(57)【要約】【課題】試料に設けられている導電線とホルダーに設けられている導電線の電気的繋がりを完全にする。【解決手段】ホルダー本体５０の試料載置部に試料４より小さな穴５１を開け、穴の底部にスプリングコイル８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄを設ける。ホルダー本体の四隅部に孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３を開け、ホルダー下面に該ホルダーに支持され該ホルダー下面に沿って摺動可能な摺動プレート１４を設ける。試料観察部のみ通す孔１９Ａと試料全体を通す孔１９Ｂが開けられ且つ４本の柱体２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄが設けられた抑え蓋５５を試料上方から被せ、摺動プレートを移動させて、抑え蓋５５をホルダー本体に固定する。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料載置部に試料より小さな穴が開けられおり、その穴の底部に試料載置方向に伸び縮み可能で、導電部材が設けられている試料を載置した時に該導電部材に接触するに成した導電性伸縮体が設けられており、少なくとも三箇の隅部に孔が開けられており、少なくとも試料観察部を通す孔が開けられ且つ前記隅部の孔に通す為の柱体が設けられた抑え蓋を試料上方から被せた時に、試料の導電部材と導電性伸縮体との接触が固定出来るように成したホルダー本体から成る試料保持装置。
【請求項２】
前記柱体は途中に他の部分より径の小さい部分を有しており、前記隅部の穴に柱体を通した時に、該柱体を通す孔を有し、該柱体の挿入方向に対し垂直な方向に移動させることにより該柱体の前記小径部分に嵌合する厚さを有する摺動プレートを具備した請求項１記載の試料保持装置。
【請求項３】
前記摺動プレートはホルダー本体の下面に、該ホルダー本体に支持されて設けられており、ホルダー本体の下面に平行に移動可能に成している請求項２記載の試料保持装置。
【請求項４】
前記導電性伸縮体は、弾性体と、試料の導電部材と接触する接触体とから成る請求項１記載の試料保持装置。
【請求項５】
前記導電性伸縮体は、シリンダー，該シリンダー内に設けられた弾性体，該弾性体の弾性力で移動するピストン、及びピストンに繋がった接触体から成る請求項１記載の試料保持装置。
【請求項６】
前記抑え蓋には、試料中の試料観察部分のみが通過出来る孔と、試料全体が通過出来る孔が二段構えで形成されており、小さい孔を成す部分の下面で観察部近傍の試料部分を押圧するように成した請求項１記載の試料保持装置。
【請求項７】
前記抑え蓋には、試料中の試料観察部分のみが通過出来る孔と、試料全体が通過出来る孔が二段構えで形成されており、小さい孔を成す部分の下面で試料周辺部にあって試料を固定するピンを押圧するように成した請求項１記載の試料保持装置。
【請求項８】
前記抑え蓋には、試料中の試料観察部分のみが通過出来る孔と、試料全体が通過出来る孔が二段構えで形成されており、大きい孔を成す部分の下面でホルダー本体上面の周辺部を押圧するように成した請求項１記載の試料保持装置
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は、導電線を有する試料の保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１はプロジェクター等に使用されるマイクロミラーデバイスの概略を示している（図１の（ｂ）は図１の（ａ）のＴ−Ｔ断面図である）。この様なマイクロミラーデバイスは、ベース板１の上に多数のミラー（この例では便宜上、４枚のミラー２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄのみ示した）が設けられており、各ミラーには、それぞれ、ミラーを駆動する電流を流すための配線３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ（この例では便宜上、各ミラーについて、１本のリード線のみ示した）が通されている。
【０００３】
さて、このようなマイクロミラーデバイスのミラー部を走査電子顕微鏡等により観察或いは分析する場合、この様なマイクロミラーデバイスをホルダーにセットし、該ホルダーをＸ，Ｙの二次元方向に移動可能なステージ上にセットし、集束した電子ビームで１つのミラー表面（観察試料面）上を走査し、該走査により発生した二次電子を検出し、該検出信号に基づいた二次電子像を表示装置の表示画面に表示させている。
【０００４】
図２はマイクロミラーデバイスがセットされるホルダーの概略を示している（図２の（ｂ）は図２の（ａ）のＴ−Ｔ断面図である）。
【０００５】
このホルダー５は、試料（この場合、マイクロミラーデバイス）４がホルダー５の試料載置面の中央部にセットされる様に成っている。
【０００６】
図中、６ａ，６ｂはＸ方向固定テーパーピン、６ｃ，６ｄはＹ方向固定テーパーピンで、各々、試料４がホルダー５にセットされた時に、試料のＸ方向エッジ，Ｙ方向エッジに接触することにより、試料の一方の側（Ｂ方向側）を支持出来るようにホルダー５に取り付けられている。
【０００７】
７ｂ，７ａは、それぞれ、Ｘ方向摺動テーパーピン，Ｙ方向摺動テーパーピンで、Ａ，Ｂ方向に摺動可能にホルダー５に取り付けられている。即ち、例えば、ホルダーにＡ，Ｂ方向に平行な溝が２本ピン７ｂ，７ａの一部が入る程度の深さで形成され、試料４がセットされた時に、試料の他方（Ａ方向側）のＸ方向エッジ，Ｙ方向エッジに接触する位置に、それぞれ、Ｘ方向摺動テーパーピン７ｂ，Ｙ方向摺動テーパーピン７ａをＢ方向に引っ張る引っ張りバネが取り付けられており、Ｘ方向摺動テーパーピン７ｂ，Ｙ方向摺動テーパーピン７ａをこの引っ張り力に抗してＡ方向に溝内で移動させることが出来るように成っている。
【０００８】
この様な構成のホルダー５に試料４をセットする時には、Ｘ方向摺動テーパーピン７ｂとＹ方向摺動テーパーピン７ａをＡ方向に移動させておき、その状態で、試料４の一方のＸ，Ｙ方向エッジが、それぞれ、Ｘ方向固定テーパーピン６ａ，６ｂ、Ｙ方向固定テーパーピン６ｃ，６ｄに接触するようにホルダー４の上面に載せる。
【０００９】
そして、この状態において、試料４の他方のＸ，Ｙ方向エッジが、それぞれ、Ｘ方向摺動テーパーピン７ｂ、Ｙ方向摺動テーパーピン７ａに接触するようにＸ方向摺動テーパーピン７ｂとＹ方向摺動テーパーピン７ａをＢ方向に移動させることにより、試料４をホルダー５に固定する。
【特許文献１】
特開昭６３−２８７０３０号公報
【特許文献２】
特開平  ４−１９６１４７号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
さて、ホルダー５には、試料４がホルダー５にセットされた時、試料４の各ミラー（各観察部）２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを貫通している配線（リード線）３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの端面にそれぞれ接触することにより、各配線（リード線）３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄと電気的に繋がるリード線（図示せず）が埋め込まれている。
【００１１】
しかし、試料４の裏面とホルダー５の試料載置面の粗さ（加工仕上げ粗さのこと）等により、試料側の配線（リード線）３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとホルダー側の各リード線（図示せず）の接触が不完全になる場合がある。
【００１２】
この様な場合が発生すると、少なくとも表面が絶縁物製であるミラー表面上を電子ビームで走査した場合に該ミラー上に溜まる電荷が試料側の配線とホルダー側の配線を通じて大地に逃がすことが十分出来ず、ミラーの観察や分析など支障を来す。
【００１３】
本発明は、この様な問題点を解決する為になされたもので、新規な試料保持装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明に基づく試料保持装置は、試料載置部に試料より小さな穴が開けられおり、その穴の底部に試料載置方向に伸び縮み可能で、導電部材が設けられている試料を載置した時に該導電部材に接触するに成した導電性伸縮体が設けられており、少なくとも三箇の隅部に孔が開けられており、少なくとも試料観察部を通す孔が開けられ且つ前記隅部の孔に通す為の柱体が設けられた抑え蓋を試料上方から被せた時に、試料の導電部材と導電性伸縮体との接触が固定出来るように成したホルダー本体から成したことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の態様の形態を詳細に説明する。
【００１６】
図３は本発明の試料保持装置の概略例を示しており（図３の（ｂ）は図３の（ａ）のＴ−Ｔ断面図である）、前記図１及び図２にて使用した記号と同一記号の付されたものは同一構成要素を示す。
【００１７】
図中５０はホルダー本体で、中央部に、試料載置面に平行な断面が正方形状で、全体としては直方体形の穴５１が形成されている。この穴５１の正方形状断面の大きさは、ホルダー本体５０の上段面に試料４が載るように、試料４の正方形状断面の大きさより小さく形成されている。
【００１８】
この穴５１の下段面、即ち、底面上には、試料４をセットした時に、試料４の各観察部（即ち、ミラー２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）のリード線３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの端面に対向する位置に、それぞれ、スプリングプローブ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄが設けられている。
【００１９】
このスプリングプローブは、図４に示す様に、ピストン９，シリンダー１０，スプリングコイル１１及びピストンに接続された円錐台状接触体１２から成り、円錐台状接触体１２にＱ方向の力が加わらなければ、図４の（ａ）に示す様に、スプリングコイル１１によるＰ方向への弾性力によりピストン９と円錐台状接触体１２はＰ方向に最大限移動し、円錐台状接触体１２にＱ方向の力が加わると、ピストン９がスプリングコイル１１をＱ方向へ押圧することになり、図４の（ｂ）に示す様に、スプリングコイル１１がＱ方向に縮み、円錐台状接触体１２はＱ方向に移動する。
【００２０】
ホルダー本体５０の四隅には孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが形成されている。
【００２１】
又、ホルダー本体５０の底面には、摺動プレート１４がホルダー本体５０の下面に対し摺動可能に取り付けられている。
【００２２】
即ち、その支持面１５Ｈがホルダー本体の下面に平行に、且つ、その支持面１５Ｈとホルダー本体の下面の間で摺動プレート１４が移動出来る程度の隙間を空けて、支持体１５（図５参照）がホルダー本体５０の側面に取り付けられている。又、ホルダー本体５０の他の側面にストッパー１６が取り付けられており、このストッパー１６と摺動プレート１４の間には該ストッパー１６と摺動プレート１４の互いに対向する面が引き合うようにスプリング１７が取り付けられているので、摺動プレート１４は、ホルダー本体５０の下面と支持体１５の支持面１５Ｈの間を、Ｒ，Ｓ方向に摺動可能に成っている。
【００２３】
又、摺動プレート１４の四隅には、前記ホルダー本体５０の四隅に開けられた孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄに通じ、該孔より大きい径の孔１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄが開けられている。
【００２４】
図６は抑え蓋５５の概略を示している（図６の（ｂ）は図６の（ａ）のＴ−Ｔ断面図である）。該蓋の中央部には、それぞれ口径の異なった二段構えの孔１９Ａ，１９Ｂが開けられている。上段の孔１９Ａは試料の全観察部全体のみが通れる大きさに形成されており、下段の孔１９Ｂは試料全体、各固定テーパーピン６ａ〜６ｂ、及び摺動テーパーピン７ａ，７ｂが通れる大きさに形成されている。
【００２５】
又、この抑え蓋５５の前記ホルダー本体５０の四隅に開けられた孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄに対応する位置に、それぞれ径の同一の長い円柱部２０Ａと短い円柱部２０Ｂを先端部に近いところで径の小さい円柱部２０Ｅで繋いだ形状の柱体２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄが取り付けられている。
【００２６】
この様な構成のホルダーに試料４をセットする時には、Ｘ方向摺動テーパーピン７ｂとＹ方向摺動テーパーピン７ａをＡ方向に引っ張って移動させておき、その状態で、試料４の一方のＸ，Ｙ方向エッジが、それぞれ、Ｘ方向固定テーパーピン６ａ，ｂ、Ｙ方向固定テーパーピン６ｃ，６ｄに接触するようにホルダー本体５０の上面に載せる。
【００２７】
そして、この状態において、試料４の他方のＸ，Ｙ方向エッジが、それぞれ、Ｘ方向摺動テーパーピン７ｂ、Ｙ方向摺動テーパーピン７ａに接触するようにＸ方向摺動テーパーピン７ｂとＹ方向摺動テーパーピン７ａをＢ方向に摺動させる。
【００２８】
この時、試料４の各観察部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄのリード線部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの端面は、それぞれ、スプリングプローブ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄの円錐台状接触体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに接触する（図８）。
【００２９】
しかし、スプリングプローブ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄのスプリングコイルのＰ方向への伸びにより、試料４がＰ方向へ動いてしまう。
【００３０】
そこで、次に、ホルダー本体５０の孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの中心と摺動プレート１４の孔１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄの中心がほぼ一致するように摺動プレート１４をＳ方向に移動させる。
【００３１】
この状態において、ホルダー本体５０の孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを介して摺動プレート１４の孔１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄに、抑え蓋５５の柱２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの小径円柱部孔２０Ｅａ，２０Ｅｂ，２０Ｅｃ，２０Ｅｄが位置するように、抑え蓋５５をホルダー上方からＱ方向に被せ、そのままＱ方向に押しつける（図９）。この時、小さい孔１９Ａを成す部分の下面は固定テーパーピン６ａ〜６ｂ及び摺動テーパーピン７ａ，７ｂ試料周辺部を押圧し、大きい孔１９Ｂを成す部分の下面でホルダー本体上面の周辺部を押圧する状態となる。
【００３２】
そして、この状態（図９）において、摺動プレート１４の一端部がストッパー１７に接触するまで、摺動プレート１４をＲ方向に移動させると、図１０に示す様に、摺動プレート１４の孔１８の内周部が柱の小径円柱部２０Ｅに接触し、摺動プレート１０の孔１８周辺の上下面が、それぞれ、長い大径円柱部２０Ａの下面と短い大径円柱部２０Ｂの上面と重なる。この状態で、抑え蓋５５のＱ方向への押しつけを停止する。この結果、抑え蓋５５はホルダー本体５０に完全にフィットし、試料側のリード線３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとホルダー側の各リード線（図示せず）の接触が安定してパーフェクトに行われる。
【００３３】
尚、本発明はディスチャージに使用出来る導電線が設けられている試料に対し有効な保持装置を提供するものであり、前記例のホルダマイクロミラーデバイスを保持するためのホルダーに限定されない。
【００３４】
又、保持装置自身の構成も前記例に限定されない。
【００３５】
例えば、試料を側部から保持する手段としてテーパーピンを使用したが、径の一様なピンを用いても良い。又、ピンの代わりに他のもの、例えば、ベアリングを用いても良い。又、固定テーパーピンはＸ方向，Ｙ方向共に２個用いたが共に１個でも良い。
【００３６】
又、試料をホルダー本体に載せた時に、試料側のリード線と接触するホルダー側の導電体としてスプリングプローブを使用したが、この様なスプリングプローブに限定されず、要は伸縮する導電性の部材であれば良い。
【００３７】
又、前記例では、４つの観察部を有する試料を例に上げたので、４個のスプリングプローブを備えたホルダー本体を例に上げたが、１つの観察部を有する試料だけを支持するのであれば、１個のスプリングプローブを備えるだけでも良い。
【００３８】
又、摺動プレートを四箇所でホルダー本体に支持させるようにしたが、三箇所で支持出来るように成しても良いし、四箇所以上で支持出来るように成しても良い。
【００３９】
又、前記例では、試料４を固定するための固定テーパーピン６ａ〜６ｂ及び摺動テーパーピン７ａ，７ｂが試料４よりＱ方向に高く形成されている場合を示したので、抑え蓋５５を被せた時に抑え蓋５５の小さい孔を成す部分の下面がこれらのピンを押圧するようになっているが、試料４より低いピンを使用した場合には、抑え蓋５５を被せた時に抑え蓋５５の小さい孔を成す部分の下面が試料観察部近傍の試料上面を押圧する。
【００４０】
又、前記例では、試料の配線（リード線）にスプリングプローブを接触させるものを説明したが、例えば、半導体試料の如く、底面に電極を有する試料については、電極の如き導電部材にスプリングプローブを接触させる様に成す。
【図面の簡単な説明】
【図１】プロジェクター等に使用されるマイクロミラーデバイスの概略を示している。
【図２】マイクロミラーデバイスがセットされるホルダーの概略を示している。
【図３】本発明の試料保持装置の概略例を示している。
【図４】スプリングプローブの一概略例を示したものである。
【図５】支持体一概略例を示したものである。
【図６】抑え蓋の一概略例を示したものである。
【図７】抑え蓋の柱体の一概略例を示している。
【図８】ホルダー本体の試料載置面に試料を載せた状態を示す。
【図９】試料を載置したホルダー本体に抑え蓋を被せた状態を示す。
【図１０】試料を載置したホルダー本体に抑え蓋を被せ、摺動プレートを移動させて抑え蓋をホルダー本体に固定した状態を示す。
【番号の説明】
１…ベース板
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ…ミラー（試料観察部）
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ…配線（リード線）
４…試料
５…ホルダー
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ…固定テーパーピン
７ａ，７ｂ…摺動テーパーピン
８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ…スプリングプローブ
９…ピストン
１０…シリンダー
１１…スプリングコイル
１２…円錐台状接触体
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３…孔
１４…摺動プレート
１５…支持体
１６…ストッパー
１７…スプリング
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８…孔
１９Ａ，１９Ｂ…穴
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０…柱体
５０…ホルダー本体
５１…穴
５５…抑え蓋
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004354295.tif 000009
【図８】
2004354295.tif 000010
【図９】
2004354295.tif 000011
【図１０】
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