(57)【要約】【課題】高精度の窪部形状を鍛造で成形する際に使用される鍛造加工パンチに良好なダミー成形パンチを保有させた鍛造加工パンチ等を提供する。【解決手段】空隙部５３ｂを介在させて所定ピッチで列設した複数の成形パンチ５１ａを金属素材３０に押付けることにより所定ピッチで列設された状態の窪部を成形する鍛造加工パンチ１であって、列設された成形パンチ５１ａの列の両端部に、列設状態の両端部の窪部をダミー窪部３３ａとして成形するダミー成形パンチ５１ｂが設けられている。したがって、ダミー成形パンチ５１ｂによってダミー窪部３３ａが成形され、このダミー窪部３３ａは本来の窪部としての機能を果たさない状態におかれるため、異常寸法や異常形状はダミー窪部３３ａに集中され、それに代わって本来の窪部は健全な状態で確保される。【選択図】　　　図１１
2004136364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板に凹部を形成する雄金型であって、
各々が金属板に第１凹部を形成可能に構成されると共に、第１の方向にパンチ列を形成するように所定のピッチで配列された複数の第１鍛造加工パンチと、
各々が前記金属板にダミーの凹部である第２凹部を形成可能に構成されると共に、前記パンチ列の両端部に位置する前記第１鍛造加工パンチに隣接するように配置された複数の第２鍛造加工パンチとを具備して成る金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項２】
請求項１に記載の雄金型であって、
複数の前記第２鍛造加工パンチが前記パンチ列の各端部に設けられている金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項３】
請求項１に記載の雄金型であって、
隣接する前記第１鍛造加工パンチと前記第２鍛造加工パンチ間において画成される第１間隙の深さ寸法は、隣接する前記第１鍛造金型間において画成される第２間隙の深さ寸法よりも小さい金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項４】
請求項３に記載の雄金型であって、
隣接する前記第２鍛造加工パンチ間において画成される第３間隙の深さ寸法は、前記第１間隙の深さ寸法よりも小さい金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項５】
請求項４に記載の雄金型であって、
前記パンチ列の端部に近い前記第３間隙の深さ寸法は、該端部から遠い前記第３間隙の深さ寸法よりも大きい金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項６】
請求項１に記載の雄金型であって、
前記第１鍛造加工パンチと前記第２鍛造加工パンチは、各々前記第１方向に直交する第２方向に長い形状とされている金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項７】
請求項１に記載の雄金型であって、
前記第１鍛造加工パンチの各幅寸法は、前記第２鍛造加工パンチの各幅寸法よりも小さい金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項８】
請求項３に記載の雄金型であって、
前記第１鍛造加工パンチの各幅寸法は、前記第２鍛造加工パンチの各幅寸法と同一である金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項９】
請求項１に記載の雄金型であって、
前記第２鍛造加工パンチは、前記第１鍛造加工パンチよりも加工される前記金属板の近くまで延設されている金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項１０】
請求項１に記載の雄金型であって、
各々が前記金属板に第３凹部を形成可能に構成されると共に、前記第１鍛造加工パンチの一つと前記第２鍛造加工パンチの一つとの間に配置された第３鍛造加工パンチを更に具備して成り、
前記第１鍛造加工パンチの各幅寸法と前記第３鍛造加工パンチの各幅寸法は同一であり、
該第３凹部は前記金属板のダミーの凹部の一部を構成する金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項１１】
請求項１に記載の雄金型であって、
前記所定のピッチは０．３ｍｍ以下である金属板に凹部を形成する雄金型。
【請求項１２】
液体噴射ヘッドであって、
凹部列を形成するように所定のピッチで配列された複数の第１凹部と、該凹部列の両端部に位置する該第１凹部に隣接するように配置された複数の第２凹部が形成された第１金属板部材と、
前記第１金属板部材と接合されると共に、各々が前記第１凹部の一つと連通して該第１凹部の一つに収容された液体に発生された圧力変動により液体を噴射するよう構成された複数のノズル開口が形成された第２金属板部材とを具備して成り、
前記第１凹部の各形状は、前記第２凹部の各形状と異なる液体噴射ヘッド。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液体噴射ヘッドであって、
複数の前記第２凹部が前記凹部列の各端部に設けられている液体噴射ヘッド。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液体噴射ヘッドであって、
隣接する前記第２凹部は部分的に連通している液体噴射ヘッド。
【請求項１５】
請求項１２に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第１凹部の各幅寸法は、前記第２凹部の各幅寸法よりも小さい液体噴射ヘッド。
【請求項１６】
請求項１４に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第１凹部の各幅寸法は、前記第２凹部の各幅寸法と同一である液体噴射ヘッド。
【請求項１７】
請求項１２に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第１凹部の各深さ寸法は、前記第２凹部の各深さ寸法よりも小さい液体噴射ヘッド。
【請求項１８】
請求項１２に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第１金属板部材には、各々が前記第１凹部の一つと前記第２凹部の一つとの間に配置された複数の第３凹部が形成され、
前記第１凹部の各幅寸法は、前記第２凹部の各幅寸法と同一であり、
前記第３凹部は前記ノズル開口から液体を噴射するようには構成されていない液体噴射ヘッド。
【請求項１９】
請求項１２に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記所定のピッチは０．３ｍｍ以下である液体噴射ヘッド。
【請求項２０】
液体噴射ヘッドの製法であって、
第１金属板部材を用意するステップと、
パンチ列を形成するように所定のピッチで配列された複数の第１鍛造加工パンチと、該パンチ列の両端部に位置する該第１鍛造加工パンチに隣接するように設けられた複数の第２鍛造加工パンチとを具備して成る雄金型を用意するステップと、
前記第１鍛造加工パンチにより複数の第１凹部を、前記第２鍛造加工パンチにより複数の第２凹部を、前記第１金属板部材に同時に形成するステップと、
複数のノズル開口が形成された第２金属板部材を用意するステップと、
前記ノズル開口の各々が前記第１凹部の一つと連通するように、前記第１金属板部材と前記第２金属板部材を接合するステップとを具備して成り、
前記第１凹部の各形状は、前記第２凹部の各形状と異なる液体噴射ヘッドの製法。
【請求項２１】
請求項１に記載の雄金型を具備して成る鍛造加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体噴射ヘッド等の部品製造で活用される鍛造加工パンチ，同パンチを用いて製造した液体噴射ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
鍛造加工は種々な製品分野で活用されているが、例えば、液体噴射ヘッドの圧力発生室を金属素材に鍛造で成形することが考えられる。上記液体噴射ヘッドは、加圧された液体をノズル開口から液滴として吐出させるものであり、種々な液体を対象にしたものが知られている。そのなかでも代表的なものとして、インクジェット式記録ヘッドをあげることができる。そこで、従来の技術を上記インクジェット式記録ヘッドを例にとって説明する。
【０００３】
インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドと称する。）は、共通インク室から溝状窪部の形状とされた圧力発生室を経てノズル開口に至る一連の流路を、ノズル開口に対応させて複数備えている。そして、小型化の要請から各圧力発生室は、記録密度に対応した細かいピッチで形成する必要がある。このため、隣り合う圧力発生室同士を区画する隔壁部の肉厚は極めて薄くなっている。また、圧力発生室と共通インク室とを連通するインク供給口は、圧力発生室内のインク圧力をインク滴の吐出に効率よく使用するため、その流路幅が圧力発生室よりもさらに絞られている。このような微細形状の圧力発生室及びインク供給口を寸法精度良く作製する観点から、従来の記録ヘッドでは、シリコン基板が好適に用いられている。すなわち、シリコンの異方性エッチングにより結晶面を露出させ、この結晶面で圧力発生室やインク供給口を区画形成している。
【０００４】
また、ノズル開口が形成されるノズルプレートは、加工性等の要請から金属板により作製されている。そして、圧力発生室の容積を変化させるためのダイヤフラム部は、弾性板に形成されている。この弾性板は、金属製の支持板上に樹脂フィルムを貼り合わせた二重構造であり、圧力発生室に対応する部分の支持板を除去することで作製されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−９９５５７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなシリコン基板においては、加工工程が複雑であること等により製造上の問題がある。そこで、従来の記録ヘッドの圧力発生室を、金属素材に鍛造加工を施して成形することが注目されるが、この場合には溝状の窪みの形状をした圧力発生室がその溝幅方向に多数列設されている関係上、列状となった圧力発生室の端部付近のものは、金属素材の流動変形が他の中間部付近の流動変形とは異なった現象を呈し、全圧力発生室を均一に成形することが難しいとされている。そこで、圧力発生室の列の端部の圧力発生室を本来の圧力発生室としての機能を果たさないダミー圧力発生室として活用することが試みられている。
【０００７】
このように金属素材に鍛造加工でダミー圧力発生室を成形するに当たっては、それに用いる鍛造加工パンチに種々な対策を講じておくことが必要である。
【０００８】
また、シリコンと金属との線膨張率の差が大きいため、シリコン基板、ノズルプレート及び弾性板の各部材を貼り合わせるにあたり、比較的低温の下で長時間をかけて接着する必要があった。このため、生産性の向上が図り難く、製造コストが嵩む一因となっていた。このため、塑性加工によって圧力発生室を金属製基板に形成する試みがなされているが、圧力発生室が極めて微細であること、及び、インク供給口の流路幅を圧力発生室よりも狭くする必要があること等から高精度の加工が困難であり、ヘッドの組立精度の向上も図り難いという問題点があった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、列設された窪部の端部にダミー窪部を成形するのに適した鍛造加工パンチの提供をその主たる目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の雄金型は、金属板に凹部を形成する雄金型であって、各々が金属板に第１凹部を形成可能に構成されると共に、第１の方向にパンチ列を形成するように所定のピッチで配列された複数の第１鍛造加工パンチと、各々が前記金属板にダミーの凹部である第２凹部を形成可能に構成されると共に、前記パンチ列の両端部に位置する前記第１鍛造加工パンチに隣接するように配置された複数の第２鍛造加工パンチとを具備して成ることを要旨とする。すなわち、列設された成形パンチの列の両端部に、上記列設状態の両端部の窪部をダミー窪部として成形する第２鍛造加工パンチが設けられている雄金型である。
【００１１】
上記雄金型による鍛造加工では、所定ピッチで列設された成形パンチにより、所定ピッチで列設された窪部を同時に成形する。このため、列設された窪部のうち、列の中央寄り部分においては、１つの窪部の両側に窪部が並んで形成されるよう塑性変形が生じ、列の端部では片側にしか並ばない状態に塑性変形が生じる。したがって、列の中央寄り部分と端部では変形挙動が異なることとなり、形成された窪部の形状特性も均一なものとはなりにくい。すなわち、上記雄金型が金属素材に押付けられると、各成形パンチ近辺の素材は窪部の列設方向に少しずつずれるようにして流動し、最終的にはこれらの各流動量が累積して、列設方向の両端部の窪部と中間部の窪部は異なった異常寸法や異常形状となり、その程度が微小であっても窪部の機能、例えば、液体噴射ヘッドの圧力発生室としての機能にばらつきが発生する。しかし、上記第２鍛造加工パンチによってダミー窪部が成形され、このダミー窪部は本来の窪部としての機能を果たさない状態におかれるため、異常寸法や異常形状はダミー窪部に集中した状態（集中機能）となり、ダミー窪部のとなりに成形された本来の窪部は健全な状態で確保される。
【００１２】
本発明の雄金型において、複数の前記第２鍛造加工パンチが前記パンチ列の各端部に設けられている場合には、ダミー窪部が複数成形されるので、異常寸法や異常形状は複数のダミー窪部により一層集中した状態（集中機能）となり、ダミー窪部のとなりに成形された本来の窪部は健全な状態で確保される。
【００１３】
本発明の雄金型において、隣接する前記第１鍛造加工パンチと前記第２鍛造加工パンチ間において画成される第１間隙の深さ寸法は、隣接する前記第１鍛造金型間において画成される第２間隙の深さ寸法よりも小さい場合には、窪部の列設方向に流動して累積された素材が、上記の浅く設定された空隙部内へ流動してそこを完全に満たしてしまうので、この箇所における窪部列設方向への素材流動が実質的に絞られた状態になり、素材流動性が著しく制約される。したがって、ダミー窪部のとなりの窪部は必要かつ十分な素材量で成形されることとなり、ダミー窪部のとなりの窪部は、中間部の窪部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー窪部において果たされる。
【００１４】
本発明の雄金型において、隣接する前記第２鍛造加工パンチ間において画成される第３間隙の深さ寸法は、前記第１間隙の深さ寸法よりも小さい場合、また、前記パンチ列の端部に近い前記第３間隙の深さ寸法は、該端部から遠い前記第３間隙の深さ寸法よりも大きい場合には、窪部の列設方向に流動して累積された素材が、上記の最も浅く設定された空隙部内へ流動してそこを完全に満たし、さらにその後はとなりのもう少し深い空隙部内へ流動してそこも完全に満たしてしまい、このようにして順次空隙部が満たされて行き、満たされた空隙部が複数化される。したがって、このように複数の満たされた空隙部の箇所における窪部列設方向への素材流動が確実に絞られた状態になり、素材流動性が大幅に制約される。よって、ダミー窪部のとなりの窪部は必要かつ十分な素材量で成形されることとなり、ダミー窪部のとなりの窪部は、中間部の窪部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー窪部において果たされる。
【００１５】
本発明の雄金型において、各々前記第１方向に直交する第２方向に長い形状とされている場合には、列設方向の両端部にある溝状窪部は、その窪み形状が細長くてしかも溝状窪部間の隔壁部が薄くされている関係上、上述の素材流動の累積等によって形状や寸法が中間部のものと異なりやすいのであるが、上述のようなダミー窪部の機能が果たされて、両端部の溝状窪部も正常な形状寸法となる。
【００１６】
本発明の雄金型において、上記ダミー窪部がダミー溝状窪部であり、このダミー溝状窪部を成形する上記ダミー成形パンチを備えている場合には、上述のダミー窪部と同様な機能がダミー溝状窪部によって果たされ、ダミー溝状窪部以外の溝状窪部は列設方向全域に渡ってほぼ均一な形状や寸法に成形される。
【００１７】
本発明の雄金型において、前記第１鍛造加工パンチの各幅寸法は、前記第２鍛造加工パンチの各幅寸法よりも小さい場合には、金属素材が広幅の第２鍛造加工パンチによって加圧されるので、この加圧された箇所において溝状窪部の列設方向への素材流動が抑制される。よって、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は必要かつ十分な素材量で成形されることとなり、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、中間部の溝状窪部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー溝状窪部において果たされる。
【００１８】
本発明の雄金型において、前記第１鍛造加工パンチの各幅寸法は、前記第２鍛造加工パンチの各幅寸法と同一である場合には、ダミー窪部成形用の第２鍛造加工パンチの幅と第１鍛造加工パンチ溝状窪部成形用の成形パンチとの幅を同じ寸法にすることができるので、鍛造加工パンチの製作が簡素化され、設備価格の低減にとって有利である。
【００１９】
本発明の鍛造加工パンチにおいて、前記第２鍛造加工パンチは、前記第１鍛造加工パンチよりも加工される前記金属板の近くまで延設されている場合には、突出している第２鍛造加工パンチによって加圧される金属素材の量が非常に多くなるので、この加圧された箇所における金属素材の流動が著しく制約されることとなる。とくに、上記の流動制約は第２鍛造加工パンチの突出により、溝状窪部の成形初期の段階で実行される。よって、初期段階で金属素材の流動が制約されているので、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、中間部の溝状窪部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー溝状窪部において果たされる。
【００２０】
本発明の雄金型において、各々が前記金属板に第３凹部を形成可能に構成されると共に、前記第１鍛造加工パンチの一つと前記第２鍛造加工パンチの一つとの間に配置された第３鍛造加工パンチを更に具備して成り、
前記第１鍛造加工パンチの各幅寸法と前記第３鍛造加工パンチの各幅寸法は同一であり、
該第３凹部は前記金属板のダミーの凹部の一部を構成する場合には、広幅の第２鍛造加工パンチと本来の機能を果たす溝状窪部を成形する第１鍛造加工パンチとのあいだに、当該成形パンチと同じ幅の第３鍛造鍛造パンチが配置されているので、広幅のダミー溝状窪部と本来の機能を果たす溝状窪部とにあいだに、当該溝状窪部と同じ幅のダミー溝状窪部が配置される。したがって、上述のような広幅のダミー溝状窪部の機能が不十分であっても、さらにそのとなりにもう１重にダミー溝状窪部が配置されているので、本来の機能を果たす溝状窪部は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、中間部の溝状窪部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。また、広幅のダミー溝状窪部のとなりのダミー溝状窪部の幅は、本来の機能を果たす溝状窪部の幅と同じであるから、この同じ幅とされたダミー溝状窪部が不完全な形状や寸法であっても、そのとなりの本来の機能を果たす溝状窪部にまで上記不完全状態が及ばないので、正常な溝状窪部の成形にとって有効である。同時に、上記の「集中機能」が２つのダミー溝状窪部において果たされる。
【００２１】
本発明の雄金型において、上記第１鍛造加工パンチのピッチが０．３ｍｍ以下である場合には、この鍛造加工パンチで精密な微細部品、例えば、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室を加工するようなときに、きわめて精巧な鍛造加工が可能となる。
【００２２】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、凹部列を形成するように所定のピッチで配列された複数の第１凹部と、該凹部列の両端部に位置する該第１凹部に隣接するように配置された複数の第２凹部が形成された第１金属板部材と、前記第１金属板部材と接合されると共に、各々が前記第１凹部の一つと連通して該第１凹部の一つに収容された液体に発生された圧力変動により液体を噴射するよう構成された複数のノズル開口が形成された第２金属板部材とを具備して成り、前記第１凹部の各形状は、前記第２凹部の各形状と異なることを要旨とする。
【００２３】
さらに、前記第１凹部の各深さ寸法が、前記第２凹部の各深さ寸法より小さい場合には、
ダミー凹部となる前記第２凹部の深さが第１凹部の深さよりも深くなっているので、第２凹部が成形されるときには、第１凹部を成形するときよりもダミーを成形するパンチによる金属素材の加圧量が大幅に増大する。それによって金属素材の流動が抑制されて、そのとなりで成形される第１凹部は、その成形にとって必要な金属素材が潤沢に確保されるので、列設端部の第１凹部であっても中間部の第１凹部と変わらない形状や寸法が確保できる。とくに、上記の流動制約はダミーを成形するパンチの突出により、溝状窪部の成形初期の段階で実行される。よって、初期段階で金属素材の流動が制約されているので、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、中間部の溝状窪部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー溝状窪部において果たされる。このようにしてえられた精度の高い第１凹部を有する第１金属板部材が液体噴射ヘッドに組込まれ、液体噴射特性等の安定した液体噴射ヘッドがえられる。
【００２４】
また、第１金属板部材を、例えば、ニッケルを素材として製作すれば、流路ユニットを構成する第１金属板部材，弾性板及び第２金属板部材の線膨張係数が略揃うので、これらの各部材を加熱接着した際において、各部材は均等に膨張する。このため、膨張率の相違に起因する反り等の機械的ストレスが発生し難い。その結果、接着温度を高温に設定しても各部材を支障なく接着することができる。また、記録ヘッドの作動時に圧電振動子が発熱し、この熱によって流路ユニットが加熱されたとしても、流路ユニットを構成する各部材が均等に膨張する。
このため、記録ヘッドの作動に伴う加熱と作動停止に伴う冷却とが繰り返し行われても、流路ユニットを構成する各部材に剥離等の不具合は生じにくくなる。
【００２５】
上述の利点以外にも各請求項の内容に応じた良好な液体噴射ヘッドがえられる。
【００２６】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、第１金属板部材を用意するステップと、パンチ列を形成するように所定のピッチで配列された複数の第１鍛造加工パンチと、該パンチ列の両端部に位置する該第１鍛造加工パンチに隣接するように設けられた複数の第２鍛造加工パンチとを具備して成る雄金型を用意するステップと、前記第１鍛造加工パンチにより複数の第１凹部を、前記第２鍛造加工パンチにより複数の第２凹部を、前記第１金属板部材に同時に形成するステップと、複数のノズル開口が形成された第２金属板部材を用意するステップと、前記ノズル開口の各々が前記第１凹部の一つと連通するように、前記第１金属板部材と前記第２金属板部材を接合するステップとを具備して成り、前記第１凹部の各形状は、前記第２凹部の各形状と異なることを要旨とする。
【００２７】
このため、列設方向の両端部にある第２凹部は、その窪み形状が特に細長くてしかも溝状窪部間の隔壁部が薄くされている場合、列設中間部の凹部成形における素材流動の累積等によって、形状や寸法が中間部のものと異なりやすいのであるが、上述のような第２凹部の機能が果たされて、両端部の第１凹部も正常な形状寸法となる。あるいは、第２凹部の幅を第１凹部の幅よりも広く設定しておくことにより、第１凹部の形状や寸法を正確に製作できる。
【００２８】
さらに、第１凹部の第１鍛造加工パンチの先端部分よりも第２鍛造加工パンチの先端部分の方が突出している場合には、第２鍛造加工パンチによって加圧される金属素材の量が非常に多くなるので、この加圧された箇所における金属素材の流動が著しく制約されることとなる。とくに、上記の流動制約は第２鍛造加工パンチの突出により、溝状窪部の成形初期の段階で実行される。よって、初期段階で金属素材の流動が制約されているので、第２凹部のとなりの第１凹部は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、第２凹部のとなりの第１凹部は、中間部の第１凹部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。
【００２９】
上述の利点以外にも各請求項の内容に応じた良好な製造方法がえられる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３１】
本発明の鍛造加工パンチ，同パンチを用いて製造された液体噴射ヘッドおよびその製造方法は、液体噴射ヘッドの部品の製造に好適に活用することができるので、図示の実施の形態においては液体噴射ヘッドの代表的な事例として、インクジェット式記録ヘッドの部品製造に適用した例を示している。
【００３２】
図１及び図２に示すように、記録ヘッド１は、ケース２と、このケース２内に収納される振動子ユニット３と、ケース２の先端面に接合される流路ユニット４と、先端面とは反対側のケース２の取付面上に配置される接続基板５と、ケース２の取付面側に取り付けられる供給針ユニット６等から概略構成されている。
【００３３】
上記の振動子ユニット３は、図３に示すように、圧電振動子群７と、この圧電振動子群７が接合される固定板８と、圧電振動子群７に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル９とから概略構成される。
【００３４】
圧電振動子群７は、列状に形成された複数の圧電振動子１０…を備える。各圧電振動子１０…は、圧力発生素子の一種であり、電気機械変換素子の一種でもある。これらの各圧電振動子１０…は、列の両端に位置する一対のダミー振動子１０ａ，１０ａと、これらのダミー振動子１０ａ，１０ａの間に配置された複数の駆動振動子１０ｂ…とから構成されている。そして、各駆動振動子１０ｂ…は、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられ、１８０本設けられる。また、ダミー振動子１０ａは、駆動振動子１０ｂよりも十分広い幅であり、駆動振動子１０ｂを衝撃等から保護する保護機能と、振動子ユニット３を所定位置に位置付けるためのガイド機能とを有する。
【００３５】
各圧電振動子１０…は、固定端部を固定板８上に接合することにより、自由端部を固定板８の先端面よりも外側に突出させている。すなわち、各圧電振動子１０…は、いわゆる片持ち梁の状態で固定板８上に支持されている。そして、各圧電振動子１０…の自由端部は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成されており、対向する電極間に電位差を与えることで素子長手方向に伸縮する。
【００３６】
フレキシブルケーブル９は、固定板８とは反対側となる固定端部の側面で圧電振動子１０と電気的に接続されている。そして、このフレキシブルケーブル９の表面には、圧電振動子１０の駆動等を制御するための制御用ＩＣ１１が実装されている。また、各圧電振動子１０…を支持する固定板８は、圧電振動子１０からの反力を受け止め得る剛性を備えた板状部材であり、ステンレス板等の金属板が好適に用いられる。
【００３７】
上記のケース２は、例えば、エポキシ系樹脂等の熱硬化性樹脂で成型されたブロック状部材である。ここで、ケース２を熱硬化性樹脂で成型しているのは、この熱硬化性樹脂は、一般的な樹脂よりも高い機械的強度を有しており、線膨張係数が一般的な樹脂よりも小さく、周囲の温度変化による変形が小さいからである。そして、このケース２の内部には、振動子ユニット３を収納可能な収納空部１２と、インクの流路の一部を構成するインク供給路１３とが形成されている。また、ケース２の先端面には、共通インク室（リザーバ）１４となる先端凹部１５が形成されている。
【００３８】
収納空部１２は、振動子ユニット３を収納可能な大きさの空部である。この収納空部１２の先端側部分はケース内壁が側方に向けて部分的に突出しており、この突出部分の上面が固定板当接面として機能する。そして、振動子ユニット３は、各圧電振動子１０の先端が開口から臨む状態で収納空部１２内に収納される。この収納状態において、固定板８の先端面は固定板当接面に当接した状態で接着されている。
【００３９】
先端凹部１５は、ケース２の先端面を部分的に窪ませることにより作製されている。本実施形態の先端凹部１５は、収納空部１２よりも左右外側に形成された略台形状の凹部であり、収納空部１２側に台形の下底が位置するように形成されている。
【００４０】
インク供給路１３は、ケース２の高さ方向を貫通するように形成され、先端が先端凹部１５に連通している。また、インク供給路１３における取付面側の端部は、取付面から突設した接続口１６内に形成されている。
【００４１】
上記の接続基板５は、記録ヘッド１に供給する各種信号用の電気配線が形成されると共に、信号ケーブルを接続可能なコネクタ１７が取り付けられた配線基板である。そして、この接続基板５は、ケース２における取付面上に配置され、フレキシブルケーブル９の電気配線が半田付け等によって接続される。また、コネクタ１７には、制御装置（図示せず）からの信号ケーブルの先端が挿入される。
【００４２】
上記の供給針ユニット６は、インクカートリッジ（図示せず）が接続される部分であり、針ホルダ１８と、インク供給針１９と、フィルタ２０とから概略構成される。
【００４３】
インク供給針１９は、インクカートリッジ内に挿入される部分であり、インクカートリッジ内に貯留されたインクを導入する。このインク供給針１９の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針１９の内外を連通するインク導入孔が複数穿設されている。そして、本実施形態の記録ヘッド１は２種類のインクを吐出可能であるため、このインク供給針１９を２本備えている。
【００４４】
針ホルダ１８は、インク供給針１９を取り付けるための部材であり、その表面にはインク供給針１９の根本部分を止着するための台座２１を２本分横並びに形成している。この台座２１は、インク供給針１９の底面形状に合わせた円形状に作製されている。また、台座底面の略中心には、針ホルダ１８の板厚方向を貫通するインク排出口２２を形成している。また、この針ホルダ１８には、フランジ部を側方に延出している。
【００４５】
フィルタ２０は、埃や成型時のバリ等のインク内の異物の通過を阻止する部材であり、例えば、目の細かな金属網によって構成される。このフィルタ２０は、台座２１内に形成されたフィルタ保持溝に接着されている。
【００４６】
そして、この供給針ユニット６は、図２に示すように、ケース２の取付面上に配設される。この配設状態において、供給針ユニット６のインク排出口２２とケース２の接続口１６とは、パッキン２３を介して液密状態で連通する。
【００４７】
次に、上記の流路ユニット４について説明する。この流路ユニット４は、圧力発生室形成板３０の一方の面にノズルプレート３１を、圧力発生室形成板３０の他方の面に弾性板３２を接合した構成である。
【００４８】
圧力発生室形成板３０は、図４に示すように、溝状窪部３３と、連通口３４と、逃げ凹部３５とを形成した金属製の板状部材である。本実施形態では、この圧力発生室形成板３０を、厚さ０．３５ｍｍのニッケル製の基板を加工することで作製している。
【００４９】
ここで、基板としてニッケルを選定した理由について説明する。第１の理由は、このニッケルの線膨張係数が、ノズルプレート３１や弾性板３２の主要部を構成する金属（本実施形態では後述するようにステンレス）の線膨張係数と略等しいからである。すなわち、流路ユニット４を構成する圧力発生室形成板３０、弾性板３２及びノズルプレート３１の線膨張係数が揃うと、これらの各部材を加熱接着した際において、各部材は均等に膨張する。このため、膨張率の相違に起因する反り等の機械的ストレスが発生し難い。その結果、接着温度を高温に設定しても各部材を支障なく接着することができる。また、記録ヘッド１の作動時に圧電振動子１０が発熱し、この熱によって流路ユニット４が加熱されたとしても、流路ユニット４を構成する各部材３０，３１，３２が均等に膨張する。このため、記録ヘッド１の作動に伴う加熱と作動停止に伴う冷却とが繰り返し行われても、流路ユニット４を構成する各部材３０，３１，３２に剥離等の不具合は生じ難い。
【００５０】
第２の理由は、防錆性に優れているからである。すなわち、この種の記録ヘッド１では水性インクが好適に用いられているので、長期間に亘って水が接触しても錆び等の変質が生じないことが肝要である。その点、ニッケルは、ステンレスと同様に防錆性に優れており、錆び等の変質が生じ難い。
【００５１】
第３の理由は、展性に富んでいるからである。すなわち、圧力発生室形成板３０を作製するにあたり、本実施形態では後述するように塑性加工（例えば、鍛造加工）で行っている。そして、圧力発生室形成板３０に形成される溝状窪部３３や連通口３４は、極めて微細な形状であり、且つ、高い寸法精度が要求される。そして、基板にニッケルを用いると、展性に富んでいることから塑性加工であっても溝状窪部３３や連通口３４を高い寸法精度で形成することができる。
【００５２】
なお、圧力発生室形成板３０に関し、上記した各要件、すなわち、線膨張係数の要件、防錆性の要件、及び、展性の要件を満たすならば、ニッケル以外の金属で構成してもよい。
【００５３】
溝状窪部３３は、圧力発生室２９となる溝状の窪部であり、図５に拡大して示すように、直線状の溝によって構成されている。本実施形態では、幅約０．１ｍｍ，長さ約１．５ｍｍ，深さ約０．１ｍｍの溝を溝幅方向に１８０個列設している。この溝状窪部３３の底面は、深さ方向（すなわち、奥側）に進むに連れて縮幅されてＶ字状に窪んでいる。底面をＶ字状に窪ませたのは、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁部２８の剛性を高めるためである。すなわち、底面をＶ字状に窪ませることにより、隔壁部２８の根本部分（底面側の部分）の肉厚が厚くなって隔壁部２８の剛性が高まる。そして、隔壁部２８の剛性が高くなると、隣の圧力発生室２９からの圧力変動の影響を受け難くなる。すなわち、隣の圧力発生室２９からのインク圧力の変動が伝わり難くなる。また、底面をＶ字状に窪ませることにより、溝状窪部３３を塑性加工によって寸法精度よく形成することもできる（後述する）。そして、このＶ字の角度は、加工条件によって規定されるが、例えば９０度前後である。さらに、隔壁部２８における先端部分の肉厚が極く薄いことから、各圧力発生室２９…を密に形成しても必要な容積を確保することができる。
【００５４】
また、本実施形態における溝状窪部３３に関し、その長手方向両端部は、奥側に進むにつれて内側に下り傾斜している。すなわち、溝状窪部３３の長手方向両端部は、面取形状に形成されている。このように構成したのも、溝状窪部３３を塑性加工によって寸法精度よく形成するためである。
【００５５】
さらに、両端部の溝状窪部３３，３３に隣接させてこの溝状窪部３３よりも幅広なダミー窪部３６を１つずつ形成している。このダミー窪部３６は、インク滴の吐出に関与しないダミー圧力発生室となる溝状の窪部である。本実施形態のダミー窪部３６は、幅約０．２ｍｍ，長さ約１．５ｍｍ，深さ約０．１ｍｍの溝によって構成されている。そして、このダミー窪部３６の底面は、Ｗ字状に窪んでいる。これも、隔壁部２８の剛性を高めるため、及び、ダミー窪部３６を塑性加工によって寸法精度よく形成するためである。
【００５６】
そして、各溝状窪部３３…及び一対のダミー窪部３６，３６によって窪部列が構成される。本実施形態では、この窪部列を横並びに２列形成している。
【００５７】
連通口３４は、溝状窪部３３の一端から板厚方向を貫通する貫通孔として形成している。この連通口３４は、溝状窪部３３毎に形成されており、１つの窪部列に１８０個形成されている。本実施形態の連通口３４は、開口形状が矩形状であり、圧力発生室形成板３０における溝状窪部３３側から板厚方向の途中まで形成した第１連通口３７と、溝状窪部３３とは反対側の表面から板厚方向の途中まで形成した第２連通口３８とから構成されている。
【００５８】
そして、第１連通口３７と第２連通口３８とは断面積が異なっており、第２連通口３８の内寸法が第１連通口３７の内寸法よりも僅かに小さく設定されている。これは、連通口３４をプレス加工によって作製していることに起因する。すなわち、この圧力発生室形成板３０は、厚さ０．３５ｍｍのニッケル板を加工することで作製しているため、連通口３４の長さは、溝状窪部３３の深さを差し引いても０．２５ｍｍ以上となる。そして、連通口３４の幅は、溝状窪部３３の溝幅よりも狭くする必要があるので、０．１ｍｍ未満に設定される。このため、連通口３４を１回の加工で打ち抜こうとすると、アスペクト比の関係で雄型（ポンチ）が座屈するなどしてしまう。そこで、本実施形態では、加工を２回に分け、１回目の加工では第１連通口３７を板厚方向の途中まで形成し、２回目の加工で第２連通口３８を形成している。なお、この連通口３４の加工手順については、後で説明する。
【００５９】
また、ダミー窪部３６にはダミー連通口３９が形成されている。このダミー連通口３９は、上記の連通口３４と同様に、第１ダミー連通口４０と第２ダミー連通口４１とから構成されており、第２ダミー連通口４１の内寸法が第１ダミー連通口４０の内寸法よりも小さく設定されている。
【００６０】
なお、本実施形態では、上記の連通口３４及びダミー連通口３９に関し、開口形状が矩形状の貫通孔によって構成されたものを例示したが、この形状に限定されるものではない。例えば、円形に開口した貫通孔によって構成してもよい。
【００６１】
逃げ凹部３５は、共通インク室１４におけるコンプライアンス部の作動用空間を形成する。本実施形態では、ケース２の先端凹部１５と略同じ形状であって、深さが溝状窪部３３と等しい台形状の凹部によって構成している。
【００６２】
次に、上記の弾性板３２について説明する。この弾性板３２は、封止板の一種であり、例えば、支持板４２上に弾性体膜４３を積層した二重構造の複合材（本発明の金属材の一種）によって作製される。本実施形態では、支持板４２としてステンレス板を用い、弾性体膜４３としてＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）を用いている。
【００６３】
図６に示すように、弾性板３２には、ダイヤフラム部４４と、インク供給口４５と、コンプライアンス部４６とを形成している。
【００６４】
ダイヤフラム部４４は、圧力発生室２９の一部を区画する部分である。すなわち、ダイヤフラム部４４は溝状窪部３３の開口面を封止し、この溝状窪部３３と共に圧力発生室２９を区画形成する。このダイヤフラム部４４は、図７（ａ）に示すように、溝状窪部３３に対応した細長い形状であり、溝状窪部３３を封止する封止領域に対し、各溝状窪部３３…毎に形成されている。具体的には、ダイヤフラム部４４の幅は溝状窪部３３の溝幅と略等しく設定され、ダイヤフラム部４４の長さは溝状窪部３３の長さよりも多少短く設定されている。長さに関し、本実施形態では、溝状窪部３３の長さの約２／３に設定されている。そして、形成位置に関し、図２に示すように、ダイヤフラム部４４の一端を、溝状窪部３３の一端（連通口３４側の端部）に揃えている。
【００６５】
このダイヤフラム部４４は、図７（ｂ）に示すように、溝状窪部３３に対応する部分の支持板４２をエッチング等によって環状に除去して弾性体膜４３のみとすることで作製され、この環内には島部４７を形成している。この島部４７は、圧電振動子１０の先端面が接合される部分である。
【００６６】
インク供給口４５は、圧力発生室２９と共通インク室１４とを連通するための孔であり、弾性板３２の板厚方向を貫通している。このインク供給口４５も、ダイヤフラム部４４と同様に、溝状窪部３３に対応する位置に各溝状窪部３３…毎に形成されている。このインク供給口４５は、図２に示すように、連通口３４とは反対側の溝状窪部３３の他端に対応する位置に穿設されている。また、このインク供給口４５の直径は、溝状窪部３３の溝幅よりも十分に小さく設定されている。本実施形態では、２３ミクロンの微細な貫通孔によって構成している。
【００６７】
このようにインク供給口４５を微細な貫通孔にした理由は、圧力発生室２９と共通インク室１４との間に流路抵抗を付与するためである。すなわち、この記録ヘッド１では、圧力発生室２９内のインクに付与した圧力変動を利用してインク滴を吐出させている。このため、インク滴を効率よく吐出させるためには、圧力発生室２９内のインク圧力をできるだけ共通インク室１４側に逃がさないようにすることが肝要である。この観点から本実施形態では、インク供給口４５を微細な貫通孔によって構成している。
【００６８】
そして、本実施形態のように、インク供給口４５を貫通孔によって構成すると、加工が容易であり、高い寸法精度が得られるという利点がある。すなわち、このインク供給口４５は貫通孔であるため、レーザー加工による作製が可能である。従って、微細な直径であっても高い寸法精度で作製でき、作業も容易である。
【００６９】
コンプライアンス部４６は、共通インク室１４の一部を区画する部分である。すなわち、コンプライアンス部４６と先端凹部１５とで共通インク室１４を区画形成する。このコンプライアンス部４６は、先端凹部１５の開口形状と略同じ台形状であり、支持板４２の部分をエッチング等によって除去し、弾性体膜４３だけにすることで作製される。
【００７０】
なお、弾性板３２を構成する支持板４２及び弾性体膜４３は、この例に限定されるものではない。例えば、弾性体膜４３としてポリイミドを用いてもよい。また、この弾性板３２を、ダイヤフラム部４４になる厚肉部及び該厚肉部周辺の薄肉部と、コンプライアンス部４６になる薄肉部とを設けた金属板で構成してもよい。
【００７１】
次に、上記のノズルプレート３１について説明する。ノズルプレート３１は、ノズル開口４８を列設した金属製の板状部材である。本実施形態ではステンレス板を用い、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口４８…を開設している。本実施形態では、合計１８０個のノズル開口４８…を列設してノズル列を構成し、このノズル列を２列横並びに形成している。そして、このノズルプレート３１を圧力発生室形成板３０の他方の表面、すなわち、弾性板３２とは反対側の表面に接合すると、対応する連通口３４に各ノズル開口４８…が臨む。
そして、上記の弾性板３２を、圧力発生室形成板３０の一方の表面、すなわち、溝状窪部３３の形成面に接合すると、ダイヤフラム部４４が溝状窪部３３の開口面を封止して圧力発生室２９が区画形成される。同様に、ダミー窪部３６の開口面も封止されてダミー圧力発生室が区画形成される。また、上記のノズルプレート３１を圧力発生室形成板３０の他方の表面に接合するとノズル開口４８が対応する連通口３４に臨む。この状態で島部４７に接合した圧電振動子１０を伸縮すると、島部４７周辺の弾性体膜４３が変形し、島部４７が溝状窪部３３側に押されたり、溝状窪部３３側から離隔する方向に引かれたりする。この弾性体膜４３の変形により、圧力発生室２９が膨張したり収縮したりして圧力発生室２９内のインクに圧力変動が付与される。
【００７２】
さらに、弾性板３２（すなわち、流路ユニット４）をケース２に接合すると、コンプライアンス部４６が先端凹部１５を封止する。このコンプライアンス部４６は、共通インク室１４に貯留されたインクの圧力変動を吸収する。すなわち、貯留されたインクの圧力に応じて弾性体膜４３が膨張したり収縮したりして変形する。そして、上記の逃げ凹部３５は、弾性体膜４３の膨張時において、弾性体膜４３が膨らむための空間を形成する。
【００７３】
上記構成の記録ヘッド１は、インク供給針１９から共通インク室１４までの共通インク流路と、共通インク室１４から圧力発生室２９を通って各ノズル開口４８…に至る個別インク流路とを有する。そして、インクカートリッジに貯留されたインクは、インク供給針１９から導入されて共通インク流路を通って共通インク室１４に貯留される。この共通インク室１４に貯留されたインクは、個別インク流路を通じてノズル開口４８から吐出される。
【００７４】
例えば、圧電振動子１０を収縮させると、ダイヤフラム部４４が振動子ユニット３側に引っ張られて圧力発生室２９が膨張する。この膨張により圧力発生室２９内が負圧化されるので、共通インク室１４内のインクがインク供給口４５を通って各圧力発生室２９に流入する。その後、圧電振動子１０を伸張させると、ダイヤフラム部４４が圧力発生室形成板３０側に押されて圧力発生室２９が収縮する。この収縮により、圧力発生室２９内のインク圧力が上昇し、対応するノズル開口４８からインク滴が吐出される。
【００７５】
そして、この記録ヘッド１では、圧力発生室２９（溝状窪部３３）の底面がＶ字状に窪んでいる。このため、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁部２８は、その根本部分の肉厚が先端部分の肉厚よりも厚く形成される。これにより、隔壁部２８の剛性を従来よりも高めることができる。従って、インク滴の吐出時において、圧力発生室２９内にインク圧力の変動が生じたとしても、その圧力変動を隣の圧力発生室２９に伝わり難くすることができる。その結果、所謂隣接クロストークを防止でき、インク滴の吐出を安定化できる。
【００７６】
また、本実施形態では、共通インク室１４と圧力発生室２９とを連通するインク供給口４５を、弾性板３２の板厚方向を貫通する微細孔によって構成したので、レーザー加工等によって高い寸法精度が容易に得られる。これにより、各圧力発生室２９…へのインクの流入特性（流入速度や流入量等）を高いレベルで揃えることができる。さらに、レーザー光線によって加工を行った場合には、加工も容易である。
【００７７】
また、本実施形態では、列端部の圧力発生室２９，２９に隣接させてインク滴の吐出に関与しないダミー圧力発生室（すなわち、ダミー窪部３６と弾性板３２とによって区画される空部）を設けたので、これらの両端の圧力発生室２９，２９に関し、片側には隣りの圧力発生室２９が形成され、反対側にはダミー圧力発生室が形成されることになる。これにより、列端部の圧力発生室２９，２９に関し、その圧力発生室２９を区画する隔壁の剛性を、列途中の他の圧力発生室２９…における隔壁の剛性に揃えることができる。その結果、一列全ての圧力発生室２９のインク滴吐出特性を揃えることができる。
【００７８】
さらに、このダミー圧力発生室に関し、列設方向側の幅を各圧力発生室２９…の幅よりも広くしている。換言すれば、ダミー窪部３６の幅を溝状窪部３３の幅よりも広くしている。これにより、列端部の圧力発生室２９と列途中の圧力発生室２９の吐出特性をより高い精度で揃えることができる。
【００７９】
さらに、本実施形態では、ケース２の先端面を部分的に窪ませて先端凹部１５を形成し、この先端凹部１５と弾性板３２とにより共通インク室１４を区画形成しているので、共通インク室１４を形成するための専用部材が不要であり、構成の簡素化が図れる。また、このケース２は樹脂成型によって作製されているので、先端凹部１５の作製も比較的容易である。
【００８０】
次に、上記記録ヘッド１の製造方法について説明する。なお、この製造方法では、上記の圧力発生室形成板３０の製造工程に特徴を有しているので、圧力発生室形成板３０の製造工程を中心に説明することにする。なお、この圧力発生室形成板３０は、順送り型による鍛造加工によって作製される。また、圧力発生室形成板３０の素材として使用する帯板は、上記したようにニッケル製である。
【００８１】
圧力発生室形成板３０の製造工程は、溝状窪部３３を形成する溝状窪部形成工程と、連通口３４を形成する連通口形成工程とからなり、順送り型によって行われる。
【００８２】
溝状窪部形成工程では、図８に示す雄型５１と図９に示す雌型５２とを用いる。この雄型５１は、溝状窪部３３を形成するための金型である。この雄型には、溝状窪部３３を形成するための突条部５３を、溝状窪部３３と同じ数だけ列設してある。また、列設方向両端部の突条部５３に隣接させてダミー窪部３６を形成するためのダミー突条部（図示せず）も設ける。突条部５３の先端部分５３ａは先細りした山形とされており、例えば図８（ｂ）に示すように、幅方向の中心から４５度程度の角度で面取りされている。すなわち、突条部５３の先端に形成した山形の斜面により楔状の先端部分５３ａが形成されている。これにより、長手方向から見てＶ字状に尖っている。また、先端部分５３ａにおける長手方向の両端は、図８（ａ）に示すように、４５度程度の角度で面取りしてある。このため、突条部５３の先端部分５３ａは、三角柱の両端を面取りした形状となっている。
【００８３】
また、雌型５２には、その上面に筋状突起５４が複数形成されている。この筋状突起５４は、隣り合う圧力発生室２９，２９同士を区画する隔壁の形成を補助するものであり、溝状窪部３３，３３同士の間に位置する。この筋状突起５４は四角柱状であり、その幅は、隣り合う圧力発生室２９，２９同士の間隔（隔壁の厚み）よりも若干狭く設定されており、高さは幅と同程度である。また、筋状突起５４の長さは溝状窪部３３（突条部５３）の長さと同程度に設定されている。
【００８４】
そして、溝状窪部形成工程では、まず、図１０（ａ）に示すように、雌型５２の上面に素材であるとともに圧力発生室形成板である帯板５５を載置し、帯板５５の上方に雄型５１を配置する。次に、図１０（ｂ）に示すように、雄型５１を下降させて突条部５３の先端部を帯板５５内に押し込む。このとき、突条部５３の先端部分５３ａをＶ字状に尖らせているので、突条部５３を座屈させることなく先端部分５３ａを帯板５５内に確実に押し込むことができる。この突条部５３の押し込みは、図１０（ｃ）に示すように、帯板５５の板厚方向の途中まで行う。
【００８５】
突条部５３の押し込みにより、帯板５５の一部分が流動し、溝状窪部３３が形成される。ここで、突条部５３の先端部分５３ａがＶ字状に尖っているので、微細な形状の溝状窪部３３であっても、高い寸法精度で作製することができる。すなわち、先端部分５３ａで押された部分が円滑に流れるので、形成される溝状窪部３３は突条部５３の形状に倣った形状に形成される。このときに、先端部分５３ａで押し分けられるようにして流動した素材は、突条部５３のあいだに設けられた空隙部５３ｂ内に流入し隔壁部２８が成形される。さらに、先端部分５３ａにおける長手方向の両端も面取りしてあるので、当該部分で押圧された帯板５５も円滑に流れる。従って、溝状窪部３３の長手方向両端部についても高い寸法精度で作製できる。
【００８６】
また、突条部５３の押し込みを板厚方向の途中で止めているので、貫通孔として形成する場合よりも厚い帯板５５を用いることができる。これにより、圧力発生室形成板３０の剛性を高めることができ、インク滴の吐出特性の向上が図れる。また、圧力発生室形成板３０の取り扱いも容易になる。
【００８７】
また、突条部５３で押圧されたことにより、帯板５５の一部は隣り合う突条部５３，５３の空間内に隆起する。ここで、雌型５２に設けた筋状突起５４は、突条部５３，５３同士の間に対応する位置に配置されているので、この空間内への帯板５５の流れを補助する。これにより、突条部５３間の空間に対して効率よく帯板５５を導入することができ、隆起部を高く形成できる。
【００８８】
上記ダミー窪部３６と弾性板３２とによって区画されるダミー圧力発生室の機能は、前述のように列両端部の圧力発生室２９，２９に関し、片側には隣りの圧力発生室２９が形成され、反対側にはダミー圧力発生室が形成されることになる。これにより、列両端部の圧力発生室２９，２９に関し、その圧力発生室２９を区画する隔壁の剛性を、列途中の他の圧力発生室２９…における隔壁の剛性に揃えることができる。その結果、一列全ての圧力発生室２９のインク滴吐出特性を揃えることができる。
【００８９】
以下、上記ダミー圧力発生室の成形に適した鍛造加工パンチの事例を詳しく説明する。
【００９０】
図１１〜図１４は上記鍛造加工パンチ，同パンチを用いた液体噴射ヘッドおよびその製造方法の実施の形態を示す。なお、すでに説明された部位と同じ機能を果たす部位については、同一の符号を図中に記載してある。
【００９１】
なお、前述の雄型５１および雌型５２により帯板（素材）５５に塑性加工を行うときには、常温の温度条件下であり、また、以下に説明する塑性加工においても同様に常温の温度条件で塑性加工を行っている。また、以下の説明において使用されているダミー圧力発生室，ダミー溝状窪部，ダミー窪部は同義語であり、さらに、圧力発生室と溝状窪部も同義語であり、成形パンチと突条部も同義語である。
【００９２】
雄型５１に多数の成形パンチ５１ａが配列されている。溝状窪部３３すなわち圧力発生室２９を成形するために、この成形パンチ５１ａを細長く変形して、突条部５３とされている。また、隔壁部２８を成形するために、上記成形パンチ５１ａのあいだに空隙部５３ｂ（図８，図１０参照）が設けられている。上記雄型５１が素材である圧力発生室形成板３０に押込まれた状態が、図１１に示してある。
【００９３】
なお、以下に説明するダミー圧力発生室，ダミー溝状窪部，ダミー窪部あるいはそれを成形するダミー成形パンチは、雄型５１すなわち鍛造加工パンチの両端部に配置されているが、各図においては片側だけを図示してある。
【００９４】
図１１に示す第１の実施の形態においては、突条部５３すなわち成形パンチ５１ａの幅が列設方向の全域において均一となっている。そして、雄型５１の端部に３つのダミー成形パンチ５１ｂが配置され、そこに形成されている空隙部５３ｂの深さは、ダミー成形パンチ５１ｂ以外の成形パンチ５１ａの空隙部５３ｂの深さよりも浅く設定されている。
【００９５】
また、ダミー成形パンチ５１ｂの部分の空隙部５３ｂの深さは、雄型５１の端部に最も近い空隙部５３ｂの深さが最も浅く設定され、それから離れて行くのに伴って空隙部５３ｂの深さが深くなっている。このように順次そのとなりの空隙部５３ｂの深さが深くなって成形パンチ５１ａの空隙部５３ｂの深さに連なって行くようになっている。
【００９６】
図１１（Ｂ）のように雄型５１がニッケル製の圧力発生室形成板３０に押付けられると、成形パンチ５１ａとダミー成形パンチ５１ｂは同時に圧力発生室形成板３０に押込まれ、このときに流動した金属素材３０が空隙部５３ｂ内に押込まれる。（Ｂ）に示すように最も浅い空隙部５３ｂ内には金属素材３０がその奥まで流動し素材３０で満たされている。さらに雄型５１が押込まれると、そのとなりの空隙部５３ｂも素材３０で満たされる。
【００９７】
上記鍛造加工パンチによる鍛造加工では、所定ピッチで列設された成形パンチ５１ａにより、所定ピッチで列設された圧力発生室２９を同時に成形する。このため、列設された圧力発生室２９のうち、列の中央寄り部分においては、１つの圧力発生室２９の両側に圧力発生室２９が並んで形成されるよう塑性変形が生じ、列の端部では片側にしか並ばない状態に塑性変形が生じる。したがって、列の中央寄り部分と端部では変形挙動が異なることとなり、形成された圧力発生室２９の形状特性も均一なものとはなりにくい。すなわち、上記のように成形パンチ５１ａが金属素材３０に押付けられると、各成形パンチ５１ａ近辺の金属素材３０は圧力発生室２９の列設方向に少しずつずれるようにして流動し、最終的にはこれらの各流動量が累積して、列設方向の両端部の圧力発生室２９と中間部の圧力発生室２９は異なった異常寸法や異常形状となり、その程度が微小であっても圧力発生室２９の機能、例えば、記録ヘッド１のインク滴の吐出機能にばらつきが発生する。しかし、上記ダミー成形パンチ５１ｂによってダミー圧力発生室３３ａが成形され、このダミー圧力発生室３３ａは本来の圧力発生室２９としての機能を果たさない状態におかれるため、異常寸法や異常形状はダミー圧力発生室３３ａに集中した状態（集中機能）となり、ダミー圧力発生室３３ａのとなりに成形された本来の圧力発生室２９は健全な状態で確保される。
【００９８】
ダミー圧力発生室３３ａが複数成形されるので、異常寸法や異常形状は複数のダミー圧力発生室３３ａに集中した状態（集中機能）となり、ダミー圧力発生室３３ａのとなりに成形された本来の圧力発生室２９は健全な状態で確保される。
【００９９】
圧力発生室２９の列設方向に流動して累積された素材３０が、上記の浅く設定された空隙部５３ｂ内へ流動してそこを完全に満たしてしまうので、この箇所における圧力発生室２９の列設方向への素材流動が実質的に絞られた状態になり、素材流動性が著しく制約される。したがって、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は必要かつ十分な素材量で成形されることとなり、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は、中間部の圧力発生室２９の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー圧力発生室３３ａにおいて果たされる。
【０１００】
列設方向の両端部にある圧力発生室２９は、その窪み形状が細長くてしかも圧力発生室２９間の隔壁部２８が薄くされている関係上、上述の素材流動の累積等によって形状や寸法が中間部のものと異なりやすいのであるが、上述のようなダミー圧力発生室３３ａの機能が果たされて、両端部の圧力発生室２９，２９も正常な形状寸法となる。
【０１０１】
図１２は、本発明の鍛造加工パンチの第２の実施の形態を示す。
【０１０２】
この実施の形態においては、ダミー成形パンチ５１ｂの幅が、他の成形パンチ５１ａの幅すなわちダミー圧力発生室３３ａ以外の圧力発生室２９を成形する成形パンチ５１ａの幅よりも広く設定されている場合である。それ以外は、上記実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【０１０３】
したがって、金属素材３０が広幅のダミー成形パンチ５１ｂによって加圧されるので、この加圧された箇所において圧力発生室２９の列設方向への素材流動が抑制される。よって、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は必要かつ十分な素材量で成形されることとなり、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は、中間部の圧力発生室２９の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー圧力発生室３３ａにおいて果たされる。それ以外は、上記実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【０１０４】
なお、この実施の形態において、ダミー成形パンチ５１ｂと成形パンチ５１ａとの幅を同じにすることにより、鍛造加工パンチの製作が簡素化され、設備価格の低減にとって有利なものとすることができる。
【０１０５】
図１３は、本発明の鍛造加工パンチの第３の実施の形態を示す。
【０１０６】
この実施の形態においては、広幅とされたダミー成形パンチ５１ｂの先端部分５３ａが他の成形パンチ５１ａの先端部分５３ａよりも突出している場合である。それ以外は、上記各実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【０１０７】
したがって、突出しているダミー成形パンチ５１ｂによって加圧される金属素材３０の量が非常に多くなるので、この加圧された箇所における金属素材３０の流動が著しく制約される。とくに、上記の流動制約はダミー成形パンチ５１ｂの突出により、圧力発生室２９の成形初期の段階で実行される。よって、初期段階で金属素材３０の流動が制約されているので、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は、中間部の圧力発生室２９の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー圧力発生室３３ａにおいて果たされる。それ以外は、上記各実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【０１０８】
図１２，図１３は、本発明の鍛造加工パンチの第４の実施の形態をも示す。
【０１０９】
この実施の形態は、上記ダミー圧力発生室３３ａを成形するダミー成形パンチ５１ｂとダミー圧力発生室３３ａ以外の圧力発生室２９を成形する成形パンチ５１ａとのあいだに上記ダミー圧力発生室３３ａ以外の圧力発生室２９と略同じ溝幅のダミー圧力発生室３３ｂを形成するダミー成形パンチ５１ｃが配置されている場合である。広幅のダミー成形パンチ５１ｂと本来の機能を果たす圧力発生室２９を成形する成形パンチ５１ａとのあいだに、当該成形パンチ５１ａと同じ幅のダミー成形パンチ５１ｃが配置されているので、広幅のダミー圧力発生室３３ａと本来の機能を果たす圧力発生室２９とにあいだに、当該圧力発生室２９と同じ幅のダミー圧力発生室３３ｂが配置される。それ以外は、上記各実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【０１１０】
したがって、上述のような広幅のダミー圧力発生室３３ａの機能が不十分であっても、さらにそのとなりにもう１重にダミー圧力発生室３３ｂが配置されているので、本来の機能を果たす圧力発生室２９は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、中間部の圧力発生室２９の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。また、広幅のダミー圧力発生室３３ａのとなりのダミー圧力発生室３３ｂの幅は、本来の機能を果たす圧力発生室２９の幅と同じであるから、この同じ幅とされたダミー圧力発生室３３ｂが不完全な形状や寸法であっても、そのとなりの本来の機能を果たす圧力発生室２９にまで上記の不完全状態が及ばないので、正常な圧力発生室２９の成形にとって有効である。同時に、上記の「集中機能」が２つのダミー圧力発生室３３ａ，３３ｂにおいて果たされる。それ以外は、上記各実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【０１１１】
また、この実施の形態において、図１３に示すように、広幅のダミー成形パンチ５１ｂが他の成形パンチ５１ａよりも突出していることにより、ダミー圧力発生室３３ｂへの成形上の影響を少なくし、結果的に、本来の機能を果たす圧力発生室２９の成形精度を一層向上させることができる。
【０１１２】
なお、図１４に示すように、突出したダミー成形パンチ５１ｂ，端部側の浅い空隙部５３ｂ，全て同じ幅のパンチ等を包括的に組合わせることにより、すでに述べた作用効果を得ることができ、また、図１４に示すような構造は本発明の実施の形態の１つでもある。
【０１１３】
上記成形パンチ５１ａのピッチ寸法は０．１４ｍｍであり、この鍛造加工パンチで精密な微細部品であるインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室２９を加工するようなときに、きわめて精巧な鍛造加工が可能となる。図示の実施の形態は、成形パンチ５１ａのピッチが０．１４ｍｍであるが、このピッチについては、０．３ｍｍ以下とすることにより、液体噴射ヘッド等の部品加工等においてより好適な仕上げとなる。このピッチは好ましくは０．２ｍｍ以下，より好ましくは０．１５ｍｍ以下である。
【０１１４】
上記金属素材３０である圧力発生室形成板をニッケル板で構成することにより、ニッケル自体の線膨張係数が低く熱伸縮の現象が他の部品と同調して良好に果たされ、また、防錆性にすぐれ、さらに鍛造加工で重要視される展性に富んでいる等、良好な効果がえられる。さらに、このような微細な構造の加工成形としては、一般に、異方性エッチングの手法が採用されるのであるが、このような手法は加工工数が多大なものとなるので、製造原価の面で不利である。それに対して、上記の鍛造加工方法をニッケル等の素材に使用すれば、加工工数が大幅に削減され、原価的にも極めて有利である。
【０１１５】
本発明の鍛造加工パンチを用いて製造された液体噴射ヘッド１は、圧力発生室２９となる溝状窪部３３が列設されると共に、各圧力発生室２９の一端に板厚方向に貫通する連通口３４を形成した金属製の圧力発生室形成板３０と、圧力発生室２９の開口面を封止すると共に、圧力発生室２９の他端に対応する位置にインク供給口４５を穿設した金属材製の弾性板３２と、前記連通口３４と対応する位置にノズル開口４８が穿設されて圧力発生室２９の反対側に接合された金属製のノズルプレート３１とを含む流路ユニット４を備えた液体噴射ヘッド１であって、上記圧力発生室形成板３０は、圧力発生室２９を成形する成形パンチ５１ａを備えた鍛造加工パンチ５１によりダミー圧力発生室３３ａと圧力発生室２９が成形され、上記ダミー圧力発生室３３ａの深さが他の圧力発生室２９の深さより深く設定されている。
【０１１６】
上記ダミー圧力発生室３３ａの深さが他の圧力発生室２９の深さよりも深くなっているので、ダミー圧力発生室３３ａが成形されるときには、他の圧力発生室２９を成形するときよりもダミー成形パンチ５１ｂによる金属素材３０の加圧量が大幅に増大する。それによって金属素材３０の流動が抑制されて、そのとなりで成形される圧力発生室２９は、その成形にとって必要な金属素材３０が潤沢に確保されるので、列設端部の圧力発生室２９であっても中間部の圧力発生室２９と変わらない形状や寸法が確保できる。とくに、上記の流動制約はダミー成形パンチ５１ｂの突出により、圧力発生室２９の成形初期の段階で実行される。よって、初期段階で金属素材３０の流動が制約されているので、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は、中間部の圧力発生室２９の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー圧力発生室３３ａにおいて果たされる。このようにしてえられた精度の高い圧力発生室２９を有する圧力発生室形成板３０が液体噴射ヘッド１に組込まれ、液体噴射特性等の安定した液体噴射ヘッド１がえられる。
【０１１７】
また、圧力発生室形成板３０を、例えば、ニッケルを素材として製作すれば、流路ユニット４を構成する圧力発生室形成板３０，弾性板３２及びノズルプレート３１の線膨張係数が略揃うので、これらの各部材を加熱接着した際において、各部材３０，３２，３１は均等に膨張する。このため、膨張率の相違に起因する反り等の機械的ストレスが発生し難い。その結果、接着温度を高温に設定しても各部材を支障なく接着することができる。また、記録ヘッド１の作動時に圧電振動子が発熱し、この熱によって流路ユニット４が加熱されたとしても、流路ユニット４を構成する各部材が均等に膨張する。このため、記録ヘッド１の作動に伴う加熱と作動停止に伴う冷却とが繰り返し行われても、流路ユニット４を構成する各部材に剥離等の不具合は生じにくくなる。
【０１１８】
さらに、本発明の鍛造加工パンチを用いた液体噴射ヘッド１の製造方法は、製造の対象となる液体噴射ヘッド１が、圧力発生室２９となる溝状窪部３３が列設されると共に、各圧力発生室２９の一端に板厚方向に貫通する連通口３４を形成した金属製の圧力発生室形成板３０と、圧力発生室２９の開口面を封止すると共に、圧力発生室２９の他端に対応する位置にインク供給口４５を穿設した金属材製の弾性板３２と、前記連通口３４と対応する位置にノズル開口４８が穿設されて圧力発生室２９の反対側に接合された金属製のノズルプレート３１とを含む流路ユニット４を備えたものであって、上記圧力発生室形成板３０は、請求項５〜１１のいずれか一項に記載の鍛造加工パンチ１で圧力発生室形成板３０に圧力発生室２９を成形することにより液体噴射ヘッド１をつくるものである。
【０１１９】
したがって、列設方向の両端部にある圧力発生室２９，２９は、その窪み形状が細長くてしかも圧力発生室２９・・・間の隔壁部２８が薄くされている関係上、列設中間部の圧力発生室２９の成形における素材流動の累積等によって、形状や寸法が中間部のものと異なりやすいのであるが、上述のようなダミー圧力発生室３３ａの機能が果たされて、両端部の圧力発生室２９，２９も正常な形状寸法となる。あるいは、ダミー圧力発生室３３ａの幅をダミー圧力発生室３３ａ以外の圧力発生室２９の幅よりも広く設定しておくことにより、ダミー圧力発生室３３ａ以外の圧力発生室２９を形状や寸法を正確に製作できる。
【０１２０】
さらに、圧力発生室２９の成形パンチ５１ａの先端部分５３ａよりもダミー成形パンチ５１ｂの先端部分５３ａの方が突出しているので、ダミー成形パンチ５１ｂによって加圧される金属素材３０の量が非常に多くなるので、この加圧された箇所における金属素材３０の流動が著しく制約されることとなる。とくに、上記の流動制約はダミー成形パンチ５１ｂの突出により、圧力発生室２９の成形初期の段階で実行される。よって、初期段階で金属素材３０の流動が制約されているので、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、ダミー圧力発生室３３ａのとなりの圧力発生室２９は、中間部の圧力発生室２９の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。
【０１２１】
上述の利点は、請求項５〜１１項に記載の鍛造加工パンチ１を使用することによってえられる作用効果の一部であり、これ以外にも各請求項の内容に応じた良好な製造方法がえられ、これらの利点は上記請求項における鍛造加工パンチの作用効果から容易に類推することができる。
【０１２２】
図１５に例示した記録ヘッド１´は、本発明を適用することのできる事例であり、圧力発生素子として発熱素子６１を用いたものである。この例では、上記の弾性板３２に代えて、コンプライアンス部４６とインク供給口４５とを設けた封止基板６２を用い、この封止基板６２によって圧力発生室形成板３０における溝状窪部３３側を封止している。また、この例では、圧力発生室２９内における封止基板６２の表面に発熱素子６１を取り付けている。この発熱素子６１は電気配線を通じて給電されて発熱する。なお、圧力発生室形成板３０やノズルプレート３１等、その他の構成は上記実施形態と同様であるので、その説明は省略する。
【０１２３】
この記録ヘッド１´では、発熱素子６１への給電により、圧力発生室２９内のインクが突沸し、この突沸によって生じた気泡が圧力発生室２９内のインクを加圧する。この加圧により、ノズル開口４８からインク滴が吐出される。そして、この記録ヘッド１´でも、圧力発生室形成板３０を金属の塑性加工で作製しているので、上記した実施形態と同様の作用効果を奏する。
【０１２４】
また、連通口３４に関し、上記実施形態では、溝状窪部３３の一端部に設けた例を説明したが、これに限らない。例えば、連通口３４を溝状窪部３３における長手方向略中央に形成して、溝状窪部３３の長手方向両端にインク供給口４５及びそれと連通する共通インク室１４を配置してもよい。このようにすることにより、インク供給口４５から連通口３４に至る圧力発生室２９内におけるインクの淀みを防止できるので、好ましい。
【０１２５】
上述の実施の形態は、インクジェット式記録装置に使用される記録ヘッドであるが、本発明における液体噴射ヘッドは、インクジェット式記録装置用のインクだけを対象にするのではなく、グルー，マニキュア，導電性液体（液体金属）等を噴射することができる。
【０１２６】
【発明の効果】
以上のように、本発明の鍛造加工パンチ，同パンチを用いて製造した液体噴射ヘッドおよびその製造方法によれば、鍛造加工パンチに関しては、上記鍛造加工パンチによる鍛造加工では、所定ピッチで列設された成形パンチにより、所定ピッチで列設された窪部を同時に成形する。このため、列設された窪部のうち、列の中央寄り部分においては、１つの窪部の両側に窪部が並んで形成されるよう塑性変形が生じ、列の端部では片側にしか並ばない状態に塑性変形が生じる。したがって、列の中央寄り部分と端部では変形挙動が異なることとなり、形成された窪部の形状特性も均一なものとはなりにくい。すなわち、上記成形パンチが金属素材に押付けられると、各成形パンチ近辺の素材は窪部の列設方向に少しずつずれるようにして流動し、最終的にはこれらの各流動量が累積して、列設方向の両端部の窪部と中間部の窪部は異なった異常寸法や異常形状となり、その程度が微小であっても窪部の機能、例えば、液体噴射ヘッドの圧力発生室としての機能にばらつきが発生する。しかし、上記ダミー成形パンチによってダミー窪部が成形され、このダミー窪部は本来の窪部としての機能を果たさない状態におかれるため、異常寸法や異常形状はダミー窪部に集中した状態（集中機能）となり、ダミー窪部のとなりに成形された本来の窪部は健全な状態で確保される。
【０１２７】
また、上記鍛造加工パンチを用いて製造された液体噴射ヘッドに関しては、上記ダミー圧力発生室の深さが他の圧力発生室の深さよりも深くなっているので、ダミー圧力発生室が成形されるときには、他の圧力発生室を成形するときよりもダミー成形パンチによる金属素材の加圧量が大幅に増大する。それによって金属素材の流動が抑制されて、そのとなりで成形される圧力発生室は、その成形にとって必要な金属素材が潤沢に確保されるので、列設端部の圧力発生室であっても中間部の圧力発生室と変わらない形状や寸法が確保できる。とくに、上記の流動制約はダミー成形パンチの突出により、溝状窪部の成形初期の段階で実行される。よって、初期段階で金属素材の流動が制約されているので、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、中間部の溝状窪部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。同時に、上記の「集中機能」がダミー溝状窪部において果たされる。このようにしてえられた精度の高い圧力発生室を有する圧力発生室形成板が液体噴射ヘッドに組込まれ、液体噴射特性等の安定した液体噴射ヘッドがえられる。
【０１２８】
また、圧力発生室形成板を、例えば、ニッケルを素材として製作すれば、流路ユニットを構成する圧力発生室形成板，弾性板及びノズルプレートの線膨張係数が略揃うので、これらの各部材を加熱接着した際において、各部材は均等に膨張する。このため、膨張率の相違に起因する反り等の機械的ストレスが発生し難い。その結果、接着温度を高温に設定しても各部材を支障なく接着することができる。また、記録ヘッドの作動時に圧電振動子が発熱し、この熱によって流路ユニットが加熱されたとしても、流路ユニットを構成する各部材が均等に膨張する。このため、記録ヘッドの作動に伴う加熱と作動停止に伴う冷却とが繰り返し行われても、流路ユニットを構成する各部材に剥離等の不具合は生じにくくなる。
【０１２９】
さらに、液体噴射ヘッドの製造方法に関しては、列設方向の両端部にある溝状窪部は、その窪み形状が細長くてしかも溝状窪部間の隔壁部が薄くされている関係上、列設中間部の溝状窪部成形における素材流動の累積等によって、形状や寸法が中間部のものと異なりやすいのであるが、上述のようなダミー溝状窪部の機能が果たされて、両端部の溝状窪部も正常な形状寸法となる。あるいは、ダミー溝状窪部の幅をダミー溝状窪部以外の溝状窪部の幅よりも広く設定しておくことにより、ダミー溝状窪部以外の溝状窪部の形状や寸法を正確に製作できる。
【０１３０】
さらに、溝状窪部の成形パンチの先端部分よりもダミー成形パンチの先端部分の方が突出しているので、ダミー成形パンチによって加圧される金属素材の量が非常に多くなるので、この加圧された箇所における金属素材の流動が著しく制約されることとなる。とくに、上記の流動制約はダミー成形パンチの突出により、溝状窪部の成形初期の段階で実行される。よって、初期段階で金属素材の流動が制約されているので、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、必要かつ十分な素材量が潤沢に保持された環境下で成形されることとなり、ダミー溝状窪部のとなりの溝状窪部は、中間部の溝状窪部の寸法や形状と変わるところのない正常なものとなる。
【０１３１】
上述の利点は、請求項５〜１１項に記載の鍛造加工パンチを使用することによってえられる作用効果の一部であり、これ以外にも各請求項の内容に応じた良好な製造方法がえられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、振動子ユニットを説明する図である。
【図４】圧力発生室形成板の平面図である。
【図５】圧力発生室形成板の説明図であり、（ａ）は図４におけるＸ部分の拡大図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、（ｃ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図６】弾性板の平面図である。
【図７】弾性板の説明図であり、（ａ）は図６におけるＹ部分の拡大図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図８】（ａ）及び（ｂ）は、溝状窪部の形成に用いる雄型を説明する図である。
【図９】（ａ）及び（ｂ）は、溝状窪部の形成に用いる雌型を説明する図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、溝状窪部の形成を説明する模式図である。
【図１１】本発明の鍛造加工パンチの第１の実施の形態を示す図であり、（Ａ）は雄型の側面図、（Ｂ）は金属素材が加圧された状態を示す側面図である。
【図１２】本発明の鍛造加工パンチの第２の実施の形態を示す図であり、金属素材が加圧された状態を示す側面図である。
【図１３】本発明の鍛造加工パンチの第３の実施の形態を示す図であり、金属素材が加圧された状態を示す側面図である。
【図１４】他の鍛造加工パンチの例を示す側面図である。
【図１５】変形例のインクジェット式記録ヘッドを説明する断面図である。
【符号の説明】
１　　　インクジェット式記録ヘッド
１´　　インクジェット式記録ヘッド
２　　　ケース
３　　　振動子ユニット
４　　　流路ユニット
５　　　接続基板
６　　　供給針ユニット
７　　　圧電振動子群
８　　　固定板
９　　　フレキシブルケーブル
１０　　　圧電振動子
１０ａ　　ダミー振動子
１０ｂ　　駆動振動子
１１　　　制御用ＩＣ
１２　　　収納空部
１３　　　インク供給路
１４　　　共通インク室
１５　　　先端凹部
１６　　　接続口
１７　　　コネクタ
１８　　　針ホルダ
１９　　　インク供給針
２０　　　フィルタ
２１　　　台座
２２　　　インク排出口
２３　　　パッキン
２８　　　隔壁部
２９　　　圧力発生室
３０　　　圧力発生室形成板
３１　　　ノズルプレート
３２　　　弾性板
３３　　　溝状窪部
３３ａ　　ダミー窪部，ダミー溝状窪部，ダミー圧力発生室
３３ｂ　　ダミー圧力発生室
３４　　　連通口
３５　　　逃げ凹部
３６　　　ダミー窪部
３７　　　第１連通口
３８　　　第２連通口
３９　　　ダミー連通口
４０　　　第１ダミー連通口
４１　　　第２ダミー連通口
４２　　　支持板
４３　　　弾性体膜
４４　　　ダイヤフラム部
４５　　　インク供給口
４６　　　コンプライアンス部
４７　　　島部
４８　　　ノズル開口
５１　　　雄型，鍛造加工パンチ
５１ａ　　成形パンチ
５１ｂ　　ダミー成形パンチ
５１ｃ　　ダミー成形パンチ
５２　　　雌型
５３　　　突条部
５３ａ　　先端部分
５３ｂ　　空隙部
５４　　　筋状突起
５５　　　帯板，素材
６１　　　発熱素子
６２　　　封止基板
【図１】
2004136364.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004136364.tif 000009
【図８】
2004136364.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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