(57)【要約】【課題】単純で製造コストも安く済み、安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能なコリオリ質量流量計を提供する。【解決手段】内部に測定流体が流れる振動チューブと、コイルとマグネットとを有し振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器とを具備するコリオリ質量流量計において、一方の励振器のマグネットのコイルに対するＮ極とＳ極の向きに対してマグネットのコイルに対するＮ極とＳ極の向きが逆方向に配置された他方の励振器と、一方の励振器と他方の励振器とに同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように励振器を駆動する励振回路とを具備したコリオリ質量流量計である。【選択図】　　　　図１
2004108839.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に測定流体が流れる振動チューブと、
コイルとマグネットとを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器と
を具備するコリオリ質量流量計において、
一方の励振器のマグネットのコイルに対するＮ極とＳ極の向きに対してマグネットのコイルに対するＮ極とＳ極の向きが逆方向に配置された他方の励振器と、前記一方の励振器と前記他方の励振器とに同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで前記振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように前記２個の励振器を駆動する励振回路と
を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項２】
内部に測定流体が流れる振動チューブと、
コイルとマグネットとを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器と
を具備するコリオリ質量流量計において、
一方の前記励振器のコイルに対する結線と他方の前記励振器のコイルに対する結線とが互いに逆極性になるように結線し前記一方の励振器と前記他方の励振器とに同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで前記振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように前記２個の励振器を駆動する励振回路
を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項３】
内部に測定流体が流れる振動チューブと、
コイルとマグネットとを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器と
を具備するコリオリ質量流量計において、
一方の励振器のコイルの巻回方向に対してコイルの巻回方向が逆方向に巻回された他方の励振器と、
前記一方の励振器と前記他方の励振器とに同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで前記振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように前記励振器を駆動する励振回路と
を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項４】
内部に測定流体が流れる振動チューブと、
コイルと鉄片とを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器と
を具備するコリオリ質量流量計において、
前記振動チューブの両端固定端を結ぶ基準軸を挟んで互いにこの振動チューブの反対側に配置された２個の励振器と、
この励振器に同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで前記振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように前記励振器を駆動する励振回路と
を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項５】
内部に測定流体が流れる振動チューブと、
コイルと鉄片とを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器と
を具備するコリオリ質量流量計において、
一方の前記励振器と置替えられこの一方の励振器と同等の質量を有するバランサーと、
前記振動チューブを所定の励振振動モードの共振周波数で励振する他方の励振器と
を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高次モードで非対称形状な励振振動モードを行う場合において、励振回路が一個で良く、単純で製造コストも安く済み、且つ安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能なコリオリ質量流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１７は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、特開平４−１０９１２１号に示されている。
図１８，図１９，図２０は図１７の動作説明図である。
【０００３】
図において、１は、相手配管Ａと結合する為のフランジである。
４は、互いに平行に配置され測定流体の流れる直管状の２個の測定管である。１１は、測定管４の両端にそれそれ一端が取付けられたフレキシブルな４個の結合部である。
この場合は、べローズが使用されている。
【０００４】
１２は、結合部１１の他端にそれぞれ取付けられた２個の分岐管である。
１３は、２個の測定管４のそれぞれの中央部との間に設けられた測定変位検出センサである．
【０００５】
１４は、測定変位検出センサ１３の両側にほぼ対称に設けられ２個の測定管４の中央部を中心に互いに逆方向に回動させる２個の振動子である。
１５は、測定管４のそれぞれの一端部との間に設けられた駆動変位検出センサである。
【０００６】
以上の構成において、２個の振動子１４がが測定変位検出センサ１３の両側にほぼ対称に設けられ、２個の測定管４の中央部を中心に互いに逆方向に測定管４を回動さぜるようにしたので、測定管４に測定流体が流されると、振動子１４の振動方向の角速度「ω」、測定流体の流速「Ｖ」（以下「　」で囲まれた記号ほベクトル量を表す。）とすると、
【０００７】
Ｆｃ＝一２ｍ　「ω」×「Ｖ」
のコリオリ力が働く、コリオリ力に比例した振動の振幅を測定すれば、質量流量が測定出来る。
【０００８】
そして、２個の測定管４の両端に、それそれ一端が取付けられたフレキシブルな４個の結合部１１が設けられたので、２個の測定管４の熱膨張の差等を吸収出来る。
【０００９】
即ち、振動子１４により、測定管４は、図１８の如く振動する。
測定管４は、測定変位検出センサ１３の取付け位置Ａ，Ａ‘を中心に回動するので、前記角速度「ω」は、Ａ，Ａ‘の回りの角速度である。
Ｂ，Ｂ‘は、駆動変位検出センサ１５の取付け位置である．
【００１０】
図１９に、Ａ，Ａ‘、Ｂ，Ｂ‘における変位Ｘと時間Ｔとの関係を示す。
図１９（Ａ）は測定流体が流れていない場合、図１９（Ｂ）は測定流体が流れている場合を示す。
【００１１】
図２０は、ある一定時間における測定管４の全体の動きを示したものである。点線は測定流体が流れていない場合、実線は測定流体が流れている場合を示す。
そして、測定変位検出センサ１３は、Ａ−Ａ‘間の変位を測定する。
この位置では、振動子１４による変位は０で、コリオリ力に比例した信号が得られる。
【００１２】
駆動変位検出センサ１５は、Ｂ−Ｂ‘間の変位を測定する。
コリオリ力による変位は非常に小さいので、この位置では、振動子１４の駆動による変位を測定出来る。
【００１３】
【特許文献１】
特開平４−１０９１２１号（第１−３頁、第１−４図）
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置においては、二個の振動子１４を用いて、振動子１４に、上下流非対称な振動を発生させている。
この場合、二個の振動子１４が互いに逆位相の力を発生する為には、二個の振動子１４に、互いに逆位相になるような交流電流を加える必要がある。
【００１５】
逆位相になるような電流を発生させるためには、励振回路が二個必要である。また、ケーブルや増幅器のわずかな特性の違いにより、位相差のずれを所定の位相差、たとえば、１８０°丁度に調整することは難かしい。
【００１６】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、高次モードで非対称形状な励振振動モードを行う場合において、励振回路が一個で良く、単純で製造コストも安く済み、且つ安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能なコリオリ質量流量計を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１のコリオリ質量流量計においては、
内部に測定流体が流れる振動チューブと、コイルとマグネットとを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器とを具備するコリオリ質量流量計において、
一方の励振器のマグネットのコイルに対するＮ極とＳ極の向きに対してマグネットのコイルに対するＮ極とＳ極の向きが逆方向に配置された他方の励振器と、前記一方の励振器と前記他方の励振器とに同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで前記振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように前記２個の励振器を駆動する励振回路とを具備したことを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項２のコリオリ質量流量計においては、
内部に測定流体が流れる振動チューブと、コイルとマグネットとを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器とを具備するコリオリ質量流量計において、
一方の前記励振器のコイルに対する結線と他方の前記励振器のコイルに対する結線とが互いに逆極性になるように結線し前記一方の励振器と前記他方の励振器とに同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで前記振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように前記２個の励振器を駆動する励振回路を具備したことを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項３のコリオリ質量流量計においては、
内部に測定流体が流れる振動チューブと、コイルとマグネットとを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器とを具備するコリオリ質量流量計において、
一方の励振器のコイルの巻回方向に対してコイルの巻回方向が逆方向に巻回された他方の励振器と、前記一方の励振器と前記他方の励振器とに同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで前記振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように前記励振器を駆動する励振回路とを具備したことを特徴とする。
【００２０】
本発明の請求項４のコリオリ質量流量計においては、
内部に測定流体が流れる振動チューブと、コイルと鉄片とを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器とを具備するコリオリ質量流量計において、
前記振動チューブの両端固定端を結ぶ基準軸を挟んで互いにこの振動チューブの反対側に配置された２個の励振器と、この励振器に同一の励振信号を同時に送信し上流側と下流側とで前記振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように前記励振器を駆動する励振回路とを具備したことを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項５のコリオリ質量流量計においては、
内部に測定流体が流れる振動チューブと、コイルと鉄片とを有し前記振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ前記振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振する２個の励振器とを具備するコリオリ質量流量計において、
一方の前記励振器と置替えられこの一方の励振器と同等の質量を有するバランサーと、前記振動チューブを所定の励振振動モードの共振周波数で励振する他方の励振器とを具備したことを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の平面図、図３は図１の動作説明図、図４，図５は図２の励振器２１のａ−ａ断面図と、励振器２２のｂ−ｂ断面図と接続する変換器内の励振回路３０の模式図である。
【００２３】
振動チューブ２０は、図１に示す如く、上流側端部１６と下流側端部１７の中点２５を中心に点対称で、変曲点を３箇所有するＳ字形の形状をなしている。
２１，２２は、マグネット２１１，２２１とコイル２１２，２２２から成る励振器で、振動チューブ２０に力を加えて振動させる。
【００２４】
２３，２４は、マグネット２３１，２４１とコイル２３２，２４２から成るセンサで、振動チューブ２０の振動状況を検出する。
通常、励振器２１と励振器２２は、両端部１６，１７から等距離の位置に設置され、同等のマグネットとコイルを同じように組み合わせて使用する。
【００２５】
なお、実際は、円筒コイル２１２，２２２，２３２，２４２の内部にマグネット２１１，２２１，２３１，２４１を挿入して用いるが、わかりやすくするために、図では、ずらして描いている。
【００２６】
ところで、本実施例においては、励振器２１のマグネット２１１の、コイル２１２に対するＮ極とＳ極の向きに対して、励振器２２のマグネット２２１のコイル２２に対するＮ極とＳ極の向きが逆方向に配置されている。
【００２７】
３０は、励振器２１と励振器２２とに同一の励振信号を同時に送信し、上流側と下流側とで、振動チューブ２０の振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように、励振器２１，２２を駆動する励振回路である。
【００２８】
即ち、図４，図５では、励振器２２のマグネット２２１のＮ極とＳ極の向きが励振器２１と異なり、反対向きになっており、位相が同じ電流を２つのコイル２１２，２２２に加えても、発生する力の向きは逆（位相が１８０°異なる）になる。
【００２９】
図５では、励振回路３０の一つの電流源から、コイル２１２とコイル２２２に並列に接続している。
インピーダンスが等価のコイル２１２、２２２を使用すると、コイル２１２とコイル２２２には、位相が全く等しい電流が、励振回路３０から流れることになる。
【００３０】
図６では、励振回路３０の一つの電流源からコイル２１２とコイル２２２に直列に接続している。
コイル２１２と２２２には、（位相も電流値も）全く等しい電流が励振回路３０から流れることになる。
【００３１】
以上の構成において、振動チューブ２０は、図３に示す如く、　Ａ→Ｂ→Ａ→Ｃ→Ａ→Ｂ→　のように位置を変えて振動を続ける。
このような、振動チューブ２０の変形を生じさせるには、例えば、上流側に設置された励振器２１で　−Ｙ方向の力、下流側に設置された励振器２２で、　＋Ｙ方向の力を振動チューブ２０に加える必要がある。
【００３２】
定常振動を続ける場合、これら２つの励振器２１，２２では、位相が逆位相となる振動力を発生させることになる。
励振回路３０より、同一の励振信号を送信することにより、励振器２１，２２では、位相が逆位相となる振動力が発生する。
【００３３】
この結果、
（１）励振回路３０は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００３４】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、磁石の向きを変える、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００３５】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００３６】
図６，図７は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、３０は、励振器２１のコイル２１２に対する結線と、励振器２２のコイル２２２に対する結線とが、互いに逆極性になるように結線し、励振器２１と励振器２２とに同一の励振信号を同時に送信し、上流側と下流側とで、振動チューブ２０の振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように励振器２１，２２を駆動する励振回路である。
【００３７】
即ち、図６，図７では、励振器２２のコイル２２２に接続するケーブルの＋−を励振器２１のコイル２１２と逆にした。
電流源は１つで共通なので、励振電流の位相は全く等しいが、電流の向きが異なるので、発生する力の向きも逆（位相が丁度逆位相となる）になる。
【００３８】
図６では、励振回路３０の一つの電流源から、コイル２１２とコイル２２２に並列に接続している。
インピーダンスが等価のコイル２１２とコイル２２２を使用すると、コイルに流れる電流の位相は同じだが、向きが逆なので、発生する力も逆（位相差は１８０°）になる。
【００３９】
図７では、励振回路３０の一つの電流源からコイル２１２とコイル２２２に直列に接続している。
コイル２１２と２２２には、（位相も電流値も）全く等しい電流が励振回路３０から流れるが、向きが逆なので、発生する力の向きも逆（位相差は１８０°）になる。
【００４０】
この結果、
（１）励振回路３０は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００４１】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、コイルへの配線を逆にする、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００４２】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００４３】
図８，図９は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、励振器２１のコイル２１２の巻回方向と、励振器２２のコイル２２２の巻回方向とが、互いに逆方向に巻回されている。
３０は、励振器２１と励振器２２とに同一の励振信号を同時に送信し、上流側と下流側とで、振動チューブ２０の振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように励振器２１，２２を駆動する励振回路である。
【００４４】
即ち、図８，図９では、励振器２１のコイル２１２に巻くケーブルの向きと、励振器２２のコイル２２２に巻くケーブルの向きを逆にした。
電流源は１つで共通なので、励振電流の位相は全く等しいが、コイル２１２とコイル２２２のケーブルの巻き方を逆にしたので、発生する力の向きも逆（位相が丁度逆位相となる）になる。
【００４５】
図８では、励振回路３０の一つの電流源からコイル２１２とコイル２２２に並列に接続している。
インピーダンスが等価のコイル２１２、２２２を使用すると、コイルに流れる電流の位相は同じだが、ケーブルの巻き方が逆なので、発生する力も逆（位相差は１８０°）になる。
【００４６】
図９では、励振回路３０の一つの電流源からコイル２１２とコイル２２２に直列に接続している。
コイル２１２とコイル２２２には、（位相も電流値も）全く等しい電流が励振回路３０から流れるが、ケーブルの巻き方が逆なので、発生する力の向きも逆（位相差は１８０°）になる。
【００４７】
この結果、
（１）励振回路３０は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００４８】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、コイルの巻き方向を変える、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００４９】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００５０】
図１０は、本発明の他の実施例の要部構成説明図、図１１は図１０の模式図、図１２は図１０の模式図である。
本実施例においては、励振器２１と励振器２２とは、振動チューブ２０の両端固定端１６，１７を結ぶ基準軸１８を挟んで、互いにこの振動チューブ２０の反対側に配置されている。
３０は、励振器２１と励振器２２とに同一の励振信号を同時に送信し、上流側と下流側とで、振動チューブ２０の振動の位相が逆位相となる振動モードで励振するように励振器２１，２２を駆動する励振回路である。
【００５１】
即ち、図１０、図１１，図１２は、励振器２１，２２を振動チューブ２０に対して反対側に設置した場合である。
図１０ではその位置関係を示しており、図２に対応する構成説明図である。
【００５２】
電流源３０は１つで共通なので、励振電流の位相は全く等しいが、励振器２１と励振器２２との設置位置が反対側なので、発生する力の向きも逆（位相が丁度逆位相となる）になる。
【００５３】
図１１では、励振回路３０の一つの電流源からコイル２１２とコイル２２２に並列に接続している。
【００５４】
インピーダンスが等価のコイル２１２、２２２を使用すると、コイルに流れる電流の位相は同じだが、励振器２１と励振器２２との設置位置が振動チューブ２０に対して反対側なので、振動チューブに加える力の向きも逆（位相差は１８０°）になる。
【００５５】
図１２では、励振回路３０の一つの電流源からコイル２１２とコイル２２２に直列に接続している。
【００５６】
コイル２１２と２２２には、（位相も電流値も）全く等しい電流が励振回路３０から流れるが、励振器２１と励振器２２との設置位置が振動チューブ２０に対して反対側なので、振動チューブに加える力の向きも逆（位相差は１８０°）になる。
【００５７】
この結果、
（１）励振回路３０は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００５８】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、励振器２１と励振器２２との配置を振動チューブ２０に対して反対側に設置する、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００５９】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００６０】
図１３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図で、図２に対応する正面図である。
本実施例において、３１は励振器２２と置替えられ、励振器２２と同等の質量を有するバランサーである。
３２は、振動チューブ２０を所定の励振振動モードの共振周波数で励振する励振器である。
【００６１】
即ち、下流側の励振器２２の代わりに、同等のマスを持つバランサー３１を配置する。
この場合は、、上流側励振器２１のマグネット相当の質量、モーメントを持つ重りを、下流側の対称な位置に設置した。
【００６２】
励振で使用する非対称モードの共振周波数で振動した場合には、理想の加振状況でなくても、その共振モードだけが大幅に増幅されるので、ほぼ目的とするモードの共振状態が達成できる。
励振器３２のみで励振しても、目的とする振動モードの共振周波数で加振することで、ほぼ、図３で示したような振動モードが達成できる。
【００６３】
この結果、
（１）励振回路３０は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００６４】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、励振器２１と、励振器２２と置替えられ、励振器２２と同等の質量を有するバランサー３１を配置する、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００６５】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００６６】
（４）励振回路３０が１つで済むばかりでなく、マグネット、コイル、ケーブル等から成る励振器３２も１つで済むようになる。通常は、励振器相当のバランサー３１を設置するが、単なる重りとして使用するだけなので、コイルやマグネット等の電気部品に比べて安くでき、安価なコリオリ質量流量計が得られる。
【００６７】
なお、前述の実施例においては、励振器２１，２２はコイルとマグネットを有すると説明したが、振動チューブの所定の上流側と所定の下流側にそれぞれ配置され励振振動モードが高次の振動モードで且つ振動チューブの上流側と下流側とで振動チューブの振動の位相が逆位相となる振動モードで励振出来る場合には、励振器２１，２２は、コイルと鉄片（磁性体）を有しても良いことは勿論である。
【００６８】
なお、前述の実施例においては、主に、励振器２１，２２についてのみ説明してきたが、振動チューブ２０の形状に関しては、どのようなものでも良い。
例えば、図１〜３のような緩いＳ字形状のものや、後述する直管形状、他に、一般的なＵ字形形状や、様々な形状の振動チューブの２本平行管構造などが考えられる。
【００６９】
いずれの場合も、振動チューブの励振振動モードは、非対称形状で、上流側励振器位置と下流側励振器位置での振動が常に逆位相になる場合が前提条件である。
【００７０】
図１４は、本発明の他の実施例の要部構成説明図で、図１５は図１４の正面図、図１６は図１４の動作説明図である。
振動チューブ２０が直管状で、２次モード励振の場合の実施例である。
【００７１】
図のＹ方向に力を加える励振器は、上流側２１と、下流側２２の２個が設置されてあり、お互い逆位相（逆位相となる位相）になるような力を振動チューブ２０に加え、図１６に示したような、上下流非対称（線対称、面対称でないと言う意味。点対称ではある）な２次モードで振動チューブ２０を励振駆動する。
【００７２】
なお、前述の実施例においては、分かりやすい実施例に付いて、説明したが、これに限ることはないことは勿論である。
必要に応じて、組み合わせて使用することもできる。例えば、磁石のＮＳ極を逆にし、コイルへのケーブルの接続の向きを逆にして、更に、コイルのケーブルの巻き方を逆にすれば、結果的に逆の逆の逆で、単なる逆として扱ってよいことになる。
【００７３】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
（１）励振回路は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００７５】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、磁石の向きを変える、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００７６】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００７７】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
（１）励振回路は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００７８】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、コイルへの配線を逆にする、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００７９】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００８０】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
（１）励振回路は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００８１】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、コイルの巻き方向を変える、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００８２】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００８３】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
（１）励振回路は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００８４】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、励振器と励振器との配置を振動チューブに対して反対側に設置する、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００８５】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００８６】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
（１）励振回路は一つで済むので、単純で製造コストも安く済むコリオリ質量流量計が得られる。
【００８７】
（２）正確に、逆位相となる励振電流を回路で作るのは難しく、わずかな誤差を生じがちだが、励振器と、励振器と置替えられ励振器と同等の質量を有するバランサーを配置する、といった機構的な方法をとれば、正確に逆位相となる励振力を容易に得ることができるコリオリ質量流量計が得られる。
【００８８】
（３）丁度逆位相となる励振力を安定して加えることで、低消費電力でも高Ｑ値の安定した定常振動を得ることが可能になり、コリオリ質量流量計としての安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能になるコリオリ質量流量計が得られる。
【００８９】
（４）励振回路が１つで済むばかりでなく、マグネット、コイル、ケーブル等から成る励振器も１つで済むようになる。通常は、励振器相当のバランサーを設置するが、単なる重りとして使用するだけなので、コイルやマグネット等の電気部品に比べて安くでき、安価なコリオリ質量流量計が得られる。
【００９０】
従って、本発明によれば、高次モードで非対称形状な励振振動モードを行う場合において、励振回路が一個で良く、単純で製造コストも安く済み、且つ安定性や精度が向上し、低消費電力化が可能なコリオリ質量流量計を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の模式図である。
【図５】図１の模式図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図８】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図９】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１０】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１１】図１０の模式図である。
【図１２】図１０の模式図である。
【図１３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図１５】図１４の正面図である。
【図１６】図１４の動作説明図である。
【図１７】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図１８】図１７の動作説明図である。
【図１９】図１７の動作説明図である。
【図２０】図１７の動作説明図である。
【符号の説明】
１　　　フランジ
４　　　測定管
１１　　結合部
１２　　分岐管
１３　　測定変位検出センサ
１４　　振動子
１５　　駆動変位検出センサ
１６　　上流側端部
１７　　下流側端部
１８　　基準軸
２０　　振動チューブ
２１　　励振器
２１１　マグネット
２１２　コイル
２２　　励振器
２２１　マグネット
２２２　コイル
２３　　振動検出センサ
２４　　振動検出センサ
３１　　バランサー
３２　　励振器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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