(57)【要約】【課題】物品の揺れを防止することが可能となる搬送装置の提供。【解決手段】案内レール６に沿って移動する移動車３に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部４が昇降駆動自在に備えられ、その把持部４に、吊り下げ状態の物品の底面部の下方側に位置して、物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の物品の横側方に退避する退避位置とに位置変更自在な落下防止体２２が備えられ、把持部４にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持する揺れ防止体２３が、落下防止体２２を受止位置に位置変更することにより、物品の側面部を押圧支持する支持位置に切り換えられ、落下防止体２２を退避位置に位置変更することにより、物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置に切り換えられるように、落下防止体２２に設けられている。【選択図】　　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内レールに沿って移動する移動車に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられ、
その把持部に、吊り下げ状態の前記物品の底面部の下方側に位置して、前記物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられている搬送装置であって、
前記把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持する揺れ防止体が、前記落下防止体を受止位置に位置変更することにより、前記物品の側面部を押圧支持する支持位置に切り換えられ、前記落下防止体を前記退避位置に位置変更することにより、前記物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置に切り換えられるように、前記落下防止体に設けられている搬送装置。
【請求項２】
前記揺れ防止体は、前記物品の側面部に対して遠近方向に移動自在で、かつ、前記物品の側面部に対して接近する側に弾性付勢された状態に設けられている請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記落下防止体が、前記物品に対して前記移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、
前記揺れ防止体が、前記物品の側面部における前記移動車横幅方向の中央部分を押圧支持するように設けられている請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記揺れ防止体が、上下軸芯周りで回動自在な回動体にて前記物品の側面部を押圧支持するように構成されている請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記落下防止体が、前記把持部に対する水平軸芯周りの揺動により、前記受止位置と前記退避位置とに位置変更されるように設けられている請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、案内レールに沿って移動する移動車に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられ、その把持部に、吊り下げ状態の前記物品の底面部の下方側に位置して、前記物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられている搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のような搬送装置は、例えば、半導体基板などを収納した搬送容器を物品として、移動車を停止させた状態で把持部を昇降駆動させて、把持部にて物品を吊り下げ状態に把持し、その把持部にて物品を吊り下げ状態に把持した状態で移動車を移動させることにより、半導体基板などを製造するための各種の製造用の処理を行う複数の処理装置に対して、順次、搬送容器を搬送させるものである。
【０００３】
従来の搬送装置では、例えば、特開平９−７７４５５号公報に示されているように、把持部に、吊り下げ状態の物品の底面部の下方側に位置して、物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられている。
そして、物品を処理装置の所望位置に載置させたり、処理装置の所望位置に載置された物品を掬い取るなどの動作を行うときには、落下防止体を退避位置に位置変更させて、落下防止体に邪魔されることなく、所望の動作を行い、把持部にて物品を吊り下げ状態に把持した状態で移動車を移動させるときには、落下防止体を受止位置に位置変更させ、誤って物品が把持部から外れても、物品が移動車から落下しないようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の搬送装置では、移動車を停止させるときや移動車を発進させるときには、移動車が揺れることになり、また、移動車を移動させている途中においても、移動車の移動経路がカーブしているときなどには、移動車が揺れることになる。
したがって、移動車が揺れることによって、把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品が揺れることになり、この物品の揺れにより、物品を傷めるなどの問題が生じる虞がある。
【０００５】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、把持部にて吊り下げ状態に把持される物品の揺れを防止することが可能となる搬送装置を提供する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、請求項１に記載の発明によれば、案内レールに沿って移動する移動車に、物品を吊り下げ状態で把持する把持部が昇降駆動自在に備えられ、
その把持部に、吊り下げ状態の前記物品の底面部の下方側に位置して、前記物品の底面部を受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の前記物品の横側方に退避する退避位置とに駆動手段にて位置変更操作自在な落下防止体が備えられている搬送装置において、
前記把持部にて吊り下げ状態に把持されている物品の側面部を押圧支持する揺れ防止体が、前記落下防止体を受止位置に位置変更することにより、前記物品の側面部を押圧支持する支持位置に切り換えられ、前記落下防止体を前記退避位置に位置変更することにより、前記物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置に切り換えられるように、前記落下防止体に設けられている。
【０００７】
すなわち、駆動手段にて落下防止体を受止位置に位置変更することにより、揺れ防止体が支持位置に切り換えられることになり、駆動手段にて落下防止体を退避位置に位置変更することにより、揺れ防止体が解除位置に切り換えられることになる。
【０００８】
説明を加えると、例えば、物品に対して前後または左右に一対の落下防止体を設けると、それら一対の落下防止体の夫々に揺れ防止体を設けることによって、駆動手段にて一対の落下防止体を受止位置に位置変更することにより、一対の揺れ防止体が物品の側面部を押圧支持する支持位置に切り換えられ、駆動手段にて一対の落下防止体を退避位置に位置変更することにより、一対の揺れ防止体が物品の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置に切り換えられることになる。
【０００９】
ちなみに、落下防止体としては、上述の如く、物品に対して前後または左右に、一対設けるものに限らず、例えば、物品よりも前方側または左側のみに落下防止体を設けて、物品よりも後方側または右側に、物品の側面部に沿う固定の壁部を設けて、ひとつの落下防止体と固定の壁部との協働作用により、物品の底面部を受け止めるように構成することもできる。
そして、この場合には、ひとつの落下防止体に揺れ防止体を設けて、駆動手段にて落下防止体を受止位置に位置変更することにより、揺れ防止体にて物品の側面部を固定の壁部に当て付けるようにして、物品の側面部を押圧支持することができることになる。
【００１０】
したがって、落下防止体を受止位置に位置変更することにより、揺れ防止体が支持位置に切り換えられ、揺れ防止体が物品の側面部を押圧支持することになるので、物品の揺れを防止することができることになり、落下防止体を退避位置に位置変更することにより、揺れ防止体が解除位置に切り換えられ、揺れ防止体が物品の側面部に対する押圧支持を解除することになるので、物品を載置させたり、物品を掬い取るなどの所望の作業を適正に行うことができることになる。
【００１１】
しかも、落下防止体を受止位置と退避位置とに位置変更操作させる駆動手段を利用しながら、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えることができ、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えるための駆動手段などを追加しなくとも、揺れ防止体を支持位置と解除位置とに切り換えることができることになる。
【００１２】
以上のことをまとめると、落下防止体を受止位置と退避位置とに位置変更させるための構成を利用しながら、物品の揺れを防止するとともに、所望の作業を行うことができることとなって、構成の簡素化を図りながら、物品の揺れを防止するとともに、所望の作業を行うことが可能となる搬送装置を提供できるに至った。
【００１３】
請求項２に記載の発明によれば、前記揺れ防止体は、前記物品の側面部に対して遠近方向に移動自在で、かつ、前記物品の側面部に対して接近する側に弾性付勢された状態に設けられている。
【００１４】
すなわち、落下防止体が受止位置に位置変更されると、揺れ防止体は、物品の側面部に対して遠近方向に移動しながら、物品の側面部を押圧支持することになるので、揺れ防止体は、物品の大きさが異なっても、物品の側面部を適正に押圧支持することができることになる。
したがって、物品の大きさが異なるときでも、揺れ防止体にて物品の側面部を適正に押圧支持して、物品の揺れを防止することができることになる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、前記落下防止体が、前記物品に対して前記移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、前記揺れ防止体が、前記物品の側面部における前記移動車横幅方向の中央部分を押圧支持するように設けられている。
【００１６】
すなわち、物品に対して移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられた落下防止体に、揺れ防止体を設けることにより、揺れ防止体が、移動車の前後方向での物品の側面部を押圧支持することができることになり、移動車の前後方向での物品の揺れを防止することができることになる。
そして、移動車を停止させるときや移動車を発進させるときなどには、移動車の前後方向に移動車が揺れることになるので、物品の揺れは移動車の前後方向で生じる可能性が高い。
したがって、物品の揺れが生じる可能性が高い移動車の前後方向での物品の揺れを揺れ防止体にて防止することによって、物品の揺れを効果的に防止することができることになる。
【００１７】
しかも、揺れ防止体が、物品の側面部における移動車横幅方向の中央部分を押圧支持することにより、上下軸芯周りでの物品の動きや移動車横幅方向での物品の動きを許容することができることになる。
したがって、物品が上下軸芯周りに動いたり、あるいは、物品が移動車横幅方向に動いても、揺れ防止体側の物品の側面部に対して押圧作用する部分と物品の側面部側の押圧作用される部分との間に拗れなどが生じることなく、物品の変形を防止することができることになる。
【００１８】
さらに、揺れ防止体が、上下軸芯周りでの物品の動きや移動車横幅方向での物品の動きを許容することにより、移動車の移動中に、把持部を案内レールの中心よりも移動車横幅方向にずれた位置となるように移動させたり、把持部を移動車に対して旋回させて物品の向きを変えることができることになり、物品の搬送時間を短縮することができることになる。
【００１９】
説明を加えると、物品の搬送対象となる位置が、案内レールの中心に対して移動車横幅方向にずれていたり、物品の搬送対象となる位置の向きが、移動車の前後方向と異なることがあり、このような場合には、把持部を案内レールの中心よりも移動車横幅方向にずれた位置となるように移動させたり、把持部を移動車に対して上下軸芯周りで旋回させて物品の向きを変える動作が必要となり、この動作を移動車を停止させた状態で行うと、その分だけ物品の搬送時間が長くなる。
しかしながら、揺れ防止体が支持位置に切り換えられても、上下軸芯周りでの物品の動きや移動車横幅方向での物品の動きが許容されているので、把持部を移動車横幅方向に移動させたり、把持部を移動車に対して上下軸芯周りで旋回させるなどの動作を、移動車の移動中に行うことができ、物品の搬送時間を短縮することができることになる。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、前記揺れ防止体が、上下軸芯周りで回動自在な回動体にて前記物品の側面部を押圧支持するように構成されている。
【００２１】
すなわち、請求項３との協働作用により、揺れ防止体が、物品の側面部における移動車横幅方向の中央部分を上下軸芯周りで回動自在な回動体にて押圧支持することができることになるので、移動車の前後方向で移動車に揺れが生じたときには、上下軸芯周りで回動体が回動しながら、物品の側面部における移動車横幅方向の中央部分を押圧支持することができることになる。
したがって、揺れ防止体側の物品の側面部に対して押圧作用する部分と物品の側面部側の押圧作用される部分との間に拗れなどが生じないようにしながら、移動車の前後方向での物品の動きを阻止することができることとなって、物品の変形を的確に防止しながら、物品の揺れを防止することができることになる。
【００２２】
請求項５に記載の発明によれば、前記落下防止体が、前記把持部に対する水平軸芯周りの揺動により、前記受止位置と前記退避位置とに位置変更されるように設けられている。
【００２３】
すなわち、把持部に対する水平軸芯周りの揺動により、受止位置と退避位置とに落下防止体を位置変更させることができるので、例えば、物品の側面部に対する遠近方向、すなわち水平方向での移動により、落下防止体を受止位置と退避位置とに位置変更させるものと比べて、水平方向での落下防止体の移動量を小さくすることができることになる。
したがって、水平方向での落下防止体の設置スペースを小さくすることができることになるので、装置の小型化を図りながら、物品が移動車から落下するのを阻止することができることになる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる搬送装置について図面に基づいて説明する。
この搬送装置は、図１に示すように、半導体基板の製造途中での半製品などに対して所定の処理を行う複数の物品処理部１に、半導体基板を収納した物品としての容器２を搬送するための移動車３が設けられ、その移動車３に、容器２を吊り下げ状態で把持する把持部４が昇降駆動自在に備えられている。
前記移動車３は、停止した状態において、ワイヤ５を巻き取りまたは巻き出すことにより把持部４を昇降させて、物品処理部１の載置台１ａから容器２を掬い取ったり、物品処理部１の載置台１ａに容器２を載置させる動作を行う。
そして、移動車３は、把持部４にて容器２を吊り下げ状態に把持した状態で、案内レール６に沿って移動し、容器搬入箇所から複数の物品処理部１夫々の載置台１ａに、物品処理部１の載置台１ａから他の物品処理部１の載置台１ａに、ならびに、複数の物品処理部１夫々の載置台１ａから容器搬出箇所に搬送するようにしている。
【００２５】
前記容器２は、図２に示すように、半導体基板を収納するために横側部が開口された容器本体２ａと、この開口部分を密閉状態で閉じる蓋体２ｂとから構成されている。
そして、容器本体２ａの上部には、把持部４によって吊り下げ支持するためのフランジ７が形成されている。
【００２６】
前記移動車３は、図３および図４に示すように、ブラケット８により天井部に固定取付けする状態で配備される案内レール６に沿って走行するように設けられている。
そして、移動車３は、案内レール６の内方空間部に位置させた状態で、案内レール６に沿って走行するための走行推力を発生するリニアモータ式の走行車体９と、この走行車体９に対し前後の連結扞１０，１１により連結して案内レール６の下方に位置する把持部４とを備えて構成されている。
【００２７】
前記走行車体９は、図４および図５に示すように、案内レール６の内方空間部に装備されるマグネット１３と、このマグネット１３に近接対向させて案内レール６の内方空間部に位置させる状態で移動車３に装備された一次コイル１４とから構成されているリニアモータを備えて、このリニアモータにより移動車３の走行推力を得るように構成されている。
【００２８】
前記案内レール６の内方空間部には、移動車３に備えた走行輪１５に対する走行案内面１６と、移動車３に備えた振止輪１７に対する振止案内面１８とが形成されている。
また、案内レール７側に装備の給電線１９、搬送車８側に装備の受電コイル２０が設けられ、交流電流の通電により給電線１９に磁界を発生させ、この磁界により移動車３側での必要電力を受電コイル２０に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
【００２９】
前記把持部４は、走行車体９に対し前後の連結扞１０、１１により連結された枠体２１に、フランジ７を把持して吊り下げ状態で容器２を昇降操作しながら搬送する昇降操作部１２を備えて構成されている。
【００３０】
前記昇降操作部１２は、容器２のフランジ７を把持する作用状態と、把持を解除する解除状態とに切り換え自在な把持作用部２４を備えて構成され、この把持作用部２４が走行車体９に対して昇降操作自在な昇降体２５に設けられている。
前記昇降体２５は、枠体２１に備えられた昇降操作機構２７によって上下方向に昇降操作自在に支持されている。
そして、昇降操作機構２７は、図４〜図６に示すように、ドラム駆動用モータＭ１によって上下方向の軸芯周りで回転する回転ドラム２８により、４本のワイヤ５を同時に巻き取りおよび巻き出しを行えるようにして、回転ドラム２８を正逆転させることで、この４本のワイヤ５にて吊り下げ支持された昇降体２５が略水平姿勢を維持しながら昇降操作されるように構成されている。
【００３１】
前記把持作用部２４は、容器２のフランジ７を把持する一対の把持具３０が設けられ、これら一対の把持具３０が把持動作用モータＭ２によりリンク機構２９を介して互いに近づく方向に揺動してフランジ７を把持する把持姿勢と、一対の把持具３０が互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢とに切り換え自在に構成されている。
そして、この把持作用部２４は、縦軸芯周りで回転自在に昇降体２５に取り付けられ、旋回用モータＭ３により縦軸芯周りで旋回操作可能に構成されている。
【００３２】
前記把持部４は、上述の昇降操作部１２に加えて、吊り下げ状態の容器２の底面部２ｃの下方側に位置して、容器２の底面部２ｃを受け止め可能な受止位置と、吊り下げ状態の容器２の横側方に退避する退避位置とに位置変更自在な落下防止体２２を備えている。
そして、落下防止体２２は、容器２に対して移動車３の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、かつ、把持部４に対する水平軸芯３２周りの揺動により受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けられている。
【００３３】
具体的に説明すると、Ｌ字状に形成された落下防止体用の位置変更部材２２ａが、図７および図８に示すように、枠体２１の移動車３の前後方向の前方側箇所および後方側箇所から下方側に延設された一対の縦枠部分３１の夫々において、水平軸芯３２と一体的に回動するように取り付けられ、その一対の位置変更部材２２ａが、水平軸芯３２の回動によって水平軸芯３２周りに揺動することにより、図７中実線で示す受止位置と図７中点線で示す退避位置とに位置変更される。
【００３４】
ちなみに、図７は、落下防止体２２や後述する揺れ防止体２３などを示し、その他の部材を省略した移動車３の縦断側面部であり、図８は、落下防止体２２や後述する揺れ防止体２３などを示し、その他の部材を省略した移動車３の横断平面図である。
【００３５】
そして、一対の位置変更部材２２ａを受止位置と退避位置とに位置変更操作するために、正逆転自在な落下防止体用の駆動手段としての駆動モータ３５、移動車３の前後方向に沿うシャフト３３、シャフト３３の回動により水平軸芯３２を回動させる円筒カム３６およびカムフォロア３７などが設けられている。
説明を加えると、シャフト３３の前端部および後端部の夫々には、図８に示すように、円筒カム３６が設けられ、水平軸芯３２の一端部には、円筒カム３６のカム溝３６ａに案内されるカムフォロア３７が設けられている。
そして、落下防止体用の駆動モータ３５を正転または逆転させることにより、シャフト３３をタイミングベルト３４を介して回動させることによって、カムフォロア３７が円筒カム３６のカム溝３６ａにて案内されて、図９に示すように、水平軸芯３２が回動し、この水平軸芯３２の回動により、位置変更部材２２ａが水平軸芯３２周りに揺動される。
ちなみに、図９の（イ）は、位置変更部材２２ａを受止位置に位置変更したときを示しており、図９の（ロ）は、位置変更部材２２ａを退避位置に位置変更したときを示している。
【００３６】
また、シャフト３３の近くには、シャフト３３の回動量を検出することにより、落下防止体２２が受止位置に位置変更された状態と、落下防止体２２が退避位置に位置変更された状態とを検出する位置変更検出センサ３８が設けられている。
【００３７】
なお、位置変更部材２２ａは、移動車横幅方向において、縦枠部分３１の一部を切り欠いた部分に取り付けられ、水平軸芯３２は、移動車横幅方向の全長にわたって設けられている。
そして、シャフト３３や落下防止体用の駆動モータ３５などの部材は、縦枠部分３１や枠体２１から下方側に延設されるカバー４２などに支持されて、移動車横幅方向の一端側（図８中下側）に設けられている。
【００３８】
前記把持部４にて吊り下げ状態に把持されている容器２の側面部を押圧支持する揺れ防止体２３が、図７〜図９に示すように、落下防止体２２を受止位置に位置変更することにより、容器２の側面部を押圧支持する支持位置に切り換えられ、落下防止体２２を退避位置に位置変更することにより、容器２の側面部に対する押圧支持を解除する解除位置に切り換えられるように、落下防止体２２に設けられている。
そして、揺れ防止体２３は、容器２の側面部に対して遠近方向に移動自在で、かつ、容器２の側面部に対して接近する側に弾性付勢された状態に設けられ、かつ、容器２の側面部における移動車横幅方向の中央部分を押圧支持するように設けられている。
また、揺れ防止体２３が、上下軸芯４３周りで回動自在な回動体としてのローラ３９にて容器２の側面部を押圧支持するように構成されている。
【００３９】
具体的に説明すると、揺れ防止体用の支持部材２３ａが、容器２に対して移動車の前後方向の前方側箇所と後方側箇所の夫々に設けられ、その一対の支持部材２３ａの夫々は、位置変更部材２２ａから容器２側に延びるブラケット４０に上下軸芯４３周りに揺動自在に取り付けられ、弾性付勢手段としてのねじりコイルばね４１により、容器２の側面部に対して接近する側に弾性付勢されている。
ちなみに、弾性付勢手段としては、ねじりコイルばねに限られるものではなく、樹脂成形部材、板ばねやコイルスプリングなどの各種の弾性部材が適応可能である。
そして、一対の支持部材２３ａは、位置変更部材２２ａと一体に水平軸芯３２周りに揺動され、位置変更部材２２ａが受止位置に位置変更されると、容器２の側面部側の端部に設けられた上下軸芯周りに回動自在なローラ３９にて、容器２の側面部を押圧支持するように設けられている。
【００４０】
また、揺れ防止体２３は、図８に示すように、容器２の側面部における移動車横幅方向の中央部分を押圧支持することにより、上下軸芯周りでの容器２の動きや移動車横幅方向での容器２の動きを許容しながら、移動車３の前後方向での容器２の揺れを防止するようにしている。
ちなみに、図８において、上下軸芯周りで動いた容器２を点線で示している。
【００４１】
前記移動車３の走行制御や把持部４の昇降制御などを制御する制御部が設けられ、この制御部は、設置施設側からの指令、および、移動車３に設けられた各種センサの検出情報に基づいて、移動車３の走行制御や把持部４の昇降制御などを制御するように構成されている。
【００４２】
前記移動車３の具体的な動作について説明する。
例えば、掬い対象の物品処理部１から、卸し対象の物品処理部１に容器２を搬送する場合には、図３に示すように、掬い対象の物品処理部１に対して所望の位置に移動台車３を停止させたのち、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、落下防止体２２を退避位置に位置変更させることにより、揺れ防止体２３を解除位置に切り換えた状態で、把持部４を昇降させて、物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置（例えば、中央位置）に載置された容器２を掬い取るようにしている。
そして、把持部４による容器２の掬い取りが終了すると、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、落下防止体２２を受止位置に位置変更させることにより、揺れ防止体２３を支持位置に切り換える。
その後、移動車３を発進させて、移動台車３が、把持部４にて容器２を把持させた状態で、案内レール６に沿って走行し、卸し対象の物品処理部１に対して所望の位置に移動台車３を停止させたのち、落下防止体用の駆動モータ３５を作動させて、落下防止体２２を退避位置に位置変更させた状態で、把持部４を昇降させることにより、物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置（例えば、中央位置）に容器２を載置するようにしている。
【００４３】
そして、卸し対象の物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置が、案内レール７の中心に対して移動車横幅方向にずれていたり、卸し対象の物品処理部１の載置台１ａの設定載置位置の向きが、移動車３の前後方向と異なる場合には、移動車３の走行中に、把持部４を移動車横幅方向に移動させたり、把持部４を移動車３に対した上下軸芯周りで旋回させることによって、容器２を設定載置位置に載置するようにしている。
【００４４】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、落下防止体２２が、容器２に対して移動車３の前方側箇所および後方側箇所の夫々に設けられているが、落下防止体２２の数については、ひとつや３つ以上としてもよく、適宜変更可能である。
ちなみに、落下防止体２２をひとつにするときには、例えば、容器２に対して移動車３の後方側箇所に、受止位置に位置変更されたときに容器２の移動車前後幅の全長にわたる落下防止体を設けて、容器２に対して移動車３の前方側箇所に、容器２の側面部に沿う固定の壁部を設けて、ひとつの落下防止体と固定の壁部との協働作用により容器２を受け止めるようにすることが可能となる。
【００４５】
（２）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、容器２に対して前後に、揺れ防止体用の支持部材２３ａを設けているが、支持部材２３ａの数については、適宜変更が可能であり、ひとつや３つ以上としてもよい。
ちなみに、支持部材をひとつにするときには、例えば、上記（１）に記載の如く、落下防止体をひとつにして、容器２よりも後方側のみに、支持位置と解除位置とに切り換え自在な支持部材を設け、容器２よりも前方側に、容器２の側面部を当て付け可能な固定の壁部を設けて、ひとつの支持部材にて容器２の側面部を固定の壁部に当て付けることにより、容器２の側面部を押圧支持することが可能となる。
【００４６】
（３）上記実施形態では、落下防止体２２および揺れ防止体２３が、容器２に対して移動車３の前方側箇所および後方側箇所の夫々に設けられているが、例えば、容器２に対して移動車横幅方向の左右両側に、落下防止体２２および揺れ防止体２３を設けてもよく、落下防止体２２および揺れ防止体２３の配設位置は適宜変更が可能である。
【００４７】
（４）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、容器２の側面部に対して遠近方向に移動自在で、かつ、容器２の側面部に対して接近する側に弾性付勢された状態に設けられているが、揺れ防止体２３は、必ずしも、容器２の側面部に対して遠近方向に移動自在で、かつ、容器２の側面部に対して接近する側に弾性付勢された状態に設けなくてもよい。
【００４８】
（５）上記実施形態では、揺れ防止体２３が、上下軸芯周りで回動自在なローラ３９にて容器２の側面部を押圧支持するように構成されているが、揺れ防止体２３が、ローラを設けずに、容器２の側面部を押圧支持することも可能である。
【００４９】
（６）上記実施形態では、落下防止体２２が、把持部４に対する水平軸芯３２周りの揺動により、受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けられているが、容器２の側面部に対する遠近方向での移動により、受止位置と退避位置とに位置変更されるように設けることも可能であり、受止位置と退避位置とに位置変更させるための構成は適宜変更が可能である。
【００５０】
（７）上記実施形態では、ひとつの落下防止体用の駆動モータ３５により、一対の位置変更部材２２ａを受止位置と退避位置とに位置変更するようにしているが、一対の位置変更部材２２ａの夫々に、受止位置と退避位置とに位置変更するための駆動モータを設けて実施することも可能である。
【００５１】
（８）上記実施形態では、物品として、半導体基板を収納した容器２を搬送する搬送装置を例示したが、搬送する物品は適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】搬送装置の概略図
【図２】物品としての容器を示す図
【図３】搬送装置の動作を示す概略側面図
【図４】移動車の側面図
【図５】移動車の縦断正面図
【図６】移動車の要部を示す平面図
【図７】把持部における落下防止体および揺れ防止体を示す側面図
【図８】把持部における落下防止体および揺れ防止体を示す平面図
【図９】落下防止体および揺れ防止体の要部を示す図
【符号の説明】
２　　　　　　　物品
３　　　　　　　移動車
４　　　　　　　把持部
６　　　　　　　案内レール
２２　　　　　　落下防止体
２３　　　　　　揺れ防止体
３５　　　　　　駆動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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