(57)【要約】【課題】　有機材料層の形成を促進するためにOLED基材に対するドナーウェブの位置決め方法の効果を高めること。【解決手段】　ドナーウェブから基材上に有機材料を転写する装置であって、ウェブ状ドナー材料を含み、該ドナーウェブと基材とを係合するように配置された第１取付具を含み、該第１取付具と整合し、かつ、これと係合することにより、該ドナーウェブの非転写面に対してチャンバを形成する第２取付具を含み、該ドナーウェブを移動させるための手段を含み、該ドナーウェブの非転写面に圧力をかけるための流体を該チャンバに供給するための手段を含み、該第１取付具が、該ドナーウェブの非転写面へ輻射線を透過させるように配置された透明部分を含み、そして該透明部分を通して向けられるレーザー光源を含む手段を含むことを特徴とする装置。【選択図】　　　図１
2004079540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　１又は２以上の有機発光ダイオードデバイスの上に有機材料の層を形成するためにドナーウェブから基材上に有機材料を転写する装置であって、
　(a) ウェブ状ドナー材料を含み、
　(b) 該ドナーウェブと基材とを、互いに、該基材の部分と該ドナーウェブとの間が隔離するか又は該基材と該ドナーウェブとが接触することとなる相対関係において係合するように配置された第１取付具を含み、その際、該基材の部分の上に有機材料が転写されることとなり、
　(c) 該ドナーウェブ及び該基材を締め付けるため、該第１取付具と整合し、かつ、これと係合することにより、該ドナーウェブの非転写面に対してチャンバを形成する第２取付具を含み、
　(d) 該ドナーウェブを移動させて該チャンバ内のドナーウェブの一部を有機材料転写位置に配置するための手段を含み、
　(e) 該基材に対する該ドナーウェブの位置が確保されるように該ドナーウェブの非転写面に圧力をかけるための流体を該チャンバに供給するための手段を含み、
　(f) 該第１取付具が、発熱により該ドナーウェブから該有機材料が該基材へ転写することとなるように、該ドナーウェブの非転写面との関係で、該ドナーウェブの非転写面へ輻射線を透過させるように配置された透明部分を含み、そして
　(g) 該ドナーウェブをパターン照射して該有機材料を該基材へ適切に転写させるために該透明部分を通して向けられるレーザー光源を含む手段を含む
ことを特徴とする装置。
【請求項２】
　該流体が気体又は液体である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
　該ウェブ移動手段を制御し、かつ、該レーザー光源を操作する手段をさらに含む、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
　１又は２以上の有機発光ダイオードデバイスの上に有機材料の層を形成するためにドナーウェブから基材上に有機材料を転写する装置であって、
　(a) 有機材料の転写を引き起こす熱を発生させるためスペクトルの所定部分の輻射線を吸収することができる輻射線吸収材料を含有するウェブ状ドナー材料を含み、
　(b) 該ドナーウェブと基材とを、互いに、該基材の部分と該ドナーウェブとの間が隔離するか又は該基材と該ドナーウェブとが接触することとなる相対関係において係合するように配置された第１取付具を含み、その際、該基材の部分の上に有機材料が転写されることとなり、
　(c) 該ドナーウェブ及び該基材を締め付けるため、該第１取付具と整合し、かつ、これと係合することにより、該ドナーウェブの非転写面に対してチャンバを形成する第２取付具を含み、
　(d) 該ドナーウェブを移動させて該チャンバ内のドナーウェブの一部を有機材料転写位置に配置するための手段を含み、
　(e) 該チャンバの周辺部の周囲に気密シールを提供するための手段を含み、
　(f) 該基材に対する該ドナーウェブの位置が確保されるように該ドナーウェブの非転写面に圧力をかけるための流体を該チャンバに供給するための手段を含み、
　(g) 該第１取付具が、該輻射線吸収材料における発熱により該ドナーウェブから該有機材料が該基材へ転写することとなるように、該ドナーウェブの非転写面との関係で配置された透明部分であって、該透明部分及び該ドナーウェブの非転写面を通して該輻射線吸収材料へ輻射線を透過させるように配置された透明部分を含み、そして
　(h) 該ドナーウェブをパターン照射して該有機材料を該基材へ適切に転写させるために該透明部分を通して向けられるレーザー光源を含む手段を含む
ことを特徴とする装置。
【請求項５】
　１又は２以上の有機発光ダイオードデバイスの上に有機材料の層を形成するためにドナーウェブから基材上に有機材料を転写する装置であって、
　(a) 有機材料の転写を引き起こす熱を発生させるためスペクトルの所定部分の輻射線を吸収することができる輻射線吸収材料を含有するウェブ状ドナー材料を含み、
　(b) 該ドナーウェブと基材とを、互いに、該基材の部分と該ドナーウェブとの間が隔離するか又は該基材と該ドナーウェブとが接触することとなる相対関係において係合するように配置された第１取付具を含み、その際、該基材の部分の上に有機材料が転写されることとなり、
　(c) 該ドナーウェブを締め付けるため該第１取付具と整合し、かつ、これと係合することにより、該ドナーウェブの転写面の下に第１チャンバを形成し、かつ、該ドナーウェブの非転写面の上に第２チャンバを形成する第２取付具を含み、
　(d) 該ドナーウェブを移動させて該チャンバ内のドナーウェブの一部を有機材料転写位置に配置するための手段を含み、
　(e) 該第１チャンバ及び該第２チャンバの周辺部の周囲に気密シールを提供するための手段を含み、
　(f) 該基材に対する該ドナーウェブの位置が確保されるように該ドナーウェブの非転写面に圧力をかけるための流体を該第２チャンバに供給するための手段を含み、
　(g) 該第１取付具が、該輻射線吸収材料における発熱により該ドナーウェブから該有機材料が該基材へ転写することとなるように、該ドナーウェブの非転写面との関係で配置された透明部分であって、該透明部分及び該ドナーウェブの非転写面を通して該輻射線吸収材料へ輻射線を透過させるように配置された透明部分を含み、そして
　(h) 該ドナーウェブをパターン照射して該有機材料を該基材へ適切に転写させるために該透明部分を通して向けられるレーザー光源を含む手段を含む
ことを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、有機発光ダイオード(OLED)としても知られる有機電場発光（ＥＬ）デバイスに関し、特に、このようなデバイスに含まれる有機層の形成を促進する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
　赤、緑及び青の色画素のような着色画素（通常ＲＧＢ画素という。）を配列したカラー又はフルカラー有機電場発光(EL)ディスプレイにおいては、ＲＧＢ画素を形成するため発色性有機ＥＬ媒体を精密にパターン化する必要がある。基本的なＥＬデバイスは、共通要素として、アノード、カソード、及び該アノードと該カソードとに挟まれた有機ＥＬ媒体を含む。有機ＥＬ媒体は１又は２層以上の有機薄膜からなることができ、その層の一つが主として発光、すなわち電場発光を担う。この特定の層を、一般に有機ＥＬ媒体の発光層と称する。有機ＥＬ媒体中に存在する他の有機層は、一般に電子的輸送性を促進し、（正孔伝導用）正孔輸送層又は（電子伝導用）電子輸送層と呼ばれる。フルカラー有機ＥＬディスプレイパネルのＲＧＢ画素を形成する際には、有機ＥＬ媒体の発光層又は有機ＥＬ媒体全体を精密にパターン化する方法を工夫する必要がある。
【０００３】
　典型的には、電場発光画素は、米国特許第５７４２１２９号に記載されているようなシャドーマスク技法によりディスプレイ上に形成される。この技法は有効であるが、いくつかの欠点がある。シャドーマスク技法では、解像度の高い画素サイズを達成することが困難である。さらに、基材とシャドーマスクとの間のアラインメントの問題があり、画素を適切な位置に形成させるための注意が必要である。基材を大きくする場合には、シャドーマスクを操作して適切な位置に画素を形成させることが困難となる。シャドーマスク技法のさらなる欠点は、マスクの開口部が時間とともに目詰まりすることである。マスクの開口部が目詰まりすると、ＥＬディスプレイ上に機能しない画素が生じ、望ましくない。
【０００４】
　シャドーマスク技法には、一辺が２〜３インチを超える寸法のＥＬデバイスを製造する時に特に明白となる別の問題がある。ＥＬデバイスを精密に形成するために必要な精度（ホール位置±５μｍ）を有する比較的大きなシャドーマスクを製造することは極めて困難である。
【０００５】
　高解像度有機ＥＬディスプレイのパターン化方法が、米国特許第５８５１７０９号(Grandeら)に記載されている。この方法は、（１）対向する第１表面及び第２表面を有する基材を用意し、（２）該基材の第１表面の上に透光性断熱層を形成し、（３）該断熱層の上に吸光層を形成し、（４）該基材に、該第２表面から該断熱層にまで延在する開口部の配列を設け、（５）該吸光層の上に転写可能な発色性有機ドナー層を形成し、（６）該基材の開口部とデバイス上の対応するカラー画素とが配向するように該ドナー基材をディスプレイ基材に対して精密にアラインし、そして（７）該ドナー基材上の有機層を該ディスプレイ基材に転写させるに十分な熱を該開口部上の吸光層に発生させるための輻射線源を使用する、という工程序列を含む。Grandeらの方法にまつわる問題は、ドナー基材上の開口部の配列をパターン化しなければならないことにある。このことは、ドナー基材とディスプレイ基材との間で精密に機械的にアラインメントしなければならないことをはじめとする、シャドーマスク技法の場合と同様の問題の多くを生ぜしめる。さらに、ドナーのパターンが固定され、容易に変更できないという問題もある。
【０００６】
　パターン化されていないドナーシートとレーザーのような精密光源とを使用することにより、パターン化ドナーに見られる困難の一部を取り除くことができる。このような方法が、米国特許第５６８８５５１号(Littman)及びWolkらの一連の特許（米国特許第６１１４０８８号、同第６１４０００９号、同第６２１４５２０号及び同第６２２１５５３号）に記載されている。
【０００７】
　譲受人共通の米国特許第５９３７２７２号（Tang）に、薄膜トランジスタ（TFT）アレイ基材上にＥＬ材料を蒸着させることにより多色画素（例、赤色、緑色及び青色の二次画素）をパターン化する方法が記載されている。このようなＥＬ材料は、ドナー支持体材料の片面に予備被覆しておいて選ばれたパターンで蒸着させることにより基材に転写することができる（上記米国特許第５９３７２７２号の図４、図５及び図６に示されているように）。
【０００８】
　ＥＬ材料の転写は、Tangが上記特許明細書で記載しているように、真空チャンバ内で行なうことが好ましく、とりわけ、ドナーと基材との間で真空を維持することが好ましい。また、ＥＬ転写に際してはドナーと基材とを密接させて保持することも必要である（Tangの教示によれば、基材の隆起部分とコーティングとの間隔を２５０μｍ未満とする）。さらに、ドナーを基材の隆起部分と接触させることにより、ＥＬ材料が付着する基材のくぼみ部分とコーティングとの間に十分なスペースを維持することもできる。いずれの場合にも、真空チャンバ内でドナーと基材を接触させたまま保持しながら、ドナーと基材との間で真空を維持する方法が必要となる。
【０００９】
　譲受人共通のIsbergらの欧州特許出願公開第１０２８００１号に、ドナー層と基材との間に密着性改良層を追加使用する方法が記載されている。この方法は、Tangが要求する密接性の向上に役立つが、密着性改良層が接着剤の形で不純物を導入する可能性がある点で、不利となるであろう。
【００１０】
　機械的圧力、例えば手動式プレートによる加圧、を採用することもできるが、マイクロメートルというオーダーの許容差が必要となる場合に表面全体に均等な圧力を維持することは困難である。空気その他の流体による圧力であれば一段と良好に作用するであろうが、このような圧力の使用は、真空チャンバ内の状態を乱さないよう維持しなければならない点に鑑み、困難である。
【００１１】
【特許文献１】米国特許第５５７８４１６号明細書
【特許文献２】米国特許第６１９４１１９号明細書
【特許文献３】米国特許第５９３７２７２号明細書
【特許文献４】米国特許第６２２１５５３号明細書
【特許文献５】米国特許第６２１４５２０号明細書
【特許文献６】米国特許第６１４０００９号明細書
【特許文献７】米国特許第６１１４０８８号明細書
【特許文献８】米国特許第５６８８５５１号明細書
【特許文献９】米国特許第５８５１７０９号明細書
【特許文献１０】米国特許第５７４２１２９号明細書
【特許文献１１】欧州特許出願公開第１０２８００１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
　したがって、本発明の目的は、１又は２層以上の有機材料の形成を促進するためにOLED基材に対するドナーウェブの位置決め方法の効果を高めることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
　上記目的は、１又は２以上の有機発光ダイオードデバイスの上に有機材料の層を形成するためにドナーウェブから基材上に有機材料を転写する装置であって、
　(a) ウェブ状ドナー材料を含み、
　(b) 該ドナーウェブと基材とを、互いに、該基材の部分と該ドナーウェブとの間が隔離するか又は該基材と該ドナーウェブとが接触することとなる相対関係において係合するように配置された第１取付具を含み、その際、該基材の部分の上に有機材料が転写されることとなり、
　(c) 該ドナーウェブ及び該基材を締め付けるために該第１取付具と整合し、かつ、これと係合することにより、該ドナーウェブの非転写面に対してチャンバを形成する第２取付具を含み、
　(d) 該ドナーウェブを移動させて該チャンバ内のドナーウェブの一部を有機材料転写位置に配置するための手段を含み、
　(e) 該基材に対する該ドナーウェブの位置が確保されるように該ドナーウェブの非転写面に圧力をかけるための流体を該チャンバに供給するための手段を含み、
　(f) 該第１取付具が、発熱により該ドナーウェブから該有機材料が該基材へ転写することとなるように、該ドナーウェブの非転写面との関係で、該ドナーウェブの非転写面へ輻射線を透過させるように配置された透明部分を含み、そして
　(g) 該ドナーウェブをパターン照射して該有機材料を該基材へ適切に転写させるために該透明部分を通して向けられるレーザー光源を含む手段を含む
ことを特徴とする装置によって達成される。
【発明の効果】
【００１４】
　本発明による有利な効果は、ウェブ状ドナー材料を使用することにより、OLEDデバイスの生産性が向上することである。本装置により、周囲真空又は真空環境の中でドナー材料と基材との間隔が均一に維持され、さらに好ましくは、該ドナーと該基材との間で真空が維持される。このため、汚染を減少させるのに有利な環境（真空）において好適な締付けが可能となる。さらに有利な効果は、ドナーウェブ及び基材媒体の取扱いをはじめ、本法を完全に自動化することができ、処理量が一層向上することである。本発明は、形成過程にある多数のOLED表示デバイスを有する大面積の上に有機層を形成するのに特に適している。本発明のさらに有利な効果は、必要になるまで保存することができる大量の有機ドナー材料の製造が可能になることである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
　用語「ディスプレイ」又は「ディスプレイパネル」は、ビデオ画像又はテキストを電子的に表示することができるスクリーンをさす。用語「画素」は、当該技術分野で認識されている意味で使用され、ディスプレイパネルの一領域であって、他の領域とは独立に発光するように刺激され得る領域をさす。用語「多色」は、異なる領域で異なる色相の光を発することができるディスプレイパネルをさし、具体的には、異なる色の画像を表示することができるディスプレイパネルをさす。これらの領域は必ずしも隣接しなくてもよい。用語「フルカラー」は、可視スペクトルの赤、緑及び青の各色域で発光し、任意の組合せの色相で画像を表示することができる多色ディスプレイパネルをさす。赤、緑及び青の各色は三原色を構成し、この三原色を適宜混合することにより他のすべての色を発生させることができる。用語「色相」は、可視スペクトル内の発光強度プロファイルをさし、異なる色相は視覚的に識別できる色差を示す。画素又は二次画素とは、一般に、ディスプレイパネルにおいてアドレス可能な最小単位をさす。モノクロディスプレイの場合、画素又は二次画素の間に区別はない。用語「二次画素」は、多色ディスプレイパネルにおいて使用され、特定の色を発光するために独立にアドレスすることができる画素の部分をさす。例えば、青色二次画素は、青光を発するためにアドレスすることができる画素の当該部分である。フルカラーディスプレイの場合、一つの画素が、三原色の二次画素、すなわち青、緑及び赤で構成されることが一般的である。用語「ピッチ」は、ディスプレイパネルにおける２つの画素又は二次画素を隔てる距離をさす。したがって、二次画素ピッチは、２つの二次画素間の分離を意味する。用語「真空」は、１トル以下の圧力をさす。用語「有機材料」及び「ドナー材料」は、相互交換可能に使用され、本発明の実施においてOLEDデバイスを製造する場合に用いられる成分をさす。
【００１６】
　譲受人共通のPhillipsらの米国特許出願第１０／０２１４１０号（出願日２００１年１２月１２日）に、ドナー要素の片面に圧力を提供することにより、ドナー要素と基材との間の密着性を高めると同時に、基材とドナー要素との間の真空を維持し、よってその面への転写を促進する装置が開示されている。この装置は有用であるが、ドナー要素として個別のシートを使用しなければならない。このような装置では、処理能力に限界がある。
【００１７】
　図１に、真空チャンバ内に設置され、本発明により設計された開放位置における装置８の一態様の横断面図を示す。第１取付具１０は上板２０を含む。上板２０は、この具体例では、後述する特徴に合わせて機械加工された開放角形板である。第１取付具１０は、真空ポンプ４１によって真空下で保持されることができる真空チャンバ３９に取り込まれる。このことは、ある種の転写にとって、いくつかの理由から有利となる。第一に、非接触間隙を横断する転写は真空下で効果が高くなる。第二に、ドナー材料の中には、酸素、湿分その他の汚染物に対して感受性の高いものがある。第１取付具１０は、ドナーウェブ３２と基材３４とを互いにある相関関係で係合するように配置される。このようにして、後に明白となるように、基材３４とドナーウェブ３２を接触させるか、又は、基材３４の部分とドナーウェブ３２との間が隔離するようにし、ドナーウェブ３２の上の有機材料が基材３４の部分に転写されるようにする。
【００１８】
　第１取付具１０は透明部分２６を含む。透明部分２６は、ここで図示したような板状であってもよいし、その他の便利な形状であってもよく、そして上板２０に嵌め込まれる。透明部分２６は、スペクトルの所定の部分の輻射線に対して透明であることにより当該輻射線の透過を可能ならしめる材料で形成される。透明部分２６は、ドナーウェブ３２の非転写面３３に対し、輻射線が透明部分２６を通りドナーウェブ３２の非転写面３３へ透過して熱が発生するように、配置される。透明部分２６は上板２０に嵌め込まれ、そしてガスケット２２を圧縮し、これをそのために機械加工されたスロットに嵌め込む。透明部分２６は、保持クランプ２８の手段により上板２０に保持される。保持クランプ２８は、ねじその他の締結具（図示なし）によって上板２０に対して保持される。透明部分２６と、ガスケット２２と、上板２０とで気密シールを形成する。本明細書でいう気密シールとは、流体漏洩がまったくないこと、又は、真空チャンバの内部環境条件に悪影響を及ぼさない程度の低い漏洩速度しか示さないこと、と定義される。上板２０は、ガスケット２４を保持する別の機械加工スロットを有する。
【００１９】
　第２取付具１２は、第１取付具１０にアラインされ、プレート３８を含む。第２取付具１２は、後に明白となるように第１取付具１０と係合した時に、ドナーウェブ３２と基材３４を締結し、ガスケット２４を圧縮し、かつ、ドナーウェブ３２の非転写面３３と透明部分２６との間に気密チャンバを創出する。プレート３８は、スチールや硬質プラスチックのような硬質材料でできており、そしてレーザーの焦点深度の範囲内で平坦であることが好ましい。装置８が開放位置にある時には、チャンネルアレイ４８により、ピンアレイ３０が基材３４を支持することが可能となる。これにより、ロボット手段のような自動化手段による装置８に対する基材３４の出し入れが容易となる。プレート３８を上昇させて上板２０と係合させると、基材３４がピンアレイ３０から持ち上げられ、そしてプレート３８のキャビティ４３の内部に保持される。
【００２０】
　装置８はウェブ形態のドナーを使用する。ウェブは、ドナー材料を含む連続軟質材料であって、該ウェブを更新部分へ移動させることによりドナーとして繰り返し使用することができるものである。ドナーウェブ３２は、特定のロール径又はウェブ長（典型的には数千フィート）となるように予めドナーロール１４に巻かれており、そして装置８内を引取ロール１５まで延在する。装置８が開放位置にある時に、ドナーウェブ３２の未使用部分が装置８の内部に配置されるようにドナーウェブ３２を割り送ることができる。未使用部分とは、有機材料の転写が行われていないドナーウェブ３２の部分をさす。ドナーウェブ３２から基材３４への有機材料の転写が完了した後、装置８を開放することができ、そしてドナーウェブ３２を、次の未使用部分が装置８の内部に配置されるまで、割り送ることができる。装置８におけるドナーウェブ３２の内部搬送を促進するため、ドナーロール１４と引取ロール１５をモーター付スピンドルに搭載することができる。ドナーウェブ３２の経路にはアイドラーローラー１６及び１８が含まれていてもよい。さらに、アイドラーローラー１６及び１８は、例えば、ドナーウェブ３２の張力を適正化するためドナーロール１４と引取ロール１５の相対回転速度を制御するためにフィードバック信号を提供する張力変換器を含むことができる。さらに、ウェブ経路には、ウェブの速度を制御し、ウェブを支持して案内し、張力を遮断し、ウェブを蓄積し、ウェブを冷却し、ウェブを駆動して搬送するなどのための他の各種ローラーを含めることもできる。ゲートバルブ３６及び３７を設けることもできる。該ゲートバルブは、供給チャンバ３９ａと、移送チャンバ３９ｂと、引取チャンバ３９ｃとを創出し、そしてこれらのチャンバの環境を相互に隔離するように作用する。このことは、ドナーロール１４の補充時に装置８の真空を維持するような場合に重要となり得る。透明部分２６は、当てられる輻射線に対して透明な材料であって、反対側との間の圧力差として少なくとも１気圧に構造上十分耐えられるものである。一例として、Schott Glass Technologies社製の光学BK-7ガラスが挙げられる。このガラスは、レーザー光に対して光学的に透明になるように調製されており、反射防止表面処理が施されているものもある。透明部分２６の厚さは、当該材料の特性、圧力差、及び全体露出面積によって決められる。
【００２１】
　レーザー光源６２は、透明部分２６のいずれの所望部位を通しても照射可能なように、微小位置決め装置１２０に搭載される。レーザー光源６２からの輻射線を透明部分２６を通して向けることによりドナーウェブ３２をパターン照射し、ドナーウェブ３２から基材３４の所望の場所へ有機材料を適切に転写させる。レーザー光源６２は、スペクトルの所定部分、例えば、赤外又は可視部において、輻射線を放出する。
【００２２】
　ドナーウェブ３２を移動させる手段が必要である。ウェブ移動手段２７は、例えばモーターを含む。ウェブ移動手段２７は、ドナーウェブ３２の一部を有機材料転写位置に配置することができる。有機材料転写位置とは、当該一部を透明部分２６を通してレーザー光源６２で照射することができ、そしてドナーウェブ３２から基材３４へ有機材料を転写することができる位置として定義される。
【００２３】
　さらに、ウェブ移動手段２７を制御し、かつ、レーザー光源６２を操作するための手段を含めることができる。装置８における移動及び位置決めは、デジタル画像１９に応じてコンピュータ２１で制御することができる。コンピュータ２１は、デジタル／アナログコンバータ２３を介して、ウェブ移動手段２７を制御し、それがドナーロール１４の動きを制御する。図示されていないが、コンピュータ２１によって制御される他のウェブ移動手段で、装置８の他の部分、例えば、引取ロール１５又は任意のウェブ駆動ローラーを制御することもできる。また、コンピュータ２１は、デジタル画像１９に応じて、デジタル／アナログコンバータ２５を介して、微小位置決め装置（複数可）１２０を制御し、かつ、レーザー光源６２を操作することができる。
【００２４】
　基材３４は、ドナーから発光材料を受容する表面を提供する有機固体、無機固体又は有機固体と無機固体の混合物であることができ、また、硬質であっても軟質であってもよい。典型的な基材材料として、ガラス、プラスチック、金属、セラミック、半導体、金属酸化物、半導体酸化物、半導体窒化物、回路基材材料又はこれらの組合せが挙げられる。基材３４は、材料の均質混合物、材料の複合材、又は材料の多層であることができる。基材３４は、OLED基材、すなわちOLEDデバイス製造用の一般的な基材であることができる。好ましい一態様では、基材３４は薄膜トランジスタ（TFT）のマトリックスアレイを含む。基材３４は、所期の発光方向に依存して、透光性又は不透明であることができる。基材を通してＥＬ発光を観察する場合には、透光性が望まれる。このような場合には、一般に、透明なガラス又はプラスチックが用いられる。上部電極を通してＥＬ発光を観察する用途の場合には、底部支持体の透過性は問題とならないので、透光性であっても、吸光性であっても、また光反射性であってもよい。
【００２５】
　図２は、上記装置８の閉鎖構成を示す横断面図である。第１取付具１０と第２取付具１２とを互いにアラインし、それらを係合させ、ドナーウェブ３２の非転写面３３に対してチャンバ４０を形成し、そしてチャンバ４０の周辺部に沿って圧力を提供することにより、ドナーウェブ３２を締結し、かつ、ガスケット２４を圧縮する。ガスケット２４は、チャンバ４０の周辺部の周囲に気密シールを提供するための手段である。同時に、基材３４は、プレート３８のキャビティ４３とドナーウェブ３２によって封入されることとなる。ガスケット２２と共に上板２０と透明プレート２６との間に形成された気密シールと一緒に、気密チャンバ４０が形成され、その中に窒素、アルゴンその他のガス又は流体を導入することによりドナーウェブ３２の非転写面３３に対して圧力を加えることができる。この圧力により、ドナーウェブ３２の転写面３５と基材３４との間が適切に接触することとなり、適用輻射線によってドナーウェブ３２から基材３４へ有機材料の部分が転写されることとなる。上述したように、ドナーウェブ３２の一部をチャンバ４０内の有機材料転写位置に配置する。第２取付具１２は平面を提供する。当該平面は、基材３４の厚さと共に、そしてレーザーによる照射の場合、ドナーウェブ３２の適切な輻射線吸収部分（その性質は後に明白となる）を、レーザー光源６２からのレーザー光６０の焦点深度範囲内に定置する。この構成では、チャンネルアレイ４８が、チャンバ４０にガスを導入した時にドナーウェブ３２の転写面３５に対して真空を維持するように作用する。
【００２６】
　キャビティ４３が封入する空間を、ドナーウェブ３２の転写面３５の下方に位置する第１チャンバ４５と称することができる。この場合、チャンバ４０を、ドナーウェブ３２の非転写面３３の上に位置する第２チャンバ４０と称することができる。実施態様の中には、第１取付具１０と第２取付具１２の位置を反対にし、第１チャンバ４５が転写面３５の上に位置し、第２チャンバ４０が非転写面３３の下に位置するものがあることは明白である。ガスケット２４は、第２チャンバ４０の周辺部の周囲に気密シールを提供するための手段である。図示されていないが、同様の配置により第１チャンバ４５の周辺部の周囲に気密シールを提供することができる。
【００２７】
　図３に、閉鎖構成の装置８の一部を詳細に示す。図３は、チャンバ４０に流体を供給するための手段、及びドナーウェブ３２の転写面３５と基材３４との間で周囲圧力を維持するための手段を示す。上板２０の内部に、１又は２以上の流体導入口４２が形成されている。これにより、流体を流体通路４４に導入することができる。流体通路は流体をチャンバ４０へ搬送し、外部流体供給４６への連結手段を含むことができる。チャンバ４０（これがドナーウェブ３２の非転写面３３に圧力を加える）と周囲真空との間の圧力差によって、ドナーウェブ３２の転写面３５が基材３４の受容面に押し当てられ、ドナーウェブ３２の基材３４に対する位置が確保されることとなる。プレート３８（これは第２取付具１２の一部である）が平面を提供し、上述したように、ドナーウェブ３２の適切な輻射線吸収部分を照射レーザーの焦点深度範囲内に定置する。チャンバ４０を加圧するための流体は、気体（例、空気、窒素、アルゴン、ヘリウム）、液体（例、水、液状フルオロカーボン）、加圧され液状化する気体（例、フレオン（登録商標））又は超臨界流体（例、二酸化炭素）であることができる。好ましい流体は気体であり、そして窒素又はアルゴンが最も好ましい。チャンバ４０に含まれる流体の圧力によって、ドナー３２と基材３４との相対関係が、直に接する位置又は相互に制御された分離が保証される関係となることがわかる。また、チャンバ４０に送り込まれる圧力が周囲圧を超える限りにおいて、真空条件以外の条件、例えば、１トルを超える乾燥窒素雰囲気下で、装置８を使用できることもわかる。
【００２８】
　第２取付具１２が第１取付具１０と係合する時、第２取付具１２によってドナーウェブ３２がガスケット２４に対して締結される。これにより、ドナーウェブ３２の転写面３５の下に第１チャンバ４５が創出され、そしてドナーウェブ３２の非転写面３３の上に、第２チャンバ４０とも呼ばれるチャンバ４０が創出される。第２取付具１２に含まれるチャンネルアレイ４８のうちの１又は２本以上のチャンネルは周囲環境又は包囲環境に対して開放されている。該環境は、ガスケット２４において創出された気密シールが破壊されないように、真空チャンバ３９におけるような真空であってもよい。第２チャンバ４０に流体圧力をかけると、ドナーウェブ３２が基材３４に押し当てられ、順に、基材３４はプレート３８に押し当てられる。チャンネルアレイ４８の開放チャンネルによって、非転写面３３を第２チャンバ４０内の比較的高い圧力下に置きつつ、第１チャンバ４５におけるドナーウェブ３２の転写面３５と基材３４とにかかる周囲圧力条件を維持することができる。別法として、チャンネルアレイ４８のもの以外のチャンネルとして、第１チャンバ４５における周囲圧力条件を維持することだけの作用をするようなチャンネルを構築することもできる。
【００２９】
　図４に、本発明により設計された閉鎖構成にある装置８の別の態様の横断面図を示す。基材がウェブを構成するもののこのような構成において、１又は２以上のOLEDデバイスの上に有機材料の層を形成することができる。この態様では、基材は軟質基材ウェブ６８であって、予め基材ロール５０に巻かれており、そして装置８を通り、基材ウェブ６８を引き取るように作用する引取ロール５２へ渡される。装置８が開放位置にある時に、基材ウェブ６８を、基材ウェブ６８の未露光部分が装置８の内部で正確に位置決めされるように、割り送ることができる。未露光部分とは、有機材料の転写が行われていない基材ウェブ６８の領域を意味する。ドナーウェブ３２から基材ウェブ６８への有機材料の転写が完了した後、装置８を開放し、そして次の未露光部分が装置８の内部で正確に位置決めされるように、基材ウェブ６８を割り送ることができる。同時に、ドナーウェブ３２を、次の未使用部分が装置８の内部で位置決めされるように、割り送ることができる。未使用部分とは、有機材料の転写が行われていないドナーウェブ３２の部分を意味する。装置８の中を通る基材ウェブ６８の搬送を促進するため、基材ロール５０及び引取ロール５２をモーター付中心スピンドルの上に搭載することができる。別法として、支持ローラーの上に巨大ロールを載せることもできる。基材ウェブ６８の経路に、アイドラーローラー５４及び５６を配置してもよい。また、アイドラーローラー５４及び５６は、例えば、基材ウェブ６８の張力を適正化するため基材ロール５０と引取ロール５２の相対回転速度を制御するためにフィードバック信号を提供する張力変換器を含むことができる。さらに、ウェブ経路には、ウェブの速度を制御し、ウェブを支持して案内し、張力を遮断し、ウェブを蓄積し、ウェブを冷却し、ウェブを駆動して搬送するなどのための他の各種ローラーを含めることもできる。
【００３０】
　第１取付具１０と第２取付具１２とを互いにアラインし、それらを係合させ、そしてチャンバ４０の周辺部に沿って圧力を提供することにより、基材ウェブ６８とドナーウェブ３２を有機材料転写位置において締結し、ガスケット２４を圧縮し、そして気密シールを創出する。ガスケット２２と共に上板２０と透明プレート２６との間に形成された気密シールと一緒に、気密チャンバ４０が形成され、その中に窒素、アルゴンその他のガス又は流体を導入することによりドナーウェブ３２の非転写面３３に対して圧力を加えることができる。この圧力により、ドナーウェブ３２の転写面３５と基材ウェブ６８との間が適切に接触することとなり、適用輻射線によってドナーウェブ３２から基材ウェブ６８へドナー材料７０の部分が転写されることとなる。第２取付具１２は平面を提供する。当該平面は、基材ウェブ６８の厚さと共に、そしてレーザーによる照射の場合、ドナーウェブ３２の適切な輻射線吸収部分（その性質は後に明白となる）を、レーザー光源６２からのレーザー光６０の焦点深度範囲内に定置する。この構成では、チャンネルアレイ４８が、ドナーウェブ３２の転写面３５に対して真空を維持するように作用する。
【００３１】
　図５（ａ）に、ドナーウェブ３２の構造の一部の一態様を示す。ドナーウェブ３２は、最低限、非転写面３３を含む、好ましくは軟質の、支持体７２を含む。支持体７２には、均一にドナー材料７０（有機材料とも称される）が被覆されており、これが転写面３５を構成する。
【００３２】
　支持体７２は、少なくとも以下の要件を満たす数種の材料のいずれでできていてもよい。当該ドナー支持体は、片面が加圧された状態での光熱誘導式転写工程に際して、また水蒸気のような揮発性成分を除去するために企図されるいかなる予備加熱工程に際しても、構造的団結性を維持できることが必要である。さらに、当該ドナー支持体は、片面上に比較的薄い有機ドナー材料のコーティングを受容し、このコーティングを、被覆された支持体の予想される保存期間内に劣化させることなく保持することができる必要もある。これらの要件を満たす支持体材料の例として、金属箔、当該支持体上のコーティングの転写性有機ドナー材料を転写させるために予測される支持体温度値よりも高いガラス転移温度を示す特定のプラスチック箔、及び繊維強化プラスチック箔が挙げられる。好適な支持体材料の選定は既知の工学的手法によることができるが、本発明の実施に有用なドナー支持体として構成されるときに、選ばれた支持体材料の特定の側面がさらなる検討に値することが認識されている。例えば、当該支持体が、転写性有機材料による予備コーティングの前に、多段階洗浄及び表面調製工程を必要とすることもあり得る。当該支持体材料が輻射線透過性材料である場合には、当該支持体の内部又は表面に輻射線吸収材料を含めると、適当なフラッシュランプからの輻射線フラッシュ又は適当なレーザーからのレーザー光を使用する時の当該ドナー支持体の加熱効果が高くなり、これに応じて転写性有機ドナー材料の当該支持体から基材への転写性が向上することとなり有利となり得る。
【００３３】
　典型的なOLEDデバイスは下記の層を、通常、アノード、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及びカソードの順序で、含有することができる。ドナー材料７０は、正孔注入性材料、正孔輸送性材料、電子輸送性材料、発光性材料、ホスト材料又はこれら材料の任意の組合せであることができる。以下、これらの材料について説明する。
【００３４】
正孔注入性(HI)材料
　常に必要であるものではないが、有機発光ディスプレイに正孔注入層を設けることが有用となる場合が多い。正孔注入層は、後続の有機層の薄膜形成特性を改良し、かつ、正孔を正孔輸送層に注入し易くするように機能し得る。正孔注入層に使用するのに適した材料として、米国特許第４７２０４３２号に記載されているようなポルフィリン系化合物や、米国特許第６２０８０７５号に記載されているようなプラズマ蒸着フルオロカーボンポリマーが挙げられるが、これらに限定はされない。有機ＥＬデバイスにおいて有用であることが報告されている別の正孔注入性材料が、欧州特許出願公開第０８９１１２１号Ａ１及び同第１０２９９０９号Ａ１に記載されている。
【００３５】
正孔輸送性(HT)材料
　有機材料７０として有用な正孔輸送性材料は、芳香族第三アミンのような化合物を含むことがよく知られている。芳香族第三アミンとは、その少なくとも一つが芳香族環の環員である炭素原子にのみ結合している３価窒素原子を１個以上含有する化合物であると解される。一つの形態として、芳香族第三アミンはアリールアミン、例えば、モノアリールアミン、ジアリールアミン、トリアリールアミン又は高分子アリールアミンであることができる。トリアリールアミン単量体の例が、米国特許第３１８０７３０号(Klupfelら)に示されている。１以上のビニル基で置換された、及び／又は少なくとも一つの活性水素含有基を含む、その他の好適なトリアリールアミンが、譲受人共通の米国特許第３５６７４５０号及び同第３６５８５２０号(Brantleyら)に記載されている。
【００３６】
　より好ましい種類の芳香族第三アミンは、米国特許第４７２０４３２号及び同第５０６１５６９号に記載されているような芳香族第三アミン部分を２個以上含有するものである。このような化合物には、下記構造式（Ａ）で表わされるものが含まれる。
【００３７】
【化１】
2004079540.tif 000003
【００３８】
　上式中、Ｑ1及びＱ2は各々独立に選ばれた芳香族第三アミン部分であり、そしてＧは、アリーレン、シクロアルキレン又は炭素-炭素結合のアルキレン基のような結合基である。一つの実施態様において、Ｑ1及びＱ2の少なくとも一方は、多環式縮合環構造体（例、ナフタレン）を含有する。Ｇがアリール基である場合、それはフェニレン部分、ビフェニレン部分又はナフタレン部分であることが便利である。
　構造式（Ａ）を満たし、かつ、２つのトリアリールアミン部分を含有する有用な種類のトリアリールアミンは、下記構造式（Ｂ）で表わされる。
【００３９】
【化２】
2004079540.tif 000004
【００４０】
　上式中、Ｒ1及びＲ2は、各々独立に、水素原子、アリール基もしくはアルキル基を表わすか、又は、Ｒ1及びＲ2は一緒にシクロアルキル基を完成する原子群を表わし、そして
　Ｒ3及びＲ4は、各々独立に、アリール基であってそれ自体が下記構造式（Ｃ）で示されるようなジアリール置換型アミノ基で置換されているものを表わす。
【００４１】
【化３】
2004079540.tif 000005
【００４２】
　上式中、Ｒ5及びＲ6は各々独立に選ばれたアリール基である。一つの実施態様において、Ｒ5及びＲ6の少なくとも一方は、多環式縮合環構造体（例、ナフタレン）を含有する。
　別の種類の芳香族第三アミンはテトラアリールジアミンである。望ましいテトラアリールジアミンは、アリーレン基で結合された、構造式（Ｃ）で示したようなジアリールアミノ基を２個含む。有用なテトラアリールジアミンには、下記構造式（Ｄ）で表わされるものが含まれる。
【００４３】
【化４】
2004079540.tif 000006
【００４４】
　上式中、Ａｒｅは各々独立に選ばれたアリーレン基、例えば、フェニレン又はアントラセン部分であり、
　ｎは１〜４の整数であり、そして
　Ａｒ、Ｒ7、Ｒ8及びＲ9は各々独立に選ばれたアリール基である。
　典型的な実施態様では、Ａｒ、Ｒ7、Ｒ8及びＲ9の少なくとも一つが多環式縮合環構造体（例、ナフタレン）である。
【００４５】
　上記構造式（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）の各種アルキル、アルキレン、アリール及びアリーレン部分も、各々それ自体が置換されていてもよい。典型的な置換基として、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリールオキシ基、並びにフッ化物、塩化物及び臭化物のようなハロゲンが挙げられる。各種アルキル及びアルキレン部分は、典型的には約１〜６個の炭素原子を含有する。シクロアルキル部分は３〜約１０個の炭素原子を含有し得るが、典型的には、シクロペンチル、シクロヘキシル及びシクロヘプチルの環構造体のように、５個、６個又は７個の環炭素原子を含有する。アリール部分及びアリーレン部分は、通常はフェニル部分及びフェニレン部分である。
【００４６】
　正孔輸送層は、芳香族第三アミン化合物の単体又は混合物で形成することができる。具体的には、構造式（Ｂ）を満たすトリアリールアミンのようなトリアリールアミンを、構造式（Ｄ）が示すようなテトラアリールジアミンと組み合わせて使用することができる。トリアリールアミンをテトラアリールジアミンと組み合わせて使用する場合、後者を、トリアリールアミンと電子注入及び輸送層との間に挿入された層として配置する。以下、有用な芳香族第三アミンを例示する。
　1,1-ビス(4-ジ-p-トリルアミノフェニル)シクロヘキサン
　1,1-ビス(4-ジ-p-トリルアミノフェニル)-4-フェニルシクロヘキサン
　4,4’-ビス(ジフェニルアミノ)クアドリフェニル
　ビス(4-ジメチルアミノ-2-メチルフェニル)-フェニルメタン
　N,N,N-トリ(p-トリル)アミン
　4-(ジ-p-トリルアミノ)-4’-[4(ジ-p-トリルアミノ)-スチリル]スチルベン
　N,N,N’,N’-テトラ-p-トリル-4,4’-ジアミノビフェニル
　N,N,N’,N’-テトラフェニル-4,4’-ジアミノビフェニル
　N,N,N’,N’-テトラ-1-ナフチル-4,4’-ジアミノビフェニル
　N,N,N’,N’-テトラ-2-ナフチル-4,4’-ジアミノビフェニル
　N-フェニルカルバゾール
　ポリ(N-ビニルカルバゾール)
　N,N’-ジ-1-ナフタレニル-N,N’-ジフェニル-4,4’-ジアミノビフェニル
　4,4’-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　4,4’-ビス[N-(1-ナフチル)-N-(2-ナフチル)アミノ]ビフェニル
　4,4”-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]-p-ターフェニル
　4,4’-ビス[N-(2-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　4,4’-ビス[N-(3-アセナフテニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　1,5-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ナフタレン
　4,4’-ビス[N-(9-アントリル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　4,4”-ビス[N-(1-アントリル)-N-フェニルアミノ]-p-ターフェニル
　4,4’-ビス[N-(2-フェナントリル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　4,4’-ビス[N-(8-フルオルアンテニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　4,4’-ビス[N-(2-ピレニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　4,4’-ビス[N-(2-ナフタセニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　4,4’-ビス[N-(2-ペリレニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　4,4’-ビス[N-(1-コロネニル)-N-フェニルアミノ]ビフェニル
　2,6-ビス(ジ-p-トリルアミノ)ナフタレン
　2,6-ビス[ジ-(1-ナフチル)アミノ]ナフタレン
　2,6-ビス[N-(1-ナフチル)-N-(2-ナフチル)アミノ]ナフタレン
　N,N,N’,N’-テトラ(2-ナフチル)-4,4”-ジアミノ-p-ターフェニル
　4,4’-ビス{N-フェニル-N-[4-(1-ナフチル)-フェニル]アミノ}ビフェニル
　4,4’-ビス[N-フェニル-N-(2-ピレニル)アミノ]ビフェニル
　2,6-ビス[N,N-ジ(2-ナフチル)アミン]フルオレン
　1,5-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミノ]ナフタレン
【００４７】
　別の種類の有用な正孔輸送性材料として、欧州特許第１００９０４１号に記載されているような多環式芳香族化合物が挙げられる。さらに、ポリ(N-ビニルカルバゾール)(PVK)、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン及びPEDOT/PSSとも呼ばれているポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)／ポリ(4-スチレンスルホネート)のようなコポリマー、といった高分子正孔輸送性材料を使用することもできる。
【００４８】
発光性材料
　ドナー材料７０として有用な発光性材料は周知である。このようなドナー材料は、OLEDデバイスに含まれる発光層を構成するため、複数の成分を含むことができる。米国特許第４７６９２９２号及び同第５９３５７２１号に詳述されているように、有機ＥＬ要素の発光層(LEL)は発光材料又は蛍光材料を含み、その領域において電子-正孔対が再結合する結果として電場発光が生じる。ドナー材料及びそれから得られる発光層は、単一材料で構成することもできるが、より一般的には、２種以上の成分からなり、例えばホスト材料に単一又は複数種の発光性ゲスト化合物をドーピングしてなり、そこで主として当該ドーパントから発光が生じ、その発光色にも制限はない。発光層に含まれるホスト材料は、後述する電子輸送性材料、上述した正孔輸送性材料、又は正孔-電子再結合を支援する別の材料、であることができる。ドーパントは、通常は高蛍光性色素の中から選ばれるが、リン光性化合物、例えば、国際公開第９８／５５５６１号、同第００／１８８５１号、同第００／５７６７６号及び同第００／７０６５５号に記載されているような遷移金属錯体も有用である。ドーパントは、ホスト材料中、０．０１〜１０質量％の範囲内でコーティングされることが典型的である。
【００４９】
　ドーパントとしての色素を選定するための重要な関係は、当該分子の最高被占軌道と最低空軌道との間のエネルギー差として定義されるバンドギャップポテンシャルの対比である。ホストからドーパント分子へのエネルギー伝達の効率化を図るためには、当該ドーパントのバンドギャップがホスト材料のそれよりも小さいことが必須条件となる。
【００５０】
　有用性が知られているホスト及び発光性分子として、米国特許第４７６９２９２号、同第５１４１６７１号、同第５１５０００６号、同第５１５１６２９号、同第５２９４８７０号、同第５４０５７０９号、同第５４８４９２２号、同第５５９３７８８号、同第５６４５９４８号、同第５６８３８２３号、同第５７５５９９９号、同第５９２８８０２号、同第５９３５７２０号、同第５９３５７２１号及び同第６０２００７８号に記載されているものが挙げられるが、これらに限定はされない。
【００５１】
　8-ヒドロキシキノリン及び類似の誘導体の金属錯体（下記構造式Ｅ）は、電場発光を支援することができる有用なホスト化合物の一種であり、特に、500 nmよりも長い波長の光（例、緑色、黄色、橙色及び赤色）を放出させるのに適している。
【００５２】
【化５】
2004079540.tif 000007
【００５３】
　上式中、Ｍは金属を表わし、ｎは１〜３の整数であり、そしてＺは、各々独立に、縮合芳香族環を２個以上有する核を完成する原子群を表わす。
　上記より、当該金属は１価、２価又は３価になり得ることが明白である。当該金属は、例えば、リチウム、ナトリウムもしくはカリウムのようなアルカリ金属、マグネシウムもしくはカルシウムのようなアルカリ土類金属、又はホウ素もしくはアルミニウムのような土類金属であることができる。一般に、有用なキレート化金属であることが知られているものであれば、１価、２価又は３価のいずれの金属でも使用することができる。
【００５４】
　Ｚは、その少なくとも一つがアゾール環又はアジン環である２個以上の縮合芳香族環を含有する複素環式核を完成する。必要であれば、当該２個の必須環に、脂肪族環及び芳香族環の双方を含む追加の環を縮合させてもよい。分子の嵩高さが機能向上を伴うことなく増大することを避けるため、通常は環原子の数を１８以下に維持する。
【００５５】
　以下、有用なキレート化オキシノイド系化合物の例を示す。
CO-1：アルミニウムトリスオキシン〔別名、トリス(8-キノリノラト)アルミニウム(III)〕
CO-2：マグネシウムビスオキシン〔別名、ビス(8-キノリノラト)マグネシウム(II)〕
CO-3：ビス[ベンゾ{f}-8-キノリノラト]亜鉛(II)
CO-4：ビス(2-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)-μ-オキソ-ビス(2-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)
CO-5：インジウムトリスオキシン〔別名、トリス(8-キノリノラト)インジウム〕
CO-6：アルミニウムトリス(5-メチルオキシン)〔別名、トリス(5-メチル-8-キノリノラト)アルミニウム(III)〕
CO-7：リチウムオキシン〔別名、(8-キノリノラト)リチウム(I)〕
CO-8：ガリウムオキシン〔別名、トリス(8-キノリノラト)ガリウム(III)〕
CO-9：ジルコニウムオキシン〔別名、テトラ(8-キノリノラト)ジルコニウム(IV)〕
【００５６】
　9,10-ジ-(2-ナフチル)アントラセンの誘導体（下記構造式Ｆ）は、電場発光を支援することができる有用なホスト化合物の一種であり、特に、400 nmよりも長い波長の光（例、青色、緑色、黄色、橙色及び赤色）を放出させるのに適している。
【００５７】
【化６】
2004079540.tif 000008
【００５８】
　上式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5及びＲ6は、各環上の１又は２以上の置換基であってそれぞれ下記のグループから独立に選ばれるものを表わす。
第１グループ：水素、又は炭素原子数１〜２４のアルキル；
第２グループ：炭素原子数５〜２０のアリール又は置換アリール；
第３グループ：アントラセニル、ピレニルまたはペリレニルの縮合芳香族環の完成に必要な４〜２４個の炭素原子；
第４グループ：フリル、チエニル、ピリジル、キノリニルその他の複素環式系の縮合芳香族環の完成に必要な炭素原子数５〜２４のヘテロアリール又は置換ヘテロアリール；
第５グループ：炭素原子数１〜２４のアルコキシルアミノ、アルキルアミノ又はアリールアミノ；及び
第６グループ：フッ素、塩素、臭素又はシアノ
【００５９】
　ベンズアゾール誘導体（下記構造式Ｇ）は、電場発光を支援することができる有用なホスト化合物の一種であり、特に、400 nmよりも長い波長の光（例、青色、緑色、黄色、橙色及び赤色）を放出させるのに適している。
【００６０】
【化７】
2004079540.tif 000009
【００６１】
　上式中、ｎは３〜８の整数であり、
　ＺはＯ、ＮＲ又はＳであり、
　Ｒ及びＲ’は、各々独立に、水素、炭素原子数１〜２４のアルキル（例えば、プロピル、t-ブチル、ヘプチル、等）、炭素原子数５〜２０のアリールもしくはヘテロ原子置換型アリール（例えば、フェニル及びナフチル、フリル、チエニル、ピリジル、キノリニルその他の複素環式系）、ハロ（例、クロロ、フルオロ）、又は縮合芳香族環の完成に必要な原子群、であり、
　Ｌは、アルキル、アリール、置換アルキル又は置換アリールからなる結合ユニットであって、当該複数のベンズアゾール同士を共役的又は非共役的に連結させるものである。
　有用なベンズアゾールの一例として2,2’,2”-(1,3,5-フェニレン)トリス[1-フェニル-1H-ベンズイミダゾール]が挙げられる。
【００６２】
　望ましい蛍光性ドーパントには、アントラセン、テトラセン、キサンテン、ペリレン、ルブレン、クマリン、ローダミン、キナクリドン、ジシアノメチレンピラン、チオピラン、ポリメチン、ピリリウム及びチアピリリウムの各化合物の誘導体並びにカルボスチリル化合物が包含される。以下、有用なドーパントの具体例を挙げるが、これらに限定はされない。
【００６３】
【化８】
2004079540.tif 000010
【化９】
2004079540.tif 000011
【化１０】
2004079540.tif 000012
【００６４】
　その他の有機発光性材料として、高分子物質、例えば、譲受人共通の米国特許第６１９４１１９号Ｂ１（Wolkら）及びその中の文献に記載されているポリフェニレンビニレン誘導体、ジアルコキシ-ポリフェニレンビニレン、ポリ-パラ-フェニレン誘導体及びポリフルオレン誘導体、を使用することもできる。
【００６５】
電子輸送性(ET)材料
　本発明の有機ＥＬデバイスに使用するのに好ましい電子輸送性材料は、オキシン（通称8-キノリノール又は8-ヒドロキシキノリン）それ自体のキレートをはじめとする金属キレート化オキシノイド系化合物である。このような化合物は、電子の注入及び輸送を助長し、しかも高い性能レベルを示すと共に、薄膜への加工が容易である。企図されるオキシノイド系化合物の例は、既述の構造式（Ｅ）を満たす化合物である。
【００６６】
　その他の電子輸送性材料として、米国特許第４３５６４２９号に記載されている各種ブタジエン誘導体、及び米国特許第４５３９５０７に記載されている各種複素環式蛍光増白剤が挙げられる。既述の構造式（Ｇ）を満たすベンズアゾールも有用な電子輸送性材料となる。
【００６７】
　その他の電子輸送性材料として、高分子物質、例えば、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリ-パラ-フェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリチオフェン、ポリアセチレンその他の導電性高分子有機材料、例えば、Handbook of Conductive Molecules and Polymers、第１〜４巻、Nalwa編、John Wiley and Sons, Chichester (1997)に記載されているもの、を使用することもできる。
【００６８】
　単一層が、発光と電子輸送の双方を支援する機能を発揮し得る場合もあり、その場合には発光性材料と電子輸送性材料を含むことになる。
【００６９】
　ドナーウェブ３２は輻射線吸収材料を含むことも必要であり、この態様では、当該輻射線吸収材料はドナー材料７０又は支持体７２に内蔵される。輻射線吸収材料は、米国特許第５５７８４１６号に記載された色素のような色素、カーボンのような顔料、又はニッケル、クロム、チタン、等のような金属であることができる。
【００７０】
　ドナー材料７０が発光性材料である場合には、ドナーウェブ３２の異なる部分に、スペクトルの異なる領域で発光する別々のドナー材料７０を設けることができる。例えば、ドナーウェブ３２の一部又は一連の部分に、赤色光を放出するドナー材料７０を被覆することができる。ドナーウェブ３２の第２の部分又は一連の部分に、緑色光を放出するドナー材料７０を被覆することができる。ドナーウェブ３２の第３の部分又は一連の部分に、青色光を放出するドナー材料７０を被覆することができる。ドナーウェブ３２のこれらの異なる部分を、所定の基材３４に対して有機材料転写位置に逐次配置することにより、フルカラーOLEDデバイスの製造において発光色の異なる複数の発光材料を転写することができる。
【００７１】
　図５（ｂ）に、別の実施態様であるドナーウェブ３２の構造を示す。この実施態様では、まず支持体７２に、スペクトルの所定部分の輻射線を吸収して発熱することができる輻射線吸収材料７４を均一に被覆し、次いでドナー材料７０を被覆する。そうすると、支持体７２が非転写面３３を構成し、そしてドナー材料７０が転写面３５を構成する。ドナーウェブ３２の非転写面３３は、輻射線の輻射線吸収材料７４への透過を可能にする。輻射線吸収材料７４は、スペクトルの所定部分の輻射線を吸収して当該材料において発熱することができる。輻射線吸収材料７４は、米国特許第５５７８４１６号に記載された色素のような色素、カーボンのような顔料、又はニッケル、クロム、チタン、等のような金属であることができる。
【００７２】
　図５（ｃ）に、別の実施態様であるドナーウェブ３２の構造を示す。この実施態様では、まず支持体７２に、スペクトルの所定部分の輻射線を吸収して発熱することができるパターン化層の形態にある輻射線吸収材料であるパターン化輻射線吸収層７６を被覆し、次いでドナー材料７０を被覆する。パターン化輻射線吸収層７６は、ドナー材料７０のパターン転写を引き起こすように選定される。そうすると、支持体７２が非転写面３３を構成し、そしてドナー材料７０が転写面３５を構成する。パターン化輻射線吸収層７６は、スペクトルの所定部分の輻射線を吸収して熱を発生することができる輻射線吸収材料を含む。
【００７３】
　図６（ａ）に、本発明によりドナーウェブ３２と基材３４の部分との間が分離するような相対関係においてドナーウェブ３２を基材３４に対して配置した一態様の横断面図を示す。この態様では、基材３４の受容面１０６は、薄膜トランジスタ１００が存在しているために、平坦ではない。薄膜トランジスタ１００は、各画素又は二次画素を多層構成した結果、基材３４において隆起した表面部１０２によって分離されている。このことは、譲受人共通のTangの米国特許第５９３７２７２号に記載されており、その開示内容を本明細書の一部とする。隆起した表面部１０２が存在することにより、非転写面３３に対する加圧流体により発生する圧力に対し、隙間１０４の分離が維持され、かつ、ドナーウェブ３２の部分と基材３４の部分との間の分離が維持される。
【００７４】
　図６（ｂ）に、本発明によりドナーウェブ３２と基材３４とが接触するような相対関係においてドナーウェブ３２を基材３４に対して配置した別の態様の横断面図を示す。この態様では、非転写面３３に対する加圧流体により発生する圧力により、ドナーウェブ３２の転写面３５を基材３４に完全接触させて保持する。
【００７５】
　図７（ａ）に、輻射線による処理方法の一つにより、ドナーウェブ３２からドナー材料７０を基材３４の部分に転写して基材３４の上に有機材料の層を形成することを表わす横断面図を示す。この態様では、パターン化輻射線吸収層７６を具備するドナーウェブ３２が調製されている。輻射線としてフラッシュ光６６がドナーウェブ３２の非転写面３３を照射し、これがパターン化輻射線吸収層７６に当たり熱１１０が発生する。このため、パターン化輻射線吸収層７６の近傍にある有機材料７０が転写される。有機材料７０の所望の部分がドナーウェブ３２から間隙９２を渡して基材３４へパターン化されて転写する。この態様では、有機材料７０の所望の部分しか転写されないようにパターン化輻射線吸収層７６により有機材料７０が適切に転写される。ドナーウェブ３２に当たる光の一部（すなわち、パターン化輻射線吸収層７６に直接当たる光）のみが熱に変換される。ドナー材料７０の加熱された部分の一部又は全部が昇華し、気化し又はアブレートされ、そして基材３４の受容面１０６の上で、パターン化転写された有機材料１１２となる。
【００７６】
　図７（ｂ）に、輻射線による別の処理方法により、ドナーウェブ３２からドナー材料７０を基材３４の部分に転写して基材３４の上に有機材料の層を形成することを表わす横断面図を示す。この態様では、輻射線吸収材料７４を具備するドナーウェブ３２が調製され、そして薄膜トランジスタ１００と隆起表面部分１０２の構造により間隙１０４が維持されている。輻射線としてパターン状レーザー光６０がドナーウェブ３２の非転写面３３を照射し、輻射線吸収材料７４に当たり熱１１０が発生する。これにより、レーザー光６０の近傍にある有機材料７０が転写され、有機材料７０の所望の部分がドナーウェブ３２から基材３４へ転写する。この態様では、有機材料７０の所望の部分しか転写されないようにレーザー光６０を制御することによって、有機材料７０を適切に転写する。ドナーウェブ３２に当たる光の大部分が熱に変換されるが、これは、ドナーウェブ３２の選択的に照射された部分においてしか起こらない。ドナー材料７０の加熱された部分の一部又は全部が昇華し、気化し又はアブレートされ、そして基材３４の受容面１０６の上で、パターン化転写された有機材料１１２となる。
【００７７】
　図７（ａ）及び図７（ｂ）を参照しながら、図８に、本発明による方法で処理した後の処理後基材８２の平面図を示す。ドナー材料７０の所定の部分が基材３４に転写パターン８０において転写されている。転写パターン８０は、処理後基材８２の最終用途に合致するように形成されている（例えば、転写パターン８０は、基材３４の上に存在している薄膜トランジスタの位置に転写されたOLED発光材料のものである）。転写パターン８０は、それを作成するのに用いた方法を反映する（例えば、図７（ａ）のパターン化輻射線吸収層７６又は図７（ｂ）のレーザー光６０照射パターン）。
【００７８】
　第１取付具１０を、第２取付具１２の機能の一部又は全部を発揮するための位置に配置することができ、また第２取付具１２が第１取付具１０の機能の一部又は全部を発揮することができること、を理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明により設計された真空チャンバを具備する装置の一態様を示す横断面図である。
【図２】本発明による装置の閉鎖構成を示す横断面図である。
【図３】閉鎖構成における図１及び図２の装置の一部を詳細に示す横断面図である。
【図４】本発明により設計された装置の別の態様を示す横断面図である。
【図５（ａ）】ドナーの構造の一態様を示す横断面図である。
【図５（ｂ）】ドナーの構造の別の態様を示す横断面図である。
【図５（ｃ）】ドナーの構造の別の態様を示す横断面図である。
【図６（ａ）】本発明により基材に対してドナーを配置した一態様を示す横断面図である。
【図６（ｂ）】本発明により基材に対してドナーを配置した別の態様を示す横断面図である。
【図７（ａ）】光による処理法の一つによりドナーから有機材料を基材へ転写することを示す横断面図である。
【図７（ｂ）】光による別の処理法によりドナーから有機材料を基材へ転写することを示す横断面図である。
【図８】処理後基材を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８０】
８…装置
１０…第１取付具
１２…第２取付具
２０…上板
２２、２４…ガスケット
２６…透明部分
３２…ドナーウェブ
３３…非転写面
３４…基材
３５…転写面
３８…プレート
３９…真空チャンバ
３９ａ…供給チャンバ
３９ｂ…移送チャンバ
３９ｃ…引取チャンバ
４０…チャンバ
４２…流体導入口
４３…キャビティ
４４…流体通路
４５…第１チャンバ
４６…流体供給
４８…チャンネルアレイ
６０…レーザー光
６２…レーザー光源
６６…フラッシュ光
６８…基材ウェブ
７０…ドナー材料
７２…支持体
７４…輻射線吸収材料
７６…パターン化輻射線吸収層
８０…転写パターン
９２、１０４…間隙
１００…薄膜トランジスタ
１０２…隆起表面部分
１０６…受容面
１１０…熱
１１２…転写有機材料
１２０…微小位置決め装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５（ａ）】
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【図５（ｂ）】
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【図５（ｃ）】
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【図６（ａ）】
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【図６（ｂ）】
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【図７（ａ）】
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【図７（ｂ）】
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【図８】
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