(57)【要約】【課題】効率的な加熱及び冷却を行ない、加熱及び冷却に要する時間を短縮することが可能な加熱冷却装置を提供する。【解決手段】被温調物体（１２）の温度調整を行なう加熱冷却装置において、被温調物体（１２）に近接させた温調側電極（１７）、温調側電極（１７）に一側端部を接触させた熱電素子（１８，１９）、及び熱電素子（１８，１９）の他側端部に接触した吸放熱側電極（２０）を有する熱電モジュール（２１）と、熱電素子（１８，１９）の側面に冷却風（１６）を当てて冷却する冷却ファン（１５）などの冷却機構とを備え、前記冷却機構を、被温調物体（１２）を冷却する際には動作させ、被温調物体（１２）を加熱する際には止めるようにしたことを特徴とする加熱冷却装置及びこの加熱冷却装置を用いて被温調物体（１２）の温調を行なう温度調整方法。【選択図】　図１
2004012091.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被温調物体（１２）の温度調整を行なう加熱冷却装置において、
被温調物体（１２）に近接させた温調側電極（１７）、温調側電極（１７）に一側端部を接触させた熱電素子（１８，１９）、及び熱電素子（１８，１９）の他側端部に接触した吸放熱側電極（２０）を有する熱電モジュール（２１）と、
熱電素子（１８，１９）の側面を冷却する冷却機構とを備えたことを特徴とする加熱冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載の加熱冷却装置において、
前記冷却機構が、熱電素子（１８，１９）の吸放熱側電極（２０）側の端部から、温調側電極（１７）側の端部に向けて絶縁性流体を流す流体駆動装置であることを特徴とする加熱冷却装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の加熱冷却装置において、
吸放熱側電極（２０）と被温調物体（１２）との間に、被温調物体（１２）の温度分布を均一化する均熱板（２４）を設けたことを特徴とする加熱冷却装置。
【請求項４】
熱電モジュール（２１）によって被温調物体（１２）の温度調整を行なう温度調整方法において、
冷却時には熱電素子（１８，１９）の側面を冷却し、加熱時には冷却しないようにするとともに、
冷却時に、被温調物体（１２）が目標の冷却温度（Ｔ１）から所定温度範囲外の場合には熱電素子（１８，１９）の側面を冷却し、被温調物体（１２）が目標の冷却温度（Ｔ１）から所定温度範囲内に近づくと、熱電素子（１８，１９）の側面への冷却を鈍化又は停止するようにしたことを特徴とする温度調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被温調物体の温度調整を行なう加熱冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、熱電モジュールを用いてウェハなどの被温調物体の温度を制御する加熱冷却装置が知られている。
図１９は、従来技術に係る加熱冷却装置の正面図を示しており、以下図１９に基づいて従来技術を説明する。
図１９において、例えばポリイミドなどの樹脂フィルムからなる載置ベース１４上には突起１３が設けられ、突起１３上にはウェハなどの被温調物体１２が搭載されている。
樹脂フィルムの下部には、熱電モジュール２１の温調側電極１７が接触している。熱電モジュール２１は、ｐ型熱電素子１８とｎ型熱電素子１９とを交互に配設し、その上部同士及び下部同士を、温調側電極１７及び吸放熱側電極２０で、それぞれ接続したものである。吸放熱側電極２０の下部には、放熱ベース３５が固定され、放熱ベース３５には放熱フィン３４が接触している。
【０００３】
熱電素子１８，１９に、所定の１方向（以下、加熱方向と言う）に電流を通電することにより、温調側電極１７が昇温され、被温調物体１２を加熱する。このとき、吸放熱側電極２０は周囲環境の熱を吸い上げるため、吸熱の役目を果たしている。
また、熱電素子１８，１９に、加熱方向とは逆の方向（以下、冷却方向と言う）に電流を流すことにより、温調側電極１７が冷却され、被温調物体１２を冷却する。このとき、放熱フィン３４にその下方に配置された冷却ファン１５から冷却風１６を吹きつけることにより、被温調物体１２から熱電モジュール２１が奪った熱を、吸放熱側電極２０を介して外気に放出する。
【０００４】
また他の従来技術によれば、図２０に示すように、放熱フィン３４及び冷却ファン１５の代わりに、密封型の水冷ジャケット３６を放熱ベース３５に接触させ、その内部に冷却水や代替フロンなどの冷却流体３７を流している。これにより、吸放熱側電極２０を冷却し、被温調物体１２の冷却を行なっている。
【０００５】
図２１に、加熱／冷却サイクルの一例をグラフで示す。横軸が時間ｔであり、縦軸が載置ベース１４の温度Ｔである。
図２１に示すように、まず時刻ｔ０に、被温調物体１２を載置ベース１４に載置する。このとき、載置ベース１４は、予め冷却温度Ｔ１（例えば７０度）に保持されている。時刻ｔ１から加熱を開始し、時間Δｔ１が経過して時刻ｔ２に載置ベース１４が加熱温度Ｔ２（例えば１４０度）まで到達すると、載置ベース１４を加熱温度Ｔ２で所定の高温保持時間Δｔ２だけ保持する。
そして時刻ｔ３に冷却を開始し、時間Δｔ３が経過して時刻ｔ４に被温調物体１２が冷却温度Ｔ１に到達すると、冷却温度Ｔ１で所定の低温保持時間Δｔ４だけ保持する。
そして時刻ｔ５に、加熱及び冷却を終えた被温調物体１２を載置ベース１４から除去し、時刻ｔ６に、新たな被温調物体１２を載置ベース１４に載せて、同様の加熱／冷却を行なうようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来技術には、次に述べるような問題がある。
例えば、被温調物体１２がウェハであるような場合に、加熱／冷却の１サイクルに要する時間を短縮することにより、単位時間あたりのウェハの製造量を増加したいという要望がある。
図２１に示した加熱／冷却サイクルにおいて、高温保持時間Δｔ２及び低温保持時間Δｔ４は予め定められており、変えることは難しい。従って、加熱／冷却の１サイクルに要する時間を短縮するためには、加熱に要する加熱時間Δｔ１及び冷却に要する冷却時間Δｔ３の少なくともいずれか一方を短縮させる必要がある。
また、ウェハ上で生じる化学反応を正確に制御するためにも、ウェハが加熱温度Ｔ２及び冷却温度Ｔ１以外の温度状態にある、加熱時間Δｔ１及び冷却時間Δｔ３を、なるべく短縮することが望ましい。
【０００７】
熱電モジュール２１は、加熱方向に電流を流すことにより、吸放熱側電極２０の熱を奪って温調側電極１７へ移動させ、被温調物体１２の加熱を行なう。
ところが、前記従来技術によれば、吸放熱側電極２０には放熱フィン３４や冷却ジャケット３６が接触しているため、吸放熱側電極２０の熱容量が大きなものとなっている。その結果、吸放熱側電極２０の熱を短時間で奪うことが困難となっている。
【０００８】
また冷却時には、温調側電極１７の熱を奪って吸放熱側電極２０へ移動させることにより、被温調物体１２の冷却を行なう。このとき、吸放熱側電極２０の熱を、冷却フィン３４や冷却ジャケット３６を介して放熱させることになるが、吸放熱側電極２０と冷却フィン３４や冷却ジャケット３６との接触面積が小さく、効率的な冷却を行なうことが難しい。また、両者の間に絶縁のためのグリース等を介在させなければならないため、伝熱効率が低下して、冷却のために大きな電流を流さなければならなくなる。
【０００９】
即ち、従来技術においては、加熱時間Δｔ１又は冷却時間Δｔ３を短縮することはいずれも困難であり、そのためには大電流を流す必要があるという問題がある。
さらには、冷却時においては、被温調物体１２の温度を正確に冷却温度Ｔ１にする必要があるが、冷却フィン３４や冷却ジャケット３６の熱容量が大きいために、冷却が止まらずに被温調物体１２温度が冷却温度Ｔ１より下がるオーバーシュートが起きることがある。
本発明は、上記の問題に着目してなされたものであり、効率的な加熱及び冷却を行ない、加熱及び冷却に要する時間を短縮することが可能な加熱冷却装置を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、本発明は、
被温調物体の温度調整を行なう加熱冷却装置において、
被温調物体に近接させた温調側電極、温調側電極に一側端部を接触させた熱電素子、及び熱電素子の他側端部に接触した吸放熱側電極を有する熱電モジュールと、
熱電素子の側面を冷却する冷却機構とを備えている。
これにより、吸放熱側電極に加えて、熱電素子の側面からも熱が放熱されるので、冷却時の効率が向上する。
【００１１】
また本発明は、
前記冷却機構が絶縁性流体を流す流体駆動装置であり、
流体駆動装置は、熱電素子の側面に絶縁性流体を供給することにより、熱電素子の側面を冷却している。
これにより、熱電素子の側面と絶縁性流体とが接触して熱が奪われるので、効率の良い放熱が可能である。
【００１２】
また本発明は、
前記絶縁性流体が液体である。
例えば、揮発性冷媒などを用いることにより、熱電素子の側面から絶縁性流体放熱効率が熱を効率的に奪うことができる。
【００１３】
また本発明は、
前記絶縁性流体が気体である。
気体を用いることにより、液体を回収するための設備などの手間が不要であり、簡単な構成によって効率の良い冷却を実現可能である。
【００１４】
また本発明は、
前記流体駆動装置が、冷却風を熱電素子の側面に流す送風機である。
送風機のみによって冷却を行なうことができ、装置の構成が簡単になる。
【００１５】
また本発明は、
前記冷却機構が、熱電素子の吸放熱側電極側の端部から、温調側電極側の端部に向けて絶縁性流体を流す流体駆動装置である。
これにより、他の熱電素子を通って温まった絶縁性流体ではなく、新鮮で冷たい絶縁性流体がすべての熱電素子に略一様に当たるので、冷却効率が向上し、かつすべての熱電素子が略同一の冷却能力を備える。
【００１６】
また本発明は、
吸放熱側電極と被温調物体との間に、被温調物体の温度分布を均一化する均熱板を設けている。
均熱板により、各熱電素子間の熱が均一化され、被温調物体を均一に温調することができる。
さらには、冷却風などが被温調物体に直接当たらず、被温調物体の温度が乱されることなく、均一な冷却又は加熱が可能である。
【００１７】
また本発明は、
前記冷却機構を、被温調物体を冷却する際にのみ動作させている。
これにより、加熱時には熱電素子が冷却されないので、素早く温度を上げることが可能となる。
【００１８】
また本発明は、熱電モジュールによって被温調物体の温度調整を行なう温度調整方法において、
冷却時には熱電素子の側面を冷却し、加熱時には冷却しないようにしている。
これにより、冷却時間及び加熱時間の両方が短縮される。
【００１９】
また本発明は、
冷却時には熱電素子の側面を冷却し、加熱時には冷却しないようにするとともに、
冷却時に、被温調物体が目標の冷却温度から所定温度範囲外の場合には熱電素子の側面を冷却し、被温調物体が目標の冷却温度から所定温度範囲内に近づくと、熱電素子の側面への冷却を鈍化又は停止するようにしている。
これにより、被温調物体の温度を、正確に目標値に合わせることが可能である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照しながら、本発明に係る実施形態を詳細に説明する。
まず、第１実施形態を説明する。図１は、第１実施形態に係る加熱冷却装置１１の正面図を示している。図１において、例えばポリイミドなどの樹脂フィルムからなる載置ベース１４上には突起１３が設けられ、突起１３上にはウェハなどの被温調物体１２が搭載されている。
載置ベース１４の下部には、熱電モジュール２１の温調側電極１７が接触している。熱電モジュール２１は、ｐ型熱電素子１８とｎ型熱電素子１９とを交互に配設し、その上端部同士及び下端部同士を、温調側電極１７及び吸放熱側電極２０で、それぞれ接続したものである。
【００２１】
加熱冷却装置１１は、熱電素子冷却機構として、熱電素子１８，１９の側面（上端部及び下端部以外の面を側面と総称する）に冷却風１６を当てる冷却ファン１５を備えている。冷却ファン１５は、コントローラ２２の指示に基づいて、風量を変更自在となっている。
被温調物体１２を冷却する場合には、コントローラ２２は冷却ファン１５を駆動させ、熱電素子１８，１９の間に図１中右向きに冷却風１６を流す。冷却風１６の一部は、熱電素子１８，１９の間を通り抜けて熱電モジュール２１の右方へ出射し、一部は吸放熱側電極２０の間から図１中下方へ出射する。
これにより、被温調物体１２から奪われた熱が、熱電モジュール２１の側面及び吸放熱側電極２０から、冷却風１６によって周囲環境に放熱される。加熱冷却装置１１は、電流線２５を介して熱電素子１８，１９に電流を流すことにより、温調側電極１７を介して、被温調物体１２を所定のサイクルで加熱／冷却する。載置ベース１４の上面又は下面には、温度センサ２３が付設され、コントローラ２２は、その出力信号に基づいて被温調物体１２の温度を検出することが可能である。
【００２２】
図２に、図２１に示したような加熱／冷却サイクルに基づいて、被温調物体１２を加熱／冷却する際のフローチャートを示す。まず時刻ｔ０において、被温調物体１２を載置ベース１４上に載置する（ステップＳ１０）。上述したように、載置ベース１４は、予め冷却温度Ｔ１（例えば７０度）に保持されている。
時刻ｔ１に、コントローラ２２は、熱電素子１８，１９に対し、所定の１方向（以下、加熱方向と言う）に電流を通電する（ステップＳ１１）。これにより、温調側電極１７が昇温され、被温調物体１２が加熱される。このとき、冷却ファン１５は停止している。
時刻ｔ２に被温調物体１２が加熱温度Ｔ２に到達すると（ステップＳ１２）、コントローラ２２は加熱方向に流す電流を減少させ、被温調物体１２を加熱温度Ｔ２で保持する（ステップＳ１３）。
【００２３】
そして、高温保持時間Δｔ２が経過して時刻ｔ３になると（ステップＳ１４）、コントローラ２２は電流の極性を逆転させ、加熱方向とは逆の方向（以下、冷却方向と言う）に電流を流す（ステップＳ１６）とともに、冷却ファン１５を駆動する（ステップＳ１７）。これにより、温調側電極１７の温度が下降し、これに伴って被温調物体１２が冷却される。
【００２４】
コントローラ２２は、被温調物体１２の温度が冷却温度Ｔ１に達すると（ステップＳ１８）、冷却ファン１５を停止する（ステップＳ１９）とともに、冷却方向に流す電流を減少させ、被温調物体１２を冷却温度Ｔ１で保持する（ステップＳ２１）。そして、低温保持時間Δｔ４が経過すると（ステップＳ２２）、被温調物体１２を載せ換え（ステップＳ２３）、加熱／冷却プロセスを終了する。
【００２５】
尚、上記のステップＳ１８、Ｓ１９において、冷却時に被温調物体１２の温度が冷却温度Ｔ１に達する前に、冷却ファン１５を停止するようにしてもよい。例えば、予め閾値を設けて、冷却温度Ｔ１からこの閾値内に入ると、冷却ファン１５を停止する。これにより、被温調物体１２の温度下降の速度を鈍化させ、より精度良く冷却温度Ｔ１に近づけることができる。
また、冷却ファン１５を即座に停止するのではなく、例えば冷却温度Ｔ１に近づくにつれて、徐々に風量を減らすようにしてもよい。このように、冷却ファン１５の風量を変えることにより、熱電モジュール２１の冷却能力を調整できる。
【００２６】
尚、例えば冷却温度Ｔ１が被温調物体１２の周囲の環境温度に近いような場合には、ステップＳ１９において冷却ファン１５を停止させず、ステップＳ２２において冷却温度Ｔ１を保持する間も、冷却ファン１５を止めないようにするのがよい。これは、冷却ファン１５を停止させると、熱電モジュール２１によって被温調物体１２を周囲の環境温度近傍に正確に熱制御するのが、困難となるためである。これにより、被温調物体１２を、周囲の環境温度に近い温度に、正確に温調することが可能となる。
【００２７】
以上説明したように第１実施形態によれば、熱電モジュール２１を用いた加熱冷却装置１１において、熱電素子１８，１９の側面に冷却ファン１５の冷却風１６を当てて冷却している。
これにより、吸放熱側電極２０のみならず、熱電素子１８，１９の側面からも、被温調物体１２から奪った熱が効率良く放熱される。さらには、冷却風１６が温調側電極１７からも、熱を奪う。その結果、冷却に要する冷却時間Δｔ３が短縮化され、被温調物体１２が速く冷却されるので、大電流を必要とせずに、加熱／冷却サイクルに要する時間が短縮される。
【００２８】
また、冷却風１６の風量を制御することにより、熱電モジュール２１の冷却能力を上げたり下げたりすることが可能である。即ち、加熱保持状態からは、冷却ファン１５の風量を上げることにより、急激に被温調物体１２を冷却することが可能である。また、冷却時に被温調物体１２が目標温度である冷却温度Ｔ１に近づいた場合には、例えば冷却ファン１５の風量を下げることにより、オーバーシュートを起こさずに精度良く被温調物体１２を冷却温度Ｔ１に近づけることができる。
さらには、例えば熱電素子１８，１９に流す電流を止め、冷却ファン１５のみを動かすことによっても、熱電素子１８，１９があたかも冷却フィンのような働きをして被温調物体１２を冷却することができ、冷却のエネルギー効率が良い。
【００２９】
また、吸放熱側電極２０に、熱容量の大きな水冷ジャケットや空冷フィンを接触させていないので、被温調物体１２を加熱する場合に、温調側電極１７の温度を短時間で上昇させることができる。しかも、水冷ジャケットや空冷フィンを介しての放熱が殆んどないので、被温調物体１２を、より高温まで加熱することが可能となっている。
【００３０】
図３に、第１実施形態に係る加熱冷却装置１１の、他の構成例を示す。図３において、熱電素子１８，１９はそれぞれ円柱状となっており、熱電素子１８，１９間を流れる冷却風１６の流れが、スムーズになって風量が増加する。これにより、冷却効率が向上する。
図４に、第１実施形態に係る加熱冷却装置１１の、他の構成例を示す。図４において、熱電素子１８，１９はそれぞれ平板状となっており、熱電素子１８，１９間を流れる冷却風１６の流れがスムーズになるとともに、熱電素子１８，１９の表面積が大きく、ここから熱が効率良く放出されて冷却効率が向上する。
さらには、吸放熱側電極２０を、平板状ではなく線材で構成するようにすれば、吸放熱側電極２０の熱容量が小さくなるので、吸放熱側電極２０から熱を容易に放熱させることができ、わずかな冷却風１６で効率的な冷却が可能となる。
【００３１】
図５に、第１実施形態に係る加熱冷却装置１１の、他の構成例を示す。図５において、冷却ファン１５は熱電モジュール２１の下端面（吸放熱側電極２０側面）から、冷却風１６を吹きつけるようになっている。
図１に示したように冷却風１６を横から当てるようにすると、上流側の熱電素子１８，１９はよく冷却されるが、下流側では冷却風１６の温度が上がって冷却能力が落ちるということがある。これに対して、熱電モジュール２１の下面から、冷却風１６を吹きつけることにより、各熱電素子１８，１９に対して略同一温度の冷却風１６を流せるので、冷却能力が均一化する。
尚、図５のような軸流式の冷却ファン１５は、中央部の風量が大きく、周辺部の風量が小さいため、中央部が、より強く冷却されることがある。冷却を均一にするためには、例えば複数の冷却ファン１５を備え、中央部と周辺部との風量を略均一化させるとよい。尚、図５においては、冷却風１６を下から吹きつけるようにしているが、吸込型の冷却ファン１５を用いて、冷却風１６を下に向けて吸い込むようにしてもよい。
【００３２】
また、図５のように冷却風１６が不均一になるような場合には、図６に示すように加熱冷却装置１１を、同心円状の複数の熱電モジュール２１Ａ〜２１Ｄで構成する。そして、個々の熱電モジュール２１Ａ〜２１Ｄに流す電流を、コントローラ２２でそれぞれ独立に制御する。
個々の熱電モジュール２１Ａ〜２１Ｄには、温度センサ２３Ａ〜２３Ｄが取り付けられており、コントローラ２２は、温度センサ２３Ａ〜２３Ｄの測定値に基づき、それぞれの熱電モジュール２１Ａ〜２１Ｄに流す電流量を制御することにより、均一な冷却を行なうようにしている。このような場合は、例えば熱電モジュール２１Ａに流れる冷却風１６の流量が多いため、過冷却となりがちであるので、熱電モジュール２１Ａに流す冷却方向の電流を減少させる。
【００３３】
また図７に示すように、複数の熱電モジュール２１Ａ〜２１Ｆを配置し、横方向から冷却ファン１５によって、冷却風１６を吸い込むようにしてもよい。例えば、冷却風１６の風量や温度が変わっても、温度センサ２３Ａ〜２３Ｆの出力信号に基づいてそれぞれの熱電モジュール２１Ａ〜２１Ｆに流す電流を制御することにより、略均一な冷却が可能である。
例えば、熱電モジュール２１Ｃに流れる冷却風１６が最も冷たいために、この部位が過冷却となりがちであるので、熱電モジュール２１Ｃに流す冷却方向の電流を減少させる。
即ち本実施形態は、複数の熱電モジュールと、これらの熱電モジュールに流す電流を個別に制御自在なコントローラを備えている。これにより、例えば冷却風の流れによって熱電モジュールの冷却能力に差が生じても、各熱電モジュールごとに電流量を制御することにより、均一な冷却が可能である。
【００３４】
図８に、冷却ファン１５の代わりに、例えば側面に複数の小孔２７を設けたチューブ２６を用いて、冷却風１６を熱電素子１８，１９の側面に吹きつける場合の構成例を示す。説明のために、温調側電極１７は省略する。
チューブ２６は、気体、例えば高圧空気の詰まった空気ボンベ２８に、コントローラ２２の指示に基づいて流量可変の可変流量バルブ２９を介して接続されている。コントローラ２２は、可変流量バルブ２９の開度を調整して冷却風１６の流量を変えることにより、冷却能力を制御できる。これにより、チューブ２６の長手方向に流量が略均一な冷却風１６を、熱電素子１８，１９に送ることができる。
【００３５】
尚、高圧空気源としては、空気ボンベ２８に限られるものではなく、例えばコンプレッサーなどでもよい。さらには空気に限らず、窒素やヘリウムなどを吹きつけてもよい。窒素は清浄であるから、ウェハが汚損されることがない。また、ウェハの周囲環境に酸素を含まないようにしたい場合に好適である。ヘリウムは熱伝導率が良好であるので、冷却効率が高いという利点がある。
或いは、チューブ２６から気体を吹きつけるのではなく、チューブ２６に排気ポンプなどを繋いで、この小孔２７から冷却風１６を吸い込むことにより、熱電素子１８，１９の側面に冷却風１６が当たるようにしてもよい。
また、このようなチューブ２６を用いる場合に、側方からではなく、下方から吹きつけたり吸い込んだりするようにしてもよい。
【００３６】
次に、第２実施形態を説明する。
図９に、第２実施形態に係る加熱冷却装置１１の構成図を示す。図９において加熱冷却装置１１は、被温調物体１２の温度を均一にするための、均熱板２４を備えている。
均熱板２４には、複数の開口部３０が設けられ、この開口部３０を熱電素子１８，１９が貫通している。開口部３０は、熱電素子１８，１９と略同一形状となっており、開口部３０の内周部に、熱電素子１８，１９の外周部がほぼ隙間なく接触するようになっている。
均熱板２４は、絶縁性でかつ良熱伝導性を有する材質、例えば窒化アルミ（ＡｌＮ）や、アルミニウムの表面にアルマイト処理のような絶縁処理を行なったものなどが好適である。
【００３７】
このように電気的に絶縁させた均熱板２４を、熱電素子１８，１９に熱的に接触させることにより、熱電素子１８，１９間で熱が互いに伝わり、均熱板２４に接触している部位同士の温度差が小さくなる。その結果、温調側電極１７の温度が均一化され、被温調物体１２を均一に加熱／冷却することが可能となっている。
このとき、開口部３０と熱電素子１８，１９との間に、熱伝導性の良好なグリース等を介在させると、両者の間の熱伝導性がさらに高まって、熱分布がより均一化される。
【００３８】
図１０に、第２実施形態に係る加熱冷却装置１１の、他の構成例を示す。図１０において、加熱冷却装置１１の均熱板２４は、温調側電極１７に接触している。これにより、温調側電極１７間で熱が伝わり、温調側電極１７の温度が均一化され、被温調物体１２を均一に加熱／冷却することが可能となっている。
或いは、温調側電極１７の一部又は全部を、均熱板２４の内部に埋め込むようにしてもよい。
さらには、冷却風１６が、熱電素子１８，１９の側面のより多くの面積に吹きつけられて熱を奪うので、冷却効率も向上する。
【００３９】
図１１に第２実施形態に係る加熱冷却装置１１の、他の構成例を示す。図１１において、均熱板２４には、熱電素子１８，１９の外周部よりも大きな複数の開口部３０が設けられ、この開口部３０を熱電素子１８，１９が貫通している。この場合は、均熱板２４は熱電素子１８，１９に接触しないので、絶縁物である必要はない。
これにより、冷却ファン１５によって冷却風１６を吹きつけた際に、冷却風１６が、載置ベース１４、被温調物体１２、又は温調側電極１７に当たって、被温調物体１２が不均一に冷却されたり冷え過ぎたりすることが少ない。
尚、図９や図１０に示したような加熱冷却装置１１においても、同様に冷却風１６は載置ベース１４、被温調物体１２、及び温調側電極１７に当たることが少なく、被温調物体１２の不均一な冷却や冷え過ぎを防止する効果がある。
【００４０】
尚、本実施形態は、冷却温度Ｔ１が７０度、加熱温度Ｔ２が１４０度といったように、いずれも周囲の環境温度よりも高い温度範囲で用いる場合に、特に有効である。
図１２に、熱電素子の温度分布の説明図を示す。均熱板２４近傍の温度をＴｋ、冷却風１６の温度（≒周囲の環境温度）をＴ０とする。このとき、図１２に示すように、Ｔ０＜Ｔ１＜Ｔｋであるから、温度Ｔｋよりも高くなっている熱電素子１８，１９の側面に、低温の冷却風１６が当たることにより、熱が奪われる。これにより、被温調物体１２は、好適に冷却される。
【００４１】
ところが、図１３に示すように、例えば冷却温度Ｔ１が５度など、冷却風１６の温度Ｔ０よりも低いような場合には、均熱板２４の温度Ｔｋ及び熱電素子１８，１９の側面の温度は、冷却風１６の温度Ｔ０とほぼ同じか、わずかに高い程度にまでしか冷却されることがない。そのため、冷却温度Ｔ１を保つためには、より大量の電流が必要となり、冷却効率が低下するとともに、冷却に要する時間が長期化する。
或いは、冷却温度Ｔ１が零下などになり、冷却風１６との温度差がさらに大きいような場合には、熱電素子１８，１９の側面は、吹きつける冷却風１６によって温められることになる。その結果、被温調物体１２の温度が上昇し、被温調物体１２を冷却温度Ｔ１にすることも困難となる。
【００４２】
次に、第３実施形態を説明する。
上記の各実施形態においては、熱電素子１８，１９及び吸放熱側電極２０を冷却する際に、大気を用いて行なっていたが、本実施形態においては、代替フロンなどの絶縁性の流体を用いて行なう。或いは、フロリナート（スリーエム社登録商標）や、ガルデン（アウジモント社登録商標）などの冷媒でもよい。
図１４に、第３実施形態に係る加熱冷却装置１１の構成例を示す。図１４において、熱電モジュール２１の下方には、絶縁性流体３２を噴水のように噴き上げて熱電モジュール２１に吹きつける、熱電素子冷却機構としての噴射装置３１が配置されている。冷却時には、この噴射装置３１から、絶縁性流体３２を熱電モジュール２１に吹きつけることにより、冷却風１６を流したときと同様に、冷却の時間を短縮することができる。このような場合においても、図９〜図１１に示したような均熱板は有効である。
【００４３】
図１５に、第３実施形態に係る加熱冷却装置１１の、他の構成例を示す。図１４において、吸放熱側電極２０及び熱電素子１８，１９の例えば長さの２分の１程度が、熱電素子冷却機構としての冷却槽３３に漬けられている。冷却槽３３の上部は開放され、冷却槽３３の内部には、絶縁性流体３２が入っている。冷却時には、絶縁性流体３２を流しながら、熱電素子１８，１９に電流を冷却方向に流すことにより、冷却風１６を流したときと同様に、冷却の時間を短縮することができる。
また、加熱時には絶縁性流体３２を冷却槽３３の外部に出してしまうか、或いは冷却槽３３を引き下げるなどの方法により、吸放熱側電極２０に絶縁性流体３２を接触させないことにより、吸放熱側電極２０の熱容量が小さくなって、迅速な加熱が可能である。
【００４４】
図１６に、第４実施形態に係る加熱冷却装置１１の構成例を示す。図１６において、吸放熱側電極２０の下部には放熱フィン３４が設けられている。冷却時には、冷却ファン１５から図１６中上向きに冷却風１６を送ることにより、前記各実施形態と同様に熱電素子１８，１９の側面を冷却するばかりでなく、放熱フィン３４を介して、吸放熱側電極２０からの放熱をも高効率化することが可能となっている。
但しこの場合においては、図１９で説明した従来技術のように、加熱時に吸放熱側電極２０の熱容量が大きく、加熱に時間がかかるという課題については解決されていないが、上記各実施形態と同様に、冷却に要する時間を短縮できるという利点はある。
【００４５】
図１７に、第５実施形態に係る加熱冷却装置１１の構成例を示す。図１７において、吸放熱側電極２０の下部には、放熱ベース３５が固定され、放熱ベース３５には放熱フィン３４が接触している。そして、放熱フィン３４に冷却風１６Ａを送る第１冷却ファン１５Ａと、熱電素子１７，１８の側面に冷却風１６Ｂを送る第２冷却ファン１５Ｂとを備えている。
冷却開始時には、第１、第２冷却ファン１５Ａ，１５Ｂをいずれも駆動させ、放熱フィン３４及び熱電素子１８，１９の側面を両方冷却することにより、冷却効率を上げて冷却時間を短縮させる。或いは第１冷却ファン１５Ａのみを駆動してもよい。
また、冷却中に被温調物体１２の温度が周囲の環境温度よりも低くなった場合には、第２冷却ファン１５Ｂのみを停止させることにより、第２冷却ファン１５Ｂの冷却風１６Ｂが被温調物体１２に当たって被温調物体１２が温められることを防止する。或いは冷却温度Ｔ１が周囲の環境温度よりも低い場合には、最初から第２冷却ファン１５Ｂを停止させ第１冷却ファン１５Ａのみを用いて冷却してもよい。
【００４６】
図１８には、第５実施形態に係る加熱冷却装置１１の、他の構成例を示す。図１８においては、水冷ジャケット３６を放熱ベース３５に接触させて、水冷ジャケット３６を流れる冷却流体３７により、吸放熱側電極２０を冷却している。そして、熱電素子１７，１８の側面に冷却風１６を送る冷却ファン１５をも備えている。
これにより、図１７に示した構成例と同様に、冷却時には水冷ジャケット３６及び冷却ファン１５を用いて、吸放熱側電極２０及び熱電素子１７，１８の側面を冷却する。また、被温調物体１２の温度が周囲の環境温度よりも低くなった場合には、冷却ファン１５を停止させることにより、冷却ファン１５の冷却風１６が被温調物体１２に当たって被温調物体１２が温められることを防止する。
【００４７】
尚、本発明は、冷却温度Ｔ１が７０度、加熱温度Ｔ２が１４０度といったように、いずれも室温よりも高い温度範囲で用いる場合に、特に有効である。
即ち、冷却温度Ｔ１が例えば５度といった室温より低い温度の場合には、冷却風１６が被温調物体１２や載置ベース１４に当たると、冷却時にかえって温度が上昇してしまうようなことがある。これに対して、冷却温度Ｔ１が７０度のような場合には、冷却風１６が被温調物体１２や載置ベース１４に当たっても、冷却がさらに進行し、冷却時間Δｔ３が短縮される。
【００４８】
また本発明によれば、冷却ファン１５を熱電モジュール２１側から冷却風１６を吸い込むように動作させるとよい。これにより、熱電素子１８，１９間が周囲の圧力よりも低圧となるので、熱電素子１８，１９に付着していた微小なパーティクルが、周囲に吹き飛ばされることが少なく、ウェハなどの汚損が少ない。
【００４９】
本発明は、従来のように吸放熱側電極２０を通じて冷却するだけではなく、熱電素子１８，１９を直接冷却することにより、冷却効果をさらに向上させているものである。従って、熱電素子１８，１９の冷却効果を向上させるものであれば、上述したような実施形態に限られるものではなく、熱電素子１８，１９の側面のみならず他の場所を冷却してもよい。
尚、熱電素子１８，１９を直接冷却する際には、冷却効果が向上するだけの面積を冷却する必要がある。このとき例えば、４面あるすべての側面を冷却するという技術に限られるものではなく、側面のうち幾つかの面を冷却するものでもよい。或いは側面のうち、吸放熱側電極２０近傍の、例えば１割以上の面積を冷却することにより、冷却効果が向上するものであればそれでもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る加熱冷却装置の正面図。
【図２】被温調物体を加熱／冷却する際のフローチャート。
【図３】第１実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図４】第１実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図５】第１実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図６】第１実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図７】第１実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図８】第１実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図９】第２実施形態に係る加熱冷却装置の構成例を示す説明図。
【図１０】第２実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図１１】第２実施形態に係る加熱冷却装置の構成例を示す説明図。
【図１２】第２実施形態に係る熱電素子の温度分布の説明図。
【図１３】第２実施形態に係る熱電素子の温度分布の説明図。
【図１４】第３実施形態に係る加熱冷却装置の構成例を示す説明図。
【図１５】第３実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図１６】第４実施形態に係る加熱冷却装置の構成例を示す説明図。
【図１７】第５実施形態に係る加熱冷却装置の構成例を示す説明図。
【図１８】第５実施形態に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図１９】従来技術に係る加熱冷却装置の構成例を示す説明図。
【図２０】従来技術に係る加熱冷却装置の他の構成例を示す説明図。
【図２１】加熱／冷却サイクルの一例を示すグラフ。
【符号の説明】
１１：加熱冷却装置、１２：被温調物体、１３：突起、１４：載置ベース、１５：冷却ファン、１６：冷却風、１７：温調側電極、１８：ｐ型熱電素子、１９：ｎ型熱電素子、２０：吸放熱側電極、２１：熱電モジュール、２２：コントローラ、２３：温度センサ、２４：均熱板、２５：電流線、２６：チューブ、２７：小孔、２８：空気ボンベ、２９：可変流量バルブ、３０：開口部、３１：噴射装置、３２：絶縁性流体、３３：冷却槽、３４：放熱フィン、３５：放熱ベース、３６：水冷ジャケット、３７：冷却流体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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