(57)【要約】【課題】キャリッジプレートの強度を低下させることがなく、これに複数の機能液滴吐出ヘッドを集約配置することができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。【解決手段】ヘッドユニット１１とワークＷとを相対移動させながら、行および列方向に整列したワークＷ上の描画領域Ｄ内の画素領域Ｐに対して機能液を吐出する液滴吐出装置において、ヘッドユニット１１は、ヘッドユニット１１の１回の主走査により描画される描画領域Ｄの行数に対応して複数のヘッドグループ２４にグループ分けされ、多数のノズルを列設した複数の機能液滴吐出ヘッド２１と、当該主走査により描画される描画領域Ｄの列方向の配置に対応させて、複数のヘッドグループ２４を構成する機能液滴吐出ヘッド２１を搭載するキャリッジプレート２２と、を備えていることを特徴とする。【選択図】  図７
2004243267.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の画素領域を領域内に整列配置させた複数の描画領域が、間隙を存して行方向および列方向に整列したワークに対して、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを前記行方向に相対的に主走査させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を選択的に吐出させ、前記ヘッドユニットの１回の主走査により、複数行の前記描画領域の前記画素領域内に機能液を吐出させる液滴吐出装置において、
前記ヘッドユニットは、前記列方向における前記画素領域の画素ピッチに対応する多数のノズルが列設された、複数の機能液滴吐出ヘッドと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジプレートと、を備え、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドは、前記ヘッドユニットの１回の主走査により描画される描画領域の行数に対応して複数のヘッドグループにグループ分けされており、
前記ヘッドグループは、前記ヘッドユニットの１回の主走査により描画される前記描画領域の前記列方向の配置に対応して前記キャリッジプレートに配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
多数の画素領域を領域内に整列配置させた複数の描画領域が、間隙を存して行方向および列方向に整列したワークに対して、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを前記行方向に相対的に主走査させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を選択的に吐出させ、前記ヘッドユニットの１回の主走査により、複数行の前記描画領域の前記画素領域内に機能液を吐出させる液滴吐出装置において、
前記ヘッドユニットは、前記列方向における前記画素領域の画素ピッチに対応する多数のノズルが列設された、複数の機能液滴吐出ヘッドと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジプレートと、を備え、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドは、前記ヘッドユニットの１回の主走査により描画される、前記描画領域の列方向の１から数行置きの配置に対応して、前記キャリッジプレートに配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
前記キャリッジプレートは、当該キャリッジプレートを貫通させて、前記機能液滴吐出ヘッドを取付けるための取付け開口を有しており、
前記取付け開口は、前記ヘッドグループの配置に対応させて、前記ヘッドグループ毎に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ヘッドグループは、対応する描画領域の列方向における前記画素ピッチに対応させて分割配置した、少なくとも１以上の機能液滴吐出ヘッドを有する複数のサブグループで構成されており、
前記取付け開口は、各サブグループの配置に対応させて、前記サブグループ毎に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、ヘッドユニットに、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液滴吐出装置では、機能液が吐出されない領域を生じさせないために、ノズル列を列設した、複数の機能液滴吐出ヘッドをヘッドユニットを構成するキャリッジプレート上に連続的に、かつ精度良く搭載している（例えば、特許文献１参照。）。これにより、各機能液滴吐出ヘッドに列設されたノズル列が連続して、１ラインの描画が行える構成となっている。また、複数の機能液滴吐出ヘッドは、可能な限り近接させてキャリッジプレート上に搭載されており、高い吐出精度を確保できるようになっている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−２７３８６９号公報（第６頁、第８頁−第１２頁、第１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、キャリッジプレートには、機能液滴吐出ヘッドを位置決めして取付けるための取付け開口が形成されており、機能液滴吐出ヘッドは取付け開口に嵌め込まれ、キャリッジプレートを貫通して固定される。したがって、上述したように、複数の機能液滴吐出ヘッドを連続的に、かつ近接させてキャリッジプレート上に搭載しようとすると、隣り合う取付け開口が互いにくっ付いてしまう。かかる場合、ヘッド数が多いと、キャリッジプレートの強度、特に、取付け開口が連続する方向と交差する方向におけるキャリッジプレートの強度、を低下させる惧れが生じるため、キャリッジプレートの厚さを増さなくてはならない。もっとも、複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査の方向に離して配置すれば、かかる問題は生じないが、このようにすると、キャリッジプレートが幅広となり、大型化してしまう問題が生じる。
【０００５】
また、各機能液滴吐出ヘッドに列設したノズル列を連続させた液滴吐出装置を用い、機能液滴を吐出させる画素領域を形成した描画領域を、行方向および列方向に整列配置させたワークに描画を行う場合、ノズル列のノズルピッチと画素領域の画素ピッチを合わせたとしても、描画領域の間隔（例えば、描画領域の間隔がノズルピッチの整数倍でない場合）によっては、ノズルピッチと画素ピッチとにずれが生じてしまうため、効率的に画素領域内に機能液滴を吐出させることができないという問題も生じる。
【０００６】
そこで、本発明は、キャリッジプレートの強度を低下させることがなく、これに複数の機能液滴吐出ヘッドを集約配置することができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、多数の画素領域を領域内に整列配置させた複数の描画領域が、間隙を存して行方向および列方向に整列したワークに対して、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを行方向に相対的に主走査させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を選択的に吐出させ、ヘッドユニットの１回の主走査により、複数行の描画領域の画素領域内に機能液を吐出させる液滴吐出装置において、ヘッドユニットは、列方向における画素領域の画素ピッチに対応する多数のノズルが列設された、複数の機能液滴吐出ヘッドと、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジプレートと、を備え、複数の機能液滴吐出ヘッドは、ヘッドユニットの１回の主走査により描画される描画領域の行数に対応して複数のヘッドグループにグループ分けされており、ヘッドグループは、ヘッドユニットの１回の主走査により描画される描画領域の列方向の配置に対応してキャリッジプレートに配置されていることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、ヘッドユニットの１回の主走査により描画される描画領域の行数に合わせて、複数の機能液滴吐出ヘッドをグループ分けして複数のヘッドグループを構成し、当該主走査により描画される描画領域の、列方向における配置に対応させて各ヘッドグループを配置すると共に、ヘッドグループを構成する機能液滴吐出ヘッドのノズル（ノズルピッチ）が、当該ヘッドグループが対応する描画領域の列方向における画素ピッチに合わせられている。したがって、キャリッジプレートに搭載した機能液滴吐出ヘッドのノズルピッチとワーク上の画素ピッチと、にずれを生じることがない。また、ヘッドユニットの１回の主走査により描画される、各描画領域に対応して機能液滴吐出ヘッドが搭載されるので、描画領域毎にノズル列が連続する構成であり、描画領域間の間隙に対応するノズルを省くことができる。
【０００９】
本発明は、多数の画素領域を領域内に整列配置させた複数の描画領域が、間隙を存して行方向および列方向に整列したワークに対して、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを行方向に相対的に主走査させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を選択的に吐出させ、ヘッドユニットの１回の主走査により、複数行の描画領域の画素領域内に機能液を吐出させる液滴吐出装置において、ヘッドユニットは、列方向における画素領域の画素ピッチに対応する多数のノズルが列設された、複数の機能液滴吐出ヘッドと、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジプレートと、を備え、複数の機能液滴吐出ヘッドは、ヘッドユニットの１回の主走査により描画される、描画領域の列方向の１から数行置きの配置に対応して、キャリッジプレートに配置されていることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、ヘッドユニットの１回の主走査により描画される、１から数行置きの配置に対応して、機能液滴吐出ヘッドがキャリッジプレートに配設されているので、列方向における描画領域間の間隙が狭い場合でも機能液滴吐出ヘッドを適切に配置することが可能である。また、１回の主走査により描画させる描画領域を間引くこととなり、キャリッジプレートに搭載する際の機能液滴吐出ヘッドの配置に自由度を持たせることができる。
【００１１】
これらの場合、キャリッジプレートは、当該キャリッジプレートを貫通させて、機能液滴吐出ヘッドを取付けるための取付け開口を有しており、取付け開口は、ヘッドグループの配置に対応させて、ヘッドグループ毎に設けられていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ヘッドユニットの１回の主走査により描画される描画領域の行方向における配置に対応させたヘッドグループ毎に取付け開口が設けられているので、取付け開口同士が十分に離間して配置される。したがって、取付け開口と取付け開口との間のキャリッジプレートの部位が桟的な（補強部の）役割を果たし、取付け開口によりキャリッジプレートの強度が著しく低下することを防止することが可能である。
【００１３】
この場合、ヘッドグループは、対応する描画領域の列方向における画素ピッチに合わせて分割配置した、少なくとも１以上の機能液滴吐出ヘッドを有する複数のサブグループで構成されており、取付け開口は、各サブグループの配置に対応させて、サブグループ毎に設けられていることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、ヘッドグループの機能液滴吐出ヘッドを、対応する描画領域の画素ピッチに合わせて分割配置したサブグループ毎に取付け開口が設けられているので、ヘッドグループを構成する全ての機能液滴吐出ヘッドを取り付け可能な取付け開口を設けた場合に比して、取付け開口自体を小さく抑えることができると共に、異なるヘッドグループの取付け開口間の間隔を大きくすることができるため、キャリッジプレートに取付け開口を設けることにより生じる、キャリッジプレートの強度低下を最小限に止めることが可能である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態は、本発明の液滴吐出装置を組み込んだ描画システムであり、いわゆるフラットディスプレイの一種である液晶表示装置を製造するためのものである。
【００１６】
ここでは、先ず液晶表示装置の構造および製造方法について説明し、次に描画システムについて説明する。
【００１７】
図１０に示すように、液晶表示装置３０１は、カラーフィルタ３０２と、対向基板３０３と、カラーフィルタ３０２と対向基板３０３との間に封入された液晶組成物３０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。そして、対向基板３０３の内側の面には、画素電極３０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されており、画素電極３０５に対向する位置に、カラーフィルタ３０２の赤、緑、青の着色層３１３が配列するようになっている。また、カラーフィルタ３０２および対向基板３０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜３０６が形成されており、カラーフィルタ３０２および対向基板３０３のそれぞれ外側の面には、偏光板３０７が接着されている。
【００１８】
カラーフィルタ３０２は、透光性の透明基板３１１と、透明基板３１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）３１２と、画素３１２上に形成された着色層３１３と、各画素３１２を仕切る遮光性の仕切り（バンク）３１４と、を備えており、着色層３１３および仕切り３１４の上面には、オーバーコート層３１５および電極層３１６が形成されている。
【００１９】
続いて、液晶表示装置３０１の製造方法について説明する。液晶表示装置３０１は、先ずカラーフィルタ３０２および画素電極３０５が形成された対向基板３０３に配向膜３０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせ、さらに、カラーフィルタ３０２および対向基板３０３との間に液晶組成物３０４を封入した後、偏光板３０７およびバックライトを積層することによって製造される。カラーフィルタ３０２は、透明基板３１１に仕切り３１４を作りこんだ後、画素３１２部分、に、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層３１３を形成し、さらに、透明アクリル樹脂塗料をスピンコートしたオーバーコート層３１５、およびＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ  ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ）から成る電極層３１６を形成することにより作成される。
【００２０】
次に、描画システム１について説明する。この描画システム１は、仕切り３１４を作りこんだ透明基板３１１の画素３１２部分、すなわち画素領域Ｐに、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の３色に対応させた機能液滴を吐出させ、カラーフィルタ３０２の着色層３１３を形成するものである。図１に示すように、描画システム１は、処理前のワークＷ（透明基板３１１）を搬入する搬入マガジンローダ２と、３台の液滴吐出装置３と、各液滴吐出装置３を制御する３台の制御ＰＣ４と、ワークＷをシステム内で移載するワーク移載装置５と、処理後のワークＷを搬出する搬出マガジンローダ６と、を備えている。３台の液滴吐出装置３は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色に対応しており、搬入マガジンローダ２から搬入されたワークＷは、ワーク移載装置５によって移載され、各液滴吐出装置３で１色ずつ描画された後、搬出マガジンローダ６に送り出される。
【００２１】
ここで、本発明の主要部となる液滴吐出装置３について説明する。図２および図３に示すように、液滴吐出装置３は、機能液滴、すなわちカラーフィルタ３０２のフィルタ材料、を吐出する機能液滴吐出ヘッド２１を搭載したヘッドユニット１１と、ヘッドユニット１１を搭載するメインキャリッジ１２と、メインキャリッジ１２を介してヘッドユニット１２をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル１３と、ワークＷを載置する載置テーブル１５を有し、載置テーブル１５を介してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１４と、を備えている。この液滴吐出装置３では、上記した制御ＰＣ４による制御を受けながら、Ｘ軸テーブル１４およびＹ軸テーブル１３を駆動しながら、ヘッドユニット１１の主走査および副走査を交互に繰り返し、ワークＷの画素領域Ｐに描画を行っている。
【００２２】
図２および図４に示すように、ヘッドユニット１１は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド２１と、複数の機能液滴吐出ヘッド２１を搭載するサブキャリッジ２２と、各機能液滴吐出ヘッド２１をサブキャリッジ２２に取り付けるためのヘッド保持部材２３と、で構成されている。同図に示すように、複数の機能液滴吐出ヘッド２１は、複数（２つ）のヘッドグループ２４にグループ分けされ、サブキャリッジ２２上に搭載されている。各ヘッドグループ２４は、それぞれ左右一対のサブグループ２５で構成されており、各サブグループ２５は、それぞれ３個の機能液滴吐出ヘッド２１を有している。ヘッドグループ２４を構成する各機能液滴吐出ヘッド２１は、副走査方向に対して相互に位置ずれして配設され、同一ヘッドグループ２４内の全機能液滴吐出ヘッド２１の全吐出ノズル３８が副走査方向において連続するようになっている（詳細は後述する）。
【００２３】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド２１は、いわゆる２連のものであり、機能液供給装置（図示省略）から連続的に機能液の供給を受ける機能液導入部３１と、機能液導入部３１に連なる２連のヘッド基板３２と、機能液導入部３１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体３３と、を備えている。ヘッド本体３３は、２連のポンプ部３４（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル３８を形成したノズルプレート３５と、を有しており、機能液滴吐出ヘッド２１では、ポンプ部３４の作用により吐出ノズル３８から機能液滴を吐出するようになっている。ノズルプレート３５の下面は、ノズル面３６となっており、ノズル面３６には、２列のノズル列３７が形成されている。各ノズル列３７は、等間隔に並べられた１８０個の吐出ノズル３８で構成されている。
【００２４】
なお、機能液滴吐出ヘッド２１には、機能液滴吐出ヘッド２１をヘッド保持部材２３にねじ留めするための小ねじ用の一対のねじ孔（雌ねじ）３９が形成されている。この一対のねじ孔は、ヘッド本体３３の両長辺部分に位置し、かつノズル面３６の中心に対して点対称となる位置に形成される。
【００２５】
サブキャリッジ２２は、一部が切り欠かれた略方形の、ステンレスやセラミックス材料等の厚板で構成されている（図４および図８参照）。サブキャリッジ２２には、上記したサブグループ２５の個数に合わせて、複数（４つ）の装着開口５１を有している。装着開口５１は、機能液滴吐出ヘッド２１を取り付けるための開口部位５２が連続したものであり、各機能液滴吐出ヘッド２１の配置に対応させて形成されている。また、サブキャリッジ２２には、サブキャリッジ２２を位置決めするための基準ピン５３が左右一対取り付けられている。なお、サブキャリッジ２２を構成する材料は、上記したステンレスやセラミックス材料に限られるものではなく、実状に応じて任意に選択可能である。
【００２６】
図５および図６に示すように、ヘッド保持部材２３は、機能液滴吐出ヘッド２１のノズル面３６を下方に突出させて、サブキャリッジ２２に安定に取り付けるための媒介金具であり、ヘッド保持部材２３の中央には、機能液滴吐出ヘッド２１のヘッド本体３３が挿通する方形の挿通開口６１が形成されている。挿通開口６１の周りには、機能液滴吐出ヘッド２１の一対のねじ孔３９に対応する一対の貫通孔６２が設けられており、機能液滴吐出ヘッド２１を小ねじで固定するようになっている。また、ヘッド保持部材２３の両端部は、（機能液滴吐出ヘッド２１を固定した）ヘッド保持部材２３をサブキャリッジ２２に接着させる接着部位となっており、ヘッド保持部材２３の両端部には、ヘッド保持部材２３をサブキャリッジ２２に接着させるための接着剤を注入する接着剤注入孔６３がそれぞれ設けられている。そして、機能液滴吐出ヘッド２１をヘッド保持部材２３を介して接着剤によりサブキャリッジ２２に仮固定した後、図外のねじ等により本固定される。
【００２７】
メインキャリッジ１２は、Ｙ軸テーブル１３に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材７１と、吊設部材７１の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット１１の）θ方向に対する位置補正を行うためのθテーブル７２と、θテーブル７２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体７３と、で構成されている（図３参照）。キャリッジ本体７３には、ヘッドユニット１１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット１１を位置決め固定するようになっている。
【００２８】
図示省略したが、Ｙ軸テーブル１３は、メインキャリッジ１２を吊設するブリッジプレートと、ブリッジプレートをＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじと、サーボモータで構成され、Ｙ軸ボールねじを正逆回転させるＹ軸モータと、を有している。また、Ｘ軸テーブル１４は、ワークＷを載置する載置テーブル１５と、載置テーブル１５をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダに併設したＸ軸リニアモータ（図示省略）と、を有している。
【００２９】
ところで、上述したように、カラーフィルタ３０２の着色層３１３は、仕切り３１４を作り込んだ透明基板３１１の画素３１２部分に形成されるようになっており、仕切り３１４を作り込んだ透明基板３１１が、本実施形態の描画システム１で描画されるワークＷとなる。したがって、ワークＷには、画素３１２部分に対応し、機能液滴を吐出させるべき画素領域Ｐが予め形成されている。図７を参照してワークＷについて説明すると、ワークＷには、画素領域ＰをＸ軸方向（主走査方向／行方向）およびＹ軸方向（副走査方向／列方向）に整列配置した複数の描画領域Ｄが予め形成されており、複数の描画領域Ｄは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に配置されている。なお、各描画領域Ｄは、本描画システム１によるワークＷへの描画が終了し（すなわち各色の着色層３１３が形成され）、さらにオーバーコート層３１５および電極層３１６が形成された後、個々に切り出されて１個のカラーフィルタ３０２となる。
【００３０】
本実施形態の描画システム１に組み込まれた液滴吐出装置３では、描画領域Ｄ単位で画素領域Ｐの描画が行われるようになっており、上記したサブキャリッジ２２に搭載する複数の機能液滴吐出ヘッド２１（ヘッドグループ２４）の配置は、描画領域Ｄの配置に対応して設定されている。すなわち、この描画システム１の液滴吐出装置３では、ヘッドユニット１１の１回の主走査により描画する描画領域Ｄの行数に合わせてヘッドグループ２４が設けられ、各ヘッドグループ２４は、１回の主走査で描画する描画領域ＤのＹ軸方向における配置に対応して配置されている。
【００３１】
図７を参照して、具体的に説明する。本実施形態では、ヘッドユニット１１が１回主走査すると、当該主走査では描画しない１行の描画領域Ｄを挟んで２行の描画領域Ｄ（内の画素領域Ｐ）が描画されるように、１２個の機能液滴吐出ヘッド２１がサブキャリッジ２２上に搭載されている。すなわち、１行おきの描画領域Ｄの配列に対応して描画がなされるようになっている。そして、同図に示すように、サブキャリッジ２２に搭載されている機能液滴吐出ヘッド２１は、１回の主走査により描画する描画領域Ｄの行数に合わせ、２つのヘッドグループ２４にグループ分けされており、描画する描画領域ＤのＹ軸方向における配置に対応させて、ヘッドグループ２４は配置される。
【００３２】
また、同図に示すように、各ヘッドグループ２４は、左右に配置されたサブグループ２５で構成されており、各サブグループ２５は、それぞれ３個の機能液滴吐出ヘッド２１を有している。上述したように、サブキャリッジ２２に形成される装着開口５１は、サブグループ２５毎に計４個形成されている。なお、サブグループ２５は必ずしも形成しなければならないものではなく、状況に応じて、ヘッドグループ２４毎に装着開口５１を設けるようにしてもよい。
【００３３】
次に、各ヘッドグループ２４における、６個の機能液滴吐出ヘッド２１の配置について説明する。ヘッドグループ２４を構成する６個の機能液滴吐出ヘッド２１は、ヘッドユニット１１の１回の主走査により、当該ヘッドグループ２４が対応する描画領域Ｄの画素領域Ｐ内に所定量の機能液が吐出されるよう、当該ヘッドグループ２４が対応する描画領域Ｄの、Ｙ軸方向における画素領域Ｐの画素ピッチに基づいて配置される。すなわち、対応する描画領域Ｄの全行の画素領域Ｐに吐出ノズル３８が対応するよう機能液滴吐出ヘッド２１は配置されており、形成された吐出ノズル３８がＹ軸方向に連続し、さらに連続した吐出ノズル３８間のノズル間隔が画素領域の画素ピッチに合わせられている。なお、吐出ノズル３８のノズル間隔は、機能液滴吐出ヘッド２１をＹ軸方向に対して傾斜させることにより調節することができる。
【００３４】
この場合、１つの画素領域Ｐに対して、いくつの吐出ノズル３８を対応させるかは任意に設定可能であり、例えば、ワークＷに対して効率的に描画を行わせるために、１つの画素領域Ｐに対して１個の吐出ノズル３８が対応するよう設定しても良いし、各画素領域Ｐに対する十分な機能液の塗布密度を確保するために、１つの画素領域Ｐに対して２個の吐出ノズル３８が対応するよう設定しても良い。
【００３５】
また、本実施形態のように、ヘッドグループ２４が複数（２つ）のサブグループ２５で構成されている場合は、各サブグループ２５の吐出ノズル３８を併せたときに、吐出ノズル３８がＹ軸方向（副走査方向）に連続して、全行の画素領域Ｐに対応するよう吐出ノズル３８が配設されていればよく、各サブグループ２５の配置およびサブグループ２５内における機能液滴吐出ヘッド２１の配置は任意に設定可能である。例えば、図９に示すように、２個の機能液滴吐出ヘッド２１から成るサブグループ２５と、１個の機能液滴吐出ヘッド２１から成るサブグループ２５と、でヘッドグループ２４を構成しても良い。
【００３６】
このように、１回の主走査により描画する描画領域Ｄに対応させてヘッドグループ２４を配置し、対応する描画領域Ｄの画素領域Ｐの画素ピッチに吐出ノズル３８のノズル間隔が合うように、ヘッドグループ２４内における機能液滴吐出ヘッド２１の配置を設定することにより、当該主走査で描画対象となる描画領域Ｄの画素領域Ｐ内に、適切に機能液を吐出させることができるようになっている。なお、ヘッドグループ２４を構成する機能液吐出ヘッド２１は、必ずしも複数でなければならないわけではなく、描画領域Ｄの大きさや、機能液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズル３８数等によっては、１つの機能液滴吐出ヘッド２１で構成することも考えうる。ヘッドグループ２４を描画領域Ｄに対応させて配置するようにしているので、各描画領域の行間位置に対応する機能液滴吐出ヘッド２１を配設する必要がなく、効率よく機能液滴吐出ヘッド２１を配置するが可能である。
【００３７】
また、１回の主走査により描画する描画領域Ｄの行間に、描画させない描画領域Ｄを存在させることにより、すなわち、描画領域Ｄの１行置きの配置に対応させることにより、サブキャリッジ２２に搭載しなければならない機能液滴吐出ヘッド２１の数を減少させることができ、ヘッドグループ２４を構成する複数（６個）の機能液滴吐出ヘッド２１のサブキャリッジ２２上における配置の自由度を更に増すことができる。なお、１回の主走査により描画する描画領域Ｄの行間に設ける、描画させない描画領域Ｄは、行間毎に均等に設けられていれば良く、状況に応じて適宜設けることが可能である。
【００３８】
さらに、本実施形態では、サブキャリッジ２２に形成した装着開口５１に機能液滴吐出ヘッド２１を取り付けるようになっているが、描画する描画領域Ｄに対応させてヘッドグループ２４を配置することにより、各描画領域Ｄの行間位置で装着開口５１を分断することができ、サブキャリッジ２２の強度が装着開口５１により著しく低下することを防止することができる。特に、描画する描画領域Ｄの行間に、描画させない描画領域Ｄを存在させることにより、その効果をより高めることができる。ただし、サブキャリッジ２２の強度が十分に確保できる場合等には、１回の主走査により描画する描画領域Ｄの行間に、必ずしも描画させない描画領域Ｄを設けなければならないわけではない。
【００３９】
次に、ワークＷに対する描画を行う際の液滴吐出装置３の一連の動作について説明する。上述したように、本実施形態の液滴吐出装置３は、ヘッドユニット１１の１回の主走査により、当該主走査では描画しない１行の描画領域Ｄを挟んで２行の描画領域Ｄ（内の画素領域Ｐ）の画素領域Ｐの描画が行われるようになっている。
【００４０】
ワークＷへの描画処理が開始されると、１回目の主走査が開始される。すなわち、Ｘ軸テーブル１４によりワークＷを載置した載置テーブル１５がＸ軸方向（主走査方向）に移動し、ワークＷがヘッドユニット１１に臨むと、機能液滴吐出ヘッド２１が駆動して、１行目および３行目の描画領域Ｄに形成された画素領域Ｐ内に機能液滴を吐出させる。１回目の主走査が終わると、１回目の副走査が行われ、Ｙ軸テーブル１３が駆動して、ヘッドユニット１１が描画領域Ｄ１行分Ｙ軸方向へ移動する。
【００４１】
続いて、２回目の主走査が行われる。再び、Ｘ軸テーブル１４が駆動して、１回目の主走査と逆方向にワークＷを移動させ、２行目および４行目の描画領域Ｄに形成された画素領域Ｐ内に機能液滴を吐出させる。２回目の主走査が終了すると、Ｙ軸テーブル１３が駆動して、ヘッドユニット１１が描画領域Ｄ２行分Ｙ軸方向へ移動する。
【００４２】
このように、奇数回目の主走査の終了後には、描画領域Ｄ１行分の副走査が行われ、偶数回目の主走査の終了後には、描画領域Ｄ２行分の副走査が行われるようになっている。以上の動作を繰り返すことにより、液滴吐出装置３は、ワークＷの全描画領域Ｄの画素領域に描画を行っている。
【００４３】
ところで、上記した描画システム１は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置３０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができ、これらを効率よく製造することが可能である。
【００４４】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した描画システム１を応用した例を簡単に説明する。有機ＥＬ装置は、図１１に示すように、有機ＥＬ装置４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００４５】
有機ＥＬ装置４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置４０１が製造される。
【００４６】
描画システム１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、機能液滴吐出ヘッド３１に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、描画システム１を利用して作成することも可能である。
【００４７】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、上記したプレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した描画システム１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【００４８】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の液滴吐出装置によれば、ヘッドユニットの１回の主走査で描画する描画領域に対応させて、機能液滴吐出ヘッドで構成されるヘッドグループの配置が決定され、ヘッドグループ内における機能液滴吐出ヘッドの配置は、対応する描画領域内の画素領域の画素ピッチに合わせて設定されているので、ワークＷに予め形成されている描画領域の画素領域内に適切に機能液滴を吐出することができ、効率よくワークＷに描画を行うことが可能である。
【００４９】
また、ヘッドユニットの１回の主走査で描画する描画領域に対応させてヘッドグループを配置しているので、サブキャリッジに形成する機能液滴吐出ヘッドを取り付けるための装着開口を、ヘッドグループ毎に設けることができる。したがって、描画領域の行間に対応させて装着開口を複数に分断させることができ、各装着開口を分断するサブキャリッジに梁的な役割をさせ、装着開口によりサブキャリッジの強度が低下することを防止することが可能である。
【００５０】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記した液滴吐出装置を用いて製造されるので、効率よくこれらを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の描画システムを示した模式図である。
【図２】本実施形態における機能液滴吐出装置の模式図である。
【図３】本実施形態における機能液滴吐出装置を側面視したときの模式図である。
【図４】サブキャリッジ廻りを示した平面図である。
【図５】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。
【図６】ヘッド保持部材および機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図７】サブキャリッジに搭載した機能液滴吐出ヘッドとワークとの関係を示した説明図である。
【図８】サブキャリッジの平面図である。
【図９】サブキャリッジに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配置例を示した図である。
【図１０】本発明の製造方法を用いて製造した液晶表示装置の断面図である。
【図１１】本発明の製造方法を用いて製造した有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  描画システム                      ３  液滴吐出装置
４  制御ＰＣ                        １１  ヘッドユニット
２２  サブキャリッジ                  ２４  ヘッドグループ
２５  サブグループ                    ３８  吐出ノズル
５１  装着開口                      ３０１  液晶表示装置
４０１  有機ＥＬ装置                      Ｗ  ワーク
Ｄ  描画領域                          Ｐ  画素領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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