(57)【要約】【目的】ＦＥＤ(フィールドエミッションディスプレイ)用蛍光パネルの選別評価を行う。【構成】蛍光パネル評価装置において、電子銃と被評価蛍光パネルが同一真空容器に収納された状態で前記電子銃から放出した電子を前記蛍光パネルに照射することを特徴とする蛍光パネル評価装置。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光パネル評価装置において、電子銃と被評価蛍光パネルが同一真空容器に収納された状態で前記電子銃から放出した電子を前記蛍光パネルに照射することを特徴とする蛍光パネル評価装置。
【請求項２】
請求項１の蛍光パネル評価装置において、前記電子銃から放出された電子の軌道を制御する偏向器を前記真空容器外部に配置したことを特徴とする蛍光パネル評価装置。
【請求項３】
請求項２の蛍光パネル評価装置において、前記真空容器の前記電子銃に近接した部分および偏向器に近接した部分がガラス製であることに加えて前記蛍光パネルに近接した部分が金属製であることを特徴とする蛍光パネル評価装置。
【請求項４】
請求項１の蛍光パネル評価装置において、蛍光パネルに前記金属製の真空容器部分と異なる電位を与えることを特徴とする蛍光パネル評価装置。
【請求項５】
請求項４の蛍光パネル評価装置において、前記真空容器内部に前記真空容器とも前記蛍光パネルとも異なる電位を印加するシールド電極を具備することを特徴とする蛍光パネル評価装置。
【請求項６】
請求項５の蛍光パネル評価装置において、前記真空容器の内部であって、かつ、前記蛍光パネルを底辺として前記電子銃の電子放出点を頂点とする立体の側面を外側から囲む位置にシールド電極が配備されていることを特徴とする蛍光パネル評価装置。
【請求項７】
請求項１の蛍光パネル評価装置において、残留ガス分析装置を具備することを特徴とする蛍光パネル評価装置。
【請求項８】
請求項１の蛍光パネル評価装置の使用方法において、被評価蛍光パネルに電子線を照射して前記蛍光パネルの良品判定を行った後に、良品と判定した場合に前記蛍光パネルの真空中加熱処理または真空中電子線アニールまたはその両方を行うことを特徴とする蛍光パネル評価装置の使用方法。
【請求項９】
請求項８の蛍光パネル評価装置の使用方法において、前記良品判定で不良と判定した場合には前記真空中加熱処理も真空中電子線アニールもどちらも行わずに前記被評価蛍光パネルを装置外に取り出すことを特徴とする蛍光パネル評価装置の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は蛍光パネル評価装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ブラウン管、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）、蛍光表示管といった画像表示装置は発光体に蛍光体を使用することを特徴とする。蛍光体はＰＶＡやアクリルといった有機バインダーと混合してガラス基板に塗布後、加熱による脱バインダー処理をして蛍光パネルを完成することが一般的である。この蛍光パネルに電子線を照射することで発光させている。画像表示装置の均一性は蛍光パネルの均一性に強く依存する。塗布した蛍光体の塗布膜厚が薄すぎると照射電子を有効に光変換することができない。ブラウン管およびＦＥＤでは裏面から電子を照射して発光を表面から見る。この裏面電子照射タイプにおいては蛍光体の塗布膜厚が厚すぎると電子照射面（裏面）の蛍光体でほとんどの電子線が吸収されてしまうので表面から見ると暗い蛍光パネルとなってしまう。ブラウン管および高圧タイプと呼ばれる一部のＦＥＤでは電子照射面にアルミ薄膜を形成する。このアルミ薄膜はメタルバック層と呼ばれている。メタルバック層は蛍光パネルのチャージアップを抑制する役割と電子照射面近傍（裏面）に位置する蛍光体の発光を反射して表面に向ける鏡の役割を担っている。メタルバック層が薄すぎると半透明になって鏡としての効果が低下する。反対に厚すぎると電子の吸収およびエネルギー減衰が大きくなり、蛍光体に供給される電子数およびエネルギーが低下して発光が低下してしまう。メタルバック層についても最適膜厚が存在する。蛍光体自身の電気／光変換特性は表面に残存するバインダー等の残さ量や加熱による変質の影響で変化してしまうことがある。このように蛍光パネルは蛍光体塗布膜厚、メタルバック層の膜厚、蛍光体自身の電気／光変換特性によって不均一になる可能性を秘めている。
従来、ブラウン管においては管球製造後のＩＴＣ工程で色調整を行う際に表示面である蛍光パネル欠陥、不均一性のチェックを行ってきた。特開２００２−５０２９２における「陰極線管の検査装置および検査方法」、特開２００１−３５９１２８における「ミスコンバージェンス測定装置」、特開２００１−８２４０における「ＣＲＴのルミナンス特性測定装置」、特開２００１−４４９０における「ＣＲＴの表示特性測定装置」、特開２０００−２５３４２６における「ＣＲＴのコンバーゼンス測定方法及びその装置並びにその測定方法に適用される映像信号発生装置」、特開平１１−３５５７９５における「カラー陰極線管のミスランディングの補正方法、カラー陰極線管装置」、特開平１０−３２２７２８における「マルチカソード型ＣＲＴのコンバーゼンス評価装置」、特開２０００−１８４４０２における電子ビーム強度分布測定方法、特開平１０−２３３１６７における「カラー陰極線管の表示画質特性評価方法及びその装置」、などブラウン管に関しては多数の評価・調整方法が提案されているが、いずれも管球として完成後に行うことを前提としている。
ブラウン管の蛍光面に光を照射して検査する方法については特開平１０−１７２４３０、蛍光面の形成方法で提案されている。この方法はブラウン管の管球として完成前に検査をするという点で上記紹介した方法と異なる。さらに検査に光照射を用いる点も異なる。
ＦＥＤについてはパネルを封着後に検査することが従来の一般的な考え方である。特開平７−３７５３５、電界放出型カソードを用いたフラットディスプレイにおいては蛍光スクリーンのチャージアップを抑制する方法について技術開示されているがここで述べられている測定方法が一般的なＦＥＤの評価選別方法である。特開２００１−２７３８５０、電界放射型電子源および電界放射型電子源の検査方法および電界放射型電子源の検査装置においてはポリシリコンを電子源に用いたＦＥＤにおいてその電子源の特性をフォトルミネッセンス測定で評価することが紹介されているが、この特許は蛍光スクリーンの評価ではなく電子を放出する電子源側の評価方法に関する内容である。ＦＥＤの評価については特開２００１−１９５０２６、マトリクス型表示装置で技術提案がなされているがこれは蛍光スクリーンと電子源とを封着してＦＥＤとして完成させたものを駆動するのであり、組み立て途中での評価ではない。特開２０００−２６０３６０、電界放出素子においては電界放出素子において、エミッタに悪影響を与える蛍光体からのガス放出を解決し、寿命を改善することを目的として、Ｙ２Ｏ３ ：Ｅｕ赤色発光蛍光体、ＹＡＧＧ：Ｔｂ緑色発光蛍光体、Ｙ２ＳｉＯ５ ：Ｃｅ青色発光蛍光体に、平均粒径１μｍ以下のＴｉＯ２ 粉末をそれぞれ０．０１〜５ｗｔ％ずつ添加し、この蛍光体をＦＥＤの陽極に実装して評価した。アノード電圧７００Ｖ。ＴｉＯ２ を添加しない蛍光体を比較用とした。ＴｉＯ２ を添加すると初期輝度は添加量が増加するのに伴って低下するものの、エミッション寿命特性においては０．０１％以上の添加で効果が認められ、０．５ｗｔ％添加では未添加品の１０倍のエミッション寿命となる。なお、発光効率の寿命特性は変わらない。最適添加量の範囲は０．２〜１．０ｗｔ％であるということを提案している。この評価は電子源にＦＥＤのカソードパネル自身を用いている。特開２０００−２４３２８９、電子源の放出電流測定方法および装置においては電子源の放出電流値を正確に測定することを目的とした技術が開示されているが蛍光スクリーンの評価については行っていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のブラウン管においては蛍光パネル（フロントガラス）と電子銃とを一体として組み立てた管球の状態にしてから動作チェックを行っていた。ＦＥＤにおいては電子を放出するカソードパネルを単独で評価することはあるが蛍光パネルについてはカソードパネルと一体となるように組み立てた状態で動作チェックを行っていた。このように管球として完成したブラウン管、組み立てパネルとして完成したＦＥＤのそれぞれの動作チェックを行った結果、不具合と判定された場合にはその管球、パネルは廃棄処分されることになる。ブラウン管の場合、不具合の原因が電子銃であるならば事前に電子銃の特性を評価して良品だけを選んで組み立てれば良品率が向上する。不具合の原因が蛍光パネルであるならば事前に蛍光パネルの特性を評価して良品だけを選んで組み立てれば良品率が向上する。ＦＥＤについても同様である。蛍光パネル、カソードパネルの良品同士を組み立てれば組み立てパネルの良品率が向上する。ＦＥＤのカソードパネルの良品検査についてはいくつかの方法が提案されているが、それ以外はブラウン管電子銃、ブラウン管蛍光パネル、ＦＥＤの蛍光パネルのいずれも良品検査がなされていない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の蛍光パネル評価装置は、電子銃と被評価蛍光パネルが同一真空容器に収納された状態で前記電子銃から放出した電子を前記蛍光パネルに照射することを第１の特徴とし、
第２に、第１の特徴に加えて前記電子銃から放出された電子の軌道を制御する偏向器を前記真空容器外部に配置したことを、
第３に、第２の特徴に加えて、前記真空容器の前記電子銃に近接した部分および偏向器に近接した部分がガラス製であることに加えて前記蛍光パネルに近接した部分が金属製であることを、
第４に、第１の特徴に加えて、蛍光パネルに前記金属製の真空容器部分と異なる電位を与えることを、
第５に、第４の特徴に加えて、前記真空容器内部に前記真空容器とも前記蛍光パネルとも異なる電位を印加するシールド電極を具備することを、
第６に、第５の特徴に加えて、前記真空容器の内部であって、かつ、前記蛍光パネルを底辺として前記電子銃の電子放出点を頂点とする立体の側面を外側から囲む位置にシールド電極が配備されていることを、
第７に、第１の特徴に加えて、残留ガス分析装置を具備することを特徴とし、
本発明の蛍光パネル評価装置の使用方法は、第８に、第１の特徴を備える蛍光パネル評価装置の使用方法において被評価蛍光パネルに電子線を照射して前記蛍光パネルの良品判定を行った後に、良品と判定した場合に前記蛍光パネルの真空中加熱処理または真空中電子線アニールまたはその両方を行うことを、
第９に、第８の特徴に加えて、前記良品判定で不良と判定した場合には前記真空中加熱処理も真空中電子線アニールもどちらも行わずに前記被評価蛍光パネルを装置外に取り出すことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の蛍光パネル評価装置において、電子銃と被評価蛍光パネルが同一真空容器に収納された状態で前記電子銃から放出した電子を前記蛍光パネルに照射する第１の特徴を備える場合には、被評価蛍光パネルが電子銃と同一真空容器内にすっぽりと収納されていることで蛍光パネルへの電子照射が容易に行える。通常は蛍光パネル自身が真空容器の外壁の一部分を兼ねているので容器内の真空を保つためにフリットガラスで封着をするなどの容器化加工を行わなければならない。本発明では被評価蛍光パネルは真空容器内にすっぽりと収納されているので上記のような外壁の機能を満たす必要がないので容器化の負担なく電子を照射できる。
第２に、第１の特徴に加えて前記電子銃から放出された電子の軌道を制御する偏向器を前記真空容器外部に配置した特徴を備える場合には電子銃と被評価蛍光パネルとの相対位置関係を一定にした状態で電子を前記蛍光パネルの任意の位置に制御して照射できる。偏向器は磁気コイルで構成される場合と電極板で構成される場合とがある。その両者を組み合わせた場合もある。設置位置が真空容器内の場合もあるし容器外の場合もある。それぞれを組み合わせることで様々な偏向器がありえる。真空容器外に磁気コイルを配置する例や、真空容器外には磁気コイル、真空容器内にはその軌道を微妙に補正するための電極（電位印加）を配置する例もある。
第３に、第２の特徴に加えて、前記真空容器の前記電子銃に近接した部分および偏向器に近接した部分がガラス製であることに加えて前記蛍光パネルに近接した部分が金属製である特徴を備える場合には偏向器が発生する磁界や電界を遮蔽することなく真空容器内の電子に与えるためにはガラス製の容器が適している。蛍光パネルの移動や保持には金属部品を多用することで複雑な動作を低コストで可能にできる。
第４に、第１の特徴に加えて、蛍光パネルに前記金属製の真空容器部分と異なる電位を与える特徴を備える場合には、作業者が触れる懸念がある金属製の真空容器には接地電位またはその近傍電位を与え、電子ビームを被照射物である蛍光パネルには被照射に適した電位を与える。そのために蛍光パネルと真空容器部分とを絶縁しておく。
第５に、第４の特徴に加えて、前記真空容器内部に前記真空容器とも前記蛍光パネルとも異なる電位を印加するシールド電極を具備する特徴を備える場合には、電子の軌道を制御するために最適な電位をシールド電極に与える。そのためにシールド電極と周辺とは絶縁しておく。
第６に、第５の特徴に加えて、前記真空容器の内部であって、かつ、前記蛍光パネルを底辺として前記電子銃の電子放出点を頂点とする立体の側面を外側から囲む位置にシールド電極が配備されている特徴を備える場合には、平板形状の蛍光パネルに対してその面の全てに電子放出点からの電子を安定して照射するには外乱要因を極力排除したい。上記配備の方法は真空容器の容積を最小にしながら外乱要因を極力排除して蛍光パネルに電子照射することができる。このシールド板の支持体をセラミックやガラスなどの絶縁体もしくはその表面に高抵抗膜を塗布した高抵抗体を用いる。
第７に、第１の特徴に加えて、残留ガス分析装置を具備する特徴を備える場合には電子ビーム照射で発生したガスの量と種類を分析するのに有効であるとともにこの装置で蛍光パネルのガス放出を行う場合に電子ビーム照射を完了する判断の数値としても利用される。ガス分析を効率的に行うには蛍光パネルの近傍がよい。しかしながらイオン化して測定するタイプのガス分析器を用いると測定器が電場を受けるし、測定器が備える電位によって電子ビームの軌道が影響されてしまう。そこでガス分析器の適切な配置としてシールド電極よりも外側が好ましい。第８に、本発明の蛍光パネル評価装置の使用方法において、第１の特徴を備える蛍光パネル評価装置の使用方法において被評価蛍光パネルに電子線を照射して前記蛍光パネルの良品判定を行った後に、良品と判定した場合に前記蛍光パネルの真空中加熱処理または真空中電子線アニールまたはその両方を行う特徴を備える場合には、まず、塗布ムラなどの不良がないかを判定することでこの電子ビーム照射工程以前の不良を認識する。
第９に、第８の特徴に加えて、前記良品判定で不良と判定した場合には前記真空中加熱処理も真空中電子線アニールもどちらも行わずに前記被評価蛍光パネルを装置外に取り出す特徴を備える場合には、塗布ムラなどの不良がある蛍光パネルに余分な処理を行って無駄な時間をかけないようにする。
【０００６】
【実施例】
本発明実施例１について説明する。図１は本発明の蛍光パネル評価装置の構造図である。真空容器１はガラス容器部２とメタル容器部３の２つの部分で構成されている。ガラス容器部は電子銃４を真空内部に備えて、偏向ヨーク５を真空外部に備えている。電子銃から放出された電子１００は偏向ヨークで発生させた磁界によってその軌道を曲げられる。真空外部の偏向ヨークで発生させた磁界を真空容器内部の電子に印加するためにこの部分の真空容器がガラスになっている。メタル容器部とガラス容器部とはガスケットを介して接続されている。このガスケットによる接続部分は真空リークの無いように隙間なくなく接続されている。メタル容器部は接地電位に保たれている。（図のアース１０１参照）の内部にはシールド電極６を備えている。このシールド電極は前記メタル容器部とは電気的に絶縁されている。図に描くようにシールド電圧印加コネクター７に高電圧を印加することで前記シールド電極に電位を与えることができる。前記シールド電極には通常９．７ｋＶ程度の高電圧を印加する。蛍光パネル１０２への電圧印加は蛍光パネルコネクタ８を介して行う。通常蛍光パネルには１０Ｖを印加して使用する。放出した電子１００は前記シールド電極と蛍光パネルで囲まれた高電圧空間で加速されながら飛行する。蛍光パネルは加速された電子で励起されて発光する。発光の様子はのぞき窓９から観察することができる。こののぞき窓はサファイア製であるので可視から近赤外線領域まで高い透過率を有する。のぞき窓の上方に赤外線イメージ炉を設置してのぞき窓を通してこの蛍光パネルを加熱ガス出しすることが容易である。加速した電子により蛍光パネルを励起する以前に真空中に置いた蛍光パネルを赤外線イメージ炉で３００℃に加熱して熱によりガス放出しておくことで電子による蛍光パネルの励起発光時の真空度を高いレベル（残留ガスが少ないレベル）に保った状態で蛍光パネルの励起を行える。前記蛍光パネルはパネルホルダー１０に乗せる形態であるので、真空容器を大氣圧に戻した後に前記のぞき窓部分を空けて蛍光パネルを簡単に交換することができる。真空度が１０−４Pa以下になるまでポンプで真空引きしてそれから上記測定を繰り返し行うというサイクルを次々に繰り返すことで大量の蛍光パネルを選別評価できる。本実施例では対角１３インチの蛍光パネルを前記パネルホルダーにセットして３時間真空引きすることで１ｘ１０−４Pa以下の真空環境に到達してまず電子ビーム照射を１分間行う。この照射で蛍光パネルの均一性などの特性を判定する。不良と判定した場合には測定装置を大氣圧に戻して次の蛍光パネルを前記ホルダーにセットする。良品と判定した場合には赤外線イメージ炉による加熱を３０分間行い、パネル温度を最高３００℃に加熱後３０分間放置する。そして、電子ビーム照射を１０分間行うことで電子ビームによるガス出しを行う。
【０００７】
本発明の実施例２について説明する。図２に説明のための図を描いた。１つのパネルホルダー１０に複数枚の蛍光パネルを搭載して選別評価する例である。パネルホルダー１０’が複数の蛍光パネルを搭載できる例である。この例では対角５インチの蛍光パネル１０２を４枚搭載している。図では２枚の蛍光パネルを描いてあるが実際は紙面奥方向にさらに２枚搭載している。４枚の蛍光パネルに電子ビームを照射してパネルホルダー部分には電子ビームが照射しないように選択的に電子ビームを照射する特徴を備えている。第１偏向ヨーク１１と第２偏向ヨーク１２の構成で前記選択照射を実現している場合がある。これは対角５インチの面（アスペクト比３：４）全面に電子ビームが照射されるように電子銃４のビデオ信号と第１偏向ヨーク１１にパルス信号と電流をそれぞれ供給する。第２偏向ヨーク１２は４枚ある蛍光パネルのセレクターの役割を担っている。第１の偏向ヨークによって照射範囲（幅）を１つのパネル分に制限してあるのでシールド電極やパネルホルダーに無駄に電子を照射することはない。偏向ヨークは１つであるが上記した通りの照射を行う場合もある。別の例についても述べる。図１に描くように偏向ヨークが１つだけで、選択照射する例である。偏向ヨークの偏向幅（範囲）はシールド電極等も含む４枚の蛍光パネルの幅にしておいてビデオ信号を調整することでシールド電極には電子が照射されないようにする例もある。
【０００８】
本発明の実施例３について述べる。図１に描いた実施例１と類似した例であるが、パネルホルダー１３がシールド電極６と着脱可能になっている特徴を備えている。図３と図４を用いて説明する。図３はパネルホルダー１３をパネル導入室１４にセットしている状態を描いている。図４はパネルホルダー１３を測定室１５にセットしている状態を描いている。この例は一般にロードロックシステムと呼ばれる方式である。測定室側は常に真空状態を維持しておき、蛍光パネル入れ替えのために大氣圧状態に戻すことと真空状態にすることの繰り返しはパネル導入準備室１４で分担する方式である。ゲートバルブ１６によって両室を仕切っている。図３において、パネルホルダー１３の上面は絶縁のためにセラミックでできている。図では２枚の蛍光パネルを搭載する例を示しているが、各蛍光パネル１０２に電位を与えるための電極はそれぞれに設けている。図３では２つの蛍光パネルコネクタ８を設けている。パネルホルダーの下面はステンレス製の導電板を貼り付けてある。この導電板はシールド電極と電気的に接続している。
【０００９】
パネルホルダーの着脱と移動について詳細に述べる。パネルホルダー１３はシールド電極上にセットされている状態において蛍光パネルコネクタ８と電気的に接続する。測定室の真空度は１ｘ１０−５Pa以下に維持しておく。この状態で蛍光パネルコネクタ８およびシールド電極コネクタ７に高電圧を印加して電子を照射する。電子照射完了後は前記高電圧印加をやめて接地電位にする。パネル導入準備室の真空度が１ｘ１０−４Pa以下であることを確認してゲートバルブ１６を開状態にする。パネルホルダー１３をすばやくパネル導入準備室に移動させて前記ゲートバルブを閉状態にする。その後パネル導入準備室に窒素ガスまたは乾燥空気を導入してパネル導入準備室を大氣圧にする。ハッチ１７を開けて電子照射済みの蛍光パネルを取り除き、未照射の蛍光パネルをパネルホルダー１３にセットする。その後、ハッチ１７を閉じてパネル導入準備室１４を真空引きして真空度が１ｘ１０−４Pa以下になることを確認後前記蛍光パネルおよびパネルホルダーを３０分間加熱して最高２００℃にしてガス放出を加速した後に３０分間冷却する。その後に、ゲートバルブ１６を開状態にしてすばやくパネルホルダーを測定室に移動させる。その後に蛍光パネルコネクタ８およびシールド電極コネクタ７に高電圧を印加して電子を照射する。この一連の動作を行って蛍光パネルの選別を行う。
【００１０】
本発明の実施例４を説明する。図３および図５を用いて説明する。図３において測定室１５にガス分析計１８が取り付けてある。このガス分析計は通称Ｑマス（キューマス）と呼ばれる測定器で残留ガスをイオン化して質量分析して残留ガス成分を測定する測定器である。図５は電子照射で蛍光パネルから放出されるガス成分の測定結果である。蛍光パネル印加電圧１１ｋＶ，シールド電極印加電圧１０ｋＶ，電子銃のメインフォーカス調整電圧（ＥＣ２）が３００Ｖ、電子銃のプレフォーカス調整電圧（ＥＣ１）が０Ｖ，放出電子電流量は１４μＡで、電子ビームを一定エリアに照射した。その時に電流密度は２．３μＡ/平方ｃｍであった。グラフにおいてＨ２Ｏ（水蒸気成分）やＨ２（水素）やＨＣ（ハイドロカーボン）などが電子照射によって蛍光パネルからたたき出されることがわかる。電子照射を継続するとパネルの枯化が進みガス放出が低下する。一定時間電子照射を行った蛍光パネルは水分とハイドロカーボンの除去が行われたクリーンな蛍光パネルとなる。この蛍光パネルをＦＥＤとして組み込めばガス放出の少ない信頼性の高いＦＥＤを製造することができる。この蛍光パネルを一度大気中にさらすと水分が再吸着されてしまうがハイドロカーボンの除去効果は明確に残る。水分に関しても一度電子照射でクリーンにした蛍光パネルに吸着された場合にはその後に真空中で３００℃程度に加熱することで容易に除去される結果も得られている。
【００１１】
【発明の効果】
本発明の蛍光パネル評価装置を用いるとＦＥＤの蛍光パネルの良品判定を蛍光パネルという部品レベルで行うことができる。別に検査した良品カソードパネルと本装置で検査した良品蛍光パネルとを組み合わせてＦＥＤを組み立てることでＦＥＤ組み立て歩留まりを向上することができてＦＥＤ製造コストの低減効果がある。電子線照射によって蛍光パネルの評価を行うことで実際の使用と同条件で評価する効果もある。具体的には蛍光体層の塗布膜厚やメタルバック層の膜厚の不均一性について実際のＦＥＤと同条件で評価できる。電子照射の別の効果として電子照射によるガス出し効果がある。パネル全体に関して熱でガス放出させようとすると耐熱性の乏しい部位が上限を決めてしまい十分なガス出しが行えなかったが加速電子を照射することで特定の部位にエネルギーを与えてガス放出させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１を示す構成図である。
【図２】本発明の実施例２を示す構成図である。
【図３】本発明の実施例３の第１の状態を示す構成図である。
【図４】本発明の実施例３の第２の状態を示す構成図である。
【図５】本発明の実施例４を示す測定結果グラフである。
【符号の説明】
１    真空容器
２    ガラス容器部
３    メタル容器部
４    電子銃
５    偏向ヨーク
６    シールド電極
７    シールド電極コネクタ
８    蛍光パネルコネクタ
９    のぞき窓
１０    パネルホルダー
１０’   パネルホルダー
１１    第１偏向ヨーク
１２    第２偏向ヨーク
１３    パネルホルダー
１４    パネル導入準備室
１５    測定室
１６    ゲートバルブ
１７    ハッチ
１８    ガス分析計
１００  電子
１０１  アース
１０２  蛍光パネル
【図１】
2004199959.tif 000003
【図２】
2004199959.tif 000004
【図３】
2004199959.tif 000005
【図４】
2004199959.tif 000006
【図５】
2004199959.tif 000007