(57)【要約】【課　　題】使用済み廃硫酸の付加価値を向上し、資源の有効利用を図ることを特徴とする産業上有利な方法を提供することを目的とする。【解決手段】事業所Ａで排出または回収された使用済み硫酸廃液を、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して再利用する。【選択図】　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して、利用することを特徴とする硫酸廃液の再資源化方法。
【請求項２】
使用済み硫酸廃液中の金属成分濃度が１０ｐｐｂ以下及び塩化物濃度が０．１ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法。
【請求項３】
請求項１に記載の事業所Ａが、半導体製造事業所であることを特徴とする請求項１に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法。
【請求項４】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、排出元Ａとは異なる事業所Ｃにて利用することを特徴とする請求項１に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法。
【請求項５】
使用済み硫酸の濃度測定の結果に基づいて、使用済み硫酸の濃度調整を行うことを特徴とする請求項１に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法。
【請求項６】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸を、移動体Ｂにて運搬を行い、事業所Ｃにて使用する際、該硫酸の濃度測定及び／または濃度調整を、事業所Ａ、事業所Ｃ及び移動体Ｂの少なくとも一箇所以上で行うことを特徴とする請求項１に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法。
【請求項７】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して、利用することを特徴とする硫酸廃液の再資源化方法を使用して得られる再資源化硫酸を用いて製造される工業製品。
【請求項８】
使用済み硫酸廃液中の金属成分濃度が１０ｐｐｂ以下及び塩化物濃度が０．１ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項７に記載の工業製品。
【請求項９】
請求項７に記載の事業所Ａが、半導体製造事業所であることを特徴とする請求項７に記載の工業製品。
【請求項１０】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、事業所Ａとは異なる事業所Ｃにて利用することを特徴とする請求項７に記載の工業製品。
【請求項１１】
使用済み硫酸廃液の濃度測定の結果に基づいて、濃度調整された再資源化硫酸を用いて製造される請求項７に記載の工業製品。
【請求項１２】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、移動体Ｂにて運搬を行い、事業所Ｃにて使用する際、該硫酸の濃度測定及び／または濃度調整を、事業所Ａ、事業所Ｃ及び移動体Ｂの少なくとも一箇所以上で行うことを特徴とする請求項７に記載の工業製品。
【請求項１３】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して、利用することを特徴とする硫酸廃液の再資源化方法を使用して製造された再資源化硫酸。
【請求項１４】
使用済み硫酸廃液中の金属成分濃度が１０ｐｐｂ以下及び塩化物濃度が０．１ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１３に記載の再資源化硫酸。
【請求項１５】
請求項１３に記載の事業所Ａが、半導体製造事業所であることを特徴とする請求項１３に記載の再資源化硫酸。
【請求項１６】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、事業所Ａとは異なる事業所Ｃにて利用することを特徴とする請求項１３に記載の再資源化硫酸。
【請求項１７】
使用済み硫酸廃液の濃度測定の結果に基づいて、濃度調整された再資源化硫酸。
【請求項１８】
事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、移動体Ｂにて運搬を行い、事業所Ｃにて使用する際、該硫酸の濃度測定及び／または濃度調整を、事業所Ａ、事業所Ｃ及び移動体Ｂの少なくとも一箇所以上で行うことを特徴とする請求項１３に記載の再資源化硫酸。
【請求項１９】
使用済み硫酸廃液に、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を添加して、混合槽内にて混合する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は使用済み硫酸の再資源化方法と同再資源化硫酸に関する。
【０００２】
【従来の技術】
硫酸は種々の産業でその目的に応じたグレード（純度、濃度）で大量に利用されている。これら硫酸が使用済みとなった場合、種々のリサイクル方法などが提案されているが（特開平９−３１５８０６号、特開２００２−６８７１５号等）、現在は、通常下記に示すような処理が行われている。
（１）発生工場内で排水処理（中和処理）を行う。
（２）専門処理業者にて引き取り（回収し）、排水処理を行う。
（３）工場内で中和剤として利用する。
（４）硫酸廃液を工場内、もしくは、再生専門業者にて再生処理する（蒸留精製）。
（５）専門業者に引き渡し、硫酸バンド（硫酸アルミニウム）の原料として利用する（ただし、この場合における使用済み硫酸の使用率は１０％以下である）。
【０００３】
上記（１）のケースの場合、硫酸自体は強酸性の劇薬であるため、そのまま廃棄することはできず、多量のアルカリなどの中和剤（例えば消石灰など）による中和処理、各種排水処理剤（例えば、無機凝集剤、高分子凝集剤、過酸化水素分解促進剤等）による凝集沈澱処理または過酸化水素除去処理等が必要とされ、これに伴い多量の汚泥と排水を発生させてしまう。上記（２）については、使用済み硫酸を工場外で処理する以外は（１）のケースと同じである。上記（３）の場合、工場内の中和剤としての需要は少なく、結局余剰分については（１）のケースと同じ処理が必要となる。上記（４）の場合、使用済み硫酸の再生には大掛かりなプラントやエネルギーが必要となり、ロケーション（立地条件）に大きく影響されるため、一部の限定地域のみしか対象とはならない。また、発生工場内に再生設備を設けることは、エネルギー、コスト、敷地面積、安全性、ハンドリング等の面での問題が多く実用的では無いため、一般には殆ど普及していない。上記（５）の場合も、廃硫酸は殆ど有価物としての取り扱いを受けず、通常は有償で引き渡すか、もしくは非常に低価格（〜数円／Ｋｇ）で売却されることとなる。また排出元→専門業者→利用者の経路をとるため輸送距離が長くなり、上記（４）の場合と同じく、ロケーション（立地条件）により大きく影響される。
【０００４】
以上に述べたように、従来技術では使用済み硫酸の付加価値は低く、一般的には上記（１）や（２）の方法により排水処理を行うのが通常であり、もしくは外部に有償で引き渡しているかのどちらかの方法で処理されている。しかしながら環境保護対策上、上記（１）や（２）のケースに見られるような多量の化学物質を使用し、多量の汚泥と排水を発生させてしまう処理方法を繰り返していたのでは、益々環境破壊が助長されることは明らかである。
【０００５】
そこで、使用済み硫酸の再資源化方法についての技術の開発要請が高まってきており、各事業所においては、その方法とともに方法を実行するための設備等の簡潔化、省エネルギー化を目指した開発が進められている。たとえば、使用済み硫酸に、亜硫酸を導入し、残留過酸化水素水を分解させるとともに硫酸を生成させる方法（特開平９−３１５８０６）や、陰・陽イオン交換膜で構成される電解槽に使用済み硫酸を供給することにより、硫酸を濃縮するとともに酸化性物質を生成する方法（特開平５−１３９７０７）等が各事業所において検討され、プラントやエネルギーの縮小化に向けての取り組みが行われている。しかし、これらの技術もコスト面等での数々の問題を抱えており、実用的な使用済み硫酸の再資源化方法は十分に確立されているとはいえない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、ある事業所から排出された使用済み硫酸廃液を、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合することにより、付加価値を高めて有効利用することを特徴とする産業上有利な再資源化方法、及び、付加価値の高くなった再資源化硫酸を提供することを目的とするものである。
また、本発明は、使用済み硫酸廃液を、大規模な設備を設けることなく、かつ低コストで再資源化することができる方法を提供することをも目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、或る事業所で排出／回収された使用済み硫酸を有効利用するために、使用済み硫酸に過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合することで、再資源化硫酸として利用することが可能になることを見出し、さらに種々の検討を行って、本発明を完成させるに至った。
【０００８】
すなわち、本発明は、
（１）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して、利用することを特徴とする硫酸廃液の再資源化方法、
（２）　使用済み硫酸廃液中の金属成分濃度が１０ｐｐｂ以下及び塩化物濃度が０．１ｐｐｍ以下であることを特徴とする前記（１）に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法、
（３）　前記（１）に記載の事業所Ａが、半導体製造事業所であることを特徴とする前記（１）に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法、
（４）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、排出元Ａとは異なる事業所Ｃにて利用することを特徴とする前記（１）に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法、
（５）　使用済み硫酸の濃度測定の結果に基づいて、使用済み硫酸の濃度調整を行うことを特徴とする前記（１）に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法、
（６）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸を、移動体Ｂにて運搬を行い、事業所Ｃにて使用する際、該硫酸の濃度測定及び／または濃度調整を、事業所Ａ、事業所Ｃ及び移動体Ｂの少なくとも一箇所以上で行うことを特徴とする前記（１）に記載の使用済み硫酸廃液の再資源化方法、
に関する。
【０００９】
また本発明は、
（７）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して、利用することを特徴とする硫酸廃液の再資源化方法を使用して得られる再資源化硫酸を用いて製造される工業製品、
（８）　使用済み硫酸廃液中の金属成分濃度が１０ｐｐｂ以下及び塩化物濃度が０．１ｐｐｍ以下であることを特徴とする前記（７）に記載の工業製品、
（９）　前記（７）に記載の事業所Ａが、半導体製造事業所であることを特徴とする前記（７）に記載の工業製品、
（１０）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、事業所Ａとは異なる事業所Ｃにて利用することを特徴とする前記（７）に記載の工業製品、
（１１）　使用済み硫酸廃液の濃度測定の結果に基づいて、濃度調整された再資源化硫酸を用いて製造される前記（７）に記載の工業製品、
（１２）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、移動体Ｂにて運搬を行い、事業所Ｃにて使用する際、該硫酸の濃度測定及び／または濃度調整を、事業所Ａ、事業所Ｃ及び移動体Ｂの少なくとも一箇所以上で行うことを特徴とする前記（７）に記載の工業製品、
に関する。
【００１０】
また本発明は、
（１３）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して、利用することを特徴とする硫酸廃液の再資源化方法を使用して製造された再資源化硫酸、
（１４）　使用済み硫酸廃液中の金属成分濃度が１０ｐｐｂ以下及び塩化物濃度が０．１ｐｐｍ以下であることを特徴とする前記（１３）に記載の再資源化硫酸、
（１５）　前記（１３）に記載の事業所Ａが、半導体製造事業所であることを特徴とする前記（１３）に記載の再資源化硫酸、
（１６）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、事業所Ａとは異なる事業所Ｃにて利用することを特徴とする前記（１３）に記載の再資源化硫酸、
（１７）　使用済み硫酸廃液の濃度測定の結果に基づいて、濃度調整された再資源化硫酸、
（１８）　事業所Ａで排出／回収された使用済み硫酸廃液を、移動体Ｂにて運搬を行い、事業所Ｃにて使用する際、該硫酸の濃度測定及び／または濃度調整を、事業所Ａ、事業所Ｃ及び移動体Ｂの少なくとも一箇所以上で行うことを特徴とする前記（１３）に記載の再資源化硫酸、
に関する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明で対象とする使用済み硫酸廃液は、濃度に関しては特に限定はないが、純分当りの運搬費を低く抑え、本発明の実用性を向上させるためには、濃度が高いものほど運送効率がよくなるためより好ましい。また、硫酸廃液中に過酸化水素水が混入しているものがより好ましい。医療器具等の消毒脱臭等に用いられる過酸化水素は強力な酸化剤であり、酸化性強酸である硫酸に過酸化水素水を混入したものは非常に酸化力が強く、有機物及び無機物を酸化し溶解・除去することが可能で、各種洗浄液としての用途が期待できるためである。以上の観点から、本発明に適する硫酸廃液は、半導体事業所から排出されるものが好適である。つまり、半導体事業所では半導体製造工程において、不純物含有量が低く純度の高い濃硫酸と過酸化水素水を混合して洗浄液として利用しており、このため使用済みとなった硫酸廃液をそのまま回収すれば、高濃度で高純度かつ過酸化水素水を含んだ硫酸廃液を得ることができるからである。
【００１２】
半導体事業所で発生した硫酸過酸化水素混合廃液は、前述の通り工場内で廃水処理されるか、もしくは中和剤として利用されるのが一般的で、硫酸バンドの原料として工場外で利用される場合もあるが、混入している過酸化水素水分を有効に生かせず、かえって過酸化水素水が廃液中に混入していることがデメリットとなって該硫酸廃液の付加価値を大幅に低減したカスケード利用（単に工業硫酸の代替物）でしかありえない。
本発明は、該硫酸廃液に過酸化水素水および／または水を所定の濃度となるように添加するものであり、廃液中に既に含まれる過酸化水素は特に問題となることはなく、逆に残留分量だけ添加過酸化水素水分量を低減できるため有利となる。
【００１３】
半導体事業所からの硫酸廃液は、濃度が高ければ高いほど、不純物が少なければ少ないほど、再利用できる対象が多くなるため好ましいが、通常硫酸分濃度が５０〜９８重量％で、６５〜９０重量％がより一般的である。また該硫酸廃液中に含まれる過酸化水素分は０〜６重量％で、０．１〜３重量％がより一般的である。また電子工業用の硫酸の純度に対する要求が、半導体装置の微細化、高密度化に伴い厳しくなっており、例えば金属成分については２０ｐｐｂ以下であることが求められている。よって該硫酸廃液中に含まれる各種不純物の含有量は、通常金属成分が＜１０ｐｐｂ、塩化物が＜０．１ｐｐｍのレベルの非常に高純度なものであることが好ましく、このため半導体事業所以外の事業所での洗浄液等の用途に使用することが可能となる。例えば、ブラウン管製造事業所でのフォトレジストマスク用剥離液として、基板製造事業所での銅箔のエッチング液として利用することができる。これらの場合、いずれも低濃度の硫酸（０．数％〜４０重量％）と過酸化水素水（０．０数〜十数％）の混合水溶液が使用されているため、前述の半導体事業所で排出された硫酸過酸化水素水混合廃液をこれらの用途に利用することがより好適となる。
【００１４】
本発明における硫酸廃液を排出する事業所Ａは、硫酸分濃度が高くかつ不純物が少ない硫酸廃液を排出する事業所等であれば特に限定されないが、例えば、半導体を含む電気・電子、鉄鋼、無機薬品、有機薬品、医薬、繊維、肥料、金属、鉱山、製紙、ソーダ、機械、蓄電池、中和石膏等の各種工業の工場または事業所などが挙げられる。これらの中では、半導体、薬品、医薬、化学工業が好ましいが、特に、半導体事業所から排出される使用済み硫酸廃液の重金属等不純物含量が少なく（ｐｐｍ〜ｐｐｔレベル）また硫酸分濃度が６０重量％以上であることから、硫酸廃液の品質と純度と濃度の安定性から判断すると、事業所Ａは、半導体事業所または工場であることが好ましい。
【００１５】
本発明で対象とする使用済み硫酸廃液を利用する事業所Ｃとしては、特に限定されず、例えば、電気・電子（ブラウン管、基板事業所を含む）、鉄鋼、無機薬品、有機薬品、医薬、繊維、肥料、金属、鉱山、製紙、ソーダ、機械、蓄電池、中和石膏等の各種工業の工場または事業所を挙げることができる。これらの中では、電気・電子（ブラウン管、基板事業所を含む）、化学、機械、鉄鋼工業が好ましい。特に、電気・電子産業（ブラウン管、基板事業所を含む）が好ましく、これらの具体例としては、ブラウン管事業所や基板製造事業所等を挙げることが出来る。これら事業所では、フォトレジスト膜の剥離や銅箔の剥離液として、硫酸と過酸化水素水の希薄混合水溶液を利用しており、同混合液中の硫酸濃度も５０重量％以下のものが多いことから、事業所Ａから排出された使用済み硫酸を再利用する上で好適である。
【００１６】
本発明で対象とする使用済み硫酸廃液の移動体Ｂとしては、特に限定されず、例えば、車両（例えば、タンクローリー、トラックなど）、船舶（例えば、タンカー、フェリーなど）、貨物列車、飛行機（貨物）等を挙げることができるが、これらの中では、車両と船舶がより実用的である。特に、ローリー車やトラック（薬品コンテナでの搬送）は、排出元事業所Ａから利用先事業所Ｃへのアクセスが容易なため、他の運搬手段より適用範囲が大きくなる。
【００１７】
本発明の使用済み硫酸の再資源化方法においては、上述の排出元事業所Ａ、移動体Ｂ、利用先事業所Ｃの少なくとも一箇所以上で、使用済み硫酸の濃度測定および／または過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して濃度調整を行うことを特長とする。また使用済み硫酸廃液の濃度測定の結果に基づいて使用済み硫酸の濃度調整が行われ、調整後の硫酸廃液の濃度をも測定することが好ましい。
本発明で対象とする使用済み硫酸廃液もしくは過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合して濃度調整した硫酸廃液の濃度を測定する手段としては、特に限定されないが、以下のものを挙げることができる。すなわち、屈折率測定、中和滴定、水分測定（カールフィッシャー法、蒸発残さ法）、超音波測定、吸光度測定、比重（密度）測定、粘度測定、ｐＨ測定、電位差滴定等の少なくとも一種類以上の手段を用いることができる。これらの中では、測定の速さと精度、測定機の価格や大きさ、ハンドリング性の観点から、屈折率、比重、ｐＨ、超音波、吸光度の測定手段がより好適である。以上の濃度測定は、使用済み硫酸廃液が排出される排出元事業所Ａ、使用済み硫酸廃液を運搬する移動体Ｂまたは使用済み硫酸廃液を利用する利用先事業所Ｃのいずれで行っても良いし、前記２箇所以上で行っても良い。このように、濃度測定を行うことは、後述する濃度調整を行う必要があるか否かの判断指標となり、濃度調整を行う場合は、過酸化水素水および／または水を混合する際の混合重量比率決定の指標となる。
【００１８】
本発明は、上記使用済み硫酸廃液に、過酸化水素水と水の少なくとも一種以上を混合することで、該硫酸廃液の付加価値の向上を目指すものであるが、硫酸廃液への過酸化水素水および／または水の混合順序や、混合重量比率等の混合調整方法については特に制約はない。使用済み硫酸廃液を所定の濃度に調整する方法としては、使用済み硫酸廃液に対して一定量（対ボリューム、重量）の過酸化水素水および／または水を添加する方法と、前述の濃度測定の結果を元に所定量の過酸化水素水および／または水を添加する方法とがあるが、品質管理の観点から後者の方がより好ましい。また混合順については、安全面の観点から過酸化水素水や水に硫酸廃液を添加したほうがより好ましい。なお、濃度測定の結果により、硫酸廃液の濃度を高くする必要がある場合には、濃硫酸や無水硫酸、発煙硫酸を添加しても良い。また混合重量比率については、利用先で必要とされる濃度に調整されることが望ましい。濃度調整に用いられる過酸化水素水は、酸化力を有するものであれば特に限定されず、利用側で要求される品質グレードに合わせれば良く、工業レベルの低グレード品であっても良いし、試薬や電子工業用の高グレード品であっても良い。
以上の過酸化水素水および／または水の添加による濃度調整（必要であれば、濃硫酸や無水硫酸、発煙硫酸を添加）は、使用済み硫酸が排出される排出元事業所Ａ、使用済み硫酸を運搬する移動体Ｂまたは使用済み硫酸を利用する利用先事業所Ｃのいずれで行っても良いし、前記２箇所以上で行っても良い。
【００１９】
上述の濃度測定と濃度調整は、行う場所が同じであっても良いし、違っていても良い。濃度測定と濃度調整を同じ場所で行う場合は、濃度測定結果を直接濃度調整装置（硫酸廃液タンク、濃度調整液、濃度調整液貯蔵タンク、調整液供給ポンプ、混合槽、混合槽内の濃度測定器等）に信号で送り、所定の濃度に自動的に調整することができる。一方、濃度測定と濃度調整を行う場所が異なる場合は、濃度測定結果を次工程に、口頭、電話、郵送、インターネット等の種々の手段を用いて伝達することができる。測定結果の伝達を受けた箇所は、伝達内容を元に使用済み硫酸をそのまま使用するか、もしくは、濃度調整するかの判断を行う。濃度調整する場合は、前述したように、希望とする濃度になるように濃度調整液の添加を行う。なお、濃度調整液添加後の使用済み硫酸の濃度が所定の濃度になっているかどうかについて確認を行うために、濃度調整タンク内に濃度測定器を設置しても良い。
【００２０】
本発明における、使用済み硫酸廃液への過酸化水素水および／または水の添加による濃度調整（必要であれば、濃硫酸や無水硫酸、発煙硫酸を添加）は、使用済み硫酸が排出される排出元事業所Ａ、使用済み硫酸を運搬する移動体Ｂまたは使用済み硫酸を利用する利用先事業所Ｃのいずれで行っても良いし、前記２箇所以上で行っても良いが、濃度調整のための濃度調整装置（硫酸廃液タンク、濃度調整液、濃度調整液貯蔵タンク、調整液供給ポンプ、混合槽、混合槽内の濃度測定器等）を有していることが好ましい。濃度調整装置は特に限定されないが、事業所Ａまたは事業所Ｃで濃度調整が行われる場合は、濃度調整装置は設置型であることが好ましく、移動体Ｂで濃度調整が行われる場合は、タンクローリー車のタンク等であることが好ましい。混合槽としては、濃度調整した硫酸廃液を一時的に溜めておくことができ、硫酸及び過酸化水素水に対する耐蝕性を有するものであれば良い。このような混合槽の材質としては、例えば石英ガラス等を用いることが望ましい。また該混合槽には、使用済み硫酸廃液、過酸化水素水及び水を混合槽に供給するために一時的に使用済み硫酸廃液を溜めておく廃液タンク、過酸化水素水及び水等の濃度調整液を溜めておく濃度調整液貯蔵タンク、及びこれらを混合槽に供給する調整液供給ポンプを備えていることが好ましい。廃液タンク、濃度調整液貯蔵タンク及び調整液供給ポンプの材質としては、混合槽と同様に硫酸及び過酸化水素水に対する耐蝕性を有するものであれば良く、また調整液供給ポンプとしては、例えば圧力差により流体を送る装置であるポンプ、例えば回転ポンプ、ダイアフラムポンプ等を用いることができる。
【００２１】
本発明においては、上述の排出元事業所Ａ、移動体Ｂおよび利用先事業所Ｃの少なくとも一箇所以上で、使用済み硫酸の濃度測定および／または濃度調整以外の他の処理が行われてもよい。前記他の処理としては、下記に詳述するが、例えば、使用済み硫酸中の硫酸以外の成分を除去する処理、使用済み硫酸中の硫酸以外の成分を添加する処理等が挙げられる。
【００２２】
前記他の処理としては、使用済み硫酸中の硫酸以外の成分を除去する処理が挙げられる。具体的には、例えば、金属めっきの分野で排出される使用済み硫酸には金属イオンが含まれていることが多いため、かかる金属イオンを除去する処理などが挙げられる。金属イオンを除去する処理としては、陰イオン交換膜を使用して、酸と金属を含有する溶液から濃度差を駆動力として酸を回収し、金属イオンを分離する、いわゆる拡散透析が挙げられる（特開平０８−０００９６６）。かかる酸の拡散透析用膜としては、数多くの文献、特許が報告されているが、もっとも実用的で有益なものとして、クロルメチルスチレン（またはビニルピリジン）−ジビニルベンゼン共重合体のアミノ化（または４級ピリジニウム化）陰イオン交換膜がある。
【００２３】
前記使用済み硫酸中の硫酸以外の成分を除去する処理としては、過酸化水素水を含む使用済み硫酸廃液から、所定の過酸化水素水濃度にすべく過剰の過酸化水素水分を除去する処理が挙げられる。より具体的には、過酸化水素分解触媒へ水素を供給しながら過酸化水素を分解処理する方法（特開昭６１−１８６２０８号公報）、炭素質物質へ温度を上げた廃液を通じて過酸化水素を分解処理する方法（特開平５−３４５１８８号公報）が挙げられる。過酸化水素水を含む使用済み硫酸へ亜硫酸を導入し、過酸化水素と亜硫酸を反応させ、過酸化水素を分解すると共に硫酸を生成させ、亜硫酸の過剰添加を亜硫酸ガスを検知することにより防止し、さらに亜硫酸導入停止後通気することにより残存する亜硫酸を除去する方法（特開平９−３１５８０６）も挙げられる。
【００２４】
以上の方法を用いることにより、従来は有効利用されていなかった、もしくは、低価格で売却されていた使用済み硫酸の付加価値を飛躍的に向上（有価物として）させることができる。使用済み硫酸を売却する場合の形態としては、濃度測定結果を売却先に伝達してそのままの状態で売却するケース、過酸化水素水および／または水の濃度調整液を添加した物（ただし、調整液添加後の濃度は未確認）を売却するケース、所定の濃度に調整したもの（濃度確認したもの）を売却するケースの３つを挙げることができる。使用済み硫酸廃液を売却する場合は、従来のようにボリューム（容積）や重量を基準にしても良いし、もしくは、濃度測定結果に基づいて、純分を基準に売却しても良い。使用済み硫酸をそのままの状態、すなわち、濃度調整しない状態で売却する場合は、排出側での使用済み硫酸の濃度に誤差が生じるため、純分を基準として売却した方がより合理的（定量的）である。
【００２５】
本発明にかかる使用済み硫酸の再資源化方法は、複数回繰り返すことができる。すなわち、本発明にかかる使用済み硫酸の再資源化方法により再資源化された硫酸を、再び本発明にかかる使用済み硫酸の再資源化方法に付してよい。より具体的には、次式；排出元事業所Ａ→移動体Ｂ→利用先事業所Ｃ（＝排出元Ａ’→移動体Ｂ’→利用先Ｃ’）ｎ（式中、ｎは自然数、好ましくは１〜７の自然数を表わす。ただし、ｎが２以上の自然数のとき、ｎの値が異なる場合のＡ’、Ｂ’およびＣ’それぞれは同一であっても異なってもよい。）で示されるリサイクルの循環が行われてもよい。
【００２６】
本発明にかかる使用済み硫酸廃液の再資源化方法は、下記のようなシステム態様を有していてもよい。すなわち、排出元事業所Ａの端末と、利用先事業所Ｃの端末とが、例えばインターネットやＬＡＮ等のネットワークを介して接続されている使用済み硫酸情報管理装置を具備するシステムを有する方法であって、（ａ）使用済み硫酸に関する情報を入力する手段と、（ｂ）前記使用済み硫酸に関する情報を蓄積する手段と、（ｃ）供給を受けたい使用済み硫酸に関する条件を入力する手段と、（ｄ）前記（ｂ）で蓄積されている情報の中から、前記（ｃ）で入力された条件の少なくとも一部に合致する情報を検索する手段と、（ｅ）前記（ｄ）の検索の結果として得られる情報を、かかる情報を提示した排出元事業所Ａの端末または／および検索条件を入力した利用先事業所Ｃの端末に送信する手段とを有するシステムを具備する方法が挙げられる。また、使用済み硫酸情報管理装置が、移動体Ｂの端末ともネットワークを介して接続されており、（ｆ）選択された移動体Ｂの端末に、使用済み硫酸廃液の運搬に関する情報を送信する手段を有していてもよい。
【００２７】
【実施例】
実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
比較のために、従来の使用済み硫酸廃液の処理の流れを図１および図２に記載した。例えば、半導体事業所および工場などから排出される使用済み硫酸は、図１（イ）に示すように、他のアルカリ・酸性洗浄液とともにそのまま排水処理に付され、酸またはアルカリなどの中和剤、各種排水処理剤を施された後、廃水および汚泥とされる場合がある。また、図１（ロ）に示すように、使用済み硫酸廃液のみを回収して中和剤（酸）などとして利用された後、排水処理に付される場合がある。さらに使用済み硫酸廃液は、図２に示すように、専門処理業者に引き取られ、精製、再生などの処理に付される場合もある。より具体的には、回収後長距離輸送された使用済み硫酸廃液は、利用者に届けられて、そこで大型プラントにて精製・再生処理に付され、廃硫酸や硫酸バンドの原料として低付加価値用途的に利用される場合がある。
【００２８】
本発明の使用済み硫酸の再資源化方法のより具体的な態様を図３に示す。本態様では、半導体事業所または工場から回収される過酸化水素水を含む使用済み硫酸廃液を、ブラウン管製造事業所または工場でフォトレジスト膜の剥離液等として再資源化し利用する。より具体的には、半導体工場において、過酸化水素水を含む使用済み硫酸廃液（図３においては硫酸過水廃液と表し、以下において硫酸過水廃液と略称する。）を回収し、硫酸過水廃液タンクに貯蔵する。移動体Ｂとしてタンクローリーを用い、硫酸過水廃液をブラウン製造事業所または工場まで運搬する。このとき、タンクローリーの所有者は、硫酸過水廃液をただ運搬するのではなく、硫酸過水廃液を半導体工場から買取り、ブラウン管ブラウン製造事業所または工場に硫酸過水廃液を売却することとしてもよい。ブラウン管製造事業所または工場では、運搬されてきた硫酸過水廃液の濃度を測定し、希望する濃度に過酸化水素水および／または水の一種以上を添加して、所望の混合割合をもつ過酸化水素水を含む硫酸を混合槽内にて作製し、それをフォトレジスト膜の剥離や銅箔の剥離液として用いる。ここで、濃度調整のために用いる過酸化水素水は、使用済みの過酸化水素水であってもよい。
本態様により得られた再資源化硫酸は、従来ブラウン管製造事業所または工場がフォトレジスト膜剥離用として薬品メーカーから購入していた剥離液（低濃度硫酸過水混合液）と品質グレードは同等であり、使用済み硫酸廃液の再資源化による有効利用とともに、ブラウン製造事業所または工場における製造コストの削減に貢献できることとなる。
【００２９】
図４に、本発明の使用済み硫酸の再資源化方法の他の態様を示す。本態様では、使用済み硫酸廃液の濃度測定の結果に基づいて使用済み硫酸の過酸化水素水および／または水の一種以上の添加による濃度調整を行う。より具体的には、図４の（イ）に示すように、排出元事業所Ａで使用済み硫酸廃液の濃度測定を行い、測定された濃度結果に基づいて使用済み硫酸の過酸化水素水および／または水の一種以上の添加による濃度調整を行い、ついで、濃度調整された再資源硫酸を移動体Ｂで利用先事業所Ｃに提供する。図４の（ハ）は、濃度測定およびそれに基づく濃度調整を、排出元事業所Ａの代わりに利用先事業所Ｃが行う場合を示す。また、使用済み硫酸の濃度測定を移動体Ｂで行い、その測定結果を利用先事業所Ｃに伝達し、利用先事業所Ｃが伝達された濃度結果に基づき過酸化水素水および／または水の一種以上の添加による濃度調整を行ってもよい（図４の（ロ））。
【００３０】
【発明の効果】
本発明により、或る事業所から排出された使用済み硫酸に過酸化水素水および／または水の一種以上を添加にすることにより、該硫酸廃液の付加価値を向上し、他の事業所での有効利用が促進されることになる。また、本発明においては、使用済み硫酸の付加価値を向上させるために特に大きな設備を必要としないため、ロケーションによる影響を受けることが殆ど無い。その結果、使用済み硫酸のリサイクルが促進され、使用済み硫酸を処理するための排水処理剤の削減と、排水処理の際に発生する汚泥と排水発生量の低減が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の使用済み硫酸廃液の処理の流れを示す図である。
【図２】従来の使用済み硫酸廃液の精製、再生による再利用法の一態様を示す図である。
【図３】本発明の使用済み硫酸の再資源化方法の一態様を示す図である。
【図４】本発明の使用済み硫酸の再資源化方法の他の態様を示す図であ
る。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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