(57)【要約】【課題】入射光を複数に分配してそれぞれ自由に光の偏向を変えることができる、光スイッチとして機能する光偏向器を得る。【解決手段】入力用光導波路１と、入力用光導波路１から入力された光を、横方向に複数の分配口２を並べた分配口列３を上下に複数段に配置した多数の分配口２に分配して出力する光分配器４と、光分配器４の多数の分配口２に対応させた、横方向に複数の光導波路５を並べた光導波路列６を上下に複数段に配置した多数の光導波路５から成る光導波路アレイ７と、光導波路アレイ７の各段の光導波路列６毎にその光導波路５の途中に付加された、それら光導波路５により導波される光に位相差を生じさせる位相シフタ８とを具備する光偏向器である。光導波路アレイ７から出射される光を所望の角度で偏向させることができ、大規模化も容易に行なうことができる。また、可動部を用いていないので信頼性も高い。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力用光導波路と、該入力用光導波路から入力された光を、横方向に複数の分配口を並べた分配口列を上下に複数段に配置した多数の前記分配口に分配して出力する光分配器と、前記光分配器の多数の前記分配口に対応させた、横方向に複数の光導波路を並べた光導波路列を上下に複数段に配置した多数の前記光導波路から成る光導波路アレイと、前記光導波路アレイの各段の前記光導波路列毎にその光導波路の途中に付加された、それら光導波路により導波される光に位相差を生じさせる位相シフタとを具備することを特徴とする光偏向器。
【請求項２】
前記光導波路アレイの出射端側に、各々の前記光導波路からの出射光を集光して二次元的または三次元的な配置に出力するための集光手段を配置したことを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
【請求項３】
前記位相シフタが前記光導波路列の各々の前記光導波路に個別に付加されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の光偏向器。
【請求項４】
前記位相シフタが熱光学位相シフタであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光偏向器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光通信および光信号処理分野で用いられる、光信号に対する光路切り替え部品としての光偏向器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光偏向器は、電子写真複写機，レーザビームプリンタ，バーコードリーダ等の光学機器等や、光ディスクのトラッキング制御装置の光偏向装置や、レーザ光をスキャニングして映像を投影する表示装置等に使われている。また、近年のインターネットの急速な普及により、光通信ネットワークを駆け巡る情報量が爆発的な増加を続けているのに対して、その光ファイバ間で光信号を需要に応じて切り替えたり、ネットワークの故障の際の迂回路確保のために光通信経路を切り替えたりする光スイッチにも光偏向器は使われている。
【０００３】
光スイッチの形態としては、光導波路型や微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）ミラー型等がある。光導波路型は、例えばポリマー材料でＹ分岐導波路を形成し、熱光学効果あるいは電気光学効果を利用してスイッチングを行なう、可動部をなくして固体素子化したものであり、信頼性および動作速度を向上させている。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
また、ＭＥＭＳミラー型は、可動式ミラーを用いて静電的，電磁的，圧電的または熱による作動力によって機械的にスイッチングするものであり、光スイッチの大規模化を容易に実現することができるという利点を持っている。（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−３０４７９７号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開２００２−１６２５７７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の光導波路型の光スイッチでは、光スイッチの大規模化という面では、規模の増加に伴い、損失の起こる分岐部が増えることになるので、光が分岐部を通るたびに損失が累積して増加するため、大規模化が困難であるという問題点を持っている。
【０００８】
また、ＭＥＭＳミラー型の光スイッチでは、高速で駆動するときにミラーの動的な変形が無視できなくなるという問題点がある。これを解決するためにはミラーを厚くして変形しないようにすればよいが、それによってミラーの重量が増えて駆動に大きな力が必要になったり、可動式なので可動部の歪により信頼性が低下したりするという問題点が指摘されている。
【０００９】
このように、従来の技術による光スイッチでは、高信頼性と大規模化とを共に満たす光スイッチングを実現するのは困難であるという問題点があった。
【００１０】
本発明は、上記従来の技術における問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、光スイッチとして高速で動作させることができ、高信頼性であり、かつ光スイッチの大規模化も実現が可能な、光スイッチに用いられる光偏向器を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の光偏向器は、入力用光導波路と、この入力用光導波路から入力された光を、横方向に複数の分配口を並べた分配口列を上下に複数段に配置した多数の前記分配口に分配して出力する光分配器と、前記光分配器の多数の前記分配口に対応させた、横方向に複数の光導波路を並べた光導波路列を上下に複数段に配置した多数の前記光導波路から成る光導波路アレイと、前記光導波路アレイの各段の前記光導波路列毎にその光導波路の途中に付加された、それら光導波路により導波される光に位相差を生じさせる位相シフタとを具備することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の第２の光偏向器は、本発明の第１の光偏向器において、前記光導波路アレイの出射端側に、各々の前記光導波路からの出射光を集光して二次元的または三次元的な配置に出力するための集光手段を配置したことを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の第３の光偏向器は、本発明の第１または第２の光偏向器において、前記位相シフタが前記光導波路列の各々の前記光導波路に個別に付加されていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の第４の光偏向器は、本発明の第１乃至第３のいずれかの光偏向器において、前記位相シフタが熱光学位相シフタであることを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明を詳細に説明する。
【００１６】
本発明の第１の光偏向器は、入力用光導波路と、この入力用光導波路から入力された光を、横方向に複数の分配口を並べた分配口列を上下に複数段に配置した多数の前記分配口に分配して出力する光分配器と、光分配器の多数の分配口に対応させた、横方向に複数の光導波路を並べた光導波路列を上下に複数段に配置した多数の前記光導波路から成る光導波路アレイと、光導波路アレイの各段の光導波路列毎にその光導波路の途中に付加された、それら光導波路により導波される光に位相差を生じさせる位相シフタとを具備している。
【００１７】
すなわち、図１に実施の形態の一例を分解斜視図で示すように、入力用光導波路１と、この入力用光導波路１から入力された光を、横方向に複数の分配口２を並べた分配口列３を上下に複数段に配置した多数の分配口２に分配して出力する光分配器４と、光分配器４の多数の分配口２に対応させた、横方向に複数の光導波路５を並べた光導波路列６を上下に複数段に配置した多数の光導波路５から成る光導波路アレイ７と、光導波路アレイ７の各段の光導波路列６毎にその光導波路５の途中に付加された、それら光導波路５により導波される光に位相差を生じさせる位相シフタ８とを具備しているものである。
【００１８】
入力用光導波路１としては、矩形のコアを持つチャネル光導波路や光ファイバを用いればよい。また、必要に応じてこれらチャネル光導波路や光ファイバを複数配置してもよい。
【００１９】
光分配器４は、例えば、入力用光導波路１を伝搬してきた光が入力され、導波構造を持たない三次元空間で光を広げることによって、多数の分配口２に出力させる。また、この光分配器４は、二次元で光を制限したスラブ光導波路アレイを組み合わせて、入力用光導波路１から入力された光を多数の分配口２に分配するようにしたものであってもよい。
【００２０】
光導波路アレイ７は、ポリマー系材料や石英系材料等から成る光導波路５を用いて、横方向に複数の光導波路５を並べた光導波路列６を上下に複数段に配置した多数の光導波路５によって構成されている。
【００２１】
位相シフタ８は、入力用光導波路１から入力された光が光分配器４により分配され、その分配された光の間に位相差が生じる場合に位相を揃えるための第１の位相シフタ８ａと、光導波路列６を構成している光導波路５のうち隣接しているものに対して一定の位相差を順次生じさせるための第２の位相シフタ８ｂと、光導波路アレイ７を構成している各段の光導波路列６のうち隣接しているものに対して一定の位相差を順次生じさせるための第３の位相シフタ８ｃとから構成されている。
【００２２】
このような位相シフタ８（８ａ，８ｂ，８ｃ）としては、熱光学効果を利用した位相シフタの場合であれば、位相を揃えるための第１の位相シフタ８ａは、光導波路アレイ７の光導波路列６上に薄膜金属で形成されたヒータを設けることによって形成され、そのヒータに電圧を印加することによって発熱させ、それによって加熱された光導波路５の屈折率を変化させることができるので、光分配器４から出力されて光導波路アレイ７に入射した光の位相差を考慮して、位相が進んでいる光が伝搬する光導波路５と遅れている光が伝搬する光導波路５との上にそれぞれ形成されているヒータの光導波路５の伝搬方向の長さを変化させた形状にしておき、その長さに対応した部分の光導波路５の屈折率を変化させることによって、伝搬後の光の位相を一致させるようにすればよい。
【００２３】
また、第２の位相シフタ８ｂは、上述したように光が伝搬している光導波路５上のヒータの長さによってその光導波路５を伝搬する光の位相を制御することができるので、例えばプリズム型のヒータを２つ対向させる構成にしておき、光導波路列６の一端から他端へと光導波路５中を伝搬する光に対して位相差をつけたい方向に応じてその２つのヒータのどちらかを選択すれば、光導波路列６の一端から他端に向けて、光導波路５を伝搬する光に位相差を順次つけることができる。この第２の位相シフタ８ｂは、同じ長さのヒータを光導波路５上に個別に付加しておき、光導波路列６の一端から他端へ向かう光に対して所望の位相差がつくように、それぞれの光導波路５上のヒータにかける印加電圧を順次変化させるようにしてもよい。
【００２４】
そして、第３の位相シフタ８ｃは、光導波路アレイ７の各段の光導波路列６毎にその光導波路５の途中に、光導波路アレイ７の上段の光導波路列６から下段の光導波路列６に向けて光導波路５の伝搬方向の長さを順次長くした矩形のヒータの組と順次短くした矩形のヒータの組とをそれぞれ付加しておき、各段の光導波路列６中を伝搬する光の位相差をつけたい方向に応じて、それらのヒータの組のどちらかに印加電圧を加えることによって、光導波路列６毎に上下で位相差を順次つけることができる。また、第３の位相シフタ８ｃは、光導波路アレイ７の各段の光導波路列６毎にその光導波路５の途中に、各段とも同じ形状の矩形のヒータを付加しておき、各段の光導波路列６中を伝搬する光の位相差をつけたい方向に応じて、各段の第３の位相シフタ８ｃにかける印加電圧を順次変化させるようにしてもよい。
【００２５】
このような位相シフタ８（８ａ，８ｂ，８ｃ）は、ＳＯＡを利用した半導体位相シフタアレイや、ＬＮやＰＬＺＴを利用した電気光学位相シフタアレイを実装する形態にしてもよく、その構成は必要な応答特性に応じて適宜選択すればよい。
【００２６】
このような構成の本発明の第１の光偏向器によれば、まず、入力用光導波路１から入力された光が光分配器４により多数の分配口２に分配され、その分配された光の間に位相差が生じる場合に第１の位相シフタ８ａを用いて分配された光の間で位相を揃える。次に、第２の位相シフタ８ｂによって、光導波路列６を構成している光導波路５のうち隣接しているものに対して一定の位相差を順次生じさせることを、光導波路アレイ７を構成している各段の光導波路列６のそれぞれについて同様に行なう。これにより、光が等位相面に垂直に伝搬するという性質を利用して、Ｘ方向（各光導波路列６において複数の光導波路５を並べた左右方向）に自由に光を偏向させることができる。次に、第３の位相シフタ８ｃによって、光導波路アレイ７を構成している各段の光導波路列６のうち上下に隣接しているものに対して一定の位相差を順次生じさせることによって、光が等位相面に垂直に伝搬するという性質を利用して、Ｙ方向（光導波路列６を複数段に配置した上下方向）に自由に光を偏向させることができる。
【００２７】
このようにして、Ｘ方向に光導波路５を並べた光導波路列６をＹ方向に上下に配置して構成された光導波路アレイ７について、第２の位相シフタ８ｂによるＸ方向への偏向の効果と、第３の位相シフタ８ｃによるＹ方向への偏向の効果とを組み合わせたことにより、光導波路アレイ７からの出射光をＸ−Ｙ平面に対して所望の角度で偏向させることができ、大規模な光スイッチを容易に実現することができる。また、光スイッチの作動について可動部を用いていないために、スイッチ回数に対する長期信頼性を高くすることができる。
【００２８】
本発明の第２の光偏向器は、以上のような本発明の第１の光偏向器において、光導波路アレイの出射端側に、各々の光導波路からの出射光を集光して二次元的または三次元的な配置に出力するための集光手段を配置したものである。
【００２９】
このような集光手段としては、例えば、石英系や樹脂系のレンズを用いることができる。
【００３０】
すなわち、図２に斜視図で示す実施の形態の一例においては、本発明の第１の光偏向器における光導波路アレイ７の出射端側に、各々の光導波路５からの出射光を集光して二次元的または三次元的な配置に出力するための集光手段として、レンズ９を配置している。また、図３に図２と同様の斜視図で示す実施の形態の他の例においては、本発明の第１の光偏向器における光導波路アレイ７を出射端側に延長し、延長した部分に集光機能位相シフタ１０を配置して、これを各々の光導波路５からの出射光を集光して二次元的または三次元的な配置に出力するための集光手段としている。なお、図２および図３において、Ｌで示す矢印は、出射光の一部の状態を表すものである。
【００３１】
このような本発明の第２の光偏向器によれば、本発明の第１の光偏向器により所望の角度で偏向された出射光を集光手段により集光して、所望の二次元的または三次元的な配置に出力することができ、例えば、図４に図２と同様の斜視図で実施の形態のさらに他の例を示すように、図２に示した例におけるレンズ９の先に複数の出力用光導波路１２を所望の配列でアレイ状に集合させて構成した出力用光導波路アレイ１１を配置することによって、入力用光導波路１に入力した光を所望の出力用光導波路１２に導波させることができる光スイッチ素子として利用することができる。
【００３２】
また、このような本発明の第２の光偏向器を複数列および複数段に上下左右に集積化することにより、Ｍ×Ｎ光スイッチ素子（Ｍ列×Ｎ段のマトリクス状の光スイッチ素子：Ｍ，Ｎは２以上の自然数を表す）として利用することもできる。
【００３３】
次に、本発明の第３の光偏向器は、以上のような本発明の第１または第２の光偏向器において、位相シフタが、光導波路列の各々の光導波路に個別に付加されているものである。
【００３４】
すなわち、図５に実施の形態の一例を図１と同様の分解斜視図で示すように、位相シフタとして、光導波路列６の各々の光導波路５に個別に光導波路別位相シフタ８ｄが付加されているものである。
【００３５】
この光導波路別位相シフタ８ｄとしては、前述の第１〜第３の位相シフタ８ａ〜８ｃと同様のものを用いればよいが、熱光学効果を利用した位相シフタの場合であれば、ヒータを光導波路５に沿って個別に配置し、それらヒータに個別に電圧を印加することによって、それぞれ対応する光導波路５中を伝搬する光の位相を個別に制御することができるので、光導波路アレイ７中の光導波路５を伝搬する光の位相を一端から他端までの間で順次位相差を生じさせるように個別に電圧を制御して光導波路５の温度を制御すればよい。なお、光導波路別位相シフタ８ｄの長さはそれぞれ、同じでも異なっていてもいいことはいうまでもない。
【００３６】
このような本発明の第３の光偏向器によれば、光導波路列６の各々の光導波路５に個別に光導波路別位相シフタ８ｄを付加していることから、導波される光の位相を各光導波路５毎に個別に制御することができるので、光導波路アレイ７の出射端から出力された光を各光導波路５毎に所望の角度で偏向させることができ、かつその光を集光して所望の二次元的または三次元的な配置に出力することができるので、例えば、その光導波路アレイ７の出射端に対向させて図４に示した出力用光導波路アレイ１１を配置することによって、入力用光導波路１に入力した光を所望の出力用光導波路１２に導波させることができる光スイッチ素子として利用することができる。
【００３７】
また、このような本発明の第３の光偏向器を複数列および複数段に上下左右に集積化することにより、Ｍ×Ｎ光スイッチ素子として利用することもできる。
【００３８】
次に、本発明の第４の光偏向器は、以上のような本発明の第１乃至第３のいずれかの光偏向器において、位相シフタが熱光学位相シフタであるものである。
【００３９】
このような本発明の第４の光偏向器によれば、位相シフタ８が熱光学位相シフタであることから、光導波路アレイ７の光導波路５を形成する材料がポリマー系材料である場合には、光導波路５を伝搬する光に対して十分良好な位相シフトを行なうことができるとともに、石英系材料よりも熱光学効果が１桁以上大きいため、石英系材料よりも小型の光偏向器を製作することができる。また、ポリマー系材料はスピンコート法により容易に厚膜化できるので、石英系材料ではＣＶＤ法等による形成方法における厚膜化が困難であるのに対して、ポリマー系材料の方が本発明の光偏向器における光導波路アレイ７のように光導波路列６を複数段積層したような構造においてそれぞれに位相シフタ８を形成するのに適している。従って、位相シフタ８には、ポリマー系材料から成る光導波路５を用いて、応答の優れる熱光学位相シフタを用いることが好ましい。
【００４０】
また、位相シフタ８がＳＯＡを利用した半導体位相シフタアレイや、ＬＮやＰＬＺＴを利用した電気光学位相シフタアレイである場合は、光導波路列６上または光導波路５上にこれらを別途実装する必要があるのに対して、位相シフタ８に熱光学位相シフタを用いた場合には、実装工程を必要とせずにより簡単な工程で形成することができ、光導波路列６または光導波路５とともにモノリシック集積できるという点でも有利である。
【００４１】
このような熱光学位相シフタは、例えばヒータを用いて形成すればよく、ヒータに対して電気配線による電力供給により所望の光導波路列６または光導波路５に対する加熱を行ない、対応する光導波路５の屈折率を下げることによって、熱光学位相シフタとして機能させることができる。また、各光導波路列６または光導波路５の所定位置あるいはこれに対応させて形成したヒータに対して光導波路アレイ７の外部からのレーザ光や赤外光等の照射を行なうことにより、ヒータを加熱することによって、あるいは光導波路５を直接加熱することによって熱光学位相シフタとして機能させるものであってもよい。
【００４２】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更・改良を施すことは何ら差し支えない。例えば、上述の例では位相シフタ８は、光導波路アレイ７の入射端側から出射端側にかけて第１，第２，第３の位相シフタ８ａ，８ｂ，８ｃの順番で配置したが、これらは順番が変わってもよい。また、第１の位相シフタ８ａと第２の位相シフタ８ｂとが、または第１の位相シフタ８ａと第３の位相シフタ８ｃとが一体となった形状にしてもよく、この場合は、制御する位相シフタの数を減らせるとともに、消費電力を小さくすることができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上のように、本発明の第１の光偏向器によれば、入力用光導波路と、この入力用光導波路から入力された光を、横方向に複数の分配口を並べた分配口列を上下に複数段に配置した多数の前記分配口に分配して出力する光分配器と、光分配器の多数の前記分配口に対応させた、横方向に複数の光導波路を並べた光導波路列を上下に複数段に配置した多数の前記光導波路から成る光導波路アレイと、光導波路アレイの各段の光導波路列毎にその光導波路の途中に付加された、それら光導波路により導波される光に位相差を生じさせる位相シフタとを具備することにより、入力用光導波路から入力された光が光分配器により分配され、その分配された光の間に位相差が生じる場合に位相を揃えるための第１の位相シフタを用いて位相差を揃え、次に、第２の位相シフタによって、光導波路列を成している光導波路のうち隣接しているものに対して一定の位相差を順次生じさせることを、光導波路アレイを構成している各段の光導波路列のそれぞれについて同様に行ない、光が等位相面に垂直に伝搬するという性質を利用してＸ方向（複数の光導波路を並べた左右方向）に自由に光を偏向させることができ、次に、第３の位相シフタによって、光導波路アレイを構成している各段の光導波路列のうち隣接しているものに対して一定の位相差を順次生じさせることによって、光が等位相面に垂直に伝搬するという性質を利用してＹ方向（光導波路列を複数段に配置した上下方向）に自由に光を偏向させることができるので、光導波路アレイから出射される光を所望の角度で偏向させることができ、大規模化も容易に行なうことができる。また、可動部を用いていないためにスイッチ回数に対する長期信頼性を高くすることができる。
【００４４】
また、本発明の第２の光偏向器によれば、本発明の第１の光偏向器において、光導波路アレイの出射端側に、各々の光導波路からの出射光を集光して二次元的または三次元的な配置に出力するための集光手段を配置したことにより、第１の光偏向器により所望の角度で偏向された光を集光して、所望の二次元的または三次元的な配置に出力することができ、入力用光導波路に入力した光を所望の配置に出力することができる光スイッチ素子として利用することができる。また、複数列および複数段に上下左右に集積化することにより、Ｍ×Ｎ光スイッチ素子として利用することもできる。
【００４５】
また、本発明の第３の光偏向器によれば、本発明の第１または第２の光偏向器において、位相シフタが光導波路列の各々の光導波路に個別に付加されていることにより、光導波路列の各々の光導波路に個別に光導波路別位相シフタを付加し、導波される光の位相を各光導波路毎に個別に制御することができるので、光導波路アレイの出射端から出力された光を各光導波路毎に所望の角度で偏向させることができ、かつその光を集光して所望の二次元的または三次元的な配置に出力することができる。そして、例えば、その光導波路アレイの出射端に対向させて出力用光導波路アレイを配置することによって、入力用光導波路に入力した光を所望の出力用光導波路に導波させることができる光スイッチ素子として利用することができる。また、複数列および複数段に上下左右に集積化することにより、Ｍ×Ｎ光スイッチ素子として利用することもできる。
【００４６】
また、本発明の第４の光偏向器によれば、本発明の第１乃至第３のいずれかの光偏向器において、位相シフタが熱光学位相シフタであることから、光導波路アレイの光導波路を形成する材料がポリマー系材料である場合には、光導波路を伝搬する光に対して十分良好な位相シフトを行なうことができるとともに、石英系材料よりも熱光学効果が１桁以上大きいため、石英系材料よりも小型の光偏向器を製作することができる。また、ポリマー系材料はスピンコート法により容易に厚膜化できるので、石英系材料ではＣＶＤ法等による形成方法における厚膜化が困難であるのに対して、ポリマー系材料の方が本発明の光偏向器における光導波路アレイのように光導波路列を複数段積層したような構造においてそれぞれに位相シフタを形成するのに適している。従って、位相シフタ８には、ポリマー系材料から成る光導波路５を用いて、応答の優れる熱光学位相シフタを用いることが好ましい。
【００４７】
また、位相シフタがＳＯＡを利用した半導体位相シフタアレイや、ＬＮやＰＬＺＴを利用した電気光学位相シフタアレイである場合は、光導波路列上または光導波路上にこれらを別途実装する必要があるのに対して、位相シフタに熱光学位相シフタを用いた場合には、実装工程を必要とせずにより簡単な工程で形成することができ、光導波路列または光導波路とともにモノリシック集積できるという点でも有利である。
【００４８】
以上により、本発明によれば、光スイッチとして高速で動作させることができ、高信頼性であり、かつ光スイッチの大規模化も実現が可能な、光スイッチに用いられる光偏向器を提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の光偏向器の実施の形態の一例を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第２の光偏向器の実施の形態の一例を示す斜視図である。
【図３】本発明の第２の光偏向器の実施の形態の他の例を示す斜視図である。
【図４】本発明の第２の光偏向器の実施の形態のさらに他の例を示す斜視図である。
【図５】本発明の第３の光偏向器の実施の形態の一例を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１・・・入力用光導波路
２・・・分配口
３・・・分配口列
４・・・光分配器
５・・・光導波路
６・・・光導波路列
７・・・光導波路アレイ
８・・・位相シフタ
８ａ・・・第１の位相シフタ
８ｂ・・・第２の位相シフタ
８ｃ・・・第３の位相シフタ
８ｄ・・・光導波路別位相シフタ
９・・・レンズ（集光手段）
１０・・・集光機能位相シフタ（集光手段）
１１・・・出力用光導波路アレイ
１２・・・出力用光導波路
【図１】
2004354653.tif 000003
【図２】
2004354653.tif 000004
【図３】
2004354653.tif 000005
【図４】
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【図５】
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