(57)【要約】【課題】簡単な光学系と処理ロジックにより、人間の感性に頼ることなく、定量的かつ再現性の良いリジングの程度の測定、評価を可能とする。【解決手段】ステンレス鋼板のサンプル１に対して、サンプル表面内のある方向に対して、サンプル表面内への投影が交叉角αをもつ方向でかつ、該サンプル表面に対して仰角θをもつ方向から、サンプル表面に光を照射し、サンプル表面での反射光を、サンプル表面の法線方向に略等しい（β≒０°）方向から、２次元撮像素子８を用いて撮像し、撮像された画像の該サンプル表面内の該ある方向に対して略９０°をなすＸ方向の輝度変動を演算処理することによって得られる値を用いて、リジングの程度を測定する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステンレス鋼板表面内のある方向に対して、該ステンレス鋼板表面内への投影が交叉角をもつ方向でかつ、該ステンレス鋼板表面に対して仰角をもつ方向から、該ステンレス鋼板表面に光を照射し、
該ステンレス鋼板表面での反射光を、該ステンレス鋼板表面の法線方向に略等しい方向から、２次元撮像素子を用いて撮像し、
撮像された画像の該ステンレス鋼板表面内の該ある方向に対して略９０°をなす方向の輝度変動を演算処理することによって得られる値を用いて、リジングの程度を表すことを特徴とするステンレス鋼板のリジング評価方法。
【請求項２】
撮像した画像の、前記ステンレス鋼板表面内のある方向に対して、該ステンレス鋼板表面内にあって略９０°をなす方向の輝度変動をシェーディング補正した後に、
同方向に所定距離離れた画素における輝度どうしで差をとる演算を施し、
その標準偏差を前記の撮像した画像中の、該ステンレス鋼板表面内のある方向に対して該ステンレス鋼板表面内にあって略９０°をなす方向に伸びる走査線ごとに算出し、
しかる後に平均値を求め、
その値によりリジングの程度を表すことを特徴とする請求項１に記載のステンレス鋼板のリジング評価方法。
【請求項３】
ステンレス鋼板を引張試験片の形状のものとし、
前記２次元撮像素子の走査線の伸びる方向を、引張試験片の引張方向と略垂直にすることを特徴とする請求項１又は２に記載のステンレス鋼板のリジング評価方法。
【請求項４】
ステンレス鋼板表面内のある方向に対して、該ステンレス鋼板表面内への投影が交叉角をもつ方向でかつ、該ステンレス鋼板表面に対して仰角をもつ方向から、該ステンレス鋼板表面に光を照射する光源と、
該ステンレス鋼板表面での反射光を、該ステンレス鋼板表面の法線方向に略等しい方向から撮像する２次元撮像素子と、
撮像された画像の該ステンレス鋼板表面内の該ある方向に対して略９０°をなす方向の輝度変動を演算処理する演算手段と、
を備えたことを特徴とするステンレス鋼板のリジング評価装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ステンレス鋼板を加工したときに生ずるリジングと呼ばれる皺状の表面凹凸の程度を測定してリジングを評価する方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ステンレス鋼板は、耐候性、耐腐食性や表面の美観に優れていることなどから種々の製品に利用されているが、特に食器や厨房機器等の用途に利用される際には、表面品質、すなわち光沢や白色度に優れ、かつそれらがステンレス鋼板表面内で均一なことが要求される。
【０００３】
また、先述の食器や厨房機器等はもとより、その他の用途に供されるものでも、プレス成形その他の加工が施されるものが少なくないため、それに耐え得る、すなわち、穴が空いたり割れたりしない、優れた加工性も同時に要求される。
【０００４】
優れた加工性を得るには、伸びをはじめとする優れた機械的性質が付与される必要がある。そこで、ステンレス鋼板を製造する際には、所定範囲の成分に調整された鋼塊に所定圧下率の熱間圧延、冷間圧延が施されたのち、焼鈍などの熱処理が施され、あるいは更に所定伸び率の調質圧延が施される等するが、それらの条件を適正化することで加工性の向上が図られている。
【０００５】
ところで、鋼塊製造時には結晶が主に、その厚さ方向に成長していくが、圧延されると、その厚さ方向に成長した結晶は、ステンレス鋼板の長さ方向に倒れ、長く伸ばされる。圧延時に長く伸ばされることにより受ける引張の力や、圧延が終わった後に、次の製造段階の熱処理に伴って生ずる熱応力の影響により、ステンレス鋼板の表面には凹凸状の皺が発生する場合がある。鋼塊製造時に結晶が厚さ方向に成長する速度には、場所により違いがあるため、引張の力や、熱応力が作用したときの単位伸び率当たりの幅方向絞り率にも違いが生じるため、その影響がステンレス鋼板表面に凹凸状の起伏、すなわち皺状となって現れるのである。
【０００６】
この製造段階で発生する皺をローピングと称するが、材料特性を把握するための引張試験等の材料試験段階やプレス加工等の加工段階で発生する、より顕著な皺をリジングと称している。
【０００７】
ＳＵＳ４３０をはじめとするフェライト系ステンレスで、このリジングは顕著に発生する。ＳＵＳ３０４をはじめとするオーステナイト系ステンレスでも、比較的軽微ではあるが発生することがある。マルテンサイト系ステンレスも同様である。
【０００８】
これらローピングやリジングは製品の表面品質を著しく損なうことになるので、熱処理条件や成分の適正化により、それらの抑制が図られている。
【０００９】
一方、それらの発生の程度を定量的に測定し把握することで製品の表面品質を評価することも重要である。現状のリジングの測定、評価方法としては、観察者が目視検査を行い、別途同様に目視検査により得られた評点付けされた限界サンプル見本との比較により、表面に発生している皺の明瞭さ（凹凸深さや皺の鮮明さの程度等）を、評点として表す目視評価方法、指での接触により表面の凹凸や皺の状況を感覚的に把握する触覚試験方法（これら両方の評価方法を組合わせる場合もある。また、目視評価方法の場合は複数評価者による合意により評点を決める場合や評点の平均値で判定する場合もある）、更には、より定量的な試験方法として、１次元表面粗さ測定による最大粗さや最大うねりの測定値で代替する方法などがある。これらの測定、評価は、ステンレス鋼板の生産ラインを一時停止し、サンプルを切り出して行う。サンプルは以下のようにして作成する。
【００１０】
（１）ＪＩＳ  Ｚ２２０１「引張試験」に準拠して５号試験片を作成。
（２）エメリー研磨＃６００（研磨せずそのままで実施の場合もあり）。
【００１１】
そして、そのサンプルを以下のようにして引張試験に供することにより、研磨面を対象に測定、評価する。
【００１２】
（３）２５％引張（研磨した場合は研磨面の裏面に２０ｍｍ間隔で３本のケガキ線を入れておき、どちらかの間隔が２５ｍｍになった段階で引張終了）。
【００１３】
また、ステンレス鋼板の表面性状を定量測定、評価する指標として鏡面光沢度や白色度などが品質管理に利用されてきた。特許文献１には、白色光の正反射方向の最大光強度や、最大光強度を示す正反射方向に対して一定角度内に位置する拡散反射光強度の測定値から、光沢度や白色度を測定する方法が提案されている。また、特許文献２には、圧延方向（長さ方向）に沿って光を照射し、その反射光の強度に基づく写像性測定値を得るとともに、白色度または圧延方向（長さ方向）に対して直角な方向に沿った鏡面光沢測定値を得て、写像性測定値と白色度との組み合わせ、および写像性測定値と鏡面光沢測定値との組み合わせのうち、少なくとも一方の組み合わせに基づき、クロム系ステンレス鋼板の表面性状を判定する方法が提案されている。
【００１４】
【特許文献１】
特開平４−７２５５１号公報
【特許文献２】
特許第３２３９７９３号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの方法のうち目視評価方法や触覚試験方法は、定量的でない、再現性が十分でない、個人差が大きい等の問題がある。一方、１次元表面粗さ測定は、測定に時間がかかり、作業負荷が大きいこと等の問題があるため、更には、そのことに起因してサンプルの測定数を増やすことが難しいため、品質管理に向かないという問題もあった。また、特許文献１や特許文献２にて提案されている方法は、いずれも、白色光の正反射光強度や、拡散反射光強度の測定により、ステンレス鋼板全面的に見て光沢が良い、悪いとか、ステンレス鋼板全面的に見て白っぽい、黒っぽいということの判定は可能であっても、リジングのような凹凸状の皺の程度の大小を測定、評価できるものではない、という問題があった。
【００１６】
本発明は、上記の問題点を解決するべくなされたもので、簡単な光学系と処理ロジックにより、人間の感性に頼ることなく、定量的かつ再現性の良いリジングの程度の測定が可能となる方法および装置を提供するもので、クロム系（フェライト系）をはじめとするステンレス鋼板のリジングの程度の測定、評価を行えるようにすることを課題としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための請求項１に係る本発明は、ステンレス鋼板表面内のある方向に対して、該ステンレス鋼板表面内への投影が交叉角をもつ方向でかつ、該ステンレス鋼板表面に対して仰角をもつ方向から、該ステンレス鋼板表面に光を照射し、該ステンレス鋼板表面での反射光を、該ステンレス鋼板表面の法線方向に略等しい方向から、２次元撮像素子を用いて撮像し、撮像された画像の該ステンレス鋼板表面内の該ある方向に対して略９０°をなす方向の輝度変動を演算処理することによって得られる値を用いて、リジングの程度を表すことを特徴とするステンレス鋼板のリジング評価方法である。
【００１８】
そして、請求項２に係る本発明は、撮像した画像の、前記ステンレス鋼板表面内のある方向に対して、該ステンレス鋼板表面内にあって略９０°をなす方向の輝度変動をシェーディング補正した後に、同方向に所定距離離れた画素における輝度どうしで差をとる演算を施し、その標準偏差を前記の撮像した画像中の、該ステンレス鋼板表面内のある方向に対して該ステンレス鋼板表面内にあって略９０°をなす方向に伸びる走査線ごとに算出し、しかる後に平均値を求め、その値によりリジングの程度を表すことを特徴とする請求項１に記載のステンレス鋼板のリジング評価方法である。
【００１９】
また、請求項３に係る本発明は、ステンレス鋼板を引張試験片の形状のものとし、前記２次元撮像素子の走査線の伸びる方向を、引張試験片の引張方向と略垂直にすることを特徴とする請求項１又は２に記載のステンレス鋼板のリジング評価方法である。
【００２０】
最後に、請求項４に係る本発明は、ステンレス鋼板表面内のある方向に対して、該ステンレス鋼板表面内への投影が交叉角をもつ方向でかつ、該ステンレス鋼板表面に対して仰角をもつ方向から、該ステンレス鋼板表面に光を照射する光源と、該ステンレス鋼板表面での反射光を、該ステンレス鋼板表面の法線方向に略等しい方向から撮像する２次元撮像素子と、撮像された画像の該ステンレス鋼板表面内の該ある方向に対して略９０°をなす方向の輝度変動を演算処理する演算手段と、を備えたことを特徴とするステンレス鋼板のリジング評価装置である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００２２】
図１に示すように、測定対象となっているステンレス鋼板１の表面内のある方向に対して、ステンレス鋼板表面内への投影が交叉角αをもつ方向で、かつ、該ステンレス鋼板表面に対して仰角θを持つ方向から、ステンレス鋼板に対して光源２により光を照射し、その拡散反射光をステンレス鋼板１の表面の法線方向に略等しい（β≒略０°）方向から２次元撮像素子８を用いて撮像する。拡大して撮像してもよい。
【００２３】
光は、ステンレス鋼板１の表面内のある方向に対して、ステンレス鋼板表面内への投影が交叉角αをもつ方向から照射する。このαは厳密な意味で９０°から外れたとしても、４５°から１３５°の範囲であれば適用できる。７０°から１１０°の範囲が好ましく、８０°から１００°の範囲が更に好ましい。９０°が最も望ましい。
【００２４】
また、仰角をもつとは、図中のθが０°を超えるという意味であるが、あまり大きな角度にはしない。０°を超え５°以下の範囲であれば適用できるが、可及的に０°に近い程好ましい。
【００２５】
光源２としては、図１に示した第１実施形態のように、棒状白色光源３から発せられる光をシリンドリカルレンズ４を通して平行光としたものを用いるなどしてもよいし、図２に示す第２実施形態のように、白色電球５から発せられる光をスリット６を通した光を用いるなど、広がりをもつ光を発する光源も適用することができる。とはいえ、平行光を発するものが測定には最も望ましく、この意味からすると、矩形断面のレーザ光を発するものが最も望ましいが、費用やメンテナンス負荷の面から、適宜選択してよい。あるいは、ここに紹介しない、その他の物も適用することができる。
【００２６】
前記棒状白色光源３としてはメタルハライドファイバ照明が、２次元撮像素子８としては、標準レンズを装着したＣＣＤカメラなどが好適である。
【００２７】
２次元撮像素子８は、サンプルの表面を、その法線方向に略等しい方向から撮像するように配置する。略とは、厳密な意味で法線方向から外れたとしても、適用することができるという意味である。外れる範囲βは０°から４５°の範囲に収めるのが好ましい。０°から３０°の範囲に収めるのが更に好ましく、法線方向が最も好ましい。
【００２８】
以下、２次元撮像素子８で撮像した画像の縦方向が、リジングが伸びている方向と一致するように、ステンレス鋼板１と撮像装置８とを配置した場合を例に説明する。ステンレス鋼板のサンプルとして引張試験片を用いる場合は、リジングが伸びている方向は引張方向であるから、２次元撮像素子で撮像した画像の縦方向と一致するようにサンプルと撮像装置とを配置するのがよい。
【００２９】
撮像装置で撮影された２次元画像は、画像ボード１０を介して演算処理装置１２に取込まれ、必要な演算処理が行われた後、出力装置１４に出力される。
【００３０】
前記２次元画像の一例を図３（ａ）に示す。図中縦方向に伸びているのがリジングである。リジングが伸びている方向すなわち図中縦方向をＹ方向とし、図中のそれと直角な方向をＸ方向とする。この例では、２次元撮像素子の画素数は５１２（Ｘ方向）×４８２（Ｙ方向）である。一部を拡大したようすを図３（ｂ）に模式的に示すが、一つの画素のＸ方向の長さが０．０５ｍｍとなるように拡大率が調整されている。
【００３１】
今、Ｙ方向のある座標に位置するＸ方向に伸びる走査ラインを、Ｙｊ番目のライン（１≦Ｙｊ≦４８２、Ｙｊ：整数）と呼ぶことにする。Ｙｊ番目のラインでの輝度をＺとすると、ＺはＸのＩ番目の画素：ＸｉとＹｊの関数：Ｚ（Ｘｉ，Ｙｊ）と表すことができ、サンプルに対して小さな仰角θをなす方向から入射する光がサンプル表面でその法線（β＝０）方向に拡散反射する強さの２次元的な分布をとらえることができる。ここで、１≦Ｘｉ≦５１２，Ｘｉ：整数  である。
【００３２】
ここで今、あるＹｊ番目のラインでのＺの分布を図４（ａ）に示す。光源から発せられる光が厳密な意味で平行であれば、ステンレス鋼板の表面がリジングの全くない平坦な状態のもとでは、Ｚ（Ｘｉ，Ｙｊ）は一様になるが、実際には、光の広がりや、あるいは光の強さのむら等に起因して、図４（ａ）にて左肩が下がって見えるように、Ｚ（Ｘｉ，Ｙｊ）は、Ｘ方向のリジングによる変動よりも巨視的な範囲でＸ方向に増減することがある。
【００３３】
このような場合、その巨視的な範囲でのＺの増減は、除去した方が、Ｚのより妥当な値が得られる。そのためには、図５に示す第３実施形態のように、フィルタ１１を画像ボード１０と演算処理装置１２の間に間挿し、特定のカットオフ周波数を規定してフィルタリング処理（ローパスフィルタ処理）を行うことで増減を補正できる。この処理をシェーディング補正と呼ぶ。シェーディング補正後の各画素ごとのＺ（Ｘｉ，Ｙｊ）をＺ１（Ｘｉ，Ｙｊ）とする。
【００３４】
上述のようにして測定したＸ方向の輝度の変動のデータを用いて、リジングの程度を表すための、本発明における好ましい演算処理の方法について、以下に説明する。
【００３５】
異なるＸについてのＺ（Ｘｉ，Ｙｊ）またはＺ１（Ｘｉ，Ｙｊ）どうしで、例えば差をとる演算処理を施す。この場合、実際にはＸｉとＸｉ＋ｐでのＺの値の差を計算することになる。ｐの値としては例えば２又は４あるいはその他の値にすることができる。差をとった後の値をＺ２とすると、
Ｚ２（Ｘｉ，Ｙｊ）＝Ｚ（Ｘｉ＋ｐ，Ｙｊ）−Ｚ（Ｘｉ，Ｙｊ）
あるいは、
Ｚ２（Ｘｉ，Ｙｊ）＝Ｚ１（Ｘｉ＋ｐ，Ｙｊ）−Ｚ１（Ｘｉ，Ｙｊ）
と表せる。以上のＺ１，Ｚ２を元のデータＺと対応させて図４（ｂ）、図４（ｃ）に示す。
【００３６】
ここで例えば、Ｚ２の値の標準偏差を算出することができ、この値σｊを以ってＹｊラインでの輝度の変動の大きさの指標として表すことができる。
【００３７】
同様に全てのｊについてσｊ値を算出することができ、それらの平均値をσとする。すなわち、σ＝Σσｊ  ÷４８２（１≦ｊ≦４８２）  である。
【００３８】
以上の一連の処理を行うことで、サンプル表面を２次元的に撮像した画像内における、リジング起因の明暗の変動の大小程度に応じた指標σが算出されることになる。
【００３９】
ここで、上記の説明では、Ｚ（Ｘｉ，Ｙｊ）またはＺ１（Ｘｉ，Ｙｊ）どうしで、差をとる演算を行う、本発明における好ましい演算処理の方法について説明したが、本発明はこれに限るものではなく、例えば微分値をとる、あるいはその他の方法による等、要は輝度ＺのＸ方向の変動を表せる方法であればいかなる方法をとってもよい。更に、σそのものを指標とするのではなく、σの２倍、σの３倍を指標とする等しても勿論良い。又、標準偏差σは分散の平方根をとったものであるが、標準偏差σのかわりに分散そのものを用いても良いし、とにかく分布の大きさを表す指標でさえあれば、その他のものを指標としても良い。
【００４０】
なお、ｉ，ｊの範囲であるが、全画素を対象とするのではなく、例えば、２０≦Ｘｉ≦４８０，１００≦Ｙｊ≦４００  などのように、撮像した画像内の一部、例えば、撮像した画像の中心付近のみを演算処理の対象にすることもできる。そのようにすれば、例えば、引張試験で生じるリジングが最も強調されて発生する部分のみを演算処理の対象とすることができるので、算出される指標σが、リジングの程度をより実態的に表すようにできる。
【００４１】
又、引張試験片が図６に示すように、引張の力により湾曲する場合もあるので、面の中心付近のみでの処理を行うことで端部に生じる影の部分を除くことも可能となる。
【００４２】
ここでは、上述の本発明における好ましい演算処理の方法を適用した場合について、上記の演算処理により得られたσをリジングの程度の異なる引張試験片について、グラフに表したものを図７に示す。この結果より、σがリジングの程度と良い相関を示すことが分かり、σにてリジングの程度を評価可能であることが確認された。ここで、図７に示したグラフ中の横軸は、予め複数の人が目視判定した結果を持ち寄って協議した結果、得られたリジングの程度の目視評価値である。
【００４３】
また、サンプルの表裏を反転させて測定したσを平均した値や、あるいは更にαまたはθを変え、光の照射方向を反対側に変えて１８０°＋αとして測定した値等、計４つのσを平均した値で１つのサンプルのリジングの程度の測定値として代表させることも可能である。
【００４４】
光の照射方向を反対側に変えて測定すると、ただ一つの方向から光を照射して測定した場合と比較して評点とσの値との相関関係がより良く相関するようになり、より正確にリジングの程度を測定できるようになる。これはサンプルが引張試験後の引張試験片であったような場合、引張試験後にエッジ部が多少湾曲していて、照射された光の影になることがあり、輝度の変動を実際よりも大きく測定してしまう場合があるところ、光の照射方向を反対側に変えて再度測定し、それにより得られるσとの平均をとると、その影響を低減できるからである。
【００４５】
図７に示した相関関係から近似直線を算出し、その直線を検量線として測定したσの値を検量線に代入することで得られた、リジングの程度の評価値と目視評価値との関係を図８に示した。これより、本発明による方法を用いることにより目視評価値の最小分解レベルである０．２５の差以内で推定できることが確認された。
【００４６】
いくつかの同じサンプルのセットを複数の観察者が別々に評価した結果では、最大で０．７５も目視評価値がばらつくことがあったが、本発明による評価方法は高い分解能で再現性良くリジングの程度を測定できるので、定量的な測定に利用できる。
【００４７】
なお、生産ラインに本発明の装置を設置し、搬送されるステンレス鋼板のローピングの程度を測定したり、ベルトコンベアにて搬送されるプレス加工後のステンレス製品のリジングの程度を評価する場合等の、より実際的な面を考慮して、本発明による方法の信頼性を向上するには、光源から発せられる光の強さが変化したような場合でも、演算結果が一定している必要がある。そのためには、例えば、標準板として表面に人工的に皺を付与した疑似サンプルを作成し、それを使って予め作成しておいた、光の強さの変化とσの値の変化の関係を用いることとし、実際に測定する際は、光の強さを測定の都度計測し、演算により得たσの値を補正する等すれば良い。
【００４８】
リジングの程度を測定するためのσの値を算出する処理フローをまとめて図９に示す。
【００４９】
【実施例】
図１０に具体的な実施例を示す。本実施例では、ステンレス鋼板の引張試験片２１（以下サンプル）の表面に、サンプル表面内にあってα＝９０°でかつ仰角θ＝０°の方向からサンプルに対してメタルハライドファイバ光源２２の光をシリンドリカルレンズ２４を通して照射し、その拡散反射光をサンプル表面の法線（β＝０°）方向からレンズを装着したＣＣＤカメラ２８を用いて拡大撮像する配置としている。また、ＣＣＤカメラ２８の走査方向（図中にＸ方向軸として表示）がサンプルの引張方向（図中にＹ方向軸として表示）と垂直に交叉するようなサンプルとＣＣＤカメラとの配置としている。
【００５０】
撮像された拡散反射光の強さは、画像ボード３０に記憶され、図９に示した処理フローに従って、演算装置３２によって前述したσ値が算出され、リジングの程度の測定、評価がなされ、出力装置３４から出力される。
【００５１】
なお、本発明は、これに限定されず、光源としては、先述のメタルハライドファイバ光源のほかに、ハロゲン棒状光源等も用いることができる。更に、本発明の装置は引張試験装置と一体に組み込むことで、ステンレス鋼板の引張試験片を引っ張りながら測定して、皺の発生状況の時間的な変化を捉えることができ、測定を迅速に行うこともできる。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、簡単な光学系と処理ロジックにより、人間の感性に頼ることなく、定量的かつ再現性の良いステンレス鋼板のリジングの程度の測定、評価ができるようになる。それにより、製品に発生するリジングの程度の品質管理ができるようになり、製品品質安定化、製造条件の最適化に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す斜視図
【図２】本発明の第２実施形態を示す斜視図
【図３】本発明により撮像されたステンレス鋼板表面の画像の例を示す図
【図４】本発明の原理を説明するための、
（ａ）ある走査線の各画素ごとの拡散反射光強度の測定データの例を示す図
（ｂ）（ａ）をシェーディング補正したデータの例を示す図
（ｃ）（ｂ）をもとに、Ｘ方向にある程度離れた画素どうしで輝度の差をとったデータの例を示す図
【図５】本発明の第３実施形態を示す斜視図
【図６】引張試験片の湾曲の様子を示す図
【図７】本発明の方法により算出されたリジングの程度の評価値σと目視評価値との相関を示す図
【図８】図５に示した相関関係から近似直線を算出し、その直線を検量線として直線上の値から外れる分について標準偏差を求め、それをσの値として置き換えて得られる、リジングの程度の評価値と目視評価値との相関を示す図
【図９】本発明の実施形態における処理フローの例を示す図
【図１０】本発明の装置の実施例を示す、一部ブロック図を含む斜視図
【符号の説明】
１…ステンレス鋼板
２…光源
３…棒状白色光源
４、２４…シリンドリカルレンズ
５…白色電球
６…スリット
８…２次元撮像素子
１０、３０…画像ボード
１２、３２…演算装置
１４、３４…出力装置
１１…フィルタ
２１…ステンレス鋼板の引張試験片
２２…メタルハライドファイバ光源
２８…ＣＣＤカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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