(57)【要約】【課題】有機ＥＬデバイス製造装置において液滴吐出ヘッドの吐出状況を適切に且つ簡単に検査することができる、有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置および有機ＥＬデバイス製造装置、並びに有機ＥＬデバイス、有機ＥＬデバイスの製造方法および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】液滴吐出ヘッド３１の各ノズル４９から吐出された機能液滴を撮像して、各ノズル４９の吐出状況を検査するための有機ＥＬデバイス製造装置１における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置４において、各ノズル４９から吐出された飛翔中の機能液滴を撮像する撮像手段１１１と、撮像する機能液滴に照射光を照射する光源１２１と、光源１２１の液滴吐出ヘッド３１側前方に配設した光拡散板１２２と、を備えたことを特徴とする。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対し、液滴吐出ヘッドを相対的に走査してその多数のノズルから有機物を含む機能液滴を吐出して有機ＥＬデバイスの成膜部を形成する有機ＥＬデバイス製造装置に設けられ、
前記各ノズルから吐出された機能液滴を撮像して、当該各ノズルの吐出状況を検査するための有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置であって、
前記各ノズルから吐出された飛翔中の機能液滴を撮像する撮像手段と、
撮像する前記機能液滴に照射光を照射する光源と、
前記光源の前記液滴吐出ヘッド側前方に配設した光拡散板と、
を備えたことを特徴とする有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【請求項２】
前記光源と前記光拡散板とが、ホルダーに一体に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【請求項３】
前記液滴吐出ヘッドに対する前記光源の照射角度を調整する角度調整機構を、更に備えたことを特徴とする請求項２に記載の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【請求項４】
前記光源はストロボであり、
前記光源の発光と、前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動とを同期させる制御手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１、２または３に記載の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【請求項５】
前記光源と前記撮像手段とは、前記液滴吐出ヘッドを挟んで対向していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッドは、下方に向けて機能液滴を吐出しており、
前記機能液滴に対する前記光源の照射方向は、当該機能液滴に対する前記撮像手段の撮像方向に対し、水平面内において０〜３０°の角度範囲内に設定されていることを特徴とする請求項５に記載の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【請求項７】
前記液滴吐出ヘッドは、下方に向けて機能液滴を吐出しており、
前記機能液滴に対する前記光源の照射方向は、当該機能液滴に対する前記撮像手段の撮像方向に対し、鉛直面内において０〜５°の角度範囲内に設定されていることを特徴とする請求項５または６に記載の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置を、備えたことを特徴とする有機ＥＬデバイス製造装置。
【請求項９】
前記基板から外れた位置に設けられ、撮像する前記機能液滴を受ける液滴受け手段と、
前記液滴受け手段に接続され、受けた機能液を回収する回収手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項８に記載の有機ＥＬデバイス製造装置。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の有機ＥＬデバイス製造装置により形成した成膜部を基板上に有することを特徴とする有機ＥＬデバイス。
【請求項１１】
請求項８または９に記載の有機ＥＬデバイス製造装置により、基板上に成膜部を形成することを特徴とする有機ＥＬデバイスの製造方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の有機ＥＬデバイスを搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多数のノズルを有するインクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドを基板に対し走査し、有機物を含む機能液滴を選択的に吐出して有機ＥＬデバイスの所定の成膜部を基板上に形成する、有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置および有機ＥＬデバイス製造装置、並びに有機ＥＬデバイス、有機ＥＬデバイスの製造方法および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、インクジェットプリンタの開発・製造時において、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）によるインク滴の吐出状況を検査することが行われている。この種の検査を行う吐出検査装置は、吐出されたインク滴をストロボ撮像するＬＥＤおよびＣＣＤカメラを備え、インク滴の飛翔方向や粒径、ノズルに目詰まりがあるか否かなどの吐出状況を検査している（例えば、特許文献１参照。）。一方、インクジェットプリンタの使用時には、ノズルの目詰まりを防止するべく、印刷中に全ノズルからインク滴を吐出するフラッシング動作が行われる他、印刷開始前やマニュアル操作等により、インクジェットヘッドを封止状態にしてインク滴を強制的に吸引するクリーニング動作が行なわれている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２３９７４４号公報（第９頁、第１図）
【特許文献２】
特開２００２−２２５２５４号公報（第４−６頁、第７−９図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の吐出検査装置では、点光源として機能するＬＥＤからの照射光にムラがあったため、ＣＣＤカメラにインク滴を適切に撮りこめない場合があった。このため、インク滴の粒径などを誤検査することがあった。
また、インクジェット方式の応用技術たる有機ＥＬデバイス製造装置では、プリンタ以上にインク滴（機能液滴）の高精度な吐出・着弾が要求されるため、クリーニング動作等を行う実機の使用時においても、液滴吐出ヘッドの吐出状況を適宜検査することが望ましい。しかし、液滴吐出ヘッドを有機ＥＬデバイス製造装置から取り外し、別途、吐出検査装置により検査を行うことは煩雑であると共に、生産性にも劣る。
【０００５】
本発明は、有機ＥＬデバイス製造装置において液滴吐出ヘッドの吐出状況を適切に且つ簡単に検査することができる、有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置および有機ＥＬデバイス製造装置、並びに有機ＥＬデバイス、有機ＥＬデバイスの製造方法および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置は、基板に対し、液滴吐出ヘッドを相対的に走査してその多数のノズルから有機物を含む機能液滴を吐出して有機ＥＬデバイスの成膜部を形成する有機ＥＬデバイス製造装置に設けられ、各ノズルから吐出された機能液滴を撮像して、当該各ノズルの吐出状況を検査するための有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置であって、各ノズルから吐出された飛翔中の機能液滴を撮像する撮像手段と、撮像する機能液滴に照射光を照射する光源と、光源の液滴吐出ヘッド側前方に配設した光拡散板と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、光拡散板を透過する光源からの照射光は、飛翔中の機能液滴に拡散光となって照射されるため、機能液滴に対して光源が点光源であっても、これを面状光源として機能させることができる。これにより、機能液滴を均一に照射することができるため、これを鮮明に撮像することができる。また、光拡散板を利用することで、光源を液滴吐出ヘッドに比較的近づけることができ、吐出検査装置自体を大型化せずに済む。さらに、吐出検査装置が有機ＥＬデバイス製造装置に設けられているため、有機ＥＬデバイスの製造過程においても、液滴吐出ヘッドを簡単に検査に供することができる。
なお、光拡散板は、光源の照射光を光拡散板内で拡散した後、あるいは光拡散板から射出される際に屈折させた後、拡散光を射出する。光拡散板を例えばアクリル樹脂で構成すれば、装置全体としてのコストダウンを図ることができる。また、ノズルの吐出状況の検査は、ノズルから機能液滴が正常に吐出されているか否かを判定するものであり、例えば、機能液滴の飛翔速度、飛翔方向および粒径に関するノズルの吐出特性や、機能液滴の吐出の有無に関するノズルの目詰まり性の他、サテライトの発生の有無について行われる。
【０００８】
この場合、光源と光拡散板とが、ホルダーに一体に支持されていることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、光源と光拡散板とを近接配置することができるため、光源を液滴吐出ヘッドに一層近づけることができると共に、装置全体の省スペース化を図ることができる。
【００１０】
この場合、液滴吐出ヘッドに対する光源の照射角度を調整する角度調整機構を、更に備えたことが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、照射角度の自由度を高めることができ、撮像手段との関係においてこれに適した照射角度をとることができる。
【００１２】
これらの場合、光源はストロボであり、光源の発光と、液滴吐出ヘッドの吐出駆動とを同期させる制御手段を、更に備えたことが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、光源はストロボとして機能するため、機能液滴をその輪郭まで明瞭に撮像することができる。なお、光源をＬＥＤアレイで構成すれば、熱的影響を小さくしつつも十分な光量で機能液滴を照射することができると共に、省電力且つコンパクトにすることができる。
【００１４】
これらの場合、光源と撮像手段とは、液滴吐出ヘッドを挟んで対向していることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、撮像手段は照射光を直接撮り込む。このため、機能液滴や背景の色に関らず、機能液滴の周囲は輝度の比較的高い白色に、機能液滴自体は遮光されるため輝度の比較的低い黒色になる映像を撮像することができ、機能液滴の画像をより好適に撮り込むことができる。
【００１６】
この場合、液滴吐出ヘッドは、下方に向けて機能液滴を吐出しており、機能液滴に対する光源の照射方向は、当該機能液滴に対する撮像手段の撮像方向に対し、水平面内において０〜３０°の角度範囲内に設定されていることが、好ましい。
【００１７】
同様に、液滴吐出ヘッドは、下方に向けて機能液滴を吐出しており、機能液滴に対する光源の照射方向は、当該機能液滴に対する撮像手段の撮像方向に対し、鉛直面内において０〜５°の角度範囲内に設定されていることが、好ましい。
【００１８】
これらの構成によれば、評価結果によるが、機能液滴の画像をより適切に撮り込むことができる。
【００１９】
本発明の有機ＥＬデバイス製造装置は、上記した本発明の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置を、備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、有機ＥＬデバイスの製造過程においても、液滴吐出ヘッドの吐出状況を簡単に検査することができる。また、液滴吐出ヘッドの吐出状況が適切に管理されているため、有機ＥＬデバイスの製造の歩留まりを向上することができる。
【００２１】
この場合、基板から外れた位置に設けられ、撮像する機能液滴を受ける液滴受け手段と、液滴受け手段に接続され、受けた機能液を回収する回収手段と、を更に備えたことが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、検査のために消費した機能液を液滴受け手段から回収することができるため、これを再利用することが可能となり、コストを削減することができる。また、基板を有機ＥＬデバイス製造装置にセットした状態でも、機能液滴を基板等の外部に飛散させることがないため、上記の検査を適切に行うことができる。
【００２３】
本発明の有機ＥＬデバイスは、上記した本発明の有機ＥＬデバイス製造装置により形成した成膜部を基板上に有することを特徴とする。
【００２４】
同様に、本発明の有機ＥＬデバイスの製造方法は、上記した本発明の有機ＥＬデバイス製造装置により、基板上に成膜部を形成することを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、機能液滴の吐出状態が適切に管理された有機ＥＬデバイス製造装置により製造されるため、有機ＥＬデバイスを効率良く製造することができる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記した本発明の有機ＥＬデバイスを搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、高性能な有機ＥＬデバイスを搭載した電子機器を提供することができる。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の有機ＥＬデバイス製造装置およびこれに設けられた液滴吐出ヘッドの吐出検査装置の実施形態について説明する。この有機ＥＬデバイス製造装置は、フラットパネルディスプレイに代表される有機ＥＬデバイスの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板に対し液滴吐出ヘッドから有機物を含む機能液滴を選択的に吐出し、所定の成膜部を形成することで、有機ＥＬデバイスを製造するものである。また、液滴吐出ヘッドの吐出検査装置は、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液滴が正常に吐出されているか否かを検査するものである。
【００２９】
図１ないし図４に示すように、有機ＥＬデバイス製造装置１は、図６に示す液滴吐出ヘッド３１を有し機能液を吐出する吐出手段２と、液滴吐出ヘッド３１の保全処理を行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド３１の吐出状態を検査する吐出検査装置４と、液滴吐出ヘッド３１に有機物を含む機能液を供給する機能液供給手段５と、機能液供給手段５など各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段６と、これら各手段・装置を統括制御するコントローラ７（制御手段、図１３参照）と、を備えている。
【００３０】
有機ＥＬデバイス製造装置１は、アングル材を方形に組んで構成した架台１１と、架台１１に添設した機台１２と、架台１１の上部に固定した石定盤１３とを備えている。石定盤１３の上には吐出手段２が配設され、上方の液滴吐出ヘッド３１に対応して、下方に液滴対象物となるワークＷ（基板、図４参照）がセットされている。ワークＷは、例えばガラス基板やポリイミド基板等で構成されている。
【００３１】
機台１２は、機能液供給手段５のメインタンク等のタンク類を収容する手前側の大収容室１４と、エアー供給手段６の主要部を収容する奥側の小収容室１５と、小収容室１５の上に設置され、機能液供給手段５のサブタンクとして機能する給液タンク１９（後述する）を載置するタンクベース１６と、大収容室１４の上に設置され、機台１２の長手方向（すなわちＸ軸方向）にスライド自在に支持された移動テーブル１７と、で構成されている。移動テーブル１７上には、吐出検査装置４を載置する共通ベース１８が固定され、共通ベース１８にはさらに、メンテナンス手段３の吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３（いずれも後述する）が載置されている。
【００３２】
吐出手段２は、複数の液滴吐出ヘッド３１を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を搭載したメインキャリッジ２２と、メインキャリッジ２２を介してヘッドユニット２１をワークＷに対しＸ・Ｙ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構２３と、を有している。Ｘ軸方向は液滴吐出ヘッド３１のいわゆる主走査方向に対応し、Ｙ軸方向はいわゆる副走査方向に対応しており、Ｘ・Ｙ移動機構２３により液滴吐出ヘッド３１をワークＷに対し相対的に主走査および副走査することで、ワークＷの所定位置に機能液を吐出する描画動作を実行している。
【００３３】
ヘッドユニット２１は、図５および図６に示すように、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド３１と、複数の液滴吐出ヘッド３１を搭載するサブキャリッジ３２と、サブキャリッジ３２に各液滴吐出ヘッド３１を個々に取り付けるためのヘッド保持部材３３と、から構成されている。ヘッドユニット２１は、サブキャリッジ３２の部分でメインキャリッジ２２に固定されている。
【００３４】
液滴吐出ヘッド３１は、図６に示すように、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４１を有する機能液導入部４２と、機能液導入部４２に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４２の下方（同（ａ）では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４と、を備えている。この種のインクジェット方式の液滴吐出ヘッド３１は、吐出駆動のためのエネルギー発生素子として圧電素子（ピエゾ素子）を用いたもの、あるいは電気熱変換体を用いたもので構成されている。
【００３５】
各接続針４１は、配管アダプタ５７を介して給液タンク１９に接続されており、機能液導入部４２は、各接続針４１から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体４４は、ノズル面４５を有するノズル形成プレート４６と、ノズル形成プレート４６に連なる直方体形状の２連のポンプ部４７とで構成されている。
【００３６】
液滴吐出ヘッド３１は、ヘッド本体４４がサブキャリッジ３２の下面から突出しており、ヘッド本体４４の下面、すなわちノズル面４５には、２本のノズル列４９が相互に平行に形成されている。各ノズル列４９は、略主走査方向に延在しており、多数（例えば１８０個）のノズル４９が等ピッチで並べられて構成されていると共に、両ノズル列４９で計３６０個のノズル４９は、全体として千鳥状に配置されている。液滴吐出ヘッド３１は、ポンプ部４７の作用によりノズル４９から機能液滴をドット状に吐出するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド３１におけるノズル４９数やノズル列４９数は任意である。
【００３７】
１２個の液滴吐出ヘッド３１は、６個ずつ２列に分けて主走査方向（Ｘ軸方向）に離間して配置されている。また、各液滴吐出ヘッド３１は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド３１は、副走査方向（Ｙ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド３１のノズル４９が連続（一部重複）するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド３１を専用部品で構成するなどして、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド３１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００３８】
サブキャリッジ３２の一方の側方には、各液滴吐出ヘッド３１と給液タンク１９とを配管接続するための配管ジョイント５８が設けられ、配管ジョイント５８には、１２個の液滴吐出ヘッド３１に対応して１２個のソケット５９が取り付けられている。いずれも図示省略するが、各ソケット５９の一端には、各液滴吐出ヘッド３１（の接続針４１）と接続した配管アダプタ５７からのヘッド側配管部材が接続され、その他端には、給液タンク１９からの装置側配管部材が接続されている。このような構成により、機能液は、エアー供給手段６により機能液供給手段５のメインタンクから給液タンク１９に圧力供給されると共に、この給液タンク１９で圧力的に縁切りされ、給液タンク１９から分岐して各機能液滴吐出ヘッド３１に供給される。
【００３９】
メインキャリッジ２２は、図１および図３に示すように、後述するブリッジプレート８１に下側から固定された外観「Ｉ」形の吊設部材６１と、吊設部材６１の下面に取り付けたΘテーブル６２と、Θテーブル６２の下方に吊設するように取り付けたキャリッジ本体６３とで構成されている。キャリッジ本体６３には、ヘッドユニット２１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット２１を位置決め固定するようになっている。
【００４０】
Ｘ・Ｙ移動機構２３は、図１ないし図３に示すように、石定盤１３上に配設されており、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル６５と、Ｘ軸テーブル６５に直交してメインキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル６６とで構成され、Ｙ軸テーブル６６は、Ｘ軸テーブル６５を跨ぐようにしてその上方に配設されている。
【００４１】
Ｘ軸テーブル６５は、ワークＷをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル７１と、吸着テーブル７１を支持するΘテーブル７２と、Θテーブル７２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ７３と、Θテーブル７２を介して吸着テーブル７１上のワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダ７３に併設したＸ軸リニアスケール７４と、で構成されている。Ｘ軸リニアモータの駆動により、ワークＷを吸着した吸着テーブル７１およびΘテーブル７２が、Ｘ軸エアースライダ７３を案内にしてＸ軸方向に往復移動する。
【００４２】
Ｙ軸テーブル６６は、メインキャリッジ２２を吊設する上記のブリッジプレート８１と、ブリッジプレート８１を両持ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スライダ８２と、Ｙ軸スライダ８２に併設したＹ軸リニアスケール８３と、一対のＹ軸スライダ８２を案内にしてブリッジプレート８１をＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ８４と、Ｙ軸ボールねじ８４を正逆回転させるＹ軸モータ（図示省略）と、を備えている。
【００４３】
Ｙ軸モータはサーボモータで構成されており、Ｙ軸モータが正逆回転すると、Ｙ軸ボールねじ８４を介してこれに螺合しているブリッジプレート８１が一対のＹ軸スライダ８２を案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート８１の移動に伴い、メインキャリッジ２２（ヘッドユニット２１）がＹ軸方向に往動移動する。
【００４４】
本実施形態の吐出手段２の一連の動作では、Ｘ軸テーブル６５によるワークＷの主走査方向（Ｘ軸方向）への移動に同期して、複数の液滴吐出ヘッド３１が選択的に吐出駆動するものである。すなわち、液滴吐出ヘッド３１のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル６５によるワークＷの往復動動作により行われ、これに対応していわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル６６による液滴吐出ヘッド３１のＹ軸方向へのピッチ送り動作となる往動動作により行われる。そして、上記走査における描画動作は、コントローラ７に記憶するデータに基づいて行われる。
【００４５】
なお、液滴吐出ヘッド３１（ヘッドユニット２１）に対し、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド３１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、液滴吐出ヘッド３１を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４６】
メンテナンス手段３は、液滴吐出ヘッド３１を保全処理して、液滴吐出ヘッド３１が適切に機能液を吐出できるようにするためのもので、特に図４に示すように、架台１１側に配設したフラッシングユニット９１と、機台１２側に配設した吸引ユニット９２と、吸引ユニット９２に隣接して配設したワイピングユニット９３とを備えている。フラッシングユニット９１は、液滴吐出ヘッド３１自体を作用させてこれを保全処理する内的系メンテナンス手段を構成し、吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３は、液滴吐出ヘッド３１に対し外部から作用させてこれを保全処理する外的系メンテナンス手段を構成している。
【００４７】
フラッシングユニット９１は、複数の液滴吐出ヘッド３１のフラッシング（予備吐出：全ノズル４９からの機能液滴の捨て吐出）を受けるためのものであり、Ｘ軸テーブル６５の吸着テーブル７１を挟んで、Θテーブル７２に固定された一対の第１フラッシングボックス９５と、石定盤１３の機台１２とは反対側の側部に配設され、２列の液滴吐出ヘッド３１に対応して一対の第２フラッシングボックス９６とを備えている。第１フラッシングボックス９５は、描画動作中に使用されるものであり、第２フラッシングボックス９６は、ワークＷの入替え時などに予備的に使用されるものである。
【００４８】
具体的には、第１フラッシングボックス９５は、主走査時にワークＷと共に液滴吐出ヘッド３１（ヘッドユニット２１）に向かって移動し、第１フラッシングボックス９５に臨んだ液滴吐出ヘッド３１からフラッシングが、順次（列ごとに）、定期的に行われる。また、第２フラッシングボックス９６に対しては、これに臨んだ複数の液滴吐出ヘッド３１のフラッシングが一括して行われる。
【００４９】
吸引ユニット９２は、機台１２の共通ベース１８に載置され、共通ベース１８を固定した移動テーブル１７を介してＸ軸方向にスライド自在に構成されている。すなわち、吸引ユニット９２は、ワークＷに対する液滴吐出ヘッド３１の走査範囲からＹ軸方向に外れた外側のメンテナンスエリアに配設されている。吸引ユニット９２は、液滴吐出ヘッド３１から機能液を強制的に吸引するものであり、ヘッドユニット２１（の液滴吐出ヘッド３１）に機能液の初期充填を行う場合や、液滴吐出ヘッド３１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）に用いられ、ノズル４９の吐出不良を正常に回復させる。
【００５０】
吸引ユニット９２は、図７に示すように、１２個の液滴吐出ヘッド３１に対応する１２個のキャップ１００を組み込んだキャップユニット１０１と、キャップユニット１０１を昇降させる昇降機構１０２と、キャップ１００を介して機能液の吸引を行う吸引ポンプ（図示省略）と、を有している。昇降機構１０２および吸引ポンプは、上記のコントローラ７に接続されている。キャップ１００は、液滴吐出ヘッド３１のノズル面４５の周縁部に密着可能に構成されたキャップ本体１０４と、キャップ本体１０４をベースに固定するキャップホルダ１０５とで構成されている。
【００５１】
液滴吐出ヘッド３１を吸引処理する場合には、移動テーブル１７により吸引ユニット９２を所定のＹ軸方向の位置に移動させると共に、移動後の吸引ユニット９２の位置に液滴吐出ヘッド３１をＸ・Ｙ移動機構２３により移動させる。ここで昇降機構１０２を駆動して、キャップユニット１０１を上昇させ、キャップ１００をノズル面４５に密着させて液滴吐出ヘッド３１を封止する。この状態で、吸引ポンプを駆動することにより、機能液の吸引が１２個の液滴吐出ヘッド３１を一括して行われる。
【００５２】
なお、吸引ユニット９２はノズル４９の吐出不良を正常に回復させることができるため、吐出検査装置４による検査結果に応じても用いられる（詳細は後述する）。また、昇降機構１０２を、吸引処理を行うキャップユニット１０１の比較的高い上昇位置のほかに、キャップ１００が液滴吐出ヘッド３１から僅かに離間する比較的低い上昇位置にキャップユニット１０１を停止可能に構成することで、吸引ユニット９２をフラッシングボックス（第３フラッシングボックス）として機能させることもできる。
【００５３】
ワイピングユニット９３は、図１、図３および図４に示すように、共通ベース１８に吸引ユニット９２にＸ軸方向に隣接して載置されており、吸引ユニット９２同様にメンテナンスエリアに配設された構成となっている。ワイピングユニット９３は、液滴ミストが付着して汚れた各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４５をワイピングシート（図示省略）により拭き取るものであり、この拭取り処理は基本的に液滴吐出ヘッド３１の吸引処理の後で行われる。
【００５４】
例えば、液滴吐出ヘッド３１の吸引処理が完了すると、ワイピングユニット９３は移動テーブル１７により液滴吐出ヘッド３１に臨む位置まで移動させられる。そして、ワイピングユニット９３は、ロール状のワイピングシートを繰り出して、これを液滴吐出ヘッド３１のノズル面４５に摺接させてノズル面４５を拭き取り、拭き取り後のワイピングシートを巻き取る。
【００５５】
吐出検査装置４は、図４および図８に示すように、ワークＷの配置場所（液滴吐出ヘッド３１の走査範囲）とメンテナンスエリアとの間の共通ベース１８上の検査エリアに設けられ、移動テーブル１７を介してＸ軸方向に移動自在に構成されている。吐出検査装置４は、主として描画作業開始前に、その検査エリアに液滴吐出ヘッド３１を移動させ、各ノズル４９から吐出された飛翔中の機能液滴をターゲットとして、これを撮像することで、各ノズル４９の吐出状況を液滴吐出ヘッド３１毎に検査するものである。
【００５６】
吐出検査装置４は、図８ないし図１０に示すように、各ノズル４９から吐出された飛翔中の機能液滴を撮像する撮像手段１１１と、撮像する機能液滴に照射光を照射する照明手段１１２と、この検査用に吐出された機能液滴を下方で受ける液滴受け手段１１３と、を備えている。なお、いずれの図も検査位置に移動した一つの液滴吐出ヘッド３１のみを示すと共に、液滴受け手段１１３は図１０にのみ示している。また、吐出検査装置４は、撮像手段１１１による撮像結果を画像認識して、各ノズル４９の吐出が正常に行われているか否かを判定する判定手段を備え、上記のコントローラ７を判定手段として機能させている。
【００５７】
液滴受け手段１１３は、液滴吐出ヘッド３１に対し僅かな間隙を存して対峙したトレイ状のもので構成され、共通ベース１８に載置した図外の支持スタンドに支持されている。液滴受け手段１１３のトレイ状の内部には、検査用に吐出した機能液滴を吸収保持する図外の吸収材が敷設されており、吸収材には、再利用タンク１１７に連なる吸引ポンプ１１８が接続されている。すなわち、再利用タンク１１７および吸引ポンプ１１８により、液滴受け手段１１３が受けた機能液を回収する回収手段１１９が構成され、回収手段１１９により、検査作業で吐出される機能液を再利用するようにしている。
【００５８】
照明手段１１２は、光源となるストロボ１２１と、ストロボ１２１からの照射光を拡散する光拡散板１２２と、ストロボ１２１および光拡散板１２２を一体に支持するホルダー１２３と、ホルダー１２３を三次元的に移動可能に保持する角度調整機構１２４と、で構成されている。ストロボ１２１は、十分な光量で且つ装置内への熱的影響を小さくして照射することができるように、ＬＥＤアレイで構成されている。ストロボ１２１の発光は、コントローラ７により液滴吐出ヘッド３１の吐出駆動に同期して行われ、撮像する飛翔中の機能液滴を照射する。
【００５９】
光拡散板１２２は、アクリル樹脂等で方形に形成され、ストロボ１２１を包含するようにストロボ１２１の液滴吐出ヘッド３１側前方に位置している。光拡散板１２２により、ターゲットとなる機能液滴に対しストロボ１２１を面状光源として機能させることができ、機能液滴を均一に照射することができるようになっている。
【００６０】
ホルダー１２３は、背面側にはストロボ１２１を、前面側には一対の六角支柱１２６を介して光拡散板１２２を、互いに近接した状態で固定している。ホルダー１２３によりストロボ１２１および光拡散板１２２は、相関関係を保ったまま一体に移動可能に構成されている。このため、光拡散板１２２の固有の調整を不要として、液滴吐出ヘッド３１に対するストロボ１２１の照射角度を調整できる。
【００６１】
角度調整機構１２４は、ストロボ１２１の照射角度を調整するものであり、３つのアームを連結して成るアーム部１３１と、アーム部１３１に設けた調整ねじ１３２と、アーム部１３１を支持する直方体形状のマグネットベース１３３とで構成され、マグネットベース１３３と対となる設置台１３４を介して共通ベース１８に固定されている。なお、設置台１３４は図１０にのみ点線で表している。
【００６２】
アーム部１３１は、第１アーム１３１ａの先端部にホルダー１２３を保持している。調整ねじ１３２を緩めることで、第１アーム１３１ａの延在方向の位置を調整できると共に、第１アーム１３１ａの基端部の回動によりホルダー１２３の取付け角度を鉛直方向（Ｚ軸方向）において調整することができるようになっている。すなわち、調整ねじ１３２により、ストロボ１２１の照射角度を鉛直方向において調整できる（図１０参照）。
【００６３】
マグネットベース１３３は、内部にマグネットを有すると共に、外側面に設置台１３４とのマグネット吸着力を解除する解除つまみ（図示省略）を有している。解除つまみを解除操作することで、マグネットベース１３３内のマグネットが移動して、マグネットベース１３３と設置台１３４との吸着力が解除され、設置台１３４上における角度調整機構１２４の位置を移動させることができるようになっている。これにより、ストロボ１２１の照射角度を水平面内において調整できる（図９参照）。
【００６４】
撮像手段１１１は、視野内に機能液滴を捕捉して撮像するＣＣＤカメラ１４１と、ＣＣＤカメラ１４１を支持するカメラスタンド１４２とで構成されている。カメラスタンド１４２は、共通ベース１８に固定されるベース本体１４５と、ベース本体１４５に組み込まれ、ＣＣＤカメラ１４１を鉛直方向およびΘ軸方向に微少移動させるＺ軸ステージ１４６およびΘ軸ステージ１４７と、を備えている。
【００６５】
ＣＣＤカメラ１４１は、液滴吐出ヘッド３１を挟んでストロボ１２１に対面する対物レンズ１５１や、撮像した機能液滴の画像を結ぶＣＣＤ撮像素子１５２などを具備して構成され、その撮像方向が液滴吐出ヘッド３１のノズル列４９の方向に直交している。また、ＣＣＤカメラ１４１は、液滴吐出ヘッド３１を挟んで照明手段１１２に対向している。これにより、ＣＣＤカメラ１４１はストロボ１２１の光を直接撮り込むため、機能液滴や背景の色に関らず、機能液滴の周囲は輝度の比較的高い白色に、機能液滴自体は遮光されるため輝度の比較的低い黒色になる映像を撮像することができ、機能液滴の画像を好適に撮り込むことができる。
【００６６】
この場合、図９に示すように、角度調整機構１２４により、機能液滴に対するＣＣＤカメラ１４１の撮像方向に対し、機能液滴に対するストロボ１２１の照射方向を水平面内において０〜±３０°の角度範囲内に設定することが好ましい。これによれば、図１１（ａ）に示すように、この角度範囲外に設定して撮像した機能液滴１５５の画像（同図（ｂ））よりも、機能液滴１５５の輪郭まで明瞭に画像として撮り込むことができる。
【００６７】
同様に、図１０に示すように、角度調整機構１２４により、機能液滴に対するＣＣＤカメラ１４１の撮像方向に対し、機能液滴に対するストロボ１２１の照射方向を鉛直面内において０〜５°の角度範囲内に設定することが好ましく、仰角５°が最も好ましい。これによれば、同様に図１１（ａ）に示すように明瞭に撮像することができる。なお、図９および図１０に示すように、撮像方向と照射方向とが液滴吐出ヘッド３１の位置で僅かな交角を為して交差している方が明瞭な撮像を行えることは、評価結果による。
【００６８】
図１２は、ＣＣＤカメラ１４１の撮像画面を模式的に示したものである。同図に示すように、ＣＣＤカメラ１４１は、飛翔中の機能液滴１５５と共に、液滴吐出ヘッド３１のノズル形成プレート４６の長辺部位を撮像する。また、ＣＣＤカメラ１４１は、多数のノズル４９のうちの複数（同図（ａ）ではＡ〜Ｇの７つ）のノズル４９からの機能液滴１５５を同時に視野内に捕捉可能に構成されている。
【００６９】
ＣＣＤカメラ１４１による一連の撮像では、液滴吐出ヘッド３１のノズル列４９毎に行われると共に、ＣＣＤカメラ１４１の視野単位で液滴吐出ヘッド３１を移動させて行われる。すなわち、一方のノズル列４９を連続する７つのノズル４９からの機能液滴を同時に撮像すると、液滴吐出ヘッド３１をＸ・Ｙ移動機構２３により間欠的に送り、そのノズル列４９の次の連続する７つのノズル４９について行われる。これを繰り返して、一方のノズル列４９の全ノズル４９（１８０個のノズル４９）について完了すると、他方のノズル列４９についても同様に行われる。そして、一つの液滴吐出ヘッド３１について完了した後、次の液滴吐出ヘッド３１について行われ、これをヘッド数分すなわち１２回繰り返して、ヘッドユニット２１の全液滴吐出ヘッド３１について行われる。
【００７０】
なお、液滴吐出ヘッド３１においては、多数のノズル４９が全体として千鳥状に配置されていることから、両方のノズル列４９から同時に機能液滴を吐出させても、両方のノズル列４９のノズル４９からの機能液滴を同時に適切に撮像することができる（同図（ｂ）参照）。いずれの場合であっても、ノズル形成プレート４６も併せて撮像しているため、機能液滴を吐出したノズル４９を簡単に特定することができる。
【００７１】
また、ＣＣＤカメラ１４１は、各ノズル４９からの複数個（図示では４つ）の機能液滴を同時に撮像する。すなわち、吐出検査装置４による一連の検査作業では、液滴吐出ヘッド３１の１つのノズル４９から機能液滴を連続的に吐出させ且つこれに同期してストロボ１２１を１回発光させると共に、連続して飛翔する複数個の機能液滴をＣＣＤカメラ１４１により同時に撮像する。そして、撮像結果が判定手段により画像認識されて、各ノズル４９の吐出が正常か否かの判定がなされる。
【００７２】
ノズル４９の吐出が正常か否かの判定は、機能液滴の吐出の有無に関するノズル４９の目詰まり性（ドット抜け）と、機能液滴の飛翔速度、飛翔方向および粒径（量）に関するノズル４９の吐出特性と、機能液滴（主滴）に続いて吐出され得るサテライト（副滴）の発生の有無に関するサテライト性と、について行われる。機能液滴の粒径等は、画像認識の結果から計測される。
【００７３】
具体的には、図１２（ａ）に示すＡ〜Ｇ番までのノズル４９に関する撮像画面に基づいて説明すると、正常のＡ番ノズルおよびＣ番ノズルに対し、Ｂ番ノズルは、機能液滴が不吐出のドット抜けが生じているため、不正常な状態として判定される。これは、ヘッド本体４４のヘッド内流路に発生した気泡等が原因と考えられるが、液滴吐出ヘッド３１を吸引ユニット９２により吸引処理することで、正常に回復することがある。
【００７４】
Ｄ番ノズルは、軸線に対し機能液滴が外れて斜め方向に吐出されており、飛翔曲がりが発生している。この場合、画像認識により求めた飛翔方向と軸線との角度が、許容値外であればＤ番ノズルは不正常な状態として判定される。これは、ノズル形成プレート４６のノズル面４５の汚れ等が原因と考えられるが、液滴吐出ヘッド３１をワイピングユニット９３により拭取り処理することで、正常に回復することがある。
【００７５】
また、Ｅ番ノズルはＡ番ノズルに対し粒径の大きい機能液滴が吐出されており、Ｇ番ノズルはＡ番ノズルに対し機能液滴の飛翔速度（特に初速）が異なっており、いずれも許容値外であれば不正常な状態として判定される。さらに、Ｆ番ノズルは、サテライト１５６が発生し不正常な状態として判定される。
【００７６】
一連の検査作業において、いずれか１つのノズル４９に不正常と判定された場合には、Ｘ・Ｙ移動機構２３により液滴吐出ヘッド３１（ヘッドユニット２１）をメンテナンスエリアに移動させて、吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３の外的系メンテナンス手段を駆動させる。上記のように、メンテナンスエリアは、検査エリアに隣接して位置しているため、液滴吐出ヘッド３１を効率良く回復処理に供することができる。次いで、不正常と判断された１以上のノズル４９について、再び検査作業を行う。ここで、再度不正常と判定されたときには、該ノズル４９を使用不能であるとしてコントローラ７に記憶させ、描画作業において使用しない仕様とする。もっとも、不正常なノズル４９が過多の場合には、ヘッドユニット２１を交換するようにする。
【００７７】
次に、コントローラ７により構成される有機ＥＬデバイス製造装置１の主制御系について説明する。図１３に示すように、有機ＥＬデバイス製造装置１の制御系は、基本的に、画像データ等の各種データをその操作により入力する操作パネル１６１を有する入力部１６２と、ＣＣＤカメラ１４１による撮像画面を画面表示するモニタ１６３を有する表示部１６４と、液滴吐出ヘッド３１やモニタ１６３等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１６５と、これら各部を含め有機ＥＬデバイス製造装置１を統括制御する制御部１６６（コントローラ７）と、を備えている。
【００７８】
駆動部１６５は、液滴吐出ヘッド３１を吐出駆動制御するヘッドドライバ１７１と、モニタ１６３を駆動制御するモニタドライバ１７２と、Ｘ・Ｙ移動機構２３の各モータを駆動制御するＸ・Ｙ移動用ドライバ１７３と、移動テーブル１７を駆動制御するテーブルモータドライバ１７４と、外的系メンテナンス手段の吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１７５と、吐出検査装置４のストロボ１２１の発光を駆動制御するストロボ用ドライバ１７６と、ＣＣＤカメラ１４１の撮像駆動を制御するカメラ用ドライバ１７７と、を備えている。
【００７９】
制御部１６６は、ＣＰＵ１８１と、ＲＯＭ１８２と、ＲＡＭ１８３と、Ｐ−ＣＯＮ１８４とを備え、これらは互いにバス１８５を介して接続されている。ＲＯＭ１８２は、ＣＰＵ１８１で処理する制御プログラムや制御データを記憶する制御プログラム領域や、検査作業や描画作業を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ１８３は、各種レジスタ群を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００８０】
Ｐ−ＣＯＮ１８４には、駆動部１６５の各種ドライバや入力部１６２のほか、上記の機能液供給手段５およびエアー供給手段６等が接続されている。Ｐ−ＣＯＮ１８４には、ＣＰＵ１８１の機能を補うと共に周辺回路とのインターフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムＬＳＩなどにより構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１８４には、入力部１６２からの各種指令や画像データなどをそのままあるいは加工してバスに取り込むと共に、ＣＰＵ１８１と連動して、ＣＰＵ１８１等からバス１８５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部１６５に出力する。
【００８１】
そして、ＣＰＵ１８１は、上記の構成により、ＲＯＭ１８２内の制御プログラムにしたがって、Ｐ−ＣＯＮ１８４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１８３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１８４を介して駆動部１６５に各種の制御信号を出力することにより、有機ＥＬデバイス製造装置１全体を制御している。
【００８２】
例えば、ＣＰＵ１８１は、ワークＷに対し描画作業を行う場合には、複数の液滴吐出ヘッド３１の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、Ｘ・Ｙ移動機構２３によりワークＷおよびヘッドユニット２１の走査範囲の移動動作等を制御する。また、液滴吐出ヘッド３１の検査作業を行う場合には、吐出検査装置４の検査エリアにてＸ・Ｙ移動機構２３により液滴吐出ヘッド３１の移動動作（間欠送り動作など）を制御すると共に、液滴吐出ヘッド３１の吐出駆動、その吐出タイミングに対応したストロボ１２１の発光およびＣＣＤカメラ１４１の撮像を制御する。さらに、吐出検査装置４の検査結果に基づいて、メンテナンスエリアにて移動テーブル１７や吸引ユニット９２等を制御する。
【００８３】
このように、本実施形態の有機ＥＬデバイス製造装置１によれば、有機ＥＬデバイスの所定の成膜部を形成する描画作業のほか、液滴吐出ヘッド３１を取り外すことなく多数のノズル４９の一連の検査作業を作業性よく適切に行うことができる。なお、吐出検査装置４において、機能液滴の飛翔方向等を厳密に検査するべく、撮像手段１１１および照明手段１１２をもう一組設け、飛翔中の機能液滴を二つの方向（互いに直交する二方向）から同時に撮像するようにしてもよい。
【００８４】
次に、有機ＥＬデバイス製造装置１を用いて製造される有機ＥＬデバイスについて説明する。有機ＥＬデバイスは、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載されるが、その構造は図１４に示すごとくである。
【００８５】
すなわち、有機ＥＬデバイス４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００８６】
有機ＥＬデバイス４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬデバイス４０１が製造される。
【００８７】
有機ＥＬデバイス製造装置１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、液滴吐出ヘッド３１に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、有機ＥＬデバイス製造装置１を利用して作成することも可能である。
【００８８】
【発明の効果】
本発明の有機ＥＬデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査装置によれば、光源からの照射光が光拡散板により拡散されて、機能液滴を均一に照射することができるため、これを適切に且つ明瞭に撮像することができる。一方、吐出検査装置が有機ＥＬデバイス製造装置に設けられているため、有機ＥＬデバイスの製造過程においても、液滴吐出ヘッドの吐出状況を適切に且つ簡単に検査することができる。
【００８９】
本発明の有機ＥＬデバイス製造装置によれば、上記の吐出検査装置が設けられているため、液滴吐出ヘッドの吐出状況の管理を能率的に行うことができ、有機ＥＬデバイスの歩留まりを向上することができる。
【００９０】
本発明の有機ＥＬデバイス、その製造方法および電子機器によれば、上記の有機ＥＬデバイス製造装置により製造されるため、信頼性の高い電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態の有機ＥＬデバイス製造装置の外観斜視図である。
【図２】実施形態の有機ＥＬデバイス製造装置の正面図である。
【図３】実施形態の有機ＥＬデバイス製造装置の右側面図である。
【図４】実施形態の有機ＥＬデバイス製造装置の一部を省略した平面図である。
【図５】実施形態のヘッドユニットの平面図である。
【図６】（ａ）実施形態の液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図７】実施形態の吸引ユニットの斜視図である。
【図８】実施形態の吐出検査装置の斜視図である。
【図９】実施形態の吐出検査装置の平面図である。
【図１０】実施形態の吐出検査装置の側面図である。
【図１１】実施形態に係る吐出検査装置のＣＣＤカメラにより撮像した機能液滴を示す説明図である。
【図１２】実施形態に係る吐出検査装置のＣＣＤカメラの撮像画面を模試的に示した図である。
【図１３】実施形態の有機ＥＬデバイス製造装置の制御構成を示すブロック図である。
【図１４】有機ＥＬデバイスの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
Ｗ  ワーク（基板）
１  有機ＥＬデバイス製造装置
３  メンテナンス手段
４  吐出検査装置
７  コントローラ（制御手段、判定手段）
２３  Ｘ・Ｙ移動機構
３１  液滴吐出ヘッド
４８  ノズル列
４９  ノズル
６５  Ｘ軸テーブル
６６  Ｙ軸テーブル
１１１  撮像手段
１１２  照明手段
１１３  液滴受け手段
１１９  回収手段
１２１  ストロボ
１２２  光拡散板
１２３  ホルダー
１２４  角度調整機構
１４１  ＣＣＤカメラ
４０１  有機ＥＬデバイス
【図１】
2004165036.tif 000003
【図２】
2004165036.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004165036.tif 000009
【図８】
2004165036.tif 000010
【図９】
2004165036.tif 000011
【図１０】
2004165036.tif 000012
【図１１】
2004165036.tif 000013
【図１２】
2004165036.tif 000014
【図１３】
2004165036.tif 000015
【図１４】
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