(57)【要約】      （修正有）【課題】演算処理によらなくてもマイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができる駆動波形を容易に発生させることができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置を提供する。【解決手段】メモリ１５にマイクロポンプ７の駆動波形を記憶して、アドレスカウンタ１４によりメモリのアドレスを順次インクリメントしてアクセスして駆動波形のデータを読出し、読出されたデータをＤ／Ａ変換してアナログ電圧信号の駆動波形とし、これをゲイン調整回路５を介してマイクロポンプ７に加え、駆動波形の読出を所定の周期で行うものである。【選択図】      図１
2004230469.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メモリにマイクロポンプの駆動波形を記憶して、アドレスカウンタにより前記メモリのアドレスを順次インクリメントしてアクセスして前記駆動波形のデータを読出し、読出されたデータをＤ／Ａ変換してアナログ電圧信号の駆動波形とし、これをゲイン調整回路を介して前記マイクロポンプに加え、前記駆動波形の読出を所定の周期で行うマイクロポンプ駆動装置。
【請求項２】
前記駆動波形は、マイクロチップ上で得るサンプルに対応して記憶されていて、前記マイクロポンプは、液圧変化速度に対して流路抵抗が非線形となる開口と圧電素子により駆動されるダイヤフラムとを有し、前記アナログ電圧信号の駆動波形が前記圧電素子に加えられて前記サンプルに対する流量を前記マイクロポンプに発生させる請求項１記載のマイクロポンプ駆動装置。
【請求項３】
前記アドレスカウンタは、クロックを受けてインクリメントされ、前記メモリは外部から書込可能な不揮発性メモリであり、前記クロックが少なくとも前記駆動波形を読出す個数分カウントされるパルス幅のパルスを前記所定の周波数で発生する可変周波数パルス発生回路と、前記クロックと前記パルスとを受けて前記クロックを前記パルス幅の期間の間、前記アドレスカウンタに供給するゲート回路とを有し、前記可変周波数パルス発生回路の周波数が選択されることで前記マイクロポンプから流出される液の流速が選択される請求項２記載のマイクロポンプ駆動装置。
【請求項４】
さらに、ゲイン調整回路の出力を受けて前記マイクロポンプに駆動電圧信号を出力する出力回路を有し、前記不揮発性メモリには前記駆動波形として順方向と逆方向の駆動波形がそれぞれの領域に記憶され、これら領域のいずれかの先頭アドレスが指定されて、前記順方向と逆方向の駆動波形のいずれかが選択的に読出される請求項３記載のマイクロポンプ駆動装置。
【請求項５】
さらに、前記クロックを発生するクロック発生回路を有し、前記可変周波数パルス発生回路は、前記クロックを分周するプログラマブル分周回路と、このプログラマブル分周回路の出力を受けて前記パルスを発生するワンショット回路とからなり、前記順方向と逆方向の駆動波形の少なくとも最後の数アドレスのデータ値が“０”となっていて、前記プログラマブル分周回路の分周率を選択することで前記所定の周波数が選択される請求項４記載のマイクロポンプ駆動装置。
【請求項６】
前記不揮発性メモリに記憶される前記駆動波形のデータは、前記サンプルに対応して外部から書込まれる請求項３記載のマイクロポンプ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、マイクロポンプ駆動装置に関し、詳しくは、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等に利用されるマイクロ流体チップ上の泳動路に泳動液を送り出すマイクロポンプの駆動装置において、演算処理によらなくてもマイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができるような駆動波形を容易に発生させることができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等に利用されるマイクロ流体プラットフォームシステムでは、ゲノムやタンパク質を含む泳動液をマイクロポンプを駆動してマイクロ流体チップの泳動路（キャピラリ）に送り出し、泳動された試料（サンプル）を分析あるいは解析するためにサンプル（例えば目的のＤＮＡバンド部分）を抽出することなどが行われている。
この場合のマイクロポンプの発生圧力は、数ｋＰａ〜十数ｋＰａ程度が必要とされ、０．２μｌ／ｓ〜０．５μｌ／ｓ程度の流量が必要になる。マイクロポンプは、ダイヤフラムが利用され、圧電素子で駆動される。動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等に対応するためにその駆動電圧は、ＤＣ１０Ｖ〜ＤＣ５０Ｖ程度の電圧が要求され、駆動周波数は、数Ｈｚ〜十数ｋＨｚの範囲で可変である必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
泳動液には粘度があるので、マイクロポンプは、流路の液圧変化速度に対する非線形抵抗を利用して泳動液の吐き出しと吸い込みを行う。そのため、ダイヤフラムポンプの場合には、泳動液を送り出す駆動波形が、例えば、前縁部で急速に立上がり、後縁部がゆっくりと落ちる傾斜部分を持つ非対称な矩形波となる。この駆動波形は、ダイヤフラムポンプの非線形特性と構造に合わせた波形となるので、サンプルを含む泳動液の特性に応じて流量と送り速度を調整することが必要になる。そのために駆動周波数と駆動電圧とが調整できるような駆動波形発生回路が必要になる。例えば、流量を増加させるてめに駆動電圧を高くすると、その分、矩形波の傾斜部の傾きを緩やかにしなければならなず、そのための演算処理等が必要になり、回路が複雑とならざるを得ない。
その結果、マイクロ流体チップとマイクロポンプが小さくできても、その駆動回路が大きくなり、装置全体が大型化する問題がある。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、演算処理によらなくてもマイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができる駆動波形を容易に発生させることができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するためのこの発明のマイクロポンプ駆動装置の特徴は、メモリにマイクロポンプの駆動波形を記憶して、アドレスカウンタによりメモリのアドレスを順次インクリメントしてアクセスして駆動波形のデータを読出し、読出されたデータをＤ／Ａ変換してアナログ電圧信号の駆動波形とし、これをゲイン調整回路を介してマイクロポンプに加え、駆動波形の読出を所定の周期で行うものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
【０００６】
ところで、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等において、その対象を特定のものに限れば、駆動周波数と駆動電圧はある程度の範囲に限定できる。
そこで、この発明にあっては、メモリにマイクロポンプの解析対象に対応するような傾斜部を持つ駆動波形を記憶しておき、解析対象に対応した所定の周期で読出すことで、マイクロポンプから吐き出される泳動液を必要な流速で吐出することができ、ゲイン調整回路で駆動波形の出力電圧を調整することで必要な流量を得ることが容易にできる。
しかも、演算処理装置で演算した駆動波形のデータを外部からメモリに書込むようにすれば、演算処理装置側から切り離された独立の装置として利用することができる。
その結果、駆動波形の演算処理が不要となり、マイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置を実現することができる。
【０００７】
【実施例】
図１は、この発明のマイクロポンプ駆動装置を適用した一実施例のブロック図であり、図２は、その駆動波形の説明図、図３は、そのマイクロポンプの断面図である。
図１において、１０は、マイクロポンプ駆動装置であって、１は駆動波形発生回路、２はＤ／Ａ変換回路（Ｄ／Ａ）、３は、１５ｋＨｚ以下の信号を通過させる中・低域フィルタ、４はゲインコントロールアンプ、５はゲイン調整回路、６はパワーアンプ、７はマイクロポンプである。
駆動波形発生回路１は、クロック発生回路１１と、プログラマブル分周回路１２、ディップスイッチ１３、アドレスカウンタ１４、波形記憶メモリ１５、ワンショット回路１６、アンド回路１７、遅延回路１８、波形データ書込回路１９、そしてインターフェース２０とからなる。
【０００８】
クロック発生回路１１で発生するクロックＣＬＫの周波数は、ここでは、例えば、１．０ＭＨｚ〜３ＭＨｚ程度であり、このクロックＣＬＫがアンド回路１７を介して６ビットのアドレスカウンタ１４に加えられ、このクロックＣＬＫの周波数でそのアドレス値がインクリメントされていく。このアドレス値は、波形記憶メモリ１５の６ビットの下位アドレスＡ０〜Ａ５として波形記憶メモリ１５に加えられる。
波形記憶メモリ１５は、アドレス値が８ビット（Ａ０〜Ａ７）でデータ深さが４ビットのメモリであって、外部から書込み可能な不揮発性メモリとしてのＥＥＰＲＯＭで構成されている。その７ビット目（Ａ６）は、ディップスイッチ１３の０番のスイッチが割り当てられている。そして、８ビット目（Ａ７）、すなわち、最上位１ビット（ＭＳＢ）は、ゲイン調整回路５のコンパレータ５２からバッファアンプ５３を介して供給される。
ディップスイッチ１３は、０番〜１２番までの１３個のスイッチ回路で構成され、それぞれのスイッチＳＷ０〜ＳＷ１２は、一端が抵抗を介して電源ライン＋ＶＤＤ（５Ｖ）にプルアップされていて、他端が抵抗を介してグランドＧＮＤにプルダウンされ、この他端がさらにバッファアンプ１３ａを介して出力とされる。そこで、スイッチがＯＮ状態でＨＩＧＨレベル（以下“Ｈ”あるいは“１”）となり、ＯＦＦ状態でＬＯＷレベル（以下“Ｌ”あるいは“０”）を出力する。
【０００９】
波形記憶メモリ１５は、図２に示すような４つの駆動波形Ｆ，Ｒ，ＦＧ，ＲＧが４ビットのデジタル値で記憶されている。駆動電圧波形Ｆは、マイクロポンプ７が順方向に泳動液を吐き出す駆動波形であって、前縁部が急速に立上がり、後縁部がゆっくりと落ちる傾斜部分を持つ矩形波である。この波形を形成するデータがＡ（０）〜Ａ（６３）のアドレス領域にアナログ電圧レベルに対応するデジタル値として記憶されている。これは、“０”番地から標準流量を発生するための最大ＤＣ駆動電圧のデータ（“ＦＥ”ｈ）が記憶され、例えば、１９番地から以降に順次低下する傾斜する電圧に対応するデータが図示するように入っている。なお、後部の多数のアドレスにはデータ“０”が入っている。
Ｒは、マイクロポンプ７が逆方向に泳動液を吐き出す駆動電圧波形であり、前縁部がゆっくりと立上がる傾斜部分を持ち、後縁部が急速に立下がる矩形波となる。そのデータがＡ（６４）〜Ａ（１２７）のアドレス領域にそれぞれのアナログ電圧レベルに対応するデジタル値として記憶されている。これは、“０”番地から最大駆動電圧のデータが記憶され、例えば、８０番地から以降に順次上昇する傾斜電圧に対応するデータが図示するように入っていて、１０８番地以降に標準流量を発生するための最大ＤＣ駆動電圧のデータ（“ＦＥ”ｈ）が入っている。
これら波形は、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等のうちのある対象を含む泳動液に対して標準流量をマイクロポンプ７から吐き出す場合の駆動波形である。
さらに、流量を大きく採る場合の波形としてアドレスＡ（１２８）〜Ａ（１９１）のアドレス領域には、出力電圧が高くなったときの順方向送りの駆動波形ＦＧがその立下がり傾斜部分の傾斜をさらに緩やかな波形を持つものが記憶されている。同様に、流量を大きく採る場合の波形として、アドレスＡ（１９２）〜Ａ（２５５）のアドレス領域には、出力電圧が高くなったときに逆方向送りの駆動波形ＲＧとして、その立上がり傾斜部分の傾斜がさらに緩やかな波形をもつものが記憶されている。
なお、大きな流量を発生するために、最大ＤＣ駆動電圧のデータは、“ＦＥ”ｈより大きい値の“ＦＦ”ｈ、すなわち、オール４ビット“１”が記憶されている。また、傾斜波形を形成するためのデータ数は、駆動波形ＦＧ，ＲＧの方が駆動波形Ｆ，Ｒよりもそれぞれに多くなっている。
また、駆動波形が記憶された領域の最後のアドレス数番地分には、図示するように、“０”のデータが記憶されている。
【００１０】
ディップスイッチ１３の１番〜１２番の出力は、プログラマブル分周回路１２に入力されて、この入力データ値に応じてクロックＣＬＫの周波数が分周される。この分周されたクロックＣＬＫは、プログラマブル分周回路１２からワンショット回路１６に入力される。ワンショット回路１６は、プログラマブル分周回路１２から分周された周波数のクロックＣＬを受けて、その立上がりで、６３×Ｔ（ただし、Ｔは、クロックＣＬＫの周期）のパルス幅のウインドパルスＷを発生する。このウインドパルスＷがアンド回路１７に加えられて、この間、クロックＣＬＫを通過させてクロックＣＬＫをアドレスカウンタ１４に供給する。
これにより、リセット後に波形記憶メモリ１５を６３アドレス分、アクセスすることができる。例えば、クロック発生回路１１のクロック周波数を１．５ＭＨｚとすると、１クロックがＴ＝０．６６μｓｅｃとなるので、パルス幅は、このウインドパルスＷの幅は、４１．６μｓｅｃである。
アドレスカウンタ１４は、そのカウント値がワンショット回路１６のウインドパルスＷの立ち上がりでリセットされ、“０”からカウントを開始する。
Ｄ／Ａ２は、波形記憶メモリ１５から読出された４ビットのデジタル値をアナログ値に変換するものであり、クロック発生回路１１からのクロックＣＬＫを遅延回路１８でタイミング調整して１．５ＭｋＨｚのクロックをＤ／Ａ変換のクロックとして受けて、波形記憶メモリ１５から読み出されたデータをアナログ値に変換する。
【００１１】
変換されたアナログ値は、抵抗ＲとコンデンサＣからなる、中・低域フィルタ３を介してゲインコントロールアンプ４に入力されて増幅される。ゲインコントロールアンプ４は、ゲイン調整回路５により、そのゲインが調整される。ゲイン調整回路５は、可変抵抗器５１とコンパレータ５２とバッファアンプ５３とからなり、コンパレータ５２の出力がバッファアンプ５３を介して波形記憶メモリ１５の最上位ビット（ＭＳＢ，Ａ７）として出力される。コンパレータ５２は、可変抵抗器５１の設定電圧が所定値以下になったときに、“Ｈ”（あるいは“１”）の電圧値を発生する。なお、可変抵抗器５１の設定電圧は、ゲインが高くなると、電圧値が小さくなるものであり、パワーアンプ６の出力電圧が１０Ｖ〜３０Ｖの範囲では、コンパレータ５２の出力が“Ｌ”（あるいは“０”）であり、出力電圧が３０Ｖを越えた時点でその出力が“Ｈ”（あるいは“１”）になる。
【００１２】
その結果、得られた電圧値に応じた電流値あるいは電圧値が設定されたゲインに応じて増幅されて、パワーアンプ６に入力されて、ゲイン調整値に応じて１０Ｖ〜５０Ｖの電圧波形をパワーアンプ６が発生する。この出力電圧信号がパワーアンプ６からマイクロポンプ７に加えられる。
なお、１０Ｖ〜３０Ｖの範囲では、コンパレータ５２の出力が“Ｌ”となるので、ＭＳＢが“０”であり、駆動電圧波形Ｆあるいは駆動電圧波形Ｒが読み出されるが、ゲイン調整回路５を調整して可変抵抗器５１の抵抗値が小さくなって、設定するゲインが大きくなると、ゲイン調整回路５の設定電圧がコンパレータ５１の出力“Ｈ”となり、波形記憶メモリ１５のＭＳＢビットを“１”にしてアドレスカウンタ１４によりアクセスされる領域をアドレスＡ（１２８）以上の領域に切り換える。
【００１３】
中・低域フィルタ３は、Ｄ／Ａ変換ノイズをカットするものであり、ここでは、駆動波形の最大周波数を１０ｋＨｚとし、Ｄ／Ａ変換の１．５ＭｋＨのクロックＣＬＫにより発生する変換アナログ信号のノイズを除去するものであって、１５ｋＨｚ以下を通過させる。
ここで、駆動電圧波形Ｆあるいは駆動電圧波形Ｒ、駆動電圧波形ＦＧあるいは駆動電圧波形ＲＧは、それぞれインターフェース２０を介して、外部、例えば、コンピュータから波形データと書込アドレスとを波形データ書込回路１９が受けて、この波形データ書込回路１９により書込まれる。
これらの駆動波形Ｆ，Ｒ，ＦＧ，ＲＧは、動植物や微生物などのゲノムやタンパク質の解析等において、解析対象に対応した駆動波形データが選択され、あらかみじ波形記憶メモリ１５に書込まれる。
【００１４】
次にその動作を説明すると、ゲイン調整回路５による調整によりパワーアンプ６の出力電圧が３０Ｖ以下の範囲では、波形記憶メモリ１５の８ビット目（Ａ７）が“０”となり、ディップスイッチ１３の０番をＯＦＦにすると、波形記憶メモリ１５の７ビット目（Ａ６）が“０”となるので、波形記憶メモリ１５のＡ（０）〜Ａ（６３）のアドレスがクロックＣＬＫに応じてアドレスカウンタ１４によりアクセスされる。これにより駆動電圧波形Ｆが読み出されて、これがＤ／Ａ２によりアナログ電圧値に変換されて、電圧調整され、パワーアンプ６を介してマイクロポンプ７を駆動する。その結果、マイクロポンプ７から順方向に泳動液が吐き出される。
ディップスイッチ１３の０番をＯＮにすると、波形記憶メモリ１５の７ビット目が“１”となり、波形記憶メモリ１５のＡ（６４）〜Ａ（１２７）がアドレスカウンタ１４によりアクセスされる。これにより、駆動電圧波形Ｒが発生して、これがＤ／Ａ２によりアナログ電圧値に変換されて、電圧調整され、パワーアンプ６を介してマイクロポンプ７を駆動する。その結果、マイクロポンプ７から逆方向に泳動液が吐き出される。
このとき、たとえ、クロックＣＬＫとプログラマブル分周回路１２の出力のタイミングがずれて、１乃至２クロック分ずれ、ワンショット回路１６のウインドパルスＷの発生タイミングとそのパルス幅が変動したとしても、波形記憶領域の間のアドレスの最後の数番地は、“０”のデータが入力されているので、タイミングずれによる問題は生じない。
なお、タイミングずれによりクロックＣＬＫが増加するような場合には、各領域の最初のアドレスに“０”のデータを入れることで対処できる。すなわち、ウインドパルスＷのパルス幅に６４個のクロックＣＬＫが含まれる場合には、最初のアドレスに“０”のデータを入れ、２個増加して６５個にクロックＣＬＫがなるようなときには最初の２番地分のアドレスに“０”のデータを入れるとよい。
【００１５】
ゲイン調整回路５の調整により出力電圧が３０Ｖを越えると、波形記憶メモリ１５のＭＳＢが“１”となって、アドレスＡ（１２８）〜Ａ（１９１）あるいはアドレスＡ（１２８）〜Ａ（１９１）がアクセスされて、流量が大となる、傾斜部分が緩やかなそれぞれの駆動波形データが読み出される。これが高いゲインで増幅されることで、その傾斜波形は、駆動電圧波形Ｆ，Ｒと実質的に同程度の傾斜波形となって、パワーアンプ６に加えられる。その結果、高い電圧波形の出力がマイクロポンプ７に加えられて、泳動液が大きな流量で吐出される。
ここで、プログラマブル分周回路１２の分周率は、ディップスイッチ１３の１番〜１２番の出力により、２分周から４０９６段階で設定でき、１．５ＭＨｚの周波数を５Ｈｚ〜１０ｋＨｚの範囲で選択できる。そこで、ワンショット回路１６の出力を５Ｈｚ〜１０ｋＨｚの範囲で調整することができる。これにより、流速を調整することができる。
なお、マイクロポンプ７を間欠的に駆動動作させる場合には、タイマ等を設けて、タイマ出力をアンドゲートに加え、このアンドゲートを介してクロック発生回路１１のクロックＣＬＫを特定の周期で間欠的に供給するようにすればよい。
【００１６】
図３は、マイクロポンプ７の断面図であり、７０は、マイクロチップのプレート７に設けられた泳動液７３が充填されているポンプ室である。圧電素子７１がダイヤフラム７２に接着され、圧電素子７１の長さＬが伸縮することで、ダイヤフラム７２が進退して泳動液７３を図面右側あるいは左側に吐出する。
７４，７５は、開口であって、開口７４のパスは短く、開口７５のパスは長い。ここで、開口７４は、流路抵抗がポンプ室７０の加圧速度の変化によって変化する非線形特性の開口である。すなわち、ポンプ室７０内の加圧速度の変化が速いときには、開口７５の流路抵抗よりも開口７４の流路抵抗が大きくなり、開口７４から流れ出す泳動液７３の流量は減少する。そのため開口７５側から泳動液７３が流れ出す。
一方、ポンプ室７０の加圧速度の変化がゆっくりとしているときには、開口７５の流路抵抗よりも開口７４の流路抵抗が小さくなる。その結果、開口７４から流れ出す流量は大きくなる。そのため開口７４側から泳動液７３が流れ出す。ポンプ室７０の減圧速度が急峻のときと、ゆっくりしたときも同様であり、減圧速度のときには、ポンプ室７０へ泳動液７３を吸い込むことになる。
そこで、電圧駆動波形を急峻に立上げると、開口７４から流出する流量が小さくなり、開口７５から泳動液７３が流れ出る。そして、電圧駆動波形をゆっくりと立下げると、開口７４から流入する流量が大きくなり、泳動液７３がポンプ室７０に供給される。その結果、矢印Ｂに示す方向に駆動電圧波形Ｆにより泳動液７３が送出される。一方、駆動電圧波形Ｒを加えると、前記の関係が逆になり、泳動液７３は、矢印Ａに示す方向に送り出され、その方向が逆転する。
【００１７】
以上説明してきたが、実施例では、波形記憶メモリ１５に、順方向吐き出しと逆方向吐き出しの波形データを記憶しているが、これらは、いずれか一方だけであってもよい。また、流量が標準（普通）の場合と、流量が大の場合の波形を記憶しているが、これらは、いずれか一方だけであってもよい。さらに、波形記憶メモリ１５の記憶容量を大きく採れば、さらに、吐出する流量に応じて適正な駆動波形を多数設け、それぞれ選択するることができる。
実施例では、波形記憶メモリ１５に記憶する駆動波形のデータ数が一部“０”データを含む６４個を単位とした例を挙げているが、これは、一例であって、データ数を多くしても少なくしてもよいことはもちろんであり、Ｄ／Ａ変換回路の変換ビット数も４ビットに限定されるものではない。
また、実施例では、液圧変化速度に対して流路抵抗が非線形となる開口を有し、圧電素子により駆動されるダイヤフラム型のマイクロポンプを例に挙げているが、駆動するマイクロポンプの特性に応じた波形を波形記憶メモリ１５に記憶すれば、各種の形態のマイクロポンプを駆動できることはもちろんであって、この発明は、実施例のマイクロポンプに限定されるものではない。したがって、この発明のマイクロポンプ駆動装置は、マイクロポンプの特性に応じた波形を外部から書込めば、同じ回路構成で各種のマイクロポンプを駆動することができ、汎用性の高い駆動装置を実現できる。
【００１８】
【発明の効果】
以上説明してように、この発明にあっては、メモリにマイクロポンプの解析対象に対応するような傾斜部を持つ駆動波形を記憶しておき、解析対象に対応した所定の周期で読出すことで、マイクロポンプから吐き出される泳動液を必要な流速で吐出することができ、ゲイン調整回路で駆動波形の出力電圧を調整することで必要な流量を得ることが容易にできる。
その結果、駆動波形の演算処理が不要となり、マイクロポンプが分析用途に対応した泳動液を所定の送り速度をもって所定の流量で吐出することができ、小型でかつ回路構成が簡単なマイクロポンプ駆動装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明のマイクロポンプ駆動装置を適用した一実施例のブロック図である。
【図２】図２は、その駆動波形の説明図である。
【図３】図３は、そのマイクロポンプの断面図である。
【符号の説明】
１…駆動波形発生回路、
２…Ｄ／Ａ変換回路（Ｄ／Ａ）、
３…中・低域フィルタ、
４…ゲインコントロールアンプ、
５…ゲイン調整回路、
６…パワーアンプ、７…マイクロポンプ、
１０…マイクロポンプ駆動装置、
１１…クロック発生回路、１２…プログラマブル分周回路、
１３…ディップスイッチ、１４…アドレスカウンタ、
１５…波形記憶メモリ、１６…ワンショット回路、
１７…アンド回路、１８…遅延回路、
１９…波形データ書込回路、２０…インターフェース。
【図１】
2004230469.tif 000003
【図２】
2004230469.tif 000004
【図３】
2004230469.tif 000005