(57)【要約】【課題】磁気記録媒体の表面用マスタディスクの磁気パターンと裏面用マスタディスクの磁気パターンの位置合わせを可能とすること。【解決手段】磁気記録媒体に磁気転写すべき磁気パターン１２が形成された表面用マスタディスク１５と裏面用マスタディスク１６は、光学的に透明または半透明であり、且つ磁気パターンが形成された領域外に、互いに勘合可能な位置合わせ用のアライメントマーク１７，１８が設けられているので、外から、観察手段によって観察しながら、アライメントマーク１７，１８が勘合するように位置合わせが可能となり、磁気記録媒体の表面用マスタディスクの磁気パターンと裏面用マスタディスクの磁気パターンの位置合わせが可能となる。【選択図】        図３
2004213700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体に磁気転写すべき磁気パターンが形成された１対のマスタディスクであって、前記磁気パターンが形成された領域外に位置合わせ用のアライメントマークが設けられていることを特徴とする磁気記録媒体用マスタディスク。
【請求項２】
請求項１において、
前記１対のマスタディスクの各々は、少なくとも２つのアライメントマークが形成されていることを特徴とする磁気記録媒体用マスタディスク。
【請求項３】
請求項２において、
前記少なくとも２つのアライメントマークは、前記磁気パターンの基準点に対して対称に設けられていることを特徴とする磁気記録媒体用マスタディスク。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかにおいて、
前記１対のマスタディスクの一方のアライメントマークと、前記１対のマスタディスクの他方のアライメントマークとは、互いに異なった形状であることを特徴とする磁気記録媒体用マスタディスク。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかにおいて、
前記１対のマスタディスクは、前記アライメントマークを除いて光学的に透明または半透明であることを特徴とする磁気記録媒体用マスタディスク。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかの１対のマスタディスクの一方を保持し当該マスタディスクに向かい合う前記１対のマスタディスクの他方に対する直交移動および回転移動機能が備わった第１のステージと、
前記１対のマスタディスクの間において、前記磁気記録媒体を保持し前記１対のマスタディスクに対する直交移動機能が備わった第２のステージと、
前記１対のマスタディスクのアライメントマークの位置および前記磁気記録媒体の内周または外周の端面位置を観察する観察手段とを具えたことを特徴とする位置決め装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記観察手段は、前記１対のマスタディスクのアライメントマークの位置のみを観察する第１の観察手段と、前記１対のマスタディスクのアライメントマークの位置および前記磁気記録媒体の内周または外周の端面位置を観察する第２の観察手段とを有することを特徴とする位置決め装置。
【請求項８】
請求項５の１対のマスタディスクを向かい合わせた状態で、一方のマスタディスクを直交移動および回転移動させて、第１の観察手段によって前記１対のマスタディスクのアライメントマークを同時に観察しながら、前記１対のマスタディスク間のアライメントマークの位置を合致させ、
第２の観察手段によって、前記１対のマスタディスクの間に位置した前記磁気記録媒体の内周または外周端面と前記１対のマスタディスクのアライメントマークとを観察し、当該観察結果に基づいて前記１対のマスタディスクに対して前記磁気記録媒体を直交移動させて位置決めすることを特徴とする位置決め方法。
【請求項９】
請求項１から４のいずれかの１対のマスタディスクの一方を位置固定させた状態で、当該一方のマスタディスクのアライメントマークを観察手段によって観察し、
観察手段によって前記一方のマスタディスクの上方に位置させた前記磁気記録媒体の内周または外周端面を観察し、当該観察結果と、前記一方のマスタディスクのアライメントマークの観察結果を参照して前記一方のマスタディスクに対して前記磁気記録媒体を直交移動させて位置決めし、
観察手段によって前記磁気記録媒体の上方に位置させた前記１対のマスタディスクの他方のアライメントマークを観察し、当該観察結果と、前記一方のマスタディスクのアライメントマークの観察結果を参照して前記一方のマスタディスクに対して前記他方のマスタディスクを直交移動または回転移動させて前記１対のマスタディスク間のアライメントマークの位置を合致させることを特徴とする位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体用マスタディスクならびに位置決め装置および方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在コンピュータの外部記憶装置としては、ハードディスクドライブ（以下ＨＤＤと略記）が主流となっている。このＨＤＤにおいては、磁性膜を記録材料とする磁気記録媒体が用いられており、この磁気記録媒体の表面へ書き込まれるデータ書き込み／読み出しヘッドの位置決め用サーボ信号は磁気的な転写技術を用いて書き込むことが行われている。
【０００３】
ＨＤＤでは、回転している磁気記録媒体の表面上を、磁気ヘッドがスライダーと呼ばれる浮上機構によってディスク表面上数十ｎｍの距離を保って浮上しながらデータの記録・再生が行われている。磁気記録媒体上のビット情報は媒体に同心円上に配置されたデータトラックに格納されており、データ記録／再生用ヘッドは媒体面上の目的のデータトラックに高速で移動・位置決めされることによってデータの記録・再生を行っている。
【０００４】
磁気記録媒体面上には、ヘッドとデータトラックとの間の相対位置を検出するための位置決め信号（サーボ信号）が同心円上に書き込まれており、データの記録再生を行っているヘッドが一定時間間隔で自分の位置を検出している。このサーボ信号の書き込み信号の中心が、媒体の中心（あるいはヘッドの軌道の中心）から偏心しないよう、ＨＤＤ装置に磁気記録媒体を組み込んだ後、サーボライターと呼ばれる専用の装置を用いて書き込み信号が書き込まれる。現在、開発段階で記録密度が１００Ｇｂｉｔｓ／ｉｎ２に達するとともに、年率６０％で記録容量が増加している。これに伴って、ヘッドが自分の位置を検出するためのサーボ信号の密度も上昇しており、サーボ信号の書込み時間も年々増加する傾向にある。このサーボ信号の書込み時間の増加は、ＨＤＤの生産性低下，コスト増加をもたらす一つの大きな要因になっている。
【０００５】
最近になって上述したサーボライターの信号書込みヘッドを用いてサーボ信号を書き込む方式に対して、磁気的な転写によってサーボ信号を一括して書き込み、飛躍的にサーボ情報の書き込み時間を短縮しようとする技術開発が行われている。
【０００６】
図１２，図１３は、この磁気転写技術を説明したものである（特許文献１参照）。図１３の（ａ）は磁気記録媒体１の表面上を永久磁石２が一定間隔（１ｍｍ以下）を保ちながら移動する様子を基板の断面方向から表したものである。基板３上に成膜された磁性膜４は当初一定方向に磁化された状態にはないが、永久磁石２のギャップから漏れた磁界によって一定方向に磁化される（図中の磁性膜に記された矢印５は磁化の方向を表す）。この工程は初期消磁工程と呼ばれる。図１２の（ａ）の矢印６は磁気記録媒体上の永久磁石の移動路を表したもので、磁性層は円周方向に一様に磁化される。
【０００７】
図１２の（ｂ）は磁気転写用マスタディスク７（以下マスタディスクと略記）を磁気記録媒体１の上に配置し位置合わせを行っている状態を表している。図１２の（ｃ）はマスタディスクを磁気記録媒体の表面に密着させ、磁気転写用の永久磁石を図中の移動路（矢印６で図示）に沿って移動させることによって磁気転写を行う様子を表している。
【０００８】
図１３の（ｂ）は磁気転写を説明したものである。マスタディスク７はシリコン基板８の媒体表面に接する面側に、図示したように軟磁性膜９（図ではＣｏ系軟磁性膜）が埋め込まれた構造をしている。図のように永久磁石２と磁気記録媒体１の間に軟磁性膜のパターンを埋め込んだ基板８を介在させると、永久磁石２から漏れてシリコン基板８に浸透した磁界（転写信号書込みの磁界の向きは消磁磁界と反対方向）は、軟磁性膜の無い位置では再びシリコン基板８を透過して磁性層を磁化することが出来るが（その磁化の方向を矢印１０で示す）、軟磁性パターンがある部分では磁気抵抗の小さい磁気経路となるように軟磁性膜９を通過する。このため、軟磁性層のある位置ではシリコン基板８から漏れ出す磁界が小さくなり、新たに磁化の書き込みは行われない。以上のような機構でサーボ信号の磁気転写が行われる。なお、磁気転写用マスタディスクと磁気記録媒体の中心位置合わせを行う技術も提案されている（特許文献４参照）。
【０００９】
また、ＨＤＤの磁気記録媒体は、１枚あたりの記録容量を増やすために、表・裏に磁性膜を形成して、両面の読書きを行う方法が主流である。磁気記録媒体に記録される磁気パターンは、前記のサーボパターンと、データパターンとがある。このため、磁気記録媒体の両面側から各々マスタディスクを密着させて磁気転写を行っている（特許文献２参照）。マスタディスクとしては、例えば、透明基材を用いることもできる（特許文献３参照）。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−３４９３９号公報
【００１１】
【特許文献２】
特開２０００−６７４３３号公報
【００１２】
【特許文献３】
特開２０００−１９７６４７号公報
【００１３】
【特許文献４】
特開平１１−１７５９７３号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
表・裏に磁性膜を形成した磁気記録媒体を用いたＨＤＤ装置では、例えば、多数枚の磁気ディスクが搭載されており、それらの表・裏面には磁気ヘッドが個々に配置され、指定されたデータ領域のあるシリンダーに該当するヘッドが搭載されたＨＳＡ（ヘツド・スタック・アセンブリ）のみがサーボ制御により所定の位置になるようにし、その他のＨＳＡは制御されない状態となる。
【００１５】
したがって、読み書きするシリンダーが例えば、表面から裏面に変わった場合、表・裏のサーボパターンのずれが大きいと、裏面でのＨＳＡのサーボによる位置の安定までに時間を要し、結果的にはシリンダー切替え後のデータの読み出し時間に相当するセットリング時間が大きくなるという問題がある。
【００１６】
このため、ＨＤＤの高速データアクセスを損なわないために、磁気記録媒体の表・裏の磁気パターンのズレが無い事が非常に重要となる。従来の磁気転写の対象のパターンは、マスタディスクを形成するフォトプロセス技術がμｍルールであったため、パターン幅の大きいサーボパターンのみであったが、磁気転写の有用性およびフォトプロセス技術が進歩しサブμｍルールになった事を考慮すると、従来のサーボパターン以外にデータパターンも転写の対象として考えるべきで、磁気記録媒体への高密度マスタディスクによる磁気転写が必要となる。
【００１７】
そこで、本発明において解決すべき課題としては、
▲１▼磁気記録媒体の表面用マスタディスクの磁気パターンと裏面用マスタディスクの磁気パターンとを正確に位置合わせすること。
▲２▼表・裏のマスタディスクの位置合わせを行った状態で、原盤マスタディスクの磁気パターン中心と磁気記録媒体の中心を正確に位置合わせすること。
であり、本発明は以上のような点に鑑みてなされたものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、磁気記録媒体に磁気転写すべき磁気パターンが形成された１対のマスタディスクであって、前記磁気パターンが形成された領域外に位置合わせ用のアライメントマークが設けられていることを特徴とする。
【００１９】
請求項２の発明は、請求項１において、前記１対のマスタディスクの各々は、少なくとも２つのアライメントマークが形成されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項３の発明は、請求項２において、前記少なくとも２つのアライメントマークは、前記磁気パターンの基準点に対して対称に設けられていることを特徴とする。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかにおいて、前記１対のマスタディスクの一方のアライメントマークと、前記１対のマスタディスクの他方のアライメントマークとは、互いに異なった形状であることを特徴とする。
【００２２】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかにおいて、前記１対のマスタディスクは、前記アライメントマークを除いて光学的に透明または半透明であることを特徴とする。
【００２３】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかの１対のマスタディスクの一方を保持し当該マスタディスクに向かい合う前記１対のマスタディスクの他方に対する直交移動および回転移動機能が備わった第１のステージと、前記１対のマスタディスクの間において、前記磁気記録媒体を保持し前記１対のマスタディスクに対する直交移動機能が備わった第２のステージと、前記１対のマスタディスクのアライメントマークの位置および前記磁気記録媒体の内周または外周の端面位置を観察する観察手段とを具えたことを特徴とする。
【００２４】
請求項７の発明は、請求項６において、前記観察手段は、前記１対のマスタディスクのアライメントマークの位置のみを観察する第１の観察手段と、前記１対のマスタディスクのアライメントマークの位置および前記磁気記録媒体の内周または外周の端面位置を観察する第２の観察手段とを有することを特徴とする。
【００２５】
請求項８の発明は、請求項５の１対のマスタディスクを向かい合わせた状態で、一方のマスタディスクを直交移動および回転移動させて、第１の観察手段によって前記１対のマスタディスクのアライメントマークを同時に観察しながら、前記１対のマスタディスク間のアライメントマークの位置を合致させ、第２の観察手段によって、前記１対のマスタディスクの間に位置した前記磁気記録媒体の内周または外周端面と前記１対のマスタディスクのアライメントマークとを観察し、当該観察結果に基づいて前記１対のマスタディスクに対して前記磁気記録媒体を直交移動させて位置決めすることを特徴とする。
【００２６】
請求項９の発明は、請求項１〜４のいずれかの１対のマスタディスクの一方を位置固定させた状態で、当該一方のマスタディスクのアライメントマークを観察手段によって観察し、観察手段によって前記一方のマスタディスクの上方に位置させた前記磁気記録媒体の内周または外周端面を観察し、当該観察結果と、前記一方のマスタディスクのアライメントマークの観察結果を参照して前記一方のマスタディスクに対して前記磁気記録媒体を直交移動させて位置決めし、観察手段によって前記磁気記録媒体の上方に位置させた前記１対のマスタディスクの他方のアライメントマークを観察し、当該観察結果と、前記一方のマスタディスクのアライメントマークの観察結果を参照して前記一方のマスタディスクに対して前記他方のマスタディスクを直交移動または回転移動させて前記１対のマスタディスク間のアライメントマークの位置を合致させることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
［実施例１］
図１は、本実施例において使用するマスタディスクの構成を示すものであり、従来のＳｉ基板によるマスタディスクと同じ構成であるが、石英などの光学的に透明な素材をも含むことが大きく相違する。図１の（ａ）はマスタディスクの正面（表面）を示し、（ｂ）は断面を示す。１１は石英を含む透明な基板、１２は基板１１上に設けた磁気パターンである。また、マスタディスクの作成にあたっては、Ｓｉ基板と同様に、図２の（ａ）に示すように、石英基板１１にフォトレジスト１３を一様な厚みで塗布・パターンニング・現像のフォトプロセスの後、同（ｂ）に示すように、エッチングによる溝加工を行い、同（ｃ）に示すように、軟磁性膜１４を成膜し、同（ｄ）に示すように、リフトオフによりフォトレジストの除去を行い、石英基板１１上に軟磁性膜からなる磁気パターンおよび後述のようなアライメントマーク（不透明）を形成したマスタディスクを完成する。
【００２８】
図３の（ａ）および（ｂ）は、マスタディスクの磁気記録媒体に向かい合う側から見た磁気記録媒体の表面用マスタディスク１５と、裏面用マスタディスク１６のパターンを示し、磁気記録媒体に転写を行う軟磁性膜による磁気パターン１２以外にマスタディスク間の位置合わせを行うアライメントマーク１７，１８が各々２個設けられている。アライメントマークの数は２個で十分であるが、それより多くても良い。
【００２９】
このアライメントマークの形状は、位置合わせ精度を高めるために、例えば、図４に示すようにお互いに勘合するような形状としている。すなわち、表面用マスタディスク１５のアライメントマーク１７は、十字形をしており、裏面用マスタディスク１６のアライメントマーク１８は、アライメントマーク１７の十字がその中に収まるように中抜き十字形を有する。なお、アライメントマークとしては、これに限ることなく、例えば、複数個のドットを不規則に並べたドットパターン（この場合、２つのディスク１５，１６のマークは同一である）から構成しても良く、この場合２つのディスク１５，１６間のドットパターンを一致させれば良い。
【００３０】
マスタディスクにおける軟磁性膜による磁気パターンとアライメントマークとの位置関係は、表面用マスタディスクおよび裏面用マスタディスクとも、対称の関係にあり、表面用マスタディスクと裏面用マスタディスクとの軟磁性膜による磁気パターン面同士を向かい合わせると、マスタディクスが透明なので、これらの重なりを外から観察可能であり、図４の（ｃ）のように、アライメントマークを合致（勘合）するように一方のマスタディスク対する他方のマスタディスクの位置（Ｘ，Ｙ，θ）を調整すると（Ｘ，Ｙは平面上での直交座標軸、θは平面上での回転角である）、軟磁性膜による磁気パターン同士の位置が合致する。図４の（ｄ）はアライメントマークの不勘合状態を示すものである。
【００３１】
図５は、磁気記録媒体１とマスタディスク１５，１６との位置関係を示すもので、磁気記録媒体１の裏面には、裏面用マスタディスク１６の軟磁性膜による磁気パターン１２が、磁気記録媒体１の表面には、表面用マスタディスク１５の軟磁性膜による磁気パターン１２が合わさり、磁気記録媒体１を軟磁性膜による磁気パターン１２で挟み込んだようになる。磁気記録媒体１の磁気パターンの記録には、磁気記録媒体１の形状と磁気パターン１２の中心すれが許容値以内である事、表裏の磁気パターンのズレが許容値以内である事が求められ、ズレを許容値以下にするために、両面磁気転写装置に具えられた図６に示すような位置決め装置を用いて、位置決めを行う。この位置決め装置においては、各ステージの移動制御、テレビカメラからの信号処理、各位置の制御は、コンピュータを備えた信号処理装置４３によって行う。
【００３２】
図６に示すように、裏面用マスタディスク１６は固定されており、その上方に第１のステージ１９が配置されている。この第１のステージ１９は、表面用マスタディスク１５を裏面用マスタディスク１６に対して平行になるように、その周辺部を保持する回転ステージ２０と、この回転ステージ２０を平面上で回転可能に搭載し、裏面用マスタディスク１６に対してＸ，Ｙ（直交）方向に移動可能なＸ，Ｙステージ２１とを具えている。裏面用マスタディスク１６の下方から観察手段としての顕微鏡２２によって２つのマスタディスクの各アライメントマークの重なりを観察することができ、その重なりの状態を観察しながら、回転ステージ２０およびＸ，Ｙステージ２１を駆動して、裏面用マスタディスク１６に対するマスタディスク１５の直交移動（Ｘ，Ｙ）および回転移動（θ）を行って、アライメントマークの位置合わせ（図４のｃ）を行う。
【００３３】
２３は第２のステージであって、磁気パターンを転写すべき磁気記録媒体１の周縁をナイフエッジなどの保持機構で保持し、前記２つのマスタディスク１５，１６の間に移動してこれらのディスクと平行に磁気記録媒体を位置させた状態において、２つのマスタディスクに対して平面上で直交移動可能な機能が備わっている。
【００３４】
表面用マスタディスク１５の上方には、観察手段としてのＴＶカメラ２４を固定し、磁気記録媒体１に平行な平面上を直交（Ｘ，Ｙ）移動可能な第３のステージ２５が設けられている。
【００３５】
したがって、アライメントマークの位置合わせがなされている状態の２つのマスタディスク１５，１６の間に磁気記録媒体１を位置させた状態で、第３のステージ２５を直交方向に駆動して、表面用マスタディスク１５の上方から、観察手段としてのＴＶカメラ２４によって、磁気記録媒体１の内周縁または外周縁の位置を、その周に沿って一周観察し、その際の第３のステージ２５の移動位置情報及びＴＶカメラ２４の撮像画素における磁気記録媒体１の周縁に相当する画素の位置情報とから、磁気記録媒体１の内周端形状または外周端形状を計測し、その計測データから磁気記録媒体１の中心位置を推定する。次いで、アライメントマークの位置合わせがなされている状態の２つのマスタディスク１５，１６の位置をＴＶカメラ２４によって計測し、マスタディスクの中心位置を求める。次いで、磁気記録媒体１の推定された中心位置と、マスタディスクの中心位置とのズレを無くすように、磁気記録媒体１を保持している第２ステージ２３をＸ，Ｙ方向に駆動制御する。
【００３６】
このようにして、マスタディスク，磁気記録媒体の位置決めを行った後、磁気記録媒体にマスタディスクを真空吸着や静電吸着などの手法で密着させる。次に、表面用マスタディスクの上方および裏面用マスタディスクの下方より、永久磁石を回転させながらマスタディスクまで接近させ、磁気転写を行う。磁気転写の後、磁石を回転しながら、マスタディスクから離間させ、磁気記録媒体の位置において磁化反転には至らない磁束密度となった時点で回転を停止する。
【００３７】
［実施例２］
図７は、本実施例において使用するマスタディスクの構成を示し、従来のマスタディスクには磁気パターンの埋め込みしかなかったのに対して、マスタディスク間およびマスタディスクと磁気記録媒体との間の位置合わせ用のアライメントマークが設けられている点が大きく相違する。Ｓｉ基板によるマスタディスクは光を透過させる事は出来ないため、後述するＴＶカメラにて常に片側より観察できるように、マスタデイスクに２個のマスタディスク間の位置合わせ用アライメントマークを設ける面を考慮する必要がある。
【００３８】
図７は表・裏用のマスタディスクを磁気パターン面から見た図であり、図７のａ）は磁気記録媒体１の表面用のマスタディスク（表面用マスタディスク）３０を示し、磁性膜からなる磁気パターン３２が埋め込まれた面とは反対側に、磁気パターン領域の外側領域に、位置合わせ精度を高めるために、２個のマスタディスクの位置合わせ用のアライメントマーク３３をディスク３０の中心から出来るだけ距離を離して対称位置に設ける。なお、マスタディスクの位置合わせ用アライメントマークはマスタディスクの両面に形成されていても良い。図７のｂ）は磁気記録媒体の裏面用のマスタディスク（裏面用マスタディスク）３１を示し、磁性膜からなる磁気パターン３２が埋め込まれた面と同一面の磁気パターン領域の外側領域に２個のマスタディスクの位置合わせ用アライメントマーク３４を設ける。なお、上記説明では表面用マスタディスクでは、磁気パターンが埋め込まれている面とは反対側に、アライメントマークを、裏面用マスタディスクでは磁気パターンが埋め込まれている面に、アライメントマークを設ける事としたが、逆にしても全く問題は無い。またアライメントマークの数は２個を超過しても良い。
【００３９】
図８は上記の表面用のマスタディスクの製作方法を示すもので、表面用マスタディスクの上面側と下面側のパターニングに必要な２つのフォトマスクには、図９に示すパターンが形成されている。すなわち、
１）上面側用フォトマスク３５（図９のａ）
・上／下面側用フォトマスク間の位置合わせ用アライメントマーク３６（マスタディスクの領域外に設置）
・表／裏面用マスタディスク間の位置合わせ用アライメントマーク３７（マスタディスクの領域内に設置）
２）下面側用フォトマスク３８（図９のｂ）
・上／下面側用フォトマスク間の位置合わせ用アライメントマーク３９（マスタディスクの領域外に設置）
・磁気転写用パターン４０（マスタディスクの領域内に設置）
すなわち、上／下面側用フォトマスク間の位置合わせ用アライメントマークは、上面側用のフォトマスクと下面側用のフオトマスクの位置合わせを行うのに用いられるマークで、結果的には、表面用マスタディスクの磁気パターンと裏面用マスタディスクの磁気パターンとの位置合わせは、上／下面側用フォトマスク間の位置合わせ用アライメントマークおよび表／裏面用マスタディスク間の位置合わせ用アライメントマークによってなされることになる。
【００４０】
上／下面側用フォトマスクの各パターニング面をマスタディスクとなるＳｉ基板側に向けて、Ｓｉ基板を挟んだ状態で、上／下面側用フォトマスク間の位置合わせ用アライメントマークが勘合するように、一方のフォトマスクの位置調整（直交移動，回転移動）を行えばよい。
【００４１】
このようにして位置調整を行った後、図８に示すように、まず、Ｓｉ基板４１の両面にパターニングを行なった後に（ａ）、両面をエッチングし（ｂ）、磁気転写用パターンが形成されている面のみにスパッタリングによって軟磁性膜４２を成膜し（ｃ）、リフトオフを行って（ｄ）、磁気記録媒体の表面用マスタディスク３２の製作が終了する。もう一方の磁気記録媒体の裏面用マスタディスク３１の製作に用いるフォトマスクは１枚で、上記実施例１と同様の製作方法により作成される（図２参照）。
【００４２】
上記に示したアライメントマークの形状は、位置合わせ精度を高めるために、図４に示すようにお互いに勘合するような形状としている。このアライメントマークは実施例１と同様である。
【００４３】
マスタディスクにおける磁気パターンとアライメントマークとの位置関係は、表面用マスタディスクと裏面用マスタディスクとで対称の関係にあり、表面用マスタディスクと裏面用マスタディスクの磁気パターン面同士を向かい合わせ、後述のようにディスクの軸方向上でアライメントマーク同士の位置が合致するように片方のマスタディスクの位置（Ｘ，Ｙ，θ）を他方の固定のマスタディスクに対して調整すると、磁気パターン同士の位置が合致するようになる。
【００４４】
図１０は、磁気記録媒体１とマスタディスク３０，３１との間の位置関係を示すもので、磁気記録媒体１の裏面には、裏面用マスタディスク３１の磁気パターン３２が、磁気記録媒体１の表面には、表面用マスタディスク３０の磁気パターン３２が合わさり、磁気記録媒体１を磁気パターン３２で挟み込んだように構成する。磁気記録媒体の磁気パターンの記録には、磁気記録媒体の形状と磁気パターンの中心ずれが許容値以内である事、表裏の磁気パターンのズレが許容値以内である事が求められ、ズレを許容値以下にするために、両面磁気転写装置の位置決め装置を図１１に示すように構成し、以下のようにして位置決めを行う。この位置決め装置は図６の装置と同様であるが、顕微鏡を備えていない点が異なる。
【００４５】
▲１▼位置固定された裏面用マスタディスク３１におけるマスタディスク位置合わせ用の２個のアライメントマークの位置，形状を、裏面用マスタディスク上方に設けられ、第３のステージ２５に搭載されたテレビカメラ２４で、同ステージ２５の移動を伴いながら観察を行い、信号処理装置４３のメモリーに記憶する。この裏面用マスタディスク３１のアライメントマークの位置，形状から、裏面用マスタディスク３１の中心位置を求める。
【００４６】
▲２▼裏面用マスタディスクの上方に設けられた第２のステージ２３に、磁気記録媒体１を搭載し、前記のテレビカメラ２４の画面中央に磁気記録媒体１の内周の端面が映るように、テレビカメラ２４を搭載している第３のステージ２５を制御しながら、内周を１周観察し、ステージの移動量およびテレビ画面における内周端に相当する画素の位置から磁気記録媒体１の内周端の形状を計測し、内周端の形状から磁気記録媒体１の中心位置を推定する。この磁気記録媒体１の中心位置と前記の裏面用マスタディスク３１の中心位置とのずれ量を計算し、このずれ量を無くすように、磁気記録媒体１が搭載された第２のステージ２３を移動させて、裏面用マスタディスク３１の中心と磁気記録媒体１の中心とを合致させる。
【００４７】
▲３▼磁気記録媒体１の上方に設けられた第１のステージ１９に表面用マスタディスク３０を搭載し、表面用マスタディスク３０の上面に設けられたマスタディスク位置合わせ用の２個のアライメントマークの位置，形状を、前記のテレビカメラ２４で、Ｘ，Ｙステージ２１の移動または第３のステージ２５の移動を伴いながら観察を行い、信号を信号処理装置に記憶する。この表面用マスタディスク３０における２個のアライメントマークの位置、形状と、信号処理装置４３のメモリーに記憶された裏面用マスタディスク３１における２個のアライメントマークの位置、形状とのずれから、表面用マスタディスク３０の直交移動量と回転移動量を求め、表面用マスタディスク３０を搭載する回転ステージ２０およびＸ，Ｙステージ２１の移動を制御し、２対のアライメントマークの勘合を行って（図４のｃの状態）、位置合わせを完了する。
【００４８】
このようにして、マスタディスク，磁気記録媒体の位置合わせを行った後は、実施例１と同様にして磁気転写を行う。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、磁気記録媒体の表面用マスタディスクの磁気パターンと裏面用マスタディスクの磁気パターンの位置合わせが可能となる。このため、例えば、読み書きするシリンダーが、表面→裏面，裏面→表面に変わっても、ＨＳＡの位置安定までの時間を大きく変化させる事なく、一様なデータ読み書き時間を可能とする。
【００５０】
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明におけるマスタディスクの構成を示す正面図であり、（ｂ）は断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は本発明におけるマスタディスクの作成手順を示す図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は本発明におけるアライメントマーク付きマスタディスクを示す図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は本発明における表／裏面用マスタディスクのアライメントマークの勘合状況を説明する図である。
【図５】本発明における磁気記録媒体とマスタディスクの位置関係を示す図である。
【図６】本発明における両面磁気転写装置の位置決め装置を説明する図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は本発明におけるアライメントマーク付きマスタディスクの他の例を示す図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は本発明における他のマスタディスクの作成手順を示す図である。
【図９】（ａ）および（ｂ）は本発明における表面用マスタディスクのパターンニング用フォトマスクの例を示す図である。
【図１０】本発明における磁気記録媒体と他のマスタディスクの位置関係を示す図である。
【図１１】本発明における両面磁気転写装置の他の位置決め装置を説明する図である。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は磁気記録媒体における磁気転写工程の説明図である。
【図１３】（ａ）および（ｂ）は磁気記録媒体における磁気転写の原理の説明図である。
【符号の説明】
１２      磁気パターン
１５，１６    マスタディスク
１７，１８    アライメントマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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