(57)【要約】【課題】平面反射鏡の傾動により、平面反射鏡での反射光の進行方向を変化させる光偏向器に関し、低騒音で、広い角度範囲を高速スキャンできる、低コストの光偏向器を実現する。【解決手段】板厚方向に傾動可能に複数の傾動平面反射鏡１１，１２を平板１上に形成する。これら傾動平面反射鏡１１，１２に対向するように対向平面反射鏡２０を設ける。傾動平面反射鏡１１，１２は、図示しない駆動手段により、時計方向および反時計方向に傾動される。第１の傾動平面反射鏡１１に入射した光Ｌｉ１は、そこで反射後、対向平面反射鏡２０に入射し、そこでの反射光が第２の傾動平面反射鏡１２に入射する。そして、第２の傾動平面反射鏡１２で最後に偏向された反射光が、出射光となる。【選択図】      図１
2004272044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一平板上に板厚方向に傾動可能に複数形成され、かつ各傾動中心軸が平行である傾動平面反射鏡と、
該傾動平面反射鏡に対向して配置された対向平面反射鏡と、
複数の前記傾動平面反射鏡を傾動させる駆動手段と、
を有し、
光源からの入射光を、前記傾動平面反射鏡と前記対向平面反射鏡との間で往復させることにより、複数の前記傾動平面反射鏡に順次入射させ、最後の反射光を出射光とする光偏向器。
【請求項２】
前記駆動手段として、偏向角の拡大を、複数の前記傾動平面反射鏡を同期して同方向に傾動させることにより行うものを用いたことを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
【請求項３】
同一平板上に板厚方向に傾動可能に複数形成され、かつ各傾動中心軸が平行である傾動平面反射鏡と、
該傾動平面反射鏡に対向して配置され、前記傾動平面反射鏡の傾動中心軸と平行な軸を中心に傾動可能な対向平面反射鏡と、
複数の前記傾動平面反射鏡および前記対向平面反射鏡を傾動させる駆動手段と、
を有し、
光源からの入射光を、前記傾動平面反射鏡と前記対向平面反射鏡との間で往復させることにより、複数の前記傾動平面反射鏡および前記対向平面反射鏡に順次入射させ、最後の反射光を出射光とする光偏向器。
【請求項４】
前記駆動手段として、偏向角の拡大を、複数の前記傾動平面反射鏡を同期して同方向に傾動させ、前記対向平面反射鏡を前記傾動平面反射鏡と逆方向に傾動させることにより行うものを用いたことを特徴とする請求項３記載の光偏向器。
【請求項５】
複数の前記傾動平面反射鏡はフォト・リソグラフィー技術を用いて一括製作されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の光偏向器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面反射鏡の傾動により、平面反射鏡での反射光の進行方向を変化させる光偏向器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザプリンタ等では、レーザ光を偏向させて書き込みを行っているが、この場合の光偏向手段としては、回転多面鏡（ポリゴンミラー）が広く用いられている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−６７３７７公報（図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
プリンタでは高速印字の要望が高まっており、光偏向器としては高速スキャンの可能なものが要求されている。この要求を受け、現在は、回転多面鏡の回転シャフトを空気軸受で支持し、回転多面鏡を３万ｒｐｍ程度の速度で回転させるようにしたものがある。
【０００５】
しかし、回転多面鏡の場合、その回転数は限界に近づいており、より速い印字を実現することが難しくなっている。また、回転多面鏡では、高速回転を実現するため空気軸受によって回転シャフトを支持しているので、回転多面鏡を密閉容器内に入れることは可能であっても、真空状態や低圧状態の環境におくことは困難であり、回転鏡の回転による空気擾乱によって発生する騒音を小さくすることはできず、オフィス環境に適合しないという問題もある。さらに、コストが高いという問題もあった。
【０００６】
本発明はこれらの問題を解決しようとするもので、低騒音で、広い角度範囲を高速スキャンできる、低コストの光偏向器を実現することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明では、図１の原理図に示すように、平板１上に、板厚方向に傾動可能に複数（図１には、２つ例示）の傾動平面反射鏡１１，１２が形成されている。各傾動平面反射鏡１１，１２は、図１における時計方向および反時計方向に傾動できるように、その傾動中心軸Ｏ１，Ｏ２が、図１における背面方向に延び、かつ平行に配置されている。対向平面反射鏡２０は、これら傾動平面反射鏡１１，１２に対向するように設けられている。傾動平面反射鏡１１，１２は、図示しない駆動手段により、時計方向および反時計方向に傾動される。
【０００８】
この構成において、光源からの入射光は、傾動平面反射鏡１１，１２と対向平面反射鏡２０とで反射することにより、傾動平面反射鏡１１，１２に順次入射し、最後の反射光が光偏向器の出射光となる。すなわち、第１の傾動平面反射鏡１１に入射した光Ｌｉ１は、そこで反射後、対向平面反射鏡２０に入射し、そこでの反射光が第２の傾動平面反射鏡１２に入射する。そして、第２の傾動平面反射鏡１２で最後に偏向された反射光が、出射光となる。
【０００９】
ここで、各傾動平面反射鏡１１，１２が、それぞれΔθ１，Δθ２だけ回転（傾動）したとすると、第１の傾動平面反射鏡１１の反射光Ｌｏ１は、入射光Ｌｉ１に対して２×Δθ１だけ偏向され、さらに第２の傾動平面反射鏡１２の反射光Ｌｏ２は、その入射光Ｌｉ２に対して２×Δθ２だけ偏向される。このように各段の傾動平面反射鏡１１，１２を回転させることにより、各反射光は、各回転角Δθ１，Δθ２の２倍だけ偏向されるので、Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の傾動平面反射鏡を用いて上記のような系を構成した場合、最終段の傾動平面反射鏡での反射光は、最初の入射光Ｌｉ１  を、２×（Δθ１＋Δθ２＋……＋ΔθＮ）だけ偏向させたものとなり、大きな偏向角を得ることができる。
【００１０】
仮に、各傾動平面反射鏡の回転角が等しく、Δθである場合は、最終的な偏向角は、２×Ν×Δθとなるため、傾動平面反射鏡を複数段配置することにより、個々の傾動平面反射鏡の回転角Δθは小さくても最終的に大きな偏向角を得ることができる。よって、広い角度範囲をスキャンすることが可能となる。
【００１１】
また、個々の傾動平面反射鏡は、回転多面鏡の場合と比較して小さいので軽量化でき、高速スキャンが可能になるとともに消費電力も少なくなる。さらに、空気軸受等を用いる必要がないため、減圧あるいは真空容器内に密閉して使用でき、騒音を小さくできる。また、複数の傾動平面反射鏡を同一平板上に形成する構造のため、作製が容易であり、低コスト化が可能になる。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明中の駆動手段として、偏向角の拡大を、複数の傾動平面反射鏡を同期して同方向に傾動させることにより行うものを用い、広い角度範囲をスキャンできるようにしたものである。
【００１３】
請求項３に係る発明は、同一平板上に板厚方向に傾動可能に複数形成され、かつ各傾動中心軸が平行である傾動平面反射鏡と、該傾動平面反射鏡に対向して配置され、前記傾動平面反射鏡の傾動中心軸と平行な軸を中心に傾動可能な対向平面反射鏡と、複数の前記傾動平面反射鏡および前記対向平面反射鏡を傾動させる駆動手段と、を有し、光源からの入射光を、前記傾動平面反射鏡と前記対向平面反射鏡との間で往復させることにより、複数の前記傾動平面反射鏡および前記対向平面反射鏡に順次入射させ、最後の反射光を出射光とすることを特徴とするものである。
【００１４】
この発明は、図１を用いて説明すると、傾動平面反射鏡１１，１２だけでなく、対向平面反射鏡２０についても、傾動平面反射鏡１１，１２の傾動中心軸Ｏ１，Ｏ２と平行な軸を中心に傾動可能に構成し、請求項１に係る発明よりもさらに大きな偏向角を得るものである。
【００１５】
請求項４に係る発明は、請求項３に係る発明中の駆動手段として、偏向角の拡大を、複数の傾動平面反射鏡を同期して同方向に傾動させ、対向平面反射鏡を傾動平面反射鏡と逆方向に傾動させることにより行うものを用い、広い角度範囲をスキャンできるようにしたものである。
【００１６】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４に係る発明において、複数の傾動平面反射鏡をフォト・リソグラフィー技術を用いて一括製作することにより、小型軽量化および低コスト化を図ったものである。
【００１７】
【実施の形態】
（第１の実施の形態例）
図２〜図３を用いて、本発明の第１の実施の形態例を説明する。ここで、図２は本形態例の分解斜視図、図３は本形態例での駆動手段を示している。これらの図において、図１と対応する部分には同一符号を付している。まず、平板１上には、板厚方向に傾動可能に、矩形状の２つの傾動平面反射鏡１１，１２が形成されている。傾動平面反射鏡１１，１２は、上面が反射面１１ａ，１２ａとなっている。
【００１８】
傾動平面反射鏡１１の左右の側端中央部には、小幅のヒンジ部１３ａ，１３ｂが同軸上に位置するように形成されており、この部分が弾性的に捩れることにより傾動中心軸Ｏ１として機能し、傾動平面反射鏡１１の時計方向および反時計方向の傾動を実現している。同様に、傾動平面反射鏡１２の左右の側端中央部にも、小幅のヒンジ部１４ａ，１４ｂが同軸上に位置するように形成されており、この部分が弾性的に捩れることにより傾動中心軸Ｏ２として機能し、傾動平面反射鏡１２の時計方向および反時計方向の傾動を実現している。傾動中心軸Ｏ１，Ｏ２が平行になるように、ヒンジ部１３ａ，１３ｂとヒンジ部１４ａ，１４ｂは形成されている。
【００１９】
対向平面反射鏡２０は、これら傾動平面反射鏡１１，１２に対向するように設けられている。対向平面反射鏡２０の下面は、反射面２０ａを構成しており、傾動平面反射鏡１１，１２の反射面１１ａ，１２ａと対向している。反射面２０ａが傾動中心軸Ｏ１，Ｏ２と平行となるように、対向平面反射鏡２０は図示しない支持部材に固定されている。傾動平面反射鏡１１，１２の下方には、これらを時計方向および反時計方向に傾動するための駆動手段３が設けられている。
【００２０】
本形態例では、静電駆動方式の駆動手段３を用いている。すなわち、傾動平面反射鏡１１の裏面に、傾動中心軸Ｏ１を回動端側から挟むようにして、矩形状の移動電極１５ａ，１５ｂが間隔をおいて形成され、この移動電極１５ａ，１５ｂにそれぞれ対向するように、基板４の凹部平面４ａ内に、矩形状の固定電極５ａ，５ｂが形成されている。同様に、傾動平面反射鏡１２の裏面に、傾動中心軸Ｏ２を回動端側から挟むようにして、矩形状の移動電極１６ａ，１６ｂが間隔をおいて形成され、この移動電極１６ａ，１６ｂにそれぞれ対向するように、基板４の他の凹部平面４ｂ内に、矩形状の固定電極６ａ，６ｂが形成されている。
【００２１】
移動電極１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂと固定電極５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂとは、最大傾動時でも当接しない程度に接近されており、移動電極１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂと固定電極５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂに同一極性の電圧が印加されると、両者の間に反発力が作用し、逆に異極性の電圧が印加されると、吸引力が作用する。
【００２２】
この静電力は、対向する電極の対向面積および印加電圧値に比例し、電極間隔（電極ギャップ）に反比例するもので、傾動平面反射鏡１１，１２の回転駆動力となる。本形態例では、平板１と基板４とは接着されるため、電極間隔は、凹部平面４ａ，４ｂの深さとほぼ同じである。なお、移動電極１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂに繋がるリード線は、移動電極１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂと同時に傾動平面反射鏡１１，１２の裏面に成膜されており、ヒンジ部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを介して外方に導出されている。固定電極５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂに繋がるリード線も、固定電極５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂと同時に形成されている。
【００２３】
本形態例において、第１の傾動平面反射鏡１１に入射した光Ｌｉ１は、そこで反射後、対向平面反射鏡２０に入射し、そこでの反射光が第２の傾動平面反射鏡１２に入射する。そして、第２の傾動平面反射鏡１２で最後に偏向された反射光が、出射光となる。
【００２４】
ここで、各傾動平面反射鏡１１，１２が、それぞれΔθ１，Δθ２だけ回転（傾動）したとすると、第１の傾動平面反射鏡１１の反射光Ｌｏ１は、入射光Ｌｉ１に対して２×Δθ１だけ偏向され、さらに第２の傾動平面反射鏡１２の反射光Ｌｏ２は、その入射光Ｌｉ２に対して２×Δθ２だけ偏向される。このように各段の傾動平面反射鏡１１，１２を回転させることにより、各反射光は、各回転角Δθ１，Δθ２の２倍だけ偏向されるので、傾動平面反射鏡１２での反射光は、最初の入射光Ｌｉ１
を、２×（Δθ１＋Δθ２）だけ偏向させたものとなる。
【００２５】
そこで、傾動平面反射鏡１１，１２を同期して同方向に傾動させれば、Δθ１，Δθ２は同符号となり加算され、大きな偏向角を得ることができる。仮に、傾動平面反射鏡１１，１２の回転角が等しくΔθである場合は、最終的な偏向角は、４×Δθとなる。よって、広い角度範囲をスキャンすることが可能となる。
【００２６】
また、傾動平面反射鏡１１，１２は、回転多面鏡の場合と比較して小さいので軽量化でき、高速スキャンが可能になるとともに消費電力も少なくなる。さらに、空気軸受等を用いる必要がないため、減圧あるいは真空容器内に密閉して使用でき、騒音を小さくできる。また、傾動平面反射鏡１１，１２を同一平板上に形成する構造のため、作製が容易であり、低コスト化が可能になる。特に、傾動平面反射鏡１１，１２をフォト・リソグラフィー技術を用いて一括製作すれば、一層の小型軽量化および低コスト化を図れる。この場合において、平板１および基板４等の材料としては、たとえばシリコンを用い、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）により構成することができる。
【００２７】
上記形態例は、２つの傾動平面反射鏡１１，１２を用いたが、Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の傾動平面反射鏡を用いて上記のような系を構成すれば、最終段の傾動平面反射鏡での反射光は、最初の入射光Ｌｉ１  を、２×（Δθ１＋Δθ２＋……＋ΔθＮ）だけ偏向させたものとなり、より一層大きな偏向角を得ることができる。
（第２の実施の形態例）
図４および図５を用いて、本発明の第２の実施の形態例を説明する。これらの図において、図２および図３と対応する部分には同一符号を付している。本形態例では、傾動平面反射鏡１１，１２だけでなく、対向平面反射鏡についても、傾動平面反射鏡１１，１２の傾動中心軸Ｏ１，Ｏ２と平行な軸を中心に傾動可能に構成し、さらに大きな偏向角を得るようにしたものである。これらの図において、対向平面反射鏡は２つ設けられており、その対向平面反射鏡２１，２２は、平板２上に板厚方向に傾動可能に設けられ、下面の反射面２１ａ，２２ａは、傾動平面反射鏡１１，１２の反射面１１ａ，１２ａと斜め方向から対向している。
【００２８】
対向平面反射鏡２１の左右の側端中央部には、小幅のヒンジ部２３ａ，２３ｂが同軸上に位置するように形成されており、この部分が弾性的に捩れることにより傾動中心軸Ｏ３として機能し、対向平面反射鏡２１の時計方向および反時計方向の傾動を実現している。同様に、対向平面反射鏡２２の左右の側端中央部にも、小幅のヒンジ部２４ａ，２４ｂが同軸上に位置するように形成されており、この部分が弾性的に捩れることにより傾動中心軸Ｏ４として機能し、対向平面反射鏡２２の時計方向および反時計方向の傾動を実現している。
【００２９】
傾動中心軸Ｏ３，Ｏ４が平行になるように、ヒンジ部２３ａ，２３ｂとヒンジ部２４ａ，２４ｂは形成され、かつ、これら傾動中心軸Ｏ３，Ｏ４が傾動中心軸Ｏ１，Ｏ２と平行になるように、対向平面反射鏡２１，２２は図示しない支持部材に固定されている。また、図示しないが、傾動平面反射鏡１１，１２の下方には、図２および図３に示したような駆動手段が設けられ、対向平面反射鏡２１，２２の上方にも、同様な駆動手段が設けられている。
【００３０】
本形態例において、第１の傾動平面反射鏡１１に入射した光Ｌｉ１は、そこで反射後、第１の対向平面反射鏡２１に入射し、そこでの反射光が第２の傾動平面反射鏡１２に入射する。さらに、ここでの反射光が第２の対向平面反射鏡２２に入射する。そして、第２の対向平面反射鏡２２で最後に偏向された反射光が、出射光となる。
【００３１】
ここで、傾動平面反射鏡１１，１２が、それぞれΔθ１，Δθ２だけ回転（傾動）し、対向平面反射鏡２１，２２が、それぞれΔθ３，Δθ４だけ回転したとすると、第１の傾動平面反射鏡１１の反射光は、入射光Ｌｉ１に対して２×Δθ１だけ偏向され、第１の対向平面反射鏡２１の反射光は、その入射光に対して２×Δθ３だけ偏向され、第２の傾動平面反射鏡１２の反射光は、その入射光に対して２×Δθ２だけ偏向され、さらに第２の対向平面反射鏡２２の反射光は、その入射光に対して２×Δθ４だけ偏向される。このように各段の傾動平面反射鏡１１，１２および対向平面反射鏡２１，２２を回転させることにより、各反射光は、各回転角Δθ１，Δθ２，Δθ３，Δθ４の２倍だけ偏向されるので、最終段の対向平面反射鏡２２での反射光は、最初の入射光Ｌｉ１  を、２×（Δθ１＋Δθ２＋Δθ３＋Δθ４）だけ偏向させたものとなる。
【００３２】
そこで、傾動平面反射鏡１１，１２を同期して同方向に傾動させ、対向平面反射鏡２１，２２を傾動平面反射鏡１１，１２と逆方向に傾動させれば、Δθ１，Δθ２，Δθ３，Δθ４は同符号となり加算され、大きな偏向角を得ることができる。仮に、傾動平面反射鏡１１，１２および対向平面反射鏡２１，２２の回転角が等しくΔθである場合は、最終的な偏向角は、８×Δθとなる。よって、第１の実施の形態例よりも広い角度範囲をスキャンすることが可能となる。もちろん、第１の実施の形態例と同様な効果も得られる。
（第３の実施の形態例）
第１および第２の実施の形態例では、駆動手段として、静電駆動方式のものを用いたが、これ以外のものを用いてもよい。たとえば、圧電素子を駆動源とするものや電磁駆動方式のものを用いてもよい。
【００３３】
図６は電磁駆動方式の駆動手段を示す図で、図３と対応する部分には同一符号を付した。この構成は、傾動平面反射鏡１１に設けたものであるが、他の平面反射鏡にも同様に設けることができる。図において、傾動平面反射鏡１１の裏面には、傾動平面反射鏡１１と平行で傾動中心軸Ｏ１と直角に交差する方向に着磁されたマグネット７１が接着されている。また、このマグネット７１の着磁方向に直交するような磁束を発生するコイル７２が、図示しない支持部材に固定されている。このため、コイル７２に励磁電流を流すと、傾動平面反射鏡１１が電流方向に応じて矢印方向に傾動する。電磁駆動方式は、大きな回転駆動力を得るには有利であるが、可動部のイナーシャは大きくなる。
（その他の実施の形態例）
本発明は上記第１〜第３の実施の形態例に限定されるものではない。たとえば、傾動平板反射鏡や対向平板反射鏡の数は、上記の各実施例のものに限定されない。
【００３４】
また、上記各形態例において、平面反射鏡は可撓性部材（ヒンジ部）で回転可能に支持されるため、傾動平面反射鏡や対向平面反射鏡（回転するもの）等の可動部品全体を、最初の入射光と最後の反射光のための窓を設けた密封容器内に封入し、容器内を真空状態あるいは低圧状態にして使用することが可能である。
【００３５】
このようにすれば、平面反射鏡の回転による騒音を一層低減できるとともに、空気抵抗が無くなるので（低減するので）、一層の高速化も可能になる。ちなみに、回転多面鏡では、高速回転を実現するため空気軸受によって回転シャフトを支持しているので、回転多面鏡を密閉容器内に入れることは可能であっても、真空状態や低圧状態の環境におくことは困難であり、回転鏡の回転による空気擾乱によって発生する騒音を小さくできない。
【００３６】
光偏向器の応用においては、反射光を三角波状に偏向するといった要求がある。このような要求に対しては、各平面反射鏡の回転角を制御する必要があり、この制御を行うために、各平面回転鏡の回転角を検出する必要がある。回転角の検出法としては種々の方式が考えられるが、フォト・リソグラフィーに適合した方式として、平面回転鏡の傾動によってヒンジ部に弾性歪みが生じることを利用し、この歪みを検出する素子をヒンジ部に薄膜プロセスで形成する手段が、製作の簡便さから最も有利である。
【００３７】
図７はその検出構造（傾動平面反射鏡１１に適用したもの）を示している。図において、圧電材料を利用した２個の検出素子８１，８２は、固定部１３ｃとヒンジ部１３ｂの表面に跨って設けられている。各検出素子８１，８２は、圧電材料８１ａ，８２ａを上側電極８１ｂ，８２ｂと下側電極８１ｃ，８２ｃで挟んだ構造を有しており、たとえば図７の矢印方向に傾動平面反射鏡１１が回転した場合、図８に示すように検出素子８１，８２が撓み、これに伴う圧電材料８１ａ，８２ａの歪みにより、上側電極８１ｂ，８２ｂ・下側電極８１ｃ，８２ｃ間に電圧Ｖ１，Ｖ２が発生する。この電圧Ｖ１，Ｖ２の差分を求めることにより、傾動平面反射鏡１１の回転角に応じた信号を取り出すことができる。なお、上記検出素子８１，８２の代わりに、歪みにより抵抗値が変わる素子を貼り付け、抵抗値の変化から回転角を検出するようにも構成できる。
【００３８】
以下、本発明の主たる態様を付記として示す。
【００３９】
（付記１）  同一平板上に板厚方向に傾動可能に複数形成され、かつ各傾動中心軸が平行である傾動平面反射鏡と、
該傾動平面反射鏡に対向して配置された対向平面反射鏡と、
複数の前記傾動平面反射鏡を傾動させる駆動手段と、
を有し、
光源からの入射光を、前記傾動平面反射鏡と前記対向平面反射鏡との間で往復させることにより、複数の前記傾動平面反射鏡に順次入射させ、最後の反射光を出射光とする光偏向器。
【００４０】
（付記２）  前記駆動手段として、偏向角の拡大を、複数の前記傾動平面反射鏡を同期して同方向に傾動させることにより行うものを用いたことを特徴とする付記１記載の光偏向器。
【００４１】
（付記３）  同一平板上に板厚方向に傾動可能に複数形成され、かつ各傾動中心軸が平行である傾動平面反射鏡と、
該傾動平面反射鏡に対向して配置され、前記傾動平面反射鏡の傾動中心軸と平行な軸を中心に傾動可能な対向平面反射鏡と、
複数の前記傾動平面反射鏡および前記対向平面反射鏡を傾動させる駆動手段と、
を有し、
光源からの入射光を、前記傾動平面反射鏡と前記対向平面反射鏡との間で往復させることにより、複数の前記傾動平面反射鏡および前記対向平面反射鏡に順次入射させ、最後の反射光を出射光とする光偏向器。
【００４２】
（付記４）  前記駆動手段として、偏向角の拡大を、複数の前記傾動平面反射鏡を同期して同方向に傾動させ、前記対向平面反射鏡を前記傾動平面反射鏡と逆方向に傾動させることにより行うものを用いたことを特徴とする付記３記載の光偏向器。
【００４３】
（付記５）  複数の前記傾動平面反射鏡はフォト・リソグラフィー技術を用いて一括製作されていることを特徴とする付記１〜４の何れかに記載の光偏向器。
【００４４】
（付記６）  可動部品である前記傾動平面反射鏡と前記対向平面反射鏡の全体を、最初の入射光と最後の反射光のための窓を設けた密封容器内に封入し、容器内を真空状態あるいは低圧状態にしたことを特徴とする付記１〜５の何れかに記載の光偏向器。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１および２に係る発明では、傾動平面反射鏡を複数段配置したことにより、個々の傾動平面反射鏡の回転角は小さくても最終的に大きな偏向角を得ることができ、広い角度範囲をスキャンすることが可能となる。また、個々の傾動平面反射鏡は、回転多面鏡の場合と比較して小さいので軽量化でき、高速スキャンが可能になるとともに消費電力も少なくなる。さらに、空気軸受等を用いる必要がないため、減圧あるいは真空容器内に密閉して使用でき、騒音を小さくできる。また、複数の傾動平面反射鏡を同一平板上に形成する構造のため、作製が容易であり、低コスト化が可能になる。すなわち、本発明によれば、低騒音で、広い角度範囲を高速スキャンできる、低コストの光偏向器を実現できる。
【００４６】
請求項３および４に係る発明によれば、傾動平面反射鏡だけでなく、対向平面反射鏡についても傾動可能に構成したので、請求項１に係る発明よりもさらに大きな偏向角の光偏向器を実現できる。
【００４７】
請求項５に係る発明によれば、小型軽量化および低コスト化を図った光偏向器を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理図である。
【図２】請求項１に係る発明の実施の形態例を示す分解斜視図である。
【図３】図２に示した形態例の駆動手段を示す図である。
【図４】請求項３に係る発明の実施の形態例（主要部）を示す図である。
【図５】図４に示した形態例（主要部）の分解斜視図である。
【図６】電磁駆動方式の駆動手段を示す図である。
【図７】傾動平面反射鏡の回転角の検出構造を示す図である。
【図８】図７中の検出素子の変形状態を示す拡大図である。
【符号の説明】
１，２              平板
３                  駆動手段
４                  基板
４ａ，４ｂ          凹部平面
５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ    固定電極
１１，１２          傾動平面反射鏡
１１ａ，１２ａ        反射面
１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ    ヒンジ部
１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ    移動電極
２０，２１，２２    対向平面反射鏡
２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ    ヒンジ部
７１                マグネット
７２                コイル
８１，８２          検出素子
【図１】
2004272044.tif 000003
【図２】
2004272044.tif 000004
【図３】
2004272044.tif 000005
【図４】
2004272044.tif 000006
【図５】
2004272044.tif 000007
【図６】
2004272044.tif 000008
【図７】
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【図８】
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