(57)【要約】【課題】  流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填するとともに、その軸受間隙の充填を再現可能な方法により実施できるようにする。【解決手段】  潤滑剤液滴が定量的に発生させられ、潤滑剤を充填すべき軸受の特定領域に潤滑剤液滴が注入され、さらに潤滑剤液滴がカウントされる、流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填する方法が提案される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
潤滑剤液滴が定量的に発生させられ、潤滑剤を充填すべき軸受の所定領域に前記潤滑剤液滴が注入され、さらに前記潤滑剤液滴がカウントされることを特徴とする、流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填する方法。
【請求項２】
前記軸受間隙の充填度は、前記潤滑剤液滴のカウントを介して検知されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記潤滑剤液滴の発生は、注入領域から離隔した箇所において行われることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
潤滑剤液滴発生器からの前記潤滑剤液滴は、注入領域内に向けられることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
注入領域から潤滑剤源への還流接続部が備えられていないことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
所定液滴量の前記潤滑剤液滴が発生させられることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記潤滑剤液滴は、光学的にカウントされることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
発生させられた前記潤滑剤液滴の数がカウントされることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
潤滑剤液滴発生器によって発生させられた前記潤滑剤液滴の数は、液滴発生部を介して検知されることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記潤滑剤を充填すべき前記軸受の注入領域に達する前記潤滑剤液滴の数がカウントされることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
測定区間を通過する前記潤滑剤液滴がカウントされることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記測定区間は、前記潤滑剤液滴の進行方向に直角に配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記測定区間は、送信器−受信器システムを介して特定されることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の方法。
【請求項１４】
潤滑剤液滴発生と潤滑剤液滴カウントとが互いに関連付けられることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
潤滑剤液滴発生器と潤滑剤液滴用計数装置とが互いに結合されていることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
潤滑剤を充填すべき軸受の注入領域は、自動的に検知されることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
前記注入領域は、光学的方式によって検知されることを特徴とする請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記注入領域は、画像処理によって検知されることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の方法。
【請求項１９】
潤滑剤液滴発生器と潤滑剤を充填すべき軸受の注入領域とが互いに相対的に自動的に整列させられ、かつ、位置決めされることを特徴とする請求項１乃至１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
特定量の潤滑剤液滴を発生する潤滑剤液滴発生器（２４）と、潤滑剤を充填すべき軸受（１４）の特定領域（２６）に前記潤滑剤液滴を注入し得る潤滑剤液滴用の注入装置（２２）と、前記潤滑剤液滴をカウントする計数装置（５０）とを備えている、流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填する装置。
【請求項２１】
前記特定量の前記潤滑剤液滴は、前記潤滑剤液滴発生器（２４）を介して発生可能であることを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
前記注入装置（２２）は、ノズル（３８）を備えていることを特徴とする請求項２０又は２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記注入装置（２２）と潤滑剤を充填すべき前記軸受（１４）とが互いに相対的に自動的に位置決めされることを特徴とする請求項２０乃至２２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２４】
潤滑剤を充填すべき前記軸受（１４）の注入領域（２６）を検知し得るカメラ（６４）が設けられていることを特徴とする請求項２０乃至２２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２５】
前記計数装置（５０）は、検知された前記潤滑剤液滴の数を検知することができるように配置され、かつ、構成されていることを特徴とする請求項２０乃至２４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２６】
前記計数装置（５０）は、前記潤滑剤液滴発生器（２４）に結合されていることを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
前記計数装置（５０）は、潤滑剤を充填すべき前記軸受（１４）の注入領域（２６）に達する前記潤滑剤液滴の数を検知し得るように配置され、かつ、構成されていることを特徴とする請求項２０乃至２６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２８】
測定区間（５４）を通過する前記潤滑剤液滴の数を検知し得る光学装置（５６）が設けられていることを特徴とする請求項２０乃至２７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２９】
前記潤滑剤液滴発生器（２４）による潤滑剤液滴発生と前記光学装置（５６）によるカウントとが関連付けられていることを特徴とする請求項２８に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体軸受とも称される流体動圧軸受は、例えばハードディスクドライブにおけるような高精密スピンドルモータの回転支持のために用いられる。流体動圧軸受は、玉軸受に比較して非常に優れた耐衝撃性（ロバスト性）の下で高回転精度を有し、しかも円滑な動作をする。この流体動圧軸受は、定格速度での運転中、互いに相対的に回転する軸受部分間の固体摩耗を伴う直接接触が無いので、ほとんど無騒音かつ摩耗無しに動作する。その場合、軸と軸マウント（軸受スリーブ）との間には、例えば潤滑油の薄い潤滑剤膜が存在する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の課題は、流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填するとともに、その軸受間隙の充填を再現可能な方法により実施できる方法及び装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この課題は、冒頭に述べた方法において、本発明により、潤滑剤液滴が定量的に発生させられ、潤滑剤を充填すべき軸受の特定領域に潤滑剤液滴が注入され、さらに潤滑剤液滴がカウントされることによって解決される。
【０００５】
本発明に係る解決策によれば、軸受間隙の充填に関して再現性を達成することができる。というのは、充填量が極めて厳密な限界値（即ち、液滴精度）内に調整可能だからである。充填量は高い再現性を以て調整可能であり、その場合、充填過程を簡単な方法により監視し記録することができる。本発明に係る充填方法は、単一の装置により実施することができるため、必要空間も最小限に抑制することができる。
【０００６】
本発明に係る方法によれば、軸受間隙の充填度をいつでも検知可能である。なぜならば、潤滑剤液滴が定量的に発生させられ、潤滑剤を充填すべき軸受の特定領域に注入され、同時に液滴の数がカウントされるからである。その場合、軸受間隙内の潤滑剤量は間接的に検知され、充填度を検知するために軸受間隙での測定を実施することは不要である。それにより、本発明に係る方法は、小さな流体動圧直径を有する軸受間隙への充填用にも、カバープレートによって封止される軸受間隙の充填用にも適している。従って、例えば光学的方法によって軸受間隙の監視を行う必要がなくなる。
【０００７】
本発明に係る方法は、真空条件下でも大気条件下でも実施することができる。
【０００８】
特に好ましくは、軸受間隙の充填度が潤滑剤液滴のカウントを介して検知されるのがよい。潤滑剤液滴の定量的な発生により、潤滑剤液滴量は、比較的わずかな変動幅でしか変化しない。その場合、発生させられる、又は、充填すべき軸受の特定領域に達する潤滑剤液滴のカウントによって、充填すべき軸受間隙に注入される潤滑剤の量をいつでも検知することができ、つまりは充填度を検知することができる。その場合、充填度の検知を介して充填量を所定量に調節することもできる。
【０００９】
好ましくは、潤滑剤液滴の発生は、注入領域から離隔した箇所において行われる。そうすることによって、潤滑剤液滴を注入領域に適切に向け、その領域にいわば「閉じこめる」ことができる。その場合、潤滑剤液滴とは特定領域しか接触しないようにすることができる。この場合、注入領域から例えば潤滑剤源への潤滑剤の還流が行われないので、潤滑剤源内での潤滑剤の汚染を回避することができる。
【００１０】
潤滑剤液滴発生器からの潤滑剤液滴は、特に注入領域内に向けられる。その場合、潤滑剤液滴は、特定の方向に特に特定の速度で放出される。そうすることによって、潤滑剤が充填すべき軸受の特定の注入領域内にしか達せず、従って、潤滑剤との混交を確実に回避することができるように保証することができる。
【００１１】
特に注入領域から潤滑剤源への還流接続部を備えていないので、還流接続部の存在時に行われ得る潤滑剤源の汚染を根本的に回避することができる。
【００１２】
好ましくは、所定の液滴量の潤滑剤液滴が発生させられる。潤滑剤液滴が中心液滴量の周辺に小さなばらつき幅を以て発生させられれば、注入領域に達する潤滑剤液滴のカウントを介して軸受間隙内に注入される潤滑剤の量をいつでも決定することができる。その場合、特に所定の満杯量が達せられたら充填過程を終了させることができる。軸受間隙は、所定の充填量にまで高い再現性を以て充填することができ、その場合、充填過程を同時に監視及び記録することができる。
【００１３】
潤滑剤液滴は、光学的に、例えば光学装置を介してカウントすることができる。
【００１４】
好ましくは、発生させられた潤滑剤液滴の数がカウントされる。発生させられた潤滑剤液滴のほぼ全数が注入領域に達するように保証されれば、それは軸受間隙内に注入される潤滑剤液滴量を示す指標となる。
【００１５】
その場合、発生させられた潤滑剤液滴の数が潤滑剤液滴発生器から離隔した箇所において検知されるようにすることができる。その場合、対応する測定装置が潤滑剤液滴発生器のノズルの前に配置される。しかし、潤滑剤液滴発生器によって発生させられた潤滑剤液滴の数を、代替的に又は付加的に、液滴発生部を介して検知することも可能である。潤滑剤液滴発生は、例えば圧電アクチュエータを介して電気パルスによってトリガされる。潤滑剤液滴発生をトリガする電気パルスをカウントすることにより、発生させられた潤滑剤液滴量の直接測定が可能である。それにより、発生させられた潤滑剤液滴の数を電子技術によって検知することができる。
【００１６】
潤滑剤を充填すべき軸受の注入領域に達する潤滑剤液滴の数をカウントすることも、代替的に又は付加的に可能である。そのために、例えば注入領域の近くに光学装置が配置される。それによって、注入領域に達する潤滑剤液滴の数を極めて直接的に検知することができる。それにより、軸受間隙内に注入された潤滑剤液滴量の直接測定量を得ることができる。
【００１７】
測定区間を通過するのと同じ潤滑剤液滴をカウントすれば、潤滑剤液滴のカウントを容易に達成することができる。測定区間を介して、潤滑剤液滴通過について監視される特定の空間領域が固定される。
【００１８】
測定区間は、特に潤滑剤液滴の進行方向に直角に配置される。それにより、潤滑剤液滴の通過に関して比較的大きな空間領域の監視が可能になる。
【００１９】
測定区間は、例えば、送信器−受信器システムを介して特定される。好ましくは、送信器は光源であり、受信器は光検出器である。その場合、潤滑剤液滴が測定区間を通過すると受信信号が変化し、その信号変化が潤滑剤液滴に対する検出信号となる。
【００２０】
潤滑剤液滴発生と潤滑剤液滴カウントとが互いに関連付けられるようにすることができる。それにより、潤滑剤液滴カウントにおけるカウント精度を向上させることができる。
【００２１】
特に、潤滑剤液滴発生器と潤滑剤液滴用計数装置とは互いに結合される。潤滑剤液滴発生をトリガする電気信号の特徴は、計数装置にも伝達される。この特徴において、特にパルス列が問題になり、規則的な信号では頻度が問題になる。発生させられた液滴の量に対する測定量であり得る信号の大きさも伝達される。その場合、軸受間隙の容量的な充填度は、計数装置を介して簡単にいつでも決定することができる。
【００２２】
本発明によれば、潤滑剤を充填すべき軸受の注入領域を自動的に検知することもできる。その場合、充填すべき軸受、特にその注入領域と潤滑剤液滴発生器との間の相対的な配置が自動的に実施され、それにより、ユーザの関与が不要になるようにすることができる。それにより、放出された液滴を注入領域へと特定の方向に向けることができる。
【００２３】
特に、注入領域は、光学的方式によって検知される。その場合、例えば、潤滑剤を充填すべき軸受の注入領域にディジタルカメラを向けて、対応する信号を制御装置に送出する。制御装置は、注入領域及び潤滑剤液滴発生器が上下に整列させられるように、潤滑剤を充填すべき軸受を位置決めする。特に、注入領域は、画像処理によって検知される。
【００２４】
特に、潤滑剤液滴発生器と潤滑剤を充填すべき軸受の注入領域とは、互いに相対的に自動的に整列させられ、かつ、位置決めされる。
【００２５】
先に述べた課題は、流体動圧軸受の軸受間隙を潤滑剤により充填する装置において、特定量の潤滑剤液滴を発生する潤滑剤液滴発生器と、潤滑剤を充填すべき軸受の特定領域に潤滑剤液滴を注入し得る潤滑剤液滴用の注入装置と、潤滑剤液滴をカウントする計数装置とを備えることによって達成される。
【００２６】
この装置は、本発明に係る方法を実施するのに適しているものである。それは、本発明に係る方法に関連して既に述べた利点を備えているものである。
【００２７】
本発明に係る装置の他の好ましい構成は、本発明に係る方法に関連して既に述べたものに準ずる。
【００２８】
特に、注入装置はノズルを含み、そのノズルを介して潤滑剤液滴を特定の方向に向けて放出させるのがよい。
【００２９】
好ましくは、計数装置は、測定区間を通過する潤滑剤液滴の数を検知し得る光学装置を含むものとする。光学装置を介して測定区間を送信器及び受信器によって特定することができ、その測定区間の潤滑剤液滴の通過を容易に検出することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填するとともに、その軸受間隙の充填を再現可能な方法により実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
次に、図面に示す実施の形態を参照して本発明をさらに詳細に説明する。
【００３２】
流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填する本発明に係る装置の実施の一形態が、図１に全体として符号１０により示されている。この装置１０はホルダ１２を備えており、潤滑剤を充填すべき軸受１４がホルダ１２に固定される。ホルダ１２では、例えば水平面内において変位（符号１６により示されている）したり、垂直平面内において変位（符号１８により示されている）したりする滑動が問題となり得る。もちろんホルダ１２は、軸心２０を中心として回転することができる。
【００３３】
ホルダ１２の対応する制御動作を介して、潤滑剤を充填すべき軸受１４を潤滑剤液滴用注入装置２２に対して相対的に位置決めすることができる。注入装置２２は、潤滑剤液滴発生器２４を含んでいる。この潤滑剤液滴発生器２４によって、潤滑剤を充填すべき軸受１４の特定領域２６（図３参照）に潤滑剤液滴を注入することができる。
【００３４】
この領域２６への注入によって軸３０と軸マウント（軸受スリーブ）３２との間の軸受間隙２８に潤滑剤が充填される。
【００３５】
例えば、軸受１４は、軸受１４をホルダ１２に位置決めする側面３４に対向する軸マウント３２の側面を介して充填される。軸マウント３２は、側面３４においてスラストプレート３５を介して閉鎖される。
【００３６】
潤滑剤液滴発生器２４（液滴配量器）は、例えば図２に示すように、ノズル３８を有する配量ヘッド３６を含む。この配量ヘッド３６によって、潤滑剤を充填すべき軸受１４の領域２６に適切な潤滑剤液滴を正しく向けることができる。
【００３７】
配量ヘッド３６の実施の一形態においては、ハウジング４２内に配置された圧電アクチュエータ４０が設けられる。圧電アクチュエータ４０は、導管４４を介して潤滑剤源（図示省略）に連通している。
【００３８】
ノズル３８は毛細管４６に付設されるか、毛細管４６と一体に形成される。毛細管４６には、潤滑剤が集まって流体柱が形成される。圧電アクチュエータ４０が不動作であれば、ノズル３８から流体が排出されることはない。
【００３９】
圧電アクチュエータ４０が動作すると、潤滑剤の流体柱は機械的パルスを受け、流体を加速させる。それによって、流体柱のノズル側端部において、個々の液滴を表面張力に抗して断截し、液滴が配量ヘッド３６から離反する。
【００４０】
潤滑剤液滴発生を促進させるために、ノズル加熱部４８を設け、加熱によって潤滑剤の粘度を低下させることができる。
【００４１】
圧電アクチュエータ４０を介して所定量の潤滑剤液滴を発生させることができる。液滴の形成は、他の領域にも影響を及ぼすことができる。その場合、液滴量（容量制御）及び時間的・場所的な液滴注入に関して、液滴形成の制御が可能である。放出された潤滑剤液滴は、所望の注入領域内において高い再現性を以て、充填すべき軸受１４に滴下させて、軸受間隙２８の適切な充填過程を可能とすることができる。
【００４２】
特に、所定容量の潤滑剤液滴を高度の再現性を以て発生させることができる。
【００４３】
本発明によれば、発生させられた潤滑剤液滴をカウントするために計数装置５０が設けられる。潤滑剤を充填すべき軸受１４の注入領域２６内に達する潤滑剤液滴のカウントによって、充填過程の間、いつでも軸受間隙２８の充填度を高精度に検知することができる。その場合、充填度は間接的に検知される。即ち、既知の液滴量の下での液滴数のカウントを介して検知される。そうすることによって、充填度を検知するのに軸受間隙２８において直接測定を行う必要が無くなる。そのため、本発明に係る方法は、非常に狭い軸受間隙（ハードディスクドライブ用モータに適用されるように、数マイクロメータの範囲にある、流体動圧軸受における間隙幅）を充填するのにも適している。その場合、軸受間隙２８の充填中、カバープレート５２によって閉鎖される場合でも充填度の検知が可能である（図３）。
【００４４】
本発明によれば、発生させられた潤滑剤液滴数をカウントする計数装置が設けられる。このような計数装置は、例えばノズル３８の出口近くに配置される測定区間５４を備えている。測定区間５４を通過した潤滑剤液滴がカウントされる。そのため、特に、送信器５８及び受信器６０を含む光学装置５６が設けられる。送信器５８は、潤滑剤液滴に向けて光ビームを投射し、潤滑剤液滴の通路を通過した光ビームが受信器６０によって受信される。送信器５８及び受信器６０の間の光ビームが測定区間５４を特定する。
【００４５】
潤滑剤液滴が光ビームを通過した場合、受信器６０によって受信される信号が変化する。この信号変化が液滴の進行を指示する。
【００４６】
測定区間５４を通過する潤滑剤液滴の進行方向は、測定区間５４に対して直角である。
【００４７】
光学装置５６の送信器５８及び受信器６０は、適切な直径範囲の潤滑剤液滴が検知可能であるように構成される。ハードディスクドライブにおけるスピンドルモータの回転支持のために設けられる流体動圧軸受の充填用の典型的な液滴直径は、５０μｍ乃至１５０μｍの範囲内にある。典型的な潤滑剤は、エステル油である。本発明に係る方法においては、中心直径の周りにわずかなばらつき幅を有する所定直径の潤滑剤液滴が発生させられる。
【００４８】
代替的に又は付加的に、注入領域２６の近傍に測定区間を設定することができる。再び送信器と受信器との間に形成されるその測定区間を介して、注入領域２６に達する潤滑剤液滴がカウントされ得る。
【００４９】
間隔をおいて複数の測定区間を設け、それらを介して複数の液滴位置において液滴のカウントを行うことができる。放出された潤滑剤液滴の数を検知するために、特にノズルの出口近傍に測定区間を設けることができる。また、この領域に到達した潤滑剤液滴の数を特定するために、注入領域２６の近傍に配置された他の測定区間を設けることができる。
【００５０】
潤滑剤液滴は、潤滑剤液滴発生器２４により所定頻度、例えば４０００Ｈｚ程度で発生させられる。その場合、代替的に又は付加的に、発生させられた潤滑剤液滴の数を、圧電アクチュエータ４０の制御回路６２を介して直接検知することも考えられる。制御回路６２による圧電アクチュエータ４０の動作は、潤滑剤液滴の発生頻度に対応し、そのため、制御回路６２のパルス数は、潤滑剤液滴発生に関する液滴の滴下数をも意味することになる。
【００５１】
その場合、計数装置５０を介して受信器６０の受信信号と潤滑剤液滴発生との間に関連付けを実施することもできる。それによって、対応する測定区間５４を横切る潤滑剤液滴をより良く検出することができる。なぜなら、測定区間５４の通過は、いわば受信器６０に対する予告となるものだからである。
【００５２】
配量ヘッド３６に対する軸受１４を有するホルダ１２の相対的な自動位置決めを可能とするディジタルカメラ６４を設けることもできる。このカメラ６４は、潤滑剤を充填すべき軸受１４に対して位置合わせされる。ディジタルカメラ６４は、その撮影信号を、ホルダ１２の動きを制御する制御装置６６に送出する。ホルダ１２は、ノズル３８を有する配量ヘッド３６が潤滑剤液滴を注入すべき領域２６に整列させられるところまで変位させられ、場合によっては回動される。その場合、ディジタルカメラ６４は、配量ヘッド３６と潤滑剤を充填すべき軸受１４との間の対応する相対的な自動位置決めを実施可能とするために、特にこの領域２６を検知するのに用いられる。
【００５３】
本発明に係る方法は、以下のようにして実施される。
【００５４】
潤滑剤を充填すべき軸受１４がその注入すべき領域２６に、特に配量ヘッド３６に関して自動的に位置決めされ、それにより、放出された潤滑剤液滴が領域２６に完全に達するようにする。
【００５５】
その場合、領域２６において、例えばカバープレート５２の、軸３０に対して離隔して位置している環状凹陥部６８が問題となり得る。この凹陥部６８は、軸受間隙２８の上部に存在する平衡室７０に連通している。この種の平衡室を有する流体動圧軸受が、同一出願人による２００２年７月１５日付け出願の未公開のドイツ国特許出願第１０２３１９６２．６号明細書に記載されている。半径方向幅は、３００μｍ程度とすることができる。
【００５６】
本発明により、わずかな直径（例えば、７５μｍという典型的な程度）を有する潤滑剤液滴が発生させられ、領域２６に正しい向きで放出され、しかもほぼ総ての放出液滴が領域２６に達することにより、軸受間隙２８に凹陥部６８を介して潤滑剤を充填することができる。その場合、凹陥部６８は、マイクロチャネルとして構成することもできる。
【００５７】
その場合、計数装置５０を介して、いつでも領域２６に達した液滴の数を検知することができる。本発明に係る方法においては、液滴が定量的に発生させられ、従って、その容量が既知量なので、いつでも凹陥部６８を介して軸受間隙２８に流入する潤滑剤容量を知ることができる。それにより、いつでも軸受間隙２８の充填度を知ることができる。
【００５８】
この充填度は、異なる態様に構成された領域２６において検知することができる。図３には、封止された軸受間隙２８を有する流体動圧軸受の実施の形態が一例として示されている。環状凹陥部６８が、カバープレート５２に形成されている。
【００５９】
しかし、潤滑剤液滴が軸受間隙２８に向けられる（いわば、これに「放射される」）ことによって軸受間隙２８に潤滑剤を直接充填する場合でも、いつでも容易に軸受間隙２８の充填度を検知することができる。
【００６０】
充填過程の終了後に、充填状態を検知するために、事後の測定を行うことは不要である。
【００６１】
本発明に係る方法、及び、本発明に係る方法を実施する本発明に係る装置によれば、潤滑剤の充填量を高い再現性を以て検知することができる。同時に充填過程を監視し、記録することができる。軸受１４の充填は、単一の装置１０により実施することができ、そのため、所要空間を最小限に抑制することができる。
【００６２】
潤滑剤液滴を、注入すべき領域２６に適切に向けることができるので、余分な潤滑剤を無くして、満たされた軸受１４及び装置１０の事後の清掃作業を全く無用にするか、少なくとも最少限に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】流体動圧軸受の軸受間隙に潤滑剤を充填する本発明に係る装置の実施の一形態を概略的に示す説明図である。
【図２】潤滑剤液滴発生器の配量ヘッドの実施の一形態を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る方法によって潤滑剤を充填することができる流体動圧軸受の一例を示す概略部分断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０  本発明に係る装置
１２  ホルダ
１４  軸受
１６  水平面内変位
１８  垂直平面内変位
２０  軸心
２２  注入装置
２４  潤滑剤液滴発生器
２６  注入領域（特定領域）
２８  軸受間隙
３０  軸
３２  軸マウント（軸受スリーブ）
３４  側面
３５  スラストプレート
３６  配量ヘッド
３８  ノズル
４０  圧電アクチュエータ
４２  ハウジング
４４  導管
４６  毛細管
４８  ノズル加熱部
５０  計数装置
５２  カバープレート
５４  測定区間
５６  光学装置
５８  送信器
６０  受信器
６２  制御回路
６４  ディジタルカメラ
６６  制御装置
６８  環状凹陥部
７０  平衡室
【図１】
2004301328.tif 000003
【図２】
2004301328.tif 000004
【図３】
2004301328.tif 000005