(57)【要約】【課題】磁気メモリにおいて、２端子でスイッチングと磁化反転を動作可能な高出力メモリセルを提供する。【解決手段】ダイオードとスピン注入磁化反転誘起層とトンネル型磁気抵抗効果素子からなるＭＩＳ接合積層膜を形成し、ビット線とワード線をこの積層膜に接続させる。【選択図】  図１
2004179483.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビット線と、ワード線と、ビット線とワード線に電気的に接続されて形成された積層体を有し、
上記積層体は、ｐｎダイオード、第１の強磁性層、非磁性層、第２の強磁性層、強磁性層間トンネルバリア層、及び第３の強磁性層をこの順に積層された構造を有し、
上記ワード線は、上記ダイオードと電気的に接続され、上記ビット線は、上記第３の強磁性層と電気的に接続されていることを特徴とする不揮発性磁気メモリ。
【請求項２】
上記ビット線と第３の強磁性層との間に反強磁性層を備えることを特徴とする請求項１に記載の磁気メモリ。
【請求項３】
上記ｐｎダイオードと第１の強磁性層との間に、ダイオードー強磁性層間トンネルバリア層を備えることを特徴とする請求項１あるいは２に記載の磁気メモリ。
【請求項４】
上記ｐｎダイオードを構成するｐ型半導体はｐ型磁性半導体であることを特徴とする請求項１あるいは２に記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項５】
ビット線と、ワード線と、ビット線とワード線に電気的に接続されて形成された積層体を有し、
上記積層体は、半導体と第１の強磁性層からなるショットキーダイオード、非磁性層、第２の強磁性自由層、強磁性層間トンネルバリア層、第３の強磁性層がこの順に積層された構造を有し、
上記ワード線は、上記ショットキーダイオードの半導体と電気的に接続され、上記ビット線は、上記第３の強磁性層と電気的に接続されていることを特徴とする不揮発性磁気メモリ。
【請求項６】
上記ビット線と第３の強磁性層との間に反強磁性層を備えることを特徴とする請求項５に記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項７】
上記ショットキーダイオードを構成する半導体は磁性半導体であることを特徴とする請求項５あるいは６に記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項８】
上記ショットキーダイオードは半導体と第１強磁性層との間に半導体―強磁性層間トンネルバリア層を備えることを特徴とする請求項５あるいは６に記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項９】
上記第１の強磁性層と非磁性層と第２の強磁性層の積層部分は、スピン注入磁化反転を示すことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項１０】
上記第２の強磁性層と上記強磁性層間トンネルバリア層と上記第３の強磁性層の積層部分は、トンネル磁気抵抗効果を示すことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項１１】
上記第１の強磁性層の磁化の方向は固定されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項１２】
上記第３の強磁性層の磁化の方向は固定されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項１３】
上記第３の強磁性層の磁化の方向は、上記強磁性層間トンネルバリア層と対向する側とは反対側に形成された反強磁性層により固定されていることを特徴とする請求項１２に記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項１４】
上記第３の強磁性層の保磁力は、上記第２の強磁性層の保磁力よりも小さいことを特徴とする請求項１２に記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項１５】
ビット線と、ワード線と、ビット線とワード線に電気的に接続されて形成された積層体を有し、
上記積層体は、ｐｎダイオードとトンネル型磁気抵抗効果素子が積層された構造を有し、上記ｐｎダイオードを形成するｐ型半導体はｐ型磁性半導体であり、上記トンネル型磁気抵抗効果素子は第１強磁性層、強磁性層間トンネルバリア層、第２強磁性層を備え、上記ワード線は、上記ｐｎダイオードと電気的に接続され、上記ビット線は、上記第２強磁性層と電気的に接続されていることを特徴とする不揮発性磁気メモリ。
【請求項１６】
上記ビット線と第２強磁性層との間に反強磁性層を備えることを特徴とする請求項１５に記載の不揮発性磁気メモリ。
【請求項１７】
請求項４、７あるいは１５のいずれかに記載の磁気メモリセルにおいて上記磁性半導体は、Ｍｎ、Ｇａ、Ａｓ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｃｒのいずれか一つを含むことを特徴とする不揮発性磁気メモリ。
【請求項１８】
請求項９に記載の磁気メモリセルにおいて上記スピン注入磁化反転誘起層は、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｒｕ、Ａｌ、Ａｇ、Ｐｔの少なくとも一つを含むことを特徴とする不揮発性磁気メモリ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はスイッチング機能とスピン注入磁化反転機能をもつ高出力不揮発性磁気メモリに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１４に示したように、従来の不揮発性磁気メモリはＣ−ＭＯＳＦＥＴ上にトンネル型磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子を形成したセルにより構成される。スイッチングはＣ−ＭＯＳを利用し、情報の記録及び読出しはＴＭＲ素子（例えば、非特許文献１参照。）を使って行う方式である。
【０００３】
【非特許文献１】
「Ｔ．  Ｍｉｙａｚａｋｉ  ａｎｄ  Ｎ．  Ｔｅｚｕｋａ，  Ｊ．  Ｍａｇｎ．  Ｍａｇｎ．  Ｍａｔｅｒ．  １３９，  Ｌ２３１  （１９９５）」
【非特許文献２】
「Ｆ．  Ｊ．  Ａｌｂｅｒｔ  ｅｔ  ａｌ．  Ａｐｐｌ．  Ｐｈｙｓ．  Ｌｅｔｔ．，  ７７  （２０００）  ３８０９．」
【非特許文献３】
「Ｙ．  Ｏｈｎｏ  ｅｔ  ａｌ．  Ｎａｔｕｒｅ  ４０２  ７９０  （１９９９）」
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、不揮発性磁気メモリに関する以下の課題を解決するために、半導体とスピン注入磁化反転層とＴＭＲ素子からなる２端子型の磁気メモリセルを用いた集積度の高い低消費電力高出力の不揮発性磁気メモリを提供することを目的とする。
【０００５】
第一の課題は、電極配線数を減らすことである。従来の磁気メモリではＣ−ＭＯＳを使ってＴＭＲセル（情報記録セル）のスイッチングを行うためにＣ−ＭＯＳを動作させるためのゲート、ソース、ドレイン電極配線が必須である。そのため、配線数を減少させることが課題の一つである。
【０００６】
第二の課題は、電流誘起磁場によらないＴＭＲ素子自由層の磁化反転である。従来方式では、ビット線とワード線に流す電流によって作られる空間静磁場を利用してＴＭＲ素子の自由層の磁化反転を行い情報の書き込みを行っていた。従って、磁化反転を起こすのに十分な磁場を誘起するには非常に大きな電力が必要となりこれを低減させることが課題である。
【０００７】
第三の課題は出力の増大である。従来磁気メモリに使われているＴＭＲ素子のＴＭＲ比は４０％程度であり更なる高出力化が課題である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明では、不揮発性磁気メモリにおいて、ビット線と、ワード線と、ビット線とワード線に電気的に接続されて形成された積層体を有し、該積層体は、ｐｎダイオード、第１の強磁性層、非磁性層、第２の強磁性層、強磁性層間トンネルバリア層、及び第３の強磁性層をこの順に積層された構造を有し、ワード線は、ダイオードと電気的に接続され、ビット線は、上記第３の強磁性層と電気的に接続されているようにした。
【０００９】
かかる多層構造において、上記第１の強磁性層と非磁性層及び第２の強磁性層はＧＭＲ膜を形成し、かつ、第２の磁性層と第２のトンネルバリア層及び第３の強磁性層はＴＭＲ膜を形成している。ＧＭＲ膜のうち、第１の強磁性層と非磁性層はスピン注入磁化反転層として機能し、第２の強磁性層はＧＭＲ／ＴＭＲ膜の強磁性自由層として機能する。また、第１の強磁性層はＧＭＲ膜の固定層、第３の強磁性層はＴＭＲ膜の自由層として機能する。
【００１０】
ｐｎダイオードを構成するｐ型半導体はｐ型磁性半導体であるようにした。
【００１１】
また、上記積層体は、半導体と第１の強磁性層からなるショットキーダイオード、非磁性層、第２の強磁性自由層、強磁性層間トンネルバリア層、第３の強磁性層がこの順に積層された構造を有しするようにした。
【００１２】
さらに、ビット線と第３の強磁性層との間に反強磁性層を備え、ダイオードと第１の強磁性層との間に、ダイオードー強磁性層間トンネルバリア層を備えるようにした。
【００１３】
ショットキーダイオードは半導体と第１強磁性層の中間層として、半導体―強磁性層間トンネルバリア層を備えるようにした。
【００１４】
第１の強磁性層と非磁性層と第２の強磁性層の積層部分は、スピン注入磁化反転を示し、第２の強磁性層と上記強磁性層間トンネルバリア層と上記第３の強磁性層の積層部分は、トンネル磁気抵抗効果を示すようにした。
【００１５】
第２の強磁性層は磁化反転において、自由層として機能するようにした。
【００１６】
第１の強磁性層および第３の強磁性層の磁化の方向は固定されているようにし、第３の強磁性層の磁化の方向は、上記強磁性層間トンネルバリア層と対向する側とは反対側に形成された反強磁性層により固定されているようにした。
【００１７】
【発明の実施の形態】
まず本発明実施形態概要を述べる。本発明の不揮発性メモリは、第一に磁性半導体を含む半導体によって形成されるダイオードを備えることによりそのスイッチング機能を利用した。ダイオードはｐｎ接合を使った方式や金属と半導体の界面に形成されるショットキーバリアを用いた。特にｐｎ接合ではｐ型磁性半導体とｎ型化合物半導体によっても形成した。形成したダイオードによってスイッチングを行った。
【００１８】
第二にスピン注入磁化反転層をダイオード上に備え、素子に流すスピン電流によって記録部である強磁性層の磁化を反転させることによって情報を書き込んだ。特にこのスピン注入磁化反転層はＣｏに代表される強磁性層とＣｕなどの非磁性金属の多層膜によって形成した。（かかる多層膜については、非特許文献２を参照。）このスピン注入磁化反転層による磁化反転により情報の書き込みを行った。
【００１９】
第三に情報の読み出しはＴＭＲ素子の抵抗変化を使って行った。そのときのセンス電流は上記ダイオードを構成している磁性半導体から注入される非常にスピン分極率の高いスピン電流を用いた（非特許文献３参照）。かかるセンス電流を用いることにより従来の磁気メモリよりも高い出力が実現することができた。
【００２０】
すなわち、本発明においては、多層膜を利用したスピン注入磁化反転によって情報を書き込み、その結果電流誘起磁場が不要となり、高密度化を実現することが出来た。また、トンネル型磁気抵抗効果による情報の読み出しにおいてダイオードから注入される非常に高いスピン分極率のスピン電流を利用することにより高出力化を実現した。さらに、ダーオードによるスイッチング利用により配線数を大幅低減することができ、その結果として高密度集積化・高速化の実現を達成した。
詳細なる実施の形態について、以下、図面を参照して述べる。
【００２１】
［実施の形態１］
図１に本実施例の一つのメモリセル断面模式図を示す。ｎ型半導体１１の上にｐ型半導体１２が配置されておりｐｎ接合が形成されている。このｐｎ接合はｎ型半導体としてｎ−ＧａＡｓ、ｐ型半導体としてｐ−ＧａＡｓから構成されている。これらの半導体としてＩｎＧａＡｓを用いても良い。これらは分子線エピタキシー（ＭＢＥ）法を用いて形成された。
【００２２】
その後、超高真空雰囲気から暴露せずにスパッタリング法によって第一の強磁性層３１としてＣｏ、非磁性層３５としてＣｕを成膜し、第一の強磁性層３１と非磁性層３５の積層膜でスピン注入磁化反転層２を作製した。次に、第二の強磁性層３２としてＣｏＦｅ、さらに強磁性層間トンネルバリア２２を形成するためＡｌをこの順に連続的に成膜した。
【００２３】
その後、超高真空雰囲気を破らず最表面のＡｌをプラズマ酸化処理をおこなってＡｌ酸化物で強磁性層間トンネルバリア２２を形成した。強磁性層間トンネルバリア２２としてＡｌの酸化膜以外に、Ｈａ、Ｔａ、Ｍｇ、Ｔｉの酸化物を用いることも可能である。再びスパッタリング法を使って第３の強磁性層３３であるＣｏＦｅを積層させ、メモリセルを形成するための積層膜を作製した。第１の強磁性層と第３の強磁性層にはＣｏＦｅのほかにＮｉＦｅを使っても良い。ここでは第３の強磁性層３２と強磁性層間トンネルバリア２２と第三の強磁性層３３でトンネル型磁気抵抗効果素子３を形成した。
【００２４】
かかる多層構造において、上記第１の強磁性層３１と非磁性層３５及び第２の強磁性層３２は巨大磁気抵抗効果素子を形成し、かつ、第２の磁性層３２と第２のトンネルバリア層２２及び第３の強磁性層３３は上述のごとくトンネル型磁気抵抗効果素子３を形成している。巨大磁気抵抗効果素子のうち、第１の強磁性層３１と非磁性層３５はスピン注入磁化反転層として機能し、第２の強磁性層３２は巨大磁気抵抗効果素子／トンネル型磁気抵抗効果素子の強磁性自由層として機能し、また、第１の強磁性層３１は巨大磁気抵抗効果素子の固定層、第３の強磁性層３３はトンネル型磁気抵抗効果素子３の自由層として機能する。かかる機能構成が以下に見るごとく電流誘起磁場によらない第２の強磁性層３２の磁化反転を可能にしている。
【００２５】
メモリセル１の形成にはフォトリソグラフィを用いた。まず上記積層膜を一括で所定の形状にリソグラフィーとエッチングを用いて加工した。その後０．１  ｘ  ０．１？ｍ２のメモリセルを形成するためにＥＢリソグラフィーとエッチングを使って、ｐ型半導体１２の上の積層膜を加工する。その後ワード線を作製し、ビット線４１とワード線４２を電気的に絶縁するための絶縁膜を形成し、最後にビット線を形成する。
【００２６】
こうして作製したメモリセルにビット線、ワード線を電極端子として２端子測定した電流−電圧特性は図１３のようにヒステリシスを伴う整流特性（スイッチング）が得られた。整流特性はｐｎ接合によるものである。また、ヒステリシスは、非磁性層３５のＣｕと第１の強磁性層３１Ｃｏで作られるスピン注入磁化反転層２から流れるスピン電流により、第２の強磁性層３２のＣｏＦｅの磁化方向が変わるためにトンネル型磁気抵抗効果素子３の抵抗が変化するためである。従って、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
【００２７】
図１２は、上記の電流−電圧特性を示すメモリセル１を集積化した磁気メモリの模式図を示す。メモリセル１は２端子によってスイッチング及び磁化反転が可能なため、４Ｆ２のセルサイズが可能であり１Ｇｂｉｔの不揮発性磁気メモリを実現できる。
【００２８】
［実施の形態２］
図２は図１の構成において、第三の強磁性層の磁化方向を固定するために反強磁性層３４を備えたメモリセルのセル断面模式図を示したものである。この反強磁性層３４にＭｎＰｔを用いた。メモリセル１の他の膜構成は実施の形態１と同様である。また、セル形成方法も実施の形態１と同様フォトリソグラフィ及びＥＢリソグラフィを用いて行った。
【００２９】
本実施の形態においても実施の形態１におけると同様、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
こうして作製したメモリセルの代表的な電流―電圧特性も図１３のようなデータが得られた。
【００３０】
［実施の形態３］
図３は図２の構成においてｐｎダイオードと第１の強磁性層との間に、半導体ー強磁性層間トンネルバリア層を形成したメモリセルのセル断面模式図である。このダイオードー強磁性層間トンネルバリアにはＡｌＡｓを用いた。メモリセル１の他の膜構成は実施の形態２と同様である。また、セル形成方法も実施の形態及び２と同様フォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。
【００３１】
本実施の形態においても実施の形態１におけると同様、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
こうして作製したメモリセルの代表的な電流−電圧特性も図１３のデータが得られた。
【００３２】
［実施の形態４］
図４は図２の構成においてｐ型半導体１２の代わりにｐ型磁性半導体１３を用いたメモリセルのセル断面模式図である。このｐ型磁性半導体１３としてｐ−ＭｎＧａＡｓをＭＢＥ法にて成膜した。また、ｐ型磁性半導体１３はｐ−ＭｎＧａＮでもよい。メモリセル１の他の膜構成は実施の形態１および２と同様である。また、セル形成方法も実施の形態１と同様フォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。
【００３３】
本実施の形態においても実施の形態１におけると同様、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
【００３４】
こうして作製したメモリセルの代表的な電流−電圧特性も図１３のデータが得られたが、実施の形態１に比べ出力が１０倍大きくなる。これは、ｐ型磁性半導体１３を用いたことにより、トンネル型磁気抵抗効果素子３に非常にスピン分極率の大きな電流が流れるために、磁気抵抗比が増大したためである。
【００３５】
［実施の形態５］
図５は半導体１４上にスピン注入磁化反転層２とトンネル型磁気抵抗効果素子３を順次形成したメモリセルの断面模式図を示す。スピン注入磁化反転層２とトンネル型磁気抵抗効果素子３に用いた材料は実施の形態１および２と同様である。また、メモリセル形成方法も実施の形態１および２と同様フォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。
【００３６】
本実施の形態においても実施の形態１におけると同様、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
【００３７】
こうして作製したメモリセルの代表的な電流−電圧特性は図１３のデータに示すように整流特性を持つ。これは、強磁性層３１と半導体１４の界面に作られるショットキバリアによる整流特性である。また、このショットキーバリアを介して半導体１４からホットエレクトロンがスピン注入磁化反転誘起層に及びトンネル型磁気抵抗効果素子に注入されるため高い出力感度が実現できる。
【００３８】
［実施の形態６］
図６は図５の構成において半導体１４の代わりに磁性半導体１５を用いたメモリセルのセル断面模式図である。磁性半導体１５にはＧａＭｎＡｓを用いた。メモリセル１の他の膜構成は実施の形態５と同様である。また、セル形成方法も実施の形態２と同様フォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。
【００３９】
本実施の形態においても実施の形態１におけると同様、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
【００４０】
こうして作製したメモリセルの代表的な電流−電圧特性は図１３のデータに示すように整流特性を持つが、実施の形態５に比べ出力が１０倍以上大きくなる。
【００４１】
これは、磁性半導体１５を用いたことにより、トンネル型磁気抵抗効果素子３に非常にスピン分極率の大きな電流が流れるために、磁気抵抗比が増大したためである。
【００４２】
［実施の形態７］
図７は図５に示した構成において半導体１４と第一の強磁性層３１が半導体―強磁性層間トンネルバリア２１を介して隣接しているメモリセルの断面模式図を示す。半導体―強磁性層間トンネルバリア層にはＡｌＡｓが用いられた。その他の層に用いた材料は図５の場合と同様である。セル形成方法は実施の形態１と同様にフォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。本実施の形態のメモリセル１ではワード線４２は半導体１４に接続されている。
【００４３】
本実施の形態においても実施の形態１におけると同様、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
【００４４】
上記メモリセル１の電流―電圧特性もまた、図１３のような整流作用を示した。この整流作用はトンネル可能な薄い絶縁膜を介する半導体―金属接合すなわち半導体１４、半導体―強磁性層間トンネルバリア層２１及び金属層である第１の強磁性層３１で構成されるＭＩＳ接合の伝導特性によるものである。
【００４５】
［実施の形態８］
図８は図７に示した構成において半導体１４の代わりに磁性半導体１５を用いたメモリセルの断面模式図を示す。セル形成方法は実施の形態１と同様にフォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。本実施の形態のメモリセル１ではワード線４２は半導体１４に接続されている。
【００４６】
本実施の形態においても実施の形態１におけると同様、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
【００４７】
上記メモリセル１の電流―電圧特性もまた、図１３のような整流作用を示した。この整流作用は、実施の形態７と同様に、半導体１４、半導体―強磁性層間トンネルバリア層２１及び第一の強磁性層３１で構成されるＭＩＳ接合の伝導特性によるものである。
【００４８】
本実施の形態では磁性半導体１５から高分極したスピン電流が注入されるため実施の形態７に比べ出力が１０倍以上大きくなる。
【００４９】
［実施の形態９］
図９はｎ型半導体１１上にｐ型磁性半導体１３を形成し、その上にトンネル型磁気抵抗効果素子３が形成されたメモリセル１の断面模式図を示す。メモリセル１におけるトンネル型磁気抵抗効果素子３の膜構成は実施の形態２（図２）と同様、強磁性層（図９の第１の強磁性層５１が図２の第２の強磁性層３２に相当）／強磁性層間トンネルバリア層／強磁性層（図９の第２の強磁性層５２が図２の第３の強磁性層３３に相当）／反強磁性層からなる。また、セル形成方法も実施の形態２と同様フォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。
【００５０】
本実施の形態ではｐ型磁性半導体１３から第１の強磁性自由層３１にスピン注入されることにより第１の強磁性自由層３１の磁化が反転する。
【００５１】
従って本実施の形態においては、電流により第１の強磁性自由層５１の磁化方向を第２の強磁性層５２の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能となる。
【００５２】
こうして作製したメモリセルの代表的な電流−電圧特性も図１３のデータが得られたが、実施の形態１に比べ出力が１０倍大きくなる。
【００５３】
これは、ｐ型磁性半導体１３を用いたことにより、トンネル型磁気抵抗効果素子３に非常にスピン分極率の大きな電流が流れるために、磁気抵抗比が増大したためである。
【００５４】
［実施の形態１０］
図１０は磁性半導体１５上にトンネル型磁気抵抗効果素子３が形成されたメモリセル１の断面模式図を示す。各層に用いた材料は実施の形態５に示した構成と同様である。メモリセル１におけるトンネル型磁気抵抗効果素子３の膜構成は実施の形態６（図６）と同様、強磁性層（図１０の第１の強磁性層５１が図２の第２の強磁性層３２に相当）／強磁性層間トンネルバリア層／強磁性層（図９の第２の強磁性層５２が図２の第３の強磁性層３３に相当）／反強磁性層からなる。各層に用いた材料は実施の形態６に示した構成と同様である。また、セル形成方法も実施の形態６と同様フォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。
本実施の形態では磁性半導体１５から第１の強磁性自由層３１にスピン注入されることにより第１の強磁性自由層３１の磁化が反転する。
【００５５】
本実施の形態においても、実施の形態９におけると同様、電流により第１の強磁性自由層５１の磁化方向を第２の強磁性層５２の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能となる。
【００５６】
こうして作製したメモリセルの代表的な電流−電圧特性も図１３のデータが得られたが、実施の形態１に比べ出力が１０倍大きくなる。
【００５７】
これは、磁性半導体１５を用いたことにより、トンネル型磁気抵抗効果素子３に非常にスピン分極率の大きな電流が流れるために、磁気抵抗比が増大したためである。
【００５８】
［実施の形態１１］
図１１は図１０に示した構成において半導体―強磁性層間トンネルバリア２１を介して第１の強磁性自由層３１と磁性半導体１５が隣接したメモリセル１の断面模式図を示す。メモリセル１におけるトンネル型磁気抵抗効果素子３の膜構成は実施の形態８（図８）と同様である。各層に用いた材料は実施の形態８に示した構成材料と同様である。また、セル形成方法も実施の形態１と同様フォトリソグラフィーとエッチング及びＥＢリソグラフィーを用いて行った。
本実施の形態では磁性半導体１５から第一の強磁性自由層３１にスピン注入されることにより第一の強磁性自由層３１の磁化が反転する。
【００５９】
本実施の形態においても、実施の形態９におけると同様、電流により第１の強磁性自由層５１の磁化方向を第２の強磁性層５２の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能となる。
【００６０】
こうして作製したメモリセルの代表的な電流−電圧特性も図１３のデータが得られたが、実施の形態１に比べ出力が１０倍大きくなる。
【００６１】
これは、磁性半導体１５を用いたことにより、トンネル型磁気抵抗効果素子３に非常にスピン分極率の大きな電流が流れるために、磁気抵抗比が増大したためである。
【００６２】
［実施の形態１２］
図１２はメモリセル１を磁気メモリに応用する際の配置の例を示す。メモリセル１は２端子によりスイッチング且つスピン注入磁化反転動作が可能なためメモリセル配置が非常に単純になると同時に配線数が減少するため４Ｆ２の高密度な集積化が可能である。本実施の形態１２のメモリでは１Ｇｂｉｔ以上のメモリが実現可能である。
【００６３】
図１５から図２０は上記実施の形態３から実施の形態８で示したメモリセルにおいて反強磁性層３４のない構成である。これらの場合も実施の形態１におけると同様、電流により第２の強磁性自由層３２の磁化方向を第３の強磁性層３３の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能である。
【００６４】
また、図２１から図２３は上記実施の形態９から実施の形態１１で示したメモリセルにおいて反強磁性層３４のない構成である。これらの場合も実施の形態９におけると同様、電流により第１の強磁性自由層５１の磁化方向を第２の強磁性層５２の磁化方向に対して平行、反平行配置にすることが可能であり、電流誘起磁場によらない磁化反転が可能となる。
【００６５】
こうして作製したメモリセルの代表的な電流―電圧特性も図１３に示したような特性が得られた。
【００６６】
【発明の効果】
上述したような２端子の不揮発性磁気メモリセルを磁気メモリに組み込むことにより、スイッチングと電流磁場によらない磁化反転を実現できるためメモリセルの面積を小さくできるとともに、大容量の集積化が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の不揮発性磁気メモリセルの構成例を示した図である。
【図２】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図３】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図４】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図５】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である
【図６】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図７】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図８】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図９】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図１０】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図１１】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図１２】本発明の不揮発性磁気メモリセルにより構成される不揮発性磁気メモリの構成例を示した図である。
【図１３】本発明の不揮発性磁気メモリセルにおける電流―電圧特性の代表的データを示したものである。
【図１４】従来の磁気メモリセルの代表的断面模式図を示したものである。
【図１５】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図１６】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図１７】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である
【図１８】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図１９】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図２０】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図２１】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図２２】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【図２３】本発明の不揮発性磁気メモリセルの他の構成例を示した図である。
【符号の説明】
１…メモリセル、２…スピン注入磁化反転誘起層、３…トンネル型磁気抵抗効果素子、４…ｐｎダイオード、５…積層体、６…ショットキーダイオード、１１…ｎ型半導体、１２…ｐ型半導体、１３…ｐ型磁性半導体、１４…半導体、１５…磁性半導体、２１…半導体―強磁性体間のトンネルバリア層、２２…強磁性層間トンネルバリア層、３１…第１の強磁性層、３２…第２の強磁性層、３３…第３の強磁性層、３４…反強磁性層、３５…非磁性層、４１…ビット線、４２…ワード線、５１…第１の強磁性層、５２…第２の強磁性層。
【図１】
2004179483.tif 000003
【図２】
2004179483.tif 000004
【図３】
2004179483.tif 000005
【図４】
2004179483.tif 000006
【図５】
2004179483.tif 000007
【図６】
2004179483.tif 000008
【図７】
2004179483.tif 000009
【図８】
2004179483.tif 000010
【図９】
2004179483.tif 000011
【図１０】
2004179483.tif 000012
【図１１】
2004179483.tif 000013
【図１２】
2004179483.tif 000014
【図１３】
2004179483.tif 000015
【図１４】
2004179483.tif 000016
【図１５】
2004179483.tif 000017
【図１６】
2004179483.tif 000018
【図１７】
2004179483.tif 000019
【図１８】
2004179483.tif 000020
【図１９】
2004179483.tif 000021
【図２０】
2004179483.tif 000022
【図２１】
2004179483.tif 000023
【図２２】
2004179483.tif 000024
【図２３】
2004179483.tif 000025