(57)【要約】【課題】外部の駆動回路に接続された電極端子を介して駆動コイルに駆動信号を入力して可動部を揺動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、半導体基板の外形寸法の小型化を図ると共に、接続導線の抵抗値を減少する。【解決手段】半導体基板１０に、平板状の可動部１３と、該可動部１３を揺動可能に軸支するトーションバー１５と、外部の駆動回路から駆動信号を入力する電極端子１８と、該電極端子１８に接続され可動部１３に駆動力を与える駆動コイル１６とを形成し、上記可動部１３の外方部位にトーションバー１５の軸線方向と直交する磁界成分を発生する磁界発生手段１１ａ，１１ｂを備えたプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記電極端子１８と駆動コイル１６の端部とを接続する接続導線１７を、トーションバー１５上に形成された駆動コイル１６の導線の幅より広い幅に形成した。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部材となる半導体基板に、平板状の可動部と、該可動部を揺動可能に軸支するトーションバーと、該トーションバーの軸線から離して配設され外部の駆動回路から駆動信号を入力する電極端子と、該電極端子に接続され上記可動部に駆動力を与える駆動コイルとを形成し、上記可動部の外方部位に上記トーションバーの軸線方向と直交する磁界成分を発生する磁界発生手段を備えたプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を、上記トーションバー上に形成された駆動コイルの導線の幅より広い幅に形成したことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項２】
基部材となる半導体基板に、平板状の可動部と、該可動部を揺動可能に軸支するトーションバーと、該トーションバーの軸線から離して配設され外部の駆動回路から駆動信号を入力する電極端子と、該電極端子に接続され上記可動部に駆動力を与える駆動コイルとを形成し、上記可動部の外方部位に上記トーションバーの軸線方向と直交する磁界成分を発生する磁界発生手段を備えたプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を、上記半導体基板の枠部の幅と同一又はそれに近似する幅に形成したことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項３】
上記電極端子は、上記半導体基板の隅部に配設されたことを特徴とする請求項１又は２記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項４】
上記電極端子は、上記半導体基板の枠部の一部を可動部側に張り出した部位に配設されたことを特徴とする請求項１又は２記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項５】
上記電極端子は、上記接続導線の幅と同一又はそれに近似する幅に形成されたことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項６】
上記電極端子の上面に、該電極端子の腐食を防止する樹脂を塗布して保護膜を形成したことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項７】
上記トーションバーの軸線を挟んで電極端子の反対側に、上記接続導線を延ばしてテスト用電極を配設したことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のプレーナ型電磁アクチュータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、外部の駆動回路に接続された電極端子を介して駆動コイルに駆動信号を入力して可動部を揺動するプレーナ型電磁アクチュエータに関し、詳しくは、半導体基板の外形寸法の小型化を図ると共に、上記電極端子と駆動コイルの端部とを接続する接続導線の抵抗値を低減し、生産性が高く、また耐久性の向上を図ることができるプレーナ型電磁アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造技術を応用したマイクロマシニング技術で製造する超小型のプレーナ型電磁アクチュエータが従来から開発されている。従来のこの種のプレーナ型電磁アクチュエータは、基部材となる半導体基板に、平板状の可動部と、該可動部を上記半導体基板に対して揺動可能に軸支するトーションバーとを一体的に形成し、上記可動部の周縁部には駆動信号を入力する駆動コイルを設け、該駆動コイルには上記トーションバーから離して電極端子が接続され、該電極端子を介して外部の駆動回路から駆動信号を入力するようになっていた。また、上記可動部の外方部位には、上記トーションバーの軸線方向と直交する磁界成分を発生する一対の永久磁石などの磁界発生手段を備えていた。
【０００３】
そして、このようなプレーナ型電磁アクチュエータは、外部の駆動回路に接続された電極端子を介して上記駆動コイルに駆動信号を入力すると、該駆動コイルには上記磁界発生手段との間に発生する磁界によってローレンツ力が作用して駆動し、上記トーションバーで軸支された可動部が該トーションバーの軸線方向を中心に揺動するようになっていた（例えば、特許文献１又は２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特願２００２−１０６６９２号公報　（第６頁、第１図）
【特許文献２】
特開２００２−１３１６８５号公報　（第４頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特許文献１又は２に記載されたプレーナ型電磁アクチュエータにおいては、上記電極端子と駆動コイルの端部とを接続する接続導線の距離が長くなると、その長さに比例して接続導線の抵抗値が増加したり、あるいは断線することがあったため、上記接続導線の距離ができるだけ短くなるように電極端子は配設されていた。
【０００６】
これに対し、上記接続導線の距離を短くして上記トーションバーの近傍に電極端子を配設した場合には、該電極端子を外部の駆動回路の配線にワイヤ・ボンディングするときに、ワイヤの先端部がトーションバーに接触して衝撃を与えることがあった。これにより、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時にトーションバーが折損したり、あるいは駆動コイルや接続導線が断線してプレーナ型電磁アクチュエータが破損してしまうことがあった。このことから、上記電極端子は、上記半導体基板の枠部にてトーションバーから所定の距離だけ離した位置に配設されていた。そのため、上記半導体基板の枠部に電極端子を配設するためのスペースを設けなければならず、該半導体基板の外形寸法を小型化するのが困難であった。
【０００７】
さらに、外部の駆動回路の配線にワイヤ・ボンディングされた電極端子の上面に保護膜となる樹脂を塗布しようとすると、該樹脂がトーションバーの上面にまで流出し、トーションバーの捩じれ特性が変化して可動部の揺動状態が不安定になることがあった。これに対し、上記電極端子の上面に樹脂を塗布しない場合には、電磁アクチュエータの使用時における耐久性の向上を図ることができなかった。
【０００８】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、半導体基板の外形寸法の小型化を図ると共に、上記電極端子と駆動コイルの端部とを接続する接続導線の抵抗値を低減し、生産性が高く、また耐久性の向上を図ることができるプレーナ型電磁アクチュエータを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータは、基部材となる半導体基板に、平板状の可動部と、該可動部を揺動可能に軸支するトーションバーと、該トーションバーの軸線から離して配設され外部の駆動回路から駆動信号を入力する電極端子と、該電極端子に接続され上記可動部に駆動力を与える駆動コイルとを形成し、上記可動部の外方部位に上記トーションバーの軸線方向と直交する磁界成分を発生する磁界発生手段を備えたプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を、上記トーションバー上に形成された駆動コイルの導線の幅より広い幅に形成したものである。
【００１０】
このような構成により、上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を上記トーションバー上に形成された駆動コイルの導線の幅より広い幅に形成したことによって、上記接続導線の断面積が大きくなり、それに伴ってその抵抗値が低減すると共に、該接続導線の断線が起こり難くなる。これにより、プレーナ型電磁アクチュエータの生産性を向上することができ、使用時における耐久性の向上を図ることができる。
【００１１】
また、本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータは、基部材となる半導体基板に、平板状の可動部と、該可動部を揺動可能に軸支するトーションバーと、該トーションバーの軸線から離して配設され外部の駆動回路から駆動信号を入力する電極端子と、該電極端子に接続され上記可動部に駆動力を与える駆動コイルとを形成し、上記可動部の外方部位に上記トーションバーの軸線方向と直交する磁界成分を発生する磁界発生手段を備えたプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を、上記半導体基板の枠部の幅と同一又はそれに近似する幅に形成したものでもよい。
【００１２】
このような構成により、上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を上記半導体基板の枠部の幅と同一又はそれに近似する幅に形成したことによって、該半導体基板の枠部の幅を狭く形成することができ、その外形寸法の小型化を図ることができる。また、上記接続導線の断面積が大きくなり、それに伴ってその抵抗値が低減すると共に、該接続導線の断線が起こり難くなる。これにより、プレーナ型電磁アクチュエータの生産性を向上することができ、使用時における耐久性の向上を図ることができる。
【００１３】
ここで、上記電極端子は、上記半導体基板の隅部に配設されている。これにより、上記半導体基板の隅部に電極端子を配設したことによって、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時におけるハンドリングミスを防止して、その生産性が向上する。
【００１４】
また、上記電極端子は、上記半導体基板の枠部の一部を可動部側に張り出した部位に配設してもよい。これにより、上記半導体基板の枠部の一部を可動部側に張り出した部位に電極端子を配設したことによって、該半導体基板の枠部の外形寸法の小型化を図ると共に、上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を短くしてその抵抗値が低減する。
【００１５】
さらに、上記電極端子は、上記接続導線の幅と同一又はそれに近似する幅に形成されている。これにより、上記電極端子を上記半導体基板の枠部上に形成し得るようになり、該半導体基板の枠部の外形寸法のさらなる小型化を図ると共に、上記接続導線の長さを短くしてその抵抗値がさらに低減する。
【００１６】
さらにまた、上記電極端子の上面には、該電極端子の腐食を防止する樹脂を塗布して保護膜が形成されている。これにより、上記電極端子の上面に形成された保護膜によって、該電極端子の酸化による腐食を防止し、使用時における耐久性が向上する。
【００１７】
そして、上記トーションバーの軸線を挟んで電極端子の反対側に、上記接続導線を延ばしてテスト用電極が配設されている。これにより、上記トーションバーの軸線を挟んで電極端子の反対側に配設されたテスト用電極によって、プレーナ型電磁アクチュエータの性能試験が行われる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの実施の形態を示す斜視図である。このプレーナ型電磁アクチュエータは、外部の駆動回路から駆動信号を入力して可動部を自在に揺動制御するもので、半導体基板１０と、一対の永久磁石１１ａ，１１ｂと、ヨーク部材１２とを備えて成る。
【００１９】
上記半導体基板１０は、半導体製造技術を利用して可動部１３が形成される基部材となるもので、シリコン層を含む平板形状を有し、プレーナ型電磁アクチュエータの基礎となる支持部材１４の上面に載置されている。ここでは、上記半導体基板１０は、可動部１３が一軸方向に揺動するものとして説明する。すなわち、上記半導体基板１０には、図２に示すように、平板状の可動部１３と、該可動部１３を一軸方向に揺動可能に軸支するトーションバー１５，１５とが、例えば異方性エッチング法によって一体的に形成されている。
【００２０】
また、この可動部１３及びトーションバー１５の上面にてその周縁部には、駆動コイル１６が設けられている。この駆動コイル１６は、外部の駆動回路（図示省略）から駆動信号を入力して可動部１３に駆動力を与えて揺動させるもので、例えば電鋳メッキ法によって形成されている。そして、上記可動部１３及びトーションバー１５の上面に形成された駆動コイル１６の両端部から延びた接続導線１７，１７には電極端子１８，１８が接続されている。
【００２１】
また、図１及び図２に示すように、半導体基板１０の可動部１３の外方部位には、例えば図２における半導体基板１０の上下両側には、該半導体基板１０を挟んで一対の永久磁石１１ａ，１１ｂが対向配置されている。この永久磁石１１ａ，１１ｂは、上記トーションバー１５，１５の軸線方向と直交する磁界成分を発生する磁界発生手段となるもので、上側の永久磁石１１ａのＮ極と、下側の永久磁石１１ｂのＳ極とが互いに対向して配置されており、上記半導体基板１０に形成された可動部１３の上面の駆動コイル１６に対して磁力を与えるようになっている。
【００２２】
そして、永久磁石１１ａ，１１ｂの周囲には、図１及び図２に示すように、ヨーク部材１２が配置されている。このヨーク部材１２は、永久磁石１１ａ，１１ｂから外部に発生する磁界の磁路を形成する磁路形成手段となるもので、枠状の形状を有し、例えば鉄などの磁性材料からなる。これにより、上記永久磁石１１ａ，１１ｂから発生する磁界が周囲に漏れるのを低減し、永久磁石１１ａ，１１ｂ間の駆動コイル１６に与える磁力を高めることができる。
【００２３】
ここで、本発明においては、上記電極端子１８と駆動コイル１６の端部とを接続する接続導線１７は、図３に示すように、その幅Ｌ１が上記トーションバー１５上に形成された駆動コイル１６の導線の幅Ｌ２より広い幅に形成されている。これにより、上記接続導線１７の幅Ｌ１を駆動コイル１６の導線の幅Ｌ２より広く形成したことによって、該接続導線１７の断面積が従来のものと比べて大きくなり、それに伴ってその抵抗値を低減することができる。また、上記接続導線１７が断線しないようにすることができる。したがって、プレーナ型電磁アクチュエータの生産性を向上することができ、また使用時における耐久性の向上を図ることができる。
【００２４】
このとき、外部の駆動回路から駆動信号を入力する電極端子１８は、図２又は図３に示すように、上記半導体基板１０の隅部に配設されている。そして、この電極端子１８は、外部の駆動回路のプリント配線１９にワイヤ２０でワイヤ・ボンディングされている。
【００２５】
この場合には、上記半導体基板１０の隅部に電極端子１８を配設したことによって、上記電極端子１８を外部の駆動回路のプリント配線１９にワイヤ・ボンディングするときに、ワイヤ２０の先端部が上記トーションバー１５に接触しないようになり、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時にトーションバー１５が折損したり、あるいは駆動コイル１６や接続導線１７が断線することを防止することができる。また、図示しないが、電極端子１８とプリント配線１９との導通を確実にとるために、複数本のワイヤ２０をワイヤ・ボンディングしても良い。したがって、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時におけるハンドリングミスを防止して、その生産性を向上することができる。
【００２６】
また、上記特許文献１又は２に記載された従来のプレーナ型電磁アクチュエータの場合は、半導体基板の枠部に電極端子を配設するためのスペースを設けなければならず、該半導体基板を小型化することが困難であったが、本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの場合には、図３に示すように、半導体基板１０の枠部１０ａに電極端子１８を配設しなくてもよい。このため、上記半導体基板１０の枠部１０ａの幅Ｌ３を従来のものと比べて狭く形成することができ、該半導体基板１０の外形寸法を小さく設計して製造することができる。したがって、例えば一枚のウェハに対する半導体基板１０の製造枚数を増やすことができ、生産性を向上することができる。
【００２７】
さらに、図３に示すように、上記電極端子１８の上面には保護膜２１が形成されている。この保護膜２１は、電極端子１８が酸化して腐食するのを防止するもので、外部の駆動回路のプリント配線１９にワイヤ２０でワイヤ・ボンディングを行った後に、所定の粘度を有する樹脂を塗布することによって形成される。これにより、上記保護膜２１によって、電極端子１８の酸化による腐食を防止することができ、使用時における耐久性を向上することができる。
【００２８】
なお、図３においては、上記接続導線１７の幅Ｌ１は、半導体基板１０の枠部１０ａの幅Ｌ３よりも狭い幅に形成されているため、この場合には、該接続導線１７の上面に保護膜（図示省略）を形成するためのマージンを上記半導体基板１０の枠部１０ａに確保することができる。
【００２９】
そして、図２に示すように、上記トーションバー１５，１５の軸線を挟んで電極端子１８の反対側には、上記駆動コイル１６の接続導線１７を延ばしてテスト用電極２２，２２がそれぞれ配設されている。これにより、上記テスト用電極２２を用いて、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時における各種の性能試験を行うことができる。したがって、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時に性能試験を行うときに上記電極端子１８の表面を傷つけることがなくなり、該電極端子１８をプリント配線１９にワイヤ２０でワイヤ・ボンディングするときの接続を確実に行って、生産性を向上することができる。
【００３０】
図４は、本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの他の実施形態を示す部分拡大図である。この実施形態は、上記電極端子１８と上記駆動コイル１６の端部とを接続する接続導線１７を、上記半導体基板１０の枠部の幅Ｌ３と同一又はそれに近似する幅に形成したものである。これにより、上記半導体基板１０の枠部１０ａの幅Ｌ３をさらに狭く形成することができ、該半導体基板１０の外形寸法をさらに小さく設計して製造し、その小型化を図ることができる。この場合には、上記接続導線１７の断面積が従来のものと比べて大きくなり、それに伴ってその抵抗値が低減すると共に、該接続導線１７が断線しないようにすることができる。したがって、プレーナ型電磁アクチュエータの生産性を向上することができ、使用時における耐久性の向上を図ることができる。
【００３１】
さらに、上記電極端子１８は、上記接続導線１７の幅Ｌ１と同一又はそれに近似する幅に形成されている。具体的には、図４に示すように、上記電極端子１８の幅は、上記接続導線１７の幅Ｌ１と同様に例えば０．８ｍｍ程度に形成されている。これにより、上記接続導線１７の幅Ｌ１と同一又はそれに近似する幅に電極端子１８を形成することによって、上記半導体基板１０の外形寸法をさらに小さく設計して製造し、さらなる小型化を図ることができる。
【００３２】
また、図５に示すように、上記電極端子１８の幅を接続導線１７の幅Ｌ１と同一又はそれに近似する幅に形成することにより、上記半導体基板１０の枠部１０ａ上に電極端子１８を形成し得るようになり、上記接続導線１７の長さをさらに短くすることができる。この場合には、接続導線１７の抵抗値をさらに低減することができる。
【００３３】
図６は、本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータのさらに他の実施形態を示す平面図である。この実施形態は、上記接続導線１７に接続された電極端子１８を、上記半導体基板１０の枠部の一部を可動部１３側に張り出した部位に配設したものである。この実施形態による半導体基板１０は、該半導体基板１０の枠部の一部に、前記可動部１３側に張り出した張出し部２３を形成し、上記電極端子１８は、該張出し部２３に配設されている。なお、上記張出し部２３と上記トーションバー１５との間には、くびれた部位が形成される。これにより、上記張出し部２３に電極端子１８を配設することによって、上記電極端子１８とトーションバー１５との間隔を所定の距離だけ離すことができる。したがって、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時におけるハンドリングミスを防止して生産性を向上することができる。また、半導体基板１０の枠部が強化されると共に、該半導体基板１０の外形寸法をさらに小さく設計して製造することができる。
【００３４】
このとき、上記電極端子１８をトーションバー１５，１５の軸線から離して配設する位置は、該電極端子１８の上面に塗布する樹脂の性質によって決定される。例えば、上記電極端子１８の上面に塗布する樹脂の粘度が低ければ広がり易く、また樹脂の粘度が高いほど広がり難いため、粘度の高い樹脂を用いることにより、上記電極端子１８をトーションバー１５の軸線の近くに配設することができる。具体的には、上記電極端子１８の位置は、上記半導体基板１０の張出し部２３と上記トーションバー１５との間のくびれた部位から外方に、例えば１００μｍ程度離して配設すればよい。これにより、上記電極端子１８と駆動コイル１６の間における接続導線１７の長さを短く形成することができ、該接続導線１７の抵抗値を低減することができる。また、上記接続導線１７が断線しないようにすることができ、使用時における耐久性の向上を図ることができる。
【００３５】
なお、図２及び図６において、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時に性能試験を行うときに用いるテスト用電極２２は、上記トーションバー１５，１５の軸線を挟んで電極端子１８と対象となる位置に配設されているが、上記接続導線１７の抵抗値が同様となるように線幅を設計すれば、どの位置でも構わない。
【００３６】
また、以上の説明において、プレーナ型電磁アクチュエータを構成する半導体基板１０は、トーションバーに軸支された可動部１３が一軸方向に揺動可能なものとして説明したが、本発明はこれに限られず、半導体基板に、枠状の外側可動板及びその内側に配置される内側可動板からなる可動部と、上記外側可動板を揺動可能に軸支する第１トーションバーと、該第１トーションバーに対して軸方向が直交し上記内側可動板を揺動可能に軸支する第２トーションバーとを一体形成したものでもよい。
【００３７】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、請求項１に係る発明によれば、外部の駆動回路に接続された電極端子を介して駆動コイルに駆動信号を入力して可動部を揺動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を上記トーションバー上に形成された駆動コイルの導線の幅より広い幅に形成したことによって、上記接続導線の断面積が大きくなり、それに伴ってその抵抗値が低減すると共に、該接続導線の断線を防止することができる。これにより、プレーナ型電磁アクチュエータの生産性を向上することができ、使用時における耐久性の向上を図ることができる。また、半導体基板の外形寸法を小さく設計して製造することができる。
【００３８】
また、請求項２に係る発明によれば、外部の駆動回路に接続された電極端子を介して駆動コイルに駆動信号を入力して可動部を揺動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を上記半導体基板の枠部の幅と同一又はそれに近似する幅に形成したことによって、該半導体基板の枠部の幅をさらに狭く形成することができ、その外形寸法の小型化を図ることができる。また、上記接続導線の断面積が大きくなり、それに伴ってその抵抗値が低減することができると共に、該接続導線の断線を防止することができる。これにより、プレーナ型電磁アクチュエータの生産性を向上することができ、使用時における耐久性の向上を図ることができる。
【００３９】
ここで、請求項３に係る発明によれば、上記電極端子は、上記半導体基板の隅部に配設されていることにより、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時におけるハンドリングミスを防止して、その生産性が向上することができ、また使用時における耐久性の向上を図ることができる。また、半導体基板の外形寸法を小さく製造することができる。
【００４０】
また、請求項４に係る発明によれば、上記電極端子は、上記半導体基板の枠部の一部を可動部側に張り出した部位に配設したことにより、該半導体基板の枠部の外形寸法の小型化を図ると共に、上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を短くしてその抵抗値を低減することができる。これにより、プレーナ型電磁アクチュエータの製造時におけるハンドリングミスを防止して生産性を向上することができる。また、半導体基板の枠部が強化されると共に、該半導体基板の外形寸法を小さく製造することができる。
【００４１】
さらに、請求項５に係る発明によれば、上記電極端子は、上記接続導線の幅と同一又はそれに近似する幅に形成されたことにより、上記電極端子を上記半導体基板の枠部上に形成し得るようになり、該半導体基板の枠部の外形寸法のさらなる小型化を図ると共に、上記接続導線の長さを短くしてその抵抗値をさらに低減することができる。
【００４２】
さらにまた、請求項６に係る発明によれば、上記電極端子の上面には、該電極端子の腐食を防止する樹脂を塗布して保護膜が形成されたことにより、該電極端子の上面に形成された保護膜によって、該電極端子の酸化による腐食を防止し、使用時における耐久性を向上することができる。
【００４３】
そして、請求項７に係る発明によれば、上記トーションバーの軸線を挟んで電極端子の反対側に、上記接続導線を延ばしてテスト用電極が配設されていることにより、該テスト用電極によって、プレーナ型電磁アクチュエータの性能試験を行うことができる。したがって、プレーナ型電磁アクチュエータの性能試験を行うときに、上記電極端子の表面を傷つけることがなくなり、外部の駆動回路にワイヤ・ボンディングするときの接続を確実に行うことができ、プレーナ型電磁アクチュエータの生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの実施の形態を示す斜視図である。
【図２】上記プレーナ型電磁アクチュエータを示す平面図である。
【図３】上記プレーナ型電磁アクチュエータを構成する半導体基板に形成された電極の幅を示す部分拡大図である。
【図４】上記プレーナ型電磁アクチュエータの他の実施形態を示す部分拡大図である。
【図５】図４に示すプレーナ型電磁アクチュエータの変形例を示す部分拡大図である。
【図６】上記プレーナ型電磁アクチュエータのさらに他の実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
１０…半導体基板
１１ａ，１１ｂ…永久磁石
１２…ヨーク部材
１３…可動部
１４…支持部材
１５…トーションバー
１６…駆動コイル
１７…接続導線
１８…電極端子
１９…プリント配線
２０…ワイヤ
２１…保護膜
２２…テスト用電極
２３…張出し部
【図１】
2004136373.tif 000003
【図２】
2004136373.tif 000004
【図３】
2004136373.tif 000005
【図４】
2004136373.tif 000006
【図５】
2004136373.tif 000007
【図６】
2004136373.tif 000008