(57)【要約】【課題】分注装置について「ｎｌ」レベルの超微量な分注を行うこと。【解決手段】先端に吐出口を有する一つの外管２と、その外管２に内包され、外管２の吐出口の近傍に位置する吐出口を有する内管３とを含む二重管構造の分注器１を備える。内管３には、分注液が供給され、外管２には、分注液を搬送するエアが供給される。内管３に分注液を供給するための手段として、液配管７、タンク８、第１電磁弁９、エア配管１０及び圧送圧力調整器１１が設けられる。外管２にエアを供給するための手段として、エア配管１２、第２電磁弁１３及び圧力調整器１４が設けられる。内管３の吐出口から分注液が自重で滴下する以前に、外管２の吐出口からエアをパルス的に吐出させるべく第２電磁弁１３を制御するコントローラ１５が設けられる。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に吐出口を有する一つの外管と、
前記外管に内包され、その外管の吐出口の近傍に位置する吐出口を有する少なくとも一つの内管と、
前記外管又は前記内管に分注液を供給するための分注液供給手段と、
前記分注液が供給されない管に搬送流体を供給するための搬送流体供給手段と、
前記分注液が供給される管の吐出口から前記分注液が自重で滴下する以前に、前記分注液が供給されない管の吐出口から前記搬送流体を吐出させるために前記搬送流体供給手段を制御する供給制御手段と
を備えたことを特徴とする分注装置。
【請求項２】
前記分注液供給手段は、タンクに貯留された分注液をピエゾアクチュエータの動作により圧送するものであることを特徴とする請求項１に記載の分注装置。
【請求項３】
前記分注液が供給される管の吐出口の周囲表面に撥水性処理を施したことを特徴とする請求項１又は２に記載の分注装置。
【請求項４】
前記分注液が供給される管の吐出口の周囲を表面張力緩和形状としたことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに記載の分注装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、バイオチップ製造等の分野にて好適に用いられ、所定の液体を一定微量に小分けしてスポット的に注ぐのに使用される分注装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、薬液等の液体を一定微量ずつ小分けしてスポット的に相手容器等に注ぐ（分注する）のに使用される分注装置として、例えば、下記の非特許文献１に記載されるものがある。この分注装置は、分注器のノズル先端から、「０．１〜２．５μｌ」程度の容量の液体を「０．１μｌ」の精度で吐出して分注するようになっている。
【０００３】
【非特許文献１】
アズワン（株）カタログ「研究用総合機器７００００」第５６８頁
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記非特許文献１に記載された装置では、「μｌ」レベルの精度の分注が限界であり、それ以上の精度で液体を超微量に分注することが困難であった。これは、前記分注器では、主として「液滴法」が使用され、液体には表面張力と呼ばれる「液体分子間の凝集力」や「管壁に対する付着力」があるためである。一般に、垂直な管の下端から落下する液滴は、その質量分の重力が表面張力等に打ち勝つときに落下することから、落下に必要な最少の液滴量が「μｌ」レベルになってしまうからである。従って、従来の分注装置では、「ｎｌ」レベルの超微量な分注を行うことができなかった。
【０００５】
この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、「ｎｌ」レベルの超微量な分注を行うことを可能とした分注装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、先端に吐出口を有する一つの外管と、その外管に内包され、その外管の吐出口の近傍に位置する吐出口を有する少なくとも一つの内管と、外管又は内管に分注液を供給するための分注液供給手段と、分注液が供給されない管に搬送流体を供給するための搬送流体供給手段と、分注液が供給される管の吐出口から分注液が自重で滴下する以前に、分注液が供給されない管の吐出口から搬送流体を吐出させるために搬送流体供給手段を制御する供給制御手段とを備えたことを趣旨とする。
【０００７】
上記発明の構成によれば、分注液供給手段により外管又は内管に分注液が供給されることにより、その管の吐出口へ分注液が導かれる。又、分注液が供給されない管に、搬送流体供給手段により搬送流体が供給されることにより、その管の吐出口へ搬送流体が導かれる。ここで、分注液が供給される管の吐出口から分注液が自重で滴下する以前に、供給制御手段による搬送流体供給手段の制御により、分注液が供給されない管の吐出口から搬送流体が吐出されることにより、その搬送流体が滴下前の分注液に作用し、その表面張力に打ち勝って分注液が液滴として落とされる。従って、自重で滴下するときの容量より少ない超微量の液滴が分注されることになる。
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、分注液供給手段は、タンクに貯留された分注液をピエゾアクチュエータの動作により圧送するものであることを趣旨とする。
【０００９】
上記発明の構成によれば、タンクに貯留された分注液をピエゾアクチュエータの動作により圧送することにより、外管又は内管に分注液が供給されるので、例えば、エアにより分注液を圧送するタイプの構成に比べ、エア配管やエア供給の必要性がなく、構成が簡略化される。
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、分注液が供給される管の吐出口の周囲表面に撥水性処理を施したことを趣旨とする。
【００１１】
上記発明の構成によれば、請求項１又は２に記載の発明の作用に加え、分注液が供給される管の吐出口の周囲表面に撥水性処理が施されているので、吐出口からの分注液の切れが促進され、液滴の容量が更に少なくなる。
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一つに記載の発明において、分注液が供給される管の吐出口の周囲を表面張力緩和形状としたことを趣旨とする。
【００１３】
上記発明の構成によれば、請求項１乃至３の何れか一つに記載の発明の作用に加え、分注液が供給される管の吐出口の周囲を表面張力緩和形状としたので、吐出口からの分注液の切れが促進され、液滴の容量が更に少なくなる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の分注装置を具体化した第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
図１に、この実施の形態の分注装置の概略構成図を示す。この分注装置は、ピペット状の分注器１を備える。この分注器１は、外管２と、その外管２に内包される内管３とを含む二重管構造をなす。分注器１の下方には、分注相手であるバイオチップ等の基板４が配置される。
【００１６】
図２に、分注器１の下端部を拡大断面図に示す。図３に、図２のＡ−Ａ線断面図を示す。外管２は、その先端である下端に吐出口２ａを有する。内管３は、外管２の吐出口２ａの近傍に位置する吐出口３ａを含む。外管２と内管３との間には、隙間通路５が形成される。図２に示すように、内管３の吐出口３ａの周囲の形状は、単に管材をその軸線に垂直に切断しただけの端面形状を有する。この吐出口３ａの周囲表面には、図２に破線で示すように、シリコーン・コーティング剤等を使用しての撥水性処理を施すことにより、撥水性コーティング６が形成される。
【００１７】
図１に示すように、分注器１の内管３には、液配管７が接続される。この液配管７の上流端は、分注液を貯留するタンク８に接続されて分注液の中に配置される。液配管７の途中には、第１電磁弁９が設けられる。タンク８の上部には、液圧送用エアを供給するためのエア配管１０が接続される。このエア配管１０の途中には、液圧送用エアの圧力を調整するための圧送圧力調整器１１が設けられる。そして、タンク８には、圧送圧力調整器１１により圧力調整されたエアが常時供給される。この状態で、第１電磁弁９が開弁することにより、タンク８に貯留された分注液が、内管３に供給される。この実施の形態では、これら液配管７、タンク８、第１電磁弁９、エア配管１０及び圧送圧力調整器１１により、内管３に分注液を供給するための本発明の分注液供給手段が構成される。
【００１８】
図１に示すように、分注器１の外管２には、別のエア配管１２が接続される。このエア配管１２には、搬送流体としてのエアが供給される。エア配管１２の途中には、第２電磁弁１３と、エア圧力を調整するための圧力調整器１４が設けられる。この状態で、第２電磁弁１３が開弁することにより、搬送用エアが、外管２と内管３との間の隙間通路５に供給される。この実施の形態では、これらエア配管１２、第２電磁弁１３及び圧力調整器１４により、外管２と内管３との間の隙間通路５に搬送流体としてのエアを供給するための本発明の搬送流体供給手段が構成される。
【００１９】
図１に示すように、第１電磁弁９及び第２電磁弁１３は、それぞれコントローラ１５に接続される。このコントローラ１５は、分注器１に対する分注液及びエアの供給タイミングを制御するために、第１電磁弁９及び第２電磁弁１３の開弁及び閉弁を制御するものである。この実施の形態で、コントローラ１５は、内管３の吐出口３ａから分注液が自重で滴下する以前に、外管２の吐出口２ａから搬送用エアをパルス的に吐出させるために第２電磁弁１３を制御するものであり、本発明の供給制御手段に相当する。
【００２０】
図４に、コントローラ１５が制御する第１電磁弁９及び第２電磁弁１３の開閉タイミングをタイムチャートに示す。この実施の形態では、図４（ａ），（ｂ）に示すように、第１電磁弁９の開弁から少し遅れて第２電磁弁１３が開弁され、その後に所定時間が経過すると、両電磁弁９，１３が同時に閉弁されるようになっている。
【００２１】
この実施の形態では、搬送用エアの圧力が「０．５ＭＰａＧ」に設定される。第２電磁弁１３の動作間隔は、「０Ｎ＝１０ｍｓ／ＯＦＦ＝４９０ｍｓ」に設定され、これによって「０．５秒」毎に「１０ｍｓ」の空圧パルスを発生させるようになっている。この実施の形態で、分注液の圧送圧力は「０．０１ＭＰａＧ〜０．１ＭＰａＧ」の範囲で可変となっている。内管３の内径は「φ５０μｍ」に、外管２の外径は「φ１００μｍ」に設定される。
【００２２】
図５に、細管２１の下端開口２１ａから液滴２２が落下する際の力学的関係を概念図に示す。液滴２２の質量を「ｍ」とすると、液滴２２を下に引く力は重力「ｍｇ」である。一方、液滴２２を上に引き上げる力は「２πｒα」である。ここで、「α」は「表面張力」であり、「ｒ」は開口２１ａの「外半径」である。従って、液滴２２が落下するには、「ｍｇ＞２πｒα」の関係が成立するまで、液滴２２が成長してその質量が増大する必要がある。
【００２３】
以上説明したこの実施の形態の分注装置によれば、第１電磁弁９が開弁されてタンク８から内管３に分注液が供給されると、内管３の吐出口３ａへ分注液が導かれる。又、第２電磁弁１３が開弁されて外管２に搬送用エアが供給されると、外管２の吐出口２ａへ搬送用エアが導かれる。
【００２４】
ここで、内管３の吐出口３ａから分注液が自重で滴下する以前に、コントローラ１５による第２電磁弁１３の制御により、外管２の吐出口２ａから搬送用エアが吐出される。このとき、図６に示すように、分注液が、その外周に作用する搬送用エアにより、表面張力等に打ち勝って吹き落とされる。従って、自重で滴下するときの容量より少ない超微量の分注液が基板４に分注される。このため、「ｎｌ」レベルの超微量な分注を行うことができるようになる。
【００２５】
この実施の形態によれば、分注液が供給される内管３の吐出口３ａの周囲表面に撥水性コーティング６が形成されるので、その吐出口３ａからの分注液の切れが促進され、滴下する分注液の容量が更に少なくなる。この意味で、分注される液滴の超微量化を促進することができ、分注の精密度を高めることができる。
【００２６】
［第２の実施の形態］
以下、本発明の分注装置を具体化した第２の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。尚、この実施の形態を含む以下の各実施の形態において、前記第１の実施の形態と同等の構成については、同一の符合を付して説明を省略し、以下には異なった点を中心に説明する。
【００２７】
図７に、この実施の形態の分注装置の概略構成図を示す。この分注装置は、ピペット状の分注器３１を備える。図８に、分注器３１の下端部を拡大断面図に示す。図９に、図８のＢ−Ｂ線断面図を示す。図７〜９に示すように、この分注器３１は、外管３２と、その外管３２に内包される二重をなす第１内管３３及び第２内管３４とを含む三重管構造をなす。外管３２及び両内管３３，３４は、その先端である下端に吐出口３２ａ，３３ａ，３４ａを有する。第１内管３３の吐出口３３ａの周囲表面には、図８に破線で示すように、撥水性コーティング６が形成される。
【００２８】
この実施の形態では、図７に示すように、搬送用エアを供給するエア配管１２から、別の分岐エア配管３５が設けられ、その配管３５の途中に第３電磁弁３６が設けられる。第３電磁弁３６の開弁及び閉弁は、コントローラ１５により制御される。この実施の形態で、エア配管１２の先端は中心の第２内管３４に接続される。分岐エア配管３５の先端は、外管３２に接続される。液配管７の先端は、第１内管３３に接続される。
【００２９】
図１０に、コントローラ１５が制御する第１電磁弁９、第２電磁弁１３及び第３電磁弁３６の開閉タイミングをタイムチャートに示す。この実施の形態では、図１０（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、第１電磁弁９の開弁から少し遅れて第２電磁弁１３が開弁され、第２電磁弁１３の開弁から少し遅れて第３電磁弁３６が開弁され、その後に所定時間が経過すると、全ての電磁弁９，１３，３６が同時に閉弁されるようになっている。
【００３０】
以上説明したこの実施の形態の分注装置によれば、第１電磁弁９が開弁されてタンク８から第１内管３３に分注液が供給されると、その内管３３の吐出口３３ａへ分注液が導かれる。又、第２電磁弁１３が開弁されて第２内管３４に搬送用エアが供給されると、同内管３４の吐出口３４ａへ搬送用エアが導かれる。更に、第３電磁弁３６が開弁されて外管３２に搬送用エアが供給されると、外管３２の吐出口３２ａへ搬送用エアが導かれる。
【００３１】
ここで、第１内管３３の吐出口３３ａから分注液が自重で滴下する以前に、コントローラ１５による第２電磁弁１３及び第３電磁弁３６の制御により、第２内管３４及び外管３２の吐出口３４ａ，３２ａから順次搬送用エアが吐出される。このとき、図１１に示すように、分注液が、その中心に作用する搬送用エアと、その外周に作用する搬送用エアとにより、表面張力等に打ち勝って吹き落とされる。従って、自重で滴下するときの容量より少ない超微量の分注液が基板４に分注される。このため、「ｎｌ」レベルの超微量な分注を行うことができるようになる。
【００３２】
この実施の形態では、第２内管３４及び外管３２の吐出口３４ａ，３２ａから順次搬送用エアが吐出されることから、第１の実施の形態で外管２からの搬送用エアの吐出のみにより分注液を吹き落とす分注装置に比べ、より効率良く分注液を吹き落とすことができる。これにより、分注される液滴の超微量化を更に促進して、分注の精密度を更に高めることができる。
【００３３】
［第３の実施の形態］
以下、本発明の分注装置を具体化した第３の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００３４】
図１２に、この実施の形態の分注装置の概略構成図を示す。この分注装置は、分注器１の内管３に分注液を供給するための分注液供給手段の構成の点で、第１の実施の形態の分注装置と構成が異なる。
【００３５】
この実施の形態では、第１の実施の形態におけるエア配管１０、圧送圧力調整器１１及び液圧送用エアの供給が削除され、それに代わって、タンク８にピエゾアクチュエータ１６が設けられる。ここで、タンク８は分注液により満たされる。このタンク８は、ピエゾアクチュエータ１６に対応する部分が可撓部材により構成される。この可撓部材の部分が、ピエゾアクチュエータ１６の歪み動作に基づいて変形することにより、タンク８に貯留された分注液が液配管７へ圧送されて内管３に供給されるようになっている。ピエゾアクチュエータ１６は、第１及び第２の電磁弁９，１３と同様、コントローラ１５に接続される。コントローラ１５は、分注器１に対する分注液及びエアの供給タイミングを制御するために、第１電磁弁９及び第２電磁弁１３の開弁及び閉弁、並びに、ピエゾアクチュエータ１６の動作を制御するようになっている。即ち、コントローラ１５は、第１電磁弁９を開弁させ、その状態でピエゾアクチュエータ１６を歪み動作させることにより、内管３に分注液を供給するようになっている。この実施の形態でも、コントローラ１５は、内管３の吐出口３ａから分注液が自重で滴下する以前に、外管２の吐出口２ａから搬送用エアをパルス的に吐出させるために第２電磁弁１３を制御するようになっている。
【００３６】
以上説明した本実施の形態の分注装置でも、内管３の吐出口３ａから分注液が自重で滴下する以前に、外管２の吐出口２ａから搬送用エアが吐出されるので、内管３の吐出口３ａに導かれた分注液が、その外周に作用する搬送用エアにより、表面張力等に打ち勝って吹き落とされる。従って、自重で滴下するときの容量より少ない超微量の分注液が基板４に分注される。このため、「ｎｌ」レベルの超微量な分注を行うことができるようになる。
【００３７】
しかも、この実施の形態では、タンク８に貯留された分注液をピエゾアクチュエータ８の歪み動作により液配管７を通じて圧送することにより、内管３に分注液が供給される。従って、エアにより分注液を圧送するタイプの第１の実施の形態における分注装置に比べ、エア配管１０、圧送圧力調整器１１及び液圧送用エアの供給が除かれた分だけ装置の構成が簡略化される。このため、分注装置をコンパクトなものにすることができる。
【００３８】
尚、この発明は前記各実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で以下のように実施することもできる。
【００３９】
（１）前記第１及び第２の実施の形態では、図２，８に示すように、分注液が供給される内管３及び第１内管３３の吐出口３ａ，３３ａの周囲表面に撥水性コーティング６を形成する撥水性処理を施したが、この撥水性処理を省略することもできる。
【００４０】
（２）前記第１及び第２の実施の形態では、図２，８に示すように、分注液が供給される内管３及び第１内管３３の吐出口３ａ，３３ａの周囲の形状は、単に管材をその軸線に垂直に切断しただけの端面形状を有する。
これに対して、分注液が供給される管の吐出口の周囲を所定の表面張力緩和形状としてもよい。例えば、表面張力緩和形状として、図１３〜図１７に示すような形状を上げることができる。
即ち、図１３に示すように、分注液が供給される管４１の吐出口４１ａの外面をテーパ状に面取りしたり、図１４に示すように、分注液が供給される管４１の吐出口４１ａの内面をテーパ状に面取りしたり、図１５に示すように、分注液が供給される管４１の吐出口４１ａの外面及び内面を共にテーパ状に面取りしたり、図１６に示すように、分注液が供給される管４１の吐出口４１ａの先端を曲面状に面取りしたり、図１７に示すように、分注液が供給される管４１の吐出口４１ａの先端にフランジ４１ｂを設けたりしてもよい。このように構成することにより、吐出口４１ａからの分注液の切れが促進され、液滴の容量が更に少なくなる。この結果、分注される液滴の超微量化を更に促進して、分注の精密度を更に高めることができる。
又、図１３〜図１７に示す管４１の吐出口４１ａの周囲表面に設けられる撥水性コーティング６を省略してもよい。
【００４１】
（３）前記第２の実施の形態では、分注器３１を、外管３２、第１内管３３及び第２内管３４を同軸上に配置した三重管構造とし、外管３２と第２内管３４にエアを供給し、第１内管３３に分注液を供給するように構成した。
これに対して、図１８に示すように、外管４２、第１内管４３及び第２内管４４を同軸上に配置した三重管構造とし、第１内管４３と第２内管４４にエア（図において「エア」と示す。以下同様。）を供給し、外管４２に分注液（図において「液」と示す。以下同様。）を供給するように構成してもよい。
【００４２】
（４）前記第１の実施の形態では、分注器１を、外管２及び内管３を同軸上に配置した二重管構造とし、外管２にエアを供給し、内管３に分注液を供給するように構成した。又、前記第２の実施の形態では、分注器３１を、外管３２、第１内管３３及び第２内管３４を同軸上に配置した三重管構造とし、外管３２と第２内管３４にエアを供給し、第１内管３３に分注液を供給するように構成した。
これに対して、分注器の配管構造や、分注液及びエアの供給を適宜変更することもできる。例えば、図１９〜図２１に示すように構成することもできる。
即ち、図１９に示すように、二重管構造の外管４２と内管４３を偏心して配置し、その外管４２に分注液を供給し、内管４３にエアを供給するようにしてもよい。或いは、図２０に示すように、外管４２の中に同径の内管４５を４本平行に配置し、外管４２に分注液を供給し、各内管４５にエアを供給したり、その反対に、外管４２にエアを供給し、各内管４５に分注液を供給したりしてもよい。或いは、図２１に示すように、外管４２及び内管４３を同軸上に配置した二重管構造とし、その内管４３の中に同径の内管４６を４本平行に配置し、外管４２にエアを供給し、各内管４６に分注液を供給するようにしてもよい。
【００４３】
（５）前記各実施の形態では、分注液やエアの供給を制御するために電磁弁９，１３，３６を使用したが、電磁弁以外の流量制御弁を使用してもよい。
【００４４】
（６）前記各実施の形態では、分注液をその表面張力等に打ち勝って吹き落とすために、搬送流体としてエアを使用したが、搬送流体として所定の液体を使用することもできる。
【００４５】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明の構成によれば、自重で滴下するときの容量より少ない超微量の液滴が分注されることになる。このため、「ｎｌ」レベルの超微量な分注を行うことができるという効果を発揮する。
【００４６】
請求項２に記載の発明の構成によれば、分注装置の構成が簡略化される。このため、請求項１に記載の発明の効果に加え、分注装置をコンパクトなものにすることができる。
【００４７】
請求項３に記載の発明の構成によれば、吐出口からの分注液の切れが促進され、液滴の容量が更に少なくなる。このため、請求項１又は２に記載の発明の効果に対して、分注される液滴の超微量化を促進することができ、分注の精密度を高めることができる。
【００４８】
請求項４に記載の発明の構成によれば、吐出口からの分注液の切れが促進され、液滴の容量が更に少なくなる。このため、請求項１乃至３の何れか一つに記載の発明の効果に対して、分注される液滴の超微量化を促進することができ、分注の精密度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る分注装置を示す概略構成図である。
【図２】分注器の下端部を示す拡大断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】第１及び第２の電磁弁の開閉タイミングを示すタイムチャートである。
【図５】細管から液滴が落下する際の力学的関係を示す概念図である。
【図６】分注器から分注液が吹き落とされる作用を示す説明図である。
【図７】第２の実施の形態に係る分注装置を示す概略構成図である。
【図８】分注器の下端部を示す拡大断面図である。
【図９】図８のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１０】第１〜第３の電磁弁の開閉タイミングを示すタイムチャートである。
【図１１】分注器から分注液が吹き落とされる作用を示す説明図である。
【図１２】第３の実施の形態に係る分注装置を示す概略構成図である。
【図１３】別の実施の形態に係り、管の吐出口の周囲形状を示す断面図である。
【図１４】別の実施の形態に係り、管の吐出口の周囲形状を示す断面図である。
【図１５】別の実施の形態に係り、管の吐出口の周囲形状を示す断面図である。
【図１６】別の実施の形態に係り、管の吐出口の周囲形状を示す断面図である。
【図１７】別の実施の形態に係り、管の吐出口の周囲形状を示す断面図である。
【図１８】別の実施の形態に係り、分注器の外管と内管の配置構造等を示す図である。
【図１９】別の実施の形態に係り、分注器の外管と内管の配置構造等を示す図である。
【図２０】別の実施の形態に係り、分注器の外管と内管の配置構造等を示す図である。
【図２１】別の実施の形態に係り、分注器の外管と内管の配置構造等を示す図である。
【符号の説明】
１　　　分注器
２　　　外管
２ａ　　吐出口
３　　　内管
３ａ　　吐出口
７　　　液配管
８　　　タンク
９　　　第１電磁弁
１０　　エア配管
１１　　圧送圧力調整器
１２　　エア配管
１３　　第２電磁弁
１４　　圧力調整器
１５　　コントローラ
１６　　ピエゾアクチュエータ
３１　　分注器
３２　　外管
３２ａ　吐出口
３３　　第１内管
３３ａ　吐出口
３４　　第２内管
３４ａ　吐出口
３５　　分岐エア配管
３６　　第３電磁弁
４１　　管
４１ａ　吐出口
４１ｂ　フランジ
４２　　外管
４３　　内管
４４　　内管
４５　　内管
４６　　内管
【図１】
2004101480.tif 000003
【図２】
2004101480.tif 000004
【図３】
2004101480.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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