(57)【要約】【解決手段】ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータであって、ロードビームに固定されたステータ部に一端が固定され、かつ他端側に曲げ加工によって成形された金属性マイクロビームによって揺動可能に支持されたローター部及びジンバル部が設けられ、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられているとともに、前記ステータ部に永久磁石を、前記ローター部にコイルを配置して、前記永久磁石の形成する磁界中でコイルに電流を流すことにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成した磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ。【効果】信頼性が高く、簡単な構造で正確な位置決めを達成できる磁気ヘッドアクチュエータを提供できる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータであって、ロードビームに固定されたステータ部に一端が固定され、かつ他端側に曲げ加工によって成形された金属性マイクロビームによって揺動可能に支持されたローター部及びジンバル部が設けられ、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられているとともに、前記ステータ部に永久磁石を、前記ローター部にコイルを配置して、前記永久磁石の形成する磁界中でコイルに電流を流すことにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項２】
前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記ジンバル部の両側に一対に配置されて前記ジンバル部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対して前記ステータ部と前記ローター部にて発生した駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項３】
ボイスコイルモータのアーム部に取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータであって、ジンバル部内の一端にステータ部を設け、かつ他端側に曲げ加工によって成形された金属性マイクロビームによって揺動可能に支持されたローター部及びスライダ取り付け部が設けられ、前記スライダ取り付け部に磁気ヘッドスライダが取り付けられているとともに、前記ステータ部に永久磁石を、前記ローター部にコイルを配置して、前記永久磁石の形成する磁界中でコイルに電流を流すことにより、前記ローター部及びこれと一体にスライダ取り付け部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項４】
前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記スライダ取り付け部の両側に一対に配置されて前記スライダ取り付け部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対して前記ステータ部と前記ローター部にて発生した駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項５】
前記マイクロビームは、ロードビームへの固定部、ローター部及びジンバル部と一体であり、少なくとも１つ以上の折り返し部分を具備したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項６】
磁気回路を形成させるためにロードビームに強磁性合金を用いることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項７】
磁気回路を形成させるためにローター部に強磁性合金を用いることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置は、回転する強磁性媒体、すなわち磁気ディスク上に磁気ヘッドを走査させることで情報の記録・再生を行うものであり、現代の情報化社会を支えるストレージ装置の中心として広く用いられている。磁気ヘッドはスライダに納められ、記録・再生時にスライダは磁気ディスク上をナノメートルオーダーの隙間を保ちながら浮上している。磁気ヘッドを所定の位置に移動する駆動力は、通常ボイスコイルモータにより発せられる。ボイスコイルモータのコイルはピボットで回転可能に支持されたアームに連結し、更にアーム先端からロードビームとジンバルからなるサスペンションを介して磁気ヘッドスライダが取り付けられている。ロードビームはスライダの浮上量と釣り合う荷重を発生させるバネ材であり、ジンバルはスライダを支え、ディスク面と平行な面以外で弾性変形することでトラッキングへの追従性を損なわずにディスク面振れやアセンブリに伴う傾きを吸収するバネ材である。この構造により、磁気ヘッドは回転ディスク上の所定のトラックに安定な状態を保ちながら移動できる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の記録密度は高密度化（すなわちトラック幅は狭化）し続けており、この狭いトラックに磁気ヘッドを正確に位置決めしなければならないため、ヘッドの位置決め精度を向上させる必要がある。従来、ヘッドの位置決めは上記のボイスコイルモータなどの大きいアクチュエータのみで行われてきたが、トラック幅の狭化に対しては十分な精度を有していない。そこで、高精度位置決めをする機構やマイクロアクチュエータが高記録密度ディスク装置には不可欠になってきた。
【０００４】
これまでに高精度位置決めを達成するために種々のマイクロアクチュエータが提案されており、駆動力から見て（１）静電力、（２）圧電体の電歪、（３）電磁力の３つに大別することができる。
【０００５】
（１）の静電力を利用した従来のマイクロアクチュエータ（非特許文献１）は１対のメッシュ状電極をジンバルとスライダとの間に配置した構造をとり、アクチュエータ部はＮｉメッキで作製されるため生産性はよい。
しかし、発生する静電力に対して支持するスライダ部の質量が大きすぎるために１〜２ｋＨｚ付近で共振を起こしてしまい、サーボ帯域を大きくできない。
これ防ぐためにはアクチュエータ自体をキャパシターとして信号をフィードバックさせるなどの対策があるが、システム自体が複雑になってしまうため未だ実用化には到っていない。
【０００６】
（２）の圧電体を利用した従来のマイクロアクチュエータ（非特許文献２）は、例えば、２つの圧電素子をサスペンションのボイスコイルモータアーム付近に一対に配置した構造をとる。一方の側の圧電素子が伸びる方向に、他方の側の圧電素子が縮む方向に電圧を印加すると、縮む方向に電圧を印加した圧電素子方向にヘッドが回転する。
しかし、圧電素子を利用した従来のアクチュエータでは、経時変化などにより、圧電素子の消極が起こり、単位電圧あたりの変位が徐々に小さくなってしまう。このため、ある程度長時間使用すると所定のストロークが得られなくなるという問題がある。
更に、圧電素子を利用した従来のアクチュエータは生産性が悪く、コスト高であるという欠点がある。これらの問題を有しているため、圧電素子を利用したアクチュエータは未だ実用化されていない。
【０００７】
（３）の電磁力を利用する機構は、構造の単純化による高い生産性、比較的大きなストローク、高い信頼性が期待できる。電磁力を利用した従来のマイクロアクチュエータで、粗動アクチュエータであるボイスコイルモータのアーム先端部をマイクロアクチュエータのステータとし、アーム先端に回転可能に取り付けられたサスペンションをローターとするアクチュエータが提案されている（非特許文献３）。しかし、このようにシャフト等を設けた構造では取り付け部の構造が複雑になり、生産性が悪いという問題を有している。
【０００８】
更に、ロードビーム上にステータを設け、サスペンション先端にヒンジを介して搭載されたスライダをステータ部からスライダ上部にまたがる長いローターで駆動させるマイクロアクチュエータも従来提案されている（特許文献１）が、このような構造ではヒンジに対して駆動方向の弾性と上下方向の並進剛性の両立が難しいために共振が低周波数領域で起こり、サーボ帯域を高めることができない。更に、ローターが少なくともヒンジ近傍でロードビーム等と擦れるために、清浄雰囲気を保つ必要がある磁気ディスク装置内にこのようなアクチュエータを搭載することは不適当である。
【０００９】
一方、従来、スライダとジンバルの間に配置し、スライダを囲んで固定するローターの両側を非常に小さい板バネ（マイクロビームと称する）を介してジンバルへの取り付け部に結合させたマイクロアクチュエータが提案されている（特許文献２）。
【００１０】
このアクチュエータでは、ステータはジンバルへの取り付け部あるいはジンバル部に配置される。この構造において、マイクロビームに用いる材料、本数、断面のアスペクト比等の調整により、駆動方向の弾性とそれ以外の方向の並進剛性を同時に確保できるため、アクチュエータのサーボ帯域を大きくでき、位置決め精度を高めることができる。
【００１１】
しかし、前記マイクロアクチュエータのマイクロビームはシリコン単結晶のディープエッチングによりスライダ取り付け部及びローター部と一体で作製されるが、エッチングの深さは１００〜２００μｍにも及ぶことから生産性は高くない。
【００１２】
【特許文献１】
米国特許第６２９５１８５号明細書
【特許文献２】
米国特許第６０７８４７３号明細書
【非特許文献１】
Ｆｕｊｉｔａ  ｅｔ  ａｌ．，  ＩＥＥＥ  ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ  ＯＮ  ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ．  ＶＯＬ．３５，  ＮＯ．２，  ＭＡＲＣＨ  １９９９，  ｐ．１００６−１０１０
【非特許文献２】
Ｅｖａｎｓ  ｅｔ  ａｌ．，  ＩＥＥＥ  ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳＯＮ  ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ．  ＶＯＬ．３５，  ＮＯ．２，  ＭＡＲＣＨ  １９９９，  ｐ．９７７−９８２
【非特許文献３】
Ｋｏｇａｎｅｚａｗａ  ｅｔ  ａｌ．，  ＩＥＥＥ  ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ  ＯＮ  ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ．  ＶＯＬ．３２，  ＮＯ．５，  ＳＥＰＴＥＭＢＥＲ  １９９６，  ｐ．３９０８−３９１０
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑み、ジンバル、マイクロビーム及びローター部を一体とした新規な構造を有し、簡単な手法で作製される磁気ディスク装置用マイクロアクチュエータを提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、本発明に到達したもので、本発明は下記の磁気ヘッドアクチュエータを提供する。
請求項１：
ボイスコイルモータのアームに取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータであって、ロードビームに固定されたステータ部に一端が固定され、かつ他端側に曲げ加工によって成形された金属性マイクロビームによって揺動可能に支持されたローター部及びジンバル部が設けられ、前記ジンバル部に磁気ヘッドスライダが取り付けられているとともに、前記ステータ部に永久磁石を、前記ローター部にコイルを配置して、前記永久磁石の形成する磁界中でコイルに電流を流すことにより、前記ローター部及びこれと一体にジンバル部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項２：
前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記ジンバル部の両側に一対に配置されて前記ジンバル部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対して前記ステータ部と前記ローター部にて発生した駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項３：
ボイスコイルモータのアーム部に取り付けられたロードビームの先端部に設けられ、磁気ヘッドスライダを揺動させるマイクロアクチュエータであって、ジンバル部内の一端にステータ部を設け、かつ他端側に曲げ加工によって成形された金属性マイクロビームによって揺動可能に支持されたローター部及びスライダ取り付け部が設けられ、前記スライダ取り付け部に磁気ヘッドスライダが取り付けられているとともに、前記ステータ部に永久磁石を、前記ローター部にコイルを配置して、前記永久磁石の形成する磁界中でコイルに電流を流すことにより、前記ローター部及びこれと一体にスライダ取り付け部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項４：
前記マイクロビームは、前記ローター部及び前記スライダ取り付け部の両側に一対に配置されて前記スライダ取り付け部を介して前記磁気ヘッドスライダを支持し、ディスクのトラッキング方向に対して前記ステータ部と前記ローター部にて発生した駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項５：
前記マイクロビームは、ロードビームへの固定部、ローター部及びジンバル部と一体であり、少なくとも１つ以上の折り返し部分を具備したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項６：
磁気回路を形成させるためにロードビームに強磁性合金を用いることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項７：
磁気回路を形成させるためにローター部に強磁性合金を用いることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
本発明によれば、簡単な構造で磁気ヘッドを正確に位置決めすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態及び実施例】
以下、本発明の磁気ヘッドアクチュエータの具体的態様について詳述する。
図１は、本発明の磁気ヘッドアクチュエータ２を具備した磁気ディスク装置４の一例を示す平面図である。この例において、磁気ヘッドスライダ６をディスク８上の所定のトラックに位置決めするための粗動アクチュエータはピボット回転軸１０を中心に移動するアーム１６を具備したボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１２で構成される。ロードビーム１４は、ＶＣＭアーム１６先端部に取り付けられている。
【００１６】
図２に本発明の磁気ヘッドアクチュエータ部分の分解斜視図を、図３に同部分の組立後の平面図を示してあるが、簡単のために磁気ヘッドへの信号線は図示していない。
【００１７】
ロードビーム１４先端部には、図２に示されているように、マイクロアクチュエータのステータ部１８が設けられ、更にジンバル部２０、マイクロビーム２２，２４、マイクロアクチュエータのローター部３２を構成する部品（マイクロアクチュエータ３６）が取り付けられる。なお、マイクロアクチュエータ先端に磁気ディスク上のデータに対しリード・ライトを行う磁気ヘッド（図示されていない）を備えたヘッドスライダ６が取り付けられる。ＶＣＭはピボット回転軸１０を中心にアームが動くように操作されるので、スライダは磁気ディスク上の所定のトラックに大まかに移動できる。
【００１８】
更に詳しくは、マイクロビーム２２，２４は、マイクロアクチュエータ本体３６ａの先端部両端縁にそれぞれ一体に連設された長片２２ａ，２４ａを上記両側縁に沿ってロードビーム１４側にほぼ直角に折曲すると共に、該長片２２ａ，２４ａを上記マイクロアクチュエータ本体３６ａの先端位置において内方にほぼ１８０°折り返すことにより形成された如き構成を有するものであり、これら長片２２ａ，２４ａの先端には連設部２２ｂ，２４ｂをそれぞれ介してジンバル部２０及びローター部３２が一体に連設された構成を有する。
【００１９】
図２に最もよく示されているように、本発明の一実施例に係る磁気ヘッドアクチュエータは、ロードビーム１４先端に設けられた永久磁石２６をヨーク２８に固定した磁気回路と、コイル３０並びにヘッドスライダ６をローター部３２及びジンバル部２０にそれぞれ固定したマイクロアクチュエータ３６とを対向するように配置している。
【００２０】
図４に示されたように、永久磁石２６は対向するコイル３０の面に垂直な方向に着磁され、スライダ前面から見て左右に２極に着磁されている。その代わりとして単極着磁された永久磁石２つを並べてもよい。永久磁石２６は、磁極面で０．５〜２．５ｍｍ、着磁方向の厚さで０．０５〜０．２５ｍｍの大きさを有している。永久磁石２６の発生する磁力は本発明の磁気ヘッドアクチュエータの駆動力に大きく影響する。上記寸法で十分な磁力を得るためにはＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石等の強力希土類磁石を用いることが望ましい。
【００２１】
ヨーク２８は鋼などの強磁性体からなり、０．０５〜０．２５ｍｍの厚さを有している。永久磁石２６、ヨーク２８及びロードビーム１４は例えばエポキシ系の接着材あるいはハンダ、溶接等で固定される。
【００２２】
コイル３０には、フレキシブルプリント配線板を用いることが望ましい。コイル３０は、対向する永久磁石２６の磁極面に垂直な磁界を発生するように巻かれ、一端にはコイルに電流を導入するための配線部４８を設けてある。図４では、簡単のため、１層の回路パターンとなっているが、必要な磁力、すなわち駆動力に応じて多層配線板を用いてもよい。マイクロアクチュエータ３６への固定には、例えばエポキシ系の接着材などを用いる。電流導入用配線部４８は、磁気ヘッドアクチュエータの揺動を妨げないよう若干のたわみを持たせた状態でロードビーム１４に固定する。
【００２３】
ロードビーム１４への取り付け部３８、マイクロビーム２２，２４、ジンバル部２０及びローター部３２からなるマイクロアクチュエータ３６は、従来のＶＣＭにおけるジンバルと同様な鋼系のバネ材からなり、０．０２５〜０．１ｍｍ程度の厚さを有する。磁気回路の一部を担う目的で強磁性体を用いてもよい。
【００２４】
図２に最もよく示されているように、マイクロアクチュエータ３６はロードビームへの取り付け部３８とローター部３２及びジンバル部２０との間に１対のマイクロビーム２２，２４を具備している。マイクロビーム２２，２４はロードビーム１４側よりヘッドスライダ６側に伸び、先端でいったん折れ曲がってロードビーム１４側に戻ったところでローター部３２及びジンバル部２０を支持している。この構造は片側に２本の梁を配置することと同等の効果があり、１本の場合と比較して、磁気ヘッドアクチュエータの駆動方向への弾性を高めながら、上下方向などに対しては高い剛性を維持できる。所定の弾性及び並進剛性を得るために折曲点を２個所以上設けてもよい。
【００２５】
図４に示されているように、本発明の磁気ヘッドアクチュエータの駆動部は、粗動アクチュエータであるＶＣＭと基本構造は同じである。コイル３０に通電することで、紙面上下方向に磁界が発生し、これと永久磁石２６のつくる磁界との吸引・反発力により矢印Ｘの方向にローター部３２が揺動し、これと一体に磁気ヘッドを搭載したヘッドスライダ６も揺動する。
【００２６】
マイクロビーム２２，２４は、従来のＶＣＭにおけるジンバルと同様に薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあと、曲げ加工を施すことで作製される。その際の加工変形の様子は図５に例示されたようになる。まず、プレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあとのマイクロアクチュエータ３６は、図５（ａ）のようになっており、ロードビームへの取り付け部３８に対してローター部３２及びジンバル部２０の位置が反転している。ロードビームへの固定部側の両端を矢印Ａ，Ｂのように直角に谷折りし、ローター部及びジンバル部側を矢印Ｃ，Ｄのように山折りする。すると、図５（ｂ）のように２本のマイクロビームが捻れた状態になる。次にそれぞれのマイクロビームの中点を結んだ直線Ｅを回転軸としてローター部３２及びジンバル部２０を矢印Ｆのように１８０°回転させるとともに、マイクロビームの中点をマイクロビームが折り返すように適当な曲率で曲げると、図５（ｃ）のようになる。一連の加工を精度よく行うために、曲げ部に予め曲げ線を設けておいてもよい。
【００２７】
図６には別の加工変形の様子が例示されている。プレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあとのマイクロアクチュエータ３６は、図６（ａ）のように直線Ｇで示されるマイクロビームの折り返し部分を所定の曲率で矢印Ｈのように曲げる。次に図６（ｂ）のようにロードビームへの固定部側の両端とローター部及びジンバル部側を矢印Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌのように直角に谷折すると、図６（ｃ）のようになる。
【００２８】
図７には本発明の第２実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図が示されている。本実施形態ではマイクロビーム９６，９８の間にローター部１００を設け、ローター部１００よりも後方、すなわちロードビームへの取り付け部９４側にジンバル部１０２を設けてある。コイル３０が設けられるローター部１００が前方に移動した分だけ、永久磁石２６を配するヨーク９０も前方に突き出している。なお、図７において、９２はロードビームであり、１０４はマイクロアクチュエータである。
【００２９】
図８には、本発明の第３実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの斜視図が示されている。本実施形態は、第１実施形態のヨーク５０前方に梁４６を付け、更にその先端に窪み４９を設けたものである。窪み４９はマイクロアクチュエータ３６のジンバル部２０に点で接触し、ヘッドスライダ６に予圧をかける働きを担う。なお、必要に応じて、曲げ部４７を設けてもよい。
【００３０】
図９を参照すると、本発明の第４実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図が示されている。本実施形態では、マイクロアクチュエータ５２のローター部５４に曲げ加工を施してジンバル部６４よりも０．３〜０．５ｍｍ程高くしてある。永久磁石２６はロードビーム５６に配置される。マイクロビーム５８，６０はそのローター部５４とロードビームへの取り付け部６２で永久磁石２６及びロードビーム５６先端を挟むようにして設けられる。図１０には、本発明の第４実施形態の一部断面図が示されている。簡便のため図９には示されていなかったコイル３０は、ローター部５４の永久磁石側あるいはその反対側の面に配置される。コイルの巻数を確保するために両側に配置しても構わない。本実施形態の場合には、ロードビーム５６に強磁性体を用いることにより、第１実施形態で用いた永久磁石のヨークを省略できる。
【００３１】
図１１を参照すると、本発明の第５実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図が示されている。本実施形態は、第４実施形態のロードビーム７６先端に左右から伸びている梁６６，６８とこれら梁６６，６８の先端にこれらを架け渡して一体に突設された平坦部７０により形成される穴部７２を設け、平坦部７０には窪み７４を設けたものである。マイクロアクチュエータは、そのローター部５４をロードビーム７６の穴部７２を通してロードビームに取り付けられる。図１２に、本発明の第５実施形態の一部断面図が示されている。本実施形態の場合には、ロードビーム７６に強磁性体を用いることにより、第１実施形態で用いた永久磁石のヨークを省略できることに加えて、部品点数を増やさずにスライダに予圧をかけることができる。
【００３２】
図１３を参照すると、本発明の第６実施形態のマイクロアクチュエータの先端部の拡大斜視図が示されている。本実施形態ではジンバル部７８の内部にステータ部８０、マイクロビーム８２，８４、ローター部８６及びスライダ取り付け部８８が配置されている。図１４に、本発明の第６実施形態における磁気ヘッドアクチュエータの部分拡大断面図を示す。なお、簡便のためロードビーム及び配線は図示していない。本実施形態の場合はジンバル部内にアクチュエータを納めることで、より小型化が実現できる。
【００３３】
なお、この実施態様において、マイクロビーム８２，８４には、その連設部８２ｂ，８４ｂを介してローター部８６及びスライダ取り付け部８８が一体に連設されている。この場合、ステータ部８０の両側縁に一体にマイクロビーム８２，８４を形成する長片８２ａ，８４ａが連設され、上記両側縁において折曲されていると共に、長片８２ａ，８４ａはそれぞれ後方（ロードビーム側）に向けて延出され、所定延出箇所で折り返されて、上記したように連設部８２ｂ，８４ｂを介してローター部８６、スライダ取り付け部８８が一体に連設されているもので、この場合も上記した第１〜第５実施態様と同様の効果を有する。
【００３４】
【発明の効果】
本発明によると、信頼性が高く、簡単な構造で正確な位置決めを達成できる磁気ヘッドアクチュエータを提供できる。更に、マイクロアクチュエータの構造を簡単化することにより、磁気ヘッドアクチュエータの生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の磁気ヘッドアクチュエータを具備した磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】第１実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】第１実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの平面図である。
【図４】第１実施形態のステータ・ローター部の断面図である。
【図５】第１実施形態のマイクロアクチュエータの加工変形例を示す斜視図であり、（ａ）は薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いた状態、（ｂ）は（ａ）をＡ〜Ｄ方向に曲げた状態、（ｃ）はＦ方向に折り曲げた状態の図である。
【図６】第１実施形態のマイクロアクチュエータの別の加工変形例を示す斜視図であり、（ａ）は薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いた状態、（ｂ）は（ａ）をＨ方向に折り曲げた状態、（ｃ）はＩ〜Ｌ方向に曲げた状態の図である。
【図７】第２実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図である。
【図８】第３実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの斜視図である。
【図９】第４実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図である。
【図１０】第４実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの断面図である。
【図１１】第５実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図である。
【図１２】第５実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの断面図である。
【図１３】第６実施形態のマイクロアクチュエータの拡大斜視図である。
【図１４】第６実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの断面図である。
【符号の説明】
２  磁気ヘッドアクチュエータ
４  磁気ディスク装置
６  ヘッドスライダ
８  ディスク
１２  ボイスコイルモータ
１４  ロードビーム
１６  アーム
１８  ステータ部
２０  ジンバル部
２２，２４  マイクロビーム
２２ａ，２４ａ  長片
２２ｂ，２４ｂ  連設部
２６  永久磁石
２８  ヨーク
３０  コイル
３２  ローター部
３６  マイクロアクチュエータ
３６ａ  マイクロアクチュエータ本体
３８  ロードビームへの取り付け部
４６  梁
４７  曲げ部
４８  配線部
４９  窪み
５０  ヨーク
５２  マイクロアクチュエータ
５４  ローター部
５６  ロードビーム
５８，６０  マイクロビーム
６２  ロードビーム取り付け部
６４  ジンバル部
６６，６８  梁
７０  平坦部
７２  穴部
７４  窪み
７６  ロードビーム
７８  ジンバル部
８０  ステータ部
８２，８４  マイクロビーム
８６  ローター部
８８  スライダ取り付け部
９０  ヨーク
９２  ロードビーム
９４  ロードビームへの取り付け部
９６，９８  マイクロビーム
１００  ローター部
１０２  ジンバル部
１０４  マイクロアクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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