(57)【要約】【課題】本発明は、高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させたゴム組成物からなるシール部材を提供する。【解決手段】シール部材は、平均直径が０．７〜５００ｎｍであって平均長さが０．０１〜１０００μｍであるカーボンナノファイバー及び球殻状炭素であるフラーレンの少なくとも一方を含有するゴム組成物によって形成される。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被シール部材間に挟圧されて液密にシールし、かつ該被シール部材と摺動可能に接触するシール部材において、
平均直径が０．７〜５００ｎｍであって平均長さが０．０１〜１０００μｍであるカーボンナノファイバー及び球殻状炭素であるフラーレンの少なくとも一方を含有するゴム組成物によって形成される、シール部材。
【請求項２】
請求項１記載のシール部材のいずれかにおいて、
前記カーボンナノファイバーおよび前記フラーレンを合わせて０．０１〜５０重量％含む、シール部材。
【請求項３】
請求項１または２記載のシール部材のいずれかにおいて、
前記カーボンナノファイバーは、イオン注入処理されている、シール部材。
【請求項４】
請求項１または２記載のシール部材のいずれかにおいて、
前記カーボンナノファイバーは、スパッタエッチング処理されている、シール部材。
【請求項５】
請求項１または２記載のシール部材のいずれかにおいて、
前記カーボンナノファイバーは、プラズマ処理されている、シール部材。
【請求項６】
請求項１〜５記載のシール部材のいずれかにおいて、
前記フラーレンは、カーボン６０とカーボン７０とを含み、
前記カーボン７０より前記カーボン６０が多く含有されている、シール部材。
【請求項７】
請求項１〜６記載のシール部材のいずれかにおいて、
前記ゴム組成物は、前記カーボンナノファイバー及び前記フラーレンの少なくとも一方の合成過程において得られる炭素及び炭素化合物を含有する、シール部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種産業において利用される複数の被シール部材間に挟圧されて液密にシールするシール部材に関するものであって、特にゴム組成物からなるシール部材に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来、シール部材は、パッキンやガスケットなどとも呼ばれ、複数例えば２つの被シール部材間に挟圧されてシール性能を発揮するゴム組成物からなるシール部材であって、例えば、油圧回路や空圧回路における密封性を維持するために各種産業で使用されている。シール部材は、シール部材と被シール部材との接触面において摺動する用途と、摺動しない静止状態の用途とがある。摺動する用途に使用されるシール部材は、例えば自動車のアンチロックブレーキシステムいわゆるＡＢＳのプランジャポンプにおいて、プランジャの溝に装着された弾性シール部材がある。この弾性シール部材は、ポンプハウジング内の油圧路内周面に摺動自在に接触する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
しかしながら、従来のゴム組成物からなるシール部材においては、圧力流体に対してシール性能を維持するため弾性率を高くするが、経年変化によってヘタリやすくなる。特に、接触面との間で摺動するシール部材においては、被シール部材間における食われや、摩擦による摩耗が発生するため、靭性や耐摩耗性の向上が必要である。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１１０７３７号公報（第１−４頁、図１−３）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させ、特に被シール部材の接触面との間で摺動するシール部材において、靭性と耐磨耗性を向上させたシール部材を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の第一の態様に係る複数の被シール部材間に挟圧されて液密にシールし、かつ該被シール部材と摺動可能に接触するシール部材においては、平均直径が０．７〜５００ｎｍであって平均長さが０．０１〜１０００μｍであるカーボンナノファイバー及び球殻状炭素であるフラーレンの少なくとも一方を含有するゴム組成物によって形成される。
【０００７】
本発明の第一の態様によれば、カーボンナノファイバー及びフラーレンの少なくとも一方を含有するゴム組成物によって形成することで、高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させることができる。さらに、摺動するシール部材に必要な靭性と耐磨耗性を向上させることができる。
【０００８】
ここで、本発明の第一の態様に係るシール部材においては、
前記カーボンナノファイバーおよび前記フラーレンを合わせて０．０１〜５０重量％含むことができる。
【０００９】
前記カーボンナノファイバーおよび前記フラーレンの割合が５０重量％を超えると、シール部材の弾性を十分確保できない場合があり、０．０１重量％未満であると、シール部材の放熱性を十分確保できない場合がある。なお、上記重量は、前記カーボンナノファイバーおよび前記フラーレンをそれぞれ単独で含有する場合は、前記カーボンナノファイバーおよび前記フラーレン単独の重量である。
【００１０】
ここで、本発明の第一の態様に係るシール部材においては、
前記カーボンナノファイバーは、イオン注入処理されていることができる。
【００１１】
このような構成とすることで、イオン注入されたカーボンナノファイバーは、少なくともその表面の化学的な組成が変ることで、シール部材を構成するゴム組成物とカーボンナノファイバーの接着性やヌレ性が改善され、高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させることができるとともに、カーボンナノファイバーのゴム組成物中における分散性が向上することで、全体に均質な性能を有することができる。
【００１２】
ここで、本発明の第一の態様に係るシール部材においては、
前記カーボンナノファイバーは、スパッタエッチング処理されていることができる。
【００１３】
このような構成とすることで、スパッタエッチング処理されたカーボンナノファイバーは、その表面に微細な凹凸を形成されるため、シール部材を構成するゴム組成物とカーボンナノファイバーの接着性やヌレ性が改善され、シール部材の高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させることができるとともに、カーボンナノファイバーのゴム組成物中における分散性が向上することで、全体に均質な性能を有することができる。
【００１４】
ここで、本発明の第一の態様に係るシール部材においては、
前記カーボンナノファイバーは、プラズマ処理されていることができる。
【００１５】
このような構成とすることで、プラズマ処理されたカーボンナノファイバーは、その表面に微細な凹凸を形成する等の表面改質されるため、シール部材を構成するゴムとカーボンナノファイバーの接着性やヌレ性が改善され、シール部材の高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させることができるとともに、カーボンナノファイバーのゴム組成物中における分散性が向上することで、全体に均質な性能を有することができる。
【００１６】
ここで、本発明の第一の態様に係るシール部材においては、
前記フラーレンは、カーボン６０とカーボン７０とを含み、
前記カーボン７０より前記カーボン６０が多く含有されていることができる。
【００１７】
このような構成とすることで、フラーレンの合成過程において、カーボン７０より多く合成されるカーボン６０を有効に利用することができる。特にフラーレンは、ゴム組成物中における分散性が高いため、シール部材全体で均質な特性を得ることができることができる。
【００１８】
ここで、本発明の第一の態様に係るシール部材においては、
前記ゴム組成物は、前記カーボンナノファイバー及び前記フラーレンの少なくとも一方の合成過程において得られる炭素及び炭素化合物を含有することができる。
【００１９】
このような構成とすることで、カーボンナノファイバー及びもしくはフラーレンの合成過程において、合成される不純物である炭素及び炭素化合物を有効に利用することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施の形態に係るプランジャポンプのシール部材を示す縦断面図である。図２は、本発明の一実施の形態のシール部材の断面図である。図３は、全方位型イオン注入装置の概略構成図であり、図４は、その回転テーブルの他の実施態様を示す一部断面図である。
【００２２】
本発明に係るシール部材は、シール部材と被シール部材との接触面において摺動する摺動部分に使用されるものであって、被シール部材間の液密シールを達成するゴム組成物によって成形される。本発明の一実施の形態に係る摺動部分に使用されるシール部材としては、例えば図１に示すようなプランジャポンプ１に使用されるシール部材１０，１２，がある。プランジャポンプ１は、アルミニウム製のポンプハウジング２内に形成された円筒状のカム室３とカム室３と連通して延びる円筒状のシリンダ孔９に形成される。カム室３には図示せぬ電動モータの出力軸４が突出し、出力軸４に取り付けられた偏心カム軸４１と、その偏心カム軸４１の外周にボールベアリングを有するカム４２が配置されている。シリンダ孔９は、一方をカム室３に開口し、他方を蓋状の出力室体７によって閉鎖され、プランジャ５が摺動可能に配置されている。そして、プランジャ５に配置された吸入弁２０と、ポンプ室体６に配置された吐出弁２２とによってポンプ室４４が形成される。
【００２３】
プランジャポンプ１は、図示せぬ電動モータを回転させることで、カム４２を偏心状態で回転させ、カム４２に接触するプランジャ５を回転軸４に対して進退させることで流体の吐出を行う。プランジャ５の後退移動によって、入口室４３から導入した流体例えばブレーキフルードを、吸入弁２０からポンプ室４４へと導き、さらにプランジャ５の前進移動によって、ブレーキフルードを吐出弁２２から出口室４６を通って吐出ポート４５へと吐出させる。
【００２４】
プランジャ５は、シリンダ孔９に案内されて進退駆動する際、シリンダ孔９の内壁面（被シール部材）とプランジャ５（被シール部材）の外壁面との間で液密状態を維持させるため、プランジャ５の外周溝に環状のシール部材１０、１２を装着している。シール部材１０、１２の断面形状は、図２（ａ）、（ｂ）に示されている。シール部材１０は、四方に突起部１１が環状に形成されたリング状であり、断面がＸ字状であることから一般にＸリングと呼ばれる。また、シール部材１２は、略矩形状の断面を有し、その１辺の中央に突起部１３が環状に形成されたリング状であり、一般にＤリングと呼ばれる。これらシール部材１０，１２は、シリンダ孔９の内壁面に狭圧されて突起部１１，１３が変形し、シリンダ孔９の内壁面との密着状態を維持し、液密にシールすることができる。シリンダ孔９内をプランジャ５が進退駆動すると、シール部材１０，１２の接触部分は、シリンダ孔９の内壁面に対して摺動する。
【００２５】
シール部材１０，１２は、カーボンナノファイバーおよびフラーレンの少なくとも一方を含有するゴムからなる。シール部材１０，１２がカーボンナノファイバーおよびフラーレンの少なくとも一方を含有するゴムからなることにより、高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させることができる。また、シール部材１０，１２の熱膨張を抑制することができるとともに、高温時におけるシール部材１０，１２の弾性率を所定の範囲内に維持することができる。特に本発明のような被シール部材との間で摺動するシール部材１０，１２においては、靭性と耐磨耗性を向上させることができる。
【００２６】
ゴム組成物のゴムとしては、二トリルゴム（ＮＢＲ）、水素化ニトリルゴム（ＨＮＢＲ）、スチレン・ブタジエン・ラバー（ＳＢＲ）、エチレン・プロピレン・ラバー（ＥＰＲ）、エチレン・プロピレン・ジエン・メチレンリンケージ（ＥＰＤＭ）が例示できるが、ブチルゴム（ＩＩＲ）、天然ゴム（ＮＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、シリコーンゴム（ＶＭＱ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ）、アクリルゴム（ＡＣＭ）、および、これらのブレンド物を用いることができる。
【００２７】
シール部材１０，１２において、カーボンナノファイバーおよびフラーレンを合わせて０．０１〜５０重量％含むことが好ましい。カーボンナノファイバーおよびフラーレンの割合が５０重量％を超えると、シール部材１０，１２の弾性を十分確保できない場合があり、０．０１重量％未満であると、シール部材１０，１２の放熱性を十分確保できない場合がある。なお、上記重量は、カーボンナノファイバーおよびフラーレンをそれぞれ単独で含有する場合は、カーボンナノファイバーおよびフラーレン単独の重量である。なお、シール部材１０，１２には、さらに、カーボンナノファイバーおよびカーボンナノファイバーのいずれか一方の合成過程において得られる炭素化合物を含むことができる。
【００２８】
（カーボンナノファイバー）
ゴムにカーボンナノファイバーが混合されたゴム組成物からなるシール部材１０，１２を形成する場合、ゴムとカーボンナノファイバーの混合は、原料の混合物を単軸あるいは２軸の押出機、バンバリ−ミキサ−、ニ−ダ−、ミキシングロ−ルなど通常公知の混合機に供給して混練する方法などを例として挙げることができる。また、ゴムとカーボンナノファイバーの混合順序は、全ての両材料を配合後上記の方法により混練する方法、一部のカーボンナノファイバーを配合後上記の方法により混練しさらに残りのカーボンナノファイバーを配合し混練する方法、あるいはゴムを単軸あるいは二軸の押出機により混練中にサイドフィーダーを用いてカーボンナノファイバーを混合する方法などの方法を用いることができる。
【００２９】
ゴムに混入させるカーボンナノファイバーは、石油精製時の残査であるピッチを原料とするピッチ系カーボンナノファイバー、およびポリアクリル繊維を原料とするポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）系カーボンナノファイバーなどを使用することができる。
【００３０】
また、ゴムに混入させるカーボンナノファイバーは、平均直径が０．７〜５００ｎｍであって、平均長さが０．０１〜１０００μｍのカーボンナノファイバーを用いることが好ましい。また、カーボンナノファイバーの配合量は、成形時の流動性、得られる成形品の比重および強度、弾性の観点から、シール部材１０，１２の主成分であるゴム中に０．０１〜５０重量％の範囲で含まれていることが好ましい。このようなカーボンナノファイバーとしては、例えば、いわゆるカーボンナノチューブなどが例示できる。カーボンナノチューブは、炭素六角網面のグラフェンシートが円筒状に閉じた単層構造あるいはこれらの円筒構造が入れ子状に配置された多層構造を有する。すなわち、カーボンナノチューブは、単層構造のみから構成されていても多層構造のみから構成されていても良く、単層構造と多層構造が混在していてもかまわない。また、部分的にカーボンナノチューブの構造を有する炭素材料も使用することができる。なお、カーボンナノチューブという名称の他にグラファイトフィブリルナノチューブといった名称で称されることもある。
【００３１】
単層カーボンナノチューブもしくは多層カーボンナノチューブは、アーク放電法、レーザーアブレーション法、気相成長法などによって望ましいサイズに製造される。
【００３２】
アーク放電法は、大気圧よりもやや低い圧力のアルゴンや水素雰囲気下で、炭素棒でできた電極材料の間にアーク放電を行うことで、陰極に堆積した多層カーボンナノチューブを得るものである。また、単層カーボンナノチューブは、前記炭素棒中にニッケル／コバルトなどの触媒を混ぜてアーク放電を行い、処理容器の内側面に付着するすすから得られる。
【００３３】
レーザーアブレーション法は、希ガス（例えばアルゴン）中で、ターゲットであるニッケル／コバルトなどの触媒を混ぜた炭素表面にＹＡＧレーザーの強いパルスレーザー光を照射することによって炭素表面が溶融・蒸発し、単層カーボンナノチューブを得るものである。
【００３４】
気相成長法は、ベンゼンやトルエン等の炭化水素を気相で熱分解し、カーボンナノチューブを合成するもので、流動触媒法やゼオライト担持触媒法などがある。
【００３５】
カーボンナノファイバーは、ゴムに混入する前に、あらかじめ表面処理例えば、イオン注入処理、スパッタエッチング処理、プラズマ処理などを行うことによって、ゴムとの接着性やぬれ性を改善することができる。
【００３６】
（イオン注入処理）
イオン注入処理（ｉｏｎ  ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ）は、イオン源によってイオン化された元素例えば酸素などに加速器によって必要なエネルギーを与え、真空ポンプによって高真空状態に保たれた真空チャンバにあるカーボンナノファイバーの表面内にイオンを打ちこむものである。
【００３７】
本発明の一実施の形態のイオン注入処理について、図３に示す全方位型イオン注入装置の概略構成図を用いて説明する。全方位型イオン注入装置５０は、真空ポンプ５７に接続された例えばステンレス製の真空チャンバー５１内にイオン注入処理を施す試料（例えばカーボンナノファイバー５２）を置く回転テーブル５３が回転自在に配置されている。回転テーブル５３は、パルスバイアス電源５４に接続され、真空チャンバー５１との間は絶縁体５５によって絶縁されている。真空チャンバー５１は、プロセスガス供給装置５８と、高周波電源５９に接続されたコイル６０と、アーク式蒸発源６１と、真空チャンバー５１内温度を測定する赤外線放射温度計６２と接続されている。
【００３８】
イオン注入処理は、真空ポンプ５７によって適当な真空状態とされた真空チャンバー５１内に、プロセスガス供給装置５８からガスが供給され、高周波電源５９によってコイル６０の周りにプラズマを発生させる。これによってイオン化されたガスが、パルスバイアス電源５４の負極に接続されている試料例えばカーボンナノファイバー５２に引き込まれ、注入される。また、真空チャンバー５１に接続されたアーク式蒸発源６１によって、金属イオンを試料例えばカーボンナノファイバー５２に注入させることができる。この場合、アーク式蒸発源６１内の金属蒸発源は、図示せぬ直流アーク電源に接続され、アーク放電によって蒸発させられる。このとき、回転テーブル５３及び試料例えばカーボンナノファイバー５２は、スイッチ６３によって切りかえられた負の直流バイアス電源５６により印加されているので、金属イオンが試料例えばカーボンナノファイバー５２に注入される。
【００３９】
また、全方位型イオン注入装置５０の回転テーブル５３を図４に示すような攪拌羽５３ａ及び容器５３ｂを有する構造としてもよい。容器５３ｂは、広口の開口部を上方に有し、容器５３ｂ中には試料例えばカーボンナノファイバー５２を配置できる。イオン注入処理の間、カーボンナノファイバー５２のような粉体の試料は、攪拌羽５３ａの回転によって攪拌されることで、全体にまんべんなくイオン注入処理を受けることができる。攪拌翼５３ａの回転速度は、カーボンナノファイバー５２の量や、イオン注入処理時間などによって適宜調整することができる。
【００４０】
イオン注入処理されたカーボンナノファイバーは、その表面が化学的に改質され、シール部材１０，１２のゴムに対するぬれ性や接着性などが改善され、シール部材１０，１２の高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させることができる。また、本発明のような被シール部材との間で摺動するシール部材１０，１２においては、靭性と耐磨耗性を向上させることができる。
【００４１】
イオン注入処理に用いられる元素は、例えば、酸素（Ｏ）、窒素（Ｎ）、塩素（Ｃｌ）、クロム（Ｃｒ）、炭素（Ｃ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、リン（Ｐ）、アルミニウム（Ａｌ）等、シール部材１０，１２のゴムとの相性によって適宜選択することができる。
【００４２】
（スパッタエッチング処理）
ドライエッチング方式のスパッタエッチング処理は、真空ポンプによって高真空状態に保たれた真空チャンバ内にエッチングガス、極低圧不活性ガス雰囲気例えばアルゴン（Ａｒ）中で、交流を印加してグロー放電を行わせ、かつグロー放電によって生じたプラズマ中に露出される電極と接触したカーボンナノファイバーの表面にイオンを衝突させることで、エッチングするものである。
【００４３】
スパッタエッチング処理されたカーボンナノファイバーの表面は、物理的にエッチングされることで、微細（ナノサイズ）な凹凸が形成される。このカーボンナノファイバーの表面の凹凸が、シール部材１０，１２のゴムとの接触面積を増大させることとなり、ゴムとカーボンナノファイバーとの接着強度を向上させることができる。ゴムにカーボンナノファイバーを混入させ製造したシール部材１０，１２において高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させることができる。また、本発明のような被シール部材との間で摺動するシール部材１０，１２においては、靭性と耐磨耗性を向上させることができる。
【００４４】
（プラズマ処理）
プラズマ処理は、プラズマをカーボンナノファイバーに照射することによって表面を改質させるものである。プラズマ処理は、一般的なグロー放電処理やコロナ放電処理などを採用することができる。
【００４５】
例えばプラズマは、相対向する放電極と対向電極との間に、パルス生成回路によって生成された高電圧・高頻度のパルス電圧を印加し、両電極間にコロナ放電を惹起して空気中にプラズマを発生させるようにしている。そして、被処理物は、両電極間に静止状態又は移動状態で配置され、その表面にプラズマ処理が施される。
【００４６】
プラズマの作り方には、２枚の平行平板電極に数百から数千ボルトの電圧をかけて放電する二極放電タイプ、熱陰極から発した大量の電子が陽極に入るまでに気体分子と衝突しプラズマを作る熱電子放電タイプ、磁場を使って高真空で放電するマグネトロン放電タイプ、高周波電磁誘導によりプラズマを発生させる無電極放電タイプ、磁場のある共振室へマイクロ波を送りこみ電子を共振させるＥＣＲ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）放電タイプなどがあり、適宜選択することができる。
【００４７】
このようにプラズマ処理されたカーボンナノファイバーの表面は、シール部材１０，１２のゴムとの接着性やぬれ性が改善し、ゴムにカーボンナノファイバーを混入させて製造したシール部材１０，１２における剛性、特に破壊靭性の向上が得られる。
【００４８】
本実施の形態に用いられるフラーレンは、球殻状炭素例えばカーボン６０（以下Ｃ６０とする）、Ｃ７０、Ｃ７４、Ｃ７６、Ｃ７８、Ｃ８２、Ｃ８４、Ｃ７２０、Ｃ８６０などのフラーレン類などが挙げられるが、Ｃ６０を主成分とすることが好ましい。また、Ｃ６０を主成分として、Ｃ７０がＣ６０よりも少量含まれるフラーレンを用いることが好ましい。さらに、Ｃ６０を主成分として、他のフラーレン類を含んでもよいし、フラーレン以外のフラーレン生成時に同時に生成された他の炭素及び炭素化合物を含んでもよい。フラーレン類の形態は、例えば、サッカーボール状、バッキーボール状などであってもよい。
【００４９】
また、フラーレン類は置換基の導入などにより修飾されていてもよい。修飾方法は、特に限定されず、例えば、フラーレン類の反応性に富む炭素５員環部を化学的に修飾できる。置換基の種類は、特に限定されず、例えば、アルキル基、アリール基、アラルキル基、ジオキソラン単位、ハロゲン又は酸素原子などが例示でき、液晶ポリマー、色素類、ポリエチレンオキシドなどの導入により修飾してもよい。フラーレン類の修飾により、選択されたゴムとの親和性の改善、フラーレン類の分散を可能にする。
【００５０】
Ｃ６０フラーレンは、黒鉛電極を用い、ヘリウム雰囲気でアーク放電し、得られたススをベンゼンで抽出し、得られたＣ６０混合物を、塩基性活性アルミナを担体とし、ヘキサンを展開溶媒として、カラム分離精製することにより調製した。フラーレンを得る方法は、このアーク放電法に限らず、他の手法でもよい。
【００５１】
このようにシール部材１０，１２のゴムにフラーレンを混入させて製造したシール部材１０，１２における高い弾性率を維持しながらも耐ヘタリ性を向上させることができる。特に本発明のような被シール部材との間で摺動するシール部材１０，１２においては、靭性と耐磨耗性を向上させることができる。
【００５２】
なお、本発明は、本実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の形態に変形可能である。
【００５３】
例えば、本実施の形態のシール部材１０，１２は、プランジャ５の外周に装着されるＸリングやＤリングと呼ばれるシール部材１０，１２であったが、これに限らず断面形状が丸のＯリング、四角の角リング、Ｔ字状のＴリング、Ｕ字状のＵパッキン、Ｖ字状のＶパッキン、Ｌ字状のＬパッキンなどであっても被シール部材に対して摺動する用途に使用されるシール部材であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のシール部材を装着したプランジャポンプの概略断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態のシール部材の断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に用いられる全方位型イオン注入装置の概略説明図である。
【図４】全方位型イオン注入装置の回転テーブルの他の実施態様を示す一部断面図である。
【符号の説明】
１  プランジャポンプ
２  ポンプハウジング
５  プランジャ
９  シリンダ孔
１０、１２  シール部材
５０  全方位型イオン注入装置
５３  回転テーブル
５３ａ  攪拌羽
５３ｂ  容器
【図１】
2004308837.tif 000003
【図２】
2004308837.tif 000004
【図３】
2004308837.tif 000005
【図４】
2004308837.tif 000006