(57)【要約】【課題】既に設置されている真空弁制御装置を、真空弁が必ず空気を吸って閉じる構造の真空弁制御装置に取り換える場合でも、改造工事を容易に安価に行える真空弁制御装置を提供すること。【解決手段】真空弁４を圧力センサ２が検出した圧力の変化に応じて開閉制御するとともに、真空弁４が開いて吸込管３から汚水に次いで空気が吸い込まれたことを検出するまで真空弁４の開を保持する開保持手段（第一ダイヤフラム１９，第三室２０，第四室２１）を有する真空弁制御装置１００である。汚水に次いで空気が吸い込まれたことの検出は、真空弁４の弁体６によって開閉される部分の圧力をノズル８によって取り出して開保持手段に伝達することで行う。ノズル８によって取り出した圧力を開保持手段に伝達する配管３１に空気の流通量を制限する絞り機構９と、外気を導入することで配管３１の内部圧力を調節する圧力調節機構１０を設ける。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端が汚水ます内に配置された吸込管と真空吸引力によって汚水を搬送する真空系との間に取り付けられた真空弁を、汚水ますの汚水の水位変化を圧力に変換する圧力センサが検出した圧力の変化に応じて開閉制御するとともに、真空弁が開いて吸込管から汚水に次いで空気が吸い込まれたことを検出するまで真空弁の開を保持する開保持手段を有する真空弁制御装置において、
前記汚水に次いで空気が吸い込まれたことの検出は、前記真空弁の弁体によって開閉される部分の圧力を圧力取出手段によって取り出して前記開保持手段に伝達することで行われることを特徴とする真空弁制御装置。
【請求項２】
前記圧力取出手段によって取り出した圧力を前記開保持手段に伝達する伝達経路には、空気の流通量を制限する絞り機構を設けたことを特徴とする請求項１に記載の真空弁制御装置。
【請求項３】
前記圧力取出手段によって取り出した圧力を前記開保持手段に伝達する伝達経路には、外気を導入することで伝達経路内の内部圧力を調節する圧力調節機構を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の真空弁制御装置。
【請求項４】
前記真空弁制御装置は、前記真空弁を開閉する真空弁開閉制御機構と、
真空弁開閉制御機構を作動させるように往復動する軸と、
軸を駆動させるように設置される第一ダイヤフラム及び第二ダイヤフラムと、
軸を常時真空弁を閉じる方向に付勢するバネと、
前記第一ダイヤフラムの両面にそれぞれ圧力を作用させる室を形成することで形成される前記開保持手段と、
前記第二ダイヤフラムの片面に形成され圧力を作用させることで軸を前記真空弁を開く方向に作用させる室とを具備し、
前記第一ダイヤフラムの一方の面に大気圧を作用させ且つ他方の面に前記圧力取出手段によって取り出した圧力を作用させることでその差圧によって前記バネの弾発力に抗して前記軸を真空弁を開く方向に作用させると共に、前記圧力センサで発生した圧力を前記第二ダイヤフラム片面に設けた室に導くように構成したことを特徴とする請求項１又は２又は３に記載の真空弁制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空汚水搬送システムの真空系の配管の端部に取り付けられる真空弁を開閉制御する真空弁制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、汚水ますに真空系の配管を接続し、この汚水ますに溜まった汚水を真空系の配管の真空圧を利用して汚水処理場等の所定の場所に移送するように構成した真空汚水搬送システムにおいては、汚水ますに配置された汚水の吸込管と真空系の配管とを連通させたり遮断させたりする真空弁と、この真空弁を汚水ますの水位により開閉制御する真空弁制御装置とが設置されていた。
【０００３】
図５は上記真空汚水搬送システムに使用される汚水ます３００部分を示す概略側断面図である。同図に示すように汚水ます３００は地中に設置され、その内部には汚水を溜める汚水槽３０１と、先端が汚水槽３０１内に配置された吸込管３０３と、吸込管３０３の他端と真空系の真空汚水管３０５の間に取り付けられる真空弁３０７と、汚水槽３０１内の汚水の水位変化を圧力に変換する圧力センサ（圧力センサ管）３０９と、圧力センサ３０９が検出した圧力の変化に応じて真空弁３０７を開閉制御する真空弁制御装置３１１（例えば特許文献１）とが設置されている。さらに汚水ます３００には、自然流下式の汚水流入管３１３と、真空弁制御装置３１１で利用する大気圧を水没することのない地上から取り入れるブリーザー管３１５とを接続している。
【０００４】
そして汚水流入管３１３から汚水が流入することによって汚水槽３０１内に所定量の汚水が溜まると、圧力センサ３０９内部の空気の圧力が上昇してその圧力が真空弁制御装置３１１に伝達される。圧力センサ３０９内部の圧力上昇が所定値に達すると、真空弁制御装置３１１は真空弁３０７に真空汚水管３０５から取り入れた負圧を供給してこれを開き、汚水槽３０１内の汚水を吸込管３０３から真空汚水管３０５に吸い込んで排水していく。この排水によって汚水槽３０１内の汚水の量が減少すると、圧力センサ３０９内部の圧力が低下し、その圧力が所定値以下になったことを真空弁制御装置３１１が検出すると、真空弁制御装置３１１は真空弁３０７に供給していた負圧を大気圧に切り替え、これによって真空弁３０７を閉じ、吸込管３０３からの汚水の吸引を停止する。
【０００５】
ところで上記構造の真空弁制御装置３１１は、真空汚水管３０５の真空圧を利用して真空弁３０７を開閉するので、真空弁３０７の開時間が、この汚水ます３００に接続された真空汚水管３０５への到達真空度に依存する。このため到達真空度が低い場合には開時間は短く、汚水のみ吸引して空気を吸わずに閉じる可能性があった。この結果、真空弁３０７にウォーターハンマーが発生して、真空弁３０７が吸込管３０３等から脱落する問題があった。また汚水搬送に必要な空気が流入しないため、管路内にエアロックが生じ易いという問題もあった。
【０００６】
ここでエアロックとは、リフト（真空汚水管３０５を下り勾配で直線状に布設した後、埋設深さが浅くなるように設ける短い上り勾配の段差のこと）の上流側に汚水が貯留されて通気開孔部がなくなることである。エアロックが生じると、汚水の搬送に必要な真空度が真空汚水管３０５の末端で得られなくなり、汚水の搬送が困難となる場合がある。
【０００７】
上記問題点を解決する真空弁制御装置として、例えば特許文献２に示すように、吸込管３０３の上下二点にノズルを取り付けて両点の圧力を検出してその圧力差によって吸込管３０３内を汚水が通過しているか空気を吸引しているかを検出するように構成し、これによって真空弁制御装置３１１は前記圧力センサ３０９内部の空気の圧力が上昇してその圧力が所定値に達すると真空弁３０７を開いて吸込管３０３から汚水を吸い込むが、その後真空弁３０７を閉止するのは、吸込管３０９内部の汚水がなくなって空気を吸い込み始めたことが検出されたときとすればよい。前記圧力差は到達真空度に関わらず一定としているので、真空弁は必ず空気を吸ってから閉じる。従ってウォーターハンマーは発生せず、管路内にエアロックも生じにくくなる。
【０００８】
しかしながら管路内のエアロックを解消等する目的で、既に設置されている前記図５に示す真空弁制御装置３１１を、前記特許文献２に示す構造の真空弁制御装置に取り換えようとした場合、真空弁制御装置３１１を取り換えるだけでなく、吸込管３０３の二点の圧力を取り出すために吸込管３０３に二つのノズルを取り付ける改造工事を要し、大きな手間がかかってしまう。また吸込管３０３として予め二つのノズルが付いているものに新規に交換することもできるが、ノズルの付いている吸込管３０３と従来の吸込管３０３とは断面形状が異なるため、汚水槽３０１と真空弁３０７等を設置した部分とを仕切る仕切板３１６の改修工事が必要になり交換費用が高価になってしまう。
【０００９】
【特許文献１】
特開平２−２８９７３０号公報
【特許文献２】
特開平８−２４４１９４号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、既に設置されている真空弁制御装置を、真空弁が必ず空気を吸って閉じる構造の真空弁制御装置に取り換える場合でも、改造工事を容易に安価に行うことができる真空弁制御装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため本発明は、先端が汚水ます内に配置された吸込管と真空吸引力によって汚水を搬送する真空系との間に取り付けられた真空弁を、汚水ますの汚水の水位変化を圧力に変換する圧力センサが検出した圧力の変化に応じて開閉制御するとともに、真空弁が開いて吸込管から汚水に次いで空気が吸い込まれたことを検出するまで真空弁の開を保持する開保持手段を有する真空弁制御装置において、前記汚水に次いで空気が吸い込まれたことの検出は、前記真空弁の弁体によって開閉される部分の圧力を圧力取出手段によって取り出して前記開保持手段に伝達することで行われることを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、前記圧力取出手段によって取り出した圧力を前記開保持手段に伝達する伝達経路に、空気の流通量を制限する絞り機構を設けたことを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、前記圧力取出手段によって取り出した圧力を前記開保持手段に伝達する伝達経路に、外気を導入することで伝達経路内の内部圧力を調節する圧力調節機構を設けたことを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記真空弁制御装置が、前記真空弁を開閉する真空弁開閉制御機構と、真空弁開閉制御機構を作動させるように往復動する軸と、軸を駆動させるように設置される第一ダイヤフラム及び第二ダイヤフラムと、軸を常時真空弁を閉じる方向に付勢するバネと、前記第一ダイヤフラムの両面にそれぞれ圧力を作用させる室を形成することで形成される前記開保持手段と、前記第二ダイヤフラムの片面に形成され圧力を作用させることで軸を前記真空弁を開く方向に作用させる室とを具備し、前記第一ダイヤフラムの一方の面に大気圧を作用させ且つ他方の面に前記圧力取出手段によって取り出した圧力を作用させることでその差圧によって前記バネの弾発力に抗して前記軸を真空弁を開く方向に作用させると共に、前記圧力センサで発生した圧力を前記第二ダイヤフラム片面に設けた室に導くように構成したことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の一実施の形態にかかる真空弁制御装置１００を真空弁４に取り付けた状態を示す概略構成図である。また図２は真空弁制御装置１００の拡大概略断面図である。これらの図において、１は汚水ますであり、この汚水ます１内には吸込管３の先端が挿入されており、吸込管３の後端は真空弁４を介して図示しない真空タンクに連通する真空汚水管５（真空系）に接続されている。真空弁４は真空弁制御装置１００によってその開閉が制御される。以下各部品について説明する。
【００１６】
真空弁４はピストン室４ｃ内にダイヤフラム４ｂとこのダイヤフラム４ｂを付勢するバネ４ａと、ピストン室４ｃ内の気圧を変更することで駆動されて真空弁４を開閉する弁体６とを具備して構成されている。そして真空弁制御装置１００から真空弁４のピストン室４ｃに供給される空気圧が所定の真空度より負圧であれば弁体６が弁座６ａから離れて真空弁４が開き、一方真空弁制御装置１００から真空弁４のピストン室４ｃに供給される空気圧が大気圧であればバネ４ａの弾発力によって弁体６が弁座６ａに押し付けられて真空弁４が閉じる。
【００１７】
真空弁制御装置１００は、図２に示すように、大径部１２ａと小径部１２ｂとを一体とした構造のケーシング１２を具備して構成されている。大径部１２ａにはその中央部に弁体１３のシャフト（軸）１４が貫通する隔壁１５が設けられ、大径部１２ａを左右の室に区分しており、左側の室は中央部に設けられた第二ダイヤフラム（センサダイヤフラム）１６により第一室１７と第二室１８に区分され、右側の室は中央部に設けられた第一ダイヤフラム１９により第三室２０と第四室２１に区分されている。また小径部１２ｂは隔壁２２で左右室に区分され、左側の室は前記第四室２１に連通し、右側の室は隔壁２３で第五室２４と第六室２５に区分されている。
【００１８】
シャフト１４の先端に固定された弁体１３は第六室２５に配置され、シャフト１４の後端は第二ダイヤフラム１６の中央部に当接している。シャフト１４の後端と第二ダイヤフラム１６の中央部とは当接しているだけで分離されており、従って第二ダイヤフラム（磁性体）１６がシャフト１４を右方向に押す力は作用するが、左方向へ引く力は作用しないようになっている。シャフト１４は隔壁１５を貫通し、第一ダイヤフラム１９を嵌挿（第一ダイヤフラム１９はシャフト１４に固定されている）し、さらに、隔壁２２、隔壁２３を貫通している。シャフト１４が隔壁１５を貫通する貫通部にはシール機構２６が、隔壁２２を貫通する貫通部にはシール機構２７がそれぞれ設けられ、シャフト１４の隔壁２３の貫通部には弁体１３で開閉される貫通孔２３ａが設けられている。２８は第一ダイヤフラム１９を左側に押すバネである。
【００１９】
ケーシング１２の後端壁のシャフト１４の後端に対向する位置には磁石２９が設けられている。第一室１７は配管３３によって圧力センサ管（圧力センサ）２に連通している。第二室１８と第三室２０は孔３４と孔３２によって大気圧に開放されている。第四室２１は配管３１によって真空弁４の真空汚水管５と吸込管３を接続した部分に取り付けたノズル８に接続されて連通している。ノズル８は真空弁４の弁体６によって開閉される部分の圧力を検出する圧力取出手段を構成する。配管３１の途中には絞り機構９と圧力調節機構１０とが直列に接続されている。圧力調節機構１０は三方に開口１０ａ，１０ｂ，１０ｃを有し、二方の開口１０ａ，１０ｂは配管３１に接続され、残り一方の開口１０ｃは大気に開放されている。従って第四室２１の圧力は、真空弁４が閉じている場合、圧力調節機構１０が大気開放となっているため大気圧状態であり、第三室２０と同圧となっている。第五室２４は配管３５で真空汚水管５に連通している。第六室２５は弁体１３で開閉され、大気に連通する孔３０が設けられ、また配管３６で真空弁４のピストン室４ｃに連通している。
【００２０】
上記構成の真空弁制御装置１００において、汚水ます１の汚水の水位が上昇し、圧力センサ管２内の圧力が上昇すると、この圧力は配管３３を通って真空弁制御装置１００の第一室１７に伝えられる。これにより第二ダイヤフラム１６がバネ２８の弾発力及び磁石２９の磁気吸引力に打ち勝って右に移動し、シャフト１４を押すため弁体１３は大気に連通する孔３０を閉じる。そして真空汚水管５より負圧が配管３５を通って第五室２４及び第六室２５に伝えられ、さらに真空弁４のピストン室４ｃに伝えられ、これによって弁体６が弁座６ａから離れて真空弁４を開く。このとき圧力センサ管２の圧力により、第二ダイヤフラム１６が押され、シャフト１４が右に動き始めるとその移動に伴ってバネ２８の弾発力は増大するが、磁石２９の磁気吸引力は急激に減少（移動距離の二乗に反比例）するから、シャフト１４は一気に移動端、即ち弁体１３が孔３０を閉じる位置まで移動して真空弁制御装置１００は作動状態に切り替わる。ここで第五室２４、第六室２５及び弁体１３は真空弁４を開閉する真空弁開閉制御機構を構成する。
【００２１】
そして弁体６が引き上げられると、真空汚水管５と吸込管３が連通し、吸込管３から汚水が吸引され始める。同時に弁体６が引き上げられることで、弁体６近傍（弁座６ａの上流側部分）の空間に真空汚水管５内の負圧が導入され、ノズル８及び配管３１を介して圧力調節機構１０の大気に開放された開口１０ｃから真空汚水管５に向けて空気が吸われ、同時に第四室２１内の空気も真空汚水管５に向けて吸い出され第四室２１を負圧にする。これによって大気圧である第三室２０と第四室２１の間に差圧が生じ、この差圧は第一ダイヤフラム１９を右側へ押す力となり、シャフト１４を介して弁体１３はさらに右に押し付けられる。汚水の水位が下がって第一室１７と第二室１８の圧力差が無くなって第二ダイヤフラム１６が図３に示すように左側に移動しても、汚水が吸込管３内を流れている間はノズル８に真空汚水管５内の負圧が到達しているので、第四室２１と第三室２０の差圧のために弁体１３は右側に押し付けられたままとなり、真空弁制御装置１００の作動状態が維持される。ここで第一ダイヤフラム１９と第三室２０と第四室２１が開保持手段を構成する。
【００２２】
汚水の水位がさらに下がり、真空弁４が空気を吸い始めるようになると、ノズル８周辺の空間の気圧はほぼ大気圧に近い圧力になり、このため圧力調節機構１０の開口１０ｃから吸い込まれる大気圧が第四室２１に導入され、その結果第四室２１と第三室２０間の圧力差による力がバネ２８の弾発力より小さくなると、バネ２８の弾発力によってシャフト１４は左側に移動して弁体１３は隔壁２３の貫通孔２３ａを閉じ、真空弁制御装置１００は待機状態に切り替わる。これにより、第六室２５に大気が流入し、この大気は配管３６を通して真空弁４のピストン室４ｃに流入し、弁体６はバネ４ａの弾発力により押し出されて弁座６ａに押し付けられて真空弁４を閉じ、吸込管３と真空汚水管５の連通を遮断する。
【００２３】
これにより、到達する真空度に関わらず、真空弁４は必ず空気を吸引してから閉じるため、ウォーターハンマーが発生せず、真空汚水管５の管路内のエアロックも発生しにくくなる。
【００２４】
また上述のように、汚水吸引中にも真空弁４は圧力調節機構１０の開口１０ｃから真空弁４側に空気を吸い込むことになるため、真空弁４は併用方式（汚水と空気を同時に吸引し、その後一定時間空気のみを吸引すること）で作動することになり、管路内のエアロック解消により貢献する。
【００２５】
また本実施の形態によれば、絞り機構９によって、現場の真空弁４に到達する真空度に応じて、吸込管３から真空弁４に吸い込む吸引空気量を調節することが可能である。即ち絞り機構９を絞ると、真空弁４が開いて汚水を吸引しているときに真空弁４側の真空度が第四室２１に到達しにくくなって圧力調節機構１０の開口１０ｃからの大気圧によって第四室２１が早く大気圧になりやすく、第三室２０との差圧が小さくなるため真空弁４は早く閉じ吸引空気量は小さくすることができ、一方絞り機構９の絞りの開度を大きくすると、真空弁４が開いて汚水を吸引しているときに真空弁４側の真空度が第四室２１に到達し易くなって第三室２０との差圧が維持され易く、真空弁４の開時間が長くなり吸引空気量を増やすことができる。
【００２６】
また圧力調節機構１０の開口１０ｃは絞り調節機構を持たず、開放穴のみで構成しても良いし、これに吸込空気量調節弁を設置しても良い。この吸込空気量調節弁は、到達する真空度が高い場合はより多くの空気を吸い込み、到達する真空度が低い場合は少量の空気を吸い込む構造である。
【００２７】
図４は吸込空気量調節弁４０の一例を示す概略断面図である。同図に示すようにこの吸込空気量調節弁４０は、圧力調節機構１０の開口１０ｃに筒状の弁胴体受け４０−４を取り付け、弁胴体受け４０−４に弁胴体４０−３を取り付け、弁胴体４０−３に設けたゴムシート収納室４０−３ｂにゴムシート４０−１とバネ４０−２とを収納して構成されている。弁胴体４０−３はゴムシート収納室４０−３ｂの上部に開口４０−３ａ、下部に通気孔４０−３ｃを具備している。ゴムシート４０−１はバネ４０−２の弾発力により、開口４０−３ａを閉じている。また弁胴体受け４０−４はその下端部を開口１０ｃに螺合させて取り付けてある。
【００２８】
上記構成の吸込空気量調節弁４０において、通常はバネ４０−２の弾発力によってゴムシート４０−１は開口４０−３ａを閉じているから、吸入空気調節弁４０は閉じている。図１の真空弁４が開いて圧力調節機構１０内の真空度が所定値以上になると、ゴムシート４０−１に作用する大気圧と圧力調節機構１０内の負圧との圧力差がバネ４０−２の弾発力に打ち勝ってゴムシート４０−１が下降し、開口４０−３ａから空気が圧力調節機構１０内に吸い込まれる。圧力調節機構１０内に吸い込まれる空気の量は、圧力調節機構１０内の真空度が高ければよりゴムシート４０−１が下降するので多くなる。一方圧力調節機構１０内の真空度が所定値以下になるとバネ４０−２の弾発力によってゴムシート４０−１が上昇して開口４０−３ａを塞ぎ、圧力調節機構１０内ヘの空気の流入を阻止する。
【００２９】
この吸込空気量調節弁４０を圧力調節機構１０の開口１０ｃに取り付けることにより、真空弁４を開いた際に真空弁４側から圧力調節機構１０に到達する真空度が高い場合は、より多くの空気が吸い込まれて真空弁４側からの負圧によって生じる第四室２１の真空度を下げる作用を行ない、真空弁４側から圧力調節機構１０に到達する真空度が低い場合は、空気が吸い込まれにくくなって真空弁４側からの負圧によって生じる第四室２１の真空度をそれほど下げる作用をしないので、結局第四室２１の真空度をほぼ一定にでき、第三室２０との圧力差を一定に保ち易くなる。
【００３０】
なお真空弁制御装置１００は水没状態でも作動するが、基本的には図５に示すように、汚水ます１（３００）内の上部に設置することが望ましい。圧力調節機構１０の開口１０ｃは、図５に示した水没することのないブリーザー管３１５に接続して大気圧を取り入れることもできる。
【００３１】
以上本発明の実施の形態を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。例えば上記実施の形態では圧力取出手段としてノズル８を用いたが、ノズル８を用いずに単に配管３１を真空弁４の弁体６によって開閉される部分に接続すること等、他の各種構造によって構成することもできる。要は真空弁の弁体によって開閉される部分の圧力を検出する構造の圧力取出手段であればどのような構造であっても良い。
【００３２】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば以下のような優れた効果を有する。
▲１▼汚水に次いで空気が吸い込まれたことの検出を、真空弁の弁体によって開閉される部分の圧力を圧力取出手段によって取り出して開保持手段に伝達することで行うこととしたので、既に設置されている真空弁制御装置の、開保持手段を設けることで真空弁が必ず空気を吸って閉じる構造の真空弁制御装置への取り換えが、真空弁制御装置自体の取り換えと、真空弁への圧力取出手段の取り付けとを行うことで行え、吸込管の改修工事又は新規のものへの交換や、仕切板の改修工事を行なう必要がなく、改造工事を容易に安価に行うことができる。
【００３３】
▲２▼圧力取出手段によって取り出した圧力を開保持手段に伝達する伝達経路に絞り機構を設けたので、現場の真空弁に到達する真空度に応じて、吸込管から真空弁に吸い込む吸引空気量をこの絞り機構によって調節することが可能になる。
【００３４】
▲３▼圧力取出手段によって取り出した圧力を開保持手段に伝達する伝達経路に圧力調節機構を設けたので、伝達経路内の内部圧力を調節することができて、真空弁に到達する様々な真空度に対して真空弁の作動を安定して行わせることができる。また圧力調節機構から導入する外気を、汚水吸引中に真空弁に導入することで、真空弁を併用方式で作動させることができ、真空汚水管内のエアロックをより効果的に解消できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態にかかる真空弁制御装置１００を真空弁４に取り付けた状態を示す概略構成図である。
【図２】真空弁制御装置１００の拡大概略断面図である。
【図３】真空弁制御装置１００の動作説明図である。
【図４】吸込空気量調節弁４０の一例を示す概略断面図である。
【図５】真空汚水搬送システムに使用される汚水ます３００部分を示す概略側断面図である。
【符号の説明】
１００  真空弁制御装置
１  汚水ます
２  圧力センサ管（圧力センサ）
３  吸込管
４  真空弁
５  真空汚水管（真空系）
６  弁体
６ａ  弁座
８  ノズル（圧力取出手段）
９  絞り機構
１０  圧力調節機構
１２  ケーシング
１３  弁体（真空弁開閉制御機構）
１４  シャフト（軸）
１６  第二ダイヤフラム
１７  第一室
１８  第二室
１９  第一ダイヤフラム（開保持手段）
２０  第三室（開保持手段）
２１  第四室（開保持手段）
２４  第五室（真空弁開閉制御機構）
２５  第六室（真空弁開閉制御機構）
２８  バネ
２９  磁石
３１  配管（伝達経路）
３３  配管
３５  配管
３６  配管
【図１】
2004308375.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004308375.tif 000005
【図４】
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【図５】
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