(57)【要約】【課題】本発明は、静圧軸受本体と主軸との間に形成された静圧ポケットに静圧媒体である液体を加圧状態で供給する静圧軸受装置及び両頭研削装置に関し、ゴミや微生物を含んだ静圧媒体である液体が静圧ポケットに供給されることを防ぎ、かつ装置のレイアウトの変更を容易に行うことを目的とする。【解決手段】両頭研削装置２０のマニホールド３２ａ，３２ｂにハウジング５１ａ，５１ｂ及びフィルタ５２ａ，５２ａからなるフィルタユニット５０ａ、５０ｂを設けて、供給装置４５から供給された静圧媒体である液体をフィルタ５２ａ，５２ａを介して、複数のスラスト用静圧ポケット２５ａ及びラジアル用静圧ポケット２６ａに供給する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静圧媒体である液体を供給する供給装置と、
該供給装置から前記静圧媒体である液体が静圧ポケット内に供給され、該静圧媒体である液体を用いて主軸を回転自在に支持する静圧軸受本体と、
前記静圧媒体を濾過するフィルタとを有し、
前記フィルタを前記静圧軸受本体に設けて、前記静圧媒体である液体が前記フィルタを介して前記静圧ポケットに供給されることを特徴とする静圧軸受装置。
【請求項２】
前記静圧軸受本体に複数の静圧ポケットを形成し、
前記静圧軸受本体は、前記複数の静圧ポケットに前記静圧媒体である液体を分岐して供給する分岐部を含んでおり、
前記フィルタは、前記静圧媒体である液体の流れに対して前記分岐部の上流側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受装置。
【請求項３】
前記静圧媒体である液体には、水を用いることを特徴とする請求項１または２に記載の静圧軸受装置。
【請求項４】
前記静圧軸受本体と前記供給装置との間には、前記供給装置から前記静圧軸受本体に前記静圧媒体である液体を供給する可撓性の管路が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の静圧軸受装置。
【請求項５】
前記供給装置には、前記静圧媒体を濾過する供給装置用フィルタを設けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の静圧軸受装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の静圧軸受装置を備えたことを特徴とする両頭研削装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は静圧軸受装置及び両頭研削装置に係り、特に静圧軸受本体と主軸との間に形成された静圧ポケットに静圧媒体である液体を加圧状態で供給する静圧軸受装置及び両頭研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に静圧軸受装置は、主軸と、静圧軸受本体と、供給装置とから構成されている。供給装置は、静圧軸受本体と主軸との間に形成された静圧ポケットに静圧媒体である液体を加圧状態で供給するためのものであり、主軸はこの加圧供給された静圧媒体により回転自在に支持されている。静圧媒体である液体には、油や水が用いられている。主軸及び静圧軸受本体が備えられた加工装置は、温度変化の影響を受けやすく、温度変化により加工精度が低下するため、一定の温度に制御されたエリアに設置されている。供給装置は、温度変化の影響を受けにくいため、温度の制御がされていないエリアに設置されている。したがって、加工装置と、供給装置とは、互いに離れた場所に設置されることが多い。
【０００３】
加工装置と供給装置との間は、静圧媒体である液体が供給可能な状態で管路により接続されている。静圧媒体に油を用いる場合には、管路としてゴム製のホースが用いられている。静圧媒体に水を用いる場合には、管路として油の場合に用いるゴム製のホースやステンレス製の配管等が用いられている。管路としてゴム製のホースを用いた場合には、ゴム製のホースはフレキシブル性に優れているため、加工装置又は供給装置のレイアウトに変更があった場合でも容易にレイアウトの変更に対応することができる。
【０００４】
図１は、主軸と静圧軸受本体との間に形成された静圧ポケットを拡大した断面図である。なお、同図に示した矢印は、静圧ポケットに導入される静圧媒体の進行方向を示している。図１に示すように、静圧ポケット１４は、静圧軸受本体１３に形成されたランド部１７に囲まれるように形成されている。静圧軸受本体１３のランド部１７と主軸１２との間には、隙間Ｅが形成されている。静圧軸受本体１３には、静圧ポケット１４に静圧媒体である液体を供給可能とするための管路１５が形成されている。
【０００５】
図１に示すように、静圧ポケット１４に供給された静圧媒体である液体に隙間Ｅよりも大きなゴミ１６又は微生物１８が存在した場合には、隙間Ｅの領域に静圧媒体である液体が無くなり、静圧軸受本体１３と回転している主軸１２とがゴミ１６又は微生物１８を介して接触するため、焼付けが発生して主軸１２及び静圧軸受本体１３が破損する。この焼付けを防止するために、供給装置には、静圧媒体である液体からゴミ１６及び微生物１８を捕集する供給装置用フィルタが設けられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−８２４７３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、静圧媒体が水の場合には、水に含まれるゴミ１６や微生物１８が静圧軸受本体に及ぼす影響は油の場合と比較して大きい。図２は、ＮＡＳ（Ｎａｔｉｏｎａｌ  Ａｅｒｏｓｐａｃｅ  Ｓｔａｎｄａｒｄ）等級による油１００ｍｌ中に含まれる粒子数と粒子径を示した図である。ＮＡＳ等級は、油の汚染度を粒子数と粒子径とに基づいて汚染基準値を分類したものである。なお、粒子数にはゴミ１６及び微生物１８の個数が含まれている。図２に示すように、油の場合には、最もクリーンなグレードのＮＡＳ００等級において、大きな粒子径の粒子が存在することを許容していることが分かる。
【０００８】
これは、油は水と比較して粘性が高く、ある程度の大きさのゴミ１６や微生物１８が存在していた場合でも、油の粘性により隙間Ｅをゴミ１６や微生物１８が移動することができるので、主軸１２と静圧軸受本体１３との間で焼付けが発生しないためである。しかし、静圧媒体に水を用いた場合には、図１に示したように、水は油と比較して粘性が低いため、油では問題にならない大きさのゴミ１６や微生物１８が隙間Ｅに挟まり、焼付けの原因となる。したがって、静圧媒体が水の場合には、図２に示したＮＡＳ００等級以上のクリーンな水であることが必要とされる。
【０００９】
静圧媒体に水を用い、かつ供給装置と加工装置との間を接続する管路にゴム製のホースを用いた場合には、ゴム製のホース内でゴミ１６や微生物１８が発生し、ゴミ１６や微生物１８を含んだ水が静圧ポケット１４に供給されて、主軸１２と静圧軸受本体１３のランド部１７との間に形成された隙間Ｅにゴミ１６や微生物１８が挟まり、隙間Ｅの領域に静圧媒体である液体が無くなった状態で、主軸１２と静圧軸受本体１３とがゴミ１６や微生物１８を介して接触して、焼付けが発生し、主軸１２及び静圧軸受本体１３が破損してしまうという問題があった。また、加工装置と供給装置との間を接続する管路として、ステンレス製の配管を用いた場合には、配管内でのゴミ１６や微生物１８の発生を抑制することはできるが、ステンレス製の配管はフレキシブル性がないため、加工装置又は供給装置にレイアウトの変更があった際に、配管をレイアウトに合わせて再度作成しなければならないという問題があった。
【００１０】
そこで本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、ゴミや微生物を含んだ静圧媒体である液体が静圧ポケットに供給されることを防ぎ、かつ装置のレイアウトの変更を容易に行うことのできる静圧軸受装置及び両頭研削装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１２】
請求項１記載の発明では、静圧媒体である液体を供給する供給装置と、該供給装置から前記静圧媒体である液体が静圧ポケット内に供給され、該静圧媒体である液体を用いて主軸を回転自在に支持する静圧軸受本体と、前記静圧媒体を濾過するフィルタとを有し、前記フィルタを前記静圧軸受本体に設けて、前記静圧媒体である液体が前記フィルタを介して前記静圧ポケットに供給されることを特徴とする静圧軸受装置により、解決できる。
【００１３】
上記発明によれば、静圧軸受本体に静圧媒体である液体を濾過するフィルタを設けることにより、フィルタにより静圧媒体に含まれるゴミや微生物が静圧軸受本体側で捕集され、ゴミ及び微生物が除去された液体が静圧ポケットに供給されるため、ゴミや微生物が原因で発生する主軸及び静圧軸受本体の破損を防止することができる。
【００１４】
請求項２記載の発明では、前記静圧軸受本体に複数の静圧ポケットを形成し、前記静圧軸受本体は、前記複数の静圧ポケットに前記静圧媒体である液体を分岐して供給する分岐部を含んでおり、前記フィルタは、前記静圧媒体である液体の流れに対して前記分岐部の上流側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受装置により、解決できる。
【００１５】
上記発明によれば、静圧媒体である液体の流れに対して分岐部の上流側にフィルタを形成することにより、フィルタで濾過されてゴミ及び微生物が除去された静圧媒体である液体を分岐部により分岐して、複数の静圧ポケットに供給することができる。また、フィルタで濾過した後に液体を分岐するため、複数のフィルタを設ける必要が無く、１つのフィルタを設ければ良いので、複数のフィルタを設けた場合と比較して、フィルタに要するコストやメンテナンス時間を低減することができる。
【００１６】
請求項３記載の発明では、前記静圧媒体である液体には、水を用いることを特徴とする請求項１または２に記載の静圧軸受装置により、解決できる。
【００１７】
上記発明によれば、静圧媒体に水を用いることで、静圧媒体に油を用いた場合と比較して主軸を高速回転させて精度良く加工を行うことができる。また、静圧媒体に水を用いても、静圧軸受本体にフィルタを設けることで、ゴミや微生物が原因による主軸及び静圧軸受本体の破損を防止することができる。
【００１８】
請求項４記載の発明では、前記静圧軸受本体と前記供給装置との間には、前記供給装置から前記静圧軸受本体に前記静圧媒体である液体を供給する可撓性の管路が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の静圧軸受装置により、解決できる。
【００１９】
上記発明によれば、静圧軸受本体と供給装置との間に可撓性の管路を形成することにより、主軸及び静圧軸受本体又は供給装置にレイアウトの変更があった際、レイアウトの変更に対応することができる。
【００２０】
請求項５記載の発明では、前記供給装置には、前記静圧媒体を濾過する供給装置用フィルタを設けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の静圧軸受装置により、解決できる。
【００２１】
上記発明によれば、供給装置に静圧媒体を濾過する供給装置用フィルタを設けたことにより、供給装置においても静圧媒体に含まれるゴミや微生物が捕集される。したがって、静圧軸受本体に設けられたフィルタは、供給装置と静圧軸受本体との間の可撓性の管路で発生するゴミ及び微生物を捕集すれば良いので、静圧軸受本体に設けられたフィルタの交換頻度を低減させることができる。
【００２２】
請求項６記載の発明では、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の静圧軸受装置を備えたことを特徴とする両頭研削装置により、解決できる。
【００２３】
上記発明によれば、静圧媒体である液体に含まれるゴミや微生物が原因となる静圧軸受装置の破損を防止することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
次に、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。図３は、本発明の実施例である静圧軸受装置を適用した両頭研削装置の概略図を示したものである。なお、同図に示したＸ１，Ｘ２方向はスラスト方向を示しており、Ｙ１，Ｙ２方向はＸ１，Ｘ２方向に直交する面方向であるラジアル方向を示している。また、本実施例では可撓性の管路である供給用管路４９として、両頭研削装置２０又は供給装置４５のレイアウトの変更に対応可能なゴム製のホースを用い、静圧媒体には水を用いた場合を例に挙げて以下の説明をする。
【００２５】
図３に示すように、本発明の実施例である静圧軸受装置は、研削加工部２１ａ、２１ｂと、フィルタ５２ａ、５２ｂが設けられたフィルタユニット５０ａ、５０ｂと、供給装置４５とにより構成されている。研削加工部２１ａ、２１ｂには、主軸であるアウター部材２２ａ、２２ｂと、静圧軸受本体であるインナー部材２４ａ、２４ｂ及びマニホールド３２ａ、３２ｂと、静圧ポケットであるスラスト用静圧ポケット２５ａ及びラジアル用静圧ポケット２６ａとが含まれた構成となっている。また、加工装置である両頭研削装置２０と供給装置４５との間は、静圧媒体である水を供給可能な状態で供給用管路４９により両頭研削装置２０と接続されている。
【００２６】
始めに、図３を参照して、両頭研削装置２０について説明した後に、供給装置４５の説明を行う。両頭研削装置２０は、大略すると研削加工部２１ａ、２１ｂと、砥石２３ａ、２３ｂと、回転手段３５ａ、３５ｂと、サドル３９ａ、３９ｂと、移動手段４１ａ、４１ｂと、架台４３と、マニホールド３２ａ、３２ｂとにより構成されている。研削加工部２１ａ、２１ｂは、加工対象物であるワーク４４を挟んで同一構成のものが対向するように２台形成されている。よって、図３において同図中の右側に位置する研削加工部２１ａには符号ａを添記し、同図中の左側に位置する研削加工部２１ｂには符号ｂを添記して、主に符号ａを添記した側の研削加工部２１ａについて説明する。また、図３に示した複数の矢印は静圧媒体である水の流れる方向を示している。
【００２７】
次に、図３を参照して、研削加工部２１ａについて説明する。研削加工部２１ａは、大略するとアウター部材２２ａと、インナー部材２４ａと、スラスト用静圧ポケット２５ａと、ラジアル用静圧ポケット２６ａと、シール部材２７ａとにより構成されている。静圧ポケットは、スラスト用静圧ポケット２５ａと、ラジアル用静圧ポケット２６ａとにより構成されている。
【００２８】
アウター部材２２ａは、砥石２３ａを一方の端面に設けている。アウター部材１２ａは、内側に存在するインナー部材２４ａに対して回転自在な構成とされている。したがって、アウター部材２２ａがワーク保持器（図示せず）により保持されたワーク４４に向かって回転移動することで、砥石２３ａがワーク４４と接触してワーク４４が加工される。インナー部材２４ａは、マニホールド３２ａを介してサドル３９ａに支持されている。サドル３９ａは架台４３に固定され、アウター部材２２ａと協動して、ワーク４４に対してのインフィードあるいはアウトフィードに寄与する。アウター部材２２ａとインナー部材２４ａとの間には、スラスト方向（Ｘ１，Ｘ２方向）の支持を行うスラスト用静圧ポケット２５ａと、ラジアル方向（Ｙ１，Ｙ２方向はＸ１，Ｘ２方向に直交する面方向）の支持を行なうラジアル用静圧ポケット２６ａとが形成されている。アウター部材２２ａの開放端側のアウター部材２２ａとインナー部材２４ａとの間には、静圧媒体である水が研削加工部２１ａの外部に漏れることを防ぐためのシール部材２７ａが形成されている。
【００２９】
サドル３９ａには、アウター部材２２ａを環状に囲むガイド３８ａが形成されており、ガイド３８ａのアウター部材２２ａと対向する面には、ステータ３４ａが形成されている。また、アウター部材２２ａのステータ３４ａと対向する面には、永久磁石３３ａが形成されている。回転手段３５ａは、ステータ３４ａと、永久磁石３３ａとにより構成されている。回転手段３５ａは、アウター部材２２ａと砥石２３ａとを一体に回転させるためのものである。架台４３に形成された移動手段４１ａは、サドル３９ａと一体に形成された研削加工部２１ａをＸ１，Ｘ２方向へ移動させるためのものである。
【００３０】
次に、図３を参照して、静圧軸受本体の一部であるマニホールド３２ａについて説明する。マニホールド３２ａは、大略すると分岐部２９ａと、フィルタ５２ａが設けられたフィルタユニット５０ａとにより構成されている。分岐部２９ａは、供給装置４５から供給された静圧媒体である水を複数の管路２８ａに分岐するためのものである。複数の管路２８ａは、スラスト用静圧ポケット２５ａ又はラジアル用静圧ポケット２６ａに静圧媒体である水を供給可能な状態で接続されている。
【００３１】
フィルタユニット５０ａは、静圧媒体である水の流れに対して分岐部２９ａの上流側の位置に形成されている。フィルタユニット５０ａは、大略するとフィルタ５２ａを収納するハウジング５１ａと、ハウジング５１ａの内部に収納されたフィルタ５２ａとにより構成されている。フィルタ５２ａは、供給装置４５から供給用管路４９を介して供給された静圧媒体である水に含まれるゴミや微生物を捕集するためのものである。このフィルタ５２ａには、後述する供給装置用フィルタ４８よりも目の粗さの細かいフィルタを用いることが好ましく、例えば５μｍ以上の大きさのゴミや微生物を１００％捕集可能なフィルタを用いることができる。また、フィルタ５２ａのエレメントの材質には、例えばガラスファイバーを用いることができる。エレメントの材質にガラスファイバーを用いることで、エレメントを構成する線材を細くすることができ、圧力損失を小さくして、濾過効率を高めることができる。
【００３２】
このように、静圧媒体に水を用い、かつ供給用管路４９としてゴミや微生物の発生し易いゴム製のホースを用いた場合において、マニホールド３２ａにフィルタ５２ａを設けることにより、供給用管路４９内で発生した焼付けの原因となるゴミや微生物をスラスト用静圧ポケット２５ａ及びラジアル用静圧ポケット２６ａに供給する直前に捕集されて、ゴミや微生物が原因によるアウター部材２２ａ及びインナー部材２４ａの破損を防止することができる。
【００３３】
また、静圧媒体である水の流れに対して分岐部２９ａの上流側のマニホールド３２ａ内の位置にフィルタ５２ａを設けることにより、フィルタ５２ａによりゴミや微生物が除去された水を分岐部２９ａにより分岐することができる。したがって、複数のフィルタ５２ａを設ける必要が無く、１つのフィルタ５２ａを設ければ良いため、複数のフィルタ５２ａを設けた場合と比較して、フィルタ５２ａに要するコストやメンテナンス時間を低減することができる。さらに、フィルタ５２ａには、後述する供給装置用フィルタ４８よりも目の細かいものを用いることで、静圧媒体である水に含まれる小さなゴミや微生物が捕集されるので、焼付けによる両頭研削装置２０の破損を防止することができる。
【００３４】
次に、供給装置４５について説明する。供給装置４５は、大略すると冷却機４６と、ポンプ４７と、供給装置用フィルタ４８とにより構成されている。なお、冷凍機４６は、図示していない静圧媒体回収用管路により静圧媒体である水を回収可能な状態で両頭研削装置２０と接続されている。供給装置４５は、両頭研削装置２０に静圧媒体である水を供給し、かつ両頭研削装置２０から静圧媒体である水を回収するための装置である。
【００３５】
冷却機４６は、ポンプ４７と静圧媒体である水を供給可能な状態で接続されており、ポンプ４７は供給装置用フィルタ４８と静圧媒体である水を供給可能な状態で接続されている。供給装置用フィルタ４８は、供給用管路４９と接続されている。冷却機４６は、複数のスラスト用静圧ポケット２５ａ及びラジアル用静圧ポケット２６ａから回収した静圧媒体である水を冷却するためのものである。ポンプ４７は、冷却機４６により冷却された水を加圧した状態で両頭研削装置２０に供給するためのものである。供給装置用フィルタ４８は、供給用管路４９に静圧媒体である水を供給する前に、水に含まれるゴミや微生物を捕集するためのものである。供給装置用フィルタ４８には、先に説明したフィルタ５２ａよりも目の粗いものを用いると良い。供給装置用フィルタ４８のエレメントの材質には、例えばポリプロピレンを用いることができる。
【００３６】
このように供給装置４５に、供給装置用フィルタ４８を設けることにより、供給用管路４９に静圧媒体である水を供給する前に、水に含まれるゴミや微生物が捕集される。したがって、マニホールド３２ａに形成されたフィルタ５２ａは、供給用管路４９内で発生したゴミや微生物を除去すれば良いので、供給装置用フィルタ４８が設けられていない場合と比較して、フィルタ５２ａの交換頻度を低減することができる。なお、本実施例では、供給装置４５に供給装置用フィルタ４８を設けたが、供給装置４５に供給装置用フィルタ４８が無い構成においても、フィルタ５２ａにより焼付けの原因となるゴミや微生物は捕集されるので、本実施例と同様な効果を得ることができる。
【００３７】
（静圧媒体である水の汚染度評価）
本発明者は、本実施例の静圧軸受装置と、図３に示した本実施例の静圧軸受装置の構成からフィルタユニット５０ａ，５０ｂを取り除いた従来の静圧軸受装置とについて、それぞれ連続運転させた際の静圧媒体である水の汚染度評価を行った。なお、供給用管路４９にはゴム製のホースを用い、供給装置用フィルタ４８には５μｍ以上の大きさのゴミや微生物を９０％捕集可能なフィルタを用いた。また、フィルタ５２ａには、５μｍ以上の大きさのゴミや微生物を１００％捕集可能なフィルタを用いた。
【００３８】
本実施例の静圧軸受装置では、マニホールド３２ａに設けられたフィルタ５２ａを通過した後に評価用の水を採取し、従来の静圧媒体装置では、マニホールド内の管路から評価用の水を採取した。これら採取した水は、作動油―計数法（ＪＩＳ  Ｂ  ９９３０）による微粒子測定法に準じた方法で水の汚染度の評価を行った。
【００３９】
上記条件で連続運転して、水の汚染度評価を行った結果、従来の静圧軸受装置では、評価開始時にはＮＡＳ００級よりもクリーンであった水が、約１ヶ月でＮＡＳ５級まで汚染が進んだ。一方、本実施例の静圧軸受装置２０では、約８ヶ月経過後も水の汚染度はＮＡＳ００級よりもクリーンな状態を維持した。
【００４０】
上記評価結果から、先の実施例で述べたように、両頭研削装置２０内に静圧媒体である水を濾過するフィルタ５２ａを設けることにより、ゴミや微生物をスラスト用静圧ポケット２５ａ及びラジアル用静圧ポケット２６ａに供給する直前に捕集して、両頭研削装置２０の破損を防止することができる。
【００４１】
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。なお、本実施例ではフィルタユニット５０ａ，５０ｂを両頭研削装置２０のマニホールド３２ａ，３２ｂに設けたが、マニホールド３２ａ，３２ｂに設ける代わりにインナー部材２４ａ，２４ｂに設けても良く、フィルタユニット５０ａ，５０ｂをインナー部材２４ａ，２４ｂに設けた場合においても、本実施例と同様な効果を得ることができる。また、フィルタ５２ａの目の粗さに関しては、使用する静圧軸受本体の隙間Ｅ（図１参照）の間隔に応じて、適宜選択する必要がある。また、本実施例では、マニホールド３２ａに１つのフィルタ５２ａを設けたが、複数のフィルタ５２ａを設けても本実施例と同様な効果を得ることができる。
【００４２】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、フィルタにより静圧媒体に含まれるゴミや微生物が静圧軸受本体側で捕集され、ゴミ及び微生物が除去された液体が静圧ポケットに供給されるため、ゴミや微生物が原因で発生する主軸及び静圧軸受本体の破損を防止することができる。
【００４３】
請求項２記載の発明によれば、フィルタで濾過されてゴミ及び微生物が除去された静圧媒体である液体を分岐部により分岐して、複数の静圧ポケットに供給することができる。また、フィルタで濾過した後に分岐するため、１つのフィルタを設ければ良いので、複数のフィルタを設けた場合と比較して、フィルタに要するコストやメンテナンス時間を低減することができる。
【００４４】
請求項３記載の発明によれば、静圧媒体に水を用いることで、静圧媒体に油を用いた場合と比較して主軸を高速回転させて精度良く加工を行うことができる。また、静圧媒体に水を用いても、静圧軸受本体にフィルタを設けることで、ゴミや微生物が原因による主軸及び静圧軸受本体の破損を防止することができる。
【００４５】
請求項４記載の発明によれば、主軸及び静圧軸受本体又は供給装置にレイアウトの変更があった際、レイアウトの変更に対応することができる。
【００４６】
請求項５記載の発明によれば、供給装置においても静圧媒体に含まれるゴミや微生物が捕集される。したがって、静圧軸受本体に設けられたフィルタは、供給装置と静圧軸受本体との間の可撓性の管路で発生するゴミ及び微生物を捕集すれば良いので、静圧軸受本体に設けられたフィルタの交換頻度を低減させることができる。
【００４７】
請求項６記載の発明によれば、静圧媒体である液体に含まれるゴミや微生物が原因となる静圧軸受装置の破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】主軸と静圧軸受本体との間に形成された静圧ポケットを拡大した断面図である。
【図２】ＮＡＳ（Ｎａｔｉｏｎａｌ  Ａｅｒｏｓｐａｃｅ  Ｓｔａｎｄａｒｄ）等級による油１００ｍｌ中に含まれる粒子数と粒子径を示した図である。
【図３】本発明の実施例である静圧軸受装置を適用した両頭研削装置の概略図である。
【符号の説明】
１２  主軸
１３  静圧軸受本体
１４  静圧ポケット
１５、２８ａ、２８ｂ、５３ａ、５３ｂ  管路
１６  ゴミ
１７  ランド部
１８  微生物
２０  両頭研削装置
２１ａ、２１ｂ  研削加工部
２２ａ、２２ｂ  アウター部材
２３ａ、２３ｂ  砥石
２４ａ、２４ｂ  インナー部材
２５ａ、２５ｂ  スラスト用静圧ポケット
２６ａ、２６ｂ  ラジアル用静圧ポケット
２７ａ、２７ｂ  シール部材
２９ａ、２９ｂ  分岐部
３２ａ、３２ｂ  マニホールド
３３ａ、３３ｂ  永久磁石
３４ａ、３４ｂ  ステータ
３５ａ、３５ｂ  回転手段
３８ａ、３８ｂ  ガイド
３９ａ、３９ｂ  サドル
４１ａ、４１ｂ  移動手段
４３  架台
４５  供給装置
４６  冷却機
４７  ポンプ
４８  供給装置用フィルタ
４９  供給用管路
５０ａ、５０ｂ  フィルタユニット
５１ａ、５１ｂ  ハウジング
５２ａ、５２ｂ  フィルタ
【図１】
2004308880.tif 000003
【図２】
2004308880.tif 000004
【図３】
2004308880.tif 000005