(57)【要約】【目的】（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜等の耐酸化性に優れた皮膜の耐摩耗性及び密着性を犠牲にすること無く、高温での耐溶着性を改善するとともに被加工物の元素の皮膜への拡散を抑制し、高速及び高送りの乾式切削加工に好適な被覆工具を提供する。【構成】基体表面に金属元素としてＴｉとＢを含有する窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物のいずれかからなる皮膜を被覆した工具において、前記皮膜はＢの窒化物相を含有し、ＥＳＣＡ分析によりＢとＮの結合エネルギーが確認され、ラマン分光分析によりｃ−ＢＮ及び／又はｈ−ＢＮの存在が確認されることを特徴とする被覆工具で構成する。【選択図】図３
2004136430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体表面に金属元素としてＴｉとＢを含有する窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物のいずれかからなる皮膜を被覆した工具において、前記皮膜はＢの窒化物相を含有し、ＥＳＣＡ分析によりＢとＮの結合エネルギーが確認され、ラマン分光分析によりｃ−ＢＮ及び／又はｈ−ＢＮの存在が確認されることを特徴とする被覆工具。
【請求項２】
請求項１記載の被覆工具において、前記皮膜のＸ線回折における（２００）面の半価幅Ｚは、０．３≦Ｚ≦０．６度の範囲、前記ラマン分光分析によるｃ−ＢＮ及びｈ−ＢＮのピーク強度をＱ１、Ｑ２としたとき、比Ｑ１／Ｑ２は、Ｑ１／Ｑ２≧１．０の範囲、前記工具のすくい面の膜厚Ｋと逃げ面の膜厚Ｌとの比Ｋ／Ｌは、Ｋ／Ｌ≧１．０の範囲としたことを特徴とする被覆工具。
【請求項３】
請求項１又は２記載の被覆工具において、前記皮膜はＴｉとＢの合金ターゲットを用いて被覆され、皮膜の組成が、前記皮膜に含まれるＢの含有量Ｍを金属元素全体を１００原子％とした時、０．１≦Ｍ≦４０原子％、の範囲としたことを特徴とする被覆工具。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載の被覆工具において、前記皮膜以外に、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｒからなる群から選ばれた少なくとも１種以上の金属元素と、Ｃ、Ｏ、Ｎからなる群から選ばれた少なくとも１種以上の非金属元素とからなる皮膜を設けたことを特徴とする被覆工具。
【請求項５】
請求項４記載の被覆工具において、前記Ｔｉ、Ａｌを含有する皮膜は、前記Ａｌの一部を４ａ、５ａ、６ａ族の金属及びＳｉからなる群から選ばれた少なくとも１種で置換されたことを特徴とする被覆工具。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載の被覆工具において、前記基体は超硬合金製又はサーメット合金製のインサートからなり、前記皮膜の総厚さが工具すくい面において３μから１５μｍであることを特徴とする被覆工具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本願発明は、金属材料等の切削加工に使用される皮膜被覆工具に関し、特に高速切削及び乾式切削に使用される耐クレータ摩耗性に優れた被覆工具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来はＴｉＮ、Ｔｉ（ＣＮ）、（ＴｉＡｌ）Ｎ等を被覆した切削工具が広く使用されている。しかし、ＴｉＮ、Ｔｉ（ＣＮ）からなる皮膜では、高速切削時に十分な耐酸化性及び耐摩耗性を示さない。（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜は、ＴｉＮ、Ｔｉ（ＣＮ）に比べて優れた耐酸化性を有するため、刃先が高温に達する切削条件で使用されているが、高温での切削では工具刃先の溶着が発生し、十分な工具寿命が得られない。下記の特許文献１は、ＴｉＮからなる耐摩耗性皮膜中に、ＢＮ、ＴｉＢ２、ＴｉＢ等の超微粒化合物を含む皮膜を開示している。
【特許文献１】特開２００１−２９３６０１号（第６頁、表１、表２）
特許文献１において、皮膜内のＢＮ、ＴｉＢ２、ＴｉＢ等の超微粒化合物は非晶質であり、皮膜の硬度を向上させる働きがあると記載されている。これにより耐摩耗性、滑り性、耐焼き付き性、被削材の加工精度が向上するが、超微粒化合物の特性や形態についての詳細な記述はない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜等の耐酸化性に優れた皮膜の耐摩耗性及び密着性を犠牲にすること無く、高温での耐溶着性を改善するとともに被加工物の元素の皮膜への拡散を抑制し、高速及び高送りの乾式切削加工に好適な被覆工具を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的に鑑み鋭意研究の結果、基体表面に金属元素としてＴｉとＢを含有する窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物のいずれかからなる皮膜を被覆した工具において、前記皮膜はＢの窒化物相を含有し、ＥＳＣＡ分析によりＢとＮの結合エネルギーが確認され、ラマン分光分析によりｃ−ＢＮ及び／又はｈ−ＢＮの存在が確認されることを特徴とする被覆工具で形成すると、ＢＮ相が有する潤滑性によりＴｉ系皮膜の潤滑性が改善され、もって耐クレータ摩耗性が著しく改善される。更に、切削加工を乾式で高速及び高送りで行う場合、被加工物に含まれる元素が皮膜に拡散する現象を抑制でき、被加工物の工具への溶着がなく、工具の耐クレータ摩耗性が著しく改善され、工具寿命が極めて長くする事ができた。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明皮膜はＢの存在形態に特徴がある。ＴｉとＡｌの窒化物等からなる従来皮膜は一般にＴｉＮと同様にＮａＣｌ型結晶格子構造を有し、ＴｉＮ格子中のＴｉがＡｌに置き換わり、いわばＡｌが固溶した状態にある。しかしＴｉとＢを含有する本発明皮膜は、Ｂの含有量に応じて異なる組織を有する。即ち、Ｂの含有量が０．１原子％未満では、ＢはＴｉＮ結晶格子の中に完全に取り込まれ固溶体の形態となるが、Ｂの含有量が０．１原子％以上になると、ＢはＴｉＮ格子中のＴｉに置き換わる他に、固溶体中に分散したＢの化合物が生成する。従って、ＴｉとＢの窒化物からなる皮膜の場合、Ｂの含有量が０．１原子％以上になると、皮膜中にＴｉＮ相とＢＮ相が混在する。皮膜の組織の変化は、被覆工具の切削性能に多大な影響を及ぼす。ＴｉＮ相の他に、潤滑性に優れ、Ｆｅとの濡れ性が低いＢＮ相を有する本発明皮膜は、ＢＮ相の存在により化学反応が原因のクレータ摩耗を著しく抑制することができる。また、ＢＮ相は優れた耐酸化性を有するため、ＢＮ相を含有する皮膜は高温で劣化しない。しかし、Ｂの含有量が４０原子％を超えると、内部応力が非常に大きくなるために工具基体に対する良好な密着性を維持することが困難となる。つまり、切削加工の硬質皮膜に衝撃を与えると、皮膜が自身の内部応力に耐えられず、工具基体から容易に剥離してしまう。従って、目標とする特性を有する切削工具を得るためには、硬質皮膜中のＢの含有量は４０原子％を超えないのが好ましい。
【０００６】
ＴｉＮ系皮膜を例に、種々の添加成分の効果を研究した結果、Ｂの添加と被覆条件の最適化により、皮膜の高硬度化と潤滑性を著しく改善できる知見を得るに至った。更に、ＴｉＮ系皮膜の硬度及び潤滑性を著しく改善するため、Ｂの添加のみならず、被覆条件の最適化が必要であり、本発明はかかる成果に基づく。本発明皮膜の作製には、真空成膜装置にＴｉＢターゲットを用い、基体バイアス電圧−３００Ｖ、反応ガスとして窒素ガス流量を５００ｓｃｃｍとし、反応ガス圧力を０．５Ｐａの条件で（ＴｉＢ）Ｎ皮膜をアークイオンプレーティング法により被覆した。得られた皮膜のＥＳＣＡ（Ｅｌｅｃｔｏｒｏｎ　Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ　ｆｏｒ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ａｎａｌｙｓｉｓの略）分析結果を図１、図２に示す。図１にＴｉとＮとの結合エネルギーの回折ピークが確認され、図２にＢとＮとの結合エネルギーの回折ピークが確認される。更に、基体バイアス電圧、−３００Ｖ／＋２０Ｖのパルスバイアス印加した以外、上記と同じ条件で（ＴｉＢ）Ｎ皮膜を形成した。得られた本発明皮膜のラマン分光分析結果を図３示す。図３はｃ−ＢＮ相とｈ−ＢＮ相の存在が確認された。各相の存在比率はバイアス電圧値により調整することができる。被覆条件において、イオンエネルギーが大きいと、ｃ−ＢＮの比率が高く、高硬度の皮膜が得られた。イオンエネルギーが小さいと、ＢＮ相の出現は認められなかった。またパルスバイアスを使用しない場合でも、基体に印加するバイアス電圧自体が高い時、ｃ−ＢＮ相及びｈ−ＢＮ相の存在が確認された。これらの相は微結晶として皮膜内に分散しているものである。従って、皮膜内に微結晶を分散させて高硬度化を達成するためには、被覆条件の最適化が重要である。
【０００７】
本発明のＢＮ相を有する皮膜は、ラマン分光分析によりｃ−ＢＮ及びｈ−ＢＮのピークを検出することができ、ｃ−ＢＮのピーク強度Ｑ１とｈ−ＢＮのピーク強度Ｑ２との比Ｑ１／Ｑ２は１．０以上である。本発明皮膜の潤滑性を維持したまま硬度を向上させるためである。図３に示すように、ＢＮ相を有する本発明皮膜にはｃ−ＢＮ及びｈ−ＢＮのピークが検出される。ｃ−ＢＮとｈ−ＢＮの硬度を比較すると、ｃ−ＢＮの方が高い。従って、皮膜中にｃ−ＢＮが多く含まれるように被覆条件を制御することにより硬度及び耐摩耗性が向上した皮膜が得られる。
【０００８】
本発明皮膜の潤滑性を評価するため、鋼に対する摩擦係数の測定を行った。測定装置には、ボールオンディスク型の摩耗試験器を用いた。主要なパラメータには垂直荷重、接触面積、摺動速度、試験時間がある。摩擦係数に対する試験温度の影響は非常に大きい。皮膜の温度上昇は摩擦による発熱であるが、熱的に化学反応が活性化されることがある。本発明皮膜を切削工具に形成した時の切刃近傍の温度領域として、室温から７００℃での摩擦係数を測定した。ＪＩＳ、ＳＫＤ６１材をボール材の静止相手材とし、超硬合金からなるディスクに本発明皮膜（Ｔｉ９９Ｂ１）（Ｎ９０Ｏ１０）を被覆した。摩擦係数の測定条件は、接触面圧：２Ｎ、速度：１００ｍｍ／ｓｅｃ、温度：室温（２５℃）、４００℃、７００℃、摩擦係数と試験時間との関係を図４に示す。比較のため、超硬合金製ディスクに皮膜として（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜を被覆した従来例についても、摩擦係数を測定した。結果を併せて図４に示す。
【０００９】
図４より、本発明皮膜の摩擦係数は、室温においては、（ＴｉＡｌ）Ｎ膜と大差無く、０．８５〜０．９５の範囲で推移している。試験温度が４００℃に上昇すると、本発明皮膜の摩擦係数は０．５５〜０．６まで低下し、更に、７００℃に上昇すると０．４３〜０．４７と低下した。それに対して、従来の（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜の摩擦係数は、７００℃で０．７５〜０．８５であった。これから、切削時の切れ刃付近の温度に相当する７００℃では、本発明皮膜の摩擦係数は、従来例皮膜より著しく低下し、それに伴って切屑の擦り摩耗も低減するために、切屑をスムーズに排出することができることが分かる。次に、本発明皮膜の表面には酸化によりＢＯ相が形成され、更に潤滑性を高めることも分かった。本発明皮膜中のＢＮ相の潤滑性の他にＢＯ相の潤滑性があるので、切削抵抗は著しく低減できる。これらの現象は上述のＴｉＮに限定されるものではなく、（ＴｉＡｌ）Ｎなどの皮膜においても同様に確認した。
【００１０】
本発明皮膜中に含有させるＢについて、切削工具に適用した際に生じる現象を詳細に調査した結果、Ｂの有効性は、皮膜の高硬度化、潤滑性の改善、耐酸化性向上だけではなく、Ｂは被削材に含有されるＦｅとの親和性が低く、被加工物の膜中への拡散現象がほとんど発生しないことでもあることも分かった。金属元素としてＴｉとＢで構成される窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物からなる本発明皮膜は、耐酸化性に関しては、従来のＴｉとＡｌの窒化物と同程度であるが、被加工物である鋼の１部が工具刃先部分に高温で溶着するのを防止することに関しては、ＴｉとＡｌの窒化物などよりも優れている。この理由は、鋼材に含まれるＦｅとの濡れ性が低いＢを含有する本発明皮膜は、高温での被加工物の溶着を効果的に防ぐことができるためである。被削材である鋼の１部が工具刃先部分に高温で溶着する現象の原因となるＡｌを含んでいないためである。また、本発明皮膜に溶着の原因となるＡｌが含まれていない場合、本発明皮膜は高い耐溶着性を示す。各種元素の溶着発生現象への抵抗性、つまり鋼に含まれる元素と、皮膜中に含まれる元素との濡れ性という観点から、本発明皮膜は高温下における被加工物の溶着を防ぐのに効果があることを確認した。
【００１１】
図５は、ＢＮ相を有する本発明皮膜を形成した工具を切削加工に用いた後で、その切刃近傍の元素分析を基体方向に行った結果を示す。また、図６はに従来の（ＴｉＡｌ）Ｎを同様に分析した結果を示す。図５、６の比較により、図５には皮膜内部に被加工物であるＦｅ元素は見られないが、図６では（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜の最表層にＡｌの酸化物が形成されており、被加工物中のＦｅが皮膜中に拡散していた。図６に示す傾向は従来の（ＴｉＡｌＳｉ）（ＣＮ）皮膜や（ＴｉＡｌＺｒＢ）Ｎ皮膜、（ＴｉＡｌＢ）Ｎ皮膜等にも見られる。これから、ＢＮ相を有する本発明皮膜では、被加工物との高温下における化学反応が発生しにくい特性を持っていることがわかる。耐酸化性についても従来のＴｉとＡｌの窒化物皮膜とほぼ同程度であることが分かった。
【００１２】
（ＴｉＡｌ）ＮにＢを添加してなる従来皮膜の耐溶着性を評価した結果、ＡｌがＴｉ及びＢよりも高温下でのＦｅとの親和性が高いためＡｌを含有する皮膜の最表層に酸素の内部拡散を防ぐＡｌ２Ｏ３層が形成される前に、被削材中のＦｅとの化学反応が発生していることが分かった。切削工具にＡｌを含有する皮膜を形成した場合、Ａｌによる溶着現象により、工具のすくい面に異常なクレータ摩耗が起こり、更に、境界部には溶着物が多量に貯め込まれ、切削工具のチッピングを起こす。従って、工具と被削材との溶着を防ぐため、工具表面に潤滑性を有する皮膜が必要である。つまり、本発明皮膜を切削工具最表層に被覆させることで、被削材との溶着を防ぎ、その結果、異常摩耗を防ぐことができる。そのため本発明皮膜を最表面に形成した工具の寿命は、従来使用してきたＴｉとＡｌの窒化物などを被覆した工具の寿命よりも著しく伸びる。
【００１３】
本発明皮膜の被覆条件として、酸素を添加することにより、結晶粒界が緻密になり、結晶粒界の欠陥が減少するため、皮膜の耐酸化性が改善される。これは、皮膜の酸化は主に結晶粒界を酸素が拡散することにより進行するため、結晶粒界の緻密化により酸素の拡散が抑制され、その結果、耐酸化性が向上するものと考える。本発明皮膜は、ＴｉとＢとが化合物を形成し、非金属のＮ、Ｏとも化合物を形成し、ＴｉＢ相、ＴｉＮ相、ＢＮ相、ＢＯ相も形成し、硬さと潤滑性が高い。少なくともＴｉＮ、ＴｉＢ相及びＢＮ相とＢＯ相とが存在し、皮膜自体の硬さが高く、特にＴｉＢ相を分散させることにより高硬度となり、ＴｉＮの硬度であるＨＶ２２（ＧＰａ）に比べて高い。本発明皮膜の被覆条件として、Ｂを含有するＴｉＮ皮膜に炭素を添加することにより、炭素の有する潤滑性が付与され硬度及び潤滑性が向上する。
【００１４】
本発明皮膜、ＢＮ相を有する皮膜のＸ線回折における（２００）面の半価幅をＺ度としたときに、０．３≦Ｚ≦０．６の範囲にあり、皮膜のラマン分光分析によりｃ−ＢＮ及びｈ−ＢＮのピークが検出され、ｃ−ＢＮのピーク強度をＱ１、ｈ−ＢＮのピーク強度をＱ２とした時、ピーク強度比Ｑ１／Ｑ２≧１．０であり、切削工具のすくい面の膜厚をＫ、逃げ面の膜厚をＬとした時、膜厚比Ｋ／Ｌ≧１．０となるように工具基体表面に皮膜を形成することにより、乾式の高速切削加工、高送り加工に用いた時に、極めて良好な切削性能を発揮することができ、クレータ摩耗を著しく抑制することができることが分かった。本発明皮膜のＸ線回折パターンにおける半価幅は重要である。皮膜と基体との高い密着性を得るためには、物理蒸着（以下、ＰＶＤと称する。）法に特有な残留圧縮応力を低減させなければならない。Ｘ線回折パターンにおける半価幅は皮膜の結晶化度を示し、半価幅が大きいと皮膜の結晶組織は微細であり、内部応力は増大する傾向にある。従って、残留内部応力を制御するために、皮膜のＸ線回折パターンにおける半価幅を最適値に設定する必要がある。半価幅が０．６度を超えると、皮膜の結晶組織は微細化し、基体との密着性を阻害する残留応力が増大する。そのため切削時に大きな衝撃を受けると、皮膜は容易に剥離してしまう。微細結晶組織は粒界が多いので、外部からの酸素の拡散や、切削時における被加工物元素の皮膜内への拡散が促進される。そのため、皮膜のＸ線回折パターンにおける半価幅は０．６度以下に限定する。なお、皮膜のＸ線回折パターンにおける半価幅の下限を０．３度としたのは、０．３度未満の半価幅の測定が非常に困難であるためである。
【００１５】
従来の皮膜被覆工具、特にインサートでは、損傷は主として逃げ面摩耗により起こる。従って、従来は逃げ面摩耗を防ぐためインサート逃げ面側がすくい面側より厚膜となるように皮膜を被覆していた。しかし最近の高送り加工では、被覆インサートの損傷は、逃げ面摩耗よりクレータ摩耗により起こる。従って、高送り加工に対応するために、損傷が大きいすくい面側が厚膜となるように皮膜を被覆することにより、被覆インサートを長寿命化することができる。そのため、工具のすくい面の膜厚Ｋと逃げ面の膜厚Ｌとの比Ｋ／Ｌが１．０以上となるように被覆する。
【００１６】
本発明皮膜は、ＴｉとＢの合金ターゲットを用いて形成する。本発明皮膜中のＢの含有量Ｍを金属成分のみの原子％で示すと、０．１≦Ｍ≦４０であることが好ましい。Ｂの含有量が０．１原子％未満の場合、溶着や元素拡散を十分に防ぐことができない。従って、Ｂの含有量を顕著な効果が出始める０．１原子％以上とした。またＴｉとＢを含有する本発明皮膜は、ＴｉＮ等に良く見られる柱状晶を有するが、Ｂの含有量が４０原子％を超えると柱状晶は微細粒状結晶に変化し、内部欠陥が増大するとともに密度が低下する。また皮膜密着性を阻害する内部応力が非常に大きくなり、皮膜は工具基体から容易に剥離する。更に皮膜の結晶が微細であると、切削加工中に粒界破壊が起こり易くなり、その結果異常摩耗が起こる。本発明皮膜を作製するにはＰＶＤ法が好ましい。そのターゲット材としてそれぞれＴｉとＢからなる２種類のターゲット材を用いても良いが、硬質皮膜組成の均一性や放電の安定性を得るために、ＴｉとＢの合金からなるターゲットを用いるのが好ましい。
【００１７】
ＢＮ相を有する本発明皮膜の他に、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｒからなる群から選ばれた少なくとも１種の金属元素と、Ｃ、Ｏ、Ｎからなる群から選ばれた少なくとも１種の非金属元素とからなる第２の硬質皮膜を有するのが好ましい。理由は、皮膜の基体への密着性を向上させるためである。ＢＮ相を有する皮膜は静的及び動的条件下で優れた耐溶着性を有するが、残留圧縮応力が大きい。従って、基体との密着性の低下を補うために、基体との密着性を向上させる皮膜を設けるのが好ましい。基体表面に本発明皮膜を形成する前に、第２の皮膜を形成し、基体との密着性、耐摩耗性、耐酸化性等をバランス良く付与する。次に、第２の皮膜の耐酸化性の改善である。高速切削及び乾式切削では、第２皮膜にはクレータ摩耗だけではなく、酸化摩滅も起こる。ＴｉＮは４５０℃を超えると酸化し、粉状のＴｉＯに変態する。Ｂを添加してなる（ＴｉＢ）Ｎでは約５５０℃で酸化が開始する。酸素を添加した（ＴｉＢ）（ＯＮ）では、酸化開始温度は約７００℃に向上する。従って、Ｂと酸素を添加した（ＴｉＢ）（ＯＮ）層は約７００℃まで十分その効果を発揮するが、更に切削温度が上がると酸化摩滅を伴う工具境界摩耗が発生することがある。この現象を抑制するため、本発明皮膜に耐酸化性に優れた（ＴｉＡｌ）Ｎ系硬質皮膜や（ＣｒＡｌ）Ｎ系硬質皮膜を積層して、多層構造とするのが好ましい。（ＴｉＡｌ）Ｎ系硬質皮膜により８５０℃まで酸化が抑制され、（ＣｒＡｌ）Ｎ系硬質皮膜により１０００℃まで酸化が起こらない。そのため、切削温度が著しく上昇する場合、これらの皮膜との複層化により長寿命化を達成できる。（ＴｉＡｌ）Ｎ系皮膜におけるＡｌの役割は、皮膜の耐摩耗性及び耐酸化性を向上させることである。そのため、密着性、耐摩耗性、耐酸化性をバランス良く得るためには、（ＴｉＡｌ）Ｎ系硬質皮膜中のＡｌ含有量Ｆ原子％を、金属元素全体を１００原子％として、３０≦Ｆ≦７５とすることが好ましい。（ＴｉＡｌ）Ｎ系硬質皮膜中のＡｌの含有量Ｆが３０原子％以上あると、耐酸化性が著しく向上する。また、Ａｌの含有量Ｆが７５原子％以下になると、皮膜硬度が著しく低下し、耐摩耗性が劣化する。
【００１８】
（ＴｉＡｌ）Ｎ系皮膜のＡｌの一部を４ａ、５ａ、６ａ族金属及びＳｉの１種以上の第３成分で置換するのが好ましい。第３成分は（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜を固溶強化すると共に、耐酸化性が向上させ、工具性能を向上させる。
基体は、超硬合金又はサーメット合金からなるインサートの場合、本発明皮膜の総膜厚は、すくい面で３μｍから１５μｍであることが好ましい。本発明被覆工具は、高速、高送りミリング切削加工に好適であるのみならず、耐クレータ摩耗性が大幅に改善されたために旋盤加工にも使用可能である。旋盤加工用工具には、従来から約１０μｍの膜厚の表面に酸化アルミニウム層を有する皮膜が化学蒸着（以下、ＣＶＤと称する。）法により形成されていた。旋削加工は比較的連続切削であるため、工具寿命がクレータ摩耗に支配される事が多い。皮膜の膜厚を３μｍ以上にすることにより、クレータ摩耗が発生するすくい面に、ＣＶＤ皮膜に匹敵する耐クレータ摩耗性を持たせることが可能であった。更に、本発明皮膜を有する工具の耐欠損性については、皮膜はＰＶＤ法により形成したので、圧縮応力が残留し、クラックの発生が少ない。そのため、皮膜に引張残留応力が存在するＣＶＤ被覆工具の１０倍以上と優れた耐欠損性を有する。皮膜の膜厚が１５μｍを越えると、皮膜の工具基体からの剥離が起こることがある。従って、本発明皮膜の厚さは３μｍから１５μｍであることが好ましい。高送り加工は、１刃当たりの送り量が０．３ｍｍ／刃を超える切削と定義する。
【００１９】
本発明被覆工具の被覆方法は特に限定されないが、基体への熱影響、工具の疲労強度、基体への密着性等を考慮して、比較的低温で残留圧縮応力を有する皮膜を形成し得るアーク放電方式イオンプレーティング法又はスパッタリング法の様な、被覆基体側にバイアス電圧を印加するＰＶＤ法が好ましい。本発明皮膜に第２の硬質皮膜を積層する場合、表面側に潤滑性に優れた本発明皮膜を形成し、基体側に耐酸化性に優れた第２皮膜を形成するのが好ましい。本発明皮膜と第２皮膜を多層に積層する場合、本発明皮膜が最表面にくることを条件にして交互に積層するのが好ましい。なお、多層構造の場合、層数は限定的ではない。本発明を以下の実施例を参照して更に詳細に説明するが、本発明はそれらに限定されるものではない。
【００２０】
【実施例】
（実施例１）
アークイオンプレーティング装置を用い、表１、表２に示す目的とする硬質皮膜の組成に応じて金属成分の蒸発源である各種の合金製ターゲット、反応ガスである窒素ガス、メタンガス、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガスから選択し、超硬合金製スローアウェイインサート、インサート形状はＳＤＥ５３ＴＮ特殊形に、表３に示す本発明例１〜２０及び比較例２１〜２７、従来例２８〜３４を形成した。成膜条件は表１に示すＣであった。反応ガス圧力は、表２に示す。
【００２１】
【表１】
2004136430.tif 000003
【００２２】
【表２】
2004136430.tif 000004
【００２３】
【表３】
2004136430.tif 000005
【００２４】
上記インサートを正面フライスに装着し、巾１００ｍｍ、長さ２５０ｍｍの被削材Ｓ５０Ｃ（ＨＲＣ３０）に対して、切削油なしのセンターカット方式、切り込み２．０ｍｍ、切削速度１５０ｍ／ｍｉｎ、１刃当りの送り量１．８０ｍｍ／刃、の高能率乾式切削条件で加工を行った。インサートの刃先の欠け又は摩耗等により工具が切削不能となるまで加工を行い、切削不能となるまでの切削長を工具寿命とした。表３に工具寿命を併記する。
【００２５】
表３より、Ｘ線回折における半価幅、膜厚比Ｋ／Ｌ、ラマン分光分析におけるｈ−ＢＮとｃ−ＢＮのピーク強度比が切削性能に大きな影響を及ぼすことが分かる。これらの条件を満たす本発明例１〜２０では、工具寿命は大幅に向上していた。特に、本発明例２のように、膜厚比Ｋ／Ｌが５．０と最も大きく、皮膜の他の条件も本発明の範囲内である場合、従来例より工具寿命が著しく延びている。例えば、比較例２１、２２、２５は、皮膜のＸ線回折における半価幅Ｚが０．３≦Ｚ≦０．６度の範囲内であっても、ラマン分光分析でｃ−ＢＮのピーク強度が弱いため、ピーク強度比が本発明の要件を満たさない。そのため、比較例２１、２２、２５は、従来例２８〜３４と比較しても工具寿命を延長する効果が認められなかった。特に、比較例２１、２２は、インサートのすくい面と逃げ面の膜厚比Ｋ／Ｌはそれぞれ１．５、１．３と、１．０以上であったが、硬質皮膜のラマンピーク強度比の条件を満たしていないので、十分な切削性能が得られなかった。比較例２２、２４、２６は、皮膜のＸ線回折における半価幅Ｚが０．３≦Ｚ≦０．６度の範囲を満たさない。しかも比較例２３、２６では、ラマン分光分析におけるｃ−ＢＮのピーク強度が増大し、皮膜の結晶が微細化して内部応力が著しく増大した結果、初期剥離が発生した。これは、皮膜が本発明の上記条件を満足しない上に、最適な膜厚比の設計がなされていないので、すくい面摩耗が著しく進行したためである。比較例２６は半価幅が最も大きく、結晶組織が著しく微細化していた。そのため、比較例２６では切削初期に皮膜剥離が起こるだけでなく、クレータ摩耗が大きく、早期に寿命に達した。比較例２７は、皮膜の特性に関する本発明の条件を満たしているが、皮膜が逃げ面に厚く形成されているため、硬質皮膜の特性を十分に発揮できなかった。そのため、比較例２７は従来例より工具寿命が２倍程度長いが、本発明例品ほど顕著な工具寿命の向上が得られた訳ではなかった。
【００２６】
表３に示すように、本発明皮膜はＢＮ結晶相を含有するとともに、その化学構造を制御しているために、耐溶着性及び耐熱性に優れており、工具性能の著しい向上をもたらしている。しかし、例えば比較例２１、２４では、硬質皮膜中のＢは微量のため、ＴｉＮ結晶格子中に取り込まれて固溶体の形態をとる。その結果、ＴｉとＢを含有する皮膜であるが、工具性能の改善は不十分である。比較例２２、２３及び２５〜２７では、ＴｉとＢを含有する皮膜中にＢＮ結晶相が存在するが、Ｂの添加量が５０原子％を超えている。このため、切削加工中に皮膜は自身の内部応力により容易に剥離する。特に、比較例２６は皮膜の内部応力が最も高く、約−６ＧＰａになることが認められた。比較例２６の切削試験結果は、切削初期に工具の逃げ面及びすくい面に硬質皮膜の大きな剥離が起こり、切削が続行不能となった。これから、硬質皮膜にＢＮ結晶相を含有させるだけでなく、Ｂの添加量も含めて被覆工具の設計を最適化しない限り、著しく優れた工具性能が得られないことが分かる。従来例２８〜３４に対して、本発明のいずれのサンプルも工具寿命で優っていることが認められた。本発明皮膜を形成する工具として、インサートについて実施例により詳細に説明したが、本発明はこれに限定されることなく、旋削工具等、他の高能率切削工具にも適用可能である。
【００２７】
（実施例２）
アークイオンプレーティング装置を用い、目的とする硬質皮膜の組成に応じて金属成分の蒸発源である各種の合金製ターゲット、反応ガスである窒素ガス、酸素ガス、メタンガスから選択し、ＪＩＳ−Ｐ４０グレードの超硬合金からなるミーリング用インサート、工具形状はＲＤＭＷ１６０４ＭＯＴＮに、表４に示す本発明例３５〜４８の組成の第１層及び第２層の硬質皮膜を形成した。第１層に使用したＴｉＢターゲットの組成は、Ｔｉが７５原子％、Ｂが２５原子％であった。３層以上の多層構造の場合、第１層と第２層とを交互に積層した。本発明例３５〜４８の第１層の被覆条件は、ＢＮ相を形成するため、表１、（Ｄ）の条件である基体温度４００℃、バイアス電位−３００Ｖ、反応ガス圧力０．５Ｐａで行った。第２層の（ＴｉＡｌ）Ｎ系皮膜の形成条件は、表１、（Ａ）の条件、すなわち、基体温度４００℃、反応ガス圧力１．０Ｐａ、バイアス電圧−１５０Ｖであった。尚、第１層におけるＴｉとＢの組成はターゲット組成により定まり、（ＴｉＢ）に対するＮの比は反応ガス圧力により定まる。またＴｉとＮのピークは重なり、分離が困難である。そのため、表４には第１層中のＴｉ及びＢの原子％及び金属元素／非金属元素の比を省略した。また、膜厚は工具のすくい面の膜厚である。比較例４９〜５３は、（ＴｉＡｌ）Ｎ系皮膜以外の皮膜も（ＴｉＡｌ）Ｎ系皮膜と同一条件で被覆した。反応ガスは窒素ガス、酸素ガス、メタンガスから目的の皮膜が得られるものを選択した。
【００２８】
【表４】
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【００２９】
上記被覆インサートを用い、被加工材のＳＫＤ６１（ＨＲＣ４５）、切り込み１．０ｍｍ、切削速度２００ｍ／ｍｉｎ、１刃当りの送り１．５ｍｍ／刃、乾式切削により、巾１００ｍｍ×長さ２５０ｍｍのフライス加工を行った。１刃当りの送りが１ｍｍを越えるようなフライス加工では切削温度が局部的に上昇し、クレータ摩耗が起こる傾向がある。本切削諸元は、工具寿命はクレータ摩耗に支配されるため、クレータ摩耗により工具が切削不能となるまでの時間を欠損までの切削時間とした。欠損までの切削時間を表４に併記する。表１より、本発明例３５〜４８は、工具寿命は著しく増大しているが、比較例４９〜５３はクレータ摩耗により短寿命であった。これから、本発明皮膜により、工具の耐クレータ摩耗性が著しく改善されたことが分かる。
【００３０】
（実施例３）
実施例２と同じターゲット材及び同じ条件を使用し、表５に示す本発明例５４〜６７の皮膜を旋削用サーメットインサート（インサート形状：ＴＮＧＧ１１０３０２Ｒ）に被覆した。本発明例５４〜６７を用いて、被削材Ｓ５３Ｃ、切削速度２２０ｍ／分、切り込み１ｍｍ、送り０．１５ｍｍ／ｒｅｖ、水溶性切削油使用して旋削加工を実施した。サーメット合金の組成は重量％でＴｉ（ＣＮ）：６０％、ＷＣ：１０％、ＴａＣ：１０％、Ｍｏ２Ｃ：５％、Ｎｉ：５％、Ｃｏ：１０％であった。上記切削諸元では、クレータ摩耗による発熱により逃げ面摩耗が増大する傾向にあり、逃げ面摩耗量が０．１ｍｍに達した時点で寿命と判定した。寿命までの切削時間を表５に併記する。
【００３１】
【表５】
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【００３２】
表５より、本発明例３５〜５８では工具寿命は著しく増大しているが、比較例５９〜６３では逃げ面摩耗が増大により短寿命であった。これから、本発明皮膜により、工具の寿命が著しく改善されたことが分かる。
【００３３】
（実施例４）
第２層用のＴｉＡｌ合金ターゲットのＡｌの１部を表６に示す他の元素で置換した以外、実施例２と同じ条件で、本発明例７３〜８６、比較例８７〜９１を作製し、切削評価を行った。結果を表６に併記する。
【００３４】
【表６】
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【００３５】
表６より、第２層のＴｉＡｌ系皮膜に第３成分を添加することにより、工具寿命が一層向上した。これは第３成分の添加により（ＴｉＡｌ）Ｎ系皮膜が更に固溶強化され、耐酸化性が向上したためである。
【００３６】
（実施例５）
アークイオンプレーティング装置を用い、目的とする硬質皮膜の組成に応じて金属成分の蒸発源である各種の合金製ターゲット、反応ガスである窒素ガス、酸素ガス、メタンガスから所望のものを選択し、切削工具用超硬合金からなるミリング用インサート、インサート形状はＲＤＭＷ１６０４ＭＯＴＮに、表１に示す条件で表７に示す本発明例９２〜１１１、従来例１１２〜１１７の皮膜を形成した。表１に示す条件以外は実施例２と同じである。表７に示す膜厚はすくい面の膜厚であり、また３層以上の多層構造の場合、第１層と第２層とを交互に積層した。上記以外の被覆条件は実施例２と同じである。
【００３７】
【表７】
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【００３８】
上記本発明例、従来例を、被削材ＳＫＤ６１（ＨＲＣ４５）、切り込み１．０ｍｍ、切削速度２５０ｍ／ｍｉｎ、１刃当りの送り１．５ｍｍ／刃、の乾式切削条件により、巾１００ｍｍ、長さ２５０ｍｍのフライス加工を行った。１刃当たりの送りが１ｍｍを超えるフライス加工では、切削温度が局部的に上昇し、クレータ摩耗が起こる傾向がある。従って、実施例２と同様に欠損までの切削時間を測定した。表７に本発明例及び従来例の欠損までの切削時間を示す。
表７より、本発明例９２〜１１１は、寿命の著しい改善が認められた。従来例１１２〜１１７は、全てクレータ摩耗により短寿命であったので、本発明例の寿命の著しい改善は耐クレータ摩耗性の改善によるところが大きい。本発明例９２〜９４は、第１層として種々の被覆条件で（ＴｉＢ）Ｎ皮膜を形成したものである。いずれのサンプルも長寿命であるが、なかでもイオンエネルギーが高くパルスバイアス条件のものが極めて長寿命であることが確認された。本発明例９５〜９７は（ＴｉＢ）Ｎ皮膜と（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜との積層例である。本発明例９８は、本発明例９５の（ＴｉＢ）Ｎ皮膜に酸素を添加した例である。本発明例９９は、本発明例９５の（ＴｉＢ）Ｎ皮膜に炭素を添加した例である。本発明例９８、９９のいずれも本発明例９５と比べ、欠損までの切削時間に改善が認められた。本発明例１００、１０１は、第２層の（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜に酸素又は炭素を添加した例である。本発明例１０４は（ＴｉＢ）Ｎ皮膜と（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜とを多層化した例であり、多層化の効果が認められた。本発明例１０５は（ＴｉＡｌ）ＮにＢを添加した例であり、ＴｉＮ皮膜にＢを添加したのと同様の切削時間の改善が確認された。本発明例１０７〜１１１は、他の組成系へＢを添加した例である。従来例１１５はパルスバイアス条件で（ＴｉＡｌ）Ｎを被覆した例であるが、Ｂがないために切削時間の顕著な改善効果は得られなかった。従来例１１６はＴｉＮ皮膜にＢを添加した例であるが、イオンエネルギーが小さい被覆条件であるため、切削時間の顕著な改善が認められなかった。
【００３９】
（実施例６）
実施例５と同様の方法により、表８に示す本発明例１１８〜１３７、従来例１３８〜１４３の旋削用サーメットインサート（インサート形状：ＴＮＧＧ１１０３０２Ｒ）に被覆した。インサートのサーメット合金の組成は、重量％でＴｉ（ＣＮ）：６０％、ＷＣ：１０％、ＴａＣ：１０％、Ｍｏ２Ｃ：５％、Ｎｉ：５％、Ｃｏ：１０％であった。本発明例及び従来例を用いて、Ｓ５３Ｃの被削材、切削速度は２２０ｍ／ｍｉｎ、切り込み１ｍｍ、送り０．１５ｍｍ／回転、湿式切削で、旋削加工を行った。切削諸元は、クレータ摩耗により発熱が大きくなり、逃げ面摩耗が増大する傾向がある。逃げ面摩耗量が０．１ｍｍに達した時点を工具寿命と判定した。工具寿命までの切削時間を表８に示す。
【００４０】
【表８】
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【００４１】
表８より、旋削加工でも、イオンエネルギーが高く、パルスバイアス条件で形成した本発明例が最も長寿命であった。この結果は、実施例５で得られた結果と一致する。本発明例１１８〜１３７は、寿命までの切削時間に著しい改善が認められた。これに対して、従来例１３８〜１４３は、クレータ摩耗により逃げ面摩耗量が早く増大し短寿命であった。本発明例１１８〜１３７の長寿命化は耐クレータ摩耗性の改善によるところが大きい。本発明例１１８〜１２０は第１層として（ＴｉＢ）Ｎ皮膜を有する例であり、第１層の被覆条件が異なる。いずれも長寿命であるが、なかでもイオンエネルギーが高くパルスバイアス条件下で形成された（ＴｉＢ）Ｎ皮膜を有するものが最も長寿命であった。本発明例１２１〜１２３は（ＴｉＢ）Ｎ皮膜と（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜とが積層された例である。本発明例１２４は本発明例１２１の（ＴｉＢ）Ｎ皮膜に酸素を添加した例であり、本発明例１２５は本発明例１２１の（ＴｉＢ）Ｎ皮膜に炭素を添加した例であり、いずれも寿命までの切削時間は本発明例１２１と同等以上であった。本発明例１２６、１２７は第２層の（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜に酸素又は炭素を添加した例である。本発明例１３０は（ＴｉＢ）Ｎ皮膜と（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜とを多層に積層した例であり、多層化の効果が認められた。本発明例１３１は（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜にＢを添加した例であり、ＴｉＮにＢを添加したと同様の改善が認められた。本発明例１３３〜１３７は、上記以外の組成の第１層にＢを添加した例である。従来例１４１は（ＴｉＡｌ）Ｎ皮膜をパルスバイアス条件で形成した例であるが、Ｂが存在しないために切削時間の顕著な改善は認められなかった。また従来例１４２はＴｉＮにＢを添加した例であるが、イオンエネルギーが小さい被覆条件のため、切削時間の顕著な改善は認められなかった。
【００４２】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明を適用することにより、耐クレータ摩耗性に優れ、乾式高速切削加工において格段に長い工具寿命が得られる。このような特徴を有する本発明の硬質皮膜被覆工具は、切削加工における生産性の向上、コスト低減、作業環境改善等に極めて有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明例の（ＴｉＢ）Ｎ皮膜のＥＳＣＡによるＴｉとＮとの結合エネルギー回折ピークを示す。
【図２】図２は、本発明例の硬質皮膜のＥＳＣＡによるＢとＮとの結合エネルギー回折ピークを示す。
【図３】図３は、本発明例の硬質皮膜のラマン分光分析によるｃ−ＢＮ及びｈ−ＢＮの回折ピークを示す。
【図４】図４は、ボールオンディスク型の摩耗試験機を用いた摩耗試験により求めた滑り距離と摩擦係数との関係を示す。
【図５】図５は、本発明例の切削後の刃先近傍の元素分析結果を示す。
【図６】図６は、従来例の切削後の刃先近傍の元素分析結果を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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