(57)【要約】【課題】フィルタの切替えによる結像位置のばらつきを抑えたフィルタとフィルタ装置とこれを用いた光学装置を提供すること。【解決手段】フィルタ５ａ、５ｂ、５ｃに入射した光束の入射光軸に対して、前記フィルタ５ａ、５ｂ、５ｃを透過した前記光束の出射光軸のずれの方向（矢印）、または前記出射光軸のずれの方向および前記出射光軸のずれの角度を示すマーク３を有すること。【選択図】  図１
2004354515.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚のガラス基板上に複数のフィルタ部を略直線状に並べて形成したことを特徴とするフィルタ。
【請求項２】
フィルタに入射した光束の入射光軸に対して、前記フィルタを透過した前記光束の出射光軸のずれの方向、または前記出射光軸のずれの方向および前記出射光軸のずれの角度を示すマークを有することを特徴とするフィルタ。
【請求項３】
２枚のガラス表面を略平行に対向して形成されたフィルタであって、
前記フィルタに入射した光束の入射光軸に対して、前記２枚のガラスそれぞれの前記光束の出射光軸のずれの方向が前記入射光軸に関して逆方向であり、かつそれぞれの前記出射光軸のずれの角度が略等しいことを特徴とするフィルタ。
【請求項４】
異なる分光特性を有する複数のフィルタを有し、
当該複数のフィルタを使用する光学系の光路の所定位置に択一的に配置して使用するフィルタ装置であり、
前記複数のフィルタは、入射光軸に対する出射光軸のずれの角度が略等しく、前記所定位置に配置されたときに、前記入射光軸に対する前記出射光軸のずれの方向が略同一方向となるように構成されていることを特徴とするフィルタ装置。
【請求項５】
異なる分光特性を有する請求項３に記載の複数のフィルタを有し、
前記複数のフィルタは、当該フィルタを使用する光学系の光路の所定位置に交換可能に構成されていることを特徴とするフィルタ装置。
【請求項６】
前記複数のフィルタを回転ターレット上に配置したことを特徴とする請求項４または５に記載のフィルタ装置。
【請求項７】
前記複数のフィルタを略長方形状のスライダ上に配置したことを特徴とする請求項４または５に記載のフィルタ装置。
【請求項８】
請求項４から７のいずれか１項に記載のフィルタ装置を備えていることを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学装置に用いられるフィルタに関し、特に複数のフィルタを切替可能なフィルタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フィルタとして、円形または矩形に切り出され表面研磨されたガラス等の平行平面基板に誘電膜等を成膜することによって所定の分光特性を持たせたものや基板材質に分光特性を有する基板が使用されている。従来、このようなフィルタを用いてフィルタを交換可能にするフィルタ装置を光路に構成する場合、各フィルタが有する偏向角にはばらつきがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これら平行平面ガラスを用いたフィルタは、本来その形状が平行平面であり透過光に偏向角を与えることを目的としていないが、製造時に生じる平行平面の両表面の平行度の精度誤差に起因する僅かな傾斜が存在し、フィルタを通過した光は偏向する。このため、フィルタを透過した光を結像レンズで結像させると、フィルタを介さない光を結像レンズで結像させた結像位置に対してずれが生じる。また、複数のフィルタを交換して使用する場合、フィルタ切替え前後で結像位置にばらつきが生じてしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、フィルタの切替えによる結像位置のばらつきを抑えたフィルタとフィルタ装置とこれを用いた光学装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、１枚のガラス基板上に複数のフィルタ部を略直線状に並べて形成したことを特徴とするフィルタを提供する。
【０００６】
また、本発明は、フィルタに入射した光束の入射光軸に対して、前記フィルタを透過した前記光束の出射光軸のずれの方向、または前記出射光軸のずれの方向および前記出射光軸のずれの角度を示すマークを有することを特徴とするフィルタを提供する。
【０００７】
また、本発明は、２枚のガラス表面を略平行に対向して形成されたフィルタであって、前記フィルタに入射した光束の入射光軸に対して、前記２枚のガラスそれぞれの前記光束の出射光軸のずれの方向が前記入射光軸に関して逆方向であり、かつそれぞれの前記出射光軸のずれの角度が略等しいことを特徴とするフィルタを提供する。
【０００８】
また、本発明は、異なる分光特性を有する複数のフィルタを有し、当該複数のフィルタを使用する光学系の光路の所定位置に択一的に配置して使用するフィルタ装置であり、前記複数のフィルタは、入射光軸に対する出射光軸のずれの角度が略等しく、前記所定位置に配置されたときに、前記入射光軸に対する前記出射光軸のずれの方向が略同一方向となるように構成されていることを特徴とするフィルタ装置を提供する。
【０００９】
また、本発明は、異なる分光特性を有する請求項２に記載の複数のフィルタを有し、前記複数のフィルタは、当該フィルタを使用する光学系の光路の所定位置に交換可能に構成されていることを特徴とするフィルタ装置を提供する。
【００１０】
また、本発明にかかるフィルタ装置では、前記複数のフィルタを回転ターレット上に配置した構成とすることが好ましい。
【００１１】
また、本発明にかかるフィルタ装置では、前記複数のフィルタを略長方形状のスライダ上に配置した構成とすることが好ましい。
【００１２】
また、本発明は、前記フィルタ装置を備えていることを特徴とする光学装置を提供する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態に関し図面を参照しつつ説明する。
【００１４】
図１は、本発明の第１実施形態にかかるフィルタの概略構成図を示す。図２は、本発明の第２実施形態にかかるフィルタの概略構成図を示す。図３は、本発明の第３実施形態にかかるフィルタ装置の概略構成図を示す。図４は、本発明の第４実施形態にかかるフィルタ装置の概略構成図を示す。図５は、本発明の第５実施形態にかかるフィルタ部とフィルタ装置の概略構成図を示す。図６は、本発明にかかるフィルタとフィルタ装置を用いたレーザスキャニング顕微鏡の概略構成図を示す。図７は、図６の照明光学系のフィルタ装置近傍の部分拡大図を示す。図８は、図６の蛍光フィルタ部近傍の部分拡大図を示している。図９は、本発明にかかるフィルタ装置を搭載した蛍光顕微鏡装置の概略構成図を示している。図１０は、図９に示す蛍光顕微鏡装置のフィルタセットと蛍光フィルタ装置の部分拡大図である。
【００１５】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態にかかるフィルタの概略構成図を示す。
【００１６】
図１において、両面を研磨されたガラス基板１は、研磨の際に両表面の平行度がずれる（クサビ型になる）ことによって、このガラス基板に入射した光は屈折作用を受け出射光軸が入射光軸に対してずれを生じる。ガラス基板の平行度のずれの方向がフィルタに入射した光束の光軸のずれの方向と、また平行度のずれ角度の略１／２の角度が光軸のずれ角度に相当する。したがって、フィルタに入射した光束の光軸ずれの方向とずれの角度と、ガラス基板の平行度のずれの方向とずれの角度とは、それぞれ同じ意味を表しているので、以下の説明では、光軸のずれの方向とずれの角度（ずれの大きさ）を用いている。
【００１７】
入射光軸に対して垂直な平面上で、入射光軸に対する出射光軸のずれの方向を図１中の矢印で示している。同一ガラス基板１中では、研磨後のクサビ形状はほぼ一定であり、出射光軸のずれの方向はガラス基板１の場所によらずほぼ同じ方向で、ずれの大きさ（角度で表す）もほぼ等しくなる（一般的に光学では、上記のずれの方向とずれの角度を含めて、例えば偏向角と言い表している）。
【００１８】
本第１実施形態では、出射光軸のずれの方向またはずれの方向とずれの大きさを示すマークとして、ガラス基板１にずれの方向（矢印）に対して垂直な方向に面取り３を光束の有効エリア外となる場所に形成している。このように面取り３を形成することにより、ずれの方向またはずれの方向とずれの大きさをフィルタの外観で判別することが可能となる。
【００１９】
なお、面取り３の位置は、ずれの方向に対して垂直に限らず、所定の角度を有する位置であっても良い。また、ずれの大きさは、例えば、ずれの大きさを大中小等の等級分けをして面取り３の形状（例えば、角度、幅、形）等で等級が分かるようにしても良い。また、ずれの方向またはずれの方向とずれの大きさを表すマークは面取り３以外の、例えば、ケガキ線マークやドットマークなどの判別できるものであれば良い。また、フィルタ周辺部や面取り部に直接角度の数値をケガキ等で表示しても良い。
【００２０】
面取り３を形成したガラス基板１をフィルタの形状（例えば、円形）にカットして、所定の分光特性を有するように誘電体膜等を蒸着やスパッタリング法等で成膜してフィルタ５ａ、５ｂ、５ｃを形成する。なお、ガラス基板１をカットする前に所定の分光特性を有するように成膜して、その後でフィルタの形状にカットしても良い。また、ここでは説明のためにフィルタ５ａ，５ｂ，５ｃは分光特性の異なるフィルタの場合について説明したが、フィルタ５ａ，５ｂ，５ｃの分光特性が同じであっても良い。
【００２１】
このようにして、出射光軸のずれの方向またはずれの方向とずれの大きさとを示すマーク３を有するフィルタ５ａ、５ｂ、５ｃが形成される。
【００２２】
本第１実施形態のフィルタは、面取り３の位置と形状によってフィルタ５（５ａ，５ｂ，５ｃを代表して５と記す）の出射光軸のずれの方向またはずれの方向とずれの大きさとを判別可能となる。この結果、フィルタを選択する際、出射光軸のずれの方向をそれ終えることが可能となり、ずれの方向とずれの大きさを示すマークを有する場合には、ずれの大きさがほぼ等しいフィルタを選ぶことが可能となる。
【００２３】
なお、ガラス基板１は、上述と同様の効果が得られるならば、特に矩形に限られない。また、色ガラスや成膜済みのガラス等と複数枚重ねて接着して１枚のガラス基板１としても良い。
【００２４】
（第２実施形態）
図２は、本発明の第２実施形態にかかるフィルタの概略構成図を示す。
【００２５】
図２において、出射光軸のずれの方向と大きさ（偏向角）の略等しいガラス基板１０ａと１０ｂの少なくともどちらか一方に分光特性を持たせ、２枚のガラス基板１０ａ、１０ｂを光軸ａに略垂直な平面に略平行に互いの表面を対向して配置している。２枚のガラス基板１０ａ、１０ｂの射出光軸のずれの方向を図中の実線矢印と破線矢印で示しており、互いのずれの方向が光軸ａに対して逆向きでずれの大きさがほほ等しくなるように構成して、２枚のガラス１０ａ，１０ｂの偏向角がキャンセルされるようにフィルタ１５が構成されている。この結果、フィルタ１５では、偏向角がほぼゼロとなる。このようにして、フィルタ１５が構成されている。
【００２６】
本第２実施形態のフィルタ１５は、射出光軸のずれの向きが上向き（実線矢印）のガラス基板１０ａと下向き（破線矢印）のガラス基板１０ｂとがずれの向きとずれの大きさとがほぼ等しい（偏向角がほぼ等しい）ため、偏向角を両者でキャンセルでき、光学系の光路ａに挿入したときの結像位置のずれのないフィルタ１５となる。
【００２７】
なお、フィルタに形成されている偏向角を示すマーク３を用いて、複数のガラス基板（フィルタを含む）の偏向角を揃えることによって、一定の方向に出射光軸をずらすようなフィルタを構成することも可能である。また、後述の第５実施形態に本実施形態のフィルタを用い、一枚の長方形状のガラス基板上に複数個のフィルタ部を形成したものと、前記ガラス基板と同一形状で光軸のずれの方向が逆向きのガラス基板とを対向して配置すれば、偏向角をほぼゼロに抑えたフィルタを簡易な工程で作製できる。
【００２８】
（第３実施形態）
本第３実施形態では、複数のフィルタを光学系の光路の所定位置に択一的に配置するフィルタ装置を示している。
【００２９】
図３において、入射光軸に対する出射光軸のずれの大きさがほぼ等しいフィルタ２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは、それぞれのフィルタ２５ａ〜２５ｄが光軸２２の所定位置に択一的に配置された際、光学系の光軸２２（紙面に垂直方向）に対してずれの方向が、略同じ方向（例えば、図中Ｘ方向）となるように回転軸中心２３を有するターレット２４にそれぞれ配置されている。こうのようにして、フィルタ装置２０が構成されている。
【００３０】
図３では、各フィルタ２５ａ〜２５ｄの出射光軸のずれの向きが、ターレット２４の回転軸中心２３から外方に向かって放射状になるように配置されている。
【００３１】
本第３実施形態にかかるフィルタ装置２０では、回転ターレット２４を回転することによって、色々な分光特性を有するフィルタ２５ａ〜２５ｄを光学系の光軸２２の所定位置に択一的に配置できる。そして、所定位置に配置された際、各フィルタ２５ａ〜２５ｄの出射光軸のずれの大きさがほぼ等しく、ずれの方向が同じ方向となるため、フィルタ毎に結像位置がばらつくことを防止することが可能となる。
【００３２】
なお、出射光軸のずれの方向は上記に限らず、光学系の光軸２２に配置された際、ずれの方向が同じ方向となるように各フィルタが回転ターレット２４上に配置されていれば同様の効果を奏する。また、回転ターレット２４に搭載されるフィルタの数は４個に限らず必要に応じて適宜変更可能である。また、フィルタが不要な場合には、ずれの方向とずれの大きさが同じガラス基板のみを配置すれば、結像位置のばらつきを防止することができる。
【００３３】
また、回転ターレット２４に搭載するフィルタとして、第２実施形態で示したフィルタ１５を用いても良い。この場合、フィルタ１５の偏向角はフィルタ１５中でキャンセルされているので、フィルタを交換しても結像位置がばらつくことはない。
【００３４】
（第４実施形態）
本第４実施形態では、複数のフィルタを光学系の光路の所定位置に択一的に配置するフィルタ装置の別の実施形態を示している。
【００３５】
図４において、入射光軸に対する出射光軸のずれの大きさがほぼ等しいフィルタ３５ａ、３５ｂ、３５ｃは、光学系の光軸３２（紙面に垂直方向）に対してずれの方向が、それぞれのフィルタ３５ａ〜３５ｃが光軸３２位置に配置された際、同じ方向（図中上方向）となるようにスライダ３４に配置されて、フィルタ装置３０が構成されている。
【００３６】
本第４実施形態にかかるフィルタ装置３０では、スライダ３４を光学系の光軸３２に略垂直に挿脱することによって色々な分光特性を有するフィルタ３５ａ〜３５ｃを光路中に択一的に挿入でき、各フィルタ３５ａ〜３５ｃの射出光軸のずれの大きさがほぼ等しく、ずれの方向が同じ方向であるため、各フィルタ３５ａ〜３５ｃを配置したときの結像位置のばらつきを防止することが可能となる。
【００３７】
なお、射出光軸のずれの方向は上記に限らず、フィルタが光軸３２に挿入された際、ずれの方向が同じ方向となるようにそれぞれのフィルタが配置されていれば同様の効果を奏する。また、スライダ３４に搭載されるフィルタの数は必要に応じて適宜変更可能である。また、フィルタが不要な場合には、ずれの方向とずれの大きさが同じガラス基板のを挿入すれば、結像位置のばらつきを防止することができる。また、スライダ３４に搭載するフィルタとして、第２実施形態で示したフィルタ１５を用いても良い。
【００３８】
（第５実施形態）
本第５実施形態では、１枚の長方形状のガラス基板上に複数個のフィルタ部を一直線上に並べて形成したフィルタを光学系の光路の所定位置に択一的に配置するフィルタ装置の実施形態を示している。
【００３９】
図５において、長方形状のガラス基板４１の表面に成膜等により異なる分光特性を有するフィルタ部４５ａ、４５ｂ、４５ｃが形成されたフィルタ４０を用いてフィルタ装置４０が形成されている。長方形状のガラス基板４１は光学装置に挿脱する際のスライダの役割を有しており、光学系の光軸４２に略垂直にフィルタ４０を挿入することによって、フィルタ部４５ａ、４５ｂ、４５ｃを択一的に交換可能なフィルタ装置４０として働くように構成されている。
【００４０】
本第５実施形態にかかるフィルタ装置４０では、スライダである長方形状のガラス基板４１を光学装置の光軸４２に略垂直に挿入することによって色々な分光特性を有するフィルタ部４５ａ〜４５ｃを光路中に挿脱でき、かつ、各フィルタ部４５ａ〜４５ｃの出射光軸の入射光軸からのずれの方向きおよびずれの大きさは、ガラス基板４１が同じであるためほぼ等しく、どのフィルタ部（４５ａ〜４５ｃ）を挿入しても、結像位置がばらつくことはない。
【００４１】
なお、ガラス基板４１に形成されるフィルタ部の数は必要に応じて適宜変更可能である。また、フィルタ部が不要な場合には、ガラス基板４１のみとすれば、結像位置のばらつきを防止することができる。
【００４２】
（第６実施形態）
次に、本発明にかかるフィルタ装置を搭載した光学装置に関して説明する。
【００４３】
図６は、本発明にかかるフィルタ装置を搭載したレーザ顕微鏡装置の概略構成図を示している。
【００４４】
図６において、レーザ光源５１からのレーザ光５３ａはレンズ５５ａで集光されて光ファイバ５９の一端部の光ファイバコネクタ５７ａに入射され、光ファイバ５９で伝送される。光ファイバ５９の他の一端部の光ファイバコネクタ５７ｂから射出されたレーザ光５３ｂはレンズ５５ｂでコリメートされて、減光フィルタ装置６０に入射する。減光フィルタ装置６０を通過したレーザ光は、ビームエキスパンダ６１でビーム径を拡大されて、レーザ波長選択フィルタ６３を経てビームスプリッタ６５に入射される。
【００４５】
減光フィルタ装置６０はレーザ光の光量を調節するためのもので、数種類の減光フィルタ６０ａ〜６０ｃを照明光学系の光軸に挿脱可能に構成されている。ビームエキスパンダ６１はレーザ光を所定の太さに拡大する為のものであるが省略されている場合も有る。また、レーザ波長選択フィルタ６３はレーザ光源５１から発せられるレーザ光５３ａの波長が単一でない場合に所定の波長のみを選択的に透過させるためのものである。
【００４６】
ビームスプリッタ６５で反射されたレーザ光は、スキャナ部６７を介してリレーレンズ６９を経て、対物レンズ７１で標本７３の所定の位置に集光される。スキャナ部６７は、入射されたレーザ光を標本７３上で二次元的に集光点を走査するためのものである。
【００４７】
照射によって標本７３から発生した放射は、対物レンズ７１で集光され、リレーレンズ６９を経て、スキャナ部６７に入射し出射して、ビームスプリッタ６５を透過して、集光レンズ７７でピンホール７９の位置に集光される。ピンホール７９の位置を透過した光のみが受光器８１にて検出され、信号が画像処理装置８３で処理され不図示のモニターに表示される。
【００４８】
画像処理装置８３は受光器８１からの受光光量の強度を、スキャナ部６７の走査にあわせて画像化するものである。
【００４９】
また、標本７３で発生する放射が標本からの蛍光の場合には、蛍光を受光器２１で受光するために標本７３からの放射のうち蛍光だけを選択的に透過させるための蛍光フィルタ７５をビームスプリッタ６５と受光器８１との間に配置する。この場合には、レーザスキャニング蛍光顕微鏡となる。
【００５０】
ここで、減光フィルタ６０、レーザ波長選択フィルタ６３、蛍光フィルタ７５のいずれかまたは全てに、上記本発明の実施形態にかかるフィルタ装置を使用することができる。図６では説明を簡単にするために、減光フィルタ６０のみ本発明の実施形態にかかるフィルタ装置としている。
【００５１】
図６、図７において、減光フィルタ６０は複数の波長特性を有するフィルタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃを照明光学系の光軸に略垂直に択一的に配置するフィルタ装置である。本発明の第３実施形態から第５実施形態に示すフィルタ装置を配置することが可能であり、どのフィルタ装置を用いるかは光学装置の設計によって決められる。減光フィルタ６０に本発明の実施形態にかかるフィルタ装置を用いることによって、フィルタ６０ａ、６０ｂ、６０ｃのどのフィルタに交換しても標本７３での照明光の結像位置がずれることがなく、標本７３からの光がピンホール９に集光するので標本７３の同じ部位の像を受光器８１で良好に受光することが可能となる。
【００５２】
なお、減光フィルタ６０はレーザ光源５１とレンズ５５ａの間に設置してもよい。この場合、フィルタを交換してもレーザ光源５１からのレーザ光５３ａをレンズ５５ａでレーザコネクタ５７ａの端面の有効領域に合焦することができる。
【００５３】
図８は、本発明の実施形態にかかるフィルタ装置を蛍光フィルタ７５に用いた場合の、部分拡大図を示している。蛍光フィルタ７５は異なる蛍光を透過するフィルタ７５ａ、７５ｂ、７５ｃを有し、図６の観察光学系の光軸に略垂直に交換可能に配置されている。フィルタ装置としては、本発明の第３実施形態から第５実施形態のフィルタ装置いずれもが使用可能であり、いずれのフィルタ装置を用いるかは設計によって決められる。
【００５４】
本発明の実施形態にかかるフィルタ装置を配置することによって、偏向角がフィルタによらず一定となり、標本７３の同じ部位からの蛍光をピンホール７９位置に集光レンズ７７で集光することが可能となる。また、図６において、減光フィルタ６０、レーザ波長選択フィルタ６３、蛍光フィルタ７５を例にあげて説明したが、本発明はこれにとらわれることなく、フィルタの種類および光路中のどの部位に単独で、または組み合わせで配置するかは任意である。この場合であっても、各フィルタに入射する光束の光軸のずれの方向、またはずれの方向とずれ量があらかじめわかっている本実施形態にかかるフィルタおよびフィルタ装置を用いることによって自由度の高い観察が実現できる。
【００５５】
（第７実施形態）
図９は、本発明にかかるフィルタ装置を搭載した蛍光顕微鏡装置の概略構成図を示している。図１０は、図９に示す蛍光顕微鏡装置のフィルタセットと蛍光フィルタ装置の部分拡大図である。
【００５６】
図９、図１０において、光源９１からの照明光は、照明光学系９２を介して励起フィルタとビームスプリッタとを複数セット有するフィルタセット９３に入射する。フィルタセット９３の励起フィルタ１１０ａを透過した光はビームスプリッタ１１１ａで反射されて対物レンズ９４に入射し、ステージ９５に載置された標本９６に集光される。
【００５７】
標本９６からの蛍光は、対物レンズ９４で集光されて、ビームスプリッタ１１１ａを透過して、所定の波長の蛍光のみを透過する蛍光フィルタ装置１０１の蛍光フィルタ１１２ａを透過して結像レンズ９９により撮像素子１００（例えば、ＣＣＤ素子）上に結像され不図示のモニター等で観察される。このようにして、蛍光顕微鏡が構成されている。
【００５８】
本第７実施形態にかかる蛍光顕微鏡では、蛍光フィルタ装置１０１には、先に説明した本実施形態にかかるフィルタおよびフィルタ装置が用いられている。フィルタ装置１０１には複数の特性の異なる蛍光フィルタ１１２ａ、１１２ｂが配置されており、観察する蛍光の種類によって適宜切替えて使用される。本実施形態にかかるフィルタを用いることによって、観察光軸上にフィルタが配置された際、観察光軸に対して各フィルタの偏向角（入射光軸に対する射出光軸のずれの方向とずれの大きさ）が略同一にできるため、フィルタの交換によって撮像素子１００上での結像位置がばらつくことを抑制することができる。この結果、本第７実施形態では、フィルタを切替えてもフィルタごとの画像のずれない蛍光顕微鏡を構成することができる。
【００５９】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、フィルタの切替えによる結像位置のばらつきを抑えたフィルタとフィルタ装置とこれを用いた光学装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるフィルタの概略構成図を示す。
【図２】本発明の第２実施形態にかかるフィルタの概略構成図を示す。
【図３】本発明の第３実施形態にかかるフィルタ装置の概略構成図を示す。
【図４】本発明の第４実施形態にかかるフィルタ装置の概略構成図を示す。
【図５】本発明の第５実施形態にかかるフィルタ部とフィルタ装置の概略構成図を示す。
【図６】本発明にかかるフィルタとフィルタ装置を用いたレーザスキャニング顕微鏡の概略構成図を示す。
【図７】図６の照明光学系のフィルタ装置近傍の部分拡大図を示す。
【図８】図６の蛍光フィルタ部近傍の部分拡大図を示している。
【図９】本発明にかかるフィルタ装置を搭載した蛍光顕微鏡装置の概略構成図を示している。
【図１０】図９に示す蛍光顕微鏡装置のフィルタセットと蛍光フィルタ装置の部分拡大図である。
【符号の説明】
１、４１      ガラス基板
３      面取り（マーク）
５、１５、２５、３５、４５      フィルタ
１０    ガラス基板
２０、３０、４０    フィルタ装置
２２、３２、４２    光軸
２３    回転軸中心
２４    回転ターレット
３４    スライダ
５１    レーザ光源
５３    レーザ光
５５    レンズ
６０    減光フィルタ装置
６０ａ〜６０ｃ    フィルタ
６１    エキスパンダ
６３    波長選択フィルタ
６５    ビームスプリッタ
６７    スキャナ部
６９    リレーレンズ
７１    対物レンズ
７３    標本
７５    蛍光フィルタ装置
７７    結像レンズ
７９    ピンホール
８１    受光器
８３    画像信号処理装置
９１    光源
９２    照明光学系
９３    フィルタセット
９４    対物レンズ
９５    ステージ
９６    標本
９９    結像レンズ
１００  撮像装置
１０１  フィルタ装置
１１０ａ、１１０ｂ  励起フィルタ
１１１ａ、１１１ｂ  ビームスプリッタ
１１２ａ、１１２ｂ  蛍光フィルタ
【図１】
2004354515.tif 000003
【図２】
2004354515.tif 000004
【図３】
2004354515.tif 000005
【図４】
2004354515.tif 000006
【図５】
2004354515.tif 000007
【図６】
2004354515.tif 000008
【図７】
2004354515.tif 000009
【図８】
2004354515.tif 000010
【図９】
2004354515.tif 000011
【図１０】
2004354515.tif 000012