(57)【要約】【課題】遮蔽用カーテンの破損を監視して、遮蔽用カーテンの破損によるＸ線の漏洩を防ぐ。【解決手段】Ｘ線が照射される部位を通過する被検査物４に当接するように設けられたＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６にかかり、遮蔽カーテン１６と一体的配設されて第一の端子２２ａを有する第一の導電部材１７ａと、遮蔽カーテン１６と一体的配設されて第二の端子２２ｂを有する第二の導電部材１７ｂとを接続して遮蔽カーテン１６の周縁部に沿って設けられた導通検出部２０ａと、第一の端子２２ａと第二の端子２２ｂとの間の通電を監視することによって遮蔽カーテン１６の損傷を検知する検出手段１８を備える。そして、遮蔽用カーテン１６の破損により導通部材１７ａ（１７ｂ）の切断があった場合にＸ線の照射を停止させれば、遮蔽用カーテン１６の破損によるＸ線の漏洩を未然に防ぐことができる。【選択図】　　　　図３
2004069385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物（４）にＸ線を照射するＸ線照射手段（１）と、該Ｘ線照射手段から発生したＸ線を遮蔽し外部へ漏洩させないために、Ｘ線が照射される部位を通過する前記被検査物に当接するように設けられたＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン（１６）とを備えたＸ線検査装置において、
前記遮蔽カーテンは、該遮蔽カーテンが電気接続されるように前記遮蔽カーテンと一体的に配設され、かつ第一の端子（２２ａ）を有する第一の導電部材（１７ａ）と、
前記遮蔽カーテンが電気接続されるように前記遮蔽カーテンと一体的に配設され、かつ第二の端子（２２ｂ）を有する第二の導電部材（１７ｂ）とを含み、
また、前記第一の端子と前記第二の端子との間の電気抵抗の変化を検出することによって前記遮蔽カーテンの損傷を検知する検出手段（１８）を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記遮蔽カーテン（１６）は、前記第一の端子（２２ａ）を有する前記第一の導電部材（１７ａ）および前記第二の端子（２２ｂ）を有する前記第二の導電部材（１７ｂ）が接続され、かつ前記遮蔽カーテンの周縁部に沿って設けられてなる通電検出部（２０ａ）を備え、
前記検出手段（１８）は、前記第一の端子と前記第二の端子との間の通電を監視することを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記通電検出部（２０ａ）は、前記遮蔽カーテン（１６）の面に貼設されるフィルム（１９）に配されていることを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記通電検出部（２０ａ）は、前記遮蔽カーテン（１６）内に埋設されてなることを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記遮蔽カーテン（１６）は、前記第一の端子（２２ａ）を有する前記第一の導電部材（１７ａ）および前記第二の端子（２２ｂ）を有する前記第二の導電部材（１７ｂ）とが高抵抗（１７ｃ）で結合されてなる抵抗検出部（２０ｂ）を備え、
前記検出手段（１８）は、前記第一の端子と前記第二の端子との間の電気抵抗値を監視することを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記抵抗検出部（２０ｂ）は、前記遮蔽カーテン（１６）の面に貼設されるフィルム（１９）に配されていることを特徴とする請求項５記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記抵抗検出部（２０ｂ）は、前記第一の導電部材（１７ａ）が前記遮蔽カーテン（１６）の一方の面に貼設され、前記第二の導電部材（１７ｂ）が前記遮蔽カーテンの他方の面に貼設されることを特徴とする請求項５記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線照射手段から被検査物に照射されるＸ線を遮蔽し外部へ漏洩させないために、Ｘ線が照射される部位を通過する被検査物に当接するように設けられたＸ線遮蔽用の遮蔽カーテンを備えたＸ線検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば生肉、魚、加工食品、医薬などの各品種の被検査物中（表面も含む）の異物（金属，骨，ガラス，石，合成樹脂材等）を検出するためにＸ線検査装置が用いられている。図８に模式的に示すように、この種のＸ線検査装置の上側には、Ｘ線発生部１００が設けられている。Ｘ線発生部１００は、装置本体の下側に向けてＸ線１０１を照射する。
【０００３】
次に、装置の下側には、搬送部１０２が設けられている。搬送部１０２は、複数のローラ１０３と、これらのローラ間に掛け回された搬送ベルト１０４を有している。搬送部１０２は、装置本体に取り付けられたモータ等の駆動手段によりいずれかのローラ１０３が駆動され、これによって搬送ベルト１０４が循環して移動し、上側の搬送ベルト１０４に載った被検査物１０５が移動する。Ｘ線１０１は、搬送ベルト１０４の略中央に照射され、このＸ線の面は、搬送ベルト１０４による被検査物１０５の移動方向と互いに交差（直交）している。
【０００４】
次に、被検査物１０５を搬送する上側の搬送ベルト１０４の下面側には、Ｘ線検出部１０６が設けられている。Ｘ線検出部１０６は、搬送ベルト１０４の幅方向に平行であって、照射されたＸ線１０１の面に沿うスリット１０６ａを有している。このスリット１０６ａに沿ってＸ線検出部１０６の内部には、多数のＸ線検知素子が配置されている。
【０００５】
上記Ｘ線検査装置では、Ｘ線発生部１００，Ｘ線検出部１０６および搬送部１０２は、Ｘ線の漏洩を防ぐように全体として防護構造の筐体１１１で覆われている。この防護構造の筐体１１１において、搬送部１０２の搬送方向の両端には、被検査物１０５を通過させる入口１１１ａ及び出口１１１ｂが開口して設けられている。また、筐体の入口１１１ａと出口１１１ｂの間には、搬送方向に沿って前記開口を設ける遮蔽構造をなす開閉可能な扉１１２が設けられている。
【０００６】
また、筐体１１１の内部において、搬送ベルト１０４の上方には、搬送方向に沿って複数枚の遮蔽カーテン１１３が所定の間隔で取り付けられている。遮蔽カーテン１１３は、鉛などのＸ線１０１の遮蔽効果を有する材料で構成されたシート状の部材であり、その面が筐体１１１の入口１１１ａ及び出口１１１ｂからＸ線が漏洩しないように、被検査物１０５の搬送方向と直行するように配置されている。
【０００７】
以上の構成において、Ｘ線発生部１００からＸ線１０１を照射し、被検査物１０５を搬送部１０２で搬送すれば、被検査物１０５がＸ線１０１の面を通過する。即ち、Ｘ線１０１は被検査物１０５と搬送ベルト１０４を透過し、スリット１０６ａを介してＸ線検出部１０６に入射して検出される。Ｘ線検出部１０６が得た信号は、図示しない制御手段で処理され、被検査物１０５中に含まれる異物の有無が検出され、表示部等で所定の表示が行なわれる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のＸ線検査装置では、遮蔽カーテン１１３がＸ線１０１の遮蔽効果を有する鉛などの材料で構成されている。このため、搬送部１０２によってＸ線１０１の面を通過する被検査物１０５が遮蔽カーテン１１３に接触して被検査物１０５の搬送を妨げるおそれがある。このような場合、ユーザの判断によって被検査物１０５の搬送を妨げる遮蔽カーテン１１３が切断されてしまい、Ｘ線１０１が漏洩してしまうという問題がある。
【０００９】
また、搬送部１０２によって搬送される被検査物１０５は、例えば毎分１００個など多数搬送される。このため、被検査物１０５に常に接触する遮蔽カーテン１１３が磨耗して切断（損傷）し、切断した部分が被検査物１０５に異物として付着したり、被検査物１０５とともに搬送されて異物として検出されてしまたったり、上記と同様にＸ線１０１が漏洩するという問題がある。
【００１０】
そこで本発明は、上記課題を解消するために、遮蔽カーテンの損傷を監視して、遮蔽カーテンの損傷によるＸ線の漏洩を防ぐことができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明による請求項１記載のＸ線検査装置は、
被検査物４にＸ線を照射するＸ線照射手段１と、該Ｘ線照射手段１から発生したＸ線を遮蔽し外部へ漏洩させないために、Ｘ線が照射される部位を通過する前記被検査物４に当接するように設けられたＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６とを備えたＸ線検査装置において、
前記遮蔽カーテン１６は、該遮蔽カーテン１６が電気接続されるように前記遮蔽カーテン１６と一体的に配設され、かつ第一の端子２２ａを有する第一の導電部材１７ａと、
前記遮蔽カーテン１６が電気接続されるように前記遮蔽カーテン１６と一体的に配設され、かつ第二の端子２２ｂを有する第二の導電部材１７ｂとを含み、
また、前記第一の端子２２ａと前記第二の端子２２ｂとの間の電気抵抗の変化を検出することによって前記遮蔽カーテン１６の損傷を検知する検出手段１８を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載のＸ線検査装置は、請求項１記載のＸ線検査装置において、
前記遮蔽カーテン１６は、前記第一の端子２２ａを有する前記第一の導電部材１７ａおよび前記第二の端子２２ｂを有する前記第二の導電部材１７ｂが接続され、かつ前記遮蔽カーテン１６の周縁部に沿って設けられてなる通電検出部２０ａを備え、
前記検出手段１８は、前記第一の端子２２ａと前記第二の端子２２ｂとの間の通電を監視することを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載のＸ線検査装置は、請求項２記載のＸ線検査装置において、
前記通電検出部２０ａは、前記遮蔽カーテン１６の面に貼設されるフィルム１９に配されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載のＸ線検査装置は、請求項２記載のＸ線検査装置において、
前記通電検出部２０ａは、前記遮蔽カーテン１６内に埋設されてなることを特徴とする。
【００１５】
請求項５記載のＸ線検査装置は、請求項１記載のＸ線検査装置において、
前記遮蔽カーテン１６は、前記第一の端子２２ａを有する前記第一の導電部材１７ａおよび前記第二の端子２２ｂを有する前記第二の導電部材１７ｂとが高抵抗１７ｃで結合されてなる抵抗検出部２０ｂを備え、
前記検出手段１８は、前記第一の端子２２ａと前記第二の端子２２ｂとの間の電気抵抗値を監視することを特徴とする。
【００１６】
請求項６記載のＸ線検査装置は、請求項５記載のＸ線検査装置において、
前記抵抗検出部２０ｂは、前記遮蔽カーテン１６の面に貼設されるフィルム１９に配されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項７記載のＸ線検査装置は、請求項５記載のＸ線検査装置において、
前記抵抗検出部２０ｂは、前記第一の導電部材１７ａが前記遮蔽カーテン１６の一方の面に貼設され、前記第二の導電部材１７ｂが前記遮蔽カーテンの他方の面に貼設されることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して具体的に説明する。
図１は本発明のＸ線検査装置の一例を示す斜視図である。
図１に示すＸ線検査装置は、主に、Ｘ線を発生するＸ線照射手段としてのＸ線発生部１と、Ｘ線発生部１からのＸ線を受けるＸ線検出手段としてのＸ線検出部２と、Ｘ線発生部１からＸ線検出部２の間に被検査物４（図２に示す）を搬送する搬送手段としての搬送部３とからなり、搬送部３にて搬送された被検査物４に異物があるか否かを検出する異物検出装置である。
【００１９】
Ｘ線発生部１は、Ｘ線検査装置の本体をなす筐体５の上部に配置され、下方に向けてＸ線を曝射させる。Ｘ線発生部１から曝射されるＸ線は、円錐形が不図示のスリットを介して面状とされる。
【００２０】
Ｘ線検出部２は、筐体５の下部に配置された搬送部３の金属箱６に内蔵されている。この金属箱６には、上記面状のＸ線を受けるスリット６ａが形成されている。Ｘ線検出部２は、Ｘ線発生部１からの面状のＸ線をスリット６ａを介して受ける。そして、Ｘ線検出部２は、このＸ線を光電変換し、不図示のＸ線処理部に出力する。
【００２１】
搬送部３は、上記金属箱６に配設されており、ローラ７、搬送ベルト８、モータユニット９、を備える。ローラ７は、本実施の形態では、搬送方向（図１中矢印方向）の前後部にそれぞれ二個づつ配置され、これらが高さ方向に所定の高さを有して配されている。搬送ベルト８は、無端状の帯体であり、各ローラ７に掛け回されている。搬送ベルト８は、各ローラ７の前記高さによって、その内面側にＸ線検出部２を収容している。モータユニット９は、ローラ７の一つを回転可能となるように係合されている。そして、モータユニット９の駆動により、係合するローラ７が駆動ローラとなり、他のローラ７が従動ローラとなって搬送ベルト８を循環させる。なお、上記搬送部３を配する金属箱６は、その側面（搬送方向に沿った一側面）が筐体５側に固定されている。これにより搬送部３が筐体５に設けられる。
【００２２】
上記搬送部３は、所定の搬送長を有して被検査物４を搬送させる。この搬送途中で被検査物４は、Ｘ線発生部１からＸ線検出部２に向けて曝射されたＸ線の中を通過する。また、搬送部３の搬送長（Ｘ線検査装置の機長）は、筐体５の搬送方向長より長く、搬送部３は筐体５からそれぞれ突出している。
【００２３】
筐体５は、搬送部３を配置する正面側と搬送方向前方および後方が開口している。この開口は、搬送部３の正面側が正面カバー１１によって、Ｘ線の漏洩を防ぐように塞がれ、搬送部３の搬送方向前方および後方が、前カバー１２および後カバー１３によってＸ線の漏洩を防ぐように覆われている。そして、前カバー１２および後カバー１３には、被検査物４を通すための開口部１４が開口形成されている。また、正面カバー１１は、両側端部が前カバー１２および後カバー１３の形状に沿って形成されて前記開口部１４をなし、下端部がヒンジ１５に軸支され前下方に開放可能とされている。
【００２４】
図２は、搬送部３部分を示す正面図である。
上述したように、搬送部３は、搬送長が筐体５より長い。このため、図２に示すように、前カバー１２および後カバー１３は、筐体５から突出する搬送部３の部分を上下で覆うように設けられ、かつ、開口部１４を最も筐体５から突出する搬送部３の前後端部になすように形成されている。また、前カバー１２および後カバー１３は、開口部１４に向かって窄まる傾斜面１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂを有している。この傾斜面１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂは、Ｘ線を装置内部方向に反射させ、開口部１４からのＸ線の漏洩を低減させる。
【００２５】
図２に示すように、搬送部３上には、搬送方向（図２中矢印方向）に沿って複数箇所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入側の前カバー１２の傾斜面１２ａと、搬出側の後カバー１３の傾斜面１３ａと、筐体５の開口内とに、搬送ベルト８の搬送方向に所定間隔を隔てて複数枚（図２では六枚）吊り下げ配置されている。この遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシート等で構成され、装置内部のＸ線が開口部１４から漏れることを防止する。このように、遮蔽カーテン１６は、Ｘ線発生部１から発生したＸ線を遮蔽し外部へ漏洩させないために、Ｘ線が照射される部位を通過する被検査物４に当接するように設けられている。
【００２６】
ところで、図２に示すように、上記遮蔽カーテン１６には、搬送部３によって搬送される被検査物４が当接して通過する。このため、頻繁な被検査物４の通過にともなって遮蔽カーテン１６が損傷するおそれがある。また、ユーザが遮蔽カーテン１６が被検査物４の搬送の妨げになるとして切断してしまうこともある。すなわち、遮蔽カーテン１６によるＸ線の漏洩を防ぐ作用が低減してしまうこととなる。
【００２７】
このため、本Ｘ線検査装置では、遮蔽カーテン１６の切断（損傷）を検知し、Ｘ線の発生を停止させる遮蔽カーテン監視装置を備えている。図３は遮蔽カーテン監視装置を示すブロック図である。図３に示す遮蔽カーテン監視装置は、主に、第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂと、検出手段１８と、駆動制御手段２１とを備えている。
【００２８】
第一の導電部材１７ａは、遮蔽カーテン１６が電気接続されるように、遮蔽カーテン１６と一体的に配設されている。この第一の導電部材１７ａは、第一の端子２２ａを有している。また、第二の通電部材１７ｂは、遮蔽カーテン１６が電気接続されるように、遮蔽カーテン１６と一体的に配設されている。この第二の導電部材１７ｂは、第二の端子２２ｂを有している。図３に示す遮蔽カーテン監視装置では、第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂが接続され、かつ遮蔽カーテン１６の周縁部に沿って設けられた通電検出部２０ａとして構成されている。通電検出部２０ａは、例えば可撓性を有する柔軟な材質により線状あるいは帯状に形成されている。
【００２９】
通電検出部２０ａの遮蔽カーテン１６への取り付けは、図４に示すように、通電検出部２０ａ（第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂ）がパターン形成されて配線されたフィルム１９を遮蔽カーテン１６の面に貼設する。なお、遮蔽カーテン１６は、被検査物４を通過し易いように、極力薄く形成され、かつ、暖簾状に切込１６ａが設けられている。フィルム１９は、このように形成された遮蔽カーテン１６と略同じ形状とされ、そこに通電検出部２０ａが、切込１６ａを含む遮蔽カーテン１６の全周縁に沿うように配されている。
【００３０】
また、通電検出部２０ａが設けられる遮蔽カーテン１６の面は、被検査物４が当接しない搬送方向の後側の面がよく、これにより被検査物４の当接による断線が回避できる。なお、フィルム１９が貼設された遮蔽カーテン１６の両面は、フィルム１９と共にスベリシート１６ｂで挟まれることが好ましい。スベリシート１６ｂは、ＰＰ、テフロン（Ｒ）等の樹脂材質でなり表面の摩擦抵抗が小さいものが用いられ、遮蔽カーテン１６と略同じ形状で薄厚（０．１〜０．２ｍｍ程度）に形成されている。
【００３１】
また、通電検出部２０ａの遮蔽カーテン１６への別の取り付けは、図５に示すように、遮蔽カーテン１６を型成形する際に、通電検出部２０ａを遮蔽カーテン１６内に埋設してもよい。この場合でも、遮蔽カーテン１６の両面が、スベリシート１６ｂで挟まれることが好ましい。
【００３２】
検出手段１８は、第一の端子２２ａおよび第二の端子２２ｂに接続されて、これらの間に通電を行う。そして、検出手段１８は、この通電を監視する。すなわち、検出手段１８では、通電検出部２０ａに通電が行われ、遮蔽カーテン１６の切断（損傷）とともに、通電検出部２０ａが切断されて通電が切られることを監視する。
【００３３】
駆動制御手段２１は、Ｘ線発生部１を駆動させてＸ線の発生および停止を制御する。駆動制御手段２１は、Ｘ線発生部１への駆動電源の供給を制御するものであり、通電検出部２０ａ（第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂ）への通電が行われている旨を検出手段１８が検出した場合にＸ線発生部１への駆動電源の供給を行い、通電検出部２０ａへの通電が切られたことを検出手段１８が検出した場合にＸ線発生部１への駆動電源の供給を停止する。
【００３４】
上記検出手段１８および駆動制御部２１の構成を例示すると、図示しないが、検出手段１８が、通電検出部２０ａへの通電を行う電源と、この電源に接続されたリレーを有しており、駆動制御手段２１が、前記リレーの開閉によってＸ線発生部１への駆動電源の供給をオン／オフするスイッチを有している。そして、通電検出部２０ａへの通電があるときにリレーがスイッチを閉状態としてＸ線発生部１を駆動し、通電検出部２０ａへの通電が切れたときにリレーがスイッチを開状態としてＸ線発生部１の駆動電源の供給を停止し、Ｘ線を発生させない。また、通電検出部２０ａへの通電を行う構成にランプ（不図示）を設けて、通電がない場合に前記ランプが消灯して視覚的に遮蔽カーテン１６が損傷したことを認識するようにしたり、ブザーを設けて、通電が無い場合に前記ブザーを鳴らして警報としてもよい。
【００３５】
このように、遮蔽カーテン監視装置を備えたＸ線検査装置では、遮蔽カーテン１６の切断（損傷）を監視して、遮蔽カーテン１６に切断（損傷）が生じた際にＸ線の発生を停止する。これにより、遮蔽カーテン１６の損傷によるＸ線の漏洩事故を未然に防ぐことが可能となる。
【００３６】
なお、上述した遮蔽カーテン監視装置は、遮蔽カーテン１６の周縁に通電検出部２０ａを配し、この通電検出部２０ａの切断をもって遮蔽カーテン１６の切断（損傷）を監視しているが、この限りではない。
【００３７】
図６および図７は他の遮蔽カーテン監視装置を示すブロック図である。
まず、図６に示す遮蔽カーテン監視装置は、主に、第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂと、検出手段１８と、駆動制御手段２１とを備えている。
【００３８】
第一の導電部材１７ａは、遮蔽カーテン１６が電気接続されるように、遮蔽カーテン１６と一体的に配設されている。この第一の導電部材１７ａは、第一の端子２２ａを有している。また、第二の通電部材１７ｂは、遮蔽カーテン１６が電気接続されるように、遮蔽カーテン１６と一体的に配設されている。この第二の導電部材１７ｂは、第二の端子２２ｂを有している。図６に示す遮蔽カーテン監視装置では、第一の導電部材１７ａと第二の導電部材１７ｂとが高抵抗導体１７ｃで結合された抵抗検出部２０ｂとして構成されている。なお、第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂは、上記高抵抗導体１７ｃに対して低抵抗の導体として構成されている。
【００３９】
抵抗検出部２０ｂは、前記遮蔽カーテン１６の面に貼設されるフィルム１９に配されている。一例としては、第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂが接続され、かつ遮蔽カーテン１６の周縁部に沿うようにして、遮蔽カーテン１６の少なくとも一面に貼設される可撓性のフィルム１９に配されている。第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂは、例えば、銀ペーストなどによる印刷配線であって、その抵抗値が無視できるほど低い。高抵抗導体１７ｃは、第一の導電部材１７ａと第二の導電部材１７ｂとを結合するように、フィルム１９に配されている。高抵抗導体１７ｃは、例えば、カーボンなどの印刷抵抗体であって、計測可能な抵抗値を有している。
【００４０】
抵抗検出部２０ｂを有するフィルム１９は、遮蔽カーテン１６と略同じ形状とされ、そこに第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂが切込１６ａを含む遮蔽カーテン１６の全周縁に沿うように配されている。高抵抗導体１７ｃは、第一の導電部材１７ａの第一の端子２２ａと、第二の導電部材１７ｂの第二の端子２２ｂとの間に複数接続されている。
【００４１】
また、抵抗検出部２０ｂが設けられる遮蔽カーテン１６の面は、被検査物４が当接しない搬送方向の後側の面がよく、これにより被検査物４の当接による断線が回避できる。なお、フィルム１９が貼設された遮蔽カーテン１６の両面は、フィルム１９と共にスベリシート１６ｂで挟まれることが好ましい。スベリシート１６ｂは、ＰＰ、テフロン（Ｒ）等の樹脂材質でなり表面の摩擦抵抗が小さいものが用いられ、遮蔽カーテン１６と略同じ形状で薄厚（０．１〜０．２ｍｍ程度）に形成されている。
【００４２】
検出手段１８は、第一の端子２２ａおよび第二の端子２２ｂに接続されて、これらの間に通電を行う。そして、検出手段１８は、抵抗検出部２０ｂの電気抵抗値を監視する。すなわち、検知手段１８では、遮蔽カーテン１６の切断（損傷）によって高抵抗導体１７ｃが欠落した際の抵抗検出部２０ｂの電気抵抗値の変化を監視する。
【００４３】
駆動制御手段２１は、Ｘ線発生部１を駆動させてＸ線の発生および停止を制御する。駆動制御手段２１は、Ｘ線発生部１への駆動電源の供給を制御するものであり、抵抗検出部２０ｂの抵抗値が所定の抵抗値である旨を検出手段１８が検知した場合にＸ線発生部１への駆動電源の供給を行い、前記抵抗値が変化（例えば減少）したことを検出手段１８が検知した場合にＸ線発生部１への駆動電源の供給を停止する。
【００４４】
このように、図６に示す遮蔽カーテン監視装置を備えたＸ線検査装置では、遮蔽カーテン１６の切断（損傷）を監視して、遮蔽カーテン１６に切断（損傷）が生じた際にＸ線の発生を停止する。これにより、遮蔽カーテン１６の損傷によるＸ線の漏洩事故を未然に防ぐことが可能となる。
【００４５】
次に、図７に示す遮蔽カーテン監視装置は、主に、第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂと、検出手段１８と、駆動制御手段２１とを備えている。
【００４６】
第一の導電部材１７ａは、遮蔽カーテン１６が電気接続されるように、遮蔽カーテン１６と一体的に配設されている。この第一の導電部材１７ａは、第一の端子２２ａを有している。また、第二の通電部材１７ｂは、遮蔽カーテン１６が電気接続されるように、遮蔽カーテン１６と一体的に配設されている。この第二の導電部材１７ｂは、第二の端子２２ｂを有している。図７に示す遮蔽カーテン監視装置では、第一の導電部材１７ａと第二の導電部材１７ｂとが高抵抗導体１７ｃで結合された抵抗検出部２０ｂとして構成されている。なお、第一の導電部材１７ａおよび第二の導電部材１７ｂは、上記高抵抗導体１７ｃに対して低抵抗の導体として構成されている。
【００４７】
第一の導電部材１７ａは、遮蔽カーテン１６の一方の面に貼設される可撓性のフィルム１９に配されている。第一の導電部材１７ａは、例えば、銀ペーストなどによる印刷配線であって、その抵抗値が無視できるほど低い。また、フィルム１９は、遮蔽カーテン１６と略同じ形状とされ、そこに第一の導電部材１７ａが切込１６ａを含む遮蔽カーテン１６の全周縁に沿うように配されている。
【００４８】
第二の導電部材１７ｂは、遮蔽カーテン１６の他方の面に貼設される可撓性のフィルム１９に配されている。第二の導電部材１７ｂは、例えば、銀ペーストなどによる印刷配線であって、その抵抗値が無視できるほど低い。また、フィルム１９は、遮蔽カーテン１６と略同じ形状とされ、そこに第二の導電部材１７ｂが切込１６ａを含む遮蔽カーテン１６の全周縁に沿うように配されている。
【００４９】
高抵抗導体１７ｃは、図７に模式的に示すように、遮蔽カーテン１６の両面にある第一の導電部材１７ａと第二の導電部材１７ｂとを結合するように、遮蔽カーテン１６内に埋設されている。高抵抗導体１７ｃは、例えば、カーボンや異方性導電膜などであり、遮蔽カーテン１６の厚み方向に計測可能な抵抗値を有する。なお、高抵抗導体１７ｃをなす異方性導電膜は、加圧方向に電気接続する導電粒子を分散させたペースト膜である。すなわち、抵抗検出部２０ｂは、第一の導電部材１７ａと第二の導電部材１７ｂとの間に複数の高抵抗導体１７ｃを有する。
【００５０】
また、フィルム１９を含む遮蔽カーテン１６の両面は、前記スベリシート１６ｂで挟まれることが好ましい。スベリシート１６ｂは、ＰＰ、テフロン（Ｒ）等の樹脂材質でなり表面の摩擦抵抗が小さいものが用いられ、遮蔽カーテン１６と略同じ形状で薄厚（０．１〜０．２ｍｍ程度）に形成されている。
【００５１】
検出手段１８は、第一の端子２２ａおよび第二の端子２２ｂに接続されて、これらの間に通電を行う。そして、検出手段１８は、抵抗検出部２０ｂの電気抵抗値を監視する。すなわち、検知手段１８では、遮蔽カーテン１６の切断（損傷）によって高抵抗導体１７ｃが欠落した際の抵抗検出部２０ｂの電気抵抗値の変化を監視する。
【００５２】
駆動制御手段２１は、Ｘ線発生部１を駆動させてＸ線の発生および停止を制御する。駆動制御手段２１は、Ｘ線発生部１への駆動電源の供給を制御するものであり、抵抗検出部２０ｂの抵抗値が所定の抵抗値である旨を検出手段１８が検知した場合にＸ線発生部１への駆動電源の供給を行い、前記抵抗値が変化（例えば減少）したことを検出手段１８が検知した場合にＸ線発生部１への駆動電源の供給を停止する。
【００５３】
このように、図７に示す遮蔽カーテン監視装置を備えたＸ線検査装置では、遮蔽カーテン１６の切断（損傷）を監視して、遮蔽カーテン１６に切断（損傷）が生じた際にＸ線の発生を停止する。これにより、遮蔽カーテン１６の損傷によるＸ線の漏洩事故を未然に防ぐことが可能となる。
【００５４】
なお、上述した実施の形態では、遮蔽カーテン監視装置を備えたＸ線検査装置として、搬送部３によってＸ線発生部１とＸ線検出部２との間に被検査物４を通過させることにより被検査物４に異物があるか否かを検出する異物検出装置を例として説明したが、この限りではない。その他、例えば、搬送部３がなく一つの開口部１４から、人が被検査物４をＸ線発生部１とＸ線検出部２との間に出し入れして検査を行うＸ線検査装置において、Ｘ線を遮蔽すべき開口部１４に設けられる遮蔽カーテン１６の損傷を監視する上記遮蔽カーテン監視装置を備えることも可能である。このように、上記遮蔽カーテン監視装置は、開口部に遮蔽カーテン１６を要する様々なＸ線検査装置に適用することが可能である。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によるＸ線検査装置は、遮蔽カーテンと一体的に配設されて第一の端子を有する第一の導電部材と、遮蔽カーテンと一体的に配設されて第二の端子を有する第二の導電部材とを含み、第一の端子と第二の端子との間の電気抵抗の変化を検出することによって遮蔽カーテンの損傷を検知する検出手段を備えている。これにより、遮蔽カーテンの損傷を検知してＸ線の漏洩を防止することができる。特に、遮蔽カーテンの損傷を検知した場合に、Ｘ線照射手段でのＸ線の照射を停止させるようにすればＸ線の漏洩を未然に防ぐことができる。
【００５６】
また、第一の端子を有する第一の導電部材および第二の端子を有する第二の導電部材が接続され、かつ遮蔽カーテンの周縁部に沿って設けられた通電検出部を備え、検出手段が、第一の端子と第二の端子との間の通電を監視することにより、遮蔽カーテンの損傷の監視を適宜行うことができる。
【００５７】
また、通電検出部を、遮蔽カーテンの面に貼設されるフィルムに配すれば、通電検出部を備えた遮蔽カーテンが実現できる。
【００５８】
また、通電検出部を、遮蔽カーテン内に埋設しても、通電検出部を備えた遮蔽カーテンが実現できる。
【００５９】
また、第一の端子を有する第一の導電部材および第二の端子を有する第二の導電部材とが高抵抗で結合された抵抗検出部を備え、検出手段が、第一の端子と第二の端子との間の電気抵抗値を監視するようにしても、遮蔽カーテンの損傷の監視を適宜行うことができる。
【００６０】
また、抵抗検出部を、遮蔽カーテンの面に貼設されるフィルムに配すれば、抵抗検出部を備えた遮蔽カーテンが実現できる。
【００６１】
また、抵抗検出部を、第一の導電部材が遮蔽カーテンの一方の面に貼設され、第二の導電部材が遮蔽カーテンの他方の面に貼設された構成としても、抵抗検出部を備えた遮蔽カーテンが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸ線検査装置の一例を示す斜視図。
【図２】搬送部３部分を示す正面図。
【図３】遮蔽カーテン監視装置を示すブロック図。
【図４】遮蔽カーテンへの通電部材の取り付けを示す分解斜視図。
【図５】遮蔽カーテンへの通電部材の他の取り付けを示す斜視図。
【図６】他の遮蔽カーテン監視装置を示すブロック図。
【図７】他の遮蔽カーテン監視装置を示すブロック図。
【図８】一般的なＸ線検査装置を示す斜視図。
【符号の説明】
１…Ｘ線発生部（Ｘ線照射手段）、４…被検査物、１６…遮蔽カーテン、１７ａ…第一の導電部材、１７ｂ…第二の導電部材、１７ｃ…高抵抗導体（高抵抗）１８…検出手段、１９…フィルム、２０ａ…通電検出部、２０ｂ…抵抗検出部、２２ａ…第一の端子、２２ｂ…第二の端子。
【図１】
2004069385.tif 000003
【図２】
2004069385.tif 000004
【図３】
2004069385.tif 000005
【図４】
2004069385.tif 000006
【図５】
2004069385.tif 000007
【図６】
2004069385.tif 000008
【図７】
2004069385.tif 000009
【図８】
2004069385.tif 000010