(57)【要約】【課題】簡単かつ正確に照明状態を切り替える。【解決手段】光源と被照明面との間に第１の光路及び第２の光路を切り替え可能に配する。前記第１の光路が前記第２の光路から分岐する分岐点へ入射する入射光路と、前記第１の光路が前記第２の光路に合流する合流点から射出する射出光路とは、互いに離れた平行線上にあり、前記分岐点と前記合流点との間に形成された前記第１の光路に、非可動式の光学素子が配置される。前記分岐点と前記光学素子との間に、挿脱可能であり、かつその挿入／離脱に応じて前記第１の光路／前記第２の光路を選択的に設定する切り替え部材を備える。前記切り替え部材として、互いに固定された対面する一対の平行な反射面からなり、それら反射面における反射により概略Ｚ字状の前記第１の光路を形成するものを使用する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と被照明面との間で前記被照明面の照明状態を切り替えるために、第１の光路及び第２の光路を切り替え可能に配し、
前記第１の光路が前記第２の光路から分岐する分岐点へ入射する入射光路と、前記第１の光路が前記第２の光路に合流する合流点から射出する射出光路とは、互いに離れた平行線上にあり、
前記分岐点と前記合流点との間に形成された前記第１の光路には、非可動式の光学素子が配置され、
前記分岐点と前記光学素子との間に、挿脱可能であり、かつその挿入／離脱に応じて前記第１の光路／前記第２の光路を選択的に設定する切り替え部材を備え、
前記切り替え部材は、
互いに固定された対面する一対の平行な反射面からなり、それら反射面における反射により概略Ｚ字状の前記第１の光路を形成するものである
ことを特徴とする照明装置。
【請求項２】
請求項１に記載の照明装置において、
前記合流点に、挿脱可能であり、かつその挿入／離脱に応じて前記第２の光路／前記第１の光路を選択的に設定する反射面を備え、
前記反射面は、
前記切り替え部材の挿入／離脱に連動して離脱／挿入される
ことを特徴とする照明装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の照明装置を適用した顕微鏡照明装置であって、
前記光学素子は、径の大きさが不変の開口又は視野絞りである
ことを特徴とする顕微鏡照明装置。
【請求項４】
請求項３に記載の顕微鏡照明装置において、
前記光学素子は、ピンホール板である
ことを特徴とする顕微鏡照明装置。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載の顕微鏡照明装置において、
前記第２の光路の前記第１の光路との非共通光路に、前記絞りよりも広い径を有した絞りが配置される
ことを特徴とする顕微鏡照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡や半導体検査装置などに適用され、試料面やウエハ面などの被照明面の照明状態を切り替える照明装置、及び顕微鏡照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、照明装置、特に顕微鏡に適用される照明装置には、検査対象に応じて開口絞りや視野絞りの径を変更させて照明状態を変更する機能が付加される。
例えば、顕微鏡は、照明光の入射角度範囲（以下、照明光のＮＡという。）を少なくとも２種類に変更可能である。検査対象に応じて照明光のＮＡを変更し、検査精度を保つためである。
【０００３】
そのための機構は、照明装置内の開口位置に２種類の径の絞りを選択的に挿入するリニアスライダやターレットなどである。
また、半導体検査装置（特に、重ね合わせ検査装置）などでは、特に段差のあるパターンの計測を行う場合照明光のテレセントリシティが厳密に調整されていなければ検査位置の誤差となってしまうので、開口絞りは固定的に装置内に設けられ、切り替えることはできないようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、半導体検査装置（特に、重ね合わせ検査装置）においても、被検物である半導体ウエハの表面状態に合わせて開口絞りを切り替えて光学系の伝達関数の特性を変えてコントラスト調整などの観察状態を所望の状態に調整したいという要望が多い。しかしながら、半導体検査装置（特に、重ね合わせ検査装置）では、上述のごとくテレセン性の厳密に要求される照明装置が使われるため、上述した顕微鏡などで使用されている開口絞りの切り替え機構（リニアスライダーなど）を用いようとすると、その切り替え機構を高精度（開口絞りの姿勢・位置決め精度）に設計、製造する必要があり、装置が複雑、大型化し、コストもかさむ問題があった。
【０００５】
具体的には、顕微鏡の切り替え機構を使用して開口絞りを切り替えようとすると、その停止位置のズレや、開口絞りの面のタオレなどが生じ、テレセン性の低下や照明開口の形状が見かけ上非対称となり所望の照明光が得られないことがある。特に、開口絞り径が小さいものでは、その姿勢が照明光の状態を大きく変化させるので問題が大きい。
【０００６】
そこで本発明は、簡単かつ正確に照明状態を切り替えることの可能な照明装置、及び顕微鏡照明装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の照明装置は、光源と被照明面との間で前記被照明面の照明状態を切り替えるために、第１の光路及び第２の光路を切り替え可能に配し、前記第１の光路が前記第２の光路から分岐する分岐点へ入射する入射光路と、前記第１の光路が前記第２の光路に合流する合流点から射出する射出光路とは、互いに離れた平行線上にあり、前記分岐点と前記合流点との間に形成された前記第１の光路には、非可動式の光学素子が配置され、前記分岐点と前記光学素子との間に、挿脱可能であり、かつその挿入／離脱に応じて前記第１の光路／前記第２の光路を選択的に設定する切り替え部材を備え、前記切り替え部材は、互いに固定された対面する一対の平行な反射面からなり、それら反射面における反射により概略Ｚ字状の前記第１の光路を形成するものであることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の照明装置は、請求項１に記載の照明装置において、前記合流点に、挿脱可能であり、かつその挿入／離脱に応じて前記第２の光路／前記第１の光路を選択的に設定する反射面を備え、前記反射面は、前記切り替え部材の挿入／離脱に連動して離脱／挿入されることを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の顕微鏡照明装置は、請求項１又は請求項２に記載の照明装置を適用した顕微鏡照明装置であって、前記光学素子は、径の大きさが不変の開口又は視野絞りであることを特徴とする。
請求項４に記載の顕微鏡照明装置は、請求項３に記載の顕微鏡照明装置において、前記光学素子は、ピンホール板であることを特徴とする。
【００１０】
請求項５に記載の顕微鏡照明装置は、請求項３又は請求項４に記載の顕微鏡照明装置において、前記第２の光路の前記第１の光路との非共通光路に、前記絞りよりも広い径を有した絞りが配置されることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００１２】
［第１実施形態］
図１、図２、図３、図４を参照して本発明の第１実施形態について説明する。
本実施形態では、重ね合わせ検査装置に搭載される照明装置を説明する。
図１、図３は本実施形態の照明装置の構成図であり、図２は照明装置内の光路の概略図である。なお、図１と図３との相違は、照明状態である。
【００１３】
図１及び図３に示すように、照明装置１０は、光源１１、コレクタレンズ１２、フィルタ１３、リレーレンズ１４ａ、１４ｂを順に配置しており、顕微鏡部１０’の内部に配置されたコンデンサレンズ１５に照明光を供給し、顕微鏡部１０’の内部に配置されたプリズム（照明光／結像光分岐用である。）１６及び第１対物レンズ１７を介して被検物Ｏ（ウエハ）を照明する。
【００１４】
なお、顕微鏡部１０’は、被検物Ｏ側から順に、第１対物レンズ１７、プリズム１６、第２対物レンズ１９が配置された光学系を備え、撮像面Ｉに形成される被検物Ｏの像を撮像し画像データを取得する。
【００１５】
使用時、顕微鏡部１０’の視野は、被検物Ｏ上の重ね合わせマーク（半導体製造工程で形成される。）を捉える。顕微鏡１０’が取得した重ね合わせマークの画像データは、重ね合わせ検査装置内のコンピュータによる重ね合わせマーク間のズレ量の算出処理に使用される。
ここで、重ね合わせマークは、薄膜をパターニングして形成されたものなので、段差のある構造をしている。また、各重ね合わせマークは、それぞれ被検物Ｏ上の異なる高さの層に形成される。
【００１６】
このため、通常の検査時には、照明光の入射角度範囲を、被検物Ｏから撮像面Ｉに至る結像光束よりも小さくして、重ね合わせマークのエッジを強調する必要がある。
一方、被検物Ｏによっては、表面が全体的に荒れていることもあり、その場合にエッジを強調すると、その表面の形状までもが強調されてしまうので、重ね合わせマークが検出しにくくなる。
【００１７】
よって、その場合は、照明光の入射角度範囲を被検物Ｏから撮像面Ｉに至る結像光束よりも大きくして、エッジの強調作用を低下させる必要がある。
したがって、各種の重ね合わせマークをそれぞれ正確に検出可能とするために、照明装置１０では、被検物Ｏに対する照明光のＮＡを少なくとも２種類に変更する必要がある。
【００１８】
図２に示すように、この照明装置１０は、光源１１と被検物０との間で途中分岐する第１の光路Ｒ１及び第２の光路Ｒ２を切り替え可能に配し、その切り替えにより被検物Ｏの照明状態を切り替える。
図１は、第１の光路Ｒ１が設定された様子を示し、図３は、第２の光路Ｒ２が設定された様子を示す。
【００１９】
図１及び図３に示すように、照明光のＮＡを可変にするため、第１の光路Ｒ１と第２の光路Ｒ２とが途中分岐するのは、リレーレンズ１４ａ、１４ｂの間である。
そして、図２に示すように、分岐点Ｐａから合流点Ｐｂまでの非共通光路のうち、第１の光路Ｒ１の方に、径の小さい方の開口絞りＡＳ１が固定配置され、第２の光路Ｒ２の方に、径の大きい方の開口絞りＡＳ２が固定配置される。
【００２０】
開口絞りＡＳ１の径は、照明光束の径（被検物Ｏへの入射角度範囲）を小さく（例えば０．６〜０．８程度に）制限するものである。
開口絞りＡＳ２の径は、第１対物レンズ１７の開口径と比較するとやや大きく、照明光束の径（被検物Ｏへの入射角度範囲）を積極的に制限するものではなく、迷光を制限するに過ぎない。
【００２１】
ここで、第１の光路Ｒ１の光路長（媒質の屈折率と幾何学的距離からなる光学的距離）と第２の光路Ｒ２の光路長とは、同じである。
また、開口絞りＡＳ１及び開口絞りＡＳ２が配置されるのは、何れも第１対物レンズ１７の瞳と共役な位置である。
このうち、少なくとも開口絞りＡＳ１は、径が小さいことからその位置合わせに要求される精度が高いので、リレーレンズ１４ｂ、コンデンサレンズ１５、プリズム１６の光軸に対し正確に位置出ししてある。
【００２２】
ところで、本実施形態では、第１の光路Ｒ１の第２の光路Ｒ２との分岐点Ｐａへの入射光路と、第１の光路Ｒ１の第２の光路Ｒ２との合流点Ｐｂからの射出光路とは、互いに離れた平行線上にある。
よって、この照明装置１０には、第１の光路Ｒ１を設定するためのミラーＭ１１、Ｍ１２、及び第２の光路Ｒ２を設定するためのミラーＭ２１、Ｍ２２が少なくとも使用される（以下、４つのミラーが使用される場合について説明する。）。
【００２３】
なお、ミラーＭ１１は、分岐点Ｐａに配置されるべきミラーであって、ミラーＭ２２は、合流点Ｐｂに配置されるべきミラーである。
また、開口絞りＡＳ１の配置位置は、ミラーＭ１１、ミラーＭ１２により２回偏向された後となる。また、開口絞りＡＳ２は、ミラーＭ２１とミラーＭ２２との間となる。
【００２４】
そして、本実施形態では、図１に示す第１の光路Ｒ１と図３に示す第２の光路Ｒ２との切り替えのために、ミラーＭ１１とミラーＭ１２とを固定してなる切り替え部材１を、分岐点Ｐａと開口絞りＡＳ１との間に挿脱可能に設ける。
切り替え部材１では、分岐点Ｐｂの位置に挿入されるべきミラーＭ１１とそのミラーＭ１１からの射出光束を開口絞りＡＳ１に導くミラーＭ１２とが互いに平行に対面して固定される。
【００２５】
それらミラーＭ１１、Ｍ１２によれば、切り替え部材１の挿入時（図１参照）、第１の光路Ｒ１は概略Ｚ字状に設定される。
ところで、切り替えのためだけであれば、ミラーＭ１２についてはミラーＭ１１と共に移動せずに固定されていてもよい。
しかし、本実施形態では、ミラーＭ１２をミラーＭ１１と共に切り替え部材１として積極的に移動させる。
【００２６】
このように、予め平行に固定した状態で共に移動させれば、図４に示すように、たとえ切り替え部材１の全体の姿勢及び位置に多少のズレ（例えば、点線で示す状態から実線で示す状態へのズレ）が生じたとしても、ミラーＭ１１における偏向角度とミラーＭ１２における偏向角度とは錯角の関係となるので、開口絞りＡＳ１に対する入射角度は保たれる。
【００２７】
なお、このとき、開口絞りＡＳ１に対する入射位置は光軸と垂直な方向にシフトする可能性はある。しかし、そのシフトが開口絞りＡＳ１の射出光束に与える影響については、開口絞りＡＳ１の位置に形成される光源像が十分に大きくなるよう光源１１、コレクタレンズ１２、リレーレンズ１４ａを設計しておきさえすれば、確実に補償される。
【００２８】
したがって、開口絞りＡＳ１からの射出光束（ひいては被検物Ｏの照明状態）は、切り替え部材１の全体の姿勢及び位置に多少のズレが生じたとしても、保たれる。
また、第２の光路Ｒ２を設定するためのミラーＭ２１、Ｍ２２のうち、合流点Ｐｂに配置されるべきミラーＭ２２は、第１の光路Ｒ１が設定されるときには不要なので、挿脱可能となっていることが好ましい。
【００２９】
しかも、このミラー２２は、切り替え部材１の挿入／離脱に連動して離脱／挿入されるよう切り替え部材１に連結（固定）されることが好ましい。連結すれば、切り替え部材１の駆動のためのアクチュエータ（不図示）と、ミラー２２の駆動のためのアクチュエータを共通化できるので低コスト化できる。
なお、上記したように、第２の光路Ｒ２における開口絞りＡＳ２の径は、第１の光路Ｒ１における開口絞りＡＳ１の径よりも大きいので、図３に示す状態（第２の光路Ｒ２が設定されたとき）における開口絞りＡＳ２からの射出光束は、ミラーＭ２２の位置及び姿勢に多少のズレが生じていたとしても、所望の状態に保たれ、被検物Ｏの照明状態も所望の状態に保たれる。
【００３０】
したがって、本実施形態では、切り替え部材１に強固なガイド機構やステージを設けたり微動送り装置を設けたりしなくとも、所望の２種類の照明をそれぞれ正確に設定することができる（すなわち、簡単かつ正確に照明状態を切り替えることができる。）。
なお、切り替え部材１の切り替えは、アクチュエータによって行われる他、手動により行われてもよい。何れの場合にも、切り替え部材１には、その移動方向及び停止位置が定まるようガイド機構が設けられることが好ましい。
【００３１】
また、切り替え部材１の切り替え時の移動方向、切り替え部材１の形状、ガイド機構などは、第１の光路Ｒ１と第２の光路Ｒ２とをそれぞれの設定中に妨げないよう選択される。図１と図３とによると、移動方向が紙面上下方向であるように表されているが、紙面表裏方向としてもよいことは言うまでもない。
【００３２】
［第２実施形態］
図５、図６を参照して本発明の第２実施形態について説明する。
本実施形態では、共焦点観察と明視野観察との切り替えが可能な走査顕微鏡に搭載される照明装置を説明する。ここでは、第１実施形態との相違点についてのみ説明する。
【００３３】
図５、図６は、本実施形態の照明装置の構成図である。図５と図６との相違は、照明状態の相違である。
図５及び図６に示すように、照明装置２０は、光源２１、コレクタレンズ２２、フィルタ２３を順に配置しており、顕微鏡部２０’の内部に配置されたプリズム（照明光／結像光分岐用である。）２６及び第１対物レンズ２７を介して被検物Ｏを照明する。
【００３４】
なお、顕微鏡部２０’は、被検物Ｏ側から順に、第１対物レンズ２７、プリズム２６を配置し、ＴＤＩセンサの受光面Ｉに被検物Ｏからの光束を結像する。
顕微鏡部２０’は、明視野観察と共焦点観察とを切り替えることができる（このうち、共焦点観察は、被検物Ｏを載置した不図示のステージを送りながら被検物の画像データを一部分ずつ取得して全体の画像データを得るものである。）。
【００３５】
これに伴い、照明装置２０では、被検物Ｏの照明領域（視野）を少なくとも２種類に変更する必要がある。
この照明装置２０も、第１実施形態の照明装置１０と同様、光源１１と被検物０との間で途中分岐する第１の光路Ｒ１（図５参照）及び第２の光路Ｒ２（図６参照）を切り替え可能に配する。
【００３６】
但し、本実施形態では、図５及び図６に示すように、照明領域を可変にするため、第１の光路Ｒ１と第２の光路Ｒ２とが途中分岐するのは、プリズム２６とフィルタ２３との間とする。
そして、分岐点Ｐａから合流点Ｐｂまでの非共通光路のうち、第１の光路Ｒ１の方に、径の小さい方の視野絞りＦＳ１が固定配置され、第２の光路Ｒ２の方に、径の大きい方の視野絞りＦＳ２が固定配置される。
【００３７】
視野絞りＦＳ１は、共焦点観察用のピンホール板であり（ピンホールが複数個形成されている。）、被検物Ｏの照明領域を一部分のみに限定するものである。視野絞りＦＳ２の径は、十分に大きく、被検物Ｏの照明領域を通常の明視野観察に必要な大きさに設定するものである。
また、第１の光路Ｒ１の光路長（媒質の屈折率と幾何学的距離からなる光学的距離）と第２の光路Ｒ２の光路長とは、同じである。
【００３８】
また、視野絞りＦＳ１及び視野絞りＦＳ２が配置されるのは、何れも被検物Ｏ（及び受光面Ｉ）と共役な位置である。視野絞りＦＳ１に形成される各ピンホールは、受光面Ｉに配置されるＴＤＩセンサ（不図示）の各受光部に対応する。
このうち、少なくとも視野絞りＦＳ１は、その位置合わせに要求される精度が高いので、プリズム２６の光軸に対し正確に位置出ししてある。
【００３９】
ところで、本実施形態においても、図５、図６に示したように、第１の光路Ｒ１の第２の光路Ｒ２との分岐点Ｐａへの入射光路と、第１の光路Ｒ１の第２の光路Ｒ２との合流点Ｐｂからの射出光路とは、互いに離れた平行線上にある。
よって、第１実施形態と同様に、第１の光路Ｒ１を設定するためのミラーＭ１１、Ｍ１２、第２の光路Ｒ２を設定するためのミラーＭ２１、Ｍ２２が少なくとも使用される（以下、４つのミラーが使用される場合について説明する。）。
【００４０】
これらミラーＭ１１，Ｍ１２，Ｍ２１，Ｍ２２と視野絞りＦＳ１、視野絞りＦＳ２との関係は、第１実施形態におけるミラーＭ１１，Ｍ１２，Ｍ２１，Ｍ２２と開口絞りＡＳ１、開口絞りＡＳ２との関係と同じである。
【００４１】
そして、本実施形態でも、図５に示す第１の光路Ｒ１と、図６に示す第２の光路Ｒ２との切り替えのために、ミラーＭ１１、Ｍ１２とが正確に平行となるよう固定されてなる挿脱可能な切り替え部材２が使用される。
この切り替え部材２によれば、第１実施形態の切り替え部材１と同様、切り替え部材２の全体の姿勢及び位置に多少のズレが生じたとしても、視野絞りＦＳ１に対する入射角度は保たれる。
【００４２】
また、視野絞りＦＳ１に対する入射位置は光軸と垂直な方向にシフトする可能性はあるが、そのシフトが視野絞りＦＳ１の射出光束に与える影響については、視野絞りＦＳ１の位置に入射する光束が十分に太くなるよう光源２１、コレクタレンズ２２を設計しておきさえすれば、確実に補償される。
したがって、視野絞りＦＳ１からの射出光束（ひいては被検物Ｏの照明状態）は、切り替え部材２の全体の姿勢及び位置に多少のズレが生じたとしても、保たれる。
【００４３】
また、合流点Ｐｂに配置されるべきミラーＭ２２は、第１の光路Ｒ１が設定されるときには不要なので、挿脱可能となっていることが好ましく、第１実施形態と同様、切り替え部材２の挿入／離脱に連動して離脱／挿入されるよう切り替え部材２に連結（固定）されることが好ましい。
また、上記したように、第２の光路Ｒ２における視野絞りＦＳ２の径は、第１の光路Ｒ１における視野絞りＦＳ１の径よりも大きいので、図６に示す状態（第２の光路Ｒ２が設定されたとき）における視野絞りＦＳ２からの射出光束は、ミラーＭ２２の位置及び姿勢に多少のズレが生じていたとしても、所望の状態に保たれ、被検物Ｏの照明状態も所望の状態に保たれる。
【００４４】
したがって、本実施形態によれば、第１実施形態と同様にして、切り替え部材２により、簡単かつ正確に照明状態を切り替えることができる。
なお、切り替え部材２の切り替えは、アクチュエータによって行われる他、手動により行われてもよい。何れの場合にも、切り替え部材２には、その移動方向及び停止位置が定まるようガイド機構が設けられることが好ましい。
【００４５】
また、切り替え部材２の切り替え時の移動方向、切り替え部材２の形状、ガイド機構などは、第１の光路Ｒ１と第２の光路Ｒ２とをそれぞれの設定中に妨げないよう選択される。図５と図６とによると、移動方向が紙面上下方向であるように表されているが、紙面表裏方向としてもよいことは言うまでもない。
［その他］
上記各実施形態では、切り替え部材に２枚のミラーＭ１１、Ｍ１２を使用したが、２つの反射面を有したプリズムを使用してもよい。なお、プリズムは、空気と同じ幾何学的距離であってもその屈折率が異なるので、第２の光路Ｒ２の光学的距離を第１の光路Ｒ１のそれと同じになるよう、光路長調整用の透過部材（ガラスなど）を挿入するなどの調整が必要である。
【００４６】
また、上記各実施形態では、切り替え部材として２枚の反射面（ミラーＭ１１、Ｍ１２）を使用したが、互いに固定された対面する平行な一対の反射面からなるのであれば、４枚、６枚、８枚、・・などの他の偶数枚の反射面を使用して、第１の光路Ｒ１の形状を、複数の連続するＺ字状（ノコギリ状）にしてもよい。何れの場合も、最初の偏向角度と最後の偏向角度とが錯角の関係になるので、上記実施形態と同様の効果が得られる（但し、２枚構成とする方が部品点数が少ないので好ましいことは言うまでもない。）。
【００４７】
また、上記各実施形態では、顕微鏡用であり、かつ第１の光路Ｒ１に固定配置される光学素子が絞りである場合を説明したが、顕微鏡以外の光学機器に搭載される照明装置や、第１の光路Ｒ１に固定される光学素子が絞り以外である場合にも本発明は適用可能である。
また、上記各実施形態では、第２の光路Ｒ２に固定配置される光学素子を、径の大きい絞りとしたが、位置合わせに要求される精度が低ければ如何なる光学素子としてもよい。また、言うまでもないが、第２の光路Ｒ２に何も配置されなくてもよい。
【００４８】
また、上記各実施形態では、合流点Ｐｂに対し挿脱可能なミラーＭ２２を使用したが、光量の損失を無視できるのであれば、第１の光路Ｒ１と第２の光路Ｒ２との双方を設定可能な固定式のハーフミラーなどに代えてもよい。但し、一般の照明装置では、光量の損失をなるべく避けたいので、挿脱可能なミラーの方が好ましい。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、簡単かつ正確に照明状態を切り替えることの可能な照明装置、及び顕微鏡照明装置が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の照明装置の構成図（第１の光路Ｒ１の設定時）である。
【図２】照明装置内の光路の概略図である。
【図３】第１実施形態の照明装置の構成図（第２の光路Ｒ２の設定時）である。
【図４】ミラーＭ１１、１２と光路との関係を説明する図である。
【図５】第２実施形態の照明装置の構成図（第１の光路Ｒ１の設定時）である。
【図６】第２実施形態の照明装置の構成図（第２の光路Ｒ２の設定時）である。
【符号の説明】
１，２　切り替え部材
Ｍ１１，Ｍ１２，Ｍ２１，Ｍ２２　ミラー
１０，２０　照明装置
１０’，２０’　顕微鏡
１１，２１　光源
２１，２２　コレクタレンズ
１３　フィルタ
１４　リレーレンズ
１５　コンデンスレンズ
１６，２６　プリズム
１７，２７　第１対物レンズ
Ｏ　被検物
Ｉ　像面（撮像面、受光面）
Ｐａ　分岐点
Ｐｂ　合流点
【図１】
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【図２】
2004012473.tif 000004
【図３】
2004012473.tif 000005
【図４】
2004012473.tif 000006
【図５】
2004012473.tif 000007
【図６】
2004012473.tif 000008