(57)【要約】【課題】ＣＰＵやＤ／Ａ変換器等の性能を向上させることなく、高品質な印字を行うことが可能なレーザマーキング装置を提供する。【解決手段】角度検出部２２からの検出角度電圧信号は信号増幅回路２３によって２倍に増幅され、この増幅角度電圧信号が、差動増幅回路２４の一方の入力側に与えられる。制御部３２からの座標データは、Ｄ／Ａ変換器２５を介して目標角度電圧信号に変換されて、差動増幅回路２４の他方の入力側に与えられる。差動増幅回路２４の出力側には、Ｖ／Ｉ変換回路２６が接続され、このＶ／Ｉ変換回路２６の出力側には前記ガルバノスキャナ２０のガルバノ駆動コイル２１が接続され、目標角度電圧信号に基づく目標角度と、増幅角度電圧信号に基づく、ガルバノミラー２０Ｖの現在の回動角度の２倍の回動角度との差分に応じた電流をガルバノ駆動コイル２１に流すようになっている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ光源と、
このレーザ光源からのレーザ光を反射させてその方向を変えるガルバノミラーと、
このガルバノミラーを回動させることにより印字対象物上に形成される前記レーザ光の照射点の位置を変化させるためのガルバノ駆動コイルと、
前記ガルバノミラーの回動角度を検出して、その検出回動角度に対応する検出角度信号を出力する角度検出手段と、
前記印字対象物上に印字する文字、記号、図形等の印字パターンを構成する各線要素の始点及び終点を含む複数の座標点に対応して、前記ガルバノミラーの各回動角度に応じた目標角度信号を出力する制御手段と、
前記ガルバノ駆動コイルに電流を与えて駆動させるガルバノコイル駆動手段と、
前記角度検出手段からの前記検出角度信号を、実際の検出回動角度よりも大きな回動角度に対応する増幅角度信号として出力する信号増幅手段とを備えて、
前記ガルバノコイル駆動手段は、前記制御手段からの前記目標角度信号と、前記信号増幅手段からの前記増幅角度信号との差分に応じた値の電流を前記ガルバノ駆動コイルに与えることが可能な構成になっていることを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項２】
前記角度検出手段からの前記検出角度信号を、前記信号増幅手段を介して前記ガルバノコイル駆動手段に与える増幅ルートと、前記信号増幅手段を介さずに前記ガルバノコイル駆動手段に与える非増幅ルートとの間で切換可能な切換手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載のレーザマーキング装置。
【請求項３】
前記信号増幅手段は、設定増幅率を有し、この設定増幅率に基づき前記検出角度信号を増幅して前記増幅角度信号として出力するよう構成され、
前記設定増幅率を設定変更可能な調整手段を備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のレーザマーキング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガルバノスキャニング方式のレーザマーキング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のレーザマーキング装置として、従来、レーザ光源からのレーザ光をガルバノミラー機構を使って２次元的に走査し、印字対象物上に文字、記号、図形等の印字パターンを印字する、いわゆるガルバノスキャニング方式のレーザマーキング装置がある（下記、特許文献１参照）。
【０００３】
この種のレーザマーキング装置のガルバノミラー機構は、レーザ光源からのレーザ光を反射するガルバノミラーと、これを駆動するガルバノ駆動コイルとを備え、ガルバノ駆動コイルに電流を流すことでガルバノミラーを回動させるようになっており、ガルバノミラーを所要角度だけ回動させるためにサーボ回路を備える。また、上記レーザマーキング装置には、所定の印字情報に基づき上記印字パターンを所定の単位線分に分解し、この単位線分を構成する始点及び終点を含む複数の座標点に対応して、ガルバノミラーの各回動角度に応じた目標角度信号を生成して出力する制御手段が設けられている。そして、サーボ回路では、制御手段からの目標角度信号と、角度検出手段により検出されたガルバノミラーの実際の回動角度信号との差分に応じた電圧をＶ／Ｉ変換し、その電流をガルバノ駆動コイルに供給するようになっており、これによりできるだけ高速で目標角度にガルバノミラーを回動させ得るようになっている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−３２１６８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、制御手段で生成される各目標角度信号の分解能は、この制御手段を構成するＣＰＵの情報処理能力や上記目標角度信号をＤ／Ａ変換するＤ／Ａ変換器の分解能（例えばビット数など）と、設定される印字エリアによって定まる。具体的には、ＣＰＵの性能が１４ｂｉｔであって、印字エリアが９０ｍｍとした場合には、分解能は９０ｍｍ／２１４＝約５．５μｍとなり、制御手段では、約５，５μｍの位置偏差の複数の座標点に対応する目標角度信号が順次生成され、印字対象物上のレーザ光の照射点が約５．５μｍの単位移動量で順次移動することになる。従って、例えば、比較的に小さいサイズの印字パターンを印字する場合には、その印字パターンを構成する各線要素の長さに対する座標点の位置偏差（約５．５μｍ）が相対的に大きくなるために、印字品質に影響を及ぼすおそれがある。なお、このような影響は、特に、上記線要素が曲線の場合に、より顕著となる。
【０００６】
これに対して、情報処理能力のより高いＣＰＵや、分解能の高いＤ／Ａ変換器に取り替えることも容易に考えられるが、これのような高性能のＣＰＵやＤ／Ａ変換器は高価であるために、レーザマーキング装置のコストが高くなってしまい、好ましくない。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、ＣＰＵやＤ／Ａ変換器等の性能を向上させることなく、高品質な印字を行うことが可能なレーザマーキング装置を提供するところにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明に係るレーザマーキング装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光を反射させてその方向を変えるガルバノミラーと、このガルバノミラーを回動させることにより印字対象物上に形成される前記レーザ光の照射点の位置を変化させるためのガルバノ駆動コイルと、前記ガルバノミラーの回動角度を検出して、その検出回動角度に対応する検出角度信号を出力する角度検出手段と、前記印字対象物上に印字する文字、記号、図形等の印字パターンを構成する各線要素の始点及び終点を含む複数の座標点に対応して、前記ガルバノミラーの各回動角度に応じた目標角度信号を出力する制御手段と、前記ガルバノ駆動コイルに電流を与えて駆動させるガルバノコイル駆動手段と、前記角度検出手段からの前記検出角度信号を、実際の検出回動角度よりも大きな回動角度に対応する増幅角度信号として出力する信号増幅手段とを備えて、前記ガルバノコイル駆動手段は、前記制御手段からの前記目標角度信号と、前記信号増幅手段からの前記増幅角度信号との差分に応じた値の電流を前記ガルバノ駆動コイルに与えることが可能な構成になっているところに特徴を有する。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１に記載の請求項１記載のレーザマーキング装置において、前記角度検出手段からの前記検出角度信号を、前記信号増幅手段を介して前記ガルバノコイル駆動手段に与える増幅ルートと、前記信号増幅手段を介さずに前記ガルバノコイル駆動手段に与える非増幅ルートとの間で切換可能な切換手段が設けられているところに特徴を有する。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の請求項１又は請求項２に記載のレーザマーキング装置において、前記信号増幅手段は、設定増幅率を有し、この設定増幅率に基づき前記検出角度信号を増幅して前記増幅角度信号として出力するよう構成され、前記設定増幅率を設定変更可能な調整手段を備えているところに特徴を有する。
【００１１】
【発明の作用及び効果】
＜請求項１の発明＞
本構成によれば、信号増幅手段によって、角度検出手段からの検出回動角度に対応する検出角度信号は、（設定増幅率に基づき）上記検出回動角度より大きな回動角度に対応する増幅角度信号として出力される。一方、制御手段によって、印字対象物上に印字する文字等の印字パターンを構成する各線要素の始点及び終点を含む複数の座標点に対応して、ガルバノミラーの各回動角度に応じた目標角度信号が出力される。そして、ガルバノコイル駆動手段は、上記信号増幅手段からの増幅角度信号と、目標角度信号との差分に応じた値の電流をガルバノ駆動コイルに与えるようになっている。つまり、ガルバノミラーを回動させるべき目標角度と、ガルバノミラーの実際の回動角度に設定増幅率を乗じた増幅回動角度との偏差に応じた電流がガルバノ駆動コイルに与えられるようになっている。
【００１２】
これにより、例えば上記設定増幅率が例えば２である場合、ガルバノコイル駆動手段には、ガルバノミラーの実際の回動角度の２倍の回動角度に対応する増幅角度信号が与えられることになる。そうすると、制御手段から上記目標角度信号がガルバノコイル駆動手段に与えられる毎に回動するガルバノミラーの単位回動角度量は、角度検出手段からの検出回動角度に対応する検出角度信号を増幅せずにそのままガルバノコイル駆動手段に与える場合（設定増幅率１の場合）に比べて約１／２になる。即ち、従って、制御手段から目標角度信号によって指示された印字パターンのサイズ及びその各座標点の位置偏差に対して、約１／２に縮小されたサイズ及び座標点間隔の印字パターンを印字対象物上に印字させることができる。
【００１３】
以上のように、角度検出手段からの検出回動角度に対応する検出角度信号を、（設定増幅率に応じて）増幅した回動角度に応じた増幅角度信号として、ガルバノコイル駆動手段にフィードバックさせるように構成した。これにより、制御手段を構成するＣＰＵ等の性能を変えることなく、制御手段からガルバノコイル駆動手段に目標角度信号が与える毎に移動するレーザ光の照射点の単位移動量を小さくさせることができ、サイズの小さい印字パターンでも高品質の印字を行うことができる。
【００１４】
＜請求項２の発明＞
本構成によれば、例えば、レーザマーキング装置の本来の仕様に適合した通常のサイズの印字パターンを印字する場合には、切換手段によって非増幅ルート側に切り換えて印字を行う。一方、例えば、仕様に適合しない比較的にサイズの小さい印字パターンを印字する場合には、切換手段によって増幅ルート側に切り換えて、目標角度信号の出力タイミング間におけるレーザの照射点の単位移動量を小さくして印字を行う。これにより、通常サイズの印字パターンとそれより小さい印字パターンのいずれに対しても高品質な印字を行うことができる。
【００１５】
＜請求項３の発明＞
本構成によれば、調整手段によって信号増幅手段における設定増幅率が変更設定できるようになっているから、種々の印字パターンに対して最適な増幅率に設定して印字を行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について、図１〜図４を参照しつつ説明する。
【００１７】
１．レーザマーキング装置の概要
本実施形態のレーザマーキング装置１は、図１に全体が示されており、同図において、符号１０は、レーザ光源であって、ここから出射されたレーザ光Ｌはガルバノスキャナ２０によって向きが変更される。ガルバノスキャナ２０は、一対のガルバノミラー２０Ｖ，２０Ｗ、ガルバノ駆動手段２０Ｘ、２０Ｙ及び収束レンズ２０Ｚを備えており、一方のガルバノミラー２０Ｖは、ガルバノ駆動手段２０Ｘによって縦方向に角度を変移させることができ、他方のガルバノミラー２０Ｗは、ガルバノ駆動手段２０Ｙによって横方向に角度を変移させることができる。他方のガルバノミラー２０Ｗからのレーザ光Ｌが収束レンズ２０Ｚ（例えばｆθレンズ）で収束されて印字対象物Ｗ上にレーザ光Ｌの照射点が形成される。そして、これら両ガルバノミラー２０Ｖ，２０Ｗにより、レーザ光Ｌが２方向に向きを変えられ、上記照射点が、印字対象物Ｗ上を二次元的に移動するようになっている。
【００１８】
コントローラ３０には入力設定部３１及び制御部３２が備えられ、この制御部３２は、印字すべき文字、記号、図形等の印字パターンに関する印字情報に基づいて印字対象物Ｗ上の印字位置に対応する複数の座標データ（本発明の「目標角度信号」に相当）と、オンオフ制御信号を生成する。そして、制御部３２は、複数の座標データを所定のタイミングで順次ガルバノスキャナ２０に与えて各ガルバノミラー２０Ｖ，２０Ｗの回動角度を制御するとともに、オンオフ制御信号をレーザ光源１０に与えてオンオフ動作を制御する。
以上の構成により印字対象物Ｗ上に上記印字パターンを印字することができる。
【００１９】
２．具体的構成
次に、図２には、本実施形態のレーザマーキング装置１のブロック図が示されている。なお、一方のガルバノミラー２０Ｖ及びガルバノ駆動手段２０Ｘ側と、他方のガルバノミラー２０Ｗ及びガルバノ駆動手段２０Ｙ側とでは構成が同じなので、以下、一方のガルバノミラー２０Ｖ及びガルバノ駆動手段２０Ｘ側の構成を例に挙げて説明する。
【００２０】
（１）コントローラ
上述したように、コントローラ３０は、入力設定部３１と制御部３２とを備えて構成されている。このうち、入力設定部３１は、例えば印字したい印字パターンに関する印字情報（例えば、文字、図形及び記号、そのサイズ、印字速度など）を入力するためのコンソールであって、図示はしないが併せて表示部を備えて入力した内容を確認できるようになっている。制御部３２は、ＣＰＵと、各種の印字パターンに関するフォント情報を記録したフォントメモリとを備え、入力設定部３１で入力された印字パターンを示すコードデータに基づいて、フォントメモリからフォント情報を読み出して印字パターンを線要素に分解し、その線要素の始点、終点を含む複数の座標点Ｘの座標データを順次生成して図示しないメモリに書き込む。
【００２１】
具体的には、制御部３２は、上記各線要素についてＣＰＵの情報処理能力に応じた所定間隔（以下、「座標点生成間隔Ｍ」という）毎の複数の座標点Ｘを定め、それぞれの座標点Ｘに対応して、ガルバノミラー２０Ｖの各回動角度に応じた複数の座標データを生成する。そして、入力設定部３１で印字動作の開始信号が入力されると、上記メモリに格納されている座標データを順次読み出して、設定される印字速度に基づいて算出された出力タイミングＴで順次ガルバノ駆動手段２０Ｘに与える。
【００２２】
（２）ガルバノ駆動手段
ガルバノ駆動手段２０Ｘは、サーボ回路によってガルバノ駆動コイル２１に供給する電流の向きと大きさとを制御するものであり、制御部３２からの座標データと、ガルバノスキャナ２０のガルバノミラー２０Ｖの回動角度を検出し、その検出回動角度に応じた検出角度電圧信号を出力する角度検出部（例えばロータリエンコーダ）２２からの信号とを受けてガルバノミラー２０Ｘの回動角度をフィードバック制御する。
【００２３】
さて、本実施形態では、角度検出部２２から出力される検出角度電圧信号は、設定増幅率Ａが例えば２に設定されている信号増幅回路２３によって２倍に増幅され、この増幅角度電圧信号が、差動増幅回路２４（本発明の「ガルバノコイル駆動手段」に相当）の一方の入力側に与えられるようになっている。また、制御部３２からの座標データは、Ｄ／Ａ変換器２５を介して目標角度電圧信号に変換されて、差動増幅回路２４の他方の入力側に与えられるようになっている。そして、差動増幅回路２４の出力側には、Ｖ／Ｉ変換回路２６が接続され、このＶ／Ｉ変換回路２６の出力側には前記ガルバノスキャナ２０のガルバノ駆動コイル２１が接続され、上記目標角度電圧信号に基づく目標角度と、上記増幅角度電圧信号に基づく、ガルバノミラー２０Ｖの現在の回動角度の２倍の回動角度との差分に応じた電流をガルバノ駆動コイル２１に流すようになっている。
【００２４】
ここで、例えば従来と同様に、角度検出部２２からの現在の検出回動角度に対応した検出角度信号（本発明の「検出回動角度に対応する電圧信号」に相当）を増幅せずにそのまま差動増幅回路２４に与える構成（即ち、本実施形態において設定増幅率Ａが１の構成）とする。すると、制御部３２からの座標データがガルバノ駆動手段２０Ｘに与えられる毎に、ガルバノミラー２０Ｖは、上記座標点生成間隔Ｍに対応するΔθ１の単位角度量ずつ回動し、これにより印字対象物Ｗ上のレーザ光Ｌの照射点が上記座標点生成間隔Ｍずつ移動することになる。
【００２５】
これに対して、本実施形態のように、検出角度信号を２倍に増幅した増幅角度信号を差動増幅回路２４に与えるようにすると、差動増幅回路２４において、現在の検出回動角度が実際の検出回動角度の２倍の回動角度として捉えられることになり、結果として、図３に示すように、１つの座標データの出力に基づくガルバノミラー２０Ｖの回動角度は、増幅しない構成（同図で１点破線）に比べて緩やかなカーブを描いてΔθ１／２の回動角度に収束することになる（同図で実線）。つまり、１つの座標データの出力に基づくレーザ光Ｌの照射点の単位移動量が、上記座標点生成間隔Ｍの１／２になる。これにより、制御部３２からの座標データによって指示された印字パターンのサイズ及びその座標点生成間隔Ｍに対して、約１／２に縮小されたサイズ及び座標点間隔の印字パターンを印字対象物Ｗ上に印字させることができる。
【００２６】
３．本実施形態の作用効果
例えば図４（Ａ）に示すように、比較的に小さいサイズの半径Ｒの円を印字したい場合、制御部３２ではこの円を上記座標点生成間隔Ｍに基づく３点の座標点Ｘに対応する座標データが生成されるが、これでは、滑らかな曲線を描くことはできず印字品質が低下してしまう。そこで、例えば同図（Ｂ）に示すように、制御部３２で上記半径Ｒの２倍の円（半径２×Ｒ）を描くためのフォント情報に基づき座標データを生成するようにすれば、座標点生成間隔Ｍに基づき６点の座標点Ｘに対応する座標データが生成される。すると、この２倍の円の座標データに応じた目標角度電圧信号と、実際の検出回動角度の２倍の回動角度に応じた検出角度電圧信号とが差動増幅回路２４に与えられ、これにより、印字対象物Ｗ上のレーザ光Ｌの照射点は、座標点生成間隔Ｍの１／２の座標点間隔（Ｍ／２）の６つの座標点Ｘをなぞるように移動し、もって滑らかな曲線の半径Ｒの円を印字することができる（同図（Ｃ）参照）。
【００２７】
なお、本実施形態では、制御部３２は、入力設定部３１にて入力設定されたサイズに対して信号増幅回路２３の設定増幅率Ａ（本実施形態では２）を乗じたサイズのフォント情報に基づき座標データを生成するようになっている。
【００２８】
以上のように、角度検出部２２からの検出角度電圧信号を、設定増幅率Ａに応じて増幅した回動角度に対応する増幅角度電圧信号として、ガルバノ駆動手段２０Ｘ，２０Ｙにフィードバックさせるように構成した。これにより、制御部３２のＣＰＵや、ガルバノ駆動手段２０Ｘ，２０ＹのＤ／Ａ変換器２５の性能を変えることなく、制御部３２から座標データがガルバノ駆動手段２０Ｘ，２０Ｙに与える毎に移動するレーザ光Ｌの照射点の単位移動量を小さくさせることができ、サイズの小さい印字パターンでも高品質の印字を行うことができる。
【００２９】
＜第２実施形態＞
図５は、（請求項２の発明に対応する）第２実施形態を示す。上記第１実施形態との相違は、信号増幅手段の構成にあり、その他の点は前記第１実施形態と同様である。従って、第１実施形態と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００３０】
図５に示すように、本実施形態では、信号増幅回路２３の出力側と、差動増幅回路２４の一方の入力側との間に、スイッチ素子４０が設けられ、このスイッチ素子４０の切換動作によって、角度検出部２２からの検出角度電圧信号を、信号増幅回路２３を介して２倍に増幅させて差動増幅回路２４に与える「増幅ルート」と、信号増幅回路２３を介さずそのまま増幅しないで与える「非増幅ルート」とに切り換え接続できるようになっている。なお、入力設定部３１には、例えば上記非増幅ルートに対応する「通常モード」と増幅ルートに対応する「高分解モード」との間で切換設定可能とされ、このモード切替操作に応じて制御部３２から出力される制御信号に基づきスイッチ素子４０の切換動作が制御されるようになっている。このとき、制御部３２は、通常モード時には入力設定部３１で設定されたサイズのフォント情報に基づいて座標データを生成する一方で、高分解モード時には入力設定部３１での設定サイズに増幅率Ａを乗じたサイズのフォント情報に基づき座標データを生成するよう動作する。
【００３１】
以上のように、例えば、上記ＣＰＵの性能に応じた上記座標点生成間隔Ｍで印字しても印字品質に支障が生じないような、ある程度大きなサイズの印字パターンを印字するときには通常モードで印字を行う一方で、座標点生成間隔Ｍで印字すると印字品質に支障が生じるような印字パターンを印字するときには高分解ルートに切り換えて印字を行うことができ、通常サイズの印字パターンとそれより小さい印字パターンのいずれに対しても高品質な印字を行うことができる。
【００３２】
＜第３実施形態＞
図６は、（請求項３の発明に対応する）第３実施形態を示す。上記第１実施形態との相違は、信号増幅手段の構成にあり、その他の点は前記第１実施形態と同様である。従って、第１実施形態と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００３３】
本実施形態に係る信号増幅手段は、その設定増幅率Ａが変更できるようになっている。具体的には、図６に示すように互い異なる増幅率Ａ（Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４．．．）に設定された複数の信号増幅回路４１（本実施形態では４つ）を並列接続させて、スイッチ素子４２の切換動作によって各信号増幅回路２３が、差動増幅回路２４及び角度検出部２２間で選択的に接続できるようになっている。この他に、例えば図７に示すように、同一または異なる増幅率Ａの複数の信号増幅回路４３（本実施形態では４つ）を直列接続させて、スイッチ素子４４を介して各信号増幅回路２３の接続点に選択的に接続できる構成であってもよい。更に、図８に示すように、１つの信号増幅回路４５で入力側の調整抵抗Ｒ１または／及び帰還抵抗Ｒ２を可変抵抗として、設定増幅率Ａを連続的に変更できるようにした構成であってもよい。
【００３４】
なお、入力設定部３１には、設定増幅率Ａを調整操作できるようになっており、この調整操作に応じて制御部３２から出力される制御信号に基づきスイッチ素子４２，４４の切換動作の制御或いは可変抵抗Ｒ１（またはＲ２）の抵抗値の調整がされるようになっている。また、制御部３２は、入力設定部３１での設定サイズに、入力設定部３１で設定されている設定増幅率Ａを乗じたサイズのフォント情報に基づき座標データを生成する。
【００３５】
以上のように、信号増幅手段における設定増幅率Ａが変更設定できるようになっているから、種々の印字パターンに対して最適な増幅率Ａに設定して印字を行うことができる。
【００３６】
＜他の実施形態＞
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００３７】
（１）上記実施形態では、角度検出部２２からのアナログ信号としての検出角度電圧信号を、信号増幅回路２３，４１，４３，４５によってアナログ的に増幅する構成としたが、これに限らず、最終的に、制御手段から指示される目標回動角度と、角度検出手段で検出された検出回動角度を所定の倍率で増幅させた増幅角度信号とに基づきガルバノミラーを回動させる構成であればよい。即ち、例えば、角度検出部からデジタル信号としての検出角度信号が出力されるようにし、この検出角度信号を、ソフト処理によって上記実際の検出回動角度を所定の倍率で増幅させた増幅検出回動角度に対応するデジタル信号に変換し、このデジタル信号或いはこれをＤ／Ａ変換したアナログ信号をガルバノコイル駆動手段に与える構成であってもよい。
（２）図９には、信号増幅手段の変形例が示されている。この信号増幅手段５０は、角度検出部２２から検出角度電圧信号を加算信号算出手段５１（例えば所定の設定増幅率に基づき増幅するアンプ）を介して所定分だけ信号レベルを増加させた増加電圧信号と、角度検出部２２からの検出角度電圧信号とを加算して差動増幅回路２４の入力側に与えるようになっている。このような構成であっても、本発明でいう「角度検出手段からの検出角度信号を、実際の検出回動角度よりも大きな回動角度に対応する増幅角度信号として出力する信号増幅手段」に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るレーザマーキング装置の全体構成図
【図２】そのブロック図
【図３】単位時間Ｔ内におけるガルバノミラーの回動角度の変化を示した図
【図４】印字パターンと座標点との関係を示した模式図
【図５】第２実施形態に係るレーザマーキング装置のブロック図
【図６】第３実施形態に係るレーザマーキング装置のブロック図
【図７】その変形例のブロック図
【図８】その変形例のブロック図
【図９】その変形例のブロック図
【符号の説明】
１…レーザマーキング装置
１０…レーザ光源
２０Ｖ，２０Ｗ…ガルバノミラー
２１…ガルバノ駆動コイル
２２…角度検出部
２３，４１，４３，４５，５０…信号増幅回路
２４…差動増幅回路（ガルバノコイル駆動手段）
３２…制御部
４０，４２，４４…スイッチ素子
Ｌ…レーザ光
Ｍ…座標点生成間隔
Ｒ１…調整抵抗
Ｒ２…帰還抵抗
Ｗ…印字対象物
Ｘ…座標点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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