(57)【要約】【課題】大きな平板状ワークであっても小さな駆動力で、円滑に、かつ安定した状態で移動できるワーク搬送装置を備え、装置全体の大型化を抑える。【解決手段】平板状ワークの作業装置１におけるワーク搬送装置３は、平板状ワークＷを把持してＹ軸方向ｙに移動させる搬送機構７と、平板状ワークＷの下面を支持してＹ軸方向ｙへの移動を案内する支持案内機構８，９，１０と、作業ヘッド６の下方位置における平板状ワークＷの下面側にＸ軸方向に沿って設けられ、平板状ワークＷの下面を気体の圧力で支持するワークステージ１１とを備えている。ワークステージ１１はステージ本体１８を備え、搬送機構７による平板状ワークＷの移動時や作業ヘッド６による作業時に、ステージ本体１８に設けた気体通路や気体吸引通路から圧縮気体を噴出、吸引させて、平板状ワークＷをステージ本体１８に対し微小量浮上、または吸着させて安定に保持させる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク搬送装置によってＹ軸方向に移動される平板状ワークを、該平板状ワークの上方でＸ軸方向に移動される作業ヘッドによって測定および修正する作業のうちの少なくとも一方を行う作業装置において、
前記ワーク搬送装置は、前記平板状ワークを把持してＹ軸方向に移動させる搬送機構と、前記平板状ワークの下面を支持してＹ軸方向への移動を案内する支持案内機構と、前記作業ヘッドの下方位置における平板状ワークの下面側にＸ軸方向に沿って設けられ、平板状ワークの下面を気体の圧力で支持するワークステージとを備えていることを特徴とする平板状ワークの作業装置。
【請求項２】
前記ワークステージは、前記平板状ワークの下面に向けて開口する気体通路をＸ軸方向に所定間隔をあけて複数個設けたステージ本体を備え、前記各気体通路には気体供給配管を介して圧縮気体供給源が連絡されていることを特徴とする請求項１に記載の平板状ワークの作業装置。
【請求項３】
前記ステージ本体には、前記平板状ワークの下面に向けて開口する気体吸引路がＸ軸方向に沿って所定間隔をあけて複数個設けられ、前記各気体吸引路には気体吸引配管を介して気体吸引ポンプが連絡されていることを特徴とする請求項２に記載の平板状ワークの作業装置。
【請求項４】
前記気体通路には前記気体供給配管とは別の気体吸引配管を介して気体吸引ポンプが連絡され、前記気体供給配管と気体吸引配管には、前記気体通路と圧縮気体供給源が連絡されたときに気体通路と気体吸引ポンプとの連絡を断ち、前記気体通路と圧縮気体供給源との連絡が断たれたときに気体通路と気体吸引ポンプとを連絡させる切換バルブがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２に記載の平板状ワークの作業装置。
【請求項５】
前記ステージ本体における気体通路と気体吸引路の開口部側の上面には、多孔質材料からなる平板状の通気部材が、前記開口部を覆うようにして設置されていることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の平板状ワークの作業装置。
【請求項６】
前記ワークステージには、前記平板状ワークをその下面側から照明する照明器がＸ軸方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の平板状ワークの作業装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルの液晶板やカラーフィルター等に用いられるガラス基板等の平板状ワークの表面状態をＣＣＤカメラと顕微鏡で観察し、変位計で測定したり、その観察、測定結果にもとづいて、前記平板状ワークの表面に形成された突起欠陥部、パターン形状の不整部をレーザーリペアユニットで修正したり、平板状ワークの表面に付着した溶剤、ゴミ等の異物をテープ研磨式リペアユニット等で除去するための平板状ワークの作業装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の平板状ワークの作業装置として、機台上に移動機構によってＹ軸方向に移動する前後スライド台を設け、該前後スライド台上にＸ軸方向に移動する左右スライド台を重合、支持すると共に、該左右スライド台上に配設した載置台に取り付けた平板状ワークを、テープ移送機構によって移動する研磨テープで修正処理するようにしたもの（例えば、特許文献１参照）や、機台上で移動機構によってＹ軸方向に移動する前後スライド台に平板状ワークを取り付け、前記機台上で移動機構によってＸ軸方向に移動する左右スライド台上にレーザリペアユニットを配置し、該レーザリペアユニットから照射されるレーザによって前記平板状ワークを修正処理するようにしたもの（例えば、特許文献２参照）が知られている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−１９８５５４号公報
【特許文献２】
特開２００２−４０６７４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の平板状ワークの作業装置は、修正、除去対象物の確認のため、平板状ワークの上面からの落射光の他に、平板状ワークの下面からの透過光を用いる必要が生じてきており、前記平板状ワークの載置台にはガラス製のものが使用される。このため、平板状ワークの大型化により大きなガラス製載置台が必要となるが、このガラス製載置台は平坦度の高いものが要求され、加工が困難であることと、装置の製作費が高額になる問題があった。
また、従来の装置の場合、前記平板状ワークの大きさが大きくなると、前記載置台が大きくなり、必然的に装置全体が大型化するため、装置の輸送が困難であるなどの問題があった。
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、平板状ワークを載せるガラス製載置台が不要で、大きな平板状ワークであっても小さな駆動力で、円滑に、かつ安定した状態で移動させることができるワーク搬送装置を備え、装置の運搬が容易に行える平板状ワークの作業装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項１に係る平板状ワークの作業装置は、ワーク搬送装置によってＹ軸方向に移動される平板状ワークを、該平板状ワークの上方でＸ軸方向に移動される作業ヘッドによって測定および修正する作業のうちの少なくとも一方を行う作業装置において、前記ワーク搬送装置は、前記平板状ワークを把持してＹ軸方向に移動させる搬送機構と、前記平板状ワークの下面を支持してＹ軸方向への移動を案内する支持案内機構と、前記作業ヘッドの下方位置における平板状ワークの下面側にＸ軸方向に沿って設けられ、平板状ワークの下面を気体の圧力で支持するワークステージとを備えていることを特徴としている。
【０００７】
また、請求項２に係る平板状ワークの作業装置は、請求項１に記載の作業装置において、前記ワークステージは、前記平板状ワークの下面に向けて開口する気体通路をＸ軸方向に所定間隔をあけて複数個設けたステージ本体を備え、前記各気体通路には気体供給配管を介して圧縮圧縮気体供給源が連絡されていることを特徴としている。
【０００８】
また、請求項３に係る平板状ワークの作業装置は、請求項２に記載の作業装置において、前記ステージ本体には、前記平板状ワークの下面に向けて開口する気体吸引路がＸ軸方向に沿って所定間隔をあけて複数個設けられ、前記各気体吸引路には気体吸引配管を介して気体吸引ポンプが連絡されていることを特徴としている。
【０００９】
また、請求項４に係る平板状ワークの作業装置は、請求項２に記載の作業装置において、前記気体通路には前記気体供給配管とは別の気体吸引配管を介して気体吸引ポンプが連絡され、前記気体供給配管と気体吸引配管には、前記気体通路と圧縮気体供給源が連絡されたときに気体通路と気体吸引ポンプとの連絡を断ち、前記気体通路と圧縮気体供給源との連絡が断たれたときに気体通路と気体吸引ポンプとを連絡させる切換バルブがそれぞれ設けられていることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項５に係る平板状ワークの作業装置は、請求項２〜４のいずれかに記載の作業装置において、前記ステージ本体における気体通路と気体吸引路の開口部側の上面には、多孔質材料からなる平板状の通気部材が、前記開口部を覆うようにして設置されていることを特徴としている。
【００１１】
また、請求項６に係る平板状ワークの作業装置は、請求項１〜５のいずれかに記載の作業装置において、前記ワークステージには、前記平板状ワークをその下面側から照明する照明器がＸ軸方向に沿って設けられていることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態に係る平板状ワークの作業装置について図１〜図３を参照して説明する。
図１〜図３において、１は本発明の一実施の形態に係る平板状ワークの作業装置である。該平板状ワークの作業装置１は、基台２上にＹ軸方向ｙに水平に延長して設けられた平板状ワークＷをＹ軸方向ｙへ送るためのワーク搬送装置３と、前記基台２の両端部にボルトによって固定されてＹ軸に直角なＺ軸方向ｚに立設された一対の支柱４，４と、該支柱４，４の上端にボルトで両端部を固定されてＹ軸方向ｙとＺ軸方向ｚに直角なＸ軸方向ｘに向けて配設された水平のＸ軸ビーム５と、該Ｘ軸ビーム５に支持されて、図示しないＸ軸駆動手段でＸ軸方向ｘに移動、位置決めされる作業ヘッド６とを備えている。
【００１３】
前記作業ヘッド６は、前記平板状ワークＷの観察、計測等の測定を行うためのＣＣＤカメラ、顕微鏡、変位計等の測定ユニットと、該測定ユニットによる測定結果にもとづいて、前記平板状ワークＷの欠陥部等の修正を行うレーザーリペアユニット、テープ研磨式リペアユニット等のリペアユニットの少なくとも一方を備え、または、前記測定ユニットとリペアユニットとを取替可能に備え、前記測定ユニットやリペアユニット（以下、これらを「作業ユニット」と呼ぶ）６ａは、作業ヘッド６上でＺ軸方向ｚへ移動可能に支持され、平板状ワークＷの表面との間の距離を調節できるようになっている。
【００１４】
前記ワーク搬送装置３は、前記支柱４，４の間において前記基台２の両端上部に固定して設けられた一対の搬送機構７，７と、該各搬送機構７，７の間において前記基台２の中央上部に固定されている中央部の支持案内機構８と、該中央部の支持案内機構８の前方（図１、図２で左方）に位置され、前記搬送機構７，７の間において前記基台２の前部に固定して設けられた前部の支持案内機構９と、前記中央部の支持案内機構８の後方（図１、図２で右方）に位置され、前記搬送機構７，７の間において前記基台２の後部に固定して設けられた後部の支持案内機構１０と、前記作業ヘッド６の下方位置において前記基台２の上部に設けられたワークステージ１１とを備えている。
【００１５】
前記各搬送機構７，７は、前記基台２の上部に固定されてＹ軸方向ｙに延長されたフレーム７ａと、該フレーム７ａの前、後端部に回転自在に支持されたローラ１２，１２と、該ローラ１２，１２に巻き掛けられた無端状のスチールベルト（ベルト）１３と、該スチールベルト１３の上方移動部１３ａに固定されて上方に突き出された支持部材１４と、該支持部材１４の上端に中間部を固定されてＹ軸方向ｙに水平に延長されたワーク支持板１５とを備え、該ワーク支持板１５の前後端部には、ワーク支持板１５に載置された平板状ワークＷのＸ軸方向ｘの前後端部を把持するクランパ１５ａ，１５ａが設けられている。
【００１６】
そして、前記搬送機構７，７は、各フレーム７ａ，７ａに設けた前方または後方のローラ（駆動ローラ）１２，１２が、サーボモータ等の回転駆動手段（図示せず）によって同期して正転、逆転されると、前記スチールベルト１３，１３の上方移動部１３ａが前後に移動し、前記支持部材１４を介して前記ワーク支持板１５がＹ軸方向ｙに移動して、前記平板状ワークＷをＹ軸方向ｙへ移動させるようになっている。
なお、前記フレーム７ａにはＸ軸方向ｘの両側に側壁部７ｂ，７ｂが設けられ、該側壁７ｂ，７ｂによって、前記スチールベルト１３および前記支持部材１４のスチールベルト１３との連結部１４ａが、Ｘ軸方向ｘへ蛇行するのを阻止されてＹ軸方向ｙへ案内移動されると共に、該側壁７ｂに固定した水平のガイド部材１６に、前記支持部材１４がその下端を接触して案内されることにより、前記ワーク支持板１５がＹ軸方向ｙへ水平を保って移動されるようになっている。
【００１７】
前記中央部の支持案内機構８は、前記基台２の中央に固定されたＸ軸方向ｘに長い矩形状の枠部材８ａに、Ｘ軸方向ｘに沿って延長された一対の支持ローラ１７，１７が、Ｙ軸方向ｙに所定間隔をあけて、かつ上端部を前記枠部材８ａの上面より僅かに上に突き出させた状態で回転自在に支持されて構成されている。
また、前記前部の支持案内機構９は、前記中央部の支持案内機構８よりもＹ軸方向ｙに長く形成された枠部材９ａに、Ｘ軸方向ｘに沿って延長された複数の支持ローラ１７が、Ｙ軸方向ｙに所定間隔をあけて、かつ上端部を前記枠部材９ａの上面より僅かに上に突き出させた状態で回転自在に支持されて構成されている。また、前記後部の支持案内機構１０は、前記中央部の支持案内機構８を間にして前部の支持案内機構９と対称に配置されて、それと同様に、枠部材１０ａに複数の支持ローラ１７を設けて構成されている。各支持案内機構８，９，１０の支持ローラ１７の上端は、同一の水平面上設定されている。
【００１８】
また、前記ワークステージ１１は、図２、図３に示すように、側面視（横断面）でＴ字状に形成されてＸ軸方向ｘに沿って延長され、前記中央部の支持案内機構８の一対の支持ローラ１７，１７間に位置されて、前記基台２の上部に固定されたステージ本体１８を備えている。該ステージ本体１８は、Ｔ字状の上辺部１８ａにおける水平な上面１８ｂが前記支持ローラ１７の上端（平板状ワークＷの下面）と同一若しくはそれより微小寸法だけ下位に設定されており、前記上辺部１８ａの前後端寄りの位置には、それぞれ、前記上面１８ｂに開口する（前記平板状ワークの下面に向けて開口する）気体通路１９，１９がＸ軸方向ｘに所定間隔をあけて複数個設けられている。
【００１９】
そして、前記各気体通路１９，１９は、その前記開口側と反対側が気体連絡路（気体通路）１９ａを介して、ステージ本体１８の中央部に設けた１つの気体供給路（気体通路）１９ｂに連絡され、該気体供給路１９ｂが、開閉バルブ２０ａを有する気体供給配管２０によってエアコンプレッサー等の圧縮気体供給源（図示せず）に連絡されている。また、前記ステージ本体１８の上辺部１８ａには、前記気体通路１９，１９よりも内側寄り位置に、前記上面１８ｂに開口する気体吸引路２１，２１がＸ軸方向ｘに所定間隔をあけて複数個設けられている。
前記各気体吸引路２１，２１の前記開口側と反対側は、それぞれ一つの管路に合流されて、気体吸引配管２２，２２を介して真空ポンプ等の気体吸引ポンプ２３に連絡されている。各気体吸引配管２２，２２の途中には、その管路を開閉する開閉バルブ２４と所定大きさの気体貯留空間を形成するリザーバ２５が、開閉バルブ２４，２４を気体吸引路２１側に位置させて設けられている。
【００２０】
さらに、前記ステージ本体１８の上部には、その前後方向（Ｙ軸方向ｙ）の中間位置にＸ軸方向ｘに沿って横断面が矩形の装着溝１８ｃが設けられ、該装着溝１８ｃには、前記平板状ワークＷをその下面側から照明する照明器２６が装着されている。該照明器２６は、上端部にＸ軸方向ｘに沿ってスリット２７ａを形成したケース２７内に、Ｘ軸方向ｘに向けられた円柱状の伝送ライト２８と半円柱状のレンズ２９とが、該レンズ２９を上側にし、かつその凸面を前記スリット２７ａに臨ませた状態で保持されて構成されている。前記伝送ライト２８は、円柱状のガラス棒の両端部にランプで光を照射し、その光をガラス棒の直径方向に反射させるもので、前記ケース２７における伝送ライト２８の周囲に、前記スリット２７ａ側の部分を除いて反射膜が施され、伝送ライト２８から前記スリット２７ａ側に反射された光が、前記レンズ２７で集光されて、スリット２７ａを経て前記平板状ワークＷの下面に照射されるようになっている。
【００２１】
次に、前記実施の形態に係る平板状ワークの作業装置１の作用について説明する。
前記ワーク搬送装置３における搬送機構７，７のワーク支持板１５上に、例えば透明なガラス基板等の平板状ワークＷを載せてクランパ１５ａで把持、固定し、前記ワークステージ１１に装着された照明器２６から前記平板状ワークＷの下面に照射される透過光を、前記作業ヘッド６に取り付けられた作業ユニット６ａのうちの顕微鏡やＣＣＤカメラ等の測定ユニットで受けながら、前記回転駆動手段（図示せず）によって駆動ローラ１２を回転させることによって、前記スチールベルト１３，１３と一緒に移動する前記ワーク支持板１５を介して前記平板状ワークＷをＹ軸方向ｙへ移動させると共に、前記作業ヘッド６を図示しないＸ軸駆動手段でＸ軸方向ｘに移動させて、平板状ワークＷの表面の状態を測定する。
【００２２】
前記平板状ワークＷの表面状態の観察、測定の際には、前記ワーク搬送装置３における支持案内機構８，９，１０の支持ローラ１７によって平板状ワークＷの下面が支持されると共に、前記開閉バルブ２０ａが開くことにより、図示しない圧縮圧縮気体供給源から気体供給配管２０を経て圧力を調整された圧縮気体が、前記ワークステージ１１におけるステージ本体１８の気体通路１９に導入され、ステージ本体１８の上面１８ｂから平板状ワークＷの下面に噴出されることにより、その噴出気体の圧力で平板状ワークＷの下面が支持されるので、前記平板状ワークＷは前記ステージ本体１８の上面１８ｂから僅かに（例えば、数十ミクロン）浮上した状態で、上下に振動することなく安定して状態を保持されて円滑に移動され、前記観察、測定が正確に行える。
【００２３】
この場合、更に前記気体吸引配管２２の一方の開閉バルブ２４を開いて前記気体吸引ポンプ２３を運転することにより、前記ステージ本体１８の上面１８ｂと平板状ワークＷの下面との間に噴出された気体を吸引すると、前記気体通路１９から噴出される圧縮気体による平板状ワークの浮上力と前記気体吸引路２１から吸引される気体による平板状ワークの吸引力とを平衡させることが可能になり、これのより、平板状ワークＷの下面に発生する圧力が一定に保持されて、一層安定した状態で平板状ワークＷが移動される。
【００２４】
前記測定の結果、平板状ワークＷの表面等に欠陥部が見つかった際には、その欠陥部に作業ヘッド６を位置決めして、作業ヘッド６に取り付けられた作業ユニット６ａのうちのリペアユニットを作動させて前記欠陥部の修正処理を行う。その修正処理の際に、万一、平板状ワークＷが振動するような場合には、前記気体供給配管２０の開閉バルブ２０ａを閉じて、圧縮気体の気体供給路１９からの噴出を停止すると、気体吸引ポンプ２３による気体の吸引作用によって、平板状ワークＷは前記ステージ本体１８の上面１８ｂに直ちに吸い付けられて振動が無くなるので、前記作業ヘッド６による修正処理が一層正確に行われる。修正処理の終了後は前記開閉バルブ２０ａを開いて、前記作業ヘッド６を平板状ワークＷの別の欠陥部に移動させて、該別の欠陥部を同様に修正処理する。なお、境界寸法の測定のように測定精度を厳しく要求される場合には、図４に示すように、前記開閉バルブ２０ａを閉じると同時に両方の開閉バルブ２４，２４を開く。これにより、前記平板状ワークＷは、前記ステージ本体１８の上面１８ｂに強力に吸引、密着され、その振動が完全に停止されて、前記作業ユニット６ａのうちの測定ユニットによる測定が確実に要求精度で行える。
【００２５】
次に、図５にもとづいて、前記ワークステージ１１に代わる他のワークステージ３０について説明する。なお、ワークステージ１１の構成部分と同一の構成部分には同一の符号を付してその詳細説明は省略する。
前記ワークステージ３０は、前記基台２に支持したステージ本体３１を備えている。該ステージ本体３１は、側面視（横断面）が矩形状で、Ｘ軸方向ｘに延長されており、その前、後部には上面３１ａに開口する気体通路３２，３２がＸ軸方向ｘに所定間隔をあけてそれぞれ複数個設けられている。前記ステージ本体３１の上面３１ａには、前記各気体通路３２，３２の上面３１ａにおける開口部３２ａを覆うようにして、前後方向（Ｙ軸方向ｙ）に所定の幅を有しＸ軸方向ｘに延長された平板状の通気部材３３，３３が、それぞれ、長手方向（Ｘ軸方向ｘ）に複数個（例えば２個）に分割されて設置されている。該通気部材３３は、相互に連通する多数の気孔を有する多孔質材料からなり、前記気体通路３２の上方の開口部３２ａから噴出される気体を、上面３３ａの全体に分散して平板状ワークＷの下面に吹き付けるようになっている。
【００２６】
前記各気体通路３２，３２の前記開口部３２ａと反対側には、それぞれ一対の開閉バルブ３４ａ，３４ｂを有する一対の気体配管３５，３５を介して、前記各リザーバ２５，２５が連絡されている。そして、前記各気体配管３５，３５には、前記一対の開閉バルブ３４ａ，３４ｂの間において、前記気体供給配管２０が前記開閉バルブ２０ａの下流側で連絡されている。前記一対の開閉バルブ３４ａ，３４ｂと開閉バルブ２０ａは、共に切換バルブとして機能し、該開閉バルブ２０ａが開くときに、前記開閉バルブ３４ａ，３４ａが開くと共に開閉バルブ３４ｂ，３４ｂが閉じて、前記気体供給配管２０が前記各気体配管３５，３５を介して前記各気体通路３２，３２に連絡され、また、前記開閉バルブ２０ａが閉じるときに、前記開閉バルブ３４ａ，３４ａと開閉バルブ３４ｂ，３４ｂが共に開いて、前記各気体通路３２，３２が前記各リザーバ２５，２５に連絡されるように、連動して開閉動作の切換を行うようになっている。
【００２７】
前記ワークステージ３０を備えた平板状ワークの作業装置１においては、前記開閉バルブ３４ｂ，３４ｂが閉じると共に前記開閉バルブ２０ａ，３４ａ，３４ａが開かれて、図示しない圧縮気体供給源から気体供給配管２０、気体配管３５，３５を介して気体通路３２，３２に圧縮気体が送られて、それらの開口部３２ａ，３２ａから前記通気部材３３，３３を通して平板状ワークＷの下面に前記圧縮気体が噴出され、前記平板状ワークＷが浮上された状態において、前記ワークステージ１１を備えた平板状ワークの作業装置１と同様に、前記ワーク搬送装置３によって平板状ワークＷが移動され、また、作業ヘッド６の作業ユニット６ａのうちのリペアユニットによる平板状ワークＷの修正処理が行われる。
なお、前記作用において、前記気体通路３２の開口部３２ａから噴出した圧縮気体は、前記通気部材３３，３３内の微小な気孔を通して、通気部材３３の全体に平均的に分散され、前記平板状ワークＷの下面に均等な圧力を作用させるので、前記平板状ワークＷの浮上が安定した状態で行われ、搬送中や修正処理中における平板状ワークＷの振動を一層確実に抑えることができる。
【００２８】
また、前記開閉バルブ２０ａが閉じると共に前記開閉バルブ３４ａ，３４ａ，３４ｂ，３４ｂが一緒に開かれて、前記気体吸引ポンプ２３で気体吸引配管２２，２２と気体配管３５，３５を介して気体通路３２，３２から気体が吸引されて、それらの開口部３２ａ，３２ａが負圧になり、前記通気部材３３，３３を通して平板状ワークＷの下面の気体が気体通路３２，３２に吸引され、前記平板状ワークＷがワークステージ３０のステージ本体３２の上面３２ａに吸着された状態において、前記ワークステージ１１を備えた平板状ワークの作業装置１と同様に、前記作業ユニット６ａのうちの測定ユニットによる平板状ワークＷの測定が行われ、また、作業ユニット６ａのうちのリペアユニットによる平板状ワークの修正処理が行われる。
なお、前記作用において、吸引ポンプ２３で気体通路３２内の気体を吸引する際には、予め前記気体吸引ポンプ２３の吸引動作によって前記リザーバ２５，２５内が負圧状態になっているので、前記各開閉バルブ２４ａ，２４ｂが開かれると、気体通路３２，３２内の気体が前記リザーバ内２５，２５内に速やかに吸引され、これにより、平板状ワークＷの前記通気部材３３（ステージ本体３１）への吸着が時間的遅れなしに迅速に行われる。
【００２９】
前記実施の形態に係る平板状ワークの作業装置１においては、平板状ワークＷを前記支持案内機構８，９，１０で支持しながら、搬送機構７，７でＹ軸方向ｙへ移動させる構成となっているので、従来装置のように平板状ワークとそれを載置してＸ軸方向へ移動させるスライド台の両方をＹ軸方向に移動させる必要がなく、平板状ワークＷが大きい場合でも、その中央部に撓みを生じることがなく、かつ平板状ワークの移動に要する駆動力を可及的に小さくすることができると共に、ワーク搬送装置とこれを含む装置全体の大型化を抑えることができ、装置の運搬も容易に行える。しかも、平板状ワークを支持して搬送するために、高い平坦度を要求されるガラス製載置台を必要としないので、装置の製作費を低廉に抑えることができる。
【００３０】
なお、前記実施の形態に係る平板状ワークの作業装置１においては、前記ワークステージ１１，３０のステージ本体１８，３２に気体通路１９，３２をそれぞれ前後に２列設け、また、前記ステージ本体１８に気体吸引路２１を前後に２列設けたが、それらの気体通路１９，３２、気体吸引路２１の設置の列数は、これに限らず、１列若しくは３列以上の複数列としてもよい。また、前記ワークステージ１１のステージ本体１８に、前記ステージ本体３１の上面３１ａに設置した通気部材３３を設置して、その機能を付加させるようにしてもよい。さらに、前記平板状ワークＷをＹ軸方向ｙへ移動させる搬送機構７と、該平板状ワークＷの下面を支持する支持案内機構８，９，１０とは、それぞれ、前記ローラ１２，１２に巻き掛けた前記スチールベルト１３の移動に連動して移動するワーク支持板１５に平板状ワークＷを載置する構成、支持ローラ１７で平板状ワークＷの下面を支持する構成としたが、これらに限らず、他の構成を適宜に採用することができる。
【００３１】
例えば、前記搬送機構７は、スチールベルト１３の代わりに、固定のリニアモータマグネットと可動のリニアモータコイルとからなるリニアモータを設置して、前記リニアモータコイルを前記支持部材１４の連結部１４ａに取り付けた構成としてもよい。
また、支持案内機構８，９，１０は、ローラ１７の代わりに、複数の孔を有する平板状支持部材であって、その一部の孔に圧縮空気供給装置が連結され、残りの孔に吸引ポンプが連結されたものを配置し、平板状ワークと該平板状支持部材との間に圧縮空気供給装置から供給される圧縮空気の供給量と、平板状ワークと該平板状ワークとの間から吸引ポンプによって吸引される空気の吸引量とを調整することによって、平板状ワークの下面を前記平板状支持部材に接触させることなく、支持するようにしてもよい。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば以下の優れた効果を奏する。
請求項１に係る平板状ワークの作業装置によれば、ワーク搬送装置が、平板状ワークを把持してＹ軸方向に移動させる搬送機構と、前記平板状ワークの下面を支持してＹ軸方向への移動を案内する支持案内機構と、作業ヘッドの下方位置における平板状ワークの下面側にＸ軸方向に沿って設けられ、平板状ワークの下面を気体の圧力で支持するワークステージとを備えた構成としたので、前記平板状ワークの搬送機構による移動時や位置決め時に、平板状ワークが、前記ワークステージからの気体の圧力で浮上して支持されることにより、振動することがなく、安定した状態を保持することができ、これにより、平板状ワークの移動を円滑、静粛に行えると共に、作業ヘッドによる修正処理も正確に行うことができる。しかも、平板状ワークの移動に必要な駆動力を小さくすることができると共に、装置の大型化を抑えて、その運搬も容易に行うことができ、また、平板状ワーク用のガラス製載置台を不要として、装置の製作費を低廉に抑えることができる。
【００３３】
請求項２に係る平板状ワークの作業装置によれば、ワークステージが、平板状ワークの下面に向けて開口する気体通路をＸ軸方向に所定間隔をあけて複数個設けたステージ本体を備え、前記各気体通路に気体供給配管を介して圧縮圧縮気体供給源が連絡されている構成としたので、作業ヘッドの移動するＸ軸方向において、前記複数個の気体通路から噴出される気体の圧力によって、前記平板状ワークを均等に浮上させることができて、その作業ヘッドにより修正処理を行う領域の全体を振動なく、安定した状態で保持することができる。
【００３４】
請求項３に係る平板状ワークの作業装置によれば、ステージ本体に、気体通路の他に、平板状ワークの下面に向けて開口する気体吸引路がＸ軸方向に沿って所定間隔をあけて複数個設けられ、前記各気体吸引路には気体吸引配管を介して気体吸引ポンプが連絡されている構成としたので、前記気体通路から噴出される圧縮気体による平板状ワークの浮上力と前記気体吸引通路から吸引される気体による平板状ワークの吸引力を平衡させることによって、平板状ワークを一層安定した状態で保持することができる。
【００３５】
請求項４に係る平板状ワークの作業装置によれば、ステージ本体の気体通路に気体供給配管とは別の気体吸引配管を介して気体吸引ポンプが連絡され、前記気体供給配管と気体吸引配管に、前記気体通路と圧縮気体供給源が連絡されたときに気体通路と気体吸引ポンプとの連絡を断ち、前記気体通路と圧縮気体供給源との連絡が断たれたときに気体通路と気体吸引ポンプとを連絡させる切換バルブがそれぞれ設けられている構成としたので、前記気体通路を、平板状ワークを圧縮空気により浮上させるときの気体通路と、平板状ワークの下面からの気体を吸引して平板状ワークをステージ本体の上面に吸引するときの気体吸引路とを兼用することができて、ステージ本体の構成を簡単にすることができる。
【００３６】
請求項５に係る平板状ワークの作業装置によれば、ステージ本体における気体通路と気体吸引路の開口部上面に、多孔質材料からなる平板状の通気部材が、前記開口部を覆うようにして設置されている構成としたので、前記気体通路の開口部から噴出した圧縮気体が、前記通気部材の全体に平均的に分散され、平板状ワークの下面に均等な圧力を作用させることができ、これにより、前記平板状ワークの浮上を安定した状態で行わせることができ、搬送中や修正処理中における平板状ワークの振動を一層確実に抑えることができる。
【００３７】
請求項６に係る平板状ワークの作業装置によれば、ワークステージに、平板状ワークをその下面側から照明する照明器がＸ軸方向に沿って設けられている構成としたので、作業ヘッドの作業ユニットによる平板状ワークの測定や修正処理を行う領域の直下の近接位置から前記平板状ワークを透過照明することができ、平板状ワークの欠陥部を明瞭に識別することができると共に、その欠陥部の修正処理を適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る平板状ワークの作業装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る平板状ワークの作業装置におけるワーク搬送装置の側面図である。
【図３】同じくワーク搬送装置のワークステージを示す側面図である。
【図４】同じくワーク搬送装置のワークステージの作用説明図である。
【図５】同じくワーク搬送装置のワークステージの他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  平板状ワークの作業装置
２  基台
３  ワーク搬送装置
４  支柱
５  Ｘ軸ビーム
６  作業ヘッド
６ａ  作業ユニット
７  搬送機構
８、９，１０  支持案内機構
１１，３０  ワークステージ
１５  ワーク支持板
１７  支持ローラ
１８，３１  ステージ本体
１９、３２  気体通路
２０  気体供給配管
２０ａ、２４  開閉バルブ
２１  気体吸引路
２２  気体吸引配管
２３  気体吸引ポンプ
２５  リザーバ
２６  照明器
３３  通気部材
３４ａ，３４ｂ  開閉バルブ（切換バルブ）
Ｗ  平板状ワーク
【図１】
2004266014.tif 000003
【図２】
2004266014.tif 000004
【図３】
2004266014.tif 000005
【図４】
2004266014.tif 000006
【図５】
2004266014.tif 000007