(57)【要約】【課題】測定エリアが非円形状の光学素子に対しても適用可能な光ピックアップ装置用光学素子の評価方法及び光ピックアップ装置用光学素子を提供する。【解決手段】本発明に係る光ピックアップ装置用光学素子の評価方法は、非円形状の測定エリアの全領域を覆うように複数の円形状の解析エリアを設定する解析エリア設定工程と、各解析エリア内の干渉縞に関する画像データを取得する画像データ取得工程と、取得した前記画像データに基づいて、各解析エリア内の干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出する解析工程とを備える。【選択図】        図４
2004280922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ピックアップ装置に用いられる光学素子の光学面上に設定した測定エリア内における波面収差を干渉縞として視覚化し、該干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出することにより、前記測定エリア内での前記光学素子の性能を評価する光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、
前記測定エリアが非円形状であり、
前記測定エリアの全領域を覆うように複数の円形状の解析エリアを設定する解析エリア設定工程と、
前記各解析エリア内の干渉縞に関する画像データを取得する画像データ取得工程と、
取得した前記画像データに基づいて、前記各解析エリア内の干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出する解析工程とを備えることを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子の評価方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、
前記解析エリアが３つ以上設定されることを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子の評価方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、
前記解析エリアにおける前記光学素子の開口数が０．２０以下であることを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子の評価方法。
【請求項４】
光ピックアップ装置に用いられる光学素子の光学面上に設定した測定エリア内における波面収差を干渉縞として視覚化し、該干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出することにより、前記測定エリア内での前記光学素子の性能を評価する光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、
前記測定エリアが非円形状であり、
前記測定エリアの全領域を覆う１つの円形状の解析エリアを設定する解析エリア設定工程と、
前記解析エリア内の干渉縞に関する画像データを取得する画像データ取得工程と、
取得した前記画像データを、前記解析エリアの全領域を覆うように設定した複数の円形状のエリア毎の画像データに分割する画像データ分割工程と、
前記各エリア毎の画像データに基づいて、前記各エリア内の干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出する解析工程とを備えることを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子の評価方法。
【請求項５】
請求項４に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、
前記エリアが３つ以上設定されることを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子の評価方法。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、
前記解析エリアにおける前記光学素子の開口数が０．２０以下であることを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子の評価方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、
前記測定エリアが、光軸に直交する平面内において、２つの焦点の線分が光軸を通過する略楕円形状であることを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子の評価方法。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、
前記測定エリアが、光軸に直交する平面内において、光軸を中心とする円を光軸に直交する軸上で移動させた場合の、当該円が描く軌跡と同一形状であることを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子の評価方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法により評価されたことを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子。
【請求項１０】
請求項９に記載の光ピックアップ装置用光学素子であって、光源から出射された光束の発散角を変換して出射することを特徴とする光ピックアップ装置用光学素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ピックアップ装置用光学素子の評価方法及び光ピックアップ装置用光学素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光情報記録媒体（光ディスク）を用いた情報の記録や再生に用いる光ピックアップ装置は、コリメータ、カップリングレンズ、対物レンズ等の種々の光学素子を組み合わせて構成されている。
【０００３】
従来より、これら光学素子の性能評価方法として、Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式を用いる方法が一般的に知られている。
この方法はトワイマン干渉計やマッハツェンダー干渉計などを用いることにより、被検レンズ（光学素子）の測定エリア内での波面収差を干渉縞として視覚化し、この干渉縞に対して、例えば「光学の原理」（１９８０年発行第６号）に記載されているように、Ｚｅｒｎｉｋｅ係数を算出して解析することにより、被検レンズの測定エリア内での球面収差、コマ収差、非点収差などを求めるものである（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式による評価方法を用いる場合、瞳内の単位円内においてＺｅｒｎｉｋｅ係数を算出する必要があるため、被検レンズの光学面上の測定エリアをほぼ円形状にする必要がある。換言すると、測定エリアがほぼ円形状であれば、Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式による評価方法を用いることにより、被検レンズの光学面のほぼ全域に関して性能を評価することが可能である。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−１８４７８７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、光ピックアップ装置の小型化や、半導体レーザー（光源）が有する非点隔差に起因して光ディスクの集光スポットに生じる非点収差の補正精度を向上すべく、光ピックアップ装置を構成する光学素子の小型化が要求されている。
【０００７】
図８に示す光学素子１００は、光軸Ｌを中心とした略円形状のレンズの上下の外周部分及び光学面１０１を切り欠いたものであり、外形を非円形状（楕円形状）とすることによりレンズの小型化が達成されている。
従って、このような光学素子１００に対して、上記特許文献１に開示されているような、従来より周知のＺｅｒｎｉｋｅ多項式を用いた性能評価方法を適用する場合には、斜線で示す測定エリア１０２を、上下の切欠き間の長さを直径とする光軸Ｌを中心とした円形状に設定することになるため、測定エリア１０２内の光学面１０１ａに関してのみ性能評価を行なうことができ、測定エリア外の光学面１０１ｂに関しては性能評価を行なうことができないという問題があった。
【０００８】
本発明の課題は、上述の問題を考慮したものであり、測定エリアが非円形状の光学素子に対しても適用可能な光ピックアップ装置用光学素子の評価方法及び光ピックアップ装置用光学素子を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、光ピックアップ装置に用いられる光学素子の光学面上に設定した測定エリア内における波面収差を干渉縞として視覚化し、該干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出することにより、前記測定エリア内での前記光学素子の性能を評価する光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、前記測定エリアが非円形状であり、前記測定エリアの全領域を覆うように複数の円形状の解析エリアを設定する解析エリア設定工程と、前記各解析エリア内の干渉縞に関する画像データを取得する画像データ取得工程と、取得した前記画像データに基づいて、前記各解析エリア内の干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出する解析工程とを備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、測定エリアが、例えば楕円形状等の非円形状であっても、測定エリアを複数の円形状の解析エリアに区分するので、各解析エリア毎にＺｅｒｎｉｋｅ多項式を適用することが可能となり、各解析エリア毎の性能を評価することで、測定エリア全体の性能を評価することが可能となる。
また、Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式による光学素子の評価方法は従来より利用されているので、本発明の評価方法を使用する評価装置については、例えば、複数の解析エリアを設定するためのプログラムの修正等が必要となるのみで、その構成を大幅に変更することなく、本発明の評価方法を適用することが可能となり、装置の製造コストを抑えることができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、前記解析エリアが３つ以上設定されることを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、少なくとも、光軸を中心とする解析エリアと、この解析エリアを挟む２つの解析エリアを設定することができるので十分な評価性能を確保できる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、前記解析エリアにおける前記光学素子の開口数が０．２０以下であることを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２と同様の効果を得られると共に、本発明の評価方法による性能評価の精度を高い状態で維持できる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、光ピックアップ装置に用いられる光学素子の光学面上に設定した測定エリア内における波面収差を干渉縞として視覚化し、該干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出することにより、前記測定エリア内での前記光学素子の性能を評価する光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、前記測定エリアが非円形状であり、前記測定エリアの全領域を覆う１つの円形状の解析エリアを設定する解析エリア設定工程と、前記解析エリア内の干渉縞に関する画像データを取得する画像データ取得工程と、取得した前記画像データを、前記解析エリアの全領域を覆うように設定した複数の円形状のエリア毎の画像データに分割する画像データ分割工程と、前記各エリア毎の画像データに基づいて、前記各エリア内の干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出する解析工程とを備えることを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、測定エリアが、例えば楕円形状等の非円形状であっても、測定エリアを複数の円形状の解析エリアに区分するので、各解析エリア毎にＺｅｒｎｉｋｅ多項式を適用することが可能となり、各解析エリア毎の性能を評価することで、測定エリア全体の性能を評価することが可能となる。
また、Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式による光学素子の評価方法は従来より利用されているので、本発明の評価方法を使用する評価装置については、例えば、複数の解析エリアを設定するためのプログラムの修正等が必要となるのみで、その構成を大幅に変更することなく、本発明の評価方法を適用することが可能となり、装置の製造コストを抑えることができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、前記エリアが３つ以上設定されることを特徴とする。
【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、請求項４と同様の効果を得られると共に、少なくとも、光軸を中心とする解析エリアと、この解析エリアを挟む２つの解析エリアを設定することができるので十分な評価性能を確保できる。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、前記解析エリアにおける前記光学素子の開口数が０．２０以下であることを特徴とする。
【００２０】
請求項６に記載の発明によれば、請求項４又は５と同様の効果を得られると共に、本発明の評価方法による性能評価の精度を高い状態で維持できる。
【００２１】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか一項に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、前記測定エリアが、光軸に直交する平面内において、２つの焦点の線分が光軸を通過する略楕円形状であることを特徴とする。
【００２２】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか一項に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法であって、前記測定エリアが、光軸に直交する平面内において、光軸を中心とする円を光軸に直交する軸上で移動させた場合の、当該円が描く軌跡と同一形状であることを特徴とする。
【００２３】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか一項に記載の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法により評価されたことを特徴とする。
【００２４】
請求項９に記載の発明によれば、従来の光学素子では、例えば有効エリアが楕円形状であっても、測定エリアは光軸を中心とした円形状に設定されていたため、有効エリア中、測定エリア外の領域に位置する光学面に関しては性能評価が行なわれていなかった。しかし、本発明の評価方法により性能評価された光学素子は、有効エリアが楕円形状であっても、有効エリア全体の光学面に関して性能評価が行なわれているので、高い収差補正性能を有する。
【００２５】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の光ピックアップ装置用光学素子であって、光源から出射された光束の発散角を変換して出射することを特徴とする。
【００２６】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、図面を用いて本発明の光ピックアップ装置用光学素子の評価方法（以下、「評価方法」ともいう。）及びこの評価方法により製造された光ピックアップ装置用光学素子（以下、「光学素子」ともいう。）の実施の形態について説明する。
まず、図１（ａ）〜（ｃ）を用いて、評価方法が適用される光学素子１０の形状について説明する。
なお、Ｘは光学素子１０の光軸Ｌ方向、Ｙは光軸Ｌと直交する方向、ＺはＸ方向とＹ方向とが互いに直交する方向を示すものとする。なお、Ｚ方向はトラッキング方向となる。
【００２７】
光学素子１０としては、光ピックアップ装置の集光光学系を構成する光学素子１０であればよく、例えば、コリメータレンズ、カップリングレンズ、対物レンズ等が挙げられる。特に、光源からの出射光束の発散角を変換して出射する、コリメータレンズやカップリングレンズに対して本発明の評価方法をより好適に使用できる。
【００２８】
図１に示すように、光学素子１０は入射面１１、出射面１２、フランジ部１３とを備える。
光学素子１０の外周形状は、光軸Ｌを含む平面（Ｘ−Ｚ平面）に対して略平行な第１直線部１４、第１直線部１４と平行かつ光軸Ｌを含む平面を挟んで対称な第２直線部１５、第１直線部１４と第２直線部１５の端部同士を連設する２つの円弧部１６とから構成される。このように、光学素子１０の外周形状は、光軸Ｌを中心とした略円形状を第１直線部１４と第２直線部１５とで切り欠いた形状となっている。
さらに、入射面１１側において、光軸Ｌを中心とした略円形の光学面１１ａの周縁の一部が、第１直線部１４及び第２直線部１５により切り欠かれており、図示は省略するが、出射面１２側においても同様に、光軸Ｌを中心とした略円形の光学面１１ａの周縁の一部が、第１直線部１４及び第２直線部１５により切り欠かれている。
【００２９】
このように、光学素子１０は、その外周形状が第１直線部１４と第２直線部１５とにより切り欠かれているだけでなく、入射面１１側の光学面１１ａと出射面１２側の光学面も、第１直線部１４と第２直線部１５により切り欠かれており、これによりＹ方向に関する光学素子１０の小型化を図っている。
なお、本実施の形態においては、入射面１１と出射面１２が共にその上下を切り欠かれた形状としたが、これに限らず、入射面１１と出射面１２のいずれか一方のみが切り欠かれた形状であってもよい。
【００３０】
図２（ａ）は対物レンズのトラッキング時の入射面１１における光束の通過領域を示すものである。
図２（ａ）中の円２０は、トラッキングを行なっていない状態における入射面１１上の光束の通過領域を示し、円２１（太線で表す）及び円２２（点線で表す）は、トラッキング時における入射面１１上の光束の通過領域を示すものである。
このように、トラッキング時における光束のＺ方向への移動により、光学素子１０の有効エリアＡ１は図２（ｂ）に斜線で表す領域となる。
【００３１】
光源から出射された光束は、この有効エリアＡ１を通過したのち、光情報記録媒体の情報記録面上に集光スポットを形成して、情報の再生及び／又は記録に利用されることになる。
このように本実施の形態においては、有効エリアＡ１は光軸Ｌに直交する平面（ＹＺ平面）内において、光軸Ｌを中心とする円を光軸Ｌに直交する軸（Ｚ軸）上で移動させた場合の、当該円が描く軌跡と同一領域に設定されている。
【００３２】
本発明の評価方法は、このように有効エリアＡ１が非円形状に設定されている光学素子１０に対しても、性能評価を有効エリアＡ１全域に対して行なうことを可能とするものである。なお、以下の説明においては、本発明による評価方法を適用する領域を「測定エリアＡ２」（図４を参照）と表記する。従って、本発明においては測定エリアＡ２と有効エリアＡ１とはほぼ同一の領域を指すことになる。
【００３３】
本発明の評価方法は、測定エリアＡ２内における波面収差を干渉縞として視覚化して、この干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式の係数を算出することにより、測定エリアＡ２内での光学素子１０の性能を評価するものである。なお、波面収差を干渉縞として視覚化する技術及び干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式を適用して光学素子の性能を評価する技術については、例えば、「光学の原理」（１９８０年発行第６号）や上記特許文献１等に開示されている周知の技術であるため、詳しい説明は省略する。
【００３４】
図３は、評価方法に使用される評価装置３０の構成を概略的に示す図であり、入力部３１、画像データ取得部３２、解析部３３、出力部３４、記憶部３５等から概略構成される。
評価方法は、解析エリア設定工程、画像データ取得工程、解析工程から構成される。
解析エリア設定工程は、図４に示すように、測定エリアＡ２の全領域を覆うように複数の円形状の解析エリアＡ１１〜Ａ１３を設定するものである。具体的には、作業者は、入力部３１を介して、測定エリアＡ２の全領域を覆うような円形状の複数の解析エリア（本実施の形態では解析エリアＡ１１〜Ａ１３の３つ）をトラッキング方向（Ｚ方向）に設定する。この際に一つの解析エリアを、その中心が光軸Ｌ上に位置するように設定することが望ましい。
【００３５】
画像データ取得工程は、設定された各解析エリアＡ１１〜Ａ１３内の干渉縞４０に関する画像データを取得するものである。具体的には、画像データ取得部３２を介して、解析エリアＡ１１においては図５（ａ）に示すような干渉縞４０の画像データが取得され、解析エリアＡ１２においては図５（ｂ）に示すような干渉縞４０の画像データが取得され、解析エリアＡ１３においては図５（ｃ）に示すような干渉縞４０の画像データが取得される。図６は図５（ａ）〜（ｃ）を合成したものである。図５、図６から、各干渉縞４０の形状自体には変化がなく、解析エリアＡ１１〜Ａ１３のＺ方向の位置によって、取得される画像データが異なるものとなることが分かる。なお、取得された画像データは記憶部３５に記憶される。
【００３６】
解析工程は、解析部３３において、画像データ取得工程で取得した解析エリアＡ１１〜Ａ１３の各画像データに基づいて、各解析エリアＡ１１〜Ａ１３内の干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式を適用して、その係数を算出すると共に、算出した係数などから、各解析エリアＡ１１〜Ａ１３の球面収差、コマ収差、非点収差などの収差量を算出するものである。なお、取得された各収差量は記憶部３５に記憶される。
そして、算出された各解析エリアＡ１１〜Ａ１３の収差量は出力部３４に出力される。作業者は出力された各解析エリアＡ１１〜Ａ１３の収差量に基づいて、各解析エリアＡ１１〜Ａ１３の性能評価を行なうことにより、測定エリアＡ２全体の性能を評価し、必要に応じて光学素子１０の再設計を行なう。
【００３７】
以上のように、本実施の形態に示した評価方法によれば、測定エリアＡ２が、例えば楕円形状等の非円形状であっても、測定エリアＡ２を複数の円形状の解析エリアＡ１１〜Ａ１３に区分するので、各解析エリアＡ１１〜Ａ１３にＺｅｒｎｉｋｅ多項式を適用することが可能となり、各解析エリアＡ１１〜Ａ１３の性能を評価することで、測定エリアＡ２全体の性能を評価することが可能となる。
また、Ｚｅｒｎｉｋｅ多項式による光学素子１０の評価方法は従来より利用されているので、評価装置３０については、例えば、複数の解析エリアＡ１１〜Ａ１３を設定するためのプログラムの修正等が必要となるのみで、その構成を大幅に変更することなく、本発明の評価方法を適用することが可能となり、装置の製造コストを抑えることができる。
【００３８】
また、従来では、例えば有効エリアが楕円形状であっても、測定エリアは光軸Ｌを中心とした円形状に設定されていたため、有効エリア中、測定エリア外の領域に位置する光学面に関しては性能評価が行なわれていなかった。しかし、本発明の評価方法により性能評価された光学素子１０は、有効エリアＡ１が楕円形状であっても、有効エリアＡ１全体の光学面１１ａに関して性能評価が行なわれるので、高い収差補正性能を有していることになる。
【００３９】
なお、本実施の形態においては、円形状の解析エリアＡ１１〜Ａ１３がＺ方向に３つ設定される。従って、少なくとも、光軸Ｌを中心とする解析エリアＡ１２と、この解析エリアＡ１２を挟む２つの解析エリアＡ１１、Ａ１３を設定することができるので十分な評価性能を確保できる。
なお、解析エリアは２つ以上設定されればよく、また、Ｙ方向に設定しても良い。
また、有効エリアＡ１（測定エリアＡ２）が光軸Ｌを中心とした円形状となる光学素子１０に対しても、円形状の解析エリアを複数設定することにより、本発明の評価方法を適用できる。
【００４０】
また、光学素子１０の解析エリアＡ１１〜Ａ１３における開口数が０．２０以下であることが好ましい。この範囲内とすることで、本発明の評価方法による性能評価の精度を高い状態で維持できる。これは、仮に解析エリアＡ１１〜Ａ１３における開口数が大きくなると、測定エリアＡ２において、隣合う２つの解析エリア（例えばＡ１１とＡ１２）が重なり合わない領域が生じ、この領域に関する画像データが取得されない可能性があるためである。
また、本実施の形態においては、上述のように、有効エリアＡ１を、光軸Ｌに直交する平面（ＹＺ平面）内において、光軸Ｌを中心とする円を光軸Ｌに直交する軸上で移動させた場合の、当該円が描く軌跡と同一領域に設定しているとしたが、これに限らず、例えば、図示は省略するが、有効エリアＡ１を、２つの焦点の線分が光軸Ｌを通過するような略楕円形状に設定してもよい。
【００４１】
また、光学素子１０に入射する光束は、上述のようにＹＺ平面内において光軸Ｌを中心とした円形状であるものとしたが、これに限らず、有効エリアＡ１の形状に対応して、ＹＺ平面内における形状が略楕円形状であってもよい。
また、光学素子１０に入射する光束が光学面１１ａの切り欠かれている部分にもおよぶものとしてもよい。この場合、切り欠かれている部分に到達した光束は、出射面１２から出射されず、光情報記録媒体の情報記録面上に集光スポットを形成しないことになる。このような場合でも、トラッキング時に光束がＺ方向に移動することにより、有効エリアＡ１はＺ方向に伸びる非円形状（略楕円形状）となるので、この有効エリアＡ１に対して本発明の評価方法を適用できる。
【００４２】
［第２の実施の形態］
以下、本発明の評価方法の第２の実施の形態について説明する。なお、上記第１の実施の形態と同一の構成となる箇所については説明を省略する。
本実施の形態の評価方法は、解析エリア設定工程、画像データ取得工程、画像データ分割工程、解析工程から構成される。
【００４３】
解析エリア設定工程は、測定エリアＡ２の全領域を覆うような１つの円形状の解析エリア（図示せず）を設定するものである。具体的には、作業者は、入力部３１を介して、測定エリアＡ２の全領域を覆う、光軸Ｌを中心とした円形状の１つの解析エリアを設定する。
なお、上記第１の実施の形態では、作業者は入力部３１を介した解析エリアの設定作業を解析エリアＡ１１〜Ａ１３に対応して３回行なう必要があり、図３中に矢印で示すように、入力部３１と解析部３３とで相互にデータのやり取りが行なわれるが、本実施の形態では、作業者は入力部３１を介した解析エリアの設定作業を１回だけ行うことになるため、図３に示すものとは異なり、入力部３１から解析部３３にデータが送信されることになる。
画像データ取得工程は、設定された解析エリア内の全ての干渉縞に関する画像データを、画像データ取得部３２を介して取得するものである。なお、取得された画像データは記憶部３５に記憶される。
【００４４】
画像データ分割工程は、解析部３３において、取得した前記画像データを、解析エリアの全領域を覆うように設定した複数の円形状のエリアＡ２１〜Ａ２３（図７を参照）毎の画像データに分割するものである。なお、分割された各画像データは記憶部３５に記憶される。
具体的には、作業者が入力部３１を介して、測定エリアＡ２の全領域を覆うような円形状の複数のエリアＡ２１〜Ａ２３をトラッキング方向（Ｚ方向）に設定する。この際に、一つのエリアを、その中心が光軸Ｌ上に位置するように設定することが望ましい。
【００４５】
図７（ａ）〜（ｃ）は各エリア中の干渉縞に関する画像データを表すものであり、図５（ａ）〜（ｃ）に示したものと同様となる。
解析工程は、解析部３３において、画像データ分割工程で分割した各エリアＡ２１〜Ａ２３の各画像データに基づいて、各エリアＡ２１〜Ａ２３内の干渉縞に対してＺｅｒｎｉｋｅ多項式を適用して、その係数を算出すると共に、算出した係数などから、各エリアＡ２１〜Ａ２３の球面収差、コマ収差、非点収差などの収差量を算出するものである。なお、取得された各収差量は記憶部３５に記憶される。
そして、算出された各エリアＡ２１〜Ａ２３の収差量は出力部３４に出力される。作業者は、出力された各エリアＡ２１〜Ａ２３の収差量に基づいて、各エリアＡ２１〜Ａ２３の性能評価を行なうことにより、測定エリアＡ２全体の性能を評価し、必要に応じて光学素子１０の再設計を行なう。
【００４６】
以上のように、本実施の形態に示した評価方法は、上記第１の実施の形態に示した評価方法と比較して、解析エリア設定工程において測定エリアＡ２の全領域を覆う１つの円形状の解析エリアを設定する点と、画像データ取得工程で取得した測定エリアＡ２全体の画像データを画像データ分割工程において円形状のエリアＡ２１〜Ａ２３毎の画像データに分割する点が主に異なり、その後の解析工程において、各エリアＡ２１〜Ａ２３（第１の実施の形態においては解析エリアＡ１１〜Ａ１３）毎の球面収差、コマ収差、非点収差などの収差量を算出する点と、作業者が各エリアＡ２１〜Ａ２３（解析エリアＡ１１〜Ａ１３）毎の性能評価を行なうことにより、測定エリアＡ２全体の性能を評価する点は共通するものである。
【００４７】
【発明の効果】
本発明によれば、測定エリアが非円形状の光学素子に対しても適用可能な光ピックアップ装置用光学素子の評価方法及び光ピックアップ装置用光学素子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光学素子の形状を示す図面（ａ）〜（ｃ）である。
【図２】トラッキング時における入射光束の通過領域を示す図（ａ）及び有効エリアを示す図（ｂ）である。
【図３】評価装置の構成を示すブロック図である。
【図４】解析エリアの設定状態を示す図面である。
【図５】各解析エリアにおける干渉縞の画像データを示す図（ａ）〜（ｃ）である。
【図６】各解析エリアにおける干渉縞の画像データを総合した図である。
【図７】第２の実施の形態における各エリアにおける干渉縞の画像データを示す図（ａ）〜（ｃ）である。
【図８】光軸を中心とした略円形状のレンズの上下の外周部分及び入射面を切り欠いた光学素子を示す平面図である。
【符号の説明】
Ａ２    測定エリア
Ａ１１〜Ａ１３  解析エリア
Ａ２１〜Ａ２３  エリア
１０    光学素子
１１ａ  光学面
４０    干渉縞
【図１】
2004280922.tif 000003
【図２】
2004280922.tif 000004
【図３】
2004280922.tif 000005
【図４】
2004280922.tif 000006
【図５】
2004280922.tif 000007
【図６】
2004280922.tif 000008
【図７】
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【図８】
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