(57)【要約】【課題】被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を連続的に効率よく施すことができ、その複数種類の処理の組み合わせの変更や追加が可能であり、スムーズに連続処理が行える連続処理装置および連続処理方法を提供すること。【解決手段】被処理体１４の処理対象面１７に対して複数種類の処理を連続的に施すための連続処理装置１０であり、被処理体１４を保持して被処理体１４を搬送方向Ｔに沿って搬送するための被処理体搬送部２０と、被処理体１４の搬送方向Ｔに沿って並べて配列されて、被処理体１４に対して大気圧または大気圧近傍の圧力下でそれぞれ異なる処理を順次施すための複数種類の処理ユニット５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７とを備え、複数種類の処理ユニットの種類は、組み合わせの変更および追加が自在である。【選択図】  図１
2004277238.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を連続的に施すための連続処理装置であり、
前記被処理体を保持して前記被処理体を搬送方向に沿って搬送するための被処理体搬送部と、
前記被処理体の前記搬送方向に沿って並べて配列されて、前記被処理体の前記処理対象面に対して大気圧または大気圧近傍の圧力下でそれぞれ異なる処理を順次施すための複数種類の処理ユニットと、を備え、
前記複数種類の処理ユニットの種類は、組み合わせの変更および追加が自在であることを特徴とする連続処理装置。
【請求項２】
前記被処理体搬送部は、前記被処理体の前記処理対象面とは反対側の保持対象面を着脱自在に吸着して保持する吸着部と、前記吸着部を前記搬送方向にガイドするガイド部材と、前記吸着部を前記ガイド部材に沿って移動させる駆動部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の連続処理装置。
【請求項３】
前記被処理体搬送部は、前記被処理体の前記処理対象面を下向きにした状態で搬送し、前記複数種類の処理ユニットは、前記被処理体の前記処理対象面に対して上向きに処理動作を行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の連続処理装置。
【請求項４】
前記複数種類の処理ユニットは、洗浄処理ユニット、乾燥処理ユニット、表面改質処理ユニット、液剤塗布処理ユニット、アニール処理ユニットを含むことを特徴とする請求項３に記載の連続処理装置。
【請求項５】
前記被処理体は、表示装置の基板であることを特徴とする請求項４に記載の連続処理装置。
【請求項６】
被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を連続的に施すための連続処理方法であり、
前記被処理体を保持して前記被処理体を搬送方向に沿って搬送しながら、前記被処理体の前記搬送方向に沿って並べて配列された複数種類の処理ユニットを用いて、前記被処理体の前記処理対象面に対して大気圧または大気圧近傍の圧力下でそれぞれ異なる処理を順次施す際に、前記被処理体の種類に応じて前記複数種類の処理ユニットの種類の組み合わせが変更および追加自在であることを特徴とする連続処理方法。
【請求項７】
前記被処理体搬送部は、前記被処理体の前記処理対象面を下向きにした状態で搬送し、前記複数種類の処理ユニットは、前記被処理体の前記処理対象面に対して上向きに処理動作を行うことを特徴とする請求項６に記載の連続処理方法。
【請求項８】
前記複数種類の処理ユニットは、洗浄処理ユニット、乾燥処理ユニット、表面改質処理ユニット、液剤塗布処理ユニット、アニール処理ユニットを含むことを特徴とする請求項７に記載の連続処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理体の処理対象面に対して任意の複数種類の処理を連続的に施すための連続処理装置および連続処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
被処理体として、たとえば液晶表示体に用いられる原料ガラス板を例に挙げる。このガラス板は、液晶表示体の大型化に伴い急速に大型化してきている。大型のガラス板に対して各種のプロセス処理を行うために、大型のプロセス処理や工場が必要となっている。
従来のこの種の液晶表示体の製造装置は、液晶パネルの端子部分に対して混合気体を供給しながらプラズマを形成することにより、端子部分の配向膜や絶縁膜を選択的に除去するのに用いられている（たとえば特許文献１。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平８−２５４６７６号公報（第３頁、図１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来このような被処理体に対して処理を施す製造装置は、１種類の処理を被処理体に施すようになっている。各々異なる処理ができる製造装置を単純に並べて処理システムを構成しても、処理システムが大型化してしまい、被処理体に対して複数種類の処理を連続的に効率よく施すことができない。このため、製品コストの低減やスループットの向上が図れない。
そこで本発明は上記課題を解消し、被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を連続的に効率よく施すことができ、その複数種類の処理の組み合わせの変更や追加が可能であり、スムーズに連続処理が行える連続処理装置および連続処理方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の連続処理装置は、被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を連続的に施すための連続処理装置であり、前記被処理体を保持して前記被処理体を搬送方向に沿って搬送するための被処理体搬送部と、前記被処理体の前記搬送方向に沿って並べて配列されて、前記被処理体に対して大気圧または大気圧近傍の圧力下でそれぞれ異なる処理を順次施すための複数種類の処理ユニットと、を備え、前記複数種類の処理ユニットの種類は、組み合わせの変更および追加が自在であることを特徴とする。
【０００６】
このような構成によれば、被処理体搬送部は、被処理体を保持して被処理体を搬送方向に沿って搬送することができる。
複数種類の処理ユニットは、被処理体の搬送方向に沿って並べて配列されている。複数種類の処理ユニットは、被処理体に対して大気圧または大気圧近傍の圧力下でそれぞれ異なる処理を順次施すようになっている。そして、この複数種類の処理ユニットの種類は、組み合わせの変更および追加が自在になっている。この場合、被処理体の処理対象面は、上向き状態でも下向き状態でもよい。
【０００７】
これにより、複数種類の処理ユニットの種類の組み合わせが変更または追加できるので、被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を行う場合に、必要とする複数種類の処理の組み合わせの変更や追加ができる。したがって、連続処理装置は、被処理体の種類に応じて連続処理の仕方を簡単かつ確実に変更できる。
【０００８】
上記構成において、前記被処理体搬送部は、前記被処理体の前記処理対象面とは反対側の保持対象面を着脱自在に吸着して保持する吸着部と、前記吸着部を前記搬送方向にガイドするガイド部材と、前記吸着部を前記ガイド部材に沿って移動させる駆動部と、を備えることを特徴とすることが望ましい。
このような構成によれば、吸着部は、被処理体の処理対象面とは反対側の保持対象面を着脱自在に吸着して保持する。ガイド部材は、吸着部を搬送方向にガイドするようになっている。駆動部はこのガイド部材に沿って吸着部を移動させる機能を有している。
これにより、被処理体は吸着部により吸着されながら駆動部によりガイド部材に沿って搬送方向に確実に移動できる。
【０００９】
上記構成において、前記被処理体搬送部は、前記被処理体の前記処理対象面を下向きにした状態で搬送し、前記複数種類の処理ユニットは、前記被処理体の前記処理対象面に対して上向きに処理動作を行うことを特徴とすることが望ましい。
このような構成によれば、複数種類の処理ユニットは、被処理体の処理対象面に対して上向きに処理動作を行う。
これによって、処理対象面に対する処理において液剤を用いる場合であっても、余分な液剤は重力の作用により処理対象面から落下させることができる。このことから、残留する余分な処理用の液体の量を減らせるので、後で行う処理に液体が悪影響を及ぼさない。
また、パーティクルが処理対象面に付着するのを少なくできる。しかも、毛細管現象を用いたスリットコートにより、処理対象面に液剤処理が行える。
【００１０】
上記構成において、前記複数種類の処理ユニットは、洗浄処理ユニット、乾燥処理ユニット、表面改質処理ユニット、液剤塗布処理ユニット、アニール処理ユニットを含むことを特徴とすることが望ましい。
このような構成によれば、被処理体の処理対象面は、洗浄、乾燥、表面改質、液剤塗布およびアニール処理を行うことができる。
【００１１】
上記構成において、前記被処理体は、表示装置の基板であることを特徴とすることが望ましい。
このような構成によれば、被処理体は表示装置の基板である。この表示装置の基板の処理対象面に対して、複数種類の処理が連続的に施せる。
【００１２】
本発明の連続処理方法は、被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を連続的に施すための連続処理方法であり、前記被処理体を保持して前記被処理体を搬送方向に沿って搬送しながら、前記被処理体の前記搬送方向に沿って並べて配列された複数種類の処理ユニットを用いて、前記被処理体に対して大気圧または大気圧近傍の圧力下でそれぞれ異なる処理を順次施す際に、前記被処理体の種類に応じて前記複数種類の処理ユニットの種類の組み合わせが変更および追加自在であることを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、被処理体搬送部は、被処理体を保持して被処理体を搬送方向に沿って搬送することができる。
複数種類の処理ユニットは、被処理体の搬送方向に沿って並べて配列されている。複数種類の処理ユニットは、被処理体に対して大気圧または大気圧近傍の圧力下でそれぞれ異なる処理を順次施すようになっている。そして、この複数種類の処理ユニットの種類は、組み合わせの変更および追加が自在になっている。この場合、被処理体の処理対象面は、上向き状態でも下向き状態でもよい。
【００１４】
これにより、複数種類の処理ユニットの種類の組み合わせが変更または追加できるので、被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を行う場合に、必要とする複数種類の処理の組み合わせの変更や追加ができる。したがって、連続処理装置は、被処理体の種類に応じて連続処理の仕方を簡単かつ確実に変更できる。
【００１５】
上記構成において、前記被処理体搬送部は、前記被処理体の前記処理対象面を下向きにした状態で搬送し、前記複数種類の処理ユニットは、前記被処理体の前記処理対象面に対して上向きに処理動作を行うことを特徴とすることが望ましい。
このような構成によれば、複数種類の処理ユニットは、被処理体の処理対象面に対して上向きに処理動作を行う。
これによって、処理対象面に対する処理において液剤を用いる場合であっても、余分な液剤は重力の作用により処理対象面から落下させることができる。このことから、残留する余分な処理用の液体の量を減らせるので、後で行う処理に液体が悪影響を及ぼさない。
また、パーティクルが処理対象面に付着するのを少なくできる。しかも、毛細管現象を用いたスリットコートにより、処理対象面に液剤処理が行える。
【００１６】
上記構成において、前記複数種類の処理ユニットは、洗浄処理ユニット、乾燥処理ユニット、表面改質処理ユニット、液剤塗布処理ユニット、アニール処理ユニットを含むことを特徴とすることが望ましい。
このような構成によれば、被処理体の処理対象面は、洗浄、乾燥、表面改質、液剤塗布およびアニール処理を行うことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の連続処理装置の好ましい実施形態を示している。
図１に示す連続処理装置１０は、被処理体搬送部２０、そして処理ユニット群２５を有している。
第１の実施形態
連続処理装置１０は、被処理体１４の処理対象面１７に対して、任意の組み合わせの複数種類の処理を連続的に施すための装置である。
【００１８】
まず連続処理装置１０の被処理体搬送部２０について説明する。
図１に示す被処理体搬送部２０は、被処理体１４の保持対象面４０を吸着しながら搬送方向Ｔに沿って搬送するための装置である。
被処理体搬送部２０は、吸着部３０、サポート３１、真空発生部３３、駆動部３５、そしてガイド部材３８を有している。
【００１９】
吸着部３０は、被処理体１４の保持対象面４０を、着脱可能に吸着するための部分である。この吸着部３０は、真空発生部３３に接続されている。真空発生部３３が作動することにより、吸着部３０は、被処理体１４の保持対象面４０を着脱可能に真空吸着するようになっている。真空発生部３３の作動を止めると、吸着部３０は保持対象面４０を吸着状態から解放して取り外せる。
【００２０】
サポート３１は、吸着部３０をガイド部材３８に対して吊り下げるようにして保持している。ガイド部材３８は搬送方向Ｔに平行方向に固定されている。
駆動部３５は、このサポート３１をガイド部材３８に沿って搬送方向Ｔに沿って移動させるためのたとえば電動モータのようなアクチュエータである。
これによって、駆動部３５が作動すると、吸着部３０が搬送方向Ｔへガイド部材３８に沿って直線移動可能になっている。
【００２１】
ここで、被処理体１４の一例について説明する。
被処理体１４は、たとえば大型の液晶表示体に用いられるガラス基板である。被処理体１４の大きさとしては、たとえば縦の長さおよび横の長さが少なくとも一方が１．５ｍ以上を有するような大型の基板である。
この被処理体１４の処理対象面１７は、下向きになるように保持されており、保持対象面４０とは反対側の面である。この処理対象面１７に対して、処理ユニット群２５を用いて任意の組み合わせの複数種類の処理を連続的に施せるようになっている。
【００２２】
次に、図１に示す処理ユニット群２５について説明する。
処理ユニット群２５は、配列ベース部５０と複数種類の処理ユニットを有している。図１に示す複数種類の処理ユニットは、洗浄処理ユニット５１、乾燥処理ユニット５２、親液処理ユニット５３、撥液処理ユニット５４、液剤塗布処理ユニット５５、乾燥処理ユニット５６、そしてアニール処理ユニット５７を含んでいる。
洗浄処理ユニット５１、乾燥処理ユニット５２、親液処理ユニット５３、撥液処理ユニット５４、液剤塗布処理ユニット５５、乾燥処理ユニット５６、そしてアニール処理ユニット５７は、配列ベース部５０の上において、搬送方向Ｔに沿って順次配列されている。
【００２３】
洗浄処理ユニット５１、乾燥処理ユニット５２、親液処理ユニット５３、撥液処理ユニット５４、液剤塗布処理ユニット５５、乾燥処理ユニット５６、アニール処理ユニット５７は、特徴的なのは、配列ベース５０の上において、その配列順序を変更したり、ある処理ユニットを別の処理ユニットと交換したり、あるいは別の処理ユニットを追加できることである。
たとえば図１においては、親液処理ユニット５３と撥液処理ユニット５４は表面改質ユニット群５８を構成しているが、親液処理ユニット５３と撥液処理ユニット５４の順序を前後に入れ替えることも可能である。つまり、撥液処理ユニット５４が搬送方向Ｔの上流側に位置し、親液処理ユニット５３が搬送方向Ｔにおける下流側に位置させるのである。
いずれにしても、洗浄処理ユニット５１、乾燥処理ユニット５２、親液処理ユニット５３、撥液処理ユニット５４、液剤塗布処理ユニット５５、乾燥処理ユニット５６、そしてアニール処理ユニット５７は、搬送方向Ｔに搬送される処理対象面１７に対する処理順序を変更することが可能である。
【００２４】
本発明の第１の実施形態では、洗浄処理ユニット５１、乾燥処理ユニット５２、親液処理ユニット５３、撥液処理ユニット５４、液剤塗布処理ユニット５５、乾燥処理ユニット５６、そしてアニール処理ユニット５７は、これらのユニットが処理対象面１７の下側に位置していることである。
このように、処理対象面１７の下側に各処理ユニット５１〜５７が位置していることにより、たとえば液剤を処理対象面１７に対して吹き付けて供給する場合において、処理対象面１７の余分な液剤が処理対象面１７から重力により落下する。このために残留する余分な液体の量を減らすことができ、落下した液剤は積極的に回収することができる。しかも、残留する余分な液体の量が減るか、もしくはなくなるので、その後工程のユニットが所定の処理を行う場合にその液体が邪魔になることがない。
また、パーティクルが処理対象面に付着するのを少なくできる。しかも、毛細管現象を用いたスリットコートにより、処理対象面に液剤処理が行える。
【００２５】
次に、上述した洗浄処理ユニット５１、乾燥処理ユニット５２、親液処理ユニット５３、撥液処理ユニット５４、液剤塗布処理ユニット５５、乾燥処理ユニット５６、そしてアニール処理ユニット５７のそれぞれの具体的な構造例を説明する。
図２は、図１に示す洗浄処理ユニット５１の具体的な構造例を示している。
洗浄処理ユニット５１は、被処理体１４の処理対象面１７に対して洗浄液６０を供給して処理対象面１７を洗浄する装置である。洗浄液６０はタンク６１に収容されている。タンク６１の洗浄液６０は、ノズル６３を通じて、たとえば噴射各θの角度で矢印６０で示すように処理対象面１７に対して吹き付けるようになっている。角度θはたとえば４５度よりも小さい角度である。
【００２６】
吹き付けられた洗浄液６０は、破線の矢印６４で示すように落下して、回収タンク６５に回収されるようになっている。この洗浄液６０は、処理対象面１７に吹き付けられた後に、回収経路６６を通じて回収タンク６５に重力により落下することで回収される。
この回収経路６６は、ノズル６３の傾斜端面６７と対向面６８により形成されている。この対向面６８は、処理対象面１７の付近に傾斜面６９を有している。これによって、ノズル６３から噴射された洗浄液が処理対象面１７を洗浄した後に、残った余分な洗浄液６０は回収タンク６５に確実に回収できる。しかもノズル６３は対向面７０を有している。この対向面７０が設けられていることによりノズル６３が発射した洗浄液６０が回収経路６６の外に漏れるのを防止する。回収経路６６を形成している上端面７２は、処理対象面１７に対して所定のギャップをもって配置されている。
また、洗浄液６０が、回収経路６６を通じて破線の矢印６４で示すように落下するようになっているが、この回収経路６６を負圧にして排気する構成とすることで、搬送方向（進行方向）Ｔ前後への洗浄液６０の漏洩をなくすか、または軽減することができる。
【００２７】
次に、図１に示す乾燥処理ユニット５２について説明する。
乾燥処理ユニット５２の構造例は、図３に示している。乾燥処理ユニット５２は、ドライエアー供給部７６と、冷却ユニット７７，７８を有している。ドライエアー供給部７６は、供給経路８０を通じて、処理対象面１７に直接ドライエアーを吹き付けるようになっている。吹き付けられたドライエアーは、処理対象面１７を乾燥させた後に、破線の矢印７９で示す方向に沿って、すなわち下方向に向けて回収経路８１に導かれて回収される。
【００２８】
供給経路８０は壁部８２により形成されている。回収経路８１は側壁８３により形成されている。側壁８３には、冷却ユニット７７，７８がそれぞれ設けられている。冷却ユニット７７は搬送方向Ｔに関して上流側に位置し、冷却ユニット７８は下流側に位置している。これにより、冷却ユニット７７，７８は側壁８３を冷却することによって、側壁８３の余熱が処理対象面１７に対して余分な熱を加えるのを防ぐことができる。
ドライエアー供給部７６、供給経路８０および回収経路８１に代えて、次のようにすることもできる。すなわち、たとえば発熱用の電熱線を処理対象面１７に対面させて配置して、この電熱線が処理対象面１７を加熱するようにしてもよい。
【００２９】
次に、図１に示す親液処理ユニット５３と撥液処理ユニット５４について説明する。
図４は、親液処理ユニット５３の具体的な構造例を示しており、図５は、撥液処理ユニット５４の具体的な例を示している。
親液処理ユニット５３と撥液処理ユニット５４は、同じ構造のいわゆる大気圧プラズマ処理装置である。
大気圧プラズマ処理装置は、大気圧または大気圧近傍の圧力下で、プラズマ放電領域を発生させる。このプラズマ放電領域では、処理ガス（反応ガスともいう）の励起活性種が生成されるので、この励起活性種により被処理体１４の処理対象面１７に対して親液処理を行ったり撥液処理を行うことができる。
【００３０】
まず図４の親液処理ユニット５３について説明する。
親液処理ユニット５３は、被処理体１４の下側にある処理対象面１７に対して親液処理するための装置である。
親液処理ユニット５３は、第１電極９０と第２電極９１および誘電体９２を有している。第１電極９０は高周波交流電源９３に接続されている。高周波交流電源９３は接地されている。第２電極９１は接地されている。誘電体９２は第１電極９０と第２電極９１の間に配置されている。
第２電極９１は、開口部９４を有している。この開口部９４の内側には、第２電極９１の沿面放電によりプラズマ放電領域９５を破線で示すように形成できる。このプラズマ放電領域９５に対して、ガス供給部９６から混合ガスが供給される。混合ガスは、キャリアガスと反応ガスを混合したものである。キャリアガスとしては、たとえばＨｅであり反応ガスとしてはＯ２である。これにより、プラズマ放電領域９５では、反応ガスの励起活性種が生成されて、その励起活性種により、処理対象面１７には親液処理を行って親水性が付与される。
【００３１】
図５の撥液処理ユニット５４は、図４の親液処理ユニット５３と構造は同じであり、その動作も同じである。撥液処理ユニット５４は第１電極９０Ａ、第２電極９１Ａ、誘電体９２Ａ、高周波交流電源９３Ａを有している。第２電極９１Ａの開口部９４Ａには、第２電極９１Ａの沿面放電により破線で示すようなプラズマ放電領域９５Ａが形成される。このプラズマ放電領域９５Ａにはガス供給部９６Ａから混合ガスが供給される。混合ガスのキャリアガスは、たとえばＨｅであり反応ガスとしてはＣＦ４である。
【００３２】
これによって、プラズマ放電領域９５Ａには反応ガスの励起活性種が生成されて、この励起活性種により、処理対象面１７に対して撥液処理を行って、撥水性が付与される。
図４と図５に示す親液処理ユニット５３および撥液処理ユニット５４は、ともに大気圧または大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電領域を形成することができ、構造が簡単である。
【００３３】
次に、図１に示す液剤塗布処理ユニット５５について説明する。
図６は、液剤塗布処理ユニット５５の具体的な構造例を示している。
液剤塗布処理ユニット５５は、タンク１００とノズル１０１を有している。タンク１００の中には液剤１０３が収容されている。この液剤１０３は、ノズル１０１に供給されることにより、被処理体１４の処理対象面１７に対して供給される。ノズル１０１の先端は、処理対象面１７から所定のギャップで配置されている。このノズル１０１は、いわゆる毛細管現象を利用して重力に抗して液剤１０３を処理対象面１７に上向きに付着して塗布する。
つまり、被処理体１４の処理対象面１７が下向き状態であるので、この塗布方式が使用できるというメリットがある。もし、処理対象面１７が上向き状態であると、この塗布方式の採用は困難になる。このノズル１０１を用いる液剤の塗布の方式は、スリットコートなどと呼ばれている。
【００３４】
このようなノズル１０１を用いることにより、液剤１０３が、親液処理ユニット５３で処理した親液部分にしか付かないようにできる。つまり、処理対象面１７の吸着力と、ノズル１０１の毛細管現象を利用して、液が微細な領域の親液処理部分のみに塗布できるようになっている。
図１に示す制御部３００は、駆動部３５、真空発生部３３、洗浄処理ユニット５１、乾燥処理ユニット５２、親液処理ユニット５３、撥液処理ユニット５４、液剤塗布処理ユニット５５、乾燥処理ユニット５６、そしてアニール処理ユニット５７のそれぞれのユニットの動作を制御できるようになっている。
【００３５】
次に、図１に示す連続処理装置１０により、被処理体１４の処理対象面１７に対して、任意の複数種類の処理を連続的に施すための連続処理方法の例について説明する。
図７は、連続処理方法の一例を示すフロー図である。この連続処理方法を説明する前に、被処理体１４の具体的な一例について説明する。被処理体１４は、図８に示す液晶表示装置（液晶表示体ともいう）を構成するガラス基板である。
【００３６】
図９に示す液晶表示装置１３５は、いわゆる１画素分を示している。そこで、液晶表示装置１３５の構造例についてここで簡単に説明しておく。
液晶表示装置１３５は、ＴＦＴアレイ基板１５６と、カラーフィルタ基板１４０および液晶層１５０を有している。ＴＦＴアレイ基板１５６は、液晶駆動用スイッチング素子であるＴＦＴ１５８および表示電極１５２を、ガラス基板である被処理体１４の処理対象面１７に形成したものである。
カラーフィルタ基板１４０は、ガラス基板１４２の上にカラーフィルタ１４４および保護膜１４６を形成することで構成されている。そして保護膜１４６の上には、共通電極１４８が形成されている。
【００３７】
図９の液晶層１５０は、ＴＦＴアレイ基板１５６とカラーフィルタ基板１４０をシール材を用いて貼り合わせた後に、両者の隙間に液晶を注入して形成される。表示電極１５２と共通電極１４８の間には電圧が印加される。これによって、液晶分子１５１の再配列が起こり、光を透過または遮断するようになる。この操作は、液晶表示装置１３５の各画素について行うことにより、液晶表示装置は画像を表示できる。
表示電極１５２および共通電極１４８は、透明導電膜であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）の被膜が用いられている。
【００３８】
次に、図７に示すフロー図を基にして、図１に示す被処理体１４の処理対象面１７に対して任意の複数種類の処理を連続的に施す連続処理方法について説明する。
図７のフロー図では、前処理ステップＳＴ１からアニール処理ステップＳＴ８までを含んでいる。
前処理ステップＳＴ１では、後で説明する親液処理および撥液処理を行うための親液および撥液処理パターンの形成が、処理対象面１７に感光性樹脂によるパターン形成膜（たとえばフォトレジスト膜）を形成することにより行われる。
【００３９】
次に、図７に示す洗浄処理ステップＳＴ２からアニール処理ステップＳＴ８まで行う。
図１に示す被処理体１４は吸着部３０により真空吸着して保持される。駆動部３５が作動することにより、被処理体１４と吸着部３０は搬送方向Ｔに向けてガイド部材３８に沿って搬送されていく。
この場合に、処理対象面１７が下側に向くように、被処理体１４の保持対象面４０が吸着部３０に吸着されている。したがって、処理対象面１７は処理ユニット群２５側に向いている。処理ユニット群２５の各処理ユニット５１乃至５７は、それぞれ処理対象面１７に対して上向きに処理できる。
処理ユニット群２５の各処理ユニット５１乃至５７は、ライン状になるように配列ベース５０の上に着脱可能に配列されている。
【００４０】
図１の例では親液処理ユニット５３が、撥液処理ユニット５４の上流側に位置している。洗浄処理ユニット５１と親液処理ユニット５３の間に乾燥処理ユニット５２が配列されている。親液処理ユニット５３と撥液処理ユニット５４は、大気圧プラズマ処理ユニットである。液剤塗布処理ユニット５５は撥液処理ユニット５４の下流側に位置している。液剤塗布処理ユニット５５とアニール処理ユニット５７の間には乾燥処理ユニット５６が配置されている。この乾燥処理ユニット５６と乾燥処理ユニット５２は、図３に示すような同じ構造のものを採用できる。
【００４１】
まず図７に示す洗浄処理ステップＳＴ２では、図２に示すように処理対象面１７に対してノズル６３が洗浄液６０を噴射する。これによって処理対象面１７は洗浄液６０により洗浄される。洗浄に使った後の洗浄液は回収タンク６５に外部に漏れることなく回収できる。このようなことから、洗浄液の回収効率を上げることが可能である。
【００４２】
次に、図７に示す第１乾燥処理ステップＳＴ３に移る。
第１乾燥処理ステップＳＴ３では、図３に示す乾燥処理ユニット５２のドライエアー供給部７６が、供給経路８０を通じてドライエアーを洗浄済みの処理対象面１７に対して供給する。
これによって処理対象面１７に残った洗浄液を蒸発させて、処理対象面１７を乾燥させることができる。乾燥に使ったドライエアーは、回収経路８１を通じて処理対象面１７から離れる方向、すなわち下側方向に回収されることになる。
この場合に冷却ユニット７７，７８が側壁８３を冷却しているので、側壁８３がドライエアーにより加熱されることによる余熱が冷却により除去される。したがってこの側壁８３の余熱はなくすことができるので、処理対象面１７に熱による余分な悪影響が生じない。
【００４３】
次に、図７の親液処理ステップＳＴ４に移る。
図８（Ａ）では、被処理体１４の処理対象面１７には既に述べた図７の前処理ステップＳＴ１において、感光性樹脂のパターン形成膜２００が形成されている。この感光性樹脂のパターン形成膜２００には穴２０１が予め形成されている。
親液処理ステップＳＴ４では、この感光性樹脂のパターン形成膜２００の穴２０１には、図４に示す親液処理ユニット５３が大気圧プラズマ処理によるＯ２プラズマにより親液処理部２１０を形成する。図４に示す親液処理ユニット５３が発生するプラズマ放電領域８５において、反応ガスの励起活性種が生成される。この励起活性種、処理対象面１７の穴２０１の位置に親液処理部（親液膜）２１０を形成する。
【００４４】
次に、図７の撥液処理ステップＳＴ５に移る。
撥液処理ステップＳＴ５では、図５に示す撥液処理ユニット５４が、大気圧プラズマ処理によるＣＦ４プラズマによりたとえば図８（Ｂ）に示すように感光性樹脂のパターン形成膜２００の表面に対して、撥液処理部２３０を形成する。この場合には、図５に示す撥液処理ユニット５４が発生するプラズマ放電領域９５において、反応ガスの励起活性種が生成される。この励起活性種は、感光性樹脂のパターン形成膜２００の表面に撥液処理部（撥液膜）２３０を形成する。
このようにして、被処理体１４の処理対象面１７側には、大気圧プラズマ処理により、図８（Ａ）に示す親液処理部２１０と図８（Ｂ）に示す撥液処理部２３０が順次形成される。
【００４５】
次に、図７に示す液剤塗布処理ステップＳＴ６に移る。
液剤塗布処理ステップＳＴ６では、たとえば図８（Ｃ）に示すように親液処理部２１０に対して液剤１０３を塗布する。すなわち液剤１０３は、穴２０１に対して充填される。この液剤塗布処理ステップＳＴ６は、図６に示す液剤塗布処理ユニット５５により行う。液剤１０３は、ノズル１０１を通じて処理対象面１７に対してしかも図８（Ｃ）に示す穴２０１に対して選択的に塗布される。この液剤１０３は、親液処理部２１０に対して形成される。この液剤１０３としては、たとえば液晶パネルの透明電極を構成するためのＩＴＯ膜である場合には、たとえば粒径０．１μｍ以下のＩＴＯの微粉末を溶媒に分散したものや、ジブチルスズジアセテート（ＤＢＴＤＡ）およびインジウムアセチルアセテート（ＩｎＡＡ）をアセチルアセトンなどの有機溶媒に溶解したものを使用することができる。
【００４６】
次に、図７の第２乾燥処理ステップＳＴ７に移る。
第２乾燥処理ステップＳＴ７では、図３に示すドライエアー供給部７６からドライエアーが処理対象面１７に供給される。これによって処理対象面１７の液剤１０３の乾燥が行われる。
次に、図７のアニール処理ステップＳＴ８では、図８（Ｃ）の表面にアニール処理（焼成および感光性樹脂のパターン形成膜の除去）を行う。これによって、図８（Ｄ）に示すように液剤１０３と感光性樹脂のパターン形成膜２００のパターンが形成される。その後、図８（Ｅ）に示すように、感光性樹脂のパターン形成膜２００の除去が行われて、液剤１０３による表示電極１５２のパターンが形成されることになる。
【００４７】
このようにして、図１に示す被処理体１４の処理対象面１７は、洗浄処理ユニット５１からアニール処理ユニット５７まで連続的に任意の組み合わせの複数種類の処理を施すことができる。
複数種類の処理ユニットの種類の組み合わせが変更または追加できるので、被処理体の処理対象面に対して複数種類の処理を行う場合に、連続処理装置は、被処理体の種類に応じて連続処理の仕方を簡単かつ確実に変更または追加できる。
【００４８】
被処理体搬送部２０は、被処理体１４の処理対象面１７を下向きにした状態で搬送方向Ｔに沿って搬送できる。このために、処理対象面は常に下向きで搬送されるので、この処理対象面１７に対して液体が供給された場合であっても、その余分な液体は落下させることにより処理対象面から簡単に除去することができ、余分な液体が処理対象面に残るのを防ぐ。このことから、この後に行われる処理対象面に対する処理に対してその液体が悪影響を及ぼすことがなく、スムーズに処理対象面に対する複数種類の処理を連続的に施すことができる。
【００４９】
図１の実施形態では、処理対象面１７は、洗浄、乾燥、親液処理、撥液処理、液剤塗布、乾燥およびアニール処理の順番で処理を行うことができる。しかしこれに限らず、処理対象面１７は、洗浄処理、乾燥処理、撥液処理、親液処理、液剤塗布処理、乾燥処理、アニール処理の順番で行っても勿論構わない。
また、図１０に示す本発明の第２の実施形態では、最後のアニール処理ユニット５７が、処理ユニット群２５からは別の外部に配置されている。つまり処理ユニット群２５のさらに搬送方向Ｔに対して下流側において別に配置されている。
このようにすることで、処理対象面１７は、洗浄、乾燥、親液、撥液、液剤、および乾燥処理を行った後に、処理対象面は、その全面にわたって１つのたとえば比較的大型のアニール処理ユニット５７を用いて、一度にアニール処理を行うようにすることもできる。
【００５０】
本発明の連続処理装置の実施形態では、洗浄処理ユニット５１からアニール処理ユニット５７まで、ライン状に配列ベース５０に対して着脱可能に配列できる。このために、必要に応じて処理ユニットの位置を搬送方向Ｔに対して上流側と下流側に交換できる。これは、被処理体１４の処理対象面１７に対して処理をする内容によって変更したりできる。
また必要に応じて処理ユニット群２５に対して不要な処理ユニットを取り除いたりあるいは別に必要な任意の処理ユニットを追加することも自在にできる。
【００５１】
被処理体１４は被処理体搬送部２０により搬送方向Ｔに沿って直線的に移動する。この場合に、被処理体１４は処理ユニット群２５のライン状に配列された処理ユニット５１乃至５７に沿って搬送していくことができる。このために、従来はたとえば大型の処理装置を７台配列すると、それぞれの処理装置の間で受け渡し用の搬送機構が必要である。
しかし図１に示す本発明の実施形態では、１つの被処理体搬送部２０が存在すれば、複数種類の処理ユニット５１乃至５７に対して処理対象面１７を対面させて各処理を処理対象面１７に連続的に施すことができる。
【００５２】
処理対象面１７が処理ユニット群２５に対して下向きに保持して搬送されるようになっているので、たとえば洗浄処理ユニット５１により洗浄する場合に余分な洗浄液が処理対象面１７に残らず重力により余分な洗浄液を落下させて除去できる。液剤塗布ユニット５５においても同様であり、余分な液剤が重力の作用により落下するので、余分な液剤の付着を簡単に解消することができる。親液処理ユニット５３および撥液処理ユニット５４においても、親液および撥液が処理対象面１７に供給する場合に、余分な親液および撥液を重力の作用により落下して回収することができる。
【００５３】
もし処理対象面１７が上側に位置していると、このように洗浄液や、親液、撥液、液剤の余分な量が、処理対象面１７に残ってしまうことが考えられ、しかも図６に示すようないわゆるスリットコート塗布方式により液剤を処理対象面１７に塗布することが、困難になる。
このように、本発明の連続処理装置の実施形態では、図７の前処理ステップＳＴ１が処理対象面１７に施された後に、被処理体１４は図１に示すように処理対象面１７が下側になるように吸着部３０に吸着させるようにしている。
【００５４】
本発明の連続処理装置の実施形態では、各処理ユニット５１乃至５７がライン状に配列されているので、被処理体１４の処理を行うための製造ラインの長さを極力短くすることができ、タクトの短縮が図れる。
被処理体１４は連続処理を行うことができるので、処理対象面１７を表面改質した後のプロセスが安定し、歩留まりの向上が期待できる。
被処理体１４の処理対象面１７は連続処理を行うので、各処理の間でそれぞれ洗浄工程を設ける必要がなくなる場合がある。
【００５５】
本発明の連続処理装置１０は、複合プロセス装置などとも呼んでいる。
被処理体１４がたとえば大型の液晶表示体に用いられる場合には大型化する。このような大型の被処理体１４を製造する場合には、処理対象面１７は各処理ユニットにより連続処理できるので、大幅な生産性の向上と設備負荷の軽減が実現できる。
本発明の連続処理装置は、全プロセスを大気圧または大気圧近傍の圧力下で処理できるので、真空雰囲気で行う処理に比べて、大幅にエネルギー効率の向上が図れる。
【００５６】
本発明の連続処理装置では、ある処理ユニットの処理能力と他の処理ユニットの処理能力を合わせるために、たとえばある処理ユニットを１台ではなく２台以上の複数台並べて配置することがある。
【００５７】
各処理ユニットの組み合わせが変更・追加できるので、プロセス変更に対応して柔軟に連続処理装置の機能を変更できる。処理ユニットの処理としては、洗浄処理、液切り処理、親液処理、撥液処理、アッシング処理、エッチング処理、プラズマ重合処理、液体成膜処理、乾燥処理、アニール処理などを含み、これらの処理の組み合わせは変更したり、追加したり交換できる。
【００５８】
本発明の連続処理装置では、各処理ユニットは、他の種類の処理ユニットと取り付けの互換性がある。たとえば、ある処理ユニットを一例としてインクジェット塗布ユニットと交換することができる。
本発明の連続処理装置の実施形態では、被処理体の処理対象面が下向きの状態で搬送され、各処理ユニットは、下向きの状態の処理対象面に対面するように配列されている。
【００５９】
しかし、本発明の連続処理装置はこれに限らず、被処理体の処理対象面が被処理体搬送部により上向き状態で搬送され、各処理ユニットは、上向き状態の処理対象面に対面するように、被処理体の上方位置において、被処理体の搬送方向に沿って配列されていても勿論よい。
【００６０】
本発明においては、被処理体は、たとえば大型の液晶表示体のガラス基板である。
しかしこれに限らず、他の種類のデバイスの製造を行う場合に用いる基板であっても勿論、本発明の連続処理装置を使用することができる。また被処理体の種類としては、いわゆる大型の有機ＬＥＤ（発光ダイオード）の基板であっても勿論構わない。
本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の連続処理装置の第１の実施形態を示す図。
【図２】図１の洗浄処理ユニットの例を示す図。
【図３】図１の乾燥処理ユニットの例を示す図。
【図４】図１の親液処理ユニットの例を示す図。
【図５】図１の撥液処理ユニットの例を示す図。
【図６】図１の液剤塗布処理ユニットの例を示す図。
【図７】本発明の連続処理方法の例を示す図。
【図８】本発明の被処理体における複数種類のプロセスの例を示す図。
【図９】被処理体を含む一例として液晶表示装置の一部分を示す図。
【図１０】本発明の連続処理装置の第２の実施形態を示す図。
【符号の説明】
１０・・・連続処理装置、１４・・・被処理体、１７・・・処理対象面、２０・・・被処理体搬送部、２５・・・処理ユニット群、３０・・・吸着部、３３・・・真空発生部、３５・・・駆動部、４０・・・保持対象面、５１・・・洗浄処理ユニット、５２・・・乾燥処理ユニット、５３・・・親液処理ユニット、５４・・・撥液処理ユニット、５５・・・液剤塗布処理ユニット、５６・・・乾燥処理ユニット、５７・・・アニール処理ユニット、３００・・・制御部、Ｔ・・・搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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