(57)【要約】【課題】燃料ガスを無駄に消費させることなく、燃焼器の冷却や凝縮水の発生を有効に防止して、燃焼器の着火を確実に行えるようにする。【解決手段】燃料電池スタック１からのカソード排ガスを燃焼器９をバイパスさせるためのカソード排ガスバイパス流路１０を設け、燃焼器９に燃料電池スタック１からのアノード排ガスが供給されない場合には、このカソード排ガスバイパス流路１０によってカソード排ガスを燃焼器９からバイパスさせる。そして、燃焼器９にアノード排ガスが供給されるときは、その状態量の変化に応じて、適切な流量及びタイミングでカソード排ガスが燃焼器９に供給されるようにする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料ガスが供給されるアノード極と、酸化剤ガスが供給されるカソード極とを備え、これら燃料ガスと酸化剤ガスの供給により発電が行われる燃料電池スタックと、
前記アノード極から排出されるアノード排ガスと前記カソード極から排出されるカソード排ガスとの混合ガスを燃焼させる燃焼器と、
前記カソード排ガスを前記燃焼器をバイパスして流通させるカソード排ガスバイパス流路と、
前記燃焼器に供給するアノード排ガスの流量制御を行うアノード排ガス流量制御手段と、
前記燃焼器に供給するカソード排ガスの流量制御を行うカソード排ガス流量制御手段とを有し、
前記燃焼器に前記アノード排ガスが供給されない場合に、前記カソード排ガスバイパス流路により前記カソード排ガスが前記燃焼器をバイパスすることを特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
前記燃焼器に供給されるアノード排ガスの流量に関する状態量の変化に基づいて、前記燃焼器に供給されるカソード排ガスの流量が制御されることを特徴とする請求項１に記載の燃料電池システム。
【請求項３】
前記カソード排ガスとアノード排ガスとがほぼ同時に前記燃焼器に供給開始されるように前記カソード排ガスの流量が制御されることを特徴とする請求項２に記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記アノード排ガス流量制御手段が動作してから前記燃料器に前記アノード排ガスが供給されるまでの時間遅れに基づいて、前記燃焼器への前記カソード排ガスの供給が開始されることを特徴とする請求項３に記載の燃料電池システム。
【請求項５】
前記燃焼器の直前に当該燃焼器に供給される前記アノード排ガスの流量を検出する流量検出手段を備え、
前記流量検出手段の出力に基づいて、前記燃焼器への前記カソード排ガスの流量が制御されることを特徴とする請求項３に記載の燃料電池システム。
【請求項６】
前記燃焼器の直前に当該燃焼器に供給される前記アノード排ガスの圧力を検出する圧力検出手段を備え、
前記圧力検出手段の出力に基づいて、前記燃焼器への前記カソード排ガスの流量が制御されることを特徴とする請求項３に記載の燃料電池システム。
【請求項７】
前記燃焼器に供給される前記アノード排ガスの流量と前記カソード排ガスの流量との比率が所望の値となるように、前記燃焼器への前記カソード排ガスの流量が制御されることを特徴とする請求項２乃至６の何れかに記載の燃料電池システム。
【請求項８】
前記比率は、前記アノード排ガスが前記燃焼器に安定供給されている間は、前記燃焼器の燃焼温度が当該燃焼器の特性により決まるような範囲とし、
前記カソード排ガスと前記アノード排ガスとが前記燃焼器へ供給開始された直後は、前記燃焼器の着火を促進する範囲とすることを特徴とする請求項７に記載の燃料電池システム。
【請求項９】
前記燃料ガスを再利用する燃料循環流路を有することを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の燃料電池システム。
【請求項１０】
車両に搭載されて車両の駆動動力源として用いられることを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載の燃料電池システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、燃料電池スタックから排出される燃料ガスを燃焼する燃焼器を備えた燃料電池システムに関するものであり、特に、燃焼器に液水が流入しないようにして燃焼器の着火をより確実に行うための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の環境問題、特に自動車の排出ガスによる大気汚染や二酸化炭素による地球温暖化の問題等に対する対策として、クリーンな排気及び高エネルギ効率を可能とする燃料電池技術が注目を浴びている。
【０００３】
燃料電池システムは、燃料となる水素あるいは水素リッチな改質ガス及び酸素（空気）を燃料電池スタックのアノード極（燃料極）及びカソード極（空気極）に供給して電気化学反応を起こし、化学エネルギを電気エネルギに変換するエネルギー変換システムである。このとき、供給された水素は燃料電池スタックで全て消費されるわけではなく、アノード極からの排ガス（アノード排ガス）にはある程度の濃度の水素が含まれている。そこで、このアノード排ガスを例えば燃焼器で燃焼して大気中に放出することが行われており、さらにはその熱を有効利用する試みがなされている（例えば、特許文献１等を参照）。
【０００４】
前記特許文献１記載の発明では、燃料電池スタックから排出されるオフガスを触媒燃焼器で燃焼させ、その燃焼オフガスを蒸発器に導入して改質用原燃料や改質用空気と熱交換させている。さらには、燃焼オフガスをオフガス加熱器に導入して、燃料電池スタックから排出されたオフガスを加熱するための熱源としている。燃焼オフガスによって燃料電池スタックからのオフガスを加熱することにより、オフガス中の水を気化させて触媒燃焼器に導入することができ、凝縮水の発生を防止することができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１９８０７６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記特許文献１記載の技術では、燃料電池スタックから排出されるカソード排ガスとアノード排ガスを燃焼器からの排気で加熱するという構成になっているため、燃焼器で常に熱を発生する必要がある。したがって、燃焼器に常時アノード排ガスや燃料電池スタックに供給する前の未反応の燃料ガスを供給する必要がある。燃料改質を行う燃料改質型の燃料電池システムでは、改質器に常時熱を供給する必要があることから、前記のように燃焼器で常に水素を燃焼させることに問題はないが、ダイレクト水素方式の燃料電池システムでは、燃料ガスである水素を無駄に消費してしまうことになる。
【０００７】
通常、ダイレクト水素方式の燃料電池システムでは、アノード排ガスを再利用するための燃料循環流路を設け、不純物の濃度が上昇した時にのみ流路内のアノード排ガスをパージするようにしている。これ以外の時に燃焼器で水素を燃焼することは、水素の無駄な消費につながる。
【０００８】
そこで、通常時はカソード排ガスのみを燃焼器に供給し、何らかの要因でアノード排ガスを排出する時にのみ、例えば前記パージの時にのみ、燃焼器にてカソード排ガスとアノード排ガスとを燃焼させることも考えられる。
【０００９】
しかしながら、通常時はカソード排ガスのみを燃焼器に供給する方式の燃料電池システムの場合、カソード排ガスのみを供給する状態では燃焼が行われないため燃焼器の温度が低下することと、カソード排ガス中の水分が燃焼器内部で凝縮することの両要因により、アノード排ガスを燃焼器に供給した際に着火の妨げになるという問題が生ずる。
【００１０】
本発明は、このような従来技術の有する欠点を解消することを目的として提案されたものであり、燃料ガスを無駄に消費することなく、しかも燃焼器の冷却や凝縮水の発生を防止して燃焼器の着火を確実に行うことが可能な燃料電池システムを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の燃料電池システムは、燃料ガスが供給されるアノード極と、酸化剤ガスが供給されるカソード極とを備え、これら燃料ガスと酸化剤ガスの供給により発電が行われる燃料電池スタックと、前記アノード極から排出されるアノード排ガスと前記カソード極から排出されるカソード排ガスとの混合ガスを燃焼させる燃焼器と、前記カソード排ガスを前記燃焼器をバイパスして流通させるカソード排ガスバイパス流路と、前記燃焼器に供給するアノード排ガスの流量制御を行うアノード排ガス流量制御手段と、前記燃焼器に供給するカソード排ガスの流量制御を行うカソード排ガス流量制御手段とを有する。そして、前記燃焼器に前記アノード排ガスが供給されない場合に、前記カソード排ガスバイパス流路により前記カソード排ガスが前記燃焼器をバイパスすることを特徴とする。
【００１２】
本発明の燃料電池システムでは、燃焼器での燃焼は、燃焼器にアノード排ガスが供給された時にのみ行われる。燃焼器にアノード排ガスが供給されない場合には、カソード排ガスはカソード排ガスバイパス流路を流通し、燃焼器をバイパスする。
【００１３】
【発明の効果】
本発明の燃料電池システムでは、燃焼器での燃焼は、燃焼器にアノード排ガスが供給された時にのみ行われるので、燃料ガスが無駄に消費されることがない。また、燃焼器にアノード排ガスが供給されない場合には、カソード排ガスはカソード排ガスバイパス流路により燃焼器をバイパスすることから、常温の燃焼器に湿度の高いカソード排ガスが流入することがなく、燃焼器内部で凝縮水が発生する不都合も抑制される。
【００１４】
したがって、本発明の燃料電池システムによれば、燃料ガスを無駄に消費することなく、しかも燃焼器の冷却や凝縮水の発生を防止して燃焼器の着火を確実に行うことが可能である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用した燃料電池システムの実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１６】
（第１の実施形態）
図１は、本実施形態の燃料電池システムの要部構成を示す概略構成図である。この燃料電池システムは、車両に搭載されて車両の駆動動力源として用いられる発電システムであり、発電を行う燃料電池スタック１と、この燃料電池スタック１に燃料ガスを供給する燃料供給系と、燃料電池スタック１に酸化剤ガス（空気）を供給する空気供給系とを備える。特に、この燃料電池システムは、燃料供給系から燃料電池スタック１に燃料ガスとして水素ガスが直接供給されるダイレクト水素方式の燃料電池システムとして構成されている。
【００１７】
燃料電池スタック１は、水素ガスが供給されるアノード極１ａと酸化剤ガス（空気）が供給されるカソード極１ｂとが電解質・電極触媒複合体を挟んで重ね合わされて発電セルが構成されるとともに、複数の発電セルが多段積層された構造を有し、電気化学反応により化学エネルギーを電気エネルギーに変換する。アノード極１ａでは、水素ガスが供給されることで水素イオンと電子に解離し、水素イオンは電解質を通り、電子は外部回路を通って電力を発生させ、カソード極１ｂにそれぞれ移動する。カソード極１ｂでは、供給された空気中の酸素と上記水素イオン及び電子が反応して水が生成し、外部に排出される。
【００１８】
燃料電池スタック１の電解質としては、高エネルギー密度化、低コスト化、軽量化等を考慮して、例えば固体高分子電解質膜が用いられる。固体高分子電解質膜は、例えばフッ素樹脂系イオン交換膜等、イオン（プロトン）伝導性の高分子膜からなるものであり、飽和含水することによりイオン伝導性電解質として機能する。
【００１９】
燃料供給系は、水素供給流路２、エゼクタ３、アノード排ガス排気流路４及び水素循環流路５を有している。そして、水素供給源（図示は省略する。）から供給される水素ガスが、水素供給流路２及びエゼクタ５を通って燃料電池スタック１のアノード極１ａに供給されるようになっている。燃料電池スタック１では供給された水素ガスが全て消費されるわけではなく、残った水素ガス（燃料電池スタック１のアノード極１ａから排出される水素ガス）は、水素循環流路５を通ってエゼクタ３により循環され、新たに供給される水素ガスと混合されて、再び燃料電池スタック１のアノード極１ａに供給される。
【００２０】
また、燃料電池スタック１の出口側、すなわちアノード排ガス排気流路４には、アノード排ガス流量制御手段である水素パージバルブ６が設けられている。この水素パージバルブ６は、水素ガスを循環させることに起因して生じる燃料電池スタック１の効率低下を抑制するために、必要に応じて水素ガスを排出させるためのものである。すなわち、水素ガスを循環させることによって、水素循環流路５内には不純物や窒素等が蓄積して、水素分圧の降下を招き、これにより燃料電池スタック１の効率が低下する場合がある。このような場合には、水素パージバルブ６を開放し、水素循環流路５内のガスをパージすることで、水素循環流路５内から不純物や窒素等を除去することができる。
【００２１】
空気供給系は、空気供給流路７とカソード排ガス排気流路８とを有しており、例えばコンプレッサにより圧縮された空気が、空気供給流路７を通して燃料電池スタック１のカソード極１ｂに供給されるようになっている。また、燃料電池スタック１で消費されなかった酸素及び空気中の他の成分（カソード排ガス）は、燃料電池スタック１からカソード排ガス排気管８を通して排出される。
【００２２】
本実施形態の燃料電池システムでは、燃料電池スタック１の排ガスを処理するための燃焼器９が設置されており、燃料供給系のアノード排ガス排気流路４及び空気供給系のカソード排ガス排気流路８は、何れもこの燃焼器９に接続されている。そして、燃料電池スタック１のアノード極１ａから排出されるアノード排ガスと、カソード極１ｂから排出されるカソード排ガスは、この燃焼器９で混合されて燃焼される。なお、燃焼器９としては、例えば内部に燃焼触媒を有する触媒燃焼器が用いられる。
【００２３】
特に、本実施形態の燃料電池システムにおいては、カソード排ガス排気流路８に、燃焼器９をバイパスするカソード排ガスバイパス流路１０が分岐形成されており、カソード極１ｂからのカソード排ガスを必要に応じてこのカソード排ガスバイパス流路１０に流すことができるように構成されている。また、カソード排ガス排気流路８及びカソード排ガスバイパス流路１０には、それぞれ排空気制御バルブ１１及びバイパス制御バルブ１２が設けられている。これら排空気制御バルブ１１及びバイパス制御バルブ１２は、燃焼器９に供給するカソード排ガスの流量制御を行うためのもの（カソード排ガス流量制御手段）であり、互いに排他的に連動動作するように構成されている。これら排空気制御バルブ１１及びバイパス制御バルブ１２の開閉動作や、前記水素パージバルブ６の開閉動作は、コントローラ１３において、燃料電池スタック１からの運転情報に基づいて制御されるようになっている。
【００２４】
以上の構成を有する燃料電池システムにおいて、燃料電池スタック１を発電させるときは、燃料電池スタック１に酸化剤としての空気が空気供給流路７を通じて供給される。また、燃料ガスとしての水素ガスが、図示しない水素供給源から水素供給流路２を通じて燃料電池スタック１に供給される。発電に寄与しなかった水素ガスは、水素循環流路５とエゼクタ４を介して再度燃料電池スタック１に供給される。
【００２５】
このとき、通常は排空気制御バルブ１１は閉、バイパス制御バルブ１２は開の状態で、燃料電池スタック１からのカソード排ガスは、カソード排ガスバイパス流路１０を通じて大気中に放出される。なお、燃料電池スタック１で発電した電力は、図示しない負荷、例えば車両を駆動するモータ等で消費される。
【００２６】
一方、何らかの要因で、例えば燃料電池スタック１内部での窒素のクロスオーバ等によりアノード極１ａ側の水素濃度が低下し、燃料電池スタック１内部と水素循環流路５内部の水素ガスを大気に放出する必要が生じたときには、コントローラ１３により次のような動作が行われる。
【００２７】
すなわち、コントローラ１３は、水素濃度が低下した状態にあると判断すると、水素パージバルブ６を開き燃料電池スタック１から排出される水素(アノード排ガス)を燃焼器９に供給する。また、排空気制御バルブ１１を開くと共にバイパス制御バルブ１２閉じて、カソード排ガスを燃焼器９に供給する。
【００２８】
図２にコントローラ１３の機能的な構成を示す。このコントローラ１３は、パージ判定部１３ａと、水素パージバルブ制御部１３ｂと、時定数設定部１３ｃと、カソード排ガス制御部１３ｄとを有している。
【００２９】
コントローラ１３は、図示しない燃料電池スタック１の運転状態検出手段に接続されており、この運転状態検出手段からの出力は、パージ判定部１３ａと時定数設定部１３ｃとに与えられる。パージ判定部１３ａは、燃料電池スタック１の運転状態からパージ動作の必要性を判断し、その指令を水素パージバルブ制御部１３ｂとカソード排ガス制御部１３ｄとに出力する。水素パージバルブ制御部１３ｂは、パージ判定部１３ａの指令に従い、水素パージバルブ６の開閉制御を行う。
【００３０】
水素パージバルブ６の開放から燃焼器９にアノード排ガスが到達するまでの時間は、燃料電池スタック１の運転圧力等により変化するので、時定数設定部１３ｃでは、入力された燃料電池スタック１の運転状態から、排空気制御バルブ１１及びバイパス制御バルブ１２の開閉制御に用いる時定数τを設定する。
【００３１】
カソード排ガス制御部１３ｄでは、図３に示すように、時定数設定部１３ｃにより与えられた時定数τとパージ判定部１３ａからの指令に基づき、下記（１）式及び（２）式を用いて、排空気制御バルブ１１及びバイパス制御バルブ１２の開閉制御を行う。
【００３２】
ｕ１＝１／（１＋τ・ｓ）  ・・・（１）
ｕ２＝１−ｕ１  ・・・（２）
ここで、ｓはラプラス演算子、ｕ１は排空気制御バルブ１１の開度指令値、ｕ２はバイパス制御バルブ１２の開度指令値である。
【００３３】
本実施形態の燃料電池システムにおける燃焼器９に流入する排空気（カソード排ガス）と排水素（アノード排ガス）の流量の比率のシミュレーション結果を、従来の燃料電池システムと対比させて、図４に示す。なお、図４中実線で示すグラフが本実施形態のものであり、破線で示すグラフが従来例のものである。
【００３４】
本実施形態のように排空気制御バルブ１１及びバイパス制御バルブ１２を制御することで、燃焼器９が温度が低く着火性が低くなっている状態であっても、燃焼開始初期の排水素と排空気の比率を適性にすることができ、着火が不良になることを防止できる。また、定常状態でも排水素と排空気の比率を適性にすることができ、燃焼器９を安定して反応させることができる。
【００３５】
逆に言えば、本実施形態の燃料電池システムでは、燃焼器９に供給されるアノード排ガスの流量とカソード排ガスの流量との比率が燃焼器９の状態に応じて最適な所望の値となるように、排空気制御バルブ１１及びバイパス制御バルブ１２の開閉制御を行っている。ここで、燃焼器９に供給されるアノード排ガスの流量とカソード排ガスの流量との比率は、アノード排ガスが燃焼器９に安定供給されている間は、燃焼器９の燃焼温度が燃焼器９の特性により決まるような範囲とし、カソード排ガスとアノード排ガスが燃焼器へ供給開始された直後は、燃焼器９の着火を促進する範囲とする。
【００３６】
本実施形態の燃料電池システムでは、アノード排ガスを燃焼器９に供給していない間は、カソード排ガスは燃焼器９をバイパスさせているので、燃焼器９を冷却してしまったり、カソード排ガスの水分を凝縮させることが無く、アノード排ガスを供給した際の着火性能の確保が可能になる。
【００３７】
また、燃焼器９に供給されるアノード排ガスの流量に関する状態量を用いてカソード排ガスを燃焼器９に供給することで、燃焼器９での燃焼状態を制御できる。このとき、カソード排ガスとアノード排ガスが略同時に燃焼器に供給開始されるように時間遅れを設定すれば、燃焼初期に燃焼器９で異常燃焼等が生じることを防止でき、燃焼器９の耐久性を損なうことがない。アノード排ガスの流量に関する状態量として、燃焼器９にアノード排ガスが供給されるまでの時間遅れを用いることで、特別なセンサ等を追加せずに本発明を実施することができる。
【００３８】
更に、カソード排ガスの流量は、燃焼器９に流入するアノード排ガスの流量とカソード排ガスの流量の比率が所望の値になるように制御することにより、着火性能の向上と燃焼温度の制御性能の確保ができる。特に、アノード排ガスが燃焼器９へ安定供給されている間と、アノード排ガスとカソード排ガスが燃焼器９に供給され始める時に、アノード排ガスとカソード排ガスとの比率をそれぞれに適した第１の所定の範囲と第２の所定範囲に制御することで、定常的な燃焼温度を燃焼器９の特性により決まる範囲に制御でき、かつ着火促進のために特別な比率でアノード排ガスとカソード排ガスを供給することができるので、燃焼温度が高くなりすぎて燃焼器９の耐久性を損なうことや、燃焼温度が低下しすぎて失火してしまうことを防止しつつ、着火性能の向上を図ることができる。
【００３９】
なお、本実施形態では排空気制御バルブ１１とバイパス制御バルブ１２に流量制御弁を用いているが、例えばこれらにオン／オフ弁を使い、時定数設定部１３ｃにおいて排空気制御バルブ１１とバイパス制御バルブ１２を開閉する際の無駄時間を設定するようにしても同様の効果を得ることができる。
【００４０】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態の燃料電池システムの要部構成を図５に示す。本実施形態の燃料電池システムにおいて、上述した第１の実施形態の燃料電池システムと異なるのは、水素パージバルブ６と燃焼器９との間に圧力センサ１４を設置したこと、及びコントローラ１３における内部処理であるので、以下、これらの特徴的な部分を中心に説明し、第１の実施形態と共通部分については説明を省略する。
【００４１】
本実施形態の燃焼電池システムでは、燃焼器９直前のアノード排ガス（排水素）の圧力を圧力センサ１４で測定している。そして、コントローラ１３のカソード排ガス制御部１３ｄでは、圧力センサ１４の出力と予め決められたゲインＫを用いて、排空気制御バルブ１１やバイパス制御バルブ１２の目標開度Ｕを算出するようにしている。
【００４２】
本実施形態の燃料電池システムにおけるコントローラ１３の機能的な構成図を図６に、カソード排ガス制御部１３ｄにおける演算処理の様子を図７にそれぞれ示す。本実施形態の燃料電池システムでは、コントローラ１３は、パージ判定部１３ａと、水素パージバルブ制御部１３ｂと、カソード排ガス制御部１３ｄとを有する。パージ判定部１３ａは、燃料電池スタック１の運転状態からパージ動作の必要性を判断し、その指令を水素パージバルブ制御部１３ｂとカソード排ガス制御部１３ｄとに出力する。カソード排ガス制御部１３ｄでは、パージ判定部１３ａからの指令に基き、算出した目標開度から排空気制御バルブ１１とバイパス制御バルブ１２の目標開度を制御する。
【００４３】
本実施形態では、アノード排ガスの流量に関する状態量として、燃焼器９直前のアノード排ガス圧力を用いるので、比較的安価な圧力センサ１４を使用でき、本発明の制御をより低コストで実施することができる。
【００４４】
なお、本実施形態でも排空気制御バルブ１１とバイパス制御バルブ１２に流量制御弁を用いているが、例えば、これらにオン／オフ弁を使い、時定数設定部１３ｃにおいて排空気制御バルブ１１とバイパス制御バルブ１２を開閉する際の無駄時間を設定するようにしても同様の効果を得ることができることは、先の第１の実施形態の場合と同様である。
【００４５】
また、本実施形態では、燃焼器９直前の圧力を用いて排空気制御バルブ１１とバイパス制御バルブ１２の開度制御を行っているが、燃焼器９直前の排水素の流量を用いても実施可能である。アノード排ガスの流量に関する状態量として、アノード排ガスの流量を直接用いれば、空燃比をより直接的に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の燃料電池システムの要部構成を示す概略構成図である。
【図２】第１の実施形態の燃料電池システムにおけるコントローラの機能的な構成を示す機能ブロック図である。
【図３】前記コントローラのカソード排ガス制御部での演算処理の様子を示す図である。
【図４】第１の実施形態の燃料電池システムにおいて燃焼器に供給される排空気と排水素の流量の比率を従来例と対比して示す図である。
【図５】第２の実施形態の燃料電池システムの要部構成を示す概略構成図である。
【図６】第２の実施形態の燃料電池システムにおけるコントローラの機能的な構成を示す機能ブロック図である。
【図７】前記コントローラのカソード排ガス制御部での演算処理の様子を示す図である。
【符号の説明】
１  燃料電池スタック
１ａ  アノード極
１ｂ  カソード極
５  水素循環流路
６  水素パージバルブ
７  空気供給流路
８  カソード排ガス排気流路
９  燃焼器
１０  カソード排ガスバイパス流路
１１  排空気制御バルブ
１２  バイパス制御バルブ
１３  コントローラ
１４  圧力センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004199931.tif 000006
【図５】
2004199931.tif 000007
【図６】
2004199931.tif 000008
【図７】
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