(57)【要約】【課題】貼り合わせ基板の製造不良を低減することのできる貼合せ基板製造装置を提供すること。【解決手段】プレス装置１７のチャンバ３２内には基板Ｗ２，Ｗ１を保持する加圧板３３ａ，テーブル３３ｂが対向して設けられる。加圧板３３ａは支柱３４を介して第２の支持板２６に吊下支持され、テーブル３３ｂは支柱３７を介して位置決めステージ３６に支持される。又、チャンバ３２の上側容器３２ａは支柱３４を囲むベローズ３５を介して第２の支持板２６に吊下支持され、下側容器３２ｂは支柱３７を囲むベローズ３８を介して位置決めステージ３６に支持される。そして、第２の支持板２６及び位置決めステージ３６は剛性の高いベース板２１及び支持枠２２に支持されている。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室内に配置された互いに対向する第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
前記第１及び第２の保持板の何れか一方は前記２枚の基板の貼り合わせを行う際に該２枚の基板に加圧力を作用させる加圧手段と接続され、他方は前記２枚の基板の位置合せを行う際に水平方向に移動可能且つθ方向に回動可能な駆動手段と接続され、
前記２枚の基板に前記加圧力を作用させる時には前記処理室を少なくとも前記第１及び第２の保持板と非接触となるように弾性体を介して前記加圧手段及び前記駆動手段と接続したことを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項２】
前記駆動手段は剛性を有する材質にてなるベース板に接続され、前記加圧手段は１又は複数の剛体を介して前記ベース板と接続されていることを特徴とする請求項１記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項３】
前記２枚の基板間を封止するためのシール材を該２枚の基板の何れか一方に枠状に描画する機構と、前記２枚の基板の貼り合わせ時に該２枚の基板に加わる荷重を検出する荷重検出手段と、前記荷重検出手段から出力される荷重値に基づいて算出した加工圧が前記２枚の基板と前記シール材の略全周とが接触する基板間隔に対応した所定の圧力値に達するか否かを検出する制御手段と
を備えたこと特徴とする請求項１又は２記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記所定の圧力値に前記加工圧が達するまで、前記加圧手段の加圧力を前記２枚の基板に段階的に作用させることを特徴とする請求項３記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項５】
前記シール材の枠外の領域に、該シール材より高さが大きくなるように第２のシール材を設けることを特徴とする請求項３又は４記載の貼合せ基板製造装置。
【請求項６】
前記２枚の基板間を封止するためのシール材を該２枚の基板の何れか一方に枠状に描画する機構と、前記シール材の枠内に液晶を滴下する機構と、処理室内に配置された互いに対向する第１及び第２の保持板に保持された２枚の基板に加圧力を作用させる加圧手段と、前記２枚の基板の位置合せを行う際に水平方向に移動可能且つθ方向に回動可能な駆動手段と、前記２枚の基板に加わる荷重を検出する荷重検出手段と、前記荷重検出手段から出力される荷重値に基づいて前記２枚の基板の加工圧を求める制御手段とを備え、前記処理室内にて前記２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造方法であって、
前記制御手段は、前記２枚の基板に前記シール材の略全周が接触する基板間隔に対応した所定の圧力値に前記加工圧が達するときに前記２枚の基板に作用させている前記加圧手段の加圧力を停止させ、前記処理室内を大気圧に戻すことを特徴とする貼合せ基板製造方法。
【請求項７】
前記制御手段は、前記２枚の基板に前記液晶が接触して且つ前記シール材が前記２枚の基板の何れか一方に接触する基板間隔に対応した圧力値に前記加工圧が達するときに前記２枚の基板に作用させている前記加圧手段の加圧力を停止させ、前記２枚の基板の位置合せを行うようにしたことを特徴とする請求項６記載の貼合せ基板製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法に係り、詳しくは液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ；ＬＣＤ）等の２枚の基板を所定の間隔にて貼り合わせた基板（パネル）を製造する際に使用して好適な貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法に関する。
【０００２】
近年、ＬＣＤ等の平面表示パネルは、大型化・軽量化（薄型化）が進むとともに、低コスト化の要求が一層高まってきている。このため、２枚の基板を貼り合わせてパネルを製造する装置においては、歩留まりを向上させて生産性を高めることが求められている。
【０００３】
【従来の技術】
液晶表示パネルは、例えば、複数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）がマトリクス状に形成されたアレイ基板と、カラーフィルタ（赤、緑、青）や遮光膜等が形成されたカラーフィルタ基板とが極めて狭い間隔（数μｍ程度）で対向して設けられ、それら２枚のガラス基板間に液晶が封入されて製造される。遮光膜は、コントラストを稼ぐため、及びＴＦＴを遮光して光リーク電流の発生を防止するために用いられる。アレイ基板とカラーフィルタ基板とは熱硬化性樹脂を含むシール材（接着剤）で貼り合わされている。
【０００４】
ところで、液晶表示パネルの製造工程において、対向するガラス基板間に液晶を封入する液晶注入工程では、例えばＴＦＴが形成されたアレイ基板とカラーフィルタ基板（対向基板）とをシール材を介して貼り合わせた後に、該シール材を硬化させる。次に、その貼り合せ後の基板と液晶とを真空槽に入れてシール材に開口した注入口を液晶に浸けてから槽内を大気圧に戻すことにより基板間に液晶を注入し、注入口を封止する方法（真空注入法）が用いられてきた。
【０００５】
それに対し、近年では、例えばアレイ基板周囲に枠状に形成したシール材の枠内の基板面上に規定量の液晶を滴下し、真空中でアレイ基板とカラーフィルタ基板とを貼り合わせて液晶封入を行う滴下注入法が注目されている。この滴下注入法は、真空注入法と比較して、液晶材料の使用量が大幅に低減できる、液晶注入時間が短縮できる等の利点があり、パネルの製造コストの低減や量産性の向上の可能性を有している。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−３２６９２２号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の滴下法による製造装置では、以下の問題がある。
［１：基板の貼り合わせ不良］
互いに対向する２枚の基板を貼り合わせて製造する液晶表示パネルにおいて、液晶封入後の両基板のセルギャップ（基板間隔）は、例えば５μｍ程度と極めて狭い。このため、基板貼り合わせ時には、両基板間が所定のセルギャップとなるまで、対向する該基板間の平行度を精度よく維持する必要がある。
【０００８】
ところで、チャンバ（処理室）内にて２枚の基板を真空下で貼り合わせた後、チャンバ内を大気圧に戻して基板間に介在するシール材を硬化させる際に、シール材の内側（液晶が封入された減圧側）と外側（大気圧側）で基板に歪みが生じる場合がある。これはシール材の外側では基板同士を貼り合わせる方向に押圧する力が作用しなくなるためである。このような基板の歪みが生じると、セルギャップが不均一になるため、貼り合わせ不良が生じる。そこで、特許文献１には、シール材の外側に該シール材を環状に囲むように第２のシール材を設け、各シール材の間に真空領域を形成するようにした方法が開示されている。この方法では、シール材の硬化時にも安定したセルギャップを確保することが可能である。
【０００９】
しかしながら、こうした貼り合わせ不良の原因となるセルギャップの不均一化は、基板自体やシール材の厚さのばらつき等にも起因する。このため、それらのばらつきにより基板間の平行度が損なわれた状態で基板の貼り合わせが行われた場合には、第２のシール材とチャンバ内との間の気密を維持することができないため、同様に貼り合わせ不良が生じるという問題があった。
【００１０】
［２：貼り合わせ時の基板への影響］
通常、チャンバ内にて貼り合わせ時における基板保持は、真空チャック（吸引吸着）及び静電チャック（静電吸着）のうち少なくとも一方を用いて行われている。
【００１１】
真空チャックによる基板保持は、平行定盤上に対向して配置された保持板の吸着面に基板裏面を真空吸引して固定する。静電チャックによる基板保持は、平行定盤上の保持板に形成した電極と基板（ガラス基板）に形成された導電膜の間に電圧を印加し、ガラスと電極との間にクーロン力を発生することにより基板を吸着する。ちなみに、真空チャックは、チャンバ内の真空度がある程度高くなると機能しなくなる。このため、真空チャックによる吸引吸着力が作用しなくなるような真空下では、静電チャックによる静電吸着力を作用させて基板を保持する。
【００１２】
貼り合わせを行う際には、このような吸着機構を有する両保持板に各基板を対向して保持し、チャンバ内を所定の圧力（真空）まで減圧した後、基板間が所定のセルギャップとなるまで両保持板を近接させて各基板とシール材とを密着させる。その際、上記したような基板やシール材の厚さのばらつき、あるいは基板を保持する保持板の機械的精度の影響により、基板間の平行度が維持されない場合には、貼り合わせ時に基板に損傷を与えてしまう場合がある。
【００１３】
詳しくは、貼り合わせを行う両基板のうち少なくとも何れかには、基板間隔を規制して所定のセルギャップに調整するためのスペーサ（球状スペーサ、柱状スペーサ等）が一般に設けられている。従って、平行度が損なわれている状態で基板の貼り合わせを行うと、基板に対して局部的に強い圧力が加わり、基板を損傷させてしまう可能性があった。
【００１４】
［３：チャンバの変形と基板位置精度の低下］
基板貼り合わせ時にチャンバ内を減圧すると、該チャンバの内部と外部との圧力差（チャンバ内の圧力と大気圧との圧力差）により、チャンバに若干の変形が生じる。その結果、チャンバ内に設けられた両保持板の相対的な位置が大気圧時と減圧時で僅かにずれてしまう場合がある。こうした保持板のずれは、それが保持する基板の位置精度を低下させる。その結果、貼り合わせ時に両基板の位置決めを正確に行うことができず、精度よく基板の貼り合わせを行うことができないという問題があった。因みに、このようなチャンバの変形は該チャンバの厚みを大きくすることで抑制することができるが、近年の大型化する基板に対応した装置では、チャンバが大型化するという問題を有していた。
【００１５】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は貼り合わせ基板の製造不良を低減することのできる貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明によれば、処理室内に配置された互いに対向する第１及び第２の保持板の何れか一方は２枚の基板の貼り合わせを行う際に該２枚の基板に加圧力を作用させる加圧手段と接続され、他方は２枚の基板の位置合せを行う際に水平方向に移動可能且つθ方向に回動可能な駆動手段と接続されている。そして、処理室は、２枚の基板に加圧力が作用する際（つまり２枚の基板の貼り合わせ時）に、少なくとも第１及び第２の保持板と非接触となるように弾性体を介して加圧手段及び駆動手段と接続される。これにより、基板貼り合りせ時の減圧過程において処理室が変形する場合にも、該処理室の変形の影響が第１及び第２の保持板には伝わらない。従って、大気中と減圧時において、２枚の基板の相対的な位置の変位が生じないため、２枚の基板を精度よく貼り合わせることが可能である。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、前記駆動手段は剛性を有する材質にてなるベース板に接続されるとともに、前記加圧手段は１又は複数の剛体を介して前記ベース板と接続されている。この構成によれば、加圧手段に接続されている保持板が複数に分割して構成されている場合にも、該保持板に前記処理室の変形の影響や振動が伝達されることは防止される。
【００１８】
請求項３，６に記載の発明によれば、２枚の基板間を封止するためのシール材を該２枚の基板の何れか一方に枠状に描画する機構と、２枚の基板の貼り合わせ時に該２枚の基板に加わる荷重を検出する荷重検出手段と、その荷重検出手段から出力される荷重値に基づいて算出した加工圧が前記２枚の基板と前記シール材の略全周とが接触する基板間隔に対応した圧力値に達するか否かを検出する制御手段とを備えている。そして、制御手段は、２枚の基板に前記シール材の略全周が接触する基板間隔に対応した圧力値に前記加工圧が達するときに該２枚の基板に作用させている加圧力を停止させ、処理室内を大気圧に戻すようにした。このように、貼り合わせ時の２枚の基板の加工圧に基づいて加圧の終点位置を決定するようにしたことで、基板平行度や位置ずれ等の影響によって貼り合わせ時に２枚の基板に損傷を与えずに、それら２枚の基板を精度よく貼り合わせることが可能になる。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、前記制御手段は、前記所定の圧力値に前記加工圧が達するまで、前記加圧手段の加圧力を前記２枚の基板に段階的に作用させるようにした。これによれば、貼り合わせ時に２枚の基板にかかる加工圧の反力によって基板が横滑りするのを防止することができる。また、加圧手段に接続されている保持板が複数に分割して構成されている場合には、該分割された部位毎に段階的に加圧力を作用させることで、前記横滑り等の発生をさらに抑えることができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、前記シール材の枠外の領域に、該シール材より高さが大きくなるように第２のシール材を設けるようにしたことで、２枚の基板の加圧を停止する際における基板間隔のマージンを大きくすることが可能である。これにより、貼り合わせ時に加圧値の異常がある場合には、その異常をより早く検出することが可能となる。
【００２１】
請求項７に記載の発明によれば、制御手段は、２枚の基板に前記液晶が接触し且つシール材が２枚の基板の何れか一方に接触するときの基板間隔に対応した圧力値に前記加工圧が達するときに、２枚の基板に作用させている前記加圧手段の加圧力を停止させ、２枚の基板の位置合せを行うようにした。これにより、処理室内を大気開放した後に、シール材のせん断力が開放されることによる２枚の基板の位置ずれが防止される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
（第一実施形態）
以下、本発明を具体化した第一実施形態を図１〜図１６に従って説明する。
【００２３】
図１は、液晶表示装置の製造工程のうち、セル工程における液晶注入及び貼り合せを行う工程を実施する貼合せ基板製造装置の概略構成図である。
貼合せ基板製造装置１１は、供給される２種類の基板Ｗ１，Ｗ２の間に液晶を封止して液晶表示パネルを製造する。尚、本実施形態の装置にて作成される液晶表示パネルは例えばアクティブマトリクス型液晶表示パネルであって、第１の基板Ｗ１はＴＦＴ等が形成されたアレイ基板（ＴＦＴ基板）、第２の基板Ｗ２はカラーフィルタや遮光膜等が形成されたカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）である。これらの基板Ｗ１，Ｗ２は、それぞれの工程によって作成され供給される。
【００２４】
貼合せ基板製造装置１１は、制御装置１２と、それが制御するシール描画装置１３と液晶滴下装置１４と貼合せ装置１５と検査装置１６を含む。貼合せ装置１５は、プレス装置１７と硬化装置１８とから構成され、それら装置１７，１８は制御装置１２により制御される。また、貼合せ基板製造装置１１は、供給される基板Ｗ１，Ｗ２を搬送する搬送装置１９ａ〜１９ｄを備える。制御装置１２は、搬送装置１９ａ〜１９ｄを制御し、基板Ｗ１，Ｗ２とそれにより製造された貼合せ基板を搬送する。
【００２５】
第１及び第２の基板Ｗ１，Ｗ２は、シール描画装置１３に供給される。シール描画装置１３は、第１及び第２の基板Ｗ１，Ｗ２のうち何れか一方（本実施形態では第１の基板Ｗ１：アレイ基板）の上面に、周辺に沿って所定位置にシール材を枠状に塗布する。シール材には、少なくとも光硬化性接着剤を含む接着剤が用いられる。そして、基板Ｗ１，Ｗ２は搬送装置１９ａに供給され、搬送装置１９ａは基板Ｗ１，Ｗ２を１組にして液晶滴下装置１４に搬送する。
【００２６】
液晶滴下装置１４は、搬送された基板Ｗ１，Ｗ２のうちシール材が塗布された基板Ｗ１の上面の予め設定された複数の所定位置に液晶を点滴する。液晶が点滴された基板Ｗ１及び基板Ｗ２は、搬送装置１９ｂによりプレス装置１７に搬送される。
【００２７】
プレス装置１７は処理室としてのチャンバを備え、そのチャンバ内には基板Ｗ１，Ｗ２をそれぞれ吸着保持する保持板としてのチャックが設けられている。プレス装置１７は、搬入された基板Ｗ１，Ｗ２をそれぞれ下側チャックと上側チャックとに吸着保持した後、チャンバ内を真空排気する。そして、プレス装置１７は、チャンバ内に所定のガスを供給する。供給するガスは、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ）のための励起ガス等の反応ガス、窒素ガス、クリーンドライエアーなどの不活性ガスを含む置換ガスである。これらガスにより、基板や表示素子の表面に付着した不純物や生成物を反応ガスや置換ガスに一定時間さらす前処理を行う。
【００２８】
この処理は、貼り合わせ後に開封不可能な貼り合わせ面の性質を維持・安定化する。第１及び第２の基板Ｗ１，Ｗ２は、それらの表面に酸化膜等の膜が生成したり空気中の浮遊物が付着し、表面の状態が変化する。この状態の変化は、基板毎に異なるため、安定したパネルを製造できなくなる。従って、これら処理は、膜の生成や不純物の付着を抑える、また付着した不純物を処理することで基板表面の状態変化を抑え、パネルの品質の安定化を図っている。
【００２９】
次に、プレス装置１７は、位置合せマーク（アライメントマーク）を用いて光学的に両基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せを非接触にて（少なくとも基板Ｗ１上面のシール材に基板Ｗ２の下面を接触させることなく）行う。そして、プレス装置１７は、両基板Ｗ１，Ｗ２に所定の圧力を加え、後述する所定の基板間隔（少なくとも両基板Ｗ１，Ｗ２にシール材が密着する間隔）となるまでプレスした後、チャンバ内を大気開放する。これにより、両基板Ｗ１，Ｗ２は、大気圧と基板Ｗ１，Ｗ２間との圧力差により、所定のセル厚（セルギャップ）とする最終の基板間隔まで圧縮される。
【００３０】
尚、制御装置１２は、両基板Ｗ１，Ｗ２のプレス装置１７内への搬入からの時間経過を監視し、プレス装置１７内に供給したガスに第１及び第２の基板Ｗ１，Ｗ２を暴露する時間（搬入から貼合せを行うまでの時間）を制御する。これにより、貼り合せ後に開封不可能な貼合せ面の性質を維持・安定化する。
【００３１】
搬送装置１９ｃは、プレス装置１７内から貼り合わされた液晶パネルを取り出し、それを硬化装置１８へ搬送する。この時、制御装置１２は、液晶パネルをプレスしてからの時間経過を監視し、予め定めた時間が経過すると搬送装置１９ｃを駆動して基板を硬化装置１８に供給する。硬化装置１８は、搬送された液晶パネルに所定の波長を有する光を照射し、シール材を硬化させる。
【００３２】
即ち、貼り合わせ後の基板は、プレスから所定時間経過後にシール材を硬化させるための光が照射される。この所定時間は、液晶の拡散速度と、プレスにより基板に残留する応力の解放に要する時間により予め実験により求められている。
【００３３】
プレス装置１７により基板Ｗ１，Ｗ２間に封入された液晶は、プレス及び大気開放によって拡散する。この液晶の拡散が終了する、即ち液晶がシール材まで拡散する前に、そのシール材を硬化させる。
【００３４】
更に、基板Ｗ１，Ｗ２は、プレスにおける加圧等により変形する。搬送装置１９ｃにより搬送中の貼り合わせ基板（液晶パネル）は、シール材が硬化されていないため、基板Ｗ１，Ｗ２に残留する応力は解放される。従って、シール材の硬化時には残存する応力が少ないため、位置ズレが抑えられる。
【００３５】
シール材が硬化された液晶パネルは搬送装置１９ｄにより検査装置１６に搬送される。検査装置１６は、搬送された液晶パネルの基板Ｗ１，Ｗ２の位置ズレ（ずれている方向及びズレ量）を測定し、その測定値を制御装置１２に出力する。
【００３６】
そして、制御装置１２は、検査装置１６の検査結果に基づいて、プレス装置１７における位置合せに補正を加える。即ち、シール材が硬化した液晶パネルにおける両基板Ｗ１，Ｗ２のズレ量をその位置ズレ方向と反対方向に予めずらしておくことで、次に製造される液晶パネルの位置ズレを防止する。
【００３７】
次に、プレス装置１７について説明する。
図２は、基板Ｗ１，Ｗ２へ圧力を加えて貼り合わせを行うプレス装置１７の機構を側面から見た概略図である。
【００３８】
プレス装置１７は、ベース板２１及びそのベース板２１に固定されたゲート状の支持枠２２を備えている。これらベース板２１及び支持枠２２は十分に高い剛性を持つ材質により形成されている。その支持枠２２の支柱部内側面には、両側にガイドレール２３ａ，２３ｂが取着され、それによってリニアガイド２４ａ，２４ｂが上下動可能に支持されている。両側のリニアガイド２４ａ，２４ｂの間には、第１及び第２の支持板２５，２６が掛け渡され、第１の支持板２５は、支持枠２２の上部に取り付けられたモータ２７によって上下動する第３の支持板２８により吊り下げられている。
【００３９】
詳述すると、モータ２７の出力軸にはボールネジ２９が一体回転可能に連結され、そのボールネジ２９には第３の支持板２８に設けられたナット３０が螺合されている。従って、モータ２７が駆動されボールネジ２９が正逆回転することにより、第３の支持板２８が上下動する。第３の支持板２８はコ字状に形成され、その上部側の板にナット３０が設けられている。第３の支持板２８の下部側の板上面には複数（本実施形態では例えば４つ）のロードセル３１が取着され、そのロードセル３１の上に第１の支持板２５の下面が当接されている。
【００４０】
プレス装置１７は、支持枠２２の支柱部内側に処理室としての真空チャンバ３２を備え、そのチャンバ３２は上下に分割され、上側容器３２ａと下側容器３２ｂとから構成されている。そして、このチャンバ３２内には、基板Ｗ１，Ｗ２を吸着保持するためのチャック機構を有した第１及び第２の保持板としての加圧板３３ａ及びテーブル３３ｂが対向して設けられている。尚、本実施形態では、加圧板３３ａは第２の基板Ｗ２（ＣＦ基板）を保持し、テーブル３３ｂは第１の基板Ｗ１（ＴＦＴ基板）を保持する。
【００４１】
加圧板３３ａは上側容器３２ａ内に設けられ、第２の支持板２６に吊下支持されている。詳述すると、第２の支持板２６には所定位置に上下方向に貫通した複数（本実施形態では例えば４つ）の孔が形成され、それら各孔に支柱３４が挿通されている。各支柱３４は上端が拡径されて下方向へ抜けないように形成され、その下端に加圧板３３ａが取着されている。即ち、加圧板３３ａは４本の支柱３４により第２の支持板２６に吊下支持されている。
【００４２】
第２の支持板２６と上側容器３２ａとの間には、上記各支柱３４を囲みチャンバ３２の気密を保つための弾性体としてのベローズ３５が設けられている。詳しくは、ベローズ３５は両端のフランジ部にＯリングを備え、そのＯリングにより第２の支持板２６と上側容器３２ａとの間をシールする。従って、上側容器３２ａは、ベローズ３５を介して第２の支持板２６に吊下支持される。
【００４３】
テーブル３３ｂは下側容器３２ｂ内に設けられ、位置決めステージ３６に支持されている。詳述すると、位置決めステージ３６は、ベース板２１に固定して設置され、該ステージ３６上の所定位置に取着された複数の支柱３７によりテーブル３３ｂを支持する。尚、本実施形態では、位置決めステージ３６は例えば４本の支柱３７によりテーブル３３ｂを支持する。この位置決めステージ３６は、テーブル３３ｂを水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動させる機構及び水平回転（θ方向）させる機構を有している。
【００４４】
位置決めステージ３６と下側容器３２ｂとの間には、上記各支柱３７を囲みチャンバ３２の気密を保つためのベローズ３８が設けられている。前記と同様に、ベローズ３８は両端のフランジ部にＯリングを備え、そのＯリングにより位置決めステージ３６と下側容器３２ｂとの間をシールする。この下側容器３２ｂの下面には、ベース板２１上に立設された複数の支持部材３９が取着されている。従って、下側容器３２ｂは、ベローズ３８を介して位置決めステージ３６に支持されるとともに、支持部材３９を介してベース板２１に支持される。
【００４５】
上記加圧板３３ａを吊下支持する各支柱３４の上端と第２の支持板２６との間にはレベル（平行度）調整部４０が設けられている。レベル調整部４０は例えば支柱３４に形成されたネジと螺合するナットであり、これを正逆回転させることで支柱３４を上昇又は下降させ、加圧板３３ａの水平レベルを調整する。尚、本実施形態では、このレベル調整部４０によって、加圧板３３ａとテーブル３３ｂとの平行度が５０μｍ以下になるように調整されている。
【００４６】
このように構成されたプレス装置１７では、モータ２７が駆動して第３の支持板２８が上下動すると、ロードセル３１、第１の支持板２５を介してリニアガイド２４ａ，２４ｂがガイドレール２３ａ，２３ｂに沿って上下動し、第２の支持板２６、ベローズ３５を介して上側容器３２ａが上下動する。従って、リニアガイド２４ａ，２４ｂの下降方向にモータ２７が回転されると、上側容器３２ａが下降して該上側容器３２ａと下側容器３２ｂとがシールされ、チャンバ３２が閉塞される。そして、この状態で、さらにリニアガイド２４ａ，２４ｂの下降方向にモータ２７が回転されると、上記ベローズ３５は押圧され、第２の支持板２６、支柱３４を介して加圧板３３ａのみが下降する。これにより、プレス装置１７は、加圧板３３ａ及びテーブル３３ｂに保持した基板Ｗ２，Ｗ１に加工力を加えて貼り合わせを行う。
【００４７】
その貼り合わせ時において、ロードセル３１（４つ）は、該ロードセル３１に作用する圧力を検出し、その検出結果をプレス装置１７の制御装置４１に出力する。その圧力は、第３の支持板２８に支持された部材（第１の支持板２５、リニアガイド２４ａ，２４ｂ、第２の支持板２６、支柱３４、レベル調整部４０、加圧板３３ａ、基板Ｗ２）の重量（自重）Ａと、支柱３４の断面積に比例して加圧板３３ａに作用する大気圧力Ｂとの荷重の総和（Ａ＋Ｂ）である。
【００４８】
詳述すると、チャンバ３２が閉塞されて該チャンバ３２内が減圧（真空排気）されると、加圧板３３ａには支柱３４を介して１ｋｇ／ｃｍ２　（平方センチメートル）の大気圧力Ｂが加わる。そして、この大気圧力Ｂは、第２の支持板２６、リニアガイド２４ａ，２４ｂ及び第１の支持板２５を介してロードセル３１に加わる。従って、ロードセル３１は、自重Ａと大気圧力Ｂとの総和（Ａ＋Ｂ）を検出する。
【００４９】
このロードセル３１に加わる圧力の総和は、モータ２７を駆動して加圧板３３ａを下降させることで両基板Ｗ１，Ｗ２を貼り合わせるときに、その基板Ｗ１，Ｗ２による反力によって減少する。従って、このように各ロードセル３１が検出する圧力の総和値が減少することにより、実際に基板に加わるその時々の荷重、即ち貼り合わせ時の基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧を知ることができる。
【００５０】
尚、本実施形態において、各ロードセル３１（４つ）は分解能が例えば０．０５％程度のものが使用される。ここで、例えばロードセル３１が検出する基板貼り合わせ前の自重Ａと大気圧力Ｂとの荷重総和（Ａ＋Ｂ）が約２０００Ｋｇである場合には、各ロードセル３１は約１Ｋｇの分解能で荷重を検出することができる。
【００５１】
制御装置４１は、ロードセル３１から出力される電気信号を変換して各ロードセル３１が検出した圧力の値を求め、その時々の基板Ｗ１，Ｗ２に加わる荷重（加工圧）を算出する。そして、制御装置４１は、その時々の加工圧の値に基づいて、基板Ｗ１，Ｗ２に加える圧力を一定とするように生成したモータ駆動信号を付属するモータコントローラ（図示略）からモータドライバ４２に出力する。モータドライバ４２は、その制御装置４１からのモータ駆動信号に応答して生成した所定の数のパルス信号をモータ２７に出力し、モータ２７はそのパルス信号に応答して回転駆動する。尚、本実施形態では、モータ２７は、モータドライバ４２からの１パルスに応答して第３の支持板２８、即ち加圧板３３ａを０．２μｍ上下動させるように駆動する。
【００５２】
このようなモータ２７の駆動に基づいて上下動する上記各リニアガイド２４ａ，２４ｂには、加圧板３３ａの位置を検出するためのリニアスケール４３ａ，４３ｂが設けられている。このリニアスケール４３ａ，４３ｂは、ガイドレール２３ａ，２３ｂに沿って移動するリニアガイド２４ａ，２４ｂの位置を検出することでテーブル３３ｂに対する加圧板３３ａの位置を検出し、その検出結果を表示器４４に出力する。
【００５３】
詳述すると、表示器４４には、加圧板３３ａに設けられた基準面センサ４５によって、加圧板３３ａとテーブル３３ｂとの間隔が（両基板Ｗ１，Ｗ２の厚さ＋貼り合わせ時のセルギャップ（最終基板間隔））となるときの加圧板３３ａの位置が予め原点位置として記憶されている。これにより、表示器４４は、リニアスケール４３ａ，４３ｂから出力される検出値に基づいて加圧板３３ａの位置（原点位置に対する加圧板３３ａの相対位置）を算出し、その相対位置データを制御装置４１に出力する。
【００５４】
制御装置４１は、その相対位置データにより加圧板３３ａの位置を監視し、貼り合わせ時における両基板Ｗ１，Ｗ２の間隔と、その時の基板Ｗ１，Ｗ２に加わる荷重（加工圧）との関係が適正であるか否かを判断する。後述するように、この貼り合わせ時における基板間隔と荷重との関係は予め実験的に求められ、制御装置４１は、それによる荷重の適正値から所定の許容範囲を超える場合に異常があると判断して処理（基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧）を中止する。
【００５５】
次に、このプレス装置１７のその他の制御機構について図３を参照しながら詳述する。尚、図２で説明した構成と同様の構成部分については同一符号を付してその詳細な説明を一部省略する。
【００５６】
上記したように、制御装置４１は各ロードセル３１からの出力を総和して荷重値（荷重の総和値）を算出し、その荷重値に基づいて生成したモータ駆動信号をモータドライバ４２に出力する。モータドライバ４２は、それに応答して生成したパルス信号をモータ２７（図中、加圧板上下モータ）に出力し、これによりモータ２７が加圧板３３ａを上昇又は下降させる方向に回転駆動する。
【００５７】
また、制御装置４１は、画像処理装置４７からの出力信号に基づいて位置決めステージモータ４８を駆動するためのモータ駆動信号をモータドライバ４９に供給する。詳述すると、プレス装置１７は、基板貼り合わせ時に両基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せをするためのアライメントマークを撮像するＣＣＤカメラ５０を備えている。このＣＣＤカメラ５０は、貼り合わせ時に基板Ｗ１，Ｗ２に形成されたアライメントマークを撮像し、その画像データを画像処理装置４７に出力する。制御装置４１は、その画像処理装置４７の演算結果（位置ずれ量の算出データ）に応じて生成したモータ駆動信号をモータドライバ４９に出力し、モータドライバ４９は、それに応答して生成した所定の数のパルス信号を位置決めステージモータ４８に出力する。このモータ４８の回転駆動に基づいてテーブル３３ｂを支持する位置決めステージ３６が駆動され、これにより両基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せが行われる。
【００５８】
尚、上述した図２では、各ロードセル３１からの出力を制御装置４１に直接入力するようにしたが、図３に波線で示すように、各ロードセル３１が検出する荷重の総和値を算出する専用の演算装置５１を別途設けるようにしてもよい。例えば、図４に示すように４つのロードセル３１（図中、ロードセルａ〜ｄ）と和算器５１ａを接続し、和算器５１ａは各ロードセル３１からの出力を総和して算出した荷重の総和値を制御装置４１に出力する。この構成では、制御装置４１における荷重値の算出時間を省略することができ、該制御装置４１は和算器５１ａからの出力信号に基づいてモータ駆動信号を生成する。即ち、制御装置４１は、和算器５１ａの出力結果に応じてモータ２７を駆動するか否か（具体的には加圧板３３ａを下降させるか否か）の判定動作のみを行う。これにより、制御装置４１での応答時間の遅れを回避することができるため、モータ２７の駆動制御を正確に行うことが可能である。
【００５９】
次に、ロードセル３１の配置位置について説明する。
図５に示すように、各ロードセル３１（本実施形態では４つ）は、加圧板３３ａを支持する各支柱３４の対角線上となる位置にて、その加圧板３３ａの中心から等距離の位置に配置される。即ち、各ロードセル３１は、加圧板３３ａの中心に対してＸ方向及びＹ方向に対称となるような位置に配置される。その際、各ロードセル３１は各支柱３４の近傍に配置するのが最も好ましい。
【００６０】
このような位置にロードセル３１を配置することにより、各ロードセル３１に作用する自重Ａによる荷重を均衡させることができる。また、基板貼り合わせ時にチャンバ３２内を減圧する際において、各支柱３４に発生する大気圧力Ｂによって各ロードセル３１に作用する荷重を均衡させることができる。これにより、貼り合わせを行う際に加圧板３３ａの平行度を高精度に保つことができ、さらに異物の混入や機械的なズレにより貼り合わせ時に平行度が損なわれる場合にも各ロードセル３１から出力される荷重値（荷重の総和値）によって平行度を精度よく検査することが可能である。
【００６１】
尚、ロードセル３１は、図６に示すように、加圧板３３ａの中心に対して同心円上に対称となるように配置してもよい。このように配置した場合にも、各ロードセル３１に作用する荷重を均衡させることができる。また、ロードセル３１の数は奇数としてもよい。その場合には、図５及び図６に波線で示すように、加圧板３３ａの中心にロードセルを配置するようにすればよい。
【００６２】
次に、撮像手段を用いた加圧制御機構について図７を参照しながら説明する。
プレス装置１７は、基板貼り合わせ時に両基板Ｗ１，Ｗ２に加える圧力（加工圧）を監視する撮像手段としてのＣＣＤカメラ５０を備えている。尚、本実施形態において、このＣＣＤカメラ５０は、両基板Ｗ１，Ｗ２の位置決めを行う際にそれら基板Ｗ１，Ｗ２のアライメントマークを撮像するＣＣＤカメラ５０（図３参照）と共用されるものである。
【００６３】
同図に示すように、ＣＣＤカメラ５０はチャンバ３２（上側容器３２ａ）の上方に配置され、該チャンバ３２（下側容器３２ｂ）の下方には照明装置５２が配置されている。そして、上側容器３２ａ及び下側容器３２ｂには、それらの外縁に沿ってそれぞれ覗き窓５３ａ，５３ｂが設けられ、ＣＣＤカメラ５０はその覗き窓５３ａを介して基板貼り合わせ時に基板Ｗ１，Ｗ２の外縁近傍の画像を撮像する。
【００６４】
詳述すると、ＣＣＤカメラ５０は、両基板Ｗ１，Ｗ２間に液晶５４を封止するために枠状に塗布されたシール材５５の画像を撮像し、貼り合わせ時に両基板Ｗ１，Ｗ２が加圧されることで押圧されるシール材５５のつぶれ具合を監視する。具体的には、ＣＣＤカメラ５０により撮像された画像データに基づいて、その時々のつぶれ具合でのシール材５５の幅（つぶれ幅）を測定することにより、貼り合わせ時における加工圧の推測値を求める。そして、その推測値に基づいて両基板Ｗ１，Ｗ２に与える加工圧が適正であるか否かを判断する。尚、シール材５５のつぶれ幅と加工圧との関係は、基板Ｗ１，Ｗ２の大きさや液晶５４或いはシール材５５の種類等に応じて予め実験的に求められ、それに基づいて加工圧の適正値が判断される。
【００６５】
本実施形態において、このＣＣＤカメラ５０は、基板Ｗ１，Ｗ２の対角位置にて周辺四隅におけるシール材５５を撮像可能とするようにチャンバ３２の上方位置に４台設けられる（尚、図７にはそのうちの１台のみを示す）。このように、４台のＣＣＤカメラ５０を用いて基板四隅のシール材５５のつぶれ具合を同時に監視することで、シール材５５が全周に亘って均一に両基板Ｗ１，Ｗ２に密着しているか否かをより正確に検出することができるため、加圧板３３ａとテーブル３３ｂとの平行度を検出することも可能である。
【００６６】
また、このようにシール材５５のつぶれ具合を監視することで、基板貼り合わせ後にシール材５５に紫外線を照射して該シール材５５を硬化させるタイミングを適正時期に決定することが可能である。詳述すると、貼り合わせ直後における基板Ｗ１，Ｗ２間の液晶５４は、直ぐには基板全体に拡散しない。従って、この時点で両基板Ｗ１，Ｗ２の間隔は所定とするセルギャップ（最終基板間隔）に達しておらず、シール材５５に紫外線を照射するタイミングは液晶５４の拡散速度に応じて決定される。その際、紫外線を照射するタイミングが早いと、両基板Ｗ１，Ｗ２間が所定のセルギャップとなる前にシール材５５が硬化され、基板間隔が大きくなってします。逆に、照射するタイミングが遅いと、未硬化のシール材５５の箇所に液晶５４が接触してパネル周辺部の表示不良の原因になりうる。このため、それらを考慮してシール材５５を適正時期に硬化させることが必要である。この場合、本実施形態のように、ＣＣＤカメラ５０によりシール材５５の形状を監視することにより、そのつぶれ幅から最適な紫外線の照射タイミングを決定することが可能である。
【００６７】
また、両基板Ｗ１，Ｗ２を貼り合わせた後、基板Ｗ２に対する加圧板３３ａの静電吸着力を解除して該加圧板３３ａを基板Ｗ２から離脱させる際に、ＣＣＤカメラ５０によりシール材５５の形状を監視することで、残存した静電吸着力による基板Ｗ１，Ｗ２の位置ずれの発生を防止することもできる。
【００６８】
次に、両基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせ時における加圧制御について図８及び図９を参照しながら説明する。
図８に示すように、貼り合わせを行う際には、両基板Ｗ１，Ｗ２の何れか（本実施形態では基板Ｗ１：ＴＦＴ基板）にシール材５５が枠状に塗布され、その枠内に液晶５４が所定箇所に例えば５ｍｇずつ均一に点滴される。その後、図９に示すように、基板Ｗ１に形成されたスペーサ５６により規制される所定のセルギャップまで該基板Ｗ１に対向して配置される基板Ｗ２と貼り合わせが行われる。
【００６９】
その際、本実施形態では、図９（ａ）に示すように、基板Ｗ１に点滴する液晶５４がシール材５５を塗布する高さよりも高くなるように滴下され、貼り合わせ時における両基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せは、基板Ｗ２が液晶５４にのみ接触し、シール材５５には接触していない状態で行われる。具体的には、貼り合わせ時に基板Ｗ２が液晶５４にのみ接触し、シール材５５と非接触となるときの荷重値を予め実験的に求め、上記ロードセル３１からの荷重検出に基づいて基板Ｗ２を保持する加圧板３３ａの下降を停止する。尚、このときには、上記ＣＣＤカメラ５０を用いて基板Ｗ２とシール材５５とが接触していないか否かを監視することが好ましい。
【００７０】
そして、基板Ｗ２が液晶５４のみに接触する状態で、ＣＣＤカメラ５０により両基板Ｗ１，Ｗ２に形成されたアライメントマークを撮像し、それら基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せを行う。その後、シール材５５のほぼ全周が圧縮されるまで基板Ｗ１，Ｗ２を加圧した後、チャンバ３２内を大気開放してスペーサ５６により規制される所定のセルギャップまで両基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせを行う。
【００７１】
このように、シール材５５が基板Ｗ２と接触しない状態で位置合せを行うことにより、基板貼り合わせ後にてシール材５５が硬化されるまでの間に基板Ｗ１，Ｗ２の位置ずれが発生することを防止することができる。詳述すると、図９（ｂ）に示すように、両基板Ｗ１，Ｗ２にシール材５５が接触する状態でそれら基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せを行うと、シール材５５にはせん断力が作用する。この状態で両基板Ｗ１，Ｗ２を貼り合わせ後、加圧板３３ａを基板Ｗ２から離脱させてチャンバ３２内を大気開放すると、シール材５５に作用しているせん断力が開放されることにより、基板Ｗ１，Ｗ２の位置ずれが生じる。
【００７２】
本実施形態では、基板Ｗ２が液晶５４にのみ接触するときの荷重を検出することで、該基板Ｗ２とシール材５５とが接触せずに且つ両基板Ｗ１，Ｗ２間が最小となるときの加圧板３３ａの位置を検出することができる。そして、この状態で位置合せを行うことにより、両基板Ｗ１，Ｗ２を精度よく貼り合わせることができ、また、貼り合わせ後に両基板Ｗ１，Ｗ２の位置ずれが生じることを防止することができる。
【００７３】
尚、本実施形態にてシール材５５を塗布する基板Ｗ１には、図１０に示すように、そのシール材５５を環状に囲むシール材６１を別途設けてもよい（以下、第１のシール材５５、第２のシール材６１として記述する）。
【００７４】
詳述すると、図１０に示す基板Ｗ１は、例えば２つのセル（パネル形成数が２つ）を有する基板であり、各セルに対して液晶５４（同図では省略）を封入するための第１のシール材５５が枠状に塗布される。そして、図１０（ａ）に示すように、第２のシール材６１は、それら各セルの第１のシール材５５を共に囲むように環状に塗布される。その際、図１０（ｂ）に示すように、第２のシール材６１は第１のシール材５５よりも高さ及び幅が大きくなるように塗布される。尚、第２のシール材６１は、第１のシール材５５の外側にて不要となる（製品寸法に影響がない位置）基板Ｗ１の箇所に設けられる。
【００７５】
このような第２のシール材６１を設け、基板Ｗ２に該第２のシール材６１のみが接触するときの荷重を検出した際に、両基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せを行うようにしてもよい。この方法では、位置合せ時における両基板Ｗ１，Ｗ２の間隔は若干大きくなるが、基板平行度や基板厚さの分布或いは基板Ｗ２が反って加圧板３３ａに保持されている場合等の影響により、貼り合わせ時に基板Ｗ１，Ｗ２に損傷を与えることを未然に防止することが可能となる。即ち、貼り合わせ時に基板Ｗ１，Ｗ２の位置ずれが生じている場合や平行度が損なわれている場合には、第２のシール材６１を用いて荷重を検出することで、それらの異常を基板間隔のより大きな時（加圧力のより低い時）に知ることが可能である。従って、両基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせをより安定的に行うことができる。また、このような第２のシール材６１は、第１及び第２のシール材５５，６１間に真空領域を形成する効果を有するため、基板貼り合わせ後のシール材５５の硬化時にも位置ずれを抑制して安定したセルギャップを確保することが可能である。
【００７６】
因みに、第１のシール材５５自体の高さを高くすることは、製品寸法の増大とともに、貼り合わせ後の大気開放時に所定の基板間隔まで、シール材５５がつぶれ難くなる可能性がある。また、液晶５４の拡散後も該液晶５４の圧力により所定のセルギャップまでシール材５５が圧縮されない可能性がある。このため、第１のシール材５５自体の高さを高くすることはできず、本実施形態のように第２のシール材６１を用いるのが好ましい。
【００７７】
尚、こうした第２のシール材６１を設けることにより、該第２のシール材６１のつぶれ具合を上記ＣＣＤカメラ５０により監視するようにしてもよい。詳述すると、基板貼り合わせ時には第１のシール材５５が基板Ｗ２に形成されている光を透過しない膜（ブラックマトリクスの額縁部など）にかかる場合がある。このような場合には、第１のシール材５５の外側に設けられた第２のシール材６１を用いて監視することが可能である。その際、第２のシール材６１は、第１のシール材５５より高さ及び幅が大きくなるように塗布されているため、貼り合わせ時における荷重検出を精度よく行うことが可能である。
【００７８】
尚、基板Ｗ１が複数のセルを有する場合において、各セル間に製品寸法に影響のない程度の間隔がある場合には、図１１に示すように、第２のシール材６２，６３を各セルに設けられた第１のシール材５５の枠外を個別に囲むように設けてもよい。また、図１２に示すように、第２のシール材７１を第１のシール材５５の枠外にて基板Ｗ１の四隅（図では１つのみ示す）に設けるようにしてもよい。
【００７９】
次に、基板貼り合わせ時に両基板Ｗ１，Ｗ２に加える加工圧と基板間隔との関係について詳述する。
貼り合わせ時におけるプレス装置１７の加工圧は、両基板Ｗ１，Ｗ２の基板間隔を考慮して最適な値に設定する必要がある。これは、必要以上に加工圧を増大させる（即ち加圧板３３ａの下降量が大きい）と基板Ｗ１，Ｗ２に損傷を与えてしまう可能性があり、逆に加工圧が少なすぎる（即ち加圧板３３ａの下降量が小さい）と大気開放後に所定のセルギャップまで基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせが行われないからである。このため、貼り合わせを行う際には、基板Ｗ１，Ｗ２に加える加工圧とその時々の基板間隔との相関関係を予め実験により求め、それらの適正値を算出する。
【００８０】
図１３は、実験により求められた基板貼り合わせ時の荷重（加工圧）の推移を示す説明図である。同図に示すように、液晶５４のつぶれが発生する（液晶５４に基板Ｗ２が接触する直前まで加圧板３３ａが下降する）直前、即ち基板貼り合わせ前において加工圧は０Ｋｇである。そして、加圧板３３ａが下降し、液晶５４及びシール材５５が圧縮されるに従って、加工圧は次第に上昇する。その後、加圧板３３ａがさらに下降し、両基板Ｗ１，Ｗ２間がほぼ最終寸法（セルギャップ；同図では例えば５μｍをセルギャップとしている）の間隔となると、スペーサ５６と基板Ｗ２とが接触し、加工圧が急激に上昇する。尚、図中、２点差線で示す範囲は基板Ｗ１，Ｗ２や加圧板３３ａの損傷を招く可能性を有した範囲である。
【００８１】
従って、基板貼り合わせ時に両基板Ｗ１，Ｗ２に与える加圧値が、図１３に示す加工圧が緩やかに上昇する範囲（略直線的に加工圧が上昇する範囲）を超えないように監視することが必要である。その際、基板Ｗ１，Ｗ２にダメージを与えず、且つそれら基板Ｗ１，Ｗ２を気泡なく貼り合わせるには、上記加工圧の範囲にて基板Ｗ１，Ｗ２がシール材５５の全周と接触する加圧値となるまで加圧板３３ａを下降させることが望ましい。
【００８２】
そこで、シール材５５の略全周が基板Ｗ２により圧縮されるときの加工圧を実験により求め、上記ロードセル３１によりその加工圧が検出される場合に基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧を停止する（即ち加圧板３３ａの下降が停止する）。尚、本実施形態では、例えば１００Ｋｇの加工圧（基板間隔が約１５μｍ程度）が検出される場合に基板Ｗ１，Ｗ２に加える加圧を停止する。
【００８３】
基板Ｗ１，Ｗ２に加える加工圧は、基板Ｗ１，Ｗ２の位置ずれや平行度が損なわれている場合等を考慮して段階的に上昇させる。例えば、本実施形態では、最終の加工圧となる１００Ｋｇに対して、ロードセル３１により検出される加工圧がそれぞれ２０Ｋｇ、５０Ｋｇに達した段階で加圧板３３ａの下降を一旦停止させ、そのときロードセル３１により検出される荷重値を再確認する。
【００８４】
ここで、２０Ｋｇの加工圧は、基板間隔がシール材５５の高さ（初期高さ）より若干大きく、基板Ｗ２が液晶５４にのみ接触するとき（約５０〜３０μｍ程度）の加圧値である。また、５０Ｋｇの加工圧は、基板Ｗ２がシール材５５に接触する直前（約３０〜１５μｍ程度）の加圧値である。尚、これらの加工圧（２０Ｋｇ，５０Ｋｇ）に対する基板間隔は、図１３に示す実験値から求められた推測値である。
【００８５】
その際、２０Ｋｇ，５０Ｋｇの各加工圧に対して急激な加圧値の上昇がある場合、或いは各ロードセル３１間の荷重の差が大きくなる場合（例えば各ロードセル３１間で最大１０％程度の荷重減少分の差が生じた場合）には、基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧を停止する。一方、各段階で異常がない場合は、最終的に加工圧が１００Ｋｇとなるまで加圧板３３ａを下降させ、その加圧値（１００Ｋｇ）に達した後、基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧を停止する。その後、チャンバ３２内を大気開放して大気圧と基板間の圧力差により最終のセルギャップとなるまで基板Ｗ１，Ｗ２を貼り合わせる。
【００８６】
ここで、例えば、貼り合わせを行う基板Ｗ１，Ｗ２の大きさが６５０ｍｍ×８３０ｍｍ程度の大きさである場合には、大気開放後の基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧は約５１００Ｋｇの荷重となる（シール材５５の外側における１０ｍｍ程度の大気圧側の領域を除く）。それに対して、大気開放前の基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧は上記したように１００Ｋｇ程度である。このため、その加圧値（１００Ｋｇ）による基板貼合せ時に、基板Ｗ１，Ｗ２に局部的な荷重が作用してもそれら基板Ｗ１，Ｗ２に与える影響を小さくすることができる。
【００８７】
次に、本実施形態のプレス装置１７による基板貼り合わせ工程について図１４及び図１５を参照しながら説明する。
基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせ工程では、図１４に示すように、各基板Ｗ２，Ｗ１を加圧板３３ａ，テーブル３３ｂにそれぞれ保持した後、制御装置４１はモータ２７を駆動してチャンバ３２を閉塞し、該チャンバ３２内を減圧する（ステップ８１）。
【００８８】
次いで、制御装置４１は、モータ２７を加圧板３３ａの下降方向に駆動して基板Ｗ１，Ｗ２をさらに近接させ（ステップ８２）、ロードセル３１により出力される荷重値に基づいて基板Ｗ１，Ｗ２に対する加工圧が２０ｋｇとなると加圧板３３ａの下降を停止させる（ステップ８３）。この際、同時にＣＣＤカメラ５０により撮像したシール材５５のつぶれ具合に基づいて加工圧を監視する。
【００８９】
そして、制御装置４１は、ロードセル３１から出力される荷重値を再度読み取り、その時の加圧値と２０Ｋｇの加圧値との差が所定範囲内の値であるか否かを判断する（ステップ８４）。その際、加圧値の差が所定範囲内の値より大きい場合には、加圧板３３ａのそれ以降の下降を中断して基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧を中断する（ステップ８５）。即ち、この場合には、基板厚さの分布や、液晶５４及びシール材５５の厚さ、或いはプレス装置１７の機械的な問題等により基板平行度が損なわれている可能性があるため、異常箇所を検査する必要がある。
【００９０】
一方、上記ステップ８４における判断の結果、加圧値の差が所定範囲内である場合には、ＣＣＤカメラ５０により基板Ｗ１，Ｗ２のアライメントマークを撮像して位置決めステージ３６を駆動し、基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せを行う（ステップ８６）。
【００９１】
次いで、制御装置４１は、モータ２７を加圧板３３ａの下降方向に駆動して基板Ｗ１，Ｗ２をさらに近接させ（ステップ８７）、ロードセル３１により出力される荷重値に基づいて基板Ｗ１，Ｗ２に対する加工圧が５０ｋｇとなると加圧板３３ａの下降を停止させる（ステップ８８）。この際、同時にＣＣＤカメラ５０により撮像したシール材５５のつぶれ具合に基づいて加工圧を監視する。
【００９２】
そして、制御装置４１は、ロードセル３１から出力される荷重値を再度読み取り、その時の加圧値と５０Ｋｇの加圧値との差が所定範囲内の値であるか否かを判断する（ステップ８９）。その際、加圧値の差が所定範囲内の値より大きい場合には、加圧板３３ａのそれ以降の下降を中断して基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧を中断する（ステップ９０）。即ち、この場合は、前記と同様に基板平行度が損なわれている可能性があるため、異常箇所を検査する必要がある。
【００９３】
一方、上記ステップ８９における判断の結果、加圧値の差が所定範囲内である場合には、制御装置４１は、ＣＣＤカメラ５０により撮像されたシール材５５のつぶれ幅が所定範囲内の値であるか否かを判断する（ステップ９１）。その際、つぶれ幅が所定範囲内の値より大きい場合には、前記と同様に異常と判断して基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧を中断する（ステップ９２）。
【００９４】
一方、上記ステップ９１における判断の結果、つぶれ幅が所定範囲内の値である場合には、図１５に示すように、制御装置４１は、前記と同様にモータ２７を加圧板３３ａの下降方向に駆動して基板Ｗ１，Ｗ２をさらに近接させる（ステップ９３）。次いで、制御装置４１は、ロードセル３１により出力される荷重値に基づいて基板Ｗ１，Ｗ２に対する加工圧が１００ｋｇとなると加圧板３３ａの下降を停止させる（ステップ９４）。この際、同時にＣＣＤカメラ５０により撮像したシール材５５のつぶれ具合に基づいて加工圧を監視する。
【００９５】
そして、制御装置４１は、ロードセル３１から出力される荷重値を再度読み取り、その時の加圧値と１００Ｋｇの加圧値との差が所定範囲内の値であるか否かを判断する（ステップ９５）。その際、加圧値の差が所定範囲内の値より大きい場合には、加圧板３３ａのそれ以降の下降を中断して基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧を中断する（ステップ９６）。即ち、この場合は、前記と同様に基板平行度が損なわれている可能性があるため、異常箇所を検査する必要がある。
【００９６】
一方、上記ステップ９５における判断の結果、加圧値の差が所定範囲内である場合には、制御装置４１は、ＣＣＤカメラ５０により撮像されたシール材５５のつぶれ幅が所定範囲内の値であるか否かを判断する（ステップ９７）。その際、つぶれ幅が所定範囲内の値より大きい場合には、前記と同様に異常と判断して基板Ｗ１，Ｗ２に対する加圧を中断する（ステップ９８）。
【００９７】
一方、上記ステップ９７における判断の結果、つぶれ幅が所定範囲内の値である場合には、制御装置４１は、モータ２７を加圧板３３ａの上昇方向に駆動してチャンバ３２を開放（大気開放）する（ステップ９９）。これにより、基板Ｗ１，Ｗ２は大気圧と基板間（真空）との圧力差により、所定のセルギャップ（最終基板間隔）まで貼り合わせられる。
【００９８】
そして、制御装置４１は、ＣＣＤカメラ５０により撮像されたシール材５５のつぶれ幅に基づいて算出される両基板Ｗ１，Ｗ２の基板間隔の推測値を画像処理装置４７から読み取り（ステップ１００）、その後、貼り合わせ後の両基板Ｗ１，Ｗ２の払い出しを搬送装置に要求する（ステップ１０１）。
【００９９】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）プレス装置１７のチャンバ３２内には基板Ｗ２，Ｗ１を保持する加圧板３３ａ，テーブル３３ｂが対向して設けられる。加圧板３３ａは支柱３４を介して第２の支持板２６に吊下支持され、テーブル３３ｂは支柱３７を介して位置決めステージ３６に支持される。又、チャンバ３２の上側容器３２ａは支柱３４を囲むベローズ３５を介して第２の支持板２６に吊下支持され、下側容器３２ｂは支柱３７を囲むベローズ３８を介して位置決めステージ３６に支持される。それら第２の支持板２６及び位置決めステージ３６は剛性の高いベース板２１及び支持枠２２に支持されている。このように構成されたプレス装置１７では、基板貼り合わせ時の減圧下でチャンバ３２に変形が生じた場合にもその力が加圧板３３ａ及びテーブル３３ｂに作用することが防止されるため、該減圧下においても基板Ｗ１，Ｗ２の相対位置や平行度に影響が生じない。また、加圧板３３ａ及びテーブル３３ｂの振動に対する剛性が向上されるため、それらにプレス装置１７の外部からの振動が伝わることが防止され、基板Ｗ１，Ｗ２の位置ずれを抑制することができると共に基板平行度を精度よく保つことが可能である。
【０１００】
（２）両基板Ｗ１，Ｗ２がシール材５５の略全周と接触する基板間隔となるまで荷重をモニタしながら加圧し、その後基板Ｗ１，Ｗ２の相対位置と平行度の精度が維持された状態でチャンバ３２内を大気開放して該大気圧と基板間の圧力差により基板Ｗ１，Ｗ２を最終のセルギャップまで貼り合わせるようにした。従って、大気開放後における基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧がそれら基板Ｗ１，Ｗ２の全体に均一に作用するため、両基板Ｗ１，Ｗ２に損傷を与えずに精度よく貼り合わせを行うことができる。また、この方法では両基板Ｗ１，Ｗ２にシール材５５が接触する基板間隔までの加工圧を、大気開放後の加工圧に比べて貼り合わせ時に必要十分とする極めて小さな圧力値にすることができる。これにより、プレス装置１７に機械的な位置ズレが生じている状態や基板平行度が損なわれている状態で仮に貼り合わせが行われる場合にも、基板Ｗ１，Ｗ２に与える影響を小さくすることができる。
【０１０１】
（３）加圧板３３ａを下降して与える基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧を、ロードセル３１による荷重検出に加え、リニアスケール４３ａ，４３ｂによる加圧板３３ａの位置検出、さらにはＣＣＤカメラ５０により撮像されるシール材５５のつぶれ具合によって監視するようにした。これにより、貼り合わせ時に基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧に異常がある場合にはそれ以上の加圧を停止することができるため、加圧板３３ａ及びテーブル３３ｂが破損することや、基板Ｗ１，Ｗ２が損傷することを未然に防止することができる。
【０１０２】
（４）各ロードセル３１は、加圧板３３ａを支持する各支柱３４の対角線上となる位置にて加圧板３３ａの中心から等距離の位置に配置される。これにより、各ロードセル３１に作用する荷重（自重）を均衡させることができる。また、チャンバ３２内の減圧過程で各ロードセル３１に作用する荷重（大気圧力）を均衡させることができる。従って、チャンバ３２内が減圧下及び大気圧下に依らず、貼り合わせ時には加圧板３３ａとテーブル３３ｂの平行度を維持することができる。また、異物の混入やプレス装置１７の機械的な位置ズレにより平行度が損なわれる場合には各ロードセル３１から出力される荷重値によって平行度を検査することが可能である。その結果、基板Ｗ１，Ｗ２の平行度を維持して貼り合わせを精度よく行うことができる。
【０１０３】
（５）基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せは、基板Ｗ２が液晶５４に接触して且つシール材５５に接触しない状態で、両基板Ｗ１，Ｗ２間が最小となるときの加圧板３３ａの位置で行われる。これにより、基板貼り合わせ時にシール材５５にせん断力が生じることが抑制されるため、大気開放後の基板Ｗ１，Ｗ２の位置ずれを防止することができ、貼り合わせ精度を向上させることができる。
【０１０４】
（６）第１のシール材５５の外側に該シール材５５より高さ及び幅の大きい第２のシール材６１（６２，６３）を設けることで、加工圧を精度よく検出することが可能であるとともに、加圧板３３ａによる基板Ｗ１，Ｗ２の加圧を停止する際の基板間隔のマージンを大きくすることが可能である。これにより、貼り合わせ時に加圧値の異常がある場合には、その異常をより早く検出することが可能となる。また、第１のシール材５５が基板Ｗ２（ＴＦＴ基板）の遮光膜にかかる場合にも第２のシール材６１（６２，６３）のつぶれ具合をＣＣＤカメラ５０により撮像可能となる。
【０１０５】
（７）大気開放時における基板Ｗ１，Ｗ２の基板間隔をロードセル３１による加圧検出結果に基づいて略一定の間隔にすることが可能である。これにより、大気開放後に液晶５４の拡散に要する時間を略一定にすることが可能となり、紫外線を照射するタイミングを略一定にすることができる。従って、シール材５５を硬化させる処理を最適な時期に行うことができるとともに、硬化不足によるシール材５５の密着力不足を防止することができる。また、これにより基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせを連続的に行う場合に、貼合せ基板製造装置１１を効率的に稼働させることが可能となる。
【０１０６】
（第二実施形態）
以下、本発明を具体化した第二実施形態を図１６〜図１８に従って説明する。尚、本実施形態は、第一実施形態のプレス装置１７の別の形態について説明するものである。従って、第一実施形態と同様な構成部分については同一符号を付してその詳細な説明を一部省略する。
【０１０７】
図１６は、基板Ｗ１，Ｗ２へ圧力を加えて貼り合わせを行う本実施形態のプレス装置１２１の機構を側面から見た概略図である。
このプレス装置１２１には、第１の支持枠１２３が備えられ、第１の支持枠１２３の内側には第２の支持枠１２４が備えられている。この第２の支持枠１２４には、第１の支持枠１２３に取着されたガイドレール１２５に沿って上下動可能に設けられるリニアガイド１２６が取着されている。即ち、第２の支持枠１２４は、第１の支持枠１２３に対して上下動可能に設けられている。
【０１０８】
第１の支持枠１２３には複数（図は２つ示す）の加圧用モータ１２７が設けられ、各加圧用モータ１２７により回転駆動されるボールネジ１２８に支持板１２９が上下動可能に支持されている。そして、この支持板１２９に第２の支持枠１２４が複数（図は４つ示す）のロードセル１３０を介して支持されている。尚、各ロードセル１３０は、上記第一実施形態で説明した図５又は図６に示す配置位置に従って配置されている。
【０１０９】
第２の支持枠１２４の中央には、前記支持板１２９によって支持される第３の支持枠１３１が備えられている。この第３の支持枠１３１には、支持板１２９に取着されたガイドレール１３２に沿って上下動可能に設けられるリニアガイド１３３が取着されている。即ち、第３の支持枠１３１は、支持板１２９、即ち第２の支持枠１２４に対して上下動可能に設けられている。
【０１１０】
支持板１２９には加圧用モータ１３４が設けられ、この加圧用モータ１３４により回転駆動されるボールネジ１３５に支持部材１３６が上下動可能に支持されている。そして、この支持部材１３６に第３の支持枠１３１が複数（図は２つ示す）のロードセル１３７を介して支持されている。尚、各ロードセル１３７は、上記第一実施形態で説明した図５又は図６に示す配置位置に従って配置されている。
【０１１１】
プレス装置１２１は、第２及び第３の支持枠１２４，１３１の下方に処理室としての真空チャンバ１４０を備え、そのチャンバ１４０は上下に分割され、上側容器１４０ａと下側容器１４０ｂとから構成されている。下側容器１４０ｂは、第１の支持枠１２３に取着された複数の支持部１４０ｃにより支持されている。
【０１１２】
チャンバ１４０の開口部、即ち上側容器１４０ａと下側容器１４０ｂとが当接する個所には、それらの間をシールして同チャンバ１４０の気密を保つためのＯリング１４０ｄが設けられている。また、上側容器１４０ａには、下側容器１４０ｂに設けられた位置決めピン１４０ｅに嵌合する位置決め孔１４０ｆが設けられている。従って、チャンバ１４０を閉塞したときに、位置決めピン１４０ｅが位置決め孔１４０ｆに嵌合することによって、上側容器１４０ａが下側容器１４０ｂに対して位置決めされるようになっている。
【０１１３】
このチャンバ１４０内には、両基板Ｗ１，Ｗ２をそれぞれ吸着保持するための第１及び第２の保持板としての加圧板１４１及びテーブル１４２が対向して設けられている。尚、本実施形態において、加圧板１４１は第２の基板Ｗ２（ＣＦ基板）を保持し、テーブル１４２は第１の基板Ｗ１（ＴＦＴ基板）を保持する。加圧板１４１とテーブル１４２は、吸引吸着力及び静電吸着力のうち少なくとも一方を作用させてそれぞれ第２の基板Ｗ２と第１の基板Ｗ１を吸着保持するようになっている。
【０１１４】
図１７（ａ）に示すように、加圧板１４１は、中央加圧部１４１ａと、その中央加圧部１４１ａの外周を囲むように離間して設けられる周辺加圧部１４１ｂとから構成されている。周辺加圧部１４１ｂは、第２の支持枠１２４に一体接続される複数（図は２つ示す）の支柱１４３により吊下支持され、中央加圧部１４１ａは、第３の支持枠１３１に一体接続される複数（図は２つ示す）の支柱１４４により吊下支持されている。
【０１１５】
第２の支持枠１２４と上側容器１４０ａとの間には、前記各支柱１４３を囲みチャンバ１４０の気密を保つ弾性体としてのベローズ１４５が設けられている。ベローズ１４５は両端のフランジ部にＯリングを備え、そのＯリングにより第２の支持枠１２４と上側容器１４０ａとの間をシールするようになっている。
【０１１６】
第３の支持枠１３１と上側容器１４０ａとの間には、前記各支柱１４４を囲みチャンバ１４０の気密を保つ同じく弾性体としてのベローズ１４６が設けられている。同様に、ベローズ１４６は両端のフランジ部にＯリングを備え、そのＯリングにより第３の支持枠１３１と上側容器１４０ａとの間をシールするようになっている。
【０１１７】
テーブル１４２は下側容器１４０ｂ内に設けられ、位置決めステージ１４７によって水平移動（ＸＹ方向）可能且つ水平回転（θ方向）可能に支持されている。詳しくは、位置決めステージ１４７は、第１の支持枠１２３に一体接続されるベース板１４８に対してＸＹθ方向に移動可能に設けられ、複数の支柱（図示略）を介してテーブル１４２を支持している。位置決めステージ１４７と下側容器１４０ｂとの間には、テーブル１４２を支持する各支柱を囲みチャンバ１４０の気密を保つ弾性体としてのベローズ（図示略）が設けられている。そして、位置決めステージ１４７の駆動に基づいて、テーブル１４２が水平面内で移動及び回動されるようになっている。
【０１１８】
尚、本実施形態において、第１，第２，第３の支持枠１２３，１２４，１３１、支持板１２９、支持部材１３６及びベース板１４８等は、十分に高い剛性を持つ材質（剛体）にて形成されている。
【０１１９】
テーブル１４２には、加圧板１４１の中央加圧部１４１ａと対向する位置及び周辺加圧部１４１ｂと対向する位置にてそれぞれ紫外線照射機構１４９，１５０が設けられている。これら各機構１４９，１５０は、それぞれシリンダの駆動に基づいて上下動し、第１及び第２の基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせ時にシール材に紫外線を照射する。これにより、シール材が硬化されて、両基板Ｗ１，Ｗ２の仮固定が行われるようになっている。
【０１２０】
テーブル１４２の上面外周縁には、該テーブル１４２の基板吸着面とつらを合わせてリフト板１５３が設けられている。このリフト板１５３は、テーブル１４２の外方に一部が突出する状態で載置され、その下方に上下動可能に設けられたリフト機構１５４によって、テーブル１４２から持ち上げられるようになっている。
【０１２１】
このように構成されたプレス装置１２１では、各加圧用モータ１２７の駆動に基づいて支持板１２９が上下動すると、その支持板１２９に支持されている第２の支持枠１２４が第１の支持枠１２３に対して上下動する。それに伴い、支持板１２９にボールネジ１３５を介して接続された支持部材１３６に支持されている第３の支持枠１３１が第２の支持枠１２４とともに上下動する。
【０１２２】
また、加圧用モータ１３４の駆動に基づいて支持部材１３６が上下動すると、その支持部材１３６に支持されている第３の支持枠１３１が支持板１２９、即ち第２の支持枠１２４に対して上下動する。
【０１２３】
従って、プレス装置１２１は、第１の支持枠１２３に対して第２の支持枠１２４と第３の支持枠１３１とをそれぞれ独立して上下動させることが可能となっている。即ち、プレス装置１２１は、図１７（ａ）に示すように、加圧板１４１の中央加圧部１４１ａと周辺加圧部１４１ｂとに基板Ｗ２を吸着保持（図にて斜線に示す部位に吸着保持）した状態で、図１７（ｂ）に示すように、周辺加圧部１４１ｂと中央加圧部１４１ａとをそれぞれ独立して上下動させることが可能である。
【０１２４】
このようなプレス装置１７において、各ロードセル１３０，１３７は、上記第一実施形態と同様、それぞれに作用する圧力を検出し、その検出結果をプレス装置１２１の制御装置（図示略）に出力する。
【０１２５】
詳しくは、ロードセル１３０は、チャンバ１４０の減圧（真空排気）下において、支持板１２９に支持された各部材の重量（自重）と、支柱１４３の断面積に比例して周辺加圧部１４１ｂに作用する大気圧力との荷重の総和を検出する。そして、制御装置は、各ロードセル１３０の検出結果に基づいて、次第に減少する荷重総和の減少分から両基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせ時における加工圧を検知する。
【０１２６】
同様に、ロードセル１３７は、チャンバ１４０の減圧下において、支持部材１３６に支持された各部材の重量（自重）と、支柱１４４の断面積に比例して中央加圧部１４１ａに作用する大気圧力との荷重の総和を検出する。そして、制御装置は、各ロードセル１３７の検出結果に基づいて、次第に減少する荷重総和の減少分から両基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせ時における加工圧を検知する。
【０１２７】
尚、図１６ではプレス装置１２１の制御機構を省略しているが、第一実施形態と同様、制御装置は、各ロードセル１３０，１３７の出力に基づいて、貼り合わせ時に両基板Ｗ１，Ｗ２に与える加工圧を一定とするように各モータ１２７，１３４の駆動を制御する。同様に、制御装置は、図３で説明したように、アライメントマークを撮像するＣＣＤカメラの画像データを取り込んで画像処理する画像処理装置からの出力信号に基づいて位置決めステージ１４７を駆動し、両基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せを行うようになっている。
【０１２８】
また、本実施形態では図示しないが、各加圧用モータ１２７，１３４の駆動に基づいてそれぞれ上下動する各リニアガイド１２６，１３３に、それぞれ周辺加圧部１４１ｂと中央加圧部１４１ａとの移動位置を検出するリニアスケールを設けてもよい。この場合も、第一実施形態と同様、制御装置は、リニアスケールによる位置検出に基づいて、テーブル１４２に対する中央加圧部１４１ａと周辺加圧部１４１ｂの相対位置をそれぞれ監視し、貼り合わせ時の両基板Ｗ１，Ｗ２の間隔とその時の加工圧との関係が適正であるか否かを判断する。
【０１２９】
次に、両基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせ工程における加圧制御について図１８を参照しながら説明する。尚、図示しないが、第１の基板Ｗ１（貼り合わせ面）には、上記第一実施形態の図１０で説明したように、同基板Ｗ１に面付けされた複数のセルに対して液晶を封入するための第１のシール材と、それら各セルの第１のシール材を環状に囲む第２のシール材とが塗布されている。
【０１３０】
先ず、図１８（ａ）に示すように、加圧板１４１（中央加圧部１４１ａ及び周辺加圧部１４１ｂ）とテーブル１４２とにそれぞれ第２の基板Ｗ２と第１の基板Ｗ１とを吸着保持した後、チャンバ１４０内を真空排気し、アライメントマークを用いて光学的に両基板Ｗ１，Ｗ２の位置合せを非接触にて行う。
【０１３１】
次いで、図１８（ｂ）に示すように、周辺加圧部１４１ｂを下降させて第２の基板Ｗ２の周辺部を加工圧Ｆｏまで、具体的には第１の基板Ｗ１上の第２のシール材に第２の基板Ｗ２が密着するまで加圧を行った後、カメラＣ１を用いてアライメントを行う。その後、紫外線照射機構１４９（図１６参照）により第２のシール材に紫外線を照射して該シール材を硬化させ、両基板Ｗ１，Ｗ２の周辺部を仮固定する。
【０１３２】
次いで、図１８（ｃ）に示すように、第２の基板Ｗ２の周辺部を保持している周辺加圧部１４１ｂの吸着をオフして該周辺加圧部１４１ｂを上昇させ、中央加圧部１４１ａを下降させる。そして、カメラＣ２を用いて再度アライメントを実施するとともに、第２の基板Ｗ２の中央部を加工圧Ｆｃまで、具体的には第１の基板Ｗ１上の各第１のシール材に第２の基板Ｗ２が密着するまで加圧を行う。その後、紫外線照射機構１５０（図１６参照）により第１のシール材に紫外線を照射して該シール材を硬化させ、両基板Ｗ１，Ｗ２の中央部を仮固定する。
【０１３３】
そして、中央加圧部１４１ａの吸着をオフして該中央加圧部１４１ａを上昇させて、第一実施形態と同様、チャンバ１４０内を大気開放して所定のセルギャップ（最終基板間隔）まで貼り合わせを行う。
【０１３４】
尚、上記した貼り合わせ工程では、図１８（ｂ）に示すように周辺部の仮固定を行った後、周辺加圧部１４１ｂを静止させたまま、中央加圧部１４１ａを下降させて中央部の仮固定を行うようにしてもよい。
【０１３５】
以上記述したように、本実施形態によれば、上記第一実施形態と同様な効果に加えて、以下の効果を奏する。
（１）本実施形態において、加圧板１４１は、両基板Ｗ１，Ｗ２の中央部を加圧する中央加圧部１４１ａと、両基板Ｗ１，Ｗ２の周辺部を加圧する周辺加圧部１４１ｂとから構成されている。周辺加圧部１４１ｂと中央加圧部１４１ａとはそれぞれ独立して上下動可能に第２の支持枠１２４と第３の支持枠１３１とに支持されている。この構成によれば、両基板Ｗ１，Ｗ２の周辺部と中央部とを別々に加圧制御することが可能となるため、両基板Ｗ１，Ｗ２の貼り合わせ時に必要な単位面積当りの荷重値を確保しながら、それぞれの加圧時に、基板Ｗ２の加圧面にかかる総荷重値を小さくすることができる。その結果、貼り合わせ時に生じる加工圧の反力により基板Ｗ２が横滑りして貼り合わせ位置にずれが生じることを防止しながら、所定のセルギャップまで貼り合わせを行うことが可能となる。
【０１３６】
（２）本実施形態では、パネルの面付け数に応じた複数の第１のシール材とそれらを環状に囲む第２のシール材とが設けられる場合において、両基板Ｗ１，Ｗ２の周辺部の加圧を行った後に中央部の加圧を行うようにした。これにより、先ず第２のシール材を潰して両基板Ｗ１，Ｗ２の周辺部を仮固定した後に、第１のシール材を潰して中央部の貼り合わせを行うことができる。このため、位置ずれの発生をさらに抑えることができる。
【０１３７】
（３）本実施形態のように、中央部と周辺部との加圧を別々に行うようにした構成では、貼り合わせを行う両基板Ｗ１，Ｗ２のサイズが大型である場合において特に有用な構成とすることができる。
【０１３８】
尚、上記各実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・貼合せ基板製造装置１１の形態は図１に示す形態に限定されない。例えば各装置１２〜１４，１７，１８は、必要に応じて複数備えられる。
【０１３９】
・本実施形態にてチャンバ３２は上下に分割して構成されているが、チャンバ３２の構造は本実施形態に限定されるものではなく、例えば図１９に示すようなチャンバ１１１の構造であってもよい。詳述すると、チャンバ１１１は、該チャンバ１１１を開閉するためのゲートバルブ１１２を備えている。チャンバ１１１内には加圧板３３ａ及びテーブル３３ｂが設けられ、加圧板３３ａは支柱３４を介して第２の支持板２６に吊下支持され、テーブル３３ｂは支柱３７を介して位置決めステージ３６に支持されている。チャンバ１１１の上面は支柱３４を囲むように設けられたベローズ３５を介して支持板１１３と気密可能に接続されている。また、チャンバ１１１の下面は支柱３７を囲むように設けられたベローズ３８を介して前記位置決めステージ３６に支持されるとともに、支持部材３９を介してベース板２１に支持されている。尚、同図に示す加圧手段１１４は、上記モータ２７の駆動に基づいて加圧板３３ａに加圧力を作用させる機構であり、図２に示す構成と同様に構成されている。また、同図では省略しているが、ベース板２１には図２と同様に略ゲート状の支持枠２２が接続されている。このような構造を持つチャンバ１１１の場合にも本実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１４０】
・図２に示すプレス装置１７の支持部材３９はベローズ３８により下側容器３２ｂを支持することができれば、必ずしも設ける必要はない。
・図２に示すプレス装置１７の支持枠２２は直接ベース板２１に固定されるようにしたが、十分に剛性の高いその他の構造体を介してベース板２１と支持枠２２とが接続されるようにしてもよい。
【０１４１】
・本実施形態では、加圧板３３ａによる基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧を各部材の自重Ａと大気圧力Ｂの荷重総和の減算分から求めるようにしたが、これに限定されずその他の方法を用いて荷重検出するようにしてもよい。
【０１４２】
・本実施形態では、ロードセル３１を４つ設けたが、荷重及び平行度を検出することができればよく４つに限定されない。
・本実施形態では、シール材５５のつぶれ具合を監視するＣＣＤカメラ５０を４台設けるようにしたが４台以上或いは１〜３台としてもよい。尚、基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧及び加圧板３３ａとテーブル３３ｂとの間の平行度をともに精度よく検出するためには４台設けるのが好ましい。
【０１４３】
・本実施形態では、ロードセル３１による荷重検出、リニアスケール４３ａ，４３ｂによる加圧板３３ａの位置検出及びＣＣＤカメラ５０によるシール材５５のつぶれ幅の検出によって基板Ｗ１，Ｗ２の加工圧を制御するようにしたが、それらのうち何れかの方法によって制御するようにしてもよい。尚、本実施形態のように、ロードセル３１による荷重検出に加えてシール材５５のつぶれ具合を監視するようにすれば、プレス装置１７の機械的な位置ズレ等が発生した場合にも加工圧の異常検出を精度よく行うことが可能であり、信頼性を向上させることが可能である。
【０１４４】
・本実施形態では、ＣＣＤカメラ５０によりシール材５５のつぶれ具合を監視するようにしたが、その他の手段例えばシール材５５の寸法を測定できる透過型のセンサ等を用いて監視するようにしてもよい。尚、本実施形態のように、ＣＣＤカメラ５０を用いる方法は、それにより撮像したシール材５５の画像をモニタ等により目視して確認することができるため好適である。
【０１４５】
・第二実施形態では、先ず中央加圧部１４１ａを下降させて両基板Ｗ１，Ｗ２の中央部の加圧を行い、その後に、中央加圧部１４１ａの吸着をオフして周辺加圧部１４１ｂを下降させて周辺部の加圧を行うようにしてもよい。
【０１４６】
・第二実施形態では、貼り合わせ時に必要な単位面積当りの荷重値を確保しながら、基板Ｗ２の全面に加工圧を与えても横滑りの虞がなければ、中央加圧部１４１ａと周辺加圧部１４１ｂとを同時に下降させて加圧を行うようにしてもよい。即ち、中央加圧部１４１ａと周辺加圧部１４１ｂとの加圧制御は、貼り合わせを行う両基板Ｗ１，Ｗ２のサイズに応じて行う。
【０１４７】
上記各実施形態の特徴をまとめると以下のようになる。
（付記１）　処理室内に配置された互いに対向する第１及び第２の保持板にそれぞれ保持した２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造装置において、
前記第１及び第２の保持板の何れか一方は前記２枚の基板の貼り合わせを行う際に該２枚の基板に加圧力を作用させる加圧手段と接続され、他方は前記２枚の基板の位置合せを行う際に水平方向に移動可能且つθ方向に回動可能な駆動手段と接続され、
前記２枚の基板に前記加圧力を作用させる時には前記処理室を少なくとも前記第１及び第２の保持板と非接触となるように弾性体を介して前記加圧手段及び前記駆動手段と接続したことを特徴とする貼合せ基板製造装置。
（付記２）　前記駆動手段は剛性を有する材質よりなるベース板に接続され、前記加圧手段は１又は複数の剛体を介して前記ベース板と接続されていることを特徴とする付記１記載の貼合せ基板製造装置。
（付記３）　前記２枚の基板間を封止するためのシール材を該２枚の基板の何れか一方に枠状に描画する機構と、前記２枚の基板の貼り合わせ時に該２枚の基板に加わる荷重を検出する荷重検出手段と、前記荷重検出手段から出力される荷重値に基づいて算出した加工圧が前記２枚の基板と前記シール材の略全周とが接触する基板間隔に対応した所定の圧力値に達するか否かを検出する制御手段と
を備えたことを特徴とする付記１又は２記載の貼合せ基板製造装置。
（付記４）　前記制御手段は、前記所定の圧力値に前記加工圧が達するまで、前記加圧手段の加圧力を前記２枚の基板に段階的に作用させることを特徴とする付記３記載の貼合せ基板製造装置。
（付記５）　前記荷重検出手段は複数のロードセルから構成され、前記制御手段は、前記複数のロードセルから出力される荷重値のうち何れか２つの荷重値の差が所定値以上になるか否かを検出することを特徴とする付記３又は４記載の貼合せ基板製造装置。
（付記６）　前記複数のロードセルは、前記加圧手段と接続される保持板の水平方向の２軸に対してそれぞれが対称となるような位置での荷重を検出することを特徴とする付記５記載の貼合せ基板製造装置。
（付記７）　前記複数のロードセルは、前記加圧手段と接続される保持板の中心からそれぞれが等距離となるような位置での荷重を検出することを特徴とする付記５記載の貼合せ基板製造装置。
（付記８）　前記保持板の中心位置での荷重を検出するロードセルをさらに備えることを特徴とする付記６又は７記載の貼合せ基板製造装置。
（付記９）　前記２枚の基板の貼り合わせ時に前記第１及び第２の保持板間の相対位置を検出して位置データを出力する位置検出手段を備えたことを特徴とする付記１乃至８の何れか一記載の貼合せ基板製造装置。
（付記１０）　前記２枚の基板の貼り合わせ時に該２枚の基板により押圧される前記シール材のつぶれ具合を監視する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像データに基づいて前記シール材のつぶれの寸法を測定する画像処理手段とを備えたことを特徴とする付記３乃至９の何れか一記載の貼合せ基板製造装置。
（付記１１）　前記シール材の枠外の領域に、該シール材より高さが大きくなるように第２のシール材を設けることを特徴とする付記３乃至１０の何れか一記載の貼合せ基板製造装置。
（付記１２）　前記第２のシール材は、前記２枚の基板間を封止するためのシール材を囲むように枠状に設けられることを特徴とする付記１１記載の貼合せ基板製造装置。
（付記１３）　前記２枚の基板間を封止するためのシール材を該２枚の基板の何れか一方に枠状に描画する機構と、前記シール材の枠内に液晶を滴下する機構と、処理室内に配置された互いに対向する第１及び第２の保持板に保持された２枚の基板に加圧力を作用させる加圧手段と、前記２枚の基板の位置合せを行う際に水平方向に移動可能且つθ方向に回動可能な駆動手段と、前記２枚の基板に加わる荷重を検出する荷重検出手段と、前記荷重検出手段から出力される荷重値に基づいて前記２枚の基板の加工圧を求める制御手段とを備え、前記処理室内にて前記２枚の基板を貼り合わせる貼合せ基板製造方法であって、
前記制御手段は、前記２枚の基板に前記シール材の略全周が接触する基板間隔に対応した所定の圧力値に前記加工圧が達するときに前記２枚の基板に作用させている前記加圧手段の加圧力を停止させ、前記処理室内を大気圧に戻すことを特徴とする貼合せ基板製造方法。
（付記１４）　前記制御手段は、前記所定の圧力値に前記加工圧が達するまで前記加圧手段の加圧力を前記２枚の基板に段階的に作用させ、該段階毎に定められた圧力値と前記加工圧との差異を少なくとも１回以上確認するようにしたことを特徴とする付記１３記載の貼合せ基板製造方法。
（付記１５）　前記荷重検出手段は複数のロードセルから構成され、
前記制御手段は、前記複数のロードセルから出力される荷重値のうち何れか２つの荷重値の差が所定値以上になるとき、前記２枚の基板に作用させている前記加圧手段からの加圧力を停止させ、前記処理室内を大気圧に戻すことを特徴とする付記１３又は１４記載の貼合せ基板製造方法。
（付記１６）　前記２枚の基板の貼り合わせ時に前記第１及び第２の保持板間の相対位置を検出して位置データを出力する位置検出手段を備え、
前記制御手段は、前記位置検出手段から出力される位置データに基づいて前記２枚の基板間が該２枚の基板と前記シール材の略全周とが接触する基板間隔に達するときに前記２枚の基板に作用させている前記加圧手段の加圧力を停止させ、前記処理室内を大気圧に戻すことを特徴とする付記１３乃至１５の何れか一記載の貼合せ基板製造方法。
（付記１７）　前記２枚の基板の貼り合わせ時に該２枚の基板により押圧される前記シール材のつぶれ具合を監視する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像データに基づいて前記シール材のつぶれの寸法を測定する画像処理手段とを備え、
前記制御手段は、前記画像処理手段から出力される前記シール材のつぶれの寸法測定結果に基づいて前記２枚の基板に作用させている前記加圧手段からの加圧力を停止させ、前記処理室内を大気圧に戻すことを特徴とする付記１３乃至１６の何れか一記載の貼合せ基板製造方法。
（付記１８）　前記制御手段は、前記２枚の基板に前記液晶が接触して且つ前記シール材が前記２枚の基板の何れか一方に接触する基板間隔に対応した圧力値に前記加工圧が達するときに前記２枚の基板に作用させている前記加圧手段の加圧力を停止させ、前記２枚の基板の位置合せを行うようにしたことを特徴とする付記１３乃至１７の何れか一記載の貼合せ基板製造方法。
【０１４８】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、貼り合わせ基板の製造不良を低減することのできる貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板貼合せ装置の概略構成図である。
【図２】第一実施形態のプレス装置の概略構成図である。
【図３】プレス装置の制御機構を説明するブロック図である。
【図４】ロードセルの接続例を示す説明図である。
【図５】ロードセルの配置説明図である。
【図６】ロードセルの別の配置説明図である。
【図７】ＣＣＤカメラの配置説明図である。
【図８】貼合せ前の基板を示す平面図である。
【図９】貼合せ後の基板を示す断面図である。
【図１０】第２のシール材の配置説明図である。
【図１１】第２のシール材の別の配置説明図である。
【図１２】第２のシール材の別の配置説明図である。
【図１３】基板貼合せ時の荷重の推移を示す説明図である。
【図１４】基板貼合せ工程を示すフローチャートである。
【図１５】基板貼合せ工程を示すフローチャートである。
【図１６】第二実施形態のプレス装置の概略構成図である。
【図１７】第二実施形態の加圧板を示す説明図である。
【図１８】第二実施形態の基板貼合せ工程を示す説明図である。
【図１９】別の形態のチャンバを示す概略構成図である。
【符号の説明】
Ｗ１，Ｗ２　２枚の基板としての第１及び第２の基板
１１　貼合せ基板製造装置
２１，１４８　ベース板
３１　荷重検出手段としてのロードセル
３２　処理室としてのチャンバ
３３ａ　第１の保持板としての加圧板
３３ｂ　第２の保持板としてのテーブル
３６　駆動手段としての位置決めステージ
４１　制御手段としての制御装置
４７　画像処理手段としての画像処理装置
４３ａ，４３ｂ　位置検出手段としてのリニアスケール
５０　撮像手段としてのＣＣＤカメラ
５４　液晶
５５　シール材（第１のシール材）
６１，６２，６３，７１　第２のシール材
１１４　加圧手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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