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(57)【要約】【課題】比抵抗の上昇を抑えながら耐電圧の向上を図ることができるアルミニウム電解コンデンサの駆動用電解液を提供する。【解決手段】エチレングリコールを主溶媒とし、カルボン酸若しくはその塩、および／または、ホウ酸若しくはその塩と、以下の化学式で表されるＤＬ−トレオニン０．５〜２．０ｗｔ％とを溶解したことを特徴としている。上記カルボン酸としては、アゼライン酸、セバシン酸、安息香酸、１，６−デカンジカルボン酸、５，６−デカンジカルボン酸等を挙げることができる。また、カルボン酸やホウ酸の塩としては、メチルアミン、エチルアミン等の一級アミン塩、ジメチルアミン、エチルメチルアミン等の二級アミン塩、トリメチルアミン、ジエチルメチルアミン、エチルジメチルアミン等の三級アミン塩、テトラメチルアンモニウム、トリエチルメチルアンモニウム等の四級アンモニウム塩、アンモニウム塩等を挙げることができる。【化３】2004200434.tif 000006【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
エチレングリコールを主溶媒とし、カルボン酸若しくはその塩、および／または、ホウ酸若しくはその塩と、以下の化学式で表されるＤＬ−トレオニンとを溶解したことを特徴とする電解コンデンサの駆動用電解液。
【化１】
2004200434.tif 000005
【請求項２】
請求項１において、ＤＬ−トレオニンの溶解量が、電解液全体に対して０．５〜２．０ｗｔ％であることを特徴とする電解コンデンサの駆動用電解液。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルミニウム電解コンデンサの駆動用電解液（以下、電解液と称す）の改良に関するものであり、詳しくは、電解液の耐電圧向上技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
中高圧用の電解コンデンサの電解液として、従来は、エチレングリコールを主溶媒とし、カルボン酸またはそのアンモニウム塩と、ホウ酸またはそのアンモニウム塩とを溶解し、さらに、電解液の耐電圧を上昇させるためマンニトール、ソルビトール等の多価アルコールを溶解した電解液が用いられてきた（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特公平７−４８４６０号公報（第２頁、表）
【特許文献２】
特公平７−６３０４７号公報（第３頁、表１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、マンニトール、ソルビトール等の多価アルコールは溶解量に対する耐電圧の向上が緩慢であり、また多価アルコールを多量に溶解すると、多価アルコールがカルボン酸およびホウ酸とエステル化反応するため、耐電圧は向上するが比抵抗の上昇が著しいという問題があった。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、比抵抗が上昇することがなく、かつ、耐電圧の向上も可能な電解液を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明では、多価アルコールと比較して電極箔への吸着性が高いＤＬ−トレオニンに着目し、その特性を電解液に適用することにより課題の解決を図ったものである。
【０００７】
すなわち、本発明に係る電解液では、エチレングリコールを主溶媒とし、カルボン酸若しくはその塩、および／または、ホウ酸若しくはその塩と、以下の化学式で表されるＤＬ−トレオニンとを溶解したことを特徴とする。
【０００８】
【化２】
2004200434.tif 000002
【０００９】
本発明において、上記ＤＬ−トレオニンの添加量は、電解液全体に対して０．５〜２．０ｗｔ％であることが好ましい。０．５ｗｔ％未満では耐電圧向上効果が十分でなく、２．０ｗｔ％を超えると比抵抗が著しく上昇する。
【００１０】
本発明において、上記カルボン酸としては、アゼライン酸、セバシン酸、安息香酸、１，６−デカンジカルボン酸、５，６−デカンジカルボン酸、７−ビニルヘキサデセン−１，１６−ジカルボン酸等を挙げることができる。
【００１１】
また、カルボン酸やホウ酸の塩としては、メチルアミン、エチルアミン、ｔ−ブチルアミン等の一級アミン塩、ジメチルアミン、エチルメチルアミン、ジエチルアミン等の二級アミン塩、トリメチルアミン、ジエチルメチルアミン、エチルジメチルアミン、トリエチルアミン等の三級アミン塩、テトラメチルアンモニウム、トリエチルメチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウム等の四級アンモニウム塩、アンモニウム塩等を挙げることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
エチレングリコールを主溶媒とし、カルボン酸若しくはその塩、および／または、ホウ酸若しくはその塩と、ＤＬ−トレオニンとを溶解して電解液を調製した。ここで、ＤＬ−トレオニンの添加量は、電解液全体に対して０．５〜２．０ｗｔ％とした。
【００１３】
本発明に係る電解液において、ＤＬ−トレオニンと、カルボン酸またはホウ酸とのエステル化反応による生成物は、電解液中のイオンの移動を妨げないので、電解液の比抵抗上昇が抑えられる。また、ＤＬ−トレオニンは、電極箔に対する高い吸着性を有するため、電極箔上にて効率良くカルボン酸またはホウ酸とのエステル化反応を行うことができ、少量の添加で耐電圧を向上させることができる。
【００１４】
【実施例】
以下、本発明の実施例を具体的に説明する。表１、２に示す組成で電解液を調合し、３０℃における比抵抗および８５℃における火花発生電圧（電解液の耐電圧）を測定した結果を表１、２に示す。
【００１５】
【表１】
2004200434.tif 000003
【００１６】
【表２】
2004200434.tif 000004
【００１７】
表１、２に示すように、マンニトールのみを添加した従来例１、２と比較して、本発明の実施例１〜１７は、比抵抗上昇を抑制しながら、耐電圧の向上が図られていることが分かる。
【００１８】
なお、ＤＬ−トレオニンの添加量は、０．５ｗｔ％未満では耐電圧向上効果が十分でなく、２．０ｗｔ％を超えると比抵抗上昇が著しく、低比抵抗の用途に不向きとなる。従って、ＤＬ−トレオニンの添加量は、０．５〜２．０ｗｔ％の範囲が好ましい。
【００１９】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、先に例示したカルボン酸またはその塩を単独または複数溶解しても同様の効果がある。
【００２０】
【発明の効果】
上記のとおり、本発明に係る電解液において、ＤＬ−トレオニンと、カルボン酸またはホウ酸とのエステル化反応による生成物は、電解液中のイオンの移動を妨げないので、電解液の比抵抗上昇が抑えられる。また、ＤＬ−トレオニンは、電極箔に対する高い吸着性を有するため、電極箔上にて効率良くカルボン酸またはホウ酸とのエステル化反応を行うことができ、少量の添加で耐電圧を向上させることができる。
(57)【要約】【課題】回路基板上に高周波部品を実装した場所、高周波部品の内部と回路基板内で形成される各高周波回路とが回路基板の上層部を介して干渉してしまい高周波複合部品の電気特性を劣化させてしまうという課題を有していた。【解決手段】回路基板上に高周波部品を実装した高周波複合部品において、回路基板１の上面とこの上面に最も近接する回路電極３との間に位置する誘電体層１ａの誘電率を高周波部品２を形成する素材よりも低くするものである。【選択図】  図１
2004200457.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の誘電体層からなる回路基板と、この回路基板の内層部分に配置されて所定の高周波回路を形成する回路電極と、前記回路基板の上面に配置されて前記回路電極に接続された接続電極と、前記回路基板の上面に実装されるとともに前記接続電極に接続された高周波部品とを備え、前記回路基板の上面とこの上面に最も近接する回路電極との間に位置する前記誘電体層の誘電率を前記高周波部品の外表面を形成する素材の誘電率よりも低く設定した高周波複合部品。
【請求項２】
高周波部品を半導体で形成し、この高周波部品をフリップチップ実装により回路基板に実装するとともに、前記高周波部品に必要となるインダクタ成分を接続電極で形成した請求項１に記載の高周波複合部品。
【請求項３】
高周波部品が接続された接続電極を用いて前記高周波部品の放熱を行う請求項２に記載の高周波複合部品。
【請求項４】
高周波部品がＦＥＴである請求項３に記載の高周波複合部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯電話などの高周波機器に用いられる高周波複合部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に携帯電話などのＲＦ部品に用いられる高周波複合部品としては、高周波回路を内蔵した回路基板上に高周波部品を実装する形態が知られている。
【０００３】
そして、従来このような高周波複合部品を形成する回路基板は、誘電体からなる積層体の内層部品に複数の回路電極を用いて所定の高周波回路を形成し、この回路基板内にて形成しにくい残余の高周波回路を回路基板上に実装する高周波部品で補っていた。
【０００４】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２３０６９８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このように回路基板上に高周波部品を実装した場所、高周波部品の内部で形成される高周波回路と回路基板内で形成される高周波回路とが回路基板の上層部を介して干渉してしまい高周波複合部品の電気特性を劣化させていた。
【０００７】
そこで、本発明はこのような問題を解決し高性能な高周波複合部品を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本件請求項１に記載の発明は、特に回路基板上に高周波部品を実装した高周波複合部品において、回路基板の上面とこの上面に最も近接する回路電極との間に位置する誘電体層の誘電率を高周波部品を形成する素材の誘電率よりも低く設定したことで、回路電極と高周波部品との干渉を抑制することができ、結果として高周波複合部品を高性能なものと出来る。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、特に高周波部品を半導体で形成し、この高周波部品をフリップチップ実装により回路基板に実装するとともに、高周波部品に必要となるインダクタ成分を接続電極で形成したことで、フリップチップ実装による高周波部品のインダクタ成分の不足を容易に補うことが出来る。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、特に高周波部品が接続された接続電極を用いて高周波部品の放熱を行うことで、高周波部品の放熱効率を向上できる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、特に高周波部品をＦＥＴとしたことで放熱効果をより効果的に活用できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態について図を用いて説明する。
【００１３】
図１は誘電材料からなる回路基板１の上面に高周波部品２を実装した高周波複合部品を示したもので、回路基板１はその内層部分に複数の回路電極３が適宜配置されビアホール４などを介して接続することで高周波ローパスフィルタなどの高周波回路が形成され、高周波部品２はＦＥＴなどの半導体チップで形成された高周波スイッチが形成されている。
【００１４】
そして、この高周波複合部品においては図２に示すように、回路基板１の上面とこの上面に最も近接する回路電極３ａとの間に位置する誘電体層１ａの誘電率を高周波部品２である半導体チップの素材の誘電率よりも低く設定しており、この低誘電率の誘電体層が高周波部品２と高周波ローパスフィルタを形成する回路電極３、３ａとの間に介在することで、お互いの高周波的な干渉を抑制することができ、この干渉に伴う電気特性の劣化を抑制することが出来る。
【００１５】
また、この高周波複合部品においては、回路基板１に対して高周波部品２をフリップチップ実装しており、従来ボンディングワイアによって得ていたインダクタ成分が不足した状態となってしまう。この不足したインダクタ成分を回路基板１の上面に設けられた高周波部品２を実装し回路基板１の内層に設けられた所定の回路電極３に接続する接続電極５のインダクタ成分を用いて補填している。
【００１６】
すなわち、この接続電極５は、低誘電率の誘電体層上に配置されたものであるために、回路基板１の内層部分に設けられたアース電極からの影響を受けにくくインピーダンスが高くなるため、短い線路長で十分なインダクタ成分が確保し易く、先に述べたインダクタ成分を容易に補填できるとともに、高周波複合部品の小型化に貢献できる。
【００１７】
さらに、高周波部品２をフリップチップ実装したものとボンディングワイアにより接続したものを比較した場合、フリップチップ実装された半導体チップには接続電極５が直接接続されているのに対し他方はボンディングワイアが接続されることになる。この点についてみればボンデイングワイアが金属を線状に形成したものであるのに対して、接続電極５が一般的に銅や銀などの高導電率材料をベースに平面的なパターンで形成されるのでより高い放熱効果が得られるのである。
【００１８】
また、この高周波複合部品のように高周波部品２が熱による影響を受けやすいＦＥＴを用いたもので有ればよりその作用効果が顕著に現れるのである。
【００１９】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、特に回路基板上に高周波部品を実装した高周波複合部品において、回路基板の上面とこの上面に最も近接する回路電極との間に位置する誘電体層の誘電率を高周波部品の外表面を形成する素材の誘電率よりも低く設定したことで、回路電極と高周波部品との干渉を抑制することができ、結果として高周波複合部品を高性能なものと出来るのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態における高周波複合部品の分解斜視図
【図２】同高周波複合部品の断面図
【符号の説明】
１  回路基板
１ａ  誘電体層
２  高周波部品
３、３ａ  回路電極
４  ビアホール
５  接続電極
【図１】
2004200457.tif 000003
【図２】
2004200457.tif 000004
(57)【要約】【課題】変圧器の油中シールドにおいて、絶縁物である湿紙プレスボードの加工よりも加工時間を短縮する。絶縁物である湿紙プレスボードは、大気中の水分を吸湿しているので、乾燥と油含浸の必要があるが、これを必要としないものとして加工コストを軽減する。変圧器への取付作業時間を軽減する。湿紙プレスボードは、乾燥と油含浸後に吸湿するため、油タンク内での保管が必要であり、これを必要としないものとして保管コストを軽減する。【解決手段】導電性芯金の表面に絶縁性エポキシ樹脂を塗装してコーティングした。【選択図】        図１
2004200610.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電材料で形成され、表面に絶縁性エポキシ樹脂を塗装してコーティングした変圧器の油中シールド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、金属表面の微細な凹凸を平滑化することによる電界緩和を図るために表面に絶縁を施した変圧器の油中シールドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の変圧器の油中シールドは、両端を内側に絞り込み加工した概略円筒状導電性芯金に対して、絶縁物である湿紙プレスボードを巻き付ける工程、巻き付けた湿紙プレスボードを芯金にゴムバンドで仮固定した状態で、湿紙プレスボードを丸棒を用いて成形加工する工程、さらに、芯金の内側軸方向に円筒状当て金具を固定した状態でゴムテープによって成形加工した湿紙プレスボードを締め付ける工程を経て、表面に絶縁を施した変圧器の油中シールドを製作している。
なお、この種の油中シールドを示すものとして、特許文献１がある。
【０００３】
【特許文献１】
実開昭５８−３７１１９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の湿紙プレスボードの締め付けで製作される表面に絶縁を施した変圧器の油中シールドは、次のような問題点を有している。
（１）絶縁物である湿紙プレスボードの巻き付け、成形、締め付け時間が長く、加工工程も多いため、加工コストが高い。
（２）絶縁物である湿紙プレスボードは、大気中の水分を吸湿しているので、乾燥と油含浸の必要がある。
（３）変圧器への取付時に絶縁物である湿紙プレスボードが剥離し易い。
（４）湿紙プレスボードは、乾燥と油含浸後に吸湿するため、油タンク内での保管が必要であり、保管管理コストが高い。
【０００５】
この発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、次のような効果を得ることを目的とする。
（１）絶縁物である湿紙プレスボードの加工（巻き付け、成形、締め付け）よりも加工時間を短縮する。
（２）絶縁物である湿紙プレスボードは、大気中の水分を吸湿しているので、乾燥と油含浸の必要があるが、これを必要としないものとして加工コストを軽減する。
（３）変圧器への取付時に絶縁物である湿紙プレスボードが剥離し易い問題を解消し、取付作業時間を軽減する。
（４）湿紙プレスボードは、乾燥と油含浸後に吸湿するため、油タンク内での保管が必要であり、これを必要としないものとして保管コストを軽減する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる変圧器の油中シールドは、導電材料で形成され、表面に絶縁性エポキシ樹脂を塗装してコーティングしたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１の変圧器の油中シールドを示す縦断面図である。図において、芯金１は例えばアルミニューム製円筒体を、その両端を絞り加工して成形した概略円筒状導電性芯金である。その表面には、塗装してコーティングした絶縁性エポキシ樹脂２が施されている。１６は油中シールドである。芯金１に絶縁性エポキシ樹脂２を塗装してコーティングすることにより、芯金１の金属表面の微細な凹凸は平滑化されて電界緩和が図られ、絶縁性能が安定化する。
【０００８】
図２は実施の形態１の油中シールドを製作する塗装前下地処理工程を示す斜視図である。成形した概略円筒状導電性芯金１は、移送ライン３に芯金吊下工具４により吊下げられ、順次移送される。この状態で、脱脂洗浄溶剤５がエアースプレー装置６により塗装表面全体に吹き付けられ、油分や異物が除去される。
【０００９】
図３は実施の形態１の油中シールドを製作する塗装工程を示す斜視図である。塗装前下地処理工程が済み、脱脂洗浄された芯金１は、順次移送され、移送ライン３に芯金吊下工具４により吊下げられた状態で、絶縁特性を保有しているエポキシ樹脂塗料７がエアースプレー装置８により塗装表面全体に吹き付け塗装される。エポキシ樹脂塗料７の塗装回数は例えば３回で合計膜厚は７０μｍ以上のコーティングを施す。
【００１０】
図４は実施の形態１で製作された油中シールドを変圧器に取付けた状態を示す部分断面図である。変圧器ケース１１にブッシングケース１２を経てブッシング１３が取付けられている。ブッシング１３の端子１４と絶縁リード１５との接続部に、エポキシ樹脂塗装により表面コーティングした油中シールド１６を取付ける。
【００１１】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の変圧器の油中シールドによれば、導電材料で形成され、表面に絶縁性エポキシ樹脂を塗装してコーティングしたので、つぎの効果が得られる。
（１）絶縁物である湿紙プレスボードの加工よりも加工時間を短縮できる。
（２）乾燥と油含浸を必要としないから、加工コストを軽減できる。
（３）変圧器への取付作業時間を軽減できる。
（４）油タンク内での保管を必要としないから、保管コストを軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１の変圧器の油中シールドを示す縦断面図である。
【図２】実施の形態１の油中シールドを製作する塗装前下地処理工程を示す斜視図である。
【図３】実施の形態１の油中シールドを製作する塗装工程を示す斜視図である。
【図４】実施の形態１で製作された油中シールドを変圧器に取付けた状態を示す部分断面図である。
【符号の説明】
１  芯金                            ２  エポキシ樹脂
３  移送ライン                      ４  芯金吊下工具
５  脱脂洗浄溶剤                    ６  エアースプレー装置
７  エポキシ樹脂塗料                ８  エアースプレー装置
１１  変圧器ケース                  １２  ブッシングケース
１３  ブッシング                    １４  端子
１５  絶縁リード                    １６  油中シールド。
【図１】
2004200610.tif 000003
【図２】
2004200610.tif 000004
【図３】
2004200610.tif 000005
【図４】
2004200610.tif 000006
(57)【要約】【課題】高密度コンデンサーからフッ化チタンノジュールを除去すること。【解決手段】半導体ウェーハ製造工程で生じる高密度コンデンサー上に存在するフッ化チタンノジュールを除去するために半導体ウェーハを硫酸により洗浄する。【選択図】図１
2004200687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
硫酸で半導体ウェーハ類を洗浄することを包含する、半導体ウェーハ上の高密度コンデンサー類の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は高密度コンデンサー（ｈｉｇｈ−ｄｅｎｓｉｔｙ  ｃａｐａｃｉｔｏｒ）からのフッ化チタンノジュール（ｔｉｔａｎｉｕｍ  ｆｌｕｏｒｉｄｅ  ｎｏｄｕｌｅｓ）の除去に関する。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００２】
（本発明の詳細な説明）
硫酸で半導体ウェーハを洗浄（ｃｌｅａｎｉｎｇ）すると、当該高密度コンデンサー上に存在するフッ化チタンノジュールが除去される。本発明の幾つかの態様は例証のための応用例に関連させて以下で説明する。本発明の充分な理解を提供するために、多くの具体的な詳細、関係および方法を説明することは理解されたい。しかしながら、関連する分野の当事者であれば本発明は一つ以上の具体的な詳細がなくても、または他の方法でも実施できることは容易に理解するであろう。他の例においては、本発明を不明瞭にすることを避けるために良く知られている構造或いは操作は示さない。
【０００３】
図に関して図１は、フッ化チタンノジュール４を有する高密度コンデンサー３を持つ半導体ウェーハ２の一部を示す。より詳しくは、ウェーハ部分２は半導体ウェーハの相互接続領域（ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ  ｒｅｇｉｏｎ）である。当該接点および一番目の層の金属相互接続部（ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｓ）４は銅のような伝導性材料からできている。当該相互接続絶縁材料６は接点および相互接続部５で起こる電気的活動を絶縁している誘電体である。例えば、相互接続絶縁材料６はポリシリコン・ガラス（“ＰＳＧ”）でよい。
【０００４】
当該高密度コンデンサー３には窒化チタン底面電極７、五酸化タンタル誘電体８および窒化チタン上面電極９が含まれている。フルオロカーボンプラズマエッチングまたはフルオロカーボン洗浄などの半導体ウェーハ製造工程は当該高密度コンデンサー３上へのフッ化チタンノジュール４の成長を生じる。これらのフッ化チタンノジュール４はコンデンサー漏電を起こす可能性があり、同様に次の製造工程で形成される当該上面電極９と当該金属接点または接触部（図示していない）との間における確実な接触を妨げる可能性がある。
【０００５】
再度図に関して図２は、当該高密度コンデンサー３から当該フッ化チタンノジュール４を除去する硫酸洗浄を行った後の同じウェーハ部分を示す。最善の方法の適用では、半導体ウェーハは、高密度コンデンサー類３を製造するのに典型的なアッシュ、ウエット洗浄およびドライ洗浄工程に続いて追加の洗浄工程を受ける。ドライ洗浄工程（ＣＦ4／Ｏ2側面洗浄の如き）の後に当該ウェーハは硫酸洗浄を受る。例えば、Ｍｅｒｃｕｒｙ噴霧処理装置（ＦＳＩ製）が５５℃で１０分間の硫酸にてウェーハを洗浄するのに用いることができる。しかし８５℃までの温度および４０分未満の時間であれば、当該洗浄を実施するのは本発明の範囲内である。当該硫酸洗浄の後、当該ウェーハは同じまたは異なる機械を用いて脱イオン水ですすぎ；その後に当該ウェーハは乾燥させる。
【０００６】
上記したように本発明に関する種々の変更は本請求発明の範囲内である。例えば、本発明は異なる相互接続誘電体および金属材料或いは形態を有する半導体ウェーハにも適用可能である。それに加えて、半導体ウェーハ上のいずれかに位置する窒化チタンまたは他のいかなるチタン含有表面につき硫酸洗浄を使用するのは本発明の範囲内である。更に、エッチングまたは洗浄後の残留物を洗浄するのにフッ素以外のハロゲン類を用いることができる。それらのハロゲン類は単独または組み合わせて用いることができるとともに、当該ハロゲン類はエッチングまたは洗浄工程に用いるより大きな分子の一部として存在してもよい。更に、本発明はＳｉ、ＢｉＣＭＯＳ、バイポーラ（ｂｉｐｏｌａｒ）、ＳＯＩ、歪シリコン（ｓｔｒａｉｎｅｄ  ｓｉｌｉｃｏｎ）、微小電気機械システム（“ＭＥＭＳ”）またはＳｉＧｅのような多くの半導体技術分野に応用可能である。
【０００７】
本発明の種々な実施形態を上記したが、それらは方法の例を示したものにすぎなくて、制限を加えるために示したものではないことを理解されたい。当該開示した実施形態への多くの変更は本発明の目的または範囲から逸脱することなしに本明細書での開示のとおりに実施できる。それ故、本発明の範囲および目的は上記した実施態様のいずれにも制限されるものではない。むしろ本発明の目的は以下の請求項およびそれらと同等物のとおりに規定されるべきものである。
【０００８】
以上の説明に関して更に以下の項を開示する。
（１）硫酸で半導体ウェーハ類を洗浄することを包含する、半導体ウェーハ上の高密度コンデンサー類の洗浄方法。
（２）前記洗浄工程は、前記半導体ウェーハの窒化チタンエッチングに引き続いて行われる、第１項記載の方法。
（３）前記洗浄工程は、前記半導体ウェーハのフッ化炭素プラスマ洗浄に引き続いて行われる、第１項記載の方法。
（４）前記洗浄工程は噴霧処理装置により８５℃未満の温度および４０分未満の時間で実施される、第１項の方法。
（５）前記洗浄工程に続いて前記半導体ウェーハの脱イオン水でのすすぎを実施する工程を更に含む、第１項の方法。
（６）前記脱イオン水でのすすぎに続いて、前記半導体ウェーハを乾燥する工程を更に含む、第５項の方法。
（７）本発明の実施形態は、半導体ウェーハ上の高密度コンデンサー類３を硫酸で洗浄する方法である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１はフッ化チタンノジュールがある高密度コンデンサーを有する半導体ウェーハの一部を示す。
【図２】図２は硫酸洗浄工程後の高密度コンデンサーを有する半導体ウェーハの一部を示す。
【図１】
2004200687.tif 000003
【図２】
2004200687.tif 000004
(57)【要約】      （修正有）【課題】従来の避雷器は、放電ギャップを有するパイロットストリーマ方式であり、このためマイナス電極から、プラス電極へ、ストリーマが伸びて通電路が出来るまでに、長時間を要していた。【解決手段】本発明のジャンクションストリーマ避雷器は、プラス、マイナス両電極間は、高絶縁性の半導体、即ち酸化アルミニューム粉末、または、高絶縁性の酸化モリブデン粉末による、ジャンクションストリーマという橋が常時架設されており雷を速やかに大地へ逃がすことを可能とした点を特長とする避雷器である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
避雷器の放電電極において、モリブデンとモリブデンを使用、モリブデンとアルミニュームを使用。アルミニュームとアルミニュームを使用。
それぞれ相対する金属間の隙き間にジャンクションストリーマを形成し避雷速度を向上させた点を特徴とするジャンクションストリーマ避雷器
【請求項２】
【請求項３】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】従来の放電ギャップ式避雷器は、パイロトストリーマ方式のものでありました。即ち、プラス電極とマイナス電極との間は単なる空間であり、このため、雷電圧を迎えた際におきましてはマイナス側からプラス側に向って、パイロットストリーマが伸びて橋をかけるまでに長時間を要するという欠点が、ありました。
【０００２】
【従来の技術】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、この欠点を改良しようとするものであります。
即わち、プラス電極とマイナス電極との相対する透き間に高絶縁性の半導体、具体的には、酸化アルミニューム粉末、または酸化モリブデン粉末を充填致します。亦、充填の代りに、それぞれの金属表面に酸化被膜を造って置き、双方の接触点にジヤンクションストリーマ即ち高絶縁性の半導体を常備しておきます。
このように致しますと電力会社からの電流は大地へ逃がさず雷のみ大地へ逃がす、いわゆる弁作用を作ります。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
【発明の実施の形態】
2004200625.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月18日(2003.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】避雷器の放電電極において、モリブデンとモリブデンを使用、モリブデンとアルミニウムを使用、アルミニウムとアルミニウムを使用、それぞれ相対する金属間の隙き間にジャンクションストリーマを形成し避雷速度を上向させた点を特徴とするジャンクションストリーマ避雷器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】従来の放電ギャップ式避雷器は、パイロットストリーマ方式のものでありました。
【０００２】
【従来の技術】プラス電極とマイナス電極との間は単なる空間であり、このため、雷電圧を迎えた際におきましてはマイナス側からプラス側に向って、パイロットストリーマが伸びて橋をかけるまでに長時間を要するという欠点がありました。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、この欠点を改良しようとするものであります。
【０００４】
【課題を解決するための手段】避雷器の放電電極において、モリブデンとモリブデンを使用、モリブデンとアルミニウムを使用、アルミニウムとアルミニウムを使用、それぞれ相対する金属間の隙き間にジャンクションストリーマを形成し避雷速度を上向させた点を特徴とするジャンクションストリーマ避雷器。
【０００５】
【発明の実施の形態】プラス電極とマイナス電極との相対する透き間に高絶縁性の半導体、具体的には、酸化アルミニウム粉末、または、酸化モリブデン粉末を充填致します。又、充填の代わりに、それぞれの金属表面に酸化被膜を造って置き、双方の接触点にジャンクションストリーマ即ち高絶縁性の半導体を常備しておきます。
このように致しますと電力会社からの電流は大地へ逃がさず雷のみ大地へ逃がす、いわゆる弁作用を造ります。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る構成説明図


【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】追加
【補正の内容】
【図１】
2004200625.tif 000003
(57)【要約】【目的】専用机を使わず語学用録音再生装置の設置を可能とし、個々の学生が使いやすい位置に装置を移動させ操作を容易に行わせる、また修理時１本の集合ケーブルを解除するだけで故障が多発する本体部を迅速に分離し、修理後も迅速に再接続を完了させる事を目的とした。【構成】語学演習で使用される語学用録音再生装置において、装置本体部と、外部より接続される各種ケーブルを一括して収容する接続部に分離し、前述の両部間を１本の集合ケーブルで接続する構造を持つ。【選択図】            図２
2004200624.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
語学演習で使用される語学用録音再生装置において、装置本体部と、外部より接続される各種ケーブルを一括して収容する接続部に分離し、前述の両部間を１本の集合ケーブルで接続する構造を特徴とした語学用録音再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、語学用録音再生装置を机に設置する語学演習教室等における録音再生装置の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
語学演習教室で使用される従来の録音再生装置は装置本体に電源ケーブル、信号ケーブル、マイク付きヘッドフォンケーブルが直接接続される構造になっている。これらケーブルは学生のいたずら防止、及び機器の安定動作を維持する観点から、ケーブルの存在が外部から認識出来ず、容易に挿抜出来ない場所に設置する必要がある。よって学生用机に装置を設置する場合、予め机天板部に装置のサイズに合わせた透孔が穿孔された専用机を用意し、装置を落とし込み設置後、上記３種類のケーブルを机下部より装置に接続する構造となっている。
図１（ａ）に従来型の録音再生装置の側面図、（ｂ）に専用机の平面図を示す、（ｃ）は装置を専用机に取り付けた際の側断面図である。
従来の語学用録音再生装置及び専用机には以下の様な例がある。
【非特許文献１】ソニー株式会社／ソニーマーケティング株式会社「業務用／教育用機器  総合カタログ１９９９」、２６８ページから２７６ページ
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の語学用録音再生装置を設置する場合、設置する机には天板部に装置が落とし込み設置できる透孔が穿孔された専用机が必要であった。この処置は装置の位置を一義的に固定し、各学生が使いやすい位置へ装置を移動させたいと言う要求を阻害していた。また装置が修理を必要とする場合接続されている全てのケーブルを解除し、修理後全てのケーブルを再接続する必要もあった。また外部より接続されるケーブルの位置が装置に直接接続する構造であるため点検修理の際作業上非常に不利な位置である場合もあった。
【０００４】
本発明は、上述のごとき事情に鑑みてなされたもので、通常の机を使い語学用録音再生装置の設置を可能とし、個々の学生が使いやすい位置に装置を移動させ操作を行う事を容易にした。また修理時１本の集合ケーブルを解除するだけで故障が多発する本体部を迅速に分離し、修理後も迅速に再接続を完了させる事を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために、本発明は語学用録音再生装置を本体部と、ケーブルが接続される接続部に分離し、その間を１本の集合ケーブルで接続し設置できるよう構成されている。
【０００６】
接続部にはコネクター以外の能動部品、受動部品が収容される事もある。
【０００７】
【作用】
本装置における接続部は、机天板裏側もしくは外部より見えない位置に設置し、外部より接続されるケーブルを収容する、これによりいたずらを防止し、接続部の安定を確保する、本体部は１本の集合ケーブルによって接続部と結合される、本体部の集合ケーブル接続個所は外部より挿抜出来ない構造を有し、同ケーブルの接続部への接続個所は容易に挿抜出来る構造を有するものとする。本体部は１本の集合ケーブルのみ接続されているので自由に机上面を移動する事ができる。接続部は独立しているので自由な場所に設置出来、点検修理が容易な位置に配置する事も可能となった。
【０００８】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を、図２を参考にして説明する、図２（ａ）は本発明の語学用録音再生装置にケーブルが接続された状態の側面図であり、（ｂ）はその装置を通常の机に設置した際の側断面図である。
【０００９】
図２（ａ）図において本体部は自由に机天板上を移動できる状態を想定しているが、装置の転落などを配慮する場合は固定される事もある。
【００１０】
図２（ｂ）図は通常机に接続部１４を机１２の天板裏面に固定した図であるが、この接続部１４は机の他の部位に設置される場合もある、この場合ケーブルの接続部が容易に学生に認識されない事を考慮して配置される
【００１１】
接続部１４には電源ケーブル１５、信号ケーブル１６、マイク付ヘッドフォンケーブル１７が外部より接続され、集合ケーブル１８が本体部１３と接続されている、これらケーブルは用途および機種により接続されるケーブルの種類、本数が異なる事もある。
【００１２】
集合ケーブル１８と本体部１３の接続部は容易に挿抜を行えない構造を有するものとする、集合ケーブルは机本体に一部は固定されるが、本体部１３を固定しない場合机天板上を自由に移動出来る範囲で固定する。
【００１３】
集合ケーブル１８は図２（ｂ）では通常机１２の端を迂回し接続されているが、机天板部、又は側板部に集合ケーブル用透孔を穿孔し、これを介し引き込まれる場合もある。
【００１４】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明の語学用録音再生装置は、設置において専用机を使う事無く簡単に設置工事が行え、使用する学生も楽な姿勢で本装置を操作できる。また故障が多発する本体部を１本の集合ケーブルを解除するだけで速やかに切り離し出来、点検修理を容易にする格別の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、従来型ＬＬ録音再生装置のケーブル装着時側面図であり、（ｂ）は専用机の平面図、（ｃ）は専用机に設置した際の断面部拡大図である。
【図２】（ａ）は、本発明のケーブル装着時側面図であり、（ｂ）は本装置を通常机に設置した際の側断拡大面図である。
【符号の説明】
１０  専用机
１１  従来型語学用録音再生装置
１２  通常机
１３  本発明本体部
１４  本発明接続部
１５  電源ケーブル
１６  信号ケーブル
１７  マイク付きヘッドフォンケーブル
１８  集合ケーブル
１９  落とし込み用透孔
【図１】
2004200624.tif 000003
【図２】
2004200624.tif 000004
(57)【要約】【課題】従来のプラズマディスプレイパネル用排気管において、フランジ部１、フレアー部２は共に円形であるため、フランジ部１をクリップ等の押さえ部材６で固定しても自由に回転しまう。【解決手段】突起部５はフランジ部１の一部に配設されており、突起部５以外の部分をクリップ等の押さえ部材６で挟みパネルと固定する。フランジ部１、フレアー部２は共に円形であるため、フランジ部１を押さえ部材６で固定しても自由に回転することができる。本発明では、突起部５が障害となり排気管が自由に回転できなくなるため、排気管の位置ずれを防止する効果がある。【選択図】      図１
2004200116.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｌ型に曲げられた排気管の端部に設けられた、フランジ部に押さえ部材で固定するための突起部を設けることを特徴としたプラズマディスプレイパネル用の排気管。
【請求項２】
Ｌ型に曲げられた排気管の端部に設けられた、フレアー部に押さえ部材で固定するための突起部を設けることを特徴としたプラズマディスプレイパネル用の排気管。
【請求項３】
排気管の短尺部の端部にフレアー部とフランジ部が形成され、前記フランジ部に押さえ部材で固定するための突起部が設けられたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用の排気管。
【請求項４】
排気管の短尺部の端部にフレアー部フランジ部が形成され、フレアー部に押さえ部材で固定するための突起部が設けられたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用の排気管。
【請求項５】
前記突起部はフレアー部またはフランジ部の両側に設置されたことを特徴とする請求項１乃至４記載のプラズマディスプレイパネル用の排気管。
【請求項６】
前記突起部５を素材ガラス、低融点ガラス、結晶化ガラスを溶融させて形成、あるいは無機系接着剤で形成したことを特徴とする請求項１乃至５記載の排気管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレイパネル用排気管に関し、特に取り付け時の回転を防止する構造をもったプラズマディスプレイパネル用排気管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２に、従来の排気管の構成を示す。排気管の短尺部４の端部にフレアー部２フランジ部１が形成されている。フレアー部２はフランジ部１と短尺部４とを高い強度をもって接続するために設けられている。フランジ部１はプラズマディスプレイパネル（以降パネルと略す）と排気管を組み合わせる際、クリップ等で押さえる目的と、パネルとの接着面に低融点ガラス等（図示せず）を配設するために設けられている。このような技術として特開平１０−３０２６１９号公報の従来技術があげられる。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−３０２６１９号公報（第２−３頁、図７）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のプラズマディスプレイパネル用排気管においては、フランジ部１、フレアー部２は共に円形であるため、フランジ部１をクリップ等の押さえ部材６で固定しても自由に回転することができる。そのため、回転を防止するために、長尺部３をパネルに固定された治具等（図示せず）で支える必要があり、治工具の費用、取り付けの工数が増大する不具合がある。
【０００５】
したがって、本発明の目的は、プラズマディスプレイパネル用の排気管において、Ｌ型に曲げられた排気管の端部に設けられた、フランジ部もしくはフレアー部に突起部を設けることにより、回転止めの治具等を用いること無く、排気管押さえのクリップのみで回転を止めることができる点にある。
【０００６】
図１に、本発明による排気管の構成を示す。
排気管の短尺部４の端部にフレアー部２フランジ部１が形成されている。前記フランジ部１もしくはフレアー部２に突起部５が設けられたことを特徴とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマディスプレイパネル用の排気管は、Ｌ型に曲げられた排気管の端部に設けられた、フランジ部またはフレアー部に押さえ部材で固定するための突起部を設けることを特徴とする。また、排気管の短尺部の端部にフレアー部フランジ部が形成され、前記フランジ部またはフレアー部に押さえ部材で固定するための突起部が設けられたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施形態の構成を示す概略図である。図１に示されるように、本発明による排気管の構成を示す。排気管の短尺部４の端部にフレアー部２フランジ部１が形成されている。前記フランジ部１もしくはフレアー部２に突起部５が設けられている。
【０００９】
フレアー部２はフランジ部１と短尺部４とを高い強度をもって接続するために設けられている。フランジ部１はプラズマディスプレイパネル（以降パネルと略す）と排気管を組み合わせる際、クリップ等で押さえる目的と、パネルとの接着面に低融点ガラス等（図示せず）を配設するために設けられている。突起部５はフランジ部１の一部または、フレアー部に配設されており、突起部５以外の部分をクリップ等の押さえ部材６で挟みパネルと固定する。また、前記突起はフランジ部の両側，またはフレアー部の両側に設置してより固定性を増加することも可能である。前記突起部５を素材ガラスを溶融させて形成してもよいし、前記突起部５を低融点ガラス、結晶化ガラス、無機系接着剤で形成することが可能である。
【００１０】
フランジ部１、フレアー部２は共に円形であるため、フランジ部１を押さえ部材６で固定しても自由に回転することができる。本発明では、突起部５が障害となり排気管が自由に回転できなくなるため、排気管の位置ずれを防止する効果がある。
【００１１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、プラズマディスプレイパネル用の排気管において、Ｌ型に曲げられた排気管の端部に設けられた、フランジ部もしくはフレアー部に突起部を設けることにより、回転止めの治具等を用いること無く、排気管押さえのクリップのみで回転を止めることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の構成を示す概略図である。
【図２】従来例の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
１    フランジ部
２    フレアー部
３    排気管の長尺部
４    排気管の短尺部
５    突起部
６    押さえ部材
【図１】
2004200116.tif 000003
【図２】
2004200116.tif 000004
(57)【要約】      （修正有）【課題】薄厚ウエハを損傷せずにウエハカセットから移送する方法を提供する。【解決手段】上下に伸縮するロボット本体５はロボットアーム７の光学センサ８によりウエハカセット２のウエハ１’の収納棚の位置と収納棚の中央地点のウエハ１’の垂れの位置を読取ってウエハ１’の収納時の形状（垂れによる湾曲状態）を算出し、ウエハ１’の挟持位置を求める。ロボット本体５は、上記で求めた挟持位置を基にロボットハンド６によりウエハカセット２の下段からウエハ１’を取出していく。【選択図】  図３
2004200214.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハカセットに収納されているウエハの収納形状を検出し、ロボットハンドによるウエハの取出し支持位置を算出することを特徴とする薄厚ウエハの搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄厚ウエハをウエハカセットから移送するための搬送方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ウエハにマーキングする場合、図１に示すように、ウエハカセット２に収納されたウエハ１を搬送用のロボット本体３がロボットハンド４でウエハ１の前後縁を挟持して順次ウエハカセット２から取出してマーキング位置へ移送している。この場合、ウエハ１はウエハカセット２に両側のみ支持されて収納されており、図２の(ａ)に示すように通常の６００μｍの厚さのウエハの場合は、ウエハは垂れることがないので、各ウエハをロボット４が挟持する位置Ｐ１〜Ｐ２５は、各ウエハの収納位置と同等に等間隔に納まっている。従ってウエハカセット２に格納されたウエハを搬送する際にはロボットハンド４はあらかじめ決められたウエハカセット２の収納棚の位置情報を取得すればよかった。
【０００３】
ところが、１００〜３００μｍ厚の薄厚ウエハ１’をウエハカセット２から取出し搬送する場合は、図２の(ｂ)に示すようにウエハは中心部が垂れてしまうので、各ウエハの垂れの位置はＱ１〜Ｑ２５に示すように等間隔でなく、ウエハカセット２の収納棚の位置（Ｐ１〜Ｐ２５）と相違するため、収納棚の位置情報のみではウエハがロボットハンドと接触してウエハを損傷させるか取出せないという問題があった。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１９５９３６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、薄厚ウエハを損傷せずにウエハカセットから移送する方法を提供することを課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ウエハカセットに収納されているウエハの収納形状を検出し、ロボットハンドによるウエハの取出し支持位置を算出することを特徴とする薄厚ウエハの移送方法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図３は、本発明の実施例を示す斜視図である。５は搬送用ロボットの本体、６は薄厚ウエハ１’を６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ４点で挟持するロボットハンド、７は先端に光学センサ８を設けたロボットアームである。
【０００８】
上記実施例の動作について説明すると、先ず本体５はロボットアーム７の光学センサ８によりウエハカセット２におけるウエハの収納棚の位置を読み取り、次に収納棚の中央位置のウエハの垂れの位置（状態）を読取ることによりウエハ１’の収納時の形状（垂れによる湾曲状態）を算出し、ウエハ１’の挟持位置を求める。その算出結果に基づき本体５は上下に昇降して、上記で求めた挟持位置をロボットハンド６が挟持してウエハカセット２の下段からウエハ１’を取出していく。
【０００９】
ウエハの把持位置は、図４に例示した模式図と下記の（１）式から求めることができる。
【００１０】
【数１】
2004200214.tif 000003
【００１１】
すなわち、先ずウエハ厚ｈを求める。その値はウエハのヤング率Ｅ、単位面積当りの重量ｐ、ポアソン比νはウエハの材質から決まる定数であり、求める変数のウエハ厚ｈは、ｒ＝０のとき、つまり収納棚の中央の地点のウエハの垂れの位置と収納棚の位置の差から求められる。そして、その演算値と他の常数から（１）式によりロボットハンド６と接触しないウエハの把持位置（図中の収納棚の中央地点からｒの距離で、収納棚からのｗだけ下った位置）を求めることができる。
【００１２】
上記の方法ではウエハの収納形状を収納棚の位置と収納棚の中央地点のウエハの位置により算出していたが、光学スキャンによりウエハの収納形状を画像処理して求めてよいことは勿論である。
【００１３】
また、中央の地点のウエハの垂れの位置を検出することにより吸盤による吸着により支持するロボットハンドにも適用することができる。
【００１４】
【発明の効果】
以上により、本発明によれば、薄厚ウエハのウエハカセットの収納時の形状を取得することにより、ウエハを損傷させることなく確実に移送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の実施例を示す斜視図。
【図２】ウエハのウエハカセットの収納状態を示すもので（ａ）は通常の厚さのウエハの場合の概略図、（ｂ）は薄厚ウエハの場合の概略図。
【図３】本発明の一実施例を示す斜視図。
【図４】ウエハの垂れ位置算出のための模式図。
【符号の説明】
１      ウエハ
１’    薄厚ウエハ
２      ウエハカセット
３，５      本体
４，６      ロボットハンド
７      ロボットアーム
【図１】
2004200214.tif 000004
【図２】
2004200214.tif 000005
【図３】
2004200214.tif 000006
【図４】
2004200214.tif 000007
(57)【要約】【課題】薄厚ウエハの搬送時の垂れによる接触を防止する薄厚ウエハ搬送用ロボットハンドを提供することを課題とするものである。【解決手段】ロボットハンドの本体１に制御装置によって制御される円盤５が正逆転すると、Ｙリンク４，４を介して摺動溝３，３に案内されてＹ軸方向に同時に内方又は外方に移動する摺動部２，２を設け、各摺動部２，２にはそれぞれウエハＡを挟持する挟持部６，６，７，７を設ける。挟持部７，７は制御装置によって制御される円盤９が回動すると、Ｘリンク８を介して摺動部２，２上をＸ軸方向に移動するように構成する。ロボットハンドの本体１にコンプレッサー（図示せず）に接続されたエアー管１１を介してエアーを噴出させる噴出孔１０を設け、噴出するエアーで挟持されたウエハＡを略水平になるように押上げて、ウエハＡの垂れによる本体１との接触を防止する。【選択図】  図１
2004200215.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットハンド本体にウエハの周縁を挟持する複数の移動自在な挟持部を設け、且つウエハの下部にエアーを噴出するエアー放出装置を設けたことを特徴とする薄厚ウエハ搬送用ロボットハンド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄厚ウエハを搬送する搬送用ロボットのロボットハンドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、厚みが６００μｍ以上のウエハを搬送用ロボットハンドを使用して搬送していたが、近年厚みが１００〜３００μｍの薄厚ウエハが使用されるようになり、ウエハの搬送時にウエハに垂れが生じ、ウエハの底部が搬送用のロボットハンドに接触してパーティクルやウエハ上のバンプの破損等の問題が発生していた。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−１９５９３６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、薄厚ウエハの搬送時の垂れによる接触を防止する薄厚ウエハ搬送用ロボットハンドを提供することを課題とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、ロボットハンドの本体にウエハの周縁を挟持する複数の移動自在な挟持部を設け、且つウエハの下部にエアーを噴出するエアー放出装置を設けた薄厚ウエハ用搬送用ロボットハンドである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例の平面図、図２はその一部截断側面図を示し、１はロボットハンドの本体、２，２は制御装置によって制御される円盤５が正逆転するとＹリンク４，４を介して、摺動溝３，３に案内され、Ｙ軸方向に同時に内方又は外方に移動する摺動部で、それぞれウエハＡを挟持する挟持部６，６、７，７が設けられている。そして、前記挟持部７，７は制御装置によって制御される円盤９が回動すると、Ｘリンク８を介して摺動部２，２上をＸ軸方向に移動するように構成されている。
【０００７】
１０はエアー噴出孔、１１はエアー管で、コンプレッサー（図示せず）に接続されており、コンプレッサーから送られたエアーはエアー管１１を通じて噴出孔１０から噴出し、挟持されたウエハＡを略水平になるように押上げてウエハの垂れによる本体１との接触を防止する。尚本体１上面にはテフロン（登録商標）テープ等を貼付して、ウエハＡと本体１が万一接触した時、パーティクルやバンブの破損を防ぐようにしてある。
【０００８】
【発明の効果】
以上本発明によれば、薄厚ウエハの下部に噴出孔からエアーを噴出させ、それによりウエハＡとロボットハンドとの接触を防止するようにしたので、ウエハＡの破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の平面図。
【図２】本発明の一実施例の一部截断側面図。
【符号の説明】
１    本体
２    摺動部
３    摺動溝
４    Ｙリンク
５，９    円盤
６，７    把持部
８    Ｘリンク
１０    エアー噴出孔
１１    エアー管
Ａ    ウエハ
【図１】
2004200215.tif 000003
【図２】
2004200215.tif 000004