(57)【要約】【課題】通過帯域外の、通過帯域近傍におけるコモンモードも良好な平衡−不平衡入出力機能を備えた弾性表面波装置および通信装置を提供する。【解決手段】圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されているＩＤＴ１０５、１０６、１０７を有する弾性表面波フィルタ１０１とＩＤＴ１１０、１１１、１１２とを有する弾性表面波フィルタ１０２を、平衡−不平衡変換機能を有するように設け、平衡信号端子１１６、１１７を弾性表面波フィルタ１０１、１０２に接続する。平衡信号端子１１６、１１７のそれぞれに、リフレクタ１２２、１２４に挟まれているＩＤＴ１２３を備える弾性表面波共振子１０３およびリフレクタ１２５、１２７に挟まれているＩＤＴ１２６を備える弾性表面波共振子１０４を直列に接続する。そして、弾性表面波共振子１０３、１０４とで、リフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離を異ならせる。【選択図】　図１
2004112594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、
上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、
一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、リフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項２】
上記弾性表面波フィルタのくし型電極部の構造によって決まる波長をλとし、
前記２つの弾性表面波共振子での、リフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離をそれぞれＸλ、Ｙλとしたとき、
（０＋０．５ｎ）λ＜｜Ｘ−Ｙ｜λ≦（０．１８＋０．５ｎ）λ
（ｎ＝０，１，２…）
の関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項３】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、
上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、
一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、リフレクタとくし型電極部とにおけるピッチ比が異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項４】
前記２つの弾性表面波共振子での、リフレクタとくし型電極部とのピッチ比（くし型電極部のピッチ／リフレクタのピッチ）をそれぞれａ、ｂとした場合、
０．９８４≦ａ／ｂ＜１
の関係を満たすことを特徴とする請求項３に記載の弾性表面波装置。
【請求項５】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、
上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、
一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、くし型電極部および／またはリフレクタにおけるｄｕｔｙが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項６】
前記２つの弾性表面波共振子での、くし型電極部および／またはリフレクタのｄｕｔｙをそれぞれｘ、ｙとした場合、
０＜｜ｘ−ｙ｜≦０．０５
の関係を満たすことを特徴とする請求項５に記載の弾性表面波装置。
【請求項７】
圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、
上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、
一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、リフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離、リフレクタとくし型電極部とにおけるピッチ比、およびくし型電極部および／またはリフレクタにおけるｄｕｔｙのうちの少なくとも２つが異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項８】
３つのくし型電極部を有する２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを備えていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項９】
５つのくし型電極部を有する２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを備えていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１０】
３つのくし型電極部を有する１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを備えていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１１】
５つのくし型電極部を有する１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを備えていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１２】
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタのくし型電極部のうち、少なくとも１つが、弾性表面波の伝搬方向に分割されていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の弾性表面波装置。
【請求項１３】
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタのくし型電極部のうち、少なくとも１つが、弾性表面波の交叉幅方向に分割されていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の弾性表面波装置。
【請求項１４】
前記圧電基板が、フェイスダウン工法でパッケージ内に収納されていることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の弾性表面波装置を有することを特徴とする通信装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置、およびそれを有する通信装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の携帯電話機等の通信装置の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実現するための手段として、各構成部品の削減、小型化はもとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。
【０００３】
このような状況を背景に、携帯電話機のＲＦ段に使用する弾性表面波装置に平衡−不平衡変換機能、いわゆるバラン（ｂａｌｕｎ）の機能を付加したものも近年盛んに研究され、ＧＳＭ（Ｇｌｏｂａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ　ｆｏｒ　Ｍｏｂｉｌｅ　ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ）などを中心に使用されるようになってきた。このような平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波装置に関する特許も、いくつか出願されている。
【０００４】
最近、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置において、通過帯域内だけではなく、通過帯域外の同相成分（コモンモード）減衰量を大きくする要求が出てきている。
【０００５】
例えば、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置において、平衡信号端子と弾性表面波フィルタとの間に共振子を付加し、さらに上記共振子における交叉幅と電極指本数を異ならせたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−３１７６４２号公報（公開日１９９９年１１月１６日）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いた平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置においては、特に通過帯域高域側において橋絡容量などによる平衡度の悪化が激しく、この周波数帯においてコモンモード減衰量が小さい（またはコモンモード信号レベルが大きい）という問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、通過帯域高域側のコモンモード減衰量を大きくすることができる弾性表面波装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、リフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離が異なっていることを特徴としている。
【００１０】
また、上記弾性表面波装置は、上記弾性表面波フィルタのくし型電極部の構造によって決まる波長をλとし、前記２つの弾性表面波共振子での、リフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離をそれぞれＸλ、Ｙλとしたとき、
（０＋０．５ｎ）λ＜｜Ｘ−Ｙ｜λ≦（０．１８＋０．５ｎ）λ（ｎ＝０，１，２…）
の関係を満たすことが好ましい。
【００１１】
上記の構成によれば、各弾性表面波フィルタと平衡信号端子との間にそれぞれ弾性表面波共振子を直列に接続し、各弾性表面波共振子にてくし型電極部とリフレクタとにおける最外電極指の中心間距離を異ならせているので、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とにおける振幅および位相特性が異なり、各弾性表面波フィルタにおける通過帯域高域側の平衡度のずれを補正することができる。したがって、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００１２】
本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、リフレクタとくし型電極部とにおけるピッチ比が異なっていることを特徴としている。
【００１３】
また、上記弾性表面波装置は、前記２つの弾性表面波共振子での、リフレクタとくし型電極部とのピッチ比（くし型電極部のピッチ／リフレクタのピッチ）をそれぞれａ、ｂとした場合、
０．９８４≦ａ／ｂ＜１
の関係を満たすことが好ましい。
【００１４】
上記の構成によれば、各弾性表面波フィルタと平衡信号端子との間にそれぞれ弾性表面波共振子を直列に接続し、各弾性表面波共振子にてリフレクタとくし型電極部とにおけるピッチ比を異ならせているので、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とにおける振幅および位相特性が異なり、各弾性表面波フィルタにおける通過帯域高域側の平衡度のずれを補正することができる。したがって、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００１５】
本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、くし型電極部および／またはリフレクタにおけるｄｕｔｙが異なっていることを特徴としている。
【００１６】
また、上記弾性表面波装置は、前記２つの弾性表面波共振子での、くし型電極部および／またはリフレクタのｄｕｔｙをそれぞれｘ、ｙとした場合、
０＜｜ｘ−ｙ｜≦０．０５
の関係を満たすことが好ましい。
【００１７】
上記の構成によれば、各弾性表面波フィルタと平衡信号端子との間にそれぞれ弾性表面波共振子を直列に接続し、各弾性表面波共振子にてリフレクタとくし型電極部とにおけるｄｕｔｙを異ならせているので、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とにおける振幅および位相特性が異なり、各弾性表面波フィルタにおける通過帯域高域側の平衡度のずれを補正することができる。したがって、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００１８】
本発明の他の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、リフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離、リフレクタとくし型電極部とにおけるピッチ比、およびくし型電極部および／またはリフレクタにおけるｄｕｔｙのうちの少なくとも２つが異なっていることを特徴としている。
【００１９】
上記の構成によれば、各弾性表面波フィルタと平衡信号端子との間にそれぞれ弾性表面波共振子を直列に接続し、各弾性表面波共振子にてリフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離、リフレクタとくし型電極部とにおけるピッチ比、およびくし型電極部および／またはリフレクタにおけるｄｕｔｙのうちのいずれか２つ以上を異ならせているので、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とにおける振幅および位相特性が異なり、各弾性表面波フィルタにおける通過帯域高域側の平衡度のずれを補正することができる。したがって、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００２０】
また、上記の弾性表面波装置は、３つもしくは５つのくし型電極部を有する２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを備えていることが好ましい。
【００２１】
また、上記の弾性表面波装置は、３つもしくは５つのくし型電極部を有する１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを備えていることが好ましい。
【００２２】
また、上記の弾性表面波装置は、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタのくし型電極部のうち、少なくとも１つが、弾性表面波の伝搬方向に分割されていてもよい。また、上記の弾性表面波装置は、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタのくし型電極部のうち、少なくとも１つが、弾性表面波の交叉幅方向に分割されていてもよい。
【００２３】
また、上記弾性表面波装置は、前記圧電基板が、フェイスダウン工法でパッケージ内に収納されていてもよい。
【００２４】
本発明の通信装置は、上記課題を解決するために、上記弾性表面波装置のいずれかを有することを特徴としている。上記の構成によれば、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量も大きい弾性表面波装置を有することで、通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量も大きい通信装置を提供することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１ないし図１５に基づいて説明すれば、以下の通りである。本実施の形態では、ＤＣＳ（ｄｉｇｉｔａｌ　ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ　ｓｙｓｔｅｍ）受信用の弾性表面波装置を例にとって説明する。
【００２６】
図１に、本実施の形態にかかる弾性表面波装置１００の要部の構成を示す。上記弾性表面波装置１００は、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２のそれぞれに直列に接続された弾性表面波共振子１０３、１０４を、圧電基板（図示せず）上に、備えている構成である。上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２および弾性表面波共振子１０３、１０４は、Ａｌ電極により形成されている。本実施の形態では、圧電基板として、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板を用いている。そして、上記弾性表面波装置１００には、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２と用いて平衡−不平衡変換機能を持たせている。ここでは、上記弾性表面波装置１００において、不平衡信号端子のインピーダンスが５０Ω、平衡信号端子のインピーダンスが１５０Ωとなっている例を挙げることにする。
【００２７】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１の構成は、複数の電極指を有するくし型電極部（Ｉｎｔｅｒ−Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、以下、ＩＤＴという）１０６を挟みこむようにＩＤＴ１０５、１０７が形成され、その両側にリフレクタ１０８、１０９が形成されている。図１に示すように、互いに隣り合うＩＤＴ１０３とＩＤＴ１０４との間、およびＩＤＴ１０４とＩＤＴ１０５との間の数本の電極指は、ＩＤＴの他の部分よりもピッチが小さくなっている（狭ピッチ電極指部１１８、１１９）。
【００２８】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０２の構成は、ＩＤＴ１１１を挟みこむようにＩＤＴ１１０、１１２が形成され、その両側にリフレクタ１１３、１１４が形成されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１と同様に、ＩＤＴ１１０とＩＤＴ１１１との間、およびＩＤＴ１１１とＩＤＴ１１２との間には、狭ピッチ電極指部１２０、１２１が設けられている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０２のＩＤＴ１１０およびＩＤＴ１１２の向きは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１のＩＤＴ１０５およびＩＤＴ１０７に対して、交叉幅方向に反転させている。これにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０２における入力信号に対する出力信号の位相は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１に対して約１８０°反転されている。
【００２９】
また、本実施の形態においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２のＩＤＴ１０６、１１１が不平衡信号端子１１５に接続されている。さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２のＩＤＴ１０５、１０７およびＩＤＴ１１０、１１２のそれぞれが、弾性表面波共振子１０３、１０４を介して、平衡信号端子１１６、１１７のそれぞれ接続されている。
【００３０】
上記弾性表面波共振子１０３、１０４は、共に同じ構成であり、それそれＩＤＴ１２３、１２６を挟み込むように、リフレクタ１２２、１２５と、リフレクタ１２４、１２７とが形成されている。
【００３１】
次に、本実施の形態におけるパッケージに収納されている弾性表面波装置の断面図を図２に示す。上記弾性表面波装置は、パッケージと弾性表面波フィルタが形成されている圧電基板２０５との導通を、バンプボンディング２０６によって取るフリップチップ工法により作られた構造である。
【００３２】
上記パッケージは２層構造となっており、底板部２０１、側壁部２０２、ダイアタッチ面２０３およびキャップ２０４を備えている。この底板部２０１は例えば長方形状であり、この底板部２０１の四周辺部からそれぞれ側壁部２０２が立設されている。キャップ部２０３は、この各側壁部２０２により形成される開口を覆って塞いでいる。この底板部２０１の上面（内表面）には、圧電基板２０５との導通を取るダイアタッチ部２０４が形成されている。圧電基板２０５とダイアタッチ部２０４は、バンプ２０６によって結合されている。
【００３３】
また、本実施の形態にかかる実施例１の縦結合共振子型弾性表面波装置１００では、弾性表面波共振子１０３におけるリフレクタ１２２、１２４のそれぞれとＩＤＴ１２３との互いに隣り合う電極指の中心間距離Ｘλと、弾性表面波共振子１０４におけるリフレクタ１２５、１２７のそれぞれとＩＤＴ１２６との互いに隣り合う電極指の中心間距離Ｙλとが異なっている。つまり、各弾性表面波共振子１０３、１０４においてＩＤＴとリフレクタとの最外電極指中心間距離が異なっている。上記λは、弾性表面波フィルタのＩＤＴにおける電極指ピッチで決まる波長である。例えば、弾性表面波共振子１０３では、Ｘλ＝０．５７λであり、弾性表面波共振子１０４では、Ｙλ＝０．４３λである。
【００３４】
本実施の形態にかかる実施例１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２の詳細な設計の一例については、以下の通りである。
【００３５】
電極指のピッチを狭くしていない電極指のピッチで決まる波長をλＩとすると、
交叉幅：４１．８λＩ
ＩＤＴ本数：（ＩＤＴ１０５、ＩＤＴ１０６、ＩＤＴ１０７の順）：１８（３）／（３）３３（３）／（３）１８本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数）
リフレクタ本数：６０本（リフレクタ１０８、１０９）、９０本（リフレクタ１１３、１１４）
ｄｕｔｙ：０．７２（ＩＤＴ）、０．５７（リフレクタ）
電極膜厚：０．０９２λＩ
また、上記弾性表面波共振子１０３、１０４の詳細な設計の一例については、以下の通りである。
【００３６】
交叉幅：１６．５λＩ
ＩＤＴ本数：１８０本
リフレクタ本数：１５本
ｄｕｔｙ：０．６０
電極膜厚：０．０９３λＩ
また、実施例１の弾性表面波装置１００に対する比較として、図５に、比較例１の弾性表面波装置１５０を示す。この弾性表面波装置１５０は、上記弾性表面波装置１００において、弾性表面波共振子１０３におけるリフレクタ１２２、１２４のそれぞれとＩＤＴ１２３との互いに隣り合う電極指の中心間距離Ｘλを０．５０λとし、弾性表面波共振子１０４におけるリフレクタ１２５、１２７のそれぞれとＩＤＴ１２６との互いに隣り合う電極指の中心間距離Ｙλを０．５０λとした構成である。その他の設計パラメータは、上記弾性表面波装置１００と同様である。
【００３７】
図３、図４に、実施例１の弾性表面波装置１００における、周波数−伝送特性（周波数−挿入損失特性）、および周波数−コモンモード減衰量特性を示す。また、比較例１の弾性表面波装置１５０における、周波数−伝送特性、および周波数−ＶＳＷＲ特性についても示す。
【００３８】
図４を見ると、実施例１の弾性表面波装置１００では、１８８０〜１９００ＭＨｚ付近のコモンモード減衰量は約２２ｄＢであるのに対し、比較例１の弾性表面波装置１５０では、約２０ｄＢである。つまり、このコモンモード減衰量が約２ｄＢ改善していることがわかる。このとき、コモンモード減衰量などの大きな悪化は見られない。また、図４を見てわかるとおり、通過帯域内の挿入損失の悪化も見られない。このことは、弾性表面波共振子１０３におけるリフレクタ１２２、１２４のそれぞれとＩＤＴ１２３との互いに隣り合う電極指の中心間距離Ｘλと、弾性表面波共振子１０４におけるリフレクタ１２５、１２７のそれぞれとＩＤＴ１２６との互いに隣り合う電極指の中心間距離Ｙλとが異なっているため、弾性表面波共振子１０３と弾性表面波共振子１０４とにおける振幅および位相特性が異なり、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２における通過帯域高域側の平衡度のずれが補正されたことによる効果である。
【００３９】
次に、コモンモード減衰量が改善される範囲を検討した。検討方法は、弾性表面波共振子１０３におけるリフレクタ１２２、１２４のそれぞれとＩＤＴ１２３との互いに隣り合う電極指の中心間距離Ｘλと、弾性表面波共振子１０４におけるリフレクタ１２５、１２７のそれぞれとＩＤＴ１２６との互いに隣り合う電極指の中心間距離Ｙλとを変化させていき、その差に対する１８８０〜１９００ＭＨｚにおけるコモンモード減衰量を調査することにより検討した。その結果を、図６に示す。この図６より、ＸλとＹλとの差が０．１８λまでは、ＸλとＹλとを異ならせない（同じにした）場合よりも大きなコモンモード減衰量を得られることがわかる。つまり、上記弾性表面波装置１００では、（０＋０．５ｎ）λ＜｜Ｘ−Ｙ｜λ≦（０．１８＋０．５ｎ）λ（ｎ＝０，１，２…）であることが好ましいことがわかる。
【００４０】
以上説明したように、実施の形態１では弾性表面波共振子を直列接続した２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波装置において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタと平衡信号端子との間にそれぞれ弾性表面波共振子を直列に接続し、各弾性表面波共振子におけるＩＤＴとリフレクタとの最外電極指中心間距離を異ならせることにより、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００４１】
実施例１では、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを２つ用いる例を示したが、これは、図７に示すように、５つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを２つ用いる構成でもよい。
【００４２】
また、図８〜１０に示すように、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を構成してもよい。さらに、図１１〜１３に示すように、少なくとも１つのＩＤＴを、弾性表面波の伝搬方向、または交叉幅方向に分割した弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を構成してもよい。
【００４３】
上記図７〜１３の構成において、各弾性表面波共振子におけるＩＤＴとリフレクタとの最外電極指中心間距離を異ならせることにより、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００４４】
また、実施例１では図２のように、バンプボンド法を用いるフェイスダウン工法にて、パッケージ２００と圧電基板２０５上の各電極パッドとの導通を取る方法で弾性表面波装置を作製したが、これはワイヤボンド工法であっても問題はない。
【００４５】
また、フェイスダウン工法で作製する構成としては図５の構成に限らず、例えば図１４のように集合基板３０１上に圧電基板３０２をフリップチップ工法で接合し、その上に樹脂３０３覆って封止して、ダイシングにより１パッケージ単位に切断する構成、図１５のように同じく集合基板４０１上に圧電基板４０２をフリップチップ工法で接合し、その上にシート状の樹脂材４０３を覆って封止して、ダイシングにより１パッケージ単位に切断する構成で、弾性表面波装置が作製されていてもよい。
【００４６】
さらに、実施例１では、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３からなる圧電基板を用いたが、効果が得られる原理からもわかるとおり、本発明はこの圧電基板に限らず、例えば６４°〜７２°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３、４１°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３などの圧電基板でも同様な効果が得られる。
【００４７】
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施の形態について図１６ないし図１９に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【００４８】
本実施の形態にかかる実施例２の弾性表面波装置５００は、実施例１の弾性表面波装置１００において、弾性表面波共振子１０３、１０４を弾性表面波共振子５０３、５０４に代えた構成である。上記弾性表面波共振子５０３、５０４は、それぞれＩＤＴ５２３、５２６を挟み込むように、リフレクタ５２２、５２５と、リフレクタ５２４、５２７とが形成されている構成である。この弾性表面波共振子５０３、５０４では、弾性表面波共振子５０３におけるＩＤＴ５２３とリフレクタ５２２、５２４とのピッチ比ａと、弾性表面波共振子５０４におけるＩＤＴ５２６とリフレクタ５２５、５２７とのピッチ比ｂとが異なる構成になっている。なお、上記ピッチ比は、「ＩＤＴピッチ／リフレクタピッチ」で表される。上記弾性表面波共振子５０３、５０４におけるＩＤＴとリフレクタとのピッチ比は、ａ＝０．９９４、ｂ＝１．００６に設定されている。弾性表面波装置５００におけるその他の設計パラメータは、上記比較例１の弾性表面波装置１５０と同じである。
【００４９】
図１７、図１８に、実施例２の弾性表面波装置５００における、周波数−伝送特性（周波数−挿入損失特性）、および周波数−コモンモード減衰量特性を示す。また、比較例１の弾性表面波装置１５０における、周波数−伝送特性、および周波数−ＶＳＷＲ特性についても示す。
【００５０】
図１８を見ると、実施例２の弾性表面波装置５００では、１８８０〜１９００ＭＨｚ付近のコモンモード減衰量は約２０ｄＢであるのに対し、比較例１の弾性表面波装置１５０では、約２２ｄＢである。つまり、このコモンモード減衰量が約２ｄＢ改善していることがわかる。このとき、通過帯域内のコモンモード減衰量などの大きな悪化は見られない。また、図１７を見てわかるとおり、通過帯域内の挿入損失の悪化も見られない。このことは、弾性表面波共振子５０３と弾性表面波共振子５０４とにおいてＩＤＴとリフレクタとのピッチ比を異ならせているため、弾性表面波共振子５０３と弾性表面波共振子５０４とにおける振幅および位相特性が異なり、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２における通過帯域高域側の平衡度のずれが補正されたことによる効果である。
【００５１】
次に、コモンモード減衰量が改善される範囲を検討した。検討方法は、弾性表面波共振子５０３におけるＩＤＴ５２３とリフレクタ５２２、５２４とのピッチ比（ａ）および弾性表面波共振子５０４におけるＩＤＴ５２６とリフレクタ５２４、５２７とのピッチ比（ｂ）を変化させていき、そのピッチ比の比（弾性表面波共振子５０３のピッチ比／弾性表面波共振子５０４のピッチ比（ａ／ｂ））に対する１８８０〜１９００ＭＨｚにおけるコモンモード減衰量を調査することにより検討した。その結果を、図１９に示す。この図１９より、上記ピッチ比の比が約０．９８４までは、上記ピッチ比を異ならせない場合よりも大きなコモンモード減衰量を得られることがわかる。つまり、上記弾性表面波装置５００では、ピッチ比の比が０．９８４≦ａ／ｂ＜１の範囲となることが好ましいことがわかる。
【００５２】
以上説明したように、実施の形態２では弾性表面波共振子を直列に接続した２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波装置において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタと平衡信号端子の間にそれぞれ弾性表面波共振子を直列に接続し、各弾性表面波共振子におけるＩＤＴとリフレクタとのピッチ比を異ならせることにより、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００５３】
実施例２の弾性表面波装置５００では、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを２つ用いる例を示したが、５つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを２つ用いる構成でもよい。また、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を構成してもよい。さらに、少なくとも１つのＩＤＴを、弾性表面波の伝搬方向、または交叉幅方向に分割した弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を構成してもよい。そして、上記の構成において、各弾性表面波共振子におけるＩＤＴとリフレクタとのピッチ比を異ならせることにより、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００５４】
〔実施の形態３〕
本発明の他の実施の形態について図２０ないし図２５に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【００５５】
本実施の形態にかかる実施例３の弾性表面波装置７００は、実施例１の弾性表面波装置１００において、弾性表面波共振子１０３、１０４を弾性表面波共振子７０３、７０４に代えた構成である。上記弾性表面波共振子７０３、７０４は、それぞれＩＤＴ７２３、７２６を挟み込むように、リフレクタ７２２、７２５と、リフレクタ７２４、７２７とが形成されている構成である。この弾性表面波共振子７０３、７０４では、弾性表面波共振子７０３におけるＩＤＴ７２３およびリフレクタ７２２、７２４のｄｕｔｙと、弾性表面波共振子７０４におけるＩＤＴ７２６およびリフレクタ７２５、７２７のｄｕｔｙとが異なる構成になっている。上記弾性表面波共振子７０３、７０４におけるｄｕｔｙは、それぞれ０．６２０、０．５８０に設定されている。弾性表面波装置７００におけるその他の設計パラメータは、上記比較例１の弾性表面波装置１５０と同じである。
【００５６】
図２１、図２２に、実施例３の弾性表面波装置７００における、周波数−伝送特性（周波数−挿入損失特性）、および周波数−コモンモード減衰量特性を示す。また、比較例１の弾性表面波装置１５０における、周波数−伝送特性、および周波数−ＶＳＷＲ特性についても示す。
【００５７】
図２２を見ると、実施例３の弾性表面波装置７００では、１８８０〜１９００ＭＨｚ付近のコモンモード減衰量は約２０ｄＢであるのに対し、比較例１の弾性表面波装置１５０では、約２２ｄＢである。つまり、このコモンモード減衰量が約２ｄＢ改善していることがわかる。このとき、通過帯域内のコモンモード減衰量などの大きな悪化は見られない。また、図２１を見てわかるとおり、通過帯域内の挿入損失の悪化も見られない。このことは、弾性表面波共振子７０３と弾性表面波共振子７０４とにおいてＩＤＴおよびリフレクタのｄｕｔｙを異ならせているため、弾性表面波共振子７０３と弾性表面波共振子７０４とにおける振幅および位相特性が異なり、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１、１０２における通過帯域高域側の平衡度のずれが補正されたことによる効果である。
【００５８】
次に、コモンモード減衰量が改善される範囲を検討した。検討方法は、弾性表面波共振子７０３におけるＩＤＴ７２３およびリフレクタ７２２、７２４のｄｕｔｙ（ｘ）、ならびに弾性表面波共振子７０４におけるＩＤＴ７２６およびリフレクタ７２５、７２７のｄｕｔｙ（ｙ）を変化させていき、それらのｄｕｔｙの差（ｘ−ｙ）に対する１８８０〜１９００ＭＨｚにおけるコモンモード減衰量を調査することにより検討した。その結果を、図２３に示す。この図２３より、ｄｕｔｙの差が約０．０５までは、弾性表面波共振子７０３、７０４のｄｕｔｙを異ならせない場合よりも大きなコモンモード減衰量を得られることがわかる。つまり、上記弾性表面波装置７００では、ｄｕｔｙが０＜｜ｘ−ｙ｜≦０．０５の範囲となることが好ましいことがわかる。
【００５９】
以上説明したように、実施の形態３では弾性表面波共振子を直列に接続した２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を持たせた弾性表面波装置において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタと平衡信号端子の間にそれぞれ弾性表面波共振子を直列に接続し、各弾性表面波共振子におけるＩＤＴおよびリフレクタのｄｕｔｙを異ならせることにより、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００６０】
また、弾性表面波装置７００において、弾性表面波共振子７０３におけるＩＤＴ７２３およびリフレクタ７２２、７２４のｄｕｔｙ、ならびに弾性表面波共振子７０４におけるＩＤＴ７２６およびリフレクタ７２５、７２７のｄｕｔｙ（ｙ）を異ならせるのは、図２４に示すように、弾性表面波共振子のＩＤＴのみ、あるいは、図２５に示すように、弾性表面波共振子のリフレクタのみでもよく、これらの構成においても同様の効果を得ることができる、
実施例３の弾性表面波装置７００では、３つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを２つ用いる例を示したが、５つのＩＤＴを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを２つ用いる構成でもよい。また、１つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を構成してもよい。さらに、少なくとも１つのＩＤＴを、弾性表面波の伝搬方向、または交叉幅方向に分割した弾性表面波フィルタを用いて平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を構成してもよい。そして、上記の構成において、各弾性表面波共振子におけるＩＤＴおよびリフレクタのｄｕｔｙを異ならせることにより、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００６１】
〔実施の形態４〕
本発明の他の実施の形態について図２６に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【００６２】
本実施の形態にかかる実施例４の弾性表面波装置８００は、実施例１の弾性表面波装置１００において、弾性表面波共振子１０３、１０４を弾性表面波共振子８０３、８０４に代えた構成である。上記弾性表面波共振子８０３、８０４は、それぞれＩＤＴ８２３、８２６を挟み込むように、リフレクタ８２２、８２５と、リフレクタ８２４、８２７とが形成されている構成である。
【００６３】
弾性表面波装置８００では、弾性表面波共振子８０３におけるリフレクタ８２２、８２４のそれぞれとＩＤＴ８２３との互いに隣り合う電極指の中心間距離と、弾性表面波共振子８０４におけるリフレクタ８２５、８２７のそれぞれとＩＤＴ８２６との互いに隣り合う電極指の中心間距離とが異なっている。つまり、各弾性表面波共振子８０３、８０４においてＩＤＴとリフレクタとの最外電極指中心間距離が異なっている。さらに、弾性表面波共振子８０３におけるＩＤＴ８２３とリフレクタ８２２、８２４とのピッチ比と、弾性表面波共振子８０４におけるＩＤＴ８２６とリフレクタ８２５、８２７とのピッチ比とが異なる構成になっている。
【００６４】
上記の構成は、実施の形態１と実施の形態２との構成を組み合わせた、つまり、各弾性表面波共振子において、リフレクタとＩＤＴとの最外電極指中心間距離、およびリフレクタとＩＤＴとのピッチ比の比を異ならせた構成となっている。この構成においても、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００６５】
このように、上記実施の形態１〜３において説明した構成、つまり、各弾性表面波共振子において、リフレクタとＩＤＴとの最外電極指中心間距離、リフレクタとＩＤＴとのピッチ比の比、ならびにリフレクタおよびＩＤＴのｄｕｔｙのうちの少なくとも２つを異ならせることによっても、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい、弾性表面波装置が得られる。
【００６６】
次に、上記実施の形態に記載の弾性表面波装置を用いた通信装置について図２７に基づき説明する。上記通信装置６００は、受信を行うレシーバ側（Ｒｘ側）として、アンテナ６０１、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２、アンプ６０３、Ｒｘ段間フィルタ６０４、ミキサ６０５、１ｓｔＩＦフィルタ６０６、ミキサ６０７、２ｎｄＩＦフィルタ６０８、１ｓｔ＋２ｎｄローカルシンセサイザ６１１、ＴＣＸＯ（ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ　ｃｒｙｓｔａｌ　ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ（温度補償型水晶発振器））６１２、デバイダ６１３、ローカルフィルタ６１４を備えて構成されている。
【００６７】
Ｒｘ段間フィルタ６０４からミキサ６０５へは、図２７に二本線で示したように、バランス性を確保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
【００６８】
また、上記通信装置６００は、送信を行うトランシーバ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ６０１及び上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２を共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ６２１、ミキサ６２２、Ｔｘ段間フィルタ６２３、アンプ６２４、カプラ６２５、アイソレータ６２６、ＡＰＣ（ａｕｔｏｍａｔｉｃ　ｐｏｗｅｒ　ｃｏｎｔｒｏｌ　（自動出力制御））６２７を備えて構成されている。
【００６９】
そして、上記のＲｘ段間フィルタ６０４、１ｓｔＩＦフィルタ６０６、ＴｘＩＦフィルタ６２１、Ｔｘ段間フィルタ６２３、アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２には、上述した本実施の形態に記載の弾性表面波装置が好適に利用できる。
【００７０】
本発明にかかる弾性表面波装置は、フィルタ機能と共に不平衡型−平衡型変換機能を備えることができ、その上、通過帯域外の、通過帯域近傍における減衰特性も良好で、特に通過帯域低域側の減衰量が大きく、且つコモンモード減衰量が大きいという優れた特性を有するものである。よって、上記弾性表面波装置を有する本発明の通信装置は、伝送特性を向上できるものとなっている。
【００７１】
【発明の効果】
以上のように、本発明の弾性表面波装置は、圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている少なくとも２つのくし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有するように設けられているとともに、２つの平衡信号端子が弾性表面波フィルタに接続されている弾性表面波装置において、上記２つの平衡信号端子のそれぞれに、リフレクタに挟まれているくし型電極部を備える弾性表面波共振子が、直列に接続されており、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とで、リフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離、リフレクタとくし型電極部とにおけるピッチ比、およびくし型電極部および／またはリフレクタにおけるｄｕｔｙのうちの少なくとも１つが異なっている構成である。
【００７２】
上記の構成によれば、弾性表面波装置において、各弾性表面波フィルタと平衡信号端子との間にそれぞれ弾性表面波共振子を直列に接続し、各弾性表面波共振子にてリフレクタとくし型電極部とで互いに隣り合う電極指における中心間距離、リフレクタとくし型電極部とにおけるピッチ比、およびくし型電極部および／またはリフレクタにおけるｄｕｔｙのうちの少なくとも２つを異ならせているので、一方の弾性表面波共振子と他方の弾性表面波共振子とにおける振幅および位相特性が異なり、弾性表面波フィルタにおける通過帯域高域側の平衡度のずれを補正することができるという効果を奏する。これにより、通過帯域高域側のコモンモード減衰量が大きい弾性表面波装置を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１にかかる実施例１の弾性表面波装置の概略構成図である。
【図２】パッケージに収納されている上記実施例１の弾性表面波装置の要部の断面図である。
【図３】上記実施例１の弾性表面波装置および比較例１の弾性表面波装置における、弾性周波数−伝送特性を示すグラフである。
【図４】上記実施例１の弾性表面波装置および比較例１の弾性表面波装置における、周波数−コモンモード減衰量特性を示すグラフである。
【図５】比較例１の弾性表面波装置の概略構成図である。
【図６】上記実施例１の弾性表面波装置の効果が得られる範囲を調査したグラフである。
【図７】上記弾性表面波装置の他の変形例を示す概略構成図である。
【図８】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図９】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１０】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１１】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１２】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１３】上記弾性表面波装置のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図１４】本実施の形態の弾性表面波装置の一製造プロセスを示す断面図である。
【図１５】本実施の形態の弾性表面波装置の他の製造プロセスを示す断面図である。
【図１６】実施の形態２にかかる実施例２の弾性表面波装置の概略構成図である。
【図１７】上記実施例２の弾性表面波装置および比較例１の弾性表面波装置における、弾性周波数−伝送特性を示すグラフである。
【図１８】上記実施例２の弾性表面波装置および比較例１の弾性表面波装置における、周波数−コモンモード減衰量特性を示すグラフである。
【図１９】上記実施例２の弾性表面波装置の効果が得られる範囲を調査したグラフである。
【図２０】実施の形態３にかかる実施例３の弾性表面波装置の概略構成図である。
【図２１】上記実施例３の弾性表面波装置および比較例１の弾性表面波装置における、弾性周波数−伝送特性を示すグラフである。
【図２２】上記実施例３の弾性表面波装置および比較例１の弾性表面波装置における、周波数−コモンモード減衰量特性を示すグラフである。
【図２３】上記実施例３の弾性表面波装置の効果が得られる範囲を調査したグラフである。
【図２４】上記弾性表面波装置の変形例を示す概略構成図である。
【図２５】上記弾性表面波装置の他の変形例を示す概略構成図である。
【図２６】実施の形態４にかかる実施例４の弾性表面波装置の概略構成図である。
【図２７】上記実施の形態の弾性表面波装置を用いた通信装置の要部ブロック図である。
【符号の説明】
２０１　　縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）
２０２　　縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（弾性表面波フィルタ素子）
２０５、２０６、２０７　　ＩＤＴ（くし型電極部）
２１０、２１１、２１２　　ＩＤＴ（くし型電極部）
２０８、２１３　　リフレクタ
２０９、２１４　　リフレクタ
【図１】
2004112594.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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