(57)【要約】【課題】浮遊塵による誤検出の発生を防止して、線状体表面の凹凸を精度良く検出する。【解決手段】本発明の線状体の凹凸検出装置は、走行する光ファイバ心線５に対してレーザ光１３を投光する投光器１０と、投光器１０から投光したレーザ光１３を受光する受光器１１とを備え、さらに、投光器１０から受光器１１までの検出空間３の周囲を覆うカバー２０と、検出空間３にクリーンエアーを供給する供給手段２４（供給管２５、コンプレッサ２６、フィルタ２７）とを備え、カバーには、供給管２５に連通された給気孔２２と、光ファイバ心線５を挿通させるスリット２１とが設けられている。【選択図】　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行する線状体に対して光を投光し、該投光した光を受光して線状体表面の凹凸を光学的に検出する線状体の凹凸検出方法において、
前記投光及び前記受光を行う検出空間を、清浄気体によって陽圧の状態に維持することを特徴とする線状体の凹凸検出方法。
【請求項２】
前記検出空間において前記線状体が走行する方向の少なくとも上流側と下流側に、前記清浄気体のエアカーテンを形成することを特徴とする請求項１に記載の線状体の凹凸検出方法。
【請求項３】
前記エアカーテンの流れを、前記線状体に直接当たらないように分岐させることを特徴とする請求項２に記載の線状体の凹凸検出方法。
【請求項４】
走行する線状体に対して光を投光する投光部と、該投光部から投光した光を受光する受光部とを備え、線状体表面の凹凸を光学的に検出する装置において、
前記投光部及び前記受光部を含む検出空間を覆うカバーと、前記検出空間に清浄気体を供給する供給手段とを備え、
前記カバーには、前記供給手段に連通された給気部と、前記線状体を挿通させる挿通部とが設けられていることを特徴とする線状体の凹凸検出装置。
【請求項５】
前記給気部の開口が、前記線状体に対向しないように分岐して設けられていることを特徴とする請求項４に記載の線状体の凹凸検出装置。
【請求項６】
前記線状体と該線状体に対向する前記給気部の開口との間に、前記清浄気体の流れを妨げる遮蔽部材が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の線状体の凹凸検出装置。
【請求項７】
前記遮蔽部材は、メッシュ部材であることを特徴とする請求項６に記載の線状体の凹凸検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、線状体の凹凸検出方法及び凹凸検出装置に関し、さらに詳しくは、走行する線状体に対して光を投光し、投光した光を受光して線状体表面の凹凸を光学的に検出する線状体の凹凸検出方法及び凹凸検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバの製造は、ガラス母材を加熱して線引きする線引き工程と、線引きして作製した光ファイバに、樹脂の被覆を行う被覆工程とがある。
この線引き工程及び被覆工程によって被覆された線状体、例えば、光ファイバに一次被覆を施した光ファイバ素線や、着色層が被覆された光ファイバ心線等の外周には、局所的に微小の凹凸が発生することがある。このような凹凸があると、次の着色工程やテープ化工程にて、凹凸による異物がダイス穴に詰まってしまうことがある。その場合、塗布不良や線状体の断線等の不具合が発生するため、この凹凸を検出する必要がある。
そこで、線状体の凹凸を光学的に検出する検出装置が用いられており、その検出方法は、散乱光式や投影式と呼ばれる２種類に分類される。
【０００３】
従来用いられている散乱光式による凹凸検出の様子を図５に示す。
図５に示す凹凸検出装置５０は、軸方向（図面垂直方向）に走行する光ファイバ心線５６を、投光器５２及び受光器５３を含む検出空間５１のほぼ中央に配置して、投光器５２から光ファイバ心線５６に対して帯状にレーザ光５４を投光する。光ファイバ心線５６は、例えば着色層が被覆されており、レーザ光５４が被覆に当たって散乱され、その散乱光５５が２つの受光器５３によって受光される。
被覆表面に凹凸がないときには受光器５３によって受光される散乱光５５が一定量であるが、凹凸のある被覆部分が検出空間５１に進入すると、受光器５３に受光される散乱光５５の光量が変化して、凹凸の存在を検出することができる。
【０００４】
また、従来用いられている投影式による凹凸検出の様子を図６に示す。
図６に示す凹凸検出装置６０は、軸方向（図面垂直方向）に走行する光ファイバ心線６５を、投光器６２及び受光器６３を含む検出空間６１の中央に配置して、２つの投光器６２から光ファイバ心線６５に対して帯状にレーザ光６４を投光する。１つの投光器６２に対して１つの受光器６３が対向するように配置され、受光器６３は光ファイバ心線６５の周囲を通過したレーザ光６４を受光する。
光ファイバ心線６５は、例えば着色層が被覆されており、この被覆表面に凹凸がないときには受光器６３に受光されるレーザ光６４が一定量であるが、凹凸のある被覆部分が検出空間６１に進入すると、光ファイバ心線６５によって遮蔽される光量が変化するので、受光器６３に受光されるレーザ光６４の光量が変化して、凹凸の存在を検出することができる。
【０００５】
また、この投影式を利用した凹凸検出方法として、線状体に遮蔽された影の部分から、その線状体の径方向の両端位置を検出して、両端位置の変化に基づいて凹凸を検出する方法が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の凹凸検出方法では、投光器と受光器の間の、光が通過する検出空間に塵等の浮遊物が存在した場合、浮遊物によって光が遮られたり散乱したりするので、受光される光量が変化してしまう。そのため、この光量の変化を線状体表面の凹凸として誤検出してしまう恐れがあった。
また、凹凸を検出した場合には、品質管理の面から鑑みて、その部分を切断除去していた。そのため、誤検出が発生した場合には本来除去すべきではない部分を切断除去してしまい、製品の生産性が低下してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、浮遊塵による誤検出の発生を防止することができ、線状体表面の凹凸を精度良く検出できる線状体の凹凸検出方法及び検出装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の請求項１に係る線状体の凹凸検出方法は、走行する線状体に対して光を投光し、投光した光を受光して線状体表面の凹凸を光学的に検出する線状体の凹凸検出方法において、投光及び受光を行う検出空間を、清浄気体で陽圧の状態に維持することを特徴とする。
【０００９】
請求項１に記載の線状体の凹凸検出方法によれば、投光及び受光を行う検出空間が、清浄気体によって陽圧に維持されるので、検出空間より気圧の低い外側の空間から検出空間内に気体が流入しない。
したがって、外気の浮遊塵が検出空間に侵入することがなく、投光及び受光する光が線状体以外の浮遊塵等の外乱によって遮られたり散乱されたりすることがない。これにより、受光する光量は線状体の凹凸のみによって変化するので、浮遊塵による誤検出を引き起こすことがなく、線状体の凹凸を精度良く検出することができる。
検出空間を清浄気体で陽圧に維持する手段としては、検出空間をカバーで覆って清浄気体を供給したり、検出装置全体をカバーで覆って清浄気体を供給したり、もしくはカバーを用いずに清浄気体を検出空間に供給することが挙げられる。
なお、清浄気体とは、検出すべき凹凸以上の大きさを有する塵埃を除去した気体であり、空気や窒素を清浄化したものが通常用いられる。
また、検出空間が陽圧の状態とは、検出空間内の気圧が、検出空間の外側の気圧より高い状態を指す。
【００１０】
また、上記目的を達成するための本発明の請求項２に係る線状体の凹凸検出方法は、請求項１に記載の線状体の凹凸検出方法であって、検出空間において線状体が走行する方向の少なくとも上流側と下流側に、清浄気体のエアカーテンを形成することを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の線状体の凹凸検出方法によれば、検出空間における少なくとも上流側と下流側に、清浄気体のエアカーテンが形成されるので、線状体の走行によって検出空間の外側の空間から塵や外気が検出空間に侵入することを防止することができる。したがって、浮遊塵による誤検出を引き起こすことを確実に防止できるので、線状体の凹凸を精度良く検出することができる。
【００１２】
また、上記目的を達成するための本発明の請求項３に係る線状体の凹凸検出方法は、請求項２に記載の線状体の凹凸検出方法であって、エアカーテンの流れを、線状体に直接当たらないように分岐させることを特徴とする。
【００１３】
請求項３に記載の線状体の凹凸検出方法によれば、エアカーテンの流れが、走行する線状体に対して直接当たらないように分岐されるので、エアカーテンが直接当たることによって起こる恐れのある、線状体の走行の不安定化を回避することができる。したがって、走行する線状体を安定した状態に保って、精度の良い凹凸検出を行うことができる。
【００１４】
また、上記目的を達成するための本発明の請求項４に係る線状体の凹凸検出装置は、走行する線状体に対して光を投光する投光部と、投光部から投光した光を受光する受光部とを備え、線状体表面の凹凸を光学的に検出する装置において、投光部及び受光部を含む検出空間の周囲を覆うカバーと、検出空間に清浄気体を供給する供給手段とを備え、カバーには、供給手段に連通された給気部と、線状体を挿通させる挿通部とが設けられていることを特徴とする。
【００１５】
請求項４に記載の線状体の凹凸検出装置によれば、投光部から受光部までの検出空間の周囲がカバーで覆われて、さらに清浄気体を検出空間に供給するので、清浄気体によって検出空間を陽圧の状態に維持することができる。
したがって、検出空間より気圧の低い外側の空間から検出空間内に気体が流入しないので、外気の浮遊塵が検出空間に侵入することがなく、投光及び受光する光が線状体以外の浮遊塵等の外乱によって遮られたり散乱されたりすることがない。これにより、受光する光量は線状体の凹凸のみによって変化するので、浮遊塵による誤検出を引き起こすことがなく、線状体の凹凸を精度良く検出することができる。
【００１６】
また、上記目的を達成するための本発明の請求項５に係る線状体の凹凸検出装置は、請求項４に記載の線状体の凹凸検出装置であって、給気部の開口が、線状体に対向しないように分岐して設けられていることを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載の線状体の凹凸検出装置によれば、給気部の開口が線状体と対向しないように分岐しているので、検出空間に給気される清浄気体の流れが線状体に直接当たることによって起こる恐れのある、線状体の走行の不安定化を回避することができる。したがって、走行する線状体を安定した状態に保って、精度の良い凹凸検出を行うことができる。
【００１８】
また、上記目的を達成するための本発明の請求項６に係る線状体の凹凸検出装置は、請求項４に記載の線状体の凹凸検出装置であって、線状体と線状体に対向する給気部の開口との間に、清浄気体の流れを妨げる遮蔽部材が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
請求項６に記載の線状体の凹凸検出装置によれば、線状体と線状体に対向する給気部の開口との間に清浄気体の流れを妨げる遮蔽部材が設けられているので、検出空間に給気される清浄気体の流れが線状体に直接当たることによって起こる恐れのある、線状体の走行の不安定化を回避することができる。したがって、走行する線状体を安定した状態に保って、精度の良い凹凸検出を行うことができる。
【００２０】
また、上記目的を達成するための本発明の請求項７に係る線状体の凹凸検出装置は、請求項６に記載の線状体の凹凸検出装置であって、遮蔽部材は、メッシュ部材であることを特徴とする。
【００２１】
請求項７に記載の線状体の凹凸検出装置によれば、遮蔽部材としてメッシュ部材を用いる。メッシュ部材は通気性を有するので、給気される清浄気体の流れを完全に遮ることがなく、検出空間内の全域にほぼ一様な清浄気体の流れを形成することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る線状体の凹凸検出方法及び検出装置の実施の形態を図１〜４に基づいて説明する。図１は、本発明の線状体の凹凸検出装置の概略を示す斜視図、図２は図１に示した凹凸検出装置の要部模式図、図３は図１に示した凹凸検出装置の第１変形例を示す模式図、図４は図１に示した凹凸検出装置の第２変形例を示す模式図である。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態の線状体の凹凸検出装置１は、走行している線状体である光ファイバ心線５が、本体２によって囲まれるように形成された検出空間３の中央に位置するように設けられている。光ファイバ心線５は、線引き工程によって作製された光ファイバに複数の樹脂層が被覆されており、さらにその外周に着色層が被覆された構成である。この着色層は、例えば７μｍの厚さで被覆されている。このような光ファイバ心線の場合、表面に生じる一般的な凹凸は、高さが数μｍ〜数十μｍである。
【００２４】
本実施形態の凹凸検出装置１は、投影式の検出装置であり、２つの投光器１０から光ファイバ心線５に対して帯状にレーザ光１３を投光する。また、１つの投光器１０に対してそれぞれ１つの受光器１１が対向するように配置され、受光器１１は光ファイバ心線５の周囲を通過したレーザ光１３を受光する。したがって、受光器１１は、投光器１０から投光した光のうち、光ファイバ心線５によって遮られた光の分だけ少ない光量を受光する。
【００２５】
また、本体２の内部には、受光器１１に接続された判別手段（図示せず）が設けられている。この判別手段は、受光器１１に受光された受光量のデータを継続して読み取るとともに、その直前までの一定時間に蓄積された受光量の平均値を算出し、読み取り値との差分を演算する。この差分量が予め設定された一定量を超えた時に、凹凸検出の信号を出力する。
なお、前述したように、光ファイバ心線の表面に生じる一般的な凹凸の高さは数μｍ〜数十μｍであるので、本実施形態では、この凹凸高さに合わせて凹凸検出の信号を出力するように設定されている。
【００２６】
投光された光ファイバ心線５の表面に凹凸が無いときには、受光器１１によって受光されるレーザ光１３が一定量であるが、表面に凹凸のある部分が検出空間３に進入して投光されると、光ファイバ心線５によって遮蔽される光量が変化する。これにより、受光器１１に受光されるレーザ光１３の光量が変化して、凹凸の存在を検出することができる。
【００２７】
また、図１及び図２に示すように、本実施形態の凹凸検出装置１は、検出空間３の上流側、下流側、上側の三方向を覆うカバー２０を備えている。カバー２０は、３つの平板からなり、図中上方から本体２に装着されるものである。
また、上流側と下流側の平板には、装着時に光ファイバ心線５と干渉しないように、挿通部であるスリット２１が形成されている。さらに、カバー２０の上面には、後述する供給手段から検出空間３にエアーを給気するための給気部である給気孔２２が形成されている。
【００２８】
さらに、カバー２０の上面には、供給管２５が、給気孔２２に連通するように接続されている。供給管２５は、検出空間３にエアーを供給するための供給手段２４の一部をなすものである。また、この供給手段２４はさらにコンプレッサ２６と、エアーを清浄化するフィルタ２７とを備えており、コンプレッサ２６からフィルタ２７を通して空気の塵埃を除去して、さらに供給管２５を通して検出空間３にクリーンエアーを供給する。また、供給管２５は、流量調節弁２８を備えており、供給するエアーの流量を調節することが可能である。
なお、上述したように、受光量の変化から光ファイバ心線５の表面の凹凸を判別する判別手段は、凹凸の高さが数μｍ〜数十μｍのときに凹凸検出の信号を出力するように設定されている。したがって、フィルタ２７は数μｍ〜数十μｍの塵埃を除去できるように構成される。
【００２９】
また、給気孔２２と光ファイバ心線５との間には、遮蔽部材であるメッシュ部材２３が設けられており、給気孔２２から流入したクリーンエアーが光ファイバ心線５に直接当たらないように、クリーンエアーの流れを分岐させている。したがって、クリーンエアーの流れが光ファイバ心線５に直接当たることによって起こる恐れのある、光ファイバ心線５の走行の不安定化を回避することができる。これにより、走行する光ファイバ心線５を安定した状態に保って、精度の良い凹凸検出を行うことができる。
また、遮蔽部材として平板を用いることでクリーンエアーの流れを分岐させても良いが、メッシュ部材２３は若干の通気性を有するので、クリーンエアーの流れを完全に遮ることがなく、検出空間３内の全域に図中上方から下方へ向かうクリーンエアーの流れを形成することができる。
【００３０】
このような構成により、検出空間３内に上方からクリーンエアーを供給して、検出空間３内の気圧が陽圧になるとともに、上方から下方への流れを有するエアカーテンが形成される。このエアカーテンは、検出空間３において光ファイバ心線５が走行する方向の上流側と下流側を含んだ、カバー２０内のほぼ全域にわたって形成されている。
エアカーテンは、検出空間３への外気の流入を遮断することができるので、スリット２１から検出空間３内に浮遊塵が侵入するのを防ぐことができる。また、検出空間３内が陽圧となっているので、スリット２１から外側に向かってクリーンエアーが常時流出して、検出空間３内に浮遊塵が侵入するのを効果的に防ぐことができる。
【００３１】
上述した実施形態の凹凸検出装置１においては、供給管２５から流入したクリーンエアーを光ファイバ心線５に直接当てないようにする手段として、メッシュ部材２３を設けていたが、他の手段を用いることも可能である。
例えば、図３に示す第１変形例の凹凸検出装置３０のように、給気部を上述した給気孔２２とする代わりに、光ファイバ心線５の軸線に対して直交する、横手方向に分岐させた二又給気口３１のように構成しても良い。
二又給気口３１は、供給管２５と連通するように設けられており、供給管２５から供給されるクリーンエアーを横方向に分岐させて検出空間３内に給気する。したがって、給気したクリーンエアーを光ファイバ心線５に直接当てることがない。この二又給気口３１を設けることにより、前述したメッシュ部材２３や平板などの遮蔽部材を設けずに、走行する光ファイバ心線５を安定した状態に保つことができる。
【００３２】
また、上述した実施形態の凹凸検出装置１においては、カバー２０に光ファイバ心線５を挿通させる挿通部をスリット２１としたが、図４に示す第２変形例の凹凸検出装置４０のように、光ファイバ心線５の断面より僅かに広い開口面積を有する挿通孔４１とすることも可能である。挿通孔４１は、前述したスリット２１に比べて、挿通部の開口面積を狭くすることができるので、検出空間３を陽圧に保ちやすく、外気の侵入をより効果的に防ぐことができる。
【００３３】
なお、上述した実施の形態では、投影式の凹凸検出装置を用いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、散乱光式や外径測定方式の凹凸検出装置を用いることは当然可能である。
【００３４】
（実施例）
以下に、本発明に係る実施例について説明する。
検出空間を覆うカバーや、カバー内に設けられた遮蔽部材の態様を変えた５種類の線状体の凹凸検出装置を用いて、光ファイバ心線の凹凸検出を実施し、検出頻度の比較評価を行った。また、カバーや清浄気体を用いない、従来の凹凸検出装置による光ファイバ心線の凹凸検出を行い、本発明に係る実施例と比較評価した。
なお、第１〜第５実施例、及び従来の比較例に用いた凹凸検出装置は、投影式の凹凸検出装置であり、検出対象である光ファイバ心線は、最外層に７μｍの着色層が被覆された外径０．２５ｍｍのものである。また、第１〜第５実施例において用いた清浄気体は、少なくとも数μｍ〜数十μｍの塵埃を除去した空気である。
【００３５】
本発明に係る第１実施例の凹凸検出装置は、図１及び図２に示すように、上記実施形態において示した凹凸検出装置１とほぼ同じ態様のものである。凹凸検出装置１と異なる点は、カバー２０内に遮蔽部材であるスリット２３が設けられていないことのみである。したがって、第１実施例の凹凸検出装置は、供給手段２４から検出空間３内に供給されるクリーンエアーの流れが光ファイバ心線５に直接当たるように構成されている。
【００３６】
また、第２実施例の凹凸検出装置は、図１及び図２に示すように、上記実施形態において示した凹凸検出装置１と全く同じ態様のものである。したがって、第２実施例の凹凸検出装置は、供給手段２４から検出空間３内に供給されるクリーンエアーの流れがメッシュ部材２３によって分岐されるように構成されている。
【００３７】
また、第３実施例の凹凸検出装置は、図１及び図２に示すように、上記実施形態において示した凹凸検出装置１とほぼ同じ態様のものである。凹凸検出装置１と異なる点は、カバー２０内に設けられた遮蔽部材が、スリット２３ではなく平板であることのみである。したがって、第３実施例の凹凸検出装置は、供給手段２４から検出空間３内に供給されるクリーンエアーの流れが平板によって完全に分岐されるように構成されている。
【００３８】
また、第４実施例の凹凸検出装置は、図３に示すように、上記実施形態の第１変形例において示した凹凸検出装置３０と全く同じ態様のものである。したがって、第４実施例の凹凸検出装置は、供給手段２４から検出空間３内に供給されるクリーンエアーの流れが二又給気口３１によって完全に分岐されるように構成されている。
【００３９】
また、第５実施例の凹凸検出装置は、図４に示すように、上記実施形態において示した凹凸検出装置４０とほぼ同じ態様のものである。すなわち、光ファイバ心線５を挿通させる挿通部として、挿通孔４１が設けられているため、上記の第１〜第４実施例と比べて、外気が検出空間３内に侵入しにくい構成となっている。また、凹凸検出装置４０と異なる点は、カバー２０内に遮蔽部材であるスリット２３が設けられていないことのみである。したがって、第５実施例の凹凸検出装置は、供給手段２４から検出空間３内に供給されるクリーンエアーの流れが光ファイバ心線５に直接当たるように構成されている。
【００４０】
また、比較例の凹凸検出装置は、図６に示すように、従来の凹凸検出装置６０と全く同じ態様のものである。したがって、比較例の凹凸検出装置は、検出空間の気体が外気と同等のものである。
【００４１】
上述した第１〜第５実施例、及び比較例の凹凸検出装置を用いて、同条件で作製した光ファイバ心線を、それぞれの凹凸検出装置内に５０００ｋｍ以上走行させて凹凸検出を行った。１０００ｋｍあたりの検出頻度の結果を［表１］に示す。
【００４２】
【表１】
2004012414.tif 000003
【００４３】
［表１］の結果から分かるように、本発明に係る第１〜第５実施例は、比較例に比べて凹凸検出頻度が明らかに少なくなっており、浮遊塵による誤検知の発生を防止でき、光ファイバ心線の凹凸を精度良く検出することができた。
また、第１〜第４実施例を比較すると、第１実施例に対して第２〜第４実施例の検出頻度が少なく、気体の流れを光ファイバ心線に直接当てないようにすることで、光ファイバ心線の走行の不安定化による誤検知を少なくできたことが分かる。特に、メッシュ部材を用いた第２実施例では最も検出頻度が少なくなっている。メッシュ部材によって、検出空間内の全域に略一様な気体の流れを形成して、光ファイバ心線の走行を最も安定させることができたと考えられる。
また、第１実施例と第５実施例を比較すると、第５実施例は検出頻度が少なくなっている。第５実施例では、光ファイバ心線を挿通させる挿通部を挿通孔としたことで開口面積が狭くなり、外気の侵入をより効果的に防ぐことができたと考えられる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の線状体の凹凸検出方法及び凹凸検出装置によれば、投光及び受光を行う検出空間が、清浄気体によって陽圧に維持されるので、検出空間より気圧の低い外側の空間から検出空間内に気体が流入しない。
したがって、外気の浮遊塵が検出空間に侵入することがなく、投光及び受光する光が線状体以外の浮遊塵等の外乱によって遮られたり散乱されたりすることがない。これにより、受光する光量は線状体の凹凸のみによって変化するので、浮遊塵による誤検出を引き起こすことがなく、線状体の凹凸を精度良く検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の線状体の凹凸検出装置の概略を示す斜視図である。
【図２】図１に示した凹凸検出装置の要部模式図である。
【図３】図１に示した凹凸検出装置の第１変形例を示す模式図である。
【図４】図１に示した凹凸検出装置の第２変形例を示す模式図である。
【図５】従来の散乱光式による凹凸検出の様子を示す模式図である。
【図６】従来の投影式による凹凸検出の様子を示す模式図である。
【符号の説明】
１　　凹凸検出装置
２　　本体
３　　検出空間
５　　光ファイバ心線（線状体）
１０　投光器（投光部）
１１　受光器（受光部）
１３　レーザ光
２０　カバー
２１　スリット（挿通部）
２２　給気孔（給気部）
２３　メッシュ部材
２４　供給手段
２５　供給管
２６　コンプレッサ
２７　フィルタ
２８　流量調節弁
３０　凹凸検出装置（第１変形例）
３１　二又給気口（給気部）
４０　凹凸検出装置（第２変形例）
４１　挿通孔（挿通部）
【図１】
2004012414.tif 000004
【図２】
2004012414.tif 000005
【図３】
2004012414.tif 000006
【図４】
2004012414.tif 000007
【図５】
2004012414.tif 000008
【図６】
2004012414.tif 000009