(57)【要約】【課題】本発明は光ディスク原盤の回転に伴う送り方向の振動をうち消す加振を行って、高精度に露光する光ディスク原盤露光装置を提供する。【解決手段】光ディスク原盤露光装置１００は、スライダー１０２の半径方向位置を光学式リニアエンコーダ１１３で検出してスライダーコントローラ１２１でスライダー１０２の動作を制御し、また、スライダー１０２の送り偏差信号を偏差表示器１２４に表示し、回転機構１１５の送り方向振動量を計測部１３１で計測して、計測部１３１から出力され偏差表示器１２４の表示に応じて調整された振れ振動信号Ｓ７の周波数及び位相情報に基づいて移動台１０４の受けた送り方向回転振動伝達力を打ち消す方向の駆動信号Ｓ９を加振器制御部１２５から加振器１２０に出力し、加振器１２０を加振させて、振動を打ち消す。【選択図】　　　　　図３
2004079056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーと、光源から出射され露光用光学系を通過したレーザ光を前記光ディスク原盤に集光させる集光手段と、を備え、前記スライダーにより半径方向に移動されるとともに、前記回転機構により前記集光手段に対向する状態で回転される前記光ディスク原盤に前記光源から出射されたレーザ光を前記露光用光学系及び前記集光手段を介して照射して所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置であって、前記スライダーの半径方向位置を検出する位置検出手段と、当該位置検出手段の検出結果に基づいて前記スライダーの動作を制御するスライダーコントローラと、前記スライダーの送り偏差信号を表示する偏差表示手段と、前記回転機構の送り方向振動量を計測する計測手段と、当該計測手段から出力され前記偏差表示手段の表示に応じて調整された計測結果信号の周波数及び位相情報に基づいて前記移動台の受けた送り方向回転振動伝達力を打ち消す方向の制振信号を出力する加振器制御手段と、当該加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器と、を備えていることを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項２】
前記加振器は、前記加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されていることを特徴とする請求項１記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項３】
光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーと、光源から出射され露光用光学系を通過したレーザ光を前記光ディスク原盤に集光させる集光手段と、を備え、前記スライダーにより半径方向に移動されるとともに、前記回転機構により前記集光手段に対向する状態で回転される前記光ディスク原盤に前記光源から出射されたレーザ光を前記露光用光学系及び前記集光手段を介して照射して所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置であって、前記スライダーの半径方向位置を検出する位置検出手段と、当該位置検出手段の検出結果に基づいて前記スライダーの動作を制御するスライダーコントローラと、前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力を計測する計測手段と、当該計測手段から出力される計測結果信号から前記移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を出力する加振器制御手段と、当該加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器と、を備えていることを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項４】
前記加振器は、前記加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されていることを特徴とする請求項１記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項５】
光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーと、光源から出射され露光用光学系を通過したレーザ光を前記光ディスク原盤に集光させる集光手段と、を備え、前記スライダーにより半径方向に移動されるとともに、前記回転機構により前記集光手段に対向する状態で回転される前記光ディスク原盤に前記光源から出射されたレーザ光を前記露光用光学系及び前記集光手段を介して照射して所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置であって、前記スライダーの半径方向位置を検出する位置検出手段と、当該位置検出手段の検出結果に基づいて前記スライダーの動作を制御するスライダーコントローラと、前記スライダーの送り検出を行う光学式リニアエンコーダと、前記回転機構が回転するときの前記光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を計測する計測手段と、当該計測手段から出力される計測結果信号から前記光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を出力する加振器制御手段と、当該加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器と、を備えていることを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項６】
光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーと、光源から出射され露光用光学系を通過したレーザ光を前記光ディスク原盤に集光させる集光手段と、を備え、前記スライダーにより半径方向に移動されるとともに、前記回転機構により前記集光手段に対向する状態で回転される前記光ディスク原盤に前記光源から出射されたレーザ光を前記露光用光学系及び前記集光手段を介して照射して所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置であって、前記スライダーの半径位置を検出する位置検出手段と、当該位置検出手段の検出結果に基づいて前記スライダーの動作を制御するスライダーコントローラと、前記スライダーの送り検出を行う光学式リニアエンコーダと、前記回転機構が回転するときの前記光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を計測する第１計測手段と、前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力を計測する第２計測手段と、当該第１計測手段と当該第２計測手段から出力される計測結果信号から前記光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力及び前記移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を送出する加振器制御手段と、当該加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器と、を備えていることを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項７】
前記加振器制御手段は、その制御量を力量とする相対的なフィードバック系で構成されていることを特徴とする請求項３から請求項６のいずれかに記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項８】
前記加振器は、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータであり、前記支持バネのバネ定数は、当該加振器の固有角周波数ωｃと使用回転角周波数ωとをω／ωｃが２１／２の近傍になるように設定されていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項９】
前記加振器は、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータであり、当該可動部の質量が前記回転機構に搭載される前記光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定されていることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれかに記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項１０】
前記加振器は、筐体に一方側端部が固定され、他端側端部が前記可動部に固定されている複数のバイモルフ型圧電素子で形成されていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の光ディスク原盤露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク原盤露光装置に関し、詳細には、光ディスク原盤の回転に伴う送り方向の振動をうち消す加振を行って、光ディスク原盤の隣接するトラックの溝間隔を高精度に露光する光ディスク原盤露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時、光学的に情報の再生を行ったり、光学的に情報の再生と記録を行う光ディスクが出現しており、このような光ディスクとしては、例えば、ＣＤ（コンパクトディスク：Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ）、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ　Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ　）、ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ　Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ　）、ＣＤ−ＲＷ（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ　Ｒｅｗｒｉｔａｂｌｅ　）等がある。
【０００３】
このような光ディスク原盤の露光は、隣接するトラックの溝間隔を高精度に露光する必要があり、従来、一般に、例えば、特開平１０−２９３９２８号公報に記載されているように、微小移動手段を介して装置本体に固定されている光を照射するヘッドと、ディスク原盤を支持するターンテーブルが搭載されている移動ステージとを有し、該移動ステージを、装置本体に固定されている移動手段によってターンテーブルの直径方向に移動し、この移動ステージの移動位置に対して微小移動手段によりヘッドの位置を補正して、隣接するトラックの溝間隔を高精度に露光しようとしている。
【０００４】
また、従来、光ディスク原盤のトラックピッチの高精度化を実現するため、マスタリング装置における記録ヘッドを搭載しているスライダー送り系にレーザ干渉系または、高分解能レーザホロスケールを設置し、それらにより該マスタリング装置のスライダー送りムラを検出し、音響光学偏向器によりレーザ光を偏向することで光学的に送りムラを補正する光ディスク原盤加工方法が提案されている（特開平１０−２６１２４５号公報参照）。
【０００５】
さらに、従来、スライダ上に設けられた露光用光学系によって、露光ビームが対物レンズで集光され、対物レンズは、取り付けた第１微動テーブルの位置を微調整する圧電素子が第２微動テーブルに設けられる。対物レンズと対向する位置に光ディスク原盤が配置されており、光ディスク原盤を回転させるターンテーブルが配置されている。そして、スライダの振動と同じ距離だけ、第１微動テーブルを振動方向と逆向きに移動させることにより、スライダの振動を打ち消す構成としている（特開平８−３２９４７６号公報参照）。
【０００６】
また、従来、ターンテーブルの回転中に、ターンテーブルがターンテーブル（光ディスク原盤）の半径方向に振れる現象のうち、ターンテーブルの回転角の位置とは無関係で不規則な量の非同期振れのトラックピッチへの影響を防止する技術として、光ディスク原盤に露光光を照射し前記光ディスク原盤に所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置において、前記光ディスク原盤を保持可能なターンテーブルの半径方向への非同期振れ量を算出する非同期振れ量算出手段と、前記非同期振れ量算出手段からの信号により前記光ディスク原盤に照射される前記露光光の照射位置を調整する調整手段とから構成される光ディスク原盤露光装置が提案されている（特開平９−１９０６５１号公報参照）。
【０００７】
すなわち、この光ディスク原盤露光装置は、具体的には、ターンテーブルの半径方向に非接触にて変位センサーを設け、ターンテーブルの原点パルス信号をトリガとして、予めターンテーブルの各回転位置での振れ量を計測し、各回転角位置ごとの振れ量を平均した平均値をメモリに蓄積する。露光時には測定した振れ量から各回転角の位置に対応する平均値を減算して、非同期振れ量のみを出力し、この出力値で露光光の照射位置を調整手段で補正する。この場合、光ディスク原盤露光装置では、ターンテーブルの各回転角の位置に無関係な非同期振れがリアルタイムに出力できることから、露光中でもトラックピッチの精度に重大な悪影響を及ぼす非同期振れを作業中に直ちに把握でき露光作業を中止することができ、また、露光光の照射位置を補正することで、ターンテーブルの非同期振れによる影響を受けない送り機構としている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の光ディスク原盤露光装置にあっては、光ディスク原盤の隣接するトラックの溝間隔を高精度に露光する上で、なお、改良の必要があった。
【０００９】
すなわち、上記特開平１０−２９３９２８号公報記載の光ディスク原盤露光装置にあっては、微小移動手段を介して装置本体に固定されている光を照射するヘッドと、ディスク原盤を支持するターンテーブルが搭載されている移動ステージを、装置本体に固定されている移動手段によってターンテーブルの直径方向に移動し、この移動ステージの移動位置に対して、光を照射するヘッドの位置を微小移動手段により補正して、隣接するトラックの溝間隔を高精度に露光しようとしている。
【００１０】
ところが、通常、光ディスク原盤は、外径に対して数十μｍ程度偏心しており、数十μｍ程度の偏重心でターンテーブル上に搭載されているため、回転時に働く遠心力により、回転部が振れ回り振動を発生する。したがって、ターンテーブル側面のレーザ照射位置が回転角とともに変化し、正確な送り方向の差分を計測することができず、この不正確な計測信号に基づいて微小移動手段を動作させると、正確な補正動作を行うことができないだけでなく、逆にピッチ変動が発生して露光品質を悪化させるおそれがあった。
【００１１】
また、上記特開平１０−２６１２４５号公報記載の光ディスク原盤加工方法にあっては、レーザ干渉計またはレーザホロスケールを搭載して、送りスライダーの微量な送りムラを検出し、音響光学偏向器による記録レーザの光偏向で送りスライダーの微量な送りムラを光学的に補正している。すなわち、この光ディスク原盤加工方法では、レーザ干渉計または、レーザホロスケールを、送りスライダーの微量な送りムラを検出するために設けている。
【００１２】
ところが、光ディスク原盤上に形成される記録溝のピッチ精度は、ターンテーブルと移動台との相対的な振れによって決定されるため、送りスライダーのみの検出量から送り補正を行っても補正精度が悪く、露光品質を向上させることができないという問題があった。
【００１３】
さらに、特開平８−３２９４７６号公報記載の技術にあっては、摩擦駆動によるスライダの微少振動及び送り系の機械的共振周波数が低いことによる送りサーボゲイン不足によるスライダの微少振動をなくすために、対物レンズを取り付けた第１微動テーブルの位置を微調整する圧電素子を第２微動テーブルに設けて、スライダの振動と同じ距離だけ、第１微動テーブルを振動方向と逆向きに移動させることで、スライダの振動を打ち消すようにしている。
【００１４】
ところが、この従来技術にあっては、上記特開平１０−２６１２４５号公報記載の光ディスク原盤加工方法の場合と同様に、送りスライダーのみの検出量から送り補正を行っているため、補正精度が悪く、露光品質を向上させることができないという問題があった。
【００１５】
また、特開平１０−２９３９２８号公報、特開平１０−２６１２４５号公報及び特開平８−３２９４７６号公報記載の技術にあっては、送り方向の補正機構として光学ヘッド先端あるいは光学ヘッド筐体にピエゾアクチュエータを取り付けているため、構造が複雑で、組立調整が困難であり、また、機械剛性が低下し、送り系のサーボゲインを高く設定することができず、制御上不都合が発生するという問題があった。
【００１６】
そこで、請求項１記載の発明は、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出し、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、スライダーの送り偏差信号を偏差表示手段に表示して、回転機構の送り方向振動量を計測手段で計測し、当該計測手段から出力され偏差表示手段の表示に応じて調整された計測結果信号の周波数及び位相情報に基づいて移動台の受けた送り方向回転振動伝達力を打ち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力し、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振することにより、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消し、送り精度を向上させて、露光品質を向上させることのできる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００１７】
請求項２記載の発明は、加振器を、加振器制御手段からの制振信号で駆動して、移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものとすることにより、加振器の取付調整を容易なものとし、より一層送り精度を向上させて、より一層露光品質を向上させることができるとともに安価な光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００１８】
請求項３記載の発明は、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力を計測手段で計測して、当該計測手段から出力される計測結果信号から移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力し、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振することにより、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消し、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることのできる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００１９】
請求項４記載の発明は、加振器を、加振器制御手段からの制振信号で駆動して、移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものとすることにより、加振器の取付調整を容易なものとし、より一層送り精度を向上させて、より一層露光品質を向上させることができるとともに安価な光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００２０】
請求項５記載の発明は、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、当該スライダーの送り検出を光学式リニアエンコーダで行って、回転機構が回転するときの光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を計測手段で計測し、当該計測手段から出力される計測結果信号から光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力して、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振することにより、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消し、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることのできる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００２１】
請求項６記載の発明は、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、当該スライダーの送り検出を光学式リニアエンコーダで行って、回転機構が回転するときの光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を第１計測手段で計測し、また、回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力を第２計測手段で計測し、当該第１計測手段と当該第２計測手段から出力される計測結果信号から光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力及び移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で送出して、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振することにより、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動、振動伝達経路の違いに起因する送り方向の振動成分（位相の異なる相対振動成分）及び外乱振動の送り方向成分を打ち消し、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることのできる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００２２】
請求項７記載の発明は、加振器制御手段を、その制御量を力量とする相対的なフィードバック系で構成することにより、制御系内の構成要素特性を全て線形として扱えるようにし、移動台の振動抑制を簡単かつ高精度に行って、より一層露光品質を向上させることのできる安価な光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００２３】
請求項８記載の発明は、加振器を、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータとし、支持バネのバネ定数を、当該加振器の固有角周波数ωｃと使用回転角周波数ωとをω／ωｃが２１／２の近傍になるように設定することにより、加振器を軽量化して、光ディスク原盤露光装置の組立調整を容易なものとし、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００２４】
請求項９記載の発明は、加振器を、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータとし、当該可動部の質量が回転機構に搭載される光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定することにより、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとし、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００２５】
請求項１０記載の発明は、加振器を、筐体に一方側端部が固定され、他端側端部が前記可動部に固定されている複数のバイモルフ型圧電素子で形成されているものとすることにより、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとし、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させる光ディスク原盤露光装置を提供することを目的としている。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明の光ディスク原盤露光装置は、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーと、光源から出射され露光用光学系を通過したレーザ光を前記光ディスク原盤に集光させる集光手段と、を備え、前記スライダーにより半径方向に移動されるとともに、前記回転機構により前記集光手段に対向する状態で回転される前記光ディスク原盤に前記光源から出射されたレーザ光を前記露光用光学系及び前記集光手段を介して照射して所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置であって、前記スライダーの半径方向位置を検出する位置検出手段と、当該位置検出手段の検出結果に基づいて前記スライダーの動作を制御するスライダーコントローラと、前記スライダーの送り偏差信号を表示する偏差表示手段と、前記回転機構の送り方向振動量を計測する計測手段と、当該計測手段から出力され前記偏差表示手段の表示に応じて調整された計測結果信号の周波数及び位相情報に基づいて前記移動台の受けた送り方向回転振動伝達力を打ち消す方向の制振信号を出力する加振器制御手段と、当該加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器と、を備えていることにより、上記目的を達成している。
【００２７】
上記構成によれば、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出し、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、スライダーの送り偏差信号を偏差表示手段に表示して、回転機構の送り方向振動量を計測手段で計測し、当該計測手段から出力され偏差表示手段の表示に応じて調整された計測結果信号の周波数及び位相情報に基づいて移動台の受けた送り方向回転振動伝達力を打ち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力し、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振するので、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消すことができ、送り精度を向上させて、露光品質を向上させることができる。
【００２８】
この場合、例えば、請求項２に記載するように、前記加振器は、前記加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものであってもよい。
【００２９】
上記構成によれば、加振器を、加振器制御手段からの制振信号で駆動して、移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものとしているので、加振器の取付調整を容易なものとすることができ、より一層送り精度を向上させて、より一層露光品質を向上させることができるとともに光ディスク原盤露光装置を安価なものとすることができる。
【００３０】
請求項３記載の発明の光ディスク原盤露光装置は、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーと、光源から出射され露光用光学系を通過したレーザ光を前記光ディスク原盤に集光させる集光手段と、を備え、前記スライダーにより半径方向に移動されるとともに、前記回転機構により前記集光手段に対向する状態で回転される前記光ディスク原盤に前記光源から出射されたレーザ光を前記露光用光学系及び前記集光手段を介して照射して所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置であって、前記スライダーの半径方向位置を検出する位置検出手段と、当該位置検出手段の検出結果に基づいて前記スライダーの動作を制御するスライダーコントローラと、前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力を計測する計測手段と、当該計測手段から出力される計測結果信号から前記移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を出力する加振器制御手段と、当該加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器と、を備えていることにより、上記目的を達成している。
【００３１】
上記構成によれば、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力を計測手段で計測して、当該計測手段から出力される計測結果信号から移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力し、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振するので、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【００３２】
この場合、例えば、請求項４に記載するように、前記加振器は、前記加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものであってもよい。
【００３３】
上記構成によれば、加振器を、加振器制御手段からの制振信号で駆動して、移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものとしているので、加振器の取付調整を容易なものとすることができ、より一層送り精度を向上させて、より一層露光品質を向上させることができるとともに光ディスク原盤露光装置を安価なものとすることができる。
【００３４】
請求項５記載の発明の光ディスク原盤露光装置は、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーと、光源から出射され露光用光学系を通過したレーザ光を前記光ディスク原盤に集光させる集光手段と、を備え、前記スライダーにより半径方向に移動されるとともに、前記回転機構により前記集光手段に対向する状態で回転される前記光ディスク原盤に前記光源から出射されたレーザ光を前記露光用光学系及び前記集光手段を介して照射して所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置であって、前記スライダーの半径方向位置を検出する位置検出手段と、当該位置検出手段の検出結果に基づいて前記スライダーの動作を制御するスライダーコントローラと、前記スライダーの送り検出を行う光学式リニアエンコーダと、前記回転機構が回転するときの前記光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を計測する計測手段と、当該計測手段から出力される計測結果信号から前記光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を出力する加振器制御手段と、当該加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器と、を備えていることにより、上記目的を達成している。
【００３５】
上記構成によれば、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、当該スライダーの送り検出を光学式リニアエンコーダで行って、回転機構が回転するときの光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を計測手段で計測し、当該計測手段から出力される計測結果信号から光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力して、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振するので、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【００３６】
請求項６記載の発明の光ディスク原盤露光装置は、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーと、光源から出射され露光用光学系を通過したレーザ光を前記光ディスク原盤に集光させる集光手段と、を備え、前記スライダーにより半径方向に移動されるとともに、前記回転機構により前記集光手段に対向する状態で回転される前記光ディスク原盤に前記光源から出射されたレーザ光を前記露光用光学系及び前記集光手段を介して照射して所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置であって、前記スライダーの半径位置を検出する位置検出手段と、当該位置検出手段の検出結果に基づいて前記スライダーの動作を制御するスライダーコントローラと、前記スライダーの送り検出を行う光学式リニアエンコーダと、前記回転機構が回転するときの前記光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を計測する第１計測手段と、前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力を計測する第２計測手段と、当該第１計測手段と当該第２計測手段から出力される計測結果信号から前記光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力及び前記移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を送出する加振器制御手段と、当該加振器制御手段からの制振信号で駆動して、前記移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が前記回転機構が回転するときの前記移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器と、を備えていることにより、上記目的を達成している。
【００３７】
上記構成によれば、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、当該スライダーの送り検出を光学式リニアエンコーダで行って、回転機構が回転するときの光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を第１計測手段で計測し、また、回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力を第２計測手段で計測し、当該第１計測手段と当該第２計測手段から出力される計測結果信号から光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力及び移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で送出して、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振するので、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動、振動伝達経路の違いに起因する送り方向の振動成分（位相の異なる相対振動成分）及び外乱振動の送り方向成分を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させることができるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【００３８】
上記請求項３から請求項６の場合において、例えば、請求項７に記載するように、前記加振器制御手段は、その制御量を力量とする相対的なフィードバック系で構成されていてもよい。
【００３９】
上記構成によれば、加振器制御手段を、その制御量を力量とする相対的なフィードバック系で構成しているので、制御系内の構成要素特性を全て線形として扱えるようにすることができ、移動台の振動抑制を簡単かつ高精度に行って、より一層露光品質を向上させることができる。
【００４０】
また、例えば、請求項８に記載するように、前記加振器は、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータであり、前記支持バネのバネ定数は、当該加振器の固有角周波数ωｃと使用回転角周波数ωとをω／ωｃが２１／２の近傍になるように設定されているものであってもよい。
【００４１】
上記構成によれば、加振器を、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータとし、支持バネのバネ定数を、当該加振器の固有角周波数ωｃと使用回転角周波数ωとをω／ωｃが２１／２の近傍になるように設定しているので、加振器を軽量化して、光ディスク原盤露光装置の組立調整を容易なものとすることができ、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させることができる。
【００４２】
さらに、例えば、請求項９に記載するように、前記加振器は、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータであり、当該可動部の質量が前記回転機構に搭載される前記光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定されているものであってもよい。
【００４３】
上記構成によれば、加振器を、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータとし、当該可動部の質量が回転機構に搭載される光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定しているので、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとすることができ、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させることができる。
【００４４】
また、例えば、請求項１０に記載するように、前記加振器は、筐体に一方側端部が固定され、他端側端部が前記可動部に固定されている複数のバイモルフ型圧電素子で形成されているものであってもよい。
【００４５】
上記構成によれば、加振器を、筐体に一方側端部が固定され、他端側端部が前記可動部に固定されている複数のバイモルフ型圧電素子で形成されているものとしているので、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとすることができ、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させることができる。
【００４６】
【発明の実施の形態】
続いて、光ディスク原盤露光装置７００は、コントローラ１２３が、送り動作開始指令信号Ｓ３をスライダーコントローラ１２１に出力し、また、動作開始信号Ｓ４をスピンドルコントローラ１２２に出力し、コントローラ１２３が送り動作開始指令信号Ｓ３及び動作開始信号Ｓ４を出力することで、回転動作が開始し、回転動作が開始すると、回転部の触れ回り振動による送り方向伝達力を、上記第３の実施の形態、第４の実施の形態、第５の実施の形態の場合と同様にキャンセルし、また、回転機構１１５が回転することによって生じる送り方向伝達力によって移動台１０４が加振され、スライダー１０２及びガイド１０３を伝達媒体とすることに起因する振動位相と大きさに歪みを生じた計測部６０１への送り方向伝達力についてもキャンセルするように動作する。
【００４７】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００４８】
図１〜図４は、本発明の光ディスク原盤露光装置の第１の実施の形態を示す図であり、図１は、本発明の光ディスク原盤露光装置の第１の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置１００の平面図、図２は、図１の光ディスク原盤露光装置１００の正面図、図３は、図１の光ディスク原盤露光装置１００のＡ−Ａ矢視断面図である。
【００４９】
図１〜図３において、光ディスク原盤露光装置１００は、基台１０１上にスライダー１０２のガイド１０３が固着されており、基台１０１は、図示しない除振機構（例えば、空気圧によるサーボマウンタ）上に設けられている。スライダー１０２は、外部より供給される圧縮空気により静圧浮上し、スライダー１０２の上面には移動台１０４が固着されている。基台１０１には、光学台１０５の下端部が固定されており、光学台１０５の上端部には、レーザ光源１０６、露光用光学系１０７、上部に設けた折り返しミラー１０８が設けられていて、光学台１０５の側端側に、露光用光学系１０７から導かれた照射ビーム１０９を集光する集光部（集光手段）１１０が固着されている。
【００５０】
上記レーザ光源１０６は、露光用光学系１０７に向かって露光用のレーザ光１０９を出射し、露光用光学系１０７は、レーザ光源１０６から出射されたレーザ光１０９を折り返しミラー１０８に照射して、折り返しミラー１０８で集光部１１０に入射させる。集光部１１０は、例えば、高開口数（ＮＡ≧０．９）を有する対物レンズを搭載したボイスコイルアクチュエータで構成されている。
【００５１】
一方、上記スライダー１０２の下部には、移動台１０４の送り方向の位置を計測する受光部１１１とスケール１１２から構成されスライダー１０２の半径方向位置を検出する光学式リニアエンコーダ（位置検出手段）１１３が設けられている。なお、本実施の形態の光学式リニアエンコーダ１１３は、スケール１１２がスライダー１０２に固定され、受光部１１１が基台１０１に固定されているが、受光部１１１をスライダー１０２に固定し、　スケール１１２を基台１０１に固定してもよい。
【００５２】
さらに、図３に示すように、移動台１０４の穴部には、集光部１１０に対向して光ディスク原盤１１４を吸着固定可能な回転機構１１５が固定されており、回転機構１１５は、ターンテーブル１１６、外部より供給される圧縮空気によりスラスト、ラジアル方向に静圧浮上して回転自在なスピンドル１１７、ＡＣ同期モータ１１８及び回転角度を検出する光学式ロータリーエンコーダ１１９を備えている。
【００５３】
光学式ロータリーエンコーダ１１９は、ＡＣ同期モータ１１８の回転角度を検出し、一周を数千等分割したＡ相、Ｂ相パルスと一周に１回発生するＺ相パルスからなる回転角度検出信号Ｓ１を出力する。
【００５４】
また、移動台１０４の上面の当該移動台１０４に対して鉛直方向に延びた支持部１０４ａには、図４に示す加振器１２０が固定されており、加振器１２０は、その動作軸２２が移動台１０４の送り方向に平行で、振動伝達力作用点Ｂが回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ａ（図２参照）と同一平面上で距離Ｌ（図１参照）だけ離間した状態で固定されている。加振器１２０の振動伝達力作用点Ｂと回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ａを同一平面上に設けることにより、移動台１０４に対してピッチング方向振動（紙面の回転方向振動）を誘起する振動伝達力を加えないように構成されている。なお、この移動台１０４のピッチング方向振動は、光ディスク原盤１１４に露光形成するトラックピッチ精度に影響を及ぼす。
【００５５】
加振器１２０は、図４にその断面図を示すように、加振方向に磁極構成されたリング状の永久磁石２０１に、中空フランジ状の第１継鉄２０２とリング状の第２継鉄２０３が固着されて、軸芯が一致するように筐体２０４に固着されており、加振器１２０の中心部には、可動部２０５が配設されている。可動部２０５の外周部には、駆動コイル２０６が巻回されており、可動部２０５の両端部には、支持バネ２０７の内周側が固着されていて、支持バネ２０７の外周部は、筐体２０４に固定されている。加振器１２０は、駆動コイル２０６が、中空フランジ状の第１継鉄２０２とリング状の第２継鉄２０３によって形成される磁気ギャップに配置されたコイル移動型のボイスコイルアクチュエータであり、図示しないコイル端部からの通電により、動作軸２０８の方向に移動自在となっている。
【００５６】
再び、図１〜図３において、光ディスク原盤露光装置１００は、スライダーコントローラ１２１、スピンドルコントローラ１２２、コントローラ１２３、偏差表示器（偏差表示手段）１２４及び加振器制御部（加振器制御手段）１２５等を備えており、コントローラ１２３は、スライダーコントローラ１２１、スピンドルコントローラ１２２及び加振器制御部１２５の動作を制御して光ディスク原盤露光装置１００としての処理を行わせる。
【００５７】
スライダーコントローラ１２１には、上記スライダー１０２の半径方向位置を検出する光学式リニアエンコーダ１１３の受光部１１１から位置検出信号Ｓ２が入力されるとともに、スピンドルコントローラ１２２から光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚが入力され、スライダーコントローラ１２１は、コントローラ１２３から入力される送り動作開始指令信号Ｓ３により制御動作を開始して、これら光学式リニアエンコーダ１１３の位置検出信号Ｓ２と光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚに基づいて、スライダー１０２の駆動部、例えば、ＤＣリニアモータ等の駆動を制御する。
【００５８】
スピンドルコントローラ１２２には、上記光学式ロータリーエンコーダ１１９から回転角度検出信号Ｓ１が入力され、スピンドルコントローラ１２２は、コントローラ１２３からの動作開始信号Ｓ４により制御動作を開始して、この光学式ロータリーエンコーダ１１９からの回転角度検出信号Ｓ１に基づいて、ＡＣ同期モータ１１８の回転制御を行うとともに、光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚをスライダーコントローラ１２１に出力する。スピンドルコントローラ１２２が光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚをスライダーコントローラ１２１に出力することから、送り動作と回転動作の協調を図ることができる。
【００５９】
また、上記スライダーコントローラ１２１は、送り駆動モータ１２６に接続されており、動作出力信号Ｓ５を送り駆動モータ１２６に出力する。送り駆動モータ１２６は、基台１０１に固定された第１軸受ハウジング１２７に固定されており、第１軸受ハウジング１２７の内部には、例えば、アンギュラ玉軸受等の軸受が設けられている。この第１軸受ハウジング１２７は、その軸受を介してボールネジ１２８の一方側端部を支持していおり、ボールネジ１２８の他端部は、基台１０１に固定されて、例えば、深溝玉軸受等の設けられた第２軸受ハウジング１２９に支持されている。
【００６０】
また、ボールネジ１２８のナットは、支持板１３０に固定されており、支持板１３０は、移動台１０４の下部に固定されている。
【００６１】
また、ターンテーブル１１６に載置された光ディスク原盤１１４の外周面に対向して、送り方向の回転部の振れ（回転振動）を計測する計測部（計測手段）１３１が配設されており、計測部１３１としては、例えば、静電容量型の計測部１３１が用いられている。計測部１３１は、取付板１３２を介して移動台１０４に固定されている。
【００６２】
上記スライダーコントローラ１２１は、送り指令信号である動作出力信号Ｓ５と位置検出信号Ｓ２との差である送り偏差信号Ｓ６を偏差表示器１２７に出力し、偏差表示器１２７で目視することができるようになっている。
【００６３】
加振器制御部１２５は、増幅器１３３、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）１３４、振幅調整器１３５、スイッチ１３６及び駆動回路１３７等を備えており、増幅器１３３に計測部１３１の検出した回転機構１１５の回転部の振れ（回転振動）の検出信号である正弦波状の振れ振動信号Ｓ７が入力される。増幅器１３３は、入力される振れ振動信号Ｓ７を増幅してＬＰＦ１３４に出力し、ＬＰＦ１３４は、所定のカットオフ周波数（例えば、カットオフ周波数：数ＫＨｚ程度）以上の周波数の振れ振動信号Ｓ７をカットしてノイズを除去した当該カットオフ周波数よりも低い周波数の振れ振動信号Ｓ７のみを振動調整器１３５に出力する。振動調整器１３５は、ＬＰＦ１３４から入力される振れ振動信号Ｓ７を所望の信号振幅に調整して、スイッチ１３６に出力する。スイッチ１３６は、コントローラ１２３からのオン／オフ信号Ｓ８に応じて開閉動作し、振幅調整器１３５と駆動回路１３７との接続／切り離しを行う。スイッチ１３６がオンして振幅調整器１３５を駆動回路１３７に接続すると、振幅調整器１３５から振れ振動信号Ｓ７が駆動回路１３７に入力され、駆動回路１３７は、この振れ振動信号Ｓ７に基づいて駆動信号（制振信号）Ｓ９を加振器１２０に出力する。
【００６４】
次に、本実施の形態の作用を説明する。本実施の形態の光ディスク原盤露光装置１００は、回転機構１１５の回転部の送り方向振動量を計測部１３１で計測して、計測部１３１から出力される振れ振動信号Ｓ７の周波数及び位相情報に基づいて、加振器制御部１２５から移動台１０４の受けた送り方向回転振動伝達力を打ち消す方向の信号を、送り方向に加振自在でかつその振動伝達力作用点が回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上とする加振器１２０に送出して、当該送り方向伝達力をうち消す加振を加振器１２０に起こさせ、振動源となる光ディスク原盤１１４が偏芯して吸着されている場合に発生する回転時の振れ回り振動の送り方向成分を抑制し、送り精度を向上させて、露光品質を向上させるところにその特徴がある。
【００６５】
すなわち、光ディスク原盤露光装置１００は、ターンテーブル１１６上に載置された光ディスク原盤１１４の外周面に対向して送り方向の回転部の振れ（回転振動）を計測する計測部１３１が、取付板１３２を介して移動台１０４に固定されており、計測部１３１としては、例えば、静電容量型の非接触変位センサ等が用いられて、検出した振れ振動信号Ｓ７を加振器制御部１２５の増幅器１３３に出力する。増幅器１３３は、計測部１３１から入力される振れ振動信号Ｓ７を増幅してＬＰＦ１３４に出力し、ＬＰＦ１３４は、所定のカットオフ周波数以上の周波数の振れ振動信号Ｓ７をカットしてノイズを除去した当該カットオフ周波数よりも低い周波数の振れ振動信号Ｓ７のみを振動調整器１３５に出力する。振動調整器１３５は、ＬＰＦ１３４から入力される振れ振動信号Ｓ７を所望の信号振幅に調整して、スイッチ１３６に出力し、スイッチ１３６は、コントローラ１２３からのオン／オフ信号Ｓ８に応じて開閉動作して、振幅調整器１３５と駆動回路１３７との接続／切り離しを行う。スイッチ１３６がオンして振幅調整器１３５を駆動回路１３７に接続すると、振幅調整器１３５から振れ振動信号Ｓ７が駆動回路１３７に入力され、駆動回路１３７は、この振れ振動信号Ｓ７に基づいて駆動信号Ｓ９を加振器１２０に出力する。
【００６６】
そして、光ディスク原盤１１４の露光においては、回転数を一定とした移動台１０４と回転機構１１５の協調送り動作であるＣＡＶ回転送り駆動と、線速度を一定とした協調送り動作であるＣＬＶ送り動作がある。
【００６７】
まず、最初に、ＣＡＶ回転送り駆動の場合について説明する。光ディスク原盤露光装置１００は、回転送り動作を開始する前に、コントローラ１２３からオンのオン／オフ信号Ｓ８を加振器制御部１２５のスイッチ１３６に出力し、スイッチ１３６をオンにして、加振器制御部１２５の制御を開始させる。
【００６８】
次に、例えば、内周側から露光動作を行う場合、光ディスク原盤露光装置１００は、最初に移動台１０４を所望の内径位置へ移動させた後、ターンテーブル１１６上にある偏重芯数十μｍ程度で吸着固定させた光ディスク原盤１１４を所望の一定回転数にて回転を開始し、このとき、コントローラ１２３の送り動作開始指令信号Ｓ３をオフ（ＯＦＦ）にして、移動台１０４の送り動作を一時停止する。光ディスク原盤露光装置１００は、光ディスク原盤１１４が所望の一定回転数で回転を開始すると、回転部である回転機構１１５全体が振れ回り振動を発生する。このときの各信号は、図５（ａ）〜（ｄ）のように示され、図５において、図中の右方向、左方向は、図２及び図３における右方向及び左方向を示している。図５（ａ）は、計測部１３１からの振れ振動信号Ｓ７を増幅した増幅器１３３の出力信号を示しており、正弦波状の振れ振動信号である。図５（ｂ）は、図５（ａ）の振れ振動信号から制御に必要な周波数成分のみを取り出す（例えば、カットオフ周波数数ｋＨｚ程度）ＬＰＦ１３４を通過した信号で、高周波成分が取り除かれた正弦波状の振れ振動信号である。また、このときの送り偏差信号Ｓ６は、偏差表示器１２７において、図５（ｄ）に示すように、図５（ｂ）の振れ振動信号とは逆位相となる。これは、偏重芯数十μｍ程度で吸着固定された光ディスク原盤１１４に遠心力が作用して発生した回転振動の伝達力が、作用点Ａで移動台１０４に計測部１３１の出力信号と同位相で伝達され、移動台１０４が回転周波数と同じ周波数で振動する。
【００６９】
光学式リニアエンコーダの受光部１１１は、基台１０１に固定されているため、移動台１０４の送り制御が、回転振動方向と逆方向に影響を受けるため、送り偏差信号Ｓ６は、計測部１３１の出力信号と逆相となる。したがって、位相情報と周波数情報を有する計測部１３１の振れ振動信号を加工したＬＰＦ１３４の信号を所望の信号振幅に調整する振幅調整器１３５と駆動回路１３７を介して、図５（ｃ）に示すような動作を行う送り偏差振幅信号Ｓ８を、加振器１２０に対して出力するとともに、偏差表示器１２７を参照して、図示しない振幅調整器１３５の調整ボリューム等を作業者が手動で調整することにより、移動台１０４の送り方向振動をキャンセルすることができる。
【００７０】
振幅調整器１３５の調整ボリューム等を手動で調整した後、コントローラ１２３の送り動作開始指令信号Ｓ３をオン（ＯＮ）してスライダー１０２の送り動作を開始させる。
【００７１】
そして、ＣＡＶ回転送り駆動の場合は、光ディスク原盤１１４の搭載毎に取付偏重芯が異なるため、その都度、振幅調整器１３５の調整を露光動作前に１回のみ行う必要がある。
【００７２】
次に、線速度を一定とした協調送り動作であるＣＬＶ送り動作の場合を説明する。ＣＬＶ送り動作の場合、移動台１０４の半径位置に従って、以下の数式に示すように、回転機構１１５の回転数を変化させる必要がある。
【００７３】
Ｎ＝６０×Ｖ／（２×π×ｒ）
Ｎ：回転数（ｒｐｍ）、Ｖ：線速度（ｍ／ｓ）、ｒ：半径位置（ｍ）
そして、光ディスク原盤露光装置１００は、回転送り動作を開始する前に、コントローラ１２３からオン（ＯＮ）信号Ｓ８をスイッチ１３６に送出し、スイッチ１３６をオンさせて、加振器制御部１２５による加振器１２０のサーボ制御を開始させる。次に、コントローラ１２３は、送り動作開始指令信号Ｓ３をスライダーコントローラ１２１に出力し、また、動作開始信号Ｓ４をスピンドルコントローラ１２２に出力し、コントローラ１２３が送り動作開始指令信号Ｓ３及び動作開始信号Ｓ４を出力することで、例えば、内周側から露光動作を行う場合、最初に移動台１０４が所望の内径位置へ移動した後、ターンテーブル１１６上にある偏重芯数十μｍ程度で吸着固定させた光ディスク原盤１１４をその半径位置で必要な回転数により回転を開始させる。このとき、コントローラ１２３からスライダーコントローラ１２１に出力する送り動作開始指令信号Ｓ３をオフ（ＯＦＦ）にして、移動台１０４の送り動作を一時停止し、上記ＣＡＶ送りの場合と同様に、移動台１０４の送り方向振動をキャンセルするように、振幅調整器１３５の調整を行う。
【００７４】
次に、コントローラ１２３からスライダーコントローラ１２１に出力する送り動作開始指令信号Ｓ３をオン（ＯＮ）して、移動台１０４の送り動作を開始するとともに、作業者が偏差表示器１２７を参照して、図示しない振幅調整器１３５の調整ボリューム等を手動で逐次調整することにより、移動台１０４の送り方向振動をキャンセルする。
【００７５】
このように、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置１００は、光ディスク原盤１１４を搭載する回転機構１１５の取り付けられている移動台１０４が固定され当該光ディスク原盤１１４の半径方向に移動可能に基台１０１に取り付けられているスライダー１０２により半径方向に移動されるとともに、回転機構１１５により集光部１１０に対向する状態で回転される光ディスク原盤１１４に、レーザ光源１０６から出射されたレーザ光１０９を露光用光学系１０７及び集光部１１０を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダー１０２の半径方向位置を位置検出手段である光学式リニアエンコーダ１１３で検出し、当該光学式リニアエンコーダ１１３の検出結果に基づいてスライダーコントローラ１２１でスライダー１０２の動作を制御し、スライダー１０２の送り偏差信号を偏差表示器１２４に表示して、回転機構１１５の送り方向振動量を計測部１３１で計測し、当該計測部１３１から出力され偏差表示器１２４の表示に応じて調整された計測結果信号の周波数及び位相情報に基づいて移動台１０４の受けた送り方向回転振動伝達力を打ち消す方向の制振信号を加振器制御部１２５で出力し、当該加振器制御部１２５からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器１２０を、移動台１０４の受ける送り方向に加振している。
【００７６】
したがって、振動源となる回転機構１１５に光ディスク原盤１１４が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台１０４に対する送り方向振動を打ち消すことができ、送り精度を向上させて、露光品質を向上させることができる。
【００７７】
図６及び図７は、本発明の光ディスク原盤露光装置の第２の実施の形態を示す図であり、図６は、本発明の光ディスク原盤露光装置の第２の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置３００の平面図、図７は、図６の光ディスク原盤露光装置３００のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【００７８】
なお、本実施の形態は、上記第１の実施の形態と同様の光ディスク原盤露光装置に適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７９】
本実施の形態の光ディスク原盤露光装置３００は、加振器１２０の動作軸２０８（図４参照）が移動台１０４の送り方向に略平行で、振動伝達力作用点Ｂが回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ａと同一平面上でかつ同一直線上になるように設けている。
【００８０】
すなわち、上記第１の実施の形態の光ディスク原盤露光装置１００は、加振器１２０をその動作軸２０８が移動台１０４の送り方向に平行で、振動伝達力作用点Ｂが回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ａと同一平面上で距離Ｌだけ離間して加振器１２０を設けている。そして、移動台１０４の送り方向振動のキャンセル原理は、回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ａに生じる振動伝達力と加振器１２０を振動させることによる振動伝達力作用点Ｂでの振動伝達力との打ち消し合いであることから、この場合、加振器１２０の振動伝達力の方向が、作用点Ａに生じる振動伝達力と厳密平行に設けられないと、移動台１０４に対してヨーイング方向（紙面直角方向）の振動を誘起する伝達力成分が発生して、光ディスク原盤１１４に露光形成するトラックピッチの円周方向精度に影響を及ぼし、加振器１２０の取付調整等が困難となるおそれがある。
【００８１】
そこで、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置３００は、図６及び図７に示すように、加振器１２０の動作軸２０８（図４参照）が、移動台１０４の送り方向に略平行で、振動伝達力作用点Ｂが回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ａと同一平面上でかつ同一直線上になるように設けられている。
【００８２】
この場合、２つの振動伝達力間距離をほぼなくすことができ、２つの振動伝達力の作用方向に多少くるいがあっても、移動台１０４に対する回転モーメント力を小さくすることができる。
【００８３】
したがって、加振器１２０の取付が多少粗雑であっても、移動台１０４に対するヨーイング方向（紙面直角方向）の振動に誘起する伝達力成分の影響を小さくすることができる。
【００８４】
このように、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置３００は、加振器１２０を、加振器制御部１２５からの制振信号で駆動して、移動台１０４の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものとしている。
【００８５】
したがって、加振器１２０の取付調整を容易なものとすることができ、より一層送り精度を向上させて、より一層露光品質を向上させることができるとともに光ディスク原盤露光装置３００を安価なものとすることができる。
【００８６】
図８〜図１２は、本発明の光ディスク原盤露光装置の第３の実施の形態を示す図であり、図８は、本発明の光ディスク原盤露光装置の第３の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置４００の平面図、図９は、図８の光ディスク原盤露光装置４００のＣ−Ｃ矢視断面図である。
【００８７】
なお、本実施の形態は、上記第１の実施の形態と同様の光ディスク原盤露光装置に適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第１の実施の形態と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８８】
本実施の形態の光ディスク原盤露光装置４００は、作業者を介在させずに、ＣＡＶ送り動作及びＣＬＶ送り動作を行うものである。
【００８９】
すなわち、上記第１の実施の形態及び第２の実施の形態においては、ＣＡＶ送り動作の場合には、作業者が偏差表示器１２７を参照して光ディスク原盤１１４の搭載毎に振幅調整器１３５の調整を露光動作前に１回のみ行い、また、ＣＬＶ送り動作の場合には、作業者が偏差表示器１２７を参照して振幅調整器１３５の調整ボリューム等を露光中も手動で逐次調整している。
【００９０】
この場合、作業者の作業速度に限界があるため、高速露光等には対応できなくなるとともに、露光中に作業者が介在すると、光ディスク原盤１１４への粉塵付着等も問題となる。
【００９１】
そこで、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置４００は、移動台１０４の切欠き部に設けられた回転機構１１５のＡＣ同期モータ１１８部分に、計測部（計測手段）４０１が配設されており、計測部４０１は、例えば、ロードセル等で構成されて、送り方向伝達力を計測する。また、回転機構１１５は、そのＡＣ同期モータ１１８部分が予圧ブロック４０２を介して固定ネジ４０３により移動台１０４に固定されており、予圧ブロック４０２は、計測部４０１に対しても予圧を付与する。
【００９２】
また、移動台１０４の右側凹部の支持部１０４ａには、加振器１２０が固定されており、加振器１２０は、その動作軸２０８（図４参照）が移動台１０４の送り方向に平行で、振動伝達力作用点Ｄが回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ｃと同一平面上で、かつ、距離Ｌ’だけ離間する状態で固定されている。
【００９３】
したがって、加振器１２０の振動伝達力作用点Ｄと回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ｃが同一平面上に位置し、移動台１０４に対して、ピッチング方向振動（紙面の回転方向振動）を誘起する振動伝達力を誘起する振動伝達力を加えないように構成されている。
【００９４】
また、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置４００は、図９に示すように、上記第１の実施の形態と同様のスライダーコントローラ１２１、スピンドルコントローラ１２２及びコントローラ１２３を備えているとともに、加振器制御部４０４等を備えており、上記第１の実施の形態及び第２の実施の形態の偏差表示器１２７はスライダーコントローラ１２１には接続されていない。
【００９５】
スライダーコントローラ１２１には、上記半径位置を検出する光学式リニアエンコーダ（位置検出手段）１１３の受光部１１１から位置検出信号Ｓ２が入力されるとともに、スピンドルコントローラ１２２から光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚが入力され、スライダーコントローラ１２１は、コントローラ１２３から入力される送り動作開始指令信号Ｓ３により制御動作を開始して、これら光学式リニアエンコーダ１１３の位置検出信号Ｓ２と光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚに基づいて、スライダー１０２の駆動部、例えば、ＤＣリニアモータ等の駆動を制御する。
【００９６】
スピンドルコントローラ１２２には、上記光学式ロータリーエンコーダ１１９から回転角度検出信号Ｓ１が入力され、スピンドルコントローラ１２２は、コントローラ１２３からの動作開始信号Ｓ４により制御動作を開始して、この光学式ロータリーエンコーダ１１９からの回転角度検出信号Ｓ１に基づいて、ＡＣ同期モータ１１８の回転制御を行うとともに、光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚをスライダーコントローラ１２１に出力する。スピンドルコントローラ１２２が光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚをスライダーコントローラ１２１に出力することから、送り動作と回転動作の協調を図ることができる。
【００９７】
また、上記スライダーコントローラ１２１は、送り駆動モータ１２６に接続されており、動作出力信号Ｓ５を送り駆動モータ１２６に出力する。
【００９８】
加振器制御部（加振器制御手段）４０４は、増幅器４０５、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）４０６、補償回路４０７、ゲイン調整器４０８、スイッチ４０９及び駆動回路４１０等を備えており、増幅器４０５に計測部４０１の検出した回転部の振れ（回転振動）の検出信号である正弦波状の振れ振動信号Ｓ１１が入力される。増幅器４０５は、入力される振れ振動信号Ｓ１１を増幅してＬＰＦ４０６に出力し、ＬＰＦ４０６は、所定のカットオフ周波数（例えば、カットオフ周波数：数ＫＨｚ程度）以上の周波数の振れ振動信号Ｓ１１をカットしてノイズを除去した当該カットオフ周波数よりも低い周波数の振れ振動信号Ｓ１１のみを補償回路４０７に出力する。補償回路４０７は、開ループ周波数特性におけるゲイン余有（１０ｄＢ以上）と位相余有（４５度以上）を調整して、振れ振動信号Ｓ１１が見かけ上ゼロとなるように加振器１２０を動作させるための補償信号をゲイン調整器４０８に出力し、ゲイン調整器４０８は、補償回路４０７から入力される補償信号をゲイン調整した後、スイッチ４０９に出力する。スイッチ４０９は、コントローラ１２３からのオン／オフ信号Ｓ８に応じて開閉動作し、ゲイン調整器４０８と駆動回路４１０との接続／切り離しを行う。スイッチ４０９がオンしてゲイン調整器４０８を駆動回路４１０に接続すると、ゲイン調整器４０８からの補償信号が駆動回路４１０に入力され、駆動回路４１０は、この補償信号に基づいて駆動信号（制振信号）Ｓ１２を加振器１２０に出力する。
【００９９】
次に、本実施の形態の作用を説明する。本実施の形態の光ディスク原盤露光装置４００は、光ディスク原盤１１４の回転時に発生する振動の基台１０１への送り方向伝達力を計測して加振器制御部４０４で当該送り方向伝達力をうち消す加振を加振器１２０に起こさせて、振動源となる光ディスク原盤１１４が偏芯して吸着されている場合に発生する回転時の振れ回り振動の送り方向成分を抑制し、送り精度を向上させて、露光品質を向上させたところにその特徴がある。
【０１００】
すなわち、光ディスク原盤露光装置４００は、回転送り動作を開始する前に、コントローラ１２３からオンのオン／オフ信号Ｓ８を加振器制御部４０４のスイッチ４０９に出力し、スイッチ４０９をオンにして、加振器制御部４０４によるサーボ制御を開始する。このときは、移動台１０４に加わる外乱振動の送り方向成分に対して、計測部４０１の出力が見掛け上ゼロになるように動作する。
【０１０１】
次に、光ディスク原盤露光装置４００は、コントローラ１２３が、送り動作開始指令信号Ｓ３をスライダーコントローラ１２１に出力し、また、動作開始信号Ｓ４をスピンドルコントローラ１２２に出力し、コントローラ１２３が送り動作開始指令信号Ｓ３及び動作開始信号Ｓ４を出力することで、例えば、内周側から露光動作を行う場合、最初に移動台１０４が所望の内径位置へ移動した後、ターンテーブル１１６上にある偏重芯数十μｍ程度で吸着固定された光ディスク原盤１１４がその半径位置で必要な回転数により回転を開始する。
【０１０２】
光ディスク原盤１１４が回転すると、回転部全体が振れ回り振動を発生して、計測部４０１の右端部には、送り方向の正弦波状の振動伝達力が加わる。このとき、例えば、ＣＡＶ送り駆動であると、一定回転でありその一定周波数の正弦波状の振動伝達力が加わり、ＣＬＶ駆動であると、露光される半径位置が外周ほど周波数が下がっていく正弦波状の振動伝達力が加わる。ＣＡＶ送り動作とＣＬＶ駆動のいずれの場合も、加振器１２０が加振器制御部４０４によってサーボ制御され、計測部４０１の出力が見掛け上ゼロになるように動作する。すなわち、正弦波状の振動伝達力と逆相の振動を移動台１０４に対して加えるように加振器１２０が送り方向に振動し、移動台１０４の送り方向振動をキャンセルすることができる。
【０１０３】
サーボ系を構成する各要素である計測部４０１の出力特性、加振器１２０の変位特性、伝達力特性、印可電圧に対する伝達力特性は、図１０（ａ）〜（ｄ）に示すように、全て線形な特性である。加振器１２０の計算モデルは、図１１のように示され、また、駆動回路モデルは、図１２のように示され、加振器１２０への入力電圧に対する伝達力の関係は、以下の伝達関数Ｇ（ｓ）で示される。
【０１０４】
Ｇ（ｓ）＝Ｋｆ・（Ｋ＋Ｃ・ｓ）／｛（ｍｓ２＋Ｃｓ＋Ｋ）・（Ｒ０＋ＲＣ＋ＬＣｓ）｝
ここで、各記号は、図１１及び図１２に示したように、Ｋｆ：加振器推力定数、ｍ：可動部質量、Ｋ：支持バネ定数、Ｃ：減衰係数、Ｒ０：駆動回路出力抵抗、ＲＣ　：加振器コイル抵抗、ＬＣ：加振器コイルインダクタンスである。
【０１０５】
サーボ系は、この伝達関数とＬＰＦ４０６、補償回路４０７の伝達関数を掛け算して得られる伝達関数で構成される。
【０１０６】
このように、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置４００は、光ディスク原盤１１４を搭載する回転機構１１５の取り付けられている移動台１０４が固定され当該光ディスク原盤１１４の半径方向に移動可能に基台１０１に取り付けられているスライダー１０２により半径方向に移動されるとともに、回転機構１１５により集光部１１０に対向する状態で回転される光ディスク原盤１１４に、レーザ光源１０６から出射されたレーザ光１０９を露光用光学系１０７及び集光部１１０を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダー１０２の半径方向位置を光学式リニアエンコーダ１１３で検出して、当該光学式リニアエンコーダ１１３の検出結果に基づいてスライダーコントローラ１２１でスライダー１０２の動作を制御し、回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力を計測部４０１で計測して、当該計測部４０１から出力される計測結果信号から移動台１０４の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御部４０４で出力し、当該加振器制御部４０４からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器１２０を、移動台１０４の受ける送り方向に加振している。
【０１０７】
したがって、人手を介することなく、振動源となる回転機構１１５に光ディスク原盤１１４が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台１０４に対する送り方向振動を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【０１０８】
図１３及び図１４は、本発明の光ディスク原盤露光装置の第４の実施の形態を示す図であり、図１３は、本発明の光ディスク原盤露光装置の第４の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置５００の平面図、図１４は、図１３の光ディスク原盤露光装置５００のＤ−Ｄ矢視断面図である。
【０１０９】
なお、本実施の形態は、上記第３の実施の形態と同様の光ディスク原盤露光装置に適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第３の実施の形態と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１０】
本実施の形態の光ディスク原盤露光装置５００は、加振器１２０の動作軸２０８が移動台１０４の送り方向に略平行で、振動伝達力作用点Ｄが回転機構１１５が回転する時の移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ｃと同一平面上でかつ同一直線上になるように設けている。
【０１１１】
すなわち、上記第３の実施の形態の光ディスクディスク原盤露光装置４００では、加振器１２０の動作軸２０８（図４参照）が集光部１１０の送り方向に平行で、振動伝達力作用点Ｄが回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ｃと同一平面上で距離Ｌ’だけ離間して加振器１２０を設けている。そして、移動台１０４の送り方向振動のキャンセル原理は、上述のように、回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ｃに生じる振動伝達力と加振器１２０を振動させることによる振動伝達力作用点Ｄでの振動伝達力との打ち消し合いであることから、加振器１２０の振動伝達力の方向が作用点Ｃに生じる振動伝達力と厳密平行に設けられないと、移動台１０４に対してヨーイング方向（紙面直角方向）の振動を誘起する伝達力成分が発生してしまうため、光ディスク原盤１１４に露光形成するトラックピッチの円周方向精度に影響を及ぼし、また、加振器１２０の取付調整等が困難になるおそれがあった。
【０１１２】
そこで、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置５００は、図１３に示すように、加振器１２０が、その動作軸２０８が移動台１０４の送り方向に略平行で、振動伝達力作用点Ｄが回転機構１１５が回転する時の移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ｃと同一平面上でかつ同一直線上になるように設けられている。
【０１１３】
この場合、上記第２の実施の形態の場合と同様に、２つの振動伝達力の作用方向に多少くるいがあっても、移動台１０４に対する回転モーメント力を小さくすることができる。
【０１１４】
したがって、加振器１２０の取付が多少粗雑であっても、移動台１０４に対するヨーイング方向（紙面直角方向）の振動に誘起する伝達力成分の影響を小さくすることができる。
【０１１５】
このように、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置５００は、加振器１２０を、加振器制御部４０４手段からの制振信号で駆動して、移動台１０４の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものとしている。
【０１１６】
したがって、加振器１２０の取付調整を容易なものとすることができ、より一層送り精度を向上させて、より一層露光品質を向上させることができるとともに光ディスク原盤露光装置５００を安価なものとすることができる。
【０１１７】
図１５は、本発明の本発明の光ディスク原盤露光装置を適用した光ディスク原盤露光装置６００の正面断面図である。
【０１１８】
なお、本実施の形態は、上記第３の実施の形態及び第４の実施の形態と同様の光ディスク原盤露光装置に適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第３の実施の形態の光ディスク原盤露光装置４００及び上記第４の実施の形態の光ディスク原盤露光装置５００と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１９】
本実施の形態の光ディスク原盤露光装置６００は、上記送り方向の位置を計測する受光部１１１とスケール１１２を有する光学式リニアエンコーダ１１３の受光部１１１が、送り方向の振動伝達力を計測する計測部（計測手段）６０１に固定されており、計測部６０１は、取付台６０２を介して基台１０１に取り付けられているとともに、固定治具６０３により予圧が与えられる。
【０１２０】
回転機構１１５は、第１の実施の形態の光ディスク原盤露光装置１００と同様に、移動台１０４の穴部に取り付けられている。
【０１２１】
また、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置６００は、上記第１の実施の形態から第４の実施の形態と同様のスライダーコントローラ１２１、スピンドルコントローラ１２２及びコントローラ１２３を備えているとともに、上記第３の実施の形態と同様の加振器制御部４０４等を備えており、上記第１の実施の形態及び第２の実施の形態の偏差表示器１２７はスライダーコントローラ１２１には接続されていない。
【０１２２】
上記計測部６０１の出力信号２１は、増幅器４０５に入力され、増幅器４０５は、入力される出力信号Ｓ２１を増幅してＬＰＦ４０６に出力し、ＬＰＦ４０６は、所定のカットオフ周波数（例えば、カットオフ周波数：数ＫＨｚ程度）以上の周波数の出力信号Ｓ２１をカットしてノイズを除去した当該カットオフ周波数よりも低い周波数の出力信号Ｓ２１のみを補償回路４０７に出力する。補償回路４０７は、開ループ周波数特性におけるゲイン余有（１０ｄＢ以上）と位相余有（４５度以上）を調整して、出力信号Ｓ２１が見かけ上ゼロとなるように加振器１２０を動作させるための補償信号をゲイン調整器４０８に出力し、ゲイン調整器４０８は、補償回路４０７から入力される補償信号をゲイン調整した後、スイッチ４０９に出力する。スイッチ４０９は、コントローラ１２３からのオン／オフ信号Ｓ８に応じて開閉動作し、ゲイン調整器４０８と駆動回路４１０との接続／切り離しを行う。スイッチ４０９がオンしてゲイン調整器４０８を駆動回路４１０に接続すると、ゲイン調整器４０８からの補償信号が駆動回路４１０に入力され、駆動回路４１０は、この補償信号に基づいて駆動信号（制振信号）Ｓ１２を加振器１２０に出力する。
【０１２３】
本実施の形態の光ディスク原盤露光装置６００は、回転機構１１５が回転することによって生じる送り方向伝達力によって移動台１０４が加振され、スライダー１０２及びガイド１０３を伝達媒体として、移動台１０４の振動が計測部６０１を介して送り方向の位置を計測する受光部１１１に伝わる。このとき、受光部１１１と取付台６０２の合計質量と伝達された振動加速度の積で表される振動伝達力が、計測部６０１の出力として発生する。
【０１２４】
そして、加振器制御部４０４は、上記振動伝達力がゼロになるような駆動信号Ｓ１２を加振器１２０に出力して、加振器１２０を動作させ、回転機構１１５が回転による送り方向の振動成分をキャンセルする。
【０１２５】
この加振器１２０は、その振動伝達力作用点が回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている。
【０１２６】
したがって、回転機構１１５が回転によって発生する移動台１０４への振動を抑圧することができ、高精度な送り動作を行うことができる。
【０１２７】
ここで、加振器１２０は、上記第３の実施の形態とほぼ同様な動作をするが、スライダー１０２及びガイド１０３を伝達媒体としてその振動が伝達されるため、必ずしも、振動位相と大きさが第１の実施の形態の場合とは、一致しない。
【０１２８】
このように、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置６００は、光ディスク原盤１１４を搭載する回転機構１１５の取り付けられている移動台１０４が固定され当該光ディスク原盤１１４の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダー１０２により半径方向に移動されるとともに、回転機構１１５により集光部１１０に対向する状態で回転される光ディスク原盤１１４に、レーザ光源１０６から出射されたレーザ光を露光用光学系１０７及び集光部１１０を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダー１０２の半径方向位置を光学式リニアエンコーダ１１３で検出して、当該光学式リニアエンコーダ１１３の検出結果に基づいてスライダーコントローラ１２１でスライダー１０２の動作を制御し、当該スライダー１０２の送り検出を光学式リニアエンコーダ１１３で行って、回転機構１１５が回転するときの光学式リニアエンコーダ１１３への送り方向振動伝達力を計測部６０１で計測し、当該計測部６０１から出力される計測結果信号から光学式リニアエンコーダ１１３の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御部４０４で出力して、当該加振器制御部４０４からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器１２０を、移動台１０４の受ける送り方向に加振している。
【０１２９】
したがって、人手を介することなく、振動源となる回転機構１１５に光ディスク原盤１１４が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台１０４に対する送り方向振動を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【０１３０】
図１６は、本発明の第６の実施の形態の光ディスク原盤露光装置を適用した光ディスク原盤露光装置７００の正面断面図である。
【０１３１】
なお、本実施の形態は、上記第３の実施の形態、第４の実施の形態及び第５の実施の形態と同様の光ディスク原盤露光装置に適用したものであり、本実施の形態の説明においては、上記第３の実施の形態の光ディスク原盤露光装置４００、第４の実施の形態の光ディスク原盤露光装置５００及び上記第５の実施の形態の光ディスク原盤露光装置６００と同様の構成部分には、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１３２】
本実施の形態の光ディスク原盤露光装置７００は、第３の実施の形態の光ディスク原盤露光装置４００、第４の実施の形態の光ディスク原盤露光装置５００及び上記第５の実施の形態の光ディスク原盤露光装置６００を組み合わせたものである。
【０１３３】
すなわち、光ディスク原盤露光装置７００は、移動台１０４の切欠き部に、回転機構１１５のＡＣ同期モータ１１８部分には、計測部（第２計測手段）４０１が配設されており、計測部４０１は、例えば、ロードセル等で構成されて、送り方向伝達力を計測する。また、回転機構１１５は、そのＡＣ同期モータ１１８部分が予圧ブロック４０２を介して固定ネジ４０３により移動台１０４に固定されており、予圧ブロック４０２は、計測部４０１に対しても予圧を付与する。
【０１３４】
また、光ディスク原盤露光装置７００は、加振器１２０が、その動作軸２０８が移動台１０４の送り方向に略平行で、振動伝達力作用点Ｄが回転機構１１５が回転する時の移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点Ｃと同一平面上でかつ同一直線上になるように設けられている。
【０１３５】
さらに、光ディスク原盤露光装置７００は、上記送り方向の位置を計測する受光部１１１とスケール１１２を有する光学式リニアエンコーダ１１３の受光部１１１が、送り方向の振動伝達力を計測する計測部（第１計測手段）６０１に固定されており、計測部６０１は、取付台６０２を介して基台１０１に取り付けられているとともに、固定治具６０３により予圧が与えられる。
【０１３６】
そして、光ディスク原盤露光装置７００は、上記第１の実施の形態と同様のスライダーコントローラ１２１、スピンドルコントローラ１２２及びコントローラ１２３を備えているとともに、加振器制御部（加振器制御手段）７０１を備えており、上記第１の実施の形態及び第２の実施の形態の偏差表示器１２７はスライダーコントローラ１２１には接続されていない。
【０１３７】
スライダーコントローラ１２１には、上記半径位置を検出する光学式リニアエンコーダ１１３の受光部１１１から位置検出信号Ｓ２が入力されるとともに、スピンドルコントローラ１２２から光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚが入力され、スライダーコントローラ１２１は、コントローラ１２３から入力される送り動作開始指令信号Ｓ３により制御動作を開始して、これら光学式リニアエンコーダ１１３の位置検出信号Ｓ２と光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚに基づいて、スライダー１０２の駆動部、例えば、ＤＣリニアモータ等の駆動を制御する。
【０１３８】
スピンドルコントローラ１２２には、上記光学式ロータリーエンコーダ１１９から回転角度検出信号Ｓ１が入力され、スピンドルコントローラ１２２は、コントローラ１２３からの動作開始信号Ｓ４により制御動作を開始して、この光学式ロータリーエンコーダ１１９からの回転角度検出信号Ｓ１に基づいて、ＡＣ同期モータ１１８の回転制御を行うとともに、光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚをスライダーコントローラ１２１に出力する。スピンドルコントローラ１２２が光学式ロータリーエンコーダ１１９のＺ相出力信号Ｓ１−Ｚをスライダーコントローラ１２１に出力することから、送り動作と回転動作の協調を図ることができる。
【０１３９】
また、上記スライダーコントローラ１２１は、送り駆動モータ１２６に接続されており、動作出力信号Ｓ５を送り駆動モータ１２６に出力する。
【０１４０】
加振器制御部７０１は、２つの増幅器７０２、７０３、２つのＬＰＦ（ローパスフィルタ）７０４、７０５、スイッチ７０６、加算器７０７、補償回路７０８、ゲイン調整器７０９、スイッチ７１０及び駆動回路７１１等を備えている。
【０１４１】
増幅器７０２には、計測部４０１の検出した回転部の振れ（回転振動）の検出信号である正弦波状の振れ振動信号Ｓ１１が入力され、増幅器７０２は、入力される振れ振動信号Ｓ１１を増幅してＬＰＦ７０４に出力する。ＬＰＦ７０４は、所定のカットオフ周波数（例えば、カットオフ周波数：数ＫＨｚ程度）以上の周波数の振れ振動信号Ｓ１１をカットしてノイズを除去した当該カットオフ周波数よりも低い周波数の振れ振動信号Ｓ１１のみを加算器７０７７に出力する。
【０１４２】
一方、増幅器７０３には、計測部６０１の出力信号２１が入力され、増幅器７０３は、入力される出力信号Ｓ２１を増幅してＬＰＦ７０５に出力し、ＬＰＦ７０５は、所定のカットオフ周波数（例えば、カットオフ周波数：数ＫＨｚ程度）以上の周波数の出力信号Ｓ２１をカットしてノイズを除去した当該カットオフ周波数よりも低い周波数の出力信号Ｓ２１のみをスイッチ７０６に出力する。スイッチ７０６は、コントローラ１２３からのオン／オフ信号Ｓ３１応じて開閉動作し、ＬＰＦ７０５と加算器７０７との接続／切り離しを行う。スイッチ７０６がオンしてＬＰＦ７０５を加算器７０７に接続すると、ＬＰＦ７０５からの出力信号Ｓ２１が加算器７０７に入力され、加算器７０７は、ＬＰＦ７０４からの振れ振動信号Ｓ１１とＬＰＦ７０５からの出力信号Ｓ２１を加算して補償回路７０８に出力する。また、スイッチ７０６がオフしてＬＰＦ７０５を加算器７０７から切り離すと、ＬＰＦ７０４からの振れ振動信号Ｓ１１のみが加算器７０７に入力され、加算器７０７は、ＬＰＦ７０４からの振れ振動信号Ｓ１１をそのまま補償回路７０８に出力する。
【０１４３】
補償回路７０８は、加算器７０７から入力される振れ振動信号Ｓ１１または振れ振動信号Ｓ１１と出力信号Ｓ２１の加算結果に対して、開ループ周波数特性におけるゲイン余有（１０ｄＢ以上）と位相余有（４５度以上）を調整して、振れ振動信号Ｓ１１または／及び出力信号Ｓ２１が見かけ上ゼロとなるように加振器１２０を動作させるための補償信号をゲイン調整器７０９に出力し、ゲイン調整器７０９は、補償回路７０９から入力される補償信号をゲイン調整した後、スイッチ７１０に出力する。スイッチ７１０は、コントローラ１２３からのオン／オフ信号Ｓ３２に応じて開閉動作し、ゲイン調整器７０９と駆動回路７１１との接続／切り離しを行う。スイッチ７１０がオンしてゲイン調整器７０９を駆動回路７１１に接続すると、ゲイン調整器７０９からの補償信号が駆動回路７１１に入力され、駆動回路７１１は、この補償信号に基づいて駆動信号（制振信号）Ｓ３３を加振器１２０に出力する。
【０１４４】
本実施の形態の光ディスク原盤露光装置７００は、まず、コントローラ１２３から動作開始前に、スイッチ７０６をオフにするオン／オフ信号Ｓ３１及びスイッチ７１０をオンするオン／オフ信号Ｓ３２を送出し、加振器制御部７０１の上側ループを動作させて、続いて、コントローラ１２３からスイッチ７０６をオンさせるオン／オフ信号Ｓ３１を送出し、上下ループの動作を開始する。
【０１４５】
この場合、外部からの振動伝達による送り方向振動成分に対してキャンセルするように動作する。
【０１４６】
したがって、回転機構１１５の非同期振動成分を除いて、回転機構１１５の振れ回り振動による送り方向振動成分と外乱振動による送り方向振動成分及び回転機構１１５と移動台１０４の相対振動の全てをキャンセルすることができ、より一層高精度な送り動作を行うことができる。
【０１４７】
このように、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置７００は、光ディスク原盤１１４を搭載する回転機構１１５の取り付けられている移動台１０４が固定され当該光ディスク原盤１１４の半径方向に移動可能に基台１０１に取り付けられているスライダー１０２により半径方向に移動されるとともに、回転機構１１５により集光部１１０に対向する状態で回転される光ディスク原盤１１４に、レーザ光源１０６から出射されたレーザ光１０９を露光用光学系１０７及び集光部１１０を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダー１０２の半径方向位置を光学式リニアエンコーダ１１３で検出して、当該光学式リニアエンコーダ１１３の検出結果に基づいてスライダーコントローラ１２１でスライダー１０２の動作を制御し、当該スライダー１０２の送り検出を光学式リニアエンコーダ１１３で行って、回転機構１１５が回転するときの光学式リニアエンコーダ１１３への送り方向振動伝達力を第１計測手段である計測部６０１で計測し、また、回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力を第２計測手段である計測部４０１で計測し、当該計測部４０１と当該計測部６０１から出力される計測結果信号から光学式リニアエンコーダ１１３の受けた送り方向振動伝達力及び移動台１０４の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御部７０１で送出して、当該加振器制御部７０１からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構１１５が回転するときの移動台１０４への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器１２０を、移動台１０４の受ける送り方向に加振している。
【０１４８】
したがって、人手を介することなく、振動源となる回転機構１１５に光ディスク原盤１１４が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台１０４に対する送り方向振動、振動伝達経路の違いに起因する送り方向の振動成分（位相の異なる相対振動成分）及び外乱振動の送り方向成分を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させることができるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【０１４９】
なお、上記各実施の形態においては、加振器１２０は、可動部２０５の質量と光ディスク原盤１１４の質量を同じに構成しており、また、伝達率Ｔａ（振動伝達力Ｐｔと可動部に加える力Ｐとの比Ｐｔ／　Ｐ）は、以下の数式で表わされる。
【０１５０】
Ｔａ＝｛１＋（２・ζ・ω／ｐ）２｝１／２／［｛１−（ω／ｐ）２｝２＋（２・ζ・ω／ｐ）２］１／２
ここで、ζ＝Ｃ／２・（ｍ・Ｋ）１／２、ω：使用回転角周波数、
ｐ＝（Ｋ／ｍ）１／２＝ωｃ、ωｃ　：固有角周波数
加振器１２０の固有角周波数ωｃを使用回転角周波数ωに対して、ω／ωｃが、２１／２の近傍になるように支持バネ２０７のバネ定数を構成すると、可動部２０５の加振による伝達効率を大きくすることができ、小さい加振器１２０で移動台１０４の振動をキャンセルすることができる。
【０１５１】
また、上記第３の実施の形態から第６の実施の形態においては、送り方向伝達力を計測する計測部４０１、６０２の出力が見掛け上ゼロに収束する相対的なフィードバック系を構成している。
【０１５２】
したがって、サーボ系の全ての要素で線形特性を確保することができ、制御特性を向上させることができる。
【０１５３】
さらに、加振器１２０としては、図４に示したものに限るものではなく、例えば、図１７に示すような加振器８００を用いることができる。この加振器８００は、可動部８０１と筐体８０２をバイモルフ型の圧電素子８０３で連結する構成となっている。この加振器８００は、図４に示した加振器１２０と比較して、伝達率Ｔａとして最大効率を使用することはできないが、周波数特性が簡単となるため、サーボ系の加振器制御部で用いている補償回路等を簡単なものとすることができる。
【０１５４】
以上、本発明者によってなされた発明を好適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【０１５５】
【発明の効果】
請求項１記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出し、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、スライダーの送り偏差信号を偏差表示手段に表示して、回転機構の送り方向振動量を計測手段で計測し、当該計測手段から出力され偏差表示手段の表示に応じて調整された計測結果信号の周波数及び位相情報に基づいて移動台の受けた送り方向回転振動伝達力を打ち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力し、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振するので、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消すことができ、送り精度を向上させて、露光品質を向上させることができる。
【０１５６】
請求項２記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、加振器を、加振器制御手段からの制振信号で駆動して、移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものとしているので、加振器の取付調整を容易なものとすることができ、より一層送り精度を向上させて、より一層露光品質を向上させることができるとともに光ディスク原盤露光装置を安価なものとすることができる。
【０１５７】
請求項３記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力を計測手段で計測して、当該計測手段から出力される計測結果信号から移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力し、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振するので、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【０１５８】
請求項４記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、加振器を、加振器制御手段からの制振信号で駆動して、移動台の受ける送り方向に加振するとともに、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面であってかつ同一直線上となる状態で配設されているものとしているので、加振器の取付調整を容易なものとすることができ、より一層送り精度を向上させて、より一層露光品質を向上させることができるとともに光ディスク原盤露光装置を安価なものとすることができる。
【０１５９】
請求項５記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、当該スライダーの送り検出を光学式リニアエンコーダで行って、回転機構が回転するときの光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を計測手段で計測し、当該計測手段から出力される計測結果信号から光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で出力して、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振するので、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【０１６０】
請求項６記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、光ディスク原盤を搭載する回転機構の取り付けられている移動台が固定され当該光ディスク原盤の半径方向に移動可能に基台に取り付けられているスライダーにより半径方向に移動されるとともに、回転機構により集光手段に対向する状態で回転される光ディスク原盤に、光源から出射されたレーザ光を露光用光学系及び集光手段を介して照射して所定の情報を記録するに際して、スライダーの半径方向位置を位置検出手段で検出して、当該位置検出手段の検出結果に基づいてスライダーコントローラでスライダーの動作を制御し、当該スライダーの送り検出を光学式リニアエンコーダで行って、回転機構が回転するときの光学式リニアエンコーダへの送り方向振動伝達力を第１計測手段で計測し、また、回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力を第２計測手段で計測し、当該第１計測手段と当該第２計測手段から出力される計測結果信号から光学式リニアエンコーダの受けた送り方向振動伝達力及び移動台の受けた送り方向振動伝達力をうち消す方向の制振信号を加振器制御手段で送出して、当該加振器制御手段からの制振信号で、その振動伝達力作用点が回転機構が回転するときの移動台への送り方向振動伝達力の作用点と同一平面上または同一平面でかつ同一直線上となる状態で配設されている加振器を、移動台の受ける送り方向に加振するので、人手を介することなく、振動源となる回転機構に光ディスク原盤が偏芯して吸着固定された場合に発生する回転時の振れ回り振動の移動台に対する送り方向振動、振動伝達経路の違いに起因する送り方向の振動成分（位相の異なる相対振動成分）及び外乱振動の送り方向成分を打ち消すことができ、より一層送り精度を向上させることができるとともに、作業者による粉塵等もなくして、より一層露光品質を向上させることができる。
【０１６１】
請求項７記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、加振器制御手段を、その制御量を力量とする相対的なフィードバック系で構成しているので、制御系内の構成要素特性を全て線形として扱えるようにすることができ、移動台の振動抑制を簡単かつ高精度に行って、より一層露光品質を向上させることができる。
【０１６２】
請求項８記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、加振器を、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータとし、支持バネのバネ定数を、当該加振器の固有角周波数ωｃと使用回転角周波数ωとをω／ωｃが２１／２の近傍になるように設定しているので、加振器を軽量化して、光ディスク原盤露光装置の組立調整を容易なものとすることができ、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させることができる。
【０１６３】
請求項９記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、加振器を、所定のバネ定数を有する支持バネに支持された可動部を備え、当該可動部を可動させて振動を発生するコイル移動型または磁石移動型のボイスコイルモータとし、当該可動部の質量が回転機構に搭載される光ディスク原盤の質量と同じ質量に設定しているので、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとすることができ、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させることができる。
【０１６４】
請求項１０記載の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、加振器を、筐体に一方側端部が固定され、他端側端部が前記可動部に固定されている複数のバイモルフ型圧電素子で形成されているものとしているので、光ディスク原盤露光装置の制振制御系の設計を容易なものとすることができ、安価に送り精度を向上させて、安価に露光品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光ディスク原盤露光装置の第１の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置の平面図。
【図２】図１の光ディスク原盤露光装置の正面図。
【図３】図１の光ディスク原盤露光装置のＡ−Ａ矢視断面図。
【図４】図１の加振器の正面断面図。
【図５】図３の加振器制御部の各部の信号を示す図。
【図６】本発明の光ディスク原盤露光装置の第２の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置の平面図。
【図７】図６の光ディスク原盤露光装置のＢ−Ｂ矢視断面図。
【図８】本発明の光ディスク原盤露光装置の第３の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置の平面図。
【図９】図８の光ディスク原盤露光装置のＣ−Ｃ矢視断面図。
【図１０】図９の計測部の出力特性（ａ）、加振器の変位特性（ｂ）、伝達力特性（ｃ）及び印可電圧に対する伝達力特性（ｄ）を示す図。
【図１１】図８の加振器の計算モデルを示す図。
【図１２】図８の加振器の駆動回路モデルを示す図。
【図１３】本発明の光ディスク原盤露光装置の第４の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置の平面図。
【図１４】図１３の光ディスク原盤露光装置のＤ−Ｄ矢視断面図。
【図１５】本発明の光ディスク原盤露光装置の第５の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置の正面断面図。
【図１６】本発明の光ディスク原盤露光装置の第６の実施の形態を適用した光ディスク原盤露光装置の正面断面図。
【図１７】加振器の他の例の正面断面図。
【符号の説明】
１００　光ディスク原盤露光装置　　　１０１　基台
１０２　スライダー　　　　　　　　　１０３　ガイド
１０４　移動台　　　　　　　　　　　１０４ａ　支持部
１０５　光学台　　　　　　　　　　　１０６　レーザ光源
１０７　露光用光学系　　　　　　　　１０８　折り返しミラー
１０９　照射ビーム　　　　　　　　　１１０　集光部
１１１　受光部　　　　　　　　　　　１１２　スケール
１１３　光学式リニアエンコーダ　　　１１４　光ディスク原盤
１１５　回転機構　　　　　　　　　　１１６　ターンテーブル
１１７　スピンドル　　　　　　　　　１１８　ＡＣ同期モータ
１１９　光学式ロータリーエンコーダ　１２０　加振器
１２１　スライダーコントローラ　　　１２２　スピンドルコントローラ
１２３　コントローラ　　　　　　　　１２４　偏差表示器
１２５　加振器制御部　　　　　　　　１２６　送り駆動モータ
１２７　第１軸受ハウジング　　　　　１２８　ボールネジ
１２９　第２軸受ハウジング　　　　　１３０　支持板
１３１　計測部　　　　　　　　　　　１３２　取付板
１３３　増幅器　　　　　　　　　　　１３４　ＬＰＦ
１３５　振幅調整器　　　　　　　　　１３６　スイッチ
１３７　駆動回路
２０１　永久磁石　　　　　　　　　２０２　第１継鉄
２０３　第２継鉄　　　　　　　　　２０４　筐体
２０５　可動部　　　　　　　　　　２０６　駆動コイル
２０７　支持バネ　　　　　　　　　２０８　動作軸
３００　光ディスク原盤露光装置　　４００　光ディスク原盤露光装置
４０１　計測部　　　　　　　　　　４０２　予圧ブロック
４０３　固定ネジ　　　　　　　　　４０４　加振器制御部
４０５　増幅器　　　　　　　　　　４０６　ＬＰＦ
４０７　補償回路　　　　　　　　　４０８　ゲイン調整器
４０９　スイッチ　　　　　　　　　４１０　駆動回路
５００　光ディスク原盤露光装置　　６００　光ディスク原盤露光装置
６０１　計測部　　　　　　　　　　６０２　取付台
６０３　固定治具　　　　　　　　　７００　光ディスク原盤露光装置
７０１　加振器制御部　　　　　　　７０２、７０３　増幅器
７０４、７０５　ＬＰＦ　　　　　　７０６　スイッチ
７０７　加算器　　　　　　　　　　７０８　補償回路
７０９　ゲイン調整器　　　　　　　７１０　スイッチ
７１１　駆動回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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