(57)【要約】【課題】小型化及び作業時間の短縮を図りながら、コストダウンすることができるレーザマーキングシステム及びレーザマーキング方法を提供する。【解決手段】ＣＣＤカメラ２の光軸は、レーザ光源３の光軸と一致するように設けられている。制御装置９は、ガルバノミラー４ａ，４ｂを指定の位置に制御した状態で、ＣＣＤカメラ２によりワーク８を撮像することによりワーク８のマーキング位置を補正する。次に、ガルバノミラー４ａ，４ｂを制御することによりワーク８上にマーキング情報をマーキングしてから、ガルバノミラー４ａ，４ｂを指定の位置に制御した状態で、ＣＣＤカメラ２によりワーク８を撮像することにより、マーキング情報の確認を実行する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源から出射されたレーザ光をマーキング情報に対応したマーキング用座標データに基づいて走査手段により２次元的に走査すると共に、この走査手段で走査されたレーザ光を所定のマーキング領域に位置する被マーキング対象物の表面に収束レンズにより集光することによりマーキングを実行する制御手段を備えたレーザマーキング装置と、
前記マーキング領域に位置する被マーキング対象物を撮像する撮像手段と、
この撮像手段が撮像した被マーキング対象物の位置に基づいて予め設定される基準位置に対する被マーキング対象物のズレ量を算出し、このズレ量に基づいて前記マーキング用座標データを補正する補正手段と、
前記ズレ量を記憶する記憶手段とを備え、
前記制御手段は、前記補正手段が補正したマーキング用座標データに基づいて前記マーキング領域に位置する被マーキング対象物に対してマーキングを実行してから、前記撮像手段によりマーキングされた被マーキング対象物を撮像し、そのマーキングされた被マーキング対象物の画像データと予め設定される基準の画像データとを比較する際、前記マーキングされた被マーキング対象物の画像データまたは前記基準の画像データの一方を、前記記憶手段に記憶された前記ズレ量に基づいて補正した上で比較することを特徴とするレーザマーキングシステム。
【請求項２】
前記レーザ光源と前記走査手段との間に光路を分岐する光路分岐手段を備え、
前記撮像手段は、前記光路分岐手段から前記走査手段に向かう光軸を前記レーザ光源の光軸と一致するように設けられ、
前記収束レンズは、色収差防止用の色消しレンズから構成され、
前記撮像手段は、レーザマーキング装置に一体的に構成されていることを特徴とする請求項１記載のレーザマーキングシステム。
【請求項３】
レーザ光源から出射されたレーザ光をマーキング情報に対応したマーキング用座標データに基づいて所定のマーキング領域に位置する被マーキング対象物の表面に集光状態で２次元的に走査することによりマーキングを実行するレーザマーキング方法において、
被マーキング対象物が前記マーキング領域に位置する状態において、
撮像手段で被マーキング対象物を撮像し、
撮像された被マーキング対象物の画像データに基づいて予め設定される基準位置に対する被マーキング対象物のズレ量を算出し、そのズレ量に基づいて前記マーキング用座標データを補正し、
補正されたマーキング用座標データに基づいて被マーキング対象物に対してマーキングを実行し、
前記撮像手段で被マーキング対象物を再度撮像し、
前記撮像手段が撮像したマーキングされた被マーキング対象物の画像データと予め設定される基準の画像データとを比較するものであって、
この比較の際に、前記ズレ量に基づいて前記マーキングされた被マーキング対象物の画像データまたは前記基準の画像データの一方を補正した上で比較することによりマーキング不良を判断することを特徴とするレーザマーキング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光源から出射されたレーザ光を被マーキング対象物の表面に集光状態で２次元的に走査することによりマーキングを施すレーザマーキング装置を主体とするレーザマーキングシステム及びレーザマーキング方法に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
従来から、ガルバノミラーを使ってレーザ光源から出射されるレーザ光を２次元的に走査し、被マーキング対象物であるワーク上に予め設定された文字・記号・図形などのマーキング情報をマーキングするガルバノスキャニング方式のレーザマーキング装置が提供されている。
【０００３】
この種のレーザマーキング装置は、工場などの生産ラインに組み込まれて、搬送されたワークにマーキング情報をマーキングするために使用されるのが一般的である。この場合、搬送されたワークがレーザマーキング装置のマーキング領域に位置したときは、正規の基準位置に対してずれていたり、ＸＹ平面上で傾きをもって位置している場合がある。このような場合、予め設定されているマーキング情報を予め設定されている位置にマーキングするにしても、実際のワークにマーキングされたマーキング情報は位置ずれ或いは傾きを生じてしまうという問題がある。
そこで、ワークの位置確認用のカメラを配置し、このカメラにより得た画像データからワークの基準位置に対するズレを検出して、そのズレ量に応じてレーザマーキング装置の座標データを補正するようにしている。
【０００４】
一方、レーザマーキング装置によりマーキング処理を施して搬送されるワークに、何らかの原因でマーキング情報がマーキングされなかった場合に、そのまま出荷してしまったり、マーキングミスを早期に発見できないことにより、不良品を大量に発生させてしまったりすることがある。このため、ワークにマーキング情報が正しくマーキングされているかどうかを検出することにより、不良品を発生さないようにする必要がある。
このような不具合を防止するために、外観検査用のカメラを配置し、このカメラからの画像データに基づいてワークのマーキングミスを発見するようにしている。
【０００５】
しかしながら、このような従来のレーザマーキング装置を搬送ラインに組み込んで使用する場合には、搬送方向に対して、上流側に位置確認用のカメラを配置すると共に、その下流にレーザマーキング装置を配置し、さらにその下流に外観検査用のカメラを配置することによりレーザマーキングシステムを構成することとなる。このため、システム全体が非常に大型化すると共に、コストアップしてしまうという問題がある。
【０００６】
しかるに、装置の小型化を目的とするものとして、特開平１１−１５６５６６号公報に示される構成のものがある。これは、１台のカメラによって、マーキング処理前のリード部品の種類及び表裏判別と、マーキング終了後の外観検査のカメラとを兼用することで、装置の小型化を図ろうとするものである。
【０００７】
しかしながら、特開平１１−１５６５６６号公報のものは、実際のマーキング処理位置とカメラで観察するための待機位置とが異なる位置に設定されており、それらの位置を機械的に移動させる構成となっている。しかも、待機位置においては、位置調整を行う構成となっていないのが実情である。
【０００８】
ところで、マーキング作業においては、ワークに対するマーキング位置が重要になることが多く、ワークの指定位置に正確にマーキングされることが望まれるが、特開平１１−１５６５６６号公報の構成では、位置調整を行おうとすると、機械的な調整により行うことになる。このため、位置精度を高めるには、機械的に大掛かりなものとなってしまい、装置の大型化やコスト高を招来する。
【０００９】
さらには、特開平１１−１５６５６６号公報のものは、マーキング処理中に観察動作も同時に実行する構成であるため、必然的に、マーキング領域と観察領域とを異なる場所にする必要がある。特に、従来の搬送ラインに対して、このような構成を採用しようとすると、一列状にカメラとレーザマーキング装置とを配列することになる。従って、マーキング処理前にカメラの観察領域内にワークを搬送して停止させてからマーキングを行い、マーキング終了後に、ワークを再びマーキング領域から観察領域に搬送して観察を行わなくてはならないことになる。このため、マーキング処理前とマーキング処理後とでの観察領域に対する搬送位置が異なってしまう場合があり、この位置精度を高精度に行おうとすると、機構的に複雑となってしまう。しかも、マーキング終了後に搬送装置を元位置に復帰させるため、マーキングシステム全体で見た場合には、処理時間にロスが生じてしまうため、効率が悪くなってしまう。
【００１０】
特に、レーザマーキング装置でマーキングされるワークの中には、チップ部品などの小さなものに極めて小さなマーキング情報をマーキングすることも少なくなく、この場合、位置精度は非常に大きく影響してくるため、上記問題はさらに深刻な問題となる。
【００１１】
一方、特開平０６−０９００５２号公報、特開平０４−２５３５８５号公報に示されるように、レーザ光源からの光軸上と同一光軸となるようにカメラを配置してマーキング前のワークの載置位置を確認して、マーキングデータを補正する構成のものがある。
さらに、特開平０９−２２０６８６号公報に示されるように、レーザ光源からの光軸上と同一光源になるようにカメラを配置してマーキング後のワークの外観検査を行う構成のものもある。
このような構成によれば、ワークを移動することなくワークの載置位置の確認を行ったり、マーキング後の検査を実行したりできることから、高い補正精度或いは検査精度を得ることができるように思われる。
【００１２】
しかしながら、このような構成では、カメラで撮像する際には、レーザ光源からのレーザ光の波長帯と異なる波長帯の可視光を用いているため、収束レンズを通して結像される位置が上述したようにぼやけてしまい、正確な画像データが得られなくなってしまう。このため、マーキング位置の調整或いはマーキング状態の確認を制度良く行うことができない欠点がある。
【００１３】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その第１の目的は、小型化及び作業時間の短縮を図りながらコストダウンすることができ、第２の目的は、マーキング位置の調整とマーキング状態の確認の精度を高めることができるレーザマーキングシステム及びレーザマーキング方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、レーザ光源から出射されたレーザ光をマーキング情報に対応したマーキング用座標データに基づいて走査手段により２次元的に走査すると共に、この走査手段で走査されたレーザ光を所定のマーキング領域に位置する被マーキング対象物の表面に収束レンズにより集光することによりマーキングを実行する制御手段を備えたレーザマーキング装置を設け、前記マーキング領域に位置する被マーキング対象物を撮像する撮像手段を設け、この撮像手段が撮像した被マーキング対象物の位置に基づいて予め設定される基準位置に対する被マーキング対象物のズレ量を算出し、このズレ量に基づいて前記マーキング用座標データを補正する補正手段を設け、前記ズレ量を記憶する記憶手段を設けた上で、前記制御手段は、前記補正手段が補正したマーキング用座標データに基づいて前記マーキング領域に位置する被マーキング対象物に対してマーキングを実行してから、前記撮像手段によりマーキングされた被マーキング対象物を撮像し、そのマーキングされた被マーキング対象物の画像データと予め設定される基準の画像データとを比較する際、前記マーキングされた被マーキング対象物の画像データまたは前記基準の画像データの一方を、前記記憶手段に記憶された前記ズレ量に基づいて補正した上で比較するものである（請求項１）。
【００１５】
このような構成によれば、被マーキング対象物にマーキングする前の位置調整のための撮像手段と、マーキング後のマーキング不良の判断のための撮像手段とを同一とすることができるから、撮像手段は１つで済み、システム全体の構成を簡単化してコストダウンすることができると共に、被マーキング対象物を移動する必要がないことから、マーキング作業時間の短縮を図ることができる。
【００１６】
しかも、撮像手段で撮像したマーキング後の被マーキング対象物の画像データと基準の画像データとを比較してマーキング不良判別を実行する際は、一方の画像データをズレ量に基づいて補正した上で実行するようにしたので、マーキング不良判別の精度を高めることができる。
【００１７】
前記レーザ光源と前記走査手段との間に光路を分岐する光路分岐手段を設け、前記撮像手段は、前記光路分岐手段から前記走査手段に向かう光軸を前記レーザ光源の光軸と一致するように設けられ、前記収束レンズは、色収差防止用の色消しレンズから構成され、前記撮像手段は、レーザマーキング装置に一体的に構成されているものである（請求項２）。
【００１８】
このような構成によれば、レーザ光源の光軸と撮像手段の光軸とは光路分岐手段から走査手段に向かう光軸と一致しているので、撮像手段をレーザマーキング装置に一体的に構成するにしても、小型化を図ることができると共に、被マーキング対象物に対して真上から撮像することが可能となり、被マーキング対象物を精度良く撮像することができる。
【００１９】
ところで、撮像手段で被マーキング対象物を撮像する際は、レーザ光源からのレーザ光の波長帯と異なる波長帯の可視光を用いて行うため、収束レンズを通じた結像が色収差によりぼやけてしまうものの、収束レンズとして色消しレンズを用いているので、可視光が収束レンズを通過する際の色収差による影響を防止して正確な画像データを得ることができる。
【００２０】
また、本発明は、レーザ光源から出射されたレーザ光をマーキング情報に対応したマーキング用座標データに基づいて所定のマーキング領域に位置する被マーキング対象物の表面に集光状態で２次元的に走査することによりマーキングを実行するレーザマーキング方法において、
被マーキング対象物が前記マーキング領域に位置する状態において、撮像手段で被マーキング対象物を撮像し、撮像された被マーキング対象物の画像データに基づいて予め設定される基準位置に対する被マーキング対象物のズレ量を算出し、そのズレ量に基づいて前記マーキング用座標データを補正し、補正されたマーキング用座標データに基づいて被マーキング対象物に対してマーキングを実行し、前記撮像手段で被マーキング対象物を再度撮像し、前記撮像手段が撮像したマーキングされた被マーキング対象物の画像データと予め設定される基準の画像データとを比較するものであって、この比較の際に、前記ズレ量に基づいて前記マーキングされた被マーキング対象物の画像データまたは前記基準の画像データの一方を補正した上で比較することによりマーキング不良を判断することを特徴とするものである（請求項３）。
このような方法によれば、マーキングの際の補正用の撮像、マーキング、マーキング後の検査用の撮像の一連の動作をマーキング領域に位置する被マーキング対象物を移動することなく実行することができるので、撮像手段は１台で済む。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、レーザマーキングシステムを概略的に示している。この図１において、レーザマーキングシステムは、レーザマーキング装置１と撮像手段たるＣＣＤカメラ２から構成されており、ＣＣＤカメラ２は、レーザマーキング装置１に一体的に構成されている。
【００２２】
まず、レーザマーキング装置１について説明する。レーザ光源３からは所定波長のレーザ光が出射され、そのレーザ光は走査手段としてのＸ方向走査用ガルバノミラー４ａ及びＹ方向走査用ガルバノミラー４ｂにより偏向される。これらのガルバノミラー４ａ，４ｂは、モータ５ａ，５ｂによりその角度が調整されることにより所定のマーキング領域内でレーザ光を２次元的に走査するようになっている。
【００２３】
収束レンズであるｆθレンズ６は、ガルバノミラー４ａ，４ｂにより２次元的に走査されたレーザ光を被マーキング対象物であるワーク８上に収束させる。この場合、ｆθレンズ６は、可視光が通過する際に色収差を生じない色消しレンズから形成されている。
【００２４】
制御手段、補正手段及び記憶手段である制御装置９はＣＰＵを主体として構成されており、マーキングする文字・記号・図形などのマーキング情報から複数の座標データを生成すると共に、ワーク８にマーキングする際は、ガルバノミラー４ａ，４ｂを駆動するための複数の座標データに対応した駆動信号をモータ５ａ，５ｂに順次出力する。
【００２５】
以上のようにレーザマーキング装置１が構成されるもので、ｆθレンズ６を介してベルトコンベア７に載置されたワーク８上に照射されるレーザ光を、制御装置９からの駆動信号に基づいてガルバノミラー４ａ，４ｂで２次元的に走査することにより、所定のマーキング領域内のワーク８上に文字・記号・図形などをマーキングすることができる。
【００２６】
一方、レーザマーキング装置１に一体的に構成されたＣＣＤカメラ２は、レーザ光源３の光軸と同一光軸となるように設けられている。つまり、レーザ光源３からガルバノミラー４ａ，４ｂに至る光路中には光路分岐手段としてのコールドミラー１０が介在されており、ＣＣＤカメラ２の光軸は、コールドミラー１０により折曲されることにより、レーザ光源３からガルバノミラー４ａ，４ｂに向かう光軸と一致している。
【００２７】
次に上記構成の作用について説明する。
まず、ワーク８上にマーキングされる文字・記号・図形などのマーキング情報を制御装置９のコンソールなどの設定手段により設定する。このとき、マーキングパラメータとして、マーキングスピード、マーキング線幅、レーザパワー、フォントの大きさなども設定される。
【００２８】
そして、ベルトコンベア７上の基準位置にサンプルとなるワーク８を載置した状態で、レーザマーキング装置１によるティーチング動作を実行する。この基準位置とは、レーザマーキング装置１のマーキング領域においてベルトコンベア７によりワーク８が搬送される位置で、ワーク８は基準位置に常に位置されるようになっている。この場合、レーザマーキング装置１のティーチング動作は、基本的には１回でよいが、ワーク８が変更されたとき、或いはワーク８の載置位置が当初の基準位置から変更されたときは再度実行する。
【００２９】
図２は、レーザマーキング装置１によるティーチング動作を示している。この図２において、最初のステップとして、ガルバノミラー４ａ，４ｂを指定の位置へ移動する（Ｓ１０１）。この指定の位置とは、レーザ光源３の光軸が上述のようにして設定された基準位置の中心となる位置で、このような位置関係では、ＣＣＤカメラ２の視野は、基準位置の中心位置を中心とする所定範囲となる。
【００３０】
次に、ＣＣＤカメラ２によりワーク８の角部の位置検出を実行し、その座標を（Ｘ，Ｙ）とする（Ｓ１０２）。この座標は、ＣＣＤカメラ２の画素位置に対応している。
次に、ガルバノミラー４ａ，４ｂによるレーザ光源３の光軸が指定位置から＋αｍｍだけＸ方向に移動した位置となるように制御してから（Ｓ１０３）、ワーク８の角部の位置検出を再度実行し、その座標を（Ｘ’，Ｙ）とする（Ｓ１０４）。この場合、（Ｘ’−Ｘ）の画素数がαｍｍに対応対することになるから、Ｘ方向に関しては、ＣＣＤカメラ２の１画素がα／（Ｘ’−Ｘ）ｍｍに相当することになる。
【００３１】
続いて、ガルバノミラー４ａ，４ｂを座標中心が指定位置から＋βｍｍだけＹ方向に移動した位置となるように制御してから（Ｓ１０５）、ワーク８の角部の位置検出を実行し、その座標を（Ｘ，Ｙ’）とする（Ｓ１０６）。この場合、（Ｙ’−Ｙ）の画素数がβｍｍに対応対することになるから、Ｙ方向に関しては、ＣＣＤカメラ２の１画素がβ／（Ｙ’−Ｙ）ｍｍに相当することになる。
【００３２】
そして、上述のようにして求めた（Ｘ，Ｙ）、（Ｘ’，Ｙ’）、α、βに基づいて補正用パラメータα／（Ｘ’−Ｘ）、β／（Ｙ’−Ｙ）を演算して保存する（Ｓ１０７）。これらの補正用パラメータは、後述するマーキング動作時においてＣＣＤカメラ２により撮像した画素位置に対応する座標データを求める際に必要となる。
【００３３】
次に、マーキング位置を登録する。つまり、上述したティーチング時においては、制御装置９のコンソール画面にはサンプルのワーク８が映し出されているので、その画面を確認しながら、マーキング情報をマーキングしたい位置を確認する。そして、マーキング位置が決定したときは、その位置を登録する。
【００３４】
次に、サンプルのワーク８にマーキング情報をテスト印字し、マーキングされたワーク８の画像データを基準の画像データとして図示しない記憶手段に記憶する。
以上のようにして、補正パラメータ及びマーキング位置並びに基準の画像データの登録が終了したときは、ワーク８に対して実際にマーキングを実行することができる。
【００３５】
図３は制御装置９によるマーキング動作を示している。この図３において、ベルトコンベア７によりワーク８が所定の基準位置に搬送されると、印字トリガーが制御装置９に与えられる。すると、制御装置９は、印字トリガーが入力したことに応じて（Ｓ２０１：ＹＥＳ）、ガルバノミラー４ａ，４ｂを指定の座標に制御する（Ｓ２０２）。この指定の座標とは、レーザ光源３の光軸が基準位置の中心となる位置で、ＣＣＤカメラ２の視野はその指定位置を中心とした所定範囲となる。
【００３６】
次に、ＣＣＤカメラ２によりワーク８の位置検出を実行してから（Ｓ２０３）、検出したワーク位置と先に登録したワーク位置のズレ量からマーキング位置の座標ズレ（横ズレ及び傾き）を計算する（Ｓ２０４）。この場合、横ズレ量（ビット数）に対してティーチングで求めた補正パラメータを掛け合わせることにより、横ズレの実際の数値（ｍｍ）を求めることができる。
【００３７】
このようにしてワーク８に対するマーキング位置が決定したときは、実際のマーキングを実行する（Ｓ２０５）。つまり、制御装置９は、補正された座標データに基づいてワーク８に対してマーキングするもので、レーザ光源３を駆動した状態で、ガルバノミラー４ａ，４ｂを制御することによりワーク８上の所定位置にレーザ光をｆθレンズ６による集光状態で２次元的に走査させる。これにより、ワーク８の表面においてレーザ光が集光した部位が集中的に加熱されるので、ワーク８の表面に所定のマーキング情報をマーキングすることができる。
【００３８】
そして、マーキングが終了したときは、制御装置９は、ガルバノミラー４ａ，４ｂを上述した指定の座標となるように位置させてから（Ｓ２０６）、ＣＣＤカメラ２によりワーク８を再度撮像し、ＣＣＤカメラ２からの画像データに基づいてマーキング不良を判別し（Ｓ２０７）、マーキング不良の場合は（Ｓ２０８：ＮＯ）、ＮＧとする（Ｓ２０９）。このとき、ＣＣＤカメラ２の光源は一般的な可視光であることから、ｆθレンズ６を通過する際に、色収差を生じるものの、本実施の形態では、ｆθレンズ６として色消しレンズを用いているので、可視光がｆθレンズ６を通過する際の色収差を防止することができ、ワーク８上のマーキング情報を精度良く撮像することができる。
【００３９】
マーキング不良を判断する方法としては、設定されるマーキング情報とマーキングパラメータにより、ワーク８にマーキングされたマーキング情報の位置、傾き、大きさ、或いはマーキング情報を構成する文字・記号・図形などの線幅や、それらの欠けなどを基準パターンと画像データとを照合することにより判断する方法（実際のマーキングパターンをトレースする方法）と、ＣＣＤカメラ２により撮像された画像データのうち、予め設定されるワーク上のマーキング情報がマーキングされている所定範囲の画像データの部分を抜き出し、所定量以上の領域に対して、ワーク表面の受光量とそれ以外の受光量とが存在することによりマーキングが施されたことを判断する方法（単純に、ワークにマーキングが施されているか否かを判断する方法）がある。
【００４０】
特に、本実施の形態では、上述した判別作業を実行する際は、制御装置９は、マーキング処理で得た画像データから基準載置位置に対するズレ量を算出して記憶してあるので、マーキング処理後に得た画像データをこのズレ量により補正して、この補正された画像データと予め登録した基準の画像データとを比較することによりマーキング不良判別を精度良く行うことができる。
尚、基準の画像データをズレ量に基づいて補正し、その補正された基準の画像データとマーキング処理で得た画像データとを比較することによりマーキング不良判別を実行するようにしてもよい。
【００４１】
このような実施の形態によれば、制御装置９は、マーキング領域に位置するワーク８をＣＣＤカメラ１により撮像することにより補正パラメータを求め、補正パラメータに基づいてマーキング位置を補正した状態でワーク８に対してマーキングを実行し、さらにマーキング領域に位置するワーク８をＣＣＤカメラ２により撮像することによりマーキング後の確認を行うようにしたので、１台のＣＣＤカメラ２でマーキング前とマーキング後の撮像を行うことができる。従って、従来のように、マーキング前とマーキング後のそれぞれで別々の撮像手段が必要な構成と違って、レーザマーキングシステム全体が大型化してしまうことなく、レーザマーキングシステムの小型化及び作業時間の短縮を図りつつ、コストダウンを図ることができる。
【００４２】
しかも、ＣＣＤカメラで撮像したマーキング後のワーク８の画像データと基準の画像データとを比較してマーキング不良判別を実行する際は、一方の画像データをズレ量に基づいて補正した上で実行するようにしたので、マーキング不良判別の精度を高めることができる。
【００４３】
また、ＣＣＤカメラ２の光軸をレーザ光源３の光軸と一致させるようにしたので、レーザマーキングシステム全体の一層の小型化を図ることができると共に、ワーク８を真上から撮像でき、撮像データの精度を高めることができる。しかも、ＣＣＤカメラ２の光軸に介在するｆθレンズ６として色消しレンズを用いるようにしたので、ＣＣＤカメラ２の光源として可視光を用いるにしても、ＣＣＤカメラ２に結像する像がぼけてしまうことはなく、ワーク８の座標及びマーキング情報を精度良く読取ることができる。
【００４４】
本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、ＣＣＤカメラ２をレーザマーキング装置１から独立して設けるようにしてもよい。
【００４５】
【発明の効果】
本発明は以上の説明から明らかなように、本発明のレーザマーキングシステム及びレーザマーキング方法によれば、１台の撮像手段でマーキング前とマーキング後の被マーキング対象物の撮像を行うようにしたので、小型化及び作業時間の短縮を図りながら、コストダウンを行うことができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態におけるシステム全体を概略的に示す図
【図２】制御装置によるティーチング動作を示すフローチャート
【図３】制御装置によるマーキング動作を示すフローチャート
【符号の説明】
１はレーザマーキング装置、２はＣＣＤカメラ（撮像手段）、３はレーザ光源、４ａ，４ｂはガルバノミラー（走査手段）、６はｆθレンズ（収束レンズ）、８はワーク（被マーキング対象物）、９は制御装置（制御手段、補正手段、記憶手段）、１０はコールドミラー（光路分岐手段）である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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