(57)【要約】【課題】一方向に長いセラミックバー等の加工対象物に対して複雑な曲げ変形等を与えることを可能とし、これにより加工対象物の加工工程において、加工対象物の加工量のばらつきを減少せしめる装置を提供する。【解決手段】加工対象物を保持する治具と共に加工対象物を変形させる修正機構を加工装置に設けることとし、修正機構は、ベースと、一端にピンが設けられた複数のレバーと、ベースに固定されてレバーを回転可能に支持する軸と、レバーの他端と結合してレバーを軸に対して枢動することによりピンを枢動する複数の修正用駆動手段とを有する構成とし、治具は、加工対象物を保持する一方向に長い保持部上に並設された複数の荷重受け部を有することとて、ピン各々の枢動に伴って保持部における前記荷重受け部に対応した部分が加工対象物と共に変形されることを可能とした。【選択図】　図６
2004136441.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　一方向に長い被加工物を加工する加工装置において、加工面を有して回転駆動される加工用定盤と、前記加工面に対して移動可能に配置された加工ヘッド取付け用フレームと、前記加工ヘッド取付けフレームに支持される加工ヘッドとを有し、
　前記加工ヘッドは、前記被加工物を保持する治具が固定されて、前記治具と一体で前記加工面に対して昇降する昇降部と、前記昇降部により支持される修正機構とを有し、
　前記修正機構は、前記昇降部に対して固定されるベースと、前記ベースに一端が固定された複数の修正用駆動手段と、前記修正用駆動手段に同軸で連結するシャフトと、前記シャフトから突出するピンとを有し、
　前記ピンは、前記治具における、前記被加工物を保持する一方向に長い保持部上に前記一方向に並設された複数の荷重受け部に挿入されて、
　前記修正用駆動手段の駆動に応じる前記ピン各々の駆動に伴って前記荷重受部が駆動され、これにより前記保持部における前記荷重受け部に対応した部分が前記被加工物と共に変形されることを特徴とする装置。
【請求項２】
　一方向に長い被加工物を加工する加工装置において、加工面を有して回転駆動される加工用定盤と、前記加工面に対して移動可能に配置された加工ヘッド取付け用フレームと、前記加工ヘッド取付けフレームに支持される加工ヘッドとを有し、
　前記加工ヘッドは、前記被加工物を保持する治具が固定されて、前記治具と一体で前記加工面に対して昇降する昇降部と、前記昇降部により支持される修正機構とを有し、
　前記修正機構は、前記昇降部に対して固定されるベースと、前記ベースに固定された複数の略枠状の部材と、前記略枠状の部材の中心線上に保持された複数の修正用駆動手段と、前記修正用駆動手段の駆動方向と平行に延在して一端が前記略枠状の部材に接続し他端にピンが設けられた複数のシャフトとを有し、
　前記ピンは、前記治具における、前記被加工物を保持する一方向に長い保持部上に前記一方向に並設された複数の荷重受け部に挿入されて、
　前記修正用駆動手段の駆動に応じる前記ピン各々の駆動に伴って前記荷重受部が駆動され、これにより前記保持部における前記荷重受け部に対応した部分が前記被加工物と共に変形されることを特徴とする装置。
【請求項３】
　前記ピンの先端は、略球形状であることを特徴とする請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
　隣り合って配置される前記シャフトは各々異なる長さを有し、前記修正用駆動手段は前記シャフトの長さに応じて前記ピンからの距離がそれぞれ異なるように配置されることを特徴とする請求項１または２記載の装置。
【請求項５】
　前記シャフトは前記修正用駆動手段と同一軸上に配置されることを特徴とする請求項２記載の装置。
【請求項６】
　前記修正用駆動手段は圧電素子アクチュエータであることを特徴とする請求項１乃至５何れかに記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を加工するための磁気ヘッドの研加工装置および加工方法に関わり、特に加工時における被加工物の曲がりを修正するための装置および方法に関わる。
【背景技術】
【０００２】
　磁気ディスク装置等に用いる薄膜磁気ヘッドは、誘導型磁気変換素子或いは磁気抵抗（以下ＭＲ素子と述べる。）素子等を形成する磁性薄膜等からなる多数個の素子部が表面上に一列に形成された棒状のセラミック（以下セラミックバーと述べる。）を加工して得られる部品より構成されている。従来、この薄膜磁気ヘッド用の部品のバッチ式製造過程においては、複数の素子部が形成されたセラミックバーの研磨を行い、各素子部のスロートハイト或いはＭＲハイト等を適切な値に加工する工程が行われている。一般に、磁気ディスク装置において、磁気ヘッドからの出力特性を安定化させるためには、磁気ヘッドの磁極部分と記録媒体表面との距離を、きわめて狭い一定の距離に保つ必要があり、スロートハイトの値等はこの距離を規定する上の重要なパラメータとなる。
【０００３】
　ここで、スロートハイトとは、このようなヘッドコアにおいて磁気信号の記録・再生を行う磁極先端部であって２つの磁極が微少ギャップで向かい合う部分の長さ（高さ）を言う。また、ＭＲハイトとは、ＭＲ素子の媒体対向面側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）を言う。信号の適切な記録再生を可能とするために、これらスロートハイト、ＭＲハイト等の値を所定のものとする必要があり、この所定値を得るための研磨加工には高い精度が要求される。
【０００４】
　その後の工程で、セラミックバーは各素子部ごとに個々に切り離され、それぞれが磁気ディスク装置用の磁気ヘッドの一部品を構成する。該磁気ヘッドが磁気ディスク装置に用いられる時には、セラミック部分が磁気ディスク上でディスクの回転による風圧により浮上するスライダとなり、該素子部がディスクの磁気信号の記録および／又は再生を行うヘッドコアとなる。
【０００５】
　しかし、一般に上記セラミックバーは、セラミック基板からの切断或いは素子部の形成によって生じる応力等のため、歪み、曲がり等を有しており、単にセラミックバーを固定して研磨加工を行うだけでは上記の高い加工精度を得ることは困難である。このため、一般的な研磨装置ではなく、例えば米国特許第５６２０３５６号等に開示されているような、セラミックバー形態で磁気ヘッドの研磨を高精度で行う装置が提案されている。また、本願出願人もこのような装置および方法をいくつか提案している（特願平１１−１６２７９９など）。
【０００６】
　上記セラミックバーに対して実際に行われている研磨方法について、以下に説明する。
　まず、セラミックバーの研磨面とは反対側の面を接着剤等により治具に貼り付け、治具を介してセラミックバーの被研磨面を研磨用定盤の研磨面に押しつけることで、被研磨面の研磨を行う。この治具は梁構造となっており、治具外部から治具上の３乃至７の特定の数点に荷重を付与することによって治具全体に変形を生じさせる。さらに、この梁構造は、上記荷重のバランス調整によるセラミックバーの固定された部分の複雑な変形を容易とし、セラミックバーをこの固定部分と同時に曲げることで、セラミックバー自体が持つ曲がり等の修正も可能とする。
【０００７】
　研磨時においては、治具に固定されたセラミックバー上の所定の素子部において、それらのスロートハイト等の値を光学的或いは電気的な方法で測定し、それら測定値と目標値との差即ち測定時において必要とされる研磨量を求める。得られた所定の素子部分およびその近傍部分における必要研磨量に基づいて、複数点での荷重を調整し、治具を介してセラミックバーを変形させながら研磨を行うという工程を繰り返すことで、セラミックバーに形成された全ての素子のスロートハイト等の値を所定の範囲内に納めている。
【０００８】
　治具の梁状部分には、ピン等が挿入可能な開口部が設けられている。上記工程における治具に対しての荷重は、低摩擦シリンダー等のアクチュエータによる荷重を伝達部品を介して治具の開口部に挿入されたピンに伝達すること与えられる。治具に対する荷重の調整は、このアクチュエータからの荷重すなわちアクチュエータの駆動量の調整によって行われる。なお、セラミックバーに対して効果的な変形或いは荷重分散をもたらす治具の具体例としては、本出願人による特願平１０−１７８９４９において開示されているものがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
　現在の磁気ディスク装置等の記録密度においては、上記治具を用いる磁気ヘッドの加工方法により、スロートハイト等の値をある程度の許容範囲に収めることは可能である。しかし、高記録密度化が進み、素子の小型化或いはスロートハイト等の高精度化がより進んだ現在においては、セラミックバー全長にわたってスロートハイト等の値を許容範囲に収めることが、困難となってきている。
【００１０】
　スロートハイト等の値の許容範囲がより狭くなった場合、例えば治具に変形をもたらす荷重の付加点を増加させてこれに対応することが考えられる。しかし、実際に荷重を与えるアクチュエータあるいは荷重の伝達部（付加点）等を増加させることとなるため、従来装置に用いられたアクチュエータ等が必要であるとすると、研磨装置の構成上アクチュエータ取付けのスペース等の大幅な増加が見込まれることから実行は困難である。また、素子の小型化にともなって、治具自体を小型化した場合には、必要となる荷重の付加点に対して荷重を与えるアクチュエータ等を必要な数だけ配置することが困難となる等の問題が生じうることが考えられる。
【００１１】
　さらに、従来の研磨方法においては、例えば梁の柱と荷重の付加点の間あるいは荷重の付加点同士の間は研磨面からの反力の影響があるためにセラミックバーを十分に変形させることができない。従って、従来においても、スロートハイト等の値の許容範囲によっては、この変形させ得ない部分は、許容範囲に収めることができなくなる場合があった。この問題に対しては、アクチュエータの数および荷重の付加点を増加による対応が試みられているが、上記に述べた問題によりその対応しうる許容範囲には限度があった。
【００１２】
　また、従来装置は、セラミックバーを研磨面に押圧する主たる押圧力を与えると共にセラミックバーの長手方向両端部の荷重バランスを調整するアクチュエータの他に、治具を変形させる３乃至７個のアクチュエータを有している。しかし実際に保持部分が必要量曲げられるためには、この３乃至７個のアクチュエータは必要曲げ量より大きなストロークを有する必要があり、従来装置において用いられるような常にストロークの大きい、装置構成上かなり大きなスペースをしめるアクチュエータを用いる必要があった。さらに、複雑な曲げを可能とする場合には、アクチュエータと連動するピンが挿入される治具上の開口部を大きくすることで、開口部に対してピンが上下、左右さらには回転方向のモーメントを与える形状とし、その上で各アクチュエータの複雑な駆動制御を行う必要がある。従って、従来装置は、セラミックバー上の極限られた部分に所定の変形量を与えるには不向きであった。
【００１３】
　本発明は、上記問題に鑑み、従来装置に比較して駆動ストロークの小さなアクチュエータ等を用い、セラミックバー等の加工（研磨）対象物に対して複雑な曲げ変形等を容易に与え、特定部分に対しても押圧力を付加することを可能とし、これにより加工（研磨）対象物の加工（研磨）工程において、加工（研磨）対象物の加工（研磨）量のばらつきを減少せしめる装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
　上記課題を解決するために、本発明に係る一方向に長い被加工物を加工する加工装置は、加工面を有して回転駆動される加工用定盤と、加工面に対して移動可能に配置された加工ヘッド取付け用フレームと、加工ヘッド取付けフレームに支持される加工ヘッドとを有し、加工ヘッドは、被加工物を保持する治具と、治具と一体で加工面に対して昇降する昇降部と、昇降部により支持される修正機構とを有し、修正機構は、昇降部に対して固定されるベースと、一端にピンが設けられた複数のレバーと、ベースに固定されてレバーを回転可能に支持する軸と、レバーの他端と結合してレバーを軸に対して枢動することによりピンを枢動する複数の修正用駆動手段とを有し、治具は、昇降部に固定される本体部と、本体部と接続されて被加工物を保持する一方向に長い保持部と、保持部上に一方向に並設された複数の荷重受け部とを有し、荷重受け部はピンを収容してピン各々の枢動に伴って駆動され、これにより保持部における荷重受け部に対応した部分が被加工物と共に変形されることを特徴としている。
【００１５】
　また、本発明においては、ピンの先端は、略球形状であることが好ましく、隣り合って配置されるレバーは各々異なる長さを有しすると共に複数の修正用駆動手段はレバーの長さに応じて軸からの距離がそれぞれ異なるように配置されることが好ましい。また、軸は、ピンに近接する位置においてレバーを支持することが好ましく、修正用駆動手段はＲＥＣプランジャーであることが好ましい。
【００１６】
　さらに、上記課題を解決するために、本発明に係る一方向に長い被加工物を加工する加工装置は、加工面を有して回転駆動される加工用定盤と、加工面に対して移動可能に配置された加工ヘッド取付け用フレームと、加工ヘッド取付けフレームに支持される加工ヘッドとを有し、加工ヘッドは、被加工物を保持する治具と、治具と一体で加工面に対して昇降する昇降部と、昇降部により支持される修正機構とを有し、修正機構は、昇降部に対して固定されるベースと、ベースに一端が固定された複数の修正用駆動手段と、修正用駆動手段に同軸で連結するシャフトと、シャフトから突出するピンとを有し、治具は、昇降部に固定される本体部と、本体部と接続されて被加工物を保持する一方向に長い保持部と、保持部上に一方向に並設された複数の荷重受け部とを有し、荷重受け部はピンを収容して修正用駆動手段の駆動に応じるピン各々の駆動に伴って駆動され、これにより保持部における荷重受け部に対応した部分が被加工物と共に変形されることを特徴としている。
【００１７】
　さらに、上記課題を解決するために、本発明に係る一方向に長い被加工物を加工する加工装置は、加工面を有して回転駆動される加工用定盤と、加工面に対して移動可能に配置された加工ヘッド取付け用フレームと、加工ヘッド取付けフレームに支持される加工ヘッドとを有し、加工ヘッドは、被加工物を保持する治具と、治具と一体で加工面に対して昇降する昇降部と、昇降部により支持される修正機構とを有し、修正機構は、昇降部に対して固定されるベースと、ベースに固定された複数の略枠状の部材と、略枠状の部材の中心線上に保持された複数の修正用駆動手段と、修正用駆動手段の駆動方向と平行に延在して一端が略枠状の部材に接続し他端にピンが設けられた複数のシャフトとを有し、治具は、昇降部に固定される本体部と、本体部と接続されて被加工物を保持する一方向に長い保持部と、保持部上に一方向に並設された複数の荷重受け部とを有し、荷重受け部は前記ピンを収容して修正用駆動手段の駆動に応じるピン各々の駆動に伴って駆動され、これにより保持部における荷重受け部に対応した部分が被加工物と共に変形されることを特徴としている。
【００１８】
　また、本発明においては、ピンの先端は、略球形状であることが好ましく、隣り合って配置されるシャフトは各々異なる長さを有し、修正用駆動手段はシャフトの長さに応じてピンからの距離がそれぞれ異なるように配置されることが好ましい。また、シャフトは修正用駆動手段と同一軸上に配置されることが好ましく、修正用駆動手段は圧電素子アクチュエータであることが好ましい。
【００１９】
　さらに、上記課題を解決するために、本発明に係る一方向に長い被加工物を加工する加工装置は、加工面を有して回転駆動される加工用定盤と、加工面に対して移動可能に配置された加工ヘッド取付け用フレームと、加工ヘッド取付けフレームに支持される加工ヘッドとを有し、加工ヘッドは、被加工物を保持する治具と、治具と一体で加工面に対して昇降する昇降部と、昇降部により支持される修正機構とを有し、修正機構は、一端にピンが設けられた前記ピンとは異なる凸部を有する複数のシャフトと、凸部をはさんで凸部の両側に一直線上に配置された一対の修正用駆動部材と、凸部および一対の修正用駆動部材を収容する凹部を有して昇降部に対して固定されるベースとを有し、一対の修正用駆動部材は直線上で凸部を駆動することによりシャフトおよびピンを直線と平行に駆動し、治具は、昇降部に固定される本体部と、本体部と接続されて被加工物を保持する一方向に長い保持部と、保持部上に一方向に並設された複数の荷重受け部とを有し、荷重受け部はピンを収容してピン各々の駆動に伴って駆動され、これにより保持部における荷重受け部に対応した部分が被加工物と共に変形されることを特徴としている。
【００２０】
　また、本発明においては、ピンの先端は、略球形状であることが好ましく、隣り合って配置される凸部の突出の大きさは各々異なり、凸部の大きさに応じて凹部の大きさおよび凹部各々に収容される修正用駆動部材の配置が定められることが好ましい。また、一対の修正用駆動部材は圧力媒体によって駆動される一対のピストンを有し、ベースは一対のピストンのそれぞれの後方に連通する一対の圧力媒体導入ポートを有することが好ましく、隣り合った一対の圧力媒体導入ポートは、ベースの所定の面から各々異なる距離に配置されることが好ましい。
【００２１】
　また、一対の修正用駆動部材の一方は圧力媒体によって駆動されるピストンを有し、他方は弾性体により構成され、ベースはピストンの後方に連通する圧力媒体導入ポートを有することが好ましく、隣り合った圧力媒体導入ポートは、ベースの所定の面から各々異なる距離に配置されることが好ましい。また、圧力媒体は圧力空気であることが好ましい。
【００２２】
　さらに、上記課題を解決するために、本発明に係る、一方向に長い被加工物を加工する加工装置は、加工面を有して回転駆動される加工用定盤と、加工面に対して移動可能に配置された加工ヘッド取付け用フレームと、加工ヘッド取付けフレームに支持される加工ヘッドとを有し、加工ヘッドは、被加工物を保持する治具と、治具と一体で加工面に対して昇降する昇降部と、昇降部により支持される修正機構とを有し、修正機構は、軸と、複数のレバーであって、一端にピンが設けられてピンとは異なる部分において軸により回転可能に支持される直線部と凸部を有して直線部と端部で結合する被駆動部とからなる複数のレバーと、凸部をはさんで凸部の両側に一直線上に配置された一対の修正用駆動部材と、凸部および一対の修正用駆動部材を収容する凹部を有して昇降部に対して固定されるベースとを有し、一対の修正用駆動部材は直線上で駆動することにより狭持する凸部を駆動し、これによりレバーおよびピンは軸を中心として枢動し、治具は、昇降部に固定される本体部と、本体部と接続されて被加工物を保持する一方向に長い保持部と、保持部において一方向に並設された複数の荷重受け部とを有し、荷重受け部はピンを収容してピン各々の枢動に伴って駆動され、これにより保持部における荷重受け部に対応した部分が被加工物と共に変形されることを特徴としている。
【００２３】
　また、本発明においては、ピンの先端は、略球形状であることが好ましく、隣り合って配置される凸部の突出の大きさは各々異なり、凸部の大きさに応じて凹部の大きさおよび凹部各々に収容される修正用駆動手段の配置が定められることが好ましい。また、一対の修正用駆動手段は圧力媒体によって駆動される一対のピストンを有し、ベースは一対のピストンのそれぞれの後方に連通する一対の圧力媒体導入ポートを有することが好ましく、隣り合った一対の圧力媒体導入ポートは、ベースの所定の面から各々異なる距離に配置されることが好ましい。
【００２４】
　また、一対の修正用駆動部材の一方は圧力媒体によって駆動されるピストンを有し、他方は弾性体により構成され、ベースはピストンの後方に連通する圧力媒体導入ポートを有することが好ましく、隣り合った圧力媒体導入ポートは、ベースの所定の面から各々異なる距離に配置されることが好ましい。また、圧力媒体は圧力空気であることが好ましく、ピストンの先端部は略球形状であることがより好ましい。
【００２５】
　さらに、本発明においては、治具は被加工物に形成された電気素子と接続する電極を有し、修正機構は電極と接触するプローブユニットを有することが好ましい。また、本発明においては、加工ヘッドはバランス用アクチュエータを有し、治具は本体部は長さ方向中央部および両端部において貫通穴を有し、治具は中央の貫通穴を貫通する固定ピンによって修正機構に支持され、バランス用アクチュエータは両端の位置決めピンを介して治具を加工面方向に押圧することが好ましい。
【００２６】
　また、本発明においては、加工ヘッドは、加工ヘッド取付けフレームに支持されて加工面と接触するアジャストリングを介して支持され、加工ヘッド取付けフレームに支持されて加工面に対向する角度がアジャストリングによって規制されることが好ましい。また、加工ヘッドは、加工ヘッド取付け用レールに対して回転可能に取付けられていることが好ましい。
更に、本発明に係る装置は、加工ヘッド揺動手段を有し、加工ヘッド揺動手段は加工ヘッドに所定角度範囲の往復回転運動を行わせることが好ましく、被加工物は磁気ヘッドが複数個形成された棒状セラミックであることがより好ましい。
【００２７】
　さらに、上記課題を解決するために、本発明に係る方法は、一方向に長い被加工物を治具に保持し、回転駆動される加工用定盤に形成された加工面に対して治具を介して被加工物を押圧することで被加工物を加工する方法であって、被加工物を加工面に対して押圧する際に、被加工物の複数点における加工量の測定をする工程と、測定された加工量に基づいて複数の修正用駆動手段により一端にピンを有する複数のレバーをピンと共に回転させ、治具に先端が収容されたピンの回転により治具と共に被加工物に対して所定の変形を与える工程とが行われることを特徴としている。
【００２８】
　さらに、上記課題を解決するために、本発明に係る方法は、一方向に長い被加工物を治具に保持し、回転駆動される加工用定盤に形成された加工面に対して治具を介して被加工物を押圧することで被加工物を加工する方法であって、被加工物を加工面に対して押圧する際に、被加工物の複数点における加工量の測定をする工程と、測定された加工量に基づいて複数の修正用駆動手段と同一軸上に配置されてピンを有する複数のシャフトを駆動し、治具に先端が収容されたピンの直線上の駆動により治具と共に被加工物に対して所定の変形を与える工程とが行われることを特徴としている。
【００２９】
　さらに、上記課題を解決するために、本発明に係る方法は、一方向に長い被加工物を治具に保持し、回転駆動される加工用定盤に形成された加工面に対して治具を介して被加工物を押圧することで被加工物を加工する方法であって、被加工物を加工面に対して押圧する際に、被加工物の複数点における加工量の測定をする工程と、測定された加工量に基づいて複数の直線上に配置された一対の修正用駆動手段により、ピンを有する複数のシャフトをピンと共に直線上で駆動させ、治具に先端が収容されたピンの直線上の駆動により治具と共に被加工物に対して所定の変形を与える工程とが行われることを特徴としている。
本実施の形態についても同様に行うことが可能である。
【発明の効果】
【００３０】
　本発明にかかる加工装置および加工方法によれば、セラミックバー等の加工対象物に対して複雑な曲げ変形等を与えることを可能とし、これにより加工対象物の加工時において、加工対象物の加工量のばらつきを減少せしめることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
（第１の実施の形態）
以下、本発明の第１の実施の形態に係る加工装置、すなわち磁気ヘッドの研磨装置を添付図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の磁気ヘッドの研磨装置を示す全体正面図であり、図２は平面図である。図１及び図２により、磁気ヘッドの研磨装置の全体構成を説明する。磁気ヘッドの研磨装置は、基台１を備え、この基台１には、加工用定盤である研磨用定盤２が水平面内で回転可能に支持され、さらに、この研磨用定盤２は基台１内に設けられた回転駆動源である定盤駆動用モータ４でベルト６を介して回転駆動される。
【００３２】
　また、上下方向に離間した１対のガイドレール８が水平方向に延びるように基台１の上方で支持され、さらに、１対のガイドレール８により水平方向に摺動自在に案内される横移動スライダ１０が設けられている。この横移動スライダ１０には加工ヘッド取り付けフレームである研磨ヘッド取付用フレーム１２が昇降自在に取付けられている（高さ調整自在に昇降駆動されるようになっている）。横移動スライダ１０の駆動は、例えばガイドレール８に平行なボール螺子軸にスライダ１０側のボール螺子ナットを螺合し、ボール螺子軸をモータで回転駆動することで実行することができ、さらに、スライダ１０及び研磨ヘッド取付用フレーム１２は往復直線運動を行うことができる。
【００３３】
　図３に示すように、研磨ヘッド取付用フレーム１２の内側には円環状軸受け部１４を介して回転支持部１６が回転自在に支持され、この回転支持部１６には、剛体である連結部材１８を介在させて加工ヘッドである研磨ヘッド２０が取付けられている。研磨ヘッド２０は、底板２２とこの上に平行に立設固定された垂直支持板２４とを有している。図２及び図３に示すように、回転支持部１６にはベルト車（プーリー）２８が固着され、研磨ヘッド取付用フレーム１２の外側には、ベルト車（プーリー）３０を回転駆動する研磨ヘッド揺動用モータ３２が取付けられている。ベルト車２８，３０間にはベルト３４が巻掛けられている。モータ３２、ベルト車２８，３０及びベルト３４は、研磨ヘッド２０に所定角度範囲の往復回転運動（揺動運動）を行わせる揺動手段として機能する。
【００３４】
　なお、本実施例においては、連結部材１８に剛体を用いることし、研磨ヘッド２０を研磨面２ａに対して略垂直方向に安定して保持することが可能である。しかし、研磨工程上研磨面２ａに対する研磨ヘッド２０の安定した姿勢の確保が困難な場合には、連結部材としてバネ、ゴム等の弾性体を用い、さらにアジャストリング用いて姿勢の保持の安定化を図っても良い。
【００３５】
　この場合、アジャストリング（ウエアーパッド）２６は研磨ヘッド２０の底板２２の底面に固着され、研磨用定盤２の上面である研磨面２aに接触するように配置される。図７はアジャストリングの一例としてその底面図を示す。図７に示すように、アジャストリング２６は、例えばアルミニウム製リング本体３６に多数の耐磨耗性セラミックの円柱状ダミー３８を埋設したもので、円柱状ダミー３８の下端面がリング本体３６から僅かに突出している。ここで、アジャストリング２６上に載置される研磨ヘッド２０の重量バランスに合わせて円柱状ダミー３８の個数を設定している。図７に示すアジャストリング２６の場合、研磨用定盤２に対接するアジャストリング２６の円弧状部分４０，４２のうち、円弧状部分４０の方が研磨ヘッド２０の荷重を多く受けるため、円柱状ダミー３８の個数が多くなっている。
【００３６】
　図３乃至図６に示すように、研磨ヘッド２０の垂直支持板２４の間には、研磨用定盤２の下面に対して平行な傾動軸４４が設けられており、この傾動軸４４を中心として研磨ヘッド２０に対して傾動可能に傾動部４６が枢着されている。
【００３７】
　図５及び図６に示すように、研磨ヘッド２０の垂直支持板２４には、モータ取付用台座部４８の下部が支点軸５０で回転自在に取付けられており、さらに、モータ取付台座部４８の上部に傾動用モータ５２が固定されている。モータ５２の回転駆動軸にはボール螺子軸５４が連結され、このボール螺子軸５４にボール螺子ナット５６が螺合している。ボール螺子ナット５６には、支点軸６０で、傾動部４６にその一端が固定されたのアーム５８の他端が連結されている。これらの支点軸５０乃至支点軸６０までの機構は、傾動部４６をそれが研磨用定盤２の研磨面２aに対し垂直面となった状態から所定角度だけ傾斜させる傾動部駆動手段を構成している。
【００３８】
　傾動部４６には、スライド軸受（クロスローラガイド）６２を介して昇降部６４が傾動部４６に対して昇降可能に取付けられている。ここで、昇降部６４の傾斜方向の動きは傾動部４６と一体的に行われるため、傾動部４６と昇降部６４とは常に平行状態が保たれている。この昇降部６４の下端部には、研磨用定盤２の下面に対して平行で傾動軸４４に直交する支点軸６６でバックプレート６８が枢着されている。
【００３９】
　図３及び図５に示すように、傾動部４６の上部には、バランス用アクチュエータ７０Ａ ，７０Ｂが、ブラケット７２を介して取付けられている。これらのバランス用アクチュエータ７０Ａ,７０Ｂは、バックプレート６８の支点軸（長さ方向中央部分）の左側及び右側をそれぞれ上方に引き上げる（引圧の付加）と共にバックプレート６８に作用する荷重を制御するためのものである。
【００４０】
　本実施例に示すバランス用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂは、電磁式のＲＥＣプランジャであって、フレーム７４Ａ、７４Ｂと、このフレーム７４Ａ、７４Ｂの内側に取り付けられて固定部を形成するコイル７６Ａ、７６Ｂと、アクチュエータ７０Ａ、７０Ｂの中心部に取り付けられて可動部を形成する磁石７８Ａ、７８Ｂと、この磁石７８Ａ、７８Ｂの中心に一体的に取り付けられたロッド８０Ａ、８０Ｂとから構成される。ロッド８０Ａ、８０Ｂの下端には、断面Ｌ字型の昇降部材８２Ａ、８２Ｂが、フレーム７４Ａ、７４Ｂに取り付けられたスライド軸受８４Ａ、８４Ｂに沿って昇降可能に接続されている。昇降部材８２Ａ、８２Ｂの下端側とバックプレート６８の左側及び右側との間は連結用リンク８８Ａ、８８Ｂによりそれぞれ連結されている。ここで、磁石７８Ａ、７８Ｂの移動方向とバックプレート６８に作用する力の方向とは、お互いに平行となる。
【００４１】
　実際の研磨時においては、バランス用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂによって、被研磨物９２の研磨面２ａに対する主たる押しつけ荷重の調整が行われ、同時に被研磨物９２の長手方向における押しつけ荷重のおおまかなバランスの調整が行われる。本実施例においては、具体的には、被研磨物９２の長手方向における被研磨部分および研磨量の大きさのばらつきに応じて、アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂにより、被研磨物９２に対しては主として上方に引き上げる力（引圧力）を作用させているが、各部分の必要研磨量に応じて押圧力（被研磨物９２を研磨面に押しつける方向の力）を部分的に作用させても良い。
【００４２】
　研磨時に、被研磨物９２の曲がり等を治具９４を介して実際に修正する修正機構１００は、バックプレート６８に対して固定され、修正機構１００自体がバランス用アクチュエータ７０Ａ、７０Ｂによって駆動される。以下に修正機構１００の詳細について述べる。
【００４３】
　図８，図９および図１０に本実施の形態に係る修正機構１００の平面図、正面図および側面図をそれぞれ示す。ベース１０１がネジ等によってバックプレート６８に略平行となるように固定され、これによって修正機構１００自体がバックプレート６８に固定されることとなる。ベース１０１にはその上部においてホルダ１０２を介してブラケット１０３が固定され、ブラケット１０３の両側面がバックプレート６８に対して略平行に配置される。ブラケット１０３の両側面にはプレート１０４および１０５が平行に固定されており、これら２枚のプレートに挟まれることにより、複数の修正用駆動手段である修正用アクチュエータ１０６が所定の位置に保持される。
【００４４】
　図１１に修正機構１００の駆動部分の構成を示す側面図を示す。図に示すように、修正用アクチュエータ１０６は、その駆動部分が、ジョイント１１８およびピン１１７を介して、駆動方向と略直角方向に延在するレバー１１３の一端に連結されている。さらに、レバー１１３は、ベース１０１に固定された軸１１１によってベアリング１１２を介して回動可能に支持されており、修正用アクチュエータ１０６の駆動によって軸１１１を中心に回動する。レバー１１３は、軸１１１を回動の中心として、上記駆動部分との連結部とは逆の端部にピン１１３ａが設けられている。
【００４５】
　本実施の形態においては、軸１１１がレバー１１３を支持する位置をピン１１３ａの近傍に設けてあり、これにより修正用アクチュエータ１０６から得られる駆動力を梃子の原理による増幅すると共に、ピン１１３ａに対しての細かな制御を可能としている。ピン１１３ａの先端は、球形状に加工されており、これら先端は修正用アクチュエータ１０６の駆動により、アクチュエータの駆動方向とは略垂直となる方向（研磨面２ａに対して略垂直方向）に駆動される。
【００４６】
　なお、隣り合うピン１１３ａの間隔は本実施の形態において用いた修正用アクチュエータ１０６の大きさ（この場合は径）に比較して小さいため、単純に修正用アクチュエータ１０６を平行に並べて配置することはできない。そこで、図１１に示すように、レバー１１３の長さを各々異ならせることによって、修正用アクチュエータ１０６各々を互い違いに配置し、修正用アクチュエータ１０６の保持スペースを設けている。この場合、レバー１１３各々の長さの相違によってピン１１３ａの先端の駆動量も異なってしまうが、本実施の形態においては、あらかじめ修正用アクチュエータ１０６それぞれの駆動ストロークを所定範囲に規制しておくと同時に、ピン１１３ａの実駆動量を算出する際の計数を異ならせることにより、先端の駆動量を一定にしている。
【００４７】
　図６あるいは９に示すように、ベース１０１の下部には、長さ方向の中央部および両端部においてバックプレート６８とは逆の方向に突出する固定ピン１０７および１対の位置決めピン１０７ａが各々平行に固定されている。複数の抵抗測定端子１２８等からなるプローブユニット１０９、１１０を有するブラケット１０８は、これら一対の位置決めピン１０７ａを用いて固定される。被研磨物９２を保持する治具９４は、固定ピン１０７および位置決めピン１０７ａの両方を用いて、ブラケット１０８をベース１０１に対して挟み込むように保持される。
【００４８】
　治具９４は、例えば図１２に正面図を示すように、一方向に長い本体部１３１，本体部１３１と平行に配置される本体部１３１とほぼ同じ長さを有する保持部１３２，本体部１３１と保持部１３２とをその長さ方向の両端部において連結する連結部１３３，１３４とから一体として枠状に構成されている。本体部１３１には固定ピン１０７ａおよび位置決めピン１０７が貫通するための穴１２０、１２０ａが設けられかつベース１０１に対して固定される。保持部１３２は、枠の内側となる部分に複数の荷重受け部１４５が長さ方向に並べて配置されており、枠の外側となる部分において被研磨物９２を保持する。
【００４９】
　荷重受け部１４５は、各々その中央部に荷重受け穴１４６が設けられており、治具９４をベース１０１に固定した際に、荷重受け穴１４６にはピン１１３ａの先端の球状部分がはまりこむ。修正用アクチュエータ１０６の駆動に伴って、ピン１１３ａの先端部は荷重受け穴１４６の周部分を押圧し、荷重受け部１４５を上下方向に駆動させる。この荷重受け部１４５の移動によって保持部１３２を部分的に変形させ、同時に被研磨部９２に対しても局部的な変形を与える。
【００５０】
　なお、ピン１１３ａの先端部は、上下方向に直線移動するのではなく、レバー１１３の軸１１１周りの円弧状の回動に従い、円弧状の軌跡を描いて上下方向に移動する。このため、本実施の形態においては、先端部を球形状とすることにより、先端部が荷重受け穴１４６の周部分に対して滑ることを可能とし、荷重受け部１４５の先端部に対しての滑らかな動きを可能としている。
【００５１】
　保持部本体１３２に固定される被研磨物９２は、細長い角棒状セラミックバー（個々に切り離されて薄膜磁気ヘッドのスライダとなる）に磁性薄膜パターンからなる多数の磁気ヘッドの素子部を１列に配置したものであり、これらの素子部の磁性薄膜パターンはセラミックバーの一方の長手側面上に配列されている。従って、セラミックバーの底面を研磨することにより、上述の長手側面上に形成された素子部におけるスロートハイトおよびＭＲハイトを小さくすることができる。
【００５２】
　先にも述べたように、被研磨物９２には歪みや湾曲等が存在しており、被研磨物９２を研磨する際にはこれら歪み等を修正した上で研磨を行う必要がある。本実施の形態においては、被研磨物９２の長手方向における各位置で必要とされる曲げ変形の量は、横長治具９４に設けられた荷重受け部１４５をそれぞれ必要量上下方向に駆動することにより修正される。
【００５３】
　従って、研磨時において、荷重受け部１４５の必要駆動量、すなわち被研磨物９２の曲げ変形の量を求める必要がある。研磨時において必要とされる変形量を求め、その値に基づいて修正用アクチュエータ１０６を駆動する具体例について次に述べる。本実施の形態においては、セラミックバーの長手側面に素子以外の付加電極を設けている。この付加電極は、セラミックバーの研磨にともなってその大きさを減じ、抵抗値を増加させる。本発明の実施の形態においては、付加電極の抵抗値の変化をモニターすることにより、モニター時点での研磨量を求め、得られた研磨量に基づいてさらに必要な変形量を求める、いわゆるクローズドループ制御による研磨を行うことで被研磨物９２における研磨量の管理を行うこととしている。
【００５４】
　このために、横長治具９４のブラケット１０８との対向面には、ワイヤーボンディングにより付加電極に電気的に接続された電極があらかじめ形成してある。ブラケット１０８上のプローブユニット１０９，１１０には、バネ等によって付勢される測定用ピン１２８が植設されており、横長治具９４をベース１０１に固定する際に、上記電極と測定用ピン１２８とが接触する。さらに測定用ピン１２８は不図示の抵抗値測定手段に接続されており、横長治具９４のベース１０１への固定によって付加電極の抵抗値測定が可能となる。
【００５５】
　具体的な抵抗値測定手段およびアクチュエータ１０６の制御手段の構成について次に述べる。図１３に、上記測定手段および制御手段を含む、測定された付加電極の抵抗値に基づいて修正用アクチュエータ１０６を駆動させるための制御ブロック図を、図１４に測定および多重化基板２２０のブロック図詳細を、図１５にアクチュエータ駆動用基板ブロック図詳細をそれぞれ示す。なお、本実施の形態においては、四端子法による抵抗測定を行っているため、複数の測定用ピン１２８を単一の付加電極２０１に接触させている。
【００５６】
　測定および多重化基板２２０により、測定用ピン１２８を介して付加電極２０１より得られた電圧は、公知の四端子測定に用いられる演算に基づき抵抗値として変換される。さらに、これら抵抗値は、デジタルデータとして変換、多重化がなされ、マイクロコンピュータ２１０の入出力端子２１１に入力される。さらに、コンピュータ２１０において入力されたデータを用いて被研磨物９２の研磨量が算出され、オペレータに対してその研磨量が示される。
【００５７】
　上述の、抵抗値の測定からデジタルデータの出力までの信号処理に関して、図１３を参照してより詳細に述べる。測定および多重化基板２２０においては、複数の測定用ピン１２８に対して定電流電源２２１からの電流の供給、各ピン間の電圧の測定、演算部２２３において測定値と校正用抵抗２２２の値との比較に基づく数値演算が連続的に行われ、付加電極の抵抗値が得られる。得られた値はさらにＡ／Ｄ変換器２２４によりデジタルのデータとして変換される。
【００５８】
　以上の手順により変換後のデジタルデータから、被研磨面９２ａ上での測定された付加電極の形成部分およびその近傍における必要な研磨量が求められる。次に必要量の研磨を行うために、各荷重受け部１４５が必要とする駆動量がコンピュータ２１０において駆動量データとして求められる。コンピュータ２１０からは、入力端子２１１を介してアクチュエータ駆動用基板２３０に対してア駆動量データが入力される。
【００５９】
　それらデータは、アクチュエータ駆動用基板２３０において制御信号に変換され、その制御信号を受けた駆動電流出力装置２３２から各修正用アクチュエータ１０６に駆動電流が出力される。各修正用アクチュエータ１０６はその出力に応じて、横長治具９４の荷重受け部１４５の駆動によって被研磨物９２に与えられる変形量を微調整し、これにより被研磨物９２の研磨面２ａへの長手方向の各位置での研磨量のバランスを微調整する。
【００６０】
上述ように、修正用アクチュエータ１０６をクローズドループにより制御することにより、研磨量をモニターしながらの研磨が可能となり、研磨量のばらつきの許容範囲がより小さくなった場合に対しても対応することが可能となる。なお、付加電極を用いず、実際の素子の抵抗、例えばＭＲ値から研磨量を求めることも可能である。
【００６１】
　次に、本発明の実施の形態における実際の装置の動作及び研磨方法を説明する。まず、図１及び図２に示す研磨ヘッド２０が研磨用定盤２から外れた位置にて、薄膜磁気ヘッド用の素子が複数配列されてなる被研磨物９２を保持した横長治具９４を、固定ピン１０７および位置決めピン１０７ａを用いてベース１０１に対して固定する。その際、付加電極と横長治具の側面９４ａに設けられた電極とは、すでにワイヤーボンディングがなされており、測定用ピン１２８が上記電極と接触することとなる。
【００６２】
　また、各々のレバー１１３のピン１１３ａは、その先端部分全てが治具９４の荷重受け穴１４６にはまりこむ。その後、研磨ヘッド２０に対するバックプレート６８の傾斜角度を当初は零度（アジャストリングを用いた場合は、アジャストリング２６の底面に垂直、つまり研磨用定盤２ａに対して垂直な姿勢）に設定する。
【００６３】
　ここで、被研磨物の構成によって、例えば所定のスロートハイトを得るためには非常に大きな研磨量を要する被研磨物上の配置に素子等が作り込まれている場合には、上記取付け作業の前に、あらかじめ他の装置にて大まかな研磨を行う場合もある。本実施例においては、この場合、被研磨物９２を横長治具９４に保持させた状態でこの荒研磨を行うのではなく、その他の治具（不図示）に被研磨物９２を固定して荒研磨を行うこととしているが、横長治具９４を用いて荒研磨を行うこととしても良い。荒研磨終了後、被研磨物９２は治具から取りはずされ、改めて横長治具９４に固定される。
【００６４】
　このバックプレート６８の傾斜設定及び横長治具９４の取付け終了後、研磨ヘッド２０を取付けた研磨ヘッド取付用フレーム１２をガイドレール８に沿って直線移動して、回転駆動されている研磨用定盤２の上方に位置させる。さらに、研磨用定盤２上面の研磨面２ａに対して被研磨物９２を当接させるために、研磨ヘッド取り付けフレーム１２を加工させる。アジャストリング２６を用いた場合は、その下面に埋設された複数の円柱状ダミー３８の下面の一部が、研磨用定盤２上面の研磨面２aに対接し適切な押圧力でその一部が接触するように研磨ヘッド取付用フレーム１２を下降させる。
【００６５】
　さらに、バランス用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂを駆動させ、バックプレート６８の左側および右側に対して作用する各々平行な押圧力を調整し、被研磨物９２が研磨面２ａに対して略平行に押圧された状態とする。本実施の形態においては、主たる押圧力はこれらバランス用アクチュエータ７０Ａ、７０Ｂから得ることとするが、この段階では左右のバランス用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂは被研磨物９２の両端部を研磨面２ａに接触させた状態に固定するようにバックプレート６８を支持する程度の押圧力を与えた状態とする。なお、この調整は、目視によって行っても良く、接触センサー等を用いても良い。また、あらかじめ被研磨物９２の大まかな曲がりを測定し、その測定結果に応じて曲がりを修正するようにバランス用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂによる押圧力のバランスを調整しても良い。
【００６６】
　この状態にて、被研磨物９２の研磨を実行する。研磨開始から、付加電極の抵抗測定による研磨量の測定が随時行い、研磨工程各時点での各付加電極形成位置における必要研磨量が求められる。この求められた必要研磨量に応じて、各々の修正用アクチュエータ１０６即ち加重受け部１４５の駆動量が制御され、求めるスロ−トハイト等を得ることとする。なお、被研磨物の曲がりが大きくかつ単なる円弧状のような単純なものであり、必要研磨量のばらつきが大きくなる場合には、バランス用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂによる変形量のバランスの調整を先に行い、その後マイクロアクチュエータの駆動量調整を行うことが好ましい。
【００６７】
　なお、アジャストリングを用いた場合、研磨工程中、アジャストリング２６の同じ所が研磨用定盤２に接触していると偏摩耗を引き起こすため、研磨ヘッド２０及びアジャストリング２６が取付けられた回転支持部１６を研磨ヘッド揺動用モータ３２により所定角度範囲で往復回転させるとともに、研磨ヘッド取付用フレーム１２を所定範囲で往復直線運動させている。従って、研磨工程中、研磨ヘッド２０及びアジャストリング２６は往復回転運動と往復直線運動が重畳した運動を行うことになる。
【００６８】
　以上の方法により、被研磨物であるセラミックバーの曲がりを、より詳細に修正して研磨を行うことが可能となり、セラミックバー全長にわたってスロートハイト等の値を許容範囲に収めることが可能となる。
【００６９】
　なお、本実施の形態においては、バランス用アクチュエータ７０Ａ、７０ＢとしてＲＥＣプランジャを有する研磨ヘッドを用いているが、バランス用アクチュエータはこれに限られず、電磁式等種々の低摩擦シリンダーを用いることも可能である。また、本実施の形態においては、二つのアクチュエータを用い、修正用アクチュエータ１０６の駆動ストローク不足を賄うことを可能としているが、修正用アクチュエータの駆動ストロークをより効率的に賄うためにバランス用アクチュエータの数を増加させても良い。また、修正用アクチュエータ１０６自身の駆動ストロークが十分に大きい場合には、バランス用アクチュエータをなくし、単一の引圧若しくは押圧用アクチュエータのみからなる装置構成とすることも可能である。
【００７０】
　さらに、本実施の形態においては、修正用アクチュエータにＲＥＣプランジャーを用いたが本発明はこれに限定されるものではなく、圧空式あるいは電磁式のシリンダー等から構成されるものであっても良い。また、本実施の形態においては、軸１１１がレバー１１３をピン１１３ａの近傍で支持することとしているが、支持位置はこれに限定されるものではなく、修正用アクチュエータ１０６およびピン１１３ａの駆動ストロークおよび駆動負荷を考慮して、例えば修正用アクチュエータ１０６の近傍等、様々な配置とすることが可能である。また、修正用アクチュエータ１０６のプレート１０４、１０５に対しての取り付け配置、およびレバー１１３の長さ等は、本実施の形態に限定されるものではなく、アクチュエータ１０６の大きさと隣り合うピン１１３ａの間隔との差に応じて構成されることが望ましい。
【００７１】
　また、本実施の形態におけるクローズドループによる制御は、各マイクロアクチュエータについてのみ行っているが、例えば求められた必要研磨量が、マイクロアクチュエータの駆動範囲以上となる場合も起こり得る。この場合の対策として、求められた必要研磨量が所定値より大きい場合には、一端バランス用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂのみによる被研磨物の曲がり修正を行い必要研磨量を減少させるサブルーチンにはいることとし、その後改めて上記クローズドループによるマイクロアクチュエータの制御を行う構成としても良い。
【００７２】
　また、本実施の形態においては、被研磨物９２の横長治具９４或いはトランスファー治具への固定、およびトランスファー治具の横長治具９４への固定は、熱可塑性の接着剤により行っているが、本発明はこれに限定されるものではなく、熱硬化性等その他の種類の接着剤、樹脂等からなる粘着材、静電吸着、真空吸着等による固定としても良い。
【００７３】
　また、上記実施の形態は、研磨加工のみについて述べたが、本発明が研磨加工のみならず、検索加工或いはポリッシング加工等に対しても適用可能であることは、当業者にとって自明であろう。さらに、本発明は上記発明の実施の形態の記述に限定されることなく、各請求項記載の範囲内において、各種の変形、変更が可能なことは、当業者にとって自明であろう。
【００７４】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドの研磨装置を添付図面を参照して説明する。尚、第１の実施の形態と第２の実施の形態とにおける相違点は、曲げ修正機構１００と曲げ修正機構２００との構成についてのみであるため、装置全体の構成における修正機構１００および２００以外の部分、および被研磨物９２の必要研磨量の検出に関する制御ブロック等について説明はここでは省略する。以下に、本発明の第２の実施の形態に係る修正機構２００の詳細について述べる。
【００７５】
　図１６に、本実施の形態に係る研磨ヘッドの側面図を、図１７，図１８および図１９に本実施の形態に係る修正機構２００の平面図、正面図および側面図をそれぞれ示す。本実施の形態に係る修正機構２００は、ベース１５０、ホルダ１５１，額縁状の部材であるアクチュエータホルダ１５２，修正用駆動手段である修正用アクチュエータ１５３，固定ピン１５４、位置決めピン１５４ａ、ガイドブラケット１５５、シャフト１５６及びピン１５７とから構成される。ベース１５０は、ネジ等によってバックプレート６８に略平行に固定され、これによって修正機構２００自体がバックプレート６８に固定されることとなる。
【００７６】
　ベース１５０には、その上部においてホルダ１５１が固定され、ホルダ１５１は複数のアクチュエータホルダ１５２をバックプレート６８に略平行に保持する。各々のアクチュエータホルダ１５２は額縁状の形状を有しており、その額縁形状の中央空間部分において、バランス用アクチュエータ７０Ａ、７０Ｂの駆動方向と同じ方向に駆動可能となるように、修正用アクチュエータ１５３を保持する。アクチュエータホルダ１５２は、弾性変形可能な材質からなり修正用アクチュエータ１５２の伸縮駆動に応じて、修正用アクチュエータの駆動方向に伸縮駆動される。アクチュエータホルダ１５２は、修正用アクチュエータ１５３の略直上においてホルダ１５１に固定され、略直下において修正用アクチュエータ１５３の駆動方向に延在するシャフト１５６の一端を保持する。
【００７７】
　ベース１５０には、その下部において、ガイドブラケット１５５及び被研磨物９２を保持する治具９４の固定する固定ピン１５４および固定位置を規制する位置決めピン１５４ａが固定される。上記シャフト１５６はガイドブラケット１５５に設けられたガイド穴１５５ａを貫通し、これにより修正用アクチュエータ１５３の駆動に伴うシャフト１５６の上下駆動はガイド穴１５５ａによって駆動方向以外ににぶれることが防止される。シャフト１５６の他端には、ベース１５０とは逆の方向に突出するピン１５７が設けられている。本実施例においては、ピン１５７の先端は、球形状に加工されており、これら先端は修正用アクチュエータ１５３の駆動により、アクチュエータの駆動方向とは略平行となる方向（研磨面２ａに対して略垂直方向）に駆動される。
【００７８】
　図１９に破線で示すように、被研磨物９２を保持する治具９４は、位置決めピン１５４ａを用いて、ブラケット１５５をベース１５０に対して挟み込むように位置決めし、固定ピン１５４を用いて固定、保持される。なお、本実施例においては、ガイド穴１５５ａ等の加工のために抵抗測定端子１２８に対しての十分な数の接点を得ることができなかったために、ガイドブラケット１５５に対して複数の抵抗測定端子１２８等からなるプローブユニット１０９、１１０を直接設けていない。このため、第１の実施の形態とは異なり、プローブユニット１０９，１１０は取り外し可能なガイドブラケット１５５とは別個のユニットとし、治具９４のガイドブラケット１５５に対する対向面とは逆の面に固定ピン１５４を用いてこれを固定することとしている。
【００７９】
　治具９４は、ワイヤーボンディングにより付加電極に電気的に接続された電極があらかじめ形成してある面が、ガイドブラケット１５５の対向面とは逆の面となること以外は、第１の実施の形態に例として示すものを用いることが可能である。すなわち、治具９４をベース１５０に固定した際に、荷重受け穴１４６にはピン１５７の先端の球状部分がはまりこむ。修正用アクチュエータ１５３の駆動に伴って、ピン１５７の先端部は荷重受け穴１４６の周部分を押圧し、荷重受け部１４５を上下方向に駆動させる。この荷重受け部１４５の移動によって保持部１３２を部分的に変形させ、同時に被研磨部９２に対しても局部的な変形を与える。
【００８０】
　なお、隣り合うピン１５７の先端部の間隔は本実施の形態において用いた修正用アクチュエータ１５３の大きさ（この場合は伸縮駆動方向と垂直となる方向の断面積）に比較して大きいため、単純に修正用アクチュエータ１５３を平行に並べて配置することが可能である。しかし、修正用アクチュエータ１５３の大きさに対してピン先端部分の間隔を小さくする必要が生じた場合には、修正用アクチュエータ１５３各々を互い違いに配置し、修正用アクチュエータ１５３の保持スペースを設けることとしても良い。
【００８１】
　また、本実施の形態においては、アクチュエータホルダ１５２を額縁（枠）形状とし、その中心線上に修正用アクチュエータ１５３およびシャフト１５６を配置し、さらに中心線上でホルダ１５１に保持されることとしている。しかし本実施の形態はこれに限定されるものではなく、アクチュエータホルダの形状は修正用アクチュエータの剛性を補償可能であれば、例えば、コの字状等様々な形状とすることが可能であり、さらに、修正用アクチュエータ自身の剛性が高い場合にはアクチュエータホルダを除く構成としても良い。また、上述の配置は、ピン先端に加わるモーメント等を考慮して、それぞれずらせた配置としても良い。
【００８２】
　また、本実施の形態においては、修正用アクチュエータ１５３に圧電素子アクチュエータを用いているが、修正用アクチュエータはこれに限定されるものではなく、プローブユニット１０９，１１０の配置に関しても、供しうる抵抗測定端子１２８との接点の数に応じて第１の実施の形態と同一の配置としても良い。さらに、バランス用アクチュエータの構成の変形等、第１の実施の形態において述べた実施の形態における各構成の変形等は、本実施の形態についても同様に行うことが可能である。
【００８３】
（第３の実施の形態）
　第２の実施の形態においては、ピン部分１５７ａの先端部は、修正用アクチュエータ１５３の変形に応じて上下方向に直線移動する。このため、第２の実施の形態においては、修正用アクチュエータ１５３の駆動量は第１の実施の形態に比較して少なくてすむと共に、圧電素子をアクチュエータとして用いたことによりホルダー１５２に対して大きな変形力を精度良く与えることが可能であるという利点がある。しかし、変形量が比較的小さい圧電素子を用いたことにより、与えうる変形量が修正用アクチュエータのみでは不足する恐れもある。そこで、第３の実施の形態においては、修正用アクチュエータとしてエアシリンダーを用いることとした。
【００８４】
　本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドの研磨装置を添付図面を参照して説明する。尚、第１の実施の形態と第３実施の形態とにおける相違点は、曲げ修正機構１００と曲げ修正機構３００との構成についてのみであるため、装置全体の構成における修正機構３００以外の部分、および被研磨物９２の必要研磨量の検出に関する制御ブロック等について説明はここでは省略する。以下に、本発明の第３の実施の形態に係る修正機構３００の詳細について述べる。
【００８５】
　図２０に、本実施の形態に係る研磨ヘッドの側面図を、図２１，図２２および図２３に本実施の形態に係る修正機構３００の平面図、正面図および図２２における線２３−２３に関する断面図をそれぞれ示す。本実施の形態に係る修正機構３００は、ベース３０１、シリンダーシリンジ３０２，３０３，ピストン３０４、３０５，ガイドブラケット３０６、固定ピン３０７、位置決めピン３０７ａおよびシャフト３０８とから構成される。
【００８６】
　ベース３０１は、その上部のみにおいてネジ等によってバックプレート６８に略平行に固定され、これによって修正機構３００自体がバックプレート６８に固定されることとなる。ベース３０１下部には、バックプレート６８側とは逆の面（以下表側面）に上面３２１ａ、底面３２１ｂおよび縦面３２１ｃからなる凹部３２１が形成されている。また、バックプレート側の面（以下裏側面）には圧力媒体導入ポートである加圧気体導入ポート３２３，３２４が設けられ、当該ポートより導入される加圧気体は、ベース３０１内部に形成された媒体流路である気体流路３２５，３２６をへて、それぞれ上面３２１ａおよび底面３２１ｂから凹部３２１に導入される。
【００８７】
　すなわち、本実施の形態においては、加圧気体により駆動されるピストンおよびピストンを収容するシリンダーシリンジにより修正用駆動部材を構成し、一対の修正用駆動部材によって修正用駆動手段が構成される。
【００８８】
　ガイドブラケット３０６にはバランス用アクチュエータ７０Ａ、７０Ｂの駆動方向（以下縦方向）にガイド溝が設けられており、ガイド溝が形成された面側をベース３０１の表面側に対向させて固定することによって、当該ガイド溝においてシャフト３０８を縦方向に摺動可能に保持する。シャフト３０８は凹部３２１に収容される凸部３０８ａを有し、縦方向下部において縦方向とは異なる方向に突出するピン３０８ｂを有している。凹部３２１は、凸部３０８ａの縦方向上下において凸部３０８ａに当接するピストン３０４，３０５、およびピストン３０４，３０５をそれぞれ縦方向に駆動可能に収容するシリンダーシリンジ３０２，３０３とをさらに収容している。
【００８９】
　例えば、加圧気体導入ポート３２３に加圧気体を導入した場合、気体流路３２５を経て上面３２１ａに達した加圧気体は、シリンダーシリンジ３０２内のピストン３０４を縦方向下方に駆動する。シャフト３０８の凸部３０８ａにはピストン３０５も当接しているが、この場合、ピストン３０４が凸部３０８ａを下方に駆動する力の方が強いためシャフト３０８およびピン３０８ｂは下方に駆動される。また、シャフト３０８およびピン３０８ｂを上方に駆動する場合には加圧気体導入ポート３２４に加圧気体を導入すれば良く、ポート３２３とポート３２４とに導入する気体の圧力バランスの調整によりシャフト３０８およびピン３０８ｂの駆動量の調整が可能である。
【００９０】
　図２３に破線で示すように、被研磨物９２を保持する治具９４は、位置決めピン３０７ａを用いて、ガイドブラケット３０６をベース３０１に対して挟み込むように位置決めし、固定ピン３０７を用いて固定、保持される。なお、本実施例においては、ガイド溝等の加工のために抵抗測定端子１２８に対しての十分な数の接点を得ることができなかったために、ガイドブラケット３０６に対して複数の抵抗測定端子１２８等からなるプローブユニット１０９、１１０を直接設けていない。このため、第１の実施の形態とは異なり、プローブユニット１０９，１１０は取り外し可能なガイドブラケット３０６とは別個のユニットとし、治具９４のガイドブラケット３０６に対する対向面とは逆の面に固定ピン３０７を用いてこれを固定することとしている。
【００９１】
　治具９４は、ワイヤーボンディングにより付加電極に電気的に接続された電極があらかじめ形成してある面が、ガイドブラケット３０７の対向面とは逆の面となること以外は、第１の実施の形態に例として示すものを用いることが可能である。すなわち、治具９４をベース３０１に固定した際に、荷重受け穴１４６にはピン３０８ｂの先端の球状部分がはまりこむ。ピストン３０４，３０５の駆動に伴って、ピン３０８ｂの先端部は荷重受け穴１４６の周部分を押圧し、荷重受け部１４５を上下方向に駆動させる。この荷重受け部１４５の移動によって保持部１３２を部分的に変形させ、同時に被研磨部９２に対しても局部的な変形を与える。
【００９２】
　なお、隣り合うピン３０８ｂの間隔は、本実施の形態において用いたピストン３０４，３０５の大きさ（この場合は駆動方向と垂直となる方向の断面積）あるいは加圧気体導入ポート３２３，３２４の大きさ（より正確にはポートに対して加圧気体導入用のチューブを接続する際に用いられるコネクタの外径）に比較して大きいため、単純にこれらを平行に並べて配置することが可能である。しかし、これらピストンあるいはポートの大きさに対してピン先端部分の間隔を小さくする必要が生じた場合には、隣り合ったピストンの配置すなわちピストンを収容する隣り合った凹部の配置を各々を互い違いに配置する、隣り合ったポートの配置各々を互い違いとする、あるいはこれらこれらを組み合わせることとしても良い。
【００９３】
　参考としてこれらを組み合わせた例を、図２４および２５に示す。図２４はベース３０１を裏面側から見た図であり、図２５はポートの配置が互い違いとされていない実施の形態の図２３に対応するものである。図２４から明らかなように、並列にポート３２３，３２４を配置した場合に対して大幅にポートの数を増加することが可能となっている。さらに、図２５に示すように、ポート３２３，３２４の配置をずらすだけでなく、隣り合った凹部３２１の深さも異ならせ、シリンダーシリンジおよびピストンも並列ではなく互い違いに配置することとしている。このような構成を採用することにより、ピストンあるいはポートの大きさによらず隣り合ったピン３０８ｂの間隔を小さくすることが可能となる。
【００９４】
　上述の、変形例におけるポートあるいはピストンの配置はあくまで一例であり、これらの配置をより複雑にずらすことによって、隣り合うピン間隔をより小さくすることが可能である。また、本実施例においては駆動源として圧力気体を用いているが、油圧等の液体によるものとしても良い。また、本実施例においては修正用駆動手段は、ピストン、シリンダーシリンジ等からなる修正用駆動部材一対から構成されることとしているが、一方の修正用駆動部材はピストン、シリンダーシリンジ等からなり、他方の修正用駆動部材はバネ、ゴム等の弾性材量からなる構成としても良い。さらに、バランス用アクチュエータの構成の変形等、第１の実施の形態において述べた実施の形態における各構成の変形等は、本実施の形態についても同様に行うことが可能である。
【００９５】
（第４の実施の形態）
　本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドの研磨装置を添付図面を参照して説明する。尚、第３の実施の形態と第４実施の形態とにおける相違点は、曲げ修正機構３００と曲げ修正機構４００との構成についてのみであるため、装置全体の構成における修正機構４００以外の部分、および被研磨物９２の必要研磨量の検出に関する制御ブロック等について説明はここでは省略する。以下に、本発明の第４の実施の形態に係る修正機構４００の詳細について述べる。
【００９６】
　図２６に、本実施の形態に係る研磨ヘッドの側面図を、図２７，図２８および図２９に本実施の形態に係る修正機構４００の平面図、正面図および図２８における線２９−２９に関する断面図をそれぞれ示す。本実施の形態に係る修正機構４００は、ベース４０１、シリンダーシリンジ４０２，４０３，ピストン４０４、４０５，ガイドブラケット４０６、位置決め（固定）ピン４０７およびレバー４０８とから構成される。
【００９７】
　ベース４０１は、その上部のみにおいてネジ等によってバックプレート６８に略平行に固定され、これによって修正機構４００自体がバックプレート６８に固定されることとなる。ベース４０１下部には、バックプレート６８側とは逆の面（以下表側面）に上面４２１ａ、底面４２１ｂおよび縦面４２１ｃからなる凹部４２１が形成されている。また、バックプレート側の面（以下裏側面）には加圧気体導入ポート４２３，４２４が設けられ、当該ポートより導入される加圧気体は、ベース４０１内部に形成された気体流路４２５，４２６をへて、それぞれ上面４２１ａおよび底面４２１ｂに導入される。
【００９８】
　ガイドブラケット４０６にはバランス用アクチュエータ７０Ａ、７０Ｂの駆動方向（以下縦方向）にガイド溝が設けられており、ガイド溝が形成された面側をベース４０１の表面側に対向させて固定される。、当該ガイド溝においてレバー４０８を略縦方向に摺動可能に保持する。レバー４０８は、一端がベース４０１に設けられた軸４２０に回動可能に軸支されると共に他端にピン４０８ｂが設けられた直線形状部分と、この直線形状部分に一端が連続すると共に他端に設けられて凹部４２１に収容される凸部４０８ａからなりこの凸部４０８ａ以外がガイド溝に収容される被駆動部分とから構成されている。凹部４２１は、凸部４０８ａの縦方向上下において凸部４０８ａに当接するピストン４０４，４０５、およびピストン４０４，４０５をそれぞれ縦方向に駆動可能に収容するシリンダーシリンジ４０２，４０３とをさらに収容している。
【００９９】
　例えば、加圧気体導入ポート４２３に加圧気体を導入した場合、気体流路４２５を経て上面４２１ａに達した加圧気体は、シリンダーシリンジ４０２内のピストン４０４を縦方向下方に駆動する。レバー４０８の凸部４０８ａにはピストン４０５も当接しているが、この場合ピストン４０４が凸部４０８ａを下方に駆動する力の方が強いため凸部４０８ａは略下方に駆動される。凸部４０８ａが下方に駆動されることにより、レバー４０８は軸４２０を中心に回転駆動され、ピン４０８ｂは略縦方向に駆動される。また、レバー４０８およびピン４０８ｂを略上方に駆動する場合には加圧気体導入ポート４２４に加圧気体を導入すれば良く、ポート４２３とポート４２４とに導入する気体の圧力バランスの調整によりレバー４０８およびピン４０８ｂの駆動量の調整が可能である。
【０１００】
　なお、治具９４のベース４０１に対しての固定、プローブユニット１０９，１１０の固定、および治具９４の荷重受け穴１４６に対してピン４０８ｂの先端部分がはまりこんでピン４０８ｂの上下駆動に伴って治具９４および被研磨物９２が変形されること等は、第３の実施の形態と同一であるため、詳細な説明は省略する。
【０１０１】
　なお、隣り合うピン４０８ｂの間隔は、本実施の形態において用いたピストン４０４，４０５の大きさ（この場合は駆動方向と垂直となる方向の断面積）あるいは加圧気体導入ポート４２３，４２４の大きさに比較して大きいため、単純に平行に並べて配置することが可能である。しかし、これらピストンあるいはポートの大きさに対してピン先端部分の間隔を小さくする必要が生じた場合には、隣り合ったピストンの配置すなわちピストンを収容する隣り合った凹部の配置を各々を互い違いに配置する、隣り合ったポートの配置各々を互い違いとする、あるいはこれらこれらを組み合わせることとしても良い。
【０１０２】
　参考としてこれらを組み合わせた例を、図３０および３１に示す。図３０はベース４０１を裏面側から見た図であり、図３１はポートの配置が互い違いとされていない実施の形態の図２９に対応するものである。図３０から明らかなように、並列にポートを配置した場合に対して大幅にポートを増加することが可能となっている。さらに、図３１に示すように、ポートの配置をずらすだけでなく、隣り合った凹部４２１の深さも異ならせ、シリンダーシリンジおよびピストンも並列ではなく互い違いに配置することとしている。このような構成を採用することにより、ピストンあるいはポートの大きさによらず隣り合ったピン４０８ｂを小さくすることが可能となる。
【０１０３】
　上述の、変形例におけるポートあるいはピストンの配置はあくまで一例であり、これらの配置をより複雑にずらすことによって、隣り合うピン間隔をより小さくすることが可能である。また、本実施例においては駆動源として圧力気体を用いているが、油圧等の液体によるものとしても良い。さらに、バランス用アクチュエータの構成の変形等、第１の実施の形態において述べた実施の形態における各構成の変形等は、本発明の形態についても同様に行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の実施の形態にかかる磁気ヘッドの研磨装置を示す全体正面図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかる磁気ヘッドの研磨装置を示す全体平面図である。
【図３】図１に示す磁気ヘッドの研磨装置における研磨ヘッド等を示す正面図である。
【図４】図３に示す研磨ヘッドの平面図である。
【図５】図３に示す研磨ヘッドの側面図である。
【図６】図３に示す研磨ヘッドの側面断面を示す図である。
【図７】本発明に係る研磨ヘッドにおいて使用可能なアジャストリングの底面図である。
【図８】本発明の第１実施の形態にかかる修正機構の平面図である。
【図９】図８に示す修正機構の正面図である。
【図１０】図８に示す修正機構の側面図である。
【図１１】図９に示す修正機構の線１０−１０における断面概略図である。
【図１２】本発明の実施の形態において用いられる被研磨物取り付け治具の正面図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る研磨量制御に関するブロック図を示している。
【図１４】図１３に示す測定および多重化基板の詳細を示す図である。
【図１５】図１３に示すマイクロアクチュエータ駆動用基板における詳細を示す図である。
【図１６】本発明の第２の実施の形態に係る研磨ヘッド側面断面を示す図である。
【図１７】本発明の第２実施の形態にかかる修正機構の平面図である。
【図１８】図１７に示す修正機構の正面図である。
【図１９】図１８に示す修正機構の線１９−１９における断面概略図である。
【図２０】本発明の第３の実施の形態に係る研磨ヘッド側面断面を示す図である。
【図２１】本発明の第３実施の形態にかかる修正機構の平面図である。
【図２２】図２１に示す修正機構の正面図である。
【図２３】図２２に示す修正機構の線２３−２３における断面概略図である。
【図２４】第３の実施の形態において隣り合った加圧媒体導入ポートを互い違いに配置した修正機構の裏面を示す図である。
【図２５】図２４に示す修正機構における線２５−２５における断面概略図である。
【図２６】本発明の第４の実施の形態に係る研磨ヘッド側面断面を示す図である。
【図２７】本発明の第４実施の形態にかかる修正機構の平面図である。
【図２８】図２７に示す修正機構の正面図である。
【図２９】図２８に示す修正機構の線２９−２９における断面概略図である。
【図３０】第４の実施の形態において隣り合った加圧媒体導入ポートを互い違いに配置した修正機構の裏面を示す図である。
【図３１】図３０に示す修正機構における線３１−３１における断面概略図である。
【符号の説明】
【０１０５】
　　１　　基台
　　２　　研磨用定盤
　　２ａ　研磨面
　　４　　定盤駆動用モータ
　　６　　ベルト
　　８　　ガイドレール
　１０　　横方向スライダ
　１２　　研磨ヘッド取付け用フレーム
　１４　　円環状軸受部
　１６　　回転支持部
　１８　　弾性部材
　２０　　研磨ヘッド
　２２　　底板
　２４　　垂直支持板
　２６　　アジャストリング
　２８、３０　　　ベルト車
　３２　　モータ
　３４　　ベルト
　３６　　リング本体
　３８　　ダミー
　４０、４２　　　円弧状部分
　４４　　傾動軸
　４６　　傾動部
　６４　　昇降部
　６８　　バックプレート
　７０Ａ、７０Ｂ　  アクチュエータ
　７４Ａ、７４Ｂ　　フレーム
　７６Ａ、７６Ｂ　　コイル
　７８Ａ、７８Ｂ　　磁石
　８０Ａ、８０Ｂ　　ロッド
　８２Ａ、８２Ｂ　　昇降部材
　８４Ａ、８４Ｂ　　スライド軸受
　８８Ａ、８８Ｂ　　連結用リンク
　９０　　長方形板状部
　９２　　被研磨物
　９２ａ　被研磨面
　９４，９８　　　横長治具
　９６　　固定ピン
　９９　　ポート
１００　　修正機構
１０１　　ベース
１０２　　ホルダ
１０３　　ブラケット
１０４，１０５　　　プレート
１０６　　修正用アクチュエータ
１０７　　固定ピン
１０７ａ　位置決めピン
１０８　　ブラケット
１０９，１１０　　　プローブユニット
１１１　　軸
１１２　　ベアリング
１１３　　レバー
１１３ａ　ピン
１１７　　ピン
１１８　　ジョイント
１２０　　固定穴
１２０ａ　位置決め穴
１２２　　連結部材
１２８　　測定用ピン
１３１　　本体部
１３２　　保持部
１４５　　荷重受け部
１４６　　荷重受け穴
１５０　　ベース
１５１　　ホルダ
１５２　　アクチュエータホルダ
１５３　　修正用アクチュエータ
１５４　　固定ピン
１５４ａ　位置決めピン
１５５　　ガイドブラケット
１５５ａ　ガイド穴
１５６　　シャフト
１５７　　ピン
２０１　　付加電極
２１０　　マイクロコンピュータ
２１１　　入出力端子
２２０　　測定および多重化基板
２２１　　定電流電源
２２２　　校正用抵抗
２２３　　演算部
２２４，２３１　　　Ａ／Ｄ変換器
２３０　　マイクロアクチュエータ駆動用基板
２３２　　駆動電流出力装置
３０１，４０１　　　ベース
３０２，３０３，４０２，４０３　　シリンダーシリンジ
３０４，３０５，４０４，４０５　　ピストン
３０６，４０６　　　ガイドブラケット
３０７，４０７　　　固定ピン
３０７ａ、４０７ａ　位置決めピン
３０８　　シャフト
３０８ａ，４０８ａ　凸部
３０８ｂ、４０８ｂ　ピン
３２１，４２１　　　凹部
３２１ａ，４２１ａ　上面
３２１ｂ、４２１ｂ　底面
３２１ｃ、４２１ｃ　縦面
３２３，３２４，４２３，４２４　　圧力媒体導入ポート
３２５，３２６，４２５，４２６　　媒体流路
４０８　　レバー
４２０　　軸
【図１】
2004136441.tif 000003
【図２】
2004136441.tif 000004
【図３】
2004136441.tif 000005
【図４】
2004136441.tif 000006
【図５】
2004136441.tif 000007
【図６】
2004136441.tif 000008
【図７】
2004136441.tif 000009
【図８】
2004136441.tif 000010
【図９】
2004136441.tif 000011
【図１０】
2004136441.tif 000012
【図１１】
2004136441.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2004136441.tif 000019
【図１８】
2004136441.tif 000020
【図１９】
2004136441.tif 000021
【図２０】
2004136441.tif 000022
【図２１】
2004136441.tif 000023
【図２２】
2004136441.tif 000024
【図２３】
2004136441.tif 000025
【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
2004136441.tif 000031
【図３０】
2004136441.tif 000032
【図３１】
2004136441.tif 000033