(57)【要約】【課題】被加工物と電極本体との間の加工屑を効率よく排出しつつ、精度良く、且つ効率的に放電加工が可能な放電加工方法及び放電加工用電極を得ること。【解決手段】電極１の加工面２に設けられた加工液５の供給孔３から電極１と被加工物１１との間の放電間隙１２に電極１内を介して加工液５を供給して該放電間隙１２の加工屑を除去する。また、供給孔３を塞いだ状態で放電加工を行う。このような放電加工方法によれば、電極１の加工面２に設けられた供給孔３を閉塞した状態で放電加工を行うため、被加工物１１における放電痕跡の発生を大幅に抑制することができ、加工精度の良好な放電加工を行うことができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物と電極との間に形成される放電間隙に加工液を介在させた状態で前記被加工物と前記電極との間に電圧を印加して放電加工を行う放電加工方法であって、
前記電極の加工面に設けられた加工液の供給孔から前記電極と被加工物との間の放電間隙に前記電極内を介して加工液を供給して該放電間隙の加工屑を除去する加工屑除去工程と、
前記供給孔を閉塞して放電加工を行う加工工程と、
を含むことを特徴とする放電加工方法。
【請求項２】
前記加工屑除去工程においては、前記被加工物と前記電極との間に電圧を印加しないこと
を特徴とする請求項１に記載の放電加工方法。
【請求項３】
前記加工屑除去工程と前記加工工程とを交互に繰り返すこと
を特徴とする請求項１に記載の放電加工方法。
【請求項４】
電極の加工面に設けられ、前記電極内を介して前記電極と被加工物との間の放電間隙に加工液を供給する供給孔と、
前記供給孔を塞ぐ閉塞手段とを備えること
を特徴とする放電加工用電極。
【請求項５】
前記閉塞手段は前記加工面と略同一面となるように前記供給孔を塞ぐこと
を特徴とする請求項４に記載の放電加工用電極。
【請求項６】
電極本体の加工面に貫通するシリンダ部と、
前記シリンダ部内で軸方向に移動自在に設けられたピストン部と、
前記シリンダ部に加工液を供給する加工液供給路とを備え、
前記ピストン部を移動することにより前記加工液の供給を制御するとともに該ピストン部の前記加工面側の先端部で前記シリンダ部を塞ぐこと
を特徴とする放電加工用電極。
【請求項７】
前記ピストン部を移動させる移動手段を備えること
を特徴とする請求項６に記載の放電加工用電極。
【請求項８】
前記ピストン部の前記加工面側の先端部は前記加工面の面形状と略同一の面形状を有すること
を特徴とする請求項６に記載の放電加工用電極。
【請求項９】
前記シリンダ部及びピストン部は、前記加工面側が細まる先細り形状を有すること
を特徴とする請求項６に記載の放電加工用電極。
【請求項１０】
前記加工液供給路は、前記シリンダ部の外周に軸方向に形成された溝部であること
を特徴とする請求項６に記載の放電加工用電極。
【請求項１１】
前記ピストン部の慣性力を相殺するカウンタウェイトと、該カウンタウェイトを動作させるカウンタウェイト用ソレノイドとを備えること
を特徴とする請求項６に記載の放電加工用電極。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、形彫放電加工する場合に使用する放電加工方法及び放電加工用電極に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
形彫放電加工装置による放電加工においては、加工液の充満下、μ秒からｍ秒オーダーのパルス電圧を印加して電極と被加工物との間に瞬間的なアーク放電を繰り返し発生させ、このときに生じるアーク熱により被加工物の被加工面を溶融、蒸発により除去加工する。
【０００３】
ここで、放電加工を行うに際しては、溶融金属の飛沫、すなわち加工屑が発生する。そして、この加工屑が放電間隙に侵入すると２次放電が発生し、既に加工された加工面が荒されてしまうため、所定の表面粗さ精度に加工することができない。また、加工屑の量が多くなると、加工屑に起因した加工液の誘電率、導電率の変化により加工のためのアーク放電の強度が変動してしまい、均一な表面あらさに加工することが困難となる。したがって、放電加工中は、適時、加工屑を電極と被加工物との間から除去することが必要となる。
【０００４】
ここで、従来の形彫放電加工電極は、電極本体の裏面に流路口を有する加工液流路を設け、該流路中に逆流防止弁を設け、電極本体の昇降移動により、被加工物と電極本体との間の加工間隙から前記加工液流路口にわたり加工液を一方向に流動させる構成が知られている（例えば、特許文献１参照。）。また、電極本体が昇降移動しない構成も提案されている（例えば、特許文献２、特許文献３参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７−９２６０号公報（第２頁−３頁、第１図）
【特許文献２】
特開平３−３２５２６号公報（第２頁−４頁、第１図−第４図）
【特許文献２】
特開平４−１６４５２０号公報（第２頁−３頁、第１図−第３図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、例えば前記特許文献１のように構成された従来の放電加工用電極では、電極本体を繰り返し昇降動作させることが必要となるため、実際の放電加工が行われていない時間、すなわち非加工時間が長くなり、生産効率に劣るという問題がある。また、電極本体を繰り返し昇降動作させるため、加工精度が悪くなるという問題もある。
【０００７】
また、電極本体の昇降動作が無い前記特許文献２及び前記特許文献３のような構成においても、電極本体の裏面に加工液の供給孔を設け、ここから加工液を供給して加工屑を除去する場合には該供給孔は常に開口された状態とされている。そして、供給孔が開口状態とされたまま放電加工が行われるため、該供給孔の部分では十分なアーク放電が発生しない。その結果、供給孔に対応する部分では他の部分と比較して十分な加工が得られず、被加工物には、加工液の供給孔形状に対応した放電の痕跡が残ってしまい、加工精度が悪くなるという問題がある。これは、前記特許文献１においても同様である。
【０００８】
この発明は上述のような課題を解決するためになされたものであり、被加工物と電極本体との間の加工屑を効率よく排出しつつ、精度良く、且つ効率的に放電加工が可能な放電加工方法及び放電加工用電極を得ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成する本発明に係る放電加工方法は、被加工物と電極との間に形成される放電間隙に加工液を介在させた状態で被加工物と電極との間に電圧を印加して放電加工を行う放電加工方法であって、電極の加工面に設けられた加工液の供給孔から電極と被加工物との間の放電間隙に電極内を介して加工液を供給して該放電間隙の加工屑を除去する加工屑除去工程と、供給孔を閉塞して放電加工を行う加工工程とを含むことを特徴とする。
【００１０】
この放電加工方法によれば、加工屑除去工程において、供給孔から電極と被加工物との間の放電間隙に電極内を介して加工液を供給して放電間隙の加工屑を除去する。これにより、放電間隙が加工屑を含まない加工液で満たされ、放電加工に好ましい状態を作り出すことができる。そして、この状態で放電加工を行うことにより、放電間隙の加工屑に起因した加工精度の低下が生じることなく、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【００１１】
そして、この放電加工方法によれば、このようにして放電間隙の加工屑を効果的に除去することができるため、従来のように加工液を循環させるために放電加工用電極自体をＺ軸方向に昇降移動させることが不要である。これにより、従来、放電加工用電極自体の昇降移動に要していた時間がなくなり、非加工時間が大幅に低減するため、加工速度を向上させて効率的に放電加工を行うことが可能である。また、放電加工用電極自体の昇降移動が不要なため、昇降移動による電極の位置ずれが生じることがなく、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【００１２】
また、この放電加工方法によれば、供給孔を閉塞した状態で放電加工を行う。これにより、供給孔の部分においても十分なアーク放電が発生し、供給孔の部分でも他の部分と略同等の加工を施すことができる。その結果、被加工物の被加工面における供給孔に起因した放電痕跡の発生を大幅に抑制することができ、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る放電加工方法及び放電加工用電極の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１である放電加工用電極１（以下、単に電極１と呼ぶ。）を示す要部断面図である。この電極１は、形彫放電加工装置に組み込まれて用いられる。
【００１５】
また、図１において、被加工物１１は、電極１を用いた放電加工により電極形状を転写加工される被加工対象物である。被加工物１１は、加工液５を満たした加工タンク内に配置され、該加工タンクは加工テーブル上に載設されるが、これらの加工タンク及び加工テーブルは本発明には直接は関係しないため、図１においては図示を省略する。
【００１６】
電極１は、電極１本体の加工面２から上面に貫通して加工液５の供給孔として機能するシリンダ部３と、該シリンダ部３内で軸方向に移動自在に設けられシリンダ部３の閉塞手段として機能するピストン部４とを備えている。そして、シリンダ部３の加工面２側の先端近傍にはシリンダ部３に加工液５を供給する加工液供給路６がシリンダ部３と所定の角度をなして連結されている。
【００１７】
この加工液供給路６では、加工液供給部９からの加工液５をシリンダ部３の加工面２側の先端近傍に供給する。このとき、加工液５は、液圧によって加工液５の供給の流れ５１に沿って供給される。そして、シリンダ部３の先端近傍に供給された加工液５は、電極１と被加工物１１との間の放電間隙１２に噴出され、被加工物１１の被加工面１３に沿って排出の流れ５２を形成する。これにより、電極１による放電加工によって該電極１と被加工物１１との間の放電間隙１２にたまった加工屑を、加工液５の排出の流れ５２に沿って放電間隙１２から排出することが可能とされている。
【００１８】
また、ピストン部４には、電極１の上面において該ピストン部４の移動手段であり、ピストン部４をシリンダ部３内において軸方向、すなわちＺ軸方向に間欠的に昇降動作させるソレノイド７が接続されている。これにより、ピストン部４を所望の位置に正確、且つ簡便に移動することができるため、放電加工状態を効率良く、確実に制御することができる。
【００１９】
そして、ピストン部４は、ソレノイド７によるＺ軸方向の間欠的な昇降動作によって、加工液供給路６のシリンダ部３との連結部を塞ぎ、該加工液供給路６からシリンダ部３への加工液５の流入を停止させることができる。したがって、ピストン部４をシリンダ部３内において昇降移動させることにより、シリンダ部３の先端から電極１と被加工物１１との間の放電間隙１２への加工液５の噴出、もしくは噴出の停止を制御することが可能とされている。
【００２０】
また、ピストン部４の加工面２側の先端部は、加工面２側に移動した際には加工面２におけるシリンダ部３の開口部を塞ぎ、加工面２の一部を形成する。これにより、放電加工時には、加工面２におけるシリンダ部３においてもアーク放電を発生させることができ、加工面２における他の部分と同様に放電加工を行うことができる。その結果、この電極１においては、加工面２における開口部、すなわちシリンダ部３の開口部に起因して部分的に加工不足が発生し、開口部に対応した放電痕跡が発生することを抑制することができる。したがって、この電極１では、加工面２における放電痕跡を従来と比して大幅に小さくすることができ、良好な放電加工が可能である。
【００２１】
また、電極１のシャンク８は加工ヘッドで支持され、サーボ機構によって加工ヘッドを移動させることにより電極１をＺ軸方向に上下動させるが、これらの加工ヘッド、サーボ機構等は、本発明には直接関係しないため、図１においては図示を省略する。
【００２２】
次に、図１に示した電極１による放電加工方法について説明する。この電極１による放電加工では、電極１と被加工物１１とを加工液５中に浸積した状態で、該電極１と被加工物１１との間にμ秒からｍ秒オーダーのパルス電圧を印加して電極１と被加工物１１との間に瞬間的なアーク放電を繰り返し発生させ、このときに生じるアーク熱により被加工物１１の被加工面を溶融、蒸発により除去加工する。また、これと同時に図示しないサーボ機構により電極１を降下移動させる。これを連続的に繰り返すことにより、電極１の加工面２の形状が被加工物１１に転写加工される。
【００２３】
ここで、放電加工を行うに際しては、溶融金属の飛沫、すなわち加工屑が発生する。そして、この加工屑が放電間隙１２に侵入すると２次放電が発生し、既に加工された加工面が荒されてしまうため、所定の表面あらさ精度に加工することができない。また、加工屑の量が多くなると、加工屑に起因した加工液５の誘電率、導電率の変化により加工のためのアーク放電の強度が変動してしまい、均一な表面あらさに加工することが困難となる。したがって、放電加工中は、適時、加工屑を電極１と被加工物１１との間から除去することが必要となる。
【００２４】
本発明に係る電極１では、ピストン部４がソレノイド７によりシリンダ部３内において昇降移動され、ピストン部４が上昇時には、加工液供給路６からシリンダ部３に加工液５が供給される。そして、シリンダ部３に供給された加工液５がさらに放電間隙１２に噴出されて、電極１と被加工物１１との間に被加工面１３に沿って排出の流れ５２を形成する。このとき、この排出の流れ５２により放電間隙１２の加工屑が押し流され、放電間隙１２から外部に排出される。また、ピストン部４が下降時には、加工液供給路６からシリンダ部３への加工液５の供給口となる加工液供給路６とシリンダ部３との連結部がピストン部４により塞がれ、加工液供給路６からシリンダ部３への加工液５の供給が停止する。すなわち、ピストン部４が閉塞手段として機能する。
【００２５】
図２及び図３は、図１における部分Ａ、すなわちシリンダ部３の加工面２側先端周辺の拡大図である。
【００２６】
ここで、部分Ａにおいてピストン部４が上昇し、図２に示すようにピストン部４がＺ軸方向のストロークの最上位置にある場合は加工屑除去工程であり、加工液５のシリンダ部３への供給口となるシリンダ部３と加工液供給路６との連結部が開かれた状態とされる。これにより、加工液供給部９から加工液供給路６に供給された加工液５が液圧により加工液５の供給の流れ５１に沿ってシリンダ部３内に供給される。そして、シリンダ部３内に供給された加工液５は、さらに該シリンダ部３の先端から放電間隙１２に噴出され、被加工物１１の被加工面１３に沿って加工液５の排出の流れ５２を形成し、放電間隙１２から流出する。このとき、加工液５は、放電間隙１２に溜まった加工屑を伴って加工液５の排出の流れ５２に沿って流出する。
【００２７】
このため、放電間隙１２から加工屑を効果的に除去することができ、その結果、放電間隙１２を加工屑を含まない加工液５で満たし、放電加工に好ましい状態とすることができる。したがって、放電間隙１２に溜まった加工屑に起因する不具合を生じることなく、被加工物１１に対して良好な放電加工を行うことができる。すなわち、この状態で放電加工を行うことにより、放電間隙の加工屑に起因した加工精度の低下を生じることなく、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。また、加工屑除去工程では電極１と被加工物１１との間には電圧を印加しない。これにより、加工面２に開口部が存在する状態での加工が行われないため、該開口部に起因した放電痕跡の発生が防止される。
【００２８】
また、この電極１では、従来の放電加工用電極において加工屑を除去する際の加工液循環のために必要であった放電加工用電極自体のＺ軸方向の昇降移動が不要である。これにより、従来、放電加工用電極自体を昇降移動させるために要していた時間がなくなり、非加工時間、すなわち実際に放電加工を行っていない間接加工時間を大幅に低減させることができるため、加工速度を向上させて効率的に放電加工を行うことが可能である。また、放電加工用電極自体を繰り返し昇降移動させる必要がないため、昇降移動による電極１の位置ずれが生じることがなく、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【００２９】
なお、上記においては、ピストン部４がＺ軸方向のストロークの最上位置にある場合について説明したが、本発明においては、上記の効果を得るためにはピストン部４は必ずしもＺ軸方向のストロークの最上位置にある必要はない。すなわち、ピストン部４は、該ピストン部４の先端部４１が加工液供給路６のシリンダ部３との連結部よりも上方に位置し、加工液供給路６からシリンダ部３に加工液５が供給可能な位置に配されれば、上記と同様の効果を得ることができる。
【００３０】
一方、部分Ａにおいてピストン部４が下降し、図３に示すようにピストン部４がＺ軸方向のストロークの最下位置にある場合は加工工程であり、ピストン部４が加工液供給路６からシリンダ部３への加工液５の流入を堰き止めている。すなわち、加工液５のシリンダ部３への供給口となるシリンダ部３と加工液供給路６との連結部が閉ざされた状態とされる。したがって、ピストン部４がＺ軸方向のストロークの最下位置にある状態においては、シリンダ部３に加工液が供給されないため、ピストン部４が上昇している場合とは異なり、放電間隙１２の加工屑の除去は行われない。
【００３１】
しかしながら、ピストン部４がＺ軸方向のストロークの最下位置にある場合には、図３に示すようにピストン部４の加工面２側の先端部４１が加工面２におけるシリンダ部３の開口部を塞ぎ、加工面２の一部を形成する。このようにピストン部４の先端部４１が加工面２の一部を形成することにより、加工面２におけるシリンダ部３においてもアーク放電を発生させることが可能となり、加工面２における他の部分と同様に加工を行うことができる。
【００３２】
その結果、被加工物１１の被加工面１３における加工面２の開口部に起因した放電痕跡の発生を従来と比して大幅に抑制することができ、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。したがって、上述した加工屑除去工程と加工工程とを繰り返すことにより、加工精度の良好な放電加工を行うことができる。
【００３３】
また、本発明においては、シリンダ部３とピストン部４とを１対として形成するが、このシリンダ部３とピストン部４との対は、図１に示すように複数形成することが好ましい。電極１にシリンダ部３とピストン部４との対を複数形成することにより、電極１が大型の場合でも、加工液５を円滑に循環させることが可能となり、放電間隙１２の加工屑を確実に除去することができるため、効率的に、且つ精度良く放電加工を行うことができる。
【００３４】
なお、本発明においては、上述した電極１とピストン部４とを同一材料で構成することが好ましい。電極１とピストン部４とを同一材料で構成することにより、ピストン部４の先端部４１で加工面２におけるシリンダ部３の開口部を塞ぎ、加工面２の一部を形成して放電加工を行った際の放電による電極１の消耗量とピストン部４の消耗量とを同一レベルに保つことができるため、電極１の消耗量とピストン部４の消耗量の差に起因して加工後の被加工面に放電の痕跡等が発生することを防止することができる。
【００３５】
また、本発明においては、上述したシリンダ部３の内周面と、ピストン部４の外周面とが対摩耗性材料によりコーティングされていることが好ましい。これにより、ピストン部４の昇降移動を繰り返し行うことによるシリンダ部３の内周面及びピストン部４の外周面の摩耗を抑制することができ、耐久性に優れた電極１を実現することができる。
【００３６】
実施の形態２．
次に、この発明の実施の形態２について説明する。図４は、ピストン部４が最下位置とされた際の、シリンダ部３の加工面２側先端周辺の拡大図である。
【００３７】
実施の形態２においては、ピストン部４の加工面２側の先端部は、加工面２の面形状と略同一の面形状を有する先端部４２とされている。ここで、加工面２の面形状と略同一の面形状とは、ピストン部４が最下位置とされた際に、加工面２とピストン部の先端部４２との間に段差が生じず、加工面２とピストン部の先端部４２とが略同一面上にある状態をいう。また、ここで略同一面とは、平面に限らず、曲面も含むものである。
【００３８】
すなわち、本実施の形態においては、シリンダ部３の加工面２における開口部がピストン部４の先端部４２によりほぼ閉塞されており、ほぼ完全に開口部が存在しない状態とされている。
【００３９】
このような構成とすることにより、加工面２にシリンダ部３の開口部を設けたことによる放電加工の加工精度への影響をほぼ無くすことが可能であり、加工後の被加工面１３における放電の痕跡をさらに低減することができ、高品質な放電加工を行うことが可能である。
【００４０】
実施の形態３．
次に、この発明の実施の形態３について説明する。図５は、ピストン部４が最下位置とされた際の、シリンダ部３の加工面２側先端周辺の拡大図である。
【００４１】
図５においては、シリンダ部３及びピストン部４の加工面２側の形状が先細り形状とされている。このような構成とすることにより、シリンダ部３の開口部を小さくすることができるので、被加工物１１の被加工面１３における加工面２の開口部に起因した放電痕跡の発生をさらに抑制することができ、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【００４２】
そして、この場合、ピストン部４の加工面２側の先端部は、上述した実施の形態２と同様に加工面２の面形状と略同一の形状を有する先端部４３とされていることが好ましい。これにより、加工後の被加工面１３における放電痕跡をより確実に低減することができる。
【００４３】
実施の形態４．
図６は、この発明の実施の形態４を示すものである。図６においては、実施の形態１における加工液供給路６の代わりに、ピストン部４の外周面の所定の位置に該ピストン部４の軸方向に沿って加工液供給路７１である溝部が形成されており、加工液供給部７２から供給パイプ７３を介して加工液供給路７１に加工液５が供給される。
【００４４】
図７及び図８は、図６における部分Ｂ、すなわちピストン部４と供給パイプ７３との接続部周辺の拡大図である。
【００４５】
ここで、部分Ｂにおいてピストン部４が上昇し、図７に示すようにピストン部４がＺ軸方向のストロークの最上位置にある場合には、加工液５の加工液供給路７１への供給口となる供給パイプ７３の先端部と加工液供給路７１との連結部が開かれた状態とされる。これにより、加工液供給部７２から供給パイプ７３を介して加工液供給路７１に供給された加工液５が液圧により加工液５の供給の流れ６１に沿ってシリンダ部３の加工面２側先端に供給される。そして、シリンダ部３の先端に供給された加工液５は、さらに該シリンダ部３の先端から放電間隙１２に噴出され、加工液５の排出の流れ６２を形成し、放電間隙１２から流出する。このとき、加工液５は、放電間隙１２に溜まった加工屑を伴って加工液５の排出の流れ６２に沿って流出する。
【００４６】
これにより、実施の形態１と同様に、放電間隙１２から加工屑を効果的に除去することができ、その結果、放電間隙１２を加工屑を含まない加工液５で満たし、放電加工に好ましい状態とすることができる。したがって、放電間隙１２に溜まった加工屑に起因する不具合を生じることなく、被加工物１１に対して良好な放電加工を行うことができる。すなわち、この状態で放電加工を行うことにより、放電間隙の加工屑に起因した加工精度の低下を生じることなく、加工精度の良好な放電加工を行うことができる。
【００４７】
一方、部分Ｂにおいてピストン部４が下降し、図８に示すようにピストン部４がＺ軸方向のストロークの最下位置にある場合には、供給パイプ７３から加工液供給路７１への加工液５の流入をピストン部４の外周面が堰き止めている。すなわち、加工液５の加工液供給路７１への供給口となる供給パイプ７３の先端部が閉ざされた状態とされる。したがって、ピストン部４がＺ軸方向のストロークの最下位置にある状態においては、加工液供給路７１に加工液が供給されないため、ピストン部４が上昇している場合とは異なり、放電間隙１２の加工屑の除去は行われない。
【００４８】
しかしながら、ピストン部４がＺ軸方向のストロークの最下位置にある場合には、図３の場合と同様にピストン部４の加工面２側の先端部が加工面２におけるシリンダ部３の開口部を塞ぎ、加工面２の一部を形成する。これにより、実施の形態１．と同様に、被加工物１１の被加工面１３における加工面２の開口部に起因した放電痕跡の発生を従来と比して大幅に抑制することができ、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【００４９】
また、このような構成とすることにより、電極１を加工して加工液供給路を形成する必要がなく、容易に加工液供給路を形成することができる。
【００５０】
実施の形態５．
図９は、この発明の実施の形態５を示すものである。図９においては、上述した実施の形態１の構成に、カウンタウェイトと該カウンタウェイトを動作させるカウンタウェイト用ソレノイドとを有するカウンタウェイト部８１を備えている。このカウンタウェイトは、ピストン部４が移動する際に発生するピストン部４の慣性力を相殺するためのものである。したがって、本実施の形態においては、カウンタウェイト部８１を備えることにより、ピストン部４の慣性力を相殺できるため、ピストン部４の慣性力による電極１の振動を抑制することが可能であり、加工精度をさらに向上させることができる。
【００５１】
また、カウンタウェイト部８１は、ピストン部４の慣性力及び加工液５の供給時の液圧の反力を計測する加速度計測手段を備える構成としても良い。このような構成とすることにより、加工液５の供給時の加工液供給部９に起因した電極１の振動、例えば加工液５を供給するための油圧による振動もカウンタウェイト部８１で抑制、相殺することが可能となるため、加工精度をさらに向上させることができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、電極の加工面に設けられた供給孔からの加工液の流れにより放電間隙の加工屑を効果的に除去することができるため、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【００５３】
また、この発明によれば、電極自体を昇降させることなく放電間隙の加工屑を効果的に除去することができるため、良好な加工速度で効率的に放電加工を行うことが可能であり、電極の位置ずれが生じないため、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【００５４】
そして、本発明によれば、電極の加工面に設けられた供給孔を閉塞した状態で放電加工を行うため、被加工物における放電痕跡の発生を大幅に抑制することができ、加工精度の良好な放電加工を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１である放電加工用電極の構成を示す断面図である。
【図２】図１における部分Ａにおいてピストン部が最上位置にある状態を拡大して示す断面図である。
【図３】図１における部分Ａにおいてピストン部が最下位置にある状態を拡大して示す断面図である。
【図４】この発明の実施の形態２である放電加工用電極の構成を示す要部断面図である。
【図５】この発明の実施の形態３である放電加工用電極の構成を示す要部断面図である。
【図６】この発明の実施の形態４である放電加工用電極の構成を示す断面図である。
【図７】図６における部分Ｂにおいてピストン部が最上位置にある状態を拡大して示す断面図である。
【図８】図６における部分Ｂにおいてピストン部が最下位置にある状態を拡大して示す断面図である。
【図９】この発明の実施の形態５である放電加工用電極の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１  放電加工用電極、２  加工面、３  シリンダ部、４  ピストン部、５  加工液、６  加工液供給路、７  ソレノイド、１１  被加工物、１２  放電間隙、１３  被加工面、５１  供給の流れ、５２  排出の流れ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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