(57)【要約】【課題】基板検査装置において、プローブフレーム上の配線数を減らすこと。【解決手段】基板２に形成される電極２ｃに検査信号を印加することにより基板上のパネル２ａを検査する基板検査装置であって、電極２ｃと電気的に接続して検査信号を電極に印加するプローブ１ｂと、プローブ１ｂに送る検査信号を形成する少なくとも一つの信号形成回路１ｃとを、同一のプローブフレーム１ａ上に備える構成とし、プローブフレーム１ａに検査信号を形成する回路（信号形成回路）を実装することにより、プローブフレーム１ａ上の配線数を減らすことができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成される電極に検査信号を印加することにより基板上のパネルを検査する基板検査装置であって、
前記電極と電気的に接続して検査信号を電極に印加するプローブと、
前記プローブに送る検査信号を形成する少なくとも一つの信号形成回路とを、
同一のプローブフレーム上、ステージ上、パレット上の少なくともいずれかに備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記信号形成回路は対応する各パネルに対して検査信号を供給することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記信号形成回路は基板上の任意の複数パネルに対して検査信号を供給することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに使われる基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットパネルディスプレイのパネルはその製造工程において、通常マザーガラス基板の上にＴＦＴアレイのパターンを含む複数のパネルを形成し、このマザーガラス基板から各パネルを切り出している。このフラットパネルディスプレイの製造、検査において、マザーガラス基板から各パネルを切り離す前に、マザーガラス基板の状態においてＴＦＴや画素の特性を評価する必要がある。
【０００３】
薄膜トランジスタアレイ基板（以下、ＴＦＴアレイ基板という）は、マザーガラス基板の各パネル上にマトリックス状に薄膜トランジスタ（ＴＦＴアレイ）が配置される。ＴＦＴアレイをアモルファスシリコンを用いるパネルと、ポリシリコンを用いるパネルが知られている。
【０００４】
ポリシリコンを用いたパネルでは、ガラス基板上にＴＦＴアレイに駆動信号を供給してパネルを駆動する駆動回路を形成することができる。
【０００５】
図６はＴＦＴアレイ基板の概略説明するための図であり、図７は従来のＴＦＴアレイ検査装置のプローブフレームの概略を説明するための図である。
【０００６】
図６において、ガラス基板等で形成される基板２上には、ＴＦＴアレイ２ｂから成る複数のパネル２ａが形成される。各ＴＦＴアレイ２ｂはマトリックス状に配列された複数の薄膜トランジスタ（図示していない）を備え、この薄膜トランジスタは、走査信号電極端子２ｃａ，映像信号電極端子２ｃｂから入力される信号により駆動される。
【０００７】
この基板２に形成される各パネル２ａを検査する装置として基板検査装置が知られている。図７において、基板検査装置は、基板２と電気的に接続するプローバ１１を備え、プローバ１１は基板２の走査信号電極端子２ｃａ，映像信号電極端子２ｃｂと電気的に接続するプローブ１１ｂａ，１１ｂｂを備える。プローブ１１ｂａ，１１ｂｂには、図示しない検査装置からコネクタ１１ｃ及び配線１１ｄを介して検査信号が供給され、これにより、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べる。
【０００８】
このようなＴＦＴアレイ検査装置の例として、例えば特許文献１が知られている。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−２７２６４３号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
基板上に駆動回路を形成するパネルでは、電極端子を通して各々別々の信号を入出力する必要があるため、多数の信号線を備えている。そのため、プローブによって基板検査を行うには、プローブフレームに対して多数の検査信号を供給する必要があり、プローブフレーム上に多数の配線を設ける必要がある。
【００１１】
通常、基板上に複数のパルスを形成する場合、パネルを効率的に形成するために、各パネル間は限られた間隔しか許されていない。そのため、プローブフレーム上の限られたスペースに多数の配線を設けなければならず、配線スペースや結線において問題がある。配線スペースや結線の問題は、プローブフレーム上の配線に限らず、プローブフレームと外部装置とを結ぶ配線にもあり、外部装置とプローブフレーム側のコネクタとの間においても多数の配線が必要となる。
【００１２】
また、多数の配線をまとめて各パネル間を従属接続することにより配線の本数を減らすことも考えられるが、途中の動作不良のパネルがある場合には検査信号の供給に支障が生じ、他の正常なパネルの動作も不安になるという問題がある。
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、プローブフレーム上の配線数を減らすことを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板に形成される電極に検査信号を印加することにより基板上のパネルを検査する基板検査装置であって、電極と電気的に接続して検査信号を電極に印加するプローブと、プローブに送る検査信号を形成する少なくとも一つの信号形成回路とを、同一のプローブフレーム上に備える構成とし、プローブフレームに検査信号を形成する回路を実装することにより、プローブフレーム上の配線数を減らすことができる。信号形成回路はプローブフレーム上に限らず、ステージ上あるいはパレット上に備える構成としもよい。
【００１４】
信号形成回路は、プローブフレームの外部から受けた検査指令に基づいて検査信号を形成し、この検査信号をプローブを通して基板側の電極に送り、基板上のパネルを検査する。プローブフレーム上において、信号形成回路は対応する各プローブとの間のみで配線を行う構成とすることにより、全てのプローブとの間で配線を行う従来の構成と比較して、プローブフレーム内に設ける配線数を減らすことができる。
【００１５】
また、信号形成回路は外部から検査指令のみを受けるため、外部から全てのプローブに対する検査信号を受ける従来の構成と比較して、外部と接続する配線の本数を減らすことができる。
【００１６】
本発明の一態様は、基板が備えるパネルと同じ個数の信号形成回路を備え、各信号形成回路は対応する各パネルに対して検査信号を供給する。
【００１７】
本発明の他の態様は、信号形成回路は基板上の任意の複数パネルに対して検査信号を供給する。この態様では、プローブフレーム上に一つの信号形成回路を備え、この信号形成回路から基板上の全てのパネルに対して検査信号を供給するようにしてもよく、これによれば、外部とプローブフレームとの間に信号線の配線数を減少させることができる。
【００１８】
なお、外部装置は、ＴＦＴアレイを駆動する電圧を供給する電源装置、ＴＦＴアレイの信号を検出する検出手段、検出信号に基づいてＴＦＴアレイの短絡，点欠陥，断線等の検査を行う検査手段を備えた構成とすることができる。
【００１９】
本発明によれば、プローブフレームに信号形成回路を実装することにより、プローブフレームの外部から信号形成回路を駆動する指令を入出力するだけで基板検査を行うことができ、各パネルの電極端子に供給する多数の検査信号を入力する必要がない。
【００２０】
本発明によれば、プローブフレームに信号形成回路を実装することにより、パネルに供給する信号自体のノイズを低減することができる。
【００２１】
本発明によれば、各パネルには信号形成回路から検査信号が供給されるため、パネル間の干渉を防ぐことができ、また、不良パネルの影響を受けることなく検査信号の供給が可能である。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００２３】
図１は本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明するために各構成部分を分離して示した概略図である。
【００２４】
基板２は液晶基板検査装置１０が検査する検査対象であり、基板２上にはＴＦＴアレイ２ｂが形成された複数のパネル２ａが形成される。この基板２に形成されるＴＦＴアレイ２ｂのレイアウトは、例えば液晶パネルのサイズや仕様に応じて種々に設定される。基板２上のＴＦＴアレイ２ｂには薄膜トランジスタがマトリックス状に形成され、各薄膜トランジスタを駆動する信号電極端子２ｃ（例えば、走査信号電極端子，映像信号電極端子）が形成されている。なお、図１では、信号電極端子２ｃは基板２の外部と電気的に接続するための電極を兼ねているが、別に電極を設けることもできる。
【００２５】
本発明の液晶基板検査装置１０は、基板２の信号電極端子２ｃと電気的に接続し、信号電極端子２ｃに検査信号を供給するプローバ１を備える。プローバ１はプローバフレーム１ａを備え、液晶基板２の信号電極端子２ｃと電気的に接続するプローブピン（図示していない）を備える。プローブピンのピン数及び配列は、基板２の信号電極端子２ｃに対応して設けられる。
【００２６】
基板２はパレット３上に配置され、プローバフレーム１ａは基板２上に配置される。基板２とプローバフレーム１ａとの間は、前記した信号電極端子２ｃとプローブ１ｂのプローブピンとの間の電気的な接触により行われ、プローバフレーム１ａとパレット３との間は、プローバフレーム１ａに設けたコネクタ（図示していない）とパレット３に設けたコネクタ４ａとにより行われる。なお、図１では、パレット３に設けたパレット側コネクタ３ａのみを示し、プローバフレーム１ａ側のコネクタは省略している。
【００２７】
さらに、パレット３はステージ４上に載置され、移動自在とすることができる。パレット３とステージ４との間は、パレット３側に設けたパレット側コネクタ３ｂとステージ４側に設けたステージ側コネクタ４ａとにより行われる。
【００２８】
次に、本発明の基板検査装置が備えるプローブの構成について図２を用いて説明する。
【００２９】
図２（ｂ）は基板の一例を示し、図２（ａ）はこの基板に対応するプローブの一構成例を示している。図２（ｂ）において、基板２上には、４枚のパネル３ａ１〜３ａ４が形成され、各パネル３ａ１〜３ａ４はＴＦＴアレイ２ｂ、及びＴＦＴアレイ２ｂを駆動する信号電極端子２ｃ（例えば、走査信号電極端子２ｃａ，映像信号電極端子２ｃｂ）が形成されている。
【００３０】
図２（ａ）において、プローバ１のプローブフレーム１ａには、各信号電極端子２ｃと接触して信号を供給するプローブ１ｂを備える。本発明の基板検査装置では、プローブフレーム１ａ上に信号形成回路１ｃを備える。この信号形成回路１ｃとプローブ１ｂとの間には配線１ｄが設けられ、信号形成回路１ｃと外部との間は、例えば前記したパレット３のコネクタ３ａ，３ｂやステージ４のコネクタ４ａにより接続される。
【００３１】
信号形成回路１ｃは、プローブフレーム１ａの外部から検査指令を受け、この検査指令に基づいて検査信号を形成する回路であり、形成した検査信号をプローブ１ｂを通して基板側の信号電極端子２ｃに送り、基板２上のパネル２ａを検査する。検査指令を、例えば検査内容に応じて符号化された信号である場合には、信号形成回路１ｃはこの符号化信号を変換して、各検査内容に応じたパターンの検査信号を形成する。この検査指令から検査信号への信号変換は、例えば、信号形成回路１ｃ内に検査指令と検査信号との対応関係を記憶させておき、この対応関係に基づいて入力した検査指令に対応する検査信号のパターンを読み出し、このパターンに基づいてプローブ１ｂに検査信号を形成することにより行うことができる。信号形成回路１ｃは、形成した検査信号を配線１ｄを介してプローブ１ｂに送る。プローブ１ｂと信号電極端子２ｃとの間は電気的に接触しているため、基板２上の各パネル２ａのＴＦＴアレイ２ｂには検査信号が供給され、ＴＦＴアレイ２ｂや画素の特性検査が行われる。
【００３２】
信号形成回路１ｃは、検査指令から検査信号を形成する機能を有するハード回路、あるいはこの機能をソフトで実行する回路等の専用回路とすることも、あるは各パネルを駆動するパネル駆動用のＩＣを備えた回路とするなど、任意の回路形態とすることができる。
【００３３】
信号形成回路１ｃは、プローブフレーム１ａの上面あるいは下面の何れの面に配置することも、あるいはプローブフレーム１ａの内部に埋め込むこともできる。また、信号形成回路１ｃは、パレット３やステージ４に配置してもよい。また、プローブフレームとパレットやプローブフレームとステージ等、プローブフレーム、パレット、ステージの任意の組み合わせに配置する構成としてもよい。
【００３４】
また、信号形成回路とパネルとの対応関係は、図２に示すように一対一に限らず他の形態とすることもできる。
【００３５】
図３は、一つの信号形成回路を複数のパネルに対応付けした構成例であり、一つの信号形成回路で形成した検査信号を２つのパネルに供給する例を示している。図３において、信号形成回路１ｃ１は、２つのパネルに対応するプローブと配線を介して接続され、また、信号形成回路１ｃ２は、他の２つのパネルに対応するプローブと配線を介して接続される。
【００３６】
信号形成回路が供給するパネルの個数は任意に設定することができ、図示していないが、プローブフレーム上に設けた一つの信号形成回路から基板上の全パネルに対応するプローブに、配線を介して接続する構成とすることもできる。
【００３７】
次に、本発明の基板検査装置において、信号形成回路をプローブフレームに設けることによる効果について従来の構成と比較しながら、図４，５を用いて説明する。
【００３８】
図４は本発明の基板検査装置の信号形成回路による信号状態を説明するための図である。図４において、本発明の基板検査装置では、外部からプローブフレーム１ａに設けた信号形成回路１ｃ（１ｃ１〜１ｃ４）に対して、コネクタ１ｅを介して検査指令が入力される。各信号形成回路１ｃは入力した検査指令に基づいて検査信号を形成し、形成した検査信号を各プローブ１ｂ（１ｂ１〜１ｂ４）に送る。
【００３９】
プローブフレーム１ａの各プローブ１ｂは、基板２に設けた信号電極端子２ｃ（２ｃ１〜２ｃ４）と電気的に接続して検査信号を受け、各パネル２ａ（２ａ１〜２ａ４）に供給する。
【００４０】
これに対して、図５に示す従来構成では、外部からプローブフレーム１１ａに対して、コネクタ１１ｅを介して検査信号が入力される。プローブフレーム１１ａ内において、検査信号を送る配線１１ｄは、基板３上に形成したパネルに供給する検査信号の信号数だけ用意される。配線１１ｄは、入力された検査信号を各プローブ１ｂ（１ｂ１〜１ｂ４）に送る。
【００４１】
プローブフレーム１ａの各プローブ１ｂは、基板２に設けた信号電極端子２ｃ（２ｃ１〜２ｃ４）と電気的に接続して検査信号を受け、各パネル２ａ（２ａ１〜２ａ４）に供給する。
【００４２】
本発明の基板検査装置によれば、プローブフレーム１ａには外部から検査指令の信号形態で送られ、プローブフレーム１ａ内において信号形成回路１ｃ（１ｃ１〜１ｃ４）まではこの検査指令の信号形態で送られる。検査指令は、例えば符号化した信号形態とすることができるため、送信に用いる信号線の本数を減らせることができる。
【００４３】
したがって、配線スペースが限られているプローブフレーム内では、従来のように検査信号の数だけ配線を設けることは困難であるが、本発明の基板検査装置ではプローブフレーム上に信号形成回路を配置することにより、配線を容易に形成することができ、また、パネルに供給する信号自体のノイズを低減することができる。
【００４４】
また、各パネルに信号形成回路から信号を供給することにより、パネル間を結ぶ配線をなくすことができ、パネル間の干渉を防ぐことができる。また、検査信号に対して各パネルは独立した構成となるため、不良パネルによる影響を受けることなく信号を供給することができる。
【００４５】
また、プローブフレームに対する信号線の本数も低減することができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、プローブフレーム上の配線数を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＴＦＴアレイ検査装置を説明するために各構成部分を分離して示した概略図である。
【図２】本発明の基板検査装置が備えるプローブの構成を説明するための図である。
【図３】一つの信号形成回路を複数のパネルに対応付けした構成例を説明するための図である。
【図４】本発明の基板検査装置の信号形成回路による信号状態を説明するための図である。
【図５】従来の基板検査装置の信号状態を説明するための図である。
【図６】ＴＦＴアレイ基板の概略説明するための図である。
【図７】従来のＴＦＴアレイ検査装置のプローブフレームの概略を説明するための図である。
【符号の説明】
１…プローバ、１ａ…プローブフレーム、１ｂ，１ｂ１〜１ｂ４…プローブ、１ｃ，１ｃ１〜１ｃ４…信号形成回路、１ｄ…配線、１ｅ…コネクタ、２…基板、２ａ，２ａ１〜２ａ４…パネル、２ｂ…ＴＦＴアレイ、２ｃ，２ｃ１，２ｃ２…信号電極端子、３…パレット、３ａ，３ｂ…コネクタ、３ｃ１〜３ｃ４…信号電極端子、４…ステージ、４ａ…コネクタ、１０…基板検査装置、１１…プローブフレーム、１１ｂ，１１ｂ１〜１１ｂ４…プローブ、１１ｄ…配線、１１ｅ…コネクタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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