(57)【要約】【課題】大気中の湿度の影響による起動トルクの減少を少なくした振動波駆動装置の提供。【解決手段】摩擦面をもつ弾性部材の挟持接触面近傍に剛性不均一部を設けて加圧挟持によって静的変形を起こす、あるいは、弾性部材をプレス加工することによって摺動面を所定の平面形状として接触応力を集中させ、大気中の湿度による摩擦力の低下を防ぐ。【選択図】　　　　図１
2004112923.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
摩擦面を有する弾性部材と電気−機械エネルギー変換素子により構成された振動体と、該摩擦面に加圧接触する移動体とを備え、該電気−機械エネルギー変換素子に交番信号を印加することによって該振動体に駆動振動を励起し、摩擦によって該移動体を該振動体に対して相対移動させる振動波駆動装置において、
該弾性部材の摩擦面には、該移動体の相対移動方向にうねりが形成されていることを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項２】
前記うねりは、前記弾性部材の摩擦面に平面研磨加工を施した後に、該弾性部材に永久変形を生じさせることで形成されることを特徴とする請求項１記載の振動波駆動装置。
【請求項３】
前記うねりは、前記弾性部材の摩擦面に平面研磨加工を施した後に、該弾性部材の摩擦面以外の面を加圧して該弾性部材に永久変形を生じさせることで形成されることを特徴とする請求項２記載の振動波駆動装置。
【請求項４】
前記弾性部材には複数の剛性不均一部が設けられており、前記振動体は、該弾性部材の摩擦面を含む平面を挟み込んで、該弾性部材と前記電気−機械エネルギー変換素子とを加圧締結し、該弾性部材に該剛性不均一部の数に応じた弾性変形を生ぜしめる締結部材を有することを特徴とする請求項１又は２記載の振動波駆動装置。
【請求項５】
前記永久変形は、前記摩擦面内における移動体との接触部以外の面を加圧することで生じさせられることを特徴とする請求項２記載の振動波駆動装置。
【請求項６】
前記永久変形は、前記摩擦面以外の弾性部材側面を加圧することで生じさせられることを特徴とする請求項３記載の振動波駆動装置。
【請求項７】
前記弾性部材の剛性不均一部は、該弾性部材の形状を一部削除した形状であることを特徴とする請求項４記載の振動波駆動装置。
【請求項８】
前記摩擦面は前記弾性部材と異なる摩擦部材によって構成され、該摩擦部材が弾性部材に固定されていることを特徴とする請求項１乃至７記載の振動波駆動装置。
【請求項９】
前記うねりの凹凸の大きさは、前記駆動振動の振幅の０．１乃至０．３倍であることを特徴とする請求項１乃至８記載の振動波駆動装置。
【請求項１０】
摩擦面を有する弾性部材と電気−機械エネルギー変換素子により構成された振動体と、該摩擦面に加圧接触する移動体とを備え、該電気−機械エネルギー変換素子に交番信号を印加することによって該振動体に駆動振動を励起し、摩擦によって該移動体を該振動体に対して相対移動させる振動波駆動装置の該弾性部材の加工方法において、
該弾性部材の摩擦面を平面研磨加工した後に、該弾性部材を変形させることによって該摩擦面にうねりを形成することを特徴とする弾性部材の加工方法。
【請求項１１】
前記弾性部材の摩擦面を平面加工した後に、該弾性部材の摩擦面以外の面を加圧して永久変形を生じさせることによって該摩擦面にうねりを形成することを特徴とする請求項１０記載の弾性部材の加工方法。
【請求項１２】
前記弾性部材には剛性不均一部が設けられており、締結部材で該弾性部材の摩擦面を含む平面を挟み込んで、該弾性部材と前記電気−機械エネルギー変換素子とを加圧締結することで、該摩擦面に剛性不均一部の数に応じた弾性変形を生ぜしめることによって該摩擦面にうねりを形成することを特徴とする請求項１０記載の弾性部材の加工方法。
【請求項１３】
前記弾性部材の摩擦面以外の弾性部材側面を加圧して該弾性部材に永久変形を生じさせることを特徴とする請求項１１記載の弾性部材の加工方法。
【請求項１４】
前記摩擦面は弾性部材と異なる摩擦部材によって構成され、摩擦部材を弾性部材と一体とした後に、該摩擦面を平面研磨加工し、該弾性部材を変形させることによって該摩擦面にうねりを形成することを特徴とする請求項１０乃至１３記載の弾性部材の加工方法。
【請求項１５】
前記うねりの凹凸の大きさを前記駆動振動の０．１乃至０．３倍とすることを特徴とする請求項１０乃至１４記載の弾性部材の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気−機械エネルギー変換素子によって弾性体に駆動振動が形成される振動体を有する振動波駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
振動波駆動装置は、圧電素子などの電気−機械エネルギー変換素子により金属等の弾性体に駆動振動が形成される振動体を基本的構成として有しており、振動体と、この振動体に加圧接触する移動体を、振動体に形成される駆動振動により相対駆動させる。
【０００３】
圧電素子の発生する微小な変形を、振動体の共振を利用して拡大しているが、その振動振幅は高々数μｍであるため、振動体と移動体との接触面（平面）には、高精度に平滑加工されることが求められる。駆動性能の向上のために、接触面の平面度を向上させる技術が後述、特許文献１、特許文献２、特許文献３等に開示されている。これらの文献に開示された内容は、いずれも良好な駆動性能を得るための平面度に関するものである。
【０００４】
図１３に、従来の振動波駆動装置の断面図を示す。後述、特許文献４等に開示されている超音波モータとしての振動波駆動装置である。
【０００５】
従来の振動波駆動装置の構成は、振動体１と移動体で構成される。
【０００６】
振動体１は、摩擦部材２を接着した第１の弾性体５ａと、電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子３と、圧電素子への給電用のフレキシブルプリント基板１３を、第２の弾性体５ｂとともにシャフト６の突き当てフランジ部６ａと、下ナット４でねじ締結することによって加圧状態で挟みこんだものである。
【０００７】
移動体は、接触ばね７をロータ８に接着固定してなり、フランジ１０の軸受部１０ａによって回転自在に支持された出力ギア９と加圧ばね１２によって振動体１の摩擦面１４に加圧接触されている。
【０００８】
振動体１の圧電素子３に交番信号を印加して直交する２方向の１次の曲げ振動を励起し、時間位相π／２を持って重ね合せることによって摩擦面１４に回転楕円運動を生じさせる。
【０００９】
摩擦部材２は、アルミナなどのセラミック材料、またはステンレスなどの金属材料の孔開き円板であり、第１の弾性部材５ａに接着固定した後、振動体に組み立てる前に接着面と反対側の面を平滑研磨して摩擦面１４を形成する。
【００１０】
一方の移動体の接触ばね７は、ステンレスを絞り加工して形成され、ロータ８に接着した後に最下面を平滑研磨して移動体側の摩擦面を形成する。
【００１１】
互いに平滑研磨された移動体側摩擦面と振動体側摩擦面が加圧接触され、上述した摩擦面１４の回転楕円運動によって移動体が相対駆動されるものである。
【００１２】
【特許文献１】
特開平３−２４３１７６号公報
【００１３】
【特許文献２】
特開平５−６８３８３号公報
【００１４】
【特許文献３】
特開平１１−６９８４９号公報
【００１５】
【特許文献４】
特開２００２−７８３６３号公報
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来の振動波駆動装置の振動体には以下に述べる問題があった。
【００１７】
通常、２つの固体の平面同士を圧接した場合、圧接面を拡大してみると、表面の微小な凹凸によって圧接面は２つの固体が接触している真実接触部と非接触部とに分かれる。高精度に平面加工された面同士では、非接触部における大部分において、２つの固体の間に非常に狭い間隔が構成される。
【００１８】
従来の振動体は、摩擦面１４が高精度な平面に仕上げられる結果、摺動面での移動体と振動体間における非接触部のギャップは非常に小さくなる。そのため僅かな温度変化でも微小隙間における結露現象が発生し、摺動部に薄い水膜が形成されやすくなる。また、特にセラミックスは水の吸着性がよく、強固な水の吸着層を形成しやすい。そのため摩擦材料としてセラミックスを用いた場合、水の吸着層が形成された摩擦面は摩擦力が低下し、結果としてモータの発生トルクが低下してしまう場合がある。
【００１９】
移動体が駆動されている間は、駆動振動による接触、摩擦によって摩擦面が高温となるため、水分の吸着層は形成されず、この摩擦力の低下は生じない。また、一度吸着層が形成されても一旦駆動状態にすることによって吸着層が消滅するため、摩擦力も回復する。しかしながら停止状態で摩擦面に水の吸着層が形成された場合、装置の起動時に振動体に駆動振動を励起しても摩擦力が低下しているため、起動トルクが得られず、装置が起動できないおそれがある。
【００２０】
このため従来の振動波駆動装置は、湿度環境に暴露されないようにケーシングに入れることによって、あるいは、装置内への湿度の流入が少ない構成とすることによって水分の吸着層の発生を防いでいた。もしくは、出力トルクに十分な余裕を持った構成とすることによって、水分の吸着層による摩擦力低下をもっても被駆動装置を駆動できるようにする必要があった。
【００２１】
本出願に係る発明の目的は、複雑な工程を要することなく、大気中の水分による摩擦トルクの低下を抑え、安定した駆動性能を有する振動波駆動装置を提供するものである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願請求項１記載の発明は、摩擦面を有する弾性部材と電気−機械エネルギー変換素子により構成された振動体と、該摩擦面に加圧接触する移動体とを備え、該電気−機械エネルギー変換素子に交番信号を印加することによって該振動体に駆動振動を励起し、摩擦によって該移動体を該振動体に対して相対移動させる振動波駆動装置において、該弾性部材の摩擦面には、該移動体の相対移動方向にうねりが形成されていることを特徴とするものである。
【００２３】
好ましくは、摩擦面に形成されたうねりは、摩擦面に平面研磨加工を施した後に、弾性部材を変形させることで形成される。
【００２４】
また、上記課題を解決するため、本願請求項１０記載の発明は、摩擦面を有する弾性部材と電気−機械エネルギー変換素子により構成された振動体と、該摩擦面に加圧接触する移動体とを備え、該電気−機械エネルギー変換素子に交番信号を印加することによって該振動体に駆動振動を励起し、摩擦によって該移動体を該振動体に対して相対移動させる振動波駆動装置の該弾性部材の加工方法において、該弾性部材の摩擦面を平面研磨加工した後に、該弾性部材を変形させることによって該摩擦面にうねりを形成することを特徴とするものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
図１に本発明の第１の実施形態の振動波駆動装置の断面図を示す。
【００２６】
図２に本発明の第１の実施形態の振動波駆動装置の分解斜視図を示す。
【００２７】
本実施形態は、振動体１と、移動体（７，８）により構成されている。振動体１は、摩擦材料を兼ねた第１の弾性体２と、電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子３と、圧電素子３への給電用のフレキシブルプリント基板１３を、第２の弾性体５とともに、シャフト６の突き当てフランジ部６ａとシャフト６下部のねじ部６ｂにはまる下ナット４で挟み、下ナット４のねじを締めて締結することによって加圧状態で挟み込んで構成されている。フランジ部６ａと下ナット４とで、第１の弾性体２、圧電素子３及び第２の弾性体５とを加圧締結する締結部材を構成している。第１の弾性体２は、本実施形態ではアルミナを主成分とする焼結セラミックであり、上下両面を両刀研削した後に上面の摩擦面側を仕上げポリッシュしている。
【００２８】
移動体は、接触ばね７をロータ８に接着固定してなり、フランジ１０の軸受部１０ａによって回転自在に支持された出力ギア９と加圧ばね１２によって振動体１の摩擦面１４に加圧接触されている。
【００２９】
移動体の接触ばね７はステンレスの絞り加工で小さなクランク断面を持つ円筒形状に形成されており、下端面が移動体の摩擦面として振動体の第１の弾性体の摩擦面１４と当接している。
【００３０】
フレキシブルプリント基板１３を介して、不図示の電源から圧電素子３に交番信号を印加すると、第１の弾性体２の摩擦面には１波の進行波である駆動振動が励起され、摩擦によって摩擦面に加圧接触する接触ばね７を振動体１に対して相対移動させる。
【００３１】
第１の弾性体２には、上下面の締結面近傍に放射状の溝（本実施形態では２本）２１、２２がそれぞれ設けてある。
【００３２】
図３に振動体１の斜視図を示す。
【００３３】
図４に弾性体２の斜視図を示す。
【００３４】
弾性体２の上面の放射状の溝２１は、第２の弾性体５との締結面の直近から摩擦面の外周の内側まで達する溝である。下面の溝２２は、第１の弾性体２と圧電素子３との締結面の直近から最外周にまで達している。
【００３５】
本実施形態における溝２１および溝２２の効果を説明する。
【００３６】
第１の弾性体２は、その上下面をそれぞれ第２の弾性体５、および圧電素子３によって加圧挟持されている。圧電素子３と第１の弾性体２との締結面は、第２の弾性体５と第１の弾性体２の締結面よりも広くなっており、第１の弾性体２が第２の弾性体５から受ける圧力は、円板形状の弾性体の中央孔周囲への集中荷重に等しくなる。一方、第１の弾性体２が下面の圧電素子３から受ける圧力は、円板形状の弾性体の中央孔周囲よりも広い面への分布荷重となっている。
【００３７】
本実施形態の弾性体は、剛性低下部としての溝２１および溝２２によって、溝がのびる方向を谷として折り曲げる曲げ変形に対する剛性が小さくなっている。上述したように弾性体２は、上面から集中荷重、下面から分布荷重をうけ、軸対称なすり鉢形状に変形させる曲げ応力が働くのであるが、弾性体の曲げ剛性が一方向に小さくなっているために溝２１を谷として折れ曲がるような曲げ変形を起こす。
【００３８】
図５に本実施形態の振動体の静的変形を誇張した変形図を示す。
【００３９】
図５に示すように、第１の弾性体２の摩擦面は、一周に２箇所の山を持つうねり形状となる。うねり形状の山を凸部、うねり形状の谷を凹部と言うことにする。このうねり形状は、駆動振動の進行方向、言い換えれば、移動体が振動体に対して相対移動する方向に沿うように形成されている。
【００４０】
この振動体に移動体を加圧接触させると、２つの凸部では他の部分に比較して接触面圧が高くなる。このため、うねりの凸部では真実接触面積が大きく、大気中の水分による水の吸着層も形成されにくくなる。凹部では接触面圧は低くなり真実接触面積が減少するが、非接触領域でのギャップが大きくなるために微小空隙に生じる結露現象がおきにくくなる。
【００４１】
さらに起動時に駆動振動を生じさせると、おおきく２つの凸部によって支持された移動体は、小さい駆動振幅においても２つの凸部を支点として揺動することができ、揺動する間に摩擦による温度上昇が生じて水分の吸着層を消滅させることができる。また、凸部での集中荷重によって摩擦熱が増加することによってより吸着層の低減に効果がある。
【００４２】
このように、摩擦面にうねりを生じさせることによって大気中の水分の吸着による駆動性能の低下を低減させることができる。
【００４３】
このうねり形状は、小さいと効果がなく、また大きすぎると駆動性能に影響を与え、性能を悪化させる結果となる。
【００４４】
振動波駆動装置の振動振幅は、使用する回転数、出力トルクに応じてさまざまに変化する。移動体の接触ばね７と第１の弾性体２との接触領域は、振幅の小さい場合は広く、振幅を大きくするに従って狭くなっていく。常用の出力域では、１波長に対して１２０度程度の接触領域を確保するように接触ばね７を構成しており、摩擦面のうねりが振動振幅の０．３倍を超えると、安定した接触ができなくなる。
【００４５】
本出願人は、摩擦面にさまざまな大きさのうねり形状を製作して検討した結果、振動振幅の０．１乃至０．３倍の大きさの凹凸形状で効果があり、それを超えると安定した接触が得られずに異音の発生や、回転むらの増加を生じることがわかった。ここで言う凹凸形状の大きさとは、同一摩擦面内で、ロータ側に最も近づくように変形した部位と、ロータ側から最も離れるように変形した部位との差のことである。
【００４６】
溝２１、溝２２の幅および、深さなどの形状によって曲げ剛性の変化は一意に決まる。そのため、各構成部品の形状および材料定数と、構成部品の締結力を管理することによって摩擦面のうねりの大きさを上述した範囲になるように適宜決定できる。
【００４７】
このように、摩擦面を初めからうねり形状に加工せずとも、溝２１、溝２２を第１の弾性体２を設けることで、振動体を組み立てた際に第１の弾性体２の摩擦面にうねりが形成される。摩擦面の表面粗さをコントロールするため砥粒や定盤材料などで摩擦面を平面研磨加工を施した後に、上記のうねりを形成することで、摩擦面の表面粗さと面形状を独立して管理することが可能となる。そのため、表面粗さに影響を与えることなく、摩擦面の接触応力分布を変え、振動波駆動装置としたときの起動トルクを安定化させることができる。
【００４８】
放射状の溝２１および溝２２は、セラミック材料などの焼結材料の場合には圧粉体成形時に型成形するほか、焼結体にダイシングソーや研削砥石による除去加工、または超音波ホーンによる除去加工によって形成する。金属材料の場合には弾性体２をプレスによる塑性加工で製作し同時に溝をハーフパンチなどによって形成すればよい。また、樹脂材料の場合には型成形によって容易に製作できる。
【００４９】
（第２の実施形態）
図６に本発明の第２の実施形態の振動波駆動装置の振動体の斜視図を示す。
【００５０】
本実施形態は、第１の実施形態と同様に弾性体２の上下面にそれぞれ溝を設けることによって一方向の曲げ剛性を低下させることにより、弾性体と圧電素子およびフレキシブルプリント基板を加圧締結したときに曲げ変形を生じ、摩擦面に２つ折れ形状のうねりを起こすものである。
【００５１】
上面の溝２１は、第１の弾性体２を挟持する第２の弾性体５との接触面にまで及んでいる。こうすることによって、最も集中荷重を受ける接触面においても曲げ剛性を一方向に低下させることができるため、第１の実施形態に示した構成よりもよりおおきなうねり変形を起こすことが可能になる。
【００５２】
（第３の実施形態）
図７に本発明の第３の実施形態の振動波駆動装置の振動体の斜視図を示す。
【００５３】
本実施形態は摩擦面を有する第１の弾性体２の上面に１方向の溝を設けたものであり、溝は摩擦面１４を横切って最外周まで達するようにしたものである。
【００５４】
第２の実施形態において、第１の弾性体２の上面内周側に集中荷重を受けるため、切欠きによる応力集中で弾性体２の破断限界が低下してしまう。このため、最内周の、第２の弾性体５との接触面をさけ、逆に最外周に達するようにすることによって同様のうねり変形を起こすようにしたものである。この場合、摺動部を溝が横切るが、摩擦面１４の面積の減少が駆動性能に影響しない程度に溝幅をおさえることによって、図１乃至図６に記載の振動波駆動装置と同様に起動トルクを安定化させることができる。
【００５５】
（第４の実施形態）
図８に本発明の第４の実施形態の振動波駆動装置の振動体の第１の弾性体２の斜視図を示す。
【００５６】
本実施形態は摩擦面を有する弾性体２の上面に、放射状３箇所の溝２１を設けたものであり、第１の実施形態と同様に第２の弾性体５と圧電素子３の間に加圧締結される。
【００５７】
本実施形態では、剛性低下部として放射状３箇所の溝２１を設けたため、弾性体２は３箇所の部分で折れ曲がりやすくなっており、摩擦面には３つの凸部を持つうねり形状ができる。
【００５８】
溝を２箇所設けた例では２つの凸部を持つために駆動振幅が小さい状態で移動体が揺動できることによる効果を述べたが、小振幅時にも安定した駆動を求められる場合には本実施形態に示したように３つ以上の凸部を設けて安定させることができる。大気中の水分の吸着による摩擦力低下に対する効果としては、移動体を揺動させる効果を除いて、上記の図１乃至図７の振動波駆動装置と同様の効果が得られる。
【００５９】
図９は８箇所の放射溝を設けた例である。摩擦面のうねりの凹凸は、弾性体に施した溝の数に対応して生じ、この例では８箇所の凸部を形成することができる。
【００６０】
剛性低下部の数を増すほど回転むらや異音などの駆動性能への影響が少なくすることができるため、高精度な位置決めや速度制御が必要な用途の場合には上述したような３箇所以上のうねりを設けることが効果的である。
【００６１】
（第５の実施形態）
図１０に本発明の第５の実施形態の振動波駆動装置の振動体を示す。
【００６２】
本実施形態は、従来図１３に示した振動波駆動装置の振動体において、第１の弾性体５ａの側面を、図中矢印で示した位置で対向する二箇所をプレスすることによって弾性体に永久変形を生じさせるものである。
【００６３】
図１１に本実施形態の弾性体５ａの変形図を示す。
【００６４】
弾性体５ａのくびれ部２０の両端をプレスすると、くびれ部のプレスされた部分は内側にへこむように変形するここで、摩擦材料２の接着されている側は肉厚が薄く、くびれ部より下の部分より剛性が小さくなっているため、内側にへこんだくびれ部２０に引かれて図１１右図のように２つに折れ曲がるような変形を生じる。弾性体５ａに永久変形を生じるプレス圧でプレスすることによって図のような永久変形を起こすことができる。弾性体に接着よって固定された摩擦材料２は、弾性体５ａの変形に伴って同様に曲面形状になり、摩擦面に２箇所の凹凸を持ったうねりを形成する。プレス圧を調整することによって永久変形の大きさを変えることができるため、摩擦面のうねりの大きさを所定の大きさにすることができる。
【００６５】
本実施形態では、弾性体を摩擦面を含む面で加圧締結するものではないため、弾性体に剛性低下部を設けることでは摩擦面にうねりを形成することができないが、本実施形態のように側面を加圧することによって永久変形を生じさせることによって摩擦面にうねり形状を形成することができる。
【００６６】
（第６の実施の形態）
図１２に本発明の第６の実施形態の振動波駆動装置の振動体の弾性体を示す。
【００６７】
本実施形態は、第１の実施形態の構成の弾性体を、溝による剛性不均一によって弾性変形を生じさせるものではなく、上下面のプレス加工によって曲面を形成したものである。
【００６８】
摩擦面を避け、裏面および表面においてそれぞれ中心に対して対向する二箇所を表裏面で直交するような位置でプレス加工することによって同様の２つの凹凸を持つうねり形状を形成することができる。弾性部材が金属で構成される場合に有効であり、弾性部材を加圧締結して構成される振動体においても、大きな締結力を必要とせずに所望のうねり形状を得る事ができ、振動波駆動装置の起動性を改善することができる。
【００６９】
【発明の効果】
本発明によれば、摩擦面にうねり形状を形成することによって、大気中の水分が摺動面の微小な空隙間で吸着層を形成するのを低減し、さらに装置の起動時には面圧が集中した部分での摩擦力による吸着層の消滅を促進することによって大気中の水分の吸着による摩擦力の低下に起因する装置の起動性の低下を改善することができる。
【００７０】
弾性部材の摩擦面を平面加工した後にプレス加工によって摩擦面のうねりを形成するため、平面の平滑加工、表面粗さを所定の粗さにするなどの処理をうねりの形成とは別途に平面加工工程で施すことができ、プレス加工によることで複雑な工程を経ることなく安定したうねり形状を形成することができる。
【００７１】
このうねり形状は静的な弾性変形によって形成され、塑性加工による曲面形成が困難な脆性材料においても同様の効果を得ることができ、うねりの形状および大きさが弾性体の形状および材料物性で決定されるために安定した形状を形成することができる。
【００７２】
弾性部材の動剛性不均一部は、例えば弾性部材を一部削除した形状とすれば、プレス加工や、型加工によって簡便に構成できる。
【００７３】
また、弾性部材と摩擦材料が同一部材でなくとも、摩擦材料を弾性体に固定してからうねりを形成すれば、安定した弾性変形や永久変形を施すことが困難な摩擦材料、たとえば薄い材料や、樹脂材料、塗布による材料などでも、弾性体と一体的に変形させることによって同様にうねり形状を形成できる。
【００７４】
また、うねりの大きさを制限することによって、回転むらや異音などの駆動性能に影響が少なく、大気中の水分に対して安定した駆動性能を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の振動波駆動装置の断面図。
【図２】第１の実施形態の振動波駆動装置の分解斜視図。
【図３】第１の実施形態の振動体の斜視図。
【図４】第１の実施形態の弾性体の斜視図。
【図５】第１の実施形態の振動体の静的変形を誇張して示した変形図。
【図６】第２の実施形態の振動波駆動装置の振動体の斜視図。
【図７】第３の実施形態の振動波駆動装置の振動体の斜視図。
【図８】第４の実施形態の振動波駆動装置の弾性体の斜視図。
【図９】第４の実施形態の振動波駆動装置の振動体の斜視図。
【図１０】第５の実施形態の振動波駆動装置の振動体の断面図。
【図１１】第５の実施形態の弾性体の変形図。
【図１２】第６の実施形態の振動波駆動装置の弾性体。
【図１３】従来の振動波駆動装置の断面図。
【符号の説明】
１　振動体
２　摩擦部材
３　圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子）
４　下ナット
５　弾性体
５ａ　第１の弾性体
５ｂ　第２の弾性体
６　シャフト
６ａ　シャフトフランジ部
７　接触ばね
８　ロータ
９　出力ギア
１０　フランジ
１０ａ　フランジ軸受部
１１　上ナット
１２　加圧ばね
１３　フレキシブルプリント基板
１４　摩擦面
【図１】
2004112923.tif 000003
【図２】
2004112923.tif 000004
【図３】
2004112923.tif 000005
【図４】
2004112923.tif 000006
【図５】
2004112923.tif 000007
【図６】
2004112923.tif 000008
【図７】
2004112923.tif 000009
【図８】
2004112923.tif 000010
【図９】
2004112923.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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