(57)【要約】【課題】動圧軸受モータのスタート時及びストップ時や回転時に外乱が加わったときに軸受面が接触してもその表面のＤＬＣ層が剥離せず、高い信頼性を有した動圧軸受モータ及びそれを用いた装置を容易に構成できるようにする。【解決手段】ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受によって支持され、相対的に回転可能になされたシャフト２，スリーブ５，及びステータ４，マグネット９からなる駆動モータを有する動圧軸受モータにおいて、前記ラジアル動圧軸受及び前記スラスト動圧軸受を形成するそれぞれの対向面の少なくとも一方を、ＤＬＣ層を中間層の上に配した潤滑膜１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃでコーティングすると共に、前記潤滑膜１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃでコーティングしたシャフト２，スラストメインプレート６，スラストフランジ８をオーステナイト系ステンレスで構成する。【選択図】  図１
2004308851.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受によって支持され、相対的に回転可能になされた軸、スリーブ及び駆動モータを有する動圧軸受モータにおいて、
前記ラジアル動圧軸受及び前記スラスト動圧軸受を形成するそれぞれの対向面の一方を、ＤＬＣ層を中間層の上に配した潤滑膜でコーティングすると共に、前記潤滑膜でコーティングした軸受部材をオーステナイト系ステンレス鋼で構成した
動圧軸受モータ。
【請求項２】
ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受によって支持され、相対的に回転可能になされた軸、スリーブ及び駆動モータを有する動圧軸受モータにおいて、
前記ラジアル動圧軸受及び前記スラスト動圧軸受を形成するそれぞれの対向面の一方を、ＤＬＣ層を中間層の上に配した潤滑膜でコーティングすると共に、前記潤滑膜でコーティングした軸受部材をオーステナイト系ステンレス鋼で構成し、前記潤滑膜に対向する他方の軸受部材をオーステナイト系ステンレス鋼と熱膨張係数が略等しい材料で構成した
動圧軸受モータ。
【請求項３】
ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受によって支持され、相対的に回転可能になされた軸、スリーブ及び駆動モータを有する動圧軸受モータにおいて、
前記ラジアル動圧軸受及び前記スラスト動圧軸受を形成するそれぞれの対向面を、ＤＬＣ層を中間層の上に配した潤滑膜でコーティングすると共に、前記潤滑膜でコーティングした各軸受部材をオーステナイト系ステンレス鋼で構成した
動圧軸受モータ。
【請求項４】
前記ＤＬＣ層がアモルファスカーボン、水素化アモルファスカーボン、ダイヤモンド状炭素膜、硬質炭素膜の内の一つである
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の動圧軸受モータ。
【請求項５】
前記中間層の主成分がシリコン、チタン、タングステンの内の少なくとも一つである
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の動圧軸受モータ。
【請求項６】
前記中間層を２層以上形成した
請求項５記載の動圧軸受モータ。
【請求項７】
前記ＤＬＣ層と中間層との間に炭素含有量が厚み方向に沿って連続的に変化する傾斜層を設けた
請求項１〜請求項６のいずれかに記載の動圧軸受モータ。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれかに記載の動圧軸受モータにポリゴンミラー、記録ディスク等の被回転体を装着可能に構成した
回転装置。
【請求項９】
請求項８記載の回転装置を搭載した記録ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主として情報処理分野で使用されるディスクドライブ装置やレーザービーム型プリンタ装置等に搭載される動圧軸受モータおよび回転装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ディスクドライブ装置やレーザービーム型プリンタ装置のモータ部の軸受として、玉軸受が用いられていた。近年、データ転送の高速化やプリントの高速化の要求によるモータの高速回転に伴い、これらの軸受にはモータの高速回転に対応できるように従来の玉軸受ではなく、動圧軸受が使用されるようになってきた。
【０００３】
図４は、従来の動圧軸受を示す。シャフト１０１の下端に設けられたスラストフランジ１０２とスリーブ１０３の下端を閉塞するスラストプレート１０４とが対向する隙間１０５でスラスト動圧軸受が形成され、シャフト１０１とスリーブ１０３との隙間１０６でラジアル動圧軸受が形成される。シャフト１０１に取り付けられたハブ１０７には、駆動モータＭのロータ用の磁石１０８が設けられている。スリーブ１０３が取り付けられたベース１０９には、磁石１０８に対向して駆動モータＭのステータ１１０が設けられている。ステータ１１０に通電して駆動モータＭを所定の回転速度で回転させると、シャフト１０１及びスラストフランジ１０２はスリーブ１０３及びスラストプレート１０４との間に隙間１０６，１０５を保って非接触で回転する。
【０００４】
動圧軸受は一般に、非接触で回転するため、振動や騒音が少なく、高速回転が可能となるという優れた性能を持つ。
しかし、動圧軸受特有の問題の一つに、隙間１０６，１０５等の対向面の接触による軸受面の劣化がある。動圧軸受は、所定の回転速度で回転しているとき（定常回転時）は動圧の発生により対向面は非接触であるが、停止状態から所定の回転速度に達するまでの起動・加速時や、所定の回転速度から停止状態に至るまでの減速時には十分な動圧が発生しないため対向面が接触し、損傷に至る。
【０００５】
すなわち、回転の起動・加速時と減速時にはシャフト１０１とスリーブ１０３が接触して摺れ合い、表面が摩擦して軸受面の損傷が発生する。また、スラストフランジ１０２とスラストプレート１０４とが接触して摩擦し、同様の損傷が発生する。外乱が加わると、定常回転時でもシャフト１０１とスリーブ１０３やスラストフランジ１０２とスラストプレート１０４が接触し、損傷を来たす。
【０００６】
軸受面が損傷すると軸受性能が劣化するため、軸受面にＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）をコーティングする方法がとられているが、軸受面の接触によってＤＬＣ層が剥離することがあり、軸受がロックし、モータが回転できない等の不具合が出ている。
【０００７】
この問題への対処法としては一般に、ＤＬＣ層などのコーティング層を高硬度材料に設けることで、密着力を向上できると言われている。たとえば図５に示すように、シャフト１０１に表面硬度がＨｖ６００以上の基材（表面処理により前記硬度を持たせたものでもよい）を用い、その表面にＤＬＣ膜１０１ａを形成することにより、ＤＬＣ膜１０１ａの密着強度を向上して、剥離を防ぐ方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。１１１は潤滑流体である。
【０００８】
同様に、材料の硬度を向上させる処理を施した母材にＤＬＣをコーティングすることや（図示省略）、ヤング率が３００ＧＰａ以上のセラミックスにＤＬＣをコーティングすること（図示省略）が提案されている（例えば特許文献２，３参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００２−６１６５４号公報（第６頁、第２図）
【００１０】
【特許文献２】
特開２００２−１８８６４２号公報
【００１１】
【特許文献３】
特開平８−９３７５２号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基材全体あるいは基材表面の硬度やヤング率を高めることでＤＬＣ層との密着強度の向上を図っても（特許文献１，２，３）、軸受にかかる負荷に対して十分な強度が得られているとは言えず、例えば高速回転中に軸受面が接触するような状態でＤＬＣ層の剥離等が発生し、軸受の信頼性に課題を残している。
【００１３】
また、軸受材料に高硬度材や高ヤング率材料を用いる方法（特許文献１，３）では、切削加工時の抵抗が大きくなるため、加工時間の長時間化や切削精度の低下を招き、軸受特性のさらなる向上が困難になるだけでなく、加工費も高くなりコストアップにつながる。軸受材料の表面を高硬度にする方法（特許文献１，２）でも、表面処理工程のための加工時間や加工費がかかり、コストアップにつながる。
【００１４】
本発明は上記問題を解決するもので、モータの起動・加速時及び減速時や高速回転時の外乱によって軸受面が接触してもその表面のＤＬＣ層が剥離せず、高い信頼性を有した動圧軸受モータ及びそれを用いた装置を容易に構成できるようにすることを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受によって支持され、相対的に回転可能になされた軸、スリーブ及び駆動モータを有する動圧軸受モータにおいて、前記ラジアル動圧軸受及び前記スラスト動圧軸受を形成するそれぞれの対向面の少なくとも一方を、ＤＬＣ層を中間層の上に配した潤滑膜でコーティングすると共に、前記潤滑膜でコーティングした軸受部材をオーステナイト系ステンレスで構成したものである。
【００１６】
これによれば、オーステナイト系ステンレスを基材とし、その表面に中間層を介してＤＬＣ層を形成することで、ＤＬＣの密着強度を向上させることができ、ＤＬＣの剥離に対する信頼性を確保することができる。基材に用いるオーステナイト系ステンレス鋼は、マルテンサイト系ステンレス鋼に比べると低い硬度Ｈｖ３００以下を有し、表面を高硬度にする処理工程は必要ないので、軸受部材を容易に安価に構成することが可能である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明は、ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受によって支持され、相対的に回転可能になされた軸、スリーブ及び駆動モータを有する動圧軸受モータにおいて、前記ラジアル動圧軸受及び前記スラスト動圧軸受を形成するそれぞれの対向面の一方を、ＤＬＣ層を中間層の上に配した潤滑膜でコーティングすると共に、前記潤滑膜でコーティングした軸受部材をオーステナイト系ステンレス鋼で構成したことを特徴とするもので、起動・加速時、減速時や回転中の外乱によって発生する軸受面のＤＬＣ層の剥離に対して、密着力を向上することができ、動圧軸受を容易に安価に構成することができる。
【００１８】
また本発明は、ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受によって支持され、相対的に回転可能になされた軸、スリーブ及び駆動モータを有する動圧軸受モータにおいて、前記ラジアル動圧軸受及び前記スラスト動圧軸受を形成するそれぞれの対向面の一方を、ＤＬＣ層を中間層の上に配した潤滑膜でコーティングすると共に、前記潤滑膜でコーティングした軸受部材をオーステナイト系ステンレス鋼で構成し、前記潤滑膜に対向する他方の軸受部材をオーステナイト系ステンレス鋼と熱膨張係数が略等しい材料で構成したことを特徴とするもので、モータが動作する温度環境変化に対して、双方の軸受部材に略同等の動圧軸受特性を維持することができ、軸受信頼性を向上できる。
【００１９】
また本発明は、ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受によって支持され、相対的に回転可能になされた軸、スリーブ及び駆動モータを有する動圧軸受モータにおいて、前記ラジアル動圧軸受及び前記スラスト動圧軸受を形成するそれぞれの対向面を、ＤＬＣ層を中間層の上に配した潤滑膜でコーティングすると共に、前記潤滑膜でコーティングした各軸受部材をオーステナイト系ステンレス鋼で構成したことを特徴とするもので、対向面双方にＤＬＣ層を配したことで、ＤＬＣ層の剥離方向力である接触時の摩擦力を大きく低減することができ、動圧軸受の信頼性をより向上できる。
【００２０】
前記ＤＬＣ層としてたとえば、アモルファスカーボン、水素化アモルファスカーボン、ダイヤモンド状炭素膜、硬質炭素膜の内の一つを使用することができ、ＤＬＣ層の剥離方向力の源泉である接触による摩擦力を低減するのに好適である。
【００２１】
前記中間層としてたとえば、主成分がシリコン、チタン、タングステンの内の少なくとも一つであるものを使用することができ、オーステナイト系ステンレス鋼に対するＤＬＣ層の密着力を向上させるのに好適である。オーステナイト系ステンレス鋼あるいはＤＬＣ層への密着力を高めるドープ、たとえばカーボンドープなどを行なったものとしてもよい。
【００２２】
前記中間層は２層以上形成するのが好ましく、それにより、軸受基材と中間層との密着の最適化、および、ＤＬＣ層と中間層との密着の最適化を同時に達成することができ、結果的に、ＤＬＣ層の剥離強度をより向上させることができる。
【００２３】
前記ＤＬＣ層と中間層との間に炭素含有量が厚み方向に沿って連続的に変化する傾斜層を設けるのが好ましく、それによりＤＬＣ層と中間層との間の密着力を高めることができ、結果的に、ＤＬＣ層の剥離強度をより向上させることができる。
【００２４】
上記したいずれかの動圧軸受モータにポリゴンミラー、記録ディスク等の被回転体を装着可能に構成した回転装置は、前記動圧軸受モータの軸受信頼性が高く、高速回転が可能であるため、被回転体を安定して回転させることができる。
【００２５】
このような安定した回転装置を搭載することで、高速に応答できる記録ディスク装置が可能になる。また、印刷速度が速いプリンタ装置が可能となる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１における動圧軸受モータの断面図であり、ハードディスクドライブ用モータに適用した例を示している。
【００２６】
動圧軸受モータの基台となるベース１に円筒状のシャフト２が取り付けられており、シャフト２の上端部にスラストサブプレート３が取り付けられている。シャフト２の中空部の内壁に駆動モータＭのステータ４が取り付けられている。シャフト２の外側には回転可能にスリーブ５が配されており、スリーブ５の上端部にスラストメインプレート６が取り付けられている。（ここで言う上下はこの紙面における上下方向を意味する。）
スリーブ５は回転軸となるピン７を有し、ピン７にはスラストサブプレート３に対向してスラストフランジ８が取り付けられている。ピン７の外周面にはステータ４と対向して駆動モータＭのロータとなる環状のマグネット９が取り付けられており、ステータ４との間に働く磁力によってスリーブ５に回転力を与える。
【００２７】
シャフト２とスリーブ５との隙間１０（例えば、１〜１０μｍ）においてラジアル動圧軸受が形成され、スラストサブプレート３とスラストメインプレート６との隙間１１Ａ（例えば、１〜２０μｍ）、及びスラストフランジ８とスラストサブプレート３との隙間１１Ｂ（例えば、１〜２０μｍ）においてスラスト動圧軸受が形成される。
【００２８】
当該技術分野では既知であるので図示を省略したが、通常、シャフト２の外周とスリーブ５の内面の少なくとも一方の対向面に、ヘリングボーンやスパイラル形状などの動圧発生溝が形成されている。また、スラストメインプレート６、スラストサブプレート３、スラストフランジ８のいずれかの対向面にもヘリングボーンやスパイラル形状の動圧発生溝が形成されている。
【００２９】
このように構成された動圧軸受モータでは、スリーブ５の定常回転時には隙間１０，１１Ａ及び１１Ｂに動圧が発生し、スリーブ５はシャフト２に非接触で支持される。しかし動圧軸受モータのスタート時やストップ時には動圧が十分に発生しないため、スリーブ５とシャフト２及びスラストメインプレート６とスラストサブプレート３が接触し、また回転中でも外乱により大きな力が加わると、上記の接触が生じる場合がある。
【００３０】
このため、以下に示す構成によって動圧軸受の信頼性を向上させている。
まず、シャフト２，スラストメインプレート６，スラストフランジ８をオーステナイト系ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０３やＳＵＳ３０４）で構成している。
【００３１】
また、これら軸受部材の一方の対向面、すなわち、隙間１，２Ａ，２Ｂに臨んだシャフト２の外周面，スラストメインプレート６の下面，スラストフランジ８の上面をそれぞれ、潤滑膜１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃでコーティングしている。
【００３２】
潤滑膜１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃはそれぞれ、図２に示すように、ＤＬＣ層１３を中間層１４，傾斜層１５を介して形成している。
潤滑膜１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃへの対向面を持ったスリーブ５とスラストサブプレート３は、シャフト２，スラストメインプレート６，スラストフランジ８と同様のオーステナイト系ステンレス鋼で形成しており、このため、０℃から８５℃の環境下において動圧軸受特性は殆ど変化しない。
【００３３】
上記構成における作用を説明する。
オーステナイト系ステンレス鋼は、硬度がＨｖ２２０〜３００程度でありながら、マルテンサイト系ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ４２０）と同等の靭性（ヤング率）を有している。したがって、モータの回転体（ここではスリーブ５）の荷重や接触による摩擦力によって各軸受部材の接触箇所に微小変形が生じることがあっても、弾性変形範囲内においては、マルテンサイト系ステンレス鋼と同等であり、劣ることはない。
【００３４】
軸受部材どうしの接触でＤＬＣ層１３の剥離が起こることは前述した通りであるが、この剥離現象は、軸受部材に微小な塑性変形が発生するために起こることが多い。塑性変形に関しては、マルテンサイト系ステンレス鋼では、局部的荷重が加わった場合にその周辺に急峻な変形が発生するが、オーステナイト系ステンレス鋼では滑らかな変形となる。したがって、上記したようにオーステナイト系ステンレス鋼の表面に形成したＤＬＣ層１３について、クラック発生を緩和し、剥離を防止できる。この剥離防止効果については、硬さ試験機を用いたＤＬＣ層の剥離実験で観察し、定量的に確認できている。
【００３５】
しかもＤＬＣ層１３を、オーステナイト系ステンレス鋼からなる軸受部材（シャフト３，スラストメインプレート５，スラストフランジ６）の表面に中間層１４と傾斜層１５とを介して形成しているため、軸受部材に対して密着させることができる。
【００３６】
ＤＬＣ層１３としては、水素化アモルファスカーボンを厚さ５０〜５００ｎｍにて設けており、それにより硬度Ｈｖ１０００〜２０００を実現している。水素化アモルファスカーボンは、微視的表面粗さが平滑であり、摩擦係数を０．１程度にすることができ、ＤＬＣ層１３の剥離方向力の源泉になる摩擦力を低減できるため、この軸受構造に好適であると言える。しかし、水素化アモルファスカーボンと同様な硬度及び微視的な表面形状を形成できれば特に限定なく使用することができ、たとえばアモルファスカーボン、ダイヤモンド状炭素膜、硬質炭素膜とよばれる材料の使用も可能である。
【００３７】
中間層１４としては、チタンを真空蒸着法にて厚さ３０〜１００ｎｍ蒸着させている。チタンは、オーステナイト系ステンレス鋼と同等の硬度を有している関係で、オーステナイト系ステンレス鋼に変形が連動するため、好適である。上記した膜厚で十分な密着力が得られることは確認されている。しかしチタンに限定されるものではなく、シリコン、タングステンを設けても同様の好結果が得られる。
【００３８】
傾斜層１５は、中間層１４とＤＬＣ層１３との間にカーボンの組成割合を連続して変化させて設けた層である。ここでは、中間層１４としてのチタンを蒸着する際に、単位時間あたりのチタン蒸発量を被着速度よりも過剰にすることにより、蒸発チタンの相互作用によってチタン層の表面近傍の組織を疎にして設け（たとえば数十ｎｍの厚み）、この疎になった組織にカーボンを注入することで、チタンとカーボンとに所望の傾斜を持たせている。このような傾斜層１５は槍状のアンカー効果を持つことになり、ＤＬＣ層１３の密着力が向上する。他の材料からなる傾斜層も同様にして設けることができる。
（実施の形態２）
図２は本発明の実施の形態２における動圧軸受モータの断面図である。
【００３９】
この動圧軸受モータは、上記した実施の形態１のものとほぼ同様の構成を有しているが、ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受を形成している双方の対向面を潤滑膜１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ，１２Ｆでコーティングしている点が相違している。
【００４０】
具体的には、隙間１０に臨んだシャフト２の外周面とスリーブ５の内周面をそれぞれ潤滑膜１２Ａ，１２Ｄでコーティングし、隙間１１Ａに臨んだスラストメインプレート６の下面とスラストサブプレート３の上面をそれぞれ潤滑膜１２Ｂ，１２Ｆでコーティングし、隙間１１Ｂに臨んだスラストサブプレート３の下面とスラストフランジ８の上面をそれぞれ潤滑膜１２Ｅ，１２Ｃでコーティングしている。各潤滑膜１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ，１２ＦにおけるＤＬＣ層１３は、実施の形態の１と同様の水素化アモルファスカーボンで形成している。
【００４１】
しかるにこの構成では、双方の対向面にＤＬＣ層１３が存在することで摩擦力は低下するものの、対向面がともに硬度が高い状態で、接触のエネルギーが集中するため、ＤＬＣ層１３のより高い密着力が必要となる。
【００４２】
このため、中間層１４を２層構造とし、一層目は基材であるステンレス鋼と密着性が高い高密度チタン膜とし、二層目はＤＬＣ層１３と密着性が高いカーボンドープチタン膜とした。これにより、ＤＬＣ層１３の密着力をより高めることができ、ＤＬＣ層１３の剥離方向力の源泉である接触時の摩擦力を大きく低減することができる。よって、ＤＬＣ層１３が剥離することはなく、動圧軸受、動圧軸受モータの信頼性を向上できる。このことは実機で確認された。
【００４３】
実施の形態１，２に示したような動圧軸受モータは、ポリゴンミラーや記録ディスク等の回転体を取り付けて（脱着自在に、あるいは固着して）高速で回転する装置、たとえば記録装置やプリンタ装置の回転駆動源として最適である。
【００４４】
なお、上記した実施の形態１，２では、シャフト２の内側にステータ４とマグネット９を配置したインナーモータ形式の動圧軸受モータについて説明したが、ラジアル動圧軸受の外側にステータとマグネットを配置するアウターモータ形式（図４参照）や面対向モータ形式（図示省略）のものであっても、上記した構成を適用して同様の効果を得ることができる。
【００４５】
また、スリーブ５とシャフト２で構成されるラジアル動圧軸受の内側の上部にスラスト動圧軸受として機能する、スラストメインプレート６、スラストサブプレート３及びスラストフランジ８を設けた軸固定型で片持ち形式の動圧軸受構成について説明したが、このような動圧軸受構成に限定されるものではなく、他の構成の動圧軸受を有する動圧軸受モータにも適応可能である。例えば、軸が片持ち形式でなく、両端で支持された動圧軸受モータ（図示省略）にも適用できる。
【００４６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、軸受部材の基材にオーステナイト系ステンレス鋼を用い、この基材とＤＬＣ層との間に中間層を配することで、ＤＬＣ層の密着強度を向上することができる。オーステナイト系ステンレス鋼は、硬度もＨｖ３００以下とマルテンサイト系ステンレス鋼に比べ高くなく、表面を高硬度にする処理工程も必要でなく、中間層も蒸着などによって容易に形成できるので、動圧軸受構造を容易に安価に構成できる。よって、ＤＬＣの剥離が無い、高信頼性を確保した動圧軸受モータ及びそれを用いた装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における動圧軸受モータの断面図
【図２】図１の動圧軸受モータに設けられた潤滑膜の構成を示す断面図
【図３】本発明の実施の形態２における動圧軸受モータの断面図
【図４】従来よりある動圧軸受モータの断面図
【図５】図４の動圧軸受モータなどに見られる従来の動圧軸受構成を示す断面図
【符号の説明】
２    シャフト
３    スラストサブプレート
４    ステータ
５    スリーブ
６    スラストメインプレート
７    ピン
８    スラストフランジ
９    マグネット
１０    隙間（ラジアル動圧軸受
１１Ａ，１１Ｂ      隙間（スラスト動圧軸受）
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ，１２Ｆ    潤滑膜
１３    ＤＬＣ層
１４    中間層
１５    傾斜層
【図１】
2004308851.tif 000003
【図２】
2004308851.tif 000004
【図３】
2004308851.tif 000005
【図４】
2004308851.tif 000006
【図５】
2004308851.tif 000007