(57)【要約】【課題】チタン材の窒素ガス雰囲気での熱処理において、チタン材の着色を抑制して効率的に熱処理する。【解決手段】チタン材の搬送ラインにおいて、上流側に一次熱処理炉を設け、下流側に二次熱処理炉として窒素ガス雰囲気炉を設け、一次熱処理炉によってチタン材の表面に６０〜６００Å厚さを有する酸化膜を形成した後、二次熱処理炉の窒素ガス中で６００〜９００℃の熱処理を行う。一次熱処理での酸化膜が二次熱処理での窒素ガスに対する障壁となってチタン材は窒素ガスによって着色しない。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チタン材の搬送ラインにおいて、上流側に一次熱処理炉を設け、下流側に二次熱処理炉として窒素ガス雰囲気炉を設けたことを特徴とするチタン材の熱処理設備列。
【請求項２】
チタン材の表面に一次熱処理によって６０〜６００Å厚さを有する酸化膜を形成した後、窒素ガス中で加熱する二次熱処理を実施することを特徴とするチタン材の熱処理方法。
【請求項３】
前記二次熱処理が窒素ガス中で６００〜９００℃に加熱する熱処理であることを特徴とする請求項２に記載のチタン材の熱処理方法。
【請求項４】
前記一次熱処理と二次熱処理を連続的に実施することを特徴とする請求項２または３の何れかに記載のチタン材の熱処理方法。
【請求項５】
前記一次熱処理の前において、冷間加工を実施することを特徴とする請求項２乃至４の何れかに記載のチタン材の熱処理方法。
【請求項６】
前記一次熱処理の前において、酸洗、研削、ショットブラストの一つ以上を実施することを特徴とする請求項２乃４の何れかに記載のチタン材の熱処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チタン材を加工した後に焼鈍するなど、チタン材を熱処理する方法及び装置に関する。特に、熱処理により生じる着色を効率よく抑制する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
チタン薄板やチタン線材などのチタン材を熱処理する際は、スケールや着色を生じさせないように真空或いはアルゴンガスやヘリウムガスなどの不活性ガス雰囲気で熱処理するか、大気雰囲気で熱処理した後に発生したスケールや着色を酸洗によって除去するのが一般的な方法である。しかしながら、チタン材をコイル状で真空或いは不活性ガス雰囲気で熱処理する方法は、トンオーダーのチタンコイルを収容できる大型のバッチ式真空炉や大量の不活性ガスが必要であり、しかもワンバッチ処理するのに約１日を要する。一方、大気雰囲気で熱処理した後に酸洗する方法は、短時間の熱処理が可能であるが、酸洗するため溶削による歩留まりロスが大きい。
【０００３】
そこで、チタン材を溶削することなく、かつ効率よく連続的に熱処理する方法として、連続熱処理炉の雰囲気をアルゴンガスやヘリウムガスに制御して通材する方法が考えられるが、高価なガスを多量に流し続けるためガス費用が嵩む。一方、連続熱処理炉内を真空にする方法もあるが、ガスによる伝熱がなく輻射によってのみの加熱となるため加熱効率が悪い。また、チタン材は酸素と非常に反応しやすいため、アルゴンガスやヘリウムガス中及び真空中であっても僅かに酸素を含んでいると薄い酸化膜が形成され、干渉色を生じて着色する。この干渉色は酸化膜厚さに応じて色調が変化する。
【０００４】
他の方法として、ステンレス鋼の連続光輝焼鈍炉のように水素を含む還元雰囲気中で熱処理する方法が、例えば特許文献１によって知られているが、高温ではチタン材が水素を吸収して機械的性質を損なう場合がある。
【０００５】
前記方法に対して、酸化を抑制し且つアルゴンガスやヘリウムガスに比べて安価な窒素ガスを使用する熱処理方法が考えられる。しかしながら、チタン材を窒素ガス中で熱処理すると、チタン材と窒素が反応してチタン窒化物層が表面に形成され茶色に着色する。このようにチタン材は酸化や窒化によって容易に着色する。
【０００６】
【特許文献１】
特開昭６３−６０２６９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、冷間圧延などの冷間加工後の熱処理において、上述の特定雰囲気に制御する方法は、酸化や窒化による着色を伴うという問題を有していた。また、酸化や窒化による着色を避けるために純度の高いアルゴンガスやヘリウムガスを多量に使用する方法は、ガス費用が嵩むという問題を有していた。上述の従来技術では、着色を効率的に、かつ容易に抑制することができなかった。
【０００８】
そこで本発明は、前記した従来技術の問題に鑑みて、チタン材の着色を抑制して効率的に熱処理する方法及び設備列を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは前記課題に応えるべく鋭意研究を重ねた結果、一次熱処理によりチタン材の表面に所定厚みの酸化膜を形成させると、この酸化膜がその後の窒素ガス雰囲気での二次熱処理において障壁となり、窒素ガスのチタン材への侵入を抑制する働きをすること、及び、一次熱処理によるチタン材表面の酸化膜が所定厚みにおいて厚目の場合は、二次熱処理時に酸化膜の酸素がチタン中に拡散することにより、一次熱処理で形成された酸化膜が薄くなり干渉色が解消されることの知見を得たことにより本発明を成すに至ったものであり、その要旨は次の通りである。
【００１０】
１）チタン材の搬送ラインにおいて、上流側に一次熱処理炉を設け、下流側に二次熱処理炉として窒素ガス雰囲気炉を設けたことを特徴とするチタン材の熱処理設備列。
２）チタン材の表面に一次熱処理によって６０〜６００Å厚さを有する酸化膜を形成した後、窒素ガス中で加熱する二次熱処理を実施することを特徴とするチタン材の熱処理方法。
３）前記二次熱処理が窒素ガス中で６００〜９００℃に加熱する熱処理であることを特徴とする前記２）に記載のチタン材の熱処理方法。
４）前記一次熱処理と二次熱処理を連続的に実施することを特徴とする前記２）または３）の何れかに記載のチタン材の熱処理方法。
５）前記一次熱処理の前において、冷間加工を実施することを特徴とする前記２）乃至４）の何れかに記載のチタン材の熱処理方法。
６）前記一次熱処理の前において、酸洗、研削、ショットブラストの一つ以上を実施することを特徴とする前記２）乃至４）の何れかに記載のチタン材の熱処理方法。
【００１１】
ここで一次熱処理における雰囲気は、６０〜６００Å厚さを有する酸化膜を形成できれば特に限定するものではない。また、二次熱処理における雰囲気は窒素ガスであれば特に限定するものではないが、チタン材は高温時に窒化よりも酸化が速いことから酸化を抑制するために、好ましくは酸素濃度１００ｐｐｍ以下で露点−４０℃以下が良い。また、窒素ガス雰囲気中の水素濃度は、該水素がチタン材に侵入して材質を劣化させない場合には特に規制するものではなく、不可避的に含まれる程度であれば問題はないが、好ましくは１％以下が良い。
【００１２】
二次熱処理後の冷却方法は、窒素ガス或いはアルゴンガスなどの不活性ガスによるガスブローが好ましいが特に限定するものではない。また、一次熱処理の前に洗浄を実施することが好ましいが、この洗浄は一般的なアルカリ洗浄や温水洗浄などでよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１にチタン薄板を一次熱処理した後に窒素ガス中で二次熱処理した場合の一次熱処理後の酸化膜厚さと後述する色差の関係を示す。ここで図１は、工業用純チタン材ＪＩＳ１種を厚さ０．５ｍｍまで冷間圧延した後にアルカリ洗浄した薄板（●）、更にアルカリ洗浄後に硝フッ酸にて表面を約１０μｍ溶削した薄板（□）の２種類を用いた場合である。一次熱処理は真空、アルゴンガス、大気中で実施しており、二次熱処理は全て窒素ガス中で実施した。二次熱処理の温度は７００〜８５０℃である。また、図１には上記２種類の薄板について、一次熱処理を実施せずにそのまま二次熱処理したもの（▲；溶削なし、△；溶削あり）も合わせて示す。
【００１４】
図１に示したものの工程を以下に簡単に示す。
・  冷間圧延→アルカリ洗浄→一次熱処理→窒素ガス中での二次熱処理（●）
・  冷間圧延→アルカリ洗浄→硝フッ酸溶削→一次熱処理→窒素ガス中での二次熱処理（□）
・  冷間圧延→アルカリ洗浄→（一次熱処理なし）→窒素ガス中での二次熱処理（▲）
・  冷間圧延→アルカリ洗浄→硝フッ酸溶削→（一次熱処理なし）→窒素ガス中での二次熱処理（△）
【００１５】
図１の色差は、冷間圧延した後にアルカリ洗浄した板を用いた場合（●）と、更に硝フッ酸にて表面を溶削した板を用いた場合（□）の各々において、各々の板を真空中で６５０℃×４時間処理した表面の色調を基準色調とし、基準色調と二次熱処理後の色調との差を色差ΔＥ＊ａｂとした。
【００１６】
また色差ΔＥ＊ａｂは、ＪＩＳのＺ８７２９に規定されている色調を表すＬ＊、ａ＊、ｂ＊の三つの値において基準色調との差をΔＬ＊、Δａ＊、Δｂ＊としたとき、√｛（ΔＬ＊）２＋（Δａ＊）２＋（Δｂ＊）２｝として表され、色差が大きいほど色調に違いがあることになる。図１における色調の測定はミノルタ株式会社製の色彩色差計ＣＲ−２００ｂを用いて光源Ｃにて測定した。
【００１７】
図１の酸化膜厚さは、オージェ電子分光法により得たチタン材表面から深さ方向の組成分布より、酸素濃度が最高濃度とベース濃度（表面から低下してほぼ一定に安定した濃度）との中間濃度となる深さとした。酸化膜厚さの測定には、日本電子株式会社製のオージェ電子分光分析装置ＪＡＭＰ−７１００を使用し、直径５０μｍの分析領域において、最表面からスパッタリンして深さ方向の分析を実施した。スパッタリング深さはＳｉＯ２のスパッタリング速度で換算した値を用いた。但し、このオージェ電子分光法の分析条件は一例であり、この条件に限定するものではない。
【００１８】
図１に示すように、一次熱処理を実施していないもの（▲、△）は基準色調に対する色差が７〜１５であり肉眼でも黄色或いは金色に着色されたように見える。これに対して一次熱処理を施したもの（●、□）は一次熱処理後の酸化膜厚さが６００Å以下の場合には色差は３以下に安定しており、肉眼でも基準とした表面と比べてほとんど違いがない程である。一次熱処理後の酸化膜厚さが６００Åを超えると色差が４超となり、肉眼でも基準とした表面との差異が識別できる。
【００１９】
一次熱処理を実施してない「冷間圧延→アルカリ洗浄まま（▲）」と「冷間圧延→アルカリ洗浄→硝フッ酸溶削まま（△）」の、二次熱処理前の酸化膜厚さは１００〜２００Å程度で一次熱処理したものと差がないが、窒素ガス中での二次熱処理によって着色する。着色した表面を薄膜法Ｘ線回折により分析した結果、Ｔｉ２ＮやＴｉＮなどのチタン窒化物が検出されることから、窒化による着色と考えられる。
【００２０】
このように一次熱処理を施し、その酸化膜厚さが６００Å以下の場合には、窒素ガス中で二次熱処理を施しても着色しない。これは二次熱処理時に窒素がチタン材中に侵入するのを一次熱処理後の酸化膜が障壁となって抑制するため、着色の原因となる窒化とチタン窒化物の形成が抑制された効果である。
【００２１】
「冷間圧延→アルカリ洗浄まま表面」と「冷間圧延→アルカリ洗浄→硝フッ酸溶削まま表面」の酸化膜は、冷間圧延や硝フッ酸溶削によって金属チタンが表面に現れた後に加熱されることなく自然に形成されたものである。一方、同等な酸化膜厚さであっても、一次熱処理後の酸化膜は加熱によって結晶化が進み、欠陥の少ない強固な酸化膜へと変化する。図１より酸化膜厚さが約６０Åと薄くとも、一次熱処理による酸化膜の膜質変化が、二次熱処理時の窒素侵入を抑制するのに有効に作用する。
【００２２】
一次熱処理後の酸化膜厚さが６０Å以上の場合は、該酸化膜がその後の窒素ガス雰囲気での熱処理において障壁となり、窒素ガスのチタン材への侵入を抑制する働きをし、チタン窒化物の形成が抑制されて着色を防止することができる。また、一次熱処理後の酸化膜厚さが６００Å以下において厚目の場合は、二次熱処理時に酸化膜の酸素がチタン中に拡散することにより、一次熱処理で形成された酸化膜が薄くなり干渉色が解消される。一方、一次熱処理後の酸化膜厚が６００Å以下において薄目の場合は、二次熱処理における酸化膜厚の減少をまつまでもなく、干渉色は発生していない。
【００２３】
但し、一次熱処理後の酸化膜厚さが６００Åを超えて厚くなると二次熱処理後に干渉色を生じるほどに厚い酸化膜が残留してしまうことがある。
【００２４】
以上より本発明２）では、窒素ガス中で二次熱処理を実施した後の着色を色差３以下に抑えられることから、一次熱処理によって６０〜６００Å厚さを有する薄い酸化膜を形成した後に、窒素ガス中で二次熱処理を実施することとした。二次熱処理後の色差が２以下に安定することから、好ましくは一次熱処理後の酸化膜を６０〜２００Å厚さとする。
【００２５】
図２に窒素ガス中での二次熱処理温度と二次熱処理後の色差との関係を示す。一次熱処理後の酸化膜厚さが１０９Å（○）、３１７Å（■）、５７２Å（●）の場合である。窒素ガス中での二次熱処理温度が６００〜９００℃の範囲では、いずれの酸化膜厚さにおいても色差は３以下であるが、９００℃を超えると温度が高いために窒化が進行して色差７〜８程度に着色してしまう。また一次熱処理後の酸化膜厚さが５７２Åと厚い場合（●）は、窒素ガス中での二次熱処理温度が５５０℃と低い場合には、二次熱処理において一次熱処理で形成された酸化膜中の酸素がチタン材中に十分に拡散しないために酸化膜厚さの減少が足りずに干渉色が残る場合がある。
【００２６】
従って、好ましくは窒素ガス中での二次熱処理温度が６００〜９００℃であることから、本発明の３）では、一次熱処理によって６０〜６００Å厚さを有する酸化膜を形成した後に、窒素ガス中で６００〜９００℃の二次熱処理を実施することとした。
【００２７】
チタン材の熱処理としては、冷間加工後の焼鈍熱処理あるいは歪み取り熱処理等の材質改善熱処理が行われる。焼鈍熱処理であれば、高温域では７００℃〜８５０℃で数秒〜数分、低温域では６００〜６５０℃で１〜１０時間程度の熱処理が一般的に採用されている。本発明においては、窒素ガス雰囲気で行う二次熱処理の熱処理条件を、上記材質改善熱処理の熱処理条件の要請に基づいて定めることができる。本発明の一次熱処理温度が低い場合には材質への影響が少ないので、二次熱処理条件として材質改善熱処理の熱処理条件をそのまま用いることができる。
【００２８】
二次熱処理条件における温度と時間との組み合わせについては、熱処理温度が高くなるほど熱処理時間を短くすると好適である。二次熱処理におけるチタン内への酸素と窒素の拡散及び反応状況を良好に保持できるからである。一次熱処理後の酸化膜厚が６０〜６００Å、二次熱処理温度が本発明の好適条件である６００〜９００℃であり、二次熱処理の温度と時間との組み合わせが上記通常の焼鈍熱処理で採用されるような条件であれば、特に着色や干渉色のない良好な表面状態を実現することができる。
【００２９】
一次熱処理後の酸化膜厚については、二次熱処理の温度条件によって好適な膜厚を選択することができる。二次熱処理温度が低い場合には、一次熱処理後の酸化膜厚を薄くすると好適である。例えば、二次熱処理温度が本発明の好適範囲から外れる５５０℃であっても、一次熱処理後の酸化膜厚を薄く（図２の例であれば３１７Å、１０９Å）すれば、二次熱処理後に干渉色の少ない良好な表面性状を得ることができる。また、一次熱処理後の酸化膜厚と二次熱処理条件の関係については、二次熱処理後の酸化膜厚が２００Å以下となる条件を選択すれば、酸化膜起因の干渉色を解消することができる。
【００３０】
図３は、本発明１）及び４）によって一次熱処理と二次熱処理を連続的に実施する方法及び装置を説明する図であり、搬送ライン２の搬送方向上流側には一次熱処理炉３が配置されており、一次熱処理炉３の雰囲気は大気、真空、不活性ガスの何れでもよいが、コスト面で大気がよい。一次熱処理炉３の下流側には二次熱処理としての窒素ガス雰囲気炉４が一次熱処理炉３と直列に配置されている。５は炉内への外気侵入を防止するシールロールなどからなるシール機構であり、チタン材１の支持を兼ねている。なお、シール機構は公知のガスシールなどを採用してもよく、また、チタン材１の支持は専用の支持ロール（図示しない）を設けてもよい。
【００３１】
チタン材１を搬送ライン２に沿って矢印の方向へ送り、一次熱処理炉３において３００〜６００℃×１〜１０秒程度の熱処理を行うことにより、チタン材１の表面に６０〜６００Å厚さを有する酸化膜を形成する。次に、窒素ガス雰囲気炉４の窒素ガス中でチタン材１を６００〜９００℃に加熱することにより、表面に着色を生じることなく廉価な窒素ガスで能率よく熱処理を行うことができる。
【００３２】
一次熱処理を実施する前のチタン材において、何らかの熱処理が施されていない態様として、冷間加工や酸洗、研削、ショットブラストなどによって金属チタンが表面に現れていて、その後に特別な熱処理が実施されていない場合があることから、本発明５）では、一次熱処理の前において、冷間加工を実施することとし、本発明６）では、一次熱処理の前において、表面を酸洗、研削、ショットブラストの一つ以上を実施することとした。
【００３３】
以上の本発明２）〜６）では、前記のとおり一次熱処理の条件は一次熱処理後の酸化膜厚さが６０〜６００Åとなる熱処理であれば特に限定するものではないが、酸化膜厚さを６０〜６００Åとするためには、次に示す一次熱処理条件が工業的には好ましい。真空度が１０−３Ｔｏｒｒ以上または酸素濃度が５０ｐｐｍ以上または露点が−４０℃以上である酸化性雰囲気で２５０〜６００℃にチタン材を加熱する熱処理。真空度が１０−３Ｔｏｒｒ未満の真空または酸素濃度が５０ｐｐｍ未満で且つ露点が−４０℃未満のアルゴンガスやヘリウムガスからなる非酸化性雰囲気で３００〜７００℃にチタン材を加熱する熱処理。
【００３４】
また、本発明２）〜６）の二次熱処理における窒素ガスの雰囲気は前記のとおり、特に限定するものではないが、二次熱処理時の酸化を抑制するためには好ましくは酸素濃度１００ｐｐｍ以下で露点−４０℃以下の雰囲気が良い。また窒素ガス中の水素濃度は、該水素がチタン材に侵入して材質を劣化させない場合には特に限定するものではなく、不可避的に含まれる程度では問題はないが、好ましくは１％以下が良い。
【００３５】
【実施例】
以下、実施例により本発明の効果を説明する。
【００３６】
表１、２に、熱処理前の状態、一次熱処理の条件（雰囲気、加熱温度、加熱時間）、一次熱処理後の酸化膜厚さ、二次熱処理の条件（雰囲気、加熱温度、加熱時間）、二次熱処理後の色差ΔＥ＊ａｂを示す。Ｎｏ．１〜１８は工業用純チタン材ＪＩＳ１種を厚さ０．５ｍｍまで冷間圧延した後にアルカリ洗浄した板を用いた例であり、Ｎｏ．１９〜３３は更にアルカリ洗浄後に硝フッ酸にて表面を約１０μｍ溶削した板を用いた例である。
【００３７】
Ｎｏ．１〜４とＮｏ．１９〜２１は一次熱処理を実施していない比較例であり、Ｎｏ．５、Ｎｏ．６、Ｎｏ．２２、Ｎｏ．２３は、一次熱処理にバッチ炉を用いた例であり、Ｎｏ．１、Ｎｏ．１９は、二次熱処理にバッチ炉を用いた例である。
【００３８】
Ｎｏ．２〜１８はＮｏ．１（アルカリ洗浄した板を一次熱処理せずに真空中で熱処理）を基準色調（基準色調１）とした色差で評価し、Ｎｏ．２０〜３３はＮｏ．１９（硝フッ酸溶削した板を一次熱処理せずに真空中で熱処理）を基準色調（基準色調２）とした色差で評価した。なお、酸化膜厚さの測定方法、色調Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊の測定方法、色差の定義などは発明の実施形態の項で上述したものと同一である。
【００３９】
【表１】
2004315907.tif 000003
【００４０】
【表２】
2004315907.tif 000004
【００４１】
一次熱処理をせずに窒素ガス中で二次熱処理をした比較例Ｎｏ．２〜４，２０，２１は、色差が７．２〜１４．７と大きく、明らかに着色した色調である。これに対して本発明例であるＮｏ．５〜１７とＮｏ．２２〜３２は、一次熱処理後の酸化膜厚さが６０〜５８２Åと６００Å以下であるから、窒素ガス中で二次熱処理を施した後の色差は０．５〜３．０と低く、肉眼でも基準色調１の比較例Ｎｏ．１，１９と比べてほとんど違いがない程である。一次熱処理後の酸化膜厚さが７９０Åと８５６Åである比較例Ｎｏ．１８とＮｏ．３３は、窒素ガス中で二次熱処理を施した後の色差が４．８と５．５と大きく、３を超えている。一次熱処理の雰囲気が真空、アルゴンガス、大気のいずれも場合でも酸化膜厚さが６０〜６００Åであれば、窒素ガス中で二次熱処理を施した後の色差は３以下である。
【００４２】
次に、表３に一次熱処理後の酸化膜厚さが１０９Å、３１７Å、５７２Åの板（表１のＮｏ．８、１０，１７）を用いて、窒素ガス中での二次熱処理の加熱温度と加熱時間を変えた例を示す。Ｎｏ．３４、Ｎｏ．３５、Ｎｏ．３９、Ｎｏ．４０、Ｎｏ．４４〜４６は、二次熱処理にバッチ炉を用いた例である。
【００４３】
【表３】
2004315907.tif 000005
【００４４】
窒素ガス中での二次熱処理温度が６００〜９００℃の範囲である本発明例Ｎｏ．３４〜３７、Ｎｏ．３９〜４２、Ｎｏ．４５〜４８は、二次熱処理後の色差は３以下であるが、二次熱処理温度が９５０℃である比較例Ｎｏ３８，４３，４９は二次熱処理の温度が高いために窒化が進行して色差７〜８程度に着色している。また、一次熱処理後の酸化膜厚さが５７２Åと厚めであると、比較例Ｎｏ．４４のように窒素ガス中での二次熱処理温度が５５０℃と低い場合は、一次熱処理で形成された酸化膜が減少しきれずに干渉色が残る結果、色差５．２と高い。
【００４５】
以上、工業用純チタン材を例に説明したが、耐食性チタン材合金であるＴｉ−Ｐｄ合金やＴｉ−０．５Ｎｉ−０．０５Ｒｕ、α＋β合金であるＴｉ−３Ａｌ−２．５Ｖ、β合金であるＴｉ−１５Ｖ−３Ｃｒ−３Ｓｎ−３Ａｌなどチタン合金材においても、工業用純チタン材と同様の効果が得られることを確認している。
【００４６】
【発明の効果】
本発明はチタン材の表面に、一次熱処理によって６０〜６００Å厚さを有する薄い酸化膜を形成し、この酸化膜を形成したチタン材を窒素ガス中で二次熱処理することによって、熱処理中における表面の着色を、真空中で熱処理したチタン材と比較して色差を３以下に抑えることができる。一次熱処理と二次熱処理を連続熱処理炉で実施することによって、着色を防止したチタン材の熱処理を低コストで能率よく実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一次熱処理後の酸化膜厚さと窒素ガス中で二次熱処理した後の色差の関係を示す図である。
【図２】窒素ガス中での二次熱処理温度と二次熱処理後の色差との関係を示す図である。
【図３】本発明を実施するためのチタン材の熱処理設備列の側断面図である。
【符号の説明】
１  チタン材
２  チタン材の搬送ライン
３  一次熱処理炉
４  二次熱処理炉としての窒素ガス雰囲気炉
５  支持ロールを兼ねるシール機構
【図１】
2004315907.tif 000006
【図２】
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【図３】
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