(57)【要約】【課題】電気部品に対する接続を容易にかつ正確に行なえるようにする。【解決手段】温調用コントローラ２を据付ける支持プレート５の据付面に、温調用コントローラ２に接続された二次側端子１０と電気接続する凹状の一次側端子６を設け、温調用コントローラ２の支持プレート５の据付面に対向する箇所に、据付状態で一次側端子６に電気接続する凸状の二次側端子１０を設け、一次側端子６と二次側端子１０とが嵌入した状態で据付状態になるように構成する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置用の電気部品を据付ける据付面に、前記電気部品に電気接続する一次側端子を設け、前記電気部品の前記据付面に対向する箇所に、据付状態で前記一次側端子に電気接続する二次側端子を設け、かつ、前記一次側端子と前記二次側端子の一方を凸状に、他方を凹状に形成し、前記一次側端子と前記二次側端子とが嵌入した状態で据付状態になるように構成したことを特徴とする基板処理装置の電装構造。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置の電装構造において、
電気部品が熱処理プレートであり、
前記熱処理プレートの下面に二次側端子を設け、前記熱処理プレートを据付ける据付面に一次側端子を設けたものであることを特徴とする基板処理装置の電装構造。
【請求項３】
請求項１に記載の基板処理装置の電装構造において、
電気部品が温度調節用の温調コントローラであり、前記温調コントローラの下面に二次側端子を設け、前記温調コントローラを据付ける据付面に一次側端子を設けたものであることを特徴とする基板処理装置の電装構造。
【請求項４】
請求項１、２，３のいずれかに記載の基板処理装置の電装構造において、
電気部品側と据付面側との間に、前記電気部品の特定姿勢での据付けのみ許容する位置決めガイドを設けたことを特徴とする基板処理装置の電装構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置における基板処理装置において、クールプレートやホットプレートなどの熱処理プレートや空調ユニットや処理液供給用のポンプ、更には、温度センサや流量センサなどの各種のセンサ、温調コントローラなどの制御用コントローラといった電気部品を据付けるときに必要な電源用や信号入出力用のケーブルを接続する電装構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板処理装置では、多数の電気部品が装備されており、従来一般に、それらの電気部品や電源側などに接続されたケーブルのそれぞれの先端にコネクタを設け、コネクタを接続することによって電気的な接続を行なっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板処理装置では、各種の処理と制御が必要であり、電源に接続するケーブルのみならず、信号入出力用のケーブルなど、ケーブル本数が極めて多く、コネクタの接続のために多大な手間を要する欠点があった。
【０００４】
また、ポンプが並んで設けられるなど、同じようなコネクタが並んでいる場合には、接続に誤りを生じる問題があり、また、誤接続の結果、小容量の電気部品に大容量の入電がなされて電気部品が故障するといった虞もあった。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、電気部品に対する接続を容易にかつ正確に行なえるようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述のような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に係る発明の基板処理装置の電装構造は、
基板処理装置用の電気部品を据付ける据付面に、前記電気部品に電気接続する一次側端子を設け、前記電気部品の前記据付面に対向する箇所に、据付状態で前記一次側端子に電気接続する二次側端子を設け、かつ、前記一次側端子と前記二次側端子の一方を凸状に、他方を凹状に形成し、前記一次側端子と前記二次側端子とが嵌入した状態で据付状態になるように構成したことを特徴としている。
【０００７】
（作用・効果）
請求項１に係る発明によれば、一次側端子と二次側端子とが嵌入した状態になるように電気部品を据付けるに伴い、床面や側面や天井面といった電気部品を据付ける据付面に設けられた一次側端子と、電気部品側の二次側端子とを電気接続することができる。
したがって、電気部品の据付け作業そのものによって電気接続作業をも行なうことができ、電気接続作業に要する手間を大幅に省くことができる。
また、互いに対応する一次側端子と二次側端子とを凹凸状の嵌入構成によって接続できるから、接続の誤りを防止できるとともに、誤接続に起因する電気部品の故障を回避できる。
【０００８】
電気部品としては、ホットプレートやクールプレートなどの熱処理プレートが例示され、その場合、熱処理プレートの下面に二次側端子を設け、熱処理プレートを据付ける据付面に一次側端子を設ければ良い（請求項２）。
【０００９】
また、別の電気部品としては、温度調節用の温調コントローラが例示され、その場合、温調コントローラの下面に二次側端子を設け、温調コントローラを据付ける据付面に一次側端子を設ければ良い（請求項３）。
【００１０】
また、請求項４に係る発明の基板処理装置の電装構造は、
請求項１、２，３のいずれかに記載の基板処理装置の電装構造において、
電気部品側と据付面側との間に、前記電気部品の特定姿勢での据付けのみ許容する位置決めガイドを設けたことを特徴としている。
【００１１】
（作用・効果）
請求項４に係る発明によれば、据付面側に対して電気部品を特定姿勢にした状態でのみ取付けることができる。
したがって、例えば、一次側端子と二次側端子とが対称に配置されているような場合でも、正確に電気部品を据付けて電気接続することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、この発明の一実施例について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明に係る基板処理装置の電装構造の第１実施例を示す全体構成図である。実施例装置に備えられた制御ボックス１内に、ホットプレートやクールプレートなどの熱処理プレートの温度を制御する電気部品としての温調用コントローラ２と、スピンコータやスピンデベロッパーなどの処理空間内の温湿度を調整する空調装置に対する電気部品としての空調用コントローラ３が設けられている。
【００１３】
温調用コントローラ２および空調用コントローラ３のそれぞれの下部周縁から取付フランジ４が突設され、制御ボックス１内の空間が支持プレート５によって上下方向に区画されており、取付フランジ４を支持プレート５にネジ止めすることにより、温調用コントローラ２および空調用コントローラ３のそれぞれを据付けるように構成されている。
【００１４】
温調用コントローラ２および空調用コントローラ３を据付ける支持プレート５の据付面の所定箇所に、図２の要部の拡大断面図に示すように、複数個の凹状の一次側端子６が設けられている。各一次側端子６は、絶縁体で構成された支持プレート５に凹部７を形成し、その凹部７の底面に電気接続用の導電体８を設けて構成されている。導電体８には、電源やセンサやなどに接続されるケーブル９が接続されている。
【００１５】
一方、温調用コントローラ２および空調用コントローラ３の、支持プレート５の据付面に設けられた一次側端子６に対向する箇所に、複数個の凸状の二次側端子１０がそれぞれ設けられている。
【００１６】
各々複数個の一次側端子６と二次側端子１０とは、予め互いに対応する特定位置に設けられており、ネジ止めにより、温調用コントローラ２および空調用コントローラ３を支持プレート５に据付けた状態で、二次側端子１０が一次側端子６内に嵌入し、一次側端子６と二次側端子１０とが自ずと電気接続されるように構成されている。
【００１７】
図３は、本発明に係る基板処理装置の電装構造の第２実施例を示す全体構成図である。ハウジング１１内に区画形成された各熱処理用断熱空間Ｓ内において、電気部品としての加熱処理用のホットプレート１２や冷却用のクールプレート１３が絶縁体で形成された支持プレート１４上に載置され、ネジ止めによって据付けられている。
【００１８】
図４の要部の拡大断面図に示すように、ホットプレート１２を据付ける支持プレート１４の据付面の所定箇所に、前述の第１実施例と同じ構成の凹状の一次側端子１５が設けられ、各一次側端子１５に、電源や前述した温調コントローラに接続するケーブル１６が接続されている。
【００１９】
ホットプレート１２には、ヒータ１７とその温度を測定する温度センサ１８が設けられている。ホットプレート１２の下面には、支持プレート１４の据付面に設けられた一次側端子１５に対向する箇所に、ヒータ１７や温度センサ１８に接続された凸状の二次側端子１９が設けられている。
【００２０】
一次側端子１５と二次側端子１９とは、予め互いに対応する特定位置に設けられており、ネジ止めにより、ホットプレート１２を支持プレート１４に据付けた状態で、二次側端子１９が一次側端子１５内に嵌入し、一次側端子１５と二次側端子１９とが自ずと電気接続されるように構成されている。
【００２１】
図示しないが、クールプレート１３も、ヒータ１７に代えて冷却用のペルチェ素子などが設けられるだけで、電装構造の基本的な構成は、ホットプレート１２の場合と同様である。
ケーブル１６は、熱処理用断熱空間Ｓを形成する角筒状の縦フレーム２０側に集められ、縦フレーム２０内に挿入されるとともに、その上方側で集束ケーブル２１で束ねられ、外部に導出されている。
【００２２】
図５は、二次側端子の変形例を示す要部の拡大断面図である。前述した二次側端子１０（１９）が、導電製の筒体２６に導電製の凸状部材２７をスライド可能に設けて構成されている。筒体２６にはケーブルが接続されており、この筒体２６と凸状部材２７とが接触して電気接続している。
凸状部材２７と電気部品側部材２８とが、凸状部材２７を突出側に変位させるように付勢する圧縮コイルスプリング２９を介して連結されている。一次側端子の構成は第１実施例と同じであり、同一図番を付してその説明は省略する。
【００２３】
上記構成により、据付前の状態では、図５の（ａ）に示すように、凸状部材２７が下方に突出していて、その状態で電気部品を特定位置に移動するに伴い、図５の（ｂ）に示すように、凸状部材２７が一次側端子６の凹部７内に嵌入し、圧縮コイルスプリング２９により押圧する状態で確実に電気接続できる。
【００２４】
図６は、二次側端子の別の変形例を示す要部の拡大断面図である。前述した二次側端子１０（１９）が、導電製の筒体３１に、導電製の抜け止めガイド３２を介して導電製の凸状部材３３をスライド可能に設けて構成されている。
凸状部材３３に当て板３４が設けられ、その当て板３４と筒体３１との間に、凸状部材３３を突出側に変位させるように付勢する圧縮コイルスプリング３５が設けられている。
上述変形例と異なるところは、凸状部材３３に対する抜け止め構成が付加されている点であり、その動作は、上述変形例と同じである。
【００２５】
図７の（ａ）は、一次側端子の変形例を示す要部の拡大断面図である。この例では凹部７が半球面形状に構成されている。また、図７の（ｂ）は、一次側端子の別の変形例を示す要部の拡大断面図であり、凹部７が逆円錐形状に構成されている。二次側端子１０側が角筒状の凸状に形成される場合には、逆四角錐状など多角錐状に形成すれば良い。他の構成は第１実施例と同じであり、同一図番を付してその説明は省略する。
【００２６】
図８は、本発明に係る基板処理装置の電装構造の第３実施例を示す全体構成図、図９はその平面図である。この実施例では、空調用コントローラ４１の取付フランジ４２の周方向の所定箇所に、第１の切欠部４３と第２の切欠部４４とが形成されている。
【００２７】
一方、支持プレート４５に、第１および第２の切欠部４３，４４のそれぞれに対応位置させて、第１および第２の切欠部４３，４４内にそれぞれ嵌入する第１および第２の位置決め部材４７，４６が設けられている。
【００２８】
第１の切欠部４４が、空調用コントローラ４１の奥行き長さの１／２の箇所に設けられ、一方、第２の切欠部４３が、空調用コントローラ４１の奥行き長さの約１／４の箇所に設けられ、これらの第１および第２の切欠部４４，４３と第１および第２の位置決め部材４７，４６とによって、空調用コントローラ４１の特定姿勢での据付けのみ許容するように位置決めガイドが構成されている。
【００２９】
上記構成により、支持プレート４５の据付面側に対して空調用コントローラ４１を特定姿勢にした状態でのみ取付けることができ、例えば、一次側端子６と二次側端子１０とが対称に配置されているような場合でも、正確に空調用コントローラ４１を据付けて電気接続することができる。
【００３０】
上記実施例では、支持プレート５，１４の上面を据付面として、そこに電気部品の底面を載置する場合を示したが、本発明としては、電気部品の横側面や天井面と、それに対向するハウジングの横側面や天井面、あるいは、室内の壁面や天井面などとの間で電気部品を据付ける場合の電装構造にも適用できる。
また、電気部品としてセンサ単体を据付けるような場合にも適用できる。
【００３１】
本発明としては、上述実施例に限らず、下記のような基板処理装置における電装構造などの各種の電装構造に適用できる。
（１）処理液供給用ポンプユニットを据付ける場合の電装構造
（２）処理液供給用ポンプに対する流量調整用コントローラを据付ける場合の電装構造
（３）スピンコータやスピンデベロッパーの基板回転用電動モータを据付ける場合の電装構造
（４）制御側ボックスと駆動装置側のハウジングとを並置するときに、両者のフレーム間で電気接続を行なう構成
【００３２】
上記実施例では、一次側端子を凹状に形成し、二次側端子を凸状に形成しているが、本発明としては、一次側端子を凸状に形成し、二次側端子を凹状に形成するようにしても良い。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明の基板処理装置の電装構造によれば、電気部品を据付けるに伴い、床面や側面や天井面といった電気部品を据付ける据付面に設けられた一次側端子と、電気部品側の二次側端子とを電気接続することができ、電気部品の据付け作業そのものによって電気接続作業をも行なうことができ、電気接続作業に要する手間を大幅に省くことができる。
また、互いに対応する一次側端子と二次側端子とを凹凸状の嵌入構成によって接続できるから、接続の誤りを防止できるとともに、誤接続に起因する電気部品の故障を回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理装置の電装構造の第１実施例を示す全体構成図である。
【図２】第１実施例の要部の拡大断面図である。
【図３】本発明に係る基板処理装置の電装構造の第２実施例を示す全体構成図である。
【図４】第２実施例の要部の拡大断面図である。
【図５】二次側端子の変形例を示す要部の拡大断面図であり、（ａ）は据付け前の状態を示し、（ｂ）は据付状態を示している。
【図６】二次側端子の別の変形例を示す要部の拡大断面図である。
【図７】（ａ）は、一次側端子の変形例を示す要部の拡大断面図、（ｂ）は、一次側端子の別の変形例を示す要部の拡大断面図である。
【図８】本発明に係る基板処理装置の電装構造の第３実施例を示す全体側面図である。
【図９】第３実施例の全体平面図である。
【符号の説明】
２…温調用コントローラ（電気部品）
３…空調用コントローラ（電気部品）
６…一次側端子
１０…二次側端子
１２…ホットプレート（電気部品）
１３…クールプレート（電気部品）
１５…一次側端子
１９…二次側端子
４１…空調用コントローラ（電気部品）
４３…第１の切欠部（位置決めガイド）
４４…第２の切欠部（位置決めガイド）
４６…第１の位置決め部材（位置決めガイド）
４７…第２の位置決め部材（位置決めガイド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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