(57)【要約】【課題】被印刷体であるプリント基板や、メタルマスクの変形に速やかに対応して、両者を高精度に位置合わせすることができる印刷装置及び印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】メタルマスク印刷版１０の紗１２に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスク１３を囲むように、メタルマスク１３の上面の外周部に互いに独立して固着された複数の保持材１６と、メタルマスク１３と被印刷体３０との位置合わせが、メタルマスク１３を所定量変形して可能となるように、複数の保持材１６の各々に接続され、互いに独立して水平方向に移動可能に設けられている複数の可動部３４とを具備することを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外枠内に張られた紗に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスクと、前記メタルマスクに形成された所定形状の開口部を介してクリーム状物質が被印刷体の所定位置に塗布されるように、前記被印刷体と位置合わせされたメタルマスクの上面を水平方向に移動してクリーム状物質を塗布するスキージとを具備する印刷装置において、
前記紗に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスクを囲むように、前記メタルマスクの上面の外周部に互いに独立して固着された複数の保持材と、
前記メタルマスクと被印刷体との位置合わせが、前記メタルマスクを所定量変形して可能となるように、前記複数の保持材の各々に接続され、互いに独立して水平方向に移動可能に設けられている複数の可動部とを具備することを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
前記メタルマスクと前記被印刷体に設けられた位置合わせマークをそれぞれ画像認識する画像認識装置と、
該画像認識装置によって読み込まれた前記メタルマスクと前記被印刷体の、それぞれの位置合わせマークの情報を受信し、該情報に基づいて前記複数の保持材に接続される前記複数の可動部の水平方向の移動を制御する位置合わせ制御部とを設けたことを特徴とする請求項１記載の印刷装置。
【請求項３】
外枠内に張られた紗に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスクと、被印刷体と位置合わせされた前記メタルマスクの上面を水平方向に移動してクリーム状物質を塗布するスキージとを具備する印刷装置を用い、
前記クリーム状物質を、前記メタルマスクに形成された開口部を介して被印刷体の所定位置に塗布する際に、
前記メタルマスクと被印刷体との位置合わせを、メタルマスクを所定量変形して行うことを特徴とする印刷方法。
【請求項４】
前記メタルマスクの所定量の変形を、前記紗に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスクを囲むように、前記メタルマスクの上面の外周部に互いに独立して固着された複数の保持材と、前記複数の保持材の各々に接続され、互いに独立して水平方向に移動可能に設けられている複数の可動部とを用い、前記複数の可動部の各々を水平方向に所定量移動して行うことを特徴とする請求項３記載の印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板にクリームはんだを印刷する際に特に良好に使用される印刷装置及び印刷方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プリント基板上に電子部品等を表面実装する方法として、プリント基板上に形成されたパッド上にクリームはんだを印刷し、その上に電子部品を仮固定させて加熱処理をし、はんだ付けを行う方法がある。
この方法において、クリームはんだをプリント基板上に印刷する際には、一般に図９に示されるようなメタルマスク印刷版８０が使用されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平８−２５６０９号公報（図１）
【０００４】
図９においてメタルマスク印刷版８０は、アルミニウム等から成る外枠８１と、外枠８１内に張られた紗８２と、紗８２の中央に接着固定されたメタルマスク８３とから構成されている。
紗８２はポリエステル製またはステンレス製の薄いメッシュ材である。
メタルマスク８３は金属から成る薄い板で、プリント基板上のクリームはんだを塗布したい部分に対応する位置に開口部８４が設けられており、開口部８４を介してクリームはんだがプリント基板上に印刷される。
【０００５】
また、メタルマスク８３には位置合わせマーク８５が設けられている。
位置合わせマーク８５は、プリント基板とメタルマスク８３の位置合わせをする際に使用されるものである。印刷工程の前に、プリント基板の位置合わせマークとメタルマスクの位置合わせマークをそれぞれ画像認識し、両者の位置が一致するよう位置合わせされてプリント基板とメタルマスク８３を密着固定する。この状態で印刷を行うことで、プリント基板のパッド上にクリームはんだを良好に印刷することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、プリント基板はガラスエポキシ樹脂基材、ベークライト樹脂基材あるいはセラミック基材等の材料を用いて形成されているため、温度変化や外圧等の条件により反り等の変形が生じやすい。そしてプリント基板は、多層基板であることが多いので、多層にする過程の加熱工程によって収縮や膨張等の変形がおこりやすい。
また、このような変形の変形量や形状は、基材の製造ロット等によっても異なり、バラツキがある。
【０００７】
こうしたプリント基板の変形に対して、メタルマスクにも変形が生じやすい。というのは、メタルマスクは薄い金属板であるので、取り扱いや紗のテンションによって引っ張られることでも変形が生じてしまうからである。
プリント基板とメタルマスクとの、それぞれに発生する変形は、印刷の際の両者の位置合せを困難なものとしている。特に最近の基板は配線パターン等が高密度化されているので、少しの印刷ずれでも、その後の加熱工程によって隣接するクリームはんだ同士が接触しやすく、ショートやブリッジの原因となってしまう課題がある。
【０００８】
このような課題も、小さい基板毎に印刷するような、一度の印刷で行う面積を小さくする方法によれば、印刷パターンが微細なピッチであってもプリント基板の変形量が小さいので位置合わせを簡単に行うことができ解消される。しかしこの方法は、１枚のプリント基板から最終的には出来るだけ多数の基板を切り分けて製造したい大量生産に対しては不向きであり実用的でない。
また、印刷ずれを解消するために、変形したプリント基板の形にメタルマスクをその都度合わせて作成するという方法もあるが、時間がかかり効率が悪い。
【０００９】
そこで、本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、被印刷体であるプリント基板や、メタルマスクの変形に速やかに対応して、両者を高精度に位置合わせすることができる印刷装置及び印刷方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために次の構成を備える。
すなわち、本発明は、外枠内に張られた紗に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスクと、前記メタルマスクに形成された所定形状の開口部を介してクリーム状物質が被印刷体の所定位置に塗布されるように、前記被印刷体と位置合わせされたメタルマスクの上面を水平方向に移動してクリーム状物質を塗布するスキージとを具備する印刷装置において、
前記紗に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスクを囲むように、前記メタルマスクの上面の外周部に互いに独立して固着された複数の保持材と、前記メタルマスクと被印刷体との位置合わせが、前記メタルマスクを所定量変形して可能となるように、前記複数の保持材の各々に接続され、互いに独立して水平方向に移動可能に設けられている複数の可動部とを具備することを特徴とする。
【００１１】
この構成によると、メタルマスクと被印刷体のどちらか一方或いは両者の変形によって、そのままでは両者を高精度に位置合わせ出来ない状態であっても、複数の可動部をそれぞれ水平方向に移動させて、メタルマスクを変形させることができ、これによりメタルマスクと被印刷体とを簡単に位置合わせすることができる。こうしてメタルマスクの開口部と被印刷体の印刷したい所定位置との位置が合わされ、印刷ずれのない良好な印刷を行うことができる。
【００１２】
また、本発明は、前記メタルマスクと前記被印刷体に設けられた位置合わせマークをそれぞれ画像認識する画像認識装置と、該画像認識装置によって読み込まれた前記メタルマスクと前記被印刷体の、それぞれの位置合わせマークの情報を受信し、該情報に基づいて前記複数の保持材に接続される前記複数の可動部の水平方向の移動を制御する位置合わせ制御部とを設けたことを特徴とする。
これにより、位置合わせの操作を自動的に効率良く行うことができる。
【００１３】
また、本発明の印刷方法は、外枠内に張られた紗に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスクと、被印刷体と位置合わせされた前記メタルマスクの上面を水平方向に移動してクリーム状物質を塗布するスキージとを具備する印刷装置を用い、前記クリーム状物質を、前記メタルマスクに形成された開口部を介して被印刷体の所定位置に塗布する際に、前記メタルマスクと被印刷体との位置合わせを、メタルマスクを所定量変形して行うことを特徴とする。これによると、メタルマスクと被印刷体のどちらか一方或いは両者の変形によって、そのままでは両者を高精度に位置合わせ出来ない状態であっても、メタルマスクと被印刷体とを簡単に位置合わせすることができる。
【００１４】
また、前記メタルマスクの所定量の変形を、前記紗に形成された開口部の開口縁に、外周縁が固着されて配設されたメタルマスクを囲むように、前記メタルマスクの上面の外周部に互いに独立して固着された複数の保持材と、前記複数の保持材の各々に接続され、互いに独立して水平方向に移動可能に設けられている複数の可動部とを用い、前記複数の可動部の各々を水平方向に所定量移動して行うことを特徴とする。これにより、メタルマスクを簡単に所定量変形させることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面と共に詳細に説明する。
図１は、本発明による印刷装置のメタルマスク印刷版を示す斜視図である。図２は、印刷装置の断面図であり、図３は印刷装置の印刷動作を示す断面図である。図４はメタルマスク印刷版を上から見た際の概略図である。
尚、図においてメタルマスクの開口部、位置合わせマーク、プリント基板のパッド、位置合わせマークの形状、位置、変形形状等については説明上模式的に描いてある。
【００１６】
図５は、プリント基板の構成を示す概略図である。このように被印刷体であるプリント基板３０の表面には、配線パターン（図示せず）と位置合わせマーク３０ａが形成されていると共に、クリーム状物質であるクリームはんだが印刷されるパッド３０ｂが設けられている。位置合わせマーク３０ａは後述するメタルマスクの位置合わせマークに対応して、１枚のプリント基板に少なくとも２箇所設けられている。ここでは、プリント基板３０の対角線上の、２つの隅に貫通孔形状に配設されている。
プリント基板とメタルマスクにそれぞれ配設された位置合わせマークの位置を一致させることで、印刷工程の前段階においてプリント基板とメタルマスクの位置合わせを行う。
【００１７】
メタルマスク印刷版１０は、図１、図４に示されるように外枠１１内に張られた紗１２の中央にメタルマスク１３が設けられ、さらにメタルマスク１３をその外周部分で囲うように４つの保持材１６が配設されて形成されている。
外枠１１は、アルミニウム等から成る断面四角形の筒を４辺として枠形に形成されたものである。紗１２は、ポリエステルまたはステンレスから成る弾力性を有する薄いメッシュ材である。
【００１８】
メタルマスク１３は、ステンレス或いはニッケルから成る厚さ０．０３ｍｍから０．３ｍｍ程度の四角形状の金属薄板であり、プリント基板のクリームはんだを印刷したい部分（パッド）に対応して、開口部１４がエッチングやレーザーにより設けられている。または、メタルマスクはニッケルめっきのアディティブ法で製作される。
また、メタルマスクの隅には、プリント基板の位置合わせマークに対応して位置合わせマーク１５が貫通孔形状に設けられている。
紗１２の略中央部には開口部が設けられており、その開口縁に、メタルマスク１３の外周縁が固着されて配設されている。
保持材１６は、図８に示されるようにそれぞれ断面四角形の筒状あるいは柱状の部材からなり、４つの保持材１６で四角形を形作ってメタルマスク１３を囲うように、メタルマスクの上面の外周部（つまりメタルマスク１３と紗１２が重なり合う部分の上面）に、４つが互いに独立して固着されている。
【００１９】
メタルマスク印刷版１０の作成方法は、まず外枠１１内に紗１２を一定の張力をかけて接着剤によって張る。そして、紗１２の所定位置に、紗の下面側から、外周部に接着剤が塗布されたメタルマスク１３を合わせて接着固定した後、外周部を除いたメタルマスク１３を覆う紗の部分を切り取る。メタルマスクの外側に位置する紗は、樹脂または感光膜によって目止めされる。
それから、メタルマスク１３と紗１２が重なり合う部分の上面に、４つの保持材１６を各々独立して接着剤によって接着し、メタルマスク印刷版１０が作成される。
【００２０】
このような構成によると、メタルマスク１３には、切り取られた紗にかかっていた張力が加わることになる。
また、保持材１６は、メタルマスク１３と紗１２が重なり合う部分の上面に固着されているので、保持材１６を水平方向に移動させると、紗１２とメタルマスク１３はそれぞれ、その方向へ引っ張られたり押されたりして、伸びたり撓んだり、伸縮したりする。
【００２１】
次に、このような構成から成るメタルマスク印刷版１０が使用される印刷装置について図２、図３を用いて説明する。
ステージ２０は、上下移動可能に設けられ、その上面にはプリント基板３０の形状と同じ形状に形成された凹部３１が設けられている。凹部３１の底部には、吸引孔３２が配設され、吸引孔３２は空気吸引手段（図示せず）と接続されて凹部３１から空気を吸引可能としている。
【００２２】
ステージ２０の上方には固定部３３が設けられており、メタルマスク印刷版１０を、その外枠１１を四方から挟み込むことによって水平状態で保持する。
さらに、４つの保持材１６をそれぞれ上方から挟み込んで保持する４つの可動部３４（以下可動クランプ３４と称することがある。）が設けられている（図３参照）。４つの可動クランプ３４は、それぞれ駆動機構３６に連結されて、上下移動可能に設けられていると共に、保持材１６をクランプした状態で、Ｘ−Ｙ方向に各々自在に移動可能となっている。そして、駆動機構３６に対するこれら上下移動、Ｘ−Ｙ移動の制御指令は、後述する位置合わせ制御部３７から与えられる。
【００２３】
印刷装置には、画像認識装置であるＣＣＤカメラ３８が配設されており、ＣＣＤカメラ３８はプリント基板の位置合わせマークとメタルマスクの位置合わせマークを、それぞれ上方から撮影する。そして、ＣＣＤカメラ３８によって撮影されたプリント基板とメタルマスクの位置合わせマークの画像情報は、位置合わせ制御部３７へと送信される。位置合わせ制御部３７では、これら情報に基づいて位置合わせマークの中心を各々算出し、位置合わせマークの位置を認識する。
【００２４】
さらに、位置合わせ制御部３７では、プリント基板とメタルマスクの位置合わせマークの位置についてのデータを基に、プリント基板の位置合わせマークの位置に、メタルマスクの位置合わせマークの位置を一致させるために必要な保持材１６のＸ−Ｙ方向への移動量を計算する。そして、位置合わせ制御部３７は、この移動量に従って駆動機構３６に指令を与え、その駆動を制御する。
また、印刷装置には、下端部にゴムのへらであるスキージ３５を備えるスキージユニットやクリームはんだ供給部等を備える印刷部等が配設されている。
【００２５】
このような構成から成る印刷装置の動作について説明する。
まず、図２に示されるようにステージ２０の凹部３１内にプリント基板３０を嵌め込んだ後、吸引装置を作動させ、吸着孔３２を介して凹部３１内の空気を吸引する。これによりプリント基板３０を凹部３１内に密着固定することができる。
この状態でＣＣＤカメラ３８により、プリント基板３０の上方からプリント基板３０に形成された位置合わせマーク３０ａを撮影させると、位置合わせ制御部３７が撮影された画像情報に基づいて位置合わせマークの中心を算出し、その位置を認識する。
【００２６】
メタルマスクの取り付けられたメタルマスク印刷版１０は、その外枠１１を固定部３３によって挟み込ませることにより水平状態で保持する。メタルマスク印刷版１０が固定されたことを受信した位置合わせ制御部３７は、駆動機構３６を作動させて、可動クランプ３４を下降させ、保持材１６をそれぞれ把持させる。この状態でメタルマスク１３に設けられた位置合わせマーク１５をＣＣＤカメラ３８によって上方から撮影する。位置合わせ制御部３７では撮影された画像情報を受信し、これに基づいて位置合わせマーク１５の中心を算出し、その位置を認識する。
ＣＣＤカメラによる位置合わせマークの撮影は、プリント基板、メタルマスクのどちらから先に行っても良い。
【００２７】
位置合わせ制御部３７では、プリント基板とメタルマスクのそれぞれに配設された位置合わせマークの位置の情報が受信され、これを基にメタルマスクの移動量が算出される。
この後、メタルマスクの移動量に従った出力信号が位置合わせ制御部３７から駆動機構３６へと送信されて駆動機構３６が作動し、４つの可動クランプ３４が各々Ｘ−Ｙ方向へと独立して移動する。このように保持材１６をクランプした可動クランプ３４をＸ−Ｙ方向へ移動させると、メタルマスク１３は水平方向に引っ張られたり押されたりして、伸びたり撓んだり、伸縮したりして変形する。
【００２８】
こうして可動クランプ３４が移動した状態を保持したまま、ステージ２０を上方へと移動させて、メタルマスクとプリント基板とを密着させる。すると、メタルマスクとプリント基板の位置合わせマークの位置が合致し、これによりメタルマスクの開口部１４とプリント基板のパッド３０ｂの位置が合うようになる。
【００２９】
つまり、本発明は、メタルマスクを変形させることにより、プリント基板の位置合わせマークの位置に合わせてメタルマスクの位置合わせマークの位置を移動させ、両者の位置を合致させるというものである。そして、メタルマスクを変形させる手段として、メタルマスクの外周部に固着された保持材１６を可動クランプ３４によって水平方向に移動させる手段を採っている。これにより、メタルマスクは水平方向に引っ張られたり押されたりして変形する。
こうして両者の位置合わせマークの位置が合致された結果、自動的にメタルマスクの開口部１４とプリント基板のパッド３０ｂの位置が合わされ、印刷ずれのない良好な印刷を行うことができる。
従って、メタルマスクの移動量とは、プリント基板の位置合わせマークの位置にメタルマスクの位置合わせマークの位置を一致させるために必要な、４つの可動クランプの移動距離、方向等の情報である。
【００３０】
この位置合わせ方法を模式的に描いた図によって説明する。例えば長方形に設計されたプリント基板３０が、図７のように製造工程において菱形に変形してしてしまった場合、図４に示されるような設計図通りに長方形に形成されたメタルマスク１３では、高精度に位置合わせができない。
そこで、前述のようにプリント基板とメタルマスクの両者の位置合わせマークの位置を、それぞれＣＣＤカメラによって撮影すると、そのデータを基に位置合わせ制御部においてメタルマスクの移動量が計算される。
【００３１】
この移動量にしたがって位置合わせ制御部は４つの可動クランプのＸ−Ｙ方向への移動をそれぞれ制御する。この場合、４つの可動クランプがそれぞれに移動し、その結果、図６に示されるように保持材１６が移動してその状態で保持される。
保持材１６はメタルマスク１３の外周部分に固着されているので、メタルマスク１３は保持材１６の移動と共に、その方向へと引っ張られたり押されたりして変形する。この結果、メタルマスク１３もプリント基板と同様に菱形に変形して、プリント基板とメタルマスクの位置合わせマークの位置が一致するようになる。この結果、メタルマスクの開口部１４とプリント基板のパッド３０ｂの位置が合致するようになる。
【００３２】
このように、メタルマスク１３を変形させて位置合わせ操作をした後、その状態を保持したままステージ２０を上方へと移動させてメタルマスク１３とプリント基板３０を密着させ、印刷を行う（図３参照）。
【００３３】
印刷工程に入る前に、メタルマスク１３とプリント基板３０を密着させた状態で、再びＣＣＤカメラ３８によって両者の位置合わせマークの位置を確認する操作を行ってもよい。
プリント基板とメタルマスクの位置合わせマークの位置が合っている場合は、その状態で印刷工程が行なわれる。合わなかった場合は、再び駆動機構３６が位置合わせ制御部３７の信号によって制御されて可動クランプ３４が移動し、両者の位置合わせマークが一致するよう微調整される。
【００３４】
印刷工程は、メタルマスク１３の上方に配置され、印刷方向（図３の矢印方向）に対して鋭角に傾けられて配設されたゴム状のへらであるスキージ３５を印刷方向へと移動させ、メタルマスクの開口部１４を介してプリント基板の表面にクリームはんだを刷り込むことで行なわれる。
クリームはんだとしては、微細な粉末のはんだ金属に充填材等を混合してクリーム状に形成されたものが使用される。
【００３５】
スキージ３５の移動が終了したら、プリント基板３０を凹部３１内に吸着固定させたままの状態でステージ２０を徐々に垂直に下降させ、プリント基板３０をメタルマスク１３から引き離す。これによりパッド上にクリームはんだが印刷されたプリント基板が形成される。
こうしてクリームはんだが印刷されたプリント基板は、電子部品を、その端子をクリームはんだに粘着させて実装した後、加熱処理が施されてはんだ付けが行なわれる。
【００３６】
このように本発明では、プリント基板とメタルマスクのどちらか一方、或いは両方に伸縮等による変形があっても、可動クランプを移動させてメタルマスクの形状を変形或いは補正することができるので、両者の位置合わせマークの位置を精度良く一致させることができる。これにより開口部とパッドの位置を一致させることができ、印刷ずれのないプリント基板を得ることができる。
【００３７】
また、このような構成から成るメタルマスク印刷版では、メタルマスクは外枠に張られた紗に固定されているので、作業者がメタルマスクを直接触る頻度が減り、取り扱いによって徒に凹凸等の変形が生じることがない。メタルマスクに変形が生じたとしても印刷時には、可動クランプの移動によって補正することができるので印刷に悪影響を及ぼすことがない。
さらに、メタルマスクには弾性力が無いので、紗の弾性力によって微妙な印刷精度を実現することができる。
【００３８】
従来、印刷後にステージを下降させてメタルマスクをプリント基板から引き離す際には、クリームはんだの付着力によってメタルマスクがプリント基板に密着し、メタルマスクが撓んで印刷状態が乱れてしまっていた。しかし、本発明のメタルマスク印刷版では、保持材が設けられて可動クランプによって保持されているので、メタルマスクの撓みが抑えられ、印刷状態を乱すことなく良好にメタルマスクを引き離すことができる。
【００３９】
また、本発明によると、比較的大きい面積のプリント基板に対してもその変形に対処することができるので、１枚の大判のプリント基板から最終的には多数の基板を切り分けて製造することができ、大量生産に有効である。
さらに、クリームはんだは、その一部分でもパッド上に載っていれば、クリームはんだ自身のセルフアライメント機能により、リフローの工程でパッド上に載るよう移動する。本発明を用いれば、この性質も合わさってショートやブリッジのない表面実装を提供することができる。
【００４０】
以上、本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明してきたが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは勿論のことである。
メタルマスクに配設される位置合わせマークの位置や数は限定されるものではない。勿論基板の位置合わせマークの位置や数もこれに従って変更される。
【００４１】
また、上記実施の形態では、１つのメタルマスク印刷版について４本の保持材が配設される場合について述べたがこれに限定されず、メタルマスクの一辺に対して複数の保持材が固着され、個々に移動可能にしても良い。
メタルマスクの位置合わせマークの数を多くすることで、プリント基板の変形状態を精度良く読取ることが可能となる。
さらに、保持材の数を増やすことで、メタルマスクの形状を高精度に補正することができるようになる。
【００４２】
また、ＣＣＤカメラでの撮影を作業者がモニターで拡大して見られるようにし、駆動機構を手動で作動可能に設けても良い。これによると、モニターでメタルマスクの位置合わせマークを見ながら、可動クランプを手動で移動させて位置合わせすることができるので、位置合わせの際の微調整が容易になり便利である。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、被印刷体やメタルマスクの変形に速やかに対応して、両者を高精度に位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の印刷装置におけるメタルマスク印刷版の斜視図である。
【図２】本発明に係る印刷装置の断面図である。
【図３】図２に示した印刷装置の印刷動作を示す断面図である。
【図４】図１に示すメタルマスク印刷版を上から見た際の概略図である。
【図５】プリント基板を模式的に示す概略図である。
【図６】保持材を移動させた際のメタルマスク印刷版を示す概略図である。
【図７】変形したプリント基板を模式的に示す概略図である。
【図８】保持材の固着方法を示す概略図である。
【図９】従来のメタルマスク印刷版を示す概略図である。
【符号の説明】
１０  メタルマスク印刷版
１１  外枠
１２  紗
１３  メタルマスク
１４  開口部
１５  位置合わせマーク
１６  保持材
２０  ステージ
３０  プリント基板
３１  凹部
３２  吸引孔
３３  固定部
３４  可動クランプ
３５  スキージ
３６  駆動機構
３７  位置合わせ制御部
３８  ＣＣＤカメラ
８０  メタルマスク印刷版
８１  外枠
８２  紗
８３  メタルマスク
８４  開口部
８５  位置合わせマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004148644.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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