(57)【要約】【課題】磁気ヘッドが搭載されたスライダと、サスペンションと、圧電アクチュエータとを備えた磁気ヘッドアセンブリおよび磁気ディスク装置に関し、スライダの高速駆動が可能で、スライダのサスペンションへの接着強度も高い磁気ヘッドアセンブリおよび磁気ディスク装置を実現する。【解決手段】スライダ１２は、その摺動面１２ａと垂直でかつスライダ１２の重心を通る軸Ｓ上の位置において、連結部材１７を介してサスペンション１５に結合されている。また、スライダ１２・サスペンション１５間には、圧電アクチュエータ１６の回転駆動力を生み出すための複数の圧電素子２１，２２が、収縮時に協働して同方向の回転駆動力を発生するように、連結部材１７の周りに配置され、各圧電素子２１，２２のスライダ１２の回転方向における一端側は、スライダ１２に接着され、他端側は、サスペンション１５に接着されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドが搭載されたスライダと、該スライダに先端部が対向配置されたサスペンションと、前記スライダ・前記サスペンション間に接続され、前記スライダを前記スライダの摺動面と垂直な軸を中心に回転駆動する圧電アクチュエータとを備えた磁気ヘッドアセンブリであって、
前記スライダの摺動面と垂直でかつ前記スライダの重心を通る軸上の位置において、前記スライダは連結部材を介して前記サスペンションに結合されているとともに、
前記スライダ・前記サスペンション間には、前記圧電アクチュエータの回転駆動力を生み出すための複数の圧電素子が、収縮時に協働して同方向の回転駆動力を発生するように、前記連結部材の周りに配置され、各圧電素子の前記スライダの回転方向における一端側は、前記スライダに接着され、他端側は、前記サスペンションに接着されている磁気ヘッドアセンブリ。
【請求項２】
前記圧電アクチュエータ内の圧電素子は、前記スライダの摺動面と平行な面上に、前記重心を通る軸を中心にして同一回転駆動方向を向けて等角度間隔に配置されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【請求項３】
前記圧電アクチュエータ内の圧電素子として、前記重心を通る軸を中心に配置された一対の同一形状の圧電素子を用いたことを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【請求項４】
前記一対の圧電素子間の間隔を、前記重心を通る軸の周辺において広げたことを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドアセンブリ。
【請求項５】
磁気ヘッドが搭載されたスライダ、該スライダに先端部が対向配置されたサスペンション、前記スライダ・前記サスペンション間に配置され、前記スライダを前記サスペンションに連結するとともに、前記スライダを前記スライダの摺動面と垂直な軸を中心に回転駆動する圧電アクチュエータを備えた磁気ヘッドアセンブリと、
該磁気ヘッドアセンブリのサスペンションが先端部に取り付けられたキャリッジアームと、
該キャリッジアームを前記スライダの摺動面と平行な面上で回転駆動し前記磁気ヘッドをディスクのトラック幅方向に移動させるメインアクチュエータとを有した磁気ディスク装置であって、
前記スライダの摺動面と垂直でかつ前記スライダの重心を通る軸上の位置において、前記スライダは連結部材を介して前記サスペンションに結合されているとともに、
前記スライダ・前記サスペンション間には、前記圧電アクチュエータの回転駆動力を生み出すための複数の圧電素子が、収縮時に協働して同方向の回転駆動力を発生するように、前記連結部材の周りに配置され、各圧電素子の前記スライダの回転方向における一端側は、前記スライダに接着され、他端側は、前記サスペンションに接着されている磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ヘッドが搭載されたスライダと、このスライダに対向配置されたサスペンションと、スライダ・サスペンション間に接続され、スライダをその摺動面と垂直な軸を中心に回転駆動する圧電アクチュエータとを備えた磁気ヘッドアセンブリに関する。
【０００２】
また、本発明は、磁気ヘッドアセンブリ内にスライダを駆動する圧電アクチュエータと、磁気ヘッドアセンブリのサスペンションを回転駆動し磁気ヘッドをディスクのトラック幅方向に移動させるメインアクチュエータとを有した磁気ディスク装置に関する。
【０００３】
【従来の技術】
近年、情報機器等の小型化・精密化が進んでおり、微小距離の移動制御が必要なアクチュエータの需要が高まっている。特に、光学系の焦点補正や傾角制御用のアクチュエータ、インクジェットプリンタ装置や磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ等では、微小距離の移動制御が必要となっている。
【０００４】
このような状況の中、磁気ディスク装置は市場の拡大と装置の高性能化に伴い、大容量化がますます重要になってきている。一般に磁気ディスク装置の大容量化はディスク１枚あたりの記憶容量を大きくすることで達成できる。しかし、ディスクの外径を大きくせずに、一層の大容量化を達成するには、単位長さあたりのトラック数（ＴＰＩ）を大きくすること、つまり、トラック幅を狭くすることが不可欠になる。ところが、トラック幅を狭くすると、これに比例して、磁気ヘッドの位置決め誤差の許容量も小さくなってくる。
【０００５】
一般的な磁気ディスク装置では、磁気ヘッドのスライダを、サスペンションを介してキャリッジアームで支持し、アクチュエータ（ボイスコイルモータ）でキャリッジアームを回転させるように構成されているが、キャリッジアームを駆動するアクチュエータだけで、磁気ヘッドを短時間で高精度に位置決めすることが、困難になっている。その理由は、キャリッジアーム等の剛性を上げて面内方向の共振周波数を上げることが限界に近づいたためである。
【０００６】
そこで、キャリッジアームを駆動するアクチュエータの他に、磁気ヘッドの位置を微調整するためのアクチュエータを追加配置することで、磁気ヘッドを高精度に位置決めしようとする２段アクチュエータ方式の磁気ディスク装置が提案されている。
【０００７】
この方式の磁気ディスク装置において使用可能な磁気ヘッドアセンブリとして、スライダ・サスペンション間に圧電アクチュエータを有し、圧電アクチュエータでもってスライダをサスペンションに対して揺動させるものがある。
【０００８】
この磁気ヘッドアセンブリとして、たとえば、アジマス記録を可能にするための構成ではあるが、磁気ヘッドアセンブリのスライダ・サスペンション間に圧電アクチュエータを配置したものがある（特許文献１参照）。
【０００９】
この圧電アクチュエータの構成は、図９に示すように、離間して配置した一対の第１固定部１・第２固定部２間に、両固定部１，２を連結するように圧電素子でなる第１変位部３，第２変位部４を並設し、第１固定部１をサスペンション５に固着し、第２固定部２をスライダ６に固着したもので、第１変位部３，第２変位部４を逆方向に伸縮させることで、スライダ６を回動（揺動）させている。スライダ６には磁気ヘッド７が搭載されている。
【００１０】
上記磁気ヘッドアセンブリは、隣接トラック間でアジマス角度の極性を反転させるため、第１変位部３を伸長させると同時に第２変位部４を収縮させて、図９および図１０に示すようにスライダ６を矢印Ｒ方向に一定角度（−α）回転させたり、逆に、第１変位部３を収縮させると同時に第２変位部４を伸長させて、スライダ６を矢印Ｒと逆方向に一定角度（＋α）回転させたりして、アジマス角度の極性を反転させている。
【００１１】
【特許文献１】
特開平１１−２７３０４１号公報（図２〜図４）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
２段アクチュエータ方式の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドアセンブリは、サーボループに組み込まれ、スライダはたとえば１μｍ以内の微小ストロークで高速駆動されることになる。この高速駆動を可能にするためには、磁気ヘッドアセンブリの機械振動系（スライダ６を第１変位部３，第２変位部４で支えた機械振動系）の固有振動数を高くすることが要求される（たとえば２０ＫＨｚ以上）。
【００１３】
ところで、特許文献１に記載の磁気ヘッドアセンブリでは、並行配置された変位部３，４の同一端側（図９では左端側、図１０では下端側）をスライダ６に固定し、他端側をサスペンション５に固定し、第１変位部３と第２変位部４の何れか一方を収縮させ他方を伸長させている。このため、第１変位部３と第２変位部４は、図１０に示すように、同心状に湾曲し、サスペンション５からスライダ６を見たとき、スライダ６の重心は、この回転時に、図１０における右方向にも移動することになる。
【００１４】
よって、この磁気ヘッドアセンブリでは、スライダを駆動する際のイナーシャが大きく、磁気ヘッドアセンブリの機械振動系としての固有振動数を高くできないという問題がある。
【００１５】
また、磁気ヘッドアセンブリをノートパソコン等に搭載した場合、ノートパソコン等に加えられた外力により、磁気ヘッドアセンブリも衝撃を受けることがある。このため、磁気ヘッドアセンブリにおいては、スライダのサスペンションへの接着強度を高めることが要求される。
【００１６】
本発明は、上記課題を解決するもので、スライダの高速駆動が可能で、スライダのサスペンションへの接着強度も高い磁気ヘッドアセンブリおよび磁気ディスク装置を実現することを目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、磁気ヘッドアセンブリに関するもので、本発明の実施の形態例を示す図１を用いて説明すると、磁気ヘッド１１が搭載されたスライダ１２と、該スライダ１２に先端部が対向配置されたサスペンション１５と、スライダ１２・サスペンション１５間に接続され、スライダ１２をスライダ１２の摺動面１２ａと垂直な軸Ｓを中心に回転駆動する圧電アクチュエータ１６とを備えている。
【００１８】
さらに、スライダ１２は、その摺動面１２ａと垂直でかつスライダ１２の重心を通る軸Ｓ上の位置において、連結部材１７を介してサスペンション１５に結合されている。また、スライダ１２・サスペンション１５間には、圧電アクチュエータ１６の回転駆動力を生み出すための複数の圧電素子２１，２２が、収縮時に協働して同方向の回転駆動力を発生するように、連結部材１７の周りに配置され、各圧電素子２１，２２のスライダ１２の回転方向における一端側は、スライダ１２に接着され、他端側は、サスペンション１５に接着されている。
【００１９】
請求項１に係る磁気ヘッドアセンブリでは、スライダ１２は、複数の圧電素子２１，２２の一端で支持されるだけでなく、スライダ１２の摺動面１２ａと垂直でかつスライダ１２の重心を通る軸Ｓ上において、連結部材１７により回転可能に支持される。このため、スライダ１２のサスペンション１５への接着強度は高い。
【００２０】
また、スライダ１２は、連結部材１７の周りに配置された圧電素子２１，２２により回転駆動される。このため、スライダ１２の摺動面１２ａと垂直でかつスライダ１２の重心を通る軸Ｓを中心に回転することになり、重心の移動はない。よって、スライダ１２を駆動する際のイナーシャが小さく、磁気ヘッドアセンブリの機械振動系としての固有振動数を高くでき、スライダ１２を高速駆動できる。
【００２１】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の磁気ヘッドアセンブリにおいて、圧電アクチュエータ内の圧電素子を、スライダの摺動面と平行な面上に、前記重心を通る軸を中心にして同一回転駆動方向を向けて等角度間隔に配置することにより、連結部材に余計な剪断力が掛かることを回避し、圧電素子の伸縮力を効率よくスライダの回転モーメントに変換するようにしたものである。
【００２２】
請求項３に係る発明は、請求項２記載の磁気ヘッドアセンブリにおいて、圧電アクチュエータ内の圧電素子として、前記重心を通る軸を中心に配置された一対の同一形状の圧電素子を用いることにより、最も単純な構成でもって、効率よくスライダを回転できるようにしたことを特徴とするものである。
【００２３】
請求項４に係る発明は、請求項３記載の磁気ヘッドアセンブリにおいて、一対の圧電素子間の間隔を、前記重心を通る軸の周辺において広げることにより、スライダ上の連結部材の結合面積を大きくとれるようにしたことを特徴とするものである。
【００２４】
請求項５に係る発明は、磁気ヘッドが搭載されたスライダ、該スライダに先端部が対向配置されたサスペンション、スライダ・サスペンション間に配置され、スライダをサスペンションに連結するとともに、スライダをスライダの摺動面と垂直な軸を中心に回転駆動する圧電アクチュエータを備えた磁気ヘッドアセンブリと、該磁気ヘッドアセンブリのサスペンションが先端部に取り付けられたキャリッジアームと、該キャリッジアームを前記スライダの摺動面と平行な面上で回転駆動し前記磁気ヘッドをディスクのトラック幅方向に移動させるメインアクチュエータとを有した磁気ディスク装置に関するもので、スライダの摺動面と垂直でかつスライダの重心を通る軸上の位置において、スライダは連結部材を介してサスペンションに結合されているとともに、スライダ・サスペンション間には、圧電アクチュエータの回転駆動力を生み出すための複数の圧電素子が、収縮時に協働して同方向の回転駆動力を発生するように、連結部材の周りに配置され、各圧電素子のスライダの回転方向における一端側は、スライダに接着され、他端側は、サスペンションに接着されていることを特徴とするものである。
【００２５】
この構成では、スライダの高速駆動が可能で、スライダのサスペンションへの接着強度も高い磁気ヘッドアセンブリを用いたので、高性能の磁気ディスク装置を実現できる。
【００２６】
【実施の形態】
まず、本発明に係る磁気ヘッドアセンブリの一形態例が組み込まれた磁気ディスク装置（本発明に係る磁気ディスク装置の一形態例でもある）について、図２を用いて説明する。図２は、ディスクエンクロージャのカバーを外した状態での内部構造を示したものである。図２において、装置内部を密閉するエンクロージャ３１の中央には、図示しないスピンドルモータによって回転駆動されるディスク３２が配置され、このディスク３２の外周部近傍に、キャリッジアーム３３が軸３４を中心に回転可能に設けられている。キャリッジアーム３３の先端は、ディスク３２の方向に延出し、そこに、磁気ヘッドアセンブリ３５が取り付けられている。
【００２７】
キャリッジアーム３３の基端側には、キャリッジアーム３３を回転駆動するメインアクチュエータ（ボイスコイルモータ）３６が設けられている。このメインアクチュエータ３６は、従来から広く用いられているもので、具体的には、エンクロージャ３１側に磁気ギャップを有する磁気回路を固定し、キャリッジアーム３３にボイスコイル（ムービングコイル）を固着したものである。メインアクチュエータ３６内のボイスコイルに駆動電流を流すと、磁気ギャップ内にあるボイスコイル部分に推力が発生し、キャリッジアーム３３が回転し、磁気ヘッドアセンブリ３５内の磁気ヘッドがディスク３２のトラック幅方向Ｔに移動することになる。
【００２８】
次に、図１および図３を用いて、磁気ヘッドアセンブリ３５の構造を説明する。磁気ヘッド１１は、ディスク３２上のデータのリード／ライトを行うもので、スライダ１２に搭載されている。スライダ１２のディスク３２との対向面は、ディスク面と平行な摺動面（通常は、この面にレールが形成されている）１２ａとなっており、ディスク３２が回転すると、摺動面１２ａはディスク面から浮上する。
【００２９】
板ばね状のサスペンション１５の先端部には、略Ｕ字形の打ち抜き穴１０が穿設され、そこに形成されたスライダ保持部１５ａが、スライダ１２に対向配置される。圧電アクチュエータ１６は、スライダ１２をスライダ１２の摺動面１２ａと垂直な軸Ｓを中心に回転駆動するもので、スライダ１２・サスペンション１５（スライダ保持部１５ａ）間に接着等により接続されている。
【００３０】
本形態例の圧電アクチュエータ１６は、円柱状の連結部材１７と一対の角柱状の圧電素子２１，２２から構成されている。そして、スライダ１２の摺動面１２ａと垂直でかつスライダ１２の重心を通る軸Ｓ上の位置において、連結部材１７は、その下端が接着層１７ａによりスライダ１２の被着部１２ｂに接着され、接着層１７ｂによりサスペンション１５の被着部１５ｂに上端が接着されている。
【００３１】
また、圧電アクチュエータ１６内の圧電素子２１，２２は、同一形状を有しており、収縮時に協働して同方向の回転駆動力を発生するように、連結部材１７の周りに配置されている。具体的には、スライダ１２の摺動面１２ａと平行な面上に、スライダ１２の重心を通る軸Ｓを中心にして、同一回転駆動方向を向けて等角度間隔に配置されている（軸Ｓに関して対称に配置されている）。
【００３２】
そして、圧電素子２１，２２のスライダ１２の回転方向における一端側２１ａ，２２ａ（軸Ｓを中心に対称位置にある）は、接着層２１ｂ，２２ｂによりサスペンション１５の１５ｃ，１５ｄに接着され、他端側２１ｃ，２２ｃ（軸Ｓを中心に対称位置にある）は、接着層２１ｄ，２２ｄによりにスライダ１２の被着部１２ｃ，１２ｄに接着されている。
【００３３】
各圧電素子２１，２２は、その電極間に電圧を加えると、図１におけるＡ方向に収縮するもので、たとえば、図４に示すようなものである。この圧電素子は、圧電層（たとえばＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺの圧電セラミック）４１を間にして内部電極層４２と内部電極層４３を互い違いに複数層積層したもので、一端側の複数の内部電極層４２は表面電極４４に電気的に接続され、他端側の複数の内部電極層４３は表面電極４５に電気的に接続されている。圧電素子の伸縮方向における中間部４６では、内部電極層４２と内部電極層４３とが重なっているが、端部４７，４８では内部電極層４２と内部電極層４３とは重なっておらず、何れかの内部電極４２，４３が圧電セラミック中をに埋め込まれた構成になっている。この端部４７，４８は、上記圧電素子２１，２２の端部２１ａ，２１ｃ，２２ａ，２２ｃを構成する。
【００３４】
この圧電素子は、圧電縦効果（いわゆる３１モード）に基づいて伸縮するもので、表面電極４４・４５間に駆動電圧を印加すると、図４の矢印Ａ方向に縮み、電圧の印加を止めると伸張して元の長さに戻るものである。
【００３５】
内部電極層４２，４３を構成する材料としては、圧電材料とともに一体焼成できる材料が好ましく、たとえば、Ｐｔ、Ａｇ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｎｉ、Ａｕ等の金属材料や、導電性セラミック等を用いるとよい。特に、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ粉末を約２０vol％含んだＰｔペースト（導通がとれれば２０vol％超でもよいし、密着性がそれほど必要なければ、２０vol％未満でもよい）がよい。表面電極４４，４５は、蒸着やスパッタリングで容易に形成できるが、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕ等を用いて無電解めっきにより作成したり、イオンプレーティング、ＣＶＤ等で形成してもよいし、溶射技術や厚膜技術で形成してもよい。
【００３６】
上記圧電素子の作製は、たとえばＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺのグリーンシートを使用して行う。一例を示せば、グリーンシートの上に、内部電極層４２の電極パターンをスクリーン印刷する。次にグリーンシートを一枚重ねた後、今度は、内部電極層４３の電極パターンをスクリーン印刷する。このようにして、グリーンシートを間にして、二種の電極パターンが交互に配置されるように積層し、圧電体ブロック（圧電素子が二次元的に整列したものに相当する）を構成する。
【００３７】
その後、圧電体ブロックを大気中でたとえば１０５０°Ｃで焼成した後、カットソーにより切断し、上記圧電素子と同一幅の分割ブロック（圧電素子が一列に並んだものに相当する）を得る。次に、分割ブロックの両側面に、表面電極４４，４５に相当する電極膜を蒸着またはスパッタリングで成膜し、今度は、９０°異なる方向から上記分割ブロックをカットソーにより切断して、図４に示した最終単位の圧電素子（ひとつに分離したもの）を得る。
【００３８】
このような構成の圧電素子を圧電素子２１，２２として用いれば、表面電極４４・４５間に３０Ｖ程度印加することで、図２のＴ方向に磁気ヘッド１１を１μｍ程度移動させることも容易である。そこで、圧電素子２１，２２がこの性能を有するものとして、図１および図２に示す形態例での圧電素子２１，２２の駆動例を説明する。
【００３９】
まず、起動直後の各圧電素子２１，２２の電極間には１５Ｖを加える。これにより、圧電素子２１，２２が縮み、スライダ１２が図３の位置から図５に示す位置に回転して、磁気ヘッド１１が０．５μｍ程度移動する。これが磁気ヘッド１１の中立位置となる。スライダ１２のトラッキング制御時には、この電圧１５Ｖから＋１５Ｖ〜−１５Ｖの範囲で印加電圧を変化させ、磁気ヘッド１１を中立位置から＋０．５μｍ〜−０．５μｍの範囲で移動させ、磁気ヘッド１１をトラックに追従させる。なお、圧電アクチュエータ１６の制御範囲から磁気ヘッド１１が外れている場合は、メインアクチュエータ３６により、キャリッジアーム３３を回動させ、磁気ヘッド１１を移動させる。
【００４０】
上記の通り、本形態例において、スライダ１２は、複数の圧電素子２１，２２の一端で支持されるだけでなく、スライダ１２の摺動面１２ａと垂直でかつスライダ１２の重心を通る軸Ｓ上において、連結部材１７により回転可能に支持される。このため、スライダ１２のサスペンション１５への接着強度は高い。
【００４１】
また、スライダ１２は、連結部材１７の周りに配置された圧電素子２１，２２により回転駆動される。このため、スライダ１２の摺動面１２ａと垂直でかつスライダ１２の重心を通る軸Ｓを中心に回転することになり、重心の移動はない。よって、スライダ１２を駆動する際のイナーシャが小さく、磁気ヘッドアセンブリの機械振動系としての固有振動数を高くでき、スライダ１２を高速駆動できる。
【００４２】
さらに、圧電素子２１，２２を、スライダ１２の摺動面１２ａと平行な面上に、スライダ１２の重心を通る軸Ｓを中心にして同一回転駆動方向（図３における反時計方向）を向けて等角度間隔（１８０°）に配置したことにより、連結部材１７に余計な剪断力が掛かることを回避し、圧電素子２１，２２の伸縮力を効率よくスライダ１２の回転モーメントに変換できる。
【００４３】
特に、本形態例のように、スライダ１２の重心を通る軸Ｓを中心に配置された一対の同一形状の圧電素子２１，２２を用いれば、一種類の圧電素子を２個用意すればよく、最も単純な構成でもって、効率よくスライダ１２を回転できる。
【００４４】
図６および図７は、本発明に係る磁気ヘッドアセンブリや磁気ディスク装置に用いる圧電アクチュエータの他の形態例を示す図である。これら図において、図３と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００４５】
図６に示した圧電アクチュエータは、一対の圧電素子２１，２２間の間隔を、スライダ１２の重心を通る軸Ｓの周辺において広げるために、圧電素子２１，２２をクランク状に折り曲げたものである。これにより、スライダ１２上の連結部材１７との結合面積を大きくとれ、接着強度を一層上げることができる。図７に示した圧電アクチュエータは、同一の目的で、一対の圧電素子２１，２２をスライダ１２の重心を通る軸Ｓの周辺において湾曲させたものである。
【００４６】
図８は、本発明に係る磁気ヘッドアセンブリや磁気ディスク装置に用いる圧電アクチュエータの他の形態例を示す図である。この図において、図３と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００４７】
図８に示した圧電アクチュエータは、一対の圧電素子２１，２２の端部２１ａ，２１ｃ，２２ａ，２２ｃとスライダ１２やサスペンション１５との接着面積を増やすために、これら端部をＬ字形に外方に折り曲げたものである。これによっても、接着強度を上げることができる。
【００４８】
尚、本発明は上記形態例の構成に限られるものではない。例えば、以下のような変形が可能である。
【００４９】
▲１▼連結部材１７は円柱に限らない。たとえば、角柱等であってもよい。連結部材１７の材料としては、セラミック等を用いることができるが、これに限るものではない。また、連結部材１７をスライダ１２と一体に形成してもよい。
【００５０】
▲２▼圧電素子２１，２２は必ずしも同一形状である必要はない。仮に、圧電素子２１，２２から生じる伸縮力が異なっても、連結部材１７の存在により、スライダ１２はその回転時に重心が移動することはない。しかし、伸縮力の差に応じた大きさの剪断力がスライダ１２に余計に加わることになる。
【００５１】
▲３▼圧電アクチュエータ１６内の圧電素子は、収縮時に協働して同方向の回転駆動力を発生するように、連結部材１７の周りに複数配置されていればよく、２個に限らない（圧電素子がｎ個の場合、それらの角度間隔は、３６０°／ｎにする）。
【００５２】
▲４▼圧電アクチュエータに用いる圧電素子として、圧電縦効果に基づいて縮む圧電素子を示したが、本発明はこれに限るものではない。
【００５３】
▲５▼一対の圧電素子２１，２２間の間隔を、スライダ１２の重心を通る軸Ｓの周辺において広げるために、圧電素子２１，２２をクランク状に折り曲げたり湾曲させたが、上記形態例以外の形状（たとえば、「く」の字状に折り曲げる）を選択してもよい。さらに、図６，７のような構成と図８の構成とを組み合わせることも可能である。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の発明によれば、スライダは、複数の圧電素子の一端で支持されるだけでなく、スライダの摺動面と垂直でかつスライダの重心を通る軸上において、連結部材により回転可能に支持されるため、スライダのサスペンションへの接着強度が高い磁気ヘッドアセンブリを実現できる。
【００５５】
また、スライダは、連結部材の周りに配置された圧電素子により回転駆動されるため、スライダの摺動面と垂直でかつスライダの重心を通る軸を中心に回転することになり、重心の移動はない。よって、スライダを駆動する際のイナーシャが小さく、磁気ヘッドアセンブリの機械振動系としての固有振動数を高くでき、スライダを高速駆動できる磁気ヘッドアセンブリを実現できる。
【００５６】
請求項２に係る発明によれば、圧電アクチュエータ内の圧電素子を、スライダの摺動面と平行な面上に、前記重心を通る軸を中心にして同一回転駆動方向を向けて等角度間隔に配置したので、連結部材に余計な剪断力が掛かることを回避し、圧電素子の伸縮力を効率よくスライダの回転モーメントに変換可能な磁気ヘッドアセンブリを実現できる。
【００５７】
請求項３に係る発明によれば、圧電アクチュエータ内の圧電素子として、前記重心を通る軸を中心に配置された一対の同一形状の圧電素子を用いたので、最も単純な構成でもって、効率よくスライダを回転できる磁気ヘッドアセンブリを実現できる。
【００５８】
請求項４に係る発明によれば、一対の圧電素子間の間隔を、前記重心を通る軸の周辺において広げたので、スライダ上の連結部材の結合面積を大きくとれ、接着強度が高い磁気ヘッドアセンブリを実現できる。
【００５９】
請求項５に係る発明によれば、スライダのサスペンションへの接着強度が高く、しかも、スライダを高速駆動できる磁気ディスク装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドアセンブリの一形態例を示す分解斜視図である。
【図２】本発明に係る圧電アクチュエータの一形態例が組み込まれた磁気ディスク装置を示す図である。
【図３】図１に示した形態例を下面側から見た図である。
【図４】圧電素子の一例を示す斜視図である。
【図５】図１に示した形態例の作動を説明する図である。
【図６】磁気ヘッドアセンブリ中の圧電アクチュエータの他の形態例を示す図である。
【図７】磁気ヘッドアセンブリ中の圧電アクチュエータの他の形態例を示す図である。
【図８】磁気ヘッドアセンブリ中の圧電アクチュエータの他の形態例を示す図である。
【図９】従来の磁気ヘッドアセンブリを示す分解斜視図である。
【図１０】従来構成における作動を示す図である。
【符号の説明】
１１           磁気ヘッド
１２           スライダ
１２ａ         摺動面
１５           サスペンション
１６           圧電アクチュエータ
１７           連結部材
２１，２２     圧電素子
２１ａ，２２ａ   一端側
２１ｂ，２２ｂ   接着層
２１ｃ，２２ｃ   他端側
２１ｄ，２２ｄ   接着層
３１           エンクロージャ
３２           ディスク
３３           キャリッジアーム
３５           磁気ヘッドアセンブリ
３６           メインアクチュエータ
【図１】
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【図２】
2004199823.tif 000004
【図３】
2004199823.tif 000005
【図４】
2004199823.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004199823.tif 000008
【図７】
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【図８】
2004199823.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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