(57)【要約】【課題】枠体に装着されたマスクの下面とワークステージ機構のワーク保持面との間隙寸法を正確に測定して所定の間隙寸法に調整することができすると共にワークステージ機構の上流側および下流側に設置されているワーク搬送機構との関係に不都合が生じることのないプロキシミティ露光装置を提供することである。【解決手段】露光光を照射する光照射機構と、パターンが形成されたマスクを保持する枠体を有するマスクステージ機構と、ワークを保持するワークステージ機構とを備えた露光装置において、前記枠体に装着されたマスクの下面とワークステージ機構のワーク保持面との間隙寸法を測定するための間隙測定手段が前記ワークステージ機構に設置されていると共に、間隙測定手段による測定結果に基づいて前記枠体を昇降させて間隙を調整するためのマスク枠体昇降調整手段を配設せしめた構成にしてある。【選択図】　図２
2004012577.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光光を照射する光照射機構と、パターンが形成されたマスクを保持する枠体を有するマスクステージ機構と、ワークを保持するワークステージ機構とを備えた露光装置において、前記枠体に装着されたマスクの下面とワークステージ機構のワーク保持面との間隙寸法を測定するための間隙測定手段が前記ワークステージ機構に設置されていると共に、間隙測定手段による測定結果に基づいて前記枠体を昇降させて間隙を調整するためのマスク枠体昇降調整手段を配設せしめたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項２】
間隙測定手段が、マスク枠体昇降調整手段の設置個所に対応して設置されていることを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項３】
間隙測定手段が、所定幅のライン状の半導体レーザー光を照射し、反射光を受光するセンサーと、該センサーのワーク保持表面部分の受光信号に基づいて間隙寸法値を演算する演算部とを備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項４】
マスク枠体昇降調整手段が、機枠に設置された雌ねじが穿設さらたナットと、前記機枠に形成されたガイドに沿って昇降する可動フレームと、出力軸または該出力軸に連結された軸体に前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成され、出力軸または軸体の先端部が前記枠体の下面に当接可能なように前記可動フレームに設置された電動機と、出力軸の回転量を検出するセンサーとを備えていることを特徴とする請求項１から請求項３の内の一つの請求項に記載のプロキシミティ露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフォトレジストが塗布された帯状ワークまたは枚葉状ワークにマスクを通した露光光を照射して露光させる露光装置に、該ワークとマスクとの間隙を調整するための間隙調整機能を備えたプロキシミティ露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プロキシミティ方式の露光装置は例えば特開平１０−１７１１２５号公報に記載されているようなフォトレジストが塗布された帯状ワーク３００を送出する送り出しリール機構と、露光処理された帯状ワークを巻き取る巻き取りリール機構と、該送り出しリール機構と巻き取りリール機構との間に設置された露光光を照射する光照射機構と、パターンが形成されたマスクを保持するマスクステージ機構と、帯状ワークをマスクと所定の間隙を有するように保持するワークステージ機構とを備えた構成になっている。
【０００３】
上述のマスクステージ機構の枠体に保持されたマスクと、ワークステージ機構に保持されたワークとの間隙寸法は正確な露光処理を行うために予め設定された間隔寸法にする必要がある。
【０００４】
そこで、例えば、特開平１０−２６８５２５号公報に記載されているような間隙調整機能を有するプロキシミティ露光装置が提案されている。
【０００５】
該プロキシミティ露光装置は紫外線照射部と、マスクを保持するマスクステージ部と、ワークをマスクと間隙を設けて保持するワークステージ部と、ワークステージ部に接続されワークとマスクとの間隙を調整する間隙調整機構と、間隙設定部と、該間隙設定部をマスクおよびワークに対して垂直方向に連続的もしくは逐次的に移動させる間隙設定部移動機構と、間隙設定部の位置を測定する位置測定器と、マスクとワークの間隙を演算する演算部とを備えた構成になっていると共に、間隙設定部が、測定用光源とビームスプリッタとピンホール板と対物レンズおよび受光器により形成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような間隙調整機能を有するプロキシミティ露光装置では間隙調整機構がワークステージ部を昇降させるようになっているため、露光光によるマスクまたはマスク保持用の枠体が変形を生じる度にワークステージ部のワーク保持高さ位置が変化することになり、ワークステージ部の上流側および下流側に設置されているワーク搬送機構との関係に不都合が生じるという問題があった。
【０００７】
また、間隙設定部がマスクステージ部の上部に設置されていると共に間隙設定部の測定用光がピンホールを通過したポイント光であるため、マスクステージ部のマスク下面位置とワークステージ部のワーク保持高さ位置との間隙寸法を正確に検出することができず、正常な露光ができなくなるという問題があった。
【０００８】
本発明は前記枠体に装着されたマスクの下面とワークステージ機構のワーク保持面との間隙寸法を正確に測定して所定の間隙寸法に調整することができすると共にワークステージ機構の上流側および下流側に設置されているワーク搬送機構との関係に不都合が生じることのないプロキシミティ露光装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を達成するために本発明のプロキシミティ露光装置は請求項１に記載されているように露光光を照射する光照射機構と、パターンが形成されたマスクを保持する枠体を有するマスクステージ機構と、ワークを保持するワークステージ機構とを備えた露光装置において、前記枠体に装着されたマスクの下面とワークステージ機構のワーク保持面との間隙寸法を測定するための間隙測定手段が前記ワークステージ機構に設置されていると共に、間隙測定手段による測定結果に基づいて前記枠体を昇降させて間隙を調整するためのマスク枠体昇降調整手段を配設せしめた構成にしてある。
【００１０】
本発明のプロキシミティ露光装置は請求項２に記載されているような間隙測定手段が、マスク枠体昇降調整手段の設置個所に対応して設置された構成、請求項３に記載されているような間隙測定手段が、所定幅のライン状の半導体レーザー光を照射し、反射光を受光するセンサーと、該センサーのワーク保持表面部分の受光信号に基づいて間隙寸法値を演算する演算部とを備えた構成、請求項４に記載されているようなマスク枠体昇降調整手段が、機枠に設置された雌ねじが穿設さらたナットと、前記機枠に形成されたガイドに沿って昇降する可動フレームと、出力軸または該出力軸に連結された軸体に前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成され、出力軸または軸体の先端部が前記枠体の下面に当接可能なように前記可動フレームに設置された電動機と、出力軸の回転量を検出するセンサーとを備えた構成にしてある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明のプロキシミティ露光装置の構成の１実施形態を示す概略図であって、露光装置はフォトレジストが塗布された帯状ワーク３００を送出する送り出しリール機構１と、露光処理された帯状ワーク１０１を巻き取る巻き取りリール機構２と、該送り出しリール機構１と巻き取りリール機構２との間に設置された露光用光を照射する光照射機構３と、パターンが形成されたマスク２００を保持するマスクステージ機構４と、帯状ワーク３００をマスク２００と所定の間隔を有するように保持するワークステージ機構５と、帯状ワーク１００を間欠的に搬送する搬送機構６とを備えた構成になっている。
【００１２】
送り出しリール機構１はフォトレジストが塗布された帯状ワーク３００が巻き取られたリール３１０を回転自在に支持し、所定の速度で帯状ワーク３００を送出させるリール支持手段７と、吸引箱９、フアン１０、排気ダクト１１を有し、帯状ワーク３００をＵ字状に貯留する貯留手段８と、帯状ワーク３００を該貯留手段８に案内するローラ１２と、帯状ワーク３００を該貯留手段８から送り出す送り手段１３とを備えた構成になっている。
【００１３】
巻き取りリール機構２は帯状ワーク３００を所定の速度で引き取る引き取り手段１４と、吸引箱６、フアン１７、排気ダクト１８を有し、該帯状ワーク３０１をＵ字状に貯留する貯留手段１５と、巻取用のリール３２０を回転自在に支持し、該帯状ワーク１０１を所定の速度で巻き取る巻き取り手段１９と、帯状ワーク３０１を貯留手段１５から巻き取り手段１９に案内するローラ２０とを備えた構成になっている。
【００１４】
光照射機構３は超高圧水銀灯、超高圧キセノン水銀灯等で構成される紫外線ランプと、集光鏡と、反射用のコールミラと、光分布を均一にするインテグレータと、反射用のコールミラと、平行光にするコリメータレンズと、これ等を所定位置に取り付けるケースとを備えた構成になっている。
【００１５】
マスクステージ機構４は図２に示されるように床面に設置された機台２１またはＸＹテーブルに設置され、機枠２３を所定の位置に昇降させる機枠昇降手段２２と、機枠２３の上部に所定の間隔をもって設けられたＬ型のガイド部材２４、２５と、複数のマスク位置決め手段２６、２７、マスク取り付け手段２８を有し、ガイド部材２４、２５のＬ字状の案内面に当接した状態で支持される支持部材２９、３０がボルト等により一体的に取り付けられた矩形状の枠体３１と、該枠体３１に取り付けられた引き出し用の取手３２と、機枠２３に該枠体３１が所定の位置に固定されるよう支持部材２９、３０をガイド部材２４、２５に押圧させるように機枠２３に装着された押圧手段３３と、支持部材２９、３０に穿設された位置決め用孔にピンを嵌入せしめ枠体３１を所定の露光処理位置に位置決めする枠体位置決め手段３４とを備えた構成になっている。
【００１６】
機枠昇降手段２２は機枠２３の一端部を支持する支持枠体３５と、機枠２３の他端部を支持する支持枠体３６と、該支持枠体３５、３６を所定の位置に同時に同量昇降させる昇降駆動部３７とにより構成されている。
【００１７】
該支持枠体３５は機台２１に垂直な状態で設置されたガイド材３８に係合して垂直方向に移動し、支持枠体３６は機台２１に垂直な状態で設置されたガイド材３９に係合して垂直方向に移動するようになっている。
【００１８】
昇降部駆動部３７は機台２１に設置された駆動部４０と、支持枠体３５を昇降させる昇降部４１と、支持枠体３６を昇降させる昇降部４２とにより構成されている。
【００１９】
駆動部４０は出力軸に歯付きプーリ４４が取り付けられ機台２１に設置された駆動用のサーボモータ４３と、回転伝達用の歯付きベルト４４を案内するガイドプーリ４５〜５０とにより構成されている。
【００２０】
該サーボモータ４３に代えて、ステッピングモータ等の微量回転制御ができる電動機を使用することができる。
【００２１】
昇降部４１は雄ねじを有し、機台２１に設置されたブラケット５１に軸受５３、５４によって回転自在に取り付けられたねじ軸５２と、雌ねじと支持用鍔５５ａを有し、該ねじ軸５２の雄ねじに螺合するナット部材５５と、支持枠体３５にボルト（図示せず）によって一体的に取り付けられ、該ナット部材５５の支持用鍔５５ａにより支持された可動支持材５６と、ねじ軸５２の下端部に取り付けられた歯付きプーリ５７とにより構成されている。
【００２２】
該可動支持材５６はナット部材５５に対し間隙がない状態で円滑に上方に移動できるように嵌挿されている。
【００２３】
昇降部４２は昇降部４１と同一の部材によって形成され、該昇降部４１と向き合う状態で設置されている。
【００２４】
歯付きプーリ５７には歯付きベルト４４が張架され昇降部４１、４２のねじ軸５２が同時に回転されるようになっている。
【００２５】
そして、サーボモータ４３が作動して歯付きプーリ４４が正回転されるとナット部材５５と共に支持枠体３５、３６が上昇し、逆回転されるとナット部材５５と共に支持枠体３５、３６が下降することによって支持枠体３５、３６と共に機枠２３が所定の位置に移動される。
【００２６】
上述の機枠２３は支持枠体３５、３６に載置された状態になっており、該機枠２３の四隅に設置された緩衝手段５８によって連結されている。
【００２７】
該緩衝手段５８は支持枠体３５、３６に取り付けられた軸受（図示せず）に垂直自在に嵌挿され、上端部が機枠２３に取り付けられた軸体５９と、該軸体５９に取り付けられたばね受け６０と、該支持枠体３５とばね受け６０との間に保持されたばね６１とにより構成され、該ばね６１の弾性力によって機枠２３が支持枠体３５、３６に所定の力で当接するようになっている。
【００２８】
該機枠２３が他の部材によって持ち上げられると、バネ６１が圧縮されて機枠２３が支持枠体３５、３６から離反した状態になる。
【００２９】
マスク位置決め手段２６（２７）はマスク２００の端面位置決め部に当接する位置決め部を有し、ねじ軸（図示せず）が突設された位置決め片（図示せず）と、該ねじ軸（図示せず）に螺着されたナット（図示せず）とにより構成され、枠体３１の各辺部の所定位置に穿設された長穴に沿って移動させて保持しょうとするマスク２００の位置決め箇所に固定するようになっている。
【００３０】
マスク取り付け手段２８はマスク２００の保持部を有し、ねじ軸（図示せず）が突設された保持片（図示せず）と、該ねじ軸（図示せず）に螺着されたナット（図示せず）とにより構成され、枠体３１の各辺部の所定位置に穿設された孔に取り付けられている。
【００３１】
そして、マスク取り付け手段２８の保持片（図示せず）によってマスク２００を保持した状態でマスク位置決め手段２６（２７）により位置決めし、マスク取り付け手段２８のナット（図示せず）を締め付けて枠体３１に固定する。
【００３２】
上述の枠体３１の下面には間隙調整用の座板６２が所定位置に四箇所ボルト６３によって取り付けられている。
【００３３】
押圧手段３３は本体がブラケット６４によって機枠２３に取り付けられ、励磁または流体供給路の切り換えによってロッドが出没するアクチュエータ６５と、該ロッドに取り付けられた押圧部材６６とを備えた構成になっている。
【００３４】
そして、該ロッドが突出すると押圧部材６６によって支持部材２９、３０をガイド部材２４、２５に押圧させて固定する。
【００３５】
該アクチュエータ６５に代えて電動機あるいは回転アクチュエータの出力軸にねじを設け、該ねじに螺着されたナット部材を移動させ、該ナット部材によって支持部材２９、３０を押圧する構成のものを使用することができる。
【００３６】
枠体位置決め手段３４は本体がブラケット６７によって機枠２３に取り付けられ、励磁または流体供給路の切り換えによってロッドが出没するアクチュエータ６８と、位置決め用ピンが突設され、該ロッドに取り付けられた押圧部材６９とを備えた構成になっている。
【００３７】
そして、該ロッドが突出するとピンが支持部材２９、３０に穿設された位置決め用孔に挿入されると共に押圧部材６９によって支持部材２９、３０をガイド部材２４、２５に押圧させて予め設定された位置に固定する。
【００３８】
該枠体位置決め手段３４の押圧部材６９は押圧手段３３の押圧部材６６によって支持部材２９、３０をガイド部材２４、２５に押圧して確実に固定することができる場合は、押圧部材６９によって支持部材２９、３０を押圧せず、ピンによる位置決め操作のみを行う構成にすることができる。
【００３９】
上述のマスクステージ機構４の枠体３１にマスク２００を取り付ける場合は、押圧手段３３のアクチュエータ６５のロッドを引っ込めて押圧部材６６を上昇させると共に枠体位置決め手段３４のアクチュエータ６８のロッドを引っ込めて押圧部材６９を上昇させる。
【００４０】
該操作により支持部材２９、３０のガイド部材２４、２５に対する固定が解除されと取手３２を握って引き出し、該支持部材２９、３０がガイド部材２４、２５から引き出されると、作業台等の上で各マスク位置決め手段２６、２７のナット（図示せず）を緩めて位置決め片（図示せず）を保持するマスクの位置決め位置に移動させて該ナット（図示せず）を締め付けて固定する。
【００４１】
該各マスク位置決め手段２６、２７の位置決め操作が済むと、マスク取り付け手段２６のナット（図示せず）を緩めて予め準備してあるマスク２００をマスク位置決め手段２８の位置決め片（図示せず）に当接させて位置決めした状態でマスク取り付け手段２８のナット（図示せず）を締め付けて該マスク２００を枠体３１に固定する。
【００４２】
該操作により枠体３１にマスク２００を取り付けると、枠体３１を持って支持部材２９、３０をガイド部材２４、２５に乗せて押し込む。
【００４３】
そして、枠体３１が略所定の露光位置に押し込まれると枠体位置決め手段３４のアクチュエータ６８のロッドを突出させて押圧部材６９を下降させ、該押圧部材６９の下端面に突設されたピンを支持部材２９、３０に穿設されている位置決め用孔に挿入させて枠体３１の位置決めを行うと共に該押圧部材６９の下端面によって支持部材２９、３０を押圧して該支持部材２９、３０をガイド部材２４、２５に固定する。
【００４４】
次いで、押圧手段３３のアクチュエータ６５のロッドを突出させて押圧部材６６を下降させて該押圧部材６６によって支持部材２０、３０を押圧して該支持部材２９、３０をガイド部材２４、２５に固定する。
【００４５】
ワークステージ機構５は図２、図３に示されるように帯状ワーク３００を吸引保持する吸引テーブル７１が設置されたワークテーブル７０と、該ワークテーブル７０を挟んで川上側と川下側に設置され、帯状ワーク３００の搬送時に該帯状ワーク３００を吸引テーブル７１から持ち上げて支持する支持搬送手段７２、７３と、マスク２００の下面と吸引テーブル７１の保持面との間隔寸法を測定するための間隙測定手段７４〜７７と、間隙測定手段７４〜７７による測定結果に基づいて枠体３１を昇降させて間隙を調整するためのマスク枠体昇降調整手段７８〜８１とを備えた構成になっている。
【００４６】
該ワークテーブル７０と吸引テーブル７１を一つの部材によって形成すること、ワークテーブル７０が昇降する構成することは可能である。
【００４７】
また、ワークテーブル６８を、水平面上においてＸ方向およびＹ方向に移動すると共にθ方向に回転するＸＹθテーブル上に設置され、昇降手段によって該ＸＹθテーブルと共にＺ方向に昇降される構成にすることができる。
【００４８】
吸引テーブル７１は吸引用孔が上面の所定箇所に穿設され、排気用フアン、排気用管、管路切り換え弁等を有する排気手段（図示せず）が吸引用孔と連通するように接続されている。
【００４９】
支持搬送手段７２はワークテーブル７０の下面端部に取り付けられたブラケット８２と、ピストンロッドが上部に位置するように本体部が該ブラケット８２に取り付けられたシリンダー８３と、ピストンロッドの端部に取り付けられた支持具８４と、該支持具８４に回転自在に取り付けられたローラ８５とを備えた構成になっている。
【００５０】
該シリンダー８３には圧力調節器、切り替え弁、圧空供給用管等の圧空供給手段（図示せず）が接続されている。
【００５１】
支持搬送手段７３は支持搬送手段７２と同一の構成であり、支持搬送手段７２と対称な状態になるようにブラケット８２がワークテーブル７０に取り付けられている。
【００５２】
帯状ワーク３００がワークステージ機構５の吸引テーブル７１に吸引保持されているときはピストンロッドが引っ込んでローラ８５の上面が吸引テーブル７１の帯状ワーク３００の吸着保持面面と同一位置かあるいは吸着保持面面より下方に位置し、帯状ワーク３００を搬送するときはピストンロッドが突出して吸着面より上方でかつ帯状ワーク３００の上面がマスクに接触しない位置に移動する。
【００５３】
該支持搬送手段７２、７３のシリンダー８３に代えて押圧手段３３におけるアクチュエータを使用することは可能である。
【００５４】
上述の間隙測定手段７４〜７７は所定幅のライン状の半導体レーザー光をマスク２００の下面に向けて照射し、マスク２００の下面からの反射光を受光するセンサー８６と、該センサーのワーク保持表面部分の受光信号に基づいて間隙寸法値を演算する演算部（図示せず）とを備えた構成になっており、該センサー８６の測定基準位置は吸引テーブル７１のワーク吸着保持面になるようにブラケット８７によってワークテーブル７０の所定位置に取り付けられている。
【００５５】
マスク枠体昇降調整手段７８（７９）は図４に示されるように機台２１に設置されたブラケット８８と、雌ねじを有し、該ブラケット８８の上部に取り付けられたねじ軸受９０と、該ねじ軸受９０の下方に位置するようにブラケット８８取り付けられた軸受９１と、雄ねじ部が該ねじ軸受９０の雌ねじに螺合され、軸受９１に垂直方向に移動自在に取り付けられたねじ軸８９と、出力軸が上方に位置するようブラケット８８に設置された支持体９２に取り付けられたステッピングモータ９３と、該ねじ軸８９の下端部とステッピングモータ９３の出力軸を連結するカップリング９４と、出力軸が上方に位置するよう支持体９２に取り付けられたロータリーエンコーダ９５と、ステッピングモータ９３の回転検出軸と該ロータリーエンコーダ９５の出力軸を連結するカップリング９６とにより構成されている。
【００５６】
ねじ軸８９の雄ねじとねじ軸受９０の雌ねじとは微細ピッチでかつ高精度に加工する必要あり、マイクロメータのねじ部のような微細ピッチでかつ高精度にするのが好ましい。また、ねじ軸５２の雄ねじとナット部材５５の雌ねじもできるだけ微細ピッチでかつ高精度にするのが好ましい。
【００５７】
該カップリング９４はねじ軸８９がステッピングモータ９３の出力軸に対して近接離反することができ、しかも回転が伝達することができるようになっている。
【００５８】
該ステッピングモータ９３に代えてサーボモータ等の微量回転制御ができる電動機を使用することができる。
【００５９】
上述のマスク枠体昇降調整手段７８（７９）におけるねじ軸８９、ねじ軸受９０、ステッピングモータ９３等により枠体を垂直方向に移動させる構成に代えてリニアーモータにより枠体を昇降させる軸体等を垂直方向に微細移動させる構成にできることは言うまでもない。
【００６０】
マスク枠体昇降調整手段８０（８１）はマスク枠体昇降調整手段７８（７９）と同一の構成であり、マスク枠体昇降調整手段７８（７９）と向かい合う状態で機台２１に設置されている。
【００６１】
間隙想定手段７４〜７７によって測定された測定値信号は入力機能、記憶機能、比較演算機能、動作指定信号出力機能等を有するコンプータ等の制御装置（図示せず）に送られ、予め入力された基準間隙寸法、許容範囲値等と比較演算されてマスク枠体昇降調整手段７８〜８１のステッピングモータ９３に作動信号を送って該ステッピングモータ９３の出力軸を必要量回転させるようになっている。
【００６２】
該基準間隙寸法、許容範囲値、測定値等はＣＲＴ等に表示して作業者が確認できるようにするのが好ましい。
【００６３】
該マスク枠体昇降調整手段８０の近傍位置には枠体３１が最上部位置に移動されたことを検知するセンサー９７がブラケット８８に設置されている。
【００６４】
上述のマスクステージ機構４の枠体３１に装着されたマスク２００の下面とワークステージ機構５の吸引テーブル７１のワーク吸着保持面との間隙調整操作は、機枠初稿手段２２のサーボモータ４３を作動させてねじ軸５２を回転させてナット部材５５と共に支持枠体３５、３６が上昇して機枠２３が測定位置に移動されると、間隙測定手段７４のセンサー８６によって枠体３１に保持されたマスク２００の下面位置とワークステージ機構５の吸引テーブル７１のワーク吸着保持面との間隙寸法が測定され、予め設定された基準間隙寸法の許容値内は否か制御装置（図示せず）によって判定されて許容値を外れている場合はマスク枠体昇降調整手段７８のステッピングモータ９３に信号が送られてねじ軸８９が回転されながら突出して機枠２３の下面に取り付けられた座板６２に当接して必要とする位置まで押し上げられる。
【００６５】
このときのステッピングモータ９３の回転量はロータリーエンコーダ９５によって検出されて制御装置（図示せず）送られる。
【００６６】
該マスク枠体昇降調整手段７８による押し上げ動作が済むと間隙測定手段７４のセンサー８６によってマスク２００の下面位置とワークステージ機構５の吸引テーブル７１のワーク吸着保持面との間隙寸法が測定され、基準間隙寸法の許容値内は否か確認される。もしも、許容値を外れている場合はフイードバック制御によって再度ねじ軸８９によって必要量押し上げられる。
【００６７】
マスク枠体昇降調整手段７８による間隙寸法調整操作が済むと間隙測定手段７５のセンサー８６によって枠体３１に保持されたマスク２００の下面位置とワークステージ機構５の吸引テーブル７１のワーク吸着保持面との間隙寸法が測定され、マスク枠体昇降調整手段７９による間隙寸法調整操作が行われる。
【００６８】
そのため、５０〜１００μｍのような微少間隔寸法を容易にかつ確実に維持することができる。
【００６９】
全ての間隙測定手段７４〜７７による間隙寸法の測定とマスク枠体昇降調整手段７８による間隙寸法調整操作が済むと、送り出しリール機構１から帯状ワーク３００を引き出してマスクステージ機構４とワークステージ機構５の間に通して巻き取りリール機構２に掛け渡して露光処理を行う。
【００７０】
該間隙寸法調整操作を露光処理中も連続的あるいは所定の時間毎に行うと光照射機構３の照射光によってマスク２００が変形して間隙寸法が変化しても瞬時に修正することができ、ばらつきのない露光処理を行うことができる。
【００７１】
搬送機構６は機枠９９のワークステージ機構５側に設置され、帯状ワーク３００を挟持する可動爪を有する定位置挟持手段９８と、帯状ワーク３００を挟持し、機枠９９に形成されたレール１００に沿って帯状ワーク３００の搬送方向に移動するように設置され、帯状ワーク３００を挟持する可動爪を有する可動挟持手段１０１と、可動挟持手段１０１を待機位置から搬送端部位置に、搬送端部位置から待機位置に往復動させる駆動手段１０２とを備えた構成になっている。
【００７２】
該搬送機構６は駆動ローラとニップローラとを備え、帯状ワーク３００の幅方向の両端部を挟持して該帯状ワーク３００を間欠的に搬送する構成にすることができ、この場合送り手段１３、引き取り手段１４に代えて設置するのが好ましい。
【００７３】
上述の露光装置は帯状ワーク３００を間欠的に搬送しながら所定の箇所を露光処理する構成であるが、ワークが所定長さに切断された正方形あるいは長方形の枚葉状ワークをワークステージ機構５に１枚ずつ供給して露光処理する構成の露光装置に適用することができ、露光装置の構成等に限定されないことは言うまでもない。
【００７４】
【発明の効果】
本発明のプロキシミティ露光装置は請求項２に記載されているように露光光を照射する光照射機構と、パターンが形成されたマスクを保持する枠体を有するマスクステージ機構と、ワークを保持するワークステージ機構とを備えた露光装置において、前記枠体に装着されたマスクの下面とワークステージ機構のワーク保持面との間隙寸法を測定するための間隙測定手段が前記ワークステージ機構に設置されていると共に、間隙測定手段による測定結果に基づいて前記枠体を昇降させて間隙を調整するためのマスク枠体昇降調整手段を配設せしめた構成にしているため、枠体に装着されたマスクの下面とワークステージ機構のワーク保持面との間隙寸法を正確に測定して所定の間隙寸法に調整することができすると共にワークステージ機構の上流側および下流側に設置されているワーク搬送機構との関係に不都合が生じるのを防止することができる。
【００７５】
本発明のプロキシミティ露光装置は請求項２に記載されているような間隙測定手段が、マスク枠体昇降調整手段の設置個所に対応して設置された構成しているため、間隙調整操作を連続的または必要時に迅速に行うことができ、請求項３に記載されているような間隙測定手段が、所定幅のライン状の半導体レーザー光を照射し、反射光を受光するセンサーと、該センサーのワーク保持表面部分の受光信号に基づいて間隙寸法値を演算する演算部とを備えた構成しているため、埃等を検出しないと共に誤差を生じず間隙寸法を正確に測定することができ、請求項４に記載されているようなマスク枠体昇降調整手段が、機枠に設置された雌ねじが穿設さらたナットと、前記機枠に形成されたガイドに沿って昇降する可動フレームと、出力軸または該出力軸に連結された軸体に前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成され、出力軸または軸体の先端部が前記枠体の下面に当接可能なように前記可動フレームに設置された電動機と、出力軸の回転量を検出するセンサーとを備えた構成にしているため、マスク枠体を迅速にかつ正確に昇降させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプロキシミティ露光装置の構成の１実施形態を示す概略図である。
【図２】図１におけるマスクステージ機構とワークステージ機構の構成の１実施形態を示す概略断面図である。
【図３】図２におけるＩ−Ｉ矢視概略図である。
【図４】図３における間隙調整手段の構成の１実施形態を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１　送り出しリール機構
２　巻き取りリール機構
３　光照射機構
４　マスクステージ機構
５　ワークステージ機構
６　搬送機構
２２　機枠昇降手段
２３　機枠
２６、２７　マスク位置決め手段
２８　マスク取り付け手段
３１　枠体
３４　枠体位置決め手段
３５、３６　支持枠体
３７　昇降駆動部
４０　駆動部
４１、４２　昇降部
４３　サーボモータ
５１、８８　ブラケット
５２、８９　ねじ軸
５３、５４、９１　軸受
５５　ナット部材
５６　可動支持部材
５８　緩衝手段
７８、７９、８０、８１　マスク枠体昇降調整手段
９０　ねじ軸受
９３　ステッピングモータ
９５　ロータリーエンコーダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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