(57)【要約】【課題】スぺースを最小限に抑え、かつ装置本体内でガラス基板を回転すること。【解決手段】ホルダ本体４に複数の円弧状の開口部５−１〜５−４を形成し、リフトピン機構１２の各リフトピン１５〜１８をそれぞれ各開口部５−１〜５−４を通して上昇させてガラス基板１をホルダ本体４の上方に所定の高さだけ持ち上げ、この状態でリフトピン機構１２を例えば９０度回転させ、この後、リフトピン機構１２を下降させてホルダ本体４上に載置する。【選択図】　　図２
2004012341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
標本を載置するもので、複数の円弧状の開口部が形成されたホルダ本体と、
複数の前記開口部を通して上下動可能でかつ前記各開口部内に沿って円弧状に移動可能に設けられ、前記標本を前記ホルダ本体上方に持ち上げて回転させる回転機構と、
を具備したことを特徴とするホルダ装置。
【請求項２】
前記ホルダ本体は、揺動可能であることを特徴とする請求項１記載のホルダ装置。
【請求項３】
複数の前記開口部は、互いに同心円状に形成されたことを特徴とする請求項１記載のホルダ装置。
【請求項４】
前記回転機構は、前記ホルダ本体が水平状態のときに前記標本を前記ホルダ本体上方に持ち上げて回転させることを特徴とする請求項１又は２記載のホルダ装置。
【請求項５】
前記回転機構は、複数の前記開口部ごとに設けられた複数のリフトピンであることを特徴とする請求項１又は２記載のホルダ装置。
【請求項６】
前記回転機構は、前記標本を略９０度回転させることを特徴とする請求項１又は２記載のホルダ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板などの標本を保持するホルダ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイのガラス基板に対しては、マクロ照明を用いてマクロ検査が行われる。このマクロ検査は、ガラス基板の面上に観察用のマクロ照明光を照射し、ガラス基板面上からの反射光の変化から傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部分を目視検出する。
【０００３】
ガラス基板面上には、例えばライン状や長方形状のパターンが規則性を持って形成されている。液晶ディスプレイのガラス基板には、長方形ＴＦＴを構成するパターンとしてリブが形成されている。
【０００４】
本出願人は、ガラス基板の上方から所定の角度でマクロ照明光を照射したときに格子状に規則正しく並んだＴＦＴパターンに対してマクロ照明光の入射角度を変えてガラス基板上の欠陥を観察したところ欠陥の見え方が変わることを見出した。すなわち、マクロ照明光の入射方向に対してガラス基板の載置角度を９０°に変えて欠陥の見え方を検討したところ、パターンの方向が９０°回転することから細長いパターン上の欠陥からの反射条件が変わることが判った。
【０００５】
例えば、ガラス基板の配置が、マクロ照明光の照射方向に対して長方形パターンの長辺が垂直の位置関係にあると、長辺のリブに対して照明方向が直交し、短辺のリブに対して照明方向が平行になる。
【０００６】
又、マクロ照明光の照射方向に対して長方形パターンの短辺が垂直の位置関係にあると、短辺のリブに対して照明方向が直交し、長辺のリブに対して照明方向が平行になる。
【０００７】
このように縦横比の異なる短形パターンに対してマクロ照明光の照射方向を９０°に変えると、散乱光や回折光の発生条件が変わるため、このような格子パターンに対して照明方向を変えると、見えなかった欠陥が見えるようになることを本出願人は完証した。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、マクロ照明付き基板検査装置では、ガラス基板を装置本体内で９０°回転させることは次の理由により実現されていない。
【０００９】
ガラス基板は、ホルダ上に載置されて固定されている。このホルダにガラス基板を固定したまま、ガラス基板を回転させるためには、ガラス基板より一回り大きなホルダとその固定部とを一体に回転させることが考えられる。
【００１０】
このため、ホルダの対角線方向の長さが回転する円周の直径になるため、ガラス基板とホルダとを回転させたときの旋回径が大きくなり、これに比例して検査装置本体のサイズも大きくなる。
【００１１】
又、ホルダ下部からガラス基板を上昇、回転させる回転装置を設ける場合、回転支持部を透過照明が可能な枠状のホルダに設けられたガラス基板を水平に保持するため、支持用桟や、ガラスプレートを装備させる必要がある。
【００１２】
このようにガラス基板を載置して回転させる第２の回転支持部を支持用桟やガラスプレートの下方から昇降させる方式では、第２の回転支持部を装備させなければならず、これにより支持用桟やガラスプレートが分離され、強度が著しく低下する。
【００１３】
又、ホルダ下部には、透過照明装置が設けられているため、回転装置のような機構は設けることは困難であった。
【００１４】
従って、以上の理由により基板検査装置の基板ホルダに回転装置を組み込むことは実現されていない。
【００１５】
他の考えとして、基板検査装置に並設されたガラス基板搬送装置によりガラス基板を９０°回転させて再搬送させる方式が考えられる。この場合には、ガラス基板搬送装置のロボットにより検査中のガラス基板を一旦取り出して基板検査装置外でガラス基板を回転させて後に、再びガラス基板をマクロ照明付き検査顕微鏡内に戻すことになり、検査タクトタイムの大きな損失になる。
【００１６】
そこで本発明は、スぺースを最小限に抑え、かつ装置本体内でガラス基板を回転できるホルダ装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、標本を載置するもので、複数の円弧状の開口部が形成されたホルダ本体と、複数の開口部を通して上下動可能でかつ各開口部内に沿って円弧状に移動可能に設けられ、標本をホルダ本体上方に持ち上げて回転させる回転機構とを具備したことを特徴とするホルダ装置である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
図１乃至図３はホルダ装置の構成図であって、図１は正面図、図２は上面図、図３は側面図である。このホルダ装置は、例えば液晶ディスプレイのガラス基板１に対するマクロ検査及びミクロ検査を行う基板検査装置に適用したものである。なお、ガラス基板１は、例えば１２５０×１１００ｍｍの大型サイズが含まれる。
【００２０】
検査装置本体２内には、ベース３が設けられ、このベース３上にホルダ本体４が設けられている。このホルダ本体４には、図２に示すように複数の円弧状の開口部５−１〜５−４が形成されている。さらに、これら開口部５−１〜５−４の内周側にも複数の円弧状の開口部６が形成されている。これら開口部５−１〜５−４、６は、互いに中心位置７を中心に同心円状に形成されている。
【００２１】
このうち各開口部５−１、５−２は、最外周位置に形成され、互いに中心位置７を介して互いに対称に形成され、かつ中心位置７から見て広がり角度９０度以上、１８０度以内に形成されている。
【００２２】
又、各開口部５−３、５−４は、各開口部５−１、５−２の内周側に形成され、上記各開口部５−１、５−２と同様に、互いに中心位置７を介して互いに対称に形成され、かつ中心位置７から見て広がり角度９０度以上、１８０度以内に形成されている。
【００２３】
各開口部５−１〜５−４、６は、互いに中心位置７を中心に同心円状に形成された複数の円弧枠８と、これら円弧枠８を互いに支持するもので、各円弧枠８を形成する同心円の半径方向に形成された複数の支持枠９とから形成されている。
【００２４】
ホルダ本体４の下方には、図１に示すように回転機構１０が設けられている。この回転機構１０は、ホルダ本体４に形成された各開口部５−１〜５−４を通してガラス基板１をホルダ本体４の上方に持ち上げて例えば略９０度回転させるものである。
【００２５】
具体的には、図１及び図２に示すように駆動部１１と、この駆動部１１の駆動端に設けられたリフトピン機構１２とからなる。駆動部１１は、リフトピン機構１２を上下移動させる機能及びリフトピン機構１２を回転させる機能を有する。
【００２６】
リフトピン機構１２は、図２に示すように互いに直交する方向に設けられた各リフトピン支持バー１３、１４と、これらリフトピン支持バー１３、１４の各両先端部に立設している各リフトピン１５〜１８とからなる。これらリフトピン１５〜１８のうち各リフトピン１５、１６は、ホルダ本体４の各開口部５−１、５−２に対応する位置に設けられ、各リフトピン１７、１８は、ホルダ本体４の各開口部５−３、５−４に対応する位置に設けられている。
【００２７】
従って、リフトピン機構１２が駆動部１１によって上昇すると、各リフトピン１５、１６は、ホルダ本体４の各開口部５−１、５−２を通してホルダ本体４の表面側に所定高さだけ突出し、かつ各リフトピン１７、１８もホルダ本体４の各開口部５−３、５−４を通してホルダ本体４の表面側に所定高さだけ突出するものとなる。
【００２８】
又、リフトピン機構１２が駆動部１１によって上昇した状態で回転すると、各リフトピン１５、１６は、各開口部５−１、５−２内に沿って円弧状に移動すると共に、各リフトピン１７、１８も各開口部５−３、５−４に沿って円弧状に移動する。
【００２９】
ベース３の下方には、図３に示すようにホルダ本体４を揺動させる揺動機構２０が設けられている。すなわち、ベース３の正面側から見て両端部には、それぞれヒンジ２１がそれぞれヒンジ支持部材２２に対して回転自在に設けられている。これらヒンジ支持部材２２は、ベース２に固定されている。これらヒンジ２１の回動軸は、ホルダ本体４を起き上げる又は水平状態に戻す方向（矢印イ方向）に揺動させるために正面側から見て水平方向（Ｘ方向）に設けられている。
【００３０】
これらヒンジ２１は、ホルダ本体４の裏面に設けられた各直線ガイド２３に対して摺動するものとなっている。
【００３１】
これら直線ガイド２３は、ホルダ本体４を起き上げたときにヒンジ２１に対して摺動してホルダ本体４を正面側にせり出させ、これと共にヒンジ２１は回転してホルダ本体４を矢印イ方向に揺動させることで、ホルダ本体４の下端をベース３の正面側縁部分よりも下降させるものとなる。
【００３２】
又、ベース３の下側には、ホルダ本体４を矢印イ方向に揺動させるためのリンク２４及びジャッキ２５が設けられている。
【００３３】
リンク２４は、固定された長さに形成され、ベース３から下方に延出された延出端部２６とホルダ本体４の下部に設けられた支持部材２７との間に設けられている。このリンク２４は、延出端部２６と支持部材２７とに対してそれぞれ各支点２６ａ、２７ａで回転可能となっている。
【００３４】
ジャッキ２５は、伸縮ロッド２５ａを有し、リンク２４における支持部材２７側と軌道２８との間に設けられている。このジャッキ２５は、伸縮ロッド２５ａの先端がリンク２４に対して支点２９に回転可能に連結されると共に、その下端が直線軌道２８上に移動自在な可変部３０に対して支点３１に回転可能に連結されている。可変部３０は、Ｙ方向に設けられた直線軌道２８上を移動かるものとなっている。
【００３５】
なお、ジャッキ２５の下端部は、直線軌道２８上の可変部３０に連結されているが、これに限らず、検査装置本体２の下部の脚等に固定されていてもよい。
【００３６】
従って、ジャッキ２５の伸縮ロッド２５ａが伸びると共に、可変部３０が直線軌道２８上を正面側に移動すると、ジャッキ２５の伸縮ロッド２５ａの先端は、リンク２４における支持部材２７側に押圧を与える。このとき、ジャッキ２５の他端が軌道２８上を正面側に移動し、かつリンク２４の長さが固定なので、ジャッキ２５の伸縮ロッド２５ａが伸びるに従って、ジャッキ２５は支点３１を中心に回転すると共に、リンク２４は、ジャッキ２５の伸縮ロッド２５ａの伸びにより支点２６ａを中心にして回転する。
【００３７】
リンク２４が支点２６ａを中心にして回転すると、リンク２４は長さが固定なので、リンク２４とホルダ本体４の支持部材２７との間で連結される支点２７ａは、リンク２４の長さを半径として支点２６ａを中心とした円弧上を移動する。
【００３８】
従って、リンク２４が支点２６ａを中心として回転すると、ホルダ本体４は、ヒンジ２１を揺動中心として矢印イ方向に起き上げられる。
【００３９】
このようなホルダ本体４の起き上げが行われると、リンク２４の両端部の各支点２６ａ、２７ａの間隔は固定であり、かつリンク２４の支点２６ａとヒンジ２１との間隔も固定である。これにより各支点２６ａ、２７ａ及びヒンジ２１の３点からなる三角形を考えると、リンク２４が支点２６ａを中心として回転するに従って支点２７ａとヒンジ２１との間隔が次第に短くなることが分る。
【００４０】
しかるに、支点２７ａとヒンジ２１との間隔が次第に短くなることからホルダ本体４は、各直線ガイド２３上を正面側に摺動し、ホルダ本体４の下端側となる縁がベース３上面の縁部分よりも正面側にせり出す。
【００４１】
そして、ジャッキ２５の伸縮ロッド２５ａの伸びが大きくなると共に、ジャッキ２５の他端が軌道２８上を正面側に移動するに従って、リンク２４の回転量が大きくなり、ホルダ本体４の起き上がり角度が大きくなり、これに従って、ホルダ本体４の下端側縁のベース３上面の縁部分からのせり出し量が大きくなる。
【００４２】
このようにホルダ本体４の起き上がり角度が大きくなると、ホルダ本体４の下端側となる縁のせり出量が大きるなることから、ホルダ本体４の下端側となった縁は、ベース３上面の縁部分よりも下降する。
【００４３】
このようにホルダ本体４の下端側縁がベース３上面の縁部分よりも下降すれば、ホルダ本体４上に記載されているガラス基板１の上部と観察者との距離が近づき、例えば大型のガラス基板４の上端部分を見上げることなく、かつ大型のガラス基板４の全面に亘って、例えば傷やむらなどの欠陥部分の方向によって異なる反射方向の光を捉えて、ガラス基板４に存在する欠陥部分を確実に特定できる。
【００４４】
又、ジャッキ２５の他端を軌道２８上の正面側と裏面側とに移動するので、ジャッキ２５を正面側に移動することによりホルダ本体４の傾き角度を大きくできると共に、ジャッキ２５を裏面側に移動することにより水平状態にしたときのホルダ本体４の高さ位置を低くできる。
【００４５】
又、ホルダ本体４の両端側のベース３上には、Ｙ方向の移動機構４０、４１が互いに平行に設けられている。これら移動機構４０、４１の間には、門柱アーム４２がホルダ本体４の上方を跨るように設けられている。門柱アーム４２は、移動機構４０、４１に対してＹ方向に移動可能に設けられ、かつこの門柱アーム４２に対して顕微鏡４３がＸ方向に移動可能に設けられている。
【００４６】
ホルダ本体４の上方には、図示しないがマクロ照明装置が設けられ、かつホルダ本体４の下方には、ライン透過照明装置４４が設けられている。このライン透過照明装置４４は、光ファイバを用いてＸ方向に平行なライン照明光を出射するもので、互いに平行にＹ方向に設けられた２本の照明系ガイド４４、４５上を、顕微鏡４３のＹ方向への移動と同期してＹ方向に移動するものとなっている。従って、顕微鏡４３がＸＹ方向に移動しても、顕微鏡４３の視野範囲を含むガラス基板１の領域が透過照明される。
【００４７】
又、検査装置本体２の正面側には、ガラス基板１のマクロ検査及びミクロ検査を行うための各種操作指示などを行うための操作部４７が設けられている。
【００４８】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【００４９】
水平状態にあるホルダ本体４上には、例えば１２５０×１１００ｍｍの大型サイズのガラス基板１が載置される。この状態に、ホルダ本体４の上方に設けられたマクロ照明装置から照明光がガラス基板１の表面上に照射されると、観察者は、ガラス基板１からの反射光の変化を観察して、例えばガラス基板１面上の傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部分を検査する。
【００５０】
又、ジャッキ２５の伸縮ロッド２５ａが伸びると共に、可変部３０が直線軌道２８上を正面側に移動すると、伸縮ロッド２５ａの先端は、リンク２４における支持部材２７側に押圧を与えるので、伸縮ロッド２５ａが伸びるに従ってジャッキ２５は支点３１を中心に回転すると共に、リンク２４は伸縮ロッド２５ａの伸びにより支点２６ａを中心にして回転する。従って、リンク２４が支点２６ａを中心として回転すると、ホルダ本体４は、ヒンジ２１を揺動中心として矢印イ方向に起き上げられる。
【００５１】
このときリンク２４が支点２６ａを中心として回転するに従って支点２７ａとヒンジ２１との間隔が次第に短くなるので、ホルダ本体４は、各直線ガイド２３上を正面側に摺動し、ホルダ本体４の下端側となる縁がベース３上面の縁部分よりも正面側にせり出す。
【００５２】
そして、ジャッキ２５の伸縮ロッド２５ａの伸びが大きくなると共に、ジャッキ２５の他端が軌道２８上を正面側に移動するに従ってホルダ本体４の起き上がり角度が大きくなり、これに従って、ホルダ本体４の下端側縁のベース３上面の縁部分からのせり出量が大きくなり、ホルダ本体４の下端側となった縁は、ベース３上面の縁部分よりも下降する。
【００５３】
このときのホルダ本体４の起き上がり角度は、伸縮ロッド２５ａの伸びの大きさ及びジャッキ２５の直線軌道２８上の移動距離によって設定可能である。又、伸縮ロッド２５ａを連続的に伸縮されると共に、ジャッキ２５を直線軌道２８上に往復移動されると、ホルダ本体４は、矢印イ方向に連続して揺動可能である。
【００５４】
このようなホルダ本体４が任意の起き上がり角度に設定されたり、又は連続して揺動している状態に、観察者は、ガラス基板１からの光の変化を観察して、例えばガラス基板１面上の傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部分をマクロ検査できる。
【００５５】
ところで、ガラス基板１に照明光を照射したときのガラス基板１上のパターン形状状態や微小な凹凸からの散乱光、回折光などの反射条件は、照明光の入射角により変わることを本願出願人は実験により確証した。
【００５６】
又、照明光の入射方向とパターンの方向性との相対的な関係、又は欠け傷、クラックなどの線形欠陥の方向性との相対的な関係によってもガラス基板１からの反射条件が異なることも実験により確証した。
【００５７】
このようにガラス基板１面上の傷、欠け、ダスト、クラックなどの各種を確実に検出したい場合には、ガラス基板１の配置方向を例えば９０°回転させるか、又はガラス基板１を３６０°回転させてマクロ観察する必要がある。
【００５８】
このような場合、ジャッキ２５の伸縮ロッド２５ａの伸びを元に戻すと共に、直線軌道２８上のジャッキ２５の他端の位置を元の位置に戻す。これにより、ホルダ本体４は、元の水平状態に戻る。
【００５９】
ホルダ本体４が水平状態になると、駆動部１１は、リフトピン機構１２を上昇させる。このリフトピン機構１２が上昇すると、各リフトピン１５〜１８のうち各リフトピン１５、１６は、ホルダ本体４の裏面側から各開口部５−１、５−２に入り、これら開口部５−１、５−２を通してホルダ本体４の表面側に突出するようになる。これと共に各リフトピン１７、１８もホルダ本体４の裏面側から各開口部５−３、５−４に入り、これら開口部５−３、５−４を通してホルダ本体４の表面側に突出するようになる。
【００６０】
そして、各リフトピン１５〜１８は、それぞれホルダ本体４上のガラス基板１の裏面に当接し、さらなる各リフトピン１５〜１８の上昇によりガラス基板１をホルダ本体４の上方に所定の高さだけ持ち上げる。
【００６１】
次に、駆動部１１は、リフトピン機構１２を上昇させた状態、すなわちガラス基板１をホルダ本体４の上方に持ち上げた状態でリフトピン機構１２を例えば９０度回転させる。これによりガラス基板１は、その向きが例えば９０度回転する。
【００６２】
次に、駆動部１１は、リフトピン機構１２を下降させる。リフトピン機構１２が下降すると、各リフトピン１５〜１８上に保持されているガラス基板１は、再びホルダ本体４上に載置される。このとき、ガラス基板１は、例えば９０度回転しているが、その形状が略正方形に形成されているので、ホルダ本体４上に載置することができる。なお、ガラス基板１は、多少長方形に形成されていても、例えば９０度回転後に再びホルダ本体４上に載置することが可能である。
【００６３】
このようにガラス基板１が例えば９０度回転後に再びホルダ本体４上に載置されると、再びマクロ照明装置から照明光がガラス基板１の表面上に照射され、観察者は、ガラス基板１からの反射光の変化を観察して、例えばガラス基板１面上の傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部分を検査する。
【００６４】
これにより、ガラス基板１を例えば９０°回転させて、照明光の入射方向とパターンの方向性との相対的な関係、又は欠け傷、クラックなどの線形欠陥の方向性との相対的な関係によって異なるガラス基板１からの反射条件を変えた場合において、ガラス基板１面上の傷、欠け、ダスト、クラックなどの各種を確実に検出できる。
【００６５】
又、上記同様に、ホルダ本体４が任意の起き上がり角度に設定されたり、又は連続して揺動している状態に、観察者は、ガラス基板１からの光の変化を観察して、例えばガラス基板１面上の傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部分をマクロ検査できる。
【００６６】
ミクロ検査を行う場合は、ホルダ本体４を水平状態に設置し、門柱アーム４２を移動機構４０、４１に対してＹ方向に移動させると共に、顕微鏡４３を門柱アーム４２に対してＸ方向に移動させて、顕微鏡４３をマクロ検査で検出した欠陥部分の上方に配置する。これと共に、ライン透過照明装置４４は、顕微鏡４３のＹ方向の移動に同期してＹ方向に移動し、顕微鏡４３の視野範囲を含むガラス基板１の領域を透過照明する。これにより、顕微鏡４３によって欠陥部分の拡大像が得られ、この像が例えばモニタ装置に表示され、マクロ検査が行われる。
【００６７】
このように上記一実施の形態においては、ホルダ本体４に複数の円弧状の開口部５−１〜５−４を形成し、リフトピン機構１２の各リフトピン１５〜１８をそれぞれ各開口部５−１〜５−４を通して上昇させてガラス基板１をホルダ本体４の上方に所定の高さだけ持ち上げ、この状態でリフトピン機構１２を例えば９０度回転させ、この後、リフトピン機構１２を下降させてホルダ本体４上に載置するので、検査装置のサイズを大きくすることなく、スペースを最小限に抑えることができて、ガラス基板１を任意の角度、例えば９０°回転させることができる。
【００６８】
このガラス基板１の回転は、ホルダ本体４の上方で行なうので、ガラス基板１の回転するときのスペースは、ホルダ本体４の設置スペースとほぼ同一であり、ガラス基板１を回転させるのに余計なスペースをとらない。
【００６９】
従って、ガラス基板１を例えば９０°回転させて、照明光の入射方向とパターンの方向性との相対的な関係、又は欠け傷、クラックなどの線形欠陥の方向性との相対的な関係によって異なるガラス基板１からの反射条件を変えた場合において、ガラス基板１面上の傷、欠け、ダスト、クラックなどの各種を確実に検出できる。
【００７０】
又、各リフトピン１５〜１８を上昇させて回転させる方式であれば、例えば１２５０×１１００ｍｍの大型サイズのガラス基板１でも対応できる。
【００７１】
又、かかる装置であれば、一旦搬送装置により検査装置外に搬送し、９０°回転して再搬送する方式に比べて、ガラス基板１の検査のタクトタイムを短縮できる。
【００７２】
ガラス基板１を上昇させて回転させるときは、各リフトピン１５〜１８によりガラス基板１を支持するので、ガラス基板１を点接触で支持するものとなり、ガラス基板１の面に影響を与えることはない。
【００７３】
そして、最外周位置に形成された各開口部５−１、５−２と、その内周側に形成された各開口部５−３、５−４とにそれぞれ４本のリフトピン１５〜１８を通してガラス基板１を支持するので、ガラス基板１を各コーナ部の各４点で支持して、安定性よく支持して回転できる。
【００７４】
又、各開口部５−１〜５−４、６は、同心円状に形成された複数の円弧枠８と、これら円弧枠８を互いに支持する複数の支持枠９とから形成されているので、ホルダ本体４の下方に設けられている透過照明装置からの透過照明光を各開口部５−１〜５−４、６を通してガラス基板１に照射でき、透過照明光の光量の減少を少なくできる。
【００７５】
さらに、ホルダ本体４の下方に設けられている透過照明装置等の移動体に影響を与えることなく、マクロ照明付き検査顕微鏡本体内に駆動部１１を備えて、ガラス基板１を任意の角度、例えば９０°回転させることができる。
【００７６】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００７７】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００７８】
例えば、上記一実施の形態では、標本として液晶ディスプレイのガラス基板１のマクロ検査に適用した場合について説明したが、これに限らず、プラズマディスプレイ、ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに用いられる透明基板の検査にも適用できる。さらには、本発明であれば、各種基板や平板等の標本の向きを変えるための機器であれば、その全てに適用できる。
【００７９】
又、各開口部５−１〜５−４、６の形状は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、リフトピン機構１２を例えば９０度回転可能な形状であればよく、さらにはリフトピン機構１２を例えば９０度に限らず、４５度、１８０度などの任意の角度だけ回転可能な形状にしてもよい。又、リフトピン機構１２も４本のリフトピン１５〜１８に限らず、少なくとも３本以上の複数のリフトピンを設けるようにしてもよい。
【００８０】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、スぺースを最小限に抑え、かつ装置本体内でガラス基板を回転できるホルダ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるホルダ装置の一実施の形態を示す正面構成図。
【図２】本発明に係わるホルダ装置の一実施の形態を示す上面構成図。
【図３】本発明に係わるホルダ装置の一実施の形態を示す側面構成図。
【符号の説明】
１：ガラス基板
２：検査装置本体
３：ベース
４：ホルダ本体
５−１〜５−４，６：開口部
７：中心位置
８：円弧枠
９：支持枠
１０：回転機構
１１：駆動部
１２：リフトピン機構
１３，１４：リフトピン支持バー
１５〜１８：リフトピン
２０：揺動機構
２１：ヒンジ
２２：ヒンジ支持部材
２３：直線ガイド
２４：リンク
２５：ジャッキ
２６：延出端部
２７：支持部材
２８：直線軌道
３０：可変部
４０，４１：移動機構
４２：門柱アーム
４３：顕微鏡
４４：ライン透過照明装置
４５，４６：照明系ガイド
４７：操作部
【図１】
2004012341.tif 000003
【図２】
2004012341.tif 000004
【図３】
2004012341.tif 000005