(57)【要約】【課題】極座標上での合否判定が可能な測定装置の提供【解決手段】基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔、ならびに、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標および半径を入力する入力手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、判定手段とを備え、前記判定手段は、前記測定値と前記中心座標との差分値を求め、さらに、前記差分値と前記半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する。【選択図】図２
2004354094.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、
入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【請求項２】
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、
前記測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【請求項３】
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の網解析装置。
【請求項４】
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するための第三の入力手段を備え、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記第三の入力手段により入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の網解析装置。
【請求項５】
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の網解析装置。
【請求項６】
前記測定値を表示する時、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする請求項５に記載の網解析装置。
【請求項７】
網解析装置において、
被測定物の網特性を測定する手段と
前記測定手段により測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定する手段と、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、極座標上において被測定物の性能の合否を自動的に判定する測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
極座標表示機能を有する測定装置の一例として、ネットワーク・アナライザがある（例えば、特許文献１を参照。）。ネットワーク・アナライザで表示される極座標形式には、幾つかの種類があり、ポーラー・チャートならびにポーラー・チャートを変形したスミス・チャートおよびイミタンス・チャートなどがある。例えば、スミス・チャートは、電子部品の性能の合否を判定する際に使用される。以下に、電子部品の性能の合否判定の一例を示す。
【０００３】
一般に、電子部品の性能の合否は、ネットワーク・アナライザの画面上に表示されるスミス・チャート上にプロットされる測定値が所定の半径を有する円内に収まっているか否かにより判定される場合がある。この判定のための円を判定円と称する。例えば、電子部品は、そのリターン・ロスの測定値が、ある複素インピーダンス値の近辺にある時に合格と判定される。現状、試験者は、ネットワーク・アナライザの画面上に所定の半径を有する円が描かれた透明のフィルムを張り付け、その円内に電子部品の測定値が収まっているか否かを目視により確認して、電子部品の性能合否を判定している。
【０００４】
【特許文献１】
特開昭６４−８８１６５号公報（第２−３頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、目視による合否判定は、判定結果のバラツキが大きく、判定誤りが生じやすい。特に、フィルム上の判定円は一定の太さの線で描かれているので、測定結果が判定円に隠れるなどして判定円付近での判定の誤り率が高まる。また、極座標表示された測定結果のうち特定の掃引点を識別する事が難しいため、合否判定を他の検査と併合しにくいという問題もある。例えば、フィルタの量産検査を行う場合、まず、判定円を描いたフィルムを用いて通過帯域の特性の合否を判定し、次に掃引条件を変更して通過帯域と阻止帯域とを含む全体的な帯域特性の観測が行われており、検査効率が悪い。さらに、外部回路の付加が要求される被測定物は、測定結果が極座標の原点から離れた位置に表示されるので、測定結果全体を表示させた場合に測定結果が小さく表示され、判定誤りを誘起する。また、この場合、最適な状態で測定結果が判定円内に収まるように、判定結果や測定結果を見ながら被測定物を調整することが難しい。
【０００６】
そこで、本発明は上記の課題を解決するために、極座標上で被測定物の合否を判定できる測定装置を提供することを目的とする。また、判定円に影響されることなく正確かつ安定に被測定物の合否を判定できる測定装置を提供する事も目的とする。さらに、他の検査と併合が容易な合否判定機能を有する測定装置を提供する事も目的とする。またさらに、調査作業を容易にする合否判定機能を有する測定装置を提供する事も目的とする。また、上記の装置を実現するための方法およびプログラムを提供することも目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本第一発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【０００８】
本第二発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【０００９】
本第三発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の半径と中心座標を入力するための第二の入力手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とするものである。
【００１０】
本第四発明は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、前記測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、を備えることを特徴とする網解析装置。
【００１１】
本第五発明は、本第一発明乃至本第四発明において、前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、ことを特徴とするものである。
【００１２】
本第六発明は、本第一発明乃至本第四発明において、前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するための第三の入力手段を備え、前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記第三の入力手段により入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、ことを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付の図面に示す好適実施形態に基づいて説明する。本発明の第一の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その概略構成を図１に示す。
【００１４】
図１において、ネットワーク・アナライザ１００は、構成要素として、測定部１１０と、表示部１２０と、記憶部１３０と、演算処理部１４０と、ドライブ装置１５０と、入力部１６０と、通信部１７０とを備える。
【００１５】
測定部１１０は、測定ポートＰ１と測定ポートＰ２とを備え、各ポートに接続される被測定物１０の網特性を測定する装置。測定ポートＰ１および測定ポートＰ２のそれぞれは、基準信号を出力し、また、入射信号および出射信号の振幅を測定することができる。図示の便宜上、測定部１１０が備える測定ポート数は２つであるが、特に、これに限定される訳ではない。例えば、流通しているネットワーク・アナライザには、３ポートまたは４ポートを有するものがある。さて、測定部１１０は、測定ポートＰ１と測定ポートＰ２を介して、２ポート・デバイスである被測定物１０と接続されている。被測定物１０の測定ポートＰ１における反射係数を測定する場合、測定部１１０は、基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら測定ポートＰ１から出力し、測定ポートＰ１における入射信号および出射信号のエネルギーを測定するようにすれば良い。反射係数は、入射信号と出射信号との比として算出される。なお、比の計算は、演算処理部１４０で行っても良い。
【００１６】
表示部１２０は、ネットワーク・アナライザ１００の測定値や設定情報などの各種情報を表示する手段である。表示部１２０は、各種情報を出力できる手段であれば良く、ＬＥＤランプや液晶パネルディスプレイなどが利用できる。
【００１７】
記憶部１３０は、プログラムや測定部１１０の測定値などの各種データが格納される記憶手段である。記憶部１３０は、交換不可能な記憶媒体を備える記憶手段である。例えば、記憶部１３０は、ＲＡＭ、ＣＰＵ内のレジスタ、または、固定ディスクドライブ装置などである。
【００１８】
演算処理部１４０は、プログラムを実行することにより少なくとも１つの機能が実現されるコンピュータ手段である。本実施形態において、演算処理部１４０は、マイクロ・プロセッサである。しかし、演算処理部１４０は、マイクロ・プロセッサに限定されず、ディジタル・シグナル・プロセッサなど、演算機能および制御機能を有する他の型のプロセッサであっても良い。また、演算処理部１４０は、２以上のプロセッサを備えることもできる。演算処理部１４０は、ネットワーク・アナライザ１００全体の動作を制御し、測定部１１０で測定した測定値の演算処理などを行う。なお、制御部１２０が実行するプログラムは、記憶部１３０に格納されるものであるか、ドライブ装置１５０から読み出されるものであるか、または、入力部１６０を介して受信するものである。
【００１９】
ドライブ装置１５０は、プログラムや測定部１１０の測定値などの各種データが格納される手段である。ドライブ装置１５０は、交換可能な記憶媒体を備える記憶手段である。例えば、ドライブ装置１５０は、ＣＤ−ＲＯＭドライブやメモリーカード・リーダーなどである。
【００２０】
入力部１６０は、入力手段の一例であって、ネットワーク・アナライザ１００の使用者からの情報入力を受信する手段である。例えば、入力部１６０は、ボタン、バーニヤ・ノブ、または、キーボードなど情報入力に適した入力手段を具備することができる。
【００２１】
通信部１７０は、ネットワーク・アナライザ１００に外部装置との通信を可能にさせる手段である。例えば、通信部１７０は、シリアルインタフェース、パラレルインターフェース、または、ＬＡＮインターフェースなどを具備することができる。通信部１７０は、通信媒体を介して情報を受信する場合、記憶部１３０や入力部１６０などの機能を代行することができる。また、通信部１７０は、通信媒体を介して情報を送信する場合、表示部１２０の機能を代行することもできる。
【００２２】
測定部１１０と表示部１２０と記憶部１３０と演算処理部１４０とドライブ装置１５０と入力部１６０と通信部１７０とは、バス１８０を介して互い接続され互いに通信が可能である。
【００２３】
次に、ネットワーク・アナライザ１００の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ１００は、プログラムを実行する演算処理部１４０の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部１４０が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ１００の動作手順を示すフローチャートを図２に示す。また、記憶部１３０に含まれる記憶領域を示す図を、図３に示す。以下の説明は、図１と図２と図３を参照する。
【００２４】
まず、ステップ１ａにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ１００は、入力部１６０を介して基準信号の掃引範囲と掃引間隔とが入力され、入力された掃引範囲と掃引間隔とを記憶部１３０に格納する。この時、掃引範囲は、掃引始点と掃引終点との組で指定される。従って、記憶部１３０は、掃引始点を記憶するための記憶領域２００、掃引終点を記憶するための記憶領域２１０、および、掃引間隔を記憶するための記憶領域２２０を備える。また、掃引範囲は掃引範囲の中心と掃引幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域２００および記憶領域２１０は、掃引始点および掃引終点に代えて、掃引範囲の中心および掃引幅が格納される。なお、掃引始点、掃引終点、掃引範囲の中心、掃引幅、および、掃引間隔は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。また、掃引始点、掃引終点、掃引範囲の中心、掃引幅、および、掃引間隔は、全て実数である。
【００２５】
次に、ステップ２ａにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ１００は、入力部１６０を介して合否判定の対象となる範囲、ならびに、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標および半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部１３０に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部１３０は、判定開始点を記憶するための記憶領域２３０、判定終了点を記憶するための記憶領域２４０、中心座標を記憶するための記憶領域２６０、および、半径を記憶するための記憶領域２７０を備える。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域２３０および記憶領域２４０は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。また、判定円の中心座標は複素数である。
【００２６】
次に、ステップ３ａにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、表示部１２０に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Ｌｋの集合、または、下式で表される点Ｌｋ同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部１２０の制御は、演算処理部１４０によって行われる。なお、判定円は、表示部１２０に表示される極座標上に描画される。
【００２７】
【数１】
2004354094.tif 000003
【００２８】
ここで、ｋは、０〜（Ｍ−１）までの整数である。Ｍは、判定円の分割数であり、任意の値である。Ｒは、記憶領域２７０に記憶された半径である。Ｃｒは、記憶領域２６０に記憶された中心座標の実部の値である。Ｃｉは、記憶領域２６０に記憶された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部１４０により読み出される。
【００２９】
次に、ステップ４ａにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、被測定物１０の網特性を測定する。その詳細は次の通りである。まず、測定部１１０により測定点数ｎ個の測定値が得られる。測定点数ｎは、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に１を加えた値である。ｎ個の測定値は、記憶部１３０内の記憶領域３８０に格納される。記憶領域３８０には、要素Ｍ１から要素Ｍｎで構成される複素配列が記憶されている。複素配列の各要素には、ｎ個の測定値のそれぞれが格納される。なお、要素Ｍｎの添え字ｎは、要素の識別番号である。
【００３０】
次に、ステップ５ａにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部１４０は、記憶領域３８０の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部１４０は、表示部１２０を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部１４０は、さらに、記憶領域２６０に格納された中心座標と記憶領域２７０に格納された半径を読み出す。そして、演算処理部１４０は、読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。さらに、演算処理部１４０は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の大きさが参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部１４０は、表示部１２０を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部１４０は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域２５０に“１”を設定する。なお、記憶領域２５０は、記憶部１３０内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域２５０に格納される判定結果が“０”であれば合格を表し、判定結果が“１”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域２５０は“０”が設定されている。ステップ５ａにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【００３１】
最後に、ステップ６ａにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、判定結果の表示を行う。具体的には、演算処理部１４０が記憶部１３０内の記憶領域２５０を読み出し、その読み値に従って以下の処理を行う。記憶領域２５０が“０”である場合、演算処理部１４０は、表示部１２０に「被測定物２０が合格である」ことを表示する。一方、記憶領域２５０が“１”である場合、演算処理部１４０は、表示部１２０に「被測定物２０が不合格である」ことを表示する。
【００３２】
第一の実施形態における判定円は真円であるが、被測定物１０の特性によっては真円でない方が好ましい場合もある。そこで、判定円を真円以外にも定義できるようにした第二の実施形態および第三の実施形態について、以下に説明する。
【００３３】
本発明の第二の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図１に示す通りである。ただし、第二の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００の動作と異なる。
【００３４】
ここで、第二の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ１００は、プログラムを実行する演算処理部１４０の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部１４０が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ１００の動作手順を示すフローチャートを図２に示す。また、記憶部１３０内に含まれる記憶領域を示す図を、図４に示す。以下の説明は、図１と図２と図４を参照する。
【００３５】
まず、ステップ１ｂにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ１ｂは、ステップ１ａと同一の処理を行う。
【００３６】
次に、ステップ２ｂにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ１００は、入力部１６０を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部１３０に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部１３０は、判定開始点を記憶するための記憶領域２３０、判定終了点を記憶するための記憶領域２４０、中心座標を記憶するための記憶領域２６０、および、半径を記憶するための記憶領域３７０を備える。記憶領域３７０には、要素Ｒ１から要素Ｒｎで構成される実数配列が記憶されている。ｎは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に１を加えた値である。実数配列の各要素には、ｎ個の半径のそれぞれが格納される。なお、要素Ｒｎの添え字ｎは、要素の識別番号である。例えば、記憶領域３７０の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域３７０の配列の要素の値を変えることにより、楕円や四角形など他の形になる。本明細書では、中心座標と半径とで与えられる合否判定のための境界線を、その形に限定されることなく、判定円と称する。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域２３０および記憶領域２４０は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。また、判定円の中心座標は複素数である。
【００３７】
次に、ステップ３ｂにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、表示部１２０に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Ｌｋの集合、または、下式で表される点Ｌｋ同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部１２０の制御は、演算処理部１４０によって行われる。なお、判定円は、表示部１２０に表示される極座標上に描画される。
【００３８】
【数２】
2004354094.tif 000004
【００３９】
ここで、ｎは測定点数である。ｋは、０〜（ｎ−１）までの整数である。Ｒは、記憶領域３７０の配列の要素Ｒｋに格納された半径である。Ｃｒは、記憶領域２６０に記憶された中心座標の実部の値である。Ｃｉは、記憶領域２６０に記憶された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部１４０により読み出される。
【００４０】
次に、ステップ４ｂにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、被測定物１０の網特性を測定する。ステップ４ｂは、ステップ４ａと同一の処理を行う。
【００４１】
次に、ステップ５ｂにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部１４０は、記憶領域３８０の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部１４０は、表示部１２０を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部１４０は、さらに、記憶領域２６０に格納された中心座標を読み出す。そして、演算処理部１４０は、先ほど読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部１４０は、記憶領域３７０の配列の要素に格納された半径を読み出す。この時、半径は、差分値を得る時に読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域３７０の配列の要素の識別番号と、差分値を得る時に読み出した記憶領域３８０の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。そして、演算処理部１４０は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部１４０は、表示部１２０を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部１４０は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域２５０に“１”を設定する。なお、記憶領域２５０は、記憶部１３０内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域２５０に格納される判定結果が“０”であれば合格を表し、判定結果が“１”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域２５０は“０”が設定されている。ステップ５ｂにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【００４２】
最後に、ステップ６ｂにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、判定結果の表示を行う。ステップ６ｂは、ステップ６ａと同一の処理を行う。
【００４３】
続いて第三の実施形態について、以下に説明する。
【００４４】
本発明の第三の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図１に示す通りである。ただし、第三の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００の動作と異なる。
【００４５】
ここで、第三の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ１００は、プログラムを実行する演算処理部１４０の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部１４０が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ１００の動作手順を示すフローチャートを図２に示す。また、記憶部１３０内に含まれる記憶領域を示す図を、図５に示す。以下の説明は、図１と図２と図５を参照する。
【００４６】
まず、ステップ１ｃにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ１ｃは、ステップ１ａと同一の処理を行う。
【００４７】
次に、ステップ２ｃにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ１００は、入力部１６０を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部１３０に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部１３０は、判定開始点を記憶するための記憶領域２３０、判定終了点を記憶するための記憶領域２４０、中心座標を記憶するための記憶領域３６０、および、半径を記憶するための記憶領域２７０を備える。記憶領域３６０には、要素Ｃ１から要素Ｃｎで構成される複素配列が記憶されている。ｎは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に１を加えた値である。複素配列の各要素には、ｎ個の中心座標のそれぞれが格納される。なお、要素Ｃｎの添え字ｎは、要素の識別番号である。例えば、記憶領域３６０の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域３６０の配列の要素の値を変えることにより、真円以外の形になる。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域２３０および記憶領域２４０は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。さらに、判定円の中心座標は複素数である。
【００４８】
次に、ステップ３ｃにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、表示部１２０に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Ｌｋの集合、または、下式で表される点Ｌｋ同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部１２０の制御は、演算処理部１４０によって行われる。なお、判定円は、表示部１２０に表示される極座標上に描画される。
【００４９】
【数３】
2004354094.tif 000005
【００５０】
ここで、ｎは測定点数である。ｋは、０〜（ｎ−１）までの整数である。Ｒは、記憶領域２７０に記憶された半径である。Ｃｋｒは、記憶領域３６０の配列の要素Ｃｋに格納された中心座標の実部の値である。Ｃｋｉは、記憶領域３６０の配列の要素Ｃｋに格納された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部１４０により読み出される。
【００５１】
次に、ステップ４ｃにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、被測定物１０の網特性を測定する。ステップ４ｃは、ステップ４ａと同一の処理を行う。
【００５２】
次に、ステップ５ｃにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部１４０は、記憶領域３８０の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部１４０は、表示部１２０を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部１４０は、さらに、記憶領域３６０の配列の要素に格納された中心座標を読み出す。この時、中心座標は、先ほど読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域３６０の配列の要素の識別番号と、記憶領域３８０の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。演算処理部１４０は、予め読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部１４０は、記憶領域２７０に記憶された半径を読み出す。そして、演算処理部１４０は、得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部１４０は、表示部１２０を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部１４０は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域２５０に“１”を設定する。なお、記憶領域２５０は、記憶部１３０内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域２５０に格納される判定結果が“０”であれば合格を表し、判定結果が“１”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域２５０は“０”が設定されている。ステップ５ｃにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【００５３】
最後に、ステップ６ｃにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、判定結果の表示を行う。ステップ６ｃは、ステップ６ａと同一の処理を行う。
【００５４】
さらに、第二の実施形態と第三の実施形態は、それぞれの利用技術を融合することも可能である。そのような変形例を第四の実施形態として、以下に説明する。
【００５５】
本発明の第四の実施形態は、ネットワーク・アナライザであって、その構成は図１に示す通りである。ただし、第四の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００は、その動作が第一の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００の動作と異なる。
【００５６】
ここで、第四の実施形態におけるネットワーク・アナライザ１００の動作手順を以下に説明する。前述の通り、ネットワーク・アナライザ１００は、プログラムを実行する演算処理部１４０の制御により動作する。従って、以下の動作手順は、演算処理部１４０が実行するプログラムの流れを説明するものでもある。ここで、ネットワーク・アナライザ１００の動作手順を示すフローチャートを図２に示す。また、記憶部１３０内に含まれる記憶領域を示す図を、図６に示す。以下の説明は、図１と図２と図６を参照する。
【００５７】
まず、ステップ１ｄにおいて、測定に関する設定情報が入力される。ステップ１ｄは、ステップ１ａと同一の処理を行う。
【００５８】
次に、ステップ２ｄにおいて、合否判定に関する設定情報が入力される。ネットワーク・アナライザ１００は、入力部１６０を介して合否判定の対象となる範囲、および、被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径が入力され、入力された判定範囲と中心座標と半径とを記憶部１３０に格納する。合否判定の対象範囲は、基準信号の掃引範囲内で指定され、判定開始点と判定終了点との組で指定される。従って、記憶部１３０は、判定開始点を記憶するための記憶領域２３０、判定終了点を記憶するための記憶領域２４０、中心座標を記憶するための記憶領域３６０、および、半径を記憶するための記憶領域２７０を備える。記憶領域３６０には、要素Ｃ１から要素Ｃｎで構成される複素配列が記憶されている。ｎは、測定点数であり、掃引範囲の幅を掃引間隔で割った値に１を加えた値である。複素配列の各要素には、ｎ個の中心座標のそれぞれが格納される。なお、要素Ｃｎの添え字ｎは、要素の識別番号である。また、記憶領域３７０には、要素Ｒ１から要素Ｒｎで構成される実数配列が記憶されている。なお、要素Ｃｎの添え字ｎも、また要素の識別番号である。例えば、記憶領域３６０および記憶領域３６０の配列の要素の値が全て同一であれば、判定円は真円となる。判定円は、記憶領域３６０または記憶領域３７０の配列の要素の値を変えることにより、真円以外の形になる。また、合否判定の対象範囲は判定範囲の中心と判定範囲の幅との組により指定する事ができ、その場合、記憶領域２３０および記憶領域２４０は、判定開始点および判定終了点に代えて、判定範囲の中心および判定範囲の幅が格納される。なお、判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、および、判定範囲の幅は、電力掃引の場合には電力が入力され、周波数掃引の場合には周波数が入力される。判定開始点、判定終了点、判定範囲の中心、判定範囲の幅、および、判定円の半径は、実数である。さらに、判定円の中心座標は複素数である。
【００５９】
次に、ステップ３ｄにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、表示部１２０に判定円を表示する。判定円は、下式で表される点Ｌｋの集合、または、下式で表される点Ｌｋ同士を結ぶ線の集合として描かれる。下式の計算、および、計算結果に基づく表示部１２０の制御は、演算処理部１４０によって行われる。なお、判定円は、表示部１２０に表示される極座標上に描画される。
【００６０】
【数４】
2004354094.tif 000006
【００６１】
ここで、ｎは測定点数である。ｋは、０〜（ｎ−１）までの整数である。Ｒは、記憶領域３７０の配列の要素Ｒｋに格納された半径である。Ｃｋｒは、記憶領域３６０の配列の要素Ｃｋに格納された中心座標の実部の値である。Ｃｋｉは、記憶領域３６０の配列の要素Ｃｋに格納された中心座標の虚部の値である。上式の計算に用いられる半径、中心座標、掃引範囲、および、掃引間隔は、それぞれ対応する記憶領域から演算処理部１４０により読み出される。
【００６２】
次に、ステップ４ｄにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、被測定物１０の網特性を測定する。ステップ４ｄは、ステップ４ａと同一の処理を行う。
【００６３】
次に、ステップ５ｄにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、測定結果の合否判定と表示を行う。その詳細は次の通りである。まず、演算処理部１４０は、記憶領域３８０の配列の要素に格納された測定値を読み出す。読み出した測定値が判定範囲外で測定されたものであれば、演算処理部１４０は、表示部１２０を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。読み出した測定値が判定範囲内で測定されたものであれば、演算処理部１４０は、さらに、記憶領域３６０の配列の要素に格納された中心座標を読み出す。この時、中心座標は、先ほど読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域３６０の配列の要素の識別番号と、記憶領域３８０の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。演算処理部１４０は、予め読み出した測定値から読み出した中心座標を差し引き、差分値を得る。続いて、演算処理部１４０は、記憶領域３７０の配列の要素に格納された半径を読み出す。この時、半径は、差分値を得る時に読み出した測定値に関連して読み出される。例えば、記憶領域３７０の配列の要素の識別番号と、差分値を得る時に読み出した記憶領域３８０の配列の要素の識別番号とが、一致するように読み出される。そして、演算処理部１４０は、先ほど得られた差分値と読み出した半径とを参照し、参照する差分値の大きさが参照する半径以下であれば合格と判定する。また、参照する差分値の絶対値が参照する半径未満の場合に、合格と判定しても良い。さて、合格と判定した場合、演算処理部１４０は、表示部１２０を制御して、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色で点をプロットする。一方、不合格と判定した場合、演算処理部１４０は、読み出した測定値を用いて極座標上に通常色とは異なる色でプロットし、記憶領域２５０に“１”を設定する。なお、記憶領域２５０は、記憶部１３０内にあって、合否判定の結果が格納されている。記憶領域２５０に格納される判定結果が“０”であれば合格を表し、判定結果が“１”であれば不合格を表す。初期状態の記憶領域２５０は“０”が設定されている。ステップ５ｄにおける上記の処理は、全ての測定値に対して実施される。なお、プロットされる点と点との間は、必要に応じて直線や近似曲線などにより補間される。また、測定値を極座標上に表す時に測定値に関連する場所に印が付けられれば良いので、プロットされる点は記号や符号などに代える事も可能である。
【００６４】
最後に、ステップ６ｄにおいて、ネットワーク・アナライザ１００は、判定結果の表示を行う。ステップ６ｄは、ステップ６ａと同一の処理を行う。
【００６５】
ここで、第一乃至第四の実施形態における表示例を図７に示す。図７において、判定円２１０は中心座標と半径とにより極座標２２０上に描かれ、さらに、測定結果２３０が同じく極座標上に表示される。しかし、このような表示形式では、判定円２１０や測定結果２３０が極座標２２０の隅近くに表示され見にくい場合がある。そこで、新たな表示方法を提案する。新たな表示方法による表示例を図８に示す。新たな表示方法によれば、判定円３１０および測定結果３３０は、判定円３１０の中心座標を原点として極座標３２０上に描かれる。上述の４つの実施形態のそれぞれにおいては、判定円は半径を用いて表し、測定結果は判定の際に測定値に関連して算出される差分値を用いて表すと良いであろう。このような表示形式によれば、判定円と測定値が常に極座標の中心付近に表示されるので、判定円と測定値を最大限に拡大して表示することが容易になる。この拡大表示は、判定結果が合格となるように、測定しながら被測定物を調整する時に極めて便利である。なお、上記の新たな表示方法を採用する場合、上述の４つの実施形態のそれぞれにおいて、以下の変更を施せばよい。まず、ステップ３ａ，３ｃ，３ｃ，３ｄのそれぞれにおいて、原点をＲ＋ｊ０として判定円を描くようにする。ただし、Ｒは網解析装置に設定されている特性インピーダンスの値である。ちなみに、原点における反射係数は、０＋ｊ０となる。また、ステップ５ａ，５ｃ，５ｃ，５ｄのそれぞれにおいて、全ての測定値に関して差分値を計算するようにし、測定結果の表示は差分値を用いて表示するようにし、判定範囲で測定された測定値のみに対して判定を行うようにする。
【００６６】
また、上記のように全測定値に関連して差分値を計算するようにすれば、従来の網解析装置に備わっている演算機能の一部を流用することができ、僅かな改変により合否判定機能を追加することが可能になる。例えば、ステップ５ａ，５ｃ，５ｃ，５ｄのそれぞれの事前に全測定値について差分値を求め、ステップ５ａ，５ｃ，５ｃ，５ｄのそれぞれにおいて、予め計算した差分値に基づいて判定するようにすれば良い。
【００６７】
さらに、第一乃至第四の実施形態において、合否判定は判定範囲について行われているが、全測定値について行うようにすることも可能である。その場合には、判定範囲の入力工程などが省略できるであろう。
【００６８】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、測定結果を判定円に上書きして表示するようにすると、作業者が測定結果を認識しやすくなる。
【００６９】
また、ステップ３ａ，３ｃ，３ｃ，３ｄのぞれぞれにおける判定円の表示やステップ５ａ，５ｃ，５ｃ，５ｄのそれぞれにおける測定結果の表示は、省略することができる。例えば、完全自動化された生産ラインにおいては、判定さえ行われれば良く、判定円の表示や測定結果の表示が必要とされない場合がある。
【００７０】
さらに、第一乃至第四の実施形態において、設定情報は入力部１６０を介して入力されているが、これに限定される必要はない。基準信号の掃引範囲もしくは掃引間隔、判定円の中心座標もしくは半径、または、判定範囲などの設定情報は、ドライブ装置１５０や通信部１７０を介して入力されても良い。例えば、設定情報が予め書き込まれたフロピティカル・ディスクをドライブ装置１５０が保持し、必要に応じて、フロピティカル・ディスクから設定情報を読み出す事により、設定情報の入力とすることができる。また、通信部１７０を介して遠隔地から入力されても良い。
【００７１】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、掃引範囲および掃引間隔は、１つに限定されない。複数ある掃引範囲は、同一である必要はなく、連続している必要もない。複数ある掃引間隔は、同一である必要はない。例えば、ネットワークアナライザ１００において、１〜５ＭＨｚを１ＭＨｚで、７〜１３ＭＨｚを１００ｋＨｚで、１０〜２０ＭＨｚを１ＭＨｚで、２０〜７０ＭＨｚを５ＭＨｚで、それぞれ掃引するように、掃引範囲と掃引間隔が入力されても良い。上記のように掃引範囲および掃引間隔の組が複数指定される場合、第一乃至第四の実施形態において、多少の変更が施されるであろう。例えば、入力される設定情報や記憶部１３０内の記憶領域が必要な数だけ追加され、判定円の表示工程や判定工程において複数ある掃引範囲および掃引間隔の組が適当に参照されるように変更される。必要な変更は、当業者にとって容易に考え得るであろう。なお、判定範囲も１つに限定されないことは、言うまでもない。
【００７２】
またさらに、第一乃至第四の実施形態において、測定点数と測定間隔は密接に関連しているので、掃引間隔に代えて測定点数が入力され、使用されるようにしても良い。掃引間隔は掃引範囲と当該掃引範囲における測定点数から計算により求めることができるからである。
【００７３】
上述した実施形態およびその変形例は、特許請求の範囲に記載した本発明の説明のための一実施形態にすぎず、特許請求の範囲で示した権利範囲内において種々の変形を行うことができることは、当業者にとって明らかである。念のため、本発明の実施態様の一部をまとめて示す。
【００７４】
（実施態様１）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、
入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【００７５】
（実施態様２）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
入力される前記中心座標を記憶する第一の記憶手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【００７６】
（実施態様３）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の半径と中心座標を入力するための第二の入力手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、
入力される前記半径を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【００７７】
（実施態様４）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するための第一の入力手段と、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するための第二の入力手段と、
前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素を有し、入力される前記中心座標が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第一の記憶手段と、
前記測定点数個の要素を有し、入力される前記半径が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第二の記憶手段と、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得る測定手段と、
前記測定点数個の要素を有し、得られる前記測定値が該要素のそれぞれに格納される配列を記憶する第三の記憶手段と、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【００７８】
（実施態様５）
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする実施態様１乃至実施態様４のいずれかに記載の網解析装置。
【００７９】
（実施態様６）
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するための第三の入力手段を備え、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記第三の入力手段により入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定する、
ことを特徴とする実施態様１乃至実施態様４のいずれかに記載の網解析装置。
【００８０】
（実施態様７）
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段を備えることを特徴とする実施態様１乃至６のいずれかに記載の網解析装置。
【００８１】
（実施態様８）
前記測定値を表示する時、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様７に記載の網解析装置。
【００８２】
（実施態様９）
網解析装置において、
被測定物の網特性を測定する手段と
前記測定手段により測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定する手段と、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示する手段と、
を備えることを特徴とする網解析装置。
【００８３】
（実施態様１０）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【００８４】
（実施態様１１）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【００８５】
（実施態様１２）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップ、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【００８６】
（実施態様１３）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【００８７】
（実施態様１４）
さらに、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定ステップにおいて合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップを、
含むことを特徴とする実施態様１０乃至実施態様１３のいずれかに記載の合否判定方法。
【００８８】
（実施態様１５）
さらに、
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するステップと、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする実施態様１０乃至実施態様１３のいずれかに記載の合否判定方法。
【００８９】
（実施態様１６）
さらに、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップ、
を含むことを特徴とする実施態様１０乃至１５のいずれかに記載の合否判定方法。
【００９０】
（実施態様１７）
さらに、
前記測定値を表示するステップにおいて、前記測定値を表示する時に、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様１６に記載の合否判定方法。
【００９１】
（実施態様１８）
網解析装置において、被測定物の合否判定を行う方法であって、
被測定物の網特性を測定するステップと
前記測定ステップにおいて測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定するステップと、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップと、
を含むことを特徴とする合否判定方法。
【００９２】
（実施態様１９）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【００９３】
（実施態様２０）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
前記入力される中心座標を第一の記憶手段に記憶するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、前記第一の記憶手段から前記中心座標を読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【００９４】
（実施態様２１）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップ、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
前記入力される半径を第二の記憶手段に記憶するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記第二の記憶手段から前記半径を読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【００９５】
（実施態様２２）
基準信号を周波数掃引または電力掃引させながら被測定物に印加する事により被測定物の網特性を解析する網解析装置であって、第一の入力手段と第二の入力手段と測定手段と第一の記憶手段と第二の記憶手段と第三の記憶手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記基準信号の掃引範囲および掃引間隔を入力するステップと、
前記被測定物を合否判定するための判定円の中心座標と半径を入力するステップと、
第一の記憶手段に記憶される配列の、前記掃引範囲と前記掃引間隔とから決定される測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される中心座標を格納するステップと、
第二の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記入力される半径を格納するステップと、
前記被測定物の網特性を測定し、前記測定点数個の測定値を得るステップと、
第三の記憶手段に記憶される配列の前記測定点数個の要素のそれぞれに前記得られる測定値を格納するステップと、
前記第三の記憶手段から前記測定値を読み出し、該読み出した測定値に関連する前記中心座標を前記第一の記憶手段から読み出し、前記読み出した測定値と前記読み出した中心座標との差分値を求め、さらに前記読み出した測定値に関連する前記半径を前記第二の記憶手段から読み出し、前記差分値と前記読み出した半径とを参照して、前記参照する差分値の大きさが前記参照する半径以下または前記参照する半径未満であれば前記読み出した測定値を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【００９６】
（実施態様２３）
さらに、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値について、その全てが前記判定ステップにおいて合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップを、
含むことを特徴とする実施態様１９乃至実施態様２２のいずれかに記載のプログラム。
【００９７】
（実施態様２４）
さらに、
前記掃引範囲のうちから判定対象の範囲を定める判定範囲を入力するステップと、
前記第三の記憶手段に記憶される配列の各要素に格納される測定値のうち前記入力される判定範囲内にある測定値について、その全てが前記判定手段により合格と判定される時に、前記被測定物を合格と判定するステップと、
を含むことを特徴とする実施態様１９乃至実施態様２２のいずれかに記載のプログラム。
【００９８】
（実施態様２５）
さらに、
前記網解析装置は、表示手段を備え、
前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップ、
を含むことを特徴とする実施態様１９乃至２４のいずれかに記載のプログラム。
【００９９】
（実施態様２６）
さらに、
前記測定値を表示するステップにおいて、前記測定値を表示する時に、前記測定値が合格か否かに応じて形状、模様または色彩を変えて表示する、
ことを特徴とする実施態様２５に記載の合否判定方法。
【０１００】
（実施態様２７）
測定手段と判定手段と表示手段とを備える網解析装置に被測定物の合否判定を行わせるプログラムであって、
前記測定手段により、被測定物の網特性を測定するステップと
前記判定手段により、前記測定ステップにおいて測定された測定値が、中心座標と半径とにより表される判定円内に収まっているか否かを判定するステップと、
前記表示手段により、前記中心座標を極座標の原点とし、前記測定値または前記判定円を前記極座標上に表示するステップと、
を含むことを特徴とするプログラム。
【０１０１】
【発明の効果】
本発明よれば、フィルムに判定円を描く必要がなくなり、極座標上に表示される判定円を表示させずとも合否判定を行うことができるようになり、極座標上に測定結果を表示する際に判定円に上書き表示させることができ、また、多様な形状の判定円を正確に設定することができるようになった。また、判定範囲を設定できるようにしたので、判定範囲を含む広い範囲の測定を同時に行うことができる。これにより、合否判定を他の検査工程と併合することが容易になった。さらに、判定のために必要となる差分値を全測定値に対して計算するようにすれば、従来の網解析装置に備わっている演算機能の一部を流用することができ、僅かな改変により合否判定機能を追加することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ１００の概略構成示す図である。
【図２】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ１００の動作を示すフローチャートである。
【図３】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ１００が具備する記憶部１３０の内部を示す図である。
【図４】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ１００が具備する記憶部１３０の内部を示す図である。
【図５】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ１００が具備する記憶部１３０の内部を示す図である。
【図６】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ１００が具備する記憶部１３０の内部を示す図である。
【図７】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ１００の表示例を示す図である。
【図８】本発明の好適実施形態であるネットワーク・アナライザ１００の表示例を示す図である。
【符号の説明】
１０  被測定物
１００  ネットワーク・アナライザ
１１０  測定部
１２０  表示部
１３０  記憶部
１４０  演算処理部
１５０  ドライブ装置
１６０  入力部
１７０  通信部
２１０，２２０，２３０，２４０  記憶領域
２５０，２６０，２７０  記憶領域
３６０，３７０，３８０  記憶領域
Ｐ１，Ｐ２  測定ポート
【図１】
2004354094.tif 000007
【図２】
2004354094.tif 000008
【図３】
2004354094.tif 000009
【図４】
2004354094.tif 000010
【図５】
2004354094.tif 000011
【図６】
2004354094.tif 000012
【図７】
2004354094.tif 000013
【図８】
2004354094.tif 000014