(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨装置に研磨溶液を、研磨装置に附属する蓄液槽から供給することで、研磨装置の上下定盤間をキャリアに保持された圧電素板が回転することにより、回転運動と研磨溶液とにより圧電素板の表裏の厚み研磨を行う際のキズや研磨溶液の混合ムラを解消する。【解決手段】圧電素板の表面研磨に用いる研磨溶液の蓄液槽１において、該研磨溶液を混合し供給する該蓄液槽の槽内部が、逆円錐状の底辺形状になっており、該槽内の溶液をスターラ３で撹拌する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素板の表面研磨に用いる研磨溶液の蓄液槽において、
該研磨溶液を混合し供給する該蓄液槽の槽内部が、逆円錐状の底辺形状になっており、該槽内の溶液をスターラで撹拌することにより、該研磨溶液中の研磨材の混合を施す手段を講じたことを特徴とする研磨溶液の蓄液槽。
【請求項２】
請求項１に記載の研磨溶液は、研磨粒子と液体の混合物であることを特徴とする研磨溶液の蓄液槽。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
圧電素板の表面研磨に用いる研磨溶液の蓄液槽の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から圧電素板の板厚みを薄く加工する手法のひとつに、圧電素板を回転機構を持つ表面研磨装置（ラッピングマシン）によって圧電素板自身の厚みを整える手法（ラッピング工程）が挙げられる。そしてこの研磨手法は現在に至っても使用されている。そして表面研磨装置によるラッピング工程のひとつに、４ウェイの表面研磨装置（上定盤、下定盤、中心ギヤ、インターナルギヤが個々に回転する機構を持つ研磨装置）に、中心ギヤとインターナルギヤからの回転運動を受けて回転するキャリアにある穴部に圧電素板を保持し、中心ギヤとインターナルギヤの回転により回転するキャリアが研磨装置の上下定盤間を圧電素板を保持しながら回転する研磨手法がある。また、研磨手法には片面研磨や他の研磨手法によっても研磨作業がなされている。
【０００３】
前記の研磨装置に研磨溶液を、研磨装置に附属する蓄液槽から供給することで、研磨装置の上下定盤間をキャリアに保持された圧電素板が回転することにより、回転運動と研磨溶液とにより圧電素板の表裏の厚み研磨を行うものである。ここで用いる研磨溶液はアルミナ系を代表とした研磨材微粒粉を純水で一定配分で溶かしたもので、アルミナ系の微粒粉と純水とを効率的に調合させるために、分散剤を混合することが今日までの周知の事実として広く知られており、研磨装置の各回転部分間の回転比や、実際の圧電素板の厚み研磨を行う上下定盤の平面精度に匹敵するに等しい重要な条件として研磨溶液の液質（使用するアルミナ系微粒粉の粒径、配合比率、配合状態（固まりの有無）など）が挙げられている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１７９０７１号公報
特開平０８−０１０６２９号公報
特開平０２−００２８７０号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述する従来用いられる研磨溶液の調合は、アルミナ系の微粒粉と純水を効率よく調合しアルミナ系の微粒粉が凝縮した不均等な固まりになりにくくするために、図３に示すような蓄液槽を用い研磨材の配合に分散剤を混合するものであるが、撹拌効率が不十分であり実際面では微量ながらのアルミナ系の微粒粉が凝縮した不均等な固まり現象を起こすことにより、研磨溶液中の研磨材微粒粉の固まりが要因となる圧電素板の表面研磨加工時にキズなどの発生や、研磨加工のムラの要因となっていた。換言すれば、一定の研磨溶液濃度を確保し、研磨加工時に長時間研磨に耐えうる研磨溶液を得ることで、研磨加工の安定化と研磨工程の品質の向上と言った課題がある。
【０００６】
【課題を解決する手段】
これらの課題を解決するために本発明は、圧電素板の厚み加工を行う表面研磨装置を用いたラッピング加工時に発生する圧電素板の表裏（研磨加工面）に対する研磨溶液のアルミナ系微粒粉の固まりを要因とする研磨キズの発生や研磨ムラを改善するために、研磨装置に附属した蓄液槽内に、前述する研磨溶液中の研磨材の固まりを混合する手段を講じたことを特徴とするものである。
【０００７】
その一例として、圧電素板の表面研磨に用いる研磨溶液の蓄液槽において、該研磨溶液を混合し供給する該蓄液槽の槽内部が、逆円錐状の底辺形状になっており、該槽内の溶液をスターラで撹拌することにより、該研磨溶液中の研磨材の混合を施す手段を講じるものである。
【０００８】
そして、圧電素板の表面研磨を行う研磨装置において、研磨溶液を混合し供給する該蓄液槽の槽内部が、逆円錐状の底辺形状になっており、該槽内の該溶液をスターラで撹拌する蓄液槽から滴下する研磨材を、該研磨装置に供給することで研磨作業ができる研磨装置へと応用できる。
【０００９】
要するに、蓄液槽内で混合する研磨材としてアルミナ系物質と水との撹拌を、スターラにより行い、蓄液槽の底面部を逆円錐状にすることで、混合する研磨材を効率よく、ムラ無く混ぜることにより本発明の効果を生み出すことで課題を解決する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従ってこの発明の実施例を説明する。なお、各図において同一の符号は同様の対象を示すものとする。
図１に本発明の一実施例である斜視図を示す。従来から圧電素板の表面研磨は、表面研磨装置とその表面研磨装置に研磨溶液を供給することにより行われている。研磨溶液はアルミナ系を代表とした研磨材微粒粉を純水で一定配分で溶かしたもので、アルミナ系の微粒粉と純水とを効率的に調合させるために、分散剤を混合したものをアクリル系や塩化ビニルでできた蓄液槽１に蓄えておき、表面研磨装置で行う圧電素板の研磨加工に応じて、実際の研磨加工を行う表面研磨装置の上下定盤（圧電素板を保持するキャリア）間に適宜に供給することにより、効率的に圧電素板の表面研磨加工を行うことができる。
【００１１】
図２には本発明の蓄液槽１の概念を示す拡大図である。蓄液槽１の内部には図２に示すように、研磨溶液を撹拌し混合するために、蓄液槽１の底面には逆円錐状の底面形状になっており、逆円錐状の頂点（蓄液槽１底面の中心）、あるいは頂点の周辺にスターラ３の撹拌部品が回転できる範囲を確保した蓄液槽１の底面形状となっている。ここで、逆円錐状の底面形状を実現するための材料については、蓄液槽１を構成する材料と同じものや、金属系、有機系、ゴム系材料が考えられる。
【００１２】
そして、蓄液槽１の底面からやや上部から蓄液槽１内部の研磨溶液を抽出できるように排出口２が設けられていて、抽出量を調整するための調整弁なども取り付けられている。蓄液槽１の内部はスターラ３の撹拌部品の回転により研磨溶液が適当に撹拌されて研磨剤が混合される。そして、十分に撹拌され混合された研磨溶液がこの排出口２から抽出される。
【００１３】
図２に示するように、本発明の蓄液槽１の特徴としては、逆円錐状の板により撹拌と混合を促す回転するスターラで発生する渦の蓄液槽１の底面部端（図中Ｐ部）で研磨溶液が対流し、蓄液槽１内全体的に撹拌と混合の効果を高めることができる。
【００１４】
ここで研磨溶液の一例としては、アルミナ系微粒子の研磨材と分散剤と純水との混合研磨材が挙げられ、その他の研磨材の配合
（構成）には、酸化セリウム系、炭化ケイ素系、ダイヤモンド系の研磨材などがある。そして、被加工物としては、ＳｉＯ２、水晶、シリコン、サファイア、金属材料など特に加工材質を問うものでは無い。
【００１５】
本実施例では、蓄液槽１内部の研磨溶液をスターラ３により撹拌し混合した記載になっているが、蓄液槽１底面の中心部分で研磨溶液を撹拌し混合する仕組みであれば同様の効果を奏することは言うまでも無い。また、蓄液槽１の底面の逆円錐状の形態は、蓄液槽１と一体で加工するものであっても、逆円錐状を有した板などを蓄液槽１の底面に置いても構わない。なお、本実施例では研磨材微粒粉を純水で溶かした研磨溶液を用いているが、研磨材微粒粉の材質をはじめ研磨材微粒粉を溶かす溶液の種類、液濃度などに制約を受けるものではない。
【００１６】
【発明の効果】
本発明によりアルミナ系の微粒粉と純水を効率よく撹拌、混合し、アルミナ系の微粒粉が凝縮し不均等な固まりが要因となり、研磨加工時に発生する圧電素板の加工面のキズや研磨材の混合ムラなどの発生を削減し、一定の研磨溶液濃度を確保し、研磨加工時に長時間研磨に耐えうる研磨溶液を得ることで、研磨加工の安定化と研磨工程の品質の向上により、研磨加工時の工程改善と加工歩留まりの向上が実現でき、製造コストの削減を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨装置の概念図である。
【図２】本発明の蓄液槽の概念を示す拡大図である。
【図３】従来の蓄液槽を示す概念図である。
【符号の説明】
１    蓄液槽
２    排出口
３    スターラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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