(57)【要約】【課題】検査員の人件費を削減して製造コストの増加を抑制する。【解決手段】検査対象物の画像を検査画像として取得する画像取得装置と、検査画像を表示すると共に、検査員によって検査結果が操作入力される表示端末と、検査対象物を収納する収納手段と、画像取得装置と収納手段との間に検査対象物を搬送する搬送手段と、搬送手段によって検査対象物を画像取得装置に順次搬送させる一方、表示端末に検査対象物の検査結果が操作入力されない場合には、搬送手段によって検査対象物を収納手段に一旦搬送させ、検査結果が操作入力された段階で収納手段の検査対象物を次工程に搬送させるシステム制御装置とを具備する。【選択図】      図２
2004294086.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の画像を検査画像として取得する画像取得装置と、
前記検査画像を表示すると共に、検査員によって検査結果が操作入力される表示端末と、
検査対象物を収納する収納手段と、
画像取得装置と収納手段との間に検査対象物を搬送する搬送手段と、
搬送手段によって検査対象物を画像取得装置に順次搬送させる一方、表示端末に検査対象物の検査結果が操作入力されない場合には、搬送手段によって検査対象物を収納手段に一旦搬送させ、検査結果が操作入力された段階で収納手段の検査対象物を次工程に搬送させるシステム管理手段と
を具備することを特徴とする検査システム。
【請求項２】
画像取得装置と収納手段と搬送手段とはクリーンルーム内に備えられ、表示端末はクリーンルームとは別の検査室内に備えられることを特徴とする請求項１記載の検査システム。
【請求項３】
収納手段はオートストッカーであり、搬送手段は無人搬送車であることを特徴とする請求項１または２記載の検査システム。
【請求項４】
表示デバイスの工程検査に適用することを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の検査システム。
【請求項５】
請求項１〜４何れかの検査システムを備えることを特徴とする製造システム。
【請求項６】
検査対象物を画像取得装置に順次搬送して得られる検査対象物の画像を検査画像として表示端末に順次提供し、
表示端末から検査員による検査画像の目視に基づく検査結果が入力されない場合には、検査対象物を画像取得装置から収容手段に搬出し、
検査結果が入力された段階で収容手段の検査対象物を次工程に搬送する
ことを特徴とする検査方法。
【請求項７】
表示デバイスの工程検査に適用することを特徴とする請求項５記載の検査方法。
【請求項８】
請求項６あるいは７の検査方法を含むことを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査システム及び方法並びに製造システム及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、商品は複数の製造工程を経て完成されるが、各製造工程の間には必要に応じて検査工程が設けられて上流の製造工程における工程内容がチェックされ、この検査に合格したものだけが下流の製造工程に供給される。そして、近年の製造技術では、検査結果が他の製造工程の作業にフィードバックすることにより、より効率的な製造が実現されている。例えば、特開平６−３３３７９１号公報には、半導体装置の製造に関し、検査工程の測定結果を自動収集すると共に自動解析することにより、解析工数の削減と定常的な歩留まりの安定化を図る技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−３３３７９１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば半導体製造技術を応用した液晶表示機や有機ＥＬ表示装置は多数の製造工程を経て製造されるものであり、数ある検査工程の中には完全に自動化し得ないものがある。すなわち、これら装置の製造では、検査員の目視判定に頼らざるを得ない検査工程があり、このために製造能力に応じた人数の検査員を確保する必要がある。
【０００５】
しかしながら、例えば２４時間操業で装置の製造を行う場合には、検査員を複数のグループに振り分け、各グループに所定時間の検査作業を割り当てることによって、２４時間に亘って連続した検査を実現する必要がある。すなわち、長時間に亘る連続検査を実現するためには、多数の検査員を確保する必要があり、検査員の人件費が製造コストの増加を招くという問題がある。
【０００６】
本発明は、検査員の人件費を削減して製造コストの増加を抑制することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、検査システムに係わる手段として、検査対象物の画像を検査画像として取得する画像取得装置と、検査画像を表示すると共に、検査員によって検査結果が操作入力される表示端末と、検査対象物を収納する収納手段と、画像取得装置と収納手段との間に検査対象物を搬送する搬送手段と、搬送手段によって検査対象物を画像取得装置に順次搬送させる一方、表示端末に検査対象物の検査結果が操作入力されない場合には、搬送手段によって検査対象物を収納手段に一旦搬送させ、検査結果が操作入力された段階で収納手段の検査対象物を次工程に搬送させるシステム管理手段とを具備する構成を採用する。
【０００８】
また、本発明では、検査方法に係わる手段として、検査対象物を画像取得装置に順次搬送して得られる検査対象物の画像を検査画像として表示端末に順次提供し、表示端末から検査員による検査画像の目視に基づく検査結果が入力されない場合には、検査対象物を画像取得装置から収容手段に搬出し、検査結果が入力された段階で収容手段の検査対象物を次工程に搬送するという構成を採用する。
【０００９】
本発明によれば、検査結果の取得つまり検査員による検査画像の判定を検査画像の所得に対して時間的に切り離すことが可能となる。すなわち、検査員から検査結果が得られない場合でも、検査画像を順次取得することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。なお、本実施形態は、基板（ガラス基板）上にフォトリソグラフィ技術を用いてＴＦＴ等の液晶駆動回路を形成することによって製造される表示デバイスの工程検査に関するものである。
【００１１】
図１は、本実施形態に係わる検査システム（正確には本検査システムを含む製造システム）の機能構成を示すブロック図である。この図において、符号１はフォトリソグラフィ装置、２はエッチング装置、３は画像取得装置、４はオートストッカー（収納手段）、５はＡＧＶ（無人搬送車：搬送手段）、６は自動搬送制御装置、７は製造管理装置、８は表示端末、Ｋは検査装置、またＹは検査員である。
【００１２】
これら各構成要素はＬＡＮを介して相互接続されている。また、画像取得装置３、オートストッカー４、ＡＧＶ５、自動搬送制御装置６、製造管理装置７及び表示端末８は本検査システムを構成し、このうち自動搬送制御装置６及び製造管理装置７は本実施形態におけるシステム管理手段を構成している。
【００１３】
また、各構成要素のうち、フォトリソグラフィ装置１、エッチング装置２、画像取得装置３、オートストッカー４、ＡＧＶ５、自動搬送制御装置６及び製造管理装置７はクリーンルーム内に備えられ、表示端末８及び検査員Ｙは、クリーンルームとは別に設けられた検査室に配置されている。クリーンルーム内に備えられた画像取得装置３と検査室に配置された表示端末８とは検査装置Ｋを構成している。なお、自動搬送制御装置６及び製造管理装置７については、必ずしもクリーンルームに設ける必要はない。
【００１４】
フォトリソグラフィ装置１は、例えば基板上に形成された酸化膜の表面に塗布したレジスト（感光材）をフォトマスクを介して感光させることにより、フォトマスクに対応するパターンを焼き付け転写するものである。エッチング装置２は、所定のエッチング手法によってレジストの非感光部を除去してパターンに相当する感光部のみを基板上から除去するものである。画像取得装置３は、フォトリソグラフィ装置１によってパターンが転写された基板（検査対象物）の表面画像（検査画像）を取得し、当該検査画像を通信回線を介して表示端末８に提供するものである。
【００１５】
オートストッカー４は、ＡＧＶ５から提供された基板を自動収納する一方、収納していた基板を取り出してＡＧＶ５に提供するものである。ＡＧＶ５は、上記フォトリソグラフィ装置１、エッチング装置２、画像取得装置３及びオートストッカー４の間を走行することによりこれら各装置間に基板を自動搬送するものである。自動搬送制御装置６は、ＡＧＶ５及びオートストッカー４を製造管理装置４からの指示の下に制御するものである。製造管理装置７は、所定の制御プログラムに基づいて上記各装置を統括的に制御・管理するものでありる。
【００１６】
表示端末８は、上記検査画像を表示すると共に、検査員Ｙから操作入力された検査結果を通信回線を介して画像取得装置３に送信するものである。検査員Ｙは、検査室で表示端末８を操作することにより、検査画像の目視に基づいてフォトリソグラフィ装置１によるパターン配線の転写状態を検査すると共に、自らの判断による検査結果を画像取得装置３に送信させる。
【００１７】
次に、このように構成された検査システムの動作について、図２に示すフローチャートに沿って説明する。なお、このフローチャートは、制御プログラムに基づく製造管理装置７の処理手順を示すものである。このフローチャートにおいてステップＳ２〜Ｓ６からなる一連処理は検査工程を構成している。
【００１８】
最初に、製造管理装置７は、自動搬送制御装置６に搬送指示を送信することにより基板をフォトリソグラフィ装置１に搬送させ、当該フォトリソグラフィ装置１に基板をリソグラフィ処理させる（リソグラフィ工程：ステップＳ１）。このリソグラフィ工程が終了すると、製造管理装置７は、自動搬送制御装置６に搬送指示を送信することにより、ＡＧＶ５にリソグラフィ処理済の基板をフォトリソグラフィ装置１から画像取得装置３に搬送させる（ステップＳ２）。
【００１９】
ここで、製造管理装置７は、画像取得装置３が先に搬入された基板に関する処理中である場合等、新たに基板を搬入できない状況にある場合には、基板をフォトリソグラフィ装置１から一旦オートストッカー４に搬送して収容させ、画像取得装置３が基板搬入を受け付けることができた段階でオートストッカー４に収容した基板を画像取得装置３に搬送させる。
【００２０】
画像取得装置３は、ＡＧＶ５によって搬入された基板について基板の表面画像（検査画像）を取得して検査室の表示端末８に送信する（ステップＳ３）。製造管理装置７は、この時点で検査結果が表示端末８から画像取得装置３に返信される（すなわち検査完了）のを待つ状態になり、検査画像が表示端末８に送信されてから予め設定された一定時間（待ち時間）が経過しても検査完了しない場合は（ステップＳ４）、ＡＧＶ５に画像取得装置３の基板をオートストッカー４に搬送させる。オートストッカー４は、このように検査結果が出ない状態でＡＧＶ５によって搬入された基板については、「検査結果待ち基板」として収容する。
【００２１】
すなわち、「検査結果待ち基板」がオートストッカー４に搬出させることにより、画像取得装置３は、新たに基板を受け入れて検査画像を取得することが可能な状態となるので、リソグラフィ工程が終了した基板は、画像取得装置３に搬入されて検査画像が順次取得される。そして、このようにして検査画像が取得されたものの検査結果が出ない基板は、「検査結果待ち基板」としてオートストッカー４に順次収容される。
【００２２】
このように待ち時間が経過しても検査結果が得られない「検査結果待ち基板」をオートストッカー４に一時退避させることによって、画像取得装置３における検査画像の取得は、検査結果の有無にかかわらず滞りなく進行する。
【００２３】
一方、製造管理装置７は、オートストッカー４に一時退避させた「検査結果待ち基板」について、後に表示端末８から画像取得装置３に検査結果が入力されると、当該検査結果が得られた「検査結果待ち基板」について検査結果の内容を判断する（ステップＳ５）。また、上記待ち時間内に検査結果が得られた基板についても、検査結果の内容を判断する（ステップＳ５）。
【００２４】
そして、これら各基板について、検査結果が「ＯＫ」つまり検査に合格にした基板は合格基板としてエッチング装置２に搬送されて、エッチング装置２による基板のエッチング処理が行われる（エッチング工程：ステップＳ７）。これに対して、検査結果が「ＮＧ」つまり検査に不合格の基板につては、再生装置（図示略）に搬送させて基板を再生処理される（再生工程：ステップＳ８）。
【００２５】
このような本実施形態によれば、検査員Ｙを検査室に常駐させる必要がない。検査員Ｙが検査室に居ないために検査結果が画像取得装置３に返信されない場合であっても、画像取得装置３による検査画像の取得は継続して行われるので、検査員Ｙによる検査画像の判定作業を画像取得装置３による検査画像の取得処理を切り離したタイミングで行うことが可能となり、つまり検査員Ｙが表示端末８に常時はりついて検査画像が入力される度に判定作業を行う必要がない。
【００２６】
すなわち、例えば複数のグループに一定時間（検査時間）の検査作業を割り当てることによって２４時間に亘る連続検査を実現する場合には、各グループを構成する検査員Ｙを多数確保する必要があるが、本実施形態では２４時間に亘って検査員Ｙを確保する必要がないので、グループ数を減らす（つまり検査員Ｙの人数を削減）することが可能である。
【００２７】
また、本実施形態では、検査員Ｙはクリーンルームとは別の検査室で検査画像を判定する、つまり検査員Ｙはクリーンルームに入室する必要がないので、クリーンルームのクリーン度が検査員によって低下することを防止することができる。
【００２８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形が考えられる。
（１）例えばリソグラフィ工程を複数のフォトリソグラフィ装置１で行うような場合、製造管理装置７で何れのフォトリソグラフィ装置１でリソグラフィ処理を行ったかを把握し、検査結果から不良が多いと判定された方のフォトリソグラフィ装置１への基板の供給を停止すると共に、この供給停止を表示端末８に表示させることが考えられる。このような処理によって検査工程の効率化を図ることが可能となる。
【００２９】
（２）検査画像の取得方法つまり画像取得装置３の構成については種々の構成が考えられるが、例えば基板をＸ−Ｙステージ上に載置し、該Ｘ−Ｙステージによって基板を２次元的に移動させることにより固定配置されたＣＣＤカメラ（撮像手段）で基板表面をスキャンニングして、基板の全表面を検査画像として取得することが考えられる。または、基板を固定配置して撮像範囲の広いＣＣＤカメラで基板の全表面を一括撮像しても良い。
【００３０】
さらには、基板を１軸ステージ上に載置することにより基板上の特定帯状領域だけをＣＣＤカメラで撮像するようにしても良い。何れにしても、検査画像の取得方法は、検査内容に応じて種々の方法が考えられ、基板上の特定の局所部分のみを目視検査すれば良い場合には、局所部分を拡大して撮像するようにズーム機能を有するＣＣＤカメラを用いても良い。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、検査結果の取得つまり検査員による検査画像の判定を検査画像の所得に対して時間的に切り離すことが可能となるので、全検査期間に亘って検査員を確保する必要がなく、よって検査員の削減つまり検査コストの削減を図ることが可能であり、よって製造コストの低減を図ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係わる検査システムの機能構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態に係わる検査システムの動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１……  フォトリソグラフィ装置
２……  エッチング装置
３……  画像取得装置
４……  オートストッカー（収納手段）
５……  ＡＧＶ（無人搬送車：搬送手段）
６……  自動搬送制御装置
７……  製造管理装置
８……  表示端末
Ｋ……検査装置
Ｙ……検査員
【図１】
2004294086.tif 000003
【図２】
2004294086.tif 000004