(57)【要約】【課題】吸着把持検出方法および吸着把持検出装置において、複数ワークを一括で吸着把持する場合でも製造コストを抑えて吸着把持状態を確実に検出する。【解決手段】吸着具を複数備える複数吸着ヘッドを１つの単位とし、そのヘッド流路内の負圧Ｐｓｎのみを検出して全ての吸着具におけるワークの全吸着状態および把持異常状態を検出できる。また全吸着状態および把持異常状態を検出するために負圧Ｐｓｎと比較する全吸着検出圧力Ｐｊおよび把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒを、ワークを１つだけ未吸着または落下した場合の圧力（Ｐｃｈｋ−ΔＰ０−１）と全部吸着把持した場合の圧力Ｐｃｈｋとの間に設定することにより確実な検出が可能となっている。したがって圧力センサは各複数吸着ヘッドに１つずつ設けるだけでよく、圧力センサの設置個数を少なくできるため、複数のワークを一括して吸着把持する場合でも低い製造コストでワークの吸着把持状態を確実に検出できる。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧源と正圧源とに接続するヘッド流路にそれぞれ分岐流路を介して連通された複数の吸着具を備える複数吸着ヘッドに対し、前記複数の吸着具が全てワークを吸着把持しているか否かの状態を検出する吸着把持検出方法であって、
全吸着検出圧力を設定する全吸着設定工程と、
前記ワークに対する吸着動作後に前記ヘッド流路内の負圧が前記全吸着検出圧力より大きい場合に全吸着状態を検出する全吸着検出工程とを有し、
前記全吸着設定工程において、前記全吸着検出圧力は、前記ワークが１つだけ未吸着である場合の負圧より大きく、かつ全ての前記ワークを吸着した場合の負圧より小さくなる範囲で設定されることを特徴とする吸着把持検出方法。
【請求項２】
負圧源と正圧源とに接続するヘッド流路にそれぞれ分岐流路を介して連通された複数の吸着具を備える複数吸着ヘッドに対し、前記複数の吸着具が全てワークを吸着把持しているか否かの状態を検出する吸着把持検出方法であって、
把持異常検出圧力を設定する把持異常設定工程と、
全ての前記ワークを吸着した後に前記ヘッド流路内の負圧が前記把持異常検出圧力より小さい場合に把持異常状態を検出する把持異常検出工程とを有し、
前記把持異常設定工程において、前記把持異常検出圧力は、前記ワークが１つだけ落下した場合の負圧より大きく、かつ全ての前記ワークを把持した場合の負圧より小さくなる範囲で設定されることを特徴とする吸着把持検出方法。
【請求項３】
請求項２記載の吸着把持検出方法において、前記負圧源から供給される負圧に生じた増減変動圧を前記把持異常検出圧力に加える把持検出元圧補正工程を有することを特徴とする吸着把持検出方法。
【請求項４】
請求項２または３記載の吸着把持検出方法において、前記負圧源に共通して接続する複数の前記複数吸着ヘッドに対し、１つの前記複数吸着ヘッドにおける前記把持異常検出圧力に、他の前記複数吸着ヘッドに連通するヘッド流路内の負圧に生じた増減変動圧を加える把持検出ヘッド間補正工程を有することを特徴とする吸着把持検出方法。
【請求項５】
負圧源と正圧源とに接続するヘッド流路にそれぞれ分岐流路を介して連通された複数の吸着具を備える複数吸着ヘッドに対し、前記複数の吸着具が全てワークを吸着把持しているか否かの状態を検出する吸着把持検出装置であって、
全吸着検出圧力を設定する全吸着設定手段と、
前記複数吸着ヘッドが吸着動作した後の前記ヘッド流路内の負圧が前記全吸着検出圧力より大きい場合に全吸着状態を検出する全吸着検出手段とを有し、
前記全吸着設定手段において、前記全吸着検出圧力は、前記ワークが１つだけ未吸着である場合の負圧より大きく、かつ全ての前記ワークを吸着した場合の負圧より小さくなる範囲で設定されることを特徴とする吸着把持検出装置。
【請求項６】
負圧源と正圧源とに接続するヘッド流路にそれぞれ分岐流路を介して連通された複数の吸着具を備える複数吸着ヘッドに対し、前記複数の吸着具が全てワークを吸着把持しているか否かの状態を検出する吸着把持検出装置であって、
把持異常検出圧力を設定する把持異常設定手段と、
全ての前記ワークを吸着した後に前記ヘッド流路内の負圧が前記把持異常検出圧力より小さい場合に把持異常状態を検出する把持異常検出手段とを有し、
前記把持異常設定手段において、前記把持異常検出圧力は、前記ワークが１つだけ落下した場合の負圧より大きく、かつ全ての前記ワークを把持した場合の負圧より小さくなる範囲で設定されることを特徴とする吸着把持検出装置。
【請求項７】
請求項６記載の吸着把持検出装置において、前記負圧源から供給される負圧に生じた増減変動圧を前記把持異常検出圧力に加える把持検出元圧補正手段を有することを特徴とする吸着把持検出装置。
【請求項８】
請求項６または７記載の吸着把持検出装置において、前記負圧源に共通して接続する複数の前記複数吸着ヘッドに対し、１つの前記複数吸着ヘッドにおける前記把持異常検出圧力に、他の前記複数吸着ヘッドに連通するヘッド流路内の負圧に生じた増減変動圧を加える把持検出ヘッド間補正手段を有することを特徴とする吸着把持検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電子部品などの微細ワークを真空吸着したのちに把持しながら搬送する真空吸着搬送装置に用いられ、ワークの吸着および把持の状態を検出する吸着把持検出方法および吸着把持検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路が形成されたＩＣやＬＳＩなどの電子部品を検査ボードに多数搭載してそれぞれの電子部品が所定の機能を有するか否かを検査している。その際には、それぞれトレーなどに配置された電子部品を搬送装置によって検査ボードに搭載するようにしている。また、実装基板に電子部品を搭載する場合にも、搬送装置を用いて所定の順序で複数種類の電子部品を順次実装基板に搭載するようにしている。
【０００３】
このような搬送装置としては、水平方向に移動自在の複数吸着ヘッドに上下動自在に吸着具を設け、複数吸着ヘッドを部品供給ステージと検査ボードの所定の位置に移動させ、部品供給ステージと検査ボードの所定の位置において吸着具を上下動させるようにしたものが知られている。
【０００４】
吸着具には、正圧源と負圧源とに接続されるとともにワークに接触する接触面において開口する着脱路が形成されており、部品供給ステージにおいては着脱路に負圧を供給するとともに吸着具をワークに接触させてワークを吸着するようにしている。一方、ワークを吸着具に把持させたまま検査ボードの所定の位置まで搬送した後には、ワークを検査ボードに搭載すべく、着脱路に対する負圧の供給を停止させるとともに、確実にワークが吸着具から離れるように、真空破壊用の正圧空気を着脱路に供給するようにしている。そして、ワークを離脱した複数吸着ヘッドは部品供給ステージへ戻り、同様の手順でワークの搬送を繰り返すようになっている。
【０００５】
このような吸着搬送装置では、欠品や搬送中のワークの脱落を防止するために、ワークが吸着具に確実に吸着されたことを確認した後に搬送動作を行うようにしている。そのため、従来の吸着搬送装置では、着脱路内の圧力を検出する圧力センサを設け、吸着動作における着脱路内の負圧力が吸着確認圧力以上増加したときにワークが吸着されたことを検出するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−５４８８６号公報（第５−６頁、第８図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記構成の吸着搬送装置では、複数のワークをほぼ同時に一括して吸着把持する場合でもワークと同数個備えた吸着具にそれぞれ対応して圧力センサを設ける必要があるため製造コストが増加してしまう問題があった。
【０００８】
本発明の目的は、複数のワークを一括して吸着把持する場合でも低い製造コストでワークの吸着把持状態を確実に検出できるか、またはワーク搬送時におけるワーク落下を確実に検出できる吸着把持検出方法および吸着把持検出装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の吸着把持検出方法は、ヘッド流路を介して負圧源と正圧源とに連通された複数の吸着具を備える複数吸着ヘッドに対し、全ての吸着具のワーク吸着把持状態を検出するものであって、全吸着検出圧力を設定する全吸着設定工程と、ワークに対する吸着動作後にヘッド流路内の負圧が全吸着検出圧力より大きい場合に全吸着状態を検出する全吸着検出工程とを有し、全吸着設定工程において、全吸着検出圧力は、ワークが１つだけ未吸着である場合の負圧より大きく、かつ全てのワークを吸着した場合の負圧より小さくなる範囲で設定されることを特徴とする。
【００１０】
本発明の吸着把持検出方法は、ヘッド流路を介して負圧源と正圧源とに連通された複数の吸着具を備える複数吸着ヘッドに対し、全ての吸着具にワークが吸着把持されているか否かを検出するものであって、把持異常検出圧力を設定する把持異常設定工程と、全てのワークを吸着した後にヘッド流路内の負圧が把持異常検出圧力より小さい場合に把持異常状態を検出する把持異常検出工程とを有し、把持異常設定工程において、把持異常検出圧力は、ワークが１つだけ落下した場合の負圧より大きく、かつ全てのワークを把持した場合の負圧より小さくなる範囲で設定されることを特徴とする。
【００１１】
本発明の吸着把持検出方法は、負圧源から供給される負圧に生じた増減変動圧を把持異常検出圧力に加える把持検出元圧補正工程を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の吸着把持検出方法は、負圧源に共通して接続する複数の複数吸着ヘッドに対し、１つの複数吸着ヘッドにおける把持異常検出圧力に、他の複数吸着ヘッドに連通するヘッド流路内の負圧に生じた増減変動圧を加える把持検出ヘッド間補正工程を有することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明の一実施の形態である吸着把持検出装置が装着された真空吸着搬送装置のうちの流体圧の供給構成と信号送受を概略的に示すブロック図であり、図２は１つの複数吸着ヘッドに着目した制御構成の概略を示したブロック図であり、図３（Ａ）〜（Ｅ）は１つの複数吸着ヘッドにより複数のワークを一括して吸着搬送する搬送手順を示す図である。
【００１５】
図１に示すように、真空吸着搬送装置１はワーク真空吸着用の負圧源２と、真空破壊およびワーク離脱用の正圧源３とを備えており、それら２つの流体圧供給源はそれぞれ負圧共通流路６ａおよび正圧共通流路６ｂを介して複数の電磁開閉弁４，５に接続され、１組の電磁開閉弁４，５には複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎがそれぞれヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎを介して接続されており、各複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎにはワークＷを吸着把持可能な６個の吸着具９がそれぞれ分岐流路１０を介してヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎに接続されて設けられている。また各複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎにはそれぞれのヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎ内の気圧を検出するヘッド圧力センサＳ１〜Ｓｎが設けられており、各ヘッド圧力センサＳ１〜Ｓｎはそれぞれ電気的に接続された検出制御装置１１に対して検出信号を出力するようになっている。
【００１６】
検出制御装置１１は、これらヘッド圧力センサＳ１〜Ｓｎと、負圧共通流路６ａ内の気圧を検出する元圧センサＳ０からの検出信号に基づいて、各複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎに対応したエラー出力とスイッチ出力（詳細は後述する）を上位制御装置１２に対して出力するようになっている。上位制御装置１２は、真空吸着搬送装置１全体を制御する上位の制御装置であって、検出制御装置１１や複数の流体圧供給源の電磁開閉弁４，５に対する制御信号や、各複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎの後述する流体圧シリンダを制御する電磁弁１５への制御信号を出力するようになっている。
【００１７】
図２において、複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎと空気圧シリンダ１３等は図示しない電動モータ等により水平方向に駆動されるようになっている。複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎは空気圧シリンダ１３のピストンロッド１４に固定されており、ピストンロッド１４は空気圧シリンダ１３に上下方向自在に装着されている。空気圧シリンダ１３には電磁弁１５を介して正圧源１６が接続されており、この電磁弁１５に通電がなされていないときにはピストンロッド１４は後退限位置に保持され、電磁弁１５が通電状態とされると正圧源１６から供給される圧縮空気によりピストンロッド１４は図中下方側に前進するようになっている。そして、６個の吸着具９はこのピストンロッド１４の先端に取り付けられた先端ブロック１７に２行３列の配置で設置されている。
【００１８】
吸着具９は吸着パッドあるいは吸着ビットとも言われ、それぞれ内部に分岐流路１０が形成された中空となっている。この分岐流路１０はワークＷに対する着脱路として機能するものであり、吸着具９の先端でワークＷに接触する接触面９ａに真空吸引口１８として開口し、また各分岐流路１０は先端ブロック１７内でヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎに接続されている。
【００１９】
真空供給用の電磁開閉弁４はソレノイドにより流路を開閉する電磁弁であり、ソレノイドに通電がなされるとヘッド流路８ｓｎを負圧共通流路６ａに連通させる開位置に作動し、ソレノイドへの通電が絶たれるとヘッド流路８ｓｎと負圧共通流路６ａとの連通を閉じる閉位置に作動するようになっている。同様に、真空破壊用の電磁開閉弁５はソレノイドにより流路を開閉する電磁弁により形成されている。また、真空破壊用の電磁開閉弁５にはこの電磁開閉弁５を流れる圧縮空気の流量を調整するための可変しぼり５ａが設けられている。
【００２０】
上位制御装置１２には、各種制御信号を演算する図示しないマイクロプロセッサと制御プログラム、演算式およびマップデータなどが格納されるＲＯＭや一時的にデータを格納するＲＡＭなどの図示しないメモリとを有している。前述の空気圧シリンダ１３の電磁弁１５や各電磁開閉弁４，５のソレノイドおよび複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎを駆動する図示しない電動モータは、上位制御装置１２から入力される制御信号により制御されるようになっている。検出制御装置１１は上位制御装置１２と同様に各種制御信号を演算する図示しないマイクロプロセッサとＲＯＭやＲＡＭなどの図示しないメモリとを有している。
【００２１】
なお、図中の複数吸着ヘッド７ｓｎには吸着具９が６つ設けられているが、本発明はこれに限られずに設ける個数を自由に設定することができ、また複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎどうしで設ける個数を異ならせることも可能である。
【００２２】
以上の構成の真空吸着搬送装置１における各複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎは、図３に示すように部品供給ステージ１９の上に配置された６つのＩＣなどの電子部品をワークＷとして、これらを全て吸着具９により吸着した後に把持したまま搬送して実装基板２０に搭載するよう動作する。
【００２３】
本発明の吸着把持検出装置は、基本的には、各圧力センサＳ０〜Ｓｎからの圧力検出信号が入力される圧力信号入力ポート、上位制御装置１２などからの各種制御信号やデータ等が入力される制御信号入力ポート、上位制御装置１２などへ各種制御信号やエラー信号等を出力する制御信号出力ポートを備えた検出制御装置１１のみで構成される。しかし、要求される形態によっては、元圧センサＳ０および各ヘッド圧力センサＳ１〜Ｓｎと合わせて構成される場合や、元圧センサＳ０だけと合わせて構成される場合、各ヘッド圧力センサＳ１〜Ｓｎと合わせて構成される場合も可能である。
【００２４】
次に、この真空吸着搬送装置１の作動について詳細に説明する。部品供給ステージ１９の上の６つのワークＷを実装基板に搬送する場合には、図３（Ａ）に示すように、ピストンロッド１４が後退移動した状態で複数吸着ヘッド７ｓｎが部品供給ステージ１９の上まで移動される。次いで、真空供給用の電磁開閉弁４が開いて負圧共通流路６ａ内の負圧の流体圧Ｐｉｎがヘッド流路８ｓｎに供給され、そのヘッド流路８ｓｎ内の圧力Ｐｓｎが大気圧よりも低下した吸着準備圧力Ｐｓｅｔとなる。この状態のもと、図３（Ｂ）に示すように、空気圧シリンダ１３に圧縮空気が供給されてピストンロッド１４が下降移動し、６つの吸着具９の接触面９ａがワークＷに接触することにより、６つのワークＷ全てが負圧Ｐｓｎにより各吸着具９に一括吸着される。
【００２５】
次いで、空気圧シリンダ１３のピストンロッド１４が後退移動された後、全てのワークＷは吸着具９に把持されたまま、図３（Ｃ）に示すように複数吸着ヘッド７ｓｎが実装基板２０に向けて水平移動される。そして、複数吸着ヘッド７ｓｎが実装基板２０の所定の位置まで移動した後に、図３（Ｄ）に示すように、ピストンロッド１４が前進移動されてワークＷが実装基板２０に配置される。このようにして、６つのワークＷは部品供給ステージ１９から実装基板２０へ一括して搬送される。
【００２６】
全ての複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎがワークＷを実装基板２０の所定の位置に配置すると、負圧共通流路６ａからのヘッド流路８ｓｎに対する真空供給が停止されるとともに真空破壊用の電磁開閉弁５が開いて正圧共通流路６ｂおよびヘッド流路８ｓｎを介し真空吸引口１８に真空破壊用の空気としての正圧空気が供給される。これにより、全てのワークＷは確実に各吸着具９の接触面９ａから離れることになる。ワークＷの離脱が完了した後には、図３（Ｅ）に示すように、ピストンロッド１４を上昇移動させることによって、６つのワークＷの実装基板２０に対する搭載作業が終了し、各複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎは再度部品供給ステージ１９に向けて水平方向に移動されることになる。
【００２７】
図４は１つの複数吸着ヘッド７ｓｎに設けられた６つの吸着具９が、部品ステージ１９から実装基板２０まで６つのワークＷを一括吸着して搬送する際にヘッド圧力センサＳｎにより検出されるヘッド流路８ｓｎ内の圧力の変化を示すタイムチャートであり、真空供給用の電磁開閉弁４と真空破壊用の電磁開閉弁５とが共に閉じた状態では、ヘッド流路８ｓｎ内の圧力Ｐｓｎは基準大気圧となって０ｋＰａが検出される。
【００２８】
真空供給用の電磁開閉弁４が開位置とされて負圧共通流路６ａからヘッド流路８ｓｎに負圧が供給されると、ヘッド流路８ｓｎの圧力Ｐｓｎは大気圧よりも低下して負圧力が高くなり、吸着準備圧力ＰｓｅｔとなるＢ点に達すると平衡状態となる。次に、Ｃ点において吸着具９がワークＷに接触されて吸着動作が開始されると、ヘッド流路８ｓｎ内の圧力Ｐｓｎつまり負圧Ｐｓｎは負圧力を高めてＤ点に達し、ワークＷが吸着具９に吸着される。そして、全てのワークＷが吸着具９に把持された状態のもとで全てのワークＷの搬送が行われることになる。
【００２９】
ワークＷの搬送が終了してワークＷが所定の位置に配置されると、Ｅ点において真空供給用の電磁開閉弁４が閉位置とされて負圧の供給が停止されるとともに真空破壊用の電磁開閉弁５が開位置とされてヘッド流路８ｓｎ内に正圧が供給され、負圧Ｐｓｎの負圧力が低下してワークＷが吸着具９から離脱する。そして、正圧の供給により負圧Ｐｓｎの負圧力はＦ点において大気圧にまで低下し、さらに、正圧源３から供給される圧縮空気の圧力となるＧ点にまで圧力Ｐｓｎつまり正圧が高くなる。Ｇ点において真空破壊用の電磁開閉弁５が閉位置とされると、圧力Ｐｓｎは大気圧にまで低下してＨ点に達することになる。
【００３０】
以上の吸着搬送行程において、検出制御装置１１は、検出対象となる複数吸着ヘッド７ｓｎに備えられたヘッド圧力センサＳｎからの圧力信号を検出し、その圧力信号と状況に合わせて各種データ、吸着確認出力またはエラー出力を上位制御装置１２に出力するようになっている。エラー出力については、複数吸着ヘッド７ｓｎが備えている複数の吸着具９のうちのどれか１つでも吸着動作後のワークＷの未吸着や、把持搬送時におけるワークＷの落下が検出された場合にエラー信号が出力されるようになっている。エラー信号はｎ本の信号経路で複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎ別に出力してもよいし、またはその複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎの特定をせずに図示するような１本の信号経路で一括して出力してもよい。
【００３１】
上位制御装置１２はそのスイッチ出力に基づいて次の動作を行うべく各部への制御信号を出力し、またエラー出力を受け取った場合には吸着搬送行程を停止して図示しない表示装置などにより操作者に対するエラー表示を行う。
【００３２】
図４においては、検出制御装置１１がＢ〜Ｃ点間で上位制御装置１２から吸着準備圧力読み込み信号を受けることによりヘッド圧力センサＳｎから吸着準備圧力Ｐｓｅｔを読み込むことになる。このヘッド圧力センサＳ１〜Ｓｎの検出信号は大気圧を基準としたゲージ圧とされており、ヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎが負圧源２に接続されたときおよび正圧源３に接続されたときのいずれの場合であってもヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎ内の圧力Ｐｓｎを検出することができるとともに圧力Ｐｓｎが正圧であるか負圧であるかを識別することができるようにすることも可能であるし、負圧のみの検出とすることも可能である。
【００３３】
全吸着設定手段としての検出制御装置１１は、吸着準備圧力Ｐｓｅｔが検出されたときにはこの吸着準備圧力Ｐｓｅｔに所定の全吸着検出値ΔＰｓｅｔを加えて全吸着検出圧力Ｐｊを設定するようになっている。（またこのとき検出制御装置１１は把持異常設定手段として把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒも設定しているがこれについては後述する。）そして、全吸着検出手段としての検出制御装置１１は、全ての吸着具９が吸着動作を開始してから規定時間経過後に、ヘッド流路８ｓｎ内の圧力つまり負圧Ｐｓｎがこの全吸着検出圧力Ｐｊより大きいことを検出した場合に６つのワークＷが全て吸着された全吸着状態となったと判断する。
【００３４】
ここで、６つのワークＷが１つも未吸着とならずに全て複数吸着ヘッド７ｓｎにより一括吸着されたかどうかを判定するためには、全吸着検出圧力Ｐｊを、ワークＷが１つだけ未吸着の場合の吸着圧力（負圧）より大きく、かつ全てのワークＷが吸着された場合の全吸着圧力（負圧）より小さい範囲に設定すればよい。具体的に本実施例の場合では、５つ吸着した場合の吸着圧力より大きく、６つ吸着した場合の吸着圧力より小さい範囲となる。１つの複数吸着ヘッド７ｓｎにおいて全てのワークＷを吸着した場合の全吸着圧力をＰｃｈｋとし、この全吸着圧力Ｐｃｈｋから全くワークＷを吸着していない場合の吸着準備圧力Ｐｓｅｔを引いた差圧をΔＰ０とし、全吸着圧力ＰｃｈｋからワークＷが１つだけ未吸着の場合の吸着圧力を引いた差圧をΔＰ０−１とした場合、これらとＰｓｅｔ、ΔＰｓｅｔ、Ｐｊとの関係をタイムチャート上に表すと図５のようになり、全吸着検出圧力Ｐｊの設定範囲は次のように規定される。
（（｜Ｐｓｅｔ｜＋｜ΔＰ０｜）−｜ΔＰ０−１｜）＜（｜Ｐｊ｜）＜（｜（Ｐｓｅｔ＋ΔＰ０）｜）・・・（数式１）
したがってΔＰ０とΔＰ０−１は予め概ねの値を知っている必要がある。
【００３５】
また、Ｐｊは吸着準備圧力Ｐｓｅｔに所定の全吸着検出値ΔＰｓｅｔを加えた値であり、上記範囲を全吸着検出値ΔＰｓｅｔについて規定すると次のようになる。
（｜ΔＰ０｜−｜ΔＰ０−１｜）＜｜ΔＰｓｅｔ｜＜｜ΔＰ０｜                    ・・・（数式２）
ヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎが全吸着検出圧力Ｐｊより大きく、全てのワークＷが完全に一括吸着されていることを検出制御装置１１が検出したときには、検出制御装置１１は上位制御装置１２に向けて全吸着確認信号を出力し、上位制御装置１２はこの全吸着確認信号が入力されたとき、つまり全吸着確認信号がＯＮとされたときに搬送動作を開始するようになっている。ヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎが全吸着検出圧力Ｐｊより小さい場合には検出制御装置１１は上位制御装置１２に対してエラー信号を出力する。
【００３６】
検出制御装置１１は、前述の全吸着検出圧力Ｐｊを設定した後にまた把持異常設定手段として把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒも設定しているが、図４におけるＤ〜Ｅ点間の搬送動作行程の間で、把持異常検出手段としての検出制御装置１１はヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎを検出し、この負圧Ｐｓｎが把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒより小さい場合には１つ以上のワークＷが落下したと判断し、上位制御装置１２に対してエラー信号を出力する。
【００３７】
ここで、全てのワークＷが複数吸着ヘッド７ｓｎにより一括把持されているかどうかを判定するためには、把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒを、ワークＷが１つだけ未吸着の場合の吸着圧力（負圧）より大きく、かつ全てのワークＷが吸着された場合の全吸着圧力（負圧）より小さい範囲に設定すればよい。すなわち把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒを全吸着検出圧力Ｐｊと同じ範囲で設定すればよく、把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒの設定範囲は次のように規定される。
（（｜Ｐｓｅｔ｜＋｜ΔＰ０｜）−｜ΔＰ０−１｜）＜（｜Ｐｅｒｒｏｒ｜）＜（｜（Ｐｓｅｔ＋ΔＰ０）｜）・・（数式３）
また把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒの設定は先に設定した全吸着検出圧力Ｐｊから所定の把持異常検出値ΔＰｅを引いた値として設定してもよく、この場合には把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒが上記の範囲内に設定されるのであれば、把持異常検出値ΔＰｅは正、負、０のいずれの値でもよい。図５にこれらＰｅｒｒｏｒ、ΔＰｅとＰｊのタイムチャート上での関係を示す。
【００３８】
ヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎが把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒよりも小さくなっていることが検出された場合には、検出制御装置１１は上位制御装置１２に対してエラー信号を出力する。
【００３９】
また検出制御装置１１は、図４におけるＤ〜Ｅ点間の搬送動作行程の間で、把持異常検出手段としてヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎと把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒとの比較によりワークＷの落下を検出しているとともに、把持検出元圧補正手段および把持検出ヘッド間補正手段として、負圧源２の元圧変動および他の複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｍ（ｓｍ≠ｓｎ）の作動の影響により変動した把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒに対して補正をも行うようになっている。
【００４０】
負圧源２などの流体圧供給源には、通常、多かれ少なかれその出力に脈動などの変動が生じてしまうが、その元圧Ｐｉｎの変動分がΔＰ０−１に対して無視できないくらい大きい場合には、搬送動作行程でワークＷの落下検出を誤認させる原因となってしまう。そのため、検出制御装置１１は元圧センサＳ０から元圧Ｐｉｎを検出し、前回の検出値との比較で元圧Ｐｉｎに変動があるかどうかを確認して変動がある場合には、その変化分の増減変動圧ΔＰｉｎ（変化前のＰｉｎ−変化後のＰｉｎ）を把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒに加えて補正するようになっている。図６は元圧の負圧力が増加して増減変動圧ΔＰｉｎが負の値で生じた場合の負圧Ｐｓｎの変化と把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒの書き換えの様子を示す図である。
【００４１】
補正後には、元圧Ｐｉｎ変動の影響によりヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎも時間をかけて変化するため、負圧Ｐｓｎが安定したことを確認した後でヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎと把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒとの比較によるワークＷの落下の検出を行う。
【００４２】
また複数個備えた複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎがそれぞれ異なるタイミングでワークＷの吸着動作、離脱動作を行う場合には、先にワークＷを吸着して把持状態となっている複数吸着ヘッド７ｓｎが後に行われる吸着動作の影響を受けてヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎに変動が生じてしてしまい、ワークＷの落下検出を誤認させる原因となってしまう。そのため、検出制御装置１１は他のヘッド流路８ｓ１〜８ｓｍ（ｓｍ≠ｓｎ）の負圧の増減変動圧ΔＰｓを検出し、変動がある場合にはその増減変動圧ΔＰｓを把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒに加えて補正するようになっている（図６参照）。ただし不適切な補正をさけるために｜ΔＰｓ｜＞｜Ｐ０−１｜とする。補正後においては、また同様に負圧Ｐｓｎが安定したことを確認した後でヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎと把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒとの比較によるワークＷの落下の検出を行う。
【００４３】
検出制御装置１１は、複数吸着ヘッド７ｓｎが搬送動作を行った後のヘッド流路８ｓｎ内の圧力Ｐｓｎが離脱圧力ＰｒｅｓｅｔとなったときにワークＷの離脱を検出して全吸着確認信号の出力を停止する、つまり全吸着確認信号をＯＦＦとするようになっている。そして、検出制御装置１１はワークＷの吸着具９からの離脱が検出されたときには全吸着検出圧力Ｐｊを所定の到達不可値Ｐｕに設定するようになっている。
【００４４】
全吸着検出値ΔＰｓｅｔ、離脱圧力Ｐｒｅｓｅｔ、到達不可値Ｐｕまたは前述のΔＰ０、ΔＰ０−１、ΔＰｅなどはそれぞれ検出制御装置１１のメモリ内に格納されており、それぞれ検出制御装置１１に設けられた図示しないキーやダイヤルの操作、または上位制御装置１２などの外部装置からのデータ入力により任意の値に設定することができるようになっている。またそのデータ入力の送受形態についても、シリアルインターフェース回路やパラレルインターフェース回路、または無線や有線を問わず種々の形態で行うことができる。
【００４５】
そして、全吸着検出値ΔＰｓｅｔと離脱圧力Ｐｒｅｓｅｔとは、予め実験等により、吸着具９が確実にワークＷを吸着し得る値もしくは確実に離脱させ得る値に設定されており、到達不可値Ｐｕは分岐流路１０の内径が小さくなるなど種々の条件が変化した場合であっても吸着準備圧力Ｐｓｅｔが到達することが不可能な程度に高い負圧値に設定されている。そして、本実施の形態においては、到達不可値Ｐｕは一例としてゲージ圧において絶対真空となる−１０１．３ｋＰａに設定されている。
【００４６】
このようにワークＷが離脱して全吸着確認信号がＯＦＦとなってから新たに全吸着検出圧力Ｐｊが設定されるまでの間に、全吸着検出圧力Ｐｊを到達不可値に設定することで吸着動作前の誤った吸着検出を防ぐことができる。その理由としては、まず、吸着搬送行程毎に吸着具９の交換などによって吸着準備圧力Ｐｓｅｔが変化する場合があるため、その吸着搬送行程毎に吸着準備圧力Ｐｓｅｔの再検出や全吸着検出圧力Ｐｊの再設定が行われているが、吸着準備圧力Ｐｓｅｔの変化によっては前行程における変化前のＰｓｅｔ＋ΔＰｓｅｔより負圧力が大きくなってしまう場合があり、それによって吸着動作前にすぐに吸着状態が誤って検出されてしまうことになる。そのため、上述したように新たな行程で吸着準備圧力Ｐｓｅｔを再検出するまで全吸着検出圧力Ｐｊを絶対真空の到達不可値に設定することにより、吸着動作前の誤った吸着検出を防ぐことができる。
【００４７】
図７は、１つの複数吸着ヘッド７ｓｎにおいてワークＷを吸着把持して搬送する際における本実施の形態の吸着把持検出装置の作動手順を示すフローチャートであり、以下にワークＷの吸着把持検出方法についてフローチャートにしたがって説明する。
【００４８】
まず、ステップＳ１において真空供給用の電磁開閉弁４が開位置とされてヘッド流路８ｓｎを介して各吸着具９の分岐流路１０に負圧が供給される。そして、負圧の供給が開始されてから所定の時間が経過してＢ点（図４参照）を過ぎ、分岐流路１０内が安定したときに上位制御装置１２から吸着準備圧取込み信号が出力されると、ステップＳ２において検出制御装置１１は吸着準備圧力Ｐｓｅｔの読み込みが行われる。そして、ステップＳ３にて検出制御装置１１は、読み込まれた吸着準備圧力Ｐｓｅｔに所定の全吸着検出値ΔＰｓｅｔを加えた値、つまりＰｊ＝Ｐｓｅｔ＋ΔＰｓｅｔに全吸着検出圧力Ｐｊを設定し、その値をメモリに格納する。つまり、全吸着設定工程として、吸着準備圧力Ｐｓｅｔが検出される度にこの吸着準備圧力Ｐｓｅｔに全吸着検出値ΔＰｓｅｔを加えて新たな全吸着検出圧力Ｐｊが設定されることになり、その度にメモリ内の全吸着検出圧力Ｐｊは新たな全吸着検出圧力Ｐｊに書き換えられることになる。
【００４９】
また次のステップＳ４においては、全吸着検出圧力Ｐｊから所定の把持異常検出値ΔＰｅを引いた値、つまりＰｅｒｒｏｒ＝Ｐｊ−ΔＰｅに把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒを設定し、その値をメモりに格納する。したがって把持異常設定工程として、把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒについても吸着準備圧力Ｐｓｅｔが検出される度に新たに書き換えられることになる。
【００５０】
次いで、ステップＳ５において吸着動作が行われて各吸着具９がそれぞれワークＷに接触すると、Ｃ点からＤ点に向けてヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎが増加することになる。ステップＳ６はステップＳ５の吸着動作が開始してから一定時間経過後に行う全吸着検出工程となっており、負圧Ｐｓｎと全吸着検出圧力Ｐｊとを比較して負圧Ｐｓｎが全吸着検出圧力Ｐｊ以上である、つまり｜Ｐｓｎ｜≧｜Ｐｊ｜と判断されると６つのワークＷの全吸着状態が検出され、ステップＳ７にて検出制御装置１１から全吸着確認信号が出力される。またステップＳ６での判断で、負圧Ｐｓｎが全吸着検出圧力Ｐｊより小さい、つまり｜Ｐｓｎ｜＜｜Ｐｊ｜と判断された場合には、検出対象となる複数吸着ヘッド７ｓｎで全てのワークＷが吸着された全吸着状態となっていない、いわゆる未完全吸着状態が検出されて、ステップＳ８で上位制御装置１２に対しエラー信号を出力する。
【００５１】
このように吸着把持検出装置は、複数の吸着具９を備える複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎをそれぞれ１つの単位とし、それぞれのヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎのみを検出して全ての吸着具９におけるワークＷの吸着が完了したかどうかの全吸着状態を検出できるようになっているため、吸着具９にそれぞれ圧力センサを設ける場合と比較して圧力センサの設置個数を大幅に削減できる。また全吸着状態を検出するために負圧Ｐｓｎと比較する全吸着検出圧力Ｐｊを、前述したように１つだけ未吸着の場合の圧力と全吸着の場合の圧力との間に設定したことにより、確実な検出が可能となっている。
【００５２】
そして、ステップＳ７で全吸着確認信号が出力された場合には、ステップＳ９において上位制御装置１２は搬送動作を開始させ、ワークＷは吸着具９に把持された状態で搬送されることになる。Ｄ点からＥ点に向けての搬送動作行程の間では、順にステップＳ１０とステップＳ１１とステップＳ１２における判断行程が繰り返し行われるようになっている。
【００５３】
ステップＳ１０では、元圧センサから元圧Ｐｉｎを検出して元圧Ｐｉｎに変動があるかどうか、つまり増減変動圧ΔＰｉｎ＝０であるかどうかが判断されており、変動がない場合には次のステップＳ１１に移り、変動があると判断された場合すなわち増減変動圧ΔＰｉｎが正または負の値で生じた場合には、把持検出元圧補正工程であるステップＳ１３において把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒが増減変動圧ΔＰｉｎを加えられて補正される。補正後には、ステップＳ１４において負圧Ｐｓｎの変化が終了して安定したことを確認した後にステップＳ１１に移る。
【００５４】
ステップＳ１１では、他の複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｍ（ｓｍ≠ｓｎ）のヘッド流路８ｓ１〜８ｓｍ（ｓｍ≠ｓｎ）内における負圧に変動があるかどうか、つまり増減変動圧ΔＰｓ＝０であるかどうかが判断されており、変動がない場合には次のステップＳ１２に移り、変動があると判断された場合すなわち増減変動圧ΔＰｓが正または負の値で生じた場合には、把持検出ヘッド間補正工程であるステップＳ１５において把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒが増減変動圧ΔＰｓを加えられて補正される。補正後には、ステップＳ１６において負圧Ｐｓの変化が終了して安定したことを確認した後にステップＳ１２に移る。
【００５５】
このように吸着把持検出装置は、検出対象の複数吸着ヘッド７ｓｎにおける把持異常状態の検出に影響を与えるような元圧の変動や他の複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｍ（ｓｍ≠ｓｎ）のヘッド流路８ｓ１〜８ｓｍ（ｓｍ≠ｓｎ）内の負圧の変動を検出し、それらに対応して把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒを補正していることから、常に把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒを適切な値に維持することができ、検出対象の複数吸着ヘッド７ｓｎにおける把持異常状態の検出を確実に行うことができるようになっている。
【００５６】
ステップＳ１２は把持異常検出工程となっており、負圧Ｐｓｎと把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒとを比較して負圧Ｐｓｎが把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒより大きい、つまり｜Ｐｓｎ｜＞｜Ｐｅｒｒｏｒ｜と判断されると６つのワークＷの全把持状態であると判断され、ステップＳ１８に移る。またステップＳ１２での判断で、負圧Ｐｓｎが把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒ以下である、つまり｜Ｐｓｎ｜≦｜Ｐｅｒｒｏｒ｜と判断された場合には、検出対象の複数吸着ヘッド７ｓｎで全てのワークＷが把持されずに１つ以上のワークＷが落下した把持異常状態が検出されて、ステップＳ１７で上位制御装置１２に対しエラー信号を出力する。
【００５７】
このように吸着把持検出装置は、複数の吸着具９を備える複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎをそれぞれ１つの単位とし、それらのヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎのみを検出して全ての吸着具９におけるワークＷの把持が維持されているかどうかの全把持状態（または１つ以上のワークＷが落下した把持異常状態）を検出できるようになっているため、圧力センサの設置個数を大幅に削減できる。また全把持状態（または把持異常状態）を検出するために負圧Ｐｓｎと比較する把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒを、前述したように１つだけ落下した場合と全把持の場合との間に設定したことにより、確実な検出が可能となっている。
【００５８】
以上のステップＳ１０〜Ｓ１２における判断行程が行われた後に、ステップＳ１８で、まだ全ての複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎによる搬送動作の終了の指示が上位制御装置１２からないものと判断された場合には、ステップＳ１０に戻って３つの判断行程を繰り返し行うことになる。一方、ステップＳ１８で全ての複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎの搬送動作の終了が検出されると、ステップＳ１９において真空供給用の電磁開閉弁４が閉位置とされるとともに真空破壊用の電磁開閉弁５が開位置とされて各ヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎ内に正圧が供給される。
【００５９】
そして、ヘッド流路８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎが低下してステップＳ２０にてヘッド流路８ｓｎ内の圧力Ｐｓｎが離脱圧力Ｐｒｅｓｅｔ以下となったこと、つまり｜Ｐｓｎ｜≦｜Ｐｒｅｓｅｔ｜が検出されると全てのワークＷの離脱が検出され、ステップＳ２１にて全吸着確認信号がＯＦＦされる。そして、ワークＷの離脱が検出されると、ステップＳ２２にてメモリ内の全吸着検出圧力Ｐｊの値は到達不可値Ｐｕに書き換えられる。同時に搬送ヘッドは再度部品供給ステージ１９まで移動されてルーティンがリターンされる。そして、再度このルーティンでステップＳ１、Ｓ２を経てステップＳ３にて全吸着検出圧力Ｐｊが再設定されるまでの間、全吸着検出圧力Ｐｊは到達不可値Ｐｕに維持されることになる。
【００６０】
このように、本実施の形態の吸着把持検出装置は、複数の吸着具９を備える複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎをそれぞれ１つの単位とし、それらのヘッド流路８ｓ１〜８ｓｎ内の負圧Ｐｓｎのみを検出して全ての吸着具９におけるワークＷの全吸着状態および全把持状態（または把持異常状態）を検出できるようになっている。また全吸着状態および全把持状態（または把持異常状態）を検出するために負圧Ｐｓｎと比較する検出圧力を、ワークＷを１つだけ未吸着または落下した場合と全部吸着把持した場合との間に設定したことにより、確実な検出が可能となっている。したがって圧力センサは各複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｎに１つずつ設けるだけでよく、圧力センサの設置個数を少なくすることができるため、複数のワークＷを一括して吸着把持する場合でも低い製造コストでワークＷの吸着把持状態を確実に検出することができる。
【００６１】
また負圧共通流路６ａにも元圧センサＳ０を設けて元圧の変動を検出したり、検出対象以外の複数吸着ヘッド７ｓ１〜７ｓｍ（ｓｍ≠ｓｎ）における負圧の変動を検出し、それら変化分の増減変動圧ΔＰｉｎ、ΔＰｓで把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒを適切に補正することから、検出対象の複数吸着ヘッド７ｓｎにおける全把持状態（または把持異常状態）の検出を確実に行うことができる。
【００６２】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、前記実施の形態においては、この真空吸着搬送装置１は部品供給ステージ１９から実装基板２０へワークＷを搬送する場合に適用されているが、これに限らず、実装基板２０に換えて検査ボードにワークＷを搬送する場合など他の用途に適用してもよい。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、圧力センサは各複数吸着ヘッドに１つずつ設けるだけでよく、またそれら圧力センサから検出された負圧と比較する全吸着検出圧力を適切に設定していることから、複数のワークを一括して吸着する場合でも低い製造コストでワークの全吸着状態を確実に検出できる。
【００６４】
また本発明によれば、圧力センサは各複数吸着ヘッドに１つずつ設けるだけでよく、またそれら圧力センサから検出された負圧と比較する把持異常検出圧力を適切に設定していることから、複数のワークを一括して把持する場合でも低い製造コストでワークの把持異常状態を確実に検出できる。
【００６５】
また本発明によれば、流体圧共通流路に設けた圧力センサから元圧の変動を検出し、その変化分の増減変動圧で把持異常検出圧力を適切に補正するために検出対象の複数吸着ヘッドにおける把持異常状態の検出を確実に行うことができる。
【００６６】
また本発明によれば、検出対象以外の複数吸着ヘッドにおける負圧の変動を検出し、その変化分の増減変動圧で把持異常検出圧力を適切に補正するために検出対象の複数吸着ヘッドにおける把持異常状態の検出を確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である吸着把持検出装置が装着された真空吸着搬送装置のうちの流体圧の供給構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】１つの複数吸着ヘッドに着目した制御構成の概略を示したブロック図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｅ）は１つの複数吸着ヘッドにより複数のワークを一括して吸着搬送する搬送手順を示す図である。
【図４】１つの複数吸着ヘッドに設けられた６つの吸着具が、部品ステージから実装基板まで６つのワークを一括吸着して搬送する際にヘッド圧力センサにより検出されるヘッド流路内の圧力の変化を示すタイムチャートである。
【図５】吸着動作の際における全吸着検出圧力Ｐｊの設定と、搬送動作における把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒの設定について説明するタイムチャートである。
【図６】元圧変動に対して増減変動圧ΔＰｉｎによる把持異常検出圧力Ｐｅｒｒｏｒの補正を説明するタイムチャートである。
【図７】１つの複数吸着ヘッドにおいてワークを吸着把持して搬送する際における吸着把持検出装置の作動手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１        真空吸着搬送装置
２        負圧源
３        正圧源
４        真空圧供給用の電磁開閉弁
５        正圧供給用の電磁開閉弁
６ａ      負圧共通流路
６ｂ      正圧共通流路
７ｓ１〜７ｓｎ  複数吸着ヘッド
８ｓ１〜８ｓｎ  ヘッド流路
９        吸着具
１０      分岐流路
１１      検出制御装置
１２      上位制御装置
１３      空気圧シリンダ
１４      ピストンロッド
１５      電磁弁
１６      正圧源
１７      先端ブロック
１８      真空吸引口
１９      部品供給ステージ
２０      実装基板
Ｗ        ワーク
Ｓ０      元圧センサ
Ｓ１〜Ｓｎ  ヘッド圧力センサ
Ｐｉｎ      元圧
ΔＰｉｎ    元圧の増減変動圧
Ｐｓｎ      （検出対象の）ヘッド流路内の圧力
Ｐｓｅｔ      吸着準備圧力
ΔＰｓｅｔ    全吸着検出値
Ｐｊ        全吸着検出圧力
Ｐｃｈｋ      全吸着圧力
ΔＰ０      全吸着圧力Ｐｃｈｋから吸着準備圧力Ｐｓｅｔを引いた差圧
ΔＰ０−１    全吸着圧力Ｐｃｈｋから１つだけ未吸着の場合の吸着圧力を引いた差圧
ΔＰｅ      把持異常検出値
Ｐｅｒｒｏｒ    把持異常検出圧力
Ｐｒｅｓｅｔ    離脱圧力
ΔＰｓ      他ヘッドの増減変動圧
Ｐｕ      到達不可圧力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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