(57)【要約】【課題】反りが発生しやすい薄型基板の位置決めを高い精度で行うことが可能な基板位置決め装置及びその方法を提供すること。【解決手段】基板の下面からの吸着により基板の反りの矯正を行う吸着台１と、吸着台１上の基板を挟み込んで該基板の位置決めを行う少なくとも２組以上の位置決めコマ２とを備えた基板位置決め装置において、吸着台１のＸＹΘ方向への動きを可能にするローラー３（吸着台可動手段）を備え、吸着台１に吸着された基板に各組の位置決めコマ２をそれぞれ作用させることにより、基板を吸着台１と一体的にＸＹΘ方向に動かして当該基板の位置決めを行うこととする。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板下面からの吸着により基板の反りの矯正を行う吸着台と、前記吸着台上の基板を挟み込んで該基板の位置決めを行う少なくとも２組以上の位置決めコマとを備えた基板位置決め装置において、
前記吸着台のＸＹΘ方向への動きを可能にする吸着台可動手段を備え、
前記吸着台に吸着された基板に各組の位置決めコマをそれぞれ作用させることにより、前記基板を前記吸着台と一体的にＸＹΘ方向に動かして当該基板の位置決めを行うことを特徴とする基板位置決め装置。
【請求項２】
前記吸着台のＸＹΘ方向への動きを停止させる吸着台固定手段と、前記吸着台を基準位置に復帰させる吸着台復帰手段とを備えることを特徴とする請求項１記載の基板位置決め装置。
【請求項３】
吸着台に基板を載置する工程と、
基板下面からの吸着により基板の反りの矯正を行う工程と、
前記吸着台に吸着された基板を少なくとも２組以上の位置決めコマでそれぞれ挟み込むことにより、前記基板を前記吸着台と一体的にＸＹΘ方向に動かして当該基板の位置決めを行う工程と、
前記吸着台のＸＹΘ方向への動きを停止させる工程と、
からなることを特徴とする基板位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板位置決め装置及びその方法に関し、特に、電子部品を製造する工程において、電子部品のベースとなる基板に印刷等の諸作業を施す前に、基板の反りを矯正するとともに基板の位置決めをする装置及びその方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品を製造する工程において、電子部品のベースとなる基板に印刷等の諸作業を施すにあたって、まず基板の位置決めを行う必要がある。従来、このような基板の位置決めは、主に位置決めコマ等を用いて機械的に行われている。
位置決めコマを用いた基板位置決めは、少なくとも２組の位置決めコマを基板の前後左右、あるいは２以上の対角部位に当接させ、各組の位置決めコマをそれぞれ同じ距離だけ移動することによって基板を挟み込み、基板の位置決めを行うものである。
その他、撮像装置を用いて解析的に行う方法もあるが、その装置が高価であるといった欠点がある。また、この方法を用いる場合でも、あらかじめ物理的に基板を位置決めする必要がある。すなわち、位置決めコマ等を用いて機械的に行う基板の位置決めの高精度化は、上記技術分野において要請されている重要課題の一つになっている。
【０００３】
ところで、近年の電子部品の小型・薄型化に伴って、その電子部品のベースとなる基板の薄型化の要請とともに、基板に施す諸作業の精度の向上も要請されるようになってきている。そのため、焼成前のグリーンシートを焼成する際に、基板の不均一な収縮によって発生する、「基板の反り」が問題となってくる。基板が薄くなると、「基板の反り」も発生しやすくなるからである。
これを受けて、従来、上述した位置決めが完了した後に、基板を下面から吸引し、基板の反りを矯正する装置が開発されている。この従来の装置の動作を、図５に示した平面図及び側面図を用いて説明する。この装置ではまず、吸着台１に基板Ｓを載置し（図５（ａ）参照）、前後１組・左右２組の位置決めコマ２を基板Ｓにそれぞれ作用させて位置決めを行う（同（ｂ）参照）。次に、吸引孔１ａを介した吸引によって基板Ｓを吸着台１に吸着することによって基板Ｓの反りを矯正し（同（ｃ）参照）、位置決めコマ２を退避させて（同（ｄ）参照）、印刷等の諸作業を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術のように、位置決めが完了した後に基板Ｓの反りを矯正したのでは、基板Ｓの反りが矯正されたことに伴い、基板Ｓが位置決めコマ２を押しのけるようにして基板Ｓの中心位置のズレが生じてしまい（図５（ｃ）参照）、位置決めの精度が著しく低下してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、反りが発生しやすい薄型基板の位置決めを高い精度で行うことが可能な基板位置決め装置及びその方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、基板下面からの吸着により基板の反りの矯正を行う吸着台と、前記吸着台上の基板を挟み込んで該基板の位置決めを行う少なくとも２組以上の位置決めコマとを備えた基板位置決め装置において、前記吸着台のＸＹΘ方向への動き（Ｘ方向、Ｙ方向又はΘ方向への動き、並びにこれらの組み合わせ方向への動き。以下同じ。）を可能にする吸着台可動手段を備え、前記吸着台に吸着された基板に各組の位置決めコマをそれぞれ作用させることにより、前記基板を前記吸着台と一体的にＸＹΘ方向に動かして当該基板の位置決めを行うことを特徴とする基板位置決め装置とした。これにより、反りが発生しやすい薄型基板の位置決めを高い精度で行うことが可能な基板位置決め装置を提供することができる。
【０００７】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記吸着台のＸＹΘ方向への動きを停止させる吸着台固定手段と、前記吸着台を基準位置に復帰させる吸着台復帰手段とを備えることを特徴とする基板位置決め装置とした。これにより、上記高い精度での基板位置決めを効率良く行うことが可能となる。
【０００８】
さらに、請求項３記載の発明は、吸着台に基板を載置する工程と、基板下面からの吸着により基板の反りの矯正を行う工程と、前記吸着台に吸着された基板を少なくとも２組以上の位置決めコマでそれぞれ挟み込むことにより、前記基板を前記吸着台と一体的にＸＹΘ方向に動かして当該基板の位置決めを行う工程と、前記吸着台のＸＹΘ方向への動きを停止させる工程と、からなることを特徴とする基板位置決め方法とした。これにより、反りが発生しやすい薄型基板の位置決めを高い精度で行うことが可能な基板位置決め方法を提供することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態について、添付図面に基づいて説明する。
図１の（ａ）平面図及び（ｂ）側面図に示した基板位置決め装置は、吸着台１と、位置決めコマ２と、吸着台可動手段（３）と、吸着台固定手段（４）と、吸着台復帰手段（５）と、固定台６とから構成されている。
【００１０】
吸着台１は、その上面に複数の吸引孔１ａが形成されており、各吸引孔１ａは所定の吸引手段（図示せず）にそれぞれ連通されている。吸引手段を駆動させると、各吸引孔１ａを介した基板下面からの吸引によって基板Ｓが吸着台の上面に吸着されることとなり、基板Ｓの固定及び反りの矯正を行うことができる。
【００１１】
位置決めコマ２は、吸着台１上の基板Ｓの位置決めを行うために左右２組、前後１組配設されている。この位置決めコマ２の構成は従来のものと同様である。すなわち、各組の位置決めコマ２、２は連動しており、反対方向に同じ距離だけ移動できるようになっている。また、各組の位置決めコマ２、２はその対称線が吸着台１の中心を通るように配設されている。これにより、各組の位置決めコマ２、２で基板Ｓを挟み込むことによって、基板Ｓの位置決めを行うことができる。
【００１２】
吸着台可動手段は、吸着台１と固定台６との間に配設されたローラー３、又は潤滑油、若しくはエアを介在させて自由に可動する手段で構成されており、吸着台１のＸＹΘ方向への動きを可能にしている。なお、吸着台可動手段は、上記構成に限定されるものではなく、吸着台１のＸＹΘ方向への動きを可能とするものであればどのような構成であってもよい。
【００１３】
吸着台固定手段は、固定台６に上下動可能に取り付けられたマグネット４からなっている。このマグネット４を吸着台１の突出部１ｂに接触させることによって、吸着台１がマグネット４を介して固定台６に固定され、吸着台１のＸＹΘ方向の動きを停止させることができる。なお、吸着台固定手段は、上記構成に限定されるものではなく、吸着台１のＸＹΘ方向への動きを停止させるものであればどのような構成であってもよい。
【００１４】
吸着台復帰手段は、前後・左右に向かい合うようにして吸着台１にそれぞれ接続された前後・左右少なくとも１組以上のスプリング５からなっている。各組のスプリング５はそれぞれ同じ張力でかつ反対の方向に吸着台１に作用しており、吸着台１を基準位置に復帰させることができる。ここで、スプリング５の張力は、位置決めコマ２が作用する力よりも弱く設定されている。なお、吸着台復帰手段は、上記構成に限定されるものではなく、吸着台１を基準位置に復帰させるものであればどのような構成であってもよい。
【００１５】
以上のように構成される基板位置決め装置は、吸着台１に吸着された基板Ｓに位置決めコマ２を作用させることにより、基板Ｓを吸着台１と一体的にＸＹΘ方向に動かして基板Ｓの位置決めを行うことが可能である。
【００１６】
以下、この基板位置決め装置を用いた位置決め動作について、図２及び図３の正面・側面図、並びに図４のフローチャートを用いて説明する。以下、単に基板Ｓとよぶが、当該基板Ｓは、薄型でかつ柔軟性を有するものであり、少なくとも一部に反りが発生しているものとする。
【００１７】
まず、図２（ａ）に示すように、吸着台１に基板Ｓを載置する（ステップ４０１）。このとき、基板Ｓは上向き、もしくは下向きの反りが生じたままの状態にある。
【００１８】
次に、図２（ｂ）に示すように、所定の吸引手段を駆動することにより、基板Ｓを吸着台１に吸着固定する。このとき、基板Ｓの全体が展ばされるようにして、基板Ｓの反りが矯正される（ステップ４０２）。
【００１９】
次に、図２（ｃ）に示すように、吸着台１に吸着された基板Ｓに各組の位置決めコマ２をそれぞれ作用させることにより、基板Ｓを吸着台１と一体的にＸＹΘ方向に動かして基板Ｓの位置決めを行う（ステップ４０３）。このとき、ある一組の位置決めコマ２が対向する方向において、基板Ｓのうち吸着台１から大きく張り出した部分が、一方の位置決めコマ２からの作用をまず受ける。そして、基板Ｓの反対側の部分が、他方の位置決めコマ２からの作用を受けるまで、吸着台１は一方の位置決めコマ２が作用する方向に沿って移動する。これら一連の動作が、各組の位置決めコマ２についてもそれぞれ並行して行われ、吸着台１に吸着された基板Ｓの動きが止まったところで、基板Ｓの位置決めが完了したことになる。
【００２０】
次に、図３（ｄ）に示すように、マグネット４を吸着台１の突出部１ｂに接触させて、吸着台１を固定台６に固定し、吸着台１のＸＹΘ方向への動きを停止させる（ステップ４０４）。
【００２１】
続いて、図３（ｅ）に示すように、位置決めコマ２の基板Ｓに対する作用を解除、すなわち位置決めコマ２を基板Ｓから退避させて、基板Ｓに対する印刷、分割溝形成等の諸工程に移行する。
【００２２】
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、例えば、一方に設けた縦横の基準２辺に対して基板を突き当てる他方辺からの押しコマにより構成される基板位置決め装置であっても、上記実施の形態と同様の作用・効果を得ることができる。なお、当該基板位置決め装置においても上記実施の形態と同様に、基板の位置決め完了後は吸着台が固定され、また、一方に設けた縦横の基準２辺並びに他方辺からの押しコマを基板からそれぞれ退避させるように構成するのが好ましい。
【００２３】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、基板下面からの吸着により基板の反りの矯正を行う吸着台と、前記吸着台上の基板を挟み込んで該基板の位置決めを行う少なくとも２組以上の位置決めコマとを備えた基板位置決め装置において、前記吸着台のＸＹΘ方向への動きを可能にする吸着台可動手段を備え、前記吸着台に吸着された基板に各組の位置決めコマをそれぞれ作用させることにより、前記基板を前記吸着台と一体的にＸＹΘ方向に動かして当該基板の位置決めを行うことを特徴とする基板位置決め装置としたので、反りが発生しやすい薄型基板の位置決めを高い精度で行うことが可能な基板位置決め装置を提供することができる。
【００２４】
また、本発明は、吸着台に基板を載置する工程と、基板下面からの吸着により基板の反りの矯正を行う工程と、前記吸着台に吸着された基板を少なくとも２組以上の位置決めコマでそれぞれ挟み込むことにより、前記基板を前記吸着台と一体的にＸＹΘ方向に動かして当該基板の位置決めを行う工程と、前記吸着台のＸＹΘ方向への動きを停止させる工程と、からなることを特徴とする基板位置決め方法としたので、反りが発生しやすい薄型基板の位置決めを高い精度で行うことが可能な基板位置決め方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る基板位置決め装置の（ａ）平面図と（ｂ）側面図である。
【図２】図１の基板位置決め装置の動作を示した説明図（平面図・側面図）である。
【図３】図１の基板位置決め装置の動作を示した説明図（平面図・側面図）である。
【図４】図１の基板位置決め装置の動作を示したフローチャートである。
【図５】従来の基板位置決め装置の動作を示した説明図（平面図・側面図）である。
【符号の説明】
１　吸着台
１ａ　吸引孔
１ｂ　突出部
２　位置決めコマ
３　ローラー
４　マグネット
５　スプリング
６　固定台
【図１】
2004079700.tif 000003
【図２】
2004079700.tif 000004
【図３】
2004079700.tif 000005
【図４】
2004079700.tif 000006
【図５】
2004079700.tif 000007