(57)【要約】【課題】ワークを載置してスライドガイド上を移動するスライドベースに、塵埃が付着することを防ぎ、スライドベースの移動を阻害することのない移動テーブルを提供することを目的とする。【解決手段】移動対象物を載置すると共に動力源により水平面内においてスライド移動するスライドベース４１と、前記スライドベース４１のスライド移動を案内するスライドガイド３２と、を備えた移動テーブルにおいて、前記スライドベース４１のスライド移動を許容すると共に、前記スライドガイド３２の直上空間であって前記スライドベース４１の上面より低い位置に臨んで前記スライドガイド３２を覆う覆装手段３６を備えた移動テーブルである。【選択図】  図１７
2004313907.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動対象物を載置すると共に動力源により水平面内においてスライド移動するスライドベースと、前記スライドベースのスライド移動を案内するスライドガイドと、を備えた移動テーブルにおいて、
前記スライドベースのスライド移動を許容すると共に、前記スライドガイドの直上空間であって前記スライドベースの上面より低い位置に臨んで前記スライドガイドを覆う覆装手段を備えたことを特徴とする移動テーブル。
【請求項２】
前記覆装手段は、前記スライドガイドの長手方向の両外端部を越えた位置に配設した一対の支持部材と、前記スライドガイドに非接触状態で前記一対の支持部材間に張設したシート状の覆装カバーとを有し、
前記スライドベースは、前記覆装カバーを非接触状態で内包すると共に前記スライドベースのスライド方向に延在するカバー内包部を有することを特徴とする請求項１に記載の移動テーブル。
【請求項３】
前記カバー内包部は、前記スライドベースの上面に形成した凹部であることを特徴とする請求項２に記載の移動テーブル。
【請求項４】
前記覆装手段は、前記覆装カバーに張力を付与するテンション機構を、更に有することを特徴とする請求項２または３に記載の移動テーブル。
【請求項５】
移動対象物を載置すると共に動力源により水平面内においてスライド移動するスライドベースと、前記スライドベースのスライド移動を案内するスライドガイドと、を備えた移動テーブルにおいて、
前記スライドベースのスライド移動を許容すると共に、前記スライドガイドの直上空間に臨んで前記スライドガイドを覆う覆装手段を備え、
前記覆装手段は、一方の端部を前記スライドベースの側端部に固定したシート状の覆装カバーと、前記覆装カバーの他方の端部に設けられ、前記覆装カバーに張力を付与した状態でこれを繰出し・巻取り自在に収容する繰出し機構と、を有することを特徴とする移動テーブル。
【請求項６】
前記覆装カバーは、耐食性材料で構成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の移動テーブル。
【請求項７】
前記覆装カバーは、可撓性のステンレス板で構成されていることを特徴とする請求項６に記載の移動テーブル。
【請求項８】
前記覆装カバーの両側端部には、これを包み込むように一対のガード部材が設けられていることを特徴とする請求項６または７に記載の移動テーブル。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の移動テーブルを備えた液滴吐出装置であって、
ワークを載置すると共に、ワークをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルと、
ワーク上に機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、を備え、
前記Ｙ軸テーブルが、前記移動対象物をワークとする前記移動テーブルであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項１ないし８のいずれかに記載の移動テーブルを備えた液滴吐出装置であって、
ワークを載置すると共に、ワークをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルと、
ワーク上に機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、
前記機能液滴吐出ヘッドの機能回復に供するメンテナンス手段と、
メンテナンス位置に臨んだ前記機能液滴吐出ヘッドに対し、前記メンテナンス手段をＹ軸方向に移動させて臨ませるサブＹ軸テーブルと、を備え、
前記サブＹ軸テーブルが、前記移動対象物を前記メンテナンス手段とする前記移動テーブルであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項９または１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の電気光学装置または請求項１２に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主として、スライドベースとスライドガイドとを有し、搭載したワーク等を直線的に移動させる、移動テーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の移動テーブルとして、カラーフィルタの製造装置に適用したインクジェット装置が知られている。このインクジェット装置は、インクジェットヘッドである吐出ヘッドを移動させるＸ軸テーブルと、Ｘ軸テーブルの下方に位置し、吐出ヘッドから機能液滴の吐出を受けるワークを載置するＹ軸テーブルとから成っている。これらのテーブルは、吐出ヘッドやワークをそれぞれキャリッジや吸着テーブルを介して搭載するスライドベースと、スライド面を持つと共にスライドベースの移動をガイドする一対のガイドレールと、両ガイドレール間にあってガイド方向に延設され、スライドベースの雌ねじ部に螺合するリードねじ（ボールねじ）と、リードねじを正逆回転させるステッピングモータとから構成されている。
【０００３】
ステッピングモータの駆動によりリードねじが正逆回転すると、リードねじに螺合している雌ねじ部を介して、スライドベースが、ガイドレールのスライド面上を、往復移動する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２６０３０７号公報（第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このような、従来のＸ軸テーブルおよびＹ軸テーブルでは、Ｘ軸テーブルに支持した吐出ヘッドのメンテナンス時等において、Ｙ軸テーブルのガイドレール上に、誤って機能液滴が滴下し、或いは塵埃などが落下する可能性がある。機能液滴や塵埃などが落下して、ガイドレールに付着すると、数ミクロンの粗さ精度で管理されている移動テーブルに作動不良などの影響を及ぼすことになる。
【０００６】
本発明は、スライドベースのスライド動作に影響を与えることなく、スライドガイドを、塵埃などから保護することができる移動テーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の移動テーブルは、移動対象物を載置すると共に動力源により水平面内においてスライド移動するスライドベースと、スライドベースのスライド移動を案内するスライドガイドと、を備えた移動テーブルにおいて、スライドベースのスライド移動を許容すると共に、スライドガイドの直上空間であってスライドベースの上面より低い位置に臨んでスライドガイドを覆う覆装手段を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、スライドガイドを覆う覆装手段を、スライドベースのスライド移動を許容するように設けているため、スライドベースの移動に影響を与えることなく、スライドガイドを塵埃等から保護することができる。また、覆装手段が、スライドガイドの直上空間であってスライドベースの上面より低い位置に臨んでいるため、スライドガイドの幅に比して覆装手段を極端に広幅としなくても、スライドガイドを落下してくる塵埃等から有効に保護することができる。
【０００９】
この場合、覆装手段は、スライドガイドの長手方向の両外端部を越えた位置に配設した一対の支持部材と、スライドガイドに非接触状態で一対の支持部材間に張設したシート状の覆装カバーとを有し、スライドベースは、覆装カバーを非接触状態で内包すると共にスライドベースのスライド方向に延在するカバー内包部を有することが好ましい。
【００１０】
また、この場合、カバー内包部は、スライドベースの上面に形成した凹部であることが好ましい。
【００１１】
これらの構成によれば、一対の支持部材により、スライドガイド上において、覆装カバーを適切に張設することができる。これにより、覆装カバーとスライドベースとの非接触状態を容易に維持することができる。このため、覆装カバーが、スライドベースの移動に影響を与えることがない。また、カバー内包部を、スライドベースの上面に形成した凹部とすることで、スライドベースの上面に凹凸を生じさせることなく、カバー内包部を簡単に形成することができる。
【００１２】
この場合、覆装手段は、覆装カバーに張力を付与するテンション機構を、更に有することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、熱膨張等による覆装カバーが伸びても、これを常に張っておくことができるため、覆装カバーとスライドベースとを、常に非接触状態に維持することができる。すなわち、覆装カバーが撓んで、スライドベースの移動を妨げたりすることがない。
【００１４】
本発明の移動テーブルは、移動対象物を載置すると共に動力源により水平面内においてスライド移動するスライドベースと、スライドベースのスライド移動を案内するスライドガイドと、を備えた移動テーブルにおいて、スライドベースのスライド移動を許容すると共に、スライドガイドの直上空間に臨んでスライドガイドを覆う覆装手段を備え、覆装手段は、一方の端部をスライドベースの側端部に固定されたシート状の覆装カバーと、覆装カバーの他方の端部に設けられ、覆装カバーに張力を付与した状態でこれを繰出し・巻取り自在に収容する繰出し機構と、を有することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、覆装カバーは、スライドベースの移動に追随して繰出されるため、覆装カバーがスライドベースの移動に邪魔になることがない。また、保護カバーは、必要なときにスライドガイドを覆って、落下してくる塵埃等からこれを有効に保護することができる。
【００１６】
この場合、覆装カバーは、耐食性材料で構成されていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、保護カバーに付着した腐食性の塵埃等に対して、保護カバー自身の腐食を防止することができる。
【００１８】
この場合、覆装カバーは、可撓性のステンレス板で構成されていることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、張力や腐食に対し、覆装カバーの耐久性を向上させることができる。
【００２０】
この場合、覆装カバーの両側端部には、これを包み込むように一対のガード部材が設けられていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、メンテナンス時などにおいて、覆装カバーが持ちやすく、且つ扱いやすいものとなる。
【００２２】
本発明の液滴吐出装置は、請求項１ないし８のいずれかに記載の移動テーブルを備えた液滴吐出装置であって、ワークを載置すると共に、ワークをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルと、ワーク上に機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、を備え、Ｙ軸テーブルが、移動対象物をワークとする移動テーブルであることを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、塵埃などの他、酸性、アルカリ性の機能液の付着によるＹ軸テーブルの作動不良を防止でき、ワーク上に所望のパターンを、正確に描くことが可能な液滴吐出装置を提供できる。
【００２４】
本発明の他の液滴吐出装置は、請求項１ないし８のいずれかに記載の移動テーブルを備えた液滴吐出装置であって、ワークを載置すると共に、ワークをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブルと、ワーク上に機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルと、機能液滴吐出ヘッドの機能回復に供するメンテナンス手段と、メンテナンス位置に臨んだ機能液滴吐出ヘッドに対し、メンテナンス手段をＹ軸方向に移動させて臨ませるサブＹ軸テーブルと、を備え、サブＹ軸テーブルが、移動対象物をメンテナンス手段とする移動テーブルであることを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、塵埃の発生や機能液の滴下が起こりやすいメンテナンス時に、これらの影響を排除して、メンテナンス手段を、機能液滴吐出ヘッドに対して、確実に移動させて臨ませる液滴吐出装置を提供できる。
【００２６】
本発明の電気光学装置は、請求項９または１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２７】
同様に、本発明の電気光学装置の製造方法は、請求項９または１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記機能液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２８】
これらの構成によれば、塵埃の影響を排除した液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、各種表示装置に用いるカラーフィルタは元より、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。
【００２９】
本発明の電子機器は、請求項１１に記載の電気光学装置または請求項１２に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。
【００３０】
この構成によれば、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の移動テーブルが搭載された液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、有機ＥＬデバイスや液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板（ワーク）に対し液滴吐出ヘッドから発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。
【００３２】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、図１２に示す液滴吐出ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）２１を有し機能液を吐出する吐出手段２と、液滴吐出ヘッド２１の保全処理（機能回復）を行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド２１に機能液を供給する機能液供給手段４と、これら各手段・装置を統括制御する制御装置（図示省略）と、を備えている。また、液滴吐出装置１は、床上に設置された架台１１と、架台１１上に設置された石定盤１２と、架台１１に添設された機台１３と、機台１３の側方に添設されたラック１４と、を有している。
【００３３】
そして、石定盤１２上には吐出手段２が広く配設されており、上方の液滴吐出ヘッド２１に対応して、下方に液滴対象物となるワークＷ（基板、図４参照）がセットされている。ワークＷは、例えばガラス基板やポリイミド基板等で構成されている。一方、機台１３上には、その長手方向（Ｙ軸方向）にスライド移動自在に支持されたユニットテーブル（移動テーブル）１６が設置され、ユニットテーブル１６上には、メンテナンス手段３の各種ユニットを分散して載置する共通ベース１７が固定されている。また、ラック１４には、機能液供給手段４のメインタンク２７１等のタンク類が収容されている。
【００３４】
吐出手段２は、複数の液滴吐出ヘッド２１を有するヘッドユニット２２（参照：図１１）と、ヘッドユニット２２を保持したメインキャリッジ２３（参照：図１３）と、メインキャリッジ２３を両持ち支持するように設けたＸ軸テーブル２４と、Ｘ軸テーブル２４に直交し且つその下方に位置するＹ軸テーブル（移動テーブル）２５と、Ｙ軸テーブル２５に設けられワークＷを載置するワークテーブル２６と、を備えている。Ｘ軸テーブル２４およびＹ軸テーブル２５は、石定盤１２上に固定されている。
【００３５】
Ｘ軸テーブル２４は、メインキャリッジ２３をＸ軸方向に移動自在に取り付け、メインキャリッジ２３を介してヘッドユニット２２をＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸テーブル２５は、ワークテーブル２６をＹ軸方向に移動自在に取り付け、ワークテーブル２６を介してワークＷをＹ軸方向に移動させる。すなわち、吐出手段２は、Ｘ軸テーブル２４およびＹ軸テーブル２５から成るＸ・Ｙ軸移動機構２９により、メインキャリッジ２３を介して液滴吐出ヘッド２１をワークＷに対しＸ・Ｙ軸方向に相対移動させることで、ワークＷに機能液を吐出することで描画を行う。
【００３６】
具体的には、図４に示すように、Ｙ軸テーブル２５によるワークＷの移動に同期して液滴吐出ヘッド２１が吐出駆動する構成であり、液滴吐出ヘッド２１のいわゆる主走査は、Ｙ軸テーブル２５によるワークＷのＹ軸方向への往復動動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｘ軸テーブル２４による液滴吐出ヘッド２１のＸ軸方向へのピッチ送り動作となる往動動作により行われる。
【００３７】
なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２１に対しワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド２１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、液滴吐出ヘッド２１を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよいし、逆に液滴吐出ヘッド２１を固定とし、ワークＷを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００３８】
次に、吐出手段２の各構成装置について、Ｙ軸テーブル２５、ワークテーブル２６、Ｘ軸テーブル２４、ヘッドユニット２２、メインキャリッジ２３の順で説明する。
【００３９】
Ｙ軸テーブル２５は、図３、図５および図６に示すように、ワークテーブル２６の下部に固定した一対のＹ軸エアースライダ（スライドベース）３１，３１と、各Ｙ軸エアースライダ３１をＹ軸方向にスライド自在にガイドする一対のＹ軸ガイドレール（スライドガイド）３２，３２と、各Ｙ軸ガイドレール３２の外側に併設され、ワークテーブル２６を介してワークＷをＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ３３，３３と、ワークテーブル２６のＹ軸方向の位置をレーザで検出する位置検出ユニット３４と、を備えている。
【００４０】
一対のＹ軸ガイドレール３２および一対のＹ軸リニアモータ３３は、石定盤１２に相互に平行に且つ直接支持され、位置検出ユニット３４は、石定盤１２のＹ軸方向の先端部に設置されている。位置検出ユニット３４は、ワークテーブル２６に設けたコーナーキューブ（図示省略）にレーザ光を入射すると共に、コーナーキューブからの反射光を受光することで、ワークテーブル２６のＹ軸方向の位置を検出する。
【００４１】
Ｙ軸リニアモータ３３の駆動により、ワークテーブル２６は、Ｙ軸エアースライダ３１がＹ軸ガイドレール３２に案内されて、Ｙ軸方向に往復移動する。また、位置検出ユニット３４により適宜検出されるワークテーブル２６の位置に基づいて、液滴吐出ヘッド２１の機能液の吐出動作が行われて、ワークテーブル２６上のワークＷへの描画がなされる。この場合、位置検出ユニット３４に代えてリニアスケール（とフォトセンサ）を設けるようにしてもよい。なお、詳細は後述するが、図５中の符号３６は、各Ｙ軸ガイドレール３２を上側から覆うように張架された帯状の一対の覆装カバーである。
【００４２】
ワークテーブル２６は、図５ないし図７に示すように、一対のＹ軸エアースライダ３１のベース体４１と、ベース体４１上に設置したワークΘ軸テーブル４２と、ワークΘ軸テーブル４２上に支持した吸着テーブル４３とを備えると共に、さらにベース体４１上には、ワークΘ軸テーブル４２を挟むように一対の描画前フラッシングユニット４４，４４が設置されている。
【００４３】
吸着テーブル４３は、それぞれが上面にエアー吸引孔４６を形成すると共に整列配置された多数の載置ブロック４７を有し、ワークＷを多数の載置ブロック４７上にエアー吸引して、ワークＷを吸着セットする。すなわち、吸着テーブル４３は、セットされたワークＷが平坦度を維持するように、これをエアー吸引により吸着する。
【００４４】
ワークΘ軸テーブル４２は、吸着テーブル４３の下部に固定された回転部５１と、ベース体４１の上記一対の凹溝を逃げてベース体４１の上面に固定された固定部５２と、ボールねじ等により固定部５２に対し回転部５１をΘ軸方向に回動させるアクチュエータ（図示省略）と、を有している。ワークΘ軸テーブル４２により、吸着テーブル４３上のワークＷをΘ軸方向に位置補正（角度補正）できるようになっている。ワークテーブル２６は、Ｙ軸テーブル２５の駆動により、ベース体４１およびワークΘ軸テーブル４２を介して、吸着テーブル４３上のワークＷを両描画前フラッシングユニット４４と共に、Ｙ軸方向に移動させる。
【００４５】
各描画前フラッシングユニット４４は、複数の液滴吐出ヘッド２１のフラッシング（全ノズルからの機能液滴の捨て吐出）を受けるためのものであり、主として、液滴吐出ヘッド２１の主走査時のフラッシングに使用される。描画前フラッシングユニット４４は、略細長形状に形成されたフラッシングボックス６１と、フラッシングボックス６１内に敷設した機能液吸収材６２と、フラッシングボックス６１をＺ軸方向に昇降させる昇降機構６３と、を有している。
【００４６】
昇降機構６３は、ベース体４１の外側に張り出すようにしてこれに固定したＸ軸方向に一対のブラケット７１，７１と、各ブラケット７１にＺ軸方向に移動自在に支持された一対の支持脚７２，７２と、各支持脚７２に固定されると共にフラッシングボックス６１の下部を支持した支持フレーム７３と、各支持脚７２にピストンロッドを連結した一対のエアーシリンダ７４，７４と、で構成されている。一対のエアーシリンダ７４により、一対の支持脚７２および支持フレーム７３を介してフラッシングボックス６１が昇降する。
【００４７】
例えば、図７（ａ）に示すように、下降位置のフラッシングボックス６１の上端の高さレベルを、ワークテーブル２６の載置ブロック４７の上面のそれよりも低く設定することができる。この状態とすることにより、ワークＷをワークテーブル２６に搬入・搬出（交換）する際に、ワークＷとフラッシングボックス６１との干渉を有効に防止することができる。なお、計４つのエアーシリンダ７４は、同期して駆動されることが好ましく、かかる場合には２つのフラッシングボックス６１は同時に昇降する。
【００４８】
また、同図（ｂ）に示すように、上昇位置のフラッシングボックス６１の上端の高さレベルを、載置ブロック４７の上面のそれよりも高く設定することができる。この状態とすることにより、フラッシングボックス６１の上端の高さレベルと、ワークＷの表面の高さレベルとを同程度あるいはそれ以下になるように、液滴吐出ヘッド２１とフラッシングボックス６１との間のギャップを調整することができる。
【００４９】
すなわち、本実施形態の液滴吐出装置１に導入されるワークＷはその種別に応じて厚みの異なるものであるため、後述するヘッドＺ軸テーブル１５５によりワークＷの厚みに応じて液滴吐出ヘッド２１の高さレベルを調整しているところ、そのワークギャップの調整により液滴吐出ヘッド２１と描画前フラッシングユニット４４との高さレベルの関係も変動するが、これに対応するべく、昇降機構６３により描画前フラッシングユニット４４の高さレベルを調整することができる。これにより、ワークＷの厚みに関らず、液滴吐出ヘッド２１のフラッシングにより吐出された機能液滴を外部に飛散させることなく、フラッシングボックス６１で適切に受容することができる。
【００５０】
フラッシングボックス６１で受けた機能液は、機能液吸収材６２に含浸され、これに連通した図外の排液用チューブを介して、ラック１４に収容した廃液タンク２７２（図３参照）に貯留されるようになっている。詳細は後述するが、フラッシングボックス６１の上面（表面）は、ワークＷ側の被検出部として、ワークギャップ調整後の検査に供される。また、フラッシングボックス６１の上面と液滴吐出ヘッド２１のノズル面１４１との間のギャップは、０．２ｍｍ前後に設定される。
【００５１】
Ｘ軸テーブル２４は、図８ないし図１０に示すように、支柱ユニット８１を介してＹ軸テーブル２５の上方にこれを跨ぐように支持されており、メインキャリッジ２３を挿通して固定したブリッジプレート８２と、ブリッジプレート８２をＸ軸方向に移動させ且つその移動を案内するリニアガイド付きＸ軸リニアモータ８３と、Ｘ軸リニアモータ８３に平行に併設されたＸ軸リニアスケール８４と、Ｘ軸リニアモータ８３に平行に併設されると共にブリッジプレート８２の移動を案内するＸ軸リニアガイド８５と、を備えている。
【００５２】
ブリッジプレート８２は、その中間位置に形成した開口部からメインキャリッジ２３の下半部を挿通させ、メインキャリッジ２３の下部に保持したヘッドユニット２２をワークＷに臨ませる。メインキャリッジ２３は、後述するスライドベース１６２の両側部を介して、ブリッジプレート８２の上面に固定されている。また、ブリッジプレート８２の上面には、メインキャリッジ２３に隣接して機能液供給手段４のサブタンク２７３が設置されている。
【００５３】
Ｘ軸リニアモータ８３の駆動により、Ｘ軸リニアモータ８３およびＸ軸リニアガイド８５は、ブリッジプレート８２を両持ちでＸ軸方向に平行移動させる。そして、ブリッジプレート８２の移動に伴い、メインキャリッジ２３（ヘッドユニット２２）がＸ軸方向に移動する。この移動において、液滴吐出ヘッド２１の上記の副走査が行われる。
【００５４】
支柱ユニット８１は、石定盤１２上に設置した４本の支柱９１，９１，９１，９１と、Ｙ軸テーブル２５を跨ぐようにＸ軸方向に延在すると共にこれらの支柱９１の上部に両持ち支持された一対の梁９２，９２と、各梁９２から外側に張り出した一対の支持板９３，９３と、を有している。一方の梁９２上には、Ｘ軸リニアモータ８３およびＸ軸リニアスケール８４が支持され、他方の梁９２上には、Ｘ軸リニアガイド８５が支持されている。
【００５５】
左側（図８では手前側）の支持板９３上には、左部Ｘ軸ケーブルベア９５および流体用Ｘ軸ケーブルベア９６が、それぞれ集塵用のカバーで覆われるようにして載置されている。同様に、右側（図８では奥側）の支持板９３上には、右部Ｘ軸ケーブルベア９７およびサブＸ軸ケーブルベア９８が、それぞれ集塵用のカバーで覆われるようにして載置されている。なお、Ｘ軸リニアモータ８３およびＸ軸リニアガイド８５も同様に、集塵用のカバーで覆われている。すなわち、これら可動部分で発生し得る塵埃を各カバーで集塵し、図外の排気チューブを介して装置外部に排出できるようになっている。
【００５６】
また、図中の符号１０６は、ブリッジプレート８２と同様に且つこれとは独立してＸ軸方向に移動可能なカメラ用ブリッジプレートであり、カメラ用ブリッジプレート１０６は、ワークＷのアライメントに用いられる認識カメラを搭載したカメラユニット１０７を支持している。
【００５７】
図１１は、ヘッドユニット２２の主要部を示した平面図である。同図に示すように、ヘッドユニット２２は、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド２１と、複数の液滴吐出ヘッド２１を搭載するサブキャリッジ１２１と、サブキャリッジ１２１に各液滴吐出ヘッド２１を個々に取り付けるための複数（１２個）のヘッド保持部材１２２（図１２参照）と、を備えている。また、ヘッドユニット２２は、メインキャリッジ２３に対し着脱自在に保持されている（図１３参照）。
【００５８】
１２個の液滴吐出ヘッド２１は、６個ずつ２列に分けて主走査方向（Ｙ軸方向）に離間して配置されている。また、各液滴吐出ヘッド２１は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド２１は、副走査方向（Ｘ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド２１のノズル１４６が連続（一部重複）するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド２１を専用部品で構成するなどして、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド２１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００５９】
サブキャリッジ１２１の一方の側方には、各液滴吐出ヘッド２１とサブタンク２７３とを配管接続するための配管ジョイント１２５と、ヘッドユニット２２をメインキャリッジ２３に着脱する際の手持ち用の一対のハンドル１２６，１２６と、が設けられている。配管ジョイント１２５には、１２個の液滴吐出ヘッド２１に対応して１２個のソケット１２７が取り付けられている。各ソケット１２７の一端には、各液滴吐出ヘッド２１（の接続針１３１）と接続した配管アダプタ１２９からのヘッド側配管部材（図示省略）が接続され、その他端には、サブタンク２７３からの装置側配管部材１２８が接続されている（図９参照）。
【００６０】
このような構成により、機能液は、機能液供給手段４のメインタンク２７１からサブタンク２７３に第１チューブ２７４を介して圧力供給されると共に、このサブタンク２７３で圧力的に縁切りされる。そして、サブタンク２７３の負圧制御ユニットにより圧力制御された機能液は、サブタンク２７３から分岐して各液滴吐出ヘッド２１に供給される。
【００６１】
液滴吐出ヘッド２１は、図１２に示すように、いわゆる２連のものであり、２連の接続針１３１を有する機能液導入部１３２と、機能液導入部１３２に連なる２連のヘッド基板１３３と、機能液導入部１３２の下方（同（ａ）では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体１３４と、を備えている。この種のインクジェット方式の液滴吐出ヘッド２１は、吐出駆動のためのエネルギー発生素子として圧電素子（ピエゾ素子）を用いたもの、あるいは電気熱変換体を用いたもので構成される。
【００６２】
各接続針１３１は、配管アダプタ１２９に接続した上記のヘッド側配管部材等を介してサブタンク２７３に接続されており、機能液導入部１３２は、各接続針１３１から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体１３４は、ノズル面１４１を有するノズルプレート１４２と、ノズルプレート１４２に連なる直方体形状の２連のポンプ部１４３と、で構成されている。
【００６３】
液滴吐出ヘッド２１は、ヘッド本体１３４がサブキャリッジ１２１の下面から突出しており、ヘッド本体１３４の下面、すなわちノズル面１４１には、２本のノズル列１４５が相互に平行に形成されている。各ノズル列１４５は、略主走査方向に延在しており、多数（例えば１８０個）のノズル１４６が等ピッチで並べられて構成されている。液滴吐出ヘッド２１は、ポンプ部１４３の作用によりノズル１４６から機能液滴をドット状に吐出する。なお、液滴吐出ヘッド２１におけるノズル数やノズル列数は任意である。
【００６４】
メインキャリッジ２３は、図１３および図１４に示すように、ヘッドユニット２２を着脱自在に搭載するキャリッジ本体１５１と、キャリッジ本体１５１を吊設するように保持したキャリッジテーブル１５２と、で構成されている。メインキャリッジ２３は、キャリッジ本体１５１を上記のブリッジプレート８２から下方に挿通させるようにして、キャリッジテーブル１５２の両側部分でブリッジプレート８２の上面に固定されている（図９参照）。
【００６５】
キャリッジテーブル１５２は、キャリッジ本体１５１の上部に連結されるヘッドΘテーブル１５４と、ヘッドΘテーブル１５４の上部に連結されるヘッドＺ軸テーブル１５５と、で構成されている。ヘッドＺ軸テーブル１５５は、ヘッドΘテーブル１５４およびキャリッジ本体１５１を介して液滴吐出ヘッド２１をＺ軸方向に微小移動させ、液滴吐出ヘッド２１のノズル面１４１とワークＷの表面との間のワークギャップを微調整するものである。
【００６６】
ヘッドＺ軸テーブル１５５は、図１５に示すように、ヘッドΘテーブル１５４を下部に連結したＺ軸スライダ１６１と、Ｚ軸スライダ１６１をＺ軸方向にスライド自在に支持するスライドベース１６２と、スライドベース１６２とＺ軸スライダ１６１との間に介設されＺ軸スライダ１６１の移動を案内する４組のスライドガイド１６３，１６３，１６３，１６３と、スライドベース１６２の上面中央に固定したＺ軸モータ１６４と、Ｚ軸モータ１６４により正逆回転するボールねじ１６５と、ボールねじ１６５に螺合すると共にＺ軸スライダ１６１の正面に固定した雌ねじブロック１６６と、を有している。
【００６７】
スライドベース１６２は、一対の鉛直板１７１，１７１と、一対の鉛直板１７１の上端に掛け渡した連結板１７２とで、全体としてアーチ型に構成されている。各鉛直板１７１は、外側に直角に折り曲げた下端部でブリッジプレート８２の上面に固定されている。連結板１７２の上面中央にＺ軸モータ１６４が固定され、連結板１７２の下面側にＺ軸モータ１６４の主軸が位置している。そして、この主軸にカップリングを介してボールねじ１６５が、両鉛直板１７１間の中間位置に位置するように連結されている。
【００６８】
Ｚ軸スライダ１６１は、スライドベース１６２の内側に位置しており、雌ねじブロック１６６を正面側に固定した固定板部１８１と、各鉛直板１７１に対面する一対の側面板部１８２，１８２と、ヘッドΘテーブル１５４に連結された連結板部１８３と、で一体に形成されている。
【００６９】
この場合、固定板部１８１における雌ねじブロック１６６の固定位置は、Ｚ軸スライダ１６１の略重心部に合致している。また、これに対応して、雌ねじブロック１６６を挟んで４箇所に分散してスライドガイド１６３が、側面板部１８２と鉛直板１７１との間に設けられている。すなわち、前後方向（Ｘ軸方向）に平行に並べた一対のスライドガイド１６３，１６３が、雌ねじブロック１６６の軸線に対し左右対称に（Ｙ軸方向に対称に）配置されている。
【００７０】
このように、Ｚ軸スライダ１６１の重量バランスを考慮して、雌ねじブロック１６６と４組のスライドガイド１６３とを有効に配置することで、Ｚ軸スライダ１６１のＸ・Ｙ平面内のずれを防止できる。すなわち、Ｚ軸スライダ１６１をＺ軸方向に姿勢精度良く適切に移動させることができる。これにより、液滴吐出ヘッド２１のノズル面１４１とワークＷの表面との平行度を適切に維持することができる。
【００７１】
各スライドガイド１６３は、側面板部１８２に固定されＺ軸方向に延在する単一のトラックレール１９１と、トラックレール１９１にスライド自在に案内されると共にＺ軸方向に並べた一対のスライダユニット１９２，１９２とからなり、各スライダユニット１９２が鉛直板１７１に固定されている。したがって、Ｚ軸スライダ１６１は、トラックレール１９１を両スライダユニット１９２に案内されながら、スライドベース１６２に対しＺ軸方向に移動する。なお、スライドガイド１６３は、リニアボールガイドなどの転がり案内の他、スライドユニットをエアースライダとする空気静圧案内で構成すればよい。
【００７２】
Ｚ軸モータ１６４は、正逆回転可能なＡＣサーボモータから構成されている。Ｚ軸モータ１６４が正逆回転すると、ボールねじ１６５および雌ねじブロック１６６により、Ｚ軸スライダ１６１が各スライドガイド１６３に案内されてＺ軸方向に進退する（上下動する）。このＺ軸スライダ１６１の上下動に伴い、ヘッドΘ軸テーブル１５４およびキャリッジ本体１５１を介して液滴吐出ヘッド２１を上下動して、ワークギャップが微調整される。
【００７３】
なお、図１３（ａ）に示すように、Ｚ軸スライダ１６１の固定板部１８１の背面側にはナット部１９５が固定され、ナット部１９５に螺合する雄ねじ１９６が連結板１７２に垂設するように設けられ、さらに、ナット部１９５の下側に位置する雄ねじ１９６の端部には、ナット部１９５に接触可能な度あたり１９７が設けられている。これにより、仮にＺ軸モータ１６４が暴走しても、度あたり１９７がナット部１９５に接触することで、Ｚ軸スライダ１６１がスライドベース１６２から抜け落ちないようになっている。なお、ナット部１９５、雄ねじ１９６および度あたり１９７は、ボールねじ１６５等と同様に、いずれもヘッドＺ軸テーブル１５５におけるＹ軸方向の中心位置に設けられている。
【００７４】
ヘッドΘテーブル１５４は、図１３および図１４に示すように、Ｚ軸スライダ１６１の下面に固定された固定部２０１と、キャリッジ本体１５１の上部に固定された回転部２０２と、固定部２０１に対し回動自在に取り付けた回転部２０２をΘ軸方向に回動させるΘモータ２０３と、を有している。Θモータ２０３は、正逆回転可能なＡＣサーボモータから構成されており、ボールねじ系を主体とする動力伝達機構部２０４を介して、固定部２０１に対し回転部２０２を微小回動（微小回転）させる。この回転部２０２の微小回動により、キャリッジ本体１５１がその軸心を中心に回動する。
【００７５】
このように、ヘッドΘテーブル１５４は、Ｚ軸スライダ１６１とキャリッジ本体１５１とを相互に連結すると共に、キャリッジ本体１５１を介してヘッドユニット２２をＸ・Ｙ平面内において正逆微小回転させる。これにより、ヘッドユニット２２の初期位置決め段階において、ヘッドユニット２２をΘ軸方向に位置補正（角度補正）できるようになっている。
【００７６】
図１６に示すように、ヘッドＺ軸テーブル１５５の可動部は集塵用のカバーに覆われ、上記のＸ軸リニアモータ８３等と同様に、発塵し得る粉塵のワークＷ等への付着が防止されている。また、ヘッドΘ軸テーブル１５４の動力伝達機構部２０４も、集塵用のカバーで覆われている。
【００７７】
キャリッジ本体１５１は、ヘッドユニット２２と共に請求項にいうキャリッジを構成するものである。キャリッジ本体１５１は、図１３および図１４に示すように、ヘッドユニット２２が着座するベースプレート２２１と、ベースプレート２２１を垂設するように支持するアーチ部材２２２と、ベースプレート２２１の一方の端部に突出するように設けた一対の仮置きアングル２２３，２２３と、ベースプレート２２１の他方の端部に設けたストッパプレート２２４と、ストッパプレート２２４の外側に設けた断面Ｌ字状の取付けプレート２２５と、取付けプレート２２５の外側でこれに支持したギャップ検査ユニット２２６と、を備えている。なお、ギャップ検査ユニット２２６は、ヘッドＺ軸テーブル１５５によりワークギャップの調整を行った後、ワークギャップが所定値以下のリミット状態になっているかどうかを検査するためのものである。
【００７８】
アーチ部材２２２は、その上面中央にヘッド軸テーブル１５４の回転部２０２を固定している。ベースプレート２２１は、ヘッドユニット２２を遊嵌するための方形開口を有すると共に、この方形開口を構成する開口縁部に、サブキャリッジ１２１の周縁部を介してヘッドユニット２２を位置決め固定する。
【００７９】
ヘッドユニット２２をキャリッジ本体１５１にセットする場合には、ヘッドユニット２２をその両ハンドル１２６により手持ちして運び込み、一旦、一対の仮置きアングル２２３上に載置する（仮置きする）。ここで、ヘッドユニット２２の配管ジョイント１２５に装置側配管部材１２８を接続するなど、各種配管・配線接続する。そして、両ハンドル１２６を再度把持し、両仮置きアングル２２３をガイドにしてヘッドユニット２２を先方に押し入れ、これをベースプレート２２１に位置決め固定するようにしている。そして、必要に応じて、ヘッドユニット２２は、ヘッドΘテーブル１５４により回転補正される。
【００８０】
このようなヘッドユニット２２の運び込みを含む交換作業は、図１および図３における液滴吐出装置１の手前側から行われる。すなわち、Ｘ軸テーブル２４によりメインキャリッジ２３を機台１３側に移動させ、ワークＷから外れた機台１３の上方にてヘッドユニット２２が交換される。また、ワークギャップを検査する場合にも、ヘッドユニット２２はこの交換位置に移動する。
【００８１】
ここで、図１９を参照して、機台１３廻りの構成について説明する。上述したように、機台１３上には、ユニットテーブル（サブＹ軸テーブル）１６が載置され、ユニットテーブル１６上には、共通ベース１７を介して各種ユニットから成るメンテナンス手段３が搭載されている。そして、詳細は後述するが、ユニットテーブル１６には、覆装カバー５９が繰出し自在に設けられている。
【００８２】
機台１３の下部空間は表裏に仕切られており、その表側半部には、圧縮エアー系統のレギュレータなどが配設され、裏側半部には、その配管等が配設されている。
【００８３】
ユニットテーブル１６は、共通ベース１７を介してメンテナンス手段３を搭載したスライドベースと、スライドベースをＹ軸方向にスライド自在にガイドする一対のスライドガイド５８と、図示していないが、スライドガイド５８に沿って設置されたリードねじと、リードねじを正逆回転させるモータと、を備えている。スライドベースは、ベース体とスライドガイド５８にスライド自在に係合する一対のスライド部（図示省略）から成り、ベース体の下面にはリードねじに螺合する雌ねじ部が形成されている。
【００８４】
モータが正逆回転すると、リードねじを介してスライドベースが、スライドガイド５８上をＹ軸方向に移動する。すなわち、モータが駆動することにより、スライドベース上に搭載したメンテナンス手段３が、全体としてＹ軸方向に移動する。
【００８５】
ユニットテーブル１６上には、共通ベース１７を昇降自在に支持する一対の支持ブラケット３８と、共通ベース１７を昇降（高さ調節）させる昇降機構３７とが設けられている。昇降機構は、ハンドルにより手動で操作され、液滴吐出ヘッドに対し、メンテナンス手段３の高さを全体として調整できるようになっている。
【００８６】
メンテナンス手段３は、共通ベース１７上に、Ｙ軸方向に並んで配設したワイピングユニット５３と、定期フラッシングユニット４５と、キャッピングユニット５４と、吐出量測定ユニット５５とから成り、これら各ユニットは、ユニットテーブル１６により移動し、メンテナンス位置に移動した液滴吐出ヘッドの直下に、必要に応じて臨むようになっている。
【００８７】
ワイピングユニット５３は、ワイピングシートと、ワイピングシートを繰出し・巻取り自在に収容する繰出しリールおよび巻取りリールと、ワイピングシートに洗浄液を滴下する洗浄液滴下装置とから構成されている。
【００８８】
この構成によるワイピングユニット５３は、定期的あるいは随時に、液滴吐出ヘッド２１を、ワイピングシートにより拭って清掃するためのものである。ワイピングシートは、液体を吸収する性質を持っており、収容されている繰出しリールから、繰出され、液滴吐出ヘッド２１を清掃した後、巻取りリールに巻取られる。液滴吐出ヘッド２１の清掃は、メンテナンス位置に存する液滴吐出ヘッド２１に向けて、ユニットテーブル１６の動きによりワイピングユニット５３が、払拭方向であるＹ軸方向（図１９の右方）へ移動して行う。さらに、ワイピングシートが液滴吐出ヘッド２１を清掃する直前に、洗浄液がワイピングシートに滴下され、より清掃効果を高める処理がなされる。
【００８９】
定期フラッシングユニット４５は、スタンドに支持したボックスを有し、待機中の液滴吐出ヘッド２１が、定期的あるいは随時に、捨て吐出（フラッシング）した液滴を、ボックス内の液体吸収体４８に吸収するユニットである。捨て吐出を行う目的は、液滴吐出ヘッド２１が適正に液滴を吐出することができる状態を、維持するためである。捨て吐出されて液体吸収体４８に溜まった液滴は、吸引チューブ（図示していない）を通って回収されるようになっている。
【００９０】
キャッピングユニット５４は、液滴吐出ヘッド２１に対応した１２個のキャップ５６と、キャップ５６の下部にあってキャップ５６を一括して昇降させるエアーシリンダを利用した昇降機構と、キャップ５６に接続した吸引チューブと、吸引チューブに連なる吸引ポンプとから構成されている。なお、吸引ポンプに代えてエジェクタを用いることも可能である。かかる場合には、エジェクタの一次側にエアーを導入し二次側に上記の吸引チューブを接続する。
【００９１】
このキャッピングユニット５４は、液滴吐出ヘッド２１が待機中に乾燥するのを防ぐ目的と、液滴吐出ヘッド２１の詰まりを解消して、液滴吐出機能を回復する目的と、液滴を初期充填する際に、液滴吐出ヘッド２１内および流路内に液滴を充満させる目的と、を持っている。もっとも、インク交換を行なう際などには、このキャッピングユニット５４を用いて流路内に洗浄液を導入し、洗浄を行うことも可能である。
【００９２】
これらの目的のため、キャップ５６で液滴吐出ヘッド２１をキャッピングする際には、最初に、キャッピングユニット５４上に位置している液滴吐出ヘッド２１に対して、キャップ５６を昇降機構により上昇させ、密着接触させる。次に、この状態で、吸引ポンプを駆動して、吸引チューブを介して液滴吐出ヘッド２１の機能液を吸引する。
【００９３】
吐出量測定ユニット５５は、液滴吐出ヘッド２１に対応する１２個の液滴受け部５７を有し、ここに吐出量測定の時、吐出された液滴を受ける。この測定は、液滴吐出ヘッド２１の液滴の吐出量（重量）を求めるために用いられるものであり、この測定結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２１の吐出量を、予め設定した適性値に調整することができる。
【００９４】
測定方法は、まず、液滴吐出ヘッド２１を、吐出量測定ユニット５５の上方に位置する状態にして、液滴吐出ヘッド２１より液滴受け部５７に対し、予め設定した液滴数だけ、液滴を吐出させる。吐出後、液滴受け部５７を図外の電子天秤に移載して、液滴の重量を測定する。もっとも、本装置に電子天秤を搭載し、装置内で重量測定を行うことも可能である。ここで、液滴受け部５７は、液滴を吸収する液滴吸収材を有しており、液滴を飛散することなく保持することができるようになっている。
【００９５】
次に、図１７および図１８に基づき、Ｙ軸テーブルにおける覆装カバー廻りの構造について、詳細に説明する。Ｙ軸テーブル２５は、既述したように、Ｙ軸エアースライダ（スライドベース）３１と、一対のＹ軸ガイドレール（スライドガイド）３２とを有しており、この一対のＹ軸ガイドレール３２を覆うように一対の第１覆装カバー３６が設けられている。各第１覆装カバー３６は、一方の端部を石定盤上に立設した固定側支持部材６８に固定され、他方の端部を石定盤に連なる添設ボックスに固定した可動側支持部材６９を経由して、添設ボックス内に収容したテンション機構７０に巻回されている。固定側支持部材６８と可動側支持部材６９とは、Ｙ軸ガイドレール３２のＹ軸方向の両端部を越えた位置に配設されており、この一対の支持部材６８，６９間に、各第１覆装カバー３６が水平に（Ｙ軸ガイドレール３２に平行に）張設されている。すなわち、第１覆装カバー３６と、一対の支持部材６８，６９と、テンション機構７０とにより、請求項１にいう覆装手段が構成されている。
【００９６】
各固定側支持部材６８は、一対の起立片６８ａとこれらを下部間で連結する連結片６８ｂとから成る支持部材本体と、一対の起立片６８ａの上端部間に渡した固定ロッド６８ｃとで構成されており、各第１覆装カバー３６の一方の端部は、この固定ロッド６８ｃに固定されている。同様に、各可動側支持部材６９は、一対の起立片６９ａとこれらを上部間で連結する連結片６９ｂとから成る支持部材本体と、一対の起立片６９ａの上端部間に渡した上ガイドロッド６９ｃと、一対の起立片６９ａの下端部間に渡した下ガイドロッド６９ｄで構成されており、各第１覆装カバー３６の他方の端部は、この上ガイドロッド６９ｃおよび下ガイドロッド６９ｄを経由して、テンション機構７０に連なっている。
【００９７】
テンション機構７０は、両第１覆装カバー３６の他方の端部を巻き取る巻取りドラム７０ａと、巻取ドラム７０ａから軸方向に延びる巻取り軸７０ｂと、巻取り軸７０ｂの先端に設けた調節ハンドル６０とから成り、調節ハンドル６０は、添設ボックスの側面に露出するように設けられている。巻取りドラム７０ａには、無段階の逆止め機構（図示省略）が組み込まれており、調節ハンドル６０を回転させるとで、両第１覆装カバー３６に張力を付与し、これを弛みが生じないように張っている。
【００９８】
各第１覆装カバー３６は、薄肉シート状の耐食性材料であるステンレス鋼板等で構成されており、その両側端部には、柔軟性の樹脂をコートしたガード部材７６が設けられている。これにより、薄肉の第１覆装カバー３６を扱い易いものとしている。各第１覆装カバー３６は、対応するＹ軸ガイドレール３２の上面（スライド面）より、十分に幅広に形成され、Ｙ軸ガイドレール３２の直上空間に張設されている。なお、第１覆装カバー３６は、ステンレスの他、樹脂または布製のもので構成してもよい。
【００９９】
この場合、スライド移動するＹ軸エアースライダ３１と、一対の第１覆装カバー３６とが干渉しないように、すなわちＹ軸エアースライダ３１の移動を許容できるように、Ｙ軸エアースライダ３１のべース体４１の上面には、一対の凹部７５が形成されている。各凹部７５は、各第１覆装カバー３６の下面が接触しない深さと、各第１覆装カバー３６の両側端部が接触しない幅とを有すると共に、Ｙ軸方向に延在している。すなわち、ベース体４１の上面にセットされるワークテーブル（ワークΘ軸テーブル４２）２６の下面と、この凹部７５とで構成されるスリット状の空間に対し、第１覆装カバー３６が、これらに非接触状態で、且つベース体４１の上面より低い位置となるように張設されている。
【０１００】
このように、Ｙ軸ガイドレール３２を第１覆装カバー３６で覆うようにしているため、ヘッドユニット２２廻り等から誤って滴下してくる機能液、粉塵等からＹ軸ガイドレール３２を適切に保護することができる。しかも、第１覆装カバー３６は、移動を繰り返すＹ軸エアースライダ３１に一切干渉することがなく、装置の信頼性を高めることができる。
【０１０１】
次に、図１９に基づいて、ユニットテーブル１６の覆装カバー廻りの構造について、詳細に説明する。すでに説明したように、ユニットテーブル１６は、スライドベース７８と、一対のスライドガイド５８とを有しており、この一対のスライドガイド５８を一括して覆うように第２覆装カバー５９が設けられている。第２覆装カバー５９は、一方の端部をスライドベース７８のベース体７９の端面に、固定用プレート８０を介して固定され、他方の端部をスライドガイド５８のＹ軸方向の一端を越えた位置に設置した繰出し機構３５に巻回されている。
【０１０２】
繰出し機構３５は、機台１３の端部に固定されており、第２覆装カバー５９に対し巻取り方向の張力を付与した状態で、これを繰出し・巻取り自在に巻回している。すなわち、繰出し機構３５には、ばね（ぜんまいばね）等の付勢手段が組み込まれており、第２覆装カバー５９に対し一定の張力を付与しつつ、これを繰出し・巻取り自在に収容している。
【０１０３】
このため、スライドベース７８がスライド移動すると、第２覆装カバー５９は、これに追随するように繰出し機構３５から繰り出され、或いは繰出し機構３５に巻き取られる。すなわち、スライドベース７８の移動により、スライドガイド５８の露出部分は、その直上空間に水平に張設した第２覆装カバー５９により、常に覆われるようになっている。なお、第２覆装カバー５９の形態や材質は、幅が異なるだけで第１覆装カバー３６と同様である。また、第２覆装カバー５９のＸ軸方向の幅は、他機構部に影響のない範囲で、一対のスライドガイド５８のＸ軸方向の幅より可能なかぎり広くとることが望ましい。
【０１０４】
このような構成では、第２覆装カバー５９により、メンテナンス手段３から誤って滴下してくる機能液や洗浄液から、スライドガイド５８を有効に保護することができる。しかも、第２覆装カバー５９は、繰出し・巻取り自在に構成されているため、移動するスライドベース７８との干渉が問題となることがない。なお、本実施形態では、スライドベース７８がＹ軸方向に極めて長いため、メンテナンス手段（共通ベース）３が図示左端まで移動した状態で、スライドガイド５８が全長に亘ってスライドベースに覆われる。このため、ユニットテーブル１６の片側にのみ第２覆装カバー５９を設けているが、スライドベース７８が短い場合には、ユニットテーブル１６の反対側にも、同様の覆装手段（第２覆装カバー５９）を設けることが好ましい。また、説明は省くが、第２覆装カバー５９を第１覆装カバー３６と同様な形態で設けることも可能であり、且つ第１覆装カバー３６を第２覆装カバー５９と同様な形態で設けることも可能である。
【０１０５】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１は、各種の材料からなる機能液を用いることで、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【０１０６】
そこで、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に説明し、他のデバイスについても簡単に説明する。
【０１０７】
図２０は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００および対向基板４６６間には、配向膜４６１、４６４が構成され、対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【０１０８】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク４１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１（ワークＷ）と、遮光性のバンク４１３とを備えている。バンク４１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層４２１を構成する。バンク４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【０１０９】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク４１３で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド２１により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層４２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド２１により、オーバーコート層４２２など各種の成膜部を形成している。もちろん、ヘッドＺ軸テーブル１５５により、基板４１１の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【０１１０】
同様に、図２１を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１（ワークＷ）上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２上に主体を為す有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【０１１１】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極５０３で覆われている。
【０１１２】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、液滴吐出ヘッド２１に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成する等している。もちろん、ヘッドＺ軸テーブル１５５により、基板５０１の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【０１１３】
そして、以下に示すデバイスの製造方法において、ヘッドＺ軸テーブル１５５により、ワークＷ（基板）の厚みに対応したワークギャップに調整されている。
【０１１４】
すなわち、ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板（ワークＷ）上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【０１１５】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極（ワークＷ）上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【０１１６】
金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【０１１７】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板（ワークＷ）上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【０１１８】
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【０１１９】
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【０１２０】
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド２１に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド２１を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０１２１】
【発明の効果】
本発明の移動テーブルによれば、覆装手段により、スライドガイドが保護されるため、スライドガイドへの塵埃等の付着が抑制され、スライドベースのスライド不良等を有効に防止することができる。従って、装置の信頼性を向上させることができる。また、この移動テーブルを液滴吐出装置に適用することにより、信頼性の高い装置を構成することができる。
【０１２２】
本発明の電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器によれば、信頼性ある液滴吐出装置により製造されるため、結果物である電気光学装置、その製造方法および電子機器の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図３】実施形態に係る液滴吐出装置の左側面図である。
【図４】実施形態に係る液滴吐出装置の描画動作を模式的に示す説明図である。
【図５】実施形態に係るＹ軸テーブルおよびワークテーブルを示す平面図である。
【図６】実施形態に係るＹ軸テーブルおよびワークテーブルを示す正面図である。
【図７】実施形態に係るワークテーブルを示す側面図である。
【図８】実施形態に係るＸ軸テーブルおよびメインキャリッジを示す外観斜視図である。
【図９】実施形態に係るＸ軸テーブルおよびメインキャリッジを示す正面図である。
【図１０】実施形態に係るＸ軸テーブルおよびメインキャリッジの要部を示す平面図である。
【図１１】実施形態に係るヘッドユニットの主要部を示す平面図である。
【図１２】（ａ）実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図１３】実施形態に係るメインキャリッジを示す斜視図である。
【図１４】実施形態に係るメインキャリッジを示す分解斜視図である。
【図１５】実施形態に係るキャリッジテーブルを示す図であり、（ａ）分解斜視図、（ｂ）組立て図である。
【図１６】図１３に示すメインキャリッジに集塵カバーを取り付けた状態を示す分解斜視図である。
【図１７】実施形態に係るＹ軸テーブルにおける覆装カバー廻りを示す斜視図である。
【図１８】実施形態に係るＹ軸テーブルにおける覆装カバー廻りを示す図であり、（ａ）覆装カバーを設置した状態の左側面図、（ｂ）覆装カバーを設置前の左側面図である。
【図１９】実施形態に係るユニットテーブルの覆装カバー廻りを示す斜視図である。
【図２０】本発明の製造方法を用いて製造した液晶表示装置の断面図である。
【図２１】本発明の製造方法を用いて製造した有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置                      ２  吐出手段
１１  架台                            １３  機台
１６  ユニットテーブル                ２１  液滴吐出ヘッド
２２  ヘッドユニット                  ２４  Ｘ軸テーブル
２５  Ｙ軸テーブル                    ３１  Ｙ軸エアースライダ
３２  Ｙ軸ガイドレール                ３３  Ｙ軸リニアモータ
３５  繰出し機構                      ３６  第１覆装カバー
４１  ベース体                        ５８  スライドガイド
５９  第２覆装カバー                  ６８、６９  支持部材
７０  テンション機構                  ７５  凹部
７６、７７  ガード部材                ７８  カバー固定端
４５０  液晶表示装置                  ５００  有機ＥＬ装置
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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