(57)【要約】【課題】試料の位置決めを比較的高さの低い位置決め装置で行うことで、コンパクトなイオンビーム分析用チャンバを提供する。【解決手段】試料台３２上の試料にイオンビームを照射し検出器７によって試料を分析するイオンビーム分析用チャンバにおいて、ベース９と、このベース９にＹ軸を中心にθ方向に回動可能に設けられた回動ステージ１０と、この回動ステージ１０にＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられ且つ試料台３２が取付けられたＸ−Ｙステージ１１とを備える試料の位置決め装置２を、内部に備えてなる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料台上の試料にイオンビームを照射し検出器によって試料を分析するイオンビーム分析用チャンバにおいて、ベースと、このベースにＹ軸を中心にθ方向に回動可能に設けられた回動ステージと、この回動ステージにＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられ且つ試料台が取付けられたＸ−Ｙステージとを備える試料の位置決め装置を、内部に備えてなることを特徴とするイオンビーム分析用チャンバ。
【請求項２】
Ｘ−Ｙステージが、試料台が取付けられ且つイオンビームの入射方向と直交するＸ軸方向に移動可能なＸステージと、イオンビームの入射方向と直行し且つＸ軸方向に直行するＹ軸方向に移動可能なＹステージと、ＹステージがＹ軸方向に移動可能に設けられ且つ回動ステージにＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられた回動ベースとを備えてなる請求項１に記載のイオンビーム分析用チャンバ。
【請求項３】
回動ステージが、四角形状のフレーム枠に形成されるとともに、一方の対向フレーム部材にＹ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸を固定し、他方の対向フレーム部材にＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸受けを設けてなる請求項１又は２に記載のイオンビーム分析用チャンバ。
【請求項４】
ベースが、イオンビームの入射方向と平行するＺ軸方向に移動可能に設けられてなる請求項１乃至３の何れかに記載のイオンビーム分析用チャンバ。
【請求項５】
Ｙ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸の軸心とＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸心とが、何れも試料表面のイオンビーム照射位置を通るように配置されてなる請求項１乃至４の何れかに記載のイオンビーム分析用チャンバ。
【請求項６】
試料台上の試料にイオンビームを照射し検出器によって試料を分析するイオンビーム分析用チャンバにおいて、ベースと、このベースにＹ軸を中心にθ方向に回動可能に設けられた回動ステージと、この回動ステージにＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられ且つ試料台が取付けられたＲ−ωステージとをチャンバ内に備えるとともに、Ｙ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸の軸心とＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸心とが、何れも試料表面のイオンビーム照射位置を通るように配置される試料の位置決め装置を、内部に備えてなることを特徴とするイオンビーム分析用チャンバ。
【請求項７】
Ｒ−ωステージが、イオンビームの入射方向と直交する面でイオンビーム軸（Ｚ軸）を中心にω方向に回動可能な試料台と、この試料台が設けられ且つＲ方向に移動可能なＲステージと、このＲステージが設けられ且つ回動ステージにＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられた回動ベースとを備えてなる請求項６に記載のイオンビーム分析用チャンバ。
【請求項８】
回動ステージが、四角形状のフレーム枠に形成されるとともに、一方の対向フレーム部材にＹ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸を固定し、他方の対向フレーム部材にＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸受けを設けてなる請求項６又は７に記載のイオンビーム分析用チャンバ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チャンバ内の試料台上の試料に外部より導入したイオンビームを照射し検出器によって試料を分析するイオンビーム分析用チャンバに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のイオンビーム分析用チャンバとしては、例えば特開平３−２５７７５１号公報（特許文献１）、特開平９−１５１７３号公報（特許文献２）に開示されたものがある。そして、この開示されたイオンビーム分析用チャンバにおいては、チャンバ本体が、円筒状に形成された胴部と、この胴部の前側に湾曲状に形成され且つイオンビームの導入口が設けられた前側壁部と、前記胴部の後側に開閉可能に設けられた蓋部とを備えて構成されている。
【０００３】
そして更に、特許文献１では、試料を載せる試料台として多試料搭載部と試料載置部の二つが配置されている。多試料搭載盤は、ターンテーブル式の円盤状あるいはＸ−Ｙ方向に移動可能な矩形状のもので、そのモータ等駆動部を真空シール軸受などを介して蓋部の外に配設することで、蓋部の内に設けられている。一方、試料載置部は、真空フランジを備える高真空用の精密三軸式のゴニオメータの被駆動側に配置されるとともに、そのゴニオメータを胴部壁に真空フランジを介して、駆動部を胴部壁の外に、被駆動側を胴部壁の内に装着することで、設けられている。
【０００４】
特許文献２では、試料を載せる試料台が、蓋部の内側に設けた支持フレームを介して支持したゴニオメータに配設されている。そして、このイオンビーム分析用チャンバでは、入射粒子との弾性衝突により前方（入射角と反射角とが１０〜３０度）に反跳された軽元素を検出して試料の分析評価を行うＥＲＤＡ分析法と、試料構成原子との弾性散乱により後方（９０〜１８０度）に散乱するイオンのエネルギースペクトルを測定することによって、試料の深さ方向の組成や構造を分析することができるＲＢＳ分析法との両者に適用するため、チャンバ内で検出器が移動し得る構成となっている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平３−２５７７５１号公報
【特許文献２】
特開平９−１５１７３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特許文献１に記載のイオンビーム分析用チャンバでは、特性の異なる各種のイオンビームを同一ビーム照射軸線上に沿って導入するとともに、これらのイオンビームを選択的に用いて、広範囲且つ多種多様な分析を効率良く行うことができ、これを用いるイオンビーム分析装置を多目的の分析に対応できるものとしてなお、コンパクトで安価なものとすることができる利点を有するが、多試料搭載盤及び試料載置部上の試料の位置決めを行う駆動モータや伝動機構部はチャンバの外に設けられているため、真空シールなどの高価なシール構造を採用しなければならない上に、そのメンテナンスにも配慮が必要になる。また、三軸式のゴニオメータは通常、各駆動軸を積上げ構造としているため、広い範囲の設置スペースが必要であり、チャンバから外部に大きく張り出した構造となっており、改善の必要があった。
【０００７】
また、特許文献２に記載のイオンビーム分析用チャンバでは、ＥＲＤＡ分析法とＲＢＳ分析法の両者に適用できる利点を有し、またゴニオメータが駆動部共々チャンバ内に設けられていることで、真空シールなどが不要になるといった利点を有するが、試料の位置決めを行うゴニオメータの設置構造は、検出器がＥＲＤＡ分析法とＲＢＳ分析法とで別々の位置に配置する必要があるため、その両者の位置の間を検出器と共に往復動し得る揺動アームの設置と相俟って大掛かりな構造となっている。
【０００８】
本発明は、上記の事情に着目してなしたものであって、その目的は、試料の位置決めを比較的高さの低い位置決め装置で行うことで、コンパクトなイオンビーム分析用チャンバを提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明（請求項１）に係るイオンビーム分析用チャンバは、試料台上の試料にイオンビームを照射し検出器によって試料を分析するイオンビーム分析用チャンバにおいて、ベースと、このベースにＹ軸を中心にθ方向に回動可能に設けられた回動ステージと、この回動ステージにＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられ且つ試料台が取付けられたＸ−Ｙステージとを備える試料の位置決め装置を、内部に備えてなるものである。
【００１０】
上記の構成では、試料台を取付けたＸ−Ｙステージを、回動ステージを介してＹ軸を中心にθ方向に回動及びＸ軸を中心にφ方向に回動し得るので、ベースと試料台までの間隔を短くでき、引いてはイオンビーム分析用チャンバをコンパクトにできる。また、分析に際しては試料台に載置した試料を、Ｘ−ＹステージによってＹ軸方向又は／及びＸ軸方向に移動し得るとともに、回動ステージを介してＹ軸を中心にθ方向に又は／及びＸ軸を中心にφ方向に回動移動させることができる。
【００１１】
そして、上記請求項１の発明においては、Ｘ−Ｙステージが、試料台が取付けられ且つイオンビームの入射方向と直交するＸ軸方向に移動可能なＸステージと、イオンビームの入射方向と直行し且つＸ軸方向に直行するＹ軸方向に移動可能なＹステージと、ＹステージがＹ軸方向に移動可能に設けられ且つ回動ステージにＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられた回動ベースとを備えてあってもよい（請求項２）。このようにＸ−Ｙステージに回動ベースを備えることで、回動ステージへの取付けを容易にして、上記の作用効果を得ることができる。
【００１２】
また、上記請求項１又は２の発明においては、回動ステージが、四角形状のフレーム枠に形成されるとともに、一方の対向フレーム部材にＹ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸を固定し、他方の対向フレーム部材にＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸受けを設けてあってもよい（請求項３）。このように構成することで、Ｘ−Ｙステージを、四角形状のフレーム枠に形成した回動ステージの内部に設けることができるとともに、上記の作用効果を得ることができる。
【００１３】
また、上記請求項１乃至３の何れかに記載のイオンビーム分析用チャンバにおいては、ベースが、イオンビームの入射方向と平行するＺ軸方向に移動可能に設けてあってもよい（請求項４）。このように構成することで、試料をＺ軸方向に移動することができ、イオンビームの進行方向の試料の位置（距離）補正ができる。
【００１４】
また、請求項１乃至４の何れかに記載のイオンビーム分析用チャンバにおいては、Ｙ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸の軸心とＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸心とが、何れも試料表面のイオンビーム照射位置を通るように配置されてあってもよい（請求項５）。このように構成することで、Ｘ−ＹステージのＸステージ及びＹステージがいかなる位置へ移動しても、回動軸中心は試料表面となるので、試料表面と検出器表面までの距離は一定となり、試料のＺ軸方向への位置（距離）補正が不要となり、Ｚ軸方向への移動手段が不要になり、イオンビーム分析用チャンバをコンパクトにできる。
【００１５】
また、本発明（請求項６）に係るイオンビーム分析用チャンバは、試料台上の試料にイオンビームを照射し検出器によって試料を分析するイオンビーム分析用チャンバにおいて、ベースと、このベースにＹ軸を中心にθ方向に回動可能に設けられた回動ステージと、この回動ステージにＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられ且つ試料台が取付けられたＲ−ωステージとをチャンバ内に備えるとともに、Ｙ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸の軸心とＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸心とが、何れも試料表面のイオンビーム照射位置を通るように配置される試料の位置決め装置を、内部に備えてなるものである。
【００１６】
上記の構成では、試料台を取付けたＲ−ωステージを、回動ステージを介してＹ軸を中心にθ方向に回動及びＸ軸を中心にφ方向に回動し得るとともに、Ｙ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸の軸心とＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸心とを、何れも試料表面のイオンビーム照射位置を通るように配置しているので、ベースと試料台までの間隔を短くでき、引いてはイオンビーム分析用チャンバをコンパクトにできる。また、分析に際しては試料台に載置した試料を、Ｒ−ωステージによってＺ軸を中心にω方向に回動又は／及びＲ方向（径方向）に移動し得るとともに、回動ステージを介してＹ軸を中心にθ方向に又は／及びＸ軸を中心にφ方向に回動移動させることができる。
【００１７】
そして、上記請求項６に記載のイオンビーム分析用チャンバにおいては、Ｒ−ωステージが、イオンビームの入射方向と直交する面でイオンビーム軸（Ｚ軸）を中心にω方向に回動可能な試料台と、この試料台が設けられ且つＲ方向に移動可能なＲステージと、このＲステージが設けられ且つ回動ステージにＸ軸を中心にφ方向に回動可能に設けられた回動ベースとを備えてあってもよい（請求項７）。このようにＲ−ωステージに回動ベースを備えることで、回動ステージへの取付けを容易にして、上記の作用効果を得ることができる。
【００１８】
また、上記請求項６又は７に記載のイオンビーム分析用チャンバにおいては、回動ステージが、四角形状のフレーム枠に形成されるとともに、一方の対向フレーム部材にＹ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸を固定し、他方の対向フレーム部材にＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸受けを設けてあってもよい（請求項８）。このように構成することで、Ｒ−ωステージを、四角形状のフレーム枠に形成した回動ステージの内部に設けることができるとともに、上記の作用効果を得ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明に係るイオンビーム分析用チャンバの正面断面図、図２は、図１の側面断面図である。図において、１はチャンバ本体、２は試料の位置決め装置である。
【００２０】
チャンバ本体１は、円筒状に形成された胴部３と、この胴部３の前側に湾曲状に形成され且つイオンビームの導入口４が設けられた前側壁部５と、前記胴部３の後側に開閉可能に設けられた蓋部６とを備えて構成されている。そして、本例では、前側壁部５の所定位置に検出器７が設置されている。
【００２１】
試料の位置決め装置２は、Ｚ軸方向の駆動装置８、ベース９、回動ステージ１０、Ｘ−Ｙステージ１１を備えて構成され、蓋部６の内側に立設された支柱部材１２を介してチャンバ本体１内に設けられている。
【００２２】
Ｚ軸方向の駆動装置８は、支柱部材１２の上端部に設けた駆動モータ１３と、この駆動モータ１３に連結され支柱部材１２に沿わせて設けたボールネジ１４と、このボールネジ１４の回動によって支柱部材１２に沿って前進又は後退移動する摺動ブロック１５とを備えて構成されている。なお、１６は支柱部材１２と摺動ブロック１５の間に設けられているリニアガイドである。
【００２３】
ベース９は、ベース部１７と取付け部１８を有する断面Ｌ字状の部材で構成され、取付け部１８が上記摺動ブロック１５に取付けられている。また、ベース部１７上には、回動ステージ１０をＹ軸方向の二箇所で回動可能に支持するための支持部材１９が立設されている。
【００２４】
回動ステージ１０は、四角形状のフレーム枠に形成され、一方の対向フレーム部材２０、２１にはＹ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸２２、２３が固定され、他方の対向フレーム部材２４、２５には後記のＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸３８、３９の軸受け２６、２７が設けられている。そして、前記回転軸２２、２３を、上記支持部材１９に軸受け２８、２９を介して回動可能に取付けるとともに、一方の回転軸２２を、ベース９上にモータブラケット３０を介して設けた駆動モータ３１の出力軸に連結させている。この駆動モータ３１は、回動ステージ１０をθ方向に回動させる。
【００２５】
Ｘ−Ｙステージ１１は、試料台３２、Ｙステージ３３、Ｘステージ３４及び回動ベース３５をこの順に積み重ねた構造のものであって、四角形状に形成された回動ベース３５のＸ軸方向の対向端の中央部に立設した支持部材３６、３７の外側に突設した回転軸３８、３９を、上記回動ステージ１０の軸受け２６、２７に取付けることで、回転ステージ１０に設けられている。そして、前記回転軸３８を、回動ステージ１０のフレーム部材２４の外側に設けたモータブラケット４０上の駆動モータ４１の出力軸に連結させている。この駆動モータ４１は、回動ベース３５をφ方向に回動させる。
【００２６】
また、回動ベース３５上には、リニアガイド４２をＸ軸方向に平行に介在させて、四角形状に形成されたＸステージ３４が設けられるとともに、Ｘ軸方向に平行にボールネジ軸４３が設けられ、またそのボールネジ軸４３を回動駆動する駆動モータ４４が設けられている。前記Ｘステージ３４は、そのＸ軸方向に平行な一端部にブラケット４５が設けられ、そのブラケット４５に設けたボールナット４６を介してボールネジ軸４３に連結され、Ｘ軸方向に進退移動する。
【００２７】
また、Ｘステージ３４上には、リニアガイド４７をＹ軸方向に平行に介在させて、略四角形状に形成されたＹステージ３３が設けられるとともに、Ｙ軸方向に平行にボールネジ軸４８が設けられ、またそのボールネジ軸４８を回動駆動する駆動モータ４９が設けられている。前記Ｙステージ３３は、そのＹ軸方向に平行な一端部にブラケット５０が設けられ、そのブラケット５０に設けたボールナット５１を介してボールネジ軸４８に連結され、Ｙ軸方向に進退移動する。そして、Ｙステージ３３の上面中央部には試料台３２が取付けられている。
【００２８】
上記構成の本発明に係るイオンビーム分析用チャンバでは、試料台３２を取付けたＸ−Ｙステージ１１を、回動ステージ１０を介してＹ軸を中心にθ方向に回動及びＸ軸を中心にφ方向に回動し得るので、ベース９と試料台３２までの間隔Ａを短くできる。引いては、イオンビーム分析用チャンバ全体をコンパクトにできる。そして、上記形態では、回動ステージ１０を四角形状のフレーム枠に形成して、そのフレーム枠内の空間内にＸ−Ｙステージ１１を、Ｙ軸を中心にθ方向に回動及びＸ軸を中心にφ方向に回動し得るように配設しているので、ベース９と試料台３２までの間隔Ａをより短くできている。
【００２９】
図３は、本発明に係る別に実施形態のイオンビーム分析用チャンバの正面断面図、図４は、図３の側面断面図である。この図に示すものは、上記形態における回動ステージ１０に対するＸ−Ｙステージ１１の取付け状態が、Ｙ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸２２、２３の軸心とＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸３８、３９の軸心との交点位置Ｂを、イオンビームが照射される試料の表面位置Ｃに対して距離Ｌだけ離れて取付けた構成としたのに対して、この距離Ｌをゼロとなるように取付けた他は同じ構成としたものである。
【００３０】
そして、上記のように構成した場合には、試料の測定においてＺ軸方向への距離補正が不要となるため、上記実施形態におけるＺ軸方向の駆動装置８が不要となる。そこで、図３及び４には、そのＺ軸方向の駆動装置８を除き、ベース９を蓋部６の内側に設けた構成を図示したものである。なお、上記図１及び２と同じ構成部分は同符号をもって示す。
【００３１】
上記図３及び４に示す構成では、交点位置Ｂと試料の表面位置Ｃとの距離Ｌがゼロになった分、ベース９と試料台３２までの間隔Ａを更に短くできる。その上、Ｘ−Ｙステージ１１のＸステージ３４及びＹステージ３３がいかなる位置へ移動しても、交点位置Ｂが試料の表面位置Ｃと重なるので、試料表面Ｃと検出器７の表面までの距離は一定となり、試料のＺ軸方向への位置（距離）補正が不要で、Ｚ軸方向の駆動装置８を除くことができ、イオンビーム分析用チャンバ全体をコンパクトにできる。
【００３２】
図５は、本発明に係る別に実施形態のイオンビーム分析用チャンバの正面断面図、図６は、図５の側面断面図である。図において、５２はチャンバ本体、５３は試料の位置決め装置である。
【００３３】
チャンバ本体５２は、円筒状に形成された胴部５４と、この胴部５４の前側に湾曲状に形成され且つイオンビームの導入口５５が設けられた前側壁部５６と、前記胴部５４の後側に開閉可能に設けられた蓋部５７とを備えて構成されている。そして、本例では、前側壁部５６の所定位置に検出器５８が設置されている。
【００３４】
試料の位置決め装置５３は、ベース５９、回動ステージ６０、Ｒ−ωステージ６１を備えて構成され、ベース５９を蓋部５７の内側に設けてチャンバ本体５２内に設けられている。
【００３５】
ベース５９上には、回動ステージ６０をＹ軸方向の二箇所で回動可能に支持するための支持部材６２が立設されている。
【００３６】
回動ステージ６０は、四角形状のフレーム枠に形成され、一方の対向フレーム部材６３、６４にはＹ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸６５、６６が固定され、他方の対向フレーム部材６７、６８には後記のＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸８１、８２の軸受け６９、７０が設けられている。そして、前記回転軸６５、６６を、上記支持部材６２に軸受け７１、７２を介して回動可能に取付けるとともに、一方の回転軸６５を、ベース５９上にモータブラケット７３を介して設けた駆動モータ７４の出力軸に連結させている。この駆動モータ７４は、回動ステージ６０をθ方向に回動させる。
【００３７】
Ｒ−ωステージ６１は、試料台７５、ω回動ステージ７６、Ｒステージ７７及び回動ベース７８をこの順に積み重ねた構造のものであって、四角形状に形成された回動ベース７８のＲ軸方向に直交する方向の対向端の中央部に立設した支持部材７９、８０の外側に突設した回転軸８１、８２を、上記回動ステージ６０の軸受け６９、７０に取付けることで、回転ステージ６０に設けられている。そして、前記回転軸８１を、回動ステージ６０のフレーム部材６７の外側に設けたモータブラケット８３上の駆動モータ８４の出力軸に連結させている。この駆動モータ８４は、回動ベース７８をφ方向に回動させる。
【００３８】
また、回動ステージ６０の、対向フレーム部材６３、６４に固定されたＹ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸６５、６６と対向フレーム部材６７、６８に軸受け６９、７０を介して設けられたＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸８１、８２とは、それらの軸心の交点位置Ｄが、イオンビームが照射される試料台７５上の試料の表面位置Ｅと重なるように設けられている。
【００３９】
また、回動ベース７８上には、リニアガイド８５をＲ軸方向（本例ではＹ軸方向と同じ方向）に平行に介在させて、六角形状に形成されたＲステージ７７が設けられるとともに、Ｒ軸方向に平行にボールネジ軸８６が設けられ、またそのボールネジ軸８６を回動駆動する駆動モータ８７が設けられている。前記Ｒステージ７７は、そのＲ軸方向に平行な一端部にブラケット８８が設けられ、そのブラケット８８に設けたボールナット８９を介してボールネジ軸８６に連結され、Ｒ軸方向に進退移動する。
【００４０】
また、Ｒステージ７７には、Ｒステージ７７を貫通させて軸受け９０が設けられ、またその側方には出力軸を貫通させて駆動モータ９１が設けられている。そして、前記軸受け９０には、円盤形状に形成されその外周面に歯車９２が設けられたω回動ステージ７６の中心部に突設された回転軸９３が支持されている。また、前記駆動モータ９１の出力軸には、前記歯車９２に咬み合う歯車９４が設けられている。従って、ω回動ステージ７６は、駆動モータ９１を作動することによりω方向に回動する。そして、ω回動ステージ７６の上面中央部には試料台７５が取付けられている。
【００４１】
上記図５及び６における構成の本発明に係るイオンビーム分析用チャンバでも、試料台７５を取付けたＲ−ωステージ６１を、回動ステージ６０を介してＹ軸を中心にθ方向に回動及びＸ軸を中心にφ方向に回動し得るとともに、Ｙ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸６５、６６とＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸８１、８２とを、それらの軸心の交点位置Ｄが、イオンビームが照射される試料台７５上の試料の表面位置Ｅと重なるように設けられているので、ベース５９と試料台７５までの間隔Ａを短くできる。引いては、イオンビーム分析用チャンバ全体をコンパクトにできる。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るイオンビーム分析用チャンバによれば、試料の位置決めを、ベースと試料台までの間隔の短い比較的高さの低い位置決め装置で行うことで、コンパクトなイオンビーム分析用チャンバとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るイオンビーム分析用チャンバの正面断面図である。
【図２】図１の側面断面図である。
【図３】本発明に係る別に実施形態のイオンビーム分析用チャンバの正面断面図である。
【図４】図３の側面断面図である。
【図５】本発明に係る別に実施形態のイオンビーム分析用チャンバの正面断面図である。
【図６】図５の側面断面図である。
【符号の説明】
１：チャンバ本体        ２：試料の位置決め装置  ３：胴部
４：イオンビームの導入口                        ５：前側壁部
６：蓋部                ７：検出器              ８：Ｚ軸方向の駆動装置
９：ベース            １０：回動ステージ      １１：Ｘ−Ｙステージ
１２：支柱部材          １３：駆動モータ        １４：ボールネジ
１５：摺動ブロック      １６：リニアガイド      １７：ベース部
１８：取付け部          １９：支持部材          ２０、２１：フレーム部材
２２、２３：回転軸      ２４、２５：フレーム部材
２６〜２９：軸受け      ３０：モータブラケット  ３１：駆動モータ
３２：試料台            ３３：Ｙステージ        ３４：Ｘステージ
３５：回動ベース        ３６、３７：支持部材    ３８、３９：回転軸
４０：モータブラケット  ４１：駆動モータ        ４２：リニアガイド
４３：ボールネジ軸      ４４：駆動モータ        ４５：ブラケット
４６：ボールナット      ４７：リニアガイド      ４８：ボールネジ軸
４９：駆動モータ        ５０：ブラケット        ５１：ボールナット
５２：チャンバ本体      ５３：試料の位置決め装置
５４：胴部              ５５：イオンビームの導入口
５６：前側壁部          ５７：蓋部              ５８：検出器
５９：ベース            ６０：回動ステージ      ６１：Ｒ−ωステージ
６２：支持部材          ６３、６４：フレーム部材
６５、６６：回転軸      ６７、６８：フレーム部材
６９〜７２：軸受け      ７３：モータブラケット  ７４：駆動モータ
７５：試料台            ７６：ω回動ステージ    ７７：Ｒステージ
７８：回動ベース        ７９、８０：支持部材    ８１、８２：回転軸
８３：モータブラケット  ８４：駆動モータ        ８５：リニアガイド
８６：ボールネジ軸      ８７：駆動モータ        ８８：ブラケット
８９：ボールナット      ９０：軸受け            ９１：駆動モータ
９２、９４：歯車        ９３：回転軸
Ａ：ベースと試料台までの間隔
Ｂ、Ｄ：Ｙ軸を中心にθ方向に回動可能な回転軸の軸心とＸ軸を中心にφ方向に回動可能な回転軸の軸心との交点位置
Ｃ、Ｅ：試料の表面位置
Ｌ：交点位置Ｂと試料の表面位置Ｃまでの距離
【図１】
2004165044.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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