(57)【要約】【課題】除害装置の大型化を抑制しつつ、除害効率を向上させる。【解決手段】除害ガスの流れを蛇行させるように、除害ガス導入管１に仕切板３を互い違いに設け、除害ガス導入管１内の加熱領域における除害ガスの滞留時間を増大させる【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
除害ガスを導入する除害ガス導入部と、
前記除害ガス導入部に導入された除害ガスを加熱分解する加熱分解手段と、
前記除害ガス導入部内で前記除害ガスを迂回させる迂回手段とを備えることを特徴とする除害装置。
【請求項２】
除害ガスを導入する除害ガス導入部と、
前記除害ガス導入部に導入された除害ガスを加熱分解する加熱分解手段と、
前記除害ガス導入部内に互い違いに設けられた仕切板とを備えることを特徴とする除害装置。
【請求項３】
除害ガスを導入する除害ガス導入部と、
前記除害ガス導入部に導入された除害ガスを加熱分解する加熱分解手段と、
前記除害ガス導入部内に螺旋状に設けられた仕切板とを備えることを特徴とする除害装置。
【請求項４】
除害ガスを燃焼室内で迂回させながら燃焼させることを特徴とする除害方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は除害装置および除害方法に関し、特に、燃焼式除害装置に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の除害装置では、半導体製造工程などから排出される除害ガスを高温で燃焼させることにより、除害ガスを無害化する方法があった。
図４は、従来の燃焼式除害装置の概略構成を示す断面図である。
図４において、従来の燃焼式除害装置には、除害ガス導入管３１が設けられ、除害ガス導入管３１の周囲には、除害ガス導入管３１内を加熱するヒータ３２が設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の燃焼式除害装置では、除害ガス導入管３１は直線状に構成され、除害ガス導入管３１に導入された除害ガスは、除害ガス導入管３１を真っ直ぐに通過する。
このため、除害ガス導入管３１内での除害ガスの滞留時間が短くなり、除害ガスが除害されずに、除害ガス導入管３１を通り抜けることがあった。
【０００４】
一方、除害ガスが除害されることなく、除害ガス導入管３１を通り抜けることを防止するために、除害ガス導入管３１の長さを長くすると、燃焼式除害装置が大型化するとともに、エネルギー消費量も増大するという問題があった。
そこで、本発明の目的は、大型化を抑制しつつ、除害効率を向上させることが可能な除害装置および除害方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１記載の除害装置によれば、除害ガスを導入する除害ガス導入部と、前記除害ガス導入部に導入された除害ガスを加熱分解する加熱分解手段と、前記除害ガス導入部内で前記除害ガスを迂回させる迂回手段とを備えることを特徴とする。
【０００６】
これにより、除害ガス導入部内に導入された除害ガスを迂回させながら加熱分解することができ、加熱領域における除害ガスの滞留時間を増大させることができる。
このため、除害ガス導入部の長さを長くすることなく、未除害ガスが除害ガス導入部を通り抜けることを防止することが可能となり、除害装置の大型化を抑制しつつ、除害効率を向上させることが可能となるとともに、省エネルギー化も図ることができる。
【０００７】
また、請求項２記載の除害装置によれば、除害ガスを導入する除害ガス導入部と、前記除害ガス導入部に導入された除害ガスを加熱分解する加熱分解手段と、前記除害ガス導入部内に互い違いに設けられた仕切板とを備えることを特徴とする。
これにより、除害ガス導入部内に仕切板を取り付けることで、除害ガス導入部内に導入された除害ガスを迂回させながら加熱分解することができ、除害装置の構成の複雑化を抑制しつつ、加熱領域における除害ガスの滞留時間を増大させて、除害効率を向上させることが可能となる。
【０００８】
また、請求項３記載の除害装置によれば、除害ガスを導入する除害ガス導入部と、前記除害ガス導入部に導入された除害ガスを加熱分解する加熱分解手段と、前記除害ガス導入部内に螺旋状に設けられた仕切板とを備えることを特徴とする。
これにより、除害ガス導入部内に螺旋杆を挿入することで、除害ガス導入部内に導入された除害ガスを迂回させながら加熱分解することができ、除害装置の構成の複雑化を抑制しつつ、加熱領域における除害ガスの滞留時間を増大させて、除害効率を向上させることが可能となる。
【０００９】
また、請求項４記載の除害方法によれば、除害ガスを燃焼室内で迂回させながら燃焼させることを特徴とする。
これにより、燃焼室の長さを長くすることなく、燃焼室内における除害ガスの滞留時間を増大させることができ、除害装置の大型化を抑制しつつ、除害効率を向上させることが可能となるとともに、省エネルギー化も図ることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る燃焼式除害装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る燃焼式除害装置の概略構成を示す断面図である。
【００１１】
図１において、燃焼式除害装置には、除害ガス導入管１が設けられ、除害ガス導入管１の周囲には、除害ガス導入管１内を加熱するヒータ２が設けられている。
そして、除害ガス導入管１には、除害ガスの流れを蛇行させるように、仕切板３が互い違いに設けられている。
【００１２】
これにより、除害ガス導入管１内の加熱領域における除害ガスの滞留時間を増大させることができ、除害ガス導入管１の長さを長くすることなく、除害ガスの燃焼が不完全なままの状態で、除害ガスが除害ガス導入管１を通り抜けることを防止することが可能となる。
このため、燃焼式除害装置のコンパクト化を図りつつ、除害効率を向上させることが可能となるとともに、省エネルギー化も図ることができる。
【００１３】
図２は、本発明の第２実施形態に係る燃焼式除害装置の概略構成を示す断面図である。
図２において、燃焼式除害装置には、除害ガス導入管１１が設けられ、除害ガス導入管１１の周囲には、除害ガス導入管１１内を加熱するヒータ１２が設けられている。
【００１４】
そして、除害ガス導入管１１には、除害ガスの流れを蛇行させるように、仕切板１３が除害ガス導入管１１の長手方向に沿って互い違いに設けられるとともに、各仕切板１３上には、仕切板１４が仕切板１３に対して垂直方向に互い違いに設けられている。
これにより、除害ガス導入管１１内の加熱領域における除害ガスの滞留時間をより一層増大させることができ、除害ガス導入管１１の長さを短縮した場合においても、除害ガスをほぼ完全に燃焼させてから、除害ガス導入管１１を介して除害ガスを排出することが可能となる。
【００１５】
このため、燃焼式除害装置のコンパクト化を図りつつ、除害効率を向上させることが可能となるとともに、省エネルギー化も図ることができる。
図３は、本発明の第３実施形態に係る燃焼式除害装置の概略構成を示す断面図である。
図３において、燃焼式除害装置には、除害ガス導入管２１が設けられ、除害ガス導入管２１の周囲には、除害ガス導入管２１内を加熱するヒータ２２が設けられている。
【００１６】
そして、除害ガス導入管２１には螺旋杆２３が設けられ、螺旋杆２３には、除害ガス導入管２１内を螺旋状に仕切る仕切板２４が設けられている。
これにより、除害ガス導入管２１内の加熱領域における除害ガスの滞留時間を増大させることができ、除害ガス導入管２１の長さを長くすることなく、除害ガスの燃焼が不完全なままの状態で、除害ガスが除害ガス導入管２１を通り抜けることを防止することが可能となる。
【００１７】
このため、燃焼式除害装置のコンパクト化を図りつつ、除害効率を向上させることが可能となるとともに、省エネルギー化も図ることができる。
また、除害ガス導入管２１内を螺旋状に仕切ることにより、除害ガス導入管２１内に螺旋杆２３を挿入することで、除害ガス導入管２１内の加熱領域における除害ガスの滞留時間を増大させることができ、燃焼式除害装置の構成の複雑化を抑制しつつ、除害効率を向上させることが可能となる。
【００１８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、除害ガスを燃焼室内で迂回させながら燃焼させることにより、燃焼室の長さを長くすることなく、燃焼室内における除害ガスの滞留時間を増大させることができ、除害装置の大型化を抑制しつつ、除害効率を向上させることが可能となるとともに、省エネルギー化も図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る燃焼式除害装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る燃焼式除害装置の概略構成を示す断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係る燃焼式除害装置の概略構成を示す断面図である。
【図４】従来の燃焼式除害装置の概略構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１、１１、２１  除害ガス導入管、２、１２、２２  ヒータ、３、１３、１４、２４  仕切板、２３  螺旋杆
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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