(57)【要約】【課題】高容量、高品質のアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】１対の入側電極間−液中ローラー−１対の出側電極間にアルミニウム箔を連続的に通過させて表面を粗面化するアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、出側電流密度を入側電流密度の１．１〜１．７倍とすることを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法であり、出側電極の電流を印加する有効電極長さが、入側電極の有効電極長さの６０〜９０％であることを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置である。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１対の入側電極間−液中ローラー−１対の出側電極間にアルミニウム箔を連続的に通過させて表面を粗面化するアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、
出側電流密度を入側電流密度の１．１〜１．７倍とすることを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
【請求項２】
出側電極の電流を印加する有効電極長さが、入側電極の有効電極長さの６０〜９０％であることを特徴とする請求項１記載のアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種電子機器に使用されるアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法およびその製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
アルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔は、塩酸を含む溶液中で直流または交流をアルミニウム箔に印加して陽極電解し、表面を粗面化することで得られる。直流を印加する場合は、給電ローラーに接触させたアルミニウム箔と溶液中のカーボン等の電極板との間で陽極電解している。（例えば、非特許文献１参照。）
【０００３】
【非特許文献１】
永田伊佐也，「電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ」，日本蓄電器工業株式会社，ｐ．２５０−２５２
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図３は従来のアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の中高圧用エッチング機の概略図であり、１はロール状に巻回されたアルミニウム箔を供給する巻き出しロール、２は前処理槽、３はアルミニウム原箔、４はエッチング孔（ピット）を発生させる一次エッチング槽、５はエッチング用直流電源より直流電流を印加している給電ローラー、６は入側電極板、７は出側電極板、８は発生したピットの孔径を拡大する二次エッチング槽、９は乾燥炉、１０は巻き取りロールである。図４は図３の一次エッチング槽の概略図である。
【０００５】
このように構成された中高圧エッチング機を用いて、アルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔を製造する場合を説明する。
【０００６】
まず、アルミニウム原箔３として７０〜１１０μｍのものを用い、前処理槽２でアルカリまたは酸系の処理液により表面を清浄にする。次に、この前処理済みのアルミニウム箔を一次エッチング槽４に搬送し、７０〜９０℃に加温した塩酸と硫酸・硝酸・リン酸等との混酸のエッチング液にアルミニウム箔を浸漬する。
【０００７】
この時、アルミニウム箔が正極となるよう給電ローラー５と、アルミニウム箔の両側に平行に配置した入側電極板６および出側電極板７を負極として直流電流を印加することにより、アルミニウム箔を電気化学的にエッチングしてピットを発生させる。
【０００８】
次に、このピットが発生したエッチング箔を二次エッチング槽８に搬送し、７０〜９０℃に加温した塩酸系もしくは硝酸系のエッチング液に浸漬し、化学エッチングによりピットの孔径を拡大する。
【０００９】
その後、図示しない洗浄工程でエッチング箔を洗浄し、乾燥炉９による乾燥工程を経て巻き取りロール１０に巻き取ることによりアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔を製造していた。
【００１０】
しかしながら上記従来のアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法では、入側電極板６を通過した段階でアルミニウム原箔３はピットが発生し表面積が拡大されているため、出側電極板７に突入する際、実効電流密度が低下し効率よくピット発生しないという問題を有していた。
【００１１】
本発明は上記課題を解決し、アルミニウム箔単位面積当たりの静電容量を高めるとともに、アルミニウム箔幅方向の静電容量バラツキを少なくするアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法およびその製造装置を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、１対の入側電極間−液中ローラー−１対の出側電極間にアルミニウム箔を連続的に通過させて表面を粗面化するアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、
出側電流密度を入側電流密度の１．１〜１．７倍とすることを特徴とするアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法である。
【００１３】
そして、出側電極の電流を印加する有効電極長さが、入側電極の有効電極長さの６０〜９０％であることを特徴とする請求項１記載のアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例について図面を用いて説明する。なお、従来のエッチング機と同じ構成の部品には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１５】
図１は本発明による一次エッチング槽の概略図であり、入側電極６の液面下電極長をＬ１、出側電極７の液面下電極長をＬ２とした。
【００１６】
エッチング箔の製造条件は公知の条件に従い、アルミニウム原箔３には、市販のアルミニウム純度４−９％、厚み１０４μｍ、幅５００ｍｍを使用し、一次エッチング槽４には、８０℃、５ｗｔ％塩酸＋２０ｗｔ％硫酸混合液を満たし、４０００Ａで、２０クーロン／ｃｍ２の電解処理を行い、二次エッチング槽８では、８０℃、５ｗｔ％の硝酸溶液に浸漬して化学エッチングを行った。化学エッチングは、浸漬時間を調整し、溶解量が５ｍｇ／ｃｍ２となるように調整した。
【００１７】
出側電極長さＬ２を表１とした条件でエッチング箔を製造し、エッチング箔の有効幅を４８０ｍｍとして、等間隔に１２点打ち抜いたものを化成評価用試料とした。
化成条件は、ＥＩＡＪ  ＲＣ―２３６４（１９９２）に従って、２５０Ｖで化成を行い、幅方向の容量を測定し、容量バラツキを計算して表１の結果を得た。
【００１８】
【表１】
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【００１９】
表１より入側電極長に対して出側電極長（Ｌ２／Ｌ１）が６０〜９０％（電流密度比：１．１〜１．７）の実施例１〜４は、従来例より高容量で、幅方向の容量バラツキが少なくなっていることが分かる。しかし、Ｌ２／Ｌ１が９５％（電流密度比：１．０５）の比較例１は、容量アップおよび容量バラツキの抑制効果が充分ではなく、Ｌ２／Ｌ１が５０％（電流密度比：２．０）の比較例２は、容量が低下しており問題である。よって、入側電流密度に対する出側電流密度は、１．１〜１．７倍の範囲でエッチングを行う必要があり、入側電極長に対する出側電極長は６０〜９０％の範囲にする必要がある。
【００２０】
これは、入側印加電流密度と出側印加電流密度が等しい従来例の場合、入側電極間での粗面化によりアルミニウム箔の表面積が拡大されているため、出側電極間でアルミニウム箔に印加される実効電流密度が低下し、最適なエッチング条件と異なってしまう。しかし、本願発明による実施例の場合、出側印加電流密度を高めているため、出側電極間でアルミニウム箔に印加される実効電流密度が最適な範囲になるため、従来より高容量で容量バラツキが少ないエッチング箔が得られると考えられる。
【００２１】
図２は本発明によるその他の実施例の一次エッチング槽の概略図で、出側電極７の上部を絶縁板１１で覆った以外は図１と同じである。本構造にて上記と同様の評価を行った結果、表２の結果を得た。
【００２２】
【表２】
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【００２３】
表２より、本発明による実施例は、従来例より高容量であり、バラツキが抑制されていることが分かる。
【００２４】
本発明は実施例に限定されるものではなく、図１および図２では入側電極と出側電極への給電を１つの電源で行っているが、それぞれ独立した電源から給電してもよい。また、電解エッチングを１段だけでなく、異なる条件で２段、３段と行う場合においても、それぞれまたは特定段だけに本発明を適用することができる。さらに、本実施例のような直流や非対象波形を直接アルミニウム箔に印加する電解エッチングだけでなく、電極板間に交流を給電し間接的にアルミニウム箔を電解エッチングする方法にも適用することができる。
【００２５】
【発明の効果】
以上のとおり、本発明によるアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法および製造装置は、出側電流密度を入側電流密度の１．１〜１．７倍、より具体的には出側有効電極長さを入側有効電極長さの６０〜９０％とすることにより、出側電極間でのアルミニウム箔の実効電流密度が増加し、発生するピットの密度を高めることができるので、単位面積当たりの静電容量を高めることができ、静電容量バラツキを抑制し、高容量、高品質のアルミニウム電解コンデンサ用エッチング箔を製造することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による実施例の一次エッチング槽の概略図
【図２】本発明によるその他の実施例の一次エッチング槽の概略図
【図３】従来のエッチング機の概略図
【図４】図３の一次エッチング槽の概略図
【符号の説明】
１  巻き出しロール
２  前処理槽
３  アルミニウム原箔陰電極
４  一次エッチング槽
５  給電ローラー
６  入側電極
７  出側電極
８  二次エッチング槽
９  乾燥炉
１０  巻き取りロール
１１  絶縁板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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