(57)【要約】【課題】送信側の振動子と流体管路と受信側の振動子が容量による結合が存在し、送信時の振動子の駆動パルスが前述した容量を通じて、受信手段にスパイク上のノイズが飛び込み、誤って受信したり、その振動が正規の受信波が到達する時点まで残り、流量計測の精度を落としていた。【解決手段】流体管路１０に設けられ超音波信号を送受信する少なくとも１対の振動子１１と、振動子１１の駆動を行う送信手段１３と、振動子１１から受信を行う受信手段１６と、１対の振動子１１の送受信の切換を行う切換手段１２を有し、切換手段１２と受信手段１６の間に第１スイッチ１５を設けたもので、送信側に設定された振動子１１を駆動するときに流体管路１０から容量結合で漏れてくる駆動パルスを第１スイッチ１５をオフすることにより通過させないようにしたものである。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体管路に設けられ超音波信号を送受信する少なくとも１対の振動子と、前記振動子の駆動を行う送信手段と、前記振動子から受信を行う受信手段と、前記切換手段と前記受信手段の間に第１スイッチを設けた流量計測装置。
【請求項２】
受信手段が受信を検出後に計時を開始する第１計時手段と、少なくとも前記第１計時手段が設定された時間の計時をしている間は前記第１スイッチをオフさせるようにした請求項１記載の流量計測装置。
【請求項３】
第１計時手段の計時終了時に計時を開始する第２計時手段を有し、第１スイッチはこの第２計時手段に設定された時間の計時が終了した時にオンするとともに、第２計時手段に設定する計時時間を毎回異なるようにした請求項２記載の流量計測装置。
【請求項４】
送信手段が振動子を駆動させている間は少なくとも第１スイッチをオフさせるようにした請求項１記載の流量計測装置。
【請求項５】
送信手段が動作終了時に計時を開始する第３計時手段を有し、第１スイッチはこの第３計時手段に設定された時間の計時が終了した時にオンするとともに、第３計時手段に設定する計時時間を毎回異なるようにした請求項４記載の流量計測装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の流量計測装置の少なくとも一つの手段をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波を利用して流量を計測する流量計測装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の流量計測装置としては、図８に示されるように、１ａ及び１ｂは振動子でともに流体管路３に含まれる。送信部４が振動子１ａを駆動し、超音波が流体管路３を伝播する。超音波信号は振動子１ｂ介して受信部５で受信される。受信部５では、受信した超音波信号を所定のレベルまで増幅する。計測手段６では、送信部４が超音波を送信してから、受信部５が信号を出力するまでの時間すなわち伝搬時間を計測し、流量の演算を行うものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の構成では、振動子１ａを送信側に、振動子１ｂが受信側に設定されていると、送信側の振動子１ａと流体管路３と受信側の振動子１ｂに容量による結合が存在し、送信時の振動子１ａの駆動パルスが前述した容量を通じて、受信手段５にスパイク上のノイズが飛び込み、誤って受信したり、また、そのスパイク状のノイズが受信側の振動子１ｂを振動させ、その振動が正規の受信波が到達する時点まで残り、流量計測の精度を落としていた。本発明は、従来の課題を解決するもので、誤動作をなくし、流量計測の精度を向上させた流量計測装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
しかしながら、従来の構成では次のような課題があった。通常この種の流量計測装置では、測定する気体が可燃性の場合もあり、防爆構造が必要であった。そのため、流体管路２は金属でできており、振動子１ａ、１ｂの外殻も金属でできていた。また、振動子１ａ、１ｂの外殻が信号線の一方と接続されていた。そして、流体管路１と振動子１ａ、振動子１ｂはゴムなどのシール材を用いて、気密を保っていた。このため、振動子１ａと流体管路３と受信側の振動子１ｂが容量による結合が存在し、送信時に設定された振動子１ａの駆動パルスが前述した容量を通じて、受信手段５にスパイク上のノイズが飛び込み、誤って受信してしまったり、その振動が正規の受信波が到達する時点まで残り、流量計測の精度を落としていた。本発明は、従来の課題を解決するもので、誤動作をなくし、流量計測の精度を向上させた流量計測装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
請求項１に記載の発明は、流体管路に設けられ超音波信号を送受信する少なくとも１対の振動子と、振動子の駆動を行う送信手段と、振動子から受信を行う受信手段を有し、切換手段と受信手段の間に第１スイッチ備えたもので、この構成によれば、送信側に設定された振動子を駆動するときに流体管路から容量結合で漏れてくる駆動パルスを、第１スイッチをオフすることにより受信手段に入力させないようにすることにより、誤動作をなくし、流量計測の精度を向上させたものである。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、特に、請求項１記載の受信手段が受信を検出後に計時を開始する第１計時手段と、少なくともこの第１計時手段が設定された時間の計時をしている間は第１スイッチをオフさせるようにしたもので、送信手段が振動子を駆動している間は少なくとも第１スイッチをオフすることにより、送信側に設定された振動子を駆動するときに流体管路から容量結合で漏れてくる駆動パルスを受信手段に入力させないようにして、誤動作をなくし、流量計測の精度を向上させたものである。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、特に、請求項２記載の第１計時手段の計時終了時に計時を開始する第２計時手段を有し、第１スイッチはこの第２計時手段に設定された時間の計時が終了した時にオンするとともに、第２計時手段に設定する計時時間を毎回異なるようにしたことにより、送信側に設定された振動子を駆動するときに流体管路から容量結合で漏れてくる駆動パルスを受信手段に入力させないようにするとともに、第１スイッチをオンさせるタイミングを毎回異なるようにすることにより、第１スイッチをオンさせた時に受信側の振動子と受信手段の電位差によって、振動子が強制振動させられることによって生じる振動が、正規の受信波に対して毎回異なったタイミングにするようにして、流量計測の精度を向上させたものである。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、特に、請求項１記載の送信手段が振動子を動作させている間は少なくとも第１スイッチをオフさせるようにしたもので、送信側に設定された振動子を駆動するときに流体管路から容量結合で漏れてくる駆動パルスを受信手段に入力させないようにすることにより、誤動作をなくし、流量計測の精度を向上させたものである。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、特に、請求項４記載の送信手段が動作終了時に計時を開始する第３計時手段を有し、第１スイッチはこの第３計時手段に設定された時間の計時が終了した時にオンするとともに、第３計時手段に設定する計時時間を毎回異なるようにしたもので、送信側に設定された振動子を駆動するときに流体管路から容量結合で漏れてくる駆動パルスを受信手段に入力させないようにするとともに、第１スイッチをオンさせるタイミングを毎回異なるようにすることにより、第１スイッチをオンさせた時の震動が、受信波に対して毎回異なったタイミングにするようにして、流量計測の精度を向上させたものである。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の流量計測装置の少なくとも一つの手段をコンピュータに実行させるためのプログラムである。この構成によれば、送信側に設定された振動子を駆動するときに流体管路から容量結合で漏れてくる駆動パルスを受信手段に入力させないようにするとともに、第１スイッチをオンさせるタイミングを毎回異なるようにすることにより、第１スイッチをオンさせた時の震動が、受信波に対して毎回異なったタイミングにするようにして、流量計測の精度を向上させたものである。また、プログラムであるのでマイコンなどを用いて本発明の流量計測装置の一部あるいは全てを容易に実現することができる。また記録媒体に記録したり通信回線を用いてプログラムを配信したりすることでプログラムの配布が簡単にできる。
【００１１】
【実施例】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
（実施例１）
図１は本発明の第１の実施例における流量計測装置のブロック図を示すものである。
【００１３】
図１において、流体管路１０の途中に超音波を送受信する振動子１１ａ及び振動子１１ｂが流体の流れ方向に配置されている。１３は送信手段で、振動子１１ａあるいは振動子１１ｂへ超音波を出力する。１６は受信手段で、振動子１１ａあるいは振動子１２ｂからの超音波信号を受信すると同時に、第１計時手段１７の計時を開始する。１５は第１スイッチで、第１計時手段１７の計時中はオフとなる。１８はアンプで、受信手段１６の信号を所定のレベルに増幅する。１９は第２計時手段で、第１計時手段１７の計時終了で計時を開始し、第１スイッチ１５のオフは継続し、第２計時手段１９の計時終了で、第１スイッチ１５をオンする。２１は繰り返し手段で、受信手段１６及びアンプ１８が振動子１１ａあるいは振動子１１ｂからの受信信号を受信したことを検出すると繰り返し信号をトリガ手段１４に送る。２２は遅延手段で、トリガ手段１４から信号があると、所定の遅延時間を設定する。トリガ手段１４は、遅延手段２２の遅延終了の信号を受けて、送信手段１３を動作させる。送信手段１３は、切換手段１２を介して振動子１１ａあるいは振動子１１ｂを駆動する。２４は計数手段で、スタート手段２３から測定開始信号が出力されると基準クロック２５の出力を計時する。２６は流量演算手段で、計数手段２４の計数値と遅延手段２２の遅延時間により流量演算を行う。
【００１４】
以上のように構成された流量計測装置について、以下その動作、作用について説明する。
【００１５】
図２は本発明の第１の実施例における流量計測装置の動作を示すフローチャート、図３は動作を示す回路図、図４は送信及び受信のタイミング及び波形を示す図である。
【００１６】
まず、スタート手段２３は切換手段１２により振動子１１ａを送信側に、振動子１１ｂを受信側に設定する。すなわち、図３において、切換手段１２に内蔵される第１切換スイッチ１２１をオンにして送信手段１３と振動子１１ａを接続させる。第２切換スイッチ１２２はオフである。また、第４切換スイッチ１２４をオンにして振動子１１ｂと受信手段１６を接続される。第３切換スイッチ１２３はオフである（図２ステップ３１）。次に、スタート手段２３は計数手段２４及び繰り返し手段２１を初期化し、計数手段２４は基準クロック２５の出力パルスの計数を始める（ステップ３２）。
【００１７】
また、繰り返し手段２１はトリガ手段１４を動作させる。遅延手段２２はトリガ手段１４のトリガ信号によって、遅延時間の計数を開始する。同時に第１計時手段１７の計時を開始すると同時に、第１スイッチ１５をオフさせる。すなわち、振動子１１ｂと受信手段１６は第１スイッチ１５のオフによって、接続が遮断される。送信手段１３は、トリガ手段１４からの信号があると所定の周波数で振動子１１ａを駆動し、流体管路１０内に超音波を発射させる（ステップ３３〜３６）。
【００１８】
振動子１１ａと振動子１１ｂの外殻と流体管路１０は金属で出来ており、かつ、流体管路１０中の気体が漏れないようにゴムパッキンなどでシールされている。流体管路１０と振動子１１ａ、振動子１１ｂの外殻の間には浮遊容量である流路容量２７が存在する。図４の（ａ）に示すように振動子１１ａを駆動したパルスは、その流路容量２７を通り、同図（ｂ）のように微分状パルスになって、振動子１１ｂを通り、第４切換スイッチ１２４を通って第１スイッチ１５まで到着するが、この時第１スイッチ１５はオフされているので受信手段１６に流れ込むことはない（図４の（ａ）及び（ｂ）ともに横軸は時間、縦軸は電圧である）。
【００１９】
第１計時手段１７の計時時間は、遅延手段２２の遅延時間の計時開始と同時に、計時が開始されるので、遅延時間に送信手段１３が振動子１１ａを駆動している時間を加えた時間より大きな値に設定されているので、第１計時手段１７の計時は、振動子１１ａの駆動が終了した地点以降に終了する。第１計時時間１７の計時終了で、第１スイッチ１５のオフは継続しながら、第２計時手段１９の計時を開始する。この第２計時手段１９の計時終了後に第１スイッチ１５をオンする（ステップ３７〜４０）。この時、受信手段１６の入力の電位と振動子１１ｂの電位が異なると、電位の高い方から低い方に電流が流れ、結果、振動子１１ｂを振動させてしまう。振動子１１ａから発射された超音波は流体管路１０内を伝搬し、振動子１１ｂに所定の伝搬時間後（流体管路１０中の被測定物の温度と種類、振動子１１ａと振動子１１ｂの距離で決まる。例えば、気体が空気で気温が２５℃、振動子１１ａと振動子１１ｂの距離が約１００ｍｍで約２９０μｓになる）に到達する。振動子１１ｂに生じた受信電流は、ＤＣ成分をカットするためのコンデンサ１６４を介して、受信手段１６に内蔵される帰還抵抗１６２によって、所定の倍率で電圧に変換される。１６３は電圧変換するときの基準電圧である。そして、アンプ１８にて所定のレベルまで増幅される。
【００２０】
図４の（ｃ）に示すように、この受信時に、第１スイッチ１５をオンしたときの不要振動の残響が残り、受信波に重畳される（図４の（ｃ）の横軸は時間、縦軸は電圧である）。この不要震動の残響が受信波を僅かに変形させ、受信点が正規の位置、すなわち、流体管路１０中の被測定物の温度と種類、振動子１１ａと振動子１１ｂの距離で決まる伝搬時間から僅かにずれ誤差となる。受信後にアンプ１８は繰り返し手段２３に信号を出力する。繰り返し手段２１は繰り返し回数を１つ増やすとともに、再びトリガ手段１４を動作させ、同時に遅延手段２２を動作させる。同時に、第１計時手段１７の計時を開始し、第１スイッチ１５をオフさせる。トリガ手段１４から信号を受けた遅延手段２４は、所定の遅延時間を計時し、遅延時間計時終了でトリガ手段１４は送信手段１３を動作させ、所定の周波数で振動子１１ａを駆動し、流体管路１０内に再び超音波信号を発射させる。以降、繰り返し手段２１の繰り返し回数が設定値に達するまで、振動子１１ａから、流体管路１０内に超音波信号を送信し、所定時間後に振動１１ｂ及び受信手段１６により、超音波信号を受信し、そして遅延手段２２で所定の遅延時間計時後に再び送信を行うという動作を繰り返す（ステップ４１〜４２）。
【００２１】
前述した様に、第１スイッチ１５をオンしたときに発生する不要震動の残響が受信波に重畳されて、受信波が変形することにより、受信点に誤差が生じるが、第２計時手段１９の計時時間は超音波信号の周期を例えば２５０ｋＨｚとすると１周期は４μｓとなり、所定の中心値＋２μｓから−２μｓの範囲で繰り返し手段２１の繰り返し毎に例えば０．２μｓずつ異なった時間を順次設定するので、不要震動の残響は受信波に重畳する地点が毎回変わり、複数回繰り返すことにより誤差成分は平均化されてゼロになる。第２計時手段１９の計時時間設定方法として、一定のきざみで幅で設定値を設定する方法を説明したが、乱数を発生させて、毎回、この乱数によって第２計時手段１９の計時時間を設定する方法も、プログラムにより容易に実現させることができる。
【００２２】
繰り返し手段２１の計数が終了すると、計数手段２４の計時を停止する。流量演算手段２６は計数手段２４の値を読み込む。この計数値は、前述したように不要震動による誤差の影響はなくなっている。計数手段２４の計数値をＴ、遅延手段２２の設定値をＴｄとすると、上流側から下流側すなわち、振動子１１ａから振動子１１ｂに伝搬するのに要する時間Ｔ１は、繰り返し手段２１の繰り返し回数をＮとするとＴ１＝（Ｔ−Ｔｄ×Ｎ）／Ｎとなる。この値を流量演算手段２６に記憶する（ステップ４４）。
【００２３】
次に、再び、スタート手段２３は切換手段１２を動作させて、振動子１１ａを受信側に、振動子１１ｂを送信側に設定する。図３において、切換手段１２に内蔵される第２切換スイッチ１２２をオンにして送信手段１３と振動子１１ｂを接続させる。第１切換スイッチ１２１はオフである。また、第３切換スイッチ１２３をオンにして振動子１１ａと受信手段１６を接続される。第４切換スイッチ１２４はオフである。すなわち、振動子１１ａを受信手段１５に接続し、振動子１１ｂを送信手段１３に接続し、流体の流れの方向に対して、下流側から上流側に超音波が伝搬されることになる（ステップ４６）。次に、繰り返し手段２１及び計数手段２４の値を初期値にし、計数手段２４は基準クロック２５の出力パルスの計数を始める。以降は、上流から下流に超音波を伝搬させる場合と同様であるので、説明を割愛する。
【００２４】
繰り返しが終了し、下流側から上流側すなわち、振動子１１ｂから振動子１１ａに伝搬するのに要する時間はＴ２となる。両方向の計測が終了すれば（ステップ４５）流量演算を行うが、このとき、流体管路１０に矢印の方向に流れがあれば下流から上流への超音波の伝搬時間は遅れるのでＴ１＜Ｔ２となる。Ｔ１とＴ２の逆数差を流量演算手段２６で求め、さらに流体管路１０の断面積や流れの状態などを考慮して流量値を演算する（ステップ４７）。
【００２５】
以上にように、切換手段１２と受信手段１６の間に第１スイッチ１５を備えることにより、送信側に設定された振動子１１ａあるいは１１ｂを駆動するときに流体管路１０から容量結合で漏れてくる駆動パルスを、第１スイッチ１５をオフすることにより受信手段１６に入力させないようにすることにより、誤動作をなくし、流量計測の精度を向上させることができきる。また、第１計時手段１７の計時終了時に計時を開始する第２計時手段１９を有し、第１スイッチ１５はこの第２計時手段１９に設定された時間の計時が終了した時にオンするとともに、第２計時手段１９に設定する計時時間を毎回異なるようにしたことにより、送信側に設定された振動子１１ａあるいは１１ｂを駆動するときに流体管路１０から容量結合で漏れてくる駆動パルスを受信手段１６に入力させないようにするとともに、第１スイッチ１５をオンさせるタイミングを毎回異なるようにすることにより、第１スイッチ１５をオンさせた時に受信側の振動子１１ａあるいは１１ｂと受信手段１６の電位差によって、振動子１１ａあるいは１１ｂが強制振動させられることによって生じる振動が、正規の受信波に対して毎回異なったタイミングにするようにして、流量計測の精度を向上させたものである。
【００２６】
（実施例２）
図５は本発明の第２の実施例における流量計測装置のブロック図を示すものである。
【００２７】
図５において、流体管路１０の途中に超音波を送受信する振動子１１ａ及び振動子１１ｂが流体の流れ方向に配置されている。１３は送信手段で、振動子１１ａあるいは振動子１１ｂへ超音波を出力すると同時に、第３計時手段２０の計時を開始し、第１スイッチ１５をオフさせる。送信終了で計時を終了する。１６は受信手段で、振動子１１ａあるいは振動子１２ｂからの超音波信号を受信する。１５は第１スイッチで、第１計時手段１７の計時中はオフとなる。１８はアンプで、受信手段１６の信号を所定のレベルに増幅する。１９は第２計時手段で、第３計時手段２０の計時終了で計時を開始し、第１スイッチ１５のオフは継続し、第２計時手段１９の計時終了で、第１スイッチ１５をオンする。２１は繰り返し手段で、受信手段１６及びアンプ１８が振動子１１ａあるいは振動子１１ｂからの受信信号を受信したことを検出すると繰り返し信号をトリガ手段１４に送る。２２は遅延手段で、トリガ手段１４から信号があると、所定の遅延時間を設定する。トリガ手段１４は、遅延手段２２の遅延終了の信号を受けて、送信手段１３を動作させる。送信手段１３は、切換手段１２を介して振動子１１ａあるいは振動子１１ｂを駆動する。２４は計数手段で、スタート手段２３から測定開始信号が出力されると基準クロック２５の出力を計時する。２６は流量演算手段で、計数手段２４の計数値と遅延手段２２の遅延時間により流量演算を行う。
【００２８】
以上のように構成された流量計測装置について、以下その動作、作用について説明するが、動作、作用が実施例１と重複するところは説明を簡略及び割愛する。
【００２９】
図６は本発明の第２の実施例における流量計測装置の動作を示すフローチャート、図７は送信及び受信のタイミング及び波形を示す図である。
【００３０】
まず、スタート手段２３は切換手段１２により振動子１１ａを送信手段１３に接続し、振動子１１ｂを第１スイッチ１５を介して受信手段１６に接続する（図６ステップ５１）。次に、スタート手段２３は計数手段２４及び繰り返し手段２１を初期化し、計数手段２４は基準クロック２５の出力パルスの計数を始める（ステップ５２）。　また、繰り返し手段２１はトリガ手段１４を動作させる。遅延手段２２はトリガ手段１４のトリガ信号によって、遅延時間の計数を開始する。遅延手段２２が遅延時間の計数を終了すると、送信手段１３は、第３計時手段２０の計時を開始すると同時に、第１スイッチ１５をオフさせる。すなわち、振動子１１ｂと受信手段１６は第１スイッチ１５のオフによって、接続が遮断される。同時に送信手段１３は、所定の周波数で振動子１１ａを駆動し、流体管路１０内に超音波を発射させる（ステップ５３〜５７）。
【００３１】
送信時に生じる流路容量２７による微分状パルスは、送信手段１３が動作している間は第１スイッチ１５はオフされているので受信手段１６に流れ込むことはない。
【００３２】
送信が完了し、第３計時手段１７の計時が終了すれば、第１スイッチ１５のオフは継続しながら、第２計時手段１９の計時を開始する。この第２計時手段１９の計時終了後に第１スイッチ１５をオンする（ステップ５８〜６０）。第１スイッチ１５のオン時に生ずる不要震動による誤差は、実施例１で説明したように、第２計時手段１９の計数時間を繰り返し毎に変えているため、平均化されて問題がない。以降の動作は実施例１と同様なので説明を割愛する。
【００３３】
以上にように、切換手段１２と受信手段１６の間に第１スイッチ１５を備えることにより、送信側に設定された振動子１１ａあるいは１１ｂを駆動するときに流体管路１０から容量結合で漏れてくる駆動パルスを、第３計時手段２０が計時されている間すなわち、振動子１１ａあるいは１１ｂが駆動されている間は第１スイッチをオフすることにより受信手段１６に入力させないようにすることにより、誤動作をなくし、流量計測の精度を向上させることができきる。また、第３計時手段２０の計時終了時に計時を開始する第２計時手段１９を有し、第１スイッチ１５はこの第２計時手段１９に設定された時間の計時が終了した時にオンするとともに、第２計時手段１９に設定する計時時間を毎回異なるようにしたことにより、送信側に設定された振動子１１ａあるいは１１ｂを駆動するときに流体管路１０から容量結合で漏れてくる駆動パルスを受信手段１６に入力させないようにするとともに、第１スイッチ１５をオンさせるタイミングを毎回異なるようにすることにより、第１スイッチ１５をオンさせた時に受信側の振動子１１ａあるいは１１ｂと受信手段１６の電位差によって、受信側の振動子１１ａあるいは１１ｂが強制振動させられることによって生じる振動が、正規の受信波に対して毎回異なったタイミングにするようにして、流量計測の精度を向上させたものである。
【００３４】
なお、実施例では第１、第２、第３計時手段の構成を独立させたもので説明したがこれに限ることもなく、これらを例えばマイコンの内蔵タイマーなど１つで構成してもうよい。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、切換手段、すなわち、受信側に設定された振動子と受信手段の間に第１スイッチを挿入し、送信側に設定された振動子を駆動するときに流体管路から容量結合で漏れてくる駆動パルスを第１スイッチをオフすることによって、受信手段に入力させないようにし、漏れてくる駆動パルスによる誤動作をなくし、流量計測の精度を向上させたものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１における流量計測装置の構成を示すブロック図
【図２】本発明の実施例１における流量計測装置の動作を示すフローチャート
【図３】本発明の実施例１における流量計測装置の構成を示す回路図
【図４】本発明の実施例１における流量計測装置の動作タイミングを示す図
【図５】本発明の実施例２における流量計測装置の構成を示すブロック図
【図６】本発明の実施例２における流量計測装置の動作を示すフローチャート
【図７】本発明の実施例７における流量計測装置の動作タイミングを示す図
【図８】従来の流量計測装置の構成を示す図
【符号の説明】
１０　流体管路
１１ａ　振動子
１１ｂ　振動子
１２　切換手段
１３　送信手段
１４　トリガ手段
１５　第１スイッチ
１６　受信手段
１７　第１計時手段
１９　第２計時手段
２０　第３計時手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004012334.tif 000005
【図４】
2004012334.tif 000006
【図５】
2004012334.tif 000007
【図６】
2004012334.tif 000008
【図７】
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【図８】
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