(57)【要約】【課題】本発明は、基板を洗浄する際に使用する基板洗浄用ラックの改良に関する発明である。【解決手段】本発明は、上記の課題を解決するために、洗浄する基板を挟み前後に固定する基板固定ラックと基板を保護する保護板を固定する保護板固定ラックとからなるラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持ち、２枚１組の基板固定ラックを密着させるために取り付けられた回転式固定具を左右に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り上げ具で引き上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーとからなることを特徴とする基板洗浄用ラックの構成とした。【選択図】  図１
2004344837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄する基板を挟み前後に固定する基板固定ラックと基板を保護する保護板を固定する保護板固定ラックとからなるラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持ち、２枚１組の基板固定ラックを密着させるために取り付けられた回転式固定具を左右に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り上げ具で引き上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーとからなることを特徴とする基板洗浄用ラック。
【請求項２】
洗浄の際に基板を保護する保護板を固定する保護板固定ラックと、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り上げ具で引き上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーと、洗浄する基板を前後から挟んで固定し前記枠体部より取り外し可能なラック部とからなることを特徴とする基板洗浄用ラック。
【請求項３】
左右ハンガーの先端部分をＬ字型とし、係止部の下面を湾曲させたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板洗浄用ラック。
【請求項４】
左右ハンガーの先端部分に二本の係止棒としたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板洗浄用ラック。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、基板を洗浄する際に使用する基板洗浄用ラックの改良に関する発明である。
【０００２】
【従来の技術】
従来から存在する基板洗浄用ラックは、枠形の基板固定用ラックに基板を設置し洗浄液等を噴射することで洗浄するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の基板洗浄用ラックでは、基板を固定する挟着力が弱いため洗浄中に基板が水圧等でラックより外れてしまい傷が付いたりして使い物にならなくなることがあった。
【０００４】
そこで、本発明は、基板を固定するラックの狭着力を強くすると同時に、枠体部の前後に基板を保護するための保護板を使用することで水圧によりラックから基板が外れ傷が付くという心配がない基板洗浄用ラックを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、洗浄する基板を挟み前後に固定する基板固定ラックと基板を保護する保護板を固定する保護板固定ラックとからなるラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持ち、２枚１組の基板固定ラックを密着させるために取り付けられた回転式固定具を左右に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り上げ具で引き上げる際の引っかけ部分となる左右ハンガーとからなることを特徴とする基板洗浄用ラックの構成とした。
【０００６】
【実施例】
以下に、添付図面に基づいて本発明である基板洗浄用ラックを詳細に説明する。
【０００７】
まず、本発明でる基板洗浄用ラックの第１の実施例について説明する。図１は、本発明である基板洗浄用ラックと基板の正面図、図２は基板洗浄用ラックの右側面図、図３は基板洗浄用ラックの左側面図、図４は基板洗浄用ラックの平面図である。
【０００８】
図１に示すように、基板洗浄用ラック１は、枠体部２、左ハンガー３、右ハンガー４、ラック部５及び可動式台６とからなる。基板７をラック部５で挟んで固定し、一番外側に保護板８を使用する。
【０００９】
正面枠２ａの左右上部に回動可能に取り付けられたラックホルダー２ｐ、２ｐは、ラック部５の個々のラックが倒れないように保持している。
【００１０】
枠体部２の中央横向きに設置されている可動式台６は、Ａ方向、Ｂ方向に移動させ設置することが可能である。また、枠体部２の左右上部にはステーにより持ち上げられるときに使用する左右ハンガー３、４が設置されている。
【００１１】
図２及び図３に示すように、正面枠２ａ及び背面枠２ｂは、右側が右上連結材２ｃ、右中連結材２ｄ、右下連結材２ｆ、固定具付連結材２ｅにより連結されており、左側は左上連結材２ｉ、左中連結材２ｊ、左下連結材２ｍ、固定具付連結材２ｋ及び複数枚の左土台調節材２ｌ、２ｌ、２ｌにより連結されている。尚、正面枠２ａの左右両辺には、左右前柱２ｇ、２ｎで補強されており、背面枠２ｂの左右両辺にも、左右後柱２ｈ、２ｏで補強されている。
【００１２】
図２に示すように、右前柱２ｇ上の固定具付連結材２ｅと右下連結材２ｆの間には、複数の右土台調節具２ｑ、２ｑ、２ｑが設置されており、右後柱２ｈ上の固定具付連結材２ｅと右下連結材２ｆの間にも前記右前柱２ｇ上に設けられた右土台調節具２ｑ、２ｑ、２ｑに対応する場所に複数の右土台連結具２ｑ、２ｑ、２ｑが設けられている。
【００１３】
そのため、可動式台６の右端に設けられた右係止材６ｅの両端にある凹部６ｉ、６ｉを前記右土台連結具２ｑ、２ｑに差込む際、右係止具６ｅは前記右上、右中、右下連結材２ｃ、２ｄ、２ｆと平行になる。尚、この右土台調節具２ｑ、２ｑ、２ｑ・・・の設置すべき数及び設置すべき位置については、特に限定していない。
【００１４】
右前柱２ｇ及び右後柱２ｈを連結している固定具付連材２ｅには中央固定具２ｓと複数の回転式固定具２ｒ、２ｒ、２ｒ・・・が回動可能に設置されている。回転式固定具２ｒ、２ｒ、２ｒ・・・は、前記中央固定具２ｓを中心として、中央固定具２ｓの両側に等間隔に配置されている。
【００１５】
図２に示すように、前記右上連結材２ｃ及び右中連結材２ｄの中央は、右ハンガー４の右連結材４ａにより固定されており、右連結材４ａの上部は右ハンガー軸４ｂに接続している。
【００１６】
右ハンガー軸４ｂは右補強材４ｃで補強されており、右ハンガー軸４ｂの上部には略Ｌ字状に屈曲した右ハンガー部４ｅが右ハンガー軸４ｂより正面方向に向かって折り返すように接合されている。
【００１７】
折り返した右ハンガー部４ｅは前方に向かって斜めに折り返されているため、右ハンガー軸４ｂとＶ字型の隙間４ｆを作り、後に基板洗浄用ラック１全体を吊り上げるためのステーをかけることができる。尚、前記右ハンガー部４ｅには略Ｌ字に添って右起立部４ｄが補強材として接合されている。
【００１８】
図３に示すように、固定具連結材２ｋと左下連結材２ｍの間には、２つの凹部２ｕ、２ｕを備えた左土台調節材２ｌ、２ｌ、２ｌが複数設置されており、前記凹部２ｕ、２ｕには可動式台６の左端に設けられたの左係止材の凹部６ｉ、６ｉより両端が嵌め込まれるようになっている。
【００１９】
左土台調節材２ｌ、２ｌ、２ｌと前記右土台調節具２ｑ、２ｑ、２ｑ・・・は対応する場所に設けられており、可動式台６を設置した際に可動式台６が地面と平行になるように設置されている。
【００２０】
図３に示すように、左上連結材２ｉと左中連結材２ｊの中央は左ハンガー３の左連結材３ａにより連結されており、左連結材３ａの上部は左ハンガー軸３ｂに連結固定している。
【００２１】
左ハンガー軸３ｂは補強材３ｃで補強されており、左ハンガー軸３ｂの上部には略Ｌ字状に屈曲した左ハンガー部３ｅが左ハンガー軸より正面方向に向かって折り返すように接合されている。
【００２２】
折り返した左ハンガー部３ｅは前方に向かって斜めに折り返しているため、前記左ハンガー軸３ｂとＶ字型の隙間３ｆを作り、後にステーをかけることができる。尚、左ハンガー部３ｅには、略Ｌ字状に添って左起立部３ｄが補強材として接合している。
【００２３】
図４に示すように、左ハンガー３の左連結部３ａ及び右ハンガー４の右連結部４ａは、ハンガー連結棒３ｇにより連結されている。
【００２４】
正面枠２ａ及び背面枠２ｂの間には、ラック部５があり、複数枚の基板固定ラック１５、１５、１５・・・及び２枚の保護板固定ラック１４、１４が挟まれている。保護板固定ラック１４、１４は、基板固定ラック１５、１５、１５・・・を両側から挟むように一番外側に設置されている。
【００２５】
全ての基板固定ラック１５、１５、１５・・・と保護板固定ラック１４、１４は、正面枠２ａ及び背面枠２ｂの上部に回動可能に設置されたラックホルダー２ｐ、２ｐ、２ｐ、２ｐにより倒れないように支持されている。
【００２６】
図５は、本発明である基板洗浄用ラックのラック部を開いた状態を示す右側面図である。図５に示すように、正面枠２ａ側のラックホルダー２ｐ、２ｐを外すと保護板固定ラック１４と複数枚設置された基板固定ラック１５、１５、１５・・・が外方に向かって倒れる。ラック部５の各ラック１４、１５、１５、１５・・・の下端部は回動可能に取り付けられているために各ラック１４、１５、１５、１５・・・の上部だけが外方に向かって倒れる。
【００２７】
図６は、本発明である基板洗浄用ラックのラック部の正面図である。ラック部５は２種類のラックからなる。即ち一番外側に使用する２枚の保護板固定ラック１４及び内側に複数枚使用する基板固定ラック１５、１５、１５・・・とからなる。
【００２８】
保護板固定ラック１４は、上枠１４ａ、下枠１４ｂ、左Ｕ字枠１４ｃ、右Ｕ字枠１４ｄにより略長方形状をしており、枠内の中央には前記左右Ｕ字枠１４ｃ、１４ｄに平行になるように左右中Ｕ字枠１４ｅ、１４ｆが設置されている。また、上枠１４ａ及び下枠１４ｂの両端は、左右Ｕ字枠１４ｃ、１４ｄより外方に少しずつ突出している。
【００２９】
前記左右Ｕ字枠１４ｃ、１４ｄ及び左右中Ｕ字枠１４ｅ、１４ｆは上面より見るとＵ字型をしており、左Ｕ字枠１４ｃと左中Ｕ字枠１４ｅの溝が互いに向かい合い、右Ｕ字枠１４ｄと右中Ｕ字枠１４ｆの溝が互いに向かい合うように設置されている。
【００３０】
また、前記左右Ｕ字枠１４ｃ、１４ｄ及び左右中Ｕ字枠１４ｅ、１４ｆの上部は保護板８が差し込みやすくなるようにそれぞれ差込部１４ｇ、１４ｈ、１４ｉ、１４ｊが施されている。
【００３１】
基板固定ラック１５は、上枠１５ａ、下枠１５ｂ、左枠１５ｃ、右枠１５ｄとからなり略長方形状をしており、枠内の中央には前記左右枠１５ｃ、１５ｄと平行になるように中枠１５ｅが設置されている。中枠１５ｅの上部は上接続具１５ｆにより上枠１５ａと接続されており、中枠１５ｅの下部は下接続具１５ｇにより下枠１５ｂと接続されている。また、上枠１５ａ及び下枠１５ｂの両端は、左右枠１５ｃ、１５ｄよりも外方に少しずつ突出している。
【００３２】
図７は本発明である基板洗浄用ラックの可動式台の正面図、図８は可動式台の平面図である。図７及び図８に示すように、可動式台６は第１土台６ｆ、第２土台６ｇ、台連結材６ａ、土台連結材６ｈ、左右係止材６ｄ、６ｅ及び左右取っ手６ｂ、６ｃとからなる。
【００３３】
第１土台６ｆ及び第２土台６ｇは同形同大であり、第１土台６ｆ、第２土台６ｇは、それぞれ複数個からなり連結されている。即ち第１土台６ｆは４本の土台連結材６ｈ、６ｈ、６ｈ、６ｈにより等間隔に連結されている。また同じく第２土台６ｇも４本の土台連結材６ｈ、６ｈ、６ｈ、６ｈにより等間隔に連結されている。
【００３４】
図８に示すように台連結材６ａには左右取っ手６ｂ、６ｃが付いており、左右両端にはコの字型をした左係止材６ｄ及び板状の右係止材６ｅが備えられている。
【００３５】
図９は、本発明である基板洗浄用ラックの回転式固定具の動きを示した拡大図である。基板洗浄用ラック１の左側面部の中央付近に設置されている固定具付連結材２ｅの中央には中央固定具２ｓが回動可能に取り付けられており、複数設置された基板固定ラック１５、１５、１５・・・を中央から２つに分けるように基板固定ラック１５と１５の間に差し込まれる。
【００３６】
前記中央固定具２ｓを軸として、間に２枚の基板固定ラック１５、１５を挟みながら回転式固定具２ｒを回転させて差し込んでゆく。回転式固定具２ｒを基板固定ラック１５の間にはさんでゆくことで、並んだ２枚の基板固定ラック１５、１５の隙間が密着し、その間に挟んだ基板７が基板固定ラック１５より外れなくなる。
【００３７】
図１０は本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例を示した正面図、図１１は基板洗浄用ラックの他の実施例の右側面図、図１２は基板洗浄用ラックの他の実施例の平面図、図１３は基板洗浄用ラックの他の実施例の左側面図である。
【００３８】
図１０に示すように本例の基板洗浄用ラック１ａは、枠体部９、左ハンガー３、右ハンガー４、ラック部１０、保護板固定ラック１４、可動式台１１とからなる。
【００３９】
正面枠９ａの左右上部に回動可能に取り付けられたラックホルダー９ｍ、９ｍは枠体部９内に設置された保護板固定ラック１４が倒れないように保持している。また、可動式台１１はＡ方向、Ｂ方向に移動させて設定することができる。
【００４０】
枠体部９の左右上面に設置されている左ハンガー３及び右ハンガー４は前記基板洗浄用ラック１に設置されていた左右ハンガー３、４と同一のものである。
【００４１】
図１１に示すように、正面枠９ａ及び背面枠９ｂは右側で右上枠９ｃ、右中枠９ｄ、右下枠９ｅにより連結されている。正面枠９ａの右側は右前柱９ｆにより補強されており、背面枠９ｂの右側は右後柱９ｇにより補強されている。
【００４２】
前記右前柱９ｆ及び右後柱９ｇには複数個の右土台調節材９ｏ、９ｏ、９ｏ・・・が設置されており、右後柱９ｇ上にも前記右前柱９ｆ上に設置された右土台調節材９ｏに対応するように右土台調節材９ｏが設置されている。
【００４３】
対応する一組の右土台調節材９ｏ、９ｏに可動式台１１の右端に設けられた右係止材１１ｃを係止する際は、右係止材１１ｃの両端に設けた凹部１１ｈ、１１ｈによりできた両端を差込み、前記右下枠９ｅと右係止材１１ｃが平行になるように設置する。
【００４４】
図１２に示すように、枠体部９の左上枠９ｈ及び右上枠９ｃの内側にはラック部１０を等間隔に挿入し洗浄中にラック部１０が外れないようにするための複数のラック挿入ガイド９ｎ、９ｎ、９ｎが設置されており、ラック部１０はハンガー連結棒３ｇと平行になるようにラック挿入ガイド９ｎに挿入され固定される。ラック挿入ガイド９ｎはコの字形状をしている。
【００４５】
図１３に示すように、正面枠９ａ及び背面枠９ｂは左側では左上枠９ｈ、左中枠９ｉ、左下枠９ｊ及び複数の左土台調節材９ｐにより連結されている。正面枠９ａの左側は左前柱９ｋにより補強されており、背面枠９ｂの左側は左後柱９ｌにより補強されている。
【００４６】
左土台調節材９ｐには上面に２箇所の凹部９ｑ、９ｑが設けられており、前記凹部９ｑ、９ｑには可動式台１１の左端に設けられたコの字型の左係止材１１ｂの両端が係止できるようになっている。尚、前記右土台調節材９ｏ及び左土台調節材９ｐの設置すべき枚数及び設置すべき場所は限定するものではない。
【００４７】
図１４は、本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例の可動式台を示した正面図である。可動式台１１は、台連結材１１ａ、コの字型の左係止材１１ｂ、右係止材１１ｃ、土台棒１１ｄ及びガイド板付土台棒１１ｅとからなる。
【００４８】
台連結材１１ａの両端には左係止材１１ｂ及び右係止材１１ｃが設けられており、その左右係止板１１ｂ、１１ｃと平行状態になるように複数本の土台棒１１ｄ、１１ｄ、１１ｄ・・・が台連結材１１ａに設置されている。
【００４９】
土台棒１１ｄのうち、左右端から２本目の土台棒はガイド板付土台棒１１ｅ、１１ｅとなっており土台棒にガイド板１１ｆが連設されている。ガイド板１１ｆには複数の溝１１ｇ、１１ｇ、１１ｇ・・・が設けられており、前記溝１１ｇの設置位置は、図１２で示した前記ラック挿入ガイド１１ｎと同列上になっている。
【００５０】
そのため枠体部９に設置されるラック部１０は、両側からラック挿入ガイド９ｎ、９ｎに支えられ、下側を前記可動式台１１のガイド板１１ｆに設けられた溝１１ｇ、１１ｇにより支えられている。
【００５１】
図１５は本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例のラック部を示した平面図、図１６は基板洗浄用ラックの他の実施例のラック部の開いた状態を示した斜視図である。
【００５２】
図１５及び図１６に示すように、ラック部１０は同形同大の２枚の枠体を重ね合わせたもので、背面側の枠体には更に４つの固定具１６が備えられている。正面側の枠体は、上枠１０ａ、下枠１０ｂ、左枠１０ｃ、右枠１０ｄ及び２本の中枠１０ｅ、１０ｅとからなり、左右枠１０ｃ、１０ｄと中枠１０ｅは平行の関係にある。上枠１０ａは、下枠１０ｂよりも長くなっている。
【００５３】
背面側の枠体は上枠１０ｆ、下枠１０ｇ、左枠１０ｈ、右枠１０ｉ、２本の中枠１０ｊ及び４つの固定具１６、１６、１６、１６とからなり、左右枠１０ｈ、１０ｉ及び中枠１０ｊが平行関係にあり、上枠１０ｆが下枠１０ｇよりも長い。
【００５４】
左右枠１０ｈ、１０ｉの上下２箇所には固定具１６が回動可能に設置されており、矢印Ｄのように動くことができる。また、正面側の枠体と背面側の枠体の下枠１０ｂ、１０ｇは互いに両端を接続具１０ｋ、１０ｋによって回動可能に接続されており、矢印Ｅのように開閉ができる。
【００５５】
図１５に示すように正面側の枠体と背面側の枠体を重ね合わせ４点の固定具で締めた状態で、前記枠体９に挿入して使用する。
【００５６】
図１７は本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例のラック部の固定方法を示した図である。図１７に示すようにラック部１０の２枚の枠体の間に洗浄する基板７を挟み、外側に開いていた固定具１６を立てて左枠１０ｃ、１０ｈを挟みこんで固定する。固定具１６により２枚の枠体をきつく密着させることができるため、枠体同士に挟まれた基板７はズレたり外れたりすることがない。
【００５７】
図１８は、本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例の固定具を示した斜視図である。固定具１６は上面より見ると略コの字状をしている。右面１６ａには突出部１６ｄがあり先端には回転式留め具１６ｅがついている。
【００５８】
左面１６ｂの正面側下部は外側に広がっている開口部１６ｆとなっている。また、背面１６ｃからはくの字型に屈曲したガイド棒１６ｇが接続されている。
【００５９】
前記ラック部１０の左右枠１０ｈ、１０ｉと前記固定具１６の突出部１６ｄの先端を回転式留め具１６ｅで回動可能に接続することで、図１６及び図１７で示したような固定具１６の矢印Ｄの動きが可能となる。
【００６０】
前記左面１６ｂに設けられた開口部１６ｆにより固定具１６で２枚の枠体を挟み込む際に枠体が固定具１６内に挿入されやすくなっている。また前記背面１６ｃに設けられたガイド棒１６ｇにより図１６及び図１７に示したような矢印Ｄの操作がし易くなっている。
【００６１】
図１９は、本発明である基板洗浄用ラックの左右ハンガーの第２実施例を示した斜視図である。ハンガー部１２は、連結材１２ａ及び係止部１２ｂとからなり、係止部１２ｂの下面は湾曲部１２ｃとなっている。
【００６２】
図２０は、本発明である基板洗浄用ラックの左右ハンガーの第３実施例をしめした斜視図である。ハンガー部１３は、連結部１３ａ、係止土台１３ｂ及び係止棒１３ｃとからなり、係止土台１３ｂから２本の係止棒１３ｃ、１３ｃが突出している。係止棒１３ｃ、１３ｃは円柱状をしており、互いに平行関係に保たれている。
【００６３】
図２１は、本発明である基板洗浄用ラックの第３実施例を示した正面図である。基板洗浄用ラック１ｂは、前記基板洗浄用ラック１とほぼ同じ作りをしており、ハンガーの部分が違う形状をしている。
【００６４】
基板洗浄用ラック１ｂは図１９で説明したハンガー部１２、１２を使用している。ハンガー部１２は、係止部１２ｂが枠体部２に対して外方を向くように設置されている。
【００６５】
図２２は、本発明である基板洗浄用ラックの第４実施例を示した正面図である。基板洗浄用ラック１ｃは、前記基板洗浄用ラック１、１ｂとほぼ同じ形をしており、ハンガー部分が違う形状をしている。
【００６６】
基板洗浄用ラック１ｃは、図２０で説明したハンガー部１３、１３を使用している。ハンガー部１３は、係止棒１３ｃが枠体部２に対して外方を向くように設置されている。
【００６７】
【発明の効果】
本発明である、基板洗浄用ラックは、以上のような構成であるから、以下の効果が得られる。
【００６８】
第１に、本発明である基板洗浄用ラックでは洗浄する基板の固定力が強化され、また、基板を保護するための保護板を洗浄の際に併用することで水圧による洗浄中の基板のズレや外れるという問題が起きず、基板に傷を付けずに洗浄をすることができる。
【００６９】
第２に、ラック部を枠体部から取り外し可能としたことで基板の大きさによって異なっていた複数種類のラック部を同時に使用し基板を洗浄することができるため、作業コストが安く、複数種の基板の洗浄時間が短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明である基板洗浄用ラックと基板の正面図である。
【図２】本発明である基板洗浄用ラックの右側面図である。
【図３】本発明である基板洗浄用ラックの左側面図である。
【図４】本発明である基板洗浄用ラックの平面図である。
【図５】本発明である基板洗浄用ラックのラック部を開いた状態を示す右側面図である。
【図６】本発明である基板洗浄用ラックのラック部の正面図である。
【図７】本発明である基板洗浄用ラックの可動式台の正面図である。
【図８】本発明である基板洗浄用ラックの可動式台の平面図である。
【図９】本発明である基板洗浄用ラックの回転式固定具の動きを示した拡大図である。
【図１０】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例を示した正面図である。
【図１１】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例を示した右側面図である。
【図１２】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例を示した平面図である。
【図１３】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例を示した左側面図である。
【図１４】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例の可動式台を示した正面図である。
【図１５】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例のラック部を示した平面図である。
【図１６】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例のラック部の開いた状態を示した斜視図である。
【図１７】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例のラック部の固定方法を示した斜視図である。
【図１８】本発明である基板洗浄用ラックの他の実施例の固定具を示した斜視図である。
【図１９】本発明である基板洗浄用ラックの左右ハンガーの第２実施例を示した斜視図である。
【図２０】本発明である基板洗浄用ラックの左右ハンガーの第３実施例をしめした斜視図である。
【図２１】本発明である基板洗浄用ラックの他の第３実施例を示した正面図である。
【図２２】本発明である基板洗浄用ラックの他の第４実施例を示した正面図である。
【符号の説明】
【符号の説明】
１、１ａ    基板洗浄用ラック
２          枠体部
２ａ        正面枠
２ｂ        背面枠
２ｃ        右上連結材
２ｄ        右中連結材
２ｅ        固定具付連結材
２ｆ        右下連結材
２ｇ        右前柱
２ｈ        右後柱
２ｉ        左上連結材
２ｊ        左中連結材
２ｋ        固定具付連結材
２ｌ        左土台調節材
２ｍ        左下連結材
２ｎ        左前柱
２ｏ        左後柱
２ｐ        ラックホルダー
２ｑ        右土台調節具
２ｒ        回転式固定具
２ｓ        中央固定具
２ｔ        心棒
２ｕ        凹部
３          左ハンガー
３ａ        左連結材
３ｂ        左ハンガー軸
３ｃ        左補強材
３ｄ        左起立部
３ｅ        左ハンガー部
３ｆ        隙間
３ｇ        ハンガー部連結棒
４          右ハンガー
４ａ        右連結材
４ｂ        右ハンガー軸
４ｃ            右補強材
４ｄ        右起立部
４ｅ        右ハンガー部
４ｆ        隙間
５          ラック部
６          可動式台
６ａ        台連結材
６ｂ        左取っ手
６ｃ        右取っ手
６ｄ        左係止材
６ｅ        右係止材
６ｆ        第１土台
６ｇ        第２土台
６ｈ        土台連結材
６ｉ        凹部
７          基板
８          保護板
９          枠体部
９ａ        正面枠
９ｂ        背面枠
９ｃ        右上枠
９ｄ        右中枠
９ｅ        右下枠
９ｆ        右前柱
９ｇ        右後柱
９ｈ        左上枠
９ｉ        左中枠
９ｊ        左下枠
９ｋ        左前柱
９ｌ        左後柱
９ｍ        ラックホルダー
９ｎ        ラック挿入ガイド
９ｏ        右土台調節材
９ｐ        左土台調節材
９ｑ        凹部
１０        ラック部
１０ａ      上枠
１０ｂ      下枠
１０ｃ      左枠
１０ｄ      右枠
１０ｅ      中枠
１０ｆ      上枠
１０ｇ      下枠
１０ｈ      左枠
１０ｉ      右枠
１０ｊ      中枠
１０ｋ      接続具
１１        可動式台
１１ａ      台連結材
１１ｂ      左係止材
１１ｃ      右係止材
１１ｄ      土台棒
１１ｅ      ガイド板付土台棒
１１ｆ      ガイド板
１１ｇ      溝
１１ｈ      凹部
１２        ハンガー部
１２ａ      連結部
１２ｂ      係止部
１２ｃ      湾曲部
１３        ハンガー部
１３ａ      連結部
１３ｂ      係止土台
１３ｃ      係止棒
１４        保護板固定ラック
１４ａ      上枠
１４ｂ      下枠
１４ｃ      左Ｕ字枠
１４ｄ      右Ｕ字枠
１４ｅ      左中Ｕ字枠
１４ｆ      右中Ｕ字枠
１４ｇ      差込部
１４ｈ      差込部
１４ｉ      差込部
１４ｊ      差込部
１５        基板固定ラック
１５ａ      上枠
１５ｂ      下枠
１５ｃ      左枠
１５ｄ      右枠
１５ｅ      中枠
１５ｆ      上接続具
１５ｇ      下接続具
１６        固定具
１６ａ      右面
１６ｂ      左面
１６ｃ      背面
１６ｄ      突出部
１６ｅ      回転式留め具
１６ｆ      開口部
１６ｇ      ガイド棒
【図１】
2004344837.tif 000003
【図２】
2004344837.tif 000004
【図３】
2004344837.tif 000005
【図４】
2004344837.tif 000006
【図５】
2004344837.tif 000007
【図６】
2004344837.tif 000008
【図７】
2004344837.tif 000009
【図８】
2004344837.tif 000010
【図９】
2004344837.tif 000011
【図１０】
2004344837.tif 000012
【図１１】
2004344837.tif 000013
【図１２】
2004344837.tif 000014
【図１３】
2004344837.tif 000015
【図１４】
2004344837.tif 000016
【図１５】
2004344837.tif 000017
【図１６】
2004344837.tif 000018
【図１７】
2004344837.tif 000019
【図１８】
2004344837.tif 000020
【図１９】
2004344837.tif 000021
【図２０】
2004344837.tif 000022
【図２１】
2004344837.tif 000023
【図２２】
2004344837.tif 000024