(57)【要約】【課題】透明基板１１の表面に、多数本の帯状陽極電極１２を形成するとともに、この帯状陽極電極１２に重ねて有機エレクトロルミネセンス層１３を形成し、この有機エレクトロルミネセンス層１３の表面に、前記帯状陽極電極１２に交差する帯状陰極電極１４の多数本を形成して成る有機エレクトロルミネセンス表示装置において、前記多数本の帯状陰極電極１４を形成することに要するコストの低減等を図る。【解決手段】前記有機エレクトロルミネセンス層１３の表面に、前記帯状陰極電極を構成するメタル層Ａを形成し、このメタル層Ａの表面に、剥離フィルムＢを、前記メタル層に対する接着力が紫外線の照射にて低下するようにした接着剤Ｃを介して貼り付け、この剥離フィルムＢに前記多数本の帯状陰極電極１４の通りのパターンをマスクＤを使用して紫外線Ｅの照射にて焼き付けたのち、この剥離フィルムＢを、前記有機エレクトロルミネセンス層１３から剥離する。【選択図】　　　　　　　　　　図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の表面に、透明導電体膜による帯状陽極電極の多数本を形成する工程と、
前記透明基板の表面に、有機エレクトロルミネセンス層を前記多数本の陽極電極に重ねて形成する工程と、
前記有機エレクトロルミネセンス層の表面に、帯状陰極電極となるメタル層を形成する工程と、
次いで、前記メタル層に、光透過性の剥離フィルムを、当該剥離フィルムの片面に予め塗布され且つ前記メタル層に対する接着力が紫外線の照射にて低下するようにした接着剤を介して貼り付ける工程と、
前記剥離フィルムに対して、これに重ねたマスクを使用して、前記各帯状陽極電極と交差する方向に延びる多数本の帯状陰極電極の通りのパターンを紫外線の照射にて焼き付ける工程と、
前記剥離フィルムを、前記有機エレクトロルミネセンス層から剥離する工程とから成ることを特徴とする有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記請求項１の記載において、前記剥離フィルムを、前記帯状陰極電極が延びる方向に剥離することを特徴とする有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電流の印加によって発光するエレクトロルミネセンス層（有機ＥＬ層）を備えた有機エレクトロルミネセンス表示装置（有機ＥＬ表示装置）の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、この種の有機エレクトロルミネセンス表示装置は、図１〜図３に示すように、ガラス等の透明基板１１において、その表面１１ａと反対の裏面１１ｂに、透明導電膜による帯状陽極電極１２の多数本を適宜間隔で平行に並べて形成し、この各帯状陽極電極１２に重ねてエレクトロルミネセンス層１３を形成し、このエレクトロルミネセンス層１３の上に、メタル層による帯状陰極電極１４の多数本を、前記各帯状陽極電極１２と交差する方向に適宜間隔で平行に並べて形成し、前記各帯状陽極電極１２のうち任意の帯状陽極電極と、前記各帯状陰極電極１４のうち任意の帯状陰極電極との間に電流を印加して、その間の部分におけるエレクトロルミネセンス層１３を発光することによって、前記透明基板１１における表面１１ａ側に、文字等を表示するものである。
【０００３】
なお、前記透明基板１１における裏面１１ｂには、前記各帯状陽極電極１２、エレクトロルミネセンス層１３及び各帯状陰極電極１４の全体を覆うカバー１５が取付けられている。
【０００４】
従来、この構成の有機エレクトロルミネセンス表示装置を製造するに際しては、第１に、
「先ず、前記透明基板１１の裏面１１ｂに、前記した多数本の帯状陽極電極１２を形成し、次いで、これに重ねて有機エレクトロルミネセンス層１３を形成し、次いで、この有機エレクトロルミネセンス層１３の表面に、前記メタル層による多数本の帯状陰極電極１４のパターン通りの抜き孔を備えたメタルマスクを重ね、その上から金属の真空蒸着等により、メタル層による多数本の帯状陰極電極１４を形成する。」
という方法を採用するか、第２に、
「先ず、前記透明基板１１の裏面１１ｂに、前記した多数本の帯状陽極電極１２を形成し、次いで、これに重ねてフォトレジストによる陰極隔壁層を形成し、この陰極隔壁層を、パターンの露光焼き付けと現像処理とによるフォトリソにて、前記した多数本の帯状陰極電極１４の通りにパターニングし、この陰極隔壁層の間に、有機エレクトロルミネセンス層１３を形成したのち、前記陰極隔壁層の表面に、前記した帯状陰極電極１４を形成する。」
という方法を採用している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらの製造方法においては、前記帯状陰極電極１４を形成するための工程が著しく多く且つ複雑になるから、製造コストが大幅にアップするという問題がある。
【０００６】
これに加えて、前者のように、帯状陰極電極１４をメタルマスクを使用しての真空蒸着にて形成する方法では、各帯状陰極電極１４における寸法・形状が、前記メタルマスクにおける抜き孔の寸法・形状に左右されるので、その寸法及び形状の精度が低くて、高精細化が困難であるという問題があり、また、後者のようにして帯状陰極電極１４を形成する方法は、高精細化に限界があるばかりか、パターンの位置合わせも困難であるという問題があった。
【０００７】
本発明は、これらの問題を解消した製造方法を提供することを技術的課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため本発明の請求項１は、
「透明基板の表面に、透明導電体膜による帯状陽極電極の多数本を形成する工程と、
前記透明基板の表面に、有機エレクトロルミネセンス層を前記多数本の陽極電極に重ねて形成する工程と、
前記有機エレクトロルミネセンス層の表面に、帯状陰極電極となるメタル層を形成する工程と、
次いで、前記メタル層に、光透過性の剥離フィルムを、当該剥離フィルムの片面に予め塗布され且つ前記メタル層に対する接着力が紫外線の照射にて低下するようにした接着剤を介して貼り付ける工程と、
前記剥離フィルムに対して、これに重ねたマスクを使用して、前記各帯状陽極電極と交差する方向に延びる多数本の帯状陰極電極の通りのパターンを紫外線の照射にて焼き付ける工程と、
前記剥離フィルムを、前記有機エレクトロルミネセンス層から剥離する工程とから成る。」
ことを特徴としている。
【０００９】
また、本発明の請求項２は、
「前記請求項１の記載において、前記剥離フィルムを、前記帯状陰極電極が延びる方向に剥離する。」
ことを特徴としている。
【００１０】
【発明の作用・効果】
前記したように、有機エレクトロルミネセンス層の表面に帯状陰極電極のためのメタル層を形成し、このメタル層の表面に、剥離フィルムを、予め塗布した接着剤にて接着するように貼り付け、この剥離フィルムに対して、マスクを使用して、多数本の帯状陰極電極の通りのパターンを紫外線の照射にて焼き付けることにより、前記接着剤のうち紫外線を照射を受けた部分は、前記メタル層に対する接着力が低下する。
【００１１】
そこで、前記剥離フィルムを、有機エレクトロルミネセンス層から剥離することにより、前記メタル層のうち、前記接着剤が紫外線を照射を受けた部分は、前記有機エレクトロルミネセンス層側に残り、これ以外の総ての部分が剥離フィルムと一緒に有機エレクトロルミネセンス層から剥離・除去されることになるから、前記有機エレクトロルミネセンス層側に残った部分におけるメタル層が、帯状陰極電極の多数本を構成するのである。
【００１２】
つまり、本発明によると、有機エレクトロルミネセンス層に対する剥離フィルムの貼り付け、この剥離フィルムに対する帯状陰極電極のパターンの紫外線による焼き付け、及び前記剥離フィルムの剥離という工程で、帯状陰極電極の多数本を形成することができるから、有機エレクトロルミネセンス層の損傷を低減できるとともに、高精細化ができ、しかも、その工程が、前記した従来によりも遥かに簡単で製造コストを大幅に低減できる効果を有する。
【００１３】
特に、請求項２に記載したように、前記剥離フィルムを、前記帯状陰極電極が延びる方向に剥離することにより、この剥離フィルムを剥離するときにおいて、前記導電性接着剤のうち有機エレクトロルミネセンス層側に残る部分に途中切れが発生することを少なくできるから、不良品の発生率を確実に低減できる利点を有する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図４〜図１４の図面について説明する。
【００１５】
先ず、前記図１〜図３に示す有機エレクトロルミネセンス表示装置を構成するガラス等の透明基板１１のうち表面１１ａと反対の裏面１１ｂに、図４及び図５に示すように、透明導電膜による帯状陽極電極１２の多数本を、従来から良く知られている方法により、適宜間隔で平行に並べて形成する。
【００１６】
次いで、前記ガラス等の透明基板１１における裏面１１ｂに、図６及び図７に示すように、エレクトロルミネセンス層１３を、これも従来から良く知られている方法によって形成する。
【００１７】
次いで、前記エレクトロルミネセンス層１３の表面に、図８に示すように、メタル層Ａを、金属の真空蒸着又はスパッタリング等にて形成する。
【００１８】
次いで、前記メタル層Ａの表面に、図９に示すように、光透過性の軟質合成樹脂による剥離フィルムＢを、その裏面に予め塗布された接着剤Ｃによる接着にて貼り付ける。
【００１９】
この場合において、前記接着剤Ｃとして、紫外線の照射にて硬化等することにより、前記メタル層Ａに対する接着力が低下するものを使用する。
【００２０】
一方、図１０及び図１１に示すように、前記有機エレクトロルミネセンス表示装置における各帯状陰極電極１４の形状通りにしたスリット孔Ｄ１を、同じパターンで穿設して成るマスクＤを用意する。
【００２１】
そして、このマスクＤを、図１２に示すように、前記剥離フィルムＢの表面に重ね、この上から紫外線Ｅを照射することにより、前記剥離フィルムＢに対して、前記多数本の帯状陰極電極１４の通りのパターンを焼き付ける。
【００２２】
この紫外線の照射により、前記接着剤Ｃのうち前記マスクＤのスリット孔Ｄ１の個所において紫外線を照射を受けた部分は、前記メタル層Ａに対する接着力が低下する。
【００２３】
そこで、前記剥離フィルムＤを、図１３及び図１４に示すように、有機エレクトロルミネセンス層１３から剥離することにより、前記メタル層Ａのうち、前記接着剤Ｃが紫外線を照射を受けた部分のみが有機エレクトロルミネセンス層１３側に接着した状態のままで残り、これ以外の総ての部分が剥離フィルムＡと一緒に有機エレクトロルミネセンス層１３から剥離・除去されることになる。
【００２４】
つまり、前記有機エレクトロルミネセンス層１３の表面には、メタル層Ａによる多数本の帯状陰極電極１４が所定通りのパターンで形成されることになる。
【００２５】
また、前記剥離フィルムＢを剥離するに際しては、この剥離を、図１４に示すように、前記帯状陰極電極１４が延びる方向に行うことにより、この剥離フィルムＢを剥離するときにおいて、前記メタル層Ａのうち有機エレクトロルミネセンス層１３側に残る部分、つまり、帯状陰極電極１４の部分に途中切れが発生することを確実に少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機エレクトロルミネセンス表示装置を示す縦断正面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ視断面図である。
【図３】前記有機エレクトロルミネセンス表示装置の内部の斜視図である。
【図４】本発明において透明基板に対して帯状陽極電極を形成した状態を示す斜視図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ視断面図である。
【図６】本発明において透明基板に対して有機エレクトロルミネセンス層を前記帯状陽極電極に重ねて形成した状態を示す斜視図である。
【図７】図６のＶＩＩ　−ＶＩＩ　視断面図である。
【図８】本発明において前記有機エレクトロルミネセンス層に対してメタル層を形成した状態を示す断面図である。
【図９】本発明において前記メタル層に対して剥離フィルムを貼り付けた状態を示す断面図である。
【図１０】本発明において使用するマスクを示す斜視図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ視断面図である。
【図１２】本発明において前記剥離フィルムに前記マスクを使用して焼き付けをしている状態を示す断面図である。
【図１３】本発明において前記剥離フィルムを剥離している状態を示す断面図である。
【図１４】図１３のＸＩＶ　−ＸＩＶ　視断面図である。
【図１５】本発明において前記剥離フィルムを剥離した後の状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１１　　　　　　　　　　透明基板
１２　　　　　　　　　　帯状陽極電極
１３　　　　　　　　　　有機エレクトロルミネセンス層
１４　　　　　　　　　　帯状陰極電極
Ａ　　　　　　　　　　　メタル層
Ｂ　　　　　　　　　　　剥離フィルム
Ｃ　　　　　　　　　　　接着剤
Ｄ　　　　　　　　　　　マスク
Ｅ　　　　　　　　　　　紫外線
【図１】
2004079373.tif 000003
【図２】
2004079373.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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