(57)【要約】【課題】オフセット容量に対する荷重感度を高め、しかも高速動作が可能な静電容量型荷重センサを提供する。【解決手段】天秤構造の支点Ｐで支持された天秤台１０の両端に、荷重測定の対象であるそれぞれ第１の被測定物１１及び第２の被測定物１２が載置され、天秤台１０の左端下方にコイルバネ１３が取り付けられている。また、天秤台１０の左端下方には、コイルバネ１３の変位を伝達するための変位伝達棒１４が取り付けられ、静電容量型変位センサ３０内に挿入されている。【選択図】  図１
2004294254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加される荷重を伝達する荷重伝達体と、第１及び第２の固定電極と、これらの第１及び第２の固定電極の間に配置された可動電極とを備え、前記荷重伝達体によって前記可動電極を押圧するようにした静電容量型荷重センサであって、
前記可動電極は、両端が固定された第１の可動板と、
前記第１の可動板の中央部から前記第１の固定電極に対向するように分岐した第２の可動板と、
前記第１の可動板の中央部から前記第２の固定電極に対向するように、前記第２の可動板と対称に分岐した第３の可動板と、
前記第１の固定電極と第２の可動板との間に、互いに隣接する第１及び第２のコンデンサを形成すると共に、前記第２の固定電極と第３の可動板との間に、互いに隣接する第３及び第４のコンデンサを形成したことを特徴とする静電容量型荷重センサ。
【請求項２】
前記第２及び第３の可動板は絶縁体から成り、前記第２の可動板上に前記第１及び第２のコンデンサ用の電極パターンを設け、かつ前記第３の可動板上に前記第３及び第４のコンデンサ用の電極パターンを設けたことを特徴とする請求項１記載の静電容量型荷重センサ。
【請求項３】
印加される荷重差に応じた変位を発生するバネと、該バネの変位を伝達する変位伝達棒と、第１及び第２の固定電極と、これらの第１及び第２の固定電極の間に配置された可動電極とを備える静電容量型荷重センサであって、
前記可動電極は、前記変位伝達棒に連結され、該変位伝達棒の長手方向に対して交差する方向に延びた可動板を有し、前記第１の固定電極と前記可動板の表面との間に、互いに隣接する第１及び第２のコンデンサを構成すると共に、前記第２の固定電極と可動板の裏面との間に、互いに隣接する第３及び第４のコンデンサを構成したことを特徴とする静電容量型荷重センサ。
【請求項４】
前記第２及び第３の可動板は絶縁体から成り、前記可動板の表面に前記第１及び第２のコンデンサ用の電極パターンを設け、かつ前記可動の裏面に前記第３及び第４のコンデンサ用の電極パターンを設けたことを特徴とする請求項４記載の静電容量型荷重センサ。
【請求項５】
前記電極パターンを導電性接着剤で形成したことを特徴とする請求項２又は請求項４記載の静電容量型荷重センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷重差を検出するための静電容量型荷重センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
荷重センサは物体の荷重を検出するものであるが、荷重は油圧に変換可能なため、以下で従来例として静電容量型圧力センサについて説明する。
【０００３】
図７は従来の静電容量型圧力センサ１００の断面図である。同図において、第１の固定電極板１０１と第２の固定電極板１０２の間に可動電極板であるダイアフラム１０３が配置されている。このダイアフラム１０３の両端は、絶縁板１０４に埋め込まれて固定され、この絶縁板１０４によって、第１の固定電極板１０１及び第２の固定電極板１０２とダイアフラム１０３とが電気的に絶縁されている。
【０００４】
また、第１の固定電極板１０１とダイアフラム１０３との間の空洞部１０５に油圧Ｐ１を導入するための第１の貫通孔１０６が設けられ、同様に第２の固定電極板１０２とダイアフラム１０３との間の空洞部１０７に油圧Ｐ２を導入するための第２の貫通孔１０８が設けられている。
【０００５】
ここで、第１の固定電極板１０１とダイアフラム１０３との間の静電容量Ｃ１は、Ｃ１＝ε（Ｓ／ｄ）で表される。εは油の誘電率、Ｓは電極面積、ｄは電極間ギャップ幅である。また、第２の固定電極板１０２とダイアフラム１０３との間の静電容量Ｃ２は、Ｃ２＝ε（Ｓ／ｄ）で表される。
【０００６】
従って、静電容量Ｃ１，Ｃ２は、それぞれ電極ギャップ幅ｄに反比例して変化することになる。一方、油圧力Ｐ１，油圧力Ｐ２との圧力差と電極ギャップ幅ｄとの間には一定の関係があるので、静電容量Ｃ１，Ｃ２を検出することで、圧力を知ることができる。また、圧力と荷重の関係から、荷重を知ることができるので、この静電容量型圧力センサ１００を用いて荷重センサを構成することもできる。
【０００７】
更に、基本的には静電容量Ｃ１，Ｃ２の比（Ｃ１／Ｃ２）を求めることにより、油の誘電率ε及び電極面積Ｓの温度・湿度変化や経時変化に起因した静電容量Ｃ１，Ｃ２の変動の影響を除去することができる。
【０００８】
なお、上述したような平行平板型のコンデンサを用いた圧力センサについては特許文献１に記載されている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−２９５１７５号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の静電容量型圧力センサ１００では、圧力感度を高くすることが困難であった。この問題について図７を用いて説明する。いま、油圧力Ｐ２が油圧力Ｐ１より高いとする（Ｐ２＞Ｐ１）。すると、図中の破線で示すように、ダイアフラム１０３の両端は固定されているために、ダイアフラム１０３の中央部Ｑでは大きな変位Δｄ１を生じるが、ダイアフラム１０３の中央部からは両端部に向かうにつれてダイアフラム１０３の変位は小さくなる（Δｄ１＞Δｄ２）。
【００１１】
すなわち、静電容量Ｃ１をダイアフラム１０３に沿った多数の静電容量Ｃｉ（Ｃ１＝ΣＣｉ）に細分して考えると、ダイアフラム１０３の中央部Ｑの静電容量Ｃｉ（Ｑ）では、圧力差（Ｐ２−Ｐ１）に応じた変位Δｄ１によって大きな容量変化を生じるが、中央部Ｑから離れた場所Ｒの静電容量Ｃｉ（Ｒ）では、ダイアフラム１０３の変位Δｄ２が小さいために、小さな容量変化しか生じない。静電容量Ｃ１は、中央部Ｑでも圧力感度は高いが、中央部Ｑから離れた場所Ｒでの圧力感度は低くなる。
【００１２】
従って、従来の静電容量型圧力センサ１００では、オフセット容量（圧力差がない状態での静電容量）に対する圧力感度を大きくすることができなかった。また、圧力差（Ｐ２−Ｐ１とダイアフラムの変位の関係における線形性が低いという問題もあった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明の第１の特徴構成は、印加される荷重を伝達する変位伝達棒と、第１及び第２の固定電極と、これらの第１及び第２の固定電極の間に配置された可動電極とを備え、前記変位伝達棒によって前記可動電極を押圧するようにした静電容量型荷重センサであって、
両端が固定された第１の可動板と、この第１の可動電極に対して対称に分岐して、Ｈ型構造を成す第２及び第３の可動板とで可動電極を構成し、第１の固定電極と第２の可動板との間に、２つの平行平板型コンデンサを構成し、更に、第２の固定電極と第３の可動板との間に、他の２つの平行平板型コンデンサを構成したものである。
【００１４】
また本発明の第２の特徴構成は、印加される荷重差に応じた変位を発生するバネと、該バネの変位を伝達する変位伝達棒と、第１及び第２の固定電極と、これらの第１及び第２の固定電極の間に配置された可動電極とを備える静電容量型荷重センサであって、
前記可動電極は、前記変位伝達棒に連結され、その長手方向に対して交差する方向に延びた可動板を有し、前記第１の固定電極と前記可動板の表面との間に、互いに隣接する第１及び第２のコンデンサを構成すると共に、前記第２の固定電極と可動板の裏面との間に、互いに隣接する第３及び第４のコンデンサを構成したことを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下で、本発明の第１の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、この静電容量型荷重センサの基本構造を示す図である。図において、天秤構造の支点Ｐで支持された天秤台１０の両端に、荷重測定の対象であるそれぞれ第１の被測定物１１及び第２の被測定物１２が載置されている。また、天秤台１０の左端下方には、荷重伝達棒１３が取り付けられ、後述する静電容量型変位センサ３０内に挿入され、ダイアフラムを押圧するように構成されている。
【００１６】
この静電容量型荷重センサの動作を説明する。第１の被測定物１１の荷重をＷ１、第２の被測定物１２の荷重をＷ２、天秤台１０の左端上に載置された第１の被測定物１１と支点Ｐとの距離をＬ１、天秤台１０の右端上に載置された第２の被測定物１２と支点Ｐとの距離をＬ２とすると、支点Ｐの回りには（Ｗ１×Ｌ１−Ｗ２×Ｌ２）のトルクＴが発生する。Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌの場合は、Ｔ＝（Ｗ１−Ｗ２）Ｌとなる。
【００１７】
いまトルクＴ＞０とすると、天秤台１０の左端が下動する。荷重伝達棒１３は天秤台１０に一端が固定され、他端はバネとして働くダイアフラムに連結されているで、荷重伝達棒１３は荷重差に応じた変位Δｘを伝達する。従って、静電容量型変位センサ３０でこの変位Δｘを検出すれば、変位ΔｘとトルクＴの関係から荷重差（Ｗ１−Ｗ２）を知ることができる。
【００１８】
次に、静電容量型変位センサ３０の構造について、図２を参照しながら説明する。この静電容量型変位センサ３０は、相補的に動作する４つの平行平板型コンデンサを含むものである。
【００１９】
Ｈ型構造を有する可動電極板は、円筒状の筐体３１に収納されており、両端が筐体３１の壁に埋め込まれて固定された第１のダイアフラム３２と、この第１のダイアフラム３２の中央部Ｑから、筐体３１の壁に近接して対向するように分岐した第２のダイアフラム３３と、第１のダイアフラム３２の中央部Ｑから筐体３１の反対側の壁に近接して対向するように分岐した第３のダイアフラム３４とから構成されている。そして、第２のダイアフラム３３と第３のダイアフラム３４とは、第１のダイアフラム３２に対して対称となるように連結され、Ｈ型構造を成している。
【００２０】
また、第２のダイアフラム３３の表面には電極パターン３９，４０が形成されており、これらの電極パターン３９，４０にそれぞれ対向して筐体３１の内壁面に電極パターン４１，４２が形成されている。従って、１対の電極パターン３９，４１によって第１のコンデンサ６１が構成され、これに隣接して１対の電極パターン４０，４２によって第２のコンデンサ６２が構成されている。
【００２１】
また、同様に第３のダイアフラム３４の表面には電極パターン４３，４４が形成されており、これらの電極パターン４３，４４にそれぞれ対向して筐体３１の内壁面に電極パターン４５，４６が形成されている。従って、１対の電極パターン４３，４５によって第３のコンデンサ６３が構成され、これに隣接して１対の電極パターン４４，４６によって第４のコンデンサ６４が構成されている。これら４つのコンデンサはいずれも平行平板型である。上記電極パターンは電極材料として導電性接着剤を用いることで、簡単な印刷で形成することができる。また、各電極パターンには配線が接続され外部に取り出されているものとする。
【００２２】
そして、前記荷重伝達棒１３の先端が、筐体３１に設けられた貫通孔４７を通して第２のダイアフラム３３の中央部Ｒに当接するか、あるいは連結されている。そこで、荷重伝達棒１３が荷重差に基づいて変位Δｘだけ下動すると、荷重伝達棒１３が第２のダイアフラム３３の中央部を押圧することで、この変位Δｘが第２のダイアフラム３３及び第３ダイアフラム３４に伝達される。これにより、第２のダイアフラム３３及び第３ダイアフラム３４はいずれも下方に変位Δｘだけ平行移動し、上記４つのコンデンサの容量値が変化する。
【００２３】
ここで、第１のコンデンサ６１の容量をＣｓ１、第２のコンデンサ６２の容量をＣｄ１、第３のコンデンサ６３の容量をＣｓ２、第４のコンデンサ６４の容量をＣｄ２とすると、これらは以下の式で表される。
【００２４】
Ｃｓ１＝εＳ／（ｄ０−Δｘ）
Ｃｄ１＝εＳ／（ｄ０−Δｘ）
Ｃｓ２＝εＳ／（ｄ０＋Δｘ）
Ｃｄ２＝εＳ／（ｄ０＋Δｘ）
ここで、ｄ０は圧力差がないとき（Ｐ１＝Ｐ２）の電極ギャップ幅、εは電極ギャップ間の空気の誘電率である。Ｓは電極面積であり、４つのコンデンサは同じ電極面積を有しているものとする。従って、第１のコンデンサ６１と第３のコンデンサ６３とは相補的に動作し、第２のコンデンサ６２と第４のコンデンサ６４とは相補的に動作する。
【００２５】
そこで、（Ｃｓ１−Ｃｓ２）／（Ｃｄ１＋Ｃｄ２）  という信号処理を行うことにより、次の式が得られる。
（Ｃｓ１−Ｃｓ２）／（Ｃｄ１＋Ｃｄ２）＝Δｘ／ｄ０
従って、Δｘと荷重差の関係から、荷重差（Ｗ１−Ｗ２）を知ることができる。また、この信号処理により、空気の誘電率ε及び電極面積Ｓの温度・湿度変化や経時変化に起因した変動の影響を除去することができる。また、この静電容量型変位センサ３０は、４つのコンデンサを用いているので、（Ｃｓ１−Ｃｓ２）と（Ｃｄ１＋Ｃｄ２）とを後述するように、並列信号処理することができるので、時系列的に信号処理が必要なセンサに比べて高速なセンシングが可能となる。
【００２６】
本発明の第２の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図３は、この静電容量型荷重センサの基本構造を示す図である。この静電容量型荷重センサは、第１の実施形態の静電容量型変位センサ３０を他のタイプの静電容量型変位センサ５０に置き換えたものである。この静電容量型変位センサ５０について、図４を用いて詳しく説明する。
【００２７】
第１の実施形態の静電容量型変位センサ３０はＨ型構造のダイアフラムを荷重伝達棒１３で押圧することでダイアフラムに変形を生じさせているが、この静電容量型変位センサ５０では、天秤台１０の左端下方に取り付けられた変位伝達棒１４に可動電極板を上下動自在に連結している。そして、天秤台１０の左端と静電容量型変位センサ５０との間には、荷重差を変位に変換するためのコイルバネ１５が取り付けられている。このコイルバネ１５は板バネであってもよい。
【００２８】
可動電極板は、円筒状の筐体５１に収納されており、筐体５１に設けられた貫通孔５２を通された変位伝達棒１４に連結され、その長手方向に対して交差する方向に延びた可動板５３を有している。そして、可動板５３の表面には電極パターン５４，５５が形成されており、これらの電極パターン５４，５５にそれぞれ対向して筐体５１の内壁面に電極パターン５６，５７が形成されている。従って、１対の電極パターン５４，５６によって第１のコンデンサ８１が構成され、これに隣接して１対の電極パターン５５，５７によって第２のコンデンサ８２が構成されている。
【００２９】
また、同様に可動板５３の裏面には電極パターン６５，６６が隣接して形成されており、これらの電極パターン６５，６６にそれぞれ対向して筐体５１の内壁面に電極パターン６７，６８が形成されている。従って、１対の電極パターン６５，６７によって第３のコンデンサ８３が構成され、これに隣接して１対の電極パターン６６，６８によって第４のコンデンサ８４が構成されている。これら４つのコンデンサはいずれも平行平板型である。上記電極パターンは電極材料として導電性接着剤を用いることで、簡単な印刷で形成することができる。また、各電極パターンには配線が接続され外部に取り出されているものとする。
【００３０】
ここで、第１のコンデンサ８１の容量をＣｓ１、第２のコンデンサ８２の容量をＣｄ１、第３のコンデンサ８３の容量をＣｓ２、第４のコンデンサ８４の容量をＣｄ２とすると、これらは第１の実施形態と同様に以下の式で表される。
【００３１】
Ｃｓ１＝εＳ／（ｄ０−Δｘ）
Ｃｄ１＝εＳ／（ｄ０−Δｘ）
Ｃｓ２＝εＳ／（ｄ０＋Δｘ）
Ｃｄ２＝εＳ／（ｄ０＋Δｘ）
したがって、Ｃｓ１−Ｃｓ２）／（Ｃｄ１＋Ｃｄ２）  という信号処理を行うことにより、Δｘと荷重差の関係から、荷重差（Ｗ１−Ｗ２）を知ることができる。
【００３２】
次に、上述した静電容量型変位センサ３０のセンサ信号処理回路について説明する。なお、第２の実施形態の静電容量型変位センサ５０についても全く同じ回路を用いることができる。
【００３３】
図５はこのセンサ信号処理回路を示す回路図である。また、図６はこのセンサ信号処理回路のブロック線図である。
【００３４】
図５において、７０は交流信号源であり、交流入力信号Ｖｉｎを発生する。７１は演算増幅器Ａ１と２つの固定抵抗Ｒで構成される反転増幅器、９１は前記第１及び第３のコンデンサ６１，６３で構成される第１のセンサ、７２はコンデンサＣａ、第１のセンサ９１及び演算増幅器Ａ２で構成される第１のチャージアンプ、９２は前記第２及び第４のコンデンサ６２，６４で構成される第２のセンサ、７３はコンデンサＣｂ、第２のセンサ９２及び演算増幅器Ａ３で構成される第２のチャージアンプである。７４は乗算器である。
【００３５】
更に詳しくは、第１のチャージアンプ７２において、演算増幅器Ａ２の非反転入力端子（＋）は接地されており、反転入力端子（−）には第１及び第３のコンデンサ６１，６３の電極（可動電極板側の電極パターン）が接続され、これらは仮想接地されている。また、第２のチャージアンプ７３において、演算増幅器Ａ３の非反転入力端子（＋）は接地されており、反転入力端子（−）には第２及び第４のコンデンサ６２，６４の電極（可動電極板側の電極パターン）が接続され、これらは仮想接地されている。
【００３６】
そして、これらの第１のチャージアンプ７２及び第２のチャージアンプ７３の出力信号は、乗算器７４によって乗算処理され、その結果出力信号Ｖｏｕｔが得られる。
【００３７】
上述したように、第１のセンサ９１は一方のコンデンサ、例えば第１のコンデンサ６１の容量Ｃｓ１が増加すると、第３のコンデンサ６３の容量Ｃｓ２は減少するように、相補的に動作する。
【００３８】
そこで、このセンサ信号処理回路の伝達関数を求める。まず乗算器７４に入力される前のブロックを、反転増幅器７１と第１のチャージアンプ７２で構成される部分と、第２のチャージアップ７３で構成される部分に分割して考えることができる。これらの２つの構成部分は並列に演算処理を行っている。
【００３９】
それぞれの部分の伝達関数を求めた後に掛け合わせれば全体の伝達関数を得ることができる。まず、反転増幅器７１と第１のチャージアンプ７２で構成される部分の伝達関数をラプラス演算子ｓを用いて求める。第１のチャージアンプ７２の出力信号をＶａとすると次式が成り立つ。
【００４０】
【数１】
2004294254.tif 000003
【００４１】
この式をＶａについて解くと、
【００４２】
【数２】
2004294254.tif 000004
【００４３】
次に、第２のチャージアンプ７３の伝達関数をラプラス演算子ｓを用いて求める。第２のセンサ９２の容量Ｃｄ１，Ｃｄ２の和をＣｄとすると、Ｃｄは次式で表される。
【００４４】
【数３】
2004294254.tif 000005
【００４５】
第２のチャージアンプ７３の出力信号をＶｂとすると、次式が成り立つ。
【００４６】
【数４】
2004294254.tif 000006
【００４７】
これをＶｂについて解くと、
【００４８】
【数５】
2004294254.tif 000007
【００４９】
この式にＣｄを代入すると、
【００５０】
【数６】
2004294254.tif 000008
【００５１】
ここで、Ｖｏｕｔ＝Ｖａ×Ｖｂなので、数２，数５の式を掛け合わせると、
【００５２】
【数７】
2004294254.tif 000009
【００５３】
が得られる。
【００５４】
このように、このセンサ信号処理回路によれば、容量の和と差の成分を並列処理により高速に抽出することができる。従って、上述の静電容量型変位センサ３０と、このセンサ信号処理回路を組み合わせることで、高速な荷重変化を高感度で検出することができるものである。
【００５５】
【発明の効果】
本発明の静電容量型荷重センサにより得られる、主な効果をまとめれば以下の通りである。
（１）Ｈ型構造等による可動電極板を平行に変位させるセンサ構造は、オフセット容量（＝荷重が印加されていない状態のセンサの静電容量）に対する荷重感度の割合を大きくできる。
（２）Ｈ型構造等による可動電極板を平行に変位させるセンサ構造は、板バネやコイルバネの小さな変位、即ち各部に生じた小さな歪みにおいても大きな荷重感度が得られる。
（３）Ｈ型構造等による可動電極板を平行に変位させるセンサ構造は、板バネやコイルバネの小さな変位、即ち各部に生じた小さな歪みにおいても大きな圧力感度が得られ、これはコイルバネの荷重と変位の関係における線形性を高める効果がある。
（４）Ｈ型構造等による可動電極板を平行に変位させるセンサ構造は、ダイアフラム等の板バネやコイルバネに生じさせる歪みを小さくでき、コイルバネには極めて小さな永久歪み、即ち極めて小さな塑性変形を生じるのみとなり、コイルバネに理想弾性材料を用いることなしに、再現性の高い（＝ヒステリシスの小さい）計測器を作ることができる。
（５）センサの温度特性（＝距離・面積成分変動）、湿度特性（＝ε成分変動）、雰囲気ガス成分の変化（＝ε成分変動）、センサキャパシタとなる平行平板コンデンサの電極板の位置ズレ（＝面積成分変動）等の影響を排除するためのレシオメトリック信号処理を行うため、同一平板上に平行平板コンデンサを２個配置し、さらに相補動作、即ち差（差圧力、差荷重）の計測のために、これを対称構造とする。これにより合計４つのキャパシタを持つこととなる。
（６）中央電極（＝可動電極）を仮想接地させる信号処理回路を用いると、測定誤差となる寄生容量の影響を小さくできる。
（７）電極材料に導電性接着剤を用いることで、簡単な印刷を用いて電極パターンが作成できる。用いる導電性接着剤には室温硬化型のものも多く存在し、Ｍｏ−Ｍｎ法、ガラスペースト法、メッキ法等で必要な焼成等の熱処理を必要としない。従って工程を簡素化でき、センサに熱応力も与えない利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る静電容量型荷重センサの基本構造を示す図である。
【図２】図１の静電容量型変位センサ３０の構造を示す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る静電容量型荷重センサの基本構造を示す図である。
【図４】図３の静電容量型変位センサ５０の構造を示す断面図である。
【図５】センサ信号処理回路を示す回路図である。
【図６】センサ信号処理回路のブロック線図である。
【図７】従来の静電容量型圧力センサ１００の断面図である。
【符号の説明】
１０  天秤台        １１  第１の被測定物      １２  第２の被測定物
１３  コイルバネ    １４  変位伝達棒          ３０  静電容量型変位センサ
３１  筐体                        ３２  第１のダイアフラム
３３  第２のダイアフラム          ３４  第３のダイアフラム
３９〜４６  電極パターン          ４７  貫通孔
５０  静電容量型変位センサ        ５１  筐体              ５２  貫通孔
５３  可動板                      ５４〜５７  電極パターン
６１  第１のコンデンサ            ６２  第２のコンデンサ
６３  第３のコンデンサ            ６４  第４のコンデンサ
６５〜６８  電極パターン          ７０  交流入力信号
７１  反転増幅器                  ７２  第１のチャージアンプ
７３  第２のチャージアンプ        ７４  乗算器
８１  第１のコンデンサ            ８２  第２のコンデンサ
８３  第３のコンデンサ            ８４  第４のコンデンサ
９１  第１のセンサ                ９２  第２のセンサ
１００  静電容量型圧力センサ    １０１  第１の固定電極板
１０２  第２の固定電極板        １０３  ダイアフラム
１０４  絶縁板                  １０５  空洞部
１０６  第１の貫通孔            １０７  空洞部      １０８  第２の貫通孔
【図１】
2004294254.tif 000010
【図２】
2004294254.tif 000011
【図３】
2004294254.tif 000012
【図４】
2004294254.tif 000013
【図５】
2004294254.tif 000014
【図６】
2004294254.tif 000015
【図７】
2004294254.tif 000016