(57)【要約】【課題】半導体ウエハや液晶基板等の被処理体を真空環境下で製造する製造装置の駆動部として使用することができ、小型かつ安価でメンテナンス性に優れた真空用歯車装置を提供する。【解決手段】真空環境下で使用する真空用歯車装置の固定部材と出力部材との間に接触式真空シールを設け、上記真空用歯車装置の接触式真空シールの反真空側で固定部材と出力部材との間に主軸受を設け、上記真空用歯車装置が、クランク部を有するカム軸と、該カム軸によって偏心運動する外歯歯車部材と、該外歯歯車部材の外歯に噛み合う内歯を内周面に形成した内歯歯車部材と、前記外歯歯車部材の両端に位置し、カム軸の両端を支持する支持部材とからなる偏心揺動型真空用歯車装置であって、内歯歯車部材を固定部材とし、支持部材を出力部材としたことによって、真空環境下で使用する搬送用ロボットの駆動装置を小型とする。【選択図】　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空環境下で使用する真空用歯車装置であって、該真空用歯車装置の固定部材と出力部材との間に接触式真空シールを設けたことを特徴とする真空用歯車装置。
【請求項２】
上記歯車装置の接触式真空シールの反真空側で固定部材と出力部材との間に主軸受を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空用歯車装置。
【請求項３】
上記歯車装置が、クランク部を有するカム軸と、該カム軸によって偏心運動する外歯歯車部材と、該外歯歯車部材の外歯に噛み合う内歯を内周面に形成した内歯歯車部材と、前記外歯歯車部材の両端に位置し、カム軸の両端を支持する支持部材とからなる偏心揺動型歯車装置であって、内歯歯車部材を固定部材とし、支持部材を出力部材としたことを特徴とする請求項１または２記載の真空用歯車装置。
【請求項４】
上記真空用歯車装置が、楕円形状を有する波動発生器と、該波動発生器によって可撓変形する可撓性外歯歯車部材と、該外歯歯車部材の外歯に噛み合う内歯を内周面に形成した剛性の内歯歯車部材とからなる撓み噛合式減速機であることを特徴とする請求項１または２記載の真空用歯車装置。
【請求項５】
少なくとも２つの駆動モータと少なくとも２つの減速機とを有し真空環境下で使用する真空用駆動装置であって、一方の減速機の出力回転部に連結される中空の第１出力伝達軸と前一方の減速機の固定部に取り付けられるハウジングとの間に、又は／及び前記第１出力伝達軸と他方の減速機に取り付けられ前記第１出力伝達軸の中空内に設けられた第２出力伝達軸との間に、接触式真空シールを設けたことを特徴とする真空用歯車装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶基板等の被処理体を真空環境下で製造する製造装置の駆動部に使用することができる真空用歯車装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハや液晶基板等の被処理体をそれぞれの処理室へ搬送するため、処理室と連設される搬送室に搬送ロボットが使用される。半導体ウエハや液晶基板等の被処理体は、パーティクルを嫌う精巧な処理を必要とするため、搬送ロボットは真空環境下で使用される。また、真空環境下にパーティクルが発生することがないように搬送ロボットはメンテナンスが行なわれる。
【０００３】
搬送ロボットに使用される従来の駆動装置としては、搬送室の隔壁に軸受ハウジングを設け、軸受ハウジングに回転入力軸を２つの軸受を介して回転自在に設け、回転入力軸は２つの軸受の間に設けられた磁性流体シールによって気密にシールされ、これらによってシールユニットを構成している。さらに、回転入力軸の下端には減速機を介して駆動モータを連結している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、搬送ロボットのその他の駆動装置としては、モータステータとモータロータとの間を金属隔壁によって密封機能を備えた真空駆動装置が広く一般的に使用されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平６−２８５７８０号公報
【特許文献２】
特許登録第２７６１４３８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１のような従来の真空環境下で使用する駆動装置では、真空状態の気密性能を確保するためには磁性流体シールを複数個直列に配置する必要があるため、構造が複雑となり大型化しさらに高価となる。また、磁性流体シールは、特殊な流体を使用するためエンドユーザでのメンテナンスは不可能であり、真空中に磁性流体のミストが常時放出されるため搬送室が汚れるという問題があった。
【０００７】
また、特許文献２のようなモータステータとモータロータとの間を金属隔壁によって密封機能を備えた真空駆動装置では、気密性能は良いが外部負荷が作用する出力回動部材を回転支持するための軸受を真空中に配置せざるを得ないため、高価な真空用軸受が必要となり、真空にさらされる面積が大きくなり真空を引くためのランニングコストが高くなって駆動装置が高価となっていた。さらにまた、出力が大きなトルク伝達を必要とする場合は、ダイレクトドライブモータ自体が減速機と比較して大型化する問題があった。
【０００８】
本発明は、半導体ウエハや液晶基板等の被処理体を真空環境下で製造する製造装置の駆動部として使用することができ、小型かつ安価でメンテナンス性に優れた真空用歯車装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本件発明の請求項１の真空用歯車装置によれば、真空環境下で使用する真空用歯車装置の固定部材と出力部材との間に接触式真空シールを設けたことを特徴とする。このような構成にすることにより、真空環境下で使用する駆動装置を小型とすることができる。また、真空シールは真空用歯車装置の固定部材と出力部材の芯にならって配置できるため、従来のシールユニットと減速機との芯出し作業が不要になりメンテナンス性が向上する。
【００１０】
さらに、本発明の請求項２の真空用歯車装置によれば、上記真空用歯車装置の接触式真空シールの反真空側で固定部材と出力部材との間に主軸受を設けたことを特徴とする。このような構成にすることにより、真空用歯車装置内の大容量、高剛性な主軸受により、大きな外部荷重を容易に支持することができる。
【００１１】
また、本発明の請求項３の真空用歯車装置によれば、上記真空用歯車装置が、クランク部を有するカム軸と、該カム軸によって偏心運動する外歯歯車部材と、該外歯歯車部材の外歯に噛み合う内歯を内周面に形成した内歯歯車部材と、前記外歯歯車部材の両端に位置し、カム軸の両端を支持する支持部材とからなる偏心揺動型真空用歯車装置であって、内歯歯車部材を固定部材とし、支持部材を出力部材としたことを特徴とする。このような構成にすることにより、カム軸の両端が支持部材に支持されていることにより、ねじり剛性の高い小型な駆動装置とすることができる。
【００１２】
さらに、本発明の請求項４の真空用歯車装置によれば、上記真空用歯車装置が、楕円形状を有する波動発生器と、該波動発生器によって可撓変形する可撓性外歯歯車部材と、該外歯歯車部材の外歯に噛み合う内歯を内周面に形成した剛性の内歯歯車部材とからなる撓み噛合式減速機であることを特徴とする。このような構成にすることにより、部品点数の少ない撓み噛合式減速機を用いることによって、コンパクトな駆動装置とすることができる。
【００１３】
また、本発明の請求項５の真空用歯車装置によれば、少なくとも２つの駆動モータと少なくとも２つの減速機とを有し真空環境下で使用する真空用駆動装置であって、一方の減速機の出力回転部に連結される中空の第１出力伝達軸と前一方の減速機の固定部に取り付けられるハウジングとの間に、又は／及び前記第１出力伝達軸と他方の減速機に取り付けられ前記第１出力伝達軸の中空内に設けられた第２出力伝達軸との間に、接触式真空シールを設けたことを特徴とする。このような構成にすることにより、出力回転軸とハウジングとの間に接触式真空シールを設けたことによって、従来の磁性流体シールを用いた装置より、小型で安価とすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施形態について図面に基づいて説明する。
図１において、１は半導体ウエハや液晶基板等の被処理体を真空環境下で製造する製造装置の駆動装置として使用する真空用歯車装置であり、この真空用歯車装置１は搬送室等の真空容器の隔壁２にＯリングなどのシール手段を介して取り付けられる。真空用歯車装置１の入力側には駆動モータ３が設けられており、駆動モータ３の出力回転が真空用歯車装置１を介して出力されるようになっている。ここでは、駆動モータ３は大気環境下に置かれている。
【００１５】
真空用歯車装置１は、クランク部１１ａ，１１ｂを有するカム軸１１と、クランク部１１ａ，１１ｂを収容する孔を備え、カム軸１１の回転によって偏心運動する２枚の外歯歯車部材１２と、外歯歯車部材１２の外周面に形成された外歯に噛み合い、外歯の歯数より若干歯数の多い内歯を内周面に形成した内歯歯車部材１３と、外歯歯車部材１２の両側端に位置し、カム軸１１の両端をころ軸受を介して回転自在に支持する支持部材１４とからなる偏心揺動型真空用歯車装置であり、大気環境下で真空環境側に配設されている。
【００１６】
駆動モータ３の出力回転は、駆動モータ３の出力回転軸に取り付けた入力歯車１５を通して、入力歯車１５より歯数の多い伝達歯車１６に伝えられ、伝達歯車１６に取り付けられたカム軸１１を減速回転させる。
【００１７】
カム軸１１は入力歯車１５の外周部に複数個（本実施例では、３個）等配的に配置されている。クランク部１１ａ，１１ｂはそれぞれが１８０度の偏心位相を持っており、カム軸１１に一体的に形成されている。クランク部１１ａ，１１ｂにはニードル軸受が取り付けられ、外歯歯車部材１２の孔に挿入される。外歯歯車部材１２の外周にはエピトロコイド歯形が形成されており、内歯歯車部材１３の内周で等配的に形成された複数の半円状の溝に保持されるピン（内歯）に噛み合う。
【００１８】
内歯歯車部材１３の内部には支持部材１４が位置し、支持部材１４は、外歯歯車部材１２のカム軸１１用孔の間に形成された貫通孔に遊嵌される柱部１７と、柱部１７の両端に一対の円板１８，１９とを有し、カム軸１１の両端を回転自在に支持する。一対の円板１８，１９の外周には、一対の主軸受２０が設けられ内歯歯車部材１３に対して支持部材１４を回転支持するようになっている。主軸受２０はアンギュラ玉軸受であり、予圧を与えることによって剛性を増すようになっている。また、内歯歯車部材１３と一方の円板１８の間にはオイルシール２１が設けられ、真空用歯車装置１内の潤滑剤を封止するようになっている。
【００１９】
２２は内歯歯車部材１３と一体的に結合されたハウジングであり、固定部材となっている。また、２３は出力伝達軸であり、アダプタ２４を介して支持部材１４に一体的に取り付き、出力部材となって真空環境下で操作される搬送ロボットのアーム等が取り付く取り付け部を有している。
【００２０】
ハウジング２２と出力伝達軸２３との間には、真空シール３０が設けられている。真空シール３０は、出力伝達軸２３の外周に接触する主リップと、主リップに接触力を付与する弾性部材と、嵌め合い部を有する接触式真空シールである。真空シール３０は、嵌め合い部がケーシング３１に保持され、真空シール３０の取り付け、取り外しのメンテナンスが容易に行なえるようになっている。また、ハウジング２２の開口端部には、ラビリンスシール機構３２が設けられている。
【００２１】
出力伝達軸２３の真空シール３０の主リップとの接触面には、特殊処理が施される。その接触面の特殊処理は、算術平均粗さＲａを０．１μｍ以下となし、さらに、その硬度をＨＶ６５０以上としている。また、算術平均粗さＲａを０．１μｍ以下を得るために、接触面に硬化処理を施してもよい。上の説明において、接触面の硬度をＨＶ６５０以上としたが、真空度によっては必ずしもこの硬さを必要としない。
【００２２】
図２は本発明の第２実施形態を示す図である。前述の第１実施形態においては、駆動モータ３を真空用歯車装置１の回動中心に配置したが、この実施形態においては、真空用歯車装置１００の回動中心から駆動モータ１３０をずらし、真空用歯車装置１００の回動中心部に中空空間５０を形成したものである。ここでは、中空空間５０は大気空間に置かれている。真空用歯車装置１００の構造については第１実施形態の真空用歯車装置１と共通する部分は説明を省略する。駆動モータ１３０の出力回転は、駆動モータ１３０の出力回転軸に取り付けた入力歯車１１５を通して、真空用歯車装置１００の回動中心部に設けられた中間歯車１３３を介して伝達歯車１１６に伝えられ、伝達歯車１１６に取り付けられたカム軸１１１を減速回転させる。
【００２３】
中間歯車１３３は、一方が他方の円板１１９に軸受を介して保持され、他方が駆動モータ取り付けフランジ１３４に軸受を介して保持されている。また、真空用歯車装置１００の中央部には、一端が一方の円板１１８に固定され、他端が駆動モータ取り付けフランジ１３４との間で真空用歯車装置１００内の潤滑剤を封止するオイルシール１３６を備えた筒部１３５を有している。
【００２４】
台１２３がボルト１２４で出力伝達軸２３に取り付けられている。台１２３は真空環境及び大気環境を不連通に区画する壁部１２５を形成している。台１２３は出力伝達軸２３の一部を構成している。
搬送ロボットのアーム１２６がボルト１２７で台１２３の壁部１２５に取り付けられている。台１２３の壁部１２５をなくし、台１２３の端部に直接、アーム１２６を取り付けることにより、真空環境及び大気環境を不連通に区画するようにしても良い。また、台１２３の壁部１２５をなくし、台１２３の端部に直接、真空環境及び大気環境を不連通に区画した搬送ロボット機構を取り付けることにより、真空環境及び大気環境を不連通に区画するようにしても良い。即ち、大気環境状態の中空空間５０と真空環境状態とを不連通に区画する、台１２３の端部の閉鎖方法は種々考えられる。
【００２５】
真空用歯車装置１００の回動中心部に中空空間５０を形成したことによって、搬送ロボット機構のための配線や配管等を通すことが可能となる。真空用歯車装置１００は大気環境側に配設されている。
【００２６】
図３は本発明の第３実施形態を示す図である。この実施形態においては、一方の円板２１８と内歯歯車部材２１３との間に真空シール２３０を設けている。真空用歯車装置２００の構造については第１実施形態の真空用歯車装置１と共通する部分は説明を省略する。一方の円板２１８の真空シールの主リップとの接触面には、特殊処理が施される。その接触面の特殊処理は、算術平均粗さＲａを０．１μｍ以下となし、さらに、その硬度をＨＶ６５０以上としている。また、算術平均粗さＲａを０．１μｍ以下の面粗さを得るために、接触面に硬化処理を施してもよい。上の説明において、接触面の硬度をＨＶ６５０以上としたが、真空度によっては必ずしもこの硬さを必要としない。
【００２７】
一方の円板２１８と内歯歯車部材２１３との間に真空シールを設けたことによって、真空用歯車装置２００をさらに小型にすることができる。
【００２８】
以上のように本発明を実施形態により説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲で各種の変形が可能である。例えば、以上の実施形態においては、中心の外周部に複数のカム軸を有した真空用歯車装置について説明したが、中心に１つのカム軸を有した真空用歯車装置や、以下に示す一般的に撓み噛合式減速機と呼ばれる真空用歯車装置についても適用可能である。
【００２９】
偏心揺動型真空用歯車装置を用いた駆動装置は、例えば、液晶基板のような重量物を搬送するのに最適であり、以下に示す撓み噛合式減速機を用いた駆動装置は、撓み噛合式減速機が楕円形状を有する波動発生器と、該波動発生器によって可撓変形する可撓性外歯歯車部材と、該外歯歯車部材の外歯に噛み合う内歯を内周面に形成した剛性の内歯歯車部材との３つの部品によって非常にコンパクトに構成されているので、１枚の半導体ウエハのような軽量物を搬送するのに適している。
また、１枚の半導体ウエハのような軽量物を搬送する場合、負荷トルクは小さいため、真空用歯車装置の出力部材の伝達軸部を小径にすることができるので、真空シール径も小さくできる。
さらに、シール部の接触負荷を小さくできるため、小型の減速機を選定することができる。
以下に、撓み噛合式減速機を用いた例を図４〜図９に示す。
【００３０】
図４は本発明の第４実施形態を示す図である。この真空用歯車装置３００は、前述の第１実施形態の偏心揺動型真空用歯車装置を撓み噛合式減速機に変えたものである。３０３は、駆動モータであり、駆動モータ３０３の出力回転軸の先端には、楕円形状を有する波動発生器３１０が取り付けられる。波動発生器３１０の外周には、波動発生器３１０によって楕円形状に可撓変形される可撓性外歯歯車部材３１１が波動発生器３１０を覆うように嵌め込まれている。外歯歯車部材３１１は、外歯３１２とボス部３１３とを有している。また、外歯歯車部材３１１の外周には、外歯３１２に噛み合う内歯３１５を内周面に形成した剛性の内歯歯車部材３１４が配置されている。
内歯歯車部材３１４と外歯歯車部材３１１のボス部３１３との間には、主軸受３２０が設けられ内歯歯車部材３１４に対して外歯歯車部材３１１を回転支持するようになっている。また、内歯歯車部材３１４とボス部との間にはオイルシール３２１が設けられ、真空用歯車装置３００内の潤滑剤を封止するようになっている。
３２２は内歯歯車部材３１４と一体的に結合されたハウジングであり、固定部材となっている。また、３２３は出力伝達軸であり、ボス部３１３に一体的に取り付き、出力部材となっている。
ハウジング３２２と出力伝達軸３２３との間には、真空シール３３０が設けられている。真空シール３３０は、出力伝達軸３２３の外周に接触する主リップと、主リップに接触力を付与する弾性部材と、嵌め合い部を有する接触式真空シールである。真空シール３３０は、嵌め合い部がケーシング３３１に保持され、真空シール３３０の取り付け、取り外しのメンテナンスが容易に行なえるようになっている。また、ハウジング３２２の開口端部には、ラビリンスシール機構３３２が設けられている。
この真空用歯車装置３００の使用環境や、出力伝達軸３２３の真空シール３３０の主リップとの接触面の処理は、第１実施形態と同様である。
【００３１】
図５は本発明の第５実施形態を示す図である。この真空用歯車装置４００は、前述の第２実施形態の偏心揺動型真空用歯車装置を撓み噛合式減速機に変えさらに、中空駆動モータ４０３を用いたものである。駆動モータ４０３の出力回転軸の先端には、楕円形状を有する中空波動発生器４１０が取り付けられる。波動発生器４１０の外周には、波動発生器４１０によって楕円形状に可撓変形される可撓性外歯歯車部材４１１が波動発生器４１０を覆うように嵌め込まれている。外歯歯車部材４１１は、外歯４１２とボス部４１３とを有している。また、外歯歯車部材４１１の外歯４１２の外周には、外歯４１２に噛み合う内歯４１５を内周面に形成した剛性の内歯歯車部材４１４が配置されている。
内歯歯車部材４１４と外歯歯車部材４１１のボス部４１３との間には、主軸受４２０が設けられボス部４１３に対して内歯歯車部材４１４を回転支持するようになっている。また、ボス部４１３と一体的に結合された主軸受４２０の外輪部材と内歯歯車部材４１４と一体的に結合された内輪部材との間にはオイルシール４２１が設けられ、真空用歯車装置４００内の潤滑剤を封止するようになっている。
４２２はボス部４１３と一体的に結合されたハウジングであり、固定部材となっている。また、４２３は出力伝達軸であり、内歯歯車部材４１４に一体的に取り付き、出力部材となっている。
中空波動発生器４１０は、一方が出力伝達軸４２３の内部に軸受を介して保持され、他方が駆動モータ取り付けフランジ４３４に軸受を介して保持されている。また、中空波動発生器４１０の両端部には、真空用歯車装置４００内の潤滑油を封止するオイルシール４３６，４３７を有している。
この真空用歯車装置４００の使用環境や、出力伝達軸４２３の真空シール４３０の主リップとの接触面の処理、および中空空間４５０の形成は、第２実施形態と同様である。
【００３２】
図６は本発明の第６実施形態を示す図である。この真空用歯車装置５００は、前述の第３実施形態の偏心揺動型真空用歯車装置を撓み噛合式減速機に変えたものである。５０３は、駆動モータであり、駆動モータ５０３の出力回転軸の先端には、楕円形状を有する波動発生器５１０が取り付けられる。波動発生器５１０の外周には、波動発生器５１０によって楕円形状に可撓変形される可撓性外歯歯車部材５１１が波動発生器５１０を覆うように嵌め込まれている。外歯歯車部材５１１は、外歯５１２とボス部５１３とを有している。また、外歯歯車部材５１１の外周には、外歯５１２に噛み合う内歯５１５を内周面に形成した剛性の内歯歯車部材５１４が配置されている。
内歯歯車部材５１４と外歯歯車部材５１１のボス部５１３との間には、主軸受５２０が設けられ内歯歯車部材５１４に対して外歯歯車部材５１１を回転支持するようになっている。また、内歯歯車部材５１４とボス部５１３との間には真空シール５３０を設けている。真空シール５３０は、真空環境と大気環境とを区画するとともに、真空用歯車装置５００内の潤滑剤を封止する。
この真空用歯車装置５００の使用環境や、ボス部（出力部材）５１３の真空シール５３０の主リップとの接触面の処理は、第３実施形態と同様である。
【００３３】
図７は本発明の第７実施形態を示す図である。この真空用歯車装置６００は、搬送室等の真空容器の隔壁に取り付けられるものである。真空用歯車装置６００の入力側には駆動モータ６０３が設けられており、駆動モータ６０３の出力回転が減速機を介して出力されるようになっている。ここでは、減速機６０１は楕円形状を有する波動発生器６１０と、波動発生器６１０によって可撓変形する可撓性外歯歯車部材６１１と、外歯歯車部材６１１の外歯に噛み合う内歯を内周面に形成した剛性の内歯歯車部材６１４とからなる撓み噛合式減速機である。
駆動モータ６０３と減速機６０１は同軸上に離れて配置され、さらに同軸上に離れて減速機６０１の出力回転部に取り付けられた出力伝達軸６２３と減速機の固定部に取り付けられたハウジング６２２との間にアンギュラ玉軸受６２０および真空シール６３０が配列されている。このように配列したことによって、装置全体をより小径に構成することができる。また、アンギュラ玉軸受６２０を減速機６０１と同軸上に離れて配置することによって、径は小さいものの球径を大きくする等の外部荷重に対する剛性のある軸受を使用することができる。
この真空用歯車装置６００の使用環境や、出力伝達軸６２３の真空シール６３０の主リップとの接触面の処理は、第１実施形態と同様である。
【００３４】
図８は本発明の第８実施形態を示す図である。この真空用歯車装置７００は、前述の第７実施形態の１つの出力伝達軸を２つの同軸出力伝達軸に変えたものである。駆動モータ７０３と減速機７０１は同軸上に離れて配置され、さらに同軸上にアンギュラ玉軸受７２０および真空シール７３０が配列され、駆動モータ７０３によって中実の出力伝達軸７２３が駆動される。また、減速機７０１とアンギュラ玉軸受との間には、もう１つの中空駆動モータ７５３とその中空駆動モータ７５３と接続されるもう１つの減速機７５１が配置されている。もう１つの減速機７５１の出力回転部には、中空の出力伝達軸７７３が取り付けられ、中実の出力伝達軸７２３とハウジング７２２との間に配置されている。アンギュラ玉軸受７２０と真空シール７３０は、中実の出力伝達軸７２３と中空の出力伝達軸７７３との間に配置され、さらに、他のアンギュラ玉軸受７７０と真空シール７８０が中空の出力伝達軸７７３とハウジング７２２との間に配置される。
この真空用歯車装置７００の使用環境や、出力伝達軸７２３，７７３の真空シール７３０，７８０の主リップとの接触面の処理は、第１実施形態と同様である。
【００３５】
図９は本発明の第９実施形態を示す図である。この真空用歯車装置８００は、前述の第８実施形態の２組の駆動モータおよび減速機を同一平面上に平行に配置したものである。第８実施形態と異なる部分について説明する。一方の減速機８０１の出力回転部には小プーリ８４１が形成され、中実の出力伝達軸８２３の一端に形成された大プーリ８４２とベルト８４３を介して連結されている。また、他方の減速機８５１の出力回転部には小プーリ８９１が形成され、中空の出力伝達軸８７３の一端に形成された大プーリ８９２とベルト８９３を介して連結されている。このように、２組の駆動モータおよび減速機を平行に配置したことにより、偏平な駆動装置とすることができる。
【００３６】
以上のように本発明を実施形態により説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲で各種の変形が可能である。例えば、以上の実施形態においては、中心の外周部に複数のカム軸を有した真空用歯車装置について説明したが、中心に１つのカム軸を有した真空用歯車装置についても適用可能である。また、出力伝達軸の形態についても、２軸以上あってもよいのは当然であり、さらに、軸の配置、例えば同軸、平行軸、直角軸についても限定するものではない。
【００３７】
【発明の効果】
本発明の請求項１によれば、真空環境下で使用する真空用歯車装置の固定部材と出力部材との間に接触式真空シールを設けたことによって、真空環境下で使用する駆動装置を小型とすることができる。また、真空シールは真空用歯車装置の固定部材と出力部材の芯にならって配置できるため、従来のシールユニットと減速機との芯出し作業が不要になりメンテナンス性が向上する。
【００３８】
本発明の請求項２によれば、真空用歯車装置内の大容量、高剛性な主軸受により、大きな外部荷重を容易に支持することができる。
【００３９】
本発明の請求項３によれば、カム軸の両端が支持部材に支持されていることにより、ねじり剛性の高い小型な駆動装置とすることができる。
【００４０】
本発明の請求項４の真空用歯車装置によれば、部品点数の少ない撓み噛合式減速機を用いることによって、コンパクトな駆動装置とすることができる。
【００４１】
本発明の請求項５の真空用歯車装置によれば、出力回転軸とハウジングとの間に接触式真空シールを設けたことによって、従来の磁性流体シールを用いた装置より、小型で安価とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態の側断面図である。
【図２】本発明の第二実施形態の側断面図である。
【図３】本発明の第三実施形態の側断面図である。
【図４】本発明の第四実施形態の側断面図である。
【図５】本発明の第五実施形態の側断面図である。
【図６】本発明の第六実施形態の側断面図である。
【図７】本発明の第七実施形態の側断面図である。
【図８】本発明の第八実施形態の側断面図である。
【図９】本発明の第九実施形態の側断面図である。
【符号の説明】
１、１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００・・・真空用歯車装置
１１、１１１　　・・・・カム軸
１２　　　・・・・・・・外歯歯車部材
１３、２１３　　・・・・内歯歯車部材（固定部材）
１４　　　・・・・・・・支持部材（出力部材）
２０、３２０、４２０、５２０　　　・・・・・・・主軸受
６２０、７２０　　　・・・・・・・アンギュラ玉軸受
３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０　　・・・・真空シール
３１１、４１１、５１１、６１１・・・・可撓性外歯歯車部材
３１４、４１４、５１４、６１４　　・・・・内歯歯車部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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