(57)【要約】【課題】大きな段差上を通過した場合でも荷台に到達する前にその振動及び衝撃を十分に吸収でき、かつ耐久性の低下を防止できる搬送台車を提供する。【解決手段】搬送物が載置される荷台と、台車と、前記荷台と前記台車との間に取り付けられる防振部材とを有する搬送台車であって、前記防振部材１６が、防振ユニット２４とゴム部材２６とを直列に配置して構成され、前記防振ユニット２４が、前記荷台と前記台車との間隙方向に沿って伸縮するばね部材１８と、前記ばね部材１８と並列に配置され前記ばね部材１８の伸縮方向に沿う変位を許容し前記ばね部材１８の伸縮方向以外の方向への変位を規制する支持部材２０と、を備えた構成とした。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物が載置される荷台と、台車と、前記荷台と前記台車との間に取り付けられる防振部材とを有する搬送台車であって、
前記防振部材が、防振ユニットとゴム部材とを直列に配置して構成され、
前記防振ユニットが、前記荷台と前記台車との間隙方向に沿って伸縮するばね部材と、前記ばね部材と並列に配置され前記ばね部材の伸縮方向に沿う変位を許容し前記ばね部材の伸縮方向以外の方向への変位を規制する支持部材と、
を備えていることを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
前記荷台に、前記搬送物を載置させた状態の重心位置を前記防振部材の前記荷台への取付位置側又は該取付位置よりも前記台車側に移動させる重心位置変更手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。
【請求項３】
前記重心位置変更手段が、前記荷台に取り付けられ、該荷台と前記台車との間に位置する重量物であること特徴とする請求項２に記載の搬送台車。
【請求項４】
前記重心位置変更手段が、前記荷台に形成され、底部が前記荷台と前記台車との間に位置している凹部であることを特徴とする請求項２に記載の搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製品などの各種精密部品を搬送する搬送台車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５に示すように、半導体や液晶などを製造する工場で使用される搬送台車（ＡＧＶ）１００は、グレーチング１０２上を走行することから防振ゴム１０４で支持された荷台１０６を備えている（例えば，特許文献１参照。）。
この搬送台車１００によれば、グレーチング１０２のパンチング穴１０８上を通過する際に生じる振動を防振ゴム１０４で吸収し、その振動を遮断することができる。
【０００３】
【特許文献１】
実用新案登録第２５８９５０７号公報（第４−９頁、第１図）
【０００４】
ところで、グレーチング同士やグレーチング１０２と他の床面とを突き合わせた場合に、その継ぎ目などに大きな段差が生じる場合がある。かかる段差上を搬送台車１００が通過した場合の振動や衝撃は、上記パンチング穴１０８上を通過した場合の振動や衝撃よりも大きくなる。このため、上記防振ゴム１０４では、振動及び衝撃を完全に吸収することができない問題がある。この結果、荷台１０６上の搬送物１１０に強い衝撃が加わり、故障してしまう問題がある。
特に、防振ゴム１０４ではバネなどと比較してその性質上変形量が小さくなるため、大きな断差ではその振動や衝撃を十分には吸収することができず、十分な振動遮断性能が得られない。
なお、継ぎ目で上記断差が出ないように施工することも考えられるが、施工作業に高い精度が要求されるため、施工コストが高くなってしまう。
【０００５】
一方、防振ゴム１０４の選定により振動遮断性能を向上させる方法も考えられるが、かかる方法にも限界がある。すなわち、防振ゴム１０４を適正荷重で使用した場合、その共振点は一般に１０Ｈｚ前後となる。
ここで、共振点を低く設定しかつ振動遮断性能を上げるために荷重を大きくすると、防振ゴム１０４の耐荷重を超えるため、防振ゴム１０４の耐久性が低下する問題がある。また、このことは、ばね定数の低い防振ゴムを使用した場合でも、同様の問題が生じる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、大きな段差上を通過した場合でも荷台に到達する前にその振動及び衝撃を十分に吸収でき、かつ耐久性の低下を防止できる搬送台車を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
請求項１に記載の発明は、搬送物が載置される荷台と、台車と、前記荷台と前記台車との間に取り付けられる防振部材とを有する搬送台車であって、前記防振部材が、防振ユニットとゴム部材とを直列に配置して構成され、前記防振ユニットが、前記荷台と前記台車との間隙方向に沿って伸縮するばね部材と、前記ばね部材と並列に配置され前記ばね部材の伸縮方向に沿う変位を許容し前記ばね部材の伸縮方向以外の方向への変位を規制する支持部材と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の搬送台車によれば、台車に外力が加わると、その外力は荷台に伝達される前に、台車と荷台との間の防振部材によって受け止められる。
ここで、防振部材が防振ユニットとゴム部材とを直列に配置して構成されているので、外力は防振ユニットとゴム部材とに配分される。外力のうち、荷台と台車との間隔方向に沿う外力成分がある場合には、防振ユニットを構成するばね部材と前記ゴム部材とをそれぞれ弾性変形させることにより、その外力成分が吸収される。この場合、防振ユニットを構成する支持部材は、ばね部材の自由な伸縮を許容する。
一方、外力のうち、荷台と台車との間隔方向に交差する外力成分がある場合には、荷台と台車との間隔方向に交差する方向へのばね部材の変位が支持部材により制限される。このため、ばね部材の負担を軽減できばね部材の座屈を防止することができる。また、複数の防振ユニットを取り付ける場合、防振ユニットの取付位置にズレが生じた場合でも、このズレをゴム部材の弾性変形により吸収させることができるため、防振ユニット同士の相互干渉を防止できる。
以上のように、本発明の搬送台車によれば、荷台に伝達される前に防振部材により振動及び衝撃を十分に吸収でき、かつ防振ユニットの耐久性の低下を防止できる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送台車において、前記荷台に、前記搬送物を載置させた状態の重心位置を前記防振部材の前記荷台への取付位置側又は該取付位置よりも前記台車側に移動させる重心位置変更手段を設けたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の搬送台車によれば、荷台と台車との間に防振部材の設置スペースが必要である。したがって、荷台の形状を平坦なものとすると、防振部材を設置しない場合と比較して荷台の高さが高くなる。
ここで、荷台に重心位置変更手段が設けられているため、荷台に搬送物が載置された場合、荷台に載置された搬送物及び荷台全体の重心位置が防振部材の荷台への取付位置側又は該取付位置よりも台車側に移動する。
これにより、重心位置を低くした分だけ、外力又は衝撃により荷台に作用するモーメントを小さくすることができる。この結果、荷台に生じるピッチング振動やローリング振動を効果的に抑制することができるため、荷台上の搬送物への悪影響を防止でき、搬送物の破損等を防止することができる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の搬送台車において、前記重心位置変更手段が、前記荷台に取り付けられ、該荷台と前記台車との間に位置する重量物であること特徴とする。
【００１２】
本発明の搬送台車によれば、重心位置変更手段として、荷台と台車との間に位置する重量物を荷台に取り付けることにより、荷台に搬送物が載置された場合、荷台に載置された搬送物及び荷台全体の重心位置が前記重量物を取り付けない場合の重心位置と比較して低くなる。これにより、重心位置を低くした分だけ、外力又は衝撃により荷台に作用するモーメントを小さくすることができる。この結果、荷台に生じるピッチング振動やローリング振動を効果的に抑制することができるため、荷台上の搬送物への悪影響を防止でき、搬送物の破損等を防止することができる。
特に、本発明の搬送台車によれば、防振部材を設けることによって荷台と台車との間にスペースが生じるが、荷台と台車との間に位置する重量物を取り付けることによりこのスペースを有効に利用することもできる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の搬送台車において、前記重心位置変更手段が、前記荷台に形成され、底部が前記荷台と前記台車との間に位置している凹部であることを特徴とする。
【００１４】
本発明の搬送台車によれば、重心位置変更手段として、底部が荷台と台車との間に位置している凹部を荷台に形成しているため、搬送物を凹部の底部に載置すると、搬送物及び荷台全体の重心位置が、前記凹部が形成されていない平板状の荷台の上に搬送物を載置させた場合の重心位置と比較して、低くなる。この結果、荷台に生じるピッチング振動やローリング振動を効果的に抑制することができるため、荷台上の搬送物への悪影響を防止でき、搬送物の破損等を防止することができる。
特に、本発明の搬送台車によれば、防振部材を設けたことにより生じる荷台と台車との間のスペースを有効に利用することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の第１実施形態の搬送台車について、図面を参照して説明する。図１に示すように、本実施形態の搬送台車１０は、車輪１２が回転可能に取り付けられた台車１４を備えている。また、この台車１４の４つの角部には、防振部材１６の一端Ｃがそれぞれ取り付けられている。なお、本実施形態では、車輪１２の数が４つの形態を示しているが、４つに限るものではない。
【００１６】
ここで、本発明の搬送台車１０を構成する防振部材１６の構成を詳細に説明する。本発明の搬送台車１０では４つの防振部材１６を備えているが、４つの防振部材１６は全て同様の構成をしているため、そのうちの１つの防振部材１６を図２に示しその構成について以下に説明する。
【００１７】
図２に示すように、防振部材１６は、コイルばね（ばね部材）１８を備えている。このコイルばね１８のばね定数は適宜設定することができる。このコイルばね１８は、その軸方向（伸縮方向）が台車１０の進行方向（図１中矢印Ａ方向）に対して略垂直方向（図２中矢印Ｂ方向）となるように設けられている。
【００１８】
また、コイルばね１８の近傍又はコイルばね１８の中には支持部材２０がコイルばね１８に対して並列となるように配置されている。この支持部材２０は、内部に複数の剛球２２を回転可能に配置した筒状のシリンダー部２０Ａと、このシリンダー部２０Ａの内部に挿入されその側面が剛球２２により支持されたピストン部２０Ｂと、で構成されている。この剛球２２が回転することにより、ピストン部２０Ｂがコイルばね１８の伸縮方向と略同じ方向（図２中矢印Ｂ方向）にシリンダー部２０Ａに対してスライド移動する構成になっている。
【００１９】
なお、上記コイルばね１８の一方の端部とシリンダー部２０Ａの端部とは防振部材１６の一端Ｃと接続した第１の接続部材２１に取り付けられており、コイルばね１８の他方の端部とピストン部２０Ｂの端部とは防振部材１６の他端Ｄに接続した第２の接続部材２３に取り付けられている。そして、コイルばね１８と支持部材２０とにより防振ユニット２４が構成されている。
【００２０】
一方、防振ユニット２４に対して直列的に防振ゴム（ゴム部材）２６が配置されている。すなわち、防振ゴム２６の側面には台車側に延びる第１の固定部材２５と、荷台側に延びる第２の固定部材２７とが取り付けられており、第１の固定部材２５の端部が第２の接続部材２３に取り付けられており、第２の固定部材２５の端部が第３の接続部材２９に取り付けられている。さらに、第３の固定部材２９の端部には防振部材１６の他端Ｄが接続している。なお、上記防振ゴム２６のゴム硬度も適宜調整することができる。
【００２１】
また、図１に示すように、上記防振部材１６の他端Ｄは、平板状の荷台２８の下面に接続されている。この荷台２８の上面には半導体製品などの各種精密製品が載置される。このように、台車１４と荷台２８との間には、防振部材１６がその防振ユニット２４が台車側に位置するように、また防振ゴム２６が荷台側に位置するように、取り付けられている。
【００２２】
なお、本実施形態の搬送台車１０では４つの防振部材１６を備えた形態を説明したが、これに限られるものではなく、３つの以上備えていればよい。
【００２３】
次に、本実施形態の搬送台車１０の作用及び効果について説明する。
搬送台車１０の荷台２８の上に搬送物を載せて搬送台車１０をグレーチング上で転がすと、やがて搬送台車１０はグレーチング同士が付き合わされた継ぎ目（段差）上を通過する。
【００２４】
ここで、搬送台車１０が継ぎ目上の段差を通過すると、台車１４に外力（衝撃力）が作用する。台車１４に作用した外力のうち荷台方向に沿う外力成分が各防振ユニット２４に伝達される。このとき、防振ユニット１６を構成するコイルばね１８が縮み、かつゴム部材２６が弾性変形することによりその外力成分が吸収される。これにより、防振ゴム２６ないし荷台２８に伝達される衝撃力が大幅に軽減される。また同時に、コイルばね１８と並列に設けられた支持部材２０を構成するピスト部２０Ｂがシリンダー部２０Ａに対してスライド移動し支持部材２０が伸縮することにより、コイルばね１８の伸縮が許容される。
【００２５】
特に、コイルばね１８はゴム等と比較して変形量が大きいため、台車１４から伝達される外力や振動を吸収することができる。このため、防振ゴム２６ないし荷台２８に衝撃力や振動が伝達されることを防止でき、搬送物に悪影響を与えることを防止できる。また、防振ユニット２４においてコイルばね１８を用いて伸縮させることにより、防振ユニット２４において防振ゴム２６を用いて弾性変形させる場合と比較して、物性の相違により防振ユニット２４の耐久性を向上させることができる。
【００２６】
なお、コイルばね１８の伸縮差が大きくなるようにコイルばね１８のばね定数を適宜設定することで、荷台２８の固有振動数を低くすることができる。この結果、防振ゴム２６ないし荷台２８に伝達される振動を効果的に抑えることができ、荷台２８に載置された搬送物の搬送中における破損を防止することができる。
【００２７】
一方、上記コイルばね１８は、その伸縮方向以外の方向から作用した外力に対しての耐荷重が比較的小さくなる性質がある。このため、台車１４に作用した外力のうち、台車１４の進行方向に対して垂直方向（図２中矢印Ｂ方向）以外の外力成分がコイルばね１８に作用すると、コイルばね１８が座屈を起こしてしまい、その外力成分を吸収することが不可能になるとともに、コイルばね１８の破損の原因となる。
【００２８】
このため、コイルばね１８と並列に設けられた支持部材２０のピストン部２０Ｂが剛球２２を介してシリンダー部２０Ａで支持されているため、台車１４に作用した外力の内、コイルばね１８の軸方向（伸縮方向）以外に沿った外力成分を、支持部材２０全体で受け止めることができる。この結果、コイルばね１８の軸方向（伸縮方向）以外の方向への移動が規制されるため、コイルばね１８の座屈を防止することができる。
【００２９】
以上のように、台車１４に作用した外力のうち、荷台２８と台車１４との間隔方向に沿う外力成分はコイルばね１８及び防振ゴム２６の弾性変形で吸収されるとともに、荷台２８と台車１４との間隔方向に交差する方向の外力成分は、支持部材２０全体で受けることができる。
【００３０】
また、防振部材１６の取付位置にズレが生じた場合でも、このズレを防振ゴム２６の弾性変形により吸収させることができるため、防振部材１６同士の干渉により荷台２８の動作が妨げられることを防止できる。
逆に、本発明の搬送台車１０の防振部材１６のように防振ユニット２４に対して防振ゴム２６を直列的に接続することにより、防振部材１６の取付精度の許容範囲を広げることができるため取り付け作業が容易となり、必要な作業時間及び労力を軽減することができる。
【００３１】
以上のように、本発明の搬送台車１０は、床面に大きな段差が生じておりその上を搬送台車１０が通過した場合でも、その振動及び衝撃を十分に吸収でき、かつ耐久性の低下を防止することができる。
また、このことにより、床面の大きな段差を排除する必要がなくなるため、グレーチングの施工コストを抑制することができる。
【００３２】
次に、本発明の第２実施形態に係る搬送台車について説明する。
なお、第１実施形態の搬送台車１０と重複する構成には、同符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００３３】
図３に示すように、本実施形態の搬送台車５０は、荷台２８の下面におもり（重量物）５２が取り付けられている。このおもり５２は、荷台２８と台車１４との間に配している。
なお、重量物は、特におもり５２に限られるものではなく、ＡＧＶ電装品などの重量物でもよい。
【００３４】
次に、本実施形態の搬送台車５０の作用及び効果について説明する。
図３に示すように、本実施形態の搬送台車５０は、荷台２８の下面に荷台２８と台車１４との間に位置するおもり５２が取り付けられているため、荷台２８に搬送物５４を載置した場合の搬送物５４及び荷台２８の全体の重心位置が、おもり５２が取り付けられていない場合の重心位置と比較して低くなり、その重心位置が荷台の支持高さに近づくことになる。
【００３５】
このため、搬送台車５０が断差上を通過した場合に荷台２８は、ある程度振動するが、重心位置を下げたことにより、搬送台車５０の走行時に荷台２８に作用するモーメントを小さくできる。この結果、荷台２８に作用するピッチング振動やローリング振動を抑制することができる。
【００３６】
また、荷台２８に搬送物５４を載せた場合でも、搬送台車５０の走行中における搬送物５４及び荷台２８の全体の重心位置の変動が小さくなるため、搬送物５４の有無及び増減の影響をほとんど受けず、常に荷台２８に生じる振動を略一定値に低減することができる。
【００３７】
特に、本発明の搬送台車５０では、荷台２８と台車１４との間に防振部材１６を取り付けるために、荷台２８と台車１４との間にスペースが生じるが、このスペースに前記おもり５２を取り付けることにより、このスペースを有効に利用することができる。
【００３８】
以上のように、第１実施形態の搬送台車１０では、荷台２８と台車１４との間に防振部材１６を配置させたことにより荷台２８の位置が高くなり搬送物５４及び荷台２８の全体の重心位置も高くなる問題があったが、本実施形態の搬送台車５０によれば、荷台５４の裏面におもり５２を取り付けることにより、重心位置が高くなるという問題を解決することができる。
【００３９】
次に、本発明の第３実施形態に係る搬送台車について説明する。
なお、第１実施形態の搬送台車１０と重複する構成には、同符号を付し、適宜その説明を省略する。また、第２実施形態の搬送台車５０と同様の作用及び効果については、適宜その説明を省略する。
【００４０】
図４に示すように、本実施形態の搬送台車６０は、第１実施形態の搬送台車１０の構成と比較して、荷台６２の構成が相違している。
すなわち、荷台６２の略中央部には、底部６４が荷台６２と台車側１４との間に位置した凹部６５が形成されている。つまり、この底部６４は、荷台６２の他の部分よりも低い位置に形成されている。この底部６４には、搬送物５４が載せられている。
【００４１】
本実施形態の搬送台車６０においても、上記底部６４に搬送物５４を載せることにより、平板状の荷台２８（図１参照）の上に搬送物５４を載置する場合と比較して、搬送物５４及び荷台６２の全体の重心位置を低くすることができるため、第２実施形態で説明した搬送台車５０と同様の理由により、荷台６２に作用するピッチング振動やローリング振動の発生を抑制することができる。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明した本発明の搬送台車においては、以下の効果を奏する。
【００４３】
請求項１記載の発明によれば、荷台に伝達される前に防振部材により振動及び衝撃を十分に吸収でき、かつ防振ユニットの耐久性の低下を防止できる。
【００４４】
請求項２記載の発明によれば、重心位置を低くした分だけ、外力又は衝撃により荷台に作用するモーメントを小さくすることができる。この結果、荷台に生じるピッチング振動やローリング振動を効果的に抑制することができるため、荷台上の搬送物への悪影響を防止でき、搬送物の破損等を防止することができる。
【００４５】
請求項３記載の発明によれば、荷台に生じるピッチング振動やローリング振動を効果的に抑制することができるため、荷台上の搬送物への悪影響を防止でき、搬送物の破損等を防止することができる。
【００４６】
請求項４記載の発明によれば、荷台に生じるピッチング振動やローリング振動を効果的に抑制することができるため、荷台上の搬送物への悪影響を防止でき、搬送物の破損等を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の搬送台車の構成図である。
【図２】防振部材の構成図である。
【図３】本発明の第２実施形態の搬送台車の構成図である。
【図４】本発明の第３実施形態の搬送台車の構成図である。
【図５】従来の搬送台車の構成図である。
【符号の説明】
１０    搬送台車
１６    防振部材
１８    コイルばね（ばね部材）
２０    支持部材
２４    防振ユニット
２６    防振ゴム（ゴム部材）
２８    荷台
５２    おもり（重量物）
６４    底部
６５    凹部
【図１】
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【図２】
2004210057.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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