(57)【要約】      （修正有）【課題】大型液晶基板等をコンパクトな搬送スペースで精度良く搬送し、しかも耐久性に富む基板搬送装置を提供する。【解決手段】固定部に支持され同心配置された回転駆動軸のうち、回転駆動軸端Ｒ３で旋回アーム１０を旋回可能に軸支する。旋回アーム１０の両端に回転駆動軸Ｒ１からの入力により変形可能な平行リンクと中間平行リンクを介して第１アーム本体１１を、回転駆動軸Ｒ２からの入力により変形可能な平行リンクと中間平行リンクを介して第２アーム本体２１を軸支する。旋回アーム１０内の平行リンクのいずれかの変形に伴い旋回部材１１３，２１３を介してアーム本体１１，２１を旋回させる。このときアーム本体１１，２１内に、中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第２平行リンクを収容する。第２平行リンクの出力側にハンド１２，２２を設ける。【選択図】  図１
2004323165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部に支持され同心配置された３本の回転駆動軸のうちの第１の回転駆動軸端に旋回可能に軸支され、第２の回転駆動軸からの入力により変形可能な第１平行リンクと第１中間平行リンクを介して第１アーム本体を軸支するとともに、第３の回転駆動軸からの入力により変形可能な他の第１平行リンクと他の中間平行リンクを介して第２アーム本体を軸支する旋回アームと、
前記第１平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第１アーム本体を旋回させる第１の旋回部材と、
前記他の第１平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第２アーム本体を旋回させる第２の旋回部材と、
前記中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第２平行リンクを有し、該第２平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第１の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第１のアーム本体と、
前記他の中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第２平行リンクを有し、該第２平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第２の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第２のアーム本体とを
備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記旋回アームの旋回時に、一方のアーム本体の回転駆動軸を固定して前記第１平行リンクと中間平行リンクとを変形させることで、前記旋回アームの旋回角θに対して、該アーム本体を旋回させる前記旋回部材に旋回角２θが付与されるリンク機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記旋回アーム内に収容された第１平行リンクと中間平行リンクの変形が、共有回転支軸を介して第１アーム本体または第２アーム本体内に収容された第２平行リンクへ伝達され、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにしたことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記旋回アーム内に前記第１平行リンクと第１中間平行リンク、及び他の第１平行リンクと他の中間平行リンクが収容され、前記第１のアーム本体内及び第２のアーム本体内にそれぞれの第２平行リンクが収容されたことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板搬送装置に係り、特に高真空、高温状態下において、大型液晶基板等をコンパクトな搬送スペースで効率よく搬送できるようにした基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、半導体、液晶基板製品の製造工程において、真空雰囲気、高温下でのプロセスが重要な位置を占めており、そのなかでも真空雰囲気での基板等のワーク搬送が装置構成においてきわめて重要となっている。
【０００３】
液晶基板の製造分野においては、ワークサイズをより大きくすることで生産量の増大しを図り、コスト低減することが重要であるとともに、より大型の基板のニーズが高まっている。このような基板の大型化に伴い、真空内の搬送機器形態もそれに対応させ、高精度、高効率化を図る必要がある。たとえば１０００ｍｍ□以下の液晶基板等の製造では、２本のアームを連係動作させ、所定のシーケンスで同時に２枚の基板を搬送可能としたツインアーム構造の搬送装置が提案されている（たとえば特許文献１、特許文献２参照。）これらの装置では、ツインアームをそれぞれ、ゴムベルトやスチールワイヤ、チェーンを回転軸に装着されたプーリを介して所定のアーム回転を実現する用いてベルト駆動方式が用いられている。
【０００４】
【特許文献１】
特許第２５８０４８９号公報。
【特許文献２】
特開平１０−１６３２９６号公報。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、２０００ｍｍ×２０００ｍｍ□程度の大型基板を搬送するような場合、ワークサイズの大型化にあわせてアーム旋回範囲を確保できる占有面積に拡大しなければならないという根本的な問題に加え、搬送距離が長くなることによるアーム駆動機構の剛性不足によってアームにたわみが生じたり、搬送軌跡が蛇行するという問題も生じるおそれがある。
【０００６】
また、上述の搬送装置では、ゴムベルトでは高真空状態を阻害するアウトガスが発生する。スチールワイヤ等は重量があるため、アーム全体の重量が増してたわみを生じやすくなる。ベルトやワイヤがプーリに巻回された際に繰り返し折り曲げられるため、早期に疲労破壊が生じるおそれがある。さらに、所定直径比で回転軸回転角を制御するため、大直径のプーリを要する場合もあり、機構の小型が難しい。加えて、基板等を高温処理条件で処理する場合、ベルトやワイヤが早期に変形、劣化してしまうため、耐久性の点でも問題がある。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、上述した問題を解消し、高温、高真空状態下で使用される基板搬送装置において、大型の基板を、コンパクトなスペースで精度良く搬送でき、しかも耐久性に富む基板搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は固定部に支持され同心配置された３本の回転駆動軸のうちの第１の回転駆動軸端に旋回可能に軸支され、第２の回転駆動軸からの入力により変形可能な第１平行リンクと第１中間平行リンクを介して第１アーム本体を軸支するとともに、第３の回転駆動軸からの入力により変形可能な他の第１平行リンクと他の中間平行リンクを介して第２アーム本体を軸支する旋回アームと、前記第１平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第１アーム本体を旋回させる第１の旋回部材と、前記他の第１平行リンクの変形に伴い旋回し、部材上に設けられたリニアガイド上を直線走行するスライダの移動に伴って前記第２アーム本体を旋回させる第２の旋回部材と、前記中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第２平行リンクを収容し、該第２平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第１の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第１のアーム本体と、前記他の中間平行リンクから伝達された回転により変形可能な第２平行リンクを収容し、該第２平行リンクの出力側にハンドが設けられ、前記第２の旋回部材により旋回する際に、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにした第２のアーム本体とを備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
このとき、前記旋回アームの旋回時に、一方のアーム本体の回転駆動軸を固定して前記第１平行リンクと中間平行リンクとを変形させることで、前記旋回アームの旋回角θに対して、該他のアーム本体を旋回させる前記旋回部材に旋回角２θが付与されるリンク機構を備えることが好ましい。
【００１０】
また、前記旋回アーム内に収容された第１平行リンクと中間平行リンクの変形が、共有回転支軸を介して第１アーム本体または第２アーム本体内に収容された第２平行リンクへ伝達され、前記ハンドの搬送方向が保持されるようにすることが好ましい。
【００１１】
前記旋回アーム内に前記第１平行リンクと第１中間平行リンク、及び他の第１平行リンクと他の中間平行リンクを収容し、前記第１のアーム本体内及び第２のアーム本体内にそれぞれの第２平行リンクを収容して、アームの旋回に係わるリンク機構を各アームを構成する箱状部材内に納めることが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の基板搬送装置の一実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
［共通駆動部］
図１は、基板搬送装置の各部の機構構成を説明するために示した正面断面図である。基板搬送装置１は、固定部２に基底プレート３を介して支持され、アーム全体が真空雰囲気４内に位置するように設置されている。基底プレート３には、中心軸Ｏを中心として同心配置され、各軸が独立して回転駆動可能な３本の回転駆動軸Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３が軸受部を介して固着されている。
【００１３】
これらの回転駆動軸Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は、中実回転駆動軸Ｒ３と、この中実回転駆動軸Ｒ３を玉軸受（図示せず）で回転可能に支持するともに、独立して回転駆動可能な中空筒状回転駆動軸Ｒ２と、中空筒状回転駆動軸Ｒ２を玉軸受（図示せず）で回転可能に支持するとともに、独立して回転駆動可能な中空筒状回転駆動軸Ｒ１とから構成され、図示しない回転制御部により回転角、回転角速度、回転方向が高精度に制御される。
【００１４】
これらの回転駆動軸のうち、最外周に位置し、基底プレート３に支持された中空筒状回転軸Ｒ１の上端には旋回アーム１０が固着されている。この旋回アーム１０は、図２，図４の平面図に示したような折れ角が鈍角のＶ字形をなし、中空筒状回転軸Ｒ１の回転駆動に伴い、中心軸Ｏを中心に旋回する。旋回アーム１０の両端には第１アーム本体１１及び第２アーム本体２１が中実回転軸１１１Ｓ，２１１Ｓを介して連結されており、後に詳述するように、第１アーム本体１１、第２アーム本体２１は、それぞれ独立して旋回アーム１０の旋回角θに連動して中実回転軸１１１Ｓ，２１１Ｓ回りに旋回角２θで旋回でき、各アーム本体１１，２１の自由端側に連結されたハンド１２，２２のフォーク１３，２３上に載置された基板Ｐを所定方向に直線状に搬送できる（図７，図８参照：図８ではハンド２２による搬送動作を示している）。なお、以下の説明において、旋回アーム１０内部に組み込まれたリンク機構について、第１アーム本体１１及び第２アーム本体２１を駆動する構成部材を区別するために、それぞれを１ＸＸ，２ＸＸとし、回転支軸、連結節点については添え字１，２を付して説明する。
【００１５】
［旋回アームの構成］
旋回アーム１０は、図２に示したようなステンレス製の中空箱状部材で、その内部には第１アーム本体１１、第２アーム本体２１を旋回させる中実回転軸１１１Ｓ，２１１Ｓを所定角度だけ回動させるとともに、各第１アーム本体１１、第２アーム本体２１の自由端に連結されたハンドの方向を保持させる同期クランク１０５，２０５を所定角度だけ回動させるリンク機構が収容されている。
以下、旋回アーム１０内に収容された各部材により構成された第１平行リンク、中間平行リンク、及びこれらリンク機構の出力側となる中実回転軸、中空回転軸、同期クランクについて説明する。
【００１６】
（第１平行リンクの構成）
中空筒状回転軸Ｒ１の内空部には玉軸受（図示せず）で支持された中空筒状回転軸Ｒ２が配置されている。中空筒状回転軸Ｒ２の上端には、図２に示したよう、駆動入力クランク１０１が固着され、中空筒状回転軸Ｒ２の内空部に玉軸受（図示せず）を介して支持された中実回転軸Ｒ３の軸中間部には駆動入力クランク２０１が固着されている。これら駆動入力クランク１０１、駆動入力クランク２０１の自由端には、図２に示したように、それぞれのクランクの回動に伴って変形する第１平行リンク１１０，２１０を構成する長アーム１０２，２０２が連結節点Ａ１，Ａ２を介して回動可能に連結され、さらに長アーム１０２，２０２の他端の連結節点Ｂ１，Ｂ２には回転支軸Ｃ１，Ｃ２周りに回動可能な両腕クランク１０３，２０３が連結されており、これにより回転駆動軸中心軸Ｏ、回転支軸Ｃを固定辺とする第１平行リンク１１０（ＯＡ１Ｂ１Ｃ１），２１０（ＯＡ２Ｂ２Ｃ２）が形成されている。
【００１７】
（中間平行リンクの構成）
さらに、図３で旋回アームの一方の側を代表して説明するが、両腕クランク１０３，２０３の他端の連結節点Ｄ１，Ｄ２を介して短アーム１０４，２０４が連結され、短アーム１０４，２０４の他端は、上述したハンド２２の方向を保持する同期クランク１０５，２０５の自由端に連結節点Ｅ１，Ｅ２を介して連結されている。これにより回転支軸Ｆ１，Ｆ２、回転支軸Ｃ１，Ｃ２を固定辺とする中間平行リンク１００（Ｆ１Ｅ１Ｄ１Ｃ１），２００（Ｆ２Ｅ２Ｄ２Ｃ２）が形成されている。この中間平行リンク１００，２００は、図２，３に示したように、第１平行リンク１１０，２１０と両腕クランク１０３，２０３を共通部材としているため、駆動入力クランク１０１，２０１から入力された回転駆動力により、第１平行リンク１１０，２１０、中間平行リンク１００，２００が変形する。
【００１８】
（中実回転軸、中空回転軸及び同期クランクの構成）
回転支軸Ｆ１，Ｆ２は、部材構成上、同軸配置され独立して回動可能な中実回転軸１１１Ｓ，２１１Ｓと中空筒状回転軸１２５Ｓ，２２５Ｓとからなるが、そのうち中空筒状回転軸１２５Ｓ，２２５Ｓの上下端にはそれぞれ同期クランク（１０５，１２５），（２０５，２２５）が一体的に形成されている。これら同期クランクは図１，図３，図５（ｂ）に示したように、同形で同一方向を向いて自由端に他のリンクを連結するように形成されている。一方、中実回転軸１１１Ｓ，２１１Ｓは下端にアーム旋回クランク１１１，２１１が形成されており、上端は第１アーム本体１１、第２アーム本体２１のケーシング上端を貫通してアーム本体に固定され、アーム旋回クランク１１１，２１１の回転角に応じて第１アーム本体１１、第２アーム本体２１を旋回させることができる。
【００１９】
［ツインアーム（第１アーム本体，第２アーム本体）の構成］
本発明のツインアーム（第１アーム本体１１，第２アーム本体２１を総称して呼ぶ。）は、図５両図に示したように、旋回動作時の干渉を避けるために、その取り付け高さ位置が異なり、各部材が鏡対称となる同一機能部材から構成されている。また、旋回アーム１０と同様のステンレス製の中空箱状部材で、その内部には各アーム本体１１，２１の自由端側に連結されたハンド１２，２２のフォーク１３，２３上に載置された基板Ｐを所定方向に直線状に搬送するための第２平行リングが収容されている。以下、第１アーム本体１１、第２アーム本体２１に所定の旋回角を付与する旋回部材、ハンド１２，２２の搬送方向を保持するために第２平行リンクの構成について説明する。
【００２０】
（旋回部材の構成）
ここで、第１アーム本体１１、第２アーム本体２１を旋回するための旋回部材について、第２アーム本体２１を例に図３，図４，図６を参照して説明する。第２アーム本体２１は上述したように、中実回転軸２１１Ｓの回動により旋回アーム１０に対して所定角をなすように旋回する。この中実回転軸２１１Ｓの回動は、図４，図６に示したように、中実回転軸２１１Ｓ下端に一体的に形成され、第２アーム本体２１の下方から突出したアーム旋回レバー２１１の旋回動作によって実現する。このアーム旋回レバー２１１は一端がリニアガイド２１４を介して連結されたＬ字形クランク２１３の回転支軸Ｃ２周りの回動に伴って旋回する。すなわち、レバー２１１の自由端は、Ｌ字形クランク２１３の側面に取り付けられたリニアガイド２１４のレール２１５に沿ってスライド可能なスライダ２１６に連結節点Ｇ２を介して連結されている。
【００２１】
Ｌ字形クランク２１３を含む旋回部材は、図１、図４，図６に示したように、回転支軸Ｃ２の下端にＬ字形クランク２１３が一体的に形成される一方、回転支軸Ｃ２の上端に両腕クランク２０３が一体的に形成された部材である。このＬ字形クランク２１３の回動は第１平行リンク２１０の変形に伴って両腕クランク２０３が回転支軸Ｃ２周りに回動するのに伴って実現する。動作の詳細は後述する。
【００２２】
（第２平行リンクの構成）
次に、第２平行リンク２２０の構成について、、第２アーム本体２１を例に図３，図５（ｂ），図７を参照して説明する。旋回アーム１０内に収容された中間平行リンク２００の一辺を構成する下側の同期クランク２０５を回転可能に支持する中空回転軸２２５Ｓは第２アーム本体２１内まで延在し、中空回転軸２２５Ｓの上端に同期クランク２０５と同形の同期クランク２２５が同一方向を向いて固着されている。同期クランク２２５の自由端には図５（ｂ），図７に示したように、長アーム２２１が連結節点Ｈ２を介して連結され、長アーム２２１の他端には連結節点Ｉ２を介してハンド保持クランク２２２が連結されている。ハンド保持クランク２２２の回転支軸Ｊ２側は、図１に示したように、第２アーム本体２１先端で下方に突出し、ハンド２２の基部が取付ボス２４を介して固着されている。これにより、第２アーム本体２１内において、旋回アーム１０内に収容された中間平行リンク２００の一辺Ｆ２Ｅ２と同一旋回動作をする一辺Ｆ２Ｈ２を有する第２平行リンク２２０（Ｆ２Ｈ２Ｉ２Ｊ２）が形成される。なお、図５（ａ）に示したように、第１アーム本体１１内にも第２アーム本体２１内と同様の構成部材が配置され、同様の第２平行リンク１２０が形成されている。
【００２３】
［リンク機構の連係］
上述した第１平行リンク、中間平行リンク、第２平行リンクの連係について、第２アーム本体２１を旋回させる場合を例に、図６を参照して説明する。図６では説明のために、模式的に線図で示した第１平行リンク２１０、中間平行リンク２００、第２平行リンク２２０、及び二等辺三角形リンクのリンク機構図と、Ｌ字形クランク２１３と、リニアガイド２１４を介して連結されたレバー２１１とを重ねて示している。図中、回転支軸Ｃ２，Ｆ２は旋回アーム内の不動点で、そのうち中間平行リンク２００の回転支軸Ｆ２と、第２平行リンク２２０の同期クランク２２５を旋回させる回転支軸Ｆ２とは共通回転軸である中空回転軸２２５Ｓからなる。なお、線図の表示において、図の明瞭化のために、実際は上下位置で重なる中間平行リンク２００のリンクＦ２Ｅ２と、第２平行リンク２２０のリンクＦ２Ｈ２とをずらして示している。また、中間平行リンク２００のリンクＣ２Ｆ２とアーム旋回レバー２１１のレバー長Ｆ２Ｇ２とはＣ２Ｆ２＝Ｆ２Ｇ２に設定され、底辺Ｃ２Ｇ２となる二等辺三角形△Ｆ２Ｃ２Ｇ２のリンクが構成されている。このように構成されている３個の平行リンクは、第１平行リンク２１０の駆動入力クランク２０１の回動により、第１平行リンク２１０が変形し、第１平行リンク２１０のリンクＢ２Ｃ２と一体部材（両腕クランク２０３）である中間平行リンク２００のリンクＣ２Ｄ２が同角度だけ回動し、中間平行リンク２００を変形させる。その際、両腕クランク２０３の回動に伴い、回転支軸Ｃ２の下端に固着されているＬ字形クランク２１３が回転支軸Ｃ２回りに旋回する。この旋回動作に伴い、リニアガイド２１４に沿ってスライド可能なアーム旋回レバー２１１の自由端（連結節点Ｇ２）は、Ｌ字形クランク２１３の旋回方向に応じて二等辺三角形の底辺Ｃ２Ｇ２の長さを変化させるようにスライドする。このとき後述するように、アーム旋回レバー２１１の旋回に伴って回転支軸２１１Ｓが所定角度だけ回動し、その上端に固着された第２アーム本体２１がその回動角だけ旋回する。このように本発明では、中空箱状部材内に収容されている平行リンク機構の出力を、第２アーム本体の形状に代表される中空箱状部材の旋回を実現することができる。これにより、駆動部分を箱状部材内に収容させることができるので、アーム動作に伴うダスト等の発生を最小限に抑えることが可能となる。
【００２４】
一方、中間平行リンク２００のリンクＦ２Ｅ２と第２平行リンク２２０のリンクＦ２Ｈ２とは、中空筒状回転軸２２５Ｓの底部と頂部とに一体的に形成された同形の同期クランク２０５，２２５によって構成されている。したがって、第２平行リンク２２０のリンクＦ２Ｈ２は、中間平行リンク２００のリンクＦ２Ｅ２と同角度だけ旋回し、第２平行リンク２２０を変形させることができる。
【００２５】
［旋回アームとツインアームの同期旋回動作］
ここで、本発明の基板搬送装置のツインアーム（第１アーム本体，第２アーム本体）の一方を旋回アーム１０の旋回と同期をとって旋回させた状態について、図８を参照して説明する。図８（ａ）は、基板搬送装置の初期状態を示した平面図である。同図に示した仮想円Ｋは各アーム本体１１，２１を完全に屈曲させて液晶基板を保持した状態で旋回アーム１０を旋回させたときの占有平面を示しており、本実施の形態では、液晶基板Ｐの隅角部が通過する軌跡平面内に屈曲したアーム本体１１，２１とハンド２２とが収まるように設定されている。この状態から図８（ｂ）に旋回アーム１０をθ方向に旋回させる際、旋回アーム１０に回転支軸Ｆ（中実回転軸１１１Ｓ）を介して連結された第１アーム本体１１の中空筒状回転駆動軸Ｒ２を旋回アーム１０の中空筒状回転駆動軸Ｒ１と同期回転させて相対移動を生じないようにするとともに、中実回転駆動軸Ｒ３を固定することで、旋回アーム１０の旋回角βに対して、旋回アーム１０内部で変形する第１平行リンク２１０によって、アーム本体２１内のリンク機構及びＬ字形クランク２１３によってアーム旋回レバー２１１に旋回角２βが付与され、第２アーム本体は２βの旋回角で外方へ振り出される。さらに上述した第１平行リンク２１０、中間平行リンク２００、第２平行リンク２２０の連係動作により、ハンド２２は図８（ｂ）〜（ｃ）に示したように、旋回アーム１０、第２アーム本体２２０の旋回時にその伸長方向を保持して直進する。その結果、たとえば旋回アーム１０が９０°旋回した状態で第２アーム本体２１は、当初の旋回アーム１０とのなす角から１８０°旋回した図８（ｃ）位置まで展開させることができる。
【００２６】
図９，図１０は、旋回アーム１０とツインアームの同期旋回動作、ハンド２２の搬送方向保持動作を説明するために、リンク線図を重ねて示したアーム動作状態図である。図９（ａ）は、図８（ａ）の初期状態における第２アーム本体２１の回転支軸部分を拡大して示した動作状態説明図である。このとき旋回アーム１０と第２アーム本体２１とのなす角は、２αであるとする。なお、以下の説明において、連結節点、回転支軸の符号の添字２は省略する。この状態から同図（ｂ）に示したように、旋回アーム１０が回転中心軸Ｏに関して旋回角θ＝θ１だけ旋回するときにＬ字形クランク２１３が回転支軸Ｃ周りにθ１だけ旋回する。これにより、アーム旋回レバー２１１の自由端（連結節点Ｇ）がリニアガイド２１４に沿って外方にスライドし、回転支軸Ｃ、Ｆ及び連結節点Ｇとからなる二等辺三角形（△ＦＣＧ）の底辺を挟む角がそれぞれθ１だけ減少し、二等辺三角形は徐々に扁平になる。これに伴い旋回アーム１０と第２アーム本体２１とのなす角（＜ＯＣＪ）は２θ１だけ狭まる。すなわち第２アーム本体２１は回転支軸Ｆ周りに旋回角ω＝２θ１だけ旋回することになる。同様に旋回アーム１０がθ＝αだけ旋回したときに、△ＦＣＧは完全につぶれて点Ｆが直線ＣＧ上に位置する。そのとき第２アーム本体２１もω＝２α旋回した結果、同図（ｃ）に示したように旋回アーム１０と一直線状をなすように上下位置で重なる。この状態からさらに図１０（ｃ）〜（ｅ）まで旋回アーム１０が中心軸Ｏに関して旋回していくと、さらに反対側に形成された二等辺三角形（△ＦＣＧ）の頂角を減じながら、Ｌ字形クランク２１３がアーム旋回レバー２１１の下側に入り込むように上下位置で重なっていく。その結果、図１０（ｄ），（ｅ）に示したように旋回アーム１０は旋回角θ＝θ２→βだけ旋回し、そのとき第２アーム本体２１のハンド保持クランク２２２はω＝２θ２→２βだけ旋回し、初期状態位置から最遠位置に達する。
【００２７】
［アーム本体の旋回動作とハンドの直線移動の同期］
旋回アーム１０と、第２アーム本体２１とは上述したように、同期をとって旋回動作が行われるが、旋回アーム１０の旋回に伴う第２アーム本体２１の旋回時にハンド２２は常に搬送方向を向くように直線移動する。このハンド２２の直線動作について、再度図９，図１０を参照して説明する。初期状態（図９（ａ））において、図５に示したように、中間平行リンク２００のリンクＣＤ，ＦＥと、第２平行リンク２２０のリンクＦＨ，ＪＩとは平行関係にあり、以後、図９〜図１０に示したように、中間平行リンク２００の変形に追従して第２平行リンク２２０も変形していく。この結果、ハンド２２（図７参照）を保持するハンド保持クランク２２２は常に同一方向を直線移動することができる。
【００２８】
なお、以上で説明したアーム本体の長さ、アームの旋回により達成される搬送動作、距離、取り付けられるハンド形状、寸法は、搬送予定の液晶基板の大きさ及び搬送距離で決定される。また、各軸受は玉軸受などのダストフリーの転動体を採用することで転がり抵抗を最小限にでき、優れた位置決め特性が確保できる。さらに、その用途、仕様に応じて上下動機構、ツインアームの搬送シーケンスは、適宜選択、付加、削除することができることはいうまでもない。
【００２９】
【発明の効果】
以上に述べたように本発明によれば、大型液晶基板を搬送するためのツインアームの運転を、十分に剛性を確保されたリンク機構及びリニアガイドを採用して実現したため、高精度で迅速な基板搬送が可能となり、またゴムベルト等を採用した搬送装置に対してきわめて低いアウトガス特性を達成でき、高温、高真空下での運転が可能となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板搬送装置の一実施の形態を示した正面断面図。
【図２】図１に示した旋回アーム内部を示した平面図。
【図３】第１平行リンクと中間平行リンクとを拡大して示した部分拡大平面図。
【図４】旋回アームと旋回部材のＬ字形クランクとの位置関係を示した平面図。
【図５】第１アーム本体及び第２アーム本体内の第２平行リンクを示した平面図。
【図６】第１平行リンクと中間平行リンク及び第２平行リンクの連係を模式的に示したリンク構成図。
【図７】第２アーム本体と、第２平行リンクに連結されたハンドとを示した平面図。
【図８】基板搬送装置による各アームの旋回状態およびハンドの直進動作状態を示した状態説明図。
【図９】各アームの旋回状態、ハンドの直線移動状態および旋回部材の動作状態を示した状態説明図（その１）。
【図１０】各アームの旋回状態、ハンドの直線移動状態および旋回部材の動作状態を示した状態説明図（その２）。
【符号の説明】
１  基板搬送装置
２  固定部
１０  旋回アーム
１１  第１アーム本体
１２，２２  ハンド
２１  第２アーム本体
１００，２００  中間平行リンク
１０１，２０１  駆動入力クランク
１０２，２０２  長アーム
１０３，２０３  両腕クランク
１０４，２０４  短アーム
１０５  １２５，２０５，２２５  同期クランク
１２５Ｓ，２２５Ｓ  中空回転軸
１１１，２１１  アーム旋回レバー
１１１Ｓ，２１１Ｓ  中実回転軸
１１３，２１３  Ｌ字形クランク
１１４，２１４  リニアガイド
１１５，２１５  レール
１１６，２１６  スライダ
１２１，２２１  長アーム
１２２，２２２  ハンド保持クランク
１１０，２１０  第１平行リンク
１２０，２２０  第２平行リンク
回転駆動軸  Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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