(57)【要約】【課題】ノズルの乾燥防止を図るとともに、廃棄レジストを低減する。【解決手段】レジスト塗布装置１０は、工程の１ラインに複数配置されて切換え使用されるノズル１１と、ノズル１１に供給されるレジストを貯蔵するレジストタンク１２とを備えている。ノズル１１にはスリット状の吐出口が形成されている。レジストタンク１２とノズル１１とを接続する配管１３の途中には、配管１３を開閉する開閉弁１４が設けられている。配管１３においてレジストタンク１２と開閉弁１４との間には、ノズル１１へのリンス供給用の切換弁１５が設けられている。切換弁１５は、開閉弁１４とレジストタンク１２とを連通して開閉弁１４とリンスタンク１７との連通を遮断する状態と、開閉弁１４とリンスタンク１７とを連通して開閉弁１４とレジストタンク１２との連通を遮断する状態とを切換えるように形成されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット状の吐出口を備え、工程の１ラインに複数配置されて切換え使用されるノズルと、前記ノズルに供給されるレジストを貯蔵するレジストタンクと、前記レジストタンクと前記ノズルとを接続する配管の途中に設けられて前記配管を開閉する開閉弁とを備えたレジスト塗布装置であって、前記配管において前記レジストタンクと前記開閉弁との間に、前記ノズルへのリンス供給用の切換弁を設けたレジスト塗布装置。
【請求項２】
前記切換弁と前記開閉弁とが、前記ノズルと一体移動可能に構成されている請求項１に記載のレジスト塗布装置。
【請求項３】
前記切換弁から前記ノズルまでの前記配管の容量が、前記ノズルの内容量より少なくなるように前記配管の長さが設定されている請求項１に記載のレジスト塗布装置。
【請求項４】
前記切換弁と、前記開閉弁とが一体化されている請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のレジスト塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レジスト塗布装置に係り、詳しくは、スリット状の吐出口を備え、工程の１ラインに複数配置されて切換え使用されるノズルを備えるレジスト塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般にスピンコータでレジスト液を基板に塗布する場合は、基板の中央にレジスト液を所定量供給した状態で、基板を高速回転させることにより、遠心力でレジスト液を基板上に拡げることによって均一に塗布する。近年、液晶を利用したディスプレイの大型化が進み、液晶を製造する際のガラス基板も大型化し、液晶の製造工程において、ガラス基板にレジスト液を塗布するために使用するスピンコータの直径が１ｍ程度のものもある。そして、このように大型のガラス基板に膜厚１〜２μｍ程度にフォトレジストを所定の厚さで均一に塗布するには、ガラス基板の中央にレジスト液を供給した状態で、ガラス基板を高速回転させるだけでは、スジが放射状に入り易く均一塗布が難しい。そのため、従来スピンコータを使用してレジスト液の塗布を行う場合も、先ず、スリットを備えたノズルを使用して基板の表面にレジスト液を均一に塗布した後、基板を高速回転させて余分なレジスト液を除去して所定の膜厚に均一に塗布する方法がある。また、スリットを備えたノズルを使用して基板の表面にレジスト液を均一に塗布する場合、レジスト液の塗布後、基板を回転させないこともある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
これらの塗布方法を実施する際に使用するノズルでは、待機中にノズル先端が乾燥すると、レジスト液自身がゲル状となってガラス基板に付着する。また、カラーフィルタの製造工程においてカラーレジスト液の塗布に使用する場合には、乾燥した顔料がガラス基板に付着する状態となる。このようなレジスト液の付着や顔料の付着が発生すると、品質不良の製品が発生するため、ノズル先端の乾燥が発生するのを防止する必要がある。
【０００４】
そこで、待機中のノズルでも、レジストを間欠的にダミーディスペンスとして吐出することにより、ノズル先端の乾燥が発生するのを防止する方法がある。例えば図４に示すレジスト塗布装置は、スリット状の吐出口を備えるとともに工程の１ラインに複数配置されて切換え使用されるノズル４１を備えている。また、このレジスト塗布装置は、ノズル４１に供給されるレジストを貯蔵するレジストタンク４２と、レジストタンク４２とノズル４１とを接続する配管４３の途中に設けられた開閉弁４４とを備えている。ノズル４１先端からは、レジストが押出される。レジスト塗布装置には、ノズル４１〜開閉弁４４の組が複数備えられており、例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）及び黒の４種類のレジスト塗布に対応して、ノズル４１〜開閉弁４４の組が４組備えられている。
【０００５】
そして、例えば図５のタイムチャートに示すように、この４組のノズル（ａノズル〜ｄノズル）が順次切換え使用されてガラス基板にレジストが塗布される。例えば、Ｒのレジストがａノズルから所定時間（ここでは３時間）吐出され、その後、Ｇのレジストがｂノズルから所定時間吐出される。その後、同様に、Ｂのレジストがｃノズルから吐出され、その後、黒のレジストがｄノズルから吐出される。レジストは、一種類ずつ吐出され、ａノズルでのＲのレジストの塗布状態では、待機中の他のｂ〜ｄノズルは、ノズル先端が乾燥することを防ぐため、それぞれＧ、Ｂ、黒のレジストが間欠的にダミーディスペンスとして吐出される。同様に、ｂノズルが塗布状態、ｃノズルが塗布状態、ｄノズルが塗布状態のそれぞれで、待機中の他の３つのノズルは、ノズル先端の乾燥防止のため、それぞれのレジストが間欠的にダミーディスペンスとして吐出される。
【０００６】
なお、配管４３は、ガラス基板の上方を往復移動してレジストを塗布するノズル４１と、移動しない開閉弁４４とを接続する配管部４３ａがフレキシブルチューブになっており、開閉弁４４とレジストタンク４２とを接続する配管部４３ｂは、フレキシブルチューブではない普通の配管で形成されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平９−１３１５５９号公報（第４，５頁、第３図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のようにダミーディスペンスとして間欠的に吐出されるレジストは、廃棄レジストとなるため無駄になる。レジストは単価が高いため、廃棄レジストの増加により高コストになる。そこで、ダミーディスペンスとして間欠的に吐出するレジストの、各インターバル毎の吐出時間を短縮することにより廃棄レジスト量を低減する案がある。しかし、例えば上記のように４種類のレジストを同じ塗布時間毎に塗布する場合、待機時間が塗布時間より長くなり、待機時間が塗布時間の３倍にもなって長いため、結局、廃棄レジスト量の増加は避けられない。また、上記ではＲＧＢ及び黒の４種類のレジストの例で説明したが、カラーフィルタのガラス基板には少なくともＲＧＢの３種類のレジストを塗布する必要があり、３種類のレジストを塗布する場合でもやはり待機時間が長いため、廃棄レジスト量が増加し、コストが増加するという問題がある。
【０００９】
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、ノズルの乾燥防止を図るとともに、廃棄レジストを低減できるレジスト塗布装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明では、スリット状の吐出口を備え、工程の１ラインに複数配置されて切換え使用されるノズルと、前記ノズルに供給されるレジストを貯蔵するレジストタンクと、前記レジストタンクと前記ノズルとを接続する配管の途中に設けられて前記配管を開閉する開閉弁とを備えている。そして、前記配管において前記レジストタンクと前記開閉弁との間に、前記ノズルへのリンス供給用の切換弁を設けている。
【００１１】
この発明では、レジスト塗布のために切換え使用される各ノズルの切換えに対応して、リンス供給用の切換弁が切換えられることにより、待機中のノズルは、リンスタンクと連通可能な状態になるとともに、レジストタンクとの連通が遮断される。そして、該待機中のノズルには、開閉弁を介してレジストの代わりにリンスが供給され、該ノズルからはリンスが間欠的に吐出される。このようなリンスの間欠的な吐出により、待機中のノズルの乾燥が防止される。また、上記のように待機中のノズルからレジストの代わりにリンスが間欠的に吐出されるため、レジストをダミーディスペンスとして吐出させる従来技術の場合に比べて、廃棄レジストを低減できる。
【００１２】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記切換弁と前記開閉弁とが、前記ノズルと一体移動可能に構成されている。従って、この発明では、例えば開閉弁や切換弁が移動せず、ガラス基板にレジストを塗布する際のノズルの移動によりノズルと開閉弁や切換弁との距離が変化する場合に比べて、ノズルと開閉弁や切換弁との距離を一定に保つことができる。よって、ノズルと開閉弁や切換弁との距離が変化する場合に比べて、ノズルと切換弁との間の配管の長さを短く保つように形成することができる。このため、待機状態からレジスト塗布状態に切換える際に配管及びノズル内のリンスを押出すためのレジストの吐出量を低減でき、廃棄レジストをより低減できる。
【００１３】
請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記切換弁から前記ノズルまでの前記配管の容量が、前記ノズルの内容量より少なくなるように前記配管の長さが設定されている。この発明では、例えば、切換弁からノズルまでの配管の容量がノズルの内容量以上の場合に比べて、ノズルと切換弁との間の配管が短く形成される。従って、この発明によっても、ノズルが待機状態からレジスト塗布状態になったときに、配管及びノズル内のリンスを押出すレジストの吐出量を低減できるため、廃棄レジストをより低減できる。
【００１４】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記切換弁と、前記開閉弁とが一体化されている。この発明では、切換弁と開閉弁とが別体である場合に比べて、部品点数を低減できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、本発明を具体化した第１の実施の形態を図１及び図２に従って説明する。
【００１６】
図１はレジスト塗布装置を示す模式構成図、図２はノズルの模式断面図である。
図１に示すように、レジスト塗布装置１０は、工程の１ラインに複数配置されて切換え使用されるノズル１１と、ノズル１１に供給されるレジストを貯蔵するレジストタンク１２と、レジストタンク１２とノズル１１とを接続する配管１３の途中に設けられた開閉弁１４とを備えている。図２に示すように、ノズル１１はレジストを押出すためのスリット１１ａを備え、スリット１１ａの途中には、液溜り部１１ｂが形成されており、ノズル１１先端からレジストが押出されるようになっている。また、開閉弁１４は所謂エア駆動弁（エアオペレート弁）である。
【００１７】
図１に示すように、配管１３においてレジストタンク１２と開閉弁１４との間には、ノズル１１へのリンス供給用の切換弁１５が設けられている。また、レジスト塗布装置１０は、リンスを貯蔵するリンスタンク１７と、リンスタンク１７と切換弁１５とを接続する配管１８とを備えている。切換弁１５は三方弁になっており、開閉弁１４とレジストタンク１２とを連通するとともに開閉弁１４とリンスタンク１７との連通を遮断する状態と、開閉弁１４とリンスタンク１７とを連通するとともに開閉弁１４とレジストタンク１２との連通を遮断する状態とを切換えるように形成されている。また、開閉弁１４の開状態で、レジスト又はリンスがレジストタンク１２又はリンスタンク１７からノズル１１に送り出されてスリット１１ａから吐出され、開閉弁１４の閉状態で、レジスト又はリンスはノズル１１への送出しが停止されてスリット１１ａからの吐出が停止されるようになっている。
【００１８】
リンスは、レジストより廉価であり、リンスには、該リンスがレジストと接したときにソルベントショックを起こさないような成分のものが選択されている。ここで、ソルベントショックとは、レジストがリンスと接したときにレジストの一部が凝固する現象のことである。この実施の形態では、レジストの溶剤と同じ溶剤をリンスとして使用している。
【００１９】
レジスト塗布装置１０には、ノズル１１〜切換弁１５の組が複数備えられている。この実施の形態では、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）及び黒の４種類のレジストに対応して、ノズル１１〜切換弁１５の組が４組備えられている。ノズル１１は、図示しない往復移動機構に取付けられており、図示しない基台に取付けられた図示しないガラス基板の上方を往復移動して、ガラス基板にレジストを塗布するようになっている。開閉弁１４は移動しないようになっており、配管１３においてノズル１１と開閉弁１４とを接続する配管部１３ａは、ノズル１１の移動に対応して自在に撓むフレキシブルチューブになっている。なお、配管１３において開閉弁１４と切換弁１５とを接続する配管部１３ｂと、切換弁１５とレジストタンク１２とを接続する配管部１３ｃとは、フレキシブルチューブではない普通の配管で形成されている。
【００２０】
次に、上記のように構成されたレジスト塗布装置１０の作用を説明する。
配管１３は、ここでは、図５に示すタイムチャートと同様の時間割でＲ、Ｇ、Ｂ及び黒の各レジストが、ａノズル〜ｄノズルのうちそれぞれ対応するノズルからガラス基板に塗布されるものとする。
【００２１】
各ａノズル〜ｄノズルによるガラス基板への塗布工程では、各ノズルに対応する切換弁１５により、開閉弁１４とレジストタンク１２とが連通され、開閉弁１４とリンスタンク１７との連通は遮断される。そして、開閉弁１４が開かれると、レジストタンク１２から供給されるレジストがノズル１１から吐出され、開閉弁１４が閉じられると、レジストの吐出が停止される。
【００２２】
各ａノズル〜ｄノズルは、ガラス基板への塗布状態から、待機状態に移行される際は、切換弁１５の切換によって、開閉弁１４とレジストタンク１２との連通が遮断され、開閉弁１４とリンスタンク１７とが連通される。そして、先ず、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留するレジストを、リンスタンク１７から供給されるリンスにより全て押出し、ノズル１１から吐出させる。その後、リンスが間欠的に吐出されることにより、待機状態のノズル先端の乾燥が防止される。
【００２３】
また、待機状態の各ａノズル〜ｄノズルが再びガラス基板への塗布状態に移る再立ち上げ時には、先ず、切換弁１５の切換によって、開閉弁１４とリンスタンク１７との連通が遮断され、開閉弁１４とレジストタンク１２とが連通される。そして、レジストタンク１２から供給されるレジストにより、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留するリンスを全て押出した後に、ガラス基板への塗布状態に移行する。
【００２４】
例えば、ａノズルがＲのレジストをガラス基板に塗布する状態では、他のｂノズル〜ｄノズルは、開閉弁１４とレジストタンク１２との連通が遮断され、開閉弁１４とリンスタンク１７とが連通されている。そして、ｂノズル〜ｄノズルでは、リンスが間欠的に吐出されることによってノズル先端の乾燥が防止される。
【００２５】
次に、レジスト塗布状態がＲのレジストからＧのレジストに切換えられると、ａノズルは、切換弁１５の切換によって開閉弁１４とレジストタンク１２との連通が遮断され、開閉弁１４とリンスタンク１７とが連通される。そして、リンスタンク１７から供給されるリンスにより、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留するレジストが全て押出される。その後、待機状態のａノズル、ｃノズル、ｄノズルからはリンスが間欠的に吐出されてノズル先端の乾燥が防止される。
【００２６】
また、再立ち上げ時であるｂノズルは、切換弁１５の切換によって開閉弁１４とリンスタンク１７との連通が遮断され、開閉弁１４とレジストタンク１２とが連通される。そして、ｂノズルは、レジストタンク１２から供給されるレジストにより、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留するリンスが全て押出された後に、ガラス基板への塗布状態に移行される。
【００２７】
以降、同様にして、ｃノズル、ｄノズルからそれぞれＢのレジスト、黒のレジストが順次ガラス基板に塗布され、待機中のノズルからはリンスが間欠的に吐出される。上記のようにして、ガラス基板へのＲＧＢ及び黒のレジストの塗布作業が完了する。また、レジスト塗布装置１０は、ｄノズルの塗布作業が完了した後、再びａノズルの塗布状態に移行し、順次ｂノズル、ｃノズル、ｄノズルの塗布状態を上記と同様にして繰返す。
【００２８】
発明者らの実験によれば、この実施の形態のレジスト塗布装置１０を使用することにより、例えば、レジストをダミーディスペンスとして吐出する従来技術の場合に比べて、レジスト使用量を２〜３割低減できた。
【００２９】
この実施の形態によれば、以下のような効果を有する。
（１）  配管１３においてレジストタンク１２と開閉弁１４との間に、ノズル１１へのリンス供給用の切換弁１５が設けられている。従って、待機中のノズルからリンスを間欠的に吐出することにより、スリット状の吐出口を備えるノズルの乾燥を防止できる。レジストより廉価なリンスを吐出することによりノズルの乾燥を防止するため、例えばレジストをダミーディスペンスとして吐出する場合に比べて、廃棄レジストを低減し、コストを低減できる。
【００３０】
（２）  リンスには、レジストと接してもソルベントショックを起こさない成分のものが使用されているため、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内でのソルベントショックを確実に防止できる。
【００３１】
（３）  レジスト塗布装置１０は、従来技術において開閉弁４４とレジストタンク４２とを接続する配管４３の途中に切換弁１５を設け、リンスタンク１７と配管１８とを追加して切換弁１５に接続した構成になっている。従って、比較的簡単な改造により、ノズルの乾燥防止を図るとともに廃棄レジストを低減可能なレジスト塗布装置を形成できる。
【００３２】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態を図３に従って説明する。この実施の形態では、開閉弁１４及び切換弁１５がノズル１１と一体で移動するように構成されている点が主に前記実施の形態と異なっている。前記実施の形態と同様の部分については同一番号を付けている。
【００３３】
図３に示すように、この実施の形態のレジスト塗布装置２０は、開閉弁１４及び切換弁１５が、ノズル１１と一体で移動するようにブラケット１１ｃによりノズル１１に取付けられている。配管１３は、ノズル１１、開閉弁１４及び切換弁１５の一体での移動に対応するように、切換弁１５とレジストタンク１２とを接続する配管部１３ｃは、フレキシブルチューブにより形成されている。同様に、切換弁１５とリンスタンク１７とを接続する配管１８も、ノズル１１、開閉弁１４及び切換弁１５の一体での移動に対応するようにフレキシブルチューブで形成されている。また、開閉弁１４がブラケット１１ｃによりノズル１１に取付けられていることにより、ノズル１１と開閉弁１４との距離が変化しないため、配管１３においてノズル１１と開閉弁１４とを接続する配管部１３ａは、フレキシブルチューブではない普通の配管で形成されている。また、配管１３において開閉弁１４と切換弁１５とを接続する配管部１３ｂも、フレキシブルチューブではない普通の配管で形成されている。
【００３４】
配管部１３ａ及び配管部１３ｂは、上記第１の実施の形態に比べて短く形成されており、例えば、約１０分の１の長さに形成されている。また、切換弁１５からノズル１１までの配管１３の長さ、すなわち配管部１３ａ及び配管部１３ｂの長さは、その部分の容量が、ノズル１１の内容量より少なくなるようになっている。例えば、切換弁１５からノズル１１までの配管１３の容量と、ノズル１１の内容量との合計量は、第１の実施の形態に比べて、約３分の１になっている。
【００３５】
この実施の形態によれば、前記実施の形態の（１）及び（２）の効果の他に、以下のような効果を有する。
（４）  開閉弁１４及び切換弁１５が、ノズル１１と一体で移動するように構成され、切換弁１５とノズル１１との間の配管部１３ａ及び配管部１３ｂが、例えば第１の実施の形態の場合に比べて短く形成されている。従って、待機状態からレジスト塗布状態に切換える際に、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留したリンスを押出すためのレジストの吐出量を低減でき、廃棄レジストをより低減できる。また、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留するリンスの量が、例えば第１の実施の形態に比べて低減することにより、リンスの使用量も低減できる。同様に、レジスト塗布状態から待機状態に切換える際も、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留するレジスト量を低減できるとともに、残留したレジストを押出すためのリンスの吐出量を低減できる。
【００３６】
（５）  切換弁１５からノズル１１までの配管１３（配管部１３ａ及び配管部１３ｂ）の長さは、その部分の配管１３の容量が、ノズル１１の内容量より少なくなるように形成されている。よって、上記（４）の効果と同様に、配管部１３ａ及び配管部１３ｂが、例えば第１の実施の形態より短くなっている。従って、待機状態からレジスト塗布状態に切換える際に、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留するリンスの量と、残留したリンスを押出すためのレジストの吐出量を低減できる。同様に、レジスト塗布状態から待機状態に切換える際も、配管部１３ａ，１３ｂ及びノズル１１内に残留するレジスト量と、残留したレジストを押出すためのリンスの吐出量を低減できる。
【００３７】
なお、実施の形態は上記各実施の形態に限定されるものではなく、例えば以下のように変更してもよい。
○  切換弁１５と開閉弁１４とは、一体化するように構成してもよい。この場合、切換弁１５と開閉弁１４とが別体である場合に比べて、部品点数を低減できる。また、第２の実施の形態のように切換弁１５及び開閉弁１４をノズル１１に取付ける場合に、切換弁１５と開閉弁１４とが別体である場合に比べて、取付の手間を低減できる。
【００３８】
○  レジスト塗布装置は、ノズルをＲＧＢ及び黒のレジスト用に４組備える構成に限らず、例えば黒のレジストが別の方法で塗布ガラス基板に塗布される場合、ＲＧＢに対応する３組のノズルを備える構成であってもよい。
【００３９】
○  レジストは、例えばＧのレジストであっても、透過型の液晶表示装置用のカラーフィルタのレジストと、反射型の液晶表示装置用のカラーフィルタのレジストとを分けて取扱い、それぞれ別のレジストタンク１２から別のノズル１１に供給してもよい。
【００４０】
○  上記のように、透過型の液晶表示装置用と、反射型の液晶表示装置用とでレジストを別に取扱う場合、例えば、ＲＧＢのそれぞれで、透過型の液晶表示装置用と、反射型の液晶表示装置用とで別にレジストを取扱うようにし、計６組のノズルをレジスト塗布装置に備えてもよい。また、これに黒のレジスト用のノズルを加え、計７組のノズルをレジスト塗布装置に備えてもよい。また、計７組のノズルを、３組のノズルを備えるレジスト塗布装置と、４組のノズルを備えるレジスト塗布装置とに分けて配置し、２ラインの工程でガラス基板に塗布するようにしてもよい。
【００４１】
○  リンスは、レジストと接した状態でソルベントショックが起きる成分のものを使用してもよい。しかし、この場合、ソルベントショックで生じた凝固部をレジスト又はリンスで押出す必要があるため、ソルベントショックが起きない成分のものをリンスとして使用する場合に比べて、廃棄レジストが増加するとともに、リンスの使用量が増加する。従って、リンスには、レジストと接した状態でソルベントショックを起こさない成分のものを使用する方が望ましい。
【００４２】
○  レジストの塗布時間の切換は、３時間毎に限らない。
〇  本発明のレジスト塗布装置は、カラーフィルタ用のレジスト塗布工程以外の塗布工程に使用してもよい。
【００４３】
上記各実施の形態から把握できる発明（技術的思想）について、以下に追記する。
（１）  請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記リンスには、前記レジストと接した状態でソルベントショックを起こさない成分のものが使用されている。
【００４４】
【発明の効果】
以上詳述したように請求項１〜請求項４に記載の発明によれば、ノズルの乾燥防止を図るとともに、廃棄レジストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態のレジスト塗布装置を示す模式構成図。
【図２】ノズルの模式断面図。
【図３】第２の実施の形態のレジスト塗布装置を示す模式構成図。
【図４】従来技術のレジスト塗布装置を示す模式構成図。
【図５】複数のノズルの稼働状況を示すタイムチャート。
【符号の説明】
１０，２０…レジスト塗布装置、１１…ノズル、１２…レジストタンク、１３…配管、１４…開閉弁、１５…切換弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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