(57)【要約】【課題】半田ペーストの印刷に使われる印刷マスクのクリーニング時間を短縮する。【解決手段】クリーニング用コットンシート３７の未使用面を印刷マスク３１の転写面に接触させながら、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３、巻き取りローラ３４、溶剤供給部３６およびエアーブロア３５をテープ基板２１の搬送方向と直交する方向に一体的に水平移動させることにより、テープ基板２１の短手方向に沿って印刷マスク３１のクリーニングを行う。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路ブロックが連ねられた連続体上に導電材を転写する印刷マスクと、
前記連続体の搬送方向と交差する方向にクリーニング材を移動させることにより、前記印刷マスクの転写面のクリーニングを行うクリーニング手段とを備えることを特徴とする導電材の印刷装置。
【請求項２】
前記クリーニング手段は、前記連続体の搬送方向と直行する方向に前記クリーニング材を水平移動させることを特徴とする請求項１記載の導電材の印刷装置。
【請求項３】
前記印刷マスクの長さは、複数の回路ブロック分の長さに対応していることを特徴とする請求項１記載の導電材の印刷装置。
【請求項４】
前記クリーニング材の幅は、前記印刷マスクの転写面の長さ以上あることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の導電材の印刷装置。
【請求項５】
前記クリーニング手段は、前記クリーニング材を巻き出す巻き出しローラと、
前記クリーニング材を巻き取る巻き取りローラと、
前記巻き出しローラから巻き出されたクリーニング材を溶剤で濡らしながら、前記クリーニング材を前記印刷マスクの転写面に押し付ける溶剤供給部と、
前記クリーニング材が掛け渡され、前記クリーニング材に付着した異物を吸引する吸引ローラと、
前記巻き出しローラ、前記巻き取りローラ、前記吸引ローラおよび前記溶剤供給部を一体的に水平移動させる水平移動手段と、
前記溶剤供給部を上下移動させる第１上下移動手段と、
前記吸引ローラを上下移動させる第２上下移動手段とを備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の導電材の印刷装置。
【請求項６】
印刷マスク上に形成された導電材を回路ブロックが連ねられた連続体上に転写する工程と、
前記印刷マスクの転写面にクリーニング材を接触させる工程と、
前記転写面に接触させられたクリーニング材を巻き取りながら、前記連続体の搬送方向と交差する方向に前記クリーニング材を移動させる工程とを備えることを特徴とする印刷マスクのクリーニング方法。
【請求項７】
前記印刷マスクの転写面に空気を吹き付ける工程と、
前記クリーニング材に付着した異物を吸引する工程とをさらに備えることを特徴とする請求項６記載の印刷マスクのクリーニング方法。
【請求項８】
印刷マスク上に形成された導電材を回路ブロックが連ねられた連続体上に転写させるステップと、
前記印刷マスクの転写面にクリーニング材を接触させるステップと、
前記転写面に接触させられたクリーニング材を巻き取らせながら、前記連続体の搬送方向と交差する方向に前記クリーニング材を移動させるステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする印刷マスクのクリーニングプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は導電材の印刷装置、印刷マスクのクリーニング方法および印刷マスクのクリーニングプログラムに関し、特に、特に、電子部品が実装されたテープ基板などにおける半田印刷後の印刷マスクのクリーニング方法に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置製造においては、ＣＯＦ（ｃｈｉｐ  ｏｎ  ｆｉ１ｍ）モジュールやＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）モジュール等における回路基板にリフロー方式により例えば半導体チップを実装する工程がある。ここで、テープ基板のリフロー処理を行う場合、生産効率を向上させるため、複数の回路ブロックを一括して熱処理する方法がある。このため、リフロー処理の前段では、印刷マスク上に形成された半田ペーストをテープ基板上に転写することにより、複数の回路ブロックについて一括して半田ペーストを印刷する方法が採られている。
【０００３】
そして、印刷マスクの転写面が汚れた場合には、テープ基板の搬送を一旦中断し、溶剤を染み込ませたクリーニングコットンで印刷マスクの転写面を拭き取ることにより、印刷マスクをクリーニングすることが行なわれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、複数の回路ブロックについて一括して半田ペーストを印刷する方法では、印刷マスクの長さが長くなり、クリーニングコットンで印刷マスクの転写面を拭き取る際の拭き取り長が増大する。
このため、印刷マスクのクリーニングにかかるクリーニング時間が長くなり、テープ基板の搬送の中断時間が長くなることから、生産効率が却って劣化することがあるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、導電材の印刷に使われる印刷マスクのクリーニング時間を短縮することが可能な導電材の印刷装置、印刷マスクのクリーニング方法および印刷マスクのクリーニングプログラムを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明の一態様に係る導電材の印刷装置によれば、回路ブロックが連ねられた連続体上に導電材を転写する印刷マスクと、前記連続体の搬送方向と交差する方向にクリーニング材を移動させることにより、前記印刷マスクの転写面のクリーニングを行うクリーニング手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
これにより、連続体の搬送方向と異なる方向に沿って印刷マスクのクリーニングを行うことが可能となる。このため、連続体の搬送方向に沿って印刷マスクの長さが増大した場合においても、クリーニング材の移動距離の増加を抑制することができ、印刷マスクのクリーニングにかかるクリーニング時間を短縮することを可能として、生産効率を向上させることが可能となる。
【０００８】
また、本発明の一態様に係る導電材の印刷装置によれば、前記クリーニング手段は、前記連続体の搬送方向と直行する方向に前記クリーニング材を水平移動させることを特徴とする。
これにより、連続体の短手方向に沿ってクリーニング材を移動させることができる。このため、連続体の搬送方向に沿って印刷マスクの長さが増大した場合においても、クリーニング材の移動距離の増加を抑制することが可能となり、印刷マスクのクリーニングにかかるクリーニング時間を短縮することが可能となる。
【０００９】
また、本発明の一態様に係る導電材の印刷装置によれば、前記印刷マスクの長さは、複数の回路ブロック分の長さに対応していることを特徴とする。
これにより、印刷マスク上に形成された導電材を連続体上に転写することにより、複数の回路ブロックについて一括して半田ペーストを印刷することが可能となり、電子部品を連続体上に実装する際の生産効率を向上させることが可能となる。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る導電材の印刷装置によれば、前記クリーニング材の幅は、前記印刷マスクの転写面の長さ以上あることを特徴とする。
これにより、クリーニング材を複数の回路ブロックに接触させながら、印刷マスクの転写面を一括してクリーニングすることが可能となる。このため、印刷マスクの長さが複数の回路ブロック分の長さに対応している場合においても、印刷マスクのクリーニングにかかるクリーニング時間を短縮することが可能となり、連続体の搬送の中断時間を短縮することを可能として、生産効率を向上させることが可能となる。
【００１１】
また、本発明の一態様に係る導電材の印刷装置によれば、前記クリーニング手段は、前記クリーニング材を巻き出す巻き出しローラと、前記クリーニング材を巻き取る巻き取りローラと、前記巻き出しローラから巻き出されたクリーニング材を溶剤で濡らしながら、前記クリーニング材を前記印刷マスクの転写面に押し付ける溶剤供給部と、前記クリーニング材が掛け渡され、前記クリーニング材に付着した異物を吸引する吸引ローラと、前記巻き出しローラ、前記巻き取りローラ、前記吸引ローラおよび前記溶剤供給部を一体的に水平移動させる水平移動手段と、前記溶剤供給部を上下移動させる第１上下移動手段と、前記吸引ローラを上下移動させる第２上下移動手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】
これにより、クリーニング材の未使用面を印刷マスクの転写面に接触させながら、連続体の搬送方向と異なる方向に沿って印刷マスクのクリーニングを行うことが可能となるとともに、印刷マスクの転写面から除去された異物の再付着を防止することが可能となり、印刷マスクの転写面を効率よくクリーニングすることが可能となる。
【００１３】
また、本発明の一態様に係る印刷マスクのクリーニング方法によれば、印刷マスク上に形成された導電材を回路ブロックが連ねられた連続体上に転写する工程と、前記印刷マスクの転写面にクリーニング材を接触させる工程と、前記転写面に接触させられたクリーニング材を巻き取りながら、前記連続体の搬送方向と交差する方向に前記クリーニング材を移動させる工程とを備えることを特徴とする。
【００１４】
これにより、クリーニング材の未使用面を印刷マスクの転写面に接触させながら、連続体の搬送方向と異なる方向に沿って印刷マスクのクリーニングを行うことが可能となる。このため、連続体の搬送方向に沿って印刷マスクの長さが増大した場合においても、クリーニング材の移動距離の増加を抑制することができ、印刷マスクのクリーニングにかかるクリーニング時間を短縮することが可能となる。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る印刷マスクのクリーニング方法によれば、前記印刷マスクの転写面に空気を吹き付ける工程と、前記クリーニング材に付着した異物を吸引する工程とをさらに備えることを特徴とする。
これにより、印刷マスクの転写面に付着している異物を除去することが可能となるとともに、印刷マスクの転写面から除去された異物の再付着を防止することが可能となり、印刷マスクの転写面を効率よくクリーニングすることが可能となる。
【００１６】
また、本発明の一態様に係る印刷マスクのクリーニングプログラムによれば、印刷マスク上に形成された導電材を回路ブロックが連ねられた連続体上に転写させるステップと、前記印刷マスクの転写面にクリーニング材を接触させるステップと、前記転写面に接触させられたクリーニング材を巻き取らせながら、前記連続体の搬送方向と交差する方向に前記クリーニング材を移動させるステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１７】
これにより、印刷マスクのクリーニングプログラムをインストールすることで、クリーニング材の未使用面を印刷マスクの転写面に接触させながら、連続体の搬送方向と異なる方向に沿って印刷マスクのクリーニングを行わせることが可能となり、クリーニング制御を行なうためのハードウェア構成の複雑化を抑止しつつ、印刷マスクのクリーニングにかかるクリーニング時間を短縮することが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る導電材の印刷装置および印刷マスクのクリーニング方法について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る電子デバイス製造方法を示す図である。
図１において、ローダ１とアンローダ５との間には、半田塗布ゾーン２、マウントゾーン３およびリフローゾーン４が、テープ基板１１の搬送方向に沿って並べて配置されている。
【００１９】
一方、テープ基板１１には、電子部品搭載領域が回路ブロックＢ１〜Ｂ３ごとに設けられ、各回路ブロックＢ１〜Ｂ３には回路基板１１ａ〜１１ｃがそれぞれ設けられている。そして、各回路基板１１ａ〜１１ｃ上には配線１２ａ〜１２ｃがそれぞれ形成され、配線１２ａ〜１２ｃの端子部分が露出するようにして、各配線１２ａ〜１２ｃ上には絶縁膜１３ａ〜１３ｃが形成されている。
【００２０】
そして、所定長の回路基板１１ａ〜１１ｃが連ねられたテープ基板１１が、巻き出しリール１ａと巻き取りリール５ａとの間に架けられる。そして、テープ基板１１の各搬送タクトごとに、ローダ１とアンローダ５との間に設けられた半田塗布ゾーン２にテープ基板１１の未半田塗布領域が搬送され、半田塗布ゾーン２に並べて配置されたマウントゾーン３にテープ基板１１の半田塗布済領域が搬送され、マウントゾーン３に並べて配置されたリフローゾーン４にテープ基板１１のマウント済領域が搬送される。
【００２１】
そして、半田塗布ゾーン２にて、半田ペースト１４ａが回路基板１１ａ上に印刷され、マウントゾーン３にて、半田ペースト１４ｂが印刷された回路基板１１ｂ上に半導体チップ１５ｂがマウントされ、リフローゾーン４にて、半導体チップ１５ｃがマウントされた回路基板１１ｃのリフロー処理が行われることにより、半田ペースト１４ｃを介し半導体チップ１５ｃが回路基板１１ｃ上に固定される。
【００２２】
そして、テープ基板１１の全ての回路ブロックＢ１〜Ｂ３についての半田塗布処理、マウント処理およびリフロー処理が終了すると、切断ゾーン６にて、テープ基板１１が回路ブロックＢ１〜Ｂ３ごとに切断される。そして、切断された各回路ブロックＢ１〜Ｂ３は樹脂封止ゾーン７に移され、例えば、半導体チップ１５ｃの周囲に封止樹脂１６ｃを塗付することにより、回路ブロックＢ３を樹脂封止することができる。
【００２３】
これにより、巻き出しリール１ａと巻き取りリール５ａ間で、テープ基板１１を１回だけ搬送することで、回路基板１１ａ〜１１ｃについての半田塗布処理、マウント処理およびリフロー処理を完了させることが可能となるとともに、異なる回路基板１１ａ〜１１ｃについての半田塗布処理、マウント処理およびリフロー処理を同時に行うことが可能となり、生産効率を向上させることが可能となる。
【００２４】
なお、半田塗布ゾーン２、マウントゾーン３およびリフローゾーン４では、１回の搬送タクトにおいて、１個の回路ブロックＢ１〜Ｂ３ごとに半田塗布処理、マウント処理およびリフロー処理をそれぞれ行うこともできるが、１回の搬送タクトにおいて、複数の回路ブロックＢ１〜Ｂ３について一括して半田塗布処理、マウント処理およびリフロー処理をそれぞれ行うこともできる。ここで、複数の回路ブロックＢ１〜Ｂ３について一括して半田塗布処理を行う場合、半田塗布ゾーン２には、複数の回路ブロックＢ１〜Ｂ３分の長さに対応した印刷マスクを設けることができる。そして、印刷マスクに形成された半田ペースト１４ａ〜１４ｃを複数の回路ブロックＢ１〜Ｂ３に一括して転写することにより、複数の回路ブロックＢ１〜Ｂ３に対して半田ペースト１４ａ〜１４ｃを一括して印刷することができる。
【００２５】
図２は、本発明の第２実施形態に係る印刷マスクのクリーニング装置の概略構成を示す斜視図、図３は、図２の印刷マスクのクリーニング方法を示す側面図である。
図２、３において、テープ基板２１には、回路ブロック２３が長手方向に沿って連なるように配置され、各回路ブロック２３には、電子部品搭載領域が設けられている。また、テープ基板２１の両側には、テープ基板２１を搬送するための送り孔２２が所定ピッチで設けられている。なお、テープ基板２１の材質としては、例えば、ポリイミドなどを用いることができる。また、各回路ブロック２３上に搭載される電子部品としては、例えば、半導体チップ、チップコンデンサ、抵抗素子、コイルあるいはコネクタなどを挙げることができる。
【００２６】
そして、テープ基板２１の各回路ブロック２３上に半田ペーストを印刷する場合、図１の半田塗布ゾーン２にて、搬送されたテープ基板２１を一旦静止させる。そして、印刷マスク３１上に形成された半田ペーストをテープ基板２１上に転写することにより、各回路ブロック２３上に半田ペーストを印刷することができる。
【００２７】
ここで、半田ペーストを各回路ブロック２３上に印刷する場合、印刷マスク３１の長さをテープ基板２１に沿って伸ばすことにより、１回の搬送タクトにおいて、複数の回路ブロック２３上に半田ペーストを一括して印刷することができる。
例えば、印刷マスク３１の長さが３２０ｍｍであるとすると、１回の搬送タクトで印刷される半田印刷領域の長さの最大値は、例えば、３２０ｍｍに設定することができる。そして、テープ基板２１の送り孔２２の１ピッチは、例えば、４．７５ｍｍ、１個分の回路ブロック２３の長さは、例えば、送り孔２２の６〜１５ピッチ分の長さの範囲で変更可能であるとする。この場合、１回の搬送タクトで印刷される半田印刷領域の長さは、最大値＝３２０ｍｍを越えない範囲で、回路ブロック２３の個数が最も多くなるように設定することができる。例えば、１個分の回路ブロック２３の長さが送り孔２２の８ピッチ分の長さであるとすると、１個分の回路ブロック２３の長さは、４．７５×８＝３８ｍｍとなり、１回の搬送タクトで印刷される半田印刷領域の長さは、８個分の回路ブロック２３の長さ＝３０４ｍｍ≦３２０ｍｍとすることができる。このため、１回の搬送タクトで搬送されるテープ基板２１の長さ＝３０４ｍｍに設定することにより、１回の搬送タクトにおいて、８個分の回路ブロック２３に対して一括して半田ペーストを印刷することができる。
【００２８】
一方、印刷マスク３１のクリーニング装置には、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３および巻き取りローラ３４が設けられている。ここで、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３および巻き取りローラ３４は、各回転軸がテープ基板２１の搬送方向に沿うように配置されるとともに、巻き出しローラ３２と吸引ローラ３３とは所定間隔だけ隔てて配置され、巻き取りローラ３４は巻き出しローラ３２の下方に配置されている。そして、巻き出しローラ３２から巻き出されたクリーニング用コットンシート３７は、吸引ローラ３３を介して巻き取りローラ３４に巻き付けられる。また、巻き出しローラ３２と吸引ローラ３３との間には、アルコールなどの溶剤をクリーニング用コットンシート３７に供給する溶剤供給部３６が設けられ、溶剤供給部３６は、クリーニング用コットンシート３７の下面に接触可能なように配置されている。また、吸引ローラ３３の横にはエアーブロア３５が設けられ、エアーブロア３５は、印刷マスク３１の転写面に空気を吹き付けることができる。
【００２９】
そして、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３、巻き取りローラ３４、溶剤供給部３６およびエアーブロア３５は１つのユニットに組み込まれ、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３、巻き取りローラ３４、溶剤供給部３６およびエアーブロア３５は、テープ基板２１の搬送方向と直交する方向に一体的に水平移動可能とされている。また、吸引ローラ３３および溶剤供給部３６は、それぞれ個別に上下移動可能とされている。
【００３０】
ここで、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３および巻き取りローラ３４の回転軸方向の長さおよびクリーニング用コットンシート３７の幅は、印刷マスク３１の転写面の長さ以上とすることができる。
そして、印刷マスク３１の転写面のクリーニングを行う場合、図３（ａ）に示すように、印刷マスク３１をクリーニング用コットンシート３７上に移動させる。
【００３１】
そして、図３（ｂ）に示すように、溶剤供給部３６を上昇させ、クリーニング用コットンシート３７を下から押し上げることにより、クリーニング用コットンシート３７を溶剤で濡らしながら、クリーニング用コットンシート３７を印刷マスク３１の転写面に接触させる。そして、クリーニング用コットンシート３７が印刷マスク３１の転写面に接触すると、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３および巻き取りローラ３４を回転させ、クリーニング用コットンシート３７を搬送させる。そして、クリーニング用コットンシート３７を搬送しながら、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３、巻き取りローラ３４、溶剤供給部３６およびエアーブロア３５をテープ基板２１の搬送方向と直交する方向に一体的に水平移動させることにより、印刷マスク３１の転写面をクリーニングする。
【００３２】
これにより、クリーニング用コットンシート３７の未使用面を印刷マスク３１の転写面に接触させながら、テープ基板２１の短手方向に沿って印刷マスク３１のクリーニングを行うことが可能となる。このため、テープ基板２１の搬送方向に沿って印刷マスク３１の長さが増大した場合においても、クリーニング用コットンシート３７の移動距離の増加を抑制することができ、印刷マスク３１のクリーニングにかかるクリーニング時間を短縮することが可能となる。
【００３３】
また、クリーニング用コットンシート３７の幅を、印刷マスク３１の転写面の長さ以上とすることにより、クリーニング用コットンシート３７を複数の回路ブロック２３に同時に接触させながら、印刷マスク３１の転写面を一括してクリーニングすることが可能となる。このため、印刷マスク３１の長さが複数の回路ブロック２３分の長さに対応している場合においても、印刷マスク３１のクリーニングにかかるクリーニング時間を短縮することが可能となり、テープ基板２１の搬送の中断時間を短縮することを可能として、生産効率を向上させることが可能となる。
【００３４】
そして、クリーニング用コットンシート３７の接触部分が印刷マスク３１の転写面の端まで到達したら、図３（ｃ）に示すように溶剤供給部３６を下降させるとともに、吸引ローラ３３を上昇させることにより、クリーニング用コットンシート３７を介して吸引ローラ３３を印刷マスク３１の転写面に押し当てる。そして、吸引ローラ３３が印刷マスク３１の転写面に押し当てられると、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３および巻き取りローラ３４を回転させ、クリーニング用コットンシート３７を搬送させる。そして、クリーニング用コットンシート３７を搬送しながら、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３、巻き取りローラ３４、溶剤供給部３６およびエアーブロア３５を元の方向に水平移動させることにより、印刷マスク３１のクリーニングの仕上げを行う。
【００３５】
ここで、印刷マスク３１のクリーニングの仕上げを行う場合、エアーブロア３５から空気を吹き出させる。そして、エアーブロア３５から吹き出された空気を印刷マスク３１の転写面に吹き付けながら、吸引ローラ３３によりクリーニング用コットンシート３７を介して印刷マスク３１の吸引を行う。
これにより、印刷マスク３１の転写面に付着している異物を除去することが可能としつつ、印刷マスク３１の転写面から除去された異物の再付着を防止することが可能となり、印刷マスク３１の転写面を効率よくクリーニングすることが可能となる。
【００３６】
なお、上述した実施形態では、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３、巻き取りローラ３４および溶剤供給部３６が設けられたユニットを１個だけ設ける方法について説明したが、巻き出しローラ３２、吸引ローラ３３、巻き取りローラ３４および溶剤供給部３６が設けられたユニットを複数個設け、これらユニットが印刷マスク３１の転写面を分担してクリーニングするようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る電子デバイス製造方法を示す図。
【図２】第２実施形態の印刷マスクのクリーニング装置の構成を示す図。
【図３】図２の印刷マスクのクリーニング方法を示す図。
【符号の説明】
１  ローダ、１ａ  巻き出しリール、２  半田塗布ゾーン、３  マウントゾーン、４  リフローゾーン、５  アンローダ、５ａ  巻き取りリール、６  切断ゾーン、７  樹脂封止ゾーン、１１、２１  テープ基板、１１ａ〜１１ｃ  回路基板、１２ａ〜１２ｃ  配線、１３ａ〜１３ｃ  絶縁膜、１４ａ〜１４ｃ  半田ペースト、１５ｂ、１５ｃ  半導体チップ、１６ｃ  封止樹脂、Ｂ１〜Ｂ５、２３回路ブロック、２２  送り孔、３１  印刷マスク、３２  巻き出しローラ、３３  吸引ローラ、３４  巻き取りローラ、３５  エアーブロア、３６  溶剤供給部、３７  クリーニング用コットンシート
【図１】
2004230831.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004230831.tif 000005