(57)【要約】【課題】ウェーハの研磨を行なえるとともに、研磨終了の際に、又は研磨開始の際に、ウェーハを確実に搬送する。【解決手段】スラリを供給しながら、ウェーハキャリアに保持されたウェーハを回転する研磨パッドに当接させて研磨するウェーハ研磨装置。ウェーハキャリアは、ウェーハに押圧力を付与するバックプレート２２と、ウェーハの径方向の移動を規制し研磨パッドを押圧するリテーナリング２３と、ウェーハ吸着用の吸着口を有しウェーハに接触してバックプレートからの押圧力をウェーハに伝達する保護シート２４とを有する。バックプレート２２の、保護シートの吸着口２４Ａに対応する位置には流体吐出用及び流体吸引用の通気孔２２Ｂが設けられ、保護シートの吸着口２４Ａに対応する位置に貫通孔７０Ａを有するシート材７０が、保護シート２４の上面に接して又はバックプレート２２の下面に接して設けられる。【選択図】          図５
2004253725.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スラリを供給しながら、ウェーハキャリアに保持されたウェーハを回転する研磨パッドに当接させて研磨するウェーハ研磨装置において、
前記ウェーハキャリアは、ウェーハに押圧力を付与するバックプレートと、ウェーハの径方向の移動を規制するとともに前記研磨パッドを押圧するリテーナリングと、ウェーハ吸着用の吸着口を有するとともにウェーハに接触して前記バックプレートからの押圧力をウェーハに伝達する保護シートと、を有し、
前記バックプレートの、前記保護シートの吸着口に対応する位置には流体吐出用及び流体吸引用の通気孔が設けられ、
前記保護シートの吸着口に対応する位置に貫通孔を有するシート材が、前記保護シートの上面に接して又は前記バックプレートの下面に接して設けられていることを特徴とするウェーハ研磨装置。
【請求項２】
前記シート材の硬度が、ＪＩＳ  Ｋ６３０１Ａで規定する試験法で９０以下である請求項１に記載のウェーハ研磨装置。
【請求項３】
前記シート材の表面粗さが、ＪＩＳ  Ｂ０６０１で規定するＲａで５μｍ以下である請求項１又は２に記載のウェーハ研磨装置。
【請求項４】
前記シート材が、前記保護シートの吸着口又は前記バックプレートの通気孔の周囲の所定範囲にのみ接する環状である請求項１〜３のいずれか１項に記載のウェーハ研磨装置。
【請求項５】
前記バックプレートの通気孔の周囲には凹陥部が形成されており、該凹陥部に前記シート材が配されることにより、前記バックプレートの下面と前記シート材の下面とが面一となっている請求項４に記載のウェーハ研磨装置。
【請求項６】
前記保護シートの吸着口と略同一サイズの孔を有し、前記保護シートより厚さが小である環状部材が前記保護シートの吸着口の近傍又は前記バックプレートの通気孔の近傍に配され、
前記環状部材の周縁が前記保護シート又は前記バックプレートに気密状態で固着されている請求項１〜５のいずれか１項に記載のウェーハ研磨装置。
【請求項７】
ウェーハを前記ウェーハキャリアで保持した際に、前記保護シートの吸着口がウェーハ外周部より５０ｍｍ以上内側に位置するように設けられている請求項１〜６のいずれか１項に記載のウェーハ研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェーハの研磨装置に係り、特に、化学的機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ  ）によるウェーハの研磨に好適に使用できるウェーハ研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体技術の発展により、デザインルールの微細化、多層配線化が進み、またコスト低減を進める上においてウェーハの大口径化も進行してきている。そのため、従来のように、パターンを形成した層の上にそのまま次の層のパターンを形成しようとした場合、前の層の凹凸のために次の層では良好なパターンを形成することが難しく、欠陥などが生じやすかった。
【０００３】
そこで、パターンを形成した層の表面を平坦化し、その後で次の層のパターンを形成することが行われている。この場合の平坦化手段として、ＣＭＰ法によるウェーハの研磨装置が用いられている。
【０００４】
このＣＭＰ法によるウェーハの研磨装置として、表面に研磨パッドが貼付された円盤状の研磨定盤と、ウェーハの一面を保持してウェーハの他面を研磨パッドに当接させるウェーハキャリアとを有し、研磨定盤を回転させるとともに、ウェーハキャリアを回転させながらウェーハを研磨パッドに当接させ、研磨パッドとウェーハとの間に研磨材であるスラリを供給しながら、ウェーハの他面を研磨するＣＭＰ研磨装置が一般に広く知られている。
【０００５】
ウェーハを保持するウェーハキャリアには、ウェーハにエアによる押圧力を付与するバックプレートと、ウェーハの径方向の移動を規制するとともに研磨パッドを押圧するリテーナリングと、ウェーハ吸着用の吸着口を有するとともにウェーハに接触してバックプレートからのエアの押圧力をウェーハに伝達する保護シートと、を有し、ウェーハの裏面がバックプレートの硬い面に直接接触して傷が付くのを防止したものが公知である（たとえば、特許文献１参照。）。
【０００６】
このウェーハキャリアでは、バックプレートから噴射されるエアの圧力が保護シートを介してウェーハに伝えられ、ウェーハを研磨パッドに押圧する構造となっている。そのため、保護シートはウェーハを一様に押圧する必要があり、伸び難い性質を持ちながらも曲げやすい性質を持つ材質で形成されている。
【０００７】
保護シートにはウェーハ吸着用の吸着口が形成されており、ウェーハの搬送時にウェーハを吸着保持するために使用される。ウェーハを搬送する場合は、まずウェーハをウェーハキャリアのリテーナリング内に配置し、バックプレートのエア吸引口からエアを吸引して、保護シートの内側を減圧状態にする。
【０００８】
この保護シート内側の減圧雰囲気により、ウェーハは保護シート表面に密着し、この状態で搬送される。研磨パッドの上面に搬送されたウェーハは、エアの吸引が解除され、バックプレートのエア吸引口が今度はエア噴射口に変わり、ウェーハは保護シートを介した押圧力を受けて研磨パッドに押圧され、研磨が開始される。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−３１７８１９号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、保護シートは、研磨の際にはウェーハを研磨パッドに押圧すべくエアの圧力が加えられ、ウェーハの搬送の際にはウェーハを吸引すべく減圧力が加えられる。そして、長期間の運転によるこの繰り返しにより徐々にたるみを生じてくることが多い。その結果、ウェーハが保護シート表面に密着しにくく、又は、保護シートがバックプレート表面に密着しにくく、搬送不良となる問題点が指摘されている。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、エア等の流体による加圧でウェーハの研磨を行なえるとともに、研磨終了の際に、又は研磨開始の際に、誤動作なく、ウェーハを確実に吸着して搬送できるウェーハ研磨装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、スラリを供給しながら、ウェーハキャリアに保持されたウェーハを回転する研磨パッドに当接させて研磨するウェーハ研磨装置において、前記ウェーハキャリアは、ウェーハに押圧力を付与するバックプレートと、ウェーハの径方向の移動を規制するとともに前記研磨パッドを押圧するリテーナリングと、ウェーハ吸着用の吸着口を有するとともにウェーハに接触して前記バックプレートからの押圧力をウェーハに伝達する保護シートと、を有し、前記バックプレートの、前記保護シートの吸着口に対応する位置には流体吐出用及び流体吸引用の通気孔が設けられ、前記保護シートの吸着口に対応する位置に貫通孔を有するシート材が、前記保護シートの上面に接して又は前記バックプレートの下面に接して設けられていることを特徴とするウェーハ研磨装置を提供する。
【００１３】
本発明によれば、バックプレートの、保護シートの吸着口に対応する位置には流体吐出用及び流体吸引用の通気孔が設けられ、更に、保護シートの吸着口に対応する位置に貫通孔を有するシート材が、保護シートの上面に接して又はバックプレートの下面に接して設けられているので、バックプレートと保護シートとの間にこのシート材が介在することになる。その結果、たとえ保護シートにたるみを生じても、このシート材の存在により、ウェーハの保護シート表面への密着性が向上するのみならず、バックプレートと保護シートとの密着性も向上することとなる。したがって、エア等の流体による加圧でウェーハの研磨を行なえるとともに、研磨終了の際に、又は研磨開始の際に、誤動作なく、ウェーハを確実に吸着して搬送できる。
【００１４】
なお、このようなウェーハ研磨装置の加圧及び減圧は、通常はエアにより行うのが一般的であるが、流体吸引用の通気孔とあるように、本発明は、必ずしもエアによる加圧及び減圧に限定されず、他の流体、たとえば、窒素ガス、水、作動油等の流体による加圧及び減圧にも適用できる。
【００１５】
本発明において、前記シート材の硬度が、ＪＩＳ  Ｋ６３０１Ａで規定する試験法で９０以下であることが好ましい。このような硬度のシート材であれば、押圧等により変形しやすく、保護シートにたるみを生じていても、このたるみを吸収してウェーハの保護シート表面への密着性をより向上させるからである。
【００１６】
なお、シート材の硬度が、ＪＩＳ  Ｋ６３０１Ａで規定する試験法で８０以下であることがより好ましく、７０以下であることが更に好ましい。
【００１７】
また、本発明において、前記シート材の表面粗さが、ＪＩＳ  Ｂ０６０１で規定するＲａで５μｍ以下であることが好ましい。このような表面粗さのシート材であれば、バックプレート又は保護シートと接した際に、両者の密着状態を良好にでき、ウェーハの保護シート表面への密着性をより向上させるからである。
【００１８】
なお、シート材の表面粗さが、ＪＩＳ  Ｂ０６０１で規定するＲａで３μｍ以下であることがより好ましく、１μｍ以下であることが更に好ましい。
【００１９】
また、本発明において、前記シート材が、前記保護シートの吸着口又は前記バックプレートの通気孔の周囲の所定範囲にのみ接する環状であることが好ましい。このように、保護シートの吸着口又はバックプレートの通気孔の周囲の所定範囲にのみ存在するシート材であれば、バックプレート又は保護シートとの密着状態を良好にでき、ウェーハの保護シート表面への密着性をより向上させるからである。
【００２０】
また、本発明において、前記バックプレートの通気孔の周囲には凹陥部が形成されており、該凹陥部に前記シート材が配されることにより、前記バックプレートの下面と前記シート材の下面とが面一となっていることが好ましい。このように、バックプレートの下面とシート材の下面とが面一となっていれば、ウェーハの保護シート表面への密着性をより向上させる効果に加え、バックプレートと保護シートとで形成される空間の厚さをコンパクトにできる効果も得られるからである。
【００２１】
また、本発明において、前記保護シートの吸着口と略同一サイズの孔を有し、前記保護シートより厚さが小である環状部材が前記保護シートの吸着口の近傍又は前記バックプレートの通気孔の近傍に配され、前記環状部材の周縁が前記保護シート又は前記バックプレートに気密状態で固着されていることが好ましい。このように、保護シートより厚さが小である環状部材が保護シートの吸着口の近傍又はバックプレートの通気孔の近傍に気密状態で固着されていれば、この環状部材を介してバックプレートと保護シートとが連結される。これにより、ウェーハの保護シート表面への密着性をより向上させることができる。
【００２２】
また、本発明において、ウェーハを前記ウェーハキャリアで保持した際に、前記保護シートの吸着口がウェーハ外周部より５０ｍｍ以上内側に位置するように設けられていることが好ましい。
【００２３】
このような位置に保護シートの吸着口を設けることにより、ウェーハと保護シートとのシールに必要な充分な距離が確保できるからである。また、このような構成であれば、研磨の際に加圧用に供給される流体（通常はエア）がウェーハと保護シートとの隙間から流出しにくい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って、本発明に係るウェーハ研磨装置の好ましい実施の形態について詳説する。なお、各図において、同一の部材については同一の番号又は記号を付している。
【００２５】
図１は、  本発明に係るウェーハ研磨装置の一実施形態を示す断面図である。ウェーハ研磨装置１０では、同図に示されるように、回転する研磨定盤１１の表面に研磨パッド１２が貼付されている。研磨パッド１２の上方にはウェーハキャリア２０が、ウェーハＷを保持しながら回転し、ウェーハＷを研磨パッド１２に当接させるように配置されている。
【００２６】
ウェーハキャリア２０は、キャリア本体２１、バックプレート２２、リテーナリング２３、保護シート２４（図２参照）、バックプレート用エアバッグ２８及びリテーナーリング用エアバッグ２９で構成されている。
【００２７】
バックプレート用エアバッグ２８は、ゴムシート２７とキャリア本体２１とで形成される空間で、エアライン５０Ｃからエアが供給され、バックプレート２２を研磨パッド１２に向けて加圧する。リテーナーリング用エアバッグ２９は、ゴムシート２７とキャリア本体２１とで形成される空間で、バックプレート用エアバッグ２８よりも外周側に設けられる。このリテーナーリング用エアバッグ２９には、エアライン５０Ｄからエアが供給され、リテーナリング２３を研磨パッド１２に向けて押圧する。
【００２８】
図２は、ウェーハキャリア２０のウェーハＷの加圧機構部を表わす拡大断面図である。バックプレート２２の下面には外周部に流体吐出用の通気孔であるエア噴出口２２Ａ、２２Ａ…が、中央部には流体吐出用及び流体吸引用の通気孔であるエア噴出口２２Ｂ、２２Ｂ…が形成されている。エア噴出口２２Ａ、２２Ａ…はレギュレータ５４を経由してメインエア経路５５に、エア噴出口２２Ｂ、２２Ｂ…はレギュレータ５１を経由してサブエア経路５２に接続されている。サブエア経路５２は切替バルブ５６によって正圧ライン５３とレギュレータ５７を経由した負圧ライン５８又は大気開放ライン５９とに接続換えされる。
【００２９】
リテーナーリング２３はウェーハＷの径方向の動きを規制するとともに、研磨パッド１２を押圧してその表面を安定させる役目を果たしている。
【００３０】
保護シート２４は、周縁部でリテーナーリング２３に保持されており、ウェーハＷが硬いバックプレート２２に直接接触することを防止し、ウェーハＷに当接してバックプレート２２からのエア圧をウェーハＷに伝達する。バックプレート２２から噴射されたエアはバックプレート２２とリテーナーリング２３との隙間２３Ａから外部に排気される。メインエア経路５５によるエアの圧力とサブエア経路５２によるエアの圧力とをそれぞれ調整することによって、ウェーハＷの研磨形状が制御される。
【００３１】
正圧ライン５３、負圧ライン５８又は大気開放ライン５９との切替えや、メインエア経路５５によるエアの圧力とサブエア経路５２によるエアの圧力、及び負圧ライン５８による吸引圧力は、ＣＰＵ６０によってそれぞれ最適に制御される。
【００３２】
保護シート２４にはウェーハ吸着用の吸着口２４Ａ（図３参照）が形成されており、ウェーハＷの搬送時にウェーハＷを吸着保持するために使用される。すなわち、ウェーハＷの吸着時は切替バルブ５６がサブエア経路５２を負圧ライン５８に切替え、吸着口２４Ａを経由してウェーハＷに吸引力を伝達する。
【００３３】
ウェーハキャリア２０は以上のように構成され、このウェーハキャリア２０で保持したウェーハＷを研磨定盤１１上の研磨パッド１２に押し付けて、研磨定盤１１とウェーハキャリア２０とをそれぞれ回転させながら、研磨パッド１２上にスラリを供給することにより、ウェーハＷが研磨される。
【００３４】
図３は、保護シート２４とリテーナリング２３を示す下面図である。保護シート２４は、ウェーハＷのウェーハキャリア２０に保持される面を保護するとともに、バックプレート２２からのエア圧を伝達してウェーハＷを一様に押圧する必要があるため、伸び難い性質を持ちながらも、曲げやすい性質を持つ薄い材料でできている。また、スラリに含まれる酸又はアルカリへの耐性も必要である。
【００３５】
保護シート２４の材質は、たとえば、テフロン（ｄｕ  Ｐｏｎｔ  社の商標、ポリ四ふっ化エチレン）フィルム、ＰＥТ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム、ＰＦＡ（四ふっ化パーフルオロアルキルビニルエーテル）フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム、シリコンゴムフィルム等が好ましい。
【００３６】
保護シート２４には中心部に吸着口２４Ａが形成されている。なお、保護シート２４に形成される吸着口２４Ａの位置及び個数は、これ以外の態様を採ることもできる。たとえば、保護シート２４の中心部に吸着口２４Ａが形成され、これを覆うように、円周上に４個の吸着口２４Ａ、２４Ａ…が形成される構成であってもよい。但し、既述のように、保護シート２４の吸着口２４Ａ、２４Ａ…がウェーハＷの外周部より５０ｍｍ以上内側に位置するように設けられることが好ましい。
【００３７】
保護シート２４のリテーナリング２３への固定は、図４に示される概念図のように行われる。同図において、（ａ）は拡大底面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡＡ’線断面図である。リテーナリング２３は上部２３Ａと下部２３Ｂとに分割されており、固定ボルト４０、４０…により一体化される。保護シート２４はこの上部２３Ａと下部２３Ｂとに挟み込まれることにより固定される。
【００３８】
更に、リテーナリング２３には、保護シート２４の張力調整機構が設けられており、保護シート２４に撓みを生じた場合に対処できるようになっている。この張力調整機構は、上部２３Ａ下面に形成された嵌合溝４２と、下部２３Ｂに貫通して設けられたねじ孔４４と、ねじ孔４４に螺合する、先端に突起部４６Ａを有するボルト４６とより構成される。保護シート２４に撓みを生じた場合には、ボルト４６を締め込むことにより、保護シート２４が嵌合溝４２内に引き込まれ、保護シート２４に張力が付与される。
【００３９】
なお、図４（ｂ）に示されるように、下部２３Ｂの貫通孔２３Ｄは、ボルト４６の頭部がリテーナリング２３の下面より突出しないように、段差状に形成されており、図示しない固定ボルト４０用の貫通孔も、同様に、固定ボルト４０の頭部がリテーナリング２３の下面より突出しないように、段差状に形成されている。
【００４０】
なお、本実施の形態では、保護シート２４をリテーナーリング２３にボルト４０等を使用して固定しているが、これ以外の方法、たとえば、接着剤で接着して固定してもよい。
【００４１】
次に、本発明における、ウェーハの保護シート２４表面への密着性を向上させる構成について説明する。図５は、第１の実施形態を示す要部断面図である。このうち、（ａ）は、ウェーハ搬送時にウェーハＷを吸着している状態を示しており、（ｂ）は、ウェーハＷの研磨をしている状態を示している。なお、図中の矢印は、エアの流れる方向を示している。
【００４２】
この構成において、バックプレート２２の、保護シート２４の吸着口２４Ａに対応する位置にはエア噴出口２２Ｂが配されている。更に、保護シート２４の吸着口２４Ａに対応する位置に貫通孔７０Ａを有するシート材７０がバックプレート２２の下面に設けられている。このシート材７０は、バックプレート２２の通気孔２２Ｂの周囲の所定範囲にのみ接する環状であり、バックプレート２２の通気孔２２Ｂの周囲に形成された凹陥部２２Ｃに配され、バックプレート２２の下面とシート材７０の下面とが面一となっている。
【００４３】
シート材７０は、硬度がＪＩＳ  Ｋ６３０１Ａで規定する試験法で９０以下であるものが好ましく、また、表面粗さがＪＩＳ  Ｂ０６０１で規定するＲａで５μｍ以下であるものが好ましく使用できる。但し、この範囲を外れるものであっても多少効果が劣るものの、所定の効果は得られる。シート材７０の厚さは、０．５ｍｍ以上が好ましく、１ｍｍ以上がより好ましい。
【００４４】
シート材７０の材質としては、上記の諸条件を満たすものであれば、特に制限はないが、たとえば、クロロプレンゴム、シリコーンゴム等のゴム材が好ましく使用できる。
【００４５】
以上のような構成とすることにより、バックプレート２２と保護シート２４との間に所定硬度のシート材７０が介在することになる。その結果、たとえ保護シート２４にたるみを生じても、このシート材８０と保護シート２４とは密着しやすく、気密性が確保でき、これにより、ウェーハＷの保護シート２４の表面への密着性が向上することとなる。したがって、図５（ｂ）に示されるように、エア等の流体による加圧でウェーハの研磨を行なえるとともに、研磨終了の際に、又は研磨開始の際に、図５（ａ）に示されるように、誤動作なく、ウェーハＷを確実に吸着して搬送できる。なお、図５（ａ）は、実際よりも強調して図示してあり、保護シート２４の変形はこれ程大きくはない。
【００４６】
図６は、第２の実施形態を示す要部断面図である。このうち、（ａ）は、ウェーハ搬送時にウェーハＷを吸着している状態を示しており、（ｂ）は、ウェーハＷの研磨をしている状態を示している。なお、図中の矢印は、エアの流れる方向を示している。
【００４７】
この構成において、バックプレート２２の、保護シート２４の吸着口２４Ａに対応する位置にはエア噴出口２２Ｂが配されている。更に、保護シート２４の吸着口２４Ａに対応する位置に貫通孔８０Ａを有するシート材８０が保護シート２４の上面に設けられている。このシート材８０は、保護シート２４の吸着口２４Ａの周囲の所定範囲にのみ接する環状である。
【００４８】
シート材８０は、硬度がＪＩＳ  Ｋ６３０１Ａで規定する試験法で９０以下であるものが好ましく、また、表面粗さがＪＩＳ  Ｂ０６０１で規定するＲａで５μｍ以下であるものが好ましく使用できる。但し、この範囲を外れるものであっても多少効果が劣るものの、所定の効果は得られる。シート材８０の厚さは、０．０５〜１ｍｍが好ましく、０．１〜０．５ｍｍがより好ましい。
【００４９】
シート材８０の材質としては、上記の諸条件を満たすものであれば、特に制限はないが、たとえば、クロロプレンゴム、シリコーンゴム等のゴム材が好ましく使用できる。
【００５０】
以上のような構成とすることにより、バックプレート２２と保護シート２４との間に所定硬度のシート材８０が介在することになる。その結果、たとえ保護シート２４にたるみを生じても、このシート材８０とバックプレート２２とは密着しやすく、気密性が確保でき、これにより、ウェーハＷの保護シート２４の表面への密着性が向上することとなる。したがって、図６（ｂ）に示されるように、エア等の流体による加圧でウェーハの研磨を行なえるとともに、研磨終了の際に、又は研磨開始の際に、図６（ａ）に示されるように、誤動作なく、ウェーハＷを確実に吸着して搬送できる。なお、図６（ａ）は、実際よりも強調して図示してあり、保護シート２４の変形はこれ程大きくはない。
【００５１】
図７は、第３の実施形態を示す要部断面図である。このうち、（ａ）は、ウェーハ搬送時にウェーハＷを吸着している状態を示しており、（ｂ）は、ウェーハＷの研磨をしている状態を示している。なお、図中の矢印は、エアの流れる方向を示している。
【００５２】
この構成において、バックプレート２２の、保護シート２４の吸着口２４Ａに対応する位置にはエア噴出口２２Ｂが配されている。更に、保護シート２４の吸着口２４Ａに対応する位置に貫通孔７０Ａを有するシート材７０がバックプレート２２の下面に設けられている。このシート材７０は、バックプレート２２の通気孔２２Ｂの周囲の所定範囲にのみ接する環状であり、バックプレート２２の通気孔２２Ｂの周囲に形成された凹陥部２２Ｃに配され、バックプレート２２の下面とシート材７０の下面とが面一となっている。以上の構成は、図５に示される第１の実施形態と同一である。
【００５３】
本構成では、更に、保護シート２４の吸着口２４Ａと略同一サイズの孔９０Ａを有し、保護シート２４より厚さが小である環状部材９０が保護シート２４の吸着口２４Ａの近傍に配され、かつ、環状部材９０の周縁が保護シート２４に気密状態で固着されている構成を採用している。
【００５４】
第１の実施形態と同様に、シート材７０は、硬度がＪＩＳ  Ｋ６３０１Ａで規定する試験法で９０以下であるものが好ましく、また、表面粗さがＪＩＳ  Ｂ０６０１で規定するＲａで５μｍ以下であるものが好ましく使用できる。但し、この範囲を外れるものであっても多少効果が劣るものの、所定の効果は得られる。シート材７０の厚さは、０．５ｍｍ以上が好ましく、１ｍｍ以上がより好ましい。
【００５５】
シート材７０の材質としては、上記の諸条件を満たすものであれば、特に制限はないが、たとえば、クロロプレンゴム、シリコーンゴム等のゴム材が好ましく使用できる。
【００５６】
環状部材９０は、保護シート２４より厚さが小であるもので、かつ、シート材７０との間で気密性が保てるような柔軟な材料であることが好ましい。環状部材９０の厚さとしては、保護シート２４より厚さが小であるという以外に特に制限はないが、具体的には０．２５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００５７】
環状部材９０の材質としては、たとえば、テフロン（ｄｕ  Ｐｏｎｔ  社の商標、ポリ四ふっ化エチレン）フィルム、ＰＥТ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム、ＰＦＡ（四ふっ化パーフルオロアルキルビニルエーテル）フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム、シリコンゴムフィルム等が採用できる。
【００５８】
環状部材９０の周縁を保護シート２４に気密状態で固着させる手段としては、環状部材９０及び保護シート２４の材質によって左右されるが、一般的には、接着剤による接着、両面接着テープによる接着、熱圧着等、公知の各種手段が採用できる。
【００５９】
以上のような構成とすることにより、バックプレート２２と保護シート２４との間に所定硬度のシート材７０及び保護シート２４より薄い環状部材９０が介在することになる。その結果、たとえ保護シート２４にたるみを生じても、環状部材９０がシート材７０に密着することにより気密性が確保でき、ウェーハＷの保護シート２４の表面への密着性が向上することとなる。したがって、図７（ｂ）に示されるように、エア等の流体による加圧でウェーハの研磨を行なえるとともに、研磨終了の際に、又は研磨開始の際に、図７（ａ）に示されるように、誤動作なく、ウェーハＷを確実に吸着して搬送できる。なお、図７（ａ）は、実際よりも強調して図示してあり、環状部材９０の変形はこれ程大きくはない。
【００６０】
以上、本発明に係るウェーハ研磨装置の実施形態の例について説明したが、本発明は上記実施形態の例に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。たとえば、図５〜図７に示されるシート材７０、８０は、保護シートの吸着口２４Ａ又はバックプレートの通気孔２２Ｂの周囲の所定範囲にのみ接する環状であるが、保護シート２４又はバックプレート２２の略全面を覆うサイズとする態様も採り得る。このようにしても、所定の効果が得られるからである。
【００６１】
また、図６に示されるシート材８０が保護シート２４の上面に接して設けられているが、これに代えて、シート材８０をバックプレート２２の下面に接して設けられる構成も採用できる。このようにしても、略同様の効果が得られるからである。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、バックプレートの、保護シートの吸着口に対応する位置には流体吐出用及び流体吸引用の通気孔が設けられ、更に、保護シートの吸着口に対応する位置に貫通孔を有するシート材が、保護シートの上面に接して又はバックプレートの下面に接して設けられているので、バックプレートと保護シートとの間にこのシート材が介在することになる。その結果、たとえ保護シートにたるみを生じても、このシート材の存在により、ウェーハの保護シート表面への密着性が向上することとなる。したがって、エア等の流体による加圧でウェーハの研磨を行なえるとともに、研磨終了の際に、又は研磨開始の際に、誤動作なく、ウェーハを確実に吸着して搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るウェーハ研磨装置の断面図
【図２】ウェーハキャリアのウェーハ押圧機構部を表わす拡大断面図
【図３】保護シートとリテーナリングを示す下面図
【図４】保護シートのリテーナリングへの固定方法を示す概念図
【図５】本発明の第１の実施形態を示す要部断面図
【図６】本発明の第２の実施形態を示す要部断面図
【図７】本発明の第３の実施形態を示す要部断面図
【符号の説明】
Ｗ…ウェーハ、１０…ウェーハ研磨装置、１１…研磨定盤、１２…研磨パッド、２０…ウェーハキャリア、２１…キャリア本体、２２…バックプレート、２２Ａ、２２Ｂ…エア噴出口、２３…リテーナリング、２４…保護シート、２４Ａ…吸着口、７０、８０…シート材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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