(57)【要約】【課題】測定精度が高く、しかも小型化を図ることができる赤外線温度センサを提供する。【解決手段】赤外線温度センサ１においては、検知用サーミスタ９を保持する第１の樹脂フィルム８は、ハウジング２に形成された開口６ａを介して、測定対象物から放射される赤外線を受光・吸収する。これに対し、補償用サーミスタ１２を保持する第２の樹脂フィルム１１は、測定対象物から放射される赤外線からは隔壁３によって完全に遮光され、ハウジング２や隔壁３から放射される赤外線を受光・吸収する。このように、測定対象物から放射される赤外線が第２の樹脂フィルム１１に照射されるのを確実に防止することができるため、測定対象物の温度を高精度に測定することが可能になる。しかも、各樹脂フィルム８，１１がハウジング２内において対面するように配置されるため、赤外線温度センサ１の小型化を図ることができる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検知用感熱素子及び補償用感熱素子を用いた赤外線温度センサであって、
測定対象物から放射される赤外線を入射させる開口が形成されたハウジングと、
前記開口に臨むように前記ハウジング内に掛け渡され、前記検知用感熱素子を保持する第１の樹脂フィルムと、
前記第１の樹脂フィルムと対面するように前記ハウジング内に掛け渡され、前記補償用感熱素子を保持する第２の樹脂フィルムと、
前記第１の樹脂フィルムと前記第２の樹脂フィルムとの間において前記ハウジングに形成された隔壁とを備えることを特徴とする赤外線温度センサ。
【請求項２】
前記検知用感熱素子は、前記第１の樹脂フィルムの前記隔壁側の表面に配置され、前記補償用感熱素子は、前記第２の樹脂フィルムの前記隔壁側の表面に配置されていることを特徴とする請求項１記載の赤外線温度センサ。
【請求項３】
前記補償用感熱素子は、前記第１の樹脂フィルムにおける赤外線受光領域と対面する領域内に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の赤外線温度センサ。
【請求項４】
前記補償用感熱素子は、前記第１の樹脂フィルムの表面に対し垂直で且つ前記検知用感熱素子を通る軸線上に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の赤外線温度センサ。
【請求項５】
前記補償用感熱素子は、前記第１の樹脂フィルムの表面に対し垂直で且つ前記検知用感熱素子を通る軸線上から外れた位置に配置され、
前記検知用感熱素子は、前記第１の樹脂フィルムの前記隔壁側の表面に配置され、前記隔壁には、前記検知用感熱素子と向い合う凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の赤外線温度センサ。
【請求項６】
前記補償用感熱素子は、前記第２の樹脂フィルムの前記隔壁側の表面において、前記第１の樹脂フィルムの表面に対し垂直で且つ前記検知用感熱素子を通る軸線上から外れた位置に配置され、前記隔壁には、前記補償用感熱素子と向い合う凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の赤外線温度センサ。
【請求項７】
前記隔壁には、前記第２の樹脂フィルム側の空間を分ける仕切部が形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の赤外線温度センサ。
【請求項８】
前記ハウジングは、
前記開口が形成された導光部と、
前記隔壁が形成された本体部と、
前記補償用感熱素子が配置される空間を前記本体部とにより形成する蓋部とを有し、
前記第１の樹脂フィルムは、前記導光部と前記本体部とにより挟持され、前記第２の樹脂フィルムは、前記本体部と前記蓋部とにより挟持されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載の赤外線温度センサ。
【請求項９】
前記第１の樹脂フィルムの一端部と前記第２の樹脂フィルムの一端部とは、前記ハウジングに形成された同一の区画室内に引き出されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載の赤外線温度センサ。
【請求項１０】
前記開口は、長穴状の形状を有していることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項記載の赤外線温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、複写機において用紙にトナーを定着させる加熱定着ローラ等の表面温度を非接触で測定するための赤外線温度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来におけるこの種のセンサとして、下記の特許文献１には次のような赤外線検出器が記載されている。すなわち、当該赤外線検出器は、赤外線入射窓が形成されたケースを有し、このケース内には、互いに対面するよう支持枠体に保持された２枚の樹脂フィルムが配置されている。そして、赤外線入射窓に臨む一方の樹脂フィルムの赤外線入射窓側の表面には赤外線検知用サーミスタ素子が固定され、また、他方の樹脂フィルムの赤外線入射窓側の表面には温度補償用サーミスタ素子が固定されている。さらに、各樹脂フィルムにおいて赤外線入射窓と反対側の表面には反射膜が形成されている。
【０００３】
ところが、この赤外線検出器にあっては、赤外線入射窓から入射した赤外線が、温度補償用サーミスタ素子が固定された樹脂フィルム上に照射されるのを完全に防止することができず、正確に温度を測定することができないという問題がある。
【０００４】
このような問題を解決し得る赤外線温度センサとして、次のようなものが下記の特許文献２に記載されている。すなわち、当該赤外線温度センサにおいては、１枚の樹脂フィルム上に赤外線検知用感熱素子と温度補償用感熱素子とが固定されており、各感熱素子は、樹脂フィルムを挟持する保持体と蓋部材とより形成された２つの空間部にそれぞれ配置されている。そして、赤外線検知用感熱素子が配置された空間部には、赤外線を入射させる開口部が設けられている。
【０００５】
この赤外線温度センサによれば、２つの空間部に各感熱素子が別々に配置されているため、温度補償用感熱素子が配置された空間部に露出する樹脂フィルムの露出領域に、開口部から入射した赤外線が照射されるのを確実に防止することができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平７−２６０５７９号公報
【特許文献２】
特開２００２−１５６２８４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献２記載の赤外線温度センサにあっては、赤外線検知用感熱素子と温度補償用感熱素子とを同一平面上に配置し、各感熱素子に対して空間部を形成する必要があるため、センサの小型化を図ることができない。
【０００８】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、測定精度が高く、しかも小型化を図ることができる赤外線温度センサを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る赤外線温度センサは、検知用感熱素子及び補償用感熱素子を用いた赤外線温度センサであって、測定対象物から放射される赤外線を入射させる開口が形成されたハウジングと、開口に臨むようにハウジング内に掛け渡され、検知用感熱素子を保持する第１の樹脂フィルムと、第１の樹脂フィルムと対面するようにハウジング内に掛け渡され、補償用感熱素子を保持する第２の樹脂フィルムと、第１の樹脂フィルムと第２の樹脂フィルムとの間においてハウジングに形成された隔壁とを備えることを特徴とする。
【００１０】
この赤外線温度センサにおいては、検知用感熱素子を保持する第１の樹脂フィルムは、ハウジングに形成された開口を介して、測定対象物から放射される赤外線を受光・吸収する。これに対し、補償用感熱素子を保持する第２の樹脂フィルムは、測定対象物から放射される赤外線からは隔壁によって完全に遮光され、隔壁やハウジングから放射される赤外線を受光・吸収する。このように、測定対象物から放射される赤外線が第２の樹脂フィルムに照射されるのを確実に防止することができるため、検知用感熱素子の出力信号と補償用感熱素子の出力信号とに基づいて測定対象物の温度を高精度に測定することが可能になる。しかも、第１の樹脂フィルムと第２の樹脂フィルムとがハウジング内において対面するように配置されるため、検知用感熱素子と補償用感熱素子とを同一平面上に配置する場合に比べ、赤外線温度センサの小型化を図ることができる。
【００１１】
また、検知用感熱素子は、第１の樹脂フィルムの隔壁側の表面に配置され、補償用感熱素子は、第２の樹脂フィルムの隔壁側の表面に配置されていることが好ましい。これにより、ハウジング内において検知用感熱素子と補償用感熱素子とが近付くことになるため、検知用感熱素子と補償用感熱素子との温度バランスを向上させることができ、赤外線温度センサの測定精度をより一層向上させることが可能になる。
【００１２】
ここで、温度バランスとは、ハウジングの開口を遮蔽した状態で赤外線温度センサの雰囲気温度を変化させた場合における各感熱素子の出力特性の同一性（バランス）を意味し、各感熱素子の当該出力特性が近いものほど温度バランスが良いものといえる。
【００１３】
また、補償用感熱素子は、第１の樹脂フィルムにおける赤外線受光領域と対面する領域内に配置されていることが好ましい。これにより、検知用感熱素子と補償用感熱素子との温度バランスの更なる向上や、赤外線温度センサの更なる小型化を図ることができる。
【００１４】
また、補償用感熱素子は、第１の樹脂フィルムの表面に対し垂直で且つ検知用感熱素子を通る軸線上に配置されていることが好ましい。このように各感熱素子を同一の軸線上に配置することで、各感熱素子間の温度バランスを容易に向上させることができる。
【００１５】
また、補償用感熱素子は、第１の樹脂フィルムの表面に対し垂直で且つ検知用感熱素子を通る軸線上から外れた位置に配置され、検知用感熱素子は、第１の樹脂フィルムの隔壁側の表面に配置され、隔壁には、検知用感熱素子と向い合う凹部が形成されていることが好ましい。このように、検知用感熱素子と向い合う凹部を隔壁に形成することで、検知用感熱素子に対する隔壁からの背景放射（隔壁から放射される赤外線の照射）の影響を抑えつつ、第１の樹脂フィルムと第２の樹脂フィルムとの上記軸線方向における距離を短くすることができる。したがって、各感熱素子間の温度バランスをより一層向上させることが可能になる。
【００１６】
一方、補償用感熱素子は、第２の樹脂フィルムの隔壁側の表面において、第１の樹脂フィルムの表面に対し垂直で且つ検知用感熱素子を通る軸線上から外れた位置に配置され、隔壁には、補償用感熱素子と向い合う凹部が形成されていることが好ましい。このように、補償用感熱素子と向い合う凹部を隔壁に形成することで、例えば、補償用感熱素子の一部を凹部内に収容するなどして、第１の樹脂フィルムと第２の樹脂フィルムとの上記軸線方向における距離を短くすることができる。しかも、この凹部を所定の形状に形成することで、温度バランスをより一層向上させたり、赤外線温度センサの感度や熱応答特性を所望の特性にしたりすることが可能になる。
【００１７】
また、隔壁には、第２の樹脂フィルム側の空間を分ける仕切部が形成されていることが好ましい。このような仕切部を設けることで、第２の樹脂フィルムにおいて、隔壁やハウジングから放射される赤外線を受光・吸収して補償用感熱素子に熱的影響を与える領域の面積を制御することができる。したがって、温度バランスをより一層向上させたり、赤外線温度センサの感度や熱応答特性を所望の特性にしたりすることが可能になる。
【００１８】
また、ハウジングは、開口が形成された導光部と、隔壁が形成された本体部と、補償用感熱素子が配置される空間を本体部とにより形成する蓋部とを有し、第１の樹脂フィルムは、導光部と本体部とにより挟持され、第２の樹脂フィルムは、本体部と蓋部とにより挟持されていることが好ましい。このような構成を採用することで、赤外線温度センサの組み立て、特には第１及び第２の樹脂フィルムの掛け渡しを容易に行うことが可能になる。
【００１９】
また、第１の樹脂フィルムの一端部と第２の樹脂フィルムの一端部とは、ハウジングに形成された同一の区画室内に引き出されていることが好ましい。これにより、各樹脂フィルムに形成された感熱素子のリード配線を樹脂フィルムと共に同一の区画室内に引き出すことができる。したがって、この区画室内において外部配線との接続を行うなどして、赤外線温度センサにおける配線の取り回しの煩雑化を防止することができる。
【００２０】
また、開口は、長穴状の形状を有していることが好ましい。このように開口を長穴状の形状とすることで、長尺物（例えば、複写機の加熱定着ローラ等）の温度測定に適合させることができる。つまり、開口の長手方向が長尺物の長手方向と一致するように赤外線温度センサを配置することで、長尺物の温度を正確に測定することができる。しかも、上述したように、第１の樹脂フィルムと第２の樹脂フィルムとがハウジング内において対面するように配置されるため、開口を長穴状の形状としても、赤外線温度センサの大型化を防止することができる。ここで、長穴状の形状とは、所定の方向における開口の幅が、当該所定の方向に直交する方向における開口の幅より大きい形状を意味し、例えば、長方形状や楕円形状等がある。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る赤外線温度センサの好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
図１に示すように、赤外線温度センサ１は、検知用サーミスタや補償用サーミスタを収容するハウジング２を有している。このハウジング２は、図２に示すように、その内部空間を隔てる隔壁３が一体的に形成された本体部４を、導光部６と蓋部７とで挟み込むようにして構成されている。これにより、ハウジング２内には、隔壁３、本体部４及び導光部６により空間Ｓ１が形成され、隔壁３、本体部４及び蓋部７により空間Ｓ２が形成される。
【００２３】
なお、ハウジング２を構成する本体部４、導光部６及び蓋部７並びに隔壁３の材料には、熱伝導性に優れた材料としてアルミニウムが用いられている。また、本体部４には、赤外線温度センサ１を所定の位置に取り付けるべく固定用ネジ等が挿入される取付穴５が形成されている。
【００２４】
導光部６には、測定対象物から放射される赤外線を入射させる開口６ａが形成されている。この開口６ａは、略長方形状の長穴として形成されており（図１を参照）、その内側空間は、隔壁３、本体部４及び導光部６により形成された空間Ｓ１と一続きになっている。そして、この空間Ｓ１には、開口６ａの隔壁３側の端部を覆うようにテープ状の第１の樹脂フィルム８が掛け渡され、この第１の樹脂フィルム８は、導光部６と本体部４とで挟持された状態で固定されている。これにより、第１の樹脂フィルム８は、開口６ａに臨む赤外線受光領域Ｒ１において、測定対象物から放射される赤外線を受光する。なお、第１の樹脂フィルム８のベースフィルムには、赤外線吸収性を有するものとしてポリイミドフィルムが用いられている。
【００２５】
さらに、第１の樹脂フィルム８の隔壁３側の表面８ａには、検知用サーミスタ（検知用感熱素子）９が取り付けられている。この検知用サーミスタ９は、赤外線受光領域Ｒ１の中央に配置されており、赤外線受光領域Ｒ１における赤外線の受光・吸収に伴い加熱されて、その抵抗値を変化させる。この赤外線受光領域Ｒ１において受光・吸収される赤外線には、測定対象物から放射される赤外線だけでなく、ハウジング２や隔壁３から放射される赤外線がある。
【００２６】
また、隔壁３、本体部４及び蓋部７により形成された空間Ｓ２には、隔壁３を介在させて第１の樹脂フィルム８と対面するようにテープ状の第２の樹脂フィルム１１が掛け渡され、この第２の樹脂フィルム１１は、本体部４と蓋部７とで挟持された状態で固定されている。なお、第２の樹脂フィルム１１のベースフィルムにも、第１の樹脂フィルム８と同様に、ポリイミドフィルムが用いられている。
【００２７】
この第２の樹脂フィルム１１の隔壁３側の表面１１ａには、補償用サーミスタ（補償用感熱素子）１２が取り付けられている。この補償用サーミスタ１２は、第１の樹脂フィルム８の表面８ａに対し垂直で且つ検知用サーミスタ９を通る軸線Ｌ方向において赤外線受光領域Ｒ１と対面する領域内において、軸線Ｌ上から外れた位置（すなわち、軸線Ｌから所定量オフセットした位置）に配置されている。このように赤外線受光領域Ｒ１と対面する領域内に補償用サーミスタ１２を配置することで、検知用サーミスタ９と補償用サーミスタ１２との温度バランスの向上や、赤外線温度センサの小型化を図ることができる。
【００２８】
そして、隔壁３には、第２の樹脂フィルム１１側の空間を分ける仕切部１３が形成されており、この仕切部１３は、蓋部７に形成された突出部７ａとで第２の樹脂フィルム１１を挟持すると共に、突出部７ａとで空間Ｓ２を二分する。これにより、補償用サーミスタ１２は、仕切部１３及び突出部７ａにより二分された一方の空間内に配置されることとなり、当該空間内に露出する第２の樹脂フィルム１１の露出領域Ｒ２における赤外線の受光・吸収に伴い加熱されて、その抵抗値を変化させる。この露出領域Ｒ２において受光・吸収される赤外線は、ハウジング２や隔壁３から放射される赤外線である。
【００２９】
このような仕切部１３を設けることで、第２の樹脂フィルム１１において、ハウジング２や隔壁３から放射される赤外線を受光・吸収して補償用サーミスタ１２に熱的影響を与える領域（すなわち、露出領域Ｒ２）の面積を制御することができる。したがって、各サーミスタ９，１２間の温度バランスを向上させたり、赤外線温度センサ１の感度や熱応答特性を所望の特性にしたりすることが可能になる。
【００３０】
さらに、隔壁３の第２の樹脂フィルム１１側の表面には、軸線Ｌ方向において補償用サーミスタ１２と向い合う円形状の凹部１４が形成されている。この凹部１４も、上述の仕切部１３と同様に、各サーミスタ９，１２間の温度バランスを向上させたり、赤外線温度センサ１の感度や熱応答特性を所望の特性にしたりするのに極めて有効なものである。なお、凹部１４内に補償用サーミスタ１２の一部を収容すれば、第１の樹脂フィルム８と第２の樹脂フィルム１１との軸線Ｌ方向における距離を短くすることができ、各サーミスタ９，１２間の温度バランスのより一層の向上に寄与することとなる。
【００３１】
一方、隔壁３の第１の樹脂フィルム８側の表面には、凹部１４が形成された部分を残して落ち込ませるようにして、軸線Ｌ方向において検知用サーミスタ９と向い合う凹部１６が形成されている。このような凹部１６を隔壁３に形成することで、検知用サーミスタ９に対する隔壁からの背景放射の影響を抑えつつ、第１の樹脂フィルム８と第２の樹脂フィルム１１との軸線Ｌ方向における距離を短くすることができる。
【００３２】
また、本体部４において空間Ｓ１及び空間Ｓ２の側方には、外部に開口する区画室１７が形成されており、この区画室１７内には、第１の樹脂フィルム８の一端部８ｂと第２の樹脂フィルム１１の一端部１１ｂとが引き出されて固定されている。この第１の樹脂フィルム８の一端部８ｂには検知用サーミスタ９の２本のリード配線が終端しており、同様に、第２の樹脂フィルム１１の一端部１１ｂには、補償用サーミスタ１２の２本のリード配線が終端している。なお、各サーミスタ９，１２のリード配線は、樹脂フィルム８，１１のベースフィルム上に銅箔により形成され、カバーレイフィルムにより覆われている。
【００３３】
さらに、本体部４には、図２及び図３に示すように、区画室１７と外部とを結ぶ溝１８が複数形成されており、この溝部１８には、外部のリード線１９を嵌め込むことができる。したがって、この区画室１７において、各サーミスタ９，１２のリード配線と外部のリード線１９との接続を行うことができ、赤外線温度センサ１における配線の取り回しの煩雑化を防止することが可能になる。
【００３４】
以上のように構成された赤外線温度センサ１は、測定対象物から放射される赤外線を入射させる開口６ａが長穴状の形状であるため、特に、長尺状の形状を有する測定対象物の温度測定に適している。したがって、例えば、測定対象物が複写機の加熱定着ローラの場合、当該加熱定着ローラの表面から所定の距離に、開口６ａの長手方向を加熱定着ローラの中心軸線方向に一致させた状態で赤外線温度センサ１を設置する。
【００３５】
これにより、加熱定着ローラが加熱され、その表面から赤外線が放射されると、検知用サーミスタ９を保持する第１の樹脂フィルム８の赤外線受光領域Ｒ１は、当該赤外線のうち開口６ａを通過した赤外線を受光・吸収する。このとき、赤外線受光領域Ｒ１は、ハウジング２や隔壁３から放射される赤外線をも受光・吸収する。これに対し、補償用サーミスタ１２を保持する第２の樹脂フィルム１１の露出領域Ｒ２は、測定対象物から放射される赤外線からは隔壁３によって完全に遮光されているため、ハウジング２や隔壁３から放射される赤外線のみを受光・吸収する。
【００３６】
このように、測定対象物である加熱定着ローラの表面から放射される赤外線が、補償用サーミスタ１２を保持する第２の樹脂フィルム１１の露出領域Ｒ２に照射されるのを確実に防止することができるため、検知用サーミスタ９の出力信号と補償用サーミスタ１２の出力信号とに基づいて、加熱定着ローラの表面温度を高精度に測定することが可能になる。
【００３７】
しかも、赤外線温度センサ１においては、第１の樹脂フィルム８と第２の樹脂フィルム１１とがハウジング２内において対面するように配置されるため、検知用サーミスタ９と補償用サーミスタ１２とを同一平面上に配置するようなものに比べ、赤外線温度センサ１を小型化することができる。
【００３８】
また、検知用サーミスタ９は、第１の樹脂フィルム８の隔壁３側の表面８ａに配置され、補償用サーミスタ１２は、第２の樹脂フィルム１１の隔壁３側の表面１１ａに配置されている。これにより、ハウジング２内において検知用サーミスタ９と補償用サーミスタ１２とが近付くことになり、各サーミスタ９，１２間の温度バランスを向上させることができる。
【００３９】
さらに、第１の樹脂フィルム９を導光部６と本体部４とで挟持し、第２の樹脂フィルム１２を本体部４と蓋部７とで挟持する構成を採用することで、赤外線温度センサ１の組み立て、特には第１及び第２の樹脂フィルム８，１１の掛け渡し及び固定を容易に行うことが可能になる。
【００４０】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、補償用サーミスタ１２を軸線Ｌ上から外れた位置に配置したが、図４に示すように、補償用サーミスタ１２を軸線Ｌ上に配置してもよい。このように各サーミスタ９，１２を同一の軸線Ｌ上に配置することで、各サーミスタ９，１２間の温度バランスを容易に向上させることができる。
【００４１】
また、上記実施形態では、隔壁３に凹部１４，１６や仕切部１３を設けたが、図４に示す赤外線温度センサ１のように、隔壁３を平板状に形成してもよい。この場合にも、測定対象物から放射される赤外線が第２の樹脂フィルム１１に照射されるのを確実に防止することができ、測定対象物の温度を高精度に測定することが可能になる。そして、第１の樹脂フィルム８と第２の樹脂フィルム１１とがハウジング２内において対面するように配置されているため、赤外線温度センサ１の小型化を図ることも可能である。
【００４２】
さらに、上記実施形態では、第１の樹脂フィルム８と第２の樹脂フィルム１１とを別体としたが、図４に示す赤外線温度センサ１のように、第１の樹脂フィルム８と第２の樹脂フィルム１１とを一体としてもよい。つまり、１枚の樹脂フィルムをＵ字状に折り曲げることで、互いに対面する第１の樹脂フィルム８と第２の樹脂フィルム１１とを構成してもよい。このように第１の樹脂フィルム８と第２の樹脂フィルム１１とを一体とすることで、部品点数を減らすことができ、赤外線温度センサ１のコストダウンを図ることができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る赤外線温度センサよれば、高い精度で測定対象物の温度を測定することができ、しかも小型化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る赤外線温度センサの一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１に示す赤外線温度センサのＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図１に示す赤外線温度センサの側面図である。
【図４】本発明に係る赤外線温度センサの他の実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１…赤外線温度センサ、２…ハウジング、３…隔壁、４…本体部、６…導光部、６ａ…開口、７…蓋部、８…第１の樹脂フィルム、８ａ，１１ａ…表面、８ｂ，１１ｂ…一端部、９…検知用サーミスタ（検知用感熱素子）、１１…第２の樹脂フィルム、１２…補償用サーミスタ（補償用感熱素子）、１３…仕切部、１４，１６…凹部、１７…区画室、Ｒ１…赤外線受光領域、Ｌ…軸線。
【図１】
2004354172.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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