(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドを使用して塗布液をノズル吐出口より液滴として吐出し、被塗布物に安定した薄膜な塗布膜およびパターニングを形成する塗布装置及び塗布方法の提供。【解決手段】塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの乾燥防止手段を有することを特徴とする塗布装置。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの乾燥防止手段を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記乾燥防止手段は、塗布前および塗布中断時にノズル吐出口を被覆し保護するキャップであることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該塗布液の該インクジェットヘッドへの供給手段とは別のインクジェットヘッドへの送液手段を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
前記送液手段は、送液装置よりインクジェットヘッドに洗浄液を送液することを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記送液手段は、送液装置よりインクジェットヘッドに塗布液を送液することを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。
【請求項６】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの該被塗布物の搬送方向に対する配設角度を変更する配設角度変更手段を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項７】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドにより転写ロール上に形成された塗布膜を、該被塗布物へ転写することを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの塗布位置より下流側に塗布膜の平準化手段を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項９】
前記平準化手段が、バー又はブレードであることを特徴とする請求項８に記載の塗布装置。
【請求項１０】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの塗布位置より上流側で、且つ該塗布液を塗布する直前に該被塗布物の除塵及び除電を行う除塵手段及び除電手段を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項１１】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの塗布位置よりも下流側に予備塗工手段を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項１２】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッド用の清掃手段を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項１３】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、請求項１に記載の乾燥防止手段、請求項３に記載の送液手段、請求項６に記載の配設角度変更手段、請求項７に記載の転写ロール、請求項８に記載の平準化手段、請求項１０に記載の除電手段及び除塵手段、請求項１１に記載の予備塗工手段及び請求項１２に記載の清掃手段より選ばれた各手段を少なくとも２つ有することを特徴とする塗布装置。
【請求項１４】
前記インクジェットヘッドがピエゾ型インクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜１３の何れか１項に記載の塗布装置。
【請求項１５】
前記塗布液が高分子成分を０．５〜２０質量％含んでいることを特徴とする請求項１〜１４の何れか１項に記載の塗布装置。
【請求項１６】
塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用した塗布装置を用いて被塗布物へ塗布液を塗布するた塗布方法において、該塗布装置が請求項１〜１４の何れか１項に記載の塗布装置であることを特徴とする塗布方法。
【請求項１７】
前記塗布液が高分子成分を０．５〜２０質量％含んでいることを特徴とする請求項１６に記載の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物表面に塗布液を塗布するための塗布装置、及びその塗布方法に関するものである。
【０００２】
より詳しくは、このインクジェットヘッドを使用することにより均一で薄い塗布膜の形成、もしくは、被塗布物の表面を一定の被覆率で塗布液を配置させるための装置および方法に関するものである。
【０００３】
さらに詳細には、塗布液をインクジェットヘッドのノズル吐出口より液滴として吐出し塗布する際の問題である、インクジェットヘッドのノズル吐出口やノズル内部での塗布液の乾燥を防止する技術、乾燥等により目詰まり・吐出不良を発生した場合の迅速な解消技術、液滴により形成された塗布膜の高品位性保持技術に関するものである。
【０００４】
【従来の技術】
従来、被塗布物表面に塗布液を塗設する塗布工程では様々な塗布方式が存在し、その塗布方式は大きく二つに大別される。一つは必要な塗布液膜を形成する量だけ塗布液を吐出させて被塗布物表面上に塗布液を塗設する前計量型塗布方式であり、代表的なものとしてエクストルージョン塗布方式、スライド塗布方式、カーテン塗布方式などが挙げられる。もう一つはあらかじめ必要な塗布膜形成量よりも余剰な塗布液を吐出させて、その後何らかの手段により余剰塗布液を掻き落とす後計量型塗布方式であり、代表的なものとしてロール塗布方式、エアーナイフ塗布方式、ワイヤーバー塗布方式などが挙げられる。
【０００５】
こうした従来の塗布方式において０．５〜３μｍの薄膜化の困難さという問題点が存在する。特に前計量型塗布方式ではその塗布方式の特性や装置上の問題から薄膜化が困難の場合が多い。また、後計量型塗布方式では塗布液のロスや、塗布液の変質、一次膜形成後の被塗布物への浸透といった様々な問題点が存在する。特に、塗布液の粘度が０．０１Ｐａ・ｓ以下の塗布液を薄膜塗布できる塗布方式は未だ少ないのが現状である。
【０００６】
この様な低粘度の塗布液を薄膜塗布するための対応として、近年需要の増えている民生用の印刷機等に使用されているインクジェットプリンタ技術を塗布液の薄膜形成に摘要することが知られている。
【０００７】
例えば、インクジェットヘッドから圧電振動子による可撓板の変形により塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出させることにより、非常に微小な液滴を被塗布物に並べることにより塗布膜を形成すること及び一定の被覆率で塗布液が配置されたパターニングを形成することが知られている（例えば非特許文献１を参照。）。
【０００８】
又、インクジェットヘッドのノズル吐出口の乾燥を防止する方法としては次の方法が知られている。
【０００９】
１）インクジェットヘッドのノズル吐出口に付着した塗布液（印刷分野においてはインクとよぶ）の乾燥によるノズル吐出口のつまり、付着した析出物等により液滴が不安定になることを防止するために塗布液に乾燥防止成分を添加する方法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【００１０】
但し、このような方法では、乾燥防止成分を含有させることで塗布膜の形成により得ようとする機能が損なわれたり、塗布後の塗布膜の乾燥に支障を生じる可能性が高くなる。
【００１１】
２）インクジェットヘッドのノズル吐出口と被塗布部材の空間を外部から遮断するような被覆部材により被覆する方法が知られている（例えば、特許文献２を参照）。
【００１２】
このような方法では、インクジェットヘッドの周囲が覆われてしまうのでノズル吐出口が設けられている表面への接触が困難になってしまい、清掃が簡単には出来ない。又、被塗布物との間隙調整が困難・煩雑になってしまう。
【００１３】
３）インクジェットヘッドのノズル吐出口にインクが付着した場合、付着したインクを除去したり、ノズル吐出口にキャップをあてがい、キャップに対してチューブで接続された吸引ポンプを使用してインクを吸い取りノズル吐出口の回復を行う方法が知られている（例えば、特許文献３を参照。）。
【００１４】
この方法では、ノズル吐出口に付着したインクの除去のみしか行うことができず、また、インク除去時にノズル内部が乾燥してしまう可能性もある。
【００１５】
４）ラインヘッド型のインクジェットヘッドを用いた転写型画像形成方法としては、転写体上に一旦画像を形成し、形成された画像を記録体へ転写させる方法が知られている（例えば、特許文献４を参照。）。
【００１６】
この転写型画像形成方法では転写体を清掃する必要があることと、転写体がインクを吸収しなければならなかった。すなわち、転写シートの一部分のみにインクが残存している場合など、記録体の品質が劣化してしまう可能性もある。
【００１７】
又、これら先行技術例ではヘッドの乾燥により目詰まりや吐出不良が発生した場合の解消方法に関する記載はなく、こうしたいわゆる故障が発生した場合に対処できない。
【００１８】
この様な状況から、インクジェットヘッドを使用して高分子成分を含有する塗布液をノズル吐出口より液滴として吐出し、被塗布物に安定した薄膜な塗布膜およびパターニングを形成する塗布装置及び塗布方法の開発が望まれている。
【００１９】
【特許文献１】
特開平５−３３１３９５号公報（第３−５頁、表１）
【００２０】
【特許文献２】
特開２００１−２７７４９０号公報（第２−６頁、図１）
【００２１】
【特許文献３】
特開２０００−１５８３８号公報（第１０頁、図７−図８）
【００２２】
【特許文献４】
特開２００１−２９３８４８号公報
【００２３】
【非特許文献１】
甘利武司監修、「インクジェットプリンター技術と材料」、株式会社
シーエムシー、１９９８年７月３１日発行、ｐ１８７−２００
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記状況に鑑みなされたものであり、その目的はインクジェットヘッドを使用して塗布液をノズル吐出口より液滴として吐出し、被塗布物に安定した薄膜な塗布膜およびパターニングを形成する塗布装置及び塗布方法を提供することである。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、以下の構成により達成された。
【００２６】
１）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの乾燥防止手段を有することを特徴とする塗布装置。
【００２７】
２）前記乾燥防止手段は、塗布前および塗布中断時にノズル吐出口を被覆し保護するキャップであることを特徴とする１）に記載の塗布装置。
【００２８】
３）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該塗布液の該インクジェットヘッドへの供給手段とは別のインクジェットヘッドへの送液手段を有することを特徴とする塗布装置。
【００２９】
４）前記送液手段は、送液装置よりインクジェットヘッドに洗浄液を送液することを特徴とする３）に記載の塗布装置。
【００３０】
５）前記送液手段は、送液装置よりインクジェットヘッドに塗布液を送液することを特徴とする３）に記載の塗布装置。
【００３１】
６）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの該被塗布物の搬送方向に対する配設角度を変更する配設角度変更手段を有することを特徴とする塗布装置。
【００３２】
７）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドにより転写ロール上に形成された塗布膜を、該被塗布物へ転写することを特徴とする塗布装置。
【００３３】
８）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの塗布位置より下流側に塗布膜の平準化手段を有することを特徴とする塗布装置。
【００３４】
９）前記平準化手段が、バー又はブレードであることを特徴とする８）に記載の塗布装置。
【００３５】
１０）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの塗布位置より上流側で、且つ該塗布液を塗布する直前に該被塗布物の除塵及び除電を行う除塵手段及び除電手段を有することを特徴とする塗布装置。
【００３６】
１１）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッドの塗布位置よりも下流側に予備塗工手段を有することを特徴とする塗布装置。
【００３７】
１２）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、該インクジェットヘッド用の清掃手段を有することを特徴とする塗布装置。
【００３８】
１３）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用し、被塗布物へ塗布液を塗布する塗布装置において、１）に記載の乾燥防止手段、３）に記載の送液手段、６）に記載の配設角度変更手段、７）に記載の転写ロール、８）に記載の平準化手段、１０）に記載の除電手段及び除塵手段、１１）に記載の予備塗工手段及び１２）に記載の清掃手段より選ばれた各手段を少なくとも２つ有することを特徴とする塗布装置。
【００３９】
１４）前記インクジェットヘッドがピエゾ型インクジェットヘッドであることを特徴とする１）〜１３）の何れか１項に記載の塗布装置。
【００４０】
１５）前記塗布液が高分子成分を０．５〜２０質量％含んでいることを特徴とする１）〜１４）の何れか１項に記載の塗布装置。
【００４１】
１６）塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出するインクジェットヘッドを使用した塗布装置を用いて被塗布物へ塗布液を塗布するた塗布方法において、該塗布装置が１）〜１４）の何れか１項に記載の塗布装置であることを特徴とする塗布方法。
【００４２】
１７）前記塗布液が高分子成分を０．５〜２０質量％含んでいることを特徴とする１６）に記載の塗布方法。
【００４３】
【発明の実施の形態】
本発明に係る実施の形態を図１〜図１１を参照して説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４４】
図１はインクジェットヘッドを使用した塗布装置の一例を示す概略平面図である。図中、１は塗布装置を示す。塗布装置１は、インクジェットヘッド２と、塗布液供給部３と、移動用レール４と、待機部５とを有している。６は搬送・乾燥・回収装置を示す。搬送・乾燥・回収装置６は、被塗布物供給部６ａと、乾燥部６ｂと、回収部６ｃとを有している。
【００４５】
２０１はインクジェットヘッド２の本体を示す。インクジェットヘッド２は単一のものでも、同じ種類のヘッドを複数個被塗布物の幅方向に並べたものでもかまわず、被塗布物の幅により適宜並べる数を変更することが可能である。又、複数列にして幅方向に並べてもかまわない。インクジェットヘッド２は、塗布時に移動手段（不図示）により待機部５から移動用レール４に沿って移動（図中の矢印方向）し、被塗布物上の塗布する位置まで移動し停止するようになっている。
この停止した位置を塗布位置と言う。又、インクジェットヘッド２は塗布前及び塗布終了時には、移動手段（不図示）により移動用レール４に沿って待機部５へ移動（図中の矢印方向）し、待機が可能となっている。
【００４６】
本図に示されるインクジェットヘッド２は被塗布物６ａ３の搬送方向（図中の矢印方向）に対して直角に、且つインクジェットヘッド２の本体２０１のノズル吐出口２０１ｄ１（図３を参照）を有するノズル板２０１ｄ（図３を参照）の表面２０１ａ（図２を参照）が被塗布物６ａ３の面と平行になるように移動用レール４に沿って移動可能に配設されている。
【００４７】
待機部５で待機している時にインクジェットヘッド２は、本発明に係るメンティナンスを行うことが可能となっている。尚、本発明に係るメンティナンスに関しては後述する。
【００４８】
本発明に係るインクジェットヘッドとしては特に限定はなく、例えば発熱素子を有し、この発熱素子からの熱エネルギーによりインクの膜沸騰による急激な体積変化によりノズルからインクを吐出させるサーマルヘッドでも良いし、インク圧力室に圧電素子を備えた振動板を有しており、この振動板によるインク圧力室の圧力変化でインクを吐出させる剪断モード型（ピエゾ型）インクジェットヘッドであっても良い。特に好ましいのは剪断モード型（ピエゾ型）インクジェットヘッドである。
【００４９】
本発明ではインクジェットヘッド２が剪断モード型（ピエゾ型）インクジェットヘッドの場合に付き説明している。塗布液供給部３は塗布液貯蔵タンク３０１と、塗布液貯蔵タンク３０１内の塗布液３０２（図２を参照）をインクジェットヘッド２０１に供給する配管３０３と、塗布液３０２（図２を参照）の供給量を制御する制御バルブ３０４と、一部外気と連通させるための配管３０５とを有している。配管３０３はインクジェットヘッド２の塗布液供給管２０１ｅ（図３を参照）に接合されおり、インクジェットヘッド２の移動に対応するため、柔軟性の材料で出来ていることが望ましく、例えばフレキホース、ポリエチレン製ホース、ポリプロピレン製ホース等が挙げられる。
【００５０】
なお、塗布液３０２（図２を参照）は、絶対濾過精度または準絶対濾過精度が０．４〜５０μｍの濾材を少なくとも１回は通過させることが好ましい。
【００５１】
被塗布物供給部６ａは、巻き芯６ａ２に巻かれたロール状被塗布物６ａ１を有し、ロール状被塗布物６ａ１は連続して搬送（図中の矢印方向）される帯状の被塗布物６ａ３を繰り出す様になっている。６ａ４は被塗布物６ａ３上にインクジェットヘッド２で塗布された塗布膜を示す。
【００５２】
被塗布物への塗布液の塗布については、完全に吐出された液滴同士がつながり完全に膜を形成する場合と、吐出された液滴がある間隔、大きさで被塗布物上に並んでいる場合の２通りが塗布として存在する。ここで、塗布液膜を形成させるには塗布液の吐出密度を上げる方法と、いわゆる引き伸ばす方法とが存在する。
【００５３】
本図では可撓性の帯状被塗布物を搬送している例を示してあるが、この帯状被塗布物はある幅を持った可撓性のものだけではなく、いわゆる枚葉塗布と呼ばれる１枚ずつカッティングされたものでもかまわない。
【００５４】
６ｂ１は乾燥箱を示し、６ｂ２は加熱風の給気口を示す。６ｃは回収部を示し、６ｃ１は巻き芯６ｃ２に巻き取られた塗布膜を有するロール状被塗布物を示す。
【００５５】
図２はインクジェットヘッドを使用した塗布装置の一例を示す概略断面図である。尚、本図ではインクジェットヘッドの移動用レールは省略してある。
【００５６】
図中、２０１ａは塗布液を液滴２０２として吐出するノズル吐出口２０１ｄ１（図３を参照）を有するインクジェットヘッド２の本体２０１のノズル板２０１ｄの表面を示す。本図ではインクジェットヘッド２が剪断モード型（ピエゾ型）インクジェットヘッドの場合を示している。２０３はインクジェットヘッド２の圧電振動素子（図３を参照）を駆動させるための制御部を示す。制御部２０３はコネクタ（不図示）を介してインクジェットヘッド２に接続されている。この制御部２０３により、圧電振動素子（図３を参照）の動作強度や周波数、塗布液吐出時のノズル（図３を参照）の選択等が行われる。
【００５７】
３０５は一部外気と連通させるための配管３０５を示す。６ｂ３は加熱風の排気口を示し、６ｂ４は搬送用のロールを示す。尚、本図ではロールサポート方式の場合を示したが、被塗布物６ａ３上に形成された塗布膜に損傷を与えない方式であれば限定はなく、例えば無接触方式であってかまわない。他の符号は図１と同義である。
【００５８】
図３は、一部破断面を有するインクジェットヘッドの一例を示す概略斜視図である。本図は剪断モード型（ピエゾ型）インクジェットヘッドの場合を示している。
【００５９】
インクジェットヘッド２の本体２０１は、上層圧電性基盤２０１ｂ１と下層圧電性基盤２０１ｂ２とを接合して形成された圧電性基盤２０１ｂと、天板２０１ｃと、ノズル板２０１ｄとを有している。
【００６０】
圧電性基盤２０１ｂには、研削加工を施すことによりノズル板２０１ｄ側が開口し、反対側が閉塞している互いに平行な所定の長さを有する複数のノズル２０１ｂ３と、ノズル２０１ｂ３の閉塞した側につながる平坦な面２０１ｂ４と、ノズル（インク圧力室）２０１ｂ３の両側に側壁２０１ｂ５とを有している。複数のノズルは交互に塗布液圧力室用のノズルと空気圧力室用のノズルとして使用する場合もある。本図は塗布液圧力室用として使用した場合を示している。
【００６１】
２０１ｃ２は圧電性基盤２０１ｂの上面を覆う第１天板を示し、２０１ｃ１は第１天板の上面を覆う第２天板を示す。
【００６２】
２０１ｃ３は塗布液供給管２０１ｅから供給された塗布液の溜部を示し、各ノズル２０１ｂ３に連通した各塗布液供給口２０１ｃ４より各塗布液圧力室用のノズル２０１ｂ３に供給される様になっている。各ノズル２０１ｂ３は第１天板２０１ｃ２とノズル板２０１ｄとにより覆われることで複数の密閉されたチャネル（塗布液圧力室）が形成される様になっている。
【００６３】
２０１ｄ１は各側壁の剪断変形に伴い、塗布液圧力室の圧力変化で塗布液を液滴の状態で吐出させるノズル吐出口を示す。ノズル吐出口の間隔は、０．０２〜０．３ｍｍが好ましい。２０１ｆは送液手段７（図４を参照）から送られてくる溶液の溶液供給管を示す。溶液供給管２０１ｆより供給された溶液は塗布液と同じ経路を経てノズル吐出口より吐出する様になっている。
【００６４】
第１天板及び第２天板の材料は特に限定されず、例えば有機材料からなっても良いが、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等が挙げられる。
【００６５】
ノズル板２０１ｄを構成する基材としては、金属や樹脂が使用される。例えばステンレス、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン等が好ましく採用できる。特に好ましくはポリイミド樹脂で、Ｄｕｐｏｎｔ社製：カプトンや宇部興産（株）製：ユーピレックス等が寸法安定性、耐インク性、耐熱性等に優れているので好ましい。
【００６６】
図４は図１に示す塗布装置に塗布液の供給手段とは別の送液手段を配設した塗布装置の一例を示す概略斜視図である。
【００６７】
図中、７は送液手段を示す。送液手段７は溶液７０１を貯蔵する貯蔵タンク７０２と、溶液７０１をインクジェットヘッド２の本体２０１へ配管７０５を介して送液するポンプ７０３と、溶液７０１の送液量を制御する制御バルブ７０４とを有している。配管７０５はインクジェットヘッド２の本体２０１の接続手段（不図示）により接続されている。他の符号は図１と同義である。
【００６８】
貯蔵タンク７０２に蓄えられた溶液は、用途により変更することが可能である。例えば、インクジェットヘッドを洗浄する場合は洗浄液を、塗布前にインクジェットヘッドに塗布液を充填する場合は塗布液を入れて使用することが可能である。送液装置よりインクジェットヘッドへポンプにより強制的に送液することが出来るため、インクジェットヘッドが詰まった場合の洗浄に有効である。又、塗布前にインクジェットヘッドに塗布液を充填する時も短時間で行えるので開始が容易になる。
【００６９】
本図では送液装置７からの配管７０５をインクジェットヘッドに直接に接続する場合を示しているが、塗布液供給部３の配管３０３に接続しバルブで切り換えを可能にする方式であっても良い。
【００７０】
本図に示される様に、塗布液の供給手段とは別の送液装置への接続手段を設けることで、圧電振動子を動作させずにインクジェットヘッドへ強制的に任意の送液量で溶液を送液することが可能となった。このため、吐出口が目詰まりしたときは洗浄液を強制的に送液し吐出口の清掃を行うことが出来、故障時の対応が容易になった。又、塗布開始前には塗布液を送液しインクジェットヘッド内を塗布液で充填することが容易になり塗布前の準備時間が短縮され作業効率が向上した。
【００７１】
図５はインクジェットヘッドの表面を乾燥防止手段で覆った状態を示す概略図である。図５の（ａ）はインクジェットヘッドの表面を乾燥防止手段で覆った状態を示す概略斜視図である。図５の（ｂ）は、図５の（ａ）のＡ−Ａ′に沿った概略断面図である。
【００７２】
図中、８はインクジェットヘッド２の本体２０１の表面を覆う乾燥防止手段のキャップを示す。キャップ８は底板８０１と側板８０２とを有する箱型構造をしている。キャップ８をインクジェットヘッド２の本体２０１の表面に装着することで併せて本体２０１の表面１ａの近傍を覆うことが可能となっている。８０３は箱型構造をしているキャップ８の内側を示し、ここには溶媒又は溶媒を漬たした部材が入れられている。キャップ８は待機部５（図１を参照）に配設されているのが好ましい。
【００７３】
インクジェットヘッド２の本体２０１の表面及び表面近傍をキャップにより覆うタイミングは、インクジェットヘッド２が待機部に待機している時である。キャップはインクジェットヘッド２が待機部に移動して停止すると、移動手段（不図示）により下から移動して底に入れられた溶媒または溶媒を漬たした部材に表面が接触するか、表面が溶媒中に沈むか、又は押し込まれた状態になる。このような状態でインクジェットヘッド２の本体２０１の表面及び表面近傍をキャップで覆う様になっている。塗布を行う際は、キャップは移動手段（不図示）により下へ移動して表面及び表面近傍の覆いを解除する様になっている。この後、インクジェットヘッド２は移動用レール４（図１を参照）に沿って塗布位置に移動することが可能となっている。
【００７４】
使用する溶媒は、塗布液の溶媒と同じ溶媒が好ましい。又、溶媒を漬たす部材はインクジェットヘッド２の本体の表面が押しつけられるため柔らかく且つ弾力性を有している部材が好ましく、例えば不織布、スポンジ等が挙げられる。
【００７５】
本図に示される様に、塗布を行わない時、例えば塗布中断時にキャップでインクジェットヘッド２の本体２０１の表面及び表面近傍を覆うことでノズル吐出口の乾燥を防止することが出来、安定した塗布を行うことが可能となった。
【００７６】
図６は図１に示す塗布装置に配設角度変更手段を配設した塗布装置の一例を示す概略図である。図６の（ａ）は、被塗布物に対する角度を変えて配設したインクジェットヘッドを使用した塗布装置を示す概略平面図である。図６の（ｂ）は図６の（ａ）で示されるインクジェットヘッドを角度を変えて配設する時の模式図である。
【００７７】
本図では、インクジェットヘッド２の本体２０１のノズル吐出口２０１ｄ１（図３を参照）を有するノズル板２０１ｄ（図３を参照）の表面２０１ａ（図２を参照）は被塗布物６ａ３の面と平行になるように移動用レール４に沿って移動可能に配設されている。
【００７８】
図中、４ａ、４ｂは配設角度変更手段のシリンダーを示し、移動用レール４を挟んで向する位置に配設されている。４ａ１、４ｂ１はシリンダー軸を示す。移動用レール４は、シリンダー軸４ａ１および４ｂ１の何れか一方により押された時、一点を支点として被塗布物６ａ３の面に平行に回転移動（図中の矢印方向）が可能に塗布装置のフレーム（不図示）に配設されている。このようにすることでシリンダー４ａ、４ｂのシリンダー軸４ａ１、４ｂ１の出し入れ量により移動用レール４の角度は任意に変更することが可能となっている。移動用レール４の角度の変更に伴い移動用レール４に沿って移動するインクジェットヘッド２の角度も任意に変更することが可能となっている。
【００７９】
θは被塗布物６ａ３の面と、インクジェットヘッド２の本体２０１の表面２０１ａ（図３を参照）とが平行に一定の間隔を持って被塗布物６ａ３上にインクジェットヘッド２の本体２０１を配設したとき、被塗布物の搬送方向（図中の矢印方向）に対するインクジェットヘッド２の本体２０１の配設する角度を示す。角度θは、±４５°〜±９０°が好ましい。
【００８０】
θ１は被塗布物６ａ３の搬送方向（図中の矢印方向）に対して反時計回りの方向（被塗布物６ａ３の搬送方向と同じ方向）にインクジェットヘッド２の本体２０１を配設（点線で示した枠）する角度を示す。本発明では被塗布物６ａ３の搬送方向（図中の矢印方向）に対して反時計回りの方向を−とする。本図では角度θ１が−４５°の場合を示す。
【００８１】
θ２は被塗布物６ａ３の搬送方向（図中の矢印方向）に対してインクジェットヘッド２の本体２０１を±９０°に配設する角度を示す。
【００８２】
θ３は被塗布物６ａ３の搬送方向（図中の矢印方向）に対して時計回りの方向（被塗布物６ａ３の搬送方向と逆方向）にインクジェットヘッド２の本体２０１を配設（点線で示した枠）する角度を示す。本発明では被塗布物６ａ３の搬送方向（図中の矢印方向）に対して時計回りの方向を＋とする。本図では角度θ３が＋４５°の場合を示す。その他の符号は図１と同義である。
【００８３】
本図に示される様に、インクジェットヘッド２の角度を変えて配設することで、インクジェットヘッド２の本体２０１のノズル吐出口から吐出する液滴が被塗布物上に着弾したとき、幅手方向の液滴の間隔が狭くなるため幅手方向の塗布密度を上げることが可能となり安定した膜厚の塗布が可能となった。また塗布密度を上げるため塗布液の濃度を上げる必要がなくなるため安定した液滴の吐出が可能となり安定した膜厚の塗布が可能となった。
【００８４】
図７は図１に示される塗布装置のインクジェットヘッドの下流側に塗布膜の平準化手段手段を配設した部分概略斜視図である。尚、移動用レール、塗布液供給部、被塗布物供給部、回収部は省略してある。
【００８５】
図中、９はインクジェットヘッド２の本体２０１のノズル吐出口より被塗布物６ａ３上に液滴として吐出された塗布液を平準化し均一な塗布膜６ａ４にする平準化手段のバーを示す。バー９の配設位置はインクジェットヘッド２の下流側で、且つ乾燥部６ｂより上流側が好ましい。バー９は平準化を安定に行うために被塗布物６ａ３に押し込む様に配設することが好ましい。バー９は回転してもしなくても良い。バー９としては、ワイヤーバー、メイヤーバー等が好ましく使用される。尚、平準化手段はブレードでもかまわない。
【００８６】
本図に示される様に、平準化手段を配設することで、塗布膜の均一化を塗布の物性、インクジェットヘッドの吐出量、インクジェットヘッドのノズル吐出口の数、インクジェットヘッド配設位置等に依存することがなくなったため、煩雑なインクジェットヘッドの管理、塗布の物性管理が不要になり、所望の塗布膜を得ることが可能となり、使用することが出来る塗布液の範囲が広がった。
【００８７】
図８は図１に示される塗布装置において、転写ロールを配設した部分概略斜視図である。尚、移動用レール、塗布液供給部、被塗布物供給部、回収部は省略してある。
【００８８】
図中、１０は被塗布物６ａ３と接触するようにインクジェットヘッド２の本体２０１の表面２０１ａ側に配設された転写用の金属ロールを示す。１１はサポートロールを示し、金属ロール１０と対向した位置に配設されている。金属ロール１０は被塗布物６ａ３の搬送速度と同じ周速度で同じ方向に回転可能に塗布装置のフレーム（不図示）に軸支されている。金属ロール１０上にインクジェットヘッド２の本体２０１のノズル吐出口より塗布液を液滴として吐出し塗布膜を形成した後、形成された塗布膜は金属ロール１０が回転することで被塗布物６ａ３と接触し被塗布物６ａ３に転写される様になっている。
【００８９】
本図に示される様に、従来の転写シートの代わりに転写用に金属ロールを使用することで、金属ロール上に形成された塗布膜は、塗布膜中の溶媒の染み込みがなく安定しているため、被塗布物への転写も金属ロールに塗布膜が残ることなく行われ、被塗布物へ安定した塗布膜の転写が可能となった。
【００９０】
図９はインクジェットヘッドの表面を清掃する清掃手段の一例を示す概略図である。図９の（ａ）はインクジェットヘッドの表面を清掃する清掃手段の一例を示す概略斜視図である。図９の（ｂ）は図９の（ａ）のＢ−Ｂ′に沿った概略断面図である。
【００９１】
図中、１２は清掃手段の清掃装置を示す。清掃装置１２は、清掃部材１２ａの供給部１２ｂと、清掃部材１２ａをインクジェットヘッドの表面に押しつける押圧ロール１２ｄと、インクジェットヘッドの表面を清掃した清掃部材１２ａを回収する回収部１３ｃとを有している。１２ｂ１は巻き軸を示し、１２ｂ２は巻き軸１２ｂ１に巻かれたロール状の清掃部材を示す。１２ｃ１は巻き軸を示し、１３ｃ２は巻き軸１２ｃ１に巻き取られた清掃後の清掃部材を示す。
【００９２】
清掃装置１２はインクジェットヘッドの表面２０１ａへの清掃部材１２ａの押圧を調整するために上下方向（図中の矢印方向）へ移動手段（不図示）により移動が可能となるように塗布装置のフレーム（不図示）に配設されている。清掃装置１２はインクジェットヘッド２０１の厚み方向に対して往復移動が可能となるように塗布装置のフレーム（不図示）に配設されている。
【００９３】
巻き軸１２ｃ１は駆動用のモータ（不図示）に連結されており巻き取りが可能となっている。又、清掃部材１２ａの繰り出し側の巻き軸１２ｂ１には張力を調整するためのブレーキ（不図示）を有している。
【００９４】
本図に示される清掃装置１２の幅はインクジェットヘッド２の本体２０１の塗布幅方向の幅と同じ場合を示しているが、幅を狭くしても良い。但し、幅を狭くした場合はインクジェットヘッド２の本体２０１の塗布幅方向へ往復移動が可能に塗布装置のフレーム（不図示）に配設する必要がある。
【００９５】
清掃部材としては特に限定はなく、例えば織布、不織布等が挙げられる。又、払拭効果を上げるため、清掃部材に溶媒を含ませた状態にするのが好ましい。押圧ロール１２ｄは任意の押圧力でインクジェットヘッドの表面に押し当てられるため、押圧ロール１２の材質は弾性材料が好ましい。
【００９６】
本図に示される清掃手段により、インクジェットヘッドの表面を塗布開始前に清掃することでノズル吐出口の付着物、ノズル吐出口の周辺部の付着物を除去出来るため塗布液の吐出量が安定し、故障が少なく膜厚が安定した製品を塗布することが可能となった。
【００９７】
図１０は図１に示す塗布装置に被塗布物の除塵手段及び除電手段を配設した場合の概略平面図である。
【００９８】
図中、１３は除塵手段の除塵装置を、１４は除電手段の除電装置を示す。他の符号は図１と同義である。除電装置１４は被塗布物の移動方向に対してインクジェットヘッドの直前の上流側に配設し、除電装置１４の下流側に除塵装置を配置することが好ましい。この順番で配設することで除塵装置で発生する静電気を除電装置で除去することが可能となる。除電装置としては特に限定はなく、例えば接触式、非接触式のいずれでも使用可能であるが、被塗布物の表面に傷を付けないことから非接触式のものを使用ことが好ましい。除塵装置としては特に限定はなく、例えば粘着性ロールやエアー方式等が挙げられ必要に応じて使用が可能である。
【００９９】
本図に示す除塵装置１３、除電装置１４を用い、本図に示される様に配設することで、被塗布物から持ち込まれる異物・ゴミを大幅に減らし、帯電ムラを除去できるため大幅な塗布故障を減らすことが出来、安定した品質の製品を塗布することが可能となった。
【０１００】
図１１は図１に示す塗布装置に予備のインクジェットヘッドを配設した場合の概略平面図である。
【０１０１】
図中、４ａは予備用のインクジェットヘッド２ａの移動用レールを示し、５ａは予備用のインクジェットヘッド２ａの待機部を示す。３０４ａは塗布液供給部３から配管３０３ａに付けられた制御バルブを示す。他の符号は図１と同義である。本図では予備用のインクジェットヘッド２ａは待機部５ａに待機している場合を示している。
【０１０２】
予備用のインクジェットヘッド２ａは、使用しているインクジェットヘッド２と同じ方式のものが塗布の安定性の面から必要である。使用中のインクジェットヘッド２が故障した場合は、直ちに予備用のインクジェットヘッド２ａに切り換えることで、故障による塗布装置の停止によるロスを減少させ製品の歩留まりを上げることが可能となった。
【０１０３】
図１２はインクジェットヘッドの配設状態を示す概略図である。
本図は、図１〜図１１に示されるインクジェットヘッドの配設状態の一例を示す概略図である。図中、２０４〜２０６は被塗布物６ａ３の面に対向して配設されたインクジェットヘッド２の本体を示す。本図の場合、本体２０４〜２０６は被塗布物７ａ３の面と、各本体２０４〜２０６のノズル吐出口を有するノズル板の表面が平行で、且つ被塗布物７ａ３の搬送方向（図中の矢印方向）に対して９０°で配設されている場合を示す。２０４ａは本体２０４の端部を示し、２０６ａは本体２０６の端部を示す。インクジェットヘッドの本体に設けられているノズル吐出口は図３に示すように両端部には設けられていない。このため被塗布物の面の幅方向に直列にインクジェットヘッドを配設した場合は塗布されない部分が発生し、縦縞模様になってしまう。この様な状態の発生を防止するためにインクジェットヘッドの本体の端部に別のインクジェットヘッドの本体が重ね合わさる様に本体と平行に、且つ被塗布物の搬送方向に複数列を配設することで、塗布されない部分の発生を防止することが可能となる。又、ノズル吐出口とノズル吐出口との間に液滴を着弾するように各本体に設けられたノズル吐出口の間隔に合わせて被塗布物の搬送方向に複数列を配設することも可能である。
【０１０４】
本図は、本体２０４の端部２０４ａと、本体２０６の端部２０６ａに本体２０５が重なり合う様に２列に配設した状態を示している。配設するインクジェットヘッドの本体の数は特に限定は無く、例えば被塗布物の幅と、インクジェットヘッドの本体の大きさ等により適宜設定することが可能である。
【０１０５】
図１〜図１２に示される各塗布装置は各装置が有する、乾燥防止手段、送液手段、塗布角度変更手段、転写手段、平準化手段、除電手段、除塵手段、予備塗工手段、清掃手段の群より選ばれた各手段を少なくとも２つ有していても良い。各手段を組み合わせた具体的な塗布装置の一例を以下に示す。
【０１０６】
例えば、図４に示される塗布装置の待機部（不図示）に図５に示される乾燥防止手段と図９に示される清掃手段とを配設しても良い。
【０１０７】
図６に示される塗布装置の待機部に図５に示される乾燥防止手段と、図９に示される清掃手段とを配設し、更に図７に示される平準化手段をインクジェットヘッドの下流側に配設しても良い。
【０１０８】
図６に示される塗布装置の待機部に図５に示される乾燥防止手段と、図１０に示される塗布装置の待機部に図５に示される乾燥防止手段と、図９に示される清掃手段とを配設し、図７に示される平準化手段をインクジェットヘッドの下流側に配設し、更に図１１に示される予備のインクジェットヘッドを配設しても良い。
【０１０９】
図１〜図１２に示される各塗布装置は各装置が有する各手段を少なくとも２つ有することで、単独に比べ更に塗布装置が使い易くなり、安定した塗布膜を得ることが可能となった。
【０１１０】
本発明に係る被塗布物は種類に制限はなく、紙、プラスチックフィルム、金属シートなどを用いることができる。紙としては、例えばレジンコート紙、合成紙などが挙げられる。また、プラスチックフィルムとしては、ポリオレフィンフィルム（例えばポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなど）、ポリエステルフィルム（例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレン２，６−ナフタレートフィルムなど）、ポリアミドフィルム（例えば、ポリエーテルケトンフィルムなど）、セルロースアセテートフィルム（例えば、セルローストリアセテートフィルムなど）などが挙げられる。また、金属シートではアルミニウム板が代表的である。また、用いる被塗布物の厚さ・幅についても、特に制限はない。
【０１１１】
本発明に係る塗布液はとしては、高分子成分を０．５〜２０質量％含んでいることが好ましい。高分子成分としては、ゼラチン、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリアクリル酸、ポリビニルエーテル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、天然ゴム等が挙げられる。
【０１１２】
これらの高分子成分を含んだ塗布液としては特に制限はなく、例えば一般用及び産業用ハロゲン化銀感光材料用塗布液、感熱材料用塗布液、熱現像感光材料用塗布液、あるいは高分子材料を有機溶媒、水などに溶解した液、顔料分散液、コロイド状分散液などを挙げることができる。
【０１１３】
本発明の塗布装置を使用することの効果として次の効果が挙げられる。
１）従来よく知られている塗布方式と比較し、湿潤状態で１０μｍ以下の薄膜化が達成できた。従来の塗布方式ではスジ故障、膜厚のムラ等の塗布故障が多く、塗布が困難であった塗布膜の厚さが湿潤状態で０．５〜３μｍの薄膜化が可能となり、薄膜で膜厚のムラが少ない製品を得ることが出来た。
【０１１４】
２）発生する故障、主にインクジェットヘッドのノズル吐出口の目詰まり、異物付着に対して迅速な処理が行えるため、塗布品ロス低減が達成された。
【０１１５】
３）待機している時のインクジェットヘッドのノズル吐出口の乾燥防止、メンテナンス及び、インクジェットヘッドの表面の保全が容易に且つ確実に行うことが可能になり、塗布再開に際しての煩雑な準備作業が少なく塗布開始が可能となった。
【０１１６】
４）従来の塗布方式と比較して煩雑な準備作業等が少なく、かつ使用する塗布液のロスも大幅な削減が可能となった。
【０１１７】
以下、実施例を挙げて本発明の具体的な効果を示すが、本発明の態様はこれに限定されるものではない。
【０１１８】
【実施例】
実施例１
（塗布液の調製）
高分子成分としてポリビニルアルコールを使用し、以下に示す組成比の塗布液を調製し１−１とした。
【０１１９】
ポリビニルアルコール（ＰＶＡ−２０３）            ５質量％
ダイノール６０４                            ０．０５質量％
純水                                      ９４．９５質量％
上記ポリビニルアルコールおよび純水を混合して９０℃で２時間撹拌溶解した後、ダイノール６０４を混合した。この後、０．４５μｍ径のメンブランフィルターを用い、加圧濾過し塗布液を調製し１−１とした。ポリビニルアルコールとしては、平均質量分子量約１５０００のクラレ（株）製ポリビニルアルコール（ＰＶＡ−２０３）である。ダイノール６０４は、エアプロダクツ（株）製アセチレングリコール系界面活性剤である。ポリビニルアルコールの添加量及び純水の量を変更した他は全く同じ方法で塗布液を調製し１−２〜１−５として表１に示す。
【０１２０】
【表１】
2004313895.tif 000003
【０１２１】
（被塗布物の準備）
厚さ１００μｍ、幅５００ｍｍ、長さ１０００ｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを準備した。
【０１２２】
（塗布装置の準備）
図４に示す塗布装置に図５に示す乾燥防止手段と図９に示す清掃手段を配設した塗布装置を準備した。乾燥防止手段及び清掃手段としては不織布に水を含ませたものを使用した。用いたインクジェットヘッドは図３に示す剪断モード型（ピエゾ型）であり、ノズル吐出口の径０．０４ｍｍ、塗布液１滴あたりの平均吐出量５０ｐｌ、ノズル間のピッチは０．０７ｍｍ、ノズル数５００のものを採用した。
【０１２３】
（塗布）
準備した塗布装置を使用し、図４に示す搬送・乾燥・回収装置により準備したポリエチレンテレフタレートの片面に塗布液１−１〜１−５を塗布幅４５０ｍｍで塗布を行ない試料１０１〜１０５とした。尚、塗布は塗布時の膜厚を２．５μｍとなるようにインクジェットヘッドの圧電性基盤の周波数を変更することにより調節した。被塗布物の搬送速度を１０ｍ／ｍｉｎとし、１０分間塗布した後に、インクジェットヘッドを待機部に移動し、インクジェットヘッドのノズル吐出口及び表面を清掃した後、塗布を再開するまでを１サイクルとし、１０サイクルの間欠塗布を実施した。乾燥は１００℃で２０ｓｅｃ間実施した。インクジェットヘッドのノズル吐出口と、被塗布物との間隙は１ｍｍとした。各試料１０１〜１０５を作製するときに、インクジェットヘッドのノズル吐出口及びノズル板の表面を清掃せず清掃する時間と同じ時間放置した以外は全て同じ条件で塗布を行い比較試料１０１ａ〜１０５ａとした。
【０１２４】
（評価）
作製した試料１０１〜１０５、１０１ａ〜１０５ａの塗布膜厚のバラツキ、筋故障につき以下の評価ランクに従って評価した結果を表２に示す。筋故障の有無は目視により観察し、塗布膜厚のバラツキは塗布幅方向で４．５ｃｍ間隔、塗布方向で３０ｃｍ間隔で塗布膜を剥離し、剥離した塗布膜の質量を測定し、次の計算式より求めた。
【０１２５】
塗布膜厚のバラツキ（％）＝（最大塗布膜厚質量値−最小塗布膜厚質量値）／平均塗布膜厚質量値×１００
評価ランク
塗布膜厚のバラツキ
○：塗布膜厚のバラツキが２％未満
△：塗布膜厚のバラツキが２〜５％
×：塗布膜厚のバラツキが５％を越える
筋故障
○：筋故障が無い
△：筋故障が塗布幅に対して５本未満
×：筋故障が塗布幅に対して５本以上
【０１２６】
【表２】
2004313895.tif 000004
【０１２７】
上表の結果より本発明の有効性が確認された。
実施例２
（塗布液の調製）
実施例１で調製した塗布液１−３を使用した。
【０１２８】
（被塗布物の準備）
実施例１と同じ被塗布物を１００ｍ準備した。
【０１２９】
（塗布装置の準備）
図６に示す塗布装置のインクジェットヘッドの被塗布物に対し配設する角度を表３に示す様に変化した塗布装置を準備し２−１〜２−４とした。尚、インクジェットヘッドは実施例１と同じ物を使用した。尚、インクジェットヘッドの被塗布物に対する配設角度は、被塗布物の面とインクジェットヘッドの本体の表面とが平行に配置された状態で、被塗布物の進行方向に対するインクジェットヘッドの本体の配置する角度を示す。
【０１３０】
【表３】
2004313895.tif 000005
【０１３１】
（塗布）
準備した塗布装置を使用し、図６に示す搬送・乾燥・回収装置により準備したポリエチレンテレフタレートの片面に塗布液１−３を塗布幅４５０ｍｍで塗布を行ない試料２０１〜２０４とした。尚、被塗布物の搬送速度を１０ｍ／ｍｉｎとし、乾燥は１００℃で２０ｓｅｃ間実施した。インクジェットヘッドのノズル吐出口と、被塗布物との間隙は１ｍｍとした。塗布はインクジェットヘッドの圧電性基盤の印加電圧を１０Ｖと一定にして行った。
【０１３２】
（評価）
作製した各試料２０１〜２０４の塗布膜厚を測定した結果を表４に示す。尚、塗布膜厚は、塗布幅方向で４．５ｃｍ間隔、塗布方向で３０ｃｍ間隔で塗布膜を剥離し、剥離した塗布膜の質量を測定し、質量から膜厚に換算して求める方法により測定した平均値を表す。
【０１３３】
【表４】
2004313895.tif 000006
【０１３４】
上表の結果より、インクジェットヘッドの本体を、被塗布物の進行方向に対して角度を付けて配置することで、被塗布物へ着弾する液滴の間隔を狭くすることが可能となり、塗布膜厚の厚さを制御することが可能であることが確認され、本発明の有効性が確認された。
【０１３５】
実施例３
（塗布液の調製）
実施例１で調製した塗布液１−１〜１−５を使用した。
【０１３６】
（被塗布物の準備）
実施例１と同じ被塗布物を１０００ｍ準備した。
【０１３７】
（塗布装置の準備）
図４に示す塗布装置に図７に示す平準化手段を配設した塗布装置を準備した。平準化手段としては直径４ｍｍの軸芯に０．１ｍｍのワイヤーを巻いたワイヤーバーを固定して用いた。尚、インクジェットヘッドは実施例１と同じ物を使用した。
【０１３８】
（塗布）
準備した塗布装置を使用し、図４に示す搬送・乾燥・回収装置により準備したポリエチレンテレフタレートの片面に塗布液を塗布幅４５０ｍｍで塗布を行ない試料３０１〜３０５とした。各試料３０１〜３０５を作製するときに、平準化手段を用いない以外は全て同じ条件で塗布を行い比較試料３０１ａ〜３０５ａとした。又、試料３０１〜３０５及び比較試料３０１ａ〜３０５ａを作製に際しては送液手段は使用しなかった。
【０１３９】
尚、塗布は塗布時の膜厚を２．５μｍとなるようにインクジェットヘッドの圧電性基盤の周波数を変更することにより調節した。被塗布物の搬送速度を１０ｍ／ｍｉｎとし、乾燥は１００℃で２０ｓｅｃ間実施した。インクジェットヘッドのノズル吐出口と、被塗布物との間隙は１ｍｍとした。
【０１４０】
（評価）
作製した試料３０１〜３０５、３０１ａ〜３０５ａの塗布膜厚のバラツキにつき実施例１と同じ方法で測定し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価した結果を表５に示す。
【０１４１】
【表５】
2004313895.tif 000007
【０１４２】
上表の結果より、本発明の有効性が確認された。
実施例４
（塗布液の調製）
実施例１で調製した塗布液１−３を使用した。
【０１４３】
（被塗布物の準備）
実施例１と同じ被塗布物を１０００ｍ準備した。
【０１４４】
（塗布装置の準備）
図４に示す塗布装置に図１０に示す除塵手段、除電手段を配設した塗布装置をを準備した。除塵手段としてはエアー式ウェブクリーナーを使用し、除電手段としては高密度除電機を使用した。尚、インクジェットヘッドは実施例１と同じ物を使用した。
【０１４５】
（塗布）
準備した塗布装置を使用し、図４に示す搬送・乾燥・回収装置により準備したポリエチレンテレフタレートの片面に塗布液を塗布幅４５０ｍｍで塗布を行ない試料４０１とした。試料４０１を作製するときに、除塵手段、除電手段を用いない以外は全て同じ条件で塗布を行い比較試料４０２とした。又、試料４０１及び比較試料４０２を作製に際しては送液手段は使用しなかった。
【０１４６】
尚、インクジェットヘッドの塗布は塗布時の膜厚を２．５μｍとなるようにインクジェットヘッドの圧電性基盤の周波数を変更することにより調節した。被塗布物の搬送速度を１０ｍ／ｍｉｎとし、乾燥は１００℃で２０ｓｅｃ間実施した。インクジェットヘッドのノズル吐出口と、被塗布物との間隙は１ｍｍとした。
【０１４７】
用いたインクジェットヘッドは図３に示す剪断モード型（ピエゾ型）であり、ノズル吐出口の径０．０４ｍｍ、塗布液１滴あたりの平均吐出量５０ｐｌ、ノズル間のピッチは０．０７ｍｍ、ノズル数５００のものを採用した。
【０１４８】
（評価）
作製した試料４０１、４０２の異物付着個数つき、目視により塗布開始から塗布終了までを観察し以下の評価ランクに従って評価した結果を表６に示す。
【０１４９】
評価ランク
○：異物付着が無い
△：異物付着が５個／ｍ２未満
×：異物付着が５個／ｍ２以上
【０１５０】
【表６】
2004313895.tif 000008
【０１５１】
上表の結果より、本発明の有効性が確認された。
実施例５
（塗布液の調製）
実施例１で調製した塗布液１−３を使用した。
【０１５２】
（被塗布物の準備）
実施例１と同じ被塗布物を１０００ｍ準備した。
【０１５３】
（塗布装置）
図４に示される塗布装置の待機部（不図示）に図５に示される乾燥防止手段と図９に示される清掃手段とを配設し、図７に示される平準化手段をインクジェットヘッドの下流側に配設し、図１０に示す除塵手段、除電手段を配設した塗布装置を準備し５−１とした。又、送液手段、乾燥防止手段、清掃手段、平準化手段、除塵手段、除電手段を配設しない塗布装置を準備し比較の塗布装置５−２とした。尚、インクジェットヘッドは実施例１と同じ物を使用した。
【０１５４】
（塗布）
準備した塗布装置５−１を使用し、図４に示す搬送・乾燥・回収装置により準備したポリエチレンテレフタレートの片面に塗布液１−３を塗布幅４５０ｍｍで塗布を行ない試料５０１とした。又、塗布装置５−２を使用した他は全て同じ条件で塗布を行い比較試料５０２とした。尚、塗布は塗布時の膜厚を２．５μｍとなるようにインクジェットヘッドの圧電性基盤の周波数を変更することにより調節した。被塗布物の搬送速度を１０ｍ／ｍｉｎとし、１０分間塗布した後に、インクジェットヘッドを待機部に移動し、インクジェットヘッドのノズル吐出口及び表面を清掃した後、塗布を再開するまでを１サイクルとし、１０サイクルの間欠塗布を実施した。乾燥防止手段及び清掃手段としては不織布に水を含ませたものを使用した。平準化手段としては、実施例３に使用したワイヤーバーを使用した。除塵手段、除電手段としては、実施例４に使用した除塵手段、除電手段を使用した。乾燥は１００℃で２０ｓｅｃ間実施した。インクジェットヘッドのノズル吐出口と、被塗布物との間隙は１ｍｍとした。
【０１５５】
（評価）
作製した試料５０１、５０２の塗布膜厚バラツキ、筋故障、異物付着個数につき、最初の１００ｍ、中間の５００ｍ、最後の１０００ｍにつき評価した結果を表７に示す。尚、塗布膜厚バラツキは実施例１と同じ方法で測定し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価し、筋故障については実施例１と同じ方法で観察し、実施例１と同じ評価ランクに従って評価し、異物付着個数は実施例４と同じ方法で観察し、実施例４と同じ評価ランクに従って評価した。
【０１５６】
【表７】
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【０１５７】
上表の結果より、本発明の有効性が確認された。
【０１５８】
【発明の効果】
インクジェットヘッドを使用して塗布液をノズル吐出口より液滴として吐出し、被塗布物に安定した薄膜な塗布膜およびパターニングを形成する塗布装置及び塗布方法を提供することができ、インクジェットヘッドのノズル吐出口の目詰まり、異物付着に対して迅速な処理が行えるため、塗布故障が少なく、薄膜で膜厚のムラが少ない製品を得ることが可能となった。又、塗布品ロス低減が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェットヘッドを使用した塗布装置の一例を示す概略平面図である。
【図２】インクジェットヘッドを使用した塗布装置の一例を示す概略断面図である。
【図３】一部破断面を有するインクジェットヘッドの一例を示す概略斜視図である。
【図４】図１に示す塗布装置に塗布液の供給手段とは別の送液手段を配設した塗布装置の一例を示す概略斜視図である。
【図５】インクジェットヘッドの表面を乾燥防止手段で覆った状態示す概略図である。
【図６】図１に示す塗布装置に配設角度変更手段を配設した塗布装置の一例を示す概略図である。
【図７】図１に示される塗布装置のインクジェットヘッドの下流側に塗布膜の平準化手段手段を配設した部分概略斜視図である。
【図８】図１に示される塗布装置において、転写ロールを配設した部分概略斜視図である。
【図９】インクジェットヘッドの表面を清掃する清掃手段の一例を示す概略図である。
【図１０】図１に示す塗布装置に被塗布物の除塵手段及び除電手段を配設した場合の概略平面図である。
【図１１】図１に示す塗布装置に予備のインクジェットヘッドを配設した場合の概略平面図である。
【図１２】インクジェットヘッドの配設状態を示す模式図である。
【符号の説明】
１  塗布装置
２、２ａ  インクジェットヘッド
２０１、２０４、２０５、２０６  本体
２０１ａ  表面
２０１ｄ  ノズル吐出口
３  塗布液供給部
４  移動用レール
５  待機部
６ａ３  被塗布物
６ａ４  塗布膜
７  送液手段
８  キャップ
９  バー
１０  金属ロール
１２  清掃装置
１３  除塵装置
１４  除電装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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