(57)【要約】【課題】磁気記録媒体である磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気によるＭＲヘッドなどの磁気ヘッドの静電破壊を容易に防止することができる磁気記録媒体を提供する。【解決手段】非磁性支持体上に形成された磁性層に記録された信号が再生用の磁気ヘッドにより再生される磁気記録媒体であって、長尺状の非磁性支持体１と、非磁性支持体１の一主面に、真空薄膜形成技術によって形成された斜方柱状構造の強磁性金属薄膜を有する磁性層２と、磁性層２上に形成され、静電気に起因する電圧が当該磁気記録媒体に印加されたときに磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層３とを有する構成とする。【選択図】    図１
2004253088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性支持体上に形成された磁性層に記録された信号が再生用の磁気ヘッドにより再生される磁気記録媒体であって、
長尺状の非磁性支持体と、
前記非磁性支持体の一主面に、真空薄膜形成技術によって形成された斜方柱状構造の強磁性金属薄膜を有する磁性層と、
前記磁性層上に形成され、静電気に起因する電圧が当該磁気記録媒体に印加されたときに前記磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、前記磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、前記磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層と
を有する磁気記録媒体。
【請求項２】
前記磁性層が複数の強磁性金属薄膜の積層体である
請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
前記複数の強磁性金属薄膜が、斜方柱状構造の成長方向が互いに異なる第１の強磁性金属薄膜と第２の強磁性金属薄膜とを含む
請求項２に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
前記複数の強磁性金属薄膜が、斜方柱状構造の成長方向が同じである第１の強磁性金属薄膜と第２の強磁性金属薄膜とを含む
請求項２に記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
非磁性支持体上に形成された磁性層に記録された信号が再生用の磁気ヘッドにより再生される磁気記録媒体であって、
長尺状の非磁性支持体と、
前記非磁性支持体の一主面に、真空薄膜形成技術によって形成された斜方柱状構造の第１の強磁性金属薄膜を有する第１磁性層と、
前記第１磁性層上に形成され、静電気に起因する電圧が当該磁気記録媒体に印加されたときに前記磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、前記磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、前記磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層と、
前記表面抵抗制御層の上層に、真空薄膜形成技術によって形成された斜方柱状構造の第２の強磁性金属薄膜を有する第２磁性層と
を有する磁気記録媒体。
【請求項６】
少なくとも前記第１磁性層あるいは前記第２磁性層が複数の強磁性金属薄膜の積層体である
請求項５に記載の磁気記録媒体。
【請求項７】
前記第１の強磁性金属薄膜と前記第２の強磁性金属薄膜が、斜方柱状構造の成長方向が互いに異なる
請求項５に記載の磁気記録媒体。
【請求項８】
前記第１の強磁性金属薄膜と前記第２の強磁性金属薄膜が、斜方柱状構造の成長方向が同じである
請求項５に記載の磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気記録媒体に関し、特に、異方性磁気抵抗効果型磁気ヘッド（ＡＭＲヘッド）若しくは巨大磁気抵抗効果型磁気ヘッド（ＧＭＲヘッド）などのＭＲヘッドを用いて高密度に記録された信号の再生がなされる磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ビデオテープレコーダー等の分野における磁気記録媒体としては、さらなる高画質化および高記録密度化を達成するために、直接非磁性支持体上に磁性金属材料、Ｃｏ−Ｎｉ系合金、Ｃｏ−Ｃｒ系合金、Ｃｏ−ＣｏＯ系金属酸化物等の各種磁性材料を真空薄膜形成技術により被着させて磁性層を形成した構成の、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体が適用されている。
【０００３】
さらに、上記のような磁気記録媒体の電磁変換特性を向上させ、より大きな出力が得られるようにするため、磁気記録媒体の磁性層を形成するに際し、磁性層を斜方に蒸着する、いわゆる斜方蒸着が提案され、この方法によって磁性層が形成された磁気記録媒体は、ハイバンド８ｍｍビデオテープレコーダー、デジタルビデオテープレコーダー用の蒸着テープとして実用化されている。
【０００４】
上述したような金属薄膜型の磁気記録媒体は、保磁力や角型比に優れ、また磁性層を極めて薄い層に形成できることから、短波長領域での電磁変換特性に優れ、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さい。
また、磁性粉を結合剤に分散させた磁性塗料を非磁性支持体に塗布して磁性層を形成するいわゆる塗布型の磁気記録媒体と異なり、磁性層中に非磁性材料である結合剤が混入しないので、強磁性金属材料の充填密度が高められ、高記録密度化を図る際に有利である。
【０００５】
また、斜方蒸着による磁気テープは、例えば長尺状の非磁性支持体を長手方向に走行させ、走行状態で非磁性支持体の一主面側に磁性材料を堆積させて磁性層を形成する方法によって作製され、高い生産性と優れた磁気特性が確保できる。
【０００６】
一方、磁気テープ等の磁気記録媒体のデータストリーマーとしての需要が高まるに伴い、さらなる磁気記録媒体の高記録密度化が要求されてきている。
さらに記録情報の再生を行う際に用いる磁気ヘッドとして、従来の誘導型ヘッドに代わり、異方性磁気抵抗効果型磁気ヘッド（ＡＭＲヘッド）、巨大磁気抵抗効果型磁気ヘッド（ＧＭＲヘッド）、あるいはトンネル磁気抵抗効果型磁気ヘッド（ＴＭＲヘッド）などの磁気抵抗効果型磁気ヘッド（ＭＲヘッド）の適用が検討され、一部導入されるようになってきている。これらのＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドは磁性層からの微小な漏洩磁束を高感度に検出することができるので、記録密度の向上を図るために有効である。
【０００７】
ところで、データストリーマー用途としての磁気テープの記録再生のシステムには、ヘリカルスキャン方式とリニア方式の２種類が実用化されている。
【０００８】
ヘリカルスキャン方式は、回転ドラム上に配置された磁気ヘッドが、高速に回転しながら磁気テープ上をスキャンすることで記録再生を行う方式である。
ヘリカルスキャン方式の特徴としては、記録トラックを精密に記録できるだけでなく、再生時には記録したトラックを正確にスキャンできるように制御することが原理的に可能であり、磁気テープシステムにおいて高記録密度を達成することが可能である。こうしたヘリカルスキャン方式は、ＶＨＳなどの家庭用ビデオ録画装置や、ハイバンド８ｍｍビデオテープレコーダー、デジタルビデオテープレコーダー用として幅広く実用化されている。
【０００９】
一方、リニア方式は磁気テープの幅方向にトラックを設け、長手方向に記録を行う方式である。高速でテープを走行させることが容易であると同時に、磁気ヘッドを並列に数多く並べることによって記録再生の転送レートを向上させることが可能である。
カムコーダ用途などの磁気記録テープシステムでは高記録密度が達成可能なヘリカルスキャン方式が有利であるが、磁気記録テープシステムの体積に制約の少ないデータストレージ用途では、上記リニア方式が幅広く実用化され、市場においてもＤＬＴ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｌｉｎｅａｒ  Ｔａｐｅ）やＬＴＯ（Ｌｉｎｅａｒ  Ｔａｐｅ−Ｏｐｅｎ）といった商品が主流となっている。
【００１０】
ところで、上記のＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどのＭＲヘッドは、従来の誘導型ヘッドに比べて静電気放電（ＥＳＤ；Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｓｔａｔｉｃ  Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）に対する耐性が低く、磁気テープの装着時や動作時に帯電した静電気によって容易に静電破壊を起こしてしまうという問題がある。
例えば、ＭＲヘッドのうち、ＡＭＲヘッドの静電耐圧は２００Ｖ程度、ＧＭＲヘッドの静電耐圧は４０Ｖ程度であるのに対して、プラスチックなどの摩擦によって磁気記録媒体が帯電する帯電電圧は数ｋＶ以上である。この磁気記録媒体に帯電した電荷が上記のＭＲヘッドに急激に移動すると容易に静電破壊を起こしてしまう。
【００１１】
上記の問題に対応するため、特許文献１においては、磁気記録層全体の電気抵抗を低減して、摺動時の静電気によるＭＲヘッドなどの静電破壊を回避する技術が開示されている。
【００１２】
また、特許文献２においては、磁性層を構成する金属薄膜中の酸素含有量を規定し、磁気記録媒体の信号記録面の表面抵抗を１０３  Ω／ｉｎｃｈ２  以上、１０１２Ω／ｉｎｃｈ２  以下として、磁気記録媒体の帯電を防止し、ＭＲヘッドの静電破壊を防止する技術が開示されている。
【００１３】
【特許文献１】
特開２００２−１３３６３４号公報
【特許文献２】
特開２００２−１８３９３２号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の特許文献１に記載の技術は、磁気記録媒体である磁気テープとテープ走行系との摺動により発生する静電気を考慮して開発されたものであり、当時の知見としては、磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気の危険性に対する認識はなく、この点に対しては対策が取られていなかった。
現在では、磁気テープとテープ走行系との摺動により発生する静電気に対してはテープ走行系を構成する部材の材料選択により対策が取られていることもあり、むしろ磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気に対する対策が最も重要となっている。
【００１５】
磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気に対する対策を施すために、擬似的に外部からの静電気を発生させ、ＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどのＭＲヘッドの静電破壊の状態を調べる試験が必要となってくる。
図７は、上記のように外部からの静電気を発生させる静電破壊試験装置の模式構成図である。
絶縁性テーブル１０上に試験対象である磁気テープ１１を信号記録面を上面に向けて戴置し、ＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどのＭＲヘッド１２を所定の圧力で押圧する。
ヘッドの押圧位置から所定の距離を離間した位置で、ＥＳＤガン（ＥＳＤシミュレータ）１３から静電気１４を発生させ、磁気テープ１１に放電する。
このときのＭＲヘッド１２から流れるＥＳＤ電流ＩＥＳＤ  をプローブ１５を介して高速オシロスコープ１６により測定する。
【００１６】
図８は、上記の図７に示す静電破壊試験装置を用いて測定した結果の例を示すグラフである。縦軸はＥＳＤ電流（ｍＡ）であり、横軸は時間（ナノ秒）である。
ＥＳＤガン１３から磁気テープ１１に対して放電が行われた瞬間に、ＥＳＤ電流が急激に増加し、ピークの値を取った後、急激に減少する。その後は、多少のテールを引いて、再び最初の電流値（ゼロ）へと戻っていく。
上記のような電流プロファイルにおいて、放電が行われた瞬間に発生する最大の電流値をピーク電流ＩＰ  と称する。
【００１７】
上記の図７に示す静電破壊試験装置を用いて、従来の磁気記録媒体（磁気テープ）に対してＡＭＲヘッドの破壊の閾値を測定した。結果を図９に示す。縦軸はＥＳＤ電流のピーク電流ＩＰ  （ｍＡ）とＡＭＲヘッドの抵抗（Ω）であり、それぞれの値をＥＳＤガンの印加電圧（Ｖ）に対してプロットしたものである。ＡＭＲヘッドの抵抗は一定の磁気を読み取ったときの抵抗の値であり、ＡＭＲヘッドが破壊されていない限り一定の値となる。
印加電圧を上げていくと、ピーク電流ＩＰ  が徐々に大きくなっていき、例えば６０ｍＡを越えようとした辺りで大きく減少し、ピーク電流の値は不規則に変化する。上記の変化をほぼ同時に、それまでほぼ一定であったＭＲヘッドの抵抗も変化する。従って、この時点でＡＭＲヘッドが破壊されたと解することができる。
一般にＡＭＲヘッドの破壊電流は１００〜２００ｍＡ程度と言われており、ＧＭＲヘッドの場合はそれより１桁程度小さい値となっている。
上記のように、磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気によってＭＲヘッドなどの磁気ヘッドの破壊が発生するため、磁気記録媒体としてこれに対して対策することが望まれている。
【００１８】
また、上記の特許文献２に記載の技術は、磁気記録媒体の表面抵抗を変える毎に、磁性層の磁気特性まで変えてしまうことになり、設計を最初から見直す必要が生じるため、実施するのは容易ではない。
【００１９】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、従って本発明は、磁気記録媒体である磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気によるＭＲヘッドなどの磁気ヘッドの静電破壊を容易に防止することができる磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の磁気記録媒体は、非磁性支持体上に形成された磁性層に記録された信号が再生用の磁気ヘッドにより再生される磁気記録媒体であって、長尺状の非磁性支持体と、前記非磁性支持体の一主面に、真空薄膜形成技術によって形成された斜方柱状構造の強磁性金属薄膜を有する磁性層と、前記磁性層上に形成され、静電気に起因する電圧が当該磁気記録媒体に印加されたときに前記磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、前記磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、前記磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層とを有する。
【００２１】
上記の本発明の磁気記録媒体は、磁性層上に、静電気に起因する電圧が磁気記録媒体に印加されたときに磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層を有しており、磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流が磁気ヘッドを破壊する電流より十分小さくなる。
【００２２】
また、上記の目的を達成するため、本発明の磁気記録媒体は、非磁性支持体上に形成された磁性層に記録された信号が再生用の磁気ヘッドにより再生される磁気記録媒体であって、長尺状の非磁性支持体と、前記非磁性支持体の一主面に、真空薄膜形成技術によって形成された斜方柱状構造の第１の強磁性金属薄膜を有する第１磁性層と、前記第１磁性層上に形成され、静電気に起因する電圧が当該磁気記録媒体に印加されたときに前記磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、前記磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、前記磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層と、前記表面抵抗制御層の上層に、真空薄膜形成技術によって形成された斜方柱状構造の第２の強磁性金属薄膜を有する第２磁性層とを有する。
【００２３】
上記の本発明の磁気記録媒体は、第１磁性層と第２磁性層の間に、静電気に起因する電圧が磁気記録媒体に印加されたときに磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層を有しており、磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流が磁気ヘッドを破壊する電流より十分小さくなる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の磁気記録媒体の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２５】
第１実施形態
図１は本実施形態に係る磁気記録媒体（磁気テープ）の断面図である。
長尺状の非磁性支持体１上に、磁性層２、表面抵抗制御層３、保護層４が順次形成されてなる構成である。磁性層３は単層の強磁性金属薄膜からなる。
また、必要に応じて、保護層４上に所定の潤滑剤によって潤滑剤層５を形成してもよい。また、非磁性支持体１の磁性層２が形成されている側の面と反対側の面に、バックコート層６を形成してもよい。
【００２６】
非磁性支持体１としては、従来の磁気テープにおいて用いられている公知の材料をいずれも適用できる。例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン類、セルローストリアセテート等のセルロース誘導体、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド等のプラスチック類等が挙げられる。
【００２７】
磁性層２は、真空薄膜形成技術によって形成された斜方柱状構造の単層の強磁性金属薄膜であり、例えば１０〜１００ｎｍ程度の膜厚である。
例えば真空蒸着装置を用いた斜方蒸着の手法により、真空下で強磁性金属材料を加熱蒸発させ、得られた金属材料の蒸気を走行させた長尺状の非磁性支持体１の一主面側に対して斜めに角度をもって入射させ、磁性体微粒子を堆積させて強磁性金属薄膜を成膜する。このような斜方蒸着の製法は、成膜性が良好で、生産性が高く、操作も容易であるという利点を有している。
磁性層２を形成する真空蒸着装置としては、従来より知られている装置を好ましく用いることができる。
【００２８】
磁性層２を構成する強磁性金属材料としては、この種の磁気記録媒体の作製に通常用いられる従来公知の金属材料や磁性合金をいずれも適用可能である。
例えば、Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁性金属、Ｃｏ−Ｎｉ系合金、Ｃｏ−Ｆｅ系合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ系合金、Ｃｏ−Ｃｒ系合金、Ｃｏ−Ｐｔ系合金、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｂ系合金、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｔａ系合金等の各種材料、あるいはこれらの材料を酸素雰囲気中で成膜し、膜中に酸素を含有させたもの、またはこれらの材料に１種または２種以上のその他の元素を含有させたものが挙げられる。
【００２９】
表面抵抗制御層３は、静電気に起因する電圧が磁気記録媒体に印加されたときに磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための層である。
【００３０】
表面抵抗制御層３は、例えばＡｌ２  Ｏ３  、ＳｉＯ２  などの酸化物、ＳｉＮなどの窒化物など、抵抗を高めるのに適した絶縁体材料を用いることが好ましい。
表面抵抗制御層３の膜厚は、表面抵抗制御層３を構成する材料の種類と、本実施形態の磁気記録媒体を再生するための磁気ヘッドの種類によって適切に選択される。これは、表面抵抗制御層３を構成する材料によって表面抵抗を高める効果が異なり、さらに磁気ヘッドの種類によって破壊されるのに十分な電流の大きさが異なるためである。このため、表面抵抗制御層３の膜厚の下限は表面抵抗を高める効果を確保するのに十分な膜厚として決定される。一方、表面抵抗制御層３の膜厚を必要以上に厚くしてもスペースのロスになるだけであり、膜厚の上限は通常はスペーシングの問題から決定される。
例えば、表面抵抗制御層３を酸化シリコンで構成し、表面抵抗制御層３を形成しない場合の数倍から５０倍程度にまで表面抵抗を高めたい場合には、下記実施例の結果から、酸化シリコンの膜厚を１０〜２０ｎｍ程度とする。
上記の表面抵抗制御層３は、例えばスパッタリング法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により形成することができる。
【００３１】
保護層４は、良好な走行耐久性および耐食性を確保するための層であり、例えばダイヤモンドライクカーボンから構成される。
ダイヤモンドライクカーボンは、例えばプラズマＣＶＤ連続膜形成装置を用いてＣＶＤ法によって形成できる。
【００３２】
潤滑剤層５は、走行性を良好にするために設けられ、例えば任意のパーフルオロポリエーテル系の潤滑剤からなる。
【００３３】
非磁性支持体１の磁性層３が形成されている側の面と反対側の面のバックコート層６は、走行性の向上や帯電防止等を目的として形成されら層である。
バックコート層６は膜厚０．２〜０．７μｍ程度であることが好適である。バックコート層６は、例えば無機顔料等の固体粒子を結合剤中に分散させ、結合剤の種類に応じた有機溶剤とともに混練してバックコート層用塗料を調製し、これを非磁性支持体１の裏面側に塗布して形成される。
【００３４】
上述のようにして作製される本実施形態の磁気記録媒体は信号を高密度に記録することが可能であり、再生用の磁気ヘッドとしてＡＭＲヘッド、ＧＭＲヘッドあるいはＴＭＲヘッドを用いた磁気記録テープシステム用の磁気記録媒体として好適である。
テープシステムとしては、回転ドラム上に配置された磁気ヘッドが、高速に回転しながら磁気テープ上をスキャンすることで記録再生を行うヘリカルスキャン方式が好適である。
これは、上述のように本実施形態の磁気記録媒体の磁性層は、斜方蒸着膜の柱状構造を有する強磁性金属薄膜の単層からなり、磁気ヘッドの摺動方向によって記録再生特性が異なる異方性を有している。このため、磁気記録媒体に対して磁気ヘッドが常に同じ方向に摺動するヘリカルスキャン型が適している。
しかし、例えばイコライザを用いて双方向に記録再生が行われるときの磁気信号差を調整する回路などを備えることにより、リニア方式にも適用することもできる。
【００３５】
尚、磁気記録媒体の耐久性や走行性、および磁気記録媒体を構成する各層の成膜時のハンドリング性を向上させる目的で、必要に応じて、非磁性支持体１と磁性層２の間に不図示の下地層を設けることもできる。
【００３６】
本実施形態に係る磁気記録媒体によれば、磁性層上に、静電気に起因する電圧が磁気記録媒体に印加されたときに磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層を有しており、磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流が磁気ヘッドを破壊する電流より十分小さくなる。
これにより、磁気記録媒体である磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気による、ＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどの磁気ヘッドの静電破壊を防止できる。しかも表面抵抗制御層を設ける工程を追加するだけで容易に実施することができ、また、使用する磁気ヘッドの種類に応じて表面抵抗制御層を構成する材料や膜厚などを選択して対応することができる。
【００３７】
第２実施形態
図２は本実施形態に係る磁気記録媒体（磁気テープ）の断面図である。
実質的に第１実施形態の磁気記録媒体と同様であるが、磁性層２が複数の強磁性金属薄膜の積層体であり、斜方柱状構造の成長方向が互いに異なる第１の強磁性金属薄膜２ａと第２の強磁性金属薄膜２ｂからなる構成であることが異なっており、これ以外の構成は第１実施形態の磁気記録媒体と同様である。
【００３８】
また、第１実施形態と同様に、磁性層２の上層に、静電気に起因する電圧が磁気記録媒体に印加されたときに磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層３が形成されている。
【００３９】
磁性層２は、斜方蒸着により形成され、斜方柱状構造を有する。第１の強磁性金属薄膜２ａと第２強磁性金属薄膜２ｂの成長方向は互いに逆であり、これらの強磁性金属薄膜（２ａ，２ｂ）の膜厚は所定の範囲内に制御される。これにより、磁気ヘッドと磁気記録媒体を相対的に、磁気記録媒体の長手方向の一方向に移動させて記録再生を行った場合と、逆方向に移動させて記録再生を行った場合の記録再生特性の差が低減される。
本実施形態の磁気記録媒体は信号を高密度に記録することが可能であり、再生用の磁気ヘッドとしてＡＭＲヘッド、ＧＭＲヘッドあるいはＴＭＲヘッドを用いた磁気記録テープシステム用の磁気記録媒体に適しており、上記の理由から特にリニア方式の磁気記録テープシステムに適している。
【００４０】
上述した磁性層２の構造を得るには、まず、ロール状の非磁性支持体１を一方向に進行させながら斜方蒸着を行い、第１の強磁性金属薄膜２ａを成膜してロール状に巻き取り、巻き取られたロールから再び供給して上記一方向に進行させながら斜方蒸着を行い、第２の強磁性金属薄膜２ｂを成膜する。
【００４１】
第１の強磁性金属薄膜２ａの膜厚ｄ１と第２の強磁性金属薄膜２ｂの膜厚ｄ２について、比ｄ２／ｄ１が１／２以上、１以下であることが好ましい。
ｄ２／ｄ１が１／２未満の場合、第１の強磁性金属薄膜２ａからの信号の割合が大きくなり、正方向と逆方向で記録再生した際の長波長領域における信号出力差が大きくなる。また、ｄ２／ｄ１が１よりも大きくなると、第２の強磁性金属薄膜２ｂからの信号の割合が大きくなり、正方向と逆方向で記録再生した際の短波長領域における信号出力差が大きくなる。
【００４２】
本実施形態に係る磁気記録媒体によれば、第１実施形態と同様に、表面抵抗制御層により、磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流が磁気ヘッドを破壊する電流より十分小さくなり、磁気記録媒体である磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気による、ＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどの磁気ヘッドの静電破壊を防止できる。しかも表面抵抗制御層を設ける工程を追加するだけで容易に実施することができ、また、使用する磁気ヘッドの種類に応じて表面抵抗制御層を構成する材料や膜厚などを選択して対応することができる。
【００４３】
本実施形態において、第１の強磁性金属薄膜２ａと第２強磁性金属薄膜２ｂの成長方向を同じ構成とすることも可能であり、この場合には、第１実施形態と同様にヘリカルスキャン型の磁気記録テープシステムが適している。
さらに、第１の強磁性金属薄膜２ａと第２強磁性金属薄膜２ｂがさらに複数の強磁性金属薄膜の積層体からなる構成することも可能である。
【００４４】
第３実施形態
図３は本実施形態に係る磁気記録媒体（磁気テープ）の断面図である。
長尺状の非磁性支持体１上に、第１磁性層７、表面抵抗制御層３、第２磁性層８、保護層４が順次形成されてなる構成である。第１磁性層７および第２磁性層８は、それぞれは単層の強磁性金属薄膜からなる。
ここで、第１磁性層７を構成する強磁性金属薄膜と第２磁性層８を構成する強磁性金属薄膜は、斜方柱状構造の成長方向が互いに異なる。
また、必要に応じて、保護層４上に所定の潤滑剤によって潤滑剤層５を形成してもよい。また、非磁性支持体１の第１磁性層７などが形成されている側の面と反対側の面に、バックコート層６を形成してもよい。
上記の第１磁性層７、表面抵抗制御層３および第２磁性層８を除く構成については、第１実施形態の磁気記録媒体と同様である。
【００４５】
また、第１実施形態と同様に、表面抵抗制御層３は、静電気に起因する電圧が磁気記録媒体に印加されたときに磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための層として形成されている。
【００４６】
第２実施形態の第１の強磁性金属薄膜２ａと第２強磁性金属薄膜２ｂと同様に、第１磁性層７の膜厚ｄ１と第２磁性層８の膜厚ｄ２について、比ｄ２／ｄ１が１／２以上、１以下であることが好ましく、この膜厚に制御することで、磁気ヘッドと磁気記録媒体を相対的に、磁気記録媒体の長手方向の一方向に移動させて記録再生を行った場合と、逆方向に移動させて記録再生を行った場合の記録再生特性の差が低減される。
本実施形態の磁気記録媒体は信号を高密度に記録することが可能であり、再生用の磁気ヘッドとしてＡＭＲヘッド、ＧＭＲヘッドあるいはＴＭＲヘッドを用いた磁気記録テープシステム用の磁気記録媒体に適しており、上記の理由から特にリニア方式の磁気記録テープシステムに適している。
【００４７】
本実施形態に係る磁気記録媒体によれば、第１実施形態と同様に、表面抵抗制御層により、磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流が磁気ヘッドを破壊する電流より十分小さくなり、磁気記録媒体である磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気による、ＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどの磁気ヘッドの静電破壊を防止できる。しかも表面抵抗制御層を設ける工程を追加するだけで容易に実施することができ、また、使用する磁気ヘッドの種類に応じて表面抵抗制御層を構成する材料や膜厚などを選択して対応することができる。
【００４８】
本実施形態において、第１磁性層７と第２磁性層８がさらに複数の強磁性金属薄膜の積層体からなる構成することも可能である。
【００４９】
第４実施形態
図３は本実施形態に係る磁気記録媒体（磁気テープ）の断面図である。
実質的に第３実施形態の磁気記録媒体と同様であるが、第１磁性層７を構成する強磁性金属薄膜と第２磁性層８を構成する強磁性金属薄膜は、斜方柱状構造の成長方向が同じであることが異なっており、これ以外の構成は第３実施形態の磁気記録媒体と同様である。
【００５０】
また、第１実施形態と同様に、静電気に起因する電圧が磁気記録媒体に印加されたときに磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流の大きさを、磁気ヘッドを破壊する電流より小さくするように、磁気記録媒体の表面抵抗を高めるための表面抵抗制御層３が形成されている。
【００５１】
本実施形態の磁気記録媒体は信号を高密度に記録することが可能であり、再生用の磁気ヘッドとしてＡＭＲヘッド、ＧＭＲヘッドあるいはＴＭＲヘッドを用いた磁気記録テープシステム用の磁気記録媒体として好適であり、第１実施形態と同様に、磁気記録媒体に対して磁気ヘッドが常に同じ方向に摺動するヘリカルスキャン型が適している。
【００５２】
本実施形態に係る磁気記録媒体によれば、第１実施形態と同様に、表面抵抗制御層により、磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流が磁気ヘッドを破壊する電流より十分小さくなり、磁気記録媒体である磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気による、ＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどの磁気ヘッドの静電破壊を防止できる。しかも表面抵抗制御層を設ける工程を追加するだけで容易に実施することができ、また、使用する磁気ヘッドの種類に応じて表面抵抗制御層を構成する材料や膜厚などを選択して対応することができる。
【００５３】
本実施形態において、第１磁性層７と第２磁性層８がさらに複数の強磁性金属薄膜の積層体からなる構成することも可能である。
【００５４】
（実施例１）
第１実施形態で説明した構成の磁気記録媒体を作成し、表面抵抗の値を測定した。但し、表面抵抗制御層としては酸化シリコンを用い、その膜厚を変化させることで種々の表面抵抗となるように種々の試料を作成し、表面抵抗制御層を設けていない試料の表面抵抗を１としたときの比表面抵抗を測定した。
結果を図５に示す。縦軸は比表面抵抗、横軸はＳｉＯ２  の膜厚である。
図５から、表面抵抗制御層の膜厚を厚くすることにより、比表面抵抗も高くなってきており、例えば表面抵抗制御層を設けていない試料の数倍から５０倍程度に表面抵抗を制御するためには、１０〜２０ｎｍ程度の膜厚の酸化シリコンが必要であることがわかった。
【００５５】
（実施例２）
上記実施例１と同様に、第１実施形態で説明した構成の磁気記録媒体において表面抵抗制御層としては酸化シリコンを用い、その膜厚を変化させることで種々の表面抵抗となる試料を作成した。
得られた種々の表面抵抗を有する磁気記録媒体に対して、図７に示す静電破壊試験装置を用いて、ＥＳＤ電流のピーク電流ＩＰ  を測定した。
結果を図６に示す。縦軸はピーク電流ＩＰ  、横軸は表面抵抗である。
図６から、表面抵抗を下げるに従って、ＥＳＤ電流のピーク電流ＩＰ  も小さくなってきており、例えば表面抵抗を１０２  Ω／□から１０５  Ω／□まで高めることで、ピーク電流ＩＰ  を二桁小さくすることができることがわかった。
【００５６】
本発明は上記の実施の形態に限定されない。
例えば、再生用の磁気ヘッドは、ＡＭＲヘッド、ＧＭＲヘッドおよびＴＭＲヘッドの他の磁気ヘッドを用いることも可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
【００５７】
【発明の効果】
本発明の磁気記録媒体によれば、表面抵抗制御層により、磁気ヘッドに伝わる静電破壊電流が磁気ヘッドを破壊する電流より十分小さくなり、磁気記録媒体である磁気テープとテープ走行系の外部から放電される静電気による、ＡＭＲヘッドやＧＭＲヘッドなどの磁気ヘッドの静電破壊を容易に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は第１実施形態に係る磁気記録媒体の断面図である。
【図２】図２は第２実施形態に係る磁気記録媒体の断面図である。
【図３】図３は第３実施形態に係る磁気記録媒体の断面図である。
【図４】図４は第４実施形態に係る磁気記録媒体の断面図である。
【図５】図５は実施例１の結果を示すグラフである。
【図６】図６は実施例２の結果を示すグラフである。
【図７】図７は静電破壊試験装置の模式構成図である。
【図８】図８は図７に示す静電破壊試験装置を用いて測定した結果の例を示すグラフである。
【図９】図９は図７に示す静電破壊試験装置を用いて従来の磁気記録媒体に対してＡＭＲヘッドの破壊の閾値を測定した結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１…非磁性支持体、２…磁性層、２ａ…第１の強磁性金属薄膜、２ｂ…第２の強磁性金属薄膜、３…表面抵抗制御層、４…保護層、５…潤滑剤層、６…バックコート層、７…第１磁性層、８…第２磁性層、１０…絶縁性テーブル、１１…磁気テープ、１２…ＭＲヘッド、１３…ＥＳＤガン（ＥＳＤシミュレータ）、１４…静電気、１５…プローブ、１６…高速オシロスコープ、ＩＥＳＤ  …ＥＳＤ電流。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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