(57)【要約】【構成】スタッカークレーン８の走行路１１と有軌道台車１０の走行路１２とを平行に配設し、その間に兼用棚２２を設けて、スタッカークレーン８からも有軌道台車１０からも移載可能な高さ部分を共有部分とする。スタッカークレーン８は、入出庫ステーション１４，１５等を介して、天井走行車システム４等と接続され、有軌道台車１０は搬出入口３２を介して処理装置３０と接続する。【効果】搬送システムを天井走行車システムと処理装置とに接続でき、スタッカークレーンと有軌道台車とを兼用棚の共有部分を介して接続でき、天井走行車システムに対しても、処理装置に対しても高いスループットを達成できる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の搬送装置と第２の搬送装置の走行路を平行に配設して、前記走行路間に第１及び第２の搬送装置のいずれからも出し入れできる共有棚を設けると共に、前記第１の搬送装置と外部の搬送装置間を中継するステーションを設け、さらに前記第２の搬送装置で処理装置に物品を搬出入するようにした、搬送システム。
【請求項２】
前記第１の搬送装置がスタッカークレーンで、前記第２の搬送装置が昇降台を備えない搬送台車で、前記共有棚の上部にスタッカークレーン専用の棚を設けたことを特徴とする、請求項１の搬送システム。
【請求項３】
スタッカークレーンの走行路を挟んで、前記共有棚の反対側にスタッカークレーン用の棚を設けたことを特徴とする、請求項２の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】
この発明は搬送システムに関する。
【０００２】
【従来技術】
【特許文献１】特開２００２−９３８７６号公報
搬送装置にはスタッカークレーン、有軌道台車、天井走行車、無人搬送車等が用いられ、クリーンルームなどの場合、搬送は工程間搬送と工程内搬送とに分けられている。そして各工程に対して、バッファ用にストッカが必要である。特許文献１は、ストッカに処理装置を直結し、工程内搬送距離を最短にすることを提案している。
【０００３】
特許文献１の場合、工程内搬送用の搬送装置に、工程内での搬送と、工程間搬送のためのストッカからの入出庫などの、全ての負荷が集中する。かといって単純に工程内搬送用の搬送装置を増設すると、搬送装置の干渉が問題になる。
【０００４】
【発明の課題】
この発明の基本的課題は、外部の搬送装置との間の搬送スループットも、処理装置との間の搬送スループットも高く、コンパクトで、かつ第１及び第２の搬送装置間の中継が容易な搬送システムを提供することにある（請求項１〜３）。
請求項２の発明での追加の課題は、物品の保管能力を高めながら、処理装置との間の搬送スループットを向上させることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、物品の保管能力とスタッカークレーンの搬送能力を向上させることにある。
【０００５】
【発明の構成】
この発明は、第１の搬送装置と第２の搬送装置の走行路を平行に配設して、前記走行路間に第１及び第２の搬送装置のいずれからも出し入れできる共有棚を設けると共に、前記第１の搬送装置と外部の搬送装置間を中継するステーションを設け、さらに前記第２の搬送装置で処理装置に物品を搬出入するようにした、搬送システムにある（請求項１）。第１や第２の搬送装置には、例えばスタッカークレーンや有軌道あるいは無軌道の搬送台車、天井走行車などを用いる。搬送システムは例えばクリーンルーム内に設け、処理装置は例えば半導体や液晶、薬品などの加工装置あるいは、これらの検査装置などとする。
【０００６】
好ましくは、前記第１の搬送装置がスタッカークレーンで、前記第２の搬送装置が昇降台を備えない搬送台車で、前記共有棚の上部にスタッカークレーン専用の棚を設ける（請求項２）。
【０００７】
特に好ましくは、スタッカークレーンの走行路を挟んで、前記共有棚の反対側にスタッカークレーン用の棚を設ける（請求項３）。
【０００８】
【発明の作用と効果】
この発明では、第１の搬送装置と第２の搬送装置の走行路の間に、いずれの搬送装置からも出し入れできる共有棚を設けて、第１の搬送装置と第２の搬送装置とを接続する。このため、第１の搬送装置と第２の搬送装置が同じ走行路上で干渉する、あるいはいずれかの搬送装置に負荷が加わりスループットが低下すると、他方の搬送装置にも影響するなどのことを防止できる。そして第１の搬送装置は共有棚と外部の搬送装置との間の搬送に集中でき、第２の搬送装置は共有棚と処理装置との間の搬送に集中できる。このため外部の搬送装置との間の搬送スループットも、処理装置との間の搬送スループットも高くすることができる。搬送システムのレイアウトは、平行な２つの走行路とその間の共有棚を中心としたものとなり、コンパクトな搬送システムにできる（請求項１）。
【０００９】
第１の搬送装置と第２の搬送装置とを比較すると、第１の搬送装置での搬送は、外部の搬送装置との中継用のステーションと共有棚との間が主で、一般に短い。これに対して第２の搬送装置では、共有棚と処理装置との間の搬送が主なものとなり、処理装置の物理的なサイズに制約されるため、一般に搬送距離が長くなる。そこで好ましくは、走行速度は低いが高さ方向に広いスペースを利用できるスタッカークレーンを第１の搬送装置とし、有軌道台車や無軌道台車などの搬送台車を第２の搬送装置とし、共有棚の上部で搬送台車が物品の出し入れできないスペースにスタッカークレーン専用の棚を設ける。このようにするとスタッカークレーンと搬送台車の特質を生かして、搬送スループットを高めると共に、共有棚の上部にスタッカークレーンの専用棚を設けて保管能力を向上させることができる（請求項２）。
【００１０】
特に好ましくは、スタッカークレーンの走行路を挟んで共有棚の反対側にスタッカークレーン用の棚を設ける。このようにすると、保管能力を高めて、その分スタッカークレーンの高さや棚の高さを低くし、クリーンルーム内に収まるようにしたり、スタッカークレーンの走行速度を増し、あるいは昇降時間を減少して、スタッカークレーンの搬送スループットを増すことができる（請求項３）。
【００１１】
【実施例】
図１〜図５に、実施例を示す。これらの図において、２はクリーンルームであるが、適宜の工場や倉庫などでも良く、４，５は外部の搬送装置の例としての天井走行車システムである。６は実施例の搬送システムで、第１の搬送装置の例としてのスタッカークレーン８と、第２の搬送装置の例としての有軌道台車１０とを設け、これらを走行路１１，１２に沿って平行に走行させる。１４〜１８は入出庫ステーションで、入出庫ステーション１４〜１６は天井走行車システム４との間の物品移動を中継するためのステーションで、入出庫ステーション１７，１８は天井走行車システム５との間の物品移動用のステーションである。ステーション１６は、有軌道台車１０のみからアクセスできる位置にあり、ステーション１４，１７，１８は、スタッカークレーン８のみからアクセスできる位置にある。
【００１２】
実施例ではステーション１５は、スタッカークレーン８の専用ステーションとするが、有軌道台車１０との間の兼用ステーションとしても良い。このようにするのは、スタッカークレーン８を天井走行車システム４，５との間の物品移動用の装置とし、有軌道台車１０を処理装置３０との間の物品移動用の搬送装置としたからである。なおステーション１６は特急品の入出庫などで、スタッカークレーン８を介さずに直接有軌道台車１０と天井走行車システム４との間で物品の搬出入を行う場合に使用する。また有軌道台車１０の能力に余裕があり、スタッカークレーン８では棚２２，２６，２８の物品の整理などを行う場合にも使用できる。１９，２０はサブコンベヤで、スタッカークレーン８とステーション１７，１８を接続するものである。ステーション１４〜１８のいずれを入庫ステーションとし、いずれを出庫ステーションとするかは適宜に定めればよい。
【００１３】
走行路１１，１２は平行で、有軌道台車１０の走行路１２はスタッカークレーン８の走行路１１よりも長くしてある。これは、走行路１２に沿って複数の処理装置３０を配置するためである。２つの走行路１１，１２の間には兼用棚２２があり、図２に示すように、その下部でスタッカークレーン８からも有軌道台車１０からも物品の搬出入ができる高さ部分を共有部分２３とし、その上部の部分をスタッカークレーン専用部分２４とする。スタッカークレーン８と有軌道台車１０との中継は共有部分２３で行われ、スタッカークレーン８は共有部分２３に物品を移載すると、次の搬送作業に移ることができる。また有軌道台車１０も共有部分２３に物品を搬入すると、次の搬送作業を実行することができる。
【００１４】
兼用棚２２を走行路１１から見た反対側に、スタッカークレーン専用の専用棚２６を設ける。また走行路１２から見て、処理装置３０の反対側で、兼用棚２２の無い部分に、有軌道台車１０の専用棚２８を設ける。走行路１２の、兼用棚２２の反対側には、半導体加工装置や検査装置、液晶加工装置などの処理装置３０を原則として複数並列に配置する。なお図１に鎖線で示した処理装置３１のように、長大な処理装置を接続しても良い。そして処理装置３０の走行路１２側には搬出入口３２を設け、各処理装置３０に設けた図示しない移載装置などにより、搬出入口３２と処理装置３０の内部との間での物品の移載を行う。なお搬出入口３２の上部にも棚を設けても良いが、このようにすると有軌道台車１０の代わりにスタッカークレーンを配置せねばならず、スタッカークレーンによる低速搬送かつ大量保管と、有軌道台車による高速搬送の組み合わせとの特質が得られない。
【００１５】
図２，図３の４０，４１は天井走行車で、スタッカークレーン８はステーション１４，１５，１８などを用いて、天井走行車システム４，５との間での物品搬送を行う。有軌道台車１０は、共有部分２３と搬出入口３２との間の物品移動を行うと共に、ステーション１６を用いて、天井走行車システム４との間の物品搬送を行う。
【００１６】
図４に、スタッカークレーンと有軌道台車の搬送経路を示す。搬送経路は兼用棚を境に２つに区分されているので、天井走行車システムとの間の入出庫作業が連続する場合や、処理装置との間の搬送作業が連続するような場合でも、他方の搬送作業を犠牲にする必要がない。また２つの走行路を平行に配置でき、兼用棚をその間に配置できるので、全体にコンパクトなシステムにできる。スタッカークレーンと有軌道台車との間のバッファには、兼用棚の共有部分を用いることができ、単なるステーションを用いる場合に比べて多数の物品をバッファできるので、搬送スループットを増すことができる。
【００１７】
図５に、天井走行車システムから物品が入庫した後、天井走行車システムへ出庫するまでの搬送作業を模式的に示す。図５の左側の列は、スタッカークレーンにより行われる搬送作業を示し、右側には有軌道台車により行われる搬送作業を示す。スタッカークレーンでは高さ方向に沿って広いスペースを物品の保管に用いることができるので、共有部分に直接搬入するのが難しい場合や、出庫用のステーションに直接搬出するのが難しい場合、専用棚に一時保管すればよい。図１などに示したように、スタッカークレーンの走行距離は短く、共有部分の上側や反対側に専用棚があるので、例えばスタッカークレーンを走行させずに専用棚から物品を取り出して、昇降台のみを昇降させて、共有棚に搬出すればよい。また逆に、共有棚から搬出した物品をスタッカークレーンを走行させずに、昇降台のみを昇降させて専用棚に一時保管すればよい。
【００１８】
有軌道台車では、処理装置に搬入した後、物品を搬出し、必要であれば図５の鎖線で示すように、このサイクルを複数回繰り返して、共有部分に搬出する。処理装置は一般に物理的に大きなスペースを占めるので、有軌道台車の走行距離は長くなるが、昇降台を備えないので、走行速度を速くすることができる。
【００１９】
実施例では以下の効果が得られる。
（１）  コンパクトな搬送システムとし、複数の処理装置を直結できる。
（２）  外部の搬送装置との間の搬送も、処理装置との間の搬送も、高速で行うことができる。
（３）  外部の処理装置との間の搬送と、内部の処理装置との間の搬送を独立して行えるので、２つの搬送装置の干渉や同期の必要がない。
【００２０】
（４）  スタッカークレーンと有軌道台車とを兼用棚の共有部分を利用して接続することができる。
（５）  低速大量保管のスタッカークレーンと、高速少量保管の有軌道台車の特質を生かした搬送ができる。
（６）  ステーション１６を用いることにより、特急品の搬送などを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の搬送システムのレイアウトを示す平面図
【図２】図１の２−２方向から見たレイアウトを示す図
【図３】図１の３−３方向から見たレイアウトを示す図
【図４】実施例でのスタッカークレーンと有軌道台車の搬送経路を示す図
【図５】実施例でのスタッカークレーンと有軌道台車の搬送作業を模式的に示す図
【符号の説明】
２            クリーンルーム
４，５        天井走行車システム
６            搬送システム
８            スタッカークレーン
１０          有軌道台車
１１，１２    走行路
１４〜１８    ステーション
１９，２０    サブコンベヤ
２２          兼用棚
２３          共有部分
２４          スタッカークレーン専用部分
２６，２８    専用棚
３０，３１    処理装置
３２          搬出入口
４０，４１    天井走行車
【図１】
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【図２】
2004352376.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004352376.tif 000006
【図５】
2004352376.tif 000007