(57)【要約】【課題】流体の流速を精度よく検出できるセンサを提供する。【解決手段】流路に基板が配置され、この基板上に配置された複数のトランスデューサが流量に関連する信号を変更することにより、流体流に応答する。これらのトランスデューサは、少なくとも１つが他のものと比べ流路の中心軸に近くに配置され、信号プロセッサが少なくともこれら２つの信号の関数として流速を計算する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
　流体流を収容するように構成され、中心長手軸を有する流路と、前記流路に配置されて各々が信号を伝える複数の経路を備えたモノリシック基板と、前記流路の前記基板上に配置され、前記流体流に関連して前記信号を変更することによって前記流体流に応答するように構成された複数のトランスデューサであって、少なくとも１つの前記トランデューサが少なくとも１つの他のトランスデューサより前記中心軸に近接して配置されるように構成されたトランスデューサと、前記信号のうちの少なくとも２つに連結され、前記流体の流速を少なくとも２つの前記信号の関数として計算する信号プロセッサと、を備えたことを特徴とする流体の流速を測定する流量センサシステム。
【請求項２】
　前記信号プロセッサは、前記基板上に配置された前記トランスデューサの熱散逸効果差
に基づいて流れの方向を決定するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の流量センサシステム。
【請求項３】
　前記基板は実質的に平面な部分を備え、前記トランスデューサのうちの少なくとも１つは、前記平面な部分の上に配置され、前記基板の平面な部分は、前記流路で、前記流路軸に実質的に平行になるよう配置されていることを特徴とする請求項１記載の流量センサシステム。
【請求項４】
　前記基板上に配置された基準トランスデューサをさらに備え、前記流路に配置された前記基準トランスデューサは、前記流体流によって実質的に変更されない信号をもたらすように前記流路の側壁に十分近接して配置されることを特徴とする請求項１記載の流量センサシステム。
【請求項５】
　前記基板は、実質的に平面な部分を有し、前記トランスデューサのうちの少なくとも１つは、前記平面な部分上に配置され、前記基板は、前記流路で、前記平面な部分が前記流路軸に対して実質的に直交するように配置されることを特徴とする請求項１記載の流量センサシステム。
【請求項６】
　流体流を示す信号を伝達する相互接続部と開放空間のある空隙とを備えた基板と、前記基板上に配置され、少なくとも一部が前記空隙に隣接して配置されていて、前記開放空間と流体連通し、前記流体に反応して前記信号を変更するように前記相互接続部に連結された第１の感熱素子と、を特徴とする流体の流れを検出する熱流量センサ。
【請求項７】
　前記基板は、第１の面と反対側の第２の面とを有し、前記空隙は、前記第１の面から前記第２の面まで貫通して形成されることを特徴とする請求項６記載の熱流量センサ。
【請求項８】
　前記基板上に配置された複数の追加の感熱素子をさらに具備し、前記第１の感熱素子および前記追加の感熱素子は、実質的に格子パターンで配置されることを特徴とする請求項６記載の熱流量センサ。
【請求項９】
　流体流を収容して中心長手軸を有する流路と、前記流路内で、少なくとも１つの手段が前記流路の前記軸に対して少なくとも１つの他の手段より近接して位置するように配置され、各々が、それ自体の温度を示す信号をもたらす複数の温度測定手段と、前記温度測定手段に連結され、前記信号を受取って前記信号から前記流体の流速を計算する信号プロセッサと、を備えたことを特徴とする流体の流速を計算する熱流量センサシステム。
【請求項１０】
　基板上に複数の感熱素子を堆積させ、前記感熱素子に連結される複数の導電信号経路を提供するステップと、前記基板に複数の空隙を作製し、各空隙は前記感熱素子のうちの少なくとも１つに隣接した開放空間を備え、各感熱素子が前記開放空間上に懸架される部分を有しているステップと、を特徴とする基板上に熱検出器アレイを作製する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路内の流体の速度を測定するシステム、方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　流路内を流れる流体の流速を、流路に検出器を配置し、検出器を周囲より高い温度まで加熱し、検出器を通過して流れる流体によって検出器から熱が取除かれる程度を測定することにより、確定することができる。流体流速が上昇するに従って取除かれる熱の量が増大し、検出器は、その温度に従って、たとえばその電気抵抗が変化し、それによって取除かれた熱、故に流体流速に関する情報が提供される。
【０００３】
　加熱素子が検出器を周囲より高く加熱することができ、その後、検出器に小さい検知電流を送ることにより、流体が流れている間のその抵抗を測定することができる。代替的に、検知電流は、検出器を周囲より高く加熱するほど十分大きくてもよい。いずれの場合も、たとえば検出器をホイートストンブリッジ回路の脚に配置し、回路の出力を測定して抵抗および流量を確定することにより、検出器の抵抗から流量を計算することができる。
【０００４】
　周囲より高く加熱された検出器を有する流量センサは通常、熱線センサと呼ばれる。このタイプのセンサは、文字通り、検出器として使用するために流体流路に懸架される「熱線」（たとえばプラチナワイヤ）を含む場合がある。また、シリコン基板上に堆積された感熱抵抗素子を検出器として使用してもよい。代替的に、感熱特性かまたは流量を検知するための他の特性を備えたトランジスタまたは他の素子を同様に使用してよい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　基板上の感熱素子の精度および応答時間は通常、一つには素子と基板との熱的結合によって決まることが理解されている。これは、基板温度に応じて、基板が、感熱素子から熱を低下させるかまたは感熱素子に熱を付加するためである。そして、基板温度は通常、基板上の他の素子によっておよび／または基板の他のデバイス（流路における基板のハードウェア取付等）への熱的結合によって決まる。いずれの場合も、基板は、一般に、感熱素子よりずっと大きい熱質量を提供するので、感熱素子の流量変化に対する応答を低下させる傾向がある。
【０００６】
　さらに、熱線センサは通常、流路における特定の位置、または実際のワイヤの場合は流路を横切って画定される線に沿って、流量を検知することが理解されよう。そして、センサまたはワイヤは単一データポイントを提供することができ、それは、流路全体に対する流速を計算するために使用される。不都合なことに、熱線センサは、温度に対する非線形依存等の固有の不正確さ、同じタイプの熱線センサ間のプロセス変動および／または老朽化または汚染堆積物による劣化を含む場合がある。さらに、流速は通常、流路を横切って変化し、流路の壁に形成される境界層内ではゼロのままであり、流路の中心により近い自由流では最大値に達する。したがって、計算された流速の精度は、センサの精度と、同様に熱線センサの特定の位置が全体として流路における流量を表す程度と、によって決まる。また、実際の「熱線」の場合、精度は、分散した測定値を１つのデータポイントにまとめる際のワイヤが正確である程度によって決まる。
【０００７】
　熱線センサの他の限界は、かかるセンサが通常、流路内の流体流の方向に関する情報を提供しないことである。すなわち、熱線センサは、流体流によって反対方向に行われるように、流体流により流路を通して一方向に冷却される。したがって、流体が前後に交互に流れることにより、通常は代数和としてより絶対値での流量の報告の方が、平均流量をより表現する結果となる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
　流体流を収容するように構成された流路において流体の流速を測定する流量センサシステムを提供する。流路には基板を配置してよく、流路内の基板上に複数のトランスデューサを配置してよい。また、基板が、複数の経路を提供して、各経路が、信号を伝えるようにすることもできる。トランスデューサを、流体流に関連して信号を変更することにより流体流に応答するように構成してよい。トランスデューサの少なくとも１つが、他のトランスデューサの少なくとも１つより流路の中心長手軸に近接して配置されるように構成してよい。信号プロセッサを、信号のうちの少なくとも２つに連結してよく、信号プロセッサは、少なくとも２つの信号の関数として流体の流速を計算してよい。
【発明の効果】
【０００９】
　本発明によれば、流路内の流体の流速を正確に測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
　図１に示すように、本発明の実施形態によれば、流量センサシステムを概して１０で示す。流量センサシステム１０は流路１２を有し、それは通常は中心長手軸Ａを画定し、その中を流体が、両矢印Ｂによって示す２つの方向のいずれかを流れる。図示する流路は断面が略円形であるが、流路は、限定なしに方形、矩形、長円形または不規則な形状を含む、実質的にいかなる断面であってもよいことを認めなければならない。また、流路は、実質的にいかなる長さであってもよく、本明細書で説明するような流体を移送する際に使用するために適したいかなる材料から作製してもよい。
【００１１】
　参照流体は、懸濁されるかまたは他の方法で同時に移送される固体のあるなしに関らず、いかなる液体または気体あるいはそれらの組合せであってもよい。流体は、流れる間、流路１２の内壁１４に接触する場合があり、流体と内壁１４との間の摩擦は、観察可能な境界効果が境界領域内の流体を境界流速まで低下させるようなものである場合がある。したがって、境界領域内の流量は、通常流路の中心軸により近い自由流領域で発生する自由流量より少ない。このため、流路内の流体の総流量を、境界流速で流れる流体と自由流流速で流れる流体とをともに含むように考慮する場合がある。
【００１２】
　境界流は通常、内壁１４におけるゼロから境界領域と自由流領域との間の遷移部に隣接する自由流の流速まで速度が変化する。自由流は、通常は単一速度で流れ、すなわち、自由流のいかなる断面部分も、他の部分と実質的に異なる速度では流れていない。しかしながら、境界領域と自由流領域との間の遷移の位置は、時間、温度、流速、流体粘度および他の変数によって変化する場合がある。さらに、流路のサイズおよび形状と流体のパラメータとに応じて、自由流は単一速度で流れていない場合がある。かかる条件下では通常、流速は、流路壁の任意の点で開始して流路軸に向って放射状に移動して測定されるように、およそ放物線状に上昇する。通常、これは、流路をさらに下ると特に当てはまるが、流路の始まりでは、上述したように、流れの形状は通常流路の中心では平坦であり、このため流路の中心における自由流では単一の流速となる。いずれの場合も、軸対称を示す流路の場合、流れの形状は同様に軸対称を示す傾向がある。
【００１３】
　図面を綿密に検討すると明らかとなるように、流量センサシステム１０は、流路１２内に配置された検出器アレイ１６を含んでよい。検出器アレイ１６を、基部、通常１８に示すもの等の薄いモノリシック半導体基板上に形成してよい。したがって、感熱素子の形態のトランスデューサとしての検出器２０を、一定の幾何学的配列およびパラメータの素子を確実に製作する種々の集積回路製造技法のうちの任意のものにより堆積または成長させてよい。これは、一定の形状およびパラメータの素子のアレイにおける各素子が、熱を散逸させ、その散逸をアレイの他の要素と比較して均一にまたは略均一に変化する抵抗または他のパラメータにおいて反映する傾向があるために望ましい。したがって、素子のアレイからの信号の信号処理は、各素子からの信号が、その素子の位置における流量の、他の素子のその素子の位置における測定値とおよそ同程度に正確な測定値であることを想定することができる。したがって、信号処理、たとえばいくつかの空間的に分離された素子の信号を平均化することによりそれらの素子を通過する平均流量を近似させることは、いかなる単一センサ素子によってもたらすことができるよりも正確な流量の表現をもたらすことを期待して行うことができる。本明細書で使用するように、かかる平均化には、許容可能な信号処理技法にしたがう信号の重み付きサンプリングが含まれてよい。
【００１４】
　上述したように、流路内の流れは形状が変化する傾向にあり、通常、流路壁に隣接して測定されるようにゼロまたは略ゼロから流路軸における最大値に向って増大する。変化する形状に沿った素子は、単一の近似かまたは分散流の単一データポイントへの集中化の代りに、その変化する形状を検知し反映する。したがって、空間的に分離した素子は、流路内の総流量をより正確に計算するために種々の信号処理技法を使用することを可能にする入力データを提供する。
【００１５】
　検出器を、かかる基板に亙って（または代替的に、プリント回路基板または電子回路のための他の基部に）分散させてよく、検出器に加熱電流を提供する制御回路と、検出器電圧を測定し結果としての処理信号を処理して流体流速を計算する処理回路とに容易に相互接続することができる。
【００１６】
　ここで図１および図２を参照すると、基部１８は、通常内壁１４に隣接する境界領域内に配置される第１の側縁２２ａを含むことが留意されよう。通常、中心軸Ａに隣接する自由流領域内に、第２の側縁２２ｂが配置される。検出器２０は、通常、基部１８の第１の略平面２４上に配置され、概して隣接する内壁１４から自由流領域内まで延在している。しかしながら、本明細書で説明するように、かかる検出器を、動作に対する実質的な影響なしに第２の反対側の略平面２６上に同様に配置してよいことが認められよう。さらに、図１および図５は、およそ流路壁から流路の中心軸Ａに配列される検出器を示すが、それら検出器は、代替的に、流路の側部から側部へ、すなわち流路壁上の隣接する一点から中心軸を横切って流路壁上の対向する点まで延在することができる。しかしながら、アレイが中心軸までしか延出しない実施形態は、流れの形状の軸対称を利用する。すなわち、軸対称の流路の場合、中心軸Ａの対向する側部の２点がともに中心軸から同じ距離ｒである時、それらにおける流速は同じになる。したがって、側壁から中心軸まで延在するアレイを使用して、流れの形状の軸対象に基づいて流路全体の流れの形状を特徴付け総流速を計算することができる。
【００１７】
　検出器を、概して両矢印Ｂによって示す流路に沿って延在する複数の列（たとえば、２０ａ、２０ｂ）を形成するように配置してよい。内壁１４に隣接する検出器は、たとえば、第１の側縁２２ａに沿って第１の縁列２０ａを形成する。第１の縁縁２０ａの検出器
は、通常、境界流体流速が実際上ゼロである境界領域の一部内にあるように、十分に小さくかつ内壁１４に十分近接して配置される。したがって、これらの検出器を基準列として使用してよい。代替的に、１つまたは複数の検出器のセットを、コンフォーマルコーティングで被覆してよく、あるいは他の方法で、熱が流体流によってこれらのセンサから実質的に除去されないように流体流から隔離してよい。
【００１８】
　中心軸Ａに隣接する検出器は、第２の側縁２２ｂに沿って第２の縁列２０ｂを形成する。したがって、第２の縁列２０ｂの検出器は、通常、流体流速が実際上自由流体流速である自由流領域内の名目流体流に対応する線に配置される。第１の縁列と第２の縁列との間の検出器のさらなる列は通常、ゼロと自由流体流速との間の流体流速の連続体を画定する。特定の適用のために流路のすべての部分において流体流速を最適に測定するために、列の数と正確な配置とを変更してよい。列の数が増加するほど、センサシステムが境界領
域においておよび自由流領域において流れの速度を測定し特徴付ける際の精度が向上する。
【００１９】
　図示する構成では、熱は、検出器から検出器へ検出器アレイの各列に沿って流れる可能性がある（流体の熱伝導特性が与えられる場合に、上流の検出器が熱を、流体を介して下流の検出器に伝導する範囲内で）。これにより、所与の列の検出器は、熱散逸効果差（下流に進む検出器の温度差によって識別されるように）を示すことができる。したがって、列に沿って検出器の温度を比較することにより、上昇する検出器温度の方向を識別することによって流路内における流れの方向を確定することができる。概して、列における下流の検出器は、間隔が十分に近接している場合、同じ行の上位の検出器より高い温度を示す。
【００２０】
　上述した配置を考慮すると、検出器２０は、通常、周囲より上に誘導された温度から、流体流によって検出器から熱を取除くことによって低下した温度への、温度変化を測定する感熱素子であることが理解されよう。しかしながら、温度を検出するべく流路内に配置するために適したいかなる検出器を使用してもよい。さらに、図示する例示的な検出器は、図面においてはより明確にするために、流路に対して通常のサイズより大きいことを理解しなければならない。通常、流路は、検出器列の数がより多い場合、図示するものに比較して内壁と中心軸との間に空間を有する。
【００２１】
　ここで特に図３を参照すると、単一の検出器を、その動作を説明するために断面で示す。例示する検出器２０は、感熱素子３６を含み、それは、通常金属かまたは熱を散逸することができる他の導電材料から形成される。このため、感熱素子３６は、導電信号経路３０等の相互接続部で電気的に連結された一対の端子２８を有する、抵抗器またはトランジスタの形態をとってよい。そして、経路３０を、さらに後述するように制御回路に接続してよいことが理解されよう。
【００２２】
　図示するように、基部１８は通常、開放空間３４を画定する空隙または穴３２を画定し、感熱素子３６は、開放空間に隣接し開放空間と流体連通する架橋部３８を含む。すなわち、流路１２内の流体は、空隙３２内および感熱素子３６の架橋部３８の周囲を自由に流れることができる。したがって、架橋部３８は、概して、基部１８の熱質量から熱的に分離されている。
【００２３】
　表面２４を上面と考えると、架橋部３８は、空所の上に懸架されていると見ることができる。当業者には認められるように、開放空間または空所３４を、マスキングおよび／またはエッチング、あるいは限定されないがレーザアブレーションまたはサンドブラスティングを含む他の任意の適当な材料除去プロセス等、集積回路製造において利用可能な技術を含む、あらゆる技法によって作製してよい。さらに、図３には円形の貫通孔を示すが、空隙３２は必ずしも基部１８を貫通して延在する必要はなく、基部１８の一部にのみ延在してよく、実質的にいかなる形状であってもよい。
【００２４】
　当業者には、種々の技術によって電気信号を各感熱素子から導出することができることがわかるであろう。たとえば、各感熱素子３６を経路３０によって接続することにより、感熱素子３６をホイートストンブリッジの脚等の回路に配置してよく、その場合、各ブリッジの補償抵抗器もまた基板上に配置し回路において適切に連結してよい。ホイートストンブリッジでは、信号は、感熱素子を補償レジスタと同じ温度および抵抗で維持することが必要な加熱電流であり、加熱電流は、通常、感熱素子と直列の抵抗器の前後の電圧を測定することによって測定される。他の種々の回路を使用して、各感熱素子から、各感熱素子における流量を示す信号を導出することができる。
【００２５】
　図７は、本発明の実施形態の通常の相互接続のブロック図を示す。制御回路５０を検出器アレイ１６に連結して、感熱素子に直接加熱電流を提供してよく、あるいは、別の加熱素子に連結して、それによってその加熱素子が感熱素子を周囲より高く加熱するようにしてよい。そして、検出器アレイ１６の感熱素子は、信号プロセッサ５２に信号３２を提供してよい。信号３２は、上述したように各感熱素子と直列の抵抗器における電圧によって測定されるような加熱電流であってよく、もしくは、周囲より高く加熱することと流体流によって冷却することとの結合した効果に応答する各感熱素子の温度を示す他の適当な信号であってよい。
【００２６】
　各感熱素子は、アレイ１６における感熱素子の流路と他の感熱素子とに関する位置によって、流体流による異なる冷却の度合を反映することができる。したがって、各素子は、他の素子からの信号からと値が異なる信号を提供することができる。通常、少なくとも１つの感熱素子を、流体流によって冷却されないように配置するか、流路の側壁に十分近接して配置するか、あるいは流体流から隔離することにより、たとえば絶縁保護コーティング（Ｃｏｎｆｏｒｍａｌ　ｃｏａｔｉｎｇ）するかまたは流路の壁内に埋込むことにより、基準検出器として配置する。信号プロセッサ５２は、基準検出器からの信号と他の信号とを受取り、それらを比較してよく、その後それら信号を平均化するかまたは他の方法で評価および分析することによって全体として流路に対する流速をもたらしてよい。
【００２７】
　基準感熱素子を、周囲より高く、流れにおける感熱素子と同程度まで温度を上昇させてよく、あるいは周囲温度のままにしてもよい。いずれの場合も、基準感熱素子は、任意の周囲温度において流速を計算するために、流れにおける感熱素子からの信号と比較することができる信号を提供する。基準感熱素子からの信号は、流体流によって実質的に変更されない。代替的に、流れにおける感熱素子をゼロフロー状態で試験することにより基準温度を提供してよい。
【００２８】
　一実施形態では、１つまたは複数の基準感熱素子と流れにおける１つまたは複数の感熱素子との間の平均温度差（Ｔｄｉｆｆ）から、流速を計算することができる。かかる平均温度差（Ｔｄｉｆｆ）を、流れにおける感熱素子の平均温度（Ｔｆｌｏｗ）と基準感熱素子の平均温度（Ｔｒｅｆ）との間の差として計算してよい。したがって、Ｔｄｉｆｆは、通常、流れにおける個々の感熱素子と基準感熱素子との間の温度差より、流路に対する流速を確定することに対し高い精度を有する。この平均化は、プロセス変動と個々の感熱素子の他の不正確さとの両方に対するとともに、境界層と自由流との間の流速の変動に対し、補正を行う。さらに、複数のセンサから流路の流体流を特徴付け流速に達するために、複数のセンサから入手可能な情報に対し、他の信号処理技法を採用してよい。
【００２９】
　図４は、代替的な検出器アレイ構成を有する基部１１８を示す。図示するように、検出器１２０を、流体流方向の検出をより容易にするために流路に沿ってより間隔を密にしてよい。さらに、図示しないが、基部１１８は、エッチングまたは他の技法によって生成される各検出器の下の空隙または穴を画定することにより、かかる検出器を基部１１８から熱的に分離してよい。図示するように、検出器は、各々の感熱素子１３６を有してよく、それらは各々、開放空間１３４を通る感熱素子１３６の周囲の流体の流れを可能にするために基部の表面１２４より高くなった架橋部１３８を有する。
【００３０】
　図１において分かるように、検出器アレイ１６は、流路軸に対して略直交する検出器の複数の列を含む。たとえば、基部１８の縁４０に最も近接する検出器２０の各々は、１つのかかる列を形成し、縁４２に最も近接する検出器２０に関しても同様であり、かかる列は、軸Ａに対して実質的に直交している。かかる列は、好ましくは、流路１２の側壁１４に隣接する検出器と、側壁から延在し、列において各々が先の検出器より流路軸に近い検出器と、流路軸に隣接する検出器とを有する。
【００３１】
　図５に示すように、基部１８を、流路１２において、平面２４（図６）が流路軸Ａに対して実質的に直交するように配置してよい。好ましくはこの構成において、空隙３４（図６）は貫通孔であって、流体はそこを通過して流れることができる。図５に関し、明確にするために、基部１８と検出器２０とを、流路に対して実際のセンサの場合より大きいものとして示している。概して、基部１８は、流体流に対して実質的にいかなる影響も与えないように十分に小さい。検出器２０は、実質的に流路１２を横切る列として、実質的に格子パターンに配置されている。各列の検出器の各々は、実質的に互いに直線上に並んでいるが、特定の列にない検出器は、実質的にその列に対し直交して配置されている。
【００３２】
　図５および図６に示すように、基部１８は、好ましくは、流路１２の内壁１４に対して突合せられる２つの角４４を含む。角４４に配置される検出器２０ｃを、流速が実際上ゼロである境界層の一部にあるように内壁１４に十分近接して配置してよい。この構成では、検出器２０ｃは、流体流によって実質的に変更されない信号３２をもたらし、そのため基準検出器としての役割を果たしてよい。
代替的に、基準検出器を、コーティングするか、または他の方法で流体流の影響から隔離してよい。流れにある検出器２０は、図１に対して上述したような信号を提供し、それにより流体流を境界層と自由流とにおいて特徴付けることができ、流路１２の流速を、平均化または他の信号処理技法を使用して計算してよい。
【００３３】
　本明細書で説明した主題は、本明細書で開示したあらゆる要素、特徴、機能および／または特性の新規かつ自明でない組合せおよび副組合せのすべてを含む。同様に、特許請求項では、「１つの（ａ）」または「１つの第１の（ａ　ｆｉｒｓｔ）」要素またはその等価物を列挙するが、かかる特許請求項は、２つ以上のかかる要素を必要とすることも排除することもなく、１つまたは複数のかかる要素を包含することを含むものと理解されなければならない。併記した特許請求項は、特に、開示した実施形態のうちの１つに関しかつ新規で非自明であるいくつかの組合せおよび副組合せを示すものと考えられる。特徴、機能、要素および／または特性の他の組合せおよび副組合せにおいて具体化される発明を、このまたは関連する出願において本特許請求項の変更または新たな特許請求項の提供を通して請求することができる。かかる変更されたまたは新たな特許請求項もまた、異なる発明に関するか同じ発明に関するかに関らず、元の特許請求の範囲に対し異なるか、より広いか、狭いかまたは等しいかに関らず、本開示の主題の中に含まれるものとみなされる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
　本発明は、流路内の流体の速度の測定に関するもので、流量の制御などに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施形態による、流路内の流体流の方向と略平行な基板の表面に配置された検出器アレイを含む、流量センサシステムを備えた流路の断面等角図である。
【図２】図１の検出器アレイの拡大等角図である。
【図３】モノシリック基板上に配置された単一感熱素子を示す、図１の検出器アレイの断面等角図である。
【図４】本発明の他の実施形態による検出器アレイの断面等角図である。
【図５】本発明のさらに他の実施形態による、流路内の流体流の方向に対して略直行する基板の表面に配置された検出器アレイを含む、流量センサシステムを備えた流路の断面等角図である。
【図６】図５の検出器アレイの拡大等角図である。
【図７】検出器アレイと、検出器アレイに加熱および検知電力を提供する制御回路と、検出器アレイからの信号を処理して流体流速を計算する信号プロセッサとの相互接続を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００３６】
　１０　流量センサシステム
　１２　流路
　１８　モノリシック基板
　２０　検出器
　３０　経路
　３６　感熱素子
　５２　信号プロセッサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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