(57)【要約】【課題】エアロゾルデポジション法において、構造物形成に与らないエアロゾル中の脆性材料微粒子を回収する。【解決手段】脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをノズルから基板に向けて噴射し、基板に脆性材料の構造物を形成するとともに、基板に衝突し構造物形成に寄与しなかったエアロゾルを粉体吸引筒を導入し、その下流に設置した粉体回収容器にて構造物形成に与らないエアロゾル中の脆性材料微粒子とガスを分離させることにより微粒子を回収する機構装置において、効率よく回収するための前記吸引筒の形状・設置方法及びその駆動が噴射ノズルの動きに追従することによってより効率的に回収できる。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを高速で基板に衝突させて脆性材料の構造物を作製する脆性材料構造物作製装置において、前記エアロゾルを高速で前記基板に向けて噴射するノズルと、前記エアロゾルと前記基板との衝突部位の近傍に前記基板に衝突した後に構造物の形成に与らないエアロゾルを吸入するための吸引筒が設置され、吸引した粉体を再利用して複合構造物を作製する装置において、前記吸引筒の粉体吸入のために前記ノズルと対向する吸引口は、前記基板表面と平行方向に幅広く形成されたことを特徴とする複合構造物作製装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吸引筒が、構造物の形成を行う基板を装着してこの基板を移動するステージに固定されて、このステージと共に移動可能であり、前記吸引筒の吸引口の幅は、前記ノズル幅よりも大きく、前記ステージ幅以下であることを特徴とする複合構造物作製装置。
【請求項３】
請求項１に記載の吸引筒が、構造物の形成を行う基板を装着してこの基板を移動するステージとは別に独立したステージに固定されており、前記ノズルと吸引筒の間隔が任意の間隔を維持した状態となるように夫々のステージを駆動することを特徴とする複合構造物作製装置。
【請求項４】
請求項３に記載の吸引筒の吸引口の幅は、前記ノズル幅よりも大きく、前記基板を移動するステージ幅以下であることを特徴とする複合構造物作製装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、脆性材料微粒子を含むエアロゾルを基板に吹き付け、脆性材料構造物を基板上に形成させることによって、基板と脆性材料構造物からなる複合構造物を作製する複合構造物作製装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板上の膜の形成方法としては数μｍ以上の厚膜の場合、溶射法が一般に知られているが、その他ガスデポジション法が提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。
この方法は金属やセラミックスの超微粒子をガス攪拌にてエアロゾル化し、微小なノズルを通して加速せしめ、基材表面に超微粒子の圧粉体層を形成させ、これを加熱して焼成させることにより被膜を形成する。
【０００３】
上記ガスデポジション法を改良した先行技術として微粒子ビーム堆積法あるいはエアロゾルデポジション法と呼ばれる脆性材料の膜あるいは構造物の形成方法がある。これは、脆性材料の微粒子を含むエアロゾルをノズルから高速で基板に向けて噴射し、基板に微粒子を衝突させて、その機械的衝撃力を利用して脆性材料の多結晶構造物を基板上にダイレクトに形成させる方法である（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。
【０００４】
この特許文献１に開示される技術は、前記した超微粒子を含むエアロゾルを搬送する際あるいはセラミックスなどを加熱蒸発させる際に、超微粒子同士が凝集して大きな粒子となるのを防止するために、中間の経路に分級装置を配置するようにしている。
【０００５】
特許文献２においては、粒径が１０ｎｍから５μｍの範囲にあるセラミックスなどの超微粒子をガスに分散させてエアロゾルとした後、ノズルより高速の超微粒子流として基板に向けて噴射して堆積物を形成させる。このときに超微粒子や基板に、イオン、原子、分子ビームや低温プラズマなどの高エネルギー原子などを照射して作製される構造物を強固なものとする工夫がなされている。
【０００６】
【非特許文献１】
加集誠一郎：金属  １９８９年１月号
【特許文献１】
特開平１１−２１６７７号公報
【特許文献２】
特開平２０００−２１２７６６号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ガスデポジション装置やエアロゾルデポジション法を利用した複合構造物形成装置は、チャンバーなどの容器のなかにノズルと基板を配置した構造ととっており、多くの場合真空ポンプを使用してチャンバー内を減圧環境とし、ノズルより微粒子を噴射させる。
【０００８】
金属の超微粒子を使って圧粉体層を形成させるガスデポジション法と異なり、脆性材料の微粒子粉体をガス中に分散させてエアロゾルとし、これをノズルより基板に向けて噴射して、基板上にダイレクトに脆性材料の構造物を形成させるエアロゾルデポジション法は、エアロゾル中の微粒子の利用効率が悪く、噴射された微粒子のうち構造物となるものは実質的に１％以下である場合が多く、従って構造物形成に与らなかったほとんどの割合を占める微粒子は衝突後のガス流に乗って装置内に飛散しチャンバー内壁に付着したり、真空ポンプに吸い込まれるなどする。このためチャンバー内を掃除する頻度が高く、また真空ポンプへの粉体混入による機能低下の懸念があった。またチャンバー内にはＸＹステージなど機械装置を設置するため、この駆動部分やセンサ部分に微粒子が付着し、機能障害を引き起こすことがままあった。真空ポンプの前段に粉体回収フィルターを設けることも可能であるが、この場合はフィルター自体により真空ポンプの吸気性能を絶対的に落としたり、またフィルターに徐々に蓄積する粉体により吸気性能が段々と劣化する問題があった。また原料となる微粒子を大量に用意しても、構造物となった一部以外はすべて廃棄物となるため、資源、コストともに大きな無駄が生じていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
まず脆性材料構造物を形成するエアロゾルデポジション法について説明する。延展性を持たない脆性材料（セラミックス）に機械的衝撃力を付加すると、結晶子同士の界面などの劈開面に沿って結晶格子のずれを生じたり、あるいは破砕される。そして、これらの現象が起こると、ずれ面や破面には、もともと内部に存在し別の原子と結合していた原子が剥き出しの状態となった新生面が形成される。この新生面の原子一層の部分は、もともと安定した原子結合状態から外力により強制的に不安定な表面状態に晒され、表面エネルギーが高い状態となる。この活性面が隣接した脆性材料表面や同じく隣接した脆性材料の新生面あるいは基板表面と接合して安定状態に移行する。外部からの連続した機械的衝撃力の付加は、この現象を継続的に発生させ、微粒子の変形、破砕などの繰り返しにより接合の進展、緻密化が行われ、脆性材料構造物が形成される。
【００１０】
そして、上記機械的衝撃を搬送ガスにて脆性材料を基材に衝突させるようにした方法がエアロゾルデポジション法である。
この方法はガスデポジション法より発展してきた手法であり、脆性材料の微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを搬送し、高速で基材表面に噴射して衝突させ、微粒子を破砕・変形せしめ、基板との界面にアンカー層を形成して接合させるとともに、破砕した断片粒子同士を接合させることにより、基材との密着性が良好で強度の大きい脆性材料構造物を基材上にダイレクトに形成させることができる。
【００１１】
このエアロゾルデポジション法で使用される脆性材料構造物作製装置において、次に述べる構造を採用することで、従来抱えていた不具合を解消できた。すなわち、脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを高速で基板に衝突させて脆性材料の構造物を作製する脆性材料構造物作製装置において、エアロゾルを高速で基板に向けて噴射するノズルから噴射されたエアロゾルが実際の複合構造物形成に寄与する割合としては１０％以下であり、その残りのほとんどは、チャンバー内や搬送ガスとともに飛散してしまう。そこで、これら構造物形成に寄与しないエアロゾルを有効に利用することが、この複合構造物形成装置での生産性向上及び製造コストの削減に貢献できる。そこで、本発明は、ノズルから噴射され実際の複合構造物形成に寄与しなかったエアロゾルを効率良く回収するためのエアロゾル回収用吸引筒に関する考案である。
【００１２】
請求項１においては、脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを高速で基板に衝突させて脆性材料の構造物を作製する脆性材料構造物作製装置において、前記エアロゾルを高速で前記基板に向けて噴射するノズルと、前記エアロゾルと前記基板との衝突部位の近傍に前記基板に衝突した後に構造物の形成に与らないエアロゾルを吸入するための吸引筒が設置され吸引した粉体を再利用して複合構造物を作製する装置において、前記吸引筒の粉体吸入のために前記ノズルと対向する吸引口は、前記基板表面と平行方向に幅広く形成されたことを特徴とする。
吸引筒の粉体吸入のために前記ノズルと対向する吸引口は、前記基板表面と平行方向に幅広く形成することで、構造物の形成に寄与せずチャンバー内に飛散し搬送ガスとともにチャンバーに搬出される粉体を効率良く捕獲することが可能となり、本複合構造物形成装置での生産性向上及び製造コストの削減に多いに貢献できる。
【００１３】
請求項２においては、吸引筒が、構造物の形成を行う基板を装着してこの基板を移動するステージに固定されて、このステージと共に移動可能であり、前記吸引筒の吸引口の幅は、前記ノズル幅よりも大きく、前記ステージ幅以下であることを特徴とする。
エアロゾルの回収の効率をさらに向上させるために、吸引筒を、構造物の形成を行う際に基板が装着されたステージに固定することによって、ノズルから噴射されたエアロゾルが基板に衝突して、構造物形成に寄与しなかったエアロゾルは基材表面に沿って広がろうする。これらのエアロゾルを効率良く吸引するには、吸引筒をステージに固定した構造にしておくことが最も効率的に回収できると考えられる。また、その際の吸引筒の吸引口の幅は、少なくとも対向に配置されたエアロゾルを噴射するノズル幅よりも大きく、ノズルから噴射されたエアロゾルの進行方向に対して垂直方向に駆動するステージ幅の大きさ以下にすることによって、より効率的にかつコンパクトな装置で吸引が可能となる。吸引筒の吸引口は、回収効率を考えた際に大きくした方が良いのは、常識的にわかるが、ここで、ステージ幅以下にした理由としては、ステージが駆動する際に、吸引筒の吸引口が大きいと、ステージの駆動に合わせた稼動容積が拡大し、チャンバー容積を大きくする必要があり非現実的である。また、吸引筒を固定したステージは、大きな面積の構造物を形成する際にＸ−Ｙ方向に駆動する必要が出てくる。そこで、吸引筒と吸引したエアロゾルを回収する容器は、ある程度、伸縮性を持たせる必要があり、フルキシブル性のある配管で接続しておく必要がある。フレキシブル性のある配管としては、蛇腹構造等を有した配管や伸縮性がある樹脂性の配管等が考えられる。これによって、さらに本複合構造物形成装置での生産性向上及び製造コストの削減は請求項１より大きく貢献できる。
【００１４】
請求項３においては、吸引筒が、構造物の形成を行う基板を装着してこの基板を移動するステージとは別に独立したステージに固定されており、前記ノズルと吸引筒の間隔が任意の間隔を維持した状態となるように夫々のステージを駆動することを特徴とする。
本発明では、粉体吸引筒とノズルの位置を任意に調整できること及びノズルの動きに合わせて吸引筒が動くことが可能になるので、エアロゾルの回収効率が上がる。
また、基板上に大きな面積の構造物を形成する際には、エアロゾルを噴射するノズルがＸ−Ｙ方向に駆動する必要が出てくる場合もあるので、吸引筒を固定したステージも、このノズルの動きに連動した動きが必要になり、吸引筒と吸引したエアロゾルを回収する容器は、ある程度、伸縮性を持たせる必要がある。そこで、吸引筒と吸引したエアロゾルを回収する容器は、フルキシブル性のある配管で接続しておく必要がある。フレキシブル性のある配管としては、蛇腹構造等を有した配管や伸縮性がある樹脂性の配管等が考えられる。これによって、本複合構造物形成装置での生産性は、請求項２よりさらに向上及び製造コストの削減に多いに貢献できる。
【００１５】
請求項４においては、吸引筒の吸引口の幅は、前記ノズル幅よりも大きく、前記基板を移動するステージ幅以下であることを特徴とする。
請求項３より高効率的かつコンパクトな装置で吸引が可能となる。
【００１６】
【発明の実施の態様】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。まず従来の複合構造物作製装置の構成とその作用を述べる。
図１は従来の複合構造物作製装置１を示したものであり、窒素ガスボンベ１０１の先にガス搬送管１０２を介してエアロゾル発生器１０３が設置され、その下流側にエアロゾル搬送管１０４を介して構造物形成室１０５内にノズル１０６が設置されている。エアロゾル発生器１０３内には脆性材料微粒子例えば酸化アルミニウム微粒子粉体が充填されている。ノズル１０６の開口の先には基板１０７が配置され、基板１０７はＸＹステージ１０８に固定されている。構造物形成室１０５は真空ポンプ１０９と接続されている。
【００１７】
以下にエアロゾルデポジション法に基づく複合構造物作製装置１の作用を述べる。窒素ガスボンベ１０１を開栓し、ガスをエアロゾル発生器１０３内に送り込み、同時にエアロゾル発生器１０３を運転させて脆性材料微粒子と窒素ガスが適当比で混合されたエアロゾルを発生させる。また真空ポンプ１０９を稼動させ、エアロゾル発生器１０３と構造物形成室１０５の間に差圧を生じさせる。このエアロゾルをエアロゾル搬送管１０６を通して加速させ、ノズル１０６より基板１０７に向けて噴射する。基板１０７はＸＹステージ１０８により揺動され、エアロゾル衝突位置を変化させつつ、微粒子の衝突により基板１０７上に膜状の脆性材料構造物が形成されていく。このとき構造物形成に与る脆性材料微粒子は少なく、残りの脆性材料微粒子は窒素ガスの流れとともに構造物形成室１０５内に飛散する。エアロゾルの衝突角度と基板表面の角度が鉛直の場合は、衝突後のガスの流れは四方に拡散するため、微粒子の飛散方向はランダムであった。そしてその一部は構造物形成室１０５の内壁に付着し、一部はガス流とともに真空ポンプ１０９へ吸い込まれる。ノズルから噴射された脆性材料微粒子の量と、形成された脆性材料構造物の量からその重量比を算出した結果、９９％以上の微粒子が構造物形成に寄与していないことがわかった。これらの微粒子は構造物形成室１０５や真空ポンプ１０９を掃除をすることによりある程度回収することは可能であるが、この際形成室内壁の摩耗粉などコンタミネーションが混入するため再利用は困難である。
【００１８】
図２は本発明の一態様としての複合構造物作製装置２を示したものであり、この図２（ａ）のように、窒素ガスボンベ２０１の先にガス搬送管２０２を介してエアロゾル発生器２０３が設置され、その下流側にエアロゾル搬送管２０４を介して構造物形成室２０５内にノズル２０６が設置されている。エアロゾル発生器２０３内には脆性材料微粒子例えば酸化アルミニウム微粒子粉体が充填されている。ノズル２０６の先には基板２０７が、エアロゾルが衝突する表面からの鉛直線がノズル２０６から噴出するエアロゾル流の流線に対して３０°傾斜した状態で配置される。ノズル２０６の開口から基板２０７のエアロゾル衝突部までの距離は１０ｍｍである。基板２０７はＸＹステージ２０８に固定されている。構造物形成室２０５は真空ポンプ２０９と接続されている。また図２（ｂ）に示すとおり、吸引口が縦２０ｍｍ、横１８０ｍｍでエアロゾルを吸引する吸引筒２１０が配置される。配管２１１を介して微粒子回収容器２１２が設置され、さらに下流側に真空ポンプ２１３が設置される。
【００１９】
以下にエアロゾルデポジション法に基づく複合構造物作製装置２の作用を述べる。エアロゾル発生から衝突までの作用は複合構造物作製装置１に準じるため省略する。ノズル２０６より噴射されたエアロゾルは基板に斜めに衝突するため構造物形成に与らなかった脆性材料微粒子を含むエアロゾル流は衝突後基板に沿っては図２（ａ）の矢印で示されるように右側に方向を向ける。そしてその先に設置してある吸引筒２１０へと導入され、配管２１１を通って微粒子回収容器２１２へと導かれる。この構成の場合、構造物形成に与らなかった脆性材料微粒子が吸引筒に導入される割合は、基板２０７表面のエアロゾル衝突部位から比較的遠い距離として３０ｃｍの位置に吸引筒２１０の開口を置いた場合でも５０％程度であり、ノズル２０６、基板２０７、吸引筒２１０の形状と位置関係を最適化することにより９０％以上の導入が確認された。勿論吸引筒２１０は基板２０７表面のエアロゾル衝突部位に近い方が良いが、実際には基板２０７は揺動しているため、基板２０７と吸引筒２１０の衝突を回避するためにそれに見合った距離を置く必要がある。
【００２０】
ここで微粒子回収容器２１２は、固気分離の際にしばしば利用されるサイクロンを用いても良いし、細孔フィルターを用いても良いし、衝突板にエアロゾルを衝突させて板状に微粒子を堆積させることにより固気を分離させても良いし、静電気により微粒子を回収しても良い、他にもガス中で超音波を作用させて微粒子を凝集させてから重力分級させる方法も有用である。これらの手段で回収した微粒子は再度エアロゾル発生器に戻して利用することが可能であり、資源の有効活用ができる。
【００２１】
次に本発明に係る実施の態様を述べる。
図３は、粉体回収機構を盛り込んだ複合構造物作製装置２においてノズルから噴射されたエアロゾルの回収の効率を向上するために、吸引筒を基板を固定したステージ面に固定した粉体吸引筒機構装置３を示すものである。
【００２２】
図３（ａ）のように、構造物形成室３０１内にノズル３０２が設置されて、ステージ３０３に固定された基板３０４が、エアロゾルが衝突する表面からの鉛直線がノズル３０２から噴出するエアロゾル流の流線に対して３０°傾斜した状態で配置される。ノズル３０２の開口から基板３０４のエアロゾル衝突部までの距離は約１０〜２０ｍｍである。また、Ｘ−Ｙステージ３０３にはエアロゾルを回収するための吸引筒３０５がノズル３０２から噴射されたエアロゾルの進行方向（矢印）に対して垂直方向に固定されている。吸引筒３０５は、伸縮が自由なフレキシブル性を有した配管３０６を介して微粒子回収容器３０７が設置され、さらに下流側に真空ポンプ３０８が設置される。
【００２３】
以下にエアロゾルデポジション法に基づく粉体吸引筒機構装置３の作用を述べる。エアロゾルを噴射されるノズル３０２より構造物の形成に用いられる脆性材料粉体と搬送用ガスの混合状態にあるエアロゾルが噴射され、駆動用ステージ３０３上に固定された基材３０４に高速で衝突し、そのエアロゾルの１部で、基材上に構造物が構成されるが、その他の構造物形成に寄与しなかったエアロゾルは、基材３０４の面上で、矢印方向に流れる。次に、これらのエアロゾルを回収するために、このエアロゾルの進行流れに対して、垂直方向に吸引口を配置した吸引筒３０５をステージ３０３上の固定しておくと、基板３０４と吸引筒３０５の間の隙間がなく、構造物形成に寄与しなく基材３０４の面上で、矢印方向に飛散するエアロゾルを効率良く吸引筒３０５に捕獲することができる。また、この吸引筒３０５は、ステージ３０３に固定していることからステージ３０３の動きに追従する必要があるので、吸引筒３０５は、伸縮が自由なフレキシブル性を有した配管３０６を介して微粒子回収容器３０７が設置され、捕獲したエアロゾルを効率よく微粒子回収容器３０７に送り込むことができる。また、図３の（ｂ）に示すように、ここに用いた吸引筒３０５の吸引口の幅は、エアロゾルが噴射されるノズルの幅より大きく、且つ、Ｘ−Ｙステージのエアロゾルの進行方向に対して垂直な辺の幅以下であることにより、より効率的にエアロゾルの回収が可能である。
【００２４】
図４は、粉体回収機構を盛り込んだ複合構造物作製装置２においてノズルから噴射されたエアロゾルの回収の効率を向上するために、吸引筒をエアロゾルの噴射するノズルに、連動して動くように、エアロゾルを回収する吸引筒を独立させたステージに固定し、構造物形成に寄与しなかったエアロゾルを効率良く回収するための粉体吸引筒機構装置４を示すものである。
【００２５】
図４（ａ）のように、構造物形成室４０１内にノズル４０２が設置されて、ステージ４０３に固定された基板４０４が、エアロゾルが衝突する表面からの鉛直線がノズル４０２から噴出するエアロゾル流の流線に対して３０°傾斜した状態で配置される。ノズル４０２の開口から基板４０４のエアロゾル衝突部までの距離は約１０〜２０ｍｍである。また、Ｘ−Ｙステージ４０５にはエアロゾルを回収するための吸引筒４０６がＸ−Ｙステージ４０３とは独立に設置され、ノズル４０２から噴射されたエアロゾルの進行方向（矢印）に対して垂直方向に吸引筒４０６の吸引口を配置した方向で固定されている。吸引筒４０６は、伸縮が自由なフレキシブル性を有した配管４０７を介して微粒子回収容器４０８が設置され、さらに下流側に真空ポンプ４０９が設置される。
【００２６】
以下にエアロゾルデポジション法に基づく粉体吸引筒機構装置４の作用を述べる。エアロゾルを噴射されるノズル４０２より構造物の形成に用いられる脆性材料粉体と搬送用ガスの混合状態にあるエアロゾルが噴射され、駆動用ステージ４０３上に固定された基材４０４に高速で衝突し、そのエアロゾルの１部で、基材上に構造物が構成されるが、その他の構造物形成に寄与しなかったエアロゾルは、基材４０４の面上で、矢印方向に流れる。次に、これらのエアロゾルを回収するために、このエアロゾルの進行流れに対して、垂直方向に吸引口を配置した吸引筒４０６を基板駆動用ステージ４０３とは独立したステージ４０５上の固定し、エアロゾルノズルとの間隔を一定距離保った状態で、駆動に合わせて吸引筒４０６が常に対になって駆動するように制御する。また、基板４０４の面と吸引筒４０６の幅広吸引口の間は、できるだけ回収を効率行うために隙間を少なくなる用に配置し、構造物形成に寄与しなく基材４０４の面上で、矢印方向に飛散するエアロゾルを効率良く吸引筒４０６に捕獲することができる。また、この吸引筒４０６は、ステージ４０５に固定していることからステージ４０５の動きに追従する必要があるので、吸引筒４０６は、伸縮が自由なフレキシブル性を有した配管４０７を介して微粒子回収容器４０８が設置され、捕獲したエアロゾルを効率よく微粒子回収容器４０８に送り込むことができる。また、ここに用いた吸引筒４０６の吸引口の幅は、図４（ｂ）に示すように、エアロゾルが噴射されるノズルの幅より大きく、且つ、Ｘ−Ｙステージのエアロゾルの進行方向に対して垂直な辺の幅以下であることにより、より効率的にエアロゾルの回収が可能である
【００２７】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によれば、エアロゾルデポジション法による脆性材料構造物形成において、従来利用効率が著しく低いゆえに廃棄されていた脆性材料微粒子を構造物形成室内に散逸させることなく回収し、再利用を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の複合構造物作製装置を示す模式図
【図２】本発明の一態様である複合構造物作製装置を示す模式図
【図３】本発明の一態様である複合構造物作製装置を示す模式図
【図４】本発明の一態様である複合構造物作製装置を示す模式図
【符号の説明】
１…複合構造物作製装置
２…複合構造物作製装置
３…粉体吸引筒機構装置
４…粉体吸引筒機構装置
１０１…窒素ガスボンベ
１０２…ガス搬送管
１０３…エアロゾル発生器
１０４…エアロゾル搬送管
１０５…構造物形成室
１０６…ノズル
１０７…基板
１０８…ＸＹステージ
１０９…真空ポンプ
２０１…窒素ガスボンベ
２０２…ガス搬送管
２０３…エアロゾル発生器
２０４…エアロゾル搬送管
２０５…構造物形成室
２０６…ノズル
２０７…基板
２０８…ＸＹステージ
２０９…真空ポンプ
２１０…吸引筒
２１１…配管
２１２…微粒子回収容器
２１３…真空ポンプ
３０１…構造物形成室
３０２…ノズル
３０３…ＸＹステージ
３０４…基板
３０５…吸引筒
３０６…配管
３０７…微粒子回収容器
３０８…真空ポンプ
４０１…構造物形成室
４０２…ノズル
４０３…ステージ
４０４…基板
４０５…Ｘ−Ｙステージ
４０６…吸引筒
４０７…配管
４０８…微粒子回収容器
４０９…真空ポンプ
【図１】
2004277851.tif 000003
【図２】
2004277851.tif 000004
【図３】
2004277851.tif 000005
【図４】
2004277851.tif 000006