(57)【要約】【課題】本発明は、静電チャックで基板を保持しつつ、真空槽内で貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、静電チャックの電極部を真空槽内からの容易に取り出し得るようにする。【解決手段】電極部５ａ，５ｂに接続される被覆給電線６を真空槽１の壁に貫通させた絶縁性の筒体９２の中を通して外部に引き出すとともに、その筒体９２は、取付部材９３を介して真空槽１の側壁に着脱できるように構成した。従って、作業員は、取付部材９３による筒体９２の取り外しのみで、容易に、被覆給電線６の真空槽１内への引き込み、及び真空槽１内から外部への引き出し操作が可能となり、静電チャック電極部５ａ，５ｂの保守点検作業の効率向上を図ることができる。【選択図】      図１
2004301909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内で貼り合わされる２枚の基板のうち、少なくともいずれか一方の基板が、真空槽内で静電チャックにより保持されて貼り合わされるように構成された基板貼り合わせ装置において、
一端部が前記静電チャックの電極部に接続され、他端部側を前記真空槽の壁に設けた貫通孔を通して外部に取り出す被覆給電線と、
この被覆給電線の途中に設けられ、気密部材を介して被覆給電線を中に挿通させた筒体と、
前記真空槽の壁の前記貫通孔に嵌め入れられた前記筒体を、真空槽の前記壁に着脱自在に取付け可能な取付部材と
を具備するように構成されたことを特徴とする基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記取付部材は、筒状に形成されて鍔部を有する継手と、この継手に着脱自在に取り付けられた環状の押さえ具とから構成されたことを特徴とする請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記真空槽の壁と前記継手との間、及び前記取付部材と前記継手並びに前記押さえ具との間にそれぞれシール部材を介挿させたことを特徴とする請求項２に記載の基板貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルを製造するのに好適な基板貼り合わせ装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
矩形状の液晶表示パネルは、電極及び配向膜が形成されたガラス製の一対の基板間に、液晶部材が封入されて構成される。基板間の液晶部材の封入には、注入方式と滴下方式とがあるが、注入方式は、表示面を囲むように塗布されたシール剤（接着剤）の開口部から、毛細管現象と圧力差を利用して真空中において液晶部材を充填する方式であり、他方、滴下方式は、いずれか一方の基板のスペーサが散布された表示面に、液晶部材を滴下する方式である。
【０００３】
昨今の、大型の液晶表示パネルの製造では、液晶の充填に要する時間が非常に長くなってしまう注入方式に代えて、液晶を充填するに要する時間を短縮できる滴下方式が採用されている。この滴下方式では、液晶部材が滴下された基板と他方の基板とは、真空槽（チャンバ）内で高精度に位置合わせが行われつつ、シール剤を介して貼り合わされる。
【０００４】
貼り合わされる上下２枚の基板は、真空槽内の上ステージ及び下ステージにそれぞれ保持されるが、各ステージにおける基板の保持に、吸引チャックや静電チャックがある。
【０００５】
保持された基板の外側が減圧状態となる真空槽内では、適正な内外圧力差を確保しにくい点があることから、真空槽内での基板の保持には、内外圧力差を利用した吸引チャックよりも静電チャックが多く採用される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
図３は従来の基板の貼り合わせ装置を示した要部断面図である。
【０００７】
上下に分離可能に構成された真空槽１内には、上下のステージ２１，２２が対向するように組み込まれていて、その各ステージ２１，２２にはガラス製の上下基板３１，３２が静電チャックによりそれぞれ保持されている。
【０００８】
加圧板ともなる上ステージ２１は不図示のプレス機構に連結され、図示矢印Ｚ（上下）方向に上下動可能に構成されている。
【０００９】
一方、下ステージ２２は、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４に連結され、上基板３１に対向配置された下基板３２位置をＸ−Ｙ−θ方向に水平面内で移動調整可能に構成されている。
【００１０】
対向する各基板３１，３２間の位置合わせ操作では、上ステージ２１が下降して上下基板３１，３２を狭いギャップを有して対向させ、不図示の認識カメラで得られた各基板３１，３２のアライメントマークの撮像画像に基づいた位置補正制御が行われる。
【００１１】
位置合わせ操作により高精度に位置決めされた後の両基板３１，３２は、上ステージ２１のさらなる下降操作により、上基板３１が下基板３２上のシール剤３ａを押圧して貼り合わされる。
【００１２】
なお、上述のように、シール剤３ａに囲まれた下基板３２の表示面には、予めスペーサが散布されているとともに液晶部材が滴下されているが、貼り合わされた後に、各基板３１，３２間の表示面（セルギャップ）に空気が混入していると画像品質が損なわれるので、上下基板３１，３２の貼り合わせ操作は、配管１ａを介した排気による高真空雰囲気中の真空槽１内で行われる。
【００１３】
そこで、静電チャックで上下基板３１，３２を保持する構成例は、上記特許文献１にも開示されているが、例えば、図３にも示したように、上下ステージ２１，２２にそれぞれ一対の電極部５ａ，５ｂを嵌め込んで、上下基板３１，３２を保持した構成も採用されている。
【００１４】
図３に示したように、静電チャックを構成するための各電極部５ａ，５ｂは、第１の被覆給電線６（６１）、真空槽１の側壁（壁）に設けられた中継端子部７、及び第２の被覆給電線６（６２）を順次介して、正の直流（ＤＣ）電源８（８１）あるいは負の直流電源８（８２）に接続される。
【００１５】
図４は、真空槽１の側壁に設けられた中継端子部７の一部分解拡大断面図である。
【００１６】
すなわち、中継端子部７では、両端部に雄ねじを形成した導通心棒７１が、鍔部を有する絶縁性の止め具７２に埋め込まれて貫通し、その貫通した導通心棒７１の両端部には、ワッシャ７ａ、被覆給電線６（６１，６２）を接続した接続片７ｂがそれぞれ嵌め込まれ、これらは例えば図示右側に示したように、矢印Ｘで示す方向に挿入されるナット７ｃにより締め付け固定されるように構成されている。そして、導通心棒７１が埋め込まれた止め具７２は、止めねじ７ｄにより真空槽１の側壁に取付け固定される。
【００１７】
また、中継端子部７に導体（金属）の露出部分があると、通電中に作業員がうっかり手を触れて感電する恐れがあり、また真空槽１内側では、排気による真空雰囲気のもとでは、接地電位レベルの真空槽１の壁との間で火花放電を引き起こしてしまい、静電チャックの基板吸着力が弱まるので、真空槽１の側壁を挟んだ両側は、導体部分が露出しないよう、絶縁部材７３によりモールドされている。なお、図４において、符号７４は、真空槽１内の気密を確保するために組み込まれたシール部材、すなわちＯリングを示している。
【００１８】
【特許文献１】
特開２０００−６６１６３号公報（図３、図４）
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の基板貼り合わせ装置では、真空槽１の壁に設けられた給電用の中継端子部７は、絶縁体からなる止め具７２に導通心棒７１が埋め込まれて貫通し、その導通心棒７１の両端部に接続された被覆給電線６（６１，６２）の接続部分は絶縁部材７３よりモールドされて構成されていた。
【００２０】
また、真空槽１内の各電極部５ａ，５ｂと中継端子部７との間に配線される被覆給電線６（６１）は、真空槽１に対する基板３１，３２の搬入出操作や真空槽１内における上ステージ２１の上下動作等の障害とならないように、極力、短く配線されている。
【００２１】
従って、電極部５ａ，５ｂの交換を含む点検・修理作業を行うために、作業員が電極部５ａ，５ｂを各ステージ２１，２２から取り外し、真空槽１の外に取り出そうとすると、被覆給電線６（６１）を中継端子部７から取り外す必要がある。
【００２２】
中継端子部７から被覆給電線６（６１）を取り外そうとすると、作業員は、真空槽１内側の絶縁部材７３をはがし、ナット７ｃを緩めて、被覆給電線６（６１）が接続された接続片７ｂを引き出す必要があった。
【００２３】
真空槽１自体は、大型の基板の貼合わせも可能なように次第に大型化されてきているとは言え、真空槽１内は無駄な空間領域が形成されないようにコンパクトに構成されているから、真空槽１内に作業員が手を入れて作業する空間は狭く、修理や保守点検のために、中継端子部７を解体し、被覆給電線６（６１）ともども電極部５ａ，５ｂを外に取り出す作業は容易でなかった。
【００２４】
従ってまた、一旦取り出した電極部５ａ，５ｂの点検・修理等が済み、再び真空槽１内に装着しようとする作業も容易でなく、とりわけ、導体部分が露出しないように裏側をもモールドする作業は、保守・点検作業の効率向上を阻害する要因となっていた。
【００２５】
そこで、本発明は、静電チャックの真空槽への着脱操作を容易とし、装置の稼働効率を向上させることができる基板貼り合わせ装置を提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空槽内で貼り合わされる２枚の基板のうち、少なくともいずれか一方の基板が、真空槽内で静電チャックにより保持されて貼り合わされるように構成された基板貼り合わせ装置において、一端部が前記静電チャックの電極部に接続され、他端部側を前記真空槽の壁に設けた貫通孔を通して外部に取り出す被覆給電線と、この被覆給電線の途中に設けられ、気密部材を介して被覆給電線を中に挿通させた筒体と、前記真空槽の壁の前記貫通孔に嵌め入れられた前記筒体を、真空槽の前記壁に着脱自在に取付け可能な取付部材とを具備するように構成されたことを特徴とする。
【００２７】
このように本発明の基板貼り合わせ装置は、被覆給電線を通した筒体を、真空槽の貫通孔に嵌め込み、その筒体を取付部材により真空槽の壁に着脱可能に構成したものである。
【００２８】
従って、作業員は、筒体を取付部材から取り外しただけで、筒体ともども被覆給電線の真空槽の内側への引き込みあるいは外側への引き出しが容易となり、静電チャックの保守点検作業の効率化を図ることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による基板貼り合わせ装置の一実施の形態を図１及び図２を参照して詳細に説明する。なお、図３及び図４に示した従来の構成と同一構成には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３０】
図１は、本発明による基板貼り合わせ装置の一実施の形態を示す要部拡大断面図である。
【００３１】
従来と同様に、上下に分離可能に構成された真空槽１内には、上下一対のステージ２１，２２が組み込まれ、各ステージにはガラス製の上下基板３１，３２が静電チャックにより保持されている。下基板３２の表示面には予めスペーサが付着されているとともに液晶部材が滴下され、その液晶部材が滴下された表示面を取り囲むように接着剤であるシール剤３ａが塗布されている。
【００３２】
上下ステージ２１，２２にそれぞれ装着され、静電チャックを構成する一対の電極部５ａ，５ｂには、被覆給電線６の一端部が接続され、被覆給電線６の他端部は、被覆給電線６を真空槽１の壁に係止する取付部９の中を通って、真空槽１の外側に引き出され、直流電源８（８１，８２）に接続される。
【００３３】
なお、被覆給電線６における直流電源８１，８２との接続部には、図４に示した第１の被覆給電線６１と導通心棒７１の接続部と同様に、被覆給電線６に接続された円環状の接続片を直流電源８１，８２に設けた導通心棒にナットで締め付け固定するようになっている。
【００３４】
図２は、取付部９を示した拡大断面図である。
【００３５】
取付部９は、気密部材９１を介して被覆給電線６を中に挿通させた例えば絶縁体からなる筒体９２と、真空槽１の側壁（壁）の貫通孔に嵌め込まれ、貫通させた筒体９２を着脱可能に取付け可能な取付部材９３とで構成されている。
【００３６】
すなわち、被覆給電線６と筒体９２との間には、エポキシ樹脂あるいはシリコーン（ｓｉｌｉｃｏｎｅ）からなる粘着性を有する気密部材９１が充填されていて気密を保ち、筒体９２は、鍔部を有する円筒状の取付部材９３に嵌め込まれている。
【００３７】
また、筒体９２の外径は、被覆給電線６を直流電源８１，８２に接続するための円環状の接続片の外径よりも径大に形成されている。なお、被覆給電線６と直流電源８１，８２との接続構造は、円環状の接続片を導通心棒にナットで固定するものに限らず、コネクタを用いたものや、はんだ付けによるものなど他の構造を採用することができる。
【００３８】
取付部材９３は、筒体９２を中に挿通させるように主要部が円筒状に形成され、外側に鍔部（フランジ）を有する例えば合成樹脂等の非金属部材で形成された継手９３１と、同様に筒体９２を挿通させた環状の押さえ具９３２とから構成されている。
【００３９】
継手９３１は、鍔部に対する第１のねじ９３１ａのねじ込みにより、真空槽１の側壁に取付け固定される。また押さえ具９３２は、第２のねじ９３２ａにより、継手９３１にねじ止め固定される。なお、継手９３１は金属部材で形成しても良い。
【００４０】
真空槽１と継手９３１との間はシール部材である第１のＯリング９４１により、また押さえ具９３２と筒体９２及び継手９３１との間も同様にシール部材の第２のＯリング９４２により封鎖されるので、取付部材９３により筒体９２を真空槽１に取付け固定したときには、閉空間を形成した真空槽１内の気密性を確保することができる。
【００４１】
なお、真空槽１内の真空度を高めたとき、内外気圧差により筒体９２は真空槽１内に引き込まれようとするが、Ｏリング９４２と筒体９２との間の摩擦力により阻止される。また、筒体９２が真空槽１内に引き込まれようとするのをより確実に阻止するために、図２に波線で示したように、押さえ具９３２の外側面に当接するストッパを筒体９２の外側面に取り付け固定しても良い。なお、ストッパは、円環状部材を筒体９２にねじ止めする構造や、割筒あるいはスリットを有するＣ状体を筒体９２を抱き込ませボルト締めする構造等、種々のストッパ機構を採用することができる。
【００４２】
また第２のねじ９３２ａを緩めることにより、筒体９２は取付部材９３から解放されるので、作業員による、筒体９２ともども被覆給電線６の真空槽１の内側への引き込みあるいは外側への引き出し操作が容易であり、電極部５ａ，５ｂの真空槽１内からの取り出し操作、及び真空槽１内への装着操作を容易かつ円滑に行うことができる。
【００４３】
また、筒体９２の外径を、被覆給電線６を直流電源８１，８２に接続するための円環状の接続片の外径よりも径大に形成したので、被覆給電線６を接続片ともども、取付部材９３から容易に引き抜くことができる。従って、電極部５ａ，５ｂの真空槽１内からの取り出し操作をより円滑に行うことができる。
【００４４】
このように、この実施の形態の基板貼り合わせ装置によれば、作業員は、真空槽１の外側において、第２のねじ９３２ａの着脱操作により、被覆給電線６の真空槽１内側へ引き出し、あるいは真空槽１の外側への引き出し操作を容易に行うことができるので、静電チャックの電極部５ａ，５ｂの保守点検作業の効率化を図ることができる。
【００４５】
また、被覆給電線６は、真空槽１の壁をそのまま貫通して、電極部５ａ，５ｂと直流電源８（８１，８２）との間を直接接続させることができるので、真空槽１の壁を通過する被覆給電線６の取付部分に導体の露出部分を形成させずに済み、作業員の安全性の向上、及び基板貼り合わせ装置としての機能向上を図ることができる。また、真空槽１の壁を通過する被覆給電線６の取付部分に導体の露出部分を形成させずに済むことから、露出した導体部分と電極部との間で火花放電が生じるのを防止でき、その結果、静電チャックの吸着力が低下するのを回避することができる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明の基板貼り合わせ装置は、静電チャックの真空槽内への着脱操作を容易に行い、稼働率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による基板貼り合わせ装置の一実施の形態を示した要部断面図である。
【図２】図１に示した装置の取付部を示した拡大断面図である。
【図３】従来の基板貼り合わせ装置を示した要部断面図である。
【図４】図３に示した装置の取付部を示した拡大断面図である。
【符号の説明】
１  真空槽
２１，２２  ステージ
３１，３２  基板
４  Ｘ−Ｙ−θ移動機構
５ａ，５ｂ  電極部（静電チャック）
６，６１，６２  被覆給電線
８，８１，８２  ＤＣ電源
９  取付部
９１  気密部材
９２  筒体
９３  取付部材
９３１  継手
９３２  押さえ具
９４１，９４２  Ｏリング（シール部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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