(57)【要約】【課題】小型でかつ低コストで生産が可能な光モジュールを提供する。【解決手段】光モジュール１００は、導光部材を嵌挿可能なスリーブ１１と、所与の収容空間１５を有する筐体部１０と、収容空間１０内に配置され、屈折率変化領域２２が周期的に配列された２次元フォトニック結晶領域２１を有し、光信号の分波および合波をするための光合分波部２０と、発光機能および受光機能の少なくとも一方の機能を有し、光合分波部２０に対して光軸が適合するように収容空間１５内に配置される複数の素子を含む光能動素子部３０と、を含み、スリーブ１１、筐体部１０および光合分波部２０が、所定の波長帯の光を透過可能な樹脂材料を用いて一体的に形成されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導光部材を嵌挿可能なスリーブと、
所与の収容空間を有する筐体部と、
前記収容空間内に配置され、屈折率変化領域が周期的に配列された２次元フォトニック結晶領域を有し、光信号の分波および合波をするための光合分波部と、
発光機能および受光機能の少なくとも一方の機能を有し、前記光合分波部に対して光軸が適合するように前記収容空間内に配置される複数の素子を含む光能動素子部と、
を含み、
前記スリーブ、前記筐体部および前記光合分波部が、所定の波長帯の光を透過可能な樹脂材料を用いて一体的に形成されている、光モジュール。
【請求項２】
請求項１において、
前記スリーブは、前記光合分波部に向けて前記導光部材から入射した光を集光するためのレンズ機能を有する、光モジュール。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記光合分波部は、２次元フォトニック結晶領域の上に前記樹脂材料より屈折率の高い材料からなる高屈折率膜が形成されている、光モジュール。
【請求項４】
請求項３において、
前記高屈折率膜は、前記２次元フォトニック結晶領域上の一部に線状に形成されている、光モジュール。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記筐体部は、内部に前記光能動素子部と他の電子部品とを電気的に接続するための配線部を含む、光モジュール。
【請求項６】
請求項１において、
前記光合分波部は、支持部を有し、
前記光能動素子部は、前記光合分波部に対して空隙を介して前記支持部に支持されている、光モジュール。
【請求項７】
請求項６において、
前記光合分波部は、２次元フォトニック結晶領域内の光路から所定の波長の光信号を捕獲して外部に放出し、かつ所定の波長の光信号を捕獲して該光路に導入するための点欠陥を有し、
前記光能動素子部に含まれる複数の素子は、前記光合分波部の点欠陥に対応して配置されている、光モジュール。
【請求項８】
請求項７において、
前記２次元フォトニック結晶領域の一部の上に、前記樹脂材料よりも屈折率の高い材料からなる高屈折率膜が線状に配置され、
前記光合分波部の２次元フォトニック結晶領域内の光路は、前記高屈折率膜の下部に形成される、光モジュール。
【請求項９】
請求項７において、
前記光合分波部の２次元フォトニック結晶領域内の光路は、該２次元フォトニック結晶構造有する線欠陥により形成される、光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主として光通信に用いられる光モジュールに関する。
【０００２】
【背景技術】
近年の光通信技術の発展に伴い、大容量でかつ高速な光ファイバを用いた通信が可能となっている。かかる光通信技術においては、光を分波あるいは合波することにより複数の光信号を適切に処理することが必要である。これらの処理を実現するための光通信用モジュールとしては、干渉フィルタや回折格子を用いたものが提案されている。
【０００３】
しかし、干渉フィルタや回折格子を用いると、光の分解能を高精度とするためには長い光路長が必要となり、システムの集積化に伴う部品の小型化の要請に十分に応えられないといった課題が生じていた。また、部品を小型化するに当たっては、光ファイバと部品との間の光軸調整が困難となってきて、正確な光軸調整をするためのコスト負担が新たに生じている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、小型でかつ低コストで生産が可能な光モジュールを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の光モジュールは、導光部材を嵌挿可能なスリーブと、所与の収容空間を有する筐体部と、前記収容空間内に配置され、屈折率変化領域が周期的に配列された２次元フォトニック結晶領域を有し、光信号の分波および合波をするための光合分波部と、発光機能および受光機能の少なくとも一方の機能を有し、前記光合分波部に対して光軸が適合するように前記収容空間内に配置される複数の素子を含む光能動素子部と、を含み、前記スリーブ、前記筐体部および前記光合分波部が、所定の波長帯の光を透過可能な樹脂材料を用いて一体的に形成されている。
【０００６】
本発明において、「導光部材」とは、光ファイバに限られず、広く光を伝搬させるための部材を意味し、光ファイバと結合されたコネクタ等のフェルールなども「導光部材」に含まれる。また、光能動素子部を構成する「複数の素子」は、フォトダイオードなどの各種受光素子や半導体レーザー、発光ダイオード、ＥＬ素子などの各種発光素子などから構成され、これらが光合分波部で処理される分波光や合波光と対応するように設けられれば、単一種類のものが複数含まれていてもよいし、異なる複数種類のものの組合せが含まれていてもよい。
【０００７】
本発明によれば、２次元フォトニック結晶領域を用いて光信号を合波あるいは分波することにより、干渉フィルタや回折格子などを用いる場合に比べて十分に短い光路長で分波あるいは合波することが可能であり、モジュールを小型化することができる。さらに、本発明の光モジュールでは、各部の収容空間を構成する筐体部と、導光部材を嵌挿するためのスリーブと、光の合波あるいは分波を行う光合分波部とが一体的に形成されることにより、スリーブに嵌挿される導光部材と光合分波部との間の光軸調整が不要となる。このため、本発明の光モジュールによれば、生産効率を向上させることができ、低コストでの実現が可能となる。
【０００８】
また、一般に樹脂材料は、屈折率が低いため、低次の伝搬モードを透過させるための２次元フォトニック結晶領域の厚さがシリコンなどの無機材料を用いた場合に比べて厚くすることができる。このため、本発明の光モジュールでは、２次元フォトニック結晶領域を厚膜化して形成することにより、スリーブや光能動素子部との光の結合効率を向上させた高性能のモジュールを実現することができる。
【０００９】
本発明の光モジュールは、以下の態様を採り得る。
【００１０】
（１）前記スリーブは、前記光合分波部に向けて前記導光部材から入射した光を集光するためのレンズ機能を有することができる。
【００１１】
かかる態様によれば、スリーブのレンズ機能により集光された光が光合分波部に入射されるため、スリーブと光合分波部との間における光の損失を低減することができる。
【００１２】
（２）前記光合分波部は、２次元フォトニック結晶領域の上に前記樹脂材料より屈折率の高い材料からなる高屈折率膜が形成されていることができる。
【００１３】
かかる態様によれば、光合分波部の２次元フォトニック結晶領域が形成された面と交差する方向に対して、光を光合分波部内に確実に閉じ込めながら伝搬させることができる。これは特に、２次元フォトニック結晶領域が樹脂材料で形成されることにより、光を伝搬させたい部分以外が厚膜化してしまう場合に有効である。かかる場合には、高屈折率膜を形成しないと面と交差する方向において光の閉じ込めが不十分であり、厚膜化した部分の方が実効的な屈折率も高くなるため、光がかかる部分に漏れてしまうからである。
【００１４】
（３）  前記高屈折率膜は、前記２次元フォトニック結晶領域上の一部に線状に形成されていることができる。
【００１５】
かかる態様によれば、２次元フォトニック結晶領域における高屈折率膜の下部においてフォトニックバンド構造を変化して、光を伝搬させるための光路が形成されるため、２次元フォトニック結晶領域内に所望の光路を形成することができる。
【００１６】
（４）前記筐体部は、内部に前記光能動素子部と他の電子部品とを電気的に接続するための配線部を含むことができる。
【００１７】
かかる態様によれば、光能動素子部とこれらの駆動回路や制御回路等の他の電子部品を実装するための配線スペースを収容空間内に予め用意する必要が無いため、さらなるモジュールの小型化を達成することができる。
【００１８】
（５）前記光合分波部は、支持部を有し、前記光能動素子部は、前記光合分波部に対して空隙を介して前記支持部に支持されていることができる。
【００１９】
かかる態様によれば、光合分波部と光能動素子部とを立体的に重ねた構造を採用することができるため、筐体部の収容空間をコンパクトにすることができ、部品全体の小型化を図ることができる。
【００２０】
なお、かかる態様において、光合分波部と光能動素子部との間の光の結合を担保するためには、光合分波部において２次元フォトニック結晶領域の面と交差する方向に光が放出され、該面と交差する方向から入射する光を受け入れる構成を採用することが望ましい。
【００２１】
そこで、このような構成を実現するために、前記光合分波部は、２次元フォトニック結晶領域内の光路から所定の波長の光信号を捕獲して外部に放出し、かつ所定の波長の光信号を捕獲して該光路に導入するための点欠陥を有し、前記光能動素子部に含まれる複数の素子は、前記光合分波部の点欠陥に対応して配置されていることができる。
【００２２】
また、かかる態様において、２次元フォトニック結晶領域内における光路は、以下のようにして形成されることが可能である。
【００２３】
前記２次元フォトニック結晶領域の一部の上に、前記樹脂材料よりも屈折率の高い材料からなる高屈折率膜が線状に配置され、前記光合分波部の２次元フォトニック結晶領域内の光路は、前記高屈折率膜の下部に形成されることができる。
【００２４】
また、前記光合分波部の２次元フォトニック結晶領域内の光路は、該２次元フォトニック結晶領域が有する線欠陥により形成されることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に好適な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
［第１の実施形態］
図１（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る光モジュール１００を模式的に示す平面図である。また、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）におけるａ−ａ´断面図である。
【００２７】
本実施の形態に係る光モジュール１００は、スリーブ１１ともに収容空間１５を構成する筐体部１０と、該収容空間１５内に配置される２次元フォトニック結晶構造を有する光合分波部２０、複数の受光素子、あるいは発光素子からなる光能動素子部３０、および光能動素子部３０の受光素子や発光素子のための制御回路などを含む電子回路部（他の電子部品）４０とを含んで構成されている。
【００２８】
筐体部１０は、樹脂材料で形成され、後述するスリーブ１１や光合分波部２０とともに一体的に形成される。樹脂材料としては、光を透過可能なものが選択され、例えば、プラスチック系光ファイバ（ＰＯＦ）に用いられるポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ジアリルフタレート、フェニルメタクリレート、フッ素系ポリマー等、公知のものを採用することができる。
【００２９】
スリーブ１１は、筐体部１０と一体的に形成されて収容空間１５の周壁の一部を構成しており、外部から光ファイバなどの導光部材を嵌挿可能に形成されている。またスリーブ１１の収容空間１５側には、光合分波部２０に向けて導光部材からの光信号を集光して送り出すためのレンズ部１２を有する。これにより、光合分波部２０と導光部材との間における光信号の損失を低減して両者の結合効率を良好なものとすることができる。
【００３０】
光合分波部２０は、収容空間１５内にスリーブ１１と光軸が適合するように配置されている。また、光合分波部２０は、凹部あるいは凸部からなる屈折率変化領域２２が周期的に配列された２次元フォトニック結晶領域２１を有する。この光合分波部２０も筐体部１０やスリーブ１１と一体的に形成されている。すなわち、光合分波部２０における２次元フォトニック結晶領域２１は、一般的にシリコンなどの無機材料に比べて屈折率の低い樹脂材料により形成されているため、厚みを大きくしても低次の伝搬モードを透過させることができる。このため、光モジュール１００では、２次元フォトニック結晶領域２１を厚膜化して形成することにより、スリーブ１１や光能動素子部３０との光の結合効率を向上させた高性能のモジュールを実現することができる。
【００３１】
また、光合分波部２０は、２次元フォトニック結晶領域２１の上に当該２次元フォトニック結晶領域２１などを構成する樹脂材料より屈折率の高い材料からなる高屈折率膜２４が設けられている。これにより、光合分波部２０の２次元フォトニック結晶領域２１が形成された面と交差する方向に対して、光信号を光合分波部２０内に確実に閉じ込めながら伝搬させることができる。本実施の形態では、２次元フォトニック結晶領域２１が所定の波長帯の光信号を透過可能な樹脂材料で形成される。このため、高屈折率膜２４を形成しないと、面と交差する方向において光信号の閉じ込めが不十分であり、厚膜化した部分の方が実効的な屈折率も高くなるため、光信号がかかる部分に漏れてしまう。したがって、この高屈折率膜２４を設けることは、光信号を伝搬させたい部分以外が厚膜化して、光信号が外部に漏れやすくなるような場合に有効である。
【００３２】
また、光合分波部２０において、光信号を分波するための手法としては、例えば、図２に示すように、２次元フォトニック結晶領域２１内に形成された屈折率変化領域２２の周期的な配列の端面を光信号の入射方向に対して所与の角度を有するように配置することにより、偏光プリズムとして機能させることにより、所定の方向に向けて分波された光信号を出射端面から取り出すものが挙げられる。なお、図２において、Ｐｉｎは入力光信号を示し、Ｐｏｕｔ１〜Ｐｏｕｔ４は、分波された出力光信号を示す。また、光合分波部２０において、光信号を合波する場合には、図２に示す２次元フォトニック結晶領域２１の分波光の出力側から光信号を入射させればよい。
【００３３】
また、光モジュール１００は、収容空間１５の内壁に光合分波部２０と光軸が適合するように配置された複数の発光素子あるいは受光素子を含んで構成される光能動素子部３０が配置されている。発光素子としては、例えば、半導体レーザー、発光ダイオード、ＥＬ素子などが挙げられる。受光素子としては、例えば、フォトダイオードなどが挙げられる。光能動素子部３０は、光モジュール１００が受信モジュールとして構成される場合には、少なくとも受光素子を有していればよく、光合分波部２０から出射される光信号を受光素子で受けて電子回路部４０と電気信号を送受信を行う。また、光能動素子部３０は、光モジュール１００が送信モジュールとして構成される場合には、少なくとも発光素子を有していればよく、この発光素子が、電子回路部４０から送られた電気信号を光信号に変換して、光合分波部２０に向けて出射する。なお、光モジュール１００をトランシーバモジュールとして構成する場合には、光合分波部２０と光軸が適合する一対の受光素子及び発光素子を設けることができる。そして、光モジュール１００をトランシーバモジュールとして構成する場合には、発光素子としての半導体レーザーは、面発光型のものが好ましい。かかる面発光型の半導体レーザーであれば、同一の半導体基板上においてフォトダイオードとともに、アレイ化して形成することができるからである。
【００３４】
また、光能動素子部３０と電気的に接続されて電気信号のやり取りを行う電子回路部４０は、受光素子からの電気信号を増幅する増幅回路や発光素子への制御信号を生成する駆動回路などにより構成される。また、光能動素子部３０と電子回路部４０とは、図１（Ｂ）に示すように、筐体部１０の内部に設けられた配線部５０，５２を介して電気的に接続されている。これにより、光能動素子部３０と電子回路部４０を実装して電気的に接続するための配線スペースを収容空間１５内に予め用意する必要が無いため、さらなるモジュールの小型化を達成することができる。
【００３５】
以上に述べた本実施の形態に係る光モジュール１００によれば、２次元フォトニック結晶構造を用いて光信号を合波あるいは分波することにより、干渉フィルタや回折格子などを用いる場合に比べて十分に短い光路長で分波あるいは合波することが可能であり、モジュールを小型化することができる。
【００３６】
また、上述した光モジュール１００では、筐体部１０、スリーブ１１、及び光合分波部２０を、を例えば、スタンパなどを用いて型押しすることにより、一体的に形成することができる。より具体的には、例えば、熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂を材料として、かかる樹脂材料を所与の基体の上に塗布し、樹脂材料の塗布膜をスタンパで押圧しながら、熱や紫外線により硬化させて、硬化した樹脂の表面に所定のパターンで筐体部１０、スリーブ１１、及び光合分波部２０が一体的に形成される。かかる型押しの手法を用いる際には、スタンパを所与の金属体（例えば、Ｎｉ）などの表面にフォトリソグラフィー技術や電子線描画法などを用いてパターニングすることにより形成することができる。このように、型押しの手法を用いれば、同一パターンを容易に再現することができるため、スリーブ１１と光合分波部２０との光軸調整を光モジュール１００の生産のたびに個々のモジュールごとに行うといった作業が不要となる。また、スタンパを形成するためのフォトリソグラフィー技術や電子線描画法は、サブミクロンオーダーでの加工が可能であるため、これらの技術を用いて型押し用のパターンを形成すれば、スリーブ１１と光合分波部２０との間で非常に精度の高い光軸調整が可能である。このため、本実施の形態の光モジュール１００によれば、生産効率を向上させることができ、低コストでのモジュールの生産が実現可能となる。
【００３７】
（参考例）
図３（Ａ）は、本実施の形態の参考例に係る光モジュール１１０を模式的に示す平面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のａ−ａ´断面図を示している。また、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）のｂ−ｂ´断面図を示している。
【００３８】
本例に係る光モジュール１１０では、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示されるように、光合分波部２０を構成する２次元フォトニック結晶領域２１がスラブ（薄板）により形成され、図３（Ａ）及び図３（Ｃ）に示されるように、このスラブが収容空間１５内に筐体部１０と一体的に形成された支持部１８により支持されたエアギャップ構造を有する。この支持部１８は、スリーブ１１から光合分波部２０を経て光能動素子部３０に至るまでの光路を遮らないように設けることが肝要である。この構成によれば、２次元フォトニック結晶領域２１の上下は空気により低屈折率とすることができるため、スラブと空気によりコアとクラッドの関係となるため、２次元フォトニック結晶領域２１の面と交差する方向に確実に光を閉じ込めることができる。また、この光モジュール１１０においても、２次元フォトニック結晶領域２１により光を合波あるいは分波する構成とされているので、干渉フィルタや回折格子などを用いる場合に比べて十分に短い光路長で分波あるいは合波することが可能であり、モジュールを小型化することができる。
【００３９】
［第２の実施形態］
図４は、本発明の第２の実施形態に係る光モジュール１２０を模式的に示す平面図である。なお、第１の実施形態で説明したものと実質的に同一の機能を有する部材には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００４０】
本実施の形態に係る光モジュール１２０は、光合分波部２０の２次元フォトニック結晶領域２１の上に形成された高屈折率膜２４が、線状に形成されており、その下部に相当する部分において２次元フォトニック結晶領域２１内における光信号用の光路を形成して分波光あるいは合波光の入出射方向を制御している。これは、２次元フォトニック結晶領域２１が有するフォトニックバンド構造が上部に高屈折率膜２４の形成された領域において光を通過させやすくなるように変化していることによるものである。従って、このように２次元フォトニック結晶領域２１の上に線状に高屈折率膜を形成した光合分波部２０においては、その内部における光路を任意に設定することができるため、例えば、図４に示すように光信号を入射端面と対向していない端面から出射させるような構成を採用すれば、光能動素子部３０の位置を筐体部１０の収容空間１５内において実装しやすい位置に配置することが可能となる。
【００４１】
また、本実施の形態に係る光モジュール１２０では、光学系部材ではない電子回路部４０を筐体部１０の外周面に配置して、筐体部の１０の側壁に貫通電極部５４を形成して光能動素子部３０との電気的接続を実現している。このようにすれば、電子回路部４０の収容スペースを筐体部１０の収容空間１５内に用意する必要がないため、収容空間１５のコンパクト化を図ることができる。
【００４２】
［第３の実施形態］
図５（Ａ）は、本発明の第３の実施形態に係る光モジュール１３０を模式的に示す平面図である。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のａ−ａ´断面図を示しており、図５（Ｃ）は、図５（Ａ）のｂ−ｂ´断面図を示している。なお、第１の実施形態で説明したものと実質的に同一の機能を有する部材には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００４３】
本実施の形態に係る光モジュール１３０では、図５（Ｂ）に示すように、光合分波部２０において２次元フォトニック結晶領域２１の面と交差する方向に対して光信号を入出射可能に設けて、光能動素子部３０を光合分波部２０の上部に配置した構成を採用する。かかる場合において、光能動素子部３０と電子回路部４０とは、例えば、ワイヤボンディングなどにより金属線５６を用いて電気的に接続することができる。このとき、光能動素子部３０は、光合分波部２０において２次元フォトニック結晶領域２１と一体的に形成された支持部２６に支持されて２次元フォトニック結晶領域２１の上部に配置される。この支持部２６についても、２次元フォトニック結晶領域２１と同様に型押しの手法で形成することができる。
【００４４】
また、光能動素子部３０を光合分波部２０の上に配置する構成としては、図６に示すように、光合分波部２０の２次元フォトニック結晶領域２１の上に、第１の実施形態における光合分波部２０と同様の高屈折率膜２４を設けて、かかる高屈折率膜２４を接着層として、その上に光能動素子部３０を配置する構成としてもよい。
【００４５】
なお、本実施の形態に係る光モジュール１３０においては、光合分波部２０と光能動素子部３０との間の光の結合を担保するためには、例えば、図５の（Ｂ）に示すように、２次元フォトニック結晶領域２１の屈折率変化領域２２の一部の形状を異なるものとした点欠陥２３を設けて、かかる点欠陥２３により所定の波長帯の光を入出射可能にすることができる。より具体的には、以下に説明するように２次元フォトニック結晶領域２１を構成すればよい。
【００４６】
図７（Ａ）及び図７（Ｂ）は、点欠陥２３が設けられた光合分波部２０における２次元フォトニック結晶領域２１を示すものである。
【００４７】
まず、図７（Ａ）では、２次元フォトニック結晶領域２１内の光路を形成するために屈折率変化領域２２の配列が線状に抜き取られたような構造を有する線欠陥２５を設けて、これに導波機能を持たせている。そして、線欠陥２５の近傍に屈折率変化領域２２の形状や大きさを変化させた点欠陥２３ａ〜２３ｄが設けられている。この点欠陥２３ａ〜２３ｄは、それぞれ形状や大きさを異なるものとすることにより、各点欠陥２３ａ〜２３ｄの形状や大きさに応じて異なる波長帯の光を捕獲するように形成することができる。そして、この点欠陥２３は、線欠陥２５を通過する光から所定の波長帯の光を捕獲して２次元フォトニック結晶領域２１の面と交差する方向に光を放出し、外部からの光のうち所定の波長帯の光を捕獲して線欠陥２５内に導入させることができる。そして、２次元フォトニック結晶領域２１に点欠陥２３を設けた構成を採用する場合には、光能動素子部３０に含まれる複数の受光素子あるいは発光素子は、点欠陥２３の上部に対応して配置されることにより、光合分波部２０と光能動素子部３０とを立体的に重ねて配置しても両者の間で光信号のやり取りを行うことができる。
【００４８】
また、２次元フォトニック結晶領域２１においては、図７（Ｂ）に示されるように、線欠陥の上に線状の高屈折率膜２４を形成してもよい。かかる場合においても、点欠陥２３は、高屈折率膜２４の下部に形成される光信号の光路から光信号を捕獲して放出し、外部から捕獲した光信号を高屈折率膜２４の下部に形成される光路内に導入することができる。
【００４９】
以上に述べたように、本実施形態の光モジュール１３０によれば、光合分波部２０と光能動素子部３０とを立体的に重ねた構造を採用することができるため、光能動素子部３０を実装する際の作業性が向上し、さらに筐体部１０の収容空間１５をコンパクトにすることができるので、モジュール全体の小型化を図ることができる。
【００５０】
以上、本発明に好適な実施の形態について述べたが、本発明は、上述した態様に限られるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形態様により実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態に係る光モジュールを示す図。
【図２】第１の実施形態に係る光モジュールの２次元フォトニック結晶領域を説明するための図。
【図３】第１の実施形態の参考例に係る光モジュールを示す図。
【図４】第２の実施形態に係る光モジュールを示す図。
【図５】第３の実施形態に係る光モジュールを示す図。
【図６】第３の実施形態に係る光モジュールの変形例を示す図。
【図７】第３の実施形態に係る光モジュールの２次元フォトニック結晶領域を説明するための図。
【符号の説明】
１００  光モジュール、１０  筐体部、１１  スリーブ、１２  レンズ部、１５収容空間、２０  光合分波部、２１  ２次元フォトニック結晶領域、２２  屈折率変化領域、２４  高屈折率膜、３０  光能動素子部、４０  電子回路部、５０、５２  配線部
【図１】
2004354453.tif 000003
【図２】
2004354453.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004354453.tif 000006
【図５】
2004354453.tif 000007
【図６】
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【図７】
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