(57)【要約】【課題】被圧接部材を圧着ヘッドによって加熱圧着する際、圧着ヘッドの圧接面の平坦度を最適なものとする平坦度調整を自動的に行うこと。【解決手段】この加熱圧着装置は、台座１上に載置された被圧接部材を加熱圧接する圧着ヘッド４１と、この圧着ヘッド４１に加圧力を与える加圧体４２とを有し、台座１と圧着ヘッド４１との間に被圧接部材を置き、加圧体４２で圧着ヘッド４１を加圧することで被圧接部材を加熱圧着させる。そして、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの平坦度調整を行う超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆを加圧体４２と圧着ヘッド４１との間に介在させる。その平坦度調整制御は、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの平坦度が最適で、かつ所定の圧接力のときに取り出される電気信号を初期値として設定し、圧着ヘッド４１の圧接動作時に取り出される電気信号が初期値となるように超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆの圧着ヘッド４１に対する押圧・引っ張り力を制御する。【選択図】　　　　　図１
2004079926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座と、この台座上に載置された被圧接部材である第１の物体と第２の物体とを加熱圧接する圧着ヘッドと、この圧着ヘッドに対し加圧力を与える加圧体とを有し、上記台座と上記圧着ヘッドとの間に上記被圧接部材を置き、上記加圧体で上記圧着ヘッドを加圧することで上記両物体を加熱圧着させる加熱圧着装置において、
上記加圧体と上記圧着ヘッドとの間に、上記加圧体の加圧力を上記圧着ヘッドに伝達可能で、かつ、上記圧着ヘッドの圧接動作時における圧力を検知し、その検知した圧力を電気信号に変換し、その電気信号によって、上記圧着ヘッドの圧接面に対しその圧接方向への突出またはそれとは逆方向への引っ込みの制御を行うことが可能で、それによって、上記圧着ヘッドの圧接面の平坦度調整を可能とする電歪または磁歪アクチュエータを介在させたことを特徴とする加熱圧着装置。
【請求項２】
前記電歪または磁歪アクチュエータは、前記圧着ヘッドの長手方向に沿って複数箇所に列をなすように設けられるとともに、その列が前記圧着ヘッドの幅方向に複数列設けられることを特徴とする請求項１記載の加熱圧着装置。
【請求項３】
前記電歪または磁歪アクチュエータは、超磁歪アクチュエータであることを特徴とする請求項１または２記載の加熱圧着装置。
【請求項４】
前記第１の物体を液晶パネルまたはプリント基板とし、前記第２の物体をテープ状またはフィルム状の半導体実装基板とし、前記圧着ヘッドの長手方向の長さを４００〜２，０００ｍｍとしたことを特徴とする請求項１、２または３記載の加熱圧着装置。
【請求項５】
電気的な接続端子を有する第１の物体と電気的な接続端子を有する第２の端子とをその接続端子同士が導電可能となるように接続するための加熱圧接動作を行う圧着ヘッドの圧接面の平坦度を調整する平坦度調整方法において、
上記圧着ヘッドが圧接動作を行うステップと、
上記圧接面に対しその圧接方向への突出またはそれとは逆方向への引っ込みの各動作を与えることが可能であって上記圧着ヘッドの長手方向に沿って複数箇所に設けられた電歪または磁歪アクチュエータが上記圧着ヘッドの長手方向の複数箇所で上記圧着ヘッドの圧力を検知するステップと、
その検知した圧力を電気信号に変換するステップと、
その電気信号に基づいて、上記圧着ヘッドに対し圧接方向の突出量またはそれとは逆方向への引っ込み量の制御を行う突出量調整ステップと、
を有し、その突出量調整ステップによって上記圧接面の平坦度を調整することを特徴とする圧接面の平坦度調整方法。
【請求項６】
前記圧接面の平坦度が最適でかつ、圧接力が所定の値となるときに取り出される電気信号を初期値として設定するステップを設け、前記突出量調整ステップでは、前記圧着ヘッドの圧接動作時に取り出される電気信号が上記初期値となるように、前記圧接面の突出量または引っ込み量を調整することを特徴とする請求項５記載の圧接面の平坦度調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば、液晶表示装置のアレイ基板などに、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ　Ｃａｒｒｉｅｒ　Ｐａｃｋａｇｅ）をアウターリードボンディングする際などに用いられる圧着ヘッドの圧接面の平坦度を自動調整する平坦度調整方法およびその平坦度調整方法を採用した加熱圧着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶表示装置は、携帯電話機や携帯型情報端末など比較的小型の情報機器に多く用いられてきたが、最近では、パーソナルコンピュータ（以下、ＰＣという）やテレビジョン装置（以下、ＴＶ装置という）などの比較的大きなディスプレイ画面を有する機器にも広く用いられるようになってきている。
【０００３】
たとえば、ＰＣにあってはノート型ＰＣでも１５インチ、デスクトップ型ＰＣでは１７インチが普通となってきている。また、ＴＶ装置にあっては、２０インチ以上のものが多く普及してきている。
【０００４】
液晶表示装置は、アレイ基板とカラーフィルタを有した構成となっている。アレイ基板に、半導体が実装されたＴＣＰを接続する場合、ＴＣＰをアレイ基板の縁部に沿って多数並べた状態で、そのアレイ基板の縁部の長さに対応するような細長い圧接面を有する圧着ヘッドによって一括的に加熱圧接動作を行う。これによって、多数のテープ基板を一度にアレイ基板に接続している。
【０００５】
図５は、液晶表示装置に多数のＴＣＰ１０１が接続された状態を示すものである。第１の物体となる多数のＴＣＰ１０１は、カラーフィルタ１０４の取り付けられた第２の物体となるアレイ基板１０２の縁部に、数１０μｍ程度のきわめて薄い厚みを有する細帯状の異方性導電フィルムとなるＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ　Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　Ｆｉｌｍ）１０３を介して接続される。このとき、それぞれのＴＣＰ１０１の端子Ｔは、そのＡＣＦ１０３を介してアレイ基板１０２側の端子（図示せず）に接続される。
【０００６】
なお、この図５では、アレイ基板１０２の縦・横２辺のみにＴＣＰ１０１が接続されている例が示されているが、３辺あるいは４辺にＴＣＰ１０１が接続される場合もある。また、ＴＣＰ１０１とアレイ基板１０２とＡＣＦ１０３の３つの部材によって被圧接部材が構成されている。
【０００７】
このアレイ基板１０２上にＴＣＰ１０１を接続する工程を図６に示す。アレイ基板１０２のある１辺の縁部を台座１０５で支持し、アレイ基板１０２の上面側の縁部に沿って設けられた多数の電気的な接続端子（図示せず）を横切るようにアレイ基板２の縁部に沿ってＡＣＦ１０３を仮貼付する。この状態で、それぞれのＴＣＰ１０１の電気的な接続端子ＴをＡＣＦ１０３を介してアレイ基板１０２側の電気的な接続端子と対向するように並べた状態で仮圧着する。そして、この仮圧着状態で、このＴＣＰ１０１と圧着ヘッド１０６の先端の圧接面１０６ａとの間に、弾性を有する緩衝材および接着防止用としてのシリコンテープ１０７を介在させて、ヒータ１０８によって加熱された状態となっている圧着ヘッド１０６を圧接動作させる。
【０００８】
このように、ＴＣＰ１０１が圧着ヘッド１０６によって加熱圧接されると、ＡＣＦ１０３が両面接着テープの働きをしてＴＣＰ１０１とアレイ基板１０２とを接合する。このとき、ＡＣＦ１０３内に含まれる金属粒子が適度につぶれてＴＣＰ１０１側の接続端子Ｔとアレイ基板１０２側の接続端子とが電気的に接続された状態となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上のようにして、アレイ基板１０２とＴＣＰ１０１とが接続されるが、この接続は次に説明するように極めて精度が要求される。すなわち、第一に、この種の液晶表示装置は、表示有効面積を少しでも大きくするために、ＴＣＰ１０１とアレイ基板１０２との接続幅は、一般に２ｍｍ程度という狭小に抑えられることが多い。また、第二に、アレイ基板１０２側の電気的な接続端子とＴＣＰ１０１側の電気的な接続端子Ｔは、隣接する端子同士の間隔が４０μｍから１００μｍ程度ときわめて微細さが要求されている。このような条件下において、アレイ基板１０２側の接続端子とそれに対応するＴＣＰ１０１側の接続端子Ｔ同士を、一括的な圧接動作によって、すべて確実に接続させるには、圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａの長手方向の平坦度が重要となる。
【００１０】
一方、液晶表示装置は、前述したように、大型化する傾向にある。しかも、アレイ基板１０２の縁部に沿って取り付けられた多数のＴＣＰ１０１を同時に一括圧着させるため、圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａも、そのアレイ基板１０２の縁部の長さにほぼ対応した長さが必要とされる。
【００１１】
すなわち、圧着ヘッド１０６は、図６に示すように、その圧接面１０６ａの幅が２ｍｍ程度で、正面側、つまり、図６の矢印Ｂ方向側から見ると、図７に示すように細長い形状となっており、その長さＬ１は、アレイ基板１０２の一辺の長さに近いものとなっている。
【００１２】
したがって、仮に、アレイ基板１０２のある１辺におけるＴＣＰ１０１の取り付け範囲の長さ（図５における水平方向の辺の縁部に接続される最左端のＴＣＰ１０１と最右端のＴＣＰ１０１との間の長さＬ２）が５００ｍｍであるとすると、それに用いる圧着ヘッド１０６は、その圧接面１０６ａの長さＬ１を少なくとも５００ｍｍとする必要がある。
【００１３】
しかしながら、圧着ヘッド１０６がこのような長さを有すると、ヒータ１０８による加熱温度の影響を受けて、圧着ヘッド１０６にたわみなどのゆがみが生じ、その圧接面１０６ａの平坦度が低下することが多い。このように、圧着ヘッド１０６の先端の圧接面１０６ａの平坦度が低下すると、上述したような一括的な加熱圧接動作を行ったとき、加熱圧着対象のＴＣＰ１０１すべてに対して均等な圧接力が与えられず、多数のＴＣＰ１０１の中には接続状態が不十分となるものが生ずる。
【００１４】
そこで、この圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａの平坦度を検査し、平坦度に問題があれば平坦度を調整する作業が必要となってきた。この平坦度を検査する方法としては、圧力の大きさによって色の度合いが変化するテープ状の感圧紙を台座１０５（図６参照）の上に載せて、その感圧紙を圧着ヘッド１０６で加熱圧接させ、圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａの長手方向に沿った感圧紙の色の変化を見る方法が考えられる。そして、この検査方法を採用した場合、色が濃い部分は加圧力が大きく、色が薄い部分は加圧力が小さいとして、圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａの平坦度を判断する。
【００１５】
なお、台座１０５は、高精度な平坦度を得ることが可能で、熱による変化を受けにくく変形しにくい強化ガラスなどで作られているものが多い。このため、台座１０５を利用する、このような検査によって、圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａの平坦度を精度よく調べることは可能である。
【００１６】
このような平坦度検査を行うことによって、加圧力の小さい部分と加圧力の大きい部分があれば、感圧紙は圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａの長手方向に沿って色むらが生じるので、その場合は、圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａの平坦度は低いと判断でき、平坦度が最適になるような平坦度調整を行うことができる。
【００１７】
この平坦度調整は、たとえば、圧着ヘッド１０６にその長手方向に沿って多数の平坦度調整用ネジ（図示せず）を設け、オペレータがこの平坦度調整用ネジの締め付け具合を微調整し、圧着ヘッド１０６に対しその圧接方向への押圧力またはその逆方向への引っ張り力を与えることで、たわみなどのゆがみを修正して平坦度の調整を行うことができる。
【００１８】
そして、上述した平坦度検査の結果、感圧紙の色が濃くなった部分は、圧着ヘッド１０６がその圧接方向にたわんで、それによって加圧力が大きくなったと判断し、たわみを小さくするように平坦度調整用ネジを緩める方向に回す。また、感圧紙の色が薄くなった部分は、圧着ヘッド１０６が圧接方向とは逆方向にたわんでそれによって加圧力が小さくなったと判断し、たわみを大きくするように平坦度調整用ネジを締め付け方向に回す。このような調整によって圧着ヘッド１０６の圧接面１０６ａの長手方向に沿った感圧紙の色の変化の度合いが同じ度合いで変化するように微調整を行う。
【００１９】
しかしながら、このようなオペレータの操作による平坦度調整では、感圧紙の色の変化の度合いの判断にオペレータの個人差がある。また、平坦度調整用ネジの調整度合いも微妙である場合が多いため、平坦度調整用ネジを微調整したあと、感圧紙の色の変化の度合いを調べる操作を繰り返し行う必要があるので、最適な平坦度が得られるまでには多くの時間と手間を要し、作業効率が悪いといった問題がある。
【００２０】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、被圧接部材に対して圧接動作を行う圧着ヘッドの圧接面の平坦度調整を効率良く行うことができる平坦度調整方法を提供することを目的とする。また、他の発明は、この平坦度調整方法を用いることによって、たとえば、液晶表示装置のアレイ基板へのＴＡＢなどのテープ基板の接続を確実にかつ効率よく行えるようにした加熱圧着装置を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明の加熱圧着装置は、台座と、この台座上に載置された被圧接部材である第１の物体と第２の物体とを加熱圧接する圧着ヘッドと、この圧着ヘッドに対し加圧力を与える加圧体とを有し、台座と圧着ヘッドとの間に被圧接部材を置き、加圧体で上記圧着ヘッドを加圧することで両物体を加熱圧着させる加熱圧着装置において、加圧体と圧着ヘッドとの間に、加圧体の加圧力を圧着ヘッドに伝達可能で、かつ、圧着ヘッドの圧接動作時における圧力を検知し、その検知した圧力を電気信号に変換し、その電気信号によって、圧着ヘッドの圧接面に対しその圧接方向への突出またはそれとは逆方向への引っ込みの制御を行うことが可能で、それによって、圧着ヘッドの圧接面の平坦度調整を可能とする電歪または磁歪アクチュエータを介在させている。
【００２２】
これによって、圧着ヘッドの圧接面の平坦度を常に最適な状態となるように自動的に調整することができる。この結果、たとえば、液晶表示装置などのアレイ基板に対して多数の半導体実装テープなどを１つの圧着ヘッドによって一括的に加熱圧着させるとき、圧着ヘッドの加圧力を多数の半導体実装テープに均等に与えることができ、それによって、アレイ基板に対する個々のテープ基板の接続を適正に行うことができる。
【００２３】
また、電歪または磁歪アクチュエータは、圧着ヘッドの長手方向に沿って複数箇所に列をなすように設けられるとともに、その列が圧着ヘッドの幅方向に複数列設けられるようにすることが好ましい。
【００２４】
このように、電歪または磁歪アクチュエータが圧着ヘッドの長手方向に沿って複数箇所に列をなすように設けられることによって、圧着ヘッドが長尺であっても圧着ヘッドの長手方向の平坦度をきめ細かく調整することができる。また、その列が圧着ヘッドの幅方向に複数列設けられることによって、圧着ヘッドのねじれなどを考慮した平坦度調整が可能となる。
【００２５】
また、電歪または磁歪アクチュエータとして、超磁歪アクチュエータを用いることが好ましい。
【００２６】
この超磁歪アクチュエータは、圧力センサとしての機能とアクチュエータとしての機能を有することは勿論、大きな弾性変位が得られ、また、大きな突出量や引っ込み量が得られるといった特性を有し、さらに、応答速度が速い、耐久性が高いなど種々の優れた特性を有している。このため、複雑な平坦度調整機構を設けることなく、いくつかの超磁歪アクチュエータとその制御手段を設けるだけで、圧着ヘッドの圧接面を常に高精度で確実、かつ、高速で平坦にすることが可能となる。
【００２７】
また、第１の物体を液晶パネルまたはプリント基板とし、第２の物体をテープ状またはフィルム状の半導体実装基板とし、圧着ヘッドの長手方向の長さを４００〜２，０００ｍｍとするのが好ましい。
【００２８】
この構成を採用すると、長尺の液晶基板やプリント基板に対しても、半導体実装基板が、確実な導電性を確保されて圧接されることが可能となり、液晶表示装置や電子機器が大型化しても効率的な作業が可能となる。特に、圧着ヘッドの長手方向の長さが４０ｍｍ以上となると、圧着ヘッドのたわみなどのひずみ量が大きくなるので、この発明を適用すると、その効果が大きくなる。一方、圧着ヘッドの長手方向の長さを１００ｍｍ以下とすると、電歪または磁歪アクチュエータを多数設置する必要がなくなるので、コストバランスの良い加熱圧着装置となる。
【００２９】
本発明の圧接面の平坦度調整方法は、電気的な接続端子を有する第１の物体と電気的な接続端子を有する第２の端子とをその接続端子同士が導電可能となるように接続するための加熱圧接動作を行う圧着ヘッドの圧接面の平坦度を調整する平坦度調整方法において、圧着ヘッドが圧接動作を行うステップと、圧接面に対しその圧接方向への突出またはそれとは逆方向への引っ込みの各動作を与えることが可能であって圧着ヘッドの長手方向に沿って複数箇所に設けられた電歪または磁歪アクチュエータが圧着ヘッドの長手方向の複数箇所で圧着ヘッドの圧力を検知するステップと、その検知した圧力を電気信号に変換するステップと、その電気信号に基づいて、圧着ヘッドに対し圧接方向への突出量またはそれとは逆方向への引っ込み量の制御を行う突出量調整ステップと、を有し、その突出量調整ステップによって圧接面の平坦度を調整している。
【００３０】
このように、圧着ヘッドが圧接動作を行う際、圧着ヘッドの長手方向における複数箇所の圧力を検知し、その検知した圧力を電気信号に変換し、その電気信号に基づいて圧着ヘッドに対する圧接方向またはそれとは逆方向への突出量または引っ込み量を制御するようにしているので、圧着ヘッドの圧接面の平坦度調整を自動的に行うことができる。これによって、従来のように、オペレータの手作業に頼ることがなくなるので、効率よく短時間で最適な平坦度を得ることができる。
【００３１】
このような平坦度調整方法において、圧接面の平坦度が最適でかつ、圧接力が所定の値となるときに取り出される電気信号を初期値として設定するステップを設け、突出量調整ステップでは、圧着ヘッドの圧接動作時に取り出される電気信号が初期値となるように、圧接面の突出量または引っ込み量を調整することが好ましい。
【００３２】
このように、圧着ヘッドの圧接面が最適な平坦度でかつ、圧接力が所定の値となるときに取り出される電気信号を初期値として設定し、圧着ヘッドの圧接動作時に取り出される電気信号がその初期値となるように電歪または磁歪アクチュエータの動作を制御するようにしているので、簡単な制御で圧着ヘッドの圧接面を常に最適な平坦度でかつ、圧接力が所定の値とすることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。なお、この実施の形態で説明する内容は、本発明の加熱圧着装置と圧接面の平坦度調整方法との両方を含むものである。
【００３４】
図１は、本発明の加熱圧着装置の主要部を示す正面図で、図２は、その側面図で、図３は、図１のＡ−Ａ線矢示図である。
【００３５】
図１から図３で示す加熱圧着装置は、図５および図６で説明したように、液晶表示装置の構成要素の１つであるアレイ基板にＴＡＢなどのテープ基板やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ　Ｏｎ　Ｆｉｌｍ）などのフィルム基板（共に、半導体実装基板の一種）を接続する際に用いられるものである。この加熱圧着装置は、その構成を大きく分けると、図５で示したアレイ基板１０２（この図１と図２では図示されていない）の縁部がその長手方向に沿って載置される台座１と、この台座１が取り付けられる台座取り付け台２と、この台座取り付け台２に取り付けられる筐体３と、この筐体３の内部に収納される加熱圧着機構４から構成されている。なお、台座１は、高精度な平坦度を得ることが可能で熱変形しにくい強化ガラスなどで作られている。
【００３６】
加熱圧着機構４は、概略的には、台座１に対向して設けられる圧着ヘッド４１と、この圧着ヘッド４１に加圧力を与える加圧体４２と、この加圧体４２を図示上下方向に往復動可能とするようにその動きをガイドするガイドレール４３と、加圧体４２と圧着ヘッド４１との間に介在される複数個（この実施の形態では６個）の電歪または磁歪アクチュエータとしての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆ（この超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆについては後に説明する）を有している。
【００３７】
この加熱圧着機構４をさらに詳細に説明すると、加圧体４２は、その側面にガイドレール把持部４５が設けられ、このガイドレール把持部４５がガイドレール４３を把持した状態でガイドレール４３に沿ってスライドすることによって図示上下方向に往復動するようになっている。
【００３８】
また、この加圧体４２は、その上端面が筐体３に対して、この例では２つのカウンタバランス用のコイルバネ４６によって支持されており、加圧体４２が図示下方向に移動する際は、そのコイルバネ４６の収縮力に抗して下方向に移動して圧着ヘッド４１に加圧力を与えるようになっている。
【００３９】
なお、この加圧体４２が圧着ヘッド４１に対して与える加圧力は、図示されない加圧体駆動部によって行われ、この加圧体駆動部によって、加圧体４２は図示下方向に瞬時に下降することで、圧着ヘッド４１に瞬間的な加圧力を与えるようになっている。その後、加圧体駆動部は、加圧体４２を図で上方向に駆動し、元の位置に加圧体４２を復帰させる。そして、２つのコイルバネ４６によってカウンタバランスがとられる。
【００４０】
また、加圧体４２と圧着ヘッド４１との間に介在される複数個（この実施の形態では６個）の超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、図１および図３からもわかるように、長手方向に２列となるように配接されている。すなわち、超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｂ，４４ｃの３個が圧着ヘッド４１の上端面の長手方向手前側の縁部に沿って等間隔で列をなすように配設され、超磁歪アクチュエータ４４ｄ，４４ｅ，４４ｆの３個が圧着ヘッド４１の上端面の長手方向後ろ側の縁部に沿って等間隔で列をなすように配設されている。
【００４１】
この超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、テルビウム（Ｔｂ）とディスプロシウム（Ｄｙ）と鉄（Ｆｅ）を原子比でＴｂ０．３、Ｄｙ０．７、Ｆｅ１．９に配合した合金の単結晶超磁歪材料で、磁界中で１，０００〜２，０００ｐｐｍの磁気歪み（弾性変位）を発現する機能性材料から構成されている。具体的な変位量は、±７０μｍとされている。なお、圧着ヘッド４１は、その先端の圧接面４１ａが突出した状態となっている。その圧接面４１ａの幅は、図２からもわかるように、２ｍｍとされており、その長手方向の長さは、図１からもわかるように１，０００ｍｍとされている。
【００４２】
このように、この実施の形態では、圧着ヘッド４１は、その長手方向の長さが１，０００ｍｍと比較的長い圧着長さを有するものであるが、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆとしては、圧着ヘッド４１の長手方向縁部に沿って手前側と後ろ側のそれぞれ３箇所ずつのみの２列配置としている。圧着ヘッド４１が、このように比較的長い場合には、その長手方向に１列当り数個から１０数個の超磁歪アクチュエータを配置するのが好ましい。なお、超磁歪アクチュエータは、ある程度数を多くしたほうがより高精度な平坦度調整が行える。超磁歪アクチュエータの配置間隔は、高精度な平坦度調整とコストの両面を考慮すると、長手方向で３〜５０ｃｍの間隔、好ましくは、５〜２０ｃｍの間隔とするのが良い。
【００４３】
また、この実施の形態では、上述したように、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、圧着ヘッド４１の上端面の長手方向手前側の縁部に１列と、長手方向後ろ側の縁部に沿って１列の合計２列の配設となっているが、中央部にも１列を配設して合計３列としてもよい。また、場合によっては、中央部だけの１列としてもよいが、圧着ヘッド４１のねじれに対応できるように２列または３列とするのが好ましい。
【００４４】
また、この圧着ヘッド４１には、加熱用のヒータ４７が内蔵されており、このヒータ４７はこの実施の形態では圧着ヘッド４１の長手方向に沿ってかつ長手方向に対して直角となる向きで等間隔に５箇所に内蔵されている。
【００４５】
ところで、これら超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、それぞれの先端側端面からプッシュロッド４８が突出しており、それぞれのプッシュロッド４８は、圧着ヘッド４１の上端面側に取り付けられた第１のリンク機構４９にそれぞれ支持されている。また、これら超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、その後端面が加圧体４２の下端面（先端面）側に取り付けられた第２のリンク機構５０に支持されている。この実施の形態では、プッシュロッド４８の変位量は、±７０μｍとされているが、他の値のものを採用しても良い。
【００４６】
第１のリンク機構４９は、圧着ヘッド４１の上端面に固定される固定板４９１とこの固定板４９１に回転自在に軸支された可動体４９２からなる。第２のリンク機構５０も同様に加圧体４２に固定される固定板５０１とこの固定板５０１に回転自在に軸支された可動体５０２からなる。なお、第１のリンク機構４９の固定板４９１は、圧着ヘッド４１の上端面に対して断熱材５１を介して固定される。
【００４７】
そして、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、その先端部に設けられたプッシュロッド４８が第１のリンク機構４９の可動体４９２に設けられたプッシュロッド支持孔４９２ａに挿入されて支持され、その後端部が第２のリンク機構５０の可動体５０２にそれぞれ固定されている。
【００４８】
なお、この第１、第２のリンク機構４９，５０は、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆが損傷した場合やその押圧力を所定の値にそろえたい場合等、交換を行いたいときに容易に交換できるようにするため、固定板４９１が圧着ヘッド４１に、固定板５０１が加圧体４２に、それぞれネジによって取り付けられている。また、固定板５０１は、複数枚の介在板５０１ａを介して加圧体４２に取り付けられる構造となっている。この構造は、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆが所定の初期設定値となる押圧力を与えると共に、所定の初期値となる電気信号を発生するように、その介在板５０１ａを他の厚さの介在板５０１ａに取り替えることを可能としている。
【００４９】
ところで、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、加圧体４２の加圧力を圧着ヘッド４１に伝達する機能を有するとともに、圧着ヘッド４１の圧接動作時における圧力を検知し、その検知した圧力を電気信号に変換し、その電気信号によって、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａに対しその圧接方向またはそれとは逆方向への突出または引っ込みを与える機能を有している。
【００５０】
すなわち、この実施の形態の例では、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、加圧体４２と圧着ヘッド４１の間に介在され、設定された磁力に対応して、それぞれのプッシュロッド４８の圧着ヘッド４１側への突出量が決められる。そして、プッシュロッド４８の突出量によって圧接面４１ａの突出量が制御されている。加圧体４２が下降することによる加圧力は、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆを介して圧着ヘッド４１に伝達される。一方、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、それぞれのプッシュロッド４８に加わる圧力、すなわち、圧着ヘッド４１が圧接動作を行う際、圧着ヘッド４１の圧力を検知する。
【００５１】
超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、自身が検知した圧力の大きさに応じた電気信号を発生する。そして、その電気信号によって、圧着ヘッド４１に対しその電気信号に対応した押圧力を与えることで圧接面４１ａを圧接方向へ突出させたり、それとは逆方向に引っ張り力を与えることで圧接方向とは逆方向へ引っ込ませたりすることができる機能を有している。なお、一般的には、検知した圧力が大きいと、電気信号が大きくなるので、電気信号が大きい部分はプッシュロッド４８を引っ込ませ、圧接面４１ａを引っ張り（引っ込ませ）、電気信号が小さい部分はプッシュロッド４８をさらに突出させ、圧接面４１ａをさらに突出させることとなる。
【００５２】
このように、加圧体４２と圧着ヘッド４１の間に介在された超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆのそれぞれのプッシュロッド４８が圧着ヘッド４１に対して所定の押圧力、すなわち突出量を与えている状態で、加圧体４２が下降すると、その加圧力が超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆを介して圧着ヘッド４１に与えられる。それによって圧着ヘッド４１は、圧接動作を行う。なお、この圧接動作は瞬時に行われると共にこの圧接動作の際にはヒータ４７は加熱されており、加熱圧接がなされることとなる。
【００５３】
このような加熱圧接動作を行う際、圧着ヘッド４１が台座１上に圧接したときの圧力を、それぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆのそれぞれのプッシュロッド４８が検知する。それぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆからは検知した圧力に応じた電気信号が出力され、その電気信号に基づいてプッシュロッド４８の突出量を制御することで圧接面４１ａの突出量や引っ込み量を制御する。換言すればプッシュロッド４８の突出量を制御することでプッシュロッド４８の圧着ヘッド４１に対する押圧力や引っ張り力を制御する。
【００５４】
本実施の形態では、このような超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆの特性を利用して、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの平坦度を調整するものである。
【００５５】
この実施の形態では、圧着ヘッド４１の先端の圧接面４１ａの平坦度が最適である状態で、その圧着ヘッド４１がたとえば台座１などの高い平坦度を有する面に圧接動作したときに、それぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから取り出されるそれぞれの電気信号がどれも同じとなるように予め設定しておく。この設定は、固定板５０１を支持する介在板５０１ａを他の厚さのものに交換したり、他の超磁歪アクチュエータと交換したり電気信号の出力を調整したりすることで行われる。また、被圧接部材に対して最適な圧接力（押圧力）を与えるときの、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから取り出される電気信号を初期値として設定しておき、その時の圧接力（押圧力）を初期設定値とする。
【００５６】
そして、実際に圧着ヘッド４１を、たとえば台座１などの高い平坦度を有する面に圧接させたときの圧力を、圧着ヘッド４１の長手方向に沿って２列に配設された超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆのそれぞれのプッシュロッド４８で検出する。そして、それぞれのプッシュロッド４８で検出したそれぞれの圧力に応じた電気信号を取り出し、その電気信号が初期値となるように、それぞれのプッシュロッド４８の突出量、すなわち圧着ヘッド４１に対する押圧量や引っ張り量を制御する。
【００５７】
図４は、これら超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆの制御回路を示す図である。６個の超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆとこれらの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られるそれぞれの電気信号が制御部６１に入力される。制御部６１では、入力された信号と初期値とを比較し、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆからの電気信号が初期値となる方向にプッシュロッド４８の突出量を制御する。すなわち、制御部６１は、両信号の差に応じた制御信号を出力し、それによって、それぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆは、プッシュロッド４８の押圧・引っ張り動作を制御する。
【００５８】
ここで、たとえば、圧着ヘッド４１の長手方向右端部付近（超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆ付近）で圧着ヘッド４１が上方向にわずかに反るようなゆがみが生じたとすると、加圧体４２の下降動作によって圧着ヘッド４１が台座１に圧接したとき、その長手方向右端部付近における圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの台座１に対する圧接力は他の部分に比べて弱くなる。
【００５９】
したがって、その部分の超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆのプッシュロッド４８が受ける圧力は、初期設定値に比べ小さく、かつ他の超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｂ，４４ｄ、４４ｅのプッシュロッド４８が受ける圧力（この圧力は初期設定値より大きいものとする）よりも小さくなる。このとき、それぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆからの電気信号は、制御部６１に与えられるが、この制御部６１では、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値、つまり、この場合、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値と同じ値となるような制御が行われる。
【００６０】
これによって、制御部６１は、たとえば、初期設定値より大きな圧力を検知した超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｂ，４４ｄ、４４ｅに対しては、これらのプッシュロッド４８が圧着ヘッド４１を引っ張るような動作を行うような制御を行う。すなわち、プッシュロッド４８は引っ込む動作を行う。一方、初期設定値より小さい圧力を検知した超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆに対しては、制御部６１は、それらのプッシュロッド４８が圧着ヘッド４１を押圧するような動作を行うような制御を行う。すなわち、プッシュロッド４８は、突出する動作を行う。
【００６１】
このような制御部６１による突出量調整制御は、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値と同じ値となるまで行われ、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値と同じ値となれば、圧着ヘッド４１の先端圧接面４１ａは、最適な平坦度でかつ、所定の押圧力（初期設定値の圧力）となったといえる。
【００６２】
なお、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆの制御は、上述のように、初期値に比べ大きな圧力を検知した超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｂ，４４ｄ、４４ｅに対しては、これらのプッシュロッド４８が圧着ヘッド４１を引っ張るように制御し、初期値に比べ小さい圧力を検知した超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆに対しては、プッシュロッド４８が圧着ヘッド４１を押圧するように制御するというように、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆに対して押圧または引っ張りの制御を行うのではなく、たとえば、取り出される電気信号が初期値に比べわずかにずれている側をそのままとし、より多く変化した超磁歪アクチュエータのみに対して制御を行うようにしてもよい。
【００６３】
たとえば、上述の例では、圧着ヘッド４１はその右端部付近のみが上方に反った例であるので、超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｂ，４４ｄ、４４ｅのそれぞれのプッシュロッド４８の押圧力は同一であり、その電気信号も同一であると考えることができる。しかも、これらの各値は初期値に非常に近いかまたは同一値となる。したがって、これらの超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｂ，４４ｄ、４４ｅに対しては制御を行わない。
【００６４】
これに対して、圧着ヘッド４１が上方に反った部分に存在する超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆは、それぞれのプッシュロッド４８が受ける圧力が最適な状態のときに比べて小さくなり、しかも初期設定値に対してのずれ（変化）も大きい。したがってその電気信号もそれに応じて大きく変化している。
【００６５】
制御部６１では、これら超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆに対して、それぞれ取り出される電気信号が超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｂ，４４ｄ，４４ｅの電気信号と同じ値となるように制御する。この場合、これら超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆに対しては、それぞれのプッシュロッド４８の押圧力を強くするような制御が行われ、それによって、超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆに対応する部分の圧着ヘッド４１は、その圧接方向へわずかに突出させられることとなる。
【００６６】
このようにして、超磁歪アクチュエータ４４ｃ，４４ｆから取り出される電気信号が超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｂ，４４ｄ，４４ｅの電気信号の値にそろえられ、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が同じ値となるような制御がなされる。これによって、圧着ヘッド４１の右端部付近に生じた上方への反りが修正され、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａは、全体として平坦となる。
【００６７】
そろえられた値は、この場合、初期値に比べわずかに大きな値となっていることがある。この場合、加圧体４２を加圧体駆動部によって駆動することで圧着ヘッド４１全体をわずかに上方に駆動し、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆの各電気信号を一括して変更し、初期値と同じ値にする制御を行うこととなる。なお、そろえられた値が初期値と等しいものであれば、加圧体４２の全体駆動による調整は行わない。
【００６８】
また、圧着ヘッド４１の長手方向中央部付近（超磁歪アクチュエータ４４ｂ，４４ｅ付近）で圧着ヘッド４１が上方向にわずかに反るようなゆがみが生じたとする。このような場合、加圧体４２の下降動作によって圧着ヘッド４１が台座１に圧接したとき、その長手方向中央部付近における圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの台座１に対する圧接力のみが初期値に比べ弱くなり、他の部分は初期値より若干強くなる場合が多い。
【００６９】
したがって、このような場合、その部分の超磁歪アクチュエータ４４ｂ，４４ｅのプッシュロッド４８が受ける圧力は、他の超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｃ，４４ｄ、４４ｆのプッシュロッド４８が受ける圧力よりも小さくなり、かつ初期設定値よりも小さくなる。このとき、それぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆからの電気信号は、制御部６１に与えられ、この制御部６１では、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値となるような制御を行う。
【００７０】
これによって、たとえば、大きな圧力を検知した超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｃ，４４ｄ、４４ｆに対しては、これらのプッシュロッド４８が圧着ヘッド４１を引っ張る動作を行うような制御がなされ、小さい圧力を検知した超磁歪アクチュエータ４４ｂ，４４ｅに対しては、それらのプッシュロッド４８が圧着ヘッド４１を押圧する動作を行うような制御がなされる。
【００７１】
このような制御は、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値と同じ値となるまで行われる。すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値と同じ値となれば、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａは、最適な平坦度でかつ、所定の押圧力（初期設定値の圧力）になったといえる。
【００７２】
この場合も上述同様、超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆの制御は、大きな圧力を検知した超磁歪アクチュエータ４４ａ，４４ｃ，４４ｄ、４４ｆに対しては制御は行わず、小さい圧力を検知した超磁歪アクチュエータ４４ｂ，４４ｅに対してのみ、プッシュロッド４８が圧着ヘッド４１を押圧するように制御しても良い。この場合も合わせられた電気信号が初期値に比べずれているときは、制御部６１は、加圧体駆動部を動作させ加圧体４２を駆動してすべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値となるように制御する。
【００７３】
このようにして、超磁歪アクチュエータ４４ｂ，４４ｅから取り出される電気信号が他のものに合わせられすべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値と同じ値となるような制御がなされることによって、圧着ヘッド４１の中央部付近に生じた上方への反りが修正され、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの平坦度は、最適でかつ、所定の押圧力となる。
【００７４】
このように、それぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆのそれぞれのプッシュロッド４８で検知した圧力に対応する電気信号が制御部６１に与えられ、制御部６１では、その電気信号に基づいて、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が、予め設定された初期値となるような制御をそれぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆおよび必要によっては加圧体４２に対して行うことで、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの平坦度を最適でかつ、所定の押圧力を発生させるものとすることができる。
【００７５】
すなわち、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号は、圧着ヘッド４１が高い平坦度を有する台座１などに圧接したときに、それぞれのプッシュロッド４８が受ける圧力に対応するので、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られる電気信号が初期値になるような制御がなされるということは、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆのそれぞれのプッシュロッド４８が受ける圧力が同じでかつ最適となるように制御されるということである。そして、このすべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆのそれぞれのプッシュロッド４８が受ける圧力が同じでかつ初期設定値と同じであるということは、圧着ヘッド４１の平坦度が最適で押圧力も最適であることを示している。
【００７６】
なお、本発明は、上述の実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。
【００７７】
たとえば、上述の実施の形態では、圧着ヘッド４１の長手方向の長さを１，０００ｍｍと比較的長い液晶表示装置に適用する圧着ヘッド４１の平坦度調整について説明したが、本発明は、前述したように、たとえば、１辺が５００ｍｍ程度の従来よりは大型であるが極端には大きくない液晶表示装置や、１，０００ｍｍｍより大きくなる非常に大きい液晶表示装置などの加熱圧着装置に用いられる圧着ヘッドの平坦度調整にも適用できるものである。それらの場合、超磁歪アクチュエータは、そのような加熱圧着装置に用いられる圧着ヘッドの長手方向に沿って適宜な数配設されるが、その場合の制御も前述の実施の形態同様に行うことができる。
【００７８】
本発明の加熱圧着装置は、圧着ヘッド４１の長さが４００ｍｍ以上の長いものに適用すると平坦度の向上効果が大きくなる。また、その長さが２，０００ｍｍ以下の圧着ヘッド４１に適用すると、高価な超磁歪アクチュエータを数多く使用しないで済み、コスト的に有利なものとなる。
【００７９】
また、前述の実施の形態では、複数の超磁歪アクチュエータ（前述の実施の形態では６個の超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆ）の制御では、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの平坦度が最適でありかつ押圧力が最適である状態のときのそれぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから取り出される電気信号が同じとなるように予め設定している。そして、そのときの電気信号を初期値として設定して、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから取り出される電気信号が常にその同じ値の初期値となるように制御するようにしたが、これに限られるものではない。
【００８０】
たとえば、圧着ヘッド４１の圧接面４１ａの平坦度が最適である状態のときのそれぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから得られるそれぞれの電気信号をそれぞれの超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆごとの基準値として設定しておくようにしても良い。これは超磁歪アクチュエータ自体にばらつきがあり、最適な平坦度であっても得られる電気信号にばらつきが生ずる場合の対策として好ましいものとなる。
【００８１】
この場合、すべての超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆから取り出される電気信号が常にこれら超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆそれぞれに設定された基準値となるような制御を行うこととなる。この制御の場合も、加圧体４２の全体的な駆動制御を交えながら制御するようにすることもできる。
【００８２】
また、前述の実施の形態では、複数の超磁歪アクチュエータ（前述の実施の形態では６個の超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆ）の制御を行う制御部は、１つの制御部６１で複数の超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆを一括して制御する例について説明したが、この制御部６１は個々の超磁歪アクチュエータ４４ａ〜４４ｆごとに設けるようにしてもよい。また、制御部６１は、超磁歪アクチュエータを制御する部分と加圧体４２を制御する部分に分けるようにしても良い。
【００８３】
超磁歪アクチュエータの制御の方法としては、上述の実施の形態では、各超磁歪アクチュエータを動作させ、それぞれ初期値（同一または異なる値の初期値）となるように制御する方法と、初期値に対してずれ量が少ない値に合わせ、その後、加圧体４２を制御することで初期値となるように制御する方法とを説明したが、その他の制御方法を採用しても良い。
【００８４】
たとえば、初期値に対して最もずれ量が多い電気信号値に他のものを合わせ、その後、加圧体４２の押圧力を調整し、全体を初期値に合わせ込んでいく方法、各超磁歪アクチュエータから得られる電気信号の平均値を求めその平均値に合わせ込んだ後、加圧体４２を動作させ初期値に調整する方法、押圧力が最も強いもの（またはもっとも弱いもの）に他の超磁歪アクチュエータの電気信号を合わせた後、加圧体４２の押圧力を調整し、初期値に合わせ込んでいく方法等を採用しても良い。また、初期値を予め取得しておくのではなく、圧接面４１ａの平坦度のみを得、すなわち、電気信号をそろえることのみを実行し、押圧力は、加圧体駆動部によって加圧の都度、事前に設定するようにしても良い。
【００８５】
また、上述の実施の形態では、液晶表示装置のアレイ基板１０２にＴＡＢやＣＯＦなどによって製造されたＴＣＰ１０１を熱圧着する場合において、加熱圧着装置における圧着ヘッド４１の圧接面４１ａを平坦度調整する場合について説明したが、これに限られるものではない。すなわち、本発明は、複数の部材からなる被圧接部材に対して両者を圧接させる際の圧着ヘッドの圧接面の平坦度を調整する場合に広く適用できるものである。また、圧接して接続させる対象を圧接される物体の電気的な接続端子としているが、複数物体を単に熱圧着させる場合などにも本発明を適用することができる。
【００８６】
また、一度に圧接する際の被圧接部材としては、第１の物体を複数または単数とし、第２の物体を単数または複数とする場合の他、両者を共に単数としたり、複数としても良い。また、被圧接部材としては、３つの部材ではなく、少なくとも第１の物体（ＴＣＰ１０１）と第２の物体（アレイ基板１０２）の２つの部材としても良く、また逆に４つ以上の部材としても良い。
【００８７】
また、上述の実施の形態では、圧着ヘッド４１にヒータ４７が組み込まれている例を示したが、ヒータ４７は、圧着ヘッド４１に組み込まず、接触させて隣接配置したり、非接触で近傍に配置したりしても良い。また、加熱圧着ではなく、非加熱圧着、すなわち、ヒータ４７を全く設けずに圧着させるものにも、本発明を適用することができる。
【００８８】
さらに、超磁歪アクチュエータとしては、他の種類、他の値を有するものとしても良い。また、磁歪アクチュエータの一種である超磁歪アクチュエータの代わりに、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）に代表される圧電セラミックスなどの圧電効果と電歪効果を有する素子を利用した電歪アクチュエータとしたり、ニッケルなどの強磁性体を磁歪アクチュエータとして利用するようにしても良い。このように、電気または磁気エネルギーを機械的運動に変換する性質と機械的運動を検出して電気または磁気信号に変える性質を有するアクチュエータであれば、超磁歪アクチュエータの代わりに使用することができる。
【００８９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の加熱圧着装置は、圧着ヘッドによって被圧接部材を加熱圧着させる際、圧着ヘッドの圧接面の平坦度が常に最適な状態となるように自動的に調整されるものとなる。このため、たとえば、液晶表示装置などのアレイ基板に対して多数の半導体実装基板などを圧着ヘッドによって一括的に加熱圧着させるとき、圧着ヘッドの加圧力を多数の半導体実装基板に均等に与えることができ、それによって、アレイ基板に対する個々の半導体実装基板の接続を適正に行うことができる。
【００９０】
また、本発明の圧接面の平坦度調整方法は、電気的な接続端子を接続する際に用いられる方法であり、その際に使用する圧接面の平坦度調整を自動的に行うことができる。これによって、従来のように、オペレータの手作業に頼ることがなくなるので、効率よく短時間で最適な平坦度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の加熱圧着装置の実施の形態を説明する正面図で、部分的に断面図とした図である。
【図２】図１に示す加熱圧着装置の側面図で、部分的に断面図とした図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線矢視図である。
【図４】本発明の実施の形態で用いる超磁歪アクチュエータの制御を説明する図である。
【図５】本発明や従来例に適用される被圧接部材の例を示す図で、液晶表示装置のアレイ基板にＴＡＢなどの半導体実装基板を接続した状態の一例を説明する図である。
【図６】本発明や従来例に採用される圧接工程を示す図で、液晶表示装置のアレイ基板にＴＡＢなどの半導体実装基板を接続する工程を説明する図である。
【図７】図６で示した圧着ヘッドを矢印Ｂ方向から見た図である。
【符号の説明図】
１　台座
２　台座取り付け台
３　筐体
４　加熱圧着機構
４１　圧着ヘッド
４１ａ　圧接面
４２　加圧体
４３　ガイドレール
４４ａ〜４４ｆ　超磁歪アクチュエータ（電歪または磁歪アクチュエータ）
４７　ヒータ
４８　プッシュロッド
４９　第１のリンク機構
５０　第２のリンク機構
６１　制御部
１０１　ＴＣＰ（第１の物体、被圧接部材、半導体実装基板）
１０２　アレイ基板（第２の物体、被圧接部材）
１０３　ＡＣＦ（被圧接部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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