(57)【要約】【課題】品種切替、あるいはペーストロット切替が発生した場合でも、アプリケータロールとコンマロール間の間隔を自動で適切な値とすることができ、連続作業で所定の膜厚のペーストを基板に塗布するコンマコータを提供する。【解決手段】アプリケータロール１と、アプリケータロール１と平行に固定して設けられアプリケータロール１との間にペースト６Ａを貯溜し、かつ、アプリケータロール１に転写されるペースト６Ｂの量を制御するコンマロール２と、アプリケータロール１の下方にアプリケータロール１に対向し、回転自在に軸支された設けられ、アプリケータロール１と同一方向に回転し、アプリケータロール１からのペースト６Ｃを基板７に塗布するコーティングロール３と、基板７を設置して移動可能なテーブル８とを具備し、アプリケータロール１上のペースト６Ｂの膜厚を測定する第１の膜厚測定器９を配置したコンマコータ。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アプリケータロールと、前記アプリケータロールと平行に固定して設けられ前記アプリケータロールとの間にペーストを貯溜し、かつ、前記アプリケータロールに転写されるペーストの量を制御するコンマロールと、前記アプリケータロールの下方に前記アプリケータロールに対向し、回転自在に軸支された設けられ、前記アプリケータロールと同一方向に回転し、前記アプリケータロールからのペーストを基板に塗布するコーティングロールと、前記基板を設置して移動可能なテーブルとを具備するコンマコータにおいて、前記アプリケータロール上のペーストの膜厚を測定する第１の膜厚測定器を配置したことを特徴とするコンマコータ。
【請求項２】
前記第１の膜厚測定器による膜厚測定結果に基づいて前記アプリケータロールと前記コンマロール間の間隔を調整することを特徴とする請求項１記載のコンマコータ。
【請求項３】
前記第１の膜厚測定器による膜厚測定結果を膜厚測定器制御装置を通して本体制御装置に送り、前記本体制御装置からの制御信号をコンマロール位置制御装置におくり、これによるコンマロール位置制御装置からの制御信号によりコンマロール駆動装置を制御して前記コンマロールを所定位置に移動させることを特徴とする請求項２記載のコンマコータ。
【請求項４】
前記膜厚測定、前記測定結果の送り、前記制御信号の送りおよび前記位置の移動は自動で行われることを特徴とする請求項２または請求項３記載のコンマコータ。
【請求項５】
前記基板上に塗布されたペーストの膜厚を測定する第２の膜厚測定器を配置したことを特徴とする請求項１記載のコンマコータ。
【請求項６】
前記膜厚測定は自動で行われることを特徴とする請求項５記載のコンマコータ。
【請求項７】
前記基板はプラズマディスプライパネルのガラス基板であり、前記ペーストは前記プラズマディスプライパネルの障壁を形成する材料膜であることを特徴とする請求項１記載のコンマコータ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のコンマコータを用いて基板上にペーストを塗布することを特徴とするペースト塗布方法
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はコンマコータおよびそれを用いたペースト塗布方法に係り、特にプラズマディスプライパネル（以下、ＰＤＰ、と称す）の製造において、障壁を形成するためにペーストを塗布する際に用いるコンマコータおよびそれを用いたペースト塗布方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰは、液晶ディスプレイに比べて高速の表示が可能であり、かつ大型化が容易であることから、ＯＡ機器および広報表示装置装置などの分野に浸透している。また、高品位テレビジョンの分野などへの進展が期待されている。このような用途の拡大に伴って、精細で多数の表示セルを有するＰＤＰが必要となる。
【０００３】
ＰＤＰは、前面ガラス基板と背面ガラス基板との間に設けられた放電空間で対向するアノードおよびカソード電極間にプラズマ放電を生じさせ、このこの放電空間内に封入されているガスから発生する紫外線を放電空間内に設けた蛍光体に当てることにより表示を行うものである。
【０００４】
この場合、放電の広がりを一定領域に押さえ、表示を規定のセル内で行わせると同時に、均一な放電空間を確保するために障壁（隔壁、リブともいう）が設けられている。
【０００５】
ＰＤＰの障壁は、一般に次のような工程によって形成される。まず、ガラス基板上に障壁材となる感光性または非感光性の厚膜ペーストを一様な厚さで塗布する。感光性ペーストの場合には、次にフォトマスクを介して露光され、モノエタノールアミン等の現像液で現像した後、焼成して障壁が形成される。非感光性ペーストの場合には、次にその上にサンドブラストに対して耐性の大きい感光性レジストでマスクを形成した後、全面に高圧で研磨剤を吹付け、感光性レジストマスクで覆われていない面のペーストを研磨除去する。次いで感光性レジストを剥離すると、障壁パターンが形成され、これを焼成して障壁が形成される。
【０００６】
ここで、ガラス基板上に厚膜ペーストを塗布する方法には、図４に示すようなコンマコータが使用される。
【０００７】
図４において、アプリケータロール１と、アプリケータロール１と平行に固定して設けられ、アプリケータロール１との間にペースト６Ａを貯溜し、アプリケータロール１に転写されるペースト６Ｂの量を制御するコンマロール２と、アプリケータロール１の下方にアプリケータロール１に対向し、回転自在に軸支された設けられ、アプリケータロール１と同一方向に回転し、アプリケータロール１からのペースト６Ｃを基板７に塗布して基板上にペースト塗布膜６Ｄを形成するするコーティングロール３と、基板７を設置して矢印で示す移動方向１６に移動させるテーブル８と、回転速度を自動的に切替える機能を有する本体制御装置１５とを具備している。このような技術は特開２００２−１５３７８８号公報に開示されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−１５３７８８号公報（図１〜図３、段落番号０００２、０００３、００２０〜００３６）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来の装置は、ペースト塗布膜６Ｄの膜厚寸法を測定する機能を有していないため、本体制御装置１５で設定されているアプリケータロール１とコンマロール２との間の間隔が、実際、ペースト塗布膜６Ｄの膜厚寸法に適したものかどうかの確認をする必要がある。
【００１０】
特に、品種切替、あるいはペーストロット切替が発生した場合は、ペースト塗布膜６Ｄが設定されたペースト膜厚寸法であることを確認した上で、連続作業に移行する必要がある。
【００１１】
したがって、ペーストの試塗りの工程を行い、その膜厚寸法を測定するため、装置外での測定から測定結果の判定まで時間がかかるという問題点を有する。
【００１２】
また、ペーストの膜厚寸法にフィードバックをかけた場合、さらに同様のペーストの膜厚の確認作業が必要となり、装置の稼動時間ロスになるという問題点を有する。
【００１３】
したがって本発明の目的は、上記した問題点を除去することができるコンマコータを提供することである。
【００１４】
本発明の他の目的は、上記した問題点を除去することができるペースト塗布方法を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、アプリケータロールと、前記アプリケータロールと平行に固定して設けられ前記アプリケータロールとの間にペーストを貯溜し、かつ、前記アプリケータロールに転写されるペーストの量を制御するコンマロールと、前記アプリケータロールの下方に前記アプリケータロールに対向し、回転自在に軸支された設けられ、前記アプリケータロールと同一方向に回転し、前記アプリケータロールからのペーストを基板に塗布するコーティングロールと、前記基板を設置して移動可能なテーブルとを具備するコンマコータにおいて、前記アプリケータロール上のペーストの膜厚を測定する第１の膜厚測定器を配置したコンマコータにある。
【００１６】
ここで、前記第１の膜厚測定器による膜厚測定結果に基づいて前記アプリケータロールと前記コンマロールとの間の間隔を調整することができる。この場合、前記第１の膜厚測定器による膜厚測定結果を膜厚測定器制御装置を通して本体制御装置に送り、前記本体制御装置からの制御信号をコンマロール位置制御装置におくり、これによるコンマロール位置制御装置からの制御信号によりコンマロール駆動装置を制御して前記コンマロールを所定位置に移動させることができる。また、この膜厚測定、測定結果の送り、制御信号の送りおよび位置の移動は自動で行われることができる。
【００１７】
さらに、前記基板上に塗布されたペーストの膜厚を測定する第２の膜厚測定器を配置することができる。この膜厚測定も自動で行われることができる。
【００１８】
また、前記基板はＰＤＰのガラス基板であり、前記ペーストは前記ＰＤＰの障壁を形成する材料膜であることができる。
【００１９】
また、本発明の他の特徴は、上記したいずれかに記載のコンマコータを用いて基板上にペーストを塗布するペースト塗布方法にある。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明を説明する。図１は本発明の実施の形態の装置の概略を示す正面図であり、図２は本発明の実施の形態の装置の概略を示す斜視図であり、図３は本発明の実施の形態の制御動作を説明する図である。
【００２１】
アプリケータロール１、コンマロール２およびコーティングロール３を具備して構成されたコンマコータは、アプリケータロール１とコンマロール２の両端にダム４を設けることにより液貯留部５を構成しその空間にペースト６Ａを貯溜させる。
【００２２】
コンマロール２は、アプリケータロール１と平行に固定して設けられ、貯留されたペースト６Ａをアプリケータロール１に転写されるペースト６Ｂの量を制御するものである。
【００２３】
すなわち、アプリケータロール１が、コンマロール２側へ矢印に示す方向に回転することで、液貯留部５のペースト６Ａをアプリケータロール１とコンマロール２の隙間によってアプリケータロール１上で一定の厚さを持つペースト６Ｂが吐出される。
【００２４】
また、このペースト６Ｂは、さらにアプリケータロール１と、矢印に示すように、同一方向に回転するコーティングロール３に転写されてコーティングロール３上のペースト６Ｃとなる。
【００２５】
本装置は、テーブル８上にＰＤＰのガラス基板７を吸着しながら、移動方向１６の矢印に示すように、前方から後方へロール部を通過するときに、ガラス基板７にコーティングロール３を接触させることにより、ガラス基板７上にペーストを転写して動作を行って、ガラス基板７上にＰＤＰの障壁用の厚膜のペースト塗布膜６Ｄを形成する。
【００２６】
特に図３を参照して、本実施の形態ではさらに、アプリケータロール１両端の直行する位置に、膜厚測定器制御装置１３により制御されるレーザー変位計等の第１の膜厚測定器９を配置してアプリケータロール１上のペースト６Ｂの膜厚を自動で測定することにより、まず、ペーストを供給する前にアプリケータロール１とコンマロール２との間の間隔は任意の寸法に設定しておく。
【００２７】
この時、第１の膜厚測定器９にて、アプリケータロール１までの距離を自動で計測しその位置（データ１）をゼロリセットする。次に、ペーストを供給し、アプリケータロール１に流布されたペースト６Ｂ面をこの第１の膜厚測定器９で自動で計測した位置（データ２）との差分をペースト６Ｂの膜厚寸法として自動で算出し、本体制御装置１１であらかじめ設定されたペースト膜厚寸法になるようにコンマロール２の位置制御装置１２に自動でフィードバック制御を行う。
【００２８】
この第１の膜厚測定器９の制御装置１３は、後者のデータ２を本体制御装置１１を介してコンマロール２の位置制御装置１２に自動で転送し、コンマロール２の位置制御装置１２は、本体制御装置１１であらかじめ設定されたペースト膜厚寸法になるようにコンマロール２の駆動装置１４を自動で駆動させてアプリケータロール１とコンマロール２間の間隔を自動で調整する。この動作を繰り返し実施することにより、ペースト膜厚寸法を均一にする。
【００２９】
さらに、ガラス基板７の塗工において、塗工部後方には幅方向に膜厚測定器制御装置１３によって制御される複数個のレーザー変位計等の第２の膜厚測定器１０が配置固定されており、コンマコータ本体制御装置１１であらかじめ設定されたテーブル８の通過ポイント、あるいは連続的に第２の膜厚測定装置１０によりペースト膜厚寸法を自動で測定する。
【００３０】
まず、ガラス基板７上の塗工されない部分のガラス表面の高さを自動で測定してその位置（データ３）をゼロリセットする。引き続き、塗工されている部分を、複数の通過ポイント、あるいは連続して第２の膜厚測定器１０により、ペースト塗布膜６Ｄの表面までの位置（データ４）を自動で測定し、最初にゼロリセットした測定データ３と塗工されたペースト塗布膜６Ｄの表面までの測定データ４の差分を実塗工されたペースト塗布膜６Ｄの膜厚寸法として表示させてガラス基板上に塗布された膜厚が適切であるかどうかを自動で判断し、かつ、膜厚測定器制御装置１３を通してコンマコータの本体制御装置１１にその結果を自動で送って、本体制御装置１１からコンマロール位置制御装置１２に適切な指示を自動で送る。
【００３１】
これにより、品種切替、あるいは、ロット切替が発生した場合のペースト供給前後、およびペーストの塗工直後に塗工膜厚寸法を測定することにより、品種切替時の膜厚測定確認時間の短縮、また、連続作業中の塗工膜厚を確認することが可能となる。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、膜厚測定器による膜厚測定結果に基づいてアプリケータロールとコンマロールとの間の間隔を調整することができるから、品種切替、あるいは、ロット切替が発生した場合でも、連続作業によりて所定の膜厚のペースト塗布を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の装置の概略を示す正面図である。
【図２】本発明の実施の形態の装置の概略を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態の制御動作を説明する図である。
【図４】従来の装置の概略を示す正面図である。
【符号の説明】
１    アプリケータロール
２    コンマロール
３    コーティングロール
４    ダム
５    液貯留部
６Ａ    貯溜されているペースト
６Ｂ    アプリケータロール上のペースト
６Ｃ    コーティングロール上のペースト
６Ｄ    基板上のペースト塗布膜
７    基板
８    テーブル
９    第１の膜厚測定器
１０    第２の膜厚測定器
１１    本体制御装置
１２    コンマロール位置制御装置
１３    膜厚測定器制御装置
１４    コンマロール駆動装置
１５    本体制御装置
１６    移動方向
【図１】
2004148168.tif 000003
【図２】
2004148168.tif 000004
【図３】
2004148168.tif 000005
【図４】
2004148168.tif 000006