(57)【要約】      （修正有）【課題】プローブを小型化・小径化すると共に、プローブ軸に対して直角方向あるいは任意の方向から被測定物に対向でき、高感度、高精度、高安定度を有する静電養プローブを提供する。【解決手段】電極ヘッド組立体２とヘッドベース組立体３と接地ケース４と電気回路部組立体５から構成される。組立体２は、測定電極１と、測定電極１を囲む第１ガード部材１３，１４と、測定電極１とガード部材１３，１４との間に挿入された絶縁体１２を有する。組立体３は、測定電極１に接続自在の第１ピン２０と、第１ピン２０を囲むと共に、第１ガード部材１３に接続自在の第２ガード部材２２と、接地ケース４に接続するベースケース１７と、ベースケース１７と第２ガード部材２２、第２ガード部材２２と第１ピン２０との間に挿入された絶縁体２１，２３を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極ヘッド組立体２とヘッドベース組立体３と接地ケース４と電気回路部組立体５とから構成された静電容量プローブであって、該電極ヘッド組立体２は、測定電極１と、該測定電極１を囲む第１ガード部材１３，１４と、該測定電極１と該ガード部材１３，１４との間に挿入された絶縁体１２とを有し、該ヘッドベース組立体３は、該測定電極１に接続自在の第１ピン２０と、該第１ピン２０を囲むと共に、該第１ガード部材１３に接続自在の第２ガード部材２２と、該接地ケース４に接続自在のベースケース１７と、該ベースケース１７と第２ガード部材２２、第２ガード部材２２と第１ピン２０との間に挿入された絶縁体２１，２３とを有し、該接地ケース４は、該ヘッドベース組立体３のベースケース１７に接続されており、該電気回路組立体５は、該ヘッドベース組立体３に接続自在のコンタクト部材６と、該コンタクト部材６を介して該第１ピン２０に電気的に接続された基板７と該基板７に電気的に接続された測定用電気回路部を有し、少なくとも該コンタクト部材６と該基板７は該接地ケース４に内装されていることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項２】
請求項１において、該測定用電気回路部は該基板７に設けてあり、該電気回路組立体５は該接地ケース４に内装されていることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項３】
請求項１，２いずれかにおいて、該測定用電気回路部は該測定電極及び該ガード部材に電気的に接続されていることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかにおいて、該コンタクト部材６は、該第１ピン２０に接続自在の第２ピン２７と、該第２ピン２７を囲むと共に、該第２ガード部材２２に接続自在の第３ガード部材２９と該第２ピン２７と第３ガード部材２９との間に挿入された絶縁体２８とを有し、該コンタクト部材６は、該第２ピン２７を介して該基板７と接続されていることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかにおいて、該電気回路組立体５は、ガードケース９を有し、該基板７は接地ケース４内に設けたガードケース９に囲まれており、該基板７は該ガードケース９によってシールドされていることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項６】
請求項５において、該ガードケース９は該第３ガード部材２９に接続自在であることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれかにおいて、該電気回路組立体５は、端部支持部材８を有し、該基板７の一端側が該第２ピン２７に接続され、該基板７の他端側が該端部支持部材８に支持されていることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれかにおいて、該電極ヘッド組立体２は、該ヘッドベース組立体３に比較して小径であることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項９】
請求項１乃至８いずれかにおいて、該電極ヘッド組立体２は交換自在であることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項１０】
請求項１乃至９いずれかにおいて、該測定電極１の測定面はプローブ軸に対して直角方向から被測定物に対向することを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項１１】
請求項１乃至９いずれかにおいて、該測定電極の測定面は、プローブ軸に対して９０度以下の任意角方向から被測定物に対向することを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項１２】
請求項１乃至１１いずれかにおいて、該測定電極３９の先端は薄板形状であり、被測定物に対向する面に細線状の電極が形成されることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項１３】
請求項１２において、該測定電極の先端の薄板部は、ガードリングに形成された断面視長方形状の隙間内に設けてあり、該隙間が形成されたガードリングは１つあるいは複数の部材から構成されていることを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項１４】
請求項１乃至１３いずれかにおいて、該電極ヘッド組立体は該測定面と９０度以下で交わるもう一つの面を有することを特徴とする静電容量プローブ。
【請求項１５】
測定電極と、該測定電極を囲むガードリングと、該測定電極と該ガードリングとの間に挿入された絶縁体とを有する電極ヘッド組立体であって、該電極ヘッド組立体の先端は互いに会合する二つの傾斜面を有しており、一方の傾斜面には該測定電極が設けてあることを特徴とする電極ヘッド組立体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は静電容量式非接触変位計に用いる静電容量プローブに関するものである。好適な例では、本発明に係る静電容量プローブは、ハードディスク（ＨＤ）またはＨＤ用モータの変位・振動の測定、金属の膨張係数の測定、回転体のランアウト（ＲＲＯ，  ＮＲＲＯ）測定に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
静電容量式非接触変位計は、静電容量プローブを被測定物に近接させ、該プローブと該被測定物との間の静電容量の変化を検出することで、被測定物の変位（プローブと被測定物とのギャップ）を測定するものである。
【０００３】
静電容量プローブは、実開昭５８−１４４２１５号（米国特許第４５６８８７３号）に記載されている。ここには、いずれも金属体からなる測定電極と保護電極と接地ケースをそれぞれ絶縁体インサートを挟んで同軸状に配設して一体化し、かつ、接続ケーブルを含む電気回路板をシールドを兼ねる該接地ケース内に着脱自在に収納できる構造となっている。
【０００４】
最近では、さらに高感度、高分解能プローブが必要とされ、その場合、微小な静電容量を取り扱うことになるため、回路基板上の浮遊容量を低減化・安定化することが要求される。
【０００５】
また、ハードディスク等の最近の小型精密回転体に代表されるような微小部分を高精度に測定するためには、奥部の測定を可能とする小型プローブが必要とされている。
【０００６】
しかしながら、前記従来のプローブ構造は、測定電極と保護電極、接地ケースが一体構造であるため、小型あるいは小径の電極を製作することは不可能であった。特に、プローブ軸に対して直角方向あるいは任意の方向から被測定物に対向できるような測定電極（奥部の測定には有利である）を製作することは困難であった。
【０００７】
さらに、回路基板と金属製の接地ケースとが絶縁体インサート部を通して電気的に直接対向しているため、小型化すれば必然的に浮遊容量が増大し得ることになり、高感度化を実現することが困難となり、測定対応範囲も限定されてしまう。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる従来の静電容量プローブの不具合を解消するべく創案されたものであって、プローブを小型化・小径化できると共に、プローブ軸に対して直角方向あるいは任意の方向から被測定物に対向できる小型プローブを提供することを目的とするものである。
【０００９】
本発明の他の目的は、回路基板上の浮遊容量を低減化・安定化することで、高感度、高精度、高安定度を有する静電養プローブを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するために本発明が採用した技術手段は、電極ヘッド組立体２とヘッドベース組立体３と接地ケース４と電気回路部組立体５とから構成された静電容量プローブであって、該電極ヘッド組立体２は、測定電極１と、該測定電極１を囲む第１ガード部材１３，１４と、該測定電極１と該ガード部材１３，１４との間に挿入された絶縁体１２とを有し、該ヘッドベース組立体３は、該測定電極１に接続自在の第１ピン２０と、該第１ピン２０を囲むと共に、該第１ガード部材１３に接続自在の第２ガード部材２２と、該接地ケース４に接続自在のベースケース１７と、該ベースケース１７と第２ガード部材２２、第２ガード部材２２と第１ピン２０との間に挿入された絶縁体２１，２３とを有し、該接地ケース４は、該ヘッドベース組立体３のベースケース１７に接続されており、該電気回路組立体５は、該ヘッドベース組立体３に接続自在のコンタクト部材６と、該コンタクト部材６を介して該第１ピン２０に電気的に接続された基板７と該基板に電気的に接続された測定用電気回路部を有し、少なくとも該コンタクト部材６と該基板７は該接地ケース４に内装されていることを特徴とする。好ましくは、該電気回路部は該基板７に設けてあり、該電気回路組立体５はその全体が該接地ケース４に内装されている。該測定用電気回路部は該測定電極及び該ガード部材に電気的に接続されている。こうすることで、測定用電気回路部の発信器から、測定電極と同じ電位をガード部材に与える。
【００１１】
一つの好ましい態様では、該コンタクト部材６は、該第１ピン２０に接続自在の第２ピン２７と、該第２ピン２７を囲むと共に、該第２ガード部材２２に接続自在の第３ガード部材２９と該第２ピン２７と第３ガード部材２９との間に挿入された絶縁体２８とを有し、該コンタクト部材６は、該第２ピン２７を介して該基板７と接続されている。
【００１２】
好適には、該電気回路組立体５は、ガードケース９を有し、該基板７は接地ケース４内に設けたガードケース９に囲まれており、該基板７は該ガードケース９によってシールドされている。さらに好ましくは、該ガードケース９は該第３ガード部材２９に接続自在である。
【００１３】
本発明によれば、静電容量プローブを組立体２，３，５及び接地ケース４、固定ねじ１０から組立分解自在に構成されており、各部材が互いに着脱自在な構成で結合される。各部材の結合部を共通化することができ、また、組立体自体の組み立て及び組立体同士の組み立てを容易に行なうことができる。さらに、ガード部材で電気回路をシールドするものであり、それによって測定器としての性能が安定化する。電極ヘッド組立体を別体で構成したので、各種微小測定電極、特に、プローブ軸に対して直角あるいは任意角の方向から被測定物に対向する電極の製作が可能となると共に、異なる種類の電極の交換が可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明に係る静電容量プローブの分解側面図、図２は、静電容量プローブの断面図及び測定電極を対向する被測定物（図示せず）から見た図である。図１に示すように、静電容量プローブは、測定電極１を有する電極ヘッド組立体２、ヘッドベース組立体３、接地ケース４、電気回路部組立体５、固定ねじ１０とから組立分解自在に構成されている。電極ヘッド組立体２はヘッドベース組立体３に対して螺着され、ヘッドベース組立体３は接地ケース４と螺着され、電気回路組立体５は接地ケース４内に挿入されると共に、その先端側のコンタクト部材６を介してヘッドベース組立体３に接続され、かつ円板状の固定ねじ１０を接地ケース４に螺合させることで、電気回路組立体５を接地ケース内に固定する。以下、詳細に説明する。
【００１５】
電極ヘッド組立体２は、測定電極１と、測定電極１を囲む金属製のガード部材１３，１４と、測定電極１とガード部材１３，１４との間に挿入された絶縁体１２とを有する。図２、図３に示すように、測定電極１は、角柱あるいは円柱等の柱状の金属体であり、その先端側が微小測定物に対応してプローブ軸に対して直角に延出するように加工されており、測定電極１の先端部はプローブ軸に直交する軸を有している。したがって、測定電極１の測定面はプローブ軸に直交する方向から被測定物に対向する。測定電極１の他端にはばねを構成するすり割り１１が形成されており、ヘッドベース組立体３のピン２０に接続可能となっている。測定電極１を囲むガード部材１３，１４は、基端側に位置する第１ガードリング１３と先端側に位置する第２ガードリング１４の２部材から構成されており、測定電極１とガード部材１３，１４との間に絶縁体１２を配設することで、測定電極１がシールドされている。
【００１６】
第２ガードリング１４は、第１ガードリング１３の先端に嵌入可能となっており、測定電極１の周囲に絶縁体１２、そして第１ガードリング１３を設けた上で、第１ガードリング１３の先端側に第２ガード体を接続することでプローブ軸に対して直角状の先端部位を備えた測定電極１をシールドする。第１ガードリング１３は筒状であり、その基端側の外周面にはヘッドベース組立体３のねじ部１９と接続するためのねじ部１５が形成されており、第１ガードリング１３（すなわち、電極ヘッド組立体２）はねじ部１５を介してヘッドベース組立体３に固定される。測定電極１、絶縁体１２、第１ガードリング１３を貫通する堅牢な絶縁体ノックピン１６が打ち込まれ、温度による部材の変動を防止している。測定電極１を囲むガード部材を１部材から構成してもよいが、測定電極の形状が図示のもののように特殊な場合には、ガード部材を複数の部材から組立分解自在に構成したほうが組み立てが容易となる。
【００１７】
ヘッドベース組立体３は、第１ピン２０と、ガード部材を構成する第１ガードコンタクト２２と、ベースケース１７と、絶縁体２１，２３を有している。ベースケース１７は金属製の短筒状体であり、基端側が拡径状となっている。ベースケース１７の基端部の外周面にはねじ部１８が形成されており、金属からなる筒状の接地ケース４の先端側の内周面に形成されたねじ部と螺合自在となっている。ヘッドベース組立体３と接地ケース４とは螺子を介して互いに着脱自在となっている。
【００１８】
第１ガードコンタクト２２は金属製の筒状体であり、基端側がベースケース１７の拡径部に対応して拡径状となっていると共に、基端側にはすり割り２４が形成されている。第１ガードコンタクト２２の先端側の内周面には、電極ヘッド組立体２（第１ガードリング１３）のねじ部１５と接続するためのねじ部１９が設けてある。ねじ部１５，１９を介して、電極ヘッド組立体２（第１ガードリング１３）とヘッドベース組立体３（第１ガードコンタクト２２）とが接続される。さらに、電極ヘッド組立体２に図示しない接続部を設け、ヘッドベース組立体３のベースケース７に該接続部を介して直接接続するようにしてもよい。こうすることで、電極ヘッド組立体２とヘッドベース組立体３との接続を補強することができる。
【００１９】
第１ピン２０は金属製であり、第１ピン２０の先端を、測定電極１のすり割り部１１に対して差し込んで嵌入させることで、測定電極１と第１ピン２０とを着脱自在に接続する。第１ピン２０の基端側にはすり割り２６が形成されている。ベースケース１７と第１ガードコンタクト２２との間には絶縁体２１が、第１ガードコンタクト２２と第１ピン２０との間には絶縁体２３がそれぞれ挿入されている。
【００２０】
第１ピン２０を中心としたヘッドベース組立体３の内部構造は実質的に同軸状であり、外側から、ベースケース１７、絶縁体２１、第１ガードコンタクト２２、絶縁体２３がそれぞれ同軸状に配設され、相互の絶縁を図ると共に、第１ガードコンタクト２２でピン２０とベースケース１７との間の電気的シールドを完全にする。ベースケース１７、絶縁体２１、第１ガードコンタクト２２、絶縁体２３、第１ピン２０はこれらを貫通するノックピン２５によって一体化されている。
【００２１】
電気回路部組立体５はコンタクト部材６、基板７およびエンドキャップ８、ガードケース９から構成されている。電気回路部組立体５の先端部のコンタクト部材６はヘッドベース３と同様に内部構造は同軸状となっている。具体的には、コンタクト部材６は、ガード部材を構成する第２ガードコンタクト２９、絶縁体２８、第２ピン２７から構成されている。
【００２２】
第２ガードコンタクト２９は円筒状の金属体であり、先端側を第１ガードコンタクト２２の基端側のすり割り２４に嵌入させることで、第２ガードコンタクト２９と第１ガードコンタクト２２とを接続する。第２ピン２７は金属製であり、先端をベースケース１７側の第１ピン２０の基端側のすり割り２６に嵌入させることで第１ピン２０と第２ピン２７とを接続する。
【００２３】
第２ピン２７の周囲には、絶縁体２８が配設され、かつその回りには金属製のガードコンタクト２９が配設されており、対向する接地ケース４とピン２７との間を電気的にシールドしている。また、コンタクト部材６においては、電極ヘッド組立体２、ヘッドベース組立体３と同様に、同軸状に配設された各構成要素を貫通する絶縁体ノックピン３１により一体化が図られている。
【００２４】
第２ピン２７の基端側には接続部３０が設けてあり、第２ピン２７は接続部３０を介して回路基板７と電気的かつ機械的に接続されるようになっている。回路基板７の先端側はコンタクト６（接続部３０）に固定されており、基端側は金属製のエンドキャップ８に固定されている。基板７上には高周波ブリッジによる静電容量電圧変換回路（測定用電気回路）を構成する電気部品３２が配設されている。回路基板７の基端側にはケーブル３３が連結されており、ケーブル３３によって、静電容量電圧変換回路の信号を外部に接続するようになっている。測定用電気回路は、第２ピン２７及び第２ガードコンタクト２９（第３ガード部材）に電気的に接続されており、第１ピン２０を介して測定電極１に、第１ガードコンタクト２２（第２ガード部材）を介して第１ガードリング１３及び第２ガードリング１４（第１ガード部材）に電気的に接続されている。
【００２５】
基板７は、円筒状のガードケース９内に収容されている。ガードケース９の先端側の内周面にはねじ部３５が形成されており、ねじ部３５がコンタクト６部材の第２ガードコンタクト２９の基端側の外周面に形成したねじ部３４と螺合するようになっている。基板７をガードケース９内に入れ、コンタクト部材６に形成されたねじ部３４とガードケース９に形成されたねじ部３５とを螺合させることで固定し、回路基板７上の電気回路に対するシールドを完全にする。ガードケース９の基端は絶縁体リング３６によってエンドキャップ８と絶縁されている。
【００２６】
電極ヘッド組立体２、ヘッドベース組立体３、接地ケース４を相互に組み合わせた後、電気回路部組立体５を、接地ケース４の基端側の開口から接地ケース４内に挿入し、接地ケース４内部でヘッドベース組立体３の接続部にコンタクト６から挿入して接続し、固定ねじ１０のねじ部３７を接地ケース４の基端側内周面に形成したねじ部３８に螺合させることで、電気回路部組立体５を接地ケース４内に固定する。
【００２７】
図２は、測定電極１の被測定物との対向面を示している。正方形状の電極１の周囲には絶縁体１２が設けてあり、電極１と絶縁体１２が金属製のガード体１３，１４から構成されるガード部材内に設けてある。
【００２８】
図３は、他の実施形態に係る電極ヘッド組立体を示しており、図３に示す電極ヘッド組立体は、図２に示す組立体２と同様に、ヘッドベース組立体３に対して着脱自在である。このものは、被測定物に対してプローブの軸に対して４５度の方向で対向する電極を有している。金属体３９が測定電極を構成しており、金属体３９の先端は薄板状に加工されており、正面視細線状の対向面電極を形成している。測定電極３９の先端の薄板部は、プローブ軸上を延出している。測定電極３９の先端側の薄板部の周囲は絶縁体４０で囲まれている。さらにその外周を囲む円筒金属体４１は、その先端が無垢となっており、先端部が分割されて測定電極３９の薄板部及び絶縁体４０を挟むスリットが形成されており、測定電極３９の薄板部と平行な隙間が形成されている。金属体４１の周囲に金属筒４２を外嵌させることで、金属体４１の先端のスリットと金属筒４２とから断面視長方形状の隙間が形成される。金属体４１と金属筒４２の２部材を用いることで、断面視長方形状の隙間を容易に製作することができる。細線状の電極３９を有する被測定物に対向する面はプローブ軸に対して４５度に延出しており、電極ヘッドはさらに、該対向面に対して９０度で会合するもう一つの面を有している。このような二つの傾斜面を有する電極ヘッドの形状は、電極３９の薄板部、薄板部の回りの金属体４１、さらにその回りの金属筒４２からなる電極ヘッドの先端部を、プローブ軸に対して４５度で、かつ、他方の面と９０度になるように切削加工することで製作することができる。他の好ましい態様では、細線状の電極３９を含む被測定物に対向する面ともう一つの面は、９０度未満の角度をもって交わるものである。二つの傾斜面が９０度未満の角度で会合する電極ヘッドは、直角部を有する被測定物を測定する場合に有利である。また、図示のものでは、測定電極３９を囲むガードリングを二つの金属部材４１，４２から構成したが、ガードリングを一つの金属部材から構成し、一つの金属部材の先端に断面視長方形状の隙間を形成してもよい。
【００２９】
測定電極３９の他端は図２に示す測定電極１と同様に、ヘッドベース組立体３の第１ピン２０と接続するためのすり割り部４３が形成されている。金属体４１の基端側の外周面には、ヘッドベース組立体３の第１ガードコンタクト２２のねじ部１９と接続するためのねじ部４４が形成されている。測定電極３９とガード部材を構成する金属体４１との間には絶縁体４５が設けてあり、測定電極３９を中心に同軸状に配設された測定電極３９、絶縁体４５、金属体４１はこれらを貫通する絶縁体からなるノックピン４６で一体化され固定される。図中、符号４７もリング状の絶縁体であって、絶縁体４５と同様に、測定電極３９とガードリング４１との間の絶縁を行なう。図３には、測定電極３９の被測定物との対向面も示してあり、測定に必要な対向面の電極３９の形状は細線状となる。細線状の電極３９を有することで、微小の測定対象物に良好に対応することができる。
【００３０】
回路基板７には、図４に示す測定用電気回路が設けられる。電気回路はコンデンサ４８，４９，５０，５１を有する高周波ブリッジ回路と、整流回路及びフィルタ回路５２、発信器５３から形成されており、発信器５３からコンデンサ５０，５１を通して高周波電圧が供給される。コンデンサ４８は、図２の測定電極１に相当する測定電極５４と測定対象物５５との間に形成される容量であり、コンデンサ４９はブリッジ回路のバランスをとるコンデンサである。コンデンサ４８の変化に対応して出力電圧が変化する。図中、５６，５７は出力端子である。
【００３１】
図４において、点線５８で示す部分は、図２の測定電極１の開口部以外を電気的にシールドするいわゆるガード部材を示しており、電極ヘッド組立体２のガード部材１３，１４、及びそれに電気的に接続されるヘッドベース組立体３のガードコンタクト２２を示し、さらに、コンタクト６のガードコンタクト２９と電気的に接続されており、測定電極１と同電圧が発信器５３からガード部材に供給される。さらに、点線５９で示されるガード部材はガードケース９を示し、ガードケース９が回路基板７と接地ケース４との間を完全にシールドすることで、電気回路に発生する不要な浮遊容量を低減する。
【００３２】
本発明によれば、静電容量プローブ全体の構造を、測定電極１を有する電極ヘッド組立体２、ヘッドベース組立体３、接地ケース４、電気回路部組立体５、固定ねじ１０の５つの構成部材から組立分解自在に構成したので、個々の構成部品の組み立てと標準化が可能となり、もって静電容量プローブの製作が容易となる。
【００３３】
プローブの電極ヘッドを、電極ヘッド組立体２とヘッドベース組立体３の２部材から構成することで、測定電極１を含む電極ヘッドの先端部を小型化・小径化することが可能となった。特に、電極ヘッド組立体２を別体で製作することで、プローブ軸に対して直角に被測定物に対向する多種の小型プローブ、あるいは、プローブ軸に対して任意角で被測定物に対向し、先端が細線化されたプローブの製作が容易となり、測定対象が微小部分であっても良好に測定できる。電極ヘッド組立体２は交換自在であり、多種の電極ヘッド組立体２を用意しておけば、被測定物に対応して適宜電極ヘッド組立体２を選択することで良好な測定が可能となる。
【００３４】
測定電極、測定電極と電気回路部との各接続部、及び電気回路がガード部材によって完全にシールドされているため、チップ部品を使用してプローブ全体を小型化しても浮遊容量の増大がなくプローブの高感度、高精度、高安定化等の性能向上を図ることができる。
【００３５】
図示の実施形態では、プローブ軸に対して直角方向及び４５度の方向から被測定物に対向する測定電極を示したが、測定電極の構成はこれらに限定されるものではなく、プローブ軸と同じ方向で被測定物に対向するもの、あるいは、プローブ軸に対して３０度あるいは６０度などの任意の角度（例えば、９０度以下）で被測定物に対向するものであってもよい。図示のものでは、該電極ヘッド組立体２、ベースヘッド組立体３、電気回路部組立体５のコンタクト部材６を構成する各構成要素は、それぞれ同軸状に配設されており、各構成要素はプローブ軸方向に直交して貫通する絶縁性固定ピン１６，２５，３１によって固定されている。しかしながら、電極ヘッド組立体２、ベースヘッド組立体３、電気回路部組立体５のコンタクト部材６をそれぞれ構成する構成要素を固定するノックピン１６，２５，３１は必ずしも必須の部材ではなく、温度条件や材料の種類あるいは組立体の形成方法などの条件により省略することが可能である。また、回路基板７上の測定用電気回路の構成は図４の回路に限定されるものではなく、他の回路であってもよい。また、測定用電気回路をプローブ外部に移すことも可能である。このものでは、基板７のみがガードケース９に内装され、基板７とプローブ外部の測定用電気回路部とは、ガード付き同軸ケーブルによって電気的に接続される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る静電容量プローブの分解側面図である。
【図２】組立てた状態を示す静電容量プローブの断面図及び測定電極を対向する被測定物（図示せず）から見た図である。
【図３】他の実施形態に係る電極ヘッド組立体の断面図及び測定電極を対向する被測定物（図示せず）から見た図である。
【図４】回路基板の電気回路を示すブロック図である。
【符号の説明】
１  測定電極
２  電極ヘッド組立体
３  ヘッドベース組立体
４  接地ケース
５  電界回路組立体
６  コンタクト部材
７  基板
８  エンドキャップ
９  ガードケース
１０  固定ねじ
【図１】
2004354269.tif 000003
【図２】
2004354269.tif 000004
【図３】
2004354269.tif 000005
【図４】
2004354269.tif 000006