(57)【要約】【課題】小型化が可能で、精度良く光減衰量を制御することができる可変光減衰器を提供する。【解決手段】ミラー部材１７の前面には、９０度の角度をなす２つのミラー１５、１６が形成されている。ファイバアレイ１４には、入力用光ファイバ１２及び出力用光ファイバ１３が所定の間隔を置いて保持されており、入力用光ファイバ１２及び出力用光ファイバ１３の端面に対向するようにして、ファイバアレイ１４の前面にそれぞれ出射レンズ２３と入射レンズ２４が設けられている。ミラー部材１７は、アクチュエータ１８により直線状に動かされ、それによって光減衰量が変化させられる。【選択図】　　　図２
2004094187.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力用光伝送路と、出力用光伝送路と、入力用光伝送路から出射された光を出力用伝送路に向けて反射させる光反射面と、前記光反射面の全体又は一部を、前記入力用光伝送路又は前記出力用伝送路のうち少なくとも一方に対して相対的かつ直線状に移動させるアクチュエータとを備えた可変光減衰器。
【請求項２】
前記アクチュエータは、前記出射用光伝送路に向けて反射される光の光軸が前記出射用光伝送路の軸心に対して変位するように、前記光反射面の少なくとも一部、前記入力用光伝送路又は前記出力用光伝送路のうちいずれかを直線状に移動させることを特徴とする、請求項１に記載の可変光減衰器。
【請求項３】
前記入力用伝送路から出射されて前記出力用光伝送路に入射しない光を受光するモニター部を備えた、請求項１に記載の可変光減衰器。
【請求項４】
前記出力用光伝送路の光入射面に対向させて配置された入射レンズと、前記モニター部の光入射面に対向させて配置されたモニターレンズとを一体化した、請求項３に記載の可変光減衰器。
【請求項５】
前記アクチュエータは、ボイスコイルモータとラッチ機構によって構成されている、請求項１ないし４に記載の可変光減衰器。
【請求項６】
前記モニター部からの出力に応じて、前記光反射面の位置を補正する機能を備えた、請求項３又は４に記載の可変光減衰器。
【請求項７】
９０度の角度をなす２つの前記光反射面を備えたミラー部材と、前記ミラー部材を直線状に移動させる前記アクチュエータとを備えた、請求項１ないし６に記載の可変光減衰器。
【請求項８】
前記入力用光伝送路と前記出力用光伝送路を平行に並べて保持するファイバアレイを備えた、請求項１ないし７に記載の可変光減衰器。
【請求項９】
前記光反射面は、屈折率の異なる透明媒質の境界面によって形成され、光を全反射させるものであることを特徴とする、請求項１に記載の可変光減衰器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光の減衰量を調節することのできる可変光減衰器に関する。
【０００２】
【背景技術】
可変光減衰器（ＶＯＡ）は、入力用光伝送路（通常は、光ファイバ）から入射した光を減衰させて出力用光伝送路（通常は、光ファイバ）へ出力させるものであり、その光減衰量を可変に調整できる。このような可変光減衰器において光減衰量を制御する方法としては、これまでも種々の方式のものが提案されている。例えば、対向する光ファイバ端面間の光路中にシャッタを出し入れし、その遮蔽度合いで光の減衰量を調整するメカニカル方式のものや、光路途中にファラデー回転子や熱光学素子などの光学素子を配置したものなどがある。
【０００３】
しかし、前者のメカニカル方式の可変光減衰器では、シャッタの縁で回折が起きるので、波長依存性が生じる、また、偏波依存損失が発生するといった不具合がある。さらに、従来のメカニカル方式のもので用いられているアクチュエータは、サイズが大きく、可変光減衰器の小型化が困難であった。
【０００４】
後者の光学素子を用いた可変光減衰器では、ファラデー回転子や熱光学素子などの高価な光学素子を必要とするので、可変光減衰器が高価になる、また、光減衰量を自己保持できないので、光学素子に影響を与えるための電気的素子に通電し続ける必要があり、消費電力が大きかった。さらに、光学素子に関連して他の光学素子や光学素子に影響を与えるための電気的素子なども必要になり、構造が複雑になり易かった。
【０００５】
また、光反射面を用いた可変光減衰器としては、米国特許のＰａｔｅｎｔ　Ｎｕｍｂｅｒ　６，１３７，９４１に開示されたものが知られている。図１は、この従来の可変光減衰器の構造を示す概略図である。この可変光減衰器にあっては、図１に示すように、平行に揃えられた入力用光導波路１及び出力用光導波路２の端面にレンズ３を配置し、レンズ３からレンズの焦点距離ｆだけ離れた位置にミラー４を設け、ミラー４を支点５によって回動自在に支持している。ここで、入力用光導波路１と出力用光導波路２の中間線とレンズ３の光軸とは一致しており、その延長上に支点５が位置している。また、ミラー４とベース６との間には圧電アクチュエータ７が挿入されており、コントローラ８で制御しながら圧電アクチュエータ７を伸縮させることにより、ミラー４の傾きを任意に調整できるようにしている。
【０００６】
しかして、ミラー４がレンズ３の光軸と垂直になっている場合には、レンズ３の光軸と平行に入力用光導波路１から出射した光は、レンズ３を透過する際に屈折してミラーに達し、ミラー４で反射した光は、再びレンズ３を透過する際に屈折してレンズ３の光軸と平行になり、出力用光導波路２へ入射する。この場合には、出力用光導波路２に入射する光の光軸と出力用光導波路２の軸心とが一致していると、出力用光導波路２に入射する光の光量は最大となる（光減衰量が最小となる。）。これに対し、圧電アクチュエータ７でミラー４を傾かせると、入力用光導波路１から出射されミラー４で反射した後に出力用光導波路２へ戻ってきた光の光軸は、出力用光導波路２の軸心からずれ、出力用光導波路２に入射する光の光量が減少するので、ミラー４の傾きが大きくなるほど、出力用光導波路２に入射する光の減衰量は大きくなる。
【０００７】
このような構造の可変光減衰器によれば、シャッタ方式の可変光減衰器のような波長依存性の問題もなく、光学素子によってコストが高価につくといった問題も回避することができる。
【０００８】
しかし、このような構造の可変光減衰器では、レンズとミラーとの距離をレンズの焦点距離だけ離さなければならず、しかも、入力用光導波路１から出射された光や出力用光導波路２に入射する光の収差を小さくするためには、できるだけレンズの光軸近くを使用する必要があり、短焦点レンズを用いることができないので、このような構造では可変光減衰器の小型化に限界があった。また、ミラーの角度を傾ける方法では、ミラーのわずかな傾きによっても出力用光導波路２に入射する光の光軸が敏感に変位するので、ミラーの傾きをシビアに制御する必要があり、光減衰量を精度よく制御することが困難であった。なお、この可変光減衰器でも、圧電アクチュエータを使用しているので、ミラーの角度を自己保持できず、消費電力が高い。
【０００９】
【発明の開示】
本発明は、上記のような従来技術に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小型化が可能で、精度良く光減衰量を制御することができる可変光減衰器を提供することにある。
【００１０】
本発明の請求項１に記載の可変光減衰器は、入力用光伝送路と、出力用光伝送路と、入力用光伝送路から出射された光を出力用伝送路に向けて反射させる光反射面と、前記光反射面をの全体又は一部を、前記入力用光伝送路又は前記出力用伝送路のうち少なくとも一方に対して相対的かつ直線上に移動させるアクチュエータとを備えたことを特徴としている。
【００１１】
ここで、請求項１の可変光減衰器の実施態様においては、前記アクチュエータは、前記出射用光伝送路に向けて反射される光の光軸が前記出射用光伝送路の軸心に対して変位するように、前記光反射面の少なくとも一部、前記入力用光伝送路又は前記出力用光伝送路のうちいずれか（以下、光反射面等という。）を直線状に移動させるものとすることができる。
【００１２】
請求項１に記載の可変光減衰器によれば、入力用光伝送路から出射された光を反射させる光反射面等をアクチュエータによって直動させることにより、出力用光伝送路に入射する光の光軸を出力用光伝送路に相対的に移動させることができ、それによって光減衰量を変化させることができる。ここで、光反射面とは、光を反射させることができるものであればよいが、特にミラー、金属鏡面、ミラーコーティング面などが望ましい。また、屈折率の異なる透明媒質の境界面（例えば、プリズムと空気との境界面）によって光反射面を形成し、光反射面で光を全反射させるものであってもよい。この光反射面としては、平面に形成されたものに限らず、球面等の曲面に形成されたものであってもよい。また、光反射面の移動方向は、いずれの光反射面も平面である場合には、すべての光反射面の面方向に平行な方向であってはならないが、曲面の場合には、このような制限はない。また、入力用又は出力用光伝送路には、光ファイバや光導波路などを用いることができる。
【００１３】
しかして、この可変光減衰器は、入力用光伝送路から出射された光を反射させる光反射面等をアクチュエータによって直動させるだけの簡単な構造であるため、可変減衰器を小型化することが可能になる。また、光反射面等を直動させるだけであるので、光反射面を傾けるものに比較して、光反射面の移動時のバラツキが光減衰率に敏感に応答することがなく、従って、光減衰量を精度良く制御することができる。
【００１４】
本発明の請求項３に記載の可変光減衰器は、請求項１に記載の可変光減衰器において、前記入力用伝送路から出射されて前記出力用光伝送路に入射しない光を受光するモニター部を備えたものである。請求項３に記載の可変光減衰器は、出力用光伝送路に入射しない光を受光するモニター部を備えているので、出力用光伝送路に入射する光量を間接的に知ることができる。しかも、出力用光伝送路に入射する光量を直接検知するものではないので、可変光減衰器からの光出力の損失がない。また、モニター精度も高くすることができる。また、可変光減衰器にモニター部を設けることにより、光減衰器の後段などに個別のモニター部を設ける必要が無く、モニター部も含めた全体のコストを低減させることができ、また、モニター部を設けてもサイズがほとんど大きくなることがない。
【００１５】
本発明の請求項４に記載の可変光減衰器は、請求項３に記載の可変光減衰器において、前記出力用光伝送路の光入射面に対向させて配置された入射レンズと、前記モニター部の光入射面に対向させて配置されたモニターレンズとを一体化したことを特徴としている。請求項４に記載の可変光減衰器にあっては、入射レンズとモニタレンズを一体化しているので、入射レンズにもモニタレンズにも入射せずに損失となる光の光量を少なくできる。よって、モニタ用の光の光量が増加し、モニタ精度を高めることができる。また、損失となった光によって可変光減衰器の温度が上昇するのを防止することができる。
【００１６】
本発明の請求項５に記載の可変減衰器は、請求項１〜４に記載の可変光減衰器における前記アクチュエータが、ボイスコイルモータとラッチ機構によって構成されていることを特徴としている。請求項５の可変光減衰器は、ボイスコイルを用いているので、アクチュエータを非常に小さくすることができ、しかも光反射面を高精度に位置調整させることができる。また、ラッチ機構を備えているので、ボイスコイルに通電していない場合には、ラッチ機構により光反射面を固定することができる。特に、電気を用いないラッチ機構とすることにより、消費電力を低減させることができる。
【００１７】
本発明の請求項６に記載の可変減衰器は、請求項３又は４に記載の可変光減衰器において、前記モニター部からの出力に応じて、前記光反射面の位置を補正する機能を備えたことを特徴としている。例えばモニター部から出力されるモニター出力によって可変光減衰器をフィードバック制御することで、出力用光伝送路に入射する光量を一定に保ったり、光減衰量が一定になるように制御したりすることができる。
【００１８】
請求項７に記載の可変光減衰器は、請求項１ないし６に記載の可変光減衰器において、９０度の角度をなす２つの前記光反射面を備えたミラー部材と、前記ミラー部材を直線状に移動させる前記アクチュエータとを備えたことを特徴としている。請求項７の可変光減衰器によれば、２つの光反射面が９０度の角度を成すようにミラー部材に一体化されているので、光反射面どうしの角度を調整する必要が無く、ミラー部材と入力用光伝送路及び出力用光伝送路との調芯を行えば良いので、可変光減衰器の組み立てが容易になる。
【００１９】
請求項８に記載の可変光減衰器は、請求項１ないし７に記載の可変光減衰器において、前記入力用光伝送路と前記出力用光伝送路を平行に並べて保持するファイバアレイを備えたことを特徴としている。請求項８の可変光減衰器によれば、入力用光伝送路と出力用光伝送路がファイバアレイに一体化されているので、両光伝送路どうしの位置関係を調整する必要が無く、光反射面とファイバアレイの調芯を行えば良いので、可変光減衰器の組み立てが容易になる。
【００２０】
なお、この発明の以上説明した構成要素は、可能な限り任意に組み合わせることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
図２は本発明にかかる可変光減衰器１１の構造を示す平面図、図３はその光反射側の部材と光入出力用の部材とを分離した状態の斜視図である。この可変光減衰器１１は、入力用光ファイバ１２（シングルモードファイバ）及び出力用光ファイバ１３（シングルモードファイバ）を有するファイバアレイ１４と、９０度の角度をなして互いに直交する第１のミラー１５及び第２のミラー１６（いずれもミラー面精度は、λ／１０以上とする。）を備えたミラー部材１７と、ミラー部材１７を直線上に移動させるためのアクチュエータ１８とから構成されている。
【００２２】
ミラー部材１７の正面には、平面視で互いに９０度の角度をなして直交する垂直な２つのミラー１５、１６が形成されている。ミラー部材１７は、ガラス、シリコン基板、真鍮などの金属からなっており、ミラー１５、１６はミラー部材１７に一体に形成されていてもよく、ミラー部材１７とは別部材のミラー１５、１６をミラー部材１７に貼り付けるようにしてもよい。
【００２３】
例えば、図４（１ａ）（１ｂ）（１ｃ）は金属プレスによってミラー部材１７を製造する方法を示している。図４（１ａ）における符号２８は金属原料板、符号２９ａはプレス加工用の原盤であって、原盤２９ａの下面には９０度の角度をなす突起が設けられている。この原盤２９ａを金属原料板２８の上面に打ち下ろしてプレスすると、図４（１ｂ）に示すように、原盤２９ａによって金属原料板２８の上面に内面が９０度の角度をなす直交溝３０が形成される。原盤２９ａを金属原料板２８から分離した後、図４（１ｃ）に示す１点鎖線に沿って金属原料板２８をカットして切り出すと、ミラー部材１７が得られる。なお、この後、直交溝３０内の表面には鏡面研磨を施しても良い。
【００２４】
また、図４（２ａ）（２ｂ）（２ｃ）は切削加工によってミラー部材１７を製造する方法を示している。図４（２ａ）に示す符号２９ｂは切削用のカッターであって、カッター２９ｂが外周部では両側面が９０度の角度をなしている。このカッター２９ｂで金属原料板２８の上面を切削すると、図４（２ｂ）に示すように、カッター２９ｂによって金属原料板２８の上面に内面が９０度の角度をなす直交溝３０が形成される。この後、図４（２ｃ）に示す１点鎖線に沿って金属原料板２８をカットして切り出すと、ミラー部材１７が得られる。なお、この後、直交溝３０内の表面には鏡面研磨を施しても良い。
【００２５】
また、ガラスやシリコン基板によって直交溝を有するミラー部材１７を形成した後、直交溝内に金属薄膜を蒸着させてミラー１５、１６を形成しても良い。あるいは、プラスチック製のミラー部材１７の直交溝内に別途製作されたミラー１５、１６を接着して貼り付けてもよい。また、プリズムレンズを貼り合わせてミラー部材１７を構成しても構わない。あるいは、ガラスやプラスチックによって直交溝を有するミラー部材１７を形成した後、直交溝の内面、もしくは直交溝を含むミラー部材１７の正面全体にミラーコーティングを施しておいてもよい。
【００２６】
アクチュエータ１８の具体例は後述するので、ここでは簡単に説明する。アクチュエータ１８は、固定部１９と可動部２０とからなる直動型のアクチュエータであって、可動部２０は固定部１９に対して図２の矢印方向に往復動することができる。
【００２７】
ファイバアレイ１４は、入力用光ファイバ１２及び出力用光ファイバ１３を保持するホルダー２１と、ホルダー２１の前面に接着されたレンズアレイ２２とからなる。ホルダー２１は、図５に示すように、Ｖ溝アレイ２５ａとカバー２５ｂとからなり、Ｖ溝アレイ２５ａの上面には２本のＶ溝２６が形成されている。Ｖ溝２６内には入力用光ファイバ１２の先端部と出力用光ファイバ１３の先端部が納められており、上にカバー２５ｂを重ねて接着一体化されている。よって、ホルダー２１内において、入力用光ファイバ１２及び出力用光ファイバ１３はＶ溝２６によって軸心を所定位置に位置合わせされている。ホルダー２１の前面に設けられたレンズアレイ２２の前面には、微小な出射レンズ２３（非球面レンズ）と入射レンズ２４（非球面レンズ）が形成されている。このレンズアレイ２２は、ホルダー２１の前面に配置して両光ファイバ１２、１３から出射された光を両レンズ２３、レンズ２４を通して出射させることにより、両光ファイバ１２、１３と両レンズ２３、２４とを光軸を一致させて調芯した後、接着樹脂によってホルダー２１の前面に接着して固定される。
【００２８】
ミラー部材１７の下面は、アクチュエータ１８の可動部２０の上に接着樹脂などによって固定されており、アクチュエータ１８を駆動させることによってミラー部材１７が側方向（図２に矢印で示す方法）に微小に移動できるようになっている。ファイバアレイ１４は、ミラー部材１７の正面に対向するように配置され固定されており、入力用光ファイバ１２及び出射レンズ２３の光軸はミラー１５に対して４５度の角度をなし、出力用光ファイバ１３及び入射レンズ２４の光軸はミラー１６に対して４５度の角度をなしている。こうして組み立てられた状態においては、ファイバアレイ１４の前面とミラー部材１７の前端面との間の端面距離は、５００μｍとなり、出射レンズ２３から出射されて入射レンズ２４に入射するまでの空間光路長は、２ｍｍとなっている。
【００２９】
図６は、上記可変光減衰器１１の動作とその作用を説明するための図である。図６（ａ）は、互いに対向しているミラー部材１７の中心とファイバアレイ１４の中心とが一致している状態を表わしており、入力用光ファイバ１２から出射された光は出射レンズ２３によってコリメート光（ビーム径１００μｍ）に変換され、出射レンズ２３から出射された光２７はミラー１５で反射され、さらにミラー１６で反射された後、ほぼ全光束が入射レンズ２４に入射し、入射レンズ２４で集光された光２７が出力用光ファイバ１３に入射して外部へ伝搬される。よって、この状態（光軸ずれが最小の状態）では、光減衰量は最小となっている。
【００３０】
図６（ｂ）は、アクチュエータ１８によってミラー部材１７を白抜き矢印で示す方向（側方向）へ若干移動させた状態を表わしている。この状態では、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は、ミラー１５、１６で反射された後、その一部だけが出力用光ファイバ１３に入射する。よって、この状態では、光減衰量は大きくなっている。
【００３１】
図６（ｃ）は、ミラー部材１７を入射レンズ２４の半径と等しい距離だけ白抜き矢印の方向へ移動させた状態を表わしている。この状態では、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は、ミラー１５、１６で反射された後、ほぼ全体が入射レンズ２４外へ照射されており、出力用光ファイバ１３にはほとんど入射していない。よって、この状態では、光減衰量は最大となる。
【００３２】
本発明の可変光減衰器１１にあっては、図６（ａ）と図６（ｃ）との間での移動範囲においては、ミラー部材１７を側方向の一方（図６の下方）へ動かすことによって光減衰量を大きくでき、反対に側方向の他方（図６の上方）へ動かすことによって光減衰量を小さくできるので、アクチュエータ１８によりミラー部材１７を移動させてミラー部材１７の停止位置を精密に制御することにより光減衰量を精密に調整することができる。入力用光ファイバ１２と出力用光ファイバ１３との光軸間の距離が５００μｍ、ファイバアレイ１４の前面とミラー部材１７の前端面との間隔が５００μｍ、コリメート光のビーム径が１００μｍ、ミラー１５、１６の傾きが光軸に対して４５度の可変減衰器において、入射レンズ２４に入射する光の光軸とレンズ２４の光軸との間の光軸ずれと光減衰量との関係を測定した結果を図７に示す。なお、図７では光減衰量は負値で表わされているが、この光減衰量の絶対値が大きいものを光減衰量が大きいと言うものとする。この測定結果からも分かるように、光軸のずれに伴って出力用光ファイバ１３に入光する光が減衰していく様子が確認できる。尚、光軸のずれ量に対する光減衰量は、ビーム径、光路長、レンズ２３、２４の形状、ミラー１５、１６の傾きなどの条件によって決まる。
【００３３】
本発明の可変光減衰器は、入力用光ファイバ１２から出射された光をミラー１５、１６で反射させることで、ある特定の角度に曲げて出射させる光路系において、ミラー部材１７をスライドさせることで出力用光ファイバ１３に入射する光ビームの光路をずらし、それによって出力用光ファイバ１３に入射する光量を減衰させる構造としているので、以下のような特徴がある。
（１）　構造が単純であり、特に、ミラー部材１７の前端面とファイバアレイ１４の前面とは、互いに干渉しない限り、いくらでも近づけることができるので、容易に可変光減衰器を小型化することが可能になる。
（２）　アクチュエータ１８によってミラー部材１７を直線状にスライドさせるだけでよい。ストローク制御は角度制御に比べて容易で、精度良く制御することが可能であるので、ミラー部材１７の移動距離や出力用光ファイバ１３に入射する光の光軸ずれの精度を得やすく、光減衰量を高い精度で制御することができる。
（３）　連続的に、かつ、無段階に光減衰量を変化させることができる。
（４）　シャッタ方式による可変光減衰器のように、回折などが起きず、波長依存性などの不具合が生じない。
（５）　高価な光学素子を使用しないので、低コストで製造することができる。
【００３４】
図８は上記実施形態の変形例を示す分解斜視図であって、図３と同様、ミラー部材１７及びアクチュエータ１８と、ファイバアレイ１４とを分離した状態で示している。この可変光減衰器１１にあっては、二等辺直角三角形状をしたガラス又はプラスチック製の三角プリズムによってミラー部材１７を構成しており、９０度の角度をなして直交している辺面と空気との界面によってミラー１５及び１６が構成されている。また、三角プリズムの斜面（入力用光ファイバ１２、出力用光ファイバ１３と対向する面）１７ａには、誘電体多層膜等からなる無反射（ＡＲ）コーティングを施しておくことが望ましい。
【００３５】
しかして、この変形例の可変光減衰器１１にあっても、アクチュエータ１８によって三角プリズムからなるミラー部材１７を直動させることにより、図９（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようにして光減衰量を調整することができる。すなわち、図９（ａ）に示すように、ミラー部材１７の中心とファイバアレイ１４の中心とが一致している状態では、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は出射レンズ２３によってコリメート光（ビーム径１００μｍ）に変換され、ミラー部材１７の内部に入射した光２７はミラー１５で全反射され、さらにミラー１６で全反射された後にミラー部材１７の外部へ出射され、ほぼ全光束が入射レンズ２４に入射し、入射レンズ２４で集光された光２７が出力用光ファイバ１３に入射して外部へ伝搬される。これは、光減衰量が最小の状態である。
【００３６】
図９（ｂ）に示すように、アクチュエータ１８によってミラー部材１７を白抜き矢印方向（側方向）へ若干移動させると、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は、ミラー部材１７内に入射してミラー部材１７内でミラー１５、１６により２回全反射された後、その一部だけが出力用光ファイバ１３に入射する。これは、光減衰量が中間の状態である。
【００３７】
図９（ｃ）に示すように、ミラー部材１７を入射レンズ２４の半径と等しい距離だけ白抜き矢印の方向へ移動させると、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は、ミラー部材１７内に入射してミラー部材１７内でミラー１５、１６により２回全反射された後、ほぼ全体が入射レンズ２４外へ照射される。これは、光減衰量が最大の状態である。
【００３８】
このようにミラー部材１７としてプリズムを用いるようにすれば、市販のプリズムを使用することができるので、部品コストを安価にすることができる。
【００３９】
なお、この実施形態では、アクチュエータ１８を用いてファイバアレイ１４に対してミラー部材１７を動かすようにしたが、これとは反対にミラー部材１７を静止させてファイバアレイ１４をアクチュエータ１８で動かすようにしても差し支えない。
【００４０】
（第２の実施形態）
図１０は本発明の別な実施形態による可変光減衰器３１を示す平面図である。この可変光減衰器３１は、モニター出力機能を備えている。ファイバアレイ１４には、シングルモードファイバ（コア径約１０μｍ）からなる入力用光ファイバ１２及び出力用光ファイバ１３と共に、マルチモードファイバ（コア径約５０μｍ）からなるモニタ用光ファイバ３２が保持されており、モニタ用光ファイバ３２は出力用光ファイバ１３に近接する位置に配置されている。また、レンズアレイ２２の前面にはモニタレンズ３３が設けられており、モニタレンズ３３は入射レンズ２４に隣接する位置に配置されている。モニタレンズ３３とモニタ用光ファイバ３２とは光軸が一致するように調芯されている。その他の構成については、図２に示した実施形態と同じであるので、説明を省略する。
【００４１】
図１１は、可変光減衰器３１の動作とその作用を説明する図である。図１１（ａ）は、互いに対向しているミラー部材１７の中心と入力用光ファイバ１２及び出力用光ファイバ１３の中間とが一致している状態を表わしており、入力用光ファイバ１２から出射された光は出射レンズ２３によってコリメート光に変換され、出射レンズ２３から出射された光２７はミラー１５で反射され、さらにミラー１６で反射された後、ほぼ全光束が入射レンズ２４に入射し、入射レンズ２４で集光された光２７が出力用光ファイバ１３に入射する。よって、この状態（光軸ずれが最小の状態）では、出力用光ファイバ１３の受光量は最大となっている。一方、モニタレンズ３３には、光２７が入射していないので、モニタ用光ファイバ３２の受光量は最小となっている。
【００４２】
図１１（ｂ）は、アクチュエータ１８によってミラー部材１７を白抜き矢印で示す方向（側方向）へ若干移動させた状態を表わしている。この状態では、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は、ミラー１５、１６で反射された後、その一部だけが出力用光ファイバ１３に入射し、また、その光２７の一部がモニタ用光ファイバ３２に入射する。よって、この状態では、出力用光ファイバ１３に入射する光量は減少し、モニタ用光ファイバ３２に入射する光量は増加する。
【００４３】
図１１（ｃ）は、ミラー部材１７を入射レンズ２４の半径と等しい距離だけ白抜き矢印の方向へ移動させた状態を表わしている。この状態では、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は、ミラー１５、１６で反射された後、ほぼ全体がモニタレンズ３３に照射されており、出力用光ファイバ１３にはほとんど入射していない。一方、モニタ用光ファイバ３２の受光量は最大となる。
【００４４】
本発明の可変光減衰器３１にあっては、図１１（ａ）の状態と図１１（ｃ）の状態との間での移動範囲においては、ミラー部材１７を側方向の一方（図１１の下方）へ動かすことによって光減衰量を大きくでき、反対に側方向の他方（図１１の上方）へ動かすことによって光減衰量を小さくできるので、アクチュエータ１８によりミラー部材１７を移動させてミラー部材１７の停止位置を精密に制御することにより光減衰量を精密に調整することができる。しかも、出力用光ファイバ１３による受光量（又は、光減衰量）とモニタ用光ファイバ３２による受光量との間には、一定の関係があるので、モニタ用光ファイバ３２による受光量をモニター信号として出力させることにより、可変光減衰器３１の光減衰量をモニタすることができ、高精度のフィードバックを行える。よって、このモニタ信号をアクチュエータ１８へフィードバックさせることにより、光減衰量の調整精度をより高くすることができる。
【００４５】
図１２は、図７の場合と同様な条件下で測定された、入射レンズ２４に入射する光の光軸とレンズ２４の光軸との間の光軸ずれと、出力用光ファイバ１３での光減衰量及びモニタ用光ファイバ３２での光減衰量との関係を表わしている。なお、図１２におけるモニタ用光ファイバ３２での光減衰量とは、出力用光ファイバ１３における最大の受光量を基準として、モニタ用光ファイバ３２の受光量から算出した光減衰量である（従って、図１２の縦軸は、上方を正の向きにとった対数目盛の受光量と考えてもよい。）。この測定結果からも分かるように、光軸のずれに伴って出力用光ファイバ１３に入光する光が減衰していき、同時にモニタ用光ファイバ３２の受光量は増加していく様子が確認でき、出力用光ファイバ１３の光減衰量とモニタ用光ファイバ３２の受光量との間には一定の関係があり、モニタ用光ファイバ３２の受光量を知れば、可変光減衰器３１の光減衰量を知ることができる。
【００４６】
入力用光ファイバ１２及び出力用光ファイバ１３としてはシングルモードファイバを用い、モニタ用光ファイバ３２としてはマルチモードファイバを用い、ファイバアレイ１４を混合ファイバアレイにしているが、これはモニタの受光感度を上げるためである。通常、通信用の光ファイバとしてはシングルモードファイバが使われており、そのため入力用光ファイバ１２及び出力用光ファイバ１３としては、シングルモードファイバを用いている。一方、モニタ用光ファイバ３２は、通信用に使われるのでなく、内部で光量測定用にのみ使われるため、マルチモードファイバでも問題ない。しかも、図１３（ａ）（ｂ）に示すように、シングルモードファイバ（コア径約１０μｍ）よりもマルチモードファイバ（コア径約５０μｍ）の方がコア３４の直径が大きいため、広範囲の光を集光できる利点があり、モニタ用に使用する場合には、モニタの受光感度を上げることのできるマルチモードファイバのほうが有効であるからである。
【００４７】
なお、ここではモニタ用光ファイバ３２としてマルチモードファイバを用いたが、シングルモードファイバを用いても差し支えない。
【００４８】
（第３の実施形態）
第２の実施形態による可変光減衰器３１では、入射レンズ２４に入射する光の光軸と入射レンズ２４の光軸とが一致すれば、ほぼ全ての光が出力用光ファイバ１３に入射し、モニタレンズ３３に入射する光の光軸とモニタレンズ３３の光軸とが一致すれば、ほぼ全ての光がモニタ用光ファイバ３２に入射する。しかし、ファイバアレイ１４の前面に入射する光２７の光軸が入射レンズ２４の光軸にもモニタレンズ３３の光軸にも一致していない場合には、図１４に示すように、光２７の一部は出力用光ファイバ１３に入射し、他の一部はモニタ用光ファイバ３２に入射するが、残りの一部（図１４で斜線を施した領域）はモニタ用光ファイバ３２に入射せず、モニタ感度を低下させている。また、モニタ感度が悪いばかりでなく、この光がファイバアレイの前面を照射することでファイバアレイ１４の温度が上がり、可変光減衰器３１の温度が高くなるという問題を生じる。
【００４９】
図１５は本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器に用いられるファイバアレイ１４の正面図である。この実施形態は、上記のような問題を考慮したものであり、入射レンズとモニタレンズが一体に結合されたハイブリッドレンズ３５を用いている。このハイブリッドレンズ３５は、図１６（ｃ）に示すような形状の入射レンズ２４ａとモニタレンズ３３ａを結合一体化したものであり、図１６（ａ）（ｂ）に示すような正面形状と下面形状を有している。まず、入射レンズ２４ａの形状を説明する。図１６（ｃ）に示した入射レンズ２４ａの内側の輪郭の円３７は、コリメート光のビーム断面の半径と等しい半径の円を表わしている（これは、図１４に示したような入射レンズ２４の外形と同じである。）。また、外側の輪郭の円３６は、円３７よりも適当に大きな円を表わしており、これが入射レンズ２４ａの外径となる。円３６の中心と円３７の中心は一致しており、入射レンズ２４ａの光軸も当該中心と一致している。入射レンズ２４ａは、円３６を外形とする球面又は非球面レンズから円３７の外側の領域を１８０度の範囲にわたって除去した形状となっている。図１６（ｃ）に示すモニタレンズ３３ａの輪郭の円３８は、ビーム断面の半径に比べて充分に大きな円であればよく（厳密には、後述のモニタ集光範囲よりも大きな円である。）、モニタレンズ３３ａは円３８を外形とする球面又は非球面レンズから入射レンズ２４ａの重なり合う領域を除去した形状となっている。そして、モニタレンズ３３ａの一部除去された部分に入射レンズ２４ａの一部が嵌め込まれたような形状となるようにハイブリッドレンズ３５が構成されている。なお、図１６（ｂ）に示すように出力用光ファイバ１３は入射レンズ２４ａの光軸と一致するように配置され、モニタ用光ファイバ３２はモニタレンズ３３ａの光軸と一致するように配置される。
【００５０】
図１７は上記ハイブリッドレンズ３５のより詳細な設計例を示している。まず、光ビームのビーム径と等しい半径の円３７を描く。この円と外接するようにして光ビームのビーム径と等しい半径の円３９を描く。ついで、円３９に外接し、かつ、円３７の中心を通る垂線（直線４０）と円３７の交点を通る円４１を描く。さらに、円３７と同心円状の大きな円３６を描き、円３７の外部のうち直線４０の片側を除去して入射レンズ２４ａの形状を決める。また、円３９と同心円状の大きな円３８を描き、円３８から入射レンズ２４ａと重なる領域を除去してモニタレンズ３３ａの形状を決める。ついで、円３６の中心に光軸を有する球面又は非球面レンズを一部カットして上記のような入射レンズ２４ａの形状にする。また、円３８の中心に光軸を有する球面又は非球面レンズを一部カットして上記のようなモニタレンズ３３ａ形状にする。円４１内の領域から円３７の領域を除いた領域はモニタ集光領域４２であって、コリメート光の直径が１００μｍであるとすると、モニタ集光領域４２は直径が約１７５μｍの領域となる。
【００５１】
ハイブリッドレンズ３５は、非球面レンズ製造技術を応用して一体構造で製作される。個別に製作した２つのレンズ２４、３３を貼り合わせても良いが、結合部分で光の損失が生じるので、一体成形することが望ましい。
【００５２】
図１８（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）はハイブリッドレンズ３５によるコリメート光の分割推移の様子を説明する図である。図１８（ａ）に示すように、円３７内に光２７が入射している場合には、ほとんど全ての光２７が入射レンズ２４ａに入射して入射レンズ２４ａにより集光され、出力用光ファイバ１３に入射する。これに対し、光２７がモニタレンズ３３ａ側へ少し移動すると、光２７の照射領域が円３７からはみ出すので、円３７内の光２７は入射レンズ２４により集光されて出力用光ファイバ１３に入射するが、円３７からはみ出てモニタ集光領域４２に入った光２７は全てモニタレンズ３３ａで集光され、モニタ用光ファイバ３２で受光される。さらに光２７が大きく移動し、光２７の照射領域の大部分が円３７からはみ出すと、円３７内のわずかな光２７が入射レンズ２４により集光されて出力用光ファイバ１３に入射するが、円３７からはみ出てモニタ集光領域４２に入っている大部分の光２７はモニタレンズ３３ａで集光され、モニタ用光ファイバ３２で受光される。さらに、光２７の照射領域が完全に円３７からはみ出すと、ほぼ全ての光２７がモニタレンズ３３ａで集光され、モニタ用光ファイバ３２で受光される。
【００５３】
これらのいずれの状態においても、入射レンズ２４ａからはみ出した光（例えば、図１７に示した光２７）は全てモニタレンズ３３ａで集光されてモニタ用光ファイバ３２で受光され、モニター用に使用されていることが分かる。よって、図１４に示したように、入射レンズ２４でもモニタレンズ３３でも受光されない光が無くなり、モニタ感度とモニタ精度が向上する。また、可変光減衰器３１を温度上昇させる原因になったりするのを防止することもできる。
【００５４】
上記の動作から分かるように、入射レンズ２４ａとしては、円３７で表わされる球面又は非球面レンズであればよく、モニタレンズ３３ａとしては、円４１で表わされる球面又は非球面レンズから円３７の部分を除いたものであればよいが、この実施形態では入射レンズ２４ａを円３７よりも大きくして、モニタレンズ３３ａもモニタ集光領域４２の領域よりも大きくしている。これは、円３７の領域やモニタ集光領域４２からはみ出た微弱な光もハイブリッドレンズ３５によって集光させ、出力用光ファイバ１３又はモニタ用光ファイバ３２へ入射させるようにし、ファイバアレイ１４などの温度上昇を少しでも減らすためである。
【００５５】
尚、従来の可変光減衰器は、モニタ機能を有していない。そのため、図１９に示すように、可変光減衰器４３の後段に可変光減衰器４３から出力された光を９９：１に分岐させるスプリッタ４４を接続し、９９％の光を光出力として使用し、１％の光をモニタ出力として利用している。しかし、このような構成では、光出力がロスするという問題と、モニタ精度が悪いという問題がある。前者の問題は、このような方法では可変光減衰器４３からの出力を９９：１に分割しているため、スプリッタ４４からの出力は可変光減衰器４３からの出力の９９％となり、必ず１％の出力を損失するためである。また、後者の問題は、モニタ出力される光量は可変光減衰器４３からの出力の１％のみであり、この１％の光を使って残りの９９％の光を算出しなければならないので、モニタ精度が悪く、フィードバック制御しても、光出力量の補正精度が悪いためである。
【００５６】
これに対し、本発明の第２の及び第３の実施形態では、可変光減衰器からの出力は１００％後段に出力されるので、光出力のロスが少ない。また、可変光減衰器の入力と出力との差がモニタ出力となるので、モニタリング光量（絶対値）が大きくなり、光減衰量を高精度に制御可能になる。特に、ハイブリッドレンズ３５を用いた第３の実施形態では、光のロスがほとんどないので、より一層高精度に制御可能になる。
【００５７】
（第４の実施形態）
図２０は本発明のさらに別な実施形態を示す概略ブロック図であって、制御回路内蔵可変減衰器４５を表わしている。制御回路内蔵可変減衰器４５は、アクチュエータ１８、ミラー部材１７、ファイバアレイ１４を備えており、これらによって第３の実施形態のようなモニター機能付きの可変光減衰器が構成されている。制御回路内蔵可変減衰器４５は、さらにアクチュエータ１８を駆動するための駆動回路４６、駆動回路４６を通してアクチュエータ１８を制御し、ファイバアレイ１４に戻るコリメート光の光軸ずれを制御する制御回路４７、ファイバアレイ１４のモニタ用光ファイバ３２から出力されたモニタ光を受光するフォトダイオード（ＰＤ）等の受光素子４８、受光素子４８からの出力信号を増幅して制御回路４７にフィードバック信号を入力する増幅回路４９を備えている。また、制御回路４７は、制御電圧又は制御信号を通じて上位システム５０と通信する。
【００５８】
次に、この制御回路内蔵可変減衰器４５により光減衰量を調整するための制御動作を説明する。図２２はこの制御動作を表わしたフロー図である。光減衰量を調整又は再調整する際には、制御回路４７は、まず駆動回路４６に制御信号を出力してアクチュエータ１８を駆動し、図２１（ａ）に示すように、ファイバアレイ１４へ戻ってくる光が全てモニタレンズ３３に入射する位置で（あるいは、受光素子４８で受光しているモニター光をモニターしながら、モニター光の光量が最大となる位置で）ミラー部材１７を停止させる（ステップＳ１）。このときのモニタ用光ファイバ３２の受光量を、光入力の入射光量Ｉ１とみなしてメモリに記憶する（ステップＳ２）。ついで、この入射光量Ｉ１の値から、光出力を規格値Ｏ１に保つことができる光減衰量を演算する。
【００５９】
次に、制御回路４７は、演算された光減衰量となるように駆動回路４６に制御信号（制御電圧）を出力し（ステップＳ３）、駆動回路４６を通じてアクチュエータ１８でミラー部材１７を戻す（ステップＳ４）。図２１（ｂ）に示すように、こうして演算された光減衰量となる位置でミラー部材１７が停止すると、出力用光ファイバ１３から外れてモニタ用光ファイバ３２に入射している光量を受光素子４８で測定し（ステップＳ５）、受光素子４８から出力される信号を増幅回路４９で増幅してモニター信号として制御回路４７へフィードバックさせる。制御回路４７は、このモニター信号からモニター光の光量Ｏ２を算出し、さらに出力用光ファイバ１３からの出射光量Ｏ３＝Ｉ１−Ｏ２を演算する。
【００６０】
この出射光量の演算値Ｏ３が規格値Ｏ１に等しいか否かを判定し（ステップＳ６）、等しくない場合には、制御回路４７は、モニター光の光量Ｏ２から演算した出射光量Ｏ３と規格値Ｏ１とを比較し、出射光量が規格値Ｏ１に近づくようにミラー部材１７の位置をフィードバック制御し、出射光量を補正する。
【００６１】
なお、光軸ずれが小さい領域では、モニタ用光ファイバ３２の受光量が小さくなるので、光軸ずれがゼロの位置、又はモニタ用光ファイバ３２の受光量がゼロになる位置を見い出すのは困難である。このような場合には、モニタ用光ファイバ３２の受光量がゼロに近くなる前のモニター光量の変化率と予め記憶させられているデータとに基づいて、モニター光量がゼロになる位置を予測するようにすればよい。
【００６２】
（第５の実施形態）
図２３は本発明のさらに別な実施形態を示す概略ブロック図であって、制御回路内蔵可変減衰器１４５を表わしている。この制御回路内蔵可変減衰器１４５は、アクチュエータ１８、ミラー部材１７、レンズアレイ２２、ファイバアレイ１４等を備えており、これらによって第３の実施形態のようなモニター機能付きの可変光減衰器が構成されている。制御回路内蔵可変減衰器１４５は、さらにアクチュエータ１８を駆動するための駆動回路４６、駆動回路４６を通してアクチュエータ１８を制御し、ファイバアレイ１４に戻るコリメート光の光軸ずれを制御する制御回路４７を備えている。制御回路４７は、制御電圧又は制御信号を通じて上位システム５０と通信する。さらに、制御回路内蔵可変減衰器１４５は、ファイバアレイ１４のモニタ用光ファイバ３２から出力されたモニタ光を受光するフォトダイオード（ＰＤ）等の受光素子４８、入力用光ファイバ１２からファイバアレイ１４に入射する光の一部を分岐させて取り出す光分岐器１４７、光分岐器１４７から分岐された光を受光するフォトダイオード（ＰＤ）等の受光素子１４８、受光素子４８、１４８からのモニター信号を増幅する増幅回路４９及び１４９、演算回路１４６を備えている。この光分岐器１４７は、ハーフミラーやスプリッタなどによって構成されている。
【００６３】
次に、この制御回路内蔵可変減衰器１４５により光減衰量を調整するための制御動作を説明する。図２４はこの制御動作を表わしたフロー図である。光分岐器１４７は、入射光をファイバアレイ１４側と受光素子１４８側とにそれぞれｍ：ｎの比率で分岐させるものとする。このとき入力用光ファイバ１２に入射する入射光量をＩ４とすると、光分岐器１４７から受光素子１４８へ分岐される光の光量Ｉ５は、
Ｉ５＝ｎ・Ｉ４／（ｍ＋ｎ）
となり、ファイバアレイ１４側へ送られて入力用光ファイバ１２の先端から出射される光の光量Ｉ１は、
Ｉ１＝ｍ・Ｉ４／（ｍ＋ｎ）＝（ｍ／ｎ）Ｉ５
となる。従って、制御回路内蔵可変減衰器１４５において、入力用光ファイバ１２から入射する入射光の一部を光分岐器１４７で受光素子１４８側へ分岐させ（Ｓ１１）、分岐された光の光量Ｉ５を受光素子１４８で計測すれば、演算回路１４６によってミラー部材１７に入射する光の入射光量Ｉ１が、Ｉ１＝（ｍ／ｎ）Ｉ５として求められ、求められた入射光量Ｉ１の値は制御回路４７へ送られる。（Ｓ１２）。
【００６４】
ついで、制御回路４７より、入射光量Ｉ１の値から光出力を規格値Ｏ１に保つことができる光減衰量を演算する。制御回路４７は、演算された光減衰量となるように駆動回路４６に制御信号（制御電圧）を出力し（ステップＳ１３）、駆動回路４６を通じてアクチュエータ１８でミラー部材１７を移動させる（ステップＳ１４）。こうして演算された光減衰量となる位置でミラー部材１７が停止すると、モニタ用光ファイバ３２に入射している光量Ｏ２を受光素子４８で測定し（ステップＳ１５）、受光素子４８から出力されるモニター信号を演算回路１４６へフィードバックさせる。演算回路は、受光素子１４８から受け取っている入射側モニター光の光量Ｉ５から入射光量Ｉ１＝（ｍ／ｎ）Ｉ５を演算すると共に受光素子４８から受け取っている出射側モニター光の光量Ｏ２から出力用光ファイバ１３の出射光量Ｏ３＝Ｉ１−Ｏ２を演算する。
【００６５】
この出射光量の演算値Ｏ３が規格値Ｏ１に等しいか否かを判定し（ステップＳ１６）、等しくない場合には、制御回路４７は、モニター光の光量Ｏ２から演算した出射光量Ｏ３と規格値Ｏ１とを比較し、出射光量が規格値Ｏ１に近づくようにミラー部材１７の位置をフィードバック制御し、出射光量を補正する。
【００６６】
この実施形態によれば、入射光量Ｉ１を常に監視することができるので、入射光量が変動する場合でもリアルタイムに入射光量Ｉ１を求めて正確に出射光量を規格値Ｏ１と等しくなるように制御することができる。
【００６７】
（第６の実施形態）
図２５は本発明のさらに別な実施形態を示す概略ブロック図であって、定減衰量制御を実現するための制御回路内蔵可変減衰器２４５を表わしている。この制御回路内蔵可変減衰器２４５も、アクチュエータ１８、ミラー部材１７、ファイバアレイ１４からなる、第３の実施形態のようなモニター機能付きの可変光減衰器を備えている。制御回路内蔵可変減衰器２４５は、さらにアクチュエータ１８を駆動するための駆動回路４６、アクチュエータ１８を制御してファイバアレイ１４に戻るコリメート光の光軸ずれを制御する制御回路４７、ファイバアレイ１４のモニタ用光ファイバ３２から出力されたモニタ光を受光する受光素子４８、受光素子４８からの出力信号を増幅して制御回路４７にフィードバック信号を入力する増幅回路４９を備えている。
【００６８】
次に、この制御回路内蔵可変減衰器４５により光減衰量を一定に保つための制御動作を説明する。図２６（ａ）（ｂ）は、この実施形態の制御回路内蔵可変減衰器２４５により定減衰量制御を行うための原理を説明する図である。前記のようなハイブリッドレンズ３５を用いていると、入力用光ファイバ１２からミラー部材１７へ入射する入射光量Ｉ１と出力用光ファイバ１３へ出射する出射光量Ｏ３とモニタ用光ファイバ３２で受光されるモニター光量Ｏ２との間には、
入射光量Ｉ１＝〔出射光量Ｏ３〕＋〔モニター光量Ｏ２〕
の関係があるので、モニター光量Ｏ２が一定値となるように制御回路内蔵可変減衰器２４５を制御すれば、
〔入射光量Ｉ１〕−〔出射光量Ｏ３〕＝一定値（モニター光量Ｏ２）
となる。よって、図２５に示したような制御回路内蔵可変減衰器２４５において、受光素子４８で受光しているモニター光量Ｏ２が一定になるように制御すれば、
出射光量Ｏ３＝〔入射光量Ｉ１〕−〔一定減衰量〕
となる。すなわち、図２６（ａ）の状態から図２６（ｂ）の状態への変化のように入射光量が変動しても、入射光量の変化に拘わらず常に一定の減衰量を伴った出射光量を出力用光ファイバ１３から出力させることができる。
【００６９】
図２７は図２５の制御回路内蔵可変減衰器２４５において定減衰量制御を行うための手順を説明したフロー図である。このフロー図に従って定減衰量制御を説明すると、まず制御回路４７に減衰量の要求値ΔＤが上位システム５０等から入力される。減衰量の要求値ΔＤが指定されると、制御回路４７はその要求値をモニター光量Ｏ２の要求値として記憶する（ステップＳ２１）。ついで、現在のモニター光量Ｏ２を受光素子４８で測定し（ステップＳ２２）、受光素子４８から出力される信号を増幅回路４９で増幅してモニター信号として制御回路４７へフィードバックさせる。制御回路４７は、現在のモニター光量Ｏ２を把握すると、そのモニター光量Ｏ２が要求値ΔＤに等しくなるように駆動回路４６を通じてアクチュエータ１８でミラー部材１７を移動させる（ステップＳ２３）。
【００７０】
こうしてモニター光量Ｏ２が演算された要求値ΔＤと等しくなるようにミラー部材１７を制御した後、さらにモニタ用光ファイバ３２へ入射しているモニター光量Ｏ２を測定する（Ｓ２４）。そして、測定したモニター光量Ｏ２が要求値ΔＤに等しいか否かを判定し（ステップＳ２５）、等しくない場合には、制御回路４７は、測定したモニター光量Ｏ２とその要求値ΔＤとを比較し、モニター光量Ｏ２が要求値ΔＤに近づくようにミラー部材１７の位置をフィードバック制御し、モニター光量Ｏ２を補正する。
【００７１】
図２８は光減衰器４３を用いて定減衰量制御を行わせるための従来の構成を示す図である。この従来方式においては、可変光減衰器４３の前後にそれぞれスプリッタ４４ａ、４４ｂを接続し、可変光減衰器４３に入射する光の一部をスプリッタ４４ａから取り出して受光素子２４６でモニターし、可変光減衰器４３から出射される光の一部をスプリッタ４４ｂから取り出して受光素子２４７でモニターしている。そして、受光素子２４６で計測したモニター光量から可変光減衰器４３に入射する入射光量を求め、受光素子２４７で計測したモニター光量から可変光減衰器４３から出射する出射光量を求め、この入射光量から出射光量を減算した差分値を減衰量の要求値ΔＤと比較し、入射光量と出射光量の差分値と減衰量の要求値ΔＤとが等しくない場合には、入射光量と出射光量の差が減衰量の要求値ΔＤに等しくなるように出射光量をフィードバック制御している。
【００７２】
このため従来の方式では、図１９の従来例で説明したのと同様に、光出力がロスするという問題と、モニタ精度が悪いという問題がある。ここで説明した本発明の実施形態によれば、このような問題を解消することができる。
【００７３】
（第７の実施形態）
図２９又は図３０は本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器５１の構成を示す概略平面図である。この可変光減衰器５１にあっては、ミラー部材が固定ミラー部材５２と可動ミラー部材５３とによって構成されており、固定ミラー部材５２には入力用光ファイバ１２から出射される光の光軸に対して４５°の傾きを有するミラー５４が形成され、可動ミラー部材５３には、ミラー５４に対して９０度の角度をなすように傾いたミラー５５が形成されている。固定ミラー部材５２はファイバアレイ１４に対して静止しているが、可動ミラー部材５３はアクチュエータによりファイバアレイ１４に対して光軸と平行な方向、あるいは直交する方向に直線上に移動できるようになっている。
【００７４】
図２９（ａ）（ｂ）は、可動ミラー部材５３をファイバアレイ１４の光軸と直交する方向へスライドさせるようにしたものを示している。図２９（ａ）は、入力用光ファイバ１２から出射された光２７が、出射レンズ２３でコリメート光に変換された後、ミラー５４及びミラー５５で反射し、すべての光束が入射レンズ２４で集光されて出力用光ファイバ１３に入射している様子を表わしている。図２９（ｂ）に白抜き矢印で示すように、可動ミラー部材５３を側方向に移動させると、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は、ミラー５４、５５で反射された後、その一部だけが入射レンズ２４で集光されて出力用光ファイバ１３に入射する。よって、この状態では、出力用光ファイバ１３に入射する光量は減少する。
【００７５】
また、図３０（ａ）（ｂ）は、可動ミラー部材５３をファイバアレイ１４の光軸と平行な方向へスライドさせるようにしたものを示している。図３０（ａ）は、入力用光ファイバ１２から出射された光２７が、出射レンズ２３でコリメート光に変換された後、ミラー５４及びミラー５５で反射し、すべての光束が入射レンズ２４で集光されて出力用光ファイバ１３に入射している様子を表わしている。図３０（ｂ）に白抜き矢印で示すように、可動ミラー部材５３を前後方向に移動させると、入力用光ファイバ１２から出射された光２７は、ミラー５４、５５で反射された後、その一部だけが入射レンズ２４で集光されて出力用光ファイバ１３に入射する。よって、この状態でも、出力用光ファイバ１３に入射する光量は減少する。
【００７６】
なお、これらの実施形態から分かるように、固定ミラー部材は光の方向を曲げる働きをしているだけであるので、２本の光ファイバを互いに９０度の角度を成すようにしてファイバアレイに保持させれば、ミラーは１つだけあればよい（すなわち、固定ミラー部材を省くことができる。）。
【００７７】
（第８の実施形態）
図３１は本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器６２の構成を示す概略平面図である。この可変光減衰器６２は、互いに９０度の角度をなして谷状に対向する２つのミラー５７、５８を有する固定ミラー部材５６と、互いに９０度の角度をなして山状に配置された２つのミラー６０、６１を有する可動ミラー部材５９とから構成されており、可動ミラー部材５９はミラー５７、５８間の谷部の奥から直線状に出入りするようになっている。
【００７８】
しかして、図３１（ａ）のように可動ミラー部材５９が引っ込んでいる場合には、入力用光ファイバ１２から出射され出射レンズ２３でコリメート化された光２７は、ミラー５７及び５８で反射された後、全てが入射レンズ２４で集光されて出力用光ファイバ１３に入射する。図３１（ｂ）に示すように、アクチュエータにより可動ミラー部材５９をスライドさせて光２７の光路に少し突出させると、ミラー５７で反射された光の一部がミラー６０で遮られ、ミラー６０で反射された光２７はモニタ用光ファイバ３２で集光されてモニタ用光ファイバ３２に入射する。一方、出力用光ファイバ１３に入射する光量は減少する。さらに、可動ミラー部材５９を突出させると、図３１（ｃ）のように出力用光ファイバ１３に入射する光はさらに減少し、モニタ用光ファイバ３２に入射する光量はさらに増加する。アクチュエータで可動ミラー部材５９を大きく突出させてミラー５７で反射した光２７の光路を完全に遮ると、出力用光ファイバ１３には光２７が入射しなくなり、ほぼ全ての光がモニタ用光ファイバ３２に入射する。
【００７９】
従って、このような構造の可変光減衰器６２によってもモニター機能を有する可変光減衰器を実現することができる。
【００８０】
なお、上記実施形態では、可動ミラー部材５９の両面にミラー６０、６１を形成したが、ミラー６１は無くてもよい。すなわち、ミラー６１の形成されている面はミラーになっていなくてもよく、あるいは、ミラー６１の形成されている傾斜面自体があっても、なくてもよい。
【００８１】
（アクチュエータの構造）
次に、上記アクチュエータ１８、特に自己保持機能を備えたアクチュエータの具体的構成を説明する。図３２は、超小型のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）６３を用いたアクチュエータである。音叉状に屈曲した継鉄６４の上下内面には、それぞれ磁石６５、６６が取付けられており、磁石６５、６６間には磁界が発生している。ボイスコイル６７は、コイルを環状に巻いて固めたものであり、ボイスコイル６７内には一方の磁石６５と継鉄６４を挿通させてあり、ボイスコイル６７は小さな力で磁石６５に沿って滑らかに動くようになっている。しかして、ボイスコイル６７に電流を流すと、ボイスコイル６７に発生するフレミングの力により、ボイスコイル６７は電流の向きに応じていずれかの向きに移動する。従って、何らかの連結部材を用いてボイスコイル６７とミラー部材１７を連結しておけば、ボイスコイルモータ６３によってミラー部材１７を直線状にスライドさせることができる。
【００８２】
このような超小型ボイスコイルモータは、光学ピックアップに用いられているものであり、ＣＤやＭＤなどの用途に用いられているボイスコイルモータ技術を応用して小型で精密に製作される。小型であること、応答性がよいこと、微細な送り（μｍオーダー）ができることなどから、ボイスコイルモータはアクチュエータとして有効である。ただし、ボイスコイルモータは、復帰用のスプリングによって元の方向へ付勢されており、電流を流している間だけ推力が働いて変位が得られるため、電流を切っても状態を保持できるようにラッチ機構を付加することが望ましい。
【００８３】
ラッチ機構は、一般的な磁気回路で構成することができる。例えば、図３３に示すような（図５１も参照）ラッチ機構６８を用いることができる。このラッチ機構６８は、板バネ６９、コイル７０、マグネット７１から構成されており、湾曲した板バネ６９の基端部は保持部７４に固定されている。また、板バネ６９の先端部内面にはコイル７０が取付けられており、コイル７０はマグネット７１と対向している。可動部７２は板バネ６９の先端部の下に位置しており、可動部７２は板バネ６９のバネ応力により先端部で押さえ付けられている。一方、ベース７３の上面に立てられた保持部７４には、弾性を有するワイヤ７５の一端が固定されており、ワイヤ７５の他端は可動部７２に連結されている。可動部７２はワイヤ７５の弾性によりベース７３から浮き上がるように付勢されているが、板バネ６９により押える力の方が強くなっている。
【００８４】
従って、コイル７０に通電していない時には、可動部７２は板バネ６９の先端によってベース７３に押しつけられており、動かないように固定されている。ラッチを解除したい時には、コイル７０に電流を流してコイル７０とマグネット７１の間に電磁吸引力を発生させる。電磁吸引力によってコイル７０がマグネット７１の上部へ吸引されると、板バネ６９の先端部が持ち上がって可動部７２がベース７３から浮き上がり、可動部７２を動かすことができるようになる。よって、可動部７２とボイスコイルモータ６３のボイスコイル６７とを連結しておくことにより、ボイスコイル６７にラッチ機構を付加することができる。
【００８５】
なお、板バネ６９と可動部７２との間、あるいは可動部７２とベース７３の間にシリコンシートを挟み込んだり、あるいは、各接触部分をシリコンシートで形成しておけば、衝撃を和らげつつ、摩擦による保持力を向上させることができる。
【００８６】
ラッチ機構には、このほかにカムローラを使った方法、油圧を使った方法、形状記憶合金を使った方法など、いかなる方法を用いても差し支えない。保持力、消費電力、実装スペース等を考慮して選択すれば良い。
【００８７】
（別なアクチュエータの構造）
また、アクチュエータは、小型でリニア駆動できるものであれば、特にその方式は問わない。例えば、圧電素子の急速変形を利用した圧電アクチュエータでも良い。このアクチュエータ７６は、図３４に示すように、移動物体７７とウエイト部７９とを圧電素子７８を介して連結したものである。このアクチュエータ７６を後退させる場合には、図３４（ａ）から図３４（ｂ）に示すように、ゆっくりと、圧電素子７８を収縮させていく。圧電素子７８がゆっくりと収縮しているので、移動物体７７は床８０との摩擦のために静止したまま移動せず、ウエイト部７９だけが後方へ移動する。ついで、図３４（ｃ）のように圧電素子７８の収縮を急激に停止させると、質量の大きなウエイト部７９の慣性のためにアクチュエータ７６全体が後方へ移動する。ついで、圧電素子７８を急速に伸張させると、質量の大きなウエイト部７９は慣性のために移動できないので、移動物体７７が後方へ移動させられる。このような図３４（ａ）〜（ｄ）のような動作を何度も繰り返すことによりアクチュエータ７６は後方へ微小距離ずつ移動していく。また、同様に、アクチュエータ７６を前方へ移動させることも可能である。しかも、このようなアクチュエータ７６では、圧電素子７８を駆動しないときには、任意の位置で静止することができ、ラッチ機構と同様な働きをすることができる。
【００８８】
（さらに別なアクチュエータの構造）
アクチュエータとして超音波リニアモータ８１を用いてもよい。図３５は超音波リニアモータ８１の一部を拡大して示したものである。超音波リニアモータ８１は、弾性材料からなるステータ８２とステータ８２の表面に接触しているスライダ８３からなる。超音波リニアモータ８１を駆動すると、ステータ８２の表面粒子は図に示すように楕円運動をし、これによってステータ８２の表面をレーレイ波が伝搬し、ステータ８２とスライダ８３の間の摩擦によってスライダ８３がステータ８２の表面に沿って移動させられるものである。よって、このスライダ８３にミラー部材１７を固定しておけばよい。また、超音波リニアモータ８１が駆動されていない場合には、ステータ８２とスライダ８３との間の摩擦によってスライダ８３は動かないので、超音波リニアモータ８１はラッチ機構と同様な働きを備えている。
【００８９】
（さらに別なアクチュエータの構造）
アクチュエータとしては、小型カメラや小型ムービー用に使用されるマイクロステッピングモータ技術を応用してもよい。図３６に示すアクチュエータは、ステッピングモータ８４の回転軸に設けたリードスクリュー８５をミラー部材１７に設けたナット（雌ネジ孔；図示せず）に挿通させたものである。ミラー部材１７が回転しないようにしてあれば、ステッピングモータ８４でリードスクリュー８５を回転させることにより、ミラー部材１７をステッピングモータ８４の軸方向に沿って移動させることができる。
【００９０】
また、図３７に示すものはステッピングモータ８４の回転軸に取付けたウォームギア８６を、ステッピングモータ８４の回転軸と直交するように配置して軸支されたリードスクリューに噛み合わせたものである。このアクチュエータによれば、ウォームギア８６を介してステッピングモータ８４でリードスクリュー８５を回転させることにより、ミラー部材１７をステッピングモータ８４の軸方向と直交する方向へ移動させることができる。
【００９１】
（別なラッチ機構の構造）
次に、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによりミラー部材１７を移動させた後、アクチュエータの電源をオフにしてもミラー部材１７をその位置に保持できるようにするためのラッチ機構６８の別な実施形態を説明する。
【００９２】
図３８は別なラッチ機構６８を示す分解斜視図、図３９（ａ）（ｂ）は可動部が下降している時の側面図及び平面図、図４０は可動部が上昇しているときの側面図である。このラッチ機構６８にあっては、基板１１１の上面中央部に駆動部１１２が設置されている。駆動部１１２は、ケーシング１１３内の上部においてアマチュア１１４が軸１１５で回動自在に支持されており、ケーシング１１３の上面でアマチュア１１４が露出している。アマチュア１１４の一方端部上面には、突起１１６が設けられている。この駆動部１１２は、電気信号によってアマチュア１１４を回転させ、アマチュア１１４の傾き方向を切り換えられるようになっている。
【００９３】
この駆動部１１２は、電源オン時には突起１１６が上方へ突出するようにアマチュア１１４が傾けられ、電源オフ時には突起１１６が下方へ引っ込むようにアマチュア１１４が傾けられる。あるいは、この駆動部１１２は自己保持型となっていてもよく、その場合には、アマチュア１１４を動かす場合には電力を必要とするが、アマチュア１１４を所定角度に動かした後は、電力をオフにしてもアマチュア１１４は自己保持されてその状態に固定される。このような自己保持型の駆動部１１２は、例えば自己保持型電磁リレー（ラッチングリレー）などにおいて接点バネを駆動するために用いられる機構部を用いることができ、内部には通電により励磁されてアマチュアを動かす電磁石や、非通電時にアマチュアをその角度にロックさせるためのラッチ機構などが内蔵されている。ただし、以下においては駆動部１１２は自己保持型でないものとして説明する。
【００９４】
駆動部１１２の後方では、基板１１１の上面にバネ支持部１１７が立設されており、バネ支持部１１７の前面両側部にはそれぞれ複数本の線状バネ１１８の基端部が固定されている。また、駆動部１１２の前方には可動部１１９が配置されており、可動部１１９は複数本の線状バネ１１８の先端部に連結されて線状バネ１１８によって弾性的に支持されている。可動部１１９は、外力が加わっていない場合には、線状バネ１１８の弾性によって基板１１１から浮いた状態で所定の高さに保持される。可動部１１９の正面にはミラー部材１７が固定される。
【００９５】
可動部１１２は、線状バネ１１８によって支持されて基板１１１から浮き上がっている状態では、ボイスコイルモータ等のアクチュエータを用いて横方向へ移動させることができるようになっている。可動部１１９の両側部からはそれぞれ、駆動部１１２の両側面へ向けてストッパ１２０が突出しており、ストッパ１２０が駆動部１１２等に当接することにより可動部１１９の横移動する範囲を制限するようにしている。
【００９６】
バネ支持部１１７の上面には弾性部材１２１が固定されている。弾性部材１２１は、板バネによって略Ｔ字状に形成されており、基端部の幅が広くなった部分がバネ支持部１１７の上面に固定されている。また、弾性部材１２１の先端部下面には突起１２２が設けられており、弾性部材１２１の先端部及び突起１２２が可動部１１９の上面に対向している。アマチュア１１４の前端部に設けられた突起１１６は、弾性部材１２１の前部下面に対向している。この弾性部材１２１が可動部１１９を押し下げる力は、線状バネ１１８が可動部１１９を持ち上げる力よりも大きくなっており、弾性部材１２１にアマチュア１１４から力が加わっていない状態では、弾性部材１２１は突起１２２によって可動部１１９を押し下げ、可動部１１９を基板１１１に押し付けて動けないようにロックする。
【００９７】
しかして、図３９（ａ）に示すように、駆動部１１２が電源オフでアマチュア１１４が突起１１６の設けられている側で下がっている場合には、可動部１１９は弾性部材１２１によって押し下げられて下降しており、基板１１１に押しつけられてロックされている。
【００９８】
一方、図４０に示すように、駆動部１１２の電源をオンにしてアマチュア１１４を駆動し、突起１１６の設けられている側を上に突出させた場合には、弾性部材１２１は突起１１６で押し上げられて湾曲し、弾性部材１２１の突起１２２が可動部１１９から離れ、可動部１１９は線状バネ１１８の弾性力によって基板１１１から浮き上がらせられる。この状態においては、アクチュエータによって可動部１１９を横方向に動かすことができるので、ミラー部材１７を取り付けられた可動部１１９をアクチュエータで動かすことにより光減衰量を自由に調整することができる。
【００９９】
光減衰量が所望の値に調整されたら、駆動部１１２の電源をオフにすると、再びアマチュア１１４が反転して突起１１６が下がる。その結果、可動部１１９が弾性部材１２１の弾性力によって押し下げられて基板１１１に押し付けられ、再びロックされる。よって、このようなラッチ機構６８を用いれば、アクチュエータによりミラー部材１７を移動させる場合にだけ駆動部１１２に通電すればよく、ミラー部材１７を位置調整して可動部１１９をロックした後には駆動部１１２に通電する必要が無く、ラッチ機構６８を省電力化することができる。
【０１００】
（さらに別なラッチ機構の構造）
図４１（ａ）（ｂ）はさらに別なラッチ機構６８の、可動部１１９が上昇している時の側面図及び平面図、図４０は可動部１１９が下降しているときの側面図である。この実施形態によるラッチ機構６８は、図３８に示した実施形態とほぼ同様な構造を有しているが、アマチュア１１４及び弾性部材１２１の構造は図３８のものとは異なっている。この実施形態においては、基板１１１の両側端縁に一対の支柱１２３が立てられており、弾性部材１２１の中央部下面に固定された回転軸１２４の両端部が支柱１２３によって回動自在に支持されている。よって、弾性部材１２１は回転軸１２４を中心として回動するようになっている。駆動部１１２の上面に露出しているアマチュア１１４の後端部に突起１１６が設けられており、この突起１１６は弾性部材１２１の後部（回転軸よりも後方）下面に対向している。駆動部１１２は、電源オフ時には突起１１６が上に突出するようにアマチュア１１４が傾き、電源オン時には突起１１６が下方へ引っ込むようにアマチュア１１４が傾くようになっている。
【０１０１】
しかして、駆動部１１２が電源オフとなっている場合には、図４２に示すように、アマチュア１１４が傾いて突起１１６の設けられている後部が上方へ突出しているので、突起１１６によって弾性部材１２１の後部が上方へ押し上げられ、その反動により弾性部材１２１の前部に設けられている突起１２２が可動部１１９を弾性的に押し下げている。その結果、可動部１１９は基板１１１に押しつけられていて、横方向に動けないようロックされている。
【０１０２】
これに対し、駆動部１１２を電源オンにすると、図４１（ａ）に示すように、アマチュア１１４が反転して突起１１６の設けられている後部が下がって弾性部材１２１から離れるので、ミラー部材１７を取り付けられている可動部１１９は線状バネ１１８によって持ち上げられ、アクチュエータによって横方向へ移動させることができるようになる。
【０１０３】
こうしてアクチュエータで１１９を動かしてミラー部材１７の位置を調整した後は、再び駆動部１１２の電源をオフにすると、突起１１６が上に上がって弾性部材１２１の後部を押し上げ、可動部１１９は基板１１１に押しつけられる。よって、ミラー部材１７の位置調整をされた状態で可動部１１９は動かないようにロックされる。
【０１０４】
（さらに別なラッチ機構の構造）
図４３（ａ）（ｂ）はさらに別なラッチ機構６８の構造と動作を説明するための側面図である。この実施形態では、以下に説明するように、駆動部１１２のアマチュア１１４を板バネなどの弾性体で形成することにより、アマチュア１１４に弾性部材の機能を持たせたものである。この実施形態で用いられている駆動部１１２では、アマチュア１１４の前部をケーシング１１３の外部まで伸ばし、さらに、アマチュア１１４を回動させたときにアマチュア１１４がケーシング１１３に衝突しないようアマチュア１１４の前部をステップ状に屈曲させている。そして、アマチュア１１４の前端部下面に突起１１６を設け、突起１１６を可動部１１９の上面に対向させている。駆動部１１２は電源オフの状態においては、突起１１６の設けられている前部が下がっており、電源オンにすると、アマチュア１１４が回動して突起１１６の設けられている前部が上方へ上がる。
【０１０５】
しかして、駆動部１１２が電源オフとなっている場合には、図４３（ｂ）に示すように、アマチュア１１４の突起１１６が設けられている前部が下降しており、突起１１６によって可動部１１９が基板１１１に押しつけられてロックされている。これに対し、駆動部１１２の電源をオンにすると、図４３（ａ）に示すように、アマチュア１１４が傾いて突起１１６の設けられている前部が可動部１１９の上面よりも上に上がり、可動部１１９は線状バネ１１８によって持ち上げられる。この状態においては、アクチュエータにより可動部１１９を横に動かしてミラー部材１７で光減衰量を調整することができる。調整後は、駆動部１１２の電源をオフにすると、再び図４３（ｂ）の状態となり、調整された状態で可動部１１９がロックされる。
【０１０６】
（さらに別なラッチ機構の構造）
図４４（ａ）（ｂ）はさらに別なラッチ機構６８の構造と動作を説明するための側面図である。この実施形態によるラッチ機構６８では、駆動部を用いる代わりに、圧電アクチュエータ１２５を使用している。すなわち、この実施形態では、基板１１１の両側端縁に一対の支柱１２３が立てられており、弾性部材１２１の中央部下面に固定された回転軸１２４の両端部が支柱１２３によって回動自在に支持されている。弾性部材１２１の前端部下面に設けられた突起１２２が、線状バネ１１８で支持された可動部１１９の上面に対向している。また、基板１１１の後部上面には、上下に伸縮する圧電アクチュエータ１２５が立てられており、弾性部材１２１の後部下面は圧電アクチュエータ１２５の上面に接合されている。
【０１０７】
しかして、圧電アクチュエータ１２５に電圧が印加されていない状態では、図４４（ａ）に示すように、弾性部材１２１の後部が押し上げられており、梃子の原理によって弾性部材１２１の前部が下方へ向けて回動させられ、突起１２２が可動部１１９の上面に弾性的に押し付けられる。その結果、可動部１１９は下降して基板１１１に押しつけられてロックされている。これに対し、圧電アクチュエータ１２５に電圧を印加して圧電アクチュエータ１２５を収縮させると、図４４（ｂ）に示すように、弾性部材１２１の後部が引き下げられ、梃子の原理によって弾性部材１２１の前部が上方へ持ち上げられて突起１２２が可動部１１９の上面から離れる。その結果、可動部１１９は線状バネ１１８によって持ち上げられて上昇し、可動部１１９を横に動かしてミラー部材１７で光減衰量を調整できるようになる。
【０１０８】
（さらに別なラッチ機構の構造）
図４５（ａ）（ｂ）はさらに別なラッチ機構６８の構造と動作を説明するための側面図である。この実施形態によるラッチ機構６８では、駆動部を用いる代わりに、電磁石１２７を使用している。すなわち、この実施形態でも、基板１１１の両側端縁に一対の支柱１２３が立てられており、弾性部材１２１の中央部下面に固定された回転軸１２４の両端部が支柱１２３によって回動自在に支持されている。弾性部材１２１の前端部下面に設けられた突起１２２は可動部１１９の上面に対向しており、弾性部材１２１の後端部下面には鉄片などの磁気吸着片１２６が固着されている。また、基板１１１の後部上面には、電磁石（電磁コイル）が立てられており、弾性部材１２１の後部下面に設けられた磁気吸着片１２６は電磁石１２７と対向している。また、弾性部材１２１の前部下面と基板１１１の上面との間には、引張バネ１２８が張られており、弾性部材１２１の前部は圧縮バネ１２８によって下方へ引き下げられるように付勢されている。
【０１０９】
しかして、図４５（ａ）に示すように、電磁石１２７を消磁している場合には、弾性部材１２１の前部が圧縮バネ１２８の弾性力によって下方へ引き下げられるので、突起１２２が可動部１１９の上面に押し付けられる。その結果、可動部１１９は下降して基板１１１に押しつけられてロックされている。これに対し、図４５（ｂ）に示すように、電磁石１２７を励磁すると、弾性部材１２１の後端面に設けられた磁気吸着片１２６が圧縮バネ１２８の弾性力に抗して電磁石１２７に吸着されるので、梃子の原理によって弾性部材１２１の前部が上方へ持ち上げられて突起１２２が可動部１１９の上面から離れる。その結果、可動部１１９は線状バネ１１８によって持ち上げられて上昇する。よって、アクチュエータにより可動部１１９を横に移動させることにより、ミラー部材１７で光減衰量を調整することができる。
【０１１０】
（具体的製品）
図４６〜図４８は可変光減衰器の具体的製品の組み立て手順を表わしている。組み立てにあたっては、基板９８の上にファイバアレイ固定部８８、アクチュエータ１８や必要に応じてラッチ機構８９を実装しておく。ついで、図４６に示すように、アクチュエータ１８にミラー部材１７を取付けて固定する。ついで、図４７に示すように、ファイバアレイ固定部８８にファイバアレイ１４を取付け、入力用光ファイバ１２から光を出射させながら調芯を行い、ファイバアレイ１４の位置が定まったらファイバアレイ１４をファイバアレイ固定部８８に固定する。この後、図４８に示すように、ファイバアレイ１４やミラー部材１７、アクチュエータ１８等を実装された基板９８をパッケージ９０内に納める。
【０１１１】
図４９は具体的な製品形態の一例を表わしている。これは制御回路を含まない構成例である。パッケージ９０内にはアクチュエータ１８が固定されており、アクチュエータ１８にはミラー部材１７が取付けられている。ミラー部材１７に対向させてファイバアレイ固定部８８にファイバアレイ１４が取付けられている。ファイバアレイ１４の光ファイバ９１（入力用光ファイバ１２、出力用光ファイバ１３など）はコネクタ９２及びカバー９３を通してパッケージ９０の外部へ引き出されている。また、パッケージ９０内には、アクチュエータ１８の駆動回路４６が納められている。
【０１１２】
図５０は制御回路を含んだ具体的構成例である。この例では、図４９の構成要素に加えて、モニター用の受光素子４８、増幅回路４９、制御回路４７もパッケージ９０内に納められている。
【０１１３】
図５１は、図４９の構成をより具体化したものを示している。すなわち、アクチュエータ１８としては、ボイスコイルモータ９４を用いている。すなわち、ベース８７に固定されたマグネット９５に対してボイスコイル９６が対向しており、ボイスコイル９６は可動部７２に固定されている。また、ミラー部材１７も可動部７２に固定されている。ラッチ機構としては、図３３に示したような構造のラッチ機構６８を用いているが、図５１では保持部７４とワイヤ７５と可動部７２だけを示しており、板バネ６９、コイル７０、マグネット７１は省略している。保持部７４に基端部を保持されているワイヤ７５は弾性を有しており、その先端部に取付けられている可動部７２を上方へ浮き上がらせている。また、可動部７２はワイヤ７５に沿って摺動可能となっている。
【０１１４】
しかして、ミラー部材１７を動かないようラッチする時には、板バネ６９が可動部７２をベース８７に押さえ付けている。ミラー部材１７を動かす場合には、コイル７０を励磁して板バネ６９の先端を持ち上げると（図３３参照）、ワイヤ７５によって可動部７２がベース８７から浮き上がり、ボイスコイル９６はマグネット９５と対向する。ついで、ボイスコイル９６を励磁すると、可動部７２と共にボイスコイル９６がスライドし、ミラー部材１７が位置調整される。
【０１１５】
図５２も図４９の構成をより具体化したものであって、ステッピングモータ８４やリードスクリュー８５、ウォームギア８６などからなる図３７のような構造のアクチュエータを用いている。ただし、ウォームギア８６を介してリードスクリュー８５を回転させることでステージ９９をリードスクリュー８５に沿って移動させるようにし、ステージ９９の上にミラー部材１７を固定している。また、ステージ９９にガイドピン９７を挿通させることによってステージ９９をガイドし、スムーズにステージ９９が移動できるようにしている。
【０１１６】
次に、可変光減衰器の特殊な使用方法を説明する。図５３は可変光減衰器１００の光減衰量を０％と１００％の２値とすることによってオン／オフ用スイッチとして使用できるようにしたものである。この可変光減衰器１００は、図３等に示した第１の実施形態による可変光減衰器１１と同じ構造を有するものであるが、ミラー部材１７がアクチュエータ１８によって図５３（ａ）に示すように全光束が入射レンズ２４に入射している状態と、図５３（ｂ）に示すように全光束が入射レンズ２４から外れている状態との間を一気に移動するようになっており、中間の状態で止まらないようになっている。例えば、反転バネのような機構を付加してもよい。このような可変光減衰器１００は光減衰量が２値の特殊な可変光減衰器と考えることができ、オン／オフ用スイッチとして用いることができる。
【０１１７】
図５４は出力用光ファイバを２本平行に設けた可変光減衰器１０１であって、可変スプリッタとして用いることができるものである。すなわち、ファイバアレイ１４の出力側には、２本の出力用光ファイバ１３ａ、１３ｂが互いに平行に保持されており、両出力用光ファイバ１３ａ、１３ｂの端面に対向させてそれぞれ入射レンズ２４を設けている。しかして、ミラー部材１７が図５４（ａ）の位置にある場合には、入力用光ファイバ１２から出射された光は１００％出力用光ファイバ１３ａに入射し、ミラー部材１７が図５４（ｂ）の位置にある場合には、入力用光ファイバ１２から出射された光はミラー部材１７の位置に応じた割合で出力用光ファイバ１３ａと出力用光ファイバ１３ｂに入射し、ミラー部材１７が図５４（ｃ）の位置にある場合には、入力用光ファイバ１２から出射された光は１００％出力用光ファイバ１３ｂに入射する。従って、この可変光減衰器１０１は、ミラー部材１７をスライドさせることによって出力用光ファイバ１３ａと出力用光ファイバ１３ｂの分割比率を任意に変えることができ、可変スプリッタとして使用することができる。
【０１１８】
図５５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、前記ハイブリッドレンズ３５の製造方法を説明する概略図である。これは、いわゆる２Ｐ（Ｐｈｏｔｏ−Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）法と言われるものであって、紫外線硬化樹脂を用いてレンズを成形する。まず、図５５（ａ）に示すように、シリンジなどによってガラス基板１０２の上に紫外線硬化樹脂１０３を定量滴下する。ついで、紫外線硬化樹脂１０３の上からガラス基板１０２の上にスタンパ１０４を重ねる。スタンパ１０４の下面には、ハイブリッドレンズ３５の反転した形状を有する凹型１０５が予め設けられている。ついで、スタンパ１０４をガラス基板１０２に押しつけることによって紫外線硬化樹脂１０３をスタンパ１０４の凹型１０５内に押し広げる。この後、図５５（ｂ）に示すように、ガラス基板１０２を通して紫外線硬化樹脂１０３に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂１０３を硬化させることによってハイブリッドレンズ３５を成形する。ガラス基板１０２からスタンパ１０４を剥離させると、ガラス基板１０２の上面には紫外線硬化樹脂１０３によってハイブリッドレンズ３５全体が一体に成形されている。なお、ここではハイブリッドレンズ３５の成形についてのみ述べたが、出射レンズ２３や入射レンズ２４も同様にしてハイブリッドレンズ３５と同時に成形される。これによってレンズアレイ２２が製造される。
【０１１９】
上記スタンパ１０４を製作するには、例えばレーザー加工によってハイブリッドレンズ３５と同じ形状を有する原型を作製した後、電鋳法等によって原型の上にＮｉなどを堆積させて反転型を製作する。原型から剥離された反転型には、スタンパ１０４の凹型１０５と同じ凹型パターンが形成されている。ついで、反転型から原型の複製を制作し、さらに、この複製からスタンパ１０４を製作する。
【０１２０】
なお、上記実施形態の説明中で記載した数値は一例であって、本発明は、上記のような数値に限定されるものではない。また、上記実施形態では、光伝送路として光ファイバを用いたが、光導波路を用いても差し支えない。
【０１２１】
【発明の効果】
本発明の可変光減衰器によれば、入力用光伝送路から出射された光を反射させる光反射面をアクチュエータによって直動させることにより、出力用光伝送路に入射する光の光軸を出力用光伝送路に相対的に移動させることができ、それによって光減衰量を変化させることができる。従って、入力用光伝送路から出射された光を反射させる光反射面をアクチュエータによって直動させるだけの簡単な構造であるため、可変減衰器を小型化することが可能になる。また、光反射面を直動させるだけであるので、光反射面の移動時のバラツキが光減衰率に敏感に応答することがなく、光減衰量を精度良く制御することができる。
【０１２２】
よって、本発明によれば、簡単な構造によって光の光減衰量を制御することができ、したがって安価に可変光減衰器を製造することができる。よって、比較的短距離の光伝送用や家庭用機器どうしを光ファイバで結んでデータや信号を伝送する用途などには、最適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の可変光減衰器の構造を示す概略図である。
【図２】本発明にかかる可変光減衰器の構造を示す平面図である。
【図３】同上の可変光減衰器を構成するアクチュエータ及びミラー部材とファイバアレイとを分離した状態の斜視図である。
【図４】（１ａ）（１ｂ）（１ｃ）は金属プレスによってミラー部材を製造する方法を説明する概略図、（２ａ）（２ｂ）（２ｃ）は切削加工によってミラー部材を製造する方法を説明する概略図である。
【図５】ファイバアレイのホルダー位置における断面図である。
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、図２に示した可変光減衰器の動作とその作用を説明する図である。
【図７】入射レンズに入射する光の光軸とレンズの光軸との間の光軸ずれと、光減衰量との関係を測定した結果を示す図である。
【図８】図２に示した可変光減衰器の変形例を示す分解斜視図である。
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、図８に示した可変光減衰器の変形例の動作とその作用を説明する図である。
【図１０】本発明の別な実施形態による可変光減衰器を示す平面図である。
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、同上の可変光減衰器の動作とその作用を説明する図である。
【図１２】入射レンズに入射する光の光軸とレンズの光軸との間の光軸ずれと、出力用光ファイバでの光減衰量及びモニタ用光ファイバでの光減衰量との関係を表わす図である。
【図１３】（ａ）（ｂ）は、シングルモードファイバとマルチモードファイバとの差異を説明する図である。
【図１４】出力用光ファイバにもモニタ用光ファイバにも入射せず、損失となる光を説明するための図である。
【図１５】本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器に用いられるファイバアレイの正面図である。
【図１６】（ａ）（ｂ）はハイブリッドレンズの正面図及び下面図、（ｃ）はハイブリッドレンズを入射レンズとモニタレンズに分離して示した図である。
【図１７】ハイブリッドレンズのより詳細な設計例を示す図である。
【図１８】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）はハイブリッドレンズによるコリメート光の分割推移の様子を説明する図である。
【図１９】従来の出力モニター方法を説明する図である。
【図２０】本発明のさらに別な実施形態を示す概略ブロック図である。
【図２１】（ａ）（ｂ）は同上の制御回路内蔵可変減衰器における光減衰量の調整方法を説明する図である。
【図２２】図２０に示した制御回路内蔵可変減衰器の制御動作を表わしたフロー図である。
【図２３】本発明のさらに別な実施形態による制御回路内蔵可変減衰器を示す概略ブロック図である。
【図２４】同上の制御回路内蔵可変減衰器の制御動作を表わしたフロー図である。
【図２５】本発明のさらに別な実施形態による制御回路内蔵可変減衰器を示す概略ブロック図である。
【図２６】同上の制御回路内蔵可変減衰器による定減衰量制御の原理を説明する図である。
【図２７】図２５に示した制御回路内蔵可変減衰器の制御動作を表わしたフロー図である。
【図２８】従来の定減衰量制御の方法を説明する図である。
【図２９】（ａ）（ｂ）は、本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器の構成を示す概略平面図である。
【図３０】（ａ）（ｂ）は、本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器の構成を示す概略平面図である。
【図３１】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器の構成と動作を示す概略平面図である。
【図３２】超小型のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を用いたアクチュエータの斜視図である。
【図３３】（ａ）（ｂ）はラッチ機構の動作を説明する側面図である。
【図３４】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は、別な構造のアクチュエータを説明する概略図である。
【図３５】アクチュエータとして用いる超音波リニアモータの一部を拡大して示す図である。
【図３６】さらに別な構造のアクチュエータを示す平面図である。
【図３７】さらに別な構造のアクチュエータを示す平面図である。
【図３８】別な構造のラッチ機構を示す分解斜視図である。
【図３９】（ａ）は同上のラッチ機構において可動部が下がっている状態の側面図、（ｂ）はその平面図である。
【図４０】図３８のラッチ機構において可動部が上がっている状態の側面図である。
【図４１】（ａ）はさらに別な構造のラッチ機構を示す側面図、（ｂ）はその平面図である。
【図４２】同上のラッチ機構において可動部が下がっている状態の側面図である。
【図４３】（ａ）（ｂ）はさらに別な構造のラッチ機構を示す側面図である。
【図４４】（ａ）（ｂ）はさらに別な構造のラッチ機構を示す側面図である。
【図４５】（ａ）（ｂ）はさらに別な構造のラッチ機構を示す側面図である。
【図４６】可変光減衰器の具体的製品の組み立て手順を示す図である。
【図４７】図４６の続図である。
【図４８】図４７の続図である。
【図４９】可変光減衰器の具体的な製品形態の一例を表わした図である。
【図５０】可変光減衰器の具体的な製品形態の一例を表わした図である。
【図５１】可変光減衰器の具体的な製品形態の一例を表わした図である。
【図５２】可変光減衰器の具体的な製品形態の一例を表わした図である。
【図５３】（ａ）（ｂ）は、本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器の構成を示す概略平面図である。
【図５４】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明のさらに別な実施形態による可変光減衰器の構成を示す概略平面図である。
【図５５】（ａ）（ｂ）（ｃ）はハイブリッドレンズの製造ほうほうを説明する概略図である。
【符号の説明】
１２　入力用光ファイバ
１３　出力用光ファイバ
１４　ファイバアレイ
１５　ミラー
１６　ミラー
１７　ミラー部材
１８　アクチュエータ
２２　レンズアレイ
３２　モニタ用光ファイバ
３３　モニタレンズ
３５　ハイブリッドレンズ
５２　固定ミラー部材
５３　可動ミラー部材
５４　ミラー
５５　ミラー
５６　固定ミラー部材
５７、５８　ミラー
５９　可動ミラー部材
６０、６１　ミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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