(57)【要約】【課題】陰極線管の製造方法、特に蛍光面作製において既存の露光台を使用して加圧露光を可能にする。【解決手段】パネル１３を外面からパネル内面に向けて真空変形に相当する所要の圧力で加圧して変形させ、この変形した状態のパネル１３を露光台１２上に載置してパネル内面に塗布した感光性塗膜に対して露光を行う工程を有する。【選択図】　　　　図１
2004079315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルを外面からパネル内面に向けて真空変形に相当する所要の圧力で加圧して変形させ、
該変形した状態の前記パネルを露光台上に載置して前記パネル内面に塗布した感光性塗膜に対して露光を行う工程を有する
ことを特徴とする陰極線管の製造方法。
【請求項２】
前記パネル及び該パネルを加圧する手段を吊り下げ手段により支持した状態で、前記露光台上に載置する
ことを特徴とする請求項１記載の陰極線管の製造方法。
【請求項３】
前記感光性塗膜は、感光性蛍光体塗膜、または感光性レジスト膜である
ことを特徴とする請求項１記載の陰極線管の製造方法。
【請求項４】
露光台と、
パネルを外面からパネル内面に向けて加圧する加圧手段と、
前記パネル及び前記加圧手段を吊り下げて移動可能に配置された吊り下げ手段とを備え、
前記加圧手段で前記パネルを加圧変形させ、該パネル及び加圧手段が前記吊り下げ手段で吊り下げられた状態で、前記パネルを前記露光台上に位置決めするようにして成る
ことを特徴とする陰極線管の製造装置。
【請求項５】
前記吊り下げ手段が、移動可能な支持部と該支持部に取り付けられた引張ばねで形成され、
前記引張ばねにより吊り下げられた吊り下げ保持構体に前記パネルと前記加圧手段が保持されて成る
ことを特徴とする請求項４記載の陰極線管の製造装置。
【請求項６】
前記露光台上に、前記吊り下げ保持構体を載置する載置テーブルが前記露光台に対して平面内で移動可能に配置され、
該載置テーブルは前記パネルの位置決め用の突き当て部を有して成る
ことを特徴とする請求項５記載の陰極線管の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、陰極線管の製造方法及び製造装置、より詳しくは蛍光面作製方法及びこれに用いる露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
陰極線管では、管体内部が真空となるため大気圧により管体全体が歪み、変形する。これは、画像表示における色ずれ引き起こすという問題を生じるとになる。原因は、管体内部に組み込まれる色選別機構とパネルガラス内面の各色蛍光体層からなる蛍光面との距離が、蛍光面となる所定パターンの蛍光体層を形成するための露光時に比べ、使用時（真空時）の方が近くなるので、作製された蛍光面の蛍光体ストライプに電子ビームが正しく当たらなくなるからである。
【０００３】
図８は、この色ずれが発生する模式図であり、パネルガラス１の内面に赤色蛍光体ストライプ２Ｒ、緑色蛍光体ストライプ２Ｇ及び青色蛍光体ストライプ２Ｂを有する蛍光面２が形成される。実線が蛍光面作製の露光時のパネル位置を示し、破線が管体内部を真空排気した製造後の完成管のパネル位置を示す。即ち、ガラスパネル１の内面の位置は、蛍光体ストライプ２Ｒ，２Ｇ，２Ｂを形成するための露光時の位置Ｐ０　から、管体内部が真空排気された完成管後には大気圧５により位置Ｐ１　となる。その結果、陰極線管の動作時に色選別機構（例えば多数のスリット状のビーム透過孔を有するアパーチャーグリル）３のビーム透過孔４を通して照射される電子ビームＢが目標とする蛍光体ストライプ２Ｇではなく、他の蛍光体ストライプ２Ｒに照射され、色ずれが生じる。
【０００４】
色ずれの発生は、管体内部が真空となるための大気圧に基づくパネルガラス１の変形が最も大きな要因である。しかし、さらに近年の陰極線管のパネルガラス外面の平面化、あるいは強化ガラスの進歩による薄肉化によってその変形量は増加する傾向にある。
【０００５】
通常はパネルガラスの変形量が１００〜２００μｍ程度であり、蛍光面作製時の露光レンズによる補正で対応している。つまり、大気圧により変形した後の電子ビームが照射される位置を予め想定して蛍光面を作製している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、露光レンズで補正する上記方法の場合、パネルガラスの変形量が１５０μｍを越える補正は、１）レンズを通常よりも枚数を多くしたり、または厚くする必要がある。また、２）レンズの感度を上げるため蛍光面にレンズを近づけるなどの変更が必要である。しかし、上記１）の方法では、同時に光量が落ちることを意味し、上記２）の方法では、結果的に大口径のレンズが必要になるので、レンズの作製という点からコスト、品質の問題が出てくる。しかも、これらの方法は本質的な改善ではなく、薄肉化されたパネルガラスの変化量が１５００μｍ以上に達するとを考えると、これらの方法では完全に補正できない。また、製造上のパネルガラスの寸法誤差は、真空変形量のばらつきとなり、単一レンズの補正では全く効果がない。
【０００７】
一方、本出願人は、蛍光面作製時に真空変形量と同じだけ凹むようにパネル外面から圧力を加えてパネル面を変形し、この状態でパネル内面の感光性塗膜を露光し、真空排気後の電子ビーム軌道と蛍光体ストライプのずれをなくすようにした蛍光面作製方法を提案した（特願２００１ー２２９１３５号参照）。図７は、この先行技術の露光方法を用いた場合と、従来の露光方法を用いた場合の違いを示す。図７の左半分は、従来の露光方法を用いて蛍光面を作製した場合であり、露光する蛍光体ストライプと真空排気後の電子ビーム軌道が一致するように露光時に光学レンズで露光軌道を補正している。実線は露光時のパネルガラス１の位置、破線は真空排気後のパネルガラス１の位置を示す。しかし、この方法では、補正量が小さく、電子ビーム軌道６とレンズ補正軌道７とにずれが生じる。図７の右半分は、先行技術の露光方法を用いて蛍光面を作製した場合である。破線は加圧前のパネルガラス１に位置を示す。パネルガラス１を上方から加圧子９で真空変形に相当する量だけ押し込み、その状態（実線位置）でパネルガラス内面の感光性塗膜に対して露光する。これにより、形成された蛍光体ストライプと排気後の電子ビーム軌道６とのずれをなくすことができる。以後、この先行技術の露光法を加圧露光法と呼ぶ。
【０００８】
このような加圧露光法では、約１トンの力をパネルガラスに与えなければならない。つまり、加圧部は重くなり、下で支持する露光部も従来に比べ補強が必要になる。更には、露光プロセスとして必要なパネルガラスをシフトするためのモータも強力なものに交換しなければならない。新規ラインの立ち上げであれば予め加圧部を露光台に組み込んだ新規設計を行うことができるが、既存のラインに導入するには非常に大きな設備投資が必要である。つまり、現実的である既存ラインへの導入時に従来の考えでは加圧露光法はコスト増大が避けられない。
【０００９】
本発明は、上述に鑑み、露光台を改造することなしに加圧露光法が行え、更に加圧部の軽量化と同等な効果を低コストで達成できるようにした、陰極線管の製造方法、及びその製造装置を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る陰極線管の製造方法、特にその蛍光面作成方法は、パネルを外面からパネル内面に向けて真空変形に相当する所要の圧力で加圧して変形させ、この変形した状態のパネルを露光台上に載置してパネル内面に塗布した感光性塗膜に対して露光を行う工程を有する
【００１１】
本発明の陰極線管の製造方法では、蛍光面作製に際してパネルを真空変形に相当する圧力で加圧した状態で、パネル内面に塗布した感光性塗膜に対し露光を行うので、最終的に真空排気後の電子ビーム軌道とずれない蛍光面が作製される。この加圧露光において、露光台が加圧を受けない状態でパネル外面を真空変形に相当する所要の圧力で加圧し、露光するので、露光台を改造することなく加圧露光が可能になる。
【００１２】
本発明に係る陰極線管の製造装置、特にその蛍光面作製のための露光装置は、露光台と、パネルを外面からパネル内面に向けて加圧する加圧手段と、パネル及び前記加圧手段を吊り下げて移動可能に配置された吊り下げ手段とを備え、加圧手段でパネルを加圧変形させ、このパネル及び加圧手段が前記吊り下げ手段で吊り下げられた状態で、パネルを露光台上に位置決めするように構成する。
【００１３】
本発明の陰極線管の製造装置では、蛍光面作製の際、加圧手段によりパネルの外面を加圧するので、真空変形に相当したパネル変形が得られる。この状態で露光が行われるので、最終的に真空排気後の電子ビーム軌道とずれない蛍光面が作製される。この加圧露光装置において、加圧手段とパネルとを吊り下げる吊り下げ手段を備えることにより、パネルを加圧変形した状態で露光台上に持ち来され、吊り下げられた状態でパネルが載置されるとき、露光台に荷重がかからず、又は露光台への荷重が軽減される。従って、露光台への負担が軽減され、従来の露光台の使用が可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１５】
図１は、本発明の陰極線管の製造装置である加圧露光装置の一実施の形態を示す。本実施の形態に係る加圧露光装置１１は、露光台１２と、露光されるべき陰極線管のパネル１３を外面から加圧する加圧手段１４と、パネル１３及び加圧手段１４を吊り下げる吊り下げ手段１５とを備えて成る。露光台１２内には、露光用光源１６、補正フィルタ１７及びレンズ系１８等が配置されてる。レンズ系１８は、従来の補正レンズにおけるＳ字補正レンズ成分を除いて構成される。なお、レンズ１８は上面だけ曲面を持たせた方が好ましいが、その他上下両面に曲面を持たせても可能である。さらに、レンズ１８は凸レンズでも凹レンズでも可能である。
【００１６】
パネル１３及び加圧手段１４は、上下部及び側部を囲うように構成された吊り下げ保持構体２０に保持される。即ち、パネル１３は、吊り下げ保持構体２０内の下面２０Ａ上にパネル内面を下向きに載置される。下面２０Ａには、載置されたパネル１３の位置決めに供される突き当て部（図示せず）が設けられる。下面２０Ａには光源１６からの露光光が透過する開口が設けられている。加圧手段１４は、例えば複数の加圧子、本例では３つの加圧用エアシリンダ１４Ａ，１４Ｂ及び１４Ｃからなり、これら３つのエアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃがパネル１３の外面に対向するように、吊り下げ保持構体２０の上面２０Ｂに保持される。各エアシリンダ１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃは、夫々独立に加圧力が設定できるように構成され、且つパネル１３の外面の所要の位置に対応して配置できるように、例えば隣り合うエアシリンダ間の間隔が調整できるように、上面２０Ｂに対して移動可能に、本例では３つのエアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃの配列方向に移動可能に設けられる。真空排気後のパネル１３の変形を考慮すると、本例ではパネル１３の外面の中央に対応する位置に１つのエアシリンダ１４Ａが、、その左右に対応する位置に１つずつエアシリンダ１４Ｂ及び１４Ｃが配置される。なお、エアシリンダは１つでも可能であるが、後述するように複数個設けた方が精度が得られる。
【００１７】
吊り下げ手段１４は、移動可能な支持部、本例では上下移動可能な支柱２１及びその上端より水平に延長する梁部材２２を一体に有した台車２３と、梁部材２２に取り付けられた引張ばね（いわゆるスプリング）２４とから構成される。この引張ばね２４の下端に、パネル１３及びエアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃを保持した吊り下げ保持構体２０が吊り下げられる。引張ばね２４は、吊り下げ保持構体２０を安定に吊り下げるために複数、本例では４本設けられ、吊り下げ保持構体２０の上面２０Ｂの四隅部に取着される。
【００１８】
一方、露光台１２の上面には、露光台１２に対してＸＹ平面内で移動可能な載置テーブル２６が配置され、この載置テーブル２６にパネル１３の位置決めに供される突き当て部、本例では３つの突き当て部２７〔２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃ〕が設けられる。吊り下げ保持構体２０は、露光時にこの載置テーブル２６上に載置され、突き当て部２７によりパネル１３が位置決めされる。
【００１９】
次に、上述の加圧露光装置１１の動作と共に、陰極線管の蛍光面作製に際しての露光方法を説明する。
【００２０】
先ず、パネル１３の内面に例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール）感光塗膜、あるいは蛍光体スラリーによる蛍光体塗膜などの感光性塗膜を形成し、この感光性塗膜に対向するように光学マスクとなる色選別機構をパネル１３内にパネルピンを介して取り付ける。このパネル１３を、吊り下げ保持構体２０内の下面２０Ａ上にパネル内面を下向きにして載置する。パネル１３は、図示せざるも突き当て部にパネル側面の２辺を突き当てて位置決めされる。また、３つのエアシリンダ１４Ａ，１４Ｂ及び１４Ｃの相対位置が調整される。従って、パネル１３は、その外面の所要位置に３つのエアシリンダ１４Ａ，１４Ｂ及び１４Ｃが対応するように、エアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃに対して位置決めされる。一方、露光台１２側では、載置テーブル２６が露光台１２上の所要の位置に設定される。
【００２１】
パネル１３を位置決めした吊り下げ保持構体２０では、エアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃが駆動して、パネル１３の外面をパネル内面に向けて真空変形に相当する所要の圧力で加圧し、パネル面を変形させる。本例では吊り下げ保持構体２０が引張りばね２４で吊り下げられた状態で、パネル１３をエアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃで加圧変形する。その他パネル１３をエアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃで加圧変形した後、吊り下げ保持構体２０を引張りばね２４で吊り下げるようにしても良い。
【００２２】
次に、加圧変形されたパネル１３を保持した吊り下げ保持構体２０は、図２に示すように、吊り下げられた状態で待機位置２０′から台車２３の移動で露光台１２の載置テーブル２６上方に持ち来たされ、支柱２１の降下で吊り下げ保持構体２０が載置テーブル２６上に載置される。そして、台車２３を移動調整して引張りばね２４で吊り下げ保持構体２０を水平方向（例えばアライメント側）に引張るようにし、載置テーブル２６の突き当て部２７〔２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃ〕にパネル１３の２辺の側面を突き当ててパネル１３を位置決めする。この時、パネル１３が吊り下げ保持構体２０を介して引張りばね２４で吊り下げられた状態で露光台１２上に載置されるので、吊り下げ保持構体２０の露光台１２及び載置テーブル２６にかかる重量は、引張りばね２４の伸びにより連続的に変えることが可能になる。従って、実質的に露光台１２及び載置テーブル２６への荷重はなくなり、あるいは荷重負担は軽減される。
【００２３】
パネル１３が加圧変形された状態で、光源１６からの露光光が照射され、感光性塗膜を露光する。この露光処理は、光源１６の位置をパネル１３に対して相対的に移動させて赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応する部分の露光を行う。本例では、光源１６の相対的移動を露光台１２上の載置テーブル２６を移動させて行う。このとき、図３に示すように、台車２３の位置を固定したまま、矢印方向に破線位置まで載置テーブル２６を移動させるが、引張りばね２４が破線図示のように伸縮することにより、吊り下げ保持構体２０は載置テーブル２６の移動に追従する。
露光が終われば、パネル１３と載置テーブル２６との突き当てを解除し、支柱２１を上昇させ、台車２３を移動させて吊り下げ保持構体２０を待機位置に戻し、エアーシリンダ１４Ａ〜１４Ｃによる加圧を削除し、パネル１３を取出す。
【００２４】
本実施の形態では、予めパネルガラスの大きさと、パネルガラスの板厚と、真空排気したときのパネルガラスの変形量と、この排気変形量の相当する加圧変形量を得るための加圧量との関係を求めて置く。このデータに基づいて露光時のパネルガラスへの加圧を制御して加圧露光を行う。
【００２５】
本実施の形態に係る陰極線管の製造方法によれば、蛍光面の作製に際して、パネル１３を予め真空変形に相当する量だけエアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃにより加圧変形させて露光処理するので、最終的に真空排気後の電子ビーム軌道と蛍光体層とがずれない蛍光面を作製することができる。そして、本実施形態の加圧露光法によれば、真空変形に相当する量だけ加圧変形されたパネル１３とエアシリンダ１４Ａ〜１４Ｂとを保持した吊り下げ保持構体２０を、引張りばね２４で吊り下げた状態で露光台１２の載置テーブル２６上に載置し露光するので、露光台１２にはパネル１３及びエアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃの加圧力による荷重がかからず、あるいはその荷重が軽減される等、露光台１２への負担が軽減する。従って、露光装置としては、露光台１２を補強するなどの大きな改造が不要になり、載置テーブル２６を含む露光台としては既存のものを使用することができ、設備投資の節減が図れる。引張りばね２４によって吊り下げ保持構体２０が支持されるので、載置テーブル２６がシフトしても引張りばね２４が伸縮して追従し、シフトを容易にさせると共に、シフト用モータへの負担を減らすことができる。
加圧手段１４を、複数のエアシリンダで構成するときは、真空変形をより忠実にパネルへの加圧変形に変換することができ、より精度の良い蛍光面を作製することが可能になる。
【００２６】
そして、本実施の形態の加圧露光方法を用いて、パネルを真空変形に相当した変形状態にして蛍光面を作製するときは、色ずれのないカラー陰極線管を提供できる。また、パネルガラスの製造上の寸法誤差に起因する色ずれも解消されたカラー陰極線管を提供することができる。色ずれのないカラー陰極線管を低コストで提供することができる。
【００２７】
図４は、本発明が適用されるカラー陰極線管の一実施の形態を示す。本実施の形態にかかるカラー陰極線管３１は、陰極線管体（ガラス管体）３２のパネル３２Ｐの内面に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の各色ストライプ状の蛍光体層からなるカラー蛍光面３３が形成され、この蛍光面３３に対向して色選別機構、本例ではアパーチャグリル３４が配置され、ネック部３２Ｎ内に電子銃３５が形成されて成る。管体３２の外側には、電子銃３５からの各色の電子ビームＢＲ　、ＢＧ　及びＢＢ　を水平、垂直方向に偏向させる偏向ヨーク３６が配置される。
【００２８】
このカラー陰極線管３１では、電子銃３５の各色に対応するカソードから出射された各電子ビームＢＲ　，ＢＧ　，ＢＢ　が複数の電極で形成された主電子レンズで収束され蛍光面３３上でフォーカスされ、且つコンバージェンスされて赤、緑、青の各蛍光体層に照射される。この電子ビームＢＲ　，ＢＧ　，ＢＢ　が偏向ヨーク３６によって水平、垂直方向に偏向されて所要のカラー画像が表示される。
【００２９】
次に、上述した本発明の加圧露光方法を用いて、このカラー陰極線管３１のカラー蛍光面３３を作製する蛍光面作製方法の一例を説明する。
【００３０】
先ず、図５Ａに示すように、パネルガラス３２Ｐを洗浄した後、パネル内面に感光剤及びＰＶＡ（ポリビニルアルコール）などの水溶性高分子からなるフォトレジスト膜を形成し、乾燥して感光性レジスト塗膜４１を形成する。
次に、図５Ｂに示すように、アパーチャグリル（色選別機構）３４を光学マスクとして用い、上述の加圧露光装置１１を使用して赤、緑及び青の３色に対応する位置に光源１６を相対的に移動させて３回の露光を行う。そして、一括して現像処理して、図５Ｃに示すように、赤、緑及び青の各色蛍光体ストライプを形成すべき位置にストライプ状のレジスト膜４２を形成する。
【００３１】
次に、図５Ｄに示すように、パネル内面の全面に非発光性光吸収物質としての例えばカーボンブラックを含有するカーボンスラリーを塗布し、乾燥してカーボン膜４３を形成する。次いで、図５Ｅに示すように、反転現像して、即ちレジスト膜４２とその上のカーボン膜４３のみをリフトオフして、所定パターンのカーボンストライプ４５ＢＬを形成する。なお、カーボンストライプ４５ＢＬは、熱転写印刷により形成することも可能である。
【００３２】
次に、図５Ｆに示すように、パネル内面の全面に第１色目の例えば緑色蛍光体スラリーを塗布し、乾燥して緑色蛍光体塗膜４４Ｇを形成する。次いで、アパーチャグリル（色選別機構）３４を光学マスクとして用い、上述の加圧露光装置１１を使用して緑（Ｇ）に対応する位置に光源１６を置き、露光を行う。次いで、現像処理して図６Ｇに示す緑色蛍光体ストライプ４５Ｇを形成する。
【００３３】
次に、図６Ｈ及び図６Ｉに示すように、緑色蛍光体ストライプ４５Ｇの形成と同様の工程によって、第２色目の例えば赤色蛍光体ストライプ４５Ｒ、第３色目の例えば青色蛍光体ストライプ４５Ｂを形成する。
【００３４】
次に、パネル内面の全面に中間膜を介して例えばアルミニウムによるメタルバック膜４６を形成して、図６Ｊに示す目的のカラー蛍光面３３を作製する。
【００３５】
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について説明する。
本実施例では、３６インチサイズでアスペクト比１６：９のテレビジョン受像機用の陰極線管の蛍光面作製に適用する。加圧露光装置１１の加圧手段１４は、直径９０ｍｍの３つのエアシリンダ１４Ａ，１４Ｂ及び１４Ｃを用いる。エアシリンダ１４Ａ〜１４Ｃは最大１０００ｋｇ／個の力を出せるものを使用する。エアシリンダの重量は２０ｋｇ／個である。シリンダ１４Ａ〜１４Ｃ及びこれを支える吊り下げ保持構体２０とパネル１３とアパーチャグリル（色選別機構）とを含む総重量は２５０ｋｇになる。引張りばね２４は４本使用し、その引張りばね２４の仕様は、線径４ｍｍでばね定数７．４５Ｎ／ｍｍ、初張力１２３．６Ｎである。
【００３６】
総重量２５０ｋｇの吊り下げ保持構体２０を単純に露光台に乗せるときには、前述のように補強のために加圧露光装置として大改造が必要になるが、本実施例では、吊り下げ保持構体２０が引張りばね２４により吊り下げた状態で露光台にの載せるため、露光台への負荷を減らすことが可能になる。また、吊り下げ保持構体２０内のパネル１３を露光台の載置テーブルに載置した後、引張りばね２４で吊り下げ保持構体２０の全体を水平方向（アライメント側）に引張るようにしてパネル１３を突き当て部２７〔２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃ〕に押しつけるようにすると、図３の載置テーブル２６の移動によるパネル１３のシフトにも追従できるので、シフト用モータにも負荷がかからない
本実施例では、既存の露光台を用いて加圧露光装置を構成し、加圧露光を行ったところ、露光台の沈み込みもなく、パネルガラスのシフト用モータも問題なく作動することは確認でき、引張りばねを用いた加圧露光装置が優れていることが証明された。
【００３７】
【発明の効果】
本発明に係る陰極線管の製造方法によれば、蛍光面作製に際してパネルを真空変形に相当する圧力で加圧した状態で、パネル内面に塗布した感光性塗膜に対し露光を行うので、最終的に真空排気後の電子ビーム軌道とずれない蛍光面を作製することができる。この加圧露光において、露光台に過大な荷重がかかるのを避けることができ、露光台を改造せずに従来の露光台を使用することができ、加圧露光法を既存の露光ラインに導入することが可能になる。従って、設備投資によるコストの増大を避けることができる。さらに加圧部の軽量化と同等な効果を低コストで達成することが可能になる。
【００３８】
本発明に係る陰極線管の製造装置によれば、蛍光面作製の際、加圧手段によりパネルの外面を加圧するので、真空変形に相当したパネル変形を得、この状態で露光が行われるので、最終的に真空排気後の電子ビーム軌道と蛍光体層とがずれない蛍光面を作製することができる。そして、本発明の製造装置である加圧露光装置によれば、加圧時の露光台への過大な荷重を回避することができ、従来の露光台をそのまま使用することができる。従って、新規に加圧露光用の装置を設計しなくて済、設備投資の軽減が図れる。吊り下げ保持構体を吊り下げる手段として引張りばねを用いるときは、引張りばねの伸縮機能により、露光台側の載置テーブルの移動にも良く追従することができ、露光台側への負担を軽減することができる。
【００３９】
従って、本発明を適用して、パネルを真空変形に相当した変形状態にして蛍光面を作製するときは、色ずれのないカラー陰極線管を提供できる。また、パネルガラスの製造上の寸法誤差に起因する色ずれも解消されたカラー陰極線管を提供することができる。色ずれのないカラー陰極線管を低コストで提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る加圧露光装置の一実施の形態を示す構成図である。
【図２】図１の加圧露光装置の動作説明図である（その１）。
【図３】図１の加圧露光装置の動作説明図である（その２）。
【図４】カラー陰極線管の実施の形態を示す構成図である。
【図５】Ａ〜Ｆ　カラー蛍光面の作製方法の一実施の形態を示す工程図（その１）である。
【図６】Ｇ〜Ｊ　カラー蛍光面の作製方法の一実施の形態を示す工程図（その２）である。
【図７】色ずれ発生に関する本発明と従来との比較を示す説明図である。
【図８】陰極線管における色ずれの発生原因の説明図である。
【符号の説明】
１１・・・露光装置、１２・・・露光台、１３・・・パネル、１４・・・加圧手段、１４Ａ〜１４Ｃ・・・加圧用エアシリンダ、１５・・・吊り下げ手段、１６・・・光源、１７・・・補正フィルタ、１８・・・レンズ系、２１・・・支柱、２２・・・梁部材、２３・・・台車、２４・・・引張りばね、３１・・・カラー陰極線管、３２・・・管体、３２Ｐ・・・パネル、３３・・・カラー蛍光面、３４・・・色選別機構、３５・・・電子銃、３６・・・偏向ヨーク、４１・・・感光性レジスト膜、４２・・・カーボンストライプ、４３・・・蛍光体スラリー、４５Ｇ・・・緑色蛍光体ストライプ、４５Ｒ・・・赤色蛍光体ストライプ、４５Ｂ・・・青色蛍光体ストライプ、４６・・・メタルバック層
【図１】
2004079315.tif 000003
【図２】
2004079315.tif 000004
【図３】
2004079315.tif 000005
【図４】
2004079315.tif 000006
【図５】
2004079315.tif 000007
【図６】
2004079315.tif 000008
【図７】
2004079315.tif 000009
【図８】
2004079315.tif 000010