(57)【要約】【課題】機械に被加工物との接触によるダメージを受けることなく、上ノズル先端と被加工物との間を所定間隔に設定すること。【解決手段】ワイヤ放電加工機の上ノズルと被加工物との隙間を調整する方法であって、上ノズルの先端と被加工物（ワーク）との間に所定の厚みの部材を挟み、この部材に上ノズル先端を接触させることにより、上ノズル先端と被加工物とが直接接触することを防ぎ、この部材の厚みと所望のノズル隙間とに基づいて上ノズルのＺ軸方向の位置制御を行うことにより、上ノズル先端と被加工物との間を所定間隔に設定する。また、上ノズルのＺ軸方向の位置制御において、ガイド、部材、被加工物、ノズルのたわみによるたわみ量、水圧による上ガイドの変位等の補正を行う。【選択図】  図４
2004351571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤ電極と被加工物間を放電させるための加工電源と、前記ワイヤ電極と前記被加工物間に加工液を供給する上ノズルと、該上ノズルを保持する上ガイドと、該上ガイドを前記ワイヤ電極の軸方向に駆動させるサーボモータと該サーボモータを制御する制御装置とを備えたワイヤ放電加工機において、前記上ノズルと前記被加工物との隙間を所定間隔に調整する方法であって、
前記被加工物と前記上ノズルとの間に所定厚みの部材を装着するステップと、
前記上ノズルを前記被加工物の方向に移動させ、前記上ノズルを前記部材に接触させるステップと、
前記上ノズルと前記部材との接触検知によって、上ノズルを被加工物に対して所定量だけ離反させるステップと、
前記部材を前記被加工物から脱着するステップと、
前記上ノズルと前記被加工物との間隔が所定の隙間となるように、上ノズルを前記被加工物に近接させるステップとを含み、
前記部材の厚さと、前記上ノズルと前記被加工物との間の所定隙間量とに基づいて求めた移動量を移動させることにより上ノズルと被加工物との隙間を調整するノズル隙間調整方法。
【請求項２】
前記上ノズルを移動させるステップの少なくとも一つにおいて、予め設定された補正量に基づいて上ノズルの移動量を補正することを特徴とする請求項１に記載のノズル隙間調整方法。
【請求項３】
前記上ノズルの離反動作において、少なくとも前記接触検知に伴う機構部のたわみ量と水圧による上ガイドの変位量だけ前記上ノズルを離反動作させることを特徴とする請求項２に記載のノズル隙間調整方法。
【請求項４】
前記上ノズルの離反動作において、任意の所定量だけ前記上ノズルを離反動作させ、
前記上ノズルの近接動作において、前記離反動作で離反動作させた任意の所定量と、前記接触検知に伴う機構部のたわみ量と、水圧による上ガイドの変位量と、前記部材の厚さと、前記上ノズルと前記被加工物との間の所定隙間量とにより求められた量だけ前記ノズルを接近動作させることを特徴とする請求項２に記載のノズル隙間調整方法。
【請求項５】
前記ノズルの離反動作において、少なくとも前記接触検知に伴う機構部のたわみ量だけ前記上ノズルを離反動作させるとともに、
前記ノズルの近接動作において、水圧による上ガイドの変位量を加味した量だけ前記上ガイドを接近動作させることを特徴とする請求項２に記載のノズル隙間調整方法。
【請求項６】
前記機構部のたわみ量は、前記ガイド、前記部材、前記被加工物及び／又は前記ノズルのたわみ量であることを特徴とする請求項３乃至請求項５の何れかに記載のノズル隙間調整方法。
【請求項７】
前記接触検出は前記サーボモータの負荷トルクの大きさに基づいて行うことを特徴とする請求項１に記載のノズル隙間調整方法。
【請求項８】
前記負荷トルクの大きさと前記各たわみ量との関係を予め求めておくことを特徴とする請求項７に記載のノズル隙間調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤ放電加工機において、加工液噴射のノズルと被加工物とを非接触状態の所定の微小間隔に設定する、ノズル隙間調整に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤ放電加工機は、ワイヤ電極を軸方向に送りながら、軸方向に対して略直角方向に被加工物を相対的に移動させ、加工部に向けて配置したノズルから加工液を噴射しながら、ワイヤ電極と被加工物との間に間欠的な電圧パルスや放電パルスとなる電圧パルスを印加し、これにより発生する放電により加工を行う。
【０００３】
このワイヤ放電加工機において、被加工物を加工するために上ノズルを、被加工物に対する隙間が一定となるように調整して、位置決めする必要がある。この上ノズルの隙間調整は、正常な加工精度と加工速度を得るために適正に設定する必要がある。
【０００４】
従来、この上ノズル隙間の設定は、作業者が上ノズルと被加工物との間に隙間ゲージを挿入し、隙間の距離を確認しながらＺ軸を上下させ、所望の上ノズル隙間が得られる位置にＺ軸を位置決めすることによって行っている。この手作業によりノズル隙間調整は、全ての作業を手作業で行っているため、調整に時間がかかるという問題や、調整にばらつきが生じるという問題がある。
【０００５】
このノズル損耗を防止し、安定した加工速度や加工精度を維持するためには、ノズル先端と被加工物との間を所望の微小間隔を維持して加工することが望ましいが、迅速で確実な間隔を設定する方法がないのが従来の状況であった。このような状況に対して、ノズル先端を被加工物の表面に接触させた後、ノズル先端を被加工物の表面から離隔させ、予め設定した設定離隔距離に達したとき、ノズル先端の離隔駆動を停止させることにより、ノズル先端と被加工物の表面との離隔距離を所定間隔とするノズル装置が、特許文献１に提案されている。
【０００６】
【特許文献１】
特許第２５７６０５０号
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記の特許文献１に示されるノズル装置では、ノズル先端位置を定めるために、一旦ノズル先端を被加工物に接触させ、この接触で得られる位置を基準位置とすることによりノズルの位置設定を行うため、機械は被加工物との接触によりダメージを受けるという問題がある。
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、機械に被加工物との接触によるダメージを与えることなく、上ノズル先端と被加工物との間を所定間隔に設定することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のノズル隙間調整方法は、ワイヤ放電加工機の上ノズルと被加工物との隙間を調整する方法であって、上ノズルの先端と被加工物（ワーク）との間に所定の厚みの部材を挟み、この部材に上ノズル先端を接触させることにより、上ノズル先端と被加工物とが直接接触することを防ぎ、この部材の厚みと所望のノズル隙間とに基づいて上ノズルのＺ軸方向の位置制御を行うことにより、上ノズル先端と被加工物との間を所定間隔に設定する。
また、本発明のノズル隙間調整方法は、上ノズルのＺ軸方向の位置制御において、ガイド、部材、被加工物、ノズルのたわみによるたわみ量、水圧による上ガイドの変位等の補正を含むものである。
【０００９】
本発明を適用するワイヤ放電加工機は、ワイヤ電極と被加工物間を放電させるための加工電源と、ワイヤ電極と被加工物間に加工液を供給する上ノズルと、この上ノズルを保持する上ガイドと、上ガイドをワイヤ電極の軸方向に駆動させるサーボモータと、このサーボモータを制御する制御装置とを備えた構成とする。
【００１０】
本発明のノズル隙間調整方法の第１の態様は、上ノズルと被加工物との隙間を所定間隔に調整する方法であり、被加工物と上ノズルとの間に所定厚みの部材を装着するステップと、上ノズルを被加工物の方向に移動させ、ノズルを部材に接触させるステップと、上ノズルと部材との接触検知によって上ノズルを被加工物に対して所定量だけ離反させるステップと、部材を被加工物から脱着するステップと、上ノズルと被加工物との間隔が所定の隙間となるように、上ノズルを被加工物に近接させるステップとを含み、部材の厚さと、上ノズルと被加工物との間の所定隙間量とに基づいて移動量を求め、この移動量だけ移動させることにより上ノズルと被加工物との隙間を調整する。
【００１１】
第１の態様によれば、上ノズルの先端は、隙間調整において部材と接触し、被加工物とは直接接触しないため、被加工物と上ノズル先端とが直接接触することによるダメージが機械に加わるのを防止することができる。
本発明のノズル隙間調整方法の第２の態様は、上記第１の態様の上ノズルを移動させるステップの少なくとも一つにおいて、予め設定された補正量に基づいて上ノズルの移動量を補正する態様である。この態様によれば、上ノズルが部材と接触することにより生じるたわみ量や、水圧による上ガイドの変位等を補正して、上ノズル先端と被加工物との間の間隔設定を正確に行うことができる。
【００１２】
第２の態様において、補正の第１の形態は上ノズルの離反動作のステップにおいて補正を行う形態である。第１の補正形態は、上ノズルの離反動作において、少なくとも接触検知に伴う機構部のたわみ量と水圧による上ガイドの変位量だけ上ノズルを離反動作させる。
【００１３】
第２の態様において、補正の第２の形態は上ノズルの近接動作のステップにおいて補正を行う形態である。第２の補正形態は、上ノズルの離反動作のステップにおいて、任意の所定量だけ上ノズルを離反動作させることにより、上ノズル先端と被加工物との間に設けた部材を取り外した後、上ノズルの近接動作のステップにおいて、予め設定しておいた補正量を用いて移動量を補正し、ノズルを被加工物に接近させる。ここで、補正量は、接触検知に伴う機構部のたわみ量と、水圧による上ノズルの変位量を含み、この補正量を用いて、離反動作で離反動作させた任意の所定量と、部材の厚さと、上ノズルと被加工物との間の所定隙間量を補正する。
【００１４】
第２の態様において、補正の第３の形態は上ノズルの離反動作のステップと上ノズルの近接動作のステップの２つのステップにおいて補正を行う形態である。第３の補正形態において、第１の補正はノズルの離反動作において行い、少なくとも接触検知に伴う機構部のたわみ量だけ上ノズルを離反動作させる。また、第２の補正はノズルの近接動作において行い、水圧による上ガイドの変位量を加味した量だけ上ガイドを接近動作させる。
【００１５】
機構部のたわみ量は、ガイド、部材、被加工物、及び／又はノズルのたわみ量である。なお、上ノズル先端が部材に接触する際に生じるたわみを補正する補正量はＺ軸上昇方向の値であり、水圧による上ガイド変位を補正する補正量はＺ軸下降方向の値である。
【００１６】
本発明の隙間調整において、上ノズルが部材に接触したか否かの接触検出は、サーボモータの負荷トルクの大きさに基づいて行うことができる。また、接触検出は、Ｚ軸の速度や位置偏差を用いて行うことも、あるいは上ノズル先端に接触センサを設けることによっても行うことができる。
負荷トルクの大きさと各たわみ量との関係を予め求めておき、負荷トルクからたわみ量を求め、求めたたわみ量を補正するようにすることもできる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明を適用することができるワイヤ放電加工機のノズル周辺の構成を説明するための概略図である。
図１において、被加工物１０は、加工電源９から電圧を印加されたワイヤ電極２との間で発生する放電により加工が行われる。ワイヤ電極２は、被加工物（ワーク）１０に対して、上ノズル３及び下ノズル５を通して導かれる。
【００１８】
上ノズル３及び下ノズル５は、被加工物（ワーク）１０を挟んで配置される中空円筒状のノズルであり、内部にワイヤガイドが設けられて、加工液の加工ホースが取り付けられる。加工液は、上下ノズル３，５内に所定の圧力及び流量で供給され、内部のワイヤガイドを冷却し、上下ノズル３，５から被加工物１０へそれぞれ噴出して、加工部及びワイヤ電極２を冷却する。
【００１９】
上ガイド４は、Ｚ軸のサーボモータ６により上下位置調整可能とする支持部材に取り付けられ、これにより、上ノズル３の先端と被加工物１０との間の隙間調整が行われる。サーボモータ６の駆動制御は、制御装置７により行われる。
本発明は、補正量を記憶する記憶手段８を備え、制御装置７は記憶手段８から補正量を取り込むことにより、上ノズル先端の位置決めを補正する。また、制御装置７は、Ｚ軸のサーボモータ６が所定トルクに達したかを検出することにより、サーボモータ６の回転を停止してＺ軸の移動を停止する。
【００２０】
記憶手段８は、上ノズルの駆動機構のたわみ、部材のたわみ、被加工物（ワーク）のたわみ、上ノズルのたわみ、水圧による上ガイド変位を補正する補正量を、実験等によりデータベースに予め求めて記憶しておく。なお、機構部のたわみ量は、ガイド、部材、被加工物、及び／又はノズルのたわみ量である。上ノズル先端が部材に接触する際に生じるたわみを補正する補正量はＺ軸上昇方向の値であり、水圧による上ガイド変位を補正する補正量はＺ軸下降方向の値である。
【００２１】
制御装置７は、ノズル隙間調整の設定が選択されたとき、記憶手段８から補正量を読み出して上ノズル３の移動量を補正する。例えば、上ノズル先端が部材と接触したときの負荷トルクと、部材や上ノズルや駆動機構等の各たわみ量との関係や、そのたわみ量を補正する補正量を予め実験等で求めて記憶しておき、上ノズル先端を部材に接触させた時に負荷トルクを検出し、この負荷トルクをパラメータとして、前記関係から補正量を求めて上ノズルのみ移動量を補正する。
【００２２】
以下、本発明による上ノズルの被加工物との間の隙間調整方法の各態様について説明する。
第１の態様は、上ノズルと被加工物（ワーク）との間に、厚みが既知である部材を挟んで隙間調整を行うことにより、上ノズル先端と被加工物との直接接触を防ぐ態様である。図２，３は、第１の態様の手順を説明するための概略図及びフローチャートである。なお、図２では、上ノズルと被加工物及び部材のみを示し、ワイヤ放電加工機のその他の構成は省略している。
【００２３】
はじめに、図２（ａ）において、Ｚ軸を移動して上ノズルを被加工物（ワーク）表面から一定距離の位置に移動させ、被加工物（ワーク）と上ノズルの間に、厚みが予め既知の部材を置く。ここで、部材の既知の厚みをＡとする（ステップＳ１）。
制御装置において、上ノズル隙間調整画面において、上ノズル隙間調整のモードを選択し（ステップＳ２）、駆動機構を起動してＺ軸を下降させ、上ノズルを被加工物に向けて移動させる（ステップＳ３）。
【００２４】
図２（ｂ）において、上ノズル先端が部材の表面に接触すると、Ｚ軸モータの発生トルクが所定のトルクに達する。制御装置は、この負荷トルクを検出することにより接触検出を行い、負荷トルクが所定のトルクに達したとき検出信号を出力する（ステップＳ４）。この接触検出により、サーボモータを制御して、Ｚ軸モータの回転を停止させ、Ｚ軸の移動を停止させる（ステップＳ５）。
【００２５】
次に、Ｚ軸を上昇又は上昇／下降させて、上ノズル先端と被加工物（ワーク）間に位置している部材を取り除く。部材を取り除くためのＺ軸の移動は、例えば、所定量を上昇して部材を取り除いた後、同所定量を下降させることで元の位置に戻したり、あるいは、接触位置を記憶しておき、上ノズルを適当な距離だけ上昇させて部材を取り除いた後に、記憶してある接触位置に戻すことで行うことができる。
【００２６】
これにより、上ノズル先端と被加工物（ワーク）との間の距離は、部材の厚みＡに設定される（図２（ｃ），（ｄ））（ステップＳ６）。
上ノズル先端と被加工物（ワーク）との間を、所望のノズル隙間ｄに設定する場合には、部材の厚さＡと所望のノズル隙間ｄの差分（Ａ−ｄ）を求め、その差分（Ａ−ｄ）を用いてプログラムでＺ軸を移動させて、ノズル隙間調整を行う（図２（ｅ））（ステップＳ７）。
【００２７】
第２の態様は、第１の態様と同様に部材を用いて隙間調整を行うことにより、上ノズル先端と被加工物との直接接触を防ぐと共に、ノズル先端が部材に接触することにより生じるたわみや、水圧により生じる上ガイドの変位を補正する態様である。
図４，５は、第２の態様の手順を説明するための概略図及びフローチャートである。なお、図４では、上ノズルと被加工物及び部材のみを示し、ワイヤ放電加工機のその他の構成は省略している。
【００２８】
上ノズル先端が部材に接触すると、駆動機構、被加工物（ワーク）、上ノズル、部材等にたわみが生じ、また、上ガイドから冷却水を供給すると、この水圧により上ガイドが変位する。これらのたわみ量や変位により、上ノズルの位置にずれが生じる。第２の態様は、このたわみ量や変位を、上ノズルを部材から離反する工程で補正する。
そこで、駆動機構のたわみ、部材のたわみ、被加工物（ワーク）のたわみ、上ノズルのたわみ、及び水圧による上ガイドの変位を実験やシミュレーションで求め、その補正量を求めてデータベースに記憶しておく（ステップＳ１１）。
【００２９】
次に、第１の態様のステップＳ１からステップＳ５と同様にして、図４（ａ）において、Ｚ軸を移動して上ノズルを被加工物（ワーク）表面から一定距離の位置に移動させ、被加工物（ワーク）と上ノズルの間に、既知の厚みＡの部材を置く（ステップＳ１２）。
制御装置において、上ノズル隙間調整画面において、上ノズル隙間調整のモードを選択し（ステップＳ１３）、駆動機構を起動してＺ軸を下降させ、上ノズルを被加工物に向けて移動させる（ステップＳ１４）。
【００３０】
図４（ｂ）において、上ノズル先端が部材の表面に接触すると、Ｚ軸モータの発生トルクが所定のトルクに達する。制御装置は、この負荷トルクを検出することにより接触検出を行い、負荷トルクが所定のトルクに達したとき検出信号を出力する（ステップＳ１５）。この接触検出により、サーボモータを制御して、Ｚ軸モータの回転を停止させ、Ｚ軸の移動を停止させる。このとき、接触検出時のたわみをΔＡとする（ステップＳ１６）。
【００３１】
データベースから補正量ａを求め、Ｚ軸の移動量を補正する。なお、ここで、補正量ａは、全たわみ量と上ガイド変位を補正する補正量である。補正量ａは、実験等により予め求めておいた、ノズル先端と部材との接触により生じる負荷トルクと各部分のたわみ量との関係を用いて求め、データベースに記憶しておき、前記工程でノズル先端が部材との接触検出で得られる負荷トルクをパラメータとして読み出す（図４（ｃ））（ステップＳ１７）。
読み出した補正量ａを用いてＺ軸の移動量を補正し、Ｚ軸を移動して上ノズルを被加工物（ワーク）の表面から所定距離の位置に移動させる。
【００３２】
Ｚ軸の移動補正の後、Ｚ軸を上昇させて上ノズルと被加工物（ワーク）間に位置している部材を取り除く。なお、この部材の取り除きは、所定量を上昇して部材を取り除いた後、同所定量を下降させることで元の位置に戻したり、あるいは、接触位置を記憶しておき、上ノズルを適当な距離だけ上昇させて部材を取り除いた後に、記憶してある接触位置に戻すことで行うことができる。
【００３３】
これにより、たわみΔＡと補正量ａの差分（ΔＡ−ａ）から上ノズル先端と被加工物（ワーク）との間の距離は、部材の厚みＡと先に求めた値（ΔＡ−ａ）の差分（Ａ−（ΔＡ−ａ））に設定される。ここで、（ΔＡ−ａ）は上ガイドの水圧による変位の補正量として働く（図４（ｄ））（ステップＳ１８）。
【００３４】
次に、部材の厚さＡと所望のノズル隙間ｄの差分（Ａ−ｄ）を求め、その差分（Ａ−ｄ）を用いてプログラムでＺ軸を移動させて、ノズル隙間調整を行う。このとき、上ノズル先端と被加工物（ワーク）との間の距離はｄ−（ΔＡ−ａ）に設定される。ここで、（ΔＡ−ａ）は上ガイドの水圧による変位の補正量として働く（図４（ｅ））（ステップＳ１９）。
【００３５】
第３の態様は、第１の態様と同様に部材を用いて隙間調整を行うことにより、上ノズル先端と被加工物との直接接触を防ぐと共に、ノズル先端が部材に接触することにより生じるたわみや、水圧により生じる上ガイドの変位を補正する態様であり、上ノズルを被加工物に近接させる工程で補正を行う。
【００３６】
図６，７は、第３の態様の手順を説明するための概略図及びフローチャートである。なお、図６では、上ノズルと被加工物及び部材のみを示し、ワイヤ放電加工機のその他の構成は省略している。
第３の態様は、前記した上ノズル先端と部材との接触による、駆動機構、被加工物（ワーク）、上ノズル、部材等のたわみや、水圧による上ガイドの変位を、上ノズルを部材に近接させる工程で補正する。
【００３７】
そこで、第２の態様のステップＳ１１からステップＳ１６と同様にして、駆動機構のたわみ、部材のたわみ、被加工物（ワーク）のたわみ、上ノズルのたわみ、及び水圧による上ガイドの変位を実験やシミュレーションで求め、その補正量を求めてデータベースに記憶しておく（ステップＳ２１）。
【００３８】
図６（ａ）において、Ｚ軸を移動して上ノズルを被加工物（ワーク）表面から一定距離の位置に移動させ、被加工物（ワーク）と上ノズルの間に、既知の厚みＡの部材を置き（ステップＳ２２）、制御装置において、上ノズル隙間調整画面において、上ノズル隙間調整のモードを選択し（ステップＳ２３）、駆動機構を起動してＺ軸を下降させ、上ノズルを被加工物に向けて移動させる（ステップＳ２４）。
【００３９】
図６（ｂ）において、上ノズル先端が部材の表面に接触すると、Ｚ軸モータの発生トルクが所定のトルクに達する。制御装置は、この負荷トルクを検出することにより接触検出を行い、負荷トルクが所定のトルクに達したとき検出信号を出力する（ステップＳ２５）。この接触検出により、サーボモータを制御して、Ｚ軸モータの回転を停止させ、Ｚ軸の移動を停止させる（ステップＳ２６）。
【００４０】
図６（ｃ），（ｄ）において、Ｚ軸を所定量Ｂだけ上昇させ、上ノズルと被加工物（ワーク）間に位置している部材を取り除く。このとき、上ノズル先端と被加工物（ワーク）との間の距離は、部材の厚みＡと接触検出時のたわみΔＡの差分に所定量Ｂを加えた（Ａ−ΔＡ＋Ｂ）となる（ステップＳ２７）。
【００４１】
ここで、部材の厚さＡと所望のノズル隙間ｄとの差分（Ａ−ｄ）と、ステップ２７で上昇させた所定量Ｂの和（Ａ−ｄ＋Ｂ）を求める。さらに、データベースから補正量ｂを求め、Ｚ軸の移動量を補正して移動量（Ａ−ｄ＋Ｂ−ｂ）を求める。なお、ここで、補正量ｂは、全たわみ量と上ガイド変位を補正する補正量である。補正量ｂは、実験等により予め求めておいた、ノズル先端と部材との接触により生じる負荷トルクと各部分のたわみ量との関係を用いて求め、データベースに記憶しておき、前記工程でノズル先端が部材との接触検出で得られる負荷トルクをパラメータとして読み出す。
【００４２】
この補正した移動量に基づいてプログラムでＺ軸を移動させて、ノズル隙間調整を行う。このとき、上ノズル先端と被加工物（ワーク）との間の距離はｄ−（ΔＡ−ｂ）に設定される。ここで、（ΔＡ−ｂ）は上ガイドの水圧による変位の補正量として働く（図６（ｅ））（ステップＳ２８）。
【００４３】
第４の態様は、第１の態様と同様に部材を用いて隙間調整を行うことにより、上ノズル先端と被加工物との直接接触を防ぐと共に、ノズル先端が部材に接触することにより生じるたわみや、水圧により生じる上ガイドの変位を補正する態様であり、この補正を、上ノズルを部材から離反する工程、及び上ノズルを被加工物に近接させる工程で行う。
図８，９は、第４の態様の手順を説明するための概略図及びフローチャートである。なお、図８では、上ノズルと被加工物及び部材のみを示し、ワイヤ放電加工機のその他の構成は省略している。
【００４４】
第４の態様は、前記した上ノズル先端と部材との接触による、駆動機構、被加工物（ワーク）、上ノズル、部材等のたわみや、水圧による上ガイドの変位を、上ノズルを部材から離反させる工程、及び上ノズルを被加工物に近接させる工程で補正する。
【００４５】
そこで、第２の態様のステップＳ１１からステップＳ１６、及び第３の態様のステップＳ２１からステップＳ２６と同様にして、駆動機構のたわみ、部材のたわみ、被加工物（ワーク）のたわみ、上ノズルのたわみ、及び水圧による上ガイドの変位を実験やシミュレーションで求め、その補正量を求めてデータベースに記憶しておく（ステップＳ３１）。
【００４６】
図８（ａ）において、Ｚ軸を移動して上ノズルを被加工物（ワーク）表面から一定距離の位置に移動させ、被加工物（ワーク）と上ノズルの間に、既知の厚みＡの部材を置き（ステップＳ３２）、制御装置において、上ノズル隙間調整画面において、上ノズル隙間調整のモードを選択し（ステップＳ３３）、駆動機構を起動してＺ軸を下降させ、上ノズルを被加工物に向けて移動させる（ステップＳ３４）。
【００４７】
図８（ｂ）において、上ノズル先端が部材の表面に接触すると、Ｚ軸モータの発生トルクが所定のトルクに達する。制御装置は、この負荷トルクを検出することにより接触検出を行い、負荷トルクが所定のトルクに達したとき検出信号を出力する（ステップＳ３５）。この接触検出により、サーボモータを制御して、Ｚ軸モータの回転を停止させ、Ｚ軸の移動を停止させる（ステップＳ３６）。
【００４８】
図８（ｃ）において、ノズル隙間調整の設定を選択する事によりデータベースから補正量ａ１を求めてＺ軸の移動量を補正（第１の補正）し、上昇又は上昇／下降して接触位置へ移動する。なお、この補正量ａ１は、ガイド、部材、被加工物、及び／又はノズルの機構部のたわみ量である。この補正量ａ１は、上ノズル先端が部材に接触する際に生じるたわみを補正する補正量であり、Ｚ軸の上昇方向の値である（ステップＳ３７）。
図８（ｄ）において、Ｚ軸を上昇又は上昇／下降させ、上ノズルと被加工物（ワーク）間に位置している部材を取り除く（ステップＳ３８）。
【００４９】
次に、図８（ｅ）において、ノズル隙間調整の設定を選択する事によりデータベースから補正量ａ２を求めてＺ軸の移動量を補正（第２の補正）する。この補正量ａ２は、水圧による上ガイド変位を補正する補正量であり、Ｚ軸の下降方向の値である（ステップＳ３９）。
【００５０】
次に、部材の厚さＡと所望のノズル隙間ｄの差分（Ａ−ｄ）に補正量ａ２を加えた値を求め、その値（Ａ−ｄ＋ａ２）を用いてプログラムでＺ軸を移動させて、ノズル隙間調整を行う。このとき、上ノズルの先端と被加工物（ワーク）との間の距離は、ｄ−ａ２に設定される（図８（ｅ））（ステップＳ４０）。
【００５１】
本発明の第１の態様によれば、上ノズルと被加工物（ワーク）との間に、厚みが既知である部材を挟んで隙間調整を行うことにより、上ノズル先端と被加工物との直接接触を防ぐことができる。
本発明の第２の態様によれば、第１の態様と同様に上ノズル先端と被加工物との直接接触を防ぐと共に、たわみ量や変位を補正することができる。補正は、上ノズルを部材から離反する工程、あるいは上ノズルを被加工物に近接させる工程、又は、両工程で行うことができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、機械に被加工物との接触によるダメージを受けることなく、上ノズル先端と被加工物との間を所定間隔に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用することができるワイヤ放電加工機のノズル周辺の構成を説明するための概略図である。
【図２】本発明の第１の態様の手順を説明するための概略図である。
【図３】本発明の第１の態様の手順を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の第２の態様の手順を説明するための概略図である。
【図５】本発明の第２の態様の手順を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の第３の態様の手順を説明するための概略図である。
【図７】本発明の第３の態様の手順を説明するためのフローチャートである。
【図８】本発明の第４の態様の手順を説明するための概略図である。
【図９】本発明の第４の態様の手順を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
１  ワイヤ放電加工機
２  ワイヤ電極
３  上ノズル
４  上ガイド
５  下ノズル
６  サーボモータ
７  制御装置
８  記憶手段
９  加工電源
１０  被加工物（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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