(57)【要約】【課題】本発明は透明材質の測定対象物の形状を撮影した画像を処理し、表面形状の測定を行う装置に関し、特に内部に高反射率の物質が存在する対象物であっても、その表面形状を正確に測定することができる表面形状測定装置を提供するものである。【解決手段】先ず、落斜照明部３４から測定対象物３０に対して照明を行い、測定対象物３０での反射光を撮像カメラ３２で撮影する。この撮影画像には上記測定対象物３０の表面形状の情報と共に、内部の高反射率の物質の情報も含まれ、この高反射率の物質の情報を取り除くため、更に落斜照明部３５から測定対象物３０に対して照明を行い、高反射率の物質のみの情報を抽出し、この情報を上記撮影画像の情報から減算することによって、測定対象物３０の表面形状の情報のみを取得する構成である。【選択図】  図１
2004354281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に高反射率の物質を有し、透明材質より成る測定対象物からの反射光を撮影し、画像情報を出力する撮像カメラと、
前記測定対象物に対して照明光を斜入射する第１の照明手段と、
該第１の照明手段より低い位置に配設され、前記測定対象物に斜入射により照明光を照射し、前記高反射率の物質からの反射光のみを前記撮像カメラに入射させる第２の照明手段と、
前記第１の照明手段からの照明に基づいて前記撮像カメラが撮影した前記測定対象物の第１の画像情報から、前記第２の照明手段からの照明に基づいて前記撮像カメラが撮影した前記測定対象物の第２の画像情報を減算処理する減算手段と、
を有することを特徴とする表面形状測定装置。
【請求項２】
前記第１の照明手段には光ファイバー線を通して第１の光源が接続され、前記第２の照明手段には光ファイバー線を通して第２の光源が接続され、それぞれ対応する光源から光の供給を受けることを特徴とする請求項１記載の表面形状測定装置。
【請求項３】
前記第１、第２の照明手段は環状の落斜照明であり、前記第１、第２の照明手段は同軸状に上下に配設され、前記撮像カメラと測定対象物間に前記第１、第２の照明手段が配設され、前記第１、又は第２の照明手段から前記測定対象物に照射された光の反射光は前記第１、第２の照明手段の環内を通過して前記撮像カメラによって撮影されることを特徴とする請求項１、又は２記載の表面形状測定装置。
【請求項４】
前記減算処理は、前記第１の画像情報に所定の定数を掛けた後、前記第２の画像情報を減算することを特徴とする請求項１、２、又は３記載の表面形状測定装置。
【請求項５】
前記第１、第２の照明手段は、発光する位置を部分的に変更することによって、前記測定対象物の表面の凹凸を測定することを特徴とする請求項１、２、３、又は４記載の表面形状測定装置。
【請求項６】
前記第１の照明手段は、ドーム拡散照明であることを特徴とする請求項１、２、３、４、又は５記載の表面形状測定装置。
【請求項７】
内部に高反射率の物質を有し、透明材質より成る測定対象物からの反射光を撮影し、画像情報を出力する撮像カメラと、
前記測定対象物に対して照明光を斜入射する照明手段と、
該照明手段を上下の第１及び第２の位置に移動する駆動手段と、
前記第１の位置における前記照明手段からの照明に基づいて前記撮像カメラが撮影した前記測定対象物の第１の画像情報から、前記第２の位置における前記照明手段からの照明に基づいて前記撮像カメラが撮影した前記測定対象物の第２の画像情報を減算処理する減算手段と、
を有することを特徴とする表面形状測定装置。
【請求項８】
前記照明手段は環状の落斜照明であり、前記撮像カメラと測定対象物間に配設され、該照明手段から前記測定対象物に照射された光の反射光は該照明手段の環内を通過して前記撮像カメラによって撮影されることを特徴とする請求項７記載の表面形状測定装置。
【請求項９】
前記照明手段は、発光する位置を部分的に変更することによって、前記測定対象物の表面の凹凸を測定することを特徴とする請求項７、又は８記載の表面形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透明材質の測定対象物の形状を撮影した画像を処理することによって測定対象物の欠陥等の検査を行う表面形状測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
今日、プリント回路基板等の透明材質の検査にカメラで撮影した画像を処理し、測定対象物の欠陥を検査する方法が採用されている。例えば、特許文献１は測定対象物の上方に配置した複数の光源から測定対象物に光照射し、カメラで撮影した画像を使用して欠陥検査を行う方法である。
【０００３】
図１２は上記特許文献１に記載された検査装置の構成を説明する図である。同図において、機構部１には検査対象物３が配置された実装基板２が載置され、機構部１はＸ−Ｙ方向に移動可能に構成されている。また、実装基板２の上方には、光源１１、１３、１５、１７が順次配設され、４段の段差照明を構成している。また、各光源１１、１３、１５、１７は、それぞれ同心状に環状配置され、実装基板２に近づくに従って光源の直径が大きく構成されている。そして、不図示の照明切換部によって切り換えられた順序に従って、光源１１、１３、１５、１７から実装基板２に対して光照射が行われる。
【０００４】
また、撮像カメラ２１は光源１１の上方から上記段差照明部の中心軸上、検査対象物３の真上上方に配設されている。そして、撮像カメラ２１は順次切り換えられ、検査対象物３に照射された光の反射光を撮影する。
【０００５】
このようにして撮影された画像は、検査対象物３に対して順次入射角度を変えて光照射し、その反射光を撮影したものである。したがって、検査対象物３の表面の平面度に従った画像が得られ、その画像処理を行うことによって検査対象物３の表面の滑らかさや傾斜等の情報を得ることができる。
【０００６】
例えば、実装基板２を電子回路が実装されたプリント回路基板とし、当該プリント回路基板に半田付け実装された素子を検査対象物３とした場合、撮像カメラ２１によって撮影された画像情報から、例えば素子の半田付け状態を知ることができる。例えば、画像情報から半田過剰、半田不足、半田無し等の不良を知ることができる。
【０００７】
【特許文献１】
特開平６−３１２３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の検査方法では、検査対象物の表面の形状を知ることはできるが、検査対象物が透明であり、内部に高反射率の物質が存在する場合、内部の物質からの反射光により、検査対象物の表面形状を正しく測定することができない。
【０００９】
すなわち、上記図１２に示す照明は落斜照明であり、検査対象物の表面に突起があると当該突起の角度で反射光が撮像カメラ２１のレンズに入り、突起部は明るく写る。しかし、上記のように内部に反射率の高い物質があると、この物質で反射した光もレンズに入り、検査対象物の表面の突起による情報との区別ができない。
【００１０】
そこで、本発明は内部に高反射率の物質が存在する透明検査対象物であっても、その表面形状を正確に測定することができる表面形状測定装置を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、請求項１記載の発明によれば、内部に高反射率の物質を有し、透明材質より成る測定対象物からの反射光を撮影し、画像情報を出力する撮像カメラと、前記測定対象物に対して照明光を斜入射する第１の照明手段と、該第１の照明手段より低い位置に配設され、前記測定対象物に斜入射により照明光を照射し、前記高反射率の物質からの反射光のみを前記撮像カメラに入射させる第２の照明手段と、前記第１の照明手段からの照明に基づいて前記撮像カメラが撮影した前記測定対象物の第１の画像情報から、前記第２の照明手段からの照明に基づいて前記撮像カメラが撮影した前記測定対象物の第２の画像情報を減算処理する減算手段とを有する表面形状測定装置を提供することによって達成できる。
【００１２】
ここで、上記減算手段によって減算した結果は、前記測定対象物の表面形状の情報であり、この演算結果を表示、又は印刷等することによって測定対象物の表面形状を知ることができる。
【００１３】
このように構成することにより、フォトダイオードのように内部に高反射率の物質が形成されている場合でも、このような物質からの反射光に影響されることなく測定対象物の表面形状を正確に測定することができる。
【００１４】
請求項２の記載は、前記請求項１記載の発明において、前記第１の照明手段には光ファイバー線を通して第１の光源が接続され、前記第２の照明手段には光ファイバー線を通して第２の光源が接続され、それぞれ対応する光源から光の供給を受ける構成である。
【００１５】
このように構成することにより、光源の制御が行い易く、例えば制御部からの制御信号によって光源をオン、オフ制御し、上記第１、第２の照明手段の照明制御を簡単に行うことができる。
【００１６】
請求項３の記載は、前記請求項１、又は２の記載において、前記第１、第２の照明手段は環状の落斜照明であり、前記第１、第２の照明手段は同軸状に上下に配設され、前記撮像カメラと測定対象物間に前記第１、第２の照明手段が配設され、前記第１、又は第２の照明手段から前記測定対象物に照射された光の反射光は前記第１、第２の照明手段の環内を通過して前記撮像カメラによって撮影される構成である。
【００１７】
請求項４の記載は、前記請求項１、２、又は３の記載において、前記減算処理は、前記第１の画像情報に所定の定数を掛けた後、前記第２の画像情報を減算する構成である。
【００１８】
このように構成することにより、第１、第２の照明手段の配設位置による受光光量の相違を調整することができ、測定対象物の表面形状を正確に測定することができる。
【００１９】
請求項５の記載は、前記請求項１、２、３、又は４の記載において、前記第１、第２の照明手段は、発光する位置を部分的に変更することによって、前記測定対象物の表面の凹凸を測定する構成である。
【００２０】
このように構成することにより、測定対象物の表面形状をより正確に知ることが可能となる。
【００２１】
請求項６の記載は、前記請求項１、２、３、４、又は５の記載において、前記第１の照明手段は、例えばドーム拡散照明である
【００２２】
このように構成することによっても、内部の高反射率の物質からの反射光に影響されることなく、測定対象物の表面形状を正確に知ることができる。
【００２３】
上記課題は、請求項７記載の発明によれば、内部に高反射率の物質を有し、透明材質より成る測定対象物からの反射光を撮影し、画像情報を出力する撮像カメラと、前記測定対象物に対して照明光を斜入射する照明手段と、該照明手段を上下の第１及び第２の位置に移動する駆動手段と、前記第１の位置における前記照明手段からの照明に基づいて前記撮像カメラが撮影した前記測定対象物の第１の画像情報から、前記第２の位置における前記照明手段からの照明に基づいて前記撮像カメラが撮影した前記測定対象物の第２の画像情報を減算処理する減算手段とを有する表面形状測定装置を提供することによって達成できる。
【００２４】
このように構成することにより、フォトダイオードのように内部に高反射率の物質が形成されている場合でも、このような物質からの反射光に影響されることなく測定対象物の表面形状を測定することができる。
【００２５】
請求項８の記載は、前記請求項７記載の発明において、前記照明手段は環状の落斜照明であり、前記撮像カメラと測定対象物間に前記照明手段が配設され、前記照明手段から前記測定対象物に照射された光の反射光は前記照明手段の環内を通過して前記撮像カメラによって撮影される。
【００２６】
また、請求項９の記載は、前記請求項７、又は８の記載において、前記照明手段は、発光する位置を部分的に変更することによって、前記測定対象物の表面の凹凸を測定することができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の表面形状測定装置について、図面を参照しながら実施形態を詳述する。
【００２８】
＜第１の実施形態＞
図１は本実施形態の表面形状測定装置のシステム構成図である。
同図において、測定対象物３０は、例えばアクリル材質で構成される透明物質であり、ほぼ平面の表面をもつ。また、測定対象物３０の内部には高反射率の物質が形成されている。本例では、高反射率の物質として、シリコンフォトダイオード３１が測定対象物３０内に形成されているものとする。
【００２９】
撮像カメラ３２はＣＣＤカメラであり、上記測定対象物３０を視野に入れることができるレンズを有する。この撮像カメラ３２で撮影した画像データは画像処理装置３３に送られる。
【００３０】
また、上記撮像カメラ３２と測定対象物３０間にはリング状の落斜照明部３４、３５が配設され、落斜照明部３４は光源３６から光の供給を受け、落斜照明部３５は光源３７から光の供給を受ける。本例においては、落斜照明部３４と光源３６は光ファイバー線で接続され、光源３６の発光を光ファイバー線を通してリング状の落斜照明部３４に送り、落斜照明部３４から測定対象物３０に照明を行う。同様に、斜照明部３５と光源３７も光ファイバー線で接続され、光源３７の発光を光ファイバー線を通してリング状の落斜照明部３５に送り、落斜照明部３５から測定対象物３０に照明を行う。
【００３１】
尚、落斜照明部３４、３５において、光ファイバー線の先端は下方に向けられ、測定対象物３０に光照射を行う。また、光源３６、３７のオン、オフ制御は、コントローラ３８から出力される制御信号によって行われる。
【００３２】
また、画像処理装置３３はアナログ／デジタル変換部（Ａ／Ｄ変換部）、画像処理部、メモリ等で構成され、撮像カメラ３２で撮影した画像データはＡ／Ｄ変換部でデジタルデータに変換され、メモリに記録される。
【００３３】
以上の構成において、以下に本例の処理動作を説明する。
先ず、コントローラ３８から制御信号を出力し、光源３６をオンし、光源３７をオフし、光源３６のみを発光させる。光源３６の発光は光ファイバー線を通して落斜照明部３４に送られ、落斜照明部３４から測定対象物３０に向けて光照射が行われる。
【００３４】
図２は、落斜照明部３４から測定対象物３０に光照射が行われた際の光経路を説明する図である。同図において、Ａは落斜照明部３４から出射される光の照射範囲を示す。例えば、この出射光の中で、同図に示す光線ａは測定対象物３０の表面に照射され、表面の凹凸に従って反射する。同図に示す光線ａの場合、測定対象物３０表面の緩やかな傾斜面で反射する。
【００３５】
撮像カメラ３２は前述のように測定対象物３０の上方に配設され、測定対象物３０の表面で反射した光を受光する。上記光線ａの場合、その反射光は撮像カメラ３２に入射する。この場合、撮像カメラ３２で撮影する画像には、この部分が明るく写る。一方、同図に示す光線ｂの場合、測定対象物３０の傾斜面で反射した光は外部に放出され、撮像カメラ３２には入射しない。この場合、撮像カメラ３２で撮影する画像には、この部分が暗く写る。尚、同図に示すＢも落斜照明部３４から出射される光の照射範囲を示す。
【００３６】
次に、コントローラ３８から制御信号を出力し、光源３７をオンし、光源３６をオフし、光源３７のみを発光させる。この場合も、光源３７の発光は光ファイバー線を通して落斜照明部３５に送られ、落斜照明部３５から測定対象物３０に向けて光照射される。
【００３７】
図３は、落斜照明部３５から測定対象物３０に光照射が行われた際の光経路を説明する図である。この場合、落斜照明部３４から出射される光の照射範囲をＣで示す。この場合、前述の落斜照明部３４の照明と異なり、落斜照明部３５は低い位置にあり、例えばこの出射光の中で、同図に示す光線ｃは測定対象物３０表面に照射され、表面の凹凸に従って反射するが撮像カメラ３２には入射しない。
【００３８】
尚、落斜照明部３５の配設高及びリング径は所定の値に設定されており、測定対象物３０での反射光が撮像カメラ３２に入射しないように設定されている。したがって、落斜照明部３５からの照明によって測定対象物３０の表面形状が撮像カメラ３２によって明るく映し出されることはない。
【００３９】
一方、図４は測定対象物３０内に形成される前述のシリコンフォトダイオード３１の反射状態を説明する図である。本例のシリコンフォトダイオード３１は散乱性の反射を行い、同図にＤで示す光の反射率分布を有する。すなわち、あらゆる方向に反射する為、リンク状の落斜照明部３４、３５の配設高に関わらず、シリコンフォトダイオード３１で反射した光は撮像カメラ３２に入射する。
【００４０】
図５は上方の落斜照明部３４から測定対象物３０に光照射を行った際の光路を示す。尚、同図に示すＡは、前述の落斜照明部３４から出射される光の照射範囲を示す。同図では、この出射光の中で、前述と同じ光線ａを対象として光路を示す。前述のように、落斜照明部３４から出射された光線ａは、測定対象物３０の表面の緩やかな傾斜部分で反射し、反射光ａ１として撮像カメラ３２で検出される。一方、測定対象物３０の表面で反射せず、測定対象物３０内に透過する光（透過光ａ２）もあり、透過光ａ２は測定対象物３０内部に形成されたシリコンフォトダイオード３１で散乱反射、この反射光は撮像カメラ３２によって撮影される。
【００４１】
図６は、この時撮像カメラ３２が撮影した画像である。同図に示すように、例えば反射光ａ１の反射点ａａ１は明るく写る。尚、同図に示す反射点ａａ１を含む斜線部４０は、同様に測定対象物３０の緩やかな傾斜部分が環状に写し出されたものである。一方、シリコンフォトダイオード３１で散乱反射した透過光ａ２は、図６の反射点ａａ２に写し出される。尚、同図に示す反射点ａａ２を含む四角形の斜線部４１は、同様にシリコンフォトダイオード３１の形成部で反射した光を撮像カメラ３２が撮影したものである。
【００４２】
尚、図６に示す画像の中で、内部の環状斜線部４２は、測定対象物３０の傾斜部分を示し、本例では図５に示す４３の緩やかな傾斜部分が写し出されたものである。
【００４３】
したがって、上方の落斜照明部３４から照明を行い、撮像カメラ３２で撮影した場合、図６に示す画像がメモリに記録され、測定対象物３０の表面形状が二重の環状の傾斜部４０、４２に表れ、内部に形成されたシリコンフォトダイオード３１の画像が四角形の傾斜部４１で表される。
【００４４】
一方、下方の落斜照明部３５から照明を行い、測定対象物３０からの反射光を撮像カメラ３２で撮影した場合、図７に示す画像が記録される。すなわち、落斜照明部３５からの照明では、測定対象物３０の反射光が撮像カメラ３２によって撮影されることはなく、シリコンフォトダイオード３１からの反射光のみが写し出される。したがって、図７に示す画像はシリコンフォトダイオード３１の配置情報を示すものである。
【００４５】
次に、画像処理部は上記図６に示す画像情報と、図７に示す画像情報から測定対象物３０の表面形状の情報のみを抽出する。すなわち、図６に含まれるシリコンフォトダイオード３１の情報を、図７に示す画像情報によって削除する。具体的には、図６に示す画像情報から図７に示す画像情報を減算し、測定対象物３０の表面形状の情報のみを抽出する。
【００４６】
但し、図６に示す画像情報は落斜照明部３４からの落斜照明に基づいて得られた画像である。したがって、図７に示す画像情報に対して受光量が少なく淡い濃度である。そこで、図６に示す画像情報に対して、所定の定数（ゲイン）を掛け、図７に示す画像情報を減算する。
【００４７】
例えば、図６に示す画像情報について、メモリにビットマップ形式のデータを記憶し、各ドット毎に階調数を記録することによって、ドット毎に階調数に上記定数（ゲイン）を掛け、更に図７に示す画像情報の対応するドットの階調数のデータを減算することによって計算することができる。
【００４８】
図８は上記演算処理によって得られた画像情報であり、シリコンフォトダイオード３１の要素が排除され、緩やかな傾斜部分４０、４２の表面形状の情報のみを残すことができる。
以上のように、本例によれば透明部材の表面形状を測定する際、内部の高反射率の物質が存在する場合でも、当該情報を削除して測定対象物３０の表面形状の情報のみを得ることができる。
【００４９】
尚、以上の実施形態の説明では、リング状の落斜照明部を使用したが、下側の落斜照明部３５は反射光が撮像カメラ３２に入らないようにすればよいので、ドーム拡散照明等の照明手段を使用する構成としてもよい。
【００５０】
＜第２の実施形態＞
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
本例は前述の実施形態と基本的には同じであるが、単一の落斜照明部で構成し、落斜照明部を一定間隔で移動し、順次測定対象物３０への光照射に対する反射光を撮像カメラ３２で撮影し、撮影画像を画像処理するものである。以下、具体的に説明する。
【００５１】
図９は本例の処理を説明する図であり、先ず上方に位置する落斜照明部４４から照明を行い、測定対象物３０に光照射を行う。この場合、測定対象物３０で反射した光は、前述の図５と同様、反射光ａ１は撮像カメラ３２に入射し、対応する反射点は明るく写る。また、内部のシリコンフォトダイオード３１で反射した光ａ２も撮像カメラ３２に入射し、前述の図６に示す画像情報を得る。
【００５２】
次に、図９に示す矢印方向（下方向）に落斜照明部４４の位置を１ステップ下げ、上記と同様測定対象物３０に光照射を行う。そして、測定対象物３０及びシリコンフォトダイオード３１で反射した光を撮像カメラ３２で撮影する。この場合、測定対象物３０への照射光の入射角が小さくなり、例えば上記より少し急峻な傾斜の情報が得られる。
【００５３】
以下、図９に示す矢印方向（下方向）に落斜照明部４４の位置を順次移動し、各位置において測定対象物３０及びシリコンフォトダイオード３１で反射した光を撮像カメラ３２で撮影する。そして、最後に最も低い位置に移動した落斜照明部４４から測定対象物３０に対して照明を行い、例えば前述の図７に示す画像情報を得る。
【００５４】
以上のように、落斜照明部４４の位置を順次下方に移動し、撮像カメラ３２で測定対象物３０の表面形状を撮影することによって、測定対象物３０全体の形状を測定することができる。勿論、得られた画像情報に対して、前述のように減算処理を行うことによって、測定対象物３０の表面形状のみを測定することができる。
【００５５】
＜第３の実施形態＞
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。
本例は測定対象物に形成された凹凸形状を区別する形状測定装置について説明する。図１０、及び図１１は本例の処理を説明する図であり、図１０は測定対象物３０の表面に凸形状が形成されている場合であり、図１１は凹形状が形成されている場合である。
【００５６】
先ず、図１０の場合、落斜照明部４７の紙面左側４７ａのみから光照射を行った場合であり、測定対象物３０の緩やかな傾斜部分４８ａにおいて反射し、該反射光は明るく写る。一方、照射された光の中で、測定対象物３０の緩やかな傾斜部分４８ｂで反射した光は側部に照射され撮像カメラ３２で撮影されていることはない。したがって、この場合、測定対象物３０の表面には凸形状が形成されていると判断する。
【００５７】
一方、図１１は凹形状の場合であり、落斜照明部４７の紙面左側４７ａから照射された光は測定対象物３０の緩やかな傾斜部分４９ａで反射し、該反射光は撮像カメラ３２に入射しない。一方、照射された光の中で、測定対象物３０の緩やかな傾斜部分４９ｂに照射された光は反射し、撮像カメラ３２で撮影される。この場合、測定対象物３０の表面には凹形状が形成されていると判断する。
【００５８】
すなわち、落斜照明部４７を右側と左側で分割し（リング状の落斜照明部４７ａと４７ｂに分け）、照射部と同じ方向で明るい場合凸形状であると判断でき、逆側が明るければ凹形状であると判断できる。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば測定対象物が透明であり、内部に高反射率の物質が存在しても、高反射率の物質の情報を排除し、正確な測定対象物の表面形状を測定することができる。
【００６０】
また、照明部は単一であっても高反射率の物質の情報を排除し、正確な測定対象物の表面形状を測定することができる。
さらに、測定対象物の表面形状の凹凸まで正確に検出することができ、より利便性のある表面形状測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の表面形状測定装置のシステム構成図である。
【図２】上方の落斜照明部から測定対象物に光照射が行われた際の光経路を説明する図である。
【図３】下方の落斜照明部から測定対象物に光照射が行われた際の光経路を説明する図である。
【図４】測定対象物内に形成される前述のシリコンフォトダイオードの反射状態を説明する図である。
【図５】上方の落斜照明部から測定対象物に光照射を行った際の光路を示す図である。
【図６】上方の落斜照明部からの落斜照明に基づいて得られた画像を示す図である。
【図７】下方の落斜照明部からの落斜照明に基づいて得られた画像を示す図である。
【図８】演算処理によって得られた画像情報に基づく図である。
【図９】第２の実施形態を説明する図であり、落斜照明部から測定対象物に光照射が行われた際の光経路を説明する図である。
【図１０】第３の実施形態を説明する図であり、落斜照明部から測定対象物に光照射が行われた際の光経路を説明する図である。
【図１１】第３の実施形態を説明する図であり、落斜照明部から測定対象物に光照射が行われた際の光経路を説明する図である。
【図１２】従来例の形状測定装置のシステム構成図である。
【符号の説明】
３０  測定対象物
３１  シリコンフォトダイオード
３２  撮像カメラ
３３  画像処理装置
３４、３５  落斜照明部
３６、３７  光源
３８  コントローラ
４０、４１、４２  斜線部
４４、４７  落斜照明部
４７ａ、４７ｂ  落斜照明部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004354281.tif 000009
【図８】
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【図９】
2004354281.tif 000011
【図１０】
2004354281.tif 000012
【図１１】
2004354281.tif 000013
【図１２】
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