(57)【要約】【課題】希土類元素を含む硬質磁性材料を室温以上の温度で使用する場合、磁気特性の温度依存性を小さくするために高い保磁力や小さな保磁力の温度係数をもった硬質磁性材料が必要である。【解決手段】上記目的を達成するために、硬質磁性材料に反強磁性材料を添加し磁界中冷却処理を施すことで硬質磁性材料と反強磁性材料の間に磁気的結合が生まれ、硬質磁性材料の磁化の動きを抑制することにより、保磁力を増加させ、保磁力の温度係数を小さくした。【効果】室温以上の温度範囲で使用されるモータなどに使用することで、高トルクを高温まで維持することができ、特に産業用，自動車用，半導体装置などの搬送用，発電機などに適用できる。【選択図】　図３
2004079922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
希土類元素を含む硬磁性材料と、反強磁性材料とを有する永久磁石であって、前記硬磁性材料と前記反強磁性材料との間に磁気的結合が生じており、前記反磁性材料は体積比で２０％以下であることを特徴とする永久磁石。
【請求項２】
前記硬磁性材料及び前記反強磁性材料及び硬質磁性材料は夫々異なる相として存在していることを特徴とする請求項１記載の永久磁石。
【請求項３】
前記反強磁性材料の相は前記硬磁性材料の相よりも薄い相であることを特徴とする請求項１記載の永久磁石。
【請求項４】
前記反強磁性材料はＭｎを含んだ規則相若しくは不規則相からなる合金であることを特徴とする請求項１記載の永久磁石。
【請求項５】
前記反強磁性材料はＮｉＭｎ合金を体積比で３〜１０％有することを特徴とする請求項１記載の永久磁石材料。
【請求項６】
希土類元素を含む硬磁性材料粉を作成する工程と、
反磁性材料粉を作成する工程と、
前記硬磁性材料粉と前記反磁性材料粉とを混合する工程と、
電磁石を備える金型に混合粉を充填する工程と、
該混合粉に磁界を印加する工程と、
前記混合粉を加熱する工程と、
前記混合粉を冷却しながら磁界を印加する工程と、を有することを特徴とする永久磁石の製造方法。
【請求項７】
前記硬磁性材料粉と前記反強磁性材料粉とを混合する工程は、
前記反強磁性材料粉が体積比で２０％以下となるよう混合することを特徴とする請求項６記載の永久磁石の製造方法。
【請求項８】
前記反磁性材料粉を作成する工程は、前記硬磁性材料粉よりも小さな反強磁性材料粉を作成する工程であることを特徴とする請求項６記載の永久磁石の製造方法。
【請求項９】
前記希土類元素を含む硬磁性材料粉を作成する工程は、
還元性ガスで該硬磁性材料粉表面の酸化物を除去する工程を含むことを特徴とする請求項６記載の永久磁石の製造方法。
【請求項１０】
前記電磁石を備える金型に混合粉を充填する工程は、
還元性ガスで該硬磁性材料粉表面の酸化物を除去する工程を含むことを特徴とする請求項６記載の永久磁石の製造方法。
【請求項１１】
希土類元素を含む硬磁性材料と、反強磁性材料とを有する永久磁石であって、前記反磁性材料は使用温度よりも高いネール点を有する酸化物であることを特徴とする永久磁石。
【請求項１２】
前記硬磁性材料及び前記反強磁性材料及び硬質磁性材料は夫々異なる相として存在していることを特徴とする請求項１１記載の永久磁石。
【請求項１３】
前記反強磁性材料の相は前記硬磁性材料の相よりも薄い相であることを特徴とする請求項１１記載の永久磁石。
【請求項１４】
請求項１記載の永久磁石を用いたことを特徴とする回転子。
【請求項１５】
請求項１４記載の回転子を用いたことを特徴とするモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は希土類元素を含む永久磁石材料及びそれを用いた永久磁石，モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の希土類元素を含む永久磁石材料の製造手法として特開２００２−６４００９号公報に記載された技術がある。当該文献には希土類元素やホウ素あるいは炭素を含む材料組成，結晶構造，結晶の大きさ，ホウ化物の構造と組成，形状，平均粒径，保磁力，残留磁束密度，急冷工程を含む製造手法，加熱処理を含む製造手法に関する技術が記載されている。
【０００３】
また、フィジカルレビューＢ，ボリューム６５，１７４４２０頁（２００２年）（Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｒｅｖｉｅｗ　Ｂ，Ｖｏｌｕｍｅ６５，Ｐ１７４４２０，（２００２））に、ＳｍＣｏ５　とＮｉＯとをボールミリング法により混合し、保持力を増大させる技術に関する記載がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開２００２−６４００９号公報に記載された技術では製造手法と保磁力の関係が記載されているが、保磁力はいずれも３６０Ｏｅ以下と低い。なおこの文献ではＶやＣｒ等がＦｅに固溶した場合Ｆｅの磁化方向とは逆向きにスピンが向いてしまうことで残留磁束密度が低下したり、減磁曲線の角形性が小さくなる旨が示されている。
【０００５】
またフィジカルレビューＢ，ボリューム６５，１７４４２０頁（２００２年）では硬質磁性相の温度特性向上、硬質磁性相の残留磁束密度において十分に高いといえず未だ課題がある。
【０００６】
以上、本発明の目的は、永久磁石における硬磁性材料の保持力の増加，残留磁束密度増加、及びエネルギー積の増大を目的とし、更にはそれを用いたモータを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的と達成するための一手段は、希土類元素を含む硬磁性材料と、反強磁性材料とを有する永久磁石であって、硬磁性材料と反強磁性材料との間に磁気的結合が生じており、反磁性材料は体積比で２０％以下であることを特徴とする。硬磁性材料と、反強磁性材料とを有することでこれらの間に磁力結合を生じさせることができ、硬質磁性材の保磁力が増加し保磁力の温度係数も低減され、室温以上の温度範囲で使用されるモータなどに適用すれば、高トルクを高温まで維持することができ、特に産業用，自動車用，半導体装置などの搬送用，発電機などに適用できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施態様によると、硬磁性材料と、反強磁性材料とを有する永久磁石であって、この反磁性材料は体積比で２０％以下であることを特徴とする。これにより希土類元素を少なくとも１種類以上含む化合物に反強磁性材料が磁気的に結合することとなる。なお希土類元素は原子番号５７のＬａから７１番のＬｕに３ａ族のＳｃ，Ｙを含んだものである。このような希土類元素をＲで示すと、Ｒ２Ｆｅ１４Ｂ，Ｒ２Ｃｏ１７，ＲＣｏ５　等があり、これらの化合物は焼結体あるいはボンド磁石用磁粉を構成しているものである。このような硬質磁性体の化合物の結晶粒径は１ｎｍ〜１００μｍであり、結晶粒界付近に反強磁性材料を形成させた例はＲＣｏ５　とＮｉＯの場合のみである。ＲＣｏ５　とＮｉＯの場合のエネルギー積は公知例では室温で１１ＭＧＯｅであり、エネルギー積が小さいためモータを始め種々の回転機，医療機器，音響機器，ＨＤＤなどの情報機器，産業機器，自動車などへの応用は困難である。本発明では反強磁性材料としてＭｎを含む合金相や酸化物あるいは積層材を使用し、高いエネルギー積（１２ＭＧＯｅ以上，７０ＭＧＯｅ以下）を実現するために、反強磁性材の体積率を２０％以下にしたものである。反強磁性材料を上記硬質磁性材料の化合物の結晶粒に磁気的に結合させる（若しくは異なる相として存在させる）ためには、反強磁性材料と硬質磁性材料の間の不純物を少なくすること、反強磁性材料と硬質磁性材料の結晶が配向していること、反強磁性相の厚さが薄いこと、粒内に反強磁性相の成長を防止すること等が重要である。このような条件を満足して反強磁性材料を硬質磁性層の結晶粒界近傍に成長させることにより、磁界中冷却などの反強磁性材料の着磁により反強磁性材料の磁化の方向を制御し、かつ反強磁性材料と硬質磁性材料との磁気的結合を生み出すことができる。上記反強磁性材料として、酸化物の場合ＮｉＯ，Ｆｅ２Ｏ３，ＮｉＯとＣｏＯの混合材等を用いたものである。これらの酸化物の体積は酸化物２０％以下（主相である強磁性材：反強磁性材の比は４：１が反強磁性材の体積として最大）とすることにより、エネルギー積が１２ＭＧＯｅ以上にすることが可能である。また、Ｍｎ系合金の場合にはＮｉＭｎ，ＰｔＭｎ，ＩｒＭｎ，ＦｅＭｎ，ＰｄＭｎなどの規則相あるいは不規則相が使用したものである。また積層材の場合には、Ｆｅ／Ｃｒ／Ｆｅ，Ｆｅ／Ｒｕ／Ｆｅ，ＮｉＦｅ／Ｒｕ／ＮｉＦｅ等の積層材を磁性粉の周囲に成長させ、強磁性を通した硬質磁性材料との交換結合により硬質磁性材料の保磁力を増加させる。上記種々の材料を形成することにより、硬質磁性材料と反強磁性材料の間には交換結合が生じる。この交換結合は硬質磁性材料の磁壁発生あるいは磁壁の移動を抑制するものである。このため硬質磁性材料の保磁力増加，保磁力の温度依存性低減，残留磁束密度の温度依存性低減，減磁曲線の角形性向上が効果として認められる。次にこのような反強磁性材との交換結合を利用して硬質磁性材料の温度特性を向上させるための製造手法について説明する。交換結合は一般に局所的に作用し、界面の構造に敏感であることから、焼結材の場合、酸素，炭素，窒素などの不純物（主相を構成していない元素）により交換結合が急激に弱め���れる。また、硬質磁性材料の結晶の大きさは小さいほうが望ましく１０μｍ以下，１ｎｍ以上であり結晶粒の界面は還元処理により酸素などの不純物を除去しておくことが望ましい。Ｒ２Ｆｅ１４Ｂ　の場合約８５０℃で低融点相が溶解し始め、粒界付近はＮｄリッチ相の成長が見られる。この時、Ｍｎなどを含む反強磁性相とＮｄリッチ相が反応することで、粒界付近に反強磁性が成長する。反強磁性が形成すると反強磁性相のネール点以下では反強磁性相内のスピンは反平行に配列する方がエネルギー的に安定となり、焼結過程後の冷却において外部より磁界が印加されると磁界方向に沿って反強磁性材料と硬質磁性材料の間に交換結合が働くようになる。この反強磁性材料は上記合金組成からはずれているが、粒内の硬質磁性材料と交換結合し、硬質磁性材料に発生する磁壁あるいは磁壁移動を抑制するものである。
Ｒ２Ｆｅ１４Ｂ　の結晶粒径が細かい場合には、８５０℃よりも低温で反強磁性と強磁性間に磁気的な結合を形成することができる。
【０００９】
上記熱処理は、反強磁性材と強磁性材を混合した後に進め、混合後の反強磁性材の粒径は強磁性材の粒径よりも細かい方が望ましい。他の手段として、メカニカルアロイング法あるいはボールミリング法により、反強磁性材と硬質磁性材を混合させることにより、反強磁性材と硬質磁性材との間に、磁気的（静磁気，交換結合）作用を働かせることが可能である。この場合も反強磁性材の体積は少なくして、エネルギー積を高めるために２０％以下にすることが望ましい。また、ボールミリング中あるいは、ボールミル後に磁界を印加して反強磁性材を含む硬質磁性材に異方性を付加することにより高いエネルギー積の磁石材が得られる。
【００１０】
（実施例１）
本実施例では希土類元素としてＮｄを選択し、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ　となるよう原料組成を調整し、高周波誘導加熱により溶解，合金化する。なおこの場合希土類元素であるＮｄは原料組成で約５％過剰に添加して加熱時の減少分を補正するとよい。次にこの合金をスタンプミルやジョークラッシャー等で粉砕し、平均粒径
１００μｍの粗粉にし、その後更にジェットミルを用いて平均粒径３〜５μｍまで粉砕する。なおこの粉砕にはボールミルを用いても良い。そして粉砕した粉を４００℃〜８５０℃で水素処理し、表面の酸化層を除去する。あるいは水素中で希土類元素を少なくとも１種類含む磁粉を４００℃以上の温度で保持した後に水素を除き、結晶粒を細かくした磁粉にする。その後、反強磁性粉と混合する。反強磁性材料はＮｉＯでありネール点が１５５℃である。ＮｉＯの粉はＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ磁性粉の粒径よりも小さくして磁性粉とＮｉＯとの界面を多く作るようにする。
ＮｉＯをミキサーで混合後、電磁石がある金型内に混合粉を充填し、磁界を印加することによりＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの結晶軸を磁界方向にそろえる。成形圧力は１０８Ｎ／ｍ２　以上であり、見かけ密度を６０％程度にする。ＮｉＯを反強磁性材料として選択した場合、１１００℃の高温で焼結すると、母相中にＮｉや酸素が拡散するので、８５０℃以下の低温で成形する。本実施例では成形に通電成形法を使用し、成形体に１５００Ａ程度の電流を流してそのジュール熱により加熱成形する。通電後の冷却中に磁界を異方性の方向に印加して反強磁性材料とＮｄ２Ｆｅ１４Ｂに一方向磁気異方性を付加する。このようにして作製したＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ　とＮｉＯの混合粉から構成された磁石の保磁力と反強磁性材料の添加量との関係を図１に示す。ＮｉＯを添加して成形することにより、保磁力が増加する。保磁力の増加はＮｉＯと硬質磁性相であるＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ　の間の交換結合によるものである。
【００１１】
（実施例２）
第二の実施例について説明する。希土類元素としてＮｄ及びＤｙを選択し、
（Ｎｄ，Ｄｙ）２Ｆｅ１４Ｂ　に原料組成を調整し、高周波誘導加熱により溶解，合金化する。Ｄｙの添加量はＮｄに対して０．５〜１．０％である。なお希土類元素であるＮｄやＤｙは原料組成で約５％過剰に添加して加熱時の減少分を補正する。次にこの合金をスタンプミルやジョークラッシャーなどにより粉砕する。この粉砕により平均粒径１００μｍの粗粉にする。次にジェットミルを用いて平均粒径３〜５μｍまで粉砕する。粉砕にはボールミルを用いても良い。粉砕した粉を６００℃〜８５０℃で水素処理することにより表面の酸化層を除去する。その後、反強磁性粉と混合する。使用した反強磁性材料はＮｉＦｅ／Ｒｕ／ＮｉＦｅである。このような積層材はアトマイズ法により作製した。ＮｉＦｅ，Ｒｕ，ＮＩＦｅの順にＡｒ雰囲気あるいは真空雰囲気で蒸発させ、粉体の一部が蒸発した材料の積層構造をとるようにＮｉＦｅ，Ｒｕ，ＮｉＦｅの順にアトマイズを実施する。ＮｉＦｅ厚さが２〜５０ｎｍ、ＲｕはＮｉＦｅ厚さ以下になるように蒸発量を決定した。この積層構造を持った磁粉を（Ｎｄ，Ｄｙ）２Ｆｅ１４Ｂ　磁性粉の粉とミキサー等で混合する。混合後、電磁石がある金型内に混合粉を充填し、磁界を印加することにより（Ｎｄ，Ｄｙ）２Ｆｅ１４Ｂの結晶軸を磁界方向にそろえる。ＮｉＦｅ／Ｒｕ／ＮｉＦｅの粒径は（Ｎｄ，Ｄｙ）２Ｆｅ１４Ｂ　の粒径よりも小さく、加熱成形時に（Ｎｄ，Ｄｙ）２Ｆｅ１４Ｂ　の粒界に反強磁性材料と接触する割合を高くする。成形圧力は１０８Ｎ／ｍ２以上であり、見かけ密度を６０％程度にする。８５０℃以下の温度で成形する。８５０℃以上の温度にすると、積層材の構造が保持できなくなり、反強磁性による交換結合が弱まる。したがってできるだけ低温で成形することが望ましい。本実施例では成形に通電成形法を使用し、成形体に１０００〜１５００Ａ程度の電流を流してそのジュール熱により加熱成形する。通電後の冷却中に磁界を異方性の方向に印加して反強磁性材料と（Ｎｄ，Ｄｙ）２Ｆｅ１４Ｂ　に一方向磁気異方性を付加する。このようにして作製した（Ｎｄ，Ｄｙ）２Ｆｅ１４Ｂから構成された磁石の保磁力と反強磁性であるＮｉＦｅ／Ｒｕ／ＮｉＦｅ混合量との関係を図２に示す。ＮｉＯを添加して成形することにより、保磁力が増加する。保磁力の増加はＮｉＯと硬質磁性材料である（Ｎｄ，Ｄｙ）２Ｆｅ１４Ｂ　の間の交換結合によるものである。
【００１２】
（実施例３）
次の実施例を説明する。反強磁性材としてＭｎ系の合金を選択し、ガスアトマイズ法や液体急冷法によってＭｎ系合金の粉を作製する。ここでＭｎ系合金とはＮｉＭｎ，ＦｅＭｎ，ＰｄＭｎ，ＩｒＭｎ，ＰｔＭｎである。ＮｉＭｎの場合は規則相を形成させ、それ以外の合金は不規則相でよい。上記Ｍｎ合金の粉の平均径は１〜５μｍであり、細かいほど高保磁力化が達成できる。ＮｉＭｎを使用する場合について以下に説明する。平均径１〜５μｍのＮｉＭｎ粉はＮｉＭｎ合金をガスアトマイズ法によりＮｉ５０ａｔ％（±１ａｔ％）Ｍｎ粉末を作製する。この粉末と硬質磁性材である、希土類元素を少なくとも１種類以上含む平均粒径５〜１００μｍの磁性粉と混合する。混合はＶミキサーあるいはボールミルを使用し、真空中（１×１０−２Ｐａ以下）で混合する。混合した粉を磁界中で圧縮成形する。磁界の大きさは０．５ＭＡ／ｍ以上，成形圧力１０７Ｎ／ｍ２以上の条件で窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気中あるいは真空中（１×１０−２Ｐａ以下）で成形する。ＮｉＭｎ粉は成形後に硬質磁性材の粉の間に分布しているが、強磁性体と反強磁性体との交換結合は生じていない。上記成形体を次の熱処理を施すことにより交換結合が生まれる。熱処理炉に成形体を入れて加熱する前に炉内を水素を含む還元性ガスで置換し、希土類元素を含む粉の表面を還元する。このような還元雰囲気で加熱することにより希土類元素を含む粉の表面の酸化物を除去しておく。加熱温度を８５０℃にして保持時間２時間で還元性雰囲気で熱処理し、その後冷却時には磁界を印加する。磁界の方向は成形時に印加した磁界の方向と同一である。印加磁界は形状や寸法により異なるが、０．１ＭＡ／ｍ　以上の磁界を加える。このような磁界中冷却時の冷却速度は２℃／ｍｉｎ　以下にすることが望ましい。このような冷却速度にすることにより、ＮｉＭｎ規則相が生成する。冷却時には還元性雰囲気にする必要はない。上記製造手法で作製したＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ　磁石の生成相は主相であるＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ　，Ｎｄリッチ相およびＮｉＭｎ相であり、ＮｉＭｎ相がＮｄ２Ｆｅ１４Ｂの粒界付近に規則層として存在し、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂと磁気的に結合する。ＮｉＭｎ相は反強磁性、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ　は強磁性であり、その界面近傍でＮｉＭｎのスピンとＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ　のスピンのそれぞれ一部が結合することで、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ　のスピンの動きがＮｉＭｎのスピンにより一部固定される。このようにＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ　のスピンの一部が固定されることで
Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ　のスピンの回転や磁区の動きが抑制される。上記反強磁性相と強磁性相との間に磁気的結合が生じている領域はＮｉＭｎの界面から約０．１μｍまでの範囲であるが、粒界付近から発生する磁壁を減少させたり、粒界付近の不均一な磁化の乱れを均一にすることで、以下のような効果が確認できている。即ち１）保磁力の増加、２）保磁力の温度係数の低減、３）減磁曲線の角形性向上、４）熱減磁の低減である。これらの効果をＮｉＭｎ添加量に対してプロットしたものを図３〜図７に示す。
【００１３】
図３において、保磁力は約１０％の添加量まで単調に増加していることを示し、図４においてＨｋとｉＨｃの比（Ｈｋ／ｉＨｃ）は添加量が５％まで単調に増加する。ｉＨｃは図１から増加していることから、Ｈｋの値も増加していることを示している。これは減磁曲線の角形性の向上を示している。さらに保磁力の温度係数の絶対値がＮｉＭｎの添加によって減少することが図５からわかる。温度係数の減少は反強磁性と強磁性の交換結合による磁化あるいは磁壁の動きの抑制によるものである。このような磁化や磁壁の動きの抑制が働くため、図６に示すように熱減磁も小さくなっている。このような特性を有する硬質磁性材料は室温以上の温度範囲で使用する部品へ適用でき、特に温度特性の安定性（磁石表面の磁束密度確保，低熱減磁）を要求される部品への適用が可能であり、ＳｍＣｏ系磁石よりも安価である。図７に示すようにＮｉＭｎ添加量を増加するとエネルギー積（ＢＨｍａｘ）が増加する。これは、減磁曲線の角形性が向上しているためである。しかし、反強磁性材の添加は残留磁束密度を低下させるため、約１５％でエネルギー積が減少していく。２０％を超えると無添加の場合よりも小さくなる。このことから、反強磁性材の添加量あるいは生成量は２０％以下であることが必要である。反強磁性材がＮｉＯ，Ｆｅ２Ｏ３，ＩｒＭｎ，ＰｔＭｎ，ＣｒＭｎＰｔ，ＣｏＯ等の場合も添加量あるいは生成量が約２０％（体積率）を超えると残留磁束密度低下の効果が角形性向上の効果を上回るため、２０％以下であることが必要である。反強磁性材と軟磁性材が硬質磁性材に添加あるいは生成した場合には軟磁性材の磁束密度が高い場合、残留磁束密度がさらに増加するため、反強磁性材の体積が増加しても高いエネルギー積を実現できる。すなわち、ＮｉＭｎ等の反強磁性材以外に鉄や鉄系の合金からなる厚さが薄い層あるいは微粒子が、反強磁性材と同時に生成している場合は、鉄系材の飽和磁束密度が高いことと、軟磁性材および硬質磁性材の双方との磁気的結合により、残留磁束密度の向上と角形性向上が実現でき、エネルギー積が増加する。
【００１４】
（実施例４）
次に不規則相のＩｒＭｎやＰｄＭｎあるいはＦｅＭｎを反強磁性相に用いた場合の実施例を説明する。Ｉｒ１０〜３０ａｔ％ＭｎやＰｄ１０〜３０ａｔ％ＭｎあるいはＦｅ３０〜６０ａｔ％Ｍｎの合金あるいはＣｒＭｎＰｔ，ＩｒＭｎＰｄ等の３元系合金のいずれかを含んだ硬質磁性材料の作製手法を以下に示す。硬質磁性材は希土類元素を少なくとも１種類以上含んだ化合物が主相の材料であり、希土類元素，ＦｅあるいはＣｏ元素およびホウ素あるいは炭素，窒素を含んでいる。このような元素を含む原料を真空（１×１０−２Ｐａ以下）中で溶体化し組成分析後、租粉砕する。粉砕中の雰囲気は窒素あるいはアルゴン中である。さらにジェットミルやボールミルを用いて１〜５μｍの粒径まで粉砕する。反強磁性材料はこのような硬質磁性材料の粉末に蒸着して形成できる。移動可能な基板上に硬質磁性材料を載せて、真空容器内で上記Ｍｎ系反強磁性材料を蒸発させる。硬質磁性材料の上に成長するＭｎ系反強磁性材料の厚さは１０〜１００ｎｍである。反強磁性材料を蒸着する前に硬質磁性材料の粉末表面を水素ガス中で加熱して表面の酸化層を還元することで磁気特性の温度特性は向上する。蒸着する硬質磁性材料の粉の表面積は約１０％以上であれば温度特性に改善が見られる。蒸着には真空蒸着法あるいはスパッタリング法がある。Ａｒガスを用いたスパッタリング法の方が組成ズレを起こしにくく量産に適している。蒸着法を用いて反強磁性材料を形成する場合、反強磁性材料を硬質磁性材料の粉末上に形成する前にＦｅ，ＮｉＦｅなどの軟磁性材料を１〜１０ｎｍの膜厚で形成した後に反強磁性材料を形成させた法が磁気特性のばらつきが小さい。このような反強磁性材料を蒸着した硬質磁性材料の磁粉を磁界中（０．６ＭＡ／ｃｍ　以上の磁界）で加圧（１０７Ｎ／ｍ２以上の圧力）することにより異方性をもった磁粉の成形体が得られる。このときの密度は約７ｇ／ｃｍ３　である。この成形体を加熱炉内に挿入し、水素気流中で還元し８５０〜１１００℃の温度で加熱保持する。冷却速度は特に限定しなくても、磁界中で冷却することにより反強磁性材料と硬質磁性材料の間に磁気的な結合が生じる。この磁気的結合により、硬質磁性材料の保磁力が増加する。保磁力増加により高温でも保磁力が高く熱減磁しにくい硬質磁性材料が得られる。上記の実施例で検討した硬質磁性材の組成や反強磁性材料の種類および磁気特性の結果を表１に示す。
【００１５】
【表１】
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【００１６】
反強磁性の種類と硬質磁性材料の組み合わせにより、反強磁性材料の最適添加量は異なるが、３〜２０ａｔ％の範囲が望ましい。２０ａｔ％を超えると磁石の残留磁束密度が低下するので保磁力が増加してもエネルギー積の確保が困難である。硬質磁性材料の結晶粒内に反強磁性の構成元素が拡散したり反強磁性材料自体が分解したりすることを防止すれば少ない添加量で上記温度特性の向上が望める。ＮｄＦｅＢ系磁石には通常温度特性改善のためにＤｙを添加するが、Ｄｙは高価であるため、磁石の価格に影響し、部品や製品の価格上昇をまねく。表１より
Ｄｙを添加しなくても、反強磁性材料を添加することにより温度特性を向上させることが可能であるので、価格の点からも有利である。図１５にＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ　にＮｉＭｎを５ａｔ％添加して低温焼結後磁界中冷却して作製した磁石断面の組織を示す。粒界部にはＮｉおよびＭｎが検出され、ＮｉＭｎの合金相が形成されている。粒界付近にＮｉＭｎが生成することにより、反強磁性材料であるＮｉＭｎと硬質磁性材料のＮｄ２Ｆｅ１４Ｂ　との間に交換結合が働き磁化の回転や磁壁の発生、磁壁移動を抑制するものと考えられる。
【００１７】
（実施例５）
他の実施例を以下に説明する。希土類元素を少なくとも１種類以上含む硬質磁性材料の粉を水素などの還元ガス雰囲気で１〜５μｍの粒径に粉砕後、樹脂上に配置させて磁界を印加する。磁界を印加しながら樹脂上の磁粉に上記実施例のように反強磁性材料を蒸着し、その後樹脂でコートする。反強磁性材はＭｎを含む不規則相の合金であり、膜厚は１〜５０ｎｍである。蒸着中の磁粉面温度は５０〜１００℃であり、この温度範囲から室温に冷却する際に印加される磁界により、反強磁性材料が一方向に着磁される。このような手法により、シート状の硬質磁性材料が作製できる。このようなシート状の硬質磁性材料はモータの回転子内の磁石位置に挿入接着して使用することができる。また上記シート状の硬質磁性材を粉砕してコンパウンドとして使用することが可能である。このようなコンパウンドは異方性の射出成形磁石の原料として用いることができる。
【００１８】
（実施例６）
他の実施例として、ボールミリングを使用して硬質磁性材と反強磁性材を混合した場合を説明する。ボールミリングには遠心ボールミル装置を用い、回転数
２００ｒｐｍ　で所定の時間ミリングすることにより、反強磁性材と硬質磁性材を混合した。その結果をまとめて表２に示す。
【００１９】
【表２】
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【００２０】
表２に示すように、反強磁性材の添加により、保磁力の温度係数の絶対値が小さくなる。これらの磁性粉と熱可塑性樹脂を混合して異方性あるいは等方性の射出成形用コンパウンドを作製可能であり、熱硬化性樹脂と混合させて圧縮成形磁石用コンパウンドを作製し、磁界中成形することにより種々のモータに適用可能である。
【００２１】
次に本実施例で作製した磁石断面の模式図を図１２から図１４に示す。作製した磁石は反強磁性材２１，硬質磁性材２２から構成され希土類リッチ相あるいは強磁性相２３が形成されても良い。図１２は粒径の大きな硬質磁性材２２の外側に反強磁性材２１が形成される場合であり、反強磁性材２１と硬質磁性材２２の間に拡散相あるいは高歪相が薄く形成していても、磁気的結合が生じる。図１３のように硬質磁性材２２の粒の外側に反強磁性材２１と軟磁性材あるいは希土類元素を多く含む希土類リッチ相２３があっても磁気的結合が生じる。また、図
１３は硬質磁性材の粒間にすきま（空隙）があるが、このようなすきまがある場合でも磁気的結合により、減磁曲線の角形性は向上する。図１４は反強磁性材
２１と軟磁性材あるいは希土類リッチ相２３が硬質磁性材２２の粒の外周に存在しており、軟磁性材により残留磁束密度が増加すると同時に、反強磁性材２１により角形性が高くなり高エネルギー積磁石が得られる。
【００２２】
（実施例７）
モータ用回転子を作成した例を以下に示す。図８から図１１に作製した回転子の外観を示す。インナーロータの場合、シャフト１１の外周側に磁石が配置され、上記コンパウンドを使用する場合磁石位置に射出成形法や圧縮成形法あるいは熱間押し出し成形法を用いて成形することができる。シャフトは炭素鋼などを用いて加工し、シャフト外側には電磁鋼板を積層して磁石位置１２にはあらかじめ金型を用いて穴をあけておく。この磁石位置に射出あるいは圧縮成形により、反強磁性材料及び少なくとも１種類以上の希土類元素，樹脂（熱可塑性樹脂あるいは熱硬化性樹脂）の混合体であるコンパウンドを射出成形機あるいは圧縮成形機を用いて積層電磁鋼板を金型にして成形する。成形時には０．７ＭＡ／ｍ　の磁界を印加して磁粉に異方性を付加する。あるいは図８から図１１の磁石位置１２には表１の特性と材料の組み合わせで作製した磁石をブロックから加工して機械的に挿入して回転子を作製することが可能である。図８から図１１の回転子は熱減磁しにくく、保磁力の温度係数が小さい硬質磁性材料の適用により、逆磁界に強く、誘起電圧の温度依存性が小さく、高温まで安定した出力を得ることが可能である。
【００２３】
【発明の効果】
以上により、永久磁石における硬磁性材料の保持力の増加，残留磁束密度増加、及びエネルギー積の増大を目的とし、更にはそれを用いたモータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】反強磁性材料のＮｉＯを添加した時の添加量に対する保磁力の変化。
【図２】反強磁性材料のＮｉＦｅ／Ｒｕ／ＮｉＦｅを添加した時の添加量に対する保磁力の変化。
【図３】反強磁性材料のＮｉＭｎを添加した時の添加量に対する保磁力の変化。
【図４】反強磁性材料のＮｉＭｎを添加した時の添加量に対するＨｋ／ｉＨｃの変化。
【図５】反強磁性材料のＮｉＭｎを添加した時の添加量に対する保磁力の温度係数の変化。
【図６】反強磁性材料のＮｉＭｎを添加した時の添加量に対する熱減磁の変化。
【図７】反強磁性材料のＮｉＭｎを添加した時の添加量に対するエネルギー積の変化。
【図８】作成した回転子の構造。
【図９】作成した回転子の構造。
【図１０】作成した回転子の構造。
【図１１】作成した表面磁石回転子の構造。
【図１２】反強磁性材を添加した磁石断面の組織。
【図１３】反強磁性材を添加した磁石断面の組織。
【図１４】反強磁性材を添加した磁石断面の組織。
【図１５】Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ　にＮｉＭｎ５％添加後、低温焼結，磁界中冷却して作製した磁石断面の組織。
【符号の説明】
１１…シャフト、１２…磁石位置、１３…積層鋼板、２１…反強磁性材、２２…硬質磁性材、２３…希土類リッチ相あるいは強磁性相。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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