(57)【要約】【課題】軟磁性膜の長さまたは軟磁性膜と軟磁性膜との間隔が一定以上長くならないマスタディスクを用いた磁気記録媒体への磁気転写方法を提供すること。【解決手段】サーボ信号のサーボアドレス情報に対するコード変換である２ビット−４ビット変換は、２ビットデータを４ビットデータに変換し、変換された４ビットデータ中に０および１が、必ず同数の２個づつ含まれる。変換後のサーボアドレス情報は、ビット０とビット０あるいはビット１とビット１との間、すなわち同一のビットの間には、異なるビットが１または２個入っており、同一のビットが３以上連続していない。【選択図】        図１０
2004253048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気転写を行うために、磁気記録媒体に磁化パターンとして記録するビット情報を予め埋め込まれた磁気転写用マスタディスクであって、
前記ビット情報に含まれるビット列は、所定のビット数ごとに分割したブロック中に異なる値のビットが少なくとも１つ含まれるように変換されていることを特徴とする磁気転写用マスタディスク。
【請求項２】
前記ビット情報に含まれる０の値を有するビットの数と１の値を有するビットの数とが同一であることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写用マスタディスク。
【請求項３】
磁気転写を行うために、磁気記録媒体に記録するビット情報を磁化パターンとして予め埋め込まれた磁気転写用マスタディスクであって、
前記ビット列は、所定のビット数ごとに分割したブロック中に異なる値のビットが少なくとも１つ含まれるように、
２ビットごとに分割され、各２ビットを予め定められた３ビット乃至１０ビットのいずれかのビット数のパターンに変換されていることを特徴とする磁気転写用マスタディスク。
【請求項４】
前記ビット情報は、サーボアドレス情報またはシリンダ情報であることを特徴とする請求項１、２または３に記載の磁気転写用マスタディスク。
【請求項５】
磁気転写を行うために、磁気記録媒体に磁化パターンとして記録するビット情報を予め埋め込まれた磁気転写用マスタディスクを製造する製造方法であって、
前記ビット情報に含まれるビット列は、所定のビット数ごとに分割したブロック中に異なる値のビットが少なくとも１つ含まれるように変換されていることを特徴とする磁気転写用マスタディスクの製造方法。
【請求項６】
磁気記録媒体に磁化パターンとして記録するビット情報を磁気転写用マスタディスクに埋め込むステップと、該磁気転写用マスタディスクを磁気記録媒体に接触させることにより、前記磁気記録媒体上に前記ビット情報が形成されるように転写するステップとを備えた磁気記録媒体への磁気転写方法において、
前記磁気転写用マスタディスクに埋め込むステップは、前記ビット情報に含まれるビット列を所定のビット数ごとに分割したブロック中に異なる値のビットが少なくとも１つ含まれるように変換して埋め込むステップを含むことを特徴とする磁気記録媒体への磁気転写方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体への磁気転写方法およびマスタディスクに関し、より詳細には、磁気記録媒体を用いるハードディスクドライブ装置における磁気記録媒体への磁気転写方法およびマスタディスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤという。）装置は、回転している磁気記録媒体の表面上を磁気ヘッドがスライダと呼ばれる浮上機構によって、ディスク表面上数１０ｎｍの距離を保ってデータの記録および再生を行っている。磁気記録媒体上のビット情報は、記録媒体面上の同心円状に配置されたデータトラック上に格納されており、磁気ヘッドは、記録媒体面上の目的のトラックに高速で移動して位置決めされた後、データの記録および再生を行っている。この際、磁気記録媒体面上には、磁気ヘッドとデータトラックとの相対位置を検出するための位置決め信号（以下、サーボ信号という。）が同心円上に書き込まれており、磁気ヘッドは、データの記録および再生を行いながら、一定時間間隔で自己の位置を検出する。
【０００３】
このサーボ信号は、書き込まれた信号が記録媒体の中心または磁気ヘッドの軌道の中心から偏心しないようにするため、ＨＤＤ装置に磁気記録媒体を組み込んだ後サーボライタと呼ばれる専用の装置を用いて書き込まれる。現在、ＨＤＤ装置の記録密度は、開発段階においてではあるが、既に１００Ｇｂｉｔｓ／ｉｎ２に達しており、これは、年率６０％で増加している。これに伴い、位置検出のためのサーボ信号の記録密度も高くなっており、その結果、サーボ信号の書き込み時間も年々増加する傾向にある。サーボ信号の書き込み時間の増加は、ＨＤＤ装置の生産性低下、コスト増加をもたらす一つの大きな要因となっている。
【０００４】
そこで、近年になって、サーボライタの信号書き込みヘッドを用いて、サーボ信号を書き込む方式に対して、磁気的な転写によってサーボ信号を一括して書き込むことにより、飛躍的にサーボ信号の書き込み時間を短縮しようとする技術（以下、磁気転写あるいは磁気転写技術という。）が開発されている（例えば特許文献１または２を参照）。
【０００５】
図１および図２は、この磁気転写技術を説明するための図である。図１（ａ）は、磁気記録媒体１０１の初期消磁工程を示す図であり、矢印は、永久磁石の移動路を表したもので、磁性層は円周方向に一様に磁化されることにより初期化される。図１（ｂ）に有るように、磁気転写用マスタディスク（以下、マスタディスクという。）１０２は磁気記録媒体１０１の上に配置され、位置合わせが行われる。図１（ｃ）に示すように、マスタディスク１０２を磁気記録媒体１０１の表面に密着させ、磁気転写用の永久磁石を矢印で示す移動路に沿って移動させることにより、マスタディスク１０２に埋め込まれたサーボ信号を磁気記録媒体１０１に磁気転写する。
【０００６】
図２（ａ）は、初期消磁工程において、磁気記録媒体の表面上を永久磁石２０１が一定間隔（１ｍｍ以下）を保ちながら移動する様子を磁気記録媒体の断面方向から見た図である。磁記録媒体には、基板２０３上面に磁性膜２０２が成膜されているが、この磁性膜２０２は当初一定方向に磁化された状態にはない。しかし、初期消磁工程では、永久磁石２０１を矢印の進行方向に移動させることによって、永久磁石２０１のギャップからもれた磁界によって、一定方向に磁化されることとなる。なお、磁性膜２０２中の矢印は、磁化の方向を示す。
【０００７】
図２（ｂ）は、サーボ信号などビット情報を磁気パターンである転写パターンとして書き込みを行う工程を示す図である。マスタディスク１０２は、シリコン基板２０５の記録媒体に接する面に転写パターンを表す軟磁性膜２０４のパターンを埋め込んだ構造となっている。したがって、磁気記録媒体１０１にマスタディスク１０２を位置あわせして密着させ、マスタディスク１０２の基板上を永久磁石２０１が矢印の進行方向に移動することによって、永久磁石２０１から漏れて浸透した磁界は、軟磁性膜２０４のない位置ではシリコン基板２０５を透過して磁性膜２０２を磁化することができる。一方、軟磁性膜２０４のある位置で、磁界は、磁気抵抗の小さい磁気経路となるよう軟磁性膜２０４を通過するため、シリコン基板２０５から漏れ出す磁界が小さくなり、そこにある磁気記録媒体１０１の磁性膜２０２は新たに磁化されることがなく、初期消磁工程で磁化された方向の磁気を保つこととなる。この原理を用いて、マスタディスク上に軟磁性膜２０４に形成された転写パターンが、磁気記録媒体の磁性膜２０２上に転写される。
【０００８】
図３は、あるＨＤＤ装置のサーボ信号のパターンを示す図である。通常、サーボ信号は以下のようなフォーマットから構成される。
【０００９】
（１）サーボＡＧＣ
ＡＧＣおよびサーボクロック同期の２つの機能を有し、装置の実施態様により異なるが、通常、１００ビット程度形成される。
【００１０】
ここで、ＡＧＣとは、増幅器のＡｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｇａｉｎ  Ｃｏｎｔｒｏｌのことであり、増幅器のＡＧＣ回路を正常に機能させるためにサーボＡＧＣは用いられる。すなわち、通常、サーボ信号以外の部分に何らかのデータが書き込まれていれば、増幅器のＡＧＣ回路は正常に動作するが、サーボ信号以外の部分に何も書き込まれていない場合や、書き込み直後のサーボ信号読み込みの場合、増幅器の利得が最大限に近い状態となっており、サーボ信号が正常に読み込まれない。このため、サーボ信号の最初にプリアンブルとして存在するサーボＡＧＣにより利得を正常に戻すことができるのである。したがって、サーボＡＧＣの最初の部分は正常に読み込めなくても問題がなく、オール１のダイビットパターン、すなわち、サーボ周波数での一定周波数の信号となっている。サーボ信号を読み取るためのクロックをＰＬＬ（Ｐｈａｓｅ  Ｌｏｃｋｅｄ  Ｌｏｏｐ）回路で生成し、この最初の部分に同期させるのである。
【００１１】
（２）サーボ検出パターン
サーボパターンであることを識別するための特定パターンである。
【００１２】
（３）サーボアドレス情報
シリンダ情報
サーボトラックのシリンダ情報がグレイコード化されて書き込まれており、ＨＤＤ装置は、この情報を基に磁気ヘッドを目的のトラックに位置決めして、書き込まれたデータを読み出し、あるいはデータを記録する。
【００１３】
図４は、シリンダ情報をグレイコード化する際の変換表を示している。図４（ａ）は、バイナリコードからグレイコードへの変換パターンを示しており、図４（ｂ）は、シリンダ情報に実際にグレイコードを適用した場合を示している。グレイコード化は、図４に示すように、隣接するシリンダ間ではシリンダ情報がビット１個分しか変化しないようにして、磁気ヘッドがシリンダ情報を誤って読み取っても大きく相違する位置をアクセスしないで済むようにすることを目的にする。
【００１４】
シリンダ情報のビット数は、例えば、３．５インチ磁気記憶媒体を両面３枚で使用するＨＤＤ装置では、次のように計算される。記録範囲は通常、１７．８５〜４７．００ｍｍであり、トラック幅を０．１μｍとすると、１面あたり２９，４８４トラックとなり、ＨＤＤ装置全体では２×３×２９，４８４＝１７６、０４トラックとなって１８ビット相当が必要となる。半径１７．８５ｍｍでサーボビット長を０．１μｍとすると、総サーボビット長は、１．８μｍであり、半径２３．５ｍｍでのサーボビット長を０．１３μｍとすると、総サーボビット長は、２．４μｍである。したがって、全て０または１のシリンダ情報の場合サーボ信号において、上記の総サーボビット長の間０または１が連続することとなる。
【００１５】
セクタ情報
トラックを数１００個に分割した領域で、ＨＤＤ装置内部でのデータ記録および再生の単位であり、セクタアドレスは、通常、２進数で表される。たとえば、全周で９０セクタある場合は、７ビット長となる。
【００１６】
（４）サーボバースト情報
目的とするトラックに磁気ヘッドを移動させた後、そのトラック上に磁気ヘッドの位置決めをするために必要となる情報で、一般的には、１８０度位相のずれた信号の信号振幅を比較することによって、目的とするトラック中心に磁気ヘッドの位置決めを行う。通常使用されるパターンは１トラック幅Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの位相をずらしたバーストパターンである。
【００１７】
上記のサーボ信号のほか、磁気記録媒体には、データが記録される。サーボ信号以外のデータには、ＲＬＬ（Ｒｕｎ  Ｌｅｎｇｔｈ  Ｌｉｍｉｔｅｄ）コードが考案され用いられている。元データは、一旦変調した後記録し再生される。ここで、最小磁化反転間隔をｄ、最大磁化反転間隔をｋ、元データのビット長をｍ、変調後のビット長をｎを用いると、図５は、ｄ＝１、ｋ＝７におけるＲＬＬ１−７コードについての変調前後のビット列の例を示す。また、図６は、ＲＬＬの変調ルールを示している。ＲＬＬ１−７コードは、磁化反転間隔の最小値と最大値がそれぞれ１と７となるコードで、原則として２ビットのデータを３ビットのデータに変換し、４ビットのデータ列は６ビットに変換する。このように、ＲＬＬ１−７コードは、１と１の間に最小１個で、最大７個０が存在し、長い区間に渡って０または１が連続しないようになっている。データビット長を０．１μｍとすると、０または１は最大０．７μｍ連続する可能性がある。
【００１８】
【特許文献１】
特開２００１−２８３４３３号公報
【００１９】
【特許文献２】
特開平１０−４０５４４号公報
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、マスタディスクを用いた磁気転写技術には、転写パターンに同一のビットが長く連続すると磁気遷移間隔（“０”または“１”が連続する区間の長さ）が長くなるため磁化反転しづらくなり、安定した磁気転写が困難になるという問題があった。すなわち、磁気遷移間隔が大きくなると、軟磁性膜の下部の磁束密度が高くなり、初期化消磁された記録媒体上の磁性膜が磁化されてしまい、その結果磁化反転しづらくなってしまう。
【００２１】
図７は、軟磁性膜の長さおよび間隔を変えた場合（長さＷ＝０．７μｍ、間隔Ｐ＝１．４μｍの場合とＷ＝２．０μｍ、Ｐ＝４．０μｍの場合）の磁気記録媒体の磁性膜の位置と磁束密度の関係を示している。この測定結果によると、Ｗ＝２．０μｍ、Ｐ＝４．０μｍの場合のほうが、軟磁性膜の下部での磁束密度が大きくなっている。理想的には、軟磁性膜の下部にあたる磁気記録媒体の磁性膜における磁束密度は零であることが望ましいが、軟磁性膜の長さが長く、または軟磁性膜の間隔が大きくなると、軟磁性膜に流入する記録磁界の磁束が多くなり、軟磁性膜中の磁束密度が高くなって、軟磁性膜の飽和磁束密度を超過する。つまり、磁気記録媒体の磁性膜に磁界が漏れこむことをこの測定結果は示している。図８は、図７と同様に軟磁性膜の長さおよび間隔を変化させた場合の軟磁性膜の下部における磁気飽和点を示す図である。図８の測定結果から、磁気飽和による磁界のもれこみが理解できる、一方、軟磁性膜と軟磁性膜との間の磁束密度は、Ｗ＝２．０μｍ、Ｐ＝４．０μｍの場合の方が小さくなることがわかる。これは、軟磁性膜と軟磁性膜との間が離れた状態では、軟磁性膜を通過した磁束が、磁石に近い側を通過し、磁気記録媒体の磁性膜における磁束密度が低くなるからである。
【００２２】
したがって、磁気転写を磁気記録媒体の前面で確実に行うためには、軟磁性膜の下部では、漏れ磁束密度を小さくし、軟磁性膜と軟磁性膜との間では磁束密度を大きくすることが必要となるが、上記のように軟磁性膜の長さが長くなり、または軟磁性膜の間隔が長くなるとこの条件は達成されないこととなる。上記の測定結果では、長さ（Ｗ）で約３倍、間隔（Ｐ）で２倍の相違がある場合を示したが、より大きな相違がある場合は、問題がより大きくなる。例えば、３．５インチＨＤＤ装置の場合、サーボアドレス情報の磁気遷移間隔は、０．１〜２．４μｍと約２４倍の広範に及ぶため、上記に示した傾向は顕著になり、最悪の場合、局所的に磁化反転しない個所が現れる可能性もある。この結果、安定的に磁気転写することが困難となるという問題があるのである。
【００２３】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、マスタディスク上にビット情報を埋め込む際、予め同一のビットが長く連続しないように変換することにより、軟磁性膜の長さまたは軟磁性膜と軟磁性膜との間隔が一定以上長くなることのない磁気記録媒体への磁気転写方法およびマスタディスクを提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、磁気転写を行うために、磁気記録媒体に磁化パターンとして記録するビット情報を予め埋め込まれた磁気転写用マスタディスクであって、ビット情報に含まれるビット列は、所定のビット数ごとに分割したブロック中に異なる値のビットが少なくとも１つ含まれるように変換されていることを特徴とする。
【００２５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の磁気転写用マスタディスクにおいて、ビット情報に含まれる０の値を有するビットの数と１の値を有するビットの数とが同一であることを特徴とする。
【００２６】
請求項３に記載の発明は、磁気転写を行うために、磁気記録媒体に記録するビット情報を磁化パターンとして予め埋め込まれた磁気転写用マスタディスクであって、ビット列は、所定のビット数ごとに分割したブロック中に異なる値のビットが少なくとも１つ含まれるように、２ビットごとに分割され、各２ビットを予め定められた３ビット乃至１０ビットのいずれかのビット数のパターンに変換されていることを特徴とする。
【００２７】
請求項４に記載の発明は、請求項１、２または３に記載の磁気転写用マスタディスクにおいて、ビット情報は、サーボアドレス情報またはシリンダ情報であることを特徴とする。
【００２８】
請求項５に記載の発明は、磁気転写を行うために、磁気記録媒体に磁化パターンとして記録するビット情報を予め埋め込まれた磁気転写用マスタディスクを製造する製造方法であって、ビット情報に含まれるビット列は、所定のビット数ごとに分割したブロック中に異なる値のビットが少なくとも１つ含まれるように変換されていることを特徴とする。
【００２９】
請求項６に記載の発明は、磁気記録媒体に磁化パターンとして記録するビット情報を磁気転写用マスタディスクに埋め込むステップと、磁気転写用マスタディスクを磁気記録媒体に接触させることにより、磁気記録媒体上にビット情報が形成されるように転写するステップとを備えた磁気記録媒体への磁気転写方法において、磁気転写用マスタディスクに埋め込むステップは、ビット情報に含まれるビット列を所定のビット数ごとに分割したブロック中に異なる値のビットが少なくとも１つ含まれるように変換して埋め込むステップを含むことを特徴とする。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００３１】
図９は、サーボ信号のサーボアドレス情報に対するコード変換（２ビット−４ビット）を示す図である。本実施例の２ビット−４ビット変換は、ビット情報に含まれるビット列を２ビットごとに分割し、各２ビットデータを４ビットデータに変換し、変換された４ビットデータ中に０および１が、必ず同数の２個づつ含まれるようにすることを特徴とする。
【００３２】
図１０は、図９に示す２ビット−４ビット変換を実際に適用したサーボアドレス情報（１８ビット）を示す図である。図１０（ａ）は、変換前のビット情報のビット列であり図１０（ｂ）は、変換後のビット列である。変換後のサーボアドレス情報は、ビット０とビット０あるいはビット１とビット１との間すなわち同一のビットの間には、異なるビットが１または２個入っており、同一のビットが３以上連続していないことが理解できる。
【００３３】
図１１は、サーボアドレス情報の他の変換方法（２ビット−３ビット変換）の例を示している。本実施例においては、２ビットを３ビットに変換して３ビット中に異なるビットが必ず１個は含まれるように変換される。さらに、直前のビット値に基づいて、異なるビット値を持つＸを導入し、できる限り同一ビットが連続しないよう考慮されている。本実施例では、Ｘは直前のビットの逆の値をとる、つまり、直前の値が１であれば「０」、直前の値が０であれば「１」となる。図１２は、図１０と同様に図１１に示す２ビット−３ビット変換を実際に適用したサーボアドレス情報（１８ビット）を示す図である。図１２（ａ）は、変換前のビット情報のビット列であり図１２（ｂ）は、変換後のビット列である。
【００３４】
以上、２ビット−４ビット変換および２ビット−３ビット変換を用いた実施例を説明したが、前者は変換方法がより簡潔であり、後者は変換により増加するビット数が少ないといった特徴をそれぞれ有しており、ＨＤＤ装置の特性に応じてどちらの変換も用いることができる。
【００３５】
次に、上記のような変換によって変換されたサーボアドレス情報は、他の情報と共にサーボパターンおよびデータパターンとしてマスタディスクに埋め込まれる。本実施例では、マスタディスクはシリコン基板上に上記パターンに形成した軟磁性膜を埋め込むことによって製造することができる。以上のように製造されたマスタディスクを磁気記録媒体に接触させることによって、磁気転写によりじかパターンが形成される。
【００３６】
図１３は、磁気記録媒体への磁化パターンの転写のフローを示す図である。まず、磁気記録媒体は、磁性層が円周方向に一様に磁化されることにより初期化される（Ｓ１３１）。次に元のサーボアドレス情報を２ビット−４ビット変換し、これを含むサーボ信号の磁化パターンを作成する（Ｓ１３２）。作成された磁化パターンが形成されるように軟磁性膜のパターンをマスタディスクに埋め込む（Ｓ１３３）。軟磁性膜を埋め込まれたマスタディスクが磁気記録媒体の上に配置され、位置合わせが行われ（Ｓ１３４）、マスタディスクを磁気記録媒体の表面に密着させたまま磁気転写用の永久磁石を矢印で示す移動路に沿って移動させることにより、マスタディスクに埋め込まれたサーボ信号を磁気記録媒体に磁気転写する（Ｓ１３５）。
【００３７】
この磁気記録媒体を含むＨＤＤ装置では、磁気記録媒体の記録および再生を行う際、磁気ヘッドにより他のサーボ信号と共にマスタディスク設計時変換したサーボアドレス情報が読み取られる。このサーボアドレス情報を読み込んだ後、逆変換をかけることにより本来のサーボアドレス情報を得る。すなわち、読み込んだビット列を２ビット−４ビット変換の場合は４ビット、２ビット−３ビット変換の場合は３ビットごとに分割し、上記実施例に示した変換を逆に実行して２ビットのデータを得、これを合成することによって本来のビット数（上記実施例では、１８ビット）のサーボアドレス情報が求められる。
【００３８】
なお、本実施例では、データ変換の単位を２ビットとしたが、特にこだわる必要はない。磁気転写が安定的に行える許容ビット数をｎとすると、（ｎ−２）／２以下のビット数を変換単位として、１および０を少なくともそれぞれ１個以上含むビット数（ｎ−２）／２＋１のコードへ変換するデータ変換であれば、いずれの変換も使用することができる。このような変換を用いることによって、変換後のサーボアドレス情報は、同一の値を持つビットとビットとの間に、１〜ｎ個の値の異なるビットを持つようにすることができ、したがって、ｎ個より多く同一のビット値が連続することを回避することができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ビット情報をマスタディスクに埋め込む際、予めビット情報に含まれるビット列のうち一定のビット数ごとに異なるビットが現れるように変換するので、磁気遷移間隔が広範囲に及ぶことを回避することができ、磁気パターンの幅がサブμｍであっても信頼性の高い磁気転写を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、磁気記録媒体の初期消磁工程、（ｂ）は、マスタディスクの位置合わせ工程、（ｃ）は、転写パターン書き込み工程をそれぞれ示す図である。
【図２】（ａ）は、磁気記録媒体の断面方向から見た初期消磁工程を示す図であり、（ｂ）は、磁気記録媒体の断面方向から見たサーボ信号などの転写パターンの書き込みを行う工程を示す図である。
【図３】本発明のＨＤＤ装置のサーボ信号のパターンを示す図である。
【図４】本発明の実施例にかかるシリンダ情報をグレイコード化する際の変換表を示す図である。（ａ）は、バイナリコードからグレイコードへの変換表を示しており、（ｂ）は、シリンダ情報に実際にグレイコードを適用した場合の変換表を示している。
【図５】本発明の実施例にかかるＲＬＬ１−７コードについての変調前後のビット列の例を示す図である。
【図６】本発明の実施例にかかるＲＬＬの変調ルールを示す図である。
【図７】磁気記録媒体の磁性膜の位置と磁束密度の関係を示す図である。
【図８】軟磁性膜の下部における磁気飽和点を示す図である。
【図９】本発明のサーボ信号のサーボアドレス情報に対するコード変換（２ビット−４ビット）を示す図である。
【図１０】本発明の２ビット−４ビット変換を実際に適用したサーボアドレス情報（１８ビット）を示す図である。
【図１１】本発明のサーボ信号のサーボアドレス情報に対するコード変換（２ビット−３ビット）を示す図である。
【図１２】本発明の２ビット−３ビット変換を実際に適用したサーボアドレス情報（１８ビット）を示す図である。
【図１３】本発明の磁気記録媒体への磁化パターンの転写のフローを示す図である。
【符号の説明】
１０１  磁気記録媒体
１０２  磁気転写用マスタディスク
２０１  永久磁石
２０２  磁性膜
２０３  基板
２０４  軟磁性膜
２０５  Ｓｉ基板
【図１】
2004253048.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2004253048.tif 000012
【図１１】
2004253048.tif 000013
【図１２】
2004253048.tif 000014
【図１３】
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