(57)【要約】【課題】金属塩によりフッ素および／またはリンを効率よく除去する。【解決手段】原水をカルシウム反応槽１８に導入し、カルシウムと反応させる。カルシウムと反応させた後、金属反応槽１０に導入し、不溶化剤を添加混合する。これによって、金属化合物とフッ素またはリンを反応させ不溶化する。次に、凝集槽１２で、不溶化物を粗大化し、沈殿槽１４に不溶化物を沈殿分離する。沈殿槽１４で沈殿した不溶化物をアルカリ処理して、酸処理した後カルシウム反応槽１８へ戻す。このようにすることで高効率にフッ素またはリンを長期間にわたって除去できる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素またはリン含有水からフッ素またはリンを除去するフッ素またはリン含有水処理装置において、
フッ素またはリン含有水に水溶性金属化合物を添加する金属塩添加手段と、
この金属塩添加手段により生成されたフッ素またはリンの不溶化物を固形物として分離除去する固液分離手段と、
前記固液分離手段により分離された固形物の一部について、アルカリを添加してアルカリ処理するアルカリ処理手段と、
このアルカリ処理後の固形物に、酸を添加して酸処理する酸処理手段と、
この酸処理した後の固形物を、前記固液分離手段よりも上流へ返送する返送手段と、
を有するフッ素またはリン含有水処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、
前記水溶性金属化合物は、Ａｌ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、希土類金属のうち少なくとも１つであるフッ素またはリン含有水処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の装置において、
前記固形物に酸またはアルカリを添加する際、または添加した後に、カルシウム化合物を添加し、溶出したフッ素またはリンを不溶化するフッ素またはリン含有水処理装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１つに記載の装置において、
前記返送手段は、固形物の一部を前記金属塩添加手段に返送するフッ素またはリン含有水処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フッ素またはリンの除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や、液晶などを製造するエレクトロニクス産業においては、その製造工程で、フッ素を使用するため、エレクトロニクス産業排水にはフッ素が含有される場合が多い。このフッ素含有水からフッ素を除去する方法としては、原水にカルシウム剤を添加して、フッ化カルシウムの微細粒子を析出させ、これらの微細粒子をＡｌ、Ｆｅ系の無機凝集剤もしくは有機高分子凝集剤で凝集させて、沈殿分離する方法が採用されている。この方法によると処理水フッ素は、１０〜２０ｍｇ／ｌに低減できる。ところが、日本においては、２００１月７月にフッ素についての排出基準値が１５ｍｇ／ｌから８ｍｇ／ｌに強化され、フッ素をさらに高度に処理する必要が出てきた。
【０００３】
フッ素を高度に処理する方法としては、上記凝集沈殿処理における凝集剤の添加量を増加させたり、上記凝集沈殿処理の後段でさらにもう一度凝集沈殿処理を行う方法が採用される。このような処理における凝集剤使用量は２０００〜５０００ｍｇ／ｌであり、ＡｌやＦｅの水酸化物にフッ素を吸着させてフッ素除去率を向上させている。この方法によって、処理水フッ素濃度が２〜８ｍｇ／ｌに低減できる。
【０００４】
他の方法として、ＺｒやＣｅの含水酸化物を樹脂に担持させたり、高分子物質で造粒したフッ素吸着剤を使用して、フッ素除去率を向上させることが提案されている（特許文献１（特公平６−７９６６５）、特許文献２（特公昭６１−４７１３４））。これらの方法により、処理水フッ素濃度０〜１ｍｇ／ｌに低減できるとされている。
【０００５】
ここで、上記の吸着剤は、希土類元素やＴｉ、Ｚｒの塩類にアルカリを添加するか加熱して加水分解して生成した含水酸化物ＭＯｎ・ＸＨ２Ｏ（≒Ｍ（ＯＨ）ｍ）で表されるような物質がＰＯ４３−、Ｆ−、ＳＯ４２−等の陰イオンと酸性側で陰イオン交換し、アルカリ側で陽イオン交換する性質を利用している（特許文献３（特公平２−１７２２０）、特許文献４（特開昭６０−１７２３５３））。なお、Ｍは金属、Ｘ，ｍ，ｎは任意の数である。
【０００６】
また、処理水質の向上、安定化、凝集剤使用量の削減や汚泥減容を目的とした方法として、汚泥循環法がある（特許文献５（特許２９１２２２６号公報）、特許文献６（特開平９−２７６８７５号公報）、特許文献７（特開２０００−８４５７０号公報））。これは、Ａｌ系やＦｅ系の無機凝集剤を含む汚泥を固液分離後、循環ラインを通じて返送し、汚泥をそのまま、もしくは酸またはアルカリ処理（汚泥再生処理）を施した後、前段へ返送するものである。この汚泥の返送により、汚泥が種結晶となり晶析反応が容易に進行し、固液分離性が向上することが報告されている。また、さらに返送前に汚泥を酸またはアルカリ処理し、フッ素またはリンを遊離させた無機凝集剤を再利用することで無機凝集剤の全体としての添加量を削減できることも報告されている。
【０００７】
また、エレクトロニクス産業排水には、リンも含有される場合が多く、またリンは家庭からの排水中にも含まれている。閉鎖性水域における富栄養化防止の観点などからリン除去を行う必要があり、多くの地域でリンは上乗せ規制の対象になっている。このリンの除去には、フッ素の場合と同様に、カルシウム剤を添加してリン酸カルシウムとして凝集沈殿する処理の他、ＡｌやＦｅ系の無機凝集剤を用い、リン酸アルミニウムや、リン酸鉄として凝集沈殿処理されている。さらに、上述の吸着剤は、フッ素イオン（Ｆ−）だけでなくリン酸イオン（ＰＯ４３−）も処理できる。そこで、これら吸着剤をリン除去に使用することも可能である。
【０００８】
【特許文献１】
特公平６−７９６６５号公報
【特許文献２】
特公昭６１−４７１３４号公報
【特許文献３】
特公平２−１７２２０号公報
【特許文献４】
特開昭６０−１７２３５３号公報
【特許文献５】
特許２９１２２２６号公報
【特許文献６】
特開平９−２７６８７５号公報
【特許文献７】
特開２０００−８４５７０号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記凝集沈殿法では、フッ素を低減させるためにＡｌ、Ｆｅ系の凝集剤を数千ｍｇ／ｌ添加する。このような凝集汚泥は、そのフロック内部に水分子を取り込んでいるため、汚泥の脱水性が悪く、また凝集剤添加量が多いため汚泥発生量が非常に多くなる。従って、汚泥処分費が嵩むという問題がある。また、このような大量の廃棄物を生成する処理は、廃棄物量を削減するという社会的要請に逆行する技術である。
【００１０】
一方、フッ素吸着剤は、汚泥の増加はないものの、吸着速度が遅く吸着剤使用量が大きくなる。このため、処理コストが非常に高いという問題がある。また、エレクトロニクス産業排水に含まれる過酸化水素のような酸化剤や原水中のフッ酸により吸着剤が劣化し、母材が崩壊し流れ出してしまうという問題もある。
【００１１】
また、汚泥循環法では、汚泥を酸又はアルカリのいずれかで処理している。しかし、酸処理では汚泥が完全に溶解しきれないことが多い。そうすると汚泥の少なくとも一部がフッ素又はリンと結合した状態で残ってしまい、完全溶解せず、金属化合物の再利用効率が悪くなりやすい。一方、アルカリ処理では汚泥循環を繰り返すうちに脱水縮合反応によって汚泥が過剰に高密度化してしまう。このように過剰に高密度化した汚泥は、フッ素および／またはリンとの物理的な接触効率が低下するため、反応しづらくなる。その結果、金属化合物の再利用効率が悪くなる場合がある。
【００１２】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、フッ素および／またはリン含有水から、フッ素および／またはリンを効率よく除去できるフッ素またはリン除去剤または除去方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、フッ素またはリン含有水からフッ素またはリンを除去するフッ素またはリン含有水処理装置において、フッ素またはリン含有水に水溶性金属化合物を添加する金属塩添加手段と、この金属塩添加手段により生成されたフッ素またはリンの不溶化物を固形物として分離除去する固液分離手段と、前記固液分離手段により分離された固形物の一部について、アルカリを添加してアルカリ処理するアルカリ処理手段と、このアルカリ処理後の固形物に、酸を添加して酸処理する酸処理手段と、この酸処理した後の固形物を、前記固液分離手段よりも上流へ返送する返送手段と、を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の汚泥循環法では、まず、固液分離された固形物をアルカリ処理することで、固形物中の金属化合物からフッ素またはリンを遊離させる。このようにすると金属化合物は水酸化物に転換される。水酸化物に転換された金属化合物は酸に溶けやすくなる。酸に溶けやすくなった金属化合物を酸処理することで、固形物を酸処理時においても確実に溶解させることができ、金属化合物の再利用効率を向上させることができる。また、返送前に酸処理することで、アルカリ処理による脱水縮合反応で固形物が高密度化することも防止できる。
【００１５】
前記水溶性金属化合物は、Ａｌ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、希土類金属のうち少なくとも１つの金属化合物であると好適である。
【００１６】
また、前記固形物に酸またはアルカリを添加する際、または添加した後に、カルシウムを添加し、溶出したフッ素および／またはリンを不溶化することが好適である。これによって、酸またはアルカリにより金属化合物から遊離したフッ素またはリンをカルシウム化合物で不溶化することができる。カルシウム化合物で不溶化すると固液分離性を向上できる。
【００１７】
また、前記固形物の返送先が、金属塩添加手段であることが好適である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。なお、下記実施形態では、フッ素含有排水を原水として、添加する水溶性金属化合物はＺｒの金属化合物として塩化ジルコニルを用いて説明する。添加する水溶性金属化合物は他にＡｌ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、希土類金属（Ｃｅ、Ｌａなど）の金属塩化合物であってもよい。また、金属化合物の形態としては、硝酸塩、硫酸塩、塩化物、塩化酸化物、硫酸酸化物等が考えられるがこれらに限定されない。好ましくは塩化ジルコニル、硫酸ジルコニル、硝酸ジルコニル、硫酸チタニル、四塩化チタン、塩化ランタン、硫酸ランタン、塩化セリウム、硫酸セリウム等が用いられる。
【００１９】
「第１実施形態」
図１は、本発明の第１実施形態に係る処理装置を示す図である。フッ酸などのフッ素を含有する原水は、まずカルシウム反応槽１８に導入され、ここでカルシウム剤と混合される。なお、このカルシウム反応槽１８のｐＨは４〜１１程度に維持する必要があり、この範囲内でなかった場合には、酸またはアルカリによってｐＨをこの範囲内に調整する。このカルシウム反応槽１８には、撹拌機などが設けられ、これによって急速撹拌（回転速度は例えば、１５０ｒｐｍ）されることにより塩化ジルコニルと原水が撹拌混合される。なお、撹拌は、曝気などによって行ってもよい。
【００２０】
そして、このカルシウム反応槽１８において、原水中のフッ素がカルシウムイオンと反応し、不溶性のフッ化カルシウムが生成される。そして、このフッ化カルシウムを含むカルシウム反応槽１８の処理水が金属反応槽１０に導入され、処理水中に未だに残留するフッ素が添加された塩化ジルコニルによって不溶化される。この金属反応槽１０には、塩化ジルコニルの水溶液が供給されるとともに塩酸や水酸化ナトリウムなどのｐＨ調整剤（原水のｐＨを下げる場合には酸、上げる場合にはアルカリ）が供給される。なお、金属反応槽１０内も、急速撹拌されている。金属反応層１０によって下式に示すような反応が生起され、
【化１】
ＺｒＯＣｌ２＋２Ｆ−→ＺｒＯＦ２＋２Ｃｌ−
フッ素が不溶化される。また、水酸化ナトリウム等によって、金属反応槽１０内のｐＨを４〜７、より好ましくはｐＨ５〜６の範囲に調整する。これによって、上述の反応が速やかに進行する。
【００２１】
金属反応槽１０において添加する塩化ジルコニルの添加量は、原水フッ素（Ｆ）に対してＺｒとして反応当量以上添加することが好適である。すなわち、モル比として、Ｚｒ／Ｆ＝１／２以上添加するとよい。また、原水のフッ素濃度としては、経済的観点から２０ｍｇ／ｌ以下の原水に適用するのがよく、Ｚｒ濃度としては２００ｍｇ／ｌ以下が良い。反応のｐＨとしては４〜７でよいが、５．０〜６．０がより好ましい。
【００２２】
金属反応槽１０の処理水は、凝集槽１２に供給される。この凝集槽１２には、高分子凝集剤が供給され、内部は撹拌機などによって緩速撹拌（例えば、４０ｒｐｍ）されている。金属反応槽１０で生成したフッ素の不溶化物が凝集粗大化される。高分子凝集剤は、カチオン系、アニオン系、ノニオン系のいずれでもよく、凝集効果のよいものを適宜採用する。さらに、高分子凝集剤に代えて、アルミ系や鉄系の無機凝集剤を採用することもでき、また両者を併用してもよい。
【００２３】
また、被処理水の性状に応じて無機凝集剤を併用することも好適である。無機凝集剤の種類は特に限定するものではないが、例えばアルミニウム系（ＰＡＣ、硫酸バンド）、鉄系（塩化鉄、ポリ硫酸鉄）が挙げられる。添加方法は、金属反応槽１０に直接添加してもよいし、別途、無機凝集剤反応槽を設けてもよい。無機凝集剤反応槽を新たに設ける場合は、金属反応槽１０の前後（高分子凝集槽１２との間）のいずれでもよい。
【００２４】
凝集槽１２からの凝集処理水は、沈殿槽１４に導入され、ここで固形物が沈殿分離される。すなわち、上述したＺｒＯＦ２の凝集物が沈殿分離され、上澄み液としてフッ素濃度の低い処理水が得られる。なお、固液分離手段としては、沈殿槽１４に限定されることなく、膜分離装置など各種の装置を利用することができる。特に、膜分離装置を採用した場合には、高分子凝集剤による凝集処理を省略することもできる。
【００２５】
沈殿槽１４で沈殿分離された沈殿汚泥の一部は、アルカリ反応槽１６へ投入される。アルカリ剤は特に限定するものではないが、アルカリ反応槽１６には例えば消石灰（カルシウム剤）が投入され、ｐＨがアルカリ性に調整される（ｐＨ８〜１１）。なお、アルカリ反応槽１６内も撹拌機などによって急速撹拌されている。また、汚泥の一部はＺｒＯＦ２の凝集物である。この凝集物は、アルカリ性溶液中において、フッ素（Ｆ）が水酸基（ＯＨ）に置換され、これによってフッ素イオンが遊離する。なお、このようにして生成される金属水酸化物は、フッ化物に比べ高い。一方、遊離したフッ素イオンは消石灰と反応してフッ化カルシウムとして不溶化する。このようにアルカリ性でもフッ化カルシウムは不溶化するので、フッ素は注入されたカルシウム剤とフッ化カルシウムを形成する。アルカリ反応槽１６での処理時間は３０分〜６０分であるが、それ以上の時間であってもよい。
【００２６】
次にアルカリ反応槽１６において処理された処理汚泥は酸反応槽１７へと投入される。酸反応槽１７には塩酸等が添加され、酸性に調整される（＜ｐＨ３）。なお、酸反応槽１７内も撹拌機などによって急速撹拌されている。アルカリ反応槽１６においてフッ素が水酸基に置換されたＺｒＯ（ＯＨ）２の凝集物は、酸に溶けやすくなっているため、酸反応槽１７で容易に溶解する。酸反応槽１７での処理時間は３０分〜６０分であるが、それ以上の時間であってもよい。ここで、さらに遊離したフッ素イオンを不溶化するために塩化カルシウムなどのカルシウム剤を加えてもよい。なお、酸反応槽１７に添加する酸としては塩酸が好適であるが、硫酸、硝酸など他の酸であってもよい。
【００２７】
このように本実施形態では、まず、沈殿槽１４で沈殿したＺｒＯＦ２の凝集物をアルカリ反応槽１６でアルカリ処理することで、フッ素を遊離させ金属水酸化物にする。そのようにすることで酸処理時において確実に溶解させることができ、金属化合物の再利用効率を向上させることができる。また、アルカリ処理した凝集沈殿物を酸反応槽１７で酸処理することでアルカリ処理のみによる脱水縮合反応で凝集沈殿物が過剰に高密度化することも防止できる。
【００２８】
「第２実施形態」
図２は、第２実施形態の構成を示す図であり、アルカリ反応槽１６、酸反応槽１７で処理された汚泥が金属反応槽１０に返送される。そして、この金属反応槽１０にもカルシウム剤が添加される。
【００２９】
これによって、アルカリ反応槽１６および酸反応槽１７において金属化合物（ジルコニル化合物）から遊離したフッ素がここに添加されたカルシウム剤と反応しフッ化カルシウムが生成される。
【００３０】
例えば、カルシウム反応槽１８のｐＨが４〜７の時、汚泥をカルシウム反応槽１８に返送すると、アルカリ反応槽１６および酸反応槽１７でフッ素フリーになったジルコニル化合物の一部がカルシウム反応槽１８で流入水中のフッ素と反応し、カルシウム剤との競合反応となり、ジルコニル化合物の一部を消費してしまう可能性がある。汚泥返送を金属反応槽１０にすることで、このような競合反応を避け、塩化ジルコニルの添加量をさらに低減できる。このときカルシウム剤添加は、汚泥反応槽１６とカルシウム反応槽１８の双方にすることが好ましく、金属反応槽１０にも分けて注入することが好適である。
【００３１】
「その他」
さらに、上述の説明では、フッ素含有水の処理のみを対象とした。しかし、本実施形態ではリンに対しても、フッ素と同様の不溶化反応を起こす。そこで、上述の処理をそのままリン含有水に適用することができる。なお、リンは、リン酸カルシウムとして除去できるため、カルシウム剤による処理もそのままリン含有水に適用することができる。なお、リンは次の反応により不溶化される。なお、リンの形態はｐＨ等によって変化する。
【００３２】
【化２】
ＺｒＯＣｌ２＋２Ｈ２ＰＯ４−→ＺｒＯ（Ｈ２ＰＯ４）２＋２Ｃｌ−
ＺｒＯＣｌ２＋ＨＰＯ４２−→ＺｒＯＨＰＯ４＋２Ｃｌ−
【実施例】
図１に示した第１実施形態の処理装置（実施例）、および図３、４に示した処理装置１（比較例１）、処理装置２（比較例２）により、それぞれ処理実験を行った。図３、４はアルカリ反応槽１６または酸反応槽１７を有さない処理装置である。アルカリ反応槽１６または酸反応槽１７の一方しか有さないこと以外は図１に示した第１の実施形態の装置と処理過程は同じである。
【００３３】
これら各処理に共通な事項を次に示す。
【００３４】
原水流量：１００Ｌ／ｈ、カルシウム反応槽１８、金属反応槽１０および凝集槽１２の容量：３０Ｌ、アルカリ反応槽１６、酸反応槽１７：８Ｌ、沈殿槽１４容量：約１００Ｌである。また、原水：合成排水で、フッ化ナトリウムを濃度１００ｍｇ／Ｌになるように純水に溶解して調整した。ｐＨは６．５〜７．０であった。不溶化剤：塩化ジルコニル８水和物（ＺｒＯＣｌ２・８Ｈ２Ｏ）をＺｒとして１０％になるように純水に溶解したものを使用した。カルシウム剤：１０％消石灰スラリーまたは３５％塩化カルシウム溶液を使用した。ｐＨ調整剤：各反応槽ｐＨは、塩酸または１０％水酸化ナトリウム溶液で調整した。カルシウム反応槽１８：消石灰スラリーによりＣａとして５００ｍｇ／Ｌ添加し、塩酸でｐＨ１０に調整した。金属反応槽１０：不溶化剤をＺｒとして１５ｍｇ／Ｌになるように添加し、塩酸でｐＨ５となるように調整した。凝集槽１２：高分子凝集剤オルフロックＯＡ−２３を２ｍｇ／Ｌとなるように添加した。沈殿槽１４の沈殿汚泥は、随時引き抜きを行った。沈殿槽汚泥の一部（原水基準で５％の流量）を循環ラインを通じて、アルカリ反応槽１６と酸反応槽１７の少なくとも一方を介しカルシウム反応槽１８または金属反応槽１０へ返送した。この処理工程を１週間、さらに１ヶ月続けて行い、処理水中の全含有フッ素およびＳＳの量を測定した。なお、処理水中の全含有フッ素は処理水中のＳＳ中に含まれるフッ素も含めた処理水中の全体のフッ素の濃度を示したものである。
【００３５】
「比較例１」
図３に示されるフローにより、次式で実験を行った。汚泥の一部をアルカリ反応槽１６のみでアルカリ処理して、フッ素を遊離させた後、カルシウム反応槽１８に返送した。すなわち、アルカリ反応槽１６を設け、消石灰の添加によりｐＨ１０に調整した。約１週間処理した後の処理水は、全含有フッ素４．５ｍｇ／Ｌ、ＳＳは３ｍｇ／Ｌであった。このまま、１ヶ月処理した後の処理水は全含有フッ素５．３ｍｇ／Ｌ、ＳＳは３ｍｇ／Ｌとなっており、１週間後と比較してＳＳの量は変わらないものの全含有フッ素の量が増加していた。
【００３６】
「比較例２」
図４に示されるフローにより、次式で実験を行った。汚泥の一部を酸反応槽１７のみで酸処理して、フッ素を遊離させた後、カルシウム反応槽１８に返送した。すなわち、酸反応槽１７を設け、塩酸の添加によりｐＨ２．５に調整した。約１週間処理した後の処理水は、全含有フッ素６．２ｍｇ／Ｌ、ＳＳは３ｍｇ／Ｌであった。このまま、１ヶ月処理した後の処理水は全含有フッ素６．２ｍｇ／Ｌ、ＳＳは３ｍｇ／Ｌであり、１週間後と比較して全含有フッ素の量、ＳＳの量共に変わらなかった。
【００３７】
「実施例」
図１に示されるフローにより、次式で実験を行った。汚泥の一部をアルカリ反応槽１６（ｐＨ１０）でアルカリ処理して、アルカリ処理した後、酸反応槽１７（ｐＨ２．５）で酸処理してフッ素を遊離させた後、カルシウム反応槽１８に返送した。約１週間処理した後の処理水は、全含有フッ素３．２ｍｇ／Ｌ、ＳＳは３ｍｇ／Ｌであった。このまま、１ヶ月処理した後の処理水は全含有フッ素３．２ｍｇ／Ｌ、ＳＳは３ｍｇ／Ｌであり、１週間後と比較して全含有フッ素の量、ＳＳの量共に変わらなかった。
【００３８】
「評価」
比較例１：
比較例１では１ヶ月後の全含有フッ素が１週間後の全含有フッ素と比較し、増加していたが、これはアルカリ処理を何度も繰り返すことによって、汚泥の脱水縮合反応が進行し、汚泥が高密度化したためと考えられる。汚泥の高密度化によってフッ素とジルコニル化合物の物理的接触が減少し、ジルコニル化合物の再利用効率が悪くなったために、処理水中に溶解したフッ素の濃度が増加したものと考えられる。ＳＳの量が増加していないからである。
【００３９】
比較例２：
比較例２では１ヶ月後の全含有フッ素が１週間後の全含有フッ素と比較し、変化しなかった。これは汚泥の高密度化が起こりにくいためと考えられる。また、比較例１（アルカリ処理）と比較して全含有フッ素の濃度が大きい。これは酸処理では不完全にしか汚泥が溶解できず、ジルコニル化合物の再利用効率が悪く処理水中に溶解したフッ素が除去できなかったためと考えられる。ＳＳの量が比較例１と同じであるからである。
【００４０】
実施例：
実施例では比較例１と比較例２と比較して、全含有フッ素の量が少なかった。これは、アルカリ処理と酸処理の併用によってジルコニル化合物を効率よく再生でき、含有フッ素をジルコニル化合物によってより一層不溶化できるためであると考えられる。さらに１週間後においても１ヶ月後においても全含有フッ素の量が変わらなかった。これはアルカリ処理した後、酸処理をすることで汚泥が過剰に高密度化するのを防止した結果、ジルコニル化合物の再利用効率が長期に渡っても維持されたためと考えられる。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、水溶性金属化合物の添加により、フッ素またはリンとが不溶化して固形物となる。この分離された固形物の一部については、アルカリ処理後に酸処理し、固液分離手段よりも上流のフッ素および／またはリン含有水と混合する。そのようにすることで長期間にわたり、高効率にフッ素またはリンを除去でき、その効率を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の装置の構成を示す図である。
【図２】第２実施形態の装置の構成を示す図である。
【図３】従来の装置（アルカリ処理）の構成を示す図である。
【図４】従来の装置（酸処理）の構成を示す図である。
（符号の説明）
１０  金属反応槽、１２  凝集槽、１４  沈殿槽、１６  アルカリ反応槽、１７  酸反応槽、１８  カルシウム反応槽。
【図１】
2004351392.tif 000003
【図２】
2004351392.tif 000004
【図３】
2004351392.tif 000005
【図４】
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