(57)【要約】【課題】ネットワークを介して空製造ラインの貸出予約を行う製造ライン貸出管理装置、スケジュール管理装置および製造ライン貸出方法を提供する。【解決手段】端末装置１は、製造ライン貸出管理装置２へ利用を希望する製造ラインの製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を送信する。製造ライン貸出管理装置２は、条件に合致する製造ラインを選択し、スケジュール管理装置３へ選択した製造ラインの空日時情報を問い合わせる。製造ライン貸出管理装置２は、選択した製造ラインの製造ライン識別情報及びスケジュール管理装置３から返送された空日時情報を端末装置１へ通知する。端末装置１は、予約を希望する製造ライン識別情報及び利用日時情報を製造ライン貸出管理装置２へ送信する。製造ライン貸出管理装置２は、スケジュール管理装置３へ受信した製造ライン識別情報及び利用日時情報を通知し、製造ラインを予約する。【選択図】　図１
2004078279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造ライン毎に、製造ライン識別情報と、製造ライン種別情報と、前記製造ラインが実施する製造工程を示す製造工程情報と、前記製造工程毎の特性を示す製造ライン特性情報とを記憶する記憶手段と、
ユーザの端末装置から製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を受信し、空製造ラインの照会を受け付ける空製造ライン照会要求受信手段と、
前記空製造ライン照会要求受信手段が受信した製造ライン種別情報及び製造工程情報により前記記憶手段を検索して製造ライン識別情報及び製造ライン特性情報を読み出し、受信した前記製造ライン条件情報を満たしているかを判断して使用可能な製造ラインを選択する製造ライン選択手段と、
前記製造ライン選択手段が選択した製造ラインの製造ライン識別情報を、前記製造ラインのスケジュール情報を記憶するスケジュール管理装置へ送信して、空日時を問い合わせる空問合せ手段と、
前記空問合せ手段の問い合わせに対応して、前記スケジュール管理装置から受信した製造ライン識別情報及び空日時情報を、前記空製造ラインの照会の送信元の端末装置へ通知する空情報通知手段と、
を備えることを特徴とする製造ライン貸出管理装置。
【請求項２】
前記空情報通知手段が空日時情報を通知した端末装置から、製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信し、予約の要求を受ける予約要求受信手段と、
前記予約要求受信手段が受信した製造ライン識別情報及び利用日時情報を、前記製造ライン識別情報により識別される製造ラインを管理するスケジュール管理装置へ通知し、製造ラインの予約を要求する製造ライン予約送信手段と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の製造ライン貸出管理装置。
【請求項３】
製造ライン識別情報と、前記製造ライン識別情報で識別される製造ラインのスケジュール情報とを記憶する記憶手段と、
製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報を受信して、空日時の問い合わせを受け付ける空問合せ受信手段と、
前記空問合せ受信手段が受信した製造ライン識別情報により、前記記憶手段を検索して空日時情報を読み出す空日時情報読出し手段と、
前記空日時情報読出し手段が読み出した空日時情報を、前記空日時の問い合せの送信元の製造ライン貸出管理装置へ通知する空日時情報通知手段と、
を備えることを特徴とするスケジュール管理装置。
【請求項４】
前記製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信して製造ラインの予約の要求を受け、前記記憶手段内のスケジュール情報に予約を書き込む予約書込み手段を備えることを特徴とする請求項３に記載のスケジュール管理装置。
【請求項５】
製造ライン貸出管理装置上で実行されるコンピュータプログラムであって、
ユーザの端末装置から製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を受信し、空製造ラインの照会を受け付けるステップと、
受信した前記製造ライン種別情報及び製造工程情報と、内部に記憶している製造ライン毎の製造ライン識別情報、製造ライン種別情報、前記製造ラインが実施する製造工程を示す製造工程情報及び前記製造工程毎の特性を示す製造ライン特性情報とを基に、製造ライン識別情報及び製造ライン特性情報を読み出し、受信した前記製造ライン条件情報を満たしているかを判断して使用可能な製造ラインを選択するステップと、
選択された前記製造ラインの製造ライン識別情報を、前記製造ラインのスケジュール情報を記憶するスケジュール管理装置へ送信して、空日時を問い合わせるステップと、
前記スケジュール管理装置から受信した製造ライン識別情報及び空日時情報を、前記空製造ラインの照会の送信元の端末装置へ通知するステップと、
空日時情報を通知した前記端末装置から、製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信し、予約の要求を受けるステップと、
受信した前記製造ライン識別情報及び利用日時情報を、前記製造ライン識別情報により識別される製造ラインを管理するスケジュール管理装置へ通知し、製造ラインの予約を要求するステップと、
をコンピュータに実行させるための製造ライン貸出管理装置のプログラム。
【請求項６】
スケジュール管理装置上で実行されるコンピュータプログラムであって、
製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報を受信して、空日時の問い合わせを受け付けるステップと、
受信した前記製造ライン識別情報と、内部に記憶している製造ライン識別情報及び前記製造ライン識別情報で識別される製造ラインのスケジュール情報を基に空日時情報を読み出し、前記空日時の問い合せの送信元の製造ライン貸出管理装置へ通知するステップと、
前記製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信して製造ラインの予約の要求を受け付け、内部に記憶しているスケジュール情報に予約済みを書き込むステップと、
をコンピュータに実行させるためのスケジュール管理装置のプログラム。
【請求項７】
製造ラインのスケジュールを管理するスケジュール管理装置と、前記製造ラインの利用予約を行う製造ライン貸出管理装置と、前記製造ライン貸出管理装置へ前記製造ラインの利用を申し込む端末装置とをネットワークを介して接続してなる製造ライン貸出管理システムにおいて、
前記製造ライン貸出管理装置が、前記端末装置から製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を受信し、空製造ラインの照会を受け付け、受信した前記製造ライン種別情報及び製造工程情報と、内部に記憶している製造ライン毎の製造ライン識別情報、製造ライン種別情報、前記製造ラインが実施する製造工程を示す製造工程情報及び前記製造工程毎の特性を示す製造ライン特性情報とを基に、製造ライン識別情報及び製造ライン特性情報を読み出し、受信した前記製造ライン条件情報を満たしているかを判断して使用可能な製造ラインを選択し、選択された前記製造ラインの製造ライン識別情報を、前記製造ラインのスケジュール情報を記憶する前記スケジュール管理装置へ送信して、空日時を問い合わせ、
前記スケジュール管理装置が、前記製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報を受信して、空日時の問い合わせを受け付け、受信した前記製造ライン識別情報と、内部に記憶している製造ライン識別情報及び前記製造ライン識別情報で識別される製造ラインのスケジュール情報を基に空日時情報を読み出し、前記空日時の問い合せの送信元の製造ライン貸出管理装置へ通知し、
前記製造ライン貸出管理装置が、前記スケジュール管理装置から受信した製造ライン識別情報及び空日時情報を、前記空製造ラインの照会の送信元の端末装置へ通知する、
ことを特徴とする製造ライン貸出方法。
【請求項８】
前記製造ライン貸出管理装置が、空日時情報を通知した前記端末装置から、製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信し、予約の要求を受け、受信した前記製造ライン識別情報及び利用日時情報を、前記製造ライン識別情報により識別される製造ラインを管理するスケジュール管理装置へ通知して、製造ラインの予約を要求し、
前記スケジュール管理装置が、前記製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信して製造ラインの予約の要求を受け付け、内部に記憶しているスケジュール情報に予約済みを書き込む、
ことを特徴とする請求項７に記載の製造ライン貸出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ネットワークを介して空製造ラインの貸出予約を行う製造ライン貸出管理装置、スケジュール管理装置ならびにプログラムおよび製造ライン貸出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、企業の製造ラインや装置は、その自社内でのみ使用されているが、受注の都合による生産の調整などにより製造に使用されていない空状態になることがある。しかし、製造ラインは、製造に使用されていない状態でも維持するだけでも経費がかかるため、極力空状態となることを避けたいという要求がある。そこで、製造ラインが空状態となっている時間帯を、第三者に貸し出すことにより、製造ラインの有効活用を図ることが求められている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ネットワークを利用した予約システムの例が、特開２００１−２６６２９５号公報（以下、文献１という）及び特開２００１−１６７１６１号公報（以下、文献２という）に開示されている。
文献１には、予約センタ装置が目的とする利用施設に近い空駐車場とその駐車場のランクを示す格付け情報の通知を端末に送信し、空駐車場の予約を受けることが、文献２には、サーバが空き部屋情報と、その部屋が空いている日にちまたは日時と、これら空き部屋情報および日にちまたは日時とに対応した利用料金とからなる一覧表データを送信し、予約を受けることが記載されている。しかし、これらは、現在の時刻あるいは予定する利用日時における空塞情報を基に空を選択している。一方、製造ラインの利用予約には、予定する利用日時における空塞情報だけでなく、製造物の特性にあった製造ラインを選択する必要がある。
【０００４】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、その目的は、ネットワークを介して空製造ラインの貸出予約を行う製造ライン貸出管理装置、スケジュール管理装置および製造ライン貸出方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記の課題を解決すべくなされたもので、請求項１に記載の発明は、製造ライン毎に、製造ライン識別情報と、製造ライン種別情報と、前記製造ラインが実施する製造工程を示す製造工程情報と、前記製造工程毎の特性を示す製造ライン特性情報とを記憶する記憶手段と、ユーザの端末装置から製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を受信し、空製造ラインの照会を受け付ける空製造ライン照会要求受信手段と、前記空製造ライン照会要求受信手段が受信した製造ライン種別情報及び製造工程情報により前記記憶手段を検索して製造ライン識別情報及び製造ライン特性情報を読み出し、受信した前記製造ライン条件情報を満たしているかを判断して使用可能な製造ラインを選択する製造ライン選択手段と、前記製造ライン選択手段が選択した製造ラインの製造ライン識別情報を、前記製造ラインのスケジュール情報を記憶するスケジュール管理装置へ送信して、空日時を問い合わせる空問合せ手段と、前記空問合せ手段の問い合わせに対応して、前記スケジュール管理装置から受信した製造ライン識別情報及び空日時情報を、前記空製造ラインの照会の送信元の端末装置へ通知する空情報通知手段と、を備えることを特徴とする製造ライン貸出管理装置である。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の製造ライン貸出管理装置であって、前記空情報通知手段が空日時情報を通知した端末装置から、製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信し、予約の要求を受ける予約要求受信手段と、前記予約要求受信手段が受信した製造ライン識別情報及び利用日時情報を、前記製造ライン識別情報により識別される製造ラインを管理するスケジュール管理装置へ通知し、製造ラインの予約を要求する製造ライン予約送信手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、製造ライン識別情報と、前記製造ライン識別情報で識別される製造ラインのスケジュール情報とを記憶する記憶手段と、製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報を受信して、空日時の問い合わせを受け付ける空問合せ受信手段と、前記空問合せ受信手段が受信した製造ライン識別情報により、前記記憶手段を検索して空日時情報を読み出す空日時情報読出し手段と、前記空日時情報読出し手段が読み出した空日時情報を、前記空日時の問い合せの送信元の製造ライン貸出管理装置へ通知する空日時情報通知手段と、を備えることを特徴とするスケジュール管理装置である。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のスケジュール管理装置であって、前記製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信して製造ラインの予約の要求を受け、前記記憶手段内のスケジュール情報に予約を書き込む予約書込み手段を備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、製造ライン貸出管理装置上で実行されるコンピュータプログラムであって、ユーザの端末装置から製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を受信し、空製造ラインの照会を受け付けるステップと、受信した前記製造ライン種別情報及び製造工程情報と、内部に記憶している製造ライン毎の製造ライン識別情報、製造ライン種別情報、前記製造ラインが実施する製造工程を示す製造工程情報及び前記製造工程毎の特性を示す製造ライン特性情報とを基に、製造ライン識別情報及び製造ライン特性情報を読み出し、受信した前記製造ライン条件情報を満たしているかを判断して使用可能な製造ラインを選択するステップと、選択された前記製造ラインの製造ライン識別情報を、前記製造ラインのスケジュール情報を記憶するスケジュール管理装置へ送信して、空日時を問い合わせるステップと、前記スケジュール管理装置から受信した製造ライン識別情報及び空日時情報を、前記空製造ラインの照会の送信元の端末装置へ通知するステップと、空日時情報を通知した前記端末装置から、製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信し、予約の要求を受けるステップと、受信した前記製造ライン識別情報及び利用日時情報を、前記製造ライン識別情報により識別される製造ラインを管理するスケジュール管理装置へ通知し、製造ラインの予約を要求するステップと、をコンピュータに実行させるための製造ライン貸出管理装置のプログラムである。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、スケジュール管理装置上で実行されるコンピュータプログラムであって、製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報を受信して、空日時の問い合わせを受け付けるステップと、受信した前記製造ライン識別情報と、内部に記憶している製造ライン識別情報及び前記製造ライン識別情報で識別される製造ラインのスケジュール情報を基に空日時情報を読み出し、前記空日時の問い合せの送信元の製造ライン貸出管理装置へ通知するステップと、前記製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信して製造ラインの予約の要求を受け付け、内部に記憶しているスケジュール情報に予約済みを書き込むステップと、をコンピュータに実行させるためのスケジュール管理装置のプログラムである。
【００１１】
請求項７に記載の発明は、製造ラインのスケジュールを管理するスケジュール管理装置と、前記製造ラインの利用予約を行う製造ライン貸出管理装置と、前記製造ライン貸出管理装置へ前記製造ラインの利用を申し込む端末装置とをネットワークを介して接続してなる製造ライン貸出管理システムにおいて、前記製造ライン貸出管理装置が、前記端末装置から製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を受信し、空製造ラインの照会を受け付け、受信した前記製造ライン種別情報及び製造工程情報と、内部に記憶している製造ライン毎の製造ライン識別情報、製造ライン種別情報、前記製造ラインが実施する製造工程を示す製造工程情報及び前記製造工程毎の特性を示す製造ライン特性情報とを基に、製造ライン識別情報及び製造ライン特性情報を読み出し、受信した前記製造ライン条件情報を満たしているかを判断して使用可能な製造ラインを選択し、選択された前記製造ラインの製造ライン識別情報を、前記製造ラインのスケジュール情報を記憶する前記スケジュール管理装置へ送信して、空日時を問い合わせ、前記スケジュール管理装置が、前記製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報を受信して、空日時の問い合わせを受け付け、受信した前記製造ライン識別情報と、内部に記憶している製造ライン識別情報及び前記製造ライン識別情報で識別される製造ラインのスケジュール情報を基に空日時情報を読み出し、前記空日時の問い合せの送信元の製造ライン貸出管理装置へ通知し、前記製造ライン貸出管理装置が、前記スケジュール管理装置から受信した製造ライン識別情報及び空日時情報を、前記空製造ラインの照会の送信元の端末装置へ通知する、ことを特徴とする製造ライン貸出方法である。
【００１２】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の製造ライン貸出方法であって、前記製造ライン貸出管理装置が、空日時情報を通知した前記端末装置から、製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信し、予約の要求を受け、受信した前記製造ライン識別情報及び利用日時情報を、前記製造ライン識別情報により識別される製造ラインを管理するスケジュール管理装置へ通知して、製造ラインの予約を要求し、前記スケジュール管理装置が、前記製造ライン貸出管理装置から製造ライン識別情報及び利用日時情報を受信して製造ラインの予約の要求を受け付け、内部に記憶しているスケジュール情報に予約済みを書き込む、ことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。図１は、同実施の形態による製造ライン貸出システムの構成を示すブロック図である。
【００１４】
端末装置１は、製造ラインの利用を希望するユーザ企業が保有するパーソナルコンピュータである。端末装置１は、ダイヤルアップや常時接続回線によりネットワークＮと接続され、ＴＣＰ／ＩＰ（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　Ｐｒｏｔｏｃｏｌ／Ｉｎｔｅｒｎｅｔ　Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）などを使用して、製造ライン貸出管理装置２とデータを送受信する。そして、製造ライン貸出管理装置２へ空製造ラインの検索を要求する機能と、空製造ラインの利用予約を要求する機能を有する。また、製造ライン貸出管理装置２が送信するＨＴＭＬ（ｈｙｐｅｒｔｅｘｔ　ｍａｒｋｕｐ　ｌａｎｇｕａｇｅ）、ＸＭＬ（ｅｘｔｅｎｓｉｂｌｅ　ｍａｒｋｕｐ　ｌａｎｇｕａｇｅ）などのマークアップ言語により記述された画面情報を表示するためのブラウザなどを備える。
【００１５】
製造ライン貸出管理装置２は、製造ライン貸出サービスの運営会社が保有するサーバであり、複数の端末装置１及び複数のスケジュール管理装置３とネットワークＮを介して接続され、通信インタフェース部２１、処理部２２及び記憶部２３から構成される。これらの各ブロックは、具体的には、ＣＰＵならびにメモリを含む周辺ＬＳＩで構成され、ＣＰＵがメモリに記録されたプログラムを読み出し逐次実行することにより、そのブロックが持つ機能を実現するものである。
通信インタフェース部２１は、常時接続回線を使用して接続されるネットワークＮを介して、ＴＣＰ／ＩＰなどにより端末装置１及びスケジュール管理装置３とデータを送受信する。処理部２２は、端末装置１からの要求により、空製造ラインを検索して通知する機能と、空製造ラインの利用を予約する機能を有する。また、ＨＴＭＬ、ＸＭＬなどのマークアップ言語により端末装置１へ表示する画面情報を作成する機能を有する。記憶部２３は、製造ラインのスペック情報を記憶する。
【００１６】
スケジュール管理装置３は、例えば製造ライン貸出企業の保有するサーバであり、製造ライン貸出管理装置２とネットワークＮを介して接続され、通信インタフェース部３１、処理部３２及び記憶部３３から構成される。これらの各ブロックは、具体的には、ＣＰＵならびにメモリを含む周辺ＬＳＩで構成され、ＣＰＵがメモリに記録されたプログラムを読み出し逐次実行することにより、そのブロックが持つ機能を実現するものである。
通信インタフェース部３１は、常時接続回線を使用して接続されるネットワークＮを介してＴＣＰ／ＩＰなどにより、製造ライン貸出管理装置２とデータを送受信する。処理部３２は、製造ライン貸出管理装置２からの問い合わせに対して製造ラインの空日時を示す情報を通知したり、製造ライン貸出管理装置２からの予約の要求により記憶部３３が記憶しているスケジュール情報を書き換える機能を有する。記憶部３３は、製造ライン毎に空及び予約済みの状態を示すスケジュール情報を記憶する。
【００１７】
次に、一実施の形態による製造ライン貸出システムの製造ライン予約の動作について説明する。ここでは、貸し出す製造ラインの例として、フォトマスク製造ラインを挙げて説明する。フォトマスク製造ラインの製造工程は、基板にビームを照射することによりデータを描く「描画」、描画された基板の現像・エッチング・剥膜を行う「プロセス」、プロセスの工程を経た製品の「検査」及び「出荷」の４工程からなる。
【００１８】
まず、空製造ライン貸出管理装置２の記憶手段２３が記憶している、スペック情報について説明する。スペック情報は、以下の情報から構成される。
＜製造ライン識別情報＞　製造ラインを一意に識別する情報を示す。
＜製造ライン種別情報＞　製造ラインがどのような製品を製造するかを示す。
＜製造工程情報＞　　　　製造ラインが実施する製造工程を示す。
＜製造ライン特性情報＞　「製造工程情報」に示される製造工程毎の特性を示す。
＜所有者情報＞　製造ラインの所有者である企業の名称や識別情報を示す。
＜スケジュール管理装置アドレス＞　製造ラインのスケジュール情報を記憶しているスケジュール管理装置３のアドレスを示す。
【００１９】
本実施の形態における、スペック情報の設定の例を以下に示す。
2004078279.tif 000003
上記のデータは、「製造ライン識別情報」が「ｘｘｘｘｘ」で識別される製造ラインは、「フォトマスク製造」ラインであり、「描画」、「プロセス」、「検査」及び「出荷」の４工程を実施することを示している。
そして、「製造ライン特性情報」は、「製造工程情報」に示される「描画」、「プロセス」、「検査」、「出荷」の製造工程毎の特性を記憶しており、上記のデータにおいては、「描画」の特性を示す情報は、「描画データ」、「アドレスサイズ」及び「ポジ／ネガタイプ」から構成され、さらに「プロセス」、「検査」及び「出荷」の製造工程それぞれに、特性を示す情報が記憶されていることを示している。上記スペック情報の設定例の「描画」製造工程の特性として、「描画データ」は、基板に描画するデータをユーザが用意する「持込」と、この製造ラインに標準で備えられている描画データを使用する「標準」の両者が使用可能であることを示している。また、「アドレスサイズ」は、基板に描画できる最小の単位が「１０ｎｍ」であることを示している。「ポジ／ネガタイプ」は、ビーム照射されなかった部分が基板に描画されるポジタイプであるか、あるいは、ビーム照射された部分が基板に描画されるネガタイプであるかを示す情報であり、上記スペック情報においては、「ポジ」タイプであることを示している。製造ラインの所有者は「所有者情報」に示される「Ａ社」であり、この製造ラインのスケジュール情報を記憶するスケジュール管理装置３のアドレスは、「スケジュール管理装置アドレス」に示される「ｘｘｘ．ｘｘｘ．ｘｘｘ．ｘｘｘ」である。
【００２０】
続いて、製造ライン貸出システムの製造ライン予約の動作フローを説明する。図２は、図１に示す実施の形態による製造ライン貸出システムの製造ライン予約の動作フローを示す。
ユーザ企業において製造ラインを借りたいという希望があると、ユーザは、端末装置１に対して、マウスやキーボードなどの入力手段により、製造ライン貸出管理装置２へのアクセスを起動するための操作を行う。すなわち、端末装置１は、ネットワークＮを介して製造ライン貸出管理装置２へアクセスを要求する。
【００２１】
端末装置１からのアクセス要求を受信すると、通信インタフェース部２１は、処理部２２へ通知する。処理部２２は、何を製造する製造ラインを借りたいのかを示す製造ライン種別情報、どの製造工程を借りたいのかを示す製造工程情報及び製造工程にどのような条件を希望するかを示す製造ライン条件情報を送信するよう促す内容の画面データを形成する。そして、画面データを通信インタフェース部２１へ通知し、通信インタフェース部２１は、ネットワークＮを介して端末装置１へ画面データを送信する。
【００２２】
端末装置１は、製造ライン貸出管理装置２から受信した画面データをブラウザによりディスプレイへ表示する。ユーザは、ディスプレイに表示された内容を確認し、キーボードなどの入力手段により製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を入力する。例えば、製造ライン種別情報としてフォトマスク製造、製造工程情報として描画、描画データとして１０メガバイトの持込、アドレスサイズとして２０ｎｍ、ポジ／ネガタイプとしてポジという条件を入力する。端末装置１は、入力された製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を製造ライン貸出管理装置２へ送信する（ステップＳ５１）。
【００２３】
製造ライン貸出管理装置２の通信インタフェース部２１は、端末装置１から受信した製造ライン種別情報、製造工程情報及び製造ライン条件情報を処理部２２へ通知する。処理部２２は、受信した情報により、条件に合う製造ラインを検索する（ステップＳ５２）。すなわち、受信した製造ライン種別情報（フォトマスク製造）及び製造工程情報（描画）により記憶部２３が記憶しているスペック情報を検索して、製造ライン特性情報を読み出す。そして、データの持込をサポートしているか、アドレスサイズが２０ｎｍ以下であるか、ポジタイプであるかを判断し、これらの条件を満たしている場合は、製造ライン識別情報、スケジュール管理装置アドレス及び所有者情報を読み出して一時的に記憶する。そして、処理部２２は、入力された描画データのサイズ（１０Ｍバイト）により、描画の工程に必要な所要時間を算出し、一時的に記憶していた製造ライン識別情報及びスケジュール管理装置アドレスとともに通信インタフェース部２１に通知する。通信インタフェース部２１は、ネットワークＮを介し、ラインスケジュール管理装置アドレスで示されるスケジュール管理装置３へ製造ライン識別情報及び所要時間を送信して空問い合わせを行う（ステップＳ５３）。
【００２４】
スケジュール管理装置３の通信インタフェース部３１は、空問い合わせを受信すると処理部３２へ通知する。処理部３２は、受信した製造ライン識別情報により記憶部３３が記憶しているスケジュール情報を検索し、受信した所要時間以上連続した空時間があった場合、その空日時を示す空日時情報を読み出す。そして、空日時情報及び製造ライン識別情報を通信インタフェース部３１に通知する。通信インタフェース部３１は、ネットワークＮを介して製造ライン貸出管理装置２へこれらの情報を送信して、空情報を通知する（ステップＳ５４）。通信インタフェース部２１は、スケジュール管理装置３から製造ライン識別情報と空日時情報を受信すると、処理部２２へ通知する。処理部２２は、問い合わせを送信した全スケジュール管理装置３から製造ライン識別情報及び空日時情報を受信すると、空日時情報を基に日付順に並べかえる。そして、空日時情報及び製造ライン識別情報からなる日付順のレコードと、所要時間を画面に表示するための画像データを作成し、通信インタフェース部２１へ通知する。通信インタフェース部２１は、端末装置１へ画像データを送信することにより、最新の空状況の表示を要求する（ステップＳ５５）。
【００２５】
端末装置１は受信した画像データをディスプレイに表示する。ユーザは、ディスプレイに表示された画面データにより、製造ラインの空日時情報及び製造ライン識別情報の一覧と、製造に要する所要時間を確認する。そして、マウスやキーボードなどの入力手段により、希望する製造ライン識別情報を選択し、所要時間を参考にして、選択した製造ラインの空日時情報の中で実際に利用を希望する日時を示す利用日時情報を入力する。すると、端末装置１は、入力された製造ライン識別情報と利用日時情報を製造ライン貸出管理装置２へ通知し、製造ラインの予約を申し込む（ステップＳ６１）。
【００２６】
製造ライン貸出管理装置２は、製造ラインの予約の申し込みを受けると、受信した製造ライン識別情報と利用日時情報をスケジュール管理装置３へ転送して、予約を要求する（ステップＳ６２）。スケジュール管理装置３の通信インタフェース部３１は、予約の要求を受信すると処理部３２へ通知する。処理部３２は、受信した製造ライン識別情報により記憶部３３が記憶しているスケジュール情報を検索し、受信した利用日時情報で示される時間帯が空であれば、予約済みの状態へと更新する（ステップＳ６３）。そして、利用予約が成功したことを示すＯＫ情報を製造ライン貸出管理装置２へ返送するよう通信インタフェース部３１に指示し、通信インタフェース部３１はネットワークＮを介してＯＫ情報を送信する（ステップＳ６４）。処理部２２は、通信インタフェース部２１からＯＫ情報を受信した旨の通知を受けると、端末装置１へ利用の予約が成功したことを通知するための画像データを作成して通信インタフェース部２１へ通知する。通信インタフェース部２１はネットワークＮを介して画像データを端末装置１へ送信し、予約ＯＫを確認する（ステップＳ６５）。端末装置１は受信した画像データを表示し、ユーザは予約がＯＫであったことを認識する。
【００２７】
続いて、空製造ライン公開の動作を説明する。
製造ライン貸出管理装置２の通信インタフェース部２１は、処理部２２の指示により、定期的にスケジュール管理装置３に一定時間以上の空がある空日時の問い合わせを送信する。通信インタフェース部３１から空日時の問い合わせを受信した旨の通知を受けた処理部３２は、記憶部３３が記憶している全製造ライン識別情報毎のスケジュールを検索して、一定時間以上の空があった場合、その空日時を示す空日時情報を、製造ライン識別情報とともに製造ライン貸出管理装置２へ通知するよう通信インタフェース部３１へ指示する。
【００２８】
製造ライン貸出管理装置２の通信インタフェース部２１は、通信インタフェース部３１から製造ライン識別情報及び空日時情報を受信すると、処理部２２へ通知する。処理部２２は、問い合わせを送信した全スケジュール管理装置３から製造ライン識別情報及び空日時情報を受信すると、製造ライン識別情報により記憶部２３が記憶しているスペック情報を検索して、製造ライン種別情報、製造工程情報、製造ライン特性情報を取得する。そして、空日時情報、製造ライン種別情報、製造工程情報、製造ライン特性情報からなるレコードを日付順にソートした空製造ライン公開情報を画面情報として作成し、記憶部２３に記憶する。そして、ネットワークＮを介してアクセスしてきた端末装置１に対して、記憶部２３に記憶している空製造ライン公開情報を送信することで、製造ラインの空状態をネットワークＮ経由で公開する。
【００２９】
なお、所有者情報で示される各製造ライン貸出企業に対して優先度を示す情報を付与し、所有者情報とリンクして記憶することにより、同じ空日時に空があった場合、最新の空状況や空製造ライン公開情報において、優先度の高い製造ライン貸出企業の空日時情報を先に表示してもよい。
【００３０】
また、製造ライン貸出管理装置２内の記憶部２３に、スケジュール情報を記憶してもよい。この場合、図２に示す製造ライン貸出システムの製造ライン予約の動作フローにおいて、製造ライン貸出管理装置２はステップＳ５３及びステップＳ５４を行わず、記憶部２３を検索することにより、製造ラインの空日時情報を取得する。また、空製造ライン公開の動作においては、スケジュール管理装置３に空日時の問い合わせを行わず、記憶部２３を検索することにより、製造ラインの空日時情報を取得する。
記憶部２３へ記憶する製造ラインのスケジュール情報を収集する方法としては、製造ライン貸出管理装置２がスケジュール管理装置３へ定期的なスケジュール問い合わせを送信し、その応答としてスケジュール情報を受信する、あるいは、スケジュール管理装置３が一定時間毎あるいはスケジュールに変更がある毎にスケジュール情報を通知する方法などがある。
【００３１】
また、上述した製造ラインは、フォトマスク製造工程について記述しているが、他の製造ラインの貸出に使用することも可能である。さらに、製造ラインの特性として温度を変化させることが可能な製造ラインの場合は、空製造ラインの前後の温度設定を考慮し、指定した温度への定常状態になるまでの時間を加えたり、溶媒などを変化させることが可能な場合には、溶媒を入れ替える時間などを加えるなどして所要時間を算出してもよい。
【００３２】
また、スケジュール管理装置３は、製造ライン貸出管理装置２とＬＡＮなどにより接続されていてもよい。
【００３３】
また、製造ラインに限らず、任意の装置や物品の貸し出しシステムに適用することも可能である。
【００３４】
なお、上述の製造ライン貸出管理装置２は内部に、コンピュータシステムを有している。そして、上述した動作の過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータシステムが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでいうコンピュータシステムとは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものである。
【００３５】
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、ＲＯＭの他に、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のシステムやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【００３６】
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。
【００３７】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、製造ライン貸出管理装置は、ユーザ企業が利用を希望する製造ライン種別、製造工程及び製造ライン条件を満たす製造ラインを選択し、空日時情報を収集して、通知することが可能になる。これにより、ユーザ企業が要求する条件に合致する製造ラインの最新の空情報を迅速に提供することができる。よって、ユーザ企業は、各製造ライン貸出企業へアクセスし、情報を収集する煩雑さが解消される。
請求項２及び請求項５の発明によれば、請求項１の効果に加え、ユーザ企業が利用を希望する製造ラインの予約を迅速に行うことが可能となる。
請求項３の発明によれば、製造ライン貸出企業は、最新の空製造ラインの情報を通知することが可能になるため、ユーザ企業に空製造ラインの利用を喚起することが可能となる。
請求項４及び請求項６の発明によれば、請求項３の効果に加え、製造ライン貸出企業は、最新の製造ラインのスケジュールに基づいて、ユーザ企業に空製造ラインを貸し出すことが可能となり、製造ラインの稼動率が向上し、収益を上げることが可能となる。
請求項７の発明によれば、ユーザ企業は、インターネットなどのネットワークを介して、利用を希望する製造ライン種別、製造工程及び製造ライン条件に合致した製造ラインの最新の空情報を、簡易かつ迅速に収集することが可能になる。また、製造ライン貸出企業は、多数のユーザ企業へ製造ラインの空情報を提供することが可能となる。
請求項８の発明によれば、ユーザ企業は、収集した製造ラインの空日時情報を確認し、インターネットなどのネットワークを介して、利用を希望する製造ラインの予約を簡易かつ迅速に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による製造ライン貸出システムの構成を示すブロック図である。
【図２】同実施の形態による製造ライン貸出システムの製造ライン予約の動作を示すフローである。
【符号の説明】
１…端末装置
２…製造ライン貸出管理装置
３…スケジュール管理装置
２１、３１…通信インタフェース部
２２、３２…処理部
２３、３３…記憶部
【図１】
2004078279.tif 000004
【図２】
2004078279.tif 000005