(57)【要約】【課題】目標となす流量値に容易に設定することができる流量抵抗設定ノズルを提供する。【解決手段】金属ブロックにパイプ貫通孔を形成し、流路を構成するための金属パイプを貫通させる。金属ブロックには、更にこのパイプと直交して連通する圧接具挿入孔を形成し角柱状の圧接具を挿入し、パイプ貫通孔に貫通して挿入された金属パイプと圧接具とを、直交位置で接触させ、この金属パイプの接触部と反対の周面と直交して台の立上り部の先端円弧面を接触させる。この状態で、圧接具を金属パイプに向って粗調整ネジで圧接し、圧接具と台とでもって金属パイプを押し潰し、所望の円弧面形状の絞り部を形成する。更に、２本の微調整ネジにより圧接具にパイプを更に押しつぶす微調整圧接力を与えることにより、目標となる流量値に容易に設定することができる流量抵抗設定ノズルを提供する。【選択図】　図２
2004084944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パイプ貫通孔が形成された金属ブロックと；
上記金属ブロックのパイプ貫通孔に挿入された、流路を構成するための金属パイプと；
上記パイプと直角に交叉して配置され、その中央部がパイプの周面の第１接触部と接触する角柱形状の圧接具と；
金属ブロックに取付けられ、圧接具の中央部を金属パイプに向って粗調整圧力で以って圧接させる粗調整ネジと；
上記粗調整ネジと同一軸芯上に位置する様に金属ブロックに取付けられ、先端部を持ちこの先端部が、金属パイプの周面であって、圧接具と接触する第１接触部と対向する第２接触部に接触し、圧接具との間に金属パイプを挟んで保持する台と；
上記金属ブロックに取付けられ、圧接具の中央部の粗調整ネジが圧接する位置から、圧接具の長手方向にほぼ等距離だけ離れた対称位置で、圧接具に、粗調整ネジが金属パイプに向かって粗調整圧力を働かせる方向と平行で同方向にそれぞれ圧力を与える、２本の微調整ネジと；
上記金属パイプの外周面と上記金属ブロックに形成したパイプ貫通孔の内周面との間をシールするシール部材と；
から成り、粗調整ネジの粗調整圧力によって圧接具と台との間に挟まれた金属パイプを所定量押し潰すとともに、微調整ネジの２つの圧力の組み合わせからなる微調整圧力によってパイプを更に押し潰すように構成したことを特徴とする流量抵抗設定ノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の流量抵抗設定ノズルにおいて、
上記金属ブロックは、上記パイプ貫通孔と直交して連通し、かつ金属ブロックを貫通する圧接具挿入孔を有し、
上記圧接具を、パイプと直角に交叉して接するように、上記圧接具挿入孔に挿入配置することを特徴とする流量抵抗設定ノズル。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の流量抵抗設定ノズルにおいて、
上記微調整ネジは頭部とネジ部を有し、
上記圧接具は、上記対称位置に、上記微調整ネジが遊嵌する２個の貫通孔を有し、
上記金属ブロックは、圧接具がパイプと直交して接するように配置されたときに、上記２個の貫通孔に対向する位置に微調整ネジのネジ部が捩じ込まれるネジ孔を有し、
微調整ネジのネジ部が圧接具の貫通孔に遊嵌して、頭部が圧接具に係止され、そのネジ部先端が金属ブロックのネジ孔に捩じ込まれるにつれこの頭部により上記圧接具に圧接力を与えることを特徴とする流量抵抗設定ノズル。
【請求項４】
請求項３に記載の流量抵抗設定ノズルにおいて、
上記微調整ネジのネジ部は、上記粗調整ネジのネジ部の径より細い径を有することを特徴とする流量抵抗設定ノズル。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の流量抵抗設定ノズルにおいて、
上記台の先端部は上記パイプの円筒面と直交する向きの円弧面を具備していることを特徴とする流量抵抗設定ノズル。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の流量抵抗設定ノズルにおいて、
上記金属ブロックは、上記粗調整ネジ用のネジ孔及び微調整ネジ用の駆動孔を有し、
上記粗調整ネジ及び微調整ネジの頭部は上記金属ブロックに形成されたこれら粗調整ネジ用のネジ孔及び微調整ネジ用の駆動孔の内部に格納されていることを特徴とする流量抵抗設定ノズル。
【請求項７】
パイプ貫通孔と、圧接具挿入用孔と、粗調整ネジ用ネジ孔と、２個の微調整ネジ駆動孔と、２個の微調整ネジ用ネジ孔と、台固定孔と、を有する金属ブロックと；
上記金属ブロックのパイプ貫通孔に挿入された流路を構成するための金属パイプと；
上記金属パイプに圧接し、所望の絞り部を形成するように押し潰す圧接具と；
上記圧接具による金属パイプへの圧接時に金属パイプを支える台と；
上記圧接具に作用して金属パイプに加える圧接力を粗調整する粗調整ネジと；
上記圧接具に作用して金属パイプに加える圧接力を微調整する２個の微調整ネジと；
上記金属パイプの外周面と上記金属ブロックに形成したパイプ貫通孔の内周面との間をシールするシール部材と；
からなる流量抵抗設定ノズルであって、
上記圧接具挿入孔は、パイプ貫通孔の延伸方向と直角方向に延伸形成され、かつ上記パイプ貫通孔と交叉部で連通するように形成され、
上記粗調整ネジ用ネジ孔は、パイプ貫通孔と圧接具挿入孔との上記交叉部でこれらの孔にそれぞれ直交して、かつ連通するように形成され、
上記２個の微調整ネジ駆動孔は、粗調整ネジ用ネジ孔と平行して、かつこの粗調整ネジ用ネジ孔を挟んでこの粗調整ネジ用ネジ孔から上記圧接具挿入孔の延伸方向にほぼ等距離だけ離れた２つの対称位置に、上記圧接具挿入孔に直交して、かつ連通するように形成され、
上記２個の微調整ネジ用ネジ孔は、圧接具挿入孔を挟んで上記微調整ネジ駆動孔に対向する位置に同軸に形成され、
上記台固定孔は、パイプ貫通孔と圧接具挿入孔を挟んで上記粗調整ネジ用ネジ孔に対向する位置に形成され、
上記圧接具は角柱形状を持ち、２個の微調整ネジ貫通孔を有し、圧接具挿入用孔に挿入された時に、これら微調整ネジ貫通孔は微調整ネジ駆動孔に対向する位置に配置され
上記粗調整ネジは、粗調整ネジ用ネジ孔に捩じ込まれて、上記圧接具を金属パイプに向かって、直角に交叉する位置で粗調整圧力でもって押圧し、金属パイプを所定量押し潰し、
上記台は基部と立上り部を持ち、立上り部が台固定孔に挿入され、その立上り部の先端が上記金属パイプの周面に接触し、上記粗調整ネジによって発生された粗調整圧力で以って上記圧接具から上記金属パイプに与えられる圧接力を受け止めるように固定され、
上記２本の微調整ネジは頭部とネジ部を持ち、圧接具の上記微調整ネジ貫通孔に遊嵌し、ネジ部先端が上記圧接具挿入用孔を貫通し、上記金属ブロックに形成された２個の微調整ネジ用ネジ孔に捩じ込まれて、上記対称位置で圧接具に２つの圧力を与え、それらが組み合わさって上記圧接具に更なる微調整圧力を与えて上記パイプを押し潰すように構成したことを特徴とする流量抵抗設定ノズル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は例えば基準となる流量に設定し、流量測定器等の校正用等として利用することができる流量抵抗設定ノズルに関し、特に流量値の設定が容易で然も設定した流量値を長期に渡って安定に維持し、信頼性の高い基準流量を与えることができる流量抵抗設定ノズルを提供しようとするものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、本願発明者は各種の流量抵抗設定弁を提案している。図９にその一例を示す。図９は特許文献１で「微小リーク弁」として提案し、本願の譲受人と同一者に譲渡した流量抵抗設定弁を示す。この流量抵抗設定弁は、内に細管２を貫通させる細管貫通孔３とこの細管貫通孔３と直交する方向に形成したネジ孔５−１とを持った金属ブロック１と、この細管貫通孔３に貫通させた細管２の外周と細管貫通孔３の内壁との間をシールするシール材４Ａ、４Ｂと、このネジ孔５−１に螺入したネジ５−２とによって構成され、ネジ５−２によって細管２を適当量押しつぶすことによって細管２の中空部分の断面積を適当値に設定できるようにし、この断面積の設定によって細管２を通過する気体の流量を制限し、所望の基準流量を得る構造としたものである。
【０００３】
図１０を用いてこの流量抵抗設定弁の実用状況の一例を説明する。図１０において、６はコンプレッサのような気体圧縮源を示す。気体圧縮源６で加圧された気体圧が調圧弁７で調整され、調整された気体圧が圧力計８−１で管理され、一定の気体圧力（１次圧）に設定される。１次圧気体が図９で説明した流量抵抗設定弁９に与えられ、２次圧が圧力計８−２で計測される。２次圧と１次圧の圧力比がある値以下になると流量抵抗設定弁９の絞り部に流れる気体の流速は音速と等しくなり、一定流量に制限されて被校正流量計１０に与えられる。被校正流量計１０の流量測定値Ａが流量抵抗設定弁９に設定した流量に一致するように校正すれば、被校正流量計１０の流量測定値は校正されたことになる。
【０００４】
【特許文献１】
実公平５−４２２８３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来提案した流量抵抗設定弁は流量設定にネジ５−２を用い、ネジ５−２のネジ込量を調整して細管２を押しつぶし、細管２の断面積を絞ることによってある決められた気体圧を与えた状態で流れる流量値を、所望の値に設定している。
ネジ５−２のネジ込量を増加させていくに従って流量値が絞られていくが、その流量値が目標値をわずかでも超えてしまうと、細管２の変形が元に戻らないため、細管２を新しいものに交換し、再び調整を行なわなくてはならない。この点で流量値の設定が面倒であるという欠点がある。
【０００６】
また、特に、ネジ５−２はイモネジ或は止めネジと呼ばれているネジを用いてネジ孔５−１の内部で調整を行なう構造を採っている。その理由は流量抵抗設定状態が簡単に操作できないようにするために流量値の設定後にネジ孔５−１をシールすることができるようにするためである。このような理由からネジ５−２として止めネジを用いているが、止めネジはネジ部の端部に回転調整用のドライバ係合溝を具備しているため、ネジ部の直径を極端に細くすることはできない。つまり、一般的に止めネジは直径が太いことが普通である。
【０００７】
ネジのピッチはネジ径が太い程粗くなることは知られているから、止めネジ構造のネジ５−２の調整で流量値を正確に目標値に設定することは困難な作業である。
この発明の目的は流量値の設定を安易に行なうことができる流量抵抗設定ノズルを提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明の第１の観点では、パイプ貫通孔が形成された金属ブロックと；パイプ貫通孔に挿入された、流路を構成するための金属パイプと；上記パイプと直角に交叉して配置され、その中央部がパイプの周面の第１接触部と接触する角柱形状の圧接具と；金属ブロックに取付けられ、圧接具の中央部を金属パイプに向って粗調整圧力で以って圧接させる粗調整ネジと；上記粗調整ネジと同一軸芯上に位置する様に金属ブロックに取付けられ、先端部を持ちこの先端部が、金属パイプの周面であって、圧接具と接触する第１接触部と対向する第２接触部に接触し、圧接具との間に金属パイプを挟んで保持する台と；上記金属ブロックに取付けられ、圧接具の中央部の粗調整ネジが圧接する位置から、圧接具の長手方向にほぼ等距離だけ離れた対称位置で、圧接具に、粗調整ネジが金属パイプに向かって粗調整圧力を働かせる方向と平行で同方向にそれぞれ圧力を与える２本の微調整ネジと；上記金属パイプの外周面と上記金属ブロックのパイプ貫通孔の内周面との間をシールするシール部材と；から成り、粗調整ネジの粗調整圧力によって圧接具と台との間に金属パイプを挟んで所定量押し潰すとともに、微調整ネジの２つの圧力の組み合わせからなる微調整圧力によってパイプを更に押し潰すように構成した流量抵抗設定ノズルを提案する。
【０００９】
この発明の第２の観点では、上記第１の観点に係る流量抵抗設定ノズルにおいて、上記金属ブロックは、上記パイプ貫通孔と直交して連通し、かつ金属ブロックを貫通する圧接具挿入孔を有し、上記圧接具を、パイプと直角に交叉して接するように上記圧接具挿入孔に挿入配置して構成した流量抵抗設定ノズルを提案する。
この発明の第３の観点では、上記第１または第２の観点に係る流量抵抗設定ノズルにおいて、上記微調整ネジは頭部とネジ部を有し、上記圧接具は、上記対称位置に、上記微調整ネジが遊嵌する２個の貫通孔を有し、上記金属ブロックは、圧接具がパイプと直交して接するように配置されたときに、上記２個の貫通孔に対向する位置に微調整ネジのネジ部が捩じ込まれるネジ孔を有し、微調整ネジのネジ部が圧接具の貫通孔に遊嵌し、頭部が圧接具に係止され、ネジ部先端が金属ブロックのネジ孔に捩じ込まれるにつれこの頭部により上記圧接具に圧力を与えるように構成した流量抵抗設定ノズルを提案する。
【００１０】
この発明の第４の観点では、上記第３の観点に係る流量抵抗設定ノズルにおいて、微調整ネジのネジ部は粗調整ネジのネジ部の径より細い径を有する構成の流量抵抗設定ノズルを提案する。
この発明の第５の観点では、上記第１または第２の観点に係る流量抵抗設定ノズルにおいて、台の先端部はパイプの円筒面と直交する向きの円弧面を具備している構成の流量抵抗設定ノズルを提案する。
この発明の第６の観点では、上記第１乃至第５の観点に係る流量抵抗設定ノズルの何れかにおいて、上記金属ブロックは、上記粗調整ネジ用のネジ孔及び微調整ネジ用の駆動孔を有し、粗調整ネジ及び微調整ネジの頭部は金属ブロックに形成されたこれら粗調整ネジ用のネジ孔及び微調整ネジ用の駆動孔の内部に格納されている構成の流量抵抗設定ノズルを提案する。
【００１１】
作用
この発明による流量抵抗設定ノズルによれば圧接力調整用手段として、粗調整ネジに加えて微調整ネジを設けた構造としたから、流量値の設定を安易に行なうことができる。
また、この発明による流量抵抗設定ノズルによれば台の先端部の形状をパイプの円筒面と直交する向の円弧面としたから、パイプの絞り部分の形状が円弧面に従ってパイプの軸方向に漸次絞られ、最狭窄部を持ち、これを過ぎると漸次に広げられる構造となる。このため、パイプの内部を気体は円滑に流れ、容易に音速流量値（１次側の圧力値が所定値以上に設定され、２次側の圧力値が所定値以下に設定されると、絞り部分では流体の流速が音速値に達し、一定流量値を維持する現象）を得ることができる。
【００１２】
この結果、信頼性の高い基準流量値を再現することができる利点が得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１乃至図８にこの発明による流量抵抗設定ノズルの一実施例を示す。
図１、２は、この発明に係る流量抵抗設定ノズルの一実施例の断面図であって、図３においてＸ、Ｙ軸を含む紙面に垂直な面で切開しＢ方向に見た図であり、ここで、図１は、圧接具による粗調整作業実施前の状態を示し、図４において軸Ｙを含む紙面に垂直な面で切開して１Ａ方向に見た図でもある。また図２は、圧接具による粗調整作業実施後の状態を示し、図５において軸Ｙを含む紙面に垂直な面で切開して１Ｂ方向に見た図でもある。
【００１４】
図３は、図１、２に示す一実施例の平面図を示す。
図４、５、６は、図３において軸Ｙ、Ｚを含む紙面に垂直な面で切開してＡ方向に見た断面図であり、ここで図４は、粗調整ネジによる粗調整作業実施前の状態を示し、図１において軸Ｙ、Ｚを含む紙面に垂直な面で切開して３Ａ方向に見た断面図でもある。また、図５は、粗調整ネジによる粗調整作業実施後の状態を示し、図２において軸Ｙ、Ｚを含む紙面に垂直な面で切開して３Ｂ方向に見た断面図でもある。かつ図６は、粗調整ネジによる粗調整作業実施後、さらに微調整ネジによる微調整作業を実施した後の状態を示す。
【００１５】
図７は、この発明に用いる圧接具の構造を説明するための図であり、Ａは平面図、Ｂは側面図を示す。
図９は、この発明の要部である圧接具を用いて行う微調整の動作原理を説明するための図を示す。
なお、各図において同一数字または文字を付したものは同じものを表す。
図中１は金属ブロックであり、この実施例では金属ブロック１を２個のブロック１Ａと１Ｂで形成し、これらをネジ１Ｃによって結合して構成した場合を示す。
【００１６】
この金属ブロック１には、パイプ貫通孔１１が形成される。
１２はこのパイプ貫通孔１１に押入したパイプ、４はこのパイプ１２の外周とパイプ貫通孔１１の内壁面１１ＢＢとの間をシールするシール材（オーリング）を示す。
パイプ貫通孔１１はこれら２分割した金属ブロック１Ａと１Ｂの接合面１Ｄを垂直に貫通し、その軸芯Ｘ上にパイプ１２が挿入される。
パイプ貫通孔１１は、入口１１ＡＡを持った入口孔部１１Ａと、出口１１ＢＡを持った出口孔部１１Ｂと、中孔部１１Ｃと、入口孔部１１Ａと中孔部との間を結ぶ第１中間孔部１１Ｄと、出口孔部１１Ｂと中孔部１１Ｃとの間を結ぶ第２中間孔部１１Ｅとを有する。
【００１７】
第１、第２中間孔部１１Ｄ、１１Ｅはその内径が狭められパイプ１２の外径より僅かに大きく形成される。
入口孔部１１Ａと出口孔部１１Ｂは、各々第１、第２中間孔部１１Ｄ、１１Ｅに連なり徐々に径を広げる傾斜部１１ＡＢ、１１ＢＢとこの傾斜部から入口１１ＡＡまたは出口１１ＢＡとの間に内ネジ部１１ＡＣ、１１ＢＣを有する。
各入口孔部１１Ａと出口孔部１１Ｂにおいて、パイプ１２にシール材（オーリング）４が嵌められ、ついで、その外周に、内ネジ部１１ＡＣ、１１ＢＣと螺合する外ネジが形成されたアタッチメント１９が嵌められ、このアタッチメント１９を入口孔部１１Ａと出口孔部１１Ｂ内に捩じ込みパイプ１２の外周面とパイプ貫通孔１１の傾斜部１１ＡＢ、１１ＢＢの内壁面との間にシール材（オーリング）４を締付けることによりパイプ１２とパイプ貫通孔１１の内壁面との間をシールする。従って、外気と流通している中孔部１１Ｃからパイプ１２は完全にシールされ、パイプ貫通孔１１の一方の入口１１ＡＡから供給された気体は全てパイプ１２を通って他方側の出口１１ＢＡから排気され、パイプ１２が流路を構成する。
【００１８】
金属ブロック１には、更にパイプ貫通孔１１（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｚ軸方向）に、圧接具挿入孔１３が金属ブロック１を貫通して形成される。
パイプ貫通孔１１の中心Ｘ軸と、圧接具挿入孔１３の中心Ｚ軸とは図１に示すようにＹ軸方向に隔たりを持ち、図１−２、４−６に示すように、両孔の交点で連通して形成される。
圧接具挿入孔１３には圧接具１４が挿入される。圧接具１４は図７のＡ及びＢに示すように角柱形状の金属ブロックで構成され、長手方向の中心位置１４Ａから互いに反対方向に等距離の対称位置に貫通孔１４Ｂ、１４Ｃが形成される。
【００１９】
金属ブロック１には、また更に、粗調整ネジ１５が捩じ込まれるネジ孔２０と、このネジ孔２０から等距離の位置に２つの微調整ネジ駆動孔２１がそれぞれ圧接具挿入孔１３に直交する向き（Ｙ軸方向）に、圧接具挿入孔１３に連通するように形成される。
圧接具１４は、図４に示すように、圧接具挿入孔１３内に、パイプ１２の上面と第１接触部１２Ａで接してパイプ１２を横切るように挿入され、粗調整ネジ１５の軸芯、及びこれが捩じ込まれるネジ孔２０の軸Ｙが、圧接具１４の中心部１４Ａにおいて直交し、かつパイプ１２の軸線Ｘと直交して配置される。（図１参照）
ネジ孔２０を挟んで金属ブロック１Ｂに形成された２つの微調整ネジ駆動孔２１からネジ孔２０までの距離は、圧接具１４に形成された２つの貫通孔１４Ｂ、１４Ｃから圧接具１４の中心位置１４Ａまでの距離と等しくされる。
【００２０】
圧接具挿入孔１３に挿入された圧接具１４の貫通孔１４Ｂ、１４Ｃが微調整ネジ駆動孔２１と対向する位置に配置される。
これにより、圧接具１４の中心位置１４Ａに、ネジ孔２０に捩じ込まれる粗調整ネジ１５の先端の中心が圧接される。
金属ブロック１には、また更に、微調整ネジ駆動孔２１と圧接具挿入孔１３を挟んで対向する位置に同軸となるにように、微調整ネジが捩じ込まれるネジ孔１７が形成される。
【００２１】
微調整ネジ１６は頭部１６Ａとネジ部１６Ｂを具備し、圧接具１４に形成した貫通孔１４Ｂ、１４Ｃの内径は、微調整ネジ１６のネジ部１６Ｂの径よりも大に形成されており、この圧接具の貫通孔１４Ｂ、１４Ｃには微調整ネジ駆動孔２１を通って微調整ネジ１６を貫通させ、圧接具挿入孔１３を貫通して反対側に形成したネジ孔１７（図４−６参照）にネジ部１６Ｂを捩じ込み、微調整ネジ１６の頭部１６Ａが圧接具１４と係合して、圧接具１４をパイプ１２に向って圧接させ、微調整を達成する。
【００２２】
粗調整ネジ１５と微調整ネジ１６の頭部１６Ａは図４−６に示すように金属ブロック１Ｂに形成された孔２０及び２１の内部に格納される。
金属ブロック１には、また更に、粗調整ネジ１５と対向してパイプ１２の反対側に台固定孔２２が形成される。
この孔２２に台１８が配置される。台１８は立上り部１８Ａと基部１８Ｂとを有し、立上り部１８Ｂがパイプ貫通孔１１内に突出してパイプ１２を挟んで粗調整ネジに対向する位置に位置するように、この基部１８Ｂが金属ブロック１にネジ１８Ｃで固定される。立上り部１８Ａは先端にパイプ１２の円筒面と直交する向の円弧面１８ＡＡ（パイプ１２の軸線Ｘ方向に弯曲した面：１、２参照）を有する。
【００２３】
この状態で先ず粗調整ネジ１５をネジ２０に捩じ込んで、圧接具の中心部をパイプに向けて押し付ける。この状態を図１及び図４に示す。この状態は圧接力無調整の状態である。すなわち、この時パイプ１２は圧接具１４と第１接触点１２Ａで接触し、その反対側の第２接触点１２Ｂで台１８の立ち上がり部１８Ａの先端に形成した円弧面１８ＡＡの頂上稜部１８Ｒと接触している。
さらに粗調製ネジを捩じ込むことにより、圧接具１４によってパイプ１２が台１８に向って圧接されると、パイプ１２は、パイプ１２と台１８の第２接触部１２Ａが台の円弧面１８ＡＡとの接触面積を増やすように押し潰され、パイプ１２の軸線方向に断面積が序々に狭くなり、最小断面部分（距離をＭＳ：図２参照）を通過した後序々に断面積が広くなる形状の絞りを形成する。
【００２４】
ここで、粗調製ネジの捩じ込み量を、パイプ１２を押し潰して設定したい所望の流量値よりわずかに大きい流量値に設定する。この状態を図２、５に示す。これで、粗調整が完了である。
圧接具１４に形成された貫通孔１４Ｂ、１４Ｃの内径は、微調整ネジ１６のネジ部の径よりも大に形成されており、粗調整の間、圧接具１４は粗調整ネジ１５によってのみパイプ１２に圧接される。
図２、５に示す粗調整が完了した状態で粗調整ネジの回転を止め、微調整ネジ１６を回転させ、微調整を行なう。微調整ネジ１６は頭部１６Ａを具備したネジを用いるから、ネジ部１６Ｂのネジ径を粗調整ネジ１５の径、例えば６ｍｍよりもより細い直径、例えば３ｍｍのネジを用いることができる。
【００２５】
ネジ径が細いネジはネジピッチが小さいから、微調整ネジ１６の回転量に対するパイプ１２の変形量を小さくすることができる。因みに細目ネジでは粗調整ネジ１５の直径が６ｍｍである場合に、そのネジピッチは０．７５ｍｍである。これに対し、直径が３ｍｍのネジのネジピッチは０．３５ｍｍとなる。従って回転角に対するネジの移動量はネジの直径が細いほど小さくなり、十分に微調整を行なうことができる。
然も、微調整ネジ１６は圧接具１４の中心位置１４Ａから等距離の位置に配置したから、一方の微調整ネジ１６を捩じ込む際には、圧接具１４は他方の微調整ネジ１６の位置を回動支点としてテコの動作でパイプ１２を押し潰す。
【００２６】
従って、図８で示すように、例えば貫通孔１４Ｂに挿入された微調整ネジ１６を固定支点側とし、他方の貫通孔１４Ｃに挿入された微調整ネジ１６のみを回転させ、その押し込み移動量をＭとした場合、この移動量Ｍによってパイプ１２を押しつぶす量δは微調整ネジ１６の中心（１４Ｂと１４Ｃで表す）担互を結ぶ線の距離をＬとした場合、パイプ１２の位置はその約１／２であるから、押しつぶされる量（絞り量）δもＭの約１／２となる。この結果、微調整ネジ１６の移動量Ｍは更に縮小されてパイプ１２に与えられるから、微調整ネジに依る調整は、粗調整ネジに依る調整に比べて、その調整量を微小にかつ容易に変化できる。
【００２７】
このように、粗調整に依って、所望の絞り部の絞り量よりも若干大きい値まで絞り込み、これを図２、５に示す絞り部の距離ＭＳとすると、次いで微調整に依って絞り量をδだけ追加して、最終の所望絞り量（距離をＭＳＦ）となるように調整する（図６参照）ことにより、パイプを所望値よりも余分に押し潰してしまうという失敗を容易に回避できる。
なお、図８において、実線で表示した圧接具１４は、微調整圧接の実施前の状態を示し、点線で表示した圧接具１４は、微調整圧接の実施後の状態を示す。
【００２８】
圧接具１４によってパイプ１２が台１８に圧接されると、パイプ１２は台１８の形状に従ってその軸線方向に漸次断面積が小さくなり、断面積の極小点を形成して再び断面積が序々に広くなる形状の絞りを形成するから、断面積が極小となる位置で所定の条件（１次側の圧力が所定値以上で、２次側の圧力が所定値以下の場合）を満す場合に音速流量を得ることができる。この音速流量は１次側の圧力が所定値を超えていれば２次側の圧力が多少変動しても流量は一定値に保たれる。この結果、目標流量値を音速流量に設定すれば信頼性の高い一定流量値を得ることができる。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば粗調整ネジのほかに微調整ネジを用意したから、流量値の設定を容易に行なうことができる。更に、この発明によれば、粗調整ネジ１５及び微調整ネジ１６はそれぞれ頭部を金属ブロック１に形成したネジ孔２０、及びネジ駆動孔２１の中に格納した状態としたから、流量値を設定した後はこれらネジを収納した孔をシールで塞ぐ等すれば、設定値を変更操作してしまう事故が起きるおそれはない。従って、長期にわたって設定値を維持することができるから、信頼性の高い基準流量値を提供することができる。
【００３０】
なお、台１８はメタルブロック１に対し着脱交換可能にし、台立上り部１８Ａの先端表面１８ＡＡのパイプ軸方向の断面形状を、円弧面に形成した例を挙げたが、この断面形状を他の異なる形状にすることで、絞り部の形状を任意に設定できる等の効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例を説明するための断面図であって、図３においてＸ、Ｙ軸を含む紙面に垂直な切断面からＢ方向に見た断面図。
【図２】図１と同様の断面図であり、微調整作業を実施後の状態を示す図。
【図３】この発明の一実施例を説明するための平面図。
【図４】図３のＹ、Ｚ軸を含む切断面からＡ方向に見た断面図
【図５】図４と同様の断面図であり、粗調整作業を実施後の状態を示す図
【図６】図４と同様の断面図であり、微調整作業を実施後の状態を示す図
【図７】この発明に用いる圧接具の構造を説明するための図であり、Ａは平面図、Ｂは側面図。
【図８】この発明の要部の動作を説明するための図。
【図９】従来の技術を説明するための断面図。
【図１０】従来技術の流量抵抗設定弁の実用状況を説明するためのブロック図。
【符号の説明】
１　　　金属ブロック
４　　　　シール材
１１　　　パイプ貫通孔
１２　　　パイプ
１３　　　圧接具貫通孔
１４　　　圧接具
１５　　　粗調整ネジ
１６　　　微調整ネジ
１６Ａ　　頭部
１６Ｂ　　ネジ部
１７　　　ネジ孔
１８　　　台
１８ＡＡ　円弧面
１８Ｒ　　頂上稜部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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