(57)【要約】【課題】ファラデー回転子と偏光子を備えた光アイソレータにおいて、耐湿性、耐光性に優れ、さらにアウトガスの発生が無く半導体レーザーパッケージ内に設置可能な、信頼性の高い光アイソレータを提供する。【解決手段】ファラデー回転子と偏光子を備えた光アイソレータにおいて、前記ファラデー回転子および前記偏光子との間にそれぞれ空隙部を設け、前記ファラデー回転子および前記偏光子の各側面部が対向する平面部をもつ保持用部品にて嵌合され並列に配設する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファラデー回転子と偏光子を備えた光アイソレータにおいて、前記ファラデー回転子および前記偏光子との間にそれぞれ空隙部を設け、前記ファラデー回転子および前記偏光子の各側面部を対向する平面部をもつ保持用部品にて嵌合し並列に配設した構成を特徴とする光アイソレータ。
【請求項２】
上記保持用部品の断面を凹形状としたことを特徴とする請求項１記載の光アイソレータ。
【請求項３】
上記ファラデー回転子および上記偏光子の各側面部と上記保持用部品の平面部との間に緩衝材を介することを特徴とする請求項１または２記載の光アイソレータ。
【請求項４】
請求項１〜３記載の光アイソレータにおいて、上記ファラデー回転子の基板と上記偏光子の基板とを仮固定用接着剤を介して積層して、複数個切り出して得られた光アイソレータ用素子の切断面を保持用部品にて嵌合した後、上記仮固定用接着剤を洗浄により除去することを特徴とする光アイソレータの組立方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光源から出射された光を各種光学素子や光ファイバに導入する際に生じる戻り光を除去するために用いられる光アイソレータおよびその組立方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光アイソレータにおいては、レーザー光源等の光源から出射した光は、各種光学素子や光ファイバに入射されるが、入射光の一部は各種光学素子、光ファイバを透過する際、反射や散乱を起こす。反射や散乱した光の一部は光源側に戻るが、この戻り光を遮断するため、光アイソレータが用いられる。
【０００３】
この種の光アイソレータは２枚の偏光子の間にファラデー回転子を設置し、これら３つの部品をリング状の磁石内に部品ホルダを介して配置することによって構成されていた。図８（ａ）および（ｂ）の構成概略図は、この種の従来の光アイソレータを示す図である。ファラデー回転子は飽和磁界強度において所定の波長をもつ光の偏光面を４５゜回転する厚みを持ち、２つの偏光子はそれぞれの透過方向が４５゜回転方向にずれるように回転調整されて構成されている。このような構成の光アイソレータは、ファラデー回転子と２つの偏光子を部品別にホルダに固定する必要があり、このために部品点数が多い。また、製品ごと別個に回転調整作業が必要であり組立工数も多くかかる。部品点数削減として、円筒形状ではなく、光アイソレータ用素子や磁石を基板に設置した構造もある。図８（ｃ）の構成概略図は、この種の従来の光アイソレータを示す図である。ファラデー回転子と偏光子は偏波方向の調芯なしにそれぞれ単体で切断加工され、個々にメタライズ加工が施されている。その後、基板上に調芯なしで半田固定されている。（特許文献１参照）。
【０００４】
また、ファラデー回転子の両面にそれぞれ偏光子を直接接着した光アイソレータ用素子を基板上に設置した構成の光アイソレータも提案されている。図８（ｄ）の構成概略図は、この種の従来の光アイソレータを示す図である。図８（ｄ）に示すように、光アイソレータ３１０はファラデー回転子３２、偏光子３３を光透過性が良く屈折率が制御されている光学接着剤４０で貼り合わせた光アイソレータ用素子３１を磁石３６の間に配置する構成となっている。この光アイソレータ用素子３１を作製する方法は、大判のファラデー回転子と大判の偏光子を光学接着剤４０を用いて交互に張り合わせ、光学接着剤４０を硬化させた後にこれをカットして多数個の光アイソレータ用素子３１を得るというものである。この方法により部品点数が削減され、また多数個の光アイソレータの回転調整を一括して行うことが可能となり、組立工数も削減される（特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２２７９９６号公報
【０００６】
【特許文献２】特開２００３−４３４１６号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述の特許文献１のように、ファラデー回転子と偏光子にそれぞれメタライズ加工を施さなければならず、コストアップの要因となる。また、光アイソレータの特徴である光学特性のアイソレーションが偏波調芯なしに行われているため、光学特性が悪くなるという課題があった。
【０００８】
また、上述の特許文献２のように、光アイソレータ用素子（ファラデー回転子および偏光子）を光学接着剤により接着して一体化した光アイソレータ用素子においては以下のような課題があった。
【０００９】
（１）ファラデー回転子および偏光子を光学接着剤を用いて固定しているため耐湿性が劣り、特に高温高湿条件下で光学特性劣化が起こる。
【００１０】
（２）光線透過面を光学接着剤で固定しているため、長時間あるいは高出力のレーザ光中の使用では光学接着剤層の変質の可能性があり、信頼性に問題がある。
【００１１】
（３）接着剤から発生するアウトガスにより他の部品に悪影響を及ぼす可能性がある。特に半導体レーザーパッケージ内への設置はアウトガスが半導体レーザーチップの発光特性に悪影響を及ぼすため、パッケージ内への設置が不可能で装置の大型化につながる。
【００１２】
本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、耐湿性、耐光性に優れ、さらにアウトガスの発生が無く半導体レーザーパッケージ内に設置可能な、信頼性の高い光アイソレータを提供することにある。更に、部品点数、組立工数が少なく、量産性の高い光アイソレータの組立方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明はこれらの課題を解決するためのものであり、ファラデー回転子と偏光子を備えた光アイソレータにおいて、前記ファラデー回転子および前記偏光子との間にそれぞれ空隙部を設け、前記ファラデー回転子および前記偏光子の各側面部を対向する平面部をもつ保持用部品にて嵌合し並列に配設した構成を特徴とするものである。
【００１４】
又、上記保持用部品の断面を凹形状としたことを特徴とするものである。
【００１５】
又、上記ファラデー回転子および上記偏光子の各側面部と上記保持用部品の平面部との間に緩衝材を介することを特徴とするものである。
【００１６】
更に、上記ファラデー回転子の基板と上記偏光子の基板とを仮固定用接着剤を介して積層して、複数個切り出して得られた光アイソレータ用素子の切断面を保持用部品にて嵌合した後、上記仮固定用接着剤を洗浄により除去することを特徴とするものである。
【００１７】
このように本発明の光アイソレータにおいては、ファラデー回転子および偏光子が保持用部品により一体化されているため、光アイソレータを構成する部品点数を削減することができ、光アイソレータの小型化が実現する。また大判のファラデー回転子および大判の偏光子で光学調整を行い、その後多数個を切り出す工程のため、均一で、優れた特性の光アイソレータ用素子が、容易に多数個作製することができ、組立工数の削減が可能で、量産性に優れる。またファラデー回転子および偏光子は、保持用部品を用いて一体化されているため光学接着剤等が存在せず、高温高湿条件下での信頼性に優れる。さらに光線透過面に接着剤が存在しないために高出力、長時間のレーザー光中での使用においても特性の劣化がない。また光アイソレータを構成する全部材が無機材料から構成されており有機系のアウトガスが発生しない。そのため、半導体レーザーパッケージ内に光アイソレータを設置することができ、装置の小型化および、特性の安定化が実現する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図１は本発明の光アイソレータの一例を示す斜視図である。図１に示すように光アイソレータ１００は、ファラデー回転子２および偏光子３の光アイソレータ用素子１が保持用部品４上に互いに空隙部８をもって配置され、且つ光アイソレータ用素子１の側面部１ａが緩衝材９を介して保持用部品４の平面部４ａと嵌合され、その保持用部品４は基板７に接着固定されている。
【００１９】
このように光アイソレータ用素子１が保持用部品４により一体化されているため、従来使用されていた光アイソレータ１１０を構成するホルダ１９等の部品点数を削減することができ、光アイソレータの小型化が実現する。
【００２０】
保持用部品４は、弾性変形をし易く、且つ光アイソレータ用素子１を確実に嵌合する必要があるため、凹形状であることが好ましい。
【００２１】
本発明に示す光アイソレータにおいては、ファラデー回転子２および偏光子３間の空隙部８をなす間隔Ｗを任意に設定可能である。一般に光アイソレータ等の光部品の構成において素子同士の間隔Ｗは、光学特性に大きな影響を与える。例えば、間隔Ｗが極端に小さい場合、素子を通過する光線が素子端面間で多重反射を起こし、光線の透過率、反射率が変動する。特に、素子同士が接触した場合、素子表面に施された反射防止膜は、境界条件が変化するため、その機能を果たさなくなる。本発明における光アイソレータにおいては、これを構成するファラデー回転子２と偏光子３の間隔Ｗは任意に設定できるため、その光学特性は安定する。
【００２２】
ファラデー回転子２は例えばビスマス置換ガーネット結晶等で、その厚みｔは入射する光線５０の光軸Ｌ方向の飽和磁界を印可した場合に、光線５０の偏光面が４５゜回転する様に設定する。ファラデー回転子２にビスマス置換ガーネット結晶を用いる際には、ファラデー回転子２に磁界を印可させるため、光アイソレータ用素子１を磁石６内に配置する必要がある。また、ファラデー回転子２が自己バイアス型ならば磁石６なしでも光アイソレータとして動作するため、磁石６は不要となる。
【００２３】
２枚の偏光子３には吸収型、あるいは複屈折型があり、吸収型を用いた場合、２枚の偏光子３の透過偏光面を光軸Ｌまわりに４５゜だけずらした構成とすればよい。
【００２４】
保持用部品４の材質としては、ばね材料として用いられるような弾性が高いものが好ましい。具体的には、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ６３１等のステンレス、黄銅やリン青銅等の銅合金、ＳＦ２０Ｔ、ＡＳＴＭ−Ｆ１５およびアルミニウム等の金属が適している。
【００２５】
また、緩衝材９の材質としては、無機材料を限定し塑性変形を起こしやすい鉛や金、銅、Ｎｉ等が適しており、保持用部品４と別体でも保持用部品４にメッキ加工して設けても良い。あるいは、鉛錫半田、金錫半田、銀錫半田等の半田や低融点ガラス、アルミナ母材のセラミックス系無機接着剤等の無機材料を用いても良い。
【００２６】
また、緩衝材９の介在場所は、光アイソレータ用素子１と保持用部品４との嵌合部分であれば良く、光アイソレータ用素子１の底面部１ｂと保持用部品４の底面部４ｂとの間にあっても構わない。
【００２７】
さらに、緩衝材９は、光アイソレータ用素子１と保持用部品４が嵌合されれば、図１のように２箇所も要らず１箇所でも良い。
【００２８】
基板７に用いる材質としては、ホウケイ酸ガラスや石英ガラス等のガラス平板、５０Ｎｉ−Ｆｅ、４９Ｎｉ−Ｆｅの合金、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０３、ＳＵＳ４３０等のステンレス、ＳＦ２０Ｔ、ＡＳＴＭ−Ｆ１５およびアルミニウム等の金属平板、アルミナやジルコニア等のセラミックスの無機材料を選択する。
【００２９】
また、保持用部品４と基板７とを接着する材料としては、鉛錫半田、金錫半田、銀錫半田等の半田や低融点ガラス、アルミナ母材のセラミックス系無機接着剤等の無機固定材料５を選択する。この無機固定材料５を用い、ファラデー回転子２および偏光子３を保持した保持用部品４と基板７とを接着する。
【００３０】
図２（ａ）および（ｂ）は、本発明の他の実施形態である。図１に対して、基板７を使用しないため、さらに部品点数を削減できる。図２（ａ）は、保持用部品４をパッケージ接地面（不図示）に対して浮かした状態であり、パッケージ接地面に対しては磁石６が基板７の役割を果たす。図２（ｂ）は、保持部品４がパッケージ接地面に接地し、磁石６を浮かした状態である。パッケージ接地面に対しては保持用部品４が基板７の役割を果たす。図２（ｃ）は、本発明の他の実施例で、光アイソレータ用素子１は円筒形となっている。このように、光アイソレータ用素子１は、勘合される部分があれば良く、角板形状や円筒形状だけでなく、五角形や六角形といった多角形でも良い。
【００３１】
図３は保持用部品４の他の実施形態を示す。
【００３２】
図３（ａ）は、光アイソレータ用素子１の接地面である底面部４１ｂの一部にザグリ４１ｃが設けられている保持用部品４１である。仮固定接着剤１０を除去するには、ファラデー回転子２と偏光子３との間の仮固定接着剤１０が露出している箇所に洗浄液を塗布することが望ましく、保持用部品４１のこのザグリ４１ｃは、仮固定用接着剤１０の露出面積を増やすことになり仮固定接着剤１０の除去を早める効果がある。
【００３３】
図３（ｂ）は、光アイソレータ用素子１のファラデー回転子２および偏光子３を独立に保持する機構を具備した保持用部品４２である。保持機構が独立しているため、ファラデー回転子２および偏光子３を個別に嵌合させることができる。
【００３４】
図３（ｃ）は、光アイソレータ用素子１を平面部４３ａでの嵌合だけでなく、上面部４３ｄを備えた保持用部品フタ部４３ｅで囲み、四方から嵌合させる機能を具備した保持用部品４３である。嵌合部分を増やすことにより嵌合力が増し、衝撃や振動などの耐機械環境の信頼性が上がる。また、２つの保持用部品フタ部４３ｅと保持用部品受け部４３ｆは、溶接４５等で固定される。
【００３５】
図３（ｄ）は、保持用部品の一部に位置決め機構４４ｇを備え、保持用部品フタ部４４ｅと保持用部品受け部４４ｆとの連結を容易にした保持用部品４４である。
【００３６】
図４は、本発明にかかる光アイソレータ用素子１の組立手順の一例を示す図である。
【００３７】
先ず図４（ａ）で示すように、１枚のファラデー回転子２と２枚の偏光子３の大判を用意し、矢印のように各ファラデー回転子２および偏光子３を仮固定用接着剤１０を介してファラデー回転子２および偏光子３を重ねて積層する。仮固定用接着剤１０には、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤等がある。
【００３８】
２枚の偏光子３に関しては、重ね合わせた状態でそれぞれの透過偏光方向が４５゜ずれた状態になることが望ましい。
【００３９】
次に図４（ｂ）で示す様に、使用する波長の光線５０を光軸Ｌ方向に通過させ、透過する光線５０の強度、偏光面等確認しながら偏光子３の透過偏光方向が光軸Ｌを軸として４５゜相互に回転した位置となるよう調整する。
【００４０】
その後、ファラデー回転子２と偏光子３との間に一定間隔Ｗの空隙部８を設けるため、仮固定用接着剤１０の粘性を調整し硬化させ、積層された大判の光アイソレータ用素子１を得る。但し、光アイソレータ１００に要求される光学特性が低い場合には光線５０を用いた光学調整を行わず、外観上からファラデー回転子２および偏光子３の配置を合わせ、仮固定用接着剤１０を硬化させても良い。続いて図４（ｃ）で示すように仮固定用接着剤１０によって積層された大判の光アイソレータ用素子１をダイシング加工やワイヤーカット加工を用いて切断し、チップ状の光アイソレータ用素子１を得る。図中点線は切断部を示す。
【００４１】
図４（ｄ）で示すとおり、矢印のようにチップ状の光アイソレータ用素子１を保持用部品４に落とし込むようにし、アイソレータ用素子１の側面部１ａ（切断面と同義）を保持用部品４の平面部４ａで嵌合させる。嵌合方法は、保持用部品４の対向する平面部４ａの間の幅ｔより大きい幅Ｔの治具４６を挿入することによって、平面部４ａの外側に応力を与え、保持用部品４の形状を弾性変形させる。
【００４２】
但し、左右の張力は保持用部品４の弾性変形の範囲以内とする。
【００４３】
その後、ファラデー回転子２と偏光子３の間の仮固定用接着剤１０を洗浄し除去する。洗浄液としては、仮固定用接着剤１０の成分により、水、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトンや酢酸ブチル等を使い分ける。
【００４４】
ファラデー回転子２および偏光子３の配置は前工程における配置に等しい。偏光子３の配置、特に光軸を中心とした回転方向の配置に変動が生じると前述の光学調整時で得られた光学特性と比較して劣化が生じるが、当工程により偏光子３の回転方向の配置は不変のため、光学特性の劣化は生じない。
【００４５】
この後、図４（ｅ）で示すように保持用部品４の一端を無機固定材料５を用いて基板７に接着固定する。
【００４６】
本発明の光アイソレータ用素子１においては、前述のように大判で光学調整を行い、その後多数個を切り出す工程のため、均一で、優れた特性の光アイソレータ用素子１が、容易に多数個作製することができ、組立工数の削減が可能で、量産性に優れる。
【００４７】
本実施の形態ではファラデー回転子２が１枚、偏光子３が２枚である光アイソレータ用素子１の構成としたが、本発明はこれに限ることなく、さらに多数のファラデー回転子２、偏光子３を用いた光アイソレータ用素子１であっても上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
このようにファラデー回転子２および偏光子３は、保持用部品４を用いて一体化されているため光学接着剤等が存在せず、高温高湿条件下での信頼性に優れる。さらに光線透過面に接着剤が存在しないために高出力、長時間のレーザー光中での使用においても特性の劣化がない。
【００４９】
また、光アイソレータ１００は全て無機材料の仮固定用接着剤１０により構成されることとなり、アウトガスは発生しない。一般にＧａＡｓ等からなる半導体レーザーチップはわずかな残留酸素によってその表面に酸化膜が形成され、発振効率の低下が見られる。そこで、半導体レーザーチップを設置するパッケージは、窒素ガス等の不活性ガスで気密封止され、当然、封止パッケージ内にはアウトガスの発生する部品の設置は不可である。ここで、アウトガスは主に有機系の部材より発生するが、本発明の光アイソレータ１００は、前述したようにアウトガスの発生がほとんど無く、また小型であるため、半導体レーザーチップやレンズと同様に、パッケージ内に設置が可能となる。従って、高性能で非常に小型の半導体レーザーモジュールが提供できる。
【００５０】
【実施例】
図１に示すように、本発明である光アイソレータ用素子１を緩衝材９を介して保持用部品４で嵌合させた光アイソレータ１００を作製した。保持用部品４の材質はＳＵＳ３０４とし、緩衝材９の材質は鉛とした。また、光アイソレータ用素子１のファラデー回転子２と偏光子３との間の仮固定用接着剤１０の材質はアクリル系接着剤とし、その接着剤を除去する洗浄剤は水とした。また、基板７と保持用部品４を接着する無機固定材料５は鉛錫半田とした。
【００５１】
また、図８（ｄ）に示すように、ファラデー回転子３２および偏光子３３が光学接着剤４０で接着された光アイソレータ用素子３１を更に接着剤３５で基板３７に接着した従来の光アイソレータ３１０を作製した。光学接着剤４０の材質は、エポキシ系接着剤とし、接着剤３５は本発明光アイソレータ１００の無機固定材料５と同じ鉛錫半田とした。
【００５２】
そして、それぞれに対してアウトガスの分析を行った。アウトガスの分析には、昇温脱離ガス分析（Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）を用いた。この分析により、製品を加熱することによって放出される気体成分を知ることができ、アウトガスの発生確認をした。結果を図５に示す。
【００５３】
分析評価温度は、本製品の半導体レーザーパッケージ内への固定方法を半田固定を想定し、室温から３００℃とした。図５（ｂ）は、従来例の光アイソレータ３１０のアウトガス分析結果である。２５０℃付近からアウトガスが発生していることがわかる。これは、光アイソレータ用素子３１を構成するファラデー回転子３２および偏光子３３を接着している光学接着剤４０の成分が検出されたことになる。これに対して、図５（ａ）は、実施例である光アイソレータ１００のアウトガス分析結果である。アウトガスが全く発生していないことがわかる。これは、上述の通り、実施例である光アイソレータ１００には有機材料を一切使用していないためである。
【００５４】
さらに、耐湿性の効果を確認するため、上記サンプルをそれぞれ複数個作製し、高温高湿試験（条件；８５℃、８５％ＲＨ、２０００時間）に投入し、光アイソレータの特徴でもあるアイソレーションの光学特性を評価した。アイソレーションの評価方法は、ＪＩＳ規格の光伝送用光アイソレータ試験方法（Ｃ５９３３）を参考にした。図６は、アイソレーション特性の評価系を示す。光源５１から出射された光線５０は、光ファイバ５２を通り、偏光板５３を経て、評価する光アイソレータ５４に入射される。その後、光アイソレータ５４から出射された光線５０を光パワーメータ５５で受光し測定する。初めに、光アイソレータ５４を配置せずに光源５１の光出力Ｐｉ（Ｗ）を光パワーメータ５５で測定する。その後、光アイソレータ５４を逆方向に配置し、光軸上で少なくとも１８０度以上回転させ、光パワーメータ５５で最大パワー値を測定する。その値をＰｏ（Ｗ）とする。計算式は、下記の通りとなる。アイソレーションをＬ（ｄＢ）とすると、Ｌ＝−１０ｌｏｇ１０（Ｐｏ／Ｐｉ）
となり、測定波長は、１３１０ｎｍとし、光源５１の出力は１ｍＷとした。
【００５５】
評価結果を表１に示す。
【００５６】
【表１】
2004354646.tif 000003
【００５７】
また、図７（ａ）および（ｂ）は、表１をグラフにしたものであり、図７（ａ）は、本発明による光アイソレータ１００の高温高湿試験におけるアイソレーション特性を示したものである。図７（ｂ）は、従来例による光アイソレータ３１０の高温高湿試験におけるアイソレーション特性を示したものである。
【００５８】
本発明および従来例とも初期値０時間のアイソレーション特性は、ほぼ同じである。これは、光アイソレータの特徴であるアイソレーション特性は、ファラデー回転子および偏光子の光軸回転方向の調芯によって決まるものであり、本発明および従来例とも同じ調芯工程を実施したからである。
【００５９】
しかし、高温高湿試験の経過時間とともに従来例のアイソレーション特性は経時劣化していることがわかる。これは、高温高湿条件下において、光アイソレータ用素子３１を構成するファラデー回転子３２および偏光子３３を接着している光学接着剤４０や光アイソレータ用素子３１と基板３７を接着している接着剤３５が高温によって軟化したり、水分を吸収し膨潤し、光アイソレータ用素子３１を構成するファラデー回転子３２および偏光子３３の位置関係がずれたことによる。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明にかかる光アイソレータおよびその組立方法によれば、以下のような効果を有する。
【００６１】
（１）各構成部品が一体化しているため部品点数が少なく、また光アイソレータの小型化が実現する。
【００６２】
（２）光アイソレータ用素子の組立方法においては、多数個の光アイソレータ用素子の光学調整を一度に行うことができ、組立工数の削減が可能となる。
【００６３】
（３）ファラデー回転子および偏光子は光線透過面外で、無機材料を用いて一体化されているため、高温高湿条件下での信頼性に優れる。
【００６４】
（４）光アイソレータ用素子を構成する全部材が無機材料から構成されており有機系のアウトガスが発生しない。そのため、半導体レーザーパッケージ内に光アイソレータ用素子を設置することができ、装置の小型化および、特性の安定化が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の光アイソレータの実施形態を示す斜視概略図である。（ｂ）は、（ａ）を説明する図であって、光アイソレータ用素子の一部分である。
【図２】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の光アイソレータの他の実施形態を示す斜視概略図である。
【図３】（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の光アイソレータ用素子保持部材の他の実施形態を示す斜視概略図である。
【図４】（ａ）乃至（ｅ）は、本発明にかかる光アイソレータ用素子の組立手順を示す図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）は、実施例と従来例を比較したグラフである。
【図６】アイソレーション特性の評価系を示す図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、実施例と従来例を比較したグラフである。
【図８】（ａ）は、従来の光アイソレータを示す正面および側面の概略図であり、（ｃ）、（ｄ）は、従来の光アイソレータを示す構成斜視概略図であり、（ｂ）は（ａ）の中央縦断面図である。
【符号の説明】
１：光アイソレータ用素子
１ａ：側面部
１ｂ：底面部
２：ファラデー回転子
３：偏光子
４：保持用部品
４ａ：平面部
４ｂ：底面部
５：無機固定材料
６：磁石
７：基板
８：空隙部
９：緩衝材
１０：仮固定用接着剤
１１：光アイソレータ用素子
１２：ファラデー回転子
１３：偏光子
１６：磁石
１７：ケース
１９：ホルダ
２１：光アイソレータ用素子
２２：ファラデー回転子
２３：偏光子
２５：接着剤
２６：磁石
２７：基板
３１：光アイソレータ用素子
３２：ファラデー回転子
３３：偏光子
３５：接着剤
３６：磁石
３７：基板
４０：光学接着剤
４１：保持用部品
４１ａ：平面部
４１ｂ：底面部
４１ｃ：ザクリ
４２：保持用部品
４２ａ：平面部
４２ｂ：底面部
４３：保持用部品
４３ａ：平面部
４３ｂ：底面部
４３ｄ：上面部
４３ｅ：保持用部品フタ部
４３ｆ：保持用部品受け部
４４：保持用部品
４４ａ：平面部
４４ｂ：底面部
４４ｄ：上面部
４４ｅ：保持用部品フタ部
４４ｆ：保持用部品受け部
４４ｇ：位置決め機構
４５：溶接
４６：治具
５０：光線
５１：光源
５２：光ファイバ
５３：偏光板
５４：光アイソレータ
５５：光パワーメータ
１００：光アイソレータ
１１０：光アイソレータ
２１０：光アイソレータ
３１０：光アイソレータ
【図１】
2004354646.tif 000004
【図２】
2004354646.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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