(57)【要約】【課題】膨大な熱エネルギを用いることなく、粘度の高い液体を安定して吐出させることのできる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出装置１０は、液体に熱エネルギを与えて気泡を発生させる熱エネルギ作用面を備えたヒータ３８と、このヒータ３８の熱エネルギ作用面を壁面に備え、この熱エネルギ作用面に向けて前記液体を供給する液体供給流路４０と、液体供給流路４０を挟んでヒータ３８と対向する位置に液体が吐出する吐出ノズル２６とを備えた吐出ヘッド１２と、液体供給流路４０と接続され、液体を一定圧力で加圧する液体加圧装置１６と、を有し、液体加圧装置１６は、液体の液滴不吐出状態を維持するように圧力が調整されて液体を加圧するとともに、ヒータ３８を駆動することにより加圧された液体中に発生する気泡の膨張力を用いて、液体を吐出ノズル２６から吐出させて液滴を生成する。【選択図】図２
2004230810.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出させる液滴吐出装置であって、
液体に熱エネルギを与えて気泡を発生させる熱エネルギ作用面を備えた第１の発熱ヒータと、この第１の発熱ヒータの熱エネルギ作用面を壁面に備え、この熱エネルギ作用面に向けて液体を供給する液体供給流路と、この液体供給流路に連通し、前記第１の発熱ヒータの熱エネルギーにより発生した気泡の膨張力で液体が吐出する吐出ノズルと、を備えた吐出ヘッドと、
前記液体供給流路と接続され、液体を一定圧力で加圧する液体加圧装置と、を有し、
前記液体加圧装置は液体の液滴不吐出状態を維持するように圧力を調整して前記液体を加圧するとともに、前記第１の発熱ヒータを駆動することにより加圧された前記液体中に発生する気泡の膨張力を用いて、液体を前記吐出ノズルから吐出させて液滴を生成させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
さらに、前記吐出ノズルは、プレートに穿孔されたノズルであって、
このプレートの前記吐出ノズルの吐出側先端近傍に、前記液体を加熱する複数の第２の発熱ヒータが設けられ、前記第１の発熱ヒータを駆動する第１の駆動信号のタイミングに応じて第２の駆動信号を前記第２の発熱ヒータの少なくとも１つに印加する駆動回路を有する請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記第２の発熱ヒータが、前記吐出ノズルを取り巻く前記プレートの周縁部を少なくとも周方向で２分割以上した分割領域のそれぞれに対して、１つずつ設けられている請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記液体は、２０（ｍＰａ・秒）以上の粘性を有するものである請求項１〜３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴を吐出させる液滴吐出装置、特に、粘度の高い液体を液滴として吐出させる液滴吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
今日、インクの一部分を急激に加熱してインク中に気泡を発生させ、この気泡の膨張力によってインクを液滴として吐出させるサーマルインクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタが普及し、高画質な画像を記録紙にプリントすることができる。しかし、プリントに用いられる記録紙は主に、比較的高価な専用紙が用いられ、吸水性の比較的高い普通紙を用いた場合、紙面に着弾したインクが紙面上で滲み、必ずしも高画質な画像をプリントすことができないといった不都合がある。
このため、普通紙にプリントした場合でもインクの滲みが生じないように比較的粘度の高いインクを用いることが考えられるが、この場合、粘度の高いインクを正確に吐出させる必要があった。
【０００３】
一方、粘度の高いインクを液滴として安定して吐出させるために、インク吐出ヘッド全体を高温状態として、インクの粘度を低下させて、インク滴を安定して吐出させるインク吐出ヘッドが知られている。
また、インク滴の吐出速度を高くし、かつインク滴のサイズを小さくすることのできる連続インクジェット方式において、インク滴等の液滴の形成と偏向を高い繰返し速度で行うインクジェットプリンタも知られている（特許文献１）。
【０００４】
特許文献１では、インク供給溝と、このインク供給溝に連通する加圧インクの供給源と、インク供給溝内へ開口したノズル孔部と、インク流を複数の液滴へ分裂させる液滴発生器であるヒータと、を有する連続インクジェットプリンタを開示している。
すなわち、上記プリンタは、加圧インクの供給源によってノズル孔部から飛び出すインクの連続流を、プレート状の絶縁層に穿孔されたノズル孔部の開口端近傍に設けられたヒータの熱によって複数の液滴に効率よく分裂させて形成するものである。これによって、液滴を安定して形成することができるとされている。
【０００５】
また、上記ヒータは、プレート状の絶縁層のノズル孔部の周縁部を周方向に２分割した区画部を有する２つのヒータであり、この２つのヒータを駆動回路を用いて選択的に駆動してインク連続流に非対称に熱を付加することで液滴の吐出方向を偏向させることができ、この偏向を用いて液滴の記録媒体への着弾の有無を制御することができる。これにより、液滴の偏向を高い繰返し速度で行うことができるとされている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−１９２７０７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、粘度の高いインクを正確に吐出させるために、インク吐出ヘッド全体を高温状態として、インクの粘度を低下させてインク滴を安定して吐出させるインク吐出ヘッドでは、ヘッド全体を高温にするための膨大な熱エネルギが必要となり、低エネルギで駆動する装置開発に逆行するものである。
また、特許文献１における連続インクジェットプリンタにおいて用いるインクは、水を主成分とする粘度が１（ｍＰａ・秒）のインクであり、この場合の加圧圧力は０．５〜１．５気圧である。一方、粘度の高いインクを加圧してインクの連続流をノズル孔部から飛び出させるには、例えば、１００（ｍＰａ・秒）のインクを連続流として飛び出させる場合、常時略１００気圧でインクを加圧しなければならない。このため、インク供給溝の壁面やノズル孔部はこの加圧圧力に耐えるように強度設計をしなければならないが、このような加圧圧力に耐えるプリンタのヘッドを構成することは極めて困難である。
【０００８】
そこで、本発明は、上記問題を解決するために、膨大な熱エネルギを用いることなく、粘度の高い液体を安定して吐出させることのできる簡単な装置構成の液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、液滴を吐出させる液滴吐出装置であって、液体に熱エネルギを与えて気泡を発生させる熱エネルギ作用面を備えた第１の発熱ヒータと、この第１の発熱ヒータの熱エネルギ作用面を壁面に備え、この熱エネルギ作用面に向けて液体を供給する液体供給流路と、この液体供給流路に連通し、前記第１の発熱ヒータの熱エネルギーにより発生した気泡の膨張力で液体が吐出する吐出ノズルと、を備えた吐出ヘッドと、前記液体供給流路と接続され、液体を一定圧力で加圧する液体加圧装置と、を有し、前記液体加圧装置は液体の液滴不吐出状態を維持するように圧力を調整して液体を加圧するとともに、前記第１の発熱ヒータを駆動することにより加圧された液体中に発生する気泡の膨張力を用いて、液体を前記吐出ノズルから吐出させて液滴を生成させることを特徴とする液滴吐出装置を提供する。
【００１０】
さらに、前記吐出ノズルは、プレートに穿孔されたノズルであって、このプレートの前記吐出ノズルの吐出側先端近傍に、前記液体を加熱する複数の第２の発熱ヒータが設けられ、前記第１の発熱ヒータを駆動する第１の駆動信号のタイミングに応じて第２の駆動信号を前記第２の発熱ヒータの少なくとも１つに印加する駆動回路を有するのが好ましい。その際、前記第２の発熱ヒータが、前記吐出ノズルを取り巻く前記プレートの周縁部を少なくとも周方向で２分割以上した分割領域のそれぞれに対して、１つずつ設けられているのが好ましい。
なお、前記液体は、例えば、２０（ｍＰａ・秒）以上の粘性を有するものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置について、添付の図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する。
【００１２】
図１は、本発明の液滴吐出装置の一例である液滴吐出装置１０の概略の構成を示すブロック図である。
液滴吐出装置１０は、高粘度の液体を液滴として吐出して記録媒体Ｍに画像を記録する装置であって、吐出ヘッド１２と、液体貯蔵タンク１４と、加圧装置１６と、回収溝１８と、液体回収ユニット２０と、制御回路２２と、記録媒体Ｍを搬送する搬送ローラ２４とを有して構成される。
【００１３】
吐出ヘッド１２は、図１中の紙面の垂直方向に複数の吐出ノズルが配列され、高粘度の液体流を吐出ノズルから一定周期で吐出させるとともに、制御回路２２から供給される駆動信号に応じて、この液体流を分裂させて液滴を形成させ、さらに、液滴の吐出方向を偏向して液滴の記録媒体Ｍへの着弾のＯＮ，ＯＦＦを制御する装置である。
図２（ａ）は、吐出ヘッド１２の１つの吐出ノズルに対応した吐出ユニット３０の構成を示した断面図であり、図２（ｂ）は、吐出口周りに形成されるヒータの配置を示した模式図である。
【００１４】
吐出ユニット３０は、Ｓｉ基板３２と隔壁層３４とノズルプレート３６とを有する。
Ｓｉ基板３２の面には、粘度が２０（ｍＰａ・秒）以上の粘性を有する液体に熱エネルギを与えて部分的に沸騰させ気泡を発生させる熱エネルギ面を備えるヒータ３８（第１の発熱ヒータ）が形成され、このＳｉ基板３２の上方に隔壁層３４が積層され、この隔壁層３４の上にノズルプレート３６が積層されて構成される。
隔壁層３４とノズルプレート３６とは、ノズルプレート３６側に熱硬化型接着剤が塗布されて形成された接着層３９によって接着されて積層されている。
【００１５】
隔壁層３４は、粘度が１００（ｍＰａ・秒）程度の感光性ポリイミドをＳｉ基板３２に塗布した後所望の液体供給流路４０が形成されるようにフォトドライエッチングにてパターニングして設けられたものである。隔壁層３４とＳｉ基板３２とノズルプレート３６（あるいは接着層３９）とを壁面とし、ヒータ３８が液体供給流路４０の壁面の一部分となっている。液体供給流路４０は液体貯蔵タンク１４に接続され、液体供給流路４０を介して常時ヒータ３８に向けて液体が供給されるようになっている。
ノズルプレート３６に形成される接着層３９は、熱硬化型接着剤が用いられる他、紫外線硬化型接着剤や熱可塑性接着剤が用いられてもよい。
【００１６】
ノズルプレート３６は、アラミドを材料とするプレートであり、このノズルプレート３６には、液体供給流路４０を挟んでヒータ３８と対向する位置に吐出口４２を吐出側先端に備える円筒状の吐出ノズル２６が設けられ、吐出ノズル２６が液体供給流路４０に連通している。
なお、ノズルプレート３６は、アラミドの他、ＰＥＮ（ポリエーテルニトリル）やポリイミド等のポリマフイルムを用いてもよい。
ヒータ３８の熱エネルギ作用面から吐出口４２までの距離は、発生した気泡が大気と連通しない程度の長さを有して構成され、例えば３０〜５０μｍである。
【００１７】
Ｓｉ基板３２に形成されるヒータ３８は、例えば、最下層にＴａ２  Ｏ５  やＳｉＯ２  等からなる図示されない層が設けられ、この上に、組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏからなる抵抗体３８ａが設けられ、さらに、この上に抵抗体３８ａに電圧を印加するＮｉからなる電極３８ｂ，３８ｃが設けられたものであり、抵抗体３８ａに電圧を印加することで発熱し抵抗体３８ａの近傍に位置する液体供給流路４０中の液体を加熱する熱エネルギ作用面を備えるヒータが形成されている。なお、抵抗体３８ａの表面には、厚さが０．１μｍ以下、好ましくは、０．０１μｍ程度の熱酸化処理による抵抗体３８ａの自己酸化被膜が形成される。あるいは、電気絶縁層として、酸化シリコン（ＳｉＯ２  ）膜や窒化シリコン（Ｓｉ３  Ｎ４  ）膜が形成されてもよく、この電気絶縁層の上には、さらにＴａ２  Ｏ５  等の耐キャビテーション膜が１μｍの厚さで積層されてもよい。このように、抵抗体の上に耐キャビテーション膜を形成するのは、発生した気泡が吐出ノズル２６上方に膨張して大気と連通しないように構成され、気泡が断熱膨張後に縮小して消滅する時のキャビテーション衝撃に耐えられるようにするためである。
また、抵抗体３８ａは、組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏからなる抵抗体の他に、Ｔａ−Ｎ、ＨｆＯ等の組成を持つ抵抗体であってもよい。
【００１８】
電極３８ｂは、各吐出ユニットの同様の電極と共通にまとめられて接地される。一方、電極３８ｃはＳｉ基板３２に形成された駆動回路４４に接続され、駆動回路４４にて生成された駆動信号の印加パルスが電極３８ｃに供給されるように構成されている。隔壁層３４は、電極３８ｃおよび抵抗体３８ａの一部分を覆っている。
【００１９】
ノズルプレート３６には、ＳｉＯ２  からなる厚さが略０．５μｍの絶縁膜４６が形成されており、この絶縁膜４６には、ヒータ３８の抵抗体３８ａと同様の抵抗体が吐出口４２の周りを覆うように、この周りを３等分して形成されている。これらの抵抗体は、それぞれグラウンド配線４８ａ，５０ａ，５２ａと信号線４８ｂ，５０ｂ，５２ｂと接続されており、グラウンド配線４８ａ，５０ａ，５２ａは接地され、信号線４８ｂ，５０ｂ，５２ｂは、駆動回路４４に接続されている。信号線４８ｂ，５０ｂ，５２ｂは、駆動回路４４から選択的に所定の信号が供給されて、吐出口４２の周りの一部分を加熱する複数のヒータ（第２の発熱ヒータ）４８，５０，５２が作られている。
すなわち、吐出ノズル２６を取り巻くノズルプレート３６の周縁部を周方向に３分割した分割領域のそれぞれに対してヒータ４８，５０，５２が１つずつ設けられ、これらのヒータ４８，５０，５２が駆動回路４４と接続されてそれぞれ選択的に発熱するように駆動信号が供給される。
グラウンド線４８ａ，５０ａ，５２ａおよび信号線４８ｂ，５０ｂ，５２ｂは、例えば、配線幅５μｍ、厚さ０．８μｍのアルミニウム配線である。勿論、Ｎｉ，Ａｕ等の抵抗率の小さい金属材料が用いられてもよい。なお、絶縁膜４６は、ＳｉＯ２  の替わりに、ポリイミドやサイトップ等のフッ化樹脂を用いてもよく、この場合、膜厚は０．５μｍ以下であるのが好ましい。
【００２０】
このように、吐出ユニット３０は、加圧されて液滴が不吐出状態にある液体を、ヒータ３８の熱エネルギ作用面の近傍で加熱して沸騰させることで気泡を発生させ、この気泡の膨張力で液体を吐出ノズル２６の吐出口４２側に押し上げて液体流を吐出口４２から容易に吐出させることができる。液体に発生する気泡は、数１０〜１００気圧の圧力で膨張するので、１００（ｍＰａ・秒）の粘度を持つ液体であっても、加圧された状態から液体流を容易に吐出させることができる。ヒータ３８は、所定の周波数で駆動信号が駆動回路４４から供給されて、例えば２００ｋＨｚの吐出周波数で吐出口４２から飛び出す液体流が形成される。
ここで、吐出口４２の外径、液体の粘度等の条件に応じて吐出周波数が調整されているのが好ましい。吐出口４２から飛び出した液体流が自ら分裂して液滴を生成するタイミングは吐出口４２の外径および液体の粘度等の条件によって種々変化するからである。
【００２１】
液体貯蔵タンク１４は、液体を貯蔵するタンクで、供給管等を介して液体供給流路４０に供給される。
加圧装置１６は、液体貯蔵タンク１４を加圧して粘性の高い液体を吐出ヘッド１２に供給するとともに、吐出ヘッド１２の液体供給流路４０内の液体自体を所定の圧力で常時加圧する装置である。液体供給流路４０内の液体は、液体供給流路４０に至るまでの流路壁面との摩擦力によって加圧圧力が低下しているが、この圧力は液体の液滴不吐出状態を維持するように調整されている。すなわち、液体が液体流として吐出ノズル２６から飛び出さないように、あるいは、液体流として飛び出しても実質的に液滴が生成されない程度の吐出速度しか得られず、液体流が回収溝１８に回収されるように構成されている。
したがって、加圧装置１６で常時加圧されている液体は、吐出ヘッド１２において、吐出ノズル２６から液滴が吐出しない不吐出状態を維持するが、ヒータ３８が駆動することにより、液体流が吐出ノズル２６から吐出し、さらに、液体流が分裂して液滴となって飛翔し、記録媒体Ｍに着弾するように構成される。
【００２２】
回収溝１８は、吐出ヘッド１２から吐出した液滴のうち、偏向した液滴あるいは液体流を受けて回収する溝で、吐出ヘッド１２の吐出ノズルの配列方向に対応した方向に溝が向けられて回収溝１８が設けられている。
液体回収ユニット２０は、回収された液体に含まれる塵や埃を除去するフィルタを備え、これを液体貯蔵タンク１４に戻すものである。
【００２３】
制御回路２２は、コンピュータやデジタルスチルカメラ等で得られた画像信号を吐出ヘッド１２の駆動信号に変換する部位であり、ヒータ３８を駆動する制御信号およびノズルプレート３６上に設けられた３つのヒータ４８，５０，５２を駆動する制御信号を生成し、駆動回路４４に供給する。
搬送ローラ２４は、一定速度で記録媒体Ｍを搬送するローラで、搬送中の記録媒体Ｍに液滴が着弾して、画像が２次元的に記録される。
液滴吐出装置１０は、Ｓｉ基板３２の面に対して、垂直方向あるいは略垂直方向に液滴を吐出させる、いわゆるトップシュータ型の液滴吐出装置であるが、本発明においては、発熱ヒータの形成された基板面に平行あるいは略平行に液滴を吐出させる、いわゆるサイドシュータ型の液滴吐出装置であってもよい。
【００２４】
このような液滴吐出装置１０では、加圧装置１６から液体が加圧されて液体供給流路４０内の液体は加圧圧力を有するが、液体の液滴不吐出状態が維持されている。
一方、この状態で、制御回路２２から供給された制御信号によって駆動回路４４で各ヒータ４８，５０，５２の駆動信号が生成される。
まず最初、ヒータ３８の駆動信号によりヒータ３８が駆動される。ヒータ３８の駆動により、ヒータ３８の熱エネルギ作用面近傍に位置する液体が部分的に加熱され、過加熱された液体から自発的沸騰により気泡を発生させる。この発生した気泡の膨張力で液体は液体流となって吐出口４２から吐出させる。気泡の膨張力は、最大１００気圧程度にまで達するので、粘度が１００（ｍＰａ・秒）の液体であっても、吐出口４２から液体流を容易に吐出させることができる。
【００２５】
液体流の吐出後、液体流は自ら分裂して液滴となるが、液体流の形成に合わせて、ノズルプレート３６に設けられた３つのヒータ４８，５０，５２を所定のタイミングで発熱させることで、より効果的に液滴を生成することができる。すなわち、ヒータ４８，５０，５２では、液体流を効果的に分裂させて液滴を生成させるための弱い発熱がヒータ４８，５０，５２のそれぞれに対して行われるとともに、液滴の吐出方向を偏向させる場合は、吐出方向の偏向に合わせて強い発熱が所定のヒータに対して行われる。
【００２６】
図３（ａ）には、ヒータ３８に印加する駆動信号の時系列波形の一例を、図３（ｂ）〜（ｄ）には、ヒータ４８，５０，５２のそれぞれに印加する駆動信号の時系列波形の一例を示すタイミングチャートである。
図３（ａ）に示すヒータ３８の駆動信号は、所定のパルス幅を有するパルス信号であって、例えば、２００ｋＨｚの周波数で生成される。パルス幅は、熱エネルギ作用面の近傍の液体が自発的沸騰を起こすまでの時間に応じて決定され、例えば、ヒータ３８の上層として積層された電気絶縁層や耐キャビテーション層の厚さに応じて定まり、例えば、１μ秒である。
図３（ｂ）に示すヒータ４８の駆動信号は、図３（ａ）に示すヒータに印加する駆動信号のタイミングに同期して一定の遅れ時間ｔをもってパルス信号が立ち上がるようになっている。ヒータ５０に印加する駆動信号およびヒータ５２に印加する駆動信号についても同様である。このように遅れ時間ｔを持ってヒータを駆動するのは、ヒータ３８の駆動で発生した気泡の膨張力で液体流が吐出口４２から飛び出すときのタイミングに合わせて液体流を分裂させて液滴を効率よく生成するためである。
【００２７】
図３（ｂ）〜（ｄ）に示す駆動信号のパルス幅のうち、図３（ｂ）に示すヒータ４８に印加する駆動信号のパルス幅が最も長く、図３（ｃ）および（ｄ）のヒータ５０および５２に印加する駆動信号のパルス幅は短い。これにより、ヒータ４８の発熱量は多く、ヒータ５０およびヒータ５２の発熱量は小さくなるので、上述したように、液滴の吐出方向が、吐出口４２からみて図２（ｂ）中の右下方向に傾斜する。
こうして、ヒータ４８，５０，５２に印加する駆動信号を適宜調整することで、すなわち、少なくともヒータ４８、５０、５２のいずれか１つを調整して駆動することで、液滴の吐出方向を自在に制御できる。
図３（ａ）〜（ｄ）に示す駆動信号では、パルス幅を変えることで液滴の吐出方向を偏向させるものであるが、パルス信号の信号レベルの強弱によって液滴の吐出方向を偏向させてもよい。
このようにして、液滴の吐出方向を偏向させることができる。
【００２８】
図１では、液滴の吐出方向を偏向させたとき記録媒体Ｍに液滴が着弾するように構成されるが、液滴の吐出方向を偏向させたときに回収溝１８に向けて吐出させて液体が回収されるようにしてもよい。
また、本発明では、ノズルプレートの吐出口の周縁部に設けられるヒータは、吐出口の周縁部を少なくとも２分割していればよいが、好ましくは、液滴の吐出方向を一方向に偏向するとともに、個々の吐出ノズルの形状の誤差によって生じる液滴の吐出方向の微調整を二方向で調整するために、吐出ヘッド１２のように、吐出口４２の周縁部が少なくとも３分割以上されてヒータが形成されているのが好ましい。
【００２９】
本発明では、２０（ｍＰａ・秒）以上の粘度を有する液体をヒータで加熱して自発的沸騰により気泡を発生させ、この発生した気泡の膨張力で、予め加圧された液体を液体流として吐出口４２から飛び出させるが、気泡を発生させるヒータの駆動のタイミングと液滴へ分裂する分裂のタイミングとを制御することがで液滴を安定して生成することができ、しかも、液滴の吐出方向の偏向を安定して行うことができる。
【００３０】
以上、本発明の液滴吐出装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行ってもよいのはもちろんである。
例えば、液体の加圧装置は、ピエゾ素子を用いて液体を常時加振することで周期的に加圧してもよいし、液滴の吐出方向の偏向方法として、米国特許第４３４６３８７号公報に開示される電場を利用して電荷の付与された液滴の吐出方向を偏向させる方法を用いてもよい。
【００３１】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の液滴吐出装置は、液体加圧手段が、液体の液滴不吐出状態を維持するように圧力が調整されているとともに、発熱ヒータを駆動することにより加圧された液体中に気泡を発生させ、この気泡の膨張力を用いて液体流を形成して液滴を生成させるので、粘度の高い液体でも安定して液滴を吐出させることができる。
また、ノズルプレートに設けられたヒータの駆動により液滴の吐出方向の偏向を安定して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の一例である液滴吐出装置の概略の構成を示すブロック図である。
【図２】（ａ）は、図１に示す吐出ヘッドの１つの吐出ノズルに対応した吐出ユニットの構成を示した断面図であり、（ｂ）は、吐出口周りに形成されるヒータの配置を示した模式図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の液滴吐出装置の発熱ヒータに印加される駆動信号の一例を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
１０  液滴吐出装置
１２  吐出ヘッド
１４  液体貯蔵タンク
１６  加圧装置
１８  回収溝
２０  液体回収ユニット
２２  制御回路
２４  搬送ローラ
２６  吐出ノズル
３０  吐出ユニット
３２  Ｓｉ基板
３４  隔壁層
３６  ノズルプレート
３８，４８，５０，５２  ヒータ
３９  接着層
４０  液体供給流路
４２  吐出口
４４  駆動回路
４６  絶縁層
【図１】
2004230810.tif 000003
【図２】
2004230810.tif 000004
【図３】
2004230810.tif 000005