(57)【要約】【課題】装置の軽量化および低廉化を図るとともに、作業効率を高める。【解決手段】一対のコンベアを備えた搬入部２Ａ、可動部２Ｂ及び搬出部２Ｃをもち、可動部２Ｂの可動フレーム５０はＹ軸方向に移動可能に設けられる。基台１には、搬入部２Ａのコンベアを駆動する駆動シャフト３５と伝動シャフト９０とが支持され、基台１に設置されるモータ３７により搬入部２Ａの駆動シャフト３５と伝動シャフト９０とが駆動される。そして、伝動シャフト９０の伝動プーリ９０ｃと、可動フレーム５０に支持される駆動シャフト８６の駆動プーリ８３とに亘って伝動ベルト９１が装着され、これにより可動部２Ｂのコンベア駆動用の駆動シャフト８６が駆動される。伝動プーリ９０ｃは、可動フレーム５０の移動に伴う駆動シャフト８６の変位を可能とし、かつ伝動シャフト９０の回転駆動力を駆動シャフト８６に伝達し得るようにスプラインで結合されている。【選択図】        図１０
2004338836.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台上に、基板の搬送方向に並び、かつ平行な一対のベルトコンベアをそれぞれ備えた固定搬送部と可動搬送部とを有し、可動搬送部の前記ベルトコンベアが前記基台上に移動可能に支持された可動フレームに搭載されることにより、該可動フレームの移動に伴い前記基板を前記搬送方向と直交する方向に移動させ得るように構成された基板搬送装置において、
前記基台上に、前記固定搬送部の各ベルトコンベアを直接駆動する第１駆動軸とこれとは別の伝動軸とが支持されるとともにベルトコンベア駆動用のモータが設けられ、このモータが前記各軸に対して該軸を回転駆動可能に連結される一方、前記可動フレームに可動搬送部の各ベルトコンベアを直接駆動する第２駆動軸が支持され、さらに前記可動フレームの移動に伴う第２駆動軸の変位を可能とし、かつ前記伝動軸の回転駆動力を第２駆動軸に伝達する動力伝達機構が設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記搬送方向と直交する方向に延びる前記伝動軸が設けられ、
前記動力伝達機構は、前記可動フレームに回転可能に設けられて前記伝動軸に装着される伝動車を備え、この伝動車を介して前記第２駆動軸に回転駆動力を伝達するように構成され、この伝動車は、前記伝動軸に対してその軸方向に相対的に移動可能で、かつ該伝動軸と一体的に回転するように伝動軸に対してスプライン結合されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記動力伝動機構は、前記伝動車としてのプーリと、前記第２駆動軸に装着されるプーリと、これらプーリに亘って装着される伝動ベルトとを有するベルト伝動機構から構成されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
部品吸着用のヘッドを備えた移動可能なヘッドユニットにより部品供給部から電子部品を吸着し、その部品を、基板搬送装置により搬送されて所定の作業位置に位置決めされている基板上に実装する表面実装機において、
前記基板搬送装置として請求項１乃至３の何れかに記載の基板搬送装置を備え、前記作業位置として前記可動搬送部に基板を配置した状態で該基板に対して部品を実装するように構成されていることを特徴とする表面実装機。
【請求項５】
基板表面を撮像可能な撮像手段を備えた移動可能なヘッドユニットと基板搬送装置により所定の作業位置に搬入された基板とを相対的に移動させ、前記撮像手段により基板を撮像することにより画像認識に基づいて当該基板を検査する基板検査装置において、
前記基板搬送装置として請求項１乃至３の何れかに記載の基板搬送装置を備え、前記作業位置として前記可動搬送部に基板を配置した状態で該基板を前記撮像手段により撮像するように構成されていることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板等の各種基板の製造、検査等に適用される基板搬送装置であって、特に、搬送途中に基板をその搬送方向と直交する方向に移動させることが可能な可動部分を備えた基板搬送装置と、この基板搬送装置を備えた表面実装機および基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、部品吸着用のヘッドを備えたヘッドユニットにより、ＩＣ等のチップ部品を部品供給部から吸着してプリント基板上に移送し、プリント基板上の所定位置に実装するようにした表面実装機（以下、実装機と略す）が知られている。
【０００３】
この種の実装機としては、プリント基板が固定的に位置決めされ、ヘッドユニットが水平面上でＸ−Ｙ方向に移動するものが周知であるが、例えば特許文献１に開示されるように、プリント基板を実装作業領域においてＹ軸方向（基板の搬送方向と直交する方向）に移動可能とし、ヘッドユニットの移動およびプリント基板の移動を効果的に制御することにより実装効率を高めるようにしたものも近年開発されている。
【０００４】
なお、実装機には、通常、一対のベルトコンベア（以下、コンベアと略す）によりプリント基板の両端を支持しながら搬送する基板搬送装置が組込みこまれており、この基板搬送装置によりプリント基板を搬送しながら、その途中部分でプリント基板を位置決めして部品の実装処理を行うように構成されるが、特許文献１に示される実装機では、基板搬送装置が、可動部とその両側の搬入および搬出部とから構成されており、可動部のコンベアをＹ軸方向に一体的に移動させるように駆動機構が構成されることにより、基板をＹ軸方向に移動させ得るようになっている。具体的には、例えば可動部のコンベアが可動フレームに搭載され、この可動フレームが、モータを駆動源とするボールねじ機構等によりＹ軸方向に移動するように構成されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−１０２６９６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記特許文献１に示されるような実装機では、上記のような基板搬送装置の構成に起因して、次のような解決すべき課題がある。
【０００７】
すなわち、上記特許文献１の基板搬送装置では、可動部のコンベアが他の部分（搬入部、搬出部）のコンベアに対してＹ軸方向に移動するため、可動部のコンベアを駆動する機構とその他の部分のコンベアを駆動する機構とを別個独立に設けてそれぞれモータで駆動する必要がある。従って、実装機全体の高重量化やコスト高を助長する構造となっており、この点を改善する必要がある。
【０００８】
また、可動部については、モータを含めた幅調整機構を一体に可動フレームに搭載する必要があるため、可動フレームの重量が嵩み、該フレームを高速移動させる上で不利な構造となっている。つまり、実装の効率を高める上では基板を高速でＹ軸方向に移動させることが好ましいが、この点でのマイナス要素となっている。
【０００９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、基板搬送装置におけるコンベアの駆動機構を見直すことにより、装置の軽量化、および低廉化を図るとともに、作業の効率を高め得るようにすることを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、基台上に、基板の搬送方向に並び、かつ平行な一対のベルトコンベアをそれぞれ備えた固定搬送部と可動搬送部とを有し、可動搬送部の前記ベルトコンベアが前記基台上に移動可能に支持された可動フレームに搭載されることにより、該可動フレームの移動に伴い前記基板を前記搬送方向と直交する方向に移動させ得るように構成された基板搬送装置において、前記基台上に、前記固定搬送部の各ベルトコンベアを直接駆動する第１駆動軸とこれとは別の伝動軸とが支持されるとともにベルトコンベア駆動用のモータが設けられ、このモータが前記各軸に対して該軸を回転駆動可能に連結される一方、前記可動フレームに可動搬送部の各ベルトコンベアを直接駆動する第２駆動軸が支持され、さらに前記可動フレームの移動に伴う第２駆動軸の変位を可能とし、かつ前記伝動軸の回転駆動力を第２駆動軸に伝達する動力伝達機構が設けられているものである。
【００１１】
この基板搬送装置によると、モータの作動により固定搬送部の第１駆動軸が駆動されるとともに伝動軸が駆動され、この伝動軸の回転駆動力が動力伝動機構を介して可動フレーム（可動搬送部）の第２駆動軸に伝達される。これにより各搬送部のコンベアが駆動されることとなる。そして、動力伝動機構が上記のように構成されている結果、可動フレームを移動させることができる一方で、基台上に固定的に配設されている伝動軸から可動フレームに支持された第２駆動軸への回転駆動力の伝達が確実に行われることとなる。従って、共通のモータで各搬送部のベルトコンベアを駆動させることが可能となり、これによって装置の軽量化および低廉化を図ることが可能となる。また、可動搬送部にコンベア駆動用の専用のモータ（駆動源）を設ける必要がなくなる分、可動フレームの搭載部材数を軽減することが可能となり、可動フレームの前記搬送方向と直交する方向への移動をより高速で行わせることが可能となる。
【００１２】
具体的な構成としては、前記搬送方向と直交する方向に延びる前記伝動軸が設けられ、前記動力伝達機構が、前記可動フレームに回転可能に設けられて前記伝動軸に装着される伝動車を備え、この伝動車を介して前記第２駆動軸に回転駆動力を伝達するように構成され、この伝動車が、前記伝動軸に対してその軸方向に相対的に移動可能で、かつ該伝動軸と一体的に回転するように伝動軸に対してスプライン結合されているのが、好ましい。
【００１３】
この構成によると、簡単な構成で、可動フレームの配置に拘わらず伝動軸の回転駆動力を第２駆動軸に伝達することが可能となり、前記搬送方向と直交する方向への可動フレームの移動を可能としながら可動フレームに搭載されたベルトコンベアを確実に駆動することが可能となる。
【００１４】
なお、動力伝達機構としては、前記伝動車としてギアを設けたギア伝動機構を採用することも考えられるが、例えば、前記伝動車としてプーリを設けるとともに前記第２駆動軸にプーリを設け、これらプーリに亘って伝動ベルトを装着したベルト伝動機構とするのが、より好ましい。この構成によれば、構成の簡素化、軽量化および低廉化を図る上で有利となる。
【００１５】
一方、本発明に係る表面実装機は、部品吸着用のヘッドを備えた移動可能なヘッドユニットにより部品供給部から電子部品を吸着し、その部品を、基板搬送装置により搬送されて所定の作業位置に位置決めされている基板上に実装する表面実装機において、前記基板搬送装置として請求項１乃至３の何れかに記載の基板搬送装置を備え、前記作業位置として前記可動搬送部に基板を配置した状態で該基板に対して部品を実装するように構成されているものである。
【００１６】
また、本発明に係る基板検査装置は、基板表面を撮像可能な撮像手段を備えた移動可能なヘッドユニットと基板搬送装置により所定の作業位置に搬入された基板とを相対的に移動させ、前記撮像手段により基板を撮像することにより画像認識に基づいて当該基板を検査する基板検査装置において、前記基板搬送装置として請求項１乃至３の何れかに記載の基板搬送装置を備え、前記作業位置として前記可動搬送部に基板を配置した状態で該基板を前記撮像手段により撮像するように構成されているものである。
【００１７】
これらの表面実装機および基板検査装置によると、上記のような基板搬送装置が搭載されているため、表面実装機および基板検査装置としての軽量化、低廉化を図る上で有利になる。また、基板搬送部は、上記の通り可動搬送部（可動フレーム）を高速駆動する上で有利な構造となっているので、実装作業や検査処理の効率を高める上でも有利になる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１９】
図１は、本発明に係る表面実装機（本発明に係る基板搬送装置が適用される表面実装機）の一例を概略的に示す平面図である。
【００２０】
同図に示すように、表面実装機（以下、実装機と略す）の基台１上には基板搬送装置２が設けられ、プリント基板Ｐ（以下、基板Ｐと略す）がこの基板搬送装置２の後記コンベアに沿って搬送されるようになっている。なお、当実施形態では、上記コンベアによる基板Ｐの搬送方向（図１で左右方向）をＸ軸方向、水平面上でＸ軸と直交する方向（図１で上下方向）をＹ軸方向という。
【００２１】
図１において、基板Ｐは基板搬送装置２のコンベアに沿って左側から実装機に搬入され、基台１の略中央に設けられた実装作業領域において実装処理に供された後、実装機の右側から次工程に搬出される（同図中の白抜き矢印方向）。
【００２２】
基板搬送装置２は、前記実装作業領域に対応する部分がＹ軸方向に独立して移動可能とされており、実装作業時には、基板Ｐを必要に応じてＹ軸方向に移動させ得るように構成されている。また、基板搬送装置２のコンベアは、互いに平行な一対のベルトコンベアから構成され、これらのベルトコンベアの間隔が変更（拡縮）可能に構成されている。これにより基板Ｐのサイズ変更に対応し得るように構成されている。なお、基板搬送装置２の具体的な構成については後に詳しく説明することにする。
【００２３】
基板搬送装置２を挟んで実装機のＹ軸方向両側には、部品供給部４Ａ，４Ｂが配置されている。これらの部品供給部４Ａ，４Ｂには部品供給用のフィーダーが固定されており、例えば、部品を収納したテープを間欠的に繰り出しながら部品を順次供給する複数のテープフィーダーがＸ軸方向に並べられた状態でそれぞれ固定されている。
【００２４】
また、前記基台１の上方には、部品装着用の一対のヘッドユニット５ａ，５ｂが装備されている。これらのヘッドユニット５ａ，５ｂは、部品供給部４Ａ，４Ｂと基板Ｐが位置する実装作業領域とにわたってＹ軸方向に一体に、またＸ軸方向に別個独立に移動し得るように構成されている。
【００２５】
すなわち、基台１上には、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドフレーム７と、Ｙ軸サーボモータ９により回転駆動されるボールねじ軸８とが配設され、ガイドフレーム７上にヘッドユニット支持部材６が配置されて、この支持部材６に設けられたナット部分（図示省略）が前記ボールねじ軸８に螺合している。また、上記ヘッドユニット支持部材６には、Ｙ軸方向両側部にＸ軸方向に延びるガイド部材（図示省略）がそれぞれ設けられるとともにＸ軸サーボモータ１０ａ、１０ｂにより駆動されるボールねじ軸１１ａ、１１ｂが配設され、上記各ガイド部材に対してそれぞれヘッドユニット５ａ，５ｂが移動可能に保持され、各ヘッドユニット５ａ，５ｂに設けられたナット部分（図示せず）がボールねじ軸１１ａ、１１ｂに螺合している。そして、Ｙ軸サーボモータ９の作動により上記ヘッドユニット支持部材６がＹ軸方向に移動することにより両ヘッドユニット５ａ，５ｂが一体にＹ軸方向に移動するとともに、Ｘ軸サーボモータ１０ａ、１０ｂの作動により各ヘッドユニット５ａ，５ｂがヘッドユニット支持部材６に対して独立してＸ軸方向に移動するようになっている。
【００２６】
図示を省略するが、各ヘッドユニット５ａ，５ｂには、部品吸着用のノズルを先端に備えた複数の吸着ヘッドが設けられており、実装作業時には、これらの吸着ヘッドによりそれぞれ部品供給部４Ａ，４Ｂから部品を吸着して取出すようになっている。
【００２７】
なお、図１において、符号１２はヘッドユニット５ａ，５ｂの各吸着ヘッドにより吸着された部品認識用のカメラ１２であり、各部品供給部４Ａ，４ＢのＸ軸方向片側に配置されている。
【００２８】
次に、上記基板搬送装置２の構成について図２〜図１０を用いて説明する。なお、図２は基板搬送装置２を示す平面図、図３は同正面図、図４〜図８はそれぞれ同断面略図、図９は後述するロック装置の構成を示す正面図、図１０は基板搬送ベルト用の駆動伝達系統を説明する模式図である。
【００２９】
図１及び図２に示すように、基板搬送装置２は、それぞれ一対のベルトコンベアを備えたＸ軸方向に並ぶ３つの構成部分、具体的には、同図の左側（基板Ｐの搬送方向上流側）から順に、ベルトコンベア２０Ａ，２１Ａを備えた搬入部２Ａ（固定搬送部）、ベルトコンベア２０Ｂ，２１Ｂを備えた可動部２Ｂ（可動搬送部）およびベルトコンベア２０Ｃ，２１Ｃを備えた搬出部２Ｃ（固定搬送部）の３つの構成部分を有しており、これら各部２Ａ〜２Ｃの各コンベア２０Ａ，２１Ａ…（コンベア２０Ａ，２１Ａ等と略す）等により基板Ｐの両端（Ｙ軸方向両端）を支持した状態で該基板Ｐを搬送するようになっている。
【００３０】
各部２Ａ〜２Ｃのうち可動部２Ｂは、前記実装作業領域内に配置され、かつＹ軸方向に基板Ｐを移動させ得るように構成されている。
【００３１】
基板搬送装置２には、さらに基板Ｐのサイズに応じて前記各部２Ａ〜２Ｃのコンベア２０Ａ，２１Ａ等の間隔を変更するための機構、各部２Ａ〜２Ｃのコンベア２０Ａ，２１Ａ等を駆動する機構、および可動部２Ｂにおいて基板ＰをＹ軸方向に移動させるための機構等が設けられている。以下、搬入部２Ａ、可動部２Ｂ、搬出部２Ｃの各構成および上記各機構の構成について詳細に説明することにする。
【００３２】
なお、基板搬送装置２については、図２の下側を装置前側、上側を装置下側として以下の説明を行うことにする。また、搬入部２Ａと搬出部２Ｃは、可動部２Ｂを挟んで互いに対称な構成とされている以外、それらの基本的な構成は略共通しているため、搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃについては、共通する部分に同一の符合を付した上で主に搬入部２Ａの構成について説明し、搬出部２Ｃについては、搬入部２Ａとの相違点についてのみ言及することにする。
【００３３】
図５及び図６に示すように、搬入部２Ａは、基台１に固定される一対の側板３０，３１（前側板３０，後側板３１）を有している。これら側板３０，３１のうち前側板３０には、前記コンベア２０Ａ，２１Ａのうち前側のコンベア２０Ａが一体に組付けられており、このコンベア２０Ａと後側板３１との間に後側のコンベア２１ＡがＹ軸方向に移動可能に設けられ、後記モータ４２で駆動されるように構成されている。つまり、前側のコンベア２０Ａに対して後側のコンベア２１Ａを移動させることにより基板Ｐのサイズに対応できるようになっている。
【００３４】
具体的には、側板３０，３１の間に、Ｙ軸方向に延びるガイドレール３３を備えた支持台３２が設けられるとともに、このガイドレール３３の上方に該レール３３と平行に延びるボールねじ軸３４が設けられ、このボールねじ軸３４が側板３０，３１に回転可能に支持されている。そして、前記コンベア２１Ａがそのフレーム２５を介してガイドレール３３に移動可能に装着されるとともに、前記ボールねじ軸３４が前記フレーム２５に組付けられたナット部材２８に螺合装着されている。
【００３５】
ボールねじ軸３４の前端には駆動プーリ３４ａが装着されており、図２および図３に示すように、この駆動プーリ３４ａと、基台１に固定されたモータ４２の出力軸に装着されるプーリ４２ａとに亘って駆動ベルト４７Ａが装着されている。この構成により、モータ４２が作動するとプーリ４２ａ、駆動ベルト４７Ａおよび駆動プーリ３４ａを介してボールねじ軸３４に回転駆動力が伝達され、このボールねじ軸３４の回転に伴いコンベア２１Ａがガイドレール３３に沿ってＹ軸方向に移動するようになっている。
【００３６】
なお、モータ４２は、同図に示すように装置前側であって可動部２Ｂの側方部分に配置されており、フレーム４３を介し基台１に固定されている。また、このモータ４２と搬入部２Ａの前側板３０との間には、ガイドプーリ４６ａおよびテンションプーリ４６ｂを備えたフレーム４５が立設されており、これらガイドプーリ４６ａおよびテンションプーリ４６ｂに駆動ベルト４７Ａが掛け渡されることにより、該駆動ベルト４７Ａが張設されている。
【００３７】
各コンベア２０Ａ，２１Ａには、図４および図６に示すように駆動プーリ２３と複数の従動プーリ２２が所定の配列で設けられており、基板Ｐを搬送するための搬送ベルト２４がこれらプーリ２２，２３に亘って装着されている。
【００３８】
各コンベア２０Ａ，２１Ａの駆動プーリ２３は同一方向に一体的に回転するように互いに連結されている。すなわち、前記側板３０，３１の間には、スプラインシャフトからなるＹ軸方向に延びる駆動シャフト３５（第１駆動軸）が前記ボールねじ軸３４と横並びに設けられており、この駆動シャフト３５が、コンベア２０Ａ，２１Ａの各駆動プーリ２３および後側のコンベア２１Ａのフレーム２５をそれぞれ貫通した状態で前記側板３０，３１に回転可能に支持されている。そして、後側のコンベア２１Ａの駆動プーリ２３がベアリング等を介してフレーム２５に回転自在に支持されるとともに前記駆動シャフト３５に対してスプラインナットを介して連結されており、その結果、後側のコンベア２１Ａの駆動プーリ２３が前記駆動シャフト３５に対してその軸方向（Ｙ軸方向）への相対的な移動が可能で、かつ駆動シャフト３５と一体回転するように構成されている。なお、前側のコンベア２０Ａの駆動プーリ２３は駆動シャフト３５に一体に固定されている。従って、駆動シャフト３５が回転すると、Ｙ軸方向におけるコンベア２１Ａの配置に拘らず、各コンベア２０Ａ，２１Ａの駆動プーリ２３が一体に回転し、この回転により各コンベア２０Ａ，２１Ａの各搬送ベルト２４が一体に周回移動するようになっている。
【００３９】
駆動シャフト３５の後端には駆動プーリ３５ａが装着されている。この駆動プーリ３５ａには駆動ベルト４０が掛け渡されており、後記モータ３７の回転駆動力がこの駆動ベルト４０を介して駆動プーリ３５ａに伝達されることにより、駆動シャフト３５が回転駆動されるようになっている。この点については後に詳述することにする。
【００４０】
以上、搬入部２Ａの構成について説明したが、これに対して搬出部２Ｃは以下の点で搬入部２Ａと構成が相違している。
【００４１】
まず、前記モータ４２の出力軸には、前記プーリ４２ａと同一構成のプーリ４２ｂが並べて装着されており、搬出部２Ｃについては、このプーリ４２ｂと前記ボールねじ軸３４の駆動プーリ３４ａとに亘って駆動ベルト４７Ｂが装着されている。
【００４２】
また、搬出部２Ｃについては、駆動シャフト３５の後端に駆動プーリ３５ａは設けられておらず、その代わりに、図３および図６（一点鎖線）に示すように、駆動シャフト３５の前端に駆動プーリ３５ｂが装着されている。この駆動プーリ３５ｂは前側板３０に繋がる延設部３０ａの前側に配置されており、後記伝動ベルト９２がこの駆動プーリ３５ｂと前記延設部３０ａに支持されるプーリ９３とに掛け渡されている。これにより後述するようにモータ３７の回転駆動力が伝動ベルト９２及び駆動プーリ３５ａを介して駆動シャフト３５に伝達されるようになっている。
【００４３】
一方、可動部２Ｂは、図２、図３及び図７に示すような可動フレーム５０を有している。可動フレーム５０は、底板５１ｃの前後両端に前後側板５１ａ，５１ｂ（前側板５１ａ、後側板５１ｂという）が立設された側面視凹型のフレームで、基台１上に固定されたＹ軸方向に延びる一対のガイドレール５３にベース板５２を介して固定されている。
【００４４】
可動フレーム５０には、基台１上に回転可能に支持されたＹ軸方向に延びるボールねじ軸５５（図１参照）が螺合装着されている。このボールネジ軸５５は基台１に固定されるモータ５４の出力軸に連結されており、従って、このモータ５４によりボールねじ軸５５が回転駆動されると、可動フレーム５０がガイドレール５３に沿ってＹ軸方向に移動するようになっている。
【００４５】
可動フレーム５０の前後側板５１ａ，５１ｂの間には一対のガイドシャフト６０と、スプラインシャフトからなる駆動シャフト８６（第２駆動軸）が回転自在に支持されているとともに、前側板５１ａに対してスプラインシャフトかなる伝動シャフト９０（伝動軸）が挿入されている。ガイドシャフト６０はそれぞれ可動フレーム５０のＸ軸方向両端部分にそれぞれ支持されており、駆動シャフト８６はそれらの中間より僅かに搬入部２Ａ寄りの位置に支持されている。一方、伝動シャフト９０は、搬入部２Ａ側のガイドシャフト６０の下側に配置されており、スプラインナット８８及びベアリング８９を介して前側板５１ａに連結されるとともに、その両端は、図７に示すように基台１に固定されたモータ固定プレート３６および支持プレート７９にそれぞれ回転可能に支持されている。
【００４６】
可動フレーム５０の前後側板５１ａ，５１ｂの間には、コンベア２０Ｂ，２１Ｂが設けられ、これらコンベア２０Ｂ，２１Ｂがそれぞれ前記両ガイドシャフト６０に支持されている。これらのコンベア２０Ｂ，２１Ｂのうち、前側のコンベア２０Ｂはカラー６１を介して前側板５１ａに固定されている。一方、後側のコンベア２０Ｂは、リニアブッシュ６２を介してガイドシャフト６０に装着されており、これによりガイドシャフト６０に沿ってコンベア２０ＢがＹ軸方向に移動可能となっている。つまり、前側のコンベア２０Ｂに対して後側のコンベア２１Ｂを移動させることにより基板Ｐのサイズに対応できるようになっている。
【００４７】
ここで、前記可動フレーム５０には、可動部２Ｂのコンベア２１Ｂを前記搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの各後側のコンベア２１Ａ，２１Ｃに対して連結するための機構と、コンベア２０ＢのＹ軸方向への移動を規制して可動フレーム５０の任意の位置にコンベア２０Ｂを固定するための機構とが設けられている。
【００４８】
コンベア同士を連結する機構としては、連結装置６５がコンベア２１Ｂに設けられている。連結装置６５は、Ｘ軸方向に延びる一対の連結用ロッド６７と、これら連結用ロッド６７の間に配置される双方型のエアシリンダ６６とを有している。各連結用ロッド６７は、それぞれガイド６８を介してＸ軸方向に移動可能に支持されるとともに前記エアシリンダ６６のロッドに連結されており、エアシリンダ６６へのエア圧の給排に応じて進退駆動されるようになっている。具体的には、エアシリンダ６６がロッド突出駆動状態とされると、コンベア２１Ｂの端部からロッド先端が外側に突出する位置（作動位置という）まで各連結用ロッド６７が前進し、エアシリンダ６６がロット引き込み駆動状態に切換えられると、ロッド先端がコンベア２１Ｂの端部に位置するところ（図２に示す位置；退避位置という）まで各連結用ロッド６７が後退するようになっている。
【００４９】
そして、前記搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃの各コンベア２１Ａ，２１Ｃのうち可動部２Ｂ側の端部に連結用ロッド６７の挿入孔２７を備えた連結用ブラケット２６（図５，図６参照）がそれぞれ組付けられている。
【００５０】
この構成において、図１に示すように各コンベア２１Ａ〜２１ＣがＸ軸方向に横並びに配置された状態で前記エアシリンダ６６がロッド突出駆動状態に切換えられると、各連結用ロッド６７が作動位置に前進して各連結用ブラケット２６の挿入孔２７に先端が挿入され、これによって可動部２Ｂの後側のコンベア２０Ｂが搬入部２Ａ及び可動部２Ｂの各後側のコンベア２１Ａに連結されるようになっている。
【００５１】
一方、可動フレーム５０の任意の位置にコンベア２０Ｂを固定するための機構構成としては、各ガイドシャフト６０の回転方向を規制するワンウェイクラッチ６３がコンベア２１Ｂに組込まれるとともに、各ガイドシャフト６０に対してそれぞれロック装置７０ａ，７０ｂが設けられている。
【００５２】
ワンウェイクラッチ６３は、図７に示すように、コンベア２１Ｂに一体に組み込まれており、前記リニアブッシュ６２の直ぐ後側で各ガイドシャフト６０に装着されている。詳細図を示していないが、ワンウェイクラッチ６３は、例えば内側にフライス歯状のカム部を備えた円筒状の外輪および、これら外輪の内側の各カム部間に回動可能に配設される複数のローラにより構成されており、前記コンベア２１Ｂのフレームに対して前記外輪が固定され、前記各ローラの内側にガイドシャフト６０が挿入されている。そして、コンベア２１Ｂ（外輪）に対してガイドシャフト６０を特定方向に回転させようとすると、前記外輪のカム部間の狭部方向にローラが移動して外輪３０とガイドシャフト６０との間に詰まり、これによりコンベア２１Ｂ（外輪）とガイドシャフト６０が係合状態となってコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の回転を阻止する一方、コンベア２１Ｂ（外輪）に対してガイドシャフト６０を前記特定方向と反対方向に回転させようとすると、外輪の前記カム部間の狭部方向とは逆方向にローラが移動し、これによりコンベア２１Ｂ（外輪）とガイドシャフト６０とが非係合状態となってコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の回転が許容されるように構成されている。
【００５３】
当実施形態では、搬入部２Ａ側のガイドシャフト６０を装置前側から見た場合、図９（ａ）に示すように、ガイドシャフト６０の反時計回りの回転（破線矢印方向の回転）を許容し、時計回りの回転（実線矢印方向の回転）を阻止するようにワンウェイクラッチ６３が構成されている。また、図示を省略するが、搬出部２Ｃ側のガイドシャフト６０については、ガイドシャフト６０の回転許容（阻止）方向が搬入部２Ａ側のガイドシャフト６０とは逆になるようにワンウェイクラッチ６３が構成されている。
【００５４】
ロック装置７０ａ，７０ｂは、可動フレーム５０の前記前側板５１ａに組付けられている。搬入部２Ａ側のロック装置７０ａを例にその構成を説明すると、ロック装置７０ａは、図９（ｂ）に示すように、前記ガイドシャフト６０（搬入部２Ａ側のガイドシャフト６０）の端部に固定され、かつラチェットホイール７３を一体に備えた操作ホイール７２と、この操作ホイール７２を駆動するエアシリンダ７１と、ラチェットホイール７３に係合するラチェット７５とを備えている。
【００５５】
エアシリンダ７１は、前側板５１ａに固定されており、そのロッド７１ａ先端が前記操作ホイール７２に連結されている。そして、ロッド引込み駆動状態からロッド突出駆動状態への切換えに応じて前記操作ホイール７２を反時計回り（装置前側から見て反時計回り）に回動させるように設けられている。
【００５６】
ラチェット７５は、取付部材７６の先端部分に固定されており、この取付部材７６を介して前側板５１ａに支持されている。取付部材７６は、Ｘ軸方向に細長のガイド孔７６ａを介して前側板５１ａにピン７７で支持されるとともに、圧縮ばね７８により付勢されている。これにより、ラチェット７５が、Ｘ軸方向に変位可能で、かつ圧縮ばね７８の弾発力によりその先端をラチェットホイール７３に押し付けた状態で前側板５１ａに支持されている。なお、ラチェットホイール７３及びラチェット７５は、同図に示すように、ラチェットホイール７３にラチェット７５が係合した状態でラチェットホイール７３の時計回りの回転（図９で時計回り；装置前側から見て時計回り）を許容し、反時計回りの回転を阻止するように構成されている。
【００５７】
このロック装置７０ａの構成において、エアシリンダ７１にエア圧が供給されると各ガイドシャフト６０に対するコンベア２１ＢのＹ軸方向の移動が可能となり（ロック解除状態）、一方、エアシリンダ７１へのエア圧の供給が停止されるとコンベア２１Ｂが各ガイドシャフト６０にロックされる（ロック状態）。
【００５８】
すなわち、エアシリンダ７１にエア圧が供給されて該シリンダ７１がロッド突出駆動状態とされると、操作ホイール７２に設けられる押圧部７４がラチェット７５の先端に当接してラチェット７５を圧縮ばね７８の弾発力に抗して押し戻す。これに伴いラチェット７５と操作ホイール７２との係合状態が解除され、図９（ｂ）の二点鎖線に示すように操作ホイール７２が反時計回りに回動するとともに、この操作ホイール７２の回動に伴いガイドシャフト６０が一体に反時計回りに回動することとなる。この際、上記の通りコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の反時計回りの回転を許容するようにワンウェイクラッチ６３が構成されている結果、ガイドシャフト６０が反時計回りに回動すると、ワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０との係合状態が解除され、これによりガイドシャフト６０に対するコンベア２１ＢのＹ軸方向の移動が許容されることとなる。
【００５９】
すなわち、ワンウェイクラッチ６３は、上記のように内蔵されたローラが外輪とガイドシャフト６０との間に詰まり、これによりコンベア２１Ｂ（外輪）とガイドシャフト６０を係合状態とするものであるため、この係合状態ではコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の回転のみならず、ガイドシャフト６０に対するコンベア２１Ｂの軸方向の移動も阻止される。逆に、コンベア２１Ｂとガイドシャフト６０が非係合状態のときには、上記のようなローラの詰まった状態が解消されるため、この非係合状態ではコンベア２１Ｂに対するガイドシャフト６０の回転のみならず、ガイドシャフト６０に対するコンベア２１Ｂの軸方向の移動も許容されることとなる。従って、上記のようにガイドシャフト６０を反時計回りに回動させると、ワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０との係合状態が解除され、これによりガイドシャフト６０に対するコンベア２１ＢのＹ軸方向の移動が許容されることとなる。
【００６０】
一方、この状態からエアシリンダ７１へのエア圧の供給が停止されると、圧縮ばね７８の弾発力によるラチェット７５の押し付けによりラチェットホイール７３が時計回りに回動し、これに伴い操作ホイール７２およびガイドシャフト６０が一体に時計回りに回動することとなる。この際、上記の通りワンウェイクラッチ６３が構成されている結果、ガイドシャフト６０が時計回りに回動すると、ワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０とが係合状態となり、その結果、ガイドシャフト６０に対するコンベア２１ＢのＹ軸方向の移動が阻止され、ガイドシャフト６０に対してコンベア２１Ｂがロックされることとなる。なお、この際、エアシリンダ７１内のエアは操作ホイール７２の回動に伴うロッド７１ａの押し戻しにより自然排出される。
【００６１】
以上は、搬入部２Ａ側のロック装置７０ａの構成であるが、搬出部２Ｃ側のロック装置７０ｂも共通の構成とされている。但し、搬出部２Ｃ側のロック装置７０ｂは、対応するガイドシャフト６０に装着される前記ワンウェイクラッチ６３との関係で搬入部２Ａ側のロック装置７０ａとは対称な構成となっている。
【００６２】
図４および図８に示すように、可動部２Ｂの各コンベア２０Ｂ，２１Ｂには、駆動プーリ８３と複数の従動プーリ８２が所定の配列で設けられており、基板Ｐを搬送するための搬送ベルト８４がこれらプーリ８２，８３に亘って装着されている。各コンベア２０Ｂ，２１Ｂの駆動プーリ２３は、それぞれベアリングを介してコンベア２０Ｂ，２１Ｂのフレームに回転自在に支持されるとともに前記駆動シャフト８６に装着されており、駆動シャフト８６の回転に伴い互いに同一方向に一体に回転するように互いに連結されている。
【００６３】
なお、後側のコンベア２１Ｂの駆動プーリ８３は、駆動シャフト８６に対してスプラインナットを介して連結されており、これにより駆動プーリ２３が駆動シャフト８６に対して軸方向（Ｙ軸方向）への相対的な移動が可能で、かつ駆動シャフト８６と一体に回転するように連結されている。従って、コンベア２１ＢのＹ軸方向の配置に拘らず、駆動シャフト８６が回転すると、各コンベア２０Ｂ，２１Ｂの駆動プーリ８３が一体に回転し、その結果、各コンベア２０Ｂ，２１Ｂの各搬送ベルト８４が一体に周回移動するようになっている。
【００６４】
可動部２Ｂの各搬送ベルト８４および搬入部２Ａ、可動部２Ｂの各搬送ベルト２４は、共通のモータにより駆動されるようになっている。
【００６５】
すなわち、図２，図４および図７に示すように、可動部２Ｂの後側の部分には、モータ固定プレート３６を介して基台１にモータ３７が固定されており、このモータ３７の出力軸にプーリ３７ａが装着されている。また、前記伝動シャフト９０の後端に伝動プーリ９０ｂが装着され、この伝動プーリ９０ｂの近傍において前記モータ固定プレート３６にテンションプーリ３８が設けられ、これらプーリ３７ａ、３８、９０ｂと搬入部２Ａの前記駆動プーリ３５ａとに亘って駆動ベルト４０が装着されている。また、前記伝動シャフト９０の前端部分に伝動プーリ９０ａが装着され、この伝動プーリ９０ａと、搬出部２Ｃの前記駆動プーリ３５ｂおよびプーリ９３とに亘って伝動ベルト９１が装着されている。さらに、伝動シャフト９０における前記伝動プーリ９０ａよりも後側の部分に伝動プーリ９０ｃ（伝動車）が装着され、この伝動プーリ９０ｃがベアリングを介して可動フレーム５０の前記前側板５１ａに回転自在に支持されるとともに、伝動シャフト９０に対してスプラインナットを介して連結されている。そして、前記駆動シャフト８６の前端に駆動プーリ８６ａが装着され、これら両プーリ８６ａ，９０ｃに亘って伝動ベルト９１が装着されている。
【００６６】
図１０は、上記の駆動伝達系統を模式的に示したものである。この図に従って、まずモータ３７が作動すると、その回転駆動力が駆動ベルト４０及び駆動プーリ３５ａ等を介して搬入部２Ａの駆動シャフト３５に伝達されるとともに、駆動ベルト４０及び伝動プーリ９０ｂを介して伝動シャフト９０に伝達される。そして、この伝動シャフト９０に伝達された回転駆動力がさらにプーリ８６ａ，９０ｃおよび伝動ベルト９１を介して可動部２Ｂの駆動シャフト８６に伝達されるとともに、プーリ３５ｂ，９０ａ及び伝動ベルト９２を介して搬出部２Ｃの駆動シャフト３５に伝達される。その結果、搬入部２Ａの駆動シャフト３５、可動部２Ｂの駆動シャフト８６および搬出部２Ｃの駆動シャフト３５が一体に回転し、この回転により搬入部２Ａ、搬出部２Ｃの各搬送ベルト２４および可動部２Ｂの各搬送ベルト８４が一体に同一方向に周回移動するようになっている。
【００６７】
そして、上記のように伝動シャフト９０が可動フレーム５０（前側板５１ａ）に対してスプラインナット８８およびベアリング８９を介して組付けられるとともに、この伝動シャフト９０に対して前記伝動プーリ９０ｃがスプラインナットを介して装着されている結果、可動フレーム５０のＹ軸方向への移動が可能とされる一方で伝動シャフト９０の回転駆動力が駆動シャフト８６に確実に伝達され、さらに、各部２Ａ〜２Ｃの後側の駆動プーリ２３，８３がそれぞれスプラインナットを介して駆動シャフト３５，８６に対して装着されている結果、各部２Ａ〜２Ｃのコンベア２１Ａ〜２１ＣのＹ軸方向の移動が可能される一方でモータ３７の回転駆動力が駆動シャフト３５，８６等を介して搬送ベルト２４，８４に確実に伝達されるようになっている。
【００６８】
なお、この実施形態では、伝動プーリ９０ｃ、伝動ベルト９１および駆動プーリ８６ａ等により本発明の動力伝達機構が構成されている。
【００６９】
次に、以上のように構成された実装機の実装動作について図１１及び図１２説明する。
【００７０】
実装作業に際しては、まず基板搬送装置２の作動により基板Ｐが実装機に搬送され、基板搬送装置２の前記可動部２Ｂに位置決め固定される。このとき、基板搬送装置２の前記可動フレーム５０は、ホームポジション、すなわち可動部２Ｂのコンベア２０Ｂ，２１Ｂと、搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃのコンベア２０Ａ，２１Ａ等とが横並びとなる位置にセットされており、これにより可動部２Ｂに対して基板Ｐの搬送が可能となっている。なお、説明を省略しているが、可動部２Ｂの前記可動フレーム５０には、基板Ｐをその下側から持ち上げた状態で位置決め固定する位置決め機構が搭載されている。
【００７１】
そして、基板Ｐが可動フレーム５０に位置決め固定された状態で、前記サーボモータ９，１０ａ、１０ｂ，５４等が制御されることにより、ヘッドユニット支持部材６とこれに支持された２つのヘッドユニット５ａ，５ｂが作動されるとともに、基板搬送装置２の可動部２Ｂ（可動フレーム５０）が作動されて、基板Ｐに対する部品の実装が行われる。
【００７２】
具体的には、まず、ヘッドユニット支持部材６が一方側の部品供給部４Ａに移動し、一方のヘッドユニット５ａの各吸着ヘッドによって部品の吸着が行われ、部品吸着後は、部品認識用のカメラ１２上にヘッドユニット５ａが移動してカメラ１２による撮像に基づき部品認識が行われてから、他方のヘッドユニット５ｂによる部品吸着および部品認識を行うべくヘッドユニット支持部材６が他方の部品供給部４Ｂ側に移動する。このとき基板Ｐが固定されている可動フレーム５０も実装作業領域内で他方の部品供給部４Ｂに近い位置に移動する。
【００７３】
そして、ヘッドユニット支持部材６が他方の部品供給部４Ｂ付近で停止し、この状態で、ヘッドユニット５ｂの各吸着ヘッドによって部品の吸着が行われ、さらにヘッドユニット５ｂが部品供給部４Ｂの側方のカメラ１２上に移動してカメラ１２による撮像に基づき部品認識が行われる。その一方で、このようなヘッドユニット５ｂによる部品の吸着および認識が行われている間に、ヘッドユニット５ａがＸ軸方向に移動し、かつ、基板Ｐが固定されている可動フレーム５０がＹ軸方向に移動することにより、基板Ｐに対する部品の位置決めが行われ、この部品位置決め動作が繰り返し行われてながら、ヘッドユニット５ａの各吸着ヘッドに吸着されている部品が順次基板Ｐに実装される。
【００７４】
ヘッドユニット５ａによる部品の装着が完了すると、ヘッドユニット支持部材６が部品供給部４Ａ側に移動するとともに、可動フレーム５０が部品供給部４Ａ側に移動する。そして、今度はヘッドユニット支持部材６が部品供給部４Ａ付近で停止した状態で、ヘッドユニット５ａによる部品吸着および部品認識が行われる一方、ヘッドユニット５ｂがＸ軸方向に移動し、かつ、基板Ｐが固定されている可動フレーム５０がＹ軸方向に移動することにより、基板Ｐに対する部品の位置決めが行われながら、ヘッドユニット５ｂの各吸着ヘッドに吸着されている部品の実装が順次行われる。
【００７５】
以後、各ヘッドユニット５ａ，５ｂによる部品の装着および吸着が交互に、かつ片方のヘッドユニット５ａ（又は５ｂ）による部品吸着動作と他方のヘッドユニット５ｂ（又は５ａ）による部品装着動作とが並行して行われながら基板Ｐへの部品の装着が効率良く行われ、基板Ｐに対する全部品の実装が終了すると、可動フレーム５０がホームポジション初期位置にリセットされ、基板Ｐが搬出部２Ｃを介して次工程へと搬出される。
【００７６】
そして、基板Ｐが搬出された後、次の基板Ｐの搬入に先立ち、当該基板Ｐのサイズに応じた基板搬送装置２の幅調整が以下のようにして行われる。
【００７７】
まず、図１１（ａ）に示すように、可動フレーム５０がホームポジションにセットされた状態で、連結装置６５が作動され、これにより搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃの各後側のコンベア２１Ａ，２１Ｃと、これらに対応する可動部２Ｂの後側のコンベア２１Ｂとが連結される。具体的には、図１１（ｂ）に示すように、エアシリンダ６６がロッド突出駆動状態に切換えられることにより各連結用ロッド６７が退避位置から作動位置に前進し、その結果、各連結用ロッド６７が両側のコンベア２１Ａ，２１Ｃの連結用ブラケット２６に挿入された状態となる。
【００７８】
コンベア同士が連結されると、ロック装置７０ａ，７０ｂの作動によりコンベア２１Ｂのロック状態が解除され、該コンベア２１Ｂがガイドシャフト６０に沿ってＹ軸方向へ移動可能な状態に切換えられる。具体的には、各ロック装置７０ａ，７０ｂのエアシリンダ７１にそれぞれエア圧が供給されることにより該シリンダ７１がロッド突出駆動状態とされ、これに伴う各ガイドシャフト６０の回転によりワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０とが非係合状態とされる。
【００７９】
コンベア２１Ｂのロック状態が解除されると、モータ４２の作動により搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの各ボールねじ軸３４が回転駆動される。このようにボールねじ軸３４が駆動されると、図１１（ｃ）に示すように搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの後側のコンベア２１Ａ，２１Ｃがガイドレール３３に沿って一体的にＹ軸方向に移動するとともに、コンベア２１Ａ，２１Ｃに連結されたコンベア２１Ｂが、コンベア２１Ａ，２１Ｃと共に一体にＹ軸方向に移動することとなる。その結果、搬入部２Ａ、可動部２Ｂ及び搬出部２Ｃの各後側のコンベア２１Ａ〜２１Ｃが前側のコンベア２１Ａ〜２１Ｃに対して相対的に接近又は離間し、これによって基板搬送装置２の幅調整が行われる。
【００８０】
コンベア２０Ａ，２１Ａ等の間隔が、次の基板Ｐに対応する所定の間隔にセットされると、ロック装置７０ａ，７０ｂの各エアシリンダ７１へのエア圧の供給が停止され、これによりコンベア２１Ｂが各ガイドシャフト６０に対してロックされる。つまり、ロック装置７０ａ，７０ｂにおいて、各エアシリンダ７１へのエア圧の供給が停止されることにより、上述したように前記圧縮ばね７８の弾発力によりラチェット７５等を介してガイドシャフト６０がロック解除方向とは反対方向に回転し、これによってワンウェイクラッチ６３とガイドシャフト６０が係合状態とされる。
【００８１】
可動部２Ｂのコンベア２１Ｂがロック状態に切換えられると、図１２（ａ）に示すように連結装置６５の各連結用ロッド６７が退避位置にリセットされ、可動部２Ｂのコンベア２１Ｂが搬入部２Ａ及び搬出部２Ｃの各コンベア２１Ａ，２１Ｃから切り離される。これにより基板搬送装置２の幅調整が完了することとなる。
【００８２】
そして、幅調整が完了すると、次の基板Ｐが基板搬送装置２の可動部２Ｂに搬入、位置決めされ、この状態で可動フレーム５０がＹ軸方向に駆動されることにより、上述したように基板ＰがＹ軸方向に移動されながら部品の実装が行われることとなる（図１２（ｂ））。
【００８３】
以上のように、この実装機に搭載される基板搬送装置２は、その一部分（可動部２Ｂ）がＹ軸方向に移動可能に構成され、この可動部２Ｂに、搬入部２Ａおよび搬出部２Ｃとは別個独立にコンベア２０Ｂ，２１Ｂが搭載されるものであるが、上述したように、この基板搬送装置２では、基台１上に固定されたモータ３７により搬入部２Ａの駆動シャフト３５および伝動シャフト９０を駆動し、さらにこの伝動シャフト９０の回転駆動力を、ベルト伝動機構を介して可動フレーム５０の駆動シャフト８６および搬出部２Ｃの駆動シャフト３５にそれぞれ伝達することにより共通の一のモータ３７で搬入部２Ａ、可動部２Ｂ及び搬出部２Ｃの各コンベア２０Ａ，２１Ａ等を駆動するように構成しているので、可動部のコンベアを駆動するためのモータ（駆動源）を搬入部等とは別個独立に設ける従来のこの種の基板搬送装置と比較すると、そのような専用のモータが不要な分、装置の軽量化および低廉化を図ることができるという効果がある。
【００８４】
特に、専用のモータを可動部２Ｂ（可動フレーム５０）に設ける必要がない分、従来装置に比べて可動フレーム５０を大幅に軽量化することができ、これによって可動フレーム５０をより高速で駆動することが可能になる。また、可動フレーム５０を駆動するモータ５４としても出力の低いものが適用可能となるため、この点でも装置の軽量化および低廉化を図ることができるという効果がある。
【００８５】
そして、このように基板搬送装置２０において軽量化および低廉化が図られる結果、この基板搬送装置２０が搭載する上記実装機としてもその軽量化、および低廉化を図ることができるという効果がある。
【００８６】
しかも、上記の基板搬送装置２０によれば、可動フレーム５０の軽量化に伴い従来に比べて該可動フレーム５０を高速で駆動することが可能となるため、実装動作中は、基板ＰをＹ軸方向により高速で移動させることが可能となる。従って、上記の実装機によると、実装作業の効率を高めることができるという効果がある。
【００８７】
なお、以上説明した実装機は、本発明に係る実装機の一実施形態であって、基板搬送装置２０の具体的な構成や実装機の具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００８８】
例えば、実施形態では、伝動シャフト９０の回転駆動力を可動フレーム５０の駆動シャフト８６に伝達するために、プーリ８６ｃ，９０ｃおよび伝動ベルト９１からなるベルト伝動機構を採用しているが、ギア伝動機構、あるいはチェーン伝動機構等を適用するようにしてもよい。要は、伝動シャフト９０の回転駆動力を確実に駆動シャフト８６に伝達し得る機構であればよい。勿論、これらシャフト８６，９０以外のシャフト間であってベルト伝動機構が用いられているところについても、可能な場合には、ギア伝動機構、あるいはチェーン伝動機構等を適用するようにしてもよい。
【００８９】
また、実施形態では、モータ３７の回転駆動力を、伝動シャフト９０を介して搬出部２Ｃの駆動シャフト３５に伝達するように構成されているが、レイアウト的に可能な場合には、搬入部２Ａの駆動シャフト３５と同様にモータ３７により直接駆動するように構成してもよい。
【００９０】
また、実装機に搭載されている上記の基板搬送装置２０は、実装機以外の各種装置に適用可能であり、例えば、部品実装後の基板を検査する検査装置に適用することも可能である。すなわち、基板搬送装置により所定の作業位置に搬入された基板に対して、基板表面を撮像可能なカメラ（撮像手段）を備えたヘッドユニットを相対的に移動させながら、前記カメラにより基板を撮像してその画像に基づいて当該基板を検査する装置が従来から周知であるが、例えば、その基板搬送装置として上記実施形態のような基板搬送装置２０を搭載することもできる。このような検査装置によると、例えばヘッドユニットをＸ軸方向に移動させる一方、基板が固定されている可動フレームをＹ軸方向に移動させることにより基板の任意の位置をカメラにより撮像しながら効率良く検査を行うことができる。
【００９１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の基板搬送装置は、固定搬送部の各ベルトコンベアを直接駆動する第１駆動軸とこれとは別の伝動軸を基台上に設けてこれらの軸を共通のモータで駆動する一方、伝動軸の回転駆動力を、動力伝動機構を介して可動フレームの第２駆動軸（可動搬送部の各ベルトコンベアを直接駆動する駆動軸）に伝達するように構成し、さらに動力伝達機構を、可動フレームの移動に伴う第２駆動軸の変位を可能とし、かつ伝動軸の回転駆動力を第２駆動軸に伝達するように構成したので、各搬送部のコンベアを共通のモータで駆動させることができる。従って、可動搬送部に対して専用のモータ（駆動源）を設ける必要がなく、これによって装置の軽量化および低廉化を図ることが可能となる。
【００９２】
また、このように可動搬送部にコンベア駆動用の専用のモータを設ける必要がなくなる分、可動フレームの搭載部材数を軽減することが可能となり、可動フレームの前記搬送方向と直交する方向への移動をより高速で行わせることが可能となる。従って、作業の効率を高めることが可能になるという効果もある。
【００９３】
そして、本発明に係る表面実装機および基板検査装置によると、上記のような基板搬送装置が搭載されている結果、表面実装機および基板検査装置としての軽量化、低廉化を効果的に図ることができ、また、可動搬送部において基板をより高速で移動させることが可能となるため、その結果、実装作業や検査処理の効率を高めることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る表面実装機（本発明に係る基板搬送装置が適用される表面実装機）を示す平面図である。
【図２】基板搬送装置の構成を示す平面図である。
【図３】基板搬送装置の構成を示す正面図である。
【図４】基板搬送装置を構成する搬入部、可動部および搬出部の各後側のコンベアを示す図２におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】搬入部の構成を示す図２のＢ矢視図である。
【図６】搬入部の構成を示す図２のＣ−Ｃ断面図である。
【図７】可動部の構成を示す図２のＤ−Ｄ断面図である。
【図８】可動部の構成を示す図２のＥ−Ｅ断面図である。
【図９】（ａ）はワンウェイクラッチによるガイドシャフト（搬入部側のガイドシャフト）の回転規制方向を説明する図であり、（ｂ）はロック装置７０ａの構成を示す正面図である。
【図１０】搬入部、可動部および搬出部の各搬送ベルトへの駆動力伝達系統を説明するための模式図である。
【図１１】基板搬送装置（コンベア）の幅調整動作を説明する模式図である（（ａ）は可動部がホームポジションにセットされた状態、（ｂ）は可動部のコンベアと搬入部および搬出部の各コンベアとが連結された状態、（ｃ）は後側コンベアがＹ軸方向に一体に移動している状態をそれぞれ示している）。
【図１２】基板搬送装置（コンベア）の幅調整動作を説明する模式図である（（ａ）は可動部のコンベアが搬入部および搬出部の各コンベアから切り離された状態、（ｂ）は幅調整後、基板が搬入されて実装動作が開始された状態をそれぞれ示している）。
【符号の説明】
２  基板搬送装置
２Ａ  搬入部（固定搬送部）
２Ｂ  可動部（可動搬送部）
２Ｃ  搬出部（固定搬送部）
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ  コンベア（前側）
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ  コンベア（後側）
３５  駆動シャフト（第１駆動軸）
３５ａ，３５ｂ  駆動プーリ
３７  モータ
４０  駆動ベルト
７０ａ，７０ｂ  ロック装置
８６  駆動シャフト（第２駆動軸）
８６ａ  駆動プーリ
９０  伝動シャフト（伝動軸）
９０ａ，９０ｂ，９０ｃ  伝動プーリ
９１，９２  伝動ベルト
Ｐ  基板
【図１】
2004338836.tif 000003
【図２】
2004338836.tif 000004
【図３】
2004338836.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004338836.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004338836.tif 000009
【図８】
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【図９】
2004338836.tif 000011
【図１０】
2004338836.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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