(57)【要約】      （修正有）【課題】厚み制御が簡単であるとともに、機械的強度や耐熱性などの耐環境特性に優れ、広範囲の環境下で使用することのできる接着方法を提供する。【解決手段】所定の部材１１を（Ｚｍ）ｎ−Ｙなる分子式を有する分子を含む溶液中に浸漬させて、前記部材の表面に対して前記分子を含む接着層１３を形成する。次いで、前記部材の、前記接着層が形成された表面と他の部材１４の表面とを圧着させて接着中間構造体を形成し、前記接着中間構造体に対して加熱処理を施し、前記部材と前記他の部材とを接着させる（Ｚは例えば−ＰＯ３Ｈ２などの官能基、ＹはＣ３〜Ｃ５０の直鎖又は分岐した脂肪族あるいは環状脂肪族、又はＣ８〜Ｃ５０の芳香族とＣ３〜Ｃ４４の脂肪族あるいは環状脂肪族とが結合したもの。）【選択図】        図３
2004315694.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の部材を（Ｚｍ）ｎ−Ｙなる分子式を有する分子を含む溶液中に浸漬させて、前記部材の表面に対して前記分子を含む接着層を形成する工程と、
前記部材の、前記接着層が形成された表面と他の部材の表面とを圧着させて接着中間構造体を形成する工程と、
前記接着中間構造体に対して加熱処理を施し、前記部材と前記他の部材とを接着させる工程と、
を具えることを特徴とする、接着方法
（Ｚ：−ＰＯ３Ｈ２，  −ＯＰＯ３Ｈ２，  −Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −Ｏ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＮＨ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＣＯＮＨＯＨ，  −ＣＯＯＨ，  −ＯＨ，  −ＳＨ，  −ＣＯＳＨ，  −Ｃ５Ｈ４Ｎ，  −ＳｅＨ，  −ＳＯ３Ｈ，  −ＮＣ，  −ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２，  −ＳｉＣｌ２ＣＨ３，  −ＮＨ２，  −Ｈ２ＰＯ，−Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣＨ３）２，−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３，−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３からなる群より選ばれる少なくとも一種、Ｙ：Ｃ３〜Ｃ５０の直鎖又は分岐した脂肪族あるいは環状脂肪族、又はＣ８〜Ｃ５０の芳香族とＣ３〜Ｃ４４の脂肪族あるいは環状脂肪族とが結合したもの、但し、結合部分にはペプチド結合、エーテル結合、エステル結合があってもよく、脂肪族ユニット、脂肪族ユニットと芳香族ユニットとが前記結合部分を介して複数結合してもよい。ｍ：自然数、ｎ：１，２又は３、但し、Ｚが−ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２及び−ＳｉＣｌ２ＣＨ３の場合は１）。
【請求項２】
前記分子は、ＨＳ（ＣＨ２）８ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１０ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１２ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１４ＳＨから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項１に記載の接着方法。
【請求項３】
前記分子は、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣ２Ｈ５）２から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項１に記載の接着方法。
【請求項４】
前記加熱処理は、真空中、不活性ガス中、又は大気中で行うことを特徴とする
【請求項５】
前記加熱処理は５０℃〜３００℃で行うことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一に記載の接着方法。
【請求項６】
前記部材の前記表面と、前記接着層との間に下地層を形成する工程を具えることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一に記載の接着方法。
【請求項７】
前記下地層は、Ａｕ，  Ａｇ，  Ｃｕ，  Ａｌ，  Ｚｎ，  Ｐｂから選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする、請求項６に記載の接着方法。
【請求項８】
前記下地層は、ＳｉＯ２又はＡｌ２Ｏ３を含むことを特徴とする、請求項６に記載の接着方法。
【請求項９】
前記接着層の厚さが２００ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一に記載の接着方法。
【請求項１０】
前記接着層の耐熱性が６００℃以上であることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一に記載の接着方法。
【請求項１１】
（Ｚｍ）ｎ−Ｙなる分子式を有する接着剤
（Ｚ：−ＰＯ３Ｈ２，  −ＯＰＯ３Ｈ２，  −Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −Ｏ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＮＨ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＣＯＮＨＯＨ，  −ＣＯＯＨ，  −ＯＨ，  −ＳＨ，  −ＣＯＳＨ，  −Ｃ５Ｈ４Ｎ，  −ＳｅＨ，  −ＳＯ３Ｈ，  −ＮＣ，  −ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２，  −ＳｉＣｌ２ＣＨ３，  −ＮＨ２，  Ｈ２ＰＯ−からなる群より選ばれる少なくとも一種、Ｙ：Ｃ５〜Ｃ５０の直鎖又は分岐した脂肪族あるいは環状脂肪族、又はＣ８〜Ｃ５０の芳香族とＣ３〜Ｃ４４の脂肪族あるいは環状脂肪族とが結合したもの、ｍ：自然数、ｎ：１，２又は３、但し、Ｚが−ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２及び−ＳｉＣｌ２ＣＨ３の場合は１）。
【請求項１２】
前記分子は、ＨＳ（ＣＨ２）８ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１０ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１２ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１４ＳＨから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項１１に記載の接着剤。
【請求項１３】
前記分子は、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣ２Ｈ５）２から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項１２に記載の接着剤。
【請求項１４】
所定の部材同士を（Ｚｍ）ｎ−Ｙなる分子式を有する接着剤を介して接着してなることを特徴とする、接着構造体
（Ｚ：−ＰＯ３Ｈ２，  −ＯＰＯ３Ｈ２，  −Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −Ｏ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＮＨ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＣＯＮＨＯＨ，  −ＣＯＯＨ，  −ＯＨ，  −ＳＨ，  −ＣＯＳＨ，  −Ｃ５Ｈ４Ｎ，  −ＳｅＨ，  −ＳＯ３Ｈ，  −ＮＣ，  −ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２，  −ＳｉＣｌ２ＣＨ３，  −ＮＨ２，  −Ｈ２ＰＯ，−Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣＨ３）２，−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３，−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３からなる群より選ばれる少なくとも一種、Ｙ：Ｃ３〜Ｃ５０の直鎖又は分岐した脂肪族あるいは環状脂肪族、又はＣ８〜Ｃ５０の芳香族とＣ３〜Ｃ４４の脂肪族あるいは環状脂肪族とが結合したもの、但し、結合部分にはペプチド結合、エーテル結合、エステル結合があってもよく、脂肪族ユニット、脂肪族ユニットと芳香族ユニットとが前記結合部分を介して複数結合してもよい。ｍ：自然数、ｎ：１，２又は３、但し、Ｚが−ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２及び−ＳｉＣｌ２ＣＨ３の場合は１）。
【請求項１５】
前記分子は、前記分子は、ＨＳ（ＣＨ２）８ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１０ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１２ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１４ＳＨから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項１４に記載の接着構造体。
【請求項１６】
前記分子は、前記分子は、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣ２Ｈ５）２から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項１４に記載の接着構造体。
【請求項１７】
前記接着剤は層状に存在して接着層を形成し、この接着層と前記部材の少なくとも一方との間に下地層を具えることを特徴とする、請求項１４〜１６のいずれか一に記載の接着構造体。
【請求項１８】
前記下地層は、Ａｕ，  Ａｇ，  Ｃｕ，  Ａｌ，  Ｚｎ，  Ｐｂから選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする、請求項１７に記載の接着構造体。
【請求項１９】
前記下地層は、ＳｉＯ２又はＡｌ２Ｏ３を含むことを特徴とする、請求項１７に記載の接着構造体。
【請求項２０】
前記接着層の厚さが２００ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１４〜１９のいずれか一に記載の接着構造体。
【請求項２１】
前記接着層の耐熱性が６００℃以上であることを特徴とする、請求項１４〜２０のいずれか一に記載の接着構造体。
【請求項２２】
所定の部材同士が（Ｚｍ）ｎ−Ｙなる分子式を有する分子からなる接着層を介して圧着させてなることを特徴とする、接着中間構造体
（Ｚ：−ＰＯ３Ｈ２，  −ＯＰＯ３Ｈ２，  −Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −Ｏ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＮＨ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＣＯＮＨＯＨ，  −ＣＯＯＨ，  −ＯＨ，  −ＳＨ，  −ＣＯＳＨ，  −Ｃ５Ｈ４Ｎ，  −ＳｅＨ，  −ＳＯ３Ｈ，  −ＮＣ，  −ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２，  −ＳｉＣｌ２ＣＨ３，  −ＮＨ２，  −Ｈ２ＰＯ，−Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣＨ３）２，−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３，−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３からなる群より選ばれる少なくとも一種、Ｙ：Ｃ３〜Ｃ５０の直鎖又は分岐した脂肪族あるいは環状脂肪族、又はＣ８〜Ｃ５０の芳香族とＣ３〜Ｃ４４の脂肪族あるいは環状脂肪族とが結合したもの、但し、結合部分にはペプチド結合、エーテル結合、エステル結合があってもよく、脂肪族ユニット、脂肪族ユニットと芳香族ユニットとが前記結合部分を介して複数結合してもよい。ｍ：自然数、ｎ：１，２又は３、但し、Ｚが−ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２及び−ＳｉＣｌ２ＣＨ３の場合は１）。
【請求項２３】
前記分子は、前記分子は、ＨＳ（ＣＨ２）８ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１０ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１２ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１４ＳＨから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項２２に記載の接着中間構造体。
【請求項２４】
前記分子は、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣ２Ｈ５）２から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項２２に記載の接着中間構造体。
【請求項２５】
前記部材の少なくとも一方と前記接着層との間に、下地層を具えることを特徴とする、請求項２２〜２４のいずれか一に記載の接着中間構造体。
【請求項２６】
前記下地層は、Ａｕ，  Ａｇ，  Ｃｕ，  Ａｌ，  Ｚｎ，  Ｐｂから選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする、請求項２５に記載の接着中間構造体。
【請求項２７】
前記下地層は、ＳｉＯ２又はＡｌ２Ｏ３を含むことを特徴とする、請求項２５に記載の接着構造体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロマシン、ピエゾアクチュエータ及びその他の微細な機構を有する計測機器などに好適に用いることのできる、接着方法及び接着剤、並びに前記接着方法及び前記接着剤を用いてなる接着構造体、及びこの接着構造体を得るための接着中間構造体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
微小な機構の圧電特性を利用した検出器やアクチュエータなどにおいて、異種物質を薄く均一な接着層を用いることによって強固に結合する技術の必要性が高まっている。従来、上述の接着層は、有機高分子や無機セメントなどから作製しているが、有機高分子を用いた場合は、接着層の厚み制御を行うことが困難であること、さらには機械的強度に弱いこと、溶解分解のおそれがあること、加熱に弱いことなどの観点から、その使用は極めて制限されていた。また、無機セメントを用いた場合も、接着層の厚み制御を行うことが困難であること、温度サイクルに弱いこと、固化時の除去成分に伴って空隙の発生などが生じることなどの観点から、その使用についても極めて制限されるものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、厚み制御が簡単であるとともに、機械的強度や耐熱性などの耐環境特性に優れ、広範囲の環境下で使用することのできる接着剤及びこの接着剤を用いた接着方法、並びに接着構造体、及び接着中間構造体を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明は、
所定の部材を（Ｚｍ）ｎ−Ｙなる分子式を有する分子を含む溶液中に浸漬させて、前記部材の表面に対して前記分子を含む接着層を形成する工程と、
前記部材の、前記接着層が形成された表面と他の部材の表面とを圧着させて接着中間構造体を形成する工程と、
前記接着中間構造体に対して加熱処理を施し、前記部材と前記他の部材とを接着させる工程と、
を具えることを特徴とする、接着方法
（Ｚ：−ＰＯ３Ｈ２，  −ＯＰＯ３Ｈ２，  −Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −Ｏ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＮＨ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＣＯＮＨＯＨ，  −ＣＯＯＨ，  −ＯＨ，  −ＳＨ，  −ＣＯＳＨ，  −Ｃ５Ｈ４Ｎ，  −ＳｅＨ，  −ＳＯ３Ｈ，  −ＮＣ，  −ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２，  −ＳｉＣｌ２ＣＨ３，  −ＮＨ２，  −Ｈ２ＰＯ，−Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣＨ３）２，−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３，−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３からなる群より選ばれる少なくとも一種、Ｙ：Ｃ３〜Ｃ５０の直鎖又は分岐した脂肪族あるいは環状脂肪族、又はＣ８〜Ｃ５０の芳香族とＣ３〜Ｃ４４の脂肪族あるいは環状脂肪族とが結合したもの、但し、結合部分にはペプチド結合、エーテル結合、エステル結合があってもよく、脂肪族ユニット、脂肪族ユニットと芳香族ユニットとが前記結合部分を介して複数結合してもよい。ｍ：自然数、ｎ：１，２又は３、但し、Ｚが−ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２及び−ＳｉＣｌ２ＣＨ３の場合は１）に関する。
【０００５】
また、本発明は、（Ｚｍ）ｎ−Ｙなる分子式を有する接着剤
（Ｚ：−ＰＯ３Ｈ２，  −ＯＰＯ３Ｈ２，  −Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −Ｏ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＮＨ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＣＯＮＨＯＨ，  −ＣＯＯＨ，  −ＯＨ，  −ＳＨ，  −ＣＯＳＨ，  −Ｃ５Ｈ４Ｎ，  −ＳｅＨ，  −ＳＯ３Ｈ，  −ＮＣ，  −ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２，  −ＳｉＣｌ２ＣＨ３，  −ＮＨ２，  −Ｈ２ＰＯ，−Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣＨ３）２，−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３，−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３からなる群より選ばれる少なくとも一種、Ｙ：Ｃ３〜Ｃ５０の直鎖又は分岐した脂肪族あるいは環状脂肪族、又はＣ８〜Ｃ５０の芳香族とＣ３〜Ｃ４４の脂肪族あるいは環状脂肪族とが結合したもの、但し、結合部分にはペプチド結合、エーテル結合、エステル結合があってもよく、脂肪族ユニット、脂肪族ユニットと芳香族ユニットとが前記結合部分を介して複数結合してもよい。ｍ：自然数、ｎ：１，２又は３、但し、Ｚが−ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２及び−ＳｉＣｌ２ＣＨ３の場合は１）に関する。
【０００６】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を実施した。その結果、上述したような新規な材料組成の化合物を合成し、これを接着剤として使用することにより、上述した問題点を解決できることを見出した。すなわち、上述した接着剤を用いて部材同士を接着すれば、得られた接着構造体を高温度、例えば６００℃以上に加熱しても、その接着状態は溶融分解などによって破壊されないとともに、極めて高い接着強度を呈し、耐環境特性に優れることが判明した。
【０００７】
また、接着層の厚さを極めて薄く、例えば２００ｎｍ以下の状態で均一に形成できることをも見出した。
【０００８】
なお、本発明においては、前記接着層と前記部材の前記表面との間において、下地層を形成することが好ましい。この場合、前記下地層の表面に前記接着剤の分子が高密度に吸着するために、前記部材及び前記他の部材に対する、前記接着層の接着強度をより向上させることができる。前記下地層は、前記接着剤との化学的吸着増大の観点から、Ａｕ，  Ａｇ，  Ｃｕ，  Ａｌ，  Ｚｎ，  Ｐｂから選ばれる少なくとも一種、あるいはＳｉＯ２又はＡｌ２Ｏ３を含むことが好ましい。
本発明のその他の利点及び特徴については、以下において詳述する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１〜図３は、本発明の接着方法の一例を説明するための図である。
最初に、図１に示すように、所定の部材１１の表面に下地層１２をスパッタリングや蒸着法などの公知の成膜方法を用いて形成した後、下地層１２を含む部材１１を（Ｚｍ）ｎ−Ｙ
（Ｚ：−ＰＯ３Ｈ２，  −ＯＰＯ３Ｈ２，  −Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −Ｏ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＮＨ−Ｃ６Ｈ４Ｎ３，  −ＣＯＮＨＯＨ，  −ＣＯＯＨ，  −ＯＨ，  −ＳＨ，  −ＣＯＳＨ，  −Ｃ５Ｈ４Ｎ，  −ＳｅＨ，  −ＳＯ３Ｈ，  −ＮＣ，  −ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２，  −ＳｉＣｌ２ＣＨ３，  −ＮＨ２，  −Ｈ２ＰＯ，−Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣＨ３）２，−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３，−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３からなる群より選ばれる少なくとも一種、Ｙ：Ｃ３〜Ｃ５０の直鎖又は分岐した脂肪族あるいは環状脂肪族、又はＣ８〜Ｃ５０の芳香族とＣ３〜Ｃ４４の脂肪族あるいは環状脂肪族とが結合したもの、但し、結合部分にはペプチド結合、エーテル結合、エステル結合があってもよく、脂肪族ユニット、脂肪族ユニットと芳香族ユニットとが前記結合部分を介して複数結合してもよい。ｍ：自然数、ｎ：１，２又は３、但し、Ｚが−ＳｉＣｌ（ＣＨ３）２及び−ＳｉＣｌ２ＣＨ３の場合は１）
なる分子式を有する分子を含む溶液中に浸漬させて、必要があれば前記溶液を加熱したり、触媒を添加したりすることによって、固相表面上に単分子の厚さを有する接着層１３を形成する。
【００１０】
次いで、図２に示すように、接着層１３上に他の部材１４を載置し、所定の治具１５及び１６で部材１１及び１４間を押圧し、接着層１３を介して部材１１及び１４間を圧着させて、接着中間構造体２１を作製する。
【００１１】
次いで、図２に示す接着中間構造体２１に加熱処理を施す。この加熱処理は、接着中間構造体２１を治具１５及び１６で圧着した状態で行うこともできるし、治具を取り外した場合においても、十分に圧着した状態を保持することができる場合は、治具１５及び１６による押圧を解除した状態で行うこともできる。
【００１２】
また、前記加熱処理は、真空中、不活性ガス中、又は大気中で行うことが好ましい。これによって、接着層１４による部材１１及び１４間の接着力をより強固にすることができ、高い機械的強度を付与することができるとともに、高耐熱性などの高い耐環境特性を付与することができるようになる。
【００１３】
さらに、同様の理由から、前記加熱処理は、５０℃〜３００℃℃の温度範囲で行うことが好ましい。５０℃より低いと、接着層１３の加熱固化に長時間を要する場合がある。３００℃より高いと、接着層１３が劣化してしまう場合がある。
【００１４】
なお、加熱処理時間は、接着層１３の材料組成や厚さなどに依存して決定されるが、好ましくは２時間〜２４時間である。
【００１５】
以上のような圧着及び加熱処理の工程を経ることにより、図３に示すような部材１１及び１４間を接着層１３で接着固定した接着構造体２２を得ることができる。
【００１６】
接着層１３の厚さは１００ｎｍ以下にまで薄くしても均一な厚さを維持することができる。また、接着層１３、すなわち接着構造体２２を６００℃以上の高温雰囲気で使用した場合においても、接着層１３は溶解分解したりして劣化することなく、高い耐熱性を呈する。また、接着層１３は極めて安定であるため、超高真空環境や高純度が要求される環境下で使用することができ、高い耐環境特性を呈することが分かる。
【００１７】
なお、接着層１３は、上述したような分子から構成されることが必要であるが、ＨＳ（ＣＨ２）８ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１０ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１２ＳＨ、ＨＳ（ＣＨ２）１４ＳＨから選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。また、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、ＨＳ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣ２Ｈ５）２から選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。この場合においては、接着層１３、すなわち接着構造体２２の耐環境特性などをさらに向上させることができる。
【００１８】
本態様においては、部材１１と接着層１３との間に下地層１２を設けているが、下地層１２は本発明において必須の構成要素ではない。しかしながら、上述したように、下地層１２を設けることによって、接着層１３を構成する分子が下地層１２に高密度に吸着するようになり、部材１１及び１４の、接着層１３を介した接着強度をより向上させることができる。
【００１９】
下地層１２は、Ａｕ，  Ａｇ，  Ｃｕ，  Ａｌ，  Ｚｎ，  Ｐｂから選ばれる少なくとも一種、あるいはＳｉＯ２又はＡｌ２Ｏ３を含むことが好ましい。
【００２０】
【実施例】
（実施例１）
厚さ５ｎｍのＣｒ密着層を有する石英ガラス上に、下地層としてＡｕ膜を厚さ２００ｎｍに形成した。次いで、  ＨＳ（ＣＨ２）８ＳＨ化合物を１ｍｏｌ％の割合で含むように調整したエタノール溶液中に前記部材を２４時間浸漬させて、前記部材の表面に前記化合物からなる接着層を厚さ約１ｎｍ（単分子層の厚さ）に形成した。
【００２１】
次いで、前記接着層上に金製の部材を載置し、所定の治具を用いて前記部材同士を前記接着層を介して圧着させた接着中間構造体を作製し、この構造体に対して、空気中、２００℃で１０時間の加熱処理を行い、前記接着層を加熱固化させた。
【００２２】
得られた接着構造体は、６００℃の高温においても接着層の溶解分解などは生じず、高い耐熱性を呈することが判明した。
【００２３】
（実施例２）
厚さ５ｎｍのＣｒ密着層を有する石英ガラス上に、下地層としてＡｕ膜を厚さ２００ｎｍに形成した。次いで、ＨＳ（ＣＨ２）３ＳｉＯ（Ｃ２Ｈ５）３化合物を１ｍｏｌ％の割合で含むように調整した加熱したエタノール溶液中に前記部材を１時間浸漬させて、前記部材の表面に前記化合物からなる接着層を厚さ約１ｎｍ（単分子層の厚さ）に形成した。
【００２４】
次いで、前記化合物を接着剤として用い、実施例１同様に圧着及び加熱処理を施して、接着構造体を得た。得られた接着構造体は、６００℃の高温においても接着層の溶解分解などは生じず、高い耐熱性を呈することが判明した。
【００２５】
以上、具体例を示しながら発明の実施の形態に則して本発明を説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない範囲において、あらゆる変形や変更が可能である。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、厚み制御が簡単であるとともに、機械的強度や耐熱性などの耐環境特性に優れ、広範囲の環境下で使用することのできる接着剤及びこの接着剤を用いた接着方法、並びに接着構造体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の接着方法を説明するための工程図である。
【図２】図１に示す工程の次の工程を示す工程図である。
【図３】図２に示す工程の次の工程を示す工程図である。
【符号の説明】
１１、１４  部材
１２  下地層
１３  接着層
１５、１６  治具
２１  接着中間構造体
２２  接着構造体
【図１】
2004315694.tif 000003
【図２】
2004315694.tif 000004
【図３】
2004315694.tif 000005