(57)【要約】【課題】運動方向変換機構を用いずに軸方向と回転方向の２方向に運動することが可能なアクチュエータにおいて回転運動の自由度を向上する。【解決手段】本発明は、固定子を有するケースに、シャフトを有する可動子が、シャフトの軸方向とシャフトを回転軸とした回転方向の運動を行えるように支持され、可動子が固定子により力を受けて軸方向と回転方向の運動をするアクチュエータにおいて、固定子として磁極を有する回動固定部を備え、可動子として磁極を有する回動可動部を備え、回動可動部は、可動子の変位に応じて回動固定部との間でそれぞれの磁極が対向するように回転力を受けるものであることを特徴としている。【選択図】  図１
2004153908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子を有するケースに、シャフトを有する可動子が、シャフトの軸方向とシャフトを回転軸とした回転方向の運動を行えるように支持され、可動子が固定子により力を受けて軸方向と回転方向の運動をするアクチュエータにおいて、固定子として磁極を有する回動固定部を備え、可動子として磁極を有する回動可動部を備え、回動可動部は、可動子の変位に応じて回動固定部との間でそれぞれの磁極が対向するように回転力を受けるものであることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
回動可動部と回動固定部のうち一方を磁石、他方を磁性材料で形成したものであることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記磁性材料は、異方向性のものであることを特徴とする請求項２記載のアクチュエータ。
【請求項４】
回動可動部と回動固定部とを共に磁石で構成したものであることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
【請求項５】
回動可動部と回動固定部のうち少なくとも一方を軸方向に並んで３つ以上設けたものであることを特徴とする請求項１乃至４記載のアクチュエータ。
【請求項６】
可動子の軸方向の力に寄与する部分に回動可動部を設けたものであることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軸方向と回転方向の２方向に運動することが可能なアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開２００２−７８３１０号公報は、軸方向と回転方向の２方向に運動することが可能なアクチュエータとして、シャフト（軸）を有する可動子（プランジャー）が空隙（ギャップ）を有して固定子（ヨーク）の内方に設けられ、コイルにより磁路を励磁して可動子がシャフトの軸方向に運動するリニアアクチュエータにおいて、軸方向の変位（ストローク位置）に対して空隙を不均一にすることにより、シャフトの軸方向（直線方向）とシャフトを回転軸とする回転方向の運動を行う構成を開示している。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−７８３１０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開２００２−７８３１０号公報に開示された構成は、運動変換機構を用いずに簡単な構成で軸方向の変位に応じて２方向の運動を行うことができるので有用であるが、空隙の加工を精度良く行う必要があるので、回転運動の自由度を高くできるものではなかった。
【０００５】
本発明は、上記事由に鑑みてなしたもので、その目的とするところは、運動方向変換機構を用いずに軸方向と回転方向の２方向に運動することが可能なアクチュエータにおいて回転運動の自由度を向上することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、固定子を有するケースに、シャフトを有する可動子が、シャフトの軸方向とシャフトを回転軸とした回転方向の運動を行えるように支持され、可動子が固定子により力を受けて軸方向と回転方向の運動をするアクチュエータにおいて、固定子として磁極を有する回動固定部を備え、可動子として磁極を有する回動可動部を備え、回動可動部は、可動子の変位に応じて回動固定部との間でそれぞれの磁極が対向するように回転力を受けるものであることを特徴としている。
【０００７】
したがって、可動子は、軸方向の変位に応じて回動固定部の磁極と回動可動部の磁極とが対向するように回転力を受けるので、軸方向に回動固定部と回動可動部の対向する方向が変化するようにそれぞれを配置することにより、可動子の回転方向の運動を設定することができる。このことにより、運動方向変換機構を用いずに軸方向と回転方向の２方向に運動することが可能なアクチュエータにおいて回転運動の自由度を向上することができる。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のアクチュエータにおいて、回動可動部と回動固定部のうち一方を磁石、他方を磁性材料で形成したものであることを特徴としている。
【０００９】
したがって、磁性材料は、磁石のどちらの磁極との間にも吸引力を生じるので、可動子の軸方向の変位に対する回動可動部と回動固定部の対向する方向の変化は、±９０°の範囲で任意に定めることができる。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項２記載のアクチュエータにおいて、前記磁性材料は、異方向性のものであることを特徴としている。
【００１１】
したがって、回動可動部と回動固定部の対向する方向を透磁率の高い方向にすることにより、磁気回路の効率がよくなり、可動子の受ける回転力を大きくすることができる。
【００１２】
請求項４に係る発明は、請求項１記載のアクチュエータにおいて、回動可動部と回動固定部とを共に磁石で構成したものであることを特徴としている。
【００１３】
したがって、回動可動部の磁極と回動固定部の磁極との間で吸引力を生じる位置関係は１つだけとなるので、可動子の軸方向の変位に対する回動可動部と回動固定部の対向する方向の変化は、任意に定めることができる。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項１乃至４記載のアクチュエータにおいて、回動可動部と回動固定部のうち少なくとも一方を軸方向に並んで３つ以上設けたものであることを特徴としている。
【００１５】
したがって、可動子の軸方向の変位に応じて回動可動部と回動固定部の対向する方向を２回以上変化させることができるので、可動子の軸方向の運動の１周期あたり回転方向の運動を２往復以上行わせることができる。
【００１６】
請求項６に係る発明は、請求項１記載のアクチュエータにおいて、可動子の軸方向の力に寄与する部分に回動可動部を設けたものであることを特徴としている。
【００１７】
したがって、回動可動部は、軸方向の力を受けるためにも用いるので、アクチュエータを小型化することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
次に、請求項１と請求項２の発明に係る一実施形態を図１，図２を用いて説明する。ケース１は、筐体部１ａと、軸受け部１ｂとを有して構成されている。筐体部１ａは、金属製の磁性材料により有底円筒形状に形成されており、その両側の端面の中央部に軸受け部１ｂを有している。このものは、後述の固定子２と、シャフト３ａの一部を除く可動子３とを収納する。軸受け部１ｂは、断面が同心円状の中空の柱状に形成され、その中空部に表面を滑らかに加工された金属球を入れたベアリングであり、筐体部１ａの両側の端面に筐体部１ａの中心軸と軸受け部１ｂの中心軸が一致するように筐体部１ａの両側の端面に設けられている。これらのものは、金属球により円柱の軸状のものをその軸方向（以下、軸方向と呼ぶ）と軸方向を中心軸（以下、回転軸と呼ぶ）とする回転方向（以下、回転方向と呼ぶ）に運動を行えるように支持することができる。
【００１９】
固定子２は、軸動固定部Ｓと回動固定部４とを有して構成されている。軸動固定部Ｓは、磁石２ａと、第１の磁性体２ｂと、第２の磁性体２ｃと、コイル２ｄとを有して構成され、軸動可動部３ｂに軸方向の力を与えるために用いられる。磁石２ａは、希土類の永久磁石であり、後述の軸動可動部３ｂの外径よりも少し大きい直径の円を直径がほば筐体部１ａの内径となる円形のから取り除いた形状で板状に形成されている。このものは、着磁方向（Ｓ極からＮ極へ向かう方向）が厚み方向となるように着磁されている。第１の磁性体２ｂは、磁性材料により直径が筐体部１ａの内径よりも小さい円形の板状に形成され、その中央には、後述の軸動可動部３ｂの外径よりも少し大きい直径の貫通孔が形成されている。第２の磁性体２ｃは、磁性材料により直径がほば筐体部１ａの内径となる円形の板状に形成され、その中央には、第１の磁性体２ｂの貫通孔と同じ大きさの貫通孔が形成されている。コイル２ｄは、内径が第１の磁性体２ｂの貫通孔となる樹脂製のコイルボビン（図示せず）に電流を流したときに軸方向に磁界が発生するように銅線を巻いたものである。軸動固定部Ｓは、磁石２ａを軸方向が着磁方向となるようにしてその両側に第１の磁性体２ｂと第２の磁性体２ｃを設け、これらのものがコイル２ｄに対して軸方向に対称にコイル２ｄの両側に設けられている。
【００２０】
回動固定部４は、磁性材料により半径がほば筐体部１ａの内側の半径となる所定の中心角を有する扇形から後述の回動可動部５の外径よりも少し大きい半径の扇形を切り取った形状を底面とする柱状に形成されたものである。このものは、扇形の中心に対して対称に２つ設けられ、それぞれその中心側を磁極として回動可動部５に回転方向の力を与えるために用いられる。ここで、扇形の所定の中心角は、回動可動部５に回転方向の力を与える範囲を考慮して定められる。
【００２１】
可動子３は、シャフト３ａと、軸動可動部３ｂと、回動可動部５を有して構成されている。シャフト３ａは、金属製の円柱の軸状のものであり、２つの軸受け部１ｂ，１ｂにより軸方向と回転方向に運動できるように支持されている。軸動可動部３ｂは、磁性材料により高さ方向の中央部に軸方向に対して対称形状となるように一定の厚みで切削された凹部を有する円柱状に形成されており、この円柱の中心軸とシャフト３ａの中心軸が同じになるようにシャフト３ａに設けられている。このものは、軸動固定部Ｓの２つの磁石２ａのＮ極の面の間の長さと同じ長さを有し、その凹部は、２つの磁石２ａのＳ極の面の間の長さを有している。つまり、軸動可動部３ｂの切削されていない部分の長さはそれぞれ磁石２ａの厚みと同じになっている。このものは、軸動固定部Ｓから軸方向の力を受けるものである。
【００２２】
回動可動部５は、同じ大きさの２つの円柱状の磁石５ａ，５ｂを軸方向に連続することにより形成されており、それぞれの磁石５ａ，５ｂの中心軸がシャフト３ａの中心軸と同じになり、その連続する面が回動固定部４の軸方向に対する中央面に位置するようにシャフト３ａに設けられている。磁石５ａ，５ｂの着磁方向は、軸方向に略直交し、そのそれぞれが図２に示すように略直交するように磁極が設けられている。
【００２３】
上記のような構成にすることにより、軸動可動部３ｂは、磁石２ａの吸引力により軸方向の力は釣り合った状態にあるが、コイル２ｄに電流を流すことによりこの電流による磁束が生じ、釣り合いの状態が崩れて軸方向の一方向に運動を行う。また、この電流の向きを逆方向にすると釣り合いの向きが逆方向に崩れて逆方向に力を生じるようになる。したがって、可動子３は、コイル２ｄに流す電流の方向により軸方向の運動が制御される。
【００２４】
また、回動可動部５は、磁石５ａ，５ｂのそれぞれの磁極が回動固定部４の扇形の磁極の中央で対向するように回転力を生じるが、可動子３が図１の位置（基準位置）にあり、磁石５ａによる左方向の回転力と磁石５ｂによる右方向の回転力とが釣り合うので回転方向に運動していない。このものは、この位置から軸方向のプラス側（図１の上方）に変位すると、磁石５ｂと回動固定部４との対向面積が磁石５ａと回動固定部４との対向面積よりも大きくなるので、磁石５ｂが回動固定部４から受ける力が支配的になり、軸方向から見て右方向の回転力を受ける。逆に、このものは、軸方向のマイナス側（図１の下方）に変位すると、磁石５ａが回動固定部４から受ける力が支配的になり、軸方向から見て左方向の回転力を受ける。したがって、回動可動部５は、可動子３の変位に応じて回動固定部４との間でそれぞれの磁極が対向するように回転力を受けるのである。ここで、この軸方向に回動固定部４と回動可動部５の対向する方向が±９０°の範囲で変化するようにそれぞれを配置することにより、可動子３の回転方向の運動を設定することができる。よって、運動方向変換機構を用いずに軸方向と回転方向の２方向に運動することが可能なアクチュエータの回転運動の自由度を向上することができる。また、可動子３の軸方向の変位に対する回動固定部４と回動可動部５との対向する方向の変化を±９０°の範囲としたのは、磁性材料が磁石５ａ，５ｂのＮ極とＳ極の両方共に吸引力を生じるためである。
【００２５】
次に、第１の実施形態の動作について説明する。まず、図１のように基準位置にあり、コイル２ｄに電流が流れていないときには、軸方向にも回転方向にも釣り合っている。ここで、矩形波の交流電圧をコイル２ｄに印加すると、コイル２ｄに交流電流が流れるので、軸動可動部３ｂは軸方向に力を受け、可動子３は軸方向に往復運動を行う。そして、この往復運動において、可動子３が軸方向のプラス側に変位したときには、回動可動部５は回動固定部４から右方向の回転力を受ける。一方、可動子３が軸方向のマイナス側に変位したときには、回動可動部５は回動固定部４から左方向の回転力を受ける。つまり、可動子３は、軸方向と回転方向の２方向に往復運動を行う。
【００２６】
このように、第１の実施形態においては、可動子３は、軸方向の変位に応じて回動固定部４の磁極と回動可動部５の磁極とが対向するように回転力を受けるので、軸方向に回動固定部４と回動可動部５の対向する方向が±９０°の範囲で変化するようにそれぞれを任意に配置することにより、可動子３の回転方向の運動を設定することができる。このことにより、運動方向変換機構を用いずに軸方向と回転方向の２方向に運動することが可能なアクチュエータにおいて回転運動の自由度を向上することができる。
【００２７】
なお、軸動可動部３ｂと軸動固定部Ｓによる軸方向の運動を生じさせる構成は、ここで説明した構成に限るものではなく、コイルに電流を流すことにより軸方向に運動を生じさせる構成であればどのようなものでもよい。
【００２８】
（第２の実施形態）
次に、請求項１乃至３の発明に係る一実施形態を図３を用いて説明する。このものは、第１の実施形態と回動固定部４が磁石で構成され、回動可動部５が異方向性の磁性材料で構成されている点が異なっており、その他は第１の実施形態と同じ構成である。
【００２９】
回動固定部４は、永久磁石であり、第１の実施形態の回動固定部４と同じ形状で２つ、同じ位置関係で形成されている。これらのものは、一方はその着磁方向が中心方向に向かうように、他方は中心から直径方向に着磁されている。
【００３０】
回動可動部５は、同じ大きさの２つの円柱状に薄板を積層した異方向性磁性体５ｄ，５ｅを軸方向に連続することにより形成されており、それぞれの異方向性磁性体５ｄ，５ｅの中心軸がシャフト３ａの中心軸と同じになり、その連続する面が回動固定部４の軸方向に対する中央面に位置するようにシャフト３ａに設けられている。異方向性磁性体５ｄ，５ｅの透磁率の高い方向は、軸方向に略直交し、そのそれぞれが図３に示すように略直交するように磁極が設けられている
【００３１】
上記の構成にすることにより、回動可動部５の位置には回動固定部４の一方から他方に向かう磁界が生じる。よって、回動可動部５の異方向性磁性体５ｄ，５ｅは、透磁率の高い方向と周囲の磁界の方向が一致するように回転力を受けるので、第１の実施形態と同様に可動子３の変位に応じて回動可動部５は回動固定部４との間でそれぞれの磁極が対向するように回転力を受けるのである。ここで、回動可動部５と回動固定部４の対向する方向が透磁率の高い方向になるので、異方向性でない磁性体を用いるものと比較して、磁気回路の効率がよくなり回転力を大きくすることができる。
【００３２】
このように、第２の実施形態においては、回動可動部５と回動固定部４の対向する方向を透磁率の高い方向にすることにより、磁気回路の効率がよくなり、可動子３の受ける回転力を大きくすることができる。
【００３３】
（第３の実施形態）
次に、請求項１と請求項４の発明に係る一実施形態を図４を用いて説明する。このものは、第１の実施形態と回動固定部４が磁石で構成されている点が異なっており、その他は第１の実施形態と同じ構成である。
【００３４】
回動固定部４は、永久磁石であり、第１の実施形態の回動固定部４と同じ形状で２つ、同じ位置関係で形成されている。これらのものは、一方はその着磁方向が中心方向に向かうように、他方は中心から直径方向に着磁されている。
【００３５】
このような構成にすることにより、回動可動部５と回動固定部４とを共に磁石で構成することになるので、回動可動部５の磁極と回動固定部４の磁極との間で吸引力を生じる安定した位置関係は、それぞれのＮ極とＳ極が向かい合うときの１つだけとなるので、可動子３の軸方向の変位に対する回動可動部５と回動固定部４の対向する方向の変化は、第１の実施形態のように±９０°に制限されることなく任意に定めることができる。
【００３６】
このように、第３の実施形態においては、回動可動部５の磁極と回動固定部４の磁極との間で吸引力を生じる位置関係は１つだけとなるので、可動子３の軸方向の変位に対する回動可動部５と回動固定部４の対向する方向の変化は、任意に定めることができる。
【００３７】
（第４の実施形態）
次に、請求項１と請求項５の発明に係る一実施形態を図５、図６を用いて説明する。このものは、第１の実施形態と回動可動部５が３つの磁石で構成されている点が異なっており、その他は第１の実施形態と同じ構成である。
【００３８】
回動可動部５は、同じ大きさの３つの円柱状の磁石５ａ，５ｂ，５ｃを軸方向に連続することにより形成されており、それぞれの磁石５ａ，５ｂ，５ｃの中心軸がシャフト３ａの中心軸と同じになり、その連続する３つの磁石の中央が回動固定部４の軸方向に対する中央面に位置するようにシャフト３ａに設けられている。磁石５ａ，５ｂ，５ｃの着磁方向は、軸方向に略直交し、そのそれぞれが図６に示すように交互に略直交するように磁極が設けられている。
【００３９】
このような構成にすることにより、可動子３の軸方向の変位に応じて回動可動部５と回動固定部４の対向する方向を２回以上変化させることができる。したがって、可動子３を軸方向に往復運動させたときにその１周期あたり２往復以上の回転方向の運動を行わせることができる。つまり、可動子３に軸方向の運動の周波数の２倍以上の周波数で回転方向の運動を行わせることができる。
【００４０】
このように、第４の実施形態によれば、可動子３の軸方向の変位に応じて回動可動部５と回動固定部４の対向する方向を２回以上変化させることができるので、可動子３の軸方向の運動の１周期あたり回転方向の運動を２往復以上行わせることができる。
【００４１】
（第５の実施形態）
次に、請求項１と請求項６の発明に係る一実施形態を図７、図８を用いて説明する。このものは、第１の実施形態と回動可動部５と軸動可動部３ｂとが共用するように構成されている点と、軸動固定部Ｓと回動固定部４の構成と、共振ばね６を有する点で異なっており、その他は第１の実施形態と同じ構成である。
【００４２】
軸方向固定部Ｓは、Ｅ型磁性体２ｅとコイル２ｆを有して構成される。Ｅ型磁性体２ｅは、磁性材料で断面がＥの字型の柱状に形成されたものであり、軸方向にＥの字型の３つの磁極部が並ぶようにし、回転軸に対して軸対称に対にして、ケース１の筐体部１ａの中空部に固定して収納されている。これらのものは、そのＥの字型が対称形状となっており、３つの磁極部は同じ幅と長さを有している。そして、これらのものは、中央の磁極部にコイル２ｆが巻かれており、そのコイル２ｆに電流を流すことにより、中央の磁極部と両側の磁極部に異なる磁極が生じる。例えば、中央の磁極部にＳ極が生じれば、両側の磁極部にはＮ極が生じる。コイル２ｆは、Ｅ型磁性体２ｅの中央の磁極部に樹脂製のコイルボビン（図示せず）を介して巻かれて設けられている。このものは、Ｅ型磁性体２ｅを励磁するものであり、電流を流すことにより、Ｅ型磁性体２ｅの中央の磁極部と両側の磁極部に異なる磁極を生じさせる。また、このものは、対になっているＥ型磁性体２ｅの一方に設けられているものとその他方に設けられているものが逆位相に励磁することができるように接続される。例えば、Ｅ型磁性体２ｅの一方の中央の磁極部がＳ極となるように励磁されているときには他方の中央の磁極部がＮ極となるように励磁されるように接続される。
【００４３】
回動固定部４は、半径がほば筐体部１ａの内側の半径となる所定の中心角を有する扇形から回動可動部５の外径よりも少し大きい半径の扇形を切り取った形状を底面とする柱状に形成された磁石４ａ，４ｂである。これらのものは、扇形の中心に対して対称に２つ設けられ、その着磁方向が一方は中心方向に向かうように、他方は中心から直径方向に向かうように着磁されている。これらのものは、固定子２の可動子３に軸方向の力を与える部分である軸動固定部Ｓの軸方向の両端の外側に設けられている。
【００４４】
回動可動部５は、同じ大きさの２つの円柱状の磁石５ａ，５ｂを軸方向に連続することにより形成されており、それぞれの磁石５ａ，５ｂの中心軸がシャフト３ａの中心軸と同じになるように、シャフト３ａに設けられている。このものは、その軸方向の長さが軸動固定部Ｓの長さよりも大きくなっており、その連続する面が軸動固定部Ｓの軸方向に対する中央面に位置している。磁石５ａ，５ｂの着磁方向は、軸方向に略直交し、そのそれぞれが逆方向となるように着磁され磁極が設けられている。ここで、回動可動部５は、可動子３の軸方向の力に寄与する部分に設けられており、軸動可動部３ｂと共用するものとなっている。そのため、アクチュエータを小型化することができる。
【００４５】
共振ばね６は、コイルばねであり、軸方向に撓ませた状態で回動可動部５とケース１との間にそれぞれ設けられている。これらのものは、その端部がケース１と回動可動部５に固定され、回動可動部５が軸方向に運動したときにその変位に応じた力で反発力を与えるものである。
【００４６】
このように構成することにより、回動可動部５は、コイル２ｆに電流を流さないときには磁石５ａ，５ｂの吸引力により軸方向の力は釣り合った状態にあるが、コイル２ｆに電流を流すことによりこの電流による磁束が生じ、釣り合いの状態が崩れて軸方向の一方向に運動を行う。また、この電流の向きを逆方向にすると釣り合いの向きが逆方向に崩れて逆方向に力を生じるようになる。したがって、可動子３は、コイル２ｆに流す電流の方向により軸方向の運動を制御される。ここで、コイル２ｆに共振ばね６と可動子３の質量により定まる共振周波数の近傍の周波数の交流電圧を与えて交流電流を流し、軸方向に共振運動を行わせることができる。一方、回動可動部５は、軸方向のプラス方向（図７の上方）に変位したときに磁石４ａにより反発力を受けて右方向の回転力を受け、マイナス方向（図７の下方）に変位したときには磁石４ｂにより吸引力を受けて左方向の回転力を受ける。したがって、可動子３の変位に応じて回動固定部４との間でそれぞれの磁極が対向するように回転力を受けるのである。
【００４７】
このように、第５の実施形態においては、回動可動部５は、軸動可動部３ｂの機能を有して軸方向の力を受けるためにも用いるので、アクチュエータを小型化することができる。
【００４８】
なお、回動固定部４は、軸対称に２つ有するものについてのみ説明したが、それに限るものではなく、回動可動部５の片側の磁極を用いることにすれば１つでも構成することができる。
【００４９】
また、回動可動部５は、同じ大きさの磁石や磁性体を連続させるものについてのみ説明したが、それに限るものではなく、それらの大きさを変化させたものであっても、不連続に設けられるものであってもよい。また、このものは、円柱状のものについてのみ説明したが、それに限るものではなく、磁極として働くものであればどのような形状でも構成できる。
【００５０】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によれば、可動子は、軸方向の変位に応じて回動固定部の磁極と回動可動部の磁極とが対向するように回転力を受けるので、軸方向に回動固定部と回動可動部の対向する方向が変化するようにそれぞれを配置することにより、可動子の回転方向の運動を設定することができる。このことにより、運動方向変換機構を用いずに軸方向と回転方向の２方向に運動することが可能なアクチュエータにおいて回転運動の自由度を向上することができる。
【００５１】
請求項２に係る発明によれば、請求項１記載の効果に加え、磁性材料は、磁石のどちらの磁極との間にも吸引力を生じるので、可動子の軸方向の変位に対する回動可動部と回動固定部の対向する方向の変化は、±９０°の範囲で任意に定めることができる。
【００５２】
請求項３に係る発明によれば、請求項２記載の効果に加え、回動可動部と回動固定部の対向する方向を透磁率の高い方向にすることにより、磁気回路の効率がよくなり、可動子の受ける回転力を大きくすることができる。
【００５３】
請求項４に係る発明によれば、請求項１記載の効果に加え、回動可動部の磁極と回動固定部の磁極との間で吸引力を生じる位置関係は１つだけとなるので、可動子の軸方向の変位に対する回動可動部と回動固定部の対向する方向の変化は、任意に定めることができる。
【００５４】
請求項５に係る発明によれば、請求項１乃至４記載の効果に加え、可動子の軸方向の変位に応じて回動可動部と回動固定部の対向する方向を２回以上変化させることができるので、可動子の軸方向の運動の１周期あたり２往復以上の回転方向の運動を行わせることができる。
【００５５】
請求項６に係る発明によれば、請求項１記載の効果に加え、回動可動部は、軸方向の力を受けるためにも用いるので、アクチュエータを小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態を示す中央断面図である。
【図２】第１の実施形態の回動固定部と回動可動部の磁極付近の要部を示すものであり、（ａ）はＡ−Ａ断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図３】第２の実施形態の回動固定部と回動可動部の磁極付近の要部示すものであり、（ａ）は図１のＡ−Ａ断面に相当する断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面に相当する断面図である。
【図４】第３の実施形態の回動固定部と回動可動部の磁極付近の要部示すものであり、（ａ）は図１のＡ−Ａ断面に相当する断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面に相当する断面図である。
【図５】第４の実施形態を示す中央断面図である。
【図６】第１の実施形態の回動固定部と回動可動部の磁極付近の要部を示すものであり、（ａ）はＣ−Ｃ断面図、（ｂ）はＤ−Ｄ断面図、（ｃ）はＥ−Ｅ断面図である。
【図７】第５の実施形態を示す中央断面図である。
【図８】第５の実施形態の回動固定部と回動可動部の磁極付近の要部を示すものであり、（ａ）はＦ−Ｆ断面図、（ｂ）はＧ−Ｇ断面図である。
【符号の説明】
１      ケース
１ａ    筐体部
１ｂ    軸受け部
２      固定子
２ａ    磁石
２ｂ    第１の磁性体
２ｃ    第２の磁性体
２ｄ    コイル
２ｅ    Ｅ型磁性体
２ｆ    コイル
３      可動子
３ａ    シャフト
３ｂ    軸動可動部
４      回動固定部
４ａ    磁石
４ｂ    磁石
５      回動可動部
５ａ    磁石
５ｂ    磁石
５ｃ    磁石
５ｄ    異方向性磁性体
５ｅ    異方向性磁性体
６      共振ばね
Ｓ      軸動固定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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