(57)【要約】【課題】電極及び信号線に発生する、磁束の変化に起因する磁束微分ノイズを低減する。【解決手段】電磁流量計は、被測定流体が流れる測定管１、測定管１に配置された電極２ａ，２ｂ、励磁コイル３、励磁コイル３に励磁電流を供給する電源部４、磁場と被測定流体の流れによって生じた電極間起電力を検出する信号変換部５、電極間起電力から被測定流体の流量を算出する流量出力部６、および電極２ａ，２ｂと信号変換部５との間を接続する信号線７ａ，７ｂを有する。励磁コイル３は、測定管軸ＰＡＸの方向と直交する、電極２ａ，２ｂを含む平面ＰＬＮを電極位置としたとき、電極位置からオフセット距離ｄだけ離れた位置に配設される。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体が流れる測定管と、
前記測定管に配設された電極と、
前記測定管の軸方向と直交する、前記電極を含む平面を電極位置としたとき、この電極位置から離して配設され、前記流体に磁場を印加する励磁部と、
前記流体に印加される磁場と前記流体の流れとによって生じた起電力を前記電極から取り出す信号線とを備えることを特徴とする電磁流量計。
【請求項２】
請求項１記載の電磁流量計において、
前記励磁部は、
前記電極位置からオフセット距離だけ離れた位置に配設された励磁コイルと、この励磁コイルに励磁電流を供給する電源部とからなることを特徴とする電磁流量計。
【請求項３】
請求項１記載の電磁流量計において、
前記励磁部は、
前記電極位置から第１のオフセット距離だけ離れた位置に配設された第１の励磁コイルと、
前記電極位置から第２のオフセット距離だけ離れた位置に、前記電極位置を挟んで前記第１の励磁コイルと対向するように配設された第２の励磁コイルと、
前記第１の励磁コイルと前記第２の励磁コイルに励磁電流を供給する電源部とからなることを特徴とする電磁流量計。
【請求項４】
請求項２記載の電磁流量計において、
前記測定管の外部に配設されている前記電極及び前記信号線と前記測定管の外部に配設されている前記励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる隔壁部を備えることを特徴とする電磁流量計。
【請求項５】
請求項３記載の電磁流量計において、
前記測定管の外部に配設されている前記電極及び前記信号線と前記測定管の外部に配設されている前記第１の励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる第１の隔壁部と、
前記測定管の外部に配設されている前記電極及び前記信号線と前記測定管の外部に配設されている前記第２の励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる第２の隔壁部とを備えることを特徴とする電磁流量計。
【請求項６】
請求項２記載の電磁流量計において、
前記測定管の外部に配設されている前記励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなるコイル遮蔽部を備えることを特徴とする電磁流量計。
【請求項７】
請求項３記載の電磁流量計において、
前記測定管の外部に配設されている前記第１の励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなる第１のコイル遮蔽部と、
前記測定管の外部に配設されている前記第２の励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなる第２のコイル遮蔽部とを備えることを特徴とする電磁流量計。
【請求項８】
請求項２又は３記載の電磁流量計において、
前記測定管の外部に配設されている前記電極及び前記信号線を覆う金属又は磁性体からなる信号線遮蔽部を備えることを特徴とする電磁流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定管内を流れる被測定流体の流量を計測する電磁流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電磁流量計は、測定管内を流れる導電性の被測定流体の流量を電磁誘導現象を利用して電気信号に変換して測定するものである。図１１に従来の電磁流量計の構成を示す。この電磁流量計は、被測定流体が流れる測定管１１と、被測定流体と接触するように測定管１１に対向配置された電極１２ａ，１２ｂと、電極１２ａ，１２ｂ間を結ぶ電極軸ＥＡＸおよび測定管軸ＰＡＸの双方と直交する磁場Ｂを被測定流体に印加する励磁コイル１３と、この励磁コイル１３に励磁電流を供給して磁場Ｂを発生させる電源部１４と、電極１２ａ，１２ｂ間の起電力を検出する信号変換部１５と、信号変換部１５によって検出された電極間起電力から被測定流体の流量を算出する流量出力部１６と、電極１２ａ，１２ｂと信号変換部１５との間を接続する信号線１７ａ，１７ｂとを有している（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】
社団法人日本計量機器工業連合会編，「計装エンジニアのための流量計測　ＡｔｏＺ」，工業技術社，１９９５年，ｐ．１４３−１６０
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図１２に信号線１７ａ，１７ｂの配線経路の１例を示す。図１２の例では、導電性の被測定流体と電極１２ａ，１２ｂと信号線１７ａ，１７ｂとが実質的に閉回路ＣＬＳ（図１２の斜線部）を形成し、閉回路ＣＬＳが励磁コイル１３による磁束と鎖交するため、この磁束の変化に応じて信号線１７ａ，１７ｂに信号起電力と関係のない磁束微分ノイズが誘起され、この磁束微分ノイズが流量計測誤差になるという問題点があった。
【０００５】
そこで、従来は、図１３に示すように、電極１２ａ，１２ｂを含み、かつ測定管軸ＰＡＸと直交する平面ＰＬＮに沿って信号線１７ａ，１７ｂを配置することにより、前記閉回路が磁束と鎖交しないようにしていた。しかしながら、このような配線経路では、信号線１７ａ，１７ｂが励磁コイル１３の近傍を通ることになるので、励磁コイル１３で発生する磁束の変化の影響を受けやすくなり、結果として図１２の場合と同じような磁束微分ノイズが信号線１７ａ，１７ｂに発生するという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、電極及び信号線に発生する、磁束の変化に起因する磁束微分ノイズを低減することができる電磁流量計を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の電磁流量計は、被測定流体が流れる測定管と、前記測定管に配設された電極と、前記測定管の軸方向と直交する、前記電極を含む平面を電極位置としたとき、この電極位置から離して配設され、前記流体に磁場を印加する励磁部と、前記流体に印加される磁場と前記流体の流れとによって生じた起電力を前記電極から取り出す信号線とを備えるものである。
また、本発明の電磁流量計の１構成例において、前記励磁部は、前記電極位置からオフセット距離だけ離れた位置に配設された励磁コイルと、この励磁コイルに励磁電流を供給する電源部とからなるものである。
また、本発明の電磁流量計の１構成例において、前記励磁部は、前記電極位置から第１のオフセット距離だけ離れた位置に配設された第１の励磁コイルと、前記電極位置から第２のオフセット距離だけ離れた位置に、前記電極位置を挟んで前記第１の励磁コイルと対向するように配設された第２の励磁コイルと、前記第１の励磁コイルと前記第２の励磁コイルに励磁電流を供給する電源部とからなるものである。
【０００８】
また、本発明の電磁流量計の１構成例は、前記測定管の外部に配設されている前記電極及び前記信号線と前記測定管の外部に配設されている前記励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる隔壁部を備えるものである。
また、本発明の電磁流量計の１構成例は、前記測定管の外部に配設されている前記電極及び前記信号線と前記測定管の外部に配設されている前記第１の励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる第１の隔壁部と、前記測定管の外部に配設されている前記電極及び前記信号線と前記測定管の外部に配設されている前記第２の励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる第２の隔壁部とを備えるものである。
また、本発明の電磁流量計の１構成例は、前記測定管の外部に配設されている前記励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなるコイル遮蔽部を備えるものである。
また、本発明の電磁流量計の１構成例は、前記測定管の外部に配設されている前記第１の励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなる第１のコイル遮蔽部と、前記測定管の外部に配設されている前記第２の励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなる第２のコイル遮蔽部とを備えるものである。
また、本発明の電磁流量計の１構成例は、前記測定管の外部に配設されている前記電極及び前記信号線を覆う金属又は磁性体からなる信号線遮蔽部を備えるものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。本実施の形態の電磁流量計は、被測定流体が流れる測定管１と、被測定流体に印加される磁場Ｂおよび測定管１の軸ＰＡＸの双方と直交し、かつ被測定流体と接触するように測定管１に対向配置された一対の電極２ａ，２ｂと、電極２ａ，２ｂ間を結ぶ電極軸ＥＡＸおよび測定管軸ＰＡＸの双方と直交する磁場Ｂを被測定流体に印加する励磁コイル３と、励磁コイル３に励磁電流を供給して磁場Ｂを発生させる電源部４と、磁場Ｂと被測定流体の流れとによって生じた、電極２ａ，２ｂ間の起電力を検出する信号変換部５と、この信号変換部５によって検出された電極間起電力から被測定流体の流量を算出する流量出力部６と、電極２ａ，２ｂと信号変換部５との間を接続する信号線７ａ，７ｂとを有している。
【００１０】
信号変換部５によって検出された起電力から被測定流体の流量を求める導出方法については各種の方式が提案され、実用化されているが、本発明は、このような導出方法に関係なく適用できるので、流量出力部６の詳細については説明を省略する。
【００１１】
励磁コイル３から発生する磁場Ｂが信号線７ａ，７ｂに与える影響は、距離の２乗に比例して小さくなる。したがって、励磁コイル３を電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂから離すことにより、磁場Ｂの影響を回避することができる。本実施の形態では、測定管軸ＰＡＸの方向と直交する、電極２ａ，２ｂを含む平面ＰＬＮを電極位置としたとき、この電極位置からオフセット距離ｄ（ｄ＞０）だけ離れた位置に励磁コイル３を配設している。
【００１２】
こうして、電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂに発生する、磁束の変化に起因する磁束微分ノイズを励磁コイル３との距離を離すことで低減することができ、流量計測誤差を低減することができる。
【００１３】
［第２の実施の形態］
図２は本発明の第２の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図であり、図１と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の電磁流量計は、測定管１と、電極２ａ，２ｂと、磁場Ｂを被測定流体に印加する第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂと、第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂに励磁電流を供給して磁場Ｂを発生させる電源部４ａと、信号線７ａ，７ｂとを有している。信号変換部５と流量出力部６については第１の実施の形態と同じなので、記載を省略する。
【００１４】
第１の励磁コイル３ａは、測定管軸ＰＡＸの方向と直交する、電極２ａ，２ｂを含む平面ＰＬＮを電極位置としたとき、この電極位置から例えば下流側に第１のオフセット距離ｄ１（ｄ１＞０）だけ離れた位置に配設され、第２の励磁コイル３ｂは、電極位置から例えば上流側に第２のオフセット距離ｄ２（ｄ２＞０）だけ離れた位置に配設されている。オフセット距離ｄ１とｄ２は、同一の値でもよいし、異なる値でもよい。また、第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂには、電源部４ａから同一の電流を供給してもよいし、異なる電流を供給してもよい。
【００１５】
第１の実施の形態では、平面ＰＬＮを境とする測定管１の前後で磁場Ｂが非対称となるが、本実施の形態では、電源部４ａから第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂに供給する励磁電流とオフセット距離ｄ１，ｄ２とを調整することで、平面ＰＬＮを境とする測定管１の前後で磁場Ｂを対称とすることもできるし、非対称とすることもできる。磁場Ｂを対称とするか非対称とするかは、電磁流量計の方式に応じて決定すればよい。
【００１６】
こうして、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができ、さらに第１の実施の形態に比べて電極２ａ，２ｂに生じる信号起電力を大きくすることができる。なお、第１、第２の実施の形態において、オフセット距離ｄ，ｄ１，ｄ２を大きくし過ぎると、電極２ａ，２ｂの起電力が小さくなる。したがって、起電力の大きさが問題とならない範囲でオフセット距離ｄ，ｄ１，ｄ２を設定する必要がある。
【００１７】
［第３の実施の形態］
図３は本発明の第３の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図であり、図１と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の電磁流量計は、測定管１と、電極２ａ，２ｂと、励磁コイル３と、信号線７ａ，７ｂと、測定管１の外部に配設されている電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂと測定管１の外部に配設されている励磁コイル３とを隔てる金属又は磁性体からなる隔壁部８とを有している。電源部４と信号変換部５と流量出力部６については第１の実施の形態と同じなので、記載を省略する。
【００１８】
第１の実施の形態のように、電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂと励磁コイル３との距離を離しても、誘導磁場の影響を受ける場合には、電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂに影響を与える磁束を減少させればよい。このため、本実施の形態では、第１の実施の形態の電磁流量計において、電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂと励磁コイル３との間に金属又は磁性体からなる隔壁部８を設けている。これにより、本実施の形態では、電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂに発生する磁束微分ノイズを第１の実施の形態に比べてさらに低減することができる。
【００１９】
［第４の実施の形態］
図４は本発明の第４の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図であり、図２と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の電磁流量計は、測定管１と、電極２ａ，２ｂと、第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂと、信号線７ａ，７ｂと、測定管１の外部に配設されている電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂと測定管１の外部に配設されている第１の励磁コイル３ａとを隔てる金属又は磁性体からなる第１の隔壁部８ａと、測定管１の外部に配設されている電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂと測定管１の外部に配設されている第２の励磁コイル３ｂとを隔てる金属又は磁性体からなる第２の隔壁部８ｂとを有している。電源部４ａと信号変換部５と流量出力部６については第２の実施の形態と同じなので、記載を省略する。
【００２０】
本実施の形態は、第２の実施の形態の電磁流量計に対して、第３の実施の形態と同様の考え方を適用したものである。これにより、本実施の形態では、電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂに発生する磁束微分ノイズを第２の実施の形態に比べてさらに低減することができる。
【００２１】
［第５の実施の形態］
図５は本発明の第５の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図であり、図１と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の電磁流量計は、測定管１と、電極２ａ，２ｂと、励磁コイル３と、信号線７ａ，７ｂと、測定管１の外部に配設されている励磁コイル３を覆う金属又は磁性体からなるコイル遮蔽部９とを有している。電源部４と信号変換部５と流量出力部６については第１の実施の形態と同じなので、記載を省略する。
【００２２】
本実施の形態では、第３の実施の形態の効果を更に高めるために、測定管１外部の励磁コイル３を全面的に覆うコイル遮蔽部９を設けている。これにより、励磁コイル３から測定管１外部の様々な方向に漏れる磁束を減少させることができる。
【００２３】
［第６の実施の形態］
図６は本発明の第６の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図であり、図２と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の電磁流量計は、測定管１と、電極２ａ，２ｂと、第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂと、信号線７ａ，７ｂと、測定管１の外部に配設されている第１の励磁コイル３ａを覆う金属又は磁性体からなる第１のコイル遮蔽部９ａと、測定管１の外部に配設されている第２の励磁コイル３ｂを覆う金属又は磁性体からなる第２のコイル遮蔽部９ｂとを有している。電源部４ａと信号変換部５と流量出力部６については第２の実施の形態と同じなので、記載を省略する。
【００２４】
本実施の形態では、第４の実施の形態の効果を更に高めるために、測定管１外部の第１の励磁コイル３ａを全面的に覆う第１のコイル遮蔽部９ａと、測定管１外部の第２の励磁コイル３ｂを全面的に覆う第２のコイル遮蔽部９ｂとを設けている。これにより、第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂから測定管１外部の様々な方向に漏れる磁束を減少させることができる。
【００２５】
［第７の実施の形態］
図７は本発明の第７の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図であり、図２と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の電磁流量計は、測定管１と、電極２ａ，２ｂと、第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂと、信号線７ａ，７ｂと、測定管１の外部に配設されている電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂを覆う金属又は磁性体からなる信号線遮蔽部１０とを有している。電源部４ａと信号変換部５と流量出力部６については第２の実施の形態と同じなので、記載を省略する。
【００２６】
本実施の形態は、第５、第６の実施の形態のように励磁コイル３，３ａ，３ｂを覆う代わりに、測定管１の外部に配設されている電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂを信号線遮蔽部１０で覆うようにしたものである。信号線７ａ，７ｂは、信号線遮蔽部１０に形成された開口部９１から外部に引き出される。本実施の形態のように励磁コイルを２つ用いる場合は、励磁コイル３ａ，３ｂを遮蔽部で覆うよりも効率的に磁束微分ノイズを低減することができる。
【００２７】
［第８の実施の形態］
図８は本発明の第８の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図であり、図２、図６、図７と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の電磁流量計は、測定管１と、電極２ａ，２ｂと、第１、第２の励磁コイル３ａ，３ｂと、信号線７ａ，７ｂと、第１、第２のコイル遮蔽部９ａ，９ｂと、信号線遮蔽部１０とを有している。電源部４ａと信号変換部５と流量出力部６については第２の実施の形態と同じなので、記載を省略する。
【００２８】
本実施の形態は、第６の実施の形態と第７の実施の形態を組み合わせたものである。これにより、電極２ａ，２ｂ及び信号線７ａ，７ｂに発生する磁束微分ノイズをより効果的に低減することができる。
【００２９】
なお、第７、第８の実施の形態では、２つの励磁コイルを使用しているが、第５の実施の形態のように１つの励磁コイル３と遮蔽部９を使用し、これに信号線遮蔽部１０を組み合わせてもよいことは言うまでもない。
【００３０】
また、第１〜第８の実施の形態で使用する電極２ａ，２ｂとしては、図９に示すように、測定管１の内壁から露出して被測定流体に接触する形式の電極でもよいし、図１０に示すように、被測定流体と接触しない容量結合式の電極でもよい。容量結合式の場合、電極２ａ，２ｂは、測定管１の内壁に形成されるセラミックやテフロン（登録商標）等からなるライニング１０によって被覆される。
【００３１】
また、第１〜第８の実施の形態では、２個の電極２ａ，２ｂを使用する場合について説明しているが、これに限るものではなく、電極が１個だけの電磁流量計にも本発明を適用することができる。電極が１個だけの場合には、被測定流体の電位を接地電位にするための接地リングが測定管１に設けられており、１個の電極に生じた起電力（接地電位との電位差）を信号変換部５で検出すればよい。電極軸ＥＡＸは、２個の電極２ａ，２ｂを使用する場合は電極２ａ，２ｂ間を結ぶ直線である。一方、電極が１個だけの場合、この１個の実電極を含む平面ＰＬＮ上において、測定管軸ＰＡＸを挟んで実電極と対向する位置に仮想の電極を配置したと仮定したとき、実電極と仮想の電極とを結ぶ直線が電極軸ＥＡＸとなる。
【００３２】
【発明の効果】
本発明によれば、測定管の軸方向と直交する、電極を含む平面を電極位置としたとき、この電極位置から離れた位置に励磁部を配設することにより、電極及び信号線と励磁部とを離して配置するようにしたので、電極及び信号線に発生する、磁束の変化に起因する磁束微分ノイズを低減することができ、流量計測誤差を低減することができる。
【００３３】
また、測定管の外部に配設されている電極及び信号線と測定管の外部に配設されている励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる隔壁部を設けることにより、１つの励磁コイルを用いる場合において、電極及び信号線に影響を与える磁束を減少させることができ、電極及び信号線に発生する磁束微分ノイズを低減することができる。
【００３４】
また、測定管の外部に配設されている電極及び信号線と測定管の外部に配設されている第１の励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる第１の隔壁部と、測定管の外部に配設されている電極及び信号線と測定管の外部に配設されている第２の励磁コイルとを隔てる金属又は磁性体からなる第２の隔壁部とを設けることにより、２つの励磁コイルを用いる場合において、電極及び信号線に影響を与える磁束を減少させることができ、電極及び信号線に発生する磁束微分ノイズを低減することができる。
【００３５】
また、測定管の外部に配設されている励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなるコイル遮蔽部を設けることにより、１つの励磁コイルを用いる場合において、励磁コイルから測定管外部の様々な方向に漏れる磁束を減少させることができ、電極及び信号線に発生する磁束微分ノイズをさらに低減することができる。
【００３６】
また、測定管の外部に配設されている第１の励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなる第１のコイル遮蔽部と、測定管の外部に配設されている第２の励磁コイルを覆う金属又は磁性体からなる第２のコイル遮蔽部とを設けることにより、２つの励磁コイルを用いる場合において、第１、第２の励磁コイルから測定管外部の様々な方向に漏れる磁束を減少させることができ、電極及び信号線に発生する磁束微分ノイズをさらに低減することができる。
【００３７】
また、測定管の外部に配設されている電極及び信号線を覆う金属又は磁性体からなる信号線遮蔽部を設けることにより、電極及び信号線に影響を与える磁束を減少させることができ、電極及び信号線に発生する磁束微分ノイズを低減することができる。特に、励磁コイルを２つ用いる場合は、第１、第２の励磁コイルをそれぞれコイル遮蔽部で覆うよりも効率的に磁束微分ノイズを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の第６の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第７の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の第８の実施の形態となる電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図９】本発明の電磁流量計で用いる電極の１例を示す断面図である。
【図１０】本発明の電磁流量計で用いる電極の他の例を示す断面図である。
【図１１】従来の電磁流量計の構成を示すブロック図である。
【図１２】従来の電磁流量計における信号線の配線経路の１例を示す図である。
【図１３】従来の電磁流量計における信号線の配線経路の他の例を示す図である。
【符号の説明】
１…測定管、２ａ、２ｂ…電極、３、３ａ、３ｂ…励磁コイル、４、４ａ…電源部、５…信号変換部、６…流量出力部、７ａ、７ｂ…信号線、８、８ａ、８ｂ…隔壁部、９、９ａ、９ｂ…コイル遮蔽部、１０…信号線遮蔽部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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