(57)【要約】【課題】ホルダーの所定位置へのマスター担体およびスレーブ媒体の保持、両者の均等な密着性を得るようにした磁気転写装置のホルダーを提供する。【解決手段】接離移動する片側ホルダー５と他側ホルダー６との間に開閉される内部空間Ａに、転写情報を担持したマスター担体３，４と転写を受けるスレーブ媒体２とを対峙密着させるホルダー１０で、片側ホルダー５と他側ホルダー６の少なくとも一方の押圧内面５ｂ，６ｂにマスター担体３，４を吸着保持するための真空系統１１，１３、スレーブ媒体２を吸着保持するための真空系統１２、内部空間Ａを減圧するための真空系統１４の、少なくとも２系統以上の真空系統を備えてなる。マスター担体３，４、スレーブ媒体２の吸着保持および内部空間Ａの減圧を磁気転写の工程に応じて行うように設置され、位置精度の確保、均一密着の確保により、転写品質が良好で信頼性の高い磁気転写が行える。【選択図】　　　　　図１
2004079027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写を受けるスレーブ媒体とその片側または両側に転写情報を担持したマスター担体を収容して対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおいて、
前記片側ホルダーと他側ホルダーの少なくとも一方の押圧内面に、前記マスター担体を吸着保持するための真空系統、前記スレーブ媒体を吸着保持するための真空系統、前記内部空間を減圧するための真空系統の、少なくとも２系統以上の真空系統を備えたことを特徴とする磁気転写装置のホルダー。
【請求項２】
前記真空系統の一部は、前記ホルダーの支持軸内部を通して形成したことを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置のホルダー。
【請求項３】
前記ホルダーの１つの支持軸内部に２系統以上の真空系統を通してなることを特徴とする請求項２に記載の磁気転写装置のホルダー。
【請求項４】
前記ホルダーの支持軸は、固定部に軸受けとシール材を介して支承されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置のホルダー。
【請求項５】
前記ホルダーの支持軸と固定部との間のシール材には、Ｏリングまたは磁性流体を用いることを特徴とする請求項４に記載の磁気転写装置のホルダー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置において、上記マスター担体とスレーブ媒体とを内部空間に収容し密着させるホルダーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。この磁気転写の一例としては、例えば特開昭６３−１８３６２３号、特開平１０−４０５４４号、特開平１０−２６９５６６号、特開２００１−２５６６４４等に開示されている。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに均一に密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体を、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備えるホルダーの内部空間に位置決め状態で収容して対峙密着させることが、全面で均一な密着を得る点で良好である。
【０００６】
また、上記ホルダーに対しスレーブ媒体を供給し、供給されたスレーブ媒体にマスター担体を密着させ、磁気転写後のスレーブ媒体を搬出するのに応じてホルダーは開閉作動されるものであるが、その動作において、マスター担体またはスレーブ媒体が移動せずに位置決め状態を維持させるためには、マスター担体およびスレーブ媒体をホルダーの所定位置に保持しておく必要がある。
【０００７】
上記磁気転写においてスレーブ媒体に転写記録された磁化パターンの位置精度を確保するためには、磁気転写時におけるマスター担体とスレーブ媒体との位置合わせも重要な要件であり、このために、マスター担体とスレーブ媒体をホルダーに固定し位置ずれを防止する手段として、マスター担体およびスレーブ媒体の内径部または外径部保持する位置決め部品をホルダーに設けることが考えられるが、スレーブ媒体の着脱に伴い位置決め部品とスレーブ媒体とが摺動することによってスレーブ媒体に傷が発生したり、摺動に伴う摩耗粉が発塵し、密着面に塵埃が付着することによる転写不良（信号抜け）の原因となっていた。
【０００８】
一方、マスター担体とスレーブ媒体との密着性を高めるために、密着力を印加して両者を押し付ける必要があるが、この密着力の印加としてホルダーに外部より機械式押圧力を印加することが考えられるが、この機械式の密着力の印加だけではマスター担体とスレーブ媒体との密着面に均一に圧力を加えることが困難である。この点、ホルダーの内部空間を真空吸引して均等に作用する外気圧による密着力を得る真空吸引方式が好ましい。
【０００９】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、マスター担体およびスレーブ媒体の所定位置への保持、均等な密着性を得るようにした磁気転写装置のホルダーを提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写装置のホルダーは、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写を受けるスレーブ媒体とその片側または両側に転写情報を担持したマスター担体を収容して対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおいて、
前記片側ホルダーと他側ホルダーの少なくとも一方の押圧内面に、前記マスター担体を吸着保持するための真空系統、前記スレーブ媒体を吸着保持するための真空系統、前記内部空間を減圧するための真空系統の、少なくとも２系統以上の真空系統を備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
前記真空系統の一部は、前記ホルダーの支持軸内部を通して形成するのが好ましい。また、一部の真空系統はホルダーの円盤部から直接導出し可撓性のエアパイプによって真空源に接続するようにしてもよい。
【００１２】
前記ホルダーの１つの支持軸内部に２系統以上の真空系統を通すようにしてもよい。その際、前記ホルダーの支持軸は、固定部に軸受けとシール材を介して支承されている。
【００１３】
前記ホルダーの支持軸と固定部との間のシール材には、Ｏリングまたは磁性流体を用いるのが好適である。
【００１４】
なお、前記ホルダーにおける片側ホルダーと他側ホルダーの少なくとも一方の押圧内面に、弾性特性を有する緩衝材を備え、この緩衝材を介して押圧力を均等に作用させて押圧密着してもよい。
【００１５】
密着力の印加は、真空吸引による圧力印加方式に加えて、機械的な外圧の印加方式を併用するようにしてもよい。
【００１６】
一方、前記ホルダーに対するマスター担体およびスレーブ媒体の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、位置決めマーク等を基準としてマスター担体またはスレーブ媒体をＸＹ方向へ微調整することにより行うものが好適である。
【００１７】
【発明の効果】
本発明によれば、ホルダーに少なくとも２系統以上の真空系統を有することにより、マスター担体の吸着保持、スレーブ媒体の吸着保持、内部空間の減圧の全てが同時に可能となり、高品位の磁気転写が可能となる。
【００１８】
また、内部空間を減圧する真空系統を備えることにより、マスター担体とスレーブ媒体間の空気が排出されるため、全面にわたって確実に密着させることができ、位置決め精度の確保とにより、転写信号品位および位置精度が良好であるとともに、位置決め部材を用いなくてもよいために、コスレによる発塵およびマスター担体の寿命低下が抑制できる。
【００１９】
また、マスター坦体およびスレーブ媒体を真空吸着によって保持するようにしたため、ホルダーの開閉密着および磁気転写時の位置ずれを抑制することができ、スレーブ媒体の中心軸とマスター担体上のパターンの中心軸を高精度に合わせた状態での磁気転写が可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図である。なお、この図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００２１】
図１に示す磁気転写装置のホルダー１０は、両面同時磁気転写を行うものであり、接離移動可能な左側の片側ホルダー５と右側の他側ホルダー６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスター担体３，４とを対峙密着させる。ここで対峙密着とは、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙することの双方の何れかを指すものとする。
【００２２】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は背面中心部にそれぞれ支持軸５ａ，６ａを備え、両支持軸５ａ，６ａがそれぞれ固定部８，９に回転可能に支承されている。固定部８，９には軸受け８ａ，９ａ（ベアリング）が設置されるとともに、それぞれＯリングによる３つのシール材８ｂ，９ｂが間隔をもって設置されている。
【００２３】
前記片側ホルダー５は、その押圧内面５ｂにスレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３を吸着する第１の真空系統１１と、押圧内面５ｂの中心部にスレーブ媒体２を吸着する第２の真空系統１２とを備える。前記他側ホルダー６は、その押圧内面６ｂにスレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着する第３の真空系統１３と、内部空間Ａを減圧する第４の真空系統１４とを備える。
【００２４】
上記第１〜第４の真空系統１１〜１４は、それぞれの支持軸５ａ，６ａを通して片側ホルダー５および他側ホルダー６の外部に導出される。つまり、片側ホルダー５は円盤状でマスター担体３の外径より大きい円形状の押圧内面５ｂに、マスター担体３の大きさに対応する範囲に第１の真空系統１１の吸引穴１１ａが開口され、この吸引穴１１ａに連通する第１エア通路１１ｂが片側ホルダー５の円盤部分から支持軸５ａ内の外周側部分に設置されている。また、上記マスター担体３の内径より内周側の押圧内面５ｂに第２の真空系統１２の吸引穴１２ａが開口され、この吸引穴１２ａに連通する第２エア通路１２ｂが片側ホルダー５の円盤部分から支持軸５ａ内の中心部分に設置されている。第１エア通路１１ｂおよび第２エア通路１２ｂは、支持軸５ａの周面の異なる位置に開口し、開口部分を分離するように固定部８に３つのシール材８ｂが設置され、このシール材８ｂの間の固定部８に連通穴１１ｃ，１２ｃが形成され、各連通穴１１ｃ，１２ｃに接続されたエアパイプ１１ｄ，１２ｄを通して第１および第２の真空系統１１，１２が導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体３の裏面およびスレーブ媒体２の中心部を内面５ｂに吸着により保持する。
【００２５】
一方、前記他側ホルダー６も円盤状でマスター担体４の外径より大きい円形状の押圧内面６ｂに、マスター担体４の大きさに対応する範囲に第３の真空系統１３の吸引穴１３ａが開口され、この吸引穴１３ａに連通する第３エア通路１３ｂが他側ホルダー６の円盤部分から支持軸６ａ内の外周側部分に設置されている。また、上記マスター担体４の内径より内周側の押圧内面６ｂに第４の真空系統１４の吸引穴１４ａが開口され、この吸引穴１４ａに連通する第４エア通路１４ｂが他側ホルダー６の円盤部分から支持軸６ａ内の中心部分に設置されている。第３エア通路１３ｂおよび第４エア通路１４ｂは、支持軸６ａの周面の異なる位置に開口し、開口部分を分離するように固定部９に３つのシール材９ｂが設置され、このシール材９ｂの間の固定部９に連通穴１３ｃ，１４ｃが形成され、各連通穴１３ｃ，１４ｃに接続されたエアパイプ１３ｄ，１４ｄを通して第３および第４の真空系統１３，１４が導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体４の裏面を吸着により保持するとともに内部空間Ａを減圧して密着力を得ると同時に、密着面のエア抜きを行って密着性を高める。
【００２６】
前記固定部８，９に設置するシール材８ｂ，９ｂとしては、固定部８，９の内周または支持軸５ａ，６ａの外周に装着するＯリング、磁性流体シール、Ｏリングと磁性流体シールとを併用して構成してもよい。磁性流体シールは摺動において発塵性がなく、シール部分からの発塵が抑えられる。
【００２７】
また、他側ホルダー６の外周に設置されたシール部７はリング状であり、他側ホルダー６の外周面に突設されたフランジ６ｃに装着されて、弾性部材７ａを介して軸方向（接離方向）にその変形量だけ移動可能である。このシール部７の端面にはＯリングによる端面シール材７ｂを備え、片側ホルダー５の内面５ｂに圧接して内部空間Ａの開閉シールを行う。また、シール部７の内周面にはＯリングによる周面シール材７ｃを備え、他側ホルダー６の外周面との間の摺動シールを行う。
【００２８】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は図示しない回転機構に連係されて磁気転写時に支持軸５ａ，６ａを中心に一体に回転駆動される。なお、図示していないが、磁気転写装置はホルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置を備える。
【００２９】
また、前記片側ホルダー５および他側ホルダー６の少なくとも一方が軸方向（図で左右方向）に移動可能に支持され、両ホルダー５，６が互いに接離移動可能であり、図１に示すような分離状態からの接近移動に伴い、シール部７の端面シール材７ｂが片側ホルダー５の内面５ｂに圧接して内部空間Ａを閉じる。この密閉後に、内部空間Ａを第４の真空系統により減圧すると共に、他側ホルダー６を閉方向へ移動させる。これに伴いスレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を所定の加圧力で密着させる。
【００３０】
なお、上記密着力の印加のために、第４の真空系統１４に加えて、ホルダー１０を外部から機械的に加圧する押圧手段を備えてもよい。この押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロッドの先端がホルダー１０の支持軸５ａまたは６ａに所定の押圧荷重を印加するように構成すればよい。
【００３１】
また、他側ホルダー６の内面にはマスター担体４の背面を吸着保持する緩衝材を備えてもよい。この緩衝材は均等に圧力を加えるためのもので、弾性特性を有する材料により円盤シート状に形成される。
【００３２】
片側ホルダー５および他側ホルダー６に対するマスター担体３，４およびスレーブ媒体２の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、位置決めマーク等を基準としてマスター担体３，４またはスレーブ媒体２をＸＹ方向へ微調整することにより行う。
【００３３】
スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００３４】
マスター担体３，４は円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体３は、基板上に形成された微細凹凸パターンに磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。これと反対側の面が両ホルダー５，６に吸着保持される。マスター担体３，４の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体３，４が使用される。
【００３５】
転写用磁界および必要に応じて初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石がホルダー１０の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダー１０を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダー１０の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダー１０を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００３６】
次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気転写装置のホルダー１０では、同じマスター担体３，４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー５に第１の真空系統１１によってマスター担体３を、他側ホルダー６に第３の真空系統１３によってマスター担体４を、それぞれ位置を合わせて吸着保持させておく。
【００３７】
この他側ホルダー６と片側ホルダー５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットし第２の真空系統１２によって吸着した後、他側ホルダー６を片側ホルダー５に接近移動させる。
【００３８】
そして、ホルダー１０の内部空間Ａを閉じた後に、第４の真空系統１４により内部空間Ａのエア排出を行って減圧し、内部を所定の真空度とすると共に、さらに他側ホルダー６を移動させる。スレーブ媒体２にマスター担体４が接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力で、片側ホルダー５に向けてスレーブ媒体２とマスター担体３，４とに均一かつ平行に密着力を加え、所定の密着圧力で密着させる。
【００３９】
その後、ホルダー１０の両側に磁界印加装置を接近させ、ホルダー１０を回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。
【００４０】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３，４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【００４１】
本実施形態によれば、４つの真空系統１１〜１４が設置され、両側のマスター担体３，４の吸着保持、スレーブ媒体２の吸着保持および内部空間Ａの減圧を磁気転写の工程に応じて行うように設置されているため、位置精度の確保、均一密着の確保により、転写品質が良好で信頼性の高い磁気転写が行える。
【００４２】
図２は他の実施形態のホルダー２０を示す開状態の断面図である。この実施形態は、真空系統の設置態様が前実施形態とは異なっている。
【００４３】
本実施形態のホルダー２０は、接離移動可能な片側ホルダー１５と他側ホルダー１６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスター担体３，４とを対峙密着させる。
【００４４】
片側ホルダー１５および他側ホルダー１６は背面中心部にそれぞれ支持軸１５ａ，１６ａを備え、両支持軸１５ａ，１６ａがそれぞれ固定部１８，１９に回転可能に支承されている。固定部１８，１９には軸受け１８ａ，１９ａ（ベアリング）が設置されている。
【００４５】
前記片側ホルダー１５は、その押圧内面１５ｂにスレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３を吸着する第１の真空系統２１と、押圧内面１５ｂの中心部にスレーブ媒体２を吸着する第２の真空系統２２とを備える。前記他側ホルダー１６は、その押圧内面１６ｂにスレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着する第３の真空系統２３と、内部空間Ａを減圧する第４の真空系統２４とを備える。
【００４６】
上記第２および第４の真空系統２２，２４は、それぞれの支持軸１５ａ，１６ａを通して片側ホルダー１５および他側ホルダー１６の外部に導出され、第１および第３の真空系統２１，２３は、それぞれの円盤部より外部に導出される。
【００４７】
つまり、前記片側ホルダー１５の円形状の押圧内面１５ｂに、マスター担体３の大きさに対応する範囲に第１の真空系統２１の吸引穴２１ａが開口され、この吸引穴２１ａに連通する第１エア通路２１ｂが片側ホルダー１５の円盤部分に設置され、この円盤部の外周部に開口し、この開口に接続されたエアパイプ２１ｄによって導出され、外部に設置された不図示の真空源に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体３の裏面を吸着により保持する。また、上記マスター担体３の内径より内周側の押圧内面１５ｂに第２の真空系統２２の吸引穴２２ａが開口され、この吸引穴２２ａに連通する第２エア通路２２ｂが片側ホルダー１５の円盤部分から支持軸１５ａ内の中心部分に設置され、この支持軸１５ａの端部に開口し、この開口に接続されたエアパイプ２２ｄによって導出され、外部に設置された不図示の真空源に接続され、吸引圧の導入によりスレーブ媒体２の中心部を吸着により保持する。
【００４８】
一方、前記他側ホルダー１６の円形状の押圧内面１６ｂに、マスター担体４の大きさに対応する範囲に第３の真空系統２３の吸引穴２３ａが開口され、この吸引穴２３ａに連通する第３エア通路２３ｂが他側ホルダー１６の円盤部分に設置され、この円盤部の外周部に開口し、この開口に接続されたエアパイプ２３ｄによって導出され、外部に設置された不図示の真空源に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体４の裏面を吸着により保持する。また、上記マスター担体４の内径より内周側の押圧内面１６ｂに第４の真空系統２４の吸引穴２４ａが開口され、この吸引穴２４ａに連通する第４エア通路２４ｂが他側ホルダー１６の円盤部分から支持軸６ａ内の中心部分に設置され、この支持軸６ａの端部に開口し、この開口に接続されたエアパイプ２４ｄによって導出され、外部に設置された不図示の真空ポンプに接続され、吸引圧の導入により内部空間Ａを減圧する。
【００４９】
また、他側ホルダー１６の外周に設置されたシール部７は前実施形態と同様であり、他側ホルダー１６の外周面に突設されたフランジ１６ｃに装着されてなり、端面シール材７ｂおよび周面シール材７ｃを備え、片側ホルダー１５の内面１５ｂとの開閉シールおよび他側ホルダー１６の外周面との摺動シールを行う。
【００５０】
前記片側ホルダー１５および他側ホルダー１６の少なくとも一方が互いに接離移動可能であり、図２に示すような分離状態からの接近移動に伴い、内部空間Ａを閉じた密閉後に、内部空間Ａを真空吸引手段により減圧すると共に、スレーブ媒体２の片面にマスター担体３を所定の加圧力で密着させる。
【００５１】
その他は前述の実施形態と同様であり、その磁気転写時にホルダー２０が回転されて全面に転写用磁界が印加されるが、その回転は略１回転であり、可撓性のエアパイプ２１ｄ，２３ｄによってその回転が許容され、磁気転写後に逆回転して戻ることにより次回の磁気転写を行うようになっている。
【００５２】
上記実施形態によれば、４つの真空系統２１〜２４が設置され、両側のマスター担体３，４の吸着保持、スレーブ媒体２の吸着保持および内部空間Ａの減圧を磁気転写の工程に応じて行うように設置されているため、位置精度の確保、均一密着の確保により、転写品質が良好で信頼性の高い磁気転写が行える。また、支持軸１５ａ，１６ａおよび固定部１８，１９の構造が簡素化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図
【図２】他の実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図
【符号の説明】
１０，２０　　　ホルダー
２　　スレーブ媒体
３，４　　　マスター担体
５，１５　　　片側ホルダー
５ａ，１５ａ　　支持軸
５ｂ，１５ｂ　　内面
６，１６　　　他側ホルダー
６ａ，１６ａ　　支持軸
６ｂ，１６ｂ　　内面
７　　シール部
８，９，１８，１９　　固定部
８ｂ，９ｂ　　　シール材
１１〜１４，２１〜２４　　真空系統
１１ａ〜１４ａ，２１ａ〜２４ａ　　吸引穴
１１ｂ〜１４ｂ，２１ｂ〜２４ｂ　　エア通路
１１ｄ〜１４ｄ，２１ｄ〜２４ｄ　　エアパイプ
Ａ　　内部空間
【図１】
2004079027.tif 000003
【図２】
2004079027.tif 000004