(57)【要約】【課題】低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる撮像装置を提供する。【解決手段】手振れ補正機能付きカメラ１は、ヨー方向の振れを検出するＹａ振れ検出ジャイロ１２と、ピッチ方向の振れを検出するＰ振れ検出ジャイロ１１と、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２から出力される出力信号とＰ振れ検出ジャイロ１１から出力される出力信号とに基づいて手振れを補正する手振れ補正光学系２６とを備え、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２とＰ振れ検出ジャイロ１１とにおいて、振れ検出精度の高いジャイロをＰ振れ検出ジャイロ１１に用いる。【選択図】  図２
2004354878.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヨー方向の振れを検出する横振れ検出センサと、
ピッチ方向の振れを検出する縦振れ検出センサと、
前記横振れ検出センサから出力される出力信号と前記縦振れ検出センサから出力される出力信号とに基づいて手振れを補正する手振れ補正部とを備え、
前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとにおいて、振れ検出精度の高いセンサを前記縦振れ検出センサに用いることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとにおいて、検出感度の温度変動が小さいセンサを前記縦振れ検出センサに用いることを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
【請求項３】
前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとは駆動周波数が異なることを特徴とする請求項１又は２記載の撮像装置。
【請求項４】
前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方の温度を検出する温度センサと、
前記温度センサから出力される温度情報に基づいて、前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度を補正する感度補正部とをさらに備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の撮像装置。
【請求項５】
前記温度情報に対応付けられる感度の補正係数を記憶するルックアップテーブルをさらに備え、
感度補正部は、前記ルックアップテーブルを参照して前記補正係数を決定し、決定された前記補正係数により前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度を補正することを特徴とする請求項４記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、デジタルカメラやデジタルビデオカメラにおける手振れを補正する撮像装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、カメラ等の撮像装置において、撮影者による手振れを補正するための機構が知られている。このような手振れ補正機構では、手振れを検出するセンサとして、例えばジャイロが用いられる。手振れ補正機構を有する撮像装置は、ジャイロにより角速度を検出し、検出された角速度により撮像装置の振れ量を検出し、検出された振れ量から撮像素子又は補正光学系の移動量を算出し、算出された移動量に応じて撮像素子又は補正光学系を移動させることによって手振れの補正が行われる。
【０００３】
ジャイロは、圧電素子に所定の電圧を印加することによって振動させ、この振動している圧電素子に角速度が作用することによって振動方向に対して直角に働くコリオリ力により振動の軸対称性が崩れて歪が生じることとなり、圧電素子に歪が生じることによって電荷が発生する現象を利用して角速度を測定する。
【０００４】
ここで、ジャイロから出力される出力電圧の感度は、材料独特の温度特性を有している。したがって、ジャイロを用いて手振れ補正を行う場合、この温度特性を考慮した感度の温度補正を行う必要があった。
【０００５】
圧電素子の温度特性による感度の温度補正を行う方法として、従来のジャイロでは、温度補正用の抵抗を設けることによって、温度による誤差を補正している（特許文献１参照）。
【０００６】
また、手振れは、撮影者がカメラのレリーズ釦を押下する動作に起因して主に発生する。すなわち、手振れは、カメラのピッチ方向の振れのほうが、ヨー方向の振れよりも大きくなる傾向にある。
【０００７】
そのため、従来の撮像装置では、ピッチ方向の振れ検出の単位時間あたりのサンプリング数をヨー方向の振れ検出の単位時間あたりのサンプリング数よりも大きくすることによって測定精度を向上させている（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１１−３４４３４４号公報
【特許文献２】
特開２００１−２９０１８３号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１では、温度による誤差を補正するための抵抗をジャイロに新たに設ける必要があるため、ジャイロにかかるコストが上昇してしまうという問題を有している。
【００１０】
また、上記特許文献２では、単位時間あたりのサンプリング数を変更するため、サンプリング周波数を変更する必要があり、回路構成が複雑になるという問題を有している。
【００１１】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる撮像装置を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る撮像装置は、ヨー方向の振れを検出する横振れ検出センサと、ピッチ方向の振れを検出する縦振れ検出センサと、前記横振れ検出センサから出力される出力信号と前記縦振れ検出センサから出力される出力信号とに基づいて手振れを補正する手振れ補正部とを備え、前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとにおいて、振れ検出精度の高いセンサを前記縦振れ検出センサに用いることを特徴としている。
【００１３】
この構成によれば、横振れ検出センサによって、撮像装置のヨー方向の振れが検出され、縦振れ検出センサによって、撮像装置のピッチ方向の振れが検出され、横振れ検出センサから出力される出力信号と縦振れ検出センサから出力される出力信号とに基づいて撮像装置の手振れが補正され、横振れ検出センサと縦振れ検出センサとにおいて、振れ検出精度の高いセンサが縦振れ検出センサとして用いられる。
【００１４】
したがって、ヨー方向の振れよりもピッチ方向の振れの振れ量のほうが大きい撮像装置において、前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとのうち、振れ検出精度の高いセンサが縦振れ検出センサに用いられるので、従来のように温度による誤差を補正するための構成を新たに設ける必要がなく、また従来のように回路構成を複雑にすることなく、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【００１５】
また、上記の撮像装置において、前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとにおいて、検出感度の温度変動が小さいセンサを前記縦振れ検出センサに用いることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、横振れ検出センサによって、撮像装置のヨー方向の振れが検出され、縦振れ検出センサによって、撮像装置のピッチ方向の振れが検出され、横振れ検出センサから出力される出力信号と縦振れ検出センサから出力される出力信号とに基づいて撮像装置の手振れが補正され、横振れ検出センサと縦振れ検出センサとにおいて、検出感度の温度変動が小さいセンサが縦振れ検出センサとして用いられる。
【００１７】
したがって、ヨー方向の振れよりもピッチ方向の振れの振れ量のほうが大きい撮像装置において、前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとのうち、検出感度の温度変動が小さいセンサが縦振れ検出センサに用いられるので、従来のように温度による誤差を補正するための構成を新たに設ける必要がなく、また従来のように回路構成を複雑にすることなく、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【００１８】
また、上記の撮像装置において、前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとは駆動周波数が異なることを特徴としている。
【００１９】
この構成によれば、横振れ検出センサと縦振れ検出センサとは駆動周波数が異なるので、圧電素子を有する振動ジャイロにより横振れ検出センサと縦振れ検出センサとが構成される場合、２つのセンサによる共振を防止することができる。
【００２０】
また、上記の撮像装置において、前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方の温度を検出する温度センサと、前記温度センサから出力される温度情報に基づいて、前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度を補正する感度補正部とをさらに備えることを特徴としている。
【００２１】
この構成によれば、横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方の温度を検出する温度センサによって、当該横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサの温度が温度情報として検出され、感度補正部によって、温度センサによって検出された温度情報に基づいて、横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度が補正される。
【００２２】
したがって、横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号に対して、横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方の感度の温度変動に応じた補正を行うことができ、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【００２３】
また、上記の撮像装置において、前記温度情報に対応付けられる感度の補正係数を記憶するルックアップテーブルをさらに備え、感度補正部は、前記ルックアップテーブルを参照して前記補正係数を決定し、決定された前記補正係数により前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度を補正することを特徴としている。
【００２４】
この構成によれば、温度情報に対応付けられる感度の補正係数を記憶するルックアップテーブルを参照して補正係数が決定され、決定された補正係数により横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度が補正されるので、横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方の温度を検出することによって、容易に感度の補正を行うことができ、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００２６】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態における手振れ補正機能付きカメラの一実施形態を構成するカメラ本体に内蔵された主要部材の配置を示す外観図である。
【００２７】
図１に示すように、第１の実施形態に係る手振れ補正機能付きカメラ１は、カメラ本体２と、このカメラ本体２の正面略中央に撮影レンズ３とが設けられている。手振れ補正機能付きカメラ１には、カメラ本体２の内部にＰ（ピッチ）振れ検出ジャイロ１１、Ｙａ（ヨー）振れ検出ジャイロ１２及び温度センサ１３が設けられ、カメラ本体２の上面の正面から見て左端部にレリーズ釦１４が設けられている。なお、本実施形態において、カメラ１に対して横方向をＸ軸方向とし、カメラ１に対して縦方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸周りの回転方向をピッチ（Ｐ）方向とし、Ｙ軸周りの回転方向をヨー（Ｙａ）方向とする。
【００２８】
図２は、第１の実施形態における手振れ補正機能付きカメラの構成を概略的に示すブロック図である。
【００２９】
図２において、第１の実施形態における手振れ補正機能付きカメラ１は、カメラ本体２及び撮影レンズ３を備えて構成される。カメラ本体２は、Ｐ振れ検出ジャイロ１１、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２、レリーズ釦１４、振れ検出回路１５、振れ量検出回路１６、係数変換回路１７、シーケンスコントロール部１８及び制御回路１９を備える。撮影レンズ３は、Ｙ方向位置センサ２１、Ｙ方向駆動アクチュエータ２２、Ｘ方向位置センサ２３、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４、駆動回路２５、手振れ補正光学系２６、撮影光学系２７及び温度センサ２８を備えて構成される。
【００３０】
まず、カメラ本体２について説明する。レリーズ釦１４は、図１の矢印Ｙ１に示す方向に半押しされる半押し状態で撮影準備状態となる。この撮影準備状態では、被写体に自動的にピントを合わせるオートフォーカス（ＡＦ）、露出を自動的に決定するオートエクスポージャー（ＡＥ）及び手振れ補正機能が動作する。
手振れ補正機能は、フレーミングを容易にするために半押し状態中は連続して動作し続ける。また、レリーズ釦１４が、撮影者によって図１の矢印Ｙ１に示す方向に全押しされる全押し状態にされると、撮影が行われる。すなわち、ＡＥで決定された露出状態に従って、撮像素子（不図示）が適正露出になるように露光制御が行われる。なお、暗所では、シャッタスピードが低速となり、カメラ振れが発生するので、この間もカメラの振れによる像振れを補正するように、適正な振れ補正制御が行われる。
【００３１】
また、上述のように、カメラ１は、図１の矢印Ｙ１に示す方向にレリーズ釦１４を押し込む構成となっているため、図１の矢印Ｙ２に示すヨー方向よりも図１の矢印Ｙ３に示すピッチ方向の振れのほうが大きくなる。したがって、手振れ補正の全体的な補正性能を向上させるためには、ヨー方向の振れよりもピッチ方向の振れに対する補正性能を向上させることが好ましい。
【００３２】
Ｐ振れ検出ジャイロ１１は、カメラのピッチ方向の振れを検出するジャイロセンサであり、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２は、カメラのヨー方向の振れを検出するジャイロセンサである。ジャイロセンサは、測定対象物（本実施形態ではカメラ）が振れによって回転した場合における振れの角速度を検出する。ジャイロセンサは、圧電素子を有しており、電圧を圧電素子に印加することによって振動させる。そして、この圧電素子に回転運動による角速度が加わると、振動方向に対して直角の方向にコリオリ力が発生し、圧電素子に歪みが生じる。ジャイロセンサは、この歪みを電気信号として取り出すことによって、角速度を検出する。
【００３３】
なお、本実施形態における手振れ補正機能付きカメラ１では、Ｐ振れ検出ジャイロ１１とＹａ振れ検出ジャイロ１２とにおいて、振れ検出精度の高いジャイロ、例えば、検出感度の温度変動が小さいジャイロをＰ振れ検出ジャイロ１１に用いる。
【００３４】
Ｐ振れ検出ジャイロ１１が検出したＰ振れ角速度信号及びＹａ振れ検出ジャイロ１２が検出したＹａ振れ角速度信号は、振れ検出回路１５に入力される。振れ検出回路１５は、各角速度信号からノイズ及びドリフトを低減するためのフィルタ回路（ローパスフィルタ及びハイパスフィルタ）及び各角速度信号を増幅するための増幅回路などを備えて構成される。
【００３５】
振れ検出回路１５から出力される各角速度信号は、振れ量検出回路１６に入力される。振れ量検出回路１６は、各角速度信号を所定の時間間隔で取り込み、カメラのＸ方向の振れ量をｄｅｔｘ、Ｙ方向の振れ量をｄｅｔｙとして係数変換回路１７に出力する。
【００３６】
係数変換回路１７は、手振れ補正光学系２６の固体ばらつきや周囲温度に応じて補正しつつ、各方向の振れ量（ｄｅｔｘ，ｄｅｔｙ）を各方向の移動量（ｐｘ，ｐｙ）に変換する。手振れ補正光学系２６の固体ばらつきは、例えば、カメラ本体の出荷時の検査において、実測値をカメラ本体に搭載されているメモリ（不図示）に記憶させる。温度特性も実測するなどして該メモリに記憶させる。
【００３７】
係数変換回路１７から出力された各方向の移動量（ｐｘ、ｐｙ）を示す信号は、制御回路１９に入力される。制御回路１９は、駆動回路２５、Ｘ，Ｙ方向駆動アクチュエータ２２，２４及びＸ，Ｙ方向位置センサ２１，２３の温度等による環境変化や経時変化を考慮して、各方向の移動量（ｐｘ、ｐｙ）を示す信号を実際の駆動信号（ｄｒｖｘ、ｄｒｖｙ）に変換する。
【００３８】
制御回路１９から出力された各方向の駆動信号（ｄｒｖｘ、ｄｒｖｙ）は、駆動回路２５に入力される。
【００３９】
これら振れ量検出回路１６、係数変換回路１７及び制御回路１９の動作は、シーケンスコントロール回路１８によって制御される。すなわち、シーケンスコントロール回路１８は、レリーズ釦１４が全押しされると、振れ量検出回路１６を制御することによって、各方向の振れ量（ｄｅｔｘ，ｄｅｔｙ）を取り込む。次に、シーケンスコントロール回路１８は、係数変換回路１７を制御することによって、各方向の振れ量を各方向の移動量（ｐｘ、ｐｙ）に変換させる。次に、シーケンスコントロール回路１８は、制御回路１９を制御することにより、各方向の移動量に基づいて操作値を演算させる。このような動作を手振れを補正するために、レリーズ釦１４が全押しされ露光が終了するまでの期間中、一定の時間間隔で繰り返し行われる。ここで、カメラの振れ、いわゆる手振れは、約１０Ｈｚの小振幅である筋肉の振動、３Ｈｚ以下の大振幅である体の揺れ、及び、５Ｈｚ程度の大振幅であるレリーズ釦１４を操作する際に生じる振れが合成された振動であると言われている。このことから、本実施形態では例えば０．０００５秒間隔（２ｋＨｚ）で手振れ補正を行う。
【００４０】
なお、シーケンスコントロール回路１８は、レリーズ釦１４が半押しされると不図示の回路を用いて測光や被写体距離検出などの撮影の準備を行い、レリーズ釦１４が全押しされるとフォーカス調整用のレンズを駆動するなどして撮影を行う動作も行う。
【００４１】
次に、撮影レンズ３について説明する。
【００４２】
温度センサ２８は、例えば、サーミスタなどであり、周囲温度を検出してカメラ本体２の係数変換回路１７及び制御回路１９に検出結果を出力する。検出結果は、温度による特性の変化を補正するために利用される。例えば、手振れ補正光学系２６や各方向の位置センサ２１、２３の温度変化に対する補正、各方向の駆動アクチュエータ２２、２４の基本駆動周波数、駆動電圧などの補正である。これらは、カメラ本体２内の前述のメモリ（不図示）に各特性ごとに温度に対する補正値を示すＬＵテーブルを予め記憶させることで行う。
【００４３】
撮影光学系２７は、被写体からの被写体光を撮像面に結像させる。手振れ補正光学系２６は、手振れを補正するためのレンズであり、被写体からの被写体光を屈折させる。
【００４４】
Ｙ方向位置センサ２１は、手振れ補正光学系２６のＹ方向の位置を検出し、検出結果を駆動回路２５に出力する。Ｙ方向駆動アクチュエータ２２は、例えば、圧電素子を用いたインパクト型圧電アクチュエータであり、駆動回路２５から出力される駆動電圧に従って手振れ補正光学系２６をＹ方向に移動する。Ｘ方向位置センサ２３は、手振れ補正光学系２６のＸ方向の位置を検出し、検出結果を駆動回路２５に出力する。Ｘ方向駆動アクチュエータ２４は、例えば、圧電素子を用いたインパクト型圧電アクチュエータであり、駆動回路２５から出力される駆動電圧に従って手振れ補正光学系２６をＸ方向に移動する。
【００４５】
Ｙ方向位置センサ２１及びＸ方向位置センサ２３は、例えば、赤外発光ダイオード（ＩＲＥＤ）とスリットとを可動側に搭載させ、固定側にポジションセンサ（ＰＳＤ，Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）を搭載させて構成される。Ｙ方向位置センサ２１及びＸ方向位置センサ２３の各出力は、制御回路１９に入力される。駆動回路２５は、カメラ本体２の制御回路１９から出力された制御信号に基づいてＹ方向駆動アクチュエータ２２及びＸ方向駆動アクチュエータ２４にそれぞれ駆動電圧を供給する。
【００４６】
次に、手振れ補正光学系ユニットの構成について説明する。
【００４７】
図３は、手振れ補正光学系ユニットの構成を概略的に示す図である。
【００４８】
図３において、手振れ補正光学系ユニット４は、Ｙ方向駆動アクチュエータ２２、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４、手振れ補正光学系２６、土台３０、台板３１、レンズ枠３２、Ｙ方向スライド軸３４ｙ、Ｘ方向スライド軸３４ｘ、Ｙ方向スライドガイド３５ｙ、Ｘ方向スライドガイド３５ｘ、Ｙ方向サブガイド３６ｙ及びＸ方向サブガイド３６ｘを備えて構成される。
【００４９】
土台３０は、手振れ補正光学系ユニット４の各部を搭載する部材である。土台３０は、撮影レンズ３の鏡胴に固定される。Ｘ方向駆動アクチュエータ２４は、例えば、素子固定式構造のインパクト型圧電アクチュエータであり、土台３０の一方向に固定されて搭載される。Ｘ方向駆動アクチュエータ２４の移動部材２４１ｘが移動する方向をＸ方向とする。
【００５０】
Ｘ方向スライドガイド３５ｘは、基部の両端に一対の凸形状のスライダを備えた略コ字形状をした動力伝達部材である。このＸ方向スライドガイド３５ｘの基部は、移動部材２４１ｘに固着され、一対のスライダの端部は、それぞれにおいて、一方の端部が基部に固着し、他方の端部が台板３１に固着している。そして、一対のスライダには、Ｘ方向スライド軸３４ｘが貫通する孔を有し、Ｘ方向スライド軸３４ｘに沿って移動可能となっている。Ｘ方向スライド軸３４ｘは、Ｘ方向スライドガイド３５ｘがＸ方向スライド軸３４ｘに沿って移動可能となるように土台３０と間隔を空けて、その両端部が土台３０に固着されている。一方、台板３１には、Ｘ方向スライドガイド３５ｘが固着されている側と対向する側にＸ方向サブガイド３６ｘのスライダが固着されている。Ｘ方向サブガイド３６ｘは、スライダとスライダ軸とからなる。Ｘ方向サブガイド３６ｘのスライダは、スライダ軸を貫通する孔を有し、このスライダ軸は、該スライダがスライダ軸に沿って移動可能となるように土台３０と間隔を空けて、その両端部が土台３０に固着されている。これによってＸ方向サブガイド３６ｘは、台板３１がＸ方向にスムーズに移動するようにＸ方向スライドガイド３５ｘを補助すると共に、光軸方向に台板３１が傾かないように支えている。
【００５１】
Ｙ方向駆動アクチュエータ２２は、例えば、素子固定式構造のインパクト型圧電アクチュエータであり、Ｘ方向と直交するように台板３１に固定されて搭載される。
【００５２】
Ｙ方向スライドガイド３５ｙは、基部の両端に一対の凸形状のスライダを備えた略コ字形状をした動力伝達部材である。このＹ方向スライドガイド３５ｙの基部は、移動部材２２１ｙに固着され、一対のスライダの端部は、それぞれにおいて、一方の端部が基部に固着し、他方の端部がレンズ枠３２に固着している。そして、一対のスライダには、Ｙ方向スライド軸３４ｙが貫通する孔を有し、Ｙ方向スライド軸３４ｙに沿って移動可能となっている。Ｙ方向スライド軸３４ｙは、Ｙ方向スライドガイド３５ｙがＹ方向スライド軸３４ｙに沿って移動可能となるように台板３１と間隔を空けて、その両端部が台板３１に固着されている。一方、レンズ枠３２には、Ｙ方向スライドガイド３５ｙが固着されている側と対向する側にＹ方向サブガイド３６ｙのスライダが固着されている。Ｙ方向サブガイド３６ｙは、スライダとスライダ軸とからなる。Ｙ方向サブガイド３６ｙのスライダは、スライダ軸を貫通する孔を有し、このスライダ軸は、該スライダがスライダ軸に沿って移動可能となるように台板３１と間隔を空けて、その両端部が台板３１に固着されている。これによってＹ方向サブガイド３６ｙは、レンズ枠３２がＹ方向にスムーズに移動するようにＹ方向スライドガイド３５ｙを補助すると共に、光軸方向にレンズ枠３２が傾かないように支えている。レンズ枠３２は、手振れ補正光学系２６を保持する保持部材である。
【００５３】
このような構成によって、手振れ補正光学系２６は、制御回路１９による位置サーボ制御の基で、最適な制御（速度）状態で、Ｘ方向、Ｙ方向に連続的に追随制御しながら被写体光をそれぞれの方向に屈折する。その結果、手振れ補正が可能となる。
【００５４】
次に、制御回路１９及びその周辺回路についてさらに説明する。
【００５５】
図４は、制御回路及びその周辺回路の構成を示すブロック図である。なお、手振れ補正は、Ｘ方向及びＹ方向について補正するので、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４を制御する構成及びＹ方向駆動アクチュエータ２２を制御する構成が必要である。これら両構成は同一であるので、図４は、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４を制御する構成を示し、Ｙ方向駆動アクチュエータ２２を制御する構成については省略してある。以下の説明もＹ方向駆動アクチュエータ２２を制御する構成については省略する。
【００５６】
図４において、制御回路１９は、減算回路１９０、ＰＩＤ１９１、ＬＵテーブル回路（ＬＵＴ）１９２、ＤＡＣ１９３、ＰＷＭコントローラ１９４、ＰＷＭ回路１９５、駆動周波数決定回路１９６、単位変換回路１９７及びＡＤＣ１９８を備えて構成される。駆動回路２５は、電圧変更回路２５１及びＨブリッジ回路２５２を備えて構成され、Ｘ方向位置センサ２３は、ＩＲＥＤ２３１、ＰＳＤ２３２及びＰＳＤ信号処理回路２３３を備えて構成される。
【００５７】
Ｘ方向駆動アクチュエータ２４の移動部材に取り付けられたＩＲＥＤ２３１の赤外線は、スリットを介してＰＳＤ２３２に入射される。ＰＳＤ２３２は、この赤外線を検出し、検出結果をＰＳＤ信号処理回路２３３に出力する。ＰＳＤ信号処理回路２３３は、検出結果を移動部材の現在位置ｐｘｎ、すなわち、手振れ補正光学系２６の現在位置ｐｘｎを示すアナログ電圧になるように処理して、該アナログ電圧を制御回路１９のＡＤＣ１９８に出力する。
【００５８】
ＡＤＣ１９８は、アナログ・ディジタル変換回路であり、手振れ補正光学系２６の現在位置ｐｘｎを示すアナログ電圧を１０ビット（ｂｉｔ）のディジタル信号に変換し、単位変換回路１９７に出力する。単位変換回路１９７は、係数変換回路１７から入力された目標位置ｐｘと同じ単位になるように、ディジタル信号に変換された現在位置を示す信号を定倍（Ｋｐｓ倍）する。Ｋｐｓ倍された現在位置を示す信号は、駆動周波数決定回路１９６と目標位置ｐｘを示す信号が入力される減算回路１９０とに入力される。
【００５９】
駆動周波数決定回路１９６は、特定の条件下における駆動周波数であるアクチュエータの基本駆動周波数を基に、手振れ補正光学系２６の固体ばらつき及び温度特性を考慮して、駆動周波数を演算する。すなわち、駆動周波数決定回路１９６は、手振れ補正光学系２６の固体ばらつき及び周囲温度に応じて基本駆動周波数を補正して駆動周波数を演算する。駆動周波数における手振れ補正光学系２６の固体ばらつきは、例えば、カメラ本体の出荷時の検査において補正値を実測するなどして補正値をカメラ本体に搭載されている前述のメモリ（不図示）に記憶させる。駆動周波数の温度特性も実測などすることによって温度補正テーブルとして基本駆動周波数の補正値を温度ごとに該メモリに記憶させる。駆動周波数決定回路１９６で演算された駆動周波数を示す信号は、ＰＷＭコントローラ１９４に入力される。このように駆動周波数決定回路１９６によって基本駆動周波数が補正されるので、手振れ補正光学系２６の固体ばらつきや温度変化があった場合でも、適切な基本駆動周波数となる。
【００６０】
一方、係数変換回路１７から制御回路１９に入力された目標位置ｐｘを示す信号は、減算回路１９０で現在位置ｐｘｎを示す信号で減算される。減算された制御偏差信号は、ＰＩＤ１９１に入力される。ＰＩＤ１９１は、目標位置ｐｘと現在位置ｐｘｎとの差に対して最適な操作値となるように、比例、微分、積分のゲインを決定する。このゲインで増幅された制御偏差信号は、ＰＩＤ１９１からＬＵテーブル回路１９２とＰＷＭコントローラ１９４に入力される。
【００６１】
ＬＵテーブル回路１９２は、メモリ内の電圧ＬＵテーブルを参照して、制御偏差信号に応じて駆動電圧の直流電源電圧Ｖｐの電圧値を決定する。決定された駆動電圧の電圧値は、ＤＡＣ１９３に入力される。ここで、ＬＵテーブル回路１９２は、比例ゲイン、微分ゲイン（高周波成分のゲイン）などでは設定が困難な、非線形部分のゲインを設定する。例えば、本駆動装置の場合では、０〜１．５Ｖを印加しても摩擦によって動作しない不感帯に対応する観点から、その値の制御値が入力されても１．５Ｖを出力すると共に、駆動装置の耐久性を確保する観点から駆動装置の不要な高温化を避けるため、印加電圧の最大値を制限する。このＬＵテーブルは、例えば、図５に示す特性を実現するようにテーブル化される。
すなわち、入力電圧が−５．５Ｖ以下の場合では出力電圧が−５．５で一定となるように、入力電圧が−５．５Ｖ以上０Ｖ未満では（出力電圧）＝（４／５．５）×（入力電圧）−１．５の比例関係になるように、入力電圧が０Ｖ以上５．５Ｖ以下では（出力電圧）＝（４／５．５）×（入力電圧）＋１．５の比例関係になるように、そして、入力電圧が５．５Ｖ以上では出力電圧が５．５Ｖで一定となるように、テーブル化される。
【００６２】
ＤＡＣ１９３は、ディジタル・アナログ変換回路であり、この駆動電圧の電圧値を８ビットでアナログ電圧に変換し、駆動回路２５に入力する。これによって、駆動回路２５が図７に示す回路である場合に、直流電源電圧ＶｐがＬＵテーブル回路１９２で決定された駆動電圧の電圧値に変更される。これによって、シャッターが開いて被写体像を撮像（露光）している間、手振れ補正が実施されるように、移動部材、すなわち、手振れ補正光学系２６は所定の時間間隔で連続的に移動し続ける。
【００６３】
また、ＰＷＭコントローラ１９４は、ＰＩＤ１９１からの制御偏差信号の符号に応じて手振れ補正光学系２６の移動方向を決定し、これに応じてデューティー比Ｄを正方向の場合は３：７に、逆方向の場合は７：３に設定する。ＰＷＭコントロール１９４は、駆動周波数決定回路１９６で演算された駆動周波数で、かつ、設定したデューティー比Ｄで矩形波電圧を発生させるように制御信号をＰＷＭ回路１９５に出力する。ＰＷＭ回路１９５は、この状態の矩形波の駆動電圧を発生させ、駆動回路２５のＨブリッジ回路２５２に供給する。Ｈブリッジ回路２５２は、例えば、図７に示す回路が利用される。
【００６４】
Ｘ方向駆動アクチュエータ２４の電気機械変換素子は、このＨブリッジ回路２５２によって駆動され、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４は、手振れ補正光学系２６を所定の速度で目標位置に向かって移動させる。そして、制御回路１９は、最新の目標位置ｐｘ、現在位置ｐｘｎの差に対してＰＩＤ回路１９１、ＬＵＴ１９２及びＤＡＣ１９４で最適な印加電圧をＨブリッジ回路２５２に印加すると共に、駆動周波数決定回路１９６、ＰＷＭコントローラ１９４及びＰＷＭ回路１９５からＨブリッジ回路２５２に最適な駆動パルス信号を供給し続けることで、手振れ補正光学系２６を連続的に駆動し、シャッターが開いている間は、手振れ補正を連続的に行うことが可能となる。
【００６５】
次に、本実施形態における手振れ補正機能付きカメラの動作について説明する。
【００６６】
撮影者によってレリーズ釦１４が全押しされると、手振れを補正するために、シーケンスコントロール回路１８は、Ｐ振れ検出ジャイロ１１及びＹａ振れ検出ジャイロ１２がそれぞれ検出した各方向の角速度を振れ量検出回路１６及び係数変換回路１７を用いて、手振れ補正光学系２６を移動させるべき各方向の目標位置（ｐｘ、ｐｙ）を示す信号に変換させ、制御回路１９に入力させる。
【００６７】
Ｘ方向駆動アクチュエータ２４とＹ方向駆動アクチュエータ２２との動作は、同様なので、以下、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４の動作を説明する。
【００６８】
制御回路１９は、Ｘ方向位置センサ２３から手振れ補正光学系２６の現在位置ｐｘｎを示す信号を取得する。現在位置ｐｘｎを示す信号は、ＡＤＣ１９８でディジタル信号に変換され、そして、単位変換回路１９７で目標位置ｐｘを示す信号と同じ単位に変換される。変換された現在位置ｐｘｎを示す信号は、駆動周波数決定回路１９６及び目標位置ｐｘを示す信号と減算する減算回路１９０に入力される。
【００６９】
減算回路１９０は、目標位置ｐｘから現在位置ｐｘｎを減算することによって制御偏差信号を演算し、制御偏差信号は、ＰＩＤ１９１で上記の処理がなされた後に、ＬＵテーブル回路１９２及びＰＷＭコントローラ１９４に出力される。ＬＵテーブル回路１９２は、制御偏差信号に基づいて、電圧ＬＵテーブルを参照することによって駆動電圧の電圧値Ｖｐｘを決定する。決定された電圧値Ｖｐｘは、ＤＡＣ１９３でアナログ信号に変換された後に、駆動回路２５の電圧変更回路２５１に入力され、駆動回路２５の直流電源電圧の値が電圧値Ｖｐｘに設定される。
【００７０】
一方、駆動周波数決定回路１９６は、現在位置ｐｘｎを示す信号が入力されたことをトリガーに、温度センサ１３で検出された周囲温度に基づいて、不図示のメモリに記憶された温度補正テーブルを参照することによって検出周囲温度に対応する補正値を判断する。駆動周波数決定回路１９６は、該メモリに記憶された固体ばらつきによる補正値及び周囲温度による補正値によって、該メモリに記憶された基本駆動周波数を修正することで、駆動周波数を決定する。なお、この駆動周波数の決定は、手振れ補正のフィードバックの位置サーボ制御ごとに必ずしも行われる必要はなく、起動時のみに、または、数回に１回の割合でもよい。
【００７１】
決定された駆動周波数を示す信号は、ＰＷＭコントローラ１９４にＰＩＤ１９１の出力と共に入力される。ＰＷＭコントローラ１９４は、ＰＩＤ１９１の出力の符号から移動部材、すなわち手振れ補正光学系２６の移動方向を判断し、この判断結果に基づいて、デューティー比Ｄを決定する。つまり、正方向に移動する場合にはデューティー比Ｄを３：７に決定し、逆方向に移動する場合にはデューティー比Ｄを７：３に決定する。そして、ＰＷＭコントローラ１９４は、ＰＷＭ回路１９５を制御することによって、修正された駆動周波数及び決定したデューティー比ＤであるＰＷＭ信号を駆動回路２５のＨブリッジ回路２５２に供給する。Ｈブリッジ回路２５２は、直流電源電圧が電圧値Ｖｐｘで供給されたＰＷＭ信号に従ってＸ方向駆動アクチュエータ２４の電気機械変換素子を駆動することによって、移動部材を所定の速度で移動させる。すなわち、手振れ補正光学系２６を所定の速度で移動させる。
【００７２】
制御回路１９は、このような手振れ補正光学系２６の位置制御をシャッターが開いて被写体像を撮像（露光）している間、所定の時間間隔で連続的に続ける。すなわち、制御回路１９は、最新の目標位置ｐｘと最新の現在位置ｐｘｎとから最適な制御電圧を決定し、その電圧値に応じた速度でＸ方向駆動アクチュエータ２４を繰り返し駆動する。ここで、最新の目標位置ｐｘは、Ｙａ振れ検出ジャイロ１１の出力信号に基づいて算出され、最新の現在位置ｐｘｎは、Ｘ方向位置センサ２３の出力信号から取得する。この位置サーボ制御は、基本的には、位置偏差（ｐｘとｐｘｎとの差）、速度偏差が大きい場合に、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４の電気機械変換素子の印加電圧値が大きくなって駆動速度が速くなるように最適化される。その結果、目標位置ｐｘとの偏差が小さい状態で手振れ補正光学系２６を駆動し続けることができる。
【００７３】
このように本実施形態では、駆動電圧の周波数が基本駆動周波数に設定されるので、手振れ補正光学系２６の速度及び位置を制御する場合に駆動周波数を制御する必要がない。そして、本実施形態では、駆動電圧の電圧値を調整することによって手振れ補正光学系２６の駆動状態を最適化し、高性能な手振れ補正を行うことができる。さらに、本実施形態では、インパクト型圧電アクチュエータを手振れ補正光学系２６の駆動装置に利用するので、撮影レンズ３の小型化、省電力化を図ることができる。そのため、カメラの小型化、省電力化を図ることができる。
【００７４】
次に、図６に駆動回路２５の一実施例を示す。
【００７５】
図６は、駆動回路の一実施例を示す回路図である。図７は、ＮチャネルＨブリッジ回路と電気機械変換素子の印加電圧との関係を示す回路制御状態図である。図７（Ａ）は、制御端子ＩＮ１、ＩＮ２、ＩＮＣに印加する電圧値と電気機械変換素子への印加電圧方向との関係を示し、図７（Ｂ）〜（Ｄ）は、Ｈブリッジ回路の各スイッチ素子におけるオン・オフ状態と移動部材の移動方向との関係を示す。図８（Ａ）は、Ｘ方向駆動アクチュエータに印加される電圧値Ｖｐｘ（Ｘ方向駆動用のＶｐ）であり、図８（Ｂ）は、Ｘ方向駆動アクチュエータ駆動用のＰＷＭパルスＸｐｗｍと、実際に電気機械変換素子に印加される印加電圧と関係を示す図である。図８（Ｂ）（ａ）は、Ｘ方向駆動アクチュエータに印加される電圧値Ｖｐｘを示し、図８（Ｂ）（ｂ）は、Ｘ方向駆動アクチュエータ駆動用のＰＷＭパルスＸｐｗｍを示し、そして、図８（Ｂ）（ｃ）は、実際に電気機械変換素子に印加される印加電圧を示す。
【００７６】
図６において、ドライバ回路９０は、２チャンネル（ｃｈ）分として２個のＨブリッジ回路９６、９９を内蔵し、その１ｃｈは、図７に示すように、Ｈブリッジを構成するスイッチ素子がＮチャネルＭＯＳ型ＦＥＴの回路である。Ｈブリッジ回路９６は、ドライバ回路９０の制御端子ＩＮ１に入力されるＸｐｗｍのＨレベル／Ｌレベルによって駆動方向Ｆ／Ｒが制御され、Ｈブリッジ回路９９は、ドライバ回路９０の制御端子ＩＮ２に入力されるＹｐｗｍのＨレベル／Ｌレベルによって駆動方向Ｆ／Ｒが制御される。ここで、ＦはＦｏｒｗａｒｄすなわち正方向を示し、ＲはＲｅｖｅｒｓｅすなわち逆方向を示す。
【００７７】
そして、ドライバ回路９０の制御端子ＩＮＣをＬレベルにすることによって印加電圧をオフ状態とすることが可能である。ドライバ回路９０の制御端子ＰＳは、マイクロコンピュータ（以下、「マイコン」と略記する。）１０１のパワーセーブ制御端子に接続され、手振れ補正を使用しないタイミングにおいて回路をオフ状態にする。
【００７８】
また、ドライバ回路９０には、Ｈブリッジ回路９６、９９のＮチャネルＭＯＳ型ＦＥＴのオン／オフを制御可能とするようにＭＯＳ型ＦＥＴにおける制御端子の電圧を昇圧してレベルシフトを行う機能ブロック（発振回路９１、チャージポンプ回路９２、レベルコントロール回路９４及びレベルシフト回路９８など）や制御端子ＩＮ１、ＩＮ２、ＩＮＣの出力信号からＭＯＳ型ＦＥＴのオン／オフを制御するためのＳＷコントロール機能ブロック（スイッチ回路９５及びコントロール回路９７など）が内蔵されており、マイコン１０１からの電圧値が低く、制御信号のための端子数が少ない場合でも、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４やＹ方向駆動アクチュエータ２２における印加電圧が制御可能なように構成されている。
【００７９】
なお、ドライバ回路９０は、これら発振回路９１、チャージポンプ回路９２、レベルコントローラ回路９４及びコントロール回路９７に基準電圧を供給するために、バンドギャップレファレンス回路９３を内蔵している。
【００８０】
ドライバ回路９０に対して、実際にＸ方向駆動アクチュエータ２４の電気機械変換素子及びＹ方向駆動アクチュエータ２２の電気機械変換素子に印加される電圧は、それぞれＶｐｘ及びＶｐｙとして外部から供給される。その制御方法は、マイコン１０１のＤ／Ａ変換部であるＤＡＣＡ７０、ＤＡＣＢ８０からＸｃｈ用、Ｙｃｈ用として別々に供給される電圧値ＣＶｐｘ、ＣＶｐｙをバッファ回路７１、８１を介して、差動増幅器７２〜７４、８２〜８４でレベルシフト及び増幅率変換を行い最適な印加電圧となって、印加電圧Ｖｐｘ、ＶｐｙがＸ方向駆動アクチュエータ２４の電気機械変換素子及びＹ方向駆動アクチュエータ２２の電気機械変換素子にそれぞれ供給される。また、電源電圧Ｖｐｉは、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４やＹ方向駆動アクチュエータ２２に使用される電気機械変換素子の容量（大きさ）によって一定値として、電池やＤＣ／ＤＣコンバータなどから供給される。なお、カメラのレンズを駆動する場合などでは、電源電圧Ｖｐｉは、６Ｖないし８Ｖ程度が好ましい。コンデンサ７５、８５は、電気機械変換素子に例えば約６０ｋＨｚの高周波の方形波電圧が印加されても印加電圧が大きく変化しないようにするための電荷蓄積用コンデンサである。本実施形態の場合では、マイコン１０１から制御する印加電圧の変化サイクル（例えば１ｋＨｚ）、最大電圧変化量及び電気機械変換素子の容量を考慮して１μＦ程度が好ましい。
【００８１】
一方、図８（Ａ）において、印加電圧制御値がＶｐｘで固定されている場合、制御端子ＩＮ１のＨレベル（Ｖｃｃ）／Ｌレベル（ＧＮＤ）に応答してＨブリッジ回路９６の駆動方向Ｆ／Ｒが変化するために、実際の電気機械変換素子への印加電圧は、Ｖｐｘ／−Ｖｐｘとして変化する。
【００８２】
図８（Ｂ）に時間分解能を粗くしてＶｐｘの変化も同時に示す。約６０ｋＨｚのＨブリッジ回路９６の方向反転制御に対して、印加電圧を約１ｋＨｚで変化させて（最適印加電圧を更新して）実際の電気機械変換素子への印加電圧を制御している。この制御によって、電気機械変換素子は、常に最適な共振周波数（例えば約６０ｋＨｚ）で共振しながら、その平均速度は、１ｋＨｚサイクルで制御可能となる。手振れ補正光学系２６の駆動中は、繰り返しこの制御を行う。
【００８３】
また、本実施形態では、カメラ本体２にＹ方向駆動アクチュエータ２２及びＸ方向駆動アクチュエータ２４を制御する制御回路１９を設けたが、制御回路１９を撮影レンズ３側に備えるようにしてもよい。これにより、手振れ補正光学系２６を制御する各回路をカメラ本体２より除去することができるので、カメラ本体２をより小型化、低コスト化を図ることができる。
【００８４】
図９〜１２は、ジャイロの感度温度変動について説明するための図である。図９（Ａ）は、同一の機種のジャイロ（ＴＹＰＥ０１＿Ａ）について、温度を変化させて感度変化率を複数個（５個）測定した測定結果を表す図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）に示す測定結果を温度と感度変化率とを対応付けてグラフにした図である。図１０は、図９のジャイロとはチャンネルが異なるジャイロの感度温度変動について説明するための図であり、図１０（Ａ）は、同一の機種のジャイロ（ＴＹＰＥ０１＿Ｂ）について、温度を変化させて感度変化率を複数個（５個）測定した測定結果を表す図であり、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）に示す測定結果を温度と感度変化率とを対応付けてグラフにした図である。図１１は、図９のジャイロとは機種が異なるジャイロの感度温度変動について説明するための図であり、図１１（Ａ）は、機種の異なるジャイロ（ＴＹＰＥ０２＿Ａ）について、温度を変化させて感度変化率を複数個（５個）測定した測定結果を表す図であり、図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）に示す測定結果を温度と感度変化率とを対応付けてグラフにした図である。図１２は、図９のジャイロとは機種及びチャンネルが異なるジャイロの感度温度変動について説明するための図であり、図１２（Ａ）は、機種及びチャンネルの異なるジャイロ（ＴＹＰＥ０２＿Ｂ）について、温度を変化させて感度変化率を複数個（５個）測定した測定結果を表す図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）に示す測定結果を温度と感度変化率とを対応付けてグラフにした図である。
【００８５】
なお、図９（Ｂ）、図１０（Ｂ）、図１１（Ｂ）及び図１２（Ｂ）において、横軸は温度（℃）を表し、縦軸は感度変化率（％）を表す。また、上記「ＴＹＰＥ０１＿Ａ」の「ＴＹＰＥ０１」とは、ジャイロの機種を表し、「Ａ」とはチャンネル（ｃｈ）を表している。すなわち、図９における「ＴＹＰＥ０１＿Ａ」と後述の図１０における「ＴＹＰＥ０１＿Ｂ」とは機種が同一でチャンネル（周波数）が異なるジャイロであり、「ＴＹＰＥ０１＿Ａ」と後述の図１１における「ＴＹＰＥ０２＿Ａ」とは機種が異なりチャンネルが同一であるジャイロである。
【００８６】
図９（Ａ）では、５つのＴＹＰＥ０１＿Ａのジャイロに関して、室温２５℃の感度変化率を０パーセントとして、温度を−５℃から７０℃まで変化させ、−５℃、０℃、１０℃、５０℃及び７０℃における感度変化率をそれぞれ測定している。
【００８７】
ここで、温度が−５℃の場合における感度変化率の測定結果について説明する。図９（Ａ）に示すように、温度が−５℃の場合、１個目の測定では、感度変化率が−０．６％であり、２個目の測定では、感度変化率が−０．３％であり、３個目の測定では、感度変化率が−１．７％であり、４個目の測定では、感度変化率が−１．５％であり、５個目の測定では、感度変化率が０．２％であった。また、図９（Ａ）に示すＴＹＰＥ０１＿Ａのジャイロは、温度が−５℃の場合、感度変化率の５個の平均値（ＡＶＥ）は−０．７８％であり、感度変化率の最大値（ＭＡＸ）は０．２％であり、感度変化率の最小値（ＭＩＮ）は−１．７％であり、感度変化率の最大値から平均値を減算した値（ＭＡＸ２）は０．９８％であり、感度変化率の最小値から平均値を減算した値（ＭＩＮ２）は−０．９２％であった。
【００８８】
温度が０℃の場合、感度変化率の５個の平均（ＡＶＥ）は０．９２％であり、感度変化率の最大値（ＭＡＸ）は１．７％であり、感度変化率の最小値（ＭＩＮ）は０．１％であり、感度変化率の最大値から平均値を減算した値（ＭＡＸ２）は０．７８％であり、感度変化率の最小値から平均値を減算した値（ＭＩＮ２）は−０．８２％であった。温度が１０℃の場合、感度変化率の５個の平均（ＡＶＥ）は１．９％であり、感度変化率の最大値（ＭＡＸ）は２．２％であり、感度変化率の最小値（ＭＩＮ）は１．３％であり、感度変化率の最大値から平均値を減算した値（ＭＡＸ２）は０．３％であり、感度変化率の最小値から平均値を減算した値（ＭＩＮ２）は−０．６％であった。温度が５０℃の場合、感度変化率の５個の平均（ＡＶＥ）は−２．５％であり、感度変化率の最大値（ＭＡＸ）は−２．１％であり、感度変化率の最小値（ＭＩＮ）は−２．８％であり、感度変化率の最大値から平均値を減算した値（ＭＡＸ２）は０．４％であり、感度変化率の最小値から平均値を減算した値（ＭＩＮ２）は−０．３％であった。温度が７０℃の場合、感度変化率の５個の平均（ＡＶＥ）は−４．４２％であり、感度変化率の最大値（ＭＡＸ）は−３．９％であり、感度変化率の最小値（ＭＩＮ）は−５．０％であり、感度変化率の最大値から平均値を減算した値（ＭＡＸ２）は０．５２％であり、感度変化率の最小値から平均値を減算した値（ＭＩＮ２）は−０．５８％であった。
【００８９】
図９（Ａ）に示すように、ＴＹＰＥ０１＿Ａのジャイロの感度変化率は、最小−５．０％から最大２．２％までの幅があり、この感度の温度変動の幅が振れ検出誤差となっている。また、図１０（Ａ）に示すように、ＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロの感度変化率は、最小−８．５％から最大５．４％までの幅があり、この感度の温度変動の幅が振れ検出誤差となっている。また、図１１（Ａ）に示すように、ＴＹＰＥ０２＿Ａのジャイロの感度変化率は、最小−５．７％から最大２．３％までの幅があり、この感度の温度変動の幅が振れ検出誤差となっている。さらに、図１２（Ａ）に示すように、ＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロの感度変化率は、最小−２．０％から最大２．９％までの幅があり、この感度の温度変動の幅が振れ検出誤差となっている。
【００９０】
上述のように、カメラ１の場合、撮影時において、図１のＹ１に示す方向にレリーズ釦１４を押し下げるため、ピッチ方向の振れ量のほうがヨー方向の振れ量よりも大きくなる傾向にある。そこで、振れ検出精度の高いジャイロ、すなわち、感度の温度変動の小さいジャイロをピッチ方向の振れを検出するジャイロとして用いる。すなわち、ＴＹＰＥ０１のジャイロを使用する場合、ＴＹＰＥ０１＿ＡのジャイロとＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロとでは、ＴＹＰＥ０１＿ＡのジャイロのほうがＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロよりも検出誤差が小さいので、ＴＹＰＥ０１＿Ａのジャイロをピッチ方向の振れ検知に使用する。同様に、ＴＹＰＥ０２のジャイロを使用する場合、ＴＹＰＥ０２＿ＡのジャイロとＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロとでは、ＴＹＰＥ０２＿ＢのジャイロのほうがＴＹＰＥ０２＿Ａのジャイロよりも検出誤差が小さいので、ＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロをピッチ方向の振れ検知に使用する。
【００９１】
また、ＴＹＰＥ０１＿Ａのジャイロの検出誤差の幅は７．２％であり、ＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロの検出誤差の幅は１３．９％であり、ＴＹＰＥ０２＿Ａのジャイロの検出誤差の幅は８％であり、ＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロの検出誤差の幅は４．９％であるので、これらのジャイロのうち、最も検出誤差が小さいＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロをピッチ方向の振れ検知に使用してもよい。
【００９２】
このように、Ｐ振れ検出ジャイロ１１とＹａ振れ検出ジャイロ１２とにおいて、感度の温度変動の小さいジャイロをピッチ方向の振れを検出するＰ振れ検出ジャイロ１１として用いることによって、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができるようになる。
【００９３】
また、ＴＹＰＥ０１＿ＡのジャイロとＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロとは、機種が同じでチャンネルが異なるジャイロである。手振れ補正の場合、ピッチとヨーの２方向のカメラの回転振れを検知する必要があるため、ＴＹＰＥ０１＿ＡのジャイロとＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロとは、一般的にはセットで使用される。しかしながら、ジャイロは、圧電素子による振動を利用したセンサであるので、ＴＹＰＥ０１＿ＡのジャイロとＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロとが共振する可能性がある。そこで、ピッチ方向の振れ検知に用いられるジャイロと、ヨー方向の振れ検知に用いられるジャイロとは、圧電素子の駆動周波数を互いに異ならせている。すなわち、例えば、ピッチ方向の振れ検知に用いられるジャイロの駆動周波数を２２ｋＨｚになるように設定し、ヨー方向の振れ検知に用いられるジャイロの駆動周波数を２４ｋＨｚになるように設定する。このような設定は、例えば、ジャイロに用いられる圧電素子の長さを、ピッチ方向とヨー方向とで互いに異ならせることによって行われる。
【００９４】
このように、Ｐ振れ検出ジャイロ１１とＹａ振れ検出ジャイロ１２とは駆動周波数が異なるので、圧電素子を有する振動ジャイロによりＹａ振れ検出ジャイロ１２とＰ振れ検出ジャイロ１１とが構成される場合、２つのセンサによる共振を防止することができる。
【００９５】
（第２の実施形態）
第１の実施形態では、振れ検出精度の高いジャイロをピッチ方向の角速度を検出するＰ振れ検出ジャイロ１１に用いることで、低コストで精度の高い手振れ補正を行っているが、第２の実施形態では、ジャイロの感度の温度補正を行うことによって、さらに振れ検出精度の高い手振れ補正を行う。
【００９６】
図１３は、第２の実施形態における手振れ補正機能付きカメラの構成を概略的に示すブロック図である。
【００９７】
図１３において、第２の実施形態における手振れ補正機能付きカメラ１’は、カメラ本体２及び撮影レンズ３を備えて構成される。カメラ本体２は、感度補正部１０、Ｐ振れ検出ジャイロ１１、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２、温度センサ１３、レリーズ釦１４、振れ検出回路１５、振れ量検出回路１６、係数変換回路１７、シーケンスコントロール部１８及び制御回路１９を備える。撮影レンズ３は、Ｙ方向位置センサ２１、Ｙ方向駆動アクチュエータ２２、Ｘ方向位置センサ２３、Ｘ方向駆動アクチュエータ２４、駆動回路２５、手振れ補正光学系２６及び撮影光学系２７を備えて構成される。なお、図１３に示す第２の実施形態におけるカメラ１’の構成は、図２に示す第１の実施形態におけるカメラ１の構成とほぼ同じであるため、ここでは異なる構成のみを説明する。
【００９８】
振れ量検出回路１６から出力されるカメラのＸ方向の振れ量ｄｅｔｘ及びＹ方向の振れ量ｄｅｔｙは、感度補正部１０に入力される。感度補正部１０は、温度センサ１３によって検出される装置内の温度の温度情報に基づいて、振れ量検出回路１６から出力されるカメラのＸ方向の振れ量ｄｅｔｘ及びＹ方向の振れ量ｄｅｔｙの感度の温度補正を行う。具体的に、感度補正部１０は、温度センサ１３によって検出される装置内の温度の温度情報に基づいて、装置内の温度とジャイロの感度の温度補正を行う補正係数とが対応付けられているＬＵＴ（ルックアップテーブル）を参照して補正係数を決定し、決定された補正係数で振れ量の温度補正を行う。ルックアップテーブルは、温度情報に対応付けられる感度の補正係数を記憶しており、例えば、−５℃から７０℃までの温度範囲において、５℃刻みで補正係数を対応付けて記憶する。感度補正部１０によって感度が補正されたＸ方向の振れ量ｄｅｔｘ及びＹ方向の振れ量ｄｅｔｙは、係数変換回路１７に入力される。
【００９９】
温度センサ１３は、例えば、サーミスタなどであり、周囲温度を検出してカメラ本体２の感度補正部１０、係数変換回路１７及び制御回路１９に検出結果を出力する。検出結果は、温度による特性の変化を補正するために利用される。例えば、Ｙａ振れ検出ジャイロ１１及びＰ振れ検出ジャイロ１２の感度の温度変化特性に対する補正、手振れ補正光学系２６や各方向の位置センサ２１、２３の温度変化に対する補正、各方向の駆動アクチュエータ２２、２４の基本駆動周波数、駆動電圧などの補正である。これらは、カメラ本体２内の前述のメモリ（不図示）に各特性ごとに温度に対する補正値を示すＬＵテーブルを予め記憶させることで行う。
【０１００】
なお、温度センサ１３は、Ｙａ振れ検出ジャイロ１１及びＰ振れ検出ジャイロ１２の感度の温度補正を行うため、Ｙａ振れ検出ジャイロ１１及びＰ振れ検出ジャイロ１２の近傍に設けることが好ましい。また、手振れ補正光学系２６や各方向の位置センサ２１、２３の温度変化に対する補正、各方向の駆動アクチュエータ２２、２４の基本駆動周波数、駆動電圧などの補正を行うための温度センサを撮影レンズ３内に設けてもよい。さらに、Ｙａ振れ検出ジャイロ１１及びＰ振れ検出ジャイロ１２の温度を検出するための温度センサを特別に設ける必要はなく、ＣＣＤ等の温度を検出する必要がある部材がカメラ１に用いられている場合、その温度を検出する温度センサをＹａ振れ検出ジャイロ１１及びＰ振れ検出ジャイロ１２の温度を検出するための温度センサとして用いてもよい。
【０１０１】
ここで、図９（Ａ）に示す測定結果から、ジャイロの感度の温度特性は、図９（Ｂ）のように表される。また、図１０（Ａ）、図１１（Ａ）及び図１２（Ａ）に示す測定結果から、ジャイロの感度の温度特性は、図１０（Ｂ）、図１１（Ｂ）及び図１２（Ｂ）のように表され、図９（Ｂ）と同様に、ジャイロの感度の温度特性は、室温である２５℃を基準にした場合、室温２５℃よりも温度が高くなると低感度となり、室温２５℃よりも温度が低くなると高感度となる。そのため、ジャイロ内部では、温度が変化しても感度が一定となるような構造上の工夫又は調整がなされているが、感度の温度変動を完全になくすことは困難であった。
【０１０２】
一方、図９（Ａ）に示すように、感度変化率の最大値から平均値を減算した値（ＭＡＸ２）と、感度変化率の最小値から平均値を減算した値（ＭＩＮ２）とを見てみると、温度変動は、−０．９２〜０．９８％に抑えられていることがわかる。そこで、感度変化率がこの平均値（ＡＶＥ）を減算した値となるようにＰ振れ角速度信号及びＹａ振れ角速度信号（Ｘ方向の振れ量及びＹ方向の振れ量）を補正することによって、感度の温度変動を抑えることが可能となり、検出精度をさらに向上させることが可能となる。すなわち、感度変化率が、ジャイロから出力される出力信号の感度変化率から予め測定された感度変化率の平均値を減算した値となるような補正係数を予め温度と対応付けてルックアップテーブルとしてメモリに記憶しておき、感度補正部１０は、温度センサ１３によって検出された温度情報に基づいてルックアップテーブルを参照することによって補正係数を決定し、決定された補正係数をジャイロからの出力信号に乗算することによって感度の補正を行う。
【０１０３】
図１４は、ジャイロの機種及びチャンネル間の感度温度変動の差を表す図である。図１４に示すように、感度の温度補正を行わなかった場合、ＴＹＰＥ０１＿Ａのジャイロでは、検出誤差の最大値（ＭＡＸ）が２．２％であり、検出誤差の最小値（ＭＩＮ）が−５．０％であり、最大値と最小値との幅が７．２％である。感度の温度補正を行わなかった場合、ＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロでは、検出誤差の最大値（ＭＡＸ）が５．４％であり、検出誤差の最小値（ＭＩＮ）が−８．５％であり、最大値と最小値との幅が１３．９％である。感度の温度補正を行わなかった場合、ＴＹＰＥ０２＿Ａのジャイロでは、検出誤差の最大値（ＭＡＸ）が２．３％であり、検出誤差の最小値（ＭＩＮ）が−５．７％であり、最大値と最小値との幅が８％である。感度の温度補正を行わなかった場合、ＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロでは、検出誤差の最大値（ＭＡＸ）が２．９％であり、検出誤差の最小値（ＭＩＮ）が−２．０％であり、最大値と最小値との幅が４．９％である。
【０１０４】
ＴＹＰＥ０１のジャイロを用いて手振れ補正を行う場合、検出誤差が１０％以下の精度を求めるのであれば、本実施形態のように、感度の温度補正を行う必要がある。しかしながら、ＴＹＰＥ０２のジャイロを用いて手振れ補正を行う場合、検出誤差が１０％以下の精度を求めるのであれば、ＴＹＰＥ０２＿ＡのジャイロとＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロとで、いずれも検出誤差が１０％以下であるため、感度の温度補正を行う必要がない。すなわち、ジャイロの検出誤差が一定の精度を有している場合、必ずしも感度の温度補正を行う必要はなく、さらに高精度の検出（例えば、検出誤差が５％以下）を行う場合にのみ、感度の温度補正を行ってもよい。
【０１０５】
一方、感度の温度補正を行った場合、ＴＹＰＥ０１＿Ａのジャイロでは、検出誤差の最大値（ＭＡＸ）が０．９８％であり、検出誤差の最小値（ＭＩＮ）が−０．９２％であり、最大値と最小値との幅が１．９％である。感度の温度補正を行った場合、ＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロでは、検出誤差の最大値（ＭＡＸ）が２．１４％であり、検出誤差の最小値（ＭＩＮ）が−２．３８％であり、最大値と最小値との幅が４．５２％である。感度の温度補正を行った場合、ＴＹＰＥ０２＿Ａのジャイロでは、検出誤差の最大値（ＭＡＸ）が１．４８％であり、検出誤差の最小値（ＭＩＮ）が−１．８２％であり、最大値と最小値との幅が３．３％である。感度の温度補正を行った場合、ＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロでは、検出誤差の最大値（ＭＡＸ）が０．９６％であり、検出誤差の最小値（ＭＩＮ）が−０．７４％であり、最大値と最小値との幅が１．７％である。
【０１０６】
図１４に示すように、感度の温度補正を行った場合、ＴＹＰＥ０１＿Ａのジャイロで検出誤差の最大値と最小値との幅が１．９％となり、ＴＹＰＥ０１＿Ｂのジャイロで検出誤差の最大値と最小値との幅が４．５２％となり、温度補正を行わなかった場合に比して、検出誤差を約５〜９％も抑えることができ、検出精度を向上させることができる。同様に、ＴＹＰＥ０２＿Ａのジャイロでは、検出誤差の最大値と最小値との幅が３．３％となり、ＴＹＰＥ０２＿Ｂのジャイロで検出誤差の最大値と最小値との幅が１．７％となり、温度補正を行わなかった場合に比して、検出誤差を約３〜５％も抑えることができ、検出精度を向上させることができる。
【０１０７】
したがって、本実施形態に係る撮像装置は、手振れ補正を従来と略同様に補正することができる一方、従来のように温度による誤差を補正するための構成を新たに設ける必要がなく、また従来のように回路構成を複雑にすることなく、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【０１０８】
なお、本実施形態では、手振れ補正光学系２６を駆動することによって手振れを補正しているが、本発明は特にこれに限定されず、被写体像を撮像する撮像素子（ＣＣＤ）を駆動することによって手振れを補正してもよく、さらに撮像素子によって撮像された画像データを画像処理することによって手振れを補正してもよい。
【０１０９】
また、第２の実施形態では、Ｙａ振れ検出ジャイロ１１及びＰ振れ検出ジャイロ１２の感度の温度変動を補正しているが、本発明は特にこれに限定されず、Ｐ振れ検出ジャイロ１２の感度の温度変動のみを補正してもよい。すなわち、カメラでは、ヨー方向の振れよりもピッチ方向の振れの方が大きいのでピッチ方向の振れを検出するＰ振れ検出ジャイロ１２の感度の温度変動のみを補正するだけでも充分な検出精度を得ることができる。この場合、温度センサ１３は、Ｙａ振れ検出ジャイロ１１及びＰ振れ検出ジャイロ１２の近傍に設けるのではなく、Ｐ振れ検出ジャイロ１２の近傍のみに設ければよく、感度補正部１０は、Ｐ振れ検出ジャイロ１２の感度の温度変動のみを補正すればよい。したがって、温度センサから出力される温度情報に基づいて、Ｐ振れ検出ジャイロ１２から出力される出力信号の感度のみが補正されるので、Ｙａ振れ検出ジャイロ１１及びＰ振れ検出ジャイロ１２の両方の出力信号の感度を補正する場合に比して、構成を簡略化することができるとともに、処理を簡略化することができる。
【０１１０】
このように、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２及びＰ振れ検出ジャイロ１１の温度を検出する温度センサ１３によって、当該Ｙａ振れ検出ジャイロ１２及びＰ振れ検出ジャイロ１１の温度が温度情報として検出され、感度補正部１０によって、温度センサ１３によって検出された温度情報に基づいて、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２及びＰ振れ検出ジャイロ１１から出力される出力信号の感度が補正される。
【０１１１】
したがって、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２及びＰ振れ検出ジャイロ１１から出力される出力信号に対して、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２及びＰ振れ検出ジャイロ１１の感度の温度変動に応じた補正を行うことができ、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【０１１２】
また、温度情報に対応付けられる感度の補正係数を記憶するルックアップテーブルを参照して補正係数が決定され、決定された補正係数によりＹａ振れ検出ジャイロ１２及びＰ振れ検出ジャイロ１１のうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度が補正されるので、Ｙａ振れ検出ジャイロ１２及びＰ振れ検出ジャイロ１１の温度を検出することによって、容易に感度の補正を行うことができ、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【０１１３】
なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。
【０１１４】
（１）ヨー方向の振れを検出する横振れ検出センサと、
ピッチ方向の振れを検出する縦振れ検出センサと、
前記横振れ検出センサから出力される出力信号と前記縦振れ検出センサから出力される出力信号とに基づいて手振れを補正する手振れ補正部とを備え、
前記縦振れ検出センサは、前記横振れ検出センサよりも振れ検出精度が高いことを特徴とする撮像装置。
【０１１５】
（２）前記縦振れ検出センサは、前記横振れ検出センサよりも検出感度の温度変動が小さいことを特徴とする上記（１）記載の撮像装置。
【０１１６】
（３）前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとは駆動周波数が異なることを特徴とする上記（１）又は（２）記載の撮像装置。
【０１１７】
（４）前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方の温度を検出する温度センサと、
前記温度センサから出力される温度情報に基づいて、前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度を補正する感度補正部とをさらに備えることを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の撮像装置。
【０１１８】
（５）前記温度情報に対応付けられる感度の補正係数を記憶するルックアップテーブルをさらに備え、
感度補正部は、前記ルックアップテーブルを参照して前記補正係数を決定し、決定された前記補正係数により前記横振れ検出センサ及び前記縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度を補正することを特徴とする上記（４）記載の撮像装置。
【０１１９】
（６）前記縦振れ検出センサの温度を検出する温度センサと、
前記温度センサから出力される温度情報に基づいて、前記縦振れ検出センサから出力される出力信号の感度を補正する感度補正部とをさらに備えることを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の撮像装置。
【０１２０】
（７）前記温度情報に対応付けられる感度の補正係数を記憶するルックアップテーブルをさらに備え、
感度補正部は、前記ルックアップテーブルを参照して前記補正係数を決定し、決定された前記補正係数により前記縦振れ検出センサから出力される出力信号の感度を補正することを特徴とする上記（６）記載の撮像装置。
【０１２１】
（８）前記手振れ補正部は、撮像素子を駆動する撮像素子駆動部及び光学系を駆動する光学系駆動部のいずれかを含むことを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載の撮像装置。
【０１２２】
この構成によれば、撮像素子を駆動する撮像素子駆動部及び光学系を駆動する光学系駆動部のいずれかによって、横振れ検出センサから出力される出力信号と縦振れ検出センサから出力される出力信号とに基づいて手振れが補正されるので、撮像素子を駆動することによって手振れを補正することができ、光学系を駆動することによって手振れを補正することができる。
【０１２３】
（９）前記手振れ補正部は、撮像素子によって撮像された画像データを画像処理する画像処理部を含むことを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載の撮像装置。
【０１２４】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、ヨー方向の振れよりもピッチ方向の振れの振れ量のほうが大きい撮像装置において、横振れ検出センサと縦振れ検出センサとのうち、振れ検出精度の高いセンサが縦振れ検出センサに用いられるので、従来のように温度による誤差を補正するための構成を新たに設ける必要がなく、また従来のように回路構成を複雑にすることなく、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【０１２５】
請求項２に記載の発明によれば、ヨー方向の振れよりもピッチ方向の振れの振れ量のほうが大きい撮像装置において、前記横振れ検出センサと前記縦振れ検出センサとのうち、検出感度の温度変動が小さいセンサが縦振れ検出センサに用いられるので、従来のように温度による誤差を補正するための構成を新たに設ける必要がなく、また従来のように回路構成を複雑にすることなく、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【０１２６】
請求項３に記載の発明によれば、横振れ検出センサと縦振れ検出センサとは駆動周波数が異なるので、圧電素子を有する振動ジャイロにより横振れ検出センサと縦振れ検出センサとが構成される場合、２つのセンサによる共振を防止することができる。
【０１２７】
請求項４に記載の発明によれば、横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号に対して、横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方の感度の温度変動に応じた補正を行うことができ、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【０１２８】
請求項５に記載の発明によれば、温度情報に対応付けられる感度の補正係数を記憶するルックアップテーブルを参照して補正係数が決定され、決定された補正係数により横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方から出力される出力信号の感度が補正されるので、横振れ検出センサ及び縦振れ検出センサのうちの少なくとも一方の温度を検出することによって、容易に感度の補正を行うことができ、低コストで精度の高い手振れ補正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態における手振れ補正機能付きカメラの一実施形態を構成するカメラ本体に内蔵された主要部材の配置を示す外観図である。
【図２】第１の実施形態における手振れ補正機能付きカメラの構成を概略的に示すブロック図である。
【図３】手振れ補正光学系ユニットの構成を概略的に示す図である。
【図４】制御回路及びその周辺回路の構成を示すブロック図である。
【図５】ＬＵテーブル回路において用いられるルックアップテーブル化される特性の一例を示す図である。
【図６】駆動回路の一実施例を示す回路図である。
【図７】ＮチャネルＨブリッジ回路と電気機械変換素子の印加電圧との関係を示す回路制御状態図である。
【図８】Ｘ方向駆動アクチュエータに印加される電圧値Ｖｐｘ（Ｘ方向駆動用のＶｐ）と、Ｘ方向駆動アクチュエータ駆動用のＰＷＭパルスＸｐｗｍと、実際に電気機械変換素子に印加される印加電圧と関係を示す図である。
【図９】ジャイロの感度温度変動について説明するための図である。
【図１０】図９のジャイロとはチャンネルが異なるジャイロの感度温度変動について説明するための図である。
【図１１】図９のジャイロとは機種が異なるジャイロの感度温度変動について説明するための図である。
【図１２】図９のジャイロとは機種及びチャンネルが異なるジャイロの感度温度変動について説明するための図である。
【図１３】第２の実施形態における手振れ補正機能付きカメラの構成を概略的に示すブロック図である。
【図１４】ジャイロの機種及びチャンネル間の感度温度変動の差を表す図である。
【符号の説明】
１，１’  カメラ
２  カメラ本体
３  撮影レンズ
１１  Ｐ振れ検出ジャイロ
１２  Ｙａ振れ検出ジャイロ
１３  温度センサ
１４  レリーズ釦
１５  振れ検出回路
１６  振れ量検出回路
１７  係数変換回路
１８  シーケンスコントロール回路
１９  制御回路
２１  Ｙ方向位置センサ
２２  Ｙ方向駆動アクチュエータ
２３  Ｘ方向位置センサ
２４  Ｘ方向駆動アクチュエータ
２５  駆動回路
２６  手振れ補正光学系
２７  撮影光学系
【図１】
2004354878.tif 000003
【図２】
2004354878.tif 000004
【図３】
2004354878.tif 000005
【図４】
2004354878.tif 000006
【図５】
2004354878.tif 000007
【図６】
2004354878.tif 000008
【図７】
2004354878.tif 000009
【図８】
2004354878.tif 000010
【図９】
2004354878.tif 000011
【図１０】
2004354878.tif 000012
【図１１】
2004354878.tif 000013
【図１２】
2004354878.tif 000014
【図１３】
2004354878.tif 000015
【図１４】
2004354878.tif 000016