(57)【要約】【課題】クリーン装置の取付け面の平面度に左右されることなく、容器開閉装置のクリーン装置への取付けの位置調整を簡単、迅速、適正に行なうことができ、ポートドアによる容器ドアの着脱・保持が確実に行なわれて、機種変更への対応が容易で、メンテナンスも容易な、容器開閉装置を提供する。【解決手段】少なくとも、次の構成要素、すなわち、ＦＯＵＰやＦＯＳＢ等の容器を載置して進退動させるドック機構と、容器の開口部を閉塞する容器ドアを着脱して保持する着脱・保持機構を有するポートドア３と、ポートドア３により閉塞される開口部５を有するポートプレート４と、ポートドア３を水平に移動させるポートドア進退機構６と、ポートドア３が容器ドアを保持した状態で、ポートドア進退機構６を垂直に移動させるポートドア昇降機構７とを備えてなる容器開閉装置１において、ドック機構が設けられるメインベース１０には、ポートプレート４とポートドア昇降機構７とが一体に取り付けられて固定されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、次の構成要素、すなわち、
ＦＯＵＰやＦＯＳＢ等の容器を載置して進退動させるドック機構と、
前記容器の開口部を閉塞する容器ドアを着脱して保持する着脱・保持機構を有するポートドアと、
前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、
前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、
前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で、前記ポートドア進退機構を垂直に移動させるポートドア昇降機構と
を備えてなる容器開閉装置において、
前記ドック機構が設けられるメインベースには、前記ポートプレートと前記ポートドア昇降機構とが取り付けられて固定された
ことを特徴とする容器開閉装置。
【請求項２】
前記メインベースは、前記容器開閉装置の後部を覆うバックプレートの上部に一体に着脱可能に取り付けられ、その取付け位置を調整するための取付け調整機構を有することを特徴とする請求項１に記載の容器開閉装置。
【請求項３】
前記取付け調整機構は、前記メインベースの前記バックプレートに対する前後および左右方向における傾きを調整するための傾き調整機構を備えていることを特徴とする請求項２に記載の容器開閉装置。
【請求項４】
前記取付け調整機構は、前記メインベースの高さ位置を調整するための高さ調整機構をさらに備えていることを特徴とする請求項３に記載の容器開閉装置。
【請求項５】
少なくとも、次の構成要素、すなわち、
ＦＯＵＰやＦＯＳＢ等の容器を載置して進退動させるドック機構と、
前記容器の開口部を閉塞する容器ドアを着脱して保持する着脱・保持機構を有するポートドアと、
前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、
前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、
前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で、前記ポートドア進退機構を垂直に移動させるポートドア昇降機構と
を備えてなる本体部であって、
前記ドック機構が設けられるメインベースには、前記ポートプレートと前記ポートドア昇降機構とが一体に取り付けられて固定された本体部と、
前記ポートプレートの下方に連なり、前記本体部を後方から覆うバックプレートと、
前記ポートプレートより下方において、前記本体部を少なくとも前方および両側方から着脱自在に覆うカバーと
から構成されていることを特徴とする容器開閉装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本願の発明は、１枚もしくは複数枚の半導体ウェハを積層状に収納して主として工場内を搬送するために使用される密閉可能な容器であるＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ  ）や、半導体ウェハと同様に塵埃を嫌う物品を収納して工場間を移動するときに使用される密閉可能な容器であるＦＯＳＢ（  ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）等の容器を開閉するための容器開閉装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイス製造等、高度のクリーン環境を必要とする製品製造工程において、工場全体をクリーンルーム化するのではなく、製品の周囲環境のみをクリーンな状態にするというミニエンバイロンメント（微小環境）、あるいは局所クリーン空間という手法が用いられている。これは、簡単に言えば、工程内のそれぞれの処理装置内部のみをクリーン環境にし、各処理装置（クリーン装置）間での被処理物品（半導体ウエハ等）の運搬および保管を、内部をクリーンにしたＦＯＵＰと称される容器を用いて行なおうとするものである。
【０００３】
このような製品製造工程においては、ＦＯＵＰ内に収納される半導体ウエハ等の被搬送物を半導体ウエハ処理装置等のクリーン装置に投入する場合、ＦＯＵＰオープナ（ＦＯＵＰ開閉装置）と呼ばれるインターフェイス装置が用いられる。このＦＯＵＰオープナは、クリーン装置に着脱式に取り付けられる装置であり、通常、ＦＯＵＰを載置して進退動させるドック機構と、ＦＯＵＰの蓋を自動で開閉するための駆動機構とを有している。このＦＯＵＰオープナは、外界に対して密閉状態を保ったまま、ＦＯＵＰ内をクリーン装置のクリーン空間に開放して、ＦＯＵＰ内の被搬送物をクリーン装置に搬入することを可能にしている。このようなＦＯＵＰオープナは、ＦＯＵＰ内の被搬送物をクリーン装置に投入（ロード）するところから、ロードポートとも呼ばれている。
【０００４】
ＦＯＵＰオープナは、その故障時や、機種変更時に、新しいものと即座に交換することができるように、通常は、クリーン装置に対して着脱可能な別ユニットとして構成されている。その理由は、ＦＯＵＰオープナの故障時に、そのメンテナンスを行なっていると、製造工程の停止時間が長くなり、生産効率が低下するし、生産スケジュールにより機種の変更が発生して、新しい生産機種に一致したＦＯＵＰが使用されるときには、ＦＯＵＰオープナも、この新しいＦＯＵＰに一致したものに交換されなければならないからである。
【０００５】
従来、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付ける方法としては、ＦＯＵＰオープナをリフターや台車に載せて運搬して、クリーン装置に近づけ、位置決め用カム等を用いた位置決め機構により、クリーン装置に設けられた位置決めピンの位置を微妙に調整しながら、このピンにＦＯＵＰオープナの背面に設けられた係合用凹部を嵌合させ、その後、ＦＯＵＰオープナの背板（バックプレート）の適所数個所をボルト締めして、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に固定する、という手順が採られている。その際、ＦＯＵＰオープナとクリーン装置との位置合わせを行なうのに、なかなか基準位置が合わず、非常に多くの調整時間を掛けて、それらの位置合わせを行なっているのが実情である。
【０００６】
そもそも、ＦＯＵＰオープナとクリーン装置との位置合わせを行なうのには、２つの目的がある。１つは、クリーン装置の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）の如何に拘わらず、ＦＯＵＰオープナの背板の平面度が保持されるようにＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付けることにより、ＦＯＵＰがポートドアとドッキングしてＦＯＵＰドアがポートドアの着脱・保持機構により着脱・保持されるとき、ＦＯＵＰが背板と干渉することなく、ＦＯＵＰドアがポートドアに密着して、ポートドアによるＦＯＵＰドアの着脱と保持（真空吸着等）とが確実に行なわれるようにするためである。今１つは、ＦＯＵＰオープナのドックプレート上に載置されるＦＯＵＰとクリーン装置内に配備される半導体ウエハ取出し装置（ロボット）等との位置合わせを所定のとおりに実現するためである。
【０００７】
ここで、この位置合わせを行なう方法として、従来提案されてきた方法を以下に紹介する。
特開２００１−２８４４２９号公報に記載された方法は、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付けるとき、クリーン装置の前面下部に設けられた左右一対の位置決め部材に、ＦＯＵＰオープナの下部に設けられた左右一対の可動部材をそれぞれ上方から当接させて、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に位置決めした後、ＦＯＵＰオープナの位置を上下、左右、前後方向に調整ネジなどにより調整し、次いで、ＦＯＵＰオープナの四隅を固定ネジにより締め込んで、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に固定するようにしている。
【０００８】
また、特開２００１−２８３８６号公報に記載された方法は、クリーン装置の前面上部および下部に設けられた複数本の位置決めピンに、ＦＯＵＰオープナの対応部位に設けられた複数個のピン孔用長孔をそれぞれ嵌合させて、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に位置決めした後、ＦＯＵＰオープナの上下方向中間部に左右一対配された長い固定ボルト（ネジ付き）により、ＦＯＵＰオープナの上下方向中間部をクリーン装置に固定し、次いで、ＦＯＵＰオープナの四隅を固定ネジにより締め込んで、ＦＯＵＰオープナの全体をクリーン装置に固定するようにしている。なお、この方法においては、ＦＯＵＰオープナの下部に取り付けられたキャスタ装置が昇降可能に構成されており、これにより、ＦＯＵＰオープナの背板四隅の固定ネジ用通孔とクリーン装置側の雌ネジ孔との位置合わせを容易に行なえるようになっている。
【０００９】
さらに、特開２００２−１３４５８２号公報に記載された方法は、ＦＯＵＰオープナとクリーン装置との間に位置決めフレームを介在させて、これらＦＯＵＰオープナと位置決めフレームとの間の位置調整を、それらの上部および中間部において、カムおよび調整ボルトを用いて行ない、さらに、それらの下部の二隅をボルトにより固定して、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付けるようにしている。なお、この位置決めフレームは、クリーン装置の前面に装着されている。
【００１０】
このように、これらのいずれの公報に記載された方法も、ＦＯＵＰオープナをクリーン装置に取り付けるのに、それなりに工夫され、取付け作業の簡略化が図られているが、これらの方法は、いずれもＦＯＵＰオープナおよびクリーン装置の上部、下部、中間部のうちのいずれか複数の部位において、上下、左右、前後方向における位置もしくは傾きの調整と固定とが行なわれるようになっているので、ＦＯＵＰオープナの半体ないし全体におよぶ調整が必要であり、垂直面の出ていないクリーン装置に対して、これらの作業を行なうのには、時間が掛かっていた。また、機種変更に際しては、ＦＯＵＰオープナの全体を交換しなければならず、メンテナンスが困難であった。
【００１１】
同様の問題は、半導体ウェハと同様に塵埃を嫌う各種物品を収納して工場間を移動するときに使用される密閉可能な容器であるＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ  ＯｐｅｎｉｎｇＳｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）のドアを開閉するに際してインターフェイス装置として使用されるＦＯＳＢオープナにおいても存在していた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本願の発明は、従来のＦＯＵＰオープナやＦＯＳＢオープナ等の容器開閉装置が有する前記のような問題点を解決して、クリーン装置の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）に左右されることなく、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整および固定がさらに簡単、迅速、適正に行なわれて、常に容器開閉装置のドックプレート上に載置された容器の容器ドアとポートドアとが密着し得て、ポートドアによる容器ドアの着脱・保持が確実に行なわれ、機種変更への対応が容易で、メンテナンスも容易な、容器開閉装置を提供することを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段および効果】
本願の発明は、前記のような課題を解決した容器開閉装置に係り、その請求項１に記載された発明は、少なくとも、次の構成要素、すなわち、ＦＯＵＰやＦＯＳＢ等の容器を載置して進退動させるドック機構と、前記容器の開口部を閉塞する容器ドアを着脱して保持する着脱・保持機構を有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で、前記ポートドア進退機構を垂直に移動させるポートドア昇降機構とを備えてなる容器開閉装置において、前記ドック機構が設けられるメインベースには、前記ポートプレートと前記ポートドア昇降機構とが一体に取り付けられて固定されたことを特徴とする容器開閉装置である。
【００１４】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
ドック機構が設けられるメインベースには、ポートプレートとポートドア昇降機構とが一体に取り付けられて固定されているので、メインベースと、ポートプレートと、ポートドア昇降機構とは、一体構造体をなすことになる。このため、この一体構造体を容器開閉装置の内部に固定するに際しては、一体構造体の全域に及んで固定する必要がなく、一体構造体の一部において固定すればよいことになり（このようにしても、一体構造体の容器開閉装置内部における相対的位置関係は崩れない。）、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるとき、仮にクリーン装置の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）が損なわれていて、しかも、容器開閉装置の外殻体（バックプレート）の剛性も低くて、容器開閉装置の外殻体に反り変形が生じたとしても、この反り変形が一体構造体にまでは及ばないようにして、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けることが可能になる。
【００１５】
ところで、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整を行なう目的は、この一体構造体をクリーン装置に適正な位置関係で取り付けることにあるが、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるとき、一体構造体の形状は、前記のとおり、常に変形することはないので、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整を行なうのには、容器開閉装置をその外殻体（バックプレート）を介してクリーン装置に単に取り付けた後、一体構造体のクリーン装置に対する位置関係が適正なものとなるように、一体構造体の位置調整（クリーン装置の取付け面に対する高さ調整、前後、左右の傾き調整）を直接行なえばよいことになる。
【００１６】
この一体構造体の位置調整は、一体構造体の一部領域（一体構造体を容器開閉装置の内部に固定する位置となる一体構造体の一部領域）において集約的に行なわれればよいので、結局、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整が、きわめて簡単、迅速に行なわれるようになる。
【００１７】
また、前記のとおり、一体構造体に反り変形が生じず、当初の形状が維持されているので、メインベースに設けられるドック機構のドックプレート上に載置された容器が前進するとき、容器はポートプレートに干渉されることなく前進して、そのドアは、常にポートドアに密着する。このため、ポートドアによる容器ドアの着脱・保持は、クリーン装置の取付け面の平面度に左右されることなく、常に確実に行なわれて、着脱・保持エラーを生ずることがない。
【００１８】
また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の容器開閉装置において、そのメインベースは、容器開閉装置の後部を覆うバックプレートの上部に一体に着脱可能に取り付けられ、その取付け位置を調整するための取付け調整機構を有することを特徴としている。
【００１９】
このように構成することにより、一体構造体は、そのメインベース部分においてバックプレートの上部に一体に取り付けられることになり、このメインベースは、容器開閉装置の略中間高さに位置しているので、一体構造体をクリーン装置の取付け面に適正な位置関係で取り付けるための位置調整を、容器開閉装置の略中間高さ位置において集約的に行なうことができ、その作業負担と作業時間とを大きく軽減することができる。これにより、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整が、さらに簡単、迅速に行なわれるようになる。
【００２０】
しかも、この一体構造体のバックプレート上部への取付けは、着脱可能に行なわれるので、容器開閉装置の故障時や機種変更時に、この部分のみの交換が可能になり、メンテナンスが容易になる。
【００２１】
また、この一体構造体をクリーン装置の取付け面に取り付けるための位置調整は、メインベースが有する取付け調整機構を操作することにより行なうことができるので、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるための位置調整をさらに簡単、迅速に行なうことができる。
【００２２】
さらに、バックプレートは、メインベースの取付け部を、その一部分である上部に集約して形成しているので、容器開閉装置をクリーン装置に取り付けるために、バックプレートをネジ止め等によりクリーン装置の取付け面に取り付けて固定するときにも、メインベースの取付け部を弄る必要がなく、メインベースのための特別の調整を行なう必要がない。また、取付け後も、特別の調整を行なう必要がない。
【００２３】
また、その請求項３に記載された発明は、請求項２に記載の容器開閉装置において、その取付け調整機構は、メインベースのバックプレートに対する前後および左右方向における傾きを調整するための傾き調整機構を備えていることを特徴としている。
【００２４】
このように構成することにより、メインベースと一体のポートプレートのクリーン装置の取付け面に対する前後の傾きをなくして、ポートプレートの取付け面をクリーン装置の取付け面と平行にすることができ、しかも、ポートプレートの左右の傾きをなくしてポートプレートを水平にすることができるので、ポートプレートをクリーン装置の取付け面に密接させ、容器ドアとポートドアとを確実に密着させて、ポートドアによる容器ドアの着脱・保持をさらに確実にすることができるとともに、クリーン装置内部のクリーン雰囲気の漏れを防止することができる。
【００２５】
また、メインベースに設けられるドック機構のドックプレートの水平度を確保することができるので、容器を安定にドックプレート上に載置することができる。
【００２６】
さらに、その請求項４に記載された発明は、請求項３に記載の容器開閉装置において、その取付け調整機構は、メインベースの高さ位置を調整するための高さ調整機構をさらに備えていることを特徴としている。
【００２７】
このように構成することにより、メインベースと一体のポートプレートの高さ位置をクリーン装置の取付け面の高さ位置に合わせることができ、ポートプレートの開口部をクリーン装置の開口部の対応部位に確実に合わせることができるので、ポートプレートをクリーン装置の取付け面にさらによく密接させ、容器ドアとポートドアとをさらに確実に密着させて、ポートドアによる容器ドアの着脱・保持をさらに確実にすることができるとともに、クリーン装置内部のクリーン雰囲気の漏れをさらによく防止することができる。
【００２８】
また、メインベース、ポートプレート、ポートドア昇降機構からなる一体構造体を、当初、バックプレートに取り付けるに際して、一体構造体の高さ方向の位置決めをすることができる。
【００２９】
また、その請求項５に記載された発明は、少なくとも、次の構成要素、すなわち、ＦＯＵＰやＦＯＳＢ等の容器を載置して進退動させるドック機構と、前記容器の開口部を閉塞する容器ドアを着脱して保持する着脱・保持機構を有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で、前記ポートドア進退機構を垂直に移動させるポートドア昇降機構とを備えてなる本体部であって、前記ドック機構が設けられるメインベースには、前記ポートプレートと前記ポートドア昇降機構とが一体に取り付けられて固定された本体部と、前記ポートプレートの下方に連なり、前記本体部を後方から覆うバックプレートと、前記ポートプレートより下方において、前記本体部を少なくとも前方および両側方から着脱自在に覆うカバーとから構成されていることを特徴とする容器開閉装置である。
【００３０】
請求項５に記載された発明は、前記のように構成されているので、容器開閉装置は、本体部と、バックプレートと、カバーとに大別して分解することができ、カバーのみの取り外しができるので、本体部の各種機構等のメンテナンスを容易に実施することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
次に、図１ないし図４に図示される本願の請求項１ないし請求項３に記載された発明の一実施形態について説明する。
図１は、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナの分解斜視図、図２は、同ＦＯＵＰオープナの本体部およびバックプレートをクリーン装置に取り付けるところを示した概略図、図３は、図２の部分拡大図、図４は、同本体部をクリーン装置に取り付けるための位置調整をしているところを示した概略図である。
【００３２】
図１および図２に図示されるように、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１は、あらまし、複数枚の半導体ウェハを積層状に収納した図示されないＦＯＵＰを載置するドックプレート（載置台）２と、該ドックプレート２をクリーン装置５０に向けて進退動させる駆動機構とを有するドック機構と、ＦＯＵＰの開口部を閉塞するＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱・保持機構を有するポートドア３と、該ポートドア３により閉塞される開口部５を有するポートプレート４と、ポートドア３を水平に移動させるポートドア進退機構６と、ポートドア３がＦＯＵＰドアを保持した状態で、ポートドア進退機構６を垂直に移動させるポートドア昇降機構７と、ポートプレート４の下方に連なり、ＦＯＵＰオープナ１の後部を覆うバックプレート８と、ポートプレート４より下方において、ＦＯＵＰオープナ１の前部、両側部および上部の一部を覆うカバー９とから構成されている。ＦＯＵＰは、半導体ウェハを１枚のみ収納する場合もあり得る。
【００３３】
ドック機構は、載置台２を進退動させるための駆動部のほとんどがメインベース１０と呼ばれる取付け基体の内部に収容されており、その図示されない動力伝達部材が、該メインベース１０から抜け出て上方のドックプレート２にまで伸びていて、該ドックプレート２を、メインベース１０上に敷設されたレール１１に沿い、クリーン装置５０に向けて進退動させる。
【００３４】
メインベース１０は、正面視矩形状の基台部１２と、該基台部１２から直角に前方にタワー状に突出する水平部１３とから成っている。基台部１２は、垂直に配置されて、バックプレート８への取付け部をなし、水平部１３は、その内部がドック機構の駆動部のほとんどと、ポートドア昇降機構７の駆動部とを収容する空間をなしている。
【００３５】
メインベース１０の水平部１３内に収容されたポートドア昇降機構７の駆動部からは、ネジ棒１４が下方に伸長しており、該ネジ棒１４を支持する縦長の支持板１５が、その上端をメインベース１０の下部に固着されて、そこからネジ棒１４に沿って同じく下方に伸長している。したがって、ポートドア昇降機構７は、メインベース１０に一体に取り付けられて固定されている。
【００３６】
ネジ棒１４は、ポートドア進退機構６の昇降基台１６の中央部に形成されたネジ孔に螺合しており、ネジ棒１４が正逆回転することにより、昇降基台１６、牽いては、ポートドア進退機構６を昇降動させる。水平な昇降基台１６の両端には、アーム１７がそれぞれ水平スライド可能に嵌合されており、これら２本のアーム１７は、バックプレート８に形成された２本の縦長の案内溝１８内をそれぞれ通過して、ポートドア３の下方延設部３ａ  にまで延びており、そこに固着されていて、２本のアーム１７が昇降基台１６に対してスライドするとき、これらと一体にポートドア３を水平移動（進退動）させるとともに、昇降基台１６がネジ棒１４に沿って昇降動するとき、これらと一体にポートドア３を昇降動させる。
【００３７】
２本のアーム１７を昇降基台１６に対して水平スライドさせるための駆動源および駆動機構は、２本のアーム１７のうちのいずれか一方のアーム１７に設けられているが、詳細を省略する。
【００３８】
メインベース１０の基台部１２の上端には、矩形状の開口部５を有するポートプレート４の下端が一体に取り付けられて固定されている。ポートプレート４の輪郭形状も、略矩形状をなしている。このポートプレート４の表面には、ポートプレートカバー１９が貼設されている。開口部５は、ＦＯＵＰ内部とクリーン装置５０の内部との間で半導体ウェハが搬入・搬出されるときに、半導体ウェハが出入りするための通過口をなす。
【００３９】
前記のとおり、メインベース１０の基台部１２の上端には、ポートプレート４の下端が一体に取り付けられて固定されており、メインベース１０の下部には、ポートドア昇降機構７が一体に取り付けられて固定されているので、結局、メインベース１０と、ポートプレート４と、ポートドア昇降機構７とは、一体構造体３０をなしていて、この一体構造体３０は、ある程度の剛性を有している。ポートプレート４の背面と、基台部１２の背面と、支持板１５の背面とは、平行にされている。
【００４０】
一体構造体３０と、メインベース１０に設けられるドック機構と、ポートドア昇降機構７に昇降自在に吊持されるポートドア進退機構６と、ポートドア進退機構６と一体のポートドア３とを加えて、これらの全体からなる組立体をＦＯＵＰオープナ１の本体部４０とすると、ＦＯＵＰオープナ１は、あらまし、本体部４０と、バックプレート８と、カバー９とから構成されているということができる。
【００４１】
本体部４０の骨格部分をなす一体構造体３０は、その高さ方向略中央部に位置するメインベース１０の部分において、バックプレート８の上部に一体に、着脱可能に取り付けられる。そのために、メインベース１０の基台部１２の四隅が、固定ボルト２０によりバックプレート８の上部の左右方向略中央部に固着されるようになっている。
【００４２】
さらに、この基台部１２には、メインベース１０がバックプレート８の上部に取り付けられるに際して、その取付け位置を調整するための取付け調整機構が備えられている。
以下、この取付け調整機構について、詳細に説明する。
【００４３】
先ず、基台部１２の四隅に配される固定ボルト２０は、そこに形成された縦方向に長い長円孔２１を通してバックプレート８の対応部位に形成されたネジ孔に螺合されるので、基台部１２、牽いては、一体構造体３０のバックプレート８に対する高さ方向位置を、この長円孔２１の長さの範囲において調整することができる。
【００４４】
次に、各長円孔２１の上部および下部近隣には、図３により良く図示されるように、長円孔２１を挟んで対称の位置に押しボルト２２がそれぞれ配されている。これらの押しボルト２２は、基台部１２の対応部位にそれぞれ形成されたネジ孔に螺合されており、その先端がバックプレート８の表面に当接して、当該押しボルト２２が配される部位における基台部１２とバックプレート８との離間距離を定める。
【００４５】
したがって、基台部１２の四隅に配される合計８個の押しボルト２２の螺進量（押し量）をそれぞれ適切に調節することにより、基台部１２のバックプレート８に対する傾き（前後方向傾き）をなくして、両者の対向面を平行にすることができる。押しボルト２２の数は、８個に限定されず、その半分でもよく、最小限三隅に３個配されればよいが、８個配されることにより、固定ボルト２０による基台部１２のバックプレート８への固着をより堅固にすることができる。
【００４６】
さらに、基台部１２の図２において左右方向両側の下部には、その下面から下方に向けて突出するようにして、アジャストボルト２３がねじ込まれている。そして、各アジャストボルト２３の下端に対向するようにして、当て板２４がバックプレート８の対応部位に固着されている。
【００４７】
したがって、各アジャストボルト２３の先端が当て板２４に当接した状態で、各アジャストボルト２３の基台部１２に対する螺進量を調節することにより、基台部１２、牽いては、一体構造体３０の高さ位置を適切な高さにし、また、バックプレート８に対する左右方向の傾きをなくして、水平にすることができる。さらに、当初、ＦＯＵＰオープナ１の本体部４０をバックプレート８に仮止めするときに、本体部４０の高さ方向位置の位置決めをすることができる。このようにして調整した後、図示されないロックナットを締めて、アジャストボルト２３を固定する。
【００４８】
以上のようにして、基台部１２の四隅に配された押しボルト２２による基台部１２のバックプレート８に対する前後方向の傾き調整、基台部１２の左右両側下部に配されたアジャストボルト２３による基台部１２の高さ調整、同じくアジャストボルト２３による基台部１２のバックプレート８に対する左右方向の傾き調整がなされたならば、最後に、基台部１２の四隅に配された固定ボルト２０を緊締して、基台部１２、牽いては、一体構造体３０、本体部４０をバックプレート８に堅固に固着する。そして、図示されないロックナットを締めて、固定ボルト２０を固定する。
【００４９】
以上に述べたようなメインベース１０の基台部１２、牽いては、一体構造体３０、本体部４０のバックプレート８に対する取付け位置調整（高さ調整、前後、左右の傾き調整）は、実際には、図３に図示されるように、バックプレート８がクリーン装置５０に取り付けられた後に行なわれる。したがって、基台部１２のバックプレート８に対する取付け位置調整は、実際には、基台部１２のクリーン装置５０の取付け面に対する取付け位置調整として行なわれるものである。
【００５０】
ここで、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるための位置調整および固定の手順を、一部重複しながら、詳細に説明する。
先ず、ＦＯＵＰオープナ１の本体部４０をバックプレート８に仮止めする（図２参照）。この仮止めは、メインベース１０の基台部１２の左右両側下部に配されたアジャストボルト２３を適切に調節して、本体部４０のバックプレート８に対する高さ方向位置を決め、次いで、基台部１２の四隅に配された固定ボルト２０を緩く締めて、本体部４０（一体構造体３０）をバックプレート８に仮固定することにより行なわれる。
【００５１】
このようにして、本体部４０がバックプレート８に仮止めされた状態で、これらの仮組立体をクリーン装置５０の取付け面の前まで運び、バックプレート８の四隅もしくは四隅近傍に設けられた４個の円孔２５をクリーン装置５０の取付け面の対応する個所に設けられたネジ孔２６に合わせて、図示されないボルトネジをこれらの孔に挿通、螺進させることにより、バックプレート８をクリーン装置５０の取付け面に固着する（図３参照）。
【００５２】
以上のようにして、クリーン装置５０の取付け面に固着されたバックプレート８には、クリーン装置５０の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）が損なわれている場合、その非平面状態に応じた反り変形が生ずるが、一体構造体３０は、そのメインベース１０の基台部１２の部分においてバックプレート８に固着されているだけであるので、バックプレート８の反り変形の影響を受けることなく、その当初形状を維持している。
【００５３】
そこで、次に、一体構造体３０の最上位に位置するポートプレート４がクリーン装置５０の取付け面の対応する部位に合致するように、一体構造体３０をクリーン装置５０の取付け面に取り付けるための位置調整を行なう。
この位置調整のためには、先ず、基台部１２の四隅に配された固定ボルト２０を緩めて、本体部４０のバックプレート８に対する仮止め状態を解く。
【００５４】
次いで、先に述べた、メインベース１０の基台部１２の四隅に配された押しボルト２２、基台部１２の左右両側下部に配されたアジャストボルト２３を調節して、基台部１２の前後方向の傾きをなくし、また、基台部１２の左右方向の傾きをなくし、基台部１２の高さを適切な高さにしてから、基台部１２の四隅に配された固定ボルト２０を緊締して、基台部１２、牽いては、一体構造体３０、本体部４０をバックプレート８に堅固に固定する。アジャストボルト２３、固定ボルト２０は、それぞれロックナットを締めて、堅固に固定しておく。
【００５５】
このような基台部１２の前後、左右の傾き調整、高さ調整を経た後、ポートプレート４の上下、左右位置は、クリーン装置５０の取付け面に合致し、ポートプレート４の開口部５は、クリーン装置５０の取付け面に囲まれた開口部の対応部分に合致し、ポートプレート４の背面は、クリーン装置５０の取付け面に密着していて、しかも、一体構造体３０に無理な力は掛かっておらず、その当初形状が維持されている。
【００５６】
ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるための位置調整および固定の最後の手順として、カバー９が、ポートプレート４より下方の位置において、本体部４０を前方および両側方から覆い、かつ、ドックプレート２を外部に露出させるようにしながら、本体部４０に被せられる。このカバー９は、本体部４０に対して着脱自在である。
【００５７】
本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
ドック機構が設けられるメインベース１０には、ポートプレート４とポートドア昇降機構７とが一体に取り付けられて固定されているので、これらは、一体構造体３０をなすことになり、このため、この一体構造体３０をＦＯＵＰオープナ１の内部に固定するに際しては、一体構造体３０の全域に及んで固定する必要はなく、一体構造体３０の一部において固定すればよいことになり（このようにしても、一体構造体３０のＦＯＵＰオープナ１内部における相対的位置関係は崩れない。）、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるとき、仮にクリーン装置５０の取付け面の平面度（垂直面の平ら度）が損なわれていて、しかも、ＦＯＵＰオープナ１のバックプレート８の剛性も低くて、バックプレート８に反り変形が生じたとしても、この反り変形が一体構造体３０にまでは及ばないようにして、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けることが可能になる。
【００５８】
このように、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるとき、一体構造体３０の形状は、常に変形することはないので、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるための位置調整を行なうのには、ＦＯＵＰオープナ１をそのバックプレート８を介してクリーン装置５０に単に取り付けた後、一体構造体３０のクリーン装置５０に対する位置関係が適正なものとなるように、一体構造体３０の位置調整（クリーン装置５０の取付け面に対する高さ調整、前後、左右の傾き調整）を直接行なえばよいことになる。
【００５９】
この一体構造体３０の位置調整は、一体構造体３０の一部領域（一体構造体３０をＦＯＵＰオープナ１の内部に固定する位置となる一体構造体３０の一部領域）において行なわれればよいので、結局、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるための位置調整が、きわめて簡単、迅速に行なわれるようになる。
【００６０】
特に、メインベース１０がバックプレート８の上部に一体に取り付けられており、一体構造体３０は、このメインベース１０部分においてＦＯＵＰオープナ１の内部のバックプレート８の上部に一体に取り付けられて固定されることになり、メインベース１０は、ＦＯＵＰオープナ１の略中間高さに位置しているので、一体構造体３０をクリーン装置５０の取付け面に適正な位置関係で取り付けるための位置調整を、ＦＯＵＰオープナ１の略中間高さ位置において集約的に行なうことができ、その作業負担と作業時間とを大きく軽減することができる。これにより、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるための位置調整が、さらに簡単、迅速に行なわれるようになる。
【００６１】
また、この一体構造体３０のバックプレート８上部への取付けは、着脱可能に行なわれるので、ＦＯＵＰオープナ１の故障時や機種変更時に、この部分のみの交換が可能になり、メンテナンスが容易になる。
【００６２】
また、前記のとおり、一体構造体３０には反り変形が生じず、当初の形状が維持されるので、メインベース１０に設けられるドック機構のドックプレート上に載置されたＦＯＵＰが前進するとき、ＦＯＵＰはポートプレート４に干渉されることなく前進して、そのドア（ＦＯＵＰドア）は、常にポートドア３に密着するようになる。このため、ポートドア３によるＦＯＵＰドアの着脱・保持は、クリーン装置５０の取付け面の平面度に左右されることなく、常に確実に行なわれて、着脱・保持エラーを生ずることがない。
【００６３】
さらに、この一体構造体３０をクリーン装置５０の取付け面に取り付けるための位置調整は、メインベース１０が有する取付け調整機構を操作することにより行なうことができるので、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるための位置調整をさらに簡単、迅速、適正に行なうことができる。
【００６４】
しかも、この取付け調整機構は、メインベース１０のバックプレート８に対する前後および左右方向における傾きを調整するための傾き調整機構（押しボルト２２、アジャストボルト２３、固定ボルト２０）、メインベース１０の高さ位置を調整するための高さ調整機構（アジャストボルト２３、当て板２４）を備えているので、メインベース１０と一体のポートプレート４のクリーン装置５０の取付け面に対する前後の傾きをなくして、ポートプレート４の取付け面をクリーン装置５０の取付け面と平行にすることができ、また、ポートプレート４の左右の傾きをなくして、ポートプレート４を水平にすることができ、さらに、ポートプレート４の高さ位置をクリーン装置５０の取付け面の高さ位置に合わせ、ポートプレート４の開口部５をクリーン装置５０の開口部の対応部位に合わせることができるので、ポートプレート４をクリーン装置５０の取付け面に密接させ、ＦＯＵＰドアとポートドア３とを確実に密着させて、ポートドア３によるＦＯＵＰドアの着脱・保持をさらに確実にすることができる。
【００６５】
また、傾き調整機構により、メインベース１０の左右の傾きをなくして、メインベース１０を水平にすることができるので、メインベース１０に設けられるドック機構のドックプレートの水平度を維持することができ、ＦＯＵＰを安定にドックプレート上に載置することができる。
【００６６】
また、高さ調整機構により、メインベース１０の高さ位置を調整することにより、一体構造体３０を、当初、バックプレート８に取り付けるに際して、一体構造体３０の高さ方向の位置決めをすることができる。
【００６７】
さらに、バックプレート８は、メインベース１０の取付け部を、その一部分である上部に集約して形成しているので、ＦＯＵＰオープナ１をクリーン装置５０に取り付けるために、バックプレート８をネジ止め等によりクリーン装置５０の取付け面に取り付けて固定するときにも、メインベース１０の取付け部を弄る必要がなく、メインベース１０のための特別の調整を行なう必要がない。また、取付け後も、特別の調整を行なう必要がない。
【００６８】
さらに、また、ＦＯＵＰオープナ１は、本体部４０と、バックプレート８と、カバー９とから構成されているので、ＦＯＵＰオープナ１は、本体部４０と、バックプレート８と、カバー９とに大別して分解することができ、カバー９のみの取り外しができるので、本体部４０の各種機構（ドック機構、ポートドア昇降機構７、ポートドア進退機構６）等のメンテナンスを容易に実施することができる。
【００６９】
以上のように、本実施形態におけるＦＯＵＰオープナ１は、種々の効果を奏することができる。
【００７０】
なお、以上の実施形態の説明においては、容器開閉装置がＦＯＵＰオープナ１である場合が採り上げられたが、容器開閉装置がＦＯＳＢオープナである場合も同様であり、後者の場合の詳細な説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願の請求項１ないし請求項５に記載された発明の一実施形態におけるＦＯＵＰオープナの分解斜視図である。
【図２】同ＦＯＵＰオープナの本体部およびバックプレートをクリーン装置に取り付けるところを示した概略図である。
【図３】図３の部分拡大図である。
【図４】同本体部をクリーン装置に取り付けるための位置調整をしているところを示した概略図である。
【符号の説明】
１…ＦＯＵＰオープナ、２…ドックプレート（載置台）、３…ポートドア、３ａ  …下方延設部、４…ポートプレート、５…開口部、６…ポートドア進退機構、７…ポートドア昇降機構、８…バックプレート、９…カバー、１０…メインベース、１１…レール、１２…基台部、１３…水平部、１４…ネジ棒、１５…支持板、１６…昇降基台、１７…アーム、１８…案内溝、１９…ポートプレートカバー、２０…固定ボルト、２１…長円孔、２２…押しボルト、２３…アジャストボルト、２４…当て板、２５…円孔、２６…ネジ孔、３０…一体構造体、４０…本体部、５０…クリーン装置。
【図１】
2004165458.tif 000003
【図２】
2004165458.tif 000004
【図３】
2004165458.tif 000005
【図４】
2004165458.tif 000006