(57)【要約】【課題】製造品質の向上した電気光学装置の製造装置を提供することを課題とする。【解決手段】第１の液晶表示要素を形成した第１基板１の表面に液晶３領域を画成する一部に開口部５０を有する矩形状のシール部２を形成するシール部形成工程と、一部開口部５０を有するシール部２の内側に所定量の液晶３を滴下する液滴吐出工程と、上記第１基板１に形成されたシール部２に第２液晶表示要素を形成した第２基板２を貼合わせる貼合わせ工程と、開口部５０から溢れた余分な液晶を除去した後、シール部２の開口部を封止部５１で封止する封止工程とを有するものであり、これにより、液晶領域内に液晶が十分に充填され、空間が生じることがない。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の液晶表示要素を形成した第１基板の表面に液晶領域を画成する一部に開口部を有する矩形状のシール部を形成するシール部形成工程と、
上記開口部を有するシール部の内側に所定量の液晶を塗布する液滴吐出工程と、
上記第１基板に形成されたシール部に第２液晶表示要素を形成した第２基板を大気圧中で貼合わせる貼合わせ工程と、
シール部の開口部を封止する封止工程とを有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
上記液晶の塗布体積は、液晶領域の体積の１００容量％以上１１０容量％以下であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１において、
上記貼合わせ工程の後に、上記シール部の開口部から溢れた液晶を除去する液晶除去工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１において、
上記シール部の開口部を有する辺がテーパ状であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１において、
上記シール部の開口部が対向する位置に少なくとも２箇所設けてなることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１において、
上記シール部の角部が湾曲していることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１つにおいて、
上記シール部が間隙保持粒子を含む接着剤よりなることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか１つにおいて、
上記シール部の設置後、基板上に間隙保持粒子を散布してなることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至６のいずれか１つにおいて、
上記塗布液に間隙保持粒子を分散してなることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項１乃至６のいずれか１つにおいて、
上記シール部が熱硬化型接着剤又は光硬化型接着剤であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか１つにおいて、
上記液晶を加温しつつ塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１において、
上記液滴吐出工程の後に、
第１基板に形成したシール部の開口部を上方側にしつつ第１基板を斜めに保持し、開口と対向する辺のシール部に沿って第２の液晶表示要素を設けた第２の基板を貼合わせ、且つ第２基板が開口部側に密着するまで徐々に第２基板と第１基板とを貼合わせつつ水平状態とすることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造方法により製造されてなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１２のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造方法により製造されてなる電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学装置の製造方法、特に生産性の向上を図る電気光学装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶装置は、一般に、一対の基板間に液晶を封入した構造の液晶表示パネルに、バックライト等といった照明装置や液晶駆動用ＩＣ等といった付加機器を付設することによって形成される。
また、液晶表示パネルは、一般に、図１１に示すように、第１電極が形成された第１基板１と第２電極が形成された第２基板４とをシール部２によって互いに貼り合わせ、それらの基板１，４間に形成される間隙、いわゆるセルギャップ内に液晶３を封入することによって形成される。なお、符号５は液晶注入後に注入口を封止する封止部である。
【０００３】
前記液晶は一般にいわゆる注入法によりセルギャップ内に封入されている。
ここで、液晶注入法とは、真空下で、液晶注入口から液晶を圧力差により注入する方法であり、液晶を充填する方法は以下の通りであった。
まず封じる前の液晶表示素子（以下液晶表示セルという）を真空中で十分脱気した後、液晶で注入口を封じる。このようにした液晶表示セルを大気中に戻し、液晶表示セル内外の圧力差と表面張力を利用して充填するものであった。
このため液晶表示素子が大きくなると非常に時間がかかることになる。対角で１ｍ以上の大型の基板になると１日以上にも及ぶことになり、製造上現実的でない、という問題がある。
【０００４】
そこで、従来では、液晶を注入する代わりに、図１２に示すように枠状のシール部２を形成してなる第１の基板１の枠内に、例えばインクジェット法による液滴吐出ヘッドを用いて液晶３を吐出し、その後、対向する第２基板４を貼り合わせることが提案されている（特許文献１、特許文献２、特許文献３）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平０５−２８１５６２号公報
【特許文献２】
特開平１０−２２１６６６号公報
【特許文献３】
特開２００１−１８３６７４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記特許文献１乃至３にかかる従来のインクジェット法で形成した場合には、その貼合わせにおいては、真空中で行わなければ、セル内に液晶の満たされない空間が生じる、という問題がある。また、真空中で行う場合には、バッチ処理であるために生産効率が低下する、という問題がある。
【０００７】
本発明は、前記問題に鑑み、電気光学装置の製造において生産性の向上を図った電気光学装置の製造方法、電子光学装置及び電子機器を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明に電気光学装置の製造方法は、第１の液晶表示要素を形成した第１基板の表面に液晶領域を画成する一部に開口部を有する矩形状のシール部を形成するシール部形成工程と、上記開口部を有するシール部の内側に所定量の液晶を塗布する液滴吐出工程と、上記第１基板に形成されたシール部に第２液晶表示要素を形成した第２基板を大気圧中で貼合わせる貼合わせ工程と、シール部の開口部を封止する封止工程とを有することを特徴とする。これにより、液晶領域内に液晶が確実に充填され、製造歩留まりの向上を図ることができる。
【０００９】
また、上記液晶の塗布体積は、液晶領域の体積の１００容量％以上１１０容量％以下とするとよい。これにより、液晶空間内に液晶が確実に充填され、さらに余分な液晶を溢れさせることがなくなる。
【００１０】
上記貼合わせ工程の後に、上記シール部の開口部から溢れた液晶を除去する液晶除去工程を有するので、液晶を回収することができる。
【００１１】
上記シール部の開口部を有する辺がテーパ状とすることで、液晶領域の角部などに液晶が満たされない空間を生ずることなく、液晶の排出を確実にさせることができる。
【００１２】
上記シール部の開口部が対向する位置に少なくとも２箇所設けてなるので、液晶の排出を迅速に行うことができる。
【００１３】
上記シール部の角部が湾曲しているので、液晶領域に液晶が満たされない空間を生ずることなく、液晶を液晶領域内に確実に充填させることができる。
【００１４】
上記シール材が間隙保持粒子を含む接着剤よりなることで基板間隔を一定に保つことができ、基板間のギャップムラによる液晶パネルの表示品質の低下を防ぐことができる。
【００１５】
上記シール材の設置後、基板上に間隙保持粒子を散布してなることで、基板間隔を均一に保持でき、基板間のギャップムラによる液晶パネルの表示品質の低下を防ぐことができる。
【００１６】
上記塗布液に間隙保持粒子を分散してなることで、間隙保持粒子を散布する工程を省くことができると共に、基板間隔を一定に保つことができ、基板間のギャップムラによる液晶パネルの表示品質の低下を防ぐことができる。
【００１７】
上記シール材が熱硬化型接着剤又は光硬化型接着剤とすることにより、加熱もしくは光照射などの容易な手段で高いシール強度を確保することが可能となる。
【００１８】
上記液晶を加温しつつ塗布するので、液晶の粘度が低下し、液滴吐出ヘッドへの液晶の供給不足による吐出不良を生ずることがないので、液晶を安定して均一に塗布することができる。
【００１９】
また、上記液滴吐出工程の後に、第１基板に形成したシール部の開口部を上方側にしつつ第１基板を斜めに保持し、開口と対向する辺のシール部に沿って第２の液晶表示要素を設けた第２の基板を貼合わせ、且つ第２基板が開口部側に密着するまで徐々に第２基板と第１基板とを貼合わせつつ水平状態とすることにより、液晶領域に空間を形成することなく、確実に液晶を充填させつつ貼り合わせることができる。
【００２０】
上記電気光学装置の製造装置を用いて製造品質の向上した電気光学装置を製造することができる。
【００２１】
上記電気光学装置を用いて製造されてなる製造品質の向上した電気光学装置を備える電子機器を得ることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の内容を発明の実施形態により詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２３】
図１は本実施形態にかかる電気光学装置の製造工程図である。図２及び図３は他の電気光学装置の概略図である。図４は他の製造工程図である、図５は液晶パネルの概略図である。図６は薄膜形成装置の概略図である。図７及び図８は液滴吐出ヘッドの概略図である。図９はパーソナルコンピュータの斜視図である。図１０は携帯電話の斜視図である。
【００２４】
［第１の実施の形態］
先ず、図５を参照して本発明にかかる電気光学装置である液晶表示パネルの構成について説明する。本実施の形態にかかる液晶表示パネル１００は、対向配置された第１基板１と第２基板４とを有するものであり、第１基板１及び第２基板４の内側面には、それぞれ液晶表示要素１０６、１０７が形成されている。
【００２５】
具体的には、図５に示すように、第１基板１には、反射膜（アルミニウム、銀等）１０１、カラーフィルタ（ＣＦ）１０２、オーバーコート（ＯＶＣ）層１０３、透明電極１０４及び配向膜１０５が順次形成され、第１基板側の液晶表示要素１０６としている。
一方の対向する第２基板４には、透明電極１０４及び配向膜１０５が形成されている。透明電極１０４はＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）その他の透明電極材料によって形成され、所定のパターンが加工され、第２基板側の液晶表示要素１０６としている。配向膜１０５は例えばポリイミド（ＰＩ）等の膜が形成され、配向処理（ラビング処理）がなされている。
【００２６】
このようにして液晶表示要素が各々形成された第１基板１と第２基板４とは、両基板間の内周囲に間隙保持粒子１１０を分散したシール部２が略矩形状に施され、スペーサである間隙保持粒子１１１により所定の間隙、いわゆるセルギャップをもって封着されている。そして、このシール部２によって、第１基板１と第２基板４との間に液晶領域が画成されている。
【００２７】
以下、本実施の形態にかかる電気光学装置の製造工程について図１を参照して説明する。
【００２８】
本実施の形態にかかる電気光学装置の製造方法は、図１に示すように、第１の液晶表示要素を形成した第１基板１の表面に液晶３領域を画成する一部に開口部５０を有する矩形状のシール部２を形成するシール部形成工程と、一部開口部５０を有するシール部２の内側に所定量の液晶３を滴下する液滴吐出工程と、上記第１基板１に形成されたシール部２に第２液晶表示要素を形成した第２基板２を貼合わせる貼合わせ工程と、開口部５０から溢れた余分な液晶を除去した後、シール部２の開口を封止部５１で封止する封止工程とを有するものである。これにより、液晶領域内に液晶が十分に充填され、空間が生じることがない。この結果、真空装置を用いることなく、貼合わせを大気中で行うことができ、生産効率が向上する。
ここで、塗布体積は、液晶領域の体積の１００容量％以上１１０容量％以下とすることが好ましい。これは、１００容量％以下であると、液晶領域内に空間が生じる場合があるからであり、１１０容量％を超えると液晶が無駄となるからである。
【００２９】
また、シール部の形状は特に限定されるものではないが、例えば図２に示すように、開口部５０を有する辺をテーパ状とするようにしてもよい。これにより、貼合わせの際における液晶の排出が容易となる。
【００３０】
また、図３に示すように、対向するように２箇所の開口部５０ａ、５０ｂを設けることにより、液晶の排出を容易にすることができる。
【００３１】
また、シール部の角部を湾曲させるようにして、液晶の充填を円滑にさせるようにしてもよい。
【００３２】
また、図４に示すように、上記液滴吐出工程によって液晶を塗布した後に、第１基板１に形成したシール部の開口部５０を上方側にしつつ第１基板を斜めに保持し（図４（ａ）参照）、開口と対向する辺のシール部に沿って第２の液晶表示要素を設けた第２の基板を貼合わせ（図４（ｂ）参照）、且つ第２基板が開口側に密着するまで徐々に角度を下げ（θ１からθ２）第２基板と第１基板とを貼合わせつつ水平状態とする（図４（ｃ）参照）ことにより、液晶を確実にセル内に充填させて貼合わせするようにしてもよい。
【００３３】
上記シール部２はディスペンサー、スクリーン印刷、インクジェット印刷等の方法により、形成することができる。
【００３４】
本実施の形態にかかる液晶を塗布する薄膜形成装置１０の一例を、図６乃至８に示す。図６に示すように、薄膜形成装置１０は、液晶表示装置においてその基板上に形成される薄膜（液晶）を形成するために用いられるもので、本実施の形態においては、液晶表示要素１０６が形成された第１基板１の表面側に枠状に形成されたシール部２を形成した内部に液晶３を吐出するものである。その後、対向する液晶表示要素１０７が形成された第２基板４を貼合わせ、図５に示すような液晶表示装置を形成するものである。
【００３５】
ここで、シール部を形成するシール剤としては市販の接着材を代用する事が出来るが、基板間の厚みを保持し、液晶の量を規定するために間隙保持粒子を分散した接着剤を用いれば好適である。
【００３６】
また、シール部を形成後、該基板上に間隙保持粒子散布することにより、基板間隔を均一に保持するようにしてもよい。
【００３７】
また、間隙保持粒子を分散した液晶を液滴吐出装置により吐出することにより、間隙保持粒子を散布する工程を省くようにしてもよい。
【００３８】
上記シール剤としては、熱硬化型接着材や光硬化型接着材を用いることができ、間隙保持粒子としては、シリカ粒子、ポリスチレン粒子等のプラスチック粒子、シリカ粒子の回りに熱可塑性樹脂をコーティングした粒子等を用いることができる。そして、基板上に形成された枠状のシール部により囲まれた部分に、所定量の液晶を液滴吐出ノズルにより平面状に塗布する。
【００３９】
このようにして得た基板と、他方の基板を貼り合わせた後、開口部５０を封止部５１で封止した後、接着剤を硬化させることにより液晶表示素子を得ることが出来る。
【００４０】
本実施の形態にかかる薄膜形成装置１０は、図６に示すように、液晶表示要素が形成された第１基板１の表面に例えば液晶等の塗布液１１を吐出する液滴吐出ヘッド１２を有する液滴吐出手段１３と、該液滴吐出ヘッド１２と基板１との位置を相対的に移動させる移動手段１４と、液滴吐出手段１３及び移動手段１４を制御する制御手段１５とを具備してなるものである。
【００４１】
上記移動手段１４は、図６に示すように、基板ステージ１６上に載置された基板１の上方に、液滴吐出ヘッド１２を下方側に向けて支持すると共に移動自在のステージ１８によりＸ軸方向に移動自在のヘッド支持部１７と、上方の液滴吐出ヘッド１２に対して基板ステージ１６と共に基板をＹ軸方向に移動させるステージ駆動部１９とから構成されている。
【００４２】
上記ヘッド支持部１７は、液滴吐出ヘッド１２を基板１に対してその鉛直軸方向（Ｚ軸）に任意の移動速度で移動可能且つ位置決め可能な例えばリニアモータ等の機構と、鉛直軸を中心に液滴吐出ヘッド１２を回転させることによって下方の基板１に対して任意な角度に設定可能なステッピングモータ等の機構とを備えたものである。
【００４３】
上記ステージ駆動部１９は、鉛直軸を中心に基板ステージ１６を回転させて上方の液滴吐出ヘッド１２に対して任意な角度に設定可能なθ軸ステージ２０と、基板ステージ１６とを液滴吐出ヘッド１２に対して水平方向（Ｙ方向）に移動させ且つ位置決めするステージ２１とを備えている。なお、θ軸ステージ２０は、ステッピングモータ等から構成され、ステージ２１はリニアモータ等から構成されている。
【００４４】
上記吐出手段１３は、液滴吐出ヘッド１２とこれにチューブ２２を介して接続されたタンク２３とを備えている。タンク２３は塗布液１１を貯留するものである、チューブ２２を介してこの塗布液１１を液滴吐出ヘッド１２に供給するものとなっている。このような構成によって液滴吐出手段１３は、タンク２３に貯留された塗布液１１を液滴吐出ヘッド１２から吐出し、これを基板１上に塗布するようにしている。上記液滴吐出ヘッド１２は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮し、その圧力で液滴（液状材料）を吐出させるものであり、一列又は複数列に配列された複数のノズル（ノズル孔）を有している。
【００４５】
この液滴吐出ヘッド１２の構成の一例について図７、図８を参照して説明する。図７、図８に示すように、液滴吐出ヘッド１２は、例えばステンレス製のノズルプレート３１と振動版３２とを備え、仕切り部材（リザーバプレート）３３を介して両者を接合したものである。ノズルプレート３３と振動板３２との間には、仕切り部材によって複数の空間３４と液溜まり３５とが形成されている。各空間３４と液溜まり３５の内部は液状材料（図示せず）で満たされており、各空間３４と液溜まり３５とは供給口３６を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３１には、各空間３４から液状材料１１を噴射するための微小孔のノズル３７が形成されている。一方、振動板３２には、液溜まり３５に塗布液１１を供給するための孔３７が形成されている。
【００４６】
振動板３２の空間に対向する面と反対側の面上には、図７、図８に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）３８が接合されている。この圧電素子３８は、図８に示すように一対の電極３９，３９の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するように撓曲するようになっている。そして、このような構成のもとに圧電素子３８が接合されている振動板３２は、圧電素子３８と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３４の内部容積が増大するようになっている。したがって、空間３４内に増大した容積分に相当する液状材料が液溜まり３５から供給口３６を介して流入する。また、このような状態から圧電素子３８への通電を解除すると、圧電素子３８と振動板１３とは共に元の形状に戻る。したがって、空間３４も元の容積に戻ることから、空間内部の塗布液１１の圧力が上昇し、ノズル３７から基板１に向けて液状材料の噴霧状液滴が吐出される。
【００４７】
なお、液滴吐出ヘッド１２の方式としては、上述したような圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、超音波モータ，リニアモータ等により、振動を付与し、またはタンク内に圧力を印加することにより、上記微小穴から塗布液１１である液晶を射出させるようにしてもよい。ここで、タンク内の液晶は、前もって脱泡処理されていることが望ましい。尚、液滴吐出ヘッド１３は、タンク内の液晶ないしは液晶と低粘性揮発性液体の混合物を加熱して、該物質の膨張・発泡により、微小穴から液晶を射出させる、所謂バブルジェット（Ｒ）方式として構成されていてもよい。
【００４８】
上記制御手段１５は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータ等によって構成されたものであり、図６に示したように、液滴吐出手段１３及び移動手段１４にそれぞれ電気的に接続されたことにより、液滴吐出手段１３による吐出動作、及び移動手段１４による移動動作の少なくとも一方、本実施の形態では両方を制御するものとなっている。
そして、このような構成により、液状吐出液の吐出条件を調整し、形成する薄膜（液晶）の塗布量を制御するようにしている。
【００４９】
すなわち、制御手段１５は、上記塗布量を制御する機能として、基板に対する液状吐出液の吐出間隔を調整する制御機能と、１ドットあたりの液状吐出液の吐出量を調整する制御機能と、ノズルの配列方向と移動機構による移動方向との角度（θ）を設定する制御手段と、基板上を複数の領域に分けて各領域に吐出条件を設置する制御機能とを備えている。
【００５０】
さらに、制御手段１５は、上記吐出間隔を調整する制御機構として、基板１と液滴吐出ヘッド１２との相対的な移動の速度を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、移動手段における吐出の時間間隔を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、複数のノズルのうち同時に塗布液を吐出させるノズルを任意に設定して吐出間隔を調整する機能とを備えている。
【００５１】
本実施の形態の液晶表示装置の製造は、液晶表示要素１０６を形成した第１基板１に例えばディスペンサ等により、一部開口部５０を形成し、熱硬化性のシール部２を形成する。この際、基板間のギャップを均一に維持するために、シール部２中に間隙保持粒子を含ませるようにしてもよい。
その後、薄膜形成装置１０を用いて、液晶をシール部２の内側に塗布する。この際、基板間のギャップを均一に保持するために、液晶中に間隙保持粒子を含ませるようにしてもよい。
【００５２】
その後、対向する第２の液晶表示要素１０７が形成された第２基板４を位置決め調整しながら、貼合わせ、大気圧中で押圧して貼合わせを行い、開口部５０から溢れた液晶を除去し、上記開口部５０を封止部５１で封止した。その後加熱炉で１２０℃１０分間加熱し、両基板を接着し、電気光学装置を得た。
【００５３】
本実施の形態では、塗布液１１を液晶として説明したが、本発明では液晶に限定されるものではなく、例えば有機ＥＬ用のインク材料（正孔材料、発光材料）を用いた場合にも適用することができる。
【００５４】
［第２の実施の形態］
次に、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器の具体例について図９及び図１０を参照して説明する。
【００５５】
まず、本発明に係る液晶表示パネルを、可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）の表示部に適用した例について説明する。図９は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ９１は、キーボード９１１を備えた本体部９１２と、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部９１３とを備えている。
【００５６】
続いて、本発明に係る液晶表示パネルを、携帯電話機の表示部に適用した例について説明する。図１０は、この携帯電話機の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、携帯電話機９２は、複数の操作ボタン９２１のほか、受話口９２２、送話口９２３とともに、本発明に係る液晶表示パネルを適用した表示部９２４を備える。
【００５７】
なお、本発明に係る液晶表示パネルを適用可能な電子機器としては、図９に示したパーソナルコンピュータや図１０に示した携帯電話機の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルスチルカメラなどが挙げられる、特に限定されるものではない。
【００５８】
また、上述した実施形態では、電気光学装置として、液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態にかかる電気光学装置の製造工程の概略図である。
【図２】他の電気光学装置の概略図である。
【図３】他の電気光学装置の概略図である。
【図４】他の電気光学装置の製造工程の概略図である。
【図５】液晶パネルの構成図である。
【図６】第１の実施の形態にかかる薄膜形成装置の概略図である。
【図７】第１の実施の形態にかかる液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図８】第１の実施の形態にかかる液滴吐出ヘッドの概略図である。
【図９】パーソナルコンピュータの斜視図である。
【図１０】携帯電話の斜視図である。
【図１１】液晶パネルの概略図である。
【図１２】液晶インクジェット法の工程概略図である。
【符号の説明】
１・・・第１基板、２・・・シール部、３・・・液晶、４・・・第２基板、１０・・・薄膜形成装置、１１・・・塗布液、１２・・・液滴吐出ヘッド、１３・・・液滴吐出手段、１４・・・移動手段、１５・・・制御手段、５０開口部、５１封止部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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