(57)【要約】【課題】圧力の揺動を高速で測定して、導圧管の詰まりを高速で検出できる導圧管詰まり検出器およびそれを内蔵した差圧・圧力伝送器を提供すること。【解決手段】導圧管によって圧力が導入される圧力センサと、この圧力センサの出力が入力され、この入力値に関連するパルス幅を有するゲート信号を出力するゲート信号発生部と、このゲート信号発生部の出力の前記パルス幅の期間、所定の周波数のクロック信号をカウントするカウンタと、このカウンタの引き続いた２つのカウント値を減算する減算部と、この減算部の出力が入力され、この入力値を２乗して所定の個数積算する２乗積算部と、この２乗積算部の出力が入力され、予め定められた値と比較して前記導圧管の詰まりを検出する判定部とを有することを特徴とする導圧管詰まり検出器。【選択図】            図１
2004354280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導圧管によって圧力が導入される圧力センサと、この圧力センサの出力が入力され、この入力値に関連するパルス幅を有するゲート信号を出力するゲート信号発生部と、このゲート信号発生部の出力の前記パルス幅の期間、所定の周波数のクロック信号をカウントするカウンタと、このカウンタの引き続いた２つのカウント値を減算する減算部と、この減算部の出力が入力され、この入力値を２乗して所定の個数積算する２乗積算部と、この２乗積算部の出力が入力され、予め定められた値と比較して前記導圧管の詰まりを検出する判定部とを有することを特徴とする導圧管詰まり検出器。
【請求項２】
前記圧力センサは導入された圧力に関連する周波数を有する信号を出力する振動式圧力センサであることを特徴とする請求項１記載の導圧管詰まり検出器。
【請求項３】
前記ゲート信号発生部は、前記圧力センサの出力に関連する信号を積分する積分部と、この積分部の出力が入力されるコンパレータとからなることを特徴とする請求項１または請求項２記載の導圧管詰まり検出器。
【請求項４】
前記２乗積算部の出力を外部に出力するようにしたことを特徴とする請求項１ないし請求項３いずれかに記載の導圧管詰まり検出器。
【請求項５】
前記クロック信号は、前記判定部を構成するマイクロプロセッサのクロックであることを特徴とする請求項１ないし請求項４いずれかに記載の導圧管詰まり検出器。
【請求項６】
導圧管によって圧力が導入される圧力センサと、この圧力センサの出力が入力され、圧力または差圧信号を出力する差圧・圧力検出部と、前記圧力センサの出力が入力され、前記導圧管の詰まりを検出する詰まり検出部とを有し、この詰まり検出部は前記圧力センサの出力値に関連するパルス幅を有するゲート信号を出力するゲート信号発生部と、このゲート信号発生部の出力の前記パルス幅の期間、所定の周波数のクロック信号をカウントするカウンタと、このカウンタの引き続いた２つのカウント値を減算する減算部と、この減算部の出力が入力され、この入力値を２乗して所定の個数積算する２乗積算部と、この２乗積算部の出力が入力され、予め定められた値と比較して前記導圧管の詰まりを検出する判定部とからなることを特徴とする差圧・圧力伝送器。
【請求項７】
前記圧力センサは導入された圧力に関連する周波数を有する信号を出力する振動式圧力センサであることを特徴とする請求項６記載の差圧・圧力伝送器。
【請求項８】
前記ゲート信号発生部は、前記圧力センサの出力に関連する信号を積分する積分部と、この積分部の出力が入力されるコンパレータとからなることを特徴とする請求項６または請求項７記載の差圧・圧力伝送器。
【請求項９】
前記２乗積算部の出力を、前記差圧・圧力検出部の出力に同期して外部に出力するようにしたことを特徴とする請求項６ないし請求項８いずれかに記載の差圧・圧力伝送器。
【請求項１０】
前記クロック信号は、前記差圧・圧力検出部を構成するマイクロプロセッサのクロックであることを特徴とする請求項６ないし請求項９いずれかに記載の差圧・圧力伝送器。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
この発明は、圧力伝送器、差圧伝送器等に使用される導圧管の詰まりを検出する機器に関し、特に高速で検出でき、かつ演算負荷の少ない導圧管詰まり検出器およびそれを内蔵した差圧・圧力伝送器に関するものである。
【０００１】
【従来の技術】
圧力伝送器、差圧伝送器では、圧力を伝送器本体に導く導圧管に詰まりがあると、正確な圧力や差圧を検出することができない。特許文献１にはこのような導圧管の閉塞を検出する装置の発明が記載されている。以下、この発明の概要を説明する。
【０００２】
図４は、この管路閉塞検出装置の一実施例の構成図である。管路８１には測定対象の流体が矢印８２の方向に流れている。この管路８１の途中にはオリフィス８３が設置され、その上下流の圧力は導圧管８４ａ，８４ｂで差圧検出器８５に導かれて高圧側の静圧と差圧が検出される。この高圧側の静圧と差圧は差分回路８６に入力されて低圧側の静圧が演算され、この低圧側の静圧および差圧は圧力データの記憶回路８７に保存される。
【０００３】
圧力揺動の度合計算回路８８は圧力データの記憶回路８７に保存されたデータから静圧および差圧の揺動を計算する。静圧と差圧の揺動は、下記（１）、（２）式に示すように、今回の値と前回の値の差を取ることによって求められる。
差圧揺動ＦｉΔＰ＝ΔＰｉ―ΔＰｉ−１  ・・・・  （１）
静圧揺動ＦｉＰ＝Ｐｉ―Ｐｉ−１  ・・・・・・  （２）
但し、ΔＰｉ，ΔＰｉ−１は今回と前回の差圧値、Ｐｉ，Ｐｉ−１は今回と前回の静圧値である。
【０００４】
この差圧揺動値と静圧揺動値は相関計算回路８９に入力されてこれらの相関が計算される。差圧揺動と静圧揺動の相関は下記（３）式で求めることができる。
差圧揺動と静圧揺動の相関ＣΔＰ＊Ｐ＝Σ（ＦｉΔＰ＊ＦｉＰ）／ｎ  ・・・・  （３）
但し、ｎはデータの個数である。
【０００５】
この相関は相関関係記録回路９１に保存される。詰まり診断回路９２は相関関係記録回路９１に保存された相関の値から導圧管８４ａ，８４ｂが詰まっているかどうかを診断し、詰まり診断結果信号９３を出力する。
【０００６】
特許文献２には相関の他に差圧、静圧の分散を用いて導圧管の詰まりを診断する発明が記載されている。差圧および静圧の分散は下記（４），（５）式で求めることができる。
差圧の分散σΔＰ＝Σ（ＦｉΔＰ＊ＦｉΔＰ）／ｎ  ・・・・  （４）
静圧の分散σＰ＝Σ（ＦｉＰ＊ＦｉＰ）／ｎ  ・・・・・・  （５）
なお、ｎはデータの個数である。
【特許文献１】
特許３１２９１２１号明細書
【特許文献２】
特願２００２−２９７１７４号明細書
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような管路閉塞検出装置には次のような課題があった。
【０００８】
一般的な工業用の差圧・圧力伝送器は応答性が遅いためにプラント流量の揺動に追従することができず、揺動を正確に測定することができないという課題があった。平均化された伝送器の出力は導圧管の詰まりに対して感度が低く、正確に詰まりを検出することができない。また、そのために長時間かけて多数の測定データを取って揺動の変化を診断しなければならず、応答性が遅いという課題もあった。
【０００９】
また、相関や分散を求めるような統計処理を行うためには多くの演算を行わなければならない。これらの統計処理は伝送器内のＣＰＵで行うことはできないので上位側のシステムで行わなければならないが、これでは上位側のＣＰＵの演算の負荷が大きくなってしまうという課題もあった。
【００１０】
つまり、差圧・圧力測定値は、比較的長い時間平均化されているので、測定値の揺動が少ないために導圧管の詰まりに対して感度が小さく、正確な検出が困難であった。また、正確に検出するためには、長時間平均化された測定値をサンプリングして揺動の変化を測定しなければならなかった。
【００１１】
従って、本発明の目的は、圧力の揺動を高速で測定して、導圧管の詰まりを高速で検出できる導圧管詰まり検出器およびそれを内蔵した差圧・圧力伝送器を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、導圧管によって圧力が導入される圧力センサと、この圧力センサの出力が入力され、この入力値に関連するパルス幅を有するゲート信号を出力するゲート信号発生部と、このゲート信号発生部の出力の前記パルス幅の期間、所定の周波数のクロック信号をカウントするカウンタと、このカウンタの引き続いた２つのカウント値を減算する減算部と、この減算部の出力が入力され、この入力値を２乗して所定の個数積算する２乗積算部と、この２乗積算部の出力が入力され、予め定められた値と比較して前記導圧管の詰まりを検出する判定部とを有することを特徴としたものである。高速かつ正確に導圧管の詰まりを検出できる
【００１３】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記圧力センサは導入された圧力に関連する周波数を有する信号を出力する振動式圧力センサであることを特徴としたものである。構成が簡単になる。
【００１４】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２記載の発明において、前記ゲート信号発生部は、前記圧力センサの出力に関連する信号を積分する積分部と、この積分部の出力が入力されるコンパレータとからなることを特徴としたものである。構成が簡単になる。
【００１５】
請求項４記載の発明は、請求項１ないし請求項３いずれかに記載の発明において、前記２乗積算部の出力を外部に出力するようにしたものである。さらに詳しい判定ができる。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項１ないし請求項４いずれかに記載の発明において、前記クロック信号は、前記判定部を構成するマイクロプロセッサのクロックであることを特徴としたものである。構成が簡単になる。
【００１７】
請求項６記載の発明は、導圧管によって圧力が導入される圧力センサと、この圧力センサの出力が入力され、圧力または差圧信号を出力する差圧・圧力検出部と、前記圧力センサの出力が入力され、前記導圧管の詰まりを検出する詰まり検出部とを有し、この詰まり検出部は前記圧力センサの出力値に関連するパルス幅を有するゲート信号を出力するゲート信号発生部と、このゲート信号発生部の出力の前記パルス幅の期間、所定の周波数のクロック信号をカウントするカウンタと、このカウンタの引き続いた２つのカウント値を減算する減算部と、この減算部の出力が入力され、この入力値を２乗して所定の個数積算する２乗積算部と、この２乗積算部の出力が入力され、予め定められた値と比較して前記導圧管の詰まりを検出する判定部とからなることを特徴としたものである。高速かつ正確に導圧管の詰まりを検出できる。
【００１８】
請求項７記載の発明は、請求項６記載の発明において、前記圧力センサは導入された圧力に関連する周波数を有する信号を出力する振動式圧力センサであることを特徴としたものである。構成が簡単になる。
【００１９】
請求項８記載の発明は、請求項６または請求項７記載の発明において、前記ゲート信号発生部は、前記圧力センサの出力に関連する信号を積分する積分部と、この積分部の出力が入力されるコンパレータとからなることを特徴としたものである。構成が簡単になる。
【００２０】
請求項９記載の発明は、請求項６ないし請求項８いずれかに記載の発明において、前記２乗積算部の出力を、前記差圧・圧力検出部の出力に同期して外部に出力するようにしたものである。差圧・圧力測定値の信頼性を確保できる。
【００２１】
請求項１０記載の発明は、請求項６ないし請求項９いずれかに記載の発明において、前記クロック信号は、前記差圧・圧力検出部を構成するマイクロプロセッサのクロックであることを特徴としたものである。構成が簡単になる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図に基づいて本発明を詳細に説明する。
図１は本発明に係る導圧管詰まり検出器の一実施例を示す構成図である。図１において、１は振動式圧力センサであり、印加される圧力に応じた周波数を有する正弦波を出力する。２はゲート信号発生部であり、振動式圧力センサ１の出力が入力される。
【００２３】
ゲート信号発生部２は振動式圧力センサ１の出力が入力されるコンパレータ２１、このコンパレータ２１の出力が入力される積分部２２、この積分部２２の出力が入力されるコンパレータ２３および２４から構成される。コンパレータ２３，２４には各々基準電圧２３１，２４１が接続される。
【００２４】
コンパレータ２１は振動式圧力センサ１の正弦波出力を振幅および高レベルの時間が一定の矩形波に変換する。積分部２２はコンパレータ２１の出力を積分する。そのため、積分部２２の出力は階段状に変化する。コンパレータ２３，２４は基準電圧２３１，２４１と積分部２２の出力を比較し、積分部２２の出力が所定の範囲内になったときに高レベルの信号を出力する。
【００２５】
４１，４２はカウンタであり、それぞれコンパレータ２３，２４の出力および所定の周波数を有するクロックが入力される。カウンタ４１，４２はそれぞれコンパレータ２３，２４の出力が高レベルの期間のみクロックをカウントする。また、積分部２２，カウンタ４１，４２にはリセットが入力される。このリセット信号は所定の周期でカウンタ４１，４２のカウント値をゼロクリアし、積分部２２をリセットする。
【００２６】
４３は減算部であり、カウンタ４１とカウンタ４２のカウント値が入力される。減算部４３はこれらのカウント値の差を演算して出力する。４４は２乗積算部であり、減算部４３の出力を２乗し、その値を所定の個数だけ積算する。４５は判定部であり、２乗積算部４４の積算値が入力され、この積算値から導圧管の詰まりを判定してその判定結果を出力する。また、２乗積算部４４の出力は差圧・圧力測定値と同期させて外部に出力される。
【００２７】
次に、図２に基づいてこの実施例の動作を説明する。この図で、（Ａ）は振動式圧力センサ１の出力、（Ｂ）は積分部２２の出力である。積分部２２の出力（Ｂ）は一定振幅の矩形波を積分するので、その出力は単調に増加する。また、その傾きは振動式圧力センサ１の出力周波数によって変化する。（Ｃ）はコンパレータ２３の出力であり、時刻ｔ０からｔ１の間高レベルになっている。カウンタ４１はこのｔ０からｔ１の間のＤＮ１の期間、クロック（Ｅ）をカウントする。
【００２８】
また、図２で、（Ｄ）はコンパレータ２４の出力であり、時刻ｔ２からｔ３の間のＤＮ２の期間高レベルになっている。カウンタ４２はこの期間ＤＮ２の間クロック（Ｅ）をカウントする。図２に示すように、コンパレータ２３の出力（Ｃ）とコンパレータ２４の出力（Ｄ）は、その高レベル期間が互いに重ならないように、かつ引き続いて生じるように調整される。また、期間ＤＮ１と期間ＤＮ２に含まれる振動式圧力センサ１の周期は同じになるようにする。
【００２９】
クロック（Ｅ）の周波数は一定であり、かつ振動式圧力センサ１の出力周波数よりかなり高い値に設定される。従って、カウンタ４１とカウンタ４２のカウント値の差は振動式圧力センサ１の出力周波数の短時間の変動、すなわち圧力値の短時間の変動になる。２乗積算部４４でこの変動分の２乗をｎ個（ｎは固定値）積算するので、その出力は圧力値の短時間の分散を表している。
【００３０】
導圧管の圧力に対する応答は１次遅れ系、すなわちローパスフィルタの特性を有していると考えられる。導圧管が詰まることは、この１次遅れ系の時定数が大きくなることに相当する。そのため、圧力変動の高周波成分が減衰して、分散が小さくなる。判定部４５はこの分散を予め定められた基準値と比較することにより、導圧管が詰まっているかどうかを判定する。
【００３１】
図２のＤＮ１、ＤＮ２の期間は、圧力あるいは差圧信号の測定周期の１／５程度の時間に設定される。例えば、測定周期が５０ｍｓであるとすると、期間ＤＮ１，ＤＮ２は１０ｍｓ程度に設定される。２乗積算部４４は測定周期の１０倍の５００ｍｓ周期で、過去５００個程度のデータの積算演算を行う。この積算演算を行うデータは５０ｍｓ周期で新しい値に更新される。
【００３２】
測定対象の流体の圧力変動がなく、差圧・圧力伝送器自身の測定値が揺動していると、オリフィスなどで流量を測定する場合、流量の変動として表れる。そのため、流体圧力の揺動以外の揺動分は小さくなければならない。振動式圧力センサ１の出力周波数を１００ｋＨｚとすると、測定周期５０ｍｓの間に５０００個の波があることになる。差圧測定値を使用すると、この計測時間ではコンパレータ閾値による揺動は約０．２〜０．５Ｈｚである。差圧入力１００％に対する周波数感度は約５ｋＨｚなので、最大０．０１％の揺動に相当する。
【００３３】
揺動の測定周期を１０ｍｓとすると、計測時間が１／５になる。５０ｍｓで０．２Ｈｚの揺動が発生しているとすると、０．０５％揺動する。１００ｋパスカルが１００％入力となる伝送器では、０．０５ｋパスカルの揺動に相当する。
【００３４】
通常のオリフィスを用いる差圧・圧力伝送器などの流量を計測する機器にあっては、０．５〜５ｋパスカル程度の圧力揺動である。計測時間が１／５の場合、統計的理論より、測定対象の流体の圧力揺動の感度は√５倍向上する。
【００３５】
図３に本発明の他の実施例を示す。この実施例は差圧・圧力伝送器に詰まり検出部を内蔵したものである。なお、図１と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００３６】
図３において、５は差圧・圧力検出部であり、振動式圧力センサ１の出力が入力され、差圧・圧力を検出してそれに比例する信号を出力する。この差圧・圧力検出部５は従来の差圧・圧力伝送器で用いられているものと同じものである。
【００３７】
６は詰まり検出部であり、振動式圧力センサ１の出力が入力される。この詰まり検出部６は図１の詰まり検出器と同様の構成のものであり、圧力の揺動の２乗積算値から導圧管の詰まりを判定する。
【００３８】
７は出力部であり、差圧・圧力検出部５および詰まり検出部６の出力が入力され、これらの信号を変換して出力する。また、この図には記載されていないが、図１の２乗積算部４４の出力を出力部７を介して外部に出力するようにしてもよい。
【００３９】
なお、カウンタ４１および４２に入力されるクロックは、判定部４５で用いられるマイクロプロセッサのクロックを用いることもできる。
【００４０】
また、ゲート信号発生部２は積分部２２とコンパレータ２３，２４を用いた構成としたが、その他の構成、例えば振動式圧力センサ１の出力の周期を数えてカウンタ４１，４２に出力するゲート信号を作成するようにしてもよい。また、図１の実施例ではカウンタを２個用いたが、カウントが終了するとカウント値を一時的に保存するようにすると、カウンタを１個にすることもできる。
【００４１】
また、この実施例では圧力検出器として振動式圧力センサを用いたが、他の構成の圧力検出器を用いてもよい。また、その出力は周波数に限られることはなく、アナログ信号であってもよい。アナログ信号の場合はゲート信号発生部２の構成を変えて、圧力に比例する時間幅のゲート信号が出力できるようにすればよい。要は、比較的応答性のよい圧力検出器であればよい。
【００４２】
さらに、本発明でいう差圧・圧力伝送器は、圧力伝送器、差圧伝送器および圧力と差圧の両方を測定できる伝送器を含むものとする。
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次の効果が期待できる。
請求項１記載の発明によれば、導圧管によって圧力が導入される圧力センサと、この圧力センサの出力が入力され、この入力値に関連するパルス幅を有するゲート信号を出力するゲート信号発生部と、このゲート信号発生部の出力の前記パルス幅の期間、所定の周波数のクロック信号をカウントするカウンタと、このカウンタの引き続いた２つのカウント値を減算する減算部と、この減算部の出力が入力され、この入力値を２乗して所定の個数積算する２乗積算部と、この２乗積算部の出力が入力され、予め定められた値と比較して前記導圧管の詰まりを検出する判定部とを有することを特徴とした。
【００４３】
差圧・圧力測定値は短周期の変動に追従しないので揺動分が小さいので詰まりに対する感度が低く、正確に導圧管の詰まりを検出することができなかった。また、検出するために長時間揺動の変化を測定しなければならなかった。この発明では圧力センサの出力そのものの揺動を測定するので、短周期変動を確実にとらえることができ、高速かつ正確に導圧管の詰まりを検出することができるという効果がある。また、差圧・圧力の測定周期よりも短い周期で揺動を測定するので、温度など時定数の大きい外乱に影響されることがないという効果もある。
【００４４】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明において、前記圧力センサは導入された圧力に関連する周波数を有する信号を出力する振動式圧力センサであることを特徴とした。揺動が周波数の変化として出力されるので、信号処理のための構成が簡単になるという効果がある。
【００４５】
請求項３記載の発明によれば、請求項１または請求項２記載の発明において、前記ゲート信号発生部は、前記圧力センサの出力に関連する信号を積分する積分部と、この積分部の出力が入力されるコンパレータとからなることを特徴とした。アナログ回路で構成することができるので、回路構成が簡単になるという効果がある。
【００４６】
請求項４記載の発明によれば、請求項１ないし請求項３いずれかに記載の発明において、前記２乗積算部の出力を外部に出力するようにした。上位システムにおいて統計処理を行い、より詳しく導圧管の詰まりを検出することができるという効果がある。また、詰まり診断に直結した値を出力するので、上位システムの負荷を小さくすることができるという効果もある。
【００４７】
請求項５記載の発明によれば、請求項１ないし請求項４いずれかに記載の発明において、前記クロック信号は、前記判定部を構成するマイクロプロセッサのクロックであることを特徴とした。クロックを兼用することにより、回路構成を簡単にすることができるという効果がある。
【００４８】
請求項６記載の発明によれば、導圧管によって圧力が導入される圧力センサと、この圧力センサの出力が入力され、圧力または差圧信号を出力する差圧・圧力検出部と、前記圧力センサの出力が入力され、前記導圧管の詰まりを検出する詰まり検出部とを有し、この詰まり検出部は前記圧力センサの出力値に関連するパルス幅を有するゲート信号を出力するゲート信号発生部と、このゲート信号発生部の出力の前記パルス幅の期間、所定の周波数のクロック信号をカウントするカウンタと、このカウンタの引き続いた２つのカウント値を減算する減算部と、この減算部の出力が入力され、この入力値を２乗して所定の個数積算する２乗積算部と、この２乗積算部の出力が入力され、予め定められた値と比較して前記導圧管の詰まりを検出する判定部とからなることを特徴とした。
【００４９】
差圧・圧力測定値は短周期の変動に追従しないので揺動分が小さいので詰まりに対する感度が低く、正確に導圧管の詰まりを検出することができなかった。また、検出するために長時間揺動の変化を測定しなければならなかった。この発明では圧力センサの出力そのものの揺動を測定するので、短周期変動を確実にとらえることができ、高速かつ正確に導圧管の詰まりを検出することができるという効果がある。
【００５０】
また、差圧・圧力の測定周期よりも短い周期で揺動を測定するので、温度など時定数の大きい外乱に影響されることがないという効果もある。さらに、差圧・圧力測定と導圧管の詰まり検出が１つの伝送器でできるので、システム構成が簡単になり、かつ測定値の信頼性を向上させることができるという効果もある。
【００５１】
請求項７記載の発明によれば、請求項６記載の発明において、前記圧力センサは導入された圧力に関連する周波数を有する信号を出力する振動式圧力センサであることを特徴とした。揺動が周波数の変化として出力されるので、信号処理のための構成が簡単になるという効果がある。
【００５２】
請求項８記載の発明によれば、請求項６または請求項７記載の発明において、前記ゲート信号発生部は、前記圧力センサの出力に関連する信号を積分する積分部と、この積分部の出力が入力されるコンパレータとからなることを特徴とした。アナログ回路で構成することができるので、回路構成が簡単になるという効果がある。
【００５３】
請求項９記載の発明によれば、請求項６ないし請求項８いずれかに記載の発明において、前記２乗積算部の出力を、前記差圧・圧力検出部の出力に同期して外部に出力するようにした。上位システムにおいて統計処理を行い、より詳しく導圧管の詰まりを検出することができるという効果がある。また、詰まり診断に直結した値を出力するので、上位システムの負荷を小さくすることができるという効果もある。さらに、差圧・圧力測定値と詰まり検出のためのデータが同期して得られるので、差圧・圧力測定値の信頼性を向上させることができるという効果もある。
【００５４】
請求項１０記載の発明によれば、請求項６ないし請求項９いずれかに記載の発明において、前記クロック信号は、前記差圧・圧力検出部を構成するマイクロプロセッサのクロックであることを特徴とした。クロックを兼用することにより、回路構成が簡単になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施例の動作を説明するための特性図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図４】従来の導圧管閉塞検出装置の構成図である。
【符号の説明】
１  振動式圧力センサ
２  ゲート信号発生部
２１，２３，２４  コンパレータ
２２  積分部
４１，４２  カウンタ
４３  減算部
４４  ２乗積算部
４５  判定部
５  差圧・圧力検出部
６  詰まり検出部
７  出力部
【図１】
2004354280.tif 000003
【図２】
2004354280.tif 000004
【図３】
2004354280.tif 000005
【図４】
2004354280.tif 000006