(57)【要約】【課題】微細な異物でも徹底して排除が必要である液晶産業や半導体産業においては、液晶ガラスや半導体ウェハー等の搬送物を搬送するための搬送ローラにはリングがローラとして用いられているが、リングのパーティングラインにはパーティクルが溜まりやすく、そこに溜まったパーティクルが搬送物と接触することに起因するコンタミやパーティクル付着が搬送物の不良を発生させる大きな要因になっていた。また、リングの材質が金属元素を含有している配合剤で形成されているエラストマーであるとリングの磨耗により金属が析出して異物発生の原因になる。【解決手段】リングのパーティングラインの位置が搬送物との接触面と異なる位置にある構成とし、リングの材質は非金属元素よりなる配合剤で形成されているエラストマーとした。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１本の回転軸に取り付けた複数個のリングの上面に搬送物を載置して搬送する搬送ローラにおいて、上記リングのパーティングラインの位置が、上記リングと上記搬送物との接触面と異なる位置にあることを特徴とする搬送ローラ。
【請求項２】
上記リングの材質が非金属元素よりなる配合剤で構成されているエラストマーであることを特徴とする請求項１記載の搬送ローラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リングをローラとして使用する搬送ローラに係り、特に液晶産業・半導体産業・センサー産業等の分野で液晶ガラスや半導体ウェハー等の搬送物を載置・搬送する搬送ローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶産業・半導体産業・センサー産業等の分野で液晶ガラスや半導体ウェハー等の搬送物を搬送する場合、無端ベルト上に高温度の搬送物を載置して搬送すると無端ベルトが熱劣化により硬化、磨耗して異物が発生し、該異物が搬送物に付着するとの問題が生じていた。そのため、微細な異物でも徹底して排除を必要とする液晶産業・半導体産業・センサー産業等の分野において液晶ガラスや半導体ウェハー等の搬送物を搬送する場合、１本の回転軸に複数個のＯリングを取り付けた搬送ローラを複数個並設して、該搬送ローラの上面に搬送物を載置して搬送する搬送装置が採用されていた。
【０００３】
しかし、搬送ローラに取り付けたＯリングのパーティングライン（型割）の位置がＯリングの最内径と最外径を結ぶ線上に形成されているので最外径に位置するパーティングラインが搬送物と接し、パーティングラインでのオーバーフローや場合によって発生するヒケ（段差）の影響により、図６に示す通りパーティングラインの位置にパーティクルが溜まり、それに起因して搬送物へのコンタミ（汚染）やパーティクル付着が生じ、搬送物の不良を発生させる大きな要因となっていた。
【０００４】
なお、パーティクグラインで発生するオーバーフローをサンドペーパー等で手直しをした場合であっても、手直し部に微小な凹凸が無数に発生するので、手直し部にパーティクルが溜まる原因となり、それに起因して搬送物へのコンタミ（汚染）やパーティクル付着が生じ、搬送物の不良を発生させる大きな要因となっていた。
【０００５】
更に、パーティングラインでのオーバーフローや場合によって発生するヒケにより、Ｏリングに凹凸が生じるため搬送物との接触面積が減少して搬送能力が低下し、生産性の悪化を招くという問題が生じていた。
【０００６】
また、搬送ローラに使用されているＯリングが金属元素よりなる配合剤を含有しているエラストマーで成形されている場合、Ｏリングの磨耗によりエラストマーに混入されている金属元素が析出し、搬送物へのコンタミやパーティクル付着が生じ、搬送物の不良を発生させる大きな要因となっていた。
【０００７】
なお、下記文献には、Ｏリングのパーティングライン位置の変更に関する記載は認められるが、密封効果の向上を目的としたものであり、異物付着防止を目的とした記載は認められない。更に、リングの材質についてはなんら記載も示唆も認められない。
【０００８】
【特許文献１】
特開平６−２１３３２６号公報（第２−３頁、図１）
【特許文献２】
特開２００２−２３９９４９号公報（第２−４頁）
【０００９】
以上のように、液晶産業・半導体産業・センサー産業等の微細な異物でも徹底して排除を必要とする分野において、搬送物へのコンタミやパーティクル付着の防止は、不良品を発生させないために重要である。したがって、エラストマー製のＯリングを使用した搬送ローラで液晶ガラスや半導体ウェハー等の搬送物を搬送する場合に、Ｏリングが搬送物と直接接触する部位にパーティクルが溜まり、それに起因する搬送物へのコンタミやパーティクル付着は、搬送物の不良を発生させる大きな要因となっていた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、その目的とするところは、以上の点に鑑みて、搬送ローラに使用するリングに溜まるパーティクルに起因した搬送物へのコンタミやパーティクル付着を防止することであり、すなわち、リングと搬送物との接触面にパーティクルが溜まらないリングを提供することにある。
【００１１】
また他の目的は、搬送ローラ上に載置された搬送物と搬送ローラを形成しているリングとの接触面積の確保を図り、搬送能力の低下を防止した搬送ローラを提供することにある。
【００１２】
更に他の目的は、搬送ローラを構成しているリングの材質がエラストマーである場合、リングの磨耗によりエラストマーに混入されている金属が析出しコンタミやパーティクルの原因となるため、磨耗してもパーティクルとなることがなく搬送物へのコンタミやパーティクル付着が発生しない材質のリングで形成されている搬送ローラを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の請求項１における搬送ローラは、１本の回転軸に取り付けた複数個のリングの上面に搬送物を載置して搬送する搬送ローラにおいて、上記リングのパーティングラインの位置が、上記リングと上記搬送物との接触面と異なる位置にあることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項２における搬送ローラは、上記請求項１における搬送ローラにおいて、上記リングの材質が非金属元素よりなる配合剤で構成されているエラストマーであることを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。
【００１６】
図１における搬送装置１０は、複数配列した搬送ローラ１１と、該搬送ローラを連結する駆動ベルト１２と、駆動源１３と、を備えている。
【００１７】
搬送ローラ１１は、図２に示す通りガラス基盤１４を搬送できる巾に配置した複数個のＯリング１５を回転軸１６に一体に連結し、回転可能に設けられている。回転軸１６は駆動ベルト１２により連結されており、該駆動ベルト１２は、モータ等の駆動源１３により回転軸が回転することにより回転するように設けられている。
【００１８】
更に、図３に示す通りＯリングのパーティングラインを結ぶ直線と、最内径と最外径を結ぶ直線とで形成される角度のうち最小角αが４５度で形成されている。また、Ｏリングの材質は金属元素を含有しない充填材で混合されたエラストマーで成形されている。
【００１９】
これにより、駆動ベルト１２が回転軸１６を回転させ、回転軸と一体として形成されているＯリングが回転することによりＯリング上に載置されているガラス基盤１４が搬送される。この場合において、Ｏリングのパーティングラインの位置が搬送物との接触面と異なる位置にあるために、パーティングラインでのオーバーフローや場合によって発生するヒケによるパーティングライン位置に溜まるパーティクルに起因する搬送物へのコンタミやパーティクル付着を防止することが出来る。
【００２０】
なお、パーティングラインを結ぶ直線と、最内径と最外径とを結ぶ直線とで形成される角度のうちの最小角αは、Ｏリングのパーティングラインの位置が搬送物との接触面と異なる位置となるように形成されていればよく、またＯリングの加硫金型作成上の便宜から３０度以上９０度以下の範囲であることが好ましい。
【００２１】
また、リングの形状は、図４，図５に示す通りＯリング以外のＤリングや角リング等の形状であっても良い。
【００２２】
尚、角リングである場合には、パーティングラインの位置が加硫成形時においては、最内径と最外径を結ぶ線上等の搬送物との接触面に存在しても、メス等の鋭利な刃物による加工除去で、ローラとして使用される段階においてパーティングラインの位置にあるオーバーフローが存在しない状態である場合は、その部分にはパーティクルが溜まらないので、パーティングラインの位置が搬送物との接触面と異なる位置にある場合に含まれるものとする。
【００２３】
また、Ｏリングの材質であるエラストマーには、充填剤以外であっても金属元素を含有している無機物の配合剤は、エラストマーの磨耗により金属が析出し、コンタミやパーティクルの原因となるので混入されることは好ましくない。
【００２４】
【発明の効果】
本発明は、上記のように搬送ローラを形成しているリングのパーティクルラインの位置が、搬送物との接触面と異なる位置にあるので、パーティングラインでのオーバーフローや場合によって発生するヒケによる凹凸にパーティクルが溜まってもガラス基盤や半導体ウェハー等の搬送物へのコンタミやパーティクル付着の原因とならず、液晶産業・半導体産業・センサー産業等の異物を徹底して排除する必要のある分野で搬送ローラとして使用することが出来る。
【００２５】
更に、搬送ローラを形成しているリングのパーティクルラインの位置が搬送物との接触面と異なる位置にあるので、パーティクルラインでのオーバーフローや場合によって発生するヒケによる凹凸に起因した搬送物との接触面積の減少を防止することが出来、それにより搬送能力の低下を防止すること出来る。
【００２６】
また、搬送ローラを形成しているリングの材質がエラストマーである場合、混入されている配合剤が非金属元素よりなる配合剤であるので、リングが磨耗しても金属が表面に析出しないためパーティクルの要因とならず、搬送物へのコンタミやパーティクル付着を未然に防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る搬送装置の正面図
【図２】図１のＡ−Ａ線の断面図
【図３】本発明の実施例におけるＯリングを示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は部分断面図であり、（Ｃ１）はＸ部におけるパーティングラインが４５度の場合の拡大図、（Ｃ２）は９０度の場合の拡大図である。
【図４】本発明の実施例におけるＤリングの部分断面図であり、パーティングラインが４５度の場合である。
【図５】本発明の実施例における角リングの部分断面図であり、（Ａ）はパーティングラインが９０度の場合、（Ｂ）はパーティングラインを切り落とした場合である。
【図６】従来例における搬送状態の部分拡大断面図であり、（Ａ）はパーティングラインに発生したオーバーフローにより異物が溜まった状態、（Ｂ）はパーティングラインに発生したヒケにより異物が溜まった状態である。
【符号の説明】
１０  搬送装置
１１  搬送ローラ
１２  駆動ベルト
１３  駆動源
１４  ガラス基盤
１５  リング
１６  回転軸
１７  パーティングライン
１８  パーティクル
１９  接触面
２１  Ｄリング
３１  角リング
４１  オーバーフロー
４２  ヒケ
α  パーティングラインを結ぶ直線と最内径と最外径とを結ぶ直線で形成される角度のうちの最小角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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