(57)【要約】【課題】ガラス機材、例えばフォトマスクを輸送する際に、冬季、温度の低い外気中を長時間輸送しても、フォトマスクの温度が作業場の露点以下の温度に下がってしまうことなく、且つ、安全に輸送することのできるガラス機材、例えばフォトマスクの輸送方法、輸送用箱を提供すること。【解決手段】輸送用箱内にガラス機材と液相の保冷材を共存させて収納しガラス機材を輸送すること。ガラス機材と液相の保冷材の間、隣接するガラス機材間、隣接する液相の保冷材の間に緩衝材を配置すること。輸送用箱はガラス機材を保温するための、液相の保冷材をその内部に具備すること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス機材の輸送方法であって、輸送用箱内に、少なくともガラス機材と液相の保冷材を共存させて収納しガラス機材を輸送することを特徴とするガラス機材の輸送方法。
【請求項２】
前記ガラス機材と液相の保冷材の間、隣接するガラス機材間、隣接する液相の保冷材の間に緩衝材を配置することを特徴とする請求項１記載のガラス機材の輸送方法。
【請求項３】
前記ガラス機材がフォトマスク、又はフォトマスクブランクであることを特徴とする請求項１、又は請求項２記載のガラス機材の輸送方法。
【請求項４】
ガラス機材の輸送用箱であって、ガラス機材を保温するための、液相の保冷材をその内部に具備することを特徴とする輸送用箱。
【請求項５】
前記ガラス機材がフォトマスク、又はフォトマスクブランクであることを特徴とする請求項４記載の輸送用箱。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス機材の輸送に関するものであり、例えば、半導体集積回路の製造に用いるフォトマスクの輸送方法、及びそれに使用する輸送用箱に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フォトマスクメーカーから半導体メーカーへフォトマスクを納入する際の梱包、輸送は、例えば、フォトマスクを収納したケースを緩衝材と共に輸送用箱に収めて梱包し、輸送を行っていた。この際、輸送中の温度に関する配慮は全く行わずに梱包し、輸送を行っていた。
従って、例えば、冬季、ケースに収納したフォトマスクが、フォトマスクメーカーから温度の低い外気中を長時間輸送され、フォトマスクの温度が低くなり、そのフォトマスクの温度がフォトマスクを開封する半導体メーカーの作業場の露点以下の温度にまで下がってしまった際に、その作業場で、フォトマスクを収納したケースを低い温度のまま開封すると、空気中の水蒸気が凝結し、フォトマスクの表面に露が発生する。このようなことは、例えば、半導体メーカーにて温度の低い倉庫内に長期間にわたって保管されていた際などにも同様である。
【０００３】
フォトマスクの表面に発生した露が乾燥すると、フォトマスクの表面には汚染物質が残り、この汚染物質の残留状態によってはフォトマスクが使用できなくなることがある。
そこで、このような汚染によってフォトマスクが使用できなくなってしまうことを回避するために、フォトマスクの温度が露点以上の温度になるまで梱包状態のまま放置していた。例えば、フォトマスクの温度が０℃の場合には、フォトマスクの温度を馴染ませるのに６時間以上の長時間を費やしていた。
【０００４】
しかし、近時、フォトマスクの納入後、直ちに使用したいといった要望が強くなり、この放置時間が問題となってきた。
フォトマスクの輸送中にフォトマスクの温度を高くしておく方法として、例えば、発熱体をフォトマスクと共に梱包することが考えられるが、輸送中の火災などが懸念されるので好ましい方法ではない。
尚、フォトマスクは、一般にはアライナー用のマスクはフォトマスク、縮小露光用のマスクはレチクルと呼ぶことが多いが、本願においては一括してフォトマスクと呼ぶこととする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、ガラス機材、例えばフォトマスクを輸送する際に、冬季、温度の低い外気中を長時間輸送しても、フォトマスクの温度が作業場の露点以下の温度に下がってしまうことなく、且つ、安全に輸送することのできるガラス機材、例えばフォトマスクの輸送方法を提供することを課題とするものである。
また、その輸送用箱を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラス機材の輸送方法であって、輸送用箱内に、少なくともガラス機材と液相の保冷材を共存させて収納しガラス機材を輸送することを特徴とするガラス機材の輸送方法である。
【０００７】
また、本発明は、上記発明によるガラス機材の輸送方法において、前記ガラス機材と液相の保冷材の間、隣接するガラス機材間、隣接する液相の保冷材の間に緩衝材を配置することを特徴とするガラス機材の輸送方法である。
【０００８】
また、本発明は、上記発明によるガラス機材の輸送方法において、前記ガラス機材がフォトマスク、又はフォトマスクブランクであることを特徴とするガラス機材の輸送方法である。
【０００９】
また、本発明は、ガラス機材の輸送用箱であって、ガラス機材を保温するための、液相の保冷材をその内部に具備することを特徴とする輸送用箱である。
【００１０】
また、本発明は、上記発明による輸送用箱において、前記ガラス機材がフォトマスク、又はフォトマスクブランクであることを特徴とする輸送用箱である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明によるガラス機材の輸送方法、及びそれに使用する輸送用箱を、その実施形態に基づいて説明する。
本発明における保冷材は、凝固温度１０℃以上で、相変化に伴う潜熱量が大きな物質、例えば、多価アルコールを指している。
例えば、夏季、生鮮食料品を気温の高い外気中を輸送する際に、輸送用箱内を低い温度に保つために、輸送用箱内に収めて用いる、所謂、保冷材である。この際は、固相状態の保冷材の融解熱を利用したものであり、外部からの熱は、固相状態の保冷材が液相状態に変わるために必要な熱に費やされ、温度上昇を示さずに状態変化に費やされることを利用したものである。
【００１２】
本発明においては、例えば、冬季、気温の低い外気中を、例えば、フォトマスクのようなガラス機材を輸送する際に、輸送用箱内を高い温度に保つために、輸送用箱内に収めて用いるものである。
本発明においては、液相状態の保冷材の凝固熱を利用したものであり、外部からの熱は、液相状態の保冷材が固相状態に変わるために必要な熱に費やされ、温度降下を示さずに状態変化に費やされることを利用したものである。
【００１３】
本発明においては、凝固温度が１０℃以上の保冷材を用いるものである。２０℃における飽和水蒸気量は１７．３ｇ／ｍ３であるので、例えば、フォトマスクを使用する半導体メーカーの作業場の室温が２０℃、相対湿度５５％とすると、露点は約１０℃となる。（１７．３ｇ／ｍ３×０．５５＝９．５２ｇ／ｍ３、９．５２ｇ／ｍ３≒約１０℃における飽和水蒸気量）
従って、本発明によるフォトマスクの輸送方法によれば、液相状態の保冷材の潜熱量が十分にあることによって、長時間にわたり輸送用箱内を１０℃以上に保ことができ、仮に、冬季、フォトマスクの納入直後に、フォトマスクを収納したケースを開封しても、空気中の水蒸気が凝結し、フォトマスクの表面に露が発生することはない。
【００１４】
また、本発明における保冷材は、例えば、発熱体のように輸送中の火災などが懸念されることはなく、更には、保冷材を使用する直前に加熱して液相状態に戻すことによって、繰り返し再利用することができるものである。
【００１５】
以下に、本発明によるガラス機材の輸送方法及び輸送用箱を、フォトマスクを例として具体的に説明するが、本発明はガラス製の、例えば、医療用器具、材料、或いはガラス基板などにも適用できるものである。
図１は、本発明による輸送用箱の一例、及びフォトマスクと液相の保冷材を共存させて収納した一例を模式的に示す断面図である。
【００１６】
図１に示すように、輸送用箱（１０）は、箱本体（１０Ｂ）と箱蓋（１０Ａ）で構成され、その内部に液相の保冷材を具備するものである。輸送用箱（１０）内では、２個の液相の保冷材（１１）の間に、フォトマスクを収納したケース（１２）が配置され、２個の液相の保冷材（１１）及びフォトマスクを収納したケース（１２）は、各々が緩衝材（１３）としてのトレー（１３Ｂ）上に載置され、最上部に緩衝材としての蓋（１３Ａ）が配置されている。
【００１７】
輸送用箱（１０）は、大きさ４４５ｍｍ×３６５ｍｍ×３５０ｍｍ、肉厚５ｍｍ程度のポリプロピレン製のものである。箱本体（１０Ｂ）は、外寸３７０ｍｍ×３２０ｍｍ×８５ｍｍ、内寸２４０ｍｍ×２４０ｍｍ×４０ｍｍ程度のポリエチレン製のものである。箱蓋（１０Ａ）は、大きさ３７０ｍｍ×３２０ｍｍ×９０ｍｍ程度のポリエチレン製のものである。
また、フォトマスクを収納したケース（１２）は、大きさ２３５ｍｍ×２３５ｍｍ×４０ｍｍ程度のアクリル系樹脂、収納したフォトマスクは、８インチのクロム膜パターン付き石英板である。
【００１８】
液相の保冷材（１１）は、プラスチック製の袋内に収められ密封されている。液相の保冷材（１１）としては、旭電化工業（株）製：保冷材「アデカサーモトップＧ−１８」（商品名）１ｋｇ入り×２個を用いた。アデカサーモトップＧ−１８の物性値を表１に示す。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
図２は、温度０℃の空気中に、上記構成の輸送用箱（１０）を放置した際の経過時間と輸送用箱内の温度変化の関係を示す説明図である。図２中、実線は保冷材を用いた際の温度変化を示したものである。
実線で示すように、５時間後に過冷却現象によって１０℃に近づくが、以降約２５時間は１０℃以上を保持していることが示されている。また、図２中、鎖線は保冷材を用いない際の温度変化を示したものあり、温度０℃の空気中に放置後約３時間で輸送用箱内の温度は１０℃以下となっている。
図２に示すように、本発明によれば、例えば、冬季、フォトマスクを温度の低い外気中を長時間輸送しても、フォトマスクの温度が作業場の露点以下の温度にまで下がることはなく、収納した直後にフォトマスクを収納したケースを開封しても、フォトマスクの表面に露が発生することはない。
【００２１】
仮に、更に温度の低い外気中での輸送、或いは更に長時間輸送であっても輸送用箱内に保冷材を追加させることによって同様の効果が得られる。
図３、図４は、輸送用箱（１０）内に収納する液相の保冷材（１１）と、フォトマスクを収納したケース（１２）の組み合わせの他の例を示す模式図である。図３は、例えば、長時間輸送用を、図４は、短時間輸送用を示すものである。
【００２２】
また、本発明は、輸送用箱（１０）内のガラス機材と液相の保冷材の間、隣接するガラス機材間、隣接する液相の保冷材の間に緩衝材を配置することを特徴とするものである。緩衝材は断熱材を兼ねたものであり、各々のガラス機材、液相の保冷材間に緩衝材を配することによって、保冷効果を助長させ、また、トレーを配することによって、液相の保冷材が万一漏れが発生しても、他への波及を未然に防ぐことができる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明は、輸送用箱内にガラス機材と液相の保冷材を共存させて収納し、ガラス機材を輸送するガラス機材の輸送方法であるので、ガラス機材、例えばフォトマスクを輸送する際に、冬季、温度の低い外気中を長時間輸送しても、フォトマスクの温度が作業場の露点以下の温度に下がってしまうことなく、且つ、安全に輸送することのできるガラス機材、例えばフォトマスクの輸送方法となる。
従って、本発明によれば、納入した直後にフォトマスクを収納したケースを開封しても、フォトマスクの表面に露が発生することはない。
【００２４】
また、本発明は、ガラス機材を保温するための、液相の保冷材をその内部に具備する輸送用箱であるので、ガラス機材、例えばフォトマスクを輸送する際に、冬季、温度の低い外気中を長時間輸送しても、フォトマスクの温度が作業場の露点以下の温度に下がってしまうことなく、且つ、安全に輸送することのできるガラス機材、例えばフォトマスクの輸送用箱となる。
従って、本発明による輸送用箱を用いれば、収納した直後にフォトマスクを収納したケースを開封しても、フォトマスクの表面に露が発生することはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による輸送用箱の一例、及びフォトマスクと液相の保冷材を共存させて収納した一例を模式的に示す断面図である。
【図２】温度０℃の空気中に、一例に示す輸送用箱を放置した際の経過時間と輸送用箱内の温度変化の関係を示す説明図である。
【図３】輸送用箱内に収納する液相の保冷材とフォトマスクを収納したケースの組み合わせの他の例を示す模式図である。
【図４】輸送用箱内に収納する液相の保冷材とフォトマスクを収納したケースの組み合わせの他の例を示す模式図である。
【符号の説明】
１０・・・輸送用箱
１０Ａ・・・箱蓋
１０Ｂ・・・箱本体
１１・・・液相の保冷材
１２・・・フォトマスクを収納したケース
１３・・・緩衝材
１３Ａ・・・蓋
１３Ｂ・・・トレー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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