(57)【要約】【課題】この発明は、液体の気液界面を利用した機械可動部のない逆止弁構造を採用し、ポンプの駆動時に、液体の逆向きの流れを阻止し、ポンプの効率を向上できる逆止弁付きポンプおよびそれを用いた熱輸送デバイスを得る。【解決手段】ポンプ部１は、ダイヤフラム２と、ダイヤフラム２を駆動するための圧電素子３とを備え、ポンプ室４の容積を可変に構成されている。そして、第１および第２ポート５、６がポンプ室４を挟んで相対してポンプ室４に連結されている。さらに、スリット状の弁体８が第１ポート５内に設けられ、ヒータ９が弁体８のポンプ室側に近接して設けられて第１逆止弁７を構成し、スリット状の弁体１１が第２ポート６内に設けられ、ヒータ１２が弁体１１のポンプ室側に近接して設けられて第２逆止弁１０を構成している。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ室の容積を増減可能に構成されたポンプ部と、上記ポンプ部に連結された吸入ポートおよび吐出ポートと、上記吸入ポートおよび吐出ポートのそれぞれに構成された逆止弁とを備え、上記ポンプ部のポンプ室の容積増加動作により、上記吸入ポートから液体を流入させ、上記ポンプ部のポンプ室の容積減少動作により上記吐出ポートから液体を吐出させる逆止弁付きポンプにおいて、
上記逆止弁は、上記液体が流通する流通路を有する弁体と、上記弁体の近傍の上記液体を加熱して気泡を発生させる気泡発生手段とを有し、上記気泡発生手段の作動により発生した上記気泡が上記流通路を塞口して上記液体の逆流を阻止するように構成されていることを特徴とする逆止弁付きポンプ。
【請求項２】
上記請求項１記載の逆止弁付きポンプと、
一端が上記吐出ポートに連結され、他端が上記吸入ポートに連結されてループ状に構成されたループ状流路と、
上記ループ状流路上に形成されて冷却機構が載置される放熱部と、
上記ループ状流路上に形成されて負荷側対象物が載置される受熱部とを備え、
液体が上記逆止弁付きポンプの作動により上記ループ状流路を循環して上記受熱部と上記放熱部との間で熱輸送を行うことを特徴とする熱輸送デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液体の気液界面を利用した機械可動部のない弁構造の逆止弁を採用したポンプおよびそれを用いた熱輸送デバイスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の逆止弁付きポンプでは、圧電素子を利用したダイヤフラムポンプの入口部と出口部との温度をそれぞれヒータで調整し、入口部および出口部における流体の粘度を変化させ、流体を一方向に流すように構成している（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】
「ＤＥＶＥＬＯＰＭＥＮＴ  ＯＦ  ＢＩ−ＤＩＲＥＣＴＩＯＮＡＬ  ＶＡＬＶＥ−ＬＥＳＳ  ＭＩＣＲＯＰＵＭＰ  ＦＯＲ  ＬＩＱＵＩＤ」（ＩＥＥＥ  Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ  Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｄｉｇｅｓｔ  １９９９，  ｐ．１４１−１４６，  ＩＥＥＥ  Ｃａｔａｌｏｇ  Ｎｕｍｂｅｒ：９９ＣＨ３６２９１Ｃ）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の逆止弁付きポンプにおいては、ダイヤフラムポンプの駆動時に、入口部および出口部における流体の粘度をヒータで変えて流体を一方向に流そうとしているので、流体の一部が逆向きに流れてしまい、ポンプの効率が低下するという課題があった。
【０００５】
この発明は、上記の課題を解消するためになされたもので、液体の気液界面を利用した機械可動部のない逆止弁構造を採用し、ポンプの駆動時に、液体の逆向きの流れを阻止し、ポンプの効率を向上できる逆止弁付きポンプおよびそれを用いた熱輸送デバイスを得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明による逆止弁付きポンプは、ポンプ室の容積を増減可能に構成されたポンプ部と、上記ポンプ部に連結された吸入ポートおよび吐出ポートと、上記吸入ポートおよび吐出ポートのそれぞれに構成された逆止弁とを備え、上記ポンプ部のポンプ室の容積増加動作により、上記吸入ポートから液体を流入させ、上記ポンプ部のポンプ室の容積減少動作により上記吐出ポートから液体を吐出させる逆止弁付きポンプにおいて、上記逆止弁は、上記液体が流通する流通路を有する弁体と、上記弁体の近傍の上記液体を加熱して気泡を発生させる気泡発生手段とを有し、上記気泡発生手段の作動により発生した上記気泡が上記流通路を塞口して上記液体の逆流を阻止するように構成されているものである。
【０００７】
また、この発明による熱輸送デバイスは、上記逆止弁付きポンプと、一端が上記吐出ポートに連結され、他端が上記吸入ポートに連結されてループ状に構成されたループ状流路と、上記ループ状流路上に形成されて冷却機構が載置される放熱部と、上記ループ状流路上に形成されて負荷側対象物が載置される受熱部とを備え、液体が上記逆止弁付きポンプの作動により上記ループ状流路を循環して上記受熱部と上記放熱部との間で熱輸送を行うものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図について説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係る逆止弁付きポンプの動作を説明する図であり、図１の（ａ）はその吐出工程を示し、図１の（ｂ）はその吸入工程を示している。
【０００９】
図１において、ポンプ部１は、ダイヤフラム２と、ダイヤフラム２を駆動するための圧電素子３とを備えており、圧電素子３に印加される電圧の極性を変えることによりダイヤフラム２が駆動され、ポンプ室４の容積が可変に構成されている。そして、吸入ポートとしての第１ポート５および吐出ポートとしての第２ポート６がポンプ室４を挟んで相対してポンプ室４に連結されている。さらに、第１および第２逆止弁７、１０が、それぞれ第１および第２ポート５、６に設けられている。
【００１０】
第１逆止弁７は、第１ポート５内にスリット状に設けられた弁体８と、弁体８のポンプ室側に近接して設けられた気泡発生手段としてのヒータ９とを備えている。そして、ヒータ９の加熱により発生する気泡１３が弁体８に形成された流通路８ａのポンプ室側の開口を塞口し、流体１４がポンプ室４から流通路８ａを通って流出することを阻止するように構成されている。
第２逆止弁１０は、第２ポート６内に弁体８と同様のスリット状に形成された弁体１１と、弁体１１の反ポンプ室側に近接して設けられた気泡発生手段としてのヒータ１２とを備えている。そして、ヒータ１２の加熱により発生する気泡１３が弁体１１に形成された流通路１１ａの反ポンプ室側の開口を塞口し、流体１４が流通路１１ａを通ってポンプ室４に流入することを阻止するように構成されている。
【００１１】
このように構成された逆止弁付きポンプ１００の動作について説明する。
まず、図１の（ｂ）に示されるように、圧電素子３に電圧が印加され、ダイヤフラム２がポンプ室４の容積を増大するように駆動される。この時、ヒータ１２に通電され、ヒータ１２上の液体１４が加熱され、気泡１３が発生される。なお、ヒータ９は非通電状態となっている。
このポンプ室４の容積増大により、気泡１３は直ちに第２ポート６内をポンプ室４側に移動し、流通路１１ａの反ポンプ室側の開口を塞口する。そして、液体１４の第２ポート６からポンプ室４への流入が第２逆止弁１０により阻止される。これにより、液体１４は流通路８ａを通ってポンプ室４内に流入する（吸入工程）。
【００１２】
ついで、図１の（ａ）に示されるように、圧電素子３への印加電圧の極性が反転され、ダイヤフラム２がポンプ室４の容積を減少するように駆動される。この時、ヒータ９に通電され、ヒータ９上の液体１４が加熱され、気泡１３が発生される。なお、ヒータ１２は非通電状態となっている。
このポンプ室４の容積減少により、気泡１３は直ちに第１ポート５内を反ポンプ室側に移動し、流通路８ａのポンプ室側の開口を塞口する。そして、液体１４のポンプ室４から第１ポート５を通っての流出が第１逆止弁７により阻止される。これにより、液体１４はポンプ室４から流通路１１ａを通って流出する（吐出工程）。
【００１３】
このように、圧電素子３への通電、さらにはヒータ９、１２への通電を制御して、上述の吸入工程と吐出工程とを繰り返すことにより、逆止弁付きポンプ１００は、液体１４を一方向（図１中矢印で示される）に押し出すポンプとして動作する。
【００１４】
この実施の形態１によれば、第１および第２逆止弁７、１０の開閉がヒータ９、１２への通電により発生する気泡１３の有無により行われる。そこで、弁構造に機械可動部がなく、ポンプの信頼性が高められる。また、液体１４の流れ方向と逆向きの液体１４の流れが確実に阻止され、液体１４を一方向に押し出すポンプの効率が向上される。
また、弁体８、１１近傍の液体１４を加熱するだけで気泡１３が生成されるので、ポンプのサイズに拘わらず、加熱量は一定となり、効率のよい逆止弁を構成することができる。
【００１５】
なお、圧電素子としては、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ・Ｔｉ）Ｏ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）、メタニオブ酸鉛（ＰｂＮｂ２Ｏ６）等の圧電材料を用いることができる。
【００１６】
実施の形態２．
図２はこの発明の実施の形態２に係る逆止弁付きポンプの構成を説明する模式図である。
図２において、第１逆止弁７Ａは、第１ポート５内に設けられた三角形形状の流通路１５ａを有する弁体１５と、弁体１５のポンプ室側に近接して設けられたヒータ９とを備えている。そして、ヒータ９の加熱により発生する気泡１３が弁体１５に形成された流通路１５ａのポンプ室側の開口を塞口し、流体１４がポンプ室４から流通路１５ａを通って流出することを阻止するように構成されている。
第２逆止弁１０Ａは、第２ポート６内に設けられた流通路１５ａと同様の三角形形状の流通路１６ａを有する弁体１６と、弁体１１の反ポンプ室側に近接して設けられたヒータ１２とを備えている。そして、ヒータ１２の加熱により発生する気泡１３が弁体１６に形成された流通路１６ａの反ポンプ室側の開口を塞口し、流体１４が流通路１６ａを通ってポンプ室４に流入することを阻止するように構成されている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００１７】
従って、この実施の形態２においても、第１および第２逆止弁７Ａ、１０Ａの開閉がヒータ９、１２への通電により発生する気泡１３の有無により行われるので、上記実施の形態１と同様の効果が得られる。
【００１８】
実施の形態３．
図３はこの発明の実施の形態３に係る逆止弁付きポンプの構成を説明する模式図である。
図３において、第１逆止弁７Ｂは、第１ポート５内に設けられた三角形形状の流通路１７ａを有する弁体１７と、弁体１７のポンプ室側に近接して設けられたヒータ９とを備えている。そして、ヒータ９の加熱により発生する気泡１３が弁体１７に形成された流通路１７ａのポンプ室側の開口を塞口し、流体１４がポンプ室４から流通路１７ａを通って流出することを阻止するように構成されている。
また、第２逆止弁１０Ｂは、第２ポート６内に設けられた流通路１７ａと異なる三角形形状の流通路１８ａを有する弁体１８と、弁体１８の反ポンプ室側に近接して設けられたヒータ１２とを備えている。そして、ヒータ１２の加熱により発生する気泡１３が弁体１８に形成された流通路１８ａの反ポンプ室側の開口を塞口し、流体１４が流通路１８ａを通ってポンプ室４に流入することを阻止するように構成されている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００１９】
従って、この実施の形態３においても、第１および第２逆止弁７Ｂ、１０Ｂの開閉がヒータ９、１２への通電により発生する気泡１３の有無により行われるので、上記実施の形態１と同様の効果が得られる。
このように、第１および第２ポート５、６に設けられる弁体１７、１８の流通路１７ａ、１８ａは気泡１３の有無により液体１４の流通を阻止できる形状であればよく、流通路１７ａ、１８ａの形状は必ずしも同一にする必要もない。
【００２０】
実施の形態４．
図４はこの発明の実施の形態４に係る逆止弁付きポンプの構成を説明する模式図である。
図４において、第１および第２ポート５、６が、ポンプ室４の一側に並んで連結されている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００２１】
この実施の形態４においても、第１および第２逆止弁１５、１６の開閉がヒータ９、１２への通電により発生する気泡１３の有無により行われるので、上記実施の形態１と同様の効果が得られる。
【００２２】
実施の形態５．
図５はこの発明の実施の形態５に係る逆止弁付きポンプの逆止弁構造を説明する模式図である。
図５において、第１逆止弁７Ｃは、第１ポート５内に設けられたスリット状の流通路８ａを有する弁体８と、弁体８のポンプ室側に近接して設けられた気泡発生手段としてのヒータ２０とを備えている。このヒータ２０は、各流通路８ａのポンプ室側の開口に近接する部位の熱流束を大きくするような形状に形成されている。即ち、ヒータ２０は、例えば、複数の三角形を連設するパターンに形成され、各三角形の頂部を各流通路８ａのポンプ室側の開口に近接するように配設されている。
また、図示していないが、第２逆止弁においても、ヒータは、各流通路の反ポンプ室側の開口に近接する部位の熱流束を大きくするような形状に形成されている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００２３】
この実施の形態５においては、第１逆止弁７Ｃのヒータ２０に通電されると、抵抗の最も大きい各三角形の頂部での発熱量が最大となる。そこで、ヒータ２０の各三角形の頂部上の液体１４が加熱され、気泡１３が各流通路８ａのポンプ室側の開口位置に発生される。その結果、気泡１３が速やかに流通路１６ａの反ポンプ室側の開口を塞口する。
また、第２逆止弁のヒータに通電されると、同様に、気泡が各流通路の反ポンプ室側の開口位置に発生され、気泡が速やかに流通路の反ポンプ室側の開口を塞口する。
【００２４】
このように、この実施の形態５によれば、上記実施の形態１の効果に加え、第１逆止弁７Ｃでは、気泡１３の発生位置を各流通路のポンプ室側の開口位置に合わせ、第２逆止弁では、気泡１３の発生位置を各流通路の反ポンプ室側の開口位置に合わせているので、第１および第２逆止弁の閉弁速度が速められ、ポンプの効率が向上される。
【００２５】
実施の形態６．
図６はこの発明の実施の形態６に係る逆止弁付きポンプの逆止弁構造を説明する模式図である。
図６において、第１逆止弁７Ｄは、第１ポート５内に設けられたスリット状の流通路８ａを有する弁体８と、弁体８のポンプ室側に近接して設けられた気泡発生手段としてのヒータ２１とを備えている。さらに、各流通路８ａのポンプ室側の開口に近接するヒータ２１の部位に沸騰核２２を形成するものとしている。この沸騰核２２は、例えば鋭利な先端を押し当てて微小なくぼみを形成することで実現できる。
また、図示していないが、第２逆止弁においても、各流通路の反ポンプ室側の開口に近接するヒータの部位に沸騰核を形成されている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００２６】
この実施の形態６においては、第１逆止弁７Ｄのヒータ２１に通電されると、気泡１３が沸騰核２２から発生する。そこで、気泡１３が各流通路８ａのポンプ室側の開口位置に発生され、速やかに各流通路１６ａの反ポンプ室側の開口を塞口する。
また、第２逆止弁のヒータに通電されると、同様に、気泡が各流通路の反ポンプ室側の開口位置に発生され、速やかに各流通路の反ポンプ室側の開口を塞口する。
【００２７】
このように、この実施の形態６によれば、上記実施の形態１の効果に加え、第１逆止弁７Ｄでは、気泡１３の発生位置を各流通路のポンプ室側の開口位置に合わせ、第２逆止弁では、気泡１３の発生位置を各流通路の反ポンプ室側の開口位置に合わせているので、第１および第２逆止弁の閉弁速度が速められ、ポンプの効率が向上される。
【００２８】
実施の形態７．
図７はこの発明の実施の形態７に係る熱輸送デバイスの構成を説明する模式図、図８は図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ矢視断面図である。
図７および図８において、一対の平板状の基板３０、３１が相対して配置され、ループ状流路３３が一対の基板３０、３１間に気密にループ状に形成されている。そして、逆止弁付きポンプ１００がループ状流路３３の経路中に形成され、液体１４がループ状流路３３内に封入されている。
このように構成された熱輸送デバイス１０１は、全体として薄板状をなし、冷却機構（図示せず）が密着して載置される放熱部３４と、負荷側対象物（図示せず）が密着して載置される受熱部３５とがループ状流路３５により連結されている。
【００２９】
つぎに、この熱輸送デバイス１０１の製造方法について説明する。
まず、シリコンウエハからなる基板３０の裏面からエッチング処理を施し、ダイヤフラム２を形成する。ついで、チタン、ニッケル、ＩＴＯなどの電極層が真空蒸着やスパッタなどにより基板３０の表面に成膜され、写真製版技術、エッチング技術を用いて、電極層のパターニングを行い、ヒータ９、１２を形成する。その後、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３などの絶縁膜がヒータ９、１２上に成膜される。
ついで、銅などの金属層３２が真空蒸着やスパッタなどにより基板３０の表面に所定厚み成膜され、写真製版技術、エッチング技術を用いて、金属層３２のパターニングを行う。これにより、ループ状の細溝がダイヤフラム２およびヒータ９、１２上を通るように形成される。この時、スリット状の弁体８が細溝内のヒータ９の反ダイヤフラム側に形成され、スリット状の弁体１１が細溝内のヒータ１２のダイヤフラム側に形成される。
ついで、基板３１が基板３０上に接合され、細溝が一対の基板３０、３１により密閉され、ループ状流路３３を構成している。そして、圧電素子３がダイヤフラム２の裏面側に接合され、さらに液体１４が不凝縮ガスを除去した状態でループ状流路３３内に封入されて、熱輸送デバイス１０１が作製される。
【００３０】
この熱輸送デバイス１０１においては、ダイヤフラム２上のループ状流路３３の部位がポンプ室４を構成し、第１ポンプ室４に接続するループ状流路３３の部位がそれぞれ第１ポート５および第２ポート６を構成している。また、弁体８およびヒータ９から第１逆止弁７を構成し、弁体１１およびヒータ１２から第２逆止弁１０を構成している。そして、ダイヤフラム２、ポンプ室４、第１および第２ポート５、６、および、第１および第２逆止弁７、１０などから上記実施の形態１による逆止弁付きポンプ１００を構成している。
【００３１】
つぎに、この熱輸送デバイス１０１の動作について説明する。
まず、冷却機構（図示せず）が放熱部３４に密着して載置され、負荷側対象物（図示せず）が受熱部３５に密着して載置される。
そして、上記実施の形態１で説明したように、圧電素子３への通電、さらにはヒータ９、１２への通電を制御して、吸入工程と吐出工程とを繰り返すことにより、逆止弁付きポンプ１００が動作し、液体１４がループ状流路３３内を一方向（図７中矢印で示される）に循環される。
そこで、液体１４は、ポンプ室４からループ状流路３３内を流通して受熱部３５に到達し、負荷側対象物との間で熱交換して暖められる。受熱部３５で暖められた液体１４はループ状流路３３内を流通して放熱部３４に到達し、冷却機構との間で熱交換し、冷やされる。そして、放熱部３４で冷やされた液体１４はループ状流路３３内を流通し、ポンプ室４に戻される。
このようにして、熱輸送デバイス１０１では、液体１４がループ状流路３３内を一方向に流れ、熱輸送を行う。
【００３２】
この実施の形態７によれば、逆止弁付きポンプ１００が機械可動部のある制御弁を必要としないので、極めて高い信頼性を得ることができる。また、ダイヤフラム２の制御を調整することにより、液体１４の熱輸送能力を簡易に制御することができるので、負荷側対象物を所定の温度に高精度に制御することができる。
また、真空蒸着、スパッタなどの真空成膜技術、写真製版技術、エッチング技術を用いて、基板３０にダイヤフラム、弁体、細溝などを形成しているので、逆止弁付きポンプおよび熱輸送デバイスのマイクロ化を実現できる。
【００３３】
なお、上記実施の形態７では、逆止弁付きポンプを含めた熱輸送デバイスの製造方法の一例について説明しているが、本発明による逆止弁付きポンプ及び熱輸送デバイスは、この製造方法により製造されたものに限定されるものではない。
また、ダイヤフラム、ポンプ室、第１および第２ポート、第１および第２弁体、基板などの材料は、液体１４と反応しない材料であればよく、ステンレス、銅などの金属材料や、シリコンなどの無機材料を用いることができる。
また、液体１４はポンプ構成材料や熱輸送デバイス構成材料と反応しないものであればよく、例えば水、エタノール、メタノール、各種冷媒などを用いることができる。
さらに、第１および第２ポート５、６やループ状流路３３は平板上の流路であっても、管路であってもよい。
【００３４】
また、上記各実施の形態では、ダイヤフラム２の駆動手段として圧電素子３を用いるものとして説明しているが、圧電素子に代えて、電磁力（電磁石）や静電力を用いてダイヤフラム２を駆動するようにしてもよい。
また、上記各実施の形態では、ポンプ部１は、ダイヤフラム２および圧電素子３を用いてポンプ室４の容積を増減するものとして説明しているが、ポンプ部１はポンプ室４の容積を増減できるように構成されていればよく、ダイヤフラム２および圧電素子３に代えて、例えばシリンダーアクチュエータを用いてポンプ室４の容積を増減するようにしてもよい。
【００３５】
また、上記各実施の形態では、気泡発生手段としてヒータ９、１２を用いるものとして説明しているが、気泡発生手段はヒータ９、１２に限定されるものではなく、例えばレーザビームを照射して液体１４を加熱して気泡を発生させるようにしてもよい。
また、上記各実施の形態では、逆止弁付きポンプが一対の吸入ポート（第１ポート５）および吐出ポート（第２ポート６）を備えているものとしているが、吸入ポートおよび吐出ポートの本数は１本ずつに限定されるものではなく、両ポートを複数本ずつ、あるいは吸入ポートを１本とし、吐出ポートを複数本設けてもよい。
【００３６】
【発明の効果】
この発明は、以上説明したように、ポンプ室の容積を増減可能に構成されたポンプ部と、上記ポンプ部に連結された吸入ポートおよび吐出ポートと、上記吸入ポートおよび吐出ポートのそれぞれに構成された逆止弁とを備え、上記ポンプ部のポンプ室の容積増加動作により、上記吸入ポートから液体を流入させ、上記ポンプ部のポンプ室の容積減少動作により上記吐出ポートから液体を吐出させる逆止弁付きポンプにおいて、上記逆止弁は、上記液体が流通する流通路を有する弁体と、上記弁体の近傍の上記液体を加熱して気泡を発生させる気泡発生手段とを有し、上記気泡発生手段の作動により発生した上記気泡が上記流通路を塞口して上記液体の逆流を阻止するように構成されているので、ポンプの駆動時に、液体の逆向きの流れが確実に阻止され、ポンプの効率を向上できるとともに、弁構造に機械可動部がなく、ポンプの信頼性が高められる逆止弁付きポンプを得ることができる。
【００３７】
また、上記逆止弁付きポンプと、一端が上記吐出ポートに連結され、他端が上記吸入ポートに連結されてループ状に構成されたループ状流路と、上記ループ状流路上に形成されて冷却機構が載置される放熱部と、上記ループ状流路上に形成されて負荷側対象物が載置される受熱部とを備え、液体が上記逆止弁付きポンプの作動により上記ループ状流路を循環して上記受熱部と上記放熱部との間で熱輸送を行うようにしているので、機械可動部のある制御弁を必要とせず、極めて高い信頼性を得ることができるとともに、ポンプの駆動時に、液体の逆向きの流れが確実に阻止され、ポンプの効率が向上され、負荷側対象物を効率よく冷却することができる熱輸送デバイスを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る逆止弁付きポンプの動作を説明する図である。
【図２】この発明の実施の形態２に係る逆止弁付きポンプの構成を説明する模式図である。
【図３】この発明の実施の形態３に係る逆止弁付きポンプの構成を説明する模式図である。
【図４】この発明の実施の形態４に係る逆止弁付きポンプの構成を説明する模式図である。
【図５】この発明の実施の形態５に係る逆止弁付きポンプの逆止弁構造を説明する模式図である。
【図６】この発明の実施の形態６に係る逆止弁付きポンプの逆止弁構造を説明する模式図である。
【図７】この発明の実施の形態７に係る熱輸送デバイスの構成を説明する模式図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ矢視断面図である。
【符号の説明】
１  ポンプ部、４  ポンプ室、５  第１ポート（吸入ポート）、６  第２ポート（吐出ポート）、７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ  第１逆止弁、８、１５、１７弁体、８ａ、１５ａ、１７ａ  流通路、９、１２、２０、２１  ヒータ（気泡発生手段）、１０、１０Ａ、１０Ｂ  第２逆止弁、１１、１６、１８  弁体、１１ａ、１６ａ、１８ａ  流通路、１３  気泡、１４  液体、３３  ループ状流路、３４  放熱部、３５  受熱部、１００  逆止弁付きポンプ、１０１  熱輸送デバイス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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