(57)【要約】【課題】正確且つ安定して流体の流れを制御する絞りを容易に変更可能とした流量調整装置を提供することを目的とする。【解決手段】ハウジング１０内に、流体の入口ポート１１と、出口ポート１５と、これら各ポート１１，１５を導通する流路と、該流路間に配置された弁体３０と、該弁体３０の動作に応じて開口あるいは閉塞する第１の弁座３１及び第２の弁座３２と、これら弁座３１，３２から前記出口ポート１５までの間に所定の絞り径を有して導通する前記流路の一部をなす２つの絞り流路１４，１８と、前記各弁座３１，３２に対して前記弁体３０を誘導する弁体誘導手段４０とを備えて構成した。【選択図】　　　図１
2004070746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内に、流体の入口ポートと、出口ポートと、これら各ポートを導通する流路と、該流路間に配置された弁体と、該弁体の外周に面して開口するとともに前記出口ポートに導通する前記流路の一部をなす複数の絞り流路と、該絞り流路の少なくとも１つを用いて流体を出口ポートに導くべく前記弁体の移動を誘導する弁体誘導手段とを備えてなることを特徴とする流量調整装置。
【請求項２】
ハウジング内に、流体の入口ポートと、出口ポートと、これら各ポートを導通する流路と、該流路間に配置された弁体と、該弁体の動作に応じて開口あるいは閉塞する第１の弁座及び第２の弁座と、これら弁座から前記出口ポートまでの間に所定の絞り径を有して導通する前記流路の一部をなす２つの絞り流路と、前記各弁座に対して前記弁体を誘導する弁体誘導手段とを備えてなることを特徴とする流量調整手段。
【請求項３】
前記出口ポートは、前記ハウジングの外周部に複数備えられてなることを特徴とする請求項１または請求項２記載の流量調整装置。
【請求項４】
前記弁体誘導手段は、外部から供給される操作用流体の圧力に応じて前記弁体の移動方向と同一方向に動作するピストンを有してなることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の流量調整装置。
【請求項５】
前記弁体と前記弁体誘導手段との間には、前記流路の仕切壁をなすシール部材が備えられてなることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載の流量調整装置。
【請求項６】
前記絞り流路には、絞り径を変更する絞り径変更手段が備えられてなることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項記載の流量調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、絞り径の変更によって流量や圧力等を調整する流量調整装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
流体が流通する回路における流量調整や圧力調整等の制御を行うために、オリフィス板（絞りを有する板）を該回路の流路中に差し込んで流路面積を絞ることが従来より行われている。そして、流量や圧力を複数種類に渡って調整する場合には、オリフィス径（絞り径）が異なる種々のオリフィス板を用意し、これらの差し替えを行うことにより変更することが一般的である。
【０００３】
また、流路面積を変更する手段として従来より流量調整装置の１つをなすニードル調整弁が一般的に用いられている。このニードル調整弁によれば、ニードルの位置を適宜な位置に移動させることによって流路面積は随時変更される。したがって、ニードルの操作によって目標とする流量や圧力に調整することが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、オリフィス径（以下「絞り径」と称する。）を変更しようとするとオリフィス板、つまりはこのオリフィス板を有する継ぎ手、接手、あるいは配管等を交換するために一旦回路を切断する必要がある。この場合、回路の切断を行うためには該回路における流体の流れを止める必要があり、一時的に流体の供給が停止してしまう。さらに、オリフィス板を早急に交換できないばかりか、回路内に不純物が入り込んでしまうこともありうる。また、交換のために多くの労力が必要となる。
【０００５】
また、先に説明したニードル調整弁であれば、無段階に流路面積を調整して流量や圧力等の調整を容易に行うことができるが、オリフィス板のように固定された絞りではないため、必要とする流路面積を正確且つ確実に得て流量調整等を行える構成とは言い難い。特に、ニードルは使用される経過時間が進むにつれて微少に移動することが懸念され、正確に流路面積を絞り込んで安定して送出することが困難である。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、正確且つ安定して流体の流れを制御する絞りを容易に変更可能とした流量調整装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、以下の手段を採用することとした。
請求項１記載の発明に係る流量調整装置は、ハウジング内に、流体の入口ポートと、出口ポートと、これら各ポートを導通する流路と、該流路間に配置された弁体と、該弁体の外周に面して開口するとともに前記出口ポートに導通する前記流路の一部をなす複数の絞り流路と、該絞り流路の少なくとも１つを用いて流体を出口ポートに導くべく前記弁体の移動を誘導する弁体誘導手段とを備えてなることを特徴としている。
【０００８】
このような構成によれば、弁体誘導手段が弁体を移動させることによって、弁体の外周にて開口する複数の絞り流路の少なくとも１つが弁体によって閉塞された状態から入口ポート側と導通した状態となり、入口ポートから導入された流体はこの絞り流路を通過して出口ポートから送出される。また、他の絞り流路は、弁体の移動位置によって適宜に入口ポート側と連通することになり、ここを通過する流体が出口ポートから送出される。
【０００９】
請求項２記載の発明に係る流量調整装置は、ハウジング内に、流体の入口ポートと、出口ポートと、これら各ポートを導通する流路と、該流路間に配置された弁体と、該弁体の動作に応じて開口あるいは閉塞する第１の弁座及び第２の弁座と、これら弁座から前記出口ポートまでの間に所定の絞り径を有して導通する前記流路の一部をなす２つの絞り流路と、前記各弁座に対して前記弁体を誘導する弁体誘導手段とを備えてなることを特徴としている。
【００１０】
このような発明によれば、弁体誘導手段が弁体を誘導することによって、第１の弁座または第２の弁座のどちらか一方が開口し他方が閉塞する。そして、入口ポートから導入された流体は、開口した側の弁座から出口ポートに導通する絞り流路を通過し、この間における絞りによって流量や圧力等の調整がなされた状態で出口ポートから送出される。
一方、開口する弁座が上記の場合と異なる場合、入口ポートから導入された流体は、この弁座から先と同じ出口ポートに導通する他の絞り流路を通過し、この間における絞りによって流量や圧力等の調整がなされた状態で出口ポートから送出される。
つまり、流路内に固定して備わる絞りのどちらかが選択されることで、この絞り径に応じた流量や圧力等に調整された流体が同一の出口ポートから送出されることとなる。
なお、弁体の位置によって両弁座が開口した状態であれば、流体は両絞り流路を通過して出口ポートから送出されることとなる。
【００１１】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２記載の流量調整装置において、前記出口ポートが前記ハウジングの外周部に複数備えられていることを特徴としている。
【００１２】
このような発明により、例えば、各出口ポートに接続される回路上にバルブがそれぞれ備えられることになれば、各バルブの中で開とされたバルブが接続された出口ポートからは流量調整等がなされた流体が送出されることになり、その他の閉とされたバルブが接続された出口ポートからは流体は送出されない。
つまり、出口ポートの接続方向が複数備わることにより、流量調整された流体の供給先を容易に変更可能とする構成が導かれる。
なお、各出口ポートに導通する絞り流路は、弁体側から各出口ポートの全てに導通する共用の絞り流路であってもよいし、それぞれの出口ポートに弁体側から単独で導通する各出口ポートと対とされた絞り流路であってもよい。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項記載の流量調整装置において、前記弁体誘導手段が、外部から供給される操作用流体の圧力に応じて前記弁体の移動方向と同一方向に動作するピストンを有してなることを特徴としている。
【００１４】
ピストンはこの受圧面に操作用流体の圧力を受けることにより圧力を受けた方向に動作し、第１の弁座あるいは第２の弁座が開口するように弁体を移動させるべく誘導を行う。また、ピストンは、自らの動作方向が弁体の移動方向と同じとなるように配置されることにより、ピストンの動作が弁体に無駄なく伝達される。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項記載の流量調整装置において、前記弁体と前記弁体誘導手段との間に、前記流路の仕切壁をなすシール部材が備えられてなることを特徴としている。
【００１６】
このような構成によれば、弁体誘導手段が備わる空間を含む構成部分と、弁体が備わる流路をなす空間との仕切りがシール部材によって的確になされつつ、弁体誘導手段の動作が確実に得られて動作が弁体に伝達される。
【００１７】
請求項６記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれか１項記載の流量調整装置において、前記絞り流路には、絞り径を変更する絞り径変更手段が備えられてなることを特徴としている。
【００１８】
絞り径変更手段は、絞り流路の一部に設けられるものであって、該絞り流路の絞り径が変更されることによって、ここに言う絞り流路は常に同一な絞り径に限定されなくなる。
例えて言うなれば、絞り流路の一部に特定の絞り径を有するアダプターを嵌め込む構成であって、数種類の絞り径に応じてアダプターを複数用意しておき、これらを適宜交換することで同じ絞り流路であっても多様に流量調整等を行うことが可能となる。なお、装置を組み立て後にアダプターを交換することも可能であるが、予めアダプターを嵌め込むための形状を絞り流路に形成しておき、組み立て時にユーザの要求に応じて適するアダプターを取り付けることが望ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の流量調整装置における各実施形態について図面を参照しながら説明する。
［第１の実施形態］
図１及び図２は、本発明の第１の実施形態における流量調整装置の内部構成及び構造を説明する断面図である。なお、図１の断面図では、大きな絞りによって流体を送出する場合が示されており、これに対して、図２の断面図では、小さな絞りによって流体を送出する場合が示されている。
【００２０】
外観形状をなすハウジング１０は、４つに分けられた各ブロックが、樹脂あるいは耐薬品性に優れたフッ素樹脂材料等の材料により成形され組み合わされたものである。このハウジングの一側面には流体が流通する回路に接続されて該流体を導入する入口ポート１１が備えられ、また、この反対側には該入口ポート１１とほぼ同一直線上に位置して流体を送出する出口ポート１５とが備えられている。そして、これら各ポート１１，１５間を導通するようにハウジング１０内には流路が形成されており、この流路は複数の経路が組み合わされて構成されている。
【００２１】
さて、上述した流路について詳細に説明すると、流路は、ハウジング１０の中央に位置する弁体３０を収容する入口ポート１１から繋がる弁室１２と、紙面において該弁室１２の上方に位置する上部空間１３と、該上部空間１３から出口ポート１５に繋がる第１絞り流路１４とにより一連の流路が１つ構成されている。
また、別な流路として上記弁室１２と、紙面において該弁室１２の下方に位置する下部空間１６と、該下部空間１６の外側に位置する下部外周空間１７と、この下部外周空間１７から出口ポート１５に繋がる第２絞り流路１８とにより一連の流路がさらに１つ構成されている。
つまり、入口ポート１１から導入された流体は、後述する弁体３０の動作により、第１絞り流路１４を通過して出口ポート１５から送出される場合、もしくは、第２絞り流路１８を通過して同じ出口ポート１５から送出される場合のどちらかとなる。
【００２２】
ここで、各絞り流路１４，１８について説明する。上部空間１３と出口ポート１５とを連通する第１絞り流路１４は、この断面形状が円形とされており、この直径は一例としてφ８．５ｍｍとされている。すなわち、この直径が第１絞り流路１４の絞り径をなすことにより、流体はこの絞り径に応じて流量調整、あるいは圧力調整されて出口ポート１５に送られることになる。
また、下部空間１６から繋がる下部外周空間１７と出口ポート１５とを連通する第２絞り流路１８についても、この断面形状が円形とされており、この直径は一例としてφ１．０ｍｍとされている。すなわち、この直径が第２絞り流路１８の絞り径をなすことにより、流体は絞り径に応じて流量調整、あるいは圧力調整されて出口ポート１５に送られることになる。なお、これら絞り径の数値は製造過程にて適宜変更可能である。
【００２３】
次に、弁体３０及び弁体３０の移動を受け止める各弁座３１，３２等の構成を説明しながら弁体３０の動作による流体の流れについて説明する。
弁体３０は、先に説明したように流路の１つをなす弁室１２内に備わり、この形状は略円柱形状に形成されている。弁体３０の上部と下部とにはテーパ部が形成されており、これらテーパ部に合わせて２つの弁座３１，３２が弁体３０を挟み込むように所定の間隔を有してハウジング１０内に配置されている。
【００２４】
各弁座３１，３２のうち、弁体３０の中心部より上方に位置して弁室１２と上部空間１３とを仕切る役目を担うものが第１の弁座３１であり、弁体３０が上方向に移動して該弁座３１の開口部に弁体３０のテーパ部が嵌め合わされると、該弁座３１は閉塞する。その一方で開口する弁座が第２の弁座３２であり、弁体３０の中心部より下方に位置して弁体３０のテーパ部が嵌め合わされると閉塞する。したがって、どちらか一方の弁座３１，３２が開口した場合にのみ、開口した弁座に繋がるどちらか一方の絞り流路１４，１８に流体が流通することになる。
【００２５】
次に、各弁座３１，３２に対して弁体３０を動作させつつ誘導する機構、すなわち、本発明に係る弁体誘導手段の構成について説明する。弁体３０の上方には、ピストン４０（弁体誘導手段）を有するハウジングの一構成要素をなすブロックが設けられており、このブロックと弁体３０等を有する下側のブロックとは、ダイヤフラム３５（シール部材）によって仕切られつつ接している。
【００２６】
ダイヤフラム３５は、この中央部下面側で弁体３０の上端部と固定されており、また、中央部上面側でピストン４０の下端部と固定されている。すなわち、弁体３０、ダイヤフラム３５、及びピストン４０はハウジング１０内において一体に構成されるように接続されており、ダイヤフラム３５はこの周部がハウジング１０内で固定されつつ、弁体３０及びピストン４０の動作に対応して変形する。
ダイヤフラム３５の周部はピストン４０を有する上側のブロックと下側のブロックとの間に嵌め込まれており、流路の一部をなす上部空間１３と、ピストン４０等が備わる部分とが完全に仕切られることで流体がピストン４０側に漏れることが回避されている。
【００２７】
ピストン４０は、この円盤部分の中心から下方に向かってシャフト部４０ａを有して形成されており、上述したように該シャフト部４０ａの下端部がダイヤフラム３５に接続されている。円盤部分の上方には、第１圧力導入ポート２２（弁体誘導手段）から導入されたエア（操作用流体）を取り込む第１圧力室２０が形成されており、この第１圧力室２０に面してピストン４０の上面は上側受圧面４０ｂをなしている。
また、円盤部分の下方には、第２圧力導入ポート２３（弁体誘導手段）から導入されたエア（操作用流体）を取り込む第２圧力室２１が形成されており、この第２圧力室２１に面してピストン４０の下面は下側受圧面４０ｃをなしている。
また、ピストン４０の円盤部分の外周部には凹所が形成されており、該凹所には第１圧力室２０と第２圧力室２１との間の圧力漏れを防止するＯリング４１が嵌め込まれている。
【００２８】
ハウジング１０の上面に設置された第１圧力導入ポート２２からエアが導入されると、エアは第１圧力室２０に充填される。これによってピストン４０の上側受圧面４０ｂにはエアの圧力が作用し、図１に示すようにピストン４０は下方に押し下げられる。ピストン４０が下方に移動すると、これに接続された弁体３０は下方に向かって移動し、第１の弁座３１が開口するとともに、さらに下方に移動することで第２の弁座３２に密接してこの開口部を閉塞する。
【００２９】
したがって、入口ポート１１から導入された流体は、弁室１２を通過して下部空間１６に入り込まずに上部空間１３にのみ流入し、上部空間１３から第１絞り流路１４を通過して出口ポート１５に流れ込む。もちろん、このような流れにおける最小流路面積は第１絞り流路１４に存在し、流体はφ８．５ｍｍとされた絞り径に応じて流量や圧力等の調整がなされることになる。
【００３０】
また、ハウジング１０の側面（紙面右側面）に設置された第２圧力導入ポート２３からエアが導入されると、エアはピストン４０の下側に当たる第２圧力室２１に充填される。これによってピストン４０の下側受圧面４０ｃにはエアの圧力が作用し、図２に示すようにピストン４０は上方に押し上げられる。ピストン４０が上方に移動すると、これに接続された弁体３０は上方に向かって移動し、第２の弁座３２が開口するとともに、さらに上方に移動することで第１の弁座３１に密接してこの開口部を閉塞する。
【００３１】
したがって、入口ポート１１から導入された流体は、弁室１２を通過して上部空間１３に入り込まずに下部空間１６にのみ流入し、さらに下部外周空間１７から第２絞り流路１８を通過して出口ポート１５に流れ込む。もちろん、このような流れにおける最小流路面積は第２絞り流路１８に存在し、流体はφ１．０ｍｍとされた絞り径に応じて流量や圧力等の調整がなされることになる。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態にて説明した流量調整装置１よれば、２系統のエアを用いて遠隔的操作でピストン４０を動作させることにより、２つの絞り流路１４，１８のどちらかを適宜選択して同じ出口ポート１５から送出することができ、流量や圧力調整における絞りの変更を容易に且つ離れた位置で行うことができる。また、固定された絞り径を有する絞り流路１４，１８に流体を通過させる構成であるので、正確且つ安定して流量調整等を行うことができる。
【００３３】
なお、本実施形態に示す流量調整装置は、本発明の一実施形態であるので、これに限定解釈されるものではないが、変形例として以下に説明する構成であってもよい。
出口ポート１５をハウジング１０の外周部、例えば図１，２において紙面鉛直方向に沿って手前側と奥側に１つずつと、下部に１つ備えることとする。そして、これら出口ポートのそれぞれに繋がる流路中に先に説明したような弁室１２から繋がる絞り流路を２つずつ備える。もちろん各絞り流路の絞り径については使用状況に応じて任意に設定されるものとする。
【００３４】
そして、各出口ポートに接続される回路上にバルブがそれぞれ備えられることになれば、各バルブの中で開とされたバルブが接続された出口ポートからは選択されたどちらか一方の絞り流路を通過した流体が流量等の調整がなされた状態で送出されることになり、その他の閉とされたバルブが接続された出口ポートからは流体が送出されない。
つまり、前者の出口ポートにおいては、これに導通する２つの絞り流路のうちどちらか一方がピストン４０の動作に応じて選択されることで流体が送出されることになり、後者の各出口ポートにおいては、これらに導通する２つの絞り流路のそれぞれが機能せずに流体を保持した状態となる。
また、バルブの開位置が変更されると、開とされたバルブが接続された出口ポートに導通する２つの絞り流路のうち、どちらか一方を通過した流体が送出されることになり、この際の絞り径が他と異なる場合であれば、この絞り径に応じて流体が送出されることになる。
したがって、流体を分岐させつつ的確な流量調整等を行って送出する汎用性の向上を図った流量調整装置を実現することができる。
【００３５】
また、上述した形態と類するように、出口ポート１５を複数備えつつ、複数の出口ポートの全てに導通する絞り流路を備えて該絞り流路を共用する構成であってもよい。つまり、各出口ポートの下流側に設けられたバルブの開閉によって、各図に示した絞り流路１４，１８を通過した流体の供給先を容易に変更可能とする構成を導くことができる。このような構成は、多くの絞り流路を備えて流量調整する必要性がない状態であって、なお且つ、流体の供給先が複数ある場合に特に有効である。
【００３６】
また他の変形例として、ピストン４０の誘導を、一方は上述したようにエアの導入によるものとし、他方はスプリングによるものとする。すなわち、スプリングによってピストン４０をどちらかの弁座に密着させつつ、これに対抗しうるエアを導入することでスプリングの弾性力によって閉塞された弁座を開口させる。
これによれば、エアを導入するための圧力導入ポートの設置個数を削減することができる。
【００３７】
また、ピストン４０を主として本発明に係る弁体誘導手段を構成した例を説明したが、ダイヤフラムのみを用いる構成であってもよい。例えば、一方の弁座を閉塞するように設置されたダイヤフラムに圧力による変形を促し、弁体を移動させる。あるいは、ダイヤフラムの上面及び下面にそれぞれにエアを導入することでダイヤフラムを上方あるいは下方に変形させ、これに接続される弁体を誘導する構成である。
これによれば、小流量や低圧力で流通する流体の流量調整等を行うことに好適であり、構造の簡略化や小型化を得ることができる。
【００３８】
［第２の実施形態］
次に、本発明の流量調整装置における第２の実施形態について図３，図４を用いて説明する。なお、本実施形態の構成は、第１の実施形態の構成と比較して絞り流路の構造及び構成が異なるので、この異なる点について詳しく説明するものとし、同様な構成については同一符号を付してその説明を一部省略するものとする。
【００３９】
本実施形態に示す流量調整装置１は、先の第１の実施形態にて説明した第１絞り流路１４（図１参照）の内壁面にねじ溝が形成され、このねじ溝に螺合する図４に示される絞りアダプター１９（絞り径変更手段）が取り付けられて構成されるものである。
絞りアダプター１９は、この外周にねじ部１９ｂが形成されており、また、この内部には所定の絞り径を有して形成された貫通孔１９ａが備えられている。絞りアダプター１９の端部にはマイナスドライバーを当接するための溝部１９ｃが形成されており、この溝部１９ｃは貫通孔１９ａの軸方向と直交している。
【００４０】
さて、このような絞りアダプター１９が流路中に設置されることで、ここに通じる流路は絞り流路として機能することになり、絞りアダプター１９内の貫通孔１９ａを流体が通過することによって流量や圧力の調整が行われる。
【００４１】
また、この絞りアダプター１９は複数用意されるものであり、これらの外周は共通して同一な形状に形成されつつ、これらの貫通孔１９ａの直径、つまり絞り径はφ３．０ｍｍ、φ４．０ｍｍ、φ０．５ｍｍなどのように異なって形成される。したがって、絞りアダプター１９のそれぞれを交換することによれば、交換された絞りアダプター１９の絞り径に応じてここを通過する流体は適宜調整されることになる。
【００４２】
なお、絞りアダプター１９は装置の組み立て時に設置されるものであるが、組み立て後に絞りアダプター１９を交換することも可能である。
第１の実施形態に示したように、通常の使用であれば必要とされる２つの絞り径を用意するために各絞り流路を形成する。しかし、本実施形態に説明したように、絞り径自体の変更を絞りアダプター１９の交換にて対応可能となるため、絞りアダプター１９を取り付けるための形状を共通して備えておき、ユーザの要求に応じて必要とされる絞り径を有する絞りアダプター１９を取り付けることによれば、必要とされる流量調整等の範囲を拡大することができる。
【００４３】
なお、絞りアダプターの変形例として、以下のものであってもよい。
先の形態と同様に絞りアダプターの外周部にねじ部を形成する。そして、変更点として一端側に壁面を有しつつこの内部を空洞とした筒状に絞りアダプターを形成する。空洞部の形状は六角レンチが嵌め合わされる形状とし、一端側の壁面には貫通孔を形成する。なお、この貫通孔の孔径は絞り流路の絞り径を考慮して形成するものとする。空洞部が六角レンチに対応して形成されることは、絞りアダプター１９を締め込んだり、取り外したりするためのものであることは言うまでもない。
【００４４】
以上説明した本実施形態に係る流量調整装置１によれば、多様に要求される流量及び圧力調整に対応可能とした流量調整装置１を多数共通化して製造することができ、製造コストを低減させることができる。また、固定された絞り径であるので、交換を可能としつつ、正確且つ安定した流量調整等を行うことができる。
また、１つの装置で多様な流量調整等の要求に対応できる汎用性の高い流量調整装置１を提供することができる。
【００４５】
なお、本実施形態では絞りアダプターを出口ポート１５に導通する２つの流路のうち一方に備えた場合を示したが、第２絞り流路１８側に備えることとしてもよい。
【００４６】
［第３の実施形態］
次に、本発明の流量調整装置における第３の実施形態について図５を用いて説明する。なお、本実施形態の構成は、第１の実施形態の構成と比較して弁体３０を中立位置に導くための構成が備えられているので、この点について詳しく説明するものとし、その他同様な構成については同一符号を付してその説明を一部省略するものとする。
【００４７】
本実施形態に示す流量調整装置１は、先の第１の実施形態にて説明した第１圧力導入ポート２２がハウジング１０の側面に位置しており、ハウジング１０の上面、すなわちピストン４０の上方にはロックダイヤル５０が備えられている。このロックダイヤル５０の胴部にはハウジング側に形成された孔部の雌ねじ部に螺合するねじ部５０ｂが形成されており、円盤状の操作部５０ａを回転させることで上下方向の任意な位置で固定させることが可能とされている。
【００４８】
図５に示される状態では、ロックダイヤル５０が締め込まれて円盤状の操作部５０ａがハウジング１０の上端面に接することで固定されている。そして、第２圧力導入ポート２３からエアが供給されると、ピストン４０の下側受圧面４０ｃにはエアの圧力が作用する。そして、ピストン４０は上方に移動することになるが、ピストン４０の上側受圧面４０ｂがロックダイヤル５０の下端部５０ｃに接すると、ピストン４０の移動はこれより上方に移動することができなくなる。
【００４９】
この結果、ピストン４０の下端部と接続された弁体３０は、該弁体３０の移動方向における第１の弁座３１と第２の弁座３２との中間に位置することになり、入口ポート１１から流入した流体は、これら両弁座３１，３２の開口部を通過して第１の絞り流路１４及び第２の絞り流路１８のそれぞれを通過することになる。したがって、両絞り流路１４，１８を通過して合流した流体は、両方の絞り面積の合算値となる絞り流路を通過したことと同等となり、本装置１の３つ目の絞り流路によって流量制御されて出口ポート１５から送出されることとなる。
【００５０】
なお、弁体３０は両弁座３１，３２の中間に位置することにより不安定な状態であるが、常時第２圧力導入ポート２３からエアが供給されることでピストン４０の位置が固定されるので、これに接続される弁体３０は流体の流れに左右されずに安定した状態を確保することが可能である。
【００５１】
以上説明した本実施形態に係る流量調整装置１によれば、弁体３０の中立状態を用いて新たな絞り流路を導くことができ、流量調整の設定範囲を拡大することができる。
なお、本図に示す各絞り流路１４，１８に、先の実施形態にて説明した絞りアダプター１９（絞り径変更手段）を備える構成としてももちろんかまわない。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る流量調整装置によれば、以下の効果を奏することができる。
請求項１記載の発明に係る流量調整装置によれば、ハウジング内に、流体の入口ポートと、出口ポートと、これら各ポートを導通する流路と、該流路間に配置された弁体と、該弁体の外周に面して開口するとともに出口ポートに導通する複数の絞り流路と、該絞り流路の少なくとも１つを用いて流体を出口ポートに導くべく前記弁体の移動を誘導する弁体誘導手段とを備えているので、該装置を回路から取り外さずに同じ出口ポートから多様に用意された絞り径に応じて流体を送出することができる。したがって、固定とされた絞りを用いて流体の流れを容易に且つ正確に変更し制御を行うことができる。
【００５３】
請求項２記載の発明によれば、流体の入口ポートと、出口ポートと、これら各ポートを導通する流路と、該流路間に配置された弁体と、該弁体の動作に応じて開口あるいは閉塞する第１の弁座及び第２の弁座と、これら弁座から前記出口ポートまでの間に所定の絞り径を有して導通する前記流路の一部をなす２つの絞り流路と、前記各弁座に対して前記弁体を誘導する弁体誘導手段とを備えているので、入口ポートから導入された流体を２つの絞りのうち少なくとも一方を用いて流量調整を行ったり、出口ポートから送出される流体を２つの絞りのうち少なくとも一方を用いて圧力調整を行いつつ入口ポートから導入される流体の圧力を適宜昇圧して同一な出口ポートから送出することができる。また、流体が通過する絞り径を装置内で変更できるため、本装置を含んで構成される回路上での絞りの変更作業が容易となる。また、絞り流路に備わる固定された絞りとされているので、流量調整や圧力調整における精度を高く確保することができる。
【００５４】
請求項３記載の発明によれば、出口ポートが複数備えられているので、１つの出口ポート当たり２つの絞りを用いて流量調整等を行いつつ供給先を変更したり、流量調整された流体を必要とされる複数の供給先のいずれかに適宜供給することが容易に可能となる。これによって、さらに多様な流量調整等を行うことができるようになり、本装置における汎用性をさらに向上させることができる。
【００５５】
請求項４記載の発明によれば、弁体誘導手段が外部から供給される操作用流体の圧力に応じて弁体の移動方向と同一方向に動作するピストンを有して構成されているので、操作用流体の圧力に的確に応じて弁体を無駄なく正確に動作させることができる。また、弁体を移動させるための構造の簡略化がなされて装置を小型に構成することができる。
【００５６】
請求項５記載の発明によれば、弁体と弁体誘導手段との間に、流路の仕切壁をなすシール部材が備えられているので、これらの間での仕切りを容易に構成して弁体誘導手段の動作を弁体に伝達することができる。したがって、弁体誘導手段を構成する場合でのコストを抑えることができる。
【００５７】
請求項６記載の発明によれば、絞り流路に絞り径を変更する絞り径変更手段が備えられているので、同じ絞り流路を用いて流体の流量調整等を行う場合であっても、同絞り流路の絞り径を変更することで多様に流量調整等を行うことができる。したがって、装置が有する流量調整等の設定範囲を拡大して汎用性を向上させることが可能となり、また、これに伴って共通化がなされることによれば低コストで流量調整装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態における流量調整装置の内部構成及び構造を説明する断面図であって、大きな絞り径を有する絞り流路を用いて流体を流通させた状態を示している。
【図２】本発明の第１の実施形態における流量調整装置の内部構成及び構造を説明する断面図であって、小さな絞り径を有する絞り流路を用いて流体を流通させた状態を示している。
【図３】本発明の第２の実施形態における流量調整装置の構成及び構造を説明する断面図である。
【図４】本発明に係る絞り径変更手段の構造を説明する図であって、（ａ）は部分断面図、（ｂ）は（ａ）を下方から見た下面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態における流量調整装置の構成及び構造を説明する断面図である。
【符号の説明】
１　流量調整装置
１０　ハウジング
１１　入口ポート
１２　弁室（流路）
１３　上部空間（流路）
１４　第１絞り流路
１５　出口ポート
１６　下部空間（流路）
１７　下部外周空間（流路）
１８　第２絞り流路
１９　絞りアダプター（絞り径変更手段）
２０　第１圧力室
２１　第２圧力室
２２　第１圧力導入ポート（弁体誘導手段）
２３　第２圧力導入ポート（弁体誘導手段）
３０　弁体
３１　第１の弁座
３２　第２の弁座
３５　ダイヤフラム（シール部材）
４０　ピストン（弁体誘導手段）
５０　ロックダイヤル
【図１】
2004070746.tif 000003
【図２】
2004070746.tif 000004
【図３】
2004070746.tif 000005
【図４】
2004070746.tif 000006
【図５】
2004070746.tif 000007