(57)【要約】【課題】マイクロプレートを用いた分析装置に関し、迅速かつ汎用性が高く、高い測定精度を有するコンパクトな分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】複数のサンプルウェルを有するマイクロプレート、前記サンプルウェルからの光を受ける検出器を構成要素として含む分析装置であって、マイクロプレートが検出器の視野を略等速で移動することを特徴とする。ここで、往復移動可能であることが好適であり、マイクロプレートが、線上に配置された複数のサンプルウェル群ごとに分離可能な構成であることが好ましい。また、サンプルウェルに照射する光が単色光であり、集光され一定周期で発光・消光を繰り返すことを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のサンプルウェルを有するマイクロプレート、前記サンプルウェルからの光を受ける検出器を構成要素として含む分析装置であって、前記マイクロプレートが検出器の視野を略等速で移動することを特徴とする分析装置。
【請求項２】
前記マイクロプレートが、前記検出器の視野を往復移動可能であることを特徴とする請求項１に記載の分析装置。
【請求項３】
前記マイクロプレートが、線上に配置された複数のサンプルウェル群ごとに分離可能な構成であることを特徴とする請求項１または２に記載の分析装置。
【請求項４】
前記サンプルウェルに光源部からの光を集光して照射し、前記検出器によって吸光度を検出する装置であって、前記光源部が単色光発生用光源であり、一定周期で発光・消光を繰り返すことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の分析装置。
【請求項５】
前記光源部が、直接遷移固体発光素子からなることを特徴とする請求項４に記載の分析装置。
【請求項６】
前記光源部からの光の波長域が、略４２０〜６７０ｎｍであることを特徴とする請求項４または５に記載の分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロプレートを用いた分析装置に関するもので、特に生化学的な細胞レベルでの分析に有用である。
【０００２】
【従来の技術】
近年、生化学的な分析あるいは細胞レベルでの分析が重要視され、各種測定法によって分析が試みられている。その中でも、フォトルミネセンス・化学ルミネセンス・吸光度分析が、測定の迅速性・安定性・正確性などの優れた分析法として特に多用されている。フォトルミネセンスと化学ルミネセンスは、検体に照射された光を吸収したときや化学反応によって生じる励起光の量を測定することにより、一方、吸光度分析は、入射光と透過光の比を測定することによって、検体中の特定要素の検出を行うことができる。
【０００３】
また、生化学的な細胞レベルでの分析では、多数のサンプルを同時に測定する必要性があり、スクリーニングなどの自動化を可能とするためにマイクロプレートとして知られる標準試料容器が用いられている。マイクロプレートは、複数のサンプルを収容するために複数のサンプルウェルを配列し、装置への固定を可能とする構造を具備している。
【０００４】
こうしたマイクロプレートを用いて上記の各測定法を利用するために、実際に種々の分析装置が実用化されているが、例えば、図８のようなマイクロプレートリーダーと呼ばれる装置が実用化されている。
単色光源としてハロゲンランプ５１と干渉フィルタ５２の組合せを用い、凸レンズ５３によって集光した光源からの光をメカニカルチョッパ５４によって断続光にしてマイクロプレート２に照射している。５５はチョッパを回転するためのモータを、５６はランプ５１の冷却用のファンを、５７は単色光を導くための光ファイバーを表し、ここでは、マイクロプレート２を透過した光をフォトダイオード３で受光する例を示している。分析装置としては、さらに光源駆動電源部５８、チョッパ駆動部５９、マイクロプレート駆動部６０、検出器信号増幅処理部６１、演算処理部６２および表示部６３から構成され、各サンプルウェル１内のサンプルの分析を行っている。
【０００５】
また、生化学的な細胞レベルでの分析に用いられる高スループットの光検出装置及び方法に関し、図９にスイッチ機構及び光学リレー構造体により、異なる光源や検出器が用途に応じて選択される装置、あるいは、スイッチ機構及び光学経路が、上部／底部照明や上部／底部検出、またはそれらの組合せを可能にする装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特表２００２−５０９２３５号公報
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術で述べた分析装置では、以下のような課題が生じることがある。
通常、溶液サンプルをマイクロプレートに投入後、単一あるいは複数の検出器を用いて測定するに際し、マイクロプレートを移動するタイプにおいては、液面が一定になるまで待機する必要が生じる。液面が揺れた状態での測定は、迷光の発生やサンプル層の有効長の変動によって正確な測定値を得ることは困難である一方、長期の待機時間はサンプルの反応状態の測定を困難にし、サンプル自体の変化を生じるおそれがある。また、上記のタイプおよび検出器を移動するタイプにあっては（光源部を有する場合も含む）、検出器の位置とウェルの位置を正確に一致させないと正確な測定が難しく、ウェルを大きくすればラフな位置合せでも測定精度を維持することが可能であるが、サンプル数の減少または装置の大型化を招くことになる。従って、サンプルをサンプルウェルに投入後、迅速に測定が可能なコンパクトな分析装置が望まれている。
【０００７】
また、上記の光源部に用いられるハロゲンランプは、一般に、（１）電源投入後安定な発光状態になるまでに約３０分間を要すること、（２）光源としての寿命が約１５００時間と短く定期的にランプ交換が必要となること、（３）フィラメントを加熱して発光するため表面温度が高く（約３００℃）、周囲に冷却用空間あるいは強制冷却手段を設ける必要があり光源部が大型化すること、（４）早い周期でのＯＮ−ＯＦＦ作動が困難なためチョッパを必要とし小型化が困難であること、などの問題があった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、上記のような問題点を解決し、マイクロプレートを用いた分析装置において、迅速かつ汎用性が高く、高い測定精度を有するコンパクトな分析装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するために、鋭意研究を重ねた結果、以下に示す分析装置により上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに到った。
【００１０】
本発明は、複数のサンプルウェルを有するマイクロプレート、前記サンプルウェルからの光を受ける検出器を構成要素として含む分析装置であって、前記マイクロプレートが検出器の視野を略等速で移動することを特徴とする。マイクロプレートを等速に移動したときに、ウェル内のサンプル表面は安定な状態を維持できることから、複数のサンプルを高速かつ高い精度での測定することが可能となる。
【００１１】
ここで、前記マイクロプレートが、前記検出器の視野を往復移動可能であることが好適である。検出器出力の平均化により複数のサンプルを高速かつ高い精度での測定することが可能となる。また、往復移動を繰り返すことで、一定の時間間隔を設けた連続的な測定も可能となる。
【００１２】
さらに、前記マイクロプレートが、線上に配置された複数のサンプルウェル群ごとに分離可能な構成であることが好適である。こうしたウェルユニットを使用することで、操作ミス、操作の煩雑さおよび自動化に伴う装置の大型化を防止し、本発明の迅速性および汎用性をより有効に活かすことができる。
【００１３】
また、前記サンプルウェルに光源部からの光を集光して照射し、前記検出器によって吸光度を検出する装置であって、前記光源部が単色光発生用光源であり、一定周期で発光・消光を繰り返すことを特徴とする。こうした装置によって、光源部や検出部あるいは光学フィルタを交換するだけで、広範囲での応用が可能となる点においてこうした要求に非常によく適用できる装置である。
【００１４】
このとき、前記光源部が、直接遷移固体発光素子からなることが好適である。こうした素子を使用することで、検出器からの出力も大きく、かつノイズ成分の少ない信号を得ることができる。
【００１５】
また、前記光源部からの光の波長域が、略４２０〜６７０ｎｍであることが好適である。生体反応における発色反応の検出にとって、検出感度あるいは選択性の面から好適な波長域であり、発光量も多く変調周波数も高い素子の利用が可能である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
本発明は、複数のサンプルウェルを有するマイクロプレート、前記サンプルウェルからの光を受ける検出器を構成要素として含む分析装置であって、前記マイクロプレートが検出器の視野を略等速で移動することを特徴とする。つまり、本発明者は、サンプルウェルを有するマイクロプレートを用いた測定において、マイクロプレートを等速に移動したときにウェル内のサンプル表面が非常に安定な状態を維持していることを見出したもので、複数のサンプルを高速かつ高い精度での測定することが可能となる。
【００１７】
図１は、本発明の実施態様を例示する分析装置であり、複数のウェル１を配したマイクロプレート２が等速で移動する構造を有する装置を一例として説明する。マイクロプレート２が、検出器３を通過したときの出力から測定値を演算する方法が採られる。以下、本装置の操作方法を例示する。
（１）ウェル１にサンプルを挿入する。
（２）複数のウェル１をマイクロプレート２に配列する（ウェルとプレートが別体となっている場合のみ、一体となっている場合は不要である。）。図１では、ウェル１をａ方向に８個等間隔に配列している。
（３）上記マイクロプレート２を装置前面Ａの位置にあるトレイ４にセットする。
（４）測定をスタートすると、マイクロプレート２はトレイ４とともに、ガイド５に沿って、等速で装置内部に移動する。
（５）マイクロプレート２は、当初のセット位置から装置内部に設けられた検出器３の位置に対して略等距離移動後、反転して当初のセット位置まで移動する。
（６）マイクロプレート２と取り除き、別のマイクロプレート２’をセットして、（４）、（５）を繰り返す。
以上の操作によって、検出器３に対して等速で測定可能な状態を作ることができる。このとき、検出器３をウェル１のａ方向の数と同じ間隔に同数配列することで、ａ方向のウェル１を同時に測定することができる。
【００１８】
このとき、ウェル１内部のサンプル表面は、図２（Ａ）のように移動方向（⇒）に対し、略一定の形状を有する（図では、ａ方向に対しｎ１  番目のウェルとｎ２  番目のウェルの状態を示している）。従って、検出器３からは、略等速移動において、図２（Ｂ）に示すように、略同一の波形の出力を得ることができる。
【００１９】
また、移動時の各ウェル１の位置は、マイクロプレート２に隣接する位置に設けられたスリット６を、検出器３が配列されたセンサ取付部８の対応する位置に配された位置センサ７によって検知することで、検出可能である。位置センサ７は、光源およびセンサからなる近接センサー等の反射型センサを用いてスリット６での反射光の寸断を検知する方法や、フォトインタラプタ等の透過型センサを用いてスリット６での透過光の寸断を検知する方法がある。
【００２０】
さらに、上記検出器３の出力は、位置センサ７の出力と同期させて信号処理を行い、各ウェルごとのサンプル測定開始から終了までの出力を平均することで、図２（Ｃ）に示すようなウェルごとのパルス信号を得ることができるとともに、精度の高い測定が可能となる。具体的には、増幅・同期整流処理後、ＡＤ変換し、演算処理部（図示せず）により測定値を算出し、表示部（図示せず）に表示する。
【００２１】
ここでいう分析装置とは、上述のように、光源部からの光をサンプルに照射し透過する光との差を検出する吸光度測定法、特定波長域の光（例えば、紫外線領域の光）をサンプルに照射したときに発生する異なる特定の波長の光を検出するフォトルミネッセンス法、あるいは、例えばルミノール反応のように特定試薬とサンプルとの反応によって生じる光を検出する化学発光法、のいずれも適用可能である。
【００２２】
ウェルは、使用する試薬や各測定法における使用特定波長に関連して任意の材質や形状を選択することが可能である。例えば、可視領域の光を使った吸光度測定においては、底部平坦なプレートなどを使用し、フォトルミネッセンス法においては、底部が平坦な石英製のプレートなどを使用し、化学発光法においては、底部が平坦なものや丸型のものなどを使用することが多い。
【００２３】
また、検出器は、使用特定波長に関連して任意に選択することが可能である。つまり、発光試薬と関係、あるいは反応生成物の吸収波長などによって決定され、検出器自体に選択性を有する場合と、検出器に選択性はないが光学フィルタによって選択性を確保する場合がある。一般に、固体検出器を用いることが多く、例えば、可視領域の光を使った吸光度測定においては、フォトダイオードやＣＣＤ（電子結合素子）などを使用し、フォトルミネッセンス法においては、フォトダイオードやフォトセルなどを使用し、化学発光法においては、フォトダイオードやフォトセルなどを使用することが多い。また、小型素子の使用による装置の小型化が可能であり、特に複数の素子を配列する本発明において有効である。
【００２４】
マイクロプレートの移動については、種々の機構の適用が可能であるが、一例として、アクチュエータを用いた移動機構を図３に示す。９６ウェルを配したマイクロプレート２がトレイ４に配置された状態で、トレイ４の下面に設けられたアクチュエータ９によって、ガイド５に沿って移動する。移動速度は、アクチュエータ９によって制御され、センサ取付部８を等速（例えば、１０〜５０ｍ／ｓｅｃ）で通過する。
【００２５】
なお、各ウェルの位置は、上記のようにスリットを検知することも可能であるが、検出器出力から検知することも可能である。つまり、通常、検出器出力は、上記図２（Ｂ）に示すように、ウェル内のサンプルからの光とそれ以外の部位からの光との差異を検知することが可能であり、この差異を利用することで、ウェルの位置つまりサンプルの位置を検知することができる。従って、図１に例示した装置のようなトレイにスリットを設け、位置センサを設ける必要がなくなる。
【００２６】
ここで、前記マイクロプレートが、前記検出器の視野を往復移動可能であることが好適である。本発明者は、上記測定において、マイクロプレートを等速に往復移動し、固定された検出器によって検出したときの出力を平均化すると静止面での測定値と差異がないことを見出したもので、複数のサンプルを高速かつ高い精度での測定することが可能となる。高速測定を行う場合には、１ｓｅｃあるいはそれ以下で一往復することも可能であり、多数の試料を迅速に処理することが可能である。また、往復移動を繰り返すことで、一定の時間間隔を設けた連続的な測定も可能となる。
【００２７】
つまり、図１の分析装置において、マイクロプレート２が矢印（⇒）方向に検出器３を通過したとき、および反転して再度検出器３を通過したときの両方の出力を利用して、測定値を演算する方法が採られる。
１つには、上記検出器３の出力を位置センサ７の出力と同期させて信号処理を行い、往路の信号と復路の信号を加算することで、図２（Ｃ）に示すような平均化された信号を得ることができるとともに、各ウェル内のサンプルの分布状態をも測定することが可能となる。短時間での物理的・化学的変化のないサンプルの測定に適しており、特に吸光度測定のように、サンプルの厚み（深さ）が検出器出力に関係する場合に有効である。
【００２８】
また、往路のみの平均化された信号と復路のみの平均化された信号とを比較することで、一定時間後のサンプルの変化を追跡することができる。さらに、一定の時間間隔で往復移動を繰り返してその平均値を追跡することで、所定時間でのサンプルの変化を連続的に測定することも可能となる。短時間でのサンプルの物理的・化学的変化の追跡に適しており、特に化学発光法を用いて生体反応を測定する場合に有効である。
【００２９】
また、前記マイクロプレートが、線上に配置された複数のサンプルウェル群（以下「ウェルユニット」という。）ごとに分離可能な構成であることが好適である。通常のマイクロプレートは、１つのマイクロプレートに多数のウェルを１つずつ挿入するタイプと、１つのプレートに多数のウェルを一体的に成型されたタイプとが知られている。ウェルを１つずつマイクロプレートに挿入するタイプでは、斜めに挿入する等ウェルの操作ミスも起こりやすく、操作が煩雑になりやすい。また、自動化をすれば装置の大型化を招くこととなる。一方、現在多く採用されている９６ウェルを１つのマイクロプレートに形成したタイプでは、ウェルに試薬あるいはサンプルを挿入するに際して近接するウェルに混入するおそれが高くなり、自動化は、装置の大型化を招くこととなる。線上に所定数のウェルを配置したウェルユニットを使用することで、本発明の迅速性および汎用性をより有効に活かすことができる。
【００３０】
図４（Ａ）に最小単位のウェルユニット１０の一例を示す。８つのウェルが一列に配置されてウェルユニット１０を形成している。図４（Ｂ）に示すように、ウェルユニット１０を１２ケ配置すれば、上記の９６ウェルを一のマイクロプレート２に形成することが可能であり、分析装置の仕様あるいは分析者の任意にユニット数を選択可能とすることで、操作ミスを軽減することができるとともに、汎用性の高い装置を提供することができる。むろん、１つあるいは少数のウェルユニットで測定するときは、マイクロプレート２の移動距離を短縮することができ、さらに迅速な測定が可能となることはいうまでもない。
【００３１】
また、前記サンプルウェルに光源部からの光を集光して照射し、前記検出器によって吸光度を検出する装置であって、前記光源部が単色光発生用光源であり、一定周期で発光・消光を繰り返すことを特徴とする。生体反応における吸光度測定においては、サンプルの種類によって使用する試薬も異なることから、使用波長も種々の帯域に適用できるような、汎用性の高い装置が要求される。本発明のような構成を有する装置では、光源部や検出部あるいは光学フィルタを交換するだけで、広範囲での応用が可能となる点においてこうした要求に非常によく適用できる装置である。
【００３２】
特に、単色光の光源部を用いることで、サンプル中に存在する微量の特定物質に対して非常に感度の高い測定ができるとともに、妨害する成分の影響を大幅に低減することができる。また、光源部の消光状態を基準とする、一定周期での変調処理を行うことで、検出器を含む光学系あるいは増幅信号処理部でのオフセット等のいわゆるドリフト要因を消去することができ安定な測定が可能となる。本装置では、こうした要素が複合的に作用して、非常に精度の高い測定値を得ることが可能となる。
【００３３】
また、光源からの光を集光し光路幅を狭くすることで、ウェル内の各部位におけるより詳細なサンプル情報を得ることができ、居所的な発色反応などが生じる場合であっても、洩れなく検出することができ精度の高い測定が可能となる。特に生体反応においては、測定部位により反応性が異なることが多くあり、こうしたビームによる測定によって、より正確な情報を取り出すことができる。
【００３４】
さらに、変調周波数は、光源部に使用される素子および検出器の応答測度などによって任意に選択可能であるが、発光ダイオードを用いた場合には、数１０ｋＨｚの周波数を選択することが可能であり、ウェルを通過する間における測定信号数も多くすることができる。従って、上記のビームによる測定効果と相俟ってウェル内の多数の測定部位の情報を得ることができるという優位な効果を得ることができ、生体反応の測定に非常に好適である。また、バックグランドによる迷光の影響や液面での微小変化の情報も正確に得ることができ、こうした影響を消去するのに有効性が高い。
【００３５】
図５に吸光度式分析装置における検出系の構成例を示している。ウェルの数に対応して、一列に配された複数の光源部１１および複数の検出器３が同軸上に配置された装置において、ウェル１が移動して同一光軸上に並んだ瞬間の状態を示しており、一定周期で変調した各光源部１１からの光が同数の等間隔に配されたレンズ１２で集光されて各ウェル１に照射され、透過光を各検出器３で受光することで、各ウェル１内での変化を検出することができる。ここで、ウェル１つまりトレイ４の位置は、スリット６を経由した位置検出用光源７’からの光を位置検出用センサ７”によって受光することによって検出することができる。ここで、光源部１１には、使用特定波長に関連して任意の素子を選択することが可能である。一般に、固体発光素子を用いることが多く、例えば、可視領域においては、発光ダイオードや半導体レーザなどを使用し、近赤外線領域においては、グローランプやハロゲンランプなどを使用し、近紫外線領域においては、発光ダイオードや水銀ランプなどを使用することが多い。
【００３６】
また、図６は、上記検出系を用いた吸光度式分析装置の全体構成の一例を示している。つまり、各ウェル１と同じピッチで８個配置された光源部１１は、発振器１４および光源駆動部１５によって変調のタイミングを制御されながら、測定に必要な特定波長の光（例えば、４５０ｎｍの青色光等）を発光する。光源からの光は一定の周波数で変調されるが、青色ダイオードを用いた場合には、１〜１０ｋＨｚの周波数を選択することが好適である。各検出器３からの微弱な信号は、増幅器１６によって増幅され、信号処理部１７内の電子スイッチ２０によって上記変調のタイミングに同期をとって整流することでバックグランドによる迷光の影響を消去した後、ＡＤ変換器１６を介してデータ処理部１７で演算処理されて各測定値が表示・出力される。
【００３７】
図７に、電子回路の要点を示す。増幅器１６からの脈動する出力が、電子スイッチ２０および差動増幅部２１を経由してローパスフィルタ２２によって平均化されることで、バックグランドによる迷光の影響を消去することができる。ローパスフィルタ２２の遮断周波数は、実用上、上記変調周波数の約１／１０以下であることが好ましい。２３は位置センサ信号処理部を示し、位置センサ出力は、上記同様差動増幅後ローパスフィルタ２２を経由してコンパレータ２４に導かれ、比較電圧Ｒｅｆと比較してデジタル信号に変換後データ処理部１９に入力され、ウェル１内のサンプルを測定した検出器信号のＡＤ変換のタイミングを指示する信号として用いられる。こうした電子回路を本発明に適用することで、特に高周波の信号を迅速に処理することが可能であり、多数の試料を高速で測定することができる。
【００３８】
このとき、前記光源部が、直接遷移固体発光素子からなることが好適である。こうした素子を使用することで、一定周期の変調を容易にかつＯＮ−ＯＦＦの切換が鮮明な光源を実現することができ、検出器からの出力も大きく、かつノイズ成分の少ない信号を得ることができる。また、小型素子の使用による装置の小型化が可能であり、特に複数の素子を配列する本発明において有効である。具体的には、生体反応でよく使用される波長域である４５０〜４７０ｎｍについて、使用可能な素子としては、例えば、窒化ガリウムやインジウム窒化ガリウムを素材としたＬＥＤなどが挙げられる。
【００３９】
さらに、前記光源部からの光の波長域が、略４２０〜６７０ｎｍであることが好適である。例えば、生体反応の中でも、抗原抗体反応については、試薬としてテトラメチルベンチジンを使用する方法が優れており、発色反応の検出には略４５０ｎｍの波長域が最も検出感度あるいは選択性の面から好ましい。このとき、上記直接遷移固体発光素子の中でも、窒化ガリウム系を使った光源が特に有用である。発光量も多く、変調周波数も高く設定することが可能であり、本発明の構成に適している。
【００４０】
このように、本発明の技術はこうした複数のサンプルに対して、広い範囲において応用が可能であり、汎用性が高く、高い測定精度を有する分析装置を提供することができる。
【００４１】
【発明の効果】
以上のように、本発明を適用した分析装置であっては、複数のサンプルを高速かつ高い精度での測定することが可能となる。
【００４２】
特に、マイクロプレートが検出器の視野を往復移動可能とすることで、検出器出力の平均化により複数のサンプルを高速かつ高い精度での測定することが可能となる。また、往復移動を繰り返すことで、一定の時間間隔を設けた連続的な測定も可能となる。
【００４３】
さらに、マイクロプレートが、線上に配置された複数のサンプルウェル群ごとに分離可能な構成とすることで、操作ミス、操作の煩雑さおよび自動化に伴う装置の大型化を防止し、本発明の迅速性および汎用性をより有効に活かすことができる。
【００４４】
また、サンプルウェルに集光して照射する単色光を一定周期で発光・消光を繰り返す吸光度測定装置にあっては、広範囲での応用が可能となる。
【００４５】
このとき、光源部に直接遷移固体発光素子を使用することで、検出器からの出力も大きく、かつノイズ成分の少ない信号を得ることができる。
【００４６】
また、生体反応における発色反応の検出にとって、検出感度あるいは選択性の面から波長域が略４２０〜６７０ｎｍであることが好適であり、発光量も多く変調周波数も高い素子の利用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る分析装置の第１の構成例を示す説明図である。
【図２】第１の構成例におけるサンプルの状態および検出器出力を例示する説明図である。
【図３】第１の構成例における測定部の詳細を例示する説明図である。
【図４】本発明に係るウェルユニットを例示する説明図である。
【図５】本発明に係る分析装置の第２の構成例の測定部を例示する説明図である。
【図６】第２の構成例における装置の全体を例示する説明図である。
【図７】第２の構成例における電子回路の要部を例示する説明図である。
【図８】従来技術に係る分析装置の１の構成例を示す説明図である。
【図９】従来技術に係る分析装置の他の構成例を示す説明図である。
【符号の説明】
１    ウェル
２    マイクロプレート
３    検出器
７    位置センサ
１０  ウェルユニット
１１  光源部
１２  レンズ
１４  発振器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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