(57)【要約】【課題】良好な低域通過特性を得ることができるとともに、急峻に立ち上がる挿入損失特性を有し、一定の周波数以上で大きな減衰を得ることができるノイズフィルタを提供する。【解決手段】酸化物磁性材料からなる磁性体層２ａ〜２ｈと、磁性体層２ａ〜２ｈの間に交互に配設された線路導体３〜５と接地導体６とからなり、接地導体６を接地した状態で線路導体３〜５に電気信号を通過させることにより、高周波数のノイズを磁性体層２ａ〜２ｈの磁性損失（μ”）を用いて減衰させる。【選択図】            図１
2004266784.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
層状の磁性体にて積層体が形成され、前記積層された磁性体層の最上層と最下層とに接地導体が形成され、前記各磁性体層間に線路導体と接地導体とがそれぞれ交互に形成され、前記各磁性体層間に形成された前記各線路導体は直列接続されており、
前記磁性体層は酸化物磁性体で構成され、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とするノイズフィルタ。
【請求項２】
前記酸化物磁性体は、磁性損失（μ”）が１を超える周波数が８０ＭＨｚ以上であることを特徴とする請求項１記載のノイズフィルタ。
【請求項３】
層状の磁性体にて積層体が形成され、前記積層された磁性体層の最上層と最下層とに接地導体が形成され、前記各磁性体層間に線路導体と接地導体とがそれぞれ交互に形成され、前記各磁性体層間に形成された前記各線路導体の一端側は互いに異なる信号入力用電極に接続され、前記各線路導体の他端側は互いに異なる信号出力用電極に接続され、
前記磁性体層は酸化物磁性材料で構成され、磁性損失（μ”）が１を超える周波数が８０ＭＨｚ以上であり、
磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とするノイズフィルタ。
【請求項４】
前記線路導体はミアンダ状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のノイズフィルタ。
【請求項５】
前記線路導体はうずまき状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のノイズフィルタ。
【請求項６】
前記線路導体は、前記積層された磁性体層間に形成されており、磁性体層の積層方向を中心軸としたコイル状であることを特徴とする請求項１または請求項２記載のノイズフィルタ。
【請求項７】
前記各磁性体層間に形成された前記各線路導体は互いに異なる特性インピーダンスを有することを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載のノイズフィルタ。
【請求項８】
前記磁性体層間に誘電体層が介在されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のノイズフィルタ。
【請求項９】
前記接地導体が挟みこむように形成された誘電体層と、前記線路導体が挟みこむように形成された磁性体層とからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のノイズフィルタ。
【請求項１０】
磁性体と、前記磁性体の主面上に間隔を置いて並設された２以上の線路導体とを備えており、
前記磁性体は酸化物磁性材料で構成され、磁性損失（μ”）が１を超える周波数が８０ＭＨｚ以上であり、
磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とするノイズフィルタ。
【請求項１１】
磁性体と、前記磁性体の主面上に前記磁性体を挟むように対向して形成された少なくとも１対の線路導体とを備えており、
前記磁性体は酸化物磁性材料で構成され、磁性損失（μ”）が１を超える周波数が８０ＭＨｚ以上であり、
磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とするノイズフィルタ。
【請求項１２】
前記磁性体として、該磁性体に空孔が形成され、前記空孔内にガラス、樹脂、またはガラスと樹脂の複合材料のいずれかが充填されているものを用いたことを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のノイズフィルタ。
【請求項１３】
前記酸化物磁性体がＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎフェライトであることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のノイズフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁雑音障害を抑制するのに好適なノイズフィルタに関し、更に詳しくは、高域側の周波数成分を吸収することで減衰させることができるノイズフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ノイズフィルタとして、例えば図２６に示すようなものが従来知られている。
【０００３】
このノイズフィルタ１００は、金属線１０１と、金属線１０１の両端に電気的接続された電極部１０２と、外装部１０３とを備えている。電極部１０２は外装部１０３で被覆されている。外装部１０３は焼結フェライト粉末にした粉末磁性体に樹脂を混合した樹脂フェライトからなる。焼結フェライトは、｛（μ’）−ｊ（μ”）｝で表される複素透磁率における磁性損失（μ”）の周波数限界線に非制限されたものである。
【０００４】
このノイズフィルタ１００は、１ＧＨｚを越える数ＧＨｚ程度の周波数に対してもノイズ除去の可能な範囲が有効であり、高周波数域でも減衰量を向上することができるとしている。（特許文献１参照）。
【０００５】
また、他のノイズフィルタとして、例えば図２７に示すようなものが従来知られている。
【０００６】
このノイズフィルタ１１０は、円筒状外部導体としての金属円筒１１１の中心を貫通するように内部導体１１２を同軸状に配置し、Ｓｉ−Ｆｅ系磁性体粉末を主成分とする複合磁性体１１４を金属円筒１１１と内部導体１１２との間に配設したものである。
【０００７】
複合磁性体１１４の主成分であるＳｉ−Ｆｅ系磁性体粉末としては、複素比透磁率（μｒ’−ｊμｒ”）及び複素比誘電率（εｒ’−ｊεｒ”）鱗片状のＳｉ−Ｆｅ系合金を用いている。
【０００８】
ノイズフィルタ１１０は基本的に分布定数回路であるので、ＧＨｚ帯において集中定数回路構成であるノイズフィルタのような共振現象による挿入減衰特性の劣化を起こさない。また、Ｓｉ−Ｆｅ系磁性体粉末を主成分とする複合磁性体１１４は、μｒ’を高い周波数まで保持させることができる。それに伴い、μｒ”の山なりの現象も高周波化でき、結果としてＭＨｚ帯からＧＨｚ帯における挿入減衰特性を良好にできるとしている。（特許文献２参照）。
【０００９】
さらに、他のノイズフィルタとして、例えば図２８に示すようなものが従来知られている。
【００１０】
このノイズフィルタ１２０は、高周波領域の高周波成分を確実に吸収できるローパスフィルタである。その構成は、アース用電極１２１と、信号線用電極１２２と、絶縁基体１２３とからなる。アース用電極１２１と、信号線用電極１２２とは、絶縁基体１２３にそれぞれ設けられているものである。絶縁基体１２３は、強磁性金属粉と絶縁樹脂とを混合した複合部材からなる。
【００１１】
この絶縁基体１２３の吸収作用によって、信号電極を通る周波数信号に含まれる高周波領域の不要な高周波成分を確実に吸収するとしている。（特許文献３参照）。
【００１２】
【特許文献１】
特開２０００−９１１２５号公報（第１図）
【特許文献２】
特開平１１−２７３９２４号公報（第１図）
【特許文献３】
特開平８−７８２１８号公報（第１図）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のノイズフィルタ１００においては、以下のような問題点があった。
【００１４】
ノイズフィルタ１００は、金属線１０１の周囲に磁性体からなる外装部１０３が形成されていることにより、導体に透磁率に応じたインダクタンスが発生しインピーダンス素子として働くものである。基板配線などの伝送線路にノイズフィルタ１００を直列に挿入することによってインピーダンスミスマッチが生じ、ノイズを反射させて抑制するものである。このノイズフィルタ１００のインピーダンスには、外装部１０３を構成する磁性体の複素透磁率｛（μ’）−ｊ（μ”）｝が寄与しているため、磁性損失（μ”）が発現しない周波数帯においてもノイズ抑制効果が出てしまう。すなわち、挿入損失特性が低周波から生じてしまうため、低域通過特性が低下するという問題点があった。
【００１５】
また、ノイズフィルタ１１０およびノイズフィルタ１２０においては、以下のような問題点があった。
【００１６】
これらのノイズフィルタ１１０、１２０は、複合磁性体１１４または絶縁基体１２３を構成する磁性材料として、磁性体粉を用いたものである。したがって、磁性損失（μ”）の急峻な増加が生じず、挿入損失特性も急峻には立ち上がらず、一定の周波数以上で大きな減衰を得ることは困難であるという問題点があった。
【００１７】
本発明は、上記問題点を解決するものであり、良好な低域通過特性を得ることができるノイズフィルタを提供することを目的とする。
【００１８】
また、本発明は、急峻に立ち上がる挿入損失特性を有し、一定の周波数以上で大きな減衰を得ることができるノイズフィルタを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のノイズフィルタの主たる要旨は、層状の磁性体にて積層体が形成され、積層された磁性体層の最上層と最下層とに接地導体が形成され、各磁性体層間に線路導体と接地導体とがそれぞれ交互に形成され、
磁性体層は酸化物磁性体で構成され、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とする。
【００２０】
このノイズフィルタによれば、磁性損失（μ”）が急峻に立ち上がり、磁性損失（μ”）が立ち上がる周波数以上で大きな減衰を得ることができる。また、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることから、良好な低域通過特性を得ることができる。
【００２１】
本発明のノイズフィルタの実施形態としては以下のようなものがある。
【００２２】
第１の実施形態のノイズフィルタは、層状の磁性体にて積層体が形成され、前記積層された磁性体層の最上層と最下層とに接地導体が形成され、前記各磁性体層間に前記線路導体と接地導体とが交互に形成され、前記各磁性体層間に形成された前記各線路導体は直列接続されており、前記磁性体層は酸化物磁性材料で構成され、磁性損失（μ”）が１を超える周波数が８０ＭＨｚ以上であり、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とするものである。
【００２３】
第１の実施形態のノイズフィルタによれば、積層された磁性体層の最上層と最下層とに接地導体を形成し、各磁性体層間に線路導体と接地導体とを交互に形成したことで、各層の線路導体をそれぞれ磁性体層間に配置できるとともに、接地導体によって各層の線路導体をその全長にわたって覆うことができる。このため、各層の線路導体を通過する信号を接地導体間に閉じ込めることができ、通過帯域での信号の減衰を防止できる。また、重なり合う複数の磁性体層の最上層と最下層とに接地導体を配置したことで、外部から線路導体中にノイズが混入することを防ぐことができ、信号を確実に伝達することができる。さらに、全ての線路導体の幅寸法をほぼ等しい値に設定するとともに、全ての磁性体層の厚さ寸法をほぼ等しい値に設定した場合には、各層の線路導体に対する特性インピーダンスを相互にほぼ一致させることができる。このため、相互に直列接続された線路導体の全体にわたって特性インピーダンスをほぼ一定値に設定できるから、線路導体の途中でノイズに反射が生じることがなく、ノイズの共振を抑制することができ、外部の回路とのインピーダンス整合を容易に取ることができる。加えて、各磁性体層間に介在している各線路導体が直列接続されていることで、伝送線路の全長を長くすることができ、線路導体を通過するノイズの減衰量を増加させることができる。
【００２４】
なお、第１の実施形態において、前記線路導体はミアンダ状のもの、うずまき状のものがある。また、前記線路導体は、前記積層された複数の磁性体層間に形成されており、磁性体層の積層方向を中心軸としたコイル状のものがある。
線路導体がミアンダ状またはうずまき状であれば、線路導体を直線状に形成した場合に比べて、その長さ寸法を増加させることができ、ノイズの減衰量を増加させることができる。また、線路導体がコイル状であれば、ノイズフィルタの厚さ寸法は増大する傾向があるものの、ノイズフィルタの底面積をコイルの開口面積と同程度に設定することができる。このため、狭い接地場所に対してもノイズフィルタを配置することができる。また、線路導体を直線状に形成した場合に比べて、その長さ寸法を増加させることができ、ノイズの減衰量を増加させることができる。
【００２５】
第２の実施形態のノイズフィルタは、層状の磁性体が積層され、前記積層された磁性体層の最上層と最下層とに接地導体が形成され、前記各磁性体層間に前記線路導体と接地導体とが交互に形成され、前記各磁性体層間に形成された前記各線路導体の一端側は互いに異なる信号入力用電極に接続され、前記各線路導体の他端側は互いに異なる信号出力用電極に接続され、前記磁性体層は酸化物磁性材料で構成され、磁性損失（μ”）が１を超える周波数が８０ＭＨｚ以上であり、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とするものである。
【００２６】
第２の実施形態のノイズフィルタによれば、各線路導体をそれぞれ個別にローパスフィルタとして動作させることができ、全体としてノイズフィルタアレイを構成することができる。また、複数の線路導体はそれぞれ独立したローパスフィルタとして動作し、線路導体の途中でインピーダンスの不整合が生じることがない。このため、線路導体の途中でノイズに反射が生じることがなく、ノイズの共振を抑制することができるとともに、外部の回路とのインピーダンス整合を容易にとることができる。
【００２７】
さらに、第３の実施形態として、第２の実施形態に係るノイズフィルタにおいて、前記各磁性体層間に形成された前記各線路導体は互いに異なる特性インピーダンスを有する形態がある。
【００２８】
この場合、複数種類の特性インピーダンスをもった配線に対してもインピーダンス整合させた状態で接続することができる。また、一部または全ての線路導体を並列接続することによって、特性インピーダンスの種類数を増加させることができ、ノイズフィルタが適用可能となる配線の種類を増やすことができる。
【００２９】
さらにまた、第４の実施形態として、第１または第２の実施形態に係るノイズフィルタにおいて、前記接地導体を挟みこむように形成された誘電体層と、前記線路導体を挟みこむように形成された磁性体層とからなる形態がある。
【００３０】
この場合、ノイズフィルタの構造を変えることなく、特性インピーダンスを変化させることができる。回路基板線路に応じた所望の特性インピーダンスを得ることで、反射による影響を極力抑制することができる。また、線路導体と接地導体との間の絶縁耐圧を高めることができるので、線路導体と接地導体との間の層を薄く形成することができ、ノイズフィルタを小型化することができる。
【００３１】
さらにまた、第５の実施形態のノイズフィルタは、磁性体層と、前記磁性体層の主面上に間隔を置いて並設された２以上の線路導体とを備えており、前記磁性体層は酸化物磁性材料で構成され、磁性損失（μ”）が１を超える周波数が８０ＭＨｚ以上であり、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とするものである。
【００３２】
このノイズフィルタによって、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させる、良好な低域通過特性を有するノイズフィルタを提供することができる。
【００３３】
さらにまた、第６の実施形態のノイズフィルタは、磁性体層と、前記磁性体層の主面上に前記磁性体層を挟むように対向して形成された少なくとも１対の線路導体とを備えており、前記磁性体層は酸化物磁性材料で構成され、磁性損失（μ”）が１を超える周波数が８０ＭＨｚ以上であり、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることを特徴とするものである。
【００３４】
このノイズフィルタによって、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させる、良好な低域通過特性を有するノイズフィルタを提供することができる。
【００３５】
さらにまた、磁性体として、この磁性体に空孔が形成されており、空孔内にガラス、樹脂、またはガラスと樹脂の複合材料のいずれかが充填されているものを採用してもよい。この場合、見掛けの透磁率と誘電率を調整し、特性インピーダンスを変えずに磁性損失（μ”）の立ちあがり周波数を調整することができる。
【００３６】
各実施形態のノイズフィルタは、前記線路導体の一端側が互いに異なる信号入力用電極に接続され、前記線路導体の他端側が互いに異なる信号出力用電極に接続されることになる。
【００３７】
【発明の実施例】
以下、本発明の実施例によるノイズフィルタについて詳細に説明する。
【００３８】
図１〜図２は第１の実施例を示すものである。１はノイズフィルタで、ノイズフィルタ１は磁性体層２ａ〜２ｈ、線路導体３〜５、接地導体６、信号用電極７、接地用電極８によって大略構成されている。
【００３９】
２はノイズフィルタ１の外形を構成する略角柱状の積層体で、該積層体２は、例えば８枚の磁性体層２ａ〜２ｈで構成される。積層体２は、酸化物磁性材料からなる略四角形の板状に形成されたグリーンシートの状態のものを積層し、プレスした後、これらの磁性体層２ａ〜２ｈを焼成することによって形成されている。
【００４０】
線路導体３〜５は、磁性体層２ｂ、２ｃ間、磁性体層２ｄ、２ｅ間、磁性体層２ｆ、２ｇ間にそれぞれ配設されている。線路導体３〜５は、例えば銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料によって略帯状に形成され、磁性体層２ａ〜２ｈの表面にその幅方向に向けて往復して蛇行した略ミヤンダ状に形成されている。
【００４１】
ここで、上層側に位置する磁性体層２ｂ、２ｃ間の線路導体３は、その一端側が磁性体層２ａ〜２ｈの長さ方向一端側に延びた電極部３Ａを有する。そして、線路導体３の他端側には、磁性体層２ｃ、２ｄをそれぞれ貫通するビアホール３Ｂを有する。また、磁性体層２ｄ、２ｅ間の線路導体４は、その一端側がビアホール３Ｂを通じて線路導体３に接続するための接続部４Ａを有し、他端側が磁性体層２ｅ、２ｆをそれぞれ貫通するビアホール４Ｂを有する。下層側に位置する磁性体層２ｆ、２ｇ間の線路導体５は、その一端側がビアホール４Ｂを通じて線路導体４に接続するための接続部５Ａを有している。線路導体５はその他端側が磁性体層２ａ〜２ｈの長さ方向一端側に延びた電極部５Ｂを有している。各ビアホール３Ｂ、４Ｂ内には銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料が充填され、線路導体３〜５は相互に直列接続されている。また、各電極部３Ａ、５Ｂは、それぞれ信号用電極７に接続されている。なお、図示しないが、線路導体３〜５は磁性体層２ａ〜２ｈの長さ方向に向けて往復して蛇行するように形成されていてもよい。
【００４２】
接地導体６は各層の線路導体３〜５を挟むように磁性体層２ａ〜２ｈの間にそれぞれ設けられている。各接地導体６は、磁性体層２ｂ〜２ｇの最上層と最下層とにそれぞれ配置されると共に、磁性体層２ｂ〜２ｇ間に線路導体３〜５と交互に積み重ねられている。
【００４３】
各接地導体６は、例えば銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料を用いて略四角形の平板状に形成され、磁性体層２ｂ〜２ｇを略全面に亘って覆っている。さらに、各接地導体６には、磁性体層２ｂ、２ｃの長さ方向中間位置に、幅方向両端側に向けて舌状に突出して延びる電極部６Ａを有し、電極部６Ａは接地用電極８に接続されている。
【００４４】
信号用電極７は積層体２の長さ方向両端側にそれぞれ設けられている。信号用電極７は、積層体２の端面に形成されている共に、その表面、裏面および側面にも形成されており、積層体２の両端側にキャップ状に形成されている。そして、信号用電極７は、例えば積層体２の両端側に導電性金属材料を塗布した後に、この導電性金属材料を焼き付けることによって形成され、線路導体３〜５の電極部３Ａおよび５Ｂに接続されている。
【００４５】
接地用電極８は積層体２の長さ方向中間位置で幅方向の両端側にそれぞれ設けられている。接地用電極８は、略コ字状をなし、積層体２の側面で積層体２の厚さ方向に沿って帯状に延びると共に、その一部が積層体２の表面と裏面とに延伸している。そして、接地用電極８は、例えば積層体２の側面側に導電性金属材料を塗布した状態で焼き付けることによって形成され、接地導体６の電極部６Ａに接続されている。
【００４６】
本実施の例によるノイズフィルタ１は上述の如く構成されるものであり、次にその動作について説明する。
【００４７】
まず、信号が伝達される配線が設けられた基板上にノイズフィルタ１が配置されている。配線上に信号用電極７がそれぞれ接続されており、接地用電極８は接地端子に接続されている。これにより、信号は線路導体３〜５を通じて伝達されると共に、接地導体６は接地電位に保持される。
【００４８】
ここで、磁性体層２ａ〜２ｈを構成する酸化物磁性材料は、線路導体３〜５を通過する信号の周波数が高くなるに従って磁性損失（μ”）を生ずる。ノイズフィルタ１は、この磁性損失（μ”）による吸収特性によってノイズを抑制し、低域通過型フィルタを構成するものである。
【００４９】
ノイズフィルタ１のような構成においては、磁性損失（μ”）の生じていない周波数帯では、透磁率がほぼ一定であり、また誘電率は周波数に関わらずほぼ一定であるため、線路に分布的にほぼ一定のインダクタンスと容量が生じる。このような線路は、分布定数線路となり、Ｚｏ＝√（ΔＬ／ΔＣ）で表される特性インピーダンスを有することになる。ノイズフィルタ１の特性インピーダンスと、ノイズフィルタ１を挿入する回路基板などの特性インピーダンスとを合わせれば反射を生じず、波形への影響も抑えられる。
【００５０】
ノイズ抑制効果は伝送線路の伝搬定数（γ＝α＋ｊβ）の減衰定数（α）に関する項により磁性損失の増加する周波数から得られる。また、酸化物磁性材料を使用することにより急峻な挿入損失特性が得られる。さらに急峻な挿入損失特性を得るためには、磁性損失（μ”）が１を越える周波数を８０ＭＨｚ以上とすることが望ましい。
【００５１】
次に、磁性体層２ａ〜２ｈの製造方法について説明する。酸化物磁性材料の出発原料として、Ｆｅ２Ｏ３粉末、ＺｎＯ粉末、ＮｉＯ粉末、ＣｕＯ粉末、Ｃｏ３Ｏ４粉末を準備する。
【００５２】
Ｆｅ２Ｏ３粉末、ＺｎＯ粉末、ＮｉＯ粉末、ＣｕＯ粉末、Ｃｏ３Ｏ４粉末を用いて、表１の試料Ｎｏ．１〜１０の組成となるように酸化物原料を秤量する。秤量原料粉末を混合し、混合物に対して０．５〜１．５倍の重量の純水と０．５〜２．５ｗｔ％の分散剤と共に、１ｍｍφのＰＳＺ製ボールを５０ｖｏｌ％充填したボールミルに投入し、２０時間混合を行う。この際、ＰＳＺ製ボールの磨耗により、０．０２〜０．２ｗｔ％程度のＺｒＯ２、０．０００６〜０．００６ｗｔ％程度のＹ２Ｏ３が混入することがあるが、特性上特に問題はない。この混合スラリーをスプレードライにより約１５０〜２５０°Ｃで乾燥した後、匣に充填し、７００°Ｃで２時間仮焼を行った。仮焼時の昇温速度は２００°Ｃ／ｈ、降温速度は７００°Ｃから５００°Ｃまでは２００°Ｃ／ｈで、５００°Ｃ以下は自然放置冷却とする。得られた仮焼粉末を、原料に対して、０．５〜１．５倍の重量の純水と１．０〜３．０ｗｔ％の分散剤と共に、１ｍｍφのＰＳＺ製ボールを５０ｖｏｌ％充填したボールミルに投入し、４８時間粉砕する。この際、ＰＳＺ製ボールの磨耗により、０．０５〜０．５ｗｔ％程度のＺｒＯ２、０．００１５〜０．０１５ｗｔ％程度のＹ２Ｏ３が混入することがあるが、特性上特に問題はない。粉砕スラリーに、アクリル樹脂バインダを加えて、乾燥、造粒し、１７００ｋｇ／ｃｍ２の成形圧力の油圧式プレスにて直径２０ｍｍ、内径１０ｍｍ、高さ２ｍｍのトロイダルリングに成形した。これを最高温度が９００°Ｃとなる所定のプロファイルで大気中にて焼成して測定用試料を作成した。この測定用試料についてインピーダンスアナライザ（アジレントテクノロジー４２９１Ａ）にてμ’、μ”の周波数依存性を測定した。その結果を図３、図４に示す。
【００５３】
【表１】
2004266784.tif 000003
【００５４】
次に、図１、図２に示したノイズフィルタの製造方法について説明する。
【００５５】
上記と同様の方法で作成した仮焼粉末を、仮焼粉末に対して０．３〜１．０倍の重量の純水と０．５〜３．５ｗｔ％の分散剤と共に、１ｍｍφのＰＳＺ製ボールを５０ｖｏｌ％充填したボールミルに投入し、４８時間粉砕し、アクリル樹脂バインダ、可塑剤、消泡剤等を加えて、さらに１２時間混合する。得られた原料スラリーをドクターブレードを用いて、ＰＥＴフィルム上に、厚さ１０〜１５０μｍ（一点でよい；例えば１００μｍ）の帯状のシートに成形し、乾燥室の周囲に配置した電熱ヒータにて、乾燥する。乾燥温度は４０〜１００°Ｃとし、必要に応じてファン送風を行う。送風は熱風が好ましい。乾燥後の帯状のシートを１００ｍｍ角に打ち抜く。このうち、所定の枚数について、スクリーン印刷により、Ａｇペーストで、ミヤンダ形状導体パターン、および、グランド電極パターンを印刷する。印刷したシートを、図１のようにミヤンダ形状導体パターンを挟み込むようにグランド電極を配置し、ミヤンダ形状導体パターンを３層積み重ねた。ミヤンダ形状導体パターンはビアホールを介して直列に接続される。さらに、その上下に外層シートを所定の枚数づつ積み重ね、得られたシートブロックの上下をラバーで挟み、１０００ｋｇ／ｃｍ２に設定した静水圧プレスで圧着する。圧着後の厚みは１．５ｍｍとなるように外層シートの枚数を調節する。積層、圧着したものを４．０ｍｍ（長さ）×２．０ｍｍ（幅）×１．５ｍｍ（厚み）のチップ形状にカットした。これらを最高温度が９００°Ｃとなる所定のプロファイルで焼成する。焼成は通常大気中で行うが、酸素分圧を１９ｖｏｌ％以下とした雰囲気でも良好な焼結体が得られる。
【００５６】
焼成後の素子サイズは、３．２ｍｍ（長さ）×１．６ｍｍ（幅）×１．２ｍｍ（厚み）であり、ミヤンダ形状導体の長さは約２０ｍｍである。焼成後、チップ端部にミヤンダ導体パターン接続用の外部電極、チップ側面にグランド電極接続用の外部電極を形成した。
【００５７】
なお、実施例では、印刷シートの積重ねは１層のシートで行っているが、所望の層間隔を得るために導体パターンの印刷していないシートを複数層積重ねても良い。また、磁性体層は、スクリーン印刷を繰り返して所定の厚みの磁性体層を得る、印刷工法によって形成されてもよい。
【００５８】
試作した試料をネットワークアナライザ（アジレントテクノロジー８７５３Ｄ）に接続して、挿入損失特性を調べた。その結果を図５、図６に示す。図５、図６より、挿入損失は、μ”の立ち上がり周波数が高いほど急峻な特性が得られることがわかった。なお、各試料のミヤンダ導体パターンとグランド電極間の層間隔を夫々変えて作成し、磁性損失（μ”）が増加し始めるまでの周波数（μ’がほぼ一定値を示す周波数域）での特性インピーダンスが、試料Ｎｏ．１では約１９０Ω、試料Ｎｏ．２では約１３０Ω、試料Ｎｏ．３では約９０Ω、試料Ｎｏ．４〜１０では約５０Ωとなるようにした。
【００５９】
試料Ｎｏ．４〜１０のように、８０ＭＨｚ以上でμ”が立ちあがる場合、特に良好な挿入損失特性が得られる。
【００６０】
また、比較としてインピーダンス素子を挿入した場合の挿入損失特性との比較を行った。比較に用いた試料は、試料Ｎｏ．７と同様の材料を用い、グランド電極を印刷しないシートを積重ねた以外は試料Ｎｏ．７と同じ構成で作成した（比較例１）。すなわち、ミヤンダ形状導体パターンのみが素子内部に構成された形状になっている。
【００６１】
この素子の、インピーダンス周波数特性を図７に示す。また、試料Ｎｏ．７と比較例１の挿入損失の比較を図８に示す。
【００６２】
同じ磁性材料を用いているが、比較例１は、μ”が発現しない周波数から挿入損失が発生し、端子電極間の浮遊容量により５００ＭＨｚ以上ではインピーダンスが低下し、挿入損失も低下する。試料Ｎｏ．７では、μ”が増加する周波数から挿入損失が発生し、ＧＨｚ帯の高周波まで効果が持続する。
【００６３】
なお、本実施例においてはＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト焼結体を用いているが、Ｍｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｍｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトなどを用いてもよい。
【００６４】
図９、図１０は第１の実施例における変形例を示すものである。図９に示すように、本変形例においては、接地導体６の電極部６Ａが、磁性体層２ｂ、２ｃの長さ方向両端側に向けて延びるように、磁性体層２ｂ、２ｃの幅方向両端側に形成されている。また、図１０に示すように、信号用電極７が、積層体２の幅方向中間位置で長さ方向の両端側にそれぞれ設けられており、接地用電極８が、信号用電極７の両側にそれぞれ設けられている。信号用電極７と接地用電極８とは短絡を防ぐため、所定の間隔を有するように設けられている。本変形例は、特にコプレーナガイドとの接続に適したものである。
【００６５】
図１１は第１の実施例における他の変形例を示すものである。図１１に示すように、本変形例においては、線路導体３〜５が直線状に形成されたものである。
【００６６】
図１２は第１の実施例におけるさらに他の変形例を示すものである。図１２に示すように、本変形例においては、線路導体３〜５がうずまき状に形成されたものである。
【００６７】
図１３は第１の実施例におけるさらに他の変形例を示すものである。図１３に示すように、本変形例においては、線路導体３〜５が折返し部を有する略円弧状またはコ字状をなしている。線路導体３〜５は磁性体層を積層することで、積層された磁性体層間に形成されており、磁性体層の積層方向を中心軸としたコイル状に形成される。
【００６８】
なお、図９〜図１３において、図１と同じ構成については同じ符号が付けており、詳細な説明は省略する。
【００６９】
図１４〜図１５は第２の実施例を示すものである。本実施例によるノイズフィルタは、磁性体層間には同一層に位置して第１の線路導体と第２の線路導体を設け、これら第１、第２の線路導体と接地導体とを磁性体層間に交互に積み重ね、複数層の第１の線路導体を直列接続すると共に、これら第１の線路導体とは独立して複数層の第２の線路導体を直列接続したものである。
【００７０】
１１は本実施例によるノイズフィルタで、該ノイズフィルタ１１は磁性体層１２ａ〜１２ｊ、第１の線路導体１３〜１６、第２の線路導体１７〜２０、接地導体２１、第１の信号用電極２２、第２の信号用電極２３によって大略構成されている。
【００７１】
１２はノイズフィルタ１１の外形を構成する略角柱状の積層体で、該積層体１２は、例えば１０枚の磁性体層１２ａ〜１２ｊを積層することによって形成されている。そして磁性体層１２ａ〜１２ｊは、略四角形の板状に形成され、酸化物磁性材料によって形成されている。
【００７２】
１３〜１６は第１の線路導体で、各組の磁性体層１２ｂ、１２ｃ間、磁性体層１２ｄ、１２ｅ間、磁性体層１２ｆ、１２ｇ間、磁性体層１２ｈ、１２ｉ間にそれぞれ位置して合計４層に設けられている。該線路導体１３〜１６は、導電性金属材料によってうずまき状に形成されると共に、積層体１２の厚さ方向に対して互いに対向する位置に配置されている。
【００７３】
ここで、線路導体１３の一端側は、積層体１２の長さ方向一端側に向かって延びた電極部１３Ａをなし、線路導体１３の他端側は、うずまきの中心側に位置して磁性体層１２ｃ、１２ｄを貫通するビアホール１３Ｂが設けられている。
【００７４】
また、線路導体１４の一端側は、うずまきの中心側に位置してビアホール１３Ｂを通じて線路導体１３に接続するための接続部１４Ａが設けられ、線路導体１４の他端側は、うずまきの外周側に位置して磁性体層１２ｅ、１２ｆを貫通するビアホール１４Ｂが設けられている。同様に、線路導体１５の一端側は、うずまきの外周側に位置して接続部１５Ａが設けられ、線路導体１５の他端側は、うずまきの中心側に位置してビアホール１５Ｂが設けられている。
【００７５】
また、線路導体１６の一端側は、うずまきの中心に位置してビアホール１５Ｂを通じて線路導体１５に接続するための接続部１６Ａが設けられると共に、線路導体１６の他端側は、うずまきの外周側に位置して積層体１２の長さ方向他端側に向かって延びた電極部１６Ｂをなしている。
【００７６】
そして、各ビアホール１３Ｂ、１４Ｂ、１５Ｂ内には銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料が充填され、線路導体１３〜１６は相互に直列接続されている。
【００７７】
１７〜２０は第２の線路導体で、各組の磁性体層１２ｂ、１２ｃ間、磁性体層１２ｄ、１２ｅ間、磁性体層１２ｆ、１２ｇ間、磁性体層１２ｈ、１２ｉ間にそれぞれ位置して合計４層に設けられている。該線路導体１７〜２０は、第１の線路導体１３〜１６と異なる位置として第１の線路導体１３〜１６から積層体１２の幅方向に位置ずれして配置され、第１の線路導体１３〜１６に対して絶縁されている。また、線路導体１７〜２０は、導電性金属材料によってうずまき状に形成されると共に、積層体１２の厚さ方向に対して互いに対向する位置に配置されている。
【００７８】
そして、第２の線路導体１７〜２０は、第１の線路導体１３〜１６とほぼ同様の形状をもって形成され、線路導体１７の一端側には電極部１７Ａが設けられ、線路導体１７の他端側にははビアホール１７Ｂが設けられている。同様に線路導体１８、１９の一端側には接続部１８Ａ、１９Ａが設けられ、線路導体１８、１９の他端側にはビアホール１８Ｂ、１９Ｂが設けられている。さらに、線路導体２０の一端側には接続部２０Ａが設けられ、線路導体２０の他端側には電極部２０Ｂが設けられている。
【００７９】
そして、各ビアホール１７Ｂ、１８Ｂ、１９Ｂ内には銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料が充填され、線路導体１７〜２０は相互に直列接続されている。
【００８０】
２１は接地導体で、第１の線路導体１３〜１６および第２の線路導体１７〜２０を各層毎に挟むように磁性体層１２ａ〜１２ｊの間にそれぞれ設けられている。各接地導体２１は、磁性体層１２ｂ〜１２ｉの最上層と最下層とにそれぞれ配置されると共に、磁性体層１２ｂ〜１２ｉ間に第１、第２の線路導体１３〜１６、１７〜２０と交互に積み重ねられている。
【００８１】
そして、接地導体２１は、導電性金属材料を用いて略四角形の平板状に形成され、磁性体層１２ｂ〜１２ｉを略全面に亘って覆っている。さらに、接地導体２１には第１の実施の例による接地導体６とほぼ同様に幅方向両端側に向けて突出した電極部２１Ａが設けられ、該電極部２１Ａは後述の接地用電極２４に接続されている。
【００８２】
２２は第１の信号用電極で、積層体１２（磁性体層１２ａ〜１２ｊ）の長さ方向両端側にそれぞれ設けられている。該信号用電極２２は、導電性金属材料によって形成され、信号用の配線に接続されるものである。また、一方の信号用電極２２は線路導体１３の電極部１３Ａに接続されると共に、他方の信号用電極２２は、線路導体１６の電極部１６Ｂに接続されている。
【００８３】
２３は第２の信号用電極で、積層体１２（磁性体層１２ａ〜１２ｊ）の長さ方向両端側にそれぞれ設けられている。該信号用電極２３は、導電性金属材料によって形成され、第１の信号用電極２２に対して積層体１２の幅方向に位置ずれして設けられ、第１の信号用電極２２に対して絶縁されている。また、一方の信号用電極２３は線路導体１７の電極部１７Ａに接続されると共に、他方の信号用電極２３は、線路導体２０の電極部２０Ｂに接続されている。
【００８４】
そして、例えば一方の信号用電極２２、２３は信号入力用電極をなし、他方の信号用電極２２、２３は信号出力用電極をなしている。なお、一方の信号用電極２２、２３を信号出力用に用い、信号用電極２２、２３を信号入力用に用いてもよい。
【００８５】
２４は接地用電極で、積層体１２の幅方向の両端側にそれぞれ設けられている。該接地用電極２４は、導電性金属材料によって形成され、接地導体２１の電極部２１Ａに接続されている。
【００８６】
かくして、このように構成される本実施の例でも、前記第１の実施の例とほぼ同様の作用効果を得ることができる。また、第１、第２の線路導体１３〜１６、１７〜２０をそれぞれ独立して設けたから、単一の積層体１２内に第１の線路導体１３〜１６からなるローパスフィルタと、第２の線路導体１７〜２０からなるローパスフィルタを設けることができる。このため、ノイズフィルタ１１は、全体として２つのローパスフィルタを有するノイズフィルタアレイを構成することができるから、２つのローパスフィルタを個別に形成した場合に比べて、接地導体２１、接地用電極２４等を共有することができ、ノイズフィルタ１１を小型化することができる。
【００８７】
図１６〜図１７は第３の実施例を示すものである。本実施例によるノイズフィルタは、重なり合う複数の磁性体層の最上層と最下層とに接地導体を形成し、各磁性体層間に線路導体と接地導体とを交互に形成し、複数層の線路導体の一端側は互いに異なる信号入力用電極に接続し、複数層の線路導体の他端側は互いに異なる信号出力用電極に接続されることを特徴としている。
【００８８】
３１は本実施例によるノイズフィルタで、該ノイズフィルタ３１は磁性体層３２ａ〜３２ｊ、線路導体第１〜第４の線路導体３３〜３６、接地導体３７、第１〜第４の信号用電極３８〜４１、接地用電極４２によって大略構成されている。
【００８９】
３２は略角柱状の積層体で、ノイズフィルタ３１の外形を構成する。該積層体３２は、例えば１０枚の磁性体層３２ａ〜３２ｊを積層することによって形成されている。そして、磁性体層３２ａ〜３２ｊは、略四角形の板状に形成され、酸化物磁性材料によって形成されている。
【００９０】
３３は第１の線路導体で、磁性体層３２ｂ、３２ｃ間に設けられている。該線路導体３３は、導電性金属材料を用いて細い帯状に形成されると共に、積層体３２の幅方向に複数回に亘って蛇行（往復）したミヤンダ状をなしている。そして、線路導体３３の両端側には、積層体３２の長さ方向両端側に向かってそれぞれ延びた電極部３３Ａが形成され、これらの電極部３３Ａは、例えば積層体３２の幅方向一端側に配置されている。
【００９１】
３４は第２の線路導体で、磁性体層３２ｄ、３２ｅ間に設けられている。該線路導体３４は、例えば第１の線路導体３３と同じ幅寸法を有し、第１の線路導体３３と同様に導電性金属材料を用いて細い帯状に形成されると共に、積層体３２の幅方向に複数回に亘って蛇行したミヤンダ状に形成され、その両端側には、積層体３２の長さ方向両端側に向かってそれぞれ延びた電極部３４Ａが形成されている。そして、これらの電極部３４Ａは、第１の電極部３３Ａとは異なる位置として例えば積層体３２の幅方向中央側に配置されている。
【００９２】
３５は第３の線路導体で、磁性体層３２ｆ、３２ｇ間に設けられている。該線路導体３５は、例えば第１の線路導体３３と同じ幅寸法を有し、第１の線路導体３３と同様に導電性金属材料を用いて蛇行したミヤンダ状に形成され、その両端側には、積層体３２の長さ方向両端側に向かってそれぞれ延びた電極部３５Ａが形成されている。そして、これらの電極部３５Ａは、第１、第２の電極部３３Ａ、３４Ａとは異なる位置として例えば第２の電極部３４Ａと積層体３２の幅方向他端との中間部位に配置されている。
【００９３】
３６は第４の線路導体で、磁性体層３２ｈ、３２ｉ間に設けられている。該線路導体３６は、例えば第１の線路導体３３と同じ幅寸法を有し、第１の線路導体３３と同様に導電性金属材料を用いて蛇行したミヤンダ状に形成され、その両端側には、積層体３２の長さ方向両端側に向かってそれぞれ延びた電極部３６Ａが形成されている。そして、これらの電極部３６Ａは、第１〜第３の電極部３３Ａ〜３５Ａとは異なる位置として例えば積層体３２の幅方向他端側に配置されている。
【００９４】
３７は接地導体で、第１〜第４の線路導体３３〜３６を挟むように磁性体層３２ａ〜３２ｊの間にそれぞれ設けられている。各接地導体３７は、磁性体層３２ｂ〜３２ｉの最上層と最下層にそれぞれ配置されると共に、磁性体層３２ｂ〜３２ｉ間に線路導体３３〜３６と交互に積み重ねられている。
【００９５】
そして、接地導体３７は、導電性金属材料を用いて略四角形の平板状に形成され、磁性体層３２ｂ〜３２ｉを略全面に亘って覆っている。さらに、接地導体３７には第１の実施の例による接地導体６とほぼ同様に幅方向両端側に向けて突出した電極部３７Ａが設けられ、該電極部３７Ａは後述の接地用電極４２に接続されている。
【００９６】
３８〜４１はそれぞれ第１〜第４の信号用電極で、導電性金属材料によって形成されている。該第１〜第４の信号用電極３８〜４１は、積層体３２の長さ方向両端側の側面に位置してそれぞれ一対ずつ設けられている。そして、第１〜第４の信号用電極３８〜４１は、積層体３２の幅方向に対して互いに異なる位置として例えば積層体３２の幅方向一端側から他端側に向けて順次配置され、相互の間が絶縁されている。
【００９７】
また、第１の信号用電極３８は第１の線路導体３３の電極部３３Ａに接続され、
第２の信号用電極３９は第２の線路導体３４の電極部３４Ａに接続され、第３の信号用電極４０は第３の線路導体３５の電極部３５Ａに接続され、第４の信号用電極４１は第４の線路導体３６の電極部３６Ａに接続されている。
【００９８】
そして、一対ずつ設けられた第１〜第４の信号用電極３８〜４１において、一端は信号入力用電極をなし、他方端は信号出力用電極をなしている。
【００９９】
４２は接地用電極で、積層体３２の幅方向の両端側にそれぞれ設けられている。該接地用電極４２は、導電性金属材料によって形成され、接地導体３７の電極部３７Ａに接続されている。
【０１００】
かくして、このように構成される本実施例でも、前記第１の実施例とほぼ同様の作用効果を得ることができる。また、本実施例では、複数層の線路導体３３〜３６は互いに異なる信号用電極３８〜４１に接続するから、複数層の線路導体３３〜３６をそれぞれ個別にローパスフィルタとして作動させることができ、全体としてノイズフィルタアレイを構成することができる。
【０１０１】
また、本実施例では、複数層の線路導体３３〜３６はそれぞれ個別にローパスフィルタを構成するから、ローパスフィルタの個数を増加させる場合であっても、磁性体層３２ａ〜３２ｊの枚数を増加すれば足りる。このため、ノイズフィルタ３１内に多数のローパスフィルタを設けた場合であっても、ノイズフィルタ３１を小型化することができる。
【０１０２】
また、本実施例では、ビアホールを用いる必要がないため、ビアホールが不連続点となりインピーダンスの不整合が生じることがない。このため、線路導体３３〜３６の途中でノイズに反射が生じることがなく、ノイズの共振を抑制することができると共に、外部の回路に対してインピーダンス整合を容易に取ることができる。加えて、磁性体層３２ａ〜３２ｊにビアホールが設けられていないから、線路導体３３〜３６を磁性体層３２ａ〜３２ｊの全面に亘って配置することができる。このため、線路導体３３〜３６の長さ寸法を長くすることができ、ノイズの減衰量を増加させることができる。さらに、ビアホールの穴加工等を行う必要がないから、製造工程を簡略化し製造コストを低減することができる。
【０１０３】
また、本実施の例では、線路導体３３〜３６間には接地導体３７が設けられているから、接地導体３７によって、隣合う線路導体３３〜３６間でのクロストークを防ぐことができ、信号を確実に伝搬することができる。
【０１０４】
また、本実施例では、複数層の線路導体３３〜３６は各層毎にそれぞれ独立しているから、入力用の信号用電極３８〜４１と出力用の信号用電極３８〜４１とは対向する必要がなく、独立して配置することができるから、設計自由度を高めることができる。
【０１０５】
図１８は第３の実施例における変形例を示すものである。図１８に示すように、本変形例においては、線路導体３３〜３６が直線状に形成されたものである。
【０１０６】
図１９は第３の実施例における他の変形例を示すものである。図１９に示すように、本変形例においては、線路導体３３〜３６がうずまき状に形成されたものである。
【０１０７】
図２０は第３の実施例におけるさらに他の変形例を示すものである。図２０に示すように、本変形例においては、線路導体３３〜３６が互いに異なる幅寸法を有するように形成されたものである。この場合、複数層の線路導体３３〜３６は互いに異なる特性インピーダンスを有するから、複数種類の特性インピーダンスをもった配線に対しても各層の線路導体３３〜３６をインピーダンス整合させた状態で接続することができる。また、線路導体３３〜３６は互いに異なる特性インピーダンスを有するから、各線路導体３３〜３６を独立して用いるときには、線路導体３３〜３６の層数に応じて４種類の特性インピーダンスをもったローパスフィルタを形成することができる。
【０１０８】
これに加えて、複数層の線路導体３３〜３６のうち２層〜３層または全ての層（４層）の線路導体を並列接続して用いるときには、特性インピーダンスを例えば１０種類増加させることができる。このため、線路導体３３〜３６の特性インピーダンスを全て同じ値に設定したときに比べて、特性インピーダンスの種類を増やすことができるから、適用可能となる配線の種類を増やすことができる。
【０１０９】
なお、第３の実施例において、それぞれのローパスフィルタの特性インピーダンスを異なる値に設定するためには、線路導体３３〜３６の幅寸法だけでなく、磁性体層３２ｂ〜３２ｉの厚さ寸法を互いに相違させる構成としてもよく、線路導体３３〜３６の幅寸法と磁性体層３２ｂ〜３２ｉの厚さ寸法との両方を相違させる構成としてもよい。
【０１１０】
図２１〜図２３は第４の実施例を示すものである。本実施例によるノイズフィルタは、磁性体層中に誘電体層が介在されることを特徴としている。
【０１１１】
５１は本実施の例によるノイズフィルタで、該ノイズフィルタ５１は磁性体層５３ａ〜５３ｆ、誘電体層５４ａ〜５４ｈ、線路導体５５〜５７、接地導体５８、信号用電極５９、接地用電極６０によって大略構成されている。
【０１１２】
５２は略角柱状の積層体で、ノイズフィルタ１の外形を構成する。該積層体５２は、例えば６枚の磁性体層５３ａ〜５３ｆと、８枚の誘電体層５４ａ〜５４ｈとを相互に重なり合って積層した状態でプレスした後、これらの磁性体層５３ａ〜５３ｆと誘電体層５４ａ〜５４ｈを焼成することによって形成されている。
【０１１３】
磁性体層５３ａ〜５３ｆと誘電体層５４ａ〜５４ｈとは、それぞれ２枚ずつ交互に積層され、磁性体層５３ａ、５３ｂ間には線路導体５５が、磁性体層５３ｃ、５３ｄ間には線路導体５６が、磁性体層５３ｅ、５３ｆ間には線路導体５７が形成され、誘電体層５４ａ、５４ｂ間、誘電体層５４ｃ、５４ｄ間、誘電体層５４ｅ、５４ｆ間、誘電体層５４ｇ、５４ｈ間には接地導体５８がそれぞれ形成されている。
【０１１４】
また、磁性体層５３ａ〜５３ｆは、略四角形の板状に形成され、酸化物磁性材料によって形成されており、誘電体層５４ａ〜５４ｈは、略四角形の板状に形成され、誘電材料によって形成されている。
【０１１５】
なお、磁性体層５３ａ〜５３ｆおよび誘電体層５４ａ〜５４ｈの積層枚数、積層順序は本実施の例に限られるものではなく、例えば導体等が印刷されていない層が、磁性体層５３ａ〜５３ｆおよび誘電体層５４ａ〜５４ｈの各層の間に形成されていてもよい。
【０１１６】
その他の構成は第１の実施例と共通であるため、説明を省略する。
【０１１７】
かくして、このように構成される本実施例でも、前記第１の実施の例とほぼ同様の作用効果を得ることができる。また、本実施例では、磁性体層中に誘電体層が介在されているため、ノイズフィルタの構造を大きく変えることなく、特性インピーダンスの異なるノイズフィルタを得ることができる。
【０１１８】
本発明におけるノイズフィルタの特性インピーダンス（Ｚｏ）は、Ｚｏ＝√（ΔＬ／ΔＣ）の関係で表され、特性インピーダンス（Ｚｏ）は線路導体のインダクタンスと、線路と接地導体との間のキャパシタンスによって決定される。すなわち、ノイズフィルタ５１において、磁性体層中に誘電体層を介在させた場合、介在させた誘電体層の誘電率が磁性体層の誘電率より低ければ、ノイズフィルタを磁性体層のみで構成したときと比較して特性インピーダンスは高くなり、介在させた誘電体層の誘電率が磁性体層の誘電率より高い場合、ノイズフィルタを磁性体層のみで構成したときと比較して特性インピーダンスは低くなる。これを利用して、ノイズフィルタ５１の特性インピーダンスと、ノイズフィルタ５１を挿入する回路基板などの特性インピーダンスとを合わせれば、反射による影響を極力抑えることができる。
【０１１９】
また、誘電体材料は、磁性体材料に比べて一般的に絶縁耐圧が高いため、誘電体層で接地導体を挟みこむように形成し、磁性体層で線路導体を挟みこむように形成したノイズフィルタ５１においては、線路導体と接地導体との間の絶縁耐圧を高めることができる。したがって、線路導体と接地導体との間の層を薄く形成することができ、ノイズフィルタ５１を小型化することができる。
【０１２０】
図２４は第５の実施例を示すものである。図２４に示すように、第５の実施例によるノイズフィルタ７１は、磁性体層７２と、磁性体層７２の表面に形成され同じ高さ位置に間隔を置いて並設された線路導体７３ａ、７３ｂとからなることを特徴としている。
【０１２１】
このように構成される本実施の例でも、前記第１の実施例とほぼ同様の作用効果を得ることができる。
【０１２２】
図２５は第６の実施例を示すものである。図２５に示すように、第６の実施例においては、線路導体７３ａと７３ｂとが、磁性体層７２を介して互いに対向するように形成されたものである。
【０１２３】
このように構成される本実施の例でも、前記第１の実施例とほぼ同様の作用効果を得ることができる。
【０１２４】
本発明のノイズフィルタにおいて、磁性体層に空孔を形成し、空孔内にガラス、樹脂、またはガラスと樹脂の複合材料のいずれかを充填させた構成としてもよい。
【０１２５】
このような磁性体層を製造する方法を、第１の実施例で説明した内容をもとに説明する。
【０１２６】
第１の実施例において、仮焼粉末に空孔形成用のビーズを加え、その他は第１の実施例と同様に処理することにより、空孔を有する磁性体が得られる。具体的には、ビーズとして焼成時に飛散する材料、例えば、樹脂、カーボンなどを用いる。ビーズの径としては、例えば、数μｍ〜数１０μｍの範囲のものを任意に選択すればよい。ビーズ径の大きさは、形成される空孔の大きさに比例する。またビーズの添加量によって、磁性体中における空孔の占める体積が決められる。したがって、空孔に充填させるガラス、樹脂、またはガラスと樹脂の複合材料の占有体積を考慮して空孔形成用のビーズの径、量を調整すればよい。空孔を形成する構成については、図１、図２に示したノイズフィルタ、図９〜図１３に示したノイズフィルタ、図１４、図１５に示したノイズフィルタ、図１６、図１７に示したノイズフィルタ、図１８に示したノイズフィルタ、図２０に示したノイズフィルタ、図２１、図２２に示したノイズフィルタ、図２４に示したノイズフィルタ、および図２５に示したノイズフィルタに適用することができる。
【０１２７】
かくして、このように構成される本実施例でも、前記第１の実施例とほぼ同様の作用効果を得ることができる。また、本実施例では、酸化物磁性材料として、磁性体層に空孔を形成し、空孔内にガラス、樹脂、またはガラスと樹脂の複合材料のいずれかを充填させているため、見掛けの透磁率と誘電率を調整し、特性インピーダンスを変えずに磁性損失（μ”）の立ちあがり周波数を調整することができる。
【０１２８】
通常、磁性材料においては、透磁率（μ）を変化させると、それに伴い磁性損失（μ”）の立ちあがり周波数も変化する。したがって、本発明におけるノイズフィルタにおいても、（μ”）の立ちあがり周波数を変化させる場合には、酸化物磁性材料の透磁率（μ）を変化させる必要がある。一方、本発明におけるノイズフィルタの特性インピーダンス（Ｚｏ）は、Ｚｏ＝√（ΔＬ／ΔＣ）の関係で表され、特性インピーダンス（Ｚｏ）は線路導体のインダクタンスと、線路と接地導体との間のキャパシタンスによって決定される。したがって、酸化物材料の透磁率（μ）を変化させると、これに伴い特性インピーダンス（Ｚｏ）も変化してしまうという問題があった。
【０１２９】
これに対し本実施の例においては、磁性体層に空孔を形成し、空孔内にガラス、樹脂、またはガラスと樹脂の複合材料のいずれかを充填させ、空孔内に充填させたガラス、樹脂、またはガラスと樹脂の複合材料の誘電率（ε）を調整することで、特性インピーダンスが同じで、磁性損失（μ”）の立ちあがり周波数が異なるノイズフィルタを得ることができる。
【０１３０】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されるもので、以下に記載するような効果を奏するものである。
【０１３１】
請求項１の発明のノイズフィルタによれば、磁性損失（μ”）が急峻に立ち上がり、磁性損失（μ”）が立ち上がる周波数以上で大きな減衰を得ることができる。また、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させることから、良好な低域通過特性を得ることができる。また、各層の線路導体を通過する信号を接地導体間に閉じ込めることができ、通過帯域での信号の減衰を防止できる。また、重なり合う複数の磁性体層の最上層と最下層とに接地導体を配置したことで、外部から線路導体中にノイズが混入することを防ぐことができ、信号を確実に伝達することができる。
【０１３２】
さらに、全ての線路導体の幅寸法をほぼ等しい値に設定するとともに、全ての磁性体層の厚さ寸法をほぼ等しい値に設定した場合には、各層の線路導体に対する特性インピーダンスを相互にほぼ一致させることができる。このため、相互に直列接続された線路導体の全体にわたって特性インピーダンスをほぼ一定値に設定できるから、線路導体の途中でノイズに反射が生じることがなく、ノイズの共振を抑制することができ、外部の回路とのインピーダンス整合を容易に取ることができる。加えて、各磁性体層間に介在している各線路導体が直列接続されていることで、伝送線路の全長を長くすることができ、線路導体を通過するノイズの減衰量を増加させることができる。
【０１３３】
請求項２の発明のノイズフィルタによれば、さらに急峻な挿入損失特性を得ることができる。
【０１３４】
請求項３の発明のノイズフィルタによれば、各線路導体をそれぞれ個別にローパスフィルタとして動作させることができ、全体としてノイズフィルタアレイを構成することができる。また、複数の線路導体はそれぞれ独立したローパスフィルタとして動作し、線路導体の途中でインピーダンスの不整合が生じることがない。このため、線路導体の途中でノイズに反射が生じることがなく、ノイズの共振を抑制することができるとともに、外部の回路とのインピーダンス整合を容易にとることができる。
【０１３５】
請求項４〜５の発明のノイズフィルタによれば、線路導体を直線状に形成した場合に比べて、その長さ寸法を増加させることができ、ノイズの減衰量を増加させることができる。
【０１３６】
請求項６の発明のノイズフィルタによれば、ノイズフィルタの底面積をコイルの開口面積と同程度に設定することができる。このため、狭い接地場所に対してもノイズフィルタを配置することができる。また、線路導体を直線状に形成した場合に比べて、その長さ寸法を増加させることができ、ノイズの減衰量を増加させることができる。
【０１３７】
請求項７の発明のノイズフィルタによれば、複数種類の特性インピーダンスをもった配線に対してもインピーダンス整合させた状態で接続することができる。また、一部または全て伝送線路を並列接続することによって、特性インピーダンスの種類数を増加させることができ、ノイズフィルタが適用可能となる配線の種類を増やすことができる。
【０１３８】
請求項８の発明のノイズフィルタによれば、ノイズフィルタの構造を変えることなく、特性インピーダンスを変化させることができる。回路基板線路に応じた所望の特性インピーダンスを得ることで、反射による影響を極力抑制することができる。
【０１３９】
請求項９の発明のノイズフィルタによれば、ノイズフィルタの構造を変えることなく、特性インピーダンスを変化させることができる。また、線路導体と接地導体との間の絶縁耐圧を高めることができるので、線路導体と接地導体との間の層を薄く形成することができ、ノイズフィルタを小型化することができる。
【０１４０】
請求項１０の発明のノイズフィルタによれば、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させる、良好な低域通過特性を有するノイズフィルタを提供することができる。
【０１４１】
請求項１１の発明のノイズフィルタによれば、磁性損失（μ”）が発現する周波数より低い周波数範囲では電気信号を減衰させず、磁性損失（μ”）が発現する周波数範囲では電気信号を減衰させる、良好な低域通過特性を有するノイズフィルタを提供することができる。
【０１４２】
請求項１２の発明のノイズフィルタによれば、見掛けの透磁率と誘電率を調整し、特性インピーダンスを変えずに磁性損失（μ”）の立ちあがり周波数を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のノイズフィルタの第１の実施例を示す分解斜視図である。
【図２】本発明のノイズフィルタの第１の実施例を示す斜視図である。
【図３】試料Ｎｏ．１〜３のμ’、μ”の周波数依存性の測定結果を示す図である。
【図４】試料Ｎｏ．４〜１０のμ’、μ”の周波数依存性の測定結果を示す図である。
【図５】試料Ｎｏ．１〜３の周波数−挿入損失特性を示す図である。
【図６】試料Ｎｏ．４〜１０の周波数−挿入損失特性を示す図である。
【図７】インピーダンス周波数特性を示す図である。
【図８】周波数−挿入損失特性を示す図である。
【図９】本発明の第１の実施例における変形例を示す分解斜視図である。
【図１０】本発明の第１の実施例における変形例を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第１の実施例における他の変形例を示すものである。
【図１２】本発明の第１の実施例におけるさらに他の変形例を示すものである。
【図１３】本発明の第１の実施例におけるさらに他の変形例を示すものである。
【図１４】本発明の第２の実施例を示す分解斜視図である。
【図１５】本発明の第２の実施例を示す斜視図である。
【図１６】本発明の第３の実施例を示す分解斜視図である。
【図１７】本発明の第３の実施例を示す斜視図である。
【図１８】本発明の第３の実施例における変形例を示す分解斜視図である。
【図１９】本発明の第３の実施例における他の変形例を示す平面図である。
【図２０】本発明の第３の実施例におけるさらに他の変形例を示す分解斜視図である。
【図２１】本発明の第４の実施例を示す分解図である。
【図２２】本発明の第４の実施例を示す斜視図である。
【図２３】図２２におけるＸ−Ｘ’線断面図である。
【図２４】本発明の第５の実施例を示す斜視図である。
【図２５】本発明の第６の実施例における変形例を示すものである。
【図２６】従来例を示す一部破砕斜視図である。
【図２７】他の従来例を示す断面図である。
【図２８】さらに他の従来例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１              ノイズフィルタ
２ａ〜２ｈ      磁性体層
３〜５          線路導体
６              接地導体
７              信号用電極
８              接地用電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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