(57)【要約】【課題】搬送荷姿がウエハーからパレット、パレットからＳＣＲローダーと変化していくのに対して、検査データーの分割単位と配列も変えていく必要があり、レーザー素子単位で検査データーの管理が要求される工程において、搬送荷姿の変更の都度オペレーターが介在する作業の中で物と検査データーの管理が非常に煩雑になっている。【解決手段】本発明では、検査データーとスクリーニングの使用状態を一元的に管理するメインコントローラーの下に、フロッピーディスク読込み装置、マーキング制御部、マーク読込み制御部、表示操作装置及びスクリーニング装置制御部で構成されるネットワークシステムを構築し、レーザー素子ボンド工程でマーキングしたサブマウントのマークを後工程で読込むことにより、物とデーター管理に関わる作業を大幅に減らし作業効率の向上を実現することができる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザーの組立工程において、ウエハー検査での個々の素子の検査結果を、後工程のスクリーニング装置のスクリーニング条件とする工程で、ボンド工程からスクリーニング工程までのレーザー素子の検査データーを管理することを特徴とする製造工程管理システム。
【請求項２】
前記記載の検査データーの管理で、マーキング装置とマーク読取り装置を備えることを特徴とする請求項１記載の製造工程管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体レーザー素子の組立工程における製造工程管理システム及び管理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の製造管理方法を図１の従来の製造方法を説明する図を使用して説明する。
【０００３】
従来の管理工程は、ウエハー検査工程を行い、レーザー素子ボンド、レーザー素子のＤＣ検査、ＳＣＲローダーそしてスクリーニングの順序である。
【０００４】
次に、各工程を図２〜５を用いて詳細に説明する。
【０００５】
まず、図２に示すように、ウエハー検査工程では、検査済みのウエハー１と検査結果を記憶したフロッピーディスク２が準備される。次に、レーザー素子ボンド工程では、ウエハー１より１個ずつレーザー素子３を取り出し、サブマウント４にボンドした後、パレット５に入れる。
【０００６】
このとき、図３に示すように、フロッピー２より読出した検査結果のデーターをパレット単位に別のフロッピーディスク６，７，８に移し変える。
【０００７】
次に、図４に示すように、パレット５とフロッピーディスク６，７，８をセットで、レーザー素子ＤＣ検査工程に送る。
【０００８】
次に、図５に示すように、パレットの状態でレーザーＤＣ検査を終えた後、次のＳＣＲローダー工程で、パレットに格納されたサブマウントを１つずつスクリーニング装置９専用のＳＣＲボード１０に移し変える。このとき、フロッピーディスクのパレット単位に記録されている検査データーから、ＳＣＲボード単位に検査データーを分割した状態でプリント帳票１１を作成する。このあと、プリント帳票１１の検査データーに基づいて、オペレーターがスクリーニング装置９にサブマウントにボンドされているレーザー素子一つ一つのスクリーニング条件を設定したあと、スクリーニング装置内に該当ＳＣＲボードをセットする。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の技術には次のような問題がある。すなわち、搬送荷姿がウエハーからパレット、パレットからＳＣＲローダーと変化していくのに対して、検査データーの分割単位と配列も変えていく必要があり、レーザー素子単位で検査データーの管理が要求される工程において、搬送荷姿の変更の都度オペレーターが介在する作業の中で物と検査データーの管理が非常に煩雑になっている。また、作業ミスや搬送時のトラブルも起こりやすく、トラブルが発生した場合前記製造内容からリカバリーは非常に困難となっている。また、スクリーニング装置へのスクリーニング条件の設定もレーザー素子一つ一つについて行う必要があり大きな作業負担となっている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明では、検査データーとスクリーニングの使用状態を一元的に管理するメインコントローラーの下に、フロッピーディスク読込み装置、マーキング制御部、マーク読込み制御部、表示操作装置及びスクリーニング装置制御部で構成されるネットワークシステムを構築する。まずウエハー検査結果のデーターをフロッピーディスク読込み装置から読込みメインコントローラーの記憶部に記憶する。次にレーザーボンド工程でレーザー素子をサブマウントに順番にボンドしていくが、そのとき同時に該当素子の検査結果を記憶部から読出しその内容を、マーキング装置でサブマウントに印字する。その後のＳＣＲローダー工程で、このマーキングの内容をＳＣＲローダー部に設けたマーク読取り装置により読取り、読取ったマークデータとメインコントローラーの記憶部に記憶している、スクリーニング装置のロケーション管理情報よりメインコントローラーがスクリーニングの条件とスクリーニング装置内の該当ＳＣＲボードをセットするロケーションを求め、ネットワークによりスクリーニング制御装置に送信するとともに、オペレーターにも表示・操作部にそのロケーションを表示する。オペレーターはこの表示を見て該当ＳＣＲボードをスクリーニング装置内の所定のロケーションにセットする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図６に示すように、ウエハー検査装置（図示せず）よりウエハーに付帯した検査結果を記憶したフロッピーディスクより検査データーをフロッピーディスク読込み装置より読込み、メインコントローラーの記憶装置に記憶する。
【００１３】
次に、ウエハー１２をレーザー素子ボンド装置にセットした後、レーザー素子１３を１つずつサブマウント１４にボンドするが、この時該当素子の検査データーをメインコントローラーの記憶部より読出し、このデーターにもとづいて、マーキング装置を制御してサブマウント１４にマーキングする。このようにしてレーザー素子１３をボンドしてマーキングしたサブマウント１４がパレット１５に入った荷姿でＳＣＲローダー工程まで送られる。
【００１４】
次に、図７に示すように、ＳＣＲローダー工程では、ＳＣＲ工程の次の工程であるスクリーニング工程のスクリーニング装置にセットするため、パレット１５からＳＣＲボード１６にサブマウント１４を１つずつ移し替えるが、この時、サブマウント１４のマークを読取りながらＳＣＲボード１６にセットしていく。また、個々のＳＣＲボード１６を識別管理するため、ＳＣＲボード１６自体にもマーキングされており、これら読取られたサブマウント１４のマークデータ、ＳＣＲボード１６のマークデータをもとに、メインコントローラーが記憶部に記憶している検査データ、スクリーニング装置のロケーション管理データ、ＳＣＲボード管理データーをもとにスクリーニング条件、該当ＳＣＲボードをスクリーニング装置内にセットするロケーションを求め、ネットワークによりスクリーニング装置メイン制御部に送るとともに、表示操作装置に前記同じ内容を表示する。これによりオペレーターは煩雑な、物とデーターの管理が不要になり間違いのない作業をすることが可能になる。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の製造工程管理システム、管理方法をとれば次のような効果がある。すなわち本発明のようにサブマウントにマーキングして検査データーとスクリーニング装置のロケーション管理をメインコントローラーで一元的に管理することにより、オペレーターのデーター管理業務が大幅に改善され作業効率が向上する。また、マーキングによりレーザー素子ごとに管理が可能となりトラブルや作業ミスがなくなり品質向上効果も大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の半導体レーザーの組立工程を説明する図
【図２】同レーザー素子のボンドを説明する図
【図３】同検査データの分割を説明する図
【図４】同サブマウントの移し替えを説明する図
【図５】同検査データのプリントを説明する図
【図６】マーキングを説明する図
【図７】マーク読取りを説明する図
【符号の説明】
１　検査済みのウエハー
２　フロッピーディスク
３　レーザー素子
４　サブマウント
５　パレット
６　フロッピーディスク
７　フロッピーディスク
８　フロッピーディスク
９　スクリーニング装置
１０　ＳＣＲボード
１１　プリント帳票
１２　ウエハー
１３　レーザー素子
１４　サブマウント
１５　パレット
１６　ＳＣＲボード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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