(57)【要約】【課題】高いダイナミック電圧を必要とせずに、画面中央では径小かつ真円のビームスポットとしつつ、かつ画面周辺ではヘイズ部の生成を抑え、画面全領域において高解像度とすることのできるカラー受像管を提供することを目的とする。【解決手段】電界放出型陰極９のエミッタエリア１４は全体で略円形をなしている。エミッタエリア１４は、Ｙ軸方向に横長の略楕円形状の主エミッタエリア１４ａと、主エミッタエリア１４ａの上下に形成された三日月形状の副エミッタエリア１４ｂ、１４ｃとに３分割されている。電子ビームの偏向角度の増大に伴って、画面中央部ではエミッタエリア１４全体から電子を電界放出し、画面周辺部では主エミッタエリア１４ａのみから電子を電界放出する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子を電界放出する複数個の冷陰極アレイと前記電界放出を制御するゲート電極とを有する電界放出型陰極と、前記電界放出型陰極から射出された電子ビームをスクリーンで集束させる主電子レンズを生成する電極とを有する冷陰極電子銃を備え、
前記電子ビームの偏向角度の増大に伴って、前記主電子レンズに入射する電子ビームの垂直径を水平径よりも小さくすることを特徴とするカラー受像管。
【請求項２】
前記電界放出型陰極の電界放出状態を制御することにより、前記電子ビームの垂直径を水平径よりも小さくすることを特徴とする請求項１記載のカラー受像管。
【請求項３】
前記複数個の冷陰極アレイが配列されたエミッタエリアが、主エミッタエリアと前記主エミッタエリアの上下に配置された副エミッタエリアとにスクリーン垂直方向に３分割され、画面中央部では前記エミッタエリア全体から電子が放出され、画面周辺部では前記主エミッタエリアのみから電子が電界放出されることを特徴とする請求項２記載のカラー受像管。
【請求項４】
前記主エミッタエリアが楕円形状であり、前記副エミッタエリアが三日月形状であり、前記エミッタエリア全体で略円形形状であることを特徴とする請求項３記載のカラー受像管。
【請求項５】
前記副エミッタエリアがスクリーン垂直方向に複数個に分割されていることを特徴とする請求項３又は請求項４記載のカラー受像管。
【請求項６】
前記冷陰極電子銃の低電圧側領域において、前記電子ビームの垂直径を水平径よりも小さくすることを特徴とする請求項１記載のカラー受像管。
【請求項７】
前記電界放出型陰極と前記主電子レンズを生成する電極との間に、第１電極、第２電極、第３電極が順次に配設され、電子ビームの偏向に応じて前記第１電極と前記第２電極との間及び前記第２電極と前記第３電極との間に所定の電位差を生じさせることにより垂直方向の集束作用が水平方向の集束作用よりも大きい合成電界レンズを生成させ、前記電子ビームの偏向角度の増大に伴って前記主電子レンズに入射する電子ビームの垂直径を水平径よりも小さくすることを特徴とする請求項６記載のカラー受像管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷陰極電子銃を有するカラー受像管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般にカラー受像管は、図１１に示すように、ガラスバルブ１０１と、ガラスバルブ１０１のスクリーン部１０２の内側に形成された蛍光面１０３と、ガラスバルブ１０１のネック部１０４に封入された電子銃１０５と、ガラスバルブ１０１の外周に装着された偏向ヨーク１０７とを備えており、電子銃１０５から射出された電子ビーム１０８を偏向ヨーク１０７で偏向して、スクリーン部１０２に画像を表示するものである。カラー受像管においては画面全域で高解像度であることが好ましい。
【０００３】
画面全域で高解像度としたカラー受像管がある（例えば、特許文献１参照）。この従来のカラー受像管について以下に説明する。
【０００４】
この従来のカラー受像管はインライン型電子銃を搭載し、画面周辺部での３本の電子ビームの集中を偏向磁界による磁界レンズによって行うセルフコンバー方式のカラー受像管であり、図１２（ａ）に示すように、その電子銃は、熱陰極１１２、制御電極１１３、加速電極１１４、第１集束電極１１５、第２集束電極１１６及び最終加速電極１１７が順次に配設されたものである。また、第１集束電極１１５の第２集束電極側面には縦長の３つの電子ビーム通過孔が設けられ、第２集束電極１１６の第１集束電極側面には横長の１つの電子ビーム通過孔が設けられている。そして、第２集束電極１１６には、電子ビームが偏向されるに伴い、第１集束電極１１５の電位より高くなるようなダイナミック電圧が印加されている。
【０００５】
これにより、図１２（ｂ）に示すように、第１集束電極１１５及び第２集束電極１１６の間には、画面周辺偏向時では、水平方向に集束作用であって垂直方向に発散作用を有する４重極レンズ１１８が生成される。従って、画面中央偏向時の電子ビーム（実線）は、スクリーン部で径小かつ真円のビームスポット形状１１９となる。一方、画面周辺偏向時の電子ビーム（破線）は、主電子レンズ１２０に入射する前に４重極レンズ１１８を通過することにより、４重極レンズ１１８と偏向ヨークによる磁界レンズ１２１とにより垂直方向への集束レンズ作用が相殺されるので、スクリーン部で最適フォーカスとなりヘイズのないビームスポット形状１２２となる。
【０００６】
【特許文献１】
特開昭６１−９９２４９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のカラー受像管では、主電子レンズ１２０を生成させるための第２集束電極１１６の電位が高いため、４重極レンズ１１８を生成させるために印加するダイナミック電圧も高くしなければならなかった。ダイナミック電圧が高すぎると、ダイナミック電圧を供給するステムピン間で放電が生じ、カラー受像管が適切に動作しないという問題があった。
【０００８】
本発明は、高いダイナミック電圧を必要とせずに、画面中央部では径小かつ真円のビームスポットとしつつ、かつ画面周辺部ではヘイズ部の発生を抑え、画面全領域において高解像度とすることのできるカラー受像管を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るカラー受像管は、電子を電界放出する複数個の冷陰極アレイと前記電界放出を制御するゲート電極とを有する電界放出型陰極と、前記電界放出型陰極から射出された電子ビームをスクリーンで集束させる主電子レンズを生成する電極とを有する冷陰極電子銃を備え、前記電子ビームの偏向角度の増大に伴って、前記主電子レンズに入射する電子ビームの垂直径を水平径よりも小さくすることを特徴とするものである。
【００１０】
これにより、画面中央部では径小かつ真円のビームスポットとしつつ、画面周辺部ではヘイズ部の生成を抑えることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係るカラー受像管について、図面を参照しながら説明する。尚、カラー受像管の管軸をＺ軸とし、Ｚ軸を通りかつＺ軸に垂直な水平方向の軸をＸ軸（スクリーン水平方向）とし、Ｚ軸を通りかつＺ軸に垂直な垂直方向の軸をＹ軸（スクリーン垂直方向）として説明する。また、本発明の実施形態に係るカラー受像管において、画面中央部とは、スクリーン部中心を中心とし、スクリーン部の略縦径を直径とする円形領域のことをいい、画面周辺部とは、スクリーン部から画面中央部を除いた領域のことをいう。
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るカラー受像管の断面図である。
【００１３】
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係るカラー受像管は、ガラスバルブ１と、ガラスバルブ１のスクリーン部２の内側に形成された蛍光面３と、ガラスバルブ１のネック部４に封入された冷陰極電子銃５とを備えている。また、ガラスバルブ１の内部には蛍光面３と対向してシャドウマスク６が配設され、ガラスバルブ１の外周には偏向ヨーク７が装着されている。冷陰極電子銃５から射出された電子ビーム８は、偏向ヨーク７によって偏向され、シャドウマスク６の細孔を通って蛍光面３に到達し、スクリーン部２に画像を表示させる。
【００１４】
図２は、本実施形態に係るカラー受像管に搭載される冷陰極電子銃５の外観斜視図である。
【００１５】
図２に示すように、冷陰極電子銃５は、電界放出型陰極９、制御電極１０、加速電極１１、集束電極１２、最終加速電極１３が順次に配設されたものである。尚、本実施形態に係る冷陰極電子銃において、電界放出型陰極９、制御電極１０及び加速電極１１に印加される電圧は低電位であるので、これら電界放出型陰極９、制御電極１０及び加速電極１１の周辺を低電圧側領域という。このことは、第２の実施形態においても同様である。
【００１６】
電界放出型陰極９は、赤、緑、青３色の信号に対応し、各色の蛍光体を励起発光させる電子ビームを射出するものである。
【００１７】
集束電極１２と最終加速電極１３は、主電子レンズを生成させるものであり、集束電極１２と最終加速電極１３とは対向して配設されている。集束電極１２には５ｋ〜８ｋＶ程度の電圧がステム部を経由して印加される。最終加速電極１３には２５ｋ〜３５ｋＶ程度の高電圧がガラスバルブ外壁にあるアノードボタンからガラスバルブ内壁を経由して印加される。尚、集束電極は１つに限らず複数に分割して配設することもでき、この場合、これらの電極にはステム部からそれぞれ所定の電圧が印加される。
【００１８】
図３は、本実施形態に係る冷陰極電子銃５の電界放出型陰極９のエミッタエリア（電界放出部）を示す拡大平面図である。尚、図３においては、緑色信号に対応する電子ビームを射出する部分を示したが、他の２色についても同様の構造である。
【００１９】
図３に示すように、電界放出型陰極９のエミッタエリア１４は全体で略円形をなしており、エミッタエリアには複数個の突出形状の冷陰極アレイ１５が配列されている。エミッタエリア１４は、上下（Ｘ軸方向）に３分割された構造を有し、Ｙ軸方向に横長の略楕円形状の主エミッタエリア１４ａと、主エミッタエリア１４ａの上下に形成された三日月形状の副エミッタエリア１４ｂ、１４ｃとで構成されている。本実施形態に係るカラー受像管では、電子ビームが画面中央部に偏向されている場合は電界放出型陰極９のエミッタエリア１４全体から電子が電界放出されるように、また、電子ビームが画面周辺部に偏向されている場合は主エミッタエリア１４ａのみから電子が電界放出されるように電界放出状態を切り替え制御する。これにより、画面周辺偏向時における電子ビームの垂直径を水平径よりも小さくすることができる。特に、以下に説明するクロスオーバを形成することで容易に電子ビームの垂直径を水平径よりも小さくすることができる。
【００２０】
図４は、冷陰極電子銃５の電界放出型陰極９、制御電極１０及び加速電極１１の断面図である。尚、図４においては、緑色信号に対応する電子ビームが射出される部分を示したが、他の２色についても同様の構造である。
【００２１】
図４に示すように、電界放出型陰極９は、上記冷陰極アレイ１５が形成されたエミッタ電極１６と、電界放出を制御するゲート電極１７と、エミッタ電極１６とゲート電極１７との間に介在する絶縁層１８とを有する。また、ゲート電極１７の周囲には制御電極１０が配設されている。
【００２２】
次に、本実施形態に係るカラー受像管の動作について説明する。
【００２３】
図４におけるエミッタ電極１６とゲート電極１７との間の電位差（ゲート電圧）Ｖｅｘ、エミッタ電極１６と制御電極１０との間の電位差Ｖｆ及びエミッタ電極１６と加速電極１１との間の電位差Ｖｇ２は次式を満足する。
【００２４】
Ｖｆ＜Ｖｅｘ＜Ｖｇ２
例えば、Ｖｅｘを６０（Ｖ）とし、Ｖｆを０（Ｖ）とし、Ｖｇ２を４．６（ｋＶ）とする。
【００２５】
このように、制御電極１０はゲート電極１７よりも低電位となっているので、冷陰極アレイ１５から射出された電子ビームは強い集束作用を受ける。この集束作用に加えて、ゲート電極１７、制御電極１０及び加速電極１１によってエミッタ電極１６の近傍に形成される屈曲率の小さな電界レンズによっても電子ビームは強い集束作用を受ける。更に、エミッタ電極１６と加速電極１１との電位差を大きくして、Ｚ軸方向に関する電界強度を高めることによっても集束作用を強化し、電子ビームの広がりを調節する。これにより、クロスオーバ径を冷陰極アレイ１５の電子出射径よりも小さくすることができるので、最終的にビームスポット径を小さくすることができる。
【００２６】
本実施形態に係るカラー受像管に関する電子ビーム軌道のシミュレーション結果について図５を用いて説明する。尚、このシミュレーションは、Ｖｅｘを６０（Ｖ）とし、Ｖｆを０（Ｖ）とし、Ｖｇ２を４．６（ｋＶ）とし、電子射出速度を６０（ｅＶ）として行った。
【００２７】
図５に示すように、電界放出型陰極９から射出した電子ビームはクロスオーバ１９を形成する。また、クロスオーバでの垂直方向の電子ビームの出射角度（α）２０は、図６に示すように、実際に電子を電界放出するエッミタエリアの径にほぼ比例する。尚、図５において出射角度（α）とは、クロスオーバ１９において軸上を交差するビーム軌道がＺ軸となす角度のうちの最大角度のことである。
【００２８】
電界放出型陰極９から射出した電子ビームの軌道について図７を用いて説明する。尚、図７は、本実施形態に係る冷陰極電子銃の電界レンズ、電子ビームの軌道及びビーム形状を示したものであり、実線のビーム軌道は画面中央偏向時のビーム軌道であり、点線のビーム軌道は画面周辺偏向時のビーム軌道である。
【００２９】
本実施形態に係るカラー受像管では、画面中央偏向時においては略円形のエミッタエリア１４全体から電子を電界放出させる。これにより、図７に示すように、主電子レンズ２１に入射する電子ビーム形状２２はほぼ円形となる。この場合、電子ビームは、主電子レンズ２１の通過後に磁界レンズ２３のレンズ効果を受け、スクリーン部で径小かつ真円のビームスポット２４となる。
【００３０】
一方、画面周辺偏向時においては略楕円形状の主エミッタエリア１４ａのみから電子を電界放出させる。そして、図６に示したようにクロスオーバでの垂直方向の電子ビーム出射角度とエミッタエリア径が比例していることから、主電子レンズ２１に入射する電子ビーム形状２５は、垂直径が水平径に対して小さい横長楕円形形状（本実施形態での縦横比は約２対３）となる。従ってこの場合、電子ビームは、主電子レンズ２１の通過後、磁界レンズ２３によって垂直方向に集束作用のレンズ効果を受けるが、電子ビームの垂直径が小さいためオーバーフォーカス量は小さく、スクリーン部でヘイズ部の小さいビームスポット２６とすることができる。尚、上記エミッタエリアの電界放出状態の切り替えは、１００Ｖ程度の電圧によりオンオフできる。
【００３１】
以上、本実施形態に係るカラー受像管は、画面中央部で径小かつ真円のビームスポット径となるように設定したとしても、主電子レンズを生成する電極とは別の部材によって画面中央部と周辺部とでエミッタエリアの電界放出状態を上述のように切り替えることで、主電子レンズに入射する電子ビームの垂直径を水平径よりも小さく、すなわち、電子ビームを横長楕円形状とすることができる。従って、従来技術のように高いダイナミック電圧（約１ｋＶ）を要することなく、画面周辺部において電子ビームのオーバーフォーカス状態を回避してヘイズ部の生成を抑えることができる。よって、画面全領域においてビームスポット径が円形でかつ小さくすることができるので、高解像度の画像を表示させることができるカラー受像管を提供することができる。
【００３２】
尚、本実施形態に係るカラー受像管では、主エミッタエリア１４ａを略楕円形状とし、その上下に形成した副エミッタエリアを略三日月形状として、エミッタエリア全体で円形形状としたが、主エミッタエリアを略横長矩形とするとともに、上下に形成する副エミッタエリアも略横長矩形とし、エミッタエリア全体で略正方形形状とした構成でも構わない。また、上下の副エミッタエリアをそれぞれスクリーン垂直方向にさらに複数個に分割し、エミッタエリア全体で５分割以上とすることもできる。これにより、画面周辺部において画面中央から周辺に向かうにつれて大きくなるヘイズ部に対して個々に補正することができるので、画面全領域でヘイズ部の生成を全くなくすことができる。
【００３３】
また、本実施形態に係るカラー受像管では、クロスオーバを形成する電子銃として図４に示すように陰極と制御電極とを一体化した構造のものとしたが、この構造に限定するものではなく、例えば、当該陰極と制御電極とを分離した構造のものでもよい。
【００３４】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係るカラー受像管は、図２に示す冷陰極電子銃において電界放出型陰極９のエミッタエリアを分割することなく１つの円形エミッタエリアとし、電界放出型陰極９からスクリーン側に向かって第１電極、第２電極及び第３電極を順次に配設した構造のものである。図８は、制御電極１０を３分割にしたものを示したものであり、電界放出型陰極、制御電極及び加速電極を模式的に示したものである。
【００３５】
図８に示すように、本実施形態に係る冷陰極電子銃３０は、電界放出型陰極３１、第１制御電極３２、第２制御電極３３、第３制御電極３４、加速電極１１、集束電極（図示せず）及び最終加速電極（図示せず）が順次に配設されたものである。
【００３６】
図９は、本実施形態に係る冷陰極電子銃３０の電界放出型陰極３１の正面図である。尚、図９においては、緑色信号に対応する電子ビームを射出する部分を示したが、他の２色についても同様の構造である。
【００３７】
図９に示すように、電界放出型陰極３１のエミッタエリア３５は第１の実施形態のエミッタエリアとは異なり分割されることなく全体で１つの略円形形状である。また、エミッタエリア３５には複数個の突出形状の冷陰極アレイ１５が配列されているのは第１の実施形態に係る電界放出型陰極と同様である。
【００３８】
尚、本実施形態に係るカラー受像管のその他の構成は、第１の実施形態に係るカラー受像管と同様なので、その説明は省略する。
【００３９】
以下、本実施形態に係るカラー受像管の動作について説明する。
【００４０】
本実施形態に係るカラー受像管では、図８に示すように、画面周辺偏向時において、第１制御電極３２と第２制御電極３３と間に電位差を生じさせて水平方向に発散作用であって垂直方向に集束作用を有する電界レンズ３６を生成させ、第２制御電極３３と第３制御電極３４との間には水平／垂直方向共に集束作用を有する電界レンズ３７を生成させる。これにより、水平方向のレンズ作用は相殺され、垂直方向の集束作用が水平方向の集束作用よりも大きいレンズ作用を有する合成電界レンズを得ることができる。尚、水平方向のレンズ作用を全くなくし、垂直方向にのみ集束作用を有する合成電界レンズを生成するようにしても構わない。
【００４１】
上記電界レンズ３６、３７を生成させるためには、第１〜第３制御電極についての電子ビーム通過孔形状と印加電圧関係を次のようにすればよい。すなわち、第１制御電極３２の第２制御電極側面に縦長矩形の電子ビーム通過孔を設ける。第２制御電極３３の第１制御電極３２側面には横長矩形の絞りを、第３制御電極３４側面には円形の電子ビーム通過孔を設ける。第３制御電極３４の第２制御電極３３側面には円形の電子ビーム通過孔を設ける。また、第１制御電極３２と第３制御電極３４とを電気的に接続して同電位としつつ、電子ビームの偏向に伴って、第２制御電極３３の電位が第１制御電極３２の電位（第３制御電極３４の電位）よりも高くなるようなダイナミック電圧を印加する。
【００４２】
これにより、垂直方向の集束作用が水平方向の集束作用よりも大きいレンズ作用を有する合成電界レンズを得ることができ、図７に示すように、第１の実施形態に係るカラー受像管と同様、水平方向のレンズ作用を変化させることなく、画面周辺部における主電子レンズ２１に入射する電子ビーム形状２３を、垂直径が水平径に対して小さい横長楕円形形状とすることができる。これにより、画面周辺部におけるビームスポットのヘイズの発生を抑制することができる。
【００４３】
また、本実施形態に係るカラー受像管では、制御電極付近という低電圧側領域に主電子レンズを生成する電極とは独立して第１〜第３電極を設けているので、低いダイナミック電圧で電子ビーム形状の垂直径を水平径に対して小さくすることができる。これは、制御電極付近の低電圧側領域においては、電子ビーム速度が集束電極付近と比べ十分小さいので、制御電極付近の電極の印加電圧を主電子レンズを生成する電極の印加電圧に対して小さくすることができるからである。
【００４４】
よって、本実施形態に係るカラー受像管においても、第１の実施形態に係るカラー受像管と同様に、画面中央部で径小かつ真円のビームスポット径となるように設定したとしても、主電子レンズに入射する電子ビーム形状を横長楕円形状とすることができるので、従来技術のように高いダイナミック電圧を要することなく、画面周辺部において電子ビームのオーバーフォーカス状態を回避してヘイズ部の生成を抑えることができる。よって、画面全領域においてビームスポット径が円形でかつ小さくすることができるので、高解像度の画像を表示できるカラー受像管を提供することができる。
【００４５】
尚、本実施形態に係るカラー受像管では、冷陰極電子銃の制御電極を３分割にして、所定の電圧を印加して垂直方向にのみ集束作用の電界レンズを生成したが、図１０に示すように、制御電極を分割することなく加速電極を３分割し、第１加速電極３８、第２加速電極３９及び第３加速電極４０とし、これら第１〜第３加速電極の電子ビーム通過孔形状及び印加電圧を、本実施形態に係る第１〜第３の制御電極の電子ビーム通過孔形状及び印加電圧と同様の構成としても構わない。これにより、本実施形態と同様に、画面周辺部における主電子レンズ２１に入射する電子ビーム形状２３を、垂直径が水平径に対して小さい横長楕円形形状を生成することができ同様の効果を得ることができる。
【００４６】
また、制御電極又は加速電極を３分割することなく、主電子レンズを生成する集束電極よりも陰極側に、第１〜第３電極に相当する３つの集束電極を設けても同様の効果を奏することができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上、本発明に係るカラー受像管は、電子ビームの偏向角度の増大に伴って、主電子レンズに入射する電子ビームの垂直径を水平径よりも大きくすることにより、高いダイナミック電圧を必要とせずに、画面中央では径小かつ真円のビームスポットとし、かつ画面周辺ではヘイズ部の生成を抑えることができる。よって、画面全領域にて高解像度とすることのできるカラー受像管を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るカラー受像管のＹＺ平面における断面図
【図２】本発明の第１の実施形態に係るカラー受像管に搭載される冷陰極電子銃の外観斜視図
【図３】本発明の第１の実施形態に係るカラー受像管の冷陰極電子銃における電界放出型陰極のエミッタエリアを示す拡大平面図
【図４】本発明の第１の実施形態に係るカラー受像管の冷陰極電子銃における電界放出型陰極、制御電極及び加速電極の断面図
【図５】本発明の第１の実施形態に係るカラー受像管において電界放出型陰極から射出した電子ビーム軌道を示す図
【図６】クロスオーバでの電子ビームの出射角度とエッミタエリアの径との関係を示す図
【図７】本発明の第１及び第２の実施形態に係るカラー受像管に搭載される冷陰極電子銃で生成される電界レンズ、ビーム軌道、ビーム形状及びビームスポット形状を示す図
【図８】本発明の第２の実施形態に係るカラー受像管の冷陰極電子銃の要部断面図及びこの電子銃で生成される主要な電界レンズを示す図
【図９】本発明の第２の実施形態に係るカラー受像管に搭載される冷陰極電子銃の電界放出型陰極の正面図
【図１０】本発明の第２の実施形態に係るカラー受像管の冷陰極電子銃の変形例の電極構成を示す図
【図１１】従来のカラー受像管の断面図
【図１２】（ａ）従来のカラー受像管に搭載される電子銃の外観斜視図
（ｂ）従来のカラー受像管によって生成される電界レンズ及び電子ビーム軌道を示す図
【符号の説明】
１  ガラスバルブ
２  スクリーン部
３  蛍光面
４  ネック部
５  冷陰極電子銃
６  シャドウマスク
７  偏向ヨーク
８  電子ビーム
９  電界放出型陰極
１０  制御電極
１１  加速電極
１２  集束電極
１３  最終加速電極
１４  エミッタエリア
１４ａ  主エミッタエリア
１４ｂ、１４ｃ  副エミッタエリア
１５  冷陰極アレイ
１６  エミッタ電極
１７  ゲート電極
１８  絶縁層
１９  クロスオーバ
２０  出射角度
２１  主電子レンズ
２２、２５  電子ビーム形状
２３  磁界レンズ
２４、２６  ビームスポット形状
【図１】
2004200038.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004200038.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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