、図２と同じものである。この信号を電気的に処理することで、図７（Ｂ）に示すようなコード出力が得られる。また、第２の位置検出部２２の磁気センサ１９ａ，１９ｂからは、回転側軌道輪２の１回転（機械角３６０°）ごとに１周期の正弦波が得られ、この信号を電気的に処理することで、図７（Ｃ）のようなコード出力が得られる。回転側軌道輪２が１回転するごとにコード出力が０からｎ−１へと変わっているが、正回転と逆回転のコード出力を比べると位相が１８０°ずれているために、図７（Ｃ）のコード出力と図７（Ｂ）のコード出力とを比較していけば、回転側軌道輪２の回転が何回目かの判別が可能となる。その結果から、図７（Ｄ）に示すように回転側軌道輪２の±２．５回転での絶対位置検出が可能となる。
【００２４】
このように、保持器５に被検出部（１極対着磁の磁気エンコーダ）７を設けた第１の位置検出部２１と、回転側軌道輪（内輪）２に別の被検出部（１極対着磁の磁気エンコーダ）１８を固定した第２の位置検出部２２とを設けることで、回転側軌道輪（内輪）２の±２．５回転の範囲で絶対位置検出が可能となる。
【００２５】
図８，図９に第３の実施形態を示す。図８は転がり軸受部１′として複列タイプを用いており、かつ、図１で説明した回転検出のための各手段を転がり軸受部１′の軸方向の両側に装着した構成を成している。すなわち、軸受部１′の両側に上記被検出部７、磁気検出部８、および磁気検出回路基板１１を設けている。
このように両側に被検出部７，磁気検出部８の組を設けることで、センサ信号を多重化できるため、片側のセンサが故障した場合のサポートを行うことが可能となり、回転センサ付軸受の信頼性向上につながる。
【００２６】
図９は、図６で述べた第１および第２の位置検出部２１，２２を、共に複列の転がり軸受部１′の両側に装着したものである。図８，図９のように軸受部１′の両側にセンサ機能を配置する場合、両側の出力仕様を同じとしても良いし、それぞれの出力仕様を変えて装着しても良い。軸受部１′の両側面にセンサ機能を固着できれば、設置スペースの節約にもなる。
【００２７】
なお、図８，図９の各例は、複列タイプの転がり軸受部１′を用いて、それぞれの保持器５の片側に被検出部７を固着しているが、単列タイプの転がり軸受部１を用いても図８，図９の各例と同様の機構は成り立つ。この場合、１つの保持器５の左右両側に被検出部（図示せず）を固着すれば良く、軸受のタイプとして複列タイプにこだわるものではない。
【００２８】
上記各実施形態では、磁気検出部８を構成する２つの磁気センサ８ａ，８ｂの信号を除算しているため、２つの出力信号の振幅差があってもあまり精度には影響を与えないが、磁気センサ８ａ，８ｂから得られる正弦波振幅を一定にした方が精度は向上する。そのため、被検出部７の磁気発生部材としては、異方性フェライト磁石よりも等方性フェライト磁石の方が好ましい。また、角度算出する時の補正テーブル１６ａ（図４）の値は、実測データを元に補正した固有値を入れることで精度分割精度を上げることも可能である。
また、上記説明の被検出部７，１８は、ラジアル方式、アキシアル方式を問わない。また、処理回路を磁気検出回路基板１１，１１′に実装する形で説明してきたが、処理回路のすべて、あるいはその一部を図示しない出力ケーブルの途中に入れても構わないし、外部回路側に処理回路機能を持たせても良い。
また、センサ構成部は軸受側面に突出する形で固着する手段として説明してきたが、軸受部１，１′の回転側軌道輪２や固定側軌道輪３の幅を延長してできた環状のスペース内に磁気検出部８，１９や被検出部１８を収容する構成であっても構わない。
【００２９】
【発明の効果】
この発明の回転センサ付軸受は、保持器に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する被検出部と、被検出部に対向したアナログ出力の磁気センサからなる磁気検出部とを備えたものであるため、回転の絶対位置情報を多回転であっても検出可能となる。特に、被検出部の磁気検出部に対する磁気特性を、保持器の１回転に対して１周期として変化させた場合は、電源投入時にイニシャライズ動作を行うことなく、絶対位置の検出が可能になる。
上記被検出部および磁気検出部に加え、回転側軌道輪に固着され磁気特性が円周方向に周期的に変化する軌道輪側の被検出部と、この軌道輪側の被検出部に対向したアナログ出力の磁気センサからなる第２の磁気検出部とを設けた場合は、回転側軌道輪の正逆両方向に数回転の範囲で絶対位置検出が行える。
軸受部の左右両側に上記被検出部および磁気検出部の組を設けた場合は、信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれこの発明の第１の実施形態にかかる回転センサ付軸受の部分破断側面図およびその被検出部，磁気検出部の正面図である。
【図２】磁気センサ出力の説明図である。
【図３】磁気センサ出力から内挿分割を行う処理の説明図である。
【図４】処理回路のブロック図である。
【図５】磁気検出部の出力の処理例の説明図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれこの発明の他の実施形態にかかる回転センサ付軸受の部分破断側面図、その被検出部，磁気検出部の正面図、および第２の位置検出部の断面図である。
【図７】同実施形態における磁気センサの出力およびその各処理状態の信号の波形図である。
【図８】この発明のさらに他の実施形態の破断側面図である。
【図９】この発明のさらに他の実施形態の破断側面図である。
【図１０】従来例の断面図である。
【図１１】同従来例の被検出部と磁気検出部の関係を示す正面図である。
【図１２】同従来例のセンサ出力の波形図である。
【符号の説明】
１，１′…転がり軸受部
２…回転側軌道輪（内輪）
３…固定側軌道輪（外輪）
４…転動体
５…保持器
７…被検出部
７ａ…磁気発生部材
７ｂ…バックメタル
８…磁気検出部
８ａ，８ｂ…磁気センサ
１１…磁気検出回路基板
１８…被検出部
１８ａ…磁気発生部材
１８ｂ…バックメタル
１９…磁気検出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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