(57)【要約】【目的】磁歪式のトルクセンサにおいて、トルクセンサの外部の発熱体から伝導した熱を、主に熱伝導軸に伝えさせ、センサ軸に伝えられる熱を最小限に抑えることが可能となり、これにより、センサ軸の両端部の温度差（温度勾配）を小さくし、センサ軸の中央部位に配置されたセンサコイル周辺の温度差（温度勾配）が緩やかになり、センサ出力の値の変動量を少なくすることにある。【構成】トルク入力軸とトルク出力軸との間にセンサ軸を設け、このセンサ軸を内部に中空部が備えられた筒形状に形成し、この中空部には両端部でのみセンサ軸と接し且つセンサ軸よりも熱伝導率が高い熱伝導軸を挿入して設け、この熱伝導軸の両端部はセンサ軸を介してトルク入力軸とトルク出力軸とに接続して設けている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気異方性部を有するセンサ軸の周囲にセンサコイルを配設したトルクセンサにおいて、トルク入力軸とトルク出力軸との間にセンサ軸を設け、このセンサ軸を内部に中空部が備えられた筒形状に形成し、この中空部には両端部でのみ前記センサ軸と接し且つ前記センサ軸よりも熱伝導率が高い熱伝導軸を挿入して設け、この熱伝導軸の両端部は前記センサ軸を介して前記トルク入力軸と前記トルク出力軸とに接続して設けられたことを特徴とするトルクセンサ。
【請求項２】
磁気異方性部を有するセンサ軸の周囲にセンサコイルを配設したトルクセンサにおいて、トルク入力軸とトルク出力軸との間にセンサ軸を設け、このセンサ軸を内部に中空部が備えられた筒形状に形成し、この中空部には両端部でのみ前記センサ軸と接し且つ前記センサ軸よりも熱伝導率が高い熱伝導軸を挿入して設け、この熱伝導軸の両端部は前記トルク入力軸と前記トルク出力軸とに直接接続して設けられたことを特徴とするトルクセンサ。
【請求項３】
前記トルク入力軸と前記トルク出力軸と前記センサ軸と前記センサコイルは、ハウジングケースに覆われ、このハウジングケースの内側には、前記センサコイルの周囲を覆い且つ前記センサ軸からの熱を前記ハウジングケースに伝導可能なセンサケースを設け、前記ハウジングケースと前記センサケースとは、発熱体から離れた側で接触して設けられたことを特徴とする請求項１に記載のトルクセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、トルクセンサに係り、特に磁歪式のトルクセンサにおいてセンサ軸に伝えられる熱量を抑制するトルクセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転軸のトルクを検出するために、トルクセンサとして、磁気歪み効果を利用した磁歪式のトルクセンサがある。
【０００３】
図９に示す如く、磁歪式のトルクセンサ１０２には、所定間隔で離間して軸心方向に対して例えば４５度の角度で互いに反対方向に傾斜した一対の入力側磁気異方性部（磁歪層）１０４・出力側磁気異方性部（磁歪層）１０６を有するセンサ軸１０８を設け、このセンサ軸１０８の両端部に入力側軸受１１０・出力側軸受１１２を設け、この入力側軸受１１０・出力側軸受１１２に入力側保持部材１１４・出力側保持部材１１６を設け、この入力側保持部材１１４・出力側保持部材１１６には回路基板１１８を取付ねじ１２０・１２０で固設している。
【０００４】
また、入力側軸受１１０と出力側軸受１１２との間でセンサ軸１０８の周囲には、コイルボビン１２２を設けている。このコイルボビン１２２の外周面には、入力側磁気異方性部１０４に対応して入力側検出コイル１２４及びこの入力側検出コイル１２４の周囲で入力側励磁コイル１２６を設けるとともに、出力側磁気異方性部１０６に対応して出力側検出コイル１２８及びこの出力側検出コイル１２８の周囲で出力側励磁コイル１３０を設けている。
【０００５】
更に、コイルボビン１２２には、中央部位の外周面にコンタクトピン１３２を径方向に指向して回路基板１１８よりも外方に突出して設けられているとともに、両端側に入力側励磁コイル１２６・出力側励磁コイル１３０を覆う形でヨーク１３４を設けている。また、回路基板１１８には、コネクタ１３６が取り付けられている。
【０００６】
ところで、この図９のトルクセンサにあっては、センサ軸１０８の両端部に温度差（温度勾配）が生ずると、センサ出力の値が変動してしまい、特に、発熱体（図示せず）がセンサ軸１０８の片側にあり、この発熱体が発熱開始後又は発熱停止後のしばらくの時間は、センサ軸１０８の両端部の温度差（温度勾配）が大きく生ずるという不具合があった。
【０００７】
このようなセンサ軸の温度差（温度勾配）を均一にするために、従来、磁歪式のトルクセンサには、磁歪層（磁気異方性部）を有するトルク検出軸（センサ軸）に冷却流体（空気）の通路を形成し、磁歪層（磁気異方性部）の温度変化を抑制するものがある（例えば、特許文献１参照）。また、磁歪式のトルクセンサには、センサ軸の軸心に対して所定角度をなす磁気異方性部を有する被測定軸（センサ軸）の内部にヒートパイプを埋設し、温度を一定に保つものがある（例えば、特許文献２参照）。更に、磁歪式のトルクセンサには、被測定軸の表面に軸方向に対して所定角度をなすように磁気異方性部を設け、通電により磁気異方性部を磁路の一部とした磁力線を発生させるコイルを設け、コイルに交流を通電したときのコイル出力とコイルの直流を通電したときのコイル出力とからコイルのインダクタンス変化分を求め、このインダクタンス変化分に基づいて被測定軸にかかるトルクを検出するものがある（例えば、特許文献３参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平６−９４５４９号公報（第２、３頁、図１）
【特許文献２】
特開平３−７５５３４号公報（第２、３頁、図１）
【特許文献３】
特開平５−１１３３７５号公報（第３〜５頁、図２）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来、前記特許文献１の磁歪式のトルクセンサにあっては、トルク検出軸（センサ軸）に冷却流体の通路を形成したりすることから、構造が複雑になるとともに、冷却流体（空気）を供給する必要があるという不都合があった。
【００１０】
また、前記特許文献２の磁歪式のトルクセンサにあっては、ヒートパイプ等を設けることから、構造が複雑になるとともに、コストも高くなるという不都合があった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
そこで、この発明は、上述の不都合を除去するために、磁気異方性部を有するセンサ軸の周囲にセンサコイルを配設したトルクセンサにおいて、トルク入力軸とトルク出力軸との間にセンサ軸を設け、このセンサ軸を内部に中空部が備えられた筒形状に形成し、この中空部には両端部でのみ前記センサ軸と接し且つ前記センサ軸よりも熱伝導率が高い熱伝導軸を挿入して設け、この熱伝導軸の両端部は前記センサ軸を介して前記トルク入力軸と前記トルク出力軸とに接続して設けられことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明は、トルク入力軸とトルク出力軸との間にセンサ軸を設け、このセンサ軸を内部に中空部が備えられた筒形状に形成し、この中空部には両端部でのみセンサ軸と接し且つセンサ軸よりも熱伝導率が高い熱伝導軸を挿入して設け、この熱伝導軸の両端部はセンサ軸を介してトルク入力軸とトルク出力軸とに接続していることから、トルクセンサの外部の発熱体から伝導した熱は、主に熱伝導軸に伝えられるので、センサ軸に伝えられる熱を最小限に抑えることが可能となり、これにより、センサ軸の両端部の温度差（温度勾配）を小さくし、センサ軸の中央部位に配置されたセンサコイル周辺の温度差（温度勾配）を緩やかにし、センサ出力の値の変動量を少なくすることができる。
【００１３】
【実施例】
以下図面に基づいてこの発明の実施例を詳細且つ具体的に説明する。図１〜３は、この発明の第１実施例を示すものである。図１において、２は例えば車両のステアリングシャフト（図示せず）のトルクを検出する磁歪式のトルクセンサである。
【００１４】
このトルクセンサ２は、ハウジングケース４内で、ステアリングホイール側のトルク入力軸６と、車輪側のトルク出力軸８と、このトルク入力軸６とトルク出力軸８との間のセンサ軸１０とを有している。トルク入力軸６及びトルク出力軸８は、中実状に形成されている。
【００１５】
センサ軸１０は、トルク伝達軸であり、磁歪性を有する材料により、内部に中空部１２を有して筒形状の中空軸として形成されている。
【００１６】
このセンサ軸１０の外周面には、所定間隔で離間した一対の入力側磁気異方性部（磁歪層）１４と出力側磁気異方性部（磁歪層）１６とが、軸心方向に対して、例えば４５度の角度で互いに反対方向に傾斜して設けられている。
【００１７】
トルク入力軸６のセンサ側端部６Ｅは、他部位よりも大きな所定の大径に形成され、入力側軸受１８によってハウジングケース４内で回転自在に設けられている。同様に、トルク出力軸８のセンサ側端部８Ｅは、他部位よりも大きな所定の大径に形成され、出力側軸受２０によってハウジングケース４内で回転自在に設けられている。
【００１８】
ハウジングケース４の外周面には、一側で、入力側軸受１８の位置よりもステアリングホイール側に発熱体２２が取り付けられている。
【００１９】
トルク入力軸６のセンサ側端部６Ｅの端面６Ｆには、入力側センサ軸保持穴２４が所定の深さＷで且つ所定の径Ｄ１で形成されている。また、同様に、トルク出力軸８のセンサ側端部８Ｅの端面８Ｆには、出力側センサ軸保持穴２６が所定の深さＷで且つ所定の径Ｄ１で形成されている。これら入力側センサ軸保持穴２４及び出力側センサ軸保持穴２６の径Ｄ１は、後述する熱伝導軸２８の入力側端部２８Ａの端面２８Ｆをできる限り広い面積で接触させるように、大きい径に設定すると良い。
【００２０】
この入力側センサ軸保持穴２４と出力側センサ軸保持穴２６とには、センサ軸１０の入力側センサ軸端部１０Ａと出力側センサ軸端部１０Ｂとがセレーション等で圧入・結合して設けられる。
【００２１】
このセンサ軸１０の中空部１２には、熱伝導軸２８が配置される。この熱伝導軸２８は、中実状であり、センサ軸１０よりも熱伝導率が高い材質、例えば、アルミニウム材等からなり、外周面がセンサ軸１０の内面に所定の長さＬで接触するように、両端側の入力側端部２８Ａ及び出力側端部２８Ｂの径Ｄ２が、中央部２８Ｃの径Ｄ３よりも大きく形成されている。よって、熱伝導軸２８の両端側の入力側端部２８Ａと出力側端部２８Ｂとは、センサ軸１０を介してトルク入力軸６とトルク出力軸８とに接続して設けられる。
【００２２】
このように、熱伝導軸２８の中央部２８Ｃをセンサ軸１０の内面に接触させないようにする理由としては、熱伝導軸２８の中央部２８Ｃがセンサ軸１０の内面に接触した場合に、熱伝導軸２８に発生する温度差（温度勾配）の影響がセンサ軸１０に伝わって、このセンサ軸１０での温度差（温度勾配）との相互影響が生じて、センサ出力の値が悪化するおそれがあるからである。
【００２３】
また、センサ軸１０の周囲には、入力側磁気異方性部（磁歪層）１４に対応した位置で、磁束の変化を検出するセンサコイルとしての入力側検出コイル３０とこの入力側検出コイル３０の周囲で該入力側検出コイル３０を励磁する入力側励磁コイル３２とが設けられ、また、出力側磁気異方性部（磁歪層）１６に対応した位置で、磁束の変化を検出するセンサコイルとしての出力側検出コイル３４とこの出力側検出コイル３４の周囲で該出力側検出コイル３４を励磁する出力側励磁コイル３６とが設けられている。
【００２４】
これら入力側検出コイル３０と入力側励磁コイル３２と出力側検出コイル３４と出力側励磁コイル３６は、回路基板３８に連絡している。
【００２５】
つまり、回路基板３８においては、図２に示す如く、入力側検出コイル３０と入力側励磁コイル３２と出力側検出コイル３４と出力側励磁コイル３６とが所定に配置されたコイル部４０と、このコイル部４０の一側の入力側励磁コイル３２と出力側励磁コイル３６とに連絡して該入力側励磁コイル３２と出力側励磁コイル３６とに交流信号（電圧）を発生する発振回路（交流信号発生回路）４２と、コイル部４０の他側の入力側検出コイル３０に連絡した入力側整流回路４４と、コイル部４０の他側の出力側検出コイル３４に連絡した出力側整流回路４６と、これら入力側整流回路４４と出力側整流回路４６とに連絡した比較回路（平滑回路）４８と、この比較回路４８に連絡してトルク出力を例えば制御手段（図示せず）に行うゲイン・中点調整回路５０とが設けられている。このゲイン・中点調整回路５０は、必要時に、温度特性に対する補正を行うものである。
【００２６】
このセンサ回路基板３８においては、発振回路（交流信号発生回路）４２によって入力側励磁コイル３２と出力側励磁コイル３６とを励磁し、これにより、入力側検出コイル３０と出力側検出コイル３４とには、入力トルクに基づく入力側磁気異方性部（磁歪層）１４と出力側磁気異方性部（磁歪層）１６との夫々透磁率変化に対応した検出電圧を夫々発生し、これら検出電圧の差によりトルクを検出する。
【００２７】
例えば、規定トルク内のトルクが印可された場合には、センサ軸１０にトルクが伝わると、入力側磁気異方性部（磁歪層）１４と出力側磁気異方性部（磁歪層）１６との磁束が磁歪によって変化し、この磁束の変化を入力側検出コイル３０と出力側検出コイル３４とが検出し、この検出信号が入力側整流回路４４と出力側整流回路４６とから比較回路４８とゲイン・中点調整回路５０とを経てトルク出力が行われる。
【００２８】
次に、この第１実施例の作用を説明する。
【００２９】
発熱体２２からの温度の高い熱は、図３に示す如く、ハウジングケース４から入力側軸受１８に伝わり、そして、この入力側軸受１８から、第１の伝導熱経路Ｒ１として、トルク入力軸６の入力側端部６Ｅに伝わるとともに、第２の伝導熱経路Ｒ２として、熱伝達軸２８の入力側端部２８Ａに伝わり、さらに、第３の伝導熱経路Ｒ３として、センサ軸１０の入力側端部１０Ａに伝わる。
【００３０】
この場合、この伝導する熱は、トルク入力軸６と熱伝導軸２８とセンサ軸１０との夫々構成及び夫々熱伝導率により、トルク入力軸６の入力側端部６Ｅでは一番大きく伝わり、次いで、熱伝導軸２８に入力側端部６Ｅよりは小さく伝わり、そして、センサ軸１０には一番小さく伝わり、つまり、熱量は、Ｒ１＞Ｒ２＞Ｒ３の関係となり、これにより、入力側磁気異方性部（磁歪層）１４と出力側磁気異方性部（磁歪層）１６とを備えた中空のセンサ軸１０への熱影響を最小限にすることができるものである。そして、熱伝導軸２８の熱は、出力側端部２８Ｂからトルク出力軸８に伝導する。これにより、熱伝導軸２８の中央部２８Ｃとセンサ軸１０の中央部位との間の環状の空間（中空部１２の一部）に熱がこもることがない。
【００３１】
即ち、図３に示す各熱伝達経路（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）と温度差（温度勾配）時の軸温度分布との図において、従来の中実状のセンサ軸では、該中実状のセンサ軸に伝わる熱量が、大きくなり、熱伝導軸２８のように略直線状（で示す）になるが、この実施例の中空軸のセンサ軸１０では、該センサ軸１０の伝わる熱量を小さくすることができるので、入力側磁気異方性部（磁歪層）１４と出力側磁気異方性部（磁歪層）１６との温度差（温度勾配）が小さくなる温度分布となり、よって、センサ軸１０の温度差（温度勾配）を小さくし、センサ出力の値の変動を最小に抑えることができる。
【００３２】
この結果、トルク入力軸６とトルク出力軸８との間にセンサ軸１０を設け、このセンサ軸１０の内部に中空の筒形状の中空部１２を形成し、この中空部１２には両端部でのみセンサ軸１０と接し且つセンサ軸１０よりも熱伝導率が高い熱伝導軸２８を挿入して設け、熱伝導軸２８の両端部はセンサ軸１０を介してトルク入力軸６とトルク出力軸８とに接続していることから、トルクセンサ２の外部の発熱体２２から伝導した熱は、主に熱伝導軸２８に伝えられるので、センサ軸１０に伝えられる熱量を最小限に抑えることが可能となり、これにより、センサ軸１０の中央部１０Ｃに配置された各センサコイル周辺の温度差（温度勾配）が緩やかになり、センサ出力の値の変動量を少なくすることができ、また、センサ軸１０に伝わる熱量を最小とすることができ、更に、熱伝導軸２８の中央部２８Ｃをセンサ軸１０の内面に接触させないので、温度差（温度勾配）による熱影響をさらに小さくすることができ、しかも、ヒートパイプ等を不要とし、簡単な構造で、廉価とすることができる。
【００３３】
図４は、この発明の第２実施例を示すものである。
【００３４】
以下の実施例においては、上述の第１実施例と同一機能を果す箇所には同一符号を付して説明する。
【００３５】
この第２実施例の特徴とするところは、以下の点にある。即ち、熱伝導軸２８の両端部の入力側端部２８Ａと出力側端部２８Ｂとは、トルク入力軸６とトルク出力軸８とに、セレーション等によって直接接続して設けられた。つまり、センサ軸１０の入力側端部１０Ａの端面１０Ｆを、トルク入力軸６の端面６Ｆから長さＳだけ離間して配置するとともに、センサ軸１０の入力側端部１０Ａには、熱伝導軸２８の入力側端部２８Ａを固定ピン６２で固定し、センサ軸１０とトルク入力軸１０とを直接接触しない、非接触タイプとした。
【００３６】
この第２実施例の構成によれば、センサ軸１０がトルク入力軸８に対して非接触状態なので、熱がトルク入力軸８からセンサ軸１０に直接伝わることがなくなり、センサ軸１０への熱の伝導を最小とし、温度差（温度勾配）によるセンサ出力の変動を、さらに効率良く最小に抑えることができる。
【００３７】
図５は、この発明の第３実施例を示すものである。
【００３８】
この第３実施例の特徴とするところは、以下の点にある。即ち、ハウジングケース４内で入力側軸受１８と出力側軸受２０との間において、入力側検出コイル３０・入力側励磁コイル３２及び出力側検出コイル３４・出力側励磁コイル３６の周囲を覆うように、センサケース７２を設けた。このセンサケース７２は、入力側部７２Ａと出力側部７２Ｂと中央部７２Ｃ−１、７２Ｃ−２とからなり、入力側部７２Ａが入力側ケース用軸受７４でセンサ軸１０の入力側端部１０Ａの外周面に保持されているとともに、出力側部７２Ｂが出力側ケース用軸受７６でセンサ軸１０の出力側端部１０Ｂの外周面に保持され、入力側ケース用軸受７４と出力側ケース用軸受７６とを介してセンサ軸１０に接続している。
【００３９】
また、センサケース７２においては、発熱体２２側の中央部７２Ｃ−１をハウジングケース４の内面から離して非接触とする一方、発熱体２２から離れた側の中央部７２Ｃ−２をハウジングケース４の内面に接触して設ける。この場合、センサケース７２の発熱体２２から離れた側の中央部７２Ｃ−２を、ハウジングケース４を固定する固定ブラケット７８が存在する面に直接接触することで、伝達する熱を固定ブラケット７８側に逃がすことができ、センサ軸１０への熱影響をさらに有効に抑制することができる。
【００４０】
この第３実施例の構成によれば、センサ軸１０を伝達する熱の一部を入力側ケース用軸受７４を介してセンサケース７２に伝導させ、さらに、この熱を発熱体２２から離れた中央部７２Ｃ−２からハウジングケース４に逃がし、これにより、第４の熱伝達経路Ｒ４を加え、センサ軸１０に伝わる熱勾配をさらに小さくすることができ、また、センサケース７２の熱がハウジングケース４に伝わるので、センサケース７２での蓄熱を小さくすることができ、温度変化によりセンサ出力精度の劣化を防止することができる。
【００４１】
図６は、この発明の第４実施例を示すものである。
【００４２】
この第４実施例の特徴とするところは、以下の点にある。即ち、トルク入力軸６の入力側端部６Ｅには、入力側軸受１８とセンサ軸１０の入力側センサ軸端部１０Ａとの間で、端面６Ｆとは反対側に指向してトルク入力軸６側に開放形成した部材取付用穴８２に、熱伝導性の良い熱逃がし用部材８４を端面６Ｆとは反対側に延長し且つ入力側端部６Ｅのトルク入力軸６側の端面６Ｈから少し突出して設けた。
【００４３】
この第４実施例の構成によれば、入力側軸受１８側からの熱は、熱逃がし用部材８４によって導かれてトルク入力軸６の入力側端部６Ｅの端面６Ｈ側からトルク入力軸６の周囲に放射されるので、センサ軸１０側への熱量を抑制するとともに、センサ軸１０側に熱がこもるおそれもなく、センサ軸１０への熱影響をさらに有効に抑制することができる。
【００４４】
図７は、この発明の第５実施例を示すものである。
【００４５】
この第５実施例の特徴とするところは、以下の点にある。即ち、トルク入力軸６には、入力側端部６Ｅの入力側センサ軸保持穴２４に連続して熱伝導軸２８のフランジ端部２８Ｂを収容するフランジ用穴９２を形成した。熱伝導軸２８のフランジ端部２８Ｂの径Ｄ４は、入力側端部２８Ａの径Ｄ２よりも大きく形成されている。
【００４６】
この第５実施例の構成によれば、入力側軸受１８側からの多くの熱は、トルク入力軸６の入力側端部６Ｅから熱伝導軸２８のフランジ端部２８Ｂを経て導かれ、これにより、センサ軸１０側への熱量を効果的に抑制することができる。
【００４７】
図８は、この発明の第６実施例を示すものである。
【００４８】
この第６実施例の特徴とするところは、以下の点にある。即ち、センサ軸１０内に挿着する熱伝導軸２８の入力側端部２８Ａの断面を、例えば、六角形状にし、この熱伝導軸２８の入力側端部２８Ａをセンサ軸１０の中空部１２に挿入した際に、入力側端部２８Ａの各角部２８Ｐがセンサ軸１０の入力側センサ軸端部１０Ａの内面に線接触する構成とした。
【００４９】
この第６実施例の構成によれば、熱伝導軸２８の入力側端部２８Ａの各角部２８Ｐがセンサ軸１０の内面に線接触していることから、熱伝導軸２８からセンサ軸１０への熱伝導をさらに抑制することができる。
【００５０】
なお、この発明においては、トルクセンサを、ステアリングシャフトに限られず、エンジンの出力軸等の他のトルク検出にも、利用することが可能である。
【００５１】
また、熱伝導軸２８の入力側端部２８Ａの外面とセンサ軸１０の入力側センサ軸端部１０Ａの内面との間に断熱材を介在して、熱伝導軸２８からセンサ軸１０への熱伝導をさらに抑制することができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳細な説明から明らかなようにこの発明によれば、トルク入力軸とトルク出力軸との間にセンサ軸を設け、このセンサ軸を内部に中空部が備えられた筒形状に形成し、この中空部には両端部でのみセンサ軸と接し且つセンサ軸よりも熱伝導率が高い熱伝導軸を挿入して設け、この熱伝導軸の両端部はセンサ軸を介してトルク入力軸とトルク出力軸とに接続して設けたことにより、トルクセンサの外部の発熱体から伝導した熱は、主に熱伝導軸に伝えられるので、センサ軸に伝えられる熱を最小限に抑えることが可能となり、これにより、センサ軸の両端部の温度差（温度勾配）を小さくし、センサ軸の中央部位に配置されたセンサコイル周辺の温度差（温度勾配）が緩やかになり、センサ出力の値の変動量を少なくし得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例においてトルクセンサの断面図である。
【図２】第１実施例において回路基板のブロック図である。
【図３】第１実施例において熱伝達経路と軸温度分布とを示す図である。
【図４】第２実施例においてトルクセンサの断面図である。
【図５】第３実施例においてトルクセンサの断面図である。
【図６】第４実施例においてトルクセンサの一部断面図である。
【図７】第５実施例においてトルクセンサの一部断面図である。
【図８】第６実施例においてトルクセンサの断面図である。
【図９】従来においてトルクセンサの断面図である。
【符号の説明】
２  トルクセンサ
４  ハウジングケース
６  トルク入力軸
８  トルク出力軸
１０  センサ軸
１２  中空部
１４  入力側磁気異方性部
１６  出力側磁気異方性部
２２  発熱体
２８  熱伝導軸
【図１】
2004354328.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2004354328.tif 000006
【図５】
2004354328.tif 000007
【図６】
2004354328.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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