(57)【要約】【課題】検査時の作業性や位置決め精度を向上するとともに検査時における表示パネルの欠損を低減することのできる表示パネルの検査装置を提供する。【解決手段】複数の液晶パネル１０１が個々に分割される前のマザーガラス基板１００を位置決めして保持するステージ５を備えて検査装置１を構成する。これにより、ステージ５上に同時に複数の液晶パネル１０１を位置決め保持することができるので検査時の作業性が向上し、また、バリ等の影響による位置決め精度の低下を防止できる。さらに、各液晶パネル１０１は分割される前のマザーガラス基板１００の状態でステージ５上に位置決め保持されるのでバリの欠損等による液晶パネル１０１の欠損を低減することができる。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルの表示欠陥を検査する表示パネルの検査装置であって、
複数の表示パネルが個々に分割される前のマザー基板を位置決めして保持するステージを備えたことを特徴とする表示パネルの検査装置。
【請求項２】
上記ステージに位置決め保持された上記マザー基板上の各表示パネルに接離自在に接続されて所定の表示信号を伝達する信号伝達手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の表示パネルの検査装置。
【請求項３】
上記信号伝達手段は、複数の上記表示パネルに対して表示信号を同時に伝達することを特徴とする請求項２記載の表示パネルの検査装置。
【請求項４】
上記表示信号が伝達された上記表示パネルを撮像する撮像手段を備えたことを特徴とする請求項２または請求項３記載の表示パネルの検査装置。
【請求項５】
上記撮像手段は、上記ステージ上に位置決め保持される上記マザー基板と一体的に筐体内に配設されることを特徴とする請求項４記載の表示パネルの検査装置。
【請求項６】
上記表示パネルは液晶パネルであって、
上記ステージ内部に配設された光源と、
上記ステージ上のマザー基板を挟み込む位置に配設された一対の偏光板とを有することを特徴とする請求項２乃至請求項５の何れかに記載の表示パネルの検査装置。
【請求項７】
少なくとも一方の上記偏光板の偏光軸の角度を調節する角度調節手段を有することを特徴とする請求項６記載の表示パネルの検査装置。
【請求項８】
上記ステージは、上記光源と上記マザー基板との間に侵入した塵埃を除去する塵埃除去手段を有することを特徴とする請求項６または請求項７記載の表示パネルの検査装置。
【請求項９】
表示パネルの表示欠陥を検査する表示パネルの検査方法であって、
複数の表示パネルが個々に分割される前のマザー基板をステージ上に位置決めして保持する手順を備えたことを特徴とする表示パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、同一のマザー基板から同時に複数形成される表示パネルの検査装置及びその検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
比較的小型の液晶パネルや有機ＥＬ（エレクトロルミネッセント）パネル等の表示パネルは、一般に、マザーガラス基板等のマザー基板上に複数が同時に一体的に形成された後、個々に分割されることで製造される。
【０００３】
ところで、完成した液晶パネル等の表示パネルは、モジュール化等がなされる前に、表示検査が行われる。この種の表示検査において、例えば、液晶パネルは、検査装置のチップテーブル上に位置決め固定され、ＴＦＴ基板上の実装端子にプローブ等を介して所定の駆動信号が印加されることにより表示駆動される。この場合、一般に、チップテーブル上には複数の位置決めピンが立設されており、液晶パネルは、ＴＦＴ基板の側面が位置決めピンに当接されて位置決めされた状態で、真空吸着されることによりチップテーブル上に固定される。例えば、特許文献１、特許文献２を参照。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−３６３６号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開平９−２１８１３１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のように製造された液晶パネルは、ＴＦＴ基板の側面に、分断によるバリが発生している場合がある。このため、チップテーブル上への位置決め時にＴＦＴ基板の位置がバリによってずれてしまうことがあり、プローブと実装端子との位置合わせができなくなって導通異常が生じ、正常にパネル表示検査を実施することができなくなってしまうという問題点があった。これに対処して、チップテーブルやプローブ等の位置を検査毎に微調整すると、表示検査が煩雑なものとなってしまう。
【０００７】
また、液晶パネルをチップテーブル上に位置決め固定するに際し、ＴＦＴ基板の側面を位置決めピンに当接させると、バリが欠けてしまい、この欠けによって表示領域周辺部の配線パターンが損傷を受け、表示不良が発生してしまうとう問題点もあった。
【０００８】
このような問題点は、液晶パネルのみならず、有機ＥＬパネル等の他の表示パネルにおいても、マザー基板から複数が分断されて製造された場合には発生し得る。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、検査時の作業性や位置決め精度を向上するとともに、検査時における表示パネルの欠損を低減することのできる表示パネルの検査装置及びその検査方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る表示パネルの検査装置は、表示パネルの表示欠陥を検査する表示パネルの検査装置であって、複数の表示パネルが個々に分割される前のマザー基板を位置決めして保持するステージを備えたことを特徴とする。
【００１１】
このような構成によれば、複数の表示パネルが個々に分割される前のマザー基板をステージに位置決め保持することにより、検査時における各表示パネルの扱いが容易となり、各表示パネルのステージ上への位置決め精度を向上することができ、しかも、各表示パネルの欠損を低減することができる。
【００１２】
上記ステージに位置決め保持された上記マザー基板上の各表示パネルに接離自在に接続されて所定の表示信号を伝達する信号伝達手段を備えたことを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、ステージ上にマザー基板が精度よく位置決め保持されているので、マザー基板上の各表示パネルに信号伝達手段を精度よく容易に接続させることができる。
【００１４】
上記信号伝達手段は、複数の上記表示パネルに対して表示信号を同時に伝達することを特徴とする。
【００１５】
このような構成によれば、複数の表示パネルに対して表示信号を同時に伝達することにより、表示パネルの検査を効率的に行うことができる。
【００１６】
上記表示信号が伝達された上記表示パネルを撮像する撮像手段を備えたことを特徴とする。
【００１７】
このような構成によれば、表示信号が伝達された表示パネルを撮像することにより、表示パネルの検査を自動化させることができる。
【００１８】
上記撮像手段は、上記ステージ上に位置決め保持される上記マザー基板と一体的に筐体内に配設されることを特徴とする。
【００１９】
このような構成によれば、外乱の影響を受けることなく表示パネルの撮像を行うことができる。
【００２０】
上記表示パネルは液晶パネルであって、上記ステージ内部に配設された光源と、上記ステージ上のマザー基板を挟み込む位置に配設された一対の偏光板とを有することを特徴とする。
【００２１】
このような構成によれば、検査装置を液晶パネルに適用することができる。
【００２２】
少なくとも一方の上記偏光板の偏光軸の角度を調節する角度調節手段を有することを特徴とする。
【００２３】
このような構成によれば、液晶パネル内への異物の混入を精度よく検出することができる。
【００２４】
上記ステージは、上記光源と上記マザー基板との間に侵入した塵埃を除去する塵埃除去手段を有することを特徴とする。
【００２５】
このような構成によれば、光源とマザー基板との間に侵入した塵埃を除去することによって、液晶パネルの検査精度を向上することができる。
【００２６】
本発明に係る液晶パネルの検査方法は、表示パネルの表示欠陥を検査する表示パネルの検査方法であって、複数の表示パネルが個々に分割される前のマザー基板をステージ上に位置決めして保持する手順を備えたことを特徴とする。
【００２７】
このような構成によれば、複数の表示パネルが個々に分割される前のマザー基板をステージに位置決め保持することにより、検査時における各表示パネルの扱いが容易となり、各表示パネルのステージ上への位置決め精度を向上することができ、しかも、各表示パネルの欠損を低減することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１乃至図４は本発明の実施の一形態に係わり、図１は検査装置の概略構成図、図２はステージ及びマザーガラス基板を示す斜視図、図３は検査時のマザーガラス基板及びプローブカードを示す平面図、図４は図３のマザーガラス基板及びプローブカードを分離して示す斜視図である。
【００２９】
図１において符号１は液晶パネルの検査装置を示す。ここで、この検査装置１は、各液晶パネル１０１がマザーガラス基板（マザー基板）１００から個々に分割される前の工程で、各液晶パネル１０１の検査を行うものである。すなわち、検査装置１には、例えば図３に示すように、複数の液晶パネル１０１が連結されたままの状態のマザーガラス基板１００が一体的に投入される。なお、図３中の符号１０２は対向基板を示し、符号１０３は実装端子を示す。また、図３において、各液晶パネル１０１の境界を破線で示す。ここで、本実施の形態において、各液晶パネル１０１は、例えば、液晶として９０度ねじれのツイステッドネマティック（ＴＮ）型の液晶パネルで構成されている。
【００３０】
検査装置１は、筐体２内に、マザーガラス基板１００を所定に位置決めして保持する中空のステージ５と、ステージ５を筐体２内に移動可能に支持するステージ移動動構部６と、ステージ５内に配設された光源としての光源装置７と、ステージ５内で光源装置７の上部に配設された第１の偏光板８と、ステージ５上のマザーガラス基板１００を介して第１の偏光板８に対向する第２の偏光板９と、マザーガラス基板１００上の任意の液晶パネル１０１に接離自在に接続されて所定の表示信号を伝達する信号伝達手段としてのプローブカード１０と、第２の偏光板９に対向配置された撮像手段としてのカメラ１１とを有して要部が構成されている。
【００３１】
ステージ５は、マザーガラス基板１００の輪郭に略沿った形状の上部が開口された中空の筒状部材で構成され、ステージ５の頂面にマザーガラス基板１００が載置されるようになっている。
【００３２】
ここで、マザーガラス基板１００は、検査装置１に併設された図示しないカセット内に複数用意されており、図示しない自動搬送機によって１枚毎に取り出され、ステージ５上に搬送されて載置される。自動搬送機は、マザーガラス基板１００をステージ５上に載置する際には、マザーガラス基板１００のオリフラ１０４を用いてラフな位置決めを行った後で、マザーガラス基板１００上に設定されたアライメントマーク１０５（図３参照）を用いてさらに厳密な位置決めを行うようになっている。
【００３３】
また、図２に示すように、ステージ５の頂面には複数の吸気口２０が開口され、各吸気口２０が図示しない真空ポンプに連通されている。真空ポンプはステージ５上にマザーガラス基板１００が載置されて位置決めされた後に作動するようになっており、これにより、ステージ５は、位置決めされたマザーガラス基板１００の縁辺部を、各吸気口２０を介して真空吸着して保持するようになっている。
【００３４】
また、ステージ５の側壁には、ステージ５内に端部が対向して露呈するエア吐出ポート２１とエア吸入ポート２２とが設けられている。これら両ポート２１，２２は図示しないエアブロー装置に連結されており、これにより、マザーガラス基板１００保持時にステージ５内に侵入した塵埃を除去するための塵埃除去手段としての塵埃除去装置が構成されている。
【００３５】
ステージ移動機構部６は、筐体２内でステージ５を水平方向及び垂直方向に３次元的に移動可能に支持するもので、これにより、ステージ５に位置決め保持されたマザーガラス基板１００上の各液晶パネル１０１がプローブカード１０に対して任意に相対移動可能となっている。本実施の形態において、ステージ移動機構部６は、検査装置１を統括的に制御する制御装置５０によって駆動制御されるもので、例えばステージ精度が２μｍ以内の高精度で駆動制御されるようになっている。
【００３６】
光源装置７は、ステージ５内の底部に一体的に配設され、ステージ５上に保持されたマザーガラス基板１００の略全域に対して、検査光を均一に出射するようになっている。
【００３７】
第１の偏光板８は、光源装置７の出射面の略全域に亘って対向するよう、保持板２５を介してステージ５内に支持されている。一方、第２の偏光板９は、プローブカード１０に形成された開口部３１（後述する）に対向するよう、保持板２６を介して筐体２内に保持されている。
【００３８】
各保持板２５，２６には、これらを光軸に垂直な水平平面上で回転駆動させて各偏光板８，９の偏光軸の角度調節を行うための角度調節手段としての回転駆動機構部２７，２８が連設されている。これら回転駆動機構部２７，２８は、制御装置５０で駆動制御され、各保持板２５，２６を回転駆動することによって、各偏光板８，９のぞれぞれの偏光軸が基準位置から所定に回動されるようになっている。ここで、第１，第２の偏光板８，９は、これらの間に位置する液晶パネル１０１に表示信号が印加されていない電圧無印加時に当該液晶パネル１０１に光が透過するノーマリホワイト（ＮＷ）表示となるよう、基準位置での互いの偏光軸のなす角度が９０度に設定されている。
【００３９】
プローブカード１０は、液晶パネル１０１の実装端子１０３とパターン発生器５１とを接続するため、実装端子１０３の配置に合わせて導電性のプローブ３０を配列したカードであり、ステージ５上のマザーガラス基板１００に対向する位置で、筐体２に交換可能に装着されている。
【００４０】
図１，３，４に示すように、プローブカード１０は、ステージ５上のマザーガラス基板１００がステージ移動機構部６を介して移動されてマザーガラス基板１００上のある液晶パネル１０１が検査対象として設定された際に、当該液晶パネル１０１の全面に対向するように設定されている。プローブカード１０には、対向する液晶パネル１０１の表示領域に対応する開口部３１が設けられており、表示領域を透過した検査光を第２の偏光板９に導くようになっている。
【００４１】
カメラ１１は、ＣＣＤカメラ等で構成され、第２の偏光板９を介して入射される液晶パネル１０１からの検査画像を撮像するようになっている。そして、検査画像の撮像結果は制御装置５０に入力され、制御装置５０内で画像解析が行われることにより液晶パネル１０１の点欠陥や異物の混入等による液晶パネル１０１の表示欠陥が自動検出されるようになっている。
【００４２】
次に、このように構成された検査装置１の作用について説明する。
制御装置５０は、図示しないカセット内のマザーガラス基板１００を自動搬送機を介して検査装置１内に搬入し、ステージ５上に載置するとともに、マザーガラス基板１００のオリフラ１０４及びアライメントマーク１０５を用いてステージ５上での位置決めを行う。そして、ステージ５上での位置決めがなされると、制御装置５０は、図示しない真空ポンプを駆動し、マザーガラス基板１００をステージ５上に吸着保持する。
【００４３】
次の工程で、制御装置５０は、ステージ移動機構部６を駆動してステージ５を水平移動させることにより、予め設定された各液晶パネル１０１の検査順序に従って、検査対象となる液晶パネル１０１をプローブカード１０に対向させる。そして、ステージ５を垂直移動させることで、プローブカード１０のプローブ３０を検査対象となる液晶パネル１０１の実装端子１０３に電気的に接続させる。
【００４４】
次の工程で、制御装置５０は、パターン発生器５１を駆動制御し、プローブ３０を介して所定の表示信号を実装端子１０３に印加する。これにより、液晶パネル１０１に検査画像が表示させる。
【００４５】
次の工程で、制御装置５０は、カメラ１１を駆動して検査対象となる液晶パネル１０１に表示された検査画像を撮像する。そして、制御装置５０は、カメラ１１の撮像結果を取り込み、画像解析を行うことにより、上記液晶パネル１０１の点欠陥等を自動検出する。その際、制御装置５０は、回転駆動機構部２７，２８を駆動して偏光板８，９の偏光軸を所定に変化させ、偏光軸を変化させた状態での撮像結果を併せて解析することにより、液晶パネル１０１内への異物の混入を精度よく検出することができる。
【００４６】
制御装置５０は、上述のステージ５上にマザーガラス基板１００を保持する工程以降の各工程を、各液晶パネル１０１に対して順次繰り返し行うことにより、全ての液晶パネル１０１に対する点欠陥等の自動検出を行う。
【００４７】
このような実施の形態によれば、検査装置１は、個々に分割される前のマザーガラス基板１００の状態で各液晶パネル１０１をステージ５上に位置決め保持する構成としたので、各液晶パネル１０１をステージ５上に精度よく位置決め保持することができる。
【００４８】
すなわち、各液晶パネル１０１をマザーガラス基板１００の状態でステージ５上に位置決め保持することは、位置決め時にバリ等の影響を受けることを防止できる。また、マザーガラス基板１００のままの状態でステージ５上に位置決め保持することは、各液晶パネル１０１の位置決めに、マザーガラス基板１００のオリフラやアライメントマークを利用することができ、位置決め精度を飛躍的に向上させることができる。
【００４９】
また、各液晶パネル１０１のステージ５上への位置決めをマザーガラス基板１００のままの状態で行うことは、複数の液晶パネル１０１のステージ５に対する位置決めを一度で行うことができ、検査時の作業性を向上することができる。
【００５０】
また、各液晶パネル１０１のステージ５上への位置決めをマザーガラス基板１００のままの状態で行うことは、各液晶パネル１０１の表示領域周辺の配線パターンの損傷等の発生を低減することができる。
【００５１】
また、各液晶パネル１０１のステージ５上への位置決めを精度よく行うことができるので、各液晶パネル１０１への表示信号の伝達にプローブカード１０を有効に利用することができる。すなわち、ステージ５上での各液晶パネル１０１の位置を正確に把握することができるので、プローブ３０の実装端子１０３への接続を正確に行うことができる。
【００５２】
また、液晶パネル１０１に表示された検査画像を撮像するカメラ１１を設けることにより、液晶パネル１０１の検査を自動化することができる。さらに、カメラ１１をマザーガラス基板１００等と一体的に筐体２内に配設することにより、表示画像の撮像時における外光等の外乱の影響を防止することができる。
【００５３】
また、ステージ５内に端部が露呈するエア吐出ポート２１とエア吸入ポート２２を設け、エアブロー装置によるステージ５内の塵埃除去を行うことにより、液晶パネルの検査精度を向上することができる。
【００５４】
また、ステージ５内に光源装置７を一体的に配設することで、光源の確保と安定したマザーガラス基板１００（各液晶パネル１０１）の移動とを同時に実現することができる。
【００５５】
また、マザーガラス基板１００の状態のままで各液晶パネル１０１の検査をすることにより、マザーガラス基板１００上で表示欠陥が発生し易い部位等を統計的に特定することができ、このような検査結果を製造工程等にフィードバックすれば、歩留まりの向上等を図ることができる。
【００５６】
なお、上述の構成による検査装置１において、光源装置７及び第１の偏光板８をプローブカード１０と対向する位置で筐体２内に固定し、これらをステージ５と相対移動可能に構成してもよい。このような構成とすれば、光源装置７及び第１の偏光板８を小型化することができる。
【００５７】
また、検査装置１において、プローブカード１０に対してステージ５を相対移動させる構成に代えて、ステージ５を筐体２内に固定し、この固定されたステージ５に対してプローブカード１０、第２の偏光板９、及びカメラ１１等を相対移動させる構成としてもよい。
【００５８】
次に、図５乃至図７は本発明の第２の実施の形態に係わり、図５は検査時のマザーガラス基板及びプローブカードを示す平面図、図６はマザーガラス基板及びプローブカードを分離して示す斜視図、図７はプローブカードの変形例を示す斜視図である。なお、本実施の形態は、複数の液晶パネル１０１に対して同時に表示信号を印加可能するようプローブカード６０を構成した点が上述の第１の実施の形態と異なる。その他、上述の第１の実施の形態と同様の構成については同符号を付して説明を省略する。
【００５９】
本実施の形態において、プローブカード６０は、図５，６に示すように、実装端子１０３の配列方向に沿う方向に配列された複数（図示の例では４個）の液晶パネル１０１に対して同時に表示信号を伝達するものである。
【００６０】
すなわち、プローブカード６０は、実装端子１０３の配列方向に沿う方向に長尺なカードに形成され、プローブカード６０の縁辺部には、各液晶パネル１０１の実装端子１０３に対応する複数組のプローブ３０が設けられている。
【００６１】
本実施の形態において、プローブカード６０は、検査対象となる各液晶パネル１０１への表示信号伝達時に、各液晶パネル１０１の実装端子１０３側にオフセットした位置で対向されるようになっており、これにより、検査対象となる各液晶パネル１０１の表示部は、光路をプローブカード６０に遮蔽されることなく第２の偏光板９に対向されるようになっている。
【００６２】
また、カメラ１１は表示信号が伝達された全ての液晶パネル１０１の表示画像を撮像可能に設定されている。なお、このような設定に代えて、同時に表示信号が伝達される各液晶パネル１０１の数に対応して複数のカメラ１１を筐体２内に設けてもよいことは勿論である。
【００６３】
このような実施の形態では、上述の第１の実施の形態で得られる効果に加え、同時に複数の液晶パネル１０１に対する検査を行うことができるので検査効率を向上することができるという効果を奏する。
【００６４】
ここで、本実施の形態においては、例えば、図７に示すように、プローブカード６０に代えて、検査対象となる各液晶パネル１０１への表示信号伝達時に各液晶パネル１０１の全面に対向するようプローブカード６１を構成してもよい。この場合、プローブカード６１には、各液晶パネル１０１の表示部に対応する位置に、開口部３１がそれぞれ開口される。このような構成においても、上述のプローブカード６０と同様の効果を得ることができる。
【００６５】
次に、図８乃至図１０は本発明の第３の実施の形態に係わり、図８は検査時のマザーガラス基板及びプローブカードを示す平面図、図９マザーガラス基板及びプローブカードを分離して示す斜視図、図１０はプローブカードの変形例を示す平面図である。なお、本実施の形態は、複数の液晶パネル１０１に対して同時に表示信号を印加可能するようプローブカード７０を構成した点が上述の第１の実施の形態と異なる。その他、上述の第１の実施の形態と同様の構成については同符号を付して説明を省略する。
【００６６】
本実施の形態において、プローブカード７０は、図８，９に示すように、実装端子１０３の配列方向に直交する方向に配列された複数（図示の例では２個）の液晶パネル１０１に対して同時に表示信号を伝達するものである。
【００６７】
すなわち、プローブカード７０は、実装端子１０３の配列方向に直交する方向に長尺なカードに形成され、プローブカード７０には、各液晶パネル１０１の実装端子１０３に対応する複数組のプローブ３０が設けられている。
【００６８】
また、プローブカード７０には、検査対象となる液晶パネル１０１の表示部に対応する位置に、開口部３１がそれぞれ開口されている。これにより、検査対象となる各液晶パネル１０１の表示部は、光路をプローブカード７０に遮蔽されることなく第２の偏光板９に対向されるようになっている。
【００６９】
また、カメラ１１は表示信号が伝達された全ての液晶パネル１０１の表示画像を撮像可能に設定されている。なお、このような設定に代えて、同時に表示信号が伝達される各液晶パネル１０１の数に対応して複数のカメラ１１を筐体２内に設けてもよいことは勿論である。
【００７０】
このような実施の形態では、上述の第１の実施の形態で得られる効果に加え、同時に複数の液晶パネル１０１に対する検査を行うことができるので検査効率を向上することができるという効果を奏する。
【００７１】
ここで、本実施の形態においては、例えば、図１０に示すように、プローブカード７０に代えて、実装端子１０３の配列方向に直交する方向に配列された全ての液晶パネル１０１に対して同時に表示信号を伝達するようプローブカード７１を構成してもよい。このような構成とすることにより、さらなる検査効率の向上を図ることができる。
【００７２】
次に、図１１及び図１２は本発明の第４の実施の形態に係わり、図１１は検査時のマザーガラス基板及びプローブカードを示す平面図、図１２はマザーガラス基板及びプローブカードを分離して示す斜視図である。なお、本実施の形態は、複数の液晶パネル１０１に対して同時に表示信号を印加可能するようプローブカード８０を構成した点が上述の第１の実施の形態と異なる。その他、上述の第１の実施の形態と同様の構成については同符号を付して説明を省略する。
【００７３】
本実施の形態において、プローブカード８０は、図１１，１２に示すように、実装端子１０３の配列方向に沿う方向及び直交する方向に配列された複数（図示の例では２×２個）の液晶パネル１０１に対して同時に表示信号を伝達するものである。
【００７４】
すなわち、プローブカード８０は、実装端子１０３の配列方向に沿う方向及び直交する方向に長尺なカードに形成され、プローブカード８０には、各液晶パネル１０１の実装端子１０３に対応する複数組のプローブ３０が設けられている。
【００７５】
また、プローブカード８０には、検査対象となる液晶パネル１０１の表示部に対応する位置に、開口部３１がそれぞれ開口されている。これにより、検査対象となる各液晶パネル１０１の表示部は、光路をプローブカード７０に遮蔽されることなく第２の偏光板９に対向されるようになっている。
【００７６】
また、カメラ１１は表示信号が伝達された全ての液晶パネル１０１の表示画像を撮像可能に設定されている。なお、このような設定に代えて、同時に表示信号が伝達される各液晶パネル１０１の数に対応して複数のカメラ１１を筐体２内に設けてもよいことは勿論である。
【００７７】
このような実施の形態では、上述の第１の実施の形態で得られる効果に加え、同時に複数の液晶パネル１０１に対する検査を行うことができるので検査効率を向上することができるという効果を奏する。
【００７８】
なお、上述の各実施の形態において、ステージ５は、複数（例えば２枚）に分割された比較的大板の基板（マザーガラス基板１００）を位置決め保持する構成としてもよいことは勿論である。すなわち、本発明に係る検査装置に適用されるマザー基板とは、少なくとも２以上の液晶パネル１０１が分割されることなく連結された状態のマザー基板を云う。
【００７９】
また、検査装置１は、液晶パネルの検査への適用に限定されるものではなく、例えば、有機ＥＬパネル等の検査にも適用可能であることは勿論である。この場合、例えば、光源装置７及び第１，第２の偏光板８，９を省略した構成とするか、或いは、光源装置７を消灯し、第２の偏光板９を検査光路から退避させることにより検査装置１を有機ＥＬパネルに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態に係わり、検査装置の概略構成図
【図２】同上、ステージ及びマザーガラス基板を示す斜視図
【図３】同上、検査時のマザーガラス基板及びプローブカードを示す平面図
【図４】同上、マザーガラス基板及びプローブカードを分離して示す斜視図
【図５】本発明の第２の実施の形態に係わり、検査時のマザーガラス基板及びプローブカードを示す平面図
【図６】同上、マザーガラス基板及びプローブカードを分離して示す斜視図
【図７】同上、プローブカードの変形例を示す斜視図
【図８】本発明の第３の実施の形態に係わり、検査時のマザーガラス基板及びプローブカードを示す平面図
【図９】同上、マザーガラス基板及びプローブカードを分離して示す斜視図
【図１０】同上、プローブカードの変形例を示す平面図
【図１１】本発明の第４の実施の形態に係わり、検査時のマザーガラス基板及びプローブカードを示す平面図
【図１２】同上、マザーガラス基板及びプローブカードを分離して示す斜視図
【符号の説明】
１…検査装置
２…筐体
５…ステージ
７…光源装置（光源）
８…第１の偏光板（偏光板）
９…第２の偏光板（偏光板）
１０…プローブカード（信号伝達手段）
１１…カメラ（撮像手段）
２１…エア吐出ポート（塵埃除去手段）
２２…エア吸入ポート（塵埃除去手段）
２７…回転駆動機構部（角度調節手段）
２８…回転駆動機構部（角度調節手段）
６０…プローブカード（信号伝達手段）
６１…プローブカード（信号伝達手段）
７０…プローブカード（信号伝達手段）
７１…プローブカード（信号伝達手段）
８０…プローブカード（信号伝達手段）
１００…マザーガラス基板（マザー基板）
１０１…液晶パネル（表示パネル）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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