(57)【要約】【課題】排ガスの流通に支障をきたすことなく冷却面全面に液体の流下層をむらなく形成して蒸発成分を確実・円滑に回収できるトラップ装置を提供する。【解決手段】排ガス管路３に設置され管体１０の内壁面部に形成した冷却面１４により排ガスＧを冷却して排ガス中の蒸発成分を回収するトラップ装置５において、冷却面１４の温度より低い凝固点を有する液体Ｑを供給する液体供給装置４０と、管体１０の上部に設けられ冷却面１４と略同径の内周面２１を有し液体供給装置４０からの液体を貯留する環状の貯液室２０と、内周面２１に開口し貯液室２０内に連通する液体流出口２６と、この液体流出口２６から流出して冷却面１４を流下した液体Ｑおよび排ガス中の蒸発成分を排出する排液口１５とを備えた。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガス管路に設置され管体の内壁面部に形成した冷却面により排ガスを冷却して排ガス中の蒸発成分を回収するトラップ装置において、前記冷却面の温度より低い凝固点を有する液体を供給する液体供給装置と、前記管体の上部に設けられ前記冷却面と略同径の内周面を有し前記液体供給装置からの液体を貯留する環状の貯液室と、前記内周面に開口し前記貯液室内に連通する液体流出口と、この液体流出口から流出して前記冷却面を流下した液体および排ガス中の蒸発成分を排出する排液口とを備えたことを特徴とするトラップ装置。
【請求項２】
前記液体流出口が、前記内周面の全周にわたって連続する環状の液体流出口から成る請求項１記載のトラップ装置。
【請求項３】
前記環状の液体流出口の前記内周面側の下縁部が、丸みをつけて面取りされている請求項２記載のトラップ装置。
【請求項４】
前記管体の排ガス流入口側に設けた前記液体流出口より上段側に、前記液体供給装置からの前記液体を排ガス流内に小滴化して噴出させる液体噴出ノズルを設けた請求項１または２または３記載のトラップ装置。
【請求項５】
前記液体供給装置が、前記排液口に接続され該排液口からの排出液を貯留する貯留槽と、この貯留槽の貯留液を前記貯液室に還流送給する還流送給手段とを備えて成る、請求項１または２または３記載のトラップ装置。
【請求項６】
前記液体供給装置が、前記排液口に接続され該排液口からの排出液を貯留する貯留槽と、この貯留槽の貯留液を前記貯液室および前記液体噴出ノズルに還流送給する還流送給手段とを備えて成る、請求項４記載のトラップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、気体中に含まれる蒸発成分を、冷却により凝縮液化または固化させて回収するトラップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば自動車のスクラップなどの廃棄物を再利用するために、廃棄物から油分などの不純物を分離回収し、この不純物を除去した上記廃棄物の金属材等を有価物として再利用に供する装置として、真空加熱炉において上記不純物を真空蒸発させ、得られた蒸発成分を真空ポンプを有する排ガス管路（排気管路）に設けた回収装置により回収する、真空蒸発回収装置が用いられるようになった。この従来の真空蒸発回収装置としては、下記各特許文献記載のものを総括図示する図６にも示すように、被処理物を収容する真空加熱炉１０１の排ガス管路１０２に真空ポンプ１０３を接続し、この真空ポンプ１０３と真空加熱炉１０１との間に、真空蒸発した蒸発成分を凝縮させて回収する回収装置１０４を設けたものが一般的であった（たとえば特許文献１および２および３参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−３３１５６４号公報（第３−４頁、図１、図２）
【特許文献２】
特開平７−２６３３４号公報（第３頁、図１）
【特許文献３】
特開平８−１８８８３３号公報（第２−３頁、図１−図４）
【０００４】
そして上記の回収装置１０４としては、上記特許文献１にも水冷ジャケット式のものが記載されているように、冷水や冷媒で低温にした冷却面により、流入する排ガスを冷却して凝縮・固化させて回収するコールドタイプのトラップ装置が、また真空ポンプ１０３としては、上記特許文献３に記載のように、ロータリーポンプと称される油回転ポンプや油拡散ポンプなどのウエットタイプの真空ポンプが、使用されている。なお図中、１０５は必要に応じて設けられるブースターポンプである。
【０００５】
ところが上記従来の真空蒸発回収装置１００においては、真空加熱炉１０１における自動車のシュレッダー処理品などの廃棄物の真空加熱により発生した油，水分，酸（たとえば塩酸や硫酸や有機酸）などを蒸発成分として含む排ガスが、大量に回収装置１０４部を流通してその冷却面に凝縮・固着するため蒸発成分回収能力が時間とともに低下して、その一部が回収されずに真空ポンプ１０３内へ流入し、ガス温度の降下やガス圧力の上昇により液化した上記蒸発成分がポンプ内の油に混入し、ポンプ各部の腐食による損傷や油の劣化によるポンプ運転の不調をひきおこし、さらに真空ポンプ１０３部を通過した未回収蒸発成分が後段側の排ガス管路１０２の腐食や大気中に放出されて異臭発生の原因となるなど、多くの問題点を有するものであった。また廃棄物中に木材やプラスチックなどを含む場合は、これらの熱分解によりタール状炭化水素を発生し、冷却面や配管内壁面に粘着性を有するタールとして付着し、蒸発成分回収能力の低下や配管の閉塞事故の原因となっていた。
【０００６】
そこで本出願人は、先に特願２００３−５３５０２号により、排ガスを冷却して排ガス中の蒸発成分を回収するトラップ装置の冷却面に、冷却面の温度より低い凝固点を有する液体を供給し、前記冷却面を流下した液体および排ガスの蒸発成分をトラップ装置の外部へ排出するようにしたトラップ装置を提案した。
【０００７】
この提案のトラップ装置によれば、冷却面に沿って流下する液体により、凝縮した蒸発成分の冷却面への付着が防止され、この付着による蒸発成分回収能力の低下を防止できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしその後、本発明者らは、上記特願２００３−５３５０２号記載のトラップ装置のさらなる改善を図るべく鋭意検討を重ねた結果、冷却面の上部に液体を供給する液体供給管を、トラップ装置の排ガスが流通する管体内に設けると、この液体供給管に排ガス中の蒸発成分である油類やタールが付着しやすく、また冷却面全面にわたってむらなく液体の流下層を形成するためには、冷却面に先端開口部が対向する液体供給管の枝管の本数を多数本とせねばならず、この多数本の枝管への上記蒸発成分やタールの付着により前記管体内のガス流通抵抗が増大し、排ガスの流通に支障をきたすおそれがあることが知見された。
【０００９】
この発明は上記の点にかんがみてなされたもので、排ガスの流通に支障をきたすことなく冷却面全面に液体の流下層をむらなく形成して蒸発成分を確実・円滑に回収できるトラップ装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、排ガス管路に設置され管体の内壁面部に形成した冷却面により排ガスを冷却して排ガス中の蒸発成分を回収するトラップ装置において、前記冷却面の温度より低い凝固点を有する液体を供給する液体供給装置と、前記管体の上部に設けられ前記冷却面と略同径の内周面を有し前記液体供給装置からの液体を貯留する環状の貯液室と、前記内周面に開口し前記貯液室内に連通する液体流出口と、この液体流出口から流出して前記冷却面を流下した液体および排ガス中の蒸発成分を排出する排液口とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項１記載の発明によれば、液体供給装置から供給された液体は、管体上部の貯液室を経て液体流出口から流出して冷却面を流下するので、管体内には液体供給管類を設ける必要がなく、該液体供給管類への油類やタールの付着によるガス流通抵抗の増大を生じることなく蒸発成分の回収ができ、また液体流出口の形状や個数の選定により冷却面全面に液体の流下層をむらなく形成できる。
【００１２】
この発明における液体流出口は、たとえば多数個の液体流通穴で構成してもよいが、請求項２記載の発明のように、前記液体流出口が、前記内周面の全周にわたって連続する環状の液体流出口から成るものとすれば、貯液室内の液体は環状の液体流出口から流出して貯液室の内周面、従って管体の冷却面の全周面に液体の流下層を形成するので、冷却面への蒸発成分の付着を確実に防止できる。
【００１３】
さらに請求項３記載の発明のように、前記環状の液体流出口の前記内周面側の下縁部が、丸みをつけて面取りされている構成とすれば、液体流出口を流出する液体は前記丸みに沿って円滑に貯液室の内周面部へ誘導され、冷却面には一層均一な液体の流下層が形成されるので、特に好ましい。
【００１４】
また請求項４記載のトラップ装置は、請求項１または２または３記載のトラップ装置において、前記管体の排ガス流入口側に設けた前記液体流出口より上段側に、前記液体供給装置からの前記液体を排ガス流内に小滴化して噴出させる液体噴出ノズルを設けたことを特徴とする。
【００１５】
請求項４記載の発明によれば、管体の内壁面から離間した管体中心部乃至中心部寄りの部分を流通する排ガス中の蒸発成分に対して、液体噴出ノズルから噴出した液体の小滴が衝突・接触して上記蒸発成分を小滴と共に落下させるので、これによって冷却面部により回収されずに管体内を通過する蒸発成分の捕集が促進され、蒸発成分の回収効率が向上する。
【００１６】
請求項１乃至３記載の発明における液体供給装置は、前記液体として新しい液体のみを供給するものとしてもよいが、請求項５記載の発明のように、前記液体供給装置が、前記排液口に接続され該排液口からの排出液を貯留する貯留槽と、この貯留槽の貯留液を前記貯液室に還流送給する還流送給手段とを備えて成るものとすれば、蒸発成分と共に排液口から流出した液体は貯液室に還流送給されて循環使用されるため、液体の使用量が少なくて済む。
【００１７】
また請求項４記載の発明における液体供給装置は、前記液体として新しい液体のみを供給するものとしてもよいが、請求項６記載の発明のように、前記液体供給装置が、前記排液口に接続され該排液口からの排出液を貯留する貯留槽と、この貯留槽の貯留液を前記貯液室および前記液体噴出ノズルに還流送給する還流送給手段とを備えて成るものとすれば、蒸発成分と共に排液口から流出した液体は液体貯液室および液体噴出ノズルに還流送給されて循環使用されるため、液体の使用量が少なくて済む。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下図１〜図４に示す第１例により、この発明の実施の形態を説明する。図１において、１は真空蒸発回収装置で、２は被処理物を収容して真空加熱をおこなう真空加熱炉、３はその排ガス管路（排気管路）、４はこの排ガス管路に設けた真空ポンプ、５はこの真空ポンプ４の前段側の排ガス管路３に設けたトラップ装置、６はこのトラップ装置５と真空ポンプ４の間の排ガス管路３に設けた二次トラップ装置、７は真空ポンプ４の後段側に設けた活性炭を吸着剤として充填した吸着装置である。
【００１９】
各トラップ装置のうち、先ず前段側のトラップ装置５は、ガス流入口１１から流出口１２に至るＵ字管状を呈し直管部を上下方向に向けた管体１０の外周部を、Ｕ字状のジャケット１３で包囲して成る水冷ジャケット形式のコールドトラップで、図示しない冷凍機により冷却されるブラインＲをジャケット１３内に流通させて、管体１０の内壁面部に形成した冷却面１４（図２参照）を０℃に維持するものであり、この冷却面１４への蒸発成分の付着防止機構については、後述する。
【００２０】
また二次トラップ装置６は、側壁部にガス流入口６１とガス流出口６２を対向してそなえた有底筒状体の頂部を蓋板で閉鎖した外槽６０内に、有底円筒状の内槽６３を同心状に配置し、この内槽６３内に、図示しない冷媒供給装置から供給される冷媒Ｓ（この例ではパーフロロポリエーテル［ＰＦＰＥ］）を流通させてその冷却面（内槽６３の外周面）を−４５℃に維持する二重槽式のコールドトラップである。
【００２１】
次にトラップ装置５における冷却面１４への蒸発成分の付着防止機構を、図２〜図４により説明すると、先ず１５は管体１０の底部に設けた排液口で、ジャケット１３を貫通して下向きに開口している。２０は排ガスが流通する管体１０のガス流入口１１およびガス流出口１２の上側に配設されたプラスチック製の環状の貯液室で、管体１０の冷却面１４と略同径の内周面２１を有し、内部は仕切板２２により下室２３と上室２４とに仕切られ、仕切板２２には複数個（この例では８個）の小穴２５が等間隔で穿孔されている。また２６は内周面２１に開口し貯液室２０内に連通する液体流出口で、上室２４の短円筒状の内周側側壁２７の上部を水平面状に切欠くことによって、内周面２１の全周に沿って連続する環状の液体流出口２６を形成したものであり、この液体流出口２６の内周面２１側の下縁部２８は、図３に示すように丸みをつけて面取りされている。
【００２２】
この貯液室２０は、給液口２９を経て下室２３内に供給された冷却面１４の温度よりも凝固点の低い液体Ｑを、上室２４を経て液体流出口２６から内周面２１上に流出させ、冷却面１４の上部に供給するものであり、この液体Ｑとしてこの例では、凝固点が０℃より低いスピンドル油を用いる。
【００２３】
また３０はガス流入口１１側の上記貯液室２０の上側に接続されたノズルユニットで、フランジ付きの短円筒体３１の壁面部に、噴出口３３ａを短円筒体３１の中心軸線３２に向けて、該中心軸線３２を中心として放射状に４個の液体噴出ノズルを取付けて成る。これら各液体噴出ノズル３３には、環状のヘッダ３４から前記液体Ｑが供給されるように、配管３５が接続されており、液体Ｑは各液体噴出ノズル３３により小滴化されて、短円筒体３１内を流通する排ガス流中に噴出される。
【００２４】
３７はこのノズルユニット３０の上側に配設された環状の断熱材で、この例では断熱材３７の上側に接続される排ガス管路３は、その管内壁面にタール分が付着するのを防止するため図示しない電熱ヒータにより加熱しているので、その温度がトラップ装置５側に伝熱するのを防止するために用いるものである。
【００２５】
以上のガス流入口１１側の構成に対して、ガス流出口１２側の管体１０の上側に設けた貯液室２０の上側には排ガス管路３の流出側端部３ｂが直接接続されており、これら各部の接続、および上記したガス流入口１１側の管体１０と貯液室２０とノズルユニット３０と断熱材３７と排ガス管路３の流入側端部３ａとの接続は、図３に示すように各管体及び筒体の端部に設けたフランジ部を、ボルト３８，３９等により締結することによりおこなわれ、各突合せ面部には真空シール用のシールリング（図示しない）を介装させてある。
【００２６】
一方図２において４０は、前記液体Ｑを供給する液体供給装置であり、４１は管体１０の下部の前記排液口１５に連結管４２を介して接続された貯留槽で、排液口１５からの排出液を一時貯留するためのもので、４３はこの一時貯留した貯留液を送出する送出口、４４は新液注入口、４５は廃液口である。そして送出口４３と各貯液室２０，２０およびヘッダ３４とを還流管路４６で接続し、この還流管路４６にモータ４７により駆動されるポンプ４８とフィルタ４９を設けて、貯留槽４１の貯留液を貯液室２０および液体噴出ノズル３３に還流送給する還流送給手段５０が構成されている。
【００２７】
上記各装置で構成された真空蒸発回収装置１において、自動車のシュレッダー処理品を被処理物として不純物の回収処理をおこなうには、真空加熱炉２内に被処理物を装入後、真空ポンプ４により炉内を所定の真空度まで真空引きし、真空加熱炉２の加熱装置（図示しない）により被処理物を真空加熱する。
【００２８】
この真空加熱により被処理物から蒸発した蒸発成分は、排ガスとともに排ガス管路３内を流れ、トラップ装置５部において０℃の冷却面１４により冷却されて蒸発成分中の高沸点成分である油類が凝縮・回収される。このトラップ装置５を通過して高沸点成分を回収除去された排ガスは、二次トラップ装置６に流入し、−４５℃の冷却面により冷却されて、蒸発成分中の低沸点成分である水，酸類が内槽６３の外周面に凝縮・付着して回収されたのち、真空ポンプ４に流入し、真空ポンプ４を流出した排ガスは、吸着装置７によりＨ２Ｓやエチルメチルカプタンなどの常温でも気化状態にある蒸発成分を回収されたのち、大気中へ放出される。
【００２９】
そして上記の真空蒸発回収時に、トラップ装置５においては、前記液体Ｑにより冷却面１４への蒸発成分（この例では上記高沸点成分である油類）の付着防止を下記のようにしておこなう。すなわち、先ず装置の新設時などで空の状態の貯留槽４１には、新液注入口４４から液体Ｑを貯留槽４１内に充填しておく。真空加熱炉２からの排ガスＧの流通時には、液体供給装置４０のポンプ４８を運転して、貯留槽４１内の貯留液を各貯液室２０および液体噴出ノズル３３へ送給して、貯液室２０の液体流出口２６から冷却面１４の上部に供給し冷却面１４に沿って流下させるとともに、液体噴出ノズル３３の噴出口３３ａから排ガス流中に小滴化して噴出させる。
【００３０】
上記貯液室２０における液体Ｑの流通状況を詳述すると、給液口２９から下室２３内へ供給された液体Ｑは、各小穴２５の通過により整流されて上室２４の各部にほぼ均等な深さの液体層として貯留され、内周側側壁２７の上端部を溢流して液体流出口２６から流出し、その内周面２１側の下縁部２８の丸みにより円滑に下向きに誘導されて、内周面全周面に沿ってほぼ均一な厚さの液体Ｑの流下層が形成され、管体１０の冷却面１４に向って流下する。
【００３１】
これによって、ブラインＲのジャケット１３内流通により０℃の低温に維持される冷却面１４の全面に、液体Ｑの薄い流下層がむらなく形成され、管体１０内を流通する排ガスＧはこの流下層を介して冷却され、この冷却により凝縮した蒸発成分は、直接冷却面１４に付着乃至固着することなく上記流下層と共に流下して排液口１５から排出される。
【００３２】
なお上記のように、貯液室２０の内周面２１上に形成された液体Ｑの流下層を、管体１０の内壁面部へと移流させて冷却面１４上に液体Ｑの流下層を形成させるので、上記移流によって冷却面１４上に液体Ｑの未流下部分を生じることなくむらなく液体Ｑの流下層が形成される範囲内であれば、内周面２１と冷却面１４とは同一直径寸法を有さなくても（略同径であれば）よいのである。
【００３３】
また液体噴出ノズル３３から噴出された液体Ｑの小滴群は、短円筒体３１の中心軸線３２付近を流通して管体１０内に流入する排ガスＧ中の蒸発成分に衝突・接触して該蒸発成分と共に落下して排液口１５から排出される。
【００３４】
上記のようにして排液口１５から排出された蒸発成分を含む液体Ｑは、貯留槽４１内に一時貯留後、還流送給手段５０により貯液室２０および液体噴出ノズル３３へと還流送給され、冷却面１４上の上記流下層形成およびガス流通路内への液体噴射用に循環使用される。このとき大粒子の固化乃至粘性液状となった蒸発成分はフィルタ４９により除去されるので、上記流下層の形成と新たな蒸発成分の流下回収および液体の噴射は支障なくおこなわれるが、長期間の使用により貯留槽４１内の貯留液中の蒸発成分量が過大となったときは、貯留液の一部あるいは全部を新しい液体Ｑと交換すればよい。このように液体Ｑは循環使用されるので、新しい液体Ｑのみを使用する場合に比べて、液体Ｑの使用量は少なくて済む。
【００３５】
以上のように、冷却面１４に沿って液体Ｑ（詳しくは蒸発成分を含む液体Ｑ）を流下させることにより、排ガス中の蒸発成分が冷却面１４に付着するのを防止でき、この付着による蒸発成分回収能力低下を生じることなく、蒸発成分をトラップ装置５で回収できるので、上記蒸発成分回収能力低下による未回収蒸発成分の後段側への排出によって二次トラップ装置６や真空ポンプ４の性能低下や損傷が発生するのを防止できる。
【００３６】
そして上記の液体Ｑの流下は、ガス流通路を包囲する形で該ガス流通路の外部に設けた貯液室２０から液体Ｑを液体流出口２６を経てガス流通路内へ流入させることによりおこなうようにしたので、液体Ｑ供給用の液体供給管類をガス流通路内（管体１０内）に設ける必要はなく、この液体供給管類への油類やタールの付着によるガス流通抵抗の増大などを生じることが一切なく、排ガスの流通に支障を生じることなく蒸発成分の回収をおこなうことができるのである。
【００３７】
なお上記の例における二次トラップ装置６は、蒸発成分の種類や真空ポンプ４の形式などによっては、省略したり真空ポンプ４の後段側に設けてもよく、この場合はトラップ装置５の後段側に直接真空ポンプ４が配置されるので、トラップ装置５からの未回収蒸発成分により真空ポンプ４の損傷を生じやすいが、この発明による上記の未回収蒸発成分の後段側への排出抑制作用により、上記真空ポンプ４の損傷を確実に防止できるのである。
【００３８】
また上記の例では、貯液室２０は管体１０のガス流入口１１側およびガス流出側１２の両方に設けたが、たとえばガス流入口１１側のみに設けてもよい。また管体１０が大径のものでない場合などは、液体噴出ノズル３３は省略してもよく、また排ガス管路３との断熱が不要の場合は、断熱材３７は省略してよい。また上記の貯液室２０においては、液体Ｑを液体流出口２６を溢流させて内周面２１側に供給するようにしたが、環状の液体流出口２６を上下巾の狭いスリット状としてこの液体流出口２６により絞られる形で液体Ｑを内周面２１側に流出させるようにしてもよく、この場合は仕切板２２は省略してもよい。
【００３９】
また上記の例の環状の液体流出口２６に代るものとして、この発明の実施の形態の第２例として図５に示すように、貯液室２０の第１例のように上部を切欠かれていない内周側側壁２７に、多数個の小穴７１を小間隔で放射状に穿設し、この小穴群によって液体流出口７０を構成してもよい。近接配置された各小穴７１から流出した液体Ｑは表面張力により拡流し、小距離流下した位置で内周面２１あるいは冷却面１４の全面をむらなく覆う流下層を形成する。なお図中、図４と同一または相当部分には、図４と同一符号を付してある。
【００４０】
また貯液室２０は上記の例のように管体１０の上側に設ける他、管体１０の上部管壁外周部を包囲する形で設け、液体流出口２６あるいは７０を前記上部管壁部を貫通する形で形成してもよく、この場合は管体１０の内壁面が貯液室２０の内周面２１に相当するものであり、内周面２１と冷却面１４とは同径となる。また液体供給装置としては、上記の還流式の液体供給装置４０の他、液体Ｑの新液のみを供給する液体供給装置を用いることもできる。
【００４１】
この発明は上記各例および変形例に限定されるものではなく、たとえば装置各部の具体的形状や液体Ｑは上記以外のものを使用してもよく、またトラップ装置の前後に配置される機器は上記以外のものであってもよい。またこの発明は、上記用途のトラップ装置のほか、たとえば真空焼結炉からの排ガス中の蒸発成分の回収用や、産業廃棄物の真空あるいは常圧加熱炉からの排ガス中の有用物質あるいは有害物質の回収用のトラップ装置など、各種用途のトラップ装置に広く適用できるものである。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、排ガスを冷却面により冷却して排ガス中の蒸発成分を回収するトラップ装置において、排ガスの流通に支障をきたすことなく冷却面全面に液体の流下層をむらなく形成して蒸発成分を確実・円滑に回収できる。
【００４３】
また上記の効果に加えて請求項４記載の発明によれば、液体噴出ノズルから噴出される液体の小滴によって、冷却面部により回収されずに管体内を通過する蒸発成分の捕集が促進され、蒸発成分の回収効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態の第１例を示す真空蒸発回収装置の構成図である。
【図２】図１の装置におけるトラップ装置の縦断面図である。
【図３】図２のＡ部拡大縦断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】この発明の実施の形態の第２例を示す図４相当図である。
【図６】従来の真空蒸発回収装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
３…排ガス管路、５…トラップ装置、１０…管体、１４…冷却面、１５…排液口、２０…貯液室、２１…内周面、２６…液体流出口、２８…下縁部、３３…液体噴出ノズル、３３ａ…噴出口、４０…液体供給装置、４１…貯留槽、４６…還流管路、４７…モータ、４８…ポンプ、５０…還流送給手段、７０…液体流出口、７１…小穴、Ｑ…液体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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