(57)【要約】【課題】大幅な設計変更を必要とすることなく多関節型ロボットの関節部を挟んでレーザビームを送ることが可能で、且つ関節部の回動に拘らずレーザビームを高い精度で安定して送ることができるようにする。【解決手段】手首旋回軸３６の外部にレーザ発振器５０を取り付けるとともに、先端の手首振りアーム４０に照射部５２を取り付け、手首振り中心線Ｓ５  上に配設された第１ミラー６０および第２ミラー６２により、レーザ発振器５０から出力された手首旋回中心線Ｓ４  と略平行なレーザビームＬを、関節部３８の回動に拘らず手首回転中心線Ｓ６  と略平行な方向へ送り、更に第３ミラー６４および第４ミラー６６を介して照射部５２の集光レンズ５８に導く。【選択図】      図２
2004243335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１作動軸および第２作動軸が、双方の軸線に対して共に交差する回動中心線まわりに相対回動可能に連結されている関節部を有する関節型ロボットに配設され、前記第１作動軸の軸線と略平行なレーザビームを前記関節部の回動に拘らず前記第２作動軸の軸線と略平行な方向へ案内するレーザビーム案内装置であって、
前記第１作動軸の外部において前記関節部の回動中心線上に位置するように該第１作動軸に一体的に取り付けられ、該第１作動軸の軸線と略平行なレーザビームを該回動中心線と一致する方向へ反射する第１ミラーと、
前記第２作動軸の外部において前記関節部の回動中心線上に位置するように該第２作動軸に一体的に取り付けられ、前記第１ミラーにより反射されて該回動中心線上を進行したレーザビームを該第２作動軸の軸線と略平行な方向へ反射する第２ミラーと、
を有することを特徴とする関節型ロボット用レーザビーム案内装置。
【請求項２】
第１作動軸および第２作動軸が、双方の軸線に対して共に交差する回動中心線まわりに相対回動可能に連結されている関節部を有する関節型ロボットと、
前記第１作動軸および第２作動軸のうち前記関節型ロボットの先端側に位置する第２作動軸に一体的に設けられた照射部を有し、レーザ発振器から出力されたレーザビームを該照射部により所定の被加工物に照射するレーザユニットと、
を備え、前記関節型ロボットにより前記照射部を移動させて前記被加工物に所定のレーザ加工を行なうレーザ加工装置において、
前記レーザ発振器は、前記関節部の回動中心線と交差する方向へレーザビームを出力するように前記第１作動軸の外部に一体的に取り付けられている一方、
前記関節部の回動中心線上に位置するように前記レーザ発振器に一体的に取り付けられ、該レーザ発振器から出力されたレーザビームを該回動中心線と一致する方向へ反射する第１ミラーと、
前記第２作動軸の外部において前記関節部の回動中心線上に位置するように該第２作動軸に一体的に取り付けられ、前記第１ミラーにより反射されて該回動中心線上を進行したレーザビームを前記照射部側へ向かうように反射する第２ミラーと、
を有することを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項３】
前記照射部は、レーザビームを前記第２作動軸の軸線上に集光するように該軸線上に配置されており、
前記第２作動軸に一体的に取り付けられ、前記第２ミラーにより反射されたレーザビームを該第２作動軸の軸線側へ向かって反射する第３ミラーと、
前記第２作動軸の軸線上に配設され、前記第３ミラーにより反射されたレーザビームを該第２作動軸の軸線と一致する方向へ反射して前記照射部に入射させる第４ミラーと、
を有することを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記第２ミラー、第３ミラー、第４ミラー、および照射部は、単一の取付ケースに一体的に配設されて前記第２作動軸に一体的に取り付けられている一方、
前記第２作動軸には、該第２作動軸の軸線まわりに回転可能に先端回転部材が設けられているとともに、前記取付ケースは、該先端回転部材に対して該第２作動軸の軸線まわりに相対回転可能に軸受を介して連結されている
ことを特徴とする請求項３に記載のレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ加工装置に係り、特に、レーザユニットを関節型ロボットに配設してレーザ加工を行なうレーザ加工装置の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
（ａ）  第１作動軸および第２作動軸が、双方の軸線に対して共に交差する回動中心線まわりに相対回動可能に連結されている関節部を有する関節型ロボットと、
（ｂ）  前記第１作動軸および第２作動軸のうち前記関節型ロボットの先端側に位置する第２作動軸に一体的に設けられた照射部を有し、レーザ発振器から出力されたレーザビームをその照射部により所定の被加工物に照射するレーザユニットと、を備え、（ｃ）  前記関節型ロボットにより前記照射部を移動させて前記被加工物に加熱、溶融、穴明け、切断、溶接などのレーザ加工を行なうレーザ加工装置が知られている。特許文献１に記載の装置はその一例で、レーザ発振器が照射部と共に先端の第２作動軸に配設され、第２作動軸と共に移動させられるようになっている。
【０００３】
一方、レーザ発振器は比較的重量が重い（例えばＣＯ２  ガスレーザの場合３０ｋｇ〜６０ｋｇ程度）ため、先端の第２作動軸に配設すると、移動速度や位置決め精度が損なわれるとともに、被加工物などと干渉して移動範囲が制約される可能性があった。このため、レーザ発振器を第１作動軸などのロボットの基部側に配設することが、例えば特許文献２や特許文献３などで提案されている。特許文献２では、関節型ロボットの内部にミラーを配設し、レーザビームが多数の作動軸の内部を通って先端の照射部まで送られるようになっており、特許文献３では、関節型ロボットとは別にミラーに対して対称的に開閉する複数の関節部を有するビーム案内装置をロボットの外部に配設するようになっている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−８７８８４号公報
【特許文献２】
特開平２−９０１２０号公報
【特許文献３】
特開２００１−２０５４７１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２に記載の装置は、関節型ロボットの内部にミラーなどを配設する必要があるため、構造が複雑で大幅な設計変更が必要になり、コストが高くなるとともに汎用性が低い。特許文献３に記載の装置は外付けであるため、ロボット自体の設計変更が不要で種々の関節型ロボットに容易に適用できるが、ミラーに対して対称的に開閉する関節部の構造が複雑であるとともに、十分な剛性を得ることが難しく、光軸がずれたり十分な追従性が得られなかったりして加工精度が低下する可能性があった。
【０００６】
本発明は以上の事情を背景として為されたもので、その目的とするところは、大幅な設計変更を必要とすることなく関節型ロボットの関節部を挟んでレーザビームを送ることが可能で、且つ関節部の回動に拘らずレーザビームを高い精度で安定して送ることができるようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために、第１発明は、第１作動軸および第２作動軸が、双方の軸線に対して共に交差する回動中心線まわりに相対回動可能に連結されている関節部を有する関節型ロボットに配設され、前記第１作動軸の軸線と略平行なレーザビームを前記関節部の回動に拘らず前記第２作動軸の軸線と略平行な方向へ案内するレーザビーム案内装置であって、（ａ）  前記第１作動軸の外部において前記関節部の回動中心線上に位置するようにその第１作動軸に一体的に取り付けられ、その第１作動軸の軸線と略平行なレーザビームをその回動中心線と一致する方向へ反射する第１ミラーと、（ｂ）  前記第２作動軸の外部において前記関節部の回動中心線上に位置するようにその第２作動軸に一体的に取り付けられ、前記第１ミラーにより反射されてその回動中心線上を進行したレーザビームをその第２作動軸の軸線と略平行な方向へ反射する第２ミラーと、を有することを特徴とする。
【０００８】
第２発明は、（ａ）  第１作動軸および第２作動軸が、双方の軸線に対して共に交差する回動中心線まわりに相対回動可能に連結されている関節部を有する関節型ロボットと、（ｂ）  前記第１作動軸および第２作動軸のうち前記関節型ロボットの先端側に位置する第２作動軸に一体的に設けられた照射部を有し、レーザ発振器から出力されたレーザビームをその照射部により所定の被加工物に照射するレーザユニットと、を備え、（ｃ）  前記関節型ロボットにより前記照射部を移動させて前記被加工物に所定のレーザ加工を行なうレーザ加工装置において、（ｄ）  前記レーザ発振器は、前記関節部の回動中心線と交差する方向へレーザビームを出力するように前記第１作動軸の外部に一体的に取り付けられている一方、（ｅ）  前記関節部の回動中心線上に位置するように前記レーザ発振器に一体的に取り付けられ、そのレーザ発振器から出力されたレーザビームをその回動中心線と一致する方向へ反射する第１ミラーと、（ｆ）  前記第２作動軸の外部において前記関節部の回動中心線上に位置するようにその第２作動軸に一体的に取り付けられ、前記第１ミラーにより反射されてその回動中心線上を進行したレーザビームを前記照射部側へ向かうように反射する第２ミラーと、を有することを特徴とする。
【０００９】
第３発明は、第２発明のレーザ加工装置において、（ａ）  前記照射部は、レーザビームを前記第２作動軸の軸線上に集光するようにその軸線上に配置されており、（ｂ）  前記第２作動軸に一体的に取り付けられ、前記第２ミラーにより反射されたレーザビームをその第２作動軸の軸線側へ向かって反射する第３ミラーと、（ｃ）  前記第２作動軸の軸線上に配設され、前記第３ミラーにより反射されたレーザビームをその第２作動軸の軸線と一致する方向へ反射して前記照射部に入射させる第４ミラーと、を有することを特徴とする。
【００１０】
第４発明は、第３発明のレーザ加工装置において、（ａ）  前記第２ミラー、第３ミラー、第４ミラー、および照射部は、単一の取付ケースに一体的に配設されて前記第２作動軸に一体的に取り付けられている一方、（ｂ）  前記第２作動軸には、その第２作動軸の軸線まわりに回転可能に先端回転部材が設けられているとともに、前記取付ケースは、その先端回転部材に対してその第２作動軸の軸線まわりに相対回転可能に軸受を介して連結されていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の効果】
第１発明のレーザビーム案内装置においては、第１作動軸の外部において関節部の回動中心線上に位置するようにその第１作動軸に一体的に第１ミラーが配設されるとともに、第２作動軸の外部において関節部の回動中心線上に位置するようにその第２作動軸に一体的に第２ミラーが配設されているため、第１作動軸の軸線と略平行なレーザビームは関節部の回動に拘らずそれ等の第１ミラーおよび第２ミラーを経て常に第２作動軸の軸線と略平行な方向へ送られる。その場合に、第１ミラーおよび第２ミラーはそれぞれ第１作動軸、第２作動軸の外部に設けられるため、関節型ロボットの大幅な設計変更が不要で高い汎用性が得られ、装置が安価に構成されるとともに、それ等の第１作動軸および第２作動軸は高い剛性を有するため、レーザビームを高い精度で安定して送ることができる。
【００１２】
第２発明のレーザ加工装置は、関節部の回動中心線と交差する方向へレーザビームを出力するように第１作動軸の外部にレーザ発振器が一体的に取り付けられ、関節部の回動中心線上に位置するようにレーザ発振器に一体的に配設された第１ミラー、および第２作動軸の外部において関節部の回動中心線上に位置するようにその第２作動軸に一体的に配設された第２ミラーにより、レーザ発振器から出力されたレーザビームは関節部の回動に拘らず常に照射部側へ送られ、その照射部により被加工物に照射されて所定のレーザ加工が行なわれる。本発明においても、第１ミラーおよび第２ミラーはそれぞれ第１作動軸、第２作動軸の外部に設けられるため、第１発明と同様に、関節型ロボットの大幅な設計変更が不要で高い汎用性が得られ、装置が安価に構成されるとともに、レーザビームを高い精度で安定して送ることが可能で、レーザ加工を高い精度で安定して行なうことができる。
【００１３】
一方、照射部が設けられる第２作動軸よりも基部側の第１作動軸に比較的重量のレーザ発振器が設けられるため、レーザ発振器を照射部と共に第２作動軸に設ける場合に比較して、第２作動軸の移動速度や位置決め精度が向上し、レーザ加工を高速で且つ高い精度で行なうことができるとともに、レーザ発振器と被加工物などとの干渉が抑制されて加工範囲や加工形態の自由度が高くなる。加えて、単一の関節部に対応して設けられた第１ミラーおよび第２ミラーの相対回動でレーザビームの向きを変更するだけであるため、前記特許文献２や３のように複数箇所でレーザビームの向きを可変とする場合に比較して、関節部のガタツキなどによるレーザビームの誤差を最小限に抑えることができ、一層高い加工精度でレーザ加工を行なうことができる。
【００１４】
第３発明では、照射部が第２作動軸の軸線上に配置され、第３ミラーおよび第４ミラーによってその照射部へレーザビームが導かれるようになっているため、第２作動軸の軸線を基準にして通常のティーチングにより移動経路を容易に設定できる。
【００１５】
第４発明では、第２ミラー、第３ミラー、第４ミラー、および照射部が単一の取付ケースに一体的に配設されて第２作動軸に一体的に取り付けられるため、それ等を比較的簡単に組み付けることができる。また、その取付ケースは、第２作動軸に回転可能に配設された先端回転部材に対して、軸受を介して相対回転可能に連結されているため、高い支持剛性が得られ、先端回転部材の存在に拘らずレーザ加工の加工精度を十分に確保できるとともに、先端回転部材を備えていることから、例えば円の中心および半径をティーチングすることにより円軌道を設定するコンパス機能などを利用するのに適している。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明は、複数の関節部を有する多関節型ロボットに好適に適用されるが、一つでも関節部を備えている種々の関節型ロボットに適用できる。第２発明では、単一の関節部を挟んで連結された第１作動軸および第２作動軸にレーザ発振器および照射部が設けられるが、第１発明の実施に際しては、複数の関節部にそれぞれ第１ミラーおよび第２ミラーから成るレーザビーム案内装置を配設することにより、複数の関節部を挟んでレーザ発振器および照射部を設けることもできる。
【００１７】
第１ミラーおよび第２ミラーは、回動中心線まわりに回動可能に連結された第１作動軸、第２作動軸にそれぞれ一体的に配設され、それ等の作動軸と共に相対回動させられるが、その第１ミラーおよび第２ミラーを、ベアリング等の軸受を介して上記回動中心線まわりに回動可能に連結することも可能である。
【００１８】
関節部の回動中心線は、例えば第１作動軸および第２作動軸の双方の軸線に対して直角、すなわち双方の軸線を含む一平面に対して垂直となるように定められるが、所定角度で傾斜していても良い。回動中心線が双方の軸線に対して交差しているのは、第１作動軸および第２作動軸が同軸に配置されてその軸線まわりに相対回動させられる場合や、一方の作動軸が他方の軸線まわりに相対回動させられる場合を除く趣旨である。なお、多関節型ロボットの関節部の一部に、そのような関節部が存在していても差し支えない。
【００１９】
レーザビームを出力するレーザ発振器としては、ＣＯ２  ガス等のガスレーザやＹＡＧ等の固体レーザなど目的に応じて種々のものを採用することが可能で、例えば合成樹脂製品などにレーザ加工を行なうレーザ加工装置の場合にはＣＯ２  ガスレーザが好適に用いられる。レーザ加工としては、加熱、溶融、穴明け、切断、溶接など種々の態様が可能である。
【００２０】
レーザビームを被加工物に照射する照射部は、例えば集光レンズやミラー（凹面鏡）などでレーザビームを集光して被加工物に照射するなど、加工の目的や加工条件などに応じて適宜構成される。
【００２１】
第２発明では、レーザ発振器から出力されたレーザビームは必ずしも第１作動軸の軸線と略平行である必要はなく、その軸線に対して積極的に傾斜させることもできる。第２ミラーによって照射部側へ反射されたレーザビームも必ずしも第２作動軸の軸線と略平行である必要はなく、その軸線に対して積極的に傾斜させることができる。
【００２２】
第４発明の先端回転部材は、例えばコンパス機能を用いて円を描く場合等に必要に応じて回転駆動されるが、他の発明の実施に際してはこの先端回転部材は必ずしも必須でなく、第２作動軸がロボットの最先端の作動軸で、第１作動軸が先端から２番目の作動軸であっても良いし、他の回転中心線まわりに回転する回転部材が設けられても良い。なお、レーザ加工装置という意味では、先端回転部材等の存在に拘らず照射部が設けられた第２作動軸がロボットの最先端の作動軸で、第１作動軸が先端から２番目の作動軸と見做すことができる。
【００２３】
ケースと先端回転部材とを連結する軸受としては、ベアリングなどの転がり軸受が好適に用いられるが、ブッシュなどの滑り軸受を採用することもできる。
【００２４】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１のレーザ加工装置１０は、多関節型ロボット１２にレーザユニット１４を組み付けたもので、所定位置に配置された合成樹脂製の被加工物１６に対してレーザにより穴明け加工を行なうものである。多関節型ロボット１２は、基台２０に第１関節部２２を介して略垂直な旋回中心線Ｓ１  まわりに回動可能に配設された旋回アーム２４と、その旋回アーム２４の先端に第２関節部２６を介して略水平な第１傾動中心線Ｓ２  まわりに回動可能に連結された下部アーム２８と、その下部アーム２８の先端に第３関節部３０を介して略水平な第２傾動中心線Ｓ３  まわりに回動可能に連結された上部アーム３２と、その上部アーム３２の先端に第４関節部３４を介して手首旋回中心線Ｓ４  まわりに回動可能に連結された手首旋回軸３６と、その手首旋回軸３６の先端に第５関節部３８（図２参照）を介して手首振り中心線Ｓ５  まわりに回動可能に連結された手首振りアーム４０と、その手首振りアーム４０の先端に第６関節部４２（図２参照）を介して手首回転中心線Ｓ６  まわりに回転可能に連結された手首回転軸４４とを備えている。図１は、レーザ加工装置１０の概略構成図で、図２は、手首旋回軸３６よりも先端側の部分を説明する図で、（ａ）  は斜視図、（ｂ）  はレーザユニット１４の光学系を説明する図である。
【００２５】
ここで、前記手首旋回軸３６は上部アーム３２と同軸に設けられているとともに、それ等の軸線は前記手首旋回中心線Ｓ４  と一致している。また、手首回転軸４４は手首振りアーム４０と同軸に設けられているとともに、それ等の軸線は前記手首回転中心線Ｓ６  と一致している。そして、それ等の手首旋回軸３６および手首振りアーム４０を連結している第５関節部３８の回動中心線、すなわち手首振り中心線Ｓ５  は、双方の軸線Ｓ４  、Ｓ６  に対して共に略直角に交差するように定められている。本実施例では、上記手首旋回軸３６が第１作動軸に相当し、手首振りアーム４０が第２作動軸に相当する。なお、図２の（ａ）  、（ｂ）  は、何れも手首旋回軸３６および手首振りアーム４０が同軸とされ、それ等の軸線Ｓ４  、Ｓ６  が一致している状態である。
【００２６】
前記レーザユニット１４は、レーザビームＬを出力するレーザ発振器５０と、レーザビームＬを前記被加工物１６に照射する照射部５２と、レーザ発振器５０から照射部５２までレーザビームＬを案内するレーザビーム案内装置５４とを備えている。レーザ発振器５０は、本実施例ではＣＯ２  ガスレーザが用いられており、前記手首旋回軸３６の軸線と一致する手首旋回中心線Ｓ４  と略平行で且つ前記手首振り中心線Ｓ５  と直交する方向へレーザビームＬを出力するように、その手首旋回軸３６の外部にブラケット５６を介して一体的に配設されている。照射部５２は、手首振りアーム４０の軸線と一致する手首回転中心線Ｓ６  上に配置され、集光レンズ５８によりレーザビームＬをその手首回転中心線Ｓ６  上に集光して被加工物１６に照射するようになっている。
【００２７】
レーザビーム案内装置５４は、４枚の第１ミラー６０〜第４ミラー６６を備えており、第１ミラー６０は、レーザ発振器５０から出力されたレーザビームＬの光軸と前記手首振り中心線Ｓ５  との交差部分に配設され、レーザ発振器５０から出力されたレーザビームＬをその手首振り中心線Ｓ５  と一致する方向へ反射する。この第１ミラー６０は、保持ケース６８を介してレーザ発振器５０に一体的に取り付けられている。第２ミラー６２は、手首振りアーム４０の外部において手首振り中心線Ｓ５  上に上記第１ミラー６０と対向する姿勢で配設され、その第１ミラー６０により反射されて手首振り中心線Ｓ５  上を進行したレーザビームＬを手首振りアーム４０の軸線である手首回転中心線Ｓ６  と略平行な方向へ反射して先端側、すなわち照射部５２側へ送る。この第２ミラー６２は、取付ケース７０を介して手首振りアーム４０に一体的に取り付けられ、手首振りアーム４０の回動に伴って第１ミラー６０に対して手首振り中心線Ｓ５  まわりに回動させられるようになっており、これにより、レーザ発振器５０から出力された手首旋回中心線Ｓ４  と略平行なレーザビームＬは、その関節部３８の回動に拘らず常にミラー６０、６２を介して手首回転中心線Ｓ６  と略平行な方向へ送られる。
【００２８】
第３ミラー６４は、第２ミラー６２により反射されて手首回転中心線Ｓ６  と略平行な方向へ進行するレーザビームＬの光軸上に配設され、そのレーザビームＬを手首回転中心線Ｓ６  側へ向かって反射する。第４ミラー６６は、その第２ミラー６２により反射されたレーザビームＬの光軸と手首回転中心線Ｓ６  との交差部分に配設され、そのレーザビームＬをその手首回転中心線Ｓ６  と一致する方向へ反射して前記照射部５２に入射させる。これらの第３ミラー６４、第４ミラー６６は、前記取付ケース７０に一体的に配設されており、集光レンズ５８を備えている照射部５２も取付ケース７０に一体的に設けられている。
【００２９】
図３は、取付ケース７０部分を拡大して示す断面図で、取付ケース７０は、ブラケット７２を介して手首振りアーム４０に一体的に固設されているとともに、軸受としてのベアリング７４を介して手首回転中心線Ｓ６  まわりに相対回転可能に前記手首回転軸４４に連結されている。手首回転軸４４は先端回転部材に相当するもので、例えばコンパス機能を用いて円を描く場合等に必要に応じて回転駆動されるが、レーザ加工装置１０としては、手首回転軸４４の存在に拘らず取付ケース７０を介して照射部５２が設けられた手首振りアーム４０が最先端の作動軸で、その前の手首旋回軸３６が先端から２番目の作動軸として機能しており、照射部５２が手首振りアーム４０と一体的に所定の移動経路に従って移動させられることにより、レーザにより被加工物１６に対して所定形状の穴明け加工が行なわれる。
【００３０】
ここで、本実施例のレーザ加工装置１０は、照射部５２が設けられる手首振りアーム４０よりも基部側の手首旋回軸３６に比較的重量のレーザ発振器５０が設けられるため、レーザ発振器５０を照射部５２と共に先端側の手首振りアーム４０に設ける場合に比較して、手首振りアーム４０の移動速度や位置決め精度が向上し、レーザ加工を高速で且つ高い精度で行なうことができる。また、レーザ発振器５０と被加工物１６などとの干渉が抑制されて加工範囲や加工形態の自由度が高くなる。
【００３１】
加えて、単一の第５関節部３８に対応して相対回動可能に設けられた第１ミラー６０および第２ミラー６２の相対回動でレーザビームＬの向きを変更するだけであるため、前記特許文献２や３のように複数箇所でレーザビームＬの向きを可変とする場合に比較して、関節部のガタツキなどによるレーザビームＬの誤差を最小限に抑えることができ、一層高い加工精度でレーザ加工を行なうことができる。
【００３２】
一方、レーザ発振器５０はブラケット５６を介して手首旋回軸３６の外部に取り付けられるとともに、第１ミラー６０はそのレーザ発振器５０に一体的に設けられ、第２ミラー６２は取付ケース７０を介して手首振りアーム４０の外部に一体的に設けられるため、多関節型ロボット１２の大幅な設計変更が不要で高い汎用性が得られ、装置が安価に構成される。
【００３３】
また、上記第１ミラー６０、第２ミラー６２が配設された手首旋回軸３６および手首振りアーム４０は、多関節型ロボット１２の主要構成部品で高い剛性を有するため、第５関節部３８の回動に拘らずレーザビームＬを高い精度で安定して手首回転中心線Ｓ６  と略平行な方向へ送ることが可能で、レーザ加工を高い精度で安定して行なうことができる。
【００３４】
また、本実施例では、照射部５２が手首振りアーム４０の軸線である手首回転中心線Ｓ６  上に配置され、第３ミラー６４および第４ミラー６６によってその照射部５２へレーザビームＬが導かれるようになっているため、その手首回転中心線Ｓ６  を基準にして通常のティーチングにより移動経路を容易に設定できる。
【００３５】
また、第２ミラー６２、第３ミラー６４、第４ミラー６６、および照射部５２が単一の取付ケース７０に一体的に配設されて手首振りアーム４０に一体的に取り付けられるため、それ等を比較的簡単に組み付けることができる。
【００３６】
また、上記取付ケース７０は、手首振りアーム４０に回転可能に配設された手首回転軸４４に対して、ベアリング７４を介して相対回転可能に連結されているため、高い支持剛性が得られ、手首回転軸４４の存在に拘らず照射部５２等が高い精度で位置決めされて、レーザ加工の加工精度を十分に確保できるとともに、手首回転軸４４を備えていることから、例えば円の中心および半径をティーチングすることにより円軌道を設定するコンパス機能などを利用するのに適している。
【００３７】
以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、これはあくまでも一実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を加えた態様で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるレーザ加工装置の概略構成図である。
【図２】図１のレーザ加工装置のうちレーザユニットが設けられた先端部分を説明する図で、（ａ）  は斜視図、（ｂ）  はレーザユニットの光学系を説明する図である。
【図３】図２（ｂ）  におけるレーザビーム案内装置を具体的に示す断面図である。
【符号の説明】
１０：レーザ加工装置    １２：多関節型ロボット（関節型ロボット）    １４：レーザユニット    １６：被加工物    ３６：手首旋回軸（第１作動軸）  ３８：第５関節部（関節部）    ４０：手首振りアーム（第２作動軸）    ４４：手首回転軸（先端回転部材）    ５０：レーザ発振器    ５２：照射部    ５４：レーザビーム案内装置    ６０：第１ミラー    ６２：第２ミラー    ６４：第３ミラー    ６６：第４ミラー    ７０：取付ケース    ７４：ベアリング（軸受）    Ｓ４  ：手首旋回中心線（第１作動軸の軸線）    Ｓ５  ：手首振り中心線（回動中心線）    Ｓ６  ：手首回転中心線（第２作動軸の軸線）    Ｌ：レーザビーム
【図１】
2004243335.tif 000003
【図２】
2004243335.tif 000004
【図３】
2004243335.tif 000005