(57)【要約】【課題】小ストロークの開閉弁で、応答性や流量の低下を抑制しながら、弁ボディ部の巾を可及的に小さくすると同時に、ソレノイド部についても小さい巾で所要の出力が得られるようにした弁装置を提供する。【解決手段】加圧流体の出力流路の開閉を行うソレノイド弁装置において、固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの一端の吸着面１４Ａ，１４Ｂを同一平面に隣接して配列させた複数のソレノイド２１Ａ，２１Ｂと、それらのソレノイドを覆う共通の磁気フレーム２４とを有し、通電時に隣接するソレノイドの固定鉄心に生じる磁束の極性が逆向きまたは同方向になるように配線されたソレノイド部２、弁座３９Ａ，３９Ｂが上記複数のソレノイドの配列方向に長く形成された弁ボディ部３、並びにその弁座を開閉する常磁性体の可動弁４を備える。【選択図】        図１
2004332876.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイル内に配置した固定鉄心の一端に可動弁を吸着するための磁気吸着面を有するソレノイド部と、このソレノイド部と連設し、加圧流体の入力流路及び出力流路を有する弁ボディ部と、上記両流路間の弁座を開閉する常磁性材の前記可動弁を備え、前記ソレノイド部の作動に応じて前記可動弁により前記弁座の開閉を行う弁装置において、
前記ソレノイド部が、固定鉄心の吸着面を同一平面上に隣接させて配置した複数のソレノイドを有するとともに、それらのソレノイドを覆って天板部が各固定鉄心の吸着面と反対側の端面に接する共通の磁気フレームを有し、
前記弁ボディ部における加圧流体の出力流路は、前記複数のソレノイドの配列方向に長く形成されており、
前記可動弁は、少なくとも各固定鉄心に対面して、複数のソレノイドへの通電時に該固定鉄心に吸引される部分を有し、
前記通電を解除したときに可動弁を弁座に着座させるための手段を設けた、
ことを特徴とする複数ソレノイドを有する弁装置。
【請求項２】
固定鉄心の周囲に、ソレノイドへの通電時に可動弁が固定鉄心の吸着面に密着するのを抑止する程度に突出するクッションを配置した、
ことを特徴とする請求項１に記載の複数ソレノイドを有する弁装置。
【請求項３】
前記固定鉄心の磁気吸着面とほぼ同一平面上に配設されて、前記磁気フレームには磁気的に接合されているが固定鉄心に対しては接合されていない磁気プレートを備え、
前記可動弁は、各固定鉄心とそれらの両側における磁気プレートにそれぞれ対面して、前記複数のソレノイドへの通電時に該固定鉄心及び磁気プレートに吸引される部分を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の複数ソレノイドを有する弁装置。
【請求項４】
前記複数のソレノイドが、それらへの通電時に隣接するソレノイドの固定鉄心に生じる磁束の極性が互いに逆向きになるように配線された、
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の複数ソレノイドを有する弁装置。
【請求項５】
通電を解除した段階で可動弁を弁座に着座させるための手段として、
入力流路からの加圧流体が、出力流路が開口する弁座に対して可動弁を押圧するように、該可動弁を配設した、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の複数ソレノイドを有する弁装置。
【請求項６】
固定鉄心と磁気プレートとの間に、それらの間の磁束の流れに対して抵抗を与えるとともに、ソレノイドへの通電時に可動弁が固定鉄心の吸着面及び磁気プレートに密着するのを抑止する程度に突出するクッションを配置した、
ことを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の複数ソレノイドを有する弁装置。
【請求項７】
複数の弁座が複数のソレノイドの固定鉄心の吸着面に対向して設けられ、それらの弁座が、ソレノイドの隣接方向に長くなるように並列配置されている、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の複数ソレノイドを有する弁装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、小ストロークで、応答性や流量の低下を抑制しながら、その多数を密に並列配置しても全体的にコンパクト化できるようにした２ポートの弁装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
特許文献１には、可動鉄心を有するソレノイド部と、このソレノイド部と連設し、加圧流体の入力流路及び出力流路を有すると共に、それらの流路間の弁座を前記可動鉄心で駆動される弁体で開閉するようにした弁ボディ部とを備えた弁装置において、前記ソレノイド部の可動鉄心のストロークをできるだけ小さくし、それによってソレノイド部を小型化できるようにした技術が開示されている。
また、特許文献２には、電磁力等で駆動される板状の弁体により出力側流路の開口を開閉するようにした開閉弁において、小ストロークで流量を大きくしながら装置全体を小型化できるようにした技術が開示されている。
これらの開閉弁は、可動鉄心の小ストロークで全開するため、応答性においても優れたものである。
【０００３】
前記特許文献１及び特許文献２の開閉弁のように、小型のソレノイドで開閉のストロークをできるだけ小さくし、それによって弁の開閉の応答性を改善した弁装置では、その多数を密に並列配置して全体的にコンパクト化しようとすると、弁ボディ部の巾を可及的に小さくすると同時に、小型化しているソレノイドの一層の小型化が必要になり、応答性や流量の低下を抑止しながらそれらを実現するためには、何らかの大幅な構造的な改変を考慮する必要がある。
【０００４】
【特許文献１】
実公昭５８−３３３３４号公報
【特許文献２】
実公平５−１１４０９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、前述した小ストロークの開閉弁で、応答性や流量の低下を抑制しながら、その多数を密に並列配置して全体的にコンパクト化できるようにした弁装置を提供することにある。
本発明の更に具体的な技術的課題は、上記小ストロークの開閉弁で、応答性や流量の低下を抑制しながら、弁ボディ部の巾を可及的に小さくすると同時に、ソレノイド部についてもその弁ボディ部の巾に応じた小さい巾で所要の出力が得られるようにした弁装置を提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、単一のソレノイドを用いる場合に、弁ボディ部の巾を小さくしてソレノイドの巾もそれに応じた小さい巾にしようとすると、その出力を高めることに限界があることを考慮し、ソレノイドの巾も小さくしながらその出力を高められるようにした弁装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため本発明の弁装置は、コイル内に配置した固定鉄心の一端に可動弁を吸着するための磁気吸着面を有するソレノイド部と、このソレノイド部と連設し、加圧流体の入力流路及び出力流路を有する弁ボディ部と、上記両流路間の弁座を開閉する常磁性材の前記可動弁を備え、前記ソレノイド部の作動に応じて前記可動弁により前記弁座の開閉を行う弁装置において、前記ソレノイド部が、固定鉄心の吸着面を同一平面上に隣接させて配置した複数のソレノイドを有するとともに、それらのソレノイドを覆って天板部が各固定鉄心の吸着面と反対側の端面に接する共通の磁気フレームを有し、前記弁ボディ部における加圧流体の出力流路は、前記複数のソレノイドの配列方向に長く形成されており、前記可動弁は、少なくとも各固定鉄心に対面して、複数のソレノイドへの通電時に該固定鉄心に吸引される部分を有し、前記通電を解除したときに可動弁を弁座に着座させるための手段を設けたことを特徴とするものである。
上記固定鉄心の周囲には、ソレノイドへの通電時に可動弁が固定鉄心の吸着面に密着するのを抑止する程度に突出するクッションを配置することができる。
【０００７】
上記弁装置においては、前記固定鉄心の磁気吸着面とほぼ同一平面上に配設されて、前記磁気フレームには磁気的に接合されているが固定鉄心に対しては接合されていない磁気プレートを備え、前記可動弁は、各固定鉄心とそれらの両側における磁気プレートにそれぞれ対面して、前記複数のソレノイドへの通電時に該固定鉄心及び磁気プレートに吸引される部分を有するものとし、あるいは、上記磁気プレートを設けることなく、磁性材料でないプレートを設けて、可動弁を複数のソレノイドの固定鉄心における磁気吸着面のみに対面し、もしくは、上記磁気吸着面及び磁気フレームの側板部先端に対面するものとすることができる。
これらの場合には、前記複数のソレノイドが、それらへの通電時に隣接するソレノイドの固定鉄心に生じる磁束の極性が互いに逆向きになるように配線されたものとすることができる。
【０００８】
また、本発明の弁装置は、通電を解除した段階で可動弁を弁座に着座させるための手段として、入力流路からの加圧流体が、出力流路が開口する弁座に対して可動弁を押圧するように、該可動弁を配設するのが適切である。
更に、本発明の好ましい実施態様においては、固定鉄心と磁気プレートとの間に、それらの間の磁束の流れに対して抵抗を与えるとともに、ソレノイドへの通電時に可動弁が固定鉄心の吸着面及び磁気プレートに密着するのを抑止するクッションが配置される。
【０００９】
また、本発明の好ましい他の実施態様においては、複数の弁座が複数のソレノイドの固定鉄心の吸着面に対向して設けられ、それらの弁座が、ソレノイドの隣接方向に長くなるように並列配置される。
【００１０】
前記構成を有する弁装置においては、複数のソレノイドを設けてその配列方向に長い出力流路を設けているので、小ストロークの開閉弁で、応答性や流量の低下を抑制しながら、その弁装置の多数を密に並列配置して全体的にコンパクト化することができる。また、ソレノイド部は、複数のソレノイドを並列配置しているので、弁ボディ部の巾に応じた小さい巾でありながら、強力な吸引力を得ることができる。しかも、それらのソレノイド部への通電は、隣接するソレノイドの固定鉄心に生じる磁束の極性が互いに逆向きになるように配線することもでき、それにより磁気プレート等の構成を簡素化することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいてさらに詳しく説明する。
図１ないし図３は、本発明に係る弁装置の実施例を示すもので、この弁装置１は、概略的には、ソレノイド部２と、このソレノイド部２に連設され、加圧流体の入力流路及び出力流路を有する弁ボディ部３と、上記ソレノイド部２の作動に応じて開閉動作するところの常磁性材の可動弁４とを備えている。
【００１２】
上記ソレノイド部２は、複数のボビン２３Ａ，２３Ｂにそれぞれコイル２２Ａ，２２Ｂを巻回することにより形成した第１及び第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂを有している。これらの第１及び第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂは、上記ボビン２３Ａ，２３Ｂ内に配設した第１及び第２の固定鉄心１０Ａ，１０Ｂを備え、それらの一端を、可動弁４を吸着するための磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂとして、該磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂが同一平面上において隣接して配置されるように、第１及び第２のソレノイド２１Ａ，２１Ｂを配設している。また、上記ソレノイド２１Ａ，２１Ｂは、それらを覆って、天板部２４ａが各固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの吸着面１４Ａ，１４Ｂと反対側の端面１１Ａ，１１Ｂに接する共通の磁気フレーム２４、及び前記固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂとほぼ同一平面上に配設された共通の磁気プレート２０を有している。
【００１３】
上記磁気フレーム２４は、図１に示すように、前記天板部２４ａ及びその両端側の側板部２４ｂを備え、第１及び第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂを覆うように配置した断面コ字状の常磁性材からなるものであるが、磁路断面を拡大する必要がある場合には、図１における第１、第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂの前後面を覆う側板部をも設けることもできる。この磁気フレーム２４の側板部２４ｂの下端面２４ｃは、常磁性材からなる前記磁気プレート２０と磁気的に接合されている。
【００１４】
前記磁気プレート２０には、第１、第２の固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂ側の端部を挿通する貫通孔２８Ａ，２８Ｂが穿孔されている。一方、第１、第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂにおけるボビン２３Ａ，２３Ｂの中心部にＯリングを介して気密に嵌着した第１及び第２の固定鉄心１０Ａ，１０Ｂは、その磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂ側に小径部１２Ａ，１２Ｂを設け、この小径部１２Ａ，１２Ｂに外嵌されたクッション１５Ａ，１５Ｂを介して、固定鉄心１０Ａ，１０Ｂが上記貫通孔２８Ａ，２８Ｂに固定され、そして、それらの固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの吸着面１４Ａ，１４Ｂと磁気プレート２０の下面とを、ほぼ同一平面上に位置させている。したがって、磁気プレート２０と第１、第２固定鉄心１０Ａ，１０Ｂとは上記クッション１５Ａ，１５Ｂを介して近接し、両者は磁気的に直接接合されず、両者間の磁束の流れに抵抗が付与されている。
【００１５】
上記磁気フレーム２４の外周は、磁気プレート２０の周囲から天板部２４ａまでの全体が、合成樹脂材からなる封止材２９で覆われ、封止材２９の上面からは、図１及び図２に示すように、第１、第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂのコイルと電気的に接続した対をなす各２本のコイル端子４０Ａ，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｂを立設している。
また、封止材２９の上面には、コイル端子４０Ａ，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｂの貫通孔を有するスペーサ４１を嵌合配置し、その上面にプリント基板４２を載置している。このプリント基板４２は、通電回路（図示省略）に導通したソケット４３Ａ，４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｂがその下面に突出され、スペーサ４１の貫通孔内でコイル端子４０Ａ，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｂとそれぞれ電気的に結合できるようにしている。更に、上記プリント基板４２の上面の一端には、その通電回路に導通する複数の受電端子４４を立設している。プリント基板４２はカバー４５で覆われており、受電端子４４はそのカバー４５に設けられた端子筒４６に収められている。
そして、第１、第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂへの配線は、第１、第２固定鉄心１０Ａ，１０Ｂに生じる磁極の極性が互いに逆向きになるような接続になっている。
なお、上記ソレノイド２１Ａ，２１Ｂへの通電は、ソケット４３Ａ，４３Ｂ等を用いることなく、コイル端子を直接的にプリント基板４２へ接合することによって行うこともできる。
【００１６】
このように構成されたソレノイド部２は、通電に伴い第１ソレノイド２１Ａ及び第２ソレノイド２１Ｂのそれぞれにおいて、固定鉄心１０Ａ，１０Ｂに磁束が生じ、図１に白抜き矢印Ａ及び実線矢印ａで示すように、それぞれの固定鉄心１０Ａ，１０Ｂ、磁気フレーム２４の天板部２４ａ及び側板部２４ｂ、磁気プレート２０、並びに可動弁４を通して磁路が形成されるが、第１固定鉄心１０Ａと第２固定鉄心１０Ｂにおける磁界の極性が互いに逆向きになっているので、図１に白抜き矢印Ａ及び実線矢印ｂで示すように、第１固定鉄心１０Ａ、磁気フレーム２４の天板部２４ａ、第２固定鉄心１０Ｂ、及び可動弁４を通して、第１固定鉄心１０Ａと第２固定鉄心１０Ｂを経由するところの磁気フレーム２４の天板部２４ａの中央部を有効に利用する磁路が形成される。なお、通電が逆極性になれば、破線の白抜き矢印Ｂで示すように逆向きの磁路が形成される。
【００１７】
ここでは、第１、第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂへの配線は、第１、第２固定鉄心１０Ａ，１０Ｂに生じる磁極の極性が互いに逆向きになるような接続になっている旨を説明したが、この実施例の場合には、両固定鉄心１０Ａ，１０Ｂに生じる磁極の極性が互いに同方向になるように配線することもできる。
上記いずれの配線を行う場合においても、上記二つの固定鉄心１０Ａ，１０Ｂを用いたこと、及び上述の磁路の形成に伴い、磁気プレート２０及び第１、第２固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの吸着面１４Ａ，１４Ｂと可動弁４との間には、単一のソレノイドを用いる場合に比して少なくとも２倍という非常に大きな磁気吸着力が発生し、応答性が改善される。
【００１８】
一方、上記ソレノイド部２に連設される弁ボディ部３は、図１及び図２に示すように、圧縮空気の入力流路３３（図１）及び出力流路３６、並びにそれらの流路間に位置するところの弁座３９Ａ，３９Ｂを有するボディ３７を備え、ソレノイド部２との間に、該ソレノイド部２への通電時に磁気プレート２０及び第１、第２固定鉄心１０Ａ，１０Ｂに吸着される常磁性材の前記可動弁４を収容するように形成している。この弁ボディ部３は、上記ソレノイド部２の作動に応じて、可動弁４により弁座３９Ａ，３９Ｂの開閉を行うものである。
【００１９】
また、上記ボディ３７は、上記入力流路３３に連通して圧縮空気を供給する入力口３１を有するとともに、上記出力流路３６に連通して圧縮空気を出力する出力口３５を有している。出力流路３６は、入力流路３３に囲まれるようにその中央部を経て、第１及び第２のソレノイド２１Ａ，２１Ｂの配列方向に長い二つの出力開口３８Ａ，３８Ｂに分岐して開口するように形成され、それらの出力開口３８Ａ，３８Ｂの周縁に前記弁座３９Ａ，３９Ｂを構成するシール部材が設けられている。この弁座３９Ａ，３９Ｂは、それを構成する部材をボディ３７にカシメたり、成形などで固定することもでき、また、ボディ３７と一体に成形することもできる。
上記出力開口３８Ａ，３８Ｂ及び弁座３９Ａ，３９Ｂは、第１及び第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂにおける固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの吸着面１４Ａ，１４Ｂにほぼ対向して設けられ、しかも、それらの出力開口３８Ａ，３８Ｂ（及び弁座３９Ａ，３９Ｂ）は、図４（Ａ）に示すように、両端が半円で中央が平行となった長円形であり、ソレノイド２１Ａ，２１Ｂの隣接方向に長くなるように列設配置されている。
【００２０】
図４（Ａ）の出力開口３８Ａ，３８Ｂにおける半円部分の直径ｘと平行部の長さｙとは、ｙ／ｘ≧２の関係を有する範囲で形成されることが好ましい。
また、上記出力開口３８Ａ，３８Ｂは、図４（Ａ）のような長円形に限らず、図４（Ｂ）に示すように、４隅にアールを取った略長方形でもよい。そのほか、出力開口３８Ａ，３８Ｂは、ソレノイド２１Ａ，２１Ｂの隣接方向に長いことが必要であるが、目的、設計の制約等に応じて種々の長尺形状を用いることができる。
【００２１】
可動弁４は、図２に示すように、外形が上記二つの弁座３９Ａ，３９Ｂをカバーできる８の字状の常磁性の鉄片により形成され、その形態の中に各固定鉄心１０Ａ，１０Ｂとそれらの両側における磁気プレート２０に吸引される部分を有している。また、該可動弁４は、ソレノイド部２とボディ３７との間において、周縁の一部をボディ３７にガイドされて弁座３９Ａ，３９Ｂの開閉方向に遊動自在に設置されている。そのため、この可動弁４の周囲には、入力流路３３から該可動弁４とソレノイド部２との間に圧縮空気が流れる流路が形成されている。
【００２２】
この可動弁４は、第１及び第２のソレノイド２１Ａ，２１Ｂへの通電時には磁気プレート２０及び第１、第２固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの吸着面１４Ａ，１４Ｂとの間に発生する磁気吸着力によって、図３の左半に示すように、弁座３９Ａ，３９Ｂから離間して開弁するものである。また、通電解除時には、入力流路３３を通して可動弁４の上面に流入した圧縮空気により押圧されて、図３の右半に示すように、第１、第２弁座３９Ａ，３９Ｂに圧接され、出力開口３８Ａ，３８Ｂが閉鎖されて出力口３５からの圧縮空気の出力はなくなる。この場合に、可動弁４を閉弁方向に押圧する圧縮空気の押圧力は、可動弁４の出力流路３６に対面する部分に作用するので、可動弁は安定的に、しかも応答性よく動作する。
【００２３】
この可動弁４のストロークは、非常にわずかなものであるが、弁座３９Ａ，３９Ｂの平面形状を開口面積に対して開口周長が長い長円形状にしているので、応答性良く圧縮空気の大きい流量を確保することができる。
なお、ここでは、可動弁４を弁座３９Ａ，３９Ｂに着座させるための手段として、上記入力流路３３から可動弁４上に達した流体の圧力を利用しているが、バネ等の他の手段を用い、あるいはそれらを併用することができる。
【００２４】
また、前記第１及び第２の固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂ側の小径部１２Ａ，１２Ｂに外嵌されたクッション１５Ａ，１５Ｂは、磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂ及び磁気プレート２０の下面よりわずかに突出するように設置し、これによって、通電解除時における弁座３９Ａ，３９Ｂの閉鎖の応答性を高め、あるいは、可動弁４の開弁時にそれが磁気プレート２０等に衝突して衝突音が発生し、あるいは密着して閉弁の応答性が低下するのを防止している。
【００２５】
このように構成されたボディ３７は、図２に示すように、ソレノイド部２との連設面に刻設された溝に第１シール部材５０が設けられ、また、ボディ３７の下面の溝にも第２シール部材５１が設けられ、そして、前述したソレノイド部２と弁ボディ部３とは、スペーサ４１、封止材２９及びボディ３７に形成されたボルト穴に締めつけボルト５２、５２を挿通し、それによって気密状に結合一体化される。この一体化した弁装置１は、入力口３１及び出力口３５に連通する流体路を有する所定の装置の取り付け面に、ボディ３７に形成されたボルト穴に挿通した取りつけボルト５３、５３（図１参照）によって気密状に取り付けられる。
【００２６】
図５及び図６は、本発明の他の実施例を示すもので、前記図１〜３の実施例では、可動弁４の収容凹部を、弁ボディ部３におけるボディ３７のソレノイド部２との接合面側に設けているが、図５及び図６の実施例では、ソレノイド部２における磁気プレート２０に沿うように該可動弁４の収容凹部を形成している。また、前記図１〜４でより説明した実施例では、第１及び第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂにおける固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの吸着面１４Ａ，１４Ｂに対向して二つの出力開口３８Ａ，３８Ｂ及び弁座３９Ａ，３９Ｂを設けているが、図５及び図６の実施例では、出力流路３６を分岐することなく、第１及び第２のソレノイド２１Ａ，２１Ｂの配列方向に長い単一の長円形の出力開口３８として開口させ、その周囲に弁座３９を形成するシールを設けている。
図６中、５４はスペーサ４１をソレノイド部２の封止材２９に固定するボルトであり、５５はソレノイド部２を弁ボディ部３に固定するボルトを示している。なお、図５，６の実施例におけるその他の構成及び作用は、図１〜４によって説明した実施例の場合と実質的に変わるところがないので、主要な同一または対応部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００２７】
また、図７の（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれソレノイド部２及び可動弁４についての異なる構成例を概略的に示すもので、いずれの場合も、前記図１〜３の実施例における磁気プレート２０に対応するプレート２０Ａ，２０Ｂを、非磁性材料によって形成している。これらのプレート２０Ａ，２０Ｂはソレノイド部２の動作に関与しないので、場合によっては省略することもできる。
【００２８】
図７の（Ａ）のソレノイド部２では、プレート２０Ａが非磁性材料によって形成されているため、固定鉄心１０Ａ，１０Ｂから磁気フレーム２４の天板部２４ａ及び両側板部２４ｂを通して直接的に可動弁４に至る磁路が形成され、そのため、可動弁４の両端部は磁気フレーム２４の両側板部２４ｂの下端面２４ｃに近接する位置まで延びている。この場合に、第１固定鉄心１０Ａと第２固定鉄心１０Ｂにおける磁界の極性が互いに逆向きになっていても、あるいは同方向になっていても差し支えない。
【００２９】
一方、図７の（Ｂ）に示すソレノイド部２では、固定鉄心１０Ａ，１０Ｂの磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂに対向する位置までしか可動弁４が延びていない。そのため、ソレノイド部２では第１固定鉄心１０Ａと第２固定鉄心１０Ｂにおける磁界の極性が互いに逆向きになるように配線し、一方の固定鉄心から磁気フレーム２４の天板部２４ａを経て他方の固定鉄心に至り、更に両固定鉄心の磁気吸着面１４Ａ，１４Ｂから直接的に可動弁４に至る磁路を形成する必要がある。但し、磁気フレーム２４に第１、第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂの前後面を覆う側板部を設けて、可動弁の一部がその下端に近接するように形成している場合には、図７（Ａ）の場合と同様に、第１固定鉄心１０Ａと第２固定鉄心１０Ｂにおける磁界の極性が互いに逆向きになっていても、あるいは同方向になっていても差し支えない。
なお、図７の（Ａ）及び（Ｂ）に示すソレノイド部及び可動弁を備えた弁装置におけるその他の構成及び作用は、前記図１〜４によって説明した実施例と実質的に変わるところがないので、主要な同一または相当部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００３０】
上述した各弁装置は、穀類や半導体チップなどの粒子状物体に含まれる不純物等を除去する選別装置に利用するのに適し、その場合、特に、多数の弁装置１を並設して多量の粒子状物体を一挙に処理できるようにするために、ソレノイド部２及び弁ボディ部３の巾を小さくできるようにしたことは極めて有効である。
【００３１】
なお、本発明は、上述の実施例に限られるわけではなく、特許請求の範囲を逸脱しない範囲において種々の形態をとることができる。
例えば、前記第１及び第２ソレノイド２１Ａ，２１Ｂは、その電気的接続を並列にすることもできるが、それらを直列に接続することもできる。また、これらのソレノイドは２個に限らず所望数配列することができる。一方、前記弁座３９Ａ，３９Ｂも、二つに限るものではなく、ソレノイド２１Ａ，２１Ｂの配列方向に長い単一のもの、または三つ以上にすることもできる。
【００３２】
【発明の効果】
上述した本発明の弁装置によれば、小ストロークの開閉弁で、応答性や流量の低下を抑制しながら、その多数を密に並列配置して全体的にコンパクト化できるようにした弁装置を得ることができ、更に具体的には、上記小ストロークの開閉弁で、応答性や流量の低下を抑制しながら、弁ボディ部の巾を可及的に小さくすると同時に、ソレノイド部についてもその弁ボディ部の巾に応じた小さい巾で所要の出力が得られるようにした弁装置を得ることができる。また、出力流路を複数のソレノイドの配列方向に長く形成し、それに伴って可動弁が長尺形状を有しているが、複数のソレノイドを可動弁の長手方向に並設しているので、大きな電磁吸着力で可動弁の全体を安定的に動作させ、応答性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の断面図である。
【図２】本発明の実施例の分解斜視図である。
【図３】本発明の実施例の要部拡大断面図で、図の右半は可動弁の閉弁状態を示し、左半は開弁状態を示している。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ弁座の形状を例示する説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の断面図である。
【図６】図５の実施例の分解斜視図である。
【図７】（Ａ）及び（Ｂ）は、ソレノイド部及び可動弁についての異なる構成例を示す概略的断面図である。
【符号の説明】
１      弁装置
２      ソレノイド部
３      弁ボディ部
４      可動弁
１０Ａ  第１固定鉄心
１０Ｂ  第２固定鉄心
２０    磁気プレート
２１Ａ  第１ソレノイド
２１Ｂ  第２ソレノイド
２４    磁気フレーム
２４ａ  天板部
３３    入力流路
３６    出力流路
３９，３９Ａ，３９Ｂ  弁座
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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