(57)【要約】【課題】測定ステージ上に導電シートを介して高周波部品を乗せることにより、高周波特性の測定を行う測定用治具に関して、導電シートのずれによる測定値への悪影響を除外し、測定精度の高い高周波特性値を得ることが可能な測定用治具を提供する。【解決手段】測定用治具１００は、高周波部品５の位置決めを行う高周波部品位置決め部４と、導電シート２の位置決めを行う導電シート位置決め部３とを個別に有する。そして、それら高周波部品位置決め部４と導電シート位置決め部３とを測定ステージ１に位置決めピン６により固定することで、導電シート２を高周波部品５及び測定ステージ１に対し面内方向の相対位置が固定され、特性測定値のバラツキが軽減される。【選択図】　図２
2004108919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波測定装置に接続する測定用伝送線路と、該測定用伝送線路に接続されたステージ側端子とを有する測定ステージに高周波部品の部品側端子と前記ステージ側端子との対応するもの同士が互いに対向するように高周波部品を位置決めし、また、厚さ方向には電気導通を許容し、面内方向には電気導通を許容しない導電シートを前記高周波部品と前記測定ステージとの間に介在させ、前記部品側端子と前記ステージ側端子との対応するもの同士を電気的に接続するとともに、前記導電シートを、前記高周波部品及び前記測定ステージに対し、面内方向の相対位置が一定となるように位置決めして、前記高周波部品の特性を前記高周波測定装置により測定することを特徴とする高周波部品特性測定方法。
【請求項２】
高周波測定装置に接続する測定用伝送線路と、該測定用伝送線路に接続されたステージ側端子とを有する測定ステージと、
高周波部品の部品側端子と前記ステージ側端子との対応するもの同士が互いに対向するように、前記高周波部品を前記測定ステージに対して位置決めする部品位置決め部と、
前記高周波部品と前記測定ステージとの間に介在し、かつ前記部品側端子と前記ステージ側端子との対応するもの同士を電気的に接続するために、厚さ方向には電気導通を許容し、面内方向には電気導通を許容しない導電シートと、
前記部品位置決め部と前記測定ステージの間に介在し、前記導電シートを、前記高周波部品及び前記測定ステージに対し、面内方向の相対位置が一定となるように位置決めするシート位置決め部と、
を有することを特徴とする高周波部品測定治具。
【請求項３】
前記部品位置決め部は、前記シート位置決め部に対して着脱可能に構成されてなる請求項２記載の高周波部品測定治具。
【請求項４】
前記シート位置決め部は、前記導電シートの外周面に当接することにより前記導電シートを前記測定ステージに対し位置決めする請求項２又は３に記載の高周波部品測定治具。
【請求項５】
前記シート位置決め部は板状に構成され、前記導電シートは前記シート位置決め部の板厚方向に貫通形成されたシート収容部内に収容される請求項２ないし４のいずれかに記載の高周波部品測定治具。
【請求項６】
前記部品位置決め部は板状に構成され、前記高周波部品は前記部品位置決め部の板厚方向に貫通形成された部品収容部内に収容される請求項２ないし５のいずれかに記載の高周波部品測定治具。
【請求項７】
板状の前記部品位置決め部が、板状の前記シート位置決め部上に重ね合わせて装着される請求項６記載の高周波部品測定治具。
【請求項８】
前記シート収容部の開口領域が前記部品収容部の開口領域より大きく、また前記部品収容部の開口領域が前記シート収容部の開口領域に包含されるように位置決めされ、かつ前記部品収容部が前記シート収容部上に重ね合わせて装着される請求項７記載の高周波部品測定治具。
【請求項９】
前記シート位置決め部はシート位置決め部側係合部を有してなり、該シート位置決め部側係合部を前記測定ステージに形成されたステージ側係合部と着脱可能に係合させる請求項２ないし８のいずれかに記載の高周波部品測定治具。
【請求項１０】
前記シート位置決め部側係合部は、前記シート位置決め部の板厚方向に貫通して形成されたシート位置決め部側挿通孔であり、前記ステージ側係合部は該シート位置決め部側挿通孔に挿通される位置決めピンである請求項９記載の高周波部品測定治具。
【請求項１１】
前記部品位置決め部は、部品位置決め部側挿通孔を有し、シート位置決め部側挿通孔と部品位置決め部側挿通孔とに前記位置決めピンを挿通することにより、前記部品位置決め部と前記シート位置決め部とを前記測定ステージに重ね合わせて装着する請求項１０記載の高周波部品測定治具。
【請求項１２】
前記シート位置決め部の厚さが、前記導電シートの厚さよりも大きく設定される請求項２ないし１１のいずれかに記載の高周波部品測定治具。
【請求項１３】
請求項１記載の高周波部品測定方法による測定結果に基づいて、前記高周波部品の良否判定を行なうことを特徴とする高周波部品検査方法。
【請求項１４】
請求項１３記載の高周波部品検査方法による検査結果に基づいて、前記高周波部品の選別を行なう工程を含むことを特徴とする高周波部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、高周波部品測定方法、それに使用する高周波部品測定治具、高周波部品検査方法及び高周波部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話などの移動体通信機器や、無線ＬＡＮあるいはＢｌｕｅｔｏｏｔｈといったワイヤレスネットワークシステムや、あるいは光通信システムの普及が急速に進んでおり、それらの機器に使用される高周波部品の需要が爆発的に増大している。高周波部品は、セラミックや高分子からなる誘電体層と配線層とが交互に積層された構造を有する。このような高周波部品を製造する際には、ネットワークアナライザ等の高周波測定装置を使って部品の検査測定を行ない、該測定結果に応じた選別の後、出荷に供されている。
【０００３】
上記のごとき高周波部品の測定を行なう場合、部品を測定ステージに取り付ける必要がある。ところで、近年は携帯電話をはじめとする高周波機器の小型化が著しく、高周波部品のサイズも縮小の一途をたどっている。その結果、部品を基板実装するための端子（パッド）も微細化し、配置間隔も極めて狭くなっている。従って、測定ステージ側の端子も当然微細なものとならざるを得なくなり、測定時の端子同士の接続も難しくなる。
【０００４】
そこで、部品と測定ステージとの間に異方性の導電シートを介在させ、端子間の位置ずれを該異方性導電シートに吸収させて部品装着する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この異方性の導電シートは、ゴムシート内にファイバ状あるいは針状の導電体を、シート厚さ方向に配向させた形で分散させたものであり、シート厚さ方向の導通を許容し、面内方向の導通は許容しないようになっている。従って、ステージの測定端子の配列領域に、この異方性導電シートを間にはさみこむ形で部品を位置決めし、軽く加圧保持するだけで、端子間接続を極めて簡単に行なうことができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開平０６−２７３４６６号公報（第２頁、第７図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、異方性導電シートは低周波交流測定や直流測定にも使用可能であり、部品と測定ステージとの異方性導電シートを介した接続抵抗が、測定精度に影響する主要因子となる。この接続抵抗は、異方性導電シートの厚さ方向抵抗率や端子とシートとの接触抵抗などがバラツキ要因となる。いずれも、部品の測定ステージに対する位置決め精度（つまり、端子間の位置決め精度）を向上させれば、接続抵抗に起因した測定値のバラツキは、ある程度の抑制が可能である。しかし、本発明者らが実験により検討したことろ、高周波部品の測定では、部品の測定ステージに対する取付位置を、治具を用いて正確に再現できるようにしても、高周波測定値に予測不能な大きなバラツキを生じうることが判明した。
【０００７】
本発明の課題は、高周波部品と異方性導電シートを用いた端子間接続を行なう場合においても、正確かつばらつきの小さい測定が可能な高周波部品測定方法と、その測定方法に好適に使用できる測定用治具、及び前記測定方法を用いた高周波測定方法及び検査方法ならびに高周波部品の製造方法とを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
上記の課題を解決するため、本発明の高周波部品特性測定方法は、
高周波測定装置に接続する測定用伝送線路と、該測定用伝送線路に接続されたステージ側端子とを有する測定ステージに高周波部品の部品側端子とステージ側端子との対応するもの同士が互いに対向するように高周波部品を位置決めし、また、厚さ方向には電気導通を許容し、面内方向には電気導通を許容しない異方性の導電シートを高周波部品と測定ステージとの間に介在させ、部品側端子とステージ側端子との対応するもの同士を電気的に接続するとともに、導電シートを、高周波部品及び測定ステージに対し、面内方向の相対位置が一定となるように位置決めして、高周波部品の特性を高周波測定装置により測定することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の高周波部品検査方法は、上記本発明の高周波部品測定方法による測定結果に基づいて、高周波部品の良否判定を行なうことを特徴とする。そして、本発明の高周波部品の製造方法は、該本発明の高周波部品検査方法による検査結果に基づいて、高周波部品の選別を行なう工程を含むことを特徴とする。
【００１０】
上記のような異方性の導電シート（以下、単に「導電シート」ともいう）を用いて、部品と測定ステージとの端子間に短絡経路を形成すれば、直流測定の類推から、その短絡経路形成の再現性が確保される限り、高周波特性の測定値にも何らバラツキは生じないと考えがちである。従って、部品の測定ステージに対する位置決めには比較的注意を払うことはあっても、部品と測定ステージとの間に配置する導電シートの位置や向きについては、あまり深い関心が払われていなかった。
【００１１】
しかし、分布定数回路となる高周波測定においては、ここに一つの落とし穴が存在する。つまり、導電シート自体は、厚さ方向に異方性があるといえども導体であり、使用するシートの寸法と信号波長とが拮抗しうる高周波領域では、端子間の短絡導通路に寄与しないシート部分にも、無視できないインピーダンス成分を生ずるからである。そしてこの導電シートによるインピーダンス成分は、シートの電気抵抗率や寸法（面積や厚さ）のほか、部品と測定ステージとの間での相対的な位置や姿勢にも大きく影響される。従って、例えば同一仕様の導電シートを用いて測定を行なっても、測定のたびに導電シートの位置や向きが異なると、測定系全体の特性インピーダンスが変化し、測定値のバラツキにつながってしまうのである。
【００１２】
そこで、本発明の測定方法においては、導電シートを、高周波部品及び測定ステージに対し、面内方向の相対位置が一定となるように位置決めして測定を行なうようにした。その結果、導電シートの位置や形状による特性インピーダンスのバラツキが大幅に抑制され、高周波部品の特性測定を正確かつ再現性よく行なうことができる。また、本発明の高周波部品検査方法においては、該本発明の高周波部品測定方法により高周波部品の測定を正確に行なうことができるので、検査精度すなわち検査対象となる高周波部品の良否判定精度を向上させることができる。また、本発明の高周波部品の製造方法においては、検査精度の高い本発明の高周波部品検査方法による検査結果に基づいて、高周波部品の選別を行なうから、良品と不良品とを取り違える誤選別の発生頻度が減少し、出荷される高周波部品の不良率が低減し、さらに、良品が不良品としてリジェクトされる確率も減少するので、製品歩留まり向上に寄与する。
【００１３】
次に、本発明の高周波部品測定治具は、
高周波測定装置に接続する測定用伝送線路と、該測定用伝送線路に接続されたステージ側端子とを有する測定ステージと、
高周波部品の部品側端子とステージ側端子との対応するもの同士が互いに対向するように、高周波部品を測定ステージに対して位置決めする部品位置決め部と、
高周波部品と測定ステージとの間に介在し、かつ部品側端子とステージ側端子との対応するもの同士を電気的に接続するために、厚さ方向には電気導通を許容し、面内方向には電気導通を許容しない異方性の導電シートと、
前記部品位置決め部と前記測定ステージの間に介在し、導電シートを、高周波部品及び測定ステージに対し、面内方向の相対位置が一定となるように位置決めするシート位置決め部と、
を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の測定治具は、測定ステージに対して高周波部品を位置決めする部品位置決め部に加え、導電シートを、高周波部品及び測定ステージに対し面内方向の相対位置が固定となるように位置決めをするシート位置決め部も有している。これにより測定ステージに対し、高周波部品だけでなく導電シートの位置も容易にかつ再現性よく位置決めできるので、本発明の測定方法を能率よく実施することができる。
【００１５】
部品位置決め部は、シート位置決め部に対して着脱可能に構成することができる。シート位置決め部から独立した部品位置決め部を設け、これをシート位置決め部に対して着脱可能とすることで、例えば部品位置決め部を取り外した状態でシート位置決めを行なうことができ、導電シートのシート位置決め部へのセッティング作業がより行ないやすくなる。
【００１６】
シート位置決め部は、具体的には、導電シートの外周面に当接することにより導電シートを測定ステージに対し位置決めするものとして構成できる。これにより、測定ステージに対する導電シートの面内方向の位置決め精度が向上する。より具体的には、シート位置決め部を板状に構成し、導電シートはシート位置決め部の板厚方向に貫通形成されたシート収容部内に収容されるものとして構成できる。シート収容部を設けておけば、導電シートをここにはめ込むだけで簡単に導電シートの位置決めを行なうことができ、セッティング作業を一層効率的に行なうことができる。
【００１７】
また、部品位置決め部も同様に板状に構成でき、高周波部品を該部品位置決め部の板厚方向に貫通形成された部品収容部内に収容することができる。これにより、高周波部品のセッティング作業をより能率的に行なうことができる。この場合、板状の部品位置決め部は、板状のシート位置決め部上に重ね合わされて装着することができる。このようにすると、部品位置決め部を取り外して導電シートをセッティングし、その後部品位置決め部をシート位置決め部上に重ねれば、高周波部品を導電シート状に確実かつ簡単に位置合わせすることができる。また、部品位置決め部とシート位置決め部とをいずれも板状に構成して重ね合わせる構成することで、治具全体をコンパクト化することができ、位置決め精度も高くできる。
【００１８】
より具体的には、シート収容部の開口領域が部品収容部の開口領域より大きく、また部品収容部の開口領域がシート収容部の開口領域に包含されるように位置決めされ、かつ部品収容部がシート収容部上に重ね合わせて装着されるものとして構成することができる。シート収容部の開口領域を部品収容部の開口領域より大きく設定することで、導電シートの主表面上に高周波部品をより安定的に位置決めできる。
【００１９】
シート位置決め部側係合部は、シート位置決め部の板厚方向に貫通して形成されたシート位置決め部側挿通孔とすることができ、ステージ側係合部は該シート位置決め部側挿通孔に挿通される位置決めピンとすることができる。シート位置決め部側挿通孔にステージ側係合部をなす位置決めピンを挿入することで、シート位置決め部ひいては導電性シートを、測定ステージに対し簡単に位置決めでき、セッティング後のシート位置決め部及び導電性シートの面内方向の位置ずれも極めて生じにくい。
【００２０】
また、部品位置決め部側にも、シート位置決め部側挿通孔に重ね合わされる部品位置決め部側挿通孔を形成し、それら重ね合わされたシート位置決め部側挿通孔と部品位置決め部側挿通孔とに位置決めピンを挿通することにより、部品位置決め部とシート位置決め部とを測定ステージに重ね合わせて装着できる。これにより、測定ステージに対し、部品位置決め部とシート位置決め部を同時に位置決めすることができる。部品位置決め部及びシート位置決め部の各挿通孔に共通の位置決めピンを挿通することで、部品位置決め部及びシート位置決め部相互間の位置決め精度を大幅に高めることができ、測定ステージへのそれらの位置決め作業も非常に簡単である。
【００２１】
シート位置決め部の厚さは、導電シートの厚さよりも大きく設定することができる。このようにすると、導電シートの外周縁に部品位置決め部４が当接しないので、導電シートに不必要な変形が生じなくなる。これにより、導電シートの変形によるインピーダンス変動を抑制することができ、ひいては測定制度をより向上できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の測定治具における実施の形態を、添付の図面を用いて説明する。
図１は、本発明の測定治具の各構成部材を説明するものである。図１（ａ）は測定用ステージ１を示す。該測定ステージ１は、板状の本体部１ａを有し、その本体部１ａの外周縁に沿って、外部機器、例えばネットワークアナライザなどの測定機器と接続するためのコネクタ１１が複数設けられている。本体部１ａの外周縁は直線状のエッジを複数有し、ぞれぞれコネクタ１１の突出基端部を形成するフランジ１ｂが一体化されている。本実施形態においては本体部１ａが多角形状の平面形態を有し、その板面上にて各コネクタ１１と導通する測定用伝送線路１４が本体部１ａの中央に向けてそれぞれ放射状に延びるとともに、各測定用伝送線路１４の先端にステージ側端子１３が形成されている、さらに、本体部１ａには、後述する部品位置決め部４及びシート位置決め部３を固定するための複数の挿通孔１２が形成され、別途設けられた固定ベース７（図２）の基面から突出する位置決めピン６がそれぞれ挿通されるようになっている。
【００２３】
図１（ｂ）は異方性の導電シート２を示すものである。該異方性の導電シート２は、絶縁体であるゴム基質２２中に繊維状導電体（例えば金属細線）２１をシート厚さ方向に配向した形で埋設・成形したものであり、繊維状導電体２１が配向・整列した厚さ方向には電気的な導通が許容され、他方、面内方向においてはゴム基質２２の介在により絶縁性を示すものである。
【００２４】
図１（ｃ）はシート位置決め部３を示すものである。該シート位置決め部３は板状の高分子成形品であり、板面中央にシート収容部３１が、また、板面周縁部には所定間隔で配列した複数のシート位置決め部側挿通孔３２が、それぞれ板厚方向に貫通する形で設けられている。また、図１（ｄ）は部品位置決め部４であり、同様に板面中央に部品収容部４１が、また、板面周縁部には所定間隔で配列した複数の部品位置決め部側挿通孔４２が、それぞれ板厚方向に貫通する形で設けられている。なお、シート収容部３１及び部品位置決め部４の各挿通孔３２，４２は、いずれも内径が同一で、測定ステージ１側の挿通孔１２とともに互いに等価な配列形態を有し、各々対応するもの同士を重ね合わせることができる。また、シート収容部３１の開口面積は、部品収容部４１の開口面積よりも大きく設定されている。そして、各挿通孔３２，４２をピン６の挿通によりシート収容部３１と部品位置決め部４１とを位置合わせしたとき、シート収容部３１の内側に部品収容部４１が包含されるようになっている。さらに、本実施形態においては、シート収容部３１及び部品収容部４１は、平面視にて互いに同一形状及び寸法（ここでは長方形状）を有するものとされている。
【００２５】
図２は、本発明の測定用治具１００を組立状態にて示す図である。すなわち、測定用伝送線路１４及びステージ側端子１３を有する測定ステージ１上には、部品側端子５１を有する高周波部品５が、導電シート２を介して重ね合わせ状態で位置決めされている。高周波部品５は、部品側端子５１とステージ側端子１３の対応するもの同士が互いにに接触するするように、測定ステージ１に対して部品位置決め部４により位置決めされている。部品位置決め部４は板状に構成され、その板厚方向に貫通形成された部品収容部４１内に高周波部品５が収容される。これにより、高周波部品５は、部品収容部４１の内周面により、その外周面において面内方向の移動が阻止されることにより位置決めがなされる。
【００２６】
一方、導電シート２は、部品位置決め部４と測定ステージ１との間に介在するシート位置決め部３により、高周波部品５及び測定ステージ１に対し面内方向の相対位置が固定となるように保持されている。シート位置決め部３もまた板状に構成され、その板厚方向に貫通形成されたシート収容部３１内に導電シート２が収容される。これにより、導電シート２は、シート収容部３１の内周面により、その外周面において面内方向の移動が阻止されることにより位置決めがなされる。
【００２７】
測定ステージ１、シート位置決め部３及び部品位置決め部４は、各挿通孔１２，３２，４２に、固定ベース７の上面に突設された対応する配列のピン６を順次通すことで、互いに重ね合わされた形で、面内方向の移動が不能となるように相対的に位置決めされる。測定ステージ１を装着後、シート位置決め部３をピン６に装着し、シート収容部３１内に導電シート２を入れて位置決めする。次に、部品位置決め部４をピン６に装着し、部品収容部４１内に高周波部品５を入れれば、位置決めが完了する。
【００２８】
上記の治具１００の構成によると、部品位置決め部４が測定ステージ１に対し、面内方向の位置が常に一定となるように位置合わせされ、シート収容部３１内に収容される導電シート２の測定ステージ１に対する面内方向位置も一定となる。従って、導電シート２によって覆われる測定ステージ１上の測定用伝送線路１４の面積（以下、シート重なり面積という）も同様に一定となる。また、導電シート２を交換する際にも、同じ大きさ及び形状の導電シート２をシート位置決め部３により同様に位置決めすれば、導電シート２によって覆われる測定ステージ１上の測定用伝送線路１４の面積は、導電シート２の交換を何度行なっても常に一定となる。つまり、測定系の特性インピーダンスに対するシート重なり面積の寄与を常に一定とできる。従って、測定ステージ１を介して測定される高周波部品５の特性が、導電シート２の大きさや位置ずれによりばらつく不具合を効果的に抑制することができる。
【００２９】
また、シート位置決め部３の厚さは、導電シート２の厚さよりも大きく形成されている。これにより、上側に配置される部品位置決め部４の自重は、シート位置決め部３により受け止められるので、導電シート２へは部品位置決め部４の荷重が加わらず、不必要な変形が生じない。これにより、導電シート２の変形による特性インピーダンスの変動（特に寄生キャパシタンスの変動）が抑制され、一層高精度な高周波測定が可能である。
【００３０】
また、測定時の高周波部品５と導電シート２との対向によるインピーダンス成分を安定化させるには、高周波部品５を導電シート２からはみ出さないように配置することが有効であり、そのためには導電シート２の面積を、高周波部品５の面積よりも大きくする必要がある。そこで、本実施形態では、シート収容部３１の面積を部品収容部４１の面積より大きく設定してある。また、本実施形態においては、部品収容部４１がシート収容部３１の内側に包含されるように、両収容部３１，４１の位置決め位置及び寸法が調整されている。これにより、部品収容部４１の内周縁がシート収容部３１の内周縁よりも内向きに張り出し、導電シート２の厚さ方向の抜け止め効果も生ずる。
【００３１】
また、部品位置決め部４は、シート位置決め部３に対して着脱可能となっているので、シート位置決め部３のシート収容領域３１内に導電シート２を配してから、それらの上に部品位置決め部４を重ね、部品収容部４１に高周波部品５を収容することが可能である。これにより、導電シート２の面積が部品収容部４１の面積より大きい場合でも、簡便に測定のためのセッティングが可能となる。
【００３２】
測定対象となる高周波部品５の種別は特に限定されず、例えばアンテナスイッチモジュールや光通信インターフェース回路など、種々の高周波部品に本発明を適用可能である。例えば図４は、アンテナスイッチモジュールをなす高周波部品５の外観の一例をし、その外表面には、部品側端子５１として、アンテナ側入出力端子ＡＮＴ、受信出力端子ＲＸ１，ＲＸ２及び送信入力端子ＴＸ１，ＴＸ２、スイッチ制御用信号端子ＶＣ１，ＶＣ２、及び接地端子ＧＮＤが形成されている。
【００３３】
このような高周波部品５の高周波特性測定は、図７に示すような、周知のネットワークアナライザ（あるいはインピーダンスアナライザ）を用いて行なうことができる。ネットワークアナライザは、検査用高周波信号の発生部ＧＮと、その検査用高周波信号及び応答反射信号を、切換え機ＴＳを経由して、高周波部品５との間でやり取りするためのケーブルＣＢと、該応答反射信号を出力する出力部ＤＰとを備えたものである。出力部ＤＰは、本実施形態ではＣＲＴや液晶パネルなどの表示部である。
【００３４】
高周波部品５の測定を、上記のようなネットワークアナライザを用いて行なうには、次のようにする。すなわち、上記本発明の治具１００を用いて高周波部品５を測定ステージ１に位置決めし、各コネクタ１１に測定用ケーブルＣＢを接続する。これにより、高周波部品５の各端子に測定用ケーブルＣＢが、ステージ側端子１３、伝送線路１４及び導電シート２を介して導通する。この状態でネットワークアナライザより測定用信号を、測定用ケーブルＣＢを経て高周波部品５に供給し、その応答波形を解析することにより、高周波部品５の種々の高周波特性、例えば反射係数Ｓ１１，電圧定在波比ＶＳＷＲ（Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｓｔａｎｄｉｎｇ　Ｗａｖｅ　Ｒａｔｉｏ）、挿入損失ＩＬ（Ｉｎｓｅｒｔｉｏｎ　Ｌｏｓｓ）、減衰量ＡＴＴ（Ａｔｔｅｎｕａｔｉｏｎ）、アイソレーションＩＳＯ（Ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）などを測定することができる。
【００３５】
また、測定された各高周波特性に対して判定基準を定めておき、測定された高周波特性値が判定基準を充足するか否かに基づいて（例えは、合格範囲内であるか否かに基づいて）、高周波部品の検査を行なうことができる。また、該その検査結果に基づき、高周波部品の選別を行なうこと、例えば、不合格と判定された高周波部品を除くことにより、高周波部品を製造・出荷する際の不良率低減を図ることができる。
【００３６】
【実施例】
以下、本発明の効果を確認するために行った実験結果について説明する。
測定対象としたのは、図４に示すデュアルバンド携帯電話用のアンテナスイッチモジュールであり、測定周波数帯はＧＳＭ（Ｇｌｏｂａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ　ｆｏｒ　Ｍｏｂｉｌｅ　ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ）及びＤＣＳ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｃｒｏｓｓ−ｃｏｎｎｅｃｔ　Ｓｙｓｔｅｍ）にそれぞれ対応した９００ＭＨｚ帯及び１．８ＧＨｚ帯であり、各々送信端子（Ｔｘ）及び受信端子（Ｒｘ）の特性を個別に測定した。
【００３７】
該部品を、図２に示す本発明の治具１００にセットし、市販のネットワークアナライザ（アジレントテクノロジー（株）製：８７５３ＥＳ）に接続して、挿入損失ＩＬ及び電圧定在波比ＶＳＷＲを測定した。なお、部品毎に測定は１０回繰り返して行なった。なお、部品の平面寸法は４．５ｍｍ×３．２ｍｍであり、導電シートの寸法は７×６ｍｍとした。シート位置決め部３と部品位置決め部４とを併用する本発明の治具１００（図２）を用いることで、高周波部品５と導電シート２とは、常に図５に示すような位置関係で一定に位置決め可能であった。図８は挿入損失ＩＬの測定結果を、図９は電圧定在波比ＶＳＷＲの測定結果をそれぞれ示す。１０回の測定のバラツキがいずれも非常に小さいことがわかる。
【００３８】
また、比較例として、図３に示すように、シート位置決め部３を有さず、部品位置決め部４のみを有する治具１００’を用いて同様の測定を行なった。この治具１００’は導電シート２の位置決めが不能であり、測定を繰り返す毎に、面内方向の位置が変化する。そこで、測定は、導電シート２の位置を、図６（ａ）〜（ｊ）に示す１０種類に作為的に変化させる形で各１回ずつ、計１０回行なった。図１０は挿入損失ＩＬの測定結果を、図１１は電圧定在波比ＶＳＷＲの測定結果をそれぞれ示す。１０回の測定のバラツキが、本発明の治具を使用した図８及び図９の結果と比べ、相当大きいことがわかる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の測定治具の各構成要素の一例を個別に示す説明図。
【図２】本発明の測定治具を組立状態にて示す側面断面図、分解斜視図及び平面図。
【図３】従来の測定治具の説明図。
【図４】高周波部品の一例を示す外観斜視図。
【図５】本発明の測定治具を用いた導電シートと高周波部品の位置関係を示す平面図。
【図６】の測定治具を用いた導電シートと高周波部品の種々の位置関係を示す平面図。
【図７】ネットワークアナライザに測定用治具を接続した状態を示す模式図。
【図８】実施例の測定結果を示す第一のグラフ。
【図９】実施例の測定結果を示す第二のグラフ。
【図１０】比較例の測定結果を示す第一のグラフ。
【図１１】比較例の測定結果を示す第二のグラフ。
【符号の説明】
１　　測定ステージ
１３　ステージ側端子
１４　測定用伝送線路
２　　導電シート
３　　シート位置決め部
３１　シート収容部
４　　部品位置決め部
４１　部品収容部
５　　高周波部品
５１　部品側端子
６　　位置決めピン
１００　測定治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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