(57)【要約】【課題】封止部と隔壁部との間の剥離が生じ難く、前記隔壁部を超えた液体漏れによる不良が生じ難い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供すること。【解決手段】複数の圧力発生部２２１に対応する複数の液体供給路２２２と一の前記液体供給路等と他の前記液体供給路等とを区画するための複数の隔壁部２２４と、を有する流路形成部２２０と、前記流路形成部が封止部２３０を介して固着されると共に、前記流路形成部と異なる膨張係数を有するヘッドケース部２４０と、を有し、前記隔壁部が前記一の液体供給路と前記他の液体供給路とを区画するための液体供給路側隔壁部２２４ｂを備え、前記封止部が、厚肉部２３１と薄肉部２３２を有し、複数の前記液体供給路側隔壁部に配置されると共に、前記ヘッドケース部が配置される領域の前記厚肉部である接続用厚肉部２４３ａが前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置される液体噴射ヘッド１００。【選択図】  図４
2004148581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成される複数の圧力発生部と、
前記複数の圧力発生部に対応して形成され、前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、
一の前記液体供給路及びこれに対応する一の前記圧力発生部と、他の前記液体供給路及びこれに対応する他の前記圧力発生部と、を区画するための複数の隔壁部と、を有する流路形成部と、
前記流路形成部が封止部を介して固着されると共に、前記流路形成部と異なる膨張係数を有するヘッドケース部と、を有する液体噴射ヘッドであって、
前記隔壁部が前記一の液体供給路と前記他の液体供給路とを区画するための液体供給路側隔壁部を備え、
前記封止部が、厚肉部と薄肉部とを有し、複数の前記液体供給路側隔壁部に配置されると共に、
前記ヘッドケース部が配置される領域の前記厚肉部である接続用厚肉部が前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されている前記接続用厚肉部が、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側又は前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されている前記接続用厚肉部が、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側及び前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置され、
前記各々の液体供給路側隔壁部の前記先端部側に配置されている前記接続用厚肉部のそれぞれが連続して配置されていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されている前記接続用厚肉部が、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側及び前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置され、
前記先端部側に配置されている前記接続用厚肉部が、前記各々の液体供給路側隔壁部の前記先端部にのみ配置されていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記接続用厚肉部が前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側に配置され、
前記ヘッドケース部が配置される領域外であって、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部から離間する側である先端部側又は前記圧力発生部側である基部側に前記流路形成部と前記封止部との接着用厚肉部が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記接続用厚肉部は、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側及び前記圧力発生部から離間する側である先端部側にのみに配置され、
前記基部側及び前記先端側との間の中間部には、膨張に寄与しない補強部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記封止部の前記厚肉部と、前記薄肉部は別体であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記封止部の前記厚肉部は、金属製薄膜であることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記封止部の前記厚肉部は、ステンレス製薄膜であり、前記薄膜部は樹脂製薄膜あることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
液体を吐出する複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成される複数の圧力発生部と、
前記複数の圧力発生部に対応して形成され、前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、
一の前記液体供給路及びこれに対応する一の前記圧力発生部と、他の前記液体供給路及びこれに対応する他の前記圧力発生部と、を区画するための複数の隔壁部と、を有する流路形成部と、
前記流路形成部が封止部を介して固着されると共に、前記流路形成部と異なる膨張係数を有するヘッドケース部と、を有する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置であって、
前記液体噴射ヘッドの前記隔壁部が前記一の液体供給路と前記他の液体供給路とを区画するための液体供給路側隔壁部を備え、
前記封止部が、厚肉部と薄肉部とを有し、複数の前記液体供給路側隔壁部に配置されると共に、
前記ヘッドケース部が配置される領域の前記厚肉部である接続用厚肉部が前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスクプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の液体を吐出する液体噴射ヘッド及びそれを用いた液体噴射装置全般に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、画像や文字を記録用紙に記録するプリンタ装置には、圧電振動子の伸縮等によりノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド（以下「記録ヘッド」という）が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
図１３は、従来の記録ヘッド１０を示す概略分解斜視図である。
図１３に示すように、記録ヘッド１０は、流路ユニット１を有し、流路ユニット１は、多数のノズル開口８を有するノズルプレート３を有している。また、このノズルプレート３と後述する封止板５とに挟まれるように、流路基板４が配置されている。
【０００３】
この流路基板４には、圧力発生室７ａが配置され、この圧力発生室７ａと連通してインク供給路７ｂが形成され、さらに、このインク供給路７ｂは、インク貯留室９が連通されている。
そして、このインク貯蔵室９には、図１３のインク供給孔５ｃを介してインクが供給される構成となっている。
【０００４】
すなわち、インクは図示しない、インクカートリッジから封止板５のインク供給孔５ｃ等を介してインク貯留室９、インク供給路７ｂ、そして圧力発生室７ａへと案内される構成となっている。
これら圧力発生室７ａ及びインク供給路７ｂは、流路基板５に図１３に示すように櫛歯状に複数個配置され、それぞれが隔壁７ｃで区画され、さらに封止板５とノズルプレート３によって挟持されることにより一種の閉空間が形成されている。この隔壁７ｃは、後述の図１４に示すようにインク流路側隔壁７ｅと圧力発生室側隔壁７ｄとを有している。
【０００５】
封止板５は流路基板５側にフィルム状の樹脂製薄膜５ａが設けられ、この樹脂製薄膜５ａ積層されて、金属製薄膜５ｂが配置されている。
また、封止板５の樹脂製薄膜５ａ側は流路基板５に接着剤等で固着されると共に、封止板５の金属製薄膜５ｂは、図１３に示すヘッドケース２と接着剤等で固着される構成となっている。
ヘッドケース２には図１３に示す圧電振動子６が収容されるように成っている。
【０００６】
図１４は、櫛歯状に形成された圧力発生室７ａ及びインク供給路７ｂの上方に封止板５が接着等され、さらに、その上方にヘッドケース２が接着された状態を示す概略説明図である。図１５は、図１４のＡ−Ａ’線概略断面図である。
図１４に示すように図１３のケースヘッド２は、流路基板４のインク供給路７ｂ上に封止板５を介して接着される。図１４で実線のハッチングは金属製薄膜５ｂを示し、破線のハッチングはケースヘッド２が接着される領域を示す。
具体的には、図１５に示すように各インク供給路７ｂを区画するインク流路側隔壁７ｅ上に形成される封止板５の金属製薄膜５ａ上にヘッドケース２が接着される。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−２７７５２４号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記ケースヘッド２は、一般に熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂等からなり、インク流路側隔壁７ｅである流路基板４はシリコン等からなり、これらの線膨張係数は大きく異なる。
また、ケースヘッド２は、流路基板４と異なり樹脂等から成るため吸水による膨張が生じ易い。
このような、線膨張係数の差や吸水膨張の有無等により、図１５に示すヘッドケース２とインク流路側隔壁７ｅとの間に歪みが生じることになる。
この歪みは、図１５の場合、比較的接着力が強い、ヘッドケース２と封止板５の金属製薄膜５ｂとの間ではなく、この金属製薄膜５ｂが配置されている部分に対応する比較的接着力が弱い部分である封止板５の樹脂製薄膜５ａとインク流路側隔壁７ｅとの間に大きく作用し、この間が剥離し易くなっていた。
そして、この樹脂製薄膜５ａを有する封止板５とインク流路側隔壁７ｅとの間の剥離は、インク流路側隔壁７ｅで仕切っていた各インク供給路７ｂ等の間のインク漏れを招き記録ヘッド１０の不良等の原因となり問題となっていた。
【０００９】
本発明は、以上の点に鑑み、封止部と隔壁部との間の剥離が生じ難く、前記隔壁部を超えた液体漏れによる不良が生じ難い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的は、本発明によれば、液体を吐出する複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成される複数の圧力発生部と、前記複数の圧力発生部に対応して形成され、前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、一の前記液体供給路及びこれに対応する一の前記圧力発生部と、他の前記液体供給路及びこれに対応する他の前記圧力発生部と、を区画するための複数の隔壁部と、を有する流路形成部と、前記流路形成部が封止部を介して固着されると共に、前記流路形成部と異なる膨張係数を有するヘッドケース部と、を有する液体噴射ヘッドであって、前記隔壁部が前記一の液体供給路と前記他の液体供給路とを区画するための液体供給路側隔壁部を備え、前記封止部が、厚肉部と薄肉部とを有し、複数の前記液体供給路側隔壁部に配置されると共に、前記ヘッドケース部が配置される領域の前記厚肉部である接続用厚肉部が前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されることを特徴とする液体噴射ヘッドにより達成される。
【００１１】
前記構成によれば、前記ヘッドケース部が配置される領域の前記厚肉部である接続用厚肉部が前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されている。
このため、前記ヘッドケースの配置領域に存在する前記液体供給路側隔壁部の一部にのみ前記厚肉部が形成される。
したがって、前記膨張係数が異なる前記ヘッドケース部と前記流路形成部の前記液体供給路側隔壁部とが前記封止部を介して固着されたとき、前記ヘッドケースの配置領域に存在する前記液体供給路側隔壁部の全面に広く厚肉部が配置されている場合に比べ、比較的剛性の強い部分である厚肉部の形成部分が一部に限定される。
【００１２】
これにより、前記ヘッドケース部と前記液体供給路側隔壁部との膨張係数が異なっても、前記厚肉部が形成されていない部分では、その歪みによる力がかかり難い構成となっている。
したがって、全体として前記歪みが前記薄肉部と前記液体供給路側隔壁部との間に大きく作用し難くなり、全体として両者が剥離し難くなり、前記液体供給路側隔壁部を越えた液体漏れによる不良が生じ難い液体噴射ヘッドとなる。
【００１３】
好ましくは、前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されている前記接続用厚肉部が、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側又は前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【００１４】
前記構成によれば、前記接続用厚肉部が、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側又は前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置されている。
このため、前記接続用厚肉部が前記圧力発生部側である基部側に配置された場合は、少なくとも前記圧力発生部から離間する側である先端部側は、前記ヘッドケース部と固着等されない。すなわち、この先端部側等には、前記薄肉部より剛性の高い前記接続用厚肉部が形成されていない。したがって、前記ヘッドケース部と前記液体供給路側隔壁部との膨張係数の相違による歪みが、この先端部側等では、比較的剛性の弱い部分である前記薄肉部と前記液体供給路側隔壁部との間に集中するのを緩和させる構成となっている。
【００１５】
また、前記接続用薄肉部が前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置された場合は、少なくとも前記圧力発生部側である基部側は、前記ヘッドケース部と固着されず、前記歪みが集中するのを緩和する構成となっている。
【００１６】
好ましくは、前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されている前記接続用厚肉部が、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側及び前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置され、前記各々の液体供給路側隔壁部の前記先端部側に配置されている前記接続用厚肉部のそれぞれが連続して配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
前記構成によれば、前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置された厚肉部は、前記液体供給路側隔壁部に前記封止板を確実に接続できる。
【００１７】
好ましくは、前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されている前記接続用厚肉部が、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側及び前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置され、前記先端部側に配置されている前記接続用厚肉部が、前記各々の液体供給路側隔壁部の前記先端部にのみ配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
前記構成によれば、前記圧力発生部から離間する側である先端部側に配置された厚肉部は、前記液体供給路側隔壁部に前記封止板を確実に接続できる。また、厚肉部が分離していることにより、封止板の液体供給路側隔壁部に接続している部分の剛性が下がり、液体供給路側隔壁部と封止板間の応力緩和が可能となる。
【００１８】
好ましくは、前記接続用厚肉部が前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側に配置され、前記ヘッドケース部が配置される領域外であって、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部から離間する側である先端部側又は前記圧力発生部側である基部側に前記流路形成部と前記封止部との接着用厚肉部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【００１９】
前記構成によれば、前記ヘッドケース部が配置される領域外であって、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部から離間する側である先端部側又は前記圧力発生部側である基部側に前記流路形成部と前記封止部との接着用厚肉部が形成されている。
したがって、前記流路形成部を前記封止部を介して前記ヘッドケース部に固着するときに、前記接着用厚肉部が治具受けとして機能し、接着不良を起こすことがない。
【００２０】
好ましくは、前記接続用厚肉部は、前記液体供給路側隔壁部のうち前記圧力発生部側である基部側及び前記圧力発生部から離間する側である先端部側にのみに配置され、前記基部側及び前記先端側との間の中間部には、膨張に寄与しない補強部材が配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【００２１】
前記構成によれば、前記基部側及び前記先端側との間の中間部には、膨張に寄与しない補強部材が配置されている。
すなわち、前記ヘッドケース部と前記液体供給路側隔壁部との膨張係数が異なっても、前記厚肉部が形成されていない部分である前記中間部には膨張に寄与しない補強部材が形成されているので、この中間部に対応する前記封止部では、その歪みが、比較的剛性の弱い部分である前記薄肉部と前記液体供給路側隔壁部との間に集中するのを緩和させる構成となっている。
また、この中間部には前記厚肉部の代わりに補強部材が配置されているので、その強度が部分的に弱まるのを防ぐことができる。
【００２２】
好ましくは、前記封止部の前記厚肉部と、前記薄肉部は別体であることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
前記構成によれば、前記厚肉部の形状を作成してから前記薄肉部を張り合わせることができる。
【００２３】
好ましくは、前記封止部の前記厚肉部は、金属製薄膜であることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
前記構成によれば、前記厚肉部は金属製薄膜であるので、前記厚肉部の形状をエッチングで形成することができる。
【００２４】
好ましくは、前記封止部の前記厚肉部は、ステンレス製薄膜であり、前記薄膜部は樹脂製薄膜あることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
前記構成によれば、前記厚肉部はステンレス製なので、耐薬品性の点で優れている厚肉部を形成することができる。
【００２５】
前記目的は、本発明によれば、液体を吐出する複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成される複数の圧力発生部と、前記複数の圧力発生部に対応して形成され、前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、一の前記液体供給路及びこれに対応する一の前記圧力発生部と、他の前記液体供給路及びこれに対応する他の前記圧力発生部と、を区画するための複数の隔壁部と、を有する流路形成部と、前記流路形成部が封止部を介して固着されると共に、前記流路形成部と異なる膨張係数を有するヘッドケース部と、を有する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置であって、前記液体噴射ヘッドの前記隔壁部が前記一の液体供給路と前記他の液体供給路とを区画するための液体供給路側隔壁部を備え、前記封止部が、厚肉部と薄肉部とを有し、複数の前記液体供給路側隔壁部に配置されると共に、前記ヘッドケース部が配置される領域の前記厚肉部である接続用厚肉部が前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されることを特徴とする液体噴射装置により達成される。
【００２６】
前記構成によれば、前記液体噴射ヘッドの前記ヘッドケース部が配置される領域の前記厚肉部である接続用厚肉部が前記複数の液体供給路側隔壁部の各々の一部に配置されている。
このため、前記ヘッドケースの配置領域に存在する前記液体供給路側隔壁部の一部にのみ前記厚肉部が形成される。
したがって、前記膨張係数が異なる前記ヘッドケース部と前記流路形成部の前記液体供給路側隔壁部とが前記封止部を介して固着されたとき、前記ヘッドケースの配置領域に存在する前記液体供給路側隔壁部の全面に広く厚肉部が配置されている場合に比べ、比較的剛性の強い部分である厚肉部の形成部分が一部に限定される。
【００２７】
これにより、前記ヘッドケース部と前記液体供給路側隔壁部との膨張係数が異なっても、前記厚肉部が形成されていない部分では、その歪みによる力がかかりにくい構成となっている。
したがって、全体として前記歪みが前記薄肉部と前記液体供給路側隔壁部との間に大きく作用し難くなり、全体として両者が剥離し難くなり、前記液体供給路側隔壁部を越えた液体漏れによる不良が生じ難い液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置となる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００２９】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る液体噴射装置である例えばインクジェット式記録装置１００を示す概略斜視図である。
インクジェット式記録装置１００は、液体である例えばインクを収容するインクカートリッジ１０１と、このインクカートリッジ１０１が搭載される液体噴射ヘッドである例えばインクジェット式記録ヘッド（以下「記録ヘッド」という）２００を有している。
この記録ヘッド２００は、キャリッジ１０２に取り付けられる構成となっている。
キャリッジ１０２は、図１に示すように、タイミングベルト１０３を介してステッピングモータ１０４に接続され、ガイドバー１０５に案内されて、記録紙１０６の紙幅方向（主走査方向）に往復移動するようになっている。
キャリッジ１０２は、上部に開放する箱形を呈し、記録紙１０６と対向する面（図の下面）に、記録ヘッド２００のノズル面が露呈するように取り付けられると共に、インクカートリッジ１０１が収容されるようになっている。
【００３０】
そして、記録ヘッド２００にインクカートリッジ１０１からインクが供給され、キャリッジ１０２を移動させながら、記録紙１０６上面にインク滴を吐出させて記録紙１０６に画像や文字をドットマトリックスにより印刷するようになっている。
また、インクジェット式記録装置１００は、図１に示すように、印刷休止中に記録ヘッド２００のノズル開口を封止することによりインクを吐出するノズル部である例えばノズルの乾燥をできるだけ防止するキャップ１０７を備えている。
さらに、インクジェット式記録装置１００は、記録ヘッド２００のノズル面をワイピングするワイパー部材１０８も有している。
【００３１】
図２は、記録ヘッド２００の要部を示す概略分解斜視図である。
図２に示すように、記録ヘッド２００は、インクを吐出する複数のノズル開口部である例えばノズル開口２１１を有するノズルプレート２１０を有している。
この複数のノズル開口２１１のそれぞれに対応して形成される複数の圧力発生部である例えば圧力発生室２２１が、流路形成部である例えば流路基板２１０に設けられている。
また、流路基板２１０には、図２に示す複数の圧力発生室２２１の各々に対応して形成され、且つ各々の圧力発生室２２１にインクを供給するため連通して形成されている複数の液体供給路である例えばインク供給路２２２を有している。
さらに、これらインク供給路２２２と連通され、これらインク供給路２２２へインクを供給するためのインク貯蔵室２２３を有している。
【００３２】
また、図２の一のインク供給路２２２ａ及びこれに対応する圧力発生室２２１ａと、他のインク供給路２２２ｂ及びこれに対応する圧力発生室２２１ｂとを区画するための隔壁部である例えば隔壁２２４が流路基板２２０に形成されている。
そして、図２に示すように、圧力発生室２２１、インク供給路２２２、インク貯蔵室２２３及び隔壁２２４を有する流路基板２２０を覆うように配置される封止部である例えば封止板２３０が設けられている。
封止板２３０は、積層して形成される厚肉部であり、金属製薄膜である例えばステンレス製のＳＵＳ製薄膜２３１と、薄肉部であり、樹脂製薄膜である例えばフィルム状のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルム２３２とを有している。
このようにステンレスで形成することで耐薬品性に優れた厚肉部となり、金属製薄膜のためエッチングで形状を容易に形成できる厚肉部ともなる。
また、封止部２３０のＳＵＳ製薄膜２３１とＰＰＳフィルム２３２とは別体であるため、エッチングでＳＵＳ製薄膜２３１の形状を作成してからＰＰＳフィルム２３２を張り合わせて封止部２３０を形成できる。
この封止板２３０のＰＰＳフィルム２３２側は、図２に示すように流路基板２２０に対して配置され、接着剤等により固着される。
【００３３】
一方、ノズルプレート２１０も流路基板２１０に対して接着剤等で固着されるため、流路基板２２０の圧力発生室２２１、インク供給路２２２及びインク貯蔵室２２３は、これら封止板２３０とノズルプレート２１０によって、閉空間となる。
また、封止板２３０は、インクをインク貯蔵室２２３に供給するためのインク供給孔２３３が形成されている。
【００３４】
この封止板２３０には、図２に示すようにヘッドケース部である例えば合成樹脂製のヘッドケース２４０が配置される。
ヘッドケース２４０には上下に貫通する収容空間２４１が形成され、そこに圧電振動子２５０が挿入される構成となっている。
収容空間２４１は、ノズル開口２１１が列設される方向に形成され、ノズル開口２１１に対応して形成されている。
また、ヘッドケース２４０には、封止板２３０のインク供給孔２３３に対応するインク供給穴２４２が形成されている。
このようにヘッドケース２４０と流路基板２２０とは封止板２３０を介して固着されるが、このヘッドケース２４０は上述のように合成樹脂から成り、流路基板２００は例えばシリコン等から成るため、膨張係数である例えば線膨張係数が大きく異なっている。
【００３５】
例えば、ヘッドケース２４０の合成樹脂の線膨張係数が、１２ｅ−６（１／℃）あるのに対し、流路基板２００のシリコンの線膨張係数は、２．５ｅ−６（１／℃）であり、大きく異なる。
また、流路基板２００のシリコンは吸水膨張がないのに対し、ヘッドケース２４０の合成樹脂は吸水膨張が生じる。
【００３６】
図３は、図２の記録ヘッド２００の部分概略拡大断面図である。
図２の圧電振動子２５０の後端側（図２の上部側）は、ヘッドケース２４０に図３に示すように、取り付けられた固定基板２５１に固着されると共に、先端側（図２の下部側）は、封止板１３０のＳＵＳ製薄膜２３１に形成される島部２３１ａと固着されている。
したがって、図３に示すように組み立てられた記録ヘッド２００において図示しない駆動回路で発生させた駆動信号を図２のフレキシブル回路板２５２を介して圧電振動子２５０に入力することにより圧電振動子２５０を図３の縦方向に伸長させる。
このとき、圧電振動子２５０の先端部は島部２３１ａと固着されているため、島部２３１ａを下方向に押し付け島部２３１ａの直下に形成されている圧力発生室２２１に圧力を加えることになる。
【００３７】
一方、インクは、図１のインクカートリッジ１０１から図２のヘッドケース２４０のインク補給穴２４２や封止板２３０のインク供給孔２３３を介して、流路基板２２０のインク貯蔵室２２３に供給される。
インク貯蔵室２３３に供給されたインクは、各ノズル開口２１１に対応して配置されている図２の圧力発生室２２１にインク供給路２２２を介して供給される。
このようにインクが収容されている圧力発生室２２１に上述のように圧電振動子２５０から圧力が加わると、その圧力でインクがノズルプレート２１０のノズル開口２１１から吐出される構成となっている。
また、ヘッドケース２４０は封止板２３０のＳＵＳ製薄膜２３１やＰＰＳフィルム２３２を介して流路基板２２０に固着されている。
【００３８】
図４は、図３のヘッドケース２４０、ＳＵＳ製薄膜２３１、ＰＰＳフィルム２３２及び隔壁２２４の接合位置の一部分を示す概略平面説明図である。図５は図４のＢ−Ｂ’線概略断面図である。
図４に示すように、流路基板２２０には、ノズルプレート２１０の各ノズル開口２１１に対応した圧力発生室２２１が、インク供給路２２２と一対となって複数配置されている。
また、これら各インク供給路２２２や圧力発生室２２１相互間を仕切る隔壁２２４によって相互にインクが流入等しないように形成されている。
この隔壁２２４には、一のインク供給路２２２ａと他のインク供給路２２２ｂとを区画するための液体供給路側隔壁部である例えばインク供給路側隔壁２２４ｂと、圧力発生室側隔壁２２４ａとを有している。
【００３９】
また、圧力発生室２２１は、図４で示すようにインク供給路２２２と連通しているため、圧力発生室２２１に生じた圧力がインク供給路２２２へ逃げてしまう。
そこで、インク供給路２２２には、図４に示すように圧力発生室２２１における圧力の減圧を防ぐための島状突部２２５が形成されている。
この島状突部２２５によって、インク供給路２２２におけるインクの流れはさらに狭まることになり、圧力発生室２２１の減圧を未然に防ぐことができる構成となっている。
【００４０】
また、図４の隔壁２２４上には図３に示すように、封止板２３０のＰＰＳフィルム２３２が接着剤等で固着されている。このＰＰＳフィルム２３２は、図４では透明で示されている。
そして、このＰＰＳフィルム２３２と積層して形成されているＳＵＳ製薄膜２３１は所定の形状にエッチングされており、図４ではエッチングされている部分を透明に、エッチングで残されている部分は実線ハッチングで示されている。
このエッチングで残されたＳＵＳ製薄膜２３１のうち、圧力発生室２２１に対応して長円状に形成されているのが、図３の島部２３１ａであり、圧電振動子２５０の先端部と固着され、圧電振動子２５０の伸長によって圧力発生室２２１に圧力を加える部分となる。
【００４１】
また、図４の破線エッチングで示すのは、ヘッドケース２４０が封止板２３０上に接着等される領域、すなわちヘッドケース載置領域２４３を示すものである。
このヘッドケース載置領域２４３内に設けられているＳＵＳ製薄膜２３１が、接続用厚肉部である例えば、接続用金属製薄膜２４３ａと成っている。
この接続用金属製薄膜２４３ａは、図４に示す複数、例えば４本のインク供給路側隔壁２２４ｂの各々の一部、例えば、インク供給路側隔壁２２４ｂのうち圧力発生室２２１ａ側である基部側に配置されている。
したがって、図４のインク供給路側隔壁２２４ｂの先端部側にはＳＵＳ製薄膜２３１が形成されず、そのため、ヘッドケース２４０と直接、接着等されないフリー領域２４３ｂが図５に示すように設けられている。
【００４２】
このように構成することで、上述のようにヘッドケース２４０と流路基板２２０とが線膨張係数が異なる状況で、図３のように封止板２３０を介して接着すると、以下のようになる。
すなわち、図４のヘッドケース配置領域２４３内において、図５に示すヘッドケース２４０とインク供給路側隔壁２２４ｂとの間の膨張率が異なると、その中間に配置されている封止板２３０に歪みの応力が生じる。
このとき、封止板２３０のうち、ＳＵＳ製薄膜２３１はＰＰＳフィルム２３２より剛性が高く、ヘッドケース２４０と接着されているので、歪みはあまり作用しない。
【００４３】
しかし、封止板２３０のうち、ＰＰＳフィルム２３２は、剛性が低いため、両者の膨張率の相違に基づく歪みの影響が受けやすく、図５のヘッドケース２４０の直下におけるＰＰＳフィルム２３２とインク供給路側隔壁２２４ｂとの間が剥離する方向に力が働き易くなる。
特に、ＳＵＳ製薄膜２３１が形成されている部分では、前記歪みが、ＳＵＳ製薄膜２３１に対応するＰＰＳフィルム２３２に集中し剥離し易い部分となる。
この点、本実施の形態では、図４に示すように、フリー領域２４３ｂが設けられ、ヘッドケース２４０と封止板２３０のＳＵＳ製薄膜２３１との接着部分は、インク供給路側隔壁２２４ｂの全面にＳＵＳ製薄膜２３１が配置されている場合に比べ小さく、図４の接続用金属製薄膜２４３ａの部分のみとなっている。
【００４４】
したがって、剛性が高く、ヘッドケース２４０と強く接着されている接続用金属製薄膜２４３ａの部分が小さくなるので、前記膨張率の相違による歪みの応力が、剛性が低く影響を受けやすい部分であるＰＰＳフィルム２３２側に集中する部分も小さくすることができ、全体として歪みの影響を緩和させることができる。
したがって、従来の記録ヘッドと異なり、前記膨張率の相違によるインク供給路側隔壁２２４ｂ上の封止板２０の剥離がより生じ難くなる。
これによりインク供給路側隔壁２２４ｂを越えて、例えば図４のインク供給路２２２ａからインク供給路２２２ｂへインクが漏れることを未然に防ぐことができるので、不良が生じにくい記録ヘッド２００を有するインクジェット式記録装置１００となる。
【００４５】
（第２の実施の形態）
図６は、第２の実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの要部を示す概略平面図である。図７は、図６のＣ−Ｃ’線概略断面図である。
本実施の形態の構成は、上述の第１の実施の形態に係るインクジェット式記録装置１００と略同様なので、同一構成は同一符号等として説明を省略し、以下相違点を中心に説明する。
図６に示すように、本実施の形態では、上述の図４に示す第１の実施の形態の記録ヘッド２００と異なり、ヘッドケース配置領域２４３外であって、インク供給路側隔壁２２４ｂのうち圧力発生室２２１から離間する側である先端部に、流路基板２２０と封止板２３０との接着用厚肉部である例えば、治具受け部２４３ｃがＳＵＳ製薄膜２３１で形成されている。
したがって、流路基板２２０を封止板２３０を介してヘッドケース２４０に接着剤等で固着する際に、治具受け部２４３ｃが治具受けとして機能し、封止板２３０と流路基板２２０の接着不良を防止できる。
【００４６】
（第３の実施の形態）
図８は、第３の実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの要部を示す概略平面図である。図９は、図８のＤ−Ｄ’線概略断面図である。
本実施の形態の構成は、上述の第２の実施の形態に係るインクジェット式記録装置と略同様なので、同一構成は同一符号等として説明を省略し、以下相違点を中心に説明する。
【００４７】
本実施の形態では、第２に実施の形態と異なり、接続用金属製薄膜３４３ａがインク供給路側隔壁２２４ｂの圧力発生室２２１から離間する側である先端部側に配置されている。
このため、インク供給路側隔壁２２４ｂの圧力発生室２２１側である基部側にヘッドケース２４０と接着されないフリー領域３４３ｂが設けられている。
したがって、剛性が高く、ヘッドケース２４０と強く接着されている部分はインク供給路側隔壁２２４ｂの前記先端側のみとなり、全体として小さくなるので、前記膨張率の相違による歪みの応力が、剛性が低く影響を受けやすいＰＰＳフィルム２３２側に集中するのを全体的に緩和させることができる。
【００４８】
また、本実施の形態では、接続用金属製薄膜３４３ａは、第１に実施の形態と異なり、インク供給路側隔壁２２４ｂの前記先端側に形成されている。
この位置に形成されても、第１の実施の形態と同様に、剛性が高く、ヘッドケース２４０と強く接着されている部分である接続用金属製薄膜３４３ａが小さく形成されるので、前記膨張率の相違による歪みの応力が、剛性が低く影響を受けやすいＰＰＳフィルム２３２側に集中する部分も小さくなり、歪みの影響を全体的に緩和させることができる。
したがって、前記膨張率の相違によるインク供給路側隔壁２２４ｂ上の封止板２０の剥離がより生じ難くなる。
【００４９】
さらに、本実施の形態では、治具受け部３４３ｃは、インク供給路側隔壁２２４ｂの圧力発生室２２１側である基部側に形成されている。
この場合も第２の実施の形態と同様に、流路基板２２０を封止板２３０を介してヘッドケース２４０に接着剤等で固着する際に、治具受け部３４３ｃが治具受けとして機能し、封止板２３０と流路基板２２０の接着不良を防止できる。
【００５０】
（第４の実施の形態）
図１０は、第４の実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの要部を示す概略平面図である。図１１は、図１０のＥ−Ｅ’線概略断面図である。
本実施の形態の構成は、上述の第１の実施の形態等に係るインクジェット式記録装置１００と略同様なので、同一構成は同一符号等として説明を省略し、以下相違点を中心に説明する。
本実施の形態の記録ヘッドでは、接続用金属製薄膜４４３ａがインク供給路側隔壁２２４ｂの前記基部側及び前記先端部側の２箇所に間隔を開けて形成されている。
また、インク供給路側隔壁２２４ｂの前記先端部側の接続用金属製薄膜４４３ａは、図１０に示すようにそれぞれが連続して配置されている。
したがって、圧力発生室２２１から離間する側である先端部側に配置された接続用金属製薄膜４４３ａは、インク供給路側隔壁２２４ｂに封止板２３０を確実に接続できる。
【００５１】
そして、これら２つの接続用金属製薄膜４４３ａの間の中間部には、フリー領域４３３ｂが形成されている。
このフリー領域４３３ｂは、図１１に示すように凹部Ｓが構成されている。そして、この凹部Ｓには、膨張に寄与しない補強部材である例えば接着剤が配置されている。
接着剤としては、例えば、エポキシ系接着剤、シリコン系接着剤等がある。
【００５２】
このように構成されているため、図１１のヘッドケース２４０とインク供給路側隔壁２２４ｂとの膨張係数が異なり、前記凹部Ｓには、膨張に寄与しない接着剤が配置されているので、この凹部Ｓに対応する封止板２３０では、その歪みが接着力の弱い部分であるＰＰＳフィルム２３２とインク供給路側隔壁２２４ｂとの間に集中せず、全体的には歪みの影響が緩和される構成となっている。
また、前記凹部Ｓには、ＳＵＳ製薄膜２３１の代わりに前記接着剤を配置しているので、その強度が部分的に弱まるのを未然に防ぐことができる構成となっている。
【００５３】
（第５の実施の形態）
図１２は、第５の実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの要部を示す概略平面図である。
本実施の形態の構成は、上述の第４の実施の形態等に係るインクジェット式記録装置と略同様なので、同一構成は同一符号等として説明を省略し、以下相違点を中心に説明する。
【００５４】
本実施の形態の記録ヘッドは、図１０の第４の実施の形態の記録ヘッドのインク供給路側隔壁２２４ｂの前記先端部側の接続用金属製薄膜４４３ａの構成が異なっている。
すなわち、図１０と異なり各インク供給路側隔壁２２４ｂの前記先端部側には島状に接続用金属製薄膜５４３ａが複数、例えば４箇所設けられている。
すなわち、前記接続用金属製薄膜５４３ａが、各々のインク供給路側隔壁２２４ｂの前記先端部にのみ配置されている。
したがって、圧力発生室２２１から離間する側である先端部側に配置された前記接続用金属製薄膜５４３ａは、各々のインク供給路側隔壁２２４ｂに封止板２３０を確実に接続できる。また、各々のインク供給路側隔壁２２４ｂが分離していることにより、封止板２３０のインク供給路側隔壁２２４ｂに接続している部分の剛性が下がり、各々のインク供給路側隔壁２２４ｂと封止板２３０間の応力緩和が可能となる。
このように形成した場合でも、上述の各実施の形態と同様に、剛性が高く、ヘッドケース２４０と強く接着されている接続用金属製薄膜５４３ａの部分が従来より小さくなる。
このため、接続用金属製薄膜５４３ａが形成されていない部分では、前記膨張率の相違による歪みの応力が、剛性が低く影響を受けやすいＰＰＳフィルム２３２側に集中しなくなる。
したがって、従来の記録ヘッドと異なり、前記膨張率の相違によるインク供給路側隔壁２２４ｂ上の封止板２０の剥離がより生じ難くなる。
【００５５】
本発明は、上述の実施の形態に限定されない。さらに、上述の各実施の形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る液体噴射装置である例えばインクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。
【図２】記録ヘッドの要部を示す概略分解斜視図である。
【図３】図２の記録ヘッドの部分概略拡大断面図である。
【図４】図３のヘッドケース、ＳＵＳ製薄膜、ＰＰＳフィルム及び隔壁の接合位置の一部分を示す概略平面説明図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ’線概略断面図である。
【図６】第２の実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの要部を示す概略平面図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ’線概略断面図である。
【図８】第３の実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの要部を示す概略平面図である。
【図９】図８のＤ−Ｄ’線概略断面図である。
【図１０】第４の実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの要部を示す概略平面図である。
【図１１】図１０のＥ−Ｅ’線概略断面図である。
【図１２】第５の実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの要部を示す概略平面図である。
【図１３】従来の記録ヘッドを示す概略分解斜視図である。
【図１４】櫛歯状に形成された圧力発生室及びインク供給路の上方に封止板が接着等され、さらに、その上方にヘッドケースが接着された状態を示す概略説明図である。
【図１５】図１４のＡ−Ａ’線概略断面図である。
【符号の説明】
１００・・・インクジェット式記録装置、１０１・・・インクカートリッジ、１０２・・・キャリッジ、１０３・・・タイミングベルト、１０４・・・ステッピングモータ、１０５・・・ガイドバー、１０６・・・記録紙、１０７・・・キャップ、１０８・・・ワイパー部材、２００・・・インクジェット式記録ヘッド、２１０・・・ノズルプレート、２１１・・・ノズル開口、２２０・・・流路基板、２２１・・・圧力発生室、２２２・・・インク供給路、２２３・・・インク貯蔵室、２２４・・・隔壁、２２４ａ・・・圧力発生室側隔壁、２２４ｂ・・・インク供給路側隔壁、２２５・・・島状突部、２３０・・・封止板、２３１・・・ＳＵＳ製薄膜、２３１ａ・・・島部、２３２・・・ＰＰＳフィルム、２３３・・・インク供給孔、２４０・・・ヘッドケース、２４１・・・収容空間、２４２・・・インク補給穴、２４３・・・ヘッドケース配置領域、２４３ａ、３４３ａ、４４３ａ、５４３ａ・・・接続用金属製薄膜、２４３ｂ、３４３ｂ、４４３ｂ・・・フリー領域、２４３ｃ、３４３ｃ・・・治具受け部、２５０・・・圧電振動子、２５１・・・固定基板、２５２・・・フレキシブル回路板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004148581.tif 000011
【図１０】
2004148581.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2004148581.tif 000014
【図１３】
2004148581.tif 000015
【図１４】
2004148581.tif 000016
【図１５】
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