(57)【要約】【課題】高精度なＦＩＢ加工およびＴＥＭ観察が可能なＴＥＭ試料固定台を提供する。【解決手段】試料固定台１００は、試料固定板１１０と試料装着台１２０とを備える。試料装着台１２０は、試料固定台１００を試料ホルダに装着するための円弧をその下部に有する。また、試料装着台１２０の上部は、ＴＥＭ試料１４０を接着するための試料固定板１１０が形成されている。試料固定板１１０の厚みは、ＴＥＭ試料１４０を接着させるための空間の分だけ、試料装着台１２０の厚みより小さい。試料固定板１１０の主面である固定板主面１３０上には、ＴＥＭ試料１４０の観察面である試料観察面１５０がタングステン１６０により接着（タングステンデポジション）される。【選択図】        図１
2004253232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子顕微鏡により観察するための観察面を有する試料を固定させる試料固定台であって、
前記試料の前記観察面を接着させる試料固定板と、
前記試料固定板が切り欠き状に突設された、試料ホルダーに装着するための試料装着台と
を備える試料固定台。
【請求項２】
請求項１に記載の試料固定台であって、
前記試料装着台上に形成された観察位置合わせ用マーク
をさらに備える試料固定台。
【請求項３】
電子顕微鏡により観察するための観察面を有する試料を固定させる試料固定台であって、
前記試料を固定させる部位を有し、試料ホルダーに装着するための試料装着台と、
前記試料装着台上に形成された観察位置合わせ用マークと
を備える試料固定台。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の試料固定台であって、
前記観察位置合わせ用マークが４つの三角形を有する
試料固定台。
【請求項５】
請求項４に記載の試料固定台であって、
前記観察位置合わせ用マークが立体的な正四角錐マークである
試料固定台。
【請求項６】
請求項５に記載の試料固定台であって、
前記正四角錐マークが、前記試料装着台の上面に形成されている
試料固定台。
【請求項７】
請求項５に記載の試料固定台であって、
前記正四角錐マークが、前記試料装着台の正面もしくはその裏面に形成されている
試料固定台。
【請求項８】
請求項４に記載の試料固定台であって、
前記観察位置合わせ用マークが平面的な正方形対角線マークである
試料固定台。
【請求項９】
請求項８に記載の試料固定台であって、
前記正方形対角線マークが、前記試料装着台の上面及び、正面もしくはその裏面に形成されている
試料固定台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、観察用試料を固定するための試料固定台に関するものであり、特に透過型電子顕微鏡（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＴＥＭ）による観察のための試料（以下ではＴＥＭ試料とも呼ぶ）を固定するための試料固定台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＦＩＢ（Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ：集束イオンビーム）加工装置にマイクロプローブを装備した装置が開発され、商品化されている。この装置においては、数十μｍサイズの微小なＴＥＭ試料の作製が可能となっている。このＴＥＭ試料は、微小であるためピンセットでは掴むことができないが、この装置に装備されたマイクロプローブを操作することによりハンドリングが可能となり、試料固定台に接着することが可能となる。この試料固定台は、ＴＥＭ試料ホルダーやＦＩＢ試料ホルダーを用いてＴＥＭ装置やＦＩＢ装置に取り付けることができる。従って、ＦＩＢ装置で加工した試料をＴＥＭ装置で観察・評価し、その評価を元にＦＩＢ装置でさらに加工するというようにして、加工と評価とを反復して実施することができる。このような試料作製方法はマイクロサンプリング法と呼ばれている。マイクロサンプリング法を用いることにより、バルク試料の中の所望の箇所を摘出することができる。このような試料固定台や試料ホルダーの例は、例えば特許文献１〜３に記載されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−１４９８９６号公報
【特許文献２】
特開平１１−３２９３２５号公報
【特許文献３】
特開２００２−１５０９８４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
半導体デバイス用の試料作製において複雑なデバイス構造の中から所望の観察箇所をＦＩＢにより切り出すためには、試料の正確な方位を把握しておく必要がある。またＴＥＭにより試料を観察する場合にも、試料の正確な方位を把握しておく必要がある。微細化が進む半導体デバイスにおいては、ＦＩＢ装置による試料加工の際の試料の方位のずれが、試料作製の失敗に繋がってしまう。また、ＴＥＭ装置による試料観察の際に試料の方位がずれていると、試料の形状を正確に把握することができなくなってしまう。
【０００５】
従来の試料固定台を用いて、バルク試料から平面試料を切り出す場合には、まず、バルク試料の底面に垂直な方向にガリウムイオンを入射させＦＩＢにより試料を切り出す（以下では、切り出したこの面を切り出し面と呼ぶ）。次に、切り出した試料の底面が試料固定台上面に密着するようにタングステンにより接着（タングステンデポジション）する。そして、試料固定台を９０°回転させた後にガリウムイオンを入射させ、このガリウムイオンのビームが切り出し面に垂直になるように試料の向きを調整して試料を薄膜化させ平面試料を作製していた。
【０００６】
しかし、ガリウムイオンのビームは一定の広がりを有するため、試料の底面と切り出し面とが完全に垂直になるようにバルク試料を加工することは困難である。そのため、バルク試料の中の所望の箇所を薄膜化させ平面試料を作製することが困難であるという問題点があった。
【０００７】
また、従来の試料固定台を用いて、半導体デバイス表面（例えば半導体デバイス表面の方向を［１００］方向とする）を［１００］方向からＴＥＭ観察するためには、まずデバイス基板の電子線回折像を観察することにより、デバイス基板の方位に関する情報を取得する。そして、その方位情報に応じＴＥＭ試料ホルダーを傾斜させて、半導体デバイス表面の方向を［１００］方向に合わせＴＥＭ観察を行っていた。
【０００８】
しかしながら、近年、半導体デバイスの多層膜化に伴い、半導体デバイスにおいて、デバイス基板の上層のみのＴＥＭ観察が要求される場合がある。このような場合には、デバイス基板はＦＩＢにより除去されるため、デバイス基板から方位情報を取得することができない。従って、半導体デバイス表面の方向を正確に［１００］方向に合わせることが困難であるという問題点があった。
【０００９】
さらに、ＴＥＭ試料ホルダーおよびＦＩＢ試料ホルダーの傾斜機能が不十分であるので、試料の方位合わせの精度が低くなってしまうという問題点もあった。
【００１０】
本発明は以上の問題点を解決するためになされたものであり、高精度なＦＩＢ加工およびＴＥＭ観察が可能な試料固定台を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明に係る試料固定台は、電子顕微鏡により観察するための観察面を有する試料を固定させる試料固定台であって、前記試料の前記観察面を接着させる試料固定板と、前記試料固定板が切り欠き状に突設された、試料ホルダーに装着するための試料装着台とを備える。
【００１２】
請求項３に記載の発明に係る試料固定台は、電子顕微鏡により観察するための観察面を有する試料を固定させる試料固定台であって、前記試料を固定させる部位を有し、試料ホルダーに装着するための試料装着台と、前記試料装着台上に形成された観察位置合わせ用マークとを備える。
【００１３】
【発明の実施の形態】
＜実施の形態１＞
図１は、本発明の実施の形態１に係る試料固定台１００を示す図である。図１（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ試料固定台１００の上面図、正面図および側面図である。また図２に、試料固定台１００の斜視図を示す。
【００１４】
試料固定台１００は、試料固定板１１０と試料装着台１２０とを備える。試料装着台１２０は、下部が円弧状になっており、図３に示すように、試料ホルダ１７０に試料固定台１００を装着させる機能を有する。この試料ホルダ１７０は、試料固定板１１０に接着されたＴＥＭ試料１４０をＴＥＭ装置又はＦＩＢ装置（いずれも図示しない）に装着させる機能を有する。
【００１５】
また、試料装着台１２０の上部は、ＴＥＭ試料１４０を接着するための試料固定板１１０が形成されている。試料固定板１１０の厚みは、ＴＥＭ試料１４０を接着させるための空間の分だけ、試料装着台１２０の厚みより小さい。すなわち、試料固定板１１０は、試料装着台１２０の上面から切り欠き状に突設されている。従って、図１（ｃ）に示すように、試料固定台１００の前記切り欠き部分の側面図はＬ字形となる。
【００１６】
図１に示すように、試料固定板１１０の主面である固定板主面１３０上には、ＴＥＭ試料１４０の観察面である試料観察面１５０がタングステン１６０により接着（タングステンデポジション）される。つまり、試料の観察面の裏の面が観察面に平行に削られるように試料が試料固定板に接着される。
【００１７】
次に、試料固定台１００を用いてバルク試料２００から平面試料をＦＩＢにより切り出す手順について説明する。
【００１８】
図４に示すように、バルク試料２００の表面上に、タングステン膜２２０を形成する。タングステン膜２２０は、後述するガリウムイオンの照射から、下部（紙面の奥行き方向）に位置するＴＥＭ試料１４０を保護するための保護膜として機能する。
【００１９】
次に、図５において、上方（紙面の手前方向）からバルク試料２００に向けてガリウムイオンを照射することにより、ＴＥＭ試料１４０の周囲の領域を削り落とし、溝２３０を形成する。バルク試料２００とＴＥＭ試料１４０とは、支持部２４０によって互いに繋がっている。また、バルク試料２００の底面を、紙面に対して平行になるようにして切断する。
【００２０】
次に、図６に示すように、ＦＩＢ装置に内蔵されているマイクロプローブ２５０を操作して、その先端をタングステン膜２２０の上面に接触させる。そして、タングステン膜２２０とマイクロプローブ２５０との接触部分にタングステン膜２６０を形成する。このタングステン膜２６０によって、ＴＥＭ試料１４０とマイクロプローブ２５０とが互いに接着される。
【００２１】
次に、図７に示すように、ガリウムイオンを照射することにより、支持部２４０とＴＥＭ試料１４０とを完全に切り離す。次に、マイクロプローブ２５０を操作して、バルク試料２００からＴＥＭ試料１４０を抜き出す。図８は、図７に示した線分Ａ−Ａの断面を矢印の方向から観察した断面図である。このＴＥＭ試料１４０の底面が、試料観察面１５０として、図１に示すように、固定板主面１３０上にタングステン１６０により接着され、マイクロプローブ２５０は切断される。
【００２２】
固定板主面１３０に接着されたＴＥＭ試料１４０は、図１（ａ）において、紙面手前方向より入射するガリウムイオンビームにより薄膜化され、平面試料が作製される。このとき、入射するガリウムイオンビームを用いて試料固定台１００上面のＳＩＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｉｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型イオン顕微鏡）観察を行うことにより、試料観察面１５０がガリウムイオンビームに平行になるように、試料固定台１００を傾斜させることができる。即ち、図１（ａ）において、ガリウムイオンビームは紙面の手前方向より入射するため、試料観察面１５０がガリウムイオンビームと平行である場合には、試料固定台１００の観察形状は、上下の辺（エッジ）の形状が互いに同じである長方形状となる。この長方形において、上の辺（エッジ）が試料固定台１００の裏面に対応し、下の辺（エッジ）が試料固定台１００の正面に対応している。しかし、試料観察面１５０がガリウムイオンビームと平行でない場合には、この長方形の上下のエッジのいずれかが円弧状に観察されてしまい、上下のエッジの形状が同じではなくなってしまう。従って、上下のエッジの形状がＳＩＭ観察により同じになるように試料固定台１００を傾斜させることにより、ＴＥＭ試料１４０の方位を合わせることができる。
【００２３】
また、方位合わせを行ったＴＥＭ試料１４０に、図１（ｂ）において、紙面の奥行方向より電子線を入射させることにより、ＴＥＭ観察が行われる。
【００２４】
このように、本実施の形態に係る試料固定台１００においては、ＴＥＭ試料１４０の試料観察面１５０と、試料固定板１１０の固定板主面１３０とが接着されるので、ＴＥＭ試料１４０の方位合わせの精度を高くすることができる。従って、高精度なＦＩＢ加工およびＴＥＭ観察を行うことができる。
【００２５】
＜実施の形態２＞
実施の形態１に係る試料固定台１００においては、試料固定台１００上面のＳＩＭ観察を行い、その上下のエッジの形状が互いに同じになるように試料固定台１００を傾斜させることにより、ＴＥＭ試料１４０の方位を合わせている。
【００２６】
しかし、試料固定台１００のエッジ部分をＳＩＭにより詳細に観察することは困難であるため、方位合わせの精度が低くなってしまうという問題点があった。
【００２７】
図９（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２に係る試料固定台３００の上面図、正面図および側面図である。試料固定台３００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の上面に、観察位置合わせ用の正四角錐形マーク即ちピラミッド形マーク部３１０を配置させたものである。図９において、図１と同一の要素には同一符号を付しており、ここでの詳細な説明は省略する。また簡単のため、ＴＥＭ試料１４０は省略している。
【００２８】
ＦＩＢ加工の際には、図９（ａ）において、試料固定台３００のエッジ部分ではなく、ピラミッド形マーク部３１０をＳＩＭ観察する。即ち、ピラミッド形マーク部３１０を構成する４つの三角形が全て同じ形状になるように試料固定台３００を傾斜させることにより、試料観察面１５０がガリウムイオンビームに平行になるようにすることができる。
【００２９】
また、ＴＥＭ観察の際には、ピラミッド形マーク部３１０の高さ、即ち底面と頂点との距離を測定し、その測定値がピラミッド形マーク部３１０の実際の高さと一致するように試料固定台３００を傾斜させることにより、試料観察面１５０に垂直に電子線が入射するようＴＥＭ試料１４０の方位を合わせることができる。
【００３０】
なお、ピラミッド形マーク部３１０や試料固定板１１０を電子線が透過せず、ＴＥＭによる観察ができない場合には、ＴＥＭ装置に組み込まれたＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）機能を用いることにより、ピラミッド形マーク部３１０を観察することができる。
【００３１】
このように、本実施の形態に係る試料固定台３００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の上面に、観察位置合わせ用のピラミッド形マーク部３１０を配置させた構造であるので、ＴＥＭ試料１４０の方位合わせの精度をさらに高くすることができる。従って、さらに高精度なＦＩＢ加工およびＴＥＭ観察を行うことができる。
【００３２】
上記の説明においては、観察位置合わせ用のマークとして１個のピラミッド形のマークを試料装着台の上面に配置したものを説明したが、マークの形状としては、ピラミッド形に限らず、立体に限らず、個数も１個に限らない。例えば、実施の形態３に示すように、観察のための位置合わせが可能なものであれば、正方形対角線マーク等の平面的なものでもよく、また複数個のマークを配置させてもよい。
【００３３】
また上記の説明においては、試料固定板と試料装着台の両方を備える試料固定台について説明したが、試料装着台のみを備える試料固定台であっても、試料装着台に観察位置合わせ用マークを形成させることにより、同様の効果を有する。
【００３４】
＜実施の形態３＞
実施の形態２に係る試料固定台３００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の上面に、観察位置合わせ用のピラミッド形マーク部３１０を配置させた構造をとるが、立体的なピラミッド形マーク部３１０に代えて、平面的な正方形対角線マーク部３２０を用いてもよい。
【００３５】
図１０（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ、本発明の実施の形態３に係る試料固定台４００の上面図、正面図および側面図である。試料固定台４００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の上面、及び正面並びにその裏面に、観察位置合わせ用の正方形対角線マーク部３２０を配置させたものである（図１０においては見えない裏面側にも、正方形対角線マーク部３２０が配置されている）。正方形対角線マーク部３２０は、試料装着台１２０にＦＩＢ等を用いて溝を彫り込むことにより形成される。図１０において、図１と同一の要素には同一符号を付しており、ここでの詳細な説明は省略する。また簡単のため、ＴＥＭ試料１４０は省略している。
【００３６】
ＦＩＢ加工の際には、図１０（ａ）において、試料装着台１２０上面の正方形対角線マーク部３２０をＳＩＭ観察する。即ち、正方形対角線マーク部３２０を構成する４つの三角形が全て同じ形状になるように試料固定台４００を傾斜させることにより、試料観察面１５０がガリウムイオンビームに平行になるようにすることができる。
【００３７】
また、ＴＥＭ観察の際には、試料装着台１２０正面並びにその裏面の正方形対角線マーク部３２０を観察し、正方形対角線マーク部３２０を構成する４つの三角形が全て同じ形状になるように試料固定台４００を傾斜させることにより、試料観察面１５０に垂直に電子線が入射するようＴＥＭ試料１４０の方位を合わせることができる。
【００３８】
なお、試料装着台１２０を電子線が透過せず、ＴＥＭによる観察ができない場合には、ＴＥＭ装置に組み込まれたＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）機能を用いることにより、正方形対角線マーク部３２０を観察することができる。
【００３９】
このように、本実施の形態に係る試料固定台４００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の上面、及び正面並びにその裏面に、観察位置合わせ用の正方形対角線マーク部３２０を平面的に配置させた構造をとる。従って、ＦＩＢ等を用いて正方形対角線マーク部３２０を形成させることができるので、実施の形態２の効果に加えて、製造コストを低くすることができるという効果を有する。
【００４０】
上記の説明においては、正方形対角線マーク部３２０を、試料装着台の正面および裏面に配置させたものを説明したが、正面もしくは裏面のいずれかに配置させたものであっても、同様の効果を有する。
【００４１】
＜実施の形態４＞
実施の形態２に係る試料固定台３００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の上面に、観察位置合わせ用のピラミッド形マーク部３１０を配置させた構造をとるが、試料装着台１２０の上面ではなく、正面及びその裏面にピラミッド形マーク部３１０を配置させてもよい。
【００４２】
図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ、本発明の実施の形態４に係る試料固定台５００の上面図、正面図および側面図である。試料固定台５００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の正面及びその裏面に、観察位置合わせ用のピラミッド形マーク部３１０をそれぞれ配置させたものである。図１１において、図１と同一の要素には同一符号を付しており、ここでの詳細な説明は省略する。また簡単のため、ＴＥＭ試料１４０は省略している。
【００４３】
ＦＩＢ加工の際には、図１１（ａ）において、ピラミッド形マーク部３１０をＳＩＭ観察する。即ち、ピラミッド形マーク部３１０の高さ、即ち底面と頂点との距離を測定し、その測定値がピラミッド形マーク部３１０の実際の高さと一致するように試料固定台５００を傾斜させることにより、試料観察面１５０がガリウムイオンビームに平行になるようにすることができる。
【００４４】
また、ＴＥＭ観察の際には、試料装着台１２０正面及びその裏面のピラミッド形マーク部３１０を観察し、ピラミッド形マーク部３１０を構成する４つの三角形が全て同じ形状になるように試料固定台５００を傾斜させることにより、試料観察面１５０に垂直に電子線が入射するようＴＥＭ試料１４０の方位を合わせることができる。
【００４５】
なお、ピラミッド形マーク部３１０や試料装着台１２０を電子線が透過せず、ＴＥＭによる観察ができない場合には、ＴＥＭ装置に組み込まれたＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）機能を用いることにより、ピラミッド形マーク部３１０を観察することができる。
【００４６】
このように、本実施の形態に係る試料固定台５００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の正面及びその裏面に、観察位置合わせ用のピラミッド形マーク部３１０を配置させた構造をとるので、実施の形態２と同様の効果を有する。
【００４７】
上記の説明においては、ピラミッド形マーク部３１０を、試料装着台の正面および裏面に配置させたものを説明したが、正面もしくは裏面のいずれかに配置させたものであっても、同様の効果を有する。
【００４８】
＜実施の形態５＞
本発明の実施の形態５に係る試料固定台６００は、試料固定台１００において、試料装着台１２０の上面、及び正面並びにその裏面に、観察位置合わせ用のピラミッド形マーク部３１０をそれぞれ配置させた構造をとる。即ち、実施の形態２に係る試料固定台３００と、実施の形態４に係る試料固定台５００とを組み合わせた構造をとる。
【００４９】
図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ、本実施の形態に係る試料固定台６００の上面図、正面図および側面図である。図１２において、図１と同一の要素には同一符号を付しており、ここでの詳細な説明は省略する。また簡単のため、ＴＥＭ試料１４０は省略している。
【００５０】
ＦＩＢ加工の際には、図１２（ａ）において、ピラミッド形マーク部３１０をＳＩＭ観察する。即ち、ピラミッド形マーク部３１０ａを構成する４つの三角形が全て同じ形状になるように試料固定台６００を傾斜させることにより、試料観察面１５０がガリウムイオンビームに平行になるようにすることができる。
【００５１】
あるいは、ピラミッド形マーク部３１０ｂの高さ、即ち底面と頂点との距離を測定し、その測定値がピラミッド形マーク部３１０ｂの実際の高さと一致するように試料固定台６００を傾斜させることによっても、試料観察面１５０がガリウムイオンビームに平行になるようにすることができる。
【００５２】
また、ＴＥＭ観察の際には、試料装着台１２０正面およびその裏面のピラミッド形マーク部３１０ｂを観察し、ピラミッド形マーク部３１０ｂを構成する４つの三角形が全て同じ形状になるように試料固定台６００を傾斜させることにより、試料観察面１５０に垂直に電子線が入射するようＴＥＭ試料１４０の方位を合わせることができる。
【００５３】
あるいは、ピラミッド形マーク部３１０ａの高さ、即ち底面と頂点との距離を測定し、その測定値がピラミッド形マーク部３１０ａの実際の高さと一致するように試料固定台６００を傾斜させることによっても、試料観察面１５０に垂直に電子線が入射するようＴＥＭ試料１４０の方位を合わせることができる。
【００５４】
なお、ピラミッド形マーク部３１０ａ，ｂや試料固定板１１０や試料装着台１２０を電子線が透過せず、ＴＥＭによる観察ができない場合には、ＴＥＭ装置に組み込まれたＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）機能を用いることにより、ピラミッド形マーク部３１０を観察することができる。
【００５５】
このように、本実施の形態に係る試料固定台６００は、実施の形態２に係る試料固定台３００と、実施の形態４に係る試料固定台５００とを組み合わせた構造をとるので、実施の形態２と同様の効果を有する。
【００５６】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１に記載の発明に係る試料固定台は、電子顕微鏡により観察するための観察面を有する試料を固定させる試料固定台であって、前記試料の前記観察面を接着させる試料固定板と、前記試料固定板が切り欠き状に突設された、試料ホルダーに装着するための試料装着台とを備えるので、前記試料の方位合わせの精度を高くすることができる。従って、高精度なＦＩＢ加工およびＴＥＭ観察が可能である。
【００５７】
また、請求項３に記載の発明に係る試料固定台は、電子顕微鏡により観察するための観察面を有する試料を固定させる試料固定台であって、前記試料を固定させる部位を有し、試料ホルダーに装着するための試料装着台と、前記試料装着台上に形成された観察位置合わせ用マークとを備えるので、前記試料の方位合わせの精度を高くすることができる。従って、高精度なＦＩＢ加工およびＴＥＭ観察が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る試料固定台の上面図、正面図および側面図である。
【図２】実施の形態１に係る試料固定台の斜視図である。
【図３】実施の形態１に係る試料固定台の正面図である。
【図４】実施の形態１に係る試料加工の手順を示す図である。
【図５】実施の形態１に係る試料加工の手順を示す図である。
【図６】実施の形態１に係る試料加工の手順を示す図である。
【図７】実施の形態１に係る試料加工の手順を示す図である。
【図８】実施の形態１に係る試料加工の手順を示す図である。
【図９】実施の形態２に係る試料固定台の上面図、正面図および側面図である。
【図１０】実施の形態３に係る試料固定台の上面図、正面図および側面図である。
【図１１】実施の形態４に係る試料固定台の上面図、正面図および側面図である。
【図１２】実施の形態５に係る試料固定台の上面図、正面図および側面図である。
【符号の説明】
１００，３００，４００，５００，６００  試料固定台、１１０  試料固定板、１２０  試料装着台、１３０  固定板主面、１４０  ＴＥＭ試料、１５０  試料観察面、１６０  タングステン、１７０、試料ホルダー、２００  バルク試料、２２０，２６０  タングステン膜、２３０  溝、２４０  支持部、２５０  マイクロプローブ、３１０，３１０ａ，３１０ｂ  ピラミッド形マーク部、３２０正方形対角線マーク部。
【図１】
2004253232.tif 000003
【図２】
2004253232.tif 000004
【図３】
2004253232.tif 000005
【図４】
2004253232.tif 000006
【図５】
2004253232.tif 000007
【図６】
2004253232.tif 000008
【図７】
2004253232.tif 000009
【図８】
2004253232.tif 000010
【図９】
2004253232.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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