(57)【要約】【課題】構造が簡単で、極細ワイヤを確実に吸い込むことができる極細ワイヤ吸込装置を提供することを目的とする。【解決手段】一端及び他端が開口すると共に内部にフィルタ２を有するケース部材１が、その他端開口部１ｂを、回転ファン３の吸込側に直接に連設されている。そして、回転ファン３の吸い込みにて、ケース部材１の一端開口部１ａから極細ワイヤ３２を吸い込むように構成されている。【選択図】  図１
2004153009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端及び他端が開口すると共に内部にフィルタ（２）を有するケース部材（１）が、その他端開口部（１ｂ）を、回転ファン（３）の吸込側に直接に連設され、該回転ファン（３）の吸い込みにて、上記ケース部材（１）の一端開口部（１ａ）から極細ワイヤ（３２）を吸い込むように構成されていることを特徴とする極細ワイヤ吸込装置。
【請求項２】
ケース部材（１）の、少なくとも、フィルタ（２）が配設されている部位が、透明樹脂にて形成されている請求項１記載の極細ワイヤ吸込装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤボンダー機を使用する際に発生する極細ワイヤの屑を回収する極細ワイヤ吸込装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ワイヤボンダー機は、図１０に示すように、携帯電話やパソコン等の電子機器内に組み込まれるガラスエポキシ製又はセラミック製等の基板３０に、複数個のＩＣチップやＬＥＤ等の電子部品３１を、多数本の（金やアルミニウム等の１５〜５０μｍの）極細ワイヤ３２にて、高速にかつ自動的に連結していく機械であり、その連結ボンディングされた極細ワイヤ３２内を電子が流れて電子機器が機能する。
【０００３】
具体的に述べると、ワイヤボンダー機は、図７の側面図と図８の平面図とに示すように、（安全用保護カバー・機械本体の）基台４０と、基台４０に載置されたテーブル４１と、テーブル４１に前後左右（水平）方向に移動自在に取り付けられたボンディングヘッド４２と、ボンディングヘッド４２に上下（鉛直）方向に移動自在に取り付けられたホーン４３と、ホーン４３の先端に取り付けられたキャピラリ４４と、を備えている。
【０００４】
そして、ワイヤボンダー機の作用（使用）を説明すると、図８に示すように、左側マガジン棚４５に格納されている基板３０を、一枚ずつ搬送手段３９にて押し出して、基台４０の中央部のキャピラリ４４が存在するボンド範囲へ持っていく。
【０００５】
その後、ボンディングヘッド４２とホーン４３にて、ワイヤスプール４７から繰り出された極細ワイヤ３２を挿通しているキャピラリ４４を、ボンド範囲の所定位置に配置し、図９（イ）に示すように、極細ワイヤ３２の先端に、トーチロッド３８の高電圧にて、（直径５０〜１００  μｍ程度の）ボール３３を作り、そのボール３３を、図９（ロ）に示すように、基板３０に載置されている電子部品３１上の所定位置に、押圧することにより、ボンディングし、さらに、ボール３３から伸びている極細ワイヤ３２を、図９（ハ）に示すように、基板３０上の所定位置まで引き寄せて押圧することにより、ボンディングして、ワイヤループ３４を形成する。その後、図９（ニ）に示すように、キャピラリ４４の先端に僅かなワイヤテールを残しつつ、キャピラリ４４を上昇させることによって極細ワイヤ３２を切断し、さらに繰り返して、図９（ホ）に示すように、極細ワイヤ３２の先端に、トーチロッド３８にて、ボール３３を作り、図９（ヘ）に示すように、次のワイヤループ３４を形成していく。
【０００６】
そして、上記ワイヤボンド工程を繰り返して、図１０に示すように、基板３０の（金又は銀）メッキ部３０ａと、電子部品３１のパット部３１ａとを、ワイヤループ３４にて、連結した完成品を作製する。その後、その完成品を、図８に示すように、右側マガジン棚４６内へ、搬送手段３９にて収納する。
【０００７】
しかし、上記ワイヤボンド工程において、図１１（イ）に示すように、ワイヤループ３４の形成中に、頻繁に、ワイヤ切れが発生するため、以下の作業を行う必要がある。即ち、図１１（ロ）に示すように、キャピラリ４４から極細ワイヤ３２を、ピンセット３７にて、４０〜５０ｍｍ以上引き出し、さらに、図１１（ハ）に示すように、中途にて切れたワイヤループ３４を、ピンセット３７にて除去する。次に、図１１（ニ）に示すように、基板３０上の適当な位置に、キャピラリ４４から引き出された極細ワイヤ３２をボンディングして、捨てボンド作業を行う。そして、捨てボンドされた捨てワイヤ３５を、図１１（ホ）に示すように、ピンセット３７にて除去する。次に、図１１（ヘ）に示すように、トーチロッド３８にて、極細ワイヤ３２の先端に、ボール３３をつくる。
なお、基板３０上にゴミ、汚れがある時も、同じく、極細ワイヤ３２をきれいに張ることができずに、上記作業を頻繁に行う必要がある。また、上述のワイヤ切れの発生等のワイヤエラーにて、ワイヤボンダー機は停止する。
【０００８】
また、図１１（イ）のワイヤ切れが発生する度に、図１２に示すように、作業者は、ピンセット３７にて、極細ワイヤ３２を、ワイヤスプール４７から回転押し出し供給しながら、再度、キャピラリ４４内へ、図１１（ロ）に示すように、極細ワイヤ３２を挿通する必要がある。
【０００９】
そして、従来、図１３に示すように、（上記中途にて切れたワイヤループ３４や上記捨てワイヤ３５等の）ワイヤ屑３６を、基台４０上に載置された小箱４８に入れていた。即ち、作業者は、ピンセット３７にて、ワイヤ屑３６を掴み、右手を小箱まで伸ばして、図１４に示すように、ピンセット３７を小箱４８の真上まで持っていき、ピンセット３７を小箱４８に叩きつけて、ワイヤ屑３６を、小箱４８内へ落としていた。そして、作業者は、その打音と、叩いた時の感触とにより、ワイヤ屑３６が小箱４８の中へ落ちたとして確認をとっていた。
【００１０】
しかし、ピンセット３７の先端のワイヤ屑３６を掴んだ部分が、汚れていたり、わずかな湿気を帯びている場合が多々あって、ピンセット３７からワイヤ屑３６が離れずに、そのまま、図１３に示すように、右手を小箱４８の位置から、通常の作業位置へ戻していた。そのため、音にて確認をとった後は、既に、ピンセット３７の掴みは緩めているため、ワイヤ屑３６が、機械の内部や、完成品上に落ちる虞れがあった。
【００１１】
そして、ワイヤ屑３６が機械内部に落下した場合には、図８に示すように、キャピラリ４４を前後左右に移動させるテーブル４１は、ミクロン単位の位置決めを必要とする精密部品であるため、ワイヤ屑３６が、テーブル４１内部の摺動部や駆動ボールネジに絡みついて、ガタや位置決め動作不良を起こす欠点があった。しかも、ワイヤ屑３６が、搬送手段３９に絡みつくと、同じように、摺動にガタが発生して、搬送位置がずれる欠点があった。
【００１２】
また、ワイヤボンダー工程は、いわゆるＩＴ産業のラインにおいては、製品組付けの最終工程の直前の工程であり、完成品にワイヤ屑３６を付したまま、次工程にいくと、製品が不良なものとなり、損失が過大となる虞れがあった。
【００１３】
そこで、従来、真空エジェクタを用いた極細ワイヤ吸込装置が考え出された（例えば、特許文献１参照。）。即ち、従来の極細ワイヤ吸込装置は、図１５に示すように、真空エジェクタ５０と回収入口部５１とフィルタ５２とを備え、真空エジェクタ５０へ、圧縮エアを給気口５０ａから供給しつつ排気口５０ｂから排出して、その真空引きを利用して、極細ワイヤ３２（ワイヤ屑３６）を回収入口部５１から吸い込むように構成されていた。
【００１４】
【特許文献１】
特開平６−３４９８７９号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の極細ワイヤ吸込装置では、真空エジェクタ５０を用いているため、コスト高となり、また、真空エジェクタ５０内部の構造上、低圧（０．４  〜０．５  ＭＰａ）の圧縮エアを供給しても、回収入口部５１の吸込圧が弱く、極細ワイヤ３２を確実に吸い込むことができなかった。また、低圧の圧縮エアをそのまま供給すると、排気口５０ｂに消音サイレンサ５３を使用しても、吸込騒音が大きく、使い勝手が悪かった。
【００１６】
そこで、本発明は、構造が簡単で、極細ワイヤを確実に吸い込むことができる極細ワイヤ吸込装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る極細ワイヤ吸込装置は、一端及び他端が開口すると共に内部にフィルタを有するケース部材が、その他端開口部を、回転ファンの吸込側に直接に連設され、該回転ファンの吸い込みにて、上記ケース部材の一端開口部から極細ワイヤを吸い込むように構成されているものである。また、ケース部材の、少なくとも、フィルタが配設されている部位が、透明樹脂にて形成されている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態を示す図面に基づき、本発明を詳説する。
【００１９】
図１は、本発明に係る極細ワイヤ吸込装置の実施の一形態を示す側面図であり、本装置は、一端及び他端が開口する共に内部の中間部にフィルタ２を有するケース部材１と、回転ファン３と、を備え、ケース部材１の他端開口部１ｂが、回転ファン３の吸込側に直接に連設されている。そして、回転ファン３の吸い込みにて、ケース部材１の一端開口部１ａから極細ワイヤ３２（ワイヤ屑３６）を吸い込むように構成されている。
【００２０】
回転ファン３は、図２の斜視図に示すように、羽根部４と、該羽根部４を回転可能に保持する枠部５と、該枠部５のエア吐出側に取り付けられる（指の進入を防ぐ）危険防止用金網６と、を備えている。回転ファン３としては、例えば、機械内部に外気を取り入れて制御基板等を冷却するための（市販の）冷却ファンを用いる。
【００２１】
ケース部材１は、図３の側面図と図４の平面図に示すように、（円形に開口された）他端開口部１ｂが（楕円形に開口された）一端開口部１ａよりも幅広の逆漏斗状であり、一端開口部１ａを有する第１本体部１１と、他端開口部１ｂを有する第２本体部１２と、を備え、第１本体部１１と第２本体部１２とは、ネジ構造にて、分解可能に螺合されている。なお、第１本体部１１と第２本体部１２との結合部位には、（Ｏリング等の）パッキン７が組み込まれている。
【００２２】
第１本体部１１の一端開口部１ａには、その内面から二本の引掛柱１３，１３が（露出状に）突設されており、ピンセット３７に付着している極細ワイヤ３２を、引掛柱１３に引っ掛けて、一端開口部１ａ内へ落とすように構成されている。
【００２３】
また、第１本体部１１は、小径の首部１１ａを有し、この首部１１ａの内径は、３〜６ｍｍ程度に設定され、首部１１ａ内の吸込圧力を高くして、一端開口部１ａから極細ワイヤ３２を確実に吸い込むことができる。ここで、極細ワイヤ３２の直径は、１５〜５０μｍであるため、首部１１ａの途中で引っ掛かる虞れがない。
なお、下限値未満では、極細ワイヤ３２が首部１１ａの途中で引っ掛かる虞れがあり、上限値を越えると、必要な吸込力を得ることができない欠点がある。
【００２４】
第２本体部１２の結合部位側には、フィルタ２が仕切り状に内蔵されている。このフィルタ２は、１０μｍ程度の大きさの網目を有するメッシュであり、極細ワイヤ３２の通過を阻止し、極細ワイヤ３２を蓄積することができる。
【００２５】
また、第２本体部１２の他端開口部１ｂには、外鍔部１２ａが設けられ、外鍔部１２ａの孔部と、回転ファン３の枠部５の孔部（図２参照）とに、図１に示すように、ボルト等の固着具８が挿通されて、ケース部材１と回転ファン３とが一体に固定されている。さらに、ケース部材１と回転ファン３とを、（ボンド等の）接着剤にて、固定し、エア漏れを防止するようにしてもよい。
【００２６】
ここで、ケース部材１の、少なくとも、フィルタ２が配設されている部位は、透明樹脂にて形成されている。即ち、フィルタ２付近、及び、フィルタ２よりも一端開口部１ａ側の部位が透明樹脂にて形成され、ケース部材１の外部から、フィルタ２に蓄積された極細ワイヤ３２を、目視することができる。
【００２７】
次に、本装置の作用（機能）、及び、使用方法を説明する。
【００２８】
即ち、図１に示すように、回転ファン３を回転させ、ピンセット３７にて極細ワイヤ３２を、ケース部材１の一端開口部１ａに近づけると、極細ワイヤ３２は、一端開口部１ａから吸い込まれて、フィルタ２に溜まる。なお、このとき、ピンセット３７を一端開口部１ａへ叩きつけたり、ピンセット３７を引掛柱１３へ摺接させたりして、極細ワイヤ３２を確実に一端開口部１ａへ導くようにしてもよい。
【００２９】
そして、外部から、目視にて、所定量の極細ワイヤ３２が溜まったことを確認し、回転ファン３を停止させ、ケース部材１の第１本体部１１と第２本体部１２を分解（分離）して、溜まった極細ワイヤ３２を除去する。
【００３０】
次に、図５に、本装置１０を、取付手段９を介して、ワイヤボンダー機の基台４０へ、取り付けた状態を示す。具体的に述べると、回転ファン３の外周面に固着された第１固定部材２１と、基台４０に固着された（マグネットから成る）第２固定部材２２と、を連結部材２３にて、架設する。即ち、取付手段９は、第１固定部材２１、第２固定部材２２、連結部材２３等から構成される。ここで、連結部材２３を、第１固定部材２１及び第２固定部材２２の両方（又は何れか一方）に、枢結して、本装置が、取付手段９廻りに、揺動可能（首振可能）となるようにしてもよく、使い勝手がよくなり、作業効率が向上する。
【００３１】
また、取付手段９の第２固定部材２２は、マグネットから成るため、取付手段９を基台４０から容易に取り外すことができ、例えば、本装置１０を、図６の実線に示すように、作業者の近くに配設してもよく、又は、図６の仮想線に示すように、テーブル４１の近くに配設してもよく、本装置１０を、基台４０のあらゆる場所に配設することができる。
【００３２】
【発明の効果】
本発明は上述の如く構成されるので、次に記載する効果を奏する。
【００３３】
（請求項１によれば、）回転ファン３を用いることにより、極細ワイヤ３２を確実に吸い込むことができると共に、吸込騒音も小さくすることができ、さらに、耐久性に優れたものとなる。また、回転ファン３は、安価に入手することができるため、全体としてコストダウンを図ることができる。さらに、回転ファン３がケース部材１に直結されているため、極細ワイヤ３２を効率的に吸い込むことができる。また、装置全体の高さ寸法が低くなり、小型化、軽量化を図ることができ、ワイヤボンダー機の側面等に容易に取り付けることができる。
【００３４】
このように、極細ワイヤ３２をケース部材１の一端開口部１ａに持っていくだけで、吸込可能となり、作業者が、極細ワイヤ３２の処理に気をつかう必要がなくなる。即ち、極細ワイヤ３２の除去の目視による確認が不要になって、作業者の負担がなくなるため、必要な生産作業に集中でき、ラインの生産性が向上する。また、確実に極細ワイヤ３２を回収することができるため、リサイクルにおける経費負担を減少することができ、かつ、資源保護の観点からも有益な装置となる。さらに、ワイヤボンダー機の内部へ、極細ワイヤ３２が落ち込むのを防止するため、機械内部の部品の損傷や、動作のガタツキを阻止し、機械の耐久性（寿命）を向上させることができ、かつ、製品の品質を向上させることができる。
【００３５】
（請求項２によれば、）ケース部材１の外部から、目視にて、フィルタ２に蓄積された極細ワイヤ３２を確認することができ、極細ワイヤ３２の除去を、タイミング良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態を示す側面図である。
【図２】回転ファンの斜視図である。
【図３】ケース部材の側面図である。
【図４】ケース部材の平面図である。
【図５】本装置のワイヤボンダー機へ搭載された状態を示す側面図である。
【図６】本装置のワイヤボンダー機への配置状態を示す平面図である。
【図７】ワイヤボンダー機の側面図である。
【図８】ワイヤボンダー機の平面図である。
【図９】ワイヤボンダー機の作用説明図である。
【図１０】完成品の平面図である。
【図１１】ワイヤ屑の処理を示す作業説明図である。
【図１２】ワイヤ屑の処理を示す作業説明図である。
【図１３】従来のワイヤ屑の処理を示す作業説明図である。
【図１４】従来のワイヤ屑の処理を示す作業説明図である。
【図１５】従来の極細ワイヤ吸込装置を示す側面図である。
【符号の説明】
１  ケース部材
１ａ  一端開口部
１ｂ  他端開口部
２  フィルタ
３  回転ファン
３２  極細ワイヤ
【図１】
2004153009.tif 000003
【図２】
2004153009.tif 000004
【図３】
2004153009.tif 000005
【図４】
2004153009.tif 000006
【図５】
2004153009.tif 000007
【図６】
2004153009.tif 000008
【図７】
2004153009.tif 000009
【図８】
2004153009.tif 000010
【図９】
2004153009.tif 000011
【図１０】
2004153009.tif 000012
【図１１】
2004153009.tif 000013
【図１２】
2004153009.tif 000014
【図１３】
2004153009.tif 000015
【図１４】
2004153009.tif 000016
【図１５】
2004153009.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月2日(2004.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】一端及び他端が開口すると共に内部にフィルタ（２）を有する逆漏斗状のケース部材（１）が、第１本体部（１１）と該第１本体部（１１）に分解可能に取付けられる第２本体部（１２）を備えると共に、その第２本体部（１２）に設けられた他端開口部（１ｂ）が、回転ファン（３）の吸込側に直接に連設され、該回転ファン（３）の吸い込みにて、上記第１本体部（１１）に設けられた一端開口部（１ａ）から極細ワイヤ（３２）を吸い込むように構成し、さらに、上記第２本体部（１２）の第１本体部（１１）との結合部位近傍には、上記フィルタ（２）を内蔵し、ケース部材（１）の、少なくとも、上記フィルタ（２）が配設されている部位が、透明樹脂にて形成され、さらに、上記第１本体部（１１）の一端開口部（１ａ）には、二本の引掛柱（１３）（１３）が突設されており、第１本体部（１１）は、小径の首部（１１ａ）を有し、かつ、この首部（１１ａ）の内径は、３〜６ｍｍに設定されていることを特徴とする極細ワイヤ吸込装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤボンダー機を使用する際に発生する極細ワイヤの屑を回収する極細ワイヤ吸込装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ワイヤボンダー機は、図１０に示すように、携帯電話やパソコン等の電子機器内に組み込まれるガラスエポキシ製又はセラミック製等の基板３０に、複数個のＩＣチップやＬＥＤ等の電子部品３１を、多数本の（金やアルミニウム等の１５〜５０μｍの）極細ワイヤ３２にて、高速にかつ自動的に連結していく機械であり、その連結ボンディングされた極細ワイヤ３２内を電子が流れて電子機器が機能する。
【０００３】
具体的に述べると、ワイヤボンダー機は、図７の側面図と図８の平面図とに示すように、（安全用保護カバー・機械本体の）基台４０と、基台４０に載置されたテーブル４１と、テーブル４１に前後左右（水平）方向に移動自在に取り付けられたボンディングヘッド４２と、ボンディングヘッド４２に上下（鉛直）方向に移動自在に取り付けられたホーン４３と、ホーン４３の先端に取り付けられたキャピラリ４４と、を備えている。
【０００４】
そして、ワイヤボンダー機の作用（使用）を説明すると、図８に示すように、左側マガジン棚４５に格納されている基板３０を、一枚ずつ搬送手段３９にて押し出して、基台４０の中央部のキャピラリ４４が存在するボンド範囲へ持っていく。
【０００５】
その後、ボンディングヘッド４２とホーン４３にて、ワイヤスプール４７から繰り出された極細ワイヤ３２を挿通しているキャピラリ４４を、ボンド範囲の所定位置に配置し、図９（イ）に示すように、極細ワイヤ３２の先端に、トーチロッド３８の高電圧にて、（直径５０〜１００  μｍ程度の）ボール３３を作り、そのボール３３を、図９（ロ）に示すように、基板３０に載置されている電子部品３１上の所定位置に、押圧することにより、ボンディングし、さらに、ボール３３から伸びている極細ワイヤ３２を、図９（ハ）に示すように、基板３０上の所定位置まで引き寄せて押圧することにより、ボンディングして、ワイヤループ３４を形成する。その後、図９（ニ）に示すように、キャピラリ４４の先端に僅かなワイヤテールを残しつつ、キャピラリ４４を上昇させることによって極細ワイヤ３２を切断し、さらに繰り返して、図９（ホ）に示すように、極細ワイヤ３２の先端に、トーチロッド３８にて、ボール３３を作り、図９（ヘ）に示すように、次のワイヤループ３４を形成していく。
【０００６】
そして、上記ワイヤボンド工程を繰り返して、図１０に示すように、基板３０の（金又は銀）メッキ部３０ａと、電子部品３１のパット部３１ａとを、ワイヤループ３４にて、連結した完成品を作製する。その後、その完成品を、図８に示すように、右側マガジン棚４６内へ、搬送手段３９にて収納する。
【０００７】
しかし、上記ワイヤボンド工程において、図１１（イ）に示すように、ワイヤループ３４の形成中に、頻繁に、ワイヤ切れが発生するため、以下の作業を行う必要がある。即ち、図１１（ロ）に示すように、キャピラリ４４から極細ワイヤ３２を、ピンセット３７にて、４０〜５０ｍｍ以上引き出し、さらに、図１１（ハ）に示すように、中途にて切れたワイヤループ３４を、ピンセット３７にて除去する。次に、図１１（ニ）に示すように、基板３０上の適当な位置に、キャピラリ４４から引き出された極細ワイヤ３２をボンディングして、捨てボンド作業を行う。そして、捨てボンドされた捨てワイヤ３５を、図１１（ホ）に示すように、ピンセット３７にて除去する。次に、図１１（ヘ）に示すように、トーチロッド３８にて、極細ワイヤ３２の先端に、ボール３３をつくる。
なお、基板３０上にゴミ、汚れがある時も、同じく、極細ワイヤ３２をきれいに張ることができずに、上記作業を頻繁に行う必要がある。また、上述のワイヤ切れの発生等のワイヤエラーにて、ワイヤボンダー機は停止する。
【０００８】
また、図１１（イ）のワイヤ切れが発生する度に、図１２に示すように、作業者は、ピンセット３７にて、極細ワイヤ３２を、ワイヤスプール４７から回転押し出し供給しながら、再度、キャピラリ４４内へ、図１１（ロ）に示すように、極細ワイヤ３２を挿通する必要がある。
【０００９】
そして、従来、図１３に示すように、（上記中途にて切れたワイヤループ３４や上記捨てワイヤ３５等の）ワイヤ屑３６を、基台４０上に載置された小箱４８に入れていた。即ち、作業者は、ピンセット３７にて、ワイヤ屑３６を掴み、右手を小箱まで伸ばして、図１４に示すように、ピンセット３７を小箱４８の真上まで持っていき、ピンセット３７を小箱４８に叩きつけて、ワイヤ屑３６を、小箱４８内へ落としていた。そして、作業者は、その打音と、叩いた時の感触とにより、ワイヤ屑３６が小箱４８の中へ落ちたとして確認をとっていた。
【００１０】
しかし、ピンセット３７の先端のワイヤ屑３６を掴んだ部分が、汚れていたり、わずかな湿気を帯びている場合が多々あって、ピンセット３７からワイヤ屑３６が離れずに、そのまま、図１３に示すように、右手を小箱４８の位置から、通常の作業位置へ戻していた。そのため、音にて確認をとった後は、既に、ピンセット３７の掴みは緩めているため、ワイヤ屑３６が、機械の内部や、完成品上に落ちる虞れがあった。
【００１１】
そして、ワイヤ屑３６が機械内部に落下した場合には、図８に示すように、キャピラリ４４を前後左右に移動させるテーブル４１は、ミクロン単位の位置決めを必要とする精密部品であるため、ワイヤ屑３６が、テーブル４１内部の摺動部や駆動ボールネジに絡みついて、ガタや位置決め動作不良を起こす欠点があった。しかも、ワイヤ屑３６が、搬送手段３９に絡みつくと、同じように、摺動にガタが発生して、搬送位置がずれる欠点があった。
【００１２】
また、ワイヤボンダー工程は、いわゆるＩＴ産業のラインにおいては、製品組付けの最終工程の直前の工程であり、完成品にワイヤ屑３６を付したまま、次工程にいくと、製品が不良なものとなり、損失が過大となる虞れがあった。
【００１３】
そこで、従来、真空エジェクタを用いた極細ワイヤ吸込装置が考え出された（例えば、特許文献１参照。）。即ち、従来の極細ワイヤ吸込装置は、図１５に示すように、真空エジェクタ５０と回収入口部５１とフィルタ５２とを備え、真空エジェクタ５０へ、圧縮エアを給気口５０ａから供給しつつ排気口５０ｂから排出して、その真空引きを利用して、極細ワイヤ３２（ワイヤ屑３６）を回収入口部５１から吸い込むように構成されていた。
【００１４】
【特許文献１】
特開平６−３４９８７９号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の極細ワイヤ吸込装置では、真空エジェクタ５０を用いているため、コスト高となり、また、真空エジェクタ５０内部の構造上、低圧（０．４  〜０．５  ＭＰａ）の圧縮エアを供給しても、回収入口部５１の吸込圧が弱く、極細ワイヤ３２を確実に吸い込むことができなかった。また、低圧の圧縮エアをそのまま供給すると、排気口５０ｂに消音サイレンサ５３を使用しても、吸込騒音が大きく、使い勝手が悪かった。
【００１６】
そこで、本発明は、構造が簡単で、極細ワイヤを確実に吸い込むことができる極細ワイヤ吸込装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る極細ワイヤ吸込装置は、一端及び他端が開口すると共に内部にフィルタを有する逆漏斗状のケース部材が、第１本体部と該第１本体部に分解可能に取付けられる第２本体部を備えると共に、その第２本体部に設けられた他端開口部が、回転ファンの吸込側に直接に連設され、該回転ファンの吸い込みにて、上記第１本体部に設けられた一端開口部から極細ワイヤを吸い込むように構成し、さらに、上記第２本体部の第１本体部との結合部位近傍には、上記フィルタを内蔵し、ケース部材の、少なくとも、上記フィルタが配設されている部位が、透明樹脂にて形成され、さらに、上記第１本体部の一端開口部には、二本の引掛柱が突設されており、第１本体部は、小径の首部を有し、かつ、この首部の内径は、３〜６ｍｍに設定されている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態を示す図面に基づき、本発明を詳説する。
【００１９】
図１は、本発明に係る極細ワイヤ吸込装置の実施の一形態を示す側面図であり、本装置は、一端及び他端が開口する共に内部の中間部にフィルタ２を有するケース部材１と、回転ファン３と、を備え、ケース部材１の他端開口部１ｂが、回転ファン３の吸込側に直接に連設されている。そして、回転ファン３の吸い込みにて、ケース部材１の一端開口部１ａから極細ワイヤ３２（ワイヤ屑３６）を吸い込むように構成されている。
【００２０】
回転ファン３は、図２の斜視図に示すように、羽根部４と、該羽根部４を回転可能に保持する枠部５と、該枠部５のエア吐出側に取り付けられる（指の進入を防ぐ）危険防止用金網６と、を備えている。回転ファン３としては、例えば、機械内部に外気を取り入れて制御基板等を冷却するための（市販の）冷却ファンを用いる。
【００２１】
ケース部材１は、図３の側面図と図４の平面図に示すように、（円形に開口された）他端開口部１ｂが（楕円形に開口された）一端開口部１ａよりも幅広の逆漏斗状であり、一端開口部１ａを有する第１本体部１１と、他端開口部１ｂを有する第２本体部１２と、を備え、第１本体部１１と第２本体部１２とは、ネジ構造にて、分解可能に螺合されている。なお、第１本体部１１と第２本体部１２との結合部位には、（Ｏリング等の）パッキン７が組み込まれている。
【００２２】
第１本体部１１の一端開口部１ａには、その内面から二本の引掛柱１３，１３が（露出状に）突設されており、ピンセット３７に付着している極細ワイヤ３２を、引掛柱１３に引っ掛けて、一端開口部１ａ内へ落とすように構成されている。
【００２３】
また、第１本体部１１は、小径の首部１１ａを有し、この首部１１ａの内径は、３〜６ｍｍ程度に設定され、首部１１ａ内の吸込圧力を高くして、一端開口部１ａから極細ワイヤ３２を確実に吸い込むことができる。ここで、極細ワイヤ３２の直径は、１５〜５０μｍであるため、首部１１ａの途中で引っ掛かる虞れがない。
なお、下限値未満では、極細ワイヤ３２が首部１１ａの途中で引っ掛かる虞れがあり、上限値を越えると、必要な吸込力を得ることができない欠点がある。
【００２４】
第２本体部１２の結合部位側には、フィルタ２が仕切り状に内蔵されている。このフィルタ２は、１０μｍ程度の大きさの網目を有するメッシュであり、極細ワイヤ３２の通過を阻止し、極細ワイヤ３２を蓄積することができる。
【００２５】
また、第２本体部１２の他端開口部１ｂには、外鍔部１２ａが設けられ、外鍔部１２ａの孔部と、回転ファン３の枠部５の孔部（図２参照）とに、図１に示すように、ボルト等の固着具８が挿通されて、ケース部材１と回転ファン３とが一体に固定されている。さらに、ケース部材１と回転ファン３とを、（ボンド等の）接着剤にて、固定し、エア漏れを防止するようにしてもよい。
【００２６】
ここで、ケース部材１の、少なくとも、フィルタ２が配設されている部位は、透明樹脂にて形成されている。即ち、フィルタ２付近、及び、フィルタ２よりも一端開口部１ａ側の部位が透明樹脂にて形成され、ケース部材１の外部から、フィルタ２に蓄積された極細ワイヤ３２を、目視することができる。
【００２７】
次に、本装置の作用（機能）、及び、使用方法を説明する。
【００２８】
即ち、図１に示すように、回転ファン３を回転させ、ピンセット３７にて極細ワイヤ３２を、ケース部材１の一端開口部１ａに近づけると、極細ワイヤ３２は、一端開口部１ａから吸い込まれて、フィルタ２に溜まる。なお、このとき、ピンセット３７を一端開口部１ａへ叩きつけたり、ピンセット３７を引掛柱１３へ摺接させたりして、極細ワイヤ３２を確実に一端開口部１ａへ導くようにしてもよい。
【００２９】
そして、外部から、目視にて、所定量の極細ワイヤ３２が溜まったことを確認し、回転ファン３を停止させ、ケース部材１の第１本体部１１と第２本体部１２を分解（分離）して、溜まった極細ワイヤ３２を除去する。
【００３０】
次に、図５に、本装置１０を、取付手段９を介して、ワイヤボンダー機の基台４０へ、取り付けた状態を示す。具体的に述べると、回転ファン３の外周面に固着された第１固定部材２１と、基台４０に固着された（マグネットから成る）第２固定部材２２と、を連結部材２３にて、架設する。即ち、取付手段９は、第１固定部材２１、第２固定部材２２、連結部材２３等から構成される。ここで、連結部材２３を、第１固定部材２１及び第２固定部材２２の両方（又は何れか一方）に、枢結して、本装置が、取付手段９廻りに、揺動可能（首振可能）となるようにしてもよく、使い勝手がよくなり、作業効率が向上する。
【００３１】
また、取付手段９の第２固定部材２２は、マグネットから成るため、取付手段９を基台４０から容易に取り外すことができ、例えば、本装置１０を、図６の実線に示すように、作業者の近くに配設してもよく、又は、図６の仮想線に示すように、テーブル４１の近くに配設してもよく、本装置１０を、基台４０のあらゆる場所に配設することができる。
【００３２】
【発明の効果】
本発明は上述の如く構成されるので、次に記載する効果を奏する。
【００３３】
（請求項１によれば、）回転ファン３を用いることにより、極細ワイヤ３２を確実に吸い込むことができると共に、吸込騒音も小さくすることができ、さらに、耐久性に優れたものとなる。また、回転ファン３は、安価に入手することができるため、全体としてコストダウンを図ることができる。さらに、回転ファン３がケース部材１に直結されているため、極細ワイヤ３２を効率的に吸い込むことができる。また、装置全体の高さ寸法が低くなり、小型化、軽量化を図ることができ、ワイヤボンダー機の側面等に容易に取り付けることができる。
【００３４】
このように、極細ワイヤ３２をケース部材１の一端開口部１ａに持っていくだけで、吸込可能となり、作業者が、極細ワイヤ３２の処理に気をつかう必要がなくなる。さらに、ピンセット３７を引掛柱１３に摺接させて、極細ワイヤ３２を確実に一端開口部１ａへ導くことができる。即ち、極細ワイヤ３２の除去の目視による確認が不要になって、作業者の負担がなくなるため、必要な生産作業に集中でき、ラインの生産性が向上する。また、確実に極細ワイヤ３２を回収することができるため、リサイクルにおける経費負担を減少することができ、かつ、資源保護の観点からも有益な装置となる。さらに、ワイヤボンダー機の内部へ、極細ワイヤ３２が落ち込むのを防止するため、機械内部の部品の損傷や、動作のガタツキを阻止し、機械の耐久性（寿命）を向上させることができ、かつ、製品の品質を向上させることができる。
【００３５】
また、ケース部材１の外部から、目視にて、フィルタ２に蓄積された極細ワイヤ３２を確認することができ、極細ワイヤ３２の除去を、タイミング良く行うことができる。さらに、首部１１ａ内の吸込圧力を高くして、一端開口部１ａから極細ワイヤ３２を確実に吸い込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態を示す側面図である。
【図２】回転ファンの斜視図である。
【図３】ケース部材の側面図である。
【図４】ケース部材の平面図である。
【図５】本装置のワイヤボンダー機へ搭載された状態を示す側面図である。
【図６】本装置のワイヤボンダー機への配置状態を示す平面図である。
【図７】ワイヤボンダー機の側面図である。
【図８】ワイヤボンダー機の平面図である。
【図９】ワイヤボンダー機の作用説明図である。
【図１０】完成品の平面図である。
【図１１】ワイヤ屑の処理を示す作業説明図である。
【図１２】ワイヤ屑の処理を示す作業説明図である。
【図１３】従来のワイヤ屑の処理を示す作業説明図である。
【図１４】従来のワイヤ屑の処理を示す作業説明図である。
【図１５】従来の極細ワイヤ吸込装置を示す側面図である。
【符号の説明】
１  ケース部材
１ａ  一端開口部
１ｂ  他端開口部
２  フィルタ
３  回転ファン
３２  極細ワイヤ