(57)【要約】【課題】レンジアビリティが広く、低流量域においても精度が高く、連続で質量での流量測定が可能な質量流量測定装置を提供する。【解決手段】両端が固定され、被測定流体が流動するチューブの中央部を振動させることによって、チューブに作用するコリオリの力に基づいて被測定流体の質量流量を測定し、チューブの振動数に基づいて被測定流体の密度を測定するコリオリ質量流量計１１と、被測定流体の容積流量を測定する容積流量測定部１２１と、コリオリ質量計１１の密度測定部１１２によって測定された密度と、容積流量測定部１２１によって測定された容積流量とに基づいて測定値である質量流量を算出する演算部１４と、算出した測定値を表示、通知する表示部１５とを備える質量流量測定装置１０。【選択図】　　　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体の密度を測定する密度測定手段と、
前記被測定流体の容積流量を測定する容積流量測定手段と、
前記密度測定手段によって測定された密度と、前記容積流量測定手段によって測定された容積流量とに基づいて質量流量を算出する質量演算手段と、
を備える質量流量測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の質量流量測定装置において、
前記被測定流体温度に基づいて、前記密度測定手段によって測定される密度、及び／又は、前記容積流量測定手段によって測定される容積流量を補正し、補正密度及び／又は補正容積流量を算出する温度補正演算手段を備え、
前記質量演算手段は、前記温度補正演算手段によって算出された補正密度及び前記容積流量測定手段によって測定された容積流量、又は、前記密度測定手段によって測定された密度及び前記温度補正演算手段によって算出された補正容積流量に基づいて質量流量を算出すること、
を特徴とする質量流量測定装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の質量流量測定装置において、
両端が固定され、前記被測定流体が移動するチューブの中央部を振動させ、前記チューブに作用するコリオリの力に基づいて前記被測定流体の質量流量を測定するコリオリ質量流量測定手段を備え、
前記密度測定手段は、前記チューブの振動数に基づいて前記被測定流体の密度を測定すること、
を特徴とする質量流量測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の質量流量測定装置において、
前記コリオリ質量流量測定手段によって測定された質量流量の測定精度と、前記質量演算手段によって算出された質量流量の測定精度とに基づいて、いずれかの質量流量を測定値として選択、又は、前記質量演算手段によって算出された質量流量及び前記コリオリ質量流量測定手段によって測定された質量流量から測定値である質量流量を算出する質量流量選択演算手段とを備えること、
を特徴とする質量流量測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の質量流量測定装置において、
前記質量流量選択演算手段は、前記コリオリ質量流量測定手段によって測定された質量流量、及び／又は、前記容積流量測定手段によって測定した容積流量の多少に基づいて選択又は算出を行うこと、
を特徴とする質量流量測定装置。
【請求項６】
被測定流体の容積流量を測定する容積流量測定手段と、
両端が固定され、前記被測定流体が移動するチューブの中央部を振動させ、前記チューブに作用するコリオリの力に基づいて前記被測定流体の質量流量を測定するコリオリ質量流量測定手段と、
前記容積流量測定手段によって測定される容積流量と、前記コリオリ質量流量測定手段によって測定される質量流量とに基づいて、密度を算出する密度算出手段とを備え、
前記密度算出手段によって算出される密度は、前記被測定流体の基準密度と比較することによって、補正の基準となる補正基準情報であること、
を特徴とする質量流量測定装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の質量流量測定装置において、
前記密度測定手段及び／又は前記コリオリ質量流量測定手段として、コリオリ質量流量測定装置を用い、
前記容積流量測定手段として、容積流量測定装置を用いること、
を特徴とする質量流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、質量流量を測定可能な質量流量測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
コリオリ質量流量計は、両端が支持され、流体が流動するチューブに所定の振動を加えることによってこのチューブに作用するコリオリの力が質量流量に比例することを利用して、質量流量を測定する測定装置であって、その基本計測は、チューブのねじれ（変位）の検出である。
コリオリの力は、質量の移動と回転運動が同時に起きたときに発生する力であり、流体の質量と流速に比例し、回転運動の角速度をω、流体の流速をＶ、質量をＭとすると、〈Ｆｃ〉＝２Ｍ〈ω〉〈Ｖ〉（〈Ｆｃ〉、〈ω〉〈Ｖ〉は、ベクトル）で表される。
【０００３】
一方、ピストンタイプの容積流量計は、入口から出口へ流動する被測定流体の流動によって往復運動するピストンの移動容量と、ピストンの往復運動を回転運動に変換するクランクシャフトの回転数とに基づいて容積流量を測定する流量計である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来のコリオリ質量流量計は、連続で質量流量を測定することが可能であるが、チューブに加える振動は非常に小さいため、チューブ内径を小さくして流速を大きくし、コリオリ力による変位量を大きくしている。この場合に、流量が大きいところでは、キャビテーション等の発生により高精度で測定することができなくなる。
また、測定可能な最小流量付近ではゼロ点のドリフトが精度に大きく影響するため、高精度の測定ができない。
すなわち、測定可能な最小流量と最大流量の範囲（レンジアビリティ）が狭くなる（例えば、１００：１）という問題がある。
一方、ピストンタイプの容積流量計は、レンジアビリティが広く（例えば、１０００：１）、低流量域においても精度が高く、連続での流量測定が可能であるが、質量での測定ができない、という問題がある。
【０００５】
本発明の課題は、レンジアビリティが広く、低流量域においても精度が高く、連続で質量での流量測定が可能な質量流量測定装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。すなわち、請求項１の発明は、被測定流体の密度を測定する密度測定手段（１１２）と、前記被測定流体の容積流量を測定する容積流量測定手段（１２１）と、前記密度測定手段によって測定された密度と、前記容積流量測定手段によって測定された容積流量とに基づいて質量流量を算出する質量演算手段（１４、Ｓ１０３，Ｓ２０３）と、を備える質量流量測定装置（１０）である。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の質量流量測定装置において、前記被測定流体温度に基づいて、前記密度測定手段によって測定される密度、及び／又は、前記容積流量測定手段によって測定される容積流量を補正し、補正密度及び／又は補正容積流量を算出する温度補正演算手段（１４、Ｓ１０１，Ｓ２０１）を備え、前記質量演算手段は、前記温度補正演算手段によって算出された補正密度及び前記容積流量測定手段によって測定された容積流量、又は、前記密度測定手段によって測定された密度及び前記温度補正演算手段によって算出された補正容積流量に基づいて質量流量を算出すること、を特徴とする質量流量測定装置（１０）である。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の質量流量測定装置において、両端が固定され、前記被測定流体が移動するチューブの中央部を振動させ、前記チューブに作用するコリオリの力に基づいて前記被測定流体の質量流量を測定するコリオリ質量流量測定手段（１１１）を備え、前記密度測定手段は、前記チューブの振動数に基づいて前記被測定流体の密度を測定すること、を特徴とする質量流量測定装置（１０）。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項３に記載の質量流量測定装置において、前記コリオリ質量流量測定手段によって測定された質量流量の測定精度と、前記質量演算手段によって算出された質量流量の測定精度とに基づいて、いずれかの質量流量を測定値として選択、又は、前記質量演算手段によって算出された質量流量及び前記コリオリ質量流量測定手段によって測定された質量流量から測定値である質量流量を算出する質量流量選択演算手段（１４、Ｓ２０４）とを備えること、を特徴とする質量流量測定装置（１０）である。
【００１０】
請求項５の発明は、請求項４に記載の質量流量測定装置において、前記質量流量選択演算手段は、前記コリオリ質量流量測定手段によって測定された質量流量、及び／又は、前記容積流量測定手段によって測定した容積流量の多少に基づいて選択又は算出を行うこと、を特徴とする質量流量測定装置（１０）である。
【００１１】
請求項６の発明は、被測定流体の容積流量を測定する容積流量測定手段（１２１）と、両端が固定され、前記被測定流体が移動するチューブの中央部を振動させ、前記チューブに作用するコリオリの力に基づいて前記被測定流体の質量流量を測定するコリオリ質量流量測定手段（１１１）と、前記容積流量測定手段によって測定される容積流量と、前記コリオリ質量流量測定手段によって測定される質量流量とに基づいて、密度を算出する密度算出手段（１４、Ｓ３０３）とを備え、前記密度算出手段によって算出される密度は、前記被測定流体の基準密度と比較することによって、補正の基準となる補正基準情報であること、を特徴とする質量流量測定装置（１０）である。
【００１２】
請求項７の発明は、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の質量流量測定装置において、前記密度測定手段及び／又は前記コリオリ質量流量測定手段として、コリオリ質量流量測定装置（１１）を用い、前記容積流量測定手段として、容積流量測定装置（１２）を用いること、を特徴とする質量流量測定装置（１０）である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照して、本発明の実施の形態について、さらに詳しく説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明による質量流量測定装置の第１実施形態を示すブロック図である。
第１実施形態に係る質量流量測定装置１０は、コリオリ質量流量計１１と、コリオリ質量流量計１１に直列に配管されている容積流量計１２と、信号処理部１３と、演算部１４と、表示部１５等とを備え、被測定流体の質量流量を測定する装置である。
【００１４】
コリオリ質量流量計１１は、両端が支持され、被測定流体が流動するチューブを備え、このチューブの中央部を振動させ、前記チューブに作用するコリオリの力に基づいて前記被測定流体の質量流量を測定する質量流量測定部１１１と、チューブの振動数を計測することによって前記被測定流体の密度を測定する密度測定部１１２と、チューブ内を流動する被測定流体の温度を測定する温度センサ１１３とを備える一般的なコリオリ質量流量計である。質量流量測定部１１１、密度測定部１１２及び温度センサ１１３によって出力された質量流量信号ａ、密度信号ｂ及び被測定流体温度信号ｃは、信号処理部１３へ送信される。
【００１５】
容積流量計１２は、ピストンの移動容量とクランクシャフトの回転数とに基づいて被測定流体の容積流量を測定する容積流量測定部１２１と、容積流量計１２内の被測定流体の温度を測定する温度センサ１２２とを備える一般的な容積流量計である。容積流量測定部１２１及び温度センサ１２２によって出力される容積流量信号ｄ及び被測定流体温度信号ｅは、信号処理部１３へ送信される。
【００１６】
信号処理部１３は、コリオリ質量流量計１１、容積流量計１２及び演算部１４に接続され、コリオリ質量流量計１１及び容積流量計１２によって送信される各種信号ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅを演算部１４へ入力するために信号処理を行う入出力インターフェースである。
【００１７】
演算部１４は、算術演算、大小比較等の演算を行う。演算部１４は、例えば、ＣＰＵが所定のプログラムを実行することによって実現される。演算部１４の機能構成については、後述する（図２、図３、図４及び図５参照）。
表示部１５は、演算部１４による演算結果を出力し、表示する出力手段であるとともに、測定を行っている者に演算結果を通知する通知手段である。表示部１５は、例えば、ディスプレイ、プリンタ等である。
【００１８】
図２は、本発明による質量流量測定装置の第１実施形態における動作を示すフローチャートである。以下、質量流量測定装置１０の演算部１４の処理について説明する。
ステップ１００（以下、「ステップ」を「Ｓ」という。）において、質量流量測定装置１０及びコリオリ質量流量計１１内のチューブを被測定流体が流動し、コリオリ質量流量計１１及び容積流量計１２は、測定を行う。
【００１９】
コリオリ質量流量計１１は、密度測定部１１２及び温度センサ１１３によって、被測定流体の密度ρｃ及び温度Ｔｃを測定し、密度信号ｂ及び被測定流体温度信号ｃとして、信号処理部１３を介して演算部１４へ入力する。
また、容積流量計１２は、容積流量測定部１２１及び温度センサ１２２によって、被測定流体の容積流量Ｆｖ及び温度Ｔｖを測定し、容積流量信号ｄ及び被測定流体温度信号ｅとして、信号処理部１３を介して演算部１４へ入力する。
演算部１４は、これらの信号を入力し、処理を開始する。
【００２０】
Ｓ１０１及びＳ１０２において、演算部１４は、被測定流体温度に基づいて、密度測定部１１２によって測定される密度ρｃを補正し、補正密度ρｖを算出する。つまり、Ｓ１０１において、演算部１４は、コリオリ質量流量計１１から入力した被測定流体温度Ｔｃ及び容積流量計１２から入力した被測定流体温度信号Ｔｖの温度差ΔＴを算出する。次に、演算部１４は、コリオリ質量流量計１１から入力した密度ρｃと、Ｓ１０１の演算結果であるΔＴと、キーボード、マウス等の入力装置から入力（Ｓ１０６）された被測定流体の密度に係る温度係数Ｋとを式〔ρｖ＝ρｃ・（１＋Ｋ・ΔＴ）〕に代入し、容積流量計通過時の被測定流体の密度ρｖを算出する（Ｓ１０２）。なお、温度係数Ｋは、温度に対しての密度の変化割合を示す係数である。
【００２１】
Ｓ１０３において、演算部１４は、Ｓ１０２の演算結果である密度ρｖと、容積流量計１２から入力した容積流量Ｆｖとを式〔Ｆｍ＝ρｖ・Ｆｖ〕に代入し、質量流量Ｆｍを算出する。表示部１５は、この質量流量Ｆｍを測定値Ｆｍｆとして出力、表示し（Ｓ１０４）、質量流量測定装置１０は、処理を終了する（Ｓ１０５）。
【００２２】
本実施形態によれば、質量流量測定装置１０は、容積流量計１２によって計測された容積流量Ｆｖを、コリオリ質量流量計によって計測された密度ρｃで質量換算し、質量流量Ｆｍｆを測定するため、レンジアビリティが広く、低流量域においても精度が高く、質量での流量測定が可能となった。
また、質量流量測定装置１０は、コリオリ質量流量計１１によって計測された密度ρｃを温度補正するため、誤差を減少し、より精度の高い質量流量測定が可能となった。
【００２３】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る質量流量測定装置１０は、第１実施形態と略同様の構成を備え、演算部１４の構成において異なっている。以下、図３を参照しながら、当該差異について説明する。
図３は、本発明による質量流量測定装置の第２実施形態における動作を示すフローチャートである。以下、質量流量測定装置１０の演算部１４の処理について説明する。
Ｓ２００において、コリオリ質量流量計１１は、質量流量測定部１１１、密度測定部１１２及び温度センサ１１３によって、被測定流体の質量流量Ｆｃ、密度ρｃ及び温度Ｔｃを測定し、質量流量信号ａ、密度信号ｂ及び被測定流体温度信号ｃとして信号処理部１３を介して演算部１４へ入力する。
【００２４】
また、容積流量計１２は、容積流量測定部１２１及び温度センサ１２２によって、被測定流体の容積流量Ｆｖ及び温度Ｔｖを測定し、容積流量信号ｄ及び被測定流体温度信号ｅとして、信号処理部１３を介して演算部１４へ入力する。
演算部１４は、これらの信号を入力し、処理を開始する。
Ｓ２０１からＳ２０３及びＳ２０７において、質量流量測定装置１０は、第１実施形態のＳ１０１からＳ１０３まで及びＳ２０６と同様の処理を行う。
【００２５】
Ｓ２０４において、演算部１４は、Ｓ２０３で算出した質量流量Ｆｍの測定精度と、コリオリ質量流量測定部によって測定された質量流量Ｆｃの測定精度との高低を比較し、測定精度が高い方の質量流量を測定値として選択する。具体的には、演算部１４は、コリオリ質量流量測定部１１１によって測定された質量流量Ｆｃ、及び、容積流量測定部１２１によって測定した容積流量Ｆｖから算出された質量流量Ｆｍの平均値である質量流量Ｆと、設定入力（Ｓ２０８）されているしきい値Ｃｓとを比較する。しきい値Ｃｓは、流量によって変化する質量流量Ｆｃの測定精度及び質量流量Ｆｍの測定精度の相対的な高低の変わり目となる質量流量Ｆである。
【００２６】
質量流量Ｆがしきい値Ｃｓよりも小さい場合には、質量流量Ｆｍの精度が高いと判定して、質量流量Ｆｍを測定値である質量流量Ｆｍｆとして選択し、質量流量Ｆがしきい値Ｃｓ以上である場合には、質量流量Ｆｃの精度が高いとしてＦｃを測定値である質量流量Ｆｍｆとして選択する。
表示部１５は、この選択された質量流量Ｆｍｆを出力、表示し（Ｓ２０５）、質量流量測定装置１０は、処理を終了する（Ｓ２０６）。
【００２７】
本実施形態によれば、第１実施形態の効果に加え、質量流量測定装置１０は、しきい値Ｃｓと流量Ｆとの大小（測定精度）に基づいて出力する質量流量Ｆｍｆを選択するため（Ｓ２０４）、より精度の高い質量流量測定が可能となった。
【００２８】
（第３実施形態）
第３実施形態に係る質量流量測定装置１０は、第１実施形態と略同様の構成を備え、演算部１４の構成において異なっている。以下、図４を参照しながら、当該差異について説明する。
図４は、本発明による質量流量測定装置の第３実施形態における動作を示すフローチャートであって、第１実施形態又は第２実施形態における処理の前に行われる校正処理を示している。以下、質量流量測定装置１０の演算部１４の処理について説明する。
【００２９】
Ｓ３００において、コリオリ質量流量計１１は、被測定流体の質量流量Ｆｃ及び温度Ｔｃを測定し、質量流量信号ａ及び被測定流体温度信号ｃとして信号処理部１３を介して演算部１４へ入力し、容積流量計１２は、被測定流体の容積流量Ｆｖ及び温度Ｔｖを測定し、容積流量信号ｄ及び被測定流体温度信号ｅとして、信号処理部１３を介して演算部１４へ入力する。
演算部１４は、これらの信号を入力し、処理を開始する。
【００３０】
Ｓ３０１において、演算部１４は、第１実施形態のＳ１０１と同様の処理を行い、温度差ΔＴを算出し、この温度差ΔＴと、入力した被測定流体の容積膨張率σとを式〔Ｆｖｃ＝Ｆｖ・（１＋σ・ΔＴ）〕に代入し、液体温度がＴｃである場合の容積流量Ｆｖｃを算出する。演算部１４は、Ｓ３００において測定した質量流量Ｆｃを、この算出した容積流量Ｆｖｃで除算し、密度ρを算出する（Ｓ３０３）。この密度ρと、入力（Ｓ３０７）される基準密度ρｔｈと比較することによって、コリオリ質量流量計１１、容積流量計１２の校正等の補正を行い（Ｓ３０４）、処理を終了する（Ｓ３０５）。密度ρは、被測定流体の基準密度と比較することによって、補正の基準となる補正基準情報である。
【００３１】
なお、図５に示すように、第３実施形態のＳ３０４において、第２実施形態におけるＳ２０２と同様に、流体温度Ｔｃに対応した基準密度ρｔｈｃを、基準密度ρｔｈに対応する温度Ｔｔｈ、流体温度Ｔｃ、密度の温度係数Ｋを式〔ρｔｈｃ＝ρｔｈ・｛１＋Ｋ・（Ｔｔｈ−Ｔｃ）｝〕に代入して求め（Ｓ３０７’）、補正基準情報としてもよい（Ｓ３０４’）。
【００３２】
本実施形態によれば、第１実施形態又は第２実施形態の効果に加え、密度計としてコリオリ質量流量計を使用することにより、コリオリ質量流量計と容積流量計で高い測定精度が得られる流量において、コリオリ質量流量計による質量流量と容積流量計による容積流量より求められる密度ρと、基準密度ρｔｈ（ρｔｈｃ）とを比較することにより流量計１１，１２の校正を行い、より精度の高い流量測定を行うことが可能となった。
【００３３】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。例えば、第１実施形態において、コリオリ質量流量計１１の代わりに、密度計を用いてもよい。
また、各実施形態において、質量流量測定装置１０は、コリオリ質量流量計１１及び容積流量計１２を備えているが、これら流量計に限られるものではなく、各測定部１１１，１１２，１１３，１２１，１２２を備えていればよい。
【００３４】
第１実施形態のＳ１０２、第２実施形態のＳ２０２において、演算部１４は、密度ρｃを容積流量Ｆｖの測定条件に合わせる温度補正を行うが、逆に、容積流量Ｆｖを密度ρｃの測定条件に合わせる温度補正を行ってもよい。
【００３５】
第１実施形態のＳ１０２、第２実施形態のＳ２０２及び第３実施形態のＳ３０３’において、被測定流体の密度温度係数Ｋ、容積膨張率σを被測定流体温度とのマップにより入力してもよい。なお、マップにより入力とは、被測定流体の密度温度係数Ｋ、容積膨張率σが一定ではなく、温度により変化し、何点かの任意の温度（Ｔ１，Ｔ２，・・・，Ｔｎ）における密度係数Ｋ及び容積膨張率σがそれぞれＫ１，Ｋ２，・・・，Ｋｎ及びσ１，σ２，・・・σｎとわかっている場合に、温度Ｔｎに対応する密度係数Ｋｎ及び容積膨張率σｎを結びつけマップ化し、実際の温度Ｔがこのマップにある場合（Ｔ＝Ｔｎ）には、係数として対応する密度係数Ｋｎ及び容積膨張率σｎを入力し、マップにない場合には、直線補間により算出した密度係数Ｋ及び容積膨張率σを入力することである。
また、密度ρｖ，ρｔｈｃは、被測定流体温度Ｔｃ，Ｔｖの一次式から求めているが、これに限られず、被測定流体の性質によって、二次式（係数２つ）等の二次以上の式から求めてもよい。
【００３６】
第２実施形態において、演算部１４は、質量流量Ｆｃ及び質量流量Ｆｍの平均値である質量流量Ｆと、しきい値との大小に基づいて出力する質量流量Ｆｍｆを選択しているが（Ｓ２０４）、質量流量Ｆは、質量流量Ｆｃ及び質量Ｆｍの平均値に限られない。被測定流体の流量を示す測定値（Ｆｃ，Ｆｖ等）に対応し、しきい値と比較可能な値であればよい。
【００３７】
第２実施形態において、演算部１４は、しきい値Ｃｓと流量Ｆとの大小（測定精度）に基づいて出力する質量流量Ｆｍｆを選択しているが（Ｓ２０４）、例えば、流量Ｆに対応する変数をＸ，Ｙ（Ｘ＋Ｙ＝１）とし、Ｆｍｆ＝Ｘ・Ｆｍ＋Ｙ・Ｆｃのように、流量Ｆ（測定精度）に基づいて、コリオリ質量流量計１１及び容積流量計１２の測定値に軽重を設け、双方の測定値を考慮したＦｍｆを出力してもよい。より精度の高い質量流量測定が可能である。
【００３８】
第３実施形態において、質量流量測定装置１０は、第２実施形態における処理の前に校正処理を行うが、同様の処理を第１又は第２実施形態の処理と並行して行い、補正基準情報に基づいて、質量流量Ｆｃ、容積流量Ｆｖ等の計測誤差の補正、コリオリ質量流量計１１、容積流量計１２の機差の校正等の補正を行ってもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、本発明によれば、以下のような効果を得ることが可能となった。
（１）容積流量測定手段によって測定された容積流量を、密度測定手段によって測定された密度によって質量換算する質量演算手段を備えることによって、質量流量測定のレンジアビリティを拡大し、低流量域における測定精度を向上する。
（２）温度補正を行う温度補正演算手段を備えることによって、質量流量測定の精度をより向上する。
（３）測定精度に基づいて測定値を選択又は算出する質量流量選択演算手段を備えることによって、質量流量測定の精度をより向上する
（４）容積流量測定手段及びコリオリ質量流量測定手段によって測定される容積流量及び質量流量に基づいて、被測定流体の基準密度と比較することによって補正の基準となる補正基準情報である密度を算出する密度算出手段を備えるため、補正を行うことによって、質量流量測定の精度をより向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による質量流量測定装置の第１実施形態を示すブロック図である。
【図２】本発明による質量流量測定装置の第１実施形態における動作を示すフローチャートである。
【図３】本発明による質量流量測定装置の第２実施形態における動作を示すフローチャートである。
【図４】本発明による質量流量測定装置の第３実施形態における動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明による質量流量測定装置の変形形態における動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１０　質量流量測定装置
１１　コリオリ質量流量計
１２　容積流量計
１３　信号処理部
１４　演算部
１５　表示部
１１１　質量流量測定部
１１２　密度測定部
１１３　温度センサ
１２１　容積流量測定部
１２２　温度センサ
【図１】
2004012363.tif 000003
【図２】
2004012363.tif 000004
【図３】
2004012363.tif 000005
【図４】
2004012363.tif 000006
【図５】
2004012363.tif 000007