(57)【要約】【課題】電気光学パネルの表示品質を向上させること。【解決手段】この電気光学パネルの製造方法では、同じ液滴吐出ヘッド５２を用いて、素子基板１０ａと対向基板１０ｂとの双方に配向膜を同時に形成する。ステージ６０上には、素子基板１０ａ用の基材１ａと対向基板１０ｂ用の基材１ｂとが液滴吐出ヘッド５２の描画方向（Ｘ方向）へ交互に配置されている。そして、液滴吐出ヘッド５２が描画方向へ走査する間に、基材１ａ及び基材１ｂ上のチップ基材１Ｃａ及び１Ｃｂへ、配向膜材料が液滴吐出ヘッド５２のノズル５４から吐出される。【選択図】      図３
2004354508.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出手段の前記ノズルから前記配向膜材料を吐出させて、電気光学パネルを構成する第１基板とこれに対向する第２基板とに配向膜を形成するにあたり、
前記第１基板と前記第２基板との双方に、同じ液滴吐出手段によって配向膜を形成することを特徴とする電気光学パネルの製造方法。
【請求項２】
前記液滴吐出手段の描画方向に、前記第１基板と前記第２基板とを配列したことを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの製造方法。
【請求項３】
前記液滴吐出手段の描画方向と垂直な方向に、前記第１基板と前記第２基板とを配列したことを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの製造方法。
【請求項４】
配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出手段の前記ノズルから前記配向膜材料を吐出させて、電気光学パネルを構成する第１基板とこれに対向する第２基板とに配向膜を形成するにあたり、
前記第１基板と前記第２基板との双方に、同じ液滴吐出手段によって配向膜を形成する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする電気光学パネルの製造プログラム。
【請求項５】
電気光学パネルを構成する第１基板の基材と第２基板の基材とを載置するステージと、
前記基板上に配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出ヘッドと、
該液滴吐出ヘッドが前記第１基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第１基板に対する配向膜の第１塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させ、前記液滴吐出ヘッドが前記第２基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第２基板に対する配向膜の第２塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させる制御部と、
を有することを特徴とする電気光学パネルの製造装置。
【請求項６】
配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出ヘッドと、
電気光学パネルを構成する第１基板と第２基板とを前記液滴吐出手段の描画方向に向かって載置するステージと、
前記液滴吐出ヘッドの描画方向に対する走査中において、前記液滴吐出ヘッドが前記第１基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第１基板に対する配向膜の第１塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させ、前記液滴吐出ヘッドが前記第２基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第２基板に対する配向膜の第２塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させる制御部と、
を有することを特徴とする電気光学パネルの製造装置。
【請求項７】
配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出ヘッドと、
電気光学パネルを構成する第１基板と第２基板とを前記液滴吐出手段の描画方向に垂直な方向に向かって載置するステージと、
前記液滴吐出ヘッドが前記第１基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第１基板に対する配向膜の第１塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させ、前記液滴吐出ヘッドが前記第２基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第２基板に対する配向膜の第２塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させる制御部と、
を有することを特徴とする電気光学パネルの製造装置。
【請求項８】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の電気光学パネルの製造方法により製造した電気光学パネルを実装する工程を含むことを特徴とする電子機器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気光学パネルの製造に関し、さらに詳しくは、電気光学パネルを構成する２枚の基板の特性を揃えて表示品質を向上させることのできる電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電子機器の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気光学パネルは、各画素を駆動する駆動素子が形成された素子基板と、これに対向して配置される対向基板との間に、液晶を封入して構成される。液晶分子を一方向に揃えるために、素子基板と対向基板との表面には配向膜が形成されており、これに対してラビング処理を施す。特許文献１には、配向膜の材料を遠心除去法で基板上に塗布して配向膜を形成し、配向膜が不要な部分には、フレキソ印刷で再度配向膜の材料を印刷し、溶解した材料を洗浄によって除去する配向膜形成技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−３０７１７８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板表面に凹凸が存在する素子基板に対しては、均一に配向膜の材料を塗布することが難しく、対向基板と組み合わせた場合には両者の特性ばらつきに起因する表示不良を招きやすかった。また、素子基板と対向基板とは別個の工程で配向膜を形成するので、環境その他の条件が異なることに起因して、組み合わされる素子基板と対向基板との特性を揃えることは困難であった。さらに、遠心除去法では配向膜の材料の使用量が多くなり、その９０％以上が廃棄処分される。このため、材料の使用効率が大幅に低下する。また、基板の裏面洗浄により配向膜表面に不純物が付着し、表示品質の低下を招くおそれもある。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、電気光学パネルを構成する２枚の基板の特性を揃えて表示品質を向上させること、配向膜の材料の使用効率を向上させること、配向膜形成工程における不純物の付着を抑制して表示品質低下を抑えることのうち少なくとも一つを達成できる電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電子機器の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出手段の前記ノズルから前記配向膜材料を吐出させて、電気光学パネルを構成する第１基板とこれに対向する第２基板とに配向膜を形成するにあたり、前記第１基板と前記第２基板との双方に、同じ液滴吐出手段によって配向膜を形成することを特徴とする。
【０００７】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムは、配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出手段の前記ノズルから前記配向膜材料を吐出させて、電気光学パネルを構成する第１基板とこれに対向する第２基板とに配向膜を形成するにあたり、前記第１基板と前記第２基板との双方に、同じ液滴吐出手段によって配向膜を形成する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【０００８】
この電気光学パネルの製造方法においては、同じ塗布条件で第１及び第２基板に配向膜を形成できるので、両基板の特性を揃えることができる。そして、このようにして配向膜を形成した第１基板と第２基板とを組み合わせることにより、表示品質の高い電気光学パネルを製造することができる。また、液滴吐出によって配向膜材料を塗布するので、遠心除去法やスピンコート法と比較して配向膜材料の使用効率を略１００％とすることができ、電気光学パネルの製造コストを低減することができる。さらに、第１及び第２基板の裏面を洗浄する工程が不要になるので、これにより配向膜上に対する不純物付着を抑制して表示不良を低減させることができる。また、基板の裏面洗浄が不要になるので、それだけ電気光学パネルの製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。
【０００９】
また、本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムによれば、この電気光学パネルの製造方法をコンピュータに実行させることができる。なお、本発明でいうコンピュータには、いわゆるパーソナルコンピュータやワークステーションあるいはＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）の他、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）とメモリその他の電子素子によって構成されるハードウェアも含む（以下同様）。
【００１０】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法において、前記液滴吐出手段の描画方向に、前記第１基板と前記第２基板とを配列したことを特徴とする。
【００１１】
このように、第１基板と第２基板とを液滴吐出手段の描画方向に配列して配向膜材料を塗布すれば、より配向膜材料の塗布条件を揃えることができるので、両基板の特性をさらに揃えることができる。そして、このようにして配向膜を形成した第１基板と第２基板とを組み合わせれば、さらに表示品質の高い電気光学パネルを製造することができる。
【００１２】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法において、前記液滴吐出手段の描画方向と垂直な方向に、前記第１基板と前記第２基板とを配列したことを特徴とする。
【００１３】
このように、第１基板と第２基板とを液滴吐出手段の描画方向に対して垂直方向に配列して配向膜材料を塗布すれば、第１基板と第２基板との配向膜の描画データが異なる場合でも、１走査中に描画データを切り替える必要がないので描画制御が容易になる。その結果、電気光学パネルの生産性を向上させることができる。
【００１４】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造装置は、電気光学パネルを構成する第１基板の基材と第２基板の基材とを載置するステージと、前記基板上に配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドが前記第１基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第１基板に対する配向膜の第１塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させ、前記液滴吐出ヘッドが前記第２基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第２基板に対する配向膜の第２塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１５】
この電気光学パネルの製造装置は、同じ塗布条件で第１及び第２基板に配向膜を形成できるので、両基板の特性を揃えることができる。そして、このようにして配向膜を形成した第１基板と第２基板とを組み合わせれば、表示品質の高い電気光学パネルを製造することができる。また、液滴吐出によって配向膜材料を塗布するので、スピンコート法と比較して配向膜材料の使用効率を略１００％とすることができる。さらに、第１及び第２基板の裏面を洗浄する工程が不要になるので、これにより不純物付着を抑制して表示不良を低減させることができる。また、基板の裏面洗浄が不要になるので、それだけ電気光学パネルの製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。
【００１６】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造装置は、配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出ヘッドと、電気光学パネルを構成する第１基板と第２基板とを前記液滴吐出手段の描画方向に向かって載置するステージと、前記液滴吐出ヘッドの描画方向に対する走査中において、前記液滴吐出ヘッドが前記第１基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第１基板に対する配向膜の第１塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させ、前記液滴吐出ヘッドが前記第２基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第２基板に対する配向膜の第２塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１７】
この電気光学パネルの製造方法では、ステージ上に第１基板と第２基板とを液滴吐出手段の描画方向に配列して配向膜材料を塗布するので、さらに配向膜材料の塗布条件を揃えることができる。その結果、両基板の特性をさらに揃えることができ、このようにして配向膜を形成した第１基板と第２基板とを組み合わせれば、さらに表示品質の高い電気光学パネルを製造することができる。
【００１８】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造装置は、配向膜材料を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出ヘッドと、電気光学パネルを構成する第１基板と第２基板とを前記液滴吐出手段の描画方向に垂直な方向に向かって載置するステージと、前記液滴吐出ヘッドが前記第１基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第１基板に対する配向膜の第１塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させ、前記液滴吐出ヘッドが前記第２基板に対して配向膜材料を形成する際には、前記第２基板に対する配向膜の第２塗布パターンに基づいて前記複数のノズルから配向膜材料を吐出させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１９】
この電気光学パネルの製造装置では、ステージ上に第１基板と第２基板とを液滴吐出手段の描画方向に対して垂直方向に配列して、配向膜材料を塗布する。このようにすれば、第１基板と第２基板との配向膜の描画データが異なる場合でも、１走査中に描画データを切り替える必要がないので描画制御が容易になり、制御部の負荷も小さくできる。その結果、電気光学パネルの生産性を向上させることができる。
【００２０】
また、次の本発明に係る電子機器の製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法により製造した電気光学パネルを実装する工程を含むことを特徴とする。
【００２１】
この電子機器の製造方法においては、上記電気光学パネルの製造方法により製造した液晶パネルを実装するので、画像の表示品質が高い電子機器を製造することができる。また、液滴吐出によって配向膜材料を塗布するので、スピンコート法と比較して配向膜材料の使用効率を略１００％とすることができ、電子機器の製造コストを低減できる。さらに、第１及び第２基板の裏面を洗浄する工程が不要になるので、これにより不純物付着を抑制して表示不良を低減させることができる。また、基板の裏面洗浄が不要になるので、それだけ電気光学パネルの製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの或いは実質的に同一のものが含まれる。なお、以下の説明では、電気光学パネルとして液晶パネルを例として説明する。
【００２３】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る本発明を適用して製造した電気光学パネルの概略構造を示す一部断面図である。この電気光学パネル１００は、３板方式の液晶プロジェクタに使用されるものである。図１に示すように、この電気光学パネル１００は、チップ基材１Ｃａの上に駆動素子１１を表面に形成した第１基板である素子基板１０ａと、これに対向配置される表面にＩＴＯが形成された第２基板である対向基板１０ｂとで構成される。素子基板１０ａ及び対向基板１０ｂ上には、ポリイミド等の配向膜１６が液滴吐出によって形成されている。そして、両基板の外周端部近傍に塗布されたシール材１７によって液晶１２が封入されている。また、素子基板１０ａと対向基板１０ｂとの間には、スペーサ１３が配置されており、両基板の間隔ｔを全面にわたって略一定にしてある。
【００２４】
また、図１（ｂ）は、カラー表示用の電気光学パネル１００’を示している。この電気光学パネル１００’は、チップ基材１Ｃａ’の上にカラーフィルタＣＦを表面に形成した第１基板であるカラーフィルタ基板１０ａ’と、これに対向配置される第２基板である対向基板１０ｂ’との間には、両基板の外周端部近傍に塗布されたシール材１７によって液晶１２が封入されている。カラーフィルタ基板１０ａ’と対向基板１０ｂ’との間には、スペーサ１３が配置されており、両基板の間隔ｔを全面にわたって略一定にしてある。カラーフィルタ基板１０ａ’には、透明樹脂材料によってカラーフィルタ保護膜２０が形成されており、チップ基材１Ｃａ’上に形成されたカラーフィルタＣＦを保護している。また、カラーフィルタ保護膜２０上には、ＩＴＯ１４及びポリイミド等の配向膜１６がこの順序で形成されている。対向基板１０ｂ’を構成するチップ基材１Ｃｂ’上には、ＩＴＯ１４及びポリイミド等の配向膜１６がこの順序で形成されている。配向膜１６はいずれも液滴吐出によって形成される。
【００２５】
図２は、この発明に係る電気光学パネルの製造装置を示す説明図である。本発明においては、液滴吐出によって配向膜を塗布し、本実施の形態においては、液滴吐出としてインクジェットを使用する。電気光学パネルの製造装置５０は、液滴吐出手段である液滴吐出ヘッド５２とステージ６０とを備えている。液滴吐出ヘッド５２には、タンク５６から供給チューブ５８を介して配向膜材料が供給される。配向膜材料は、ポリイミド樹脂等をグリセリン、ジエチレングリコール、メタノール、エタノールその他の溶媒に溶解させたものである。保護膜材料中の溶媒が揮発した後、前記樹脂がカラーフィルタ保護膜２０となる。
【００２６】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５２は、配列幅Ｈの間に複数のノズル５４が一定のピッチＰで配列されている。また、それぞれのノズル５４はピエゾ素子（図示せず）を備えており、制御部６５に備えられた処理部６５ｃからの指令によって、任意のノズル５４から配向膜材料を吐出する。制御部６５は、記憶部６５ｍを備えており、配向膜材料の塗布パターン、液滴吐出ヘッド５２やステージ６０の制御プログラム等を格納してある。また、ピエゾ素子に与える駆動パルスを変化させることにより、ノズル５４から吐出される配向膜材料の吐出量を変化させることができる。なお、制御部６５は、パーソナルコンピュータやワークステーションを使用してもよい。
【００２７】
また、液滴吐出ヘッド５２は、当該ヘッド中心に垂直な回転軸Ａを回転中心として回転軸Ａの周りを回転可能となっている。図２（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド５２を回転軸Ａの周りに回転させて、ノズル５４の配列方向とＸ方向とに角度θを与えると、見かけ上ノズル５４のピッチをＰ’＝Ｐ×Ｓｉｎθとすることができる。これにより、配向膜材料の塗布領域や配向膜材料の物性値その他の塗布条件に応じて、ノズル５４のピッチを変更することができる。配向膜材料を塗布する対象である素子基板１０ａ等は、ステージ６０に設置されている。ステージ６０は、Ｙ方向（副走査方向）に移動でき、また、ステージ６０中心に垂直な回転軸Ｂを回転中心として回転軸Ｂの周りに回転できる。
【００２８】
液滴吐出ヘッド５２は、図中Ｘ方向（主走査方向）に往復して、その間に配向膜材料をカラーフィルタ基板１０ａ上へノズル５４の配列幅Ｈで吐出する。一回の走査で配向膜材料を塗布したら、ステージ６０がＹ方向にノズル５４の配列幅Ｈだけ移動して、液滴吐出ヘッド５２は次の領域へ液晶を吐出する。ここで、カラーフィルタ基板１０ａの配向膜材料を塗布する領域がノズル５４の配列幅Ｈに対して小さい場合には、液滴吐出ヘッド５２の１回の走査で配向膜材料を塗布する領域すべてに液晶を塗布することが好ましい。このようにすれば、改行なしで配向膜材料を塗布する領域すべてに配向膜材料を塗布できるので、表示ムラや品質不良を低減できる。
【００２９】
液滴吐出ヘッド５２の動作、ノズル５４の吐出及びステージ６０の動作は、制御部６５によって制御される。これらの動作パターンを予めプログラムしておけば、塗布領域や配向膜材料の種類その他の塗布条件に応じて塗布パターンを変更することも容易である。上記動作を繰り返して、カラーフィルタ基板１０ａの全領域に配向膜材料を塗布することができる。これと同様に、ステージ６０がＹ方向に移動している時に液滴吐出ヘッド５２から配向膜材料を吐出し、その後、液滴吐出ヘッド５２をＸ方向に配列幅Ｈだけ移動させ、次の領域へ配向膜材料を吐出することも可能である。
【００３０】
液滴吐出においては、ノズル５４から安定して配向膜材料の液滴を吐出する必要がある。このため、本発明に係る配向膜材料は、液滴吐出に適した物性値に調整されている。具体的には、２０℃における粘度が１〜２０ｍＰａ・ｓ、２０℃における表面張力が２０〜７０ｍＮ／ｍの範囲である。配向膜となるポリイミド等の樹脂を溶解させる溶媒と樹脂との混合比によって、上記範囲に粘度と表面張力とを調整する。
【００３１】
この範囲であれば、安定してノズル５４へ配向膜材料を供給でき、また、ノズル５４出口における配向膜材料のメニスカスも安定する。これによって、ノズル５４から安定して液晶の配向膜材料を吐出して、表示ムラを極めて低減した高品質の電気光学パネルを製造することができる。また、上記粘度及び表面張力の範囲であれば、配向膜材料を吐出する際に要するエネルギーも無闇に高くならないので、ピエゾ素子の吐出能力を超えることもない。
【００３２】
上記粘度及び表面張力は、２０℃における粘度が４〜８ｍＰａ・ｓ、２０℃における表面張力が２５〜３５ｍＮ／ｍの範囲がより好ましい。この範囲であれば、さらに安定してノズル５４へ液晶を供給でき、また、ノズル５４出口における液晶のメニスカスも安定する。これによって、ノズル５４から吐出する配向膜材料の液滴はさらに安定し、高品質の電気光学パネルを製造することができる。
【００３３】
さらに、配向膜材料と板状部材であるノズルプレート５４ｐとの接触角α（図２（ｂ）、（ｃ）参照）は３０度〜１７０度の範囲が好ましい。配向膜材料とノズルプレート５４ｐとの接触角αが小さすぎると、配向膜材料がノズル５４から吐出する際に、配向膜材料がノズルプレート５４ｐへ引き寄せられる。その結果、配向膜材料の液滴がカラーフィルタ基板１０ａ上へ付着する位置がずれてしまい、配向膜材料がシール材に付着するおそれがある。接触角αが上記範囲であれば、配向膜材料がノズルプレート５４ｐへ引き寄せられることもなく、配向膜材料はカラーフィルタ基板１０ａ上の所定位置へ付着する。さらに安定して配向膜材料を所定位置へ付着させるには、上記接触角αは５０度以上が好ましく、さらには８０度以上が好ましい。
【００３４】
配向膜材料とノズルプレート５４ｐとの接触角αを上記範囲に収めるためには、例えばノズルプレート５４ｐに撥液処理を施す。撥液処理は、撥液材料をノズルプレート５４ｐへコーティングすることで実現できる。このような材料としては、フッ素を含むシランカップリング剤を使用することができる。また、撥液とは、ノズルプレート５４ｐが配向膜材料をはじくことをいい、両者の濡れ性を悪くする処理が撥液処理である。次に、本発明に係る電気光学パネルの製造方法、及び当該電気光学パネルの製造方法を含んだ電子機器の製造方法について説明する。
【００３５】
図３は、実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図である。この電気光学パネルの製造方法は、同じ液滴吐出ヘッド５２を用いて、素子基板１０ａと対向基板１０ｂとの双方に配向膜を同時に形成する点に特徴がある。ステージ６０上には、素子基板１０ａ用の基材１ａと対向基板１０ｂ用の基材１ｂとが液滴吐出ヘッド５２の描画方向（Ｘ方向）へ交互に配置されている。そして、液滴吐出ヘッド５２が描画方向へ走査する間に、基材１ａ及び基材１ｂ上のチップ基材１Ｃａ及び１Ｃｂへ、配向膜材料が液滴吐出ヘッド５２のノズル５４から吐出される。
【００３６】
素子基板１０ａ（第１基板）となるチップ基材１Ｃａに配向膜材料を塗布する際には、素子基板１０ａ用の配向膜パターンで配向膜材料が塗布されるように、液滴吐出ヘッド５２のノズル５４が制御される。そして、対向基板１０ｂ（第２基板）となるチップ基材１Ｃｂに配向膜材料を塗布する際には、対向基板１０ｂ用の配向膜パターンで配向膜材料が塗布されるように、液滴吐出ヘッド５２のノズル５４が制御される。この制御は、制御部６５の処理部６５ｃ（図２参照）が行い、液滴吐出ヘッド５２の走査中に配向膜パターンのデータを切り替える。
【００３７】
液滴吐出ヘッド５２のノズル５４には、それぞればらつきがあり、また電気光学パネルの製造装置５０にもばらつきがある。さらに、液滴吐出ヘッド５２や電気光学パネルの製造装置５０が異なれば、環境条件も異なる場合がある。本発明の実施の形態１に係る製造方法では、同じ液滴吐出ヘッド５２を用い、同じ工程で配向膜を形成する。すなわち、同じ塗布条件で配向膜を形成できるので、素子基板１０ａと対向基板１０ｂとの特性を揃えることができる。そして、このようにして配向膜を形成した素子基板１０ａと対向基板１０ｂとを組み合わせることにより、表示品質の高い電気光学パネル１００を得ることができる。このようにして製造した電気光学パネル１００は、特に液晶プロジェクタのように、電気光学パネル１００に表示される画像がスクリーンに拡大して用いられるものや、大判の電気光学パネルに好ましい。次に、実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法、及び当該電気光学パネルの製造方法を含んだ電子機器の製造方法について説明する。
【００３８】
図４は、この発明に係る電気光学パネル及び電子機器の製造方法を示す説明図である。図５は、この発明に係る電気光学パネル及び電子機器の製造方法を示すフローチャートである。まず、図４（ａ）に示すように、スパッタリング、フォトリソグラフィー、エッチングによって素子基板用のチップ基材１Ｃａ上には駆動素子１１を、チップ基材１Ｃｂ上にはＩＴＯ１４を形成する。なお、チップ基材１Ｃａ上には遮光領域１８も形成される（ステップＳ１０１）。
【００３９】
次に、図４（ｂ）に示すように、チップ基材１Ｃａを複数形成する素子基板用の基材１ａと、チップ基材１Ｃｂを複数形成する対向基板用の基材１ｂとを、液滴吐出ヘッド５２の描画方向へ交互に並べてステージ６０上に配置し、液滴吐出ヘッドから配向膜材料を塗布する（ステップＳ１０２）。このとき、駆動素子１１及びＩＴＯ１４と液状の配向膜材料との濡れ性を向上させるため、駆動素子１１等に対して表面改質処理を施し、配向膜材料に対する濡れ性を向上させることが好ましい。濡れ性が悪いと配向膜材料が滴状になりやすくなるので、駆動素子１１等の上へ配向膜材料が均一に塗布されないからである。また、駆動素子１１間へ配向膜材料が浸透しにくくなり、この部分へ気泡が生ずることもあり、電気光学パネルの表示画像品質を低下させるおそれもあるからである。表面改質処理としては、ＵＶランプによる紫外線光照射や酸素プラズマ処理を適用することができる。特に酸素プラズマ処理によれば、駆動素子１１上の残渣も除去できるので、配向膜の品質が高くなり好ましい。
【００４０】
配向膜材料を塗布したら、この溶媒成分を乾燥させる（ステップＳ１０３）。本実施の形態においては、図４（ｃ）に示すように、配向膜材料の液滴を塗布した素子基板用の基材１ａ、対向基板用の基材１ｂをホットプレート６７上へ載せて、配向膜材料中の溶媒を揮発させる。なお、乾燥はホットプレート６７に限られず、赤外線ヒータの加熱により乾燥させたり、オーブン内で乾燥させたりしてもよい。このようにして配向膜材料中の溶媒を揮発させて、素子基板用の基材１ａ、対向基板用の基材１ｂ上の各チップ基材１Ｃａ、１Ｃｂに配向膜１６が形成される。
【００４１】
次に、形成した配向膜１６にラビング処理を施し（ステップＳ１０４）、素子基板１０ａと対向基板１０ｂとの貼り合わせ工程及び液晶の注入工程を経て（ステップＳ１０５）、電気光学パネル１００が完成する。図４（ｅ）に示すように、完成した電気光学パネル１００にハーネスやＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）７、あるいはドライバＩＣ５が実装される（ステップＳ１０６）。そして、図５（ｆ）に示すように、携帯電話やＰＤＡ等の電子機器９へ取り付けられて、これらの電子機器が完成する（ステップＳ１０７）。
【００４２】
以上、本発明によれば、同じ塗布条件で第１基板である素子基板１０ａ及び第２基板である対向基板１０ｂに配向膜１６を形成できるので、両基板の特性を揃えることができる。そして、このようにして配向膜１６を形成した両基板を組み合わせることにより、表示品質の高い電気光学パネル１００を製造することができる。また、液滴吐出によって配向膜材料を塗布するので、遠心除去法やスピンコート法と比較して配向膜材料の使用効率を略１００％とすることができ、電気光学パネル１００の製造コストを低減することができる。さらに、素子基板１０ａ及び第２基板である対向基板１０ｂの裏面を洗浄する工程が不要になるので、これにより配向膜１６上への不純物の付着を抑制して表示不良を低減させることができる。また、前記素子基板１０ａ等の裏面洗浄が不要になるので、それだけ電気光学パネルの製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。
【００４３】
（実施の形態２）
図６は、実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図である。この電気光学パネルの製造方法は、実施の形態１と略同様の構成であるが、素子基板１０ａ用の基材１ａと対向基板１０ｂ用の基材１ｂとを液滴吐出ヘッド５２の改行方向（Ｙ方向）へ交互に配置して、同じ液滴吐出ヘッド５２により両基板に配向膜を形成する点が異なる。その他の構成は実施の形態１と同様なのでその説明を省略するとともに、同一の構成要素には同一の符号を付す。
【００４４】
ステージ６０上には、素子基板１０ａ用の基材１ａと対向基板用の基材１ｂとが液滴吐出ヘッド５２の改行方向（Ｙ方向）へ交互に配置されている。そして、液滴吐出ヘッド５２が描画方向へ走査する間に、基材１ａ及び基材１ｂ上のチップ基材１Ｃａ及び１Ｃｂへ、配向膜材料が液滴吐出ヘッド５２のノズル５４から吐出される。
【００４５】
素子基板１０ａ（第１基板）となるチップ基材１Ｃａに配向膜材料を塗布する際には、素子基板１０ａ用の配向膜パターンで配向膜材料が塗布されるように、液滴吐出ヘッド５２のノズル５４が制御される。そして、対向基板１０ｂ（第２基板）となるチップ基材１Ｃｂに配向膜材料を塗布する際には、対向基板１０ｂ用の配向膜パターンで配向膜材料が塗布されるように、液滴吐出ヘッド５２のノズル５４が制御される。この制御は、制御部６５の処理部６５ｃ（図２参照）が行う。基材１ａ、１ｂは、液滴吐出ヘッド５２の改行方向に対して交互に配列されているので、処理部６５ｃは、液滴吐出ヘッド５２の走査毎に配向膜パターンのデータを切り替える。
【００４６】
このように構成しても、同じ液滴吐出ヘッド５２及び同じ環境条件で配向膜を形成できるので、特性の揃った素子基板１０ａと対向基板１０ｂとを得ることができる。そして、このようにして配向膜を形成した素子基板１０ａと対向基板１０ｂとを組み合わせれば、表示品質の高い電気光学パネル１００を得ることができる。また、素子基板１０ａと対向基板１０ｂとの配向膜の描画データが異なる場合でも、１走査中に描画データを切り替える必要がないので描画制御が容易になり、生産性を向上させることができる。
【００４７】
なお、実施の形態１、２に係る本発明の電気光学パネル及び電子機器の製造方法は、予め用意されたプログラムを上記制御部６５の処理部６５ｃへロードして実行することによって実現することができる。このプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することもできる。また、このプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、所定のインターフェースを介して上記制御部６５の処理部６５ｃへロードすることによって実行することもできる。ここで、コンピュータで読み取り可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ等の可搬媒体、あるいはコンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記録装置をいう。
【００４８】
（実施の形態３）
図７は、本発明に係る電気光学パネルを適用した液晶プロジェクタを示す説明図である。この液晶プロジェクタ５３は３板式であり、光源５６から出た白色光を、色分離用のダイクロイックミラー５２１、５２２でＲ、Ｇ、Ｂの３色に分離する。分離された各光は、ミラー５４１、５４２で反射そして、それぞれの色を担当する電気光学パネル１００へ入れて各色の画像を作る。各電気光学パネル１００には、ドライバ５１からの駆動信号が送られて、所定の画素をＯＮ／ＯＦＦして画像を表示する。ドライバ５１は、コンピュータ６２からの画像信号を受け取って、各電気光学パネルの駆動信号を生成する。
【００４９】
各電気光学パネル１００で作られたＲ、Ｇ、Ｂ画像は、色合成用のダイクロイックミラー５２３、５２４で順に重ね合わせ、カラーの画像とした後、投射レンズ５９でスクリーン６１に投影する。この液晶プロジェクタ５３が備える電気光学パネル１００は、本発明に係る電気光学パネルの製造方法によって製造したので、同じ塗布条件で形成した配向膜を有している。このため、特性の揃った素子基板１０ａと対向基板１０ｂとを組み合わせているので、電気光学パネル１００の表示品質を高くすることができる。このため、電気光学パネル１００に表示した画像をスクリーン６１に拡大して投影した場合でも、品質も高い画像を表示することができる。
（本発明の適用対象）
【００５０】
本発明に係る電気光学パネルが適用できる電子機器としては、携帯電話機の他に、例えば、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学パネルを用いる機器が挙げられる。したがって、これらの電子機器における電気的接続構造であっても、本発明が適用可能であることはいうまでもない。
【００５１】
また、この電気光学パネルは、透過型又は反射型の電気光学パネルであり、図示しない照明装置をバックライトとして用いる。なお、アクティブマトリックス型のカラー電気光学パネルであっても同様である。例えば、以上説明した各実施形態においては、いずれもパッシブマトリクス型の電気光学パネルを例示してきたが、本発明の電気光学パネルとしては、アクティブマトリクス型の電気光学パネル（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた電気光学パネル）にも同様に適用することができる。
【００５２】
本発明は、このような電気光学パネルとしての液晶表示装置に適用できるだけでなく、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置などのように、複数の画素毎に表示状態を制御可能な各種の電気光学装置においても本発明を同様に適用することができる。特に、エレクトロルミネッセンス装置（有機、無機）においては、発光色を白色とし、装置の前面にカラーフィルタを配置することによりフルカラー表示を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る本発明を適用して製造した電気光学パネルの概略構造を示す一部断面図。
【図２】この発明に係る電気光学パネルの製造装置を示す説明図。
【図３】実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図４】この発明に係る電気光学パネル及び電子機器の製造方法を示す説明図。
【図５】この発明に係る電気光学パネル及び電子機器の製造方法を示すフローチャート。
【図６】実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図７】本発明に係る電気光学パネルを適用した液晶プロジェクタを示す説明図。
【符号の説明】
１ａ、１ｂ  基材；  １Ｃａ、１Ｃｂ  チップ基材；  ９  電子機器；  １０ａ素子基板；  １０ａ’    カラーフィルタ基板；  １０ｂ  対向基板；  １１  駆動素子；  １２  液晶；  １６  配向膜；  ５０  電気光学パネルの製造装置；  １００  電気光学パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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