(57)【要約】【課題】基板表面の深い凹部や穴内に気泡を残すことなくフィルム状材料を埋め込んで密着させ、フィルム状材料を平坦化させる。【解決手段】真空プレス装置は、上側および下側ハウジング部材２、３からなる真空チャンバ１を備える。真空チャンバ１内には、ヒータプレート１４、１７を有する上側および下側加圧ブロック１２、１３が配置される。フィルム状材料を表面に保持した基板１０は、上側および下側加圧ブロック１２、１３間で加圧される。上側および下側加圧ブロック１２、１３の少なくとも一方には加圧体２０が設けられる。加圧体２０は、加圧流体を内部空間内に導入されることにより上下面が上下方向に可動である。基板１０の加圧は、加圧体２０の上下面の移動により行われる。加圧力の反力は、剛性構造をとった状態の、上側および下側加圧ブロック１２、１３の駆動手段１により支持される。【選択図】　図１
2004136354.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム状材料を基板に積層、埋め込み、または基板上のフィルム状材料を平坦化するための真空プレス装置であって、
真空プレス部と、
該真空プレス部に配置され、上側および下側ハウジング部材を備えてなる真空チャンバにして、該上側および下側ハウジング部材を互いに密封係合させて内部を排気することにより減圧状態を作り出すことができ、該上側および下側ハウジング部材を互いに分離することにより基板の出入口用の開口を形成することができる真空チャンバと、
フィルム状材料を表面に保持した基板を、前記真空チャンバに対して前記開口を介して搬入および搬出するための基板搬送機構にして、基板を間に保持して走行可能な上下一対のフィルムベルトを有する基板搬送機構と、
前記基板搬送機構によって搬入された基板を挟持して加熱および加圧するために前記真空チャンバ内に配置された上側および下側加圧ブロックであって、
ヒータプレートを有すると共に、少なくとも一方に、上下面および該上下面間に形成された内部空間を有する加圧体にして、前記内部空間内の内圧に依存して前記上下面の少なくとも一方が上下方向に可動であり、前記内部空間内に加圧流体を導入することにより上下方向の加圧力を発生可能な加圧体を少なくともひとつ有する上側および下側加圧ブロックと、
該上側および下側加圧ブロックを互いに近接および離反させるための第１の駆動手段と、
を備え、
前記第１の駆動手段が、前記加圧体によって基板を加圧する際に発生する前記加圧力の反力を支持するための剛性構造を形成可能な機構を有していることを特徴とする、
真空プレス装置。
【請求項２】
前記真空チャンバの前記上側および下側ハウジング部材を互いに密封係合および分離するための第２の駆動手段にして、前記第１の駆動手段とは別個に作動可能な第２の駆動手段をさらに備えており、
前記第１の駆動手段が、前記上側および下側ハウジング部材のいずれか一方を密封状態で貫通して延びるロッドにして一端を前記上側および下側加圧ブロックのいずれか一方に取り付けられているロッドを少なくともひとつ有している、
請求項１に記載の真空プレス装置。
【請求項３】
前記上側および下側加圧ブロックが、前記真空チャンバの前記上側および下側ハウジング部材にそれぞれ固定されており、
前記真空チャンバの前記上側および下側ハウジング部材が、前記第１の駆動手段によって互いに密封係合および分離されるようになされている、
請求項１に記載の真空プレス装置。
【請求項４】
前記第１の駆動手段が、クランク軸と、該クランク軸を回動させるための駆動装置と、一端が前記クランク軸の偏心軸に枢着され、他端が前記上側および下側加圧ブロックの一方の上下動を案内する案内板にリンク結合されている連結ロッドと、を有しており、
前記連結ロッドの上端が少なくともクランク軸回転の上死点または上死点近くの位置になるまで前記クランク軸が回動することにより前記剛性構造が形成されるようになされている、
請求項１ないし３のいずれかに記載の真空プレス装置。
【請求項５】
前記上側および下側加圧ブロックの加圧面が、平滑に加工された剛体の表面によって構成されている、
請求項１ないし４のいずれかに記載の真空プレス装置。
【請求項６】
前記加圧体が、前記ヒータプレートの、基板とは対向しない側に配置されている、
請求項１ないし５のいずれかに記載の真空プレス装置。
【請求項７】
フィルム状材料を基板に積層、埋め込み、または基板上のフィルム状材料を平坦化するためのプレス装置であって、
プレス部と、
フィルム状材料を表面に保持した基板を、前記プレス部に対して搬入および搬出するための基板搬送機構にして、基板を間に保持して走行可能な上下一対のフィルムベルトを有する基板搬送機構と、
前記基板搬送機構によって搬入された基板を挟持して加熱および加圧するために前記プレス部に配置された上側および下側加圧ブロックであって、
ヒータプレートを有すると共に、少なくとも一方に、上下面および該上下面間に形成された内部空間を有する加圧体にして、前記内部空間内の内圧に依存して前記上下面の少なくとも一方が上下方向に可動であり、前記内部空間内に加圧流体を導入することにより上下方向の加圧力を発生可能な加圧体を少なくともひとつ有する上側および下側加圧ブロックと、
該上側および下側加圧ブロックを互いに近接および離反させるための第１の駆動手段と、
を備え、
前記第１の駆動手段が、前記加圧体によって基板を加圧する際に発生する前記加圧力の反力を支持するための剛性構造を形成可能な機構を有していることを特徴とする、
プレス装置。
【請求項８】
フィルム状材料を基板に積層、埋め込み、または基板上のフィルム状材料を平坦化するためのプレス方法であって、
真空チャンバを構成する上側および下側ハウジング部材を互いに分離して間に開口を形成し、
フィルム状材料を表面に保持した基板を上下一対のフィルムベルト間に保持し、該フィルムベルトを走行させることにより、前記開口を介して基板を前記真空チャンバ内に搬入し、前記真空チャンバ内に設けた上側および下側加圧ブロック間に基板を位置づけ、
前記上側および下側ハウジング部材を互いに密封係合させて内部を排気することにより、前記真空チャンバ内を減圧状態とし、
機械的駆動手段によって前記真空チャンバ内の前記上側および下側加圧ブロックを互いに近接させ、
該上側および下側加圧ブロックに設けたヒータプレートによって基板を加熱することにより、基板の表面に保持されたフィルム状材料を軟化させ、
基板の表面に保持されたフィルム状材料が軟化した後、前記機械的駆動手段を構成する機素を動かして、該機械的駆動手段が、前記上側および下側ブロックから基板を加圧する際に受ける加圧力の反力を支持するための剛性構造を形成するようにし、
前記上側および下側加圧ブロックの少なくとも一方に設けられた加圧体にして、上下面および該上下面間に形成された内部空間を有し、該内部空間内の内圧に依存して前記上下面の少なくとも一方が上下方向に可動である加圧体の前記内部空間内に加圧流体を導入することにより、前記上下面の少なくとも一方を上下方向に移動させ、それによって、軟化したフィルム状材料を表面に保持した基板を前記上側および下側加圧ブロック間に挟持した状態で加圧することを特徴とする、
プレス方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加熱および加圧することにより、フィルム状材料を基板上に積層、埋め込み、または基板上のフィルム状材料を平坦化させるためのプレス装置、特に真空プレス装置、およびプレス方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント回路用基板で、導電性パターンを成形するなどの理由により表面に凹凸や穴が生じているものがある。このような基板の表面にフィルム状の絶縁材や感光材のようなフィルム状材料を貼り付ける場合、通常のラミネータを用いると、基板表面の凹部や穴に気泡が残りやすく、不良品を多く発生させることになる。
そこで、真空中でフィルム状材料を基板表面に貼り付ける真空プレス装置が用いられている。
真空プレス装置を用いる前に、フィルム状材料は基板表面上に軽く押さえつけられるようにして保持される。この作業は通常のラミネータを用いて行われる。
【０００３】
従来、一般的に広く使用されている真空プレス装置は、互いに密封係合可能な上下ハウジング部材から構成される真空チャンバを有している。フィルム状材料を表面に保持した基板が、上下２枚のフィルムベルト間に保持された状態で上下一対の加圧ブロック間に挿入される。一方の加圧ブロックは、加圧面が弾性体からなり、一方のハウジング部材の内側に固定され、ヒータを有している。他方の加圧ブロックは、加圧面に弾性体の膜を有し、他方のハウジング部材の内側に固定され、同じくヒータを有している。
基板を挿入後、上下のハウジング部材は互いに密封係合して真空チャンバを構成する。真空チャンバの内部を排気しながら、基板はフィルムベルトに保持された状態で上下加圧ブロックに設けられたヒータによって加熱される。ヒータの熱により、基板上のフィルム状材料は軟化する。
基板が所定の温度まで加熱された後、上述した弾性体の膜を気体によって押圧し、該膜を基板に押しつけるようにする。
フィルム状材料を表面に保持した基板は、弾性体の膜と、加圧面が弾性体からなる加圧ブロックとの間に挟み込まれるようにして加圧され、軟化したフィルム状材料が基板上の凹凸面にほぼ密着するように貼り付けられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
かかる真空プレス装置として最も重要な機能は、
基板表面の深い凹部および穴内にも気泡を残すことなく均一にフィルム状材料を埋め込むことと、
後工程への影響を考慮して、埋め込み後のフィルム状材料の表面を平坦にすることを高い生産性で実現できることである。
そのために必要なのは、
第１に、フィルム状材料が基板表面上の凹部および穴内に埋め込まれる前に該凹部および穴内の空気が十分に排気されること、
第２に、フィルム状材料に最適な柔らかさ（流動性）を持たせるために、できるだけ速く所定の温度まで基板を加熱できること、
第３に、近年のパターン微細化、穴数増加および穴径の小径化に対応するために、より大きな加圧力によって均一に埋め込みを行うことができること、
第４に、装置が設置される場所がクリーンルームであることを考慮して、油など周辺環境を汚染する可能性がある材料を使用しないこと、
第５に、装置をできるだけ小さく、安価に提供されることが求められる。
【０００５】
しかしながら、従来の真空プレス装置は上述した第１から第５の点で改善の余地があった。
すなわち、様々な種類の基板表面の凹部および穴内の空気を十分に排気し、且つ、できるだけ速くフィルム状材料を加熱するためには、上下ハウジングを密封係合した状態で、基板の種類（大きさ、重さ）によって変化するフィルムベルトのたわみに合わせて、ヒータを有する加圧ブロックと基板との距離を適切に調整できる必要がある。
しかしながら従来の真空プレス装置は、前述したように加圧ブロックがハウジング部材に固定されている構造であるため、両者は同一の駆動装置を用いて同時に上昇および下降が行われる。
そのため、上下ハウジングを密封係合した状態では加圧ブロックの位置は常に一定であり、様々な種類の基板に応じて加圧ブロックの位置すなわちヒータの位置を適切に調整することができなかった。
【０００６】
その結果、基板と加圧ブロックとの距離が近い場合には、基板表面の凹部または穴部の排気が十分に行われないうちに、フィルム状材料が加熱軟化され、基板に密着し、気泡が残存してしまっていた。
【０００７】
逆に基板と加圧ブロックとの距離が遠い場合には、フィルム状材料を加熱軟化するのに時間がかかってしまい、生産性が悪かった。
また、上述の基板を弾性体の膜と加圧ブロックとの間に挟み、気体の圧力で押圧される弾性体の膜によって基板を加圧する方式では、先に述べた加圧ブロックと基板の距離が遠い場合も考慮して、弾性体の膜は、十分に伸長する必要がある。そのため、弾性体の膜の強度上、大きな加圧力で加圧を行うことができなくなるので、基板表面の深い凹部あるいは穴にまでフィルム状材料を埋め込むことが難しかった。
さらに、弾性体の膜で加圧した場合、基板への埋め込み後のフィルム表面は、基板表面の凹凸に追従した凹凸が生じているため、後工程でフィルム表面を平坦にする必要があり、その結果、装置またはライン構成が大型化していた。
また、大きな加圧力を発生させるためには、弾性体の膜を用いずに上下の加圧ブロックをチャンバ内に設け油圧シリンダ、あるいはボールネジなどを用いたモータ駆動によって加圧する方法も考えられるが、前者は、周辺環境を汚染する可能性がある油を使うという点と、油圧ポンプ等の設置スペースが必要な上に、装置を組立する際に配管、エア抜き作業等が必要であり、油漏れや油飛散防止部品を用意する必要があり、装置の大型化およびコストの点でも問題がある。後者は、加圧面全体に均一な圧力で加圧するためには、加圧ブロックの剛性を必要以上に高める、あるいは圧力均一化のための緩衝材を設ける必要があるため、装置の大型化、コストの点で問題があった。
【０００８】
そこで本発明が解決しようとする課題は、深い凹部および穴内にも気泡を残すことなくフィルム状材料を均一に埋め込み、かつ埋め込み後のフィルム状材料の表面を平坦にすることができる真空プレス装置を、小型でそして安価に提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明によれば、
（請求項範囲と同じ）
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例による真空プレス装置の側面図であり、一部断面をとっている。
【００１１】
真空プレス装置の真空プレス部３４には、真空チャンバ１が設けられている。真空チャンバ１は、上側ハウジング部材２および下側ハウジング部材３から構成されている。
【００１２】
上側ハウジング部材２は、支持ブロック４に取り付けられている。また、真空プレス部３４には、ベースとして下側支持部材５が設けられており、支持ブロック４と下側支持部材５とは、上端を支持ブロック４に、下端を下側支持部材５に固定された支柱６によって互いに連結されている。
【００１３】
真空チャンバ１を形成するもう一方の部材である下側ハウジング部材３の下面には、例えばエアシリンダ装置のような駆動装置７が枢着されている。さらに下側ハウジング部材３には、該下側ハウジング部材３が支柱６に沿って安定して上下動することを確実にするための案内手段８が取り付けられている。駆動装置７と案内手段８とは、上側ハウジング部材２および下側ハウジング部材３を互いに密封係合および分離するための駆動手段を形成する。
【００１４】
下側ハウジング部材３の上端周縁部には環状の封止部材９が設けられている。下側ハウジング部材３が上記駆動手段によって上昇されると、封止部材９と上側ハウジング部材２の下側周縁部とが密封係合し、真空チャンバ１内部は密封状態となる。この状態で、真空チャンバ１に設けた排気口（図示せず）から内部空気を排気すると、真空チャンバ１内を減圧状態にすることができる。
一方、上記駆動手段によって下側ハウジング部材３を下降させると、封止部材９と上側ハウジング部材２の下側周縁部とが互いに分離し、基板１０の出入口用の開口１１が形成される。
【００１５】
図示実施例では下側ハウジング部材３が可動とされているが、上側ハウジング部材２を可動とする構成も可能である。
真空チャンバ１内には、基板を挟持して加熱および加圧するための上側加圧ブロック１２と下側加圧ブロック１３とが配置されている。上側加圧ブロック１２は、ヒータプレート１４を有しており、断熱材１５を介して上側ハウジング部材２に取り付けられている。上側加圧ブロック１２の基板１０側の面、すなわち加圧面側には、加圧面となる表面を平滑に加工された剛体の加圧板１６が取り付けられている。
【００１６】
下側加圧ブロック１３もまた、ヒータプレート１７を有しており、基板側の面すなわち加圧面側には、加圧面が平滑な剛体の加圧板１８が取り付けられている。
上側加圧ブロック１２が上側ハウジング部材２に取り付けられているのとは異なり、下側加圧ブロック１３は下側ハウジング部材３には取り付けられてはいない。下側加圧ブロック１３は、下側ハウジング部材３を貫通して延びるロッド１９の上端に、断熱材２１およびプレート２２を介して取り付けられている。下側ハウジング部材３とロッド１９の間には封止手段３３が設けられているので、ロッド１９は下側ハウジング部材３を密封状態で貫通して延びることになり、真空チャンバ１の機密性を保つことができる構造となっている。
【００１７】
下側加圧ブロック１３のヒータプレート１８の、基板１０と対向しない面側、すなわち下側には、加圧体２０が設けられている。加圧体２０は、図示実施例では可撓性の扁平な袋体の形態をしており、上下面および該上下面間に形成された内部空間を有している。加圧体２０の上下面の少なくとも一方は、内部空間の内圧に依存して上下方向に移動可能である。加圧体２０には、内部空間と連通する給排気口３２が少なくとも一箇所に設けられており、この給排気口３２を通して圧縮空気のような加圧流体を導入したり排出させたりすることによって、上下面の少なくとも一方が上下に動く。そして、加圧体２０は、内部空間に加圧流体を導入されることにより、上下方向の加圧力を発生することができる。図示実施例では、加圧流体を導入された加圧体２０は、ヒータプレート１８と接する面に加圧力を生じさせることができる。
【００１８】
上端にて下側加圧ブロック１３を支持するロッド１９の下端は、案内板２３に取り付けられている。案内板２３には、下側加圧ブロック１３が支柱６に沿って安定して上下動することを確実にするための案内手段２４が取り付けられている。また、下側支持部材５には、例えばモータのような駆動装置２６が固定されており、この駆動装置２６にはボールネジ３５が回転可能に接続されている。ボールネジ３５には、少なくとも一つのクランク軸２５が回動可能に枢着されている。さらに、一端をクランク軸２５の偏心軸３６に枢着され、他端を案内板２３に枢動可能にリンク結合された、少なくとも一つの連結ロッド３７が設けられている。駆動装置２６を作動させると、ボールネジ３５が回転することによって、クランク軸２５が回動し、連結ロッド３７、案内板２３およびロッド１９を介して下側加圧ブロック１３が上下動される。ロッド１９は、図示実施例では複数本設けられているが、少なくとも１本設ければよい。
駆動装置２６、ボールネジ３５、クランク軸２５、連結棹３７、案内板２３、案内手段２４、およびロッド１９の各機素は、下側加圧ブロック１３を上側加圧ブロック１２に近接および離反させるための機械的駆動手段を構成し、これを第１の駆動手段と称する。これに対し、上側ハウジング部材２と下側ハウジング部材３とを互いに密封係合および分離するための、前述した駆動装置７および案内手段８により形成される駆動手段を、第２の駆動手段と称する。第１の駆動手段と第２の駆動手段とは互いに別個に作動可能である。
真空プレス装置の真空プレス部３４の前後には、フィルムベルト巻出し部２９およびフィルムベルト巻取り部３０が配置されている。フィルムベルト巻出し部２９およびフィルムベルト巻取り部３０は、基板１０を間に保持して搬送するための上下一対のフィルムベルト２７および２８の巻き出しおよび巻き取りを行う。フィルムベルト２７および２８は、上側および下側ハウジング部材２および３が互いに分離して開いた状態の真空チャンバ１を貫通して延びるように配置されている。
フィルム状材料を表面に保持した基板１０は、ローラコンベア３８により前工程からフィルムベルト巻出し部２９へと運ばれ、フィルムベルト２７および２８間に投入される。フィルムベルト巻出し部２９およびフィルムベルト巻取り部３０の作動によって適切な張力を与えられながら走行するフィルムベルト２７および２８は、間に保持した基板１０を開口１１を介して真空チャンバ１内へと搬入することができる。同様にして、基板１０を真空チャンバ１から搬出することができる。フィルムベルト巻出し部２９とフィルムベルト巻取り部３０との間には、適切な位置にフィルムベルトの案内としてローラ３１が複数設けられている。
このように、フィルムベルト２７、２８、フィルム巻出し部２９、ローラ３１およびフィルム巻取り部３０は、フィルム状材料を表面に保持した基板１０を真空チャンバ１に対して搬入および搬出するための基板搬送機構を形成する。
【００１９】
本発明による真空プレス装置の作用を図２ないし図５を用いて説明する。図２ないし図５は、基板を加熱および加圧する過程の状態を順に示したものであり、図２ないし図５のそれぞれにおいて、（ａ）は真空プレス部全体の側面図を示し、（ｂ）は同じ過程の状態を上側および下側加圧ブロック部を拡大した側面図で示している。（ａ）および（ｂ）のいずれにおいても一部断面をとっている。
【００２０】
まず図２に示すように駆動装置７によって下側ハウジング部材３を降下させ、真空チャンバ１を開いて基板１０の搬出入口用の開口１１を形成する。表面にフィルム状材料を保持した基板１０は、２枚のフィルムベルト２７および２８間に保持されたまま、これらのフィルムベルトを走行させることによって真空チャンバ１内に搬入される。フィルムベルト２７、２８は、基板１０が上側および下側加圧ブロック１２、１３間の中央部に到達した時点で停止せしめられる。
【００２１】
基板１０が上側および下側加圧ブロック１２、１３間の中央部に位置づけられると、図３に示すように、駆動装置７によって下側ハウジング部材３を上昇させ、真空チャンバ１を閉じる。このようにして真空チャンバ１を密閉状態にしたのち、排気口（図示せず）を通して排気を行い、真空チャンバ１内を減圧状態とする。フィルムベルト２７および２８は薄いので、真空チャンバ１がフィルムベルト２７および２８を挟むようにして閉じても、気密性は十分保持することができる。
基板１０は、下側のフィルムベルト２８によって保持されているので、真空チャンバ１内では下側加圧ブロック１３に接することなく浮いた状態を保つことになる。ヒータプレート１７を有する下側加圧ブロック１３は、基板１０と十分な間隔を持つことができるように配置されているので、真空チャンバ１内が十分排気される前にフィルム状材料が軟化してしまうことはない。したがって、基板１０の凹部や穴に気泡が閉じこめられる可能性はきわめて低い。
真空チャンバ１内を減圧すると同時に、加圧体２０内部も給排気口３２から排気を行い、真空チャンバ１内と同じ減圧状態とする。
【００２２】
本実施例における加圧体２０は、内部空間を画成する扁平な構造を有しているため、下側加圧ブロック１３のヒータプレート１７からの熱をプレート２２以下の装置構成部材へ伝えないための断熱部材としての効果を奏することができる。したがって、断熱材２１を省略することも可能である。
真空チャンバ１内が十分に減圧、排気された後、図４に示すように、駆動装置２６を作動させて下側加圧ブロック１３を基板１０に向けて上昇させ、上側加圧ブロック１２に近接させる。下側加圧ブロック１３が適切な高さに位置決めされた状態で、上側および下側加圧ブロック１２、１３にそれぞれ設けたヒータプレート１４、１７によって基板１０を加熱し、基板表面に保持されたフィルム状材料を十分に軟化させる。
下側加圧ブロック１３を駆動する第１の駆動手段（駆動装置２６等）は、下側ハウジング部材３を駆動する第２の駆動手段（駆動装置７等）とは別個に作動可能なものである。したがって、大きさや重さの違いによって異なる基板１０の高さ位置に応じて、ヒータプレート１４、１７を基板１０に対して最適の距離まで接近させることが可能であり、基板１０上のフィルム状材料をできるだけ速く所定の温度に加熱し、適度に軟化させることができる。
駆動装置２６としてモータを用いてもよい。この場合、例えば油圧シリンダなどと比較して繰り返し停止精度が向上するため、加熱時の基板１０に対する下側加圧ブロック１３の距離を安定させることができ、温度のばらつきを小さくすることができる。
【００２３】
十分にフィルム状材料が軟化した後、図５（ａ）に示すように、駆動装置２６によってクランク軸２５をさらに回動させ、連結ロッド３７の上端が少なくとも上死点または上死点近くの位置になるようにする。この状態で、クランク軸２５の回転軸３９と、連結ロッド３７の偏心軸３６と、連結ロッド３７の上端における案内板２３への取り付け軸４０とは、ほぼ垂直線上に並ぶ。したがって、第１の駆動手段を構成するクランク軸２５、連結ロッド３７等の各機素は、上側および下側加圧ブロック１２、１３が基板１０を加圧する際にこれらのブロックから受ける加圧力の反力を支持するための剛性構造を形成する。
第１の駆動手段が上記の剛性構造を形成している状態で、加圧体２０の内部空間に給排気口３２から圧縮空気を導入する。これによって加圧体２０の上面は上方に移動し、ヒータプレート１７および加圧板１８を押し上げる。その結果、軟化したフィルム状材料を表面に保持した基板１０は、上側加圧ブロック１２と下側加圧ブロック１３との間に挟まれて加圧される。
【００２４】
圧縮空気の圧力は、加圧体２０の内部空間内を全方向にわたって均一に伝わるため、油圧シリンダなど他の駆動手段による加圧に比べ、加圧面全体に均一に圧力をかけることを容易に実現できる。
【００２５】
また、前述したように、加圧体２０が基板１０を加圧する際に発生する加圧力の反力、すなわち基板１０の加圧時に上側および下側加圧ブロック１２、１３から受ける加圧力の反力は、第１の駆動手段に形成された剛性構造によって支持されるので、加圧体２０は比較的大きな力で基板１０を加圧することができる。例えば油圧シリンダ装置での加圧の場合と同等の大きな加圧力を用いることも可能である。
基板１０上で軟化しているフィルム状材料は、加圧面の平滑な加圧板１６、１８に接して加圧されるため、基板１０の凹部や穴内に埋め込まれるようにして基板１０表面に密着し、積層されると同時に、その表面を平坦化される。
【００２６】
加圧体２０による基板１０への加圧は、１回だけ行うようにしてもよいし、真空チャンバ１内を減圧状態に維持したまま繰り返して行うようにしてもよい。　加圧を複数回行う場合は、１回のみの加圧を行う場合に比べ、合計した加圧時間が短かったとしても、基板１０とフィルム状材料との間に、より良好な所望の密着性が得られる傾向があることが判明した。
基板１０にフィルム状材料を密着積層すると同時にフィルム状材料の表面を平坦化した後、加圧体２０の内部空間内の圧縮空気を給排気口３２から排出し、加圧体２０を上下方向に収縮させて加圧を終了する。
その後、下側加圧ブロック１３を第１の駆動手段によって降下させる。
次いで、真空チャンバ１内の減圧状態を解放し、第２の駆動手段（駆動装置７等）によって下側ハウジング部材３を降下させる。これによって基板１０の搬出入用の開口１１が再び形成され、２枚のフィルムベルト２７，２８を走行させることによって基板１０は真空チャンバ１から搬出される。
なお、加圧体に導入する加圧流体は圧縮空気に限定しない。また、給排気口３２から加圧流体を排出し、加圧体２０を収縮させて加圧を終了するタイミングは、真空チャンバ１内の減圧状態を解放した後でもよい。
加圧体２０は、内部空間内の内圧に依存して上下面が可動で上下方向の加圧力を発生させることのできるような構造であればよく、図示したような袋体の形態のほか、ピストンおよびシリンダの組み合わせの形態をとることもできる。
また、加圧体は、上側加圧ブロック１２に設けるようにしてもよいし、上側および下側加圧ブロック１２，１３の双方に設けるようにしてもよい。また、一つの加圧ブロックに複数の加圧体を設けるようにしてもよい。
次に、本発明による真空プレス装置の別の実施例を図６に基づいて説明する。図６は、別実施例の真空プレス装置の側面図であり、一部断面をとっている。本実施例が先の実施例と異なる点は、上側ハウジング部材２と上側加圧ブロック１２、および下側ハウジング部材３と下側加圧ブロック１３を、それぞれ締結一体化することで、上側加圧ブロック１２と下側加圧ブロック１３とを互いに近接および離反させるための第１の駆動手段と、上側ハウジング部材２および下側ハウジング部材３を互いに密封係合および分離するための第２の駆動手段とを共用するようにしたことである。すなわち、上側および下側ハウジング部材２、３の密封係合および分離も、第１の駆動手段によって行われ、第２の駆動手段は省略されている。
この場合であっても、加圧体の上下面が十分に大きな範囲で上下に可動である構造にすれば、加圧体に導入する加圧流体の圧力や流量を制御して加圧体の上下面の可動量を変えることにより、下側加圧ブロック１３と基板１０との距離を適切に調整できるので、先の実施例と同じ効果を得られ、しかも駆動手段が一つで済むのでコストの点で有利である。
また、この実施例では、先の実施例における案内板２３の機能を下側ハウジング部材３が兼ねている。
さらに本実施例では真空チャンバ１を設けたが、真空チャンバ１を設けないプレス装置においても同様の加圧形態は可能である。
【００２７】
【発明の効果】
本発明のプレス装置によれば、加圧流体を内部空間内に導入されることにより上下面が上下方向に可動な加圧体を有する加圧ブロックを利用して基板の加圧を行うことにより、さらには、加圧ブロックを駆動する駆動手段を、真空チャンバを開閉するための駆動手段とは個別に作動可能に設けることにより、真空チャンバ内の排気のタイミングと基板を加熱するタイミングとを任意に変えることが容易であり、また、ヒータを備えた加圧ブロックと基板との距離を適切に調節することができるので、基板表面の凹部および穴部に、気泡を残すことなくフィルム状材料を高い生産性で埋め込むことができる。
【００２８】
また、加圧動作は加圧流体を加圧体に導入することで行うため、油圧シリンダなどに比べ、加圧面の圧力分布を均一にすることが容易であり、さらに油圧ポンプ等が不要となるため装置を小型化することができる。
【００２９】
一方、加圧時には加圧力の反力を剛性構造で支持することができるので、大きな加圧力を利用して基板を加圧することができる。
さらに、加圧面が平滑な板によって構成されているため、基板表面の凹部および穴部に気泡を残すことなくフィルム状材料を埋め込むと同時に、埋め込み後のフィルム材料の表面を平坦にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による真空プレス装置の側面図であり、一部断面をとっている。
【図２】（ａ）は、図１の真空プレス装置の一過程における側面図であり、基板が上下のフィルムベルトによって真空チャンバ内に搬入され、上下加圧ブロックの間に位置付けられた状態を示す。（ｂ）は同様の状態を上下加圧ブロックの拡大側面図で示す。
【図３】（ａ）は、図１の真空プレス装置の一過程における側面図であり、真空チャンバを閉じ、真空チャンバ内部を排気している状態を示す。（ｂ）は同様の状態を上下加圧ブロックの拡大側面図で示す。
【図４】（ａ）は、図１の真空プレス装置の一過程における側面図であり、駆動装置によって下側加圧ブロックを適切な位置に上昇させ、基板を加熱しフィルム状材料を軟化させている状態を示す。（ｂ）は同様の状態を上下加圧ブロックの拡大側面図で示す。
【図５】（ａ）は、図１の真空プレス装置の一過程における側面図であり、下側加圧ブロックに枢着した連結ロッドの上端が上死点となるようにクランク軸を移動させ、加圧体に圧縮空気を導入し、基板を加圧している状態を示す。（ｂ）は同様の状態を上下加圧ブロックの拡大側面図で示す。
【図６】本発明における別の実施例を示した側面図であり、一部断面をとっている。
【符号の説明】
１　真空チャンバ、２　上側ハウジング部材、３　下側ハウジング部材、４　支持ブロック，５　下側支持部材、６　支柱、７　駆動装置、８　案内手段、９封止部材、１０　基板、１１　開口、１２　上側加圧ブロック、１３　下側加圧ブロック、１４　ヒータプレート、１５　断熱材、１６　加圧板、１７　ヒータプレート、１８　加圧板、１９　ロッド、２０　加圧体、２１　断熱材、２２プレート、２３　支持板、２４　案内手段、２５　クランク軸、２６　駆動装置、２７　フィルムベルト、２８　フィルムベルト、２９　フィルムベルト巻出し部、３０　フィルムベルト巻取り部、３１　ローラ、３２　給排気口、３３　封止手段、３４　真空プレス部、３５　ボールネジ、３６　偏心軸、３７連結ロッド、３８　ローラコンベア、３９　回転軸、４０　取り付け軸。
【図１】
2004136354.tif 000003
【図２】
2004136354.tif 000004
【図３】
2004136354.tif 000005
【図４】
2004136354.tif 000006
【図５】
2004136354.tif 000007
【図６】
2004136354.tif 000008