(57)【要約】【課題】ノズル出口側の加工精度が高く、安定した形状のノズル孔を形成することができるノズルプレートの製造方法及び射出されるインク滴の着弾精度が高く、高品質の画像を記録することのできるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】ノズルプレート材料１０１のインク流路側の面にアブレーション可能な補助部材１０２を、前記ノズルプレート材料１０１の厚さをＡ、前記補助部材１０２の厚さをＢとしたとき、Ａ＋Ｂが７５μｍ以上１５０μｍ以下となるように設ける第１の工程と、前記補助部材１０２側からレーザー光を照射することにより、前記ノズルプレート材料１０１にアブレーションによるノズル孔Ｐａを形成する第２の工程と、前記補助部材１０２をノズルプレート材料１０１から除去する第３の工程とを有し、これにより作成されたノズルプレートによりインクジェット記録ヘッドを製造する。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルプレート材料のインク流路側の面にアブレーション可能な補助部材を、前記ノズルプレート材料の厚さをＡ、前記補助部材の厚さをＢとしたとき、Ａ＋Ｂが７５μｍ以上１５０μｍ以下となるように設ける第１の工程と、前記補助部材側からレーザー光を照射することにより、前記ノズルプレート材料にアブレーションによるノズル孔を形成する第２の工程と、前記補助部材をノズルプレート材料から除去する第３の工程とを有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２】
前記Ａ＋Ｂが１００μｍ以上１５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項３】
前記ノズルプレート材料の厚さが７５μｍ未満であることを特徴とする請求項１又は２記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
前記レーザー光はエキシマレーザーによるレーザー光であることを特徴とする請求項１、２又は３記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
前記補助部材はシート状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
前記補助部材は粘着材を有し、前記第１の工程において、前記補助部材を粘着材により前記ノズルプレート材料のインク流路側の面に設けることを特徴とする請求項５記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
前記第１の工程において、前記補助部材と前記ノズルプレート材料とを真空密着させることにより前記ノズルプレート材料のインク流路側の面に前記補助部材を設けることを特徴とする請求項５記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
前記補助部材は塗膜であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項９】
前記ノズル孔は、ノズル出口側の直径が３０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかの方法により製造されたノズルプレートのインク流路側の面を、インク流路部材に接合する工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録ヘッドのノズルを構成するノズルプレートの製造方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近、インクジェット記録ヘッドのノズルプレートに高分子材料が使用されるようになってきた。このノズルプレートにインク吐出のためのノズル孔を形成する方法として、高分子材料の穿孔に適するレーザー光によるアブレーションの検討が多くなされている。
【０００３】
なお、アブレーションとは、ポリマーアブレーションともいい、有機高分子に対し、その材料特有のある閾値以上のエネルギー密度の紫外光レーザーを照射することによって、直接化学結合を切断し飛散させる非熱的な加工をいう。
【０００４】
このようなレーザー光によるアブレーションは、常温、常圧、短時間で、サブミクロン〜ミクロンオーダーの精度で、熱歪みやバリのない孔や溝を形成でき、また、マスクを透過したレーザー光を、レンズで被加工物に結像させれば、マスクパターンを数分の１に縮小、転写して、任意の形状の孔や溝を一括して形成できる。即ち、焦点加工でなく、マスク加工ができる特徴がある。
【０００５】
特許文献１には、かかるレーザー光としてエキシマレーザーを利用して、５０μｍ厚のノズルプレートのノズル孔加工を行う技術が開示されている。しかし、エキシマレーザーは、レーザー光が必ずしも一定の方向に出ず、パルス毎に方向が微妙に揺らいでいる。また、発光強度分布もパルス毎に揺らいでいる。本発明者らは、このエキシマレーザーの揺らぎについて更に検討したところ、この揺らぎがノズルプレート製造の際のノズル出口側の加工精度に影響を与えていることを突き止めた。
【０００６】
すなわち、ノズルプレートの製造に際して、ノズルプレート材料に対して一度にｎ個のノズル孔をｍ回に分けて加工する場合、ｎ個毎にノズル孔の軸が少しばらついた加工となることかわかった。厳密にいえば、ｎ個の中でも精度は一定ではなく、このようなノズルプレートを有するインクジェット記録ヘッドにより画像記録を行うと、画像品質が悪くなる。
【０００７】
これは以下の理由によるものと考えられる。つまり、エキシマレーザーにより加工された孔の断面を見ると、光のエネルギー密度が大きければ、レーザー光の入射側（ノズル入口）と抜け側（ノズル出口）の孔径は近くなり、逆の場合は、入射側に比べて抜け側の径は小さく、テーパー角としては大きな値となる。このとき、レーザー光の方向や強度分布が揺らぐと、加工毎に右側のテーパーが小さかったり、その逆であったりすることとなる。例えば右側のテーパーが小さければ、図６に示すように、結果として軸が右に倒れたことと同じとなり、ノズル出口側の加工精度を低下させ、射出されるインク滴の曲がりが発生して着弾精度が悪化する。
【０００８】
エキシマレーザーは、１〜３ｍｒａｄ（＝１ｍ進むと１〜３ｍｍ広がる）程度の広がり角を持っており、図７に示すように平行光成分Ｐだけからなるわけではない。広がり角の大きい拡散光成分θに由来する光は、ノズルプレート材料に当たった後、ノズル孔を掘り進む際、右もしくは左側のテーパー角に非対称に影響し、その成分の揺らぎはすぐに実質的なノズル軸に影響する。
【０００９】
拡散光成分θは、対物レンズのより周囲を通過する部分を含むため、収差が大きく不均一になり易い。さらに平行光成分Ｐだけに比べ、使用されるレーザー光の範囲が図示ａからｂと広い範囲の影響を受けるため、変動し易くなる。レーザー光が平行光成分Ｐのみであれば、初期の光学的な調整がしっかりなされている限り角度のばらつきは小さいが、上述の通りエキシマレーザーには広がり角の大きい拡散光成分θも含むため、これがノズル出口側の加工精度を低下させ、このノズルプレートを有するインクジェット記録ヘッドにより記録形成される画像の品質を低下させてしまうと考えられる。
【００１０】
このような問題は、エキシマレーザーに限らず、拡散光成分を含むレーザー光を用いてアブレーションによりノズル孔加工を行う場合に同様に見られる問題である。
【００１１】
【特許文献１】特開平１１−２７７７４９号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、ノズル出口側の加工精度が高く、安定した形状のノズル孔を形成することができるノズルプレートの製造方法を提供することを課題とする。
【００１３】
また、本発明は、射出されるインク滴の着弾精度が高く、高品質の画像を記録することのできるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の各課題は以下の各発明によって解決される。
【００１５】
請求項１記載の発明は、ノズルプレート材料のインク流路側の面にアブレーション可能な補助部材を、前記ノズルプレート材料の厚さをＡ、前記補助部材の厚さをＢとしたとき、Ａ＋Ｂが７５μｍ以上１５０μｍ以下となるように設ける第１の工程と、前記補助部材側からレーザー光を照射することにより、前記ノズルプレート材料にアブレーションによるノズル孔を形成する第２の工程と、前記補助部材をノズルプレート材料から除去する第３の工程とを有することを特徴とするノズルプレートの製造方法である。
【００１６】
請求項２記載の発明は、前記Ａ＋Ｂが１００μｍ以上１５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のノズルプレートの製造方法である。
【００１７】
請求項３記載の発明は、前記ノズルプレート材料の厚さが７５μｍ未満であることを特徴とする請求項１又は２記載のノズルプレートの製造方法である。
【００１８】
請求項４記載の発明は、前記レーザー光はエキシマレーザーによるレーザー光であることを特徴とする請求項１、２又は３記載のノズルプレートの製造方法である。
【００１９】
請求項５記載の発明は、前記補助部材はシート状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法である。
【００２０】
請求項６記載の発明は、前記補助部材は粘着材を有し、前記第１の工程において、前記補助部材を粘着材により前記ノズルプレート材料のインク流路側の面に設けることを特徴とする請求項５記載のノズルプレートの製造方法である。
【００２１】
請求項７記載の発明は、前記第１の工程において、前記補助部材と前記ノズルプレート材料とを真空密着させることにより前記ノズルプレート材料のインク流路側の面に前記補助部材を設けることを特徴とする請求項５記載のノズルプレートの製造方法である。
【００２２】
請求項８記載の発明は、前記補助部材は塗膜であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法である。
【００２３】
請求項９記載の発明は、前記ノズル孔は、ノズル出口側の直径が３０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法である。
【００２４】
請求項１０記載の発明は、請求項１〜９のいずれかの方法により製造されたノズルプレートのインク流路側の面を、インク流路部材に接合する工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２６】
図１は、本発明に係るノズルプレートの製造方法において好ましく適用できるレーザー穿孔装置の一例を示す概略図であり、同図において、１はレーザー発振器、２は第１ミラー、３は第２ミラー、４は第３ミラー、５はＣＣＤカメラ、６はＣＣＤカメラ５への結像レンズ、７はフィールドレンズ、８はマスク、９は対物レンズ、１０はノズルプレート材料を含む被加工物、１１はＸ−Ｙテーブルである。
【００２７】
レーザー発振器１から出射したレーザー光Ｌは、第１ミラー２、第２ミラー３及び第３ミラー４を経て、フィールドレンズ７及び所望の開口を形成するマスク８を透過した後、対物レンズ９により被加工物１０表面の被穿孔部に結像される。ここでは一組の凸レンズであるフィールドレンズ７及び対物レンズ９によってテレセントリック光学系を構成しており、同時に多数の孔加工が可能となる。被穿孔部とは、レーザー光Ｌが照射されることにより貫通孔が施される被加工物１０の部位である。この結像されたレーザー光Ｌにより被加工物１０の被穿孔部に加工が施される。
【００２８】
第３ミラー４はレーザー光Ｌについては全反射するが、可視光については高い透過率を持つため、ＣＣＤカメラ５による観察が可能である。このため、被穿孔部への結像位置はＣＣＤカメラ５により確認され、Ｘ−Ｙテーブル１１を移動調整することにより位置調整される。
【００２９】
本発明において、ノズルプレートを作成するための材料であるノズルプレート材料としては、レーザー光によるアブレーションが可能な材料が用いられ、例えば、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ポリサルフォン等の樹脂シートを好ましく用いることができる。
【００３０】
次に、本発明に係るノズルプレートの製造方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法について、図２〜図５を用いて更に説明する。
【００３１】
まず、第１の工程では、図２に示すように、ノズルプレート材料１０１のインク流路側の面に補助部材１０２を設ける。ノズルプレート材料１０１のインク流路側の面とは、インクジェット記録ヘッドを構成した際に、図５に示すようにインク流路部材２００に接合する側の面であり、インクが吐出されるノズル出口側の面とは反対側の面である。ノズルプレート材料１０１のインク流路側の面に補助部材１０２を設けることにより、後工程においてレーザー加工の対象となる被加工物１０が構成される。
【００３２】
補助部材１０２は、ノズルプレート材料１０１と同様にレーザー光によるアブレーションが可能な材料からなり、例えばポリイミド、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂シートを好ましく用いることができる。図示例では補助部材１０２として樹脂シートを用いたものを示している。この補助部材１０２はレーザー加工後にノズルプレート材料１０１から除去される必要があるため、ノズルプレート材料１０１に対して剥離可能に設けられる。
【００３３】
樹脂シートからなる補助部材１０２の場合、ノズルプレート材料１０１と補助部材１０２とを粘着材を介して貼着することによって密着させて、ノズルプレート材料１０１のインク流路側の面に補助部材１０２を剥離可能に設けることができる。ノズルプレート材料１０１と補助部材１０２とは、いずれかの面に粘着材を塗布した後に貼り合せるようにしてもよいが、予め一面に粘着材を塗布形成してなる粘着材付きの樹脂シートを補助部材１０２として用いることが好ましい。粘着材としては例えばゴム系粘着材を用いることができる。
【００３４】
また、ノズルプレート材料１０１と補助部材１０２とを真空密着させることによって、ノズルプレート材料１０１のインク流路側の面に樹脂シートからなる補助部材１０２を設けることも好ましい。真空密着させる方法としては、ノズルプレート材料１０１と補助部材１０２とを重ね合わせた後、これを表面にシリコンゴムを設けた一対のローラーの間に通すことにより行うことができる。ローラー間を適当な加圧力に設定することで、ローラー間を通過したノズルプレート材料１０１と補助部材１０２との隙間の空気が排出されて真空状態となり、両者は密着される。上記ローラーに加熱ローラーを用いることにより、真空密着時に加熱を行うようにしてもよい。このように両者を真空密着させれば、後工程において補助部材１０２をノズルプレート材料１０１から剥離除去する際、粘着材残り等によってノズルプレート材料１０１の表面が汚染される心配はない。
【００３５】
なお、補助部材１０２はかかるシート状とする他に、塗膜によって形成することもできる。塗膜としては粘度がある程度高いものを用いることが好ましく、公知の塗膜形成手段を用いることによってノズルプレート材料１０１のインク流路材側の面にゲル状の塗膜を形成することが好ましい。補助部材１０２を塗膜により形成すれば、後工程においてこの塗膜を拭き取ることで、容易にノズルプレート材料１０１表面から除去することができる。このような塗膜材料としてはポリプロピレングリコールを好ましく用いることができる。
【００３６】
この工程において、ノズルプレート材料１０１と補助部材１０２とは、ノズルプレート材料１０１の厚さをＡ、補助部材１０２の厚さをＢとしたとき、Ａ＋Ｂが７５μｍ以上１５０μｍ以下となるように設けられる。ここでの厚さＡ及びＢは、後工程においてレーザー光が照射されることにより貫通孔が穿孔される部位である被穿孔部での厚さである。
【００３７】
詳細については後述するが、Ａ＋Ｂが７５μｍ未満ではノズル出口の加工精度が悪くなり、射出されるインク滴の曲がりが大きくなり、これにより記録形成される画像品質も低下する。１５０μｍを越える厚さでは、加工時間が長くなる問題があると共に、レーザー光を照射する際のピントは被加工物１０の上面に合わせられるため、厚さ方向でピントがぼけることによる形状劣化が発生し、いずれも好ましくない。好ましくは、Ａ＋Ｂが１００μｍ以上１５０μｍ以下となるように設けることである。
【００３８】
補助部材１０２は１層に限らず、Ａ＋Ｂが上記範囲となるようにすれば、複数層設けるようにしてもよく、また、シート状の補助部材と塗膜による補助部材とを積層するようにしてもよい。
【００３９】
なお、シート状の補助部材１０２を粘着材を用いてノズルプレート材料１０１に貼着する場合は、補助部材１０２の厚さＢは、粘着材の厚さも含めた全体の厚さである。
【００４０】
次に、第２の工程では、ノズルプレート材料１０１のインク流路側の面に補助部材１０２を設けた被加工物１０に対して、その補助部材１０２の側からレーザー光を照射することにより、補助部材１０２とノズルプレート材料１０１を貫通するアブレーションによる所定数の貫通孔ｈを穿孔形成する（図３）。この貫通孔ｈによってノズルプレート材料１０１部分に形成された孔がノズル孔となる。従って、貫通孔ｈの数は作成されるノズルプレートに設けられるノズル孔の数となるが、ここでは１つの貫通孔ｈのみを示している。
【００４１】
被加工物１０に貫通孔ｈを形成すると、レーザー光Ｌのうち、対物レンズ９の略中央部を通過して被穿孔部に対して略平行に入射する、対称で、比較的光量の安定したレーザー光Ｌ１の寄与が大きくなり、反面、対物レンズ９の収差の大きい部分を経由し、光量が不安定で斜めから入射するレーザー光Ｌ２は、被加工物１０の厚さが（Ａ＋Ｂ）が７５μｍ以上となる厚さを有しているため、貫通孔ｈの入口ｈ１付近で蹴られて出口ｈ２付近までは届きにくくなり、貫通孔ｈ先端の出口ｈ２部分、すなわちノズル孔のノズル出口側の加工精度が高められ、安定した形状のノズル孔を形成することができる。その結果、この貫通孔ｈにより形成されるノズル孔を有するインクジェット記録ヘッドから射出されるインクの着弾精度を高めることができ、また、これにより記録形成される画像の品質を向上させることができる。
【００４２】
被加工物１０全体の厚さ（Ａ＋Ｂ）が７５μｍ未満であると、斜めから入射するレーザー光Ｌ２が貫通孔ｈの入口ｈ１で蹴られる割合が少なくなり、出口ｈ２側まで届いてしまうため、ノズル出口側の加工精度が悪くなる。従って、これにより記録形成される画像品質も低下する。１５０μｍを越える厚さでは、上述したように加工時間が長くなると共に、厚さ方向でピントがぼけることによる形状劣化が発生するため、いずれも好ましくない。
【００４３】
また、レーザー入射側に補助部材１０２が設けられるため、アブレーション加工時に発生するカーボンを主成分とする副生成物がノズルプレート材料１０１のレーザー入射側の表面に付着することが防止され、ノズルプレート材料１０１の汚染の心配はない。
【００４４】
上述のように被加工物１０に対して斜めから入射するレーザー光Ｌ２による影響をより少なくするため、補助部材１０２にレーザー光吸収剤を混入させることも好ましい。レーザー光吸収剤としては、サリチル酸系、サリチル酸フェニル系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系の紫外線吸収剤が挙げられ、これらの１種又は２種以上を樹脂シートを構成する樹脂中に、若しくは塗膜成分中に混入して補助部材１０２を構成すればよい。
【００４５】
このようなアブレーションによる貫通孔ｈを設けるためのレーザー光は、エキシマレーザーによるレーザー光であることが特に好ましい。エキシマレーザーは短パルス（〜２０ｎｓ）、高輝度（〜数十ＭＷ）の紫外光を出力できる。発振波長はレーザーガスの種類により異なるが、アブレーションに良く使用されるのはＸｅＣｌ（波長３０８ｎｍ）、ＫｒＦ（波長２４８ｎｍ）である。このようなエキシマレーザーは、一般にパルス毎のレーザー光の揺らぎが大きく、発光強度分布もパルス毎に揺らいでおり、これがノズル孔のノズル出口側の加工精度に大きく影響を与えるが、被加工物１０のアブレーション加工にかかるエキシマレーザーによるレーザー光を用いることで、ノズル出口側の加工精度を高める本発明の効果を顕著に得ることができる。
【００４６】
なお、被加工物１０にレーザー光を用いて貫通孔ｈを形成するに先立って、図３に示すようにノズルプレート材料１０１の表面（インクが吐出される側）に撥インク膜１０３を被覆形成し、ノズルプレート材料１０１の表面に撥インク性を付与しておくことが好ましい。
【００４７】
撥インク膜１０３としては、ノズルプレート材料１０の表面に撥インク性を付与し得ると共に、上述したようにレーザー光によるアブレーションによって容易に除去されるものであれば任意であり、例えば含フッ素樹脂溶液をコーティングする方法、含フッ素樹脂分散液をコーティングした後、加熱溶融処理を施す方法等により形成することができる。撥インク膜１０３の膜厚は、０．１〜０．５μｍ程度が好ましい。
【００４８】
かかる撥インク膜１０３の表面側には、更に保護部材１０４を貼着しておくことが、貫通孔ｈを形成する際の撥インク膜１０３の損傷を防止し、良好に加工できる観点から好ましい。保護部材１０４としては粘着テープ類が挙げられ、基材としてポリエチレンテレフタレート、ポリイミド等の樹脂を使用し、粘着材として例えばゴム系粘着材を塗布したものを使用することができる。
【００４９】
なお、このような撥インク膜１０３や保護部材１０４を設ける場合、撥インク膜１０３の膜厚や保護部材１０４の厚さはノズルプレート材料１０１の厚さ（Ａ）には含まれない。
【００５０】
このように撥インク膜１０３及び保護部材１０４を有する被加工物１０に貫通孔ｈを形成する場合、図３に示すように、補助部材１０２、ノズルプレート材料１０１及び撥インク膜１０３を貫通させるが、保護部材１０４を貫通させない程度の孔加工を行う。
【００５１】
このようにして被加工物１０に貫通孔ｈを形成する際、図１に示す対物レンズ９の一次側に配置されるマスク８により形成される透過部の形状は、ノズルプレートのノズル出口の形状と同一形状とされる。従って、ノズル出口の形状を円形状とする場合は、マスク８により円形状の透過部を形成するが、ノズル出口の形状は円形状に限らず、矩形状、多角形状、星形状等任意である。
【００５２】
以上のようにして貫通孔ｈが形成された後、第３の工程では、図４に示すように補助部材１０２を、更に保護部材１０４を有する場合は補助部材１０２と保護部材１０４を剥離除去する。この剥離時の作業の便宜を図るため、補助部材１０２及び保護部材１０４は、図２〜図４に示すようにノズルプレート材料１０１の一側方又は両側方にはみ出したタグ部１０２ａ、１０４ａを有していることが好ましい。剥離時には、このタグ部１０２ａ、１０４ａを把持することで剥離作業が容易となる。補助部材１０２が塗膜により形成されている場合には、ここで塗膜を拭き取ることによってノズルプレート材料１０１の表面から補助部材１０２を除去すればよい。
【００５３】
このようにして補助部材１０２、保護部材１０４をノズルプレート材料１０１から除去すると、貫通孔ｈによりノズル孔Ｐａが形成されたノズルプレートＰが作成される。
【００５４】
このようにして作成されたノズルプレートＰは、上述したようにノズル孔Ｐａのノズル出口側の加工精度が高められている。このような効果は、ノズルプレート材料１０１と補助部材１０２の全体の厚さ（Ａ＋Ｂ）が７５μｍ〜１５０μｍ、好ましくは１００μｍ〜１５０μｍであることによって達成されるが、本発明によれば、補助部材１０２がノズルプレート材料１０１に設けられた際に、ノズルプレート材料１０１と補助部材１０２との厚さ（Ａ＋Ｂ）が上記範囲となるように補助部材１０２の厚さ（Ｂ）を適宜調整することによって、ノズルプレートＰとされるノズルプレート材料１０１の厚さ（Ａ）を任意に設定することが可能である。
【００５５】
一般にノズルプレートＰの厚さが厚くなると、ノズル孔Ｐａの流路抵抗が大きくなり、インク吐出時の駆動電圧が上昇する。ノズル出口の加工精度を高めるためにノズルプレートＰだけで上記範囲の厚さに形成すると、この流路抵抗が大きくなる問題があるが、補助部材１０２の厚さ（Ｂ）を適宜調整してノズルプレート材料１０１との厚さ（Ａ＋Ｂ）が上記範囲となるようにすることで、ノズルプレートＰだけの厚さが薄い場合、具体的にはノズルプレート材料１０１の厚さ（Ａ）が７５μｍ未満である場合でも、ノズル出口側の加工精度を問題なく高めることが可能となる顕著な効果が得られる。
【００５６】
また、ノズル孔Ｐａのノズル出口側の直径を３０μｍ以下の小さいものとした場合、ノズルプレートＰの厚さが厚くなると流路抵抗が極めて大きくなる。しかし、本発明によれば、補助部材１０２の厚さ（Ｂ）を適宜調整することで、厚さの薄いノズルプレート材料１０１を用いた薄いノズルプレートＰの作成にも適用できるため、ノズル出口側の直径が３０μｍ以下の小さいものとした場合に効果が顕著に発揮される。なお、ノズル出口側の直径は、ノズル孔Ｐａの断面が円でない場合は、円相当で考えた場合の直径である。
【００５７】
ノズルプレートＰは、そのインク流路側の面を、ノズル孔Ｐａに対応する複数のインク室２０１が形成されたインク流路部材２００の前端面２０２に接着剤を介して接合され、これによりインクジェット記録ヘッド３００が作成される（図５）。このインクジェット記録ヘッド３００によれば、ノズルプレートＰにノズル出口側の加工精度が高く、安定した形状のノズル孔Ｐａが形成されているため、射出されるインク滴の着弾精度が高く、高品質の画像を記録することが可能となる。
【００５８】
インク流路部材２００は、ここではインク室２０１の側壁をせん断変形させることによりインク室２０１内の容積を変化させ、そのとき発生する圧力によってインク室２０１内のインクをインク滴としてノズル孔Ｐａから射出するものを例示しているが、インク室２０１内のインクをノズル孔Ｐａからインク滴として射出可能であればいかなる構造であってもよい。
【００５９】
【実施例】
ノズルプレート材料として、表１に示すように厚さ（Ａ）が５０μｍの７枚のポリイミド樹脂シートと、補助部材として、表１に示すように厚さ（Ｂ）が０（補助部材なし）、１５μｍ、２５μｍ、５０μｍ、７５μｍ、１００μｍ、１２５μｍの７枚の粘着材付きシート（日東電工（株）製：３１Ｄ７５）を用意し、ノズルプレート材料のインク流路側の面に上記補助部材をそれぞれ貼着して被加工物を作成した。
【００６０】
これにエキシマレーザー（λ＝２４８ｎｍ）を用いてノズル出口側の直径が２３μｍとなるように２５６個の貫通孔を形成した後、補助部材を剥離除去してノズルプレートをそれぞれ作成した。なお、各被加工物に対する加工条件は厚み以外すべて同一とした。
【００６１】
得られたノズルプレートを２５６個のインク室を形成したＰＺＴからなるアクチュエータ基板（インク流路部材）の前端面に接着剤を用いて接着し、７つのインクジェット記録ヘッドを作成した。
【００６２】
（評価方法）
各記録ヘッド（実施例１〜４及び比較例１〜３）を用いて、同一の駆動条件で記録媒体（コニカ社製「ＱＰペーパー」）上にベタ画像を形成し、その濃度ムラについて以下の基準に基づいて目視評価した。その結果を表１に示す。
【００６３】
◎：全く濃度ムラは見られない
○：ほとんど濃度ムラは見られない
△：わずかに濃度ムラがあるが、画質上問題なし
×：濃度ムラが目立つ
【００６４】
【表１】
2004230688.tif 000003
【００６５】
【発明の効果】
本発明によれば、ノズル出口側の加工精度が高く、安定した形状のノズル孔を形成することができるノズルプレートの製造方法を提供することができる。
【００６６】
また、本発明によれば、射出されるインク滴の着弾精度が高く、高品質の画像を記録することのできるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レーザー穿孔装置の一例を示す概略図
【図２】ノズルプレート材料と補助部材とからなる被加工物の構成図
【図３】被加工物に対するレーザー加工の様子を示す断面図
【図４】補助部材及び保護部材を剥離する状態を示す断面図
【図５】インクジェット記録ヘッドの一例を示す分解斜視図
【図６】貫通孔を形成した従来のノズルプレートの断面図
【図７】レーザー光による加工状況を示す模式図
【符号の説明】
１０：被加工物
１０１：ノズルプレート材料
１０２：補助部材
１０２ａ：タグ部
１０３：撥インク膜
１０４：保護部材
１０４ａ：タグ部
２００：インク流路部材
２０１：インク室
２０２：前端面
３００：インクジェット記録ヘッド
Ｐ：ノズルプレート
Ｐａ：ノズル孔
ｈ：貫通孔
【図１】
2004230688.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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