(57)【要約】【課題】液晶表示品質の向上した電気光学装置の製造装置を提供することを課題とする。【解決手段】第１基板１の表面に液晶領域を画成する堰部５０を形成する堰形成手段５１と、堰部５０の内側に所定量の液晶３を液滴吐出する液滴吐出手段５２と、該堰部５０の外周側に位置し、第１基板１に対向する第２基板４をシールするシール部２を形成するシール部形成手段５３と、上記第１基板１に形成されたシール部２に第２基板４を重合わせ、真空雰囲気５４中で押圧する押圧手段５５とを有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板の表面に液晶領域を画成する堰部を形成する堰形成手段と、
該堰部の外周側に位置すると共に、第１基板に対向する第２基板をシールするシール部を形成するシール部形成手段と、
堰部の内側に所定量の液晶を滴下する液滴吐出手段と、
上記第１基板に形成されたシール部に第２基板を重合わせ・押圧する押圧手段と、を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項２】
第１基板の表面に液晶領域を画成する堰部を形成する堰形成手段と、
該堰部の外周側に位置すると共に堰部よりも高さが高く、第１基板に対向する第２基板をシールするシール部を形成するシール部形成手段と、
堰部の内側に所定量の液晶を滴下する液滴吐出手段と、
上記第１基板に形成されたシール部に第２基板を重合わせ・押圧する押圧手段と、を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
上記堰部とシール部とが隣接していることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１つにおいて、
上記堰部が撥液化されていることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１つにおいて、
上記堰部とシール部とが同一材料からなることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１つにおいて、
上記シール材が間隙保持粒子を含む接着剤よりなることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１つにおいて、
上記シール材の設置後、基板上に間隙保持粒子を散布してなることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１つにおいて、
上記塗布液に間隙保持粒子を分散してなることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１つにおいて、
上記シール材が熱硬化型接着剤又は光硬化型接着剤であることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項１０】
第１の液晶表示要素を設けた第１基板の表面に液晶領域を画成する堰部の外周側に、第１基板に対向する第２の液晶表示要素を設けた第２基板をシールするシール部を配置させ、上記第２基板を貼り合わせてなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
上記堰部とシール部とが隣接してなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０又は１１において、
上記堰部が撥液性の材料からなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１０において、
上記堰部とシール部とが同一の材料からなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
請求項１０又は１１において、
上記堰部が撥液性処理してなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１乃至９のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造装置を用いて製造されてなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１６】
請求項１乃至９のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造装置を用いて製造されてなる電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学装置の製造装置に係り、特に液晶表示品質の向上を図る電気光学装置を提供する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶装置は、一般に、一対の基板間に液晶を封入した構造の液晶表示パネルに、バックライト等といった照明装置や液晶駆動用ＩＣ等といった付加機器を付設することによって形成される。
また、液晶表示パネルは、一般に、図１０に示すように、第１電極が形成された第１基板１と第２電極が形成された第２基板４とをシール部２によって互いに貼り合わせ、それらの基板１，４間に形成される間隙、いわゆるセルギャップ内に液晶３を封入することによって形成される。なお、符号５は液晶注入後に注入口を封止する封止部である。
【０００３】
前記液晶は一般にいわゆる注入法によりセルギャップ内に封入されている。
ここで、液晶注入法とは、真空下で、液晶注入口から液晶を圧力差により注入する方法であり、液晶を充填する方法は以下の通りであった。
まず封じる前の液晶表示素子（以下液晶表示セルという）を真空中で十分脱気した後、液晶で注入口を封じる。このようにした液晶表示セルを大気中に戻し、液晶表示セル内外の圧力差と表面張力を利用して充填するものであった。
このため液晶表示素子が大きくなると非常に時間がかかることになる。対角で１ｍ以上の大型の基板になると１日以上にも及ぶことになり、製造上現実的でない、という問題がある。
【０００４】
そこで、従来では、液晶を注入する代わりに、図１１に示すように枠状のシール部２を形成してなる第１の基板１の枠内に、例えばインクジェット法による液滴吐出ヘッドを用いて液晶３を吐出し、その後、対向する第２基板４を貼り合わせることが提案されている（特許文献１、特許文献２、特許文献３）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平０５−２８１５６２号公報
【特許文献２】
特開平１０−２２１６６６号公報
【特許文献３】
特開２００１−１８３６７４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記特許文献１乃至３にかかる従来のインクジェット法においては、未硬化のシール部と液晶とが接触するので、液晶中に不純物が混入し、液晶表示品質が低下するという、という問題がある。
【０００７】
本発明は、前記問題に鑑み、表示品質の高い電気光学装置の製造装置、電子光学装置及び電子機器を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、第１基板の表面に液晶領域を画成する堰部を形成する堰形成手段と、該堰部の外周側に位置すると共に、第１基板に対向する第２基板をシールするシール部を形成するシール部形成手段と、堰部の内側に所定量の液晶を滴下する液滴吐出手段と、上記第１基板に形成されたシール部に第２基板を重合わせ・押圧する押圧手段と、を有することを特徴とする。これにより、堰部を形成した液晶領域とシール部とを隔離するようにしているので、液晶にはシール部からの不純物等の混入がなくなり、液晶表示品質が低下することが解消される。また、上記シール部は堰部よりも高さを高くするようにして、密着性を向上させるようにしてもよい。
【０００９】
上記堰部とシール部とが隣接していることにより、コンパクト化を図ることができ、液晶表示領域が減少することがない。また、上記堰部とシール部とを同一材料とするようにしてもよい。また、堰部形成後に撥液化し、濡れ性を悪くするようにしてもよい。
【００１０】
上記シール材が間隙保持粒子を含む接着剤よりなることで基板間隔を一定に保つことができ、基板間のギャップムラによる液晶パネルの表示品質の低下を防ぐことができる。
【００１１】
上記シール材の設置後、基板上に間隙保持粒子を散布してなることで、基板間隔を均一に保持でき、基板間のギャップムラによる液晶パネルの表示品質の低下を防ぐことができる。
【００１２】
上記塗布液に間隙保持粒子を分散してなることで、間隙保持粒子を散布する工程を省くことができると共に、基板間隔を一定に保つことができ、基板間のギャップムラによる液晶パネルの表示品質の低下を防ぐことができる。
【００１３】
上記シール材が熱硬化型接着剤又は光硬化型接着剤とすることにより、加熱もしくは光照射などの容易な手段で高いシール強度を確保することが可能となる。
【００１４】
本発明の電気光学装置は、第１の液晶表示要素を設けた第１基板の表面に液晶領域を画成する堰部の外周側に、第１基板に対向する第２の液晶表示要素を設けた第２基板をシールするシール部を配置させ、上記第２基板を貼り合わせてなることを特徴とする。これにより、堰部を形成した液晶領域とシール部とが接触することがないので、液晶にはシール部からの不純物等の混入がなくなり、液晶表示品質が低下することが解消される。
【００１５】
上記堰部とシール部とが隣接していることにより、電気光学装置のコンパクト化を図ることができる。また、上記堰部とシール部とを同一材料とするようにしてもよい。また、堰部形成後に撥液化処理し、濡れ性を悪くするようにしてもよい。
【００１６】
上記堰部が撥液性の材料からなるようにして、濡れ性を悪くするようにしてもよい。
【００１７】
上記電気光学装置の製造装置を用いて品質の向上した電気光学装置を製造することができる。
【００１８】
上記電気光学装置の製造装置を用いて製造されてなる品質の向上電気光学装置を備える電子機器を得ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の内容を発明の実施形態により詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２０】
図１は本実施形態にかかる電気光学装置の製造装置の概略図である。図２は製造工程の概略図である。図３は他の電気光学装置の概略図である。図４は液晶パネルの構成図である。図５は液晶と塗布する薄膜形成装置の概略図である。図６及び図７は液滴吐出ヘッドの概略図である。図８はパーソナルコンピュータの斜視図である。図９は携帯電話の斜視図である。
【００２１】
［第１の実施の形態］
先ず、図４を参照して本発明にかかる電気光学装置である液晶表示パネルの構成について説明する。本実施の形態にかかる液晶表示パネル１００は、対向配置された第１基板１と第２基板４とを有するものであり、第１基板１及び第２基板４の内側面には、それぞれ液晶表示要素１０６、１０７が形成されている。
【００２２】
具体的には、図４に示すように、第１基板１には、反射膜（アルミニウム、銀等）１０１、カラーフィルタ（ＣＦ）１０２、オーバーコート（ＯＶＣ）層１０３、透明電極１０４及び配向膜１０５が順次形成され、第１基板側の液晶表示要素１０６としている。
一方の対向する第２基板４には、透明電極１０４及び配向膜１０５が形成されている。透明電極１０４はＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）その他の透明電極材料によって形成され、所定のパターンが加工され、第２基板側の液晶表示要素１０６としている。配向膜１０５は例えばポリイミド（ＰＩ）等の膜が形成され、配向処理（ラビング処理）がなされている。
【００２３】
このようにして液晶表示要素が各々形成された第１基板１と第２基板４とは、両基板間の内周囲に間隙保持粒子１１０を分散したシール部２が略矩形状に施され、スペーサである間隙保持粒子１１１により所定の間隙、いわゆるセルギャップをもって封着されている。そして、このシール部２によって、第１基板１と第２基板４との間に液晶領域が画成されている。
【００２４】
以下、本実施の形態にかかる電気光学装置の製造装置について図１及び図２を参照して説明する。
【００２５】
本実施の形態にかかる電気光学装置の製造装置は、図１及び図２に示すように、第１基板１の表面に液晶領域を画成する堰部５０を形成する堰形成手段５１と、堰部５０の内側に所定量の液晶３を液滴吐出する液滴吐出手段５２と、該堰部５０の外周側に位置すると共に堰部５０よりも高さが高く、第１基板１に対向する第２基板４をシールするシール部２を形成するシール部形成手段５３と、上記第１基板１に形成されたシール部２に第２基板４を重合わせ、真空雰囲気５４中で押圧する押圧手段５５とを有するものである。
【００２６】
上記堰部５０は液晶との撥液性の高いものが好ましく、例えばフッ素系ガスプラズマ処理手段等の撥液化手段により、液晶との濡れ性を悪くなるようにしている。また、フッ素系樹脂を用いるようにしてもよい。
ここで、上記フッ素系ガスプラズマ処理手段による表面処理としては、例えば導入ガスにフッ素またはフッ素化合物を含むガスを使用し、フッ素化合物及び酸素を含む減圧雰囲気下あるいは大気圧雰囲気下でプラズマ照射をする減圧プラズマ処理や大気圧プラズマ処理が挙げられる。フッ素またはフッ素化合物を含むガスとしては、ＣＦ４，ＳＦ６，ＣＨＦ３等が挙げられる。
【００２７】
上記堰部５０は、例えばディスペンサー、スクリーン印刷、インクジェット印刷等の方法により、形成することができる。また、堰部形成後、例えば加熱処理等により、上記堰部を固化させるようにしてもよい。
このように、堰部５０を形成しているので、液晶３を塗布しても、従来のような封止材であるシール部２と接触することがなく、該シール部からの不純物等が混入するという影響がなく、液晶表示品質の向上を図ることができる。
【００２８】
次に、本実施の形態の液晶を塗布する薄膜形成装置１０の一例を図５乃至７に示す。図５に示すように、液晶表示装置においてその基板上に形成される薄膜（液晶）を形成するために用いられるもので、本実施の形態においては、液晶表示要素１０６が形成された第１基板１の表面側に枠状に形成されたシール部２を形成した内部に液晶３を吐出するものである。その後、対向する液晶表示要素１０７が形成された第２基板４を貼合わせ、図４に示すような液晶表示装置を形成するものである。
【００２９】
ここで、シール部を形成するシール剤としては市販の接着材を代用する事が出来るが、基板間の厚みを保持し、液晶の量を規定するために間隙保持粒子を分散した接着剤を用いれば好適である。
【００３０】
また、シール部を形成後、該基板上に間隙保持粒子散布することにより、基板間隔を均一に保持するようにしてもよい。
【００３１】
また、間隙保持粒子を分散した液晶を液滴吐出装置により吐出することにより、間隙保持粒子を散布する工程を省くようにしてもよい。
【００３２】
上記シール剤としては、熱硬化型接着材や光硬化型接着材を用いることができ、間隙保持粒子としては、シリカ粒子、ポリスチレン粒子等のプラスチック粒子、シリカ粒子の回りに熱可塑性樹脂をコーティングした粒子等を用いることができる。そして、基板上に形成された枠状のシール部により囲まれた部分に、所定量の液晶を液滴吐出ノズルにより平面状に塗布する。
【００３３】
このようにして得た基板と、他方の基板を貼り合わせた後、接着剤を硬化させることにより液晶表示素子を得ることが出来る。貼り合わせる条件としては真空下で行えば尚好適である。
【００３４】
本実施の形態にかかる薄膜形成装置１０は、図５に示すように、液晶表示要素が形成された第１基板１の表面に例えば液晶等の塗布液１１を吐出する液滴吐出ヘッド１２を有する液滴吐出手段１３と、該液滴吐出ヘッド１２と基板１との位置を相対的に移動させる移動手段１４と、液滴吐出手段１３及び移動手段１４を制御する制御手段１５とを具備してなるものである。
【００３５】
上記移動手段１４は、図５に示すように、基板ステージ１６上に載置された基板１の上方に、液滴吐出ヘッド１２を下方側に向けて支持すると共に移動自在のステージ１８によりＸ軸方向に移動自在のヘッド支持部１７と、上方の液滴吐出ヘッド１２に対して基板ステージ１６と共に基板をＹ軸方向に移動させるステージ駆動部１９とから構成されている。
【００３６】
上記ヘッド支持部１７は、液滴吐出ヘッド１２を基板１に対してその鉛直軸方向（Ｚ軸）に任意の移動速度で移動可能且つ位置決め可能な例えばリニアモータ等の機構と、鉛直軸を中心に液滴吐出ヘッド１２を回転させることによって下方の基板１に対して任意な角度に設定可能なステッピングモータ等の機構とを備えたものである。
【００３７】
上記ステージ駆動部１９は、鉛直軸を中心に基板ステージ１６を回転させて上方の液滴吐出ヘッド１２に対して任意な角度に設定可能なθ軸ステージ２０と、基板ステージ１６とを液滴吐出ヘッド１２に対して水平方向（Ｙ方向）に移動させ且つ位置決めするステージ２１とを備えている。なお、θ軸ステージ２０は、ステッピングモータ等から構成され、ステージ２１はリニアモータ等から構成されている。
【００３８】
上記吐出手段１３は、液滴吐出ヘッド１２とこれにチューブ２２を介して接続されたタンク２３とを備えている。タンク２３は塗布液１１を貯留するものである、チューブ２２を介してこの塗布液１１を液滴吐出ヘッド１２に供給するものとなっている。このような構成によって液滴吐出手段１３は、タンク２３に貯留された塗布液１１を液滴吐出ヘッド１２から吐出し、これを基板１上に塗布するようにしている。上記液滴吐出ヘッド１２は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮し、その圧力で液滴（液状材料）を吐出させるものであり、一列又は複数列に配列された複数のノズル（ノズル孔）を有している。
【００３９】
この液滴吐出ヘッド１２の構成の一例について図６、図７を参照して説明する。図６、図７に示すように、液滴吐出ヘッド１２は、例えばステンレス製のノズルプレート３１と振動版３２とを備え、仕切り部材（リザーバプレート）３３を介して両者を接合したものである。ノズルプレート３３と振動板３２との間には、仕切り部材によって複数の空間３４と液溜まり３５とが形成されている。各空間３４と液溜まり３５の内部は液状材料（図示せず）で満たされており、各空間３４と液溜まり３５とは供給口３６を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３１には、各空間３４から液状材料１１を噴射するための微小孔のノズル３７が形成されている。一方、振動板３２には、液溜まり３５に塗布液１１を供給するための孔３７が形成されている。
【００４０】
振動板３２の空間に対向する面と反対側の面上には、図６、図７に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）３８が接合されている。この圧電素子３８は、図７に示すように一対の電極３９，３９の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するように撓曲するようになっている。そして、このような構成のもとに圧電素子３８が接合されている振動板３２は、圧電素子３８と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３４の内部容積が増大するようになっている。したがって、空間３４内に増大した容積分に相当する液状材料が液溜まり３５から供給口３６を介して流入する。また、このような状態から圧電素子３８への通電を解除すると、圧電素子３８と振動板１３とは共に元の形状に戻る。したがって、空間３４も元の容積に戻ることから、空間内部の塗布液１１の圧力が上昇し、ノズル３７から基板１に向けて液状材料の噴霧状液滴が吐出される。
【００４１】
なお、液滴吐出ヘッド１２の方式としては、上述したような圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、超音波モータ，リニアモータ等により、振動を付与し、またはタンク内に圧力を印加することにより、上記微小穴から塗布液１１である液晶を射出させるようにしてもよい。ここで、タンク内の液晶は、前もって脱泡処理されていることが望ましい。尚、液滴吐出ヘッド１３は、タンク内の液晶ないしは液晶と低粘性揮発性液体の混合物を加熱して、該物質の膨張・発泡により、微小穴から液晶を射出させる、所謂バブルジェット（Ｒ）方式として構成されていてもよい。
【００４２】
上記制御手段１５は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータ等によって構成されたものであり、図５に示したように、液滴吐出手段１３及び移動手段１４にそれぞれ電気的に接続されたことにより、液滴吐出手段１３による吐出動作、及び移動手段１４による移動動作の少なくとも一方、本実施の形態では両方を制御するものとなっている。
そして、このような構成により、液状吐出液の吐出条件を調整し、形成する薄膜（液晶）の塗布量を制御するようにしている。
【００４３】
すなわち、制御手段１５は、上記塗布量を制御する機能として、基板に対する液状吐出液の吐出間隔を調整する制御機能と、１ドットあたりの液状吐出液の吐出量を調整する制御機能と、ノズルの配列方向と移動機構による移動方向との角度（θ）を設定する制御手段と、基板上を複数の領域に分けて各領域に吐出条件を設置する制御機能とを備えている。
【００４４】
さらに、制御手段１５は、上記吐出間隔を調整する制御機構として、基板１と液滴吐出ヘッド１２との相対的な移動の速度を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、移動手段における吐出の時間間隔を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、複数のノズルのうち同時に塗布液を吐出させるノズルを任意に設定して吐出間隔を調整する機能とを備えている。
【００４５】
また、塗布液１１である液晶の温度を上げ流動性を確保するために、必要に応じてタンク、チューブ、液滴吐出ヘッドを加温する加温手段を設けるようにしてもよい。塗布液１１の粘度はインクジェット方法の場合には、好ましくは２０ｍＰａ・ｓ以下とするのがよく、液晶の場合には約６０度程度に加温することで１２ｍＰａ・ｓ程度となるようにしている。ノズル孔の孔径は例えば２７〜２８μｍ程度としている。
【００４６】
本実施の形態の液晶表示装置の製造は、液晶要素１０６を形成した第１基板１に例えばディスペンサ等により熱硬化性の堰部５０を形成する。この際、基板間のギャップを均一に維持するために、堰部５０中に間隙保持粒子を含ませるようにしてもよい。その後、基板を焼成炉で１２０℃で１０分間加熱することで、堰部５０を硬化させる。
その後、薄膜形成装置１０を用いて、液晶を堰部５０内の液晶領域内に塗布する。この際基板間のギャップを均一に保持するために、液晶中に間隙保持粒子を含ませるようにしてもよい。この際、液晶の塗布量は液晶層の塗布後の上端面と堰部の上端面とがほぼ同じ高さとなるようにすることが望ましい。
次に、堰部５０の外側にシール部２を例えばディスペンサー等により形成する。この際、基板間のギャップを均一に保持するために、シール部２に間隙保持粒子を含ませるようにしてもよい。
尚、図３に示すように、シール部２は堰部５０と密着するように隣接して形成させることが好ましい。これにいより、基板の液晶表示面積を十分に確保することができる。
【００４７】
また、シール部２は硬化後の堰部５０より膜厚が厚く形成することが望ましい。これにより、シール性を向上させている。
【００４８】
その後、対向する第２の液晶表示要素１０７が形成された第２基板４を位置決め調整しながら貼合わせ、真空中で押圧して貼合わせを行い、加熱炉で１２０℃で１０分間加熱し、両基板を接着し、電気光学装置を得る。
【００４９】
本実施の形態では、塗布液１１を液晶として説明したが、本発明では液晶に限定されるものではなく、例えば有機ＥＬ用のインク材料（正孔材料、発光材料）を用いた場合にも適用することができる。
【００５０】
［第２の実施の形態］
次に、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器の具体例について図８及び図９を参照して説明する。
【００５１】
まず、本発明に係る液晶表示パネルを、可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）の表示部に適用した例について説明する。図８は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ９１は、キーボード９１１を備えた本体部９１２と、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部９１３とを備えている。
【００５２】
続いて、本発明に係る液晶表示パネルを、携帯電話機の表示部に適用した例について説明する。図９は、この携帯電話機の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、携帯電話機９２は、複数の操作ボタン９２１のほか、受話口９２２、送話口９２３とともに、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部９２４を備える。
【００５３】
なお、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器としては、図８に示したパーソナルコンピュータや図９に示した携帯電話機の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルスチルカメラなどが挙げられる、特に限定されるものではない。
【００５４】
また、上述した実施形態では、電気光学装置として、液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態にかかる電気光学装置の製造装置の概略図である。
【図２】第１の実施の形態にかかる電気光学装置の製造工程の概略図である。
【図３】他の実施の形態にかかる電気光学装置の概略図である。
【図４】液晶パネルの構成図である。
【図５】第１の実施の形態にかかる薄膜形成装置の概略図である。
【図６】第１の実施の形態にかかる液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図７】第１の実施の形態にかかる液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図８】パーソナルコンピュータの斜視図である。
【図９】携帯電話の斜視図である。
【図１０】液晶パネルの概略図である。
【図１１】液晶インクジェット法の工程概略図である。
【符号の説明】
１・・・第１基板、２・・・シール部、３・・・液晶、４・・・第２基板、１０・・・薄膜形成装置、１１・・・塗布液、１２・・・液滴吐出ヘッド、１３・・・液滴吐出手段、１４・・・移動手段、１５・・・制御手段、５０・・・堰部、５１・・・堰形成手段、５２・・・液滴吐出手段、５３・・・シール部形成手段、５４・・・真空雰囲気、５５・・・押圧手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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