(57)【要約】【課題】撮像素子を冷却したときに、簡単な機構により光透過板の表面に結露が発生するのを防止する。【解決手段】撮影条件検出手段８０が光透過板５０の外面５１の温度および湿度を検出して冷却制御手段７０に送る。冷却制御手段７０は、検出された湿度および温度が結露の発生条件を満たしているときには、冷却部６０の冷却効果を弱めて素子収容部４０および光透過板５０の温度を上げて、光透過板５０における結露の発生を防止する。【選択図】          図３
2004200768.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部を形成した素子収容部と、
該素子収容部の凹部に収容された被写体を撮像する撮像素子と、
前記素子収容部の前記凹部の開口に固定された、前記被写体の光を透過する光透過板と、
前記撮像素子の駆動により温度が上昇した前記素子収容部の熱を放出する冷却部と、
前記光透過板の外面付近の外気の温度と湿度とを検出する撮影条件検出手段と、
前記撮影条件検出手段により検出された前記温度および湿度に基づいて、前記光透過板に結露が発生するのを防止するように前記冷却部を制御する冷却制御手段と
を備えたことを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記撮影条件検出手段が前記光透過板の外面に光を照射してその反射光を検出する光検出手段を有し、前記冷却制御手段が前記光検出手段により検出された射出された光の光量および反射光の光量に基づいて前記冷却部の動作を制御する機能を有するものであることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
凹部を形成した素子収容部と、
該素子収容部の凹部に収容された被写体を撮像する撮像素子と、
前記素子収容部の前記凹部の開口に固定された、前記被写体の光を透過する光透過板と、
前記撮像素子の駆動により加熱した前記素子収容部の熱を放出する冷却部と、
前記光透過板の外面に光を照射してその反射光を検出する光検出手段と、
該光検出手段により射出された光の光量および反射光の光量に基づいて前記光透過板に結露が発生するのを防止するように前記冷却部を制御する冷却制御手段と
を備えたことを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＣＣＤを用いた生化学解析システムや天体望遠鏡等の撮像装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば生化学解析システムや天体望遠鏡等のように微弱光の被写体をＣＣＤにより撮影するときに、ＣＣＤを冷却して発生する熱による暗電流の低減する冷却ＣＣＤが用いられる。冷却ＣＣＤを用いた撮像装置は、素子収容部の凹部にＣＣＤとＣＣＤに取り付けたペルチェ素子とが収容された構造を有し、凹部の開口にガラスやレンズ等の光透過板が取り付けられている。
【０００３】
ここで、光透過板に結露が発生して得られた画像にボケ等が発生するのを防止するために、ＣＣＤから発生した熱を熱伝導板を用いてレンズ側に伝導して、レンズの温度を高くすることが提案されている（特許文献１参照）。あるいは、光透過板の周辺にヒータを配置して、光透過板およびその付近の大気を温めることにより、光透過板の外面に結露が発生するのを防止する撮像装置が提案されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−９２０８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１においてＣＣＤから発生した熱は外部に放出しなければ、素子収容部に熱がこもってしまいＣＣＤの冷却効率が悪くなってしまう。したがって、素子収容部をファンや水冷等により冷却してＣＣＤの冷却効率の向上を図るが、素子収容部の温度が下がるとレンズの温度も下がることになり、結露が発生しやすくなってしまうという問題がある。
【０００６】
また、生化学分野の二次元画像撮影に用いる通常のサンプルは、ゲル等の水平載置するものが多く、この場合には撮像装置が下向きに撮影を行うことになる。すなわち、撮像素子の下にガラスがあり、ガラスの下に被写体が配置されるようになる。このため、ＣＣＤを冷却する冷却部により冷却したときに、チャンバー内の空気が対流してガラスをチャンバー内側から冷やすことになり、ガラスの温度が低下してしまい、外気の温度が高い場合にはガラスの外側に結露が発生してしまうという問題がある。
【０００７】
ここで、ＣＣＤを冷却したときにガラスの温度低下による結露を防止する方法として、ガラスをＣＣＤから遠ざける方法やガラスの厚さを厚くする方法が考えられる。しかし、レンズとＣＣＤの距離は光学性能上において重要な要素であり、距離が短いほど要求性能を実現しやすく、ＣＣＤとガラスとの距離は近づける方が好ましい。
【０００８】
また、光透過板の外面付近にヒータを設けて結露が発生を防止する方法の場合には、ヒータを設けるとともにその温度制御を行う必要があり、撮像装置の機構が複雑になってしまうという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は、簡単な機構により光透過板の表面に結露が発生するのを防止することができる撮像装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の撮像装置は、凹部を形成した素子収容部と、該素子収容部の凹部に収容された被写体を撮像する撮像素子と、前記素子収容部の前記凹部の開口に固定された、前記被写体の光を透過する光透過板と、前記撮像素子の駆動により温度が上昇した前記素子収容部の熱を放出する冷却部と、前記光透過板の外面付近の外気の温度と湿度とを検出する撮影条件検出手段と、前記撮影条件検出手段により検出された前記温度および湿度に基づいて、前記光透過板に結露が発生するのを防止するように前記冷却部を制御する冷却制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
ここで、「光透過板」は、被写体の光を透過するものであればよく、たとえば略平坦な板やレンズ等が挙げられる。
【００１２】
なお、「撮影条件検出手段」が光透過板の外面に光を照射してその反射光を検出する光検出手段を有するものであってもよい。このとき、「冷却制御手段」は光検出手段により検出された射出された光の光量および反射光の光量に基づいて冷却部の動作を制御する機能をさらに有するものであってもよい。
【００１３】
本発明の撮像装置は、凹部を形成した素子収容部と、該素子収容部の凹部に収容された被写体を撮像する撮像素子と、前記素子収容部の前記凹部の開口に固定された、前記被写体の光を透過する光透過板と、前記撮像素子の駆動により加熱した前記素子収容部の熱を放出する冷却部と、前記光透過板の外面に光を照射してその反射光を検出する光検出手段と、該光検出手段により射出された光の光量および反射光の光量に基づいて前記光透過板に結露が発生するのを防止するように前記冷却部を制御する冷却制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の効果】
本発明の撮像装置によれば、撮影条件検出手段が検出した光透過板の外面付近の大気の温度と湿度に基づいて冷却制御手段が結露の発生を防止するように冷却部を制御することにより、素子収容部から光透過板への伝熱量を大きくして光透過板の温度を適宜上昇させることができるため、光透過板の表面に結露が発生するのを未然に防止して画質の劣化を防止することができる。
【００１５】
また、光透過板の温度制御を素子収容部を冷却する冷却部により行うため、光透過板を加熱するためのヒータ等が不要となり、撮像装置の構成を簡略化することができる。
【００１６】
なお、撮影条件検出手段が光透過板の外面に光を照射してその反射光を検出する光検出手段を有するようにすれば、冷却制御手段が温度および湿度のみならず実際に結露が発生しているか否かを検出することができるため、温度および湿度により結露の発生を未然に防止するとともに、実際に結露が発生したときにも冷却部の動作を制御して結露を除去することができる。
【００１７】
また、本発明の撮像装置によれば、光検出手段が光透過板の外面に射出した光量とその反射光の光量とに応じて結露の発生を検出して冷却部の動作を制御することにより、素子収容部から伝導した熱により光透過板の温度を高くすることができるため、結露の発生による画質の劣化を防止することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の撮像装置を用いた撮像システムの一例を示す斜視図である。図１の撮像システム１はたとえば蛍光物質を被写体として、被写体に励起光を照射することにより蛍光画像を表示する蛍光検出システムであって、撮像ユニット１０と画像処理装置１００を有する。撮像ユニット１０および画像処理装置１００は机上に配置されるものであって、撮像ユニット１０が被写体を撮像して、取得した被写体の画像情報を画像処理装置１００に送り、画像処理装置１００が画像情報を画像処理して表示部２０２により表示するようになっている。
【００１９】
図２は図１における撮像ユニットの一例を示す平面図であり、図１と図２を参照して撮像ユニット１０について説明する。撮像ユニット１０は、被写体を配置する暗箱２０と被写体を撮影する撮像装置３０とを備えている。暗箱２０は内部に被写体を収容する中空部２１を有し、被写体を中空部２１内に収容するための蓋２２が開閉可能に取り付けられている。そして、ユーザーは蓋２２を開けて暗箱２０内に被写体を収容し蓋２２を閉めると、中空部２１内に外光が入らないようになる。暗箱２０内には被写体に励起光を照射する励起光照射部２２が配置されており、撮像装置３０が励起光の照射により発光する被写体を撮像するようになっている。
【００２０】
図３は本発明の撮像装置３０の好ましい実施の形態を示す模式図である。図３の撮像装置３０は、ＣＣＤからなる撮像素子３１を収容した素子収容部（チャンバー）４０と、素子収容部４０を冷却する冷却部６０と、冷却部６０の動作を制御する冷却制御手段７０とを有する。素子収容部４０は暗箱２０の上面２０ａに固定されたベース２５上に固定部材２４を用いて固定されている。この固定部材２４は好ましくは熱伝導率の高い材料からなっており、素子収容部４０に生じた熱をベース２５側に伝導するようになっている。
【００２１】
冷却部６０は素子収容部４０の上部に取り付けられたヒートシンク６１とヒートシンク６１の熱を外部に放出するファン６２からなっている。そして、ファンが６２が回転することにより、ヒートシンク６１の熱が外部に放出されて素子収容部４０が冷却されるようになっている。このファン６２の回転速度は冷却制御手段７０により制御されている。
【００２２】
図４は素子収容部４０の周辺部位を示す模式図である。図４の素子収容部４０内にはＣＣＤからなる撮像素子３１を収容するための凹部４１が形成されており、凹部４１の開口４０ａにガラス等からなる光透過板５０が固定されている。また、撮像素子３１は、被写体の光を受光できるように開口４０ａ上に設けられている。
【００２３】
ここで、図５に示すように、光透過板５０の下側が素子収容部４０から上向き（矢印Ｚ１方向）の圧力が加えられており、上側がＸリングを介して素子収容部４０に押圧されている。また、素子収容部４０の凹部４１内は窒素封入等により真空に保たれている。このように、光透過板５０が素子収容部４０により保持されることにより素子収容部４０の熱が光透過板５０に伝導するため、素子収容部４０が加熱されると光透過板５０の温度が高くなり、素子収容部４０が冷却されると光透過板５０の温度が低くなる。
【００２４】
また、図４の撮像素子３１はペルチェ素子３２の一面側に取り付けられており、ペルチェ素子３２の他面側には冷却板３３を介して素子収容部４０に取り付けられている。そして、ペルチェ素子３２は一面側の撮像素子３１を冷却して他面側の冷却板３３から熱を放出するようになっている。よって、ペルチェ素子３２から放出された熱は冷却板３３を介して素子収容部４０に放出される。このように、撮像素子３１をペルチェ素子３２により冷却することにより、撮像素子３１により得られた画像に暗電流によるノイズの発生を抑制することができる。
【００２５】
なお、撮像素子３１から得られた画像を取得しもしくはペルチェ素子３２を駆動するために、撮像素子３１およびペルチェ素子３２にはプリント配線板３４が接続されている。このプリント配線板３４は図６に示すようにＸリングにより挟持されて凹部４１内の気密封止するようになっている。
【００２６】
上述したように、図４に示す撮像素子３１を駆動して画像を取得するときに、撮像素子３１およびペルチェ素子３２により発生した熱を素子収容部４０および光透過板５０に伝導させて、光透過板５０の外面５１において結露が発生するのを防止している。同時に、撮像素子３１における熱による暗電流の発生を抑制するために冷却部６０が素子収容部４０を冷却して撮像素子３１を冷却するようにしている。
【００２７】
しかし、素子収容部４０を冷却することは光透過板５０を冷却することを意味し、光透過板５０が冷却されると光透過板５０の外面５１に結露が発生しやすくなってしまう。そこで、光透過板５０の外面５１付近に温度センサと湿度センサからなる撮影条件検出手段８０を取り付けて、冷却制御手段７０は撮影条件検出手段８０により検出された温度および湿度により冷却部６０の動作を制御するようになっている。
【００２８】
具体的には、冷却制御手段７０は、光透過板５０に結露が発生するもしくは発生しそうな条件を記憶したルックアップテーブル７１を有し、ルックアップテーブル７１と検出された温度および湿度とを比較して、結露が発生する条件にあるか否かを判断する。なお、撮像装置３０においてファン６２の回転速度と凹部４１内の温度は一定の関係を有しているため、冷却制御手段７０は検出された温度および湿度に加え、ファン６２の回転数（凹部４１内の温度）も加味して結露が発生する状態にあるかを判断してもよい。
【００２９】
そして、冷却制御手段７０は、検出された温度および湿度が結露の発生条件になったときには、ファン６２の回転速度を落として冷却部６０の冷却効果を弱めるように制御する。すると、素子収容部４０の温度が上昇するとともに光透過板５０の温度も上昇する。よって、光透過板５０の外面５１における結露の発生を防止することができる。
【００３０】
このように、冷却部６０の動作を制御して素子収容部４０および光透過板５０の温度を制御して光透過板５０の外面５１に結露が発生するのを未然に防止することにより、ボケ等の画質の劣化を防止することができる。また、従来のように結露の発生を防止するために、光透過板５０付近にヒータ等の加熱手段を設ける必要がなくなり、撮像装置の構成を簡略化しながら結露の発生を防止することができる。
【００３１】
図７は本発明の撮像装置の別の実施の形態を示す模式図であり、図７を参照して撮像装置１３０について説明する。なお、図７の撮像装置１３０において図１の撮像ユニット１０と同一の構成を有する部位には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００３２】
図７の撮像装置１３０は、光透過板５０に光を射出する発光ダイオード等とその反射光を検出するフォトダイオード等とからなる光検出手段１８０が取り付けられている。そして、光透過板５０の外面５１に結露が発生した場合、光検出手段１８０により射出された光は乱反射するため、反射光の光量は少なくなる。一方、光透過板５０の外面５１に結露が発生していない場合、光検出手段１８０により射出された光は乱反射せずに反射光の光量は多くなる。
【００３３】
そこで、冷却制御手段１７０は、射出した光の光量（光強度）と反射光の光の光量を検出することにより、結露の状態を直接的に検出することができる。そして、冷却制御手段１７０は、結露が発生していると判断したときには、ファン６２の回転速度を落として素子収容部４０および光透過板５０の温度を上げるようにしている。これにより、結露が発生した場合には即座に光透過板５０の温度を上げて画質の劣化を防止することができる。
【００３４】
上記実施の形態によれば、撮影条件検出手段８０が検出した温度と湿度に基づいて冷却制御手段７０が結露の発生を防止するように冷却部６０の作用を弱めることにより、光透過板５０の表面に結露が発生するのを未然に防止して画質の劣化を防止することができる。
【００３５】
また、冷却制御手段１７０が射出した光量とその反射光の光量とに応じて結露の発生を検出して冷却部６０の動作を制御することにより、光透過板５０に実際に結露が発生しているときには冷却部６０の作用を弱めて光透過板５０の温度を上げて結露をなくすことができるため、結露の発生による画質の劣化を防止することができる。
【００３６】
本発明の実施の形態は、上記実施の形態に限定されない。たとえば、図３において、撮影条件検出手段８０は温度センサと湿度センサとからなっているが、図７に示す光検出手段をさらに有してもよい。すると、冷却制御手段７０は、温度および湿度により未然に結露の発生を防止するとともに、実際に結露が発生したときもファンの動作を制御して結露を除去することができるようになる。
【００３７】
また、上記各実施の形態において、冷却部６０としてファン６２が用いられているが、いわゆる水冷式により素子収容部４０を冷却するようにしてもよい。このとき冷却制御手段７０は、冷却水の流量を遅くしもしくは冷却水の温度を上げることにより素子収容部４０の温度を上げるようにする。
【００３８】
また、図４において、冷却制御手段７０は、撮影条件検出手段８０により検出した光透過板５０周辺の温度を用いて冷却部６０の動作を制御するようにしているが、環境温度（室温）を用いて冷却部の動作を制御するようにしてもよい。つまり、環境温度が低いときにはペルチェ素子３２からの発熱が少ない状態でも、撮像素子３１の設定温度に容易に到達してしまうため、ペルチェ素子３２から素子収容部４０へ伝導する熱が低くなり、光透過板５０の温度が低下して結露が生じやすくなってしまうという問題がある。
【００３９】
そこで、冷却制御手段８０が、環境温度（室温）が低いときには冷却部６０による冷却動作を弱めて素子収容部４０の温度を高くするように制御することで光透過板５０の温度を高くして撮像素子の冷却状態を保ったまま、素子収容部４０の温度および光透過板５０の温度を上昇させて結露の発生を抑制することができる。このとき、室温の温度を検知する温度センサを設けてもよいし、光透過板５０の外面付近に相対湿度と光透過板５０の温度を検知することにより、冷却制御手段７０が結露の発生条件に近いかどうかを判定するようにしてもよい。
【００４０】
さらに、図４において、ファン６２は、ヒートシンク６１に対して垂直方向に負圧を与えて冷却するようにしているが、図８に示すように、ヒートシンク６１に水平方向に正圧を与えて冷却するようにしてもよい。
【００４１】
ところで、上述した結露防止対策の他に以下に示す結露防止対策を施すことができる。なお、図９および図１０の撮像装置２３０において、図１から図４の撮像装置３０と同一の構成を有する部位には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
従来、光透過板５０の形状は、部品コストの観点から略円形状に形成されており、素子収容部４０の開口４０ａの形状は、素子収容部４０内の内部密封の容易性から図９（ａ）に示すような略円形状に形成されている。光透過板５０はその外周側において素子収容部４０に保持されているため、光透過板５０の外周側から素子収容部４０からの熱が伝導する。このとき、光透過板５０の熱伝導率は一般的な金属に比べて小さいため熱が伝わりにくく、光透過板５０の外周側と中心部との温度勾配は大きくなる。すると、光透過板５０の中心部ほど温度が低くなり、光透過板５０の中心部には結露が発生しやすくなってしまうという問題がある。特に、近年のＣＣＤの画素数向上による受光面積増加に応じて、光透過板５０の面積も必然的に大きくなるため、素子収容部４０の熱が光透過板５０の中心部まで伝わりにくくなっている傾向にある。
【００４３】
そこで、光透過板５０の各部位における温度勾配を小さくして結露の発生を防止すべく、図９（ｂ）に示すように、素子収容部４０の開口４０ａの形状が略長方形状に形成する。すなわち、撮像素子３１として用いられるＣＣＤは、図９（ｃ）に示すように略直方形状であり、ＣＣＤの受光面３１ａは直方形の形状であることが一般的である。そこで、図９（ｂ）に示すように、開口１４０ａの形状をＣＣＤの受光面３１ａに光が入射するような大きさにすれば、光透過板５０の中心と素子収容部４０の光透過板保持部分との距離を短くして、図１０に示すように素子収容部４０の熱を光透過板５０の中心に伝導しやすくすることにより、光透過板５０全体の温度を上昇させやすくして光透過板５０の中心周辺における結露の発生を抑制することができる。
【００４４】
この撮像装置２３０は、凹部４１を形成した素子収容部４０と、素子収容部４０の凹部４１の開口１４０ａに固定された、被写体の光を透過する光透過板とを有する撮像装置２３０において、素子収容部４０の開口１４０ａが、撮像素子３１の撮像素子３１の受光面３１ａと略同一の大きさからなるものであることを特徴とするものである。
【００４５】
さらに、以下に示す結露防止対策を施すこともできる。なお、図１１と図１２の撮像装置３３０において、図１から図４の撮像装置３０と同一の構成を有する部位には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４６】
一般的に、図１１に示すように、素子収容部（チャンバー）４０の下部には撮影レンズ系４００が配置されており、素子収容部４０と撮影レンズ系４００との間にシャッター部３３５が配置されている。また、撮像素子３１に外部からの光が入射しないように、シャッター部３３５の上面と素子収容部４０の間には光透過板５０周辺を覆うように遮光部材３０１が配置されている。したがって、光透過板５０の外面付近の空間は閉じた空間になっており、空気が淀み結露が発生しやすい条件となっている。
【００４７】
そこで、光透過板５０の外面５１の空気を循環させて結露の発生を防止する撮像装置３３０が提供される。具体的には、図１１と図１２に示すように、シャッター部３３５は、シャッター板３３６とシャッター羽根３４０を有している。シャッター板３３６は、下板３３６ａと上板３３６ｂとからなっており、下板３３６ａと上板３３６ｂとの間には中空部３３７が形成されている。シャッター板３３６における光透過板５０の配置位置には中空部３３７と連通した開口部３３６ｃが形成されている。また、中空部３３７には開口部３３６ｃを開閉するためのシャッター羽根３４０が収容されており、シャッター羽根３４０が開閉することにより撮影が行われることになる。
【００４８】
さらに、上板３３６ｂには吸気口３３８と排気口３３９とが形成されており吸気口３３８および排気口３３９はそれぞれ中空部３３７と連通している。また、ファン６２はヒートシンク６１に対して水平方向から風を送るようになっており、ファン６２の風による負圧で排気口３３９から空気が排出するとともに、吸気口３３８からファン６２の風が流入するようになっている。すなわち、吸気口３３８から流入した風が、中空部３３７を通って開口部３３６ｃから光透過板５０の外面を通り、さらに中空部３３７を通過して排気口３３９から排出されることになる。
【００４９】
この撮像装置３３０によれば、シャッター部３３５に開口部３３６ｃに連通した中空部３３７および中空部３３７に連通した吸気口３３８および排気口３３９を設けることにより、吸気口３３８から排気口３３９に向かって循環している空気が光透過板５０とシャッター部３３５との間に形成された空間にも流れ込むことになるため、光透過板５０とシャッター部３３５との間に形成された空間の空気が淀むことなく結露の発生を防止することができる。
【００５０】
この撮像装置３３０は、凹部４１を形成した素子収容部４０と、素子収容部４０の凹部４１に収容された被写体を撮像する撮像素子３１と、素子収容部４０の凹部４１の開口に固定された、被写体の光を透過する光透過板５０と、光透過板５０上に配置されたシャッター部３３５とを有する撮像装置３３０において、シャッター部３３５が、光透過板５０の配置位置に開口部３３６ｃを形成したシャッター板３３６と、シャッター板３３６の開口部３３６ｃを開閉するために、シャッター板３３６内に設けられた中空部３３７に配置されているシャッター羽根３４０とを備えたものであり、シャッター板３３６に中空部３３７と連通した吸気口３３８および排気口３３９が形成されていることを特徴とするものである。
【００５１】
なお、図１１と図１２において、ファン６２の風により空気を循環させるようにしているが、ファン６２の風とは別に吸気口３３８から乾燥した空気を吹き込むことにより空気を循環させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の撮像装置を使用した撮像システムの一例を示す斜視図
【図２】本発明の撮像装置の好ましい実施の形態を示す斜視図
【図３】本発明の撮像装置の好ましい実施の形態を示す模式図
【図４】図３の撮像装置における撮像ユニットの一例を示す模式図
【図５】図４の撮像装置における光透過板の取り付け部分を示す模式図
【図６】図４の撮像装置におけるフレキシブルプリント基板の取り付け構造の一例を示す模式図
【図７】本発明の撮像装置の別の実施の形態を示す模式図
【図８】撮像装置の他の実施の形態を示す模式図
【図９】撮像装置の他の実施の形態を示す模式図
【図１０】図９の撮像装置における光透過板付近の一例を示す模式図
【図１１】撮像装置の他の実施の形態を示す模式図
【図１２】撮像装置の他の実施の形態を示す模式図
【符号の説明】
３０、１３０   撮像装置
３１    撮像素子
４０    素子収容部
４０ａ  開口
４１    凹部
５０    光透過板
５１    外面
６０    冷却部
６２    ファン
７０、１７０   冷却制御手段
８０    撮影条件検出手段
【図１】
2004200768.tif 000003
【図２】
2004200768.tif 000004
【図３】
2004200768.tif 000005
【図４】
2004200768.tif 000006
【図５】
2004200768.tif 000007
【図６】
2004200768.tif 000008
【図７】
2004200768.tif 000009
【図８】
2004200768.tif 000010
【図９】
2004200768.tif 000011
【図１０】
2004200768.tif 000012
【図１１】
2004200768.tif 000013
【図１２】
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