(57)【要約】      （修正有）【課題】効率的な浮上方式と効率的なクリーントンネルの結合によって、経済的に成り立つクリーントンネル内のフラットパネル枚葉式浮上搬送システムを提供する。【解決手段】フラットパネル浮上用空気を噴出させる圧力室の一部を構成する表面プレート部に、表面プレート部より総面積で小さい多孔質材３を多数具備して、表面プレート部全面と、フラットパネルとの間に外部より相対的に高い圧力域によって、フラットパネルを少ない気体の量で浮上させる。クリーントンネルもクリーントンネル内で、気圧差を利用した水平層流方式とする。【選択図】図１６
2004323232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平層流式クリーントンネルと、液晶などのフラットパネルの進行方向両側面外縁部を支えて前記フラットパネルを搬送するコンベヤと、プレート表面に多孔質材を備えた気体浮上式前記フラットパネル浮上機器と、において、前記フラットパネルを浮上させながら、クリーンな状態で搬送することを特徴とする浮上機器及びクリーントンネル
【請求項２】
前記フラットパネルの浮上に際して、前記プレートの表面と同一面もしくは同一面以下に、一つ以上の多孔質材を具備する前記プレートと、前記プレートが前記フラットパネルを浮上させるための一表面を構成する圧力室と、において、前記多孔質材から気体を噴出させ、前記多孔質材及び多孔質材を取り囲む前記プレートと前記フラットパネル間に、外部の気体より相対的に高い圧力域をつくることによって、前記フラットパネルを浮上させることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネル浮上機器
【請求項３】
前記フラットパネルなどを搬送する搬送機の全面を覆うクリーントンネルと、空気噴出用チャンバー内面の粉塵捕集用エアーフィルター下部に通気性抵抗材を取り付けたファンフィルターユニットとにおいて、前記ファンフィルターユニットを前記クリーントンネル側面に設置し、前記クリーントンネル内の前記搬送物及び前記搬送機表面部が存在する前記クリーントンネル上部域の空気を、前記クリーントンネル内の搬送機稼働部が存在する前記クリーントンネル下部域の空気と混ざらなくすることによって、前記搬送機からの発塵が前記搬送物を汚染させることなくクリーンな状態で搬送することを特徴とする請求項１に記載のクリーントンネル
【請求項４】
前記クリーントンネルにおいて、前記クリーントンネル内の排気チャンバー上部に通気性抵抗材を設けることによって、前記クリーントンネル上部の空気が前記クリーントンネル下部の空気と混ざらなくすることによって、前記搬送機からの発塵が前記搬送物を汚染させることなく、クリーンな状態で搬送することを特徴とする請求項１及び請求項３に記載のクリーントンネル
【請求項５】
前記クリーントンネルにおいて、前記ファンフィルターユニットと前記ファンフィルターユニット反対側側面、もしくは前記クリーントンネル底面に排気チャンバー及び排気ファンを設置して、前記クリーントンネル内の搬送物及び搬送機表面部が存在する前記クリーントンネル上部域の空気を、前記クリーントンネル内の搬送機稼動部が存在する前記クリーントンネル下部域の空気と混ざらなくすることによって、前記搬送機からの発塵が、前記搬送物を汚染することなくクリーンな状態で搬送することを特徴とする請求項１、請求項３及び請求項４に記載のクリーントンネル
【請求項６】
前記クリーントンネルにおいて、前記クリーントンネル内の排気チャンバー上部に通気性抵抗材を設けることによって、前記クリーントンネル上部の空気が前記クリーントンネル下部の空気と混ざらなくすることによって、前記搬送機からの発塵が前記搬送物を汚染させることなく、クリーンな状態で搬送することを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４及び請求項５に記載のクリーントンネル
【請求項７】
前記クリーントンネルの上下に多段の搬送機を収納し、各搬送機間に間仕切りを備えることによって、前記搬送機からの発塵が前記搬送物を汚染させることなく、クリーンな状態で搬送することを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４、請求項５及び請求項６に記載のクリーントンネル
【請求項８】
前記クリーントンネルと、ファンフィルターユニットの空気噴出用チャンバー内面の粉塵捕集用エアーフィルターとにおいて、前記搬送機上部及び前記搬送物が存在する部分に、流速の速い粉塵捕集用エアーフィルターからの空気が当たるようにして、前記搬送機稼働部が存在する前記クリーントンネル下部に流速の遅い粉塵捕集用フィルターの空気が当たるように、圧力損失が異なる粉塵捕集用エアーフィルターを使用して、前記クリーントンネル上部の空気が前記クリーントンネル下部の空気と混ざらなくすることによって、前記搬送物をクリーンな状態で搬送することを特徴とする請求項１、請求項７に記載のクリーントンネル
【請求項９】
前記クリーントンネルと、前記クリーントンネル側面に前記粉塵捕集用エアーフィルターを持つファンフィルターユニットとにおいて、前記クリーントンネル内部上面にエアーガイドを設け、前記空気を搬送物に斜め上から当てることによって、前記搬送物をクリーンな状態で搬送することを特徴とする請求項１に記載のクリーントンネル
【請求項１０】
請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５，請求項６、請求項７、請求項８及び請求項９に記載のクリーントンネルのファンフィルターユニットにおいて、前記ファンの故障によって前記クリーントンネル内の空気圧力の低下を防止するために、前記ファンのモーターの停止を自動的に検出し、前記ファンフィルターユニット空気取り入れ口を自働的に閉鎖する扉を設けたことを特徴とするクリーントンネル
【発明の詳細な説明】
【０００１】
［発明の属する技術分野］
本発明はクリーンな環境で生産される液晶やプラズマディスプレイパネルなどのフラットパネルの非接触搬送用浮上機器及びクリーントンネルに関するものである。前記フラットパネルの製造に当たっては製品の生産効率を上げるために前記フラットパネルが大型化してフラットパネル自体のたわみによって、従来のようにカセットに入れて搬送することが困難になりつつあり、フラットパネルの枚葉搬送化が望まれている。前記フラットパネルは製造の品質上、フラットパネルの外周縁部以外は接触をせずに搬送する必要がある。前記フラットパネルの外周縁部以外を非接触で搬送するために多孔質材から、空気などの気体を噴出させることによって前記フラットパネルを浮上させ、前記フラットパネルの外周縁部を支えるコンベヤの駆動で、前記フラットパネルを浮上させて搬送することができる。前記フラットパネルを浮上させるための多孔質材による浮上機器は消費する気体の量を最小限にして、前記表面プレート部からの前記フラットパネルの浮上高さを自在に設定できる。前記フラットパネルの搬送はクリーン度の維持が要求されるので、クリーンルーム内のクリーン域極小化のためには、搬送機稼働部からの発塵が搬送物に付着しないクリーントンネルが必要である。本発明は前記搬送物の外周縁部以外を非接触な状態に保つ浮上機器と、クリーントンネルの寸法を最小にして、前記搬送物のクリーン度を維持すると共に、前記クリーントンネル内に上下多段の搬送機を設置しても、ファンフィルターユニットを最小限にした水平層流によって、搬送物のクリーン度を維持するクリーントンネルに関するものである。
【０００２】
［従来の技術］
従来から液晶などフラットパネルをクリーンな環境で浮上させて搬送する方法は存在していた。例えば、特開２００１−１９６４３８や特開２００１−２３３４５２のように金属プレートに小さい穴を数多く明けて、それらの穴から空気を噴出させることによって、パネルを浮上させる方法が存在している。しかしこの方法は空気の流速によって、パネルを浮かせる方法であり、噴出する空気の流速が速く、クリーントンネル内のラミナ−フローを乱れさせる。前記フラットパネルは製造装置で処理する過程で、ロボットや移載装置でハンドリングされるために、塵が付着する可能性がある。塵が付着した前記フラットパネルをクリーントンネル内に持ち込んで乱流を発生させると、超精密加工を要する前記フラットパネルの表面に塵が付着する。従って乱流の発生する浮上方式をクリーントンネル内で使用するには難点があった。また空気噴出用プレートの加工に高価な機械加工を必要とするので、コストが高いという経済的難点もあった。
同じように特開２０００−２１９４９（Ｐ２０００−２１９４９Ａ）も複数の空気穴から空気を噴出させて前記フラットパネルを浮上させる方式であり、クリーントンネル内のラミナーフローを乱し、更に噴射力が強いと思われる推進用ノズルから空気を噴出すので、クリーントンネル内での使用には適していない。クリーンルーム内での搬送のために、従来からセラミックのような多孔質材から空気や水を噴出させてパネルを浮上させる方法も存在していた。しかし従来の多孔質材による方法は特開２０００−６２９５０のように圧力室を構成する多孔質材の表面部のみから前記気体や液体を噴出するものであり、比較的高い圧力域（気体膜）を構成する面積が狭く、液晶などのパネルを浮上させるための空気などが浮上機器表面上から外部に逃げ易く、気体膜面積が小さいという難点があった。このことによって気体の噴出量が多いために大容量の圧縮機を必要とし、それに伴って消費するクリーンエアーの量も多いという経済的に難点があった。
また、従来はクリーン度が高い環境の中をクリーンな状態で液晶などのフラットパネルを搬送機で搬送する場合は、前記搬送機全面を覆うクリーントンネルの上面にファンフィルターユニットを設ける垂直層流方式であった。昨今液晶などのフラットパネルの生産段階での寸法は２メートル角程度に大型化しているので、垂直層流方式は大きいファンフィルターユニットと高いエネルギーコストを要していた。また、搬送レイアウトの関係から搬送ラインとリターンラインが必要とされることが多く、前記搬送物を上下多段で搬送する場合は前記搬送機の各段に前記ファンフィルターユニットを取り付けて、上下各々の前記搬送機に前記クリーントンネルを設けるものであり、搬送機の数と同数のクリーントンネルを必要としたので、大きい設置場所も要した。
【０００３】
［発明が解決しようとする課題］
従来のフラットパネルの気体浮上枚葉式搬送に関しては、前記のような浮上方法が存在していたが、浮上のために要する気体の量が極めて多かった。従来の多孔質材による浮上方式では少量の気体量で搬送できる浮上機器が存在せず、小さい穴から空気を噴出するなどクリーントンネル仕様に適した前記フラットパネルの浮上機器がなかった。また、液晶工場などクリーンな工場での極小クリーン化によって、工場の建設コストを低減させるには、前記フラットパネルの搬送ラインをクリーントンネルによって、囲うことが有効とされているが、クリーントンネル内をクリーン化するために多くの空気を必要とするなど経済的に、投資効果に見合う設備がなかった。本発明は省エネルギー型浮上機器と省エネルギー型クリーントンネルを結合することによって、これらの課題を解決しようとするものである。
【０００４】
［課題を解決するための手段］
液晶などのフラットパネルを浮上させて搬送するにはその主要部を占める浮上機器の価格と気体を供給するためのランニングコストが経済的水準になる必要性がある。浮上機器の単価を安く且つ、消費する気体の量を少なくしてランニングコストを低くするには、多孔質材そのものを小さくし、且つ少ない量の気体を噴出させ、効率的に気体を利用する方法が有効である。本発明は極力多孔質材（３）の表面積を小さくして、広い表面積をもつプレート（２）上で、広い範囲で気体や液体を留めて、比較的高い圧力域（５）を大きくするものであり、少ない気体の消費量で、効率的に高い圧力域を保つことによって前記フラットパネルを浮上させるものである。第１図はプレート（１）内に小さい多孔質材（３）を複数設けて、前記多孔質材から噴出される気体の量を少なくしたものである。第２図はその断面図であり、複数の小さい多孔質材から噴出される気体で広い範囲の比較的高い圧力域（５）を表面プレート部（２）上に形成していることを示している。本発明は輸送パイプ（６）から送られた気体や液体を一定の圧力で蓄える圧力室（４）を設ける。前記圧力室の一表面を構成する表面プレート部（２）に、前記表面プレート部の表面積より合計値において小さい表面積の１つまたは複数の小さい多孔質材（３）を前記プレート表面と同一面または同一面以下に具備する。
極小クリーン化の方法として、クリーントンネルの寸法を最小にすると共に、複数の前記搬送機を単一のクリーントンネルに収納することも可能にするによって、クリーン域極小化の課題を解決するものである。前記搬送機の全面を覆うクリーントンネルの側面の一部に、通気性の抵抗材を装備した粉塵捕集用エアーフィルターを備えたファンフィルターユニットを設ける。前記クリーントンネル上部と前記クリーントンネル下部で異なる流速及び圧力の水平層流をつくることによって、前記クリーントンネル下部の空気が前記クリーントンネル上部の空気と混ざることを妨げて、前記搬送物への前記搬送機稼働部による発塵からの汚染を防止する。クリーントンネルの寸法によっては、前記クリーントンネルの反対側に排気チャンバーと排気ファンを設ける。
更に前記搬送物の寸法が大幅に拡大した場合は、前記ファンフィルターユニットと前記排気チャンバー間の距離も大きくなるので、前記クリーントンネル上部の空気と前記クリーントンネル下部の空気が混流する可能性をなくすために、排気チャンバーの上部にも通気性抵抗材を設けて、前記クリーントンネル上部と前記クリーントンネル下部の空気の圧力差を更に大きくして、空気の混流を防止する。前記クリーントンネル上部と前記クリーントンネル下部の圧力差を出す別の方法として、空気通過速度が異なる粉塵捕集用エアーフィルターをファンフィルターユニットに設ける方法もある。また、前記クリーントンネル内に、上下多段の搬送機を入れる場合は、クリーン度の維持が必要な前記搬送物が載る部分のクリーン域が複数箇所になると共に、発塵源になる搬送機部分の汚染域も複数箇所になる。前記クリーントンネルの前記ファンフィルターユニットの数を変えずに水平層流にすると共に、上下各段の前記搬送機の間に仕切り板を入れる。第７図の排気チャンバーと排気ファンを前記クリーントンネルの下面に取り付ける方式でコンベヤを２段にする場合には、排気チャンバーと排気ファンは搬送機段数と同数設けるが、ファンフィルターユニットは１段にして、前記クリーントンネル全体は一側面の前記ファンフィルターユニットからクリーンな空気を押し出す。クリーントンネルの幅や大きさによって、ファンフィルターユニットから一方的に空気を押し出すプッシュ式と、更に、排気チャンバー、排気ファンからも空気を引くことによる、プッシュ  アンド  プルの空気流にする２通りの方式があり、いずれも前記クリーントンネル下部の汚染域の空気が前記クリーントンネル上部のクリーン域の空気に混じることのない水平層流方式にする。また、前記クリーントンネルには数多くのファンフィルターユニットが取りつけられるが、１つのファンが故障しても前記クリーントンネル内の空気圧力の低下が生じるので、前記ファンフィルターユニットのファンのモーターの停止を自動検出して、前記ファンフィルターユニット空気取り入れ口に設けた扉を自動的に閉鎖することによって、前記クリーントンネル内の空気圧力変動を最小限に押さえる機構を設ける。
【０００５】
［発明の実施の形態］
以下本発明の実施の形態について説明する。
液晶などのフラットパネルを浮上させるために前記圧力室（４）の圧力が一定値になるように前記輸送パイプ（６）から前記気体を供給する。前記圧力室（４）の表面部の前記表面プレート（２）に具備された前記多孔質材（３）を通して前記気体が圧力室外に噴出する。前記浮上機器（１０）の上に前記フラットパネル（１）がある場には噴出した前記気体は前記フラットパネル（１）と、前記表面プレート（２）の間から外側に拡散して行くが、前記表面プレート（２）の表面全体と前記フラットパネル（１）の間には、前記表面プレート（２）の外側の気体より相対的に高い圧力域（５）が形成される。前記フラットパネル（１）はこの前記相対的に高い圧力域によって浮上させられる。前記フラットパネルの搬送に際しては、前記フラットパネル両外周縁部を支えるコンベヤの内側に沿っ前記浮上機器（１０）を並べ、前記浮上機器（１０）によって前記フラットパネル（１）は浮上させられた状態のまま、前記コンベヤによって前記フラットパネルの外周縁部以外を非接触に保った状態での搬送させられる。第１図は前記表面プレートに複数の前記多孔質材（３）を設けた状態を示し、前記フラットパネルとの間に、前記多孔質材（３）の外側の前記表面プレート（２）で、前記多孔質材から噴出した前記気体を保持することができる。第２図は前記気体で高圧力域（５）を形成している状態を示している。１つの大きい表面プレート（２）を持つ浮上機器（１０）を製作して、その中に数多くの多孔質材（３）を埋め込む方法が面積の大きい高圧力域（５）を形成できるので、前記気体の効率的消費ができる。製作費用も大きい多孔質材より、小さい多孔質材にする方が安価である。第３図上段は本発明の浮上機器であり、下段は従来の浮上機器である。同じ個数の同じ面積の多孔質材を使用しても、上段はＣのように広い範囲で高圧力域を形成するが、下段の従来方式はＣ’が狭い範囲にしか高圧力域が形成できない。第３図下段の方式は多孔質材から排出された気体は前記フラットパネルとの間にとどまる面積が小さいために、すぐ外部に流出してしまい、浮上効率が悪い。
実験値では同じ大きさのフラットパネルを同じ高さ浮上させるのに必要な空気の量は、第３図上段Ｃ寸法の大きい方式では、下段Ｃ’寸法の小さい方式の１５％以下に削減できた。また、第４図上段は水平層流式クリーントンネルを示し、下段は垂直層流式クリーントンネルを示す。昨今の液晶フラットパネル製造段階の寸法は約２メートル角になっており、前記フラットパネルの搬送には横幅２メートルのコンベヤを要する。液晶アレイ工程の製造ラインでは、搬送ラインと返送ラインが必要であり、２段のコンベヤを設けるクリーントンネルの粉塵捕集用エアーフィルターの寸法には大きい差が出る。第４図上段水平層流式では６００ｍｍのもので良いが、下段垂直層流式では４０００ｍｍ（２０００ｘ２段）の前記粉塵捕集用エアーフィルターが必要となり、６、７倍の差になる。コンベヤを１段にした場合でも、粉塵捕集用エアーフィルターの面積は変わらず、必要とする面積比率は同じである。第５図はプッシュ式クリーントンネルの断面図であるが、ファンフィルターユニット（５１）は噴出用チャンバー（５２）、粉塵捕集用エアーフィルター（５３）、ファン（５４）と、パンチング板などの通気性抵抗材（５５）からなる。搬送機（２１）上の搬送物受け（１１）に載せられたフラットパネルなどの搬送物（１）は前記粉塵捕集用エアーフィルター（５３）の気流によって噴出されるが、噴出側通気性抵抗材（５５）のない前記クリーントンネル上部クリーン域（Ａ）においては空気の噴出に抵抗がないため、多くの空気が流れる。前記噴出側通気性抵抗材（５５）のあるクリーントンネル下部汚染域（Ｂ）においては、前記噴出側通気性抵抗材（５５）の気流の妨げによって、空気の流れる量が制限される。このことによって前記クリーントンネル内上部クリーン域（Ａ）は前記クリーントンネル内下部汚染域（Ｂ）より空気流通量が多く、気圧が高くなるので、前記クリーントンネル内での水平層流は前記上部クリーン域（Ａ）から、前記下部汚染域（Ｂ）へ流れることによって、前記搬送物（１）は汚染されることなく、前記上部クリーン域（Ａ）内で搬送される。回転部分を有する前記搬送機（２１）稼働部は発塵源になるが、塵は下部汚染域（Ｂ）を流れて排出される。
第６図はプッシュアンドプル型クリーントンネルの断面図であるが、更に、空気流を強くコントロールする必要がある場合は、排気チャンバー側  にフィルター付排気ファン（８）を設けて空気を強制的に排出する。また、前記クリーントンネルの横に他のクリーントンネルが設置されて、前記クリーントンネル（９）のファンフィルターユニット（５１）の反対側側面に排気チャンバー（５７）が設置できないなど障害物がある場合などでは、排気チャンバー（５７）と排気ファン（８）を前記クリーントンネルの下面に設けて、上部クリーン域（Ａ）の空気が前記下部汚染域（Ｂ）の方向に流れるようにして、前記搬送物（１）をクリーンな状態で搬送する。第７図は排気チャンバー（５７）と排気ファン（８）クリーントンネル（９）の下部に設けた例である。この場合排気する空気の量を前記クリーントンネルの幅内で均等にするために、空気排気量調整板（２２）を設けることもできる。この空気調排気整板（２２）は前記クリーントンネル（９）の側面に排気チャンバー（５７）を設ける場合にも適応できる。更に前記搬送物側の寸法が大きくなり、前記ファンフィルターユニット（５１）と前記排気チャンバー（５７）の距離が拡大した場合には、距離拡大による上部クリーン域（Ａ）と下部汚染域（Ｂ）の圧力差が減少することによる空気の混流が生じる。第８図に示すように排気チャンバー（５７）の上部に排気側通気性抵抗材（５６）を設けることによって、上部クリーン域（Ａ）の空気圧力を更に高くし、上部クリーン域（Ａ）と下部汚染域（Ｂ）の空気圧差を大きくすることによって、下部汚染域（Ｂ）の空気の混流を防止する。また第９図に示すように前記搬送機（２１）を往復のラインで設置する場合などでは、前記搬送機（２１）を多段にして設置スペースの削減をする。この場合は前記搬送機（２１）間に切り板（１２）を設けるだけで、ファンフィルターユニット（５１）と排気チャンバー（５７）、排気ファン（８）は同数で良い。前記多段搬送機のメンテナンスのために、前記ファンフィルターユニット（５１）、前記排気チャンバー（５７）と前記フィルター付排気ファン（８）は取り外し可能な構造にする。前記クリーントンネル（９）内の上部と下部の空気圧力差を設ける方法としては前記通気性抵抗材を用いる以外に、第１４図のように粉塵捕集用エアーフィルターの厚さを変え、クリーントンネル内の上部に粉塵捕集用エアーフィルターを厚くした高流速粉塵捕集用エアーフィルター（５３’）を設け、前記クリーントンネル下部に低流速粉塵捕集用エアーフィルター（５３”）を設けることによって、前記粉塵捕集用エアーフィルターの空気通過速度を変えることができる。本方法でも前記クリーントンネル上部と下部での空気流や空気圧力差によって、前記通気性抵抗材を使用した場合と同じ効果が得られる。第１５図のように前記クリーントンネル内上部にエアーガイド（１４）を設けて、（Ｂ）の汚染域の空気が搬送物（１）の方に流れないような空気コントロールをすることもできる。また、第１２図に示すように前記クリーントンネルには数多くのファンフィルターユニットが取り付けられるが、万一ファンが故障した場合には、前記故障ファンフィルターユニットの���気口（３１）が開放されているため、前記吸気口（３１）の開放が長時間に及ぶと、前記クリーントンネル（９）内の空気圧力が変動して、クリーン度の維持に問題が生じる。故障対策として前記クリーントンネル（９）の前記ファンフィルターユニット（５１）の吸気口（３１）に扉（３０）を設け、前記フィン（５４）のモーターの停止を電気的に検出して、扉閉鎖機構（３２）を作動させて重力（図示せず）や、バネ（図示せず）の力を利用して、扉（３０）を自動的に（Ｄ）の方向に閉鎖する。前記に説明した如く、本発明の浮上機器と水平層流式クリーントンネルは次に記すような特徴を備える。第１８図に示すように、テーブルに穴を明けて空気を噴出させる方法は空気の流速が速過ぎることが、クリーントンネル内に乱流を発生させ、クリーントンネル内での設置の難点になっていた。更に従来の浮上機器は第１７図に示すように、多孔室材の周辺にプレート部がなく、噴出した気体は噴出すると同時に外部に漏れるので、浮上力を確保するために多くの気体の供給を必要とし、供給装置が高価になると共にランニングコストも高く、浮上機器を利用した搬送システム採用のネックになっていた。第１９図は従来の浮上方式と本発明の浮上方式を比較したものであるが、両方式とも７５０ｍｍｘ９５０ｍｍのガラスパネルを浮上させるために、１メートルの長さに複数の多孔質材を使用したテスト結果である。従来方式に比べ、本発明方式の方が多孔質材で約２２％、空気消費量で約１４％の値で同一効果が得られたことを示している。
また、従来クリーントンネル内に搬送機を設けて、クリーンな状態で液晶フラットパネルのような搬送物を搬送する場合は、第１７図のように一対のクリーントンネルと搬送機を構成して、搬送物の上面からファンフィルターユニットによって、クリーンな空気を垂直層流にして搬送物をクリーンな状態で搬送していた。この方法は前記搬送物の平面より大きい寸法の前記ファンフィルターユニットを必要とした。また、ますます大型化する液晶ガラスパネルなどの平面搬送において、前記コンベヤの大型化に伴うフ前記ファンフィルターユニットをはじめとする前記クリーントンネルの構成要素全体の大型化を必要とした。本発明の水平層流方式は第１６図に示すように、前記搬送物の断面積と前記搬送機の側面の面積を対象としたファンフィルターユニットを設ければ良く、前記クリーントンネルは横広形状になるので、前記垂直層流方式より大幅なクリーン化装置の小型化が可能である。更に、前記水平層流方式は前記液晶ガラスパネルなどの搬送物寸法が変化しても、前記ファンフィルターユニットや前記排気チャンバーの寸法は変わらず、クリーントンネルの小型化が維持できる。従来の第１７図や第１８図の方式は消費電力も複数クリーントンネル分必要となり、投資コストとランニングコストが割高になる。設置コストとランニングコストは多段式搬送機のクリーントンネルでは約１／７に節約できる。また、これを単なる通常の水平層流方式のクリーントンネルに替えようとしても、前記搬送機はチエーンやベルトで繋がっているという構造上、前記搬送物のクリーン域と搬送機の汚染域を仕切りなどで区分けすることができず、前記クリーン域と前記汚染が混ざり、前記搬送物のクリーン度の維持が困難になる。本発明は前記搬送物寸法の最も面積の少ないクリーントンネル側面方向にファンフィルターユニットを設け、水平層流の空気流速差、圧力差によって、空気の流れをコントロールしてクリーン域と汚染域を仕切るものであり、空気消費量の少ない浮上方式との複合システム化によってフラットパネル枚葉搬送を実現するものである。
【０００６】
［発明の効果］
液晶の製造段階でのパネル寸法は６世代の１５００ｍｍｘ１８００ｍｍから、７世代には１８５０ｍｍｘ２１５０ｍｍになる。６世代までは従来の５世代までと同様にフラットパネルをカセットに入れて、ハンドリングすることが可能であった。７世代になるとガラス製のフラットパネルがたわむのと、パネルそのものの寸法の大型化によって、カセットに入れてハンドリングすること自体が困難になっている。また、カセットに入れて製造装置に掛けているが、製造装置で処理したパネルもカセット内の残りのパネルが処理されるまで待たねばならず、５０回程度製造装置で処理する必要があり、ＴＡＴ（Ｔｕｒｎ  Ａｒｏｕｎｄ  Ｔｉｍｅ）即ちカセット内での待ち時間が長く、でき上りまでの時間が掛かりすぎるという欠点がある。また、製造装置前でのカセット内でのフラットパネルの待ち時間は仕掛り品の増大につながり、これもカセット方式の欠点になっている。更に、カセットでハンドリングするためにはカセットが大きいために、製造工場内をクラス１０のクリーンルーム仕様にする必要があり、液晶パネル大型化による製造装置の大型化、それに伴う工場の大型化によって、投資額が巨大化してきている。これらの課題を解決する方法は液晶パネルを枚葉化した状態で搬送及び処理し、クリーントンネルで極少クリーン化を図ることであったが、従来のフラットパネル浮上方法では、クリーントンネル内では使えなかったり、消費するクリーンエアーの量が膨大であったりしていので、実用化には難点があった。本発明はクリーントンネル内で、従来の方式と比べ、搬送機を１列設置する場合で１／７に、搬送機を２列にする場合でも、１／７程度の価格に低減できる。（クリーン化装置の集塵捕集用エアーフィルター比換算）また、空気消費量も１列で１／７に、２列でも１／７程度の低減が可能となる極少クリーン化を実現するものである。また同時にフラットパネル浮上用空気量も従来の方法に比べて、１／７程度に削減し、浮上用の多孔質材の使用量もそれ以上に削減して、設備投資費用の低減が実現できる。
この低価格化と省エネルギー化は本発明のクリーントンネルとフラットパネル浮上方式が、一体化したシステムになることによって、始めて可能になるものであり、液晶を始めとするフラットパネル生産工場が望んでいた前記ＴＡＴの大幅な改善と、極少クリーン化（Ｍｉｎｉ  Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ化）という課題を解決して、液晶などのフラットパネル生産工場の合理化に貢献するものである。
【図面の簡単な説明】
【１図】浮上機器表面プレート部の平面図
【２図】浮上機器断面図
【３図】浮上機器比較図
【４図】クリーントンネル比較図
【５図】プッシュ型クリーントンネルの断面図
【６図】プッシュアンドプル型クリーントンネルの断面図
【７図】底面排気式プッシュアンドプル型クリーントンネルの側面図
【８図】排気側抵抗材付プッシュアンドプル型クリーントンネル断面図
【９図】コンベヤ多段式クリーントンネル断面図
【１０図】プッシュアンドプル型クリーントンネル平面図
【１１図】垂直層流式多段コンベヤ用クリーントンネル断面図
【１２図】クリーントンネル扉部側面図
【１３図】クリーントンネル扉部断面図
【１４図】異なる流速の粉塵捕集用エアーフィルター式クリーントンネル断面図
【１５図】エアーガイド式クリーントンネル断面図
【１６図】多孔質材、プレート一体型浮上機器コンベヤと水平層流クリーントンネル断面図
【１７図】従来型多孔質材浮上機器式コンベヤと垂直層流クリーントンネル断面図
【１８図】噴射テーブル式コンベヤと垂直層流クリーントンネル断面図
【１９図】浮上方式比較図
【符号の説明】
１  搬送物（フラットパネル）    ２  表面プレート
３  多孔質材                    ４  圧力室
５  高圧力域                    ６  輸送パイプ
８  フィルター付排気ファン      ９  クリーントンネル
１０  浮上機器                  １１  搬送機搬送物受け
１２  仕切り板                  １４  エアーガイド
２１  搬送機
２２  空気排気量調整板
３０  扉                        ３１  吸気口
３２  扉保持機構                ３３  扉用フレーム
４１  空気噴射テーブル
４２  空気噴出穴
５１  ファンフィルターユニット    Ａ  上部クリーン域
５２  空気噴出用チャンバー        Ｂ  下部汚染域
５３  粉塵捕集用エアーフィルター  Ｃ’    扉閉鎖方向
５３’高流速粉塵捕集用エアーフィルター
５３”低流速粉塵捕集用エアーフィルター
５４  ファン
５５  噴出側通気性抵抗材
５６  排気側通気性抵抗材
５７  排気側チャンバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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