(57)【要約】　　　（修正有）【課題】インジウム（Ｉｎ）の封着前に、フェイスプレート（ＦＰ）とリアプレート（ＲＰ）が接着しないように間隔を設けるためのＲＰ支持バネによる封着時の基板変形を低減する。【解決手段】封着時に大基板支持手段の支持機能が低下し、大基板支持手段が下降することにより、パネル変形の反り方向に対して反力とならず反りを低減できる。【選択図】　　　　　図１（ｄ）
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大きさの異なる小基板と大基板を用い、真空雰囲気においてベーキング脱ガス工程及び、ゲッター形成工程及び、封着を行い、一対の基板が隙間をあけて向き合わされて該隙間の周縁部が封着される画像形成装置の製造時に、該小基板を搭載可能な小基板支持手段と、該小基板支持手段に搭載された該小基板の外側に位置すると共に該大基板を該小基板上方に位置させて搭載可能な大基板支持手段を有した画像形成装置の製造装置において、
封着時に該大基板支持手段の支持機能が低下し、該大基板支持手段が下降することを特徴とする画像形成装置の製造装置。
【請求項２】
前記大基板支持手段は弾性的手段が施され、下方に押し下げ可能であることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置の製造装置。
【請求項３】
前記大基板支持手段は弾性的手段が、高張力鋼線バネである請求項１又は２に記載の画像形成装置の製造装置。
【請求項４】
前記大基板支持手段は弾性的手段が、形状記憶合金である請求項１又は２に記載の画像形成装置の製造装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項記載の画像形成装置の製造装置により製造されたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項６】
前記大基板は電子放出素子を有し、表面伝導型電子放出素子である請求項５に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記小基板は蛍光体を有することを特徴とする請求項５に記載の画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像形成装置の製造装置、およびそれを用いて作製した画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の画像形成装置の製造装置において、ＦｉｌｅＮｏ．４５８００４４では図６のように、大きさの異なる小基板２１と、大基板２２があり、該大基板２２にはフリットガラスからなる接着材２３で外枠２４が接着されている。また接着材２５はＩｎである。基板ホルダーベース上２８の小基板２１を搭載可能な小基板支持部２６と、該小基板支持部２６に搭載された該小基板２１の外側に位置する共に該大基板２２を該小基板２１上に位置させて搭載可能で、しかも弾性的に下方に押し下げ可能な大基板支持部２７とを有し、該小基板２１と該大基板２２が間隔を空けて上下に重ねて保持できる基板ホルダーベースを有する画像形成装置の製造装置を用いることにより、真空環境下で温度制御された加圧手段２９によって封着し、製造する手法が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本発明では従来のように真空環境下で封着を行う場合、ベーキング脱ガス工程及び、ゲッター形成工程及び、封着工程を行うために対向した基板を引き離す必要がある。その場合、大基板を支持する支持手段が必要となるがこの場合、下記のような問題を生じする場合がある。
【０００４】
大基板を上方にセットし支持手段で支持した場合、加熱板に接続された封着ピンにより下方に押し下げて封着するため、パネル反り方向に対して反力となるため、パネル（基板）変形を生じさせてしまう場合がある。
【０００５】
本発明の目的は、上記の問題点が解消された画像形成装置の製造装置、およびそれを用いて作製した画像形成装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明は、大きさの異なる小基板と大基板を用い、真空雰囲気においてベーキング脱ガス工程及び、ゲッター形成工程及び、封着を行い、一対の基板が隙間をあけて向き合わされて該隙間の周縁部が封着される画像形成装置の製造時に、前記小基板を搭載可能な小基板支持手段と、該小基板支持手段に搭載された該小基板の外側に位置すると共に該大基板を該小基板上方に位置させて搭載可能な大基板支持手段を有した画像形成装置の製造装置において、封着時に該大基板支持手段の支持機能が低下し、該大基板支持手段が下降することを特徴としている。また、該大基板支持手段は弾性的手段が施され、下方に押し下げ可能である。さらに、該大基板支持手段は弾性的手段が、高張力鋼線バネや形状記憶合金であることを特徴としている。また上述した画像形成装置の製造装置により画像形成装置を製造したことを特徴としている。該大基板は電子放出素子を有し、表面伝導型電子放出素子であることが好ましく、該小基板は蛍光体を有することを特徴としている。
【０００７】
上述したように、本発明の画像形成装置の製造装置によれば、小基板を搭載可能な小基板支持手段と、該小基板支持手段に搭載された該小基板の外側に位置すると共に大基板を該小基板上方に位置させて搭載可能な大基板支持手段を有した画像形成装置の製造装置において、封着時に該大基板支持手段の支持機能が低下し、該大基板支持手段が下降することにより、パネル変形の反り方向に対して反力とならず、安定した画像形成装置の提供が可能である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施態様を具体的に説明する。本発明の製造方法の一例及び平板型画像形成装置用製造装置を図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す。図１（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）において１７は真空チャンバ、１８は真空排気手段、１は電子源が形成されているリアプレート、２は画像表示部分を含むフェイスプレート、３は支持枠、４はリアプレート１と支持枠３を接着するための接合部材であり、主にフリットガラスである。図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）ではリアプレート１に予め形成されているが、支持枠３及び、リアプレート１の接合部に予め形成しても良い。またフリットガラスは仮焼成により、有機物を予め除去しておくことが望ましい。５ａ、５ｂはリアプレート１と接合部材で接着した支持枠３と、フェイスプレート２を封着するための低融点金属部材５ａ、５ｂであり、主にインジウム（Ｉｎ）を用いることが出来る。Ｉｎは溶融点が１５６．７℃と低いだけではなく、蒸気圧が低い、軟らかく衝撃に対して強い、低温でも脆くならないほどの優れた特徴がある。しかも条件によってはガラスに直接接合することが出来るので、本発明の目的に好適した材料である。またＩｎは予めリアプレート上の支持枠接着面及びフェイスプレートの接着面のどちらにも形成されていてもよい。
【０００９】
本発明の特徴づける手段は、リアプレート１を支持するための支持手段１０であり、先端部は球でリアプレート１を点状に支持されることが好ましく、弾性的手段が施されている。この弾性的手段はバネ材料あり、高張力鋼線バネや形状記憶合金等を用いることが好ましく、高張力鋼線バネの場合、使用範囲温度が−５０〜１００℃であることから１００℃近傍まで支持機能があることが望ましい。また、形状記憶合金の場合は、材料を予めバネ形状に加工し、適切な熱処理を施した後に、変態点以下の温度で加熱すればもとの形に戻る特性がある。この特性を生かし、変態点温度１００℃以下の材料を選定する必要があり、Ｎｉ−Ｔｉ−Ｃｕ合金を選定するのが好ましい。変態点開始温度は８０℃である。支持数は４〜３０本、常温時はリアプレート１の各辺に配置されているのが望ましい。また後に述べる真空チャンバー内において、ベーキング脱ガス及び、封着温度より低い温度で支持機能が低下することが望ましい。１１はフェイスプレート２を支持するための支持ピンであり、先端部は球でフェイスプレート２を点状に支持されることが好ましく、支持数は４〜３０本、各辺に配置されているのが望ましい。１２は基板フォルダーであり、リアプレート１を支持する支持手段１０と、フェイスプレート２を支持する支持手段１１を固定している。１３はフェイスプレート支持ピンと対向配置された封着ピンであり、先端部は球でリアプレート１を点状に押圧することが好ましく、弾性的手段が施されている。この弾性的手段はバネ材料であり、耐熱性が優れている材料が適しており、ニッケル合金を用いることが好ましく、使用温度範囲は２００〜４５０℃である。このフェイスプレート支持ピンと同数、及び対向位置に向き合って配置されている。１４はフェイスプレート２を加熱するための加熱板であり、１５はリアプレート１を加熱するための加熱板であり、加熱板１５が上下駆動部１６に接続されてＺ方向に下降、上昇し封着ピンを加圧していく封着手段である。１９はリアプレートを保持してＺ方向及び、ＸＹ方向に駆動するＸＹＺ駆動機構２０を有したリアプレート保持治具である。保持数は少なくとも４〜３０箇所保持するのが望ましい。図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）においては、リアプレートが装置上方、フェイスプレートが装置下方に設置されているが設置場所はこれに限定するものではなく、どちらを上方に設置するかは適宜選択すればよい。リアプレート１及びフェイスプレート２は不図示の固定治具により基板フォルダー１２上に固定されている。
【００１０】
また大型の表示パネルを構成するときには不図示であるスペーサと呼ばれる耐大気圧構造体を予めフェイスプレート２側、もしくはリアプレート１側に接着しておくが、このとき同時に支持枠３をフェイスプレート２側、もしくはリアプレート１側に接着しておいてもかまわない。このように基板フォルダー１２のＦＰ支持用支持ピン１１とＲＰ支持用バネにそれぞれ搭載し、不図示の固定治具で固定し、フェイスプレートとリアプレートが所定の位置関係を保つようにフェイスプレートの不図示のアライメント手段でＸ，Ｙ，θ方向を調節し、フェイスプレートとリアプレートの相対位置関係の調節を行う（図１（ａ）参照）。
【００１１】
次に真空チャンバー内に移動させた後、所望の真空度まで排気口１９から真空排気を行い１０−５Ｐａ以下の真空度に達したらベーキング脱ガス工程を行うが、本発明の特徴づける手段であるＲＰ支持用バネが、１００℃以下で支持機能を低下するため、リアプレート保持治具１９でリアプレートを保持する必要があり、十分なガスに対するコンダクタンスを確保できる距離をおいて、加熱板１４、１５をそれぞれフェイスプレート２、リアプレート１に所望の位置に近づけ、２００〜４００℃程度まで温度を上昇させながらベーキングを行い、十分に脱ガスを行うことが好ましい（図１（ｂ）参照）。
【００１２】
次に、画像形成装置を長時間高い真空度に保たせるために、不図示のゲッター膜をフェイスプレート１の全域に形成する。ゲッター膜の形成は、５０〜１００℃以下で、常法である蒸着法によって行うのが好ましい。この時、不図示のゲッター蒸着手段をフェイスプレート２の表面上に配置する必要があるため、リアプレート１をリアプレート保持治具１９で保持し、ＸＹＺ駆動機構２０にて上方へ離して置くことが好ましい（図１（ｃ）参照）。そしてこのゲッター膜を形成した後、ＸＹＺ駆動機構２０で基板フォルダー上のＲＰ支持用バネ上にリアプレートを搭載し、加熱板１４、１５をそれぞれフェイスプレート２、リアプレート１の所望の位置に近づけ、封着温度である１５０〜２００℃近傍まで昇温させるが、リアプレート１を支持してるＲＰ支持用バネ１０は、昇温と共に支持力が徐々に低下していくことにより、フェイスプレート２とリアプレート１の封着面が接合する恐れがあるので、この時、リアプレート１と緩衝しない位置、例えばＦＰ支持用支持ピン１１程度の高さまでリアプレート保持治具１９を下げておくことが好ましい。この状態で一定温度に達した時に加熱板１５に接続された上下駆動部１６を有した封着ピン１３でフェイスプレート２とリアプレート１を徐々に加圧していく。そして形成された真空容器を徐冷（例えばＩｎの溶融点１５６．７℃以下の温度に冷却）して固化させる。温度が１００℃付近まで下がると、ＲＰ支持用バネ１０が元の形状に戻ろうとする力が働くので、常温に冷却される温度になると、ＲＰ支持用バネ１０上にパネルが搭載される。そして真空チャンバー内を大気開放し、真空チャンバー１７から取り出す。なお、ここでは、電子放出素子として、表面伝導型電子放出素子を用いたが、本発明はこれに限るものではない。
【００１３】
このように、本発明の製造装置は画像形成装置であれば、パネルの反り方向に対して反力とならず、パネル（基板）変形が生じることなく、信頼性の高い画像形成装置が可能である。
【００１４】
（実施例）
実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例によりなんら限定されるものではない。
【００１５】
［実施例１］
本発明の第１の実施例において、図２に示す構成の画像形成装置を作製した。本実施例では、冷陰極電子放出素子である表面伝導型電子放出素子を電子放出素子として、複数個リアプレートに形成し、フェイスプレートには、蛍光体を設置し、有効表示エリアを対角１５インチとする縦と横の比が３：４のカラー画像形成装置を作成した。まず、本発明の画像形成装置を図２、図３、図４を参照しながら説明する。
【００１６】
図２は、実施例に用いた画像形成装置の斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの１部を切り欠いて示している。図中、４１はリアプレート、４２は支持枠、４３はフェイスプレートであり、４１〜４３により表示パネルの内部を真空に維持するための気密容器を形成している。気密容器を組み立てるに当たっては各部材の接合に十分な強度と気密性を保持させるため封着する必要がある。リアプレート４１上には、表面伝導型放出素子４４が、Ｎ×Ｍ個形成されている。（Ｎ，Ｍは２以上の正の整数で、目的とする表示画素数に応じ適宜設定される。例えば、高品位テレビジョンの表示を目的とした表示装置においては、Ｎ＝３０００、Ｍ＝１０００以上の数を設定することが望ましい。本実施例においては、Ｎ＝３３３、Ｍ＝２５０とした）。前記Ｎ×Ｍ個の表面伝導型放出素子は、Ｍ本の行方向配線４５（下配線とも呼ぶ）とＮ本の列方向配線４６（上配線とも呼ぶ）により単純マトリクス配線されている。続いて図３を用いて説明する。
【００１７】
図３は、表面伝導型電子放出素子の構成を示す模式図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は断面図である。図３において３１は基板、３２と３３は素子電極、３４は導電性薄膜、３５は電子放出部である。素子電極３２，３３を通じて、導電性薄膜３４にフォーミング処理を施すことで、導電性薄膜を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に高抵抗な状態にした電子放出部３５を形成し、さらに、放出電流を著しく改善する活性化工程を該表面伝導型電子放出素子の上述導電性薄膜３４に電圧を印加し、素子に電流を流すことにより、上述の電子放出部３５より電子を放出せしめる（従来技術で述べた特開平７−２３５２５５号公報の開示例と同様）のものである。
【００１８】
また、フェイスプレート４３の下面には、蛍光膜４７が形成されている。本実施例はカラー表示装置であるため、蛍光膜４７の部分にはＣＲＴの分野で用いられる赤、緑、青、の３原色の蛍光体が塗り分けられている。各色の蛍光体は、例えば図４（ａ）に示すようにストライプ状に塗り分けられ、蛍光体のストライプの間には黒色の導電体５１が設けてある。黒色の導電体５１を設ける目的は、電子ビームの照射位置に多少のずれがあっても表示色にずれが生じないようにすることや、外光の反射を防止して表示コントラストの低下を防ぐこと、電子ビームにより蛍光膜のチャージアップを防止すること等である。黒色の導電体５１には、黒鉛を主成分として用いたが、上記の目的に適するものであればこれ以外の材料を用いてもよい。また、３原色の蛍光体の塗り分け方は前記図４（ａ）に示したストライプ状の配列に限られるものではなく、例えば図４（ｂ）に示すようなデルタ状配列や、それ以外の配列であってもよい。なお、モノクロームの表示パネルを作成する場合には、単色の蛍光体材料を蛍光膜４７に用いればよく、また黒色導電材料は必ずしも用いなくてもよい。
【００１９】
また、蛍光膜４７のリアプレート側の面には、ＣＲＴの分野では公知のメタルバック４８を設けてある。メタルバック４８を設けた目的は、蛍光膜４７が発する光の一部を鏡面反射して光利用率を向上させることや、負イオンの衝突から蛍光膜４７を保護することや、電子ビーム加速電圧を印加するための電極として作用させることや、蛍光膜４７を励起した電子の導電路として作用させること等である。メタルバック４８は、蛍光膜４８をフェイスプレート基板４３上に形成した後、蛍光膜表面を平滑化処理し、その上にＡｌを真空蒸着する方法により形成した。なお、蛍光膜４７に低電圧用の蛍光体材料を用いた場合には、メタルバック４８は用いない。また、本実施例では用いなかったが、加速電圧の印加用や蛍光膜の導電性向上を目的として、フェイスプレート基板４３と蛍光膜４７との間に、例えばＩＴＯを材料とする透明電極を設けてもよい。また、Ｄｘ１〜ＤｘｍおよびＤｙ１〜Ｄｙｎ／ならびにＨｖは、当該表示パネルと不図示の電気回路とを電気的に接続するために設けた気密構造の電気接続用端子である。Ｄｘ１〜Ｄｘｍはマルチ電子ビーム源の行方向配線４５と、Ｄｙ１〜Ｄｙｎはマルチ電子ビーム源の列方向配線４６と、Ｈｖはフェイスプレートのメタルバック４８と、それぞれ電気的に接続している。
【００２０】
以上、本発明の製造方法を適用した画像形成装置の基本構成を説明した。次に、図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）を用いて本発明の画像形成装置の製造方法について説明する。
【００２１】
（リアプレートの作成）
（Ｒ−１）
青板ガラスを洗浄し、シリコン酸化膜をスパッタ法で形成したリアプレート上に下配線をスクリーン印刷で形成した。次に、下配線と上配線間に層間絶縁層を形成する。さらに、上配線を形成した。次に、下配線と上配線とに接続された素子電極を形成した。
【００２２】
（Ｒ−２）
次いで、ＰｄＯからなる導電性薄膜をスパッタ法で形成した後、パターニングし、所望の形態とした。
【００２３】
（Ｒ−３）
支持枠を固定するためのフリットガラスを予め支持枠の片面にディスペンサによって塗布し、前処理（仮焼成３８０℃、１０分）を行い形成した。フリットガラスは日本電気硝子社製ＬＳ−３０８１をペーストとして用いた。
【００２４】
（Ｒ−４）
次に、リアプレートと支持枠を封着装置にて、４２０℃、１０分で所望の位置に加圧接着した。フリットガラスは、日本電気硝子社製ＬＳ−３０８１をペーストとして用いた。
【００２５】
（Ｒ−５）
次に、リアプレート上にフリットガラスによって所望の位置に加圧封着された支持枠をフェイスプレートとの接合部にＩｎを超音波半田ゴテにより所望の位置および厚みに充填した。
【００２６】
（フェイスプレートの作成）
（Ｆ−１）
青板ガラス基板に蛍光体、黒色導電体を印刷法により形成した。蛍光膜の内面側表面の平滑化処理を行い、その後Ａｌを真空蒸着等を用いて堆積させメタルバックを形成した。
【００２７】
（Ｆ−２）
次に、フェイスプレートの所望の位置にＩｎを超音波半田ゴテにより所望の位置および厚みに充填しフェイスプレートに形成した。
【００２８】
（パネルの作製）
（ＦＲ−１）
次に、上記工程により作成されたフェイスプレートおよびリアプレートを基板フォルダー上に設置された、ＦＰ支持用支持ピンはフェイスプレートの外周部に配置され、長辺方向に７本、短辺方向に４本配置されている。そこへフェイスプレートを搭載する。次にＦＰ支持用支持ピンの外周に配置したＲＰ支持用バネは、高張力鋼線バネを用いて作製し、長辺方向に４本、短辺方向に２本配置した。そこへリアプレートを搭載し、それぞれ先端部の球で点状に支持されている（図１（ａ）参照）。そして不図示の固定治具でフェイスプレートとリアプレートを固定し、フェイスプレートとリアプレートが所定の位置関係を保つようにフェイスプレートの不図示のアライメント手段でＸ，Ｙ，θ方向を調節し、フェイスプレートとリアプレートの相対位置関係の調節を行う。
【００２９】
（ＦＲ−２）
次に真空チャンバー内に移動させた後、所望の真空度まで排気口１９から真空排気を行い１０−５Ｐａ以下の真空度に達したらベーキング脱ガス工程を行うが、ＲＰ支持用バネが、１００℃以下で支持機能を低下されてしまうため、リアプレート保持治具１９でリアプレートを保持する必要があり、十分なガスに対するコンダクタンスを確保できる距離をおいて、加熱板１４、１５をそれぞれフェイスプレート２、リアプレート１に所望の位置に近づけ、ベーキング温度が３００℃になるように昇温させながらベーキングを行い、十分にベーキング脱ガスを行った（図１（ｂ）参照）。
【００３０】
（ＦＲ−３）
次に、画像形成装置を長時間高い真空度に保たせるために、不図示のゲッター膜をフェイスプレート１の全域に形成する。ゲッター膜の形成は、５０℃近傍で、常法である蒸着法によって行う。この時、不図示のゲッター蒸着手段をフェイスプレート２の表面上に配置する必要があるため、リアプレート１をリアプレート保持治具１９で保持し、ＸＹＺ駆動機構２０にて上方へ離して行う。（図１（ｃ）参照）。
【００３１】
（ＦＲ−４）
次に、ゲッター膜を形成した後、ＸＹＺ駆動機構２０で基板フォルダー上のＲＰ支持用バネ上にリアプレートを搭載し、加熱板１４、１５をそれぞれフェイスプレート２、リアプレート１の所望の位置に近づけ、封着温度が１８０℃になるように昇温させるが、リアプレートを支持するＲＰ支持用バネは、昇温と共に支持力が徐々に低下していくことにより、フェイスプレート２とリアプレート１の封着面が接合されるので、この時のリアプレートと緩衝しない位置である、ＦＰ支持用支持ピン先端部の高さまでリアプレート保持治具を下げる。この状態で一定温度に達した時に加熱板１５に接続された上下駆動部を有した封着ピンでフェイスプレートとリアプレートを徐々に加圧封着した（図１（ｄ）参照）。
【００３２】
（ＦＲ−５）
そして形成された真空容器を徐冷（例えばＩｎの溶融点１５６．７℃以下の温度に冷却）して固化させる。温度が１００℃付近まで下がると、ＲＰ支持用バネが元の形状に戻ろうとする力が働くので、常温に冷却される温度になると、ＲＰ支持用バネ上にパネルが搭載される。そして真空チャンバー内を大気開放を行い、真空チャンバーから取り出す。なお、ここでは、電子放出素子として、表面伝導型電子放出素子を用いたが、本発明はこれに限るものではない。
【００３３】
以上のようにして完成した、本発明の製造方法により製造された画像表示装置において、各電子放出素子には、容器外端子Ｄｘ１〜Ｄｘｍ，Ｄｙ１〜Ｄｙｎを通じ、走査信号および変調信号を不図示の信号発生手段よりそれぞれ、印加することにより、電子放出させ、高圧端子Ｈｖを通じ、メタルバック４８に数ｋＶ以上の高圧を印加し、電子ビームを加速し、蛍光膜４７に衝突させ、励起・発光させることにより画像を表示した。その結果、電子放出素子、蛍光体の位置ずれがなく、位置ずれに起因した輝度ばらつきや、混色は観察されなかった。また、ＲＰ支持用支持ピンがＩｎ溶融点より低い１００℃近傍で支持機能が低下するため、反り方向に対して反力とならず、パネル（基板）変形が生じなかった。
【００３４】
［実施例２］
次に、本発明の実施例２について説明する。この実施例２は、第２のＲＰ支持用バネの材質についてのものであり、材質を変更した以外は、実施例１とほぼ同様である。したがって、実施例１と異なる点についてのみ説明するものとし、同一部分については、同一の符号を付して、説明を省略する。
【００３５】
図５には、本発明の実施例２に係る封着時の拡大図が示されている。即ち、ここで符号１はリアプレート、２はフェイスプレート、３は支持枠、４はフリットガラス、５ａ、５ｂはＩｎ、１０はＲＰ支持用バネ、１１はＦＰ支持用支持ピン、１２は基板フォルダー、１３は封着ピン、１４、１５は加熱板、１９はリアプレート保持治具である。
【００３６】
ＲＰ支持用バネ１０は、実施例１では、高張力鋼線バネを用いたが、本実施例２では、Ｎｉ−Ｔｉ−Ｃｕ合金からなる形状記憶合金を用いた。この形状記憶合金は、材料をバネ形状に加工し、適切な熱処理を施した後に、５０℃近傍では自然長長さを保つ形状に加工し、温度昇温中８０℃近傍でリアプレートの支持機能を低下させる。また、実施例１と同様に、長辺方向に４本、短辺方向に２本配置した。実施例１と同じ工程（真空排気、ベーキング脱ガス、ゲッター膜蒸着等）を経て、一定温度に達した時に加熱板１５に接続された上下駆動部を有した封着ピンでフェイスプレートとリアプレートを徐々に加圧封着した。
【００３７】
以上のようにして、実施例１と同様に、気密容器を作成した。また、実施例１と同様にして、画像を表示したところ、電子放出素子、蛍光体の位置ずれがなく、位置ずれに起因した輝度ばらつきや、混色は観察されなかった。また、ＲＰ支持用バネが８０℃近傍で支持機能が低下することを記憶してることから、パネルの反り方向に対して反力とならず、パネル（基板）変形が生じることなく、信頼性の高い画像形成装置が得られた。
【００３８】
【発明の効果】
上記のように、本発明の画像形成装置の製造装置によれば、小基板を搭載可能な小基板支持手段と、該小基板支持手段に搭載された該小基板の外側に位置すると共に大基板を該小基板上方に位置させて搭載可能な大基板支持手段を有した画像形成装置の製造装置において、封着時に該大基板支持手段の支持機能が低下し、該大基板支持手段が下降することにより、パネル変形の反り方向に対して反力とならず、信頼性の高い画像形成装置が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１（ａ）】本発明の特徴を最もよく表す画像形成装置の製造装置（その１）
【図１（ｂ）】本発明の特徴を最もよく表す画像形成装置の製造装置（その２）
【図１（ｃ）】本発明の特徴を最もよく表す画像形成装置の製造装置（その３）
【図１（ｄ）】本発明の特徴を最もよく表す画像形成装置の製造装置（その４）
【図２】実施例１で作製した画像形成装置を示す斜視図
【図３】実施例１で用いた冷陰極の表面伝導型電子放出素子を示す模式図。
【図４】実施例１で用いた蛍光体の例を示す模式図。
【図５】実施例２で作製した画像形成装置の製造装置の拡大図。
【図６】従来例を示す模式図。
【符号の説明】
１：リアプレート
２：フェイスプレート
３：支持枠
４：フリットガラス
５ａ、５ｂ：Ｉｎ
１０：ＲＰ支持用バネ
１１：ＦＰ支持用支持ピン
１２：基板フォルダー
１３：封着ピン
１４、１５：加熱板
１６：上下駆動部
１７：真空チャンバー
１８：排気管
１９：リアプレート保持治具
２０：ＸＹＺ駆動機構
２１：小基板
２２：大基板
２３：接着材
２４：外枠
２５：接着材
２６：小基板支持部
２７：大基板支持部
２８：基板ホルダーベース
２９：加圧手段
３１：基板
３２、３３：素子電極
３４：導電性薄膜
３５：電子放出部
４１：リアプレート
４２：支持枠
４３：フェイスプレート
４４：表面伝導型放出素子
４５：行方向配線
４６：列方向配線
４７：蛍光膜
４８：メタルバック
５１：黒色の導電体
【図１（ａ）】
2004079357.tif 000003
【図１（ｂ）】
2004079357.tif 000004
【図１（ｃ）】
2004079357.tif 000005
【図１（ｄ）】
2004079357.tif 000006
【図２】
2004079357.tif 000007
【図３】
2004079357.tif 000008
【図４】
2004079357.tif 000009
【図５】
2004079357.tif 000010
【図６】
2004079357.tif 000011