(57)【要約】【課題】可干渉距離の短い光束でも干渉縞を観察することができ、なおかつ、光源波長のばらつきに影響されることなく干渉縞を観察することができる波面収差測定用干渉計の提供を課題とする。【解決手段】収差除去手段３が有する屈折率特性と等価な屈折率特性を備える補償板１０と、参照光束Ｌａの全光路長と測定光束Ｌｂの全光路長とを一致させる光路長調整手段とを、ビームスプリッター２から光路屈折手段１３にかけての測定光束Ｌｂの光路上に設ける構成を採用した。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定光束を第１の光束及び第２の光束に分割する光路分割手段と、前記第１の光束から波面収差を除去する収差除去手段と、該収差除去手段を経た後の前記第１の光束及び、前記第２の光束を重ね合わせる光束重ね合わせ手段とを備えた波面収差測定用干渉計において、
前記収差除去手段が有する屈折率特性と等価な屈折率特性を備える分散補償手段と、前記第１の光束の全光路長及び前記第２の光束の全光路長を一致させる光路長調整手段とが、前記光路分割手段から前記光束重ね合わせ手段にかけての第２の光束の光路上に設けられている
ことを特徴とする波面収差測定用干渉計。
【請求項２】
請求項１に記載の波面収差測定用干渉計において、
前記光路分割手段から前記光束重ね合わせ手段にかけての第１の光束の光路上に、この第１の光束の光路長を延長させる光路延長手段が設けられている
ことを特徴とする波面収差測定用干渉計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学部品の波面収差等を測定するための干渉計に関し、特に干渉計に入射した被測定光束から干渉計内部で参照光束を作り、この参照光束と測定光束である被測定光束とを干渉させて、被測定光束の波面収差を測定する波面収差測定用干渉計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術を用いた波面収差測定用干渉計２００について、図３を用いて説明する。
同図に示す光学ヘッド２０１には、レーザー光を射出するレーザーダイオード２０２とコリメートレンズ２０３が内蔵されている。光学ヘッド２０１から射出される光束は、レーザーダイオード２０２及びコリメートレンズ２０３間の間隔を調整することにより略平行光束となっているが、この光束の波面収差が設計上の許容値を満足しているかを確認する必要がある。
【０００３】
そこで、光学ヘッド２０１から射出する光束を、被測定光束Ｌとして波面収差測定用干渉計２００に入射させ、波面収差の測定を行う。すなわち、波面収差測定用干渉計２００に取り込まれた被測定光束Ｌは、ビームスプリッター２０４によって２分割され、一方の光束はレンズ２０５，２０６を組み合わせたビームエキスパンダ２０７によって拡大されて参照光束Ｌａとなる。
【０００４】
この時、ビームエキスパンダ２０７により直径がｎ倍（ｎは整数）に拡大された参照光束Ｌａは、拡大前の被測定光束Ｌに対して単位面積当たりの波面収差が１／ｎ２に比例して小さくなるため、仮にｎ＝１０として１０倍に光束を拡大した参照光束Ｌａの波面収差は、元の被測定光束Ｌに対して同一面積で比較したとき、ほぼ１／１００となり、無視しうる小さな波面収差のみとなる。
さらに、参照光束Ｌａは、ミラー２０８で反射して直角に曲がり、ビームスプリッター２０９で反射してまた直角に曲がる。
【０００５】
一方、ビームスプリッター２０４で分割された他方の光束（以下、測定光束Ｌｂ）は、ミラー２１０で反射して直角に曲がり、前記ビームスプリッター２０９を透過する。ビームスプリッター２０９で反射した前記参照光束Ｌａと、同ビームスプリッター２０９を透過した測定光束Ｌｂは、重ね合わされて光束Ｌｃとなり、ＣＣＤカメラ２１１上に干渉縞を形成する。
【０００６】
上述のように、参照光束Ｌａの波面収差は無視しうるので、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの干渉縞を評価することにより、被測定光束Ｌの波面収差を求めることができる。すなわち、光学ヘッド２０１の組立、調整誤差などによる波面収差を求めることが可能となる。
以上説明のように、この波面収差測定用干渉計は、被測定光束をビームスプリッターにより２つに分け、その一方の光路の光束を測定光束とし、他方の光路の光束を参照光束とし、これら測定光束及び参照光束を重ね合わせ、そこで発生する干渉縞を観測することによって波面収差を測定するようにしている。
このような波面収差測定用干渉計は、例えば下記特許文献１，２にも開示されている。
【０００７】
【特許文献１】
特公平４−４１７６９号公報（第３図参照。）
【特許文献２】
特公平４−８１８０８号公報（第１図参照。）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、レーザーダイオード２０２のコヒーレンス長（可干渉距離）は、その種類によって異なるが、数ｍｍから数十ｃｍ程度のものが多い。したがって、レーザーダイオード２０２から出射された光束の干渉縞を観察するには、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの光学的光路長を、コヒーレンス長の範囲で一致させる必要がある。
【０００９】
従来の波面収差測定用干渉計では、ビームエキスパンダ２０７を構成するレンズ２０５，２０６の厚さと屈折率により、参照光束Ｌａ側で光路長が増加する。この増加する光路長は、下記数式（１）により求めることができる。
参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの光路長差＝（レンズ２０５の屈折率）×（レンズ２０５の厚さ）＋（レンズ２０６の屈折率）×（レンズ２０６の厚さ）−（空気の屈折率：１）×（レンズ２０５の厚さ＋レンズ２０６の厚さ）・・・（１）
【００１０】
上記数式（１）により求まる光路長差が、レーザーダイオード２０２のコヒーレンス長に近くなるほど干渉縞のビジビリティ（縞の濃淡の差）が低下し、縞が判別しにくくなる。そして、コヒーレンス長よりも長くなると、干渉縞を観察する事ができなくなる。一方、ビームエキスパンダ２０７を構成するレンズ２０５，２０６は、実際には種々のガラス材料を用いた組み合わせレンズが用いられるため、上記数式（１）に基づく光路長差は、大きくなる傾向にある。したがって、従来の干渉計では、コヒーレンス長の短いレーザーダイオードを用いる場合には、干渉縞のビジビリティが低くなり、測定困難となる虞がある。
【００１１】
また、レンズ２０５，２０６を構成するガラスの屈折率は、波長により異なるので、レーザーダイオード２０２の個体差（波長のバラツキ）によっても参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂで光路長差が生じてしまう場合がある。特にレーザーダイオード２０２のコヒーレンス長が１ｍｍ以下程度と非常に短い場合には、レーザーダイオード２０２の個体差（波長のバラツキ）によっても干渉縞を観察することができない場合がありうる。
【００１２】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、可干渉距離の短い光束でも干渉縞を観察することができ、なおかつ、光源波長のばらつきに影響されることなく干渉縞を観察することができる波面収差測定用干渉計の提供を目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
すなわち、請求項１に記載の波面収差測定用干渉計は、被測定光束を第１の光束及び第２の光束に分割する光路分割手段と、前記第１の光束から波面収差を除去する収差除去手段と、該収差除去手段を経た後の前記第１の光束及び、前記第２の光束を重ね合わせる光束重ね合わせ手段とを備えた波面収差測定用干渉計において、前記収差除去手段が有する屈折率特性と等価な屈折率特性を備える分散補償手段と、前記第１の光束の全光路長及び前記第２の光束の全光路長を一致させる光路長調整手段とが、前記光路分割手段から前記光束重ね合わせ手段にかけての第２の光束の光路上に設けられていることを特徴とする。
【００１４】
上記請求項１に記載の波面収差測定用干渉計によれば、被測定光束は、光路分割手段により第１の光束及び第２の光束に２分割される。分割された一方の光束である第１の光束は、収差除去手段により波面収差が取り除かれる。分割された他方の光束である第２の光束は、収差除去手段と等価な屈折率特性を有する分散補償手段を透過するとともに、光路長調整手段により第１の光束の光路長と一致するように光路長が調整される。
収差除去手段を透過した第１の光束と、分散補償手段及び光路長調整手段を透過した第２の光束は、光束重ね合わせ手段により重ね合わされ、干渉縞を発生させる。
【００１５】
請求項２に記載の波面収差測定用干渉計は、請求項１に記載の波面収差測定用干渉計において、前記光路分割手段から前記光束重ね合わせ手段にかけての第１の光束の光路上に、この第１の光束の光路長を延長させる光路延長手段が設けられていることを特徴とする。
【００１６】
上記請求項２に記載の波面収差測定用干渉計によれば、光路延長手段により第１の光束側の光路長を延長させることで、光路分割手段から光束重ね合わせ手段にかけて第２の光束の光路も延長させることができる。これにより、第２の光束の光路上における機器配置に柔軟性を持たせることができるようになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の波面収差測定用干渉計の各実施形態を、図面を参照しながら以下に説明するが、本発明がこれらのみに限定解釈されるものでないことは勿論である。
なお、図１は、本発明の波面収差測定用干渉計の第１実施形態を示す図であって、全体構成を示す説明図である。また、図２は、本発明の波面収差測定用干渉計の第２実施形態を示す図であって、全体構成を示す説明図である。
【００１８】
（第１実施形態）
まず、図１を参照しながら、本発明の波面収差測定用干渉計の第１実施形態についての説明を行う。
同図に示す本実施形態の波面収差測定用干渉計１００（以下、単に干渉計１００と称する。）は、測定対象である光学ヘッド１０１から射出される被測定光束Ｌの波面収差を測定する干渉計である。光学ヘッド１０１は、設計波長λ０のレーザー光を射出するレーザーダイオード１８、コリメートレンズ１９等から構成されている。
【００１９】
干渉計１００には、入射された被測定光束Ｌを、参照光束（第１の光束）Ｌａと測定光束（第２の光束）Ｌｂの２つの光束に分割するビームスプリッター（光路分割手段）２が備えられている。
分割された一方の光束である参照光束Ｌａの光路上には、この参照光束Ｌａに含まれる波面収差成分を取り除くための収差除去手段３（空間フィルター，スペシャルフィルター）が配置されている。この収差除去手段３は、第１レンズ群４，ピンホール５，第２レンズ群６から構成され、取り込んだ参照光束Ｌａをピンホール５において点光源に絞ることで波面収差成分を除去する構成となっている。なお、ピンホール５の開口位置は、第２レンズ群６の焦点位置に配置されている。
【００２０】
分割された他方の光束である測定光束Ｌｂの光路上には、光路長調整手段９及び補償板１０が配置されている。
光路長調整手段９は、ビームスプリッター７及び平面ミラー８により構成されている。平面ミラー８は、測定光束Ｌｂの光軸方向（同図の紙面上下方向）に移動可能となっている。これにより、参照光束Ｌａの全光路長と測定光束Ｌｂの全光路長とを一致させる調整ができるようになっている。
補償板１０は、収差除去手段３が有する屈折率特性と等価な屈折率特性（波長分散特性）を備えている。換言すると、収差除去手段３が有する分散特性を補償するような分散特性を備えている。その詳細については、後述において説明する。
【００２１】
また、干渉計１００には、分割された参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂを重ね合わせるための光路屈折手段（光束重ね合わせ手段）１３が備えられている。この光路屈折手段１３は、収差除去手段３を経た後の参照光束Ｌａを直角に曲げるミラー１１と、ミラー１１からの参照光束Ｌａを直角に曲げるように反射するとともに、補償板１０を経た後の測定光束Ｌｂを透過させるビームスプリッター１２とで構成されている。
また、干渉計１００には、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの重ね合わせにより生じる干渉縞を観察するためのＣＣＤカメラ１４が固定配置されている。このＣＣＤカメラ１４からの画像は、パソコン１５に取り込まれ、解析処理が行われる。
【００２２】
以上説明の構成を有する干渉計１００の動作について説明を行う。
まず、光学ヘッド１０１から射出されて干渉計１００に入射した被測定光束Ｌは、ビームスプリッター２によって参照光束Ｌａ及び測定光束Ｌｂの２つの光束に分割される。
ビームスプリッター２を透過した後の参照光束Ｌａは、収差除去手段３の第１レンズ群４により一度集光され、ピンホール５と第２レンズ群６を透過する。ピンホール５は、空間周波数フィルターとして作用し、集光光の内、収差成分である高次空間周波数成分を遮蔽して除去する。また、ピンホール５は、第２レンズ群６の焦点位置に配置されているので、第２レンズ群６を透過した後の参照光束Ｌａは、収差成分が除去された平行光束となる。
【００２３】
ここで、光学ヘッド１０１のレーザーダイオード１８の波長は設計上λ０であるが、実際には、製作誤差等により波長のばらつきがある。例えば、波長のばらつきの範囲をλ１〜λ２（ただしλ１＜λ０＜λ２）とし、参照光束Ｌａの光路中における第１レンズ群４及び第２レンズ群６を構成する全レンズの、波長λ０、λ１、λ２における光路長をそれぞれＬ０，Ｌ１，Ｌ２とする。そして、第１レンズ群４を構成するＭ個の各レンズの厚さをｄ１，ｄ２，…，ｄＭとし、波長λ０における各レンズの屈折率をｎ０１，ｎ０２，…，ｎ０Ｍ、波長λ１における各レンズの屈折率をｎ１１，ｎ１２，…，ｎ１Ｍ、波長λ２における各レンズの屈折率をｎ２１，ｎ２２，…，ｎ２Ｍとする。また、第２レンズ群６を構成するＮ個の各レンズの厚さをｄ１´，ｄ２´，…，ｄＮ´とし、波長λ０における各レンズの屈折率をｎ０１´，ｎ０２´，…，ｎ０Ｎ´、波長λ１における各レンズの屈折率をｎ１１´，ｎ１２´，…，ｎ１Ｎ´、波長λ２における各レンズの屈折率をｎ２１´，ｎ２２´，…，ｎ２Ｎ´とする。
【００２４】
すると、参照光束Ｌａの光路中における、第１レンズ群４及び第２レンズ群６を構成する全レンズの光路長は、下記数式（２）〜（４）で表される。
Ｌ０＝（ｎ０１ｄ１＋ｎ０２ｄ２＋…＋ｎ０ＭｄＭ）＋（ｎ０１´ｄ１´＋ｎ０２´ｄ２´＋…＋ｎ０Ｎ´ｄＮ´）…（２）
Ｌ１＝（ｎ１１ｄ１＋ｎ１２ｄ２＋…＋ｎ１ＭｄＭ）＋（ｎ１１´ｄ１´＋ｎ１２´ｄ２´＋…＋ｎ１Ｎ´ｄＮ´）…（３）
Ｌ２＝（ｎ２１ｄ１＋ｎ２２ｄ２＋…＋ｎ２ＭｄＭ）＋（ｎ２１´ｄ１´＋ｎ２２´ｄ２´＋…＋ｎ２Ｎ´ｄＮ´）…（４）
【００２５】
また、第１レンズ群４及び第２レンズ群６を構成する全てのレンズの厚さの合計は、下記数式（５）で求められる。
Ｄ＝（ｄ１＋ｄ２＋…＋ｄＭ）＋（ｄ１´＋ｄ２´＋…＋ｎｄＮ´）…（５）
そして、各波長での光路長の増加分ΔＬ０，ΔＬ１，ΔＬ２は、下記数式（６）〜（８）で表される。
ΔＬ０＝Ｌ０−Ｄ…（６）
ΔＬ１＝Ｌ１−Ｄ…（７）
ΔＬ２＝Ｌ２−Ｄ…（８）
【００２６】
一方、ビームスプリッター２で反射して直角に曲げられた測定光束Ｌｂは、光路長調整手段９のビームスプリッター７を透過して平面ミラー８で反射した後、ビームスプリッター７で反射して直角に曲げられる。そして、ビームスプリッター７で反射した測定光束Ｌｂは、補償板１０を透過する。
【００２７】
ここで、光路長調整手段９のビームスプリッター７の光軸中心と平面ミラー８との距離をＬ、補償板１０の波長λ０における屈折率をｎ０、波長λ１における屈折率をｎ１、波長λ２における屈折率をｎ２、厚さをｄとする。このとき、補償板１０をなす硝材の材質及び厚さｄは、波長λ０と波長λ１で発生する参照光束１７の光路長の差（Ｌ０−Ｌ１）及び波長λ０と波長λ２で発生する参照光束１７の光路長の差（Ｌ０−Ｌ２）と等しくなるような光路長差を生じる屈折率特性（分散）を備えたものを選択する。そして、下記数式（９）を満足するようにＬを決める。なお、下記数式（９）におけるｎ０−１は、補償板１０の波長λ０における屈折率をｎ０から空気の屈折率１を差し引くことを示している。
２Ｌ＋（ｎ０−１）ｄ＝ΔＬ０…式（９）
【００２８】
収差除去手段３を透過した後の参照光束Ｌａは、ミラー１１及びビームスプリッター１２で反射し、光路長調整手段９及び補償板１０を透過した後の測定光束Ｌｂと重ね合わせられる。
測定光束Ｌｂの光路中に、上記数式（９）を満足するような光路長調整手段９及び補償板１０を入れることにより、被測定光束Ｌの波長がレーザーダイオード１８の設計波長λ０である場合には、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの光路長はＬ０であり、一致する。また、被測定光束Ｌの波長がλ０から波長λ１あるいは波長λ２に変わると、参照光束Ｌａの光路長は、Ｌ１あるいはＬ２になるが、測定光束Ｌｂの光路長も補償板１０の屈折率特性（分散）によりＬ１あるいはＬ２となるので、光路長は一致する。
このように、光路長調整手段９及び補償板１０を用いることにより、ビームスプリッター２で分割されてビームスプリッター１２で重ね合わせられる参照光束Ｌａの光路長及び測定光束Ｌｂの光路長は、被測定光束Ｌの波長が変化する場合においても一致するようになる。
【００２９】
参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの重ね合わせにより生じた干渉縞は、ＣＣＤカメラ１４により取り込まれ、図示しないモニターで観察される。さらに、ＣＣＤカメラに取り込まれた干渉縞の画像は、パソコン１５に取り込まれる。このパソコン１５内では、干渉縞画像を解析処理することにより得た、被測定光束Ｌの波面収差がディスプレイｄ上に表示される。
【００３０】
なお、干渉計１００を構成する各素子の製作誤差や組立て誤差等により、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの光路長に差が発生する場合には、ＣＣＤカメラ１４に取り込まれる干渉縞のコントラストが悪くなってしまうか、全く観察できなくなる。この場合には、光路長調整手段９の平面ミラー８を、測定光束Ｌｂの光軸方向に移動させる微調整を行い、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの光路長を一致させることで干渉縞のコントラストを向上させることが可能となる。
【００３１】
以上説明の本実施形態の干渉計１００によれば、参照光束Ｌａ及び測定光束Ｌｂの両光路長を一致させることができるので、被測定光束Ｌの可干渉距離が短くても測定することが可能となる。
すなわち、収差除去手段３と屈折率特性（分散特性）が等しい補償板１０を測定光束Ｌｂの光路上に配置することにより、レーザーダイオード１８の個体差により被測定光束Ｌの波長にばらつきが生じても、干渉縞を観察することが可能となる。さらに、測定光束Ｌｂの光路長を微調整する平面ミラー８を配置したことにより、干渉計１００を構成する各素子の製作誤差や組立て誤差等があっても、これらの誤差を吸収する微調整を行うことができるので、コントラストの良い干渉縞を観察することが可能となる。
【００３２】
（第２実施形態）
続いて、本発明の波面収差測定用干渉計の第２実施形態を、図２を参照しながら説明する。
なお、本実施形態の干渉計１０２（上記第１実施形態の干渉計１００と区別するために新たな符号１０２を与えて説明する。）は、上記第１実施形態の変形例に相当するので、以下の説明においては、前記干渉計１００との相違点を中心に説明し、その他については前記干渉計１００の構成と同様であるとして同一符号を用い、その説明を省略する。
【００３３】
図２に示すように、本実施形態の干渉計１０２は、前記光路屈折手段１３の代わりに光路屈折手段３１を設けたことが特徴的となっている。この光路屈折手段３１は、参照光束Ｌａの光軸に対して垂直をなすように固定された固定平面ミラー３２と、固定平面ミラー３２で反射した参照光束Ｌａを反射して直角に曲げるビームスプリッター３３と、参照光束Ｌａの光軸に対して垂直をなすように固定された固定平面ミラー３２と、前記ビームスプリッター１２とにより構成されている。
【００３４】
以上説明の構成を有する本実施形態の干渉計１０２では、前記収差除去手段３を透過した参照光束Ｌａが、ビームスプリッター３３を透過してから固定平面ミラー３２で反射してビームスプリッター３３に再び入射する。そして、この参照光束Ｌａは、ビームスプリッター３３で反射されることで直角に曲がり、ビームスプリッター１２へと向かう。さらに、この参照光束Ｌａは、ビームスプリッター１２で再度直角に曲げられ、前記測定光束Ｌｂと重ね合わされる。
【００３５】
ここで、ビームスプリッター３３の光軸中心と固定平面ミラー３２との間の距離をＬＣとし、この距離は固定値とすると、参照光束Ｌａの光路長は、上記第１実施形態に比較して２ＬＣ分だけ長くなることになる。すなわち、前記ビームスプリッター２からビームスプリッター１２にかけての参照光束Ｌａの光路長が、固定平面ミラー３２及びビームスプリッター３３からなる光路延長手段により、２ＬＣ分だけ延長されている。
これにより、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの光路長を一致させる際に、測定光束Ｌｂ側の光路長も２ＬＣ分だけ長くすることが可能となる。すなわち、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの光路長を一致させる際に、前記ビームスプリッター７及び前記平面ミラー８間の間隔を、上記第１実施形態ではＬであったものを、Ｌ＋ＬＣと長くすることができるようになる。
【００３６】
以上説明の本実施形態の干渉計１０２によれば、上記第１実施形態の干渉計１０１と同様の効果を得ることができる上に、ビームスプリッター７と平面ミラー８との間の調整可能な距離を、長くすることができる。したがって、上記第１実施形態に比較して、光路長調整手段９を構成する上で、平面ミラー８の配置位置の自由度を増すことが可能となる。より具体的に言うと、ビームスプリッター７及び平面ミラー８は、これらを保持する冶具や平面ミラー８を移動させる駆動手段を考慮すると、光路長差によっては、機械的に配置できない可能性がある（ビームスプリッター７と平面ミラー８が機械的に干渉する）。このため、本実施形態のように参照光束Ｌａ側の光路長を長くすることで、機械的な干渉が生じないようにビームスプリッター７と平面ミラー８を離すことができるようになる。
【００３７】
なお、本実施形態では、参照光束Ｌａと測定光束Ｌｂの両光路長を一致させる微調整を行う際に、平面ミラー３２側を固定するとともに平面ミラー８側を移動させるものとしたが、これに限らず、平面ミラー３２側を移動させるとともに平面ミラー８側を固定とするものとしても良い。さらには、平面ミラー３２及び平面ミラー８の両方を移動させるようにしても良い。
【００３８】
【発明の効果】
本発明の請求項１に記載の波面収差測定用干渉計は、分散補償手段及び光路長調整手段を第２の光束の光路上に設ける構成を採用した。この構成によれば、光路長調整手段により第１の光束と第２の光束の光路長を一致させることができるので、可干渉距離の短い光束でも干渉縞を観察することが可能となる。
また、収差除去手段の屈折率特性と分散補償手段の屈折率特性が等価であることから、被測定光束の波長にばらつきがあっても、被測定光束の干渉縞を観察することが可能となる。
【００３９】
また、請求項２に記載の波面収差測定用干渉計は、第１の光束の光路上に光路延長手段を備える構成を採用した。この構成によれば、光路延長手段により第１の光束側の光路長を延長させることで第２の光束の経路も延長させることができるので、第２の光束の光路上における機器配置に柔軟性を持たせることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の波面収差測定用干渉計の第１実施形態を示す図であって、全体構成を示す説明図である。
【図２】本発明の波面収差測定用干渉計の第２実施形態を示す図であって、全体構成を示す説明図である。
【図３】従来の波面収差測定用干渉計の一例を示す図であって、全体構成を示す説明図である。
【符号の説明】
２・・・ビームスプリッター（光路分割手段）
３・・・収差除去手段
９・・・光路長調整手段
１０・・・補償板（分散補償手段）
１３，３１・・・光路屈折手段（光束重ね合わせ手段）
３２・・・固定平面ミラー（光路延長手段）
３３・・・ビームスプリッター（光路長延長手段）
１００，２００・・・干渉計（波面収差測定用干渉計）
Ｌ・・・被測定光束
Ｌａ・・・参照光束（第１の光束）
Ｌｂ・・・測定光束（第２の光束）
【図１】
2004354317.tif 000003
【図２】
2004354317.tif 000004
【図３】
2004354317.tif 000005