(57)【要約】【課題】測定部のワークに対する接触力を極小化し、測定前のワークの状態を変化させることなく、より繊細なワークをも測定することができる形状測定機を提供すること。【解決手段】接触式プローブとしてのプローブ３をワーク８の表面に接触させ、その接触点を順次移動させるよう前記接触式プローブと前記ワーク８とを相対的に移動させ、その移動の間の接触式プローブの変位量により前記ワーク８の表面形状を測定する形状測定機１において、前記接触式プローブを先端に備える作動軸５と、該作動軸５をその軸方向に移動可能に支持する支持部６と、前記作動軸５の軸方向の移動範囲を規制するストッパ４とを備え、前記接触式プローブが、該接触式プローブを含む部材の自重により、軸方向先端に向けて付勢されていることを特徴とする形状測定機１を提供する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接触式プローブをワークの表面に接触させ、その接触点を順次移動させるよう前記接触式プローブと前記ワークとを相対的に移動させ、その移動の間の接触式プローブの変位量により前記ワークの表面形状を測定する形状測定機において、
前記接触式プローブを先端に備える作動軸と、
該作動軸をその軸方向に移動可能に支持する支持部と、
前記作動軸の軸方向の移動範囲を規制するストッパとを備え、
前記接触式プローブが、該接触式プローブを含む部材の自重により、軸方向先端に向けて付勢されていることを特徴とする形状測定機。
【請求項２】
前記作動軸と前記ストッパとの間に位置し、前記作動軸または前記ストッパの少なくとも一方に設けられた弾性体を備えることを特徴とする請求項１に記載の形状測定機。
【請求項３】
前記ワークが、該ワークを加工する加工機で用いる保持手段により保持されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の形状測定機。
【請求項４】
前記作動軸の軸方向の位置を検出する位置検出手段と、
該位置検出手段からの検出信号に基づいて、前記接触式プローブと前記ワークとの相対的な移動を制御する制御手段とを備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一つに記載の形状測定機。
【請求項５】
前記接触式プローブの先端を覆い、前記作動軸と前記弾性体とを密着させるキャップを具備することを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一つに記載の形状測定機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、接触式プローブを有する形状測定機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ワークの寸法、形状等を測定する測定機には、測定部がそのワークの表面に触れることによりその寸法、形状等を測定する接触式の測定機がある。このような接触式の測定機では、測定部とワークとの接触力が強いと、ワークに傷を付けたり、さらにはワークを破損させたりしてしまうことになる。まして、今日のワークは、微小化、微細化が求められており、ワークに対する接触力はより一層微弱なものが要求されてきている。さらに、この種のワークの中には、測定前の段階で既に高精度の加工処理が施されたものもある。これらは、加工時間に数時間から数十時間を要するものが多いため、その後に行う測定の段階でワークに傷を付けてしまうと、そのワークを再加工するのに膨大な時間を費やすことになる。
【０００３】
従来より、上記のような接触式の測定機については図５に示したものが紹介されている（例えば、特許文献１参照。）。
この測定機は、互いに１２０度の間隔で取り付けられた半径方向に延びる３個の測定子１０３からなる測定ヘッド１０２を備えた本体１０１と、上記本体１０１内を軸方向に移動できるように取り付けられた測定ロッド１０４と、平頭状の可動ストッパ１０５を介して、測定子１０３を半径方向外方に移動させる機構を備え、上記ストッパ１０５の円錐状面に、各プローブ１０３の斜めに延びる基部がばね（図示省略）を介して支持されている。またストッパ１０５の底面１０６によって測定ロッド１０４の２つの端部の一方が支持されている。さらに本体１０１と一体の軸受の支持面と、測定ロッド１０４と一体の軸方向駆動リングとの間に取り付けられた復帰用ばね１０７を備え、上記ロッド１０４をストッパ１０５に押圧することによって、この復帰用ばね１０７の作用で半径方向の測定子１０３が互いに離れるように動き、測定ヘッド１０２の径が最大になるようになっている。その復帰用羽１０７によって、上記測定子１０３が所定の測定圧力で測定する孔の壁面に当たるようになっている。
【０００４】
この孔の内径測定器に取り付けるこの従来例の衝撃装置は、逆回転及び軸方向の移動が可能な２つの部材、ボルトとナットで構成されている。これら２つの部材の１つであるナット１２１は、本体の筒状の壁面の一部に設けた雌ねじで構成されている。他方の部材ボルトはねじを設けた円筒形のスリーブ１２０によって形成されており、このスリーブ１２０のねじを形成した外周面は、測定ロッド１０４のストロークの端部位置で、本体１０１のねじを形成した部分にその全長に渡って係合している。一方、平坦な内周面は、測定ロッド１０４の回りに回転自在に取り付けられている。このボルト形のスリーブ１２０は、復帰用ばね１０７と測定ヘッド１０２の間の位置で、リング１０９とピン１２４で定位置に固定された保持ワッシャー１２３との間にある測定ロッド１０４の部分に軸方向に動かないように取り付けられている。
【０００５】
この測定機は、互いに係合する２つの部材の相対回転による摩擦力がブレーキの作用をするので、器具本体１０１内の測定ロッド１０４の軸方向移動速度を調整することができ、衝撃や急な操作による損傷を防ぐことができる、というものであった。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−１８７０１号公報（第２−５頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成の測定機では、ばねの付勢力を利用して接触力を生じさせるものであるため、現行のばねの材質を考えると、ワークへの接触力の微弱化にも自ずと限界があった。例えば、一般的なばねを用いた構成では、数１００ｍｇｆから１０００ｍｇｆの接触力が生じることになる。
【０００８】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、測定部のワークに対する接触力を微小化し、ワークの測定前の状態を変化させることなく、より繊細なワークをも測定することができる形状測定機を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
請求項１に係る発明は、接触式プローブをワークの表面に接触させ、その接触点を順次移動させるよう前記接触式プローブと前記ワークとを相対的に移動させ、その移動の間の接触式プローブの変位量により前記ワークの表面形状を測定する形状測定機において、前記接触式プローブを先端に備える作動軸と、該作動軸をその軸方向に移動可能に支持する支持部と、前記作動軸の軸方向の移動範囲を規制するストッパとを備え、前記接触式プローブが、該接触式プローブを含む部材の自重により、軸方向先端に向けて付勢されていることを特徴とする。
【００１０】
この発明に係る形状測定機によれば、該接触式プローブを含む部材の自重により、支持部に対して作動軸を軸方向に移動させ、接触式プローブが先端方向に向かって軸方向に沿って移動させられる。そして、ストッパによる移動許容位置の最下端まで到達することにより、作動軸が停止させられる。この状態から、接触式プローブとワークとを相対移動させ、接触式プローブをワークに接触させる。そして、その接触点を順次移動させるように相対移動を継続しながら、接触式プローブの変位量を測定することにより、ワークの表面形状が測定されることになる。この場合において、接触式プローブは、作動軸方向先端に向けて付勢されているのでワークの表面との接触状態を維持しながら移動させられる。
これにより、接触式プローブは、該接触式プローブを含む部材の自重という微細な押圧力でワークに接触させられるので、従来のばね式のものと比較して、接触力を小さくすることができ、ワークの損傷を防止することが可能となる。
【００１１】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の形状測定機において、前記作動軸と前記ストッパとの間に位置し、前記作動軸または前記ストッパの少なくとも一方に設けられた弾性体を備えることを特徴とする。
この発明に係る形状測定機によれば、前記作動軸が、前記ストッパの許容する位置まで軸方向に沿って移動すると、前記作動軸と前記ストッパとの間に設けられた弾性体に、前記作動軸または前記ストッパが衝突する。このとき、その衝突によって生じる衝撃を、弾性体が吸収する。
これにより、機器本体を衝撃から保護することができるとともに、測定時に衝撃を受けた場合の、プローブ移動範囲内での移動速度増加に伴うプローブとワ−クとの衝突によるワークの損傷をも防止することが可能となる。
【００１２】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の形状測定機において、前記ワークが、該ワークを加工する加工機で用いる保持手段により保持されていることを特徴とする。
この発明に係る形状測定機によれば、ワークを加工機により加工した後、そのワークの保持手段を維持した状態で形状測定機が作動する。そのため、加工した直後のワークが加工機から取り外されることなくそのワークを測定することができる。
これにより、加工機からのワークの取り外しや測定機への取り付けの際に生じる取り付け誤差を減少させるとともに、取り付け、取り外しの作業負担の軽減を図ることができる。さらに、測定機により測定したデータを用いて直ちに補正加工することができ、ワークの形状を高精度に加工するうえで、加工時間を短縮することが可能となる。
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれか一つに記載の形状測定機において、前記作動軸の軸方向の位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段からの検出信号に基づいて、前記接触式プローブと前記ワークとの相対的な移動を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
この発明に係る形状測定機によれば、前記作動軸の軸方向の位置が規定の位置に達した場合、前記接触式プローブと前記ワークとを相対的に離したり、または、両者の相対変位を停止させたりすることができ、機器本体への衝撃やワークへの損傷を防止することが可能となる。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項２から請求項４のいずれか一つに記載の形状測定機において、前記接触式プローブの先端を覆い、前記作動軸と前記弾性体とを密着させるキャップを具備することを特徴とする。
この発明に係る形状測定機によれば、前記接触式プローブの先端をキャップで覆い、固定することにより、前記ストッパを介して前記作動軸の動きが前記弾性体に制限された状態になる。
これにより、測定機の移動時等に生じる衝撃から、測定機本体や接触式プローブを保護することができる。さらに、加工中に発生する油・ミスト等から接触式プローブや測定機本体を保護することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態に係る形状測定機１について、図面を参照して説明する。
図１および図２は、本発明の一実施形態としての形状測定機を示したものである。
本実施形態にかかる形状測定機１は、加工機１７の加工機底板１７ｂの上面に設置された測定機台１１の上に設けられ、加工機底板１７ｂの端部に設けられた加工部１７ａと略対向する位置に配されている。
加工機１７は、例えば、エアダンパを用いた除震機能を有している。
また、加工部１７ａは、保持手段としての保持装置１８を有しており、この保持装置１８により、球状のワーク８が形状測定機１側に突出した状態で保持されている。
さらに、本実施形態において、形状測定機１は、駆動部２と、その駆動部２に設けられたプローブ３および位置検出手段としての位置検出部９と、駆動部２の移動を制限するストッパ４とを備えている。
駆動部２は、柱状の作動軸５と、測定機台１１の上に固定された支持部６とを有している。測定機台１１は、作動軸線方向（作動軸５の移動方向）の両端部のうち、加工部１７ａと反対方向の端部を上昇させ、加工部１７ａ側に向けた傾斜を作り出すようになっており、さらに、作動軸線方向および作動軸線に直交する方向に移動可能になっている。作動軸５の一端には円錐台状の接続部７が、その先端部を作動軸５と反対方向に向けて取り付けられている。一方、作動軸５の他端には、段差部１２が形成され、後述するガラススケール１４が固定できるようになっている。この段差部１２の近傍には、軸線に直交する方向に沿って棒状の衝接棒１３が固定されている。衝接棒１３はその長さ寸法が作動軸５の幅寸法より長くなるように形成され、作動軸５に固定された状態では、衝接棒１３の両端が作動軸５からその幅方向に沿って突出するようになっている。
【００１６】
支持部６は、筒状をなしており、その空洞部（不図示）の中を軸方向に沿って作動軸５が通されている。支持部６の内壁面には、複数の吹出孔（不図示）が形成され、作動軸５と支持部６の内壁面との間には、圧縮したクリーンでドライな圧縮空気を吹出孔から噴出することにより、数μｍの微小な隙間を生じさせるようになっている。クリーンでドライな圧縮空気としては、例えば、冷凍式のエアドライアにより、空気露点１０℃、油分除去０．１ＰＰＭ、ダストの粒子１．０μｍ未満、０．３μｍ以上の粒子が１００個／立方フィート以下のものを使用している。これら空気の噴出、すなわちエアスライドにより、作動軸５は、支持部６の内壁面とは接触していない、浮いた状態になっている。そのため、作動軸５の表面形状精度に直接影響を受けず、その表面精度の約１／１０の運動性能を満足するようになっている。これにより、作動軸５は、加工部１７ａに対して接近離間する方向に、すなわち軸方向に沿って往復移動可能に支持され、測定機台１１が加工部１７ａに向けた傾斜を生じさせると、プローブ３は、作動軸５等の自重のみにより軸方向先端に向けて付勢されるようになっている。
【００１７】
プローブ３は、作動軸５の一端に設けられた接続部７の先端に固定されている。そのプローブ３は、球状をなしており、例えば、直径０．５ｍｍの精密ルビー球よりなっている。
位置検出部９は、ガラススケール１４、ガラススケールヘッド１５を有している。ガラススケール１４は、板状部材からなり、その一端を作動軸５の他端に形成された段差部１２にネジ止めすることにより作動軸線に沿って固定されている。ガラススケールヘッド１５には、ガラススケール１４が往復移動可能に挿通され、ガラススケール１４の移動を逐次検出するようになっている。
【００１８】
ストッパ４は、コの字状をなしており、その底面部が作動軸線に平行になるように、測定機台１１の上面に取り付けられている。そして、衝接棒１３の一端が、コの字状のストッパ４の両側壁の間に位置するように、ストッパ４が作動軸５に隣接されている。そのため、作動軸５の往復移動に伴って、衝接棒１３はストッパ４の両内側壁の間を往復移動するようになっている。ストッパ４の両内側壁のうち、衝接棒１３の往復移動軸線と接する両部分に、それぞれ弾性体１６が設けられている。弾性体１６は、衝撃吸収性の高いゴム等からなっている。したがって、作動軸５が両弾性体１６間の距離を越えて移動しようとすると、衝接棒１３が一方の弾性体１６に接触することになり、これにより作動軸５の移動を制限するようになっている。
【００１９】
このように構成された本実施形態に係る形状測定機１の作用について説明する。
形状測定機１を加工機１７の加工部１７ａと対向する所定の位置に設置する際、測定機台１１はその端部を上昇させ、加工部１７ａに向けた傾斜を生じさせる。そのため、形状測定機１全体が傾けられた状態となり、作動軸５は、そのプローブ３側の一端が斜め下方に、段差部１２側の他端が斜め上方を向くように傾けられる。したがって、作動軸５がプローブ３側に作動軸線に沿って移動させられると同時に、衝接棒１３もストッパ４の両弾性体１６の間を移動させられる。そして、衝接棒１３がプローブ３側の弾性体１６に接触すると、作動軸５の移動が止められる。この状態から、測定機台１１は、加工部１７ａ側に前進させられ、所定の位置で停止させられる。この位置は、プローブ３が、ワーク８の中心を通り且つ作動軸線を含む鉛直平面（以下、基準面という。）から、水平方向側方、すなわちワーク８の側部且つ基準面から所定の距離だけ離された地点となる。また、この位置は、プローブ３がワーク８の表面に最初に接触する接触ポイントから、水平方向側方に離された地点となる。
【００２０】
この状態から、測定機台１１が、基準面と直交する方向に基準面側に向けて水平移動を開始する。測定機台１１は、一定の距離を高速移動し、所定の地点から低速移動に切り替えられて、さらに、基準面側、すなわちプローブ３が上記接触ポイントに向かうよう水平移動しつづける。その結果、プローブ３が、あるタイミングでワーク８の接触ポイントに接触する。そして、接触後は、ワーク８のなめらかな突出面にならってプローブ３が移動させられることになる。プローブ３が所定の地点に到達すると、位置検出部９によって測定が開始される。さらに、プローブ３はワーク８の最突出部分を通過し、測定の終端方向に向かって水平移動させられる。これら移動の間、プローブ３はワーク８の突出面にならって移動させられるので、作動軸５もそれに応じて軸線方向に直線移動させられる。
【００２１】
本実施形態では、例えば、直径２０ｍｍの凸形状のワーク８に対して基準面から相対距離１０ｍｍになるまで、プローブ３が早送り速度で水平移動させられる。その地点に到達すると、より低速な毎分２．５ｍｍのアプローチ速度に切り替えられる。そして、基準面から９ｍｍ離れた地点でプローブ３がワーク８に接触する。このときの接触力は、作動軸５、接続部７、衝接棒１３、プローブ３、ガラススケール１４、ガラススケールヘッド１５の総重量が５２ｇ、傾斜角を２分としているので、
５２（ｇ）×ｓｉｎ（２／６０）＝０．０３（ｇ）
すなわち、約３０ｍｇｆとなる。さらにプローブ３は、ワーク８に接触しながら相対移動を続け、ワーク８の凸形状により作動軸５が２ｍｍ押し戻された地点で位置検出部９による測定が開始される。このときには、作動軸５が押し戻されていることから、衝接棒１３は弾性体１６から離された状態となる。その後も、プローブ３は、基準面をはさんだ反対側方向に向けて自重のみによりワーク８に接触しながら相対移動を続け、その反対側の所定の地点でワーク８から離れる。その間、位置検出部９は作動軸５の位置を検出し続け、その位置をプロットすることにより、ワーク８の形状が正確に測定される。さらに、その測定データは、外部からの指示があると、解析等の処理後、加工条件にフィードバックされる。
【００２２】
以上より、本実施形態にかかる形状測定機１によれば、検出時のプローブ３のワーク８に対する接触力は、作動軸５等の自重のみによって生じるものであるから、その接触力を微小なものにすることができる。例えば、上述のように、一般的なばねを用いた構成では、数１００ｍｇｆから１０００ｍｇｆの接触力であるのに対し、本実施形態にかかる形状測定機１によれば約３０ｍｇｆという微小な接触力を実現できる。
そのため、高精度でより繊細なワークであっても、その損傷を防止することができる。ちなみに、軟質材料であるアルミニウムに、半径２μｍのダイヤモンドスタイラスよりなるプローブを用いて接触力３０ｍｇｆで測定を行ったが、ノマルスキー顕微鏡で観察してもワーク表面に傷は認められなかった。
【００２３】
また、作動軸５がストローク端に到達したとき、衝接棒１３はストッパ４に設けられた弾性体１６と接触するため、その衝撃を吸収することができる。そのため、測定機本体を衝撃から保護することができる。
さらに、ワーク８が、加工機１７で用いる保持装置１８により保持されているため、保持装置１８からのワーク８の取り外しや測定機への取り付けの際に生じる取り付け誤差を減少させるとともに、取り付け、取り外しによる作業負担を軽減することができる。また、測定機によって測定したデータを加工機１７にフィードバックさせることにより、加工機１７を用いて直ちに補正加工することができ、ワーク８の形状を高精度に加工するうえで、加工時間を短縮することが可能となる。
【００２４】
なお、上記の実施形態においては、プローブ３を球状としたが、これに限らず、例えば、先端が微小な曲率半径を有する形状のものを用いてもよい。
また、プローブ３の材質をルビーとしたが、これに限らず、ダイヤモンド、ガラス、サファイヤ、セラミクス等であってもよい。
また、弾性体１６をゴムからなるとしたが、これに限らず、コイルバネ、板バネ、エアダンパ等であってもよい。
さらに、ストッパ４の両内側壁に、弾性体１６を設けるとしたが、これに限らず、衝接棒１３や作動軸５に取り付けたり、衝接棒１３またはストッパ４自体を弾性部材としてもよい。
【００２５】
また、支持部６内壁面に複数の吹出孔を形成するとしたが、これに代えて、多孔材質のものを用いてもよい。さらに、エアスライドの材質は、セラミクスを使用しているが、これに限らず、線膨張係数の小さな低膨張材、軽量なアルミニウムやジュラルミン、ステンレスを含む鉄系材料、樹脂等を用いてもよい。
また、位置検出部９は、ガラススケール１４とガラススケールヘッド１５を有するとしたが、これに限らず、作動軸５の位置情報を干渉計等から取得するものや、電気的・光学的なスイッチ等を用いたものであってもよい。
さらに、プローブ３とワーク８との相対移動について、測定機台１１を移動させるとしたが、これに限らず、ワーク８自体を保持装置１８により移動させたり、加工部１７ａを移動させるようにしてもよい。また、測定機台１１と加工部１７ａの双方を移動させるようにしてもよい。
また、ワーク８の測定開始位置について、プローブ３がワーク８の表面の所定の位置に達した後、測定を開始するとしたが、これに限らず、測定機台１１が基準面側に向かって水平移動を開始すると同時に測定を始めてもよい。
【００２６】
図３は、本発明の別の実施形態を示したものである。
図３において、図１および図２に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態に係る形状測定機１は、演算装置２０、制御ＰＣ２１、測定機制御装置２２を有する制御手段を備えている。
演算装置２０は、位置検出部９からの位置情報を読み込むようになっている。
制御ＰＣ２１は、作動軸５の移動限界地点データを格納するメモリ（不図示）を備えている。
測定機制御装置２２は、制御ＰＣ２１からの指示を受け、測定機台１１の移動を制御するようになっている。
【００２７】
以下、本実施形態に係る形状測定機１の作用について説明する。
位置検出部９が作動軸５の位置情報を演算装置２０に供給し、その位置情報から演算装置２０は作動軸５の位置を演算する。さらに、その演算結果を制御ＰＣ２１に供給し、制御ＰＣ２１は、予め入力された作動軸５の移動限界地点データとその演算結果とを比較する。そして、その演算結果が作動軸５の移動限界地点データを超えている場合、測定機制御装置２２に向けて制御指令を出力する。その制御指令を受けた測定機制御装置２２は、ワーク８とプローブ３とが相対的に離れるように測定機台１１を移動させ、または、両者の相対変位を停止させるように測定機台１１の移動を停止させる。
これにより、作動軸５がそのストローク端に到達した場合に生じる衝撃を防止することができる。
なお、上記の実施形態においては、測定機台１１の移動を制御するとしたが、これに限らず、例えば、作動軸５、ワーク８または加工部１７ａの少なくとも一つを制御するようにしてもよい。
さらに、本実施の形態では、制御ＰＣ２１によって予め入力された作動軸５の移動限界地点データと演算結果とを比較したが、これに限らず、移動限界地点にスイッチを設けて、そのスイッチからの信号を測定機制御装置２２へ出力してもよい。
【００２８】
図４は、本発明の更に別の実施形態を示したものである。
図４において、図１および図２に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態に係る形状測定機１は、測定機全体を覆うカバー２５とプローブ３を覆うキャップ２６とを備えている。
カバー２５は、内部を空洞にした直方体よりなっており、その内部の所定の位置に測定機を収納できるようになっている。また、カバー２５の長さ方向の両側面の一方には、開口部２７が形成され、測定機を収納したときに作動軸５の先端を測定機内部から測定機外部へ突出させるようになっている。
キャップ２６は、コの字型の断面形状をなしており、開口部２７を塞ぐように、ネジ・磁力等によってカバー２５に取り付けることができるようになっている。
【００２９】
以下、本実施形態に係る形状測定機１の作用について説明する。
形状測定機１を使用しないときには、カバー２５の内部から、プローブ３が設けられた作動軸５の先端部を、開口部２７を通してカバー２５の外部に突出させた状態でプローブ３の先端にキャップ２６を被せ、プローブ３とキャップ２６を接触させながらキャップ２６ごと作動軸５をカバー２５内部に押し戻す。キャップ２６がカバー２５の側面にぶつかったとき、衝接棒１３がプローブ３と反対側の弾性体１６に接触した状態になるようにストッパ４の位置を予め設定しておく。そのため、キャップ２６と弾性体１６とにより作動軸５はその軸方向の移動ができないように固定される。
これにより、測定機の移動・運搬時に生じる衝撃を弾性体１６が吸収し、機器本体やプローブ３を保護することができる。また、ワーク８の加工時には、切削液・研削液等の液体から、機器本体やプローブ３を保護することができる。
なお、上記の実施形態においては、キャップ２６とプローブ３が直接接触した状態となっているが、これに限らず、プローブ３に専用の保護部材を被せ、その保護部材とキャップ２６とが直接接触するようにしたり、キャップ２６のプローブ３接触面に、プローブ３保護用弾性部材等を設置してもよい。
【００３０】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、測定部のワークに対する接触力を微小化し、ワークの健全性を損なうことなくワークの形状を測定することができる。
また、弾性体が衝撃を吸収し、機器本体を衝撃から保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る形状測定機の一実施形態を上から見た状態を示す概略構成図である。
【図２】本発明に係る形状測定機の一実施形態を側面から見た状態を示す概略構成図である。
【図３】本発明に係る形状測定機の別の実施形態を示す概略構成図である。
【図４】本発明に係る形状測定機の更に別の実施形態を示す概略構成図である。
【図５】従来の形状測定機を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１    形状測定機
３    プローブ（接触式プローブ）
４    ストッパ
５    作動軸
６    支持部
８    ワーク
９    位置検出部（位置検出手段）
１６  弾性体
１７  加工機
１８  保持装置（保持手段）
２１  制御ＰＣ（制御手段）
２２  測定機制御装置（制御手段）
２６  キャップ
【図１】
2004301669.tif 000003
【図２】
2004301669.tif 000004
【図３】
2004301669.tif 000005
【図４】
2004301669.tif 000006
【図５】
2004301669.tif 000007