(57)【要約】      （修正有）【課題】被回転物を真空吸着し、空気静圧により回転軸が均一に軸受上に浮上し、その位置を常に一定に保ち得ると共に、少ない空気量で高い軸受剛性が得られる回転チャック機構を提供する。【解決手段】回転軸１、該回転軸に被回転物５を保持する真空吸着機構、及び回転軸を回転自在に空気静圧により非接触に軸受けするラジアル軸受２とスラスト軸受３を備える回転チャック機構であって、回転軸は、被回転物を真空吸着する真空チャック６、回転軸の軸芯に形成される真空穴及び該真空穴に連通する複数の真空吸引孔１ｃを含み、ラジアル軸受は、高圧空気を吹き出す多孔質体２ａ、該多孔質体の両側に設けられたランド部、回転軸の真空吸引孔を包囲する真空吸引溝及び該真空吸引溝に連通する真空吸引孔を含んでいる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸、該回転軸に被回転物を保持する真空吸着機構、及び回転軸を回転自在に空気静圧により非接触に軸受けするラジアル軸受とスラスト軸受、を備える回転チャック機構において、
回転軸は、被回転物を真空吸着する真空チャック、回転軸の軸芯に形成される真空穴及び該真空穴に連通する複数の真空吸引孔を含み、
ラジアル軸受は、高圧空気を吹き出す空気吹き出し口、該空気吹き出し口の両側に設けられたランド部、回転軸の真空吸引孔を包囲する真空吸引溝及び該真空吸引溝に連通する真空吸引孔を含み、
前記ランド部は、さらに、前記真空吸引溝の両側に設けられていることを特徴とする回転チャック機構。
【請求項２】
空気吹き出し口は、多孔質体で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の回転チャック機構。
【請求項３】
多孔質体の吹き出し面、ランド部表面及び真空吸引溝の吸引開口面は、面一に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の回転チャック機構。
【請求項４】
空気吹き出し口は、真空吸引溝に対して軸方向に対を成して配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の回転チャック機構。
【請求項５】
空気吹き出し口と真空吸引溝との間のランド部の長さは、回転軸浮上時該ランド部と回転軸との間に形成される隙間の間隔の５０倍以上であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の回転チャック機構。
【請求項６】
回転軸の真空吸引孔は、該回転軸の軸芯に対して回転対称となるように配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の回転チャック機構。
【請求項７】
ラジアル軸受は、セラミックで形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の回転チャック機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク、ＤＶＤ等の被回転物を保持し、正確に回転させ、情報を書き込み、読み出しする情報機器や、マシニングセンタや研削盤等の加工用のツール又は被加工物を保持する加工機械等に用いる回転チャック機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被回転物を回転自在に保持するための真空吸着機構を有する回転チャック機構は、機械加工装置や情報機器に多く使われており、近年では、１μｍ以下の高い回転精度が要求されている。
【０００３】
被回転物を保持するための回転チャック機構の代表的なものとして、被回転物を保持する軸端面の反対側の端面に設けられた、シール機構を備えた空気コネクタを介してエアポンプのような真空源に連通されるものが知られている（特許文献１参照）。このような従来例につき、図３を用いて簡単に説明する。
【０００４】
図３において、１１は、回転軸、１２は、非接触型の回転軸１１用ラジアル軸受、１３は、非接触型の回転軸１１用スラスト軸受、１４は、ハウジング、１５は、被回転物、１６は、被回転物１５を保持する真空チャックである。回転軸１１は、ラジアル軸受１２で回転自在に保持され、さらに、スラスト軸受１３で軸方向の拘束を得ている。回転軸１１軸心部には、真空チャック１６に連通する空気吸引通路としての空気通路１１ａが形成されている。１７は、回転軸１１を回転させるためのモータ、１８は、真空源（不図示）と空気通路１１ａとを接続する空気コネクタである。該空気コネクタ１８は、回転軸１１を回転自在の状態を維持しつつ、被回転物１５を該回転軸１１の一方の軸端面に設けられている真空チャック１６に保持できるように、該真空チャック１６が設けられている軸端面とは反対側の、回転軸１１の他方の軸端面に設けられている。空気コネクタ１８には、また、回転軸１１との接続部分をシールすると共に、自身を回転軸１１に対して浮上させるための給気通路１８ａ、真空吸引するための真空源に連通する吸引通路１８ｂが備えられている。このような構成により、回転軸１１は、空気コネクタ１８と非接触状態で真空源と接続され、それによって、回転軸１１の回転が維持されつつ、被回転物１５は、真空チャック１６において安定して真空吸着され得る。
【０００５】
また、ラジアル軸受の軸方向中間部であって回転軸の周囲に溝を設け、これを介して真空源に連通され、被回転物を保持する回転チャック機構が提案されている（特許文献２参照）。この機構では、気体軸受に供給された圧縮空気を排気する排気通路と、真空チャックの空気吸引通路とを共通化したことを特徴としている。図４（ａ）、（ｂ）を用いて、この従来例につき簡単に説明する。
【０００６】
図４（ａ）、（ｂ）において、２１は、回転軸、２２は、回転軸２１の非接触軸受としてのラジアル軸受、２３は、閉塞体、２４は、ハウジング、２５は被回転物、２６は、被回転物２５を保持する真空チャック、２７は、回転用モータの出力軸である。回転軸２１の軸心部には、真空チャック２６の吸引孔に連通する真空吸引通路としての真空穴２１ａが形成され、回転軸２１の軸方向中間部外周には、環状排気溝２１ｂが形成され、また、真空穴２１ａと環状排気溝２１ｂとを連通する複数の連通孔２１ｃが形成されている。ラジアル軸受２２は、金属製多孔質体２２ａで構成されており、ハウジング２４との間に環状給気室２２ｂを形成している。上記環状排気溝２１ｂは、ラジアル軸受２２と回転軸２１との間に形成されている環状空間に直接連通している。閉塞体２３は、真空チャック２６とで回転軸１の真空穴２１ａ両端を閉塞すると共に、スラスト軸受を構成している。ハウジング４には、環状給気室２２ｂに連通する給気孔２４ａ及び環状排気溝２１ｂに連通する吸引兼排気孔２４ｂが設けられている。
【０００７】
給気孔２４ａを介して環状給気室２２ｂに供給された圧縮空気は、多孔質体２２ａを通過してラジアル軸受２２と回転軸１との間の環状空間としての軸受隙間に送られ、これにより、回転軸２１をラジアル軸受２２上に浮上させ、該ラジアル軸受２２と回転軸２１とを非接触状態に維持する。高圧空気は、環状排気溝２１ｂに集められ、真空穴２１ａ、連通孔２１ｃを経由して真空形成のために吸引される空気と共に、吸引兼排気孔２４ｂを通ってポンプ等の真空源に吸引され、外部に排出される。
【０００８】
図４（ｂ）に、多孔質体２２ａ、環状排気溝２１ｂ、吸引兼排気孔２４ｂの関係がより詳細に示されている。図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ断面を示している。図４（ｂ）に示されるように、非接触軸受機能を達成すべく、環状排気溝２１ｂに連通する吸引兼排気孔２４ｂを多孔質体２２ａと直接的に連通しないようにするため、環状の多孔質体２２ａに形成された穴の中に、該吸引兼排気孔２４ｂが設けられているハウジング２４が入り込む構造となっている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平６−７３６号公報
【００１０】
【特許文献２】
特開２００２−５２４２９号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、近年、情報機器や加工装置に要求される１μｍ以下の高い回転精度を持つ回転を実現しつつ、被回転物を安定して保持する回転チャック機構として、上記のような従来例が提案されているが、これらの従来例にも依然として以下のような問題点があり、不十分であった。
【００１２】
空気コネクタを使用する回転チャック機構では、空気コネクタ１８の径が小さければ小さいほど、空気コネクタ１８に対応する回転軸１１の部分の周速が遅くなることになり、発熱の点から有利であった。しかしながら、このような機構では、空気コネクタ１８の構造が複雑になり、かつ、全長が長くなるので、装置を小型化できないという問題がある。さらに、空気コネクタ１８が回転軸１１を引き付ける力を発生するため、吸引時と非吸引時とで、回転軸１１又は空気コネクタ１８の位置が軸方向に変化するという問題が生ずる恐れがある。
【００１３】
また、圧縮空気を排気する排気通路と真空チャックの空気吸引通路とを共通化する回転チャック機構においては、上記空気コネクタによる機構で問題となった吸着時に軸方向に力が生じるということはなくなり、かつ、装置全体の長さも短くできるという利点がある。
【００１４】
しかし、この機構においては、ラジアル軸受２２のほぼ全面が多孔質体２２ａで構成されているため、多孔質体２２ａから吹き出される空気量が多く、さらに環状排気溝２１ｂと多孔質体２２ａとが連通しているため、多孔質体２２ａから吹き出される空気のほとんどが環状排気溝２１ｂを通り抜け外部に排出されてしまう。このため、大きな浮上力を得るためには、給気および排気の量を多くする必要があり、図には示されていないが、排気空気を給気空気用に再循環させるなどの工夫が必要であった。
【００１５】
また、高圧空気の流れが、多孔質体２２ａや環状給気室２２ｂを通って直接吸引兼排気孔２４ｂへ短絡しないように、吸引兼排気孔２４ｂを独立して環状排気溝２１ｂに接続するためには、図４（ｂ）に示されるように、多孔質体２２ａの周方向の一部が欠かれた（多孔質体２２ａが存在しない）構造をとらなければならず、このため浮上力にアンバランスが生じ、高精度な回転が得られないという問題が生ずる恐れがある。さらに、多孔質体２２ａは金属製であるため、穴あけや溝形成等の機械加工をする上で、いわゆるバリやカエリ等の微妙な突起部分が残り、結果として、回転軸２１及びラジアル軸受２２の加工に非常に手間がかかるという問題もある。
【００１６】
本発明は、上記問題点に鑑み、空気静圧により回転軸が均一に軸受上に浮上し、その位置を常に一定に保ち得ると共に、少ない空気量で高い軸受剛性が得られる回転チャック機構を提供することを目的としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の回転チャック機構は、回転軸、該回転軸に被回転物を保持する真空吸着機構、及び回転軸を回転自在に空気静圧により非接触に軸受けするラジアル軸受とスラスト軸受、を備える回転チャック機構において、回転軸は、被回転物を真空吸着する真空チャック、回転軸の軸芯に形成される真空穴及び該真空穴に連通する複数の真空吸引孔を含み、ラジアル軸受は、高圧空気を吹き出す空気吹き出し口、該空気吹き出し口の両側に設けられたランド部、回転軸の真空吸引孔を包囲する真空吸引溝及び該真空吸引溝に連通する真空吸引孔を含み、前記ランド部は、さらに、前記真空吸引溝の両側に設けられていることを特徴とする。
【００１８】
また、前記空気吹き出し口は、多孔質体で形成されていることが好ましい。
【００１９】
さらに、前記空気吹き出し口としての多孔質体の吹き出し面、ランド部表面及び真空吸引溝の吸引開口面は、面一に形成されていてもよい。
【００２０】
また、前記空気吹き出し口は、真空吸引溝に対して軸方向に対を成して配置されていること、多孔質体と真空吸引溝との間のランド部の長さは、回転軸浮上時該ランド部と回転軸との間に形成される隙間の間隔の５０倍以上であること及び回転軸の真空吸引孔は、該回転軸の軸芯に対して回転対称となるように配置されていることが好ましい。
【００２１】
さらに、ラジアル軸受は、セラミックで形成されていることが好ましい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る回転チャック機構の詳細を、図１、２を用いて説明する。図１は、本発明の１実施態様に係る回転チャック機構の一部断面概略図であり、図２は、その要部拡大断面図であり、（ａ）は、図１の断面部分と同じ断面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は、空気吹き出し口の別の構造を備える（ｂ）と同様の断面図である。
【００２３】
図１、２において、１は、回転軸、２は、回転軸１のラジアル軸受、３は、回転軸１のスラスト軸受、４は、ハウジング、５は、被回転物、６は、被回転物５を保持するための真空チャック、７は、回転軸１を回転駆動するモータの出力軸である。
【００２４】
回転軸１は、軸方向のスラスト軸受３を構成するための円盤状のフランジ１ａ、その一方の端部が真空吸着チャック６に接続している回転軸１の軸芯に沿って形成される真空穴１ｂ、該真空穴１ｂの他方の端部に連通し、該真空穴１ｂから半径方向、すなわち、真空穴１ｂに対して直角の方向、に延びる複数の真空吸引孔１ｃを備えている。該真空吸引孔１ｃは、回転軸１の軸芯に対して回転対称となるように配置されることが好ましい。真空穴１ｂ、真空吸引孔１ｃは、真空ポンプなどの真空源（不図示）により真空チャック６を介して吸引される空気の通路を構成する。
【００２５】
ラジアル軸受２は、概略円筒状の軸受本体２’で形成され、その略中央部に１つの真空吸引機構を、及びその前方部分（真空吸着チャック６側）と後方部分（スラスト軸受３側）に、前記真空吸引機構を挟んで対をなす回転軸１の浮上機構としての給気機構を含んでいる。
【００２６】
真空吸引機構は、回転軸１の複数の真空吸引孔１ｃ全てを包囲し、したがって、該複数の真空吸引孔１ｃ全てに連通すると共に、軸受本体２’の内周面に沿って環状に形成された内側真空吸引溝２ｄ、該内側真空吸引溝２ｄに連通し、半径方向外周に向けて延びる複数の真空吸引孔２ｅ及び該複数の真空吸引孔２ｅ全てに連通し、軸受本体２’の外周面に沿って環状に形成された外側真空吸引溝２ｆから構成されている。なお、２’ｄは、内側真空吸引溝２ｄの、回転軸１に向いて開口する開口面である。
【００２７】
また、給気機構は、回転軸１を空気静圧で浮上させるための機構であって、軸受本体２’の内周面に沿って形成されている環状溝内に嵌めこまれ、高圧空気を回転軸１に向けて吹き出す空気吹き出し口としての環状多孔質体２ａ、その前後に配置されて高圧空気を吹き出さず、多孔質体２ａから吹き出された高圧空気を単に流すだけの領域であって、したがって、該高圧空気の流れに流量抵抗を生じさせるランド部２ｇ、２ｈ（図２参照）、空気吹き出し口としての多孔質体２ａに高圧空気を供給する複数の空気給気孔２ｂ及び該複数の空気給気孔２ｂ全てに連通し、軸受本体２’の外周面に沿って環状に形成された環状給気溝２ｃから構成されている。なお、２’ａは、高圧空気吹き出し面、すなわち、環状多孔質体２ａの内周面である。本実施例においては、給気機構は、真空吸引機構を挟んで一対設けられている例が示されているが、該給気機構は、複数対設けられていてもよい。
【００２８】
さらに、図２（ａ）からも理解されるように、ランド部２ｇ、２ｈ表面は、軸受本体２’の内周面そのものである。さらに、多孔質体２ａの吹き出し面２’ａとランド部２ｇ、２ｈ表面とは、図２に示されるように、面一に、すなわち、同一内径の円筒状に形成されていることが好ましい。このように面一に構成することにより、回転軸１と多孔質体２ａの吹き出し面２’ａとの間に空気溜まり部分が形成されることがなく、それによって、高圧空気の吹き出しによる振動の発生が防止される。
【００２９】
また、多孔質体２ａは、図２（ｂ）に示されるように、環状に連続して（一体に）形成されていることが好ましい。しかし、図２（ｃ）に示されるように、多孔質体２ａは、軸受本体２’の内周面に沿うように環状に配置されているが、不連続、すなわち、内周方向に間隔（ランド部）をおいて配置されていてもよい。この場合、軸受本体２’に形成されている真空吸引孔２ｅは、図２（ｃ）にも示されるように、各多孔質体２ａに対応してそれぞれ設けられる必要がある。
【００３０】
ラジアル軸受２に多孔質体２ａを一体的に形成するには、例えば、ラジアル軸受２ａを熱膨張可能な材料で形成するのであれば、ラジアル軸受本体２’を加熱して膨張させ、予め該ラジアル軸受本体２’に形成されている溝に、環状に形成された多孔質体２ａを嵌め込むようにすればよい。あるいは、ラジアル軸受２をセラミックで形成するのであれば、セラミック焼成前に、有機材料からなる環状多孔質体２ａを予め型内に設置しておき、この型内にセラミック原料の懸濁液である沈奨を流し込んで素材を作り、該素材を焼成することにより、内側に部分的に多孔質体２ａを備えるラジアル軸受２を形成し得る。このように、ラジアル軸受２をセラミックで形成すると、加工時にバリやカエリが生じることがない。
【００３１】
スラスト軸受３は、回転軸１の円盤状フランジ１ａの表裏両面に向かって高圧空気を吹き出して非接触軸受を構成するための高圧空気吹き出し口としての多孔質体３ａ及び該多孔質体３ａに高圧空気を供給する給気孔３ｂを含んでいる。
【００３２】
ハウジング４には、ラジアル軸受２及びスラスト軸受３が固定されている。さらに、該ハウジング４には、ラジアル軸受２に高圧空気を供給すべく、外方が接続パイプ（不図示）を介して圧縮ポンプ等の高圧空気源（不図示）に連通し、内方が環状給気溝２ｃに連通する給気孔４ａ、及び外方が接続パイプ（不図示）を介して真空源（不図示）に連通すると共に、内方がラジアル軸受２の環状の外側真空吸引溝２ｆに連通する真空吸引孔４ｂが形成されている。
【００３３】
以上のような構成を有する本発明に係る回転チャック機構は、真空源を構成するポンプが駆動されることにより、真空チャック６、真空穴１ｂ、真空吸引孔１ｃ、内側真空吸引環状溝２ｄ、真空吸引孔２ｅ、外側真空吸引環状溝２ｆ及び真空吸引孔４ｂを介して空気が吸引され、それにより真空チャック６前面において被回転物５が吸着され得る。
【００３４】
一方、高圧空気源における圧縮ポンプが駆動されると、ハウジング４の給気孔４ａ、ラジアル軸受２の環状給気溝２ｃ、給気孔２ｂ及び多孔質体２ａを介して空気吹き出し口としての多孔質体２ａから高圧空気が吹き出され、それにより、ラジアル軸受２と回転軸１との間に空気が入り込み、軸受隙間９が形成される。高圧空気は、ランド部２ｇと回転軸１との間の軸受隙間９を介して、及びランド部２ｈと回転軸１との間の軸受隙間９、内側真空吸引環状溝２ｄ、真空吸引孔２ｅ、外側真空吸引環状溝２ｆ及び真空吸引孔４ｂを介して大気に排出される。
【００３５】
高圧空気は、ランド部２ｇ、２ｈと回転軸１との間の軸受隙間９を通過する時、流路が絞られることによる空気抵抗を受け、それにより高圧空気が有している動圧が静圧に変えられ、回転軸１をラジアル軸受２上に浮上させる。すなわち、ラジアル軸受２のランド部２ｇ、２ｈと回転軸１との間に形成される軸受隙間９は、高圧空気の流れに対して抵抗体となり、空気流量を制限すると共に、回転軸１に対する浮上力を高めている。なお、軸受隙間９の空気抵抗（流量抵抗）が大きいため、内側真空吸引溝２ｄから空気が吸引されても、高圧空気が多孔質体２ａを通過するときに圧力降下を生じることはない。結果として、回転軸１は、多孔質体２ａから吹き出される高圧空気によりラジアル軸受２上に浮上する。
【００３６】
このようにして、本発明に係る回転チャック機構は、被回転物５を回転自在に真空吸着することができる。
【００３７】
本発明によれば、ランド部２ｇ、２ｈと回転軸１との間に形成される軸受隙間９の間隔（距離）は、１０μｍ以下にすることが可能であり、本発明に係る回転チャック機構のラジアル軸受２は、軸受隙間９がこのように非常に狭い間隔であっても充分に非接触型軸受として機能し得る。ところで、環状の内側真空吸着溝２ｄにつながるランド部２ｈと回転軸１との間に形成される軸受隙間９においては、ランド部２ｇと回転軸１との間に形成される軸受隙間９と違って、真空源により空気が吸引されるので、この間を流れる高圧空気の流量抵抗を上げる必要がある。当該軸受隙間９を通る高圧空気の流量抵抗を上げるには、形成される軸受隙間９の間隔に対してランド部２ｈの長さを長くとる必要があるが、実験の結果、ランド部２ｈの長さは、軸受隙間９の間隔に対して５０倍以上の長さが必要であることがわかった。ランド部２ｈの長さがそれ以下であると、軸受隙間９における流量抵抗が小さくなり、高圧空気が多孔質体２ａを通過するときに圧力降下を生じさせ、回転軸１の浮上力が小さくなり非接触型軸受としての機能を損なう。これらのことから、軸受隙間９が、本実施態様のように約１０μｍであるとすると、ランド部２ｈの長さは、本実施態様の場合、約０．５ｍｍ以上あることが好ましい。
【００３８】
本発明において、多孔質体２ａは、金属製であってもよいし、セラミックのような硬脆性材料であってもよい。いずれにしても、該多孔質体２ａ自体には何の加工も施されることがないので、バリやカエリなどが生じることがない。また、ラジアル軸受２の外周部に、給気孔２ｂあるいは真空吸引孔２ｅにそれぞれ連通する環状給気溝２ｃや環状の外側真空吸引溝２ｆを形成することにより、ハウジング４の形状を単純に円筒形とすることが可能であり、加工精度を上げることができる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明に係る回転チャック機構は、回転軸を静圧浮上させ、被回転物を真空吸着するものであって、回転自在に静圧浮上させる浮上機構と、真空吸着のための真空吸着機構を一体のラジアル軸受で構成させているので、構造が単純で高い加工精度を上げることができ、それによって高い回転精度を得ることができると共に、被回転物の吸着の有無に拘らず回転軸の軸方向の位置を常に一定に保つことが可能である。又軸受隙間を小さくすることが可能であるから、軸受剛性も高くすることができる。さらに、軸受が一体で構成されていることから、軸受長さを小さくでき、装置の小型化、低製造コスト化につながる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施態様に係る回転チャック機構の軸方向鉛直面で一部断面した概略図である。
【図２】図１の要部拡大断面図であり、（ａ）は、図１の断面部分と同じく軸方向鉛直面で一部断面した図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図、（ｃ）は、空気吹き出し口の別の構造を備える（ｂ）と同様の断面図である。
【図３】第１の従来例の概略断面図である。
【図４】第２の従来例の一部断面概略図を示し、（ａ）は、軸方向鉛直面で一部断面した図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線に沿って断面した図である。
【符号の説明】
１          回転軸
１ａ        （回転軸の）円盤状フランジ
１ｂ        （回転軸の）真空穴
１ｃ        （回転軸の）真空吸引孔
２          ラジアル軸受
２’        （ラジアル軸受の）軸受本体
２ａ        （ラジアル軸受の）多孔質体
２’ａ      （多孔質体の）吹き出し面
２ｂ        （ラジアル軸受の）給気孔
２ｃ        （ラジアル軸受の）環状給気溝
２ｄ        （ラジアル軸受の）内側真空吸引環状溝
２ｅ        （ラジアル軸受の）真空吸引孔
２ｆ        （ラジアル軸受の）外側真空吸引環状溝
２ｇ、２ｈ  （ラジアル軸受の）ランド部
３          スラスト軸受
３ａ        （スラスト軸受の）多孔質体
３ｂ        （スラスト軸受の）給気孔
４          ハウジング
４ａ        （ハウジングの）給気孔
４ｂ        （ハウジングの）真空吸引孔
５          被回転物
６          真空チャック
７          モータの出力軸
９          軸受隙間
１１        回転軸
１１ａ      空気通路
１２        ラジアル軸受
１３        スラスト軸受
１４        ハウジング
１５        被回転物
１６        真空チャック
１７        モータ
１８        空気コネクタ
１８ａ      給気通路
１８ｂ      吸引通路
２１        回転軸
２１ａ      真空吸引穴
２１ｂ      環状排気溝
２１ｃ      連通孔
２２        ラジアル軸受
２２ａ      多孔質体
２２ｂ      環状給気室
２３        閉塞体（スラスト軸受）
２４        ハウジング
２４ａ      環状給気室
２４ｂ      吸引兼排気孔
２５        被回転物
２６        真空チャック
２７        モータの出力軸
【図１】
2004230496.tif 000003
【図２】
2004230496.tif 000004
【図３】
2004230496.tif 000005
【図４】
2004230496.tif 000006