(57)【要約】【課題】基板接着時に接着剤のミラー面への濡れ上がりを抑制できる安価な光導波路、及びその製造方法を提供する。【解決手段】第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路であって、該光導波路の少なくとも一方の端部には、ミラー面が形成されているとともに、前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面と前記ミラー面とのなす角が鈍角となる角が形成されており、前記第２のクラッドにおける前記ミラー面には、切り欠き部又は突起部が設けられている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路であって、該光導波路の少なくとも一方の端部には、ミラー面が形成されているとともに、前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面と前記ミラー面とのなす角が鈍角となる角が形成されており、
前記第２のクラッドにおける前記ミラー面には、切り欠き部又は突起部が設けられていることを特徴とする光導波路。
【請求項２】
請求項１に記載の光導波路において、
前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面と前記ミラー面とのなす角は、１３０度〜１４５度の間の何れかの角度であることを特徴とする光導波路。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光導波路において、
前記ミラー面は、前記コアを導波してきた光を全反射することを特徴とする光導波路。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の光導波路において、
前記切り欠き部又は突起部は、前記基板面と前記第２のクラッドの端面とを接着するための接着剤が前記コアにおける前記ミラー面に濡れ上がることを抑制する形状を有することを特徴とする光導波路。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の光導波路において、
前記切り欠き部又は突起部は、前記基板面とのなす角度が８０〜１００度の間の何れかの角度となる面を有することを特徴とする光導波路。
【請求項６】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の光導波路において、
前記切り欠き部又は突起部は、前記ミラー面とのなす角度が８０〜１００度の間の何れかの角度となる面を有することを特徴とする光導波路。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか一項に記載の光導波路において、
前記切り欠き部又は突起部は、前記ミラー面の基板側最端に設けられていることを特徴とする光導波路。
【請求項８】
第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路の製造方法において、
該光導波路の少なくとも一方の端部を斜めに切断して前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面とのなす角が鈍角となるミラー面を形成する工程と、
前記第２のクラッドにおける前記ミラー面に切り欠き部又は突起部を形成する工程と、を備えることを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の光導波路の製造方法において、
前記ミラー面に対して８０〜１００度の間の何れかの角度方向に前記切り欠き部又は前記突起部を形成することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１０】
請求項７に記載の光導波路の製造方法において、
前記基板面に対して８０〜１００度の間の何れかの角度方向に前記切り欠き部又は前記突起部を形成することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１１】
第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路の製造方法において、
くさび形状の先端を有し、その最先端から、該光導波路に対して略９０度方向の該光導波路の厚さと同程度の距離内に角を有する工具により、該光導波路に対して８０〜１００度の間の何れかの角度の方向から切り込みを入れることで、前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面とのなす角が鈍角となるミラー面と、そのミラー面に前記基板面とのなす角度が８０〜１００度の間の何れかの角度となる面を有する突起部と、を同時に形成することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項１２】
第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路の製造方法において、
平面形状の先端を有し、その先端の縁に９０〜１３５度の間の何れかの角度の角を有する工具により、該光導波路に対して略４５度の方向から切り込みを入れることで、前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面とのなす角が鈍角となるミラー面と、そのミラー面に該ミラー面とのなす角度が９０〜１３５度の間の何れかの角度になる面を有する突起部と、を同時に形成することを特徴とする光導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信に用いられる光学部品とその製造方法に関し、特にシート状の光導波路で、光を導波路と略直角方向に取り出すことが可能な光導波路とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信における光伝搬素子として、複数本の光伝搬路を有するシート状の光導波路が知られている。
【０００３】
図１２は、従来の光導波路の一例を示す断面図である。図１２に示すように、従来の光導波路５は、コア５１と、コア５１を挟みこむ上下のクラッド５２、５３とからなり、光導波路５の端部には、基板５６の面に接着されるべきクラッド５３の端面５３ａとのなす角が略１３５度となるミラー面５４が形成されている。また、クラッド５２、５３の屈折率は、コア５１の屈折率に比べて若干低くなっている。このため、コア５１に例えばレーザ光を通すと、該レーザ光は、コア５１内に閉じ込められコア５１に沿って進む（導波する）ことになる。そして、コア５１内を図中Ｘ方向（水平方向）に導波してきたレーザ光がミラー面５４に当たると、コア５１と空気との屈折率差によりレーザ光が全反射されて図中Ｙ方向（垂直方向）に曲げられるため、クラッド５２を通り抜けて光導波路５の外にレーザ光が出射されることになる。
【０００４】
このように、光導波路５は、レーザ光を光導波路５に対し略垂直上部方向に曲げ、他の光学部品と容易に光結合が行えるように構成されている。
【０００５】
図１３は、従来の光導波路の製造方法の一例を示す図である。図１３に示すように、従来の光導波路の製造においては、コア５１を上下から挟み込むようにクラッド５２、５３を形成した光導波路５を水平に設置し、先端が略９０度の工具１０１を用いて切り込みを入れ、ミラー面５４を形成している。
【０００６】
このようにして作られた光導波路５は、一般には、反転してミラー面５４の鋭角側を上にして基板５６に接着して使用される。
【特許文献１】
特開２００１−１８３５４０号公報
例えば、特許文献１には、端部にミラー面を有した光導波路が基板面に接着された例が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板５６の基板面に対して、光導波路５の垂直方向の厚みは、例えば１２０μｍ（例えば、コア５１、クラッド５２及び５３のそれぞれの厚みが４０μｍ）と薄いものである。このような薄型の光導波路５を接着剤によって基板に接着する場合、図１４に示すように、光導波路５と基板５６の間に挟まれた接着剤５５が濡れ広がるが、接着剤５５がミラー面５４にくると、ミラー面５４と基板５６の基板面（クラッド５３との接着がない面）とのなす角が略４５度となるため、接着剤５５の表面張力により、該接着剤５５は、ミラー面５４に濡れ上がっていくことになる。
【０００８】
従って、光導波路５と基板５６との隙間や接着剤５５の量、粘度、温度、及び接着表面状態等の各接着条件をよほど厳密に管理しないと、大きくミラー面５４に濡れ上がり、コア５１の部分にまでかかってしまうことになる。
【０００９】
このように、コア５１におけるミラー面５４に接着剤５５が濡れ上がることになると、コア５１と接着剤５５との屈折率差が少ないので、図中Ｘ方向に進んできたレーザ光はミラー面５４で全反射して図中Ｙ方向に進まず、そのまま接着剤５５の中に入り込んで図中Ｘ１方向にもれてしまうという問題があった。
【００１０】
また、接着剤５５が濡れ上がっても問題がないように、予めミラー面５４に金属膜や誘電体多層膜を形成しておくことも考えられるが、新たな工程を追加することになり製造コストが大幅に増加するという問題があった。また、反射膜の厚みや使用するレーザ光の波長によって反射率が大きく変化するなどの問題もあった。
【００１１】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、基板接着時に接着剤のミラー面への濡れ上がりを抑制できる安価な光導波路、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路であって、該光導波路の少なくとも一方の端部には、ミラー面が形成されているとともに、前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面と前記ミラー面とのなす角が鈍角となる角が形成されており、前記第２のクラッドにおける前記ミラー面には、切り欠き部又は突起部が設けられていることを特徴とする。
【００１３】
このような発明によれば、光導波路を基板に接着する際に接着剤のミラー面への濡れ上がりを抑制し、特にコアの部分まで接着剤が濡れ上がることを抑制することができるので、安定した反射率を確保したミラー付き光導波路を実現することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光導波路において、前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面と前記ミラー面とのなす角は、１３０度〜１４５度の間の何れかの角度であることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の光導波路において、前記ミラー面は、前記コアを導波してきた光を全反射することを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一項に記載の光導波路において、前記切り欠き部又は突起部は、前記基板面と前記第２のクラッドの端面とを接着するための接着剤が前記コアにおける前記ミラー面に濡れ上がることを抑制する形状を有することを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一項に記載の光導波路において、前記切り欠き部又は突起部は、前記基板面とのなす角度が８０〜１００度の間の何れかの角度となる面を有することを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一項に記載の光導波路において、前記切り欠き部又は突起部は、前記ミラー面とのなす角度が８０〜１００度の間の何れかの角度となる面を有することを特徴とする。
【００１９】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６の何れか一項に記載の光導波路において、前記切り欠き部又は突起部は、前記ミラー面の基板側最端に設けられていることを特徴とする。
【００２０】
請求項８に記載の発明は、第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路の製造方法において、該光導波路の少なくとも一方の端部を斜めに切断して前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面とのなす角が鈍角となるミラー面を形成する工程と、前記第２のクラッドにおける前記ミラー面に切り欠き部又は突起部を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【００２１】
このような発明によれば、光導波路を基板に接着する際に接着剤のミラー面への濡れ上がりを抑制し、特にコアの部分に接着剤が濡れ上がらない光導波路を安価に作製することができる。
【００２２】
請求項９に記載の発明は、請求項７に記載の光導波路の製造方法において、前記ミラー面に対して８０〜１００度の間の何れかの角度方向に前記切り欠き部又は前記突起部を形成することを特徴とする。
【００２３】
請求項１０に記載の発明は、請求項７に記載の光導波路の製造方法において、
前記基板面に対して８０〜１００度の間の何れかの角度方向に前記切り欠き部又は前記突起部を形成することを特徴とする。
【００２４】
請求項１１に記載の発明は、第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路の製造方法において、くさび形状の先端を有し、その最先端から、該光導波路に対して略９０度方向の該光導波路の厚さと同程度の距離内に角を有する工具により、該光導波路に対して８０〜１００度の間の何れかの角度の方向から切り込みを入れることで、前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面とのなす角が鈍角となるミラー面と、そのミラー面に前記基板面とのなす角度が８０〜１００度の間の何れかの角度となる面を有する突起部と、を同時に形成することを特徴とする。ここで、「略」とは、ある程度の誤差が含まれることを考慮しており、例えば、略９０度には、９０度±数％の範囲が含まれることを意味する。
【００２５】
このような発明によれば、光導波路を基板に接着する際に接着剤のミラー面への濡れ上がりを抑制し、特にコアの部分に接着剤が濡れ上がらない光導波路を安価に作製することができる。
【００２６】
請求項１２に記載の発明は、第１のクラッドと、所定の基板面に接着されるべき第２のクラッドと、前記第１及び第２のクラッドの間に形成されたコアと、を有する光導波路の製造方法において、平面形状の先端を有し、その先端の縁に略９０〜１３５度の間の何れかの角度の角を有する工具により、該光導波路に対して略４５度の方向から切り込みを入れることで、前記基板面に接着される前記第２のクラッドの端面とのなす角が鈍角となるミラー面と、そのミラー面に該ミラー面とのなす角度が９０〜１３５度の間の何れかの角度になる面を有する突起部と、を同時に形成することを特徴とする。ここで、「略」とは、ある程度の誤差が含まれることを考慮しており、例えば、略４５度には、４５度±数％の範囲が含まれることを意味する。
【００２７】
このような発明によれば、光導波路を基板に接着する際に接着剤のミラー面への濡れ上がりを抑制し、特にコアの部分に接着剤が濡れ上がらない光導波路を安価に作製することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２９】
（第１の実施形態）
先ず、本発明の第１の実施形態における光導波路の構成について説明する。
【００３０】
図１（Ａ）は、第１の実施形態における光導波路等の断面図を示し、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す。
【００３１】
図１（Ａ）に示すように、光導波路１ａは、第１のクラッドとしての上部のクラッド（層）１２と、基板２の基板面（基板表面）２１に接着されるべき第２のクラッドとしての下部のクラッド（層）１３と、クラッド１２及び１３の間に形成されたコア（層）１１と、を有して構成されている。コア１１、クラッド１２及びクラッド１３には、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、或いはエポキシ樹脂等の透光性樹脂や、ガラス、石英等が用いられる。また、クラッド１２及び１３の屈折率は、コア１１の屈折率に比べて若干（例えば、１％以下）低くなっている。なお、クラッド１２及び１３の屈折率は、コア１１の屈折率に比べて３％程度低くても適用することができる。また、基板２には、例えば、ガラスエポキシ基板、セラミック基板或いはシリコン基板等が用いられる。
【００３２】
また、光導波路１ａの一方の端部には、ミラー面１４が形成されているとともに、基板２の基板面２１に接着されるクラッド１３の端面（接着面）１３ａとミラー面１４とのなす角が鈍角となる角δが形成されている。本実施形態においては、この角δが略１３５度である場合を例にとっている。ここで、「略」とは、ある程度の誤差が含まれることを考慮しており、例えば、略１３５度には、１３５度±数％の範囲が含まれることを意味する（「略」の意図するところは、以下の説明においても同様）。
【００３３】
このようにクラッド１３の端面１３ａとミラー面１４とのなす角δを略１３５度とした場合、図１に示す光導波路１ａの光軸とミラー面１４の法線とのなす角Θは、略４５度となる。そして、この場合、ミラー面１４は、コア１１を導波してきた光（レーザ光）を、基板面２１に対して略垂直上部方向に全反射することになる。このようにクラッド１３の端面１３ａとミラー面１４とのなす角δを略１３５度とすれば、導波してきた光を基板面２１に対して略垂直上部方向に取り出すことができるので、取り出した光（クラッド１２を通り抜けて光導波路１ａの外に出射された光）と他の光学系との光結合を容易にすることができる。
【００３４】
なお、クラッド１３の端面１３ａとミラー面１４とのなす角δは、略１３５度に限定されるものではない。一般に、光導波路に用いられている材料の屈折率ｎは、１．４５以上であり、光導波路のミラー面で光を全反射させるための条件（下記式（１））、及びミラー面で全反射された光が上部のクラッドの上面で全反射されないための条件（下記式（２））を考慮すると、光導波路の光軸とミラー面の法線とのなす角Θは、４０度〜５５度の間の何れかの角度であることが望ましい。従って、クラッド１３の端面１３ａとミラー面１４とのなす角δ（図１より、δ＝９０度＋Θ）は、１３０度から１４５度の間の何れかの角度が実用的な値である（後述する第２〜第５実施形態においても同様）。
【００３５】
Θ＞ｓｉｎ−１（１／ｎ）・・・（１）
Θ＜（１／２ｓｉｎ−１（１／ｎ））＋４５・・・（２）
そして、クラッド１３におけるミラー面１４には、基板面２１と当該クラッド１３とを接着するための接着剤がコア１１におけるミラー面１４に濡れ上がることを抑制するための切り欠き部１５ａが設けられている。図１（Ａ）の例では、切り欠き部１５ａは、基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角α１が略９０度となる面（濡れ上がりを抑制する面）１６ａを有しており、ミラー面１４の基板２側最端部分に設けられている。
【００３６】
このような光導波路１ａのクラッド１３が基板２の基板面２１に接着剤３によって接着される場合、光導波路１ａと基板２との間に挟まれた接着剤３は濡れ広がろうとするが、図１（Ｂ）に示すように、接着剤３が切り欠き部１５ａの角（かど）の部分にくると、切り欠き部１５ａが有する面１６ａと基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角α１は、ミラー面１４と基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角γ（略４５度）より大きくなるため、接着剤３が面１６ａに濡れ上がりにくくなり、その結果、接着剤３の濡れ上がりは、切り欠き部１５ａの角（かど）で止まることになる。
【００３７】
このように、クラッド１３におけるミラー面１４に切り欠き部１５ａを設けるように構成したので、接着剤３がミラー面１４に沿ってコア１１の部分まで濡れ上がることを抑制することができ、その結果、コア１１内を図１（Ｂ）中のＸ方向（水平方向）に導波してきた光を、確実に図中Ｙ方向（垂直方向）全反射させることができるため、安定した反射率を確保したミラー付き光導波路を実現することができる。
【００３８】
次に、第１の実施形態における光導波路１ａの製造方法について説明する。
【００３９】
図２（Ａ），（Ｂ）は、第１の実施形態において、光導波路１ａのミラー面１４に切り欠き部１５ａが形成される様子を示す図である。
【００４０】
先ず、従来の製造工程（図１３参照）と同様に、コア１１を上下から挟み込むようにクラッド１２及び１３を形成した光導波路１ａを水平に設置し、くさび形状の先端（例えば、先端が略９０度）を有した工具１０１により光導波路１ａに、該光導波路（水平面）に対して略９０度の方向から切り込みを入れることでミラー面１４を形成する。
【００４１】
なお、光導波路１ａの少なくとも一方の端部を斜めに切断して斜めに切断して基板面２１に接着されるクラッド１３の端面１３ａとのなす角δが鈍角（略１３５度）となるミラー面１４を形成するようにしてもよい。なお、ミラー面１４を形成するまでの工程は、公知の製造方法を適用でき、本発明とは直接の関係がないため詳しい説明を省略するが、例えば、ＣＶＤ等の技術によりコア１１、クラッド１２及び１３を積層して形成する方法や、予め用意した型に透光性樹脂を流し込んで形成する方法等、如何なる方法で製造してもよく、特に限定されるものではない。
【００４２】
次に、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、例えば平面形状の先端を有しその先端の縁に略９０度の角を有する工具（先端が水平でそれに続く面が略９０度の工具）１０２により光導波路１ａのクラッド１３におけるミラー面１４に、該光導波路（基板面）に対して略９０度の方向から切り込みを入れる（例えば、工具１０２を、軸Ｇを中心に回転させて切り込みを入れる）ことで切り欠き部１５ａを形成する。これにより、切り欠き部１５ａには、基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角α１が略９０度となる面１６ａが形成される。
【００４３】
ここで、第１の実施形態においては、図２（Ａ）に示すように、工具１０２の平面部分の幅ＷＸ１を、ミラー面１４が形成された光導波路１ａの開口部分の幅ＷＹ１以上にすることにより、クラッド１３における切り欠き部１５ａには、ミラー面１４の最端部分に形成されることになる。
【００４４】
このような光導波路１ａの製造方法によれば、ミラー面１４の形成と同等の工程で切り欠き部１５ａを形成でき、切り欠き部１５ａに基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角α１が略９０度の面１６ａを容易に形成できるので、基板張付け時に接着剤がコア１１におけるミラー面１４へ濡れ上がりにくい光導波路の安価な製造方法を提供することができる。
【００４５】
なお、上記第１の実施形態において、基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１と面（濡れ上がりを抑制する面）１６ａのなす角α１（略９０度）は、切り欠き部１５ａの作り易さ及び濡れ上がりの抑制効果を考慮した場合、より好ましい角度の一例であるが、例えば、当該角α１が８０〜１００度の何れかの角度であっても、ほぼ同様の効果を得ることができる。８０〜１００度の何れかの角度の角α１は、例えば工具１０２により光導波路１ａのクラッド１３におけるミラー面１４に、該光導波路（基板面）に対して８０〜１００度の何れかの角度の方向から切り込みを入れることで容易に形成することができる。
【００４６】
また、上記第１の実施形態においては、ミラー面１４を形成した後、切り欠き部１５ａを形成するようにしたが、同等の工程のため、切り欠き部１５ａに相当する部分を先に形成し、その後、ミラー面１４を形成してもよい。
【００４７】
また、切り欠き部１５ａの形成に関して、図２では工具による機械加工の例を示したが、レーザ加工や化学的なエッチング処理等により、クラッド１３におけるミラー面１４に同様の切り欠き部１５ａを形成するようにしてもよい。
【００４８】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態における光導波路の構成について説明する。
【００４９】
図３（Ａ）は、第２の実施形態における光導波路等の断面図を示し、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す。なお、第２の実施形態における光導波路１ｂにおいて、第１の実施形態における光導波路１ａと同様の構成部分については同一の符号を付し、重複した説明を省略するものとする。
【００５０】
第２の実施形態における光導波路１ｂにおいては、クラッド１３におけるミラー面１４の中間部分に切り欠き部１５ｂが設けられており、この切り欠き部１５ｂは、基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角α１が略９０度となる面（濡れ上がりを抑制する面）１６ｂを有している。
【００５１】
このような光導波路１ｂのクラッド１３が基板２の基板面２１に接着剤３によって接着される場合、光導波路１ｂと基板２との間に挟まれた接着剤３は、ミラー面１４に沿って一部濡れ上がるが、図３（Ｂ）に示すように、接着剤３が切り欠き部１５ｂの角（かど）の部分にくると、切り欠き部１５ｂが有する面１６ｂと基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角α１（略９０度）はミラー面１４と基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角γ（略４５度）より大きくなるため、接着剤３が面１６ｂに濡れ上がりにくくなり、その結果、接着剤３の濡れ上がりは、切り欠き部１５ｂの角（かど）で止まることになる。従って、第１の実施形態と同様、接着剤３がミラー面１４に沿ってコア１１の部分まで濡れ上がることを抑制することができ、安定した反射率を確保したミラー付き光導波路を実現することができる。
【００５２】
次に、第２の実施形態における光導波路１ｂの製造方法について説明する。
【００５３】
図４（Ａ），（Ｂ）は、第２の実施形態において、光導波路１ｂのミラー面１４に切り欠き部１５ｂが形成される様子を示す図である。
【００５４】
第２の実施形態における光導波路１ｂの製造方法については、基本的には第１の実施形態と同様であり、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、例えば平面形状の先端を有しその先端の縁に略９０度の角を有する工具１０３により光導波路１ｂのクラッド１３におけるミラー面１４に、該光導波路（水平面）に対して略９０度の方向から切り込みを入れる（例えば、工具１０３を、軸Ｇを中心に回転させて切り込みを入れる）ことで切り欠き部１５ｂを形成する。これにより、切り欠き部１５ｂには、水平面とのなす角が略９０度となる面１６ｂが形成される。
【００５５】
ここで、第２の実施形態においては、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、工具１０３の平面部分の幅ＷＸ２を、ミラー面１４が形成された光導波路１ｂの開口部分の幅ＷＹ１よりも小さくすることにより、クラッド１３における切り欠き部１５ｂには、ミラー面１４の中間（途中の）部分に形成されることになる。
【００５６】
このような光導波路１ｂの製造方法によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５７】
なお、上記第２の実施形態において、基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１と面（濡れ上がりを抑制する面）１６ｂのなす角α１（略９０度）は、切り欠き部１５ｂの作り易さ及び濡れ上がりの抑制効果を考慮した場合、より好ましい角度の一例であるが、例えば、当該角α１が８０〜１００度の何れかの角度であっても、ほぼ同様の効果を得ることができる。８０〜１００度の何れかの角度の角α１は、例えば工具１０３により光導波路１ｂのクラッド１３におけるミラー面１４に、該光導波路（基板面）に対して８０〜１００度の何れかの角度の方向から切り込みを入れることで容易に形成することができる。
【００５８】
また、上記第２実施形態においても、第１の実施形態と同様、切り欠き部１５ｂに相当する部分を先に形成し、その後、ミラー面１４を形成してもよい。また、切り欠き部１５ｂの形成に関して、図４では工具による機械加工の例を示したが、レーザ加工や化学的なエッチング処理等により、クラッド１３におけるミラー面１４に同様の切り欠き部１５ｂを形成するようにしてもよい。
【００５９】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態における光導波路の構成について説明する。
【００６０】
図５（Ａ）は、第３の実施形態における光導波路等の断面図を示し、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す。なお、第３の実施形態における光導波路１ｃにおいて、第１の実施形態における光導波路１ａと同様の構成部分については同一の符号を付し、重複した説明を省略するものとする。
【００６１】
第３の実施形態における光導波路１ｃにおいては、クラッド１３におけるミラー面１４の中間（途中の）部分に切り欠き部１５ｃが設けられており、この切り欠き部１５ｃは、ミラー面１４とのなす角α３が略９０度（基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角度α２が略１３５度）となる面（濡れ上がりを抑制する面）１６ｃを有している。なお、この切り欠き部１５ｃは、第１実施形態のように、ミラー面１４の基板２側最端（ミラー面１４と、クラッド１３の端面との角（かど））部分に設けるようにしてもよい。
【００６２】
このような光導波路１ｃのクラッド１３が基板２の基板面２１に接着剤３によって接着される場合、光導波路１ｃと基板２との間に挟まれた接着剤３は、ミラー面１４に沿って一部濡れ上がるが、図５（Ｂ）に示すように、接着剤３が切り欠き部１５ｃの角（かど）の部分にくると、切り欠き部１５ｃが有する面１６ｃと基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角α２が鈍角となるため、接着剤３が面１６ｃに濡れ上がりにくくなり、その結果、接着剤３の濡れ上がりは、切り欠き部１５ｃの角（かど）で止まることになる。
【００６３】
従って、第１の実施形態と同様、接着剤３がミラー面１４に沿ってコア１１の部分まで濡れ上がることを抑制することができ、安定した反射率を確保したミラー付き光導波路を実現することができる。
【００６４】
次に、第３の実施形態における光導波路１ｃの製造方法について説明する。
【００６５】
図６（Ａ），（Ｂ）は、第３の実施形態において、光導波路１ｃのミラー面１４に切り欠き部１５ｃが形成される様子を示す図である。
【００６６】
第３の実施形態における光導波路１ｃの製造方法については、基本的には第１の実施形態と同様であり、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、例えば、先端の幅ＷＸ３が、クラッド１３におけるミラー面１４の幅ＷＹ２よりも小さい工具１０４により光導波路１ｃのクラッド１３におけるミラー面１４に、該ミラー面１４に対して略９０度の方向から切り込みを入れる（例えば、工具１０４を、軸Ｇを中心に回転させて切り込みを入れる）ことで切り欠き部１５ｃを形成する。これにより、切り欠き部１５ｃには、ミラー面１４とのなす角α３が略９０度となる面１６ｃが形成される。
【００６７】
なお、図６（Ａ），（Ｂ）の例では、工具１０４を傾けたが、逆に、光導波路１ｃを傾けてもよい。また、図６（Ａ），（Ｂ）の例では、工具１０４によりクラッド１３におけるミラー面１４の中間（途中の）部分に切り込みを入れるようにしたが、工具１０４によりクラッド１３におけるミラー面１４の最端部分に切り込みを入れ、切り欠き部１５ｃをミラー面１４の最端部分に設けるようにしてもよい。
【００６８】
このような光導波路１ｃの製造方法によれば、ミラー面１４の形成とほぼ同等の工程で切り欠き部１５ｃを形成でき、切り欠き部１５ｃに基板面２１とのなす角α２が鈍角となる面１６ｃを容易に形成できるので、基板張付け時に接着剤がコア１１におけるミラー面１４へ濡れ上がりにくい光導波路の安価な製造方法を提供することができる。
【００６９】
なお、上記第３の実施形態において、ミラー面１４と面（濡れ上がりを抑制する面）１６ｃのなす角α３（略９０度）は、切り欠き部１５ｃの作り易さ及び濡れ上がりの抑制効果を考慮した場合、より好ましい角度の一例であるが、例えば、当該角α３が８０〜１００度の何れかの角度であっても、ほぼ同様の効果を得ることができる。８０〜１００度の何れかの角度の角α３は、例えば工具１０４により光導波路１ｃのクラッド１３におけるミラー面１４に、該ミラー面１４に対して８０〜１００度の何れかの角度の方向から切り込みを入れることで容易に形成することができる。
【００７０】
また、上記第３実施形態においても、第１の実施形態と同様、切り欠き部１５ｃに相当する部分を先に形成し、その後、ミラー面１４を形成してもよい。また、切り欠き部１５ｃの形成に関して、図６では工具による機械加工の例を示したが、レーザ加工や化学的なエッチング処理等により、クラッド１３におけるミラー面１４に同様の切り欠き部１５ｃを形成するようにしてもよい。
【００７１】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態における光導波路の構成について説明する。
【００７２】
図７（Ａ）は、第４の実施形態における光導波路等の断面図を示し、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す。なお、第４の実施形態における光導波路１ｄにおいて、第１の実施形態における光導波路１ｄと同様の構成部分については同一の符号を付し、重複した説明を省略するものとする。
【００７３】
第４の実施形態において、光導波路１ｄのクラッド１３におけるミラー面１４には、第１の実施形態に示すような切り欠き部１５ａの代わりに、突起部１５ｄが設けられている。この突起部１５ｄは、基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角α１が略９０度となる面（濡れ上がりを抑制する面）１６ｄを有しており、ミラー面１４の基板２側最端部分に設けられている。なお、この突起部１５ｄは、第２実施形態のように、クラッド１３におけるミラー面１４の中間（途中の）部分に設けるようにしてもよい。
【００７４】
このような光導波路１ｄのクラッド１３が基板２の基板面２１に接着剤３によって接着される場合、光導波路１ｄと基板２との間に挟まれた接着剤３は濡れ広がろうとするが、図７（Ｂ）に示すように、接着剤３が突起部１５ｄの角（かど）の部分にくると、突起部１５ｄが有する面１６ｄと基板面２１とのなす角α１（略９０度）は、ミラー面１４と基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角γ（略４５度）より大きくなるため、接着剤３が面１６ｄに濡れ上がりにくくなり、その結果、接着剤３の濡れ上がりは、突起部１５ｄの角（かど）で止まることになる。
【００７５】
従って、第１の実施形態と同様、接着剤３がミラー面１４に沿ってコア１１の部分まで濡れ上がることを抑制することができ、安定した反射率を確保したミラー付き光導波路を実現することができる。
【００７６】
次に、第４の実施形態における光導波路１ｄの製造方法について説明する。
【００７７】
図８（Ａ），（Ｂ）は、第４の実施形態において、光導波路１ｄのミラー面１４に突起部１５ｄが形成される様子を示す図である。
【００７８】
第４の実施形態における光導波路１ｄの製造方法については、基本的には、第１の実施形態と同様であるが、第４の実施形態では、ミラー面１４と突起部１５ｄとを同時に形成する点で第１の実施形態とは異なる。
【００７９】
例えば、図８（Ａ），（Ｂ）に示すように、くさび形状の先端（図８の例では、水平面に対して略４５度）を有しその最先端から該光導波路１ｄに対して９０度方向の該光導波路の厚さと同程度の距離内に角（図８の例では、略１３５度）を有する工具１０５により、水平に設置された光導波路１ｄに対して略９０度の方向から切り込みを入れることで、基板面２１に接着されるクラッド１３の端面１３ａとのなす角δが略１３５度となるミラー面１４と、そのミラー面１４に基板面２１とのなす角度（α１）が略９０度となる面１６ｄを有する突起部１５ｄと、を同時に形成する。
【００８０】
このような光導波路１ｄの製造方法によれば、ミラー面１４の形成と同時に突起部１５ｄを形成でき、突起部１５ｄに水平面とのなす角α１が略９０度の面１６ｄを容易に形成できるので、基板張付け時に接着剤がコア１１におけるミラー面１４へ濡れ上がりにくい光導波路の安価な製造方法を提供することができる。
【００８１】
なお、上記第４の実施形態において、基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１と面（濡れ上がりを抑制する面）１６ｄのなす角α１（略９０度）は、突起部１５ｄの作り易さ及び濡れ上がりの抑制効果を考慮した場合、より好ましい角度の一例であるが、例えば、当該角α１が８０〜１００度の何れかの角度であっても、ほぼ同様の効果を得ることができる。８０〜１００度の何れかの角度の角α１は、例えば工具１０５により水平に設置された光導波路１ｄに対して８０〜１００度の何れかの角度の方向から切り込みを入れることで容易に形成することができる。
【００８２】
（第５の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態における光導波路の構成について説明する。
【００８３】
図９（Ａ）は、第５の実施形態における光導波路等の断面図を示し、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す。なお、第５の実施形態における光導波路１ｅにおいて、第１の実施形態における光導波路１ｅと同様の構成部分については同一の符号を付し、重複した説明を省略するものとする。
【００８４】
第５の実施形態においても、第４の実施形態と同様、光導波路１ｅのクラッド１３におけるミラー面１４には、突起部１５ｅが設けられている。この突起部１５ｅは、ミラー面１４とのなす角α３が略９０度（基板面（基板面のうちクラッド１３との接着がない面）２１とのなす角度α２が略１３５度）となる面（濡れ上がりを抑制する面）１６ｅを有しており、ミラー面１４の基板２側最端部分に設けられている。なお、この突起部１５ｅは、第２実施形態のように、クラッド１３におけるミラー面１４の中間（途中の）部分に設けるようにしてもよい。
【００８５】
このような光導波路１ｅのクラッド１３が基板２の基板面２１に接着剤３によって接着される場合、光導波路１ｅと基板２との間に挟まれた接着剤３は濡れ広がろうとするが、図９（Ｂ）に示すように、接着剤３が突起部１５ｅの角（かど）の部分にくると、突起部１５ｅが有する面１６ｅと基板面２１とのなす角α２が鈍角となるため、接着剤３が面１６ｅに濡れ上がりにくくなり、その結果、接着剤３の濡れ上がりは、突起部１５ｅの角（かど）で止まることになる。
【００８６】
従って、第１の実施形態と同様、接着剤３がミラー面１４に沿ってコア１１の部分まで濡れ上がることを抑制することができ、安定した反射率を確保したミラー付き光導波路を実現することができる。
【００８７】
次に、第５の実施形態における光導波路１ｅの製造方法について説明する。
【００８８】
図１０（Ａ），（Ｂ）は、第５の実施形態において、光導波路１ｅのミラー面１４に突起部１５ｅが形成される様子を示す図である。
【００８９】
第５の実施形態における光導波路１ｅの製造方法については、基本的には、第１の実施形態と同様であるが、第４の実施形態と同様、ミラー面１４と突起部１５ｅとを同時に形成する点で第１の実施形態とは異なる。
【００９０】
例えば、図１０（Ａ），（Ｂ）に示すように、平面形状の先端を有しその先端の縁に略９０度の角を有する工具（先端が水平でそれに続く面が略９０度の工具）１０６により、水平に設置された光導波路１ｅに対して略４５度の方向から切り込みを入れることで、クラッド１２側が鋭角になる斜面を有するミラー面１４と、そのミラー面１４に該ミラー面とのなす角度（α３）が略９０度となる面１６ｅを有する突起部１５ｅと、を同時に形成する。なお、図１０（Ａ），（Ｂ）の例では、工具１０６を傾けたが、逆に、光導波路１ｅを傾けてもよい。
【００９１】
このような光導波路１ｅの製造方法によれば、ミラー面１４の形成と同時に突起部１５ｅを形成でき、ミラー面１４とのなす角α３が略９０度の面（水平面とのなす角がミラー面１４と反対の鈍角となる面）１６ｅを容易に形成できるので、基板張付け時に接着剤がコア１１におけるミラー面１４へ濡れ上がりにくい光導波路の安価な製造方法を提供することができる。
【００９２】
なお、上記第５の実施形態において、ミラー面１４と面（濡れ上がりを抑制する面）１６ｅとのなす角α３（略９０度）は、突起部１５ｅ作り易さ及び濡れ上がりの抑制効果を考慮した場合、より好ましい角度の一例であるが、例えば、当該角α３が８０〜１００度の何れかの角度であっても、ほぼ同様の効果を得ることができる。８０〜１００度の何れかの角度の角α３は、例えば工具１０６により、水平に設置された光導波路１ｅに対して３５〜５５度の何れかの角度の方向から切り込みを入れることで容易に形成することができる。
【００９３】
なお、上記第５の実施形態における光導波路１ｅの製造方法の変形例として、第１の実施形態のように４５度のミラー面１４を加工した後に、機械的の工具１０６を用いずに、ミラー面１４に垂直な方向から、レーザ加工や化学的なエッチィング処理等により、ミラー面全体をさらに加工することにより、ミラー面１４及び突起部１５ｅを形成することも可能である。
【００９４】
また、上記第５の実施形態の変形例として、図１１に示すように、工具１０６の先端の縁が略９０〜１３５度の間の何れかの角度の角βであってもよく、これによりミラー面１４とのなす角度が略９０〜１３５度の間の何れかの角度になる面１６ｅを有する突起部１５ｅを形成するようにしてもよい。
【００９５】
なお、上記第１〜第５の実施形態においては、光導波路の一端のみにミラー面１４を設ける場合について説明したが、光導波路の両端にミラー面１４を設ける場合についても同様に切り欠き部若しくは突起部を設ければよい。
【００９６】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の具体的な構成は、上記第１乃至第５の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても、本発明の範囲に含まれる。例えば、切り欠き部又は突起部の形状は、基板面２１とクラッド１３とを接着するための接着剤３がコア１１におけるミラー面１４に濡れ上がることを抑制する形状であれば、如何なる形状であってもよい。
【００９７】
また、上記実施形態の説明において、一般には、接着剤の濡れ上がりを抑制する効果は、基板面とのなす角が大きいほど、より大きくなるが、上記説明の中では、加工の容易性や濡れ上がり抑制効果の大きさから、濡れ上がりを抑制する面の基板面２１とのなす角度α１としては８０度〜１００度、又は濡れ上がりを抑制する面とミラー面１４とのなす角度α３としては８０度〜１００度等を例示した。しかしながら、濡れ上がりを抑制する面の基板面２１とのなす角度α１が、ミラー面１４と基板面２１とのなす角γより少しでも大きければ、例示した角度以外でも濡れ上がりを抑制する効果はその大小を別として生じることは明らかである。従って、ミラー面に切り欠き部又は突起部を設けることで生じる濡れ上がりを抑制する面の角度は、上記例示の角度以外であっても本発明の範囲に含まれることは明らかである。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る光導波路よれば、光導波路を基板に接着する際に接着剤のミラー面への濡れ上がりを抑制し、特にコアの部分に接着剤が濡れ上がらないため、光導波路の基板接着工程での光導波路と基板の隙間や接着剤の量、粘度、温度、接着表面状態等の各接着条件の管理が容易となり、また、ミラー面における反射率を安定させることができる。
【００９９】
また、本発明に係る光導波路の製造方法によれば、光導波路を基板に接着する際に接着剤のミラー面への濡れ上がりを抑制し、特にコアの部分に接着剤が濡れ上がらない光導波路を安価に作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は、第１の実施形態における光導波路等の断面図を示し、（Ｂ）は、（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す図である。
【図２】第１の実施形態において、光導波路１ａのミラー面１４に切り欠き部１５ａが形成される様子を示す図である。
【図３】（Ａ）は、第２の実施形態における光導波路等の断面図を示し、（Ｂ）は、（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す図である。
【図４】第２の実施形態において、光導波路１ｂのミラー面１４に切り欠き部１５ｂが形成される様子を示す図である。
【図５】（Ａ）は、第３の実施形態における光導波路等の断面図を示し、（Ｂ）は、（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す図である。
【図６】第３の実施形態において、光導波路１ｃのミラー面１４に切り欠き部１５ｃが形成される様子を示す図である。
【図７】（Ａ）は、第４の実施形態における光導波路等の断面図を示し、（Ｂ）は、（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す図である。
【図８】第４の実施形態において、光導波路１ｄのミラー面１４に突起部１５ｄが形成される様子を示す図である。
【図９】（Ａ）は、第５の実施形態における光導波路等の断面図を示し、（Ｂ）は、（Ａ）における光導波路と基板とが接着剤で接着された（張付けられた）状態における光導波路等の断面図を示す図である。
【図１０】第５の実施形態において、光導波路１ｅのミラー面１４に突起部１５ｅが形成される様子を示す図である。
【図１１】第５の実施形態の変形例において、光導波路１ｅのミラー面１４に突起部１５ｅが形成される様子を示す図である。
【図１２】従来の光導波路の一例を示す断面図である。
【図１３】従来の光導波路の製造方法の一例を示す図である。
【図１４】従来の光導波路と基板の間に挟まれた接着剤が濡れ広がる様子を示す図である。
【符号の説明】
１ａ〜１ｅ  光導波路
２  基板
３  接着剤
１１  コア
１２，１３  クラッド
１４  ミラー面
１５ａ〜１５ｃ  切り欠き部
１５ｄ，１５ｅ  突起部
２１  基板面
５１  コア
５２，５３  クラッド
５４  ミラー面
５５  接着剤
５６  基板
１０１〜１０６  工具
【図１】
2004354664.tif 000003
【図２】
2004354664.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004354664.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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