(57)【要約】【課題】光ファイバ母材の振動を減衰させることができ、外径寸法のばらつきが小さく品質の良い光ファイバが得られるようにすること。【解決手段】光ファイバ母材を懸垂保持するチャックと、前記光ファイバ母材を加熱溶融して光ファイバに線引きする線引き炉と、前記チャックが連結され、前記線引き炉の中心線に前記光ファイバ母材の先端を位置決めするための水平２軸位置決めＸＹステージと、前記水平２軸位置決めＸＹステージが連結され、前記光ファイバ母材を昇降させる昇降装置とを備えた光ファイバ線引き装置において、前記水平２軸位置決めＸＹステージに、前記光ファイバ母材の振動を減衰させる粘弾性体を設ける。【選択図】          なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ母材を加熱溶融して光ファイバに線引きする線引き炉と、前記光ファイバ母材を懸垂保持するチャックが連結され、前記線引き炉に対して前記光ファイバ母材を位置決めするための水平２軸位置決めＸＹステージとを備えた光ファイバ線引き装置において、
前記水平２軸位置決めＸＹステージに、前記光ファイバ母材の振動を減衰させる粘弾性体を設けたことを特徴とする光ファイバ線引き装置。
【請求項２】
光ファイバ母材を懸垂保持するチャックと、前記光ファイバ母材を加熱溶融して光ファイバに線引きする線引き炉と、前記チャックが連結され、前記線引き炉の中心線に前記光ファイバ母材の先端を位置決めするための水平２軸位置決めＸＹステージと、前記水平２軸位置決めＸＹステージが連結され、前記光ファイバ母材を昇降させる昇降装置とを備えた光ファイバ線引き装置において、
前記水平２軸位置決めＸＹステージは、前記昇降装置に連結される昇降用ベース板を有し、Ｘテーブル板が前記昇降用ベース板に一軸方向に水平移動可能に取り付けられたＸステージと、前記チャックが連結されるＹテーブル板を有し、前記Ｙテーブル板が前記Ｘテーブル板にこれと直交する方向に水平移動可能に取り付けられたＹステージとを備えており、前記昇降用ベース板と前記Ｘテーブル板との間にＸステージ用粘弾性体を設け、さらに、前記Ｘテーブル板と前記Ｙテーブル板との間にＹステージ用粘弾性体を設けたことを特徴とする光ファイバ線引き装置。
【請求項３】
前記昇降用ベース板と前記Ｘテーブル板との間に前記Ｘステージ用粘弾性体を、該両板の相対的な移動にスムーズに追従可能に設け、さらに、前記Ｘテーブル板と前記Ｙテーブル板との間に前記Ｙステージ用粘弾性体を、該両板の相対的な移動にスムーズに追従可能に設けたことを特徴とする請求項２記載の光ファイバ線引き装置。
【請求項４】
前記昇降用ベース板と前記Ｘテーブル板との間に、Ｘステージ用ブロック体とＸステージ用ガイドレールとを有するＸステージ用粘弾性体用の直動ガイドを設けるとともに、前記昇降用ベース板又は前記Ｘテーブル板に、前記Ｘステージ用ブロック体に固定された前記Ｘステージ用粘弾性体を押圧する押圧部材を設け、さらに、前記Ｘテーブル板と前記Ｙテーブル板との間に、Ｙステージ用ブロック体とＹステージ用ガイドレールとを有するＹステージ用粘弾性体用の直動ガイドを設けるとともに、前記Ｘテーブル板又は前記Ｙテーブル板に、前記Ｙステージ用ブロック体に固定された前記Ｙステージ用粘弾性体を押圧する押圧部材を設けたことを特徴とする請求項２記載の光ファイバ線引き装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバ線引き装置に関し、懸垂保持されている光ファイバ母材の振動を吸収し減衰させて、外径寸法のばらつきが小さく品質の良い光ファイバが得られるようにした光ファイバ線引き装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
懸垂保持されている光ファイバ母材を線引き炉にて加熱溶融して光ファイバを製造するに際し、光ファイバ母材の大型化に伴い、長くて重量の重い光ファイバ母材の振動を低減することが重要となっている。この場合、光ファイバ母材が振動すると、光ファイバの外径寸法の変動が大きくなり、線引きされた光ファイバの品質を低下させることになる。
【０００３】
このような光ファイバ母材の振動の問題を解決することを目的とした光ファイバ線引き装置（光ファイバ製造装置）として、例えば、特開２００１−１６３６３１号公報に提案されているものがある。この光ファイバ線引き装置は、図９に示すように、光ファイバ母材８１を線引き炉８２において加熱・線引きして光ファイバ８３を製造する光ファイバ線引き装置において、光ファイバ母材８１の頭部８１ａを把持する把持器８４と、把持器８４を支持するベース８５との間に、ピエゾアクチュエータ８６を設け、把持器８４に光ファイバ母材８１の重量の偏りを検出する歪みゲージ８７を設けている。制御装置（図示省略）は、歪みゲージ８７から光ファイバ母材８１の位置ずれを検出し、ピエゾアクチュエータ８６を駆動して把持器８４を変位させて光ファイバ母材８１の傾きなどの位置ずれを修正するようにしている。このように、光ファイバ母材８１の振動、曲がりなどを鉛直方向（線引き炉の中心線）に対する傾きとして検出し、その傾きを修正するようにしている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１６３６３１号公報（図１〜図３）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし前述した光ファイバ線引き装置では、前記制御装置の構成が複雑であること、また、歪みゲージなどの位置ずれ検出手段による検出信号値が微小で検出誤差、ノイズなどが発生しやすいことなどにより、線引き炉の線引き中心線に光ファイバ母材の先端を位置決めできないことがある虞れがある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、水平２軸位置決めＸＹステージに粘弾性体を設けるという簡単な構成により、前記水平２軸位置決めＸＹステージに連結されたチャックに懸垂保持されている光ファイバ母材の振動を減衰させることができ、外径寸法のばらつきが小さく品質の良い光ファイバが得られるようにした光ファイバ線引き装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本願発明は次のように構成されている。
【０００８】
請求項１の発明は、光ファイバ母材を加熱溶融して光ファイバに線引きする線引き炉と、前記光ファイバ母材を懸垂保持するチャックが連結され、前記線引き炉に対して前記光ファイバ母材を位置決めするための水平２軸位置決めＸＹステージとを備えた光ファイバ線引き装置において、前記水平２軸位置決めＸＹステージに、前記光ファイバ母材の振動を減衰させる粘弾性体を設けたことを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２の発明は、光ファイバ母材を懸垂保持するチャックと、前記光ファイバ母材を加熱溶融して光ファイバに線引きする線引き炉と、前記チャックが連結され、前記線引き炉の中心線に前記光ファイバ母材の先端を位置決めするための水平２軸位置決めＸＹステージと、前記水平２軸位置決めＸＹステージが連結され、前記光ファイバ母材を昇降させる昇降装置とを備えた光ファイバ線引き装置において、前記水平２軸位置決めＸＹステージは、前記昇降装置に連結される昇降用ベース板を有し、Ｘテーブル板が前記昇降用ベース板に一軸方向に水平移動可能に取り付けられたＸステージと、前記チャックが連結されるＹテーブル板を有し、前記Ｙテーブル板が前記Ｘテーブル板にこれと直交する方向に水平移動可能に取り付けられたＹステージとを備えており、前記昇降用ベース板と前記Ｘテーブル板との間にＸステージ用粘弾性体を設け、さらに、前記Ｘテーブル板と前記Ｙテーブル板との間にＹステージ用粘弾性体を設けたことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項２記載の光ファイバ線引き装置において、前記昇降用ベース板と前記Ｘテーブル板との間に前記Ｘステージ用粘弾性体を、該両板の相対的な移動にスムーズに追従可能に設け、さらに、前記Ｘテーブル板と前記Ｙテーブル板との間に前記Ｙステージ用粘弾性体を、該両板の相対的な移動にスムーズに追従可能に設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項２記載の光ファイバ線引き装置において、前記昇降用ベース板と前記Ｘテーブル板との間に、Ｘステージ用ブロック体とＸステージ用ガイドレールとを有するＸステージ用粘弾性体用の直動ガイドを設けるとともに、前記昇降用ベース板又は前記Ｘテーブル板に、前記Ｘステージ用ブロック体に固定された前記Ｘステージ用粘弾性体を押圧する押圧部材を設け、さらに、前記Ｘテーブル板と前記Ｙテーブル板との間に、Ｙステージ用ブロック体とＹステージ用ガイドレールとを有するＹステージ用粘弾性体用の直動ガイドを設けるとともに、前記Ｘテーブル板又は前記Ｙテーブル板に、前記Ｙステージ用ブロック体に固定された前記Ｙステージ用粘弾性体を押圧する押圧部材を設けたことを特徴とするものである。
【００１２】
本願発明による光ファイバ線引き装置では、水平２軸位置決めＸＹステージに粘弾性体を設けるという簡単な構成により、水平２軸位置決めＸＹステージに連結されたチャックに懸垂保持されている光ファイバ母材の振動を減衰させることができる。
【００１３】
粘弾性体（粘弾性体部材）の材質には、天然ゴム、合成ゴム、エチレン系重合体、シリコーンゴム、シリコーンゲルなどが挙げられる。
【００１４】
本願発明による光ファイバ線引き装置では、水平２軸位置決めＸＹステージのＸステージにおいて昇降用ベース板とＸテーブル板との間に、Ｘステージ用粘弾性体が設けられ、さらに、Ｙステージにおいて前記Ｘテーブル板とＹテーブル板との間に、Ｙステージ用粘弾性体が設けられている。前記Ｘステージ用粘弾性体により、Ｙ軸方向（Ｙテーブル板の移動方向）における光ファイバ母材の振動を減衰させることができる。また、前記Ｙステージ用粘弾性体により、Ｘ軸方向（Ｘテーブル板の移動方向）における光ファイバ母材の振動を減衰させることができる。よって、Ｘステージ用粘弾性体及びＹステージ用粘弾性体によって、光ファイバ母材の振動を減衰させることができる。
【００１５】
本願発明による光ファイバ線引き装置では、Ｘステージにおいて昇降用ベース板とＸテーブル板との間にＸステージ用粘弾性体を、該両板の相対的な移動にスムーズに追従可能に設け、さらに、ＹステージにおいてＸテーブル板とＹテーブル板との間にＹステージ用粘弾性体を、該両板の相対的な移動にスムーズに追従可能に設けた構成としている。これにより、Ｘステージ用粘弾性体は、昇降用ベース板とＸテーブル板との相対的な移動を妨げることなく、光ファイバ母材の振動を吸収し減衰させることができる。また、Ｙステージ用粘弾性体は、Ｘテーブル板とＹテーブル板との相対的な移動を妨げることなく、光ファイバ母材の振動を吸収し減衰させることができる。
【００１６】
この場合、昇降用ベース板とＸテーブル板との間に、Ｘステージ用ブロック体とＸステージ用ガイドレールとを有するＸステージ用粘弾性体用の直動ガイドを設け、昇降用ベース板又はＸテーブル板に、前記Ｘステージ用ブロック体に固定されたＸステージ用粘弾性体を押圧する例えばボルトなどの押圧部材を設けることにより、Ｘステージにおいて昇降用ベース板とＸテーブル板との間にＸステージ用粘弾性体を、該両板の相対的な移動にスムーズに追従可能に設けることができる。また、Ｘテーブル板とＹテーブル板との間に、Ｙステージ用ブロック体とＹステージ用ガイドレールとを有するＹステージ用粘弾性体用の直動ガイドを設け、Ｘテーブル板又はＹテーブル板に、前記Ｙステージ用ブロック体に固定されたＹステージ用粘弾性体を押圧する押圧部材を設けることにより、ＹステージにおいてＸテーブル板とＹテーブル板との間にＹステージ用粘弾性体を、該両板の相対的な移動にスムーズに追従可能に設けることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施形態による光ファイバ線引き装置の全体構成を示す概略図である。
【００１８】
図１に示すように、本発明の一実施形態による光ファイバ線引き装置は、光ファイバ母材１の支持部１ｂを把持してこの光ファイバ母材１を懸垂保持するチャック６と、ヒータ３ａを有し、光ファイバ母材１を加熱溶融して光ファイバ２に線引きする線引き炉３と、チャック６が連結され、線引き炉３の中心線（線引き炉軸心線）に光ファイバ母材先端１ａを位置決めするための水平２軸位置決ＸＹステージ２０と、この水平２軸位置決ＸＹステージ２０に設けられた後述するＸステージ用粘弾性体５０及びＹステージ用粘弾性体６０と、水平２軸位置決めＸＹステージ２０が連結され、該ＸＹステージ２０及びチャック６を介して光ファイバ母材１を昇降させる昇降装置４とを備えている。昇降装置４の垂直方向に昇降する昇降用ブラケット５には、後述する水平２軸位置決めＸＹステージ２０の昇降用ベース３１が固定されている。
【００１９】
また、光ファイバ線引き装置は、線引き炉３の下方に、線引きされた光ファイバ２について、その外径と水平２軸方向（Ｘ軸方向とこれに直交するＹ軸方向）における位置を測定する外径・位置測定器７を備えている。この外径・位置測定器７の中心線と線引き炉３の中心線とが一致するように芯出しされている。この外径・位置測定器７の中心線に線引きされた光ファイバ２が位置するように、水平２軸位置決めＸＹステージ２０によって光ファイバ母材１を動かして位置決め制御を行う。これにより、線引き炉３の中心線に光ファイバ母材１の先端１ａが位置することになり、外径寸法精度の良い光ファイバ２を得ることが可能となる。８はコントローラで、外径・位置測定器７からの測定出力に基づいて水平２軸位置決めＸＹステージ２０を動かす２軸位置決め指令を与えるものである。
【００２０】
また、光ファイバ線引き装置は、線引き炉３の下方に位置し、線引きされた光ファイバ２に保護樹脂を被覆する被覆装置９と、この被覆された保護樹脂を硬化させるための硬化装置１０と、この硬化装置１０の下流側に位置し、線引き被覆された光ファイバを、ガイドローラ１１及びキャプスタン１２を介して引き取って巻き取る巻取り装置１３とを備えている。なお、線引き炉３にて線引きされた光ファイバ２は、外径・位置測定器７による外径測定値が設定された一定値になるように、キャプスタン１２によって引き取られ、巻取り装置１３により巻き取られるようになっている。
【００２１】
次に、水平２軸位置決めＸＹステージ２０と、該ＸＹステージ２０に設けられたＸステージ用粘弾性体及びＹステージ用粘弾性体の構成について説明する。図２は図１における水平２軸位置決めＸＹステージの構成を示す上側平面図（上面図）、図３は図２のＡ矢視正面図、図４は図２のＢ矢視側面図、図５は図２の下側平面図（下面図）である。
【００２２】
水平２軸位置決めＸＹステージ２０は、Ｘ軸方向に水平移動可能なＸテーブル板３２を有するＸステージ３０と、Ｙ軸方向に水平移動可能なＹテーブル板４１を有するＹステージ４０とにより構成されている。図２〜図５、特に図２，図３に示すように、Ｘステージ３０は、昇降装置４の昇降用ブラケット５にネジ止め固定された昇降用ベース３１と、Ｘ方向用直動ガイド３３により昇降用ベース３１にＸ軸方向に水平移動可能に取り付けられたＸテーブル板３２と、Ｘ方向用モータ３４と、Ｘ方向用モータ３４により回転駆動されるＸ方向用ボールネジ３５と、これに噛合するとともに、Ｘ方向用連結部材３７を介してＸテーブル板３２に連結されているＸ方向用ナット３６とにより構成されている。Ｘ方向用モータ３４は、昇降用ベース３１に固定されている。
【００２３】
前記Ｘ方向用直動ガイド３３は、循環式ボールを有し、昇降用ベース３１の下面にネジ止め固定されたＸ方向用ブロック体３３ａと、Ｘテーブル板３２の上面にネジ止め固定され、Ｘ軸方向に延びるＸ方向用ガイドレール３３ｂとにより構成されており、両者の間に、循環式ボールを利用して直線運動を可能にするものである。平行配置された２組のＸ方向用直動ガイドが設けられており、２つのＸ方向用ガイドレール３３ｂは、それぞれ、Ｘテーブル板３２上面におけるＸ軸方向端部寄りの位置にネジ止め固定されている。Ｘ方向用モータ３４によりＸ方向用ボールネジ３５を回転させることで、Ｘテーブル板３２がＸ軸方向に進退移動するようになっている。３８はＸテーブル板３２の移動量を規制するのに用いるＸ方向用リニアポテンショメータである。
【００２４】
Ｙステージ４０は、前記Ｘステージ３０と基本的に同一構成である。Ｙステージ４０は、図２〜図５、特に図４，図５に示すように、チャック６が連結され、Ｙ方向用直動ガイド４２によりＸテーブル板３２にＹ軸方向に水平移動可能に取り付けられたＹテーブル板４１と、Ｙ方向用モータ４３と、Ｙ方向用モータ４３により回転駆動されるＹ方向用ボールネジ４４と、これに噛合するとともに、Ｙ方向用連結部材４６を介してＹテーブル板４１に連結されているＹ方向用ナット４５とにより構成されている。Ｙ方向用モータ４３は、Ｘテーブル板３２に固定されている。
【００２５】
前記Ｙ方向用直動ガイド４２は、Ｘテーブル板３２の下面にネジ止め固定されたＹ方向用ブロック体４２ａと、Ｙテーブル板４１の上面にネジ止め固定され、Ｙ軸方向に延びるＹ方向用ガイドレール４２ｂとにより構成されている。平行配置された２組のＹ方向用直動ガイドが設けられており、２つのＹ方向用ガイドレール４２ｂは、それぞれ、Ｙテーブル板４１上面におけるＹ軸方向端部寄りの位置にネジ止め固定されている。Ｙ方向用モータ４３によりＹ方向用ボールネジ４４を回転させることで、Ｙテーブル板４１がＹ軸方向に進退移動するようになっている。４７はＹテーブル板４１の移動量を規制するのに用いるＹ方向用リニアポテンショメータである。
【００２６】
このように、水平２軸位置決めＸＹステージ２０が構成されており、Ｘテーブル板３２とＹテーブル板４１とを動かすことにより、線引き炉３の中心線に光ファイバ母材１の先端を位置決め可能になっている。
【００２７】
次に、Ｘステージ３０に設けられたＸステージ用粘弾性体５０について説明する。本実施形態では、平板状をなすＸステージ用粘弾性体５０の材質は、シリコーンゲル材からなっている。
【００２８】
図２，図３に示すように、Ｘテーブル板３２の上面に、Ｘ軸方向に延びる２つのＸステージ用ガイドレール５１ｂがネジ止め固定されている。２つのＸステージ用ガイドレール５１ｂは、図３に示すように、Ｙ軸方向における両Ｘステージ用ガイドレール５１ｂの間隔距離ができるだけ大きくなるように位置されている。各Ｘステージ用ガイドレール５１ｂにはＸステージ用ブロック体５１ａが装着されており、このＸステージ用ブロック体５１ａに、Ｘステージ用粘弾性体５０が例えば接着により固定されている。そして、Ｘステージ用粘弾性体５０を押圧する押圧部材としてのＸステージ用粘弾性体調整ボルト５２が、昇降用ベース３１に進退可能に設けられている。前記Ｘステージ用ガイドレール５１ａと前記Ｘステージ用ブロック体５１ｂは、Ｘステージ用粘弾性体用の直動ガイド５１を構成している。
【００２９】
このように、Ｘステージ用粘弾性体５０は、前記直動ガイド５１により昇降用ベース３１とＸテーブル板３２間に該両板３１，３２に間接的に当接する状態で、かつ、該両板３１，３２の相対的な移動がスムーズになしうるように設けられている。また、寸法誤差を吸収したり、防振特性を変更したりできるようにするため、Ｘステージ用粘弾性体調整ボルト５２により押圧することでＸステージ用粘弾性体５０の弾性力が調整できるようになっている。
【００３０】
次に、Ｙステージ４０に設けられたＹステージ用粘弾性体６０について説明する。本実施形態では、平板状をなすＹステージ用粘弾性体６０の材質は、Ｘステージ用粘弾性体５０同じく、シリコーンゲル材からなっている。
【００３１】
図４，図５に示すように、Ｘテーブル板３２の下面に、Ｙ軸方向に延びる２つのＹステージ用ガイドレール６１ｂがネジ止め固定されている。２つのＹステージ用ガイドレール６１ｂは、図４に示すように、Ｘ軸方向における両Ｙステージ用ガイドレール６１ｂの間隔距離ができるだけ大きくなるように位置されている。
各Ｙステージ用ガイドレール６１ｂにはＹステージ用ブロック体６１ａが装着されており、このＹステージ用ブロック体６１ａに、Ｙステージ用粘弾性体６０が例えば接着により固定されている。そして、Ｙステージ用粘弾性体６０を押圧する押圧部材としてのＹステージ用粘弾性体調整ボルト６２が、Ｙテーブル板４１に進退可能に設けられている。前記Ｙステージ用ガイドレール６１ｂと前記Ｙステージ用ブロック体６１ａは、Ｙステージ用粘弾性体用の直動ガイド６１を構成している。
【００３２】
このように、Ｙステージ用粘弾性体６０は、前記直動ガイド６１によりＸテーブル板３２とＹテーブル板４１間に該両板３２，４１に間接的に当接する状態で、かつ、該両板３２，４１の相対的な移動がスムーズになしうるように設けられている。また、寸法誤差を吸収したり、防振特性を変更したりできるようにするため、Ｙステージ用粘弾性体調整ボルト６２により押圧することでＹステージ用粘弾性体６０の弾性力が調整できるようになっている。
【００３３】
図８は、Ｘステージのみの場合において、Ｘステージ用粘弾性体がないときの、Ｙ軸方向における光ファイバ母材の振動の様子を誇張して模式的に示す説明図である。
【００３４】
粘弾性体５０，６０が設けられていない水平２軸位置決めＸＹステージ２０において、光ファイバ母材１の振動を調査した。その結果、直動ガイドの存在によって光ファイバ母材１の振動は、直動ガイド部分の弾性変形によることが大きいということがわかった。図８に、例えばＸステージ３０のみの場合において、Ｘステージ用粘弾性体５０がないときの、Ｙ軸方向における光ファイバ母材１の振動モードを誇張して模式的に示してある。この場合、光ファイバ母材１の振動に伴って、Ｘテーブル板３２が、光ファイバ母材１の中心部分を支点に揺動振動（シーソー状振動）する状態であることがわかった。
【００３５】
本実施形態による光ファイバ線引き装置では、水平２軸位置決めＸＹステージ２０のＸステージ３０において昇降用ベース３１とＸテーブル板３２との間に、Ｘステージ用粘弾性体５０が設けられ、さらに、Ｙステージ４０においてＸテーブル板３２とＹテーブル板４１との間に、Ｙステージ用粘弾性体６０が設けられている。これにより、Ｘステージ用粘弾性体５０により、Ｙ軸方向（Ｙテーブル板の移動方向）における光ファイバ母材の振り子状振動を減衰させることができる。また、Ｙステージ用粘弾性体６０により、Ｘ軸方向（Ｘテーブル板の移動方向）における光ファイバ母材１の振り子状振動を減衰させることができる。よって、Ｘステージ用粘弾性体５０及びＹステージ用粘弾性体６０によって、光ファイバ母材１の振動を確実に減衰させることができ、外径寸法のばらつきが小さく品質の良い光ファイバを得ることができる。
【００３６】
図６及び図７は本発明に係るＸステージ用粘弾性体の別の実施形態を示す説明図である。
【００３７】
昇降用ベース３１とＸテーブル板３２との間にＸステージ用粘弾性体を設けるにあたり、直動ガイド５１を用いることに代えて、図６に示すように構成してもよい。すなわち、図６に示すように、昇降用ベース３１に、板状をなすＸステージ用粘弾性体５０’を固定し、このＸステージ用粘弾性体５０’により金属製回転ローラ７０を支持するように構成してもよい。また、図７に示すように、回転ローラ状をなすＸステージ用粘弾性体５０”を、これを回転自在に支持する金属製支持部材７１を介して昇降用ベース３１に固定するように構成してもよい。なお、Ｙステージ４０についても同様である。
【００３８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明による光ファイバ線引き装置によれば、水平２軸位置決めＸＹステージに粘弾性体を設けるという簡単な構成により、前記水平２軸位置決めＸＹステージに連結されたチャックに懸垂保持されている光ファイバ母材の振動を減衰させることができ、これにより、外径寸法のばらつきが小さく品質の良い光ファイバを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の光ファイバ線引き装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】図１における水平２軸位置決めＸＹステージの構成を示す上側平面図である。
【図３】図２のＡ矢視正面図である。
【図４】図２のＢ矢視側面図である。
【図５】図２の下側平面図である。
【図６】本発明に係るＸステージ用粘弾性体の別の実施形態を示す説明図である。
【図７】本発明に係るＸステージ用粘弾性体の別の実施形態を示す説明図である。
【図８】Ｘステージのみの場合において、Ｘステージ用粘弾性体がないときの、Ｙ軸方向における光ファイバ母材の振動の様子を誇張して模式的に示す説明図である。
【図９】従来の光ファイバ線引き装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１…光ファイバ母材  １ａ…光ファイバ母材先端  １ｂ…光ファイバ母材支持部  ２…光ファイバ  ３…線引き炉  ３ａ…ヒータ  ４…昇降装置  ５…昇降用ブラケット  ６…チャック  ７…外径・位置測定器  ８…コントローラ  ９…被覆装置  １０…硬化装置  １１…ガイドローラ  １２…キャプスタン  １３…巻取り装置  ２０…水平２軸位置決めＸＹステージ  ３０…Ｘステージ  ３１…昇降用ベース  ３２…Ｘテーブル板  ３３…Ｘ方向用直動ガイド  ３３ａ…Ｘ方向用ブロック体  ３３ｂ…Ｘ方向用ガイドレール  ３４…Ｘ方向用モータ  ３５…Ｘ方向用ボールネジ  ３６…Ｘ方向用ナット  ３７…Ｘ方向用連結部材  ３８…Ｘ方向用リニアポテンショメータ  ４０…Ｙステージ  ４１…Ｙテーブル板  ４２…Ｙ方向用直動ガイド  ４２ａ…Ｙ方向用ブロック体  ４２ｂ…Ｙ方向用ガイドレール  ４３…Ｙ方向用モータ  ４４…Ｙ方向用ボールネジ  ４５…Ｙ方向用ナット  ４６…Ｙ方向用連結部材  ４７…Ｙ方向用リニアポテンショメータ  ５０…Ｘステージ用粘弾性体  ５１…Ｘステージ用粘弾性体用の直動ガイド  ５１ａ…Ｘステージ用ブロック体  ５１ｂ…Ｘステージ用ガイドレール  ５２…Ｘステージ用粘弾性体調整ボルト  ６０…Ｙステージ用粘弾性体  ６１…Ｙステージ用粘弾性体用の直動ガイド  ６１ａ…Ｙステージ用ブロック体  ６１ｂ…Ｙステージ用ガイドレール  ６２…Ｙステージ用粘弾性体調整ボルト  ５０’，５０”…Ｘステージ用粘弾性体  ７０…金属製回転ローラ  ７１…金属製支持部材
【図１】
2004238249.tif 000002
【図２】
2004238249.tif 000003
【図３】
2004238249.tif 000004
【図４】
2004238249.tif 000005
【図５】
2004238249.tif 000006
【図６】
2004238249.tif 000007
【図７】
2004238249.tif 000008
【図８】
2004238249.tif 000009
【図９】
2004238249.tif 000010