(57)【要約】【課題】モータのリード線、信号線等を真空チャンバ内で引き回すことなく、パーティクルの発生のない、簡単な構成の真空内駆動装置およびこれを用いた基板搬送装置を提供する。【解決手段】真空チャンバの壁面５の大気側に第１可動子８を、真空側に第２可動子１１をそれぞれ移動自在に配置し、大気側に第２可動子１１と磁気的ギャップを介して電機子３を配置する。第１可動子８には、真空チャンバに対する第１可動子８の移動方向の位置を検出するエンコーダ１２，１３を設け、第１可動子８と第２可動子１１との間の位相ずれを検出する磁気センサ４を設け、第２可動子１１が第１可動子８と位置ずれなく駆動されるように制御する。真空チャンバの内部には第２可動子１１と軸受のみが配置され、リード線を有する電機子や配線を伴う位相差検出手段およびエンコーダは真空チャンバの外部に配置されるため、真空チャンバ内でのパーティクルの発生は著しく少なくなる。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバの壁面に対向する大気側に設けられ、かつ、摺動部を介して移動自在に配置された界磁を有する第１可動子と、
前記真空チャンバの壁面を介して真空側に摺動部を介して移動自在に配置された界磁を有する第２可動子と、
前記真空チャンバの壁面の大気側に固定され、前記第１可動子と磁気的ギャップを介して対向配置された電機子からなる固定子と
よりなる駆動部と、
前記第１可動子に設けられ、前記真空チャンバに対する前記第１可動子の移動方向の位置を検出するエンコーダと、
前記第１可動子に設けられ、前記第１可動子と前記第２可動子との間の位相ずれを検出する位相差検出手段とを備え、
位置指令信号に対して前記エンコーダで検出された前記第１可動子の位置指令に一致するように前記電機子に電力を供給すると共に、前記位相差検出手段で検出された位相差を抑制するように前記位置指令信号を補正する制御手段を設けたことを特徴する真空内駆動装置。
【請求項２】
前記駆動部をリニアモータで構成し、
前記第１可動子の界磁は、平板状の第１界磁ヨークと前記第１界磁ヨークの長手方向に極性が交互に異なるように複数個の磁極を配置した第１界磁マグネットとで構成され、
前記第２可動子の界磁は、平板状の第２界磁ヨークと前記第２界磁ヨークの長手方向に極性が交互に異なるように複数個の磁極を配置した第２界磁マグネットとで構成され、
前記電機子は、平滑形の複数のコイル群よりなる電機子コイルで構成されたことを特徴する請求項１記載の真空内駆動装置。
【請求項３】
前記駆動部を回転形のモータで構成し、
前記第１可動子の界磁は、円周方向に極性が交互に異なるように複数個の磁極を形成した円板状の第１界磁マグネットで構成され、
前記第２可動子の界磁は、円周方向に極性が交互に異なるように複数個の磁極を形成した円板状の第２界磁マグネットで構成され、
前記電機子は、リング状の複数のコイル群よりなる電機子コイルで構成されたことを特徴する請求項１記載の真空内駆動装置。
【請求項４】
前記位相差検出手段に、推力方向磁束とギャップ方向磁束を検出する磁気センサを用いたことを特徴とする請求項１から３のいずれかの項に記載の真空内駆動装置。
【請求項５】
前記位相差検出手段に、透過形の光学センサを用いたことを特徴とする請求項１から３のいずれかの項に記載の真空内駆動装置。
【請求項６】
前記エンコーダは、前記真空チャンバの壁面の大気側に配設された光学式リニアスケールと、前記光学式リニアスケールに対向して前記第１可動子に配設されて前記リニアスケールを検出するセンサヘッドとから構成される光学式エンコーダであることを特徴とする請求項２に記載の真空内駆動装置。
【請求項７】
前記摺動部に転がり軸受を設け、真空側に配置された転がり軸受の内輪、外輪およびボールの全部または一部の摺動面に二硫化モリブデン、二硫化タングステンまたは銀のうちの何れか１つからなる固体潤滑剤の薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかの項に記載の真空内駆動装置。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか１項に記載の前記駆動部よりなる真空内駆動装置を用いて、前記第２可動子によりウエハ基板を搬送するための搬送手段を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば真空環境下で半導体素子を製造するためのＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）などの工程で使用される半導体製造装置における半導体ウエハの搬送を行う装置に好適な真空内駆動装置およびこれを用いた基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，半導体素子を製造するためのＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）などの工程で使用される半導体製造装置における半導体ウエハの搬送を行う装置、例えばそれらの駆動源であるモータは真空環境下で駆動される。このクリーンな真空環境下で使用される機器には、ガスやパーティクルの発生および温度上昇が少ないことが要求される。ガスやパーティクルの発生は、要求されるクリーン度を低下させ、また温度上昇は、温度管理された半導体等の製造工程に悪影響を及ぼすからである。
【０００３】
従来、真空内でリニアモータを駆動する場合の例として、例えば、特許文献１および２に開示されているように、電機子の電機子巻線を冷媒によって直接冷却するキャンド・リニアモータが提案されている。該キャンド・リニアモータは、電機子を可動子とし、界磁を固定子とする可動コイル形のもの（特許文献１）と、界磁を可動子とし、電機子を固定子とする可動マグネット形のもの（特許文献２）とがある。このうち、図７に可動コイル形のものを示す。図７は従来の可動コイル形のリニアモータ全体を示す斜視図である。
図７において、５１は可動子、５２は可動子ベース、５３はキャン、５４は冷媒供給口、５５は冷媒排出口、５６は給電および信号などのケーブル、５７は固定子、５８は固定子ベース、５９は界磁ヨーク、６０は界磁マグネットである。
可動子５１はＴ字形の形状を成しており、可動子ベース５２と、可動子ベース５２に下向きに支持されているキャン５３と、このキャン５３を密封しているヘッダ（不図示）と、このキャン５３およびヘッダで作られる空間内に配備される巻線固定枠（不図示）およびこの巻線固定枠に固定されるコアレス型の３相の電機子巻線（不図示）およびキャンの中を通過する冷媒通路（不図示）と、より構成されている。
そして、可動子５１は図示しないリニアガイド等によって支持されている。それから、可動子５１は冷媒を通すための、冷媒供給口５４と冷媒排出口５５を各々備えており、冷媒を冷媒供給口５４より供給して冷媒排出口５５より排出することにより、冷媒は電機子巻線とキャン５３の間にある冷媒通路を流れるようになっている。
また、固定子５７は、電機子部分と磁気的ヤップを介して対向するように配置された界磁マグネット６０と、界磁マグネット６０を保持する平板状の界磁ヨーク５９と、より構成されている。
図７に示すように、キャンド・リニアモータは、電機子のコイルに電力を供給する動力線や、位置センサの信号線等のケーブル５６あるいは冷却配管（不図示）を真空チャンバに設けた導入ポートを介して、真空チャンバ外部に引き出している。
このような構成で所定の電流を該電機子の電機子巻線に流すことにより、界磁マグネット６０の作る磁界と作用し、可動子５１に推力を発生して矢印で示す進行方向に移動可能となっている。そして、銅損によって発熱した電機子巻線を冷媒により冷却し、可動子表面の温度上昇を低く抑えている。
また、発ガス対策として、リニアモータの界磁部にはＮｉメッキあるいはＣｕメッキを施したものある（例えば、特許文献３）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−２３８４２８号公報
【特許文献２】
特願２００１−３６７０６７号明細書
【特許文献３】
特開平８−１０７６６５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような従来の構造では、動力線や信号線等のケーブルは、合成樹脂の被覆が施されているため発ガス対策が必要となり、また発熱部の冷却対策が必要となる。
リニアモータが可動コイル形の場合、可動コイルを真空チャンバ内に配置する構造となるため、モータのリード線、信号線、冷却用配管を真空チャンバ内で引き回すことになり、そのため、パーティクルの発生が避けられない。
また、リニアモータを可動マグネット形とした場合も、可動子側に、ストローク＋可動子の長さのリニアスケールを設けるか、可動子側にセンサヘッドを設け、信号線を引き回す必要があり、信号線からのパーティクルが発生する。
また、リニアモータは冷却装置を必要としているので、構成が複雑となる。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、モータのリード線、信号線、冷却用配管等を真空チャンバ内で引き回すことなく、パーティクルの発生のない、簡単な構成の真空内駆動装置およびこれを用いた基板搬送装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項１記載の発明に係る真空駆動装置は、真空チャンバの壁面に対向する大気側に設けられ、かつ、摺動部を介して移動自在に配置された界磁を有する第１可動子と、前記真空チャンバの壁面を介して真空側に摺動部を介して移動自在に配置された界磁を有する第２可動子と、前記真空チャンバの壁面の大気側に固定され、前記第１可動子と磁気的ギャップを介して対向配置された電機子からなる固定子とよりなる駆動部と、前記第１可動子に設けられ、前記真空チャンバに対する前記第１可動子の移動方向の位置を検出するエンコーダと、前記第１可動子に設けられ、前記第１可動子と前記第２可動子との間の位相ずれを検出する位相差検出手段とを備え、位置指令信号に対して前記エンコーダで検出された前記第１可動子の位置指令に一致するように前記電機子に電力を供給すると共に、前記位相差検出手段で検出された位相差を抑制するように前記位置指令信号を補正する制御手段を設けたことを特徴する。
【０００８】
この請求項１記載の真空駆動装置においては、上位コントローラ等から位置指令が入力されると制御手段により電力が電機子に供給され、移動磁界が発生する。この移動磁界と、第１可動子および第２可動子のそれぞれの界磁との間の磁気作用により、第１可動子および第２可動子が所定の方向に移動する。制御手段は、エンコーダで検出された第１可動子の位置が位置指令と一致するように電機子に供給される電力を制御する。第１可動子と第２可動子の間に推力方向の位相ずれが生じると、位相差検出手段にはその位相ずれに応じた出力が出るので、、その位相ずれを抑制するように位置指令信号を補正することで、第２可動子は位置指令と一致するように制御される。
真空チャンバの内部には、第２可動子と摺動部のみが配置され、リード線を有する電機子や、配線を伴う位相差検出手段およびエンコーダは真空チャンバの外部に配置されるため、真空チャンバ内でのパーティクルの発生は著しく少なくなる。
【０００９】
請求項２に係る発明は、前記駆動部をリニアモータで構成し、前記第１可動子の界磁は、平板状の第１界磁ヨークと前記第１界磁ヨークの長手方向に極性が交互に異なるように複数個の磁極を配置した第１界磁マグネットとで構成され、前記第２可動子の界磁は、平板状の第２界磁ヨークと前記第２界磁ヨークの長手方向に極性が交互に異なるように複数個の磁極を配置した第２界磁マグネットとで構成され、前記電機子は、平滑形の複数のコイル群よりなる電機子コイルで構成されたことを特徴する。
この請求項２においては、請求項１記載の真空内駆動装置は、リニアモータで構成されることになる。
【００１０】
請求項３に係る発明は、前記駆動部を回転形のモータで構成し、前記第１可動子の界磁は、円周方向に極性が交互に異なるように複数個の磁極を形成した円板状の第１界磁マグネットで構成され、前記第２可動子の界磁は、円周方向に極性が交互に異なるように複数個の磁極を形成した円板状の第２界磁マグネットで構成され、前記電機子は、リング状の複数のコイル群よりなる電機子コイルで構成されたことを特徴する。
この請求項３においては、請求項１記載の真空内駆動装置は、回転形モータで構成されることになる。
【００１１】
請求項４に係る発明は、前記位相差検出手段に、推力方向磁束とギャップ方向磁束を検出する磁気センサを用いたことを特徴とする。
この請求項４においては、第１可動子と第２可動子の間の位相ずれは、推力方向磁束の変化として検出される。
請求項５に係る発明は、前記位相差検出手段に、透過形の光学センサを用いたことを特徴とする。
この請求項５においては、第１可動子と第２可動子の間の位相ずれは、光学センサの出力のデューティ比の変化として出力される。
【００１２】
請求項６に係る発明は、前記エンコーダは、前記真空チャンバの壁面の大気側に配設された光学式リニアスケールと、前記光学式リニアスケールに対向して前記第１可動子に配設されて前記リニアスケールを検出するセンサヘッドとから構成される光学式エンコーダであることを特徴とする。
この請求項６においては、真空チャンバの壁面と第１可動子との間の相対的な位置変化を、センサヘッドにより検出し、位置信号として制御手段にフィードバックする。
請求項７に係る発明は、前記摺動部に転がり軸受を設け、真空側に配置された転がり軸受の内輪、外輪およびボールの全部または一部の摺動面に二硫化モリブデン、二硫化タングステンまたは銀のうちの何れか１つからなる固体潤滑剤の薄膜が形成されていることを特徴とする。
この請求項７においては、真空側に配置された摺動面に上記の材料の固体潤滑剤の薄膜を形成することにより、摺動による摺動面の剥がれや粒子の飛散によるパーティクルの発生が抑えられる。
【００１３】
請求項８に係る基板搬送装置は、請求項１〜７の何れかに記載の前記駆動部よりなる真空内駆動装置を用いて、前記第２可動子によりウエハ基板を搬送するための搬送手段を備えたことを特徴とする。
この請求項８においては、前記の真空内駆動装置の単数または複数を組み合わせることにより、真空内に配置されている第２可動子を用いて、ウエハ基板を搬送するロボット、ウエハステージなどの搬送手段を含む基板搬送装置を実現することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
＜第１の実施の形態＞
図１は本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータの側断面図、図２はその正断面図、図３は動作説明図である。
【００１５】
図１および図２に示されているように、第１の実施の形態においては、真空チャンバの壁面（以下、チャンバ壁面という）５の大気側に、摺動部であるリニアガイド６を介してスライド自在に第１界磁ヨーク１が配置され、第１界磁ヨーク１の長手方向に極性が交互に異なるように複数の第１界磁マグネット７が配置されている。この第１界磁ヨーク１と第１界磁マグネット７により第１可動子８が構成されている。
【００１６】
一方、チャンバ壁面５の真空側には、摺動部であるリニアガイド９を介してスライド自在に第２界磁ヨーク２が配置され、第２界磁ヨーク２の長手方向に極性が交互に異なるように複数の第２界磁マグネット１０が配置されている。この第２界磁ヨーク２と第２界磁マグネット１０により第２可動子１１が構成されている。
【００１７】
チャンバ壁面５の大気側には、第１界磁マグネット７と磁気的ギャップを介して対向配置された電機子３からなる固定子が設けられている。
第１可動子８には、第２可動子１１との相対的な位相差を検出する位相差検出手段として、推力方向磁束Ｂｘとギャップ方向磁束Ｂｚを検出する磁気センサ４が取り付けられている。また第１可動子８には、真空チャンバに対する第１可動子８のスライド方向の位置を検出するセンサヘッド１２とリニアスケール１３とからなるエンコーダが設けられている。
【００１８】
また、リニアモータの摺動部であるリニアガイド６、９として、転がり軸受を用いることとする。
転がり軸受の内輪、外輪およびボールの材料は、ＳＵＪ２やＳＵＳ４４０Ｃなどの鉄系金属材料が用いられ、このうち、真空側に配置された転がり軸受の内輪およびそれに対向する外輪と、内輪と外輪のそれぞれの面に設けたＶ形転送溝間に挿入されたボールの全部または一部の摺動面には、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、銀などの固体潤滑剤の薄膜をスパッタ処理等を用いて形成する。
このように、真空中でリニアモータの摺動部に固体潤滑剤を被膜した転がり軸受を用いることにより，軸受寿命を長くすることができると共に、軸受から真空中へのパーティクルの飛散による汚染の影響も防止することができる。
【００１９】
次に、本第１の実施の形態に係るリニアモータの動作を説明する。
上位コントローラ（不図示）からの位置指令とリニアスケール１３の位置情報により、チャンバ壁面５の大気側に設けた電機子３に所定の位相と周波数および振幅の交流電流を印加すると、空隙を介して配置した第１界磁ヨーク１が指令に追従して動作する。この時、真空チャンバ内に配置した第２界磁ヨーク２も、電機子３の電流および第１界磁ヨーク１の磁束に追従して動作する。
図３（ａ）に示すように、第１界磁ヨーク１と第２界磁ヨーク２が位置ずれを起こすことなく動作している場合、磁気センサ４の推力方向磁束は理想的には０となる。図３（ｂ）に示すように、第２界磁ヨーク２の負荷が大きく、第１界磁ヨーク１との位置ずれが発生すると、磁気センサ４の推力方向磁束Ｂｘが増加する。そこで、磁気センサ４の信号を上位コントローラに入力し、図示しない制御手段を介して位置指令を補正することで、真空チャンバ内の第２界磁ヨーク２の位置制御を行うようにする。
【００２０】
以上のように、真空チャンバ内に配置される構造物を第２可動子１１とリニアガイド９のみとする構造で、リニアモータを形成することができる。
したがって、真空チャンバ内には一切の配線が不要となり、磁気センサ４により第２界磁ヨーク２の位置情報もフィードバックされるので、脱調の恐れがなく、パーティクル、発ガスが少ない。また、従来の真空用リニアモータに比べ冷却装置を不要にすることができるので、構成が簡単になるなどの効果がある。
【００２１】
さらに、上述したように、真空チャンバ内に配置される真空側のリニアガイド９を転がり軸受とし、その転がり軸受の内輪、外輪およびボールの全部または一部の摺動面に、少なくとも二硫化モリブデン、二硫化タングステンまたは銀からなる固体潤滑剤の薄膜を形成することにより、パーティクル発生をより一層抑えることができる。
なお、本実施の形態においては、位相差検出手段として磁気センサを用いた例を示したが、スリットと、このスリットを挟むように配置された発光器と受光器からなる光学センサを用いることもできる。
【００２２】
＜第２の実施の形態＞
図４は本発明の第２の実施の形態に係る回転形モータの断面図である。
同図に示されているように、第２の実施の形態においては、真空チャンバの壁面（以下、チャンバ壁面という）５’の大気側に設けられた第１ハウジング２１に、摺動部である軸受２２を介してシャフト２３が回転自在に支持されており、このシャフト２３に第１ロータ２４が取り付けられている。第１ロータ２４の円周方向には極性Ｎ，Ｓが交互に異なるように永久磁石が配置されている。第１ロータ２４自体に永久磁石が着磁されていてもよい。
【００２３】
一方、チャンバ壁面５’の真空側に設けられた第２ハウジング２５に、摺動部である軸受２６を介してシャフト２７が回転自在に支持されており、このシャフト２７に第２ロータ２８が取り付けられている。第２ロータ２８の円周方向には極性Ｎ，Ｓが交互に異なるように永久磁石が配置されている。第２ロータ２８自体に永久磁石が着磁されていてもよい。
【００２４】
チャンバ壁面５’には、第１ロータ２４と磁気的ギャップを介して対向配置されたステータヨーク２９とコイル３０からなる電機子３１が設けられている。
第１ロータ２４のシャフト２３には、チャンバ壁面５’に対する第１ロータ２４の回転方向の位置を検出するエンコーダ３２が設けられている。
なお、位相検出手段としての磁気センサは図示していないが、コイル３０の空心部に設けられている。
【００２５】
次に、本第２の実施の形態に係る回転形モータの動作を説明する。
上位コントローラ（不図示）からの位置指令とエンコーダ３２の位置情報により、チャンバ壁面５’の大気側に設けた電機子３１のコイル３０に所定の位相と周波数および振幅の交流電流を印加すると、空隙を介して配置した第１ロータ２４が指令に追従して動作する。この時、真空チャンバ内に配置した第２ロータ２８も、電機子３１の電流および第１ロータ２４の磁束に追従して動作する。
第１ロータ２４と第２ロータ２８が位置ずれなく動作している場合、磁気センサの推力方向磁束は理想的には０となる。第２ロータ２８の負荷が大きく、第１ロータ２４との位置ずれが発生すると、磁気センサの推力方向磁束が増加する。そこで、磁気センサの信号を上位コントローラに入力し、位置指令を補正することで、真空チャンバ内の第２ロータ２８の回転位置制御を行うようにする。
以上のようにして、真空チャンバ内に配置される構造物を第２ロータ２８と軸受２６のみとする構造で、回転形モータを構成することができる。
なお、その他の構成および変形例については、第１の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【００２６】
＜第３の実施の形態＞
図５および図６は本発明の第３の実施の形態に係る基板搬送装置を示すものであり、図５はその平面図、図６はその正面図である。
これらの図において、４１は第１ステージ、４２は第２ステージ、４３はウエハ把持用ハンド、４４は電機子ホルダーである。
本実施の形態の基板搬送装置においては、第１ステージ４１の移動機構としては第１の実施の形態のリニアモータを、ウエハ把持用ハンド４３の回転機構には第２の実施の形態の回転形モータを用いている。この場合、第２の実施の形態の電機子３１と第１ハウジング２１はチャンバ壁面５には固定せず、リニアモータ側の第１可動子８側に、電機子ホルダー４４により固定する。また、第２ハウジング２５は設けず、軸受２６は第２可動子１１に取り付ける。
【００２７】
この実施の形態では、チャンバ壁面５の真空側にリニアモータの第２可動子１１および回転形モータの第２ロータ２８を配置し、大気側に第１可動子８および第１ロータ２４を配置している。そして、第１可動子８および第１ロータ２４を位置指令に従って駆動するとともに、第２可動子１１および第２ロータ２８との位相ずれが無くなるように制御することで、第２可動子１１および第２ロータ２８が指令通りに駆動されるように制御する。
これにより、ウエハ製造装置等のクリーン環境における基板搬送のためのロボットやウエハステージを、パーティクルの発生および熱の発生著しく抑制することのできる構成で実現することができる。
なお、本実施の形態で用いたエンコーダは光学式のものを例にとって説明したが、これに代えて磁気式のものでも構わない。
また、本実施の形態で用いた位相差検出手段は、磁気センサを例にとって説明したが、これに代えて、透過形の光学センサを用いても構わない。この光学センサを適用する場合、モータの大気側に設けた第１可動子に発光部と受光部を設け、また真空チャンバの壁面に発光部から発光される光を透過させるための透過窓を設け、そして、モータの真空側に設けた第２可動子に光を反射させるリフレクター板を設けるようにし、第１可動子と第２可動子の移動に伴って生じる位相差を受光部で検出するようにする。
【００２８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の真空駆動装置によれば、真空チャンバの壁面の真空側に第２可動子と摺動部のみを配置し、第２可動子は真空チャンバ壁面の大気側に配置した第１可動子、電機子、位相差検出手段およびエンコーダにより位置指令に一致するように制御する構成としたので、真空チャンバ内に一切の配線がなくなり、真空チャンバ内でのガスやパーティクルの発生を著しく低減することができる。また、モータの冷却装置を不要にすることができるので、構成が簡単に成るなどの効果がある。
この発明は、リニアモータにも、回転形モータにも適用することができる。
【００２９】
また、真空側に配置された転がり軸受の内輪、外輪およびボールの全部または一部の摺動面に、少なくとも二硫化モリブデン、二硫化タングステンまたは銀からなる固体潤滑剤の薄膜を形成することにより、摺動による摺動面の剥がれや粒子の飛散によるパーティクルの発生をより一層抑えることができる。
本発明の基板搬送装置によれば、リニアモータや回転形モータとして実現される真空内駆動装置の単数または複数を組み合わせることにより、真空内に配置されている第２可動子を用いて、ウエハ基板を搬送するロボット、ウエハステージなどの搬送手段を含む基板搬送装置を実現することができる。この基板搬送装置においても、真空チャンバ内に一切の配線がなくなり、真空チャンバ内でのガスやパーティクルの発生を著しく低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータの側断面図である。
【図２】第１の形態に係るリニアモータの正断面図である。
【図３】第１の実施の形態に係るリニアモータの動作説明図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る回転形モータの断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る基板搬送装置の平面図である。
【図６】第３の実施の形態に係る基板搬送装置の正面図である。
【図７】従来のキャンド・リニアモータの構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  第１界磁ヨーク
２  第２界磁ヨーク
３  電機子
４  磁気センサ
５，５’  チャンバ壁面
６  リニアガイド
７  第１界磁マグネット
８  第１可動子
９  リニアガイド
１０  第２界磁マグネット
１１  第２可動子
１２  センサヘッド
１３  リニアスケール
２１  第１ハウジング、
２２  軸受
２３  シャフト
２４  第１ロータ
２５  第２ハウジング
２６  軸受
２７  シャフト
２８  第２ロータ
２９  ステータヨーク
３０  コイル
３１  電機子
３２  エンコーダ
４１  第１ステージ
４２  第２ステージ
４３  ウエハ把持用ハンド
４４  電機子ホルダー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004274889.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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