(57)【要約】【課題】従来の光情報記録媒体の原盤記録方法では、数ｎｍの記録ヘッドもしくは回転スピンドルの送り制御が必要となり、記録装置の製造が困難であった。【解決手段】記録層を有する光記録媒体の原盤の記録において、予め原盤に設けた案内トラックに、記録光の反射光を用いてトラッキングしながら原盤記録する。【選択図】　図２
2004139662.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光情報記録媒体の原盤記録方法であって、前記原盤は基板上に少なくとも一層からなる記録層を有する原盤であって、前記記録層は記録光によって状態変化を起こす材料から成る記録層であって、記録光の反射光を使ってトラッキングしながら記録することを特徴とする原盤記録方法。
【請求項２】
前記基板上に凹凸からなる案内トラックが形成されている原盤を用いることを特徴とする請求項１記載の原盤記録方法。
【請求項３】
前記記録層の表面が前記凹凸からなる案内トラックに沿った凹凸を形成していることを特徴とする請求項２記載の原盤記録方法。
【請求項４】
前記記録層の表面が実質的に平坦であることを特徴とする請求項２記載の原盤記録方法。
【請求項５】
前記記録光の波長をλ、前記記録層の屈折率ｎとしたときに、前記凹凸からなる案内トラックの深さが、λ／（１６ｎ）以上、かつ、３λ／（１６ｎ）以下であることを特徴とする請求項２記載の原盤記録方法。
【請求項６】
前記記録層が記録光によって引き起こされる昇温により状態変化を起こす材料から成ることを特徴とする請求項１記載の原盤記録方法。
【請求項７】
前記記録層が無機物から成ることを特徴とする請求項１記載の原盤記録方法。
【請求項８】
前記記録層がカルコゲン化合物から成ることを特徴とする請求項１記載の原盤記録方法。
【請求項９】
前記記録層が少なくともＴｅもしくはＳｅの化合物から成ることを特徴とする請求項１記載の原盤記録方法。
【請求項１０】
前記基板が転写により案内トラックを形成されることを特徴とする請求項１記載の原盤記録方法。
【請求項１１】
前記基板がガラス基板、樹脂基板、シリコン基板のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の原盤記録方法。
【請求項１２】
記録光源が記録パターンの変調速度よりも速い速度で変調可能なレーザーであることを特徴とする請求項１記載の原盤記録方法。
【請求項１３】
記録光源が波長３９０ｎｍ以上４２０ｎｍ以下の半導体レーザーであることを特徴とする請求項２記載の原盤記録方法。
【請求項１４】
請求項１記載の原盤記録方法によって記録された原盤を現像処理することによって作成される原盤。
【請求項１５】
請求項１記載の原盤記録方法によって記録された原盤を用いて作成される光情報記録媒体。
【請求項１６】
前記請求項１記載の原盤記録方法によって記録された原盤から作成される光情報記録媒体であって、信号面上の凹凸を信号面上に形成された光透過層を通して再生光によって読み出すことができる光情報記録媒体であって、前記再生光の波長をｘ、前記光透過層の屈折率をｙとしたときに、前記信号面上の凹凸が、段差がｘ／（１６ｙ）以上、３ｘ／（１６ｙ）以下である溝と、高さにして前記溝の半分の位置からの段差が、ｘ／（６ｙ）以上、ｘ／（３ｙ）以下となるピットとからなることを特徴とする光情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクなどの光情報記録媒体の一般的な原盤記録について図１１を用いて概要を説明する。レーザー１１０１から発せられた記録光は、信号生成機１１０２から送られた信号に従って光変調を行う光変調器１１０３によって変調された後、記録ヘッド１１０４によって原盤１１０５上に絞りこまれる。原盤１１０５は、ガラス基板上にフォトレジスト薄膜が形成されたもので、回転ステージ１１０６とともに回転しながら露光される。露光時には、ヘッドもしくは回転ステージ１１０６が水平方向に移動することにより、スパイラル状の記録トラックを形成することができる。
【０００３】
記録後の原盤を現像にすることにより、信号ピット列を凹凸として現した後、原盤表面にメッキにより金属層を形成し、この金属層を加工することにより、スタンパを作成し、このスタンパを用いて、射出成形により、記録した信号ピット列を持つ樹脂基板を複製する。
【０００４】
また、原盤上のフォトレジストの代わりに、カルコゲン化合物などの感熱性材料をもちいることにより、ヒートモード記録を行う方法もある（例えば特許文献１参照）。この方法では、同波長の記録光を用いた場合、一般的なフォトンモードの原盤記録に比べて、より微細なパターンの形成が可能となる。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−９７７３８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の原盤記録方法では、記録トラック間隔を均一にするために、記録ヘッドもしくは記録原盤を極めて高い精度で水平移動する必要がある。現在開発が進められている光ディスクの原盤記録においては、制御誤差を数ｎｍ以下にする必要があり、そのための制御装置は製造が困難であり、またコスト的にも大きなものとなる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する、本発明の第１の原盤記録方法は、光情報記録媒体の原盤記録方法であって、前記原盤は基板上に少なくとも一層からなる記録層を有する原盤であって、前記記録層は記録光によって状態変化を起こす材料から成る記録層であって、記録光の反射光を使ってトラッキングしながら記録することを特徴とする。上記本発明の原盤記録方法によれば、記録ヘッドもしくは記録原盤の水平移動時の制御誤差が数十μｍあっても、トラッキングにより実質的に均一なトラック間隔で原盤記録を行うことができる。
【０００８】
上記本発明の原盤記録方法において、前記基板上に凹凸からなる案内トラックが形成されている原盤を用いれば、本発明の原盤記録方法に用いる原盤のための基板を転写により大量に複製することができる。
【０００９】
また、前記記録層の表面が前記凹凸からなる案内トラックに沿った凹凸を形成していれば、本発明の原盤記録方法を用いて、プッシュプル信号振幅とピット列による変調信号振幅を独立に制御した光情報記録媒体を製造することができる。また、前記記録層の表面が実質的に平坦であれば、本発明の原盤記録方法をもちいて従来の光情報記録媒体を製造することができる。
【００１０】
また、前記記録光の波長をλ、前記記録層の屈折率ｎとしたときに、前記凹凸からなる案内トラックの深さが、λ／（１６ｎ）以上、かつ、３λ／（１６ｎ）以下であれば、本発明の原盤記録方法において、記録時に安定したトラッキングを行うことができる。また、前記記録層が記録光によって引き起こされる昇温により状態変化を起こす材料からなれば、ヒートモード記録を行うことが可能となり、同波長の記録光のを用いた場合に、フォトンモード記録する場合よりも高い解像度の記録を行うことができると同時に、昇温により状態変化が起きないように保てば、トラッキングのために記録光を記録層に照射しつづけることができる。
【００１１】
また、記録光源が記録パターンの変調速度よりも速い速度で変調可能なレーザーであれば、ヒートモード記録を行う場合に１つのピットを複数のパルス光で記録することにより、ピット形状を詳細に制御することができる。また、記録光源が波長３９０ｎｍ以上４２０ｎｍ以下の半導体レーザーであれば、入手が比較的容易であり、かつ、ヒートモード記録と併用した場合、電子線記録機などで開発が進められている次世代の再生用光ディスク原盤の記録を行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
まず、本発明の原盤記録方法で用いる原盤の作成方法について説明する。原盤の作成に当たっては、本発明の原盤記録方法に用いるのとは別に、精密な送り制御機構、ウォブル記録する機構のいずれか、もしくは、その両方を備える原盤記録装置（以下、原器記録機と呼ぶ）によって作成された基板を必要とする。この基板は、自ら製造せずとも、他所で作成されたものを入手してもよい。この点については、実施の形態２、実施の形態３でも同じである。以下、この基板の作成も含めて本発明に用いる原盤の作成方法を説明する。
【００１４】
第一の実施の形態では、図１に示すように、原器記録機を用いた従来の光情報記録媒体の原盤記録方法にしたがって、例えば、ガラスやシリコンからなる基板１０１にフォトレジスト層や感熱材料層を塗布やスパッタなどにより形成した原盤１０２（ａ）にレーザー光などによって記録し（ｂ）、アルカリ現像などによって凹凸からなる記録トラック１０３を形成する（ｃ）。この記録トラック１０３は、原器記録機による記録信号によって制御され、スパイラル状の１本の溝であっても良いし、ピット列であっても良い。記録トラック１０３の深さは基板１０１上に形成されるフォトレジスト層や感熱材料層の厚みや現像条件を変えたり、現像後に原盤１０２表面にエッチング処理したりすることにより制御することができる。この原盤１０２の表面に、例えば導電体膜１０４を形成した後、メッキ処理により原盤表面に金属層１０５を形成し（ｄ）、金属層１０５からスタンパ１０６を作成し、このスタンパ１０６を用いて、例えば、射出成形や２Ｐ法などにより、転写によって案内トラックが形成された複製物である、例えば、ガラスや樹脂からなる基板１０７を作成する。このように複製物として基板１０７を作る場合、原器記録機で作成した原盤一枚から、本発明の原盤記録方法に用いる原盤を複数作ることができるという利点がある。例えば、射出成形を用いた場合、一日にして数百枚の複製としての基板を作ることができる。基板１０７には、記録トラック１０３に対応する案内トラック１０８が形成されている。ここまでは基本的に光情報記録媒体の製造における従来の技術であり、基板１０７を作成するまでの手順は、上記以外のものを用いてもよい。
【００１５】
さらに、基板１０７上に、例えば、フォトレジスト層や感熱材料層などの記録光もしくは記録光による昇温により状態変化を起こし、かつ、記録後にウェットエッチングもしくはドライエッチングすることにより記録パターンに応じた凹凸からなるパターンを形成することができる層（以下、記録層と呼ぶ）を塗布やスパッタなどにより形成することで、本発明の原盤記録方法に用いる原盤を作成することができる。
【００１６】
図１では記録層を一層からなる構造としているが、本発明の原盤記録方法に用いる記録層は多層構造でもよく、記録層と基板の間、または記録層の上に記録層以外の層を形成していてもよい。ここで、記録層を、記録光による昇温によって状態変化する材料とすることによって、本発明の原盤記録方法によって、ヒートモード記録を行うことができる。この場合、トラッキングのために、記録光を常に記録層に当てていても、ピットを形成したくない場所への照射を、記録光による昇温によって記録層の温度が記録層の状態変化温度を超えないようにすることによって、記録層のピットを記録したい場所のみに状態変化を起こすことが可能となる。
【００１７】
一方、記録層にフォトレジストを用いたフォトンモード記録の場合は、すこしでも露光した部分は状態変化を起こしてしまう。このため、トラッキングのために常に記録光を記録層に当てて記録する場合は、ヒートモード記録を用いた方が、良好なピット形状を得るのに好ましい。ただし、これは本発明の原盤記録方法によるピット列の記録をヒートモード記録のみに限定するものではなく、フォトンモード記録をもちいても、トラッキングのために常に記録光を記録層に当てる記録によってピット列を形成することはできる。また、フォトンモード記録の際には、記録光をピットの記録時のみに照射し、断続的な反射光の検出信号の低周波成分のみを用いてトラッキングする方法を用いても、本発明の効果を得ることができる。
【００１８】
記録層の表面が案内トラックの凹凸を反映した凹凸を形成している場合を（ｇ）に、記録層の表面が平坦な場合を（ｈ）に示した。（ｇ）の場合、記録層表面の凹凸の高さや斜面の傾斜角は、基板上の案内トラックの凹凸のそれらと同でなくともよい。（ｇ）の原盤を作成するには、例えば、ＴｅやＳｅなどの酸化物などのカルコゲン化合物などの無機材料をスパッタや蒸着などにより基板１０７上に形成する方法がある。このとき、スパッタレートを変えることにより、記録層表面の凹凸の深さや傾斜を制御することができる。（ｈ）の原盤を作成するには、フォトレジストなどをスピンコートにより基板１０７上に形成したり、カルコゲン化合物などの無機材料をスパッタなどにより、所望厚みよりも厚く形成することにより（例えば、５００ｎｍ程度）表面を平坦になるように成膜した後で、例えばアルゴンなどのガスを用いてエッチングするなどして、形成することができる。
【００１９】
ここで、本発明の方法で原盤記録する際に、プッシュプル信号によりトラッキングする場合は、基板上の案内トラックの深さは、記録層の屈折率をｎ、記録光の波長をλとしたときに、λ／（４ｎ）以下であることが好ましく、より好ましくは、λ／（１６ｎ）以上、かつ、３λ／（１６ｎ）以下が良い。上記以外の案内トラックの深さを持つ場合も本発明の効果を得ることはできるが、本発明の原盤記録方法に用いる原盤の作成が困難となったり、本発明の方法により作成した原盤から光情報記録媒体を複製するのが困難となる場合がある。
【００２０】
以上、本発明の原盤記録方法に用いる第一の原盤の作成方法について述べたが、上記の例以外の原盤やその作成方法であっても、基板上に凹凸からなる案内トラックが形成された原盤やその作成方法であれば、いずれのものでも本発明の効果を得ることができる。
【００２１】
次に、上記に作成方法を説明した原盤を用いた本発明の原盤記録方法について説明する。
【００２２】
本発明の原盤記録方法に用いる原盤記録機の概略を図２に示す。半導体レーザー２０１から発せられる変調された記録光は記録ヘッド２０２内のピックアップ２０３により原盤２０４上に絞り込まれる。原盤２０４は回転ステージ２０５に載せられ、回転ステージ２０５とともに回転しながら記録が行われる。原盤２０４に絞り込まれた記録光の反射光は、ピックアップ２０３を通った後、ミラー２０６によりトラッキング信号検出器２０７に送られる。記録の際、ピックアップ２０３はトラッキング信号検出器２０７で検出された信号をもとに位置制御され、原盤２０４上の案内トラックにトラッキングすることができるため、ヘッド２０２の移動もしくは回転ステージ２０５の移動による、記録トラックの送り制御の精度は従来の原盤記録装置に求められる送り制御の精度に比べて、遥かに低いもので良い。例えば、現在、民生器の光ディスクドライブに使われているピックアップでは送り制御が数十ミクロンのゆらぎをもっていても安定したトラッキングが可能であるから、本発明の原盤記録方法によれば、原盤記録機の送り制御の精度は数十ミクロン程度で良い。
【００２３】
一方、従来の原盤記録機に求められる送り制御の精度は数ナノメートル程度である。図２の例では、記録光源の半導体レーザー２０１やトラッキング信号検出器２０７などをヘッドの外に配置してあるが、それ以外の配置でもよく、記録光源も半導体レーザーでなく、ガスレーザーや、固体レーザーでも良い。ただし、半導体レーザー以外を用いる場合、記録に変調が必要であれば、レーザー自体で記録光の変調を行うのは困難であるため、例えば図３に示したように、レーザーと記録ヘッドの間に光変調器を配置する方が好ましい。
【００２４】
また、図４のように光学素子を全てヘッドに収めることにより、よりコンパクトな原盤記録装置を作ることができる。このように、本発明の原盤記録方法を用いれば、従来に比べ、遥かに簡易的で低コストの記録装置をもちいて原盤記録を行うことができ、本発明で言う原器記録機を持っていなくとも、原器記録機によって、作成された基板さえ入手すれば、簡易的な装置を用いて、再生用光ディスクなどの原盤を製造することができる。例えば、次世代の再生用光ディスクとして提案されている、直径１２ｃｍにして１層あたり２５ＧＢ程度の記録容量を持つ再生用光ディスクの原盤を記録には、例えば、カルコゲン化合物のようなヒートモード記録可能な材料からなる記録層と波長にして３９０ｎｍから４２０ｎｍ、例えば４０５ｎｍなどの比較的入手しやすい短波長半導体レーザーを使った記録光源とを用いて、本発明の原盤記録方法を実施するには、１ｍ四方のテーブルに載るサイズの低コストの原盤記録装置で良い。
【００２５】
以上説明した本発明の原盤記録機を用いた原盤記録について、原盤が図１（ｇ）の場合と、図１（ｈ）の場合に分けて説明する。まず、原盤が図１（ｈ）の場合について、図５を用いて説明する。基板５０１上の案内トラック５０２は基板の作成方法により、例えば図１に説明した方法などによって、凹として形成される場合（Ａ）と、例えば、図１（ｄ）で作成された金属層１０５を上に、さらにメッキにより金属層を形成し、この新たに形成された金属層を用いて、例えば、射出成形や２Ｐ方などの転写による複製方法によって、凸として形成される場合（Ｂ）がある（図５（ａ））。いずれの場合も、案内トラック５０２が溝によって形成されていれば、案内トラック５０２上、ギャップトラック５０３上のいずれに記録をしても（ｂ）、現像後に従来通りの信号ピット列や溝を凹凸として形成することができる（ｃ）。このとき、記録するトラックの幅よりも広い信号ピット列や溝を形成するような記録を行った場合は、２段構造をもつ信号ピット列や溝を作ることができる（ｄ）。
【００２６】
また、基板上に凹凸があることにより、従来の平坦な基板に対して、光の反射特性や回折特性、熱伝導性がことなることを利用して、従来にない記録状態を実現することもできる。例えば、基板上で凹になっている部分は、基板５０１、もしくは、基板５０１と記録層５０４の間に第３の層を設ける場合は、第３の層の熱伝導率の影響を、従来の平坦な基板を用いた原盤記録よりも強く受けるため、感熱性材料の記録状態を制御するのに利用することができる。一方、案内トラック５０２がピット列により形成されている場合は、従来信号ピット列や溝を形成するためにはギャップトラック５０３上に記録する必要があり、案内トラック５０２上のピット列を利用したい場合は案内トラック５０２上に記録する必要がある。
【００２７】
次に原盤が図１（ｇ）の場合について図６を用いて説明する。この場合も、基板６０１上の案内トラック６０２が凹として形成される場合（Ａ）と凸として形成される場合（Ｂ）がある（図６（ａ））。原器記録機によってウォブル記録がなされていない場合については、（Ａ）と（Ｂ）とは、案内トラック６０２とギャップトラック６０３が入れ代わった形になっているため、記録するトラックが、基板上で凹か凸かのみが実質的に記録、現像後の形状に影響を与え、それが案内トラックかギャップトラックかは無関係なため、（Ａ）の場合についてのみ説明する。
【００２８】
案内トラック６０２が溝によって形成されている場合、溝を記録する際には、案内トラック６０２上、ギャップトラック６０３上のいずれに記録をしても（ｂ）、現像後に従来通りの溝を形成することができる（ｃ）。このとき、記録するトラックの幅と異なる幅の溝を形成するような記録を行った場合は、２段構造をもつ溝を作ることができる（ｄ）。ピットを形成する際には、基板上に凹として形成されたトラック（案内トラック６０２）に記録しても、基板上に凸として形成されたトラック（ギャップトラック６０３）に記録しても、高さの異なる２種類の溝とピット列が形成される。特に、基板上に凹として形成されたトラックに記録した場合は、図７に示したような現像後の原盤が作成され、ギャップトラック７０１と案内トラック７０２との段差を制御することにより、この原盤から作成された光情報記録媒体を再生する際にプッシュプル信号の振幅を制御することができ、ギャップトラック７０１および案内トラック７０２と信号ピット７０３との段差を制御することにより、この原盤から作成された光情報記録媒体を再生する際にピット列による変調信号の振幅を制御することができる。つまり、本発明の原盤記録方法を用いれば、最終的に作成される光情報記録媒体のプッシュプル信号振幅とピット列による変調信号の振幅を独立に調整することが可能となる。
【００２９】
例えば、図７の原盤から作成した、光ディスクおよびその基板を図８に示す。この光ディスクでは、この光ディスクを再生する際の再生光の波長をｘ、光透過層８０３の屈折率をｙとしたときに、基板上の凸溝８０１と凹溝８０２の段差が例えば、ｘ／（２０ｙ）以上、ｘ／（５ｙ）以下、より好ましくはｘ／（１６ｙ）以上、３ｘ／（１６ｙ）以下とすることにより、この光ディスクの再生時に良好なプッシュプル信号を得ることができるようになっている。さらに、凸溝８０１と凹溝８０２との平均の高さ位置と信号ピット８０４の段差が、ｘ／（８ｙ）以上、３ｘ／（８ｙ）以下、より好ましくはｘ／（６ｙ）以上、ｘ／（３ｙ）以下とすることにより、この光ディスクの再生時にピット列による良好な変調信号を得ることができる。本発明の原盤記録方法で作成した原盤からは、図８の場合とは基板上の凹凸の反転した光情報記録媒体を作成することもできるが、上記説明した、信号振幅に関する本発明の効果は、基板上の凹凸の段差を制御することによるものであり、凹凸の向きによるものではないことを確認しておく。
【００３０】
以上、図６（Ａ）の場合について説明したが、（Ｂ）についても同様に本発明の効果が得られる。図５、図６のいずれの場合においても、原器記録機による記録の際にウォブル記録を行った場合、本発明の原盤記録においては、案内トラック上に記録する方が好ましい。これにより、ウォブル記録の機構をもたない記録装置を用いて、ウォブル記録を実現することができる。
【００３１】
また、以上の説明では、記録、現像により記録層がポジ型の変化をする場合についてのみ説明したが、記録層がネガ型の変化をする場合でも本発明の効果は得られ、その場合に上記の説明と異なる点は、従来技術における、ポジ型レジストとネガ型レジストとの違いと同様である。トラッキング方式についてもプッシュプル方式を紹介したが、例えば、ディファレンシャルプッシュプルや位相差トラッキングなど、光学的トラッキング方式であれば、いかなる方式でも本発明の原盤記録方法に用いることができる。
【００３２】
（実施の形態２）
実施の形態２では、図９に示すように、本発明の原盤記録方法に用いる原盤を作成する。図９（ａ）から（ｃ）については、図１（ａ）から（ｃ）と同様に原器記録機によって、均一な間隔をもつ記録トラックを作成する。実施の形態２では、この原器記録機で記録された原盤を加工して、本発明の原盤記録方法に用いる。
【００３３】
この加工手段としては、例えば、その有無によって、本発明の原盤記録方法の記録光の反射光に、例えば、光量変化などの変化を与える処理を基板９０１上に施す（ｄ）。この処理としては、例えば、銀や金、アルミのような金属材料などの材料を、例えば、スパッタや蒸着などの方法により基板９０１上および記録層９０２上に成膜してもよいし、エッチング、イオン注入などにより、基板９０１の表面を改質してもよい。その後、ウェットエッチング、ドライエッチングなどの方法により、記録層９０２を除去し（ｅ）、その後、本発明の原盤記録方法に用いる記録層９０３を形成することにより、本発明の原盤記録方法に用いる原盤を作成する（ｆ）。この原盤が実施の形態１と異なるのは、基板上の案内トラックの深さを浅くしても本発明の原盤記録時に安定したトラッキングを実現できる点であり、例えば、アルミ反射膜を形成する場合は１０ｎｍ程度の深さで十分であり、表面改質による場合は、基板上を実質的に平坦にすることもできる。この原盤作成方法では、原器記録機によって記録された原盤１枚から、本発明の原盤記録方法に用いる原盤を１枚しか作成できないが、使用後の原盤を、例えばアッシングやウェット洗浄して、原盤上の記録層を取り除くことにより、繰り返し利用することもできる。
【００３４】
この原盤を用いて本発明の原盤記録方法を実施するには、実施の形態１で説明したのと同様の記録装置および記録方法を用いればよいが、基板上の案内トラックが実質的に平坦に形成されている場合は、記録、現像に際して、従来の技術と同じ方法を用いればよい。
【００３５】
（実施の形態３）
実施の形態３では、図１０に示すように、本発明の原盤記録方法に用いる原盤を作成する。図１０（ａ）から（ｃ）については、図１（ａ）から（ｃ）と同様に原器記録機によって、均一な間隔をもつ記録トラックを作成する。実施の形態３では、この原器記録機で記録された原盤を加工して、本発明の原盤記録方法に用いる。
【００３６】
この加工手段としては、例えば、イオン反応性エッチングなどをもちいて、基板１００１および記録層１００２の表面を削り取る（ｄ）。その後、ウェットエッチング、ドライエッチングなどの方法により、記録層１００２を除去し（ｅ）、その後、本発明の原盤記録方法に用いる記録層１００３を形成することにより、本発明の原盤記録方法に用いる原盤を作成する（ｆ）（ｇ）。この原盤も再利用可能な点に関しては実施の形態２と同様である。
【００３７】
この原盤を用いた本発明の原盤記録方法は実施の形態１と同じである。
【００３８】
【発明の効果】
本発明の原盤記録方法を用いれば、光情報記録媒体の原盤記録機に求められる機械送り精度の許容誤差を、従来の数ｎｍから本発明場合の数十μｍへと飛躍的に大きくすることができ、従来よりも遥かに製造が容易でコストの低い原盤記録機を用いて、光情報媒体の原盤記録を可能とする。また、本発明の原盤記録方法を用いれば、再生時のプッシュプル信号振幅とピット列による情報を含んだ変調信号振幅とを独立に制御した再生用光情報記録媒体を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明で用いる原盤の製造法を示す図
【図２】本発明の原盤記録機を示す図
【図３】本発明の原盤記録機を示す図
【図４】本発明の原盤記録機を示す図
【図５】本発明の原盤記録方法を示す図
【図６】本発明の原盤記録方法を示す図
【図７】本発明の原盤記録方法によって記録された後現像処理された原盤を示す図
【図８】本発明の原盤記録方法を用いて作成された再生用光情報記録媒体を示す図
【図９】本発明で用いる原盤の製造法を示す図
【図１０】本発明で用いる原盤の製造法を示す図
【図１１】従来の原盤記録機を示す図
【符号の説明】
１０１　基板
１０２　原盤
１０３　記録トラック
１０４　導電体膜
１０５　金属層
１０６　スタンパ
１０７　基板
１０８　案内トラック
２０１　半導体レーザー
２０２　記録ヘッド
２０３　ピックアップ
２０４　原盤
２０５　回転ステージ
２０６　ミラー
２０７　トラッキング信号検出器
５０１　基板
５０２　案内トラック
５０３　ギャップトラック
５０４　記録層
６０１　基板
６０２　案内トラック
６０３　ギャップトラック
７０１　ギャップトラック
７０２　案内トラック
７０３　信号ピット
８０１　凸溝
８０２　凹溝
８０３　光透過層
８０４　信号ピット
９０１　基板
９０２　記録層
９０３　記録層
１００１　基板
１００２　記録層
１００３　記録層
１１０１　レーザー
１１０２　信号生成機
１１０３　光変調器
１１０４　記録ヘッド
１１０５　原盤
１１０６　回転ステージ
【図１】
2004139662.tif 000003
【図２】
2004139662.tif 000004
【図３】
2004139662.tif 000005
【図４】
2004139662.tif 000006
【図５】
2004139662.tif 000007
【図６】
2004139662.tif 000008
【図７】
2004139662.tif 000009
【図８】
2004139662.tif 000010
【図９】
2004139662.tif 000011
【図１０】
2004139662.tif 000012
【図１１】
2004139662.tif 000013