(57)【要約】【課題】煩雑な手順を伴うことなくプローブを実装端子に精度よく接続することのできる液晶パネルの検査装置を提供する。【解決手段】一対のアーム７６，７７の側面に設定した位置出し面８４，８５を用い、対向基板１０２の外形を基準としてチップテーブル７２上に載置した液晶パネル１００の位置決めを行うとともに、チップテーブル７２上に位置決めした液晶パネル１００の実装端子１０３に対してプローブ６０を一軸方向のみに相対移動させて電気的に接続させる。【選択図】　　図１
2004101941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材と、
前記位置規定部材でチップテーブル上に位置決めした液晶パネルの実装端子に対してプローブを１軸方向のみに相対移動させて電気的に接続させるプローブ支持手段とを具備したことを特徴とする液晶パネルの検査装置。
【請求項２】
前記位置規定部材は、前記対向基板の４つの側面に当接する部分を有しこれらの当接部分によって前記液晶パネルを移動させて位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項３】
前記位置規定部材は、相互に逆方向に移動する２対の位置出し面によって前記対向基板の４つの側面に当接する部分を構成することを特徴とする請求項２に記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項４】
前記２対の位置出し面は、相互に逆方向に移動する１対の部材によって構成されることを特徴とする請求項３に記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項５】
前記位置規定部材は、相互に直角な２つの面を有する一対の部材によって前記対向基板の４つの側面に前記対向基板のコーナーにおいて当接することを特徴とする請求項２に記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項６】
前記チップテーブルは、水平に支持されることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項７】
前記プローブ支持手段は、プローブを前記液晶パネルに直交する軸方向に相対移動させることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項８】
前記液晶パネルに対する検査光路上に、当該検査光の光量を調節する光量調節フィルタを配設したことを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れかに記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項９】
前記液晶パネルに対する検査光路上に、所定の波長領域の検査光を透過する色フィルタを配設したことを特徴とする請求項１乃至請求項８の何れかに記載の液晶パネルの検査装置。
【請求項１０】
素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルをチップテーブルに載置する手順と、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする手順と、
前記チップテーブル上に位置決めした液晶パネルの実装端子に対しプローブを１軸方向のみに相対移動させて電気的に接続させる手順とを具備したことを特徴とする液晶パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の素子基板が構成されたマザーガラス基板に対向基板を貼り合わせた後に分断された液晶パネルの検査装置及びその検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶ライトバルブ等に用いられるＴＦＴ（Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）型の液晶パネルは、一般に、以下の製造工程を経て製造される。すなわち、複数の素子基板が一体的に作り込まれたマザーガラス基板上に、所定に切り出された各対向基板が素子基板毎に対応して貼り合わされ、これにより、マザーガラス基板上に各液晶パネルの空セルが形成される。その後、各空セル内に液晶が注入されて封止されることにより、マザーガラス基板上に複数の液晶パネルが連続形成される。そして、マザーガラス基板に各液晶パネルに沿った切り込みが形成され、この切り込みを利用して各液晶パネルを分断することにより個々の液晶パネルが得られる。
【０００３】
ところで、完成した液晶パネルは、モジュール化等がなされる前に、表示検査が行われる。この種の表示検査を行うための検査装置として、例えば、特許文献１には、高輝度光源を使用した光源装置と、光源装置から出射された光束の照度分布を均一にする均一照明光学系と、位置決めピン及びｘ，ｙ，ｚ，θ補正機構を備えた液晶パネル載置台と、液晶パネルの実装端子に対応する接触針（プローブ）を有し制御回路からの表示信号を液晶パネルに印加するプローブカードと、投射光学系とを備えた検査装置が開示されている。また、上記特許文献１には、液晶パネル載置台にｘ，ｙ，ｚ，θ補正機構を設けることに代えて、プローブカードにｘ，ｙ，ｚ，θ補正機構部を設ける技術も開示されている。
【０００４】
このような技術によれば、液晶パネル載置台或いはプローブカードにｘ，ｙ，ｚ，θ補正機構を設けることにより、液晶パネルの分割時に発生する素子基板のバリと位置決めピンとの干渉に起因した位置決め精度の低下を補って、実装端子とプローブとの電気的な接続を精度よく行うことができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２５５５２６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の特許文献１に開示された技術では、位置決めピンによる液晶パネルの位置決め精度を補うために、ｘ，ｙ，ｚ，θ補正機構部による位置決め補正を液晶パネル毎に行う必要があり、プローブと実装端子との接続に煩雑な手順を必要とする。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、煩雑な手順を伴うことなくプローブを実装端子に精度よく接続することのできる液晶パネルの検査装置及びその検査方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る液晶パネルの検査装置は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材と、前記位置規定部材でチップテーブル上に位置決めした液晶パネルの実装端子に対してプローブを１軸方向のみに相対移動させて電気的に接続させるプローブ支持手段とを具備したことを特徴とする。
【０００９】
このような構成によれば、チップテーブル上に載置された液晶パネルは、位置規定部材により液晶パネルの対向基板の外形を基準として位置決めされる。対向基板の外形精度は高いため、液晶パネルはチップテーブル上に高精度に位置決めされる。そして、チップテーブル上に位置決めされた液晶パネルの実装端子に対してプローブが１軸方向のみに相対移動して電気的に接続される。液晶パネルはチップテーブル上に高精度に位置決めされており、このように高精度に位置決めされた液晶パネルの実装端子に対してプローブが１軸方向のみに相対移動することにより、プローブを実装端子に精度よく接続することができる。
【００１０】
前記位置規定部材は、前記対向基板の４つの側面に当接する部分を有しこれらの当接部分によって前記液晶パネルを移動させて位置決めを行うことを特徴とする。
【００１１】
このような構成によれば、位置規定部材は対向基板の４つの側面に当接する部分によって液晶パネルを移動させることで位置決めを行う。
【００１２】
前記位置規定部材は、相互に逆方向に移動する２対の位置出し面によって前記対向基板の４つの側面に当接する部分を構成することを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、相互に逆方向に移動する２対の位置出し面は、夫々対向基板の４つの側面に当接する。対向基板の相対する側面同士は相互に逆方向に移動する対となった位置出し面によって移動される。即ち、液晶パネルは、２対の位置出し面の可動位置と対向基板の形状に応じた位置に位置決めされる。
【００１４】
前記２対の位置出し面は、相互に逆方向に移動する１対の部材によって構成されることを特徴とする。
【００１５】
このような構成によれば、対向基板の４つの側面は１対の部材によって当接されるので、位置規定部材の構成を簡略化できるとともに、位置規定部材の駆動制御が容易である。
【００１６】
前記位置規定部材は、相互に直角な２つの面を有する１対の部材によって前記対向基板の４つの側面に前記対向基板のコーナーにおいて当接することを特徴とする。
【００１７】
このような構成によれば、１対の部材が対向基板のコーナーにおいて４つの側面に当接するので、位置規定部材の構成を簡略化できるとともに、位置決め部材の駆動制御が容易である。
【００１８】
前記チップテーブルは、水平に支持されることを特徴とする。
【００１９】
このような構成によれば、液晶パネルがチップテーブル上に水平に載置されるので、位置決め精度がより向上する。
【００２０】
前記プローブ支持手段は、プローブを前記液晶パネルに直交する軸方向に相対移動させることを特徴とする。
【００２１】
このような構成によれば、プローブを実装端子に垂直方向から当接させることができ、プローブと実装端子との接続精度がより向上する。
【００２２】
前記液晶パネルに対する検査光路上に、当該検査光の光量を調節する光量調節フィルタを配設したことを特徴とする。
【００２３】
このような構成によれば、実際に使用される実機に近い条件下で液晶パネルの検査を行うことができる。
【００２４】
前記液晶パネルに対する検査光路上に、所定の波長領域の検査光を透過する色フィルタを配設したことを特徴とする。
【００２５】
このような構成によれば、実際に使用される実機に近い条件下で液晶パネルの検査を行うことができる。
【００２６】
本発明に係る液晶パネルの検査方法は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルをチップテーブルに載置する手順と、前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする手順と、前記チップテーブル上に位置決めした液晶パネルの実装端子に対しプローブを１軸方向のみに相対移動させて電気的に接続させる手順とを具備したことを特徴とする。
【００２７】
このような構成によれば、チップテーブル上に載置された液晶パネルは、位置規定部材により液晶パネルの対向基板の外形を基準として位置決めされる。対向基板の外形精度は高いため、液晶パネルはチップテーブル上に高精度に位置決めされる。そして、チップテーブル上に位置決めされた液晶パネルの実装端子に対してプローブが１軸方向のみに相対移動して電気的に接続される。液晶パネルはチップテーブル上に高精度に位置決めされており、このように高精度に位置決めされた液晶パネルの実装端子に対してプローブが１軸方向のみに相対移動することにより、プローブを実装端子に精度よく接続することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図面は本発明の実施の一形態に係わり、図１は検査装置の概略構成図、図２はパネル位置決め装置を示す平面図、図３は駆動部分を説明するための説明図である。
【００２９】
図１において符号１は液晶パネル１００の検査装置を示す。ここで、本実施の形態で検査対象として適用される液晶パネル１００は、複数の素子基板１０１が一体的に作り込まれたマザーガラス基板上に所定に切り出された各対向基板１０２が素子基板１０１毎に対応して高精度に貼り合わされ、これらの間に液晶が封入された後、マザーガラス基板上に形成された切り込みに沿って分断されることにより得られるものである。その際、各対向基板１０２は、その製造工程においてダイシング等が施され、これにより、高い外形精度に形成されている。このように高精度に形成された対向基板１０２が各素子基板１０１に高精度に貼り合わされるので、得られた各液晶パネル１００においては、素子基板１０１上の実装端子１０３と対向基板１０２との相対位置が高精度に規定される。なお、本実施の形態において、液晶パネル１００は、例えば、液晶として９０度ねじれのツイステッドネマティック（ＴＮ）型の液晶パネルで構成されている。
【００３０】
検査装置１は、液晶パネル１００の検査光路を構成する検査光学系５と、検査光路上に液晶パネル１００を位置決めして保持するパネル位置決め装置６と、検査光路上に位置決め保持された液晶パネル１００に対しプローブ６０を一軸方向のみに相対移動させて電気的に接続させるプローブ支持手段としてのプローブ支持機構７とを筐体２内に有して要部が構成されている。
【００３１】
検査光学系５は、筐体２の上部で検査光を垂直方向下方に出射する高輝度ランプ１０を有し、高輝度ランプ１０の出射光路（検査光路）上に、複数のレンズ・フィルタ類からなる光学設計部１１と、光学設計部１１から出射された検査光の光束を所定に制限する遮光板１２と、一対の紫外線フィルタ１３と、検査光路上に保持された液晶パネル１００を挟み込む位置で互いの偏光軸が直交するよう配設された第１，第２の偏光板１４，１５と、第１，第２の偏光板１４，１５の間に配設され液晶パネル１００への入射光の光束を所定に制限する遮光板１６と、投射レンズ１７と、投射レンズ１７から出射された垂直方向の検査光を水平方向に反射する反射鏡１８とを有し、反射鏡１８で反射後の検査光が筐体２外に配設されたスクリーン１９上に投影されるようになっている。
【００３２】
光学設計部１１は、検査対象となる液晶パネル１００が搭載される実機と同等の特性の検査光を生成するためのものである。本実施の形態において、光学設計部１１は、プロジェクタ用の光学系に対応して設計されており、第１のマルチレンズ２０と、検査光の光量を調節する光量調節フィルタとしてのＮＤ（ｎｅｕｔｒａｌ　ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタ２１と、紫外線フィルタ２２と、第２のマルチレンズ２３と、ＰＢＳ（Ｐｏｌａｒｚｅｄ　Ｂｅａｍ　Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）ユニット２４と、コンデンサレンズ（集光レンズ）２５と、緑、赤、青等の所定の波長領域の検査光を透過する色フィルタ２６とを有して構成されている。
【００３３】
パネル位置決め装置６は、台座７１上に取付固定されたチップテーブル７２を有して構成されている。ここで、パネル位置決め装置６の台座７１は、チップテーブル７２を水平に支持するようになっており、液晶パネル１００の表示検査時には、遮光板１６と第２の偏光板１５との間の検査光路内に挿入された所定位置でチップテーブル７２を支持し、一方、表示検査終了後等には、水平移動によって検査光路から退避されてチップテーブル７２を筐体２外に露呈させるようになっている。
【００３４】
図２，３に示すように、チップテーブル７２は上下に開口した窓７３が形成されており、台座７１の対応する位置には窓７３よりも広い開口が形成されている。窓７３は、少なくとも液晶パネル１００の表示領域よりも広く形成され、且つ、液晶パネル１００をチップテーブル７２上に載置可能なように、素子基板１０１よりも狭く形成される。
【００３５】
例えば、窓７３は上下から見て四角形状に形成され、４辺の外側には夫々チップテーブル７２上に植設された位置決めピン７４が設けられている。位置決めピン７４は、液晶パネル１００の素子基板１０１よりも広い間隔で配設され、液晶パネル１００を位置決めピン７４相互間に所定の余裕を持たせて、窓７３に略沿った状態で配置させることができるようになっている。即ち、分断工程で生じた素子基板１０１側面のバリが位置決めピン７４に当接することなく、液晶パネル１００を位置決めピン７４相互間に配置可能である。
【００３６】
一方、台座７１上には、後述する一対のアーム７６，７７を水平面内において摺動自在に設けるためのアーム案内部材７５が、チップテーブル７２に対して所定の位置関係を有して固定されている。アーム案内部材７５は、位置規定部材としてのアーム７６，７７を窓７３の対角線方向に摺動させるように設けられている。
【００３７】
一対のアーム７６，７７は、アーム案内部材７５に沿って摺動する。アーム７６，７７は、基端側に案内部材７５の案内方向に延びた側面を有し、この側面に歯８８，８９が形成されてラックを構成する。また、アーム７６，７７の歯８８，８９に夫々歯合するように、台座７１に植設された軸８０，８１を中心に回動自在な一対の歯車８２，８３が設けられてピニオンを構成する。歯車８２，８３同士も歯合することで、歯車８２，８３は相互に逆方向に回転する。これにより、アーム７６，７７は、相互に逆方向に連動して移動するようになっている。
【００３８】
アーム７６，７７は、先端の相互に向き合う端部がＬ字又は逆Ｌ字に形成され、これらの側面が位置出し面８４Ｈ，８４Ｖ（以下、代表して８４ともいう）及び８５Ｈ，８５Ｖ（以下、代表して８５ともいう）を構成するようになっている。アーム７６の位置出し面８４Ｈ，８４Ｖは相互に直交し、アーム７７の位置出し面８５Ｈ，８５Ｖも相互に直交する。位置出し面８４Ｈ，８５Ｈは相互に平行で、窓７３の一片にも平行である。同様に、位置出し面８４Ｖ，８５Ｖも相互に平行で、且つ窓７３の他の一片に平行である。
【００３９】
位置出し面８４Ｈ，８４Ｖ同士が交差する水平面上の位置と位置出し面８５Ｈ，８５Ｖ同士が交差する水平面上の位置とは、窓７３の対角線上に位置し、これらの交差部分は液晶パネルの端部の損傷を防止するために角を欠いている。なお、窓７３の対角線は、液晶パネル１００を載置した場合における対向基板１０２の対角線に略一致し、位置決めピン７４によって規定される対向基板１０２の角部の最大移動範囲は、アーム７６，７７を相互に近接させる方向に移動させた場合において位置出し面８４，８５に接触する範囲内になるように、位置決めピン７４及び位置出し面８４，８５の長さ等が規定されている。
【００４０】
本実施の形態においては、アーム７６，７７は、先端側が所定の厚さの平板状であって、液晶パネル１００をチップテーブル７２の窓７３部分に配置した状態で、位置出し面８４，８５が液晶パネル１００の対向基板１０２側面に当接するように、水平面内を窓７３の対角線方向に移動するようになっている。即ち、アーム７６，７７の先端側の底面が移動する水平面とチップテーブル７２の表面との距離は、少なくとも素子基板１０１の厚さよりも大きく、液晶パネル１００の厚さよりも小さくなるように構成される。更に、アーム７６，７７の先端側の底面が移動する水平面は、アーム７６，７７の底面が素子基板１０１に接触しないように、素子基板１０１の表面よりも高い位置に設定する。
【００４１】
なお、アーム７７の位置出し面８５Ｈは、液晶パネル１００を位置決めする際に、アーム７７の先端が素子基板１０１上の実装端子１０３上に位置しないように、その長さが短く規定されている。また、チップテーブル７２は、液晶パネル１００の位置決め後に液晶パネル１００を表面に真空吸着することができるようになっている。
【００４２】
アーム７６，７７の基端側の所定位置には夫々係止部９１，９２が設けられており、係止部９１，９２相互間にバネ等の付勢部材９３が配設されている。付勢部材９３は、アーム７６，７７を相互に近接する方向に付勢するようになっている。歯車８２，８３は図示しないモータによって回転駆動されて、アーム７６，７７を相互に離間する方向に移動させることができるようになっている。
【００４３】
プローブ支持機構７は、液晶パネル１００の実装端子１０３に対応して配列された複数のプローブ６０を一体のプローブユニット６１の状態で筐体２内に支持するもので、筐体２内を一軸方向のみに移動可能なプローブ支持機構本体５０を有して構成されている。本実施の形態において、プローブ支持機構本体５０は、垂直方向、すなわち、検査光路上に保持された液晶パネル１００に直交する軸方向のみに移動可能となっている。
【００４４】
プローブ支持機構本体５０からはアーム５１が延設されており、このアーム５１の先端が、検査光路上に保持された液晶パネル１００の実装端子１０３に対向されるよう設定されている。アーム５１の先端部にはプローブユニット６１が実装端子１０３に対して所定に位置決めされた状態で固設されており、これにより、プローブ支持機構７は、プローブ支持機構本体５０が垂直方向に下降した際に、各プローブ６０を素子基板１０１上の対応する各実装端子１０３に電気的に接続させるようになっている。なお、各プローブ６０は図示しないパターンジェネレータに接続されており、パターンジェネレータからの信号を伝送して実装端子１０３に供給することができるようになっている。
【００４５】
次に、このように構成された実施の形態の作用について説明する。
先ず、図示しないモータによって歯車８２，８３を回転させ、アーム７６，７７を相互に離間する方向に移動させる。この状態で、液晶パネル１００をチップテーブル７２の窓７３上の位置決めピン７４相互間に載置する。この場合には、位置決めピン７４相互間の間隔が液晶パネル１００の素子基板１０１よりも広く設定されているので、位置決めピン７４に素子基板１０１側面に生じたバリを当接させることなく、液晶パネル１００を載置可能である。位置決めピン７４によって大まかな位置決めが行われ、これにより、アーム７６，７７による位置決めが可能となる。
【００４６】
次に、モータの回転力を弱めて付勢部材９３の付勢力により、アーム７６，７７を相互に近接する方向に移動させる。そうすると、先ず、アーム７６，７７先端の位置出し面８４，８５のいずれか１つ以上の面が液晶パネル１００の対向基板１０２の側面に当接する。更に、アーム７６，７７を移動させることにより、位置出し面８４，８５は対向基板１０２の１つ以上の側面を押圧して液晶パネル１００の位置を変位させる。こうして、液晶パネル１００は、対向基板１０２の大きさ及びアーム７６，７７で規定される位置出し面８４，８５相互の位置関係に応じた固定位置で停止する。
【００４７】
アーム７６，７７で対向基板１０２の側面を押圧して位置決めを行っており、対向基板１０２の側面の面精度が極めて高いことから、液晶パネル１００の位置決めを高精度に行うことができる。また、対向基板１０２の側面にはバリ等は生じていないので、アーム７６，７７によって対向基板１０２を押圧しても、対向基板１０２が損傷を受けることはない。
【００４８】
また、アーム７６，７７は、素子基板１０１表面よりも上方で水平移動するようになっており、アーム７６，７７の底面が素子基板１０１表面に接触することはない。これにより、位置決め時にアーム７６，７７によって素子基板１０１が損傷を受けることはない。
【００４９】
実装端子１０３は素子基板１０１上の位置が規定されており、液晶パネル１００の位置決めによって、台座７１と実装端子１０３とは水平面内で規定された位置関係に位置することになる。
【００５０】
液晶パネル１００が位置決めされたパネル位置決め装置６を筐体２内に収納し、台座７１（チップテーブル７２）を検査光路上の所定位置に固定する。この状態で台座７１とプローブ支持機構本体５０とは水平面内で規定された位置関係に配置されており、プローブ支持機構本体５０にアーム５１を介して取り付けられたプローブユニット６１の先端のプローブ６０は、水平面内では、図１に示すように、液晶パネル１００上の実装端子１０３に対向した位置に配置される。
【００５１】
この状態で、プローブ支持機構本体５０を下方に移動させ、プローブ６０を実装端子１０３に接触させる。次に、高輝度ランプ１０から光を出射させながら、パターンジェネレータから信号を発生させる。パターンジェネレータからの信号はプローブ６０を介して実装端子１０３に供給され、液晶パネル１００は駆動されて光学設計部１１からの検査光を変調する。液晶パネル１００を通過した検査光は、チップテーブル７２の窓７３及び台座７１の開口を通過し、投射レンズ１７によって反射ミラー１８を介してスクリーン１９に拡大投射される。スクリーン１９上に映出された画像を確認することで、液晶パネル１００のパネル表示検査を行う。
【００５２】
このように、本実施の形態においては、対向基板１０２側面の面精度が極めて高いことを利用して位置決めの基準面に用いており、チップテーブル７２上への液晶パネル１００の位置決めを高精度に行うことを可能にしている。そして、このようにチップテーブル７２上に高精度に位置決めされた液晶パネル１００に対してプローブ６０を一軸方向のみに相対移動させてることにより、各実装端子１０３に各プローブ６０を精度よく電気的に接続することができる。
【００５３】
また、位置決めに際して素子基板１０２を押圧する構成にはなっていないことから、分断工程で生じた素子基板１０１のバリに力が加わることがなく、液晶パネル１００が損傷を受けることを防止することができる。更に、アーム７６，７７は素子基板１０１に接触しない位置で対向基板１０２側面を押圧するようになっており、素子基板１０１の損傷を防止することができる。これにより、表示不良が発生することを防止することができる。
【００５４】
また、チップテーブル７２を台座７１上で水平に支持する構成として、液晶パネル１００をチップテーブル７２上に水平に載置させることにより、液晶パネル１００のチップテーブル７２上での位置決め精度をより向上させることができる。
【００５５】
また、プローブ６０の移動軸方向を、液晶パネル１００に直交する軸方向に設定することにより、プローブ６０を実装端子１０３に対して垂直方向から当接させることができ、これらの接続精度をより向上させることができる。
【００５６】
また、ＮＤフィルタ２１や色フィルタ２６等を有して光学設計部１１を構成し、光学設計部１１で、検査対象となる液晶パネル１００が搭載される実機と同等の特性の検査光を生成することにより、実機に近い条件下で液晶パネル１００の検査を行うことができる。
【００５７】
なお、上記実施の形態においては、プローブ支持機構本体５０とパネル位置決め装置６とを別体に構成したが、一体的に構成してもよいことは明らかである。
【００５８】
また、パネル表示検査を投影方式で行ったが、直視によって行ってもよいことは明らかである。
【００５９】
また、上記実施の形態においては、アームに位置出し面を設けて、対向基板側面を面で受ける（押圧する）ことにより位置出しを行う例について説明したが、対向基板側面を点で受ける構成にしてもよく、また、点及び面で受ける構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】検査装置の概略構成図
【図２】パネル位置決め装置を示す平面図
【図３】駆動部分を説明するための説明図
【符号の説明】
１…検査装置
７…プローブ支持機構（プローブ支持手段）
２１…ＮＤフィルタ（光量調節フィルタ）
２６…色フィルタ
６０…プローブ
７２…チップテーブル
７６，７７…アーム（位置規定部材）
８４Ｈ，８４Ｖ，８５Ｈ，８５Ｖ…位置出し面
１００…液晶パネル
１０１…素子基板
１０２…対向基板
１０３…実装端子
【図１】
2004101941.tif 000003
【図２】
2004101941.tif 000004
【図３】
2004101941.tif 000005