(57)【要約】【課題】ボールねじのナットにモーメント荷重が負荷されてもボールねじに振動およびノイズが発生するのを抑制すると共に、高伝達効率を維持して操舵フィーリングの向上を図った電動パワーステアリング装置を提供すること。【解決手段】ケース４と、ラック軸１と、ステアリングホイールからの回転力をラック軸１の軸方向移動力に変換する変換機構と、ラック軸１の一部となるねじ軸に複数のボール６を介して外嵌されたナット５とからなるボールねじ７と、操舵力をアシストする電動モータ１０と、ナット５に外嵌され、ケース４に対してナット５を回転自在に、かつ軸方向移動不可に支承する一対の転がり軸受８、９とを備え、電動モータ１０の出力をタイミングベルト１２を介してナット５に伝達すると共に、タイミングベルト１２を挟んで一対の転がり軸受８、９を配設してナット５を両持ち支持した。【選択図】      図１
2004338537.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円筒状をなすケースと、このケースに貫通し、車輪を操舵する操舵機構に連結された操舵軸と、ステアリングホイールからの回転力を、前記操舵軸を長手方向に移動させるための力に変換する変換機構と、前記操舵軸の一部がねじ軸となり、このねじ軸に複数のボールを介して外嵌されたナットとからなるボールねじと、前記操舵軸と略平行に並設され、前記ステアリングホイールの操舵力をアシストする電動モータと、前記ボールねじのナットに外嵌され、前記ケースに対して当該ナットを回転自在に、かつ軸方向移動不可に支承する一対の転がり軸受と、を備え、前記電動モータの回転を伝達機構を介して前記ナットに伝達すると共に、前記伝達機構を挟んで前記一対の転がり軸受を配設して前記ナットを両持ちで支持したことを特徴とする電動パワーステアリング装置。
【請求項２】
前記一対の転がり軸受を、一方でラジアル荷重とスラスト荷重を負荷し、他方でラジアル荷重を負荷できる構成の転がり軸受とした請求項１に記載の電動パワーステアリング装置。
【請求項３】
前記一対の転がり軸受のうち一方を４点接触玉軸受とし、他方を深溝玉軸受とした請求項２に記載の電動パワーステアリング装置。
【請求項４】
前記一対の転がり軸受のうち一方を４点接触玉軸受とし、他方を針状ころ軸受とした請求項２に記載の電動パワーステアリング装置。
【請求項５】
前記４点接触玉軸受の少なくとも内輪の転走面に超仕上げ加工が施されている請求項３または４に記載の電動パワーステアリング装置。
【請求項６】
前記転走面における転走方向のうねりの最大振幅幅が１μｍ以下に、かつ表面粗さがＲａ０．１以下にそれぞれ規制されている請求項５に記載の電動パワーステアリング装置。
【請求項７】
前記一対の転がり軸受のうち一方の転がり軸受の軸方向すきまが他方の転がり軸受よりも小さく設定されている請求項１乃至６いずれかに記載の電動パワーステアリング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボールねじ式ラックアシスト型の電動パワーステアリング装置に関し、特に、電動モータとボールねじとを別置きにした電動パワーステアリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車の電動パワーステアリング装置（以下、ＥＰＳと呼ぶ）は、ステアリングホイールの操舵力を電動モータでアシストするものであり、種々の形式のものがある。そのうちの一つとして、車輪の操舵機構に連結された進退自在な操舵軸に対して、ステアリングホイールからラックピニオン機構等の変換機構を介して軸方向移動力を与えると共に、電動モータとボールねじを別置きにし、電動モータの出力をベルトあるいはギアを介してボールねじに伝達し、このボールねじの軸方向移動力として与えるようにしたものがある。
【０００３】
この種のＥＰＳとして、例えば図５に示されたものがある。このＥＰＳは、ケース５４に軸方向移動可能に支持されたラック軸５１と、このラック軸５１に噛合するピニオンギア（図示せず）が一体に設けられ、ステアリングホイール（図示せず）に連結されるピニオン軸５２とを備えている。したがって、ステアリングホイールの回転がラック軸５１の軸方向移動力に変換され、ラック軸５１の両端に連結される図示しないタイロッドおよびナックルアームを介して操舵輪（図示せず）を揺動させ、車両の操舵を可能としている。
【０００４】
また、ラック軸５１には螺旋溝５１ａが形成され、この螺旋溝５１ａの外周には、内周面に螺旋溝５５ａを有するナット５５が複数のボール５６を介して外嵌されている。これらラック軸５１、ナット５５およびボール５６とによりボールねじ５７が構成されている。
【０００５】
また、ラック軸５１の外周には回転部材５８が嵌挿され、この回転部材５８はアンギュラコンタクト軸受５９を介してケース５４に回転自在に支承されている。この回転部材５８には大径の歯付きプーリ６０が一体に設けられている。一方、ケース５４には電動モータ６１がラック軸５１と略平行に配設され、電動モータ６１の回転軸には小径の歯付きプーリ６２が装着されている。これら大径の歯付きプーリ６０と小径の歯付きプーリ６２との間にはタイミングベルト６３が巻回されている。
【０００６】
さらに、回転部材５８には、ボールねじ５７のナット５５が弾性部材６４ａおよび６４ｂを介してボルト６５により締結されており、ナット５５が回転部材５８に対して、一体回転かつ径方向変位可能に支持された構造となっている。
【０００７】
このように構成されるＥＰＳにおいて、電動モータ６１の回転は、タイミングベルト６３を介して回転部材５８へ、さらにこの回転部材５８からボルト６５を介してボールねじ５７のナット５５に伝達され、ボールねじ５７によりラック軸５１の軸方向移動力に変換して伝達される。そして、操舵輪からラック軸５１に曲げモーメントが作用してラック軸５１が撓むような場合でも、また、ピニオンとラックとの精度不良による振動が発生した場合でも、ボールねじ５７のナット５５が電動モータ６１の回転を伝達する回転部材５８に弾性部材６４ａおよび６４ｂを介して径方向変位可能に連結されているため、ラック軸５１からのスラスト荷重のみをボールねじ５７に作用させることが可能となり、その他のせん断荷重や曲げモーメントによる撓み等による悪影響を小さくすることができ、ボールねじ５７の高伝達効率を維持できる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
【特許文献１】
実公平６−４９４８９号公報（第２、３頁、第１図）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のＥＰＳにおいては、大径の歯付きプーリ６０が一体に設けられた回転部材５８を、実質的にアンギュラコンタクト軸受５９で支承する、所謂片持ち支持となる。したがって、タイミングベルト６３の張力はナット５５にモーメント荷重として負荷され、回転部材５８に対して弾性部材６４ａおよび６４ｂを介して弾性支持されているナット５５は、径方向の変位を吸収することができるも、こじれた状態で繰り返し回転されることになる。
【００１０】
このような状態でナットが回転された場合、ナット５５とラック軸５１とが相対的に傾いた状態で駆動されることになり振動やノイズが発生する。また、これに伴い螺旋溝５１ａ、５５ａ間に介装されたボール５６に不要な荷重が加わってボール５６が円滑に転動できなくなり、その結果、電動モータ６１の回転トルクの伝達効率が低下して操舵フィーリングの向上を阻害する要因ともなっていた。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ボールねじのナットにモーメント荷重が負荷されてもボールねじに振動およびノイズが発生するのを抑制すると共に、高伝達効率を維持して操舵フィーリングの向上を図ったＥＰＳを提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
係る目的を達成すべく、本発明のうち請求項１に記載の発明は、略円筒状をなすケースと、このケースに貫通し、車輪を操舵する操舵機構に連結された操舵軸と、ステアリングホイールからの回転力を、前記操舵軸を長手方向に移動させるための力に変換する変換機構と、前記操舵軸の一部がねじ軸となり、このねじ軸に複数のボールを介して外嵌されたナットとからなるボールねじと、前記操舵軸と略平行に並設され、前記ステアリングホイールの操舵力をアシストする電動モータと、前記ボールねじのナットに外嵌され、前記ケースに対して当該ナットを回転自在に、かつ軸方向移動不可に支承する一対の転がり軸受と、を備え、前記電動モータの出力を伝達機構を介して前記ナットに伝達すると共に、前記伝達機構を挟んで前記一対の転がり軸受を配設して前記ナットを両持ちで支持するようにした構成を採用した。
【００１３】
このように、電動モータとボールねじを別置きにし、電動モータの出力をベルトあるいはギア等の伝達機構を介してボールねじに伝達し、このボールねじの軸方向移動力として与えるようにしたＥＰＳにおいて、伝達機構を挟んで一対の転がり軸受を配設し、ナットを両持ちで支持するようにしたので、ナットと操舵軸が相対的に傾いて駆動されることはなく、また、操舵軸からのスラスト荷重のみをボールねじに作用させることが可能となり、ボールねじの高伝達効率を維持することができる。したがって、ボールねじに振動やノイズが発生するのを防止することができると共に、ボールねじの螺旋溝間に介装されたボールが円滑に転動でき、電動モータの回転トルクがスムーズに伝達され操舵フィーリングの向上を図ることができる。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明は、前記一対の転がり軸受を、一方でラジアル荷重とスラスト荷重を負荷し、他方でラジアル荷重を負荷できる構成の転がり軸受としたので、操舵軸からのスラスト荷重を一方の転がり軸受で効果的に負荷することができ、転動体となるボールの滑り要因を排除し、転がり軸受の耐久性を向上させることができる。
【００１５】
また、請求項３に記載の発明のように、前記一対の転がり軸受のうち一方を４点接触玉軸受とし、他方を深溝玉軸受としても良いし、請求項４に記載の発明のように、前記一対の転がり軸受のうち一方を４点接触玉軸受とし、他方を針状ころ軸受としても良い。
【００１６】
また、請求項５に記載の発明は、前記４点接触玉軸受の少なくとも内輪の転走面に超仕上げ加工が施されているので、ＥＰＳのノイズレベルが減少する。
【００１７】
好ましくは、請求項６に記載の発明のように、前記転走面における転走方向のうねりの最大振幅幅が１μｍ以下に、かつ表面粗さがＲａ０．１以下にそれぞれ規制されていれば、従来の転がり軸受に比べ、低速域から高速域に渡ってノイズレベル低減が図れる。
【００１８】
また、請求項７に記載の発明は、前記一対の転がり軸受のうち一方の転がり軸受の軸方向すきまが他方の転がり軸受よりも小さく設定されているので、一方の転がり軸受で確実にスラスト荷重を負荷することができ、ナットが運転中に昇温して軸方向に熱膨張した場合、他方の転がり軸受が自由側の軸受として機能してナットの熱膨張を許容することができ、この転がり軸受に交番荷重等が負荷されるのを防止することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明に係るＥＰＳの実施形態を示す要部の縦断面図である。
【００２０】
このＥＰＳは、ケース４に軸方向移動可能に支持されたラック軸１と、このラック軸１に噛合するピニオンギア（図示せず）が一体に設けられ、ステアリングホイール（図示せず）に連結されるピニオン軸２とを備えている。したがって、ステアリングホイールの回転がラック軸１の軸方向移動力に変換され、ラック軸１の両端に連結される図示しないタイロッドおよびナックルアームを介して操舵輪（図示せず）を揺動させ、車両の操舵を可能としている。
【００２１】
また、ラック軸１には螺旋溝１ａが形成され、この螺旋溝１ａの外周には、内周面に螺旋溝５ａを有するナット５が、複数のボール６を介して外嵌されている。これらラック軸１、ナット５およびボール６とによりボールねじ７が構成されている。
【００２２】
ナット５の外径には大径の歯付きプーリ３と、この大径の歯付きプーリ３の両側に転がり軸受８、９がそれぞれ嵌合されている。したがって、ナット５は、これら転がり軸受８、９により、ケース４に対して回転自在に、かつ軸方向移動不可に両持ち状態で支承されている。一方、ケース４には電動モータ１０がラック軸１と略平行に並設され、電動モータ１０の回転軸１０ａには小径の歯付きプーリ１１が装着されている。これら大径の歯付きプーリ３と小径の歯付きプーリ１１との間にはタイミングベルト１２が巻回されている。
【００２３】
モータハウジング１３の内周には、電動モータ１０を構成するステータ１０ｂが圧入固定されている。ステータ１０ｂは、コアおよびステータコイルからなり、この内周には、電動モータ１０のロータ１０ｃが所定の径方向すきまを介して対向配置されている。このロータ１０ｃは、磁性体により円筒状に形成され、モータハウジング１３に対し、一対の転がり軸受１４、１５によって回転自在に支承されたモータ軸１０ａの外周に一体固定されている。こうした電動モータ１０は、図示しないモータ制御装置により、図示しないトルク検出器の検出信号に従って制御される。
【００２４】
このように構成されるＥＰＳにおいて、電動モータ１０の回転は、タイミングベルト１２を介してナット５に伝達され、ボールねじ７によりラック軸１の軸方向移動力に変換して伝達される。そして、タイミングベルト１２の張力がナット５にラジアル荷重やモーメント荷重として負荷された場合でも、また、操舵輪からラック軸１に曲げモーメントが作用してラック軸１が撓むような場合でも、ボールねじ７のナット５は、タイミングベルト１２を挟んで両持ちで支持されているため、ナット５とラック軸１が相対的に傾いて駆動されることはなく、また、ラック軸１からのスラスト荷重のみをボールねじ７に作用させることが可能となり、ボールねじ７の高伝達効率を維持することができる。したがって、ボールねじ７に振動やノイズが発生するのを防止することができると共に、螺旋溝１ａ、５ａ間に介装されたボール６が円滑に転動でき、電動モータ１０の回転トルクがスムーズにラック軸１に伝達され操舵フィーリングの向上を図ることができる。
【００２５】
本実施形態では、ナット５を支承する転がり軸受９、８は、深溝玉軸受と、図２に示すような４点接触玉軸受とからなる。この４点接触玉軸受からなる転がり軸受８は、内輪１６と外輪１７と、内外輪１６、１７間に介装される複数のボール１８とを備えている。内輪１６の外周面に形成された転走面１６ａ、および外輪１７の内周面に形成された転走面１７ａは、軸受の軸方向中心に対して軸方向に等距離オフセットした一対の曲率中心を有する円弧面、所謂ゴシックアーチ形状に形成されている。したがって、この転がり軸受８は、単列軸受でありながら、ラジアル荷重および両方向のスラスト荷重を負荷することができる。また、径方向すきまに対して軸方向すきまの範囲を抑制することができ、ボールねじ７のＥＰＳへの組立後のガタを抑えることができる。
【００２６】
２つの転がり軸受８、９のうち、４点接触玉軸受からなる転がり軸受８がラジアル荷重とスラスト荷重を負荷し、深溝玉軸受からなる転がり軸受９がラジアル荷重を負荷するように構成されている（図１参照）。これにより、ラック軸１からのスラスト荷重を一方の転がり軸受８で効果的に負荷することができ、深溝玉軸受からなる転がり軸受９のボールの滑り要因を排除し、転がり軸受９の耐久性を向上させることができる。
【００２７】
また、２つの転がり軸受８、９のうち、４点接触玉軸受からなる転がり軸受８は、他方の深溝玉軸受からなる転がり軸受９よりも軸方向すきまが小さく設定されている。したがって、ナット５が運転中に昇温して軸方向に熱膨張した場合、軸方向すきまの大きい転がり軸受９は、自由側の軸受としてこのナット５の熱膨張を許容することができ、この転がり軸受９に無理な交番荷重が負荷されるのを防止することができる。
【００２８】
従来の４点接触玉軸受は、低回転領域で使用されるため、また、転走面の形状がゴシックアーチ形状で加工が難しいため、転走面は研削加工のみで超仕上げ加工（以下ＳＦという）は施されていなかった。しかし、この転がり軸受８の転走面１６ａには研削加工後にＳＦが施され、特に、転走面１６ａにおけるボール１８の転動方向の粗さおよびうねり等の形状誤差成分が改善されている。
【００２９】
本実施形態では、従来の転走面に比べ表面粗さが略１／２に改善され、特に、転走方向の表面粗さがＲａ０．１以下に規制されている。また、狭い範囲でのうねり成分が改善され、転走方向のうねりの最大振幅幅を１μｍ以下に規制されている。本出願人は、こうした内輪１６を有する転がり軸受８をＥＰＳに組込んで音響測定を行なった結果、ノイズレベルは減少し、従来の転がり軸受に比べ、低速域から高速域に渡って、２．３〜３．５ｄＢ−Ａの低減効果が確認された。本実施形態では、転がり軸受８における内輪１６の転走面１６ａについてのみＳＦを施したものを例示したが、外輪１７の転走面１７ａにもＳＦを施すことで、内輪１６並の効果はないものの、さらに略５０％程度の効果が認められた。
【００３０】
通常、転がり軸受あるいはボールねじのボールが転動することによって、ボールと軌道面が外部荷重を受けながら転動する時に生じる交番力が発生し、この交番力により構成部品が振動させられるが、本実施形態では、回転側の内輪１６の転走面１６ａにＳＦが施され、転走方向の表面粗さおよび真円度を所定値に規制することにより、ＥＰＳの低速域から高速域に渡ってノイズを低減させることができた。
【００３１】
以上、転がり軸受８として４点接触玉軸受を例示したが、こうした転がり軸受８は、これに限らず、例えば、外輪が２点、内輪が１点、あるいはその逆の外輪が１点、内輪が２点でそれぞれボール６と接触する、所謂３点接触玉軸受であっても良い。また、ＳＦは少なくとも回転輪である内輪１６の転走面１６ａに施すことが効果的である。また、ＳＦは、ＳＦ用砥石を揺動（オシレート）させるものであっても、揺動なしのトラバース方式であっても良い。さらに、砥石によるＳＦに限らず、ペーパ等のラッピングによるＳＦでも良い。
【００３２】
図３は、本発明に係るＥＰＳの他の実施形態を示す要部の縦断面図である。なお、前述した実施形態と同一部品同一部位には同じ符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００３３】
本実施形態では、ナット５を支承する転がり軸受８、１９は、４点接触玉軸受と針状ころ軸受とからなる。針状ころ軸受からなる転がり軸受１９は、複数の針状ころ２０と、内周面に転走面２１ａを有する外輪２１とを備え、内輪はなくナット５の外周面が内側の転走面となっている。
【００３４】
２つの転がり軸受８、１９のうち、転がり軸受８がラジアル荷重とスラスト荷重を負荷し、転がり軸受１９がラジアル荷重を負荷するように構成されている。これにより、ラック軸１からのスラスト荷重を一方の転がり軸受８で効果的に負荷することができる。ここで、ナット５が運転中に昇温して軸方向に熱膨張した場合、針状ころ軸受からなる転がり軸受１９は自由側の軸受としてこのナット５の熱膨張を許容することができる。
【００３５】
本発明に係るＥＰＳでは、一対の転がり軸受は、タイミングベルト１２を挟んで両持ち状態でナット５を回転自在に支承し、ベルト張力によって生じるラジアル荷重およびモーメント荷重を負荷することができ、かつ、ラック軸１からのスラスト荷重を負荷することができる構成の転がり軸受であれば良く、前述した形式の転がり軸受に限らず、例えば、一方の転がり軸受を複列アンギュラ玉軸受、他方を深溝玉軸受、あるいは、両方とも深溝玉軸受としても良い。ここで、ナット５が運転中に昇温して軸方向に熱膨張した場合を考慮し、どちらか一方の転がり軸受の軸方向すきまを他方よりも小さく設定し、軸方向すきまの大きい他方の転がり軸受が自由側の軸受としてこのナット５の熱膨張を許容することができることが望ましい。
【００３６】
本出願人は前述した構成の転がり軸受をＥＰＳに組込み、３００ｍｍ離れた位置で音響測定を行ない、従来のものとの比較を行なった。その結果を図４に示す。縦軸はノイズレベル、横軸はベルト張力を示している。この測定結果から判るように、ナット５に単一の転がり軸受を外嵌し、ベルト張力を片持ちで支持した従来のものに比べ、一方を４点接触玉軸受、他方を深溝玉軸受で両持ち支持した本発明品（図１参照）は、２．５〜４．０ｄＢ−Ａの範囲でノイズレベルが低減している。また、一方を４点接触玉軸受、他方を針状ころ軸受で両持ち支持した本発明品（図３参照）においても、１．５〜３．０ｄＢ−Ａの範囲でノイズレベルが低減している。したがって、ナット５に一対の転がり軸受を外嵌し、ベルト張力を両持ちで支持した本発明に係るＥＰＳでは、ボールねじ７のナット５にモーメント荷重が負荷されても、転走面のＳＦ処理の効果と相俟って、ボールねじ７に振動およびノイズが発生するのを抑制することができる。
【００３７】
以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、本発明はこうした実施の形態に何等限定されるものではなく、あくまで例示であって、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
【００３８】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明に係る電動パワーステアリング装置は、略円筒状をなすケースと、このケースに貫通し、車輪を操舵する操舵機構に連結された操舵軸と、ステアリングホイールからの回転力を、前記操舵軸を長手方向に移動させるための力に変換する変換機構と、前記操舵軸の一部がねじ軸となり、このねじ軸に複数のボールを介して外嵌されたナットとからなるボールねじと、前記操舵軸と略平行に並設され、前記ステアリングホイールの操舵力をアシストする電動モータと、前記ボールねじのナットに外嵌され、前記ケースに対して当該ナットを回転自在に、かつ軸方向移動不可に支承する一対の転がり軸受と、を備え、前記電動モータの出力を伝達機構を介して前記ナットに伝達すると共に、前記伝達機構を挟んで前記一対の転がり軸受を配設して前記ナットを両持ちで支持するようにしたので、ナットと操舵軸が相対的に傾いて駆動されることはなく、また、操舵軸からのスラスト荷重のみをボールねじに作用させることが可能となり、ボールねじの高伝達効率を維持することができる。したがって、ボールねじに振動やノイズが発生するのを防止することができると共に、ボールねじの螺旋溝間に介装されたボールが円滑に転動でき、電動モータの回転トルクがスムーズに伝達され操舵フィーリングの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電動パワーステアリング装置の実施形態を示す要部の縦断面図である。
【図２】同上、要部拡大断面図である。
【図３】本発明に係る電動パワーステアリング装置の他の実施形態を示す要部の縦断面図である。
【図４】本発明に係る電動パワーステアリング装置と従来とのノイズレベルを比較測定した結果を示すグラフである。
【図５】従来の電動パワーステアリング装置を示す要部の縦断面図である。
【符号の説明】
１・・・・・・・・・・・・・・・・・ラック軸
１ａ、５ａ・・・・・・・・・・・・・螺旋溝
２・・・・・・・・・・・・・・・・・ピニオン軸
３・・・・・・・・・・・・・・・・・大径の歯付きプーリ
４・・・・・・・・・・・・・・・・・ケース
５・・・・・・・・・・・・・・・・・ナット
６、１８・・・・・・・・・・・・・・ボール
７・・・・・・・・・・・・・・・・・ボールねじ
８、９、１４、１５、１９・・・・・・転がり軸受
１０・・・・・・・・・・・・・・・・電動モータ
１０ａ・・・・・・・・・・・・・・・モータ軸
１０ｂ・・・・・・・・・・・・・・・ステータ
１０ｃ・・・・・・・・・・・・・・・ロータ
１１・・・・・・・・・・・・・・・・小径の歯付きプーリ
１２・・・・・・・・・・・・・・・・タイミングベルト
１３・・・・・・・・・・・・・・・・モータハウジング
１６・・・・・・・・・・・・・・・・内輪
１６ａ、１７ａ、２１ａ・・・・・・・転走面
１７、２１・・・・・・・・・・・・・外輪
２０・・・・・・・・・・・・・・・・針状ころ
５１・・・・・・・・・・・・・・・・ラック軸
５１ａ、５５ａ・・・・・・・・・・・螺旋溝
５２・・・・・・・・・・・・・・・・ピニオン軸
５４・・・・・・・・・・・・・・・・ケース
５５・・・・・・・・・・・・・・・・ナット
５６・・・・・・・・・・・・・・・・ボール
５７・・・・・・・・・・・・・・・・ボールねじ
５８・・・・・・・・・・・・・・・・回転部材
５９・・・・・・・・・・・・・・・・転がり軸受
６０・・・・・・・・・・・・・・・・大径の歯付きプーリ
６１・・・・・・・・・・・・・・・・電動モータ
６２・・・・・・・・・・・・・・・・小径の歯付きプーリ
６３・・・・・・・・・・・・・・・・タイミングベルト
６４ａ、６４ｂ・・・・・・・・・・・弾性部材
６５・・・・・・・・・・・・・・・・ボルト
【図１】
2004338537.tif 000003
【図２】
2004338537.tif 000004
【図３】
2004338537.tif 000005
【図４】
2004338537.tif 000006
【図５】
2004338537.tif 000007