(57)【要約】【課題】本発明は、塗布径の極小化が可能であり、塗布回数の増加を防止することが可能なカラーフィルタの欠陥修正用針を提供することを主目的とするものである。【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることによりカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正用針において、前記カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と、先端側壁とが成す角度を、８０°〜１００°の範囲内とすることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正用針を提供する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることによりカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正用針において、
前記カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と、先端側壁とが成す角度を、８０°〜１００°の範囲内とすることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正用針。
【請求項２】
前記カラーフィルタの欠陥修正用針の前記角度が、９０°〜９５°の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正用針。
【請求項３】
カラーフィルタに存在する欠陥を検出する欠陥検出工程と、前記欠陥検出工程により検出された欠陥が存在する領域にレーザ光を照射し、前記欠陥をカラーフィルタ膜と共に除去する欠陥除去工程と、前記欠陥除去工程により生じる白抜けの欠陥をカラーフィルタ膜用組成物の塗布および硬化を行い修正する修正工程とを有するカラーフィルタの製造方法において、前記修正工程が、前記請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正用針の針先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、前記カラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることにより欠陥を修正する工程であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタの欠陥を修正する際に用いるカラーフィルタの欠陥修正用針に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶表示装置、とりわけカラー液晶表示装置の需要が増加する傾向にある。このカラー液晶表示装置には、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色パターンを備えたカラーフィルタが設けられており、このカラーフィルタのＲ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われる。
【０００３】
このようなカラーフィルタは、通常透明基板上に上記Ｒ、Ｇ、およびＢからなる画素部が所定のパターンで形成されたカラーフィルタ膜が形成され、このカラーフィルタ膜上に液晶を駆動させるための透明電極が形成されている。
【０００４】
しかしながら、例えばこのカラーフィルタ膜中に数μｍ〜数十μｍのゴミ等の異物が混入し、さらにこの異物が導電性のものであったり、高い誘電率を有するものであったりした場合は、液晶駆動用の電極の短絡や液晶の表示品質の低下等の不具合が生じる可能性がある。したがって、このような異物を製造時に混入させないようにすることが望ましいが、現実問題としてクリーンルーム等の異物の少ない環境で製造した場合でも、完全に異物の付着や内包のないカラーフィルタを製造することは不可能である。
【０００５】
また、近年、カラーフィルタの多面取りが行われるようになってきている。したがって、異物の混入したカラーフィルタを廃棄処分とした場合は、コスト面での問題が大きくなってしまう。
【０００６】
このような観点から、カラーフィルタに付着もしくは内包した異物を除去した後に行われる修正方法として、針先端にインクを付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることにより修正する方法が特開平９−６１２９６号公報に記載されている。
【０００７】
このような方法においては、一般的に先端部分がテーパー形状である針を用いるが、このテーパー形状の針は、先端部分の表面積が大きいため、針をカラーフィルタから引き離す際、針と共にインクが引き上げられ欠陥除去箇所に塗布されるインクの量が少ないといった問題があった。すなわち、一度の処理で塗布されるインクの量が少ないため、所望の膜厚を得るために多数回同様の処理を行う必要があり、多くの労力と時間を要する要因となっていた。また、針をカラーフィルタの欠陥除去箇所に押し込んだ際に、針の先端側壁に沿ってインクが広がる範囲が広いため、塗布後の塗布径が広がり、修正の精度が低下する問題もあった。
【０００８】
そこで、塗布径の極小化を図るため、針の先端径を極小化する方法が考えられるが、これでは塗布径の極小化を可能とする一方で膜厚が低下してしまうため、所望の膜厚を得るために塗布回数を増やす必要性が生じ、さらに、このように塗布回数を増やしても所望の膜厚を得られない場合があるなど、精度良く修正を行うことは困難であった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、塗布径の極小化が可能であり、塗布回数の増加を防止することが可能なカラーフィルタの欠陥修正用針を提供することを主目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、請求項１に記載するように、先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることによりカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正用針において、前記カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と、先端側壁とが成す角度を、８０°〜１００°の範囲内とすることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正用針を提供する。
【００１１】
本発明においては、カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と先端側壁とが成す角度を上記範囲内とすることにより、針の先端部分における表面積を従来よりも小さくすることができるため、針をカラーフィルタから引き離す際、欠陥除去箇所に塗布されずに針と共に引き上げられるカラーフィルタ膜用組成物の量を減らすことができる。従って、一度の処理で塗布されるカラーフィルタ膜用組成物の量が多くなり、修正に要する手間を少なくすることができる。さらに、針を欠陥除去箇所に押し込んだ際に、針の先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲が狭くなるため、塗布径の極小化も可能である。
【００１２】
上記請求項１に記載された発明においては、請求項２に記載するように、上記カラーフィルタの欠陥修正用針の上記角度が、９０°〜９５°の範囲内であることが好ましい。上記範囲よりも角度を小さくすると、針の先端部分は逆テーパ状となるが、そのような形状に針の先端部分を加工することは難しく加工上問題があるからである。一方、上記範囲よりも角度を大きくすると、針の先端部分の表面積が大きくなり、一度の処理で得られる膜厚が低下するおそれがあり、また、針を欠陥除去箇所に押し込んだ際に、針の先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲が広くなるため、塗布径の極小化が妨げられるからである。
【００１３】
本発明においてはまた、請求項３に記載するように、カラーフィルタに存在する欠陥を検出する欠陥検出工程と、前記欠陥検出工程により検出された欠陥が存在する領域にレーザ光を照射し、前記欠陥をカラーフィルタ膜と共に除去する欠陥除去工程と、前記欠陥除去工程により生じる白抜けの欠陥をカラーフィルタ膜用組成物の塗布および硬化を行い修正する修正工程とを有するカラーフィルタの製造方法において、前記修正工程が、前記請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正用針の針先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、前記カラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることにより欠陥を修正する工程であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１４】
本発明においては、カラーフィルタの製造方法に上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用いることにより、修正工程に要する手間が少なくなり、製造効率を向上させることが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針およびそれを用いたカラーフィルタの製造方法について説明する。
【００１６】
Ａ．カラーフィルタの欠陥修正用針
まず、カラーフィルタの欠陥修正用針について説明する。
【００１７】
本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針は、先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることによりカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正用針において、前記カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と、先端側壁とが成す角度を、８０°〜１００°の範囲内とすることを特徴とするものである。
【００１８】
このような本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針について図面を用いて説明する。
【００１９】
図１は、本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針における断面図の一例を示している。本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針３は、先端平面１と先端側壁２とでその先端部分は形成されており、さらに、先端平面１および先端側壁２とが成す角度ａは、それらが成す角度のうち図１に示すようにカラーフィルタの欠陥修正用針３の部材側に形成される角度とする。
【００２０】
なお、ここでいう欠陥修正用針の先端平面とは、針の最先端部分の平面を意味し、さらに、先端側壁とは、針の先端部分の側壁部分を意味している。
【００２１】
また、図２は、従来のカラーフィルタの欠陥修正用針における断面図の一例を示したものである。図２に示すように、従来のカラーフィルタの欠陥修正用針６においても、先端平面４と先端側壁５とでその先端部分は形成されているが、それらが成す角度ｂは、本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と先端側壁とが成す角度、すなわち図１に示す角度ａよりも大きい。
【００２２】
このような従来の欠陥修正用針においては、針をカラーフィルタの欠陥除去箇所に押し込んで、針の先端部分に付着しているカラーフィルタ膜用組成物を欠陥除去箇所に塗布する際、先端平面と先端側壁とが成す角度が大きいために、先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲が広く、また、先端部分の表面積が広いために、先端側壁に付着するカラーフィルタ膜用組成物の量が多かった。従って、針を欠陥除去箇所から引き上げる際、欠陥除去箇所に塗布されずに、針の先端側壁等に付着したまま、針と共に引き上げられるカラーフィルタ膜用組成物の量が増えるため、必然的に十分な塗布量が得られなかったのである。
【００２３】
そこで、本発明においては、カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と先端側壁とが成す角度を上記範囲内とすることにより、針を欠陥除去箇所に押し込んだ際、針の先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲を狭くすることができ、さらに、針の先端部分における表面積を従来よりも小さくすることができるため、先端側壁に付着するカラーフィルタ膜用組成物の量を減らすことができる。従って、針をカラーフィルタから引き離す際、欠陥除去箇所に塗布されずに針と共に引き上げられるカラーフィルタ膜用組成物の量が減るため、一度の処理で得られるカラーフィルタ膜用組成物の塗布量が多くなり、修正に要する手間を少なくすることができるのである。また、針の先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲が狭いため、塗布径の極小化を図ることが可能である。
【００２４】
このような利点を有する本発明においては、カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と先端側壁とが成す角度を、８０°〜１００°の範囲内とし、その中でも、９０°〜９５°の範囲内とすることが好ましい。
【００２５】
上記範囲よりも角度を大きくすると、針の先端部分における表面積が大きくなり、一度の処理で塗布することができるカラーフィルタ膜用組成物の量が低下するため好ましくない。また、カラーフィルタの欠陥除去箇所に針を押し込んだ際に針の先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲が広くなるため、極小化を妨げるおそれもある。一方、上記範囲よりも角度を小さくすると、針の先端部分は逆テーパ状となるが、そのような形状に加工することは難しいからである。
【００２６】
さらに、その中でも特に、９０°であることが好ましい。９０°の角度が最も表面積を小さくすることができ、また、針をカラーフィルタの欠陥除去箇所に押し込んだ際に、針の先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲が狭いことから、塗布径の極小化が容易に実現できるからである。
【００２７】
また、このような本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面の径は、カラーフィルタの欠陥除去箇所に針の先端部分を押し込む際に、その押し込みを容易に可能とする径であれば特に限定はされない。具体的には、５μｍ〜１００μｍの範囲内、その中でも１０μｍ〜７０μｍの範囲内であることが好ましい。針の先端平面の径によっても塗布されるカラーフィルタ膜用組成物の量は変化するが、上記範囲内の径を有する欠陥修正用針であれば、好適な塗布量を得ることが可能であるからである。
【００２８】
さらに、本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針に用いる材料としては、加工が容易であり剛性を有する材料であれば特に限定はされない。具体的には、鉄、アルミニウムなどの金属類等を挙げることができる。
（カラーフィルタの欠陥修正装置）
次に、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用いたカラーフィルタの欠陥修正用装置について説明する。
【００２９】
本発明におけるカラーフィルタの欠陥修正用装置は、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用い、この欠陥修正用針の先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、これをカラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させることによりカラーフィルタの欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置において、前記カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面の径が異なるものを複数本搭載していることを特徴とするものである。
【００３０】
上述したカラーフィルタの欠陥修正用針においては、その先端平面の径を変えることにより、カラーフィルタの欠陥除去箇所に塗布されるカラーフィルタ膜用組成物の量を変化させることが可能であり、また、塗布径を変化させることも可能である。本発明においては、針の先端平面の径が異なる欠陥修正用針を複数本搭載したカラーフィルタの欠陥修正用装置とすることにより、カラーフィルタの欠陥除去箇所の状態に応じて、最適な塗布径および塗布量を実現する欠陥修正用針を選択することが可能であるため、効率良く精度の高い修正を行うことができる。また、複数回塗布を繰り返し欠陥除去箇所の修正を行う場合には、一本のみならず、先端平面の径が異なる欠陥修正用針を複数本組み合わせて用いることも可能であり、このようにすることにより、修正の効率が向上し、製造効率上有利となる。
【００３１】
また、このようなカラーフィルタの欠陥修正装置において、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が異なる欠陥修正用針と、先端平面の径が異なる欠陥修正用針とが、組み合わされてカラーフィルタ膜用組成物塗布手段に複数本搭載されている場合であっても良い。このように角度および径の両方が異なる欠陥修正用針が複数本搭載されることにより、より精密な膜厚の調整が可能となるため、より一層精度の高い修正を行うことができるからである。また、使用可能なカラーフィルタ膜用組成物の選択の幅もさらに広げることができる。
【００３２】
Ｂ．カラーフィルタの製造方法
次にカラーフィルタの製造方法について説明する。
【００３３】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタに存在する欠陥を検出する欠陥検出工程と、前記欠陥検出工程により検出された欠陥が存在する領域にレーザ光を照射し、前記欠陥をカラーフィルタ膜と共に除去する欠陥除去工程と、前記欠陥除去工程により生じる白抜けの欠陥をカラーフィルタ膜用組成物の塗布および硬化を行い修正する修正工程とを有するカラーフィルタの製造方法において、前記修正工程が、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用い、当該欠陥修正用針の針先端にカラーフィルタ膜用組成物を付着させ、前記カラーフィルタの欠陥除去箇所に接触させて塗布し、硬化させることにより欠陥を修正する工程であることを特徴とするものである。
【００３４】
本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用いることにより、修正工程に要する手間が少なくなるため、カラーフィルタの製造効率を向上させることができる。
【００３５】
このような本発明のカラーフィルタの製造方法について図３を用いて説明する。まず、カラーフィルタ製造工程中に、図３（ａ）に示すように、透明基板１１上に形成された、カラーフィルタ膜１２の内部若しくはその表面に存在する異物１３等の欠陥を検出する欠陥検出工程を行う。
【００３６】
なお、ここでいうカラーフィルタ膜とは画素部またはブラックマトリックスを意味する。図３では、カラーフィルタ膜１２の中でも画素部１２ａに異物１３等の欠陥が存在する場合を示しているが、本発明においては、ブラックマトッリクス１２ｂの内部若しくはその表面に異物１３等の欠陥が存在する場合も含むものである。
【００３７】
次に、欠陥検出工程により検出された上記異物１３およびその近傍に存在するカラーフィルタ膜１２にレーザ光を照射し、上記異物１３およびその近傍のカラーフィルタ膜１２を除去する欠陥除去工程を行い、図３（ｂ）に示すように、カラーフィルタ膜除去部１４が形成される。次に、図３（ｃ）に示すように、カラーフィルタ膜除去部１４にカラーフィルタ膜用組成物を、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用いて塗布し、硬化させる修正工程を行う。
【００３８】
以下、各工程について説明する。
【００３９】
ａ．欠陥検出工程
まず、本発明における欠陥検出工程について説明する。欠陥検出工程とはカラーフィルタに存在する欠陥を検出する工程であり、例えば、図３（ａ）に示すように、カラーフィルタの透明基板１１に形成された、カラーフィルタ膜１２中またはその表面に存在する異物１３等の欠陥を検出する工程である。
【００４０】
なお、ここでいう欠陥とは、カラーフィルタ膜の不具合を意味するものであり、具体的には、カラーフィルタ膜の中または表面に存在する異物や、表示品質を低下させるようなカラーフィルタ膜自体の凹凸等を挙げることができる。
【００４１】
ここで、本発明の欠陥検出工程は、カラーフィルタの製造方法の工程の中でも、透明基板上にカラーフィルタ膜が形成された工程後であり、保護層等が形成される工程前に行われることから、本発明でいうカラーフィルタとは、透明基板と、その透明基板上に形成されたカラーフィルタ膜、例えば画素部またはブラックマトリクスとを有するものをいう。
【００４２】
本発明に用いられる透明基板としては、一般的に透明基板として用いられるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材を挙げることができる。
【００４３】
また、本発明に用いられる画素部とは、単色からなる場合や、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色といった複数色からなる場合であってもよく、これらが種々のパターン、例えばモザイク状、トライアングル状、ストライプ状等のパターンで形成されるものである。本発明のカラーフィルタの製造方法における、この画素部の形成方法としては、従来より行われている顔料分散法やインクジェット法による印刷法等を用いることが可能であり、本発明においては特に限定されるものではない。
【００４４】
さらに、本発明において用いられるブラックマトリックスとは、画素部間に配置され、光を遮るために形成されたものである。上記透明基材上にブラックマトリックスを製造する方法は、特に限定されるものではなく、例えばスパッタリング法、真空蒸着法等により、厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングすることにより形成する方法等を挙げることができる。
【００４５】
また、上記ブラックマトリックスとしては、樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層であってもよく、用いられる樹脂バインダとしては、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ゼラチン、カゼイン、セルロース等の樹脂を１種または２種以上混合したものや、感光性樹脂、さらにはＯ／Ｗエマルジョン型の樹脂組成物、例えば、反応性シリコーンをエマルジョン化したもの等を用いることができる。このような樹脂性ブラックマトリックスのパターニングの方法は、フォトリソ法、印刷法等一般的に用いられている方法を用いることができる。
【００４６】
なお、本発明のカラーフィルタの製造方法で最終的に得られるカラーフィルタとしては、上述した透明基板上にカラーフィルタ膜、例えば画素部またはブラックマトリクスだけでなく、保護層、透明電極、または配向層等を有するものも含まれる。
【００４７】
ここで、本発明における欠陥検出方法は、上記欠陥を検出することが可能な方法であれば、特に限定されるものではないが、例えばハロゲンランプ光を照射し、その反射光もしくは透過光をＣＣＤライセンサにて受光し、受光した結果を画像処理して欠陥部分を抽出するような検査装置を用いる方法等を挙げることができる。この工程において、欠陥の存在が確認された場合は、その欠陥のカラーフィルタ内での位置が測定される。
【００４８】
ｂ．欠陥除去工程
次に、本発明における欠陥除去工程について説明する。本発明における欠陥除去工程とは、上記欠陥検出工程により検出された欠陥が存在する領域にレーザ光を照射し、前記欠陥をカラーフィルタ膜と共に除去する工程である。例えば、図３（ａ）に示すように、上記欠陥検出工程により検出されたカラーフィルタ膜１２中またはその表面に存在する異物１３等の欠陥およびその異物１３の近傍に存在するカラーフィルタ膜１２にレーザ光を照射し、図３（ｂ）に示すように上記異物およびその近傍にあるカラーフィルタ膜１２が除去されたカラーフィルタ膜除去部１４とする工程である。
【００４９】
本発明における欠陥除去工程に用いられるレーザ光は、カラーフィルタ膜と共に欠陥を除去することができるレーザ光であれば特に限定されるものではない。例えば、エキシマ、ＹＡＧ等のレーザを用いることが可能であり、ＹＡＧは、第２高調波だけでなく、ＹＡＧ基本波、ＹＡＧ第３高調波、ＹＡＧ第４高調波等を用いてもよい。
【００５０】
ｃ．修正工程
次に、本発明における修正工程について説明する。本発明における修正工程とは、上述した欠陥除去工程で、欠陥と共に欠陥の近傍にあるカラーフィルタ膜が除去されたことにより、例えば図３（ｂ）に示すように、カラーフィルタ膜除去部１４として、カラーフィルタ膜に白抜きが生じており、このカラーフィルタ膜除去部１４に、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用いてカラーフィルタ膜用組成物を塗布し、硬化させることによりカラーフィルタ膜除去部を修正する工程である。
【００５１】
本工程における修正方法について具体的に図４を用いて説明する。
【００５２】
図４は、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用いた修正工程の一例を示している。まず、図４（ａ）に示すように、本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針３の先端にカラーフィルタ膜用組成物７を付着させ、これをカラーフィルタ膜除去部１４が形成されているカラーフィルタに接触させる。これにより、カラーフィルタ膜除去部１４にカラーフィルタ膜用組成物７が塗布される（図４（ｂ）参照）。次に、欠陥修正用針３をカラーフィルタから引き離し、塗布されたカラーフィルタ膜用組成物７を硬化させることにより、カラーフィルタ膜除去部１４が修正される（図４（ｃ）参照）。
【００５３】
本工程においては、上述したカラーフィルタの欠陥修正用針を用いていることから、当該欠陥修正用針をカラーフィルタから引き離した際に、カラーフィルタ膜除去部に塗布されずに針と共に引き上げられるカラーフィルタ膜用組成物の量を少なくすることができる。従って、一度の処理でカラーフィルタ膜除去部へ塗布することができるカラーフィルタ膜用組成物の量が増えるため、塗布回数を減らすことができる。また、針がカラーフィルタ膜除去部へ押し込まれた際に、針の先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲が狭いため、塗布径の極小化が図れ、精度の良い修正が可能である。
【００５４】
なお、ここで用いているカラーフィルタの欠陥修正用針に関しては、上述したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００５５】
また、本発明に用いられるカラーフィルタ膜用組成物とは、例えば通常の画素部またはブラックマトリクスに用いられる塗料であっても良く、また塗布性を向上させるために粘度を調整した専用塗料等を用いてもよく、さらに専用の修復剤であってもよいが、特に紫外線硬化性塗料を用いることが好ましい。紫外線硬化性塗料を用いることにより、カラーフィルタ膜に塗料を塗布後、紫外線を照射することにより、素早く塗料を硬化させることができ、すぐに次の工程に送ることができる。したがって、効率よくカラーフィルタを製造することができるからである。また、紫外線硬化性塗料の硬化に用いられる紫外光は、インキの硬化感度にも影響されるが、通常紫外線の積算路光量が、０．１Ｊ／ｃｍ２〜５０／ｃｍ２であることが好ましく、中でも０．５Ｊ／ｃｍ２〜２Ｊ／ｃｍ２であることが好ましい。
【００５６】
また、この紫外線光源を有する紫外線照射装置は、紫外線硬化型カラーフィルタ膜用組成物を硬化させることが可能な紫外線を照射することができる紫外線照射装置であれば特に限定されるものではない。例えば、スポットＵＶ照射装置や、ランプハウスにシャッターを用いた装置等を挙げることができる。
【００５７】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００５８】
【実施例】
以下に実施例を示し、本発明をさらに説明する。
【００５９】
［実施例］
ガラス基板上にフォトリソグラフィー法を用いてアクリル系のカラーフィルタ膜を形成したカラーフィルタ表面上に内包した異物をハロゲンランプを光源とし、その反射光により異物を検出した。次にＹＡＧレーザ（第２高調波）を用いてスリット径□３０μｍにて数パルス照射し、レジスト部を除去した後、針の先端平面と先端側壁とが成す角度が９０°である欠陥修正用針を用いて所望の膜厚が得られるまでカラーフィルタ膜用組成物を塗布した。
【００６０】
当該欠陥修正用針を用いた場合は２回の塗布により、膜厚は、２．０μｍ、塗布径は４９μｍを得ることができた。
【００６１】
［比較例］
針の先端平面と先端側壁とが成す角度が１０５°である欠陥修正用針を用いた以外は、上記実施例と同様に行い修正を行った。この場合は、３回の塗布により、膜厚２．０μｍ、塗布径５３μｍを得ることができた。
【００６２】
【発明の効果】
本発明によれば、カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面と先端側壁とが成す角度を、８０°〜１００°の範囲内とすることにより、針の先端部分における表面積を従来よりも小さくすることができるため、針をカラーフィルタから引き離す際、欠陥除去箇所に塗布されずに針と共に引き上げられるカラーフィルタ膜用組成物の量を減らすことができる。従って、一度の処理で塗布されるカラーフィルタ膜用組成物の量が多くなり、修正に要する手間を少なくすることができる。さらに、針を欠陥除去箇所に押し込んだ際に、針の先端側壁に沿ってカラーフィルタ膜用組成物が広がる範囲が狭くなるため、塗布径の極小化も可能であるといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルタの欠陥修正用針の先端部分の一例を示す概略断面図である。
【図２】従来のカラーフィルタの欠陥修正用針の先端部分の一例を示す概略断面図である。
【図３】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。
【図４】本発明の修正工程の一例を示す工程図である。
【符号の説明】
１　…　カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面
２　…　カラーフィルタの欠陥修正用針の先端側壁
３　…　カラーフィルタの欠陥修正用針
ａ　…　カラーフィルタの欠陥修正用針の先端平面および先端側壁とが成す角度
【図１】
2004069989.tif 000003
【図２】
2004069989.tif 000004
【図３】
2004069989.tif 000005
【図４】
2004069989.tif 000006