(57)【要約】【課題】シャッタ段差の発生を抑制し、またパンチスルーやインジェクションの発生を抑制した絶縁ゲート型電界効果トランジスタおよびそれを用いた固体撮像装置およびそれらの製造方法を提供する。【解決手段】半導体基板１１上にゲート絶縁膜３１を介してゲート電極３２が形成され、ゲート電極３１の両側における半導体基板１１にソース領域３３、ドレイン領域３４が形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタ３０であって、ソース領域３３、ドレイン領域３４よりも深い位置の半導体基板１１に形成されたＰ型の第１拡散層１２と、第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１に形成された第１拡散層１２よりも高濃度のＰ型の第２拡散層１３とを備えたもので、固体撮像装置の出力回路を構成するもので半導体基板に形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てに用いることができる。【選択図】　　　　図１
2004079770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上にゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、前記ゲート電極の両側における前記半導体基板にソース、ドレイン領域が形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタであって、
前記ソース、ドレイン領域よりも深い位置の前記半導体基板に形成されたＰ型の第１拡散層と、
前記第１拡散層よりも深い位置の前記半導体基板に形成された前記第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層と
を備えたことを特徴とする絶縁ゲート型電界効果トランジスタ。
【請求項２】
前記ソース、ドレイン領域間に置ける前記半導体基板に、前記ゲート電極側に前記半導体基板領域を残した状態でＮ型の拡散層が形成されていること
を特徴とする請求項１記載の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ。
【請求項３】
半導体基板上にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成し、前記ゲート電極の両側における前記半導体基板にソース、ドレイン領域を形成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製造方法であって、
予め、前記半導体基板に、前記ソース、ドレイン領域が形成される領域よりも深い位置の前記半導体基板にＰ型の第１拡散層を形成する工程と、
前記第１拡散層よりも深い位置の前記半導体基板に前記第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を形成する工程と
を備えたことを特徴とする絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製造方法。
【請求項４】
予め、前記半導体基板の前記ソース、ドレイン領域が形成される間の領域に、前記半導体基板表面側に前記半導体基板領域を残した状態でＮ型の拡散層を形成すること
を特徴とする請求項３記載の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製造方法。
【請求項５】
電荷結合型の固体撮像装置において、
前記固体撮像装置の出力回路を構成するもので半導体基板に形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全ては、
前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタの各ソース、ドレイン領域よりも深い位置の前記半導体基板に形成されたＰ型の第１拡散層と、
前記第１拡散層よりも深い位置の前記半導体基板に形成された前記第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層と
を備えたことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項６】
電荷結合型の固体撮像装置の製造方法において、
前記固体撮像装置の出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てを形成する際に、
予め、前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタが形成される半導体基板に、前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタのソース、ドレイン領域が形成される領域よりも深い位置の前記半導体基板にＰ型の第１拡散層を形成する工程と、
前記第１拡散層よりも深い位置の前記半導体基板に前記第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を形成する工程と
を行うことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁ゲート型電界効果トランジスタとその製造方法および固体撮像装置とその製造方法に関し、詳しくはパンチスルーやインジェクションの発生を抑えた絶縁ゲート型電界効果トランジスタとその製造方法および固体撮像装置とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＣＣＤ固体撮像素子の出力回路を構成するＭＯＳ及びＭＯＮＯＳトランジスタには、高利得を得るためバックゲートを空乏化させているものを用いている。
【０００３】
従来から知られているＣＣＤ（電荷結合型）固体撮像素子の出力回路を構成するドライブトランジスタを、図９の概略構成断面図によって説明する。図９に示すように、Ｎ型の半導体基板１１上にはゲート絶縁膜３１を介してゲート電極３２が形成され、このゲート電極３２の両側における上記半導体基板１１にはＰ型のソース領域３３、ドレイン領域３４が形成されている。またこのソース領域３３、ドレイン領域３４よりも深い位置の上記半導体基板１１にはＰ＋　型の拡散層２２が形成されている。このように、ドライブトランジスタ３００が構成されている。
【０００４】
上記ドライブトランジスタ３００のチャネル下部のポテンシャルを、図１０のポテンシャル図によって説明する。図１０に示すように、ドライブトランジスタ３００では、ソースフォロア型出力回路として高利得を得るため、バックゲートを空乏化させている。
【０００５】
次に、従来から知られている、ＣＣＤ固体撮像装置の出力回路の定電流トランジスタを図１１の概略構成断面図によって説明する。図１１に示すように、Ｎ型の半導体基板１１上にはゲート絶縁膜４１を介してゲート電極４２が形成され、このゲート電極４２の両側における上記半導体基板１１にはＰ型のソース領域４３、ドレイン領域４４が形成されている。このソース領域４３、ドレイン領域４４間における半導体基板１１に、ゲート電極４２側に半導体基板１１領域を残した状態でＮ＋　型の拡散層４５が形成されている。またこのソース領域４３、ドレイン領域４４よりも深い位置の上記半導体基板１１にはＰ＋　型の拡散層２２が形成されている。このように、定電流トランジスタ４００が構成されている。
【０００６】
上記定電流トランジスタ４００のチャネル下部のポテンシャルを、図１２のポテンシャル図によって説明する。図１２に示すように、定電流トランジスタ４００のバックゲートがいわゆるニュートラル状態（ポテンシャル０の状態）となっている。定電流トランジスタ４００では、利得は必要無いため、バックゲートをニュートラルにしたものの他に、空乏化させたものも存在する。また図１０に示されたドライブトランジスタ３００のポテンシャルと図１２に示された定電流トランジスタ４００のポテンシャルとを比較すると、利得や周波数特性をふまえた最適な動作点を得るためにチャネルポテンシャルは異なり、結合容量が異なっている。
【０００７】
さらに、ドライブトランジスタと定電流トランジスタとでは、基板とチャンネルとの結合容量が異なっており、図１３に示す電子シャッタ印加時におけるドライブトランジスタ３００のチャネル下のポテンシャル図、および図１４に示す電子シャッタ印加時における定電流トランジスタ４００のチャネル下のポテンシャル図によれば、チャネルが受けるバックゲート効果に差が現われることがわかる。この状態で電子シャッタを印加した際、出力回路の動作点が変動し、撮像画質にレベルの段差が現われる「シャッタ段差」が生ずる。
【０００８】
また、ＣＣＤ固体撮像装置に内蔵されるＭＯＳトランジスタおよびＭＯＮＯＳトランジスタ等の絶縁ゲート型電界効果トランジスタは多様化しており、動作点およびチャネルポテンシャルもさまざまな形態が存在する。例えば前記図１１と同様なる構成をとるリセットゲートのように、目的として高利得特性が必要なトランジスタがある。このようなリセットゲートトランジスタでは、図１５のポテンシャル図に示すような電子シャッタ印加時における従来のリセットゲートトランジスタのチャネル下のポテンシャルを示す。図面において、破線で示すポテンシャル曲線は電子シャッタ印加前であり、実線で示すポテンシャル曲線は電子シャッタ印加後である。電子シャッタを印加した後では、ポテンシャル差が小さくなるためにチャネルから基板へのパンチスルーまたは基板からチャネルへのインジェクションが起こりやすくなる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、固体撮像装置の出力回路におけるソースフォロアのドライブトランジスタや定電流トランジスタは、利得や周波数特性をふまえた最適な動作点を得るために、バックゲートのポテンシャルが異なっている。このため、電子シャッタを印加した際にはドライブトランジスタと定電流トランジスタのバックゲート効果の違いにより出力レベルが変動する現象（以降、「シャッタ段差」という）が発生し、撮像画質に出力の段差が現われる不具合が起こりやすい。
【００１０】
また、近年はさらに高利得化をはかるため、定電流トランジスタのチャネルポテンシャルが高くなってきており、チャネルから基板へのパンチスルーが起こりやすくなっている。さらに、バイアス回路などの多様な回路をＣＣＤ固体撮像装置へ内蔵するようにもなってきている。それらを構成するトランジスタや、リセットゲートについても目的によっては高利得のためバックゲートを空乏化させているものがある。これらも同様にパンチスルーや、基板からのインジェクションが発生しやすい。
【００１１】
本発明は、シャッタ段差の発生を抑制し、またパンチスルーやインジェクションの発生を抑制した絶縁ゲート型電界効果トランジスタおよびそれを用いた固体撮像装置およびそれらの製造方法を提供することを課題としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するためになされた絶縁ゲート型電界効果トランジスタとその製造方法および固体撮像装置とその製造方法である。
【００１３】
本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタは、半導体基板上にゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、前記ゲート電極の両側における前記半導体基板にソース、ドレイン領域が形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタであって、前記ソース、ドレイン領域よりも深い位置の前記半導体基板に形成されたＰ型の第１拡散層と、前記第１拡散層よりも深い位置の前記半導体基板に形成された前記第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層とを備えたものである。
【００１４】
上記絶縁ゲート型電界効果トランジスタでは、第１拡散層よりも深い位置の半導体基板に第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を備えたことから、半導体基板の深い位置にポテンシャルのニュートラル状態を作り出すことができる。このため、電荷のぶれが少なくなり、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる。
【００１５】
本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製造方法は、半導体基板上にゲート絶縁膜を介してゲート電極が形成され、前記ゲート電極の両側における前記半導体基板にソース、ドレイン領域が形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製造方法であって、予め、前記半導体基板に、前記ソース、ドレイン領域が形成される領域よりも深い位置の前記半導体基板にＰ型の第１拡散層を形成する工程と、前記第１拡散層よりも深い位置の前記半導体基板に前記第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を形成する工程とを備えている。
【００１６】
上記絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製造方法では、第１拡散層よりも深い位置の半導体基板に第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を形成することから、半導体基板の深い位置にポテンシャルのニュートラル状態を作り出すことができる。このため、電荷のぶれが少ない、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる絶縁ゲート型電界効果トランジスタを製造できる。
【００１７】
本発明の固体撮像装置は、電荷結合型の固体撮像装置において、前記固体撮像装置の出力回路を構成するもので半導体基板に形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全ては、前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタの各ソース、ドレイン領域よりも深い位置の前記半導体基板に形成されたＰ型の第１拡散層と、前記第１拡散層よりも深い位置の前記半導体基板に形成された前記第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層とを備えたものである。
【００１８】
上記固体撮像装置では、出力回路を構成するもので半導体基板に形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てに本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタを用いることから、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけても、絶縁ゲート型電界効果トランジスタは、基板の深い位置におけるポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制される。
【００１９】
本発明の固体撮像装置の製造方法は、電荷結合型の固体撮像装置の製造方法において、前記固体撮像装置の出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てを形成する際に、予め、前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタが形成される半導体基板に、前記ドライブトランジスタと前記定電流トランジスタの各ソース、ドレイン領域が形成される領域よりも深い位置の前記半導体基板にＰ型の第１拡散層を形成する工程と、前記第１拡散層よりも深い位置の前記半導体基板に前記第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を形成する工程とを行う。
【００２０】
上記固体撮像装置の製造方法では、固体撮像装置の出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てを本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタで形成することから、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけても、出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタは、基板の深い位置におけるポテンシャルのニュートラル状態が変動しないものとなっているので、チャネルへの電荷の影響が抑制される。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタに係る第１実施の形態を、図１の概略構成断面図によって説明する。
【００２２】
図１に示すように、Ｎ型の半導体基板１１上にはゲート絶縁膜３１を介してゲート電極３２が形成され、このゲート電極３２の両側における上記半導体基板１１にはＰ型のソース領域３３、ドレイン領域３４が形成されている。
【００２３】
またこのソース領域３３、ドレイン領域３４よりも深い位置の上記半導体基板１１にはＰ＋　型の第１拡散層１２が形成されている。この第１拡散層１２は、半導体基板１１表面より不純物濃度のピーク位置が０．６μｍ以下の深さにあり、好ましくは０．１５μｍ以上０．４５μｍ以下の深さにある。また第１拡散層１２の不純物濃度は１×１０１６／ｃｍ３　以上６×１０１６／ｃｍ３　以下であり、好ましくは１．５×１０１６／ｃｍ３　以上３×１０１６／ｃｍ３　以下である。
【００２４】
さらに上記第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１には第１拡散層１２よりも高濃度のＰ＋＋型の第２拡散層１３が形成されている。この第２拡散層１３は、半導体基板１１表面より不純物濃度のピーク位置が３μｍ以上の深さにあり、好ましくは３．５μｍ以上４．５μｍ以下の深さにある。また第２拡散層１３の不純物濃度は１．５×１０１６／ｃｍ３　以上６×１０１６／ｃｍ３　以下であり、好ましくは２×１０１６／ｃｍ３　以上４×１０１６／ｃｍ３　以下である。このように、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ３０が構成されている。この絶縁ゲート型電界効果トランジスタ３０は、固体撮像装置の出力回路におけるドライブトランジスタに用いることができる。
【００２５】
次に、第１実施の形態の絶縁ゲート型電界効果トランジスタのポテンシャルを、図２のポテンシャル図によって説明する。
【００２６】
上記絶縁ゲート型電界効果トランジスタ３０では、第１拡散層よりも深い位置の半導体基板に第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を備えたことから、図２に示すように、半導体基板（基板）１１の深い位置、すなわち、高濃度のＰ型の第２拡散層１３よりも深い位置にポテンシャルのニュートラル状態（ポテンシャル０の状態）を作り出すことができる。このため、電荷のぶれが少なくなり、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる。またこのようなトランジスタを固体撮像装置のソースフォロワ型信号電流増幅回路のドライブトランジスタに用いた場合には、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけてもポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制される。
【００２７】
次に、本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタに係る第２実施の形態を、図３の概略構成断面図によって説明する。
【００２８】
図３に示すように、Ｎ型の半導体基板１１上にはゲート絶縁膜４１を介してゲート電極４２が形成され、このゲート電極４２の両側における上記半導体基板１１にはＰ型のソース領域４３、ドレイン領域４４が形成されている。またソース領域４３、ドレイン領域４４間に置ける半導体基板１１には、ゲート電極４２側に半導体基板１１領域を残した状態でＮ型の拡散層４５が形成されている。
【００２９】
さらに、上記ソース領域４３、ドレイン領域４４よりも深い位置の上記半導体基板１１にはＰ＋　型の第１拡散層１２が形成されている。この第１拡散層１２は、半導体基板１１表面より不純物濃度のピーク位置が０．６μｍ以下の深さにあり、好ましくは０．１５μｍ以上０．４５μｍ以下の深さにある。また第１拡散層１２の不純物濃度は１×１０１６／ｃｍ３　以上６×１０１６／ｃｍ３　以下であり、好ましくは１．５×１０１６／ｃｍ３　以上３×１０１６／ｃｍ３　以下である。
【００３０】
さらに上記第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１には第１拡散層１２よりも高濃度のＰ＋＋型の第２拡散層１３が形成されている。この第２拡散層１３は、半導体基板１１表面より不純物濃度のピーク位置が３μｍ以上の深さにあり、好ましくは３．５μｍ以上４．５μｍ以下の深さにある。また第２拡散層１３の不純物濃度は１．５×１０１６／ｃｍ３　以上６×１０１６／ｃｍ３　以下であり、好ましくは２×１０１６／ｃｍ３　以上４×１０１６／ｃｍ３　以下である。このように、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ４０が構成されている。この絶縁ゲート型電界効果トランジスタ４０は、固体撮像装置の出力回路における定電流トランジスタやリセットゲートトランジスタに用いることができる。
【００３１】
第２実施の形態の絶縁ゲート型電界効果トランジスタのポテンシャルを、図４のポテンシャル図によって説明する。
【００３２】
上記絶縁ゲート型電界効果トランジスタ４０では、第１拡散層よりも深い位置の半導体基板に第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を備えたことから、図４に示すように、半導体基板（基板）１１の深い位置、すなわち、高濃度のＰ型の第２拡散層１３よりも深い位置にポテンシャルのニュートラル状態（ポテンシャル０の状態）を作り出すことができる。このため、電荷のぶれが少なくなり、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる。またこのようなトランジスタを固体撮像装置のソースフォロワ型信号電流増幅回路のドライブトランジスタに用いた場合には、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけてもポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制される。
【００３３】
上記図１および図３によって説明した絶縁ゲート型電界効果トランジスタは、ＣＣＤ固体撮像素子に内蔵されている全ての回路を構成するＭＯＳおよびＭＯＮＯＳ型トランジスタに適用することができる。
【００３４】
本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ製造方法に係る第１実施の形態を、前記図１の製造工程断面図によって説明する。
【００３５】
前記図１に示すように、半導体基板１１上にゲート絶縁膜３１、ゲート電極３２、および半導体基板１１に４Ｐ型のソース領域３３、ドレイン領域３４を形成する前に、予め、次の２工程を行う。
【００３６】
第１の工程は、半導体基板１１に、Ｐ型のソース領域３３、ドレイン領域３４が形成される領域よりも深い位置の半導体基板１１にＰ型の不純物をドーピングして第１拡散層１２を形成する。この第１拡散層１２は、半導体基板１１表面より不純物濃度のピーク位置が０．６μｍ以下の深さになり、好ましくは０．１５μｍ以上０．４５μｍ以下の深さになるようにする。および第１拡散層１２の不純物濃度は１×１０１６／ｃｍ３　以上６×１０１６／ｃｍ３　以下となり、好ましくは１．５×１０１６／ｃｍ３　以上３×１０１６／ｃｍ３　以下となるようにする。上記不純物のドーピングは、例えばイオン注入方により行われる。そのときのドーズ量、注入エネルギー等は、上記不純物濃度のピーク位置となるようにおよび不純物濃度となるように、適宜設定する。
【００３７】
第２の工程は、上記第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１に第１拡散層１２よりも高濃度のＰ＋＋型の第２拡散層１３を形成する。この第２拡散層１３は、半導体基板１１表面より不純物濃度のピーク位置が３μｍ以上の深さになり、好ましくは３．５μｍ以上４．５μｍ以下の深さになるようにする。および第２拡散層１３の不純物濃度は、１．５×１０１６／ｃｍ３　以上６×１０１６／ｃｍ３　以下となり、好ましくは２×１０１６／ｃｍ３　以上４×１０１６／ｃｍ３　以下となるようにする。上記不純物のドーピングは、例えばイオン注入方により行われる。そのときのドーズ量、注入エネルギー等は、上記不純物濃度のピーク位置となるようにおよび不純物濃度となるように、適宜設定する。例えば、３ＭｅＶ以上の高エネルギーかつ１×１０１２／ｃｍ２　以上のドーズ量でＰ型不純物（例えばホウ素（Ｂ＋　）、二フッ化ホウ素（ＢＦ２　＋　）等）を注入することにより実現できる。
【００３８】
その後、通常のトランジスタ形成技術によって、上記半導体基板１１に、ゲート絶縁膜３１、ゲート電極３２、４Ｐ型のソース領域３３、ドレイン領域３４を形成する。なお、上記第１拡散層１２を形成する第１の工程と第２拡散層１３を形成する第２の工程とはどちらを先に行ってもよい。
【００３９】
上記絶縁ゲート型電界効果トランジスタ３０の製造方法では、第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１に第１拡散層１２よりも高濃度のＰ＋＋型の第２拡散層１３を形成することから、半導体基板１１の深い位置、すなわち、高濃度のＰ型の第２拡散層１３よりも深い位置にポテンシャルのニュートラル状態（ポテンシャル０の状態）を作り出すことができる。このため、電荷のぶれが少なくなり、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる。またこのようなトランジスタを固体撮像装置のソースフォロワ型信号電流増幅回路のドライブトランジスタに用いた場合には、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけてもポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制される。
【００４０】
本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ製造方法に係る第２実施の形態を、前記図３の製造工程断面図によって説明する。
【００４１】
前記図３に示すように、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ４０の製造方法は、前記第１実施の形態と同様に、半導体基板１１に、Ｐ型のソース領域４３、ドレイン領域４４が形成される領域よりも深い位置の半導体基板１１にＰ型の不純物をドーピングして第１拡散層１２を形成する第１の工程と、上記第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１に第１拡散層１２よりも高濃度のＰ＋＋型の第２拡散層１３を形成する第２の工程とを行った後に、半導体基板１１のソース領域４３、ドレイン領域４４が形成される間の領域に、半導体基板１１表面側に半導体基板１１領域を残した状態で前記第１拡散層１２よりも浅い位置にＮ型の拡散層４５を形成する。なお、上記第１拡散層１２、第２拡散層１３、Ｎ型の拡散層４５の形成順は一例であって、どの拡散層を先に形成してもよく、その形成順は問わない。その後、通常のトランジスタ形成技術によって、半導体基板１１上に、ゲート絶縁膜４１、ゲート電極４２、Ｐ型のソース領域４３、ドレイン領域４４を形成すればよい。
【００４２】
上記絶縁ゲート型電界効果トランジスタ４０の製造方法では、第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１に第１拡散層１２よりも高濃度のＰ＋＋型の第２拡散層１３を形成することから、半導体基板１１の深い位置、すなわち、高濃度のＰ型の第２拡散層１３よりも深い位置にポテンシャルのニュートラル状態（ポテンシャル０の状態）を作り出すことができる。このため、電荷のぶれが少なくなり、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる。またこのようなトランジスタを固体撮像装置のソースフォロワ型信号電流増幅回路の定電流トランジスタに用いた場合には、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけてもポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制される。
【００４３】
本発明の固体撮像装置に係る実施の形態を、前記図５の（１）ＣＣＤ固体撮像装置全体図と出力回路図および前記図１と図３によって説明する。
【００４４】
前記図５に示すように、固体撮像装置１は、概略、マトリックス状に配置された受光センサ２と各受光センサ列に隣接して配置された垂直レジスタ３とで構成される受光部４と水平レジスタ５と出力回路部６とで構成されている。固体撮像装置１に光が入射すると、上記受光部４の受光センサ２によって電気信号に変換され、垂直レジスタ３、水平レジスタ５を通って出力回路６より出力される。図中の矢印は信号転送方向を示す。
【００４５】
この出力回路６は、図（２）に示すように、ソースフォロワ型電流増幅回路であり、そのドライブトランジスタ７は前記図１によって説明した構成の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ３０からなり、定電流トランジスタ８は前記図３によって説明した絶縁ゲート型電界効果トランジスタ４０からなっている。また、図示はしていないが、上記固体撮像装置１のリセットゲートトランジスタにも前記図３によって説明した絶縁ゲート型電界効果トランジスタ４０の構成を採用することができる。このように、固体撮像装置１では、その出力回路６を構成するもので半導体基板に形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てに前記図１もしくは前記図３によって説明した絶縁ゲート型電界効果トランジスタを採用することができる。
【００４６】
上記固体撮像装置１では、出力回路６を構成するもので半導体基板に形成されたドライブトランジスタの一部もしくは全てに本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタを用いることから、固体撮像装置１の電子シャッタを動作させるために半導体基板に高い電圧をかけても、絶縁ゲート型電界効果トランジスタは、半導体基板の深い位置におけるポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制される。このことを以下に説明する。
【００４７】
上記固体撮像装置１の実施の形態に係るドライブトランジスタのポテンシャルを、図６のポテンシャル図によって説明する。
【００４８】
上記ドライブトランジスタ７（絶縁ゲート型電界効果トランジスタ３０）では、第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１に第１拡散層１２よりも高濃度のＰ型の第２拡散層１３を備えたことから、図６に示すように、半導体基板１１の深い位置、すなわち、高濃度のＰ型の第２拡散層１３よりも深い位置にポテンシャルのニュートラル状態（ポテンシャル０の状態）を作り出すことができる。これにより、電子シャッタを印加しても、ポテンシャル変動が極めて少なくなり、バックゲートが通常の動作領域全域においてニュートラルとなって、バックゲート効果およびチャネルと半導体基板との間の電荷流入が起こらなくなる。しかも第２拡散層１３を形成するためにＰ型不純物を高エネルギーで注入しているため、チャネルとの結合容量は極めて小さく、トランジスタのポテンシャル変動、利得特性には影響を及ぼさない。このため、電荷のぶれが少なくなり、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる。このように、固体撮像装置１の電子シャッタを動作させるために半導体基板１１に高い電圧をかけてもポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制され、安定した撮像画質の出力が得られる。図面において、破線で示すポテンシャル曲線は電子シャッタ印加前であり、実線で示すポテンシャル曲線は電子シャッタ印加後である。
【００４９】
次に、上記固体撮像装置１の実施の形態に係る定電流トランジスタのポテンシャルを、図７のポテンシャル図によって説明する。
【００５０】
図７に示すように、上記定電流トランジスタ８（絶縁ゲート型電界効果トランジスタ４０）では、第１拡散層１２よりも深い位置の半導体基板１１に第１拡散層１２よりも高濃度のＰ型の第２拡散層１３を備えたことから、半導体基板１１の深い位置、すなわち、高濃度のＰ型の第２拡散層１３よりも深い位置にポテンシャルのニュートラル状態（ポテンシャル０の状態）を作り出すことができる。これにより、ポテンシャル変動が極めて少なくなり、バックゲートが通常の動作領域全域においてニュートラルとなって、バックゲート効果及びチャネルと半導体基板との間の電荷流入が起こらなくなる。しかも第２拡散層１３を形成するためにＰ型不純物を高エネルギーで注入しているため、チャネルとの結合容量は極めて小さく、トランジスタのポテンシャル変動、利得特性には影響を及ぼさない。このため、電荷のぶれが少なくなり、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる。このように、固体撮像装置１の電子シャッタを動作させるために半導体基板１１に高い電圧をかけてもポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制され、安定した撮像画質の出力が得られる。図面において、破線で示すポテンシャル曲線は電子シャッタ印加前であり、実線で示すポテンシャル曲線は電子シャッタ印加後である。
【００５１】
次に、本発明の固体撮像装置の製造方法について説明する。本発明の固体撮像装置の製造方法は、一般に知られている電荷結合型の固体撮像装置の製造方法において、固体撮像装置の出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てを形成する際に、予め次の２工程を行う。第１の工程は、絶縁ゲート型電界効果トランジスタが形成される半導体基板に、絶縁ゲート型電界効果トランジスタのソース、ドレイン領域が形成される領域よりも深い位置の半導体基板にＰ型の第１拡散層を形成する工程である。第２の工程は、第１拡散層よりも深い位置の半導体基板に第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を形成する工程である。この第１の工程と第２の工程はどちらを先に行ってもよい。
【００５２】
次に、図８のフローチャートによって、固体撮像装置の出力回路部分を形成する工程を説明する。
【００５３】
図８に示すように、先ずＮ−　型エピタキシャル層を有するエピタキシャル（Ｅｐｉ）基板を形成する。次に、ＣＣＤ受光部が形成される領域をマスクして、出力回路のトランジスタ形成領域に第１拡散層と第２拡散層とを形成するための不純物ドーピングを、例えばイオン注入法を用いて行う。このとき、第１拡散層の不純物濃度ピークの位置、不純物濃度、第２拡散層の不純物濃度ピークの位置、不純物濃度は、図１および図３を用いて先に説明した絶縁ゲート型電界効果トランジスタの条件と同一である。
【００５４】
次に、トランジスタ形成領域にチャネル形成用の不純物を半導体基板にドーピングする。このときもＣＣＤ受光部が形成される領域はマスクしておく。
【００５５】
次いで、上記ドーピングに用いたマスクを除去した後、出力回路のトランジスタ形成領域にゲート絶縁膜を形成するとともに受光部の転送電極間の絶縁膜を形成する。続いて、出力回路のトランジスタ形成領域にゲート電極を形成するとともに受光部の転送電極を形成する。
【００５６】
次いで、受光部領域をマスクして、トランジスタ形成領域にソース、ドレインとなる拡散層を形成する。さらに、受光部領域をマスクして、トランジスタ形成領域の結線工程を行う。
【００５７】
上記固体撮像装置の製造方法では、固体撮像装置の出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てを本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタで形成することから、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけても、出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタは、基板の深い位置におけるポテンシャルのニュートラル状態が変動しないものとなっているので、チャネルへの電荷の影響が抑制される。
【００５８】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタによれば、第１拡散層よりも深い位置の半導体基板に第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を備えたので、半導体基板の深い位置にポテンシャルのニュートラル状態を作り出すことができる。このため、電荷のぶれが少なくなり、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる。またこのようなトランジスタを固体撮像装置のソースフォロワ型信号電流増幅回路のドライブトランジスタに用いた場合には、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけてもポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響を抑制できる。
【００５９】
本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製造方法によれば、第１拡散層よりも深い位置の半導体基板に第１拡散層よりも高濃度のＰ型の第２拡散層を形成するので、半導体基板の深い位置にポテンシャルのニュートラル状態を作り出すことができる。このため、電荷のぶれが少ない、パンチスルーやインジェクションを起こし難くなる絶縁ゲート型電界効果トランジスタを製造できる。また固体撮像装置のソースフォロワ型信号電流増幅回路のトランジスタにこのような絶縁ゲート型電界効果トランジスタを形成した場合には、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけてもポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響が抑制されるトランジスタを形成することができる。
【００６０】
本発明の固体撮像装置によれば、出力回路を構成するもので半導体基板に形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てに本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタを用いるので、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけても、絶縁ゲート型電界効果トランジスタは、基板の深い位置におけるポテンシャルのニュートラル状態が変動しないので、チャネルへの電荷の影響を抑制することができる。よって、シャッタ段差の不具合の発生を解消することができる。また、固体撮像装置の内蔵回路を構成するトランジスタやリセットゲートにおいて、半導体基板とのパンチスルーおよびインジェクションによる不具合の発生を無くすことができる。
【００６１】
本発明の固体撮像装置の製造方法によれば、固体撮像装置の出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタの一部もしくは全てを本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタで形成するので、固体撮像装置の電子シャッタを動作させるために基板に高い電圧をかけても、出力回路を構成する絶縁ゲート型電界効果トランジスタは、基板の深い位置におけるポテンシャルのニュートラル状態が変動しないものとなり、チャネルへの電荷の影響を抑制することができるものとなる。よって、シャッタ段差の不具合の発生を解消することができる固体撮像装置を製造することができる。また、固体撮像装置の内蔵回路を構成するトランジスタやリセットゲートにおいて、半導体基板とのパンチスルーおよびインジェクションによる不具合の発生が無い固体撮像装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタに係る第１実施の形態を示す概略構成断面図である。
【図２】第１実施の形態で説明した絶縁ゲート型電界効果トランジスタのチャネル下のポテンシャル図である。
【図３】本発明の絶縁ゲート型電界効果トランジスタに係る第２実施の形態を示す概略構成断面図である。
【図４】第２実施の形態で説明した絶縁ゲート型電界効果トランジスタのチャネル下のポテンシャル図である。
【図５】本発明の固体撮像装置に係る実施の形態を示す（１）ＣＣＤ固体撮像装置全体図と（２）出力回路図である。
【図６】固体撮像装置の実施の形態に係るドライブトランジスタのチャネル下のポテンシャル図である。
【図７】固体撮像装置の実施の形態に係る定電流トランジスタのチャネル下のポテンシャル図である。
【図８】本発明の固体撮像装置の製造方法に係る実施の形態を示すフローチャートである。
【図９】従来の固体撮像装置の出力回路に用いられていたドライブトランジスタの概略構成断面図である。
【図１０】従来のドライブトランジスタのチャネル下のポテンシャルを示すポテンシャル図である。
【図１１】従来の固体撮像装置の出力回路に用いられていた定電流トランジスタの概略構成断面図である。
【図１２】従来の定電流トランジスタのチャネル下のポテンシャルを示すポテンシャル図である。
【図１３】電子シャッタ印加時における従来のドライブトランジスタのチャネル下のポテンシャルを示すポテンシャル図である。
【図１４】電子シャッタ印加時における従来の定電流トランジスタのチャネル下のポテンシャルを示すポテンシャル図である。
【図１５】電子シャッタ印加時における従来のリセットゲートトランジスタのチャネル下のポテンシャルを示すポテンシャル図である。
【符号の説明】
１１…半導体基板、１２…第１拡散層、１３…第２拡散層、３０…絶縁ゲート型電界効果トランジスタ、３１…ゲート絶縁膜、３２…ゲート電極、３３…ソース領域、３４…ドレイン領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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