(57)【要約】      （修正有）【課題】基板保持具において、サイズの異なる基板を保持可能にするとともに、基板のハンドリングを容易にして基板の落下を防止する。また、電子デバイスやフォトマスクの製造において、必要な基板保持具の種類や個数を減らして設備コストを削減するとともに、基板のハンドリングを容易にして生産性を向上させる。【解決手段】四角形の基板１を、その主表面が鉛直方向に沿うように保持する基板保持具１０において、基板１の隣接する二辺を、所定の角度傾けた状態で下方から支持する基板保持部１２を設ける。また、基板１に所定の処理を施して電子デバイスやフォトマスクを製造する製造工程において、基板１の一時待機、保管、搬送などを行うとき、上記の基板保持具１０によって基板１を保持する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形の基板を、その主表面が鉛直方向に沿うように保持する基板保持具であって、
前記基板の隣接する二辺を、所定の角度傾けた状態で下方から支持する基板支持部を備えることを特徴とする基板保持具。
【請求項２】
前記基板支持部が、長方形基板の長辺を下方から支持する長辺支持領域と、前記長方形基板の短辺を下方から支持する短辺支持領域とを備え、前記長辺支持領域と水平面とのなす角が、前記短辺支持領域と水平面とのなす角よりも小さく設定されることを特徴とする請求項１記載の基板保持具。
【請求項３】
円形又は多角形の基板を、その主表面が鉛直方向に沿うように保持する基板保持具であって、
前記基板の側縁を下方から支持する二つの支持領域を有し、かつ、これら支持領域が水平面と所定の角度を有する基板支持部を備えることを特徴とする基板保持具。
【請求項４】
基板に所定の処理を施して電子デバイスを製造する電子デバイスの製造方法であって、
請求項１，２又は３記載の基板保持具によって、前記基板を保持する工程が含まれていることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項５】
基板に所定の処理を施してフォトマスクを製造するフォトマスクの製造方法であって、
請求項１，２又は３記載の基板保持具によって、前記基板を保持する工程が含まれていることを特徴とするフォトマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネル基板、フォトマスク基板などの基板を保持する基板保持具に関し、さらには、前記基板保持具を用いる電子デバイスの製造方法、並びに、前記基板保持具を用いるフォトマスクの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネル（電子デバイス）や、その製造に使用されるフォトマスクは、通常、四角形の基板（ガラス基板など）に所定の処理を施して製造される。これらの製造において、基板の一時待機、搬送、保管などを行う際には、基板を保持する基板保持具が利用されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１に示される基板保持具は、箱形のカセットであり、基板の出し入れ口となる開口部を備えている。カセットの対向する二つの内側面には、それぞれ複数の収納溝が並列状に形成されており、この収納溝に、基板の平行な二辺を差し込むことにより、複数の基板が収納される。
また、特許文献１では、カセットを縦置き姿勢とし、基板を鉛直状に保持した状態と、カセットを横置き姿勢とし、基板を水平状に保持した状態と、カセットを傾斜姿勢とし、基板を傾斜状に保持した状態とが示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−１１５９９６号公報（第２頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、液晶表示パネルやフォトマスクには、特にサイズの規格がなく、また、近年では、液晶表示パネルが大型化する傾向にあるため、液晶表示パネルやフォトマスクの製造に際し、様々なサイズの基板を扱うことが要求されている。例えば、液晶表示パネルの製造に使用されるフォトマスクの場合には、その製造に際し、扱う基板のサイズが十種類を超えることがある。
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に示される基板保持具は、基板の平行な二辺を支持するように構成されているため、保持可能な基板のサイズが限定される。その結果、基板のサイズ毎に専用の基板保持具が必要になって、設備コストを増加させるだけでなく、これらの基板保持具が大きなスペースを占有するという問題がある。
【０００７】
また、液晶表示パネルやフォトマスクの製造に際し、基板をハンドリングする場合は、落下による基板の破損を防止するために、基板を慎重に扱うことが要求される。
しかしながら、特許文献１に示される基板保持具では、基板の出し入れに際し、基板の平行な二辺を両手で持つことになるため、大型の重い基板をハンドリングするとき、手が滑って基板を落下させる可能性がある。
【０００８】
本発明は、上記の事情にかんがみなされたものであり、サイズの異なる基板を保持することができるだけでなく、基板のハンドリングを容易にして、基板の落下を防止することができる基板保持具の提供を第一の目的とする。
また、液晶表示パネルなどの電子デバイスの製造において、必要な基板保持具の種類や個数を減らして、設備コストや基板保持具の占有面積を削減できるだけでなく、基板のハンドリングを容易にして、生産性を向上させることができる電子デバイスの製造方法の提供を第二の目的とする。
また、フォトマスクの製造において、必要な基板保持具の種類や個数を減らして、設備コストや基板保持具の占有面積を削減できるだけでなく、基板のハンドリングを容易にして、生産性を向上させることができるフォトマスクの製造方法の提供を第三の目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の基板保持具は、四角形の基板を、その主表面が鉛直方向に沿うように保持する基板保持具であって、前記基板の隣接する二辺を、所定の角度傾けた状態で下方から支持する基板支持部を備える構成としてある。
基板保持具をこのように構成すれば、基板の隣接する二辺を下方から支持することにより、異なるサイズの基板を保持することが可能になる。これにより、基板のサイズ毎に専用の基板保持具を用意していた従来に比べ、設備コストを削減できるだけでなく、基板保持具の占有スペースを削減することができる。
また、基板の隣接する二辺を下側から支えるようにハンドリングすることができるため、基板の出し入れに際し、基板の落下を防止することができる。
【００１０】
また、本発明の基板保持具は、前記基板支持部が、長方形基板の長辺を下方から支持する長辺支持領域と、前記長方形基板の短辺を下方から支持する短辺支持領域とを備え、前記長辺支持領域と水平面とのなす角が、前記短辺支持領域と水平面とのなす角よりも小さく設定される構成としてある。
基板保持具をこのように構成すれば、保持する長方形基板の重心位置を低く抑えることができるため、基板を安定良く保持し、基板の倒れを防止することができる。
【００１１】
また、本発明の基板保持具は、円形又は多角形の基板を、その主表面が鉛直方向に沿うように保持する基板保持具であって、  前記基板の側縁を下方から支持する二つの支持領域を有し、かつ、これら支持領域が水平面と所定の角度を有する基板支持部を備える構成としてある。
基板保持具をこのように構成すれば、円形あるいは多角形の基板をも支持することができ、四角形の基板を支持する上記基板支持具と同様の効果を得ることができる。なお、ここで、多角形とは、五角形以上のものをいい、円形とは、真円だけでなく楕円を含むものである。
【００１２】
また、上記目的を達成するため本発明における電子デバイスの製造方法は、基板に所定の処理を施して電子デバイスを製造する電子デバイスの製造方法であって、上記の基板保持具によって、前記基板を保持する工程が含まれる方法としてある。
電子デバイスの製造方法をこのような方法にすれば、必要な基板保持具の種類や個数を減らして、設備コストや基板保持具の占有面積を削減できるだけでなく、基板のハンドリングを容易にして、生産性を向上させることができる。
【００１３】
また、上記目的を達成するため本発明におけるフォトマスクの製造方法は、基板に所定の処理を施してフォトマスクを製造するフォトマスクの製造方法であって、上記の基板保持具によって、前記基板を保持する工程が含まれる方法としてある。
フォトマスクの製造方法をこのような方法にすれば、必要な基板保持具の種類や個数を減らして、設備コストや基板保持具の占有面積を削減できるだけでなく、基板のハンドリングを容易にして、生産性を向上させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１５】
［基板保持具の第一実施形態］
まず、本発明に係る基板保持具の第一実施形態について、図１〜図４を参照して説明する。
図１は、第一実施形態の基板保持具を示す側面図、図２は、第一実施形態の基板保持具を示す平面図、図３（ａ）は、基板を保持した第一実施形態の基板保持具を示す概略側面図、図３（ｂ）は、基板を保持した第一実施形態の基板保持具を示す概略正面図、図４は、基板のハンドリング時を示す説明図である。
【００１６】
これらの図に示すように、第一実施形態の基板保持具１０は、床面に載置されるベース部１１と、基板１を支持する基板支持部１２とを備えて構成されている。
基板保持具１０が保持する基板１は、液晶表示パネル基板やフォトマスク基板として用いられる四角形（長方形、正方形など）のものであり、本実施形態では、一辺が１７０ｍｍ以上（好ましくは、３００ｍｍ以上）、重量が０．２ｋｇ〜１０ｋｇのガラス基板を想定している。
【００１７】
ベース部１１は、所定の間隙を介して対向する一対の側板１３と、側板１３の上部同士を一体的に連結する複数の上部連結部材１４と、側板１３の下部同士を一体的に連結する複数の下部連結部材１５とから構成されている。
側板１３の上部には、基板１の角部形状に対応する直角三角形状の凹部１３ａが形成され、この凹部１３ａに沿って複数の上部連結部材１４が並設されている。
側板１３、上部連結部材１４及び下部連結部材１５の材質は、基板１の重量に対して耐性があれば、任意のものを選択することができる。例えば、ステンレス、アルミ、樹脂などが挙られる。
【００１８】
基板支持部１２は、複数の支持部材１６によって構成されている。本実施形態の支持部材１６は、上部連結部材１４が貫通可能な円筒に形成され、上部連結部材１４を介して側板１３に取り付けられている。支持部材１６の外周部には、長さ方向に所定の間隔をあけて、複数の支持溝１６ａが形成されている。この支持溝１６ａは、基板１の辺（側面）を支持するものであり、溝底面１６ｂの幅は、保持する基板１の厚さよりも大きく設定されている。また、支持溝１６ａの溝側面１６ｃは、基板１の辺を溝底面１６ｂに傾斜案内する傾斜面となっている。
【００１９】
支持部材１６の材質は、比較的硬質で発塵の少ないものであれば、任意に選択することができる。例えば、テフロン（登録商標）、デルリン、アルミのほか、アルマイト処理を施した金属などが挙られる。
なお、本実施形態の支持部材１６は、上部連結部材１４に一体的に固定されているが、上部連結部材１４に対して回転自在であってもよい。
また、本実施形態の支持部材１６は、複数の基板１を保持するために複数の支持溝１６ａを有するが、保持する基板１が１枚である場合は、支持溝１６ａを一本としてもよい。
【００２０】
上述した複数の支持部材１６は、基板保持具１０を側面から見たとき、水平面に対して所定角度（θ）傾いた仮想直線と、これに直交する仮想直線とに沿って並んでいる。
基板１を基板保持具１０に保持させる場合は、図４に示すように、主表面が鉛直方向に沿い、かつ、辺が傾くように基板１をハンドリングする。このとき、基板１の隣接する二辺を下方から両手で支えることができるため、基板１の平行な二辺を左右両側から支える場合に比べて手が滑り難くなり、基板１の落下を効果的に防止することが可能になる。
【００２１】
そして、上記のようにハンドリングした基板１を支持部材１６の上に降ろし、基板１の隣接する二辺を各支持部材１６の支持溝１６ａにセットすれば、基板１が基板保持具１０によって保持されることになる。
つまり、上記のように基板１を基板保持具１０にセットすると、複数の支持部材１６が、基板１の隣接する二辺を下方から支持することにより、主表面が鉛直方向に沿う姿勢で基板１が保持される。このような基板保持構造によれば、基板１の四辺のうち、隣接する下側の二辺だけが支持対象となるため、基板１の平行な二辺を支持するもののように、保持する基板１のサイズが限定されることなく、様々なサイズの基板１を保持することが可能になる。
【００２２】
また、本実施形態の基板支持部１２は、基板１の隣接する二辺を支持するにあたり、一方の辺を支持する支持領域（以下、長辺支持領域という。）が、他方の辺を支持する支持領域（以下、短辺支持領域という。）よりも長くなっており、長方形の基板１を保持する際には、基板１の長辺が長辺支持領域にセットされる。
長辺支持領域と水平面とのなす角θは、５゜〜４５゜が好ましく、１０゜〜３０゜であれば、さらに好ましい。つまり、長辺支持領域と水平面とのなす角θを、短辺支持領域と水平面とのなす角（９０−θ）よりも小さくすれば、長方形の基板１を保持する際に、基板１の重心位置を低く抑えることができるため、基板１を安定良く保持し、基板１の倒れを防止することが可能になる。
【００２３】
また、本実施形態の基板支持部１２は、所定の間隙を介して配置される複数の支持部材１６によって構成され、基板１の隣接する二辺を部分的に支持するため、基板１と支持部材１６の接触による発塵や、支持部材１６における塵の堆積を抑制し、基板１に対する塵の付着を低減させることができる。
【００２４】
［基板保持具の第二実施形態］
つぎに、本発明に係る基板保持具の第二実施形態について、図５を参照して説明する。ただし、第一実施形態と共通する構成及び作用効果は、第一実施形態の説明を援用するものとし、第一実施形態との相違点を中心に説明する。
図５は、第二実施形態の基板保持具を示す側面図である。
この図に示すように、第二実施形態の基板保持具２０は、床面に載置されるベース部２１と、基板１を支持する基板支持部２２とを備えて構成されている。
【００２５】
ベース部２１は、床面に沿う横パイプ２３と、横パイプ２３に立設される複数の縦パイプ２４とを一体的に備えて構成されている。各縦パイプ２４の上端位置は、基板保持具２０を側面から見たとき、水平面に対して所定角度（θ）傾いた仮想直線と、これに直交する仮想直線とに沿うように高さ設定されている。
基板支持部２２は、各縦パイプ２４の上端部に設けられる固定支持部材２５及び回転支持部材２６によって構成されている。固定支持部材２５は、長辺支持領域を構成するものであり、第一実施形態の支持溝１６ａに相当する支持溝２５ａが形成されている。また、回転支持部材２６は、短辺支持領域を構成するものであり、支持溝２６ａを有するプーリ状の回転部材で形成されている。
【００２６】
上記のように構成された第二実施形態の基板保持具２０でも、複数の支持部材２５、２６によって、基板１の隣接する二辺を下方から支持するため、第一実施形態の基板保持具１０と同様に、様々なサイズの基板１を保持することが可能になる。
しかも、第二実施形態の基板保持具２０では、複数の縦パイプ２４を立設し、その上端部に支持部材２５、２６を設けているため、基板１の下方に手が入る広いスペースを確保し、基板１のハンドリンをさらに容易にすることができる。
【００２７】
［基板保持具の第三実施形態］
つぎに、本発明に係る基板保持具の第三実施形態について、図６を参照して説明する。ただし、前記実施形態と共通する構成及び作用効果は、前記実施形態の説明を援用するものとし、前記実施形態との相違点を中心に説明する。
図６は、第三実施形態の基板保持具を示す斜視図である。
この図に示すように、第三実施形態の基板保持具３０は、床面に載置されるベース部３１と、基板１を支持する基板支持部３２とを備えて構成されている。
【００２８】
ベース部３１は、鉛直軸を中心として回転可能な回転テーブルを構成しており、その中心部には、基板支持部３２を構成するＹ字状の支持フレーム３３が立設されている。支持フレーム３３の上部は、基板保持具３０を側面から見たとき、水平面に対して所定角度（θ）傾いた仮想直線と、これに直交する仮想直線とに沿うように形状が設定されるとともに、その上面には、第一実施形態の支持溝１６ａに相当する支持溝３３ａが連続的に形成されている。この支持溝３３ａは、基板１の隣接する二辺を下方から支持するため、第一実施形態の基板保持具１０と同様に、様々なサイズの基板１を保持することが可能になる。
しかも、第三実施形態の基板保持具３０は、ベース部３１を回転テーブルとし、保持した基板１を回転させることができるため、様々なサイズの基板１を対象として回転目視検査を行うことが可能な目視検査装置としても使用することができる。
【００２９】
［基板保持具の第四実施形態］
つぎに、本発明に係る基板保持具の第四実施形態について、図７を参照して説明する。ただし、前記実施形態と共通する構成及び作用効果は、前記実施形態の説明を援用するものとし、前記実施形態との相違点を中心に説明する。
図７は、第四実施形態の基板保持具を示す側面図である。
この図に示すように、第四実施形態の基板保持具４０は、床面に載置されるベース部４１と、基板１を支持する基板支持部４２とを備えて構成されている。
【００３０】
ベース部４１は、下面に複数の車輪４３を備える台車を構成しており、その中心部には、２本の支持フレーム４４が立設されている。支持フレーム４４の上部には、基板支持部４２を構成する複数の支持部材４５が設けられている。これらの支持部材４５は、基板保持具４０を側面から見たとき、水平面に対して所定角度（θ）傾いた仮想直線と、これに直交する仮想直線とに沿うように配置されるとともに、第一実施形態の支持溝１６ａに相当する支持溝４５ａを有している。これらの支持溝４５ａは、基板１の隣接する二辺を下方から支持するため、第一実施形態の基板保持具１０と同様に、様々なサイズの基板１を保持することが可能になる。
しかも、第四実施形態の基板保持具４０は、ベース部４１を台車とし、保持した基板１を搬送することができるため、様々なサイズの基板１を搬送可能な基板搬送装置としても使用することができる。
【００３１】
［電子デバイスの製造方法］
つぎに、本発明に係る電子デバイスの製造方法を、液晶表示パネルの製造方法を例にして説明する。
液晶表示パネルの製造工程には、液晶表示パネル基板を準備する工程と、液晶表示パネル基板に所定の処理を施して液晶表示パネルを形成する複数の工程と、形成された液晶表示パネルを検査する工程とが含まれる。
【００３２】
上記の各工程又は各工程間において、液晶表示パネル基板の一時待機、保管、搬送、目視検査などを行う際には、基板保持具などで液晶表示パネル基板を保持することが要求される。本発明における電子デバイスの製造方法は、液晶表示パネル基板を保持する必要があるとき、前述した基板保持具１０、２０、３０、４０によって液晶パネル基板を保持する点に特徴がある。つまり、基板保持具１０、２０、３０、４０は、様々なサイズの基板を保持することが可能であるため、必要な基板保持具の種類や個数を減らして、設備コストや基板保持具の占有面積を削減できる。しかも、基板保持具１０、２０、３０、４０は、基板のハンドリングを容易にするため、落下による基板の破損を防止できるだけでなく、生産性を向上させることができる。
【００３３】
［フォトマスクの製造方法］
つぎに、本発明に係るフォトマスクの製造方法について説明する。
フォトマスクの製造工程には、フォトマスク基板を準備する工程と、フォトマスク基板に所定の処理を施してフォトマスクを形成する複数の工程と、形成されたフォトマスクを検査する工程とが含まれる。
【００３４】
上記の各工程又は各工程間において、フォトマスク基板の一時待機、保管、搬送、目視検査などを行う際には、基板保持具などでフォトマスク基板を保持することが要求される。本発明におけるフォトマスクの製造方法は、フォトマスク基板を保持する必要があるとき、前述した基板保持具１０、２０、３０、４０によってフォトマスク基板を保持する点に特徴がある。つまり、基板保持具１０、２０、３０、４０は、様々なサイズの基板を保持することが可能であるため、必要な基板保持具の種類や個数を減らして、設備コストや基板保持具の占有面積を削減できる。しかも、基板保持具１０、２０、３０、４０は、基板のハンドリングを容易にするため、落下による基板の破損を防止できるだけでなく、生産性を向上させることができる。
【００３５】
本発明は、上記した四角形の基板のみを対象としたものではなく、円形や多角形の基板にも適用することができる。これらの基板を対象とする場合、基板の側縁を下方から支持する二つの支持領域の交差角は、保持する基板の形状に合わせた角度とすることが好ましい。
なお、二つの支持領域が直交する基板保持具を用いて（四角形の基板を支持する基板保持具と兼用して）、真円の基板１を支持するときの基板支持具５０としては、図８に示すように、基板支持部５２に支持溝５３を設けた構成とするとよく、このようにすると、径の異なる円形の基板を支持することも可能となる。
また、同様に、多角形、例えば八角形の基板１を支持するときの基板支持具６０としては、図９に示すように、基板支持部６２に支持部材６６を設けた構成のものを用いることができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、基板保持具において、サイズの異なる基板を保持することができるだけでなく、基板のハンドリングを容易にして、基板の落下を防止することができる。
また、液晶表示パネルなどの電子デバイスの製造において、必要な基板保持具の種類や個数を減らして、設備コストや基板保持具の占有面積を削減できるだけでなく、基板のハンドリングを容易にして、生産性を向上させることができる。
また、フォトマスクの製造において、必要な基板保持具の種類や個数を減らして、設備コストや基板保持具の占有面積を削減できるだけでなく、基板のハンドリングを容易にして、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第一実施形態の基板保持具を示す側面図である。
【図２】第一実施形態の基板保持具を示す平面図である。
【図３】（ａ）は、基板を保持した第一実施形態の基板保持具を示す概略側面図、（ｂ）は、基板を保持した第一実施形態の基板保持具を示す概略正面図である。
【図４】基板のハンドリング時を示す説明図である。
【図５】第二実施形態の基板保持具を示す側面図である。
【図６】第三実施形態の基板保持具を示す斜視図である。
【図７】第四実施形態の基板保持具を示す側面図である。
【図８】円形の基板を支持した状態の基板保持具を示す側面図である。
【図９】八角形の基板を支持した状態の基板保持具を示す側面図である。
【符号の説明】
１  基板
１０  基板保持具
１１  ベース部
１２  基板支持部
１３  側板
１６  支持部材
２０  基板保持具
２１  ベース部
２２  基板支持部
２４  縦パイプ
２５  固定支持部材
２６  回転支持部材
３０  基板保持具
３１  ベース部
３２  基板支持部
３３  支持フレーム
４０  基板保持具
４１  ベース部
４２  基板支持部
４３  車輪
４４  支持フレーム
４５  支持部材
【図１】
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【図２】
2004323130.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004323130.tif 000008
【図７】
2004323130.tif 000009
【図８】
2004323130.tif 000010
【図９】
2004323130.tif 000011