(57)【要約】【課題】ブラウン管、蛍光ランプやＰＤＰなどに用いる際に均質で緻密な高輝度蛍光膜を形成することが可能であり、しかも、高純度で化学組成が均一で発光特性に優れた微小ナノ蛍光体粒子を安価に製造する。【解決手段】蛍光体の構成金属元素を含有する蛍光体原料、及び分散媒体成分を含有する溶液を同伴気体中に噴霧して蛍光体原料と分散媒体成分を含有する微液滴を形成し、該微液滴を直接又は乾燥後、分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で加熱することで熱分解を行って蛍光体前駆体粒子と分散媒体成分を含む１次熱分解粒子を得、該１次熱分解粒子を分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で再加熱処理を行い、その後分散媒体成分を除去して蛍光体粒子を得る。【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光体の構成金属元素を含有する蛍光体原料、及び分散媒体成分を含有する溶液を同伴気体中に噴霧して蛍光体原料と分散媒体成分を含有する微液滴を形成し、該微液滴を直接又は乾燥後、分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で加熱することで熱分解を行って蛍光体前駆体粒子と分散媒体成分を含む１次熱分解粒子を得、該１次熱分解粒子を分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で再加熱処理を行い、その後分散媒体成分を除去して蛍光体粒子を得ることを特徴とする蛍光体粒子の製造方法。
【請求項２】
熱分解する温度Ｔ１（℃）が、分散媒体成分の融点Ｔｍ（℃）に対して、Ｔｍ−２００≦Ｔ１≦Ｔｍ＋３０であることを特徴とする請求項１に記載の蛍光体粒子の製造方法。
【請求項３】
再加熱処理温度Ｔ２（℃）が、分散媒体成分の融点Ｔｍ（℃）に対して、Ｔｍ−２００≦Ｔ２≦Ｔｍ＋３０であることを特徴とする請求項１又は２に記載の蛍光体粒子の製造方法。
【請求項４】
所望の蛍光体粒子の固体体積に対して、分散媒体成分の体積が５〜１００倍であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の蛍光体粒子の製造方法。
【請求項５】
蛍光体粒子の一次粒子が１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の蛍光体粒子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ブラウン管、蛍光ランプ、プラズマディスプレーパネル（ＰＤＰ）などに用いることが可能な微小蛍光体粒子の製造方法に関し、特にその１次粒子径が１００ｎｍ以下のナノ粒子蛍光体の製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ブラウン管、蛍光ランプやＰＤＰなどに用いられる蛍光体は、従来、原料粉末を混合したものを坩堝などの焼成容器に入れた後、高温で長時間加熱することにより固相反応を起こさせ、それをボールミルなどで微粉砕することにより製造されてきた。
【０００３】
しかし、この方法で製造された蛍光体は、不規則形状粒子が凝集した粉末からなるため、この蛍光体を塗布して得られる蛍光膜は不均質で充填密度の低いものとなり、発光特性が低かった。また、固相反応後のボールミルなどによる微粉砕処理中に蛍光体に物理的及び化学的な衝撃が加えられるために、粒子内や表面に欠陥が発生して発光強度が低下するという不都合もあった。さらには、坩堝などの焼成容器に入れて高温で長時間加熱するために、坩堝からの不純物が混入して発光特性が低下したり、原料粉末の粒度によっては固相反応が十分に進行せずに不純物相が混在して発光特性の低下を招くことがあった。また、高温で長時間加熱すると、消費エネルギーが大きくなり、蛍光体の製造コストを高くする要因となっていた。
【０００４】
これらの問題を解消するために、蛍光体の構成金属元素含有溶液を超音波ネブライザーで同伴気体中に噴霧して微液滴を形成した後、これを乾燥して金属塩粒子や金属錯体粒子とし、この金属塩粒子や金属錯体粒子を同伴気体とともに熱分解合成炉に導入して加熱することにより、熱分解合成を行って蛍光体を得る方法が提案されている。しかしながら、この方法では、熱分解合成炉内での滞留時間を十分に長く取れないために、蛍光体の結晶性が低い上に付活剤イオンを結晶内に均一に付活することができず、結果として発光特性の良好な蛍光体を得られないという問題があった。
【０００５】
そこで、この問題を解消するために、金属塩粒子又は金属錯体粒子を比較的低温で短時間熱分解して所望の結晶相からなる粉末を得て、これを一旦捕集した後、この粉末を比較的高温で長時間再加熱処理して最終的に蛍光体を得るという、２段階加熱処理法が提案された。この方法は、熱分解により得られる粒子の結晶性を更に高めると同時に付活剤イオンを結晶内に均一に付活できるため、発光特性の良好な球状蛍光体を得ることができる。しかしながら、比較的低温で短時間の噴霧で結晶相を得た後、通常１０００〜１６００℃を超える比較的高温で長時間熱処理することが必要であり、この場合、結晶は大きく成長し、蛍光体の結晶性は良好となるが、大きな焼結した粒子となり、一次粒子が１００ｎｍ以下のような微細なナノ粒子を得ることができなかった。
【０００６】
また、蛍光体の構成金属元素と融点以上の高温反応時にフラックス成分として働く分散媒体成分を含有する溶液を用いて液滴を形成し、分散媒体の融点以上で加熱して金属塩を熱分解して蛍光体のナノ粒子を得ることが知られているが、多量の上記分散媒体をフラックスとして融点以上で反応させるので、電気炉の炉心管と溶融化合物が反応したり、分散媒体の蒸気圧がその融点以上では大きく上昇し、電気炉内で蒸気成分が反応し、炉心管を傷めたり、炉心管―反応蒸気の関係が炉の使用頻度毎に変化してしまうため、得られる蛍光体の特性が不安定になるといった問題点を有していた。（例えば、非特許文献１や非特許文献２参照。）
さらに、量産用の熱分解炉は、通常大きな口径の炉心管を用いており、液滴を同伴した気流の炉心管の直径方向の温度分布は、管径が大きくなればなるほど広くなり、均一の合成状況を実現できず安定した蛍光特性が得られない問題点を有していた。
【０００７】
また、上記のフラックス成分を用いて融点を大きく超える温度以上で合成した場合、得られる蛍光体のナノ粒子が凝結体となってしまい、粒径が１００ｎｍ以下の微小な蛍光体を得がたい場合があった。
さらに、蛍光体の場合、その粒子径と発光特性の間には相関関係があり、通常ＴＶ用等に用いられる２〜４μｍの蛍光体のＵＶ励起による輝度１００とした時、ナノ粒子のＵＶ輝度は通常３０％程度以下であった。従ってナノ粒子の場合、いかに高い発光特性を実現するかその手法の開発が求められている。
【０００８】
【非特許文献１】奥山喜久夫，ウレットレンゴロー  セラミックス，３４，１０１−１０５（１９９９）
【非特許文献２】Ｂｉｎ  Ｘｉａ，  Ｗｕｌｅｄ  Ｌｅｎｇｇｏｒｏ，奥山喜久夫  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ，１４（１２），２５−２９（２００１）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題を解消し、結晶性が高く、分散しやすいナノ粒子からなるため、ブラウン管、蛍光ランプやＰＤＰなどに用いる際に均質で緻密な高輝度蛍光膜を形成することが可能で、しかも、高純度で化学組成が均一で発光特性に優れた微小ナノ蛍光体粒子を安価に製造できる方法を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、蛍光体の構成金属元素及び分散媒体成分を含有する溶液を同伴気体中に噴霧して微液滴を形成し、特定の温度で熱分解、及び、再加熱処理を行い、その後分散媒体成分を除去することにより、高純度で化学組成が均一で発光特性に優れた、粒径が微小な蛍光体粒子を得ることを見出し、それに基づいて本発明を完成した。
【００１１】
即ち、本発明の要旨は、蛍光体の構成金属元素及び分散媒体成分を含有する溶液を同伴気体中に噴霧して微液滴を形成し、分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で加熱することで熱分解を行って前駆体粒子を形成した後、分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で再加熱処理を行い、その後分散媒体成分を除去して蛍光体粒子を得ることを特徴とする蛍光体粒子の製造方法、に存する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明の蛍光体粒子の製造方法において、蛍光体の構成金属元素を含有する蛍光体原料は、水に可溶性を有するものであり、高温に加熱するときに酸化物や硫化物を生成し得る塩化物や硝酸塩や硫酸塩等の無機塩や有機金属化合物などを使用することができる。また、蛍光体の構成金属元素の酸化物を酸に溶解して使用することも可能である。本発明では、蛍光体の合成を容易にするために、蛍光体の構成金属元素の硝酸塩を使用することが好ましい。硝酸塩粒子は、加熱により容易に分解して蛍光体を生成しやすいからである。それ故、溶液に溶解されている金属塩の１０重量％以上が硝酸塩であることが好ましい。また、溶液に溶解されている金属塩の５０重量％以上が硝酸塩であることがより好ましい。
【００１３】
また、蛍光体の構成金属元素としては、特に制限はないが、Ｓｒ，Ｃａ，Ｂａ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｙ、Ｖ、Ｚｎ、Ｅｕ、Ｔｍ、Ｔｂ、Ｎｄ、Ｄｙ、Ｇｄ、Ｍｎ等が挙げられる。
なお、良好な発光特性を得るためには、キラーセンターとなる鉄やニッケルなどの不純物元素の含有量の少ない蛍光体原料を使用することが好ましい。
蛍光体の構成金属元素を含有する蛍光体原料は、通常、水や酸に投入して攪拌して十分に溶解し、蛍光体原料溶液として使用される。溶液内の蛍光体原料構成金属元素濃度は、水溶液内の金属元素の溶質濃度Ｃが０．０１≦Ｃ≦５の範囲にあることが好ましい。ここで、Ｃは、水溶液１リットルに含有される全ての金属元素の合計のモル数である。溶質濃度が低すぎると、乾燥除去される水分量に対して合成できる蛍光体量が少ないために生産性が低くなる傾向にある。一方、溶質濃度が高すぎると、後に製造する微液滴が生成しにくくなる。
【００１４】
蛍光体原料溶液のｐＨは７以下に調整することが好ましく、特に５以下に調整することがより好ましい。この溶液のｐＨを７以下に適切に調整すると、均質な水溶液が形成され、噴霧により均質な液滴を形成することができるため、均質な蛍光体粒子を合成しやすい。溶液のｐＨが７を越えると、水酸化物が多量に沈殿する傾向にある。その結果、噴霧する水溶液中の蛍光体の構成金属元素の含有量が低下し、微液滴中の蛍光体原料の組成が変動するため、蛍光体結晶核が均一に発生せず蛍光体の組成が変動したり、粒径が変動する要因となり、均質で発光特性の高い蛍光体粒子を得ることができにくい。溶液に固形分が混在する場合でも、その混在割合は１０重量％以下であることが好ましく、１重量％以下がより好ましい。
【００１５】
分散媒体成分としては、分散媒体成分の融点以上の温度での高温反応時にフラックスとして作用する成分であり、具体的にはＬｉ、Ｋ、Ｎａ、Ｒｂ等のアルカリ金属のハロゲン化物、Ｍｇ、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒ等のアルカリ土類金属のハロゲン化物、ハロゲン化亜鉛、及び前記のアルカリ金属の硫化物の群から選ばれる少なくとも一種の化合物を使用することができ、その中でもアルカリ金属のハロゲン化物、ベリリウムを除くアルカリ土類金属の塩化物、臭化マグネシウム、フッ化亜鉛、硫化リチウム、硫化ナトリウム、及び硫化カリウムの群から選ばれる少なくとも一種の無機塩化合物を使用することが好ましい。
【００１６】
蛍光体原料及び分散媒体成分を含有する溶液は、通常、蛍光体原料溶液と分散媒体成分を混合して調整される。
分散媒体成分は、その固体の体積割合が、所望の蛍光体粒子の固体体積に対して、通常５〜１００倍となる割合で使用するのが好ましい。体積割合が小さい、すなわち、分散媒体量が少ないと凝集を招きやすくなりフラックス成分を除去しても、最初に噴霧された液滴の形骸を有した凝集した球形状粒子が得られ、１００ｎｍ以下のような微細なナノ粒子は得られにくい。また、体積割合が大きいと、フラックス成分を除去した後の蛍光体成分の割合が低下するので、体積割合は５〜２０倍が好ましく、５〜１５倍がさらに好ましい。
【００１７】
本発明の蛍光体の製造方法は、蛍光体原料及び分散媒体成分を含有し、それらが溶解された溶液を同伴気体中に噴霧し、得られた微液滴を同伴気体と共に、通常、熱分解合成炉に導入して、加熱、熱分解して所望の蛍光体を合成する際、まず、用いる分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で熱分解を行い、多量の分散媒体成分中に、蛍光体の構成金属元素で構成される蛍光体前駆体粒子である結晶核前駆体もしくは所望の蛍光体の結晶核を形成させる。その後、分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で再加熱処理を行い、結晶核を成長させ、結晶性を向上させて、蛍光特性に優れた微少なナノ領域（＜１００ｎｍ）の蛍光体を得るものである。
【００１８】
尚ここで、蛍光体の構成金属元素及び分散媒体成分を共に含有しそれらが溶解された溶液を同伴気体中に噴霧し、得られた微液滴を乾燥させる工程処理を行い、乾燥して得られた微粉体と同伴気体を熱分解炉に導入し熱分解をしてもよい。
同伴気体中で蛍光体原料溶液を微液滴にする方法としては、以下の方法を採用できる。例えば、加圧空気で液体を吸い上げながら噴霧して１〜５０μｍの液滴を形成する方法、圧電結晶からの２ＭＨｚ程度の超音波を利用して４〜１０μｍの液滴を形成する方法、穴径が１０〜２０μｍのオリフィスが振動子により振動し、そこへ一定の速度で供給される液体が振動数に応じて一定量ずつ穴から放出され５〜５０μｍの液滴を形成する方法、回転している円板上に液を一定速度で落下させて遠心力によって２０〜１００μｍの液滴を形成する方法、液体表面に高い電圧を引加して０．５〜１０μｍの液滴を発生する方法などが挙げられる。
【００１９】
同伴気体としては、空気、酸素、窒素、水素、少量の一酸化炭素や水素や硫化水素を含む窒素やアルゴンなどとそれらの混合気体が使用できる。良好な発光特性を得るためには、蛍光体の化学組成と発光に関与する付活剤イオンの種類により気体を選択することが重要である。例えば、酸化雰囲気で原子価を保ちやすいＥｕ３＋等を付活イオンとする酸化物を主相とする蛍光体を合成する場合には、空気や酸素などの酸化性ガスが好ましく、還元雰囲気で原子価を保ちやすいＥｕ２＋等を付活イオンとする酸化物を主相とする蛍光体を合成する場合には、水素、少量の水素を含む窒素やアルゴンなどの還元性ガスが好ましい。また、硫化物蛍光体や酸硫化物蛍光体を合成する際には、硫化水素を含有する同伴気体を使用することが好ましい。
【００２０】
熱分解合成炉での蛍光体の生産効率を上げるために、分級器を使用して液滴同伴気体の単位体積当たりの液滴体積を濃縮することが好ましい。分級器としては、重力分級器、遠心分級器、慣性分級器などが使用し得る。しかし、微液滴を同伴した気体から、気体の一部と共に上記の液滴径の下限未満の微液滴を除去して、液滴同伴気体の単位体積当たりの液滴体積を濃縮するためには、慣性分級器が好適である。
【００２１】
微液滴は、直接、熱分解に供してもよく、予め乾燥してもよい。熱分解の前に、微液滴を乾燥させる場合、微液滴の乾燥方法としては、凍結乾燥、減圧乾燥、拡散乾燥、加熱乾燥などが採用できる。しかし、凍結乾燥や減圧乾燥などと比較して加熱乾燥が工業的生産性において優れている。尚、乾燥は、微液滴を熱分解温度まで昇温する過程において行ってもよい。乾燥して得られる分散媒体成分を含む固体状蛍光体原料粒子の温度は、熱分解前に１００℃以上に保持することが好ましい。この温度が熱分解前に１００℃未満になると乾燥時に発生した水蒸気が凝縮して固体状蛍光体原料を部分的に再溶解するため、所望の形状や粒径の蛍光体粒子を得ることができない。また、乾燥と熱分解を同時に連続的に電気炉内で実施する手法が、より生産性が向上する観点からより好ましい。
【００２２】
熱分解においては、分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で加熱するが、炉内の滞留時間は通常１秒程度以下と非常に短いので実質的に溶融しない温度とは、融点をＴｍ（℃）とした場合、（Ｔｍ＋３０）℃程度が上限である。さらに蛍光体の前駆体粒子である、結晶核前駆体もしくは結晶核を形成させるためには、熱分解温度Ｔ１（℃）は、通常、融点Ｔｍ（℃）を基準にして（Ｔｍ−２００）℃以上、好ましく（Ｔｍ−１００）℃以上、更に好ましくは（Ｔｍ−５０）℃以上であり、上限は、（Ｔｍ＋３０）℃以下、好ましくはＴｍ（℃）以下の温度である。
【００２３】
熱分解炉での最高温度域での熱分解反応時間は、通常、０．０１秒間以上１分間以下の範囲内の時間で行われる。中でも下限としては０．０３秒間以上、上限としては１０秒間以下の時間で行うのが好ましい。短すぎると、結晶核前駆体や結晶核が生成しにくく、長すぎると、粒径が成長し、例えば一次粒子径が１００ｎｍ以上となりナノ粒子が得難くなる。
【００２４】
噴霧熱分解工程において、前記分散媒体の融点以上で反応処理を実施した場合、温度が高いほど、電気炉の炉心管と分散媒体フラックス溶融化合物粒子が反応し、炉心管に付着物を形成したり、激しい場合は、炉心管が目詰まりを起こしたり、また、蒸気圧が融点以上では大きく上昇して電気炉内で蒸気成分が反応し、炉心管を傷めたり、炉心管−蒸気の間の化学反応の状況が、炉の使用頻度毎に変化し、得られる蛍光体の発光特性が不安定になるといった問題点があるが、この手法を採用することによってこれらの問題を解決できる。
【００２５】
前記噴霧熱分解により得られた蛍光体前駆体粒子と分散媒体成分を含む１次熱分解粒子は、電気集塵器などで捕集した後、分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で再加熱処理を行う。
再加熱処理温度Ｔ２（℃）は、分散媒体成分が実質的に溶融しない温度で行われるが、具体的には、分散媒体成分の融点Ｔｍ（℃）を基準にして、通常（Ｔｍ−２００）℃以上、好ましくは（Ｔｍ−５０）℃以上、さらに好ましくは（Ｔｍ−３０）℃以上であり、上限は、通常（Ｔｍ＋３０）℃以下、好ましくはＴｍ（℃）以下である。
【００２６】
再加熱処理時間は、通常、１秒以上、好ましくは３０秒以上であり、上限は通常１時間以下、好ましくは３０分以下である。短すぎると、結晶核前駆体もしくは結晶核の成長が十分ではなく、長すぎると粒成長が促進され、例えば一次粒径が１００ｎｍ以上となり、ナノ粒子を得難くなる。
融点近傍付近の状態を利用して、分散媒体を介しての原子の拡散状態を向上せしめることによって、上記の状態の分散媒体中に存在する蛍光体の前駆体粒子である、結晶核前駆体もしくは結晶核の成長を促進させ、その結晶性を向上させて従来の融点以上の噴霧熱分解法によって得られる蛍光体ナノ粒子に比べて発光性能の優れた蛍光体ナノ粒子を合成することが可能である。
【００２７】
分散媒体として水溶性の無機塩を使用するときには、分散媒体中で蛍光体を合成した後、水系溶液で分散媒体を溶解して容易に除去する。また、有機溶媒に可溶な無機塩を使用する場合は、当該無機塩に溶解可溶な有機溶媒を用いて分散媒体を除去してもよい。
本発明で得られる蛍光体としては、Ｅｕ、Ｔｍ、Ｔｂ、Ｎｄ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｍｎ等で付活してなるＹ２Ｏ３系蛍光体、Ｙ２Ｏ２Ｓ系蛍光体、ＺｎＳ系蛍光体、ＣａＳ系蛍光体、ＢａＡｌ１２Ｏ１９系蛍光体、ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７系蛍光体、ＣａＡｌ２Ｏ４系蛍光体、ＳｒＡｌ２Ｏ４系蛍光体、Ｓｒ４Ａｌ１４Ｏ２５系蛍光体等があり、一次粒子の粒径が通常１〜１００ｎｍの蛍光体粒子となる。
【００２８】
【実施例】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。
（実施例１）
蛍光体の化学組成が（Ｙ０．９４，Ｅｕ０．０６）２Ｏ３となるように酸化イットリウムＹ２Ｏ３と酸化ユーロピウムＥｕ２Ｏ３を硝酸水溶液にまず溶解し、さらに（Ｙ０．９４，Ｅｕ０．０６）２Ｏ３蛍光体の固体体積に対して１０倍の固体体積となるように分散媒体成分である塩化カリウム（融点：７７６℃）を添加し溶解、硝酸イットリウムユーロピウムとして溶質濃度Ｃが０．１モル／ｋｇの均質な水溶液を調製した。
【００２９】
同伴気体として空気を使用し、この水溶液を１．７ＭＨｚの振動子を有する超音波噴霧器に入れて噴霧を行い平均粒径５μｍの微液滴を形成させた。
この微液滴を縦型管状型電気炉の中に同伴気体とともに導入し、最高温度７００℃にて０．３秒間、噴霧熱分解して蛍光体前駆体粒子及び分散媒体成分の混合物粉体粒子（１次熱分解粒子）を得た。得られた粒子は−１８ｋｖの高電圧を印加して電気集塵機にて捕集した。
【００３０】
その後、電気集塵器で捕集し得られた上記粉体を７７０℃で１分間再加熱処理を行った。得られた微粉末中の分散媒体成分を水洗除去処理した後、粉末Ｘ線回折を行った所、分散媒体成分等不純物相のない所望の（Ｙ０．９４，Ｅｕ０．０６）２Ｏ３結晶のみが観測された。得られた微細粒子はＴＥＭ・ＳＥＭを用いて一次粒子の大きさを観察した。
【００３１】
この蛍光体について、波長２５４ｎｍの紫外線を照射して発光スペクトルを測定した。
発光強度（ＵＶ輝度）は、市販の一次粒子径３μｍの同組成の物を標準サンプルとして用いて測定し比較した。その結果を表−１に示す。
【００３２】
この噴霧実験を繰り返して行ったが、炉心管等との反応は観測されなかった。
（実施例２）
蛍光体の化学組成が（Ｙ０．９４，Ｅｕ０．０６）２Ｏ３となるように酸化イットリウムＹ２Ｏ３と酸化ユーロピウムＥｕ２Ｏ３を硝酸水溶液にまず溶解し、さらに（Ｙ０．９４，Ｅｕ０．０６）２Ｏ３蛍光体の固体体積に対して１０倍の固体体積となるように分散媒体成分である塩化ナトリウム（融点：８０１℃）を添加し溶解、硝酸イットリウムユーロピウムとして溶質濃度Ｃが０．１モル／ｋｇの均質な水溶液を調製した。
【００３３】
同伴気体として空気を使用し、この水溶液を１．７ＭＨｚの振動子を有する超音波噴霧器に入れて噴霧を行い平均粒径５μｍの微液滴を形成させた。
この微液滴を縦型管状型電気炉の中に同伴気体とともに導入し、最高温度８００℃にて０．２８秒間、噴霧熱分解して蛍光体前駆体粒子及び分散媒体成分の混合物粉体粒子（１次熱分解粒子）を得た。得られた粒子は−１８ｋｖの高電圧を印加して電気集塵機にて捕集した。
【００３４】
その後、電気集塵器で捕集し得られた上記粉体を７７０℃で１分間再加熱処理を行った。得られた微粉末中の分散媒体成分を水洗除去処理した後、粉末Ｘ線回折を行った所、分散媒体成分等不純物相のない所望の（Ｙ０．９４，Ｅｕ０．０６）２Ｏ３結晶のみが観測された。得られた微細粒子を実施例１と同様にして評価した。
【００３５】
この噴霧実験を繰り返しおこなったが、炉心管等との反応は観測されなかった。
（比較例１）
実施例１と同様にして微液滴を形成させ、この微液滴を縦型管状型電気炉の中に同伴気体とともに導入し、最高温度７００℃にて０．３秒間、噴霧熱分解して蛍光体粒子及び分散媒体成分の混合物粉体粒子を得た。得られた粒子は−１８ｋｖの高電圧を印加して電気集塵機にて捕集した。
【００３６】
得られた粉体中の分散媒体成分を水洗除去処理した後、粉末Ｘ線回折を行った所、分散媒体成分等不純物相のない所望の（Ｙ０．９４，Ｅｕ０．０６）２Ｏ３結晶のみが観測された。得られた微細粒子を、実施例１と同様に評価した。
この実験を繰り返して行ったところ、炉心管等との反応は観測されなかった。
（比較例２）
実施例１と同様にして微液滴を形成させ、この微液滴を縦型管状型電気炉の中に同伴空気とともに導入し、最高温度１０００℃にて０．２４秒間、噴霧熱分解して蛍光体粒子及び分散媒体成分の混合物粉体粒子を得た。得られた粒子は−１８ｋｖの高電圧を印加して電気集塵機にて捕集した。
【００３７】
得られた粉体中の分散媒体成分を水洗除去処理した後、粉末Ｘ線回折を行った所、分散媒体成分や不純物相のない所望の（Ｙ０．９４，Ｅｕ０．０６）２Ｏ３結晶のみが観測された。得られた微細粒子を、実施例１と同様に評価した。
この実験を繰り返して行ったところ、炉心管に分散媒体成分由来の付着物が多量について成長してくることを確認した。
【００３８】
ＳＥＭ、ＴＥＭを用い一次粒子の大きさを調べたところ、実施例１、２と比較例１では５０ｎｍ以下のナノ粒子であったが、比較例２では、４０〜１００ｎｍ、１００ｎｍ以上のものも混在していた。ＵＶ輝度評価は、市販のＥｕ＝６ｍｏｌ％で付活したＹ２Ｏ３蛍光体（同一組成品）で粒径３μｍのものの輝度を１００％として比較した。
表−１に示すように実施例１、２は比較例１〜２に比べて高い発光特性を示した。
【００３９】
【表１】
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【００４０】
【発明の効果】
本発明は、上記の構成を採用することにより、電気炉等合成装置を傷めることなく、結晶性に優れて、凝集粒子が少なく、高純度で化学組成が均一で、発光特性の優れた１００ｎｍ以下の微小蛍光体粒子を得ることが可能となり、ブラウン管、蛍光ランプやＰＤＰなどに適用するときに均質で緻密な高輝度蛍光膜を安価に提供できる。