(57)【要約】【課題】環境条件等にかかわらず線膨張率を異にするスケール部材を機器に対して高精度に取付可能として高精度の測定が行い得るようにする。【解決手段】位置信号が設けられた長尺部材からなり一対の共締め孔１２が位置信号形成部１１を挟んで形成されたスケール部材６と、スケール部材６を内部に収納して機器固定部２に設けた取付部１０にねじ込まれる取付部材１３が嵌挿される一対の取付孔１５が形成されたケース部材７とからなるスケール部４と、機器固定部２と相対移動する機器可動部３に取り付けられて検出センサ２９がスケール部材６の位置信号形成部１１と対向して移動する検出部５とから構成される。機器固定部２に対してスケール部４が、スケール部材６とケース部材７とを取付部材１３によって共締めして固定される。【選択図】  図１
2004245591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置信号が設けられた長尺部材からなり少なくとも一対の共締め孔が上記位置信号の形成領域を挟んで長手方向に離間して形成されたスケール部材と、機器の第１の部位に設けた取付孔に対してねじ込まれる取付部材が嵌挿される長手方向に離間する少なくとも一対の取付孔が形成されこれら取付孔に対して相対する上記共締め孔を連通させるようにして上記スケール部材を内部に収納して固定するケース部材とからなるスケール部と、
上記スケール部材の位置信号形成領域に検出センサが対向するようにして上記第１の部位と相対移動する上記機器の第２の部位に取り付けられ、上記機器の第１の部位と第２の部位との相対移動量を上記スケール部材に対して相対移動する上記検出センサによって検出する検出部とを備え、
上記スケール部が、上記取付孔と上記共締め孔とに嵌挿されて上記機器の第１の部位に設けた取付孔にねじ込まれる上記取付部材によって上記スケール部材を上記ケース部材に対して共締めして機器の第１の部位に対して固定するように構成したことを特徴とするスケール装置。
【請求項２】
上記ケース部材と上記スケール部材とが、互いに線膨張係数を異にする素材によって形成されることを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【請求項３】
上記ケース部材が、鋼板を断面略コの字状に折曲し、一方側面部の内面に上記スケール部材を固定するとともに、この側面部に少なくとも一対の上記取付孔が設けられることを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【請求項４】
上記スケール部材が、上記ケース部材に対して、難弾性変形特性を有する接着剤により接合されることを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【請求項５】
上記ケース部材と上記スケール部材との相対する取付部位との間に補強手段が設けられることを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【請求項６】
上記スケール部材が上記ケース部材に対して接着剤によって接合固定され、上記補強手段が上記接着剤の厚みと略等しい厚みを有しかつ上記取付部材が貫通する取付孔が設けられたプレート状の補強部材によって構成されることを特徴とする請求項５に記載のスケール装置。
【請求項７】
断面略コの字状を呈し、第１の側面部の内面に上記スケール部材を接着剤によって接合固定するとともに、この側面部に一対の上記取付孔が長さ方向に離間して設けられた上記ケース部材と、
上記ケース部材に対してその長手方向の両端開口部を閉塞するようにしてそれぞれ組み合わされたサイドケース部材と、
上記接着剤層の厚みと略等しい厚みを有するとともに上記取付部材が嵌挿する取付孔が設けられたプレート状部材からなり、上記ケース部材と上記スケール部材との相対する取付部間に介挿された補強部材とを備え、
上記補強部材の一側部に、上記サイドケース部材との間に挟持されて位置ズレを防止するストッパ片が一体に折曲形成されることを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【請求項８】
上記スケール部材が、上記ケース部材との取付面に長さ方向の全域に亘って一体に形成された１個又は複数個のリブ状凸部を、上記ケース部材に当てがわれて固定されることを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【請求項９】
上記スケール部材が、上記ケース部材に対して接着剤によって接合固定されるとともに、この取付面に少なくとも幅方向の両側縁に沿って一対のリブ状凸部が一体に形成され、
上記リブ状凸部が、上記取付面に塗布形成される上記接着剤の層厚を規定することを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【請求項１０】
上記取付部材に、その頭部と上記スケール部材の上記ケース部材との取付面の間に介在するようにしてネジ軸部にワッシャ部材が装着されたことを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【請求項１１】
上記ケース部材が、断面略コの字状を呈しており、第１の側面部の内面に上記スケール部材を接着剤によって接合固定するとともにこの第１の側面部にそれぞれ一対の取付孔が長さ方向に離間して設けられ、かつ上記第１の側面部と対向する第２の側面部に上記取付孔にそれぞれ対応して上記取付部材を貫通させるに足る内径を有するガイド孔が設けられ、
上記ワッシャ部材が、上記ガイド孔よりも大径とされることを特徴とする請求項１０に記載のスケール装置。
【請求項１２】
上記ケース部材と上記スケール部材とに、上記取付孔と異なる位置でかつ上記位置信号の形成領域外に位置して圧入構造からなる第２の固定手段が形成されることを特徴とする請求項１に記載のスケール装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の工作機械や産業機械或いは精密機械等の機器に付設されて可動部の相対的な移動量や移動位置等の位置情報を検出する位置検出装置、デジタルスケール装置或いはエンコーダ等のスケール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種の工作機械、産業機械或いは精密機械等の機器には、一般に図１６に示したスケール装置１００が取り付けられてテーブル等の可動部の移動量や移動位置等の位置情報を検出し、この検出出力に基づいて位置制御等が行われるようにする。スケール装置１００は、光学的、磁気的或いは機械的な位置信号が設けられた長尺のスケール部材１０１をケース部材１０２に収納してなるスケール部１０３と、スケール部材１０１と対向して配置されるセンサ部１０４とを備える。
【０００３】
スケール装置１００は、スケール部材１０１が例えばガラス材によって長尺の板状に形成されるとともに詳細を省略するが一方の主面に位置信号が長さ方向に設けられている。スケール装置１００は、ケース部材１０２が例えばアルミ合金材によってスケール部材１０１よりもやや長尺の断面略コの字状を呈して形成され、その内部にスケール部材１０１を接合してなる。スケール装置１００は、スケール部材１０１がケース部材１０２に対して、例えばシリコン系の弾性変形特性を有する接着剤によって接着することによりこのスケール部材１０１を保護するようにしていた。スケール装置１００は、ケース部材１０２の長手方向の両側部位に位置して取付孔１０５を有する取付部が設けられており、図示しない取付ねじをねじ込むことによってこれらスケール部１０３を機器の第１の部位、例えば固定部に取付固定する。
【０００４】
スケール装置１００は、スケール部材１０１の内部にセンサ部１０４が組み合わされている。センサ部１０４は、詳細を省略するがセンサを搭載した基板を有するスライダにベアリング機構が設けられており、このベアリング機構によりスライダがスケール部材１０１をガイドとして長さ方向に走行自在とされる。センサ部１０４には、詳細を省略する連結部が設けられており、この連結部がスケール部材１０１と対向してケース部材１０２に形成された長さ方向のガイド開口１０６を貫通させて外部へと引き出されて、この連結部に設けた固定ユニット１０７と一体化されて検出部１０８を構成している。
【０００５】
スケール装置１００は、固定ユニット１０７の長手方向の両側部位に位置して取付孔１０９を有する取付部が設けられており、図示しない取付ねじをねじ込むことによってこの固定ユニット１０７を機器の第２の部位、例えば可動テーブル等の可動部に取付固定する。スケール装置１００は、センサ部１０４がフレキシブルケーブルを介して固定ユニット１０７に内蔵した制御回路等の内部回路部と電気的に接続されている。スケール装置１００は、さらに固定ユニット１０７の内部回路部がケーブル１１０及びコネクタ１１１を介して機器制御部や表示装置等と接続されており、センサによって検出した位置信号を供給する。なお、スケール装置１００においては、例えば固定ユニット１０７にコネクタを設け、このコネクタを介して外部の機器制御部や表示装置等と接続した構成例もある。
【０００６】
スケール装置１００においては、機器の可動部と連動して固定ユニット１０７を介してセンサ部１０４がスケール部１０３に対して移動動作する。スケール装置１００においては、センサ部１０４のセンサがスケール部１０３のスケール部材１０１に設けられた位置信号を検出して固定ユニット１０７を介して機器へと供給し、可動部の位置制御が行われるようにするとともに表示装置によって表示されるようにする。なお、スケール装置１００においては、ケース部材１０２に設けたガイド開口１０６を全域に亘ってゴム等によって形成されるとともに図示を省略する連結部の外側面に弾接するシールリップ部材によって閉塞するようにして、塵埃等のスケール部材１０１への付着が防止されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、スケール装置１００においては、精度が要求されるスケール部材１０１をガラス材で形成するとともに、機械的剛性が大きくかつ加工性が要求されるケース部材１０２をアルミ合金材で形成している。また、スケール装置１００においては、このように異なる素材によって形成されたスケール部材１０１とケース部材１０２とを弾性変形特性を有する接着剤によって一体化している。さらに、スケール装置１００においては、ケース部材１０２のみを、取付ねじを介して一般に鋼材からなる機器の取付部に固定している。
【０００８】
一方、スケール装置１００においては、上述したようにスケール部１０３を機器の第１の部位側に取り付けるとともに、検出部１０８の固定ユニット１０７を第１の部位と相対移動する機器の第２の部位側に取り付けている。したがって、スケール装置１００は、各部が互いに材質を異にする素材によって形成されるとともに材質を異にする取付部位に取り付けられる構造となっている。
【０００９】
スケール装置１００は、スケール部材１０１を形成するガラス材の一般的な線膨張係数が約８〜９×１０−６Ｋ−１であるとともにケース部材１０２を形成するアルミ合金の線膨張係数が約２３〜２４×１０−６Ｋ−１であることから、温度湿度等の環境条件によるスケール部材１０１とケース部材１０２とに膨張、収縮によって大きな寸法差異が生じる。スケール装置１００は、スケール部材１０１とケース部材１０２との寸法差異を弾性変形特性を有する接着剤層によって吸収するようにしている。
【００１０】
一方、スケール装置１００においては、機器を構成する鋼材の線膨張係数が約１１〜１２×１０−６Ｋ−１ではあるが、取付ねじによってケース部材１０２を固定することから温度湿度等の環境条件による相互の膨張、収縮による寸法差異が規制されるようになる。したがって、スケール装置１００においては、環境条件によってスケール部材１０１が独自に膨張、収縮現象を生じることになり、このスケール部材１０１を機器の取付部に対して高精度に位置決めすることが困難であった。スケール装置１００においては、このためにスケール部１０３と検出部１０８とを機器に取り付けた状態において、センサ部との相対的な位置を設定する面倒な調整操作が必要であった。また、スケール装置１００においては、大幅な環境条件によって測定精度の低下が生じることで、機器による加工精度を低下させるといった問題もあった。
【００１１】
したがって、本発明は、環境条件等にかかわらずケース部材或いは機器と線膨張率を異にするスケール部材を機器に対して高精度に取付可能として高精度の測定・検出が行い得るようにするスケール装置を提供することを目的に提案されたものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成する本発明にかかるスケール装置は、スケール部材とケース部材とを有するスケール部と、検出センサを有する検出部とから構成される。
スケール部材は、位置信号が設けられた長尺部材からなり、少なくとも一対の共締め孔が位置信号の形成領域を挟んで長手方向に離間して形成される。ケース部材は、スケール部材を内部に収納して固定し、それぞれ機器の第１の部位に設けた取付部に対してねじ込まれる取付部材が嵌挿される少なくとも一対の取付孔が長手方向に離間して形成される。検出部は、第１の部位と相対移動する機器の第２の部位に取り付けられ、この状態で検出センサがスケール部材の位置信号形成領域と対向するように位置される。スケール装置は、機器の第１の部位に対してスケール部がケース部材を介して取付部材によって取り付けられる際に、これら取付部材がスケール部材の共締め孔とケース部材の取付孔とに嵌挿されて機器の第１の部位に形成した取付部にねじ込まれることにより、ケース部材に対してスケール部材を共締めして機器の第１の部位に対して固定するように構成される。
【００１３】
以上のように構成された本発明にかかるスケール装置によれば、スケール部が取付構造を変更すること無くケース部材を介して機器の第１の部位に取り付けられるとともに、検出部が機器の第２の部位に取り付けられる。スケール装置によれば、機器が動作して第１の部位と第２の部位との相対移動が行われると、検出部の検出センサがスケール部のスケール部材に対して相対移動して位置信号を検出し、相対移動量の計測信号を出力する。スケール装置によれば、スケール部のスケール部材が、取付部材によってケース部材と共締めされて機器の第１の部位に対して取り付けられることで、この第１の部位と一体化された状態となっている。したがって、スケール装置によれば、スケール部材が、ケース部材或いはスケール部と検出部とを取り付ける機器の取付部位とそれぞれそれぞれ線膨張率を異にしていても、各部の環境条件によるそれ自体の自由な寸法変化が規制されて機器の取付部位の寸法変化と略同等となって高精度の取付が可能となる。スケール装置によれば、機器の第１の部位と第２の部位との相対移動量を精密に測定することが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。実施の形態として図１乃至図４に示したスケール装置１も、例えば精密工作機器等の相対移動する第１の部位２と第２の部位３とに付設される。スケール装置１は、これら第１の部位２と第２の部位３との相対移動量や移動位置等の位置情報を精密に検出して検出信号を制御部等に出力することにより、第１の部位２と第２の部位３との精密な位置制御等が行われるようにする。なお、以下の説明において、上下、左右及び内外等の用語は、図１を基準として用いるものとする。
【００１５】
スケール装置１は、図２に示すように、機器の第１の部位２として詳細を省略して示す固定部（機器固定部）側に取り付けられるスケール部４と、機器の第２の部位３として詳細を省略して示すテーブル等の可動部（機器可動部）側に取り付けられる検出部５とから構成される。スケール装置１は、詳細を後述するように可動部３の移動動作に伴って検出部５がスケール部４に対してスライド動作することにより、スケール部４に設けられた位置信号を検出して出力する。なお、スケール装置１は、機器固定部２側に検出部５を取り付けるとともに、機器可動部３側にスケール部４を取り付けるようにしてもよい。また、スケール装置１は、それぞれが可動部として相対移動する機器の第１の部位２と第２の部位３とに取り付けるようにしてもよい。
【００１６】
スケール装置１は、スケール部４が、スケール部材６と、このスケール部材６を内部に収納して固定する第１ケース部材７と、この第１ケース部材７に外装される一対の第２ケース部材８（以下、個別に説明する場合を除いて第２ケース部材８と総称する。）と、左右一対のサイドケース部材９Ａ、９Ｂ（以下、個別に説明する場合を除いてサイドケース部材９と総称する。）とから構成される。スケール部材６は、例えば押出し用アルミ合金材が用いられて、機器固定部２に設けた取付ねじ孔１０（図４参照）を有するスケール取付部よりもやや長尺とされた矩形板状に形成されてなる。スケール部材６には、図１において手前側の第１の主面６ａに、長さ方向の所定領域に位置信号を同一直線上に位置して記録した位置信号形成部１１が設けられている。
【００１７】
スケール部材６には、例えば第１の主面６ａ上に磁性塗料を塗布した塗膜層或いはスパッタ法やメッキ法等によって形成した磁性薄膜層に、位置検出に必要な所定の磁気信号を磁気記録して位置信号形成部１１が形成される。スケール部材６は、例えば強磁性金属材によって形成した場合には、位置信号形成部１１に対応した領域に位置信号が直接磁気記録される。スケール部材６は、位置信号を、上述した磁気的方法ばかりでなく、光学的方法、凹凸等の機械的方法或いはこれらの組合せ等の適宜の方法によって形成するようにしてもよい。なお、スケール部材６は、アルミ合金材ばかりでなく、その他の金属材料或いはガラス材等によって形成するようにしてもよい。
【００１８】
スケール部材６には、位置信号形成部１１を挟んだ長手方向の両端近傍の部位が、詳細を後述するように機器固定部２に対して第１ケース部材７と共締めされて取り付けられる取付部として構成される。スケール部材６には、これら取付部に、図１及び図４に示すようにそれぞれ共締め孔１２Ａ、１２Ｂ（以下、個別に説明する場合を除いて共締め孔１２と総称する。）が形成されている。共締め孔１２は、外周部の一部を下端縁に開口した半円弧状を呈しており、機器固定部２の取付部に形成した取付ねじ孔１０とそれぞれ対向位置される。
【００１９】
なお、共締め孔１２は、スケール部材６を機器固定部２に対して第１ケース部材７を固定するための取付ねじ部材１３のねじ部１３ａを嵌挿するとともにその頭部１３ｂを係止する開口部であればよく、例えば円孔或いは適宜の形状の孔や切欠きであってもよい。また、共締め孔１２は、例えば一方側を円孔として他方側を切欠きとしたり、長さ方向を互いに異にした長孔であってもよい。共締め孔１２は、スケール装置１が長尺であり機器固定部２側に設けた複数個の取付孔にそれぞれ取付ねじ部材１３がねじ込まれて複数箇所で固定される場合には、これら取付孔に対向して複数個を形成するようにしてもよい。
【００２０】
スケール部材６は、第１の主面６ａと対向する第２の主面６ｂを接合面として第１ケース部材７の内面に接着剤１４によって接合固定される。第１ケース部材７は、例えば機器固定部２と同一材料の鋼材やステンレス材等の金属板が用いられ、天井部７ａの両側縁に沿って第１の側面部７ｂと第２の側面部７ｃとを全長に亘って相対向して一体に形成して底面部と長手方向の両側面部とを開放した断面が下向き略コの字状を呈して形成されている。第１ケース部材７は、全体の長さが機器固定部２側の取付部よりもやや長尺とされており、この取付部と対向する第１の側面部７ｂと第２の側面部７ｃの長さ方向の両側部位がそれぞれ第１の取付部と第２の取付部として構成される。
【００２１】
第１ケース部材７は、第１の側面部７ｂが機器固定部２への取付面を構成し、第１の取付部に機器固定部２側に所定の対向間隔を以って設けた取付ねじ孔１０と対向される取付孔１５Ａ、１５Ｂ（以下、個別に説明する場合を除いて取付孔１５と総称する。）が形成されている。取付孔１５は、後述するようにスケール部４を機器固定部２に取り付ける取付ねじ部材１３のねじ部１３ａが嵌挿される孔であり、スケール部材６が第１ケース部材７に接合された状態において上述した共締め孔１２とそれぞれ同軸上に位置して連通される。取付孔１５は、その内径が取付ねじ部材１３の頭部１３ｂの外径よりも小径とされている。
【００２２】
第１ケース部材７には、第２の側面部７ｃ側の第２の取付部に、取付孔１５とそれぞれ同軸上に位置して対向するガイド孔１６Ａ、１６Ｂ（以下、個別に説明する場合を除いてガイド孔１６と総称する。）が形成されている。ガイド孔１６は、図３及び図４に示すように取付孔１５よりも大径であるとともに取付ねじ部材１３の頭部１３ｂよりも大径の円孔からなる。ガイド孔１６は、第１ケース部材７に対してスケール部材６が接合された状態において、このスケール部材６に形成された共締め孔１２と同軸上に位置して対向する。
【００２３】
第１ケース部材７には、第１の側面部７ｂと第２の側面部７ｃとに、それぞれ第２ケース部材８が組み付けられる。第２ケース部材８は、第１ケース部材７と同一材料の鋼材やステンレス材等の金属板或いは樹脂材によって形成され、第１ケース部材７とほぼ同長であるとともに高さが大きな略板状の部材からなる。第２ケース部材８には、図２に示すように内面の下方部位に長さ方向の全長に亘って段部が形成されており、第１ケース部材７の下端縁を全長に亘って支持するようにしてこの第１ケース部材７の外側面に接合される。
【００２４】
一方の第２ケース部材８Ａには、図３に示すように第１ケース部材７の取付孔１５に対応してほぼ同径のガイド孔１７が形成されている。ガイド孔１７は、スケール部４が機器固定部２に取り付けられる際に、取付ねじ部材１３のねじ部１３ａが貫通する。また、他方の第２ケース部材８Ｂには、第１ケース部材７のガイド孔１６に対応してほぼ同径のガイド孔１８が形成されている。ガイド孔１８は、取付ねじ部材１３のねじ頭部１３ｂを貫通させる。
【００２５】
第１ケース部材７には、開口された両側面部にそれぞれサイドケース部材９が組み付けられる。サイドケース部材９も、第１ケース部材７と同一材料の鋼材やステンレス材等の金属板或いは樹脂材によって形成される。サイドケース部材９は、図４に示すように第１ケース部材７の両側面開口部の形状とほぼ等しい外形を有する板状の基部１９と、この基部１９の内面に一体に突出形成されたスペーサ部２０とからなる。スペーサ部２０は、その厚みが、第１ケース部材７の第１の側面部７ｂと第２の側面部７ｃとの対向間隔からスケール部材６の厚みを差し引いた分とほぼ同等若しくはやや小さく形成されている。
【００２６】
サイドケース部材９には、後述するように第１ケース部材７に組み合わされた状態においてこの第１ケース部材７の取付孔１５とガイド孔１６と同軸上に位置されるガイド孔２１が、スペーサ部２０を貫通して形成されている。ガイド孔２１は、その内径が取付ねじ部材１３のねじ頭部１３ｂの外径よりも大径とされ、スケール部４が機器固定部２に取り付けられる際に取付ねじ部材１３を貫通させる。
【００２７】
サイドケース部材９は、スペーサ部２０が、第１ケース部材７の第１の側面部７ｂに接合されたスケール部材６の第１の主面６ａと第１ケース部材７の第２の側面部７ｃとの間に介挿されるようにして第１ケース部材７に組み合わされる。
サイドケース部材９は、組合せ状態において、スペーサ部２０の第１の側面２０ａがスケール部材６の第１の主面６ａと接するとともに第２の側面２０ｂが第１ケース部材７の第２の側面部７ｃの内面と接する。サイドケース部材９は、これによって第１ケース部材７と第２ケース部材８の開口側面部を閉塞するとともにスケール部材６を介して第１の側面部７ｂと第２の側面部７ｃとの対向間隔を保持する。
【００２８】
スケール部４は、第１ケース部材７の底面部の開放部位が、機器可動部３の移動動作に伴って移動する検出部５がスケール部４に沿って相対的にスライド動作するスライドガイド開口部２３を構成する。第２ケース部材８には、図２及び図３に示すように、スライドガイド開口部２３を構成する第１ケース部材７の第１の側面部７ｂと第２の側面部７ｃの下端縁部から突出する側面部の内面にそれぞれシールリップ部材２４Ａ、２４Ｂ（以下、個別に説明する場合を除いてシールリップ部材２４と総称する。）が取り付けられており、これらシールリップ部材２４によって第１ケース部材７の内部空間への塵埃等の侵入を防止している。
【００２９】
シールリップ部材２４は、弾性素材、例えばフッ化系ゴムやポリウレタン樹脂等によって成形された薄肉のシート状部材からなる。シールリップ部材２４は、詳細を省略するが第１ケース部材７の第１の側面部７ｂと第２の側面部７ｃに開口縁に沿って長さ方向の全域に形成された取付部に基端部を取り付けられ、先端部が互いに弾性変形した状態で突き当てられることによってスライドガイド開口部２３を全域に亘って閉塞する。
【００３０】
以上のように構成されたスケール部４は、スケール部材６がその第２の主面６ｂを第１ケース部材７の第１の側面部７ａの内面に接着剤１４によって接合固定される。スケール部材６は、第２の主面６ｂに全面に亘って所定量の接着剤１４が塗布されるとともに、取付部の共締め孔１２を第１ケース部材７側の相対する第１の取付部の取付孔１５とそれぞれ連通させるようにしてこの第１ケース部材７の第１の側面部７ａにしっかりと接合される。スケール部材６は、例えばエポキシ系接着剤のように硬化状態において弾性を有しない難弾性変形特性の接着剤１４が用いられることによって、第１ケース部材７と機械的に一体構造化されるようにする。なお、接着剤１４には、難弾性変形特性を有するその他の接着剤、例えばアクリル系樹脂やウレタン系樹脂等の適宜の樹脂を主成分とした接着剤或いは金属粉を混入した接着剤を用いるようにしてもよい。
【００３１】
スケール部４は、図３に示すように第１ケース部材７の第１の側面部７ｂを取付面として機器固定部２に対して、取付ねじ部材１３によって取り付けられる。
スケール部４は、機器固定部２側の取付ねじ孔１０と第１ケース部材７側の相対する取付孔１５とを一致させるようにして、機器固定部２に対して第１ケース部材７が当てがわれる。スケール部４は、第１ケース部材７の第２の側面部７ｃ側からガイド孔１６を介して取付ねじ部材１３が挿通され、この取付ねじ部材１３のねじ部１３ａがスケール部材６の共締め孔１２と第１ケース部材７の取付孔１５及び第２ケース部材８のガイド孔１７を貫通して機器固定部２の取付ねじ孔１０にねじ込まれることによって機器固定部２に取り付けられる。
【００３２】
取付ねじ部材１３は、図３に示すように頭部１３ｂがスケール部材６の共締め孔１２の開口縁で係止されてねじ部１３ａを機器固定部２の取付ねじ孔１０にねじ込まれる。取付ねじ部材１３は、頭部１３ｂによって、機器固定部２の取付部に対して第２ケース部材８と第１ケース部材７の第１の側面部７ｂ及びスケール部材６とを挟み込んだ状態で固定する。したがって、スケール部４は、機器固定部２に固定される第１ケース部材７に対してスケール部材６が取付ねじ部材１３によって共締めされて機器固定部２と一体化された状態となる。
【００３３】
スケール部４は、上述したようにそれぞれ線膨張率を異にした材質により形成されたスケール部材６と第１ケース部材７及び機器固定部２とが機械的に一体構造化された状態となり、各部の環境条件によるそれぞれの自由な寸法変化が規制されて略同等の寸法変化を呈するようになる。スケール部４は、これによってスケール部材６が第１ケース部材７を介して機器固定部２に対して高精度に取り付けられる。
【００３４】
なお、スケール部４は、上述したようにスケール部材６を収納固定するとともに機器固定部２に対する取付部材を構成する第１ケース部材７に、第２ケース部材８とサイドケース部材９とを組み合わせてケース体を構成するようにしたが、かかる構成に限定されるものではないことは勿論である。スケール部４は、例えば第１ケース部材７と第２ケース部材８とを一体化して構成してもよく、また第２ケース部材８がサイドケース部材９の機能を有して構成されるようにしてもよい。
【００３５】
検出部５は、図１及び図２に示すようにセンサユニット２５と、キャリアユニット２６と、これらセンサユニット２５とキャリアユニット２６とを連結する連結部材２７等によって構成される。検出部５は、詳細を後述するようにキャリアユニット２６が機器可動部３に取り付けられると、図２に示すように機器固定部２側に取り付けられたスケール部４の第１ケース部材７内にスライドガイド開口部２３を介してセンサユニット２５が配置される。検出部５は、機器可動部３が機器固定部２に対して移動動作することによってセンサユニット２５がスケール部材６をガイドにしてスライド動作し、位置信号形成部１１に設けられた位置信号を検出して検出信号を出力する。
【００３６】
センサユニット２５は、詳細を省略するが、スケール部材６の第１の主面６ａと平行に対峙するベース部材２８と、このベース部材２８に対してセンサ取付部材を介して搭載された検出センサ２９と、複数個のガイドローラ３０Ａ〜３０Ｅ（以下、個別に説明する場合を除いてガイドローラ３０と総称する。）からなるベアリング機構等の部材から構成される。センサユニット２５は、検出センサ２９がスケール部材６の第１の主面６ａと所定の対向間隔を保持されるように、各ガイドローラ３０により精密に位置決めされて支持される。各ガイドローラ３０は、詳細を省略するがそれぞれバネ部材によりスケール部材６の第１の主面６ａと下縁部とに押し付けられて転動することによって、センサユニット２５がスケール部材６に対して縦振れや横振れ等を生じることなく円滑にスライド動作されるようにする。
【００３７】
センサユニット２５は、検出センサ２９が図示しないフレキシブルケーブルを介してキャリアユニット２６内の電気回路部（以下、電気回路部を含む全体をキャリアユニット２６と称する。）と電気的に接続されており、このキャリアユニット２６に検出した位置信号の検出出力を送出する。キャリアユニット２６には、詳細を省略するがボックス状の筐体に長手方向に離間して取付孔を有する取付部３１Ａ、３１Ｂ（以下、個別に説明する場合を除いて取付部３１と総称する。）が設けられており、取付ねじ部材によって機器可動部３に固定されてこの機器可動部３と一体的にスライド動作する。キャリアユニット２６には、図示しない機器制御部や表示装置と接続されたケーブル３２が接続されれており、検出センサ２９が検出した位置信号の検出出力を機器制御部や表示装置へと供給する。
【００３８】
連結部材２７は、詳細を省略するが全体板状の部材であり、スライドガイド開口部２３を貫通して第１ケース部材７の内部空間に収納されたセンサユニット２５と機器可動部３に固定されたキャリアユニット２６とを一体化する。連結部材２７は、スライドガイド開口部２３の貫通部位が、長さ方向に対して中央部から両端部に向かってその厚みを次第にすぼめた形状の断面略舟型を呈して形成されている。連結部材２７には、図２に示すようにスライドガイド開口部２３の貫通部位においてシールリップ部材２４が弾性変形した状態で長さ方向の全域に亘って当接する。したがって、スケール装置１は、スケール部４に対して検出部５がスライド動作する際にもスライドガイド開口部２３の閉塞状態が保持される。
【００３９】
以上のように構成されたスケール装置１においては、機器の動作が行われて機器固定部２に対して機器可動部３が移動動作すると、機器可動部３とともにキャリアユニット２６が第１ケース部材７に沿ってスライド動作する。スケール装置１においては、キャリアユニット２６のスライド動作に伴って連結部材２７を介してセンサユニット２５が第１ケース部材７の内部空間内においてスケール部材６をガイドにしてスライド動作する。スケール装置１においては、センサユニット２５に搭載した検出センサ２９がスケール部材６の位置信号形成部１１を走査して記録された位置信号を検出する。スケール装置１においては、検出センサ２９から検出出力がキャリアユニット２６へと送出され、この検出出力をケーブル３２を介して機器制御部や表示装置へと供給される。
【００４０】
スケール装置１においては、上述したようにスケール部４のスケール部材６が接着剤１４によって第１ケース部材７に接合固定されるとともに、この第１ケース部材７を介して取付ねじ部材１３によって共締めされて機器固定部２に取り付けられている。スケール装置１においては、スケール部材６が環境条件等の変化による寸法変化量を機械的に一体化された機器固定部２の寸法変化量とほぼ同等とされることで、位置信号形成部１１に設けられた位置信号の精度が一定状態に保持されるようになる。また、スケール装置１においては、機器固定部２と同一材によって形成された機器可動部３側に検出部５が取り付けられており、この検出部５の検出センサ２９とスケール部材６との相対的な位置決めが保持される。
したがって、スケール装置１においては、環境条件等の変化にかかわらず、機器固定部２と機器可動部３との相対移動量を高精度に計測することを可能とする。
【００４１】
上述したスケール装置１においては、スケール部材６が第１ケース部材７に対して、第２の主面６ｂに接着剤１４を塗布されて第１の側面部７ｂの内面に接合固定される。スケール装置１においては、スケール部材６と第１ケース部材７との取付ねじ部材１３によって共締めされる部位において、接着剤１４の層厚分の隙間が生じる。スケール装置１は、このために取付ねじ部材１３を強くねじ込むことにより、スケール部材６に撓みが生じてより高精度の取付が行い得なくなることがある。図５乃至図７に第２の実施の形態として示したスケール装置３５は、かかるスケール部材６の撓みを防止するスペーサ部材３６を、スケール部材６と第１ケース部材７の共締め部位に介挿してなる。なお、スケール装置３５は、その他の構成をスケール装置１と同様とすることから、対応する部位や部材に同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００４２】
スペーサ部材３６は、例えばステンレス板が用いられ、接着剤１４の層厚とほぼ等しい厚みを有するとともに各片の長さがスケール部材６の幅よりもやや小さな矩形片に形成されてなり、共締め孔３７が形成されている。共締め孔３７は、スケール部材６に形成した共締め孔１２と同径であるとともに、図７に示すように外周部を下端縁に開口した半円弧状を呈している。なお、共締め孔３７は、取付ねじ部材１３のねじ部１３ａを嵌挿する開口部であれば共締め孔１２よりも大径であってもよく、共締め孔１２の形状に合わせて例えば円孔或いは適宜の形状の孔や切欠きであってもよい。
【００４３】
スケール装置３５においては、スペーサ部材３６が、図５及び図６に示すようにスケール部材６の第２の主面６ｂと第１ケース部材７の第１の側面部７ｂの内面との間に、共締め孔３７を共締め孔１２と取付孔１５とに軸線を一致させて介挿される。スケール装置３５においては、上述したように第１ケース部材７のガイド孔１６から取付ねじ部材１３が挿通され、この取付ねじ部材１３のねじ部１３ａがスケール部材６の共締め孔１２とスペーサ部材３６の共締め孔３７及び第１ケース部材７の取付孔１５と第２ケース部材８のガイド孔１７とを貫通して機器固定部２の取付ねじ孔１０にねじ込まれる。
【００４４】
スケール装置３５においては、スケール部材６と第１ケース部材７との間にスペーサ部材３６を挟み込んだ状態で、取付ねじ部材１３が第２ケース部材８と第１ケース部材７及びスケール部材６を共締めして機器固定部２の取付部に取り付ける。スケール装置３５においては、接着剤１４の層厚によるスケール部材６と第１ケース部材７との間の浮き状態が介挿されたスペーサ部材３６によって吸収されて取付ねじ部材１３のねじ込みが行われることで、スケール部材６に撓みの発生が防止される。なお、スケール装置３５においては、接着剤１４によってスペーサ部材３６を予めスケール部材６に接合するようにしてもよい。
【００４５】
上述したスケール装置３５においては、板状のスペーサ部材３６をスケール部材６と第１ケース部材７との間に介挿するようにしたが、このスペーサ部材３６が組付時にズレることにより共締め孔３７に対して共締め孔１２と取付孔１５との位置が合わなくなることがある。スケール装置３５においては、このために取付ねじ部材１３を嵌挿することができなくなり、スペーサ部材３６の位置合わせの操作が必要となる場合がある。図８及び図９に第３の実施の形態として示したスケール装置４０は、位置ズレ防止機能を有するスペーサ部材４１をスケール部材６と第１ケース部材７の共締め部位に介挿してなる。なお、スケール装置４０も、その他の構成をスケール装置１と同様とすることから、対応する部位や部材に同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００４６】
スペーサ部材４１も、例えばステンレス板が用いられ、接着剤１４の層厚とほぼ等しい厚みを有するとともに各片の長さがスケール部材６の幅よりもやや小さな矩形片に形成されてなり、共締め孔４２が形成されている。共締め孔４２も、スケール部材６に形成した共締め孔１２と同径又はやや大径であるとともに、図９に示すように外周部を下端縁に開口した半円弧状を呈している。スペーサ部材４１には、同図に示すように一側部に主面に対して直交するようにしてストッパ部４３が一体に折曲形成されている。ストッパ部４３は、共締め孔４２との間隔が、スケール部材６の共締め孔１２と側縁との間隔とほぼ等しく形成されている。なお、スペーサ部材４１は、スケール部材６の左右位置に組み付けられ、左右対称形に形成される。
【００４７】
スケール装置４０においては、図８に示すように、スペーサ部材４１がスケール部材６の第２の主面６ｂと第１ケース部材７の第１の側面部７ｂの内面との間に介挿されて組み付けられる。スペーサ部材４１は、共締め孔４２がスケール部材６の共締め孔１２と第１ケース部材７の取付孔１５とに軸線を一致されるとともに、ストッパ部４３がスケール部材６の側縁とサイドケース部材９の基部１９との間に介挿されて組み付けられる。スケール装置４０においては、スペーサ部材４１が、ストッパ部４３をスケール部材６の側縁とサイドケース部材９の基部１９との間に挟まれることによってその位置ズレが防止されることで、上述した各孔が軸線を一致させた状態を保持される。
【００４８】
スケール装置４０においては、上述したように第１ケース部材７のガイド孔１６から取付ねじ部材１３が挿通され、この取付ねじ部材１３のねじ部１３ａがスケール部材６の共締め孔１２とスペーサ部材４１の共締め孔４２及び第１ケース部材７の取付孔１５と第２ケース部材８のガイド孔１７とを貫通して機器固定部２の取付ねじ孔１０にねじ込まれる。スケール装置４０においては、スケール部材６と第１ケース部材７との間にスペーサ部材４１を挟み込んだ状態で、取付ねじ部材１３が第２ケース部材８と第１ケース部材７及びスケール部材６を共締めして機器固定部２の取付部に取り付ける。スケール装置４０においては、接着剤１４の層厚によるスケール部材６と第１ケース部材７との間の浮き状態が介挿されたスペーサ部材４１によって吸収されて取付ねじ部材１３のねじ込みが行われることで、スケール部材６に撓みの発生が防止される。
【００４９】
図１０及び図１１に第４の実施の形態として示したスケール装置４５は、接着剤１４の層厚を一定量に制御する制御機能を有するスケール部材４６が用いられている。なお、スケール装置４５も、その他の構成をスケール装置１と同様とすることから、対応する部位や部材に同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００５０】
スケール部材４６も、例えば押出し用アルミ合金材が用いられて、機器固定部２に所定の間隔を以って設けられたスケール取付部の間隔よりもやや長尺とされた矩形板状に形成されてなり、第１の主面４６ａにスケール装置１の上述した位置信号形成部１１が設けられている。また、スケール部材４６は、位置信号形成部１１を挟んだ長手方向の両端近傍の部位が機器固定部２に対して第１ケース部材７と共締めされて取り付けられる取付部として構成され、これら取付部に共締め孔４７が形成されている。共締め孔４７も、図１１に示すように外周部を下端縁に開口した半円弧状を呈しており、機器固定部２の取付部に形成した取付ねじ孔１０とそれぞれ対向位置される。なお、共締め孔４７についても、例えば円孔或いは適宜の形状の孔や切欠きであってもよい。
【００５１】
スケール部材４６は、図１０に示すように第１の主面４６ａと対向する第２の主面４６ｂを接合面として第１ケース部材７の内面に接着剤１４によって接合固定される。スケール部材４６には、図１１に示すように第２の主面４６ｂの幅方向の両側縁に沿って長さ方向の全域に亘って互いに対向する第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とが一体に形成されている。これら第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９は、スケール部材４６を押出し成形する際に一体に形成され、スケール部材４６に塗布する接着剤１４の層厚を規定する所定の高さｈを有している。
【００５２】
スケール部材４６には、図１１に示すように第２の主面４６ｂに、流動性を有する接着剤１４が所定量を規定されて供給される。接着剤１４は、スケール部材４６が第１ケース部材７に対して押し付けられることによって第２の主面４６ｂ上を四方へと拡がり、第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とによって止められる。接着剤１４は、これによってスケール部材４６の第２の主面４６ｂ上に、第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とにより規定された層厚を以って接着剤層を形成する。
【００５３】
以上のように構成されたスケール装置４５においては、スケール部材４６と第１ケース部材７とが全面に亘って均一な層厚の接着剤１４によって接合されることで、周囲の環境条件の変化によるこれらスケール部材４６と第１ケース部材７との間の熱応力も全面に亘って均一となる。したがって、スケール装置４５においては、層厚のバラツキによって熱応力による接着剤１４の部分的な歪みの発生が抑制されることで、第１ケース部材７に対して両端部を共締めされたスケール部材４６が全長に亘って高精度に接合固定される。
【００５４】
また、スケール装置４５においては、スケール部材４６が第１ケース部材７の内面に第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とを突き当てられて接合されることから、全面間の突き当て構造と比較して接合精度の向上が図られるようになる。スケール装置４５においては、スケール部材４６の第２の主面４６ｂの両側縁に沿って第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とを形成したことによって、スケール部材４６が第１ケース部材７に対して幅方向の傾きを規制されて高精度に接合される。
【００５５】
なお、スケール装置４５においては、スケール部材４６の第２の主面４６ｂに第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とを両側縁に沿って長さ方向の全域に亘って形成したが、かかる構成に限定されるものでは無い。スケール部材４６は、例えば第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とをそれぞれ多数個の凸部によって構成するようにしてもよい。また、スケール部材４６は、図１１において鎖線で示すように、第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とに加えて第３のリブ状凸部５０を一体に形成するようにしてもよい。スケール部材４６は、第１のリブ状凸部４８と第２のリブ状凸部４９とに代えて第３のリブ状凸部５０を一体に形成するようにしてもよい。第３のリブ状凸部５０は、位置信号形成部１１に対向して形成されることで、この位置信号形成部１１の機械的強度が向上されて撓み等の発生を抑制する。
【００５６】
ところで、上述したスケール装置１においては、大径の頭部１３ｂを有する取付ねじ部材１３によってスケール部材６と第１ケース部材７とが機器固定部２に共締めされて固定される。スケール装置１においては、スケール部材６に対して共締め孔１２の周囲に取付ねじ部材１３の頭部１３ｂが直接突き当てられる。したがって、スケール装置１においては、取付ねじ部材１３を強くねじ込む際に、頭部１３ｂを介して大きな回転トルクが負荷されることによりスケール部材６に撓み等が発生する虞がある。
【００５７】
図１２及び図１３に第５の実施の形態として示したスケール装置５５は、上述した問題の発生を防止するために、スケール部材６と取付ねじ部材１３の頭部１３ｂとの間に介在するようにねじ部１３ａにワッシャ部材５６を装着してなる。
なお、スケール装置５５も、その他の構成をスケール装置１と同様とすることから対応する部位や部材に同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００５８】
ワッシャ部材５６は、ステンレス材等によってリング状に形成され、図１２に示すように取付ねじ部材１３のねじ部１３ａの外径よりも大きくかつ頭部１３ｂの外径よりも小さな内径を有する貫通孔５７が形成されている。ワッシャ部材５６は、スケール部材６の共締め孔１２の内径よりも大きくかつ第１ケース部材７のガイド孔１６の内径よりも大径とされた外径を有している。ワッシャ部材５６は、サイドケース部材９に形成されたガイド孔２１内に嵌挿される。なお、サイドケース部材９は、ガイド孔２１が、第１ケース部材７の取付孔１５及びガイド孔１６の内径よりもそれぞれ大径であるとともに、ワッシャ部材５６を嵌挿させるに足る内径を以って形成されている。
【００５９】
スケール装置５５においては、ガイド孔２１内にワッシャ部材５６を嵌挿した状態でサイドケース部材９が、スケール部材６を接合した第１ケース部材７に組み合わされる。スケール装置５５においては、上述したようにワッシャ部材５６が、第１ケース部材７の取付孔１５及びガイド孔１６よりも大径とされることによりサイドケース部材９を第１ケース部材７に組み合わせる際にガイド孔１６の開口周辺部で係止されることから脱落することなく、サイドケース部材９のガイド孔２１内に嵌挿された状態を保持され、作業性の向上が図られる。
【００６０】
スケール装置５５においては、第１ケース部材７にサイドケース部材９を組み合わせた状態において、ワッシャ部材５６がサイドケース部材９のガイド孔２１の底部においてスケール部材６の第１の主面６ａに当てがわれる。ワッシャ部材５６は、貫通孔５７が、図１２及び図１３に示すように第１ケース部材７の取付孔１５とガイド孔１６及びスケール部材６の共締め孔１２と互いに軸線を一致される。スケール装置５５においては、第１ケース部材７のガイド孔１６から挿通された取付ねじ部材１３がそのねじ部１３ａをワッシャ部材５６の貫通孔５７に嵌挿される。スケール装置５５においては、取付ねじ部材１３のねじ部１３ａが、貫通孔５７を介してスケール部材６の共締め孔１２、第１ケース部材７の取付孔１５を嵌挿されて機器固定部２の取付ねじ孔１０にねじ込まれることにより、ワッシャ部材５６とスケール部材６及び第１ケース部材７とを共締めする。
【００６１】
スケール装置５５においては、スケール部材６と取付ねじ部材１３の頭部１３ｂとの間にワッシャ部材５６を介在させたことによって、取付ねじ部材１３からの回転トルクがワッシャ部材５６に作用されることになる。スケール装置５５においては、スケール部材６に対する取付ねじ部材１３からの負荷が第１ケース部材７への圧接方向に作用されることで、スケール部材６の撓み等が防止される。
スケール装置５５においては、ワッシャ部材５６の外径を取付ねじ部材１３が挿通される第１ケース部材７のガイド孔１６よりも大径としたことにより、組立時等においてガイド孔１６からのワッシャ部材５６の脱落が防止され作業性の向上が図られる。
【００６２】
図１４及び図１５に第６の実施の形態として示したスケール装置６０は、取付ねじ部材１３によるスケール部材６と第１ケース部材７との共締め構造に加え、ノックピン６１を用いてこれらスケール部材６と第１ケース部材７とをより強固に一体化した構成を備えてなる。スケール装置６０は、ノックピン構造を除くその他の構成を上述した各スケール装置と同様とすることから、対応する部位や部材に同一符号を付すことにより説明を省略する。
【００６３】
スケール部材６には、図１５に示すように上述した共締め孔１２と位置信号形成部１１との間に位置して、第１のかしめ孔６２が形成されている。スケール部材６には、第１のかしめ孔６２が、位置信号形成部１１を挟んだ両側に一対が形成されるが、いずれか一方の部位に設けるようにしてもよい。第１ケース部材７にも、第１の側面部７ｂにスケール部材６側の第１のかしめ孔６２と対向して取付孔１５とともに第２のかしめ孔６３が形成されている。第１ケース部材７は、第２のかしめ孔６３を取付孔１５との間隔が、スケール部材６側の共締め孔１２と第１のかしめ孔６２との間隔とほぼ等しくなるようにして左右一対を形成してなる。なお、第１ケース部材７には、第２の側面部７ｃに第２のかしめ孔６３と対向して大径のガイド孔６４が形成されている。
【００６４】
スケール装置６０は、スケール部材６がその共締め孔１２を取付孔１５と連通するようにして第１ケース部材７の内面に接合された状態において、スケール部材６側の第１のかしめ孔６２と第１ケース部材７側の第２のかしめ孔６３とが連通される。スケール装置６０は、第１ケース部材７側のガイド孔６４からノックピン６１が連通された第１のかしめ孔６２と第２のかしめ孔６３とに打ち込まれることにより、図１４に示すように第１ケース部材７に対してスケール部材６が強固に固定される。なお、スケール装置６０は、ノックピン６１の端面がスケール部材６の第１の主面６ａと同一面を構成するようにしてセンサユニット２５が円滑にスライド動作されるようにする。
【００６５】
なお、上述したノックピン構造については、例えば第１ケース部材７の第１の側面部７ｂに打ち出し加工を施して内面側にダボを突出させるとともに、このダボをスケール部材６側の第１のかしめ孔６２に圧入するようにしてもよい。ノックピン６１や各かしめ孔６２、６３については、円形に限定されず、適宜の形状であってもよい。
【００６６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明にかかるスケール装置によれば、スケール部のスケール部材が、取付部材によってケース部材と共締めされて機器の第１の部位に対して取り付けられてこの第１の部位と一体化されることから、スケール部材が、ケース部材或いはスケール部と検出部とを取り付ける機器の取付部位とそれぞれそれぞれ線膨張率を異にしていても、各部の環境条件によるそれ自体の自由な寸法変化が規制されて機器の取付部位の寸法変化と略同等となって高精度の取付が可能となる。したがって、本発明にかかるスケール装置によれば、機器の第１の部位と第２の部位との相対移動量を精密に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるスケール装置の一部切欠き要部正面図である。
【図２】同スケール装置の要部縦断面図である。
【図３】スケール部を機器固定部に取り付けた状態の要部縦断面図である。
【図４】スケール部の機器固定部に対する取付構造を説明する要部分解斜視図である。
【図５】第２の実施の形態として示すスケール装置のスケール部を機器固定部に取り付けた状態の要部縦断面図である。
【図６】同スケール部の機器固定部に対する取付構造を説明する一部切欠き要部正面図である。
【図７】スケール部材とスペーサ部材の構造を説明する要部分解斜視図である。
【図８】第３の実施の形態として示すスケール装置のスケール部の構成を説明する要部縦断面図である。
【図９】スケール部材とスペーサ部材の構造を説明する要部分解斜視図である。
【図１０】第４の実施の形態として示すスケール装置のスケール部の構成を説明する要部縦断面図である。
【図１１】スケール部材の第２の主面の構成を説明する要部斜視図である。
【図１２】第５の実施の形態として示すスケール装置のスケール部を機器固定部に取り付けた状態の要部縦断面図である。
【図１３】同スケール部の機器固定部に対する取付構造を説明する一部切欠き要部正面図である。
【図１４】第６の実施の形態として示すスケール装置のスケール部の構成を説明する要部縦断面図である。
【図１５】同スケール部の機器固定部に対する取付構造を説明する一部切欠き要部正面図である。
【図１６】従来のスケール装置の一部切欠き斜視図である。
【符号の説明】
１  スケール装置、２  機器固定部、３  機器可動部、４  スケール部、５  検出部、６  スケール部材、７  第１ケース部材、８  第２ケース部材、９  サイドケース部材、１０  取付ねじ孔、１１  位置信号形成部、１２  共締め孔、１３  取付ねじ部材、１４  接着剤、１５  取付孔、１６  ガイド孔、１７  ガイド孔、１８  ガイド孔、２３  スライドガイド開口、２４  シールリップ部材、２５  センサユニット、２６  キャリアユニット、２７  連結部材、２９  検出センサ、３０  ガイドローラ、３５  スケール装置、３６  スペーサ部材、３７  共締め孔、４０  スケール装置、４１  スペーサ部材、４２  共締め孔、４３  ストッパ部、４５  スケール装置、４６  スペーサ部材、４７  共締め孔、４８  第１のリブ状凸部、４９  第２のリブ状凸部、５５  スケール装置、５６ワッシャ部材、６０  スケール装置、６１  ノックピン、６２  第１のかしめ孔、６３  第２のかしめ孔
【図１】
2004245591.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2004245591.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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