(57)【要約】【課題】フォトマスクの受託製造において、工程投入優先順位をネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、決められた順位にしたがい受託製造業者がその工程の処理を行う、受託製造システムを提供する。【解決手段】製品の受託製造を行なう際に、少なくとも１つの作業工程の実施の優先順位を、ネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、その順位にしたがい製造を行う、受託製造システムであり、オークションを行うためのネットワークに接続するオークションサーバは、ネットワークを介して、オークションを行う工程であるオークション工程と、各オークション工程のオークションタイムリミット、オークション情報を顧客に公開し、各オークション工程における実施の優先順位を、ネットワーク上にて、顧客同志のオークションによって決定させるものであり、受託製造業者側は、オークションにより最終的に決定された各オークション工程の順位にしたがい、それぞれ、各オークション工程を実施するものである。【選択図】  図１
2004280671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の受託製造を行なう際に、少なくとも１つの作業工程の実施の優先順位を、ネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、その順位にしたがい製造を行う、受託製造システムであり、オークションを行うためのネットワークに接続するオークションサーバは、ネットワークを介して、オークションを行う工程であるオークション工程と、各オークション工程のオークションタイムリミット、オークション情報を顧客に公開し、各オークション工程における実施の優先順位を、ネットワーク上にて、顧客同志のオークションによって決定させるものであり、受託製造業者側は、オークションにより最終的に決定された各オークション工程の順位にしたがい、それぞれ、各オークション工程を実施するものであることを特徴とするオークションによる受託製造システム。
【請求項２】
請求項１において、各製品の製造の進行状態を把握し、各製造工程を管理するためのホスト装置と、ホスト装置に接続し、且つオークションサーバとも接続し、ホスト装置、オークションサーバに必要な情報を提供するためのデータベースとを備え、オークションサーバは、前記データーベースから顧客に公開するための情報のもととなる各受注製品の進行状態の情報を取得し、また、各工程のオークション状況の情報を、前記データベースにリアルタイムに更新保存し、前記ホスト装置は、前記データベースから、各工程のオークション状況の情報を受け取るものであることを特徴とするオークションによる受託製造システム。
【請求項３】
請求項１ないし２において、オークション業務を、顧客に代わり、その信託業者が代行するものであることを特徴とするオークションによる受託製造システム。
【請求項４】
請求項１ないし３において、オークションは、オークションサーバーから、ネットワークを介して顧客ないし信託業者のネットワークに接続する端末のオークション状況表示用の画面上に、オークション参加顧客の製品に対応するＩＤと、その時点でのオークション順位決定金額を、各工程毎に、表示し、顧客ないし信託業者は、表示されたオークション状況に基づき、オークションへの参加の有無、参加する場合のオークション順位決定用金額等の情報を、ネットワークを介してオークションサーバーに送信するものであることを特徴とするオークションによる受託製造システム。
【請求項５】
請求項４において、ＩＤは、ＩＤに対応する顧客ないしその信託業者以外にはその情報が公開されないものであることを特徴とするオークションによる受託製造システム。
【請求項６】
請求項１ないし５において、受託製造業者側から、各工程毎に、オークションの実施の有無の決定情報が、オークションサーバーに送られ、オークションの実施とされた工程について、オークションは、オークションタイムリミットまで行われ、工程毎に、最も高い金額をつけた顧客のものが、それぞれ、その工程に次に投入されるものとすることを特徴とするオークションによる受託製造システム。
【請求項７】
請求項１ないし６において、製品の製造がフォトマスク製造であることを特徴とするオークションによる受託製造システム。
【請求項８】
請求項７において、オークションを行う工程が露光描画工程であることを特徴とするオークションによる受託製造システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製品の受託製造を行なう際に、少なくとも１つの作業工程の実施の優先順位を、ネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、その順位にしたがい製造を行う、受託製造システムに関し、特に、フォトマスクの受託製造システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
即ち、できるだけチップサイズを小さくして、高機能を実現することがＡＳＩＣ等のＬＳＩには求められている。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データ（パタンデータとも言う）を作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
フォトマスクは、一般には、上記図形データ（パタンデータ）を用い、電子ビーム露光装置あるいはエキシマ波長等のフォト露光装置を用いて、フォトマスク用基板（フォトマスクブランクスとも言う）の遮光膜上に配設された感光性レジストに露光描画を行い、現像、エッチング工程等を経て、作製されるが、更に、品質保証のための検査工程、修正工程等が施される。
即ち、簡単には、ガラス基板の一面に遮光性の金属薄膜を設けたフォトマスク用基板の金属薄膜上に塗布、乾燥された感光性のレジスト上に、露光装置により電離放射線を所定の領域のみに照射して潜像を形成し、感光性のレジストを現像して、電離放射線の照射領域に対応した、所望の形状のレジストパターン得た後、更に、レジストパターンを耐エッチングレジストとして、金属薄膜をレジストパターン形状に加工して、所望の金属薄膜パターンを有するフォトマスクを得る。
【０００３】
しかし、このようにして作製されるフォトマスクのパターンの微細化に伴ない、フォトマスクを作製する各工程で使用される設備、例えば、描画装置や検査装置等は、高価なものとなり、最近では、半導体メーカーが個別に、あるいはフォトマスクメーカーが単独でこのようなフォトマスクを作製することが難しい環境になってきた。
このため、フォトマスク製造分野においては、半導体メーカーがフォトマスクの製造部門を分化あるいは売却し、半導体メーカー、フォトマスクメーカー数社で一緒に設備投資を行い、フォトマスクの委託製造をフォトマスクメーカーに依頼するようになってきた。
【０００４】
しかし、このようなフォトマスクの委託製造の形態を採っても、高価な設備の購入数には限界があるため、各工程の処理能力を十分に向上させることは難しく、このようなフォトマスクの受託製造においては、複数の顧客（半導体メーカー）の製品が同時に流れることがあり、工程によっては、処理の待ち時間が発生することが余儀なくされる場合がある。
このような場合、フォトマスクメーカーの工程投入優先順位のつけ方によって、製品の待ち時間はまちまちとなり、顧客の思い通りに処理の進行が行なわれないことがある。
このため、現状では、個々の工程の処理時間が短い製品が、必ずしも短納期になるわけではなく、この点が顧客にとって大きな不満になっていた。
また、製品製造の進行状況が正確に把握できない点も顧客にとって大きな不満になっていた。
製品製造の進行状況を顧客に分かるようにして欲しいという要望等から、特開２００１−３５０９７０号公報では、製品製造の進行状況を顧客に分かるように開放する方法も提案されているが、フォトマスクメーカーの工程投入優先順位のつけ方では、全ての顧客の満足を得ることは難しく、問題となっていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３５０９７０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、フォトマスクの受託製造においては、工程によっては、処理の待ち時間が発生することが余儀なくされる場合があり、この場合、全ての顧客を満足するように、工程投入優先順位をつけることは難しく、この対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスクの受託製造において、工程投入優先順位をネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、決められた順位にしたがい受託製造業者がその工程の処理を行う、受託製造システムを提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のオークションによる受託製造システムは、製品の受託製造を行なう際に、少なくとも１つの作業工程の実施の優先順位を、ネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、その順位にしたがい製造を行う、受託製造システムであり、オークションを行うためのネットワークに接続するオークションサーバは、ネットワークを介して、オークションを行う工程であるオークション工程と、各オークション工程のオークションタイムリミット、オークション情報を顧客に公開し、各オークション工程における実施の優先順位を、ネットワーク上にて、顧客同志のオークションによって決定させるものであり、受託製造業者側は、オークションにより最終的に決定された各オークション工程の順位にしたがい、それぞれ、各オークション工程を実施するものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、各製品の製造の進行状態を把握し、各製造工程を管理するためのホスト装置と、ホスト装置に接続し、且つオークションサーバとも接続し、ホスト装置、オークションサーバに必要な情報を提供するためのデータベースとを備え、オークションサーバは、前記データーベースから顧客に公開するための情報のもととなる各受注製品の進行状態の情報を取得し、また、各工程のオークション状況の情報を、前記データベースにリアルタイムに更新保存し、前記ホスト装置は、前記データベースから、各工程のオークション状況の情報を受け取るものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、オークション業務を、顧客に代わり、その信託業者が代行するものであることを特徴とするものである。
また、上記において、オークションは、オークションサーバーから、ネットワークを介して顧客ないし信託業者のネットワークに接続する端末のオークション状況表示用の画面上に、オークション参加顧客の製品に対応するＩＤと、その時点でのオークション順位決定金額を、各工程毎に、表示し、顧客ないし信託業者は、表示されたオークション状況に基づき、オークションへの参加の有無、参加する場合のオークション順位決定用金額等の情報を、ネットワークを介してオークションサーバーに送信するものであることを特徴とするものであり、ＩＤは、ＩＤに対応する顧客ないしその信託業者以外にはその情報が公開されないものであることを特徴とするものである。
また、上記において、受託製造業者側から、各工程毎に、オークションの実施の有無の決定情報が、オークションサーバーに送られ、オークションの実施とされた工程について、オークションは、オークションタイムリミットまで行われ、工程毎に、最も高い金額をつけた顧客のものが、それぞれ、その工程に次に投入されるものとすることを特徴とするものである。
また、上記において、製品の製造がフォトマスク製造であることを特徴とするものであり、特に、オークションを行う工程が露光描画工程であることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】
本発明のオークションによる受託製造システムは、上記のような構成にすることによって、フォトマスクの受託製造において、工程投入優先順位をネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、決められた順位にしたがい受託製造業者がその工程の処理を行う、受託製造システムの提供を可能とするものである。
具体的には、オークションを行うためのネットワークに接続するオークションサーバは、ネットワークを介して、オークションを行う工程であるオークション工程と、各オークション工程のオークションタイムリミット、オークション情報を顧客に公開し、各オークション工程における実施の優先順位を、ネットワーク上にて、顧客同志のオークションによって決定させるものであり、受託製造業者側は、オークションにより最終的に決定された各オークション工程の順位にしたがい、それぞれ、各オークション工程を実施するものであることにより、更に具体的には、各製品の製造の進行状態を把握し、各製造工程を管理するためのホスト装置と、ホスト装置に接続し、且つオークションサーバとも接続し、ホスト装置、オークションサーバに必要な情報を提供するためのデータベースとを備え、オークションサーバは、前記データーベースから顧客に公開するための情報のもととなる各受注製品の進行状態の情報を取得し、また、各工程のオークション状況の情報を、前記データベースにリアルタイムに更新保存し、前記ホスト装置は、前記データベースから、各工程のオークション状況の情報を受け取るものであることにより、これを達成している。
ここで、オークション業務を、顧客に代わり、その信託業者が代行するものである形態も挙げられる。
【０００９】
また、オークションとしては、オークションサーバーから、ネットワークを介して顧客ないし信託業者のネットワークに接続する端末のオークション状況表示用の画面上に、オークション参加顧客の製品に対応するＩＤと、その時点でのオークション順位決定金額を、各工程毎に、表示し、顧客ないし信託業者は、表示されたオークション状況に基づき、オークションへの参加の有無、参加する場合のオークション順位決定用金額等の情報を、ネットワークを介してオークションサーバーに送信するものが挙げられ、特に、ＩＤは、ＩＤに対応する顧客ないしその信託業者以外にはその情報が公開されない、例えば文字列や符号列とすることにより、顧客間で製品自体の情報が漏洩することはなく、オークションを行える。
【００１０】
製品の製造がフォトマスク製造である場合が挙げられるが、これに限定はされない。
例えば、半導体ＩＣ、ＬＳＩの製造や、電気部品や製品の製造、組み立てを受注し製造する場合にも適用できる。
オークションを行う工程がフォトマスク製造おける露光描画工程のである場合には、特に有効である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明のオークションによる受託製造システムの実施の形態例を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明のオークションによる受託製造システムの実施の形態の１例の特徴部の概略構成図で、図１（ｂ）は顧客Ａの製品製造のタイムチャートとオークションとの関係を示した図で、図２は時刻に対応した各端末での画面の表示を表した図、図３はデータベースに保存されているデータを説明するための図、図４は図１に示す実施の形態例の変形例を示した図である。
図１中、１１０はネットワーク（インターネット）、１２０はオークションサーバー、１３０はデータベース、１４０はホスト装置、１５０はＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）、１６１〜１６ｎは工程端末、１７１は端末Ａ、１７２は端末Ｂ、１７３は端末Ｃである。
図１にその特徴部を示す本例のオークションによる受託製造システムは、フォトマスク等の製品の受託製造を行なう際に、少なくとも１つの作業工程の実施の優先順位を、ネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、その順位にしたがい製造を行う、受託製造システムである。
尚、本例においては、製品の発注、仕様等の管理情報についての管理業務は、オークションサーバー１２０とは別の、ここには図示していない管理業務用サーバーやデータベース、管理用ホスト装置にて行うものであるが、これらの情報をホスト装置１４０は取り込むことができるものとする。
オークションを行うためのネットワークに接続するオークションサーバ１２０は、ネットワーク１１０を介して、オークションを行う製品製造の作業工程であるオークション工程と、各オークション工程のオークションタイムリミット、オークション情報を顧客に公開し、各オークション工程における実施の優先順位を、ネットワーク１１０上にて、顧客同志のオークションによって決定させるものである。
受託製造業者側は、オークションにより最終的に決定された各オークション工程の順位にしたがい、それぞれ、各オークション工程を実施するものである。
本例では、各製品の製造の進行状態を把握し、各製造工程を管理するためのホスト装置１４０と、ホスト装置１４０に接続し、且つオークションサーバ１２０とも接続し、ホスト装置１４０、オークションサーバ１２０に必要な情報を提供するためのデータベース１３０とを備えている。
オークションサーバ１２０は、データーベース１３０から顧客に公開するための情報のもととなる受注した製品の進行状態の情報を取得し、また、各工程のオークション状況の情報を、データベース１３０にリアルタイムに更新保存し、ホスト装置１４０は、データベース１３０から、各工程のオークション状況の情報を受け取る。
尚、図１（ａ）の点線内は委託製造業者側のシステムを表しており、ホスト装置１４０と工程端末１６１〜１６ｎとは、ＬＡＮ１５０を介して接続している。
【００１２】
データベース１３０の内容としては、図３に示すように、例えば、製品に対応するＩＤ情報と、各製品がどの工程前にいるかを示す進行状況情報、各製品のオークション金額情報が、対応して一覧として保存されている。
尚、オークション金額が０のものを、ここではオークション不参加とする。
図３の進行状況の欄で、１は製造開始前（工程１前）、２は工程２前、３は工程３前、４は工程４前である。
これらの情報は、リアルタイムに変更がある度に更新される。
【００１３】
本例のオークションによる受託製造システムでは、顧客Ａの製品Ａの進行は、例えば、図１（ｂ）に示すように行われるが、これを以下、簡単に説明する。
ここでは、話を簡単にするため、工程を工程１〜工程４の４つとし、順に、工程１、工程２、工程３、工程４を経て製品が製造されるものとする。
先ず、顧客Ａが製品Ａの製造を受託製造業者に依頼した場合、工程１では、製品Ａの他に工程１に投入予定のものがなく、所定の基礎金額ａの支払いまたは支払い意志表示により、製品Ａ製造の工程１が実施される。
工程１が完了し、製品Ａ製造の工程２を行いたいが、工程２へは、製品Ａ以外にも投入したい製品があり、ここで、受託製造業者側は、工程２への投入順位を決めるオークションが実施される。
図１（ｂ）に示す例では、製品Ａの製造は緊急性が重要であり、ここでは、工程２のオークションによりオークション順位決定用金額ｂを支払い、あるいは支払いの意志表示をし、工程２投入順位１位で製品Ａの工程２が実施され、以下同様にして、工程３のオークションによりオークション順位決定用金額ｃを支払い、あるいは支払いの意志表示をし、工程３投入順位１位で製品Ａの工程３が実施され、工程４のオークションによりオークション順位決定用金額ｄを支払い、あるいは支払いの意志表示をし、工程４投入順位１位で製品Ａの工程４が実施されるものとする。
図１（ｂ）に示す例では、顧客Ａは、受託製造業者に、トータルとして、製品Ａの製造の対価として金額（ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ）を支払うこととなる。
尚、上記では、各工程への投入順位を１位としたが、製品の製造に緊急性を要しない場合は、オークションに不参加で工程の込み具合がなくなるまで待てば良い。
オークションに負ければ、工程への投入順位は１位とならず工程へ投入されないが、ここでは、この工程へ投入する製品が複数ある場合には、次の投入順位も再度オークションにて決定するものとする。
尚、場合によっては、１つの製品がある所定の回数待った場合には、所定の金額の支払いまたは支払い意志表示により、優先されるような規則を設けても良い。
【００１４】
次に、ある工程におけるオークションの実施の仕方を、簡単に説明する。
尚、ここでは、簡単のため、顧客Ａ、顧客Ｂ、顧客Ｃのみが工程の投入優先順位を決めるオークションに参加した場合について、図２に基づいて説明する。
図１（ａ）に示すように、顧客Ａ、顧客Ｂ、顧客Ｃは、それぞれ、端末Ａ（１７１）、端末Ｂ（１７２）、端末Ｃ（１７３）を用い、ネットワーク１１０を介して、オークションサーバー１２０にアクセスし、受託製造業者側の該当する工程にける該当する工程端末は、ＬＡＮ１５０を介して、ホスト装置１４０にアクセスでき、且つ、オークションサーバー１２０、ホスト装置１４０は、いずれも、データベース１３０に接続しているため、データベース１３０にオークションに必要な情報を保持させておき、オークションを行う。
ここでは、時刻Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３における該当するオークション工程における端末Ａ（１７１）、端末Ｂ（１７２）、端末Ｃ（１７３）および工程端末の画面は、それぞれ、図２のように表示されたものとする。
各表示画面には、製品に対応するＩＤとその時点でのオークションの最高金額（ここでは、これを、オークション順位決定用金額と言う）を表示される。
ＩＤは、ＩＤに対応する顧客以外にはその情報が公開されないように、例えば、図２に示すように、顧客Ａの端末Ａ（１７１）の画面には、顧客Ａが分かる顧客ＡのＩＤはＰＡ−０１で表示され、それ以外の２顧客については、それぞれ、意味不明の×××あるいはｚｚｚをもって、それぞれ、その顧客の製品に対応するＩＤとしている。
また、顧客Ｂの端末Ｂ（１７２）の画面には、顧客Ｂが分かる顧客ＢのＩＤはＰＢ−１０で表示され、それ以外の２顧客については、それぞれ、意味不明のａａａあるいは×××をもって、それぞれ、その顧客の製品に対応するＩＤとしている。
また、顧客Ｃの端末Ｃ（１７３）の画面には、顧客Ｃが分かる顧客ＣのＩＤはＰＣ−１００で表示され、それ以外の２顧客については、それぞれ、意味不明のａａａ、ｚｚｚをもって、それぞれ、その顧客の製品に対応するＩＤとしている。
【００１５】
Ｔ１の時刻においては、金額は画面には全ては明示されていないが、例えば、顧客Ａは１００００円、顧客Ｂは４０００円、顧客Ｃは５０００円をオークション用金額としている。
この場合、工程端末の画面には、順位上から順に顧客Ａ、顧客Ｃ、顧客ＢのＩＤ、ＰＡ−０１、ＰＣ−１００、ＰＢ−１０が並ぶが、ここでは、オークション順位よりも優先される製造の枠を設けており、この実施はオークション参加製品より優先する。
この枠は、ＩＤ、ＡＡＡＡで示され、機械の精度チェックや歩留に起因する製造側責任による製造のため等の特別な枠で、オークション結果には左右されないものである。
時刻Ｔ１において、端末Ａの画面から、顧客Ａは、オークション順位決定用金額が１００００円で、ＩＤ、ＰＡ−０１に対応する自社の製品が現在優先順位１位であるとともに、ＩＤ、×××とｚｚｚに対応する他社の２製品がオークションに参加していることを知ることができる。
また、時刻Ｔ１において、端末Ｂの画面から、顧客Ｂは、オークション順位決定用金額が１００００円で、ＩＤ、ａａａに対応する他社の製品が現在優先順位１位であることや、ＩＤ、ＰＢ−１０に対応する自社の製品が現在優先順位最下位であることや、これ以外にＩＤ、×××に対応する他社の製品がオークションに参加していることを知ることができる。
また、時刻Ｔ１において、端末Ｃの画面から、顧客Ｃは、オークション順位決定用金額が１００００円で、ＩＤ、ａａａに対応する他社の製品が現在優先順位１位であることや、ＩＤ、ＰＣ−１００に対応する自社の製品が現在優先順２位であることや、これ以外にＩＤ、×××に対応する他社の製品がオークションに参加していることを知ることができる。
【００１６】
時刻Ｔ２に顧客Ｂがオークション金額を１１０００円にするとリアルタイムに、図２の時刻Ｔ２における画面の表示に変わる。
時刻Ｔ２に変わった表示より、各顧客の端末は、１１０００円がオークション順位決定用金額であることを知る。
勿論顧客Ｂは自社が優先順位１位であることを知り、顧客Ａ、顧客Ｃは、これを知らないが、それぞれ自分のものが何位であることは知ることができる。
該当する工程端末の順位は、ここでの、それぞれの提示したオークション金額順となる。
顧客Ｂは１１０００円、顧客Ａは１００００円、顧客Ｃは５０００円で、ＰＢ−１０、ＰＡ−０１、ＰＣ−１００の順となる。
【００１７】
時刻Ｔ３に顧客Ｃがオークション金額を１５０００円にするとリアルタイムに、図２の時刻Ｔ３における画面の表示に変わる。
尚、時刻Ｔ２と時刻Ｔ３の間にＩＤ、ＡＡＡＡで示された、特別な枠のものが工程に投入されるものとし、特別な枠が投入された時点でなくなるものとする。
時刻Ｔ３に変わった表示より、各顧客の端末は、１５０００円がオークション順位決定用金額であることを知る。
勿論顧客Ｃは自社が優先順位１位であることを知り、顧客Ａ、顧客Ｂは、これを知らないが、それぞれ自分のものが何位であることは知ることができる。
該当する工程端末の順位は、ここでの、それぞれの提示したオークション金額順となる。
顧客Ｃは１５０００円、顧客Ｂは１１０００円、顧客Ａは１００００円で、ＰＣ−１００、ＰＢ−１０、ＰＡ−０１の順となる。
そして、ここでは、以降、タイムリミット（時刻Ｔ４）の時点まで、金額の変更は無く、優先順位１位は顧客ＣのＰＣ−１００と決定されることとなる。
【００１８】
尚、図１（ａ）にその特徴部を示す本例においては、製品の発注、仕様等の管理情報についての管理業務は、オークションサーバー１２０とは別の、ここには図示していない管理業務用サーバーやデータベース、管理用ホスト装置にて行うものとしたが、オークションサーバー１２０、データベース１３０、ホスト装置１４０に、図示していない管理業務用サーバーやデータベース、管理用ホスト装置に代わり、これらの業務を兼用させる形態も採れる。
また、図１に示す例においては、顧客が直接、オークションに参加する形態を採ったが、図４に示すように、顧客が信託者に各オークションへの参加を委任することも可能である。
また、ホスト装置１４０と工程端末１６１〜１６ｎとを、ＬＡＮ１５０を介さずに直接接続する形態の変形例も挙げられる。
また、このような委託製造システムは、その設備が高価となる最近の微細化したフォトマスクの製造には有効であるが、これに限定はされず、半導体ＬＳＩの製造等にも適用できるものである。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスクの受託製造において、工程投入優先順位をネットワークを介して行う顧客同志のオークションにより決め、決められた順位にしたがい受託製造業者がその工程の処理を行う、受託製造システムの提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は本発明のオークションによる受託製造システムの実施の形態の１例の特徴部の概略構成図で、図１（ｂ）は顧客Ａの製品製造のタイムチャートとオークションとの関係を示した図である。
【図２】時刻に対応した各端末での画面の表示を表した図である。
【図３】データベースに保存されているデータを説明するための図である。
【図４】図１に示す実施の形態例の変形例を示した図である。
【符号の説明】
１１０              ネットワーク（インターネット）
１２０              オークションサーバー
１３０              データベース
１４０              ホスト装置
１５０              ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）
１６１〜１６ｎ      工程端末
１７１              端末Ａ
１７２              端末Ｂ
１７３              端末Ｃ
【図１】
2004280671.tif 000003
【図２】
2004280671.tif 000004
【図３】
2004280671.tif 000005
【図４】
2004280671.tif 000006