(57)【要約】【課題】本発明は、例えば半導体試験装置に適用して、簡易かつ確実に試験装置等のプログラムを作成することができるようにする。【解決手段】本発明は、可動部１５、１６の可動に必要な可動部１５、１６の条件を記録して保持し（２１）、この記録（２１）を参照してプログラム２０を実行し、又はこの記録（２１）を参照してプログラム２０を作成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録手段に記録されたプログラムに従って可動部を逐次可動させる制御方法において、
前記可動部の可動に必要な前記可動部の条件を記録して保持し、
前記可動部より検出される前記可動部の状態と、前記可動部の条件との比較結果に応じて、前記プログラムを逐次実行して前記可動部を可動する
ことを特徴とする制御方法。
【請求項２】
前記比較結果に応じて、前記プログラムによる前記可動部の可動を中止する
ことを特徴とする請求項１に記載の制御方法。
【請求項３】
前記可動部の条件をテーブルの形式により保持した
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の制御方法。
【請求項４】
前記可動部が試験装置の可動部である
ことを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の制御方法。
【請求項５】
可動部を可動させるプログラムの作成方法において、
前記可動部の可動に必要な前記可動部の条件を記録して保持し、
前記可動部の可動を順次記述した基本プログラムに、前記可動部の条件を組み込んで前記プログラムを作成する
ことを特徴とするプログラムの作成方法。
【請求項６】
前記可動部の条件をテーブルの形式により保持した
ことを特徴とする請求項５に記載のプログラムの作成方法。
【請求項７】
前記可動部が試験装置の可動部である
ことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のプログラムの作成方法。
【請求項８】
請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４による制御方法により可動して所望の試験対象を試験する
ことを特徴とする試験装置。
【請求項９】
操作子の操作に応動して前記可動部を可動させ、
前記可動部より検出される前記可動部の状態と、前記可動部の条件との比較結果に応じて、前記操作子の操作に応動した前記可動部の可動を中止する
ことを特徴とする請求項８に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、制御方法、プログラムの作成方法及び試験装置に関し、例えば半導体試験装置に適用することができる。本発明は、可動部の可動に必要な可動部の条件を記録して保持し、この記録を参照してプログラムを実行することにより、又はこの記録を参照してプログラムを作成することにより、簡易かつ確実に試験装置等のプログラムを作成することができるようにする。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体試験装置においては、例えばパレットにより供給される試験対象を所定のステージにセットした後、ステージを可動してこの試験対象を試験し、その後、パレットに試験対象を搬出するようになされており、この試験に係る一連の制御をシーケンサ、コンピュータにより実行するようになされている。
【０００３】
このような制御においては、簡易かつ確実に制御し得るように、例えば特開２００１−２８２３２４号公報等に種々の制御方法が提案されるようになされている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−２８２３２４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところでこの種の機械制御において、例えば試験対象を完全にセットしないうちにステージを可動させると、機械、試験対象が破損する恐れがある。これによりこの種の制御に供するプログラムの設計においては、各部の動きを考慮して慎重に作成し、このような事故の発生を有効に回避することが必要になる。
【０００６】
しかしながらプログラムの作成においては、ミスを完全には防止し得ない問題があり、またこのように慎重にプログラムを作成して、バグの修正を繰り返さなければならないことにより、時間を要する問題がある。またプログラム自体も複雑化し、これによりバグの修正に時間を要し、さらにはミスを発生し易くなる問題がある。また待ち時間を短くし、さらには複数の動作を同時に実行させる等により動作を高速度化しようとすると、これによってもミスが発生し易くなる。
【０００７】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、簡易かつ確実にこの種のプログラムを作成することができる制御方法、プログラムの作成方法、このプログラム作成方法によるプログラムに係る試験装置を提案しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため請求項１の発明においては、記録手段に記録されたプログラムに従って可動部を逐次可動させる制御方法において、前記可動部の可動に必要な前記可動部の条件を記録して保持し、前記可動部より検出される前記可動部の状態と、前記可動部の条件との比較結果に応じて、前記プログラムを逐次実行して前記可動部を可動する。
【０００９】
また請求項２の発明においては、請求項１の構成において、前記比較結果に応じて、前記プログラムによる前記可動部の可動を中止する。
【００１０】
また請求項３の発明においては、請求項１又は請求項２の構成において、前記可動部の条件をテーブルの形式により保持する。
【００１１】
また請求項４の発明においては、請求項１、請求項２又は請求項３の構成において、前記可動部が試験装置の可動部であるようにする。
【００１２】
また請求項５の発明においては、可動部を可動させるプログラムの作成方法に適用して、前記可動部の可動に必要な前記可動部の条件を記録して保持し、前記可動部の可動の手順を記録した基本プログラムに、前記可動部の条件を組み込んで前記プログラムを作成する。
【００１３】
また請求項６の発明においては、請求項５の構成において、前記可動部の条件をテーブルの形式により保持する。
【００１４】
また請求項７の発明においては、請求項５又は請求項６の構成において、前記可動部が試験装置の可動部であるようにする。
【００１５】
また請求項８の発明においては、試験装置に適用して、請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４による制御方法により可動して所望の試験対象を試験する。
【００１６】
また請求項９の発明においては、請求項８の構成において、操作子の操作に応動して前記可動部を可動させ、前記可動部より検出される前記可動部の状態と、前記可動部の条件との比較結果に応じて、前記操作子の操作に応動した前記可動部の可動を中止する。
【００１７】
請求項１の構成により、記録手段に記録されたプログラムに従って可動部を逐次可動させる制御方法において、前記可動部の可動に必要な前記可動部の条件を記録して保持し、前記可動部より検出される前記可動部の状態と、前記可動部の条件との比較結果に応じて、前記プログラムを逐次実行して前記可動部を可動すれば、何ら各部の動きを考慮していない場合でも、またプログラムにミスが存在する場合でも、例えばこの条件を満足するように待機して可動部を可動することができ、また事故が発生しないように可動を制限することができる。これにより簡易かつ確実にこの種のプログラムを作成することができる。
【００１８】
また請求項２の構成により、請求項１の構成において、前記比較結果に応じて、前記プログラムによる前記可動部の可動を中止すれば、プログラムのミスによる事故等を未然に防止することができ、これによっても簡易かつ確実にこの種のプログラムを作成することができる。
【００１９】
また請求項３の構成により、請求項１又は請求項２の構成において、前記可動を制限する項目をテーブルの形式により保持すれば、簡易に、このような可動に必要な可動部の条件を記録することができる。
【００２０】
また請求項４の構成により、請求項１、請求項２又は請求項３の構成において、前記可動部が試験装置の可動部であるようにすれば、簡易かつ確実にこの種の試験装置のプログラムを作成することができる。
【００２１】
また請求項５の構成により、可動部を可動させるプログラムの作成方法に適用して、前記可動部の可動に必要な前記可動部の条件を記録して保持し、前記可動部の可動の手順を記録した基本プログラムに、前記可動部の条件を組み込んで前記プログラムを作成すれば、何ら各部の動きを考慮していない基本プログラムより、各部の動きを考慮した事故の恐れの無いプログラムを作成し得、これにより簡易かつ確実にこの種のプログラムを作成することができる。
【００２２】
また請求項６の構成により、請求項５の構成において、前記可動部の条件をテーブルの形式により保持すれば、簡易に、このような可動を制限する項目を記録することができる。
【００２３】
また請求項７の構成により、請求項５又は請求項６の構成において、前記可動部が試験装置の可動部であるようにすれば、簡易かつ確実にこの種の試験装置のプログラムを作成することができる。
【００２４】
また請求項８の構成により、試験装置に適用して、請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４による制御方法により可動して所望の試験対象を試験すれば、簡易かつ確実に試験装置に係るプログラムを作成することができる。
【００２５】
また請求項９の構成により、請求項８の構成において、操作子の操作に応動して前記可動部を可動させ、前記可動部より検出される前記可動部の状態と、前記可動部の条件との比較結果に応じて、前記操作子の操作に応動した前記可動部の可動を中止すれば、マニュアル操作においても、事故を有効に回避することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳述する。
【００２７】
（１）第１の実施の形態
（１−１）第１の実施の形態の構成
図２は、この実施の形態に係る半導体試験装置の一部構成を示す平面図である。この半導体試験装置１は、パレット２に整列されて供給される半導体レーザーの特性を試験した後、良品と判断される半導体レーザーをパレット３に整列させる。
【００２８】
すなわちこの半導体試験装置１において、搬入機構９は、パレット２に整列された半導体レーザーを２個づつ吸着してステージ４に搬入する。ステージ４は、符号ａ〜ｈにより示す周囲８箇所に半導体レーザーの収納箇所が設けられ、矢印Ａにより示す方向に、所定の角間隔で間欠的に回転するようになされ、これにより搬入された半導体レーザーを各回転停止位置で測定等するようになされている。
【００２９】
すなわちステージ４において、この半導体レーザーの収納箇所は、図３に示すように、それぞれ半導体レーザー６を収納する収納穴５が２個所づつ設けられ、各収納穴５に、端子側より半導体レーザー６が差し込まれるようになされている。また各収納箇所には、この収納穴５に収納された半導体レーザー６のつばを上方から押圧する蓋７が設けられるようになされている。これによりステージ４においては、搬入した後、搬出するまでの間、半導体レーザー６が脱落しないようになされている。
【００３０】
またこのステージ４は、矢印Ｂにより示すように、図示しない部材を介してこの蓋７を突き上げることにより、矢印Ｃにより示すように、この蓋７を半導体レーザー６の上方から退避させることができるようになされている。ステージ４においては、図示しない部材を介して蓋７を突き上げるシリンダとピストンとが、符号ａ及びｈにより示す搬入及び搬出のワークに設けられ、これにより半導体レーザー６の搬入、搬出時、蓋７を退避させ、半導体レーザー６を収納穴５に配置することができるようになされ、またこの半導体レーザー６を収納穴５から取り出すことができるようになされている。
【００３１】
これに対してステージ４は、符号ｃ、ｄ、ｅ、ｆにより示す箇所が測定のワークに割り当てられ、それぞれ所定の測定事項について、半導体レーザー６を測定する。すなわちこれらの測定ワークにおいては、ステージ４の下方にコンタクトピンが設けられ、ピストンによりコンタクトピンを付き上げて、半導体レーザー６の各端子にコンタクトピンを接続するようになされている。各コンタクトピンは、それぞれ所定の測定回路に接続され、これにより例えば電圧電流特性、光量のモニタ特性等を測定できるようになされている。
【００３２】
これに対して搬出機構８は、収納穴５に保持された半導体レーザー６を吸着し、良品にあってはパレット３に搬送し、不良品にあっては、図示しない不良品パレットに搬送する。
【００３３】
これらによりこの半導体試験装置１では、蓋７、コンタクトピンを突き上げるピストンが完全に退避しないうちに、ステージ４を回転させると、蓋７の回動機構、コンタクトピン等を損傷する恐れがある。またステージ４が所定位置に回転停止しないうちに、これらのシリンダを動作させると、このシリンダに係る構成が損傷する恐れがある。また蓋７、コンタクトピンを突き上げるピストンが完全に動作しないうちに、試験を開始し、また半導体レーザー６の搬入、搬出を開始すると、同様の事故が発生する恐れがある。
【００３４】
このため半導体試験装置１では、これらシリンダのピストン、ステージ４等に動作を確認するセンサが設けられ、シリンダについては、突き上げの完了、退避の完了を検出できるようになされ、またステージ４については、所定位置への回転停止を検出できるようになされている。また搬入機構９、搬出機構８においても、各動作の確認をセンサにより検出できるようになされ、これにより半導体試験装置１では、これらのセンサを介して可動部の状態を検出できるようになされている。
【００３５】
図１は、この半導体試験装置１の構成に係るブロック図である。この半導体試験装置１において、入出力回路（Ｉ／Ｏ）１１は、この半導体試験装置１の各可動部を可動し、またこの可動部の状態を取得する。すなわち入出力回路１１は、シリンダのピストン、ステージ４等の動作を確認するセンサ１２、搬入機構９、搬出機構８に設けられたセンサ１３による検出結果をコントローラ１４に通知する。また入出力回路１１は、コントローラ１４による制御によりステージ４を回転させるモータ１５を駆動し、また蓋７、コンタクトピンを突き上げるシリンダ１６を動作させる。
【００３６】
操作子１７は、試験プログラムの実行を指示し、またいわゆるマニュアル操作の操作子であり、ステージ４を回転させる操作子、コンタクトピンを半導体レーザー６に接触させる操作子等により構成される。インターフェース（Ｉ／Ｆ）１８は、この操作子１７の操作をコントローラ１４に通知する。
【００３７】
コントローラ１４は、操作子１７の操作により、さらには図示しない上位のコントローラからの指示により、この半導体試験装置１全体の動作を制御するコンピュータである。コントローラ１４は、これらの制御において、試験プログラムの実行が指示されると、メモリ１９に記録された試験プログラム２０を実行し、図２について上述した各部の動作を制御し、パレット２により供給される半導体レーザー６を順次試験する。
【００３８】
この試験プログラムによる処理において、コントローラ１４は、可動条件テーブル２１に記録された可動部の状態と、センサ１２、１３を介して検出される可動部の状態との比較結果に応じて、試験プログラム２０を逐次実行して各部の動作を制御する。
【００３９】
ここで可動条件テーブル２１は、図４に示すように、可動部の可動項目毎に、可動に必要な可動部の条件を記録して形成される。ここでこの可動部の可動項目は、プログラムによる可動対象に対応するように設定される。また可動に必要な可動部の条件は、可動により事故等の不都合を発生しない条件である。
【００４０】
具体的に、図２の構成において、ステージ４を回転させる場合、コンタクトピン、蓋７を突き上げるシリンダのピストンが全て退避していなければならないことにより、それぞれピストンの退避（図４においてシリンダＯＦＦにより示す）を検出する全てのセンサがオンとなっていることがモータ１５の駆動に係る条件として記述される。また同様に、搬入機構９、搬出機構８の動作を完了していなければならないことにより、この搬入機構９、搬出機構８の動作を完了（図４においてそれぞれ搬入機構ＯＦＦ、搬出機構ＯＦＦにより示す）を検出するセンサがオンとなっていることがモータ１５の駆動に係る条件として記述される。また同様に、それぞれ各ワーク毎に、シリンダ１６の可動に係る条件、試験の開始に係る条件、搬入機構９の可動に係る条件等が記録される。これに対して試験プログラム２０は、従来と同様にして作成されたプログラムである。
【００４１】
コントローラ１４においては、この試験プログラム２０の実行により入出力回路１１を介して可動部を可動させる場合、可動条件テーブル２１の対応する条件を満足する場合に限り、可動部を可動させる。
【００４２】
すなわち図５は、この試験プログラム２０において、シリンダ１６、モータ１５の制御に係るコントローラ１４の処理手順を示すフローチャートである。この場合、コントローラ１４は、一連の処理を実行してステップＳＰ１において、シリンダＡの駆動が試験プログラムにより指示されている場合、続くステップＳＰ２において、センサ１２、１３により検出される可動部の状態と、可動条件テーブル２１の対応する条件との比較により、可動可能か否か判断する。
【００４３】
ここで否定結果が得られると、コントローラ１４は、ステップＳＰ２からステップＳＰ３に移り、アラームを出力してこの処理手順を終了する。これに対してステップＳＰ２で肯定結果が得られると、ステップＳＰ２からステップＳＰ４に移り、試験プログラム２０に記述されたシリンダＡの駆動を入出力回路１１を介して指示する。
【００４４】
また続くステップＳＰ５において、この駆動の指示に対応するシリンダＡの動作がセンサ１２により検出されるのを待機した後、続くステップＳＰ６において、測定の間、所定時間待機する。また続くステップＳＰ７において、例えばこのシリンダＡによるピストンの退避が試験プログラム２０に記述されている場合、続くステップＳＰ８において、センサ１２、１３により検出される可動部の状態と、可動条件テーブル２１の対応する条件との比較により、可動可能か否か判断する。
【００４５】
ここで否定結果が得られると、コントローラ１４は、ステップＳＰ８からステップＳＰ９に移り、アラームを出力してこの処理手順を終了する。これに対してステップＳＰ８で肯定結果が得られると、ステップＳＰ８からステップＳＰ１０に移り、試験プログラム２０に記述されたシリンダＡの駆動を入出力回路１１を介して指示する。
【００４６】
また同様にして、続くステップＳＰ１１において、モータ１５の駆動によるステージ４の回転が試験プログラム２０により指示されている場合、続くステップＳＰ１２において、センサ１２、１３により検出される可動部の状態と、可動条件テーブル２１の対応する条件との比較により、モータ１５を可動可能か否か判断する。
【００４７】
ここで否定結果が得られると、コントローラ１４は、ステップＳＰ１２からステップＳＰ１３に移り、アラームを出力してこの処理手順を終了する。これに対してステップＳＰ１２で肯定結果が得られると、ステップＳＰ１２からステップＳＰ１４に移り、試験プログラム２０に記述されたモータ１５の駆動を入出力回路１１を介して指示し、ステップＳＰ１５に移って続く処理を実行する。
【００４８】
またコントローラ１４は、操作子１７の操作によりオペレータがマニュアル操作により可動部を可動させる場合、同様に、センサ１２、１３により検出される可動部の状態と、可動条件テーブル２１の対応する条件との比較により、操作子１７の操作に応動して可動部を可動可能か否か判断し、可動困難な場合には、可動を中止してアラームを出力する。これに対して可動可能な場合、操作子１７の操作に応動して可動部を可動させる。
【００４９】
（１−２）第１の実施の形態の動作
以上の構成において、この試験装置１では（図１及び図２）、オペレータによる操作子１７の操作により試験プログラム２０の実行が指示されると、メモリ１９に記録された試験プログラム２０がコントローラ１４により逐次実行され、パレット２を介して供給される半導体レーザー６が搬入機構９によりステージ４に順次セットされる。またこのステージ４が所定角度単位で間欠的に回転してこの半導体レーザー６が試験され、搬出機構８によりパレット３に搬出される。
【００５０】
試験装置１では、このようにして試験プログラム２０を逐次実行して可動部を可動する際に、可動条件テーブル２１に記録された対応する可動項目の条件と、このセンサ１２、１３を介して検出される可動部の状態との比較により、可動部の状態が対応する可動項目の条件を満足するか否か判断される。またこの条件を満足する場合に限り、入出力回路１１を介して可動部が可動され、この条件を満足しない場合には、試験プログラム２０の実行が中止され、オペレータに警告が発せられる。
【００５１】
これにより試験装置１では、可動部の動きを十分に考慮しないで試験プログラム２０が作成されている場合、さらには試験プログラム２０にバグ、ミスがある場合でも、さらには可動部側が故障した場合でも、例えばピストンがステージ４に衝突する等の事故の発生を有効に回避することができる。またオペレータにおいては、このようなアラームの発生により、試験プログラム２０において実行が中止された記述を可動条件テーブル２１の対応する記述により確認して記述し直すことにより、ミス、バグを修正することができ、これにより簡易かつ確実に試験プログラム２０を作成することができる。
【００５２】
実際上、この種の試験プログラム２０においては、可動部の設計者が可動条件テーブル２１に記録された可動の条件を最も良く把握しているにもかかわらず、この機構設計者以外の者が作成する。これによりプログラムの作成に時間を要し、ミスが発生する場合がある。また待ち時間等のマージンを多く設定し過ぎて、処理の効率が低下する場合もある。さらに可動部が多岐に渡る場合等にあっては、プログラムが複雑になることにより、一段とミスが発生し易くなる。
【００５３】
しかしながらこの実施の形態のように、可動条件テーブル２１を参照しながら試験プログラム２０を実行するようにすれば、この可動条件テーブル２１を機構設計者側で作成して提供することにより、可動部側の動作に十分な知識を有していない場合でも、簡易かつ確実に効率の良い試験プログラム２０を作成することが可能となる。
【００５４】
（１−３）第１の実施の形態の効果
以上の構成によれば、可動部の可動に必要な可動部の条件を記録して保持し、この記録を参照してプログラムを実行することにより、簡易かつ確実に試験装置等のプログラムを作成することができる。
【００５５】
またこのときプログラムによる可動部の可動を中止することにより、事故の発生を有効に回避することができる。
【００５６】
またこの可動部の条件をテーブルの形式により提供することにより、簡易に、このような可動に必要な可動部の条件を記録することができる。
【００５７】
また操作子１７の操作に応動して可動する際にも、この可動条件テーブルを参照することにより、いわゆるマニュアル操作における誤操作を併せて防止することができる。
【００５８】
（２）第２の実施の形態
この実施の形態においては、試験プログラムの作成ツールに本発明を適用する。ここでこの作成ツールにおいては、コンピュータの試験プログラム作成プログラムであり、第１の実施の形態について上述した可動条件テーブルを保持するようになされている。
【００５９】
この実施の形態では、このコンピュータ上のオペレータによる入力により、単に可動部の可動を順次記述した基本プログラムが作成される。この試験プログラム作成プログラムにおいては、この基本プログラムに記述された可動部の可動について、第１の実施の形態について上述した可動条件テーブルを参照し、可動の条件をこの基本プログラムに組み込んで試験プログラムを作成する。
【００６０】
すなわち第１の実施の形態について上述した半導体試験装置１についての試験プログラムを作成する場合に、例えばステージ４のモータ１５を可動する記述にあっては、可動条件テーブル２１の対応する記述より、可動の条件である全ピストンの退避がセンサにより検出されること、搬入機構９、搬出機構８の動作の完了をセンサにより検出されることが条件であることにより、このような条件文をモータ可動の実行文に追加する。
【００６１】
この実施の形態によれば、可動部の可動に必要な可動部の条件に応じてプログラムを作成することにより、簡易かつ確実に試験装置等のプログラムを作成することができる。
【００６２】
（３）他の実施の形態
なお上述の実施の形態においては、テーブルの形式により可動部の条件を保持する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、プログラムの形式により保持する場合等、保持方法にあっては種々の方法を広く適用することができる。
【００６３】
また上述の実施の形態においては、センサで検出される可動部の状態を、メモリに記録した可動部の条件との比較により、試験プログラムを逐次実行して必要に応じて可動を中止する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば可動部の条件を満足するまで待機して可動させるようにしてもよい。
【００６４】
また上述の実施の形態においては、試験装置のコントローラにより可動部の動作を制御する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばシーケンサによる制御にも広く適用することができる。
【００６５】
また上述の実施の形態においては、本発明を半導体レーザーの試験装置に適用する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、種々の半導体試験装置、試験装置以外の種々の可動装置に広く適用することができる。
【００６６】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、可動部の可動に必要な可動部の条件を記録して保持し、この記録を参照してプログラムを実行することにより、又はこの記録を参照してプログラムを作成することにより、簡易かつ確実に試験装置等のプログラムを作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る試験装置を示すブロック図である。
【図２】図１の試験装置の可動部を示す平面図である。
【図３】図２のステージにおける半導体レーザーの収納箇所を示す断面図である。
【図４】可動条件テーブルを示す図表である。
【図５】図１の試験装置におけるコントローラの動作の説明に供するフローチャートである。
【符号の説明】
１……半導体試験装置、４……ステージ、８……搬出機構、９……搬入機構、１２、１３……センサ、１４……コントローラ、１５……モータ、１６……シリンダ、２０……試験プログラム、２１……可動条件テーブル
【図１】
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【図２】
2004199235.tif 000004
【図３】
2004199235.tif 000005
【図４】
2004199235.tif 000006
【図５】
2004199235.tif 000007