(57)【要約】【課題】静電チャックの静電吸着面と板状体との密着性を向上させることができ、したがって、板状体の横滑り等が生じる虞が無く、静電チャックの動きに板状体の動きを追随させることができ、その結果、板状体の位置精度を向上させることができ、しかも板状体が傷つく虞が無く、耐久性に優れた静電チャック、及びそれを備えた板状体貼り合わせ装置を提供する。【解決手段】本発明の静電チャック１１は、上面がガラス基板を静電吸着する静電吸着面１２ａとされ絶縁性（または誘電性）を有する矩形状の基体１２と、基体１２の内部かつ静電吸着面１２ａに平行に配設され静電吸着力を発揮させるための内部電極１３と、内部電極１３に電気的に接続され外部から直流電圧を印加するための電圧供給端子１４と、静電吸着面１２ａに形成された厚みが一定のストライプ状の粘着・滑り止め層１５とにより構成したことを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体を静電吸着する吸着面を有するセラミックスからなる基体と、該基体の内部に配設された内部電極とを備えてなる静電チャックにおいて、
前記吸着面に粘着・滑り止め層を形成してなることを特徴とする静電チャック。
【請求項２】
前記粘着・滑り止め層は、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニール樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、エーテルアクリレート樹脂から選択された１種または２種以上からなることを特徴とする請求項１記載の静電チャック。
【請求項３】
前記粘着・滑り止め層の厚みは１０〜３０μｍであることを特徴とする請求項１または２記載の静電チャック。
【請求項４】
前記粘着・滑り止め層の表面の合計面積の、前記吸着面の面積に対する割合は、５〜９０％であることを特徴とする請求項１、２または３記載の静電チャック。
【請求項５】
１つの板状体を保持する第１の定盤と、前記板状体に対向配置される他の板状体を保持する第２の定盤と、これら第１及び第２の定盤のうち少なくとも一方を移動可能とするとともにこれらの定盤に保持される１対の板状体を位置合わせしながら所定の間隔をおいて貼り合わせる貼り合わせ手段とを備えてなる板状体貼り合わせ装置において、
前記第１及び第２の定盤のうちいずれか一方または双方に、請求項１記載の静電チャックを備えてなることを特徴とする板状体貼り合わせ装置。
【請求項６】
前記１対の板状体は、表示装置の表示面に用いられる１対の基板であることを特徴とする請求項５記載の板状体貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電チャック及びそれを備えた板状体貼り合わせ装置に関し、さらに詳しくは、パーソナルコンピュータやモニターディスプレイ等のＯＡ機器、携帯型の情報通信機器や情報通信端末等に用いられる液晶表示装置の製造工程に用いて好適な静電チャック及びそれを備えた板状体貼り合わせ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、パーソナルコンピュータやモニターディスプレイ等のＯＡ機器、携帯型の情報通信機器や情報通信端末等においては、液晶表示装置が多く用いられている。この液晶表示装置は、Ｘ方向及びＹ方向それぞれのストライプ状の透明電極や配向膜等が形成された１対のガラス基板を、それぞれの透明電極が互いに直交するようにスペーサを介して互いに貼り合わせ、これらのガラス基板間に液晶層を形成した構成である。これらガラス基板各々の主面側には、偏光板やその他の光学フィルムが必要に応じて配置される。偏光板は、液晶の表示モードにより、１枚または２枚設けられ、場合によっては使用されないこともある。
【０００３】
このような液晶表示装置には、透過型と反射型があり、透過型の場合は、表示面の反対側から３波長型の冷陰極管等で光を照射して表示させることにより、また、反射型の場合は、表示面の反対側に反射板を設置して外光を反射させることにより、表示を行っている。いずれの型式においても、液晶を電圧駆動することで、ディスプレイとして用いることができる。
【０００４】
このような液晶表示装置を製造する場合、重要な工程の１つが１対のガラス基板間に液晶層を形成する工程であり、液晶層を形成する方法としては、注入方式と滴下方式とが知られている。この注入方式とは、１対のガラス基板をスペーサ及びシール材を介して貼り合わせ、シール材により画成されたセルの開口部から毛細管現象と圧力差とにより液晶を充填する方式である。また、滴下方式とは、一方のガラス基板上にシール材を固定してセルを画成し、このセル領域に液晶を滴下し、このガラス基板に、スペーサが固着された他方のガラス基板を貼り合わせる方式である。
各方式とも、一対のガラス基板を貼り合わせる工程が必須であり、この工程では、貼り合わせるガラス基板の形状や大きさに見合った基板貼り合わせ装置が用いられている（例えば、特許文献１等参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−６６１６３号公報
【０００６】
図６は、従来の基板貼り合わせ装置の一例を示す断面図であり、対向配置されたガラス基板１、２を貼り合わせる装置である。この基板貼り合わせ装置は、真空容器３と、真空容器３内の底部に設けられた台座４と、台座４上に設けられガラス基板１を保持する定盤５と、ガラス基板１に対向配置されるガラス基板２を保持する定盤６と、定盤６を上下方向に移動可能かつその移動範囲内の所定の位置に固定可能とするとともに、定盤５、６に保持される１対のガラス基板１、２を位置合わせしながら所定の間隔をおいて貼り合わせる貼り合わせ機構（貼り合わせ手段）７と、定盤６の下面（ガラス基板２を保持する側）に設けられガラス基板２を静電吸着する静電チャック８とにより構成されている。
静電チャック８としては、下記のような構造のものが用いられる。
（１）セラミックスからなる基体の内部に静電吸着力を発生させるための内部電極が設けられ、この基体の静電吸着面は、静電吸着されるガラス基板との密着性を高めるために所定の表面粗さに加工された構造。
（２）ポリイミド樹脂からなる基体の内部に静電吸着力を発生させるための内部電極が設けられた構造。
【０００７】
このような基板貼り合わせ装置を用いてガラス基板１、２同士を貼り合わせるには、まず、ガラス基板１を定盤５の上面に載置するとともに、ガラス基板２を定盤６の静電チャック８に吸着させ、真空ポンプ（図示せず）を用いて真空容器３内を所定の圧力に減圧する。次いで、貼り合わせ機構７を稼働させてガラス基板１、２同士を貼り合わせる。
ここでは、定盤６を加圧してガラス基板１、２同士を所定のギャップ厚で平行に衝合させ、さらに定盤６を押しつけ、ガラス基板１、２同士の仮位置決めを行う。
その後、定盤６を微少量だけ水平方向に変位させて吸着固定されたガラス基板２をガラス基板１に対して微少量だけ水平方向に変位させるか、あるいは、定盤６を微少角度だけ回転させて吸着固定されたガラス基板２をガラス基板１に対して微少角度だけ回転させることにより、ガラス基板１、２同士の微小位置決めを行い、ガラス基板１、２同士を所要の精度で最終的に位置整合させて貼り合わせる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の基板貼り合わせ装置では、次の様な問題点があった。
上記の（１）の構造の静電チャック８を備えた基板貼り合わせ装置では、ガラス基板１、２同士の微小位置決めを行う際に、ガラス基板１、２間の摩擦力がガラス基板２と静電チャック８との間の静電吸着力より大きくなってしまった場合、ガラス基板２の動きが静電チャック８の動きに追随できなくなってしまい、その結果、ガラス基板１、２同士の微小位置決めの精度が低下してしまうという問題点があり、ガラス基板１、２同士を所定の精度にて最終的に位置整合させることが必ずしも容易ではない。
また、静電チャック８の静電吸着面が所定の表面粗さに加工されているので、静電吸着されるガラス基板２の表面が傷つき易く、したがって、ガラス基板１、２の貼り合わせ工程における生産性が向上し難く、製造コストの低減を図ることが難しいという問題点があった。
【０００９】
また、上記の（２）の構造の静電チャック８を備えた基板貼り合わせ装置では、ガラス基板１、２同士を所定の精度にて最終的に位置整合させることは比較的容易であるが、静電チャック８の基体がポリイミド樹脂により構成されているために、耐久性が充分ではないという問題点があった。この場合、ガラス基板１、２同士を貼り合わせる際にガラス基板１、２間に異物を挟み込むと、静電チャック８が簡単に破壊されてしまうという問題点がある。
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、静電チャックの静電吸着面と板状体との密着性を向上させることができ、したがって、板状体の横滑り等が生じる虞が無く、静電チャックの動きに板状体の動きを追随させることができ、その結果、板状体の位置精度を向上させることができ、しかも板状体が傷つく虞が無く、耐久性に優れた静電チャック、及びそれを備えた板状体貼り合わせ装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、鋭意検討した結果、静電チャックの吸着面と静電吸着される板状体との間の保持力を向上させることができれば、上記の課題を効率よく解決し得ることを知見し、本発明を完成するに至った。
【００１２】
すなわち、本発明の静電チャックは、板状体を静電吸着する吸着面を有するセラミックスからなる基体と、該基体の内部に配設された内部電極とを備えてなる静電チャックにおいて、前記吸着面に粘着・滑り止め層を形成してなることを特徴とする。
【００１３】
この静電チャックでは、吸着面に粘着・滑り止め層を形成したことにより、基体の吸着面と、静電吸着される板状体との間の密着性が向上し、この静電チャックにおける板状体の静電吸着力が向上する。これにより、板状体の動きを静電チャックの動きに追随させることが可能となり、板状体が吸着面で横滑りする虞もなくなる。その結果、吸着面に静電吸着される板状体の位置精度が向上する。
また、吸着面を所定の表面粗さに加工する必要がないので、静電吸着される板状体が傷つく虞も無い。
【００１４】
前記粘着・滑り止め層は、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニール樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、エーテルアクリレート樹脂から選択された１種または２種以上とすることが好ましい。
前記粘着・滑り止め層を、上記の複数の樹脂から選択された１種または２種以上とすることで、基体の吸着面と、静電吸着される板状体との間の密着性が向上し、板状体の静電吸着力が向上し、板状体が吸着面で横滑りする虞もなくなる。
【００１５】
前記粘着・滑り止め層の厚みは１０〜３０μｍが好ましい。
粘着・滑り止め層の厚みが１０μｍ未満であると、板状体の吸着力の改善効果や横滑り防止効果が必ずしも充分なものとはならず、また、粘着・滑り止め層の厚みが３０μｍを越えると、この粘着・滑り止め層の弾性が増加し、静電吸着した板状体の位置が揺動することとなり、この板状体の位置精度が低下するからである。
【００１６】
前記粘着・滑り止め層の表面の合計面積の、前記吸着面の面積に対する割合は、５〜９０％が好ましい。
この割合が５％未満であると、板状体の粘着・滑り止め効果が充分なものとはならず、また、９０％を超えても、板状体の粘着・滑り止め効果が増大しないからである。
【００１７】
本発明の板状体貼り合わせ装置は、１つの板状体を保持する第１の定盤と、前記板状体に対向配置される他の板状体を保持する第２の定盤と、これら第１及び第２の定盤のうち少なくとも一方を移動可能とするとともにこれらの定盤に保持される１対の板状体を位置合わせしながら所定の間隔をおいて貼り合わせる貼り合わせ手段とを備えてなる板状体貼り合わせ装置において、前記第１及び第２の定盤のうちいずれか一方または双方に、本発明の静電チャックを備えてなることを特徴とする。
【００１８】
この板状体貼り合わせ装置では、第１及び第２の定盤のうちいずれか一方または双方に、本発明の静電チャックを備えたことにより、静電チャックの基体の吸着面と、静電吸着される板状体との間の密着性が向上し、静電チャックにおける板状体の静電吸着力が向上し、板状体が吸着面で横滑りすることも無くなる。これにより、板状体同士の位置決めの精度が向上し、板状体同士を所定の精度にて最終的に位置整合させることが可能になり、板状体の貼り合わせ工程の生産性が向上する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の静電チャック及びそれを備えた板状体貼り合わせ装置の一実施の形態について説明する。
本実施形態では、板状体として液晶表示装置の表示面に用いられるガラス基板を例に取り説明する。
なお、本実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
【００２０】
「静電チャック」
図１は、本発明の一実施形態の静電チャックを示す断面図、図２は同平面図であり、この静電チャック１１は、上面がガラス基板（板状体）を静電吸着する静電吸着面１２ａとされ絶縁性（または誘電性）を有する矩形状の基体１２と、基体１２の内部かつ静電吸着面１２ａに平行に配設され静電吸着力を発揮させるための内部電極１３と、内部電極１３に電気的に接続され外部から直流電圧を印加するための電圧供給端子１４と、静電吸着面１２ａに形成された厚みが一定のストライプ状の粘着・滑り止め層１５とにより構成されている。
この基体１２には、リフトピンを挿通するための貫通孔１６が複数、穿設されている。
【００２１】
基体１２は、絶縁性（または誘電性）を有するセラミックスからなるもので、セラミックスとしては、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化珪素、酸化珪素、酸化ジルコニウム、酸化チタン、サイアロン、窒化ホウ素、炭化珪素から選択された１種からなるセラミックス、あるいは２種以上を含む複合セラミックスが好ましい。
このように、基体１２を構成する材料は、単一であっても混合物であってもよいが、熱膨張係数が可能な限り内部電極１３の熱膨張係数に近似したもので、しかも焼結し易いものが好ましい。また、この基体１２の静電吸着面１２ａは、特に誘電率が高い材質であって、静電吸着するガラス基板に対して不純物とならないものを選択することが好ましい。
【００２２】
内部電極１３は、静電吸着面１２ａ上に載置されたガラス基板に静電吸着力を発揮させるためのもので、その形状や大きさは、載置されるガラス基板の形状や大きさにより決定され、その材料としては、チタン、タングステン、モリブデン、白金等の高融点金属、あるいは、グラファイト、無定型炭素（カーボン）、炭化珪素、窒化チタン、炭化チタン等の導電性セラミックス等を使用することができる。これら電極材料の熱膨張係数は、基体１２の熱膨張係数にできるだけ近似していることが好ましい。
【００２３】
この内部電極１３は、単極構造のものに限らず、双極構造のものであってもよいが、単極構造のものは静電吸着するガラス基板を接地させる必要があり、双極構造のものは静電吸着するガラス基板を接地させる必要がない。
この内部電極１３は、スパッタ法、蒸着法、印刷法等の公知の方法を用いることにより容易に形成することができる。
【００２４】
電圧供給端子１４は、内部電極１３に外部から電圧を印加するために設けられたもので、その数、及び形状等は、内部電極１３の形状により決定される。
電圧供給端子１４の材料としては、導電性を有するものであれば特に制限されるものではないが、熱膨張係数が基体１２及び内部電極１３のそれに近似したものが好ましく、特に、上記の各種導電性セラミックスが好適である。
【００２５】
粘着・滑り止め層１５は、静電吸着面１２ａとその上に載置されるガラス基板との間の密着性を向上させることにより、ガラス基板の静電吸着力を向上させたもので、静電吸着面１２ａの長手方向に沿って複数本（図２では、５本）、一定の間隔をおいて互いに平行に形成されている。
【００２６】
この粘着・滑り止め層１５を構成する材料としては、粘着性があり、摩擦力が大きく、横滑り防止効果を有するものであれば、特に制限されるものではなく、例えば、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニール樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、エーテルアクリレート樹脂から選択された１種または２種以上の樹脂組成物が好適に用いられ、より具体的には、「滑り止めインキ」と通称されて市販されている樹脂組成物等が好適に用いられる。
この粘着・滑り止め層１５は、例えば、上記の樹脂組成物を用い、例えば、スクリーン印刷法等を用いて形成することができる。このようにして形成された粘着・滑り止め層１５は、耐候性、耐久性等を有するとともに、適度な粘着性、弾力性を有する。
【００２７】
この粘着・滑り止め層１５の厚みは、粘着性があり、摩擦力が大きく、横滑り防止効果を発揮し得る厚みであればよく、薄ければ薄いほど好ましいが、この厚みの好ましい範囲は１０〜３０μｍである。
その理由は、その厚みが１０μｍ未満であると、ガラス基板の吸着力の改善効果や横滑り防止効果が必ずしも充分なものとはならず、また、その厚みが３０μｍを越えると、弾性が増加し、静電吸着したガラス基板が揺動し易くなり、このガラス基板の位置精度が低下し、これらのガラス基板を対向配置して貼り合わせる際に、所定の間隔で貼り合せることが困難となるからである。
【００２８】
この粘着・滑り止め層１５のパターン形状は、特に制限されるものではなく、いかなる形状に形成されていてもよく、パターン間隔も特に制限はない。
例えば、静電吸着面１２ａに載置されるガラス基板がより大型化した場合、このガラス基板の形状に合わせて、粘着・滑り止め層１５の長さ、幅、本数を設定すればよい。また、ガラス基板が円形の場合、粘着・滑り止め層１５を同心円状あるいは渦巻状に形成すればよい。
【００２９】
この粘着・滑り止め層１５の表面の合計面積の、上記の静電吸着面１２ａの面積に対する割合は、粘着・滑り止め層１５を構成する材料に大きく依存するが、５〜９０％が好ましく、より好ましくは１０〜８０％である。
その理由は、その割合が５％未満であると、粘着・滑り止め効果が充分でなく、また、９０％を超えても、粘着・滑り止め効果が増大するとは認められないからである。
【００３０】
以上説明したように、本実施形態の静電チャック１１によれば、基体１２の静電吸着面１２ａに粘着・滑り止め層１５を形成したので、基体１２の静電吸着面１２ａと静電吸着されるガラス基板との間の密着性を向上させることができ、この静電チャックにおけるガラス基板の静電吸着力を向上させることができる。したがって、ガラス基板の動きを静電チャックの動きに追随させることができ、ガラス基板の静電吸着面１２ａでの横滑りを防止することができ、静電吸着面１２ａに静電吸着されるガラス基板の位置精度を向上させることができる。
また、静電吸着面１２ａを所定の表面粗さに加工する必要がないので、静電吸着されるガラス基板が傷つく虞も無くなる。
【００３１】
「基板貼り合わせ装置」
図３は、本発明の板状体貼り合わせ装置の一実施形態である液晶表示装置の表示面に用いられる１対のガラス基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置の断面図であり、本実施形態の基板貼り合わせ装置が、図６に示す従来の基板貼り合わせ装置と異なる点は、従来の静電チャック８の替わりに本実施形態の静電チャック１１を用いた点であり、この他の点については、従来の基板貼り合わせ装置と全く同様であるから、詳細な説明を省略する。
【００３２】
以下、この基板貼り合せ装置を用いた滴下方式による液晶表示装置の製造方法について、説明する。
まず、液晶表示装置の構成について図４に基づき説明する。
この液晶表示装置２１は、一対のガラス基板１，２がスペーサ２２及びシール材２３を介して対向配置され、これらガラス基板１、２により挟まれた空間がセルとされ、このセル内には液晶２４が封入されている。そして、ガラス基板１の液晶２４側の主面には、ストライプ状の表示電極２５が複数本、互いに平行に形成されるとともに、ガラス基板２の液晶２４側の主面にも、ストライプ状の表示電極２６が複数本、互いに平行に、しかも上記の表示電極２５と直交するように形成されている。さらに、表示電極２５を覆うように配向膜２７が、表示電極２６を覆うように配向膜２８が、それぞれ形成されている。
【００３３】
次に、この液晶表示装置２１の製造方法について、図３〜図５に基づき説明する。
まず、周知の方法により、表示電極２５、２６がそれぞれ形成されたガラス基板１、２を洗浄する（図５：ＳＰ１）。次いで、これら洗浄したガラス基板１、２に、液状の配向材をオフセット印刷し、高温にて乾燥させ、配向膜２７、２８をそれぞれ形成する（ＳＰ２）。次いで、この配向膜２７、２８それぞれの表面をバフを用いてラビング処理を施し（ＳＰ３）、再度洗浄する（ＳＰ４）。なお、表面に異物がなければ、この洗浄工程を省略することもできる。
【００３４】
このようにして得られたガラス基板１、２のうちいずれか一方（ここでは、ガラス基板１とする）に、描画や印刷によりシール材２３を塗布することにより、シールパターンを形成する（ＳＰ５ａ）。
次いで、ガラス基板１、２のうちいずれか一方（ここでは、ガラス基板１）に脱泡済みの液晶２４を滴下する（ＳＰ６ａ）。滴下する液晶２４の量は、液晶表示装置の表示エリア面積とギャップ厚（スペーサ２２の径に等しい）とに基づいて予め設定しておく。
次いで、ガラス基板１、２のうちいずれか一方（ここでは、ガラス基板２）にスペーサ２２を均一に散布し（ＳＰ５ｂ）、その後、スペーサ２２をガラス基板２上に固着させる（ＳＰ６ｂ）。
【００３５】
次いで、図３に示す基板貼り合わせ装置を用いて、ガラス基板１、２を貼り合わせる（ＳＰ７）。
まず、いずれか一方のガラス基板（ここでは、ガラス基板１）を定盤５に載置し、いずれか他方のガラス基板（ここでは、ガラス基板２）を、定盤６の静電チャック１１に吸着させる。静電チャック１１の静電吸着面１２ａには粘着・滑り止め層１５が形成されているので、ガラス基板２は静電チャック１１に密着して保持される。
【００３６】
次いで、真空容器３内を所定の圧力に減圧した後、貼り合わせ機構７を稼働させて定盤６を加圧し、ガラス基板１、２同士を平行に所定の間隔（ギャップ厚）をもって衝合させ、さらに定盤６を押し付け、ガラス基板１、２同士の仮位置決めを行う。
その後、定盤６を微少量だけ水平方向に変位させて吸着固定されたガラス基板２をガラス基板１に対して微少量だけ水平方向に変位させるか、あるいは、定盤６を微少角度だけ回転させて吸着固定されたガラス基板２をガラス基板１に対して微少角度だけ回転させることにより、ガラス基板１、２同士の微小位置決めを行い、ガラス基板１、２同士を所要の精度で最終的に位置整合させて貼り合わせる。
その後、真空容器３内を大気圧に戻す。
【００３７】
次いで、シール材２３を硬化させ（ＳＰ８）、次いで、液晶表示装置全体を熱処理し、液晶２４の再配向処理を行う（ＳＰ９）。最後に、ガラス基板１、２の周辺部を切断する（ＳＰ１０）。以上により、液晶表示装置２１が作成される。
【００３８】
なお、本実施形態では、定盤６の静電吸着側に本実施形態の静電チャック１１を設けた構成としたが、本実施形態の静電チャック１１は定盤５，６のいずれか一方、または双方に設けられた構成であればよく、定盤５の静電吸着側に本実施形態の静電チャック１１を設けた構成としてもよく、定盤５，６双方の静電吸着側に本実施形態の静電チャック１１をそれぞれ設けた構成としてもよい。
【００３９】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を挙げ、本発明をさらに詳しく説明する。
「実施例」
静電吸着面（表面粗さ：Ｒａ＝０．２）１２ａが縦２００ｍｍ、横２５０ｍｍの大きさの長方形状のセラミックス（Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＣ系）からなる双極構造の基体１２を作製した。次いで、基体１２の静電吸着面１２ａを有機溶剤を用いて洗浄・脱脂した後、シリコーン樹脂（信越化学工業（株）製、一液型ＲＴＶゴム）を用いて、図２に示す粘着・滑り止め層１５のパターン形状の塗布層をスクリーン印刷法により形成し、その後硬化させて、厚み２５μｍ、幅５ｍｍ、パターン間隔５ｍｍの粘着・滑り止め層１５を形成し、実施例の静電チャック１１とした。
この粘着・滑り止め層１５の表面（吸着させるガラス基板との接触面）の合計面積の、静電チャック１１の静電吸着面１２ａの面積に対する割合は５０％であった。
【００４０】
次いで、上記実施例の静電チャック１１の基板吸着力を、次のようにして測定した。その結果を表１に示す。
（基板吸着力の測定方法）
ガラス基板（素ガラス：縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ×厚み１ｍｍ）を静電チャック１１の静電吸着面１２ａに載置し、所定の直流電圧を１分間印加して静電吸着させ、その後直ちにガラス基板を垂直方向に引き上げ、ガラス基板が静電チャックから離脱したときの引き上げ力を吸着力とした。吸着力測定時の雰囲気は０．１Ｐａの真空雰囲気とした。
【００４１】
また、上記実施例の静電チャック１１の静電吸着面における摩擦力を、次のようにして測定した。その結果を表２に示す。
（摩擦力の測定方法）
ガラス基板（素ガラス：縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ×厚み１ｍｍ）を静電チャック１１の静電吸着面１２ａに載置し、所定の直流電圧を１分間印加して静電吸着させ、その後直ちにガラス基板を水平方向に引き、このガラス基板が静電チャック１１から離脱したときの力を摩擦力とした。この摩擦力測定時の雰囲気は大気中とした。
【００４２】
「比較例」
静電吸着面１２ａに粘着・滑り止め層１５が形成されていない他は実施例と同一とした静電チャックを、比較例の静電チャックとした。
この比較例の静電チャックの基板吸着力及び摩擦力を、実施例に準じて測定した。その結果を表１、表２に示す。
【００４３】
【表１】
2004253718.tif 000003
【００４４】
【表２】
2004253718.tif 000004
【００４５】
上記の評価結果によれば、静電吸着面に粘着・滑り止め層が形成された実施例の静電チャックは、静電吸着面に粘着・滑り止め層が形成されていない比較例の静電チャックと比較して、基板吸着力及び静電吸着面における摩擦力とも、約７倍となることが判明した。
以上により、上記実施例の静電チャックは、比較例の静電チャックと比べて、静電吸着面１２ａとガラス基板との間の密着性が向上し、ガラス基板の静電吸着面１２ａでの横滑りが防止されることが明らかとなった。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の静電チャックによれば、セラミックスからなる基体の吸着面に粘着・滑り止め層を形成したので、基体の吸着面と、静電吸着される板状体との間の密着性を向上させることができ、板状体が吸着面で横滑りする虞もなくなる。したがって、吸着面に静電吸着される板状体の位置精度を向上させることができる。
また、吸着面を所定の表面粗さに加工する必要がないので、静電吸着される板状体が傷つく虞も無い。
【００４７】
本発明の板状体貼り合わせ装置によれば、１つの板状体を保持する第１の定盤、及び前記板状体に対向配置される他の板状体を保持する第２の定盤のうちいずれか一方または双方に、本発明の静電チャックを備えたので、静電チャックの基体の吸着面と、静電吸着される板状体との間の密着性を向上させることができ、板状体が吸着面で横滑りする虞も無くなる。したがって、板状体同士の位置決めの精度を向上させることができ、板状体同士を所定の精度にて最終的に位置整合させることができ、板状体の貼り合わせ工程の生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の静電チャックを示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態の静電チャックを示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態の基板貼り合わせ装置を示す断面図である。
【図４】液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図５】液晶表示装置の製造工程を示す流れ図である。
【図６】従来の基板貼り合わせ装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１、２  ガラス基板（板状体）
５、６  定盤
７  貼り合わせ機構（貼り合わせ手段）
１１  静電チャック
１２  基体
１２ａ  静電吸着面
１３  内部電極
１５  粘着・滑り止め層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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