(57)【要約】【課題】ホログラムマスクのプリズムへの装着を自動化する。【解決手段】一方の光学部品（２００，２０２）の装着面に充填液（２０４）を供給するの充填液供給装置（２３４，２３６，２３８）、複数の光学部品のいずれかを少なくとも搬送し、両光学部品の装着面（２０３）を対向させて圧着する搬送装置（２３１，２３２）、一方の光学部品（２０２）の装着面（２０３）に略垂直に検査光（２６６）を射出する検査光射出装置（２６０）、装着面（２０３）上における複数の検査位置に検査光（２６６）を射出させる検査光射出装置（２６０）を搬送する検出位置変更装置（２６２）、検査光の反射光に基づいて他方の光学部品（２００）の装着面の距離を各検出位置について測定する距離測定装置（２４０，２６４）及び距離測定装置で測定された他方の光学部品（２００）の装着面における距離が検出位置間で異なっていた場合に等しい距離になるよう搬送装置（２３１，２３２）における搬送距離を補償する制御装置（２６４）を備える。【選択図】　　図１
2004079788.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填液を介して複数の光学部品を装着面において装着するための光学部品装着装置において、
少なくともいずれか一方の前記光学部品の装着面に所定量の前記充填液を供給するための充填液供給装置と、
少なくともいずれか一方の前記光学部品を搬送し、両光学部品の装着面を対向させて圧着するための搬送装置と、
一方の前記光学部品の装着面上における複数の検出位置について、他方の前記光学部品の装着面との距離を各々測定するための距離測定装置と、
前記距離測定装置で測定された、他方の前記光学部品の装着面との距離が複数の前記検出位置間で異なっていた場合に、互いに等しい距離になるよう前記搬送装置における搬送距離を補償するための制御装置と、を備える光学部品装着装置。
【請求項２】
前記充填液供給装置は、前記光学部品の装着面の略中央部に所定量の前記充填液を供給する、請求項１に記載の光学部品装着装置。
【請求項３】
前記充填液供給装置は、前記光学部品の装着面上の複数箇所に所定量の前記充填液を供給する、請求項１に記載の光学部品装着装置。
【請求項４】
前記搬送装置は、一方の前記光学部品を把持するアームと、前記アームを任意の空間位置に搬送するアーム位置変更装置と、を備える、請求項１に記載の光学部品装着装置。
【請求項５】
前記距離測定装置は、一方の前記光学部品の装着面に略垂直に検査光を射出するための検査光射出装置と、前記装着面上における複数の前記検査位置に前記検査光を射出させるために前記検査光射出装置を搬送するための検出位置変更装置と、を備える、請求項１に記載の光学部品装着装置。
【請求項６】
前記距離測定装置は、前記光学部品の装着面における中心点を通る軸上で当該中心点を介して対向する当該装着面の周辺部に複数の前記検出位置を設ける、請求項１に記載の光学部品装着装置。
【請求項７】
前記制御装置は、総ての前記検出位置における距離が所定の範囲に入った場合に、前記搬送装置における搬送を停止させる、請求項１に記載の光学部品装着装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の光学部品装着装置を備え、
複数の前記光学部品をホログラムマスクおよびプリズムとする露光装置。
【請求項９】
充填液を介して複数の光学部品を装着面において装着するための光学部品装着方法において、
少なくともいずれか一方の前記光学部品の装着面に所定量の前記充填液を供給するステップと、
複数の前記光学部品のいずれか一方を少なくとも搬送し、両光学部品の装着面を対向させて圧着するステップと、
一方の前記光学部品の装着面における複数の検出位置について、他方の前記光学部品の装着面との距離を各々測定するステップと、
測定された他方の前記光学部品の装着面との距離が複数の前記検出位置間で異なっていた場合に、互いに等しい距離になるよう搬送距離を補償するステップと、を備える光学部品装着方法。
【請求項１０】
前記充填液を供給するステップは、前記光学部品の装着面の一部に所定量の前記充填液を供給する、請求項９に記載の光学部品装着方法。
【請求項１１】
前記距離を測定するステップは、いずれか一方の前記光学部品の装着面上における複数の前記検査位置に検査光を射出するステップと、前記検査光の反射光に基づいて他方の前記光学部品の装着面との距離を各々測定するステップと、を備える、請求項９に記載の光学部品装着方法。
【請求項１２】
前記距離を測定するステップは、前記光学部品の装着面における中心点を通る軸上で当該中心点を介して対向する当該装着面の周辺部に複数の前記検出位置を設けて距離を測定する、請求項９に記載の光学部品装着方法。
【請求項１３】
前記搬送距離を補償するステップは、総ての前記検出位置における距離が所定の範囲に入った場合に、前記光学部品の搬送を停止させる、請求項９に記載の光学部品装着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ホログラムを利用して露光を行うホログラフィック露光装置に係り、特に、ホログラムマスクとプリズムとを正しく装着させるための光学部品の装着技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置のパターニングプロセスにおいて、ホログラフィック露光技術が注目されてきている。この露光技術は、ホログラムマスクに対し所望のパターンを記録する記録工程と、このホログラムマスクに再生光を照射して半導体パターン用のフォトレジストを感光する露光工程とからなる。
【０００３】
記録工程では、まず半導体装置のパターンに対応したマスクパターン（元レチクル）にレーザー光の記録ビームを照射して回折光を生じさせ、ホログラムマスクの記録面に射出する。一方、ホログラムマスクの記録面に対し一定の角度でホログラムマスクの裏側から参照光を照射し、元レチクルからの回折光と干渉させる。これによってホログラムマスクの記録面に干渉パターンを生じさせこれをホログラム記録面に記録させる。
【０００４】
露光工程では、元レチクルと同じ位置にホログラムマスクを置いて、記録時と反対方向から再生光である露光ビームを照射し、フォトレジスト上に元のパターンを再現した回折光を結像させてフォトレジストを露光する。
【０００５】
ホログラムマスクには特定のレチクルパターンの干渉パターンが記録されるため、露光すべきパターンが変わるたびにホログラムマスクをプリズムから取り外し新たなホログラムマスクをプリズムと密着させる必要がある。
【０００６】
従来、ホログラムマスクのプリズムへの装着は手作業によって行われていた。この二つの光学部品を密着させる際、マッチングリキッドという光学的特性を調整した充填液を使用する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、手作業でホログラムマスクをプリズムへ装着する際、両者に充填するマッチングリキッドに気泡が入らないように、非常にゆっくりかつ正確に作業を行う必要がある。この手作業には充分な熟練の後に体得される勘を必要とするが、それでもある確率で作業が失敗し作業効率の低下を招いてしまっていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そこで上記課題に鑑み、本発明は、一方の光学部品を他方の光学部品に、自動的に充填液を介して適正に装着するための光学部品装着装置、露光装置、および光学部品装着方法を提供することを目的とする。
【０００９】
本発明は、充填液を介して複数の光学部品を装着面において装着するための光学部品装着装置において、少なくともいずれか一方の光学部品の装着面に所定量の充填液を供給するための充填液供給装置と、少なくともいずれか一方の光学部品を搬送し、両光学部品の装着面を対向させて圧着するための搬送装置と、一方の光学部品の装着面上における複数の検出位置について、他方の光学部品の装着面との距離を各々測定するための距離測定装置と、距離測定装置で測定された、他方の光学部品の装着面との距離が複数の検出位置間で異なっていた場合に、互いに等しい距離になるよう搬送装置における搬送距離を補償するための制御装置と、を備える。
【００１０】
本発明の構成によれば、充填液供給装置が充填液を光学部品に供給し、搬送装置が光学部品を搬送し圧着し、距離測定装置が検出した複数の検出位置における光学部品と装着面との距離に基づいて制御装置が搬送距離を補償するので、従来熟練した手作業によっていた装着作業を自動化できる。また、搬送距離の補償が確実に行われるので、作業を失敗する確率を十分低減できる。
【００１１】
ここで「充填液」は光学部品間に気泡が入ることを排除するために、または／及び光学部品同士を屈折率を大きく変化させずに接着するため等に利用されるもので、マッチングリキッドとも言われるものである。但し、光学部品間に満たされる液体であればその種類に限定はない。　また「光学部品」は、光に何らかの作用を与える部品をいい、プリズム、マスク、レンズ、偏光板、１／ｎ波長板、フィルタ、フィルム、基板等、部品の機能に特に限定はない。光学部品同士は同じ種類である必要はなく、異なる種類や機能を有する光学部品同士を装着する場合も含む。
【００１２】
「検出位置」は、光学部品の光の通過面のいずれかの場所をいうが、本発明では複数の検出位置間のずれに基づいて搬送距離を調節するため、検出位置間をより離した方がより大きなずれが得られ、制御しやすいといえる。
【００１３】
例えば充填液供給装置は、光学部品の装着面の一部（例えば略中央部）に所定量の充填液を供給する。
【００１４】
また例えば充填液供給装置は、光学部品の装着面上の複数箇所に所定量の充填液を供給してもよい。
【００１５】
例えば、搬送装置は、一方の光学部品を把持するアームと、アームを任意の空間位置に搬送するアーム位置変更装置と、を備える。
【００１６】
例えば、距離測定装置は、一方の光学部品の装着面に略垂直に検査光を射出するための検査光射出装置と、装着面上における複数の検査位置に検査光を射出させるために検査光射出装置を搬送するための検出位置変更装置と、を備える。
【００１７】
また例えば距離測定装置は、光学部品の装着面における中心点を通る軸上で当該中心点を介して対向する当該装着面の周辺部に複数の検出位置を設けてもよい。
【００１８】
例えば制御装置は、総ての検出位置における距離が所定の範囲に入った場合に、搬送装置における搬送を停止させるようにしてもよい。
【００１９】
本発明は、本発明の光学部品装着装置を備え、複数の光学部品をホログラムマスクおよびプリズムとする露光装置でもある。
【００２０】
本発明は、充填液を介して複数の光学部品を装着面において装着するための光学部品装着方法において、少なくともいずれか一方の光学部品の装着面に所定量の充填液を供給するステップと、複数の光学部品のいずれか一方を少なくとも搬送し、両光学部品の装着面を対向させて圧着するステップと、一方の光学部品の装着面における複数の検出位置について、他方の光学部品の装着面との距離を各々測定するステップと、測定された他方の光学部品の装着面との距離が複数の検出位置間で異なっていた場合に、互いに等しい距離になるよう搬送距離を補償するステップと、を備える。
【００２１】
本発明の方法によれば、充填液を光学部品に供給し、光学部品を搬送して圧着し、検出した複数の検出位置における光学部品と装着面との距離に基づいて搬送距離が補償されるので、従来熟練した手作業によっていた装着作業を自動化できる。また、搬送距離の補償が確実に行われるので、作業を失敗する確率を十分低減できる。
【００２２】
ここで例えば充填液を供給するステップは、光学部品の装着面の略中央部に所定量の充填液を供給する。
【００２３】
また充填液を供給するステップは、光学部品の装着面上の複数箇所に所定量の充填液を供給してもよい。
【００２４】
例えば距離を測定するステップは、いずれか一方の光学部品の装着面上における複数の検査位置に検査光を射出するステップと、検査光の反射光に基づいて他方の光学部品の装着面との距離を各々測定するステップと、を備える。
【００２５】
また距離を測定するステップは、光学部品の装着面における中心点を通る軸上で当該中心点を介して対向する当該装着面の周辺部に複数の検出位置を設けて距離を測定してもよい。
【００２６】
例えば搬送距離を補償するステップは、総ての検出位置における距離が所定の範囲に入った場合に、光学部品の搬送を停止させる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
本発明の実施形態は、本発明の光学部品装着装置を備えたホログラフィック露光装置に係り、マッチングリキッドをホログラムマスクの中央に適量盛る露光装置に関する。
【００２８】
図１に、本実施形態におけるホログラフィック露光装置の全体構成図を示す。図１に示すように、露光装置は、プリズム２０２、ステージ２２２を備えるステージ装置２２４、第１情報処理装置２２６、距離測定光学系２４０、膜厚測定光学系２５０、検査光源２６０、検査光源駆動装置２６２、第２情報処理装置２７０、露光光源２８０、露光光源駆動装置２８２、第３情報処理装置２６４、および本発明に係る光学部品装着装置２３０を備えて構成される。プリズム２０２にはホログラムマスク２００が充填液であるマッチングリキッド２０４を介して密着されている。
【００２９】
ホログラムマスク２００とプリズム２０２は、本発明が対象とする複数の光学部品に相当する。ホログラムマスク２００は、記録時に元レチクルパターンと参照光との干渉パターンが記録されているホログラム記録面２０１と、プリズム２０２に対向して圧着される装着面２０３と、を備えている。プリズム２０２は、露光時に露光光源２８０からの露光光を、その方向を変更せずにホログラムマスク記録面２０１に透過させ、検出光源２６０からの検出光を反射させ装着面２０５およびホログラムマスクの装着面２０３、ホログラム記録面２０１に垂直に入射させるように構成されている。
【００３０】
検査光源２６０は、本発明の検査光射出装置に係り、距離測定光学系２４０および膜厚測定光学系２５０のための検査光を射出可能に構成されている。
【００３１】
検査光源駆動装置２６２は、本発明の検出位置変更装置に係り、マッチングリキッド２０４を介してホログラムマスク２００と対向するプリズム２０２の装着面２０５上における任意の検査位置に検査光を射出させることができるように検出光源２６０を搬送するようになっている。すなわち検出光源駆動装置２６２は、第３情報処理装置２６４の制御によって、装着面２０５に対応する任意の位置（Ｐ１やＰ２や図面の垂直方向）に搬送可能になっており、プリズム２０２の反射によってホログラムマスク２００に射出される検査光が装着面２０５の任意の位置に当該面に垂直に供給可能になっている。
【００３２】
距離測定光学系２４０は、本発明の距離測定装置の一部に係り、ビームスプリッタ２４２、シリンドリカルレンズ２４４、光センサ２４６、誤差信号検出器２４８を備え、通常はホログラム記録面２０１と被露光基板上に塗布された感光性材料膜表面２１４との距離を調整して露光時のフォーカスを制御することが可能に構成されている。また本発明の光学部品装着方法を実施する場合には、ホログラムマスクの装着面２０３の距離を測定するようになっている。
【００３３】
ビームスプリッタ２４２は、検出光源２６０から射出された検査光がプリズム２０２で反射された後、ホログラムマスク２００の装着面２０３または被露光基板２１０の感光性材料膜表面２１４で反射された反射光の光路を垂直な方向に変更するようになっている。
【００３４】
シリンドリカルレンズ２４４は、光軸に垂直な二方向のうち一方のみにレンズとして作用し他方には光学的な作用を及ぼさないように構成されており、入射する光の射出点からの距離に応じて、二方向に対称的な集光形状が得られる焦点距離が変化するようになっている。このため検出光源２６０からの検査光がどの反射位置で反射されたかに応じて光センサ２４４上に集光する反射光の形状の対称性が変化するようになっている。
【００３５】
光センサ２４４は光軸を中心として４分割されたフォトデテクタであり、それぞれのフォトデテクタに入射する検査光の光量に応じた電気信号を出力するようになっている。
【００３６】
誤差信号検出器２４８は、光センサ２４４のフォトデテクタからそれぞれ出力された電気信号の差分を演算し誤差信号を出力するようになっている。
【００３７】
第３情報処理装置２６４は、本発明の距離測定装置および制御装置に係り、前記誤差信号に基づいて本発明の距離を測定し、かつ、ホログラムマスク２００が適正にプリズムに装着できるように光学部品装着装置２３０を制御するようになっている。
【００３８】
光学部品装着装置２３０は、本発明に係り、アーム２３１、アーム駆動装置２３２、タンク２３４、流路ポンプ２３６、および供給パイプ２３８を備え、第３情報処理装置２６４の制御によって所定量のマッチングリキッド２０４を供給可能に構成されている。
【００３９】
具体的には、アーム２３１は、第３情報処理装置２６４の制御信号に基づいて開閉自在に構成されており、かつ、アーム駆動装置２３２によって、図に示すようにＸＹＺの任意の座標軸方向に移動可能に構成されている。アーム駆動装置２３２はアーム２３１にかかる圧力の変化を検出する圧力センサ２３３を備えている。この圧力センサはアーム２３１のホログラムマスクを把持する部分等他の部分に配置されていてもよい。また、第３情報処理装置２６４は所定の時間駆動信号を出力するようになっている。流路ポンプ２３６は、この駆動信号が出力されている期間中、タンク２３４に貯留されている補充用のマッチングリキッド２０４を供給パイプ２３８に供給するようになっている。供給パイプ２３８に出力されたマッチングリキッドはプリズム２０２の装着面２０５の任意の位置にマッチングリキッドを供給するものである。
【００４０】
光学部品装着装置２３０は、プリズム２０２に対して相対的に移動可能に構成されている。この作用のために、プリズムのみが光学部品装着装置２３０の方向へ移動可能としても、ステージ装置２２４と光学部品装着装置２３０とが入れ替わるように移動可能としてもよい。
【００４１】
その他の構成の説明に移る。ステージ装置２２４は、感光性材料膜２１２が形成された被露光基板２１０を真空チャック等でステージ２２２上に保持して、少なくとも上下方向（Ｚ方向）へのステージ２２２の位置調整が可能に構成されている。第１情報処理装置２２６は距離測定光学系２４０から出力された誤差信号に基づいて、ホログラム記録面２０１と被露光基板上に形成された感光性材料膜表面２１４との距離に基づいてフォーカスが適正となるようにステージ２２０の位置を設定するように構成されている。膜厚測定光学系２５０は、ビームスプリッタ、フォトデテクタ、増幅器、Ａ／Ｄ変換器等を備え、被露光基板２１０上に形成された感光性材料膜２１２の膜厚を測定するための構成を備えている。第２情報処理装置２７０は、膜厚測定光学系２５０により出力された感光性材料膜２１２の膜厚の相対値に基づいて露光の光量を制御するように構成されている。露光光源２８０は、ホログラムマスク２００のホログラム記録面２０１に露光ビームを照射可能に構成されている。露光光源駆動装置２８２は、露光光源２８０を移動して被露光基板２１０上の所望の露光領域を走査して露光するように構成されている。
【００４２】
図７に示すプリズム２０２の装着面２０５の平面図を参照して、本実施形態におけるマッチングリキッドの供給位置および距離の検出位置を説明する。本実施形態１では、プリズム２０２の装着面２０５の略中央部ＭＰＣに所定量のマッチングリキッド２０４を供給するように構成されている。マッチングリキッドの供給量は、適正にホログラムマスク２００の装着面２０３が当該プリズム２０２の装着面２０５に圧着された場合に、均一に押し出されて広がり、少なくとも露光領域ＤＡ２にはマッチングリキッドを充填させ、さらに好ましくは、マージンを見込んだ安全領域である有効領域ＤＡ１にまでマッチングリキッドを充填させることができるような量とする。
【００４３】
ホログラムマスクの、プリズムの装着面２０５からの距離を測定するための検出位置は、ホログラムマスクが傾いた場合にその傾きがなるべく大きな距離の相違として検出できるように、装着面２０５の周辺部になるようにする。二つの光学部品が面平行であるか否かを有効に検出するためには、周辺部であって、装着面２０５における中心点ＭＰＣを通る軸上に、検出位置を複数設けることが好ましい。例えば、装着面２０５が方形である場合、その対角線の端部に検出位置ＭＰ１１ｂに設けることが好ましい。また、装着面２０５の辺上の中点付近に検出位置ＭＰ１１ａを設けてもよい。
【００４４】
次に、図２乃至図５の工程図および図６のフローチャートを参照しながら本実施形態１の光学部品装着方法を説明する。当該光学部品装着方法は、新しいホログラムマスクを装着するために主として露光工程に先だって行われるものである。前提として、プリズム２０２からはホログラムマスク２００が取り外されているものとする。
【００４５】
まず、第３情報処理装置２６４は、光学部品装着装置２３０をプリズム２０２に対して相対的に移動させ、供給パイプ２３８の供給口がプリズム２０２の装着面２０５の中心点ＭＰＣに位置させる（図６：Ｓ１）。そしてその位置で予め定められた量のマッチングリキッドを供給させる（図６：Ｓ２、図２）。この処理によって装着面２０５上にはマッチングリキッド２０４が盛られる。次いで、第３情報処理装置２６４はアーム駆動装置２３２を駆動して図示しないホルダーに格納されているホログラムマスク２００の位置までアーム２３１を移動させてから、このホログラムマスクを把持させる（図６：Ｓ３、図２）。なお、このマッチングリキッドの供給ステップと掘るグラムマスクの把持ステップとはどちらが先でも、また同時に行うものとしてもよい。
【００４６】
次に、第３情報処理装置２６４は、位置情報を参照しながら、または、機械的なガイド機構により、ホログラムマスク２００を把持したアーム２３１をプリズムの装着面２０５上まで移動させ（図６：Ｓ４，図３）、静かに予め定められた初期位置まで下降させる（図６：Ｓ５，図３）。この初期位置とは、大まかなＺ軸方向の位置あわせのための位置であって、例えば、装着面２０５に盛られたマッチングリキッド２０４にホログラムマスク２００の装着面２０３が接触して若干圧着される位置、すなわち、マッチングリキッドが二つの光学部品の間に広がり出すよう位置とする。
【００４７】
ここで、第３情報処理装置２６４は、検出光源駆動装置２６２を制御して検出光源２６０を装着面２０５の周辺部に検出位置が移動するように、例えば図４におけるＰ１の位置に移動させる（図６：Ｓ６）。この位置は図７では、例えば中心点ＭＰＣを通る線上にある検出位置ＭＰ１１ａまたはＭＰ１１ｂの一方である。そして第３情報処理装置２６４は検出光源２６０から射出された検出光が装着面２０５を通過しホログラムマスク２００の装着面２０３で反射されてきた反射光について誤差信号に基づく距離を測定する。次いで、第３情報処理装置２６４は、今度は装着面２０５の中心点ＭＰＣを介して反対側の周辺部に検出位置が移動するように、例えば図４におけるＰ２の位置に検出光源２６０を移動させる（図６：Ｓ７）。そして同様にこの検出位置における距離を測定する。もしも、ホログラムマスク２００の装着面２０３がプリズムの装着面２０５と平行ならば、２つの点で測定された距離は等しくなるはずである。等しくないならば、ホログラムマスク２００が傾いていることを意味している。そこで、第３情報処理装置２６４は、検出された複数の検出位置について測定された距離が等しいか否かに基づいて、ホログラムマスクが平行であるか否かを判定する（図６：Ｓ８）。そして平行でないと判定した場合（図６：Ｓ８：Ｎ）、距離が短く測定された方にホログラムマスクが傾いていることを示しているので、その反対側の端部のみを変位させ、ホログラムマスク２００が平行になるように傾き補償をする（図６：Ｓ９）。そして再び距離の測定を繰り返し（Ｓ６〜Ｓ８）、ホログラムマスクが平行になるまで必要なら補償処理（Ｓ９）を繰り返す。
【００４８】
ホログラムマスクの傾き補償が終了し（図６：Ｓ８：Ｙ）、ホログラムマスクが平行になったら、第３情報処理装置２６４は、この直前で測定された距離が予め定められた適正距離の範囲に入っているか否かを検査する（図６：Ｓ１０）。この適正距離とは、ホログラムマスク２００をプリズムの装着面２０５に微動させてマッチングリキッドをホログラムマスクの装着面２０３に接触させる作業を開始できる距離をいい、例えば実測されてその値が第２情報処理装置２６４等に設定されるものである。ＴＩＲホログラフィック露光装置におけるホログラムマスクの場合、例えばプリズムからの距離が２ｍｍから４ｍｍの間が適正距離の範囲になる。このような適正距離に到達していない場合には（図６：Ｓ１０：Ｎ）、まだ二つの光学部品の間隔が広がりすぎていると考えられるため、第３情報処理装置２６４はさらにアーム駆動装置２３２を駆動してホログラムマスク２００をプリズム２０２に接近させる（図６：Ｓ１４）。一方、この適正距離以内に到達していた場合には（図６：Ｓ１０：Ｙ）、ホログラムマスクの装着面２０３をマッチングリキッドに接触させる作業を開始できると判断し、アーム駆動装置２３２を駆動してホログラムマスク２００をプリズム２０２に接近させる（図６：Ｓ１２）。この時の接近速度は例えば２００μｍ／ｓｅｃ以下とする。上記作業はアームのホログラムマスク保持部にある圧力センサ２３３が圧力を検出しなければ（図６：Ｓ１３：Ｎ）、続行する（図６：Ｓ１４）。一方、圧力センサ２３３が圧力を検出すると（図６：Ｓ１３：Ｙ）、ホログラムマスク２００がプリズムに装着されたと判断し、アーム２３１を解放させて光学部品装着装置２３０を元の位置に戻し、光学部品装着処理を終了させる（図６：Ｓ１５：図５）。
【００４９】
本実施形態によれば、複数の検出位置における光学部品間の距離が等しくなるように搬送制御する構成を備えたので、複数の光学部品を自動的に適正に装着することができる。
【００５０】
特に、本実施形態によれば、光学部品の装着面の周辺部であって中心点を介して対向する位置において検出位置を設けて距離を測定するように構成したので、ホログラムマスクのわずかな傾きをも検出することができる。
【００５１】
また本実施形態によれば、装着面の中心部に適量の充填液を盛るように構成したので、比較的短時間に装着処理を完了させることができる。
（その他の変形例）
本発明は、上記各実施形態に限定されることなく種々に変更して適用することが可能である。
【００５２】
例えば、上記実施形態ではホログラフィック露光装置における応用例を示したが、これに限定されることなく本発明は光学部品を圧着させる必要がある、あらゆる場面で利用することが可能である。
【００５３】
また、検出方法については検出光に基づいた距離測定に限定されることなく、他の公知の距離測定方法を利用することが可能である。
【００５４】
また、検出光を入射させる検出位置や充填液を供給する供給位置についても例示であり、種々に変更することが可能である。
【００５５】
また、ホログラムマスクを搬送させる搬送装置も例示に過ぎず、光学部品の構成に応じて種々に適当な搬送手段を適用することが可能である。
【００５６】
【発明の効果】
本発明によれば、複数の検出位置における他方の光学部品の距離が等しくなるように搬送制御する構成を備えたので、複数の光学部品を充填液を介して自動的に適正に装着することができる。このため、従来熟練した手作業で行っていた装着作業を自動化でき、作業を失敗する確率を十分低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態における液量判定装置および露光装置の構成図である。
【図２】実施形態における充填液供給ステップおよび把持ステップの説明図である。
【図３】実施形態における搬送ステップの説明図である。
【図４】実施形態における距離測定ステップおよび補償ステップの説明図である。
【図５】実施形態における補償ステップの終了の説明図である。
【図６】実施形態における光学部品装着方法を説明するフローチャートである。
【図７】実施形態における充填液供給位置を説明する装着面の平面図である。
【符号の説明】
２００　ホログラムマスク，　２０２　プリズム，　２０３　装着面，　２０４　マッチングリキッド，　２３０　光学部品装着装置，　２３１　アーム，　２３２　アーム位置変更装置，　２３４　タンク，　２３６　流路ポンプ，　２３８　供給パイプ，　２４０　距離測定光学系，　２６０　検出光源（検出光射出装置），　２６２　搬送装置（検出位置変更装置），　２６４　第３情報処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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