(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電体ウェハー用真空チャックの構造及びその製造方法の提供。【解決手段】板状のチャック本体３の圧電体ウェハー保持面とチャック本体背面に連続した溝部９を有し、保持面をもつチャック本体後部に設けられたチャック台座を介し前記溝部と、チャック本体背面の溝部と吸引孔８とが連結する事を特徴とし、板状チャック本体の圧電体ウェハーの保持面とチャック本体背面に形成された連続した溝部、及びチャック本体背面の溝部がエッチングで形成される事を特徴とし、保持面とチャック本体背面の溝部が圧電体ウェハーを吸引した際圧電体ウェハーのたわみを抑制する千鳥格子状を成す事を特徴とし、また、保持面をもつチャック本体がチャック本体後部チャック台座とネジで接続される事を特徴とする。【選択図】図１
2004230533.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体ウェハーの製造工程に用いられる該圧電体ウェハーを保持する真空チャックにおいて、
板状のチャック本体の該圧電体ウェハーの第１の保持面と第２の保持面とチャック本体背面に連続した溝部を有し、該第１の保持面と該第２の保持面をもつチャック本体の後部に設けられたチャック台座を介して、該溝部と該チャック本体背面の溝部と吸引孔とが連結していることを特徴とする圧電体ウェハー用真空チャック。
【請求項２】
圧電体ウェハー用の製造工程に用いられる該圧電体ウェハーを保持する真空チャックの製造方法において、
板状のチャック本体の該圧電体ウェハーの第１の保持面と第２の保持面と該チャック本体背面に形成された連続した溝部、及び該溝部と該第１の保持面と該第２の保持面と該チャック本体背面の溝部がエッチングにより形成されることを特徴とする圧電体ウェハー用真空チャックの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の該第１の保持面と該第２の保持面と、該チャック本体背面の該溝部が圧電体ウェハーを吸引した際に該圧電体ウェハーのたわみを抑制する千鳥格子状を成すことを特徴とする圧電体ウェハー用真空チャック。
【請求項４】
請求項１に記載の圧電体ウェハー用真空チャックにおいて、該第１の保持面と該第２の保持面をもつチャック本体がチャック本体の後部に設けられたチャック台座とネジで接続されることを特徴とする圧電体ウェハー用真空チャック。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電体ウェハー用真空チャックの構造、及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハーを研削や研磨する際には定盤にウェハーを押し付けるように保持して研磨剤を供給しながら、先の定盤を回転させてウェハーの研削や研磨を行っていた。ウェハーを保持するために真空チャックが用いられる。
従来における圧電体ウェハー用真空チャックにおいては、ウェハーを研削する際、また研削後にウェハーの表面を研磨する際には、圧電体ウェハーに圧電体ウェハー用真空チャックを用いて真空チャックの保持面に保持することが多く行われていた。
【０００３】
従来の真空チャックにおいては、材質として多孔質セラミックを用いて多孔質セラミックからなる保持面でウェハーを吸引し保持するものがあった。しかしながら、セラミック素材自体が難加工素材であることに加えて、金型が必要となり、その金型が非常に高価であるといった問題があった。
【０００４】
また、前記の材質として多孔質セラミックを用いて多孔質セラミックからなる保持面でウェハーを吸引し保持する真空チャックの場合、保持面のみからウェハーを吸引して保持するようにするために、側面からのリークを防ぐために多孔質セラミックの側面は塞ぐような構造にチャック本体をしなくてはならない。そのため、実際にチャッキングを行う部分がチャッキングの台座に嵌め込まれ、もしくは埋め込まれる構造となり、保持されるウェハーの外形寸法に制限が生じて加工を行うウェハーの外形寸法によって別のチャックを用意しなくてはならないといった問題があった。
【０００５】
また、研磨加工する圧電体ウェハーの厚さは、水晶振動子の場合では周波数により異なるが例えば約１５０ＭＨｚの場合その圧電体ウェハーの厚さは１０μｍ程度といった極めて薄いウェハーを研磨加工するために、図５に示すような従来の真空チャックでは、吸引孔の部分での吸引が他の部分よりもはるかに強く、平均的にウェハーを吸引しないために、ウェハーの大きさによっては吸引して保持するウェハーの形状にたわみが生じ、このたわみの生じた結果、例えば吸引孔が５つの場合では、図６のような紋様がウェハーの研磨面に現れるなど均一な平坦度の研磨が成されないといった問題があった。
【０００６】
真空チャックのウェハー保持面においてエッチングによって連続した格子状の溝部を形成した真空チャックを開示した特許文献には特開平０９−３２１１２７がある。
【０００７】
【特許文献１】
特開平０９−３２１１２７号公報
【０００８】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、圧電体ウェハー用真空チャックの構造、及びその製造方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、圧電体ウェハーの製造工程に用いられる前記の圧電体ウェハーを保持する真空チャックにおいて、板状のチャック本体の圧電体ウェハーの第１の保持面と第２の保持面とチャック本体背面に連続した溝部を有し、前記の第１の保持面と前記第２の保持面をもつチャック本体の後部に設けられたチャック台座を介して、前記の溝部と前記チャック本体背面の溝部と吸引孔とが連結していることを特徴とする。
【００１１】
また、圧電体ウェハー用の製造工程に用いられる先の圧電体ウェハーを保持する真空チャックの製造方法において、板状のチャック本体の圧電体ウェハーの第１の保持面と第２の保持面と前記チャック本体背面に形成された連続した溝部、及び前記の溝部と先の第１の保持面と第２の保持面とチャック本体背面の溝部がエッチングにより形成されることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項１に記載の第１の保持面と第２の保持面と、チャック本体背面の溝部が圧電体ウェハーを吸引した際に前記の圧電体ウェハーのたわみを抑制する千鳥格子状を成すことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項１に記載の圧電体ウェハー用真空チャックにおいて、先の第１の保持面と第２の保持面をもつチャック本体がチャック本体の後部に設けられたチャック台座とネジで接続されることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しながら、本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。ただし、以下の説明はあくまでも本発明の例示にすぎず、以下の記載によって発明の技術的範囲が限定されるものではない。
【００１５】
図１は本発明の圧電体ウェハー用真空チャック２を圧電体ウェハー１の保持面からみた概略図である。紋様のなかで第１の保持面４と第２の保持面７と吸引孔８以外の部分が溝部９であり、エッチングによって形成されており溝部９部と吸引孔８とは互いに繋がっている。溝部９部は５００μｍほどエッチングされている。本概略図では大小の円形の保持面、及び５つの吸引孔８が示されているが、エッチングにより形成される溝部が千鳥格子状を成す場合、圧電体ウェハー１の第１の保持面４と第２の保持面に保持された圧電ウェハー１のたわみが最も僅少となり好ましい。なお、パターンはレーザー加工や彫刻などによる加工によっても構わないが、これらの加工を用いた場合は、圧電体ウェハー１にたわみや押しあとをつけないために加工歪みを加工部分から取り除く必要がある。
【００１６】
図２は本発明の圧電ウェハー用真空チャックのチャック本体３を保持面とは反対の背面からみたチャック本体背面５の図である。太線で表された部分の溝部９と吸引孔８は、前記の圧電体ウェハー１の保持面と同様にエッチングにより形成され互いに繋がっている。図１、図２では吸引孔８は５つとなっているが、他の場合、例えば７つや９つの吸引孔８でも構わず、この場合も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。チャック本体３の保持面のみならず、本発明のようにチャック本体背面５においても太線で表された部分の溝部９をエッチングにより形成して吸引孔８と溝部９を互いに繋げることにより、圧電体ウェハー１の保持面での圧電体ウェハー１のたわみを著しく僅少とする効果を奏する。
【００１７】
図３はチャック本体３とチャック台座６を側面からみた概略の断面図である。チャック本体３とチャック台座６はネジ１０によって接続される。図２においてネジ１０は３箇所に用いられているが、ネジが５つなど他の場合でも構わず、この場合も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。チャック本体３材質にはステンレスなどを用いるのが好ましい。
【００１８】
図４は本発明の圧電体ウェハー用真空チャックを用いて圧電体ウェハー１をチャッキングする様子を示す概略の断面模式図である。本発明の構造により、チャック本体３の圧電体ウェハー１の保持面の寸法に制限されず圧電体ウェハー１をチャッキングすることが可能となる。
【００１９】
また、保持面が例えばリング状や多角形状の構造物に嵌まっていることがない一体品であるために、不必要な金属塵の発生を抑制し薄板状の圧電体ウェハー１に傷をつけることもなくなるため真空チャック２の取り扱いが著しく容易となる。本発明の請求項１の『連結』とは、保持面の溝から吸引孔を通して背面の溝に一連に互いにつながっていることをいう。
【００２０】
【発明の効果】
【００２１】
本発明の真空チャックによれば、圧電体ウェハーをチャッキングした際のウェハーのたわみを僅少に抑制でき、精度よく圧電体ウェハーを加工することが出来る。
【００２２】
本発明の真空チャックによれば、チャッキング本体とチャック台座は分離することができ、チャッキング本体のみを交換することができ交換に掛かるコストを大幅に削減することが出来る。
【００２３】
本発明の真空チャックの製造方法によれば、圧電体ウェハーをチャッキングして磨耗する部分を再加工することが非常に容易であり、再加工に掛かるコストを大幅に削減することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電体ウェハー用真空チャックを圧電体ウェハーの保持面の側からみた概略のチャック本体前面図である。
【図２】本発明の圧電ウェハー用真空チャックのチャック本体をウェハーの保持面とは反対の背面からみた概略のチャック本体背面図である。
【図３】本発明のチャック本体とチャック台座を側面からみた概略の断面図である。
【図４】本発明の圧電体ウェハー用真空チャックを用いて圧電体ウェハー１をチャッキングする様子を示す概略の断面模式図である。
【図５】従来の真空チャックの概略の断面図である。
【図６】従来の真空チャックを用いてウェハーにたわみが発生した結果、ウェハーの研磨面に現れた紋様の概略図である。
【符号の説明】
１  圧電体ウェハー
２  真空チャック
３  チャック本体
４  第１の保持面
５  チャック本体背面
６  チャック台座
７  第２の保持面
８  吸引孔
９  溝部
１０  ネジ
１１  ネジ穴
１２  たわみによる押しあと
１３  保持面
【図１】
2004230533.tif 000003
【図２】
2004230533.tif 000004
【図３】
2004230533.tif 000005
【図４】
2004230533.tif 000006
【図５】
2004230533.tif 000007
【図６】
2004230533.tif 000008