(57)【要約】【課題】スケールとエンコーダヘッドを最適な間隔で配置することを助けると共にそのままの状態で光学調整を行なうことを可能にするスペーサを提供する。【解決手段】スペーサ１００は、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に最適な間隔を与える厚さＤを有しており、光学式エンコーダの組み付けの際にスケール２０とエンコーダヘッド１０の間に配置される。スペーサ１００は、さらに、光学式エンコーダに対して行なう余裕度の確認などの光学調整に適した透過率とを有しており、従って、光学調整は、スペーサ１００がエンコーダヘッド１０とスケール２０の間に配置されたままの状態で行なえる。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学式エンコーダを構成するスケールとエンコーダヘッドの間隔を調整するために、光学式エンコーダの組み付けの際に前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に配置される間隔調整用スペーサであり、前記スケールは、前記エンコーダヘッドに対して相対的に移動可能に支持されており、前記スケールが移動する方向に沿って光学特性が周期的に変化する光学パターンを有しており、前記エンコーダヘッドは、前記スケールに対向して配置され、前記スケールの光学パターンに光を照射する光源と、前記光学パターンによって生成される光ビームパターンを検出する光検出器を有しており、
前記スペーサは、前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に前記光学式エンコーダが動作可能な所定の間隔を与える厚さと、前記光学式エンコーダの光学的調整に適した透過率を有している、光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項２】
前記スペーサは、行なうことが意図され得る光学調整毎に適した透過率を持つ予め用意された複数のスペーサの中から、実際に行なう光学調整に応じて選ばれる、請求項１に記載の光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項３】
前記スペーサは、互いに異なる透過率を有する複数の部分を有している、請求項１に記載の光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項４】
前記スペーサは、異なる透過率を有する異なる材質の部材片を互いに接合して作られている、請求項３に記載の光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項５】
前記スペーサは、一様な透過率を有する基材と、これに部分的に積層された積層部材とで構成され、前記積層部材は前記基材の透過率とは異なる一様な透過率を有している、請求項３に記載の光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項６】
前記スペーサは、一様な透過率を有する材質で構成されており、これを貫通している開口部を有している、請求項３に記載の光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項７】
前記スペーサは、一様な透過率を有する材質で構成されており、厚さの異なる複数の部分を有している、請求項３に記載の光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項８】
前記スペーサは、厚さ方向を横切って延びる空洞を有する基材と、前記基材の空洞に挿入可能な部材とで構成されている、請求項３に記載の光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項９】
光学式エンコーダを構成するスケールとエンコーダヘッドの間隔を調整するために、光学式エンコーダの組み付けの際にスケールとエンコーダヘッドの間に配置される間隔調整用スペーサであり、
前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に前記光学式エンコーダが動作可能な所定の間隔を与える厚さと、前記光学式エンコーダの光学的調整に適した透過率を有する板状の部材と、
前記板状の部材の端部に取り付けられた当て付け部材とを有しており、前記当て付け部材は、そこから突出している板状の部材の部分の幅Ｗを定め、前記板状の部材の突出している部分の前記幅Ｗは、前記エンコーダヘッドが取り付けられる固定治具の基準位置から、前記スケールの移動方向に直交する方向に沿った、前記エンコーダヘッドまでの最適な距離に対応している、光学式エンコーダの間隔調整用スペーサ。
【請求項１０】
光学式エンコーダを構成するスケールとエンコーダヘッドの間隔調整方法であり、
前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に前記光学式エンコーダが動作可能な所定の間隔を与える厚さと、前記光学式エンコーダの光学的調整に適した透過率を有するスペーサを前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に配置し、
前記スケールと前記エンコーダヘッドが共に前記スペーサに接触するように前記スケールと前記エンコーダヘッドを位置決めし、
続いて、前記スケールと前記エンコーダヘッドが共に前記スペーサに接触した状態のままで光学調整を行なう、間隔調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学的な変位センサである光学式エンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、工作機械のステージや三次元測定器などに用いて固定部に対する可動部の位置を測定するために、いわゆる光学式エンコーダが利用されている。
【０００３】
光学式エンコーダは、移動可能に支持されるスケールと、スケールに対向して配置されるエンコーダヘッドとで構成される。スケールは、その移動方向に沿って反射率等の光学特性が周期的に変化する光学パターンを有している。エンコーダヘッドは、スケールの光学パターンに光を照射する光源と、光学パターンによって生成される干渉パターンを検出する光検出器を有している。
【０００４】
エンコーダヘッドは、例えば、スケールの移動に対して、互いに位相が９０度異なる略正弦波形の二つの信号を出力し、それらの信号に基づいてスケールの移動量とその方向とが求められる。
【０００５】
良好な検出結果あるいは測定結果を得るために、光学式エンコーダの組み付けの際、言い換えればスケールとエンコーダヘッドの取り付けすなわちセットアップの際、スケールとエンコーダヘッドは適正な間隔を置いて配置される必要がある。
【０００６】
このようなセットアップに関しては、特開平５−１３３７３２号公報などに開示されているように、セットアップ状態検出回路により、セットアップが良好な場合と、使用できるも望ましくない場合と、不良な場合とを検出する方法が知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような方法では、セットアップしたときの余裕度を確認する場合、エンコーダヘッドとスケールとのギャップすなわち間隔を変更しなければならず、簡単に余裕度を確認することができない。
【０００８】
また、ギャップを変えなくてもセットアップできるようにするためには、光源の光量や光検出器の受光感度を変えるための回路が必要となり、高価となってしまう。
【０００９】
本発明の目的は、スケールとエンコーダヘッドを最適な間隔で配置することを助けると共に、そのままの状態で、すなわちスケールとエンコーダヘッドの間隔を変えることなく、光検出器で検出される光強度の変動に対して正常動作する範囲の余裕度の確認といった光学調整を行なうことを可能にする、光学式エンコーダの間隔調整用スペーサを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ひとつには、光学式エンコーダを構成するスケールとエンコーダヘッドの間隔を調整するために、光学式エンコーダの組み付けの際に前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に配置される間隔調整用スペーサであり、前記スケールは、前記エンコーダヘッドに対して相対的に移動可能に支持されており、前記スケールが移動する方向に沿って光学特性が周期的に変化する光学パターンを有しており、前記エンコーダヘッドは、前記スケールに対向して配置され、前記スケールの光学パターンに光を照射する光源と、前記光学パターンによって生成される光ビームパターンを検出する光検出器を有しており、前記スペーサは、前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に前記光学式エンコーダが動作可能な所定の間隔を与える厚さと、前記光学式エンコーダの光学的調整に適した透過率を有している。
【００１１】
本発明は、ひとつには、光学式エンコーダを構成するスケールとエンコーダヘッドの間隔調整方法であり、前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に前記光学式エンコーダが動作可能な所定の間隔を与える厚さと、前記光学式エンコーダの光学的調整に適した透過率を有するスペーサを前記スケールと前記エンコーダヘッドの間に配置し、前記スケールと前記エンコーダヘッドが共に前記スペーサに接触するように前記スケールと前記エンコーダヘッドを位置決めし、続いて、前記スケールと前記エンコーダヘッドが共に前記スペーサに接触した状態のままで光学調整を行なう。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
第一実施形態
本発明の第一実施形態について図１を参照しながら説明する。
【００１４】
図１に示されるように、光学式エンコーダは、移動可能に支持されるスケール２０と、スケール２０に対向して配置されるエンコーダヘッド１０とで構成される。スケール２０は、その移動方向に沿って反射率等の光学特性が周期的に変化する光学パターン２２を有している。エンコーダヘッド１０は、図には示されていないが、スケール２０の光学パターン２２に光を照射する光源と、光学パターン２２によって生成される光ビームパターンを検出する光検出器を有している。なお、ここで言う光ビームパターンとは、反射・透過・回折・干渉パターン等を指す。
【００１５】
例えば、エンコーダヘッド１０は、スケール２０の移動に対して、略正弦波形の信号を出力する。この場合、略正弦波形のピークすなわち山や谷を、あるいはゼロ点いわゆるゼロクロスを計数することにより、略正弦波形の波長程度の分解能でスケール２０の移動量を求めることができる。
【００１６】
より好ましくは、エンコーダヘッド１０は、スケール２０の移動に対して、互いに位相が９０度異なる略正弦波形の二つの信号、いわゆるＡ相信号とＢ相信号を出力するとよい。この場合、Ａ相信号とＢ相信号からリサージュ図形を取得し、その図形上の点の位置と回転方向とに基づいて、スケール２０の移動量とその方向とを略正弦波形の波長未満の分解能で求めることができる。
【００１７】
スケール２０は、光学式エンコーダによる測定対象であるステージ等に固定される。エンコーダヘッド１０は、例えば、基板３０に固定され、基板３０はヘッド固定治具４０に固定される。ヘッド固定治具４０は、エンコーダヘッド１０とスケール２０の間隔が当該光学式エンコーダを使用するにあたって、この光学式エンコーダが動作可能な最適値となるように、例えば固定ねじ６０によりステージ台等に固定される。
【００１８】
スペーサ１００は、光学式エンコーダの組み付けの際、すなわち、スケール２０に対するエンコーダヘッド１０の相対的な位置決めの際、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に配置される。
【００１９】
スペーサ１００は、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に当該光学式エンコーダを使用するにあたって、この光学式エンコーダが動作可能な最適な間隔を与える厚さＤ、言い換えれば、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間隔の最適値に相当する厚さＤを有している。従って、スケール２０とエンコーダヘッド１０とでスペーサ１００を挟むことにより、つまり、スケール２０とエンコーダヘッド１０との間にスペーサ１００を置き、エンコーダヘッド１０でスペーサ１００をスケール２０に軽く押し当てることにより、エンコーダヘッド１０はスケール２０に対してそこから最適値の間隔を置いて配置される。
【００２０】
すなわち、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間にスペーサ１００を配置し、スケール２０とエンコーダヘッド１０が共にスペーサ１００に接触するようにスケール２０とエンコーダヘッド１０を位置決めすることにより、エンコーダヘッド１０とスケール２０の間隔が最適に調整される。
【００２１】
その後、前述したように、固定ねじ６０等によってヘッド固定治具４０をステージ台等に固定することにより、光学式エンコーダが組み付けられる。
【００２２】
さらに、スペーサ１００は、光学式エンコーダを光学的調整できる、所定の透過率を有している。すなわち、スペーサ１００は、光学式エンコーダに対して行なう光学調整に適した透過率を有している。従って、エンコーダヘッド１０とスケール２０の間にスペーサ１００を挟んだ状態のままで、すなわち光学式エンコーダの組み付け終了後直ちに、光学調整を行なえる。
【００２３】
光学調整は、エンコーダヘッド１０から出力される信号が良好なレベルに達しているかを判定することにより行なわれる。判定は、Ａ相信号とＢ相信号に基づいて得られるリサージュ図形を観察して行なっても、エンコーダヘッド１０からの出力信号を二値化して行なってもよい。
【００２４】
エンコーダヘッド１０内の光源から射出された光は、スペーサ１００を通過する際に、その光強度がスペーサ１００の透過率に対応した一定の割合だけ小さくなる。光強度は、その後、スケール２０を経た後に再びスペーサを通過する際に、更に一定割合だけ小さくなる。従って、エンコーダヘッド１０内の光検出器においては、スペーサが無いときと比較して光強度が所定の割合だけ低下した光が検出される。
【００２５】
従って、このような、エンコーダヘッド１０とスケール２０との間にスペーサ１００を挟んだ状態でエンコーダヘッドから出力される信号に対しても正常な位置検出あるいは位置測定を行なえることを確認することにより、光学式エンコーダが所望の余裕度を有していることを確認することができる。
【００２６】
このため、スペーサ１００の透過率は光学式エンコーダに要求される余裕度に対応して設定され、スペーサ１００の透過率に従って光強度が低下した光に対しても良好な位置検出を行なえることを確認することで、光学式エンコーダが要求される余裕度を有していることを確認することができる。
【００２７】
あるいは、エンコーダヘッド１０とスケール２０の間にスペーサ１００を配置した状態で良好な位置検出を行なえるように種々の調整を行なうことにより、エンコーダヘッド１０内の光源の劣化に伴う光強度の低下や、スケール２０の移動に伴って生じるヘッド１０とスケール２０の間隔の変化等により生じる干渉パターンの乱れや光強度の変動に対して、要求される余裕度を光学式エンコーダに持たせることができる。
【００２８】
光学調整は、余裕度の確認のみに限定されるものではなく、光源や光検出器の良否判定や、光源や光検出器の動作可否の判別や、光源の出力レベルの調整や、光学パターンにより適正な干渉パターンが生成されているかの判定など、他の任意の確認や調整や判定などに適用されてもよい。
【００２９】
スペーサ１００は、エンコーダヘッド１０とスケール２０の間に最適な間隔を与える厚さＤと、光学式エンコーダの組み付け直後に行なう光学調整に適した透過率を持つように、光学式エンコーダの設計に従って予め作られている。
【００３０】
あるいは、スペーサ１００は、エンコーダヘッド１０とスケール２０の間に最適な間隔を与える厚さＤを共に有し、光学式エンコーダの組み付け直後に行なうことが意図され得る光学調整毎に適した異なる透過率を持つ複数のスペーサを予め用意しておき、光学式エンコーダの組み付け直後に行なう光学調整に応じてそれらの中から選ばれてもよい。
【００３１】
このように本実施形態によれば、光学式エンコーダの組み付け直後にそのまま光学調整を行なえるので、組み付けの作業性が向上される。
【００３２】
第二実施形態
本発明の第二実施形態について図２を参照しながら説明する。
【００３３】
スペーサ２００は、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に最適な間隔を与える厚さＤを有している。
【００３４】
さらに、スペーサ２００は、光学式エンコーダの光学的調整のために、互いに異なる既知の透過率を有する複数の部分、例えば三つの部分２０２と２０４と２０６を有している。
【００３５】
このようなスペーサ２００は、例えば、異なる透過率を有する異なる材質の部材片２１２と２１４と２１６を互いに接合して作られる。ここで、部材片２１２と２１４と２１６の各々は、それぞれ一様な透過率を有しており、互いに異なる透過率を有している。
【００３６】
光学式エンコーダの組み付けの際に、このようなスペーサ２００をスケール２０とエンコーダヘッド１０の間に配置することにより、スケール２０とエンコーダヘッド１０を最適な間隔で配置できると共に、光学式エンコーダの組み付け終了後、透過率の異なる三つの部分２０２と２０４と２０６をエンコーダヘッド１０の上に順番に配置して光学調整を行なうことにより、複数の光学調整を行なえる。
【００３７】
例えば、当該光学式エンコーダが相対的に透過率の高いスペーサ２００の二つの部分に対して正常動作することを確認することにより、二段階の余裕度を確認し、スペーサ２００の透過率の最も低い部分に対して異常動作となることを確認することにより、システムの異常発生機能の動作を確認することができる。
【００３８】
このように本実施形態によれば、光学式エンコーダの組み付け直後に、複数の光学調整、例えば複数段階の余裕度の確認を行なうことができる。
【００３９】
第三実施形態
本発明の第三実施形態について図３を参照しながら説明する。
【００４０】
図３（Ａ）に示されるように、スペーサ３００は、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に最適な間隔を与える厚さＤを有している。
【００４１】
さらに、スペーサ３００は、光学式エンコーダの光学的調整のために、互いに異なる既知の透過率を有する複数の部分、例えば三つの部分３０２と３０４と３０６を有している。
【００４２】
このようなスペーサ３００は、例えば図３（Ｂ）に示されるように、基材３１２と、これに部分的に積層された部材３１４と３１６とで構成される。つまり、スペーサ３００は、基材３１２に対して、別の部材３１４と３１６を部分的に設けることにより作られる。ここで、基材３１２と部材３１４と３１６は、それぞれ一様な透過率を有しており、部材３１４と３１６は、互いに透過率が異なり、基材３１２ともそれぞれ透過率が異なる。
【００４３】
第二実施形態と同様に、光学式エンコーダの組み付けの際に、このようなスペーサ３００をスケール２０とエンコーダヘッド１０の間に配置することにより、スケール２０とエンコーダヘッド１０を最適な間隔で配置できると共に、光学式エンコーダの組み付け終了後、透過率の異なる三つの部分３０２と３０４と３０６をエンコーダヘッド１０の上に順番に配置して光学調整を行なうことにより、複数の光学調整を行なえる。
【００４４】
例えば、当該光学式エンコーダが相対的に透過率の高いスペーサ３００の二つの部分に対して正常動作することを確認することにより、二段階の余裕度を確認し、スペーサ３００の透過率の最も低い部分に対して異常動作となることを確認することにより、システムの異常発生機能の動作を確認することができる。
【００４５】
このように本実施形態によれば、光学式エンコーダの組み付け直後に、複数の光学調整、例えば複数段階の余裕度の確認を行なうことができる。
【００４６】
第四実施形態
本発明の第四実施形態について図４を参照しながら説明する。
【００４７】
スペーサ４００は、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に最適な間隔を与える厚さＤを有している。
【００４８】
さらに、スペーサ４００は、一様な透過率を有する材質で構成されており、これを貫通している開口部４０２を有している。言い換えれば、スペーサ４００は、互いに異なる既知の透過率を有する二つの部分、すなわち開口部４０２の部分とそれ以外の部分とを有している。つまり、スペーサ４００は、光学式エンコーダの光学的調整のための透過率の異なる二つの部分を有していることになる。
【００４９】
光学式エンコーダの組み付けの際に、このようなスペーサ４００を介してスケール２０とエンコーダヘッド１０とを配置することにより、スケール２０とエンコーダヘッド１０を最適な間隔で配置できると共に、光学式エンコーダの組み付け終了後、開口部４０２の部分とそれ以外の部分をエンコーダヘッド１０の上に順番に配置して光学調整を行なうことにより、二つの光学調整を行なえる。
【００５０】
例えば、当該光学式エンコーダが開口部４０２の部分とそれ以外の部分とに対して正常動作することを確認することにより、二段階の余裕度を確認することができる。
【００５１】
このように本実施形態によれば、光学式エンコーダの組み付け直後に、二つの光学調整、例えば二段階の余裕度の確認を行なうことができる。スペーサ４００は、その母材に対して単に開口部４０２を形成するだけで作られるので、安価に作製し得る。
【００５２】
第五実施形態
本発明の第五実施形態について図５を参照しながら説明する。
【００５３】
スペーサ５００は、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に最適な間隔を与える厚さＤを有している。
【００５４】
さらに、スペーサ５００は、一様な透過率を有する材質で構成されており、部分的に形成された凹部５０２を有している。すなわち、スペーサ５００は、厚さの異なる複数の部分、すなわち凹部５０２の部分とそれ以外の部分とを有している。従って、スペーサ５００は、互いに異なる既知の透過率を有する二つの部分を有していることになる。
【００５５】
光学式エンコーダの組み付けの際に、このようなスペーサ５００を介してスケール２０とエンコーダヘッド１０とを配置することにより、スケール２０とエンコーダヘッド１０を最適な間隔で配置できると共に、光学式エンコーダの組み付け終了後、凹部５０２の部分とそれ以外の部分をエンコーダヘッド１０の上に順番に配置して光学調整を行なうことにより、二段階の光学調整を行なえる。
【００５６】
例えば、当該光学式エンコーダが凹部５０２の部分とそれ以外の部分と対して正常動作することを確認することにより、二段階の余裕度を確認することができる。
【００５７】
このように本実施形態によれば、光学式エンコーダの組み付け直後に、二つの光学調整、例えば二段階の余裕度の確認を行なうことができる。スペーサ５００は、その母材に対して部分的に薄い部分すなわち凹部５０２を形成するだけで作られるので、安価に作製し得る。
【００５８】
図５においては、スペーサ５００は、一つの部分的に薄い部分すなわち凹部５０２を有しているが、互いに厚さの異なる複数の薄い部分すなわち深さの異なる複数の凹部を有していてもよい。この仕様変更に従った複数の凹部を有するスペーサは、その凹部の個数に対応する数の光学調整、すなわち凹部の個数＋１の光学調整を行なうことができる。
【００５９】
第六実施形態
本発明の第六実施形態について図６を参照しながら説明する。
【００６０】
スペーサ６００は、厚さ方向を横切って延びる空洞６１２を有する基材６１０と、基材６１０の空洞６１２に挿入可能な部材で構成されている。基材６１０は、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に最適な間隔を与える厚さＤを有している。空洞６１２に挿入される部材は、例えば、一様な透過率を有する板状の部材６２０であってもよいが、透過率の異なる複数の部分６３２と６３４と６３６を有している部材６３０であってもよい。
【００６１】
光学式エンコーダの組み付けの際に、基材６１０を間に挟んでスケール２０とエンコーダヘッド１０を位置決めすることにより、スケール２０とエンコーダヘッド１０を最適な間隔で配置できる。
【００６２】
また、光学式エンコーダの組み付け終了後、例えば、基材６１０の空洞６１２に何も挿入していない状態と基材６１０の空洞６１２に部材６２０を挿入した状態とで光学調整を行なうことにより、二段階の光学調整を行なうことができる。
【００６３】
あるいは、基材６１０の空洞６１２に何も挿入していない状態で光学調整を行なうと共に、基材６１０の空洞６１２に部材６２０を挿入し、さらに、透過率の異なる複数の部分６３２と６３４と６３６の各々を順番にエンコーダヘッド１０の上に配置して光学調整を行なうことにより、多数の光学調整、具体的には四段階の光学調整を行なうことができる。また、透過率が異なる部材６２０を複数用意し、基材６１０の空洞６１２に、それぞれ複数の部材６２０を次々に挿入して光学調整を行なってもよい。
【００６４】
このように本実施形態によれば、光学式エンコーダの組み付け直後に、複数の光学調整、例えば複数段階の余裕度の確認を行なうことができる。また、基材６１０の空洞６１２に挿入する部材を色々と入れ換えることにより、非常に多くの段階で光学調整を行なうことができる。
【００６５】
スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に存在する部材すなわち基材６１０は移動されることがないので、多数の光学調整を行なう間も、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間隔は最適値に安定に保たれる。
【００６６】
第七実施形態
本発明の第七実施形態について図７を参照しながら説明する。
【００６７】
スペーサ７００は、一様な所定の既知の透過率を有する板状の部材７１０と、その端部に取り付けられた一対の当て付け部材７２２を有している。部材７１０は、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に最適な間隔を与える厚さＤを有している。
【００６８】
当て付け部材７２２は、部材７１０の端部から当て付け部材７２２までの幅Ｗ、すなわち部材７１０の当て付け部材７２２から突出している部分の幅Ｗを定める。部材７１０の当て付け部材７２２から突出している部分の幅Ｗは、固定治具４０に設定された基準位置、例えば当て付け面４２から、スケール２０の移動方向に直交する方向に沿った、エンコーダヘッド１０の端面１０ａまでの最適な距離に対応している。
【００６９】
すなわち、部材７１０の当て付け部材７２２から突出している部分の幅Ｗは、エンコーダヘッド１０が固定治具４０に対して最適な位置すなわち設計通りの位置に配置された場合における、固定治具４０の当て付け面４２から遠い側のエンコーダヘッド１０の側面つまりエンコーダヘッド１０の端面１０ａから固定治具４０の当て付け面４２までの距離に等しく設定される。
【００７０】
光学式エンコーダの組み付けの際、スペーサ７００は、当て付け部材７２２でエンコーダヘッド１０を押しながら、部材７１０の端面が固定治具４０の当て付け面４２に当て付けられる。これにより、エンコーダヘッド１０は、固定治具４０の基準位置に対して最適な位置に、すなわち当て付け面４２から最適な距離だけ離れた位置に配置される。
【００７１】
つまり、スペーサ７００は、エンコーダヘッド１０の横方向の組み付けゲージあるいは冶具としても機能を果たしている。
【００７２】
その状態で、エンコーダヘッド１０が固定された基板３０を固定ねじなどにより固定治具４０に固定することにより、エンコーダヘッド１０は固定治具４０に対して最適な位置に固定される。
【００７３】
その後、エンコーダヘッド１０の上に、スペーサ７００の板状の部材７１０を間に置いたまま、例えば前記の板状の部材７１０の上にスケール２０を押しあてる。これにより、スケール２０とエンコーダヘッド１０が最適な間隔で位置決めされる。その状態で、固定治具４０をステージ台に固定することにより、光学式エンコーダの組み付けが完了する。
【００７４】
続いて、スペーサ７００を抜かずに、スケール２０とエンコーダヘッド１０の間に板状の部材７１０を配置したまま光学調整を行なうことにより、例えば当該エンコーダの動作の余裕度の確認を行なうことができる。
【００７５】
このように本実施形態によれば、光学式エンコーダの組み付けの際に、エンコーダヘッド１０を、その取り付け位置の基準となる部材すなわち固定治具４０に対して最適な位置に容易に配置することができる。また、光学式エンコーダの組み付け直後に光学調整、例えば余裕度の確認を行なうことができる。
【００７６】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施の形態を述べたが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【００７７】
例えば、スペーサは平坦である必要は無く、エンコーダヘッドの基準面とスケールとのギャップつまり間隔を最適にセットアップできるようであれば、他の任意の形状であってもよい。
【００７８】
【発明の効果】
本発明によれば、スケールとエンコーダヘッドを容易に最適な間隔で配置できるとともに、そのままの状態で、すなわちスケールとエンコーダヘッドの間隔を変えることなく、光強度の変動要因に対して正常動作する余裕度の確認などの光学調整を行なえる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態に関するスペーサと光学式エンコーダとを示している。
【図２】本発明の第二実施形態によるスペーサを示している。
【図３】本発明の第三実施形態によるスペーサを示している。
【図４】本発明の第四実施形態によるスペーサを示している。
【図５】本発明の第五実施形態によるスペーサを示している。
【図６】本発明の第六実施形態によるスペーサを示している。
【図７】本発明の第七実施形態によるスペーサを示している。
【符号の説明】
１０　エンコーダヘッド
２０　スケール
１００　スペーサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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