(57)【要約】　　　（修正有）【課題】製造過程における基板の破損等を効果的に防止することができるとともに、基板のサイズ変更にも柔軟に対応することができる、コア装置を備えた製造ラインシステムを提供する。【解決手段】製造ラインシステムは、複数枚のガラス基板が収納される複数のカセットを保管するスタッカークレーン方式のコア装置と、コア装置に接続され、コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納されたガラス基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインとを備えている。コア装置により保管および搬送されるカセット８１は、上板８３に立設された左右の側面フレーム８４，８５と、これら左右の側面フレーム間に張架された複数のワイヤ８６とを有している。複数のワイヤ８６は、異なる高さの複数段の水平面に沿って延びており、同一段の複数のワイヤ８６により、ガラス基板８２を水平状態で支持するようになっている。【選択図】　図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するストッカーと、このストッカー内に保管されているカセットを当該ストッカー内の複数の基板出し入れ位置と任意のカセット保管位置との間で搬送するスタッカークレーンとを有するコア装置と、
前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に接続され、前記コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納された基板に対して各種の処理を行う複数の処理ラインと、
前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、当該各基板出し入れ位置に位置付けられた基板収納済みのカセットから当該各基板出し入れ位置に対応する各処理ラインに対して基板を１枚ずつ排出するとともに、当該各処理ラインで処理が行われた処理済みの基板を１枚ずつ当該各基板出し入れ位置に位置付けられた空のカセット内に収納する基板出し入れ機構とを備え、
前記コア装置により保管および搬送される前記カセットは、左右の側面フレームと、これら左右の側面フレーム間に張架され、複数枚の基板を水平状態で支持するよう異なる高さの複数段の水平面に沿って延びる複数のワイヤとを有することを特徴とする製造ラインシステム。
【請求項２】
前記複数の処理ラインは、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行うことを特徴とする、請求項１に記載の製造ラインシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルター等の板状製品を製造するための製造ラインシステムに係り、とりわけ、複数枚の基板をカセット単位で保管および搬送するコア装置を備え、コア装置に接続された各処理ラインとコア装置との間でカセット単位で基板の受け渡し（処理ラインへの基板の供給および処理済みの基板の処理ラインからの取り出し）を行う製造ラインシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルターの製造工程には、クロム成膜、ブラックマトリックスの形成、所定のパターンを備えた各色（赤色、緑色および青色）の着色層の形成、保護層の形成、柱状体の形成、ＩＴＯ層の形成等の各種の処理工程が含まれている。このような製造工程を実現するための製造ラインシステムとしては従来、上述した各処理工程を実現する複数の処理ラインを一筆書き状に直列的に連結したインライン型の製造ラインシステムが用いられている。
【０００３】
しかしながら、カラーフィルター等の製造ラインシステムでは、カラーフィルターとして製造される製品の種類に応じて複数の処理ラインの配置構成等を変更する必要がある場合が多い。また、カラーフィルターの製造工程の一部をなすフォトリソグラフィプロセスを含む処理工程では一般に、フォトマスクへの異物の付着等により製品に欠陥が発生しやすく、処理ラインを一時的に停止しなければならない場合が多い。
【０００４】
このため、このような問題を解消することが可能な製造ラインシステムが強く求められており、そのための一つとして、複数枚の基板をカセット単位で保管および搬送するコア装置を備え、コア装置に接続された各処理ラインとコア装置との間でカセット単位で基板の受け渡し（処理ラインへの基板の供給および処理済みの基板の処理ラインからの取り出し）を行う製造ラインシステムが提案されている。ここで、このようなコア装置を備えた製造ラインシステムにおいては、（１）コア装置に対して複数の処理ラインが互いに独立して接続されているので、複数の処理ラインの配置構成等を容易に変更することができ、また、（２）コア装置における基板の収納能力が高いので、一部の処理ラインが停止しても他の処理ラインを停止させる必要が少ない、という利点を有する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したコア装置を備えた製造ラインシステムでは、コア装置により保管および搬送されるカセットとして、左右の側面フレームから水平方向に突出した支持ピンにより基板を水平状態に支持する、いわゆるピン式のカセットが用いられている。
【０００６】
しかしながら、上述したコア装置を備えた製造ラインシステムでは、コア装置のスタッカークレーン等でカセットを搬送するときにカセットに大きな振動が加えられるので、上述したピン式のカセットでは、カセット内に収納されている基板が破損したり、傷ついたりしやすいという問題がある。特に近年、製品として製造されるカラーフィルター等は非常に大型化しており、その重量の増大に伴って、上述した問題はより重要になってきている。
【０００７】
また、上述したコア装置を備えた製造ラインシステムでは、基板のサイズが異なる複数種類のカラーフィルター等を同一のシステム構成で製造することが可能であるが、上述したピン式のカセットを用いる場合には、支持ピンの長さ等により収納可能な基板のサイズの範囲が決まってしまうので、その範囲を越えるサイズの基板については、基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要があるという問題がある。特に近年、製品として製造されるカラーフィルター等の種類は非常に多くなっており、上述した問題はより重要になってきている。
【０００８】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、製造過程における基板の破損等を効果的に防止することができるとともに、基板のサイズ変更にも柔軟に対応することができる、コア装置を備えた製造ラインシステムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数枚の基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するストッカーと、このストッカー内に保管されているカセットを当該ストッカー内の複数の基板出し入れ位置と任意のカセット保管位置との間で搬送するスタッカークレーンとを有するコア装置と、前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に接続され、前記コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納された基板に対して各種の処理を行う複数の処理ラインと、前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、当該各基板出し入れ位置に位置付けられた基板収納済みのカセットから当該各基板出し入れ位置に対応する各処理ラインに対して基板を１枚ずつ排出するとともに、当該各処理ラインで処理が行われた処理済みの基板を１枚ずつ当該各基板出し入れ位置に位置付けられた空のカセット内に収納する基板出し入れ機構とを備え、前記コア装置により保管および搬送される前記カセットは、左右の側面フレームと、これら左右の側面フレーム間に張架され、複数枚の基板を水平状態で支持するよう異なる高さの複数段の水平面に沿って延びる複数のワイヤとを有することを特徴とする製造ラインシステムを提供する。
【００１０】
なお、本発明において、前記複数の処理ラインは、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行うことが好ましい。
【００１１】
本発明によれば、製造ラインシステムのコア装置により保管および搬送されるカセットとして、左右の側面フレーム間に張架された複数のワイヤにより基板を水平状態に支持するワイヤ式のカセットを用いているので、コア装置のスタッカークレーン等でカセットを搬送するときの振動をワイヤにより効果的に吸収することができ、大型の基板を用いてカラーフィルター等を製造する場合でも、カセット内に収納されている基板が破損したり、傷ついたりすることを防止することができる。また、カセットに収納可能な最大寸法までの任意の寸法の基板を収納することができ、同一の製造ラインシステムを用いて複数種類のカラーフィルター等を製造する場合でも、基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要がなく、少量多品種の製造に効果的に対応することができる。さらに、従来のピン式のカセット等と比較してより大量の基板を収納することができ、コア装置を備えた製造ラインシステムの利点である、処理工程の一時的な停止に対する対応能力をより向上させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
図１に示すように、本実施の形態に係る製造ラインシステム１は、複数枚のガラス基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するスタッカークレーン方式のコア装置１０と、コア装置１０の複数の基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）のそれぞれに接続され、コア装置１０内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納されたガラス基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ライン２０，３０，…，７０とを備えている。なお、コア装置１０は水平な設置面上にて直線状に延びるように設置され、各処理ライン２０，３０，…，７０は設置面上にてコア装置１０の側部から逆Ｕ字状に横方向に張り出すように設置されている。
【００１４】
まず、図１により、処理ライン２０，３０，…，７０の構成について説明する。図１に示すように、各処理ライン２０，３０，…，７０は、ガラス基板を水平状態で搬送するコンベア等からなる搬送路１５と、この搬送路１５上に配設された各種の処理装置２１，３１，…７１とを有している。
【００１５】
このうち、処理ライン２０は、ガラス基板上にクロムを成膜するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（クロム成膜装置２１）が配設されている。
【００１６】
処理ライン３０は、ガラス基板上に成膜されたクロムをパターニングしてブラックマトリックスを形成するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト塗布装置３１、プリベーク装置３２、露光装置３３、現像装置３４、洗浄装置３５およびポストベーク装置３６）が配設されている。
【００１７】
処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂはそれぞれ、ガラス基板上に所定のパターンを備えた各色（赤色、緑色または青色）の着色層を形成するための処理ラインであり、処理ライン３０と同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト（着色感材）塗布装置４１、プリベーク装置４２、露光装置４３、現像装置４４、洗浄装置４５およびポストベーク装置４６）が配設されている。
【００１８】
処理ライン５０は、ガラス基板上に保護層を形成するための処理ラインであり、処理ライン３０と同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト（着色感材）塗布装置５１、プリベーク装置５２、露光装置５３、現像装置５４、洗浄装置５５およびポストベーク装置５６）が配設されている。
【００１９】
処理ライン６０は、ガラス基板上に柱状体を形成するための処理ラインであり、処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂと同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト塗布装置６１、プリベーク装置６２、露光装置６３、現像装置６４、洗浄装置６５およびポストベーク装置６６）が配設されている。
【００２０】
処理ライン７０は、ガラス基板上にＩＴＯ層を形成するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（ＩＴＯ成膜装置７１）が配設されている。
【００２１】
なお、コア装置１０に接続される処理ラインとしては、上述した処理ライン２０，３０，…，７０以外にも、ガラス基板を切断したり、各種の検査を行ったり、ガラス基板を再生したりするための他の処理ラインを設置することができる。
【００２２】
次に、図２乃至図５により、図１に示す製造ラインシステム１におけるコア装置１０および基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）の構成について説明する。
【００２３】
図２に示すように、コア装置１０は、複数のカセット８１を保管するためのストッカー１１と、このストッカー１１内に保管されているカセット８１をストッカー１１内で搬送するスタッカークレーン１２とを有している。
【００２４】
ここで、ストッカー１１は、スタッカークレーン１２の走行路の両側に２列に延びており、ストッカー１１の各列はカセット８１が載置される複数のラック１１ａを上下２段に配置した構造を有している（図４参照）。
【００２５】
また、スタッカークレーン１２は、図３および図４に示すように、カセット８１を載置した状態でストッカー１１に沿って走行するものであり、昇降フレーム１３を上下方向に移動させることにより、ストッカー１１内の各基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）と上下２段のラック１１ａのうちの任意のラック（任意のカセット保管位置）との間でカセット８１を搬送するようになっている。
【００２６】
ここで、コア装置１０により保管および搬送されるカセット８１は、図３および図４に示すように、上板８３と、上板８３に立設された左右の側面フレーム８４，８５と、これら左右の側面フレーム８４，８５間に張架された複数のワイヤ８６とを有している。ここで、複数のワイヤ８６は、異なる高さの複数段の水平面に沿って延びており、同一段の複数のワイヤ８６により、ガラス基板８２を水平状態で支持するようになっている。なお、図７および図８により良く示されているように、左右の側面フレーム８４，８５はそれぞれ、上板８３にネジ止め等により取り付けられた８本の支柱８４ａ，８５ａを有し、これらの支柱８４ａ，８５ａのうち互いに向かい合う支柱同士が複数のステー８７を介して互いに接続されている。なお、ワイヤ８６は、ガラス基板８２を水平状態で支持するための十分な張力を有するものであれば、合成樹脂製や金属製等の任意のものを用いることができる。また、ワイヤ８６の水平面内の本数は、ガラス基板８２を水平面内で十分に支持することができる範囲で、任意の本数とすることができる。さらに、ワイヤ８６の垂直方向の本数は、ガラス基板８２同士が干渉しない状態で所望のガラス基板８２を収納することができる範囲で、任意の本数とすることができる。
【００２７】
なお、ストッカー１１内の各基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）にはそれぞれ基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）が設けられており、図２および図５に示すように、各基板搬出機構１６ａにより、各基板搬出位置Ｃ１に位置付けられた基板収納済みのカセット８１から各基板搬出位置Ｃ１に対応する各処理ライン（搬送路１５）に対してガラス基板８２を１枚ずつ排出するとともに、図２および図６に示すように、各基板搬入機構１６ｂにより、各処理ライン（搬送路１５）で処理が行われた処理済みのガラス基板８２を１枚ずつ各基板搬入位置Ｃ２に位置付けられた空のカセット８１内に収納するようになっている。
【００２８】
ここで、各基板搬出機構１６ａおよび各基板搬入機構１６ｂは基本的に同一の構成を備えており、図７に示すように、カセット８１内に収納されたガラス基板８２の下面に接触する複数のローラ９０を有する基板搬送コンベア１８と、カセット８１と基板搬送コンベア１８との相対的な位置関係を変化させるようカセット８１を昇降させるカセット昇降装置１７（駆動機構については図示せず）とを有している。なお、図２に示すように、基板搬出位置Ｃ１において、カセット８１は、カセット搬送装置（図示せず）により、出庫ポジションＡ１から各基板搬出機構１６ａへ搬送されるとともに、各基板搬出機構１６ａから入庫ポジションＢ１へ搬送されるようになっている。また、基板搬入位置Ｃ２において、カセット８１は、カセット搬送装置（図示せず）により、出庫ポジションＡ２から各基板搬入機構１６ｂへ搬送されるとともに、各基板搬入機構１６ｂから入庫ポジションＢ２へ搬送される。
【００２９】
なお、図７に示すように、各基板搬出機構１６ａおよび各基板搬入機構１６ｂの基板搬送コンベア１８は、設置面上に立設された支柱９１の上端に固定されるとともにカセット８１を両側から挟むように配置された左右の支持フレーム８８，８８と、これら左右の支持フレーム８８，８８に回動自在に取り付けられた複数のシャフト８９とを有している。なお、各シャフト８９にはローラ９０が等間隔で６個配置されている。また、これらのシャフト８９には駆動機構（図示せず）が取り付けられており、各シャフト８９を所望の方向に回動させることができるようになっている。
【００３０】
このような基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂにおいて、カセット８１は、カセット昇降装置１７により昇降されるようになっており、カセット昇降装置１７によりカセット８１を１段ずつ下降させながら、基板搬送コンベア１８のローラ９０をカセット８１内に収納されている最下方のガラス基板８２の下面と接触させることにより、カセット８１内の各段に収納されているガラス基板８２を搬送路１５へ排出することができるようになっている（図７の実線矢印参照）。また、カセット昇降装置１７によりカセットを１段ずつ上昇させながら、基板搬送コンベア１８のローラ９０を搬送路１５から搬入されてきたガラス基板８２の下面と接触させることにより、ガラス基板８２をカセット８１の各段へ収納することができるようになっている（図７の点線矢印参照）。
【００３１】
なお、図７に示す各基板搬出機構１６ａおよび各基板搬入機構１６ｂにおいては、基板搬送コンベア１８を固定して、カセット昇降装置１７によりカセット８１を昇降させるようにしているが、カセット８１と基板搬送コンベア１８との相対的な位置関係を変化させることができるのであれば、カセット８１の側を昇降させる構成に限らず、基板搬送コンベア１８の側を昇降させる構成や、基板搬送コンベア１８およびカセット８１の両方を昇降させる構成をとることもできる。
【００３２】
また、各基板搬出機構１６ａおよび各基板搬入機構１６ｂは、図７に示すような構成以外にも、例えば、図８に示すような構成、すなわち、カセット昇降装置１７′（駆動機構については図示せず）の下方から基板搬送コンベア１８′を進入させるような構成をとることができる。なお、図８に示す基板搬送コンベア１８′は、設置面上に配設された支持枠９２と、支持枠９２上に横板９３を介して固定された複数のコ字状のフレーム９４と、フレーム９４の一対の先端部９４ａ，９４ｂに回動自在に取り付けられた複数のシャフト８９とを有している。なお、各シャフト８９にはローラ９０が等間隔で６個配置されている。また、これらのシャフト８９には、駆動機構としてモータ９５、伝達シャフト９６ａ，９６ｂおよびギア９７等が取り付けられており、各シャフト８９を所望の方向に回動させることができるようになっている。
【００３３】
次に、図１乃至図７により、このような構成からなる製造ラインシステム１の動作について説明する。なお、コア装置１０および各処理ライン２０，３０，…，７０には制御装置（図示せず）が接続されており、以下の動作が自動的に行われるようになっている。
【００３４】
まず、初期の状態として、コア装置１０のストッカー１１内には、未処理の複数枚のガラス基板８２が収納された複数の基板収納済みのカセット８１および複数の空のカセット８１が保管されているものとする。
【００３５】
この状態で、各処理ライン２０，３０，…，７０は、コア装置１０のスタッカークレーン１２により、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち特定のカセット８１（所望の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット）を取り出し、基板搬出位置Ｃ１に位置付ける。また、各処理ライン２０，３０，…，７０は、コア装置１０のスタッカークレーン１２により、ストッカー１１内に保管されている空のカセット８１を基板搬入位置Ｃ２に位置付ける。なおこのとき、カラーフィルターの製造は、処理ライン２０，３０，…，７０を用いてガラス基板８２に対して所定の順序に従って順次処理を行うことにより実現されており、各処理ライン２０，３０，…，７０の基板搬出位置Ｃ１には、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち直前の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット８１が選択的に位置付けられる。なお、処理ライン２０，３０，…，７０によるカラーフィルターの製造は例えば、（１）クロム成膜（処理ライン２０）、（２）ブラックマトリックスの形成（処理ライン３０）、（３）赤色の着色層の形成（処理ライン４０Ｒ）、（４）緑色の着色層の形成（処理ライン４０Ｇ）、（５）青色の着色層の形成（処理ライン４０Ｂ）、（６）保護層の形成（処理ライン５０）、（７）ＩＴＯ層の形成（処理ライン７０）、（８）柱状体の形成（処理ライン６０）といった順序で行われ、この場合には、各処理ライン２０，３０，…，７０の基板搬出位置Ｃ１には、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち上述した（１）〜（８）の順序からみて直前の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット８１が選択的に位置付けられる。
【００３６】
ここで、各処理ライン２０，３０，…，７０においては、基板搬出位置Ｃ１に設けられた基板搬出機構１６ａにより、基板搬出位置Ｃ１に位置付けられた基板収納済みのカセット８１から処理ライン（搬送路１５）に対してガラス基板８２が１枚ずつ排出され、各処理ライン２０，３０，…，７０においてガラス基板８２に対して所定の処理が行われる。
【００３７】
具体的には、図２に示すように、まず、コア装置１０のスタッカークレーン１２によりストッカー１１の特定のラック１１ａから取り出された基板収納済みのカセット８１を、基板搬出位置Ｃ１の出庫ポジションＡ１へ搬送する。ここで、出庫ポジションＡ１に到着した基板収納済みのカセット８１は、カセット搬送装置（図示せず）により基板搬出機構１６ａへ搬送される。そして、基板搬出機構１６ａは、図７に示すような状態で、カセット昇降装置１７によりカセット８１を１段ずつ下降させながら、基板搬送コンベア１８のローラ９０をカセット８１内に収納されている最下方のガラス基板８２の下面に接触させることにより、カセット８１内の各段に収納されているガラス基板８２を搬送路１５へ１枚ずつ排出する（図７の実線矢印参照）。なおこのとき、カセット８１からガラス基板８２を搬出している間に、次にガラス基板８２が排出されるべき別の基板収納済みのカセット８１を出庫ポジションＡ１へ搬送させて待機させておく。
【００３８】
なお、全てのガラス基板８２が搬出された空のカセット８１は、基板搬出機構１６ａのカセット昇降装置１７により上昇されながら入庫ポジションＢ１の前へ移動し、カセット搬送装置（図示せず）により、基板搬出機構１６ａから入庫ポジションＢ１へ搬送される。そして、入庫ポジションＢ１へ搬送された空のカセット８１は、収納用のカセットとして、スタッカークレーン１２により、ストッカー１１内のあいているラック１１ａ内に保管される。
【００３９】
一方、各処理ライン２０，３０，…，７０においては、基板搬入位置Ｃ２に設けられた基板搬入機構１６ｂにより、処理ライン（搬送路１５）で処理が行われた処理済みのガラス基板８２が１枚ずつ基板搬入位置Ｃ２に位置付けられた空のカセット８１内に収納される。
【００４０】
具体的には、図２に示すように、まず、コア装置１０のスタッカークレーン１２によりストッカー１１の特定のラック１１ａから取り出された空のカセット８１を、基板搬入位置Ｃ２の出庫ポジションＡ２へ搬送する。ここで、出庫ポジションＡ２に到着した空のカセット８１は、カセット搬送装置（図示せず）により基板搬入機構１６ｂへ搬送される。そして、基板搬入機構１６ｂは、図７に示すような状態で、カセット昇降装置１７によりカセット８１を１段ずつ上昇させながら、搬送路１５から搬入されてきたガラス基板８２を受け入れ、基板搬送コンベア１８のローラ９０をガラス基板８２の下面に接触させることにより、ガラス基板８２をカセット８１内の各段へ１枚ずつ収納する。なお、カセット８１内にガラス基板８２を収納している間に、次にガラス基板８２が収納されるべき別の空のカセット８１を出庫ポジションＡ２へ搬送させて待機させておく。
【００４１】
なお、全てのガラス基板８２が収納された基板収納済みのカセット８１は、基板搬入機構１６ｂのカセット昇降装置１７により入庫ポジションＢ２の前へ移動し、カセット搬送装置（図示せず）により、基板搬入機構１６ｂから入庫ポジションＢ２へ搬送される。そして、入庫ポジションＢ２へ搬送された基板収納済みのカセット８１は、スタッカークレーン１２により、ストッカー１１内のあいているラック１１ａ内に保管される。
【００４２】
このように本実施の形態によれば、製造ラインシステム１のコア装置１０により保管および搬送されるカセットとして、左右の側面フレーム８４，８５間に張架された複数のワイヤ８６によりガラス基板８２を水平状態に支持するワイヤ式のカセット８１を用いているので、コア装置１０のスタッカークレーン１２でカセット８１を搬送するときの振動をワイヤ８６により効果的に吸収することができ、大型のガラス基板（例えばメーターサイズ（厚さ０．７ｍｍ程度）のガラス基板）を用いてカラーフィルター等を製造する場合でも、カセット８１内に収納されているガラス基板８２が破損したり、傷ついたりすることを防止することができる。
【００４３】
また、本実施の形態によれば、製造ラインシステム１のコア装置１０により保管および搬送されるカセットとして、上述したようなワイヤ式のカセット８１を用いているので、カセット８１に収納可能な最大寸法までの任意の寸法のガラス基板を収納することができ、同一の製造ラインシステム１を用いて複数種類のカラーフィルター等を製造する場合でも、ガラス基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要がなく、少量多品種の製造に効果的に対応することができる。
【００４４】
さらに、本実施の形態によれば、製造ラインシステム１のコア装置１０により保管および搬送されるカセットとして、上述したようなワイヤ式のカセット８１を用いているので、従来のピン式のカセット等と比較してより大量のガラス基板を収納することができ、コア装置１０を備えた製造ラインシステム１の利点である、処理工程の一時的な停止に対する対応能力をより向上させることができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、製造過程における基板の破損等を効果的に防止することができるとともに、基板のサイズ変更にも柔軟に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルター製造ラインシステムの全体構成を示す図。
【図２】図１に示すカラーフィルター製造ラインシステムの要部の構成を示す図。
【図３】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムのスタッカークレーンの詳細を、ガラス基板が収納されたカセットとともに示す側面図。
【図４】図３に示すスタッカークレーンの正面断面図。
【図５】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムのＶ−Ｖ線に沿った概略断面図。
【図６】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムのＶＩ−ＶＩ線に沿った概略断面図。
【図７】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムの基板出し入れ機構の一例を示す斜視図。
【図８】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムの基板出し入れ機構の他の例を示す斜視図。
【符号の説明】
１　製造ラインシステム
１０　コア装置
１１　ストッカー
１２　スタッカークレーン
１５　搬送路
１６ａ，１６ｂ，１６ａ′，１６ｂ′　基板出し入れ機構
１７ａ，１７ｂ，１７ａ′，１７ｂ′　カセット昇降装置
１８ａ，１８ｂ，１８ａ′，１８ｂ′　基板搬送コンベア
２０，３０，…，７０　処理ライン
８１　カセット
８２　ガラス基板
Ｃ１　基板搬出位置（基板出し入れ位置）
Ｃ２　基板搬入位置（基板出し入れ位置）
【図１】
2004067376.tif 000003
【図２】
2004067376.tif 000004
【図３】
2004067376.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004067376.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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