(57)【要約】【課題】カラー表示装置の表示品位の劣化を抑制できるカラーフィルタ基板およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のカラーフィルタ基板５０の製造方法は、透明基板１４上に遮光層６８を形成する工程と、遮光層を形成した後で、透明基板上にカラーフィルタ層６２を形成する工程とを包含する。遮光層を形成する工程は、第３カラーフィルタ６０が形成される領域の第２端辺５２側の端辺から所定の距離Ｈだけ離間した位置に開口部７２を設ける工程を含む。カラーフィルタ層を形成する工程は、第１カラーフィルタ５６および第２カラーフィルタ５８を形成した後に、透明基板上に第３カラーフィルタ用ドライフィルムを第１方向７０に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する第１端辺と第２端辺とを有する透明基板と、前記透明基板上に設けられたカラーフィルタ層および遮光層とを備えるカラーフィルタ基板であって、
前記カラーフィルタ層は、それぞれが前記第１端辺から前記第２端辺に向かう第１方向に沿って設けられた少なくとも１つの第１カラーフィルタと、少なくとも１つの第２カラーフィルタと、少なくとも１つの第３カラーフィルタとを有し、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは前記少なくとも１つの第１カラーフィルタと前記少なくとも１つの第２カラーフィルタとの間に配置されており、
前記遮光層は、前記第１方向に沿って延びる複数の第１遮光部と、前記複数の第１遮光部に接続され、かつ、前記第２端辺の近傍に前記第２端辺に沿って配置された第２遮光部とを有し、前記複数の第１遮光部は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタと前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間、および前記少なくとも１つの第３カラーフィルタと前記少なくとも１つの第２カラーフィルタとの間に配置されている、カラーフィルタ基板の製造方法であって、
前記透明基板上に前記遮光層を形成する工程と、
前記遮光層を形成した後で、前記透明基板上に前記カラーフィルタ層を形成する工程とを包含し、
前記遮光層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側に第１開口部を設ける工程を含み、
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第２カラーフィルタを形成した後に、前記透明基板上に第３カラーフィルタ用ドライフィルムを前記第１方向に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含む、カラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２】
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ用ドライフィルムを、前記第１開口部を含む領域まで押圧しながら貼り合わせて、前記第１開口部に第１ダミーカラーフィルタを形成する工程を含む、請求項１に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項３】
前記第１開口部は、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側の端辺から、０μｍ超４０μｍ以下の距離だけ離間した位置に配置される、請求項１または２に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項４】
前記第１開口部は、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタが形成される領域と連続して配置される、請求項１または２に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項５】
前記遮光層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側に第２開口部を設ける工程を含み、
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタを形成した後、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタを形成する前に、前記透明基板上に第２カラーフィルタ用ドライフィルムを前記第１方向に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含む、請求項１から４のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項６】
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記第３カラーフィルタ用ドライフィルムを、前記第２開口部を含む領域に押圧しながら貼り合わせて、前記第２開口部に第２ダミーカラーフィルタを形成する工程を含む、請求項５に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項７】
前記第２開口部は、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側の端辺から、０μｍ超４０μｍ以下の距離だけ離間した位置に配置される、請求項５または６に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項８】
前記第２開口部は、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが形成される領域と連続して配置される、請求項５または６に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項９】
前記遮光層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側に第３開口部を設ける工程を含み、
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタを形成する前に、前記透明基板上に第１カラーフィルタ用ドライフィルムを前記第１方向に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含む、請求項１から８のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１０】
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記第３カラーフィルタ用ドライフィルムを、前記第３開口部を含む領域に押圧しながら貼り合わせて、前記第３開口部に第３ダミーカラーフィルタを形成する工程を含む、請求項９に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１１】
前記第３開口部は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側の端辺から、０μｍ超４０μｍ以下の距離だけ離間した位置に配置される、請求項９または１０に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１２】
前記第３開口部は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺に連続して配置される、請求項９または１０に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第２カラーフィルタは、ドライフィルムを用いて形成される、請求項１から４のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１４】
前記遮光層は、ドライフィルムを用いて形成される、請求項１から１３のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１５】
前記遮光層の厚さは、０．１μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にある、請求項１から１４のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１６】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第２カラーフィルタは、スピンコート法またはインクジェット法を用いて形成される、請求項１から４のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１７】
前記遮光層は、金属材料を用いて形成される、請求項１から１３、１５および１６のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタは、赤カラーフィルタおよび緑カラーフィルタのいずれか一方であり、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタは、前記赤カラーフィルタおよび前記緑カラーフィルタの他方であり、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは青カラーフィルタである、請求項１から１７のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１９】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは、前記複数の第１遮光部のそれぞれを部分的に覆う、請求項１から１８のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２０】
前記少なくとも１つの第１、第２および第３カラーフィルタは、第１の幅を有する領域および、前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する領域を有し、前記少なくとも１つの第１、第２および第３カラーフィルタのそれぞれの前記第２端辺側の端辺は、前記第１の幅を有する領域に含まれる、請求項１から１９のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２１】
前記開口部の前記第１方向と交差する第２方向の幅は、前記第１の幅と同じである、請求項２０に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２２】
前記カラーフィルタ層は、前記第１方向に沿って設けられた少なくとも１つの第４カラーフィルタをさらに有し、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタは、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタに隣接し、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間に前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが配置されるように設けられているか、あるいは、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタに隣接し、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間に前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが配置されるように設けられており、
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタを形成する前に、前記透明基板上に第４カラーフィルタ用ドライフィルムを前記第１方向に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含む、請求項１から２１のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２３】
前記遮光層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側に第４開口部を設ける工程を含み、
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記第３カラーフィルタ用ドライフィルムを、前記第４開口部を含む領域に押圧しながら貼り合わせて、前記第４開口部に第４ダミーカラーフィルタを形成する工程を含む、請求項２２に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２４】
前記第４開口部は、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側の端辺から、０μｍ超４０μｍ以下の距離だけ離間した位置に配置される、請求項２２または２３に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２５】
前記第４開口部は、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺に連続して配置される、請求項２２または２３に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２６】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ、および前記少なくとも１つの第４カラーフィルタは、それぞれ、赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、青カラーフィルタ、および無色透明カラーフィルタからなる群から選択された互いに異なるカラーフィルタであり、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは前記青カラーフィルタである、請求項２２から２５のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２７】
前記遮光層を形成する工程は、隣接する前記複数の第１遮光部を互いに接続する複数の第３遮光部をさらに形成する工程を含み、
前記複数の第３遮光部のそれぞれの前記第１方向の幅は、０μｍ超４０μｍ以下の範囲に設定される、請求項１から２６のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２８】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、および第３カラーフィルタは、それぞれ、複数の第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、および第３カラーフィルタを含み、
前記複数の第１カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第２カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第３カラーフィルタのそれぞれの間隙とは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの上に配置される、請求項２７に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２９】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、第３カラーフィルタおよび第４カラーフィルタは、それぞれ、複数の第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、第３カラーフィルタおよび第４カラーフィルタを含み、
前記複数の第１カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第２カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第３カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第４カラーフィルタのそれぞれの間隙とは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの上に配置される、請求項２７に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項３０】
請求項１から２９のいずれかに記載の方法で製造されたカラーフィルタ基板。
【請求項３１】
請求項３０に記載のカラーフィルタ基板と、表示媒体層を挟んで対向するように配置されたアクティブマトリクス基板とを有する表示装置。
【請求項３２】
互いに対向する第１端辺と第２端辺とを有する透明基板と、前記透明基板上に設けられたカラーフィルタ層および遮光層とを備えるカラーフィルタ基板であって、
前記カラーフィルタ層は、それぞれが前記第１端辺から前記第２端辺に向かう第１方向に沿って設けられた少なくとも１つの第１カラーフィルタと、少なくとも１つの第２カラーフィルタと、少なくとも１つの第３カラーフィルタとを有し、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは前記少なくとも１つの第１カラーフィルタと前記少なくとも１つの第２カラーフィルタとの間に配置されており、
前記遮光層は、前記第１方向に沿って延びる複数の第１遮光部と、前記複数の第１遮光部に接続され、かつ、前記第２端辺の近傍に前記第２端辺に沿って配置された第２遮光部とを有し、前記複数の第１遮光部は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタと前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間、および前記少なくとも１つの第３カラーフィルタと前記少なくとも１つの第２カラーフィルタとの間に配置されている、カラーフィルタ基板であって、
前記遮光層は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタの前記第２端辺側にそれぞれ第１開口部、第２開口部および第３開口部を有し、前記第１開口部、前記第２開口部および前記第３開口部のそれぞれに、第１ダミーカラーフィルタ、第２ダミーカラーフィルタおよび第３ダミーカラーフィルタが形成されている、カラーフィルタ基板。
【請求項３３】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタは、赤色着色層および緑色着色層のいずれか一方で形成されており、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタは、前記赤色着色層および前記緑色着色層の他方で形成されており、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ、前記第１ダミーカラーフィルタ、前記第２ダミーカラーフィルタおよび前記第３ダミーカラーフィルタは、前記青色着色層で形成されている、請求項３２に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３４】
前記カラーフィルタ層は、前記第１方向に沿って設けられた少なくとも１つの第４カラーフィルタをさらに有し、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタは、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタに隣接し、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間に前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが配置されるように設けられているか、あるいは、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタに隣接し、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間に前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが配置されるように設けられており、
前記遮光層は、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタの前記第２端辺側に第４開口部をさらに有し、前記第４開口部には、第４ダミーカラーフィルタが形成されている、請求項３２または３３に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３５】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ、および前記少なくとも１つの第４カラーフィルタは、それぞれ、赤色着色層、緑色着色層、青色着色層、および無色透明着色層からなる群から選択された互いに異なる着色層で形成されており、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ、前記第１ダミーカラーフィルタ、前記第２ダミーカラーフィルタ、前記第３ダミーカラーフィルタおよび第４ダミーカラーフィルタは、前記青色着色層で形成されている、請求項３４に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３６】
前記遮光層は、隣接する前記複数の第１遮光部を互いに接続する複数の第３遮光部をさらに有し、前記複数の第３遮光部のそれぞれは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの前記第１方向の幅が０μｍ超４０μｍ以下の範囲にある、請求項３２から３５のいずれかに記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３７】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、および第３カラーフィルタは、それぞれ、複数の第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、および第３カラーフィルタを含み、
前記複数の第１カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第２カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第３カラーフィルタのそれぞれの間隙とは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの上に配置されている、請求項３６に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３８】
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、第３カラーフィルタおよび第４カラーフィルタは、それぞれ、複数の第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、第３カラーフィルタおよび第４カラーフィルタを含み、
前記複数の第１カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第２カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第３カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第４カラーフィルタのそれぞれの間隙とは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの上に配置されている、請求項３６に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３９】
請求項３２から３８のいずれかに記載のカラーフィルタ基板と、表示媒体層を挟んで対向するように配置されたアクティブマトリクス基板とを有する表示装置であって、
前記アクティブマトリクス基板は基板上に、
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタと対向するように、前記第１方向と前記第１方向に略直交する第２方向とにマトリクス状に配置された複数の画素電極と、
前記第１開口部、前記第２開口部、および前記第３開口部のそれぞれに対向するように配置された第１のダミー画素電極、第２のダミー画素電極および第３のダミー画素電極とを有し、前記第１のダミー画素電極、第２のダミー画素電極および第３のダミー画素電極は金属層で形成されている、表示装置。
【請求項４０】
請求項３２から３８のいずれかに記載のカラーフィルタ基板と、表示媒体層を挟んで対向するように配置されたアクティブマトリクス基板とを有する表示装置であって、
前記アクティブマトリクス基板は基板上に、
前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタと対向するように、前記第１方向と前記第１方向に略直交する第２方向とにマトリクス状に配置された複数の画素電極と、
前記第１開口部、前記第２開口部、および前記第３開口部のそれぞれに対向するように配置された第１のダミー画素電極、第２のダミー画素電極および第３のダミー画素電極とを有し、前記第１のダミー画素電極、第２のダミー画素電極および第３のダミー画素電極上の表示媒体層は黒表示状態に制御されている、表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばカラー液晶表示装置などの表示装置に使用されるカラーフィルタ基板の製造方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、小型、薄型、低消費電力、および軽量という特徴を有するため、現在、各種の電子機器に広く用いられている。特に、スイッチング素子を有するアクティブマトリクス型液晶表示装置は、パソコン等のＯＡ機器、テレビ等のＡＶ機器や携帯電話などに広く採用されている。また、近年、液晶表示装置の大型化や、高精細化、画素有効面積比率の向上（高開口率化）、または色純度向上などの品位向上が急速に進んでいる。
【０００３】
図１３を参照しながら、一般的なアクティブマトリクス型液晶表示装置の構造を説明する。図１３は液晶表示装置の断面図である。
【０００４】
図１３に示すように液晶表示装置３０は、互いに対向するように配置されたアクティブマトリクス基板２およびカラーフィルタ基板４と、これらの基板の間に配置された液晶層６とを備えている。また、液晶表示装置３０は、基板面内において、表示領域（有効表示領域）と、表示領域の周囲に配置された額縁領域（非有効表示領域）とを有している。
【０００５】
アクティブマトリクス基板２は、ガラス等の透明絶縁性基板８と、基板８上に形成された走査信号線用のゲートバスライン（図示せず）、データ信号線用のソースバスライン１０、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などのアクティブ素子（図示せず）および、透明画素電極１２とを備えている。複数の透明画素電極１２は、表示領域でマトリクス状に配列されている。
【０００６】
カラーフィルタ基板４は、ガラス等の絶縁性透明基板１４と、基板１４上に形成された、赤カラーフィルタ１６、緑カラーフィルタ１８および青カラーフィルタ２０で構成されるカラーフィルタ層２２と、複数の遮光部２４を有する遮光層２６と、対向電極（図示せず）とを備えている。赤カラーフィルタ１６、緑カラーフィルタ１８および青カラーフィルタ２０は、アクティブマトリクス基板２側に設けられた複数の透明画素電極１２のそれぞれに対応して設けられている。また遮光層２６は、複数の遮光部２４が、各カラーフィルタの間隙および額縁領域に配置されるように形成されている。
【０００７】
次に、カラーフィルタ基板４の製造方法の一例を説明する。
【０００８】
カラーフィルタ基板の製造方法として、近年、ドライフィルム法が利用されている。以下、図１４（ａ）〜（ｆ）を参照しながら、このドライフィルム法を用いたカラーフィルタ基板の製造方法を説明する（特許文献１参照）。
【０００９】
ドライフィルムは、感光性樹脂層の両主面がＰＥＴ（ポリエチレンテフタレート）フィルム等のフィルム支持体で挟持されて構成されている。感光性樹脂層には、赤、青、緑および黒色の顔料が分散された４種類のドライフィルムが用いられる。また、感光性樹脂層は典型的にはネガ型である。
【００１０】
まず、例えば赤色のドライフィルムをガラス基板１４上に押圧しながら貼り合わせ、フィルム支持体を剥離することによって、図１４（ａ）に示すように赤色の感光性樹脂層１６Ｒが基板１４上に転写される。この工程は一般にドライフィルムを加熱しながら実行され、いわゆる熱転写工程である。続いて、転写された赤色の感光性樹脂層１６Ｒを、マスク３２を介して露光および現像し、図１４（ｂ）に示すように赤カラーフィルタ１６が形成される。
【００１１】
続いて例えば緑色のドライフィルムを用いて上記と同様の工程を行い、図１４（ｃ）に示すように緑カラーフィルタ１８が形成される。さらに青色のドライフィルムを用いて上記と同様の工程を行い、図１４（ｄ）に示すように青カラーフィルタ２０が形成される。以上により、赤、緑および青カラーフィルタ１６、１８および２０で構成されるカラーフィルタ層２２が形成される。
【００１２】
カラーフィルタ層２２が形成された後、カラーフィルタ層２２の形成方法と同様の方法を用いて、黒色のドライフィルムをガラス基板１４上に押圧しながら貼り合わせ、図１４（ｅ）に示すように黒色の感光性樹脂層２６Ｒを基板１４上に転写する。次に、ガラス基板１４側から露光（背面露光）する。この背面露光により、赤、緑および青カラーフィルタ１６、１８および２０をマスクとして、黒色の感光性樹脂層２６Ｒが露光（自己整合的に露光）される。露光後、現像を行い、隣接するカラーフィルタの間隙、および額縁領域に遮光部２４が配置された遮光層２６が形成される。
【００１３】
以上により、カラーフィルタ基板が作製される。
【００１４】
ドライフィルム法は、従来から利用されていたスピンコート法に比べて、材料の歩留まりが高く、製造コストが低減できるという利点がある。また、ドライフィルムを用いてカラーフィルタ層および遮光層を形成した場合、それらの膜厚をより均一にすることができるという利点がある。
【特許文献１】特開２００１−１００２２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、上述した製造方法では、ネガ型の感光性樹脂層を用いて背面露光によって遮光層２６を形成する（図１４（ｅ））ため、カラーフィルタ１６、１８および２０上に形成されている黒色の感光性樹脂層２６Ｒが露光されないように、露光量に制限が生じる。従って、遮光層として作用するのに十分な膜厚またはＯＤ値を確保することが困難であり、結果として液晶表示装置のコントラスト比が低下するという問題がある。なお、ＯＤ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｅｎｓｉｔｙ（光学密度））値とは、物質の透過率を示す値であり、ＯＤ値が大きい物質ほど透過率は低い。
【００１６】
本発明は上記の課題を解決するためのものであり、カラー表示装置の表示品位の劣化を抑制できるカラーフィルタ基板およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のカラーフィルタ基板の製造方法は、互いに対向する第１端辺と第２端辺とを有する透明基板と、前記透明基板上に設けられたカラーフィルタ層および遮光層とを備えるカラーフィルタ基板であって、前記カラーフィルタ層は、それぞれが前記第１端辺から前記第２端辺に向かう第１方向に沿って設けられた少なくとも１つの第１カラーフィルタと、少なくとも１つの第２カラーフィルタと、少なくとも１つの第３カラーフィルタとを有し、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは前記少なくとも１つの第１カラーフィルタと前記少なくとも１つの第２カラーフィルタとの間に配置されており、前記遮光層は、前記第１方向に沿って延びる複数の第１遮光部と、前記複数の第１遮光部に接続され、かつ、前記第２端辺の近傍に前記第２端辺に沿って配置された第２遮光部とを有し、前記複数の第１遮光部は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタと前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間、および前記少なくとも１つの第３カラーフィルタと前記少なくとも１つの第２カラーフィルタとの間に配置されている、カラーフィルタ基板の製造方法である。このカラーフィルタ基板の製造方法は、前記透明基板上に前記遮光層を形成する工程と、前記遮光層を形成した後で、前記透明基板上に前記カラーフィルタ層を形成する工程とを包含し、前記遮光層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側に第１開口部を設ける工程を含み、前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第２カラーフィルタを形成した後に、前記透明基板上に第３カラーフィルタ用ドライフィルムを前記第１方向に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含むことを特徴としている。
【００１８】
ある好ましい実施形態では、前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ用ドライフィルムを、前記第１開口部を含む領域まで押圧しながら貼り合わせて、前記第１開口部に第１ダミーカラーフィルタを形成する工程を含む。
【００１９】
ある好ましい実施形態では、前記第１開口部は、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側の端辺から、０μｍ超４０μｍ以下の距離だけ離間した位置に配置される。
【００２０】
ある好ましい実施形態では、前記第１開口部は、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタが形成される領域と連続して配置される。
【００２１】
ある好ましい実施形態では、前記遮光層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側に第２開口部を設ける工程を含み、
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタを形成した後、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタを形成する前に、前記透明基板上に第２カラーフィルタ用ドライフィルムを前記第１方向に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含む。
【００２２】
ある好ましい実施形態では、前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記第３カラーフィルタ用ドライフィルムを、前記第２開口部を含む領域に押圧しながら貼り合わせて、前記第２開口部に第２ダミーカラーフィルタを形成する工程を含む。
【００２３】
ある好ましい実施形態では、前記第２開口部は、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側の端辺から、０μｍ超４０μｍ以下の距離だけ離間した位置に配置される。
【００２４】
ある好ましい実施形態では、前記第２開口部は、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが形成される領域と連続して配置される。
【００２５】
ある好ましい実施形態では、前記遮光層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側に第３開口部を設ける工程を含み、
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタを形成する前に、前記透明基板上に第１カラーフィルタ用ドライフィルムを前記第１方向に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含む。
【００２６】
ある好ましい実施形態では、前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記第３カラーフィルタ用ドライフィルムを、前記第３開口部を含む領域に押圧しながら貼り合わせて、前記第３開口部に第３ダミーカラーフィルタを形成する工程を含む。
【００２７】
ある好ましい実施形態では、前記第３開口部は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側の端辺から、０μｍ超４０μｍ以下の距離だけ離間した位置に配置される。
【００２８】
ある好ましい実施形態では、前記第３開口部は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺に連続して配置される。
【００２９】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第２カラーフィルタは、ドライフィルムを用いて形成される。
【００３０】
ある好ましい実施形態では、前記遮光層は、ドライフィルムを用いて形成される。
【００３１】
ある好ましい実施形態では、前記遮光層の厚さは、０．１μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にある。
【００３２】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第２カラーフィルタは、スピンコート法またはインクジェット法を用いて形成される。
【００３３】
ある好ましい実施形態では、前記遮光層は、金属材料を用いて形成される。
【００３４】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタは、赤カラーフィルタおよび緑カラーフィルタのいずれか一方であり、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタは、前記赤カラーフィルタおよび前記緑カラーフィルタの他方であり、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは青カラーフィルタである。
【００３５】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは、前記複数の第１遮光部のそれぞれを部分的に覆う。
【００３６】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１、第２および第３カラーフィルタは、第１の幅を有する領域および、前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する領域を有し、前記少なくとも１つの第１、第２および第３カラーフィルタのそれぞれの前記第２端辺側の端辺は、前記第１の幅を有する領域に含まれる。
【００３７】
ある好ましい実施形態では、前記開口部の前記第１方向と交差する第２方向の幅は、前記第１の幅と同じである。
【００３８】
ある好ましい実施形態では、前記カラーフィルタ層は、前記第１方向に沿って設けられた少なくとも１つの第４カラーフィルタをさらに有し、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタは、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタに隣接し、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間に前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが配置されるように設けられているか、あるいは、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタに隣接し、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間に前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが配置されるように設けられており、前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタを形成する前に、前記透明基板上に第４カラーフィルタ用ドライフィルムを前記第１方向に向かって押圧しながら貼り合わせる工程を含む。
【００３９】
ある好ましい実施形態では、前記遮光層を形成する工程は、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側に第４開口部を設ける工程を含み、
前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記第３カラーフィルタ用ドライフィルムを、前記第４開口部を含む領域に押圧しながら貼り合わせて、前記第４開口部に第４ダミーカラーフィルタを形成する工程を含む。
【００４０】
ある好ましい実施形態では、前記第４開口部は、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺側の端辺から、０μｍ超４０μｍ以下の距離だけ離間した位置に配置される。
【００４１】
ある好ましい実施形態では、前記第４開口部は、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタが形成される領域の前記第２端辺に連続して配置される。
【００４２】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ、および前記少なくとも１つの第４カラーフィルタは、それぞれ、赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、青カラーフィルタ、および無色透明カラーフィルタからなる群から選択された互いに異なるカラーフィルタであり、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは前記青カラーフィルタである。
【００４３】
ある好ましい実施形態では、前記遮光層を形成する工程は、隣接する前記複数の第１遮光部を互いに接続する複数の第３遮光部をさらに形成する工程を含み、前記複数の第３遮光部のそれぞれの前記第１方向の幅は、０μｍ超４０μｍ以下の範囲に設定される。
【００４４】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、および第３カラーフィルタは、それぞれ、複数の第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、および第３カラーフィルタを含み、前記複数の第１カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第２カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第３カラーフィルタのそれぞれの間隙とは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの上に配置される。
【００４５】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、第３カラーフィルタおよび第４カラーフィルタは、それぞれ、複数の第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、第３カラーフィルタおよび第４カラーフィルタを含み、
前記複数の第１カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第２カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第３カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第４カラーフィルタのそれぞれの間隙とは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの上に配置される。
【００４６】
本発明のカラーフィルタ基板は、上記に記載の方法で製造されることを特徴とする。  
【００４７】
本発明の表示装置は、上記に記載のカラーフィルタ基板と、表示媒体層を挟んで対向するように配置されたアクティブマトリクス基板とを有することを特徴とする。
【００４８】
本発明のカラーフィルタ基板は、互いに対向する第１端辺と第２端辺とを有する透明基板と、前記透明基板上に設けられたカラーフィルタ層および遮光層とを備えるカラーフィルタ基板であって、前記カラーフィルタ層は、それぞれが前記第１端辺から前記第２端辺に向かう第１方向に沿って設けられた少なくとも１つの第１カラーフィルタと、少なくとも１つの第２カラーフィルタと、少なくとも１つの第３カラーフィルタとを有し、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタは前記少なくとも１つの第１カラーフィルタと前記少なくとも１つの第２カラーフィルタとの間に配置されており、前記遮光層は、前記第１方向に沿って延びる複数の第１遮光部と、前記複数の第１遮光部に接続され、かつ、前記第２端辺の近傍に前記第２端辺に沿って配置された第２遮光部とを有し、前記複数の第１遮光部は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタと前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間、および前記少なくとも１つの第３カラーフィルタと前記少なくとも１つの第２カラーフィルタとの間に配置されている、カラーフィルタ基板であって、前記遮光層は、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタの前記第２端辺側にそれぞれ第１開口部、第２開口部および第３開口部を有し、前記第１開口部、前記第２開口部および前記第３開口部のそれぞれに、第１ダミーカラーフィルタ、第２ダミーカラーフィルタおよび第３ダミーカラーフィルタが形成されていることを特徴とする。
【００４９】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタは、赤色着色層および緑色着色層のいずれか一方で形成されており、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタは、前記赤色着色層および前記緑色着色層の他方で形成されており、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ、前記第１ダミーカラーフィルタ、前記第２ダミーカラーフィルタおよび前記第３ダミーカラーフィルタは、前記青色着色層で形成されている。
【００５０】
ある好ましい実施形態では、前記カラーフィルタ層は、前記第１方向に沿って設けられた少なくとも１つの第４カラーフィルタをさらに有し、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタは、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタに隣接し、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間に前記少なくとも１つの第１カラーフィルタが配置されるように設けられているか、あるいは、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタに隣接し、かつ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタとの間に前記少なくとも１つの第２カラーフィルタが配置されるように設けられており、前記遮光層は、前記少なくとも１つの第４カラーフィルタの前記第２端辺側に第４開口部をさらに有し、前記第４開口部には、第４ダミーカラーフィルタが形成されている。
【００５１】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ、および前記少なくとも１つの第４カラーフィルタは、それぞれ、赤色着色層、緑色着色層、青色着色層、および無色透明着色層からなる群から選択された互いに異なる着色層で形成されており、前記少なくとも１つの第３カラーフィルタ、前記第１ダミーカラーフィルタ、前記第２ダミーカラーフィルタ、前記第３ダミーカラーフィルタおよび第４ダミーカラーフィルタは、前記青色着色層で形成されている。
【００５２】
ある好ましい実施形態では、前記遮光層は、隣接する前記複数の第１遮光部を互いに接続する複数の第３遮光部をさらに有し、前記複数の第３遮光部のそれぞれは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの前記第１方向の幅が０μｍ超４０μｍ以下の範囲にある。
【００５３】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、および第３カラーフィルタは、それぞれ、複数の第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、および第３カラーフィルタを含み、前記複数の第１カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第２カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第３カラーフィルタのそれぞれの間隙とは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの上に配置されている。
【００５４】
ある好ましい実施形態では、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、第３カラーフィルタおよび第４カラーフィルタは、それぞれ、複数の第１カラーフィルタ、第２カラーフィルタ、第３カラーフィルタおよび第４カラーフィルタを含み、
前記複数の第１カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第２カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第３カラーフィルタのそれぞれの間隙と、前記複数の第４カラーフィルタのそれぞれの間隙とは、前記複数の第３遮光部のそれぞれの上に配置されている。
【００５５】
本発明の表示装置は、上記に記載のカラーフィルタ基板と、表示媒体層を挟んで対向するように配置されたアクティブマトリクス基板とを有する表示装置であって、前記アクティブマトリクス基板は基板上に、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタと対向するように、前記第１方向と前記第１方向に略直交する第２方向とにマトリクス状に配置された複数の画素電極と、前記第１開口部、前記第２開口部、および前記第３開口部のそれぞれに対向するように配置された第１のダミー画素電極、第２のダミー画素電極および第３のダミー画素電極とを有し、前記第１のダミー画素電極、第２のダミー画素電極および第３のダミー画素電極は金属層で形成されていることを特徴とする。
【００５６】
本発明の表示装置は、上記に記載のカラーフィルタ基板と、表示媒体層を挟んで対向するように配置されたアクティブマトリクス基板とを有する表示装置であって、前記アクティブマトリクス基板は基板上に、前記少なくとも１つの第１カラーフィルタ、前記少なくとも１つの第２カラーフィルタおよび前記少なくとも１つの第３カラーフィルタと対向するように、前記第１方向と前記第１方向に略直交する第２方向とにマトリクス状に配置された複数の画素電極と、前記第１開口部、前記第２開口部、および前記第３開口部のそれぞれに対向するように配置された第１のダミー画素電極、第２のダミー画素電極および第３のダミー画素電極とを有し、前記第１のダミー画素電極、第２のダミー画素電極および第３のダミー画素電極上の表示媒体層は黒表示状態に制御されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００５７】
本発明のカラーフィルタ基板の製造方法では、カラーフィルタ層を形成する前に遮光層を形成するので、遮光層の膜厚および／またはＯＤ値が従来のように制限されない。また、遮光層の所定の領域に開口部を形成するので、ドライフィルムを用いてカラーフィルタを形成する際に、開口部から気泡を外部に逃がすことができる。したがって、カラー表示装置の表示品位の劣化を抑制できるカラーフィルタ基板を作製できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５８】
本発明のカラーフィルタ基板の製造方法では、従来のようにカラーフィルタ層を形成した後に背面露光を用いて遮光層を形成する（図１４（ｅ））のではなく、カラーフィルタ層を形成する前に遮光層を形成するため、遮光層の膜厚および／またはＯＤ値が従来のように制限されない。従って、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法を用いると、十分な膜厚および／またはＯＤ値を有する遮光層を形成することが可能である。しかしながら、単純にカラーフィルタ層を形成する前に遮光層を形成してカラーフィルタ基板を作製する場合、複数のカラーフィルタを色毎に順に形成する際に、最後のカラーフィルタをドライフィルム法で形成すると、この最後のカラーフィルタと基板との間に気泡が形成されて、表示の欠陥が生じるという問題が生じる。これは、最後のカラーフィルタを形成する際に、このカラーフィルタが形成される領域が、遮光部および他のカラーフィルタによって包囲されているため、最後のカラーフィルタのためのドライフィルムを押圧しながら貼り合わせるときに、ドライフィルムと基板との間の気泡が外部に逃げないためである。本発明のカラーフィルタ基板の製造方法では、遮光層の所定の位置に開口部を設けるため、この開口部を介して上記の気泡を外部に逃がすことができる。
【００５９】
以下、図面を参照しながら本発明のカラーフィルタ基板、およびその製造方法を具体的に説明する。以下では、従来技術の説明と同様に、アクティブマトリクス型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板を例に実施形態を説明するが、本発明はこれに限定されない。
【００６０】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態のカラーフィルタ基板５０の部分平面図である。なお、カラーフィルタ基板５０の基本的な断面構造は、図１３に示したカラーフィルタ基板４と同様である。以下、図１および図１３を参照しながら、カラーフィルタ基板５０を説明する。
【００６１】
図１および図１３に示すように、本発明の一実施形態のカラーフィルタ基板５０は、透明基板１４と、透明基板１４上に設けられたカラーフィルタ層６２および遮光層６８とを備えている。カラーフィルタ層６２は、ストライプ状に配列された第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０を含み、第１、第２および第３カラーフィルタは典型的には赤カラーフィルタ、青カラーフィルタおよび緑カラーフィルタのいずれかである。第１、第２および第３カラーフィルタは、いずれも、透明基板１４の第１端辺（不図示）からこの第１端辺に対向する第２端辺５２に向かう方向（第１方向（矢印７０の方向）と称する）に沿って短冊状に延びた形状を有している。各カラーフィルタは、画素の列に対応して配置されている。第１カラーフィルタ５６と第２カラーフィルタ５８との間に第３カラーフィルタ６０が配置されている。
【００６２】
なお、上述の配置関係で並んだ３つのカラーフィルタが、１つのカラー画素に含まれる必要はない。ここで、１つのカラー画素は、例えばＲ（赤）、Ｇ（緑）およびＢ（青）の３つの画素で構成されるカラー表示できる最小の単位を指す。すなわち、第３カラーフィルタが、あるカラー画素の真ん中にある必要はない。
【００６３】
第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０は、典型的にはそれぞれのカラーフィルタの第２端辺５２側の端辺５６β、５８βおよび６０βが、表示領域（有効表示エリア）と額縁領域（非有効表示エリア）との境界に一致するように配置される。本実施形態では図１に示すように、第３カラーフィルタ６０と、第３カラーフィルタ６０の第２端辺５２側に設けられたダミーカラーフィルタ６０αとは分離されているが、第３カラーフィルタ６０とダミーカラーフィルタ６０αと接続されており、第３カラーフィルタ６０とダミーカラーフィルタ６０αとが一体に形成されていてもよい。ダミーカラーフィルタ６０αは、額縁領域に配置されているので実質的に表示に寄与しない。なお、本明細書で、カラーフィルタとは各画素の表示色を規定するために設けられるものであり、特に断らない限り、有効表示領域に設けられる着色層を指し、非有効表示領域に形成される着色層を含まないとする。
【００６４】
遮光層６８は、複数の第１遮光部６４と、第２遮光部６６とを有している。複数の第１遮光部６４はそれぞれ第１方向７０に沿って延びており、第１カラーフィルタ５６と第３カラーフィルタ６０との間、および第３カラーフィルタ６０と第２カラーフィルタ５８との間に配置されている。第２遮光部６６は、第２端辺５２の近傍にこの第２端辺５２に沿って配置されており、上記複数の第１遮光部６４に接続されている。第３カラーフィルタ６０の第２端辺５２側の端辺６０βから所定の距離Ｈだけ離間した位置に、開口部７２が設けられている。カラーフィルタ基板５０を用いて表示装置を構成した場合、第１遮光部６４は有効表示領域に対応するように配置され、第２遮光部６６は非有効表示領域に対応するように配置される。なお、開口部７２と、開口部７２の上層に配置されているダミーカラーフィルタ６０α（後述する）とを、例えば図１では参照符号６０α（７２）で表している。
【００６５】
後の製造方法の説明で詳細に説明するが、本実施形態のカラーフィルタ基板５０は、カラーフィルタ層の形成前に遮光層が形成されているため、遮光層を形成する際の露光量が従来のように制限されず、十分な膜厚および／またはＯＤ値の遮光層を備えることが可能である。従来のカラーフィルタ基板（図１４）の遮光層はＯＤ値２．０未満、膜厚１．０μｍ以下であったが、本発明のカラーフィルタ基板５０は、ＯＤ値２．０以上、膜厚０．１〜３．０μｍの遮光層を備えることが可能である。また、カラーフィルタ基板５０は遮光層が開口部７２を有しているため、カラーフィルタ層を形成する工程で、この開口部７２からカラーフィルタ層６２と基板と１４の間に生じる気泡を逃がすことができる。
【００６６】
次に、図１および図２（ａ）〜（ｅ）を参照しながらカラーフィルタ基板５０の製造方法の一例を説明する。図２（ａ）〜（ｅ）は、図１の２Ａ―２Ａ’に対応する断面図である。なお、以下の説明では、主として、遮光層６８を構成する複数の遮光部およびカラーフィルタ層６２を構成する複数のカラーフィルタの全てを、ドライフィルムを用いて形成する場合を例示する。ドライフィルムは、感光性樹脂層（着色層）の両主面がＰＥＴ（ポリエチレンテフタレート）フィルム等のフィルム支持体６０Ｓで挟持されて構成されている。ここでは、感光性樹脂層に赤、青、緑および黒色の顔料が分散された４種類のドライフィルムを用いる。また、感光性樹脂層は典型的にはネガ型である。
【００６７】
まず、カラーフィルタ層６２を形成する前に、遮光層６８を形成する。従来のように、カラーフィルタ層を形成した後に背面露光を用いて遮光層を形成する（図１４）のではなく、カラーフィルタ層を形成する前に遮光層を形成するため、遮光層を形成する際の露光量が従来のように制限されず、充分な膜厚および／またはＯＤ値の遮光層を形成することができる。遮光層６８の形成は例えば以下のようにして行う。
【００６８】
ローラ３４（図３）を用い、遮光層６８用の黒色ドライフィルムを透明基板１４上に押圧しながら貼り合わせ、フィルム支持体を剥離することによって、図２（ａ）に示すように黒色感光性樹脂層６８Ｒを基板１４上に転写する。この工程は、一般にドライフィルムを加熱しながら実行され、いわゆる熱転写工程である。
【００６９】
続いて、マスク７４を介して黒色感光性樹脂層６８Ｒを露光した後、現像を行い、遮光層６８を形成する。このとき、図２（ｂ）に示すように、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０が形成される領域に、それぞれ、第１カラーフィルタ用の開口部、第２カラーフィルタ用の開口部および第３カラーフィルタ用の開口部が形成されるように第１遮光部６４を形成すると共に、第３カラーフィルタ用の開口部の第２端辺５２側に開口部７２が形成されるように第２遮光部６６を形成する。
【００７０】
図１に示すように遮光層６８において、開口部７２は、第３カラーフィルタ６０用の開口部（第３カラーフィルタ６０を形成する領域）の端辺６０βから所定の距離Ｈだけ離間した位置に設けられる。すなわち、第３カラーフィルタ６０を形成する領域の端辺６０βの第２端辺５２側に、境界部６６Ａを挟んで開口部７２を設ける。距離Ｈは、０μｍ超４０μｍ以下、好ましくは２０μｍ以下であることが好ましい。距離Ｈが上記範囲にある場合、第３カラーフィルタ６０を形成する際に、第３カラーフィルタ６０用のドライフィルムと基板１４（表面に遮光層６８と、第１カラーフィルタ５６と、第２カラーフィルタ５８とが形成された基板）との間に発生する気泡を、第２遮光部６６の境界部６６Ａの上を通過させた後、開口部７２から十分に逃がすことができる。なお、第３カラーフィルタを形成する領域（有効表示エリア内）と開口部７２とは連続して形成しても良いが、図１に示したように、境界部６６Ａを設けることが好ましい。一般に、カラーフィルタ基板に対向するように配置されるアクティブマトリクス基板（例えばＴＦＴ基板）の非有効表示エリアにも遮光層が設けられるが、この遮光層と有効表示エリアとの間に間隙が形成されることがある（例えば、ＴＦＴ基板に設けられる遮光層をゲートバスラインと同じ金属膜から形成する場合）。このような場合に、カラーフィルタ基板側の遮光層６８に境界部６６Ａが存在しないと、ＴＦＴ基板の上記間隙からの光漏れが視認されることがあるので、境界部６６Ａを設けることが好ましい。
【００７１】
また、本実施形態では、アクティブマトリクス基板に設けられるＴＦＴを遮光できるように、複数の第１遮光部６４は、それぞれ、所定の位置に凸部６４Ａを有するように形成される。
【００７２】
なお、ドライフィルムに代えて、例えばクロムのような金属材料を用いて遮光層６８を形成してもよい。金属材料を用いる場合、フォトリソグラフィおよびエッチングにより、遮光層を形成する。
【００７３】
遮光層６８を形成した後、図２（ｃ）、（ｄ）および（ｅ）に示すように、カラーフィルタ層６２を形成する。カラーフィルタ層６２の形成は例えば以下のようにして行う。
【００７４】
遮光層６８を形成する方法と同様にローラ３４を用い、第１カラーフィルタ５６用のドライフィルムを基板１４上に押圧しながら第１方向７０に貼り合わせ、フィルム支持体を剥離することによって、第１カラーフィルタ５６用の感光性樹脂層（第１着色層）を基板上に転写する。続いて、マスクを用いて露光および現像を行い、第１カラーフィルタ５６用の開口部以外の領域に形成された第１着色層を除去し、第１カラーフィルタ５６を形成する。第１カラーフィルタ５６を形成した方法と同様の方法で第２カラーフィルタ５８を形成する。
【００７５】
以下、第３カラーフィルタ６０を形成する工程をより詳細に説明する。図３は、第３カラーフィルタ６０を形成する際の製造工程を説明するための図であり、図１のカラーフィルタ基板５０の３Ａ―３Ａ’に対応する部分を矢印７１方向から観察した図である。図４および図５は比較例を説明するための図であり、図１および図３に対応している。
【００７６】
ローラ３４（図３）を用い、第３カラーフィルタ６０用のドライフィルム６０Ｄを透明基板１４上に押圧しながら貼り合わせ、フィルム支持体６０Ｓを剥離することによって、第３カラーフィルタ６０用の感光性樹脂層（第３着色層）６０Ｒを基板１４上に転写する。続いて、マスクを用いて露光および現像を行う。この露光および現像工程により、有効表示領域において、第１遮光部６４、第１カラーフィルタ５６および第２カラーフィルタ５８上の第３着色層を除去し、非有効表示領域において、第２遮光部６６上の第３着色層を除去する。以上により、第３カラーフィルタ５６を形成すると共に、第３着色層を開口部７２に配置してダミーカラーフィルタ６０αを形成する。
【００７７】
なお、第３カラーフィルタ６０のパターニングには、遮光層、第１カラーフィルタおよび第２カラーフィルタをマスクとした背面露光を用いても良い。
【００７８】
基板１４に第３カラーフィルタ６０用のドライフィルム６０Ｄを貼り合わせる際、第３カラーフィルタ６０を形成する領域および開口部７２以外は既に他のカラーフィルタ５６、５８および遮光部６４、６６が形成されている。従って、図４に示すように非有効表示領域に形成された遮光層に開口部が設けられていない場合、第３カラーフィルタ６０’用のドライフィルムを押圧しながら貼り合わせるときに、基板１４と上記ドライフィルム６０’との間に存在する気泡を外部に逃がすことができない。気泡が存在すると、その部分は感光性樹脂層が載らずに、色抜け欠陥が生じてしまう。
【００７９】
本実施形態では、非有効表示領域に形成された遮光層が、第３カラーフィルタ６０を形成する領域の端辺６０βの第２端辺５２側に、境界部６６Ａを挟んで開口部７２を備えている。従って、図３に示すように、第３カラーフィルタ用のドライフィルム６０Ｄを貼り合わせる際に、第２遮光部６６の境界部６６Ａの上を通過させた後、上記気泡を開口部７２から外部に逃がすことができる。
開口部７２の両側に着色層が存在していないので、上記気泡を容易に逃がすことができる。
【００８０】
第３着色層は図１に示したように、開口部７２の全部に形成されることが好ましい。開口部７２の一部のみを含むように第３着色層が形成されるか、あるいは、開口部７２内に第３着色層が全く配置されなくてもよいが、開口部７２内に着色層が存在している方が、光漏れが視認されにくいという利点がある。なお、開口部７２内から気泡が逃げず、気泡が残ったままの状態であっても、開口部７２は非有効表示領域に設けられているので、表示上、問題になりにくい。
【００８１】
なお、図１では、第２遮光部６６の有する境界部６６Ａ上に第３着色層が形成されていない場合を例示しているが、境界部６６Ａ上に第３着色層が形成され、第３カラーフィルタ６０とダミーカラーフィルタ６０αとが一体に形成されていてもよい。
【００８２】
第３カラーフィルタは、赤、緑および青カラーフィルタのうち、青カラーフィルタであることが好ましい。青カラーフィルタは、以下に説明するように赤、および緑カラーフィルタに比べて遮光作用が高いので、開口部７２による光漏れを抑制できるからである。
【００８３】
本実施形態で用いた赤、緑および青カラーフィルタならびに遮光層（ＢＭ）の視感度（明度Ｙ）、色度および膜厚を表１に示す。なお、表１の各パラメータは一例であり、本発明はこれに限定されることはない。
【００８４】
【表１】
2004252418.tif 000003
表１に示すように、青カラーフィルタは、赤、緑、青カラーフィルタの中で視感度が一番小さい。従って、赤および緑カラーフィルタに比べて開口部７２をより遮光することができる。第１および第２カラーフィルタは、赤および緑カラーフィルタのいずれでもよいが、典型的には、第１カラーフィルタは赤カラーフィルタであり、第２カラーフィルタは緑カラーフィルタである。
【００８５】
以上、説明したように、第３カラーフィルタ６０およびダミーカラーフィルタ６０αが形成され、図２（ｅ）に示すようにカラーフィルタ層が形成される。この後、所定の工程を経て、カラーフィルタ基板５０が作製される。
【００８６】
なお、図２（ｃ）〜（ｅ）に示したように、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０は、第１遮光部６４を部分的に覆うように形成されることが好ましい。すなわち、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０のそれぞれの両端（ストライプ状のカラーフィルタの対向する長辺）と、第１遮光部６４の両端とが重なるように形成されていることが好ましい。図２（ｅ）に、この重なり領域を参照番号Ｙで示している。重なり領域Ｙを設けることにより、各カラーフィルタのアライメントずれによる色むらを解消できる。また、カラーフィルタによる段差部分が遮光部６４で遮光されることになるので、液晶分子の配向乱れによる表示の欠陥が視認されないようにすることができる。
【００８７】
また、本実施形態ではアクティブマトリクス基板に設けられるＴＦＴを遮光するために第１遮光部６４が凸部６４Ａを有し、これに対応して、第１、第２および第３カラーフィルタ５６、５８、６０はそれぞれ凹部を有している。すなわち、第１、第２および第３カラーフィルタはそれぞれ、第１の幅を有する領域および、第１の幅よりも小さい第２の幅を有する領域を有している。なお、上記第１の幅および第２の幅は、いずれも、第１の方向７０と交差する第２の方向のカラーフィルタの幅である。この場合、第３カラーフィルタの第２端辺５２側の端辺６０βは、第１の幅を有する領域に含まれていることが好ましい。カラーフィルタの貼り合わせ方向７０側の端辺の幅がより大きい方が、気泡を逃がし易いからである。また、開口部７２の幅（第１方向７０と交差する第２方向の幅）は、上記第１の幅と同じであることが好ましい。
【００８８】
以上の説明では、ドライフィルム法を用いてカラーフィルタ層を形成する場合を例示したが、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法は、遮光層およびカラーフィルタ層の中で最後に形成される第３カラーフィルタがドライフィルム法を用いて形成される限り、その他のカラーフィルタおよび遮光部の形成方法は任意である。しかしながらドライフィルム法は、例えば、液状の感光性材料を用いるスピンコート法に比べて材料の歩留まりが高く、製造コストが低減でき、より均一な膜厚の層を形成できるという利点がある。また、例えばインクジェット印刷法と比較しても、より均一な膜厚の層を形成できるという利点がある。また、カラーフィルタ層および遮光層を形成する際に、いずれのカラーフィルタおよび遮光部を形成するのにも共通の方法を用いる方が、製造方法を簡略化できるという利点もある。従って、上記に例示したように、カラーフィルタ層を構成する複数のカラーフィルタおよび遮光層を構成する複数の遮光部の全てについてドライフィルム法を用いて形成することが好ましい。
【００８９】
なお、スピンコート法を用いて第１、第２カラーフィルタおよび遮光部を形成する場合、ガラス基板上に、所望の色の顔料を分散させた感光性樹脂をスピンナーによってコーティングして乾燥させた後、得られた感光性樹脂層を露光および現像し、カラーフィルタおよび遮光部が形成される。また、インクジェット印刷法を用いる場合、ガラス基板上の所定の位置に、所望の色インクを噴出および固定し、カラーフィルタおよび遮光部が形成される。
【００９０】
本実施形態のカラーフィルタ基板の構成は、上述したカラーフィルタ基板に限定されない。
【００９１】
遮光層６８は、図６（ａ）のカラーフィルタ基板５０Ｂに示すように、隣接する第１遮光部６４を互いに接続する第３遮光部６７をさらに有していてもよい。第３遮光部６７は、有効表示エリアにおいて、第２方向７１に沿ってストライプ状に延びるように形成され、アクティブマトリクス基板に設けられるゲートバスライン１１（図１２参照）と対向するように配置される。この第３遮光部６７によって、ゲートバスライン１１と透明画素電極１２との間で生じる光漏れが抑制されるため、表示装置の表示品位の低下を防止することができる。
【００９２】
第３遮光部６７の第１方向７０の幅は、０μｍ超４０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下であることがより好ましい。この第３遮光部６７の好ましい幅は、上述した非有効表示エリアの境界領域６６Ａの幅Ｈの好ましい幅と同じである。
【００９３】
第３遮光部６７の第１方向７０の幅が上記範囲内にあれば、第３カラーフィルタ６０を形成するために、第３カラーフィルタ６０用のドライフィルムを第１方向７０に押圧しながら貼り合わせる際に、ドライフィルムと基板（表面に遮光層６８および第１カラーフィルタ５６および第２カラーフィルタ５８が形成された基板１４）との間に発生する気泡を、各第３遮光部６７とドライフィルムとの間を介して第１方向７０に移動させることができる。上述したように、有効表示エリアの最終端部６０βに隣接して設けられた遮光層６８の境界領域６６Ａの幅は、第２遮光部６７と同様に、遮光層上の気泡が境界領域６６Ａを乗り越えることができるように設定されているので、上記気泡は、境界領域６６Ａとドライフィルムとの間を通り抜けた後、最終的に開口部７２から外部に放出される。
【００９４】
なお、ドライフィルムを用いて第１カラーフィルタ５６および第２カラーフィルタ５８を形成する工程では、第１カラーフィルタ５６または第２カラーフィルタ５８を形成する領域の両側または片側にカラーフィルタが存在していないので、気泡の逃げ道が十分確保されており、気泡が発生しにくい。
【００９５】
カラーフィルタ基板５０Ｂのカラーフィルタ層６２は、第１方向７０に沿って配列された複数の第１カラーフィルタ５６と、第２カラーフィルタ５８と第３カラーフィルタ６０を含んでいる。図１に示したカラーフィルタ基板６０では、各カラーフィルタ５６、５８および６０は、第１方向にストライプ状に延びた形状を有していたが、カラーフィルタ基板５０Ｂでは、画素ごとに分割された複数のカラーフィルタが用いられており、第１方向７０に隣接する同じ色のカラーフィルタの隙間は、上記第３遮光部６７の上に配置されている。すなわち、第１方向に沿って配列された複数の第１カラーフィルタ５６の隙間は、第３遮光部６７Ａの上に配置されており、第１方向に沿って配列された複数の第２カラーフィルタ５６の隙間は、第３遮光部６７Ｂの上に配置されており、第１方向に沿って配列された複数の第３カラーフィルタ６０の隙間は、第３遮光部６７Ｃの上に配置されている。
【００９６】
図６（ｂ）は図６（ａ）のカラーフィルタ基板５０Ｂの６Ｍ−６Ｍ’に対応する断面図である。図６（ｂ）に示すように、隣接するカラーフィルタ５６の間に第３遮光部６７が設けられている。カラーフィルタ５６は、カラーフィルタ５６の端部と第３遮光部６７との間には隙間ができないように形成される。通常はアライメントマージンを確保するために、カラーフィルタ５６の端部が第３遮光部上に配置されるように形成される。
【００９７】
カラーフィルタ基板５０Ｂのカラーフィルタ層６２を形成する工程は、各カラーフィルタ５６、５８、および６０を形成するためにドライフィルムを貼り付けた後、マスクを用いて露光現像を行う際に、第３遮光部６７上に配置されるドライフィルムの一部を除去する工程を含む。
【００９８】
カラーフィルタ基板５０Ｂにおいても、図１に示したカラーフィルタ基板６０と同様に、第１方向に短冊状に延びた形状を有するカラーフィルタを用いてもよい。ストライプ形状のカラーフィルタを用いた場合における図６（ａ）の６Ｍ−６Ｍ’に対応する断面図を図６（ｃ）に示す。ただし、図６（ｂ）に示したように第３遮光部６７に対応して分割されたカラーフィルタを用いた方が、カラーフィルタ基板の表面凹凸を抑制できるという利点がある。
【００９９】
なお、図６（ａ）のカラーフィルタ基板５０Ｂでは、第２遮光部６６の有する境界部６６Ａ上に第３着色層が形成されており、第３カラーフィルタ６０とダミーカラーフィルタ６０αとが一体に形成されている場合を示している。また、第３遮光部６７上のカラーフィルタが除去されている（図６（ｂ））場合を示している。カラーフィルタ基板の構成はこれに限られず、例えば、境界部６６Ａ上に第３着色層が形成されており、さらに、第３遮光部６７が対応する各カラーフィルタで覆われていてもよい（図６（ｃ））。
【０１００】
また、本実施形態のカラーフィルタ基板は、４色以上のカラーフィルタを含むカラーフィルタ層を有していても良い。
【０１０１】
図７に示すカラーフィルタ基板５０Ｃは、カラーフィルタ層６２が、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８、第３カラーフィルタ６０に加えて、第４カラーフィルタ６１を有している。第４カラーフィルタ６１は第１カラーフィルタ５６に隣接し、かつ、第４カラーフィルタ６１と第３カラーフィルタ６０との間に第１カラーフィルタ５６が配置されている。なお、上述の配置関係で並んだ４つのカラーフィルタが、１つのカラー画素に含まれる必要はない。
【０１０２】
第１〜第４カラーフィルタのそれぞれを、例えば赤カラーフィルタ、青カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、および無色透明カラーフィルタのうちの異なる一つで構成すれば、反射型液晶表示装置の輝度および色再現性を向上させることができる。なお、４色のカラーフィルタを用いた反射型液晶表示装置の詳細は、例えば特開２００１−２９６５２３号公報に説明されている。
【０１０３】
赤カラーフィルタ、青カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、および無色透明カラーフィルタの中では、青カラーフィルタの視感度が最も小さい。上述したように開口部７２には視感度のより小さい着色層を形成することが好ましいので、赤カラーフィルタ、青カラーフィルタ、緑カラーフィルタおよび無色透明カラーフィルタで構成されるカラーフィルタ層６２を形成する工程では、青カラーフィルタが最後に形成され、かつ、開口部７２内に青カラーフィルタを形成するためのドライフィルムが配置されることが好ましい。
【０１０４】
したがって、カラーフィルタ層６２を形成する工程において第３カラーフィルタが最後に形成され、第３カラーフィルタ６０の基板端辺５２側に開口部７２が設けられるカラーフィルタ基板５０Ｃでは、第３カラーフィルタ６０は青カラーフィルタで構成されることが好ましい。第１、第２および第４カラーフィルタは、それぞれ、赤カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、および無色透明カラーフィルタのうちの異なる一つであれば、いずれであってもよい。
【０１０５】
カラーフィルタ基板５０Ｃのカラーフィルタ層６２のうち、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０は、上述したカラーフィルタ基板５０のカラーフィルタ層６２と同様の方法を用いて形成することができる。第４カラーフィルタ６１は、第１カラーフィルタ５６を形成する前に形成されることが好ましい。カラーフィルタ層を形成する工程において、カラーフィルタを形成する領域の両側に既にカラーフィルタが存在している状態を、４色のカラーフィルタの中で最後に形成される第３カラーフィルタを形成する工程だけにすることができ、第３カラーフィルタ以外のカラーフィルタを形成する工程では、カラーフィルタを形成する領域の両側または片側に、開口部（カラーフィルタを形成するために遮光層６８に設けられた開口部）を存在させることができるからである。
【０１０６】
ｎ色（ｎは５以上の自然数）のカラーフィルタを用いてカラーフィルタ層６２を構成する場合、上記カラーフィルタ基板５０Ｃと同様に、カラーフィルタを形成する工程の最後に形成されるカラーフィルタと、最後から２番目に形成されるカラーフィルタと、最後から３番目に形成されるカラーフィルタとを、それぞれ、第１カラーフィルタ５６と、第２カラーフィルタ５８と、第３カラーフィルタ６０とで構成し、第４〜第ｎカラーフィルタは第１カラーフィルタ５６を形成する前に形成すればよい。
【０１０７】
カラーフィルタ層６２を例えば赤カラーフィルタ、青カラーフィルタ、緑カラーフィルタ、シアンカラーフィルタ、マゼンダカラーフィルタおよびイエローカラーフィルタからなる６色のカラーフィルタで構成すれば、従来よりも自然な発色を実現できる。なお、上記６色のカラーフィルタを用いた表示装置の詳細は、例えば特開２００２−２８６９２７号公報に説明されている。
【０１０８】
（実施形態２）
上述した実施形態では、非有効表示領域の遮光層が、第１カラーフィルタ５６が形成される領域、第２カラーフィルタ５８が形成される領域および第３カラーフィルタ６０が形成される領域のうち、第３カラーフィルタ６０が形成される領域の第２端辺５２側に選択的に開口部７２を有している場合を説明したが、本発明はこれに限定されない。非有効表示領域の遮光層が開口部７２に加えて、第１カラーフィルタ５６が形成される領域の第２端辺５２側、および第２カラーフィルタ５８が形成される領域の第２端辺５２側のうちの少なくとも一方に開口部を備えていても良い。
【０１０９】
特に、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０をいずれもドライフィルムを用いて形成する場合、第１カラーフィルタ５６が形成される領域および第２カラーフィルタ５８が形成される領域の第２端辺５２側の遮光層に、それぞれ開口部が設けられていれば、第１カラーフィルタ５６用のドライフィルムを貼り合わせるとき、および、第２カラーフィルタ５８用のドライフィルムを貼り合わせるときにも、基板とドライフィルムとの間の気泡を外部に逃がすことができる。以下、第１、第２および第３カラーフィルタの全てがドライフィルムを用いて形成されており、それぞれのカラーフィルタが形成される領域の第２端辺５２側に開口部が設けられている構成を説明する。
【０１１０】
図８は、本発明の第２の実施形態のカラーフィルタ基板８０の部分平面図である。上述した実施形態１のカラーフィルタ基板５０の構成要素と同様の作用を有する構成要素には同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【０１１１】
図８に示すように、本実施形態では、非有効表示領域の遮光層が、第１カラーフィルタ５６が形成される領域の第２端辺５２側と、第２カラーフィルタ５８が形成される領域の第２端辺５２側と、第３カラーフィルタ６０が形成される領域の第２端辺５２側とにそれぞれ、開口部８２、８４および８６を有している。この開口部８２、８４および８６にはそれぞれ、ダミーカラーフィルタ６０αが設けられている。ダミーカラーフィルタ６０αは、第３カラーフィルタ６０用のドライフィルムで形成されている。第３カラーフィルタは、赤、緑および青カラーフィルタのうち、好ましくは青カラーフィルタである。実施形態１で説明したように、青カラーフィルタは赤、および緑カラーフィルタに比べて遮光作用が高いので、開口部による光漏れをより効果的に抑制できるからである。第１、第２および第３カラーフィルタのうち第３カラーフィルタ６０と、開口部８６に形成されているダミーカラーフィルタ６０αとは、一体に形成されている。
【０１１２】
次に、図２および図９を参照してカラーフィルタ基板８０の製造方法の一例を説明する。第１、第２および第３カラーフィルタ、ならびに遮光層６８はドライフィルムを用いて形成される。
【０１１３】
実施形態１と同様に、カラーフィルタ層６２を形成する前に図２（ａ）および（ｂ）に示すように遮光層６８を形成する。このとき、図８に示すように、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０が形成される領域に、それぞれ、第１カラーフィルタ用の開口部、第２カラーフィルタ用の開口部および第３カラーフィルタ用の開口部が形成されるように第１遮光部６４を形成すると共に、第１、第２および第３カラーフィルタ用の開口部のそれぞれに連続するように開口部８２、８４および８６が形成されるように第２遮光部６６を形成する。
【０１１４】
遮光層６８を形成した後、以下のようにしてカラーフィルタ層６２を形成する。まず、ローラ３４を用い、第１カラーフィルタ５６用のドライフィルムを透明基板１４上に押圧しながら貼り合わせ、フィルム支持体を剥離することによって、第１カラーフィルタ５６用の感光性樹脂層（第１着色層）を基板１４上に転写する。ここで、遮光層６８に、第１カラーフィルタ用の開口部と連続して開口部８２が形成されているので、有効表示領域で第１カラーフィルタ用の開口部の端辺５６βが遮光部と隣接することがないので、ドライフィルムと透明基板１４との間に気泡が発生した場合であっても、上記気泡が有効表示領域に残るのを抑制できる。
【０１１５】
続いて、マスクを用いて露光および現像を行う。この露光および現像工程により、有効表示領域では、第１カラーフィルタ５６用の開口部以外の領域に形成された第１着色層を除去するとともに、非有効表示領域では、開口部８２に形成された第１着色層を除去する。このように開口部８２に形成された感光性樹脂層が取り除かれるため、開口部８２内の基板１４とドライフィルムとの間に気泡が残っている場合であっても、上記気泡が取り除かれることになる。
【０１１６】
以上のようにして、図２（ｃ）に示すように第１カラーフィルタ５６が形成される。
【０１１７】
次に、第２カラーフィルタ５８を形成する。第２カラーフィルタ５８は、第１カラーフィルタ５６と同様の方法を用いて形成される。第２カラーフィルタ５８を形成する工程においても上記第１カラーフィルタ５６を形成する工程と同様に、カラーフィルタと基板１４との間に気泡が残るのを防ぐことができる。
【０１１８】
第１カラーフィルタ５６および第２カラーフィルタ５８を形成した後、第３カラーフィルタ６０を形成する。以下、第３カラーフィルタ６０を形成する工程をより詳細に説明する。図９は、第３カラーフィルタ６０を形成する際の製造工程を説明するための図であり、図８のカラーフィルタ基板８０の９Ａ―９Ａ’に対応する部分を矢印７１方向から観察した図である。
【０１１９】
第３カラーフィルタ６０用のドライフィルム６０Ｄは、ローラ３４（図９）を用いて透明基板１４上に押圧しながら貼り合わせられ、フィルム支持体６０Ｓを剥離することによって、第３カラーフィルタ６０用の感光性樹脂層６０Ｒが基板１４上に転写される。続いて、マスクを用いて露光および現像を行う。この露光および現像工程により、有効表示領域において、第１遮光部６４、第１カラーフィルタ５６および第２カラーフィルタ５８上の第３着色層を除去し、非有効表示領域において、第２遮光部６６上の第３着色層を除去する。
【０１２０】
非有効表示領域の遮光層は、第３カラーフィルタ６０を形成する領域の第２端辺５２側に開口部８６を備えている。従って、図９に示すように第３カラーフィルタ用のドライフィルム６０Ｄを貼り合わせる際に、ドライフィルム６０Ｄと基板１４との間に気泡が発生した場合であっても、上記気泡を開口部７２から外部に逃がすことができる。また、上記気泡が開口部７２に残った場合であっても、開口部７２は非有効表示エリアに存在しているので表示上問題になりにくい。
【０１２１】
以上により、第３カラーフィルタ６０が形成されると共に、第３着色層が開口部８２、８４および８６内に配置され、ダミーカラーフィルタ６０αが形成される。この後、所定の工程を経て、カラーフィルタ基板８０が作製される。
【０１２２】
上記実施形態２では、遮光層６８が、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０が形成される領域のそれぞれに連続するように開口部８２、８４および８６を有している場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。図１に示したように、遮光層６８が、第１カラーフィルタ５６を形成する領域の端辺５６βの第２端辺５２側、第２カラーフィルタ５８を形成する領域の端辺５８βの第２端辺５２側、および第３カラーフィルタ６０を形成する領域の端辺６０βの第２端辺５２側にそれぞれ境界部６６Ａを有し、この境界部６６Ａを挟んで開口部８２、８４および８６を有していてもよい。
【０１２３】
また、実施形態２では、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０を形成する領域の全ての第２端辺５２側の遮光層６８にそれぞれ開口部を設ける場合を説明したが本発明はこれに限定されない。特に、第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０をいずれもドライフィルムを用いて形成する場合、上記実施形態で説明したように第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８および第３カラーフィルタ６０を形成する領域の全ての第２端辺５２側にそれぞれ開口部を設けることが好ましいが、第１カラーフィルタ５６および第２カラーフィルタ５８を形成する領域のいずれか一方の第２端辺５２側にのみ開口部を設けてもよい。ただし、いずれか一方に開口部を設ける場合には、第１カラーフィルタ５６を形成した後に第２カラーフィルタ５８が形成されるので、第２カラーフィルタ５８を形成する領域の第２端辺５２側に開口部が設けられることが好ましい。
【０１２４】
実施形態２のカラーフィルタ基板の構成は、上述したカラーフィルタ基板に限定されない。
【０１２５】
遮光層６８は、図１０（ａ）のカラーフィルタ基板８０Ｂに示すように、隣接する第１遮光部６４を互いに接続する第３遮光部６７をさらに有していてもよい。第３遮光部６７を有する遮光層６７の構成およびその作用効果は、カラーフィルタ基板５０Ｂ（図６（ａ））の遮光層６７と実質的に同じであるため、説明を省略する。第３遮光部６７によって、ゲートバスライン１１と透明画素電極１２との間で生じる光漏れが抑制されるため、表示装置の表示品位の低下を防止することができる。
【０１２６】
カラーフィルタ基板８０Ｂにおいてもカラーフィルタ基板５０Ｂと同様に、カラーフィルタ層６２は、第１方向７０に沿って配列された複数の第１カラーフィルタ５６と、第２カラーフィルタ５８と、第３カラーフィルタ６０とで構成されていてもよいし（図１０（ｂ））、あるいは、第１方向にストライプ状に延びた形状を有するカラーフィルタで構成されてもよい（図１０（ｃ））。
【０１２７】
また、実施形態２のカラーフィルタ基板も、実施形態２のカラーフィルタ基板５０Ｃ（図７）と同様に、４色以上のカラーフィルタを含むカラーフィルタ層を有していても良い。４色以上のカラーフィルタを含むカラーフィルタ層の構成およびその作用効果は、カラーフィルタ基板５０Ｃのカラーフィルタ層と実質的に同じであるため、説明を省略する。
【０１２８】
上述した実施形態１および２のカラーフィルタ基板をアクティブマトリクス基板と組み合わせ、その間に液晶層を配置させることにより、アクティブマトリクス型液晶表示装置を作製することができる。次に、アクティブマトリクス型液晶表示装置に用いられるアクティブマトリクス基板を説明する。
【０１２９】
実施形態２のカラーフィルタ基板８０では、遮光層６８が、第１、第２および第３カラーフィルタ５６、５８および６０が形成される領域のそれぞれの第２端辺５２側に開口部８２、８４および８６を有し、各開口部に例えば青色のダミーカラーフィルタ６０αが配置されている。このカラーフィルタ基板８０では、ダミーカラーフィルタ６０αによる表示の低下が問題になる場合があるが、以下に例示するアクティブマトリクス基板２Ａと組み合わせて表示装置を構成すれば、上記表示品位の低下を効果的に抑制することができる。
【０１３０】
なお、図８に示したカラーフィルタ基板と対向するようにアクティブマトリクス基板を配置して表示装置を構成する場合、図１２に示したアクティブマトリクス基板２Ａの構成を左右逆にしたものを用いることが好ましい。
【０１３１】
アクティブマトリクス基板２Ａは、ガラス等からなる透明絶縁性基板８上に、行方向に延びるソースバスライン１０と、列方向に延びるゲートバスライン１１と、ソースバスライン１０とゲートバスライン１１との交差部近傍に設けられたスイッチング素子９（例えばＴＦＴ）と、各スイッチング素子９に接続された透明画素電極１２（例えばＩＴＯからなる）とを備えている。透明画素電極１２はマトリクス状に配列されており、表示の単位である画素を規定している。
【０１３２】
アクティブマトリクス基板と対向するようにカラーフィルタ基板を配置して表示装置を構成する場合、透明画素電極１２の各列は、カラーフィルタ基板に設けられている第１カラーフィルタ５６、第２カラーフィルタ５８または第３カラーフィルタ６０と対向している。
【０１３３】
アクティブマトリクス基板２Ａは、上記の構成要素に加えてさらにダミー画素電極１３を有している。ダミー画素電極１３は、非有効表示エリアに配列されており、例えばソースバスライン１０と同層の金属層で形成されている。従って、ダミー画素電極１３は遮光性を有している。ダミー画素電極１３は、アクティブマトリクス基板２Ａをカラーフィルタ基板と対向させて表示装置を構成する場合に、カラーフィルタ基板の非有効表示領域の遮光層に設けられた開口部（およびダミーカラーフィルタ）と対向するように設けられている。各ダミー画素電極１３上の液晶層は、常に黒表示状態になるように制御されることが好ましい。ダミー画素電極１３による遮光性を向上させることができる。ダミー画素電極１３上の液晶層を常に黒表示状態になるように制御する場合、例えば有効表示エリアの透明画素電極１２と同層のＩＴＯを用いてダミー画素電極１３を形成しても、ダミー画素電極１３からの光漏れを抑制できる。
【０１３４】
このアクティブマトリクス基板２Ａと、例えば図８に示したカラーフィルタ基板８０とを組み合わせて表示装置を構成すれば、例えば青色のダミーカラーフィルタ６０αの存在によって額縁領域が青みがかって視認されるのを効果的に抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１３５】
本発明のカラーフィルタ基板は、アクティブマトリクス型液晶表示装置の他、液晶層以外の表示媒体層、例えば電気泳動層などを有する他のタイプの表示装置を含む種々のカラー表示装置に用いることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】本発明の実施形態１のカラーフィルタ基板５０の部分平面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）および（ｅ）は、カラーフィルタ基板５０の製造方法の一例を説明するための図である。
【図３】第３カラーフィルタ６０を形成する際の製造工程を説明するための図である。
【図４】比較例のカラーフィルタ基板の部分平面図である。
【図５】比較例の第３カラーフィルタ６０’を形成する際の製造工程を説明するための図である。
【図６】（ａ）は実施形態１の改変例のカラーフィルタ基板５０Ｂの部分平面図であり、（ｂ）および（ｃ）は、（ａ）の６Ｍ−Ｍ’に対応する断面図である。
【図７】実施形態１の改変例のカラーフィルタ基板５０Ｃの部分平面図である。
【図８】本発明の実施形態２のカラーフィルタ基板５０の部分平面図である。
【図９】第３カラーフィルタ６０を形成する際の製造工程を説明するための図である。
【図１０】（ａ）は実施形態２の改変例のカラーフィルタ基板８０Ｂの部分平面図であり、（ｂ）および（ｃ）は、（ａ）の１０Ｍ−１０Ｍ’に対応する断面図である。
【図１１】実施形態２の改変例のカラーフィルタ基板８０Ｃの部分平面図である。
【図１２】アクティブマトリクス基板の部分平面図である。
【図１３】一般的なアクティブマトリクス型液晶表示装置の断面図である。
【図１４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）および（ｆ）は、従来のカラーフィルタ基板の製造方法の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１３７】
２Ａ    アクティブマトリクス基板
９    スイッチング素子
１０    ソースバスライン
１１    ゲートバスライン
１２    透明画素電極
１３    ダミー画素電極
１４    透明基板
５０    カラーフィルタ基板
５０Ｂ    カラーフィルタ基板
５０Ｃ    カラーフィルタ基板
５２    第２端辺
５６    第１カラーフィルタ
５６β    第１カラーフィルタの端辺
５８    第２カラーフィルタ
５８β    第２カラーフィルタの端辺
６０    第３カラーフィルタ
６１    第４カラーフィルタ
６０α    ダミーカラーフィルタ
６０β    第３カラーフィルタの端辺
６０Ｄ    第３カラーフィルタ用のドライフィルム
６０Ｒ    第３カラーフィルタ用の感光性樹脂層
６０Ｓ    フィルム支持体
６２    カラーフィルタ層
６４    第１遮光部
６６    第２遮光部
６７    第３遮光部
６８    遮光層
６８Ｒ    黒色感光性樹脂層
７０    第１方向
７２    開口部
７４    マスク
８０    カラーフィルタ基板
８０Ｂ    カラーフィルタ基板
８０Ｃ    カラーフィルタ基板
８２    開口部
８４    開口部
８６    開口部
【図１】
2004252418.tif 000004
【図２】
2004252418.tif 000005
【図３】
2004252418.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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