(57)【要約】【課題】電子部品の温度試験の作業効率の向上を図ることができる電子部品の温度試験方法及び温度試験装置を提供する。【解決手段】電子部品の温度試験装置１は電子部品としての水晶振動子の電気的な特性を測定する。電子部品の温度試験装置１はフレーム２０と複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅと複数の測定ユニット２４と複数の移動ユニット２５を備えている。温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅはフレーム２０上に設置されている。温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅは水晶振動子２を所定の温度に保つ。測定ユニット２４は温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅそれぞれに対応している。測定ユニット２４は水晶振動子２の電気的な特性を測定する。移動ユニット２５は互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ間に設けられている。【選択図】      図１
2004354198.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外表面に複数の電極を設けた電子部品を所定の温度に保って、複数の電極間に印加して前記電子部品の電気的な特性を測定する電子部品の温度試験方法において、
電子部品を収容しかつ該電子部品を所定の温度に保つ温度槽を複数設け、前記電子部品を複数の温度槽に対して順に移動させて、各温度槽内で前記電子部品の電気的な特性を測定することを特徴とする電子部品の温度試験方法。
【請求項２】
前記温度槽内の温度が互いに異なることを特徴とする請求項１記載の電子部品の温度試験方法。
【請求項３】
外表面に複数の電極を設けた電子部品を所定の温度に保って、複数の電極間に印加して前記電子部品の電気的な特性を測定する電子部品の温度試験装置において、
電子部品を収容して該電子部品を所定の温度に保つとともに複数設けられた温度槽と、
複数の温度槽間それぞれに設けられかつ一つの温度槽から他の一つの温度槽に前記電子部品を移動させる移動手段と、
各温度槽に対応して設けられかつ対応する温度槽内に収容された電子部品の電気的な特性を測定する測定手段と、を備え、
前記移動手段が前記電子部品を複数の温度槽に順に移動させて、各温度槽内で対応する測定手段が前記電子部品の電気的な特性を測定することを特徴とする電子部品の温度試験装置。
【請求項４】
前記温度槽内の温度が互いに異なることを特徴とする請求項３記載の電子部品の温度試験装置。
【請求項５】
前記温度槽は、温度調整手段により所定の温度に保たれる載置板を備え、
前記載置板は、表面上に前記電子部品を置くことを特徴とする請求項３または請求項４記載の電子部品の温度試験装置。
【請求項６】
前記温度槽の載置板には円板状に形成されかつ回転自在に設けられた回転テーブルが重なっており、前記載置板が表面上に電子部品を前記回転テーブルの径方向と周方向との双方に沿って並べ、前記回転テーブルが回転することで一つの移動手段寄りの位置から他の移動手段寄りの位置に前記電子部品を移動させることを特徴とする請求項５記載の電子部品の温度試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子機器としての携帯電話などに用いられる水晶振動子などの外表面に電極を有した電子部品を所定の温度に保って電気的な特性を測定する電子部品の温度試験方法及び温度試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器としての携帯電話には、電子部品素子（圧電振動素子）としての水晶片を、パッケージ内に収容して構成される電子部品としての水晶振動子（水晶発振器ともいう）が用いられている。水晶振動子は、開口部を有した箱状に形成されたパッケージと、前述した水晶片と、前記パッケージの開口部を塞ぐことが可能な蓋とを備えている。
【０００３】
前記パッケージは、絶縁性を有する基板と、前記基板の内面と外面との双方に設けられた電極と、前記電極同士を電気的に接続する回路素子などを備えている。水晶片は、前記パッケージの電極と導電性の接着剤などにより電気的に接続される。蓋は、パッケージの開口部を覆うことができる。
【０００４】
パッケージの基板の内面に導電性の接着剤を塗り、開口部を通して水晶片をパッケージ内に挿入して、該接着剤で水晶片を固定する。そして、パッケージ内に水晶片を収容する。その後、パッケージの開口部を塞ぐ格好で、蓋をパッケージに固定して、前述した水晶振動子は得られる。
【０００５】
そして、水晶振動子は、例えば、―３０℃、０℃、２５℃、５５℃、８５℃の各温度に保たれた状態で、基板の外面に設けられた電極に印加されて、周波数やインピーダンスが予め許容される範囲内であるか否かが測定されて、良否が判定される。良品即ち周波数やインピーダンスが予め許容される範囲内であることが測定された水晶振動子は、前述した携帯電話などの電子機器に用いられる。
【０００６】
前述した水晶振動子などの電子部品を所定の温度に保って、電気的な特性を測定する装置として、従来から種々の温度試験装置（例えば、特許文献１参照）が用いられてきた。従来の温度試験装置は、前述した電子部品を収容しかつ収容した電子部品を所定の温度に保つ温度槽と、温度槽内の電子部品の電極に印加して該電子部品の電気的な特性を測定する測定手段とを備えている。
【０００７】
従来の温度試験装置は、温度槽内に電子部品を収容して、温度槽内の電子部品を所定の温度に保って、該電子部品の電気的な特性を測定してきた。そして、従来の温度試験装置は、温度槽内の温度を適宜変更して、各温度での電子部品の電気的な特性を測定して、該電子部品の良否を判定してきた。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００１−２８１２９４号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
従来の電子部品の温度試験装置は、一つの温度槽内に電子部品を収容し、温度槽内の温度を適宜変更するなどして、各温度での電子部品の良否を判定してきた。このように、温度槽内の温度を変更しながら、電子部品の良否を判定するので、温度槽内の温度の変更中には、電子部品の良否を判定できない。このため、電子部品の良否の判定にかかる作業の効率が低下する傾向にあった。
【００１０】
したがって、本発明の目的の一例は、電子部品の温度変更にかかる時間を短縮でき温度試験の作業効率の向上を図ることができる電子部品の温度試験方法及び温度試験装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の電子部品の温度試験方法は、外表面に複数の電極を設けた電子部品を所定の温度に保って、複数の電極間に印加して前記電子部品の電気的な特性を測定する電子部品の温度試験方法において、電子部品を収容しかつ該電子部品を所定の温度に保つ温度槽を複数設け、前記電子部品を複数の温度槽に対して順に移動させて、各温度槽内で前記電子部品の電気的な特性を測定することを特徴としている。
【００１２】
請求項３に記載の本発明の電子部品の温度試験装置は、外表面に複数の電極を設けた電子部品を所定の温度に保って、複数の電極間に印加して前記電子部品の電気的な特性を測定する電子部品の温度試験装置において、電子部品を収容して該電子部品を所定の温度に保つとともに複数設けられた温度槽と、複数の温度槽間それぞれに設けられかつ一つの温度槽から他の一つの温度槽に前記電子部品を移動させる移動手段と、各温度槽に対応して設けられかつ対応する温度槽内に収容された電子部品の電気的な特性を測定する測定手段と、を備え、前記移動手段が前記電子部品を複数の温度槽に順に移動させて、各温度槽内で対応する測定手段が前記電子部品の電気的な特性を測定することを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
この発明の電子部品の温度試験方法は、温度槽を複数設け、これらの温度槽に対して順に電子部品を移動させて、各温度槽内で電子部品の電気的な特性を測定している。こうすることで、電子部品の温度を変更する際にかかる時間を短縮できるようにしたものである。
【００１４】
また、この発明の電子部品の温度試験方法において、温度槽内の温度を互いに異ならせるのが良い。
【００１５】
この発明の電子部品の温度試験装置は、温度槽を複数設け、温度槽間それぞれに移動手段を設け、温度槽それぞれに対応して測定手段を設けている。そして、移動手段が温度槽内に順に電子部品を移動させて、測定手段が各温度槽内の電子部品の電気的な特性を測定する。こうすることで、電子部品の温度を変更する際にかかる時間を短縮できるようにしたものである。
【００１６】
また、この発明の電子部品の温度試験装置において、温度槽内の温度を互いに異ならせるのが良い。
【００１７】
さらに、温度槽の温度調整手段により所定の温度に保たれる載置板上に電子部品を直接置くのが良い。
【００１８】
また、載置板を円板状に形成し、載置板に重ねられた回転テーブルを回転させることで電子部品を一つの移動手段の近傍から他の移動手段の近傍に移動させるのが良い。
【００１９】
【実施例】
以下、本発明の一実施例にかかる電子部品の温度試験装置（以下、単に温度試験装置と呼ぶ）１を、図１ないし図１８を参照して説明する。図１などに示す温度試験装置１は、図１７及び図１８に示す電子部品としての水晶振動子（水晶発振器ともいう）２を、所定の温度に保って、電気的な特性の良否を判定する装置である。電気的な特性として、温度試験装置１は、例えば、後述する水晶片３の振動時の周波数、インピーダンスなどを測定する。
【００２０】
水晶振動子２は、図１７及び図１８に示すように、水晶片３と、箱状のパッケージ４とを備えている。水晶片３は、水晶からなる本体部７と、一対の引き出し電極８ａ，８ｂと、駆動電極９ａ，９ｂと、を備えている。本体部７は、平面形状が矩形状でかつ厚みが一定の板状に形成されている。
【００２１】
引き出し電極８ａ，８ｂは、本体部７の一端部に、該本体部７の幅方向に沿って、互いに間隔を存して配されている。引き出し電極８ａ，８ｂは、それぞれ、本体部７の両表面に、設けられている。一方の駆動電極９ａは、本体部７の両表面に設けられた引き出し電極８ａのうち一方と導通している。駆動電極９ａは、本体部７の一方の表面の中央に設けられている。
【００２２】
他方の駆動電極９ｂは、本体部７の両表面に設けられた引き出し電極８ｂのうち一方と導通している。駆動電極９ｂは、本体部７の他方の表面の中央に設けられている。引き出し電極８ａ，８ｂと駆動電極９ａ，９ｂとは、例えば、金や銅などの導電性の金属からなり、薄膜状に形成されて、前記本体部７の表面に貼り付けられている。
【００２３】
なお、本体部７の両表面に設けられた引き出し電極８ａ同士は、水晶振動子２をパッケージ４の後述するベース５に取り付けるための導電性を有する接着剤６ａ，６ｂによって、導通される。本体部７の両表面に設けられた引き出し電極８ｂ同士も、同様に、接着剤６ａ，６ｂによって導通される。
【００２４】
パッケージ４は、箱状のベース５と、蓋１０とを備えている。ベース５は、セラミックなどからなる周知の絶縁基板と、回路素子などが積層されて構成されている。ベース５は、底壁１２と、複数の周壁１３とを備えている。底壁１２は、平面形状が矩形状の平板である。底壁１２は、水晶片３の本体部７より大きい。周壁１３は、前記底壁１２の周縁それぞれから立設しており、底壁１２の周縁の全周に亘って設けられている。
【００２５】
また、ベース５は、前記ベース５の内側でかつ底壁１２の表面に電極１１を複数設けている。電極１１は、前記回路素子などと電気的に接続している。電極１１は、前記底壁１２の端部に、該底壁１２の幅方向に沿って間隔を存して配されている。電極１１は、それぞれ、水晶片３の本体部７の他方の表面に形成された引き出し電極８ａ，８ｂと相対する。電極１１は、例えば、金や銅などの導電性の金属からなり、薄膜状に形成されて、前記底壁１２の表面に貼り付けられている。
【００２６】
さらに、前記ベース５は、ベース５の外側に位置する底壁１２の底面１２ａ（図１８（ｂ）及び図１８（ｃ）に示す）に電極１４を複数（少なくとも一対）設けている。なお、この底面１２ａは、水晶振動子２の外表面をなしている。電極１４は、前記底面１２ａに四つ設けられている。これらの四つの電極１４のうち三つの電極１４は、平面形状が矩形状に形成されている。残りの一つの電極１４は、矩形の一つの端が欠かれて五角形に形成されている。
【００２７】
これらの電極１４は、ベース５の外側に露出しており、水晶振動子２に組み立てられた後も外側に露出する。即ち、電極１４は、水晶振動子２の外表面１２ａに設けられている。これらの電極１４は、所定のパターンにしたがって電極１１などと導通している。これらの電極１４は、水晶振動子２を印刷配線基板などの導体パターン（即ち電子機器）などと電気的に接続するために用いられる。
【００２８】
また、周壁１３の底壁１２から離れた端部１３ａに、図１８（ｂ）に示すように、第１金属膜１５が形成されている。第１金属膜１５は、導電性を有する金属からなる。第１金属膜１５は、周壁１３の全周に亘って設けられている。第１金属膜１５は、薄膜状に形成されて、前記端部１３ａに貼り付けられている。
【００２９】
蓋１０は、平面形状が矩形状の平板である。蓋１０は、底壁１２と略等しい大きさである。蓋１０は、その厚みが略一定に形成されている。蓋１０は、図１８（ｂ）に示すように、セラミックからなる母材１６と、該母材１６の外表面に形成された第２金属膜１７と、で構成されている。第２金属膜１７は、母材１６の外表面全周に亘って設けられている。
【００３０】
第２金属膜１７は、導電性を有する金属からなり、薄膜状に形成されて前記母材１６の表面に貼り付けられている。こうして、第２金属膜１７は、蓋１０が後述するようにベース５に取り付けられる際に、蓋１０のベース５と相対する縁部に、該蓋１０の縁部の全周に亘って形成されている。
【００３１】
又、水晶振動子２を組み立てられた際に、水晶振動子２の外面に露出する蓋１０の表面１０ａには、図１８（ａ）に示すように、印１８が形成されている。印１８は、水晶振動子２の周波数などを示している。印１８は、水晶振動子２の品番毎に定められている。なお、表面１０ａは、底面１２ａ即ち電極１４の水晶振動子２の裏側に位置し、他の外面をなしている。
【００３２】
前述した構成の水晶振動子２を組み立てる際には、まず、電極１１それぞれに導電性を有する接着剤６ａを塗布する。該接着剤６ａに引き出し電極８ａ，８ｂを重ねる。接着剤６ａが硬化すると、水晶片３が電極１１と固定される。そして、接着剤６ａによって、電極１１と水晶片３の引き出し電極８ａ，８ｂとは、電気的に接続する。
【００３３】
その後、さらに、前記電極１１の上方に位置する水晶片３の表面などに、導電性を有する接着剤６ｂを塗布する。接着剤６ｂによって、引き出し電極８ａが相互に導通するとともに、引き出し電極８ｂが相互に導通する。該接着剤６ｂは、硬化すると、ベース５に対する水晶片３の接着強度が向上する。
【００３４】
こうして、底壁１２と周壁１３の内面とで囲まれる空間１９（図１８（ｂ）に示す）内に収容された格好で、水晶片３をベース５に取り付ける。そして、蓋１０で空間１９を塞ぐ格好で、該蓋１０をベース５に重ねる。その後、第１金属膜１５と第２金属膜１７とを周知の溶接法により互いに固定して、蓋１０とベース５とを固定する。こうして、蓋１０で前記空間１９を密閉して、前述した水晶振動子２を組み立てる。こうして組み立てられた水晶振動子２は、扁平な箱状に形成されかつ平面形状が矩形状に形成されている。
【００３５】
前述した温度試験装置１は、水晶振動子２を所定の温度に保って、前記底面１２ａに設けられた四つの電極１４のうち前記引き出し電極８ａ，８ｂと電気的に接続した一対（複数）の電極１４に印加する。温度試験装置１は、水晶振動子２の前述した電気的な特性を測定し、該水晶振動子２の良否を判定する。さらに、前記底面１２ａ即ち電極１４の裏側に位置する水晶振動子２の表面１０ａに、該水晶振動子２の周波数などを示す水晶振動子２特有の印１８を形成する。
【００３６】
温度試験装置１は、図１に示すように、装置本体としてのフレーム２０と、供給ユニット２１と、搬入ユニット２２と、複数の温度槽２３と、複数の測定ユニット２４と、複数の移動ユニット２５と、裏返しユニット２６と、搬出ユニット２７と、マーキングユニット２８と、積み替えユニット２９と、梱包ユニット３０と、図示しない制御手段としての制御装置などを備えている。
【００３７】
フレーム２０は、平板状に形成されかつ工場などのフロア上に載置される。フレーム２０の平面形状は、矩形状に形成されている。供給ユニット２１は、フレーム２０の一端部２０ａに設けられている。供給ユニット２１は、電子部品としての水晶振動子２を複数蓄えておくとともに、水晶振動子２を搬入ユニット２２に供給する。
【００３８】
搬入ユニット２２は、図１及び図２に示すように、供給ユニット２１と一つの温度槽（後述の第１温度槽）２３との近傍に配され、フレーム２０上に設置されている。搬入ユニット２２は、供給ユニット２１上の複数の水晶振動子２を一旦吸着した後、これら吸着した水晶振動子２を前述した一つの温度槽２３の後述する水晶振動子収容孔３１内に挿入して、温調プレート３２の円板部３７の外縁部３７ａ上に置く。図示例では、搬入ユニット２２は、一度に３つの水晶振動子２を吸着する。また、搬入ユニット２２は、吸着して一つの温度槽２３の回転テーブル３４の表面上に置く３つの水晶振動子２を、これらの水晶振動子２の長手方向に沿って並べる。
【００３９】
温度槽２３は、扁平な円筒状に形成され内側に水晶振動子２を収容して、収容した水晶振動子２を所定の温度に保つ。温度槽２３は、図１に示すように、フレーム２０上に設置されており、フレーム２０の前述した一端部２０ａから他端部２０ｂに向かって並べられている。
【００４０】
また、図示例では、後述する回転テーブル３４の中心を互いに結ぶ直線がジグザグとなる位置に、複数の温度槽２３が配されている。さらに、図示例では、温度槽２３は、五つ設けられている。以下、これらの温度槽２３を、以下、前記一端部２０ａ側から順に第１温度槽２３ａ、第２温度槽２３ｂ、第３温度槽２３ｃ、第４温度槽２３ｄ、第５温度槽２３ｅと呼ぶ。
【００４１】
第１温度槽２３ａは、例えば、−３０℃などの第１の所定の温度に水晶振動子２を保つ。第２温度槽２３ｂは、例えば、０℃などの第２の所定の温度に水晶振動子２を保つ。第３温度槽２３ｃは、例えば、２５℃などの第３の所定の温度に水晶振動子２を保つ。第４温度槽２３ｄは、例えば、５５℃などの第４の所定の温度に水晶振動子２を保つ。第５温度槽２３ｅは、例えば、８５℃などの第５の所定の温度に水晶振動子２を保つ。
【００４２】
本実施形態では、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅが水晶振動子２を保つ所定の温度即ち温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度は、互いに異なる。第１ないし第５温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの構成は、互いに等しいので、以下、第１温度槽２３ａを代表して構成を説明する。
【００４３】
第１温度槽２３ａは、図２及び図３に示すように、扁平な有低筒状の温調プレート３２と、蓋３６と、モータ３３と、円板状の回転テーブル３４と、温度調整手段としての温度調整素子３５と、図示しない不活性ガス供給部とを備えている。温調プレート３２は、載置板としての円板部３７と、円筒部３８とを備えている。円板部３７は、円板状に形成されている。
【００４４】
円板部３７は、フレーム２０上に設けられており、該フレーム２０に固定されている。円板部３７の外縁部３７ａの表面上には、水晶振動子２が置かれる。円板部３７の外縁部３７ａ上には、水晶振動子２の前述した表面１０ａが重ねられる。このため、水晶振動子２は、電極１４を上方に向けた状態で円板部３７上に配される。水晶振動子２は、円板部３７即ち回転テーブル３４の径方向に沿って複数並べられる。即ち、円板部３７は、その表面上に直接水晶振動子２を置く。
【００４５】
図示例では、水晶振動子２は、円板部３７の径方向に沿って３つ並べられる。これら円板部３７の径方向に沿って並べられた複数の水晶振動子２は、円板部３７の周方向に沿って並べられる。このため、水晶振動子２は、円板部３７即ち回転テーブル３４の径方向と周方向との双方に沿って、回転テーブル３４上に配される。
【００４６】
円筒部３８は、円筒状に形成されている。円筒部３８は、一方の円板部３７の外縁と他方の円板部３７の外縁との双方に連なっている。さらに、円板部３７上に水晶振動子２が置かれる。このため、温調プレート３２は、回転テーブル３４とともに水晶振動子２を覆う。
【００４７】
蓋３６は、円板部３７と大きさが等しい円板状に形成されている。蓋３６は、円筒部３８の外縁に取り付けられて、円板部３７と間隔をあけて平行に配されている。また、蓋３６には、部品導入孔３９（図２及び図３に示す）と、部品導出孔４０（図２及び図３に示す）と、測定用孔４１（図５に示す）とが開口している。これらの孔３９，４０，４１は、勿論、蓋３６を貫通している。部品導入孔３９は、蓋３６の外縁部のフレーム２０の一端部２０ａ寄りの位置に設けられている。部品導入孔３９は、搬入ユニット２２などが水晶振動子２を温調プレート３２内に挿入する際に用いられる。
【００４８】
部品導出孔４０は、蓋３６の外縁部のフレーム２０の他端部２０ｂ寄りの位置に設けられている。部品導入孔４０は、移動ユニット２５などが温調プレート３２内から水晶振動子２を取り出す際に用いられる。測定用孔４１は、他方の円板部３７の周方向に沿って、部品導入孔３９と部品導出孔４０との間に設けられている。測定用孔４１は、蓋３６の外縁部に設けられている。測定用孔４１は、測定ユニット２４の後述するプローブ４８が温調プレート３２内に侵入する際に用いられる。
【００４９】
モータ３３は、フレーム２０に取り付けられている。回転テーブル３４は、アルミニウム合金などの金属からなり円板状に形成されている。回転テーブル３４は、円板部３７上に重ねられている。回転テーブル３４の外径は、温調プレート３２の円板部３７の外径より若干小さい。回転テーブル３４は、温調プレート３２内にその中心を中心として回転自在に収容されている。回転テーブル３４は、図４に示すように、円板部３７と蓋３６との双方と平行な状態でこれらの円板部３７と蓋３６との間でかつ円筒部３８内に配されている。
【００５０】
さらに、回転テーブル３４には、モータ３３の出力軸３３ａが取り付けられている。モータ３３の出力軸３３ａと回転テーブル３４と円板部３７とは同軸である。即ち、モータ３３の出力軸３３ａは、回転テーブル３４の中心に取り付けられている。温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの回転テーブル３４は、図１中の矢印Ｋに沿って、モータ３３により互いに同回転数で同期して回転される。
【００５１】
回転テーブル３４には、水晶振動子収容孔３１が複数設けられている。水晶振動子収容孔３１は、回転テーブル３４を貫通しており、水晶振動子２の外形に沿って形成されている。
【００５２】
水晶振動子収容孔３１は、回転テーブル３４の外縁部に設けられている。水晶振動子収容孔３１は、図４に示すように、回転テーブル３４の径方向に沿って３つ並べられているとともに、該回転テーブル３４の全周に亘って周方向に沿って複数並べられている。
【００５３】
水晶振動子収容孔３１は、内側に円板部３７上に置かれる水晶振動子２を収容する。回転テーブル３４は、モータ３３により回転されることで、水晶振動子収容孔３１内に収容した水晶振動子２を回転テーブル３４及び円板部３７即ち第１温度槽２３ａの周方向に沿って移動させる。
【００５４】
温度調整素子３５は、周知のペルチェ素子（Ｐｅｌｔｉｅｒ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの熱電冷却素子などからなり、円板部３７の下面に取り付けられている。温度調整素子３５は、図示しない電源などにより印加されると、前記円板部３７側の一方の表面３５ａが冷却または加熱して、前述した第１の所定の温度になる。
【００５５】
温度調整素子３５は、印加されて一方の表面３５ａが第１の所定の温度になることで、温調プレート３２の円板部３７即ち第１温度槽２３ａ内を第１の所定の温度に保つ。また、第２温度槽２３ｂの温度調整素子３５は、印加されて一方の表面３５ａが第２の所定の温度になり、温調プレート３２の円板部３７即ち第２温度槽２３ｂ内を第２の所定の温度に保つ。第３温度槽２３ｃの温度調整素子３５は、印加されて一方の表面３５ａが第３の所定の温度になり、温調プレート３２の円板部３７即ち第３温度槽２３ｃ内を第３の所定の温度に保つ。
【００５６】
第４温度槽２３ｄの温度調整素子３５は、印加されて一方の表面３５ａが第４の所定の温度になり、温調プレート３２の円板部３７即ち第４温度槽２３ｄ内を第４の所定の温度に保つ。第５温度槽２３ｅの温度調整素子３５は、印加されて一方の表面３５ａが第５の所定の温度になり、温調プレート３２の円板部３７即ち第５温度槽２３ｅ内を第５の所定の温度に保つ。
【００５７】
不活性ガス供給部は、不活性ガスの一例としての窒素ガスを、温調プレート３２内即ち第１温度槽２３ａ内に供給する。
【００５８】
測定ユニット２４は、フレーム２０上に設置されている。測定ユニット２４は、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅそれぞれに対応して設けられている。測定ユニット２４は、図示例では、図１に示すように、五つ（温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅと同数）設けられている。即ち、測定ユニット２４は、図示例では、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅそれぞれに一つずつ対応して設けられている。
【００５９】
測定ユニット２４は、対応する温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの円板部３７に開口した測定用孔４１の近傍に配されている。測定ユニット２４は、図５に示すように、測定部４６を備えている。
【００６０】
測定部４６は、鉛直方向と温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの径方向に沿って移動自在に支持されている。測定部４６は、測定部本体４７と、一対のプローブ４８を備えている。測定部本体４７は、平行六面体状に形成されている。測定部本体４７即ち測定部４６は、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの蓋３６に開口した測定用孔４１と相対する。
【００６１】
一対のプローブ４８は、柱状または筒状に形成されている。一対のプローブ４８は、測定部本体４７に支持されている。一対のプローブ４８の長手方向は、鉛直方向に沿っている。一対のプローブ４８は、測定部本体４７から下方即ち温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの測定用孔４１に向かって伸びている。一対のプローブ４８は、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの回転テーブル３４及び円板部３７の径方向に沿って、互いに間隔をあけて並べられている。一対のプローブ４８間の間隔は、一対のプローブ４８が水晶振動子２の電気的な特性を得る際に印加する一対（複数）の電極１４に接触できる間隔となっている。
【００６２】
測定ユニット２４は、水平部材４５を鉛直方向に沿って移動しかつ温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの径方向に沿って移動して、回転テーブル３４及び円板部３７の径方向に沿って並べられた３つ（複数）の水晶振動子２の電極１４に順にプローブ４８を接触させる。そして、測定ユニット２４は、プローブ４８を介して一対（複数）の電極１４に印加して、水晶振動子２の前述した電気的な特性を測定する。測定ユニット２４は、測定して得た電気的な特性に基づいて、検査対象物としての水晶振動子２の良否を判定する。前述した測定ユニット２４は、本明細書に記した測定手段をなしている。
【００６３】
移動ユニット２５は、フレーム２０上に設置されているとともに、互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ間に配されている。移動ユニット２５は、図示例では、四つ設けられている。一つの移動ユニット２５は、第１温度槽２３ａの他端部２０ｂ寄りの部分と、第２温度槽２３ｂの一端部２０ａ寄りの部分との間に設けられている。他の一つの移動ユニット２５は、第２温度槽２３ｂの他端部２０ｂ寄りの部分と、第３温度槽２３ｃの一端部２０ａ寄りの部分との間に設けられている。
【００６４】
更に他の一つの移動ユニット２５は、第３温度槽２３ｃの他端部２０ｂ寄りの部分と、第４温度槽２３ｄの一端部２０ａ寄りの部分との間に設けられている。更に別の移動ユニット２５は、第４温度槽２３ｄの他端部２０ｂ寄りの部分と、第５温度槽２３ｅの一端部２０ａ寄りの部分との間に設けられている。こうして、移動ユニット２５は、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ間それぞれに設けられている。移動ユニット２５は、互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの円板部３７の部品導出孔４０と部品導入孔３９との間に設けられている。
【００６５】
移動ユニット２５は、回動部材５２と、一対の吸着部とを備えている。回動部材５２は、板状に形成されている。回動部材５２の平面形状は、矩形状である。回動部材５２は、長手方向が水平方向に沿っており、長手方向の中央を中心として、矢印Ｋ１に沿って回動自在に支持されている。回動部材５２の長手方向の中央は、互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ間に位置付けられている。回動部材５２は、鉛直方向に沿って移動自在に支持されている。
【００６６】
一対の吸着部のうち一方は回動部材５２の一端部に取り付けられ、他方は回動部材５２の他端部に取り付けられている。一対の吸着部は、回動部材５２の両端部それぞれに取り付けられている。
【００６７】
吸着部は、互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの部品導出孔４０と部品導入孔３９とに相対する。吸着部は、水晶振動子２を吸着する。
【００６８】
移動ユニット２５は、回動部材５２を降下させて、一方の吸着部を互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅのうち一方内に部品導出孔４０を通して挿入するとともに、他方の吸着部を互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅのうち他方内に部品導入孔３９を通して挿入する。すると、一方の吸着部は、前記一方内の円板部３７の表面上に径方向に沿って並べられた３つ（複数）の水晶振動子２に接触する。
【００６９】
そして、移動ユニット２５は、一方の吸着部に水晶振動子２を吸着する。そして、移動ユニット２５は、回動部材５２を上昇して、吸着部を温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅから抜け出させる。
【００７０】
その後、移動ユニット２５は、回動部材５２を矢印Ｋ１に沿って１８０度回転させる。移動ユニット２５は、回動部材５２を降下させて、水晶振動子２を吸着した一方の吸着部を前記他方内に部品導入孔３９を通して挿入する。移動ユニット２５は、他方の吸着部を前記一方内に部品導出孔４０を通して挿入する。
【００７１】
そして、移動ユニット２５は、他方の吸着部に水晶振動子２を吸着する。移動ユニット２５は、一方の吸着部に吸着した水晶振動子２を回転テーブル３４の水晶振動子収容孔３１内に挿入して、円板部３７上に置く。
【００７２】
こうして、移動ユニット２５は、互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅのうち一方内に収容された水晶振動子２を取り出して、他方内に挿入する。移動ユニット２５は、互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅのうち一方から他方に水晶振動子２を移動する。前述した構成の移動ユニット２５は、本明細書に記した移動手段をなしている。
【００７３】
裏返しユニット２６は、図１に示すように、フレーム２０上に設置されているとともに、第５温度槽２３ｅと搬出ユニット２７との間に設けられている。裏返しユニット２６は、第５温度槽２３ｅの回転テーブル３４上から水晶振動子２を取り出して、これらの水晶振動子２を裏返した後、搬出ユニット２７の後述する回転テーブル５９上に置く。
【００７４】
このため、裏返しユニット２６は、第５温度槽２３ｅから取り出した水晶振動子２の電極１４を搬出ユニット２７の回転テーブル５９に重ねる。このため、搬出ユニット２７の回転テーブル５９上の水晶振動子２は、前述した表面１０ａを上方に向けている。
【００７５】
搬出ユニット２７は、図１に示すように、フレーム２０上に設置されているとともに、第５温度槽２３ｅの近傍に配されている。搬出ユニット２７は、図示しないモータと、回転テーブル５９を備えている。
【００７６】
モータは、フレーム２０に取り付けられている。回転テーブル５９は、円板状に形成されている。回転テーブル５９の外径は、各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの回転テーブル３４の外径と略等しい。回転テーブル５９は、その中心を中心として回転自在にフレーム２０に支持されている。回転テーブル５９の中心には、モータの出力軸が取付られている。回転テーブル５９は、フレーム２０の表面と平行な状態で、前記フレーム２０に支持されている。
【００７７】
また、回転テーブル５９の外縁部の上には、水晶振動子２が置かれる。回転テーブル５９の外縁部上には、水晶振動子２の電極１４が重ねられる。このため、水晶振動子２は、前述した表面１０ａを上方に向けた状態で回転テーブル５９上に配される。水晶振動子２は、回転テーブル５９の径方向に沿って３つ（複数）並べられる。
【００７８】
図示例では、水晶振動子２は、回転テーブル５９の径方向に沿って３つ並べられる。これら回転テーブル５９の径方向に沿って並べられた複数の水晶振動子２は、回転テーブル５９の周方向に沿って並べられる。このため、水晶振動子２は、回転テーブル５９の径方向と周方向との双方に沿って、回転テーブル５９上に配される。
【００７９】
さらに、搬出ユニット２７の回転テーブル５９は、前述した温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの回転テーブル３４と同回転数で、図１中の矢印Ｋに沿って、モータにより回転される。搬出ユニット２７の回転テーブル５９は、前述した温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの回転テーブル３４と同期して回転される。
【００８０】
マーキングユニット２８は、図１に示すように、フレーム２０上に設置されているとともに、搬出ユニット２７の回転テーブル５９の近傍に配されている。マーキングユニット２８は、裏返しユニット２６より矢印Ｋで示す回転テーブル５９の回転方向の下流側に配されている。マーキングユニット２８は、レーザを回転テーブル５９上の水晶振動子２の表面１０ａにあてて、該表面１０ａに前述した印１８を形成する。
【００８１】
積み替えユニット２９は、図１に示すように、フレーム２０上に設置されているとともに、搬出ユニット２７の回転テーブル５９の近傍に配されている。積み替えユニット２９は、マーキングユニット２８より矢印Ｋで示す回転テーブル５９の回転方向の下流側に配されている。積み替えユニット２９は、搬出ユニット２７の回転テーブル５９上の水晶振動子２を梱包ユニット３０またはＮＧ品収容部６０に搬送する。
【００８２】
ＮＧ品収容部６０は、図１に示すように、フレーム２０上に設置されているとともに、搬出ユニット２７の回転テーブル５９と積み替えユニット２９の近傍に配されている。ＮＧ品収容部６０は、前述した測定ユニット２４のうち少なくとも一つが不良品と判定した水晶振動子２を収容する。
【００８３】
梱包ユニット３０は、図１に示すように、フレーム２０上に設置されているとともに、搬出ユニット２７の回転テーブル５９と積み替えユニット２９の近傍に配されている。梱包ユニット３０は、一対の帯状の合成樹脂などからなるテープ間に積み替えユニット２９から搬送されてきた水晶振動子２を挟んで、一対のテープを互いに溶着する。梱包ユニット３０は、帯状のテープで水晶振動子２を梱包する。
【００８４】
制御装置は、周知のＲＡＭ、ＲＯＭ及びＣＰＵなどを備えたコンピュータである。制御装置は、搬入ユニット２２、第１ないし第５温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅと、複数の測定ユニット２４と、複数の移動ユニット２５と、裏返しユニット２６と、搬出ユニット２７と、マーキングユニット２８と、積み替えユニット２９と、梱包ユニット３０などと接続しており、これらの動作を制御して、温度試験装置１全体の制御をつかさどる。
【００８５】
次に、前述した構成の温度試験装置１が、電子部品としての水晶振動子２の電気的な特性を測定して、水晶振動子２の良否を判定する工程を以下に説明する。まず、温度試験装置１を起動する。そして、各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの温度調整素子３５に印加して、各温調プレート３２即ち温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内を前述した第１ないし第５の所定の温度に保つ。
【００８６】
さらに、各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの不活性ガス供給部から温調プレート３２内即ち各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内に不活性ガスの一例としての窒素ガスを供給する。さらに、水晶振動子２を供給ユニット２１に、電極１４を上方に向けた状態で供給しておく。
【００８７】
前述した各温調プレート３２即ち温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内が前述した第１ないし第５の所定の温度になると、各回転テーブル３４が図１中の矢印Ｋに沿って、同じ回転数で（同期して）回転する。また、搬入ユニット２２が、供給ユニット２１上の水晶振動子２を３つ（複数）吸着する。そして、搬入ユニット２２は、吸着した３つ（複数）の水晶振動子２を第１温度槽２３ａの部品導入孔３９を通して、第１温度槽２３ａの温調プレート３２内に挿入する。
【００８８】
搬入ユニット２２は、吸着した３つ（複数）の水晶振動子２を第１温度槽２３ａの回転テーブル３４の水晶振動子収容孔３１内に挿入して、円板部３７の表面上に置く。このとき、搬入ユニット２２により、同時に第１温度槽２３ａの円板部３７上に置かれた３つ（複数）の水晶振動子２は、円板部３７即ち回転テーブル３４の径方向に沿って並んでいる。そして、搬入ユニット２２は、供給ユニット２１上の水晶振動子２を一定間隔おきに第１温度槽２３ａの円板部３７上に置く。回転テーブル３４の回転により、水晶振動子２が移動される。
【００８９】
第１温度槽２３ａの円板部３７の表面上に直接置かれた水晶振動子２は、徐々に円板部３７即ち前述した第１の温度槽２３ａと同じ温度になる。そして、円板部３７上に置かれた水晶振動子２は、測定用孔４１の下方に近づくと、回転テーブル３４即ち前述した第１の温度槽２３ａと同じ温度になる。そして、第１温度槽２３ａに対応した測定ユニット２４の測定部４６が、まず、図１１に示すように、回転テーブル３４の径方向に沿って並べられた３つ（複数）の水晶振動子２のうち最も外縁寄りの水晶振動子２の直上に位置付けられる。
【００９０】
そして、測定ユニット２４の測定部４６が降下して、一対のプローブ４８が、第１温度槽２３ａの温調プレート３２内に侵入する。そして、一対のプローブ４８が、図１２に示すように、回転テーブル３４の最も外縁寄りに位置した水晶振動子２の電極１４に接触する。一対のプローブ４８を介して、測定ユニット２４が、電極１４に印加して水晶振動子２の電気的な特性を測定する。測定ユニット２４は、測定して得た電気的な特性に基づいて、水晶振動子２の良否を判定して、判定した結果を制御装置に向かって出力する。制御装置は、測定ユニット２４の判定結果を記憶しておく。
【００９１】
最も外縁寄りの水晶振動子２の電気的な特性の測定が終了すると、測定部４６が上昇するとともに、円板部３７即ち第１温度槽２３ａの径方向に沿って移動する。測定部４６は、図１３に示すように、回転テーブル３４の径方向に沿って並べられた３つ（複数）の水晶振動子２の中央に位置した水晶振動子２の直上に位置付けられる。
【００９２】
そして、測定ユニット２４の測定部４６が降下して、一対のプローブ４８が、第１温度槽２３ａの温調プレート３２内に侵入する。そして、一対のプローブ４８が、図１４に示すように、中央に位置した水晶振動子２の電極１４に接触する。一対のプローブ４８を介して、測定ユニット２４が、電極１４に印加して水晶振動子２の電気的な特性を測定する。測定ユニット２４は、測定して得た電気的な特性に基づいて、水晶振動子２の良否を判定して、判定した結果を制御装置に向かって出力する。制御装置は、測定ユニット２４の判定結果を記憶しておく。
【００９３】
中央に位置した水晶振動子２の電気的な特性の測定が終了すると、測定部４６が上昇するとともに、円板部３７即ち第１温度槽２３ａの径方向に沿って移動する。測定部４６は、図１５に示すように、回転テーブル３４の径方向に沿って並べられた３つ（複数）の水晶振動子２のうち最も内縁寄りに位置した水晶振動子２の直上に位置付けられる。
【００９４】
そして、測定ユニット２４の測定部４６が降下して、一対のプローブ４８が、第１温度槽２３ａの温調プレート３２内に侵入する。そして、一対のプローブ４８が、図１６に示すように、回転テーブル３４の最も内縁寄りに位置した水晶振動子２の電極１４に接触する。一対のプローブ４８を介して、測定ユニット２４が、電極１４に印加して水晶振動子２の電気的な特性を測定する。測定ユニット２４は、測定して得た電気的な特性に基づいて、水晶振動子２の良否を判定して、判定した結果を制御装置に向かって出力する。制御装置は、測定ユニット２４の判定結果を記憶しておく。
【００９５】
最も内縁寄りの水晶振動子２の電気的な特性の測定が終了すると、測定部４６が上昇するとともに、円板部３７即ち第１温度槽２３ａの径方向に沿って移動する。さらに、回転テーブル３４が矢印Ｋに沿って回転して、測定部４６が回転テーブル３４の径方向に沿って並べられた次の列の水晶振動子２のうち最も外縁寄りの水晶振動子２の直上に位置付けられる。
【００９６】
そして、測定ユニット２４は、前述した工程と同様に、回転テーブル３４の径方向に沿って並べられた水晶振動子２の電気的な特性を順に測定する。このように、測定ユニット２４は、回転テーブル３４の径方向に沿って並べられた複数の水晶振動子２の電気的な特性を順に測定して、良否を判定する。さらに、測定ユニット２４は、回転テーブル３４の回転に伴って測定部４６の下方に順に位置付けられる水晶振動子２の電気的な特性を、順に測定して良否を判定する。こうして、第１温度槽２３ａでは、例えば、−３０℃などの第１の所定の温度に水晶振動子２を保って、該水晶振動子２の電気的な特性を測定する。
【００９７】
第１温度槽２３ａの円板部３７の表面上に直接置かれて、測定ユニット２４により電気的な特性が測定されたとともに、回転テーブル３４の径方向に沿って３つ（複数）並べられた水晶振動子２は、回転テーブル３４の回転により、部品導出孔４０に徐々に近づく。すると、図６に示すように、第１温度槽２３ａの回転テーブル３４上の水晶振動子２が、部品導出孔４０の下方に位置付けられる。
【００９８】
そして、移動ユニット２５の回動部材５２が降下して、一方の吸着部が部品導出孔４０を通して第１温度槽２３ａの温調プレート３２内に侵入して、水晶振動子２に接触する。
【００９９】
その後、一方の吸着部に水晶振動子２が吸着する。移動ユニット２５の回動部材５２が上昇して、図７に示すように、一方の吸着部に吸着された水晶振動子２が部品導出孔４０を通して第１温度槽２３ａの温調プレート３２内から抜け出る。回動部材５２が１８０度回転する。
【０１００】
すると、図８に示すように、一方の吸着部と、この一方の吸着部に吸着した水晶振動子２とが第２温度槽２３ｂの部品導入孔３９の上方に位置付けられる。また、他方の吸着部が第１温度槽２３ａの部品導出孔４０の上方に位置付けられる。さらに、第１温度槽２３ａの回転テーブル３４の回転により、他方の吸着部の下方に第１温度槽２３ａの円板部３７上の水晶振動子２が位置付けられている。
【０１０１】
その後、移動ユニット２５の回動部材５２が降下して、一方の吸着部が第２温度槽２３ｂの温調プレート３２内に侵入し、他方の吸着部が第１温度槽２３ａの温調プレート３２内に侵入する。すると、他方の吸着部が第１温度槽２３ａの円板部３７上に３つ（複数）並べられた水晶振動子２に接触する。
【０１０２】
図９に示すように、一方の吸着部に吸着した水晶振動子２を、水晶振動子収容孔３１内に挿入して、第２温度槽２３ｂの円板部３７の表面上に置く。このとき、第２温度槽２３ｂの円板部３７の表面上には、径方向に沿って、３つ（複数）の水晶振動子２が置かれる。また、他方の吸着部に第１温度槽２３ａの円板部３７上に径方向に沿って３つ（複数）並べられた水晶振動子２が吸着する。
【０１０３】
そして、移動ユニット２５の回動部材５２が上昇して、図１０に示すように、他方の吸着部に吸着された水晶振動子２が部品導出孔４０を通して第１温度槽２３ａの温調プレート３２内から抜け出る。さらに、一方の吸着部が部品導入孔３９を通して第２温度槽２３ｂの温調プレート３２内から抜け出る。
【０１０４】
その後、移動ユニット２５は、回動部材５２を回転して、他方の吸着部を第２温度槽２３ｂの部品導入孔３９の上方に位置付けるとともに、一方の吸着部を第１温度槽２３ａの部品導出孔４０の上方に位置付ける。前述した構成の移動ユニット２５は、前述した工程を繰り返して、第１の温度槽２３ａの近傍に配された測定ユニット２４で電気的な特性が測定されて良否が判定された水晶振動子２を、順に、第２温度槽２３ｂの温調プレート３２内に挿入する。
【０１０５】
こうして、移動ユニット２５は、第１温度槽２３ａの円板部３７上の水晶振動子２を取り出した後、第２温度槽２３ｂの円板部３７上に置く。このように、移動ユニット２５は、一つの温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄから他の温度槽２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに水晶振動子２を移動する。また、各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの回転テーブル３４は、回転することで、一つの移動ユニット２５寄りの位置から他の移動ユニット２５寄りの位置に水晶振動子２を移動する。
【０１０６】
第２温度槽２３ｂの部品導入孔３９を通して温調プレート３２内に挿入されて円板部３７の表面上に直接置かれた水晶振動子２は、回転テーブル３４の回転により、第２温度槽２３ｂの測定用孔４１に徐々に近づく。そして、第２温度槽２３ｂの測定用孔４１に近づくと、水晶振動子２は、前述した第２の所定の温度即ち第２温度槽２３ｂと同じ温度になる。第２温度槽２３ｂの回転テーブル３４上に径方向に沿って３つ（複数）並べられた水晶振動子２が測定用孔４１の下方に位置付けられる。
【０１０７】
すると、前述した工程と同様に、第２温度槽２３ｂの近傍に配された測定ユニット２４が、第２温度槽２３ｂの円板部３７上の水晶振動子２の電気的な特性を測定して、該水晶振動子２の良否を判定する。また、第２温度槽２３ｂの回転テーブル３４の回転により、第２温度槽２３ｂの円板部３７上の水晶振動子２が、部品導出孔４０の下方に位置付けられる。
【０１０８】
すると、前述した工程と同様に、第２温度槽２３ｂと第３温度槽２３ｃとの間に配された移動ユニット２５が、第２温度槽２３ｂから第３温度槽２３ｃに水晶振動子２を順に移動する。こうして、第２温度槽２３ｂでは、例えば、０℃などの第２の所定の温度に水晶振動子２を保って、該水晶振動子２の電気的な特性を測定する。
【０１０９】
第３温度槽２３ｃでは、前述した第１温度槽２３ａ及び第２温度槽２３ｂと同様に、水晶振動子２を円板部３７と同じ温度にして、回転テーブル３４を回転しながら測定ユニット２４で電気的な特性を測定して、良否を判定する。さらに、第３温度槽２３ｃで電気的な特性が測定された水晶振動子２は、前述した工程と同様に、第３温度槽２３ｃと第４温度槽２３ｄとの間に設けられた移動ユニット２５により第４温度槽２３ｄに移動される。こうして、第３温度槽２３ｃでは、例えば、２５℃などの第３の所定の温度に水晶振動子２を保って、該水晶振動子２の電気的な特性を測定する。
【０１１０】
第４温度槽２３ｄでは、前述した第１ないし第３温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃと同様に、水晶振動子２を円板部３７と同じ温度にして、回転テーブル３４を回転しながら測定ユニット２４で電気的な特性を測定して、良否を判定する。さらに、第４温度槽２３ｄで電気的な特性が測定された水晶振動子２は、前述した工程と同様に、第４温度槽２３ｄと第５温度槽２３ｅとの間に設けられた移動ユニット２５により第５温度槽２３ｅに移動される。こうして、第４温度槽２３ｄでは、例えば、５５℃などの第４の所定の温度に水晶振動子２を保って、該水晶振動子２の電気的な特性を測定する。
【０１１１】
第５温度槽２３ｅでは、前述した第１ないし第４温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄと同様に、水晶振動子２を円板部３７と同じ温度にして、回転テーブル３４を回転しながら測定ユニット２４で電気的な特性を測定して、良否を判定する。さらに、第５温度槽２３ｅで電気的な特性が測定された水晶振動子２は、裏返しユニット２６により、裏返されて搬出ユニット２７の回転テーブル５９上に移動される。こうして、第５温度槽２３ｅでは、例えば、８５℃などの第５の所定の温度に水晶振動子２を保って、該水晶振動子２の電気的な特性を測定する。
【０１１２】
搬出ユニット２７の回転テーブル５９上には、電極１４が重ねられて、水晶振動子２は前述した表面１０ａが上方に向いている。そして、回転テーブル５９が回転して、水晶振動子２がマーキングユニット２８の近傍に位置付けられる。そして、マーキングユニット２８は、水晶振動子２の前述した表面１０ａに前述した印１８を形成する。その後、さらに、回転テーブル５９が回転すると、水晶振動子２は、積み替えユニット２９の近傍に位置付けられる。
【０１１３】
すると、積み替えユニット２９は、全ての測定ユニット２４で良品と判定された水晶振動子２を、搬出ユニット２７の回転テーブル５９上から梱包ユニット３０に搬送する。また、積み替えユニット２９は、少なくとも一つの測定ユニット２４で不良品と判定された水晶振動子２を、搬出ユニット２７の回転テーブル５９上からＮＧ品収容部６０に搬送する。梱包ユニット３０は、積み替えユニット２９から搬送されてきた水晶振動子２を一対のテープ間に挟んで、これらのテープで梱包する。
【０１１４】
こうして、前述した構成の温度試験装置１は、移動ユニット２５が水晶振動子２を複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対し順に移動させて、各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対応する測定ユニット２４が水晶振動子２の電気的な特性を測定する。
【０１１５】
本実施例の温度試験装置１によれば、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅを複数設け、水晶振動子２を移動する移動ユニット２５を互いに隣り合う温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ間に設け、水晶振動子２の電気的な特性を測定する測定ユニット２４を温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅそれぞれに対応して設けている。
【０１１６】
移動ユニット２５が複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対して水晶振動子２を順に移動させて、測定ユニット２４が各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の水晶振動子２の電気的な特性を測定する。また、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度が互いに異なるので、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの温度を変更することなく、所定の温度での水晶振動子２の電気的な特性を確実に得ることができる。
【０１１７】
このため、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度を変更することなく、所定の温度の水晶振動子２の電気的な特性を得ることができる。したがって、水晶振動子２の温度を変更する際にかかる時間を短縮でき、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率を向上できる。
【０１１８】
温度調整素子３５により所定の温度に保たれる円板部３７の表面上に水晶振動子２を直接置く。このため、円板部３７の表面上に置かれた水晶振動子２が、瞬く間に円板部３７即ち温度調整素子３５と同じ温度になる。このため、水晶振動子２が回転テーブル３４と同じ温度になり、速やかに水晶振動子２の電気的な特性を測定できる。したがって、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率をより一層確実に向上できる。
【０１１９】
円板部３７の表面上に複数の水晶振動子２を置く。このため、一度に複数の水晶振動子２の電気的な特性を測定できる。したがって、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率をより一層確実に向上できる。
【０１２０】
また、水晶振動子２を周方向と径方向との双方に沿って、円板部３７の表面上に並べる。また、回転テーブル３４を円板状に形成して、該回転テーブル３４を回転自在としている。回転テーブル３４を回転させることで、複数の水晶振動子２を搬送できるとともに、移動ユニット２５と組み合わせることで、水晶振動子２を複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対して確実に順に移動する。したがって、より確実に所定の温度の水晶振動子２の電気的な特性を測定できる。
【０１２１】
また、前述した実施例では、低温の第１温度槽２３ａから順により高温の温度槽２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに、水晶振動子２を移動して、該水晶振動子２の電気的な特性を測定している。このため、水晶振動子２が各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅと同じ温度になるまでの所要時間を短縮でき、水晶振動子２の温度試験の作用効率をより一層向上できる。
【０１２２】
前述した実施例では、電子部品としての水晶振動子２の電気的な特性の良否を判定している。しかしながら、本発明では、他の電子部品の電気的な良否を判定しても良い。また、前述した実施例では、第１ないし第５の所定の温度即ち第１ないし第５温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度が、互いに異なっている。しかしながら、本発明では、第１ないし第５の所定の温度即ち第１ないし第５温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度が、必ずしも互いに異なっていなくても良く、一部が同じ温度であっても良い。
【０１２３】
さらに、前述した実施例では、低温の第１温度槽２３ａから順により高温の温度槽２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに、水晶振動子２を移動して、該水晶振動子２の電気的な特性を測定している。しかしながら、本発明では、高温の第５の温度槽２３ｅからより低温の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄに順に水晶振動子２を移動させて、電気的な特性を測定しても良い。また、本発明では、温度の高低を考慮することなく、任意の温度の温度槽から任意の温度の温度槽に水晶振動子２を移動させて、該水晶振動子２の電気的な特性を測定しても良い。
【０１２４】
なお、本発明では、供給ユニット２１が水晶振動子２をマガジンなどから供給しても良い。また、梱包ユニット３０の代わりに検査後の水晶振動子２を箱内に収容するユニットを用いても良い。さらに、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅを少なくとも２つ備えていれば良い。
【０１２５】
前述した実施例によれば、以下の電子部品の温度試験方法及び温度試験装置が得られる。
（付記１）  底面１２ａに複数の電極１４を設けた水晶振動子２を所定の温度に保って、複数の電極１４間に印加して前記水晶振動子２の電気的な特性を測定する電子部品の温度試験方法において、
水晶振動子２を収容しかつ該水晶振動子２を所定の温度に保つ温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅを複数設け、前記水晶振動子２を複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対して順に移動させて、各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内で前記水晶振動子２の電気的な特性を測定することを特徴とする電子部品の温度試験方法。
【０１２６】
（付記２）  前記温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度が互いに異なることを特徴とする付記１記載の電子部品の温度試験方法。
【０１２７】
（付記３）  底面１２ａに複数の電極１４を設けた水晶振動子２を所定の温度に保って、複数の電極１４間に印加して前記水晶振動子２の電気的な特性を測定する電子部品の温度試験装置１において、
水晶振動子２を収容して該水晶振動子２を所定の温度に保つとともに複数設けられた温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅと、
複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ間それぞれに設けられかつ一つの温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄから他の一つの温度槽２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに前記水晶振動子２を移動させる移動ユニット２５と、
各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対応して設けられかつ対応する温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内に収容された水晶振動子２の電気的な特性を測定する測定ユニット２４と、を備え、
前記移動ユニット２５が前記水晶振動子２を複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに順に移動させて、各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内で対応する測定ユニット２４が前記水晶振動子２の電気的な特性を測定することを特徴とする電子部品の温度試験装置１。
【０１２８】
（付記４）  前記温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度が互いに異なることを特徴とする付記３記載の電子部品の温度試験装置１。
【０１２９】
（付記５）  前記温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅは、温度調整素子３５により所定の温度に保たれる温調プレート３２の円板部３７を備え、
前記円板部３７は、表面上に前記水晶振動子２を置くことを特徴とする付記３または付記４に記載の電子部品の温度試験装置１。
【０１３０】
（付記６）  前記温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの円板部３７には、円板状に形成されかつ回転自在に設けられた回転テーブル３４が重なっており、円板部３７が表面上に水晶振動子２を前記回転テーブル３４の径方向と周方向との双方に沿って並べ、前記回転テーブル３４が回転することで一つの移動ユニット２５寄りの位置から他の移動ユニット２５寄りの位置に前記水晶振動子２を移動させることを特徴とする付記５記載の電子部品の温度試験装置１。
【０１３１】
付記１に記載された本発明によれば、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅを複数設け、複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対して順に水晶振動子２を移動させて、各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内で水晶振動子２の電気的な特性を測定する。このため、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度を変更することなく、所定の温度の水晶振動子２の電気的な特性を得ることができる。したがって、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの温度を変更することなく、所定の温度での水晶振動子２の電気的な特性を得ることができるので、水晶振動子２の温度を変更する際にかかる時間を短縮でき、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率を向上できる。
【０１３２】
付記２に記載された本発明によれば、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度が互いに異なるので、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの温度を変更することなく、所定の温度での水晶振動子２の電気的な特性を確実に得ることができる。したがって、水晶振動子２の温度を変更する際にかかる時間を短縮でき、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率をより確実に向上できる。
【０１３３】
付記３に記載された本発明によれば、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅを複数設け、水晶振動子２を移動する移動ユニット２５を温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ間に設け、水晶振動子２の電気的な特性を測定する測定ユニット２４を温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅそれぞれに対応して設けている。移動ユニット２５が複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対して順に水晶振動子２を移動させて、測定ユニット２４が各温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内で水晶振動子２の電気的な特性を測定する。
【０１３４】
このため、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度を変更することなく、所定の温度の水晶振動子２の電気的な特性を得ることができる。したがって、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの温度を変更することなく、所定の温度での水晶振動子２の電気的な特性を得ることができるので、水晶振動子２の温度を変更する際にかかる時間を短縮でき、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率を向上できる。
【０１３５】
付記４に記載された本発明によれば、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ内の温度が互いに異なるので、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの温度を変更することなく、所定の温度での水晶振動子２の電気的な特性を確実に得ることができる。したがって、温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅの温度を変更する際にかかる時間を短縮でき、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率をより確実に向上できる。
【０１３６】
付記５に記載された本発明によれば、温度調整素子３５により所定の温度に保たれる温調プレート３２の円板部３７の表面上に水晶振動子２を直接置く。このため、円板部３７上に置かれた水晶振動子２が、瞬く間に円板部３７即ち温度調整素子３５と同じ温度になる。このため、水晶振動子２が円板部３７と同じ温度になり、速やかに水晶振動子２の電気的な特性を測定できる。したがって、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率をより一層確実に向上できる。
【０１３７】
付記６に記載された本発明によれば、温調プレート３２の円板部３７上に複数の水晶振動子２を置く。このため、一度に複数の水晶振動子２の電気的な特性を測定できる。したがって、水晶振動子２の温度試験にかかる作業効率をより一層確実に向上できる。
【０１３８】
また、水晶振動子２を周方向と径方向との双方に沿って、温調プレート３２の円板部３７上に並べる。また、回転テーブル３４を円板状に形成して、該回転テーブル３４を回転自在としている。このため、回転テーブル３４を回転させることで、複数の水晶振動子２を搬送できるとともに、移動ユニット２５と組み合わせることで、水晶振動子２を複数の温度槽２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅに対して確実に順に移動できる。したがって、より確実に所定の温度の水晶振動子２の電気的な特性を測定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例にかかる電子部品の温度試験装置の構成を示す説明図である。
【図２】図１中のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図３】図２に示された電子部品の温度試験装置の第１温度槽の構成を示す断面図である。
【図４】図３中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図１中のＶ―Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】図３に示された第１温度槽と第２温度槽を断面で示す説明図である。
【図７】図６に示された第１温度槽から水晶振動子を取り出した状態を示す説明図である。
【図８】図７に示された水晶振動子を第２温度槽の上方に位置付けた状態を示す説明図である。
【図９】図８に示された水晶振動子を第２温度槽内に挿入した状態を示す説明図である。
【図１０】図９に示された第１温度槽内の水晶振動子を取り出した状態を示す説明図である。
【図１１】図５に示された検査ユニットのプローブと第１温度槽の円板部上の水晶振動子を一部断面で示す説明図である。
【図１２】図１１に示されたプローブが降下して最も外縁寄りの水晶振動子の電極に接触した状態を示す説明図である。
【図１３】図１２に示されたプローブが上昇して中央に位置する水晶振動子と相対した状態を示す説明図である。
【図１４】図１３に示されたプローブが降下して中央に位置する水晶振動子の電極に接触した状態を示す説明図である。
【図１５】図１４に示されたプローブが上昇して最も内縁寄りの水晶振動子と相対した状態を示す説明図である。
【図１６】図１５に示されたプローブが降下して最も内縁寄りの水晶振動子の電極に接触した状態を示す説明図である。
【図１７】図１に示された電子部品の温度試験装置によって検査される水晶振動子を分解して示す斜視図である。
【図１８】（ａ）は図１に示された電子部品の温度試験装置によって検査される水晶振動子の平面図である。
（ｂ）は図１８（ａ）中のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
（ｃ）は図１８（ｂ）中の矢印Ｆ方向からみた平面図である。
【符号の説明】
１  電子部品の温度試験装置
２  水晶振動子（電子部品）
１２ａ  底面（外表面）
１４  電極
２３  温度槽
２３ａ  第１温度槽
２３ｂ  第２温度槽
２３ｃ  第３温度槽
２３ｄ  第４温度槽
２３ｅ  第５温度槽
２４  測定ユニット（測定手段）
２５  移動ユニット（移動手段）
３４  回転テーブル
３５  温度調整素子（温度調整手段）
３７  円板部（載置板）
【図１】
2004354198.tif 000003
【図２】
2004354198.tif 000004
【図３】
2004354198.tif 000005
【図４】
2004354198.tif 000006
【図５】
2004354198.tif 000007
【図６】
2004354198.tif 000008
【図７】
2004354198.tif 000009
【図８】
2004354198.tif 000010
【図９】
2004354198.tif 000011
【図１０】
2004354198.tif 000012
【図１１】
2004354198.tif 000013
【図１２】
2004354198.tif 000014
【図１３】
2004354198.tif 000015
【図１４】
2004354198.tif 000016
【図１５】
2004354198.tif 000017
【図１６】
2004354198.tif 000018
【図１７】
2004354198.tif 000019
【図１８】
2004354198.tif 000020