Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【目的】表面実装用とする実装台座の共通化を計った台座付の水晶振動子を提供する。【構成】水晶片を保持して電気的に接続する一対の気密端子を有する金属ベースと、前記金属ベースの底面に設けられて前記気密端子が貫通する一対の貫通孔及び前記貫通孔に連通して前記リード線が配設される溝を有する実装台座とからなる水晶振動子において、必要に応じて前記気密端子を長さ又は幅方向に折曲して配設できるように前記貫通孔に連通する溝を幅及び長さ方向に設けた構成とする。【選択図】図１
2004274286.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶片を保持して電気的に接続する一対の気密端子を有する金属ベースと、前記金属ベースの底面に設けられて前記気密端子が貫通する一対の貫通孔及び前記貫通孔に連通して前記リード線が配設される溝を有する実装台座とからなる水晶振動子において、前記貫通孔に連通する溝を幅及び長さ方向に設けたことを特徴とする水晶振動子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は実装台座付の水晶振動子（以下、台座型振動子とする）を産業上の技術分野とし、特に台座の共通部品化を計った水晶振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
（発明の背景）水晶振動子は周波数及び時間の基準源として各種電子機器の発振器に組み込まれる。近年では、水晶振動子の表面実装化が進行し、このようなものの一つに台座型振動子がある。
【０００３】
（従来技術の一例）第３図は一従来例を説明する図で、同図（ａ）は台座型振動子の断面図、同図（ｂ）は実装台座の底面図である。
【０００４】
台座型振動子は水晶振動子１と実装台座２からなる。水晶振動子１は一対の気密端子３の導出した金属ベース４に水晶片５を保持する。気密端子３はリード線６が挿通したガラス７を金属ベース４の貫通孔９に嵌装して焼成によって一体化される。そして、金属ベース４にカバー８を抵抗溶接等によって封止する。
【０００５】
実装台座２は一対の貫通孔９を有し、例えば長さや幅方向に連通した溝１０を有する。そして、水晶振動子１の気密端子３を貫通孔９に挿通して折曲し、溝１０に配設される。
【０００６】
このようなものでは、金属ベース４の底面に実装台座２を設けたことによって図示しないセット基板上に表面実装できる。そして、既存の水晶振動子１を使用するので、特に気密に関しての信頼性も高く、表面実装型にするに際して格別な設備投資も要しない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の台座型振動子では、金属ベース４の長さや幅方向に対する気密端子３の導出方向に応じて実装台座２を用意する必要があり、部品の共通化が計られていない問題があった。
【０００８】
（発明の目的）本発明は実装台座の共通化を計った台座型振動子を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、実装台座の貫通孔に連通する溝を幅及び長さ方向に設けた構成とする。これにより、適宜に長さ又は幅方向に気密端子を配設できて、実装台座の共通化を計れる。
【００１０】
【第１実施例】
第１図は本発明の第１実施例を説明する特に実装台座の底面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
【００１１】
台座型振動子は前述のように金属ベース４（水晶振動子１）の底面に実装台座２を設けて表面実装用とする。実装台座２は一対のリード線６の挿通される貫通孔９を有する。そして、各貫通孔９から長さ及び幅方向に連通した溝１０を設ける。
【００１２】
このような構成であれば、必要に応じて気密端子３を長さ又は幅方向に折曲して配設できる。したがって、実装台座２の共通化を計れて、個別に管理する必要もない。
【００１３】
【第２実施例】
第２図は本発明の第２実施例を説明する台座型振動子の断面図である。なお、第１実施例と同一部分の説明は省略又は簡略する。
【００１４】
第１実施例では金属ベース４と実装台座２を別体としたが、第２実施例では金属ベース４と実装台座２を焼成によって一体的にする。すなわち、金属ベース４の気密端子３を形成するガラス７を例えばセラミックガラスとする。セラミックガラス７は平板部と一対の突出部から形成し、突出部に設けた中央孔に一対のリード線６を挿通する。平板部には突出部の中央孔と連通した溝１０を前述同様に長さ及び幅方向に設ける（底面図は省略）。
【００１５】
そして、突出部を金属ベース４の貫通孔９に嵌装して平板部を底面に当接し、焼成によって一体的にする。なお、平板部は抵抗溶接時の電極との接触部を確保するために金属ベース４の外形より小さくする。
【００１６】
このようなものにおいても、第１実施例と同様に必要に応じて気密端子３を長さ又は幅方向に折曲して配設でき、実装台座２の共通化を計れて個別に管理する必要もない効果を奏する。そして、実装台座２を個別に装着する必要がないので、生産性を向上できる。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、実装台座の貫通孔に連通する溝を幅及び長さ方向に設けたので、実装台座の共通化を計った台座型振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を説明する実装台座の底面図である。
【図２】本発明の第２実施例を説明する台座型振動子の断面図である。
【図３】従来例を説明する図で、同図（ａ）は台座型振動子の断面図、同図（ｂ）は実装台座の底面図である。
【符号の説明】
１  水晶振動子、２  実装台座、３  気密端子、４  金属ベース、５  水晶片、６  リード線、７  ガラス、８  カバー、９  貫通孔、１０  溝．
【図１】
2004274286.tif 000003
【図２】
2004274286.tif 000004
【図３】
2004274286.tif 000005
(57)【要約】【課題】必要な警報情報の電子メールを必要な所に送信し、不要な電子メールを送信しない監視装置を提供する。【解決手段】監視装置は監視対象に異常が発生すると、発生した警報の内容に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信する。例えば、警報の内容によって４つに分類し、警報１が発生した場合は送信先１と送信先２と送信先５に、警報２が発生した場合は送信先１と送信先３に、警報３が発生した場合は送信先１と送信先３に、警報４が発生した場合は送信先１と送信先４に電子メールを送信する。【選択図】        図１
2004274282.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視対象に異常が発生した際に電子メールによって警報情報を送信する機能を備えた監視装置において、発生した警報の内容に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信することを特徴とする監視装置。
【請求項２】
監視対象に異常が発生した際に電子メールによって警報情報を送信する機能を備えた監視装置において、時間帯に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信することを特徴とする監視装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、監視対象に異常が発生した際に電子メールによって警報情報を送信する機能を備えた監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の監視装置は警報検出手段が異常を検出すると、メール制御部から電子メールによって予め設定されている電話番号の携帯電話に警報情報を送信するようになっていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００３−４７０７２号公報（第１頁、第１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の監視装置は送信先が１箇所であるので、その警報メールを見逃す虞があるし、必要でない警報メールも頻繁に受信するので煩わしく、そのため、必要な警報メールを見逃す虞があった。
【０００５】
そこで上記問題点に鑑み、本発明の目的は、必要な警報情報の電子メールを必要な所に送信し、不要な電子メールを送信しない監視装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明によれば、監視対象に異常が発生した際に電子メールによって警報情報を送信する機能を備えた監視装置において、発生した警報の内容に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信することを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明によれば、監視対象に異常が発生した際に電子メールによって警報情報を送信する機能を備えた監視装置において、時間帯に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信することを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
監視装置は監視対象に異常が発生すると、発生した警報の内容に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信する。
【０００９】
また、監視装置は監視対象に異常が発生すると、時間帯に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信する。
【００１０】
【実施例】
本発明に係る監視装置の第１実施例を図１の添付図面に基づいて説明する。
【００１１】
監視対象に異常が発生して警報検出部により警報を検出すると、メール制御部から警報の発生箇所や重要度等の内容に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信する。
【００１２】
例えば、図１の表に示すように、警報の種類を４つに分類し、警報１が発生した場合は送信先１と送信先２と送信先５とに電子メールを送信し、警報２が発生した場合は送信先１と送信先３に電子メールを送信し、警報３が発生した場合は送信先１と送信先３に電子メールを送信し、警報４が発生した場合は送信先１と送信先４に電子メールを送信する。
【００１３】
本発明に係る監視装置の第２実施例を図２の添付図面に基づいて説明する。
【００１４】
監視装置は監視対象に異常が発生して警報検出部により警報を検出すると、メール制御部から時間帯に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信する。
【００１５】
例えば、図２の表に示すように、時間帯を３つに分類し、０：００〜８：００は送信先１と送信先２に電子メールを送信し、８：００〜１７：００は送信先１と送信先３と送信先４に電子メールを送信し、１７：００〜２４：００は送信先１と送信先４に電子メールを送信する。
【００１６】
尚、本発明において電子メールの送信先は警報の発生箇所や重要度等の内容と時間帯を同時に考慮して送信先を設定しても良い。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に記載の発明によれば、監視対象に異常が発生した際に電子メールによって警報情報を送信する機能を備えた監視装置において、発生した警報の内容に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信することにより、必要な警報情報の電子メールを必要な所に送信し、不要な電子メールを送信しないという効果がある。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、監視対象に異常が発生した際に電子メールによって警報情報を送信する機能を備えた監視装置において、時間帯に応じて予め設定した少なくとも一以上の送信先に電子メールによって警報情報を送信することにより、必要な警報情報の電子メールを必要な所に送信し、不要な電子メールを送信しないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係る監視装置の電子メール送信表である。
【図２】本発明の第２実施例に係る監視装置の電子メール送信表である。
【図１】
2004274282.tif 000003
【図２】
2004274282.tif 000004
(57)【要約】      （修正有）【課題】腕携帯電話のキーボードを押しやすく画面を見易くする。【解決手段】腕携帯電話のキーボードと画面を腕方向と直角方向から打ちやすく見やすいように設けることにより、使いやすい腕電話となる。【効果】腕電話使用に際し、キーボードを押し易く早く押せ、画面が見易く、横長画面ができ、横書き文章を見易く、映像の見易い横長画面となる。又、画面をスイベルにより直角方向に回転する必要がなく、メカが簡単となり、小型、軽量、安価となる。【選択図】        図３
2004274419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
腕の長さ方向と直角方向から打ちやすいキーボードとこの方向から見やすい画面を設けた事を特徴とする電話端末。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は携帯電話に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の携帯電話は単にポケットやカバンの中にしまい、必要な時だけ携帯電話を取りだし、使用するという発想で作られ、電話を身につけるという発想がなかったため。そのため図１の如く公知の携帯電話は縦長方向を手で握り保持するという概念しかなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、別に出願した腕につける携帯電話に於いて従来のキーボードと画面では使用しにくい。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、携帯電話の画面とキーボードの配置を腕方向と直角方向から打ちやすく見やすいように設けることにより、使いやすい腕電話となる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明を以下図面に基づき説明する。
図１は従来の携帯電話の平面図を示し、キーボード及び画面は携帯電話の長さ方向をつかむのを想定して設計されている。従って腕につける電話としてはキーが押しづらく、画面が見づらかった。
【０００６】
図２は本発明の平面図であり、図３は腕７につけるバンド６をつけたものであり、図４は折りたたんだ時の本発明平面図である。
本発明は、腕首に装着する電話機において、キーボード３と画面４及び電話の受け取り、Ｅメール、ｉアプリ（登録商標）、ｉ−ｍｏｄｅ（登録商標）等の特殊キー５が腕方向と直角方向から押しやすいように配置されているのでキーの押しや画面を見ることが容易で、更に画面は横長に出来るので、ｉ−ｍｏｄｅ（登録商標）の横文字文章やテレビ画面に有利となる。又、腕電話は電話が着信してすぐに返答することができ、心臓から一番遠い場所に身に付けることができるので、電磁波からの影響を受けにくいという利点がある。尚、キーボードの向きが４５°や１８０°逆にするなどの変形は、本発明に含まれる。
【０００７】
第４図の如く折り畳んだ場合も画面８も腕方向の直角から見やすい方向に表示する。右発明は折り畳み式でない携帯電話も当然含まれるものである。
【０００８】
【発明の効果】
本発明は上記のように腕電話使用に際し、キーボードを押し易く速く押せ、画面が見やすく、横長画面が出来、ｉ−ｍｏｄｅ（登録商標）で横書き文章を見易く、映像の見易い横長画面となる。又，画面をスイベルにより直角方向に回転する必要がなく、メカが簡単となり、小型、軽量、安価となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の携帯電話平面図
【図２】本発明の平面図
【図３】腕バンドを設けた本発明の平面図
【図４】本発明を折りたたんだ時の本発明の平面図
【符号の説明】
１  キーボード
２  画面
３  キーボード
４  画面
５  特殊キー
６  ベルト
７  腕
８  画面
【図１】
2004274419.tif 000003
【図２】
2004274419.tif 000004
【図３】
2004274419.tif 000005
【図４】
2004274419.tif 000006
(57)【要約】【課題】携帯電話で電話すると必ず液晶画面が顔の油や化粧粉等で汚れてしまう。従来はそれをハンカチや携帯ストラップのクリーナー等で拭いていた。そこで携帯電話自体にクリーナーを設置し、さらにアクセサリーにもなるようにする。【解決手段】クリーナーを台座部とクリーナー部に分離しクリーナーを脱着可能にする。台座部には電話のどこにでも固定できるように両面テープのようなものを用いる。クリーナー生地部は眼鏡拭きのような極細繊維の生地等を使用する。クリーナー表面部にはキャラクターや写真、模様等をデザインする。【選択図】  図１
2004274688.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーナーを台座部とクリーナー部に分離し携帯電話に固定したクリーナーを脱着可能にした。クリーナー部を取外し液晶画面の汚れを拭き去り後、台座部に再設置可能なクリーナー。
【請求項２】
クリーナーの表面にキャラクターや写真等をデザインすることで携帯電話のアクセサリーにもなるもの。
【発明の詳細な説明】
本発明は、携帯電話上で脱着可能な液晶画面のクリーナーでありアクセサリーを兼ねるものである。携帯電話のどこでも好きな箇所に貼り付け固定できる。クリーナーは脱着可能でクリーナー部を台座から外し液晶画面の汚れを拭き去った後、台座部に再設置できる。またクリーナーの表面にキャラクターや模様、写真等をデザインしてアクセサリーとしても楽しむことができる。
従来は携帯ストラップのアクセサリーとしてのクリーナーはあったが、携帯電話上にアクセサリー兼用のクリーナーは初めてのものであり、さらに便利で装飾的にも優れている。
上記を実現するためクリーナー台座部とクリーナー部を分離する。クリーナー台座はクリーナー部を脱着可能にする。台座部を電話に固定させるには両面テープのようなものを用いる。その台座とクリーナー部を脱着可能とするには図３で台座５は柔軟なプラスチィック等の素材で非常に短い半円筒のツメでネック３をバネ的に押さえられる仕様等とする。さらにクリーナー生地部４は眼鏡拭きのような極細繊維の生地等を使用する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明クリーナーを携帯電話に固定させた見取図
【図２】本発明クリーナーの側面図
【図３】本発明クリーナーの台座の正面図
【符号の説明】
１  アクセサリークリーナー
２  アクセサリー面
３  クリーナーネック
４  クリーナー生地部
５  クリーナー台座
【図１】
2004274688.tif 000003
【図２】
2004274688.tif 000004
【図３】
2004274688.tif 000005
(57)【要約】【目的】マクロシーク終了時の残留振動を効率よく除去し、かつ次のミクロシークの支障とならない光ヘッドの制動方法を得る。【構成】キャリッジ本体１と、その両側にあるコイル３とをつなぐ２個の連結翼４それぞれに、トンネル７を設置し、トンネル７の壁１に圧電素子６を設置して、トンネル７を通る制動棒８との機械的摩擦にて、キャリッジ本体１の残留振動を除去する。【選択図】　図１
2004079145.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ヘッドの駆動停止時、機械的摩擦にて制動する、光ディスク装置の光ヘッド制動方法。
【請求項２】
光ヘッドに、極めて短時間だけ機械的摩擦を与える請求項１記載の光ディクス装置の光ヘッド制動方法。
【請求項３】
光ヘッドの残留振動の振動中心の時期だけに、光ヘッドに機械的摩擦を与える請求項２記載の光ディスク装置の光ヘッド制動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスク装置における位置決めのために、光ヘッドを駆動する場合の、光ヘッド制動方法に関する。
【０００２】
〔従来の技術〕
従来の光ヘッドの駆動時においては、可動範囲が大きいが応答が良くないコースアクチュエータと、可動範囲が狭いが応答性の良いフアインアクチュエータを連動して制御する、２段トラッキングで制御していた。
【０００３】
〔発明が解決しようとする課題〕
光ヘッドを駆動した場合、残留振動の問題で、マクロシークの移動が終了しても、ミクロシークに移れるまでに時間がかかり、シーク時間はあまり短縮できなかった。
【０００４】
それゆえ、高速光ディスクアクセス方法として、従来のガルバノミラー、２次元アクチュエータなどより高速な動作が可能なミクロ移動機構、ＡＩＯ偏向素子、ＳＡＷ素子などの、高価で非機械的な光偏向器を用いて、残留振動問題に対処していた。
【０００５】
本発明は、光ヘッドを駆動した場合、マクロシークの移動が終了し、ミクロシークにかかれるまでの時間を短かくして、光ヘッドの全体のシーク時間の短縮が実現できる方法を提供することを目的としている。
【０００６】
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、本発明の光ディスクの光ヘッド制動方法においては、光ヘッドの残留振動波形を、トラッキング信号で検出し、その振動中心時期だけに、振動制御俸と光ヘッドを極めて短時間接触さし、光ヘッドの残留振動を効率よく止め、ガルバノミラーによるミクロシークに直ちに移り、全体のシーク時間の短縮を図っている。
【０００７】
〔作用〕
上記のように、光ヘッドの残留振動の振動中心時期に、制動棒を光ヘッドに接触さすと、効率よく光ヘッドの残留振動を除くことができ、又その接触が極めて短時間であるので、光ヘッドの次のミクロシークの障害にはならない。
【０００８】
〔実施例〕
実施例について図面を参照して説明すると、図１において、キャリッジ本体１の両側に設置されて、コースアクチュエータを構成している、マグネットヨーク２とその内のコイル３とキャリッジ本体１との２個の連結翼４それぞれに、案内レールを通すトンネル５と、壁に圧電素子６を有したトンネル７の内に、制動棒８を通しているトンネル７を設置している。この時、２個のトンネル７を含む平面内に、キャリッジ本体１の重心が存在している。
【０００９】
光ヘッド駆動停止時、キャリッジ本体１で検出したトラッキング信号で光ヘッドの残留振動の振動中心時期を検出し、トンネル７の壁中にある圧電素子６に電圧をかけ、制動棒８と圧電素子６を接触さす。
【００１０】
この時、圧電素子６を数波数だけ振動さして、極めて短時間だけ光ヘッドのキャリッジ本体１に機械的摩擦をかけ、光ヘッドを制動している。
【００１１】
上記圧電素子６に変えて、トンネル７内の壁にある制動板と、制動棒８とを電磁力にて極めて短時間接触させている実施例がある。
【００１２】
〔発明の効果〕
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００１３】
アクセス時間を短縮しようとして、マクロシーク時間を短縮するために、高推力コースアクチュエータを用いると、マクロシークの移動が終了しても、ミクロシークに移れるまでに残留振動の問題で、全体のシーク時間はあまり短縮できなかった。
【００１４】
そこで、キャリッジ本体１の残留振動波形を、トラッキング信号で検出し、キャリッジ本体１とコイル３とのひずみの一番小さい時期、すなわちキャリッジ本体１の振動速度の一番大きい時期に、圧電素子６と制動棒８とを接触させて制動をかけているので、効率よくキャリッジ本体１の残留振動を除き、短時間でミクロシークに移れる効果がある。
【００１５】
２個のトンネル７を通る平面は、キャリッジ本体１の重心を通っているので、制動作業後残留振動が小さくなる効果がある。
【００１６】
又、トンネル７の内壁内にある圧電素子６と、制動棒８とを極めて短時間だけ接触さしているので、次のミクロシークに直ちに移行できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】光ヘッド側面図である。
【符号の説明】
１　キャリッジ本体
２　マグネットヨーク
３　コイル
４　連結翼
５，７　トンネル
６　圧電素子
８　制動棒
【図１】
2004079145.tif 000003
(57)【要約】【課題】本発明は、電子部品の飛び出しを防止するテープフィーダーを提供することを目的とする。【解決手段】本発明のテープフィーダーは、電子部品収納テープをピッチ送りする手段と、電子部品収納テープに貼り付けられたカバーテープを剥離する手段と、カバーテープを剥離したことにより露出した電子部品を電子部品実装装置の移送ヘッドに供給する供給部を有したテープフィーダーであって、電子部品収納テープのポケットの下部に磁石を配設し磁力によって電子部品を保持することを特徴とするテープフィーダーである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品収納テープをピッチ送りする手段と、電子部品収納テープに貼り付けられたカバーテープを剥離する手段と、カバーテープを剥離したことにより露出した電子部品を電子部品実装装置の移送ヘッドに供給する供給部を有したテープフィーダーであって、電子部品収納テープのポケットの下部に磁石を配設し磁力によって電子部品を保持することを特徴とするテープフィーダー。
【請求項２】
磁石の配設箇所と供給部の間に、電子部品を消磁する手段を配設した請求項１に記載ののテープフィーダー。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のテープフィーダーを用い、移送ヘッドに電子部品を消磁するための手段を配設した電子部品実装装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のテープフィーダーを用い、移送ヘッドが電子部品をピックアップして基板に実装する間に、電子部品を消磁するための手段を経て電子部品を消磁させることを特徴とした電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、基板に搭載される電子部品を供給するためのテープフィーダー、それを用いた電子部品実装装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品実装装置は、パーツフィーダーに備えられた電子部品を移載ヘッドでピックアップし、基板に移送搭載するようになっている。パーツフィーダーとしては、テープフィーダー、チューブフィーダー、トレイフィーダーなどの様々な方式のものがあるが、この中でテープフィーダーは、電子部品を高速・大量に供給しやすいこともあって広く用いられている。
テープフィーダーを用いた電子部品実装装置としては、例えば特開平２−２７１６９８号公報に記載されたものが一般的である。これは、テープフィーダーをテーブル上に多数個並設し、テーブルを送りねじ機構によってテーブル装置上を横方向に高速度で往復移動させることにより、所望品種の電子部品を有するテープフィーダーをピックアップ位置に停止させ、この電子部品を移載ヘッドのノズルに真空吸着してピックアップして、基板に移送搭載するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
電子部品は小形化する傾向にあり一辺の長さが０．５ｍｍ以下のものもあらわれている。小形電子部品は、電子部品実装装置やテープフィーダーの可動部の駆動による振動や、静電気によって電子部品がテープのポケットから飛び出してしまいやすいという問題がある。本発明は、電子部品の飛び出しを防止するテープフィーダーを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明のテープフィーダーは、電子部品収納テープをピッチ送りする手段と、電子部品収納テープに貼り付けられたカバーテープを剥離する手段と、カバーテープを剥離したことにより露出した電子部品を電子部品実装装置の移送ヘッドに供給する供給部を有したテープフィーダーであって、電子部品収納テープのポケットの下部に磁石を配設し磁力によって電子部品を保持することを特徴とするテープフィーダーである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の一形態を説明する。
テープフィーダーは、上方に開口した電子部品収納部を所定間隔おきに多数有する電子部品収納テープ本体の上面にカバーテープを接着した電子部品収納テープを、予めリールに巻き付けた状態で装備し、このリールから導出した電子部品収納テープをフィーダー前方部の所定のピックアップ位置に導き、ピックアップ位置の手前にある手段で電子部品収納テープ本体からカバーテープを剥がして部品の取出しを可能にするとともに、移載ヘッドのノズルに真空吸着して電子部品のピックアップに伴って繰り出し機構により電子部品収納テープを所定量ずつ繰り出すようになっている。
【０００６】
カバーテープを剥がす手段の下部、電子部品収納テープのポケット部の下部には磁石を配設する。磁石は収納された電子部品が電子部品実装装置やテープフィーダーの可動部の駆動による振動や、静電気によって電子部品がテープのポケットから飛び出さないように、磁力により電子部品を保持する。
電子部品を保持するための磁力は、収納された電子部品の重量や形状、材質等により適宜定めることができる。磁石は磁力により電子部品を保持することができるのであれば、特に限定されない。磁力を任意に調整するために、磁石を電磁石としてもよい。電磁石とした場合は、電子部品収納テープのピッチ送りのタイミングに同調させて間欠的に電流を流して電子部品を保持しても良い。
【０００７】
収納テープには、メモリチップ、集積回路チップ、抵抗器、コネクタ、マイクロプロセッサ、コンデンサ等の電子部品を収納することができる。これら電子部品の中でも、部品の厚さが薄く軽量である、ＣＳＰ、フリップチップ、マイクロＢＧＡ等と称されるウエハレベルパッケージや、表面実装用のＬＥＤ、コンデンサ、抵抗器等が好適である。
【０００８】
電子部品自体が磁力で保持できない、あるいは保持が不十分な場合には、電子部品の内部および／または表面に磁性体を組み込むことができる。
本発明による方法で電子部品が磁力によって着磁したことにより問題がある場合には、前記磁石の配設箇所と前記供給部の間や、前記移送ヘッド、あるいは前記移送ヘッドが電子部品をピックアップして基板に実装する間に、電子部品を消磁するための装置を必要に応じて配設することができる。
消磁するための装置は、交流電磁石等旧知の方法を用いることができる。
上記構成によれば、磁力によって電子部品が保持されるため、振動や静電気による電子部品の動きを抑えテープのポケットから電子部品が飛び出るのをなくすことができる。
(57)【要約】【課題】ガラス管の両端部の外側に電極を有してなる外部電極型蛍光ランプにおいて、光量を上げるために投入電力を増やしても電極の先端部と陽光柱部分との間の放電によるガラス管の損傷を防ぐことができ、また、長時間点灯しても電極部分のガラス管の損傷が少ないようにする。【解決手段】内部に蛍光層及び封入ガスを有したガラス管１の端部の外側に外部電極２を設け、この外部電極２の少なくとも放電空間側端部を覆う位置に絶縁材料による保護膜３を設ける。この保護膜３は、外部電極２の先端から放電空間側に向かって２０ｍｍ以下の距離で、絶縁性の酸化物、エポキシ樹脂、低融点ガラス、セラミックス材料等のコーティングにより形成する。また、外部電極２は、導電性のペースト材など導電性接着剤（導電性結着材）を介して金属リングをガラス管１の端部に接続したり、ＩＴＯなど透明電極膜や金属膜として形成し、ガラス管１の端部に接続する。【選択図】　　　図１
2004079269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス管の両端部の外側に電極を有してなる外部電極型蛍光ランプにおいて、前記電極の少なくとも放電空間側端部を覆う絶縁材料による保護膜を設けたことを特徴とする外部電極型蛍光ランプ。
【請求項２】
前記保護膜は、電極の先端から放電空間側に向かって所定値以下の範囲で設けたことを特徴とする請求項１記載の外部電極型蛍光ランプ。
【請求項３】
前記電極は、金属リングとして形成し、導電性接着剤を介してガラス管に接続したことを特徴とする請求項１または２記載の外部電極型蛍光ランプ。
【請求項４】
前記電極は、透明電極膜や金属膜により形成したことを特徴とする請求項１または２記載の外部電極型蛍光ランプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置のバックライト等に使用される外部電極型蛍光ランプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
外部電極型蛍光ランプは、ガラス管の両端部の外側に電極を設けてなるものであり、液晶表示装置のバックライト等に利用されている。図２はこの外部電極型蛍光ランプ１０の構成を模式的に示す断面図である。
【０００３】
同図において、１１はガラス管で、内側に蛍光体層１２が設けられ、内部に封入ガス１３としてＡｒ／Ｎｅ混合ガスと水銀（Ｈｇ）が封入されている。そして、このガラス管１１の両端部の外側に外部電極１４としてアルミテープが巻かれており、外部電極１４にはニッケル（Ｎｉ）などの外部導入線１５が半田１６により接続されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような従来の外部電極型蛍光ランプにあっては、ランプ輝度を上げるために入力電圧を高くした場合、外部電極と陽光柱との電位差が大きくなるため、外部電極と陽光柱との間で放電が起こり、外部電極の先端近傍のガラス管に穴が開くことがあるという問題点があった。
【０００５】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたもので、光量を上げるために投入電力を増やしても電極の先端部と陽光柱部分との間の放電によるガラス管の損傷を防ぐことができ、また、長時間点灯しても電極部分のガラス管の損傷が少ない外部電極型蛍光ランプを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る外部電極型蛍光ランプは、次のように構成したものである。
【０００７】
（１）ガラス管の両端部の外側に電極を有してなる外部電極型蛍光ランプにおいて、前記電極の少なくとも放電空間側端部を覆う絶縁材料による保護膜を設けた。
【０００８】
（２）前記保護膜は、電極の先端から放電空間側に向かって所定値以下の範囲で設けた。
【０００９】
（３）前記電極は、金属リングとして形成し、導電性接着剤を介してガラス管に接続した。
【００１０】
（４）前記電極は、透明電極膜や金属膜により形成した。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面について説明する。なお、実施例の蛍光ランプは左右対称であるので、図では片側半分のみの構成を示している。また、基本的な構成は図２の従来例と同様であるので、重複する詳細説明は省略する。
【００１２】
図１は本発明の第１の実施例の構成を示す断面図である。同図において、１は内部に蛍光層及び封入ガスを有したガラス管、２はガラス管１の両端部の外側に設けた外部電極、３は外部電極２の少なくとも放電空間側端部を覆う絶縁材料による保護膜である。
【００１３】
上記保護膜３は、外部電極２の先端から放電空間側に向かって所定値以下の範囲、ここでは電極先端から２０ｍｍ以下の距離で、絶縁性の酸化物、エポキシ樹脂、低融点ガラス、セラミックス材料等のコーティングにより形成されている。この２０ｍｍ程度の長さであれば、実用的な光量を得るために必要な電圧をランプに加えても、放電の回り込みなどによるガラス管１の穴開きが生じることはない。
【００１４】
また、外部電極２は、導電性のペースト材など導電性接着剤（導電性結着材）を介して金属リングをガラス管１の端部に接続したり、ＩＴＯなどの透明電極膜や金属膜として形成し、ガラス管１の端部に接続している。この外部電極２は、リング状のもの、あるいはガラス管１の先端部まで覆うものであっても良い。
【００１５】
このような構成とすることにより、光量を上げるために投入電力を増やしても外部電極２の先端部と陽光柱部分との間の放電によるガラス管１の損傷を防ぐことができ、また、長時間点灯しても電極部分のガラス管１の損傷が少ない外部電極型蛍光ランプを実現することができる。
【００１６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光量を上げるために投入電力を増やしても電極の先端部と陽光柱部分との間の放電によるガラス管の損傷を防ぐことができ、また、長時間点灯しても電極部分のガラス管の損傷が少ないという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の構成を示す断面図
【図２】従来例の構成を示す断面図
【符号の説明】
１　ガラス管
２　外部電極
３　保護膜
【図１】
2004079269.tif 000003
【図２】
2004079269.tif 000004
(57)【要約】【課題】イオン注入などにおいて使用されたレジストを高い清浄度を以って短時間で除去することが可能な基体洗浄方法を提供すること。【解決手段】イオン注入工程などにおいて使用されたレジストを表面に有する基板を、１分未満のプラズマアッシングした後、水蒸気からなる洗浄ガスを該基板表面に噴射することを特徴とする基体洗浄方法。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
レジストを表面に有する基板を、レジストを完全には除去しない程度に１分未満のプラズマアッシングした後、水蒸気からなる洗浄ガスを該基板表面に噴射することを特徴とする基体洗浄方法。
【請求項２】
前記レジストは、イオン注入工程において使用されたレジストであることを特徴とする請求項１記載の基体洗浄方法。
【請求項３】
プラズマ加工処理を行った後、同じプラズマ処理室においてプラズマアッシング行うことを特徴とする請求項１記載の基体洗浄方法。
【請求項４】
前記水蒸気は、飽和水蒸気、過熱水蒸気であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の基体洗浄方法。
【請求項５】
前記洗浄ガスは水分ミストを含有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の基体洗浄方法。
【請求項６】
洗浄ガス中に界面活性剤を含有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の基体洗浄方法。
【請求項７】
前記プラズマアッシングを行うプラズマ雰囲気は、Ｏ２ガスまたはＯ２にＨ２Ｏガスを加えたものであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の基体洗浄方法。
【請求項８】
枚葉式のプラズマアッシング装置と、水蒸気を基板表面に噴射して洗浄を行う枚葉式の基体洗浄装置とをクラスター方式で合体させたことことを特徴とする基体洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、基体洗浄方法に係る。
【０００２】
【従来の技術】基板へイオン注入を行う際には、注入部以外をレジストで被覆する。
【０００３】
イオン注入後には、加工後におけるレジストの除去方法としては、プラズマアッシング法が用いられる。
【０００４】
しかし、プラズマアッシング法によりレジストの除去を行っても基板表面にはＣの残渣が大量に残ってしまう。
【０００５】
また、ミストを含んだ水蒸気をレジストに噴射することによりレジストの除去を行う技術が提案されている（特開２００１−２５０７７３号公報）。しかし、この技術は、一般的なレジスト除去には有効であるが、イオン注入におけるマスクとして使用したレジストの除去には有効でないことが判明した。特にイオンドーズ量が５×１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ２を越え、１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ２に近づくと容易には除去できなくなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、イオン注入において使用された感光性樹脂などのレジストを高い清浄度を以って除去することが可能な基体洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の基体洗浄方法は、レジストを表面に有する基板を、１分未満のプラズマアッシングした後、水蒸気からなる洗浄ガスを該基板表面に噴射することを特徴とする。
【０００８】
レジストとしては、イオン注入工程において使用された、無機質化して機械的強度が高くなったレジストの除去について適用すると本発明効果の有用性が顕著に現れる。
【０００９】
前記水蒸気は、飽和水蒸気あるいは過熱水蒸気を用いることがより高清浄にかつ容易にレジストを除去する上で好ましい。
【００１０】
また、前記洗浄ガスは水分ミストを含有することが、より容易かつ短時間でレジストの除去を行う上で好ましい。
【００１１】
プラズマアッシングは、イオン注入以外のプラズマプロセス、例えばプラズマエッチング等のプラズマ加工処理を行った場合、その最後のプロセス処理として同じプラズマ処理室において行うことができる。それによりわざわざ、プラズマアッシングのための装置を設置する必要がなくなる。特に、実用的には、レジスト膜を有する場合のほとんどがプラズマエッチングのマスクとして用いられている。そのため、プラズマエッチング終了後、そのまま同一のプラズマ処理室においてプラズマアッシングを行うことができる。従って、ほとんどの場合、別途プラズマアッシングのための装置をわざわざ設置する必要がない。
【００１２】
前記水蒸気は、飽和水蒸気、過熱水蒸気であることが好ましい。
【００１３】
水蒸気には、ミスト（液滴）を含有せしめることが好ましい。ミストとは、液状物質であり、水蒸気中にミストを含有した状態とは気相と液相とが共存している状態である。平衡状態であっても、非平衡状態であってもよい。ミストの径は特に限定しない。
【００１４】
水分ミストを混合させるためには、飽和水蒸気とすればよい。あるいは、高速（３０〜４００ｍ／ｓｅｃ、より好ましくは１００〜４００ｍ／ｓｅｃ）で流し、水蒸気流に液状水分を混入させると液状水分はミスト化して、ミストを含む水蒸気が得られる。
【００１５】
洗浄ガス中に界面活性剤を含有することが好ましい。特に植物性界面活性剤が好ましい。この添加量としては、０．０１〜０．５重量％が好ましい。
【００１６】
前記プラズマアッシングを行うプラズマ雰囲気は、Ｏ２ガスまたはＯ２に微量のＨ２Ｏガスを加えたものであることが好ましい。
【００１７】
【作用】
本発明者は、水蒸気洗浄が何ゆえにイオン注入工程において使用されたレジストの除去には有効でないかを鋭意探求したところ次の知見を得た。
【００１８】
すなわち、イオン注入を行う場合、通常ある飛程距離を設定して行うが、その飛程距離に対応した位置においてレジストは無機質のカーボン薄膜化している。
このカーボン薄膜が水蒸気の浸入を阻止し、かつ無機質カーボン化したレジストは機械的強度が高くなっているために、レジストの基板からの剥離を阻害しているものであるとの知見を得た。
【００１９】
かかる知見に基づき、その解決策を探求したところ、水蒸気洗浄前に軽いプラズマアッシングを行うとレジストの剥離が容易となることを見出し、本発明をなすに至った。
【００２０】
このプラズマアッシングは、例えばＯ２ガス等で、レジストを完全には除去しない程度に行う。レジストの厚さの１０％程度削るだけで十分である。１分未満が好ましい。より好ましくは５〜３０秒、さらに好ましくは１０〜１５秒である。
【００２１】
ガスは、Ｏ２ガスが好ましい。あるいはＯ２ガスに微量のＨ２Ｏガスを加えたものが好ましい。Ｈ２Ｏガスは０．１％（ｍｏｌ％）以下が好ましい。
【００２２】
【実施例】
Ｓｉ基板表面の一部にレジストを設け、Ｐを８×１０１５ａｔｍｓ／ｃｍ２のドーズ量でイオン注入を行った。
【００２３】
この基板に水蒸気を噴射したところ、レジストの除去に時間がかかるととも除去後における基板表面にはＣ残渣が大量に認められた。
【００２４】
一方、イオン注入後、高周波プラズマ装置に試料を導入し、Ｏ２ガスプラズマに１０〜３０秒晒した。ついで、水蒸気を基板表面に噴射したところレジストは短時間で除去でき、除去後における基板表面は高清浄のものであった。
【００２５】
【発明の効果】
イオン注入において使用されたレジストを高い清浄度を以って短時間で除去することが可能である。
(57)【要約】【課題】ｐ型のバルク酸化物半導体単結晶を基板として利用する電子素子を提供する。【解決手段】ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶に薄膜の１種または２種以上を組み合わせて多層構造を構成させた電子素子。【選択図】　　図１
2004079620.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶を基板として用いた電子素子。
【請求項２】
ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶に薄膜の１種または２種以上を組み合わせて多層構造を構成させた電子素子。
【請求項３】
ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶が純粋なものであるか、微量の他元素を含有する請求項１又は請求項２に記載した電子素子。
【請求項４】
ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶の基板上にｐ型にドープしたＳｒＣｕ２Ｏ２膜を堆積させ、その上にｎ型にドープしたＺｎＯ膜を堆積させてｐｎ接合を形成した発光素子。
【請求項５】
ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶の基板上にｐ型にドープしたデラフォサイト化合物膜を堆積させ、その上にｎ型にドープしたＺｎＯ膜を堆積させてｐｎ接合を形成した発光素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は純粋なまたはわずかに他元素を添加した、具体的にはＧａ、Ｚｎ、Ｉｎ、Ｃｏ、Ｎｉ等を添加したＳｒＣｕ２Ｏ２のみからなるバルク単結晶基板を用いた半導体のｐｎ接合を用いた光素子およびショットキーバリヤＦＥＴ等の電子素子に関する発明である。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光エレクトロニクスの急速な発展に伴い、半導体材料に要求される性質は多様化している。その一つが光との相互作用に関する性質で、可視光領域の波長の光に対して透明であるという性質である。この要請に応えるために開発されたのが酸化物半導体材料である。現在、半導体電子素子はｐ型もしくはｎ型のバルク単結晶を基板として利用し、その上にｐ型やｎ型の半導体薄膜を多層に堆積させているのが一般的である。
従って酸化物半導体においても同様なことが考えられるが、ｐ型にドーピングすることが可能な酸化物半導体材料は種類が少なく、また従来技術においてはそれらのバルク単結晶を利用することは不可能であった。たとえば、ｐ型の酸化物半導体材料としてＳｒＣｕ２Ｏ２が従来より知られているが、ＳｒＣｕ２Ｏ２が利用されている例としてはｎ型の半導体薄膜上にｐ型の薄膜として堆積され、ｐｎ接合を構成した素子に用いられた例があるだけである。（参考文献１　表面科学　２２、（２００１）４１９）。このようにｐ型を示す酸化物半導体のバルク単結晶は作製された報告は無く、基板として電子素子に応用されたことはなかった。
【０００３】
【発明が解決しょうとする課題】
前記したようにｎ型のバルク酸化物半導体単結晶を基板として利用することは可能であったが、ｐ型のバルク酸化物半導体単結晶を基板として利用することは不可能であるという課題があった。これに対して本願発明者らはＳｒＣｕ２Ｏ２単結晶製造実験を重ねた結果、先に、ＳｒＯ　：　ＣｕＯの組成比４０〜２５モル％：６０〜７５モル％の混合物を１０００℃以上に加熱融解し、アルゴンあるいは窒素中に酸素が５％以下の雰囲気中で成長速度０．８〜１．０ｍｍ／ｈの結晶育成条件でフローティングゾーン法やひきあげ法によりＳｒＣｕ２Ｏ２単結晶が得られることを見い出した。（特願２００２−９２７０９）つまりフローティングゾーン法やひきあげ法によって条件を設定すれば電子素子に用いることのできる基板であるＳｒＣｕ２Ｏ２大型バルク単結晶が得られることを見い出した。
希少なｐ型である結晶性の良いＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶を基板に用いれば、ｐｎ接合を構成する際に多数のｎ型の材料から格子定数の近いものや製作容易である適切な薄膜材料を選択することが可能になり、多様な高性能電子素子が得られる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記知見に基づいて完成したものであり、具体的にはＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶を用いた電子素子、すなわち、ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶を基板として用いた電子素子を提供するものである。
さらに具体的には、ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶を基板として用いその上に、薄膜の１種または２種以上を組み合わせて多層構造を構成させた電子素子を提案するものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明で用いるＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶は、静置徐冷法、ひきあげ法、フローティングゾーン法、溶融固化法、いずれの方法で作製されたものでもよく、純粋なものや微量の他元素、具体的にはＧａ、Ｚｎ、Ｉｎ、Ｃｏ、Ｎｉ等を含むものであっても、バルク単結晶を生成するものであれば良い。
ＳｒＣｕ２Ｏ２バルク単結晶は現在フローティングゾーン法で５ｘ５ｘ４０ｍｍ以上の大きさ、チョクラルスキー法で１０ｘ１０ｘ６ｍｍの大きさの単結晶が得られているので、少なくとも１０ｘ１０ｍｍのバルク単結晶基板が得られる。さらに単結晶製造容器等の製造設備の大型化を図れば大型単結晶が製造できる。これに薄膜を成長させて多層構造を構成し、発光素子、等の電子素子を作製することが可能である。
【０００６】
実施例１
以下この発明を具体例に基づいて説明する。
この実施例では図１に示すように単結晶ＳｒＣｕ２Ｏ２を基板とし、この上にｐ型のＳｒＣｕ２Ｏ２薄膜をホモエピタキシャル成長により成長させ、その上にｎ型ＺｎＯの薄膜を堆積させてｐｎ接合を形成し、積層薄膜構造からなる電子素子を作製する。
この実施例では最初に堆積されたＳｒＣｕ２Ｏ２薄膜は基板物質と同一物質であるためその結晶品質は非常に高く、高性能な電子素子を作製できた。
またＳｒＣｕ２Ｏ２も可視光領域の波長の光に対して透明であるという性質を持っており、光学透明性という点でも従来よりは高性能な電子素子を作製できた。
【０００７】
実施例２
ＡＢＯ２化合物（Ａ＝Ｃｕ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｐｔ　　Ｂ＝Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｓｃ，Ｔｌ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｒｈ　文献１の４２０頁１７〜２４行目によればデラフォサイト構造をもつ、）は六方晶構造であり、ＳｒＣｕ２Ｏ２の（１１２）面および（１００）面のＣｕとＯの六回対称とドメイン整合エピタキシーが起こるので、これらと構成した積層薄膜構造からなる第２図の電子素子を作製出来る。
【０００８】
実施例３
第３図に示すように、単結晶ＳｒＣｕ２Ｏ２基板上にｐ型にドープしたＳｒＣｕ２Ｏ２膜を堆積させ、ソース、ゲート、ドレイン電極をさらに堆積させ、ショットキーバリヤＦＥＴ素子を作製出来る。
【０００９】
【本発明の効果】
この発明によって　ＳｒＣｕ２Ｏ２単結晶基板を用いることにより、良質の積層薄膜を構成することでき、高性能の多様な電子素子を作製することが出来る。また光学的に透明な性質等、従来の半導体になかった多様な電子素子を作製することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の電子素子の具体例
【図２】実施例２の電子素子の具体例
【図３】実施例３の電子素子の具体例
【図１】
2004079620.tif 000003
【図２】
2004079620.tif 000004
【図３】
2004079620.tif 000005