(57)【要約】【課題】共振素子の長さを微調整することにより共振周波数の微調整が可能な共振素子を提供するにある。【解決手段】マイクロストリップ線路又はストリップ線路で構成される半波長（λ／２）共振器であって、線路パターン部４−１〜４−ｎが基準線Ｒｘに関して対称に配置され、互いにＬ字型を成すように連結されて開放端４Ａ、４Ｂを有するように開ループ状に形成されている。開放端４Ａ、４Ｂを有する一対の線路パターン部４−１は、隣接する線路パターン部４−２が連結される基部が基準線Ｒｘに近接し、開放端４Ａ、４Ｂが基準線Ｒｘから離間して配置されるように互いに反対方向に延出されている。【選択図】　　図２
2004112668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準線の両側に配置され、前記基準線上に開口部を有する開ループ状に形成されたストリップ線路を備え、
前記基準線から離れるように前記開口部から延出された開放端を設けたことを特徴とする共振器。
【請求項２】
前記ストリップ線路は、前記基準線に関して対称に配置されていることを特徴とする請求項１記載の共振器。
【請求項３】
前記ストリップ線路はＬ字型パターンの連鎖から成ることを特徴とする請求項１記載の共振器。
【請求項４】
前記ストリップ線路は超伝導体であることを特徴とする請求項１記載の共振器。
【請求項５】
請求項１に記載の共振器を少なくとも１つ含むことを特徴とするフィルタ。
【請求項６】
前記共振器を複数含み、少なくとも１組の前記共振器の前記開放端を対向させたことを特徴とする請求項５記載のフィルタ。
【請求項７】
基準線の両側に配置され、前記基準線上に開口部を有する開ループ状に形成されたストリップ線路を備え、前記基準線から離れるように前記開口部から延出された開放端を設けたことを特徴とする第１共振器と、
開ループ状に形成されたストリップ線路を備えた第２共振器とを備えることを特徴とするフィルタ。
【請求項８】
前記第１共振器の前記ストリップ線路が前記基準線に関して対称に配置されていることを特徴とする請求項７記載のフィルタ。
【請求項９】
前記第２共振器が、第２基準線の両側に配置され、前記第２基準線上に第２開口部を有する開ループ状に形成されたストリップ線路パターンを備え、前記第２基準線から離れるように前記第２開口部から延出された開放端を有することを特徴とする請求項７記載のフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、通信機器等の電子機器に用いられる共振器に係り、特に、所望の帯域のみ通過させる共振器フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
無線又は有線で情報通信する通信機器は、アンプ、ミキサ及びフィルタ等の各種の高周波部品から構成されている。これら部品には、共振特性を利用した高周波部材が多く含まれている。例えば、バンドパスフィルタは、共振素子が複数個配列され、特定の周波数帯の信号のみを通過させる機能を有している。
【０００３】
通信システムで使用されるバンドパスフィルタは、隣接する周波数帯域間で干渉を起こさないようなスカート特性を有することが要求されている。ここで、スカート特性とは、通過帯域端部から阻止域に至る減衰の度合いを指している。急峻なスカート特性を有するバンドパスフィルタが無線機器に用いられれば、通信システムでは、通信周波数が有効利用される。
【０００４】
急峻なスカート特性を有するフィルタを実現する方法が例えば、「ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｎ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ、第４８巻（２０００年）、第２５１９頁」（非特許文献１）に報告されている。この文献は、３２段フィルタのように、フィルタを構成する共振素子を多数用いて多段化する方法を開示している。しかしながら、この方法は、共振素子を多数用いるために無線機器が大型化する問題点がある。また、共振素子を構成する導体として超伝導体を用いて導体損を小さく抑えるフィルタにあっても、多数の共振素子を用いると導体損が顕著となり、挿入損失が増大するという問題点がある。
【０００５】
多数の共振素子を用いずに急峻なスカート特性を有するフィルタを実現する方法として、例えば、「ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｎ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ、第４８巻（２０００年）、第１２４０頁」（非特許文献１）に報告されるような擬似楕円関数型フィルタを利用する方法がある。このフィルタでは、通過帯域の近傍に減衰極を設けることにより少数段で急峻なスカート特性を実現できる。このとき減衰極を設けたフィルタは、隣接する共振素子との結合及びこれと逆相の隣接しない共振素子の結合を利用することにより実現される。逆相の結合を実現するには、一方を電気的結合とし、また、他方を磁気的結合にする必要がある。分布定数回路において電気的結合は、電圧最大部分である共振素子端部どうしを結合させることにより得られる。一方、磁気的結合は、電流最大部分である共振素子中央部どうしを結合させることにより得られる。すなわち、分布定数回路で擬似楕円関数型フィルタを実現するには、電気的結合及び磁気的結合が両方実現可能である必要があり、共振素子端部及び共振素子中央部が結合可能な形状であることが必要である。
【０００６】
電気的結合と磁気的結合が両方実現可能な分布定数型半波長共振素子としては、最も簡単な例として「ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｎ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ、第４６巻（１９９８年）、第１１８頁」（非特許文献２）に報告されているヘアピン型共振素子がある。ヘアピンの先端を折り返して容量性を装荷させることにより小型化した例は、「ＩＥＥＥ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ　ＳｙｍｐｏｓｉｕｍＤｉｇｅｓｔ、（１９８９年）、第６６７頁」（非特許文献３）に報告されている。また、ヘアピンの先端を低インピーダンス化し容量性を装荷させることにより小型化した例は、「特開平５−２９９９１４」（特許文献１）及び「ＩＥＥＥ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　Ｄｉｇｅｓｔ、（１９９７年）、第７１３頁」（非特許文献４）にある。ヘアピンの先端を折り曲げて容量性を装荷させることにより小型化したオープンループ型共振素子は、「Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ、第３１巻（１９９５）第２０２０頁」（非特許文献５）にあり、これをさらにメアンダーラインで構成することにより小型化したメアンダーオープンループ型共振素子は、「Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ、第３２巻（１９９６）第５６３頁」（非特許文献６）にある。
【０００７】
一方、フィルタを作製する基板材料には、基板面内の厚さのばらつき、或いは、結晶欠陥等による誘電率のばらつきが存在する。従って、それらの材料特性のばらつきによるフィルタ特性のばらつきが小さい回路が望まれる。しかし、実際には材料特性のばらつきによりフィルタ特性が所望値からずれることがあり、その場合フィルタを構成する各共振素子の長さを微調整する方法がある。
【０００８】
【特許文献１】
特開平５−２９９９１４号公報
【０００９】
【非特許文献１】
ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｎ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ、第４８巻（２０００年）、第２５１９頁及び第１２４０頁
【００１０】
【非特許文献２】
ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｎ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ、第４６巻（１９９８年）、第１１８頁
【００１１】
【非特許文献３】
ＩＥＥＥ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　Ｄｉｇｅｓｔ、（１９８９年）、第６６７頁
【００１２】
【非特許文献４】
ＩＥＥＥ　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｔｈｅｏｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　Ｄｉｇｅｓｔ、（１９９７年）、第７１３頁
【００１３】
【非特許文献５】
Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ、第３１巻（１９９５）第２０２０頁
【００１４】
【非特許文献６】
Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ、第３２巻（１９９６）第５６３頁
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、素子先端部が互いに対向した従来の小型共振素子は、長さを微調整するために素子先端部を除去すると、素子先端部が互いに対向しているために、装荷されていた容量が急激に変化され、共振周波数が急激に変化してしまうので微調整が困難であるという問題がある。
【００１６】
そこで本発明では、上記のような従来技術の欠点を除去し、共振素子の長さを微調整することにより共振周波数の微調整が可能な共振素子を提供することを目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この発明によれば、
基準線の両側に配置され、前記基準線上に開口部を有する開ループ状に形成されたストリップ線路を備え、
前記基準線から離れるように前記開口部から延出された開放端を設けたことを特徴とする共振器が提供される。
【００１８】
また、この発明によれば、
基準線の両側に配置され、前記基準線上に開口部を有する開ループ状に形成されたストリップ線路を備え、前記基準線から離れるように前記開口部から延出された開放端を設けたことを特徴とする第１共振器と、
開ループ状に形成されたストリップ線路を備えた第２共振器とを備えることを特徴とするフィルタが提供される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態に係る共振素子について説明する。
【００２０】
（実施形態１）
図１は、この発明の実施形態に係る共振器を概略的に示す断面図である。
【００２１】
この図１に示される共振器は、超伝導マイクロストリップ線路共振器であって、基板２の上面にその共振器のパターン４及び共振器のパターン４の両側に励振線８−１、８−２が設けられ、この基板２の下面には、超伝導体のＹＢＣＯ薄膜６が形成されている。この基板２は、その厚さが、例えば、０．４３ｍｍで、その比誘電率が、例えば、約１０のＭｇＯで作られている。共振器のパターン４は、励振線８−１、８−２間の領域に配置されている。
【００２２】
ここでは、マイクロストリップ線路共振器を例にして説明するが、ストリップ線路を用いる共振器についても同様である。
【００２３】
図２は、図１に示された基板２上面に作製した超伝導マイクロストリップ線路共振器のパターン４を示す平面図である。この共振パターン４は、ある基準線Ｒｘに関して略対称であって、導電パターン１０が開放端４Ａ、４Ｂを有するように開ループ状に形成され、基準線Ｒｘに沿って屈曲して延出されている。即ち、導電パターン１０の各セグメントに相当する直線状の線路パターン部４−１〜４−ｎは、夫々基準線Ｒｘに関して略対称に配置され、これら線路パターン部４−１〜４−ｎが互いにＬ字型を成すように次々にチェーン状に組み合わされて連結配置されている。ここで、各対に係る線路パターン部４−１〜４−ｎは、基準線Ｒｘに関して対称であることから、夫々同一のパターン長を有している。
【００２４】
図２に示される共振パターン４においては、開ループ状の開放端側で、線路パターン部４−１、４−１がその先端に開放端４Ａ、４Ｂを夫々有するように基準線Ｒｘに略直角に基準線Ｒｘから離れるように互いに反対方向に延出される。この開放端４Ａ、４Ｂは、導電パターン１０の端部に相当し、ループを開放するとの意味からこの明細書では上述したように開放端と称している。基準線Ｒｘに近接した線路パターン部４−１、４−１の基部からは、基準線Ｒｘに沿って直線状の線路パターン部４−２、４−２が延出されて線路４−１、４−１がＬ字形を形成している。また、直線状の線路パターン部４−２、４−２からは、直線状の線路パターン部４−３、４−３が基準線Ｒｘに略直角に基準線Ｒｘから離れるように互いに反対方向に延出されて線路パターン部４−２、４−３がＬ字形を形成している。同様に、線路パターン部４−３、４−３からは、基準線Ｒｘに沿って直線状の線路パターン部４−４、４−４が延出されて線路４−３、４−４がＬ字形を形成している。このように基準線Ｒｘに直交する線路４−ｊ及び基準線Ｒｘに沿う線路４−ｋがＬ字形に組み合わされて基準線に沿って屈曲したパターン４が延出されている。即ち、この線路パターン部４−１〜４−３では、図２に示されるようにＬ字形に組み合わせに係る屈曲が基準線Ｒｘに沿って進むように配置される。また、このパターン４の閉塞端側では、基準線Ｒｘに直交或いは交差する一対の線路４−ｎ、４−ｎが略直線的に連結されて基準線Ｒｘを横切っている。
【００２５】
ここでは、直線状の線路パターンを例にして説明するが、パターンの角部を曲線に置き換えることも可能である。また、曲線によるパターンも可能である。
【００２６】
図３に示されるように励振線８−１、８−２が基板２上面に基準線Ｒｘに沿って延出され、この励振線８−１、８−２間には、図２に示す共振器のパターン４が配置される。この図３に示す共振器は、図４に示すような半波長共振の通過特性を有し、励振線８−１、８−２の一方から入力信号が入力されると、その他方から図４に示すような半波長共振通過特性に従った出力信号が出力される。
【００２７】
この図４に示す半波長共振通過特性のグラフでは、共振周波数Ｆ０は、１．９３ＧＨｚであり、その共振波長λは、約６０ｍｍであり、急峻な半波長共振通過特性となっている。尚、この図２に示す共振パターンは、一例として次のようなディメンションを有している。即ち、図２において、第１の先端４Ａから基部端までの線路パターン部４−１の距離ｘ１及び第２の先端４Ｂから基部までの線路パターン部４−１の距離ｘ２は、夫々ｘ１＝１．６０３ｍｍ及びｘ２＝１．６０３ｍｍに定められている。
【００２８】
図２に示す共振器パターン４は、その半波長共振通過特性を調整する際には、レーザービームがこの共振器パターン４に照射されて超伝導マイクロストリップ線路４Ａ、４Ｂから所定長の線路部分が切断除去される。線路パターン部４−１の距離ｘ１及び線路パターン部４−１の距離ｘ２のいずれか一方或いは両者がこの切断除去によって調整されて、共振器の周波数特性が調整される。従って、線路長の調整を経て所望の半波長共振通過特性を有する共振器を提供することができる。
【００２９】
図５は、図２及び図３に示す共振器において、このレーザービームで削った長さ、即ち、除去された部分の長さΔｌに対する周波数の変動Δｆの関係を示している。この図５から明らかなように、除去された線路部分の長さΔｌに対する周波数の変動Δｆは、リニアな関係があり、所定長の線路を切除することによって企図する周波数特性を有するように図３に示す共振器を容易に調整することができる。即ち、図２に示すようなパターンを有する共振器は、その周波数特性を容易に制御することができる。
【００３０】
尚、この図５のグラフは、線路パターン部４−１の距離ｘ１（ｘ１＝１．６０３ｍｍ、）及び線路パターン部４−１の距離ｘ２（ｘ２＝１．６０３ｍｍ）を有する共振器が用意され、そのマイクロストリップ線路４−１、４−１がその先端４Ａ及び４Ｂから０．０１ｍｍの単位で切除されてその共振器の周波数の変動Δｆが測定され、この０．０１ｍｍの単位で０．０５ｍｍの線路長まで削った際の周波数の変動Δｆがプロットされて得られている。
【００３１】
（比較例）
比較例として、図６に示されるよなパターンを有する超伝導マイクロストリップ線路共振器が用意され、同様に除去された部分の長さΔｌに対する周波数の変動Δｆの関係が図７に示すように実験的に得られている。
【００３２】
図６に示される比較例のパターン１０４は、図２に示すこの発明の実施の形態に係るパターン４と同様に導電パターン１１０が開放端１０４Ａ、１０４Ｂを有するように開ループ状に形成され、基準線Ｒｘに沿って屈曲するように線路パターン部が組み合わされて延出されている。図６に示される比較例のパターンは、図２に示すパターン４とは異なり、その開放端１０４Ａ、１０４Ｂが互いに近接して配置され、開放端側の線路パターン部がその基部から基準線Ｒｘに向けて延出されてその先端が開放端１０４Ａ、１０４Ｂに定められている。即ち、図６に示されるパターンで１０４は、開放端１０４Ａ、１０４Ｂを有する線路パターン部１０４−１、１０４−１においては、屈曲の基となる基部が基準線Ｒｘから離れた外側領域に配置され、開放端１０４Ａ、１０４Ｂが基準線Ｒｘに近接する領域に配置されている。これに対して、既に述べたように、この発明の実施の形態に係る図２に示すパターンでは、開放端４Ａ、１０４Ｂを有する線路パターン部４−１、４−１においては、屈曲の基となる基部が基準線Ｒｘに近接する領域に配置され、開放端１０４Ａ、１０４Ｂが基準線Ｒｘから離間した外側領域に配置されている。
【００３３】
図６に示される比較例のパターン１０４を有する共振器についても、図４に示すと同様の半波長共振通過特性を有している。この半波長共振通過特性は、図４に示すと同様に共振周波数Ｆ０は、１．９３ＧＨｚであり、その共振波長λは、約６０ｍｍであり、急峻な半波長共振通過特性となっている。尚、この図６に示す共振器パターは、図４に示すと同様なディメンションを有している。即ち、図６において、第１の先端１０４Ａから基部端までの線路パターン部１０４−１の距離及び第２の先端１０４Ｂから基部までの線路パターン部４−１の距離は、夫々同様に１．６０３ｍｍ及び１．６０３ｍｍに定められている。
【００３４】
この図６に示される比較例のパターン１０４を有する共振器について長さを微調整する実験を行ったところ図７に示すような除去された部分の長さΔｌに対する周波数の変動Δｆの関係が得られている。この実験では、同様にレーザー照射により超伝導マイクロストリップ線路が先端から０．０１ｍｍずつ、０．０５ｍｍまで削ってその特性が測定されている。
【００３５】
図５に示したこの発明の実施の形態に係るパターン４の特性が削った長さΔｌに対して周波数の変動Δｆはリニアな関係があるが、図７に示す比較例のパターン１０４を有する共振器では、図７に示されるように削った長さΔｌと周波数の変動Δｆの関係は、リニアではなく、ある所定長Δｌｘだけ切除されると、周波数が急激に変化される。
【００３６】
このように周波数変動ΔＦが急激に生じる理由は、比較例のパターンを有する共振器は、その先端部１０４Ａ、１０４Ｂが近接して対向されていることから、その先端部１０４Ａ、１０４Ｂが切除されると、先端部１０４Ａ、１０４Ｂ間の容量がある除去長から急激に変化されるからである。これに対し、図２及び図４に示すこの発明の実施の形態に係る共振器では、先端部４Ａ、４Ｂが十分に離間されていることから、先端部４Ａ、４Ｂを削っても先端部４Ａ、４Ｂ間の容量の変化が小さいことから、容量が大きく変動することがない。
【００３７】
以上のように、この発明の実施の形態に係る共振器によれば、共振素子の長さを微調整することにより、その特性が大きく変動することなしに、フィルタ特性の微調整が可能な共振素子が提供される。
【００３８】
図８には、その各段を図２に示した共振器パターン１４−１〜１４−１４で構成した擬似楕円関数型１４段フィルタのレイアウトを示している。この共振器においは、同様に、ＹＢＣＯ超伝導薄膜が他方の面に形成され、その厚さが０．４３ｍｍであって、その比誘電率が約１０であるＭｇＯ基板２の一方の面上に図２に示すような共振器パターン１４−１〜１４−１４が配置されている。この図８に示されている共振器は、図９に示す半波長共振通過特性を有している。
【００３９】
図８に示す共振器では、各共振器パターン１４−１〜１４−１４は、隣接する共振器パターン１４−１〜１４−１４に磁気的に結合並びに容量的（静電的）に結合されて入力信号が入力端１５から入力され、出力信号が出力端１６から出力される。この出力端１６からは、入力信号に従って図９に示す半波長共振通過特性に関連した出力信号が出力される。この図９に示されるように通過帯域の両側に減衰極Ｆ１，Ｆ２が生じ、急峻なスカート特性が実現される。ここで、このように通過帯域Ｆ１〜Ｆ２間にＳパラメータがフラットな領域が生じ、また、通過帯域の両側に減衰極Ｆ１，Ｆ２が生ずるような特性は、各共振器パターン１４−１〜１４−１４のパターン形状のみならず、共振器パターン１４−１〜１４−１４の配列に依存して得られることを明記しておく。
【００４０】
（実施形態２）
次に、この発明の第２の実施形態に係る共振器を図１及び図１０を参照して説明する。
【００４１】
図１０は、その厚さが０．４３ｍｍ、また、その比誘電率が約１０のＭｇＯ基板１の一方の面に作製した超伝導マイクロストリップ線路共振器のパターン２４を示している。第１の実施の形態と同様に、超伝導体は、ＹＢＣＯ薄膜で形成されている。
【００４２】
この図１０に示される共振器パターン２４では、既に説明したようにこの共振パターン２４は、ある基準線Ｒｘに関して略対称であって、導電パターン１０が開放端２４Ａ、２４Ｂを有するように矩形開ループ状に形成されている。即ち、導電パターン１０の各セグメントに相当する直線状の線路パターン部２４−１〜２４−５は、夫々基準線Ｒｘに関して略対称に配置され、これら線路パターン部２４−１〜２４−５が互いにＬ字型を成すように次々にチェーン状に組み合わされて配置されている。ここで、線路パターン部２４−１及び２４−２は、図２に示されるパターン４と同様に配置されるに対して、線路パターン部２４−３〜２４−５は、基準線Ｒｘを中心線とする矩形を形成している。閉塞側では、基準線Ｒｘを横切る線路パターン部２４−５が連結されている。
【００４３】
図３に示すものと同様に、この共振器２４に励振線８−１，８−２が設けられた際の半波長共振の共振周波数は、１．９５ＧＨであり、その共振波長λは、約５９ｍｍとなる。このような特性を有する共振器２４は、図１０に示すように、線路２４−１、２４−２の距離ｘ１及び距離ｘ２は、ｘ１＝３．０ｍｍ及びｘ２＝３．０ｍｍに定められている。
【００４４】
既に述べたと同様に、この図１０に示す共振器の長さを微調整する実験が実施された。レーザー照射により超伝導マイクロストリップ線路が先端２４Ａ、２４Ｂから０．０２ｍｍずつ、０．１４ｍｍまで次々に切除した。削った長さをΔｌと共振周波数の変化分Δｆとの関係は、図５に示すと同様な関係が得られた。既に述べたように、図５は、切除した長さΔｌに対して共振周波数の変化分Δｆは、リニアな関係があり、特性制御が容易であることが判明している。
【００４５】
図１１には、図１０に示す共振器が８段配列されて構成される擬似楕円関数型８段フィルタのレイアウトが示されている。この共振器においは、同様に、ＹＢＣＯ超伝導薄膜が他方の面に形成され、その厚さが０．４３ｍｍであって、その比誘電率が約１０であるＭｇＯ基板２の一方の面上に図９に示すような共振器パターン２４−１〜２４−８が配置されている。この図１０に示されている共振器は、図４に示すと同様なパターンを有する半波長共振通過特性を有している。
【００４６】
図１１に示す共振器では、各共振器パターン２４−１〜２４−８は、隣接する共振器パターン２４−１〜２４−８に磁気的に結合並びに容量的（静電的）に結合されて入力信号が入力端１５から入力され、出力信号が出力端１６から出力される。この出力端１６からは、入力信号に従って図１１に示す半波長共振通過特性に関連した出力信号が出力される。この図９に示されるように通過帯域の両側に減衰極Ｆ１，Ｆ２が生じ、急峻なスカート特性が実現される。
【００４７】
（実施形態３）
図１２には、その各段を図２に示した共振器パターン１４−１及び１４−８並びに図６に比較例として示した共振器パターン１４−２〜１４−７で構成した擬似楕円関数型８段フィルタのレイアウトを示している。このフィルタでは、励振線１５、１６が接続された１段目及び８段目（最終段）の共振器のパターン１４−１及び１４−８のみ、図２に示した共振器パターンが用いられている。同様に、この共振器においては、ＹＢＣＯ超伝導薄膜が他方の面に形成され、その厚さが０．４３ｍｍであって、その比誘電率が約１０であるＭｇＯ基板２の一方の面上に図２に示すような共振器パターン１４−１、１４−８及び図６に比較例として示した共振器パターン１４−２〜１４−７が配置されている。この図１２に示されている共振器は、図４に示す半波長共振通過特性を有している。
【００４８】
励振線の接続される共振器パターン１４−１、１４−８は、励振の強さによっては、他の共振器パターン１４−２〜１４−７よりも実効的に共振周波数が低周波にシフトする場合がある。従って、フィルタ回路において周波数調整が必要となる共振器は、励振線１４−１、１４−８が接続される初段と最終段である場合が多い。このような理由から、本実施例では、初段と最終段の共振器のみ図２に示すような共振器パターン１４−１、１４−８、即ち、周波数調整しやすい共振器パターンが採用されている。
【００４９】
図１２に示す共振器においても、各共振器パターン１４−１〜１４−８は、隣接する共振器パターン１４−１〜１４−８に磁気的に結合並びに容量的（静電的）に結合されて入力信号が入力端１５から入力され、出力信号が出力端１６から出力される。この出力端１６からは、入力信号に従って図９に示す半波長共振通過特性に関連した出力信号が出力される。この図９に示さされるように通過帯域の両側に減衰極Ｆ１，Ｆ２が生じ、急峻なスカート特性が実現される。
【００５０】
（実施形態４）
上述した第１〜第３の実施例においては、共振器パターンが基準線Ｒｘに関して対称に形成されているが、必ずしも共振パターンは、基準線Ｒｘに関して対称に形成されなくとも良い。図１３に示されるように共振パターン３４は、ある基準線Ｒｘに関して非対称に形成されている。ここで、導電パターン１０は、開放端３４Ａ、３４Ｂを有するように開ループ状に形成され、基準線Ｒｘに沿って屈曲して延出されている。即ち、導電パターン１０の各セグメントに相当する直線状の線路パターン部３４−１〜３４−ｎは、夫々対を成し、その対の夫々は、基準線Ｒｘの両側に配置され、それぞれの側において、これら線路パターン部３４−１〜３４−ｎが互いにＬ字型を成すように次々にチェーン状に組み合わされて連結配置されている。ここで、各対に係る線路パターン部３４−１〜３４−ｎは、基準線Ｒｘに関して非対称であることから、夫々異なるパターン長を有している。例えば、線路パターン３４−１、３４−１は、基準線Ｒｘの両側に互いに対応を有するように配置されるが、そのパターン長が異なることから、非対称となっている。
【００５１】
図１３に示される共振パターン３４においては、開ループ状の開放端側で、線路パターン部３４−１、３４−１がその先端に開放端４Ａ、４Ｂを夫々有するように基準線Ｒｘに略直角に基準線Ｒｘから離れるように互いに反対方向に延出されている。基準線Ｒｘに近接した線路パターン部３４−１、３４−１の基部からは、基準線Ｒｘに沿って直線状の線路パターン部３４−２、３４−２が延出されて線路３４−１、３４−１がＬ字形を形成している。同様に、線路パターン部が基準線Ｒｘに沿ってＬ字形をなすように延出されて屈曲したパターン４が形成される。即ち、線路パターン部が図１３に示されるようにＬ字形に組み合わせに係る屈曲が基準線Ｒｘに沿って進むように配置される。また、このパターン３４の閉塞端側では、基準線Ｒｘに直交或いは交差する一対の線路２４−ｎ、２４−ｎが略直線的に連結されて基準線Ｒｘを横切っている。
【００５２】
図１３に示す共振器パターン３４は、既に説明したようにその半波長共振通過特性を調整する際には、レーザービームがこの共振器パターン４に照射されて超伝導マイクロストリップ線路３４Ａ、３４Ｂから所定長の線路部分が切断除去される。即ち、既に述べたように、切除長Δｌと周波数の変動Δｆとは、図１３に示されるような共振器パターン３４では、直線的な関係にあり、適切な線路長に調整することによって所望の半波長共振通過特性を有する共振器を提供することができる。
【００５３】
図１３に示される共振パターン３４においては、導電パターン１０の各セグメントに相当する直線状の線路パターン部が互いにＬ字型を成すように次々にチェーン状に組み合わされて連結配置されているが、必ずしも各セグメントは直線状である必要はなく、所望の共振特性を有するように曲線状のセグメントで構成することも可能である。例えば、図１４に示すように、共振パターン５４の開ループ状の部分が楕円形であり、その開口部から開放端を設けることも可能である。
【００５４】
図１５には、その各段を図１３に示した共振器パターン４４−１〜４４−８で構成した擬似楕円関数型８段フィルタのレイアウトを示している。この共振器においは、同様に、ＹＢＣＯ超伝導薄膜が他方の面に形成され、その厚さが０．４３ｍｍであって、その比誘電率が約１０であるＭｇＯ基板２の一方の面上に図１５に示すような共振器パターン４４−１〜４４−８が配置されている。この図１５に示されている共振器は、図９に示す半波長共振通過特性を有している。
【００５５】
図１５に示す共振器では、各共振器パターン４４−１〜４４−８は、隣接する共振器パターン４４−１〜４４−１４に磁気的に結合並びに容量的（静電的）に結合されて入力信号が入力端１５から入力され、出力信号が出力端１６から出力される。この出力端１６からは、入力信号に従って図９に示す半波長共振通過特性に関連した出力信号が出力される。この図９に示されるように通過帯域の両側に減衰極Ｆ１，Ｆ２が生じ、急峻なスカート特性が実現される。ここで、このように通過帯域Ｆ１〜Ｆ２間にＳパラメータがフラットな領域が生じ、また、通過帯域の両側に減衰極Ｆ１，Ｆ２が生ずるような特性は、各共振器パターン４４−１〜４４−８のパターン形状のみならず、共振器パターン４４−１〜４４−８の配列に依存して得られることを明記しておく。
【００５６】
【発明の効果】
以上述べてきたように、本発明によれば、共振素子の長さを微調整することにより容易に共振周波数の微調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施の形態に係る共振器を概略的に示す断面図である。
【図２】図１に示した共振器のパターンを示す平面図である。
【図３】図１に示した共振器パターンに励振線を設けた共振器のレイアウトを概略的に示す平面図である。
【図４】図３に示した共振器の周波数特性を示すグラフである。
【図５】図１に示した共振器パターンを備えた共振器における線路長を変化させた際の周波数変動を示すグラフである。
【図６】比較例として示す共振器のパターンを概略的に示す平面図である。
【図７】図６に示した比較例の共振器パターンを備えた共振器における線路長を変化させた際の周波数変動を示すグラフである。
【図８】図２に示した共振器パターンを複数段配列したフィルタのレイアウトを概略的に示す平面図である。
【図９】図８に示したフィルタの周波数特性を示すグラフである。
【図１０】この発明の第２の実施形態に係る共振器のパターンを概略的に示す平面図である。
【図１１】図１０に示した共振器パターンを複数段配列したフィルタのレイアウトを概略的に示す平面図である。
【図１２】図２及び図６に示した共振器パターンを複数段配列したフィルタのレイアウトを概略的に示す平面図である。
【図１３】この発明の第３の実施形態に係る共振器のパターンを概略的に示す平面図である。
【図１４】この発明の他実施形態に係る共振器のパターン例を概略的に示す平面図である。
【図１５】図１３に示した共振器パターンを複数段配列したフィルタのレイアウトを概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
４．．．共振器パターン
４Ａ、４Ｂ．．．開放端
４−１〜４−ｎ．．．線路パターン部
８−１、８−２．．．励振線
１４−１〜１４−ｎ．．．線路パターン部
２４−１〜２４−３．．．線路パターン部
１０４Ａ、１０４Ｂ．．．開放端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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