(57)【要約】【課題】ダイヘッドを塗工装置に取り付けた状態で、吐出スリットからの洗浄液の排出を抑制しながらマニホールド内に洗浄液を流して、良好な洗浄を行うことの可能な洗浄装置を提供する。【解決手段】ダイヘッド４のマニホールド５に、マニホールドを通過する閉ループを形成するよう循環配管２２及び洗浄用ポンプ２３を設け、更に、その循環配管２２に３方弁２４、３４を介して洗浄液タンク２７、廃液タンク３７を接続しておき、塗工終了後、洗浄液タンク２７から循環配管２２内に洗浄液を取り込むと共にマニホールド５内の残存塗工液を廃液タンク３７に排出し、循環配管２２及びマニホールド５を洗浄液で満たした後、３方弁２４、３４を外部への連通を遮断するように切り替えて閉ループを形成し、該閉ループ内に洗浄液を高速で循環させて、マニホールドを効率良く洗浄可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出スリットとそれに連通するマニホールドを備えた塗布ノズルを塗工装置に設置した状態で、前記塗布ノズルのマニホールドを洗浄するための洗浄装置であって、前記マニホールドを通過する閉ループを形成するよう前記マニホールドに連結された循環配管と、該循環配管に、洗浄液を循環させるよう設けられた洗浄用ポンプと、前記循環配管に前記洗浄用ポンプの吸引側で、流路切り替え手段を介して接続され、洗浄液を前記洗浄用ポンプに供給する洗浄液供給手段と、前記循環配管に前記洗浄用ポンプの吸引側で流路切り替え手段を介して接続され、エアを前記洗浄用ポンプに供給するエア供給手段と、前記循環配管に前記洗浄液供給手段の接続位置よりも上流で流路切り替え手段を介して接続され、循環配管内の液体を排出させる排出手段とを有する洗浄装置。
【請求項２】
前記循環配管が、洗浄液を前記塗布ノズルのマニホールドの一端から他端に向かって流すように接続されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記循環配管が、洗浄液を前記塗布ノズルのマニホールドの中央に通じるダイ液供給口から前記マニホールドに流し、次いで、該マニホールドの両端に向かって流すか、或いはその逆に流すように接続されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記循環配管が、洗浄液を前記マニホールドの一端からマニホールド内に流し込み、該マニホールドの他端及びマニホールド中央に通じるダイ液供給口に向かって流すか、或いはその逆に流すように接続されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走行中の樹脂フィルム、金属箔等のウェブに塗工液を所望の厚さに塗布するダイヘッドコート方式、スライドコート方式等の塗工装置に用いるダイヘッド、スライドコート用ヘッドなどの塗布ノズルの洗浄装置に関し、特に、塗布ノズルを塗工装置に設置した状態で内部のマニホールドと呼ばれる液溜まり部を洗浄することの可能な洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、走行中のウェブに直接塗工液を所望の厚さに塗布する塗工装置として、塗工液を膜状に吐出する吐出スリットとそれに連通するマニホールドを備えたダイヘッド、スライドコート用ヘッド等の塗布ノズルを用いたダイヘッドコート方式、スライドコート方式のものが知られている。例えば、図８、図９は、ダイヘッドコート方式の塗工装置のコート部の概略構成図及び概略断面図であり、支持ロール１の外周面で支持されて走行するウェブ２に対向して塗布ノズルであるダイヘッド３が配置されている。このダイヘッド３は、塗工液を薄い膜状に吐出する吐出スリット４と、その吐出スリット４に全長に渡って連通するように形成されたマニホールド５と、マニホールド５のほぼ中央に塗工液を供給するよう接続されたダイ液供給口６を備えており、そのダイ液供給口６には、塗工液タンク８、塗工液用ポンプ９、流量計１０、フィルター１１、弁１２等を備えた塗工液供給装置７が塗工用配管１３によって接続されている。この構成により、塗工液供給装置７が塗工液を一定流量でダイヘッド３に供給し、ダイヘッド３は吐出スリット４から塗工液を一定流量で吐出し、走行中のウェブ２上に一定厚さに塗布している。
【０００３】
この塗工装置において、ダイヘッドのマニホールド内に沈降した塗工液を除去するためにマニホールド内を洗浄する必要があり、そのため、ダイヘッドを塗工装置から取り外し、分解して内部の洗浄を行っていた。しかしながら、この方法ではダイヘッドの取り外しや分解に多大な労力を要するという問題がある。そこで、ダイヘッドを塗工装置に取り付けた状態でマニホールド内に溶剤等の洗浄液を流し、マニホールド内の洗浄を行う試みがなされており、その際の洗浄液を流す方式には次のようなものが知られている。
（１）図１０に示すように、ダイヘッド３のダイ液供給口６から洗浄用ポンプ１５によって洗浄液タンク１６内の洗浄液を送液し、吐出スリット４から排出する方式。
（２）図１１に示すように、ダイヘッド３のダイ液供給口６から洗浄用ポンプ１５によって洗浄液タンク１６内の洗浄液を送液し、マニホールド５の両端から排出する方式。
（３）図１２に示すように、ダイヘッド３のマニホールド５の両端から洗浄用ポンプ１５によって洗浄液タンク１６内の洗浄液を送液し、ダイ液供給口６から排出する方式。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記したマニホールド内の洗浄方式には以下の欠点があった。
（１）ダイ液供給口６から供給、吐出スリット４から排出する方式（図１０参照）
この方式ではマニホールド５内の洗浄液が、マニホールドへの流入口近傍では高速で流れるものの、マニホールドの端部に進むにつれて速度が低下するため、マニホールド内に沈降した塗工液のうち、流入口近傍の塗工液は除去されるものの、流入口から離れたマニホールド端部に進むにつれ、塗工液を除去できなくなる。また、吐出スリットから洗浄液が排出されるため、ダイヘッドの周辺を汚すことが多い。
（２）ダイ液供給口６から供給、マニホールド５両端から排出する方式（図１１参照）
この方式ではマニホールド端部から洗浄液を排出するため、吐出スリット排出方式に比べて洗浄効果が高い。しかしながら、この場合にも洗浄液の一部は吐出スリットから排出されており、特に、マニホールドの洗浄効果を増すために洗浄液の流量を増加させてマニホールド内の流速を高めた場合、マニホールド内における送液時の抵抗が大きくなり、吐出スリットからの排出量が増大し、ダイヘッドの周辺を汚すことが多い。
（３）マニホールド５両端から供給、ダイ液供給口６から排出する方式（図１２参照）
この方式でも、上記ダイ液供給口６から供給、マニホールド５両端から排出する方式と同様に、マニホールドの洗浄効果を増すために洗浄液の流量を増加させてマニホールド内の流速を高めた場合、吐出スリットからの洗浄液の排出量が増大し、ダイヘッドの周辺を汚すことが多い。
【０００５】
これらの問題点は、ダイヘッドに限らず、スライドコート用ヘッド等の他の塗布ノズルにおいても生じている。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、ダイヘッド、スライドコート用ヘッド等の塗布ノズルのマニホールド洗浄に当たって、吐出スリットからの洗浄液の排出を抑制して周辺の汚れを防止しながら、マニホールド内の洗浄液の流速を高めて、良好な洗浄を行うことの可能な洗浄装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の洗浄装置は、吐出スリットとそれに連通するマニホールドを備えた塗布ノズルのマニホールド洗浄に当たって、吐出スリットからの洗浄液の排出を抑制しながら、マニホールド内に洗浄液を高速で流すことを可能とするため、前記マニホールドに、該マニホールドを通過する閉ループを形成するよう循環配管を連結すると共に、その循環配管に洗浄液を循環させるよう洗浄用ポンプを設け、更に、前記循環配管に、前記洗浄用ポンプの吸引側で流路切り替え手段を介して洗浄液供給手段を接続し、前記洗浄用ポンプの吸引側で流路切り替え手段を介してエア供給手段を接続し、更に、前記洗浄液供給手段の接続位置よりも上流で流路切り替え手段を介して排出手段を接続するという構成としたものである。この構成により、マニホールドの洗浄に当たっては、まず、洗浄用ポンプの吸引側に洗浄液供給手段を連通させ、且つ循環配管を排出手段に連通させた状態として洗浄用ポンプを運転することで、マニホールドを含む循環配管系内に洗浄液を満たして行くと共にマニホールド内に残存していた塗工液を系外に排出し、次いで、洗浄液供給手段及び排出手段への連通を遮断すると共にマニホールドと循環配管による閉ループを形成させた状態で、洗浄液をその閉ループ内で循環させてマニホールド内の洗浄を行い、その後、洗浄用ポンプの吸引側にエア供給手段を連通させ、且つ循環配管を排出手段に連通させた状態として洗浄用ポンプを運転することで、循環配管及びマニホールド内にエアを送って系内の洗浄液を排出するという手順での洗浄動作を行うことができる。ここで、マニホールド内の洗浄を行う際には、マニホールドと循環配管による閉ループ内に洗浄液を循環させているので、洗浄用ポンプによる送液量を増加させてマニホールド内の流速を高くしても、マニホールドには洗浄用ポンプによる吸引圧力が作用するため、マニホールド内の圧力があまり高くならない。このため、吐出スリットから漏れ出す洗浄液を無くすか或いは微量に抑制でき、周辺を汚すことなく、マニホールドの良好な洗浄を行うことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
上記した本発明の洗浄装置において、マニホールドを通過する閉ループを形成するための循環配管の接続には種々の経路を採り得る。一つの実施の形態では、循環配管を塗布ノズルに対して、洗浄液を前記塗布ノズルのマニホールドの一端から他端に向かって流すように接続する。この構成とすることで、循環する洗浄液をほぼ全量をマニホールドに流すことができ、マニホールドの全長を良好に洗浄できる。
【０００９】
他の実施の形態では、循環配管を、洗浄液を前記塗布ノズルのマニホールドの中央に通じるダイ液供給口から前記マニホールドに流し、次いで、該マニホールドの両端に向かって流すか、或いはその逆に流すように接続する。この構成とすると、マニホールドのみならず、ダイ液供給口からマニホールドに至る通路も良好に洗浄できるという利点が得られる。
【００１０】
更に他の実施の形態では、循環配管を、洗浄液を前記マニホールドの一端からマニホールド内に流し込み、該マニホールドの他端及びマニホールド中央に通じるダイ液供給口に向かって流すか、或いはその逆に流すように接続する。この構成でも、マニホールドのみならず、ダイ液供給口からマニホールドに至る通路も良好に洗浄できるという利点が得られる。
【００１１】
以下、図面に示す本発明の実施の形態を説明する。図１はダイヘッドコート方式の塗工装置に設置されている塗布ノズル即ちダイヘッド３と、それに接続された塗工液供給装置及び洗浄装置を示す概略構成図であり、図８に示す従来例と同一部品には同一符号を付している。ダイヘッド３は塗工液を薄い膜状に吐出する吐出スリット４と、その吐出スリット４に全長に渡って連通するように形成されたマニホールド５と、マニホールド５のほぼ中央に塗工液を供給するよう接続されたダイ液供給口６を備えており、そのダイ液供給口６には、塗工液タンク８、塗工液用ポンプ９、流量計１０、フィルター１１、弁１２等を備えた塗工液供給装置７が塗工用配管１３によって接続されている。ダイヘッド３には更に、マニホールド５を洗浄するための洗浄装置２０が接続されている。
【００１２】
洗浄装置２０は、マニホールド５を通過する閉ループを形成するようマニホールド５に連結された循環配管２２と、その循環配管２２に、洗浄液を循環させるよう設けられた洗浄用ポンプ２３と、循環配管２２に、洗浄用ポンプ２３の吸引側で流路切り替え手段（この実施の形態では３方弁２４）を介して接続され、洗浄溶剤等の洗浄液を洗浄用ポンプ２３に供給する洗浄液吸入用ホース２６及び洗浄液タンク２７を備えた洗浄液供給手段２５と、循環配管２２に、洗浄用ポンプ２３の吸引側で流路切り替え手段（この実施の形態では３方弁３０）を介して接続され、エアを洗浄用ポンプ２３に供給するエア吸入用ホース３２を備えたエア供給手段３１と、循環配管２２に、洗浄液供給手段２５の接続位置よりも上流で流路切り替え手段（この実施の形態では３方弁３４）を介して接続され、循環配管２２内の液体を排出させる排出用ホース３６及び廃液タンク３７を備えた排出手段３５等を有している。ここで、マニホールド５を通過する閉ループを形成する循環配管２２は、洗浄用ポンプ２３の吐出側をマニホールド５の一端に連結する送り側ホース２２ａと、マニホールド５の他端を洗浄用ポンプ２３の吸引側に３方弁３４、２４、３０を介して接続する吸引側ホース２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅを有しており、これにより、循環配管２２に洗浄液を循環させた時、洗浄液の全量をマニホールド５の一端から他端に向かって流すことができる。なお、マニホールド５の端部とホース２２ａ、２２ｂとの接続はダイヘッド３の側板にヘルール等の接続用配管を設置することで行う。洗浄用ポンプ２３としては、高吐出圧・大流量で、且つシール性が良く自吸力を持ったものを用いることが好ましく、具体的には、ダイヤフラムポンプ、プランジャーポンプ、ギヤポンプ等を挙げることができる。３方弁２４、３０、３４は、後述する洗浄動作を実施するように流路切り替えを行うものである。流路切り替え動作は手動、自動のどちらでも構わない。
【００１３】
次に、上記構成の洗浄装置２０を用いた洗浄動作を説明する。ダイヘッド３による塗工工程が終了した後、塗工用配管１３内の弁１２を閉じて洗浄動作に備え、ダイヘッド３を塗工装置に設置した状態で洗浄工程を行う。この洗浄工程は、「塗工液廃棄・洗浄液吸入工程」、「循環洗浄工程」、「洗浄済洗浄液廃棄工程」の３つに分けられる。以下、図２〜図４を参照して各工程を説明する。なお、図中「×」は３方弁によって流路を閉じた状態を示す。
【００１４】
（１）塗工液廃棄・洗浄液吸入工程
この工程は、マニホールド５内にて沈降した塗工液以外の塗工液を洗浄液に置換し、洗浄効率を高めるための工程である。
図２に示すように、塗工終了後に、塗工用配管１３内の弁１２を閉とした後、廃棄用の３方弁３４を、循環用のホース２２ｂが廃棄用ホース３６に連通する位置とし、洗浄液吸入用の３方弁２４を、吸入用ホース２６が循環用のホース２２ｄに連通する位置とし、エア吸入用の３方弁３０を、エア吸引ホース３２を閉じ、循環用のホース２２ｄ、２２ｅが互いに連通する位置とする。この状態で、洗浄用ポンプ２３を駆動し、洗浄液タンク２７から洗浄液を吸引して循環配管２２及びマニホールド５に満たして行くと共にマニホールド５内に残っていた塗工液を押し出し、廃棄タンク３７に排出させる。この時の洗浄用ポンプ２３による洗浄液の流量は、ダイヘッド３の吐出スリット４から塗工液や洗浄液が排出されない程度の流量になるように設定しておく。これにより、ダイヘッド３の吐出スリット４から塗工液や洗浄液が排出されて周辺を汚すということなく、マニホールド５や循環配管２２内の塗工液を洗浄液に置換してゆくことができる。そして、マニホールド５や循環配管２２内の塗工液が洗浄液に置換されたところで、洗浄用ポンプ２３を停止させる。なお、この時点では、マニホールド５内に沈降した塗工液は残っている。
【００１５】
（２）循環洗浄工程
この工程は、マニホールド５と洗浄用ポンプ２３を含む閉ループ内で洗浄液を循環させることにより、マニホールド５内を洗浄する工程である。
図３に示すように、廃棄用の３方弁３４を、循環用のホース２２ｂが閉じ、循環用のホース２２ｂ、２２ｃが互いに連通する位置とし、洗浄液吸入用の３方弁２４を、吸入用ホース２６が閉じ、循環用のホース２２ｃ、２２ｄが互いに連通する位置とし、エア吸入用の３方弁３０は、エア吸引ホース３２が閉じ、循環用のホース２２ｄ、２２ｅが互いに連通する位置のままとする。これにより、洗浄用ポンプ２３、循環配管２２及びマニホールド５による閉ループが形成される。この状態で、洗浄用ポンプ２３を駆動し、閉ループ内に洗浄液を循環させ、マニホールド５内を洗浄する。この時の洗浄用ポンプ２３による洗浄液の流量は、マニホールド５に沈降した塗工液を十分に除去できるよう、大きく設定しておく。これによってマニホールド５を良好に洗浄できる。この際、洗浄液は閉ループ内を循環するので、洗浄用ポンプ２３による流量を大きくしてマニホールド５内の流速を高くしても、マニホールド５には洗浄用ポンプ２３による吸引圧力が作用するため、マニホールド５内の圧力はあまり高くならず、このため、吐出スリット４から洗浄液が漏れ出すことはほとんどない。また、洗浄液はマニホールド５の一端から他端に向かって流れるので、マニホールド５内を全長に渡って均等に洗浄できる。かくして、周辺を汚すことなく、マニホールド５内を良好に洗浄できる。循環洗浄後、洗浄用ポンプ２３を停止する。
【００１６】
（３）洗浄済洗浄液廃棄工程
この工程は、循環洗浄終了後の循環配管２２やマニホールド５内に残った洗浄液を廃棄する工程である。
図４に示すように、廃棄用の３方弁３４を、循環用のホース２２ｂが廃棄用ホース３６に連通する位置とし、洗浄液吸入用の３方弁２４は、循環用のホース２２ｃ、２２ｄが互いに連通する位置のままとし、エア吸入用の３方弁３０を、エア吸引ホース３２が循環用のホース２２ｅに連通する位置とする。この状態で、洗浄用ポンプ２３を駆動し、循環配管２２内にエアを取り込み、循環配管２２及びマニホールド５内に残っていた洗浄済の洗浄液を押し出し、廃棄タンク３７に排出させる。この時の洗浄用ポンプ２３によるエア流量も、ダイヘッド３の吐出スリット４から洗浄液が排出されない程度の流量になるように設定しておく。これにより、ダイヘッド３の吐出スリット４から塗工液や洗浄液が排出されて周辺を汚すということなく、マニホールド５や循環配管２２内の洗浄液を排出できる。以上により、１回の洗浄動作が終了する。なお、１回の洗浄動作では洗浄が不十分な場合には、上記した３つの工程による洗浄動作を繰り返せば良い。
【００１７】
以上の実施の形態では、洗浄液がマニホールド５の一端から他端に向かって流れる形態の閉ループを形成しているが、マニホールド５内を洗浄液が流れる方向はこれに限らず適宜変更可能である。以下、その場合の実施の形態を説明する。図５に示す実施の形態の洗浄装置２０Ａでは、塗工液供給用の配管１３内に３方弁１２Ａを設け、且つ、循環配管２２Ａが、洗浄用ポンプ２３の吐出側を吐出側ホース２２Ａａ、３方弁１２Ａを介してダイ液供給口６に接続させ、マニホールド５の両端を、吸引側ホース２２Ａｂ、２２Ａｃ、２２Ａｄ等を介して洗浄用ポンプ２３の吸引側に接続させる構成となっている。この構成により、循環洗浄時には、洗浄用ポンプ２３で送り出される洗浄液が矢印で示すように、ダイ液供給口６からマニホールド５の中央部分に流入し、そのマニホールド５内を両端に向かって流れ、その後、洗浄用ポンプ２３の吸引側に戻るという循環を行う。この場合にも、吐出スリットからの洗浄液の排出を抑制しながらマニホールド５内を流れる洗浄液の流量を多くすることが可能であり、マニホールド５内を良好に洗浄できる。また、マニホールド５内のみならず、ダイ液供給口６からマニホールド５に至る通路の洗浄も同時に行うことができる。
【００１８】
なお、図５の実施の形態においては、循環洗浄時にダイ液供給口６から送り込まれた洗浄液がマニホールド５の中央部分で両側に分かれてマニホールド５の両端に向かって流れることとなるが、マニホールド５の一方の側での塗工液の沈降が他の側よりも極端に激しかった場合、沈降が激しい側には洗浄液が流れにくくなり、洗浄効果が落ちる場合がある。そこで、そのような恐れのある場合には、図６に示すようにマニホールド５の両端に接続されている吸引側ホース２２Ａｂ、２２Ａｃにそれぞれ、弁４１、４２を設け、この弁４１、４２を交互に開くことで、ダイ液供給口６からの洗浄液を全てマニホールド５の一端に向かって流し、適当の期間経過後に、ダイ液供給口６からの洗浄液を全てマニホールド５の他端に向かって流すという循環洗浄を行うようにしてもよい。また、図５、図６の実施の形態では、洗浄液をダイ液供給口６から送り込み、マニホールド５の端部から排出しているが、この逆に洗浄液を流すように変更してもよい。
【００１９】
図７は本発明の更に他の実施の形態を示すものである。図７に示す実施の形態の洗浄装置２０Ｂでは、循環配管２２Ｂが、洗浄用ポンプ２３の吐出側を吐出側ホース２２Ｂａを介してマニホールド５の一端に接続させ、マニホールド５の他端とダイ液供給口６を吸引側ホース２２Ｂｂ、２２Ｂｃ、２２Ｂｄ等を介して洗浄用ポンプ２３の吸引側に接続させる構成となっている。この構成により、循環洗浄時には、洗浄用ポンプ２３で送り出される洗浄液が矢印で示すように、マニホールド５の一端からマニホールド５内に流入し、マニホールド５の他端とダイ液供給口６を通ってダイヘッド３の外側に流れ、洗浄用ポンプ２３の吸引側に戻るという循環を行う。この場合にも、吐出スリットからの洗浄液の排出を抑制しながらマニホールド５内を流れる洗浄液の流量を多くすることが可能であり、マニホールド５内を良好に洗浄できる。また、マニホールド５内のみならず、ダイ液供給口６からマニホールド５に至る通路の洗浄も同時に行うことができる。なお、この実施の形態においても、吸引側ホース２２Ｂｂ、２２Ｂｃにそれぞれ、弁４３、４４を設け、この弁４３、４４を交互に開くことで、マニホールド５の一端から流入した洗浄液を全てマニホールド５の他端に向かって流し、適当な期間経過後に、ダイ液供給口６に向かって流すという循環洗浄を行うようにしてもよい。また、洗浄液の流れを図示とは逆方向となるようにしてもよい。
【００２０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の洗浄装置は、ダイヘッドなどの塗布ノズルの周辺が汚れる原因となる吐出スリットからの塗工液や洗浄液の流出を抑制しながら、塗布ノズルのマニホールドに洗浄液を大流量で流すことができ、塗布ノズルを塗工装置から取り外したり分解したりすることなく、塗布ノズルのマニホールド内を効率良く洗浄できるという効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る洗浄装置並びにダイヘッド、塗工液供給装置を示す概略構成図
【図２】図１の洗浄装置を、塗工液廃棄・洗浄液吸入工程実施中の状態で示す概略構成図
【図３】図１の洗浄装置を、循環洗浄工程実施中の状態で示す概略構成図
【図４】図１の洗浄装置を、洗浄済洗浄液廃棄工程実施中の状態で示す概略構成図
【図５】本発明の他の実施の形態に係る洗浄装置を示す概略構成図
【図６】図５の洗浄装置の変形例を示す概略構成図
【図７】本発明の更に他の実施の形態に係る洗浄装置を示す概略構成図
【図８】ダイヘッド及びそれに連結された塗工液供給装置を示す概略構成図
【図９】ダイヘッドコート方式の塗工装置のコート部の概略断面図
【図１０】従来のダイヘッドの洗浄装置の１例を示す概略構成図
【図１１】従来のダイヘッドの洗浄装置の他の例を示す概略構成図
【図１２】従来のダイヘッドの洗浄装置の他の例を示す概略構成図
【符号の説明】
１  支持ロール
２  ウェブ
３  ダイヘッド
４  吐出スリット
５  マニホールド
６  ダイ液供給口
７  塗工液供給装置
１３  塗工用配管
２０、２０Ａ、２０Ｂ  洗浄装置
２２、２２Ａ、２２Ｂ  循環配管
２３  洗浄用ポンプ
２４、３０、３４  流路切り替え手段（３方弁）
２５  洗浄液供給手段
３５  廃棄手段
３１  エア供給手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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