(57)【要約】【課題】微振動制御性能に優れるとともに、嫌振設備の設置の自由度が高く、よって特に平屋構造のクリーンルームに適用して好適な嫌振設備の据付構造を提供する。【解決手段】基礎によって支承された建物１０の床１１上に、一の方向Ｄ１  に延在するコンクリート造の嫌振基礎１２を、一の方向Ｄ１  と直交する他の方向Ｄ２  に互いに間隔をおいて立設し、少なくとも他の方向Ｄ２  に複数本の梁１３を一の方向Ｄ１  に互いに間隔をおいて配設して、隣接する嫌振基礎１２間に嫌振設備１４の支承に十分な剛性を有する嫌振板１５を架設し、嫌振板１５上に嫌振設備１４を設置するとともに、嫌振板１５が設けられていない嫌振基礎１２および梁１３上に、床パネル１８を設置した。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基礎によって支承された建物の床上に、一の方向に延在するコンクリート造の嫌振基礎を、上記一の方向と直交する他の方向に互いに間隔をおいて立設し、上記他の方向に複数本の梁を上記一の方向に互いに間隔をおいて配設して、隣接する上記嫌振基礎間に嫌振設備の支承に十分な剛性を有する嫌振板を架設し、当該嫌振板上に上記嫌振設備を設置するとともに、上記嫌振板が設けられていない上記嫌振基礎および梁上に、床パネルを設置したことを特徴とする嫌振設備の据付構造。
【請求項２】
上記嫌振基礎と上記梁との天端を一致させるとともに、上記嫌振基礎と上記梁とを互いの交差部において剛接合したことを特徴とする請求項１に記載の嫌振設備の据付構造。
【請求項３】
上記嫌振板は、表面が発塵防止材によって覆われたコンクリートによって構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の嫌振設備の据付構造。
【請求項４】
上記嫌振基礎は、高さ寸法が５００〜２０００ｍｍであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の嫌振設備の据付構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工場等の振動を嫌う各種の機器類を設置する建物に用いて好適な嫌振設備の据付構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体製造工場等のクリーンルームは、図３に示すように、建物１の躯体床（下床）２上に、支柱３によって格子梁４を支持し、この格子梁４上にフリーアクセスフロア（上床）６を設けた２階建構造が採用されており、その上に各種の生産装置５を据え付けている。
【０００３】
生産装置５の生産環境は、塵埃（パーティクル）の殆ど無い高クリーン環境が要求されるため、フリーアクセスフロア６の上方には天井８ａが設けられ、当該天井８ａの上方空間がプレナムチャンバ８とされるとともに、天井８ａの上面に多数のファンフィルターユニット８ｂが設置されることにより、プレナムチャンバ８内の空気がファンフィルタユニット８ｂによって清浄化されて下方の作業空間９に供給され、フリーアクセスフロア６からリターンスペース７へと流れて循環されるようになっている。
そして、上下床間がリターンスペース７とされてダクト７ａ、各種設備配管７ｂあるいは生産装置５用の生産補機７ｃの設置スペースとして利用されている。
【０００４】
ところで、この種のクリーンルーム内には、上記生産装置５として露光装置や電子顕微鏡などの振動を嫌う装置（以下、嫌振設備）が設置される。
そこで、上記嫌振設備に対する防振対策として、例えば下記特許文献１に見られるように、クリーンルームの床を支持する高床式梁架構を建屋内部に備えた建物において、前記高床式梁架構を建屋の架構と分離して設け、該高床式梁架構を建屋の柱とは別個に配置した高床用側柱により支持することにより、建屋の振動系と、クリーンルームの床の振動系とを完全に切り離し、地震や風などに起因する外部エネルギーが建屋に入力された場合においても、クリーンルームの床上に設置された嫌振設備に影響を及ぼすことを防止した架構構造が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−３１８１１９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のクリーンルームにおける架構構造にあっては、外部から建物に入力される振動に対しては有効であるものの、建物内部のフリーアクセスフロアから直接上記嫌振設備に伝搬する歩行振動や他生産装置からの振動に対しては、これを防止することができず、よって微振動をも避ける必要がある嫌振設備を設置する場合には適用することができない。
【０００７】
そこで、嫌振設備に対して微振動制御された環境（例えば０．５μ、０．５ｇａｌ）を必要とする場合には、格子梁４上に、上記フリーアクセスフロアとは切り離して、振動し難いＲＣ構造等の嫌振架台を構築し、その嫌振架台の上に嫌振設備を設置している。
【０００８】
ところが、上記クリーンルームにおける従来の嫌振設備の据付構造にあっては、上下床間がリターンスペース７とされてダクト７ａ、各種設備配管７ｂあるいは生産装置５用の生産補機７ｃの設置スペースとして利用されているため、上記嫌振架台の土台となる格子梁が、建物の躯体床から約６ｍ程度の所に構築される。このため、より高い微振動制御の要求に対応することが難しいという問題点があった。
【０００９】
これに対して、高クリーン環境が不要なクリーンルームでは、大きなリターンスペースが不要なため、フリーアクセスフロア床下に５００〜１０００ｍｍ程度のリターンエアおよびユーティリティのスペースを設けた２重床の平屋構造となっており、フリーアクセスフロアは、鋼製の柱および梁によって支承されている。
【００１０】
一方、近年の半導体生産施設においては、ＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ  ｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）あるいはＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）といった、内部が所望のクリーン度の保持されたポッド内に、ウエーハカセットを収納し、上記ポッドを搬送して内部のウエーハカセットを製造装置へと取り込むようにした、各種の局所クリーン化技術が採用されつつある。
【００１１】
そして、これら局所クリーン化技術を用いることにより、建物全体としての高クリーン環境が不要となり、よって半導体生産施設等においても一層安価な平屋構造のクリーンルームが増加することが考えられる。
しかしながら、従来の平屋構造のクリーンルームでは、もともと嫌振設備を設置することが出来ない構造であるため、フリーアクセスフロアを支承している柱および梁と切り離して、嫌振設備専用に独立基礎を設置する必要がある。ところが、この方式によれば、嫌振設備を移動したり増設したりする場合に、ユーティリティ等を避けて独立基礎を設置しなければならず、よって当該嫌振設備の設置の自由度が極めて低いという問題点があった。
【００１２】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、微振動制御性能に優れるとともに嫌振設備の設置の自由度が高く、よって特に平屋構造のクリーンルームに適用して好適な嫌振設備の据付構造を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明に係る嫌振設備の据付構造は、基礎によって支承された建物の床上に、一の方向に延在するコンクリート造の嫌振基礎を、上記一の方向と直交する他の方向に互いに間隔をおいて立設し、上記他の方向に複数本の梁を上記一の方向に互いに間隔をおいて配設して、隣接する上記嫌振基礎間に嫌振設備の支承に十分な剛性を有する嫌振板を架設し、当該嫌振板上に上記嫌振設備を設置するとともに、上記嫌振板が設けられていない上記嫌振基礎および梁上に、床パネルを設置したことを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、上記嫌振基礎と上記梁との天端を一致させるとともに、上記嫌振基礎と上記梁とを互いの交差部において剛接合したことを特徴とするものである。
【００１５】
さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の嫌振板が、表面が発塵防止材によって覆われたコンクリートによって構成されていることを特徴とするものであり、請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、上記嫌振基礎は、高さ寸法が５００〜２０００ｍｍであることを特徴とするものである。
【００１６】
請求項１に記載の発明においては、建物の床上に複数のコンクリート造の嫌振基礎を互いに間隔をおいて立設し、これら嫌振基礎間に嫌振板を架設することにより高剛性の門型構造としたうえで、当該嫌振板上に嫌振設備を設置しているので、高い微振動制御性能を得ることができる。加えて、上記複数の嫌振基礎を、建物の床上に一の方向に立設しているので、これら嫌振基礎間にリターンエアの流路および配管等のユーティリティスペースを確保することができる。
しかも、嫌振基礎間に架設する嫌振板の配置を適宜選択することにより、自在に嫌振設備の配置変更に対応することが可能となるために、従来と比較して嫌振設備の設置の自由度が大幅に増加する。
【００１７】
ここで、互いに交差する上記嫌振基礎と梁との接合は、各種の形態を採用することが可能であるが、例えば、請求項２に記載の発明のように、上記コンクリート造の嫌振基礎と剛接合することにより、嫌振基礎と梁とから構成される格子全体としての剛性をより一層高めることが可能となる。また、嫌振基礎と梁の天端とを一致させることにより、嫌振板と床パネルの入れ替えを容易に行うことができるという利点がある。
【００１８】
さらに、嫌振板の構造についても、上記嫌振設備を支承するに充分な強度を有するものであれば、各種構造のものが適用可能であるが、請求項３に記載の発明のように、コンクリートを主要部材とする肉厚板状に形成するとともに、当該コンクリートの表面をステンレス等の薄肉鋼板あるいは、塗料等の発塵防止材によって覆う構造とすれば、高い剛性によって一層の微振動制御性能を得ることができるうえに、さらに上記発塵防止材によって、コンクリート表面からの発塵が防止されるために、特にクリーンルームに適用する場合に好ましい。
【００１９】
加えて、請求項４に記載の発明のように、上記嫌振基礎の高さ寸法を、５００〜２０００ｍｍに設定すれば、嫌振基礎全体としての重量が大きくならないために、クリーン度が低い２重床であって平屋構造のクリーンルームに用いて好適である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１および図２は、本発明の嫌振設備の据付構造を、半導体生産施設におけるクリーンルームに適用した一実施形態を示すものである。
この半導体生産施設は、上述したような局所クリーン化技術が採用され、建物全体としてこれまでのような高クリーン環境（ｃｌａｓｓ  １  ａｔ  ０．１μ）が不要となった結果、平屋構造によって構築されたものある。そして、この建物１０の、基礎によって支承されて充分な剛性を有する躯体床１１には、多数のＤ１  方向に延在するコンクリート造の嫌振基礎１２が立設されている。
ちなみに、上記嫌振基礎１２は、高さ寸法が５００〜２０００ｍｍである直方体状に形成されたもので、上記一の方向Ｄ１  と直交する他の方向Ｄ２  に互いに等間隔をおいて平行に立設されている。
【００２１】
さらに、上記一の方向Ｄ１  と直交する他の方向Ｄ２  には、多数の鋼製梁１３が、それぞれ天端を嫌振基礎１２の上面と一致させて架設されている。ここで、鋼製梁１３は、嫌振基礎１２に剛接合されている。
【００２２】
そして、嫌振設備１４を設置すべき個所の嫌振基礎１２間には、上記嫌振設備１４の支承に十分な剛性を有する嫌振板１５が架設されている。
この嫌振板１５は、コンクリートを主要部材とし、必要に応じて内部に鉄筋等の補強材が設けられた板状部材で、周囲および上面がステンレス等の薄肉鋼板による発塵防止材によって覆われるとともに、裏面も塗料等の発塵防止材によって覆われている。
【００２３】
また、嫌振板１５の設置個所以外の嫌振基礎１２および鋼製梁１３の上面に、鋼製梁１３のピッチをフリーアクセスフロア（床パネル）１８のピッチに合わせることで、フリーアクセスフロア用の脚部１８ａが設けられ、これら脚部１８ａ上に上記フリーアクセスフロア１８が敷設されている。
【００２４】
そして、これら嫌振板１５およびフリーアクセスフロア１８の下方がリターンスペース１９とされ、半導体生産に必要な窒素、酸素、アルゴン、ヘリウム等の各種のガス用配管２０ａおよび冷却水や排水等の液体用配管２０ｂが設置されている。
他方、フリーアクセスフロア１８の上方には、図４に示した従来のものと同様に、天井が設けられ、この天井の上方空間がプレナムチャンバとされるとともに多数のファンフィルターユニットが設置されている。
【００２５】
以上の構成からなる半導体生産施設における嫌振設備の据付構造によれば、建物１０の躯体床１１上に多数のコンクリート造の嫌振基礎１２を等間隔をおいて平行に立設し、これら嫌振基礎１２間に嫌振板１５を架設して高剛性の門型構造としたうえで、嫌振板１５上に嫌振設備１４を設置しているので、高い微振動制御性能を得ることができる。しかも、これら嫌振基礎１２を、建物１０の床１１上に一の方向Ｄ１  に立設しているので、これら嫌振基礎１２間に上記一の方向Ｄ１  に沿ってリターンエアの流路および配管２０ａ、２０ｂのためのスペースを確保することができる。この際に、予め嫌振基礎１２に配管スリーブを一定間隔で埋め込んでおけば、上記配管２０ａ、２０ｂの配管ルートに、嫌振基礎１２と直交する箇所が生じた場合に、当該配管２０ａ、２０ｂを上記配管スリーブに挿通されることにより、容易に対応することが可能になる。
【００２６】
また、建物１０の躯体床１１のほぼ全面にわたって嫌振基礎１２を配設すれば、これら嫌振基礎１２間に架設する嫌振板１５の配置を適宜選択することにより、自在に嫌振設備１４の配置変更に対応することができる。
他方、嫌振基礎１２の周囲に架設された鋼製梁１３についても、嫌振基礎１２と剛接合しているので、嫌振基礎１２と鋼製梁１３とによって構成される格子全体の剛性が高くなり、この結果歩行振動や他生産装置からの振動がフリーアクセスフロア１８面から嫌振設備に伝搬し難くなるために、嫌振効果も向上する。
【００２７】
また、嫌振板１５を、コンクリートを主要部材とする肉厚板状に形成するとともに、その表面をステンレス等の薄肉鋼板および塗料等の発塵防止材によって覆っているので、所望の高い剛性によって一層の微振動制御性能を得ることができるうえに、さらに上記発塵防止材によって、コンクリート表面からの発塵が防止されるために、当該嫌振板１５を構成するコンクリートからの発塵に起因してクリーン度が低下する虞がない。
【００２８】
なお、上記実施の形態においては、床パネルとしてフリーアクセスフロア１８を敷設した場合についてのみ説明したが、これに限るものではなく、他の各種の床パネルを適用することが可能である。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１〜４のいずれかに記載の発明によれば、嫌振設備に対する高い微振動制御性能を得ることができるとともに、嫌振設備を支承する嫌振基礎間にリターンエアの流路および配管スペース等を確保することができる。また、嫌振基礎間における嫌振板の配置を適宜選択することにより、自在に嫌振設備の配置変更に対応することが可能となるために、特に平屋構造のクリーンルームに対して適用な据付構造となる。
【００３０】
これに加えて、請求項２に記載の発明によれば、嫌振基礎と梁とから構成される格子全体としての剛性が高まり、この結果歩行振動や他生産装置からの振動がフリーアクセスフロア面から嫌振設備に伝搬し難くなるために嫌振効果も向上させることができ、また請求項３に記載の発明によれば、高い剛性によって一層の微振動制御性能を得ることができるうえに、さらに上記発塵防止材によって、コンクリート表面からの発塵を防止することができるといった優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る嫌振設備の据付構造の一実施形態を示す要部の正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】従来の嫌振設備の据付構造を示す正面図である。
【符号の説明】
１０  建物
１１  床
１２  嫌振基礎
１３  鋼製梁
１４  嫌振設備
１５  嫌振板
１８  フリーアクセスフロア
１９  リターンスペース
Ｄ１    一の方向
Ｄ２    他の方向
【図１】
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【図２】
2004332315.tif 000004
【図３】
2004332315.tif 000005