(57)【要約】【課題】設置場所の制約が少なく、装置の搬出入口や避難通路を塞ぐ位置にも設置することができる還気用リタンシャフトを提供する。【解決手段】ｎ本の柱材１１ａ〜１１ｆは、ｎ角形（但し、ｎは３以上の整数）の頂点を構成する位置に配置され、床面から天井面まで伸びている。ｎまたは（ｎ−１）本の梁材１２ａ〜１２ｄは、各柱材１１ａ〜１１ｄの上端を連結している。カーテン１３は、梁材１２ａ，１２ｂ，１２ｃに取り付けられ、床面に対して隙間をあけて各柱材１１ａ〜１１ｄの間を開閉可能に覆い、透視可能である。間がカーテン１３で被覆されずに開放している両端の柱材１１ａ，１１ｄが、部屋の扉１を間に挟んでその外側の壁面２に接続可能に構成されている。各柱材１１ａ〜１１ｆおよび各梁材１２ａ〜１２ｄは、それぞれ取外し可能に取り付けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｎ角形（但し、ｎは３以上の整数）の頂点を構成する位置に配置され、床面から天井面まで伸びるｎ本の柱材と、
各柱材の上端を連結するｎまたは（ｎ−１）本の梁材と、
前記梁材に取り付けられ、床面に対して隙間をあけて各柱材の間を開閉可能に覆う透視可能なカーテンとを、
有することを特徴とする還気用リタンシャフト。
【請求項２】
前記梁材は（ｎ−１）本から成り、間が前記カーテンで被覆されずに開放している両端の前記柱材が部屋の扉を間に挟んでその外側の壁面に接続可能に構成されていることを、特徴とする請求項１記載の還気用リタンシャフト。
【請求項３】
各柱材および各梁材はそれぞれ取外し可能に取り付けられていることを、特徴とする請求項１または２記載の還気用リタンシャフト。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルームなどに用いられる還気用リタンシャフトに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の還気用リタンシャフトは、クリーンルーム内に固定して設けられるのが一般的である。しかし、レイアウトの変更が生じたときにリタンシャフトを動かすことができないという問題がある。この問題を解決し、簡単に移動できるリタンシャフトとして、移動手段を有するもの（例えば、特許文献１参照）や、取り外し可能なパネルを組み付けて形成されるものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−７４４３９号公報
【特許文献２】
特開２００１−２０５４９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１，２に記載の移動可能なリタンシャフトは、移動に手間がかかるため、扉位置に設置すると緊急避難時に通路として使用できなかった。このため、従来のリタンシャフトは、生産装置の搬出入口を避けて設置しなければならず、設置場所の制約が大きいという課題があった。
【０００５】
本発明は、このような従来の課題に着目してなされたもので、設置場所の制約が少なく、装置の搬出入口や避難通路を塞ぐ位置にも設置することができる還気用リタンシャフトを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る還気用リタンシャフトは、ｎ角形（但し、ｎは３以上の整数）の頂点を構成する位置に配置され、床面から天井面まで伸びるｎ本の柱材と、各柱材の上端を連結するｎまたは（ｎ−１）本の梁材と、前記梁材に取り付けられ、床面に対して隙間をあけて各柱材の間を開閉可能に覆う透視可能なカーテンとを、有することを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る還気用リタンシャフトでは、ｎ本の柱材がｎ角形の頂点を構成する位置に配置されている。すなわち、柱材が、３本の場合には三角形、４本の場合には四角形の頂点を構成する位置に配置される。各柱材は、ｎまたは（ｎ−１）本の梁材により連結されて一体化されている。
【０００８】
本発明に係る還気用リタンシャフトは、開口を有する天井部に開口を包囲するように梁材を接続して用いられる。各柱材がｎ本の梁材により連結されている場合には、カーテンで各柱材の間が覆われているため、任意の場所に設置されて、床面との間の隙間から空気を導入して天井部の開口へ空気を送ってリタンシャフトとして機能する。
【０００９】
本発明に係る還気用リタンシャフトでは、前記梁材は（ｎ−１）本から成り、間が前記カーテンで被覆されずに開放している両端の前記柱材が部屋の扉を間に挟んでその外側の壁面に接続可能に構成されていてもよい。各柱材が（ｎ−１）本の梁材により連結されている場合には、間がカーテンで被覆されずに開放している両端の柱材を壁面に接続することにより、壁面との間で上下方向の空気の流路を形成し、床面との間の隙間から空気を導入して天井部の開口へ空気を送ってリタンシャフトとして機能する。
【００１０】
本発明において、カーテンは透視可能なため、壁の搬出入口などの扉や窓を塞いだときにも、カーテンを通して扉や窓の確認が容易である。このため、搬出入口や窓を緊急避難時の通路として使用するのを妨げない。カーテンは、無色透明であることが好ましいが、有色透明であっても、半透明であっても、一部に不透明部分を有していてもよい。カーテンは、アコーディオンカーテンであってもよい。カーテンは開閉可能なため、生産装置などの搬出入の際には、カーテンを開いて搬出入が可能である。このように、本発明に係る還気用リタンシャフトは、設置場所の制約が少なく、装置の搬出入口や避難通路を塞ぐ位置にも設置することができる。
【００１１】
なお、カーテンは、上下方向に開閉可能であることが好ましい。カーテンは、梁材および柱材に、例えば、面ファスナーなどで取り付けられることが好ましい。カーテンの下端には、風圧でカーテンが開かないように錘または固定部材が設けられていることが好ましい。各柱の間には、補強用の柱が設けられていてもよい。
【００１２】
本発明に係る還気用リタンシャフトでは、各柱材および各梁材はそれぞれ取外し可能に取り付けられていることが好ましい。この場合、各柱材および各梁材に分解して、移動や収納が容易である。柱材の下端には、柱材の長さを調節するためのアジャスタが設けられていることが好ましい。また、柱材の下端には、移動を用意にするためのキャスタが設けられていてもよい。梁材の上面には、天井面との気密性を確保するためのパッキン材が設けられていてもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
図１乃至図８は、本発明の実施の形態を示している。
図１乃至図４に示すように、還気用リタンシャフト１０は、基本的に断面四角形の枠組みから成り、複数本の柱材１１ａ〜１１ｆと、複数本の梁材１２ａ〜１２ｄと、カーテン１３と、垂れ壁１４とを有している。
【００１４】
４本の柱材１１ａ〜１１ｄが長方形の頂点を構成する位置に配置され、さらに２本の柱材１１ｅ，１１ｆがその長方形の２つの長辺の中間の、互いに対向する位置に配置されている。各柱材１１ａ〜１１ｆは、クリーンルームの室内の床面から天井面まで伸びる長さを有し、下端に高さ調節可能な脚部１１ｇを有している。脚部１１ｇは、アジャスタボルトと台座とを有し、アジャスタボルトで高さ調節を行うようになっている。柱材１１ａ〜１１ｆのうち、カーテン１３で被覆されずに開放している両端の柱材１１ａ，１１ｄは、部屋の扉１を間に挟んでその外側の壁面２に取外し可能に接続されている。扉１は、気密性が高められている。
【００１５】
３本の梁材１２ａ，１２ｂ，１２ｃが４本の柱材１１ａ〜１１ｄの上端を連結するよう掛け渡されて、図５（Ａ）および（Ｂ）に示すように、Ｌ字形の取付金具１５およびボルトにより、各柱材１１ａ〜１１ｄに取外し可能かつ強固に固定されている。さらに、１本の梁材１２ｄが２本の柱材１１ｅ，１１ｆに掛け渡されて、各柱材１１ｅ，１１ｆに取外し可能に固定されている。短い梁材１２ａ，１２ｃは壁面２に垂直に延び、長い梁材１２ｂは壁面２に平行に延びている。
【００１６】
各梁材１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、開口を有する天井部の天井材３に、開口を包囲するように取外し可能に接続されている。また、図５（Ｂ）に示すように、壁面２および扉１に対向する梁材１２ｂの下面には、長さ方向に沿ってカーテンレール１６が取り付けられている。なお、各柱材１１ａ〜１１ｆおよび各梁材１２ａ〜１２ｄは、それぞれに分解可能である。
【００１７】
図１乃至図４に示すように、カーテン１３は、透明で柔らかいビニル樹脂から成り、柱材１１ａ〜１１ｆの長さより短い。カーテン１３は、幅の狭いカーテン１３ａと幅の広いカーテン１３ｂとから成る。幅の狭いカーテン１３ａは短い梁材１２ａ，１２ｃの外側側面に貼り付けられ、カーテン１３ｂはカーテンレール１６に水平方向に開閉可能に取り付けられている。カーテン１３は、さらに、柱材１１ａ〜１１ｄの外側側面に面ファスナー１７により着脱可能に貼り付けられている。こうして、カーテン１３は、床面に対して隙間をあけて各柱材１１ａ〜１１ｄの間を上下方向に開閉可能に覆っている。
【００１８】
カーテン１３の下端には、空気流によるカーテン１３のゆれやあおりを防止し、風圧でカーテン１３が開かないように固定部材（アンカー）１８およびウエイト１９が取り付けられている。固定部材１８は、ひも１８ａと面ファスナー１８ｂから成っている。ひも１８ａの一端は、カーテン１３の下端に取り付けられている。ひも１８ａの他端には面ファスナー１８ｂのオス側が取り付けられている。面ファスナー１８ｂのメス側は、オス側をメス側に貼り付けたときカーテン１３の下端を押えるのに適した床の位置に貼り付けられている。なお、ひも１８ａは、鎖から成っても良い。ウエイト１９は、カーテン１３の下端に取り付けられている。
【００１９】
垂れ壁１４は、図５（Ｂ）に示すように、梁材１２ｂの長さ全体にわたってその外側側面に貼り付けられている。垂れ壁１４は、カーテン１３よりかなり短い長さを有し、カーテン１３ｂとカーテンレール１６との隙間から還気用リタンシャフト１０内に空気が入るショートサーキットを防止するものである。
【００２０】
次に、作用について説明する。
図１乃至図４に示すように、還気用リタンシャフト１０は、６本の柱材１１ａ〜１１ｆが４本の梁材１２ａ〜１２ｄにより連結されて一体化されている。還気用リタンシャフト１０は、大風量で空気が循環し、かつ精密な温調が要求されるクリーンルームの室内に設けられる。還気用リタンシャフト１０は、開口を有する天井部の天井材３に、壁面２との間で開口を包囲するように梁材１２ａ，１２ｂ，１２ｃを接続して用いられる。このとき、各柱材１１ａ〜１１ｆは脚部１１ｇを調節することにより床面および天井面に突っ張るように固定され、梁材１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは天井材３に押し当てられる。
【００２１】
還気用リタンシャフト１０は、間がカーテン１３で被覆されずに開放している両端の柱材１１ａ，１１ｄを壁面２に接続することにより、壁面２との間で上下方向の空気の流路を形成し、床面との間の隙間から空気を導入して天井部の開口へ空気を送って空調用または還気用のリタンシャフトとして機能する。開口から天井チャンバに送られた空気は、ＨＥＰＡフィルタなどを通り、清浄空気となってクリーンルームの室内に流れ、再び還気用リタンシャフト１０を通って循環する。
【００２２】
カーテン１３は透明で透視可能なため、壁の搬出入口などの扉１や窓を塞いだときにも、カーテン１３を通して扉１や窓の安全上の確認が容易である。このため、搬出入口や窓を緊急避難時の通路として使用するのを妨げない。カーテン１３は、無色透明であることが好ましいが、有色透明であっても、半透明であっても、一部に不透明部分を有していてもよい。
【００２３】
カーテン１３は開閉可能なため、生産装置などの搬出入の際には、カーテン１３を開いて搬出入が可能である。このように、還気用リタンシャフト１０は、設置場所の制約が少なく、装置の搬出入口や避難通路を塞ぐ位置にも設置することができる。このため、クリーンルームをレイアウトする場合、必要な還気風量を確保するために、還気用リタンシャフト１０の設置場所を確保するのが容易である。
【００２４】
還気用リタンシャフト１０は、分解することなく、カーテン１３ｂを開いて装置を搬出入することができる。このため、開いたカーテン１３ｂの退避スペースを確保すればよく、リタンシャフトを分解した資材の置き場を確保する場合に比べて、少ないスペースで装置の搬出入が可能である。還気用リタンシャフト１０では、分解作業および養生が不要のため、安全に搬出入の作業を行うことができる。
【００２５】
還気用リタンシャフト１０では、各柱材１１ａ〜１１ｆおよび各梁材１２ａ〜１２ｄはそれぞれ取外し可能に取り付けられているため、各柱材１１ａ〜１１ｆおよび各梁材１２ａ〜１２ｄに分解して、移動や収納が容易である。
【００２６】
還気用リタンシャフト１０は、例えば図６に示すように、扉１を塞ぐ位置に設置して使用される。この場合、夏休み、正月休みなどの休日を利用して改修工事を行うときなどに、還気用リタンシャフト１０の内部を通して、扉１を重量物や大型装置の搬出入口として利用することができる。なお、搬出入の際には、外からの汚染空気が侵入するため、要求されるクリーンルームの清浄度によっては、扉１の外側にあらかじめ前室を設けることが好ましい。
【００２７】
また、還気用リタンシャフト１０は、図７および図８に示すように、壁面２および扉１に対向するカーテン１３ｂを、柱材１１ｅの位置で２つに分割して構成しても良い。この場合、例えば、扉１の正面に位置するカーテン１３ｃをカーテンレール１６で左右方向に開閉可能に取り付け、カーテン１３ｄを梁材１２ｂおよび柱材１１ｂ，１１ｅに固定する。これにより、扉１の正面に位置するカーテン１３ｃを開閉して、生産装置などの搬出入を容易にすることができる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によれば、設置場所の制約が少なく、装置の搬出入口や避難通路を塞ぐ位置にも設置することができる還気用リタンシャフトを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の還気用リタンシャフトを示す斜視図である。
【図２】図１に示す還気用リタンシャフトの平面図である。
【図３】図１に示す還気用リタンシャフトの正面図である。
【図４】図１に示す還気用リタンシャフトの右側面図である。
【図５】図１に示す還気用リタンシャフトの（Ａ）柱材および梁材の取付箇所を示す平面図、（Ｂ）柱材、梁材、カーテンおよび垂れ壁の取付箇所を示す側面図である。
【図６】図１に示す還気用リタンシャフトの設置状態を示すクリーンルームの平面図である。
【図７】図１に示す還気用リタンシャフトの変形例を示す正面図である。
【図８】図７に示す還気用リタンシャフトの変形例のＡ−Ａ断面図である。
【符号の説明】
１    扉
２    壁面
３    天井材
１０  還気用リタンシャフト
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ  柱材
１１ｇ  脚部
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ  梁材
１３  カーテン
１４  垂れ壁
１５  取付金具
１６  カーテンレール
１７  面ファスナー
１８  固定部材
１９  鎖
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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