(57)【要約】【課題】長尺のパイプや、曲折形状のパイプを、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好であるとともに、ネジ部形成あるいは嵌合部形成のための機械加工が不要なことで低コストにて製造することができるガラス状炭素製パイプの製造方法及び該方法により製造されるガラス状炭素製パイプを提供すること。【解決手段】ネジ部を有するとともにパイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこれらをパイプ長手方向に接続すべく螺合して一体化した後に、炭化焼成することを特徴とするガラス状炭素製パイプの製造方法。嵌合部を有するとともにパイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこれらをパイプ長手方向に接続すべく嵌合して一体化した後に、炭化焼成することを特徴とするガラス状炭素製パイプの製造方法。【選択図】          なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネジ部を有するとともにパイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこれらを螺合して一体化した後に、炭化焼成することを特徴とするガラス状炭素製パイプの製造方法。
【請求項２】
嵌合部を有するとともにパイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこれらを嵌合して一体化した後に、炭化焼成することを特徴とするガラス状炭素製パイプの製造方法。
【請求項３】
前記熱硬化性樹脂成形体同士を螺合して一体化するに際し、液状熱硬化性樹脂を接着剤として用いることを特徴とする請求項１記載のガラス状炭素製パイプの製造方法。
【請求項４】
前記熱硬化性樹脂成形体同士を嵌合して一体化するに際し、液状熱硬化性樹脂を接着剤として用いることを特徴とする請求項２記載のガラス状炭素製パイプの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法により製造されるガラス状炭素製パイプであって、パイプ全体の形状が直線状又は曲折した形状であることを特徴とするガラス状炭素製パイプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
ガラス状炭素製パイプは、ＣＶＤ装置におけるガスインジェクションノズルや、反応ガスの配管用パイプへの適用が考えられている。本発明は、ガラス状炭素製パイプの製造方法及び該方法により製造されるガラス状炭素製パイプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス状炭素は、通常、フェノール樹脂やフラン樹脂などの熱硬化性樹脂を高温で炭化焼成することによって得られる炭素材料であり、不活性雰囲気では２０００℃以上の耐熱性を有するとともに、フッ化水素やフッ素に対する耐食性も極めて優れている。このようなことから、ガラス状炭素からなるガラス状炭素製パイプは、例えば、ウェハ上に薄膜を化学気相成長させるＣＶＤ装置において、成膜材料となる反応ガスをウェハ上に吹き付けるためのガスインジェクションノズルや、反応ガスの配管用パイプへの適用が考えられている。
【０００３】
このようなガラス状炭素製パイプにおいて、長尺のパイプや、Ｌ字状パイプのような曲折形状のパイプを製造する場合、パイプを分割した形状のガラス状炭素製成形品同士を接着しても、ガラス状炭素が化学的に不活性であるために接合部の機械的強度及びガス気密性が良好なものが得られない。
【０００４】
そこで、従来、長尺のガラス状炭素製パイプや、曲折形状のガラス状炭素製パイプを製造するために、パイプを分割した形状の熱硬化性樹脂硬化物を作製し、次いでこれらを接着して一体化した後、炭化焼成するようにしたガラス状炭素製パイプの製造方法が提案されている（特開２００１−１５１５７４号公報）。
【０００５】
この従来の方法では、例えば注型成形により平板状の熱硬化性樹脂硬化物を作製し、ＮＣマシニングを用いた機械加工により、この平板状の熱硬化性樹脂硬化物に流路となる溝と嵌め合わせ用の嵌合部とを形成して、パイプを縦割りに２分割（長手方向に沿って上側部分と下側部分とに２分割すること）した形状の熱硬化性樹脂硬化物を得る。次に、この２分割した形状の熱硬化性樹脂硬化物同士を接着する。接着は、熱硬化性樹脂を接着剤として使用し前記嵌合部にこの接着剤を塗布して行う。この接着された熱硬化性樹脂硬化物を炭化焼成してガラス状炭素製パイプを得るようにしている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−１５１５７４号公報（段落番号０００６−００１９）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし前述した従来のガラス状炭素製パイプの製造方法では、ＮＣマシニングなどにより平板状の熱硬化性樹脂硬化物を所要の形状に機械加工するようにしたものであるから、熱硬化性樹脂硬化物がもろくて加工性が良くないので、機械加工に長時間を要して製造コストが高くなるという欠点があった。
【０００８】
また、熱硬化性樹脂硬化物では、機械加工が可能な程度にまで硬化を進ませると、樹脂の反応性が低下して接着性が低下する。このため、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好なものが得られにくいという欠点があった。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、長尺のパイプや、曲折形状のパイプを、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好であるとともに、ネジ部形成あるいは嵌合部形成のための機械加工が不要なことで低コストにて製造することができるガラス状炭素製パイプの製造方法及び該方法により製造されるガラス状炭素製パイプを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は次のように構成されている。
【００１１】
請求項１の発明は、ネジ部を有するとともにパイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこれらを螺合して一体化した後に、炭化焼成することを特徴とするガラス状炭素製パイプの製造方法である。
【００１２】
請求項２の発明は、嵌合部を有するとともにパイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこれらを嵌合して一体化した後に、炭化焼成することを特徴とするガラス状炭素製パイプの製造方法である。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１記載のガラス状炭素製パイプの製造方法において、前記熱硬化性樹脂成形体同士を螺合して一体化するに際し、液状熱硬化性樹脂を接着剤として用いることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項２記載のガラス状炭素製パイプの製造方法において、前記熱硬化性樹脂成形体同士を嵌合して一体化するに際し、液状熱硬化性樹脂を接着剤として用いることを特徴とするものである。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法により製造されるガラス状炭素製パイプであって、パイプ全体の形状が直線状又は曲折した形状であることを特徴とするガラス状炭素製パイプである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
請求項１のガラス状炭素製パイプの製造方法では、まず、ネジ部を有するとともにパイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製する。遠心成形は、遠心力により溶融状態の熱硬化性樹脂を金型（成形型）の内面側に流動させ硬化させる成形法である。この遠心成形を採用することで、パイプ本体部を成形するための本体部用金型とネジ部を成形するためのネジ部用金型とを用いることにより、機械加工によることなく成形されたネジ部を有し、パイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を得ることができる。例えば、真直ぐに延びるパイプ本体部の一端側に雄ネジ部を有し、パイプ本体部の他端側に雌ネジ部を有する熱硬化性樹脂成形体を、２本得る。
【００１７】
次に、一方の熱硬化性樹脂成形体の雌ネジ部と他方の熱硬化性樹脂成形体の雄ネジ部とを螺合し、しかる後、強固な接着が可能な半硬化状態にあるこの螺合された熱硬化性樹脂成形体を、加熱して完全に硬化させて接着し一体化することができる。この場合、液状の熱硬化性樹脂を接着剤として使用し螺合部にこの接着剤を塗布し硬化させることにより、より強固に熱硬化性樹脂成形体同士を接合することができる。
【００１８】
そして、このように螺合して一体化した熱硬化性樹脂成形体同士を炭化焼成することで、長尺のガラス状炭素製パイプを容易に得ることができる。また、同様にして、Ｌ字状パイプのような曲折形状のパイプを容易に得ることができる。
【００１９】
また、請求項２のガラス状炭素製パイプの製造方法では、まず、嵌合部を有するとともにパイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製する。遠心成形を採用することで、パイプ本体部を成形するための本体部用金型と嵌合部を成形するための嵌合部用金型とを用いることにより、機械加工によることなく成形された嵌合部を有し、パイプを長手方向に分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を得ることができる。例えば、真直ぐに延びるパイプ本体部の一端側に嵌合部としてのテーパ状凸部を有し、パイプ本体部の他端側に嵌合部としてのテーパ状凹部を有する熱硬化性樹脂成形体を、２本得る。
【００２０】
次に、一方の熱硬化性樹脂成形体のテーパ状凹部と他方の熱硬化性樹脂成形体のテーパ状凸部とを嵌合し、しかる後、強固な接着が可能な半硬化状態にあるこの嵌合された熱硬化性樹脂成形体を、加熱して完全に硬化させて接着し一体化することができる。この場合、液状の熱硬化性樹脂を接着剤として使用し嵌合部にこの接着剤を塗布し硬化させることにより、より強固に熱硬化性樹脂成形体同士を接合することができる。
【００２１】
そして、このように嵌合して一体化した熱硬化性樹脂成形体同士を炭化焼成することで、長尺のガラス状炭素製パイプを容易に得ることができる。また、同様にして、Ｌ字状パイプのような曲折形状のパイプを容易に得ることができる。
【００２２】
本願請求項１、２の製造方法では、熱硬化性樹脂成形体の寸法精度の低下を防止するとともに、遠心成形後の冷却時、あるいは脱型時における熱硬化性樹脂成形体の割れを防止することが大切である。この点について以下に説明する。
【００２３】
まず、熱硬化性樹脂について説明する。熱硬化性樹脂としては、遠心成形の特性上から液状の熱硬化性樹脂が望ましく、特に硬化収縮率の小さいものが好適である。硬化収縮率［円筒体成形における（金型の内径−成形体の外径）／金型の内径（％）で定義される］は、１．５％以下がよい。そのためには、水分率の小さい液状熱硬化性樹脂、例えばフェノール樹脂で、水分率が５ｗｔ％以下、好ましくは３ｗｔ％以下のものがよい。水分率の測定は、カールフィッシャー法によるものである。このような液状熱硬化性樹脂を用いることで硬化収縮を小さくできるため、遠心成形時や遠心成形後の冷却時における熱硬化性樹脂成形体の寸法精度の低下と割れを防止することができる。
【００２４】
次に、遠心成形において中子を取り外すタイミングについて説明する。熱硬化性樹脂成形体が靭性に乏しいことから、特に中子を使用する場合、熱硬化性樹脂成形体に割れが発生しやすい。本発明の製造方法では、中子としてネジ部用金型などを使用する。そこで、種々検討した結果、遠心成形後の金型の冷却時、熱硬化性樹脂成形体の温度がそのガラス転移温度（Ｔｇ）よりも低くなる前であれば、熱硬化性樹脂成形体の破断歪みが比較的大きいため、熱硬化性樹脂成形体が割れることなく、中子を取り外せることがわかった。中子を取り外した後であれば、熱硬化性樹脂成形体が冷却収縮しても、熱硬化性樹脂成形体には応力は生じないため、熱硬化性樹脂成形体に割れが発生することを防止することができる。
【００２５】
つまり、遠心成形後の冷却時、熱硬化性樹脂成形体の温度がそのガラス転移温度よりも低くなる前に、熱硬化性樹脂成形体を脱型するか、少なくとも中子を熱硬化性樹脂成形体と分離させることで、歪みや割れのない熱硬化性樹脂成形体を得ることができる。なお、遠心成形条件を適宜設定することによって、成形後の熱硬化性樹脂成形体のガラス転移温度を室温以上とすることも可能である。この場合には、室温まで冷却した後に、金型と中子を分解して熱硬化性樹脂成形体を割れることなく取り出すことができる。
【００２６】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。
【００２７】
［実施例１］：実施例１では、ネジ部を有するとともにパイプを長手方向に２分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこれらをパイプ長手方向に接続すべく螺合して一体化した後に、炭化焼成して長尺のガラス状炭素製パイプを作製した。
【００２８】
図１は本発明の実施例１で使用される遠心成形金型を概略的に示す断面図、図２は実施例１によるガラス状炭素製パイプの製造方法を説明するための断面図である。
【００２９】
図１に示すように、遠心成形金型１０は、パイプ本体部を成形するための本体部用金型１０ａと、パイプ本体部の一端側にテーパ雄ネジ部１１ａ（図２参照）を成形するための雄ネジ部用金型１０ｂと、パイプ本体部の他端側に前記テーパ雄ネジ部１１ａと螺合可能なテーパ雌ネジ部１１ｂ（図２参照）を成形するための雌ネジ部用金型１０ｃとにより構成されている。
【００３０】
前記本体部用金型１０ａは円筒状をなし、その両端内側に前記ネジ部用金型１０ｂ，１０ｃを装着するための段差部を有している。本体部用金型１０ａの一端側に装着される雄ネジ部用金型１０ｂは、本体部用金型１０ａの長手方向中央側に行くに従って拡径するテーパ雄ネジ形成部を有している。また、本体部用金型１０ａの他端側に装着される雌ネジ部用金型１０ｃは、本体部用金型１０ａの長手方向中央側に行くに従って縮径するテーパ雌ネジ形成部を有している。本体部用金型１０ａは熱硬化性樹脂成形体の取り出しを容易にするため２分割構造になっている。遠心成形に際しては、遠心成形金型１０内に原料である熱硬化性樹脂を装填し、遠心成形金型１０を回転させながら、熱硬化性樹脂を硬化反応の進行する温度以上に加熱する。熱硬化性樹脂に対する加熱は、遠心成形金型１０を囲繞するように配置された電気ヒータにより行われるようになっている。
【００３１】
まず、市販の液状フェノール樹脂：群栄化学製ＰＬ４８０４を減圧下にて１００℃で１時間熱処理して水分率を調整し、水分率が５ｗｔ％以下にしたものをガラス状炭素原料とした。
【００３２】
次に、このガラス状炭素原料を遠心成形金型１０内に装填し、遠心成形金型１０表面温度を７５℃に保持したまま１０時間、遠心成形金型１０を所定速度で回転させて遠心成形を行った。その後、遠心成形金型１０を７０℃まで冷却した時点（すなわち熱硬化性樹脂成形体を７０℃まで冷却した時点）で、ネジ部用金型１０ｂ，１０ｃを取り外し、さらに室温まで冷却を行った。このような遠心成形を２回に行って、図２に示すように、真直ぐに延びるパイプ本体部の一端側にテーパ雄ネジ部１１ａを有し、他端側にテーパ雌ネジ部１１ｂを有する熱硬化性樹脂成形体１１を、２本得た。なお、示差走査熱量計（ＤＳＣ）で測定したところ、前記成形条件で得られた樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）は５８℃であり、ネジ部用金型１０ｂ，１０ｃを取り外すことなく、遠心成形金型１０を室温まで冷却した場合には、テーパネジ部１１ａ，１１ｂに亀裂が発生し、良好な熱硬化性樹脂成形体が得られなかった。
【００３３】
次に、一方の熱硬化性樹脂成形体１１のテーパ雌ネジ部１１ｂと該ネジ部１１ｂに連なる円環状突合せ面とに接着剤を塗布した。同様に、他方の熱硬化性樹脂成形体１１のテーパ雄ネジ部１１ａとこれに連なる円環状突合せ面とに接着剤を塗布した。接着剤としては、前記ガラス状炭素原料として使用した同じ液状フェノール樹脂を用いた。そして、一方の熱硬化性樹脂成形体１１のテーパ雌ネジ部１１ｂに他方の熱硬化性樹脂成形体１１のテーパ雄ネジ部１１ａを螺合して接着し、８０℃で２４時間保持し、２本の熱硬化性樹脂成形体１１を一体化した。さらに、このものを空気中にて２５０℃で４８時間加熱して完全硬化させた。
【００３４】
次に、一体化し接続された２本の熱硬化性樹脂成形体１１を、窒素雰囲気中にて１０００℃で熱処理して炭化させた。このようにして、厚み１ｍｍ、外径１０ｍｍ、長さ９００ｍｍのガラス状炭素製パイプを得た。この長尺のガラス状炭素製パイプは、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好であった。
【００３５】
［実施例２］：実施例２では、一端にネジ部を有し、封じられた他端の近傍に側管用ネジ部を有する直管状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこの直管状の熱硬化性樹脂成形体と、一端にネジ部を有するもう一方の直管状の熱硬化性樹脂成形体とをＬ字型に接続すべく螺合して一体化した後に、炭化焼成してＬ字状のガラス状炭素製パイプを作製した。
【００３６】
図３は本発明の実施例２で使用される遠心成形金型を概略的に示す断面図、図４は実施例２によるガラス状炭素製パイプの製造方法を説明するための断面図である。
【００３７】
図３に示すように、遠心成形金型２０は、パイプ本体部を成形するための本体部用金型２０ａと、パイプ本体部の一端側にテーパ雄ネジ部２１ａ（図４参照）を成形するための雄ネジ部用金型２０ｂと、パイプ本体部の他端寄り部位に側管用テーパ雌ネジ部２１ｂ（図４参照）を成形するための側管用雌ネジ部用金型２０ｃと、パイプ本体部の他端側を閉じるための端部用金型２０ｄとにより構成されている。
【００３８】
遠心成形にあたり、遠心成形金型２０内には、図３に示すように、板状に成形された熱硬化性樹脂からなる樹脂板２３が配置されている。この樹脂板２３は、切断加工などの加工処理が可能な程度に硬化したものであり、最終的にＬ字状のガラス状炭素製パイプの一部分となるものである。
【００３９】
実施例１と同一のガラス状炭素原料及び成形条件にて遠心成形を行って、図４に示すように、真直ぐに延びるパイプ本体部の一端側にテーパ雄ネジ部２１ａを有し、閉じられた他端側に近い部位に側管用テーパ雌ネジ部２１ｂを有する熱硬化性樹脂成形体２１を得た。また、同時に、図示しない遠心成形金型を用い、実施例１と同一のガラス状炭素原料及び成形条件にて遠心成形を行うことにより、図４に示すように、真直ぐに延びるパイプ本体部の一端側に前記側管用テーパ雌ネジ部２１ｂに螺合可能なテーパ雄ネジ部２２ａを有する側管用熱硬化性樹脂成形体２２を得た。
【００４０】
そして、側管用テーパ雌ネジ部２１ｂとテーパ雄ネジ部２２ａとを螺合して接着し、８０℃で２４時間保持し、熱硬化性樹脂成形体２１と側管用熱硬化性樹脂成形体２２を一体化した。さらに、このものを空気中にて２５０℃で４８時間加熱して完全硬化させた。なお、接着剤としては、実施例１と同じ液状フェノール樹脂を用いた。
【００４１】
次に、一体化し接続された２本の熱硬化性樹脂成形体２１，２２を、窒素雰囲気中にて１０００℃で熱処理して炭化させて、Ｌ字状のガラス状炭素製パイプを得た。このＬ字状のガラス状炭素製パイプは、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好であった。
【００４２】
［実施例３］：実施例３では、嵌合部を有するとともにパイプを長手方向に２分割した形状の熱硬化性樹脂成形体を、遠心成形により作製し、次いでこれらをパイプ長手方向に接続すべく嵌合して一体化した後に、炭化焼成して長尺のガラス状炭素製パイプを作製した。
【００４３】
図５は本発明の実施例３で使用される遠心成形金型を概略的に示す断面図、図６は実施例３によるガラス状炭素製パイプの製造方法を説明するための断面図である。
【００４４】
図５に示すように、遠心成形金型３０は、パイプ本体部を成形するための本体部用金型３０ａと、パイプ本体部の一端側にテーパ状凸部３１ａ（図６参照）を成形するための凸部用金型３０ｂと、パイプ本体部の他端側に前記テーパ状凸部３１ａに嵌合可能なテーパ状凹部３１ｂ（図６参照）を成形するための凹部用金型３０ｃとにより構成されている。本体部用金型３０ａは円筒状をなし、その両端内側に前記金型３０ｂ，３０ｃを装着するための段差部を有している。本体部用金型３０ａの一端側に装着される凸部用金型３０ｂは、本体部用金型３０ａの長手方向中央側に行くに従って拡径するテーパ状凸部形成部を有している。また、本体部用金型３０ａの他端側に装着される凹部用金型３０ｃは、本体部用金型３０ａの長手方向中央側に行くに従って縮径するテーパ状凹部形成部を有している。
【００４５】
実施例１と同一のガラス状炭素原料及び成形条件にて遠心成形を行って、図６に示すように、真直ぐに延びるパイプ本体部の一端側にテーパ状凸部３１ａを有し、他端側にテーパ状凹部３１ｂを有する熱硬化性樹脂成形体３１を、２本得た。
【００４６】
そして、テーパ状凹部３１ｂとテーパ状凸部３１ａとを嵌合して接着し、８０℃で２４時間保持し、２本の熱硬化性樹脂成形体３１を一体化した。さらに、このものを空気中にて２５０℃で４８時間加熱して完全硬化させた。なお、接着剤としては、実施例１と同じ液状フェノール樹脂を用いた。このとき、一方の熱硬化性樹脂成形体３１のテーパ状凹部３１ｂと該凹部３１ｂに連なる円環状突合せ面とに接着剤を塗布した。同様に、他方の熱硬化性樹脂成形体３１のテーパ状凸部３１ａとこれに連なる円環状突合せ面とに接着剤を塗布した。
【００４７】
次に、一体化し接続された２本の熱硬化性樹脂成形体３１を、窒素雰囲気中にて１０００℃で熱処理して炭化させた。このようにして、厚み１ｍｍ、外径１０ｍｍ、長さ９００ｍｍのガラス状炭素製パイプを得た。この長尺のガラス状炭素製パイプは、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好であった。
【００４８】
なお、前記図４における熱硬化性樹脂成形体２１において、テーパ雄ネジ部２１ａに代えてテーパ状凸部を形成するとともに、側管用テーパ雌ネジ部２１ｂに代えて側管用テーパ状凹部を形成し、さらに、側管用熱硬化性樹脂成形体２２においてテーパ雄ネジ部２２ａに代えてテーパ状凸部を形成することにより、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好なＬ字状のガラス状炭素製パイプを作製することができる。
【００４９】
［比較例１］：実施例１と同一のガラス状炭素原料を使用し、ネジ部のない単なる円筒形をなす熱硬化性樹脂成形体を作製した。機械加工により前記熱硬化性樹脂成形体にテーパ雄ネジ部とテーパ雌ネジ部とを形成しようとしたが、熱硬化性樹脂成形体はもろくて加工性が劣ることから、破損した。
【００５０】
［比較例２］：実施例１と同一のガラス状炭素原料を使用し、ネジ部のない単なる円筒形をなす熱硬化性樹脂成形体を作製した。液状フェノール樹脂を接着剤として用いて２本の熱硬化性樹脂成形体の端面同士を突き合わせて接着し、実施例１と同一の条件で硬化及び炭化焼成した。得られたガラス状炭素製パイプは、炭化焼成時に変形が生じ、また、接合強度が不十分であった。
【００５１】
［比較例３］：実施例１と同様の条件で、遠心成形と炭化焼成を行って、パイプ本体部の一端側にテーパ雄ネジ部を有し、他端側にテーパ雌ネジ部を有する２分割された長さのガラス状炭素管を２本得た。液状フェノール樹脂を接着剤として用い２本のガラス状炭素管同士を螺合し、このものを実施例１と同じ条件でさらに炭化焼成した。得られた長尺のガラス状炭素製パイプは、ガラス状炭素が化学的に不活性であることから、その接合部分のガス気密性が不十分で実用化は無理であった。
【００５２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のガラス状炭素製パイプの製造方法によれば、ガラス状炭素製パイプを製造するに際し、長尺のパイプや、Ｌ字状のような曲折形状のパイプを、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好であるとともに、接合用のネジ部形成のための機械加工が不要なことで低コストにて製造することができる。また、本発明のガラス状炭素製パイプの製造方法によれば、長尺のパイプや、Ｌ字状のような曲折形状のパイプを、接合部の機械的強度及びガス気密性が良好であるとともに、接合用の嵌合部形成のための機械加工が不要なことで低コストにて製造することができる。また、本発明のガラス状炭素製パイプは、長尺のパイプや、Ｌ字状のような曲折形状のパイプであって、接合部の機械的強度及びガス気密性に優れ、しかも接合のための機械加工が不要なことで製造コスト低減に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１で使用される遠心成形金型を概略的に示す断面図である。
【図２】実施例１によるガラス状炭素製パイプの製造方法を説明するための断面図である。
【図３】本発明の実施例２で使用される遠心成形金型を概略的に示す断面図である。
【図４】実施例２によるガラス状炭素製パイプの製造方法を説明するための断面図である。
【図５】本発明の実施例３で使用される遠心成形金型を概略的に示す断面図である。
【図６】実施例３によるガラス状炭素製パイプの製造方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
１０…遠心成形金型  １０ａ…本体部用金型  １０ｂ…雄ネジ部用金型  １０ｃ…雌ネジ部用金型  １１…熱硬化性樹脂成形体  １１ａ…テーパ雄ネジ部  １１ｂ…テーパ雌ネジ部  ２０…遠心成形金型  ２０ａ…本体部用金型  ２０ｂ…雄ネジ部用金型  ２０ｃ…側管用雌ネジ部用金型  ２０ｄ…端部用金型  ２１…熱硬化性樹脂成形体  ２１ａ…テーパ雄ネジ部  ２１ｂ…側管用テーパ雌ネジ部２２…側管用熱硬化性樹脂成形体  ２２ａ…テーパ雄ネジ部  ２３…樹脂板  ３０…遠心成形金型  ３０ａ…本体部用金型  ３０ｂ…凸部用金型  ３０ｃ…凹部用金型  ３１…熱硬化性樹脂成形体  ３１ａ…テーパ状凸部  ３１ｂ…テーパ状凹部
【図１】
2004352545.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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