(57)【要約】【課題】平滑媒体面とのスライダ接触振動低減化と媒体面うねりに対する浮上量変動の低減化とスライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動の低減化とを同時に満足することである。【解決手段】磁気ヘッドスライダ１のステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒを、２．５インチディスク装置では０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４、１．０インチディスク装置では０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２、の範囲内に設定し、流出パッド１２の空気流入端の傾斜角度θ２を、２．５インチディスク装置ではθ２≦５４度、１．０インチディスク装置ではθ２≦５８．２度、に設定することによって、上記課題を解決し、高密度記録化、高信頼性化、低コスト化に優れた磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置を提供できる。【選択図】        図２
2004253061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気流流入側に形成された空気軸受面となりうる流入パッドと、空気流流出側に形成された空気軸受面となりうる流出パッドと、空気流流入方向の両側に沿って形成された一対のサイドレールとから構成し、前記流入パッドおよび前記流出パッドは、ディスク停止時にディスク面と接触するパッド面と、空気流流入方向に設けた１段目の段差面であるステップ面および２段目の段差面であるリセス面からなる２段ステップ面とを有する磁気ヘッドスライダを備えてなる磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダの流出パッドは、パッド面を略直角３角形の形状に構成し、該パッド面の空気流入端のスライダ側面に対する傾斜角度θ２が、
θ２≦５８．２度
であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
空気流流入側に形成された空気軸受面となりうる流入パッドと、空気流流出側に形成された空気軸受面となりうる流出パッドと、空気流流入方向の両側に沿って形成された一対のサイドレールとから構成し、前記流入パッドおよび前記流出パッドは、ディスク停止時にディスク面と接触するパッド面と、空気流流入方向に設けた１段目の段差面であるステップ面および２段目の段差面であるリセス面からなる２段ステップ面とを有する磁気ヘッドスライダを備えるとともに、該磁気ヘッドスライダを支持して荷重を負荷するディンプル位置を配設したスライダ支持体を備え、２．５インチディスクを使用してなる磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダの流出パッドは、パッド面からステップ面までのステップ深さをδｓ、パッド面からリセス面までのリセス深さをδｒとすると、δｓ／δｒが、
０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４
なる関係式を満たす範囲にあり、
前記磁気ヘッドスライダの空気流流入端位置と前記ディンプル位置との距離ｘｐが、スライダの長手方向の全長をＬとすると、
０．４５≦ｘｐ／Ｌ≦０．５５
なる関係式を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項３】
空気流流入側に形成された空気軸受面となりうる流入パッドと、空気流流出側に形成された空気軸受面となりうる流出パッドと、空気流流入方向の両側に沿って形成された一対のサイドレールとから構成し、前記流入パッドおよび前記流出パッドは、ディスク停止時にディスク面と接触するパッド面と、空気流流入方向に設けた１段目の段差面であるステップ面および２段目の段差面であるリセス面からなる２段ステップ面とを有する磁気ヘッドスライダを備えるとともに、該磁気ヘッドスライダを支持して荷重を負荷するディンプル位置を配設したスライダ支持体を備え、１．０インチディスクを使用してなる磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダの流出パッドは、パッド面からステップ面までのステップ深さをδｓ、パッド面からリセス面までのリセス深さをδｒとすると、δｓ／δｒが、
０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２
なる関係式を満たす範囲にあり、
前記磁気ヘッドスライダの空気流流入端位置と前記ディンプル位置との距離ｘｐが、スライダの長手方向の全長をＬとすると、
０．４５≦ｘｐ／Ｌ≦０．５５
なる関係式を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項４】
空気流流入側に形成された空気軸受面となりうる流入パッドと、空気流流出側に形成された空気軸受面となりうる流出パッドと、空気流流入方向の両側に沿って形成された一対のサイドレールとから構成し、前記流入パッドおよび前記流出パッドは、ディスク停止時にディスク面と接触するパッド面と、空気流流入方向に設けた１段目の段差面であるステップ面および２段目の段差面であるリセス面からなる２段ステップ面とを有する磁気ヘッドスライダを備えるとともに、該磁気ヘッドスライダを支持して荷重を負荷するディンプル位置を配設したスライダ支持体を備えてなる磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダの空気流流入端面に対する垂直方向成分のディスクの周速Ｖｙが、
２．８５３ｍ／ｓ≦Ｖｙ≦４．８３１ｍ／ｓ
ただし、Ｖｙ＝Ｖｃｏｓ（θｙ）
Ｖは回転数および半径位置から決まる素子位置での周速
θｙは空気流入角度を示すＹａｗ角
なる関係式を満たす範囲にある場合、
前記磁気ヘッドスライダの流出パッドは、パッド面からステップ面までのステップ深さをδｓ、パッド面からリセス面までのリセス深さをδｒとすると、δｓ／δｒが、
０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２
なる関係式を満たす範囲にあり、
前記周速Ｖｙが、
６．１４０ｍ／ｓ≦Ｖｙ≦１２．７１９ｍ／ｓ
ただし、Ｖｙ＝Ｖｃｏｓ（θｙ）
Ｖは回転数および半径位置から決まる素子位置での周速
θｙは空気流入角度を示すＹａｗ角
なる関係式を満たす範囲にある場合、
前記δｓ／δｒが、
０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４
なる関係式を満たす範囲にあり、
いずれの場合も、前記磁気ヘッドスライダの空気流流入端位置と前記ディンプル位置との距離ｘｐが、スライダの長手方向の全長をＬとすると、
０．４５≦ｘｐ／Ｌ≦０．５５
なる関係式を満たす範囲にあることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項５】
請求項１、２、または４のうちいずれか１項に記載の磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダの流出パッドは、パッド面を略直角３角形の形状に構成し、該パッド面の空気流入端のスライダ側面に対する傾斜角度θ２が、
θ２≦５４度
かつ、前記パッド面のディスク外周側側面長さＸｏｕｔが、
Ｘｏｕｔ≦６０μｍ
なる範囲にあることを特徴とする２．５インチディスク用の磁気ディスク装置。
【請求項６】
請求項１、３、または４のうちいずれか１項に記載の磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダの流出パッドは、パッド面を略直角３角形の形状に構成し、該パッド面の空気流入端のスライダ側面に対する傾斜角度θ２が、
θ２≦５８．２度
かつ、前記パッド面のディスク外周側側面長さＸｏｕｔが、
Ｘｏｕｔ≦６０μｍ
なる範囲にあることを特徴とする１．０インチディスク用の磁気ディスク装置。
【請求項７】
請求項１〜６のうちいずれか１項に記載の磁気ディスク装置において、前記ディスクに、中心線平均面粗さＲａが１ｎｍ以下、中心線最大高さＲｐが５ｎｍ以下の平滑な磁気記録媒体を使用したことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項８】
空気流流入側に形成された空気軸受面となりうる流入パッドと、空気流流出側に形成された空気軸受面となりうる流出パッドと、空気流流入方向の両側に沿って形成された一対のサイドレールとから構成し、前記流入パッドおよび前記流出パッドは、ディスク停止時にディスク面と接触するパッド面と、空気流流入方向に設けた１段目の段差面であるステップ面および２段目の段差面であるリセス面からなる２段ステップ面とを有する磁気ヘッドスライダにおいて、
前記流出パッドは、パッド面を略直角３角形の形状に構成し、該パッド面の空気流入端のスライダ側面に対する傾斜角度θ２が、
θ２≦５８．２度
であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
請求項８に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、
前記流出パッドのステップ深さをδｓ、リセス深さをδｒとすると、δｓ／δｒが、０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４
前記傾斜角度θ２が、θ２≦５４度、
前記流出パッドのパッド面のディスク外周側側面長さＸｏｕｔが、Ｘｏｕｔ≦６０μｍ、
なる範囲にあることを特徴とする２．５インチディスク用の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１０】
請求項８に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、
前記流出パッドのステップ深さをδｓ、リセス深さをδｒとすると、δｓ／δｒが、０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２、
前記傾斜角度θ２が、θ２≦５８．２度
前記流出パッドのパッド面のディスク外周側側面長さＸｏｕｔが、Ｘｏｕｔ≦６０μｍ、
なる範囲にあることを特徴とする１．０インチディスク用の磁気ヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスク装置および磁気ヘッドスライダに係り、特に、高記録密度化および高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダおよびその支持体の構成およびそれらの構成を備えた磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
年々、磁気ディスク装置の高記録密度化に対して要求される磁気ヘッドスライダの浮上量は低下する傾向にある。低浮上化の阻害要因は、スライダ流出端浮上量ｈ２（図６参照）が、スライダ加工組立バラツキやスライダ周辺の気圧変化、ガス・コンタミ付着等により変動することである。
【０００３】
これらの要因によって低下した浮上量ｈ２ｍｉｎが、媒体面（ディスク面）上にある微小うねりや面粗さの微小突起先端の最大高さより小さくなった場合、スライダの最下点が微小突起先端と接触する。
【０００４】
スライダの浮上量は光学的に測定し、ｈ２ｍｉｎは面粗さのない理想平面上からの浮上量を意味するため、理想平面上からの微小突起先端の最大高さが接触開始浮上量ｈｔｏとなる。したがって、ｈ２ｍｉｎとｈｔｏとの差である浮上マージンｈ２ｍｉｎ−ｈｔｏをいかに大きくするかが、低浮上化においての課題となる。
【０００５】
浮上マージンを大きくするアプローチとして、（１）媒体面の微小突起先端の最大高さを小さくすればｈｔｏは下げることができる。ただし、スライダが面粗さを小さくしてｈｔｏを下げた平滑媒体と接触した場合、真実接触面積の増大により摩擦係数が大きくなり、大振動、ヘッドクラッシュに至る。
【０００６】
また、（２）ランアウトのようなスライダ長に比べて十分大きい波長の媒体面うねりに対する浮上量変動や、（３）スライダ長と同程度の微小な波長の媒体面うねりに対して、幾何学的に追従できない浮上量変動、および、（４）スライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動などを低減化することが考えられる。
【０００７】
上記（１）（２）（３）に関しては、スライダの姿勢角度（ピッチ角度）を大きくすることによって、接触時の接触面積、走行時の摩擦力も大幅に低減でき、面粗さを小さくした平滑媒体面とのスライダ接触振動を低減化できる。
【０００８】
また、ピッチ角度を大きくすることによって、浮上面面積が小さくなり、スライダの浮上面とランアウトのような長波長の媒体面うねり間に発生する圧力変動が小さくなり、ランアウトに対する浮上量変動も小さくなる。
【０００９】
また、ピッチ角度を大きくすることによって、スライダ長と同程度の微小うねりに対しても、幾何学的に追従可能となる。しかし、スライダのピッチ角度を大きくすると、スライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動が大きくなる欠点がある。
【００１０】
（４）に関しては、従来の負圧力利用型３パッドステップスライダは、流入側に形成された２つの浮上用パッド、流出側に形成された浮上用パッド、両側に沿って形成された２つのサイドレールから構成する。
【００１１】
これらの浮上用パッドおよびサイドレールに囲まれた領域に負圧力を発生させることにより、スライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動が小さくできる。しかし、従来の負圧力利用型３パッドステップスライダでは、面粗さを小さくした平滑媒体面と接触したとき、接触面積が大きいために、接触振動が大きくなる欠点がある。
【００１２】
また、ディスク１枚あたりの記録容量を効率よく高めるためには、ディスク最内周から最外周までの線記録密度を一定にする必要がある。これを実現するためには、高感度で再生出力が媒体からの磁界の強さだけに関係する磁気抵抗効果型ヘッドの採用と、磁気ヘッドスライダの浮上特性にディスク最内周から最外周までの浮上量の軌跡である浮上プロファイルの平坦化が要求される。
【００１３】
特許文献１に記載されている負圧力利用型３パッドステップスライダは、２段のステップ面を設けたパッドの浮上面に対する１段目の段差面の深さ、２段目の段差面の深さをそれぞれステップ深さδｓ、リセス深さδｒとすると、ステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒが、０．１１≦δｓ／δｒ≦０．３６の関係式を満たす範囲、かつスライダの空気流流入端位置と荷重作用点位置との距離ｘｐが、０．０１≦ｘｐ／Ｌ≦０．４、の関係式を満たす範囲に設定したものである。
【００１４】
これによって、ディスク最内周と最外周とのスライダ流出端浮上量ｈ２の差および高度３０００ｍにおけるｈ２浮上量の低下を同時に０．８ｎｍ以内に達成できる。しかし、この方式では、荷重作用点が質量中心より空気流入側に設けるためにピッチ角度は小さくなり、ランアウトのようなスライダ長に比べて十分大きい波長の媒体面うねりに対する浮上量変動を低減化できない。
【００１５】
【特許文献１】
特開２００２−２０３３０５号公報
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の磁気ヘッドスライダでは、面粗さを小さくした平滑媒体面とのスライダ接触振動低減化と、ランアウトのようなスライダ長に比べて十分大きい波長の媒体面うねりに対する浮上量変動の低減化と、荷重作用点が質量中心の位置でスライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動の低減化とが、同時に満足できないために、浮上マージンを大きくできず、低浮上化できない。
【００１７】
本発明の課題は、スライダ流出端の接触開始浮上量を下げた平滑媒体面とのスライダ接触振動低減化と、ランアウトのようなスライダ長に比べて十分大きい波長の媒体面うねりに対する浮上量変動の低減化と、荷重作用点が質量中心の位置でスライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動の低減化とを同時に満足することである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の磁気ディスク装置は、空気流流入側に形成された空気軸受面となりうる流入パッドと、空気流流出側に形成された空気軸受面となりうる流出パッドと、空気流流入方向の両側に沿って形成された一対のサイドレールとから構成し、前記流入パッドおよび前記流出パッドは、ディスク停止時にディスク面と接触するパッド面と、空気流流入方向に設けた１段目の段差面であるステップ面および２段目の段差面であるリセス面からなる２段ステップ面とを有する磁気ヘッドスライダを備えてなる磁気ディスク装置において、前記磁気ヘッドスライダの流出パッドは、パッド面を略直角３角形の形状に構成し、該パッド面の空気流入端のスライダ側面に対する傾斜角度θ２が、θ２≦５８．２度であることを特徴とするものである。
【００１９】
本発明の上記構成によれば、流出パッドの流入端傾斜角度θ２が小さくなると、ディスク最内周と最外周における素子浮上量ｈｇａｐの差は小さくなり、スライダ浮上量の低減化が可能となる。特に、２．５インチディスク装置ではθ２≦５４度、１．０インチディスク装置ではθ２≦５８．２度が好適である。（図３０〜図３２参照）。
【００２０】
また、上記磁気ヘッドスライダの流出パッドは、ステップ深さをδｓ、リセス深さをδｒとすると、２．５インチディスク装置では、０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４の範囲、１．０インチディスク装置では０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２の範囲が好適となる。（図２５、２６参照）。δｓ／δｒをこのように設定することにより、スライダのピッチ角度がほぼ最大となり、かつ気圧変化に対するｈｍｉｎ低下量が小さくなり、スライダ浮上量の低減化が可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態の概要は、磁気ディスク装置の磁気ヘッドスライダの低浮上化を図るために、スライダ浮上面形状の１段目ステップ深さδｓと２段目リセス深さδｒとの比を所定範囲に規定し、また、流出パッドのパッド面を略三角形状に形成して、空気流流入端側の傾斜角度θ２を所定角度以下に規定したものである。
【００２２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１に本発明の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドスライダおよびその支持体の立体斜視図を示す。図２（ａ）（ｂ）に、それぞれ本発明の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドスライダの一実施例の立体斜視図および側面図を示す。
【００２３】
スライダ１は、空気流入側に形成された２つ（一対）の空気軸受面になりうるパッド１１（以後、流入パッドとも記す）、空気流出側に形成された１つの空気軸受面になりうるパッド１２（以後、流出パッドとも記す）、両側に沿って形成された一対のサイドレール１３などから構成されている。
【００２４】
流出パッド１３の流出端には、再生用ＭＲヘッドのＭＲ素子の露出部と記録用電磁誘導型磁気ヘッドのギャップ部から構成する記録再生素子１ｂが設置され、スライダ１の後流側端面には、磁気ヘッド１ｃおよび接続端子１ｄが設けられている。
【００２５】
スライダ１は、空気力学的に正圧力Ｑ１が発生する２つの流入パッド１１と一対のサイドレール１３とから囲まれた凹部１４に、負圧力Ｑ２が発生する負圧力利用型スライダである。
【００２６】
負圧力Ｑ２が発生するメカニズムは、ディスクが回転し、空気がスライダ／ディスク間に流れ込むと、凹部１４で急激に体積が増えるためである。正圧力Ｑ１は浮上量を増加させる方向に作用し、負圧力Ｑ２は浮上量を低下させる方向に作用する。
【００２７】
図３、図４に、それぞれ本実施例の磁気ヘッドスライダの、流入パッド１１とサイドレール１３、流出パッド１２を示す。これらは、ディスク停止時に媒体面（ディスク面）と接触するパッド面１１２（以後、コンタクト面とも記す）と、空気流入方向に段差部１１３を介して設けた１段目の段差面１１４（ステップ面）、および段差部１１５を介して設けた２段目の段差面１１６（リセス面）の２段ステップ面から構成する。
【００２８】
このような２段ステップ面構造は、従来のリソグラフィ技術を適用して、エッチング加工で製造できる。δｓ、δｒはそれぞれ、パッド面１１２に対する１段目の段差面１１４の深さ（ステップ深さ）、パッド面１１２に対する２段目の段差面１１６の深さ（リセス深さ）を示す。
【００２９】
流出パッド１２の流入端傾斜角度θ２は、２．５、１．０インチディスクを備えた磁気ディスク装置の場合は、それぞれ、５４、５８．２ｄｅｇ以内である。流出パッド１２のディスク外周側側面長さＸｏｕｔは、エッチング加工で製造可能な６０μｍ以下である。Ｘｉｎは流出パッドのディスク内周側側面長さである。したがって、流出パッド１２のコンタクト面１１２の形状は例えば直角三角形で構成する。
【００３０】
図５に、本発明の磁気ヘッドスライダを支持する支持体の平面図を示す。支持体２は、荷重用ビ−ム部２１、ジンバル部２２、荷重用突起部（以後、ディンプルとも記す）２３から構成する。
【００３１】
図６（ａ）（ｂ）に、本実施例の磁気ヘッドスライダの浮上走行時の側面図を示す。ディンプル２３は、荷重用ビ−ム部２１から押し付けられた荷重Ｆをスライダに作用させる荷重作用点として設けている。また、そこを支点として、スライダを並進（上下）方向、ピッチ（前後）方向、ロ−ル（シ−ク）方向の３自由度の運動に対して復元力が作用するように設けられる。
【００３２】
荷重作用点であるディンプル２３の位置（Ｘｐ，Ｙｐ）は、ピッチ方向に対してはＸｐ＝ｘｐ／Ｌ、ロ−ル方向に対してはＹｐ＝ｙｐ／ｗの無次元化した値として表わす。ただし、ｘｐはスライダの流入端との距離、ｙｐはスライダ側面の端との距離、Ｌはスライダの長手方向の長さ、ｗはスライダの短手方向の長さである。
【００３３】
ディンプル位置ｘｐ／Ｌ、ｙｐ／ｗは共に０．５である。このように、荷重作用点を質量中心に設けた理由は、荷重作用点を質量中心より空気流入側に設けるとスライダのピッチ角度は小さくなり、本実施例の磁気ヘッドスライダの効果は小さくなる。
【００３４】
また、荷重作用点を質量中心より空気流出側に設けると、スライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動が大きくなり、本実施例の磁気ヘッドスライダの効果は小さくなるためである。
【００３５】
ただし、本実施例の磁気ヘッドスライダと、ジンバル部２２とを接着させて、ディンプル位置をスライダの質量中心に位置付ける製作工程で、組立誤差が約６０μｍ程度生じるため、ディンプル位置ｘｐ／Ｌは、０．４５≦ｘｐ／Ｌ≦０．５５の範囲とした。
【００３６】
スライダ１は、ディンプル２３の位置で、押付荷重Ｆと空気力学的に発生する浮上力Ｑとが、Ｆ＝Ｑ、Ｑ＝Ｑ１−Ｑ２（Ｑ２＞０）の関係式で釣り合い、ピッチ方向、ロ−ル方向の浮上姿勢を表わすピッチ角度θｐ、ロ−ル角度θｒ、流出端浮上量ｈ２、流入端浮上量ｈ１、再生用ＭＲヘッドのＭＲ素子の露出部と記録用電磁誘導型磁気ヘッドのギャップ部から構成する記録再生素子１ｂにおける素子位置浮上量ｈｇａｐ等を、一定に保ちながら動的に安定浮上している。ここで、ｈｍｉｎをスライダの最小浮上量とする。
【００３７】
図７に、本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１〜３について、それぞれの浮上面形状を示す。大きさは、スライダ長Ｌが１．２５ｍｍのピコサイズである。押付荷重Ｆは２９．４ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ／Ｌ、ｙｐ／ｗは共に０．５である。
【００３８】
ステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒは、実施例１、２、３の場合、それぞれ０．２４、０．２４、０．２８である。流出パッドの流入端傾斜角度θ２は実施例１、２、３の場合、それぞれ５２．１、５４．０、７０．９ｄｅｇである。流出パッドの外周側側面長さＸｏｕｔは実施例１、２、３の場合、それぞれ３６、６５．９５μｍである。
【００３９】
図８に、本発明における磁気ヘッドスライダの実施例と比較するための、比較例１の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。大きさは、スライダ長Ｌが１．２５ｍｍのピコサイズである。押付荷重Ｆは２９．４ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ／Ｌ、ｙｐ／Ｌは共に０．５である。δｓ／δｒ、θ２、Ｘｏｕｔは、それぞれ０．１８、６９．４ｄｅｇ、１３３μｍである。
【００４０】
図９に、本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の浮上面形状を示す。大きさは、スライダ長Ｌが１．２５ｍｍのピコサイズである。押付荷重Ｆは９．８ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ／Ｌ、ｙｐ／ｗは共に０．５である。ステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒは、実施例４、５、６の場合、それぞれ０．２５、０．２２２、０．２である。θ２は実施例４、５、６の場合、それぞれ４８．８、５１．２、５８．２ｄｅｇである。Ｘｏｕｔは実施例４、５、６の場合、それぞれ５７、５７．５５μｍである。
【００４１】
図１０に、比較例２の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。大きさは、スライダ長Ｌが１．２５ｍｍのピコサイズである。押付荷重Ｆは９．８ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ／Ｌ、ｙｐ／ｗは共に０．５である。δｓ／δｒ、θ２、Ｘｏｕｔは、それぞれ０．１５、６６．２ｄｅｇ、９７μｍである。
【００４２】
図１１に、実施例１スライダ、比較例１スライダを用いて、高度０ｍ、高度３０００ｍの場合について、回転数、半径位置が２．５インチ装置（２．５インチディスクを用いた装置、以下同）の最内周、中周、最外周条件におけるピッチ角度θｐを計算した結果を示す。
【００４３】
図１１より、実施例１のスライダ１のピッチ角度θｐは、比較例１スライダに比べて、高度０ｍ、３０００ｍともに、半径位置の最内周、中周、最外周条件のそれぞれで、約１５ｎｍ、約３０ｎｍ、約５０ｎｍ大きくなっていることがわかった。
【００４４】
図１２に、実施例４〜６スライダ、比較例２スライダを用いて、高度０ｍ、回転数、半径位置が１．０インチ装置の最内周、中周、最外周条件におけるピッチ角度θｐを計算した結果を示す。
【００４５】
図１２より、実施例４〜６のスライダのピッチ角度θｐは、比較例２スライダに比べて、最内周、中周、最外周条件それぞれ約２〜１０ｎｍ、約１０〜１５ｎｍ、約１５〜２０ｎｍ大きくなっていることがわかった。
【００４６】
図１３に、実施例１スライダ、比較例１スライダを用いて、高度０ｍ、回転数、半径位置が２．５インチ装置の最内周、中周、最外周条件における素子位置浮上量ｈｇａｐを計算した結果を示す。実施例１スライダ、比較例１スライダの最内周条件におけるｈｇａｐは共に１２ｎｍに設定した。図より、実施例１のスライダ１の浮上プロファイル浮上量ｈｇａｐ差が、比較例１スライダと同様に、ほぼ２ｎｍ以内になっていることがわかった。
【００４７】
図１４に、実施例４〜６スライダ、比較例２スライダを用いて、高度０ｍ、回転数、半径位置が１．０インチ装置の最内周、中周、最外周条件における素子位置浮上量ｈｇａｐを計算した結果を示す。実施例４〜６スライダ、比較例２スライダの最内周条件におけるｈｇａｐは全て１３ｎｍに設定した。図より、実施例４〜６スライダ１の浮上プロファイル浮上量ｈｇａｐ差が、比較例２スライダと同様にほぼ１ｎｍ以内になっていることがわかった。
【００４８】
図１５に、実施例１スライダ、比較例１スライダを用いて、回転数、半径位置が２．５インチ装置の最内周、中周、最外周条件において、スライダ周辺の気圧が高度０ｍから高度３０００ｍまで変化したときの、最小浮上量ｈｍｉｎの低下量を計算した結果を示す。図より、最内周、中周条件において、実施例１スライダの気圧変化に対するｈｍｉｎの低下量は、比較例１スライダに比べて小さくなっていた。
【００４９】
図１６に、実施例４スライダ、実施例５スライダ、比較例２スライダを用いて、回転数、半径位置が１．０インチ装置の最内周、中周、最外周条件において、スライダ周辺の気圧が高度０ｍから高度３０００ｍまで変化したときの最小浮上量ｈｍｉｎの低下量を計算した結果を示す。図より、実施例４スライダおよび実施例５スライダの気圧変化に対するｈｍｉｎの低下量は比較例２スライダに比べて小さくなっていた。
【００５０】
図１７に、実施例１スライダ、比較例１スライダを用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が２．５インチ装置の最内周、中周、最外周条件において、スライダ長と同程度の微小うねりに対して、幾何学的に追従できない最小浮上量ｈｍｉｎの変動量を計算した結果を示す。図より、実施例１スライダの微小うねりに対するｈｍｉｎの変動量は比較例１スライダに比べて小さくなっていた。
【００５１】
図１８に、実施例６スライダ、比較例２スライダを用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が１．０インチ装置の最内周、中周、最外周条件において、スライダ長と同程度の微小うねりに対して、幾何学的に追従できない最小浮上量ｈｍｉｎの変動量を計算した結果を示す。図より、実施例６スライダの微小うねりに対するｈｍｉｎの変動量は、比較例２スライダに比べて小さくなっていた。
【００５２】
以上の計算結果より、本実施例のスライダは、高ピッチ角度とスライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動の低減化と、スライダ長と同程度の微小うねりに対する浮上量変動の低減化を実現できる効果があることがわかった。以下に、本実施例スライダの高ピッチ角度となるメカニズムとステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒの設定範囲を示す。
【００５３】
図１９〜図２１に、比較例１スライダと、実施例１〜２スライダの浮上面形状を用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が２．５インチ装置の、最内周、最外周条件におけるステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒと、最小浮上量ｈｍｉｎ、流入端浮上量ｈ１、ピッチ角度θｐとの関係を計算した結果を示す。
【００５４】
これらの図より、δｓ／δｒが大きくなると、全スライダとも、最外周条件の場合、ｈｍｉｎ、ｈ１、θｐは増加する。最内周条件、ｈｍｉｎの場合、全スライダとも最大値をもつ。
【００５５】
最内周条件、ｈ１、θｐの場合、比較例１スライダは最大値をもたないが、実施例１、２スライダは最大値をもち、０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４、の範囲内でほぼ一定となる。例えば、実施例１スライダの場合、ｈｍｉｎ、ｈ１、θｐのそれぞれは、δｓ／δｒ＝０．２８、０．２８、０．３０で最大となる。
【００５６】
図２２〜図２４に、比較例２スライダおよび実施例４〜６スライダの浮上面形状を用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が１．０インチ装置の、最内周、最外周条件におけるステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒと、最小浮上量ｈｍｉｎ、流入端浮上量ｈ１、ピッチ角度θｐとの関係を計算した結果を示す。
【００５７】
これらの図より、δｓ／δｒが大きくなると、全スライダとも最外周条件の場合ｈｍｉｎ、ｈ１、θｐは増加し、ほぼ一定値に近づく。最内周条件、ｈｍｉｎの場合、実施例４スライダは最大値をもたないが、その他のスライダは最大値をもつ。
【００５８】
最内周条件、ｈ１、θｐの場合、全スライダとも最大値をもち、０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２、の範囲内でほぼ一定となる。例えば、実施例５スライダの場合、ｈｍｉｎ、ｈ１、θｐのそれぞれは、δｓ／δｒ＝０．２２、０．２０、０．２０で最大となる。
【００５９】
浮上量がほぼ一定になる理由は、δｓ／δｒがある値以上になると、流入パッドおよび流出パッドのステップ浮上面に発生する浮上力が飽和するためと考えられる。また、最内外周条件によって浮上力が飽和するδｓ／δｒが異なる理由は、最内外周条件の周速によって浮上力が飽和するδｓ／δｒが変化するためと考えられる。
【００６０】
δｓ／δｒが大きくなるとθｐが増加する理由は、流入パッドの流入端浮上量ｈ１が、ほぼ流出パッドの流出端浮上量となるｈｍｉｎに比べて増加するからである。これは、流入パッドのステップ浮上面の面積が流出パッドのその面積に比べて大きいため、δｓ／δｒが大きくなると流入パッドのステップ浮上面に発生する浮上力も大きくなるためである。本実施例スライダの高ピッチ角度となる理由は、最内周条件においてピッチ角度θｐが最大近傍となるδｓ／δｒを設定したためである。
【００６１】
図２５に、比較例１スライダ、および実施例１〜３スライダの浮上面形状を用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が２．５インチ装置の最内周、最外周条件におけるステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒと、スライダ周辺の気圧が高度０ｍから高度３０００ｍまで変化したときの最小浮上量ｈｍｉｎの低下量との関係を計算した結果を示す。
【００６２】
図２５に示した結果より、２．５インチ装置のスライダのδｓ／δｒの設定範囲としては、ピッチ角度がほぼ最大となり、かつ気圧変化に対するｈｍｉｎ低下量が小さい、０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４、が望ましい。
【００６３】
図２６に、比較例２スライダ、および実施例４〜６スライダの浮上面形状を用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が１．０インチ装置の最内周、最外周条件におけるステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒと、スライダ周辺の気圧が高度０ｍから高度３０００ｍまで変化したときの最小浮上量ｈｍｉｎの低下量との関係を計算した結果を示す。
【００６４】
図２６に示した結果より、１．０インチ装置のスライダのδｓ／δｒの設定範囲としては、ピッチ角度がほぼ最大となり、かつ気圧変化に対するｈｍｉｎ低下量が小さい、０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２、が望ましい。
【００６５】
本実施例１〜６スライダの気圧変化に対するｈｍｉｎ低下量が小さくなり、浮上量がほぼ一定になる理由は、最内周条件において浮上力が飽和するδｓ／δｒを設定したため、気圧変化によって浮上力が変化しても浮上量変化も小さくなるためと考えられる。
【００６６】
図２７に、比較例１スライダ、および実施例１スライダの浮上面形状を用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が２．５インチ装置の最内周、最外周条件におけるステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒと、スライダ長と同程度の微小うねりに対して幾何学的に追従できない最小浮上量ｈｍｉｎの変動量との関係を計算した結果を示す。
【００６７】
図２７より、０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４の範囲内では、最内外周条件ともに実施例１スライダの微小うねりに対するｈｍｉｎの変動量は、比較例１スライダに比べて小さいことがわかる。
【００６８】
図２８に、比較例１スライダ、および実施例１、２スライダの浮上面形状を用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が２．５インチ装置の最内周、最外周条件におけるステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒと、最内外周条件における素子位置浮上量ｈｇａｐ差との関係を計算した結果を示す。
【００６９】
図２８より、ピッチ角度がほぼ最大となる、０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４、の範囲内では、比較例１スライダ、実施例１、２スライダともにδｓ／δｒが大きくなると最内外周のｈｇａｐ差の絶対値も大きくなるが、実施例１、２スライダの最内外周のｈｇａｐ差の絶対値は比較例１スライダに比べて小さい。
【００７０】
特に、実施例１スライダのピッチ角度がほぼ最大となるδｓ／δｒ＝０．２８の場合、最内外周のｈｇａｐ差の絶対値は０．２ｎｍと小さくなり、比較例１スライダの場合は７．３ｎｍと大きい。
【００７１】
図２９に、比較例２スライダ、および実施例４〜６スライダの浮上面形状を用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が１．０インチ装置の最内周、最外周条件におけるステップ深さδｓとリセス深さδｒとの比δｓ／δｒと、最内外周条件における素子位置浮上量ｈｇａｐ差との関係を計算した結果を示す。
【００７２】
図２９より、ピッチ角度がほぼ最大となる０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２の範囲内では、比較例２スライダ、実施例４〜６スライダともに、δｓ／δｒが大きくなると最内外周のｈｇａｐ差の絶対値も大きくなるが、実施例４〜６スライダの最内外周のｈｇａｐ差の絶対値は比較例２スライダに比べて小さい。
【００７３】
特に、実施例４〜６スライダのピッチ角度がほぼ最大となるδｓ／δｒ＝０．２５、０．２２２、０．２０の場合、最内外周のｈｇａｐ差はそれぞれ、０．３、０．０、０．２ｎｍと小さくなり、比較例２スライダの場合は４．０ｎｍ以上になる。
【００７４】
図３０に、比較例１スライダ、および実施例１〜３スライダの浮上面形状を用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が２．５インチ装置の最内周、最外周条件における流出パッドの流入端傾斜角度θ２と、最内外周条件における素子位置浮上量ｈｇａｐ差との関係を、δｓ／δｒ一定な条件で計算した結果を示す。
【００７５】
図３０より、流出パッドの流入端傾斜角度θ２が小さくなると最内外周のｈｇａｐ差は小さくなる。０．２４≦δｓ／δｒ≦０．３４の範囲内でｈｇａｐ差をほぼゼロにするためには、流出パッドの流入端傾斜角度θ２は５４ｄｅｇ以内であることが必要である。
【００７６】
図３１、図３２に、実施例４〜６スライダ、比較例２スライダを用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が１．０インチ装置の最内周、最外周条件における流出パッドの流入端傾斜角度θ２と、最外周条件における素子位置浮上量ｈｇａｐ、最内外周条件における素子位置浮上量ｈｇａｐ差との関係を、δｓ／δｒが一定な条件で計算した結果を示す。
【００７７】
これらの図より、流出パッドの流入端傾斜角度θ２が小さくなると最外周のｈｇａｐが小さくなり、最内外周のｈｇａｐ差は小さくなる。０．２０≦δｓ／δｒ≦０．３２の範囲内でｈｇａｐ差をほぼゼロにするためには、流出パッドの流入端傾斜角度θ２は５８．２ｄｅｇ以内であることが必要である。
【００７８】
以上の計算結果より、本実施例スライダは、最外周のｈｇａｐが小さくなり、最内外周のｈｇａｐ差の絶対値５ｎｍ程度を、ほぼゼロまで小さくできる効果があることがわかった。
【００７９】
図３３（ａ）（ｂ）を用いて、本発明の実施例１〜６の磁気ヘッドスライダの上記に示した効果のメカニズムを説明する。図に示すように、ロータリーアクチュエータ方式でヘッド位置決めする場合、浮上プロファイル浮上量差の原因は、最内外周の半径位置の違いによる素子位置でのディスクの周速Ｖの変化と、空気流入角度（Ｙａｗ角θｙ）の変化と、スライダ流出パッドの流入端傾斜角度θ２の変化によって、スライダ流入端面に垂直方向成分の周速Ｖｙあるいは流出パッド流入端面に垂直方向成分の周速Ｖ２が変化することである。
【００８０】
図３４に、回転数および半径位置が２．５インチ装置、１．０インチ装置の最外周条件における本発明になる磁気ヘッドスライダ流出パッドの、流入端傾斜角度θ２と流出パッド流入端面に垂直方向成分の周速Ｖ２との関係を計算した結果を示す。
【００８１】
図３４より、ヘッドスライダの流出パッドの流入端傾斜角度θ２を５９ｄｅｇ以内に小さくすることにより、流出パッド流入端面に垂直方向成分の周速Ｖ２を小さくでき、最外周のｈｇａｐ、最内外周のｈｇａｐ差を小さくできる。
【００８２】
図３５に、実施例４〜６スライダを用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が１．０インチ装置の最内周、中周、最外周条件において、スライダ長と同程度の微小うねりに対して、幾何学的に追従できない最小浮上量ｈｍｉｎの変動量と、流出パッドの内周側側面長さＸｉｎとの関係を計算した結果を示す。
【００８３】
図３５より、流出パッドの内周側側面長さＸｉｎを短くすると、微小うねりに対するｈｍｉｎの変動量は小さくなる。この理由は、流出パッドの長さを短くすると、スライダ長と同程度の微小うねりに対して幾何学的に追従しやすくなるなるためと考える。
【００８４】
流出パッドの流入端傾斜角度θ２を小さくするためには、流出パッドの内周側側面長さＸｉｎは短くできないために流出パッドの長さを短くし、かつ、流出パッドの外周側側面長さＸｏｕｔを短くする必要がある。したがって、流出パッドの外周側側面長さＸｏｕｔをエッチング加工で製造可能な６０μｍ以下にする。
【００８５】
図３６に、実施例１〜６スライダを用いて、高度０ｍ、回転数および半径位置が２．５、１．０インチ装置の最内周、最外周条件において、最内外周のｈｇａｐ差をほぼゼロにするθｙにおけるスライダ流入端面に垂直な方向の成分の周速Ｖｙと、ピッチ角度がほぼ最大となるδｓ／δｒの範囲との関係を計算した結果を示す。
【００８６】
図３６より、Ｖｙが大きくなると、ピッチ角度が最大となるδｓ／δｒも大きくなることがわかる。また、例えば１．８インチ装置の最内周、最外周条件におけるＶｙを計算すれば、１．８インチ装置のスライダのピッチ角度が最大となるδｓ／δｒがわかる。
【００８７】
図３７に、本発明になる磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置の一例を示す。図３７（ａ）は、記録媒体面３に浮上した状態でスライダ１が走行およびシ−クしている状態の平面図、図３７（ｂ）はその側面図である。
【００８８】
本例は、磁気記録媒体（ディスク）３と、これを回転させる駆動部２１、本発明になる磁気ヘッドスライダ１およびその支持体２、スライダ１を位置決めする支持ア−ム２２とその駆動部２３、スライダ１に搭載された磁気ヘッドの記録再生信号を処理する回路２４などから構成されている。
【００８９】
このような磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダの浮上面形状の１段目ステップ深さδｓと２段目リセス深さδｒとの比を前記所定範囲に規定し、また、流出パッドのパッド面を略三角形状に形成して、空気流流入端側の傾斜角度θ２を前記所定角度以下に規定したことにより、スライダの低浮上化を実現できる。
【００９０】
【発明の効果】
上述のとおり、本発明によれば、磁気ヘッドスライダの空気流出端の接触開始浮上量を下げた平滑媒体面とのスライダ接触振動低減化と、ランアウトのようなスライダ長に比べて十分大きい波長の媒体面うねりに対するスライダ浮上量変動の低減化と、荷重作用点が質量中心の位置でスライダ周辺の気圧変化に対する浮上量変動の低減化とを同時に満足することができるので、高記録密度化および高信頼性化に優れた磁気ディスク装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における磁気ヘッドスライダおよびその支持体の一実施形態を示す立体斜視図である。
【図２】本発明における磁気ヘッドスライダの一実施形態を示す立体斜視図（ａ）および側面図（ｂ）である。
【図３】図２の磁気ヘッドスライダの流入パッドおよびサイドレールを示す立体斜視図である。
【図４】図２の磁気ヘッドスライダの流出パッドを示す立体斜視図である。
【図５】図１の磁気ヘッドスライダ支持体の一部拡大平面図である。
【図６】本発明における磁気ヘッドスライダの浮上走行時を示す側面図である。
【図７】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１〜３の浮上面形状を示す図である。
【図８】本発明における磁気ヘッドスライダの比較例１の浮上面形状を示す図である。
【図９】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の浮上面形状を示す図である。
【図１０】本発明における磁気ヘッドスライダの比較例２の浮上面形状を示す図である。
【図１１】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１の２．５インチ装置条件におけるピッチ角度を計算した結果を示す図である。
【図１２】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置条件におけるピッチ角度を計算した結果を示す図である。
【図１３】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１の２．５インチ装置条件におけるディスク最内周、中周、外周の素子位置浮上量を計算した結果を示す図ある。
【図１４】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置条件におけるディスク最内周、中周、外周の素子位置浮上量を計算した結果を示す図である。
【図１５】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１の２．５インチ装置条件における最小浮上量の気圧依存性を計算した結果を示す図である。
【図１６】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４、５の１．０インチ装置条件における最小浮上量の気圧依存性を計算した結果を示す図である。
【図１７】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１の２．５インチ装置条件における微小うねりによる最小浮上量の変動量を計算した結果を示す図である。
【図１８】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例６の１．０インチ装置条件における微小うねりによる最小浮上量の変動量を計算した結果を示す図である。
【図１９】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１、２の２．５インチ装置条件の最内周（図（ａ））および最外周（図（ｂ））におけるステップ深さとリセス深さとの比と最小浮上量との関係を計算した結果を示す図である。
【図２０】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１、２の２．５インチ装置条件の最内周（図（ａ））および最外周（図（ｂ））におけるステップ深さとリセス深さとの比と流入端浮上量との関係を計算した結果を示す図である。
【図２１】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１、２の２．５インチ装置条件の最内周（図（ａ））および最外周（図（ｂ））におけるステップ深さとリセス深さとの比とピッチ角度との関係を計算した結果を示す図である。
【図２２】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置条件の最内周（図（ａ））および最外周（図（ｂ））におけるステップ深さとリセス深さとの比と最小浮上量との関係を計算した結果を示す図である。
【図２３】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置条件の最内周（図（ａ））および最外周（図（ｂ））におけるステップ深さとリセス深さとの比と流入端浮上量との関係を計算した結果を示す図である。
【図２４】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置条件の最内周（図（ａ））および最外周（図（ｂ））におけるステップ深さとリセス深さとの比とピッチ角度との関係を計算した結果を示す図である。
【図２５】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１、２の２．５インチ装置条件の最内周におけるステップ深さとリセス深さとの比と最小浮上量の気圧依存性との関係を計算した結果を示す図である。
【図２６】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置条件の最内周におけるステップ深さとリセス深さとの比と最小浮上量の気圧依存性との関係を計算した結果を示す図である。
【図２７】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１の２．５インチ装置条件におけるステップ深さとリセス深さとの比と微小うねりによる最小浮上量の変動量との関係を計算した結果を示す図である。
【図２８】本発明の磁気ヘッドスライダの実施例１、２の２．５インチ装置条件におけるステップ深さとリセス深さとの比と最内外周の素子位置浮上量差との関係を計算した結果を示す図である。
【図２９】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置条件におけるステップ深さとリセス深さとの比と最内外周の素子位置浮上量差との関係を計算した結果を示す図である。
【図３０】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例１〜３の２．５インチ装置における流出パッド流入端傾斜角度と最内外周の素子位置浮上量差との関係を計算した結果を示す図である。
【図３１】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置における流出パッド流入端傾斜角度と最外周の素子位置浮上量との関係を計算した結果を示す図である。
【図３２】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例４〜６の１．０インチ装置における流出パッド流入端傾斜角度と最内外周の素子位置浮上量差との関係を計算した結果を示す図である。
【図３３】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例の効果のメカニズムを説明するため図である。
【図３４】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例の２．５および１．０インチ装置における流出パッドの内周側側面長さと流出パッド流入端面に垂直方向成分の周速との関係を計算した結果を示す図である。
【図３５】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例の１．０インチ装置のディスク最内周、中周、最外周条件における微小うねりによる最小浮上量の変動量と流出パッドの内周側側面長さとの関係を計算した結果を示す図である。
【図３６】本発明における磁気ヘッドスライダの実施例の２．５および１．０インチ装置の最内外周条件におけるスライダ流入端面に垂直方向成分の周速Ｖｙとピッチ角度がほぼ最大となるδｓ／δｒの範囲との関係を計算した結果を示す図である。
【図３７】本発明になる磁気ディスク装置の一実施形態の概略を示す平面図（ａ）および側面図（ｂ）である。
【符号の説明】
１  磁気ヘッドスライダ
１１  流入パッド
１２  流出パッド
１３  サイドレール
１４  負圧ポケット
１１２、１２１、１２２  ディスク停止時に媒体面と接触するパッド面
１１３、１１５  段差部
１１４、１１４１  段差部１１３を介しての段差面
１１６  段差部１１５を介しての段差面
Ｓ  流出パッド１２のコンタクト面１１２の面積
１ｂ  磁気ヘッドのギャップ部とＭＲ素子の露出部
１ｃ  磁気ヘッド
１ｄ  接続端子
δｓ  ステップ深さ
δｒ  リセス深さ
θ２  流出パッドの流入端傾斜角度
Ｘｉｎ  流出パッドの内周側側面長さ
Ｘｏｕｔ  流出パッドの外周側側面長さ
（ｘｐ，ｙｐ）  ディンプル位置
Ｌ  スライダ１の長手方向長さ
ｗ  スライダ１の短手方向長さ
Ｆ  押付荷重
Ｑ  浮上力
θｐ  ピッチ角度
θｒ  ロール角度
θｙ  Ｙａｗ角度
ｈ１  流入端浮上量
ｈ２  流出端浮上量
ｈｇａｐ  素子位置浮上量
ｈｍｉｎ  最小浮上量
ｒ  半径
ｆ  回転数
Ｖ  周速
Ｖｙ  スライダ流入端面に垂直方向成分の周速
Ｖ２  流出パッド流入端面に垂直方向成分の周速
３  磁気記録媒体
２１  磁気記録媒体３を回転させる駆動部
２２  支持ア−ム
２３  支持ア−ムの駆動部
２４  記録再生信号処理回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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