(57)【要約】【課題】圧電素子の変形の阻害を抑制しつつ、接続抵抗の増大、断線、及び端子間におけるショートを抑制する。【解決手段】インクジェットヘッドにおける流路ユニット上にアクチュエータユニットが配置されている。アクチュエータユニットは圧電シート４１上に設けられた個別電極３５及び個別電極３５と電気的に接続されたランド部３６を有する。ランド部３６は圧力室１０に対向しない領域にある。個別電極３５に駆動信号が伝達可能となるよう、ランド部３６とＦＰＣ５０の端子５４とが接合される。このとき、半田６０を両者に介在すると共に半田６０の表面を覆うようにしてエポキシ系樹脂６２を熱硬化させる。【選択図】図１１
2004136663.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　複数の圧力室、及び、前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、
　前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、
　前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、
　前記ランド部と前記端子とに挟まれた領域、及び、前記ランド部と前記端子とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域、の少なくともいずれか一方に配置されることによって、前記ランド部と前記端子とを電気的に接続する金属接合剤と、
　前記接続部上に形成された凸部と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
　前記凸部は、前記接続部の領域外まで延在して、前記ランド部、前記端子、及び前記金属接合剤を取り囲むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
　前記凸部は、前記接続部を跨りつつ、前記主電極部と前記ランド部とを結ぶ方向と実質的に直交する方向に前記接続部の領域外まで延在していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
　前記凸部によって、前記アクチュエータユニットと前記プリント基板とが接続されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
　前記凸部は、熱硬化性樹脂からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
　複数の圧力室、及び、前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、
　前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、
　前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、
　前記ランド部と前記端子とに挟まれた領域、及び、前記ランド部と前記端子とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域、の少なくともいずれか一方に配置されることによって、前記ランド部と前記端子とを電気的に接続する金属接合剤と、
　前記金属接合剤の少なくとも一部を覆う熱硬化性樹脂と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
　前記熱硬化性樹脂は、前記接続部の領域外まで延在して、前記ランド部、前記端子及び前記金属接合剤を取り囲むことを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
　前記熱硬化性樹脂は、前記接続部を跨りつつ、前記主電極部と前記ランド部とを結ぶ方向と実質的に直交する方向に前記接続部の領域外まで延在していることを特徴とする請求項６又は７に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
　前記熱硬化性樹脂は、前記壁部に対向する領域に配置されていることを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
　前記熱硬化性樹脂は、エポキシ系樹脂であることを特徴とする請求項項５〜９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
　複数の圧力室、及び、前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、
　前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、
　前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、
　前記壁部に対向する領域に配置され、且つ、前記ランド部と前記端子とを電気的に接続する熱硬化性樹脂と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１２】
　前記熱硬化性樹脂は、前記接続部の領域外まで延在して、前記ランド部及び前記端子を取り囲むことを特徴とする、請求項１１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】
　前記熱硬化性樹脂は、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste：異方性導電ペースト）であることを特徴とする請求項１１又は１２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１４】
　前記複数の圧力室は、前記流路ユニットの平面においてマトリクス状に配置されており、
　前記アクチュエータユニットにおける前記圧電素子は、前記複数の圧力室を跨ぐようなサイズであることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１５】
　複数の圧力室及び前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、を有するインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記接続部上に凸部を形成する工程と、
　前記端子と前記ランド部との間に金属接合剤を配置する工程と、
　前記ランド部と前記端子とに挟まれた領域、及び、前記ランド部と前記端子とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域、の少なくともいずれか一方に前記金属接合剤が配置されることによって、前記ランド部と前記端子とが電気的に接続されるように、前記ランド部と前記端子とを互いに近づく方向に加圧する工程と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】
　前記凸部は、熱硬化性樹脂からなることを特徴とする請求項１５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】
　複数の圧力室及び前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、を有するインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記端子と前記ランド部との間に、金属接合剤及び熱硬化性樹脂を配置する工程と、
　前記ランド部と前記端子との間から前記熱硬化性樹脂の少なくとも一部が排出され、且つ、前記端子及び前記金属接合剤の少なくともいずれか一方と前記ランド部とが接触するように、前記ランド部と前記端子とを互いに近づく方向に加圧する工程と、
　前記ランド部と前記端子とに挟まれた領域、及び、前記ランド部と前記端子とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域の少なくともいずれか一方に前記金属接合剤が配置されることによって、前記ランド部と前記端子とが電気的に接続されると共に、少なくとも前記主電極部と前記ランド部との間の前記接続部の領域に前記熱硬化性樹脂からなる凸部が形成されるように、前記金属接合剤及び前記熱硬化性樹脂を加熱する工程と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１８】
　前記接続部の領域外まで延在して、前記ランド部、前記端子、及び前記金属接合剤を取り囲むように、前記凸部を形成することを特徴とする請求項１５〜１７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１９】
　前記接続部を跨りつつ、前記主電極部と前記ランド部とを結ぶ方向と実質的に直交する方向に前記接続部の領域外まで延在するように、前記凸部を形成することを特徴とする請求項１５〜１７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２０】
　前記アクチュエータユニットと前記プリント基板とが接続されるように、前記凸部を形成することを特徴とする請求項１５〜１９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２１】
　複数の圧力室及び前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、を有するインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記端子と前記ランド部との間に、金属接合剤及び熱硬化性樹脂を配置する工程と、
　前記ランド部と前記端子との間から前記熱硬化性樹脂の少なくとも一部が排出され、且つ、前記端子及び前記金属接合剤の少なくともいずれか一方と前記ランド部とが接触するように、前記ランド部と前記端子とを互いに近づく方向に加圧する工程と、
　前記ランド部と前記端子とに挟まれた領域、及び、前記ランド部と前記端子とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域、の少なくともいずれか一方に前記金属接合剤が配置されることによって、前記ランド部と前記端子とが電気的に接続されると共に、前記熱硬化性樹脂が前記金属接合剤の少なくとも一部を覆うように、前記金属接合剤及び前記熱硬化性樹脂を加熱する工程と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２２】
　前記加熱工程において、
　前記接続部の領域外まで延在して、前記ランド部、前記端子及び前記金属接合剤を取り囲むように、前記熱硬化性樹脂を形成することを特徴とする請求項２１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２３】
　前記加熱工程において、
　前記接続部を跨りつつ、前記主電極部と前記ランド部とを結ぶ方向と実質的に直交する方向に前記接続部の領域外まで延在するように、前記熱硬化性樹脂を形成することを特徴とする請求項２１又は２２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２４】
　前記加熱工程において、
　前記熱硬化性樹脂を前記圧力室に対向しない領域に形成することを特徴とする請求項２１〜２３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２５】
　前記熱硬化性樹脂は、エポキシ系樹脂であることを特徴とする請求項１６〜２４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２６】
　複数の圧力室及び前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、を有するインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記端子と前記ランド部との間に熱硬化性樹脂を配置する工程と、
　前記端子及び前記熱硬化性樹脂のいずれか一方と前記ランド部とが接触するように、前記ランド部と前記端子とを互いに近づく方向に加圧する工程と、
　前記ランド部と前記端子とが電気的に接続されるように、前記壁部に対向する領域に配置された前記熱硬化性樹脂を加熱する工程と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２７】
　前記加熱工程において、
　前記接続部の領域外まで延在して、前記ランド部及び前記端子を取り囲むように、前記熱硬化性樹脂を形成することを特徴とする請求項２６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２８】
　前記熱硬化性樹脂は、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste：異方性導電ペースト）であることを特徴とする請求項２６又は２７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２９】
　前記複数の圧力室が前記流路ユニットの平面においてマトリクス状に形成されており、前記ランド部が前記圧力室のそれぞれに対応して設けられていることを特徴とする請求項１５〜２８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッド、及び、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドには、インクタンク及び複数の圧力室が備えられており、インクタンクから圧力室にインクが供給されるようになっている。圧力室上に配置された圧電素子を変形させることで、圧力室の容積を変化させると、圧力室内のインクに圧力が与えられ、圧力室に接続するノズルからインクが吐出される。圧電素子を変形させるには、一般に、圧力室と対向するよう圧電素子上に形成された表面電極に対して駆動信号を出力することにより、圧電素子に電界を印加する。表面電極はフレキシブルプリント配線板などのプリント基板の端子と接続されており、このプリント基板を介して、プリント基板にさらに接続されたドライバＩＣからの駆動信号が当該表面電極へと伝達されるようになっている。
【０００３】
　プリント基板の端子と表面電極との電気的接続は、両者の間に半田を介在させ、加熱して半田を溶融させることにより、達成されるのが一般的である（特許文献１参照）。一方、半田を用いない場合もある（特許文献２参照）。半田を用いない場合は、積層された２つのフィルムを有するプリント基板のうち、下側フィルムに、表面電極より大きな面積の切欠部を設けると共に、この切欠部内における上側フィルムの下面に表面電極より小さな面積の端子を備え、表面電極の表面に導電性接着剤を滴下した後、端子を表面電極に加圧することで、端子と表面電極とを電気的に接続する。なお、端子と表面電極との接合部は、圧力室に対向する位置にある。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１５６６３７６号公報（第３頁、図１０）
【特許文献２】特開平８−１５６２５２号公報（第３頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　しかしながら、半田を用いてプリント基板の端子と表面電極とを電気的に接続させる技術によると、加熱により溶融して高い流動性を持った半田が、表面電極における圧力室と対向する領域にまで移動することがある。このような場合、半田の持つ剛性により、圧電素子の変形が阻害されてしまう。このことは、インク吐出性能の低下に繋がる。これを防ぐため、例えば端子と表面電極との接合部の距離を長くすることがあるが、これは高集積化に不利である。さらに、表面電極が金属からなる場合は、半田が表面電極に付着すると半田内に表面電極の金属が拡散しやすい。こうなると、表面電極と端子との抵抗が増大し、最悪の場合は電気的に断線することも起こり得る。
【０００６】
　また、複数の圧力室それぞれに対応して設けられた表面電極と、表面電極のそれぞれと対応する複数の端子とを接合するにあたって、溶融して高い流動性を持った半田が、隣接する上記接合部間でのショートを引き起こすこともある。
【０００７】
　一方、半田の代わりに導電性接着剤を用いる技術によると、加熱時における導電性接着剤の流動性は半田より小さいので、導電性接着剤はプリント基板の下側フィルムに形成された切欠部内に留まり、上述のような半田を用いた場合における圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、断線、及びショートの問題は軽減される。しかし、上述のように、端子と表面電極との接合部が圧力室に対向する位置にあることから、インク吐出の際の圧電素子の変形が阻害されてしまうという問題がある。このことは、圧力室の容積の変化を困難にするため、インク吐出性能の低下に繋がる。
【０００８】
　本発明の目的は、圧電素子の変形の阻害を抑制することができるインクジェットヘッド、及び、その製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００９】
　本発明の第１の観点によると、複数の圧力室、及び、前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、前記ランド部と前記端子とに挟まれた領域、及び、前記ランド部と前記端子とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域、の少なくともいずれか一方に配置されることによって、前記ランド部と前記端子とを電気的に接続する金属接合剤と、前記接続部上に形成された凸部と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドが提供される。
【００１０】
　上記構成によると、ランド部と端子との接合部が圧力室に対向しない領域にあることから、圧電素子の変形の阻害を抑制することができる。また、凸部が、表面電極上の前記圧力室に対向しない領域に形成されているので、溶融して高い流動性を持った金属接合剤が表面電極における圧力室と対向する部分（主電極部）へ移動するのを抑制することができる。したがって、半田などの金属接合剤が圧電素子に付着し、半田の持つ剛性により圧電素子の変形が阻害される、という事態が防止される。また、半田などの金属接合剤の表面電極への付着が防止されることから、接続抵抗の増大や断線の問題も軽減される。
【００１１】
　本発明の第２の観点によると、複数の圧力室、及び、前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、前記ランド部と前記端子とに挟まれた領域、及び、前記ランド部と前記端子とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域、の少なくともいずれか一方に配置されることによって、前記ランド部と前記端子とを電気的に接続する金属接合剤と、前記金属接合剤の少なくとも一部を覆う熱硬化性樹脂と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドが提供される。
【００１２】
　上記構成によると、ランド部と端子との接合部が圧力室に対向しない領域にあることから、圧電素子の変形の阻害を抑制することができる。また、加熱されても金属材料ほどの流動性を持たない熱硬化性樹脂によって金属接合剤を覆うことで、金属接合剤の移動を抑制することができる。したがって、金属接合剤が熱硬化性樹脂によって覆われる部分を適宜定めることによって、圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、及び断線の問題を軽減したり、端子間におけるショートを抑制したりできる。例えば、熱硬化性樹脂をランド部と表面電極における主電極部との間の接続部の領域に配置すると、上記第１の観点と同様に、金属接合剤の表面電極における圧力室と対向する領域（主電極部）への移動が抑制されるので、圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、及び断線の問題を軽減することができる。また、熱硬化性樹脂を、隣接するランド部-端子接合部間に配置すると、端子間におけるショートを抑制することができる。
【００１３】
　本発明の第３の観点によると、複数の圧力室、及び、前記複数の圧力室のそれぞれを区画する壁部を有する流路ユニットと、前記流路ユニット上に配置された圧電素子、前記圧電素子上に設けられ且つ前記圧力室に対向する主電極部と前記壁部に対向する接続部とを有する表面電極、及び、前記圧電素子上の前記壁部に対向する領域に設けられ且つ前記表面電極と電気的に接続されたランド部、を有するアクチュエータユニットと、前記ランド部と電気的に接続される端子を有すると共に所定の配線パターンが施されたプリント基板と、前記壁部に対向する領域に配置され、且つ、前記ランド部と前記端子とを電気的に接続する熱硬化性樹脂と、を備えていることを特徴とするインクジェットヘッドが提供される。
【００１４】
　上記構成によると、ランド部と端子との接合部が圧力室に対向しない領域にあることから、圧電素子の変形の阻害を抑制することができる。また、ランド部と端子とを電気的に接続するのに、金属材料ではなく熱硬化性樹脂を用いているので、金属材料を用いた場合に生じる、圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、断線、及び端子間におけるショートの問題を共に軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
　以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１６】
　先ず、図１を参照しつつ、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの全体構成について説明する。図１は、本実施形態に係るインクジェットヘッドを示す斜視図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。図３は、図１に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。インクジェットヘッド１は、一方向（主走査方向）に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体１ａと、ヘッド本体１ａを支持する基部７１とを有する。基部７１は、ヘッド本体１ａのほかに、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示す個別電極３５（表面電極）に駆動信号を供給するドライバＩＣ８０及び基板８１を支持している。
【００１７】
　基部７１は、図１に示すように、ヘッド本体１ａの上面と部分的に接着されることでヘッド本体１ａを支持するベースブロック７５と、ベースブロック７５の上面と接着されることでベースブロック７５を保持するホルダ７２とから構成されている。ベースブロック７５は、ヘッド本体１ａの長尺方向長さとほぼ同じ長さを有する略直方体形状の部材である。ステンレスなどの金属材料からなるベースブロック７５は、ホルダ７２を補強する軽量の構造体としての機能を有している。ホルダ７２は、ヘッド本体１ａ側に配置されるホルダ本体７３と、ホルダ本体７３からヘッド本体１ａとは反対側に延在した一対のホルダ支持部７４とから構成されている。一対のホルダ支持部７４は、いずれも平板状の部材であって、ホルダ本体７３の長尺方向に沿って所定の間隔を隔てて互いに平行に設けられている。
【００１８】
　ホルダ本体７３の副走査方向（主走査方向と直交する方向）両端部には、下方に突出した一対のスカート部７３ａが設けられている。ここで、一対のスカート部７３ａは、いずれもホルダ本体７３の長尺方向全幅にわたって形成されているため、ホルダ本体７３の下面には、一対のスカート部７３ａによって略直方体形状の溝部７３ｂが形成されている。この溝部７３ｂ内に、ベースブロック７５が収納されている。ベースブロック７５の上面と、ホルダ本体７３の溝部７３ｂの底面とは、接着剤などによって接着されている。ベースブロック７５の厚さは、ホルダ本体７３の溝部７３ｂの深さよりも若干大きいため、ベースブロック７５の下端部は、スカート部７３ａよりも下方に飛び出している。
【００１９】
　ベースブロック７５の内部には、ヘッド本体１ａに供給されるインクの流路として、その長尺方向に延在する２つの略直方体形状の空隙（中空領域）であるインク溜まり３が形成されている。これら２つのインク溜まり３は、ベースブロック７５の長手方向に沿って配置された隔壁７５ａを介することにより、ベースブロック７５の長手方向に所定の間隔を隔てて互いに平行に設けられている。図２においてベースブロック７５の下面７５ｂの左側でインク溜まり３に対応する位置には、インク溜まり３に連通した開口３ｂ（図３参照）が形成されている。なお、インク溜まり３は、プリンタ本体内のインクタンク（図示せず）に、供給チューブ（図示せず）により接続されている。そのため、インク溜まり３には、インクタンクから適宜インクが補充されるようになっている。
【００２０】
　ベースブロック７５の下面７５ｂは、開口３ｂの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。ベースブロック７５下側に支持されているヘッド本体１ａは、アクチュエータユニット２１と、その下面に接着された流路ユニット４とを備えている。そして、ベースブロック７５は、下面７５ｂの開口３ｂ近傍部分７５ｃにおいてのみヘッド本体１ａの流路ユニット４（図２参照）と接合している。そのため、ベースブロック７５の下面７５ｂの開口３ｂ近傍部分７５ｃ以外の領域は、ヘッド本体１ａから離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。
【００２１】
　ホルダ７２のホルダ支持部７４の外側面には、スポンジなどの弾性部材８３を介してドライバＩＣ８０が固定されている。ドライバＩＣ８０の外側面には、ヒートシンク８２が密着配置されている。ヒートシンク８２は、略直方体形状の部材であって、ドライバＩＣ８０で発生する熱を効率的に散逸させる。ドライバＩＣ８０には、後に詳述する、給電部材であるフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）５０が接続されている。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方であって、ＦＰＣ５０の外側には、基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、及び、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間は、それぞれシール部材８４で接着されている。ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をアクチュエータユニット２１（後に詳述）の表面に形成された個別電極３５（図１０（ａ）及び図１０（ｂ）参照）に伝達するように、ドライバＩＣ８０及び個別電極３５の両者と、電気的に接続されている。
【００２２】
　ホルダ本体７３のスカート部７３ａの下面と流路ユニット４の上面との間には、ＦＰＣ５０を挟むようにシール部材８５が配置されている。つまりＦＰＣ５０は、流路ユニット４及びホルダ本体７３に対してシール部材８５によって固定されている。これにより、ヘッド本体１ａが長尺化した場合の撓みの防止、アクチュエータユニット２１の表面に形成された個別電極３５（図１０（ａ）及び図１０（ｂ）参照）とＦＰＣ５０との接続部への応力印加の防止及びＦＰＣ５０の確実な保持が可能となる。
【００２３】
　図１に示すように、インクジェットヘッド１の主走査方向に沿った下方角部近傍には、インクジェットヘッド１の側壁に沿って６つの凸設部３０ａが均等に離隔配置されている。これら凸設部３０ａは、ヘッド本体１ａの最下層にあるノズルプレート３０（図６参照）の副走査方向両端部に設けられた部分である。つまり、ノズルプレート３０は、凸設部３０ａとそれ以外の部分との境界線に沿って約９０度折り曲げられている。凸設部３０ａは、印刷に用いられる各種サイズの用紙の両端部付近に対応する位置に設けられている。ノズルプレート３０の折り曲げ部分は直角ではなく丸みを帯びた形状となっているため、ヘッド１と近接する方向に搬送されてきた用紙の先端部がヘッド１の側面と接触することで生じる用紙の詰まりすなわちジャミングが起こりにくくなっている。
【００２４】
　図３には、ベースブロック７５内に形成されたインク溜まり３が仮想的に破線で描かれている。図３に示すように、ヘッド本体１ａは、一方向（主走査方向）に延在した矩形平面形状をしている。ヘッド本体１ａは、後述する多数の圧力室１０やノズル先端のインク吐出口８（共に図５及び図６参照）が形成された流路ユニット４を有しており、その上面には、千鳥状になって２列に配列された複数の台形のアクチュエータユニット２１が接着されている。各アクチュエータユニット２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット４の長手方向に沿うように配置されている。そして、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が、流路ユニット４の幅方向にオーバーラップしている。
【００２５】
　アクチュエータユニット２１の接着領域と対応した流路ユニット４の下面は、インク吐出領域となっている。インク吐出領域の表面には、後述するように、多数のインク吐出口８がマトリクス状に配列されている。また、流路ユニット４の上方に配置されたベースブロック７５内には、その長手方向に沿ってインク溜まり３が形成されている。インク溜まり３は、その一端に設けられた開口３ａを介してインクタンク（図示せず）に連通しており、常にインクで満たされている。インク溜まり３には、その延在方向に沿って開口３ｂが２つずつ対になって、アクチュエータユニット２１が設けられていない領域に対応して千鳥状に設けられている。
【００２６】
　図４は、図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図３及び図４に示すように、インク溜まり３は、開口３ｂを介してその下層にある流路ユニット４内のマニホールド５と連通している。開口３ｂには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ（図示せず）が設けられている。マニホールド５は、その先端部が２つに分岐して副マニホールド５ａとなっている。１つのアクチュエータユニット２１の下部には、当該アクチュエータユニット２１に対してインクジェットヘッド１の長手方向両隣にある２つの開口３ｂからそれぞれ２つの副マニホールド５ａが進入してきている。つまり、１つのアクチュエータユニット２１の下部には、合計で４つの副マニホールド５ａがインクジェットヘッド１の長手方向に沿って延在している。各副マニホールド５ａは、インク溜まり３から供給されたインクで満たされている。
【００２７】
　図５は、図４に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４及び図５は、流路ユニット４における多数の圧力室１０がマトリクス状に配置された平面を、垂直方向から見た状態を示している。流路ユニット４の構成要素である圧力室１０、アパーチャ１２、ノズル（図４及び図５にはノズルの先端に形成されたインク吐出口８が示されている）、副マニホールド５ａなどは、後述するように、図４及び図５の紙面に垂直方向においてそれぞれ異なる高さに配置されている（図６参照）。
【００２８】
　なお、図４及び図５においては、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１内又は流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０及びアパーチャ１２等を実線で描いている。
【００２９】
　図４及び図５に示すように、アクチュエータユニット２１の上面外縁部付近には、それぞれが円形を有する、周囲電極として多数の接地用電極３８が形成されている。多数の接地用電極３８は、隣接するもの同士の間隔がほぼ等間隔となるように離隔している。そのため、アクチュエータユニット２１の表面における個別電極３５（図１０（ａ）及び図１０（ｂ）参照）が形成された領域は、その全周にわたって多数の接地用電極３８によって包囲されていることになる。
【００３０】
　図６は、図５に描かれたＶＩ−ＶＩ線に沿った、図３に描かれたヘッド本体１ａの部分断面図である。各インク吐出口８は、図６からも分かるように、先細形状のノズルの先端に形成されている。また、圧力室１０と副マニホールド５ａとの間には、アパーチャ１２が、圧力室１０と同様に流路ユニット４の表面と実質的に平行に延在している。このアパーチャ１２は、インクの流れを制限することで適当な流路抵抗を付与してインク吐出の安定化を図るためのものである。各インク吐出口８は、圧力室１０（長さ９００μｍ、幅３５０μｍ）及びアパーチャ１２を介して副マニホールド５ａと連通している。このようにして、インクジェットヘッド１には、インクタンク（図示せず）からインク溜まり３、マニホールド５、副マニホールド５ａ、アパーチャ１２及び圧力室１０を経てインク吐出口８に至るインク流路３２が形成されている。
【００３１】
　また、図６から明らかなように、圧力室１０とアパーチャ１２とは異なる高さに設けられている。これにより、図５に示すように、アクチュエータユニット２１の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１２及び副マニホールド５ａを、当該圧力室に隣接する圧力室１０と平面視で互いに重なりを持つように配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。
【００３２】
　圧力室１０は、図４及び図５に描かれた平面内において、インクジェットヘッド１の長手方向（第１配列方向）と、インクジェットヘッド１の幅方向からやや傾いた方向（第２配列方向）との２方向にインク吐出領域内で配列されている。第１配列方向と第２配列方向は、直角よりもやや小さい角度θをなしている。インク吐出口８は、第１配列方向には５０ｄｐｉで配列されている。一方で、圧力室１０は、第２配列方向には１つのアクチュエータユニット２１に対応するインク吐出領域内に１２個が含まれるように配列されており、そして、第２配列方向に１２個の圧力室１０が配列されたことによる第１配列方向への変位は圧力室１０の１つ分に相当している。これにより、インクジェットヘッド１の全幅内で、第１配列方向に隣接する２つのインク吐出口８間の距離だけ離隔した範囲には、１２個のインク吐出口８が存在するようになっている。なお、各インク吐出領域の第１配列方向についての両端部（アクチュエータユニット２１の斜辺に相当する）では、インクジェットヘッド１の幅方向に対向する別のアクチュエータユニット２１に対応するインク吐出領域と相補関係となることで上記条件を満たしている。そのため、本実施の形態によるインクジェットヘッド１では、第１及び第２配列方向に配列された多数のインク吐出口８から、インクジェットヘッド１の幅方向への用紙に対する相対的な移動に伴って順次インク滴を吐出させることで、主走査方向に６００ｄｐｉで印刷を行うことが可能になっている。
【００３３】
　次に、図７を参照して、流路ユニット４の構造をより詳細に説明する。図７に示すように、圧力室１０は、第１配列方向に所定の間隔である５０ｄｐｉで列状に配列されている。このような圧力室１０の列は、第２配列方向には１２列配列されて、全体として圧力室１０は１つのアクチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域内において２次元配列をしている。
【００３４】
　圧力室１０には、ノズルが図７中上側の鋭角部に接続されている圧力室１０ａと、下側の鋭角部に接続されている圧力室１０ｂとの２種類がある。複数の圧力室１０ａ及び複数の圧力室１０ｂは、共に第１配列方向に配列されて圧力室列１１ａ、１１ｂをそれぞれ形成している。図７に示すように、１つのアクチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域内においては、図７中下側から順に２列の圧力室列１１ａが配列され、その上側に隣接して２列の圧力室列１１ｂが配列されている。このような２列の圧力室列１１ａと２列の圧力室列１１ｂとの合わせて４列の圧力室列を１組とした圧力室列の組が、１つのアクチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域内において、下側から３回繰り返して配列されている。各圧力室列１１ａ、１１ｂ中の各圧力室の上側鋭角部を結ぶ直線は、この圧力室列に上側から隣接する圧力室列中の各圧力室の下側斜辺と交差している。
【００３５】
　上述のように、図７の紙面に対して垂直な方向から見て、圧力室１０に接続されたノズルの配置位置が異なる第１の圧力室列１１ａと第２の圧力室列１１ｂとを２列ずつ隣接して配列することにより、全体として圧力室１０は規則正しく整列している。一方、ノズルは、これら４列の圧力室列を１組とした圧力室列の組の中において中央領域に集まって配列されることになる。これにより、上述のように、４列の圧力室列を１組として、下側から３回繰り返して圧力室列の組を配置した場合、圧力室列の組と組との境界近傍領域、すなわち、このような４列の圧力室列からなる組の両側には、ノズルが存在しない領域が形成される。そして、そこに各圧力室１０にインクを供給するための幅の広い副マニホールド５ａが延設されている。本案施の形態では、１つのアクチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域内において、図中下側に１本、一番下側の圧力室列の組と二番目の圧力室列の組との間に１本、一番上側の圧力室列の組の両側に２本、合わせて４本の幅の広い副マニホールド５ａが第１配列方向に延設されている。
【００３６】
　図７に示すように、インクを吐出するインク吐出口８に連通するノズルは、第１配列方向には、この方向に規則正しく並ぶ圧力室１０に対応して、５０ｄｐｉの等間隔で配列されている。また、第１配列方向と角度θで交差している第２配列方向にも１２個の圧力室１０が規則正しく配列されているのとは異なり、これら１２個の圧力室１０に対応した１２個のノズルは、上述したように圧力室１０の上側の鋭角部に連通したものと下側の鋭角部に連通したものとがあって、第２配列方向に規則的に一定の間隔で配列されていない。
【００３７】
　他方、ノズルが圧力室１０の同じ側の鋭角部に常に連通している場合には、ノズルも第２配列方向の方向に規則的に一定の間隔で配列されることになる。すなわち、この場合、ノズルは、図中下側から上側に１圧力室列上がるごとに第１配列方向に印字時の解像度である６００ｄｐｉに相当する間隔ずつ変位するように配列される。これに対して、本実施の形態では、２列の圧力室列１１ａと２列の圧力室列１１ｂとの合わせて４列の圧力室列を１組として、これが下側から３回繰り返して配列されているので、図中下側から上側に１圧力室列上がるごとのノズル位置の第１配列方向への変位は常に同じではない。
【００３８】
　本実施の形態によるインクジェットヘッド１において、第１配列方向に５０ｄｐｉに相当する幅（約５０８．０μｍ）を有し、この第１配列方向と直交する方向に延在する帯状領域Ｒについて考える。この帯状領域Ｒの中には、１２列の圧力室列の内の何れの列についても、ノズルが１つしか存在していない。すなわち、１つのアクチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域内の任意の位置に、このような帯状領域Ｒを区画した場合、この帯状領域Ｒ内には、常に１２個のノズルが分布している。そして、これら１２個の各ノズルを第１配列方向に延びる直線上に射影した点の位置は、印字時の解像度である６００ｄｐｉに相当する間隔ずつ離隔している。
【００３９】
　１つの帯状領域Ｒに属する１２個のノズルを第１配列方向に延びる直線上に射影した位置が左にあるものから順に、これら１２個のノズルを(1)〜(12)と記することにしたとき、これら１２個のノズルは、下から、(1)、(7)、(2)、(8)、(5)、(11)、(6)、(12)、(9)、(3)、(10)、(4)の順番に並んでいる。
【００４０】
　このように構成された本実施の形態によるインクジェットヘッド１において、アクチュエータユニット２１内の後述する活性部を適宜駆動させると、６００ｄｐｉの解像度を有する文字や図形等を描画することができる。つまり、１２列の圧力室列に対応した活性部を印字媒体の搬送に合わせて順次選択的に駆動することで、特定の文字や図形を印字媒体に印刷することができる。
【００４１】
　例えば、６００ｄｐｉの解像度で第１配列方向に延びる直線を印字する場合について説明する。まず、ノズルが圧力室１０の同じ側の鋭角部に連通している場合について簡単に説明する。この場合には、印字蝶体が搬送されるのに対応して、図７中一番下に位置する圧力室列中のノズルからインクの吐出を始め、順次上側に隣接する圧力室列に属するノズルを選択してインクを吐出する。これにより、インクのドットが第１配列方向に向かって６００ｄｐｉの間隔で隣接しながら形成されていく。最終的には、全体で６００ｄｐｉの解像度で第１配列方向に延びる直線が描かれることになる。
【００４２】
　一方、本案施の形態では、図７中一番下に位置する圧力室列１１ａ中のノズルからインクの吐出を始め、印字媒体が搬送されるのに伴って順次上側に隣接する圧力室に連通するノズルを選択してインクを吐出していく。このとき、下側から上側に１圧力室列上がるごとのノズル位置の第１配列方向への変位が常に同じでないので、印字媒体が搬送されるのに伴って第１配列方向に沿って順次形成されるインクのドットは、６００ｄｐｉの間隔で等間隔にはならない。
【００４３】
　すなわち、図７に示したように、印字媒体が搬送されるのに対応して、まず図中一番下の圧力室列１１ａに連通するノズル(1)からインクが吐出され、印字媒体上に５０ｄｐｉに相当する間隔（約５０８．０μｍ）でドット列が形成される。この後、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から２番目の圧力室列１１ａに連通するノズル(7)の位置に達すると、このノズル(7)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分（約４２．３μｍ）の６倍だけ第１配列方向に変位した位置（約４２．３μｍ×６＝約２５４．０μｍ）に２番目のインクドットが形成される。
【００４４】
　次に、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から３番目の圧力室列１１ｂに連通するノズル(2)の位置に達すると、ノズル(2)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分（約４２．３μｍ）だけ第１配列方向に変位した位置に３番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から４番目の圧力室列１１ｂに連通するノズル(8)の位置に達すると、ノズル(8)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドットの位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分（約４２．３μｍ）の７倍だけ第１配列方向に変位した位置（約４２．３μｍ×７＝約２９６．３μｍ）に４番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から５番目の圧力室列１１ａに連通するノズル(5)の位置に達すると、ノズル(5)からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分（約４２．３μｍ）の４倍だけ第１配列方向に変位した位置（約４２．３μｍ×５４＝約１６９．３μｍ）に５番目のインクドットが形成される。
【００４５】
　以下同様にして、順次図中下側から上側に位置する圧力室１０に連通するノズルを選択しながらインクドットが形成されていく。このとき、図７中に示したノズルの番号をＮとすると、（倍率ｎ＝Ｎ−１）×（６００ｄｐｉに相当する間隔）に相当する分だけ、始めに形成されたドット位置から第１配列方向に変位した位置にインクドットが形成される。最終的に１２個のノズルを選択し終わったときには、図中一番下の圧力室列１１ａ中のノズル(1)により５０ｄｐｉに相当する間隔（約５０８．０μｍ）で形成されたインクドットの間が６００ｄｐｉに相当する間隔（約４２．３μｍ）毎に離れて形成された１２個のドットで繋げられ、全体で６００ｄｐｉの解像度で第１配列方向に延びる直線を描くことが可能になっている。
【００４６】
　図８は、図６に描かれたヘッド本体１ａ及び、これに貼り付けられたＦＰＣ５０の部分分解斜視図である。図８に示すように、インクジェットヘッド１の底部側の要部は、上から、ＦＰＣ５０、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６，２７，２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の合計１１枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、ＦＰＣ５０及びアクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレート２２〜３０から、流路ユニット４が構成されている。
【００４７】
　アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シートが積層され、且つ、電極が配されることによって、そのうちの１層が電界印加時に活性部となる部分を有し、残り３層が非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０に対応するほぼ菱形の開口が多数設けられた金属プレートであって、この開口が設けられていない部分によって各圧力室１０を区画する壁部２２ａが構成されている。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２のほかに圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２と副マニホールド５ａとの連絡孔及び圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６、２７、２８は、副マニホールド５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からインク吐出口８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズルとして機能する先細のインク吐出口８がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００４８】
　図６に示すインク流路３２は、副マニホールド５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１２において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にインク吐出口８へと向かう。
【００４９】
　図９（ａ）及び図９（ｂ）にはそれぞれ、図６内に描かれたインク流路を形成する空間形状の平面図及び斜視図が示されている。なお、図９（ａ）及び図９（ｂ）には、アパーチャ１２と副マニホールド５ａとの境界に設けられたフィルタ１３が示されている。このフィルタ１３は、インクに含まれる粉塵を除去するためのものである。
【００５０】
　次に、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）を参照しつつ、アクチュエータユニット２１の構造について説明する。図１０（ａ）は、図６内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域を横方向から見た拡大断面図である。図１０（ｂ）は、アクチュエータユニット２１の表面に形成された個別電極及びランド部の形状を示す平面図である。
【００５１】
　図１０（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１，４２，４３，４４を含んでいる。これら圧電シート４１〜４４は、圧電素子を構成するものであり、インクジェットヘッド１内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。これにより、圧電シート４１〜４４の機械的剛性を高く保つことができ、さらにインクジェットヘッド１におけるインク吐出性能の応答性を高めることができるようになっている。また、圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより、個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５における後述の主電極部３５ａに対応する位置に形成される圧力室１０（図１０（ａ）、（ｂ）参照）をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。
【００５２】
　本実施の形態において、圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００５３】
　図１０（ａ）に示すように、最上層の圧電シート４１の上面であって圧力室１０に対応する位置には、図１０（ｂ）に示す平面形状を有する、厚み１μｍ程度の個別電極３５が形成されている。また、圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、厚み２μｍ程度の共通電極３４が介在している。共通電極３４は、１つのアクチュエータユニット２１内のほぼ全域にわたって延在した１枚の導電シートである。これら各電極３４，３５は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなるものである。
【００５４】
　なお、圧電シート４２とその下方に隣接した圧電シート４３との間、圧電シート４３とその下方に隣接した圧電シート４４との間、及び、圧電シート４４の下方には、電極が配置されていない。
【００５５】
　なお、共通電極３４は、積層方向への射影領域が圧力室領域を含むように圧力室１０よりも大きいものが圧力室１０ごとに多数形成されてもよいし、或いは、射影領域が圧力室領域に含まれるように圧力室１０よりもやや小さいものが圧力室１０ごとに多数形成されてもよく、必ずしもシート全面に形成された１枚の導電シートである必要はない。ただし、このとき、圧力室１０に対応する部分がすべて同一電位となるように共通電極どうしが電気的に接続されていることが必要である。
【００５６】
　個別電極３５は、図１０（ｂ）に示すように、図５に示す圧力室１０とほぼ相似な略菱形（長さ８５０μｍ、幅２５０μｍ）の平面形状を有し且つ圧力室１０と対向する主電極部３５ａと、この主電極部３５ａにおける鋭角部の一方から延出された圧力室１０と対向せず壁部２２ａに対向する接続部３５ｂと、を有する。接続部３５ｂの主電極部３５ａとは反対側の端部には、略１６０μｍの径を有する円形のランド部３６が設けられている。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、個別電極３５と電気的に接続されている。
【００５７】
　図１０（ａ）及び図５に示すように、圧電シート４１〜４４の積層方向から見て、個別電極３５における主電極部３５ａの射影領域は圧力室１０の領域に含まれるよう配置されているが、ランド部３６の射影領域は圧力室１０の領域に含まれていない。ランド部３６及び個別電極３５における接続部３５ｂは、共に壁部２２ａに対向している。
【００５８】
　図１０（ａ）に示す共通電極３４は、図５に示す接地用電極３８に、圧電シート４１に形成されたスルーホール（図示せず）を介して接続されている。接地用電極３８はいずれも、圧電シート４１上に形成されている。ＦＰＣ５０は、後述する導体パターン５３（図１１（ａ）〜（ｃ）参照）以外に、接地するための配線である導体パターン（図示せず）を備えている。この導体パターンに設けられた接地用端子（図示せず）と接地用電極３８とが接合されると、接地用電極３８に接続された共通電極３４が全ての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれるようになっている。
【００５９】
　ここで、本実施形態におけるアクチュエータ２１の駆動について説明する。アクチュエータ２１に含まれる圧電シート４１〜４４は、その厚み方向に分極されている。したがって、個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電シート４１に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート４１における電界が印加された部分が活性部として働き、その厚み方向すなわち積層方向には伸長又は収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮又は伸長しようとする。一方、残り３枚の圧電シート４２〜４４は、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域をもたない非活性層であるので、自発的に変形することができない。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性部を含む層とし、且つ、下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。
【００６０】
　そのため、電界と分極とが同方向となるようにドライバＩＣ８０を制御して個別電極３５を共通電極３４に対して正又は負の所定電位とすると、圧電シート４１における個別電極３５と共通電極３４とで挟まれた活性部が面方向に収縮し、その一方で圧電シート４２〜４４は自発的には収縮しない。このとき、図１０（ａ）に示すように、圧電シート４１〜４４の下面はキャビティプレート２２に形成された圧力室１０を区画する隔壁の上面に固着されているので、圧電横効果に基づく面方向の収縮により、圧電シート４１〜４４は圧力室１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。すると、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、インク吐出口８からインクが吐出される。その後、個別電極３５の電位が元に戻れば、圧電シート４１〜４４は元の平板形状となり、圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド５側から吸い込む。
【００６１】
　なお、他の駆動方法として、圧電シート４１〜４４が圧力室１０側へ凸に変形するように、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４４が元の形状に戻り、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【００６２】
　圧電シート４１に印加される電界方向とその分極方向とが逆であれば、個別電極３５と共通電極３４とで挟まれた圧電シート４１における活性部が分極方向と直角方向に伸長しようとする。従って、圧電シート４１〜４４は、全体として、圧電横効果に基づき、圧力室１０側に凹となるように変形する。このため、圧力室１０の容積が増加して、インクをマニホールド５側から吸い込む。その後、個別電極３５の電位が元に戻れば、圧電シート４１〜４４は元の平板形状となり、圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インク吐出口８からインクを吐出する。
【００６３】
　ＦＰＣ５０は、図１１（ａ）に示すように、ベースフィルム５１と、その下面に形成された複数の導体パターン５３と、ベースフィルム５１の下面のほぼ全体を覆うカバーフィルム５２と、を含む。ベースフィルム５１は略２５μｍ、導体パターン５３は略９μｍ、カバーフィルム５２は略２０μｍの厚みをそれぞれ有する。カバーフィルム５２には、導体パターン５３より小さな面積の貫通孔５２ａが、複数の導体パターン５３のそれぞれに対応するように、複数形成されている。ベースフィルム５１、導体パターン５３、及び、カバーフィルム５２は、各貫通孔５２ａの中心と導体パターン５３の中心とが対応し、導体パターン５３の外周縁部分がカバーフィルム５２に覆われるよう、互いに位置合わせして積層される。ＦＰＣ５０の端子５４は、貫通孔５２ａを介して、導体パターン５３と接続されている。
【００６４】
　ベースフィルム５１及びカバーフィルム５２は、いずれも絶縁性を有するシート部材である。本実施形態において、ベースフィルム５１はポリイミド樹脂からなり、カバーフィルム５２は感光性材料からなる。このようにカバーフィルム５２を感光性材料から構成することで、多数の貫通孔５２ａを形成するのが容易になる。
【００６５】
　導体パターン５３は、銅箔により形成されている。導体パターン５３は、ドライバＩＣ８０と接続された配線であり、ベースフィルム５１の下面において、所定のパターンを形成している。
【００６６】
　端子５４は、例えばニッケルなどの導電性材料から構成されている。端子５４は、貫通孔５２ａを塞ぐと共に、カバーフィルム５２下面における貫通孔５２ａの外側周縁を覆い、圧電シート４１の方向に凸となるように、形成されている。端子５４の径は略５０μｍ、カバーフィルム５２下面からの厚みは略３０μｍである。
【００６７】
　ＦＰＣ５０は多数の端子５４を有し、各端子５４はそれぞれ１つのランド部３６（図１０（ａ），（ｂ）参照）と対応するよう構成されている。したがって、各ランド部３６と電気的に接続された各個別電極３５は、それぞれＦＰＣ５０における独立した導体パターン５３を介してドライバＩＣ８０に接続される。これにより、圧力室１０ごとに電位を制御することが可能となっている。
【００６８】
　ここで、インクジェットヘッド１におけるヘッド本体１ａを作製する方法の一例について、説明する。ヘッド本体１ａを作製する場合、流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１をそれぞれ並行して別個に作製し、その後、両者を接合するのが一般である。
【００６９】
　流路ユニット４を作製するには、これを構成する各プレート２２〜３０に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図６及び図８に示すような開孔及び凹部を各プレート２２〜３０のそれぞれに形成する。その後、図６に示すようなインク流路３２が形成されるように９枚のプレート２２〜３０を接着剤を介在させつつ重ね合わせ、接着することで流路ユニット４を作製する。
【００７０】
　一方、アクチュエータユニット２１を作製するには、先ず、圧電シート４２となるセラミックス材料のグリーンシート上に、共通電極３４となる導電性のペーストをパターン印刷する。その後、４枚の圧電シート４１〜４４を治具を用いて位置合わせしつつ重ね合わせることによって得られた積層物を、所定の温度で焼成する。これにより形成された個別電極３５を有しない積層物を、圧電シート４４とキャビティプレート２２とが接触するように、接着剤により流路ユニット４と接着する。
【００７１】
　しかる後、圧電シート４１表面に個別電極３５となる導電性のペーストをパターン印刷し、さらにランド部３６となる導電性のペーストを個別電極３５となる導電性のペーストの一端上に、より詳細には個別電極３５における接続部３５ｂの一端上に、パターン印刷する（図１０（ａ）、（ｂ）参照）。その後焼成工程を行い、当該ペーストを焼結させる。これにより、圧電シート４１表面に個別電極３５が形成され、さらに個別電極３５における接続部３５ｂの一端上にランド部３６が形成される。
【００７２】
　その後、個別電極３５に電気信号を供給するため、ＦＰＣ５０の端子とランド部３６とを接合し、さらに所定の工程を経ることによってインクジェットヘッド１の製造が完了する。
【００７３】
　ここで、図１１（ａ）〜（ｄ）を参照しつつ、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法における、端子とランド部との接合過程について説明する。図１１（ａ）〜（ｃ）は、端子とランド部との接合過程を段階的に示したものであり、図１１（ｄ）は、図１１（ｃ）の状態におけるエポキシ系樹脂の占有領域を示す図１０（ｂ）に対応した平面図である。
【００７４】
　先ず、端子５４の表面全体を覆うように、略７〜８μｍの厚みを有する半田６０を配置する（図１１（ａ）参照）。その後、端子５４を備えたＦＰＣ５０と平板部材６４の表面に塗布されたエポキシ系樹脂６２とを対向配置させ、端子５４を平板部材６４に対して押圧してエポキシ系樹脂６２を転写する。これにより、略０．１ｍｍの径を有するエポキシ系樹脂６２が、半田６０の表面に付着する（図１１（ｂ）参照）。なお、図１１（ａ）におけるエポキシ系樹脂６２は、好ましくは１０μｍの厚みであって、濡れ性にもよるが、その略６０〜７０％が半田６０の表面に転写される。
【００７５】
　その後、端子５４とランド部３６とを位置合わせして、ＦＰＣ５０を圧電シート４１に近づけ、ランド部３６と端子５４とを互いに近づく方向に加圧する。この加圧によって、先ずエポキシ系樹脂６２がランド部３６表面に当接する。エポキシ系樹脂６２は、加圧に伴って、ランド部３６と端子５４との対向方向に直交する方向（図中左右方向）に移動し、ランド部３６と端子５４との間から排出される。そしてエポキシ系樹脂６２は、表面電極３５の接続部３５ｂ外まで押し広げられて、ランド部３６、端子５４、及び半田６０を取り囲んだ状態となる（図１１（ｃ）、（ｄ）参照）。また、エポキシ系樹脂６２は、ＦＰＣ５０のカバーフィルム５２と圧電シート４１との両者を連結する。これにより、半田６０は、ランド部３６と端子５４とに挟まれた領域に配置され、一方、エポキシ系樹脂６２は、ランド部３６と端子５４とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域に配置される。つまり、ランド部３６と端子５４との間には半田６０のみが介在し、半田６０を介してランド部３６と端子５４とが互いに当接し、電気的に導通した状態になる。
【００７６】
　その後、例えばセラミックヒータ（図示せず）をＦＰＣ５０のベースフィルム５１表面に設置し、加熱する。このとき、エポキシ系樹脂６２は、加熱により加工可能な程度に軟化し、さらに加熱を続けることにより化学反応を起こして硬化し、一度硬化した後は加熱しても再び軟化することがない性質、即ち熱硬化性を有している。加熱によって半田６０が溶融し始めたとき、エポキシ系樹脂６２はほとんど硬化しておらず、軟化状態にある。エポキシ系樹脂６２は、熱による変形はほとんどなく、図１１（ｃ）、（ｄ）に示す状態がほぼ保たれる。エポキシ系樹脂６２は粘性も有するので、その後さらに加熱を続けることで、図１１（ｃ）、（ｄ）に描かれているのとほぼ同様の状態となる。即ち上述した加圧工程終了時の状態おいて、エポキシ系樹脂６２は、カバーフィルム５２と圧電シート４１との両者に連結すると共に、ランド部３６と端子５４とを接続する半田６０の外周面を被覆するようにして、完全に硬化する。
【００７７】
　なお、エポキシ系樹脂６２及び半田６０は、加熱工程において、互いに混ざり合うことはない。
【００７８】
　なお、上述の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法における、端子とランド部との接合過程についての変形例が、図１２に示されている。図１２は、図１１（ｂ）と対応した部分断面図である。上述の実施形態では、図１１（ｂ）に示すように、エポキシ系樹脂６２を半田６０の表面に付着させるが、本変形例では、半田６０の表面ではなくランド部３６の表面にエポキシ系樹脂６２を付着させる。図１２に示す状態で加圧及び加熱工程を行っても、結果として、上述の実施の形態と同様の図１１（ｃ）、（ｄ）に示す状態となる。
【００７９】
　以上に述べたように、本実施形態におけるインクジェットヘッド１によると、ランド部３６と端子５４との接合部が圧力室１０に対向しない領域にあることから、アクチュエータユニット２１における圧電素子、即ち圧電シート４１〜４４の変形の阻害を抑制することができる。したがって、圧力室１０の容積を効率よく縮小することができ、インク吐出性能の低下の問題が軽減される。
【００８０】
　そして、加熱されても半田６０などの金属材料ほどの流動性を持たないエポキシ系樹脂６２によって、半田６０を覆うことで、半田６０の移動を抑制することができる。また、エポキシ系樹脂６２が表面電極３５の接続部３５ｂ外まで延在してランド部３６、端子５４、及び半田６０を取り囲んでいる（図１１（ｃ）、（ｄ）参照）ことにより、半田６０が個別電極３５における主電極部３５ａに付着した場合に生じる圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、断線、及び、隣接する端子接合部への付着による端子間におけるショートの問題を、共に軽減することができる。
【００８１】
　なお、半田のみを用いる場合は、接合強度の観点から、端子と電極との接合部の面積を比較的大きくしたり、半田の使用量を多くしたりする必要がある。しかし、端子と電極との接合部の面積を大きくしたり、半田の使用量を多くしたりすることは、共に、圧力室の高密度化にとって不利である。圧力室の高密度化は、近年インクジェットヘッドに要請されてきている事項であって、各圧力室に対応して設けられた電極とプリント基板の端子との接合部同士の間隔が狭くなる傾向にある。このように接合部同士の間隔が狭い場合に、接合部の面積を大きくするのは困難である。また、半田の使用量を多くする場合は、圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、断線、及び、ショートの問題がいっそう顕著になる。
【００８２】
　これに対し、本実施の形態によると、エポキシ系樹脂６２がランド部３６、端子５４、及び半田６０を取り囲んでいるので、ランド部３６と端子５４との接合面積を比較的小さくしたり、半田６０の使用量を比較的少なくしたりしても、十分な接合強度を確保することができる。つまり、本実施の形態によると、近年における圧力室の高密度化の要請、即ち本実施の形態のように圧力室１０を流路ユニット４の平面においてマトリクス状に配置することで圧力室１０を高密度化した場合にも、適切に応じることができる。
【００８３】
　また、エポキシ系樹脂６２は、圧力室１０に対向しない領域に配置されているので、アクチュエータユニット２１における圧電素子、即ち圧電シート４１〜４４の変形の阻害を、より確実に抑制することができる。
【００８４】
　また、エポキシ系樹脂６２は、図１１（ｃ）、（ｄ）に示すように、ランド部３６の近傍にのみ配置されており、圧電シート４１や個別電極３５に必要以上に付着していない。これは、アクチュエータユニット２１における圧電素子、即ち圧電シート４１〜４４の変形の阻害を抑制するという観点から、及び、材料の使用量の抑えるという経済的な観点からも好適である。
【００８５】
　また、熱硬化性を有するエポキシ系樹脂６２を用いたことで、加熱により、半田６０の外側表面全体を覆った状態で、エポキシ系樹脂６２を硬化させることができる。つまり、加熱によって半田６０が溶融して高い流動性を持ったとき、エポキシ系樹脂６２は軟化した状態で半田６０の流れを抑制し、その後硬化する。これにより、半田６０のランド部３６近傍からの移動が確実に抑制され、端子−電極間の接合強度がさらに向上する。
【００８６】
　また、一般に、半田のみを用いる場合はフラックス(flux)を用いる必要があるが、本実施の形態のようにエポキシ系樹脂６２を用いると、エポキシ系樹脂６２にはフラックスと同様の働きをする成分が少量含まれているものが多いため、フラックスを使用する必要がなくなる。したがって、経済的にも環境的にも好都合である。
【００８７】
　また、複数の圧力室１０は、流路ユニット４の平面においてマトリクス状に配置されているので、多数の吐出ノズル８を高密度に設けることができ、高解像度で画像を印刷することが可能である。
【００８８】
　また、図１１（ａ）〜（ｃ）及び図１２には、端子５４及びランド部３６の表面が共に平滑に描かれているが、実際は、工程上の理由から、端子５４及びランド部３６の表面には少なくとも微小な凹凸が形成されるのが一般である。したがって、多数の端子５４及びランド部３６をそれぞれ有するＦＰＣ５０およびアクチュエータユニット２１を互いに近づく方向に加圧し、両者を均一の圧力で確実に接触させるのは困難である。そこで本実施の形態では、端子５４とランド部３６との間の微小な隙間に半田６０を介在させることで、両者の電気的接続を確実なものとしている。
【００８９】
　さらに、本実施の形態における製造方法によると、端子５４とランド部３６との接合部分が圧力室１０に対向しない領域に位置するため、接合部分が圧力室１０に対向する領域に位置する場合に比べ、端子５４をランド部３６に対して加圧する力を効果的に伝達することができる。したがって、端子５４とランド部３６との接合作業が容易になる。
【００９０】
　また、本実施の形態における製造方法によると、端子５４とランド部３６との間に、半田６０及びエポキシ系樹脂６２を、それぞれ上・下の順になるように配置した後に加圧工程を行うことで、加熱工程前に図１１（ｃ）、（ｄ）のような状態、即ちエポキシ系樹脂６２が端子５４とランド部３６との間から排出され、半田６０の外側表面を覆った状態に、容易に至らしめることができる。
【００９１】
　次いで、図１３（ａ）、図１３（ｂ）、及び図１３（ｃ）を参照して、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの変形例について説明する。図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、端子とランド部との接合過程を段階的に示したものである。図１３（ｃ）は、図１３（ｂ）の状態におけるエポキシ系樹脂の占有領域を示す図１０（ｂ）に対応した平面図である。なお、この変形例において、エポキシ系樹脂６２の形状以外は上述の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【００９２】
　この変形例では、端子５４とランド部３６とを加圧する前に、エポキシ系樹脂６２をランド部３６と圧力室１０（図１０（ａ）参照）との間にのみ配置する（図１３（ａ）参照）。この場合、上述と同様の加圧工程を行った後の状態は、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に示すようになる。つまり、エポキシ系樹脂６２は、半田６０の一部のみ、より詳細には半田６０におけるランド部３６と圧力室１０（図１０（ａ）参照）との間にある部分のみを覆う。
【００９３】
　この変形例によると、エポキシ系樹脂６２を外側に押しのけるために要する力が上述の実施形態の場合よりも少なくなる。したがって、比較的小さな加圧力で、端子５４とランド部３６とを接合することができる。即ち、接合作業が容易である。
【００９４】
　また、アクチュエータユニット２１を構成する圧電シート４１〜４４に過剰な加圧力が加わると、インク吐出性能に支障が生じかねないが、本変形例ではこのような問題が軽減される。
【００９５】
　また、エポキシ系樹脂６２により、溶融した半田６０が個別電極３５の主電極部３５ａへ移動するのを抑制することができるので、圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、及び断線の問題は軽減される。しかし、これら問題に加えてショートの問題をも軽減するという観点からは、上述の実施形態のように、エポキシ系樹脂６２が接続部３５ｂ外まで延在してランド部３６、端子５４、及び半田６０を取り囲むのが好ましい。
【００９６】
　なお、エポキシ系樹脂６２は半田６０の少なくとも一部を覆えばよく、半田６０がエポキシ系樹脂６２によって覆われる部分は適宜変更可能である。例えば、エポキシ系樹脂６２を、隣接するランド部-端子接合部との間のみに配置すると、圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、及び断線の防止の効果は得られないが、端子間におけるショートを抑制することができる。
【００９７】
　また、加圧工程前に半田６０を配置する位置は、図１１（ａ）に示すように端子５４表面全体に限定されず、端子５４の表面の一部であってもよく、またさらに、端子５４表面に限定されず、ランド部３６表面であってもよい。この場合、エポキシ系樹脂６２は、半田６０の上、即ち端子５４に近い側に配置する。
【００９８】
　また、半田６０は、図１１（ｃ）及び図１３（ｂ）に示すように、ランド部３６と端子５４とに挟まれた領域、及び、ランド部３６と端子５４とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域に配置されているが、これに限定されない。例えば、ランド部３６と端子５４とに挟まれた領域のみに、半田６０が配置されても、電気的接続は実現される。また、加圧時に、それぞれ複数ある端子５４及びランド部３６の両者を確実に接触させることができるのであれば、ランド部３６と端子５４とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域のみに、半田６０が配置されても、電気的接続は実現される。
【００９９】
　また、エポキシ系樹脂６２は、溶融した半田６０の流出を抑えることができるのであれば、カバーシート５２に接触しなくてもよいし、ランド部３６、端子５４、及び半田６０を取り囲まなくてもよい。しかし、エポキシ系樹脂６２をカバーシート５２に接触させることにより、上述したように、半田６０の広がりに起因する不具合を軽減する効果に加え、ランド部３６と端子５４との間の接合を補強する効果が得られる。
【０１００】
　また、エポキシ系樹脂６２は、圧力室１０に対向する領域に配置されてもよい。しかし、アクチュエータユニット２１における圧電素子、即ち圧電シート４１〜４４の変形の阻害を抑制する観点からは、圧力室１０に対向する領域であっても圧電シート４１〜４４の変形に寄与しない領域か、或いは、上述した実施形態のように圧力室１０に対向しない領域に、エポキシ系樹脂６２を配置するのが好ましい。
【０１０１】
　また、エポキシ系樹脂６２は、ランド部３６近傍にのみ配置されているが、これに限定されず、例えばＦＰＣ５０と圧電シート４１とに挟まれた領域の任意の位置に配置されてよい。しかし、アクチュエータユニット２１における圧電素子、即ち圧電シート４１〜４４の変形の阻害を抑制するという観点から、及び、材料の使用量の抑えるという経済的な観点からすると、エポキシ系樹脂６２をランド部３６近傍のみに配置するのが好ましい。
【０１０２】
　また、エポキシ系樹脂６２の代わりに、他の熱硬化性樹脂を用いてもよい。
【０１０３】
　また、端子５４とランド部３６とを電気的に接続する金属接合剤としては、半田６０に限定されず、例えばスズからなる金属接合剤など、様々なものを用いてよい。なお、ここで用いる熱硬化性樹脂と金属接合剤とは、互いに加熱時に混ざり合わない性質を有する必要がある。
【０１０４】
　次いで、図１４（ａ）、図１４（ｂ）、及び図１４（ｃ）を参照して、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドのもう１つの変形例について説明する。図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は、端子とランド部との接合過程を段階的に示したものである。図１４（ｃ）は、図１４（ｂ）の状態におけるエポキシ系樹脂の占有領域を示す図１０（ｂ）に対応した平面図である。なお、この変形例において、エポキシ樹脂６２の代わりに凸部１６２を用いていること以外は上述の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１０５】
　この変形例では、図１４（ａ）に示すように、端子５４とランド部３６とを加圧する前に、個別電極３５における接続部３５ｂ上に予め凸部１６２を形成しておく。凸部１６２は、図１４（ｃ）に示すように、個別電極３５における主電極部３５ａとランド部３６とを結ぶ方向と実質的に直交する方向に接続部３５ｂ外まで延在している。凸部１６２を形成するのに用いる材料は、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂であってもよいし、熱硬化性樹脂以外の材料であってもよい。また、凸部１６２を形成するのに用いる材料は、凸部１６２によりカバーフィルム５２と圧電シートとを連結することを意図としなければ、例えば酸化シリコンや窒化シリコンのような無機材料など、溶融した半田６０に対する濡れ性（親和性）が低いものであればよい。
【０１０６】
　図１４（ａ）のように接続部３５ｂ上凸部１６２を形成した後、ランド部３６および凸部１６２が圧力室１０に対向しない領域に位置するように、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とを接合する。その後、上述と同様に半田６０を端子５４の表面に配置して、加圧工程を行う。
【０１０７】
　なお、凸部１６２は、図１４（ａ）及び図１４（ｂ）からわかるように、加圧工程において変形しない。
【０１０８】
　また、凸部１６２は、図１４（ｂ）に示すように、ＦＰＣ５０のカバーフィルム５２に接触しており、アクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０とを接続している。このように、凸部１６２がアクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０とを接続することによって、両者の接着強度が向上する。なお、凸部１６２は、半田付けの際に溶融した半田６０が主電極部３５ａに向けて移動するのを抑制できればよく、アクチュエータユニット２１とＦＰＣ５０とを接続しなくてもよい。例えば、凸部１６２の高さは、端子５４とランド部３６との当接により形成されるカバーフィルム５２と圧電シート４１との間隙より低くてもよい。
【０１０９】
　本変形例では、凸部１６２によって半田６０の個別電極３５における主電極部３５ａへの移動が抑制される。したがって、上述の実施形態と同様に、圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、及び断線の問題が軽減されるという効果が得られる。
【０１１０】
　また、凸部１６２が接続部３５ｂを跨りつつ主電極部３５ａとランド部３６とを結ぶ方向と実質的に直交する方向に接続部３５ｂ外まで延在しているので、半田６０の個別電極３５における主電極部３５ａに向けての移動を効果的に抑制することができる。
【０１１１】
　なお、凸部１６２の高さや位置を適宜変更することで、半田６０の移動抑制効果を調整することも可能である。例えば、凸部１６２を、第１の実施の形態おけるエポキシ系樹脂６２と同様にランド部３６、端子５４、及び半田６０を取り囲むように形成してもよい。
【０１１２】
　次に、図１５（ａ）及び図１５（ｂ）を参照しつつ、本発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法における、端子とランド部との接合過程について説明する。図１５（ａ）及び図１５（ｂ）は、端子とランド部との接合過程を段階的に示したものである。なお、本実施の形態において、端子５４とランド部３６との接合部分以外は上述した第１の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１１３】
　本実施の形態では、端子５４とランド部３６との接合に半田６０及びエポキシ系樹脂６２を用いず、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste：異方性導電ペースト）６３を用いる。
【０１１４】
　先ず、ランド部３６の表面に、例えば転写又は印刷により、ＡＣＰ６３を配置する（図１５（ａ）参照）。そして、端子５４とランド部３６とを位置合わせして、ＦＰＣ５０を圧電シート４１に近づけ、ランド部３６と端子５４とを互いに近づく方向に加圧する。この加圧によって、先ずＡＣＰ６３が端子５４表面に当接する。ＡＣＰ６３のほとんどの部分は、加圧に伴って、ランド部３６と端子５４との対向方向に直交する方向（図中左右方向）に移動し、ランド部３６近傍において、端子５４の凸側面を覆い、且つ、ランド部３６及び端子５４を外周全体から取り囲んだ状態となる（図１５（ｂ）参照）。一方、ＡＣＰ６３の残りの一部は、ランド部３６と端子５４との微小な隙間に介在し、ＡＣＰ６３中の導電粒子を介してランド部３６と端子５４とが電気的に接続される。
【０１１５】
　その後、上述した第１の実施形態と同様の加熱工程を行うと、熱硬化性を有するＡＣＰ６３は、図１５（ｂ）に描かれているのとほぼ同様の状態、即ち上述した加圧工程終了時の状態おいて、完全に硬化する。
【０１１６】
　以上に述べたように、本実施形態によると、ランド部３６と端子５４との電気的接続が、ＡＣＰ６３によって実現される。したがって、第１の実施形態における半田６０を用いることなく、ＡＣＰ６３という単一の接合剤のみで端子５４とランド部３６との接合を行うことが可能であるので、製造が比較的容易になる。
【０１１７】
　また、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、ランド部３６と端子５４との接合部が圧力室１０に対向しない領域にあることから、圧電シート４１〜４４の変形の阻害を抑制することができる。したがって、圧力室１０の容積を効率よく縮小することができ、インク吐出性能の低下の問題が軽減される。
【０１１８】
　また、ランド部３６と端子５４とを電気的に接続するのに、半田６０などの金属接合剤ではなくＡＣＰ６３を用いているので、圧電素子の変形の阻害、接続抵抗の増大、断線、及び端子間におけるショートの問題を、共に軽減することができる。
【０１１９】
　また、ＡＣ６３が圧力室１０に対向しない領域に配置されているので、アクチュエータユニット２１における圧電素子、即ち圧電シート４１〜４４の変形の阻害を抑制することができる。
【０１２０】
　また、図１５（ｂ）からわかるように、ＡＣＰ６３がランド部３６及び端子５４を取り囲んでいるので、十分な接合強度を確保することができる。したがって、本実施の形態でも、第１の実施の形態と同様に、近年における圧力室の高密度化の要請、即ち本実施の形態のように圧力室１０を流路ユニット４の平面においてマトリクス状に配置することで圧力室１０を高密度化した場合にも、適切に応じることができる。
【０１２１】
　また、導電粒子を含有するＡＣＰ６３を用いたことで、ＦＰＣ５０を圧電シート４１に近づけたときに、複数の端子５４及びランド部３６全てが確実に接触しない場合でも、両者の間に介在し、電気的接続を実現することができる。また、半田６０を溶融させるには略２００℃まで加熱する必要があるが、本実施形態では略１００℃まで加熱すればよい。これは、ＡＣＰ６３が１００℃程度で硬化する性質を有するためである。
【０１２２】
　以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【０１２３】
　例えば、ＡＣＰ６３は、ランド部３６と端子５４とに挟まれた領域、及び、ランド部３６と端子５４とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域に配置されているが、これに限定されない。ランド部３６と端子５４とに挟まれた領域のみにＡＣＰ６３が配置されても、電気的接続は実現される。また、加圧時に、それぞれ複数ある端子５４及びランド部３６の両者を確実に接触させることができるのであれば、ランド部３６と端子５４とに跨りつつ両者の外周面に沿った領域のみに、ＡＣＰ６３が配置されても、電気的接続は実現される。
【０１２４】
　また、ＡＣＰ６３は、ランド部３６及び端子５４を取り囲まず、両者に跨る一部のみを覆ってもよい。さらに、ＡＣＰ６３は、ランド部３６近傍のみに配置されるのに限定されず、圧力室１０に対向しない領域であれば、ＦＰＣ５０と圧電シート４１とに挟まれた領域の任意の位置に配置されてよい。しかし、アクチュエータユニット２１における圧電素子、即ち圧電シート４１〜４４の変形の阻害を抑制するという観点から、及び、材料の使用量の抑えるという経済的な観点からすると、ＡＣＰ６３をランド部３６近傍のみに配置するのが好ましい。
【０１２５】
　また、本実施の形態では接合剤としてＡＣＰ６３を用いているが、これに限定されず、例えばＮＣＰ（非導電性ペーストnon-conducting paste）など、その他様々な熱硬化性樹脂を用いてよい。しかし、ＡＣＰ６３のような導電粒子を含有するもの以外の熱硬化性樹脂（例えばＮＣＰ）を用いる場合は、端子５４とランド部３６との隙間をなくし、両者を確実に接触させ、樹脂を両者の周りに配置する必要がある。本実施の形態のように多数の端子５４及びランド部３６を含む場合、各接合部において隙間をなくすのは実際非常に困難であるので、端子５４を金などの比較的柔らかい材質から構成するのが好ましい。こうすると、各接合部における隙間を解消しやすくなる。
【０１２６】
　また、加圧工程前にＡＣＰ６３を配置する位置は、図１５（ａ）に示すようにランド部３６表面全体に限定されず、ランド部３６表面の一部であってもよく、端子５４の表面であってもよい。
【０１２７】
　また、流路ユニット４に形成された圧力室１０の配置はマトリックス状でなくてもよい。さらに、アクチュエータユニット２１における圧電素子を構成するものは、圧電シート４１〜４４のような複数の圧力室１０を跨ぐようなサイズに形成されたものではなく、各圧力室１０に個別に設けられたものでもよい。
【０１２８】
　なお、以上説明した第１及び第２の実施形態ではいずれも、加圧工程後と加熱工程後の状態がほとんど変化ないものとしているが、これに限定されない。つまり、加熱工程後、即ち熱硬化性樹脂の硬化反応が終了した後の状態が、図１１（ｃ）及び図１１（ｄ）、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）、又は図１５（ｂ）の状態になっていればよい。
【０１２９】
　なお、本発明に係るインクジェットヘッドは、固定されたヘッド本体２ａに対して用紙を搬送して印刷する上述の実施形態のようなラインプリンティング式のインクジェットプリンタのほか、例えば、用紙を搬送するとともにそれと垂直な方向にヘッド本体を往復移動させて印字するシリアルプリンティング式のインクジェットプリンタにも適用することができる。
【０１３０】
　また、本発明に係るインクジェットヘッドは、インクジェットプリンタに限定されず、例えばインクジェット式のファクシミリやコピー機にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図１に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。
【図４】図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図５】図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図６】図５に描かれたＶＩ−ＶＩ線に沿った、図３に描かれたヘッド本体の部分断面図である。
【図７】図４内に描かれた二点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図８】図６に描かれたヘッド本体、及び、これに貼り付けられたフレキシブルプリント配線板の部分分解斜視図である。
【図９】（ａ）は、図６内に描かれたインク流路を形成する空間の平面図である。（ｂ）は、図６内に描かれたインク流路を形成する空間の斜視図である。
【図１０】（ａ）は、図６内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域を横方向から見た拡大断面図である。（ｂ）は、アクチュエータユニットの表面に形成された個別電極（表面電極）及びランド部の形状を示す平面図である。
【図１１】（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法における、端子とランド部との接合過程での、端子を被覆する半田の表面にエポキシ系樹脂を付着させる作業前の状態を示す部分断面図である。（ｂ）は、（ａ）に続き、半田及びエポキシ系樹脂が付着された端子、及び、ランド部が、対向配置された状態を示す部分断面図である。（ｃ）は、（ｂ）に続き、端子とランド部とが接合された状態を示す部分断面図である。（ｄ）は、図１１（ｃ）の状態におけるエポキシ系樹脂の占有領域を示す図１０（ｂ）に対応した平面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法の変形例を示す、図１１（ｂ）と対応した部分断面図である。
【図１３】（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの変形例を示す、図１１（ｂ）と対応した部分断面図である。（ｂ）は、（ａ）に続き、端子とランド部とが接合された状態を示す、図１１（ｃ）と対応した部分断面図である。（ｃ）は、（ｂ）の状態におけるエポキシ系樹脂の占有領域を示す図１０（ｂ）に対応した平面図である。
【図１４】（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドのもう１つの変形例を示す、図１１（ｂ）と対応した部分断面図である。（ｂ）は、（ａ）に続き、端子とランド部とが接合された状態を示す、図１１（ｃ）と対応した部分断面図である。（ｃ）は、（ｂ）の状態におけるエポキシ系樹脂の占有領域を示す図１０（ｂ）に対応した平面図である。
【図１５】（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法における、図１１（ｂ）と対応した部分断面図である。（ｂ）は、（ａ）に続き、端子とランド部とが接合された状態を示す、図１１（ｃ）と対応した部分断面図である。
【符号の説明】
【０１３２】
　１　インクジェットヘッド
　１ａ　ヘッド本体
　４　流路ユニット
　１０　圧力室
　２１　アクチュエータユニット（圧電素子）
　２２ａ　壁部
　３５　表面電極
　３５ａ　主電極部
　３５ｂ　接続部
　３６　ランド部
　５０　ＦＰＣ（プリント基板）
　５４　端子
　６０　半田（金属接合剤）
　６２　エポキシ系樹脂（熱硬化性樹脂、凸部）
　６３　ＡＣＰ（熱硬化性樹脂）
　１６２　凸部
【図１】
2004136663.tif 000003
【図２】
2004136663.tif 000004
【図３】
2004136663.tif 000005
【図４】
2004136663.tif 000006
【図５】
2004136663.tif 000007
【図６】
2004136663.tif 000008
【図７】
2004136663.tif 000009
【図８】
2004136663.tif 000010
【図９】
2004136663.tif 000011
【図１０】
2004136663.tif 000012
【図１１】
2004136663.tif 000013
【図１２】
2004136663.tif 000014
【図１３】
2004136663.tif 000015
【図１４】
2004136663.tif 000016
【図１５】
2004136663.tif 000017