(57)【要約】【課題】加圧プレートによって積層シートを加圧した後に、積層シートを変形させたり、破損させたりすることなく、容易に離型させることができる積層シートの加圧装置を提供する。【解決手段】積層シートの加圧装置１では、積層シートＡを載置する下型２と、型本体１３と下端部に軟弾性部材２２を収容した加圧プレート１７とを有する上型３を配設し、加圧プレート１７を囲繞するカット型２６を配設してある。そして、加圧プレート１７を型本体１３に対して下方に移動可能とする。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを複数積層させて構成した積層シートを加圧する装置であって、積層シートを載置する下型と、型本体と下端部に軟弾性部材を収容した加圧プレートとを有する上型を配設し、前記加圧プレートを囲繞するカット型を配設し、前記加圧プレートを前記型本体に対して下方に移動可能としたことを特徴とする積層シートの加圧装置。
【請求項２】
前記加圧プレートにピストンを介して駆動シリンダを連結して、加圧プレートを前記型本体に対して下方に移動可能としたことを特徴とする請求項１に記載の積層シートの加圧装置。
【請求項３】
前記加圧プレートにピストンを連結し、このピストンの上端部にカムフォロアーを固定し、このカムフォロアーをカムによって押圧して、加圧プレートを前記型本体に対して下方に移動可能としたことを特徴とする請求項１に記載の積層シートの加圧装置。
【請求項４】
前記加圧プレートと前記型本体との間に弾性部材を介在させたことを特徴とする請求項３に記載の積層シートの加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミックコンデンサ等のセラミック積層体を得るための積層シートを加圧する積層シートの加圧装置、特には、軟弾性部材を介して積層シートを加圧する積層シートの加圧装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
セラミック積層体としては、積層セラミックコンデンサ、積層セラミック基板等が知られているが、例えば、積層セラミックコンデンサは、内部電極を印刷等によって形成したセラミックフィルムを複数積層させて積層シートを構成し、次いで、その積層シートを加圧、加熱して完全に一体化し、その後、一体化した積層シートを切断してチップ化することにより製造されている。
【０００３】
ここで、積層シートを加圧、加熱する加圧装置は、積層シートを載置する下型と積層シートを押圧する上型とを有するが、下型の上面と上型の下面との間で高精度に平行度が確保されていないと、積層シートの上面に均等な圧力を付与することができず、高品質の積層セラミックコンデンサを製造することができない。
しかし、下型の上面と上型の下面との間で高精度に平行度を確保することは実際には極めて困難であるため、上型の下端部にゴム材料等からなる平板状の軟弾性部材を固着し、この軟弾性部材の下面を積層シートの上面に押圧し、均等な圧力を付与するようにしている（特開２０００−７９６１１号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記軟弾性部材を介して積層シートを加圧する加圧装置によれば、積層シートに均等な圧力を付与することが可能となったが、一体化された積層シートの端部は大きく変形しており、積層シートの端部は廃棄せざるを得ないため、製造されるチップの歩留まりが低い（約５０〜６０％）という問題があった。
【０００５】
本願発明者が上記の如き積層シートの端部における変形原因を調査、検討したところでは、軟弾性部材の下面を積層シートの上面に当接した時、積層シートの周囲において、軟弾性部材の下面と下型の上面との間には積層シートの厚さに相当する間隙が形成され、積層シートを加圧した時、軟弾性部材がその間隙に流動して変形するため、積層シートに斜め外方への引張力を負荷することになり、これによって、積層シートの端部が変形することが判明した。
【０００６】
特開２０００−７９６１１号公報に開示された装置では、軟弾性部材が外方に変形するのを阻止すべく、軟弾性部材を囲繞するサイド型を配設しているが、軟弾性部材は、摩擦係数が大きいため、下方に移動させるためには、サイド型との間に間隙を形成しておく必要がある。このため、積層シートを加圧した時、軟弾性部材がその間隙に流動して変形し、積層シートに外方への引張力を負荷することになり、これによっても、積層シートの端部が変形することが判明した。
【０００７】
又、ゴム材料からなる軟弾性部材は、架橋後にあっても、上型等から８０℃以上に加熱されると熱歪みが生じるとともに、ゴム材料の配合成分が徐々に飛散して収縮するため、軟弾性部材の下端部が収縮して、サイド型との間に大きな間隙が生じる。このため、積層シートを加圧した時、加熱によって膨張して、軟弾性部材がその間隙に流動して変形し、積層シートに外方への引張力を負荷することになり、これによっても、積層シートの端部が変形することが判明した。
【０００８】
かかる調査、検討に基づいて、本願発明者は、特願２００１−３３９２０２号において、図６及び図７に示すように、積層シートＡを載置する下型１０２と、軟弾性部材１０４を介して積層シートＡを押圧する上型１０３とを有し、上型１０３の下端部に形成した収容凹部１０７ａに軟弾性部材１０４を収容、固着した積層シートＡの加圧装置１０１を提案した。
この加圧装置１０１によって、積層シートＡに均等な圧力を付与することができ、しかも、積層シートＡの端部を殆ど変形させることもなく、製造されるチップの歩留まりを大幅に向上させることができた。
【０００９】
ここで、上記加圧装置１０１では、図６及び図７（Ａ）に示すように、上型１０３は取付ベース１０５、型本体１０６及び加圧プレート１０７から構成され、加圧プレート１０７はボルト１０８によって型本体１０６に固定され、一体となって上下方向に移動するとともに、軟弾性部材１０４が外方に変形するのを阻止すべく、軟弾性部材１０４を囲繞するカット型１０８が配設され、カット型１０８も上下方向に移動するようになっている。
そして、図７（Ｂ）に示すように、カット型１０８を下方に移動させ、積層シートＡの端部にその切断刃１０８ａを食い込ませ、加圧プレート１０７を下方に移動させ、積層シートＡを押圧した後、加圧プレート１０７を上方に移動させ、積層シートＡを下型１０２の上面から取り出すようになっている。
【００１０】
しかし、加圧プレート１０７によって積層シートＡが加圧された時、積層シートＡには厚さ方向に圧縮応力が生じるとともに、平面方向にも圧縮応力が生じるため、加圧力が大きい場合には、図７（Ｃ）に示すように、加圧プレート１０７を上方に移動させても、その平面方向の圧縮応力によって、積層シートＡの側面がカット型１０８の内面に付着して、離型できない場合が多々見受けられた。
そして、積層シートＡの側面をカット型１０８の内面から無理に離反しようとすると、積層シートＡを変形させたり、酷い場合には、破損させたりすることとなった。
【００１１】
本発明は、かかる問題点に鑑みて、特願２００１−３３９２０２号において提案した積層シートＡの加圧装置１０１をさらに改良すべく為されたものであり、加圧プレートによって積層シートＡを加圧した後に、積層シートＡを変形させたり、破損させたりすることなく、容易に離型させることができる積層シートＡの加圧装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の積層シートの加圧装置は、フィルムを複数積層させて構成した積層シートを加圧する装置であって、積層シートを載置する下型と、型本体と下端部に軟弾性部材を収容した加圧プレートとを有する上型を配設し、前記加圧プレートを囲繞するカット型を配設し、前記加圧プレートを前記型本体に対して下方に移動可能としたことを特徴とする。
【００１３】
かかる積層シートの加圧装置によれば、積層シートの加圧後に、積層シートの側面がカット型の内面に付着していても、加圧プレートをカット型の内面に沿って下方に移動させることにより、積層シートの上面を均等な圧力で押圧し、無理なく下方に移動させるから、積層シートを変形させたり、破損させることなく、円滑に離型させることができる。
【００１４】
ここで、前記加圧プレートにピストンを介して駆動シリンダを連結して、加圧プレートを前記型本体に対して下方に移動可能としてもよい。
【００１５】
又、前記加圧プレートにピストンを連結し、このピストンの上端部にカムフォロアーを固定し、このカムフォロアーをカムによって押圧して、加圧プレートを前記型本体に対して下方に移動可能としてもよい。
【００１６】
さらに、より円滑に離型させるため、前記加圧プレートと前記型本体との間に弾性部材を介在させてもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の積層シートの加圧装置の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
本発明の積層シートの加圧装置１は、図１に示すように、積層シートＡを載置する下型２と、積層シートＡを押圧する上型３とを有する。
【００１９】
下型２は、取付ベース４の上面に型本体５を固定してあり、取付ベース４には、中間部に断熱部材６を配設し、上端部にカートリッジ式のヒーター７を埋設してある。
又、型本体５には、積層シートＡを載置する載置プレート８を浮上させて支持する複数の支持ピン９が突出可能に埋設され、圧縮バネ１０によって弾力付勢されている。
【００２０】
上型３は、取付ベース１１の下面に取付ブロック１２を介して型本体１３を固定してある。
取付ベース１１には、中間部に断熱部材１４を配設してあり、型本体１３には、複数のカートリッジ式のヒーター１５を埋設してあるとともに、ヒーター１５間には温度センサ１６を配設してある。
【００２１】
型本体１３の下面には、加圧プレート１７の上面を当接してあり、加圧プレート１７は、ボルト１８を介してピストン１９に固定し、ピストン１９は圧縮バネ２０によって弾力付勢されている。そして、ピストン１９の上端部は、油圧シリンダ２１のロッド２１ａに連結してある。
加圧プレート１７の下端部には、収容凹部１７ａを形成してあり、この収容凹部１７ａに軟弾性部材２２を収容、固着してある。
【００２２】
取付ブロック１２には、ボルト２３を介してサイド型２４を吊下し、サイド型２４は圧縮バネ２５によって弾力付勢されている。又、サイド型２４の下端部には、カット型２６を固定してある。
カット型２６は、矩形枠体状を呈しており、カット型２６の下端部には、内側面に沿って切断刃２６ａを形成してある。又、カット型２６には前記支持ピン９に対応する位置に載置プレート８を挟持するためのクランクピン２７を取り付けてある。
【００２３】
そして、型本体１３は、矩形枠体状のサイド型２４に上下方向移動可能に嵌入されており、加圧プレート１７は、カット型２６に上下方向移動可能に嵌入されている。
【００２４】
サイド型２４の下部周囲には真空保持カバー２８を配設してあり、サイド型２４と真空保持カバー２８との間にはＯリング２９を介在させてある。真空保持カバー２８は、ボルト３０を介して取付ブロック１２に吊下させ、圧縮バネ３１によって弾力付勢させてある。
又、サイド型２４の側面からカット型２６の下面に渡って真空吸引路３２を形成してあり、真空吸引路３２のサイド型２４の側面における開口には、真空吸引管３３の一端を連結してある。
【００２５】
本発明の積層シートの加圧装置１は、以上のような構成であり、以下のように作用する。
【００２６】
先ず、下型２の型本体５の上面に支持ピン９によって載置プレート８を支持させ、この載置プレート８上に積層シートＡを載置する。
そして、下型２の型本体５のヒーター７及び上型３の型本体１３のヒーター１５を作動させ、型本体５，１３を予め加熱する。
【００２７】
次に、図示しない駆動機構により上型３の取付ベース１１を下方に移動し、真空保持カバー２８を下型２の型本体５にＯリング３４を介して当接し、気密状態に保持する。そして、図示しない真空ポンプを作動させ、下型２と上型３とで画成される空間を真空吸引する。
【００２８】
次に、図３（Ａ）に示すように、取付ベース１１をさらに下方に移動し、各クランクピン２７により載置プレート８を押圧しながら各支持ピン９を下方に移動させ、載置プレート８を位置決め固定する。
【００２９】
そして、図３（Ｂ）に示すように、取付ベース１１をさらに下方に移動し、カット型２６の切断刃２６ａを積層シートＡの端部に食い込ませて矩形状の切り込みを入れ、さらに、型本体１３を下方に移動させて、加圧プレート１７の側面をカット型２６内面に当接させつつ下方に移動し、軟弾性部材２２の下面を積層シートＡの上面に押圧させる。これによって、積層シートＡを加圧、加熱して一体化させる。
【００３０】
その後、図３（Ｃ）に示すように、取付ベース１１を上方に移動させ、型本体１３を上方に移動して、加圧プレート１７の側面をカット型２６内面に当接させつつ上方に移動し、さらに、取付ベース１１をさらに上方に移動し、カット型２６及び加圧プレート１７を上方に移動する。
【００３１】
次いで、図３（Ｄ）に示すように、油圧シリンダ２１を作動させてロッド２１ａを伸張させ、ピストン１９を圧縮バネ２０の弾発力に抗して下方に移動させ、加圧プレート１７をカット型２６の内面に沿って下方に移動させて、積層シートＡを離型させる。
【００３２】
このように、本発明の積層シートの加圧装置１によれば、積層シートＡの加圧後に、積層シートＡの側面がカット型２６の内面に付着していても、加圧プレート１７をカット型２６の内面に沿って下方に移動させることにより、積層シートＡの上面を均等な圧力で押圧し、無理なく下方に移動させるから、積層シートＡを変形させたり、破損させることなく、円滑に離型させることができる。
【００３３】
尚、積層シートの加圧装置１において、油圧シリンダ２１に代えて、空圧シリンダを採用してもよい。又、ＡＣサーボモータ、パルスモータ等を使用し、回転運動を直線運動に変換する機構を介して、ピストン１９を上下方向に移動するようにしてもよい。
【００３４】
又、上記積層シートの加圧装置１に代えて、図４に示すような積層シートの加圧装置５１を採用してもよい。
この加圧装置５１においては、加圧プレート１７を下方に移動させる機構として、ピストン５２の上端部にカムフォロアー５３を固定し、カムフォロアー５３を所定形状のカム５４によって押圧する機構を採用してある。
又、取付ブロック１２及び上型３の型本体１３に渡ってカムシャフト５５を横架してあり、カムシャフト５５の一端部にはハンドル５６を固定してある。
【００３５】
加圧装置５１においては、ハンドル５６を適宜角度回転させて、カムフォロアー５３を押圧するカム５４の外周径を漸次増大させることにより、ピストン５２を圧縮バネ５７の弾発力に抗して下方に移動させ、加圧プレート１７をカット型２６の内面に沿って下方に移動させて、積層シートＡを離型する。
【００３６】
さらに、上記積層シートの加圧装置５１の構成に圧縮バネ等の弾性部材を付加して、図５に示すような積層シートの加圧装置７１を採用してもよい。
この加圧装置７１においては、加圧プレート１７を下方に移動させる機構として、ピストン５２の上端部にカムフォロアー５３を固定し、カムフォロアー５３を所定形状のカム５４によって押圧する機構に加えて、型本体１３と加圧プレート１７との間に圧縮バネ等の弾性部材５８を介在させてある。
【００３７】
加圧装置７１においては、積層シートＡを加圧した後、取付ベース１１を上方に移動させ、型本体１３を上方に移動した時、型本体１３に対して相対的には、加圧プレート１７はカット型２６の内面に沿って下方に移動することになり、積層シートＡを下方に若干移動させる。
そして、ハンドル５６を適宜角度回転させて、カムフォロアー５３を押圧するカム５４の外周径を漸次増大させれば、ピストン５２は圧縮バネ５７の弾発力に抗して下方に移動し、加圧プレート１７はカット型２６の内面に沿ってさらに下方に移動し、積層シートＡをより円滑に離型する。
【００３８】
上記加圧装置５１，７１においては、加圧装置１のように油圧シリンダ２１等の駆動源を有しないから、加圧プレート１７を下方に移動させる機構は、構成が簡単であり、部品及び製造コストが低額であり、加圧装置全体も大幅に小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の積層シートの一実施例の加圧装置の正面断面図である。
【図２】本発明の積層シートの一実施例の加圧装置の側面断面図である。
【図３】本発明の積層シートの加圧装置の作用を示す説明図であり、（Ａ）はカット型及び加圧プレートが上方位置にある状態、（Ｂ）はカット型により積層シートを切り込み、加圧プレートにより積層シートを押圧した状態、（Ｃ）はカット型及び加圧プレートを上方に移動させた状態、（Ｄ）は加圧プレートを下方に移動させた状態を示す。
【図４】本発明の積層シートの他実施例の加圧装置の正面断面図である。
【図５】本発明の積層シートの他実施例の加圧装置の正面断面図である。
【図６】特願２００１−３３９２０２号に開示された加圧装置の正面断面図である。
【図７】特願２００１−３３９２０２号に開示された加圧装置の作用を示す説明図であり、（Ａ）はカット型及び加圧プレートが上方位置にある状態、（Ｂ）はカット型により積層シートを切り込み、加圧プレートにより積層シートを押圧した状態、（Ｃ）はカット型及び加圧プレートを上方に移動させた状態を示す。
【符号の説明】
１  積層シートの加圧装置
２  下型
３  上型
１３  型本体
１７  加圧プレート
１９  ピストン
２１  油圧シリンダ
２２  軟弾性部材
２６  カット型
５２  ピストン
５３  カムフォロアー
５４  カム
５８  弾性部材
Ａ  積層シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004230641.tif 000008
【図７】
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