(57)【要約】【課題】小型化、高密度化、アレイ化なども容易に可能とする構成を有する電位測定装置である。【解決手段】電位測定装置は、検知電極３と測定対象１間の静電容量を変化させて測定対象１の電位を測定する。測定対象１に対向して配置される流路２と流路２中に配置された流体１１、１２、１３と流体制御手段４、２１を有し、流路２内で流体１１、１２、１３の状態を流体制御手段４、２１で制御することにより静電容量を変化させる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検知電極と測定対象間の静電容量を変化させて測定対象の電位を測定する電位測定装置において、測定対象に対向して配置される流路と該流路中に配置された流体と流体制御手段を有し、前記流路内で前記流体の状態を前記流体制御手段で制御することにより前記静電容量を変化させることを特徴とする電位測定装置。
【請求項２】
測定対象に対向して配置される検知電極と流路と該流路中に配置された流体と流体制御手段を有し、前記検知電極と測定対象間に置かれる前記流路内で前記流体の状態を前記流体制御手段で制御することにより、前記検知電極と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項１記載の電位測定装置。
【請求項３】
前記流体制御手段により前記検知電極と測定対象間の気泡の有無ないし配置状態を制御し、前記検知電極と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項２記載の電位測定装置。
【請求項４】
前記流体は、前記検知電極と略同電位に置かれた導電性流体部と、非導電性流体部を有し、前記流体制御手段により前記検知電極と測定対象間で前記導電性流体部と前記非導電性流体部の境界面を移動させることにより、前記検知電極と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項２記載の電位測定装置。
【請求項５】
複数の流路と略一列に並んだ複数の検知電極列と略一列に並んだ複数の流体制御手段列を有し、該検知電極列と該流体制御手段列が前記流路の方向に関して互いに対向配置され、各検知電極に接続される配線電極群が前記流体制御手段列とは前記流路の方向に関して反対側に配置され、各流体制御手段に接続される配線電極群が前記検知電極素子列とは前記流路の方向に関して反対側に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電位測定装置。
【請求項６】
前記流体は発泡用流体を含み、前記流体制御手段は泡発生用ヒータを有し、該泡発生用ヒータにより前記発泡用流体を加熱・放熱して泡を発生・消滅させることにより、前記流体の状態の制御を行い、前記検知電極と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電位測定装置。
【請求項７】
前記流体は膨張・収縮用気体部を含み、前記流体制御手段は気体加熱用ヒータを有し、該気体加熱用ヒータにより前記膨張・収縮用気体部を加熱・放熱して膨張・収縮させることにより、前記流体の状態の制御を行い、前記検知電極と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電位測定装置。
【請求項８】
前記流体は膨張・収縮用液体部を含み、前記流体制御手段は液体加熱用ヒータを有し、該液体加熱用ヒータにより前記膨張・収縮用液体部を加熱・放熱して膨張・収縮させることにより、前記流体の状態の制御を行い、前記検知電極と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電位測定装置。
【請求項９】
前記流体制御手段は膨張・収縮する圧電素子を有し、該圧電素子を膨張・収縮させることにより、前記流体の状態の制御を行い、前記検知電極と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電位測定装置。
【請求項１０】
前記流体は、前記検知電極と略同電位の電極に接触された電界質溶液を含み、前記流体制御手段は泡発生用ヒータを有し、前記検知電極と測定対象間で前記泡発生用ヒータにより前記電界質溶液を周期的に発泡させることにより、前記流体の状態の制御を行い、前記検知電極と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電位測定装置。
【請求項１１】
前記流体は、検知電極として働く導電性流体部と、非導電性流体部を有し、前記流体制御手段により前記導電性流体部と前記非導電性流体部の境界面を移動させることにより、前記検知電極としての導電性流体部と測定対象間の静電容量を変化させることを特徴とする請求項１記載の電位測定装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれかに記載の電位測定装置と画像形成手段を備え、前記電位測定装置の流路と検知電極が前記画像形成手段の電位測定の対象となる面と対向して配置され、前記画像形成手段が電位測定装置の信号検出結果を用いて画像形成の制御を行うことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非接触型の電位測定装置、複写機、プリンタ等に適用可能なその電位測定装置を有する画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電位測定装置（電位センサ）とは、複写機の感光ドラム等の帯電状態を測定する装置である。例えば、感光ドラムを帯電・露光の後に、電位センサで感光ドラム上の電位を測定しその測定結果を帯電部にフィードバックすることで、電位の制御を行い、感光ドラムへのトナーの付着量を制御する。
【０００３】
従来の典型例な１つの電位測定装置は、被測定物（感光ドラム）から放射される電気力線を導入するための検出穴を備えたケースと、このケース内に入ってくる電気力線を一定の周期で切るチョッパ部およびチョッパ部を駆動する機械振動部（チョッパ部を振動させて検出穴の開口面積を変化させる手段）と、この一定の周期で切られた電気力線を受けて交流信号を出力する電極とから構成されている。
【０００４】
例えば、チョッパの駆動源として静電力を利用する櫛形ドライブを有する電位測定装置が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
また、例えば、部品点数を削減するために、温度によって誘電率が大きく変化するセラミック等の誘電体を電位測定面と検出電極との間に配置し、ヒータによって適切な周期で加熱・放熱を繰り返し行い、電位測定面と検出電極との間の静電容量を周期的に変化させることにより電位測定面の電位を測定する電位測定装置が提案されている（特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−１４７０３５号公報
【０００７】
【特許文献１】
特開２０００−３９４５８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の電位測定装置では、シャッタなどの振動子を振動させるための駆動機構等の組み立て部品を用いたり、或いはセラミック等の誘電体やヒータ等を用いるので、小型化し高密度にアレイ化することが難しい恐れがあった。また、検知電極部や振動子の部分にトナーなどのごみが入る心配があった。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型化、高密度化、アレイ化なども容易に可能とする構成を有する電位測定装置、それを有する画像形成装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の電位測定装置は、検知電極と測定対象間の静電容量を変化させて測定対象の電位を測定する電位測定装置であって、測定対象に対向して配置される流路と該流路中に配置された流体と流体制御手段を有し、流路内で流体の状態を流体制御手段で制御することにより前記静電容量を変化させることを特徴とする。この電位測定装置は、密閉された流路内の流体の状態をヒータなどの流体制御手段で制御する構成であるので、容易にコンパクトにできて、小型化、高密度化、アレイ化なども容易に可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
上記基本構成に基づいて以下の如き実施の形態が可能である。
測定対象に対向して配置される検知電極と流路と該流路中に配置された流体と流体制御手段を有し、検知電極と測定対象間に置かれる流路内で流体の状態を流体制御手段で制御する構成を採り得る。また、前記流体が、検知電極として働く導電性流体部と、非導電性流体部を有し、流体制御手段により導電性流体部と非導電性流体部の境界面を移動させることにより、前記検知電極としての導電性流体部と測定対象間の静電容量を変化させる構成も採り得る。
【００１２】
前記流体制御手段により検知電極と測定対象間の気泡の有無ないし配置状態を制御し、検知電極と測定対象間の静電容量を変化させる構成も採り得る（図７、図８の例を参照）。また、前記流体が、検知電極と略同電位に置かれた導電性流体部と、非導電性流体部を有し、流体制御手段により検知電極と測定対象間で導電性流体部と非導電性流体部の境界面を移動させることにより、検知電極と測定対象間の静電容量を変化させる構成も採り得る（図１、図４、図５、図６の例を参照）。
【００１３】
複数の流路と略一列に並んだ複数の検知電極列と略一列に並んだ複数の流体制御手段列を有し、検知電極列と流体制御手段列が前記流路の方向に関して互いに対向配置され、各検知電極に接続される配線電極群が流体制御手段列とは前記流路の方向に関して反対側に配置され、各流体制御手段に接続される配線電極群が検知電極素子列とは前記流路の方向に関して反対側に配置されている構成も採り得る（図３の例を参照）。
【００１４】
また、前記流体が発泡用流体を含み、前記流体制御手段が泡発生用ヒータを有し、泡発生用ヒータにより発泡用流体を加熱・放熱して泡を発生・消滅させることにより、流体の状態の制御を行なう構成も採り得る（図１の例を参照）。前記流体が膨張・収縮用気体部を含み、前記流体制御手段が気体加熱用ヒータを有し、気体加熱用ヒータにより膨張・収縮用気体部を加熱・放熱して膨張・収縮させることにより、流体の状態の制御を行なう構成も採り得る（図４の例を参照）。前記流体が膨張・収縮用液体部を含み、前記流体制御手段が液体加熱用ヒータを有し、液体加熱用ヒータにより膨張・収縮用液体部を加熱・放熱して膨張・収縮させることにより、流体の状態の制御を行なう構成も採り得る（図５の例を参照）。前記流体制御手段が膨張・収縮する圧電素子を有し、圧電素子を膨張・収縮させることにより、流体の状態の制御を行なう構成も採り得る（図６の例を参照）。前記流体が、前記検知電極と略同電位の電極に接触された電界質溶液を含み、前記流体制御手段が泡発生用ヒータを有し、検知電極と測定対象間で泡発生用ヒータにより電界質溶液を周期的に発泡させることにより、流体の状態の制御を行なう構成も採り得る（図８の例を参照）。
【００１５】
更に、上記目的を達成する本発明の画像形成装置は、上記の電位測定装置と画像形成手段を備え、電位測定装置の流路と検知電極が画像形成手段の電位測定の対象となる面と対向して配置され、画像形成手段が電位測定装置の信号検出結果を用いて画像形成の制御を行うことを特徴とする。この構成により、上記の電位測定装置の特徴を生かした画像形成装置とできる。画像形成手段は、例えば、複写機能、印刷機能、或いはファクシミリ機能を有するものである。また、画像形成手段は、感光ドラムを有し、該感光ドラム上の帯電電位を前記電位測定装置を用いて測定する形態にできる。
【００１６】
【実施例】
以下に、より具体的な実施例を図面を用いて説明する。
【００１７】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の特徴を示す模式断面図である。図１において、１は或る電位Ｖｔの測定対象面であり、２は周りの部材で密閉された流路、１１−１３は該流路２中に所定の配置状態で入れられた流体であり、ここでは、それぞれ水１１、水銀１２、空気１３である。また、３は測定対象面１に対向して置かれる検知電極であり、４は流体制御手段である発泡用ヒータであり、５はヒータ４の保護層、６は検知電極３と略同電位にされた遮蔽電極６で流路２内の導電性液体１２と接する。遮蔽電極６の存在により、測定の邪魔となる電界が検知電極３に達するのが有効に防止されると共に、測定対象面１からの電界の水銀１２による遮蔽が検知電極３の真上で有効に行なえる。また、７は検知電極３を覆うＳｉＮ絶縁層、８は検知電極３を下記の抵抗素子に接続する配線電極、１５はヒータ４で発生される気泡、１６は流路形成部材、１７は蓄熱層、１８はＳｉ基板、１９は検知電極３の充・放電電流を電圧（Ｖ１）に変換する抵抗値Ｒｓの抵抗素子、２０は電圧測定手段、２１は流体制御手段４の駆動回路である。
【００１８】
上述したように、本実施例は、検知電極３と流路２と該流路２中に配置した流体１１−１３と流体制御手段４を有し、検知電極３と測定対象１間で流体１１−１３を移動させることより、検知電極３と測定対象１間の静電容量を変化させて測定対象１の電位を測定することを特徴とする。詳述すれば、前記流体が、検知電極３と略同電位の導電性流体部（水銀）１２と、非導電性流体部（空気）１３を有し、検知電極３と測定対象１間で導電性流体部１２と非導電性流体部１３の境界面１４を図１中の矢印方向に移動させることにより、検知電極３と測定対象１間の静電容量を変化させる。
【００１９】
上記境界面１４の移動は、流路２内の泡発生用ヒータ４により発泡用流体（水）１１を加熱、またはこれから放熱して、泡を発生・消滅させて行なう。
【００２０】
未知の測定対象１の電位の測定原理の一例を説明する。
いま検知電極３の電位をＶｓとするとき、検知電極３と測定対象１間の静電容量を上記の如く変化させると、
Ｉ（ｔ）＝（Ｖｔ−Ｖｓ）＊｛ｄＣ（ｔ）／ｄｔ｝
なる充・放電電流が流れる。ただし、Ｃ（ｔ）は検知電極３と測定対象１間の静電容量、Ｖｔは未知の測定対象１の電位である。特に、図１に示すように検知電極３が抵抗１９（Ｒｓ）を介して接地されていて、Ｖｔに比べＲｓによる電圧降下Ｖ１が無視できる場合には、Ｖｓ＝０としてＩ（ｔ）＝Ｖｔ＊｛ｄＣ（ｔ）／ｄｔ｝が成立する。この時、Ｖ１＝Ｒｓ＊Ｖｔ＊｛ｄＣ（ｔ）／ｄｔ｝であるので、電圧測定手段２０を用いてＶ１を測定すれば、そのピーク電圧Ｖｐが測定対象１の電位Ｖｔに比例することから、既知の電位面を用いて予め比例係数ｋを決定しておくことにより未知の測定対象１の電位Ｖｔを決定できる。ただし、ここでは、比例定数ｋは検知電極３と測定対象１間の距離に反比例する。
【００２１】
本実施例において、より詳しくは、Ｓｉ基板１８の厚さは０．６７ｍｍであり、蓄熱層１７の厚みは、ヒータ４に印加するパルス幅Δｔに応じて、電圧印加中にはヒータ４の熱の放熱を防ぎ、印加直後はできるだけ速く放熱できるように、熱伝導距離ｄ＝（λΔｔ／（ρｃ））０．５程度とする（λ、ρ、ｃはそれぞれ蓄熱層１７の伝導率、密度、比熱容量である）。具体的には、ここでは、蓄熱層１７はＳｉの熱酸化によって形成した厚さ２．７μｍのＳｉＯ２層とし、パルス幅は約１μｓとする。また、ヒータ４としては厚さ５０ｎｍのＴａＮ層を用いる。ヒータサイズは２４μｍ×２４μｍであり、ヒータ抵抗は約５０Ωとする。
【００２２】
保護層５は、厚さ３００ｎｍのＳｉＮ層と厚さ２００ｎｍのＴａ層からなる。また、流路２は流路断面の幅が３０μｍ、高さが２０μｍとする。検知電極３のサイズは２４μｍ×２４μｍである。流路２の構成部材１６は厚さ１０μｍの樹脂層とする。また、７は絶縁層であると共に検知電極３の保護層であり、厚さ３００ｎｍのＳｉＮ層である。流路２は流体の注入後に封止され、密閉されている。
【００２３】
上記具体的構成の動作を説明する。流体制御手段の駆動回路２１により抵抗発熱体であるヒータ４に、パルス幅約１μｓ、パルス高約８Ｖの電圧を印加すると、約０．１６Ａの電流が流れ、約１．２８Ｗのジュール熱が発生する。これは、保護層５を介して発泡用液体（水）１１を急速に加熱して、気泡１５を発生させる。気泡１５が発生すると、気泡１５の圧力により流体１１−１３が図１の右方に移動する。これにより、静止時に検知電極３の左側にあるように配置されていた検知電極３と略同電位の導電性流体（Ｈｇ）１２が検知電極３の上方を覆い、測定対象１から検知電極３への電界を遮蔽する。
【００２４】
一方、泡１５の収縮によって流体１１−１３が図１の左方に移動し、非導電性流体部１３が検知電極３上に来て、導電性流体（Ｈｇ）１２による検知電極３の遮蔽が解除される。約６０μｓ程度時間が経過するとヒータ４と周囲の温度は電圧印加前の温度となる。ここでは、１０ｋＨｚの駆動周波数でヒータ４にパルスを印加して上記遮蔽と遮蔽解除を繰り返し、検知電極３の充・放電電流Ｉ（ｔ）によるＲｓでの電圧降下Ｖ１のピーク値から上記の如く測定対象１の電位Ｖｔを決定する。
【００２５】
図２は実施例１を基板１８に垂直な方向から見た時の上面図であり、２２はヒータ用配線電極である。従来の電位測定装置では、剛体の遮蔽板を用いていたので、小型化し高密度にアレイ化することは容易ではなかったが、本発明では、上記の如く流路を用いて流体を検知電極―測定対象間において移動させる構成であるため、小型化し高密度にアレイ化し易いという効果がある。
【００２６】
特に、本実施例は、ヒータ４によって泡１５を発生させ泡の圧力で流体の駆動を行う、すなわち、水から気体への相変化を利用して流体を駆動するため、比較的小さなヒータ面積で流体を移動させることができる。そのため、静電方式のアクチュエータを利用して遮蔽板等を駆動する構成を必要としないので、小型化・高密度化・アレイ化し易い。
【００２７】
また、本実施例は、流体１１−１３の移動によって検知電極３を遮蔽するため、金属板の機械的な移動によって遮蔽する方式に比べて、検知電極３に極めて近い領域での効果的な静電遮蔽が可能になるという効果がある。更に、本実施例は、密閉された流路２内に検知電極３を備えているため、検知電極やその駆動部にトナーなどのごみが入る心配がないという効果がある。
【００２８】
ところで、本実施例の構成において、実施例６で説明するような遮蔽電極７５を流路構成部材１６上に設け、検知電極３を省略して導電性流体１２自体を検知電極として用いる構成も可能である。こうした構成は、後述する図４、図５、図６の例でも採用できる。
【００２９】
（実施例２）
図３は、実施例２の特徴を表す上面図である。実施例２は、実施例１の電位センサを複数個、同一基板上に配置したことを除いて、実施例１とほぼ同様である。
【００３０】
ここでは、複数の流路と略一列に並んだ複数の検知電極列３と略一列に並んだ複数の流体制御手段列４を有し、検知電極列３と流体制御手段列４が互いに対向配置され、各検知電極３に接続される配線電極群８が流体制御手段列４とは反対側に配置され、各流体制御手段４に接続される配線電極群２２が検知電極列３とは反対側に配置されているため、流体制御用の配線２２と検知用の配線８が別々にグループ化され、駆動信号によるノイズの混入が防止される効果がある。
【００３１】
また、泡１５の圧力で非圧縮性流体１２を駆動するため、ヒータ４を所望の位置におき、流路２を使って、所望の場所に配置した検知電極３上の流体１２を駆動できる。そのため、小型化・高密度化・アレイ化の設計がし易い効果がある。特に、アレイ化では、ヒータ４と検知電極３間を十分離したノイズに強い設計がし易い効果がある。こうした構成列は後述する実施例にも適用し得る。
【００３２】
（実施例３）
図４は、実施例３の特徴を表す断面図である。実施例３は、流路２内に膨張・収縮用気体部（空気）４１と気体加熱用ヒータ４２を有する。そして、ヒータ４２で気体４１を加熱・放熱して該気体を膨張・収縮させることにより、流体１２の界面１４の移動を行い、検知電極４と測定対象１間の静電容量を変化させる。その他の点は実施例１とほぼ同様である。
【００３３】
実施例３では、気体４１の膨張・収縮を利用しているため、小型化・高密度化・アレイ化し易く、かつ、キャビテーションによるヒータ４２表面の劣化の恐れがない効果がある。
【００３４】
（実施例４）
図５は、実施例４の特徴を表す断面図である。実施例４は、流路２内に膨張・収縮用液体（Ｈｇ）５１と液体加熱用ヒータ５２を有する。そして、液体加熱用ヒータ５２で液体５１を加熱・放熱して該液体を膨張・収縮させることにより、流体５１の界面１４の移動を行い、検知電極４と測定対象１間の静電容量を変化させる。その他の点は実施例１とほぼ同様である。
【００３５】
実施例４では、非圧縮性の導電性液体５１の熱膨張を利用しているため、界面１４の位置制御がし易い効果がある。また、小型化・高密度化・アレイ化し易く、かつ、キャビテーションによるヒータ５２表面の劣化の恐れがないという効果がある。
【００３６】
（実施例５）
図６は、実施例５の特徴を表す断面図である。実施例５は、流路２内に膨張・収縮する圧電素子６２を有する。そして、圧電素子６２を膨張・収縮させることにより、流体５１の界面１４の移動を行い、検知電極４と測定対象１間の静電容量を変化させる。その他の点は実施例１とほぼ同様である。
【００３７】
本実施例では、密閉流路と非圧縮性流体５１の性質を利用しているため、比較的変位の小さな小型の圧電素子６２でも、検知電極３上の流体５１に充分大きな変位を与えられる効果がある。特に、圧電素子６２を短パルスで駆動することにより、圧電素子面に高い圧力を発生させて流体５１を駆動できる効果がある。
【００３８】
（実施例６）
図７は、実施例６の特徴を表す断面図である。実施例６は、検知電極７３と測定対象１間において、泡発生用ヒータ７２で気泡７４を周期的に発生・消滅ないし膨張・収縮させることにより検知電極７３と測定対象１間の静電容量を変化させる。また、電位調整素子７０を用いて、前述のＩ（ｔ）が０になるように検知電極７３の電位を変化させて測定対象１の電位Ｖｔを測定する（上記の実施例での測定法とは異なり、アクティブな零位法である）。
【００３９】
図７の構成において、７５は、検知電極７３の真上の部分に開口を持つ遮蔽板であって、検知電極７５と略同電位に置かれている。また、７６は発泡用液体である純水であり、液体状態では高い比誘電率（＝８８．１５）を持ち、気泡部７４は低い誘電率（＝１）となる。従って、上記の如く検知電極７３と測定対象１間の静電容量を変化させられる。更に、７８は、泡７４の膨張を許す空気室である。その他の点は実施例１とほぼ同様である。
【００４０】
実施例６では、気泡７４の有無ないし膨張・収縮による誘電率の差による静電容量の変化を検知して測定対象１の電位の測定を行うため、有害な金属等を用いずに小型化・高密度化・アレイ化ができるという効果がある。
【００４１】
（実施例７）
図８は、実施例７の特徴を表す断面図である。実施例７は、検知電極７３と測定対象１間において、検知電極７３の外側に形成されてこれと略同電位の遮蔽電極８２に接触した電界質溶液８１と、泡発生用ヒータ７２を有する。そして、検知電極７３と測定対象１の間で、泡発生用ヒータ７２で電界質溶液８１の中に周期的に気泡７４を発泡させたり、或いは気泡７４を膨張・収縮させることにより、検知電極７３と測定対象１間の静電容量を変化させる。
【００４２】
実施例７では、遮蔽電極８２が絶縁層８４上に形成されていて、検知電極７３と略同電位の遮蔽電極８２に接触した電界質溶液（導電性流体部）８１の中の気泡（非導電性流体部）７４の有無ないし膨張・収縮により検知電極７３面への電界をより大きく変化させられる。このため、検知電極７３と測定対象１間の静電容量をより効果的に変化させられる効果がある。また、単純な構造で有害な金属等を用いずに小型化・高密度化・アレイ化ができる効果がある。測定対象１の電位Ｖｔの測定法は実施例１と同じである。その他の点は実施例６とほぼ同様である。
【００４３】
本発明の電位測定装置は、複数の機器（例えば、ホストコンピューター、インターフェース機器、リーダ、プリンタなど）から構成されるシステムに適用しても、１つの機器（例えば、複写機、ファクシミリ装置）からなる装置に適用してもよい。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、密閉された流路内の流体の状態を流体制御手段で制御することで検知電極と測定対象間の静電容量を変化させて測定対象の電位を測定する電位測定装置であるので、小型化、高密度化、アレイ化が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の断面を示す図。
【図２】実施例１の上面図。
【図３】実施例２を示す上面図。
【図４】実施例３を示す断面図。
【図５】実施例４を示す断面図。
【図６】実施例５を示す断面図。
【図７】実施例６を示す断面図。
【図８】実施例７を示す断面図。
【符号の説明】
１  測定対象
２    流路
３、７３    検知電極
４、４２、５２、７２    ヒータ
５    保護層
６、８２    電界遮蔽電極
７    絶縁体
８    検知電極の配線電極
１１−１３    流体（水、水銀、空気）
１４    導電性流体部と非導電性流体部の界面
１５、７４    気泡
１６    流路構成部材
１７    蓄熱層
１８    基板
１９    抵抗素子
２０    電圧測定手段
２１    流体制御素子の駆動手段
２２    ヒータ用配線電極
４１    空気層
５１    水銀層
６２    圧電素子
７０    電圧調整手段
７５    電界遮蔽電極
７６    純水
７８    空気室
８１    電界液
８４    絶縁層
【図１】
2004301556.tif 000003
【図２】
2004301556.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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