(57)【要約】【課題】現像後のレジストの剥離時間が長時間化せず、密着性及びテンティング性に優れるレジストが形成可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供すること。【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ１）下記一般式（１）で表されるアミンと、を含有する感光性樹脂組成物であって、上記（Ｄ１）成分の含有量が上記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることを特徴とする感光性樹脂組成物。なお、式中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアルキルアリール基を示す。【化１】2004294552.tif 000014【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ１）下記一般式（１）で表されるアミンと、を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記（Ｄ１）成分の含有量が前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】
2004294552.tif 000011
［式中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアルキルアリール基を示す。］
【請求項２】
前記（Ｄ１）成分が、第２級アミン又は第３級アミンであることを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記第３級アミンが、トリアルキルアミンであることを特徴とする請求項２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ２）エチレン性不飽和結合を有するアミンと、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記（Ｄ２）成分が、下記一般式（２）で表されるアミンであることを特徴とする請求項４記載の感光性樹脂組成物。
【化２】
2004294552.tif 000012
［式中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基、Ｒ１２はアルキレン基、Ｒ１３及びＲ１４はそれぞれ独立に水素原子又はアルキル基、をそれぞれ示す。］
【請求項６】
前記（Ｄ２）成分が、第２級アミン又は第３級アミンであることを特徴とする請求項５記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記（Ｄ２）成分の含有量が、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ３）ポリアミンと、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記（Ｄ３）成分が、下記一般式（３）で表されるアミンであることを特徴とする請求項８記載の感光性樹脂組成物。
【化３】
2004294552.tif 000013
［式中、Ｒ２１、Ｒ２２、Ｒ２３及びＲ２４はそれぞれ独立に水素原子又はアルキル基、Ｘはアルキレン基又は水酸基を備えたアルキレン基、をそれぞれ示す。］
【請求項１０】
前記一般式（３）で表されるアミンが、Ｒ２１及びＲ２２が同時に水素原子ではなく、かつ、Ｒ２３及びＲ２４が同時に水素原子ではないアミンであることを特徴とする請求項９記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
前記（Ｄ３）成分の含有量が、前記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることを特徴とする請求項８〜１０のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
前記（Ａ）成分が、カルボキシル基を有するポリマーであることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１３】
前記カルボキシル基を有するポリマーが、（メタ）アクリル酸アルキルエステル及び（メタ）アクリル酸、並びに共重合ビニルモノマーの共重合体であることを特徴とする請求項１２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１４】
前記共重合ビニルモノマーが、スチレン又はスチレン誘導体であることを特徴とする請求項１３記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１５】
支持体と、該支持体上に形成された請求項１〜１４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えることを特徴とする感光性エレメント。
【請求項１６】
回路形成用基板上に、請求項１５記載の感光性エレメントにおける前記感光性樹脂組成物層を積層し、該感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成させ、次いで、該露光部以外の部分を除去することを特徴とするレジストパターンの形成方法。
【請求項１７】
請求項１６記載のレジストパターンの形成方法によりレジストパターンの形成された回路形成用基板を、エッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プリント配線板における電気回路（配線パターン）の形成方法として、テンティング法とめっき法が知られている。このテンティング法とは、チップ搭載のための銅スルーホールをレジストで保護し、エッチング、レジスト剥離を経て電気回路形成を行う方法であり、めっき法とは電気めっきによってスルーホールに銅を析出させ、半田めっきで保護し、レジスト剥離、エッチングによって電気回路形成を行う方法である。
【０００３】
上記テンティング法では、レジストを形成する材料として感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントが使用されており、未硬化部をアルカリ性水溶液で除去するアルカリ現像形が主流となっている。従って、使用する感光性樹脂組成物には、レジストが現像液や水洗のスプレー圧によって破れないテント信頼性、すなわちテンティング性、及び現像液や水洗によって流されない密着性が要求される。
【０００４】
このようなテンティング性を有するレジストを形成し得る感光性樹脂組成物としては、高分子量のバインダーポリマーを含有する感光性樹脂組成物（例えば特許文献１参照）や、多官能性モノマーを含有する感光性樹脂組成物（例えば特許文献２参照）が知られている。また、密着性を有するレジストを形成し得る感光性樹脂組成物としては、アルキルアミン化合物を含有する感光性樹脂組成物（例えば特許文献３参照）が知られている。
【０００５】
【特許文献１】
特許第３２５２０８１号公報
【特許文献２】
特開２００１−１１７２２５号公報
【特許文献３】
特開２０００−１０５４５５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１及び２に開示された感光性樹脂組成物を用いた場合は、レジストの密着性が低く、上記特許文献３に開示された感光性樹脂組成物を用いた場合は、テンティング性が不十分であった。また、本発明者らは、レジストの架橋密度を上げることで、耐現像液性を向上させつつテンティング性の向上が可能であることを見出しているが、この場合には現像後のレジストの剥離時間が長くなるという欠点が生じてしまう。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、現像後のレジストの剥離時間が長時間化せず、密着性及びテンティング性に優れるレジストを形成可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメントを提供することを目的とする。本発明はまた、これらを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、第１の発明に係る感光性樹脂組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ１）下記一般式（１）で表されるアミンと、を含有する感光性樹脂組成物であって、（Ｄ１）成分の含有量が（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることを特徴とするものであり、
【化４】
2004294552.tif 000002
［式中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアルキルアリール基を示す。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、同時に水素原子ではない。］
上記（Ｄ１）成分が、第２級アミン又は第３級アミン（より好ましくは、トリアルキルアミン）であることが好ましい。
【０００９】
第１の発明に係る感光性樹脂組成物は、現像後のレジストの剥離時間が長時間化せず、テンティング性及び密着性により優れるレジストが形成可能である。かかる効果が得られるのは、第１の発明に係る感光性樹脂組成物が上記一般式（１）で表されるアミンを含有することから、各成分を混合した際に上記アミンがアルカリ可溶性バインダーポリマーのアルカリ可溶性基と容易に中和反応すると共に、バインダーポリマーに疎水性基が導入されることにより、得られるレジストの疎水性が増すこと及びポリマー中にイオン結合が導入されることによるレジストのガラス転移点（Ｔｇ）の上昇に基づくものと考えられる。また、上記一般式（１）で表されるアミンの含有量を特定の量としたことに起因すると考えられる。
【００１０】
第２の発明に係る感光性樹脂組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ２）エチレン性不飽和結合を有するアミンと、を含有することを特徴とする。
【００１１】
上記（Ｄ２）成分としては、下記一般式（２）で表されるアミンであることが好ましく、
【化５】
2004294552.tif 000003
［式中、Ｒ１１は水素原子又はメチル基、Ｒ１２はアルキレン基、Ｒ１３及びＲ１４はそれぞれ独立に水素原子又はアルキル基、をそれぞれ示す。］
上記（Ｄ２）成分が第２級アミン又は第３級アミンであることが好ましく、上記（Ｄ２）成分の含有量が上記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることが好ましい。なお、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物は、非アミン系の化合物を意味する。
【００１２】
第２の発明に係る感光性樹脂組成物もまた、現像後のレジストの剥離時間が長時間化せず、テンティング性及び密着性に優れるレジストが形成可能である。かかる効果が得られるのは、（Ｄ２）成分のアミンが第１の発明の（Ｄ１）成分のアミンと同様の働きをすることと等しく考えられる。また、第２の発明においては（Ｄ２）成分のアミンがエチレン性不飽和結合を有することから、（Ｄ２）成分と他の各成分を混合した際にバインダーポリマーと（Ｄ２）成分のアミンとが反応し、バインダーポリマーにエチレン性不飽和結合が導入され、実質的に反応性ポリマーに変換できると考えられる。この結果、レジストの架橋密度が向上してテンティング性（膜強度）が更に優れるようになる。さらに、（Ｄ２）成分のアミンによりバインダーポリマーのカルボキシル基とイオン結合が生じることから架橋密度が向上し、これによりレジストの耐現像液性を向上させることができる。一方、現像後のレジストの剥離時にはバインダーポリマーのカルボキシル基と（Ｄ２）成分に由来するアミンとのイオン結合は解離するため、剥離時間が長時間化しないと考えられる。
【００１３】
第３の発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ３）ポリアミンと、を含有することを特徴とする。
【００１４】
上記（Ｄ３）成分としては、下記一般式（３）で表されるアミンであることが好ましく、
【化６】
2004294552.tif 000004
［式中、Ｒ２１、Ｒ２２、Ｒ２３及びＲ２４はそれぞれ独立に水素原子又はアルキル基、Ｘはアルキレン基又は水酸基を備えたアルキレン基、をそれぞれ示す。］
上記一般式（３）で表されるアミンが、Ｒ２１及びＲ２２が同時に水素原子ではなく、かつ、Ｒ２３及びＲ２４が同時に水素原子ではないアミンであることが好ましく、上記（Ｄ３）成分の含有量が上記（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることが好ましい。
【００１５】
第３の発明に係る感光性樹脂組成物もまた、剥離時間を従来の水準に維持しつつ、テンティング性及び密着性に優れるレジストが形成可能である。かかる効果が得られるのは、（Ｄ３）成分のアミンが第１の発明の（Ｄ１）成分のアミンと同様の働きをすることと等しく考えられる。また、この第３の発明において、（Ｄ３）成分のアミンは、現像時にはバインダーポリマーのカルボキシル基とのイオン結合と架橋密度の向上に寄与する。従って、レジストの耐現像液性が向上し、テンティング性（膜強度）が更に優れる。一方、現像後のレジストの剥離時にはバインダーポリマーのカルボキシル基と（Ｄ２）成分に由来するアミンとのイオン結合は解離するため、剥離時間が長時間化しないと考えられる。
【００１６】
さらに、第２又は第３の発明においては、（Ｄ２）成分又は（Ｄ３）成分のアミンの含有量を上記範囲の量とすることにより、テンティング性及び密着性に一層優れるレジストが形成可能である。
【００１７】
また、上記特許文献１及び２に開示された感光性樹脂組成物においては、レジストの剥離時間が長くなる問題があったが、第１〜３の発明の感光性樹脂組成物からなるレジストは剥離時にバインダーポリマーから上記各アミンが脱離するためにこのような問題が生じない。
【００１８】
本発明はまた、支持体と、該支持体上に形成された感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えることを特徴とする感光性エレメントを提供する。かかる感光性エレメントは、優れたテンティング性及び密着性を有するレジストを提供するものであり、高解像度、高密度のプリント配線板の生産に適用可能である。
【００１９】
本発明は、更に、回路形成用基板上に、上記感光性エレメントにおける上記感光性樹脂組成物層を積層し、該感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成させ、次いで、該露光部以外の部分を除去することを特徴とするレジストパターンの形成方法、及び、かかるレジストパターンの形成方法によりレジストパターンの形成された回路形成用基板を、エッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造方法を提供するものである。
【００２０】
本発明のレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法は、上記本発明の感光性エレメントを用いることから、良好な露光及びエッチング又はめっきが可能になり、歩留まりの向上、高密度化を実現することが可能になる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、本発明において、（メタ）アクリル酸とはアクリル酸又はメタクリル酸を示し、（メタ）アクリレートとはアクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基とはアクリロイル基又はメタクリロイル基を意味する。
【００２２】
（感光性樹脂組成物）
（第１実施形態）
以下、第１の発明の感光性樹脂組成物の実施の形態（第１実施形態）について詳細に説明する。
【００２３】
まず、（Ａ）成分であるアルカリ可溶性バインダーポリマーについて説明する。（Ａ）成分として用いられるアルカリ可溶性バインダーポリマー（以下、「バインダーポリマー」と略す）としては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。アルカリ現像性の見地からは、アクリル系樹脂が好ましい。これらのバインダーポリマーは、単独又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２４】
上記バインダーポリマーは、例えば、重合性単量体を重合（ラジカル重合等）させることにより製造することができる。上記重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−エチルスチレン等の重合可能なスチレン誘導体、アクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００２５】
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、及び、これらの構造異性体等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００２６】
また、上記バインダーポリマーは、カルボキシル基を有するポリマーであることが好ましく、このようなポリマーとしては（メタ）アクリル酸アルキルエステル及び（メタ）アクリル酸、並びに共重合ビニルモノマー（可とう性の見地から、好ましくはスチレン又はスチレン誘導体）の共重合体であることが好ましい。上記カルボキシル基は、感光性樹脂組成物中でアルカリ可溶性基として機能するものであり、この官能基により中和反応が十分に進行し、テンティング性及び密着性により優れるレジストが形成可能な感光性樹脂組成物が得られると考えられる。さらに、上記バインダーポリマーは必要に応じて感光性基を有していてもよい。
【００２７】
上記スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として、バインダーポリマーの密着性及び剥離特性を共に良好にするには、バインダーポリマーの総量中３〜３０重量％含むことが好ましく、４〜２８重量％含むことがより好ましく、５〜２７重量％含むことが特に好ましい。スチレン又はスチレン誘導体含有量が３重量％未満の場合は密着性が劣る傾向があり、他方、３０重量％を超えると剥離片が大きくなり、剥離時間が長くなる傾向がある。
【００２８】
また、上記バインダーポリマーは、現像性、環境保全性等の見地からも、アルカリ水溶液に可溶又は膨潤可能であることが望ましいので、酸価は１００〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、１００〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが特に好ましい。酸価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇ未満の場合は現像時間が遅くなる傾向があり、他方、５００ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると光硬化したレジストの耐現像液性が低下する傾向がある。
【００２９】
更に、上記バインダーポリマーの重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算）は、２０，０００〜３００，０００であることが好ましく、２５，０００〜１５０，０００であることがより好ましい。この重量平均分子量が、２０，０００未満の場合は耐現像液性が低下する傾向があり、他方、３００，０００を越えると現像時間が長くなる傾向がある。
【００３０】
上記バインダーポリマーは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。２種類以上を組み合わせて使用する場合のバインダーポリマーとしては、例えば、異なる共重合成分からなる２種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の２種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の２種類以上のバインダーポリマー等が挙げられる。また、特開平１１−３２７１３７号公報記載のマルチモード分子量分布を有するポリマーを使用することもできる。
【００３１】
次に、（Ｂ）成分であるエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物について説明する。
【００３２】
上記（Ｂ）成分としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、分子内にウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー、ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β′−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等が挙げられるが、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物又は分子内にウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物を含有することが好ましい。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００３３】
上記多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４であり、プロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００３４】
上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。
【００３５】
また、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンはＢＰＥ−５００（新中村化学工業（株）製、商品名）として、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンはＢＰＥ−１３００（新中村化学工業（株）製、商品名）として商業的に入手可能である。更に、上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンの１分子内のエチレンオキサイド基の数は４〜２０であることが好ましく、８〜１５であることがより好ましい。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００３６】
上記ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシアクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００３７】
次に、（Ｃ）成分である光重合開始剤について説明する。
【００３８】
上記（Ｃ）成分としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）等のＮ，Ｎ′−テトラアルキル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物等が挙げられる。また、２つの２，４，５−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対象な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、密着性及び感度の見地からは、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体がより好ましい。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００３９】
次に、（Ｄ１）上記一般式（１）で表されるアミンについて説明する。
【００４０】
上記一般式（１）で表されるアミンにおいて、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアルキルアリール基を示す。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、同時に水素原子ではない。また、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のうちの２つ以上は同時に水素原子ではない第２級アミン又は第３級アミンであることが好ましい。
【００４１】
上記アミンとして、より具体的には、上記置換基を有するジプロピルアミン、ジブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジヘキシルアミン、ジオクチルアミン、ジイソオクチルアミン、ジドデシルアミン、メチルブチルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ジフェニルアミン及びジベンジルアミン等の第２級アミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリヘキシルアミン、トリオクチルアミン、トリイソオクチルアミン、トリドデシルアミン、メチルジブチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン、トリフェニルアミン、トリトリルアミン、トリキシリルアミン、トリビフェニルアミン、トリナフチルアミン及びトリベンジルアミン等の第３級アミンが挙げられる。
【００４２】
上記アミンの中でも第３級アミンがより好ましく、トリアルキルアミンがさらに好ましく、炭素数５以上のアルキル基又はシクロアルキル基を有するトリアルキルアミンが特に好ましく、炭素数６〜８のアルキル基又はシクロアルキル基を有するトリアルキルアミンが極めて好ましい。このように炭素数の大きいアルキル基又はシクロアルキル基を有するトリアルキルアミンを含有することにより、得られる感光性樹脂組成物により形成するレジストの疎水性及びガラス転移点がより向上すると本発明者らは推察する。
【００４３】
次に、第１実施形態の感光性樹脂組成物における各成分の含有量について説明する。（Ａ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して４０〜８０重量部とすることが好ましく、４０〜６０重量部とすることが特に好ましい。この含有量が４０重量部未満では光硬化物が脆くなりやすく、感光性エレメントとして用いた場合塗膜性に劣る傾向があり、他方、８０重量部を超えると感度が不十分となる傾向がある。
【００４４】
（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して２０〜６０重量部とすることが好ましく、４０〜６０重量部とすることが特に好ましい。この含有量が２０重量部未満では感度が不十分となる傾向があり、他方、６０重量部を超えると光硬化物が脆くなる傾向がある。
【００４５】
（Ｃ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．１〜２０重量部とすることが好ましく、０．２〜１０重量部とすることが特に好ましい。この含有量が０．１重量部未満では感度が不十分となる傾向があり、他方、２０重量部を超えると露光の際に感光性組成物表面での吸収が増大して内部の光硬化物が不十分となる傾向がある。
【００４６】
（Ｄ１）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であり、７．５〜１５重量部であることが好ましい。この含有量が７．５重量部未満ではテンティング性が向上せず、他方、３０重量部を超えるとフィルム形成性が悪くなる。
【００４７】
また、第１実施形態の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、染料、発色剤、光発色剤、グリシジルエーテル化合物等の熱発色防止剤、可塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤等を（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．０１〜２０重量部程度含有することができる。
【００４８】
上記感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド及びプロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解し、固形分３０〜６０重量％程度の溶液として塗布することができる。
【００４９】
（第２実施形態）
以下、第２の発明の感光性樹脂組成物の実施の形態（第２実施形態）について詳細に説明する。なお、第２実施形態においては、（Ｄ２）エチレン性不飽和結合を有するアミン及び（Ｄ２）成分の含有量以外は、第１実施形態と同様にして実施することができる。
【００５０】
従って、第２実施形態における（Ｄ２）エチレン性不飽和結合を有するアミンについて説明する。
【００５１】
エチレン性不飽和結合を有するアミンとは、分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有するアミンであればよく、より具体的には、上記一般式（２）で表されるアミンであることが好ましい。上記一般式（２）において、Ｒ１１は水素原子又はメチル基、Ｒ１２はアルキレン基、Ｒ１３及びＲ１４はそれぞれ独立に水素原子又はアルキル基、をそれぞれ示す。また、上記一般式（２）で表されるアミンが、第２級アミン又は第３級アミン（即ち、上記Ｒ１３及びＲ１４が同時に水素原子ではないアミン）であることが好ましい。
【００５２】
上記アルキレン基としては、炭素数２〜１０のアルキレン基であることが好ましく、炭素数２〜６のアルキレン基であることがより好ましい。また、上記アルキル基としては、低級アルキル基であることが好ましい。
【００５３】
上記アミンとしてより具体的には、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、３−ジメチルアミノプロピルアクリレート等が挙げられる。
【００５４】
次に、（Ｄ２）成分の含有量について説明する。（Ｄ２）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることが好ましく、７．５〜１５重量部であることが特に好ましい。この含有量が７．５重量部未満ではテンティング性が向上しない傾向があり、他方、３０重量部を超えるとフィルム形成性が悪くなる傾向がある。
【００５５】
（第３実施形態）
以下、第３の発明の感光性樹脂組成物の実施の形態（第３実施形態）について詳細に説明する。なお、第３実施形態においては、（Ｄ３）ポリアミン及び（Ｄ３）成分の含有量以外は、第１実施形態と同様にして実施することができる。
【００５６】
まず、第３実施形態における（Ｄ３）ポリアミンについて説明する。
【００５７】
ポリアミンとは、同一分子内に２個以上のアミノ基を有する化合物であり、アミノ基を２個有するジアミン、アミノ基を３個有するトリアミン等がある。このようなポリアミンの中でも、上記一般式（３）で表されるアミンであることが好ましい。上記一般式（３）において、Ｒ２１、Ｒ２２、Ｒ２３及びＲ２４はそれぞれ独立に水素原子又はアルキル基、Ｘはアルキレン基又は水酸基を備えたアルキレン基、をそれぞれ示す。また、上記一般式（３）で表されるアミンは、Ｒ２１及びＲ２２が同時に水素原子ではなく、かつ、Ｒ２３及びＲ２４が同時に水素原子ではないアミンであることが好ましい。
【００５８】
上記アルキル基としては、低級アルキル基であることが好ましい。また、上記アルキレン基（水酸基で置換されているアルキレン基も同様）としては、炭素数２〜１０のアルキレン基であることが好ましく、炭素数２〜６のアルキレン基であることがより好ましい。
【００５９】
上記アミンとして、より具体的には、１，３−ビス（ジメチルアミノ）プロパン、１，３−ビス（ジメチルアミノ）ブタン、１，４−ビス（ジメチルアミノ）ブタン、１，５−ビス（ジメチルアミノ）ヘプタン、１，６−ビス（ジメチルアミノ）ヘキサン、ビス（ジメチルアミノ）エチレングリコール及びビス（ジメチルアミノ）プロピレングリコール等が挙げられる。
【００６０】
次に、（Ｄ３）成分の含有量について説明する。（Ｄ３）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して７．５〜３０重量部であることが好ましく、７．５〜１５重量部であることが特に好ましい。この含有量が７．５重量部未満ではテンティング性が向上しない傾向があり、他方、３０重量部を超えるとフィルム形成性が悪くなる傾向がある。
【００６１】
（液状レジスト及び感光性エレメント）
上記第１〜３実施形態の感光性樹脂組成物は、（ｉ）回路形成用基板上に液状レジストとして直接塗布して用いるか、又は、（ｉｉ）本発明の感光性エレメントの形態で用いることが好ましい。
【００６２】
（ｉ）上記第１〜３実施形態の感光性樹脂組成物を回路形成用基板上に液状レジストとして直接塗布して用いる場合、銅、銅系合金、鉄、鉄系合金等の金属面上に液状レジストを直接塗布して乾燥後、必要に応じて保護フィルムを被覆して用いることが好ましい。
【００６３】
この場合、感光性樹脂組成物層の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで１〜１００μｍ程度であることが好ましい。上記保護フィルムを被覆して用いる場合、保護フィルムとしてはポリエチレン、ポリプロピレン等の重合体フィルムが挙げられる。
【００６４】
（ｉｉ）本実施形態の感光性エレメントは、支持体と、支持体上に形成された上記第１〜３実施形態の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えるものである。
【００６５】
上記感光性エレメントは、例えば、支持体として、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合体フィルム上に感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥することにより得ることができる。塗布方法としては、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、７０〜１５０℃、５〜３０分間程度の条件で行うことができる。更に、感光性樹脂組成物層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、２重量％以下とすることが好ましい。
【００６６】
上記重合体フィルムの厚みは、１〜１００μｍとすることが好ましい。これらの重合体フィルムの一つは感光性樹脂組成物層の支持体として、他の一つは感光性樹脂組成物の保護フィルムとして感光性樹脂組成物層の両面に積層してもよい。保護フィルムとしては、感光性樹脂組成物層及び支持体の接着力よりも、感光性樹脂組成物層及び保護フィルムの接着力の方が小さいものが好ましく、また、低フィッシュアイのフィルムが好ましい。
【００６７】
また、上記感光性エレメントは、感光性樹脂組成物層、支持体及び保護フィルムの他に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層を有していてもよい。
【００６８】
上記感光性エレメントは、例えば、そのまま又は感光性樹脂組成物層上に保護フィルムを更に積層し、円筒状の巻芯に巻きとって貯蔵される。なお、この際支持体が１番外側になるように巻き取られることが好ましい。上記ロール状の感光性エレメントロールの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、梱包方法として、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。
【００６９】
上記巻芯としては、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体）等のプラスチックが挙げられる。
【００７０】
（レジストパターンの形成方法）
次に、本発明のレジストパターンの形成方法の実施の形態について詳細に説明する。
【００７１】
レジストパターンを形成するに際しては、感光性樹脂組成物層上に保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、感光性樹脂組成物層を７０〜１３０℃程度に加熱しながら回路形成用基板に０．１〜１ＭＰａ程度（１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ２程度）の圧力で圧着することにより積層する方法等が挙げられ、減圧下で積層することも可能である。なお、積層される面は、通常金属面である。
【００７２】
このようにして積層が完了した感光性樹脂組成物層に対して、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射し、露光部を形成させる。上記活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光等を有効に放射するものが用いられる。また、レーザー直接描画露光法を使用して露光部を形成させることもできる。
【００７３】
次いで、露光後、感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、支持体を除去した後、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液によるウエット現像、ドライ現像等で未露光部を除去して現像し、レジストパターンを製造することができる。
【００７４】
上記アルカリ性水溶液としては、例えば、０．１〜５重量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％水酸化ナトリウムの希薄溶液が挙げられる。上記アルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を混入させてもよい。上記現像の方式としては、例えば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられる。
【００７５】
現像後の処理として、必要に応じて６０〜２５０℃程度の加熱又は０．２〜１０Ｊ／ｃｍ２程度の露光を行うことによりレジストパターンをさらに硬化させて用いてもよい。
【００７６】
（プリント配線板の製造方法）
最後に、本発明のプリント配線板の製造方法の実施の形態について詳細に説明する。
【００７７】
上記感光性エレメントを用いてプリント配線板を製造する場合、上記レジストパターンの形成方法により形成されたレジストパターンをマスクとして、回路形成用基板の表面をエッチング又はめっきするものである。このような金属面のエッチングには、例えば、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液等を用いることができる。また、めっき方法としては、例えば、銅めっき、はんだめっき、ニッケルめっき、金めっき等がある。
【００７８】
次いで、レジストパターンは、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。上記強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜１０重量％水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０重量％水酸化カリウム水溶液が用いられる。上記剥離方式としては、例えば、浸漬方式、スプレイ方式が挙げられる。
【００７９】
以上によりプリント配線板が得られるが、レジストパターンが形成されたプリント配線板は、多層プリント配線板でもよく、小径スルーホールを有していてもよい。また、上記本発明の感光性エレメントを用いることで、パターン間隔を狭小にした場合であっても、良好な露光及びエッチング又はめっきが可能になり、高密度化を実現することが可能になると共に、プリント配線板の製造において歩留まりの向上を実現することが可能となる。
【００８０】
【実施例】
以下、本発明の好適な実施例について更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００８１】
（実施例１〜９及び比較例１〜２）
まず、表１に示す（Ａ）成分のバインダーポリマー、（Ｂ）成分の光重合性化合物、及びその他添加剤を混合した。
【００８２】
【表１】
2004294552.tif 000005
【００８３】
なお、表１中、＊１は２，２−ビス（４−メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン（新中村化学工業（株）製、商品名）、＊２はペンタプロピレンアクリレート（新中村化学工業（株）製、商品名）、＊３はノニルフェノキシオクタエチレンオキシアクリレート（共栄社化学（株）製、商品名）、をそれぞれ示す。
【００８４】
次に、この混合溶液に表２に示す光重合開始剤と、表３又は表４に示す化合物を混合し、溶剤に溶解させ実施例１〜９及び比較例１〜２の感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【００８５】
【表２】
2004294552.tif 000006
【００８６】
【表３】
2004294552.tif 000007
【００８７】
なお、実施例１〜４は（Ｄ１）成分のアミンを含有する第１の発明に該当するものであり、実施例５は（Ｄ２）成分のアミンを含有する第２の発明に該当するものである。また、比較例１は第１〜３の発明に係る（Ｄ１〜３）成分の何れにも該当しないプロピレングリコールを含有し、比較例２は表１及び表２に示される成分のみを含有する溶液である。
【００８８】
【表４】
2004294552.tif 000008
【００８９】
なお、実施例６〜７は（Ｄ２）成分のアミンを含有する第２の発明に該当するものであり、実施例８〜９は（Ｄ３）成分のアミンを含有する第３の発明に該当するものである。
【００９０】
得られた感光性樹脂組成物の溶液（実施例１〜９及び比較例１〜２）を１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（帝人（株）製、ＧＳタイプ）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥させ実施例１〜９及び比較例１〜２の感光性エレメントを得た。乾燥後の感光性樹脂組成物層の膜厚は、それぞれ４０μｍであった。
【００９１】
一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張積層板（日立化成工業（株）製、製品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓（株）製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥させた。得られた銅張積層板を８０℃に加温した後、得られた実施例１〜９及び比較例１〜２の感光性エレメントを銅表面上に感光性樹脂組成物層を密着させるようにして、１２０℃で４ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力下に積層（ラミネート）した。
【００９２】
実施例１〜９及び比較例１〜２の感光性エレメントが積層された銅張積層板を冷却し、２３℃になった時点でポリエチレンテレフタレート面に、ストーファーの２１段ステップタブレットを有するフォトツールと密着性評価用フォトマスクとしてライン幅／スペース幅が１０／４００〜５０／４００（単位：μｍ）の配線パターンを有するフォトツールを密着させ、３ＫＷ高圧水銀灯（オーク製作所製、製品名ＨＭＷ−５９０）を用いて、ストーファーの２１段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が８．０となるエネルギー量で露光した。
【００９３】
（密着性）
露光後、室温で１５分間放置し、次いで銅張積層板からポリエチレンテレフタレートフィルムをはがし、３０℃、１．０重量％の炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより現像した。尚、密着性は、現像処理によって未露光部を除去した後、密着していた細線のライン幅の最も小さい値により評価した。なお、密着性は数値が小さいほど良好な値である。
【００９４】
（テンティング性）
直径６ｍｍの穴が２４個空いている１．６ｍｍ厚の銅張積層板の両面に実施例１〜９及び比較例１〜２の感光性エレメントをラミネートし、上記のエネルギー量（現像後の残存ステップ段数が８．０となる露光量）で露光を行った。ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した後、５０秒間の現像を３回行った。現像後、穴破れ数を目視で測定し、テント破れ率として評価し、これをテンティング性とした。
【００９５】
（剥離時間）
実施例１〜９及び比較例１〜２の感光性エレメントが積層された銅張積層板に上記エネルギー量（現像後の残存ステップ段数が８．０となる露光量）で露光を行い、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した後５０秒間の現像を行った。現像後の積層板をスターラーで攪拌している５０℃、３重量％水酸化ナトリウム水溶液に浸漬し、レジストが基板から剥がれるのに要した時間を測定し、剥離時間とした。剥離時間は、時間が短いほど好ましい。
【００９６】
得られた密着性、テント破れ率、及び剥離時間の結果を表５及び６に示す。
【表５】
2004294552.tif 000009
【００９７】
【表６】
2004294552.tif 000010
【００９８】
表５及び表６から明らかなように、実施例１〜９の密着性は比較例１〜２より優れており、テント破れ率は比較例１〜２が３０％であるのに対して実施例１〜９では０％であり、テンティング性にも優れていることが確認された。また、実施例１〜９の剥離時間は比較例１〜２の剥離時間とほとんど変わらないことが確認された。以上から、本発明の感光性樹脂組成物から形成されたレジストは、剥離性を十分に保ちつつ、密着性及びテンティング性において共に優れた効果を有することが確認された。
【００９９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、現像後のレジストの剥離時間が長時間化せず、、優れた密着性及びテンティング性を両立し得るレジストが形成可能な感光性樹脂組成物を提供することが可能となり、この感光性樹脂組成物は液状レジスト及び感光性エレメントとして極めて好適である。また、かかる感光性エレメントを用いたレジストパターンの形成方法、プリント配線板の製造方法を提供することが可能となる。