(57)【要約】【課題】通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性およびコモンモードの良好な平衡−不平衡入出力機能を備えた弾性表面波装置および通信装置を提供する。【解決手段】圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されているＩＤＴ２０５、２０６、２０７または２１０、２１１、２１２と、上記ＩＤＴ２０５、２０６、２０７または２１０、２１１、２１２を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタ２０８、２１３および第２のリフレクタ２０９、２１４を備えている弾性表面波フィルタ素子２０１、２０２が、平衡−不平衡変換機能を有するように設ける。そして、第１のリフレクタ２０８、２１３と第２のリフレクタ２０９、２１４との構造が異ならせる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
第１のリフレクタと第２のリフレクタとの構造が異なっており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子は同じ構造の第１のリフレクタと第２のリフレクタを備えていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項２】
前記第１のリフレクタと第２のリフレクタとにおける電極指の本数が異なっていることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項３】
前記第１のリフレクタと第２のリフレクタとのｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波装置。
【請求項４】
前記第１のリフレクタと第２のリフレクタとの電極指ピッチが異なっていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項５】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
第１のリフレクタと、第１のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第２のリフレクタと、第２のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、
且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子で、前記第１のリフレクタと、第１のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離、および第２のリフレクタと、第２のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項６】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
前記第１のリフレクタおよび第２のリフレクタが交差幅重み付けされており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子は同じ構造の第１のリフレクタと第２のリフレクタとを備えていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項７】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
前記第１のリフレクタおよび／または第２のリフレクタにおける少なくとも１箇所に、周囲の電極指に対して電極指幅若しくは電極指間隔の少なくとも一方が異なる箇所が設けられており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子は同じ構造の第１のリフレクタと第２のリフレクタとを備えていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項８】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
前記第１のリフレクタおよび／または第２のリフレクタにおける少なくとも１箇所に、周囲の電極指とｄｕｔｙが異なる箇所が設けられており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子は同じ構造の第１のリフレクタと第２のリフレクタを備えていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項９】
さらなる弾性表面波フィルタ素子が、カスケード接続されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１０】
圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを備えている第１、第２、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
前記第１と第３の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれカスケード接続されており、
前記第１と第２の弾性表面波フィルタ素子および前記第３と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれ同じ構造のリフレクタを有しており、且つ、
前記第１と第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタの構造と、前記第３と第４の弾性表面波フィルタのリフレクタの構造が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項１１】
圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを備えている第１、第２、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
前記第１と第３の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれカスケード接続されており、
前記第１と第４の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第３の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれ同じ構造のリフレクタを有しており、且つ、
前記第１と第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタの構造と、前記第２と第３の弾性表面波フィルタのリフレクタの構造が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項１２】
第１の弾性表面波フィルタ素子に対する第３の弾性表面波フィルタ素子における電極指の本数、および第２の弾性表面波フィルタ素子に対する第４の弾性表面波フィルタ素子とにおける電極指の本数が異なっていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の弾性表面波装置。
【請求項１３】
第１の弾性表面波フィルタ素子に対する第３の弾性表面波フィルタ素子におけるｄｕｔｙ、および第２の弾性表面波フィルタ素子に対する第４の弾性表面波フィルタ素子とにおけるｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１４】
第１の弾性表面波フィルタ素子に対する第３の弾性表面波フィルタ素子における電極指ピッチ、および第２の弾性表面波フィルタ素子に対する第４の弾性表面波フィルタ素子とにおける電極指ピッチが異なっていることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１５】
圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを備えている第１、第２、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
前記第１と第３の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれカスケード接続されており、
前記第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、
第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、且つ、第１、第２の弾性表面波フィルタ素子で、リフレクタと、弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであると共に、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子で、リフレクタと、弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項１６】
圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを備えている第１、第２、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、
前記第１と第３の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれカスケード接続されており、
前記第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、
第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、且つ、第１、第４の弾性表面波フィルタ素子で、リフレクタと、弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであると共に、第２、第３の弾性表面波フィルタ素子で、リフレクタと、弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項１７】
請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の弾性表面波装置を有することを特徴とする通信装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置、およびそれを有する通信装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の携帯電話機等の通信装置の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実現するための手段として、各構成部品の削減、小型化はもとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。
【０００３】
このような状況を背景に、携帯電話機のＲＦ段に使用する弾性表面波装置に平衡−不平衡変換機能、いわゆるバラン（balun）の機能を付加したものも近年盛んに研究され、ＧＳＭ（Global System for Mobile communications）などを中心に使用されるようになってきた。このような平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波装置に関する特許も、いくつか出願されている。
【０００４】
一方で、近年の携帯電話システムは、送信周波数と受信周波数とが近いシステムが増えてきている。これに伴い、送信側フィルタでは受信周波数帯の減衰量、受信側フィルタでは送信周波数帯における減衰量を大きくする必要がある。そのため、弾性表面波装置に通過帯域近傍において、減衰量を大きくする要求が強くなっている。
【０００５】
通信装置では、アンテナからフィルタまでの部分は不平衡信号で５０Ωの特性インピーダンスを用いるのが一般的であり、フィルタの後に使われるアンプなどは平衡信号で１５０Ω〜２００Ωのインピーダンスを用いる場合が多い。
【０００６】
この５０Ω不平衡信号から１５０Ω〜２００Ω平衡信号に変換する機能を併せて備えた弾性表面波フィルタ装置（弾性表面波装置）としては、例えば弾性表面波フィルタ素子を４素子用いることにより不平衡入力−平衡出力を実現したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。上記の文献で示されている弾性表面波フィルタ装置の構成を図２４に示す。
【０００７】
上記弾性表面波フィルタ装置では、位相特性が互いに等しい各弾性表面波フィルタ素子５０１、５０２を２段に縦続接続した縦続弾性表面波フィルタ部５１１と、弾性表面波フィルタ５０３と、弾性表面波フィルタ５０３とは伝送位相がおよそ１８０°異なる弾性表面波フィルタ素子５０４を縦続接続した縦続弾性表面波フィルタ部５１２を有し、それぞれの入出力端子の一方を並列接続、他方を直列接続し、並列接続端子を不平衡端子５０５、直列接続端子を各平衡端子５０６、５０７としている。
【０００８】
このような平衡−不平衡入出力機能を有する弾性表面波フィルタ装置においては、各平衡端子５０６、５０７からの出力は、各平衡端子５０６、５０７間の差動として動作するため、それぞれの各平衡端子５０６、５０７間での各電気信号の位相が、互いに１８０°反転している状態で最大の出力が得られる。逆に、それぞれの各平衡端子５０６、５０７間での電気信号の位相が同じである場合には、上記各電気信号は、相殺されるので、２つの電気信号のレベルが近い程、大きな減衰量が得られる。
【０００９】
したがって、弾性表面波フィルタ装置を構成する際には、各平衡端子５０６、５０７からの各出力は、通過帯域では位相が１８０°反転しており、阻止域（通過帯域外）においては同位相であることが望ましい。
【００１０】
上記の文献に開示されている弾性表面波フィルタ装置などでは、弾性表面波フィルタ素子を４つ用い、そのうちの１つの弾性表面波フィルタ素子を位相反転させる方法として、くし型電極部（Inter-Digital Transducer、以下、ＩＤＴという）の向きを弾性表面波の伝搬方向を対称軸として反転させる、あるいは一方のＩＤＴ−ＩＤＴ間隔を０．５λ（波長）分広げるという手法を用いている。
【００１１】
この構成により、通過帯域内では、各々の平衡端子５０６、５０７の位相特性は反転しており、また弾性表面波がほとんど励振されていない周波数域においては各々の平衡端子５０６、５０７の位相特性は同位相となっている。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１０−１１７１２３号公報（公開日１９９８年５月６日）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、通過帯域近傍の通過帯域外におけるスプリアスは弾性表面波の励振によるものであり、このスプリアスの発生する範囲では通過帯域と同様に各々の平衡端子平衡端子５０６、５０７の位相特性は反転しており、差動状態での信号キャンセル効果が得られず、通過帯域近傍の通過帯域外での減衰量が不足するという問題が生じている。
【００１４】
本発明は、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性を保ちつつ、コモンモードを改善された平衡−不平衡入出力機能を備えた弾性表面波装置および通信装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、第１のリフレクタと第２のリフレクタとの構造が異なっており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子は同じ構造の第１のリフレクタと第２のリフレクタを備えていることを特徴としている。
【００１６】
上記の構成によれば、弾性表面波の伝搬方向に沿って少なくとも２つのくし型電極部を備えているので、各くし型電極部の電気信号と弾性表面波との間の変換により決まる通過帯域周波数の電気信号を低損失で通過させ、通過帯域外の電気信号を低減するというフィルタ機能を発揮することが可能となる。
【００１７】
また、上記の構成では、第１、第２の弾性表面波フィルタ素子を平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているので、平衡−不平衡変換機能を発揮できる。
【００１８】
さらに、上記の構成では、第１のリフレクタと第２のリフレクタとの構造が異なっているので、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を得ることができる。
【００１９】
さらにその上、２つの弾性表面波フィルタ素子において、それぞれ同じ構成の第１のリフレクタと第２のリフレクタとを備えているので、通過帯域低域側の振幅平衡度、位相平衡度が改善される。そのため、通過帯域低域側において大きな減衰量が得られ、且つ大きなコモンモード減衰量が得られる弾性表面波装置を提供することができる。
【００２０】
また、前記第１のリフレクタと第２のリフレクタとにおける電極指の本数が異なっていることが好ましい。
【００２１】
また、前記第１のリフレクタと第２のリフレクタとのｄｕｔｙが異なっていることが好ましい。
【００２２】
また、前記第１のリフレクタと第２のリフレクタとの電極指ピッチが異なっていることが好ましい。
【００２３】
本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、第１のリフレクタと、第１のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第２のリフレクタと、第２のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子で、前記第１のリフレクタと、第１のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離、および第２のリフレクタと、第２のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであることを特徴としている。
【００２４】
上記の構成によれば、第１のリフレクタと第２のリフレクタとの構造を異ならせているので、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を容易に得ることができる。
【００２５】
本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、前記第１のリフレクタおよび第２のリフレクタが交差幅重み付けされており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子は同じ構造の第１のリフレクタと第２のリフレクタとを備えていることを特徴としている。
【００２６】
これにより、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を得ることができる。
【００２７】
本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、前記第１のリフレクタおよび／または第２のリフレクタにおける少なくとも１箇所に、周囲の電極指に対して電極指幅若しくは電極指間隔の少なくとも一方が異なる箇所が設けられており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子は同じ構造の第１のリフレクタと第２のリフレクタとを備えていることを特徴としている。
【００２８】
これにより、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を得ることができる。
【００２９】
本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている第１、第２の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、前記第１のリフレクタおよび／または第２のリフレクタにおける少なくとも１箇所に、周囲の電極指とｄｕｔｙが異なる箇所を設けられており、且つ、前記第１、第２の弾性表面波フィルタ素子は同じ構造の第１のリフレクタと第２のリフレクタを備えていることを特徴としている。
【００３０】
これにより、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を得ることができる。
【００３１】
また、上記弾性表面波装置は、上記の構成に加えて、さらなる弾性表面波フィルタ素子が、カスケード接続されていることが好ましい。
【００３２】
本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを備えている第１、第２、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、前記第１と第３の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれカスケード接続されており、前記第１と第２の弾性表面波フィルタ素子および前記第３と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれ同じ構造のリフレクタを有しており、且つ、前記第１と第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタの構造と、前記第３と第４の弾性表面波フィルタのリフレクタの構造が異なっていることを特徴としている。
【００３３】
また、本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを備えている第１、第２、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、前記第１と第３の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれカスケード接続されており、前記第１と第４の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第３の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれ同じ構造のリフレクタを有しており、且つ、前記第１と第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタの構造と、前記第２と第３の弾性表面波フィルタのリフレクタの構造が異なっていることを特徴としている。
【００３４】
上記の構成によれば、弾性表面波の伝搬方向に沿って少なくとも２つのくし型電極部を備えているので、各くし型電極部の電気信号と弾性表面波との間の変換により決まる通過帯域周波数の電気信号を低損失で通過させ、通過帯域外の電気信号を低減するというフィルタ機能を発揮することが可能となる。
【００３５】
また、上記の構成では、弾性表面波フィルタ素子を平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているので、平衡−不平衡変換機能を発揮できる。
【００３６】
さらに上記の構成は、リフレクタを備えていることにより、上記各くし型電極部からの弾性表面波を上記各くし型電極部に反射することができ、発生した弾性表面波を電気信号に変換する効率を改善することができる。
【００３７】
さらに、上記の構成では、第１の弾性表面波フィルタ素子におけるリフレクタの構造と第３の弾性表面波フィルタ素子におけるリフレクタの構造とが異なっていると共に、前記第２の弾性表面波フィルタ素子におけるリフレクタの構造と第４の弾性表面波フィルタ素子におけるリフレクタの構造とが異なっているので、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を得ることができる。
【００３８】
さらにその上、４つの弾性表面波フィルタ素子において、第１の弾性表面波フィルタ素子におけるリフレクタの構造と第２の弾性表面波フィルタ素子におけるリフレクタの構造とが同じ構造であり、第３の弾性表面波フィルタ素子におけるリフレクタの構造と第４の弾性表面波フィルタ素子におけるリフレクタの構造とが同じ構造であるので、通過帯域低域側の振幅平衡度、位相平衡度が改善される。そのため、通過帯域低域側において大きな減衰量が得られ、且つ大きなコモンモード減衰量が得られる弾性表面波装置を提供することができる。
【００３９】
また、本発明の弾性表面波装置は、第１の弾性表面波フィルタ素子に対する第３の弾性表面波フィルタ素子における電極指の本数、および第２の弾性表面波フィルタ素子に対する第４の弾性表面波フィルタ素子とにおける電極指の本数が異なっていることが好ましい。
【００４０】
また、本発明の弾性表面波装置は、第１の弾性表面波フィルタ素子に対する第３の弾性表面波フィルタ素子におけるｄｕｔｙ、および第２の弾性表面波フィルタ素子に対する第４の弾性表面波フィルタ素子とにおけるｄｕｔｙが異なっていることが好ましい。
【００４１】
また、本発明の弾性表面波装置は、第１の弾性表面波フィルタ素子に対する第３の弾性表面波フィルタ素子における電極指ピッチ、および第２の弾性表面波フィルタ素子に対する第４の弾性表面波フィルタ素子とにおける電極指ピッチが異なっていることが好ましい。
【００４２】
さらに、本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを備えている第１、第２、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、前記第１と第３の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれカスケード接続されており、前記第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、且つ、第１、第２の弾性表面波フィルタ素子で、リフレクタと、弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであると共に、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子で、リフレクタと、弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであることを特徴としている。
【００４３】
上記の構成によれば、第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタとの構造、および第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタとの構造を異ならせているので、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を容易に得ることができる。
【００４４】
また、本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込むリフレクタとを備えている第１、第２、第３、第４の弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、前記第１と第３の弾性表面波フィルタ素子および前記第２と第４の弾性表面波フィルタ素子がそれぞれカスケード接続されており、前記第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が、第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと、第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離と異なっており、且つ、第１、第４の弾性表面波フィルタ素子で、リフレクタと、弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであると共に、第２、第３の弾性表面波フィルタ素子で、リフレクタと、弾性表面波フィルタ素子のリフレクタに隣り合うくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が同じであることを特徴としている。
【００４５】
上記の構成によれば、第１の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと第３の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタとの構造、および第２の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタと第４の弾性表面波フィルタ素子のリフレクタとの構造を異ならせているので、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を容易に得ることができる。
【００４６】
本発明の通信装置は、上記課題を解決するために、上記弾性表面波装置のいずれかを有することを特徴としている。上記の構成によれば、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量も大きい弾性表面波装置を有することで、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量も大きい通信装置を提供することができる。
【００４７】
【発明の実施の形態】
〔本発明の前提となる構成例〕
前提となる弾性表面波装置の構成例を、図１９ないし図２２に基づいて説明する。
【００４８】
図１９に、不平衡信号端子１１３に対して平衡信号端子１１４、１１５のインピーダンスが約４倍異なる構成の弾性表面波装置において通過帯域低域側の減衰量を大きくすることができる弾性表面波装置１００の構成を示す。
【００４９】
図１９に示すように、上記の弾性表面波装置１００は、圧電基板上に２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）１０１、１０２を備えている。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１は、３つのＩＤＴ１０３、１０４、１０５を有し、その両側にリフレクタ（反射器）１０６、１０７が設けられている。縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０２は、同様に、３つのＩＤＴ１０８、１０９、１１０を有し、その両側にリフレクタ（反射器）１１１、１１２が設けられている。各ＩＤＴ１０３〜１０５、および各ＩＤＴ１０８〜１１０は、弾性表面波の伝搬方向に沿って一列に配列されている。上記弾性表面波装置１００では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１のＩＤＴ１０３、１０５に対して、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０２のＩＤＴ１０８、１１０の向きが交叉幅方向に反転されている。これにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０２では、入力信号に対する出力信号の位相が縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１に対して約１８０°異なるようになっている。
【００５０】
また、ＩＤＴ１０４とＩＤＴ１０９とは、信号端子１１３に接続されている。ＩＤＴ１０３とＩＤＴ１０５とは、信号端子１１４に接続されている。そしてＩＤＴ１０８とＩＤＴ１１０とは、信号端子１１５に接続されている。そして、上記弾性表面波装置１００では、信号端子１１３が不平衡信号端子、信号端子１１４と信号端子１１５とが平衡信号端子となっている。
【００５１】
ＩＤＴは、帯状の基端部（バスバー）と、その基端部の一方の側部から直交する方向に延びる複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えた電極指部を２つ備えており、上記各電極指部の電極指の側部を互いに対面するように互いの電極指間に入り組んだ状態にて上記各電極指部を有するものである。また、上記リフレクタは、伝搬してきた弾性表面波を反射するためのものであり、帯状の一対の基端部（バスバー）と、それら基端部の一方の側部から直交する方向にそれぞれ延びて、上記各基端部を電気的に接続する、複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えたものである。
【００５２】
以上のように平衡−不平衡変換機能を有し、かつ不平衡信号端子に対して平衡信号端子のインピーダンスが約４倍異なる弾性表面波装置１００を実現することができる。
【００５３】
また、上記弾性表面波装置１００の特徴は、リフレクタ１０６、１０７に対して、リフレクタ１１１、１１２における電極指の本数が少なくなっていることである。つまり、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１と１０２とで、リフレクタにおける電極指の本数が異なっている。
【００５４】
この弾性表面波装置１００に対する比較として、図２０に、圧電基板上に２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１’、１０２を備えている弾性表面波装置１２０（比較例１）を示す。この弾性表面波装置１２０は、弾性表面波装置１００におけるリフレクタ１０６、１０７に代えて、電極指の本数がリフレクタ１１１、１１２と同じ数であるリフレクタ１０６’、１０７’を備えている構成である。つまり、上記弾性表面波装置１２０は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１’、１０２において、リフレクタにおける電極指の本数が同じ数である。その他の構成は全て弾性表面波装置１００と同じ構成である。
【００５５】
図２１に、図１９の構成の弾性表面波装置１００および図２０の構成の弾性表面波装置１２０における周波数−挿入損失特性を示す。この図２１より、弾性表面波装置１２０の構成に対して弾性表面波装置１００の構成の方が、通過帯域帯域側１７８０ＭＨｚ付近において、減衰量が約５ｄＢ改善されていることがわかる。これは、リフレクタの反射特性を、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２で異ならせた効果である。
【００５６】
しかしながら、図１９に示す弾性表面波装置１００の構成においては、通過帯域低域側の同相成分（コモンモード）の減衰量が悪化するという問題があった。図２２に、弾性表面波装置１００と、弾性表面波装置１２０とおける周波数−コモンモード減衰量特性を示す。１６４０〜１７８０ＭＨｚ付近のコモンモード減衰量が、弾性表面波装置１２０では３０ｄＢであるのに対し、弾性表面波装置１００では２３ｄＢまで悪化している。
【００５７】
これは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２のリフレクタの反射特性を異ならせることで、通過帯域低域側において振幅平衡度、位相平衡度が悪化したことが原因である。最近の平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置に対しては、通過帯域だけではなく通過帯域外のコモンモード減衰量も大きくする要求があり、上記弾性表面波装置１００の構成では、この要求を満足することができないという技術的な課題が残されている。
【００５８】
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１ないし図１１に基づいて説明すれば、以下の通りである。本実施の形態では、ＤＣＳ（digital communication system）受信用の弾性表面波装置を例にとって説明する。
【００５９】
図１に、本実施の形態にかかる弾性表面波装置２００の要部の構成を示す。上記弾性表面波装置２００は、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２のそれぞれに直列に接続された弾性表面波共振子２０３、２０４を、圧電基板（図示せず）上に、備えている構成である。上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２および弾性表面波共振子２０３、２０４は、Ａｌ電極により形成されている。本実施の形態では、圧電基板として、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を用いている。そして、上記弾性表面波装置２００には、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２と用いて平衡−不平衡変換機能を持たせている。ここでは、上記弾性表面波装置２００において、不平衡信号端子のインピーダンスが５０Ω、平衡信号端子のインピーダンスが１５０Ωとなっている例を挙げることにする。
【００６０】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１の構成は、ＩＤＴ２０６を挟みこむようにＩＤＴ２０５、２０７が形成され、その両側にリフレクタ２０８、２０９が形成されている。図１に示すように、互いに隣り合うＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０４との間、およびＩＤＴ２０４とＩＤＴ２０５との間の数本の電極指は、ＩＤＴの他の部分よりもピッチが小さくなっている（狭ピッチ電極指部２１８、２１９）。
【００６１】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２の構成は、ＩＤＴ２１１を挟みこむようにＩＤＴ２１０、２１２が形成され、その両側にリフレクタ２１３、２１４が形成されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１と同様に、ＩＤＴ２１０とＩＤＴ２１１との間、およびＩＤＴ２１１とＩＤＴ２１２との間には、狭ピッチ電極指部２２０、２２１が設けられている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２のＩＤＴ２１０およびＩＤＴ２１２の向きは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１のＩＤＴ２０５およびＩＤＴ２０７に対して、交叉幅方向に反転させている。これにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２における入力信号に対する出力信号の位相は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１に対して約１８０°反転されている。
【００６２】
また、本実施の形態においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２のＩＤＴ２０６、２１１が不平衡信号端子２１５に接続されている。さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２のＩＤＴ２０５、２０７およびＩＤＴ２１０、２１２のそれぞれが、弾性表面波共振子２０３、２０４を介して、平衡信号端子２１６、２１７のそれぞれ接続されている。
【００６３】
上記弾性表面波共振子２０３、２０４は、共に同じ構成であり、それぞれＩＤＴ２２３、２２６を挟み込むように、リフレクタ２２２、２２５と、リフレクタ２２４、２２７とが形成されている。
【００６４】
次に、本実施の形態におけるパッケージに収納されている弾性表面波装置の断面図を図２に示す。上記弾性表面波装置は、パッケージと弾性表面波フィルタが形成されている圧電基板３０５との導通を、バンプボンディング３０６によって取るフリップチップ工法により作られた構造である。
【００６５】
上記パッケージは２層構造となっており、底板部３０１、側壁部３０２、ダイアタッチ面３０３およびキャップ３０４を備えている。この底板部３０１は例えば長方形状であり、この底板部３０１の四周辺部からそれぞれ側壁部３０２が立設されている。キャップ部３０３は、この各側壁部３０２により形成される開口を覆って塞いでいる。この底板部３０１の上面（内表面）には、圧電基板３０５との導通を取るダイアタッチ部３０４が形成されている。圧電基板３０５とダイアタッチ部３０４は、バンプ３０６によって結合されている。
【００６６】
また、本実施の形態にかかる縦結合共振子型弾性表面波装置２００では、リフレクタ２０８に対するリフレクタ２０９の電極指の本数、リフレクタ２１３に対してリフレクタ２１４の電極指の本数がそれぞれ異なっている。さらに、リフレクタ２０８、２１３と、リフレクタ２０９、２１４との電極指の本数が同じ本数となっている。
【００６７】
上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の詳細な設計の一例については、以下の通りである。
【００６８】
電極指のピッチを狭くしていない電極指のピッチで決まる波長をλＩとすると、
交叉幅：４１．８λＩ
ＩＤＴ本数：（ＩＤＴ２０５、ＩＤＴ２０６、ＩＤＴ２０７の順）：１８（３）／（３）３３（３）／（３）１８本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数）
リフレクタ本数：６０本（リフレクタ２０８、２１３）、９０本（リフレクタ２０９、２１４）
ｄｕｔｙ：０．７２（ＩＤＴ）、０．５７（リフレクタ）
電極膜厚：０．０９２λＩ
また、上記弾性表面波共振子２０３、２０４の詳細な設計の一例については、以下の通りである。
【００６９】
交叉幅：３４．９λＩ
ＩＤＴ本数：２５０本
リフレクタ本数：１５本
ｄｕｔｙ：０．６０
電極膜厚：０．０９３λＩ
また、本実施の形態の弾性表面波装置２００に対する比較として、図３に、比較例２にかかる弾性表面波装置２５０を示す。この弾性表面波装置２５０は、上記弾性表面波装置２００におけるリフレクタ２０８、２１４を、それぞれリフレクタ２０８’、２１４’に代えた構成である。リフレクタ２０８’はリフレクタ２０９と同じ構成であり、リフレクタ２１４はリフレクタ２１３と同じ構成である。つまり、この弾性表面波装置２５０の設計パラメータは、リフレクタ２０８’、２０９の本数を６０本、リフレクタ２１３、２１４’の本数を９０本とした構成である。その他の設計パラメータは、上記弾性表面波装置２００と同様である。
【００７０】
これら弾性表面波装置２００と、比較例２の弾性表面波装置２５０とにおける、周波数−挿入損失特性、および周波数−コモンモード減衰量特性をそれぞれ、図４、図５に示す。
【００７１】
図４を見ると、弾性表面波装置２００と、比較例２の弾性表面波装置２５０とで、通過帯域帯域側１７８０ＭＨｚ付近の減衰量はほとんど変わらないことがわかる。これは、リフレクタ２０８に対するリフレクタ２０９の電極指の本数、リフレクタ２１３に対するリフレクタ２１４の電極指の本数をそれぞれ異ならせたことにより、通過帯域低域側に発生するリフレクタの反射特性の跳ね返りを打ち消すことができ、通過帯域低域側のスプリアスが改善されるからである。
【００７２】
また、図５を見ると、比較例２の弾性表面波装置２５０では、１６４０〜１７８０ＭＨｚ付近のコモンモード減衰量は約２３ｄＢであるのに対し、弾性表面波装置２００では、約３０ｄＢである。つまり、このコモンモード減衰量が改善していることがわかる。このコモンモード減衰量の改善は、リフレクタ２０８とリフレクタ２１３とにおける電極指の本数、およびリフレクタ２０９とリフレクタ２１４とにおける電極指の本数をそれぞれ同じ本数にしたことにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２における通過帯域低域側の振幅平衡度、位相平衡度が比較例２の弾性表面波装置よりも改善されたための効果である。この効果は、リフレクタ２０８とリフレクタ２１４とにおける電極指の本数、およびリフレクタ２０９とリフレクタ２１３とにおける電極指の本数をそれぞれ同じ本数にしても得ることができる。
【００７３】
以上説明したように、本実施の形態にかかる弾性表面波装置２００では、弾性表面波共振子を直列に接続した２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２を用いて、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の位相を約１８０°異ならせることにより平衡−不平衡変換機能を持たせている。
【００７４】
さらに、リフレクタ２０８に対するリフレクタ２０９の電極指の本数、およびリフレクタ２１３に対するリフレクタ２１４の電極指の本数をそれぞれ異ならせている。これにより上記弾性表面波装置２００における通過帯域低域側の減衰量を大きくすることができる。
【００７５】
またさらに、リフレクタ２０８とリフレクタ２１４とにおける電極指の本数、およびリフレクタ２０９とリフレクタ２１３とにおける電極指の本数をそれぞれ同じ本数としている。つまり、リフレクタ２０８とリフレクタ２１４との構造、およびリフレクタ２０９とリフレクタ２１３との構造がそれぞれ同じ構造となっている。これにより、弾性表面波装置２００における通過帯域低域側のコモンモード減衰量を大きくすることができる。
【００７６】
これらにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【００７７】
本実施の形態の弾性表面波装置２００では、リフレクタ２０８に対するリフレクタ２０９の電極指の本数、およびリフレクタ２１３に対するリフレクタ２１４の電極指の本数がそれぞれ異なる例を示したが、リフレクタにおける電極指の本数以外の点を異ならせても、ほぼ同様の効果を得ることができる。
【００７８】
例えば、図６に示す変形例１にかかる弾性表面波装置２６０は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０８に対するリフレクタ２０９のｄｕｔｙ、およびリフレクタ２１３に対するリフレクタ２１４のｄｕｔｙがそれぞれ異なるようになっている。
【００７９】
さらに、弾性表面波装置２６０は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０８とリフレクタ２１３とにおけるｄｕｔｙ、およびリフレクタ２０９とリフレクタ２１４とにおけるｄｕｔｙがそれぞれ同じｄｕｔｙとなっている。つまり、リフレクタ２０８とリフレクタ２１４との構造、およびリフレクタ２０９とリフレクタ２１３との構造がそれぞれ同じ構造となっている。
【００８０】
これらにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そしてさらに、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【００８１】
また、図７に示すように、変形例２にかかる弾性表面波装置２６１は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０８に対するリフレクタ２０９の電極指ピッチ、およびリフレクタ２１３に対するリフレクタ２１４の電極指ピッチがそれぞれ異なるようになっている。
【００８２】
さらに、弾性表面波装置２６０は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０８とリフレクタ２１３とにおける電極指ピッチ、およびリフレクタ２０９とリフレクタ２１４とにおける電極指ピッチがそれぞれ同じ電極指ピッチとなっている。つまり、リフレクタ２０８とリフレクタ２１４との構造、およびリフレクタ２０９とリフレクタ２１３との構造がそれぞれ同じ構造となっている。
【００８３】
これらにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【００８４】
また、図８に示すように、変形例３にかかる弾性表面波装置２６２は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０８とリフレクタ２０８に隣り合うＩＤＴ２０５とにおいて隣り合う電極指中心間距離ａと、リフレクタ２０９とリフレクタ２０９に隣り合うＩＤＴ２０７とにおいて隣り合う電極指中心間距離ｂとが異なるようになっている。また、弾性表面波装置２６０は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２１３とリフレクタ２１３に隣り合うＩＤＴ２１３とにおいて隣り合う電極指中心間距離ｃと、リフレクタ２１４とリフレクタ２１４に隣り合うＩＤＴ２１２とにおいて隣り合う電極指中心間距離ｄとが異なるようになっている。
【００８５】
さらに、電極指中心間距離ａと電極指中心間距離ｃとは同じ距離となっており、電極指中心間距離ｂと電極指中心間距離ｄとは同じ距離となっている。
【００８６】
これらにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そしてさらに、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【００８７】
また、図９に示すように、変形例４にかかる弾性表面波装置２６３は、弾性表面波装置２００における縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１と縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２とにさらに別の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ４０１をカスケード接続した構成である。これにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【００８８】
上記の弾性表面波装置では、３つのＩＤＴのうちの２つのＩＤＴの位相を反転させることにより、平衡−不平衡入出力機能を得ているが、平衡−不平衡入出力機能を得ることができればＩＤＴの数はこれに限定されることはない。例えば、少なくとも２つの位相の反転しているＩＤＴを用いることにより平衡−不平衡入出力機能を得ることができる。
【００８９】
本実施の形態では、フェイスダウン工法でパッケージと圧電基板との導通をとることにより、パッケージングした弾性表面波装置を図２に基づいて説明したが、ワイヤボンド工法でパッケージと圧電基板との導通をとってもよい。また、図２では、１つのパッケージに１つの弾性表面波装置をフェイスダウン工法により接合しているが、この方法に限定されるものではない。例えば、パッケージングした弾性表面波装置は、図１０に示すように、集合基板４５１上に圧電基板４５２をフリップチップ工法により接合し、集合基板４５１および圧電基板４５２を樹脂４５３で覆って封止し、ダイシングにより１パッケージ単位に切断することにより作製してもよい。また、パッケージングした弾性表面波装置は、図１１に示すように、集合基板４６１上に圧電基板４６２をフリップチップ工法により接合し、集合基板４６１および圧電基板４６２をシート状の樹脂材４６３で覆って封止し、ダイシングにより１パッケージ単位に切断することにより作製してもよい。
【００９０】
上記では、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を用いたが、効果が得られる原理からもわかる通り、本発明はこの基板に限らず６４〜７２°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3基板、４１°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3基板等の基板でも同様の効果が得られる。
【００９１】
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施の形態について図１２ないし図１４に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【００９２】
実施の形態１では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２において、リフレクタ２０８、２１３とリフレクタ２０９、２１４との左右（弾性表面波の伝搬方向）のリフレクタにおける構造を異ならせることで、通過帯域低域側のスプリアスを低減する方法を用いている。本実施の形態では、左右のリフレクタを同じ構造にして、通過帯域低域側のスプリアスを低減する方法を説明する。以下では、図１２〜図１４を用いて具体的な弾性表面波装置の構成を示して説明する。
【００９３】
図１２に示すように、弾性表面波装置２６４は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０８、２０９、２１３、２１４を同じ構造にし、各リフレクタに交叉重み付けを施した構成である。これにより、通過帯域低域側のスプリアスを低減することができ、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。また、リフレクタ２０８と２１３、２０９と２１９を同じ構成とし、リフレクタ２０８と２１３のみを交叉幅重み付けする、もしくはリフレクタ２０９と２１４のみを交叉重み付けしてもよい。
【００９４】
また、図１３に示すように、弾性表面波装置２６５は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０８、２０９、２１３、２１４を同じ構造にし、各リフレクタの少なくとも１箇所において、電極指および電極指間隔の少なくとも一方を異ならせた構成である。これにより、通過帯域低域側のスプリアスを低減することができ、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。また、リフレクタ２０８と２１３、２０９と２１９を同じ構成とし、リフレクタ２０８と２１３のみの少なくとも１箇所において、電極指および電極指間隔の少なくとも一方を異ならせる、もしくはリフレクタ２０９と２１４のみの少なくとも１箇所において、電極指および電極指間隔の少なくとも一方を異ならせてもよい。
【００９５】
また、図１４に示すように、弾性表面波装置２６６は、上記弾性表面波装置２００において、リフレクタ２０８、２０９、２１３、２１４を同じ構造にし、各リフレクタの少なくとも１箇所において、電極指のｄｕｔｙを異ならせた構成である。これにより、通過帯域低域側のスプリアスを低減することができ、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。また、リフレクタ２０８と２１３、２０９と２１９を同じ構成とし、リフレクタ２０８と２１３のみの少なくとも１箇所において、電極指のｄｕｔｙを異ならせる、もしくはリフレクタ２０９と２１４のみの少なくとも１箇所において、電極指のｄｕｔｙを異ならせてもよい。
【００９６】
〔実施の形態３〕
本発明の他の実施の形態について図１５ないし図１８に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００９７】
本実施の形態における弾性表面波装置の構成を、図１５に示す。本実施の形態にかかる弾性表面波装置７００は、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２のそれぞれにカスケード接続された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３、７０４を、圧電基板（図示せず）上に、備えている構成である。上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３、７０４は、Ａｌ電極により形成されている。本実施の形態では、圧電基板として、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を用いている。そして、上記弾性表面波装置７００には、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２と用いて平衡−不平衡変換機能を持たせている。
【００９８】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１の構成は、ＩＤＴ７０６を挟みこむようにＩＤＴ７０５、７０７が形成され、その両側にリフレクタ７０８、７０９が形成されている。
【００９９】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２の構成は、ＩＤＴ７１１を挟みこむようにＩＤＴ７１０、７１２が形成され、その両側にリフレクタ７１３、７１４が形成されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のＩＤＴ７１０およびＩＤＴ７１２の向きは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のＩＤＴ７０５およびＩＤＴ７０７に対して、交叉幅方向に反転させている。これにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２における入力信号に対する出力信号の位相は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１に対して約１８０°反転されている。
【０１００】
また、上記リフレクタ７０８、７０９、７１３、７１４は、共に同じ構成となっている。
【０１０１】
また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３の構成は、ＩＤＴ７１６を挟みこむようにＩＤＴ７１５、７１７が形成され、その両側にリフレクタ７１８、７１９が形成されている。
【０１０２】
さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４の構成は、ＩＤＴ７２１を挟みこむようにＩＤＴ７２０、７２２が形成され、その両側にリフレクタ７２３、７２４が形成されている。
【０１０３】
上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３、７０４は、共に同じ構成となっている。つまり、上記リフレクタ７１８、７１９、７２３、７２４は、共に同様の構成を備えている。
【０１０４】
また、本実施の形態においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２のＩＤＴ７０６、７１１が不平衡信号端子７１５に接続されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のＩＤＴ７０５、７０７のそれぞれが結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のＩＤＴ７１５、７１７に接続されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のＩＤＴ７１０、７１２のそれぞれが、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のＩＤＴ７２０、７２２に接続されている。そして、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３、７０４のＩＤＴ７１６、７２１が、平衡信号端子７２６、７２７のそれぞれ接続されている。
【０１０５】
さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９の電極指の本数、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４の電極指の本数が異なっている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９の電極指の本数は縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４の電極指の本数を同じ本数であり、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９の電極指の本数は縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４の電極指の本数を同じ本数である。
【０１０６】
以上説明したように、本実施の形態にかかる弾性表面波装置７００では、弾性表面波共振子を直列に接続した２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２を用いて、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２の位相を約１８０°異ならせることにより平衡−不平衡変換機能を持たすことができる。
【０１０７】
さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９の電極指の本数、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４の電極指の本数を異ならせているので、通過帯域低域側の減衰量を大きくすることができる。
【０１０８】
またさらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９の電極指の本数は縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４の電極指の本数を同じ本数とし、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９の電極指の本数は縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４の電極指の本数を同じ本数としている。つまり、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９と縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４との構造、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９と縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４との構造がそれぞれ同じ構造となっている。これにより、通過帯域低域側のコモンモード減衰量を大きくすることができる。
【０１０９】
つまり、これらにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【０１１０】
以下に、本発明の弾性表面波装置７００の変形例について説明する。以下の変形例では、各縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１、７０２、７０３、７０４におけるの各リフレクタ７０８、７０９、７１３、７１４、７１８、７１９、７２３、７２４の電極指の本数は、全て同じ本数としている。
【０１１１】
例えば、図１６に示すように、変形例５にかかる弾性表面波装置７５０は、上記弾性表面波装置７００において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９のｄｕｔｙ、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４のｄｕｔｙを異ならせている構成である。
【０１１２】
さらに、弾性表面波装置７５０は、上記弾性表面波装置７００において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４のｄｕｔｙ、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４のｄｕｔｙがそれぞれ同じｄｕｔｙである構成である。
【０１１３】
これらにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【０１１４】
また、図１７に示すように、変形例６にかかる弾性表面波装置７５１は、上記弾性表面波装置７００において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９の電極指ピッチ、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４の電極指ピッチを異ならせている構成である。
【０１１５】
さらに、弾性表面波装置７５１は、上記弾性表面波装置７００において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１におけるリフレクタ７０８、７０９に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２におけるリフレクタ７１３、７１４の電極指ピッチ、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３におけるリフレクタ７１８、７１９に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４におけるリフレクタ７２３、７２４の電極指ピッチがそれぞれ同じ電極指ピッチである構成である。
【０１１６】
これらにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【０１１７】
また、図１８に示すように、変形例７にかかる弾性表面波装置７５２は、上記弾性表面波装置７００において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９とリフレクタ７０８、７０９と隣り合うＩＤＴ７０５、７０７とにおける隣り合う電極指中心間距離と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９とリフレクタ７１８、７１９と隣り合うＩＤＴ７１５、７１７とにおける隣り合う電極指中心間距離とが異なるようになっており、さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４とリフレクタ７１３、７１４と隣り合うＩＤＴ７１０、７１２とにおける隣り合う電極指中心間距離と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４とリフレクタ７２３、７２４と隣り合うＩＤＴ７２０、７２２とにおける隣り合う電極指中心間距離とが異なるようになっている構成である。
【０１１８】
さらに、弾性表面波装置７５２は、上記弾性表面波装置７００において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１のリフレクタ７０８、７０９とリフレクタ７０８、７０９と隣り合うＩＤＴ７０５、７０７とにおける隣り合う電極指中心間距離と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２のリフレクタ７１３、７１４とリフレクタ７１３、７１４と隣り合うＩＤＴ７１０、７１２とにおける隣り合う電極指中心間距離とが同じ距離であり、さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３のリフレクタ７１８、７１９とリフレクタ７１８、７１９と隣り合うＩＤＴ７１５、７１７とにおける隣り合う電極指中心間距離と、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４のリフレクタ７２３、７２４とリフレクタ７２３、７２４と隣り合うＩＤＴ７２０、７２２とにおける隣り合う電極指中心間距離とが同じ距離である構成である。
【０１１９】
これらにより、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性が良好で平衡−不平衡入出力機能を備えることができる弾性表面波装置が得られる。そして特に、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置が得られる。
【０１２０】
また、上記弾性表面波装置７００、７５０、７５１、７５２では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３の構成、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４の構成を異なるようにしているが、これに限らず、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０１に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０４の構成、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０２に対する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ７０３の構成を異なるようにしてもよい。
【０１２１】
また、上記弾性表面波装置７００、７５０、７５１、７５２は、実施の形態１で示したのと同様に、パッケージに収納してもよい。
【０１２２】
また、上記では、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を用いたが、効果が得られる原理からもわかる通り、本発明はこの基板に限らず６４〜７２°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3基板、４１°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3基板等の基板でも同様の効果が得られる。
【０１２３】
次に、上記実施の形態に記載の弾性表面波装置を用いた通信装置について図２３に基づき説明する。上記通信装置６００は、受信を行うレシーバ側（Ｒｘ側）として、アンテナ６０１、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２、アンプ６０３、Ｒｘ段間フィルタ６０４、ミキサ６０５、１ｓｔＩＦフィルタ６０６、ミキサ６０７、２ｎｄＩＦフィルタ６０８、１ｓｔ＋２ｎｄローカルシンセサイザ６１１、ＴＣＸＯ（temperature compensated crystal oscillator（温度補償型水晶発振器））６１２、デバイダ６１３、ローカルフィルタ６１４を備えて構成されている。
【０１２４】
Ｒｘ段間フィルタ６０４からミキサ６０５へは、図２３に二本線で示したように、バランス性を確保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
【０１２５】
また、上記通信装置６００は、送信を行うトランシーバ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ６０１及び上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２を共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ６２１、ミキサ６２２、Ｔｘ段間フィルタ６２３、アンプ６２４、カプラ６２５、アイソレータ６２６、ＡＰＣ（automatic power control （自動出力制御））６２７を備えて構成されている。
【０１２６】
そして、上記のＲｘ段間フィルタ６０４、１ｓｔＩＦフィルタ６０６、ＴｘＩＦフィルタ６２１、Ｔｘ段間フィルタ６２３、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２には、上述した本実施の形態に記載の弾性表面波装置が好適に利用できる。
【０１２７】
本発明にかかる弾性表面波装置は、フィルタ機能と共に不平衡型−平衡型変換機能を備えることができ、その上、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性も良好で、特に通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きいという優れた特性を有するものである。よって、上記弾性表面波装置を有する本発明の通信装置は、伝送特性を向上できるものとなっている。
【０１２８】
【発明の効果】
以上のように、本発明の弾性表面波装置は、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部と、上記くし型電極部を上記伝搬方向に沿って挟み込む第１のリフレクタおよび第２のリフレクタとを備えている２つの弾性表面波フィルタ素子が、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられており、第１のリフレクタと第２のリフレクタとの構造が異なっている構成である。
【０１２９】
上記の構成によれば、弾性表面波の伝搬方向に沿って少なくとも２つのくし型電極部を備えているので、各くし型電極部の電気信号と弾性表面波との間の変換により決まる通過帯域周波数の電気信号を低損失で通過させ、通過帯域外の電気信号を低減するというフィルタ機能を発揮することが可能となる。
【０１３０】
また、上記の構成では、弾性表面波フィルタ素子を平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているので、平衡−不平衡変換機能を発揮できる。
【０１３１】
さらに、上記の構成では、第１のリフレクタと第２のリフレクタとの構造が異なっているので、通過帯域外において、特に通過帯域近傍において、不要スプリアスの発生を低減することができ、減衰量を大きくすることができるため、必要な減衰量を得ることができるという効果を奏する。
【０１３２】
さらにその上、２つの弾性表面波フィルタ素子において、それぞれ同じ構成の第１のリフレクタと第２のリフレクタとを備えているので、通過帯域低域側の振幅平衡度、位相平衡度が改善される。そのため、通過帯域低域側において大きな減衰量が得られ、且つ大きなコモンモード減衰量が得られる弾性表面波装置を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の一形態にかかる弾性表面波装置の概略構成図である。
【図２】パッケージに収納されている本実施の形態にかかる弾性表面波装置の要部の断面図である。
【図３】比較例１にかかる弾性表面波装置の概略構成図である。
【図４】図１の弾性表面波装置および図２の比較例の弾性表面波装置における、弾性周波数−挿入損失特性を示すグラフである。
【図５】図１の弾性表面波装置および図２の比較例の弾性表面波装置における、周波数−コモンモード減衰量特性を示すグラフである。
【図６】上記弾性表面波装置の一変形例を示す概略構成図である。
【図７】上記弾性表面波装置の他の変形例を示す概略構成図である。
【図８】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図９】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１０】本実施の形態の弾性表面波装置の一製造プロセスを示す断面図である。
【図１１】本実施の形態の弾性表面波装置の他の製造プロセスを示す断面図である。
【図１２】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１３】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１４】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１５】本実施の他の形態にかかる弾性表面波装置の概略構成図である。
【図１６】上記弾性表面波装置の変形例を示す概略構成図である。
【図１７】上記弾性表面波装置の他の変形例を示す概略構成図である。
【図１８】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１９】前提となる弾性表面波装置の概略構成図である。
【図２０】比較例１の弾性表面波装置の概略構成図である。
【図２１】前提となる弾性表面波装置および比較例１の弾性表面波装置における、弾性周波数−挿入損失特性を示すグラフである。
【図２２】前提となる弾性表面波装置および比較例１の弾性表面波装置における、周波数−コモンモード減衰量特性を示すグラフである。
【図２３】上記実施の形態の弾性表面波装置を用いた通信装置の要部ブロック図である。
【図２４】従来の弾性表面波装置の概略構成図である。
【符号の説明】
２０１    縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）
２０２    縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）
２０５、２０６、２０７    ＩＤＴ（くし型電極部）
２１０、２１１、２１２    ＩＤＴ（くし型電極部）
２０８、２１３    リフレクタ（第１のリフレクタ）
２０９、２１４    リフレクタ（第２のリフレクタ）
７０１    縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）
７０２    縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）
７０３    縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）
７０４    縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）
７０５、７０６、７０７    ＩＤＴ（くし型電極部）
７１０、７１１、７１２    ＩＤＴ（くし型電極部）
７１５、７１６、７１７    ＩＤＴ（くし型電極部）
７２０、７２１、７２２    ＩＤＴ（くし型電極部）
７０８、７０９、７１３、７１４    リフレクタ
７１８、７１９、７２３、７２４    リフレクタ
【図１】
2004166213.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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