(57)【要約】【課題】低真空度から高真空度までのスムーズな運転を確保可能な回転ベーンポンプを提供する。【解決手段】ハウジングの筒状空間１２に収容されたロータ２０側壁のベーン３０が嵌挿された複数の溝２２底部の開口部又はその近くの溝２２の開口部部分を、ロータ２０の側壁表面に設けた第１連通溝１００を介して互いに連通する。そして、その第１連通溝１００を通して、ロータの複数の溝底部空間２４に存在する空気等の各気体を相互に移動させて、ロータ２０の回転に伴って、ベーン３０が嵌挿されたロータの溝底部空間２４の容積が増減しても、その複数の各溝底部空間２４の気圧が大幅に低下したり大幅に上昇したりするのを、防ぐ。【選択図】        図１
2004308503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングを前後に貫く筒状空間に偏心させて収容されたロータが、該ハウジングの筒状空間の前後を封じているサイドプレートに亙って回転自在に支持され、該ロータにほぼ放射状に設けられたロータ外周壁及びロータ前後の側壁に亙って連続する開口部を持つ複数の有底の溝のそれぞれにベーンが出入自在に嵌挿されてなる回転ベーンポンプにおいて、
前記ロータ側壁の複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分が、該ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝を介して互いに連通されてなることを特徴とする回転ベーンポンプ。
【請求項２】
前記ロータ前後の側壁の複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分が、該ロータ前後の側壁表面のそれぞれに設けられた第１連通溝を介して、それぞれ互いに連通されてなる請求項１記載の回転ベーンポンプ。
【請求項３】
前記ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝が、ほぼ円形状をなす溝である請求項１又は２記載の回転ベーンポンプ。
【請求項４】
ハウジングを前後に貫く筒状空間に偏心させて収容されたロータが、該ハウジングの筒状空間の前後を封じているサイドプレートに亙って回転自在に支持され、該ロータにほぼ放射状に設けられたロータ外周壁及びロータ前後の側壁に亙って連続する開口部を持つ複数の有底の溝のそれぞれにベーンが出入自在に嵌挿されてなる回転ベーンポンプにおいて、
前記ロータ側壁の複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分が、該ロータ側壁に対向する前記サイドプレートの内側壁表面に設けられた第２連通溝を介して互いに連通されてなることを特徴とする回転ベーンポンプ。
【請求項５】
前記ロータ前後の側壁の複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分が、該ロータ前後の側壁に対向する前記サイドプレート前後の内側壁表面のそれぞれに設けられた第２連通溝を介して、それぞれ互いに連通されてなる請求項４記載の回転ベーンポンプ。
【請求項６】
前記サイドプレートの内側壁表面に設けられた第２連通溝が、ほぼ円形状をなす溝である請求項４又は５記載の回転ベーンポンプ。
【請求項７】
前記ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝、又は前記サイドプレートの内側壁表面に設けられた第２連通溝が、前記ロータの溝内側壁と該溝に嵌挿されたベーン底壁とサイドプレート内側壁とで囲まれたロータの複数の溝底部空間に存在する各気体を、所要の流体抵抗を加えながら、その複数の各溝底部空間の間を互いに移動させる絞り弁的作用をなす、小幅の底浅に形成された請求項１、２、３、４、５又は６記載の回転ベーンポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気等の気体を吸引、排除するための真空ポンプ等に用いられる、無給油式の回転ベーンポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記ポンプとして、図４に示したような、回転ベーンポンプが周知である。
このポンプでは、そのハウジング１０を前後に貫く筒状空間１２に、ロータ２０が偏心させて収容されている。ロータ２０は、ハウジングの筒状空間１２の前後を封じているサイドプレート（図示せず）に亙って回転自在に支持されている。ロータ２０には、該ロータ外周壁及びロータ前後の側壁に亙って連続する開口部を持つ複数の有底の溝２２が、ほぼ放射状に設けられている。ロータの複数の溝２２のそれぞれには、板状をしたベーン３０が出入自在に嵌挿されている。
このような構成のポンプにおいては、そのロータ２０をハウジングの筒状空間１２で時計回り（図４の矢印方向）に回転させることにより、そのロータの溝２２に嵌挿されたベーン３０を、該ベーンに加わる遠心力により、ロータ２０外方に突出させることができる。そして、そのベーン３０先端を、ハウジング１０内周壁に摺動自在に押接させることができる。そして、そのハウジング１０右側に位置する隣り合うベーン３０とロータ２０外周壁とハウジング１０内周壁とサイドプレート内側壁とで囲まれた空気等の気体が封じ込められた空間部分の容積を漸次増大させることができる。そして、そのハウジング右側の筒状空間１２の気圧を低下させることができる。そして、そのハウジング右側の気圧が低下した筒状空間１２に、ハウジング１０外部の空気等の気体を、ハウジング右側上部に設けられた吸気口１４を通して吸引できる。
それと共に、そのハウジング１０左側に位置する隣り合うベーン３０とロータ２０外周壁とハウジング１０内周壁とサイドプレート内側壁とで囲まれた空気等の気体が封じ込められた空間部分の容積を漸次減少させることができる。そして、そのハウジング左側の筒状空間１２に存在する空気等の気体を圧縮して、その気体の圧力を高めることができる。そして、そのハウジング右側の筒状空間１２の圧力が高まった空気等の気体を、ハウジング左側上部に設けられた排気口１６を通して、ハウジング１０外部に放出させることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この回転ベーンポンプにおいては、該ポンプを低真空度（大流量域）で運転させた際に、そのポンプの吸気能力（流量）が期待される所望値よりも大幅に低下してしまった。
【０００４】
そこで、本発明者らは、その原因を追求したところ、次に述べる現象が回転ベーンポンプに発生するからであることを、発見した。
【０００５】
このポンプにおいては、ロータ２０を時計回り（図４の矢印方向）に回転させることにより、ベーン３０をロータの溝２２からハウジングの筒状空間１２に吐出させる遠心力Ａが、ベーン３０に加わる。
また、ロータ２０が時計回り（図４の矢印方向）に回転するのに伴って、前記のように、ハウジング右側（吸気側）の筒状空間１２の気圧が低下する。そして、それに伴って、その気圧が低下したハウジング右側の筒状空間１２にベーン３０をロータの溝２２から引き出そうとする引き出し力Ｂが、ベーン３０に加わる。
さらに、ロータ２０が時計回り（図４の矢印方向）に回転するのに伴って、ハウジング１０右側に位置する、ロータの溝２２内側壁と該溝に嵌挿されたベーン３０底壁とサイドプレート内側壁とで囲まれたロータの溝底部空間２４の容積が、増大する。そして、その溝底部空間２４の気圧が低下する。そして、それに伴って、その溝底部空間２４にベーン３０を引き込もうとする引き込み力Ｃが発生する。それに対して、ハウジング１０左側（排気側）に位置するベーン３０が嵌挿されたロータの溝底部空間２４の容積は、減少する。そして、その溝底部空間２４の気圧が増大する。そして、それに伴って、その溝底部空間２４に発生するベーン３０を引き込もうとするベーン３０に加わる引き込み力Ｃが、負の引き込み力に変化して、ベーン３０に押し出し力Ｄが加わる。
【０００６】
このような構成の回転ベーンポンプを低真空度（大流量域）で運転させた際には、ハウジング右側の筒状空間１２の気圧の低下が少なくなって、そのハウジング右側の筒状空間１２にベーン３０を引き出そうとする引き出し力Ｂが弱まる。
そのために、ハウジング１０右側に位置する、容積が増大して気圧が低下するロータの溝底部空間２４に発生するベーン３０を引き込もうとする引き込み力Ｃが、ベーン３０に加わる遠心力Ａとベーン３０をハウジング右側の筒状空間１２に引き出そうとする引き出し力Ｂとの和に近づくか、もしくはそれ以上となってしまう。これを数式で示せば、Ａ＋Ｂ≒ＣもしくはＡ＋Ｂ≦Ｃとなる。
その結果、そのハウジング右側（吸気側）の筒状空間１２において、ベーン３０先端をハウジング１０の内周壁に押接させる押接力が不足してしまう。そして、そのベーン３０先端とハウジング１０の内周壁との間に空隙が生じてしまう。そして、その空隙を通して、隣り合うベーン３０とロータ２０外周壁とハウジング内周壁とサイドプレート内側壁とで囲まれた空間部分に封じ込められた気体が、その外部に漏れ出してしまう。そして、それが原因となって、ポンプの吸気効率が大幅に低下してしまうからであることが、判明した。
【０００７】
逆に、このような構成の回転ベーンポンプを高真空度（小流量域）で運転させた際には、そのハウジング左側（排気側）の筒状空間１２において、気圧の圧縮度合いが減少する。そして、そのハウジング左側の筒状空間１２に発生するベーン３０をロータの溝２２に押し込もうとする押し込み力Ｅが弱まる。
また、ロータ２０の回転に伴って、容積が減少するロータの溝底部空間２４に発生するベーン３０をロータ２０外方に押し出そうとする押し出し力Ｄが発生する。
そのために、ベーン３０をロータの溝２２に押し込もうとする押し込み力Ｅより、ベーン３０をロータの溝２２から吐出させようとする押し出し力Ｄが大きくなる。
その結果、その押し出し力Ｄと遠心力Ａとがベーン３０に加わり、そのハウジング左側のロータの溝２２に嵌挿されたベーン３０をハウジングの筒状空間１２に吐出させようとする力が大きくなり過ぎて、そのベーン３０先端がハウジング１０の内周壁に必要以上に強く押接されるため、ポンプが不快な騒音を発したり、ベーン３０の摩耗が増大したり、ポンプの運転動力が増大したりする原因になっていることが判明した。
【０００８】
このような課題を解消する手段として、ベーン３０が嵌挿されたロータの溝底部空間２４の容積を広げる方法が考えられる。この方法によれば、ベーン３０がロータの溝２２の内外に出入するのに伴う、その溝底部空間２４の容積の増減比率を小さく抑えることができる。そして、その溝底部空間２４の気圧の大幅な低下や上昇を回避できる。そして、ポンプを低真空度（大流量域）で運転させた際に、ハウジング１０右側に位置するロータの溝底部空間２４に大きな引き込み力Ｃが発生するのを防ぐことができる。また、ポンプを高真空度（小流量域）で運転させた際には、ハウジング１０左側に位置するロータの溝底部空間２４に発生するベーン３０をロータ２０外方に押し出そうとする大きな押し出し力Ｄの発生を防ぐことができる。そして、ベーン３０先端がハウジング１０内周壁に必要以上に強く圧接されるのを防ぐことができる。
【０００９】
しかしながら、複数の溝２２底部が集中するロータ２０の中心部付近には、十分なスペースが存在しないために、上記のように、そのロータの溝底部空間２４の容積を大きく広げることは、設計上、不可能である。
【００１０】
本発明は、このような課題を解消可能な、ポンプを低真空度（大流量域）で運転させた際における、ポンプの吸気能力の大幅な低下を防ぐことができると共に、ポンプを高真空度（小流量域）で運転させた際における、ポンプの不快な騒音の発生や、ベーンの摩耗の増大や、ポンプの運転動力の増大を防ぐことのできる、回転ベーンポンプを提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明の第１の回転ベーンポンプは、ハウジングを前後に貫く筒状空間に偏心させて収容されたロータが、該ハウジングの筒状空間の前後を封じているサイドプレートに亙って回転自在に支持され、該ロータにほぼ放射状に設けられたロータ外周壁及びロータ前後の側壁に亙って連続する開口部を持つ複数の有底の溝のそれぞれにベーンが出入自在に嵌挿されてなる回転ベーンポンプにおいて、
そのロータ側壁の複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分が、該ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝を介して互いに連通されたことを特徴としている。
【００１２】
また、本発明の第２の回転ベーンポンプは、ハウジングを前後に貫く筒状空間に偏心させて収容されたロータが、該ハウジングの筒状空間の前後を封じているサイドプレートに亙って回転自在に支持され、該ロータにほぼ放射状に設けられたロータ外周壁及びロータ前後の側壁に亙って連続する開口部を持つ複数の有底の溝のそれぞれにベーンが出入自在に嵌挿されてなる回転ベーンポンプにおいて、
そのロータ側壁の複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分が、該ロータ側壁に対向する前記サイドプレートの内側壁表面に設けられた第２連通溝を介して互いに連通されたことを特徴としている。
【００１３】
このような構成の第１、第２の回転ベーンポンプにおいては、そのロータの側壁表面に設けられた第１連通溝、又はそのサイドプレートの内側壁表面に設けられた第２連通溝を通して、ロータの複数の溝底部空間に存在する空気等の各気体を相互に移動させて、ロータの回転に伴って、ベーンが嵌挿されたロータの溝底部空間の容積が増減しても、その複数の各溝底部空間の気圧が大幅に低下したり大幅に上昇したりするのを、防ぐことができる。そして、ポンプを低真空度（大流量域）で運転させた際に、ハウジング右側のロータの溝底部空間に発生するベーンを引き込もうとする引き込み力Ｃが大きくなり過ぎて、ベーン先端をハウジングの筒状空間の内周壁に押接させる押接力が不足するのを防ぐことができる。逆に、ポンプを高真空度（小流量域）で運転させた際には、ハウジング左側のロータの溝に嵌挿されたベーンをハウジングの筒状空間に吐出させようとする力が大きくなり過ぎて、そのベーン先端がハウジング内周壁に必要以上に強く圧接されるのを防ぐことができる。
【００１４】
また、ロータの複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分を互いに連通する第１連通溝又は第２連通溝を、ロータの側壁表面又はサイドプレートの内側壁表面に設けているため、その第１連通溝又は第２連通溝に代わる連通孔をロータ内部又はサイドプレート内部に潜らせて設けた場合と比べて、その第１連通溝又は第２連通溝を、切削バイト等を用いて、手数を掛けずに容易に形成できる。また、ロータ又はサイドプレートの端面の旋削工程にわずかな工程を付加するだけで、その第１連通溝又は第２連続溝を形成できる。
【００１５】
本発明の第１の回転ベーンポンプにおいては、前記ロータ前後の側壁の複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分が、該ロータ前後の側壁表面のそれぞれに設けられた第１連通溝を介して、それぞれ互いに連通された構造とすると良い。
同様に、本発明の第２の回転ベーンポンプにおいては、前記ロータ前後の側壁の複数の溝底部の開口部又はその近くの溝の開口部部分が、該ロータの前後の側壁に対向する前記サイドプレート前後の内側壁表面のそれぞれに設けられた第２連通溝を介して、それぞれ互いに連通された構造とすると良い。
【００１６】
そうした場合には、そのロータ前後の側壁表面のそれぞれに設けられた第１連通溝、又はそのサイドプレート前後の内側壁表面のそれぞれに設けられた第２連通溝を介してロータの複数の各溝底部空間の両側が互いに連通されるために、その複数の各溝底部空間の気圧が大幅に低下したり大幅に上昇したりするのを的確に防ぐことができる。そして、その溝底部空間の気圧によって、ロータの溝に嵌挿されたベーンに引き込み力や押し出し力が過剰に働くのを、確実に防ぐことができる。
【００１７】
本発明の第１の回転ベーンポンプにおいては、前記ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝が、ほぼ円形状をなす溝であることを好適としている。
同様に、本発明の第２の回転ベーンポンプにおいては、前記サイドプレートの内側壁表面に設けられた第２連通溝が、ほぼ円形状をなす溝であることを好適としている。
【００１８】
そうした場合には、そのほぼ円形状をなす溝を、ロータの側壁表面又はサイドプレートの内側壁表面に、切削バイト等を用いて、旋盤等により、手数を掛けずに容易かつ迅速に形成できる。
【００１９】
本発明の第１、第２の回転ベーンポンプにおいては、前記ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝、又は前記サイドプレートの内側壁表面に設けられた第２連通溝を、前記ロータの溝内側壁と該溝に嵌挿されたベーン底壁とサイドプレート内側壁とで囲まれたロータの複数の溝底部空間に存在する各気体を、所要の流体抵抗を加えながら、その複数の各溝底部空間の間を互いに移動させる絞り弁的作用をなす、小幅の底浅に形成すると良い。
【００２０】
そうした場合には、その絞り弁的作用をなす、小幅の底浅に形成された第１連通溝、又は第２連通溝を通して、ベーンが嵌挿されたロータの複数の溝底部空間に存在する各気体を、所要の流体抵抗を加えながら、その複数の各溝底部空間の間を相互に移動させることができる。そして、ロータの回転に伴って、そのロータの複数の溝底部空間の各気体が移動しても、その各溝底部空間に発生するベーンを引き込もうとする引き込み力やベーンを押し出そうとする押し出し力が低下し過ぎるのを防ぐことができる。そして、ハウジング右側のロータの溝内側からベーンがロータ外方に急激に引き出され過ぎたり、ハウジング左側のロータの溝内側にベーンが急激に引き込まれ過ぎたりするのを、その複数の溝底部空間に存在する空気等の各気体を適度に移動させて、防ぐことができる。そして、そのロータの複数の各溝の内外にベーンを適度な速度で円滑に出入させることが、可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１又は図２は本発明の第１の回転ベーンポンプの好適な実施の形態を示し、図１又は図２はその構造説明図である。以下に、この第１の回転ベーンポンプを説明する。
【００２２】
この第１の回転ベーンポンプにおいては、ロータ２０側壁の複数の溝２２底部の開口部又はその近くの溝２２の開口部部分が、該ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝１００を介して、互いに連通されている。
具体的には、図１に示した例では、ロータ２０側壁の隣り合う一方の溝２２底部の開口部と他方の溝底部近くの溝２２の開口部部分が、該ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝１００を介して、互いに連通されている。
それに対して、図２に示した例では、ロータ２０側壁の隣り合う一方の溝２２底部の開口部と他方の溝２２底部の開口部とが、該ロータの側壁表面に設けられた第１連通溝１００を介して、互いに連通されている。
【００２３】
その他は、図１及び図２に示した例共、前述の図４に示した回転ベーンポンプと同様に構成されている。
【００２４】
図３は本発明の第２の回転ベーンポンプの好適な実施の形態を示し、図３はその構造説明図である。以下に、この第２の回転ベーンポンプを説明する。
【００２５】
この第２の回転ベーンポンプにおいては、そのロータ２０側壁の複数の溝２２底部の開口部又はその近くの溝２２の開口部部分が、該ロータ側壁に対向するサイドプレート５０の内側壁表面に設けられた第２連通溝１１０を介して互いに連通されている。
【００２６】
その他は、前述の図４に示した回転ベーンポンプと同様に構成されている。
【００２７】
次に、これらの図１ないし図３に示された第１、第２の回転ベーンポンプの作用を説明する。
このような構成の第１、第２の回転ベーンポンプにおいては、ロータ２０を回転させて、その吸気口１４及び排気口１６を通して、ハウジング１０の内外に亙って空気等の気体の吸排気を行った場合に、そのロータ２０の側壁表面に設けられた第１連通溝１００、又はそのサイドプレート５０の内側壁表面に設けられた第２連通溝１１０を通して、ロータの複数の溝底部空間２４に存在する空気等の各気体を相互に適度に移動させることができる。そして、その複数の各溝底部空間２４の圧力を、低下させ過ぎたり増大させ過ぎたりせずに、その複数の溝底部空間２４の間で常に適度に調整し続けることができる。そして、ロータ２０の回転に伴って、ベーン３０が嵌挿されたロータの所定部位の溝底部空間２４の容積が大きく増減しても、その所定部位の溝底部空間２４の気圧が他の溝底部空間２４の気圧に比べて大幅に低下したり大幅に上昇したりするのを、防ぐことができる。そして、ポンプを低真空度（大流量域）で運転させた際に、ハウジング１０右側のロータの溝底部空間２４に発生するベーン３０を引き込もうとする引き込み力Ｃに対して、ベーン３０をロータの溝２２からロータ３０外方に引き出そうとする引き出し力Ｂが小さくなり過ぎて、そのロータの溝２２に嵌挿されたベーン３０先端をハウジング１０の内周壁に押接させる押接力が不足するのを、防ぐことができる。逆に、ポンプを高真空度（小流量域）で運転させた際には、ハウジング１０左側のロータの溝底部空間２４に発生するベーン３０を押し出そうとする押し出し力Ｄが、ベーン３０をロータの溝２２に押し込もうとする押し込み力Ｅよりも大きくなり過ぎて、ベーン３０先端がハウジング１０内周壁に必要以上に強く圧接されるのを、防ぐことができる。
【００２８】
その結果、このような構成の第１、第２の回転ベーンポンプによれば、該ポンプを低真空度（大流量域）で運転させた際に、そのハウジング右側の筒状空間１２において、ベーン３０先端とハウジング１０内周壁との間に空隙が生じてしまうのを、防ぐことができる。そして、その隣り合うベーン３０とロータ２０外周壁とハウジング１０内周壁とサイドプレート５０内側壁とで囲まれた空間部分に封じ込められた気体が、その外部に漏れ出して、ポンプの吸気能力が大幅に低下するのを、防ぐことができる。
逆に、該ポンプを高真空度（小流量域）で運転させた際には、そのハウジング左側の筒状空間１２において、ベーン３０先端がハウジング１０内周壁に強く圧接され過ぎて、ポンプが不快な騒音を発したり、ベーン３０の摩耗が増大したり、ポンプの運転動力が増大したりするのを、防ぐことができる。
【００２９】
図１又は図２に示した第１の回転ベーンポンプにおいては、ロータ２０前後の側壁の複数の溝２２底部の開口部又はその近くの溝２２の開口部部分を、そのロータ２０前後の側壁表面のそれぞれに設けられた第１連通溝１００を介して、それぞれ互いに連通すると良い。
同様に、図３に示した第２の回転ベーンポンプにおいては、ロータ２０前後の側壁の複数の溝２２底部の開口部又はその近くの溝２２の開口部部分を、そのロータ２０前後の側壁に対向するサイドプレート５０前後の内側壁表面のそれぞれに設けられた第２連通溝１１０を介して、それぞれ互いに連通すると良い。
そして、そのロータ２０前後の側壁表面のそれぞれに設けられた第１連通溝１００、又はそのサイドプレート５０前後の内側壁表面のそれぞれに設けられた第２連通溝１１０を介して互いに連通された、ロータの複数の溝底部空間２４に存在する空気等の各気体を相互に的確に移動させることができるようにすると良い。そして、ベーン３０先端のハウジング１０内周壁への押し付け力が適度に確保されるようにすると良い。
【００３０】
この第１、第２の回転ベーンポンプにおいては、図１ないし図３の例に示したように、そのロータ２０の側壁表面に設ける第１連通溝１００、又はそのサイドプレート５０の内側壁表面に設ける第２連通溝１１０を、ほぼ円形状をなす溝とすると良い。そして、それらのほぼ円形状をなす第１連通溝１００や第２連通溝１１０を、ロータ２０側壁表面やサイドプレート５０内側壁表面に、切削バイト等を用いて、旋盤等により、手数を掛けずに容易かつ迅速に形成可能とすると良い。
この第１、第２の回転ベーンポンプにおいて、そのロータの複数の溝２２底部の開口部又はその近くの溝２２の開口部部分を互いに連通する、ロータ２０の側壁表面に設ける第１連通溝１００、又はサイドプレート５０の内側壁表面に設ける第２連通溝１１０は、六角形等のほぼ直線状に形成するこも、可能である。
【００３１】
この第１、第２の回転ベーンポンプにおいては、そのロータ２０の側壁表面に設ける第１連通溝１１０、又はサイドプレート５０の内側壁表面に設ける第２連通溝１１０を、ロータの溝２２内側壁と該溝に嵌挿されたベーン３０底壁とサイドプレート５０内側壁とで囲まれた、ロータの複数の溝底部空間２４に存在する各気体を、所要の流体抵抗を加えながら、それらの複数の各溝底部空間２４の間を互いに移動させる絞り弁的作用をなす、小幅の底浅に形成すると良い。
そして、その絞り弁的作用をなす、小幅の底浅に形成された第１連通溝１００、又は第２連通溝１１０を通して、ベーン３０が嵌挿されたロータの複数の溝底部空間２４に存在する各気体を、所要の流体抵抗を加えながら、その複数の各溝底部空間２４の間を相互に移動させると良い。そして、ロータ３０の回転に伴って、そのロータの複数の各溝底部空間２４の気圧が高くなり過ぎたり、低くなり過ぎたりして、その各溝底部空間２４に発生するベーン３０を引き込もうとする引き込み力が大きくなり過ぎたり、ベーン３０を押し出そうとする押し出し力が大きくなり過ぎたりするのを、防ぐと良い。そして、そのロータの複数の各溝２２内側をベーン３０を常に適度な力で円滑に出入させることができるようにすると良い。そして、回転ベーンポンプのスムーズな運転が確保されるようにすると良い。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の回転ベーンポンプによれば、該ポンプを低真空度（大流量域）で運転させた際に、そのポンプの気体吸引能力が大幅に低下するのを、防ぐことができる。
また、該ポンプを高真空度（小流量域）で運転させた際には、そのポンプが不快な騒音を発したり、ベーンの摩耗が増大したり、そのポンプの運転動力が増大したりするのを、防ぐことができる。
そして、該ポンプの低真空度から高真空度までのスムーズな運転を確保可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の回転ベーンポンプの構造説明図である。
【図２】本発明の第１の回転ベーンポンプの構造説明図である。
【図３】本発明の第２の回転ベーンポンプのサイドプレートの内側壁図である。
【図４】従来一般の回転ベーンポンプの構造説明図である。
【符号の説明】
１０  ハウジング
１２  ハウジングの筒状空間
１４  吸気口
１６  排気口
２０  ロータ
２２  ロータの溝
２４  ロータの溝底部空間
３０  ベーン
５０  サイドプレート
１００  第１連通溝
１１０  第２連通溝
【図１】
2004308503.tif 000003
【図２】
2004308503.tif 000004
【図３】
2004308503.tif 000005
【図４】
2004308503.tif 000006