(57)【要約】【課題】電気的特性を測定している際の読出し磁気ヘッド素子へのクロストーク電圧を低減させることができる薄膜磁気ヘッドの特性測定用プローブピンの接続方法及び薄膜磁気ヘッドの特性測定方法を提供する。【解決手段】ＨＧＡ上に設けられており書込み磁気ヘッド素子の複数の端子電極にそれぞれ電気的に接続された複数の第１の外部接続パッドと、ＨＧＡ上に設けられており読出し磁気ヘッド素子の複数の端子電極にそれぞれ電気的に接続された複数の第２の外部接続パッドとへの複数のプローブピンの接続方法であり、第１の外部接続パッドへのプローブピンのアプローチ方向と、第２の外部接続パッドへのプローブピンのアプローチ方向とを互いに異ならせて接続する。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドジンバルアセンブリ上に設けられており書込み磁気ヘッド素子の複数の端子電極にそれぞれ電気的に接続された複数の第１の外部接続パッドと、ヘッドジンバルアセンブリ上に設けられており読出し磁気ヘッド素子の複数の端子電極にそれぞれ電気的に接続された複数の第２の外部接続パッドとへの複数のプローブピンの接続方法であって、前記第１の外部接続パッドへの前記プローブピンのアプローチ方向と、前記第２の外部接続パッドへの前記プローブピンのアプローチ方向とを互いに異ならせて接続することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの特性測定用プローブピンの接続方法。
【請求項２】
前記アプローチ方向が、９０°又は１８０°だけ互いに異なっていることを特徴とする請求項１に記載の接続方法。
【請求項３】
前記アプローチ方向が、９０°を越えかつ１８０°未満の所定角度だけ互いに異なっていることを特徴とする請求項１に記載の接続方法。
【請求項４】
前記アプローチ方向が、９０°未満の所定角度だけ互いに異なっていることを特徴とする請求項１に記載の接続方法。
【請求項５】
前記プローブピンを、前記ヘッドジンバルアセンブリの同一の面上に存在する前記第１及び第２の外部接続パッドに接続することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の接続方法。
【請求項６】
前記プローブピンを、前記ヘッドジンバルアセンブリの互いに異なる面上にそれぞれ存在する前記第１及び第２の外部接続パッドに接続することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の接続方法。
【請求項７】
前記プローブピンが、２つの前記第１の外部接続パッド及び２つの前記第２の外部接続パッドにそれぞれ接続する４つのプローブピンであることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の接続方法。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の接続方法によって、前記書込み磁気ヘッド素子及び／又は前記読出し磁気ヘッド素子の特性測定を行うことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッドの特性測定用プローブピンの接続方法及び薄膜磁気ヘッドの特性測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
サスペンションに磁気ヘッドスライダを搭載してなるヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）には、通常、磁気ヘッドスライダ上に形成された薄膜磁気ヘッドに電気的に接続されている外部接続パッドが設けられている。
【０００３】
ＨＧＡ上の薄膜磁気ヘッドの動特性を評価する場合、この外部接続パッドにプローブピンを接触させ、書込み磁気ヘッド素子に書込み電流を印加したり、読出し磁気ヘッド素子から読出し信号を取り出すことが行われる。プローブピンには、この書込み電流の発生及び読出し信号の増幅を行うヘッド駆動用ＩＣが接続されている。このように、１つのヘッド駆動用ＩＣを共通に使用して複数のＨＧＡの特性評価を行うことにより、各ＨＧＡ自体の特性を評価することが可能となる。
【０００４】
特性評価時には、通常、書込み磁気ヘッド素子用に２つ、読出し磁気ヘッド素子用に２つである計４つのプローブピンが４つの外部接続パッドに接続される。
【０００５】
図１〜図３は、プローブピンと外部接続パッドとの従来の接続形態例を示す斜視図であり、これらの図において、１０及び１１、２０及び２１、並びに３０及び３１は書込み磁気ヘッド素子用のプローブピン、１２及び１３、２２及び２３、並びに３２及び３３は読出し磁気ヘッド素子用のプローブピン、１４〜１７、２４〜２７及び３４〜３７はこれらプローブピンが１０〜１３、２０〜２３及び３０〜３３にそれぞれ接触接続される外部接続パッドを示している。
【０００６】
これらの図から明らかのように、従来技術では、４つのプローブピン１０〜１３、２０〜２３及び３０〜３３を互いに平行に並べた状態で外部接続パッド１４〜１７、２４〜２７及び３４〜３７に接続していた（非特許文献１）。
【０００７】
【非特許文献１】
「テストボードＡＥＶ−０３０−ＧＭＲ−ＲＨ」、ユーザーズマニュアル、エスペック株式会社、第０１版、第８〜１３頁、２００２年６月１５日
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術のようにプローブピンを互いに平行に並べた状態で接続し特性評価を行うと、プローブピン１０及び１１、２０及び２１、並びに３０及び３１を介して流した書込み電流によって、非常に大きなクロストーク電圧が読出し磁気ヘッド素子に印加されてしまう。
【０００９】
特に最近の読出し磁気ヘッド素子は、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）積層構造やトンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）積層構造を有しているため、印加電圧に対する耐性が低く、このような大きなクロストーク電圧が印加されるとＥＳＤ同様に素子破壊が生じる可能性がある。完全な破壊に至らなくとも、１Ω以下の抵抗変化が生じて、これが出力電圧の低下や不安定性を引き起こす可能性がある。
【００１０】
従って本発明の目的は、電気的特性を測定している際の読出し磁気ヘッド素子へのクロストーク電圧を低減させることができる薄膜磁気ヘッドの特性測定用プローブピンの接続方法及び薄膜磁気ヘッドの特性測定方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、ＨＧＡ上に設けられており書込み磁気ヘッド素子の複数の端子電極にそれぞれ電気的に接続された複数の第１の外部接続パッドと、ＨＧＡ上に設けられており読出し磁気ヘッド素子の複数の端子電極にそれぞれ電気的に接続された複数の第２の外部接続パッドとへの複数のプローブピンの接続方法であって、第１の外部接続パッドへのプローブピンのアプローチ方向と、第２の外部接続パッドへのプローブピンのアプローチ方向とを互いに異ならせて接続する薄膜磁気ヘッドの特性測定用プローブピンの接続方法及びこの接続方法によって書込み磁気ヘッド素子及び／又は読出し磁気ヘッド素子の特性測定を行う薄膜磁気ヘッドの特性測定方法が提供される。
【００１２】
書込みヘッド素子用の第１の外部接続パッドへ接続されるプローブピンのアプローチ方向と、読出しヘッド素子用の第２の外部接続パッドへ接続されるプローブピンのアプローチ方向とが互いに異なるため、特性評価時の書込み電流による読出しヘッド素子側へのクロストーク電圧が著しく低減し、読出し磁気ヘッド素子の素子破壊や出力電圧低下及び変動を極力抑えることができる。しかも、そのために、薄膜磁気ヘッドの設計を変更する必要もない。
【００１３】
アプローチ方向が、９０°又は１８０°だけ互いに異なっていることが好ましい。
【００１４】
アプローチ方向が、９０°を越えかつ１８０°未満の所定角度又は９０°未満の所定角度だけ互いに異なっていることも好ましい。
【００１５】
プローブピンを、ＨＧＡの同一の面上に存在する第１及び第２の外部接続パッドに接続するか、又はＨＧＡの互いに異なる面上にそれぞれ存在する第１及び第２の外部接続パッドに接続することも好ましい。
【００１６】
プローブピンが、２つの第１の外部接続パッド及び２つの第２の外部接続パッドにそれぞれ接続する４つのプローブピンであることも好ましい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図４は本発明の接続方法及び測定方法の一実施形態として、ＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の一部を示す平面図であり、図５は図４の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【００１８】
図４に示すように、ＨＧＡは、ＦＰＣＢ（フレクシブルプリント回路基板）などによる配線部材４１が設けられたサスペンション４０の先端部に、書込み磁気ヘッド素子及び読出し磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘッドスライダ４２を実装することによって構成される。
【００１９】
書込み磁気ヘッド素子の２つの端子電極４３及び４４並びに読出し磁気ヘッド素子の２つの端子電極４５及び４６は、配線部材４１上に形成された図示されていないトレース導体を介して、サスペンション４０の後方も配線部材４１上に形成された外部接続パッド４７〜５０に電気的に接続されている。本実施形態において、外部接続パッド４７〜５０は、配線部材４１の裏面及び表面の両方に形成されている。
【００２０】
動特性測定装置は、例えば公知のＤＰ（ダイナミックパフォーマンス）テスタ（リードライトテスタ）で構成されており、その磁気ヘッド素子に対する入出力部５１には、ヘッド駆動及び信号増幅用のＩＣ５２が設けられており、このＩＣ５２には４つのプローブピン５３〜５６が接続されている。
【００２１】
プローブピン５３及び５４並びにプローブピン５５及び５６は、図５に示すように、ＰＣＢ（プリント回路基板）５７及び５８の先端部にそれぞれ固着されている。ＰＣＢ５７には、プローブピン５３及び５４とＩＣ５２とを電気的に接続するトレース導体５９及び６０が形成されている。ＰＣＢ５８にも同様のトレース導体が形成されている。
【００２２】
動特性を測定する場合、ＤＰテスタに測定すべきＨＧＡを装着し、その外部接続パッドにプローブピンを電気的に接続する。本実施形態では、図５に示すように、プローブピン５３及び５４とプローブピン５５及び５６とを配線部材４１の両面側にそれぞれ配置し、互いに１８０°の角度で対向させて接続している。即ち、プローブピン５３及び５４はＨＧＡの配線部材４１の裏面側においてその裏面に垂直な方向からアプローチし外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン５５及び５６は配線部材４１の表面側においてその表面に垂直な方向からアプローチし外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図５においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００２３】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン５３及び５４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン５５及び５６とが互いに１８０°異なる方向からアプローチすることとなる。
【００２４】
一般に、ＨＧＡの動特性測定における書込み側及び読出し側間のクロストークは、（１）ヘッド駆動及び信号増幅用ＩＣ自体、（２）ヘッド駆動及び信号増幅用ＩＣの実装されているＰＣＢにおけるトレース導体、（３）プローブピン、（４）ＨＧＡの配線部材において発生する。本願発明者は、この中で、（３）のプローブピンにおいて発生するクロストークの割合が非常に大きいことを見出した。そこで、本実施形態のように、書込み側のプローブピン５３及び５４と、読出し側のプローブピン５５及び５６とのアプローチ角度を１８０°隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができたのである。なお、本実施形態のように、ＰＣＢ５７及び５８を互いに独立して離隔させることにより、（２）のＰＣＢのトレース導体間隔を広くとることができるため、この点からもクローストークをより減少させることができる。
【００２５】
図６はプローブピンの配置を変えた場合の書込み周波数−クロストーク電圧特性を示す特性図であり、本実施形態によるプローブピンの接続方法と従来技術による接続方法を比較して示している。実際には、ＨＧＡにおける読出し磁気ヘッド素子用の端子電極間に５０Ωの抵抗を接続し、その両端の電圧変化を差動電圧プローブによって測定している。ＨＧＡ、ＩＣ及びプローブピンは同一のものを用い、プローブピンのアプローチ方向のみを変えて測定している。
【００２６】
同図からも明らかのように、従来技術による接続方法ではほとんどの書込み周波数においてクロストーク電圧が４００ｍＶ以上となっているが、本実施形態では２００ｍＶ以下に減少している。
【００２７】
図７は本発明の接続方法の他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図７においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。
【００２８】
本実施形態では、プローブピン７３及び７４とプローブピン７５及び７６とを配線部材４１の同一面側に配置し、互いに１８０°の角度で対向させて接続している。即ち、プローブピン７３及び７４はＨＧＡの配線部材４１の表面に平行にアプローチして外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン７５及び７６は配線部材４１の表面に平行であるがプローブピン７３及び７４とは１８０°異なる逆方向からアプローチして外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続される。
【００２９】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン７３及び７４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン７５及び７６とが互いに１８０°異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン７３及び７４と、読出し側のプローブピン７５及び７６とのアプローチ角度を１８０°隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００３０】
図８は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図８においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。
【００３１】
本実施形態では、プローブピン８３及び８４とプローブピン８５及び８６とを配線部材４１の同一面側に配置し、互いに９０°の角度となるように接続している。即ち、プローブピン８３及び８４はＨＧＡの配線部材４１の表面に平行にアプローチして外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン８５及び８６は配線部材４１の表面に垂直な方向からアプローチして外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続される。
【００３２】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン８３及び８４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン８５及び８６とが互いに９０°異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン８３及び８４と、読出し側のプローブピン８５及び８６とのアプローチ角度を９０°隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００３３】
図９は本発明の接続方法のまたさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図９においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。なお、本実施形態では、配線部材４１´の形状及びその上に形成されている外部接続パッド４７´、４８´、４９´及び５０´の配置が前述の実施形態の場合とは相違している。
【００３４】
本実施形態では、プローブピン９３及び９４とプローブピン９５及び９６とを配線部材４１´の両面側にそれぞれ配置し、互いに１８０°の角度で対向させて接続している。即ち、プローブピン９３及び９４はＨＧＡの配線部材４１´の裏面側においてその裏面に垂直な方向からアプローチし外部接続パッド４７´及び４８´にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン９５及び９６は配線部材４１´の表面側においてその表面に垂直な方向からアプローチし外部接続パッド４９´及び５０´にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図９においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００３５】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン９３及び９４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン９５及び９６とが互いに１８０°異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン９３及び９４と、読出し側のプローブピン９５及び９６とのアプローチ角度を１８０°隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００３６】
図１０は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための図であり、同図（Ａ）はその斜視図、同図（Ｂ）は側面図をそれぞれ示している。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１０においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。
【００３７】
本実施形態では、プローブピン１０３及び１０４とプローブピン１０５及び１０６とを配線部材４１の両面側にそれぞれ配置し、互いに１８０°より小さい所定角度で対向させて接続している。即ち、プローブピン１０３及び１０４はＨＧＡの配線部材４１の裏面側においてその裏面に垂直な方向からアプローチし外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１０５及び１０６は配線部材４１の表面側においてその表面に９０°より小さい所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１０においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００３８】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１０３及び１０４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１０５及び１０６とが互いに１８０°未満の所定角度を隔てた方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１０３及び１０４と、読出し側のプローブピン１０５及び１０６とのアプローチ角度を１８０°未満の所定角度隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００３９】
図１１は本発明の接続方法のまたさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための図であり、同図（Ａ）はその斜視図、同図（Ｂ）は側面図をそれぞれ示している。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１１においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。
【００４０】
本実施形態では、プローブピン１１３及び１１４とプローブピン１１５及び１１６とを配線部材４１の両面側にそれぞれ配置し、互いに１８０°となる角度で対向させて接続している。ただし、プローブピンの方向は配線部材の表面とは垂直の方向ではなくやや傾斜した方向となっている。即ち、プローブピン１１３及び１１４はＨＧＡの配線部材４１の裏面側においてその裏面に９０°よりやや小さい所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１０５及び１０６は配線部材４１の表面側においてその表面に９０°よりやや小さい所定角度の方向であってプローブピン１１３及び１１４の方向とは１８０°異なる方向からアプローチし外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１１においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００４１】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１１３及び１１４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１１５及び１１６とが互いに１８０°異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１１３及び１１４と、読出し側のプローブピン１１５及び１１６とのアプローチ角度を１８０°隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００４２】
図１２は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための図であり、同図（Ａ）はその斜視図、同図（Ｂ）は側面図をそれぞれ示している。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１２においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。
【００４３】
本実施形態では、プローブピン１２３及び１２４とプローブピン１２５及び１２６とを配線部材４１の両面側にそれぞれ配置し、互いに１８０°となる角度で対向させて接続している。ただし、プローブピンの方向は配線部材の表面とは垂直の方向ではなくかなり傾斜した方向となっている。即ち、プローブピン１２５及び１２６はＨＧＡの配線部材４１の裏面側においてその裏面に９０°よりかなり小さい所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１２３及び１２４は配線部材４１の表面側においてその表面に９０°よりかなり小さい所定角度の方向であってプローブピン１２５及び１２６の方向とは１８０°異なる方向からアプローチし外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１２においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００４４】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１２３及び１２４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１２５及び１２６とが互いに１８０°異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１２３及び１２４と、読出し側のプローブピン１２５及び１２６とのアプローチ角度を１８０°隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００４５】
図１３は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための図であり、同図（Ａ）はその斜視図、同図（Ｂ）は側面図をそれぞれ示している。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１３においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。
【００４６】
本実施形態では、プローブピン１３３及び１３４とプローブピン１３５及び１３６とを配線部材４１の同一面側に配置し、互いに９０°より小さい所定角度隔てさせて接続している。即ち、プローブピン１３５及び１３６はＨＧＡの配線部材４１の表面に垂直な方向からアプローチし外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１３３及び１３４は配線部材４１の表面に９０°よりやや小さい所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１３においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００４７】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１３３及び１３４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１３５及び１３６とが互いに９０°未満の所定角度だけ異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１３３及び１３４と、読出し側のプローブピン１３５及び１３６とのアプローチ角度を異ならせて接続することによって、クロストークを低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００４８】
図１４は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための図であり、同図（Ａ）はその斜視図、同図（Ｂ）は側面図をそれぞれ示している。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１４においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。
【００４９】
本実施形態では、プローブピン１４３及び１４４とプローブピン１４５及び１４６とを配線部材４１の同一面側に配置し、互いに９０°より小さい所定角度隔てさせて接続している。即ち、プローブピン１４３及び１４４はＨＧＡの配線部材４１の表面に９０°よりやや小さい所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１４５及び１４６は配線部材４１の表面に９０°よりやや小さい所定角度隔てておりかつプローブピン１４３及び１４４の方向とは異なる方向からアプローチし外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１４においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００５０】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１４３及び１４４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１４５及び１４６とが互いに９０°未満の所定角度だけ異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１４３及び１４４と、読出し側のプローブピン１４５及び１４６とのアプローチ角度を異ならせて接続することによって、クロストークを低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００５１】
図１５は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための図であり、同図（Ａ）はその斜視図、同図（Ｂ）は側面図をそれぞれ示している。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１５においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。
【００５２】
本実施形態では、プローブピン１５３及び１５４とプローブピン１５５及び１５６とを配線部材４１の同一面側に配置し、互いに９０°より大きいが１８０°より小さい所定角度隔てさせて接続している。ただし、プローブピンの方向は配線部材の表面とは垂直の方向ではなくかなり傾斜した方向となっている。即ち、プローブピン１５３及び１５４はＨＧＡの配線部材４１の表面に平行に近いかなり傾斜した所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４７及び４８にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１５５及び１５６は配線部材４１の表面に平行に近いかなり傾斜した所定角度でありかつかつプローブピン１５３及び１５４の方向とは異なる方向からアプローチし外部接続パッド４９及び５０にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１５においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００５３】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１５３及び１５４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１５５及び１５６とが互いに１８０°に近い所定角度隔てた方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１５３及び１５４と、読出し側のプローブピン１５５及び１５６とのアプローチ角度を１８０°に近い所定角度を隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００５４】
図１６は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１６においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。なお、本実施形態では、配線部材４１´の形状及びその上に形成されている外部接続パッド４７´、４８´、４９´及び５０´の配置が前述の実施形態の場合とは相違している。
【００５５】
本実施形態では、プローブピン１６３及び１６４とプローブピン１６５及び１６６とを配線部材４１´の両面側にそれぞれ配置し、互いに１８０°より小さい所定角度で対向させて接続している。即ち、プローブピン１６３及び１６４はＨＧＡの配線部材４１´の裏面側においてその裏面に垂直な方向からアプローチし外部接続パッド４７´及び４８´にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１６５及び１６６は配線部材４１´の表面側においてその表面に９０°より小さい所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４９´及び５０´にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１６においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００５６】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１６３及び１６４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１６５及び１６６とが互いに１８０°未満の所定角度を隔てた方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１６３及び１６４と、読出し側のプローブピン１６５及び１６６とのアプローチ角度を１８０°未満の所定角度隔てて接続することによって、クロストークを著しく低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００５７】
図１７は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１７においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。なお、本実施形態では、配線部材４１´の形状及びその上に形成されている外部接続パッド４７´、４８´、４９´及び５０´の配置が前述の実施形態の場合とは相違している。
【００５８】
本実施形態では、プローブピン１７３及び１７４とプローブピン１７５及び１７６とを配線部材４１´の同一面側に配置し、互いに９０°より小さい所定角度隔てさせて接続している。即ち、プローブピン１７５及び１７６はＨＧＡの配線部材４１´の表面に垂直な方向からアプローチし外部接続パッド４９´及び５０´にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１７３及び１７４は配線部材４１´の表面に９０°より小さい所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４７´及び４８´にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１７においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００５９】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１７３及び１７４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１７５及び１７６とが互いに９０°未満の所定角度だけ異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１７３及び１７４と、読出し側のプローブピン１７５及び１７６とのアプローチ角度を異ならせて接続することによって、クロストークを低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００６０】
図１８は本発明の接続方法のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。なお、本実施形態におけるＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の構成は図４の実施形態の場合と同様である。従って、図１８においては、図４及び図５と同様の構成要素には同一の参照番号を使用している。なお、本実施形態では、配線部材４１´の形状及びその上に形成されている外部接続パッド４７´、４８´、４９´及び５０´の配置が前述の実施形態の場合とは相違している。
【００６１】
本実施形態では、プローブピン１８３及び１８４とプローブピン１８５及び１８６とを配線部材４１´の同一面側に配置し、互いに９０°より小さい所定角度隔てさせて接続している。即ち、プローブピン１８３及び１８４はＨＧＡの配線部材４１´の表面に９０°よりやや小さい所定角度の方向からアプローチし外部接続パッド４７´及び４８´にそれぞれ接触して電気的に接続され、プローブピン１８５及び１８６は配線部材４１´の表面に９０°よりやや小さい所定角度隔てておりかつプローブピン１８３及び１８４の方向とは異なる方向からアプローチし外部接続パッド４９´及び５０´にそれぞれ接触して電気的に接続される。なお、図１８においては、外部接続パッドに対するプローブピンのアプローチ方向をより分かり易く説明するため、これらプローブピンと外部接続パッドとを実際に接触していない状態で示している。
【００６２】
このように本実施形態では、書込み磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１８３及び１８４と、読出し磁気ヘッド素子に接続されるプローブピン１８５及び１８６とが互いに９０°未満の所定角度だけ異なる方向からアプローチすることとなる。このように、書込み側のプローブピン１８３及び１８４と、読出し側のプローブピン１８５及び１８６とのアプローチ角度を異ならせて接続することによって、クロストークを低減させることができる。本実施形態におけるその他の構成、作用効果等は、図４の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００６３】
なお、プローブピンと配線部材の外部接続パッドとの接続方法は、上述した実施形態以外にも種々の形態が考えられる。要は、書込みヘッド素子用の外部接続パッドへ接続されるプローブピンのアプローチ方向と、読出しヘッド素子用の外部接続パッドへ接続されるプローブピンのアプローチ方向とが平行ではなく互いに異なっていれば、クロストークを低減可能となるのである。また、ＨＧＡの構造は、上述した構造に限定されることなく、他の種々の構造が適用可能であることはもちろんである。
【００６４】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００６５】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、書込みヘッド素子用の第１の外部接続パッドへ接続されるプローブピンのアプローチ方向と、読出しヘッド素子用の第２の外部接続パッドへ接続されるプローブピンのアプローチ方向とが互いに異なるため、特性評価時の書込み電流による読出しヘッド素子側へのクロストーク電圧が著しく低減し、読出し磁気ヘッド素子の素子破壊や出力電圧低下及び変動を極力抑えることができる。しかも、そのために、薄膜磁気ヘッドの設計を変更する必要もない。
【図面の簡単な説明】
【図１】プローブピンと外部接続パッドとの従来の接続形態例を示す斜視図である。
【図２】プローブピンと外部接続パッドとの従来の接続形態例を示す斜視図である。
【図３】プローブピンと外部接続パッドとの従来の接続形態例を示す斜視図である。
【図４】本発明の接続方法及び測定方法の一実施形態として、ＨＧＡ及びこれに接続される動特性測定装置の一部を示す平面図である。
【図５】図４の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図６】プローブピンの配置を変えた場合の書込み周波数−クロストーク電圧特性を示す特性図である。
【図７】本発明の他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図８】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図９】本発明のまたさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１１】本発明のまたさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１２】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１３】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１４】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１５】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１６】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１７】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【図１８】本発明のさらに他の実施形態におけるプローブと外部接続パッドとの接続方法を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
４０  サスペンション
４１、４１´  配線部材
４２  磁気ヘッドスライダ
４３、４４  書込み磁気ヘッド素子の端子電極
４５、４６  読出し磁気ヘッド素子の端子電極
４７、４８、４９、５０、４７´、４８´、４９´、５０´  外部接続パッド
５１  入出力部
５２  ＩＣ
５３、５４、５５、５６、７３、７４、７５、７６、８３、８４、８５、８６、９３、９４、９５、９６、１０３、１０４、１０５、１０６、１１３、１１４、１１５、１１６、１２３、１２４、１２５、１２６、１３３、１３４、１３５、１３６、１４３、１４４、１４５、１４６、１５３、１５４、１５５、１５６、１６３、１６４、１６５、１６６、１７３、１７４、１７５、１７６、１８３、１８４、１８５、１８６  プローブピン
５７、５８  ＰＣＢ
５９、６０  トレース導体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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