(57)【要約】【課題】流体をスプレーしてフィルム状ワークに処理を施すことが可能なフィルム状ワークの搬送処理装置において、上記フィルム状ワークを確実に搬送することができ、上記フィルム状ワークの下面の処理不良の発生するおそれを抑制する。【解決手段】フィルム状ワークの搬送処理装置１において、ワークＷ１の下面へ流体をスプレー可能な流体スプレー手段５と、上記ワークＷ１を支持してワークＷ１が浮き上がることを防止可能なワーク支持手段１３とを有し、上記流体スプレー手段５がスプレーした流体が、上記ワークＷ１の下面へ直接あたるように、上記流体スプレー手段５と上記ワークＷ１との間で、ローラコンベヤ２のローラ３が削除されている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム状のワークをローラコンベヤで搬送しているときに、上記フィルム状ワークに対して流体をスプレーして上記フィルム状ワークに処理を施すことが可能なフィルム状ワークの搬送処理装置において、
上記フィルム状ワークの下側から上記フィルム状ワークの下面へ流体をスプレー可能な流体スプレー手段と；
上記フィルム状ワークが上記流体スプレー手段からのスプレーによって浮き上がることを防止するために、上記フィルム状ワークの上面で上記フィルム状ワークを支持可能なワーク支持手段と；
を有し、上記流体スプレー手段がスプレーした流体が、上記フィルム状ワークの下面へ直接あたるように、上記流体スプレー手段と上記フィルム状ワークとの間で、ローラコンベヤのローラが削除されていることを特徴とするフィルム状ワークの搬送処理装置。
【請求項２】
フィルム状のワークをローラコンベヤで搬送しているときに、上記フィルム状ワークへ流体をスプレーして上記フィルム状ワークに処理を施すことが可能なフィルム状ワークの搬送処理装置において、
上記フィルム状ワークの下側から上記フィルム状ワークの下面へ流体をスプレー可能な流体スプレー手段と；
上記流体スプレー手段が上記フィルム状ワークに流体をスプレーする部位で上記フィルム状ワークを支持する上記ローラコンベヤのローラであるスプレー部位ローラを、上記フィルム状ワークの下面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置と、上記フィルム状ワークの上面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置とのうちのいずれかの位置に移動設置可能なローラ移動設置手段と；
を有することを特徴とするフィルム状ワークの搬送処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載のフィルム状ワークの搬送処理装置において、
上記ローラ移動設置手段は、上記ローラコンベヤの基台に設けてあって上記流体を蓄えることが可能な流体用筐体と、上記流体用筐体内に設けてあって上記流体に浮く浮き部材と、基端部側が上記浮き部材に支持されてあって先端部側で上記スプレー部位ローラを回転自在に支持可能なスプレー部位ローラ支持部材とを具備し、上記流体用筐体内に供給された上記流体の量に応じて上記浮き部材が上下動することにより、上記スプレー部位ローラを移動設置可能に構成されていることを特徴とするフィルム状ワークの搬送処理装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のフィルム状ワークの搬送処理装置において、
上記スプレー部位ローラが設置された各位置で、上記スプレー部位ローラを回転させるためのスプレー部位ローラ回転手段を有することを特徴とするフィルム状ワークの搬送処理装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のフィルム状ワークの搬送処理装置において、
上記ローラコンベヤのローラの側面には、このローラの回転軸を中心とした環状の溝が複数個、上記ローラの回転軸の長手方向で間隔をあけて設けられており、
上記ローラコンベヤの上記各ローラ間のピッチを小さくするために、各ローラの各溝で形成された各鍔が上記各ローラ間のピッチ方向で相互に入り込むように、上記互いに隣接する各ローラが設けられていることを特徴とするフィルム状ワークの搬送処理装置。
【請求項６】
フィルム状のワークを、ローラコンベヤで搬送しているときに、上記フィルム状ワークへ流体をスプレーして上記フィルム状ワークに処理を施すフィルム状ワークの搬送処理方法において、
上記フィルム状ワークの下側から上記フィルム状ワークの下面へ流体をスプレーするか否かを設定するスプレー設定段階と；
上記スプレー設定段階でスプレーする旨の設定がされた場合、上記フィルム状ワークに流体をスプレーする部位で、上記フィルム状ワークを支持するローラコンベヤのローラであるスプレー部位ローラを、上記フィルム状ワークの上面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置に設置し、一方、上記スプレー設定段階でスプレーしない旨の設定がされた場合、上記フィルム状ワークに流体をスプレーする部位で、上記スプレー部位ローラを、上記フィルム状ワークの下面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置に設置するスプレー部位ローラ設置段階と；
を有し、上記スプレー部位ローラの設置後、上記フィルム状ワークを、上記ローラコンベヤで搬送することを特徴とするフィルム状ワークの搬送処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム状ワークの搬送処理装置、フィルム状ワークの搬送処理方法に係り、特に、フィルム状ワークの下面に、液体等をスプレーして、上記フィルム状ワークを搬送しつつ上記フィルム状ワークに洗浄等の処理を施すものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板（板状のワーク）をローラコンベヤで搬送しつつ、上記基板の上面に洗浄水をスプレーして、上記基板を洗浄可能な基板洗浄装置（基板搬送処理装置）が知られている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、上記特許文献１で示すように基板の上面だけを洗浄するのではなく、上記基板の下面にも洗浄水をスプレーして上記基板を洗浄する場合がある。また、基板としてフィルム状ワーク（たとえば、フレキシブルプリント基板）を洗浄したり、さらに、洗浄の代わりに、上記フィルム状ワークに現像処理液をスプレーしてフォトレジストを現像したり、上記フィルム状ワークにエッチング処理液をスプレーしてエッチング処理を施す場合もある。
【０００４】
図１４〜図１７は、フィルム状ワークを搬送しつつ洗浄可能な従来の基板処理装置（フィルム状ワーク搬送処理装置）１００の概略構成を示す図である。
【０００５】
ここで、図１４は、フィルム状ワーク搬送処理装置１００の正面図を示し、図１４の紙面に垂直な方向に、フィルム状ワークが搬送される。図１５は、フィルム状ワーク搬送処理装置１００の平面図（フィルム状ワーク搬送処理装置１００を上方から眺めた図）を示し、図１６は、フィルム状ワーク搬送処理装置１００の斜視図を示し、図１７は、フィルム状ワーク搬送処理装置１００の平面図であって、上記フィルム状ワークの下面に、上記フィルム状ワークの下側からスプレーした場合における上記スプレーの噴射範囲を示す図である。
【０００６】
フィルム状ワーク搬送処理装置１００は、鍔付ローラ１０２を複数個備え、この各鍔付ローラ１０２を回転することによって、フィルム状ワークＷ１０を搬送可能なように構成されている。
【０００７】
また、上記鍔付ローラ１０２やフィルム状ワークＷ１０の上方には、このフィルム状ワークＷ１０にエッチング等の処理を施すための処理液Ｑ１０をスプレーするためのノズル１０４が適数個設けられており、上記鍔付ローラ１０２やフィルム状ワークＷ１０の下方にも、同様にフィルム状ワークＷ１０にエッチング等の処理を施すための処理液Ｑ１２をスプレーするためのノズル１０６が適数個設けられている。
【０００８】
なお、一般的には、上記各ノズル１０４と、上記各ノズル１０６とは、図１４の紙面の直角方向（フィルム状ワークＷ１０の搬送方向）で離隔して設けられている。換言すれば、上記フィルム状ワークＷ１０に対して上記各ノズル１０４でスプレーする位置と、上記フィルム状ワークＷ１０に対して上記各ノズル１０６でスプレーする位置とは、フィルム状ワークＷ１０の搬送方向において、互いに異なっている。したがってたとえば、上記フィルム状ワークＷ１０に対して上記各ノズル１０４でスプレーする位置では、上記各ノズル１０６でのスプレーはされていない。
【０００９】
【特許文献１】
特開平７−２８３１８５号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記フィルム状ワーク搬送処理装置１００において、上記フィルム状ワークＷ１０の下面に、上記フィルム状ワークＷ１０の下側からスプレーをして、上記フィルム状ワークＷ１０の下面でフォトレジストの現像やエッチング等の処理を施すと、図１７で示すように、上記フィルム状ワークＷ１０を搬送するためのローラ１０２が障害物になって、上記フィルム状ワークＷ１０の下面に処理液（下側ノズル１０６でスプレーされた処理液Ｑ１２）がうまくあたらず、フォトレジストの現像やエッチング等の処理不良が発生するおそれがある。
【００１１】
次に、上記処理不良の具体例を説明する。
【００１２】
図１８は、図１１や図１２に示すフィルム状ワークの表面（下面；フィルム状ワーク搬送処理装置１００において、下側のノズル１０６で処理される面）に、エッチングによって細長い電気配線を形成したときの、上記電気配線の太さの測定値を示すものである。
【００１３】
詳しく説明すると、図１１に示すフィルム状ワークの表面（フィルム状ワーク搬送処理装置１００において下側のノズル１０６で処理された面）には、長く延びた電気配線がエッチングによって複数本形成されている。また、上記各電気配線は、図１１の左右方向の中間部（寸法Ｌ１で示された範囲の中間部）で上記左右方向に長く延び、図１１の上下方向に複数本並んで形成されている。
【００１４】
なお、図１２は、図１１に示すフィルム状ワークの上記中間部の拡大図である。
【００１５】
図１８の横軸は、図１１に示す上記寸法Ｌ１の左端からの距離を示し、図１８の縦軸は、上記各電気配線のうちの１本の電気配線の幅寸法（上記寸法Ｌ１の左端からの距離に応じた幅寸法）を示す。なお、上記電気配線の幅寸法の目標値は、８０μｍである。
【００１６】
図１８から理解されるように、上記電気配線の幅寸法が、６０μｍ〜１００μｍの範囲にわたって形成されており、製造時の目標値の８０μｍに対してばらついている。
【００１７】
そこで、図１１に示すフィルム状ワークの表面（フィルム状ワーク搬送処理装置１００において下側のノズル１０６で処理された面）に、エッチング処理等に使用する処理液が的確にあたるように、上記処理液をスプレーする部位のローラを削除することが考えられる。
【００１８】
しかし、上述のように、ローラを取り除くと、この取り除いた部位で、フィルム状ワークがローラコンベヤから落下するおそれがあり、上記フィルム状ワークを搬送できないおそれが生じる。
【００１９】
つまり、上記従来のフィルム状ワークの搬送処理装置１００では、フィルム状ワークを搬送しつつ上記フィルム状ワークの下面に流体をスプレーして処理を施す場合、上記フィルム状ワークの下面の処理不良が発生するおそれがあり、また、処理不良を低減しようと試みると、フィルム状ワークを確実に搬送することができないおそれがあるという問題がある。
【００２０】
なお、上記問題は、エッチング処理液、フォトレジスト現像液、フィルム状ワークの洗浄液等の液体、また、液体以外の流体（気体）を用いて、フィルム状ワークに処理を施す場合にも発生する問題である。
【００２１】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、フィルム状のワークをローラコンベヤで搬送しているときに、上記フィルム状ワークに対して流体をスプレーして上記フィルム状ワークに処理を施すことが可能なフィルム状ワークの搬送処理装置において、上記フィルム状ワークを確実に搬送することができ、上記フィルム状ワークの下面の処理不良が発生するおそれを抑制することができるフィルム状ワークの搬送処理装置およびフィルム状ワークの搬送処理方法を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、フィルム状のワークをローラコンベヤで搬送しているときに、上記フィルム状ワークに対して流体をスプレーして上記フィルム状ワークに処理を施すことが可能なフィルム状ワークの搬送処理装置において、上記フィルム状ワークの下側から上記フィルム状ワークの下面へ流体をスプレー可能な流体スプレー手段と、上記フィルム状ワークが上記流体スプレー手段からのスプレーによって浮き上がることを防止するために、上記フィルム状ワークの上面で上記フィルム状ワークを支持可能なワーク支持手段とを有し、上記流体スプレー手段がスプレーした流体が、上記フィルム状ワークの下面へ直接あたるように、上記流体スプレー手段と上記フィルム状ワークとの間で、ローラコンベヤのローラが削除されているフィルム状ワークの搬送処理装置である。
【００２３】
請求項２に記載の発明は、ークをローラコンベヤで搬送しているときに、上記フィルム状ワークへ流体をスプレーして上記フィルム状ワークに処理を施すことが可能なフィルム状ワークの搬送処理装置において、上記フィルム状ワークの下側から上記フィルム状ワークの下面へ流体をスプレー可能な流体スプレー手段と、上記流体スプレー手段が上記フィルム状ワークに流体をスプレーする部位で上記フィルム状ワークを支持する上記ローラコンベヤのローラであるスプレー部位ローラを、上記フィルム状ワークの下面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置と、上記フィルム状ワークの上面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置とのうちのいずれかの位置に移動設置可能なローラ移動設置手段とを有するフィルム状ワークの搬送処理装置である。
【００２４】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のフィルム状ワークの搬送処理装置において、上記ローラ移動設置手段は、上記ローラコンベヤの基台に設けてあって上記流体を蓄えることが可能な流体用筐体と、上記流体用筐体内に設けてあって上記流体に浮く浮き部材と、基端部側が上記浮き部材に支持されてあって先端部側で上記スプレー部位ローラを回転自在に支持可能なスプレー部位ローラ支持部材とを具備し、上記流体用筐体内に供給された上記流体の量に応じて上記浮き部材が上下動することにより、上記スプレー部位ローラを移動設置可能に構成されているフィルム状ワークの搬送処理装置である。
【００２５】
請求項４に記載の発明は、請求項２または請求項３に記載のフィルム状ワークの搬送処理装置において、上記スプレー部位ローラが設置された各位置で、上記スプレー部位ローラを回転させるためのスプレー部位ローラ回転手段を有するフィルム状ワークの搬送処理装置である。
【００２６】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のフィルム状ワークの搬送処理装置において、上記ローラコンベヤのローラの側面には、このローラの回転軸を中心とした環状の溝が複数個、上記ローラの回転軸の長手方向で間隔をあけて設けられており、上記ローラコンベヤの上記各ローラ間のピッチを小さくするために、各ローラの各溝で形成された各鍔が上記各ローラ間のピッチ方向で相互に入り込むように、上記互いに隣接する各ローラが設けられているフィルム状ワークの搬送処理装置である。
【００２７】
請求項６に記載の発明は、フィルム状のワークを、ローラコンベヤで搬送しているときに、上記フィルム状ワークへ流体をスプレーして上記フィルム状ワークに処理を施すフィルム状ワークの搬送処理方法において、上記フィルム状ワークの下側から上記フィルム状ワークの下面へ流体をスプレーするか否かを設定するスプレー設定段階と、上記スプレー設定段階でスプレーする旨の設定がされた場合、上記フィルム状ワークに流体をスプレーする部位で、上記フィルム状ワークを支持するローラコンベヤのローラであるスプレー部位ローラを、上記フィルム状ワークの上面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置に設置し、一方、上記スプレー設定段階でスプレーしない旨の設定がされた場合、上記フィルム状ワークに流体をスプレーする部位で、上記スプレー部位ローラを、上記フィルム状ワークの下面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置に設置するスプレー部位ローラ設置段階とを有し、上記スプレー部位ローラの設置後、上記フィルム状ワークを、上記ローラコンベヤで搬送するフィルム状ワークの搬送処理方法である。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１、図２は、本発明の実施形態に係るフィルム状ワークの搬送処理装置１の概略構成を示す側面図である。
【００２９】
図３は、フィルム状ワークＷ１の搬送処理装置１の平面図（フィルム状ワークの搬送処理装置１を上方から眺めた図）を示し、特に、上記フィルム状ワークＷ１の下面に、上記フィルム状ワークＷ１の下側からスプレーした場合における上記スプレーの噴射範囲を示す図である。また、図３は、図２におけるＩＩＩＡ−ＩＩＩＢ矢視を示す。
【００３０】
フィルム状ワークの搬送処理装置１は、フィルム状のワークＷ１、たとえば、ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）等の薄板状のワークをローラコンベヤ２で搬送しているときに、すなわち、上記フィルム状のワークＷ１を載置した円筒状（円柱状）のローラ３を回転（長手方向の中心軸を回転中心にして自転）して、上記フィルム状ワークＷ１をほぼ水平方向に搬送しているときに、上記フィルム状ワークＷ１に対して流体Ｑ１をスプレーして（噴射しあてて）上記フィルム状ワークＷ１に処理を施すことが可能な装置である。
【００３１】
上記処理として、処理用の液体をフィルム状ワークＷ１にスプレーしてエッチングする処理（フィルム状ワーク表面の不要な導体をエッチング液で溶かして配線を形成する処理）、処理用の液体をフィルム状ワークＷ１にスプレーしてフォトレジストを現像する処理、液体や気体等の流体をフィルム状ワークＷ１にスプレーして洗浄する処理等を考えることができる。なお、本実施形態では、エッチング処理を例に掲げて説明する。また、以下、エッチング処理用の液体を単に「流体」と表現する場合がある。
【００３２】
フィルム状ワークの搬送処理装置１は、基台（図示せず）を備え、上記基台には、ローラコンベヤ２を構成する複数のローラ３が回転自在に設けられ、さらに、制御モータ（図示せず）で上記各ローラ３を回転することによって、フィルム状ワークＷ１を搬送することができるようになっている。
【００３３】
なお、上記各ローラ３の回転中心軸は、水平方向であって、フィルム状ワークＷ１の搬送方向（図１や図２に矢印ＡＲ１で示す方向）と直角な方向に延伸しており、また、上記各ローラ３は、フィルム状ワークＷ１の搬送方向で間隔をあけて設けられている。
【００３４】
上記各ローラ３の下側には、上記フィルム状ワークＷ１の下側から上記フィルム状ワークＷ１の下面へエッチングの処理液をスプレー可能な流体スプレー手段５の構成部材であるノズル７が設けられている。なお上記ノズル７は、図示しないエッチング処理液供給ポンプから、図示しない配管を介して、ある程度加圧されたエッチング処理液の供給を受け、このエッチング処理液を上記フィルム状ワークＷ１の下面にスプレーし、ローラ３で支えなくても上記フィルム状ワークＷ１が落下しないように、フィルム状ワークＷ１を支えることができるようになっている。
【００３５】
また、上記各ローラ３の上側には、上記フィルム状ワークＷ１の上側から上記フィルム状ワークの上面へエッチング処理液をスプレー可能な流体スプレー手段９の構成部材であるノズル１１が設けられている。この上記ノズル１１も、図示しないエッチング処理液供給ポンプから、図示しない配管を介して、ある程度加圧されたエッチング処理液の供給を受け、このエッチング処理液を上記フィルム状ワークＷ１の下面にスプレーすることができるようになっている。
【００３６】
なお、上記各ノズル７、１１で、フィルム状ワークＷ１にスプレーされたエッチング処理液は、たとえば、フィルム状ワークの搬送処理装置１に設けられた流体用タンク（図示せず）内に回収され、この流体用タンクから、エッチング処理液供給ポンプによって再び上記各ノズル７、１１に供給されるようになっている。
【００３７】
上記ノズル７と上記ノズル１１とは、従来とほぼ同様にフィルム状ワークＷ１の搬送方向（矢印ＡＲ１の方向）で互いに離隔して設けられている（図２参照）。すなわち、搬送されてくるフィルム状ワークＷ１に対して、たとえば、まず上側のノズル１１だけでスプレーし、さらに搬送されたフィルム状ワークＷ１に対して、下側のノズル７だけでスプレーするようになっている。
【００３８】
上記各ローラ３の上側には、上記フィルム状ワークＷ１が上記流体スプレー手段５のスプレーによって浮き上がることを防止するために、上記フィルム状ワークＷ１の上面で（上記流体スプレー手段５がスプレーするエッチング処理液を浴びる上記フィルム状ワークＷ１の部位における上記フィルム状ワークＷ１の上側で）、上記フィルム状ワークＷ１を支持可能なワーク支持手段１３が設けられている（図２、図１０参照）。
【００３９】
また、上記流体スプレー手段５がスプレーしたエッチング処理液が、上記フィルム状ワークの下面へ直接あたるように、上記流体スプレー手段と上記フィルム状ワークとの間で、ローラコンベヤ２のローラ３が削除されている（図２、図３参照）。換言すれば、ローラが削除された部位における各ローラ間の距離が、削除されていない部位における各ローラ間の距離よりも長くなっている。
【００４０】
フィルム状ワークの搬送処理装置１には、上記流体スプレー手段５が上記フィルム状ワークＷ１に流体をスプレーする部位で、上記フィルム状ワークＷ１を支持するためのローラコンベヤのローラであるスプレー部位ローラ（複数本のスプレー部位ローラ）１５を、上記フィルム状ワークＷ１の下面で上記フィルム状ワークＷ１を支持可能な位置（図１に示すスプレー部位ローラ１５の位置）と上記フィルム状ワークＷ１の上面で上記フィルム状ワークＷ１を支持可能な位置（図２に示すスプレー部位ローラ１５の位置）とのうちのいずれかの位置に移動設置可能なローラ移動設置手段１７が設けられている。
【００４１】
そして、上記ローラ移動設置手段１７で、上記フィルム状ワークＷ１の上面で上記フィルム状ワークＷ１を支持可能な位置（図１に示すスプレー部位ローラ１５の位置）にスプレー部位ローラ１５が設置されたとき、このスプレー部位ローラ１５が上記ワーク支持手段１３を構成することになる。
【００４２】
なお、上記ローラ３は、長手方向の一端部側に、上記ローラ３を回転駆動するためのスパーギヤ１８を備えている。
【００４３】
そして、図１に示す各ローラ３Ａ〜３Ｇ（フィルム状ワークＷ１の入口側から、上記入口側の最も近くに設けられているスプレー部位ローラ１５Ａまでの間に設けられている各ローラ）のうちで、上記入り口側から数えて奇数番目に位置している各ローラ３Ａ、３Ｃ、３Ｅ、３Ｇは、同じ側（たとえばフィルム状ワークの搬送方向の左側）に、それぞれがスパーギヤ１８を備え、上記各ローラ３Ａ〜３Ｇのうちで上記入り口側から数えて偶数番目に位置している各ローラ３Ｂ、３Ｄ、３Ｆは、上記側とは異なる側（たとえばフィルム状ワークの搬送方向の右側）に、それぞれがスパーギヤ１８を備えている。つまり、隣接している各ローラ３は、異なる側にスパーギヤ１８を備えている（図６参照）。
【００４４】
そして、上記奇数番目の各ローラ３に設けられた各スパーギヤ１８の間には、スパーギヤ１８と噛み合っている遊び歯車（図示せず）が設けられ、上記奇数番目の各ローラ３Ａ、３Ｃ、３Ｅ、３Ｇのうちの１つを、たとえば図示しない制御モータで回転駆動すると、他の奇数番目の各ローラ３Ａ、３Ｃ、３Ｅ、３Ｇの総てが同じ方向に同じ速度で回転するようになっている。
【００４５】
また、上記偶数番目の各ローラ３Ｂ、３Ｄ、３Ｆも同様に駆動され、さらに、図１に示すスプレー部位ローラ１５Ｂとスプレー部位ローラ１５Ｃとの間に設けられている各ローラ３や、スプレー部位ローラ１５Ｄよりも出口側に設けられているローラ３も同様に駆動される。
【００４６】
次に、上記ローラ移動設置手段１７について詳しく説明する。
【００４７】
図４は、ローラ移動設置手段１７の概略構成を示す分解図であり、図５は、ローラ移動設置手段１７とこの周辺におけるフィルム状ワークの搬送処理装置１の概略構成を示す斜視図であり、図６は、ローラ移動設置手段１７とこの周辺におけるフィルム状ワークの搬送処理装置１の概略構成を示す平面図である。
【００４８】
図７は、ローラ移動設置手段１７によって、上記フィルム状ワークＷ１の下面で上記フィルム状ワークＷ１を支持可能な位置（図１に示すスプレー部位ローラ１５の位置）にスプレー部位ローラ１５が設置されたときの状態を示す図であり、図８は、図７におけるＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＢ断面を示す図である。
【００４９】
図９は、ローラ移動設置手段１７によって、上記フィルム状ワークＷ１の上面で上記フィルム状ワークＷ１を支持可能な位置（図２に示すスプレー部位ローラ１５の位置）にスプレー部位ローラ１５が設置されたときの状態を示す図であり、図１０は、図７におけるＸＡ−ＸＢ断面を示す図である。なお、図７〜図１０では、ローラ３等の表示は省略してある。
【００５０】
上記ローラ移動設置手段１７は、図４に示すように、内壁が直方体状に形成された流体用筐体１９を備え、この流体用筐体１９は、上記フィルム状ワーク搬送理装置１の基台（図示せず）に設けられ、流体（エッチング処理液）を蓄えることが可能なように構成されている。
【００５１】
また、流体用筐体１９の上部は開口しており、この開口部１９Ａから上記流体に浮く浮き部材２１を挿入することによって、上記浮き部材２１が上記流体用筐体１９内に設けられることになる。なお、上記浮き部材２１の外壁は直方体状に形成されており、この上記浮き部材２１の外壁と上記流体用筐体１９の内壁とが互いに係合し、上記流体用筐体１９に対して上記浮き部材２１が上下方向にのみ移動できるようになっている。
【００５２】
なお、上記流体用筐体１９に対して上記浮き部材２１が上下方向にのみ移動自在になっているのであれば、上記流体用筐体１９や上記浮き部材２１の形状をたとえば円柱状等の形状に変更してもよい。
【００５３】
また、上記浮き部材２１のたとえば上部側には、スプレー部位ローラ支持部材２３が設けられている。このスプレー部位ローラ支持部材２３は、基端部側が上記浮き部材２１に支持されており、先端部側で上記スプレー部位ローラ１５を回転自在に支持している。
【００５４】
より、詳しく説明すると、上記スプレー部位ローラ支持部材２３は、たとえば直方体状に形成され、上記スプレー部位ローラ支持部材２３の上面から下方に向かって、上記スプレー部位ローラ１５の端部を上方から挿入可能な「Ｕ」字状の溝が形成されている。そして、上記「Ｕ」字状の溝に上記スプレー部位ローラ１５の端部を挿入して係合することによって、上記スプレー部位ローラ１５が回転自在に支持されることになる。
【００５５】
そして、上記流体用筐体１９内に供給された上記流体の量に応じて上記浮き部材２１が上下動することにより、上記スプレー部位ローラ１５を移動設置可能に構成されている。
【００５６】
また、図７や図８に示すように、流体を上記各流体用筐体１９内に流体を供給し、または流体を上記各流体用筐体１９内から上記流体用筐体１９の外へ排出するための配管２５が、上記各流体用筐体１９の下部に接続されており、この配管２５の一端部には、上記配管２５内の流体の流れをオン・オフ自在なストップバルブ２７が設けられている。また、このストップバルブ２７を経由して、上記配管２５の外部に流れ出た流体は、たとえばフィルム状ワークの搬送処理装置１に設けられた上記流体用タンク（図示せず）に蓄えられるようになっている。
【００５７】
また、上記配管２５の他の一端部側は、上記流体用タンクに溜まっている流体を上記流体用筐体１９内に供給するためのポンプである筐体用ポンプ（図示せず）に接続されている。
【００５８】
さらに、図７や図８に示す状態は、上記ストップバルブ２７が開放されて、上記流体用筐体１９内の流体が、ほぼ総て排出された状態を示している。この状態では、スプレー部位ローラ１５が下端に位置しており（図１に示す状態になっており）、ローラコンベヤ２の各ローラ３の上端と上記スプレー部位ローラ１５の上端とがほぼ同一平面（水平面）上に位置し、上記各ローラ３の上端と上記スプレー部位ローラ１５の上端とがフィルム状ワークＷ１のパスライン（ローラコンベヤ２で搬送されるフィルム状ワークＷ１の下面で形成されるライン）ＰＬ１を形成している。
【００５９】
なお、上記スプレー部位ローラ１５を上記下端に位置させるために、別途、ストッパーを設けてもよい。ストッパーを別途設けることによって、上記流体用筐体１９内に流体が残っていても、または、上記浮き部材２１が下端部に位置していなくても、上記スプレー部位ローラ１５を上記下端に位置させることができるようになる。
【００６０】
また、上記スプレー部位ローラ１５を上記下端に位置させている場合、上記筐体用ポンプが稼動を停止していることが望ましい。
【００６１】
図９や図１０に示す状態は、上記筐体用ポンプが稼動し上記ストップバルブ２７が閉じられて、上記流体用筐体１９内に流体が供給された状態を示している。この状態では、スプレー部位ローラ１５が上端に位置しており（図２に示す状態になっており）、ローラコンベヤ２の各ローラ３の上端と上記スプレー部位ローラ１５の下端とがほぼ同一平面（水平面）上に位置し、より正確には上記スプレー部位ローラ１５の下端が、上記各ローラ３の上端よりも、僅かに（たとえば、フィルム状ワークＷ１の厚さ分だけ）上方に位置し、上記各ローラ３の上端がフィルム状ワークＷ１のパスラインＰＬ１を形成している。
【００６２】
なお、上記スプレー部位ローラ１５を上記上端に位置させるために、ストッパー（図示せず）が設けられている。
【００６３】
また、フィルム状ワーク搬送処理装置１の基台（図示せず）には、上記スプレー部位ローラ１５が設置された各位置で、上記スプレー部位ローラ１５を回転させるためのスプレー部位ローラ回転手段２８が設けられている（図１、図２、図４参照）。
【００６４】
より詳しく説明すると、上記スプレー部位ローラ１５のたとえば一端部側には、上記スプレー部位ローラ１５を回転駆動するための動力伝達部材であるギヤー（たとえばスパーギヤ）２９が設けられており（図４参照）、上記スプレー部位ローラ１５が図１に示すように下端に位置したとき、上記スパーギヤ２９がフィルム状ワーク搬送処理装置１の基台に回転自在に設けられた下部側スプレー部位ローラ駆動用ギヤー（図示せず）と係合し、上記スプレー部位ローラ１５が回転するようになっている。
【００６５】
また、上記スプレー部位ローラ１５が図２に示すように上端に位置したとき、上記スパーギヤ２９がフィルム状ワーク搬送処理装置１の基台に回転自在に設けられた上部側スプレー部位ローラ駆動用ギヤー３０（図１、図２参照）と係合し、上記スプレー部位ローラ１５が回転するようになっている。
【００６６】
なお、上記下部側スプレー部位ローラ駆動用ギヤーや上記上部側スプレー部位ローラ駆動用ギヤー３０は、たとえば、上記各ローラ３を回転駆動するための制御モータによって回転駆動するようになっている。
【００６７】
さらに、上記スプレー部位ローラ１５を上記上端や上記下端に位置させるためのストッパーとして、上記下部側スプレー部位ローラ駆動用ギヤーや上記上部側スプレー部位ローラ駆動用ギヤー３０を使用してもよい。このように構成すれば、別途ストッパーを設ける必要がなくなり、構成が簡素化される。また、上記スプレー部位ローラ１５が流体の浮力で上下動するので、上記各ギヤーに大きな力がかかるおそれは少なく、上記各ギヤーが破損する等のおそれが少なくなる。
【００６８】
また、上記スプレー部位ローラ１５と各ローラ３とは、外周（フィルム状ワークＷ１との接触面）における速度が同じになっている。
【００６９】
次に、上記ローラコンベヤ２の各ローラ３やスプレー部位ローラ１５について、図３〜図６（特に図３）を用いて詳しく説明する。
【００７０】
上記ローラコンベヤのローラ３やスプレー部位ローラ１５の側面には、このローラの回転軸を中心とした環状の溝が複数個、上記ローラの回転軸の長手方向で間隔をあけて設けられており、上記ローラコンベヤ２の上記各ローラ３、１５間のピッチ（フィルム状ワークの搬送処理装置１のフィルム状ワークＷ１の搬送方向における各ローラ３、１５の設置間隔）を小さくするために、各ローラ３、１５の各溝で形成された各鍔が、上記各ローラ３、１５間のピッチ方向で相互に入り込むように、互いに隣接する上記各ローラ３、１５が、上記フィルム状ワークの搬送処理装置１の基台に設けられている。
【００７１】
たとえば、上記ローラコンベヤ２のローラ３やスプレー部位ローラ１５は、長手方向の軸心を回転中心にして回転する棒状の基材３１と、外径が上記棒状の基材３１の外径よりも大きい円形状の平面部３３Ａが上記回転軸と垂直でありしかも上記平面部３３Ａの中心が上記回転軸と一致するように上記棒状の基材３１の長手方向で互いが間隔をあけて上記棒状の基材３１に設けられた複数の円板３３とを備えた構成であり、上記各ローラ３、１５間のピッチを小さくするために、互いに隣接する各ローラ３、１５の各円板（鍔）３３が、上記ローラコンベヤ２の上記各ローラ３、１５のピッチ方向で相互に入り込むように上記各ローラ３、１５が設けられている。
【００７２】
また、フィルム状ワークの搬送処理装置１では、図１や図２に示すように、スプレー部位ローラ１５と隣接するローラ３の上部に押えローラ３５を設けてあり、この押えローラ３５と上記ローラ３とでフィルム状ワークＷ１を挟み込んで搬送することにより、スプレー部位ローラ１５が設けられている部位、すなわち、ローラ３が存在していない部位におけるフィルム状ワークＷ１の搬送をスムーズに行えるようになっている。
【００７３】
次に、フィルム状ワークの搬送処理装置１の動作について説明する。
【００７４】
まず、フィルム状ワークの搬送処理装置１において、フィルム状ワークＷ１の下側から上記フィルム状ワークＷ１の下面へ流体をスプレーするか否かが設定される。なお、この設定は、オペレータが、フィルム状ワークの搬送処理装置１に設けられた切り替えスイッチ等の入力手段（図示せず）を操作することによって行われる。
【００７５】
続いて、上記フィルム状ワークＷ１の下面へ流体をスプレーする旨の設定がされた場合、スプレー部位ローラ１５を、図１に示すように、上記フィルム状ワークＷ１の上面で上記フィルム状ワークＷ１を支持可能な位置に設置する。
【００７６】
一方、上記フィルム状ワークＷ１の下面へ流体をスプレーしない旨の設定がされた場合、上記スプレー部位ローラ１５を、図２に示すように、上記フィルム状ワークＷ１の下面で上記フィルム状ワークＷ１を支持可能な位置に設置する。
【００７７】
続いて、上記スプレー部位ローラ１５の設置後、フィルム状ワークＷ１を入口側から投入し、この投入された上記フィルム状のワークＷ１を、ローラコンベヤ２（ローラ３やスプレー部位ローラ１５）で搬送しつつ、フィルム状ワークＷ１に対して適宜スプレーして、フィルム状ワークＷ１に処理を施す。
【００７８】
なお、上述したように、上記フィルム状ワークＷ１の下面へ流体をスプレーする旨の設定がされた場合、上記フィルム状のワークＷ１は、スプレー部位ローラ１５の部位では、ノズル７からのスプレーによって下側から支えられ搬送される。
【００７９】
なお、上記動作は、フィルム状ワークの搬送処理装置１の制御装置（図示せず）が、上記入力手段等から入力した信号等に基づいて、制御モータやバルブ等の各アクチュエータを制御することによって行われる。
【００８０】
次に、フィルム状ワークの搬送処理装置１を用い、ノズル７からスプレーすることによって、フィルム状ワークＷ１の下面にエッチング処理した結果を説明する。
【００８１】
なお、フィルム状ワークの搬送処理装置１で、フィルム状ワークＷ１の下面にエッチング処理をする場合、図２や図３で示すように、ローラ３やスプレー部位ローラ１５が、ノズル７からのスプレーの障害にはならないようになっている。
【００８２】
図１３は、図１１や図１２に示すフィルム状ワークの表面（下面；フィルム状ワークの搬送処理装置１において、下側のノズル７で処理される面）に、エッチングによって細長い電気配線を形成したときの、上記電気配線の太さを測定した値を示すものである。
【００８３】
詳しく説明すると、上述したように、図１１に示すフィルム状ワークの表面（フィルム状ワークの搬送処理装置１において下側のノズル７で処理された面）には、上述したように、長く延びた電気配線が、エッチングによって複数本形成されている。また、上記各電気配線は、図１１の左右方向の中間部（寸法Ｌ１で示された範囲の中間部）で上記左右方向に長く延び、図１１の上下方向に複数本並んで形成されている。
【００８４】
なお、上述したように、図１２は、図１１の左右方向におけるフィルム状ワークの上記中間部の拡大図である。
【００８５】
図１３の横軸は、図１１に示す上記寸法Ｌ１の左端からの距離を示し、図１３の縦軸は、上記各電気配線のうちの１本の電気配線の幅寸法（上記寸法Ｌ１の左端からの距離に応じた幅寸法）を示す。なお、上記電気配線の幅寸法の目標値は、８０μｍである。
【００８６】
図１３から理解されるように、上記電気配線の幅寸法が、ほぼ８０μｍ〜９０μｍの範囲内に形成されており、図１８に示す状態に比べ、目標値の８０μｍの近傍に収束している。
【００８７】
フィルム状ワークの搬送処理装置１によれば、フィルム状ワークＷ１をローラコンベヤ２で搬送しこのフィルム状ワークＷ１に流体をスプレーして処理を施す場合、障害となる上記ローラコンベヤ２の一部が削除され、上記ローラコンベヤ２に邪魔されることなく、流体をフィルム状ワークＷ１の下面に直接スプレーすることができるので、つまり、上記フィルム状ワークＷ１の下面に満遍なくしかも高い圧力で勢いのある流体をスプレーすることができるので、上記ローラコンベヤ２のローラが存在していない部位で上記流体の圧力によって上記搬送中のフィルム状ワークＷ１の落下や上記フィルム状ワークＷ１の下方への撓みを防止でき、上記流体による上記フィルム状ワークＷ１の下面の処理不良を低減することができる（処理を確実に行うことができる）と共に、上記流体があてられるフィルム状ワークＷ１の部位では、このフィルム状ワークＷ１の上面で上記フィルム状ワークＷ１を支持しているので、下側から流体をあてたことによる上記フィルム状ワークＷ１の浮き上がりを防止することができる。
【００８８】
つまり、上記フィルム状ワークの搬送処理装置１において、フィルム状ワークＷ１を搬送しつつ上記フィルム状ワークＷ１の下面に流体をスプレーして処理を施す場合、上記フィルム状ワークＷ１を確実に搬送することができると共に、上記フィルム状ワークＷ１の下面の処理不良を低減することができる。
【００８９】
そして、たとえば、エッチングで上記フィルム状ワークＷ１の下面（上記フィルム状ワークの搬送処理装置１で搬送しているときにおける下面）に電気配線を形成する場合、この電気配線の形状を正確に形成することができ、たとえば上記電気配線の断線を防止し、また、互いに隣接する電気配線同士の間の距離を小さくしても、上記互いに隣接する電気配線同士間の短絡を防止することができる。
【００９０】
ところで、厚さが異なる別のフィルム状ワークを上記フィルム状ワークの搬送処理装置１で搬送しつつ処理するときに、処理時間の調整等のために下側からフィルム状ワークＷ１の下面に、流体スプレー手段５で上記流体をスプレーする必要がない場合がある。このように下側から流体をあてる必要がない場合、ローラ３が存在していない部位（フィルム状ワークＷ１の下面に、流体スプレー手段５で上記流体をスプレーすることがある部位）で、搬送中のフィルム状ワークＷ１の落下や上記フィルム状ワークＷ１の下方への撓みが発生する。すなわち、フィルム状ワークＷ１の種類によっては、フィルム状ワークＷ１を搬送できないことがある。
【００９１】
しかし、上記フィルム状ワークの搬送処理装置１によれば、フィルム状ワークＷ１の厚さの違い等、フィルム状ワークＷ１の種類に応じたフィルム状ワークＷ１への処理態様に応じて、スプレー部位ローラ１５を移動設置できるので、フィルム状ワークＷ１の種類に応じて、適切な搬送処理を行うことが容易になる。
【００９２】
また、上記フィルム状ワークの搬送処理装置１によれば、流体圧シリンダー等のアクチュエータを用いることなく、流体に浮く（流体よりも密度の低い）浮き部材２１の浮力によって、スプレー部位ローラ１５を上下動させているので、上記スプレー部位ローラ１５を上下動させるための機構が簡素になり、上記機構の故障の発生頻度を低く抑えることができる。
【００９３】
また、スプレー部位ローラ１５を上下動するための流体として、フィルム状ワークＷ１を処理する流体と同じ流体を使っているので、この流体が、たとえば上記流体用筐体１９から漏れても、油圧シリンダーを使用した場合のように、上記流体に油圧作動油が混入することはなく、上記流体の汚染を防止することができる。
【００９４】
また、フィルム状ワークの搬送処理装置１によれば、上記スプレー部位ローラ１５が設置された各位置で、上記スプレー部位ローラ１５を回転させて、上記フィルム状ワークＷ１を搬送することができるので、フィルム状ワークＷ１の搬送処理装置の搬送方向における寸法が短いフィルム状ワークであっても確実に搬送することができる。
【００９５】
さらにまた、ローラ３やスプレー部位ローラ１５のピッチ小さく構成してあるので、フィルム状ワークの搬送処理装置の搬送方向における寸法が短いワークを搬送することが可能であると共に、溝が設けられたローラの外径（溝が設けられていない部分の外径；鍔に外径）にフィルム状ワークを接触させて上記フィルム状ワークを搬送するので、円筒状の側面を備えたローラ（溝が設けられていないローラ）を使用してフィルム状ワークを搬送する場合よりも、ローラの回転数を上げることなく、速い速度でフィルム状ワークを搬送することができる。
【００９６】
また、溝が設けられていることによって、上記フィルム状ワークを搬送する際、上記フィルム状ワークの下面の全面がローラに接触することはない。そして上記フィルム状ワークの下面の一部しか、ローラに接触しないので、上記フィルム状ワークが上記ローラへ巻きつくおそれを回避することができる。
【００９７】
また、フィルム状ワークの搬送処理装置１によれば、溝を削って構成することなく、円板３３を付加することによって溝を形成しているので、ローラ３やスプレー部位ローラ１５間のピッチをつめるべく（ピッチを極力小さくすべく）溝の深さを深く形成する場合でも、ローラ３やスプレー部位ローラ１５を製造することが容易になる。
【００９８】
【発明の効果】
本発明によれば、フィルム状のワークをローラコンベヤで搬送しているときに、上記フィルム状ワークに対して流体をスプレーして上記フィルム状ワークに処理を施すことが可能なフィルム状ワークの搬送処理装置において、上記フィルム状ワークを確実に搬送することができ、上記フィルム状ワークの下面の処理不良が発生するおそれを抑制することができるという効果を奏する。
【００９９】
【符号の説明】
１  フィルム状ワーク搬送処理装置
２  ローラコンベヤ
３  ローラ
５、９  流体スプレー手段
７、１１  ノズル
１３  ワーク支持手段
１５  スプレー部位ローラ
１７  ローラ移動設置手段
１９  流体用筐体
２１  浮き部材
２３  スプレー部位ローラ支持部材
Ｗ１  フィルム状ワーク
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るフィルム状ワークの搬送処理装置の概略構成を示す側面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るフィルム状ワークの搬送処理装置の概略構成を示す側面図である。
【図３】フィルム状ワークの搬送処理装置の平面図を示し、特に、上記フィルム状ワークの下面に、上記フィルム状ワークの下側からスプレーした場合における上記スプレーの噴射範囲を示す図である。
【図４】ローラ移動設置手段の概略構成を示す分解図である。
【図５】ローラ移動設置手段とこの周辺におけるフィルム状ワークの搬送処理装置の概略構成を示す斜視図である。
【図６】ローラ移動設置手段とこの周辺におけるフィルム状ワークの搬送処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図７】ローラ移動設置手段によって、フィルム状ワークの上面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置にスプレー部位ローラが設置されたときの状態を示す図である。
【図８】図７におけるＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＢ断面を示す図である。
【図９】ローラ移動設置手段によって、フィルム状ワークの下面で上記フィルム状ワークを支持可能な位置にスプレー部位ローラが設置されたときの状態を示す図である。
【図１０】図７におけるＸＡ−ＸＢ断面を示す図である。
【図１１】フィルム状ワークの形態を示す図である。
【図１２】フィルム状ワークの形態を示す図である。
【図１３】図１１や図１２に示すフィルム状ワークの表面に、エッチングによって細長い電気配線を形成したときの、上記電気配線の太さの測定値を示すものである。
【図１４】従来の基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図１５】従来の基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図１６】従来の基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図１７】従来の基板処理装置の概略構成を示す図である。
【図１８】図１１や図１２に示すフィルム状ワークの表面に、エッチングによって細長い電気配線を形成したときの、上記電気配線の太さの測定値を示すものである。
【図１】
2004315923.tif 000003
【図２】
2004315923.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2004315923.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
2004315923.tif 000019
【図１８】
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