(57)【要約】【課題】安価に高い光結合効率の光伝送モジュールを提供する。【解決手段】光半導体素子が搭載された基板に固定されたボールレンズを介して光半導体素子と光ファイバとを光学結合させる光伝送モジュールの製造方法において、ボールレンズの一部に設けられたメタライズ部分とレンズ表面のガラス部分の光学特性の差を検出することによりボールレンズの位置を検出し、その検出結果を基にボールレンズの位置を制御して基板に搭載し、はんだで固定する。【選択図】　図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光半導体素子が搭載された基板に固定されたボールレンズを介して光半導体素子と光ファイバとを光学結合させる光伝送モジュールの製造方法において、
前記ボールレンズの一部に設けられたメタライズ部分とレンズ表面のガラス部分の光学特性の差を検出することによりボールレンズの位置を検出し、その検出結果を基にボールレンズの位置を制御して基板に搭載し、はんだで固定することを特徴とする光伝送モジュールの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の光伝送モジュールの製造方法において、前記ボールレンズとして、前記ボールレンズ表面のボール中心から一定の角度以下の領域に島状のメタライズが設けられたボールレンズを用いることを特徴とする光伝送モジュールの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の光伝送モジュールの製造方法において、前記光学特性の差を画像として表示し、その画像を見てボールレンズの位置を決めることを特徴とする光伝送モジュールの製造方法。
【請求項４】
請求項１又は３記載の光伝送モジュールの製造方法において、前記光学特性の差として、ガラス表面からの透過光及び反射光とメタライズ表面の有色金属からの反射光の光量の差を用いることを特徴とする光伝送モジュールの製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の光伝送モジュールの製造方法において、前記光学特性の差として、光学スペクトルごとの光量分布の差を用いることを特徴とする光伝送モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光半導体素子が搭載され、ボールレンズを介して光半導体素子と光ファイバとを光学結合させる光伝送モジュールの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光伝送モジュールの構造は、例えば特開２０００−４７０７０号公報記載のようにシリコン基板に異方性エッチングの技術を用いて製造した逆ピラミッド状の凹み、もしくは溝にボールレンズを押しつけて位置決めし、さらにダミーレンズを用い、これらを外部から蓋により押しつけて固定する方法が知られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方法では蓋の位置決めのため本来の光学特性や電気特性には不必要な余分のボールレンズが必要になり、さらに高精度の蓋を用いる必要があるため製造コストが高くなる課題があった。また、これらの他の部材を用いないと、所望の位置にボールレンズを固定できないので、光結合効率が低下することになり、伝距離が短くなる。
【０００４】
本発明の目的は、安価に光結合効率が高い伝送距離の長い光伝送モジュールを提供することができる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決できる発明として、光半導体素子が搭載された基板に固定されたボールレンズを介して光半導体素子と光ファイバとを光結合させる光伝送モジュールの製造方法において、ボールレンズの一部に設けられたメタライズ部分とレンズ表面のガラス部分の光学特性の差を検出することによりボールレンズの位置を検出し、その検出結果を基にボールレンズの位置を制御して基板に搭載し、はんだで固定するものがある。
【０００６】
このように、光学特性の差を検出して、その結果を基にすることにより、搭載するボールレンズの位置が高精度に把握できるので、ボールレンズの搭載する位置の制御を高精度に行うことができる。したがって、光半導体部品と光ファイバとの間の高い光結合効率を実現でき、光伝送モジュールの伝送距離を延ばすことができる。
【０００７】
このようなボールレンズとして、ボールレンズ表面のボール中心から一定の角度以下の領域に島状のメタライズが設けられたボールレンズをそのはんだが基板に接するように配置すると、はんだの濡れ性が向上し、安定した、はんだの固定が可能になるので、固定に伴う位置ズレを抑制することができるようになる。
【０００８】
また、そのメタルは金である場合、はんだの濡れ性が向上するだけでなく、金の特徴的な光学特性によって、ボールレンズの位置が精度よく検出できるようになるので、好ましい。
また、光学特性の差を画像として表示装置に表示し、作業者がその画像を見てボールレンズの位置を決めると、位置ズレが減る。
このように、光学特性の差を検出する場合に、ガラス表面からの透過光及び反射光とメタライズ表面の有色金属からの反射光の光量の差を用いると、画像による検出精度が向上する。
【０００９】
また、光学特性の差を検出する場合、スペクトルごとの光量分布の差を用いても同様に検出精度が向上する。
また、光学特性の差を高精度に検出するためには、ボールレンズを中心にカラー画像を撮像してボールレンズの位置を検出することが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について、実施例を用い、図１乃至図１１を参照して説明する。
図１は本発明によるボールレンズ１００のメタライズ１０２を示す図である。
ボールレンズの本体は球状の光学ガラス材（ＢＫ７を例示する）による球体１０１であり表面を平滑に仕上げてられてあり、その一部に金属薄膜によるメタライズ１０２が成膜してある。メタライズ１０２はボールレンズ１００の球表面の一部（軸（内径）に対して所定の角度以下の領域の球表面）に湾曲面のランド（島状）として形成されている。
【００１１】
このメタライズ１０２は図２に示したように、球体１０１の表面から順にチタン膜１０２１、白金膜１０２２、金膜１０２３を形成してある。なお図２では、各金属薄膜が薄いため実寸比に対して、厚さを強調して記入してある。これらの膜厚は本実施例ではそれぞれ０．１μｍ、０．２μｍ、０．５μｍに形成されており、チタン膜１０２１によりガラスと金属膜の密着性を確保し、白金膜１０２２によりはんだ溶融時の溶出耐性およびはんだ合金との接合強度を確保し、金膜１０２３によりメタライズ表面の汚染防止を実現している。
【００１２】
実際には、必ずしもこの膜構成に捕らわれる必要はなく、ボールレンズ１００の固定に用いるはんだ合金の特性や薄膜製造プロセスの特性に合わせて、例えば白金をニッケルに変更し厚さを０．４μｍ程度に高め、金薄膜の厚さを０．０５μｍ程度に軽減するなど、別の組み合わせも可能である。それぞれガラスとの密着性、はんだ溶出耐性、対環境性を満たせばよい。
【００１３】
次に、ボールレンズ１００を位置決め搭載する基板２００について説明する。図３は基板２００を上方から見た平面図、図４は同じ基板２００をボールレンズ１００と嵌合する凹部２０２を通る面で切断した断面図である。基板２００はシリコンウェハに溝加工とメタライズを施して製作し、切り出したものである。シリコン板２０１表面には異方性エッチングプロセスにより高精度に加工した（１１１）結晶面からなる逆ピラミッド状の凹部２０２が設けてあり、その内面にはメタライズ２０４が施してある。また、前記凹部２０２に隣接して、ダイシングプロセスにより加工された逃げ溝２０３が設けてある。この逃げ溝２０３は、ボールレンズ１００からの射出光が凹部２０２の縁により蹴られを生じて光学特性を劣化させることの無いように設けてある。またシリコン板２０１にはボールレンズ以外の光半導体部品や温度補償素子の搭載用のメタライズ２０４も設けてある。メタライズ２０４はボールレンズ１００の表面のチタン・白金・金薄膜に準じて成膜されているが、ワイヤボンディング部や、チップ部品接合部では部分的に金属組成を変え、異なるはんだ合金を用いることによる温度階層や、ワイヤボンディング耐性に対応している。
【００１４】
図５はボールレンズの接合工程を説明するための組立途中における光伝送モジュールの一実施例を示す断面図である。ヒータプレート５００上に基板２００を予め配置しておき、真空チャック５１０により把持したボールレンズ１００を基板２００の凹部２０２に押しつけて位置決めしている。レーザダイオード素子３００は予め金錫合金はんだで基板１００に位置決めの上、固定されている。ボールレンズ１００と基板２００の凹部２０２の隙間には、錫銀合金によるはんだ２０５が溶融状態で存在している。このとき金錫合金はんだは、錫銀合金によるはんだ２０５に比して融点が高いため、ヒータプレート５００による温度ではレーザダイオード素子３００の固定位置が狂うことはない。また真空チャック５１０は水平面内で移動可能に支持されており、ボールレンズ１００の押し込み力で、凹部２０２のテーパ面に倣うため、ボールレンズ１００は十分な精度で位置決めされる。
【００１５】
ボールレンズ１００のメタライズ１０２と基板２００の凹部２０２内のメタライズ２０４は、概ね対向しており、溶融はんだ２０５に接しているためメタライズ１０２とメタライズ２０４の表面ははんだ２０５に濡れる。
この状態で、ヒータプレート５００の温度を下げて、はんだ２０５を凝固させれば、ボールレンズ１００は基板２００に精度良く固定されたことになる。また、はんだ２０５は凝固時に僅かに収縮しはんだ２０５内部に残留応力が生じるため、その後の温度変動ではボールレンズ１００がずれにくくなる。このため、従来技術に比して光伝送モジュールの熱サイクル寿命が長くなる。
【００１６】
図５の状態では、ボールレンズ１００のメタライズ１０２は精度良く基板２００のメタライズ２０４に対向しているが、この精度が不十分な場合は、レーザ光路の一部をメタライズ１０２が塞いでしまい光学特性が劣化するいわゆる蹴られが生じる。たとえ光路を塞がない方向にメタライズ１０２がずれたとしても、甚だしい場合には、はんだ２０５による実効接合面積が減少し、ボールレンズ１００の固定強度が低下してしまう。このため予めボールレンズ１００のメタライズ１０２を下位置になるように整列してから真空チャック５１０で把持する必要がある。
【００１７】
図６にボールレンズ整列機構の概要を示す。ボール整列機構は穴あきプレート４０１を中心に、上下からドーム状照明（上ドーム照明４０６および下ドーム照明４０９）で挟み込んだ概略構造を有している。ボールレンズ１００は、整列中は穴あきプレート４０１の中心の穴にはまり込み、かつ下方からガラス板４０３により支えられている。穴あきプレート４０１は穴あきプレート枠４０２を介し支持筐体４２０に固定されている。一方ガラス板４０３はガラス板枠４０４を介し、ガラス板駆動機構４０５に取り付けられている。ガラス板駆動機構４０５は水平面内に移動するＸＹステージ構造でありガラス板４０３を穴あきプレート４０１に沿って駆動する。この結果、穴あきプレート４０１の中央の穴に捕捉されたボールレンズ１００は、底面をガラス板４０３により摺動されることで任意の方向に回転する。
【００１８】
このとき、上ドーム照明４０６および下ドーム照明４０９はボールレンズ１００をほぼ全方向から均質に照明している。この状況はガラス板４０３を透過し、下ドーム照明４０９の中心に設けられた小孔から撮影レンズ４１０により結像し、ＴＶカメラ４１１により撮影される。
【００１９】
ドーム照明４０６、４０９を用いることで極力照明ムラは軽減しているが、撮影レンズ４１０自体がボールレンズ１００の表面に写り込むことは避け難く、産業界で一般的なモノクロ画像処理では限界がある。そこで、上ドーム照明４０６および下ドーム照明４０９は白色照明とし、ＴＶカメラ４１１はカラーカメラとする。このため、ボールレンズ１００におけるメタライズ１０２最表面の金膜１０２３の色が観察される。金は周知のように鮮明な黄色の反射特性を有しており、スペクトル的には青の反射が少なく、緑と赤の反射が強い。一方、レンズに用いる光学ガラスは一般的にほぼ無色である。このため、表面反射の色に注目するとメタライズ１０２部分と球体１０１のガラスが露出している部分の区別が容易になる。
【００２０】
図７に画像処理の模式図を示す。図７（ａ）はモノクロ画像の模式図である。画面外周部に穴あきプレート４０１があり、この中央の開口部を通して上ドーム照明４０６が見えている。この穴あきプレート４０１の開口部にボールレンズ１００があり、これに各種の写り込みが領域毎に観察される。ハッチングの密度は概ねその領域の平均的な明るさを反映している。
【００２１】
ボールレンズ１００の輪郭付近１０１ａは、ボールレンズ１００の表面に写り込んだ上ドーム照明４０６である。やや暗い外周領域１０１ｂは球体１０１に写り込んだ穴あきプレート４０１の開口部内面および上ドーム照明４０６と下ドーム照明４０９の隙間である。同様に、やや暗い外周領域１０２ｂはメタライズ１０２に写り込んだ穴あきプレート４０１の開口部内面および上ドーム照明４０６と下ドーム照明４０９の隙間である。中央付近の広い領域１０１ｃは球体１０１に写り込んだ下ドーム照明４０９であり、同様に中央付近の広い領域１０２ｃはメタライズ１０２に写り込んだ下ドーム照明４０９である。ボールレンズ１００の中央部の黒い領域４１０’はボールレンズ１００表面に、下ドーム照明４０９の覗き孔を通して写り込んだ撮影レンズ４１０自体の像である。
【００２２】
この画像から球体１０１の画像領域とメタライズ１０２の画像領域を自動認識により切り分けることは困難である。なぜなら、第１に各々の領域の配置はボールレンズ１００の姿勢と穴あきプレート４０１の開口部内でのボールレンズ１００の位置により変化するため、単純な領域形状抽出では処理しきれない。第２に、図７（ａ）の各領域は均一な明度を持つ訳でなく、ボールレンズ１００の表面の角度や、メタライズ１０２の色つやのムラなどによって明度が変化する。
【００２３】
このため、本実施例では、画像の色に注目した。単純に照明光に赤色照明や緑色照明などの色つき照明を用いても、図７（ａ）の各領域の明度の比が変わるだけであるので、照明を白色光とし、予め教示した色調との類似度に応じて画像に再構成し、改めて濃淡画像として再現する。
【００２４】
領域４１０’は極めて暗い黄色、領域１０２ｃは明るい黄色、領域１０２ｂは暗い黄色である。それ以外の領域はほぼ無彩色である。
そこでメタライズ１０２の中間的な明るさの領域１０２ｂの暗い黄色を基準として予め教示しておき、ＲＧＢ色空間における類似性により画像を再構成する。式１にこの評価式を示す。Ｙは出力画像の画素評価値、Ｒ、Ｇ、Ｂはそれぞれ元画像の画素の赤、緑、青の成分である。各成分は０から２５５の値を持つ。Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１は教示色である暗い黄色の各成分である。式中の＾２は、自乗を示す。
Ｙ＝２５５−（Ｒ１−Ｒ）＾２−（Ｇ１−Ｇ）＾２−（Ｂ１−Ｂ）＾２………（式１）
但しＹ＜０の場合、Ｙ＝０とする
図７（ｂ）に上の式に従い、暗い黄色との類似度で再構成した色教示による画像の模式図をしめす。極めて暗い黄色の領域４１０’は元の明度が極めて暗いためやや抽出が困難だがメタライズ１０２の領域を抽出しやすくなっている。
【００２５】
別な方式として、ＲＧＢの比率を簡便な計算で強調して表示する方法もある。この場合、無彩色の領域ではＲＧＢが同程度の強さで含まれるが、メタライズ１０２の部分ではＢの成分が弱い。
そこで次の式２の演算を実施すれば、黄色の領域が強調された濃淡画像を得られる。
Ｙ＝（Ｒ＋Ｇ）／２　−　Ｂ　但しＹ＜０の場合、Ｙ＝０とする……（式２）
図８（ａ）に式１で再構成した画像の模式図を示す。ほぼ無彩色の領域は評価値がほぼ０となり、画像としては黒く表示される。黄色の領域は元の画像の明るさに応じた灰色で表示される。これを２値化すればメタライズ１０２の領域が抽出される。この方式は、先の方式に比べ領域１０１ｃに比べ中央の領域４１０’が明るく検出できるため、領域４１０’もメタライズ１０２としてできるメリットがある。
【００２６】
図７（ｂ）の方式の改良案として、色教示を代表的な１点としてではなく、極めて明るい黄色から、明るい黄色、黄色、暗い黄色、極めて暗い黄色までの複数の色調を事前教示し、これらとのＲＧＢ色空間に於ける距離を画像として再構成する方式もある。式３を以下に示す。この複数色教示方式での画像の模式図を図８（ｂ）にしめす。Ｒｉ、Ｇｉ、Ｂｉは各教示色の成分であり、ｍｉｎは｛｝の各ｉについての結果の内、最も小さい値を示す。
Ｙ＝２５５−Ｘ、但し、Ｙ＜０の場合、Ｙ＝０とする
Ｘ＝ｍｉｎ｛（Ｒｉ−Ｒ）＾２＋（Ｇｉ−Ｇ）＾２＋（Ｂｉ−Ｂ）＾２｝……（式３）
この場合、複数色の教示が必要になり、教示色が増えるに従い教示工数が増加し、画像処理に要する演算時間が延びるが、確実に必要な領域を抽出できるメリットがある。
これらの画像処理によりメタライズ１０２の領域を抽出し、重心を求めることでボールレンズ１００の姿勢を割り出すことができる。このとき、ボールレンズ１００は穴あきプレート４０１の開口部よりやや小さいため画面上の座標をそのまま用いると、ボールレンズ１００のガタにより誤差を生じる。画面上でのボールレンズ１００の像は常に真円であり、レンズ倍率が既知で像の直径も一定である。そこでこれを利用し、ボールレンズ１００の輪郭でパターンマッチングを行えばボールレンズ１００自体の重心を求められる。この重心からメタライズ１０２の重心のずれを求めれば、ボールレンズ１００の姿勢が判る。
【００２７】
図９に、図７、図８で示した状態のボールレンズ１００近傍の状態を示す縦断面図を示す。このとき、図７乃至図８よりメタライズ１０２が画面右下方向にずれていることが判るため、ガラス板４０３を図９の左方向、及び紙面奥行き方向にずらせば、メタライズ１０２を真下にすることができると判る。
このとき、ボールレンズ１００のガタ、およびガラス板４０３とボールレンズ１００のスリップのため、必ずしもボールレンズ１００直径と調整する姿勢角から割り出される必要な移動量とは対応しないが、繰り返し画像計測を行いメタライズ１０２の像がボールレンズ１００の中心に見えるようにガラス板４０３を移動すればよい。このときのガラス板４０３の位置制御には山登り方を用いることも可能であるが、本実施例ではボールレンズ１００の姿勢が判っているため、この姿勢を補正するためのボールレンズ１００の外周の移動量と、実験により予め別途計測されたボールレンズ１００とガラス板４０３の平均スリップ率からガラス板４０３の位置を制御した。スリップ率は安定ではないため複数回の姿勢補正でボールレンズ１００の姿勢を補正することとした。
【００２８】
この後、上ドーム照明４０６を上ドーム照明４０８により待避させ、真空チャック５１０でボールレンズ１００をチャックしに行く。このとき、振動でボールレンズ１００が転動してしまうとメタライズ１０２が真下で無くなってしまう。このため図１０にしめしたように、穴あきプレート枠４０２外周部には複数箇所に継ぎ手４０２ａを介して排気チューブ４０２ｂが接続してあり、穴あきプレート４０１とガラス板４０３の間を弱く真空排気している。周辺からの大気の漏れを防ぐため、ガラス板枠４０４の周囲にはリング状のパッキン４０４ａを取り付けてある。本実施例ではパッキン４０４ａは含油ナイロン軸受けを使用した。この真空排気により、ボールレンズ１００はガラス板４０３に押しつけられており、外部からの振動等では容易に転動しなくなる。
【００２９】
この後、ボールレンズ１００はメタライズ１０２を下にして真空チャック５１０で真空把持され、基板２００へ搬送される。一方、ボールレンズ整列機構４００は、ボールレンズ１００の姿勢合わせのために位置がずれてしまっているガラス板枠４０４を中心に復帰させ、次のボールレンズ１００の受け入れ準備を整える。
【００３０】
以上、本発明の１実施例を図１から図１０を使用して説明したが、本発明にはこの他の変形例も存在する。第１の実施例では、ボールレンズのメタライズ１０２は最表面を金で成膜した金薄膜１０２３としたが、ボールレンズ１００の固定に用いるはんだ合金の種類によって、また、ボールレンズの保存状態の管理によっては金以外の表面とする事も可能である。
【００３１】
第１の実施例の白金薄膜１０２２と金薄膜１０２３の代わりに、ニッケルなどの金属を最表面とすることも可能である。この場合、ニッケルが白色の金属であるため、第１の実施例の画像処理では領域抽出が困難であるが、球体１０１の表面に比べ、成膜された金属膜の表面が粗いことを用いて、テクスチャ検出を行えば同様な領域抽出は可能となる。この実施例の場合は、高価な白金や金を成膜しなくても良いため、ボールレンズの製造コストが低減できるメリットがある。別な方式として、ガラス表面と金属表面の反射率の違いを用い、図７（ａ）と同様のモノクロ画像を取得し、これを用いる方法もある。この場合、先に触れたように濃淡の領域はボールレンズ１００の姿勢により変化するため単純な２値化や形状抽出は困難である。ボールレンズ１００の姿勢の変化による各領域の見え方の違いを予め用意し、これと実際の画像との比較によるパターンマッチングを行って写り込みと下地の材質の違いの濃淡とを弁別する。このため画像処理は複雑になるが、やはり高価な金メッキを用いる必要が無くなり、さらにＴＶカメラ４１１も安価な白黒カメラで置き換え可能で、ドーム照明もより安価な赤色照明を用いることができ、設備コストも低減できるメリットがある。
【００３２】
また、第１の実施例では有色金属の代表として、金を用いたが、この他に有色金属として銅を用いることも可能である。この場合、画像の色教示を赤銅色にすればよい。また、ＲＧＢの比率を簡便な計算で強調して表示するでは、銅の表面反射光では赤色の成分が強いことを用い、式４のように式を変形すれば、銅の領域が強調された濃淡画像を得られる。
Ｙ＝Ｒ−（Ｇ＋Ｂ）／２、但し、Ｙ＜０の場合、Ｙ＝０とする………（式４）
銅は金に比して酸化しやすいため、ボールレンズ１００の保存方法や保存期間の管理は必要になるが、金に比してコストが低減できるメリットがある。
【００３３】
これらの実施例では、ボールレンズ１００を照明する場合、色情報を用いる場合の白色光を用いてカラーＴＶカメラで撮影する方式や、色情報を用いない場合の単色光を用いモノクロＴＶカメラで撮影する方法をしめした。この他の組み合わせとして、光源の色の切り替え若しくはＴＶカメラに付加したカラーフィルタの切り替えにより色情報を得ることも可能である。
【００３４】
図６に示した第１の実施例に対して、上ドーム照明４０６および下ドーム照明４０９を白色照明から赤色・青色発光ダイオードを交互に配置して切り替えて用いるドーム照明に交換し、ＴＶカメラをモノクロＴＶカメラに交換する。ボールレンズ１００の姿勢を測定するときに照明光の色を赤・青に切り替え、２種類の画像を取り込む。赤色光で撮影した画像から、青色光で撮影した画像を減算すれば第１の実施例などと同様に、金色若しくは銅色の部分を明るく表示し、無色の部分を暗く表示する画像が得られる。本実施例では高精細で安価なモノクロＴＶカメラを用いることができるため、画像計測精度を安価に高められるメリットがある。
【００３５】
これとは別に、照明光を切り替えるのではなく、ＴＶカメラの前面にカラーフィルタを設置し、これを順次切り替えて色情報を得る実施例の構成を図１１に示す。構成は第１の実施例の図６と類似だが、ＴＶカメラ４１１’はモノクロＴＶカメラであり、その撮影レンズ４１０の前面に赤色透過フィルタ４３１と青色透過フィルタ４３２を支持部材４３３により設置してある。支持部材４３３はソレノイド機構４３４により往復動作が可能であり、これによりＴＶカメラ４１１’により撮影されるモノクロ画像の種類を切り替える。この場合も先に述べた例と同様に、赤色透過フィルタで撮影した画像から、青色透過フィルタで撮影した画像を減算すれば第１の実施例などと同様に、金色若しくは銅色の部分を明るく表示し、無色の部分を暗く表示する画像が得られる。本実施例では高精細で安価なモノクロＴＶカメラを用いることができるため、画像計測精度を安価に高められるメリットがある。
【００３６】
これらの実施例では、光半導体素子としてレーザダイオードを用いた光送信モジュールの例を説明したが、当然ながら受光素子を配置した光受信モジュールに本実施例のボールレンズの固定方法を用いることもできるので、光伝送モジュールへの適用も可能である。
【００３７】
【発明の効果】
本発明によれば、安価に高い光結合効率の光伝送モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるボールレンズのメタライズ部の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１のメタライズ部を示す部分断面図である。
【図３】ボールレンズを位置決め搭載する基板の一実施例を示す平面図である。
【図４】図３に示す基板の断面図である。
【図５】ボールレンズの接合工程を示す図である。
【図６】本発明によるボールレンズ整列機構の一実施例を示す概略縦断面図である。
【図７】ボールレンズ整列機構に於ける認識画像の一実施例を示す模式図である。
【図８】再構成した画像の一実施例を示す模式図である。
【図９】ボールレンズ整列途中を示す要部縦断面図である。
【図１０】ボールレンズ整列終了後の状態を示す要部縦断面図である。
【図１１】本発明によるボールレンズ整列機構の他の実施例を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】
１００…ボールレンズ（全体）、１０１…球体、１０２…メタライズ、１０２１…チタン薄膜、１０２２…白金薄膜、１０２３…金薄膜、２００…基板、２０１…シリコン板、２０２…凹部、２０３…逃げ溝、２０４…メタライズ、２０５…はんだ、３００…レーザダイオード素子、３１０…ボンディングワイヤ、４００…ボールレンズ整列機構、４０１…穴あきプレート、４０２…穴あきプレート枠、４０３…ガラス板、４０４…ガラス板枠、４０５…ガラス板駆動機構、４０６…上ドーム照明、４０７…上照明スウィングアーム、４０８…上照明移動機構、４０９…下ドーム照明、４１０…撮影レンズ、４１１…ＴＶカメラ、４２０…支持筐体、４０４ａ…パッキン、４０２ａ…継ぎ手、４０２ｂ…排気チューブ、４０１’…写り込んだ撮影レンズ、５００…ヒータプレート、５１０…真空チャック。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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