(57)【要約】【課題】成形工程での離形不良による欠陥の発生を大幅に低減でき、かつ得られた光ディスクの信号特性も良好なスタンパを提供する。【解決手段】３Ｔピット及び８Ｔ以上のロングピットについて、それぞれの幅をＷ３Ｔ、ＷＬ　、ピットの高さをＨ３Ｔ、ＨＬ　、ピット側壁のラジアル方向の傾斜角度をＡＲ３Ｔ、ＡＲＬ　、ピット側壁のタンジェンシャル方向の傾斜角度をＡＴ３Ｔ、ＡＴＬ　として、３Ｔピットについて、２００ｎｍ≦Ｗ３Ｔ≦２７０ｎｍ、１２０ｎｍ≦Ｈ３Ｔ≦１６０ｎｍ、４０度≦ＡＲ３Ｔ≦５５度、３０度≦ＡＴ３Ｔ≦５０度、ロングピットについて、２００ｎｍ≦ＷＬ　≦２８０ｎｍ、１２０ｎｍ≦ＨＬ　≦１６０ｎｍ、４０度≦ＡＲＬ　≦５５度、３０度≦ＡＴＬ　≦５５度で、かつ｜ＷＬ　−Ｗ３Ｔ｜≦３０ｎｍを満たすピット形状とした。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
３Ｔピット及び８Ｔ以上のロングピットについて、それぞれの幅をＷ３Ｔ、ＷＬ　、ピットの高さをＨ３Ｔ、ＨＬ　、ピット側壁のラジアル方向の傾斜角度をＡＲ３Ｔ、ＡＲＬ　、ピット側壁のタンジェンシャル方向の傾斜角度をＡＴ３Ｔ、ＡＴＬ　として、
３Ｔピットについて、　２００ｎｍ≦Ｗ３Ｔ≦２７０ｎｍ
１２０ｎｍ≦Ｈ３Ｔ≦１６０ｎｍ
４０度≦ＡＲ３Ｔ≦５５度
３０度≦ＡＴ３Ｔ≦５０度
ロングピットについて、２００ｎｍ≦ＷＬ　≦２８０ｎｍ
１２０ｎｍ≦ＨＬ　≦１６０ｎｍ
４０度≦ＡＲＬ　≦５５度
３０度≦ＡＴＬ　≦５５度
でかつ　　　　　　　　｜ＷＬ　−Ｗ３Ｔ｜≦３０ｎｍ
を満たすピット形状としたことを特徴とするスタンパ。
【請求項２】
ニッケルを基材としていることを特徴とする請求項１記載のスタンパ。
【請求項３】
請求項１記載のピット形状のピットパターンを、ガラス板表面に形成したレジスト層に形成し、その表面に金属薄膜を付与して導電処理した後ニッケルメッキにてニッケル板を形成し、このニッケル板をガラス板から剥離して洗浄することを特徴とするスタンパの製造方法。
【請求項４】
請求項１又は２記載のスタンパを金型として、射出成形にて製造されたことを特徴とする光ディスク。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＤＶＤ用などの光ディスクを製造するためのスタンパとその製造方法及びそのスタンパを用いて製造した光ディスクに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクの情報は、反射面の微細な凹凸パターンとして記録されており、これを再生装置の読み取りヘッドで反射光量の強弱として検出し、有益な情報に変換している。この光ディスクは、近年のパーソナルコンピュータの普及に伴い、音楽、画像にとどまらず広く情報の媒体として活用されている。特に、使用時の利便性に加えて射出成形により大量に生産できることから、低価格による情報提供が可能であり、今後さらに生産量が増加する見通しがある。
【０００３】
光ディスクを射出成形するための金型であるスタンパには、光ディスクの状態でピット若しくはグルーブとなる突部（本明細書では字義には反するが、これもピットと称する）が、ピットパターンとして表面に突出形成されており、そのピットパターンが射出成形により樹脂製の円盤に転写され、光ディスクが作製される。
【０００４】
この光ディスクの製作時に使用されるスタンパは０．３ｍｍ程度の厚みを持つニッケル製の円盤で、１枚のスタンパから作成される光ディスクの枚数は高々数万枚程度である。また、情報の内容数に応じた種類のスタンパを作製しなければならない。そのため、スタンパの消費枚数は今後ますます増加するものと考えられている。
【０００５】
このようなスタンパは、ピット形状、表面の欠陥、機械的なひずみ等に厳しい品質が要求されるため、現在は、微細加工技術を用いた以下のような生産工程によってスタンパが作製されている。
【０００６】
まず、精密研磨された円盤状のガラス板表面にスピンコート法により所定の厚さのレジスト層を形成し、ベーキングにより溶媒を除去した後、レーザー露光装置によりレーザービームをレジスト層に照射して露光させる。この時露光ビームは信号源により強度変調され、信号源の情報としてレジスト層に描画される。
【０００７】
その後、現像工程にてレジスト層の露光部が除去され、情報がレジスト面のピットパターンとして形成される。次に、スパッタ、メッキなどにより金属膜を付与することによる表面の導電処理を行なった後、ニッケルの電解メッキにて０．３ｍｍ程度のニッケル板に厚膜化される。メッキにて厚膜化されたニッケル板はガラス基板から剥離され、表面の洗浄、裏面の研磨、規定サイズへの内外径加工を経てスタンパとなる。
【０００８】
スタンパは以上の工程により作製された後、信号検査を経て成形工程に投入される。成形工程では、ポリカーボネート樹脂を用いて光ディスクが射出成形により作製される。すなわち、射出成形機の金枠内にセットしたスタンパにて形成された金型のキャビティ内に溶融したポリカーボネートを注入し、圧力をかけながら冷却し、スタンパ面のピットパターンを転写させて剥離し作製する。したがって、スタンパの性能として、スタンパのピットパターンを正確にうつし取る転写性に優れ、また欠陥の発生がなく、良好に剥離できる離形性が重要である。
【０００９】
ところで、光ディスクは、生産量が非常に多く、また低コストでの生産が要求されることから、高歩留りで製造を行なわなければならない。成形工程での歩留り低下の原因としては、光ディスクがスタンパから剥がれる時に発生する欠陥が比較的大きな比重を占めるに至っている。この現象は、特にＣＤよりもＤＶＤのスタンパにおいて顕著であり、スタンパの製造工程及び成形工程の条件設定により、この問題をできるだけ低減する工夫を行なって製造しているのが現状である。例えば、スタンパをプラズマアッシングにて表面処理を行なったり、成形時に温度コントロールを行なったりしている。
【００１０】
転写性の欠陥は、ＣＤでは発生しにくく、ＤＶＤでの発生頻度が高いことからスタンパのピット形状が影響していることが推測されているが、ＤＶＤではピットエッジ記録方式を用いていることから、形状の変化に伴う信号特性の劣化が発生しやすく、これらの成形工程の問題を解決するピット作成条件を見出すことは非常に難しい課題であった。
【００１１】
ピットの形状に関してはいくつかの公知文献がある。例えば、特開平１０−２２８６２７号公報には、書き換え型ディスクにおいて、離形不良に伴って発生する２重転写やピットずれを防止する目的のため、外周部のピットの大きさを内周部に比べて信号振幅にして最大１．０８倍大きくするということが開示されている。また、特開平９−２８８８５２号公報には、成形時の離形性の向上を目的として、ピット頂部又は底部の角に曲率の大きな変曲面を設定することが記載されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開平１０−２２８６２７号公報のものは、書き換え型ディスクについての解決策であり、ＤＶＤのようにピットエッジ記録方式を用いた場合には、信号の品質低下を招くために使用できない。また、特開平９−２８８８５２号公報のものも、信号の立ち上がりタイミングにばらつきを生じ、ジッター成分が増加するため、信号特性が著しく低下して使用できない。すなわち、これらに記載の手法は、離形性の向上とＤＶＤ信号品質との両立性が考慮されておらず、これらの問題の解決策が安定した製造のためには急務の課題となっていた。
【００１３】
ＤＶＤの生産において高歩留りで製造するには、良好な転写性・離形性を確保した上で、電気信号特性も良好でなければならないが、従来は上記のようにスタンパの表面処理のみにより転写性・離形性を改善する方法をとっているため、それなりの効果は得られても十分ではなく、また根本的な対策としてピットの形状を制御する方法も考えられたが、具体的な対策では電気信号特性にジッター特性の低下を招くため、転写性・離形性と電気信号特性の両立は困難であると考えられてきた。
【００１４】
すなわち、転写性・離形性の向上を目的としてピット形状をなだらかにすると、ディスクの信号特性の内、ジッター特性が低下する。ジッターとは、信号特性の一つで、読み取り信号とクロック信号の時間のずれを測定した場合の標準偏差であり、ＤＶＤの規格で規定されている。ピットの傾斜がなだらかであると、信号の立ち上がり、立ち下がりもなだらかとなり、その結果変動量が増加してジッター特性が悪化する。
【００１５】
そこで、信号特性を確保した上で、転写性・離形性を向上させる手法として初めに急峻なピットを作成しておき、後に表面を改質して離形性を向上させる手法が用いられてきた。
まずγ値の高いレジストを用いてピットを作成する。γ値とは図４に示す様に横軸に露光量、縦軸に現像後のレジストの残膜率を取った特性図において
γ＝（ｌｏｇ（ａ／ｂ））−１
で表される。
ここでａは残膜率が０％となる露光量、ｂは特性曲線の傾斜部を延長し残膜率が１００％となる露光量である。γ値が高いほど一定以上の強度で露光すると現像工程においてその部分だけが速やかに除去され、そのため急峻なピットが形成される。高γ特性を得るためにはレジストの選択とともに波長のより短いＵＶ光源を用いることが有効である。この後プラズマ等を用いた表面処理により離形性を改善する。この方法ではスタンパの使用が進むにつれ表面処理の効果が薄れ離形性が低下したり、また表面処理自体の効果が小さいため成形機によっては効果が現れない場合があるなど多くの問題があった。
【００１６】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、どのような成形装置であっても成形性改善効果が大きく発現され、使用を重ねてもその良好な成形性が低下しないスタンパとその製造方法及び光ディスクを提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明のスタンパは、３Ｔピット及び８Ｔ以上のロングピットについて、それぞれの幅をＷ３Ｔ、ＷＬ　、ピットの高さをＨ３Ｔ、ＨＬ　、ピット側壁のラジアル方向の傾斜角度をＡＲ３Ｔ、ＡＲＬ　、ピット側壁のタンジェンシャル方向の傾斜角度をＡＴ３Ｔ、ＡＴＬ　として、
３Ｔピットについて、　２００ｎｍ≦Ｗ３Ｔ≦２７０ｎｍ
１２０ｎｍ≦Ｈ３Ｔ≦１６０ｎｍ
４０度≦ＡＲ３Ｔ≦５５度
３０度≦ＡＴ３Ｔ≦５０度
ロングピットについて、２００ｎｍ≦ＷＬ　≦２８０ｎｍ
１２０ｎｍ≦ＨＬ　≦１６０ｎｍ
４０度≦ＡＲＬ　≦５５度
３０度≦ＡＴＬ　≦５５度
でかつ　　　　　　　　｜ＷＬ　−Ｗ３Ｔ｜≦３０ｎｍ
を満たすピット形状としたものである。
【００１８】
すなわち、光ディスクの信号特性、及び成形工程での低欠陥性を両立させることを目的として鋭意検討を行なった結果、スタンパのピットを形成するプロセス条件を適当に設定して、スタンパのピット形状を上記の範囲に制御することにより、ＤＶＤ用のスタンパにおいて両方の特性を満足するスタンパを作成できることを見出したものである。
【００１９】
なお、上記のＴは、記録・再生時の信号制御の最小時間単位で、Ｔ時間の整数倍で形成されるピット長さでピット長さを規定している。ピット長さは３Ｔのものが最小で、１２Ｔと１３Ｔを除いて３Ｔから１４Ｔまでの長さのものが用いられている。
【００２０】
また、３Ｔピットと８Ｔ以上のロングピットの形状が上記のようになるようなプロセス条件でスタンパを作製することにより、４Ｔ〜７Ｔのピット形状は、その間の適正な形状となるので、特に規定する必要はない。
【００２１】
なお、上記数値は、測定値の平均値である。というのは、ピット形状が微小であるため、上記適正範囲内の同一形状のピットを計測しても、個々の測定値は上記範囲を越えるようなばらつきが避けられないためである。
【００２２】
また、スタンパがニッケルを基材とすると、スタンパに要求される機械的性質、メッキによる作製の容易性や、ポリカーボネート樹脂に対する成形性及び離形性等などから、光ディスクの作製において、上記効果が確実に得られて好適である。
【００２３】
また、本発明のスタンパの製造方法は、上記ピット形状のピットパターンを、ガラス板表面に形成したレジスト層に形成し、その表面に金属薄膜を付与して導電処理した後ニッケルメッキにてニッケル板を形成し、このニッケル板をガラス板から剥離して洗浄するものであり、この製造方法にて上記効果を奏するスタンパを製造することができる。
【００２４】
また、本発明の光ディスクは、上記スタンパを金型として、射出成形にて製造されたものであり、上記効果を奏する光ディスクを安価に得ることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のスタンパとその製造工程及びそれを用いた光ディスクの製造工程の一実施形態について、図１〜図４を参照して説明する。
【００２６】
まず、本実施形態におけるスタンパの製造工程について、図２、図３を参照して説明する。まず、図２（ａ）に示すように、精密に研磨・洗浄されたガラス板１１に所定の厚みのレジスト層１２が塗布形成される。レジスト層１２は、ポジ型のレジストを用い、スピンコート法により一定の厚みとなるようにコーティング形成される。最適なレジスト層１２の厚みは、目的とするピットの高さや後述する現像工程に依存するが、概ね１１０ｎｍ以上１６０ｎｍ以下である。また、レジストコーティングの前にレジスト層１２のガラス板１１への密着性を向上させる目的で、ヘキサメチルジシラサザンを含有する溶液を塗布するか又はこれを含む蒸気をガラス板にふきつけることも行なわれる。
【００２７】
レジスト層１２をコーティングされたガラス板１１は、ベーキングによりレジスト層１２中の溶剤成分を気化させて除去された後、図３に示すように、レーザビーム記録装置（以下、ＬＢＲと称す）１３により露光される。ＬＢＲ１３は、レーザー１４を光源とし、ＤＶＤの信号発生器（以下、フォーマッターと称す）１５からの信号に基づいてＥＯＭ（電気光学変調器）やＡＯＭ（音響光学変調器）などの変調器１６によってレーザビームを強度変調し、そのレーザビームのビーム径をビームエキスパンダ１７で拡大した後対物レンズ１８に導入し、対物レンズ１８によりガラス板１１のレジスト層１２の表面に集光して露光を行なうものである。ガラス板１１はターンテーブル１９にて回転しながら一定方向に精密に移動され、その結果一定のトラックピッチをもつスパイラル状の記録が行なわれる。
【００２８】
露光に使用するレーザー１４の波長は４５０ｎｍ以下のものであれば特に限定されず、４１３ｎｍ、３６１ｎｍのアルゴンイオンレーザー、３５１ｎｍのクリプトンイオンレーザーを好適に用い得る。また、ビームエキスパンダ１７により拡大されたビーム径と対物レンズ１８の性能が集光点のサイズを決定する重要なファクターである。
【００２９】
この記録工程の後、アルカリ性水溶液を主成分とする現像液により露光部分が除去され、図２（ｂ）に示すように、フォーマッター信号に基づいたピットパターン２０がガラス板１１上に現れる。この時の現像液には、ナトリウム又はカリウムを含む無機現像液またはテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドの水溶液に代表される有機現像液等が用いられる。
【００３０】
次に、図２（ｃ）に示すように、ピットパターン２０の表面にスパッタ法によりＮｉの薄膜２２が形成され、次に、図２（ｄ）に示すようにメッキ工程にてこの薄膜２２を電極にしてメッキを行なって厚膜化することでニッケル板２３が形成される。その後、ニッケル板２３がガラス板１１から剥離され、さらに裏面研磨と内外径加工が行われてスタンパ２１が作製される。スタンパ２１のピット１は、字義とは反するが、突部となっている。
【００３１】
次に、図２（ｅ）に示すように、Ｎｉ製のスタンパ２１を射出成形機の金枠２４ａ、２４ｂにセットして金型を構成し、この金型のキャビティにポリカーボネート樹脂２６を注入して加圧し、冷却することで、スタンパ２１のピット１形状が転写形成された光ディスク２５が作製される。
【００３２】
スタンパ２１のピット１の形状は、主にレジスト層１２を塗布形成するレジストの種類と膜厚、ＬＢＲ１３における対物レンズ１８に導入されるビーム径と対物レンズ１８の性能、レーザー１４から出力されるレーザ光の波長、現像工程における現像条件などにより制御される。
【００３３】
特に、重要なピット１の側面の傾斜角度を制御する方法としては、γ値の低いレジストを使用することが有効である。すなわち、使用する露光ビームの波長との組み合わせでγ値の低いものを使用することにより傾斜角度は低下する。また、使用するＬＢＲ１３に設けられているビームエキスバンダ１７の倍率を低くすることよっても同一のピット幅を形成する場合のピット１の側面の傾斜角度を低下させることができる。また、露光パワーを低くし、現像時間を長くすると、現像工程でのレジスト未露光部の残膜率が低下し、コントラストが低下してピット１の側面の傾斜角度が低下する。
【００３４】
本実施形態は、これらの条件を最適に組み合わせることにより、以下に示すピット形状を作成することにより、成形時の転写性・離形性が良好でかつディスクでの信号特性が良好で、これら両方の特性をともに満足するスタンパ２１を作成するものである。
【００３５】
すなわち、図１において、Ｎｉを基材とするスタンパ２１の表面のピット１の内、３Ｔピット及び８Ｔ以上のロングピットについて、それぞれのピット１の幅をＷ３Ｔ、ＷＬ　、ピット１の高さをＨ３Ｔ、ＨＬ　、ピット側壁のラジアル方向の傾斜角度をＡＲ３Ｔ、ＡＲＬ　、ピット側壁のタンジェンシャル方向の傾斜角度をＡＴ３Ｔ、ＡＴＬ　として、以下の形状を有するものである。ここで、ピット１の幅とは、ピット高さの１／２のところの幅（ＦＷＨＭ：Ｆｕｌｌ　Ｗｉｄｔｈ　Ａｔ　Ｈａｌｆ　Ｍａｘｉｍｕｍ）である。
【００３６】
３Ｔピットについて、　２００ｎｍ≦Ｗ３Ｔ≦２７０ｎｍ
１２０ｎｍ≦Ｈ３Ｔ≦１６０ｎｍ
４０度≦ＡＲ３Ｔ≦５５度
３０度≦ＡＴ３Ｔ≦５０度
ロングピットについて、２００ｎｍ≦ＷＬ　≦２８０ｎｍ
１２０ｎｍ≦ＨＬ　≦１６０ｎｍ
４０度≦ＡＲＬ　≦５５度
３０度≦ＡＴＬ　≦５５度
でかつ　　　　　　　　｜ＷＬ　−Ｗ３Ｔ｜≦３０ｎｍ
を満たすピット形状としたものである。
【００３７】
３Ｔピット幅Ｗ３Ｔが２７０ｎｍを越え、ロングピット幅ＷＬ　が２８０ｎｍを越えるか又はピット側壁のラジアル方向の傾斜角度ＡＲ３Ｔ、ＡＲＬ　が５５度を越えると、成形工程における離形性が低下し、ＤＶＤディスクの表面に通称クラウドと呼ばれる白っぽいエリアが発生しやすくなる。これはディスクの欠陥検査でＮＧと判定され、歩留り低下の主原因となるものである。また、ピット幅Ｗ３Ｔ、ＷＬ　が２００ｎｍ未満またはピット側壁のラジアル方向の傾斜角度ＡＲ３Ｔ、ＡＲＬ　が４０度未満では電気信号特性の良好なものが得られない。好ましくは、ロングピット幅ＷＬ　が２３０ｎｍ以上２６０ｎｍ以下、かつピット側壁のラジアル方向の傾斜角度ＡＲ３Ｔ、ＡＲＬ　が４０度以上５３度以下である。タンジェンシャル方向の傾斜角度ＡＴ３Ｔ、ＡＴＬ　としては、離形性を確保するためには３Ｔピットでは５０度以下、ロングピットでは５５度以下である必要があり、好ましくは３０度以上４５度以下である。３０度未満ではディスクでの信号特性のうち、ジッターが大きくて特性が低下し、良好なものは得られない。
【００３８】
次に、具体実施例と比較例を説明する。
【００３９】
（実施例）
精密に研磨洗浄したφ２００のガラス板にポジ型レジストをスピンコート法により塗布した。塗布後８０℃のホットプレート上で１０分間ベークを行い、レジスト層中の溶剤成分を除去した。この時の層厚はエリプソメータにより測定し、１４８ｎｍであった。このガラス板に対してＬＢＲにて露光を行った。この時の露光には、コヒーレント社の３５１ｎｍのクリプトンレーザーを使用し、ＡＯＭによりフォーマッターの信号を変調し、ビームエクスパンダによりビームを拡大して対物レンズに導入した。対物レンズはＮＡ０．９のものを用いた、このガラス板を東京応化製の有機現像液（ＮＭＤＷ）を用いて現像し、露光部のレジストを除去することによりピットパターンを発現させた。この後、スパッタ法によりピットパターン表面にＮｉの薄膜を形成し、さらにメッキ工程にてこの薄膜層を電極してメッキを行ない、厚膜化してニッケル板を形成し、ガラス板から剥離し、さらに裏面研磨と内外径加工を行なってスタンパとした。
【００４０】
この時のピット形状をＡＦＭで測定した。測定はスタンパの内外周でピット形状の変化がないことを確認した上で、中周部のところの測定を行い、３Ｔピット、８Ｔ以上のロングピットを１０サンプル測定し、各測定値の平均値をこのスタンパのピット形状とした。その結果、３Ｔピット及び８Ｔ以上のロングピットについて、それぞれのピットの幅をＷ３Ｔ、ＷＬ　、ピットの高さをＨ３Ｔ、ＨＬ　、ピット側壁のラジアル方向の傾斜角度をＡＲ３Ｔ、ＡＲＬ　、ピット側壁のタンジェンシャル方向の傾斜角度をＡＴ３Ｔ、ＡＴＬ　として、以下のようであった。
【００４１】
３Ｔピットについて、　Ｗ３Ｔ：２５５ｎｍ
Ｈ３Ｔ：１４５ｎｍ
ＡＲ３Ｔ：４８度
ＡＴ３Ｔ：３８度
ロングピットについて、ＷＬ　：２６５ｎｍ
ＨＬ　：１４５ｎｍ
ＡＲＬ　：５２度
ＡＴＬ　：４２度
でかつ　　　　　　　　｜ＷＬ　−Ｗ３Ｔ｜：１０ｎｍ
このスタンパを用いてポリカーボネート樹脂にてＤＶＤ用の光ディスクの射出成形を行なったところ、離形不良による欠陥の発生は全くなく、転写も良好であった。また、光ディスクの信号特性もジッターが規格８％に対して６．８％と非常に良好なものが得られた。
【００４２】
（比較例）
上記実施例と同様にφ２００のガラス板にＩ線（紫外線）用のポジ型レジストをスピンコート法により塗布し、実施例と同様の条件でベーキングを行なった後、エリプソメータにより測定した。層厚は１４０ｎｍであった。このガラス板を実施例と同様のＬＢＲにて露光した。さらに実施例と同様の現像条件で現像し、同様の工程を用いてスタンパとした。この時のピット形状を実施例と同様の方法で用いてＡＦＭで測定し、以下の結果を得た。
【００４３】
３Ｔピットについて、　Ｗ３Ｔ：２９０ｎｍ
Ｈ３Ｔ：１３５ｎｍ
ＡＲ３Ｔ：５８度
ＡＴ３Ｔ：５８度
ロングピットについて、ＷＬ　：３３５ｎｍ
ＨＬ　：１３５ｎｍ
ＡＲＬ　：６１度
ＡＴＬ　：５８度
でかつ　　　　　　　　｜ＷＬ　−Ｗ３Ｔ｜：４５ｎｍ
このスタンパを用いて成形を行なった。ディスクの信号特性はジッターが規格の８％に対し７．２％と良好なものが得られたが、離形不良によるクラウドと呼ばれる欠陥が多発した。また、成形条件の変更により欠陥は軽減されたものの非常に歩留りの悪い生産となった。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば、スタンパのピット形状を上記のように最適化することにより、成形工程での離形不良による欠陥の発生を大幅に低減でき、かつ得られた光ディスクの信号特性も良好なものを得ることができる。これにより、製造工程での歩留りを大幅に向上することができ、ＤＶＤの優れた特性である低コストで大量生産が可能であるという特長を最大限に発揮させることができ、光ディスクの製造において極めて有用な効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスタンパの一実施形態におけるピット形状を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図２】同実施形態のスタンパ及びそれを用いた光ディスクの製造工程の説明図である。
【図３】同実施形態におけるレーザビーム記録装置による露光工程の説明図である。
【図４】レジストのγ値の説明図である。
【符号の説明】
１　ピット
１１　ガラス板
１２　レジスト層
２０　ピットパターン
２１　スタンパ
２２　ニッケル薄膜
２３　ニッケル板
２５　光ディスク
Ｗ　ピット幅
Ｈ　ピット高さ
ＡＲ　ピット側壁のラジアル方向の傾斜角度
ＡＴ　ピット側壁のタンジェンシャル方向の傾斜角度
【図１】
2004079118.tif 000003
【図２】
2004079118.tif 000004
【図３】
2004079118.tif 000005
【図４】
2004079118.tif 000006