(57)【要約】【課題】半導体露光装置における静圧案内ステージの装置リセット、電源ＯＦＦ時位置変動を防止する。【解決手段】静圧案内ステージにおいてそのエア制御にノーマルオープン電磁弁に加え自己保持型電磁弁を用いることにより装置リセット、電源ＯＦＦ時のエアの状態を２種類に分け、その状態をコントロールすることによりステージの制御時以外の位置変動を防止する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハステージをエアで浮かし、リニアモータで駆動制御していることを特徴とする位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置においてエアベアリング又は、ステージ自重補償用ベロフラムダイヤフラムのエアのＯＮ／ＯＦＦを電磁弁を用いることにより実現していることを特徴とする位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置。
【請求項２】
上記半導体露光装置で使用する各電磁弁が装置電源ＯＦＦ時には、ＯＰＥＮ状態になりエアを装置電源に関わらず供給し続けることが可能であることを特徴とする位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置。
【請求項３】
上記半導体露光装置おいてエア制御に上記電磁弁に加え自己保持型電磁弁、エアオペレートバルブを用いることによりある特定のシーケンス動作時、ステージの現在位置により装置電源ＯＦＦやリセット動作を強制的に行なった時にエア供給を止めステージを着地させることが可能である配管系を備えることを特徴とする位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置。
【請求項４】
上記半導体露光装置において、ステージに供給するエアラインにノーマルオープンのエアオペレートバルブを直列に入れ其のオペレートエアラインにエア供給源側から順に自己保持型電磁弁、ノーマルオープン電磁弁が直列に入っている配管系を持つことを特徴とする位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置。
【請求項５】
上記半導体露光装置において、ステージに対するエア供給の状態は、自己保持型電磁弁とノーマルオープン電磁弁の両方がオープンの時にだけエア供給が停止すること特徴とする位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置。
【請求項６】
請求項３，４によりいかなる時に装置電源ＯＦＦ、強制リセットがかけられてもウエハステージはその現在位置、あるいは特定のシーケンス時によっては、エア供給を停止することが可能になることよりステージ位置変動が起こらないことを特徴とする位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置。
【請求項７】
上記半導体露光装置において、ステージ周りのほかのユニットとステージがいかなる状態及び又は、場合においても干渉することがないことを特徴とする位置決め装置及びこれを用いた半導体露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウエハ上に半導体を形成する半導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来半導体露光装置において、エアベアリングステージのエア制御はノーマルオープン電磁弁のみで制御されており、配管系の構造としてエア供給源とステージの間にノーマルオープン電磁弁が１つ挿入されておりそのノーマル電磁弁がＯＮ／ＯＦＦされることによりステージのエア供給がＯＦＦ／ＯＮしていた。
【０００３】
よって、装置電源がＯＦＦ、強制リセットがかかった時にはエアが供給し続けられステージはその現在位置及び、又は特定のシーケンス中であってもリニアモータのサーボＯＦＦによりステージ位置は変動していた。
なお、上記従来技術を記載した文献としては特許文献１〜２がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１４７７１９号公報
【特許文献２】
特開２００１−１５４７３７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では、ステージのエア制御がノーマルオープン電磁弁のみで制御していた為装置電源ＯＦＦ、強制リセット時にステージが動くと不具合が起こってしまう時でさえステージ位置が変動してしまう。
そのためにステージは他のユニットである搬送系送り込みハンド等と干渉してしまう恐れがあり、最悪ステージ及び又は、他のユニットが破損してしまうことがあった。
【０００６】
本発明の目的は、エアベアリングステージにおいて電源ＯＦＦ、強制リセット時にステージの状態がシーケンスにより位置変動する場合と位置変動しない場合の２種類を作り出し他のユニットと干渉しないよにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決する為に、本発明の半導体露光装置はエアベアリングステージのその配管系としてステージに供給するエアラインにノーマルオープンのエアオペレートバルブを直列に入れ其のオペレートエアラインにエア供給源側から順に自己保持型電磁弁、ノーマルオープン電磁弁が直列に入れたものを構成し、エア制御において装置電源ＯＦＦ又は強制リセット時に３種類のバルブを用いエアの流れを２種類にすることを可能にし、ステージのエア供給状態を供給される場合と供給されない場合の２種類の状態をシーケンス上で切り換えることが可能であることを特徴とする。
【０００８】
上記方法を用いることにより、装置電源ＯＦＦ、強制リセット時にステージが他のユニットと干渉したりすることがなくなりユニット破損の恐れがなくなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
（第１の実施例）
図１は本発明の特徴を最もよく表わす図面であり、１はウエハステージ、２はステージ定盤、３はウエハチャック、４はバーミラー、５はエア供給源、６はエアオペレートバルブ、７は自己保持型電磁弁、８はノーマルオープン電磁弁、９はエア配管、１０は電磁弁制御用基板である。
【００１０】
ステージのエアベアリングの構造としてエア供給源がら配管を通ってステージ底からエアが吹き出てステージが定盤上に浮く。この浮いた状態でウエハステージは駆動することが出来る。通常のステップ時（ステージ駆動時）は、装置電源ＯＦＦ又は、強制リセット時にステージは浮いたままにする。これはステージが駆動中にエアが止るとステージが定盤上に着地してしまいステージ駆動の慣性力によって定盤とステージが干渉し破損の恐れがあるからである。
【００１１】
また、ウエハ搬送時ステージはウエハ受け渡し位置で静止しその状態でウエハハンドがステージ上にでてくる、この状態の時に装置電源ＯＦＦ又は、強制リセットになったときステージは定盤上に着地させてステージの位置変動によるハンドとの干渉を防ぐ。
【００１２】
図２は、ステージエアベアリングの配管の模式図である。１はエア供給源、２は自己保持型電磁弁、３はノーマルオープン電磁弁、４はエアオペレートバルブ、５はエア配管である。ステージに供給するエアラインにノーマルオープンのエアオペレートバルブを直列に入れそのオペレートエアラインにエア供給源側から順に自己保持型電磁弁、ノーマルオープン電磁弁が直列に入れた構造をしている。
【００１３】
ステージに供給されるエアが停止する条件としてはエアオペレートバルブ４のオペレートエアがＯＦＦの時である。すなわち、ノーマルオープン電磁弁３又は、自己保持型電磁弁２のどちらか一方がクローズ状態の時である。また、電磁弁の性質としてノーマルオープン電磁弁は電源がＯＦＦ時にオープン、自己保持型電磁弁は、電源ＯＦＦでも直前の状態を保持できる。この性質を利用して自己保持型電磁弁がオープン状態にしておけば電源ＯＦＦ時にステージへのエア供給がストップする。
【００１４】
前記の配管系の動きを使用して、本発明ではステージ底のエア制御をおこなう。まずステージ駆動時は、自己保持型電磁弁をクローズ状態に保持しノーマルオープン電磁弁をクローズしておく。こうすることによりエアオペレートバルブのオペレートエアがＯＦＦとなりステージにはエアが供給され続ける。装置電源ＯＦＦ又は強制リセットがかけられるとノーマルオープン電磁弁はオープンとなるが自己保持型電磁弁はクローズ状態を保持してステージにはエアが供給されステージは定盤上に浮いたままとなる。次にウエハ受け渡し時は、自己保持型電磁弁をオープン状態に保持しノーマルオープン電磁弁をクローズしておくこの状態だとステージにはエアが供給されたままであるがここで装置電源ＯＦＦ又は強制リセットがかけられるとノーマルオープン電磁弁はオープンとなりエアオペレートバルブがクローズ状態なる。すなわちステージへのエア供給が止りステージは定盤上に着地してステージは固定される。これによりステージの位置変動を防ぐことが可能となる。
【００１５】
（第２の実施例）
図３は、本発明の第２の実施例を最もよく表わした図である。１はウエハステージ、２はステージ定盤、３はウエハチャック、４はバーミラー、５はエア供給源、６はエアオペレートバルブ、７は自己保持型電磁弁、８はノーマルオープン電磁弁、９はエア配管、１０は電磁弁制御用基板、１１はベロフラムダイヤフラムである。
【００１６】
ステージの自重補償の構造としてエア供給源から配管を通ってベロフラムダイヤフラムにエア圧がかかりステージがＺ軸方向に浮く。この浮いた状態（上位置）でウエハステージはチャック上にウエハを吸着して駆動することが出来る。通常のステップ時（ステージ駆動時）は、Ｚ軸方向の高さは制御を行う。装置電源ＯＦＦ又は、強制リセット時には、制御がＯＦＦとなるがベロフラムダイヤフラムの浮上力によりステージは浮いた状態（上位置）になる。これはステージが駆動中にエアが止るとステージのＺ軸が上位置から下位置に落下してしまいステージそのものが破損する恐れがあるからである。
【００１７】
また、ウエハ搬送時ステージはウエハ受け渡し位置で静止しＺ位置は下位置となり３本ピンでウエハを受け取る。下位置状態はリニアモータによりＺ軸下方向に力を加える。この時ウエハハンドがステージ上に駆動してくる。この状態の時に装置電源ＯＦＦ又は、強制リセットになったときはベロフラムダイヤフラムへのエア供給を止めステージのＺ位置を下位置にすることによりＺ位置が上位置になることによるハンドとの干渉を防ぐ。
【００１８】
図２は、ステージエアベアリングの配管の模式図である。１はエア供給源、２は自己保持型電磁弁、３はノーマルオープン電磁弁、４はエアオペレートバルブ、５はエア配管である。ステージに供給するエアラインにノーマルオープンのエアオペレートバルブを直列に入れそのオペレートエアラインにエア供給源側から順に自己保持型電磁弁、ノーマルオープン電磁弁が直列に入れた構造をしている。
【００１９】
ステージに供給されるエアが停止する条件としてはエアオペレートバルブ４のオペレートエアがＯＦＦの時である。すなわち、ノーマルオープン電磁弁３又は、自己保持型電磁弁２のどちらか一方がクローズ状態の時である。また、電磁弁の性質としてノーマルオープン電磁弁は電源がＯＦＦ時にオープン、自己保持型電磁弁は、電源ＯＦＦでも直前の状態を保持できる。この性質を利用して自己保持型電磁弁がオープン状態にしておけば電源ＯＦＦ時にステージへのエア供給がストップする。
【００２０】
前記の配管系の動きを使用して、本発明ではステージの自重補償のエア制御をおこなう。まずステージ駆動時は、自己保持型電磁弁をクローズ状態に保持しノーマルオープン電磁弁をクローズしておく。こうすることによりエアオペレートバルブのオペレートエアがＯＦＦとなりステージにはエアが供給され続ける。装置電源ＯＦＦ又は強制リセットがかけられるとノーマルオープン電磁弁はオープンとなるが自己保持型電磁弁はクローズ状態を保持してステージにはエアが供給されステージＺ位置は上位置のままとなる。次にウエハ受け渡し時は、自己保持型電磁弁をオープン状態に保持しノーマルオープン電磁弁をクローズしておくこの状態だとベロフラムダイヤフラムにはエアが供給されたままであるがここで装置電源ＯＦＦ又は強制リセットがかけられるとノーマルオープン電磁弁はオープンとなりエアオペレートバルブがクローズ状態なる。すなわちベロフラムダイヤフラムへのエア供給が止りステージＺ位置は下位置となり固定される。これによりステージのＺ方向位置変動を防ぐことが可能となる。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によればステージへのエア供給ラインに前記のようなエア配管系を設け自己保持型電磁弁の状態を変えることにより装置電源ＯＦＦ又は強制リセット時のステージの動きを２種類から選択することが可能となりそれをシーケンス上から切り替え、装置電源ＯＦＦ又は強制リセット時にステージの他ユニットとの干渉を防ぐことが可能となり装置の信頼性、操作性が良くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に関わるウエハステージを説明する図である。
【図２】エア供給配管系模式図。
【符号の説明】１：ウエハステージ、２：ステージ定盤、３：ウエハチャック、４：バーミラー、５：エア供給源、６：エアオペレートバルブ、７：自己保持型電磁弁、８：ノーマルオープン電磁弁、９：エア配管、１０：電磁弁制御用基板、１１：ベロフラムダイヤフラム。
【図１】
2004165199.tif 000003
【図２】
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