(57)【要約】【課題】物品が様々な形状を有していても、専用のバスケットやラック等の治具を用いずに、物品を安定して連続的に自動搬送することのできる物品の自動搬送装置及び自動搬送方法を提供する。【解決手段】物品を自動的に搬送する物品の自動搬送装置であって、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト機構と、該搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構とを有することを特徴とする物品の自動搬送装置。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を自動的に搬送する物品の自動搬送装置であって、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト機構と、該搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構とを有することを特徴とする物品の自動搬送装置。
【請求項２】
前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることを特徴とする請求項１に記載の物品の自動搬送装置。
【請求項３】
前記上部ネット機構が、少なくとも、前記物品を押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の物品の自動搬送装置。
【請求項４】
前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の物品の自動搬送装置。
【請求項５】
前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、物品を誘導するためのホールドバーが設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の物品の自動搬送装置。
【請求項６】
前記上部ネット機構の押さえネット部及び／または搬送ベルト機構の搬送ベルト部が、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることを特徴とする請求項３ないし請求項５のいずれか一項に記載の物品の自動搬送装置。
【請求項７】
前記搬送ベルト機構及び／または前記上部ネット機構を複数有するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の物品の自動搬送装置。
【請求項８】
前記搬送ベルト機構への物品の受け入れ及び／または搬送ベルト機構からの物品の送り出しを行うための受け渡しステージまたは受け渡しベルトが設置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の物品の自動搬送装置。
【請求項９】
物品を自動的に搬送する物品の自動搬送方法において、前記物品を搬送ベルト機構に載置し、該載置した物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、前記上部ネット機構と前記搬送ベルト機構との搬送速度を同期させて物品を自動的に搬送することを特徴とする物品の自動搬送方法。
【請求項１０】
前記物品の寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することを特徴とする請求項９に記載の物品の自動搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品を自動的に搬送するための物品の自動搬送装置及び自動搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、物品に例えば洗浄及び乾燥の処理を施す際に、物品（被処理物）を搬送しながらその物品に純水や洗浄剤等を吹き付けて洗浄処理を行い、その後加熱した清浄空気（クリーンドライエア、以下、ＣＤＡと略すことがある）等を吹き付けて乾燥処理を行う方法が広く用いられている。
【０００３】
例えば、半導体ウエーハを出荷する際にウエーハを保持・収納するキャリアボックスには、通常ウエーハへの汚染を防止するために非常に清浄なものが求められている。そのため、一般的にウエーハを収納する前にキャリアボックスに洗浄・乾燥等の処理を施し、キャリアボックスに付着している塵（パーティクル）や有機物等を除去することが行われている。キャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が知られている。
【０００４】
通常、このようなキャリアボックスに洗浄・乾燥等の処理を行う場合、キャリアボックスは、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解され、その後、各パーツに分解したキャリアボックスを洗浄や乾燥等のそれぞれの処理が行われる各処理室に順番に搬送していき、処理室内で搬送しながらキャリアボックスの洗浄や乾燥を連続して行うことができる。
【０００５】
このような洗浄や乾燥等の各種処理を行うためにキャリアボックス等の被処理物を処理室に搬送する際には、被処理物が搬送中に滑って落下したり、また例えば処理中に洗浄液等の吹き付け等によって被処理物が飛散するのを防止して、被処理物を安定して搬送できるようにするため、一般的に専用のバスケットやラック等を用いて被処理物を保持・固定する必要があった。
【０００６】
しかしながら、このように被処理物を専用のバスケットやラックに固定して搬送する場合、被処理物を専用のバスケットやラックに固定する前準備が必要であり、さらに洗浄等の各種処理を行った後には搬送されてきたバスケットやラックから被処理物を取り出し、空のバスケットやラックを搬送装置の投入側に移動させて再び上記の前準備を開始しなければならないという手間が必要とされた。そのため、被処理物の搬送を効率的に行なうことができず、各種処理における処理時間の短縮やスループットの向上が妨げられ、大量処理を行うことが非常に困難であった。
【０００７】
また、このようなバスケットやラックに物品（被処理物）を固定して搬送する場合、バスケットやラックの管理を行ったり、さらに種類・形状の異なる物品に対してそれぞれ専用のバスケットやラックを用いなければならないため、設備コストの面でも負担が大きく問題であった。
そして、このような問題は、上記のような半導体ウエーハのキャリアボックスの洗浄の場合に限定されるものではなく、専用のバスケット、ラック、その他の治具を用い物品を固定して搬送する必要がある場合に共通する問題である。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００１−１５６０３４号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、物品が様々な形状を有していても、専用のバスケットやラック等の治具を用いずに、物品を安定して連続的に自動搬送することのできる物品の自動搬送装置及び自動搬送方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、物品を自動的に搬送する物品の自動搬送装置であって、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト機構と、該搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構とを有することを特徴とする物品の自動搬送装置が提供される（請求項１）。
【００１１】
このように、少なくとも、物品を載置する搬送ベルト機構と、その搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構とを有する物品の自動搬送装置であれば、物品が様々な形状を有していたり、また種類の全く異なるものであっても、従来のような専用のバスケット、ラック、またはその他の治具等を用いずに、物品を連続的にまた効率的に安定して自動搬送することのできる自動搬送装置とすることができる。さらに、このような物品の自動搬送装置であれば、例えば物品に洗浄、乾燥、その他の種々の処理等を行う際に物品（被処理物）を各処理室に連続的に搬送することができるため、従来よりも各種処理のスループットを著しく向上させて、連続的に大量処理を行うことが可能となる。
【００１２】
このとき、前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい（請求項２）。
このように本発明の物品の自動搬送装置に高さ調節手段が設置されていれば、物品の寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを自由に調節することができるため、寸法や形状が大きく異なる物品であっても同じラインで安定して搬送できる自動搬送装置とすることができる。
【００１３】
また、本発明の自動搬送装置では、前記上部ネット機構が、少なくとも、前記物品を押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることが好ましい（請求項３）。
【００１４】
このように、上部ネット機構が押さえネット部と、押さえネット駆動チェーンと、押さえネット駆動ギアとを具備するものであれば、物品を搬送中に上方から押さえて物品の落下や飛散が生じるのを確実に防止できるとともに、その搬送速度を制御して搬送ベルト機構と容易に同期させることができるものとなる。さらに、上部ネット機構の押さえネット部が網状の構造を有するものであれば、物品がどのような形状を有していてもを上方から安定して押さえることができ、また例えば物品に純水やその他各種溶液を吹き付けたり塗布したりする処理、空気等を吹き付けて物品を乾燥させる処理、またはその他種々の処理を行う場合に、上部ネット機構で物品を上方から押さえても処理を物品全体に均一に行うことが可能となるので、処理効果や処理時間等に悪影響を及ぼさずに効果的に各種処理を行うことが可能となる。
【００１５】
さらに、前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることが好ましい（請求項４）。
【００１６】
このように、搬送ベルト機構が、搬送ベルト部と、搬送ベルト駆動チェーンと、搬送ベルト駆動ギアとを具備するものであれば、物品を安定して載置し、搬送することができる。さらに、搬送ベルト機構の搬送ベルト部が網状の構造を有するものであれば、物品がどのような形状であっても非常に安定して載置することができ、また例えば物品に純水やその他各種溶液を吹き付けたり、塗布したりする処理を行う場合では、処理を物品全体に均一に行うことができるだけでなく処理溶液等をすばやく滴下でき効率的に処理を行うことができ、また乾燥処理等のその他種々の処理を行う場合でも、処理効果や処理時間等に悪影響を及ぼさずに効果的に各種処理を行うことが可能となる。
【００１７】
このとき、前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、物品を誘導するためのホールドバーが設けられていることが好ましい（請求項５）。
このように、搬送ベルト部にホールドバーが設けられていれば、物品を搬送する際の物品のズレを防止でき、さらに搬送ベルト機構への物品の受け入れや搬送ベルト機構からの物品の送り出し等を円滑に行うことができる自動搬送装置となる。
【００１８】
さらに、前記上部ネット機構の押さえネット部及び／または搬送ベルト機構の搬送ベルト部が、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましい（請求項６）。
このように、上部ネット機構の押さえネット部及び／または搬送ベルト機構の搬送ベルト部が、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであれば、耐熱性、耐薬品性、耐磨耗性に優れており、また優れた清浄度を維持できるので、物品に汚染や傷を生じさせずに搬送ベルト部上に載置し、また押さえネット部で上方から押さえることができる。また、上記のような材質のものであれば、押さえネット部や搬送ベルト部に適度な滑りを持たせることができるので、物品の引っかかりを防止して、搬送をより円滑に行うことができる。さらに、例えば物品に種々の処理条件で様々な処理を行っても、上部ネット機構及び搬送ベルト機構の劣化を防止でき、長期の使用に耐え得る自動搬送装置とすることができる。
【００１９】
また、本発明の自動搬送装置では、前記搬送ベルト機構及び／または前記上部ネット機構を複数有するものとすることができる（請求項７）。
本発明では、このように搬送ベルト機構及び／または上部ネット機構をそれぞれ複数有するものとすることができ、物品の重さ、搬送速度、搬送距離等の搬送条件に応じて適宜それらの設置数を変えることにより、一層安定した物品の搬送を行うことが可能となる。
【００２０】
加えて、前記搬送ベルト機構への物品の受け入れ及び／または搬送ベルト機構からの物品の送り出しを行うための受け渡しステージまたは受け渡しベルトが設置されていることが好ましい（請求項８）。
このように、本発明の自動搬送装置に受け渡しステージまたは受け渡しベルトが設置されていれば、搬送ベルト機構への物品の受け入れ、搬送ベルト機構からの物品の送り出し、また搬送ベルト機構を複数有する場合には搬送ベルト機構間での物品の受け渡しを円滑に行うことができ、物品の搬送を一層効率的に行なうことができる。
【００２１】
また、本発明によれば、物品を自動的に搬送する物品の自動搬送方法において、前記物品を搬送ベルト機構に載置し、該載置した物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、前記上部ネット機構と前記搬送ベルト機構との搬送速度を同期させて物品を自動的に搬送することを特徴とする物品の自動搬送方法が提供される（請求項９）。
【００２２】
このように、物品を搬送ベルト機構に載置し、この載置した物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、上部ネット機構と搬送ベルト機構との搬送速度を同期させて物品を自動的に搬送することによって、様々な形状を有する物品や種類の全く異なる物品を、専用のバスケットやラックまたはその他の治具等を用いずに物品の落下や飛散を防止して、連続的にまた効率的に安定して自動搬送することができる。さらに、このような物品の自動搬送方法を用いれば、例えば物品に洗浄、乾燥、その他種々の処理を行う場合に、物品を処理室に連続的に搬送することができるため、処理時間を短縮させてスループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００２３】
このとき、前記物品の寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することが好ましい（請求項１０）。
このように物品の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することによって、寸法や形状が大きく異なる物品であっても、物品の落下や飛散を確実に防止して自動搬送することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者等は、物品を保持・固定するための専用のバスケットやラックまたはその他の治具を用いずに、様々な形状を有する物品を自動的に搬送できる自動搬送装置について、鋭意実験及び検討を重ねた。その結果、少なくとも、物品を載置する搬送ベルト機構と、その搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送できるフレキシビリティーを持った上部ネット機構とを有する物品の自動搬送装置であれば、物品が様々な形状のものや異なる種類のものであっても、バスケットやラック等を用いずに物品の落下や飛散を防止し、物品を連続的にまた効率的に安定して自動搬送できることを見出し、本発明を完成させた。
【００２５】
先ず、本発明に係る物品の自動搬送装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１は、本発明の物品の自動搬送装置の一例を示す概略説明図である。
本発明の物品の自動搬送装置１は、少なくとも、物品４を載置する搬送ベルト機構２と、この搬送ベルト機構２に載置した物品４を上方から押さえるとともに、搬送ベルト機構２の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構３とを有するものである。
【００２６】
このような本発明の自動搬送装置において、搬送ベルト機構及び上部ネット機構はそれぞれ少なくとも１つ設置されていれば良いが、本発明は、例えば図１に示すように搬送ベルト機構２及び上部ネット機構３をそれぞれ２つまたはそれ以上と複数設置することができ、物品の重さ、搬送速度、搬送距離等の搬送条件に応じてそれらの設置数を適宜変えることによって、非常に安定した物品の搬送を行うことができる。
【００２７】
図１に示した自動搬送装置１において、上部ネット機構３は、図３に示すように、柔軟性を有し物品を上方から押さえる押さえネット部７と、押さえネット部７の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーン８と、押さえネット駆動チェーン８を駆動させる押さえネット駆動ギア９とを具備している。この押さえネット部７は、図５（ａ）に拡大図を示すように、細線径の網状の構造を有しており、様々な形状の物品を上方から安定して押さえることができる。このとき、網状の構造における目の大きさは物品の形状や寸法を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、例えば物品として前述のようなキャリアボックスを搬送する場合には、押さえネット部７の網状の構造における目の大きさを５０×５０ｍｍ以下にすることにより、キャリアボックスを安定して押さえることができる。また一方、押さえネット駆動チェーン８は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有するものであれば良く、また各コマ２７をピン２８で連結して構成することができる。
【００２８】
このとき、押さえネット部７は、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えば押さえネット駆動チェーン８の駆動方向に垂直な方向の押さえネット部７の材質（Ａ材）には細いステンレス棒にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）をコートしたものを用い、また駆動チェーン８の駆動方向に平行な方向の押さえネット部７の材質（Ｂ材）にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることができる。押さえネット部７がこのような材質からなるものであれば、優れた清浄度を維持できるだけでなく、耐熱性、耐薬品性、耐磨耗性に優れているので長期の使用に耐えることができ、さらに押さえネット部に適度に滑りを持たせることができるので、物品の引っかかりを防止して円滑に搬送することができる。このような押さえネット部７において、Ａ材とＢ材との接合部１５を例えば図５（ｂ）に示したように形成することによって、押さえネット部７の物品と接触する面を平坦にできる。
【００２９】
また、本発明の自動搬送装置１において、搬送ベルト機構２は、図４に示すように、物品を載置する搬送ベルト部１０と、搬送ベルト部１０の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーン１１と、搬送ベルト駆動チェーン１１を駆動させる搬送ベルト駆動ギア１２とを具備している。この搬送ベルト部１０は、図６に拡大図を示すように、細線径の網状の構造を有しており、様々な形状の物品を安定して載置することができる。このとき、網状の構造における目の大きさは物品の形状、寸法、重量を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、例えば物品としてキャリアボックスを搬送する場合には、搬送ベルト部１０の網状の構造における目の大きさを２５×２５ｍｍ以下にすることにより、耐荷重性が増し、キャリアボックスを安定して載置して搬送することができる。また、搬送ベルト駆動チェーン１１は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有し、各コマ３７をピン３８で連結して構成することができる。
【００３０】
このとき、搬送ベルト部１０もフッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えば上記の押さえネット部７と同様に、Ａ材には細いステンレス棒にＰＴＦＥをコートしたものを用い、またＢ材にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることによって、上記押さえネット部７と同様の効果を得ることができる。さらに、搬送ベルト部１０のＡ材とＢ材との接合部についても図５（ｂ）と同様に形成することによって、搬送ベルト部１０の物品と接触する面を平坦にできる。
【００３１】
また、このような上部ネット機構３及び搬送ベルト機構２において、押さえネット駆動チェーン８の内側及び搬送ベルト駆動チェーン１１の内面には、それぞれの駆動ギア９及び１２との噛み合わせを容易にするために、例えば図５に示すような内周歯１３、または図６に示すようなギヤ溝１４が形成されている。このように押さえネット駆動チェーン８及び搬送ベルト駆動チェーン１１の内面に、内周歯１３またはギヤ溝１４が形成されていれば、押さえネット駆動ギア９及び搬送ベルト駆動ギア１２の駆動力を確実に駆動チェーンに伝えることができるし、またそれぞれの駆動ギアでその駆動力の大きさを制御することによって、上部ネット機構３及び搬送ベルト機構２のそれぞれの搬送速度を調節して、容易に同期させることができる。このような駆動チェーン及び駆動ギアは、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵や金属汚染を防止することができる。
【００３２】
さらに、搬送ベルト機構２には、図６に示すように、搬送ベルト部１０に物品を誘導するためのホールドバー１６が設けられていることが好ましい。例えば、シリコンラバー等の材質からなるホールドバーを搬送ベルト部１０のＡ材上に物品の寸法に合わせて適切な間隔で設置すれば、物品を搬送ベルト機構２に載置して搬送する際に物品のズレを防止でき、また搬送ベルト機構への物品の受け入れ、搬送ベルト機構からストック部への物品の送り出し、また搬送ベルト機構を複数有する場合には搬送ベルト機構間での物品の受け渡しを円滑に行うことが可能となる。例えば、物品としてキャリアボックスを搬送する場合、ホールドバーを搬送ベルト部におよそ３００ｍｍ間隔で設置すれば良い。
【００３３】
また、このように搬送ベルト機構２にホールドバー１６が設けられている場合、図７に示すように、ホールドバー１６の上面は櫛状に形成されていることが望ましい。このような形状を有するホールドバーであれば、例えば図８に示したように、物品４を搬送ベルト機構２間で受け渡したり、また最終的に物品を送り出す際に、搬送ベルト機構間でホールドバー１６同士がぶつかり合わずに物品４の搬送を行うことができる。
【００３４】
さらに、搬送ベルト機構への物品の受け入れ、搬送ベルト機構からの物品の送り出し、また搬送ベルト機構間で物品の受け渡しを行う場合、例えば図９に示すように、搬送ベルト機構間に物品４より幅の広い受け渡しステージ１７を設置したり、または図１０に示すように受け渡しベルト１８を用いることによって、物品４の受け入れ、送り出し、あるいは受け渡しを一層円滑に行うことができる。尚、搬送ベルト機構間に受け渡しベルト１８を用いる場合は、搬送ベルト部１０を網状の構造とせずに、図１０のように搬送ベルト駆動チェーン１１の駆動方向に平行なＢ材のみで搬送ベルト部１０を構成するようにする。
【００３５】
本発明の物品の自動搬送装置１では、上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい。例えば図１１に示すように、高さ調節手段２６としては、上部ネット機構３の押さえネット駆動ギア９に駆動力を与えるモーター１９を、バネ（またはダンパー）２３を介して保持具２０で保持し、この保持具２０の外面に等間隔で歯２１を取り付けて上下調節回転ギア２２に噛み合わせる。そして、この上下調節回転ギア２２を回転させることによって、上部ネット機構３の高さを容易に調節することができる。
また、上下調節回転ギア２２にモータを取り付け、物品各々の高さの記憶と、記憶させた高さへのモータ回転数制御ができるコントローラーシステム５０を設置すれば、さらに簡便に搬送を行うことができる。
【００３６】
本発明の自動搬送装置にこのような高さ調節手段２６が設置されていれば、物品の寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、様々な寸法や形状を有し、大幅に外寸が異なる物品を搬送する場合であっても、物品の落下や飛散を確実に防止し、安定した搬送を行うことができる自動搬送装置とすることができる。
【００３７】
また、このような高さ調節手段２６によって上部ネット機構３の高さを調節する場合、例えば保持具２０と上下調節回転ギア２２の接触部等から塵が発生することが考えられるので、高さ調整手段２６の周りに外枠２４を配置し、外枠２４内で発生した塵を強制排気できるように排出口２５を形成することが好ましい。このような発塵対策を施しておくことによって、物品を搬送する際に上部ネット機構の高さを調節する場合でも、発塵による物品の汚染を確実に防止することができる。もちろん、高さ調節手段がない場合であっても、駆動ギア、駆動チェーン等は囲って、磨耗等により発生し得る塵等を強制排気するのが好ましい。
同様に、搬送ベルト機構２についても、駆動ギア、駆動チェーン等の駆動エリアを、物品が搬送されるエリアと隔離し、駆動系エリアを強制排気することによって物品搬送エリアを高い清浄度に保持できる構造とすることが好ましい。
【００３８】
次に、本発明の物品の自動搬送方法について、図１に示した物品の自動搬送装置１を参照しながら詳細に説明する。
本発明の物品の自動搬送方法は、物品４を搬送ベルト機構２上に載置し、またこの載置した物品４を上部ネット機構３を用いて上方から押さえつつ、この上部ネット機構３と搬送ベルト機構２との搬送速度を同期させて物品４を自動的に搬送するものである。このようにして物品を自動的に搬送することによって、物品が様々な形状を有していたり、また種類の全く異なるものてあっても、専用のバスケットやラックを用いずに物品の落下や飛散を防止でき、物品を一つのラインで連続的にまた効率的に安定して自動搬送することができる。
【００３９】
また、この自動搬送装置１には、上述のように上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されているので、物品の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを容易に調節することができる。それによって、寸法や形状が大きく異なる物品であっても、物品の落下や飛散を確実に防止し、同じラインで安定して自動搬送することができる。
【００４０】
さらに、搬送ベルト機構２には上述のようにホールドバーが設けられているので、搬送ベルト機構上に載置した物品のズレを防止して搬送を行うことができる。また、このように各搬送ベルト機構にそれぞれホールドバーが設置されていれば、上述のように物品の自動搬送装置への受け入れ、搬送ベルト機構間での受け渡し、最終的な送り出しを円滑に行うことができる。
【００４１】
そして、このような本発明の物品の自動搬送方法を用いることにより、例えば図２に示したように、物品４に、処理室５ａ〜５ｅで前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス、水切り、乾燥等のような各種処理を行うような場合、物品が様々な形状や寸法を有していても、専用のバスケットやラックを用いずに物品をそれぞれの処理室に連続的に安定して自動搬送することができる。したがって、処理時間を短縮させてスループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００４２】
また、本発明の自動搬送装置１は、上述のように搬送ベルト機構２の搬送ベルト部及び上部ネット機構３の押さえネット部がそれぞれ網状の構造を有するものである。そのため、例えば処理室５ａ〜５ｃ内で物品４を搬送しながら純水または洗浄液等をスプレーまたはシャワーにより吹き付けて処理を行う場合、搬送ベルト機構２及び上部ネット機構３に保持されている物品３の上下面にも純水または洗浄液等を吹き付けることができるので、物品全体に均一にかつ効率的に前洗浄等の各種処理を施すことができる。また、物品４は上部ネット機構３で上方から押さえられて搬送されているので、純水または洗浄液等が物品へ吹き付けられても、物品の落下や飛散を確実に防止して安定した処理を行うことができる。
【００４３】
さらに、処理室５ｄ、５ｅ内で物品４を搬送しながら、例えばＣＤＡを吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等を用いることによって物品に水切り・乾燥の処理を行う場合にも、物品の表面全体に空気を吹き付けることができ、また物品４の表面から純水または洗浄液等をすばやく滴下することができるので、処理を短時間で効率的に行うことができ、また物品の落下や飛散も確実に防止して安定した処理を行うことができる。
【００４４】
尚、本発明の物品の自動搬送方法は、上記のような物品の洗浄処理（前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス）や乾燥処理（水切り、乾燥）に用いられることに限定されるものではなく、物品を自動搬送しながら行うことのできるその他の各種処理にも同様に好適に適用することができるものである。さらに、本発明の物品の自動搬送方法は、処理を行わなくても物品の落下や飛散が生じやすいような場合、例えば高速で物品を搬送したり、傾斜を付けて物品を搬送するような場合にも用いることができ、それによって、物品が様々な形状を有していても、物品の落下や飛散を専用のバスケットやラックを用いずに確実に防止することができ、安定した物品の搬送を実現することができる。
【００４５】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例）
実施例として、図１に示した物品の自動搬送装置１を用いて、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスを搬送しながら、図２に示すようなキャリアボックスの洗浄処理（前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス）及び乾燥処理（水切り、乾燥）を行って、単位時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。
【００４６】
先ず、キャリアボックスを各パーツに分解し、その分解したキャリアボックスを連続的に本発明の自動搬送装置に投入した。尚、このときキャリアボックスのパーツごとに大きさや形が異なるため、寸法に応じて高さ調節手段により上部ネット機構の高さを調整した。
【００４７】
自動搬送装置に投入されたキャリアボックスは、最初に処理室５ａ内で加温した純水をスプレーにより吹き付けることによって、キャリアボックスの前洗浄を行った。次に、前洗浄が行われたキャリアボックスを処理室５ｂ、５ｃへ順番に搬送して、界面活性剤として商品名クリンスルー（花王株式会社製）を０．１％含有する加温した洗浄溶液による界面活性剤洗浄、及び純水による２段階のリンスを行った。
【００４８】
その後、キャリアボックスは処理室５ｄ内へと搬送され、７０℃に加温したＣＤＡをキャリアボックスの全面に吹き付けて、キャリアボックスの水切りを行った。水切り後、処理室５ｅ内で高温・減圧雰囲気下で加温したＣＤＡをキャリアボックスに吹き付けることによって、キャリアボックスの乾燥を行った。
【００４９】
以上のようにして、キャリアボックスを連続的に自動搬送しながら、洗浄処理（前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス）及び乾燥処理（水切り、乾燥）を５時間行い、１時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。その結果、実施例における洗浄及び乾燥処理のスループットは約１００個／ｈであることがわかった。また処理中、キャリアボックスが吹き飛ばされたり、落下するといった問題は全く生じなかった。
【００５０】
（比較例）
比較例として、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスを各パーツに分解し、それらの分解したパーツを専用のラックを用いて保持・固定した後、それを搬送しながら市販のキャリアボックス洗浄装置を用いてキャリアボックスの洗浄処理及び乾燥処理を行って、単位時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。
【００５１】
先ず、各パーツに分解したキャリアボックスを専用のラックに固定した後、ラックを洗浄装置の搬送機構に載置した。続いて、搬送機構によってキャリアボックスを前洗浄処理室、界面活性剤洗浄処理室、リンス処理室へ順番に搬送し、それぞれ上記実施例と同様の条件で前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスを行った。
【００５２】
次に、キャリアボックスは水切り処理室に搬送され、７０℃に加温したＣＤＡを吹き付けてキャリアボックスの水切りが行われ、その後、キャリアボックスを乾燥処理室へ搬送し、高温・減圧雰囲気下で加温したＣＤＡをキャリアボックスに吹き付けることによって、キャリアボックスの乾燥を行った。
乾燥後、専用のラックからキャリアボックスを取り出し、空のラックを洗浄装置の投入側に搬送した。その後、再び各パーツに分解した次のキャリアボックスをラックに固定し、洗浄及び乾燥処理を行った。
【００５３】
以上のようなキャリアボックスの洗浄及び乾燥処理を５時間行い、１時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。その結果、比較例におけるスループットは、２０個／ｈであることがわかった。
【００５４】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、物品が様々な形状を有していても、専用のバスケットやラックを用いずに物品の落下や飛散を防止して、物品を連続的にまた効率的に安定して自動搬送することができる。さらに、本発明の物品の自動搬送方法を用いることにより、例えば物品に洗浄や乾燥等の各種処理を行う場合に、物品を各処理室に連続的に安定して搬送することができるため、処理時間を短縮させてスループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の物品の自動搬送装置の一例を示す概略説明図である。
【図２】本発明の物品の自動搬送装置用いて、物品の洗浄処理及び乾燥処理を行う方法を説明する概略説明図である。
【図３】（ａ）は、上部ネット機構の概略断面図であり、（ｂ）は、上部ネット機構の概略平面図である。
【図４】（ａ）は、搬送ベルト機構の概略断面図であり、（ｂ）は、搬送ベルト機構の概略平面図である。
【図５】（ａ）は、上部ネット機構を拡大した説明図であり、（ｂ）は、Ａ材とＢ材の接合部をさらに拡大した説明図である。
【図６】搬送ベルト機構を拡大した説明図である。
【図７】ホールドバーの形状を説明する概略説明図である。
【図８】搬送ベルト機構間において物品の受け渡しを説明する概略説明図である。
【図９】搬送ベルト機構間において受け渡しステージを用いた物品の受け渡しを説明する概略説明図である。
【図１０】搬送ベルト機構間において受け渡しベルトを用いた物品の受け渡しを説明する概略説明図である。
【図１１】高さ調節手段の構成例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１…物品の自動搬送装置、  ２…搬送ベルト機構、
３…上部ネット機構、  ４…物品、  ５…処理室、
７…押さえネット部、  ８…押さえネット駆動チェーン、
９…押さえネット駆動ギア、  １０…搬送ベルト部、
１１…搬送ベルト駆動チェーン、  １２…搬送ベルト駆動ギア、
１３…内周歯、  １４…ギヤ溝、  １５…接合部、
１６…ホールドバー、  １７…受け渡しステージ、
１８…受け渡しベルト、  １９…モーター、
２０…保持具、  ２１…歯、
２２…上下調節回転ギア、  ２３…バネ、
２４…外枠、  ２５…排出口、  ２６…高さ調節手段、
２７、３７…コマ、  ２８、３８…ピン、
５０…コントローラーシステム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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