(57)【要約】【課題】隣り合っているドライフィルム付き銅張り積層板同士が、接着することがなく、カバーフィルムに覆われなくなってドライフィルムの周辺部に露出したレジスト層が、銅張り積層板から剥がれて、後工程である露光工程において異物となって製品不良を発生させることを防止できるラミネート方法を提供する。【解決手段】ラミネートロールによる熱圧着を終えた後の銅張り積層板５上のドライフィルム１の周辺部１１を、該ドライフィルム１の中央部１２よりも速く冷却すると共に、前記ドライフィルム１の周辺部１１の温度が５０℃以下になる迄冷却することを特徴とするドライフィルムのラミネート方法。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅張り積層板と、カバーフィルム上にレジスト層が形成されていて連続しているドライフィルムとを、ドライフィルムのレジスト層が前記銅張り積層板に接着するように一対の対向するラミネートロールにより熱圧着して、銅張り積層板上にドライフィルムを接着すると共に、切断装置により熱圧着前の段階でドライフィルムを所定寸法に切断するようにしているドライフィルムのラミネート方法において、
ラミネートロールによる熱圧着を終えた後の銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を、該ドライフィルムの中央部よりも速く冷却すると共に、前記ドライフィルムの周辺部の温度が５０℃以下になる迄冷却することを特徴とするドライフィルムのラミネート方法。
【請求項２】
銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、ドライフィルムの周辺部の温度が３５℃以下になる迄冷却することを特徴とする請求項１記載のドライフィルムのラミネート方法。
【請求項３】
銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却する方法が、冷却ノズルから冷風を送って冷却する方法であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のドライフィルムのラミネート方法。
【請求項４】
銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、ラミネートロールにより熱圧着する際の流れ方向にドライフィルムが接着された銅張り積層板を移動させながら、流れ方向と平行している周辺部は、所定スポットに冷風を送風できる冷却ノズルから冷風を送って冷却し、流れ方向と直交している周辺部は、流れ方向と直交するドライフィルムの辺全域に冷風を送風できる冷却ノズルから冷風を送って冷却するようにしていることを特徴とする請求項３記載のドライフィルムのラミネート方法。
【請求項５】
銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、銅張り積層板上のドライフィルムの中心から外側に向かう方向に、冷却ノズルの送風方向を傾けてドライフィルムの周辺部を冷却することを特徴とする請求項３又は請求項４記載のドライフィルムのラミネート方法。
【請求項６】
銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却した後で、カバーフィルムに覆われずに、ドライフィルムの周辺部に露出しているレジスト層を切断して銅張り積層板上から除去することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載のドライフィルムのラミネート方法。
【請求項７】
ドライフィルムの周辺部に露出しているレジスト層を切断して銅張り積層板上から除去する方法が、粘着ロールを用いて除去する方法であることを特徴とする請求項６記載のドライフィルムのラミネート方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線板を製造する際に使用される、銅張り積層板と、カバーフィルム上にレジスト層が形成されていて連続しているドライフィルムとをラミネートするドライフィルムのラミネート方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、プリント配線板を製造するために、銅張り積層板に回路を形成するにあたり、銅張り積層板と、カバーフィルム上にレジスト層が形成されていて連続しているドライフィルムとを、ドライフィルムのレジスト層が前記銅張り積層板に接着するように、一対の対向するラミネートロールにより熱圧着して、銅張り積層板上にドライフィルムを接着することが行われている。その際、熱圧着の前の段階で、切断装置によりドライフィルムを所定長さに切断するのが一般的である。
【０００３】
このようなラミネートロールを用いるラミネート方法の従来例を、図７、図８、図９に基づいて説明する。一般に、ドライフィルム１は、図７に示すように、３層構成になっている。すなわち、カバーフィルム２上に、紫外線によって硬化するレジスト層３が形成され、さらに、このレジスト層３上に保護フィルム４が形成されている。そして、ドライフィルム１から保護フィルム４を連続的に剥すことにより、カバーフィルム２上にレジスト層３が形成された状態になっていて連続しているドライフィルム１と、銅張り積層板５とを、図８に示すように、ドライフィルム１のレジスト層３が銅張り積層板５に接着するように、一対の対向するラミネートロール６、６により熱圧着して、銅張り積層板５上にドライフィルム１を接着する。なお、図８では、接着させた際にドライフィルム１の終端部９が銅張り積層板５内に収まるように、銅張り積層板５とドライフィルムとの熱圧着の前段階で、接着させるドライフィルム１の終端部９を吸着手段（図示せず）で保持して、切断装置（図示せず）によりドライフィルム１を所定寸法に切断するようにしている。
【０００４】
このようにして、ラミネートロール６、６により熱（約１１０℃〜約１４０℃）と圧力を加えながら銅張り積層板５上にドライフィルム１を接着すると、ドライフィルム１が接着された銅張り積層板５は加熱された状態となる。そして、加熱されて高温になっているドライフィルム１付き銅張り積層板５を、図９（ａ）に示すように、Ｌ型ラックと呼ばれる積載台８に積載し、自然冷却して次の露光工程へ送ることが行われている。また、下記の特許文献１では、レジスト層の熱硬化反応が進むのを抑制する目的で、ラミネートロールによる熱圧着を終えた後のドライフィルム付き銅張り積層板を、冷却部で強制的に冷却することが提案されている。
【０００５】
熱圧着工程で高温になったドライフィルム１が接着された銅張り積層板５が冷却されると、図９（ｂ）の部分拡大断面図に示すように、表面のカバーフィルム２が収縮して、カバーフィルム２に覆われなくなったレジスト層３がドライフィルム１の周辺部に露出する。そのため、上記の従来のラミネート方法では、高温になっているドライフィルム１が接着された銅張り積層板５を積載台８に積載して自然冷却した場合、積載時に隣り合っているドライフィルム１付き銅張り積層板５が、高温の状態で露出しているレジスト層３の部分で互いに接着して分離できなくなる場合があり、それらを強制的に分離するための作業が別途必要になることがあった。
【０００６】
また、特許文献１に示されているように、ラミネートロール６、６による熱圧着を終えた後のドライフィルム１付き銅張り積層板５を、冷却部で強制的に冷却し、その後に、積載台に積載するようにすると、積載時には露出しているレジスト層３は冷却されているので、隣り合っているドライフィルム１付き銅張り積層板５が、露出しているレジスト層３の部分で接着する現象は防止されるが、次の問題が未解決であった。すなわち、ラミネートロール６、６による熱圧着を終えた後のドライフィルム１付き銅張り積層板５を、冷却ファン等を備えた冷却部で強制的に冷却した場合、図９（ｂ）に示すような、カバーフィルム２に覆われなくなってドライフィルム１の周辺部に露出したレジスト層３は銅張り積層板５から剥がれ易く、銅張り積層板５から剥離して、分離したチップ（ドライフィルムチップ）が、後工程である露光工程において異物となって製品不良の原因となるという問題が未解決であった。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−１１３６２９号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を改善するために成されたもので、その目的とする所は、ラミネートロールによる熱圧着を終えた後のドライフィルム付き銅張り積層板を、積載台に積載して次工程に送る場合に、積載台に積載した、隣り合っているドライフィルム付き銅張り積層板同士が、接着することがなく、且つ、カバーフィルムに覆われなくなってドライフィルムの周辺部に露出したレジスト層が、銅張り積層板から剥がれて、後工程である露光工程において異物となって製品不良を発生させることを防止できるドライフィルムのラミネート方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ラミネートロールによるドライフィルムの接着を終えた後の銅張り積層板に対する冷却方法を種々検討したところ、熱圧着を終えた後の銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を中央部よりも優先的に速く冷却するようにすると、冷却後にカバーフィルムに覆われなくなってドライフィルムの周辺部に露出するレジスト層が、銅張り積層板から剥がれにくくなることを見出して、本発明に至ったものである。
【００１０】
請求項１に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、銅張り積層板と、カバーフィルム上にレジスト層が形成されていて連続しているドライフィルムとを、ドライフィルムのレジスト層が前記銅張り積層板に接着するように一対の対向するラミネートロールにより熱圧着して、銅張り積層板上にドライフィルムを接着すると共に、切断装置により熱圧着前の段階でドライフィルムを所定寸法に切断するようにしているドライフィルムのラミネート方法において、
ラミネートロールによる熱圧着を終えた後の銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を、該ドライフィルムの中央部よりも速く冷却すると共に、前記ドライフィルムの周辺部の温度が５０℃以下になる迄冷却することを特徴とする。
【００１１】
このようにドライフィルムの周辺部を中央部よりも速く冷却すると、カバーフィルムに覆われなくなってドライフィルムの周辺部（端部）に露出するレジスト層が銅張り積層板から剥がれにくくなる。この理由としては、ドライフィルムの周辺部を中央部よりも速く冷却した場合には、レジスト層の中央部が冷却されて収縮する前に、レジスト層の周辺部の冷却が完了するため、冷却後のレジスト層の周辺部と銅張り積層板との密着性は良好となるが、ドライフィルム全体を平均的に冷却した場合には、レジスト層の周辺部と銅張り積層板との密着性が不十分である高温状態のときに、レジスト層の周辺部にレジスト層全体が収縮する際の収縮力がかかるため、冷却後のレジスト層の周辺部と銅張り積層板との密着性が損なわれて、それら間の密着性が低下するのではないかと考えられる。
【００１２】
請求項２に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項１記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、ドライフィルムの周辺部の温度が３５℃以下になる迄冷却することを特徴とする。
【００１３】
請求項３に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項１又は請求項２記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却する方法が、冷却ノズルから冷風を送って冷却する方法であることを特徴とする。
【００１４】
請求項４に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項３記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、ラミネートロールにより熱圧着する際の流れ方向にドライフィルムが接着された銅張り積層板を移動させながら、流れ方向と平行している周辺部は、所定スポットに冷風を送風できる冷却ノズルから冷風を送って冷却し、流れ方向と直交している周辺部は、流れ方向と直交するドライフィルムの辺全域に冷風を送風できる冷却ノズルから冷風を送って冷却するようにしていることを特徴とする。
【００１５】
請求項５に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項３又は請求項４記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、銅張り積層板上のドライフィルムの中心から外側に向かう方向に、冷却ノズルの送風方向を傾けてドライフィルムの周辺部を冷却することを特徴とする。
【００１６】
請求項６に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項１乃至請求項５の何れかに記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却した後で、カバーフィルムに覆われずに、ドライフィルムの周辺部に露出しているレジスト層を切断して銅張り積層板上から除去することを特徴とする。
【００１７】
請求項７に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項６記載のドライフィルムのラミネート方法において、ドライフィルムの周辺部に露出しているレジスト層を切断して銅張り積層板上から除去する方法が、粘着ロールを用いて除去する方法であることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
まず、本発明に係るドライフィルムのラミネート方法の第１実施形態を説明する。
【００１９】
第１実施形態で使用するドライフィルム１は、図７に示すように、３層構成になっている。すなわち、カバーフィルム２上に、紫外線によって硬化するレジスト層３が形成され、さらに、このレジスト層３上に保護フィルム４が形成されている。そして、ドライフィルム１から保護フィルム４を連続的に剥すことにより、カバーフィルム２上にレジスト層３が形成された状態になっていて連続しているドライフィルム１と、銅張り積層板５とを、図１に示すように、ドライフィルム１のレジスト層３が銅張り積層板５に接着するように、一対の対向するラミネートロール６、６により熱圧着して、銅張り積層板５上にドライフィルム１を接着する。ラミネートロール６、６としては、内蔵するヒータにより、その表面温度を１００℃〜１４０℃の範囲内で所望の温度に調整したものを使用する。なお、図１では、熱圧着後に、銅張り積層板５に接着させるドライフィルム１の終端部９が、銅張り積層板５内に収まるように、熱圧着前の段階で、接着させるドライフィルム１の終端部９を吸着手段（図示せず）で保持して、切断装置（図示せず）によりドライフィルム１を所定寸法に切断するようにしている。
【００２０】
そして、第１実施形態では、ラミネートロール６、６による熱圧着を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５を、図２（ａ）、（ｂ）に示すように金網１０に移し、金網１０の上下に配置している、ドライフィルム１の全周にわたる周辺部１１に選択的に冷風を送ることができる平面視で額縁形状の冷却ノズル１３、１３を用いて、ドライフィルム１の全周にわたる周辺部１１に選択的に冷風を送ることにより、ドライフィルム１の周辺部１１をドライフィルム１の中央部１２よりも速く冷却する。なお、図２（ｂ）では金網１０は省略している。
【００２１】
この第１実施形態では、冷却ノズル１３の送風方向を、銅張り積層板上のドライフィルムの中心から外側に向かう方向にすると、カバーフィルム２に覆われなくなってドライフィルム１の周辺部１１に露出したレジスト層３が、銅張り積層板５から剥がれた場合に、分離したチップ（ドライフィルムチップ）を銅張り積層板５の外方に吹き飛ばすことができ、その結果、銅張り積層板５上に異物として存在するチップを低減することができるので好ましい。
【００２２】
このようにして、熱圧着を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５上にあるドライフィルム１の周辺部１１を、その温度が３５℃になるまで冷却する。冷却後のドライフィルム１が接着された銅張り積層板５の端部の拡大図を図３に示す。図３に示すように、カバーフィルム２が収縮することにより、カバーフィルム２に覆われなくなってドライフィルム１の周辺部１１にレジスト層３が露出した状態となる。その後、ドライフィルム１の周辺部１１の冷却を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５を、従来技術で説明したと同様に、図９に示すＬ型ラックと呼ばれる積載台８に複数枚積載し、必要であればさらにドライフィルム１の中央部１２を自然冷却して次の露光工程へ送る。なお、第１実施形態では、ドライフィルム１の周辺部１１を冷却して到達させる温度を３５℃としたが、本発明では、露出したレジスト層３同士が接着しない温度である５０℃以下まで冷却すればよい。そして、３５℃以下まで冷却することが、露出したレジスト層３同士の接着がより確実に防止されるので好ましい。。
【００２３】
この第１実施形態では、ドライフィルム１の周辺部１１を３５℃になるまで冷却してから積載台８に積載するようにしている。そのため、ラミネートロール６による熱圧着を終えた後のドライフィルム１付き銅張り積層板５を、積載台８に積載して次工程に送る場合に、積載台８に積載した、隣り合っっているドライフィルム１付き銅張り積層板５同士が、接着することがない。また、ドライフィルム１の周辺部１１に選択的に冷風を送ることができる冷却ノズル１３を用いて、ドライフィルム１の周辺部１１に選択的に冷風を送ることにより、ドライフィルム１の周辺部１１をドライフィルム１の中央部１２よりも速く冷却するようにしている。そのため、全体を均一な速さで冷却する場合に比べて、カバーフィルム２に覆われなくなってドライフィルム１の周辺部（端部）１１に露出したレジスト層３と銅張積層板５との密着性が向上し、カバーフィルム２に覆われなくなってドライフィルム１の周辺部１１に露出したレジスト層３が、銅張り積層板５から剥がれにくくなる。従って、第１実施形態のラミネート方法によれば、銅張り積層板５から分離したチップ（ドライフィルムチップ）が、後工程である露光工程において異物となって製品不良を発生させる現象を削減することができる。
【００２４】
次に、本発明に係るドライフィルムのラミネート方法の第２実施形態を説明する。
【００２５】
第２実施形態は、ラミネートロール６による熱圧着を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５を冷却する方法が、第１実施形態と異なる。そして、それ以外については第１実施形態と同様である。そこで、第１実施形態と異なる、ラミネートロール６、６による熱圧着を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５を冷却する方法について以下に説明し、その他の説明は省略する。
【００２６】
第２実施形態は、図４に示すように、ラミネートロール６、６による熱圧着を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５を、ラミネートロール６、６により熱圧着する際の流れ方向Ｄ（矢印の方向）に搬送ロール７によって移動させながら冷却する。そして、銅張り積層板５上にある、流れ方向Ｄと平行しているドライフィルム１の周辺部１１Ａは、所定スポットに冷風を送風できる冷却ノズル１３Ａから冷風を送って５０℃以下になる迄（好ましくは３５℃以下になる迄）冷却し、銅張り積層板５上にある、流れ方向Ｄと直交しているドライフィルム１の周辺部１１Ｂは、流れ方向Ｄと直交するドライフィルム１の辺１４全域に冷風を送風できる冷却ノズル１３Ｂから冷風を送って５０℃以下になる迄（好ましくは３５℃以下になる迄）冷却するようにしている。所定スポットに冷風を送風できる冷却ノズル１３Ａは設置位置を固定していて、ドライフィルム１付き銅張り積層板５が搬送ロール７によって移動することにより、流れ方向Ｄと平行しているドライフィルム１の周辺部１１Ａを冷却ノズル１３Ａからの冷風で冷却する。
【００２７】
そして、第２実施形態では、ドライフィルム１付き銅張り積層板５の前方側に位置する流れ方向Ｄと直交しているドライフィルム１の周辺部１１Ｂと、後方側に位置する流れ方向Ｄと直交しているドライフィルム１の周辺部１１Ｂとを、異なる冷却ノズル１３Ｂで冷却している。各冷却ノズル１３Ｂは流れ方向Ｄと平行する方向に移動可能としていて、ドライフィルム１付き銅張り積層板５の移動に伴って移動しながら冷風を送風するようにしている。
【００２８】
このように、第２実施形態では、ラミネートロール６、６による熱圧着を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５を、ラミネートロール６、６により熱圧着する際の流れ方向Ｄ（矢印の方向）に搬送ロール７によって移動させながら冷却するので、ドライフィルム１付き銅張り積層板５の位置を移し変える作業が軽減される。また、ドライフィルム１の周辺部１１Ａ，１１Ｂを、ドライフィルム１の中央部１２よりも速く冷却することにより、全体を均一な速さで冷却する場合に比べて、カバーフィルム２に覆われなくなってドライフィルム１の周辺部１１Ａ、１１Ｂに露出したレジスト層３と銅張積層板５との密着性が向上するため、カバーフィルム２に覆われなくなってドライフィルム１の周辺部１１Ａ、１１Ｂに露出したレジスト層３が、銅張り積層板５から剥がれにくくなり、その結果、銅張り積層板５から分離したチップ（ドライフィルムチップ）が、後工程である露光工程において異物となって製品不良を発生させる現象を削減することができることは第１実施形態と同様である。
【００２９】
また、第２実施形態では、冷却ノズル１３Ａ、１３Ｂの送風方向を、銅張り積層板５上のドライフィルム１の中心から外側に向かう方向にすると、カバーフィルム２に覆われなくなってドライフィルム１の周辺部１１Ａ、１１Ｂに露出したレジスト層３が、銅張り積層板５から剥がれた場合に、分離したチップ（ドライフィルムチップ）を銅張り積層板５の外方に吹き飛ばすことができ、銅張り積層板５上にチップが異物として存在することを防止できるので好ましい。
【００３０】
次に、本発明に係るドライフィルムのラミネート方法の第３実施形態を説明する。
【００３１】
第３実施形態は、ラミネートロール６、６による熱圧着を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５を第１実施形態と同様にして冷却した後であって、積載台８に積載する前の段階で、カバーフィルム２に覆われずに、ドライフィルム１の周辺部１１に露出しているレジスト層３を切断して銅張り積層板５上から除去するようにしている。この点以外は第１実施形態と同様の方法である。そこで、以下に第１実施形態と異なる点についてのみ説明する。
【００３２】
第３実施形態では、ラミネートロール６による熱圧着を終えたドライフィルム１付き銅張り積層板５を、第１実施形態と同様にして冷却した後で、図５に示すように、カバーフィルム２に覆われずに、ドライフィルム１の周辺部１１に露出しているレジスト層３をカッター１５を用いて切断する。カッター１５は上下に移動可能な回転刃であり、カバーフィルム２の端部に位置を合せてドライフィルム１の４辺全ての周辺部１１に露出しているレジスト層３を切断する。そして切断後にドライフィルム１の周辺部１１に露出しているレジスト層３を、図６に示すように、回転式の粘着ロール１６を用いて銅張り積層板５から剥して、銅張り積層板５上から除去する。なお、第３実施形態では、粘着ロール１６を用いずに、ドライフィルム１の周辺部１１に圧縮空気を吹付けてドライフィルム１の周辺部１１に露出しているレジスト層３を除去するようにしてもよいし、それらを組み合せて除去するようにしてもよい。
【００３３】
第３実施形態では、カバーフィルム２に覆われずに、ドライフィルム１の周辺部１１に露出しているレジスト層３を切断して銅張り積層板５上から除去するようにしているので、銅張り積層板５から剥離して分離したチップ（ドライフィルムチップ）が銅張り積層板５上に残ることが防止される。そのため、後工程である露光工程においてチップ（ドライフィルムチップ）が異物となって製品不良を発生させる現象をより削減することができる。
【００３４】
【発明の効果】
請求項１に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、銅張り積層板と、カバーフィルム上にレジスト層が形成されていて連続しているドライフィルムとを、ドライフィルムのレジスト層が前記銅張り積層板に接着するように一対の対向するラミネートロールにより熱圧着して、銅張り積層板上にドライフィルムを接着すると共に、切断装置により熱圧着前の段階でドライフィルムを所定寸法に切断するようにしているドライフィルムのラミネート方法において、ラミネートロールによる熱圧着を終えた後の銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を、該ドライフィルムの中央部よりも速く冷却すると共に、前記ドライフィルムの周辺部の温度が５０℃以下になる迄冷却するようにしているので、請求項１に係る発明のドライフィルムのラミネート方法によれば、ラミネートロールによる熱圧着を終えた後のドライフィルム付き銅張り積層板を、積載台に積載して次工程に送る場合に、積載台に積載した、隣り合っているドライフィルム付き銅張り積層板同士が、接着することがなく、且つ、カバーフィルムに覆われなくなってドライフィルムの周辺部に露出したレジスト層が、銅張り積層板から剥がれて、後工程である露光工程において異物となって製品不良を発生させることを防止することができる。
【００３５】
請求項２に係る発明のドライフィルムのラミネート方法では、請求項１記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、ドライフィルムの周辺部の温度が３５℃以下になる迄冷却するので、請求項２に係る発明のドライフィルムのラミネート方法によれば、請求項１記載の発明の効果を奏すると共に、積載台に積載した、隣り合っているドライフィルム付き銅張り積層板同士が、接着することをより確実に防止できるという効果を奏する。
【００３６】
請求項３に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項１又は請求項２記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却する方法が、冷却ノズルから冷風を送って冷却する方法であるので、請求項１記載の発明の効果を奏すると共に、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を選択的に冷却することが容易にできるという効果を奏する。
【００３７】
請求項４に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項３記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、ラミネートロールにより熱圧着する際の流れ方向にドライフィルムが接着された銅張り積層板を移動させながら、流れ方向と平行している周辺部は、所定スポットに冷風を送風できる冷却ノズルから冷風を送って冷却し、流れ方向と直交している周辺部は、流れ方向と直交するドライフィルムの辺全域に冷風を送風できる冷却ノズルから冷風を送って冷却するようにしているので、請求項３記載の発明の効果を奏すると共に、冷却するに際して、ドライフィルム付き銅張り積層板の位置を移し変える作業が軽減されるという効果を奏する。
【００３８】
請求項５に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項３又は請求項４記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却するに際して、銅張り積層板上のドライフィルムの中心から外側に向かう方向に、冷却ノズルの送風方向を傾けてドライフィルムの周辺部を冷却するので、カバーフィルムに覆われなくなってドライフィルムの周辺部に露出したレジスト層が、銅張り積層板から剥がれて分離したチップ（ドライフィルムチップ）を銅張り積層板の外方に吹き飛ばして、銅張り積層板上に異物として存在するチップを低減することができる。
【００３９】
請求項６及び請求項７に係る発明のドライフィルムのラミネート方法は、請求項１乃至請求項５の何れかに記載のドライフィルムのラミネート方法において、銅張り積層板上のドライフィルムの周辺部を冷却した後で、カバーフィルムに覆われずに、ドライフィルムの周辺部に露出しているレジスト層を切断して銅張り積層板上から除去するので、請求項１記載の発明の効果を奏すると共に、後工程である露光工程においてチップ（ドライフィルムチップ）が異物となって製品不良を発生させる現象をより削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態における熱圧着工程を説明するための概略側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態における冷却工程を説明する図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態における冷却後のドライフィルム付き銅張り積層板を示す部分拡大断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態を説明するための概略平面図である。
【図５】本発明の第３実施形態を説明するための概略部分断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態における露出しているレジスト層の除去工程を説明するための概略側面図である。
【図７】ドライフィルムの構造を示す断面図である。
【図８】従来技術における熱圧着工程を説明するための概略側面図である。
【図９】従来技術及び本発明の第１実施形態における積載状況を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）はＥ部の拡大断面図である。
【符号の説明】
１  ドライフィルム
２  カバーフィルム
３  レジスト層
４  保護フィルム
５  銅張り積層板
６  導体回路
７  絶縁基板
１  ドライフィルム
２  カバーフィルム
３  レジスト層
４  保護フィルム
５  銅張り積層板
６  ラミネートロール
７  搬送ロール
８  積載台
９  終端部
１０  金網
１１、１１Ａ、１１Ｂ  周辺部
１２  中央部
１３、１３Ａ、１３Ｂ  冷却ノズル
１４  辺
１５  カッター
１６  粘着ロール
【図１】
2004200425.tif 000003
【図２】
2004200425.tif 000004
【図３】
2004200425.tif 000005
【図４】
2004200425.tif 000006
【図５】
2004200425.tif 000007
【図６】
2004200425.tif 000008
【図７】
2004200425.tif 000009
【図８】
2004200425.tif 000010
【図９】
2004200425.tif 000011