(57)【要約】【課題】    一方の基板を比較的軽い力で移動させて２枚の基板を精度よく位置合わせし、貼り合わされた２枚の基板の品質を向上させること。【解決手段】  それぞれ基板（３、４）が保持された下部保持テーブル（１５）と上部保持テーブル（１８）とを相対的に接近する方向に駆動し、これらの基板を、どちらか一方の基板に滴下された液晶（６）を介して接触させる。それによって、下部保持テーブル（１５）に保持された基板（３）を浮き上がらせる。つぎに、浮き上がった基板（３）を下部保持テーブル（１５）に当接させ、２枚の基板に、これら基板を貼り合わせるときの貼り合わせ荷重よりも小さな接触荷重を加え、これら基板の水平方向の位置合わせをする。そして、位置合わせされた２枚の基板に貼り合わせ荷重を加えてこれら基板をシール剤（５）により貼り合わせる。【選択図】    図１
2004199048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の基板のどちらかにシール剤が枠状に塗布され、２枚の基板のどちらかの上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が粒状に滴下されていて、これら２枚の基板に所定の貼り合わせ荷重を加えて上記シール剤により貼り合わせる貼り合わせ方法において、
一方の基板を下部保持テーブルに保持する工程と、
他方の基板を上記下部保持テーブルに対向して設けられた上部保持テーブルに保持する工程と、
上記下部保持テーブルと上記上部保持テーブルとを相対的に接近する方向に駆動する工程と、
２枚の基板を上記流体を介して接触させ上記流体の表面張力による上記２枚の基板を引き寄せる力によって上記一方の基板を上記下部保持テーブルから浮き上がらせる工程と、
浮き上がった一方の基板を上記下部保持テーブルに当接させ２枚の基板に上記貼り合わせ荷重よりも小さな接触荷重を加える工程と、
２枚の基板に接触荷重が加えられた状態で少なくとも一方の保持テーブルを水平方向に移動して２枚の基板を位置合わせする工程と、
位置合わせされた２枚の基板に上記貼り合わせ荷重を加えてこれら基板を上記シール剤により貼り合わせる工程と、
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ方法。
【請求項２】
上記基板に滴下された流体の高さは、上記シール剤の高さよりも高いことを特徴とする請求項１記載の基板の貼り合わせ方法。
【請求項３】
上記接触荷重は、接近した２枚の基板間に粒状の流体が押し潰されて充満せず、しかも上記シール剤によって２枚の基板が貼り合わされることがない状態で２枚の基板の間隔を維持する荷重であることを特徴とする請求項１記載の基板の貼り合わせ方法。
【請求項４】
２枚の基板のどちらかにシール剤が枠状に塗布され、２枚の基板のどちらかの上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら２枚の基板に所定の貼り合わせ荷重を加えて上記シール剤により貼り合わせる貼り合わせ装置において、
一方の基板を保持する下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルに対向して設けられ他方の基板を保持する上部保持テーブルと、
この上部保持テーブルを上記下部保持テーブルに対して接離する方向に駆動する駆動手段と、
上記駆動手段の駆動により２枚の基板が上記流体を介して上記貼り合わせ荷重よりも小さな接触荷重で接触された状態でこれら２枚の基板の水平方向の位置合わせをする位置合わせ手段と、
２枚の基板が上記接触荷重で接触したときに上記駆動手段を制御して上記上部保持テーブルの下降を停止するとともに、２枚の基板が上記位置合わせ手段によって位置合わせされたならば上記駆動手段を制御して上記基板に上記貼り合わせ荷重を加える制御手段とを具備し、
上記下部保持テーブルは、上記２枚の基板が上記流体を介して接触したときに上記流体の表面張力による上記２枚の基板を引き寄せる力によって生じる上記一方の基板を上記下部保持テーブルから浮き上がらせる力よりも弱い力で上記一方の基板を保持することを特徴とする基板の貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は２枚の基板を、これらの基板間に流体を介在させてシール剤によって貼り合わせる貼り合わせ方法及び貼り合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイパネルに代表されるフラットディスプレイパネルなどの製造工程では、２枚の基板を所定の間隔で対向させ、これら基板間に流体としての液晶を封入してシール剤によって貼り合わせる、貼り合わせ作業が行なわれる。
【０００３】
上記貼り合わせ作業においては、まず、２枚の基板のどちらかに上記シール剤を枠状に塗布し、その基板或いは他方の基板の上記シール剤の枠内に対応する部分に所定量の上記液晶を複数の粒状にして滴下供給する。
【０００４】
つぎに、上記２枚の基板を上部保持テーブルと下部保持テーブルとに保持し、上下方向に所定の間隔で離間させて対向させ、その状態でこれら基板の水平方向であるＸ、Ｙ及びθ方向の位置決めを行ない、ついでこれら基板を貼り合わせる。
【０００５】
２枚の基板の水平方向の位置合わせを行なう場合、位置合わせ精度はμｍ単位の高い精度が要求されるため、位置合わせ用のカメラとしては焦点深度が比較的浅い、高倍率のカメラが用いられる。
【０００６】
高倍率のカメラを用いて２枚の基板を位置合わせする場合、これら基板が上下方向に大きな間隔、たとえば２枚の基板が比較的大きな間隔で離間した状態で位置合わせを行なったのでは、高倍率のカメラの焦点深度内に２枚の基板を同時に位置させることができない。そのため、これら基板を高精度に位置決めすることができず、位置合わせ精度が低下するということがある。
【０００７】
そこで、２枚の基板を位置合わせする際には、これらの基板を貼り合わせ状態とほぼ同じ間隔まで接近させ、その状態で２枚の基板を高倍率のカメラで撮像し、その撮像結果に基づいて一方の基板をＸ、Ｙ及びθ方向に駆動して位置合わせするということが行なわれている。このような技術は、特許文献１に示されている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−５１２８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、２枚の基板を接近させすぎ、これら基板がシール剤に接触してしまうと、カメラの撮像結果に基づいて一方の基板を水平方向に移動させようとしても、上記シール剤の粘性抵抗によって基板を移動させるために必要とする力が増大するため、その粘性抵抗に抗して一方の基板を水平方向に精度よく、かつ円滑に移動させることができないということがある。
【００１０】
さらに、２枚の基板を接近させすぎると、シール剤によって２枚の基板が接着されるだけでなく、一方の基板に液滴状に滴下された液晶が押し潰され、２枚のこれら基板間に充満するため、２枚の基板は全面が液晶を介して密着することになる。そのため、液晶によって２枚の基板の密着力が増大するため、位置合わせの際に一方の基板を水平方向に移動させる抵抗も増大し、そのことによっても基板を精度よく、かつ円滑に位置合わせすることができないということがある。
【００１１】
この発明は、一方の基板を比較的軽い力で移動させて２枚の基板を精度よく位置合わせすることができ、貼り合わされた２枚の基板の品質を向上させることができるようにした基板の貼り合わせ方法及び貼り合わせ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、２枚の基板のどちらかにシール剤が枠状に塗布され、２枚の基板のどちらかの上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が粒状に滴下されていて、これら２枚の基板に所定の貼り合わせ荷重を加えて上記シール剤により貼り合わせる貼り合わせ方法において、一方の基板を下部保持テーブルに保持する工程と、他方の基板を上記下部保持テーブルに対向して設けられた上部保持テーブルに保持する工程と、上記下部保持テーブルと上記上部保持テーブルとを相対的に接近する方向に駆動する工程と、２枚の基板を上記流体を介して接触させ上記流体の表面張力による上記２枚の基板を引き寄せる力によって上記一方の基板を上記下部保持テーブルから浮き上がらせる工程と、浮き上がった一方の基板を上記下部保持テーブルに当接させ２枚の基板に上記貼り合わせ荷重よりも小さな接触荷重を加える工程と、２枚の基板に接触荷重が加えられた状態で少なくとも一方の保持テーブルを水平方向に移動して２枚の基板を位置合わせする工程と、位置合わせされた２枚の基板に上記貼り合わせ荷重を加えてこれら基板を上記シール剤により貼り合わせる工程と、を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ方法にある。
【００１３】
この発明は、２枚の基板のどちらかにシール剤が枠状に塗布され、２枚の基板のどちらかの上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら２枚の基板に所定の貼り合わせ荷重を加えて上記シール剤により貼り合わせる貼り合わせ装置において、一方の基板を保持する下部保持テーブルと、この下部保持テーブルに対向して設けられ他方の基板を保持する上部保持テーブルと、この上部保持テーブルを上記下部保持テーブルに対して接離する方向に駆動する駆動手段と、上記駆動手段の駆動により２枚の基板が上記流体を介して上記貼り合わせ荷重よりも小さな接触荷重で接触された状態でこれら２枚の基板の水平方向の位置合わせをする位置合わせ手段と、２枚の基板が上記接触荷重で接触したときに上記駆動手段を制御して上記上部保持テーブルの下降を停止するとともに、２枚の基板が上記位置合わせ手段によって位置合わせされたならば上記駆動手段を制御して上記基板に上記貼り合わせ荷重を加える制御手段とを具備し、上記下部保持テーブルは、上記２枚の基板が上記流体を介して接触したときに上記流体の表面張力による上記２枚の基板を引き寄せる力によって生じる上記一方の基板を上記下部保持テーブルから浮き上がらせる力よりも弱い力で上記一方の基板を保持することを特徴とする基板の貼り合わせ装置にある。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、一方の基板を比較的軽い力で移動させて２枚の基板を精度よく位置合わせすることができ、貼り合わされた２枚の基板の品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながらこの発明の一実施の形態を説明する。
【００１６】
図１はこの発明の一実施の形態に係る液晶ディスプレイパネルの組立て装置１を示す概略図である。この組立て装置１は、シール剤の塗布装置２を有する。この塗布装置２には液晶ディスプレイパネルを構成する第１、第２の基板３、４のうちの一方である、第１の基板３が供給される。
【００１７】
上記塗布装置２は、第１の基板３が供給載置されるテーブル及びこのテーブルの上方に配置された塗布ノズル（ともに図示せず）を有し、この塗布ノズルが上記第１の基板３に対して相対的にＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動されることで、この第１の基板３の内面（貼り合わされる側の面）には粘弾性材からなるシール剤５（図３に示す）が矩形枠状に塗布される。
【００１８】
シール剤５が塗布された第１の基板３は滴下装置７に供給される。この滴下装置７は第１の基板３が載置されるテーブル及びこのテーブルの上方に配置された滴下ノズル（ともに図示せず）を有し、この滴下ノズルが上記第１の基板３に対して相対的にＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動される。それによって、この第１の基板３の内面のシール剤５によって囲まれた領域内には流体としての複数の液滴状の液晶６が所定の配置パターン、たとえば行列状に滴下供給される。
【００１９】
ここで、上記第１の基板３に供給される液晶６の液滴の高さｈは、図３（ａ）に示すように、上記シール剤５の高さＨよりも高くなるよう設定される。つまり、第１の基板３に供給される液晶６の総量が決まれば、液滴の数によって一滴当たりの液晶６の量が決まるから、その量によって液晶６の一滴当たりの高さｈも決定される。したがって、第１の基板３に供給される液晶６の供給総量に応じて液滴の数を調整することで、ｈ＞Ｈとなるよう設定することが可能となる。
【００２０】
液晶６が滴下された第１の基板３は貼り合わせ装置１１に供給される。この貼り合わせ装置１１には上記第１の基板３とともに上記第２の基板４が供給される。そして、上記第１の基板３と第２の基板４とが後述するごとく位置決めされて貼り合わされる。それによって、一対の基板３、４が上記シール剤５によって貼り合わされ、これら基板３、４間に液晶６が密封されることになる。
【００２１】
上記貼り合わせ装置１１は図２に示すようにチャンバ１２を有する。このチャンバ１２内は減圧ポンプ１０によって所定の圧力、たとえば１Ｐａ程度に減圧されるようになっている。チャンバ１２の一側にはシャッタ１３によって開閉される出し入れ口１４が形成され、この出し入れ口１４から上記第１の基板３と第２の基板４とが出し入れされるようになっている。
【００２２】
上記チャンバ１２内には下部保持テーブル１５が設けられている。この下部保持テーブル１５はＸＹθ駆動源１６によってＸ、Ｙ及びθ方向に駆動されるようになっている。この下部保持テーブル１５の保持面１５ａ（上面）には、シール剤５が塗布されるとともに液晶６が滴下された上記第１の基板３が、液晶６が滴下された内面を上方に向けて供給される。保持面１５ａに供給された基板３は、外面（下面）がたとえば静電気力によって上記保持面１５ａに所定の保持力で保持される。
【００２３】
上記下部保持テーブル１５の上方には、駆動手段１７によって上記下部保持テーブル１５に対して接離するＺ方向に駆動される上部保持テーブル１８が配設されている。この上部保持テーブル１８の下面の保持面１８ａには、上記第２の基板４が外面を静電気力によって保持される。
【００２４】
なお、各保持テーブル１５、１８には複数の電極１５ｃ、１８ｃが設けられている。これら電極１５ｃ、１８ｃに図示しない電源によって給電すると、各保持テーブル１５、１８に基板３、４を保持する静電気力を発生させることができるようになっている。
【００２５】
上記駆動手段１７はＺ駆動モータ１９を有する。このＺ駆動モータ１９はブラケット２０を介して固定部２１に固定され、その回転軸２２にはねじ軸２３が連結されている。このねじ軸２３はコ字状をなした可動体２４の上辺２４ａに螺合されている。この上辺２４ａの先端部は上記ブラケット２０に上下方向に沿って設けられたリニアガイド２５にスライド可能に係合している。それによって、上記Ｚ駆動モータ１９の回転軸２２によって上記ねじ軸２３が回転駆動されれば、上記可動体２４が上記リニアガイド２５に沿って上下駆動されるようになっている。
【００２６】
上記可動体２４は、上記チャンバ１２の上部壁に設けられたシール機構２６によって気密かつ上下動可能な状態で上記チャンバ１２内に挿通されている。この可動体２４のコ字状の下辺２４ｂには、上記上部保持テーブル１８の上面に設けられたＬ字状の係止体３１が一辺を係合させている。上記可動体２４と係止体３１との係合面間には、上記駆動手段１７の可動体２４に加わる荷重を検出する、荷重検出手段としてのロードセル３２が設けられている。
【００２７】
上記ＸＹθ駆動源１６及び上記Ｚ駆動モータ１９は制御装置３４からの駆動信号によって駆動されるようになっている。上記ロードセル３２が検出する上記可動体２４に加わる荷重は上記制御装置３４に入力される。
【００２８】
上記チャンバ１２の底部壁には光学的に透明な窓３５が形成されている。この窓３５には高倍率の撮像カメラ３６が対向配置されている。この撮像カメラ３６は、第１の基板３と第２の基板４とを後述するごとく接近させたときに、上記下部保持テーブル１５に形成された透孔部３７を通じてこのテーブル１５上に保持された第１の基板３及び上記上部保持テーブル１８に保持された第２の基板４の各四隅部にそれぞれ形成された図示しない位置合わせマークを撮像する。
【００２９】
なお、図示しないが上記高倍率の撮像カメラ３６の近傍には倍率の低い粗位置合わせカメラが配置され、この粗位置合わせカメラを用いて離間した第１、第２の基板３、４を粗位置合わせすることができるようになっている。
【００３０】
上記撮像カメラ３６の撮像信号は画像処理部３８でデジタル信号に処理されてから上記制御装置３４に入力される。制御装置３４では、上記画像処理部３８からの信号に基づいて上記第１の基板３と第２の基板４との位置合わせマークの相対ずれ量、つまり第１の基板３と第２の基板４との水平方向のずれ量を算出する。
【００３１】
そして、制御装置３４が一対の基板３、４のずれ量を算出すると、そのずれ量に応じて上記ＸＹθ駆動源１６によって下部保持テーブル１５が駆動され、第１の基板３が第２の基板４に対して位置合わせされるようになっている。
【００３２】
つぎに、上記構成の貼り合わせ装置１１によって第１の基板３と第２の基板４とを貼り合わせる手順を図３（ａ）〜図３（ｅ）を参照しながら説明する。
【００３３】
図３（ａ）に示すように下部保持テーブル１５に第１の基板３を保持し、上部保持テーブル１８に第２の基板４を保持することで、これら基板３、４を所定の間隔で上下方向に離間対向させる。この状態で、第１の基板３と第２の基板４との四隅部を図示しない粗位置合わせカメラで撮像し、これら基板３、４のＸ、Ｙ、θ方向の粗位置合わせを行なう。
【００３４】
つぎに、駆動手段１７を作動させて上部保持テーブル１８を緩やかな速度でＺ方向下方へ駆動する。図３（ｂ）に示すように、第２の基板４が第１の基板３に接近すると、第２の基板４の下面は第１の基板３の上面に設けられたシール剤５と液晶６のうち、シール剤５の高さＨよりも高い高さｈで滴下された多数の液滴状の液晶６に接触する。液滴状の各液晶６は、毛細管現象によって図３（ａ）に示す半球形状の状態から図３（ｂ）に示す鼓形状に変形する。
【００３５】
その結果、鼓形状の液晶６は表面張力によって球形状に戻ろうとするから、その表面張力によって第１の基板３は第２の基板４に引き寄せられる。このとき、下部保持テーブル１５による第１の基板３の保持力とその基板３の自重とを加えた値が液晶６の表面張力よりも弱ければ、図３（ｃ）に示すように第１の基板３は下部保持テーブル１５から一時的に浮き上がる。
【００３６】
第２の基板４をその下面が液晶６に接触した状態から緩やかにさらに下降させると、第１の基板３は図３（ｄ）に示すように下部保持テーブル１５の上面に接触した後、多数の液滴状の液晶６が第２の基板４を保持した上部保持テーブル１８の重量を受ける。それによって、係止体３１を介して可動体２４に加わる上部保持テーブル１８の重量が低減する。
【００３７】
可動体２４に加わる重量が低減すると、可動体２４と係止体３１との係合面間に設けられたロードセル３２が検出する荷重も低減するから、そのときのロードセル３２からの検出信号の変化によって制御装置３４はＺ駆動モータ１９による上部保持テーブル１８の下降方向への駆動を停止する。
【００３８】
ロードセル３２が検出する荷重が変化したときに、上部保持テーブル１８の下降を停止すると、第２の基板４は、液滴状の液晶６をわずかに押し潰した状態で接触しているものの、図３（ｄ）に示すように液晶６が第１、第２の基板３、４間に充満することのない状態であって、しかも第２の基板４が第１の基板３に塗布されたシール剤５に接触することのない間隔となる、すなわち２枚の基板３、４に接触荷重が加えられた状態となっている。
【００３９】
つまり、ロードセル３２が検出する荷重の変化を頼りに駆動手段１７を停止させることによって、第１、第２の基板３、４には、これら基板３、４を貼り合わせる貼り合わせ荷重よりも小さな荷重、つまり接触荷重が加えられる。この接触荷重は、貼り合わせ荷重の４０〜５０％に設定される。たとえば、貼り合わせ荷重が２００ｋｇだとすると、接触荷重は８０〜１００ｋｇに設定される。
【００４０】
それによって、上述したごとく、第１、第２の基板３、４の間隔は、これらの基板３、４間の全体にわたって液晶６が充満せず、しかも第２の基板４がシール剤５に接触しない間隔に維持される。すなわち、液滴状の各液晶６は、図３（ａ）に示す半球形状の状態から図３（ｄ）に示す鼓形状に変形するものの、隣り合う液滴状の液晶６が一体化しない状態、つまり一対の基板３、４間の全体に液晶６が充満しない状態となっている。
【００４１】
このような状態であれば、液晶６による密着力が第１の基板３と第２の基板４との対向する全面にわたって発生することがないとともに、第２の基板４がシール剤５に接触することもないから、第１の基板３を第２の基板４に対して位置合わせする際に、第１の基板３を精密かつ円滑に動かすことが可能となる。
【００４２】
また、図３（ｃ）に示したように、第２の基板４が液晶６に接触して第１の基板３が下部保持テーブル１５から浮き上がる場合を考察すると、次の利点も有する。つまり、第１の基板３は、液晶６の表面張力による第１の基板３を引き寄せる力と、第１の基板３の自重とが釣り合う位置まで浮き上がることになる。そして、このときに形成される第１の基板３と第２の基板４との間隔を維持した状態で、上部保持テーブル１８はさらに下降する。そして、第１の基板３が下部保持テーブル１５に接し、接触荷重が加えられた時点で上部保持テーブル１８の下降動作は停止される。
【００４３】
そのとき、第１の基板３と第２の基板４との間隔は、上述したように既に液晶６の表面張力に見合った間隔を有している。そのため、第１の基板３が下部保持テーブル１５に接し、接触荷重が加えられたときに、２枚の基板３、４の間隔が液晶６の表面張力によってさらに狭められるようなことが防止される。したがって、２枚の基板３、４の間隔の減少によって接触荷重の減少や第１の基板３の浮き上がりが生じるのが防止されるから、２枚の基板３、４に接触荷重を確実に加えることができる。
【００４４】
したがって、この接触荷重によって、基板３、４間の全体に液晶６が充満することなく、液晶６による密着力が２枚の基板３、４の対向する全面にわたって発生することのない状態を確実に得ることができ、第１の基板３を下部保持テーブル１５によって、より精密かつ円滑に動かすことが可能となる。
【００４５】
第１、第２の基板３、４に接触荷重を加えた状態で、撮像カメラ３６によって第１の基板３と第２の基板４との四隅部に設けられた図示しない位置合わせマークを撮像する。撮像カメラ３６の撮像信号は画像処理部３８でデジタル信号に処理されて制御装置３４に入力される。それによって、制御装置３４はＸＹθ駆動源１６を作動させて下部保持テーブル１５を駆動し、第１の基板３を第２の基板４に対して高精度に位置合わせする。
【００４６】
位置合わせに際し、第１、第２の基板３、４に加えられる荷重は、上述したようにロードセル３２の検出信号によって接触荷重に維持されている。それによって、第２の基板４は、第１の基板３に塗布されたシール剤５に接触せず、しかも第１の基板３との対向面間の全体に液晶６が充満しない状態に維持される。
【００４７】
そのため、一対の基板３、４を撮像カメラ３６によって撮像して高精度に位置合わせするため、これら基板３、４を上記接触荷重によって十分に接近させて撮像カメラ３６の焦点深度内に位置させるようにしても、第２の基板４にシール剤５の接着力が作用したり、液晶６の密着力が第１の基板３と第２の基板４との対向する面の全体にわたって発生するということがない。その結果、第１の基板３を第２の基板４に対して比較的軽い力で円滑にＸ、Ｙ及びθ方向に移動させ、これら基板の位置合わせを高精度に行なうことができる。
【００４８】
すなわち、隣り合う液滴状の液晶６が一体化して一対の基板３、４間に充満すると、液晶６による密着力が基板３、４の対向面の全体に作用するため、その密着力が大きくなって第２の基板４に対し第１の基板３を水平方向に精度よく移動させることができなくなる。
【００４９】
しかしながら、位置合わせ時に基板３、４に加える荷重が接触荷重であると、隣り合う液滴状の液晶６が一体化して基板３、４間に充満することがないばかりか、第２の基板４がシール剤５に接触するということもない。そのため、第１の基板３を比較的少ない抵抗によって円滑に移動させることが可能となるから、これら基板３、４の位置合わせ精度を向上させることが可能となる。
【００５０】
このようにして、第１の基板３と第２の基板４との位置合わせが終了したならば、Ｚ駆動モータ１９が作動して上部保持テーブル１８がさらに下降し、第１、第２の基板３、４に、これら基板３、４を貼り合わせるための貼り合わせ荷重を加える。それによって、図３（ｅ）に示すように一対の基板３、４の間隔は位置合わせ時よりもさらに狭くなり、シール剤５によって一対の基板３、４が貼り合わされるとともに、これら基板３、４間に液晶６が充満することになる。
【００５１】
チャンバ１２内での基板３、４の貼り合わせが終了したならば、上部保持テーブル１８の静電気力を除去してから上部保持テーブル１８を上昇させた後、チャンバ１２内に気体を導入することで、一対の基板３、４は、気体導入後のチャンバ１２内の圧力と、基板３、４間の空間の圧力との差によって加圧される。それによって、一対の基板３、４はシール剤５によって確実に貼り合わされることになる。
【００５２】
上記実施の形態の貼り合わせ装置によれば、先に図３（ｃ）、図３（ｄ）を用いて説明したように、第１の基板３を第２の基板４に対して高精度に位置合わせすることができる。したがって、第１、第２の基板３、４を高い位置精度で貼り合わせることができ、２枚の基板３、４を貼り合わせて製造される液晶ディスプレイパネルの表示品質を向上させることができる。
【００５３】
また、２枚の基板３、４に接触荷重を確実に加えることができるので、下部保持テーブル１５による第１、第２の基板３、４の位置合わせ作業中における接触荷重のフィードバック制御等を省くことができ、駆動手段１７の制御の簡素化を図ることが可能となる。
【００５４】
この発明は上記一実施の形態に限定されず、たとえば一対の基板３、４の貼り合わせを大気中で行なう場合であっても、この発明を適用することができる。また、第１の基板３にシール剤５を塗布するとともに、液晶６を滴下供給したが、一方の基板にシール剤を塗布し、他方の基板に液晶を供給するようにしてもよい。
【００５５】
また、一対の基板３、４を位置合わせするとき、第２の基板４が液晶６には接触するが、シール剤５に接触しない状態で行なうようにしたが、シール剤５の粘度が小さければ、粘性抵抗が小さいから、第２の基板４がシール剤５に接触した状態であっても、これら基板３、４を位置合わせすることが可能である。
【００５６】
また、第１の基板３を下部保持テーブル１５に静電気力によって保持するようにしたが、下部保持テーブル１５の上面にゴムなどの弾性シートを貼着し、その弾性シートの摩擦力によって第１の基板３を下部保持テーブル１５上で保持面１５ａに沿う方向において移動不能に保持するようにしてもよい。この弾性シートは下部保持テーブル１５とほぼ同じ大きさであってもよく、或いは複数のブロックに分割されていてもよい。
【００５７】
下部保持テーブル１５の上面に弾性シートを設け、静電吸着や真空吸着、或いは機械的な吸着手段を用いずに第１の基板３を保持した場合、上部保持テーブル１８の下降によって第２の基板４が液晶６に接触し、液晶６の表面張力による引き寄せる力が加わったとき、第１の基板３は下部保持テーブル１５から容易に浮き上がる。
【００５８】
したがって、第１の基板３を下部保持テーブル１５に静電気力によって吸着した場合に比べ、液晶６の表面張力による２枚の基板３、４の間隔を狭めようとする力を確実に弱めることができる。そのため、接触荷重が加えられ上部保持テーブル１８の下降が停止されたとしても、その後で、２枚の基板３、４の間隔が液晶６の表面張力によって狭められることが防止でき、２枚の基板３、４の間隔の減少によって生じる接触荷重の減少や第１の基板３の浮き上がりが防止できる。
【００５９】
よって、２枚の基板３、４に接触荷重をより確実に加えることができるものとなる。その結果、２枚の基板３、４の間隔は、上記接触荷重によって基板３、４間の全体にわたって液晶６が充満することなく、液晶６による密着力が２枚の基板３、４の対向する全面にわたって発生することのない状態に確実に維持される。
【００６０】
したがって、下部保持テーブル１５に弾性シートを貼着した場合には、第１の基板３を静電気力によって下部保持テーブル１５に吸着した上記実施の形態に比べ、２枚の基板３、４を接近させて位置合わせするときに、下部保持テーブル１５をより精密かつ円滑に動かすことが可能となる。
【００６１】
また、２枚の基板３、４の位置合わせを行なうときには、第１の基板３と弾性シートとの間の摩擦力と、第１の基板３を弾性シートに押し付ける力（接触荷重）とによって、下部保持テーブル１５の移動方向に対する第１の基板３の保持力を得ている。そのため、静電吸着、或いは真空吸着による保持機構や機械的な保持機構を設けなくとも、位置合わせを行なうことができる。これにより、装置構成の簡素化を図ることができ、操作性を向上させること、および保守管理を容易にすることができる。
【００６２】
このとき、弾性シートは、基板３と弾性シートの間で、位置合わせのときに基板３、４間に作用する抵抗よりも大きな摩擦力が得られる部材とすることが必要である。
【００６３】
なお、上述において、弾性シートの表面（保持面）には、第１の基板３と弾性シートとが離れ易くなるように、弾性シートは非粘着性の材質のもの、或いは表面に粘着力を低減させる加工を施したものを用いることが好ましい。
【００６４】
また、弾性シートと静電吸着又は真空吸着による保持機構を併用する場合であっても、上部保持テーブル１８に設ける静電チャックなどの保持機構よりも吸着力の小さなものを用いるか、少なくとも上部保持テーブル１８の下降開始から接触荷重が加えられて上部保持テーブル１８が下降を停止するまでの間で保持機構を作用させなければ、上述と同じ効果を得ることが可能である。
【００６５】
なお、この発明においては、シール剤を第２の基板４または両方の基板３、４に塗布しても差し支えなく、さらに液晶６も第２の基板４または両方の基板３、４に滴下してもよい。
【００６６】
上部保持テーブル１８に駆動手段１７を設けるようにしたが、下部保持テーブル１５に設けるようにしてもよく、さらに両方の保持テーブルに設けるようにしてもよい。
【００６７】
荷重検出手段としてのロードセル３２を駆動手段１７に設けたが、これに限らず、たとえば下部保持テーブル１５とＸＹθ駆動源１６との間に設けるようにしてもよく、要は貼り合わされる２枚の基板３、４に加えられる荷重が検出できる状態に設けられていればよい。
【００６８】
以上のようにこの発明によれば、２枚の基板を接近させて位置合わせする際に、これ基板間に発生する液晶の抵抗を低減できるため、その位置合わせを円滑かつ精密に行なうことが可能となり、貼り合わされた２枚の基板の品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】図１はこの発明の一実施の形態に係る液晶ディスプレイパネルの組立て装置の概略図。
【図２】図２は一対の基板を貼り合わせる貼り合わせ装置の概略的構成を示す断面図。
【図３】図３（ａ）〜図３（ｅ）は一対の基板を貼り合わせる手順を示す説明図。
【符号の説明】
【００７０】
１  組立て装置
２  塗布装置
３  第１の基板
４  第２の基板
５  シール剤
６  液晶
７  滴下装置
１１  貼り合わせ装置
１５  下部保持テーブル
１５ａ  保持面
１６  ＸＹθ駆動源
１７  駆動手段
１８  上部保持テーブル
１８ａ  保持面
１９  Ｚ駆動モータ
３１  係止体
３２  ロードセル（荷重検出手段）
３４  制御装置
３６  撮像カメラ
３８  画像処理部
【図１】
2004199048.tif 000003
【図２】
2004199048.tif 000004
【図３】
2004199048.tif 000005