(57)【要約】【課題】縦横の寸法が異なる断面形状をなすガラス母材１を延伸温度に加熱し延伸して所要の長さに切断するスペーサー８の製造方法において、両側端部の膨れ及び中間部のくびれのないスペーサー８を容易に製造できるようにする。【解決手段】低粘性ガラス材２の両端部を高粘性ガラス材３でカバーしたガラス母材１を用いる。【選択図】　　　図１
2004067393.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦横の寸法が異なる断面形状をなすガラス母材を延伸温度に加熱し延伸して所要の長さに切断するスペーサーの製造方法において、
ガラス母材を、ガラス母材の断面長手方向における低粘性ガラス材の少なくとも両端部に高粘性ガラス材を組み合わせて、全体として縦横の寸法が異なる断面形状とし、該ガラス母材を、低粘性ガラス材と高粘性ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内でかつ低粘性ガラス材の粘性より高粘性ガラス材の粘性が高くなる延伸温度に加熱して延伸することを特徴とするスペーサーの製造方法。
【請求項２】
ガラス母材の断面長手方向における低粘性ガラス材の少なくとも両端部表面を高粘性ガラス材で覆うことを特徴とする請求項１に記載のスペーサーの製造方法。
【請求項３】
ガラス母材の断面長手方向に沿った低粘性ガラス材の表面全体を高粘性ガラス材で覆うことを特徴とする請求項１に記載のスペーサーの製造方法。
【請求項４】
ガラス母材の断面長手方向及び短手方向に沿った低粘性ガラス材の表面全体をそれぞれ高粘性ガラス材で覆うことを特徴とする請求項１に記載のスペーサーの製造方法。
【請求項５】
高粘性ガラス材として、複数種類のガラス材を用いることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のスペーサーの製造方法。
【請求項６】
縦横の寸法が異なる断面形状をなすスペーサーにおいて、
スペーサーの断面長手方向における低粘性ガラス材の少なくとも両端部に高粘性ガラス材が一体化されて、全体として縦横の寸法が異なる断面形状となっており、低粘性ガラス材と高粘性ガラス材とが、低粘性ガラス材と高粘性ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内となる温度に加熱した時に、低粘性ガラス材の粘性より高粘性ガラス材の粘性が高くなるガラス材であることを特徴とするスペーサー。
【請求項７】
スペーサーの断面長手方向における低粘性ガラス材の少なくとも両端部表面が高粘性ガラス材で覆われていることを特徴とする請求項６に記載のスペーサー。
【請求項８】
スペーサーの断面長手方向に沿った低粘性ガラス材の表面全体が高粘性ガラス材で覆われていることを特徴とする請求項６に記載のスペーサー。
【請求項９】
スペーサーの断面長手方向及び短手方向に沿った低粘性ガラス材の表面全体がそれぞれ高粘性ガラス材で覆われていることを特徴とする請求項６に記載のスペーサー。
【請求項１０】
高粘性ガラス材として、複数種類のガラス材が用いられていることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のスペーサー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子・電気機器における一対の基板間に介在されて、該基板間を支持するスペーサーの製造方法およびスペーサーに関する。更に詳しくは、例えばパネル状ディスプレイの表裏一対の基板間に配置される、縦横の寸法が異なる断面形状のスペーサーの製造方法およびスペーサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、縦横の寸法が異なる断面形状のスペーサーの製造方法としては、断面長方形のガラス母材を、該ガラス母材を挟み込んだ送り出しローラーの回転により送り出す一方、送り出されたガラス母材を引き取りローラー間に挟んで、上記送り出しローラーの送り出し速度より速い引き取り速度で引き取ると共に、上記送り出しローラーと引き取りローラー間でガラス母材を加熱軟化させ、送り出しローラーの送り出し速度と引き取りローラーによる引き取り速度の速度差によって延伸し、ガラス母材と断面形状が相似形の延伸ガラス母材とし、これを切断して、所望の細さの細板状スペーサーとする方法が知られている（特開２０００−１６４１２９）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、一般にガラス材の延伸加工は、ガラス材の粘性が１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲になるように加熱して行われる。
【０００４】
上記従来の製造方法においても、ガラス母材の粘性が１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲になるように加熱して延伸が行われるが、粘性を低めに設定して延伸、つまり加熱温度を高めにして延伸すると、図８に示されるように、得られる細板状スペーサーの断面長寸方向の両端部が丸味を帯びて膨らみやすくなる。このような膨れを生じると、得られた細板状スペーサーを、基板上に横長に立てて設置する場合に、基板との接触面が湾曲しているので、安定性が悪く、組み立て性が悪いと共に、支持強度も得にくくなる問題がある。
【０００５】
また、粘性を高めに設定して延伸、つまり加熱温度を低めにして延伸すると、図９に示されるように、得られる細板状スペーサーの断面長寸方向の中間部がくびれやすくなる。このようなくびれを生じた場合、所期の強度が得られず、例えばパネル状ディスプレイの表裏一対の基板間に配置されるスペーサーとして用いた場合、一対の基板間は減圧状態となるため、必要な耐大気圧性が得られなくなる場合も生じる。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、縦横の寸法が異なる断面形状のスペーサーを、ガラス母材を加熱して延伸した延伸ガラス母材を所要の長さに切断して製造方法するに際し、前記膨れやくびれのないスペーサーを容易に製造できるようにすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
ところで、上記膨れやくびれの発生原因は、縦横の寸法が異なる断面形状のガラス母材を加熱するときに、断面長手方向の両端部が中間部に比して加熱されやすいことにあると考えられる。例えば断面長方形のガラス母材で、その長手方向に沿った面を長手面、短手方向に沿った面を短手面とすると、断面長手方向の中間部は長手面からの熱で加熱されるのに対し、断面長手方向両端部は、長手面からと短手面からとの両方からの熱を受けて加熱されることになり、上記中間部に比して加熱されやすい。このため、ガラス母材の断面長手方向全体を所定の延伸しやすい粘性を有する状態にまで加熱しようとすると、上記両端部の加熱が過剰となり、粘性が低下して膨れの原因になると考えられる。また、この膨れを押さえるために加熱温度を下げると、上記中間部の加熱が不足し、中間部の粘性が高くなって、延伸時に応力が集中することでくびれの原因になると考えられる。
【０００８】
本発明は、上記膨れとくびれの発生原因に鑑みてなされたもので、本発明の第１は、縦横の寸法が異なる断面形状をなすガラス母材を延伸温度に加熱し延伸して所要の長さに切断するスペーサーの製造方法において、
ガラス母材を、ガラス母材の断面長手方向における低粘性ガラス材の少なくとも両端部に高粘性ガラス材を組み合わせて、全体として縦横の寸法が異なる断面形状とし、該ガラス母材を、低粘性ガラス材と高粘性ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内でかつ低粘性ガラス材の粘性より高粘性ガラス材の粘性が高くなる延伸温度に加熱して延伸することを特徴とするスペーサーの製造方法を提供するものである。
【０００９】
上記本発明の第１は、ガラス母材の断面長手方向における低粘性ガラス材の少なくとも両端部表面を高粘性ガラス材で覆うこと、
ガラス母材の断面長手方向に沿った低粘性ガラス材の表面全体を高粘性ガラス材で覆うこと、
ガラス母材の断面長手方向及び短手方向に沿った低粘性ガラス材の表面全体をそれぞれ高粘性ガラス材で覆うこと、
高粘性ガラス材として、複数種類のガラス材を用いること、
をその好ましい態様として含むものである。
【００１０】
また、本発明の第２は、縦横の寸法が異なる断面形状をなすスペーサーにおいて、
スペーサーの断面長手方向における低粘性ガラス材の少なくとも両端部に高粘性ガラス材が一体化されて、全体として縦横の寸法が異なる断面形状となっており、低粘性ガラス材と高粘性ガラス材とが、低粘性ガラス材と高粘性ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内となる温度に加熱した時に、低粘性ガラス材の粘性より高粘性ガラス材の粘性が高くなるガラス材であることを特徴とするスペーサーを提供するものである。
【００１１】
上記本発明の第２は、スペーサーの断面長手方向における低粘性ガラス材の少なくとも両端部表面が高粘性ガラス材で覆われていること、
スペーサーの断面長手方向に沿った低粘性ガラス材の表面全体が高粘性ガラス材で覆われていること、
スペーサーの断面長手方向及び短手方向に沿った低粘性ガラス材の表面全体がそれぞれ高粘性ガラス材で覆われていること、
高粘性ガラス材として、複数種類のガラス材が用いられていること、
をその好ましい態様として含むものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係るスペーサーの製造方法の一例を示す説明図、図２は図１に示されるガラス母材の部分拡大図、図３は図１の方法によって得られる本発明に係るスペーサーの拡大斜視図である。
【００１３】
図１において、１はガラス母材で、このガラス母材１は、図２に拡大して示されるように、断面（ガラス母材１の延伸方向に対する直角方向の断面）長方形の低粘性ガラス材２と、その両長手面（断面長手方向に沿った面）をそれぞれ覆って低粘性ガラス材２を挟み込んだ断面長方形の板状の高粘性ガラス材３を、全体として断面長方形となるように組み合わせたものとなっている。
【００１４】
本例におけるガラス母材１の断面形状は長方形であるが、本発明は断面形状が長方形のガラス母材１に限らず、縦横の寸法が異なる断面形状のガラス母材１、例えば断面形状が楕円形、台形などのガラス母材１に対しても有益で、特に長手方向中間部と両端部の加熱状態に差を生じやすいことから、長手方向の寸法が短手方向の寸法の５倍以上となった断面形状のガラス母材１に対して有効である。また、本明細書における長方形とは、４つのコーナーが直角に交わった形状の他、コーナーに面取り加工や丸味付（Ｒ加工）が施された形状をも含むものである。
【００１５】
上記低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の組み合わせは、押し付け合わせた状態、嵌め合わせた状態、接着した状態のいずれでも良い。本例においては、図１に示されるように、ガラス母材１の周囲をメカチャック４で締め付けることで、低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３が相互に押し付け合わされた状態で組み合わされている。
【００１６】
上記低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３を構成するガラスとしては、例えば元素ガラス、酸化物ガラス、フッ化物ガラス、塩化物ガラス、硫化物ガラスなどから用途に応じて選択することができる。これらのうち、加工性の点からは、酸化物ガラス（例えばケイ酸塩ガラス、リン酸塩ガラス、ホウ酸塩ガラス、ホウケイ酸塩ガラスなど）が好ましい。
【００１７】
図１に示される例においては、前記低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３を組み合わせたガラス母材１を用い、このガラス母材１をメカチャック４で締め付け保持し、下部をヒーター６で加熱して延伸し、延伸した延伸ガラス母材１’の下部を引き取りローラー５間に挟み込む。この状態で、メカチャック４を徐々に下降させながら、引き取りローラー５を回転させ、メカチャック４の下降速度より速い引き取り速度で延伸ガラス母材１’を引き取ると共に、上記メカチャック４と引き取りローラー５間で、ヒーター６によりガラス母材１を延伸温度に加熱し軟化させる。すると、メカチャック４の下降速度と引き取りローラー５による引き取り速度の速度差によって、延伸温度に加熱されて軟化したガラス母材１が延伸されると共に、低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３が一体化され、ガラス母材１と断面形状がほぼ相似形の延伸ガラス母材１’が連続して形成される。そして、冷却固化した状態で引き取りローラー５を通過した延伸ガラス母材１’をカッター７で切断することで、所望の細さの板状または柱状のスペーサー８（図３参照）とすることができる。
【００１８】
上記ガラス母材１の延伸は、低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内でかつ低粘性ガラス材２の粘性より高粘性ガラス材３の粘性が高くなる延伸温度に加熱して行われる。延伸温度における低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の粘性が１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲外である場合、ガラス母材１の延伸加工が困難となる。具体的な延伸温度は、低粘性ガラス材２および高粘性ガラス材３の材質などによっても相違するが、一般的には５００〜１０００℃程度である。
【００１９】
低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内でかつ低粘性ガラス材２の粘性より高粘性ガラス材３の粘性が高くなる延伸温度に加熱しての延伸は、本発明における低粘性ガラス材と高粘性ガラス材として、低粘性ガラス材と高粘性ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内となる温度に加熱した時に、低粘性ガラス材の粘性より高粘性ガラス材の粘性が高くなるガラス材をそれぞれ用いることで行うことができる。低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の粘性の調整は、低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の成分やその配合量の調整によって行うことができる。例えば、酸化物ガラスにおいては、含有されるアルカリ酸化物、酸化ホウ素、酸化鉛などの含有量を多くすること（少なくすること）で高温領域での粘性を下げる（上げる）ことができ、含有される酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムなどの含有量を多く（少なく）することで、高温領域の粘性を上げる（下げる）ことができる。また、上記成分やその配合量の調整と、低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の加熱温度の調整を併用することもできる。加熱温度の調整は、例えば低粘性ガラス材２の中心部に焦点を合わせたレンズや凹面鏡を介して赤外線を照射することにより加熱を行い、低粘性ガラス材２を高粘性ガラス材３に比して高温に加熱することによって行うことができる。
【００２０】
上記方法によると、図３に拡大して示すように、膨れ及びくびれのないスペーサー８を得ることができる。これは、上記延伸温度において、低粘性ガラス材２の粘性より、この低粘性ガラス材２の両長手面を覆っている高粘性ガラス材３の粘性が高いため、ガラス母材１の断面長手方向両端部の低粘性ガラス材２の粘性が低くなりすぎても、これを覆う高粘性ガラス材３で膨れを抑制することができるためと考えられる。従って、低粘性ガラス材２のみでガラス母材１を構成した場合には断面長手方向両端部に膨れを生じてしまう延伸温度に加熱しても、この膨れを生じることがなく、膨れもくびれもないスペーサー８を得ることができる。
【００２１】
通常、スペーサー８の厚みは０．０５〜０．５ｍｍ程度で、この程度の厚みのスペーサー８としたときの高粘性ガラス材３の厚みは、０．５〜５μｍであることが好ましい。つまり、前記ガラス母材１の厚み、ガラス母材１における低粘性ガラス材２及び高粘性ガラス材３の厚みは、延伸後の厚みが上記範囲内となるものであることが好ましい。ガラス母材１における高粘性ガラス材３の厚みが大きすぎると、延伸加工が行いにくく、高粘性ガラス材３の厚みが小さすぎると、上記膨れの抑制効果が得にくくなる。また、延伸温度における低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の粘性の差は、膨れの抑制効果を得やすくする上で、０．１ｄＰａ・ｓ以上であることが好ましい。
【００２２】
図４はガラス母材の他の例を示す部分拡大図、図５は図４のガラス母材から得られる本発明に係るスペーサーを示す斜視図で、図１〜図３と同じ符号は同じ部材を示すものである。
【００２３】
図１および図２に示されるガラス母材１は、低粘性ガラス材２の相対向する２つの長手面全体に高粘性ガラス材３を宛って低粘性ガラス材２を挟み込んだものとなっているが、本例のガラス母材１は、ガラス母材１の長手方向における低粘性ガラス材２の両端部のみを高粘性ガラス材３で挟み込み、全体として断面長方形に組み合わせたものとなっている。このようにすることによって、加熱されやすい断面長手方向の両端部を重点的に高粘性ガラス材３で保護することができる。また、このガラス母材１から得られるスペーサー８は、４つのコーナー部に高粘性ガラス材３を有するものとなる。
【００２４】
図４に示されるガラス母材１において、低粘性ガラス材２の両短手面側に更に高粘性ガラス材（図示されていない）を宛い、全体として断面長方形にすることもできる。このようにすると、得られるスペーサー８は短手面をも高粘性ガラス材３で覆われたものとなり、短手面の平滑性が一層得やすくなる。この場合、低粘性ガラス材２の長手面側の高粘性ガラス材３と、短手面側の高粘性ガラス材（図示されていない）を、含有成分の種類及び／又は配合量が異なる異種のガラス材で構成し、膨れ防止制御を緻密に行うこともできる。
【００２５】
図６はガラス母材の更に他の例を示す部分拡大図、図７は図６のガラス母材から得られる本発明に係るスペーサーを示す斜視図で、図１〜図３と同じ符号は同じ部材を示すものである。
【００２６】
本例におけるガラス母材１は、低粘性ガラス材２の長手面及び短手面の総てが高粘性ガラス材３で覆われたものとなっている。このようにすると、得られるスペーサー８は短手面をも高粘性ガラス材３で覆われたものとなり、短手面の平滑正が一層得やすくなると共に、低粘性ガラス材２の両端部のみを高粘性ガラス材３でカバーする場合に比して、低粘性ガラス材２と高粘性ガラス材３の組み合わせ作業が容易となる。また、本例においても、低粘性ガラス材２の長手面側の高粘性ガラス材３と短手面側の高粘性ガラス材３を、含有成分の種類及び／又は配合量が異なる異種のガラス材で構成し、膨れ防止制御を緻密に行うこともできる。
【００２７】
【実施例】
（実施例１）
スペーサー８を、図１に示されるようなメカチャック４と引き取りローラー５を用い、加熱したガラス母材１を延伸することで作成した。
【００２８】
ガラス母材１としては、図２に示すような形態で、断面形状が４ｍｍ×４８ｍｍの長方形をなす低粘性ガラス材２の断面長辺側の面にそれぞれ厚さ１ｍｍで幅４８ｍｍの高粘性ガラス材３を宛ったもので、全体の断面積Ｓ１が２８８ｍｍ２（６ｍｍ×４８ｍｍ）のものを用いた。材料としては、低粘性ガラス材２には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性６．０ｄＰａ・ｓのガラスを、高粘性ガラス材３には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性７．６ｄＰａ・ｓのガラスを用いた。
【００２９】
上記ガラス母材１を、Ｖ１＝５ｍｍ／ｍｉｎの速度でメカチャック４を降下させることにより送り出し、ヒーター６で約８００℃に加熱し、ヒーター６付近に配置された引き取りローラー５にてＶ２＝４５００ｍｍ／ｍｉｎの速度で引き取ることで加熱延伸し、最後にカッター７にて長さが１０００ｍｍになるように切断した。得られたスペーサー８の断面積Ｓ２は０．３２ｍｍ２（０．２ｍｍ×１．６ｍｍ）で、前述した部分的なくびれおよび膨出は見受けられなかった。
【００３０】
（実施例２）
本例においては、低粘性ガラス材２には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性６．５ｄＰａ・ｓのガラスを用い、高粘性ガラス材３には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性７．０ｄＰａ・ｓのガラスを用いた以外は実施例１と同様にしてスペーサーを作成した。
【００３１】
得られたスペーサーには、実施例１と同様に、部分的なくびれや膨出は見受けられなかった。
【００３２】
（比較例１）
本例においては、低粘性ガラス材２には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性７ｄＰａ・ｓのガラスを用い、高粘性ガラス材３には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性７．００５ｄＰａ・ｓのガラスを用いた以外は実施例１と同様にしてスペーサーを作成した。
【００３３】
得られたスペーサーは、全体的に膨出していて、丸みを帯びたものとなっていた。
【００３４】
（実施例３）
スペーサー８を、図１に示されるようなメカチャック４と引き取りローラー５を用い、加熱したガラス母材１を延伸することで作成した。
【００３５】
ガラス母材１としては、図６に示すような形態で、断面形状が４ｍｍ×４６ｍｍの長方形をなす低粘性ガラス材２の断面長辺側の面にそれぞれ厚さ１ｍｍで幅４６ｍｍの高粘性ガラス材３を、低粘性ガラス材２の断面短辺側の面にそれぞれ厚さ１ｍｍで幅６ｍｍの高粘性ガラス材３を宛ったもので、全体の断面積Ｓ１が２８８ｍｍ２（６ｍｍ×４８ｍｍ）のものを用いた。材料としては、低粘性ガラス材２には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性６．０ｄＰａ・ｓのガラスを、高粘性ガラス材３には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性７．６ｄＰａ・ｓのガラスを用いた。
【００３６】
上記ガラス母材１を、Ｖ１＝５ｍｍ／ｍｉｎの速度でメカチャックを降下させることにより送り出し、ヒーター６で約８００℃に加熱し、ヒーター６付近に配置された引き取りローラー５にてＶ２＝４５００ｍｍ／ｍｉｎの速度で引き取ることで加熱延伸し、最後にカッター７にて長さが１０００ｍｍになるように切断した。得られたスペーサー８の断面積Ｓ２は０．３２ｍｍ２（０．２ｍｍ×１．６ｍｍ）で、前述した部分的なくびれおよび膨出は見受けられず、特に断面短辺側の平坦性は実施例１のスペーサーより優れていた。
【００３７】
（実施例４）
本例においては、低粘性ガラス材２には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性６．５ｄＰａ・ｓのガラスを用い、高粘性ガラス材３には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性７．０ｄＰａ・ｓのガラスを用いた以外は実施例３と同様にしてスペーサーを作成した。
【００３８】
得られたスペーサーには、実施例３と同様に、くびれや膨出は見受けられず、断面短辺側の平坦性も実施例１のスペーサーより優れていた。
【００３９】
（比較例２）
本例においては、低粘性ガラス材２には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性７ｄＰａ・ｓのガラスを用い、高粘性ガラス材３には、延伸時の加熱温度８００℃における粘性７．００５ｄＰａ・ｓのガラスを用いた以外は実施例３と同様にしてスペーサーを作成した。
【００４０】
得られたスペーサーは、全体的に膨出していて、丸みを帯びたものとなっていた。
【００４１】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したとおりのものであり、くびれのない、強度的に安定したスペーサーを容易に製造できると共に、断面形状が長方形の板状スペーサーの製造に際し、断面短辺側の周側面の膨出を防止でき、安定した設置状態が得やすいスペーサーを得ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るスペーサーの製造方法の一例を示す説明図である。
【図２】図１に示されるガラス母材の部分拡大図である。
【図３】図１の方法によって得られる本発明に係るスペーサーの拡大斜視図である。
【図４】ガラス母材の他の例を示す部分拡大図である。
【図５】図４のガラス母材から得られる本発明に係るスペーサーを示す斜視図である。
【図６】ガラス母材の更に他の例を示す部分拡大図である。
【図７】図６のガラス母材から得られる本発明に係るスペーサーを示す斜視図である。
【図８】膨れの発生状態の説明図である。
【図９】くびれの発生状態の説明図である。
【符号の説明】
１　　ガラス母材
１’　延伸ガラス母材
２　　低粘性ガラス材
３　　高粘性ガラス材
４　　メカチャック
５　　引き取りローラー
６　　ヒーター
７　　カッター
８　　スペーサー
【図１】
2004067393.tif 000003
【図２】
2004067393.tif 000004
【図３】
2004067393.tif 000005
【図４】
2004067393.tif 000006
【図５】
2004067393.tif 000007
【図６】
2004067393.tif 000008
【図７】
2004067393.tif 000009
【図８】
2004067393.tif 000010
【図９】
2004067393.tif 000011