(57)【要約】【課題】誤って大きく異なったティーチングデータ値を入力してしまった場合には、これを知らせるとのできる半導体製造装置を提供する。【解決手段】搬送機構におけるモータの駆動量に基づいて前記搬送機構の動作位置を予め登録する作業であるティーチング作業を行うようにした半導体製造装置において、ティーチング作業を行う前のティーチングデータ値と、ティーチング作業後のティーチングデータ値とを比較し、当該比較値が予め設定されている所定値を超えた場合に警告を行う機能を有する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送機構におけるモータの駆動量に基づいて前記搬送機構の動作位置を予め登録する作業であるティーチング作業を行うようにした半導体製造装置において、
前記ティーチング作業を行う前のティーチングデータ値と、ティーチング作業後のティーチングデータ値とを比較し、当該比較値が予め設定されている所定値を超えた場合に警告を行う機能を有することを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ティーチング（モータを用いて制御する機械の動作位置を予め登録しておく操作）作業の安全性を向上させた半導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図４は従来の半導体製造装置におけるウエハ搬送機構のモータ動作軸構成を示す図である。図５はモータ軸の制御ユニット構成を示すブロック図である。従来の半導体製造装置は多くの場合、カセット及びウエハ等を移動させるために、モータを使用した搬送機構を有しており、搬送機構は、アクチュエータ（モータ５４）と、位置情報を取得するエンコーダ５６と、材料検出用及び位置検出用の図示しない各種センサとにより構成されている。モータによって制御される動作軸には、図４に示されるように上下動作軸５４ａ、回転動作軸５４ｂ及び前後動作軸５４ｃ等がある。
【０００３】
モータ５４の制御は、例えば図５に示されるモータ軸の制御ユニット構成に基づいて行われる。この制御ユニットは、搬送制御コントローラ５０と、モータドライバ（ＭＤ）５２と、モータ５４と、エンコーダ５６を備え、搬送制御コントローラ５０から出力される位置情報に基づいて、モータドライバ５２がモータ５４を作動させ、エンコーダ５６がモータ５４の各軸の位置情報を取得し、その位置情報をモータドライバ５２を介して搬送制御コントローラ５０に入力する。そしてこの位置情報に基づいて搬送制御コントローラ５０は新たな位置情報をモータドライバ５２に出力する。
【０００４】
このように、モータ５４による制御のためには、予め動作時の位置情報等のティーチングデータ値（エンコーダの値）を搬送制御コントローラ５０に登録しておくことが必要である（位置情報を登録する作業のことをティーチング作業と呼ぶ）。ティーチング作業は、例えば、処理ウエハを搭載する石英ボートを洗浄した場合には、洗浄により石英ボートが変形したりする可能性があるため、その度毎に装置のメンテナンス担当者等によって行われる。ティーチング作業前のティーチングデータ値とティーチング作業後に入力されるティーチングデータ値とは、ティーチング作業を行うたびに、微妙に異なるが、搬送機構が異常動作を起こすには至らない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、作業者がティーチング作業時に誤って大きく異なったティーチングデータ値を入力し、搬送機構を動作させてしまうと、搬送機構が他のものに衝突して破損してしまうことがある。例えば、ウエハ又は搬送機構が石英ボート等と衝突し、その結果、ウエハや石英ボートが破損してしまう可能性がある。従来の半導体製造装置では、このように誤ってティーチングデータを入力した場合にそれをチェックする機能が存在しない。このため、上述のように、誤ったティーチングデータ値を設定したまま搬送機構を動作させて、装置を破損に至らしめる虞があった。
【０００６】
本発明は、上記のような従来の課題を解決するためのものであり、誤って大きく異なったティーチングデータ値を入力してしまった場合には、これを知らせるとのできる半導体製造装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するため、本発明は、搬送機構におけるモータの駆動量に基づいて前記搬送機構の動作位置を予め登録する作業であるティーチング作業を行うようにした半導体製造装置において、前記ティーチング作業を行う前のティーチングデータ値と、ティーチング作業後のティーチングデータ値とを比較し、当該比較値が予め設定されている所定値を超えた場合に警告を行う機能を有するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図を用いて説明する。
図１は本発明の実施の形態における制御ユニットのブロック図、図２は本発明の実施の形態における半導体製造装置の全体斜視図、図３は実施の形態の制御フロー図をそれぞれ示す。なお、従来技術で説明した部材と同一の部材には同一の符号を付す。
【０００９】
図２に示すように、半導体製造装置は、加熱手段を備えたヒータ２２と、ヒータ２２の開閉を行うファーネスシャッタ２４と、ウエハを載置可能なボート２８と、ボート２８をヒータ２２に挿入あるいは引出すためのボートエレベータ３２と、内部にウエハを収納可能なカセット１２を載置する場所であり、最大２つのカセット１２を載置可能であるＩ／Ｏステージ４０と、未処理ウエハを保管するカセット収納棚３０と、ボート２８とカセット１２との間でウエハの移載を行うウエハ搬送機３８と、Ｉ／Ｏステージ４０とカセット収納棚３０との間でカセット１２の搬送を行うカセットローダ４２とを備えている。このうち、ティーチング作業が必要な搬送機構は、カセットローダ４２、ウエハ搬送機３８、及びボートエレベータ３２である。
【００１０】
カセットローダ４２、ウエハ搬送機３８及びボートエレベータ３２のモータ軸の制御は、図１に示される制御ユニットによって行われ、制御ユニットは、搬送制御コントローラ５０、モータドライバ５２、モータ５４、エンコーダ５６及び調整用端末５８により構成される。
【００１１】
搬送制御コントローラ５０には、制御プログラム５０ａと、現在のモータ制御軸の位置情報５０ｂと、ティーチング登録済みデータ５０ｃと、前後軸ティーチング許容値、上下軸ティーチング許容値及び回転軸ティーチング許容値などの装置パラメータ５０ｄとが保存されている。装置パラメータ５０ｄは、モータ制御軸についての位置情報（ティーチング作業後のティーチングデータ値）の登録の際に、ティーチング作業後のティーチングデータ値（新たに登録しようとする値）とティーチング作業前のティーチングデータ値（すでに登録されている値、ティーチング登録済データ）とを比較し、これらの値の差が予め設定されている所定値（すなわち、前後軸ティーチング許容値、上下軸ティーチング許容値及び回転軸ティーチング許容値）を超えた場合に、登録ミスの可能性があるとする値である。また、搬送制御コントローラ５０は、登録ミスの可能性がある場合は、調整用端末５８に警告を表示させる。なお、前記各ティーチング許容値に関しては特に規定は無く、パラメータとして設定可能なものであり、０．１ｍｍ〜１０ｍｍ程度の値である。
【００１２】
モータドライバ５２（ＭＤ）には、搬送制御コントローラ５０からモータ５４の動作位置情報が入力され、この位置情報に基づいて、モータ５４を作動させる。図４に示されるようなモータによって制御される上下動作軸、回転動作軸及び前後動作軸の位置情報はエンコーダ５６により取得され、モータドライバ５２を介して搬送制御コントローラ５０に入力される。
【００１３】
調整用端末５８は、搬送制御コントローラ５０に接続されており、オペレータがティーチングデータ値等を入力可能である。また、ティーチング作業後にティーチングデータ値を入力する際、ティーチング作業後に入力したティーチングデータ値と、ティーチング登録済データとを比較して、ティーチング許容値を超えている場合は、「ティーチング位置が許容値を超えています」という意味のエラーが調整用端末５８に表示され、ティーチング位置の確認がオペレータに促される。オペーレータは、確認後のティーチング位置を調整端末５８から再入力する。ティーチング位置に誤りが無ければ、オペレータにより調整用端末５８を用いて登録が行われる。
【００１４】
次に、ティーチングの例として、ウエハ搬送機３８をボート２８に対してティーチングする場合の作業の流れを、図３の制御フローに従って説明する。
【００１５】
まず、ウエハ搬送機３８のボート２８側のティーチングを開始する（ステップ１００）。次いで、調整用端末５８を用いて、オペレータの操作によりウエハ搬送機３８の図２に示されるＸ軸（前後動作軸）、Ｙ軸（回転動作軸）、Ｚ軸（上下動作軸）をボート２８の最下位スロットに移動させる（ステップ１１０）。次いで、現在のウエハ搬送機３８のＸ軸（前後動作軸）、Ｙ軸（回転動作軸）、Ｚ軸（上下動作軸）の位置情報を「ボート下基準位置」に調整用端末５８を用いて登録する（ステップ１２０）。次いで、調整用端末５８を用いて、オペレータの操作によりウエハ搬送機３８のＸ軸（前後動作軸）、Ｙ軸（回転動作軸）、Ｚ軸（上下動作軸）をボート２８の最上位スロットに移動させる（ステップ１３０）。次いで、現在のウエハ搬送機３８の各軸の位置情報を「ボート上位置」に調整用端末５８を用いて登録する（ステップ１４０）。以上によりウエハ搬送機３８のボート２８側のティーチングが完了する（ステップ１５０）。
【００１６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ティーチング作業後に入力したティーチングデータ値が、ティーチング作業前のティーチングデータ値と比較して予め設定されている所定値を超える場合は、操作ミスの可能性があるとして、オペレータに警告するため、誤ったティーチングデータ値を入力したまま搬送機構を動作させて、搬送機構が他のものに衝突して破損してしまうということが無くなり、装置メンテナンス時のティーチングミスを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における制御ユニットを示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態における半導体製造装置の全体斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態の動作を示すフローチャートである。
【図４】モータ動作軸構成を示す図である。
【図５】モータ軸の制御ユニット構成を示す図である。
【符号の説明】
３２  ボートエレベータ（搬送機構）
３８  ウエハ搬送機（搬送機構）
４２  カセットローダ（搬送機構）
５４  モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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