(57)【要約】【課題】長期間の使用によっても劣化が起こらず、流体の移動効率を向上させることができる圧電マイクロポンプ及びその流体移動方法を提供する。【解決手段】第１の圧力室１２ａの体積を膨張させて供給孔１３から流体を流入した後、第２の圧力室１２ｂの体積を膨張させて第１の圧力室１２ａから流体を第２の圧力室に１２ｂ流入し、しかる後、第２の圧力室１２ｂの体積を収縮することで流体を排出する圧電マイクロポンプである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁で仕切られた第１、第２の圧力室を有する流路部材と、前記隔壁に形成され前記各圧力室同士を連通する連通孔と、前記第１の圧力室に連通し流体を供給する供給孔と、第２の圧力室に連通し流体を排出する排出孔と、前記流路部材に配置され各圧力室の体積を膨張・収縮できる複数の圧電部材とからなり、前記第１の圧力室の体積を膨張して流体を供給孔から流入させるとともに、前記第２の圧力室の体積を膨張させて前記第１の圧力室から流体を流入し、前記第２の圧力室の体積を収縮することで流体を排出することを特徴とする圧電マイクロポンプ。
【請求項２】
隔壁で仕切られた第１、第２の圧力室を有する流路部材と、前記隔壁に形成され前記各圧力室同士を連通する連通孔と、前記第１の圧力室に連通し流体を供給する供給孔と、第２の圧力室に連通し流体を排出する排出孔と、前記流路部材に配置され各圧力室の体積を膨張・収縮できる複数の圧電部材とからなり、前記第１の圧力室の体積を膨張させて前記供給孔から流体を流入した後、第２の圧力室の体積を膨張させて第１の圧力室から流体を第２の圧カ室に流入し、しかる後、第２の圧力室の体積を収縮することで流体を排出する圧電マイクロポンプの流体移動方法。
【請求項３】
前記第１の圧力室の体積を膨張させた後に前記第２の圧力室の体積を収縮させることで前記連通孔にかかる圧力をゼロとしたことを特徴とする請求項２記載の圧電マイクロポンプの流体移動方法。
【請求項４】
前記第２の圧力室の体積を膨張させた後に前記第１の圧力室の体積を収縮させることで前記連通孔にかかる圧カをゼロとしたことを特徴とする請求項２又は３に記載の圧電マイクロポンプの流体移動方法。
【請求項５】
前記第１の圧力室の体積を収縮した状態を維持したままで、前記第２の圧力室の体積を収縮させることで、前記第２の圧力室から第１の圧力室に流体が逆流するのを阻止したことを特徴とする請求項４記載の圧電マイクロポンプの流体移動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電マイクロポンプ及びその流体移動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、金属板の片面に圧電部材を貼り付け、この圧電部材に電界を加えることによって、圧電部材の分極方向に対して加わる電界により、圧電部材が面方向に収縮する。このとき、金属板と圧電部材との貼り合わせ面でこの収縮を拘束するため、全体的には、湾曲した状態に変形させることが出来る。この構造体に、例えば、交流電圧を加えれば、この湾曲方向が交互に変わり、この構造体の一部を固定することで一般にブザーと呼ばれる発音体となる。このように、この構造体を利用すれば、発音体だけでなく、例えば、接点を動かすリレーやアクチュエータへの利用が考えられ、これらに関する種々の応用商品が考案されている。例えば、これらの応用例の一つとして圧電マイクロポンプがある。
【０００３】
金属ダイヤフラム上に圧電素子を配置し、圧電素子の伸縮をダイヤフラムの変位に変換するものが考案実用化されている。
図３（ａ）、（ｂ）及び図４は特許第２６７１４１２号で記載されている圧電マイクロポンプを説明する斜視図、分解斜視図及び断面図である。この圧電マイクロポンプは、図３（ａ）に示すように、隔壁となる突出部４９で流体を流す流路室４２ａ、４２ｂが仕切られた流路部材Ｂに圧電板４０が取り付けられ、その両側に供給孔３３及び排出孔３４が形成されている。
【０００４】
具体的には、板状部材である支持体３８の両端に上述の供給孔３３及び排出孔３４を設けており、その表面からこれらを繋ぐ直線的な流体路３２が凹状に形成されている。また、この支持体３８の流体路３２を被せるように板状部材の支持体３９が貼り付けられることで、流路３２が中央の突出部４９により仕切られて流路室４２ａ、４２ｂが形成される。
【０００５】
更に、この支持体３９の上に圧電板４０が貼り付けられており、また、圧電板４０を形成した支持体３９上の周囲領域には、支持体３９の表裏面に複数のベローズ状継手４５が形成されている。このベローズ状継手４５は、ベローズ状に形成するのに支持体３９の表側から形成した溝４６ａ、４６ｂと裏側から形成した溝４７ａ、４７ｂを対向する位置をそれぞれずらすことで形成されている。
【０００６】
なお、圧電板４０には供給孔３３側と排出口３４側とにそれぞれ電極３１ａと電極３１ｂが設けられ、この電極３１ｂと電極３１ａの裏面の共通電極５０（不図示）は、導電性接着剤を介して、支持体３９表面の共通の電極３５と接続されている。
【０００７】
次いで、図３（ｂ）によると、この圧電マイクロポンプの内部構造は、支持体３８と支持板３９及び圧電板４０とに分解され、支持体３８には供給孔３３を形成する溝４３と排出孔３４を形成する溝４４が形成されている。
【０００８】
次に、これらの構造体の組み立て手順を説明する。まず、圧電板４０を支持する３８の突出部４９に載置するとともに圧電板４０の外形を支持体３９の表面に形成した溝４６ａの内側に合せ接着する。次に、圧電板４０が接着された支持体３９を、支持板３８の流体路３２となる流路室４２ａ、４２ｂの側壁の内側に支持体３９裏面の溝４７ｂが配置されるように合せ接着する。このことにより図３（ａ）に示した圧電マイクロポンプが製造される。
【０００９】
図４（ａ）〜（ｅ）は、従来の圧電マイクロポンプの動作を説明する図であり、（ａ）は、流体が図３（ａ）の圧電マイクロポンプの内部に充填され、圧電板４０に通電されていない状態を示すものである。この状態から、（ｂ）に示すように、圧電版４０上の電極３１ａと共通電極５０間に直流電流を通電することにより電極３１ａ直下の圧電板が変位し、圧力を発生すると同時に、ベローズ状継手４５が流路室４２ａの底に接触し、圧電マイクロポンプ内の流体は排出孔３４より排出される。次いで（ｃ）に示すように、圧電板４０上の電極３１ａ及び３１ｂと電極３５間に同時に直流電流を通電することによって、ベローズ状継手４５の排出孔３４及び供給孔３３側の両方を流路室４２ａ、４２ｂの底に接触させて、排出孔４３からの流体の逆流を防止し、かつ流路室４２ａ、４２ｂ内を流体の排出によって負圧状態とする。次いで（ｄ）、（ｅ）に示すように、圧電板４０上の電極３１ａへの通電を止め、供給孔３３側のベローズ状継手４５が流路室４２ａへ接触するのを解除することで、負圧の流路室４２ａ、４２ｂ内へ供給孔３３より流体が順次導入される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述した、従来の圧電マイクロポンプでは、図３（ａ）は、図４（ａ）〜（ｅ）に示すように、支持体３９に形成したベローズ状継手４５を用いて、圧電板４０の変位によってベローズ状継手の一部を流体路３２の底部に接触させて流体の逆流を防止して、その圧力により流体を押し出す構造であるため、ベローズ部分の剛性が低く、圧電板４０の駆動周波数は低く、高速な流体排出の制御には不向きである。
【００１１】
また、ベローズ部分の材料劣化による塑性変形により流体路３２の流路体積が長期の使用において変化し結果として流体の排出量が減少するという欠点をもっている。
【００１２】
【発明の目的】
本発明は、上述の問題に鑑みて案出されたものであり、高速応答性が高く、長期信頼性の高い圧電マイクロポンプを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、隔壁で仕切られた第１、第２の圧力室を有する流路部材と、前記隔壁に形成され前記各圧力室同士を連通する連通孔と、前記第１の圧力室に連通し流体を供給する供給孔と、第２の圧力室に連通し流体を排出する排出孔と、前記流路部材に配置され各圧力室の体積を膨張・収縮できる複数の圧電部材とからなり、前記第１の圧力室の体積を膨張して流体を供給孔から流入させるとともに、前記第２の圧力室の体積を膨張させて前記第１の圧力室から流体を流入し、前記第２の圧力室の体積を収縮することで流体を排出する圧電マイクロポンプである。
【００１４】
また、圧電マイクロポンプの流体移動方法によれば、前記第１の圧力室の体積を膨張して前記供給孔から流体を流入した後、第２の圧力室の体積を膨張させて第１の圧力室から流体を第２の圧力室に流入し、しかる後、第２の圧力室の体積を収縮することで流体を排出することを提供するものである。
【００１５】
さらに、上記移動方法において、前記第１の圧力室の体積を膨張させた後に前記第２の圧力室の体積を収縮させることで前記連通孔にかかる圧力をゼロとしたものである。
【００１６】
また、上記移動方法において、前記第２の圧力室の体積を膨張させた後に前記第１の圧力室の体積を収縮させることで前記連絡孔にかかる圧力をゼロとしたものである。
【００１７】
そして、上記移動方法において、前記第１の圧力室の体積を収縮した状態を維持したままで、前記第２の圧力室の体積を収縮させることで、前記第２の圧力室から第１の圧力室に流体が逆流するのを阻止したものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の圧電マイクロポンプの実施例について説明する。図１は本発明の圧電マイクロポンプの構造を示す図であり、図２（ａ）〜（ｆ）は、本発明の圧電マイクロポンプの駆動方法を示す断面図である。
【００１９】
本発明の圧電マイクロポンプは、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、隔壁となる突出部５ａで流体を流す圧力室１２ａ、１２ｂが仕切られた流路部材Ａに圧電板１１が取り付けられ、その両側に供給孔３及び排出孔４が形成されて成る。
【００２０】
具体的には、板状部材である支持体８の両端に供給孔３及び排出孔４を形成し、これらを繋ぐ直線的な位置に凹状に形成した溝１１２ａ、１１２ｂが直列に連結形成されている。この溝１１２ａ、１１２ｂは支持体８に被せるように板状部材である枠体９が貼り付けられており、更に枠体９を覆うように板状部材の支持板１０が貼り付けられ形成される。このように溝１１２ａ、１１２ｂと枠体９及び支持板１０により、枠体９の突出部５ａが隔壁となり圧力室１２ａ、１２ｂが形成される。
【００２１】
圧電板１１ａ、１１ｂは、支持板１０の圧力室１２ａ、１２ｂの直上の位置に貼り付けられている。圧電板１１ａ、１１ｂには、電圧を印加するために支持板１０に接合する下面に電極２ａ、２ｂが、その対向する位置に電極１ａ、１ｂがそれぞれ設けられている。この圧電板１１ａ、１１ｂに電圧を印加することで後述の圧力室１２ａ、１２ｂの体積が膨張、収縮可能に構成されている。
【００２２】
次に図１（ｂ）を用いて、更に具体的な構造を説明する。
圧電マイクロポンプは、圧力室１２ａ、１２ｂを形成する支持体８、枠体９及び支持板１０とその圧力室１２ａ、１２ｂの体積を膨張させる圧電板１１ａ、１１ｂからなり、支持板８には供給孔３を形成する溝１３と排出孔４を形成する溝１４が形成され、また、これらの溝を繋いで溝１１２ａ、１１２ｂが形成されている。更に、この二つの溝の間には、圧力室１２ａ、１２ｂを繋ぐ連通孔５が設けられている。枠体９には、圧力室１２ａ、１２ｂの壁の一部となる空隙１５ａ、１５ｂが設けられている。圧電板１１ａ、１１ｂには、下面に電極２ａ、２ｂが設けられ、上面には電極１ａ、１ｂが形成されている。これらの製造方法としては、まず、圧電板１１ａ、１１ｂを支持板１０直下の枠体９の空隙１５ａ、１５ｂの内側に位置に合わせ導電性接着剤で接着する。次に、圧電板１１ａ、１１ｂが接着された支持板１０を、枠体９の空隙１５ａ、１５ｂの内側に圧電板１１ａ、１１ｂが配置されるように、枠体９へ接着する。次いで、支持体８の圧力室１２ａ、１２ｂの側壁の内側に圧電板１１ａ、１１ｂが配置されるようにに合せ接着する。このことにより図１（ａ）に示した圧電マイクロポンプができる。
【００２３】
ここで、支持体８及び枠体９及び支持板１０を構成する材質としては、特に限定するものではなく、樹脂、石英、ガラス、シリコン、金属、セラミックスを各々任意に用いることができる。また、図１（ａ）では、支持体８及び枠体９を２枚の板材からなるものを示しているが、上記材質からなる板材を一層で用いても良く、この場合、支持体８及び枠体９には、微小な形状をエッチング等の技術を用いて形成しやすい、石英、シリコン、金属を用い、支持版１０は、厚み薄くする必要があるため、エッチング加工が可能なシリコン、圧延加工が可能な金属を用いることが好ましい。図１（ａ）において支持体８及び枠体９は２つの部品として示しているが、必ずしも、２つの部品である必要はなく、セラミックス等の積層一体焼結体や、シリコンの異方性エッチングでの一体加工品や樹脂成型一体品を用いることも可能である。
【００２４】
また、圧電板１１を構成する材質としては、圧電定数の高い、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ）等を主成分とする圧電セラミックスを用いることで低電圧での駆動が可能になる、場合によっては、上記圧電セラミックスを内部に電極を有する積層構造とすることで、更に低電圧で駆動することができるため好ましい。
【００２５】
また、電極２ａ、２ｂ、１ａ、１ｂを構成する材質としては、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｒｈ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｃｒのうち１種以上を主成分とするものを導体として用いれば良く、厚膜印刷、スパッタリング、蒸着等の薄膜プロセスで電極を圧電板１１上に形成することが出来るが、支持版１０への接着を均一に行うためには、薄膜プロセスで形成されたものが、接着層の厚みが均一となり、変位安定することから好ましい。
【００２６】
本発明の圧電マイクロポンプは、一般的に圧力波によって生じるウォータハンマ現象、即ち、配管等で圧力波の反射衝撃によって水中や大気中を伝わる騒音や振動が発生する現象を用いている。以下に、本発明の圧電マイクロポンプの具体的な駆動方法に関して説明をする。
【００２７】
図２（ａ）〜（ｆ）は本発明の圧電マイクロポンプの動作を示す断面図である。まず、図２（ａ）の状態はどちらの圧電体１１ａ、１１ｂの電極にも圧電がかかっていない状態で、圧力室１２ａ、１２ｂ内の流体は停滞したままである。
【００２８】
次に、図２（ｂ）に示すように圧力室１２ａ直上の支持板１０を圧電板１１ａにより上方に大きく変位させ、圧力室１２ａの体積を膨張させ、負の圧力を与える。これにより流体が圧カ室１２ａに供給孔３、連通孔６１を通じて流入する。
【００２９】
その後、図２（ｃ）に示すように圧電板１１ａと略同時のタイミングにて圧力室１２ｂ直上の支持板１０を圧電板１１ｂにより下方に変位させ、圧力室１２ｂの体積を収縮し、正の圧力を与える。この場合、圧力室１２ａの変位よりも小さい下方の変位を圧電体１１ｂに与えて圧力室１２ｂ内の流体が移動しないようにする。即ち、連通孔５の圧力をゼロとなるように圧力室１２ｂに正の圧力を与える。これにより、排出孔４から流体が逆流してくるのを防止している。
【００３０】
次に、図２（ｄ）に示すように圧力室１２ｂ直上の支持板１０を圧電板１１ｂにより上方に大きく変位させ、圧力室１２ｂの体積を膨張させ、負の圧力を与える。これにより流体が圧力室１２ａから連通孔５を通じて圧カ室１２ｂに流入する。その後、図２（ｅ）に示すように圧力室１２ａ直上の支持板１０を圧電板１１ａにより下方に変位させ、圧力室１２ａの体積を収縮し、正の圧力を与える。
【００３１】
この場台、圧力室１２ｂの変位よりも小さい下方の変位を圧電体１１ａに与えて圧力室１２ａ内の流体が移動しないようにする。即ち、連通孔５の圧力をゼロとなるように圧力室１２ｂに正の圧力を与える。これにより、供給孔３に流体が逆流して排出されるのを防止している。
【００３２】
最後に、図２（ｆ）に示すように、圧力室１２ａ直上の支持板１０の変位を図２（ｄ）、（ｅ）のようにな状態に維持しつつ、圧力室１２ｂの上方に変位した支持板１０を下方に変位させて圧力室１２ｂに正の圧力を与えることで、圧力室１２ｂから圧力室１２ａに流体が逆流するのを阻止する。このようにして連通孔６２を通じて排出口４から流体を排出する。
【００３３】
以上に説明した一連の動作を連続的に錬り返すことによって、本発明の圧電マイクロポンプは流体を供給孔３より導入し、排出孔４より排出することができる。そして、上述のような逆流が生じないように支持板１０の変位を制御しながら簡単に流体を供給孔３から排出孔４へ向かって移動させることが可能となり、ポンプとしての機能を発揮することが可能となる。
【００３４】
なお、本発明ではそれぞれに逆流を防止する処置をとっているが、逆流を防止するようにしなくても流体を移動させることができることはいうまでもない。
【００３５】
また、本実施例では、圧力室を２つ直列構造としたものを、説明しているが、より高い圧力での流体のの供給、粘性の大きい流体を供給する場合には、本発明の内容は逸脱しない範囲で、更に複数の圧力室を直列に連結することで圧電マイクロポンプを構成することもできる。また、本発明の圧電マイクロポンプの流体排出量は、６μｌ〜２０μｌ／分であるが、更に流体の排出量を増やしたい場合は、圧電マイクロポンプを並列にスタックした構造のポンプを用いることで流体の排出が可能となる。また、流体排出量を小さくしたい場合は、圧力室のサイズ、供給孔、排出孔、連通孔のサイズを最適なサイズに変更することで対応することは可能である。
【００３６】
次に、圧電マイクロポンプの製造方法を説明する。まず本発明に用いる圧電板１１ａ、１１ｂの基板は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料粉末を有機バインダとともに溶媒中に分散し、スラリー状とする。このスラリーがドクタープレードを用いたスリップキャスティング法によって厚さ４００μｍ程度の均一な厚みの圧電材料グリーンシートを製作する。次に、この圧電材料グリーンシートを所定の大きさに打ち抜き、続いて、この圧電材グリーンシートを金型にはめ込み、８０℃前後の温度で加熱しながら、約５００ｋｇ／ｃｍ２〜１０００ｋｇ／ｃｍ２の圧力を加えて密度を高めた圧電材料グリーンシートにし、次ぎに昇温速度２５℃／時間でゆっくり上昇させ、５００〜６００℃程度で保持し、このシート中の有機物を取り除き、更に、９００〜１２００℃で焼成して完成する。更に、これらの圧電体に、電極１ａ、１ｂと電極２ａ、２ｂの間にそれぞれ直流電源を接続し、１．０ｋｖ／ｍｍ〜３．０ｋｖ／ｍｍとなる電界を絶縁性の高いシリコンオイル中で５分間与え分極処理を行う。
【００３７】
次に、支持板１０及び枠体９、支持体８はステンレス板より製作する。この支持体８には、通常の化学的エッチング法により圧力室１２ａ、１２ｂ、供給孔３及び排出孔４となるそれぞれの溝１３，１４等を、例えば、深さ０．１〜１ｍｍ程度に形成する。また、この実施例で製作した支持体８の溝の寸法は、圧力室１２ａ、１２ｂの幅が２．０ｍｍで、長さ０．５ｍｍ、深さ０．１ｍｍであり、供給孔３及び排出孔４の溝幅は０．５ｍｍで、深さ０．０５ｍｍであった。更に、二つの圧力室を繋ぐ連通孔５および供給孔３、排出孔４と各圧力室を繋ぐ連通孔６の溝幅は、０．０１ｍｍ、深さを０．０５ｍｍに製作する。
【００３８】
また、枠体９は、０．１ｍｍ〜０．２ｍｍのステンレス板を通常の化学エッチング法でくり抜き製作する。一方支持板１０は厚さ０．０２〜０．０５ｍｍ厚みのステンレス板より製作する。以上のようにして得た支持板１０に圧電板１１ａ、１１ｂを導電性のエポキシ系接着剤等により接着した。支持版１０、枠体９、支持体８の外周部と接合面の裏面を支持可能で、支持板１０、枠体９、支持体８を互いに対向張り合わせの可能な１対の治具を用いて、まず支持体８を片方の治具上へ固定し、次いで枠体９残りの治具上へ固定し、接合面にエポキシ樹脂を塗布、張り合わせすることで接合をした。次いで枠体９の接合の完了した支持体８を上述の片方の治具に固定し、残りの治具上に圧電板１１ａ、１１ｂを接着した支持板１０を固定し、接合面に同様にエポキシ樹脂を塗布し、張り合わせ接合することで圧電マイクロポンプを製作できる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明の請求項１に記載の圧電マイクロポンプによれば、第１の圧力室の体積を膨張して流体を供給孔から流入させるとともに、第２の圧力室の体積を膨張ささせて第１の圧力室から流体を流入し、第２の圧力室の体積を収縮することで流体を排出するために、第１の圧力室、第２の圧力室の体積膨張、収縮だけで流体を供給、排出することが出来るため、高速応答性が高く、従来技術のようにベローズの接触を伴うことなく、長期使用によっても劣化がない信頼性の高い圧電マイクロポンプを供給することができる。
【００４０】
また、請求項２記載の圧電マイクロポンプの流体移動方法によれば、第１の圧力室の体積を一時的に膨張させて第１の圧力室から流体を第２の圧力室に流入し、しかる後、第２の圧力室の体積を一時的に収縮することで、体積変化のみで流体を移動するので、高速応答性が高く、かつ、従来技術のような流体移動にベローズの接触を伴うことがないため、長期使用によっても劣化がないので流体体積の変化がないものである。
【００４１】
また、請求項３の圧電マイクロポンプの流体移動方法によれば、第１の圧力室の体積を一時的に膨張させた後に前記第２の圧力室の体積を一時的に収縮させることで前記連通孔にかかる圧力をゼロとしたために、排出孔から流体が逆流して入ってくることを簡単に防止でき、移動効率を向上させ、信頼性を高くすることが出来る。
【００４２】
さらに、請求項４の圧電マイクロポンプの流体移動方法によれば、前記第２の圧力室の体積を膨張させた後に前記第１の圧力室の体積を収縮させることで前記連通孔にかかる圧力をゼロとしたため、供給孔から流体が逆流して排出されるのを簡単に防止でき、移動効率を向上させ、信頼性を高くすることが出来る。
【００４３】
また、請求項５の圧電マイクロポンプの流体移動方法によれば、前記第１の圧力室の体積を収縮した状態を維持したままで、前記第２の圧力室の体積を収縮させることで、前記第２の圧力室から第１の圧力室に流体が逆流するのを阻止したために、移動効率が更に向上し、信頼性を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の圧電マイクロポンプを示す斜視図、（ｂ）は本発明の圧電マイクロポンプを示す分解斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｆ）は、本発明の圧電マイクロポンプの動作を示す断面図である。
【図３】（ａ）は、従来の圧電マイクロポンプを示す斜視図、（ｂ）は、従来の圧電マイクロポンプを示す分解斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は従来の圧電マイクロポンプの動作を示す断面図である。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ、２ａ、２ｂ、３１ａ、３１ｂ、３５・・・電極
１２ａ、１２ｂ・・・圧力室
３、４３・・・供給孔
４，４４・・・排出孔
５、６、６１，６２・・・連通孔
８、３８・・・支持体
９・・・枠体
１０、３９・・・支持板
１１ａ、１１ｂ，４０・・・圧電板
３２・・・流体路
１３、１４、４２ａ、４２ｂ、４３，４４・・・溝
４５・・・ベローズ型継ぎ手
１５ａ、１５ｂ・・・空隙
４６ａ、４６ｂ、４７ａ、４７ｂ・・・溝
５０・・・共通電極
【図１】
2004084584.tif 000003
【図２】
2004084584.tif 000004
【図３】
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【図４】
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