(57)【要約】【課題】大きく重い塗布テーブルや門型状の塗布ヘッドユニットの双方を同軸上で相対する方向に動かすことにより双方の移動速度を加算した相対移動速度を塗布速度とするとともに単一の各塗布テーブルユニットと塗布ヘッドユニット自体の速度を抑え、塗布膜厚の不安定領域となる加速域と減速域を縮小して、高速での塗布による塗布品質の維持と生産性の向上を図る単板塗布装置を提供する。【解決手段】単板１を水平に載置して水平移動可能な水平塗布テーブル１１と、水平移動制御可能な塗布ヘッドユニット２１と、該塗布ヘッドユニット２１に取り付けた塗布ヘッド２２と塗布ヘッド２２に塗液を供給する塗液供給部２４と塗布テーブル１１と塗布ヘッド２１との離間高さを調整する高さ調整部２３と単板厚み測定部２５とが設けられ、前記塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２との水平移動方向は同軸上の相対する方向に水平移動させて単板１面に塗液を塗布する。【選択図】図１
2004344734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単板塗布装置において、単板を水平に載置して水平移動可能な水平塗布テーブルと、該塗布テーブル上方にて水平移動制御可能な塗布ヘッドユニットと、該塗布ヘッドユニットに取り付けた塗布ヘッドと塗布ヘッドに塗液を供給する塗液供給部と塗布テーブルと塗布ヘッドとの離間高さを調整する高さ調整部と単板厚み測定部とが設けられ、前記塗布テーブルと塗布ヘッドとの水平移動方向は同軸上の相対する方向であって、前記塗布テーブルと塗布ヘッドとを互いに同軸上の相対する方向に水平移動させることにより、該塗布テーブル上に載置した単板面に塗液を塗布することを特徴とする単板塗布装置。
【請求項２】
請求項１記載の単板塗布装置において、前記水平塗布テーブルと塗布ヘッドのそれぞれ水平塗布移動量は、塗布に必要な単板１面上での有効移動ストローク量の１／２であることを特徴とする単板塗布装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の単板塗布装置において、前記水平塗布テーブルと塗布ヘッドのそれぞれ水平移動速度は、塗布に必要な単板面上での水平相対移動速度の１／２であることを特徴とする単板塗布装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に係る単板塗布装置において、前記塗布ヘッドの所定水平移動速度が１／２となることにより、同じ加速度で加速した際の加速時間が１／２となり、加速中における膜厚の不安定領域となる加速域も１／２となることを特徴とする単板塗布装置である。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に係る単板塗布装置において、塗布ヘッドの所定水平移動速度が１／２となることにより、同じマイナス加速度（減速度）で減速した際の減速時間が１／２となり、減速中における膜厚の不安定領域となる減速域も１／２となることを特徴とする単板塗布装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に係る単板塗布装置において、前記水平塗布テーブルと塗布ヘッドのそれぞれ水平塗布移動量は、塗布に必要な単板面上での有効移動ストローク量の１／２であり、移動方向の装置サイズＭと、前記有効移動ストローク量Ｓとが、Ｓ／２＜Ｍ≦２Ｓ／３の関係にあることを特徴とする単板塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルム等の枚葉状のガラス板やプラスチック板、あるいは金属板に対する精密薄膜コーティングを実現するための単板塗布装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
枚葉状のガラス板（単板）への塗布方式の多くは、ガラス中央部へ塗液を滴下し、回転しながら薄膜を形成するスピンコート法が使われている。しかしガラス板の大型化に伴い、滴下する液量が多く必要となり、それにより塗布膜厚の精度も低下する傾向がある。
【０００３】
また、その他の方式としてガラス板を精密なテーブル上へ真空吸着させて保持し、そのガラス板を保持した状態のテーブルを移動させ、該テーブル上方に固定設置されたダイヘッドから塗液を噴出させながら、そのダイヘッドの下部を通過させることによりガラス板への塗液の塗布を行う方法、また、ガラス板を保持するテーブル上方をダイヘッドユニットが移動、通過することで、テーブル上のガラス板への塗液の塗布を行う方法がある。
【０００４】
しかし、前述のいずれの方式も、真空吸引装置の付いた重量のある大きな移動テーブルを移動させたり、固定テーブル上方に移動可能に架設された重量のある門型状のヘッドユニットを移動させて塗布を行うため、停止中の速度０ｍｍ／ｓｅｃから所定の塗布速度への加速中、及び所定の塗布速度から塗布終了の停止速度０ｍｍ／ｓｅｃまでの減速中における塗布膜厚が安定しない。
【０００５】
この時の塗布移動速度が早いほど加速及び減速に要する時間は長く、そのため膜厚の安定しない状態での移動距離は長くなること、即ち塗布膜厚の安定した有効エリアが減少することから、塗布移動速度を余り上げることができない。
【０００６】
単板上への塗布の移動速度は、一般的に２０〜１５０ｍｍ／ｓｅｃ程度で塗布されているが、上記のような移動テーブルによるガラス板の搬送系や固定テーブル上方に架設された移動ヘッドユニットによるヘッド搬送系の問題により、ガラス板の塗布エリアの塗布始め及び塗布終わりの部分に塗膜の不安定領域が生じ、製品として使えないエリアが生じる。さらにガラスの大型化に伴う移動テーブル及び移動ヘッドユニットの大型化、重量化により、搬送系の加速・減速レートが低くなり、塗布始め及び終わりの塗膜の不安定領域が増える傾向にある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、上記問題点を鑑みなされたものであり、その目的とするところは、大きく重い塗布テーブルや門型状の塗布ヘッドユニットの双方を、同軸上で相対する方向に動かすことにより、双方の移動速度を加算した相対移動速度を塗布速度とするとともに、単一の各塗布テーブルユニットと塗布ヘッドユニット自体の速度を抑えることにある。
【０００８】
また本発明の課題は、双方の移動速度を抑えることにより同じ加速レートで加速しても塗布速度に到達する時間（加速時間）を短くし、塗布膜厚の不安定領域となる加速域を少なくし、又同じ減速レートで減速しても停止までの時間（減速時間）を短くし、塗布膜厚の不安定領域となる減速域を少なくすることにあり、塗布テーブルと塗布ヘッドユニットの相対移動速度を塗布速度として採用することにより、高速での塗布を行っても塗布膜厚の不安定領域の発生を抑制でき、生産性の向上が見込める単板塗布装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の請求項１に係る発明は、図１に示すように、単板塗布装置において、単板１を水平に載置して水平移動可能な水平塗布テーブル１１と、該塗布テーブル１１上方にて水平移動制御可能な塗布ヘッドユニット２１と、該塗布ヘッドユニット２１に取り付けた塗布ヘッド２２と塗布ヘッド２２に塗液を供給する塗液供給部２４と塗布テーブル１１と塗布ヘッド２１との離間高さを調整する高さ調整部２３と単板厚み測定部２５とが設けられ、前記塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２との水平移動方向は同軸上の相対する方向であって、前記塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２とを互いに同軸上の相対する方向に水平移動させることにより、該塗布テーブル１１上に載置した単板１面に塗液を塗布することを特徴とする単板塗布装置である。
【００１０】
本発明の請求項２に係る発明は、図１に示すように、上記請求項１に係る単板塗布装置において、前記水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ水平塗布移動量Ｄ１  、Ｄ２  は、塗布に必要な単板１面上での有効移動ストローク量Ｓの１／２であることを特徴とする単板塗布装置である。
【００１１】
本発明の請求項３に係る発明は、図１に示すように、上記請求項１又は請求項２に係る単板塗布装置において、前記水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ水平移動速度Ｖ１  、Ｖ２  は、塗布に必要な単板１面上での水平相対移動速度Ｖの１／２であることを特徴とする単板塗布装置である。
【００１２】
本発明の請求項４に係る発明は、図１に示すように、上記請求項１乃至請求項３のいずれか１項に係る単板塗布装置において、前記塗布ヘッド２２の所定水平移動速度Ｖ２  が１／２となることにより、同じ加速度αで加速した際の加速時間ｔが１／２となり、加速中における膜厚の不安定領域となる加速域も１／２となることを特徴とする単板塗布装置である。
【００１３】
本発明の請求項５に係る発明は、図１に示すように、上記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に係る単板塗布装置において、塗布ヘッド２２の所定水平移動速度Ｖ２  が１／２となることにより、同じ加速度（−α、減速度β）で減速した際の減速時間ｔが１／２となり、減速中における膜厚の不安定領域となる減速域も１／２となることを特徴とする単板塗布装置である。
【００１４】
本発明の請求項６に係る発明は、図１に示すように、上記請求項１乃至請求項５のいずれか１項に係る単板塗布装置において、前記水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ水平塗布移動量Ｄ１  、Ｄ２  は、塗布に必要な単板１面上での有効移動ストローク量Ｓの１／２であり、移動方向の装置サイズＭと、前記有効移動ストローク量Ｓとが、Ｓ／２＜Ｍ≦２Ｓ／３の関係にあることを特徴とする単板塗布装置である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の単板塗布装置を図面に基づいて以下に詳細に説明する。各図面は、一実施例を示すものであり、上記請求項の要件を満たすものであれば、実施例だけに制限されるものではない。
【００１６】
図１は、本発明の単板塗布装置の一実施例を説明する斜視図であり、ガラス板等の単板１を水平に載置して水平方向に駆動移動可能な水平塗布テーブル１１を備え、該塗布テーブル１１上方には、水平方向に駆動移動制御可能な塗布ヘッドユニット２１を備える。
【００１７】
該塗布ヘッドユニット２１には、水平塗布テーブル１１の移動方向に対し直交する幅方向に、その幅全長を覆う長さを有するライナー状の塗布ヘッド２２と、該塗布ヘッド２２に下向きに設けた塗液吐出口２２ａ（塗布ヘッド２２の長手方向に沿って等間隔に配置した複数のノズル形式の吐出口２２ａ又は塗布ヘッド２２の長手方向に沿って連続スリット状に設けたＴダイ形式の吐出口２２ａ）と、該塗布ヘッド２２に塗液Ｒを供給する塗液供給部２４と、塗布テーブル１１と塗布ヘッド２１との離間高さを調整する高さ調整部２３を備えている。
【００１８】
また該塗布ヘッドユニット２１には、塗布テーブル１１上面に供給され載置される単板１の厚みを（一枚毎）測定する単板厚み測定部２５が、塗布テーブル１１に載置される単板１の方向を向けて配置されている。
【００１９】
そして、まず前記塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２とを、互いに相対するスタート位置から、同軸上の相対する水平方向（互いに反対方向）に相対する終点まで移動させながら、塗布テーブル１１上に載置した単板１の厚みを単板厚み測定部２５により測定した後、その単板１の厚みデータ情報に基づいて、高さ調整部２３を動作させて、塗布テーブル１１と塗布ヘッド２１との離間高さを調整し、次に前記相対する終点位置から、又は元の相対するスタート位置に復帰させた後に、同軸上の相対する水平方向（互いに反対方向）に相対する終点まで移動させながら、単板１面に塗布ヘッド２２の吐出口２２ａから塗液Ｒを流下させて塗布を行うものである。
【００２０】
前記水平塗布テーブル１１は、装置本体フレームＦ上に水平に取り付けた両側のリニアガイドレール１２、１２（その溝部１２ａ、１２ａ）に沿って直線的に水平移動可能に取り付けられ、該テーブル１１裏面（下面）側に取り付けたラックギア（図示せず）と、装置本体フレームＦ側に軸支した正転、逆転可能な電動モータ駆動回転するピニオンギア（図示せず）との噛合により駆動移動可能になっている。また、その水平塗布テーブル１１上面には、エアー吸引用の複数の小孔を設けた平坦な吸着面を備え、単板１を水平に吸着保持できるようになっている。
【００２１】
また必要に応じて、前記水平塗布テーブル１１には、そのテーブルに上向きに突出・没入動作可能に内蔵された規則的配列の複数本の単板受け取り用リフトピンを備えていてもよく、該リフトピンは、塗布テーブル１１上面より突出し、供給ロボットにより他所から１枚ずつ搬送されてくる単板１を突出動作中のリフトピン上に供給し、続くリフトピンの没入動作と共に単板１を塗布テーブル１１面に吸着固定するようにすることもできる。
【００２２】
塗布ヘッドユニット２１は、塗布テーブル１１を跨ぐ門型状の架設フレーム２１ｆを備え、該架設フレーム２１ｆには、装置本体フレームＦ上に水平に取り付けた両側のリニアガイドレール２６、２６（その溝部２６ａ、２６ａ）に沿って直線的に水平移動可能な基部２１ｋ、２１ｋを備え、該基部２１ｋ下部側に軸支した正転、逆転可能な電動モータ駆動回転するピニオンギア（図示せず）と、リニアガイドレール２６、２６の各溝部２６ａ、２６ａ内の溝底面部に設けたラックギア（図示せず）との噛合により駆動移動可能になっている。
【００２３】
前記架設フレーム２１ｆには、塗液Ｒを吐出する下向きの吐出口２２ａを備えた塗布ヘッド２２が、上止点高さと下止点高さを設定調整するための高さ設定調整部２３を介して、エアシリンダーあるいはカムアンドカムフォロアーなど適宜アクチュエータによる昇降手段（図示せず）にて上昇・下降動作可能に取り付けられていて、架設フレーム２１ｆと塗布ヘッド２２の間に設けた前記高さ調整部２３は、架設フレーム２１ｆに対して塗布ヘッド２２の上止点高さと下止点高さとを設定調整でき、塗布テーブル１１上に吸着保持された単板１と上昇・下降動作可能な塗布ヘッド２２との離間高さ（上下方向距離）を適宜に調整することができる。
【００２４】
また塗布ヘッドユニット２１には、塗布ヘッド２２の吐出口２２ａに塗液Ｒを供給するポンプユニット２４と、単板１の厚さを測定する非接触式変位計による厚み測定部２５を備えている。
【００２５】
本発明装置の塗布動作を以下に説明すれば、まず、水平塗布テーブル１１を、リニアガイド１２、１２に沿って駆動移動させ、ガラス板等の単板１（被塗布板）の受け取り位置である、図１に示す装置の最前部位置にて停止待機させ、他方の塗布ヘッドユニット２１（架設フレーム２１ｆ）を、リニアガイド２６、２６に沿って駆動移動させ、図１に示す装置の最後部位置（単板１の受け取り位置とは反対位置）にて停止し待機させる。このようにして水平塗布テーブル１１と塗布ヘッドユニット２１とを互いに相対するスタート位置にて待機させる。
【００２６】
次に、水平塗布テーブル１１上面に手動供給又は自動供給（自動供給ロボットハンドなど）にて適宜単板１を供給載置し、テーブル１１のエアー吸引動作により単板１を吸着固定する。なお、塗布テーブル１１に単板受け取り用リフトピンが搭載されている場合には、リフトピンを塗布テーブル１１上面より突出動作させた後、供給ロボットによりリフトピン上に単板１を供給し、続いてリフトピンを没入動作させ、テーブル１１のエアー吸引動作により単板１を塗布テーブル１１に吸着固定する。
【００２７】
次に、単板１を吸着保持した塗布テーブル１１と、塗布ヘッド２２及び単板１の厚みを測定する厚さ測定部２５を搭載した塗布ヘッドユニット２１とを、それぞれ同軸上にて互いに水平反対方向に直線的に互いに相対する終点位置まで相対移動させる。この１回目の相対移動時においては、単板１を測定する厚み測定部２５は、単板１上を通過しながら単板１の厚みの測定のみを行う。
【００２８】
この時に収集した単板１の厚みデータ情報は、塗布ヘッドユニット２１に搭載した高さ調整部２３を制御動作させる高さ制御部（コンピュータ、図示せず）のメモリにフィードバックされて記憶される。
【００２９】
このようにフィードバックされた単板１の厚みデータに基づいて高さ調整部２３を動作させて、単板１の厚みデータに対応する単板１と塗布ヘッド２２（吐出口２２ａ）との上下方向の所定離間距離を、常に一定の適正な離間高さに調整する。この時の単板１と塗布ヘッド２２との所定のギャップ（離間高さ）は、例えば下降動作後の塗布ヘッド２２と単板１との離間高さを２０〜７０μｍ、上昇動作後の塗布ヘッド２２と単板１との離間高さを８０〜１５０μｍに調整されて、前述の単板１の厚みデータをフィードバック値に対応する値となっている。
【００３０】
ここで、塗布テーブル１１から塗布ヘッド２２までの所定のギャップ（離間高さ）、即ち単板１から吐出口２２ａまでの離間高さの設定動作は、ヘッド２２先端から吐出されたレジストを単板１の面上にて平坦な膜状にするために必要な動作である。
【００３１】
塗布ヘッド２２に設けた吐出口２２ａは、塗布ヘッド２２の長手方向（塗布幅方向）に沿って等間隔に配置した複数のノズル形式の吐出口２２ａ、又は塗布ヘッド２２の長手方向（塗布幅方向）に沿って連続スリット状に設けたＴダイ形式の吐出口２２ａであるが、特に複数のノズル形式の吐出口２２ａを所定間隔をもって塗布幅方向に直線状に配置した吐出口２２ａの場合には、それぞれ吐出口２２ａから吐出直後のレジスト（粘性がある）は、その吐出口２２ａ先端で球状になり、球状となったレジストは吐出されることで更に大きく成長する。
【００３２】
大きく成長した球状のレジストは、隣接する球状のレジストと結合することがある。そして、大きく成長して最後に単板１（ガラス）面に到達し、ヘッド２２と単板１との間はレジストで満たされた状態となる。この状態になった後は、ヘッド２２と単板１とは互いに相対移動し、一定量の吐出により単板１面上に塗膜を形成することができる。
【００３３】
例えば、ヘッド２２と単板１との間の離間高さが高い（離間距離が長い）と、単板１面上にて膜状になるまでの時間が長く必要となり、それに対応して球状のレジストは大きくなって所定の膜厚分以上の量のレジストが単板１側に供給されて、単板１面における塗布初期の部分が厚膜化する現象が発生し易い。
【００３４】
次に、厚み測定終了位置である互いに相対する位置を塗布スタート位置として塗液供給部２４を動作させ、該供給部２４の塗布ポンプの回転動作を開始し、塗液Ｒの吐出を開始するものである。ここで、塗布ポンプの回転動作開始後に塗布ヘッド２２の吐出口２２ａ先端より実際に塗液Ｒが単板１面に吐出されるまでには一定の時間を要する場合は、塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ移動駆動回路に、互いに相対する塗布スタート位置からの相対移動動作の開始遅延タイマーを適宜に設置することが適当である。
【００３５】
図２は、上記図１に示した本発明の単板塗布装置の一実施の形態における塗布テーブル１１上の単板１と、塗布ヘッドユニット２１の塗布ヘッド２２との、それぞれ移動量と移動速度とストローク量を説明する斜視図であり、ここで図２に示すように、前記塗布テーブル１１とその上面に吸着固定された単板１の水平移動方向Ｄ１  と、前記塗布ヘッドユニット２１に搭載する塗布ヘッド２２の水平移動方向Ｄ２  は、同軸上の互いに相対する方向であり、該塗布テーブル１１及びその上面に吸着固定された単板１の水平移動速度はＶ１  であり、塗布ヘッドユニット２１に搭載した塗布ヘッド２２の水平移動速度はＶ２  である。
【００３６】
上記本発明の単板塗布装置は、続いて、塗布ヘッド２２の吐出口２２ａ先端より実際に塗液Ｒが単板１面に吐出されると、厚み測定終了位置である互いに相対する位置を塗布スタート位置として、塗布テーブル１１（又は塗布テーブル１１上に載置した単板１）と塗布ヘッド２２（又は吐出口２２ａ）が互いに水平反対方向に直線的に互いに相対移動を開始する。
【００３７】
相対移動を開始すると同時に、塗布ヘッド２２の吐出口２２ａが、高さ調整部２３により設定された単板１面から離間高さ８０〜１５０μｍの上止点まで昇降手段により上昇移動し、塗布テーブル１１は水平移動速度Ｖ１  まで加速し、塗布ヘッド２２は水平移動速度Ｖ２  まで加速して、その後は等速で互いに相対する終点手前まで移動し、双方が同軸上を相対する方向に移動するため、塗布テーブル１１上の単板１面への実質相対移動速度Ｖ（相対塗布速度）は下記のようになって、前記水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ水平移動速度Ｖ１  、Ｖ２  は下記式（１）〜（３）に示すように、塗布に必要な単板面上での水平相対移動速度Ｖの１／２となって、相対する終点手前まで塗布される。なお、例えば上記実質相対塗布速度Ｖは、８０〜２００ｍｍ／秒で実施される。
Ｖ＝Ｖ１  ＋Ｖ２  ・・・・・・・・・・・・・・（１）
Ｖ１  ＝Ｖ２  の場合は、
Ｖ１  ＝Ｖ／２・・・・・・・・・・・・・・・（２）
Ｖ２  ＝Ｖ／２・・・・・・・・・・・・・・・（３）
【００３８】
そして最後に、塗布テーブル１１と塗布ヘッドユニット２１は減速を開始し、互いに相対する終点位置にて停止して塗布動作が終了する。同時に塗布ヘッド２２は塗布終了動作の高さである下止点（単板１から吐出口２２ａまでの離間高さ２０〜７０μｍ）まで下降動作して単板１面と吐出口２２ａとを接近させ、塗液供給部２４の塗布ポンプは、吐出口２２ａ先端の液垂れ、及び単板１面と吐出口２２ａとの間に貯留している液の拡がりを防ぐために逆回転して、塗布ヘッド２２の吐出口２２ａ先端に貯留している塗液Ｒを吸引除去する。その後、塗布ヘッド２２は上止点の待機位置まで上昇動作し、同時に塗布テーブル１１及び塗布ヘッドユニット２１を、単板１の受け取り位置へ復帰移動させる。
【００３９】
その後、塗布テーブル１１の吸着動作を解除して、テーブル１１上から塗布された単板１を手動又は自動搬出する。あるいは、テーブル１１にリフトピンを内蔵している場合には、塗布テーブル１１の吸着動作を解除した後に、リフトピンを突出動作させて単板１を塗布テーブル１１面より上昇させ、該単板１を手動又は自動（自動ロボットアーム等）にて搬出して一連の塗布サイクルを終了する。
【００４０】
上記本発明の単板塗布装置は、図２に示すように、前記水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ水平移動方向Ｄ１  、Ｄ２  が同軸上の互いに相対する方向であり、また等速時のそれぞれ水平塗布移動速度はＶ１  、Ｖ２  である。
【００４１】
塗布に必要な単板１（塗布方向、移動方向の長さＬ）面上での有効移動ストローク量（実際に塗布される単板１面の移動方向の長さ）をＳ、それぞれ水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２の等速時の水平移動速度をＶ１  、Ｖ２  、それぞれ等速時の水平移動経過時間をｔ１  、ｔ２  とすれば、水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ等速時の水平塗布移動量ｓ１  、ｓ２  は、下記のようになる。なお、加速（移動開始）時及び減速（移動停止）時の水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ移動量及び経過時間は、本発明においては僅かな値に設定されているので、水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２の加速時、減速時の加速度、減速度、及び水平移動距離に関しては省略（無視）する。
ｓ１  ＝Ｖ１  ｔ１  ・・・・・・・・・・・・・・（４）
ｓ２  ＝Ｖ２  ｔ２  ・・・・・・・・・・・・・・（５）
【００４２】
ここで水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ水平移動方向Ｄ１  、Ｄ２  は同軸上の互いに相対する方向であり、互いに水平移動動作を同時に開始して、停止動作を同時に行うように設定されているので、単板１面上での有効移動ストローク量Ｓは下記のようになる。
Ｓ＝ｓ１  ＋ｓ２  ・・・・・・・・・・・・・・（６）
【００４３】
また水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ水平塗布移動量ｓ１  、ｓ２  が等しい場合は、有効移動ストローク量Ｓとの関係は下記のようになる。
ｓ１  ＝ｓ２  ・・・・・・・・・・・・・・・・（７）
ｓ１  ＝ｓ２  ＝Ｓ／２・・・・・・・・・・・・（８）
【００４４】
前記水平塗布テーブル１１と塗布ヘッド２２のそれぞれ水平塗布移動量ｓ１  、ｓ２  は、上記式（６）〜（８）に示すように、塗布に必要な単板１面上での有効移動ストローク量Ｓの１／２になるので、本発明の単板塗布装置の移動方向の装置サイズＭと有効移動ストローク量Ｓとの関係において、Ｓ／２＜Ｍ≦２Ｓ／３が成立し、図１に示すように有効移動ストローク量Ｓに対して、装置サイズＭはＳ／２＜Ｍ≦２Ｓ／３のサイズに縮小設定でき、コンパクトに省スペース化することができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上詳細に記述してきたように、本発明の単板塗布装置によれば以下のような効果を得ることができる。
【００４６】
すなわち、大きく重い塗布テーブルと門型状の塗布ヘッドユニットの双方を、同軸上で相対する方向に動かすことにより、双方の移動速度を加算した相対移動速度を塗布速度とすることにより、単一の各塗布テーブルユニットと塗布ヘッドユニット自体の速度を抑える効果があり、所謂、従来と同様の駆動系の能力（移動速度）の塗布テーブルと門型状の塗布ヘッドユニットを持つ装置に比べ、２倍の塗布速度を得ることができる効果があり、スループットの向上が見込めるものである。
【００４７】
また、塗布テーブルと門型状の塗布ヘッドユニットの双方の移動速度を抑えることにより、同じ加速レートで加速しても、塗布速度に到達する時間（加速時間）を短縮でき、塗布膜厚の不安定領域となる加速域を縮小でき、又同じ減速レートで減速しても、停止までの時間（減速時間）を短縮でき、塗布膜厚の不安定領域となる減速域を縮小できる効果がある。
【００４８】
このように、塗布テーブルと塗布ヘッドユニットの相対移動速度を塗布速度として採用することにより、ガラス板やプラスチック板、あるいは金属板に対して高速での塗布を行っても、塗布膜厚の不安定領域の発生を抑制でき、生産性の向上が見込める単板塗布装置を提供することが可能となる。
【００４９】
また、本発明の単板塗布装置によれば、塗布テーブル及び門型状の塗布ヘッドユニットの双方が移動して塗布するので、各々の移動ストロークを、従来の１／２に短縮でき、従来の装置よりも装置本体のサイズや設置スペースを、移動ストローク量に対して１／２〜２／３に縮小でき、省サイズ化や省スペース化が期待できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の単板塗布装置の一実施の形態を説明する斜視図。
【図２】本発明の単板塗布装置の一実施の形態における塗布テーブル上の単板と塗布ヘッドユニットのそれぞれ移動量と移動速度とストローク量を説明する斜視図。
【符号の説明】
１…単板
１１…水平塗布テーブル  ２１…塗布ヘッドユニット  ２２…塗布ヘッド
２３…高さ調整部  ２４…塗液供給部  ２５…厚み測定部
Ｌ…単板長さ  Ｒ…塗液  Ｓ…単板の実質塗布ストローク量
Ｍ…移動方向の装置サイズ
ｓ１  …水平塗布テーブルの水平塗布移動量
ｓ２  …塗布ヘッドの水平塗布移動量
Ｖ１  …水平塗布テーブルの等速時水平移動速度
Ｖ２  …塗布ヘッドの等速時水平移動速度
ｔ１  …水平塗布テーブルの等速時の水平移動経過時間
ｔ２  …塗布ヘッドの等速時の水平移動経過時間
【図１】
2004344734.tif 000003
【図２】
2004344734.tif 000004