(57)【要約】【課題】小型化、高感度化、高信頼性化するのに有効な構成を有する電位測定装置である。【解決手段】電位測定装置は、ねじりバネ１０２、１０３と、ねじりバネによって揺動可能に軸支された揺動体１０４を有する揺動体装置と、揺動体１０４の面に配置された検知電極１１１、１１２を有する信号検出手段を備える。検知電極１１１、１１２と電位測定対象面の距離を揺動装置により変化させてこれらの間の静電容量を変化させることで、検出電極１１１、１１２に現れる出力信号を信号検出手段が検出する。【選択図】    図１
2004301555.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじりバネと、該ねじりバネによって軸支された揺動体を有し、該揺動体がねじりバネを中心に揺動できる揺動体装置と、前記揺動体の面に配置された少なくとも１つの検知電極を有する信号検出手段を備え、検知電極とこれと対向配置される電位測定対象の面との距離を揺動装置により変化させて検知電極と測定対象面との間の静電容量を変化させることで、検出電極に現れる出力信号を検出する様に構成されたことを特徴とする電位測定装置。
【請求項２】
前記揺動体の面上に揺動中心軸を挟んで各１つの検知電極が、それぞれの検知電極上に異なる位相と大きさの情報を有する出力信号が現れるように配置されたことを特徴とする請求項１記載の電位測定装置。
【請求項３】
前記信号検出手段は、前記各検知電極から出力される２つの出力信号の差を用いて信号検出を行うように構成されたことを特徴とする請求項２記載の電位測定装置。
【請求項４】
前記揺動体の面は、平面状、凸球面状、母線が前記揺動中心軸に平行に伸びた凸円筒状、或いは稜線が前記揺動中心軸に平行に伸びた屋根形状であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電位測定装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の電位測定装置と画像形成手段を備え、前記電位測定装置の揺動体の面が前記画像形成手段の電位測定の対象となる面と対向して配置され、前記画像形成手段が電位測定装置の信号検出結果を用いて画像形成の制御を行うことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非接触型の電位測定装置、及び複写機、プリンタ等に適用可能なその電位測定装置を有する画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、感光ドラムを有し電子写真方式によって画像形成を行う画像形成装置においては、常に安定した画質を得るために、どのような環境下でも感光ドラムの電位を適当に（典型的には、均一に）帯電しておく必要がある。このため、感光ドラムの帯電電位を電位測定装置（電位センサ）を用いて測定し、その結果を利用して感光ドラムの電位を均一に保つ様にフィードバック制御を行っている。
【０００３】
従来の電位センサとしては、非接触式電位センサがあり、ここでは機械式交流電界誘導型と呼ばれる方式がしばしば用いられる。この方式では、測定対象の表面の電位は、電位センサに内蔵される検知電極から取り出される電流の大きさの関数であり、
ｉ＝ｄＱ／ｄｔ＝ｄ／ｄｔ［ＣＶ］・・・（１）
という式で与えられる。ここで、Ｑは検知電極上に現れる電荷量、Ｃは検知電極と測定対象間の結合容量、Ｖは測定対象の表面の電位である。また、この容量Ｃは、
Ｃ＝ＡＳ／ｘ・・・（２）
という式で与えられる。ここで、Ａは物質の誘電率などに係る比例定数、Ｓは検知電極面積、ｘは検知電極と測定対象間の距離である。
【０００４】
これらの関係を用いて、測定対象の表面の電位Ｖを測定するのであるが、検知電極上に現れる電荷量Ｑを正確に測定するには、検知電極と測定対象間の容量Ｃの大きさを周期的に変調するのがよいことが、これまでに分かっている。この容量Ｃの変調方法としては、下記の方法が知られている。
【０００５】
第１の方法は、検知電極の面積Ｓを実効的に変調するものである。この方法の代表的な例では、測定対象と検知電極間にフォーク形状のシャッタを挿入し、シャッタを測定対象の表面と平行な方向に周期的に動かすことで、検知電極上に到達する測定対象からの電気力線の遮蔽程度を変化させ、実効的に検知電極の面積を変化させて、測定対象と検知電極間の静電容量Ｃの変調を実現している（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
また、他の例では、測定対象と対向する位置に開口部を有した金属のシールド材を配置すると共に、フォークの形状をした振動素子の先端に検知電極を設けて該検知電極の位置を上記開口部直下で平行に変化させることで、検知電極に達する電気力線の数を変調し、静電容量Ｃの変調を行っている（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
第２の方法は、検知電極と測定対象間の距離ｘを周期的に変えるものである。この方法の代表的な例では、検知電極を片持ち梁状の振動子の先端に配置し、片持ち梁を振動させることで測定対象と検知電極間の距離ｘを周期的に変化させ、容量Ｃの変調を行っている（例えば、特許文献３参照）。
【０００８】
【特許文献１】
米国特許第４，７２０，６８２号明細書
【０００９】
【特許文献２】
米国特許第３，８５２，６６７号明細書
【００１０】
【特許文献３】
米国特許第４，７６３，０７８号明細書
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記の如き従来技術の状況において、近年、感光ドラムの小径化、ドラム周りの高密度化により、電位センサも小型化、薄型化が求められている。前述の例で示した現状の機械式交流電界誘導型のセンサにおいては、センサ構造体の内部体積は、その殆どがフォーク状のシャッタあるいは片持ち梁状の振動子を振動させるための駆動機構等の組み立て部品によって占められている。したがって、電位センサの小型化には、これら駆動機構の小型化が必須である。
【００１２】
これに対して、しかしながら、機械式交流電界誘導型の電位センサから出力信号として取り出される電流の大きさは、前述の式（１）および（２）より、
ｉ＝ｄ／ｄｔ［ＡＶＳ／ｘ］・・・（３）
で与えられるので、上記の如く必須である電位センサの小型化に伴い、検知電極面積Ｓが小さくなってしまい、このことでセンサ出力電流ｉも小さくなり、外部からの雑音の影響を受けやすくなって測定精度の点で不利となる。また、それぞれの個別部品を組み立てた構造をしており、小型化および低コスト化に課題が残る。
【００１３】
そこで、本発明の目的は、前述の課題を解決し、小型化、高感度化、高信頼性化するのに有効な構成を有する電位測定装置、及びそれを用いた画像形成装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の電位測定装置は、ねじりバネと、ねじりバネによって軸支された揺動体を有し、揺動体がねじりバネを中心に揺動できる揺動体装置と、揺動体の面に配置された少なくとも１つの検知電極を有する信号検出手段を備え、検知電極とこれと対向配置される電位測定対象の面との距離を揺動装置により変化させて検知電極と測定対象面との間の静電容量を変化させることで、検出電極に現れる出力信号を検出する様に構成されたことを特徴とする。感光ドラム等の電位測定対象面と電位測定装置としての電位センサ（検知電極）との間において、静電容量を変化させるためには、上記従来技術の議論から分かるように、（１）電位測定対象面と検知電極間の距離、（２）これらの間の物質の誘電率、（３）これらの対向面積のいずれかを変化させればよい。そこで、本発明の構成では、（１）の方式を採用し、典型的には周期的に振動する揺動体の上に検知電極を配置し、検知電極と電位測定対象面の距離を変化させる制御を行う。この電位測定装置では、ねじりバネのねじれ剛性、揺動体の形態などを適切に設計することで揺動体が大きな周波数で揺動する構成に容易にできるので、また、たとえ揺動体を小さくしても、複数の検知電極を表面に設けて各検知電極からの信号を適当に処理したりする構成に容易にできるので（即ち、高い設計柔軟性を有する）、装置を小型化しても電位測定対象面の電位を比較的高い測定精度、感度、信頼性で測定できる。
【００１５】
上記基本構成に基づいて以下の様な形態が可能である。
前記揺動体の面上に揺動中心軸を挟んで各１つの検知電極を配置して、それぞれの検知電極上に異なる位相と大きさの情報を有する出力信号が現れるようにした構成にできる。また、前記信号検出手段は、各検知電極から出力される２つの出力信号の差を用いて信号検出を行うように構成され得る。例えば、ねじりバネによって軸支された揺動体上に、揺動体の揺動中心に対して線対象に複数の電極を配置し、電位測定対象に対して対向配置させる構成では、揺動体を周期的に揺動させて揺動体上の検知電極と電位測定対象の距離を交互に変え、検知電極上に発生する電荷の交互の変化を利用することで、差動増幅に適した形状の所望のタイミングの処理し易い出力信号を発生する小型で高性能な電位センサを実現できる。
【００１６】
前記揺動体の面は、平面状、凸球面状、母線が前記揺動中心軸に平行に伸びた凸円筒状、或いは稜線が前記揺動中心軸に平行に伸びた屋根形状などにできる。球面や円筒面の曲率や屋根形状の頂角などは、揺動体の揺動角の大きさ、検知電極の配置形態や数、要求される装置のサイズや感度などに応じて設計すればよい。
【００１７】
更に、上記目的を達成する本発明の画像形成装置は、上記の電位測定装置と画像形成手段を備え、電位測定装置の揺動体の面が画像形成手段の電位測定の対象となる面と対向して配置され、画像形成手段が電位測定装置の信号検出結果を用いて画像形成の制御を行うことを特徴とする。画像形成手段は、複写機能、印刷機能、或いはファクシミリ機能を有し得る。また、画像形成手段は、所定軸の回りに回転する感光ドラムを有し、該感光ドラム面上の帯電電位を電位測定装置を用いて測定する様に構成され得る。この画像形成装置でも、上記電位測定装置の特徴が生かされる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、より具体的な本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１９】
（第１の実施の形態）
まず、本発明の第１の実施の形態を図１、図２、図３、図４に基づいて説明する。図１は、本実施形態に係る電位センサの構成を示す。支持基板１００の中央部には開口部１０１が形成され、開口部１０１の中央中空部分には、２本のねじりバネ１０２と１０３により、平板状の揺動体１０４が支持されている。揺動体１０４は、ねじりバネ１０２と１０３の長軸方向の中心線を結んだ中心線Ａ−Ａ’に対し、線対称の構造を有する。
【００２０】
揺動体１０４の一方の表面には、２個の同一形状の平板状の検知電極１１１と１１２が同じく中心線Ａ−Ａ’に対して線対称に配置されている。電極１１１と１１２は、ねじりバネ１０２の上に形成された電極配線１１３と１１４によって、支持基板１００上に形成された取り出し電極１１５と１１６とそれぞれ接続されている。取り出し電極１１５と１１６は、配線１１７と１１８によって、支持基板１００外部に設置された差動増幅器１２０の反転入力接点１２１と非反転入力接点１２２に接続されている。
【００２１】
図１のＢ−Ｂ’断面図である図２は、図１で示した電位センサを測定対象表面２０１に対して配置した状態を表している。測定対象表面２０１は、例えば、感光ドラムであり、図の左右方向に伸びる軸、或いは紙面垂直方向に伸びる軸の回りに回転する。揺動体１０４は、これと対向する測定対象表面２０１が実質的に平面的である場合には、中立の位置においてこれとほぼ平行になる様に配置されている。図２において、２０２は電位センサを収めるケースであり、導電性の材料で形成され、アースに接地されている。揺動体１０４を支える支持基板１００は、適切な装着冶具２０３と２０４によって、ケース２０２に固定されている。この設置されたケース２０２の存在により、揺動体１０４とほぼ真正面で対向する測定対象表面２０１の部分からのみ電気力線が検知電極１１１と１１２に達することになり、雑音成分を抑制できて精度良く電位測定ができる様になる。
【００２２】
この電位センサに後述するような適切な揺動体駆動機構を加え、揺動体１０４とねじりバネ１０２と１０３の形状、材料などを適切に選ぶことで、揺動体１０４をねじりバネ１０２と１０３の中心軸線Ｃを回転中心として、周期的に揺動させられる。
【００２３】
図３は、揺動体１０４が揺動している様子を、Ｂ−Ｂ’断面図で模式的に示したものである。図３（１）は、揺動体１０４が静止状態あるいは揺動中に静止状態と同じ位置に達したときの状態（本明細書では、この状態を、“中立の状態”と記す）を示す。ここで、検知電極１１１と１１２と測定対象２０１の距離をｘ０、揺動体１０４の回転中心線Ｃと検知電極１１１と１１２のＢ−Ｂ’方向の長さの中央点Ｅ、Ｆまでの距離をＬ１、Ｌ２とする。
【００２４】
図３（２）は、揺動体１０４が揺動し、検知電極１１１と測定対象２０１までの距離が最も大きくなった状態を表している。このとき、揺動体１０４は図３（１）の中立の状態から左方向に角度θ１傾いている。図３（２）の状態においては検知電極１１１の中央点Ｅと測定対象２０１の距離ｘ１ｍａｘは、
ｘ１ｍａｘ＝ｘ０＋Ｌ１・ｓｉｎ（θ１）・・・（４）
で示される。
【００２５】
また、この状態において、検知電極１１２の中央点Ｆと測定対象２０１の最も小さくなった距離ｘ２ｍｉｎは、
ｘ２ｍｉｎ＝ｘ０−Ｌ２・ｓｉｎ（θ１）・・・（５）
で示される。
【００２６】
他方、図３（３）は、揺動体１０４の揺動の状態が変化して検知電極１１１と測定対象２０１の距離が最も小さくなった状態である。このとき、揺動体１０４が図３（１）の中立の状態から右方向に角度θ２傾いたとすると、測定対象２０１と検知電極１１１の中央点Ｅの距離ｘ１ｍｉｎは、
ｘ１ｍｉｎ＝ｘ０−Ｌ１・ｓｉｎ（θ２）・・・（６）
で示される。
【００２７】
この状態において、検知電極１１２の中央点Ｆと測定対象２０１の最も大きくなった距離ｘ２ｍａｘは、
ｘ２ｍａｘ＝ｘ０＋Ｌ２・ｓｉｎ（θ２）・・・（７）
で示される。
【００２８】
本実施形態では、揺動体１０４および検知電極１１１と１１２は、中心軸線Ｃに対して対称な構造をなしているため、Ｌ１＝Ｌ２、θ１＝θ２とすることが可能である。したがって、
ｘ１ｍａｘ＝ｘ２ｍａｘ、ｘ１ｍｉｎ＝ｘ２ｍｉｎ・・・（８）
が成り立つ。
【００２９】
揺動体１０４は正弦波的に揺動することができ、このとき角周波数ωで揺動しているとすると、Δｘ＝Ｌ１・ｓｉｎ（θ１）とおいたときに、電極１１１の中央点Ｅと測定対象表面２０１との任意の時刻ｔでの距離ｘ１（ｔ）は、
ｘ１（ｔ）＝ｘ０＋Δｘ・ｓｉｎ（ω・ｔ）・・・（９）
で示される。
【００３０】
一方、電極１１２の中央点Ｆと測定対象表面２０１との任意の時刻ｔでの距離ｘ２（ｔ）は、
2004301555.tif 000003
で示される。ここで、πは位相遅れをラジアンの単位で示したもので１８０ｏと同等である。
【００３１】
電位センサの電位測定方法について説明する。
ここまでに説明したように、揺動体１０４が正弦波的に揺動運動を行うことで、揺動体１０４上に設置した検知電極１１１と１１２の中央点と揺動体１０４に対向設置した測定対象２０１との距離は、式（９）および（１０）で示したように周期的に変化する。本実施形態では、揺動体１０４および検知電極１１１と１１２は中心軸線Ｃに対して対称な構造をなしているので、測定対象２０１と電極１１１間の距離を測定対象２０１から点Ｅまでの距離ｘ１（ｔ）で代表させ、同様に、測定対象２０１と電極１１２間の距離を測定対象２０１から点Ｆまでの距離ｘ２（ｔ）で代表させられる。
【００３２】
検知電極１１１と測定対象２０１間に形成される静電容量をＣ１（ｔ）、同様に、検知電極１１２と測定対象２０１間に形成される静電容量をＣ２（ｔ）とすると、図１および図２で示された電位センサに設けられた２個の検知電極１１１と１１２からは、式（３）、式（９）、式（１０）より、下式で示すことができる２つの出力信号ｉ１（ｔ）とｉ２（ｔ）を取り出せる。
2004301555.tif 000004
ここで、ｉ１（ｔ）は検知電極１１１と測定対象２０１間に形成される静電容量により生じる電荷が時間変化することで発生する出力信号電流、ｉ２（ｔ）は検知電極１１２と測定対象２０１間に形成される静電容量により生じる電荷が時間変化することで発生する出力信号電流、Ｓは検知電極１１１と１１２の面積、Ｖは測定対象２０１の電位、Ａは比例定数で式（２）で用いられた比例定数Ａと同じものである。
【００３３】
よって、揺動体１０４を角周波数ωで正弦波的に揺動させることで、測定対象２０１と揺動体１０４上の検知電極１１１と１１２間の静電容量Ｃ１、Ｃ２を正弦波的に変化させて、測定対象２０１の表面電位Ｖの情報を含み位相がπ（＝１８０ｏ）異なる信号電流ｉ１（ｔ）、ｉ２（ｔ）を独立に取り出すことができ、表面電位Ｖを検出できる。
【００３４】
前述の電位センサから取り出した信号電流ｉ１（ｔ）、ｉ２（ｔ）の処理方法について説明する。
式（１１）および式（１２）より、周波数ｆ（ω＝２・π・ｆ）で揺動体１０４を揺動させることで、検知電極１１１と１１２より、ｉ１ω（ｔ）とｉ２ω（ｔ）＝ｉ１ω（ｔ＋π／ω）の信号電流を独立に取り出せる。前述の式（１）に示された電荷量Ｑは一般に非常に微小の物理量であり、その時間微分で表される出力信号電流ｉも微小である。したがって、信号電流ｉ１ω（ｔ）とｉ２ω（ｔ）も微小な信号である。しかし、これらの信号は上記関係にあって、信号電流ｉ２ω（ｔ）は、ｉ１ω（ｔ）の位相が１８０ｏ（π）（これは時間的にはπ／ω＝１／（２ｆ）で表わされるように周期の２分の１）シフトしたものと同等である。このような信号を処理するには差動増幅装置と呼ばれる検出回路が好適であり、ｉ１ω（ｔ）とｉ２ω（ｔ）を差動増幅器で処理することで、出力信号の大きさを２倍にし、なおかつ両検知電極１１１と１１２に影響を与える雑音を取り除くことができる。
【００３５】
次に、電位センサ内の揺動体１０４を駆動するための方法について説明する。
図４は、この電位センサ内の揺動体１０４を揺動するための機構を説明するものである。ケース２０２に収められた揺動体１０４および支持基板１００は、装着冶具２０３と２０４を介して圧電素子４０１に取り付けられている。そして、圧電素子４０１上には駆動電源用電極４０２と４０３が形成されており、これらは駆動用電源４０４と接続されている。
【００３６】
揺動体１０４は、図３で示されたような運動をする際は、その構造に対応した共振周波数ｆｃと呼ばれる周波数で揺動（振動）させられる。これは、一般に、揺動体１０４の振動の固有モードと呼ばれる。駆動用電源４０４により、電極４０２と４０３を介してｆｃと等しい周波数の駆動信号を圧電素子４０１に与えることで、圧電素子４０１上のケース２０２に収められた揺動体１０４と支持基板１００に周波数ｆｃの振動を与えられる。このとき、揺動体１０４の固有振動モードは、圧電素子４０１による周波数ｆｃの振動と結合し、共振周波数ｆｃで振動する。
【００３７】
この結果、図４で示される駆動機構を用いて、揺動体１０４をその共振周波数ｆｃで揺動させることが可能となる。
【００３８】
次に、本発明の第１の実施の形態の製造方法について説明する。
図１で示した電位センサの構造は、マイクロマシン技術を用いてシリコン基板を加工することで、大量に一括成型することが可能である。具体的には、ドライエッチング技術等の加工技術を用いて、シリコン基板に、基板を貫通した開口部１０１を容易に形成できる。この際、加工後に残された部分が、支持基板１００、ねじりバネ１０２と１０３および揺動体１０４となる。
【００３９】
また、半導体加工技術において一般的に使用される成膜技術を用いることで、支持基板１００、ねじりバネ１０２と１０３および揺動体１０４の表面に絶縁薄膜を形成し、さらに検知電極１１１と１１２および検知電極配線１１３と１１４も形成し得る。
【００４０】
この結果、前述の各部分１００、１０２、１０３、１０４、１１１、１１２、１１３、１１４の全ての構造は、組立工程を経ることなく、単一の基板の上に形成可能である。さらに、本例の電位センサの構造を複数個形成し得る大きさのシリコン基板を用いて、本センサを一括して大量に製造することが可能となる。
【００４１】
ところで、本実施形態では、揺動体１０４および検知電極１１１と１１２は、中心軸線Ｃに対して対称な構造をなしていたが、これらの一方または両方が非対称であっても上記出力信号の処理法に若干の設計的な変更を加えて適当に出力信号の処理を行なえば、本発明の実施形態となりうる。また、検知電極を１つのみ設けて１つの出力信号の検出を適当に行なう形態も、感度の点で多少劣ることになるが、本発明の実施形態となりうる。この場合、検知電極の誘起電荷による充・放電電流を電圧などとして信号検出回路で測定するのであるが、その方法としては、周知の抵抗による電圧降下を利用して測定するパッシブな方法、或いは図２中の電位センサ用ケース２０２の電位を調整して、検知電極に生じる充・放電電流が零となるようにする電位調整素子回路を用いて測定対象の電位を測定するアクティブな零位法などがある。このアクティブな零位法を用いる場合は、ケース２０２はアースに接地されず、適切な電位調整回路に接続されている。
【００４２】
更に、揺動体の面は平面状でなくてもよく、例えば、検知電極を配置する面を凸球面状、屋根形状、凸円筒面形状などにして、ここに検知電極を設けてもよい。こうすれば、検知電極が測定対象面に近づいた状態と遠ざかった状態との間で、測定対象から電気力線を受ける量の差をより大きくすることもできて、感度などの性能を向上させられる。
【００４３】
（他の実施の形態）
本発明の揺動体構造を有する電位センサでは、揺動体を駆動する方法は上記のの方法に限られるものではない。他の形態を、図５および図６に基づいて説明する。
【００４４】
図５は、第１の実施の形態と異なる揺動体駆動方式を採用する電位センサの分解図を、図６はねじり中心軸線Ｃに垂直な面での図５の断面図を示している。この実施形態では、検知電極１１１と１１２が形成されていない方の揺動体１０４の面に、硬磁性膜５０１が、ねじりバネ１０２と１０３の中心軸線Ｃを挟む揺動体１０４の両端に異なる磁極を形成するように成膜されている。また、揺動体１０４を支持する支持基板１００に対して、測定対象面とは反対の側に、ほぼ平行に平板状の基板５００が配置されている。基板１００に設けられた開口部１０１とほぼ同じ形状の開口部５０２が基板５００にも設けられており、その周囲に平面状に巻き回されたコイル５０３が形成されている。そして、支持基板１００はスペーサー５０４を介して基板５００と接合されている。
【００４５】
この構造において、平面コイル５０３に適切な電流を流すことで、開口部５０２内に磁場が発生する。この磁場と、揺動体１０４に形成された硬磁性膜５０１との間で生じる吸引力と反発力を利用して、揺動体１０４の駆動方向への偶力を発生させられる。
【００４６】
このとき、平面コイル５０３に流す電流の向きを周期的に変更することで、コイル５０３によって発生する磁場の方向が逆転し、揺動体１０４に生じる偶力の方向が変わり、その結果として、揺動体１０４を揺動運動させられる。この際に、揺動体１０４の持つ共振周波数ｆｃと同一の周波数で平面コイル５０３に流す電流の方向を変えれば、揺動体１０４を周波数ｆｃで共振運動させることが可能となる。その他の点は第１の実施の形態と同じである。
【００４７】
本実施形態においても、その作製方法については、第１の実施の形態と同様に、揺動体１０４を含む構造体をマイクロマシン技術を用いて１枚のシリコン基板から形成できる。また、１枚のシリコン基板上に複数個の素子を一括形成することもできる。
【００４８】
さらに、コイル５０３を含む基板５００も同様に、１枚のシリコン基板上に複数個の素子を一括形成することが可能である。勿論、本発明による電位センサを作製する方法は、こうしたマイクロマシン半導体加工技術に限られない。
【００４９】
本発明の電位測定装置は、複数の機器（たとえば、ホストコンピューター、インターフェース機器、リーダ、プリンタなど）から構成されるシステムに適用しても、１つの機器（例えば、複写機、ファクシミリ装置）からなる装置に適用してもよい。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、揺動体の面に配置された検知電極とこれと対向配置される電位測定対象面との距離を揺動装置により変化させて検知電極と測定対象面との間の静電容量を変化させることで、検出電極に現れる出力信号を検出する構成であるので、高い設計柔軟性を有し、装置を小型化しても電位測定対象面の電位を比較的高い測定精度、感度、信頼性で測定できる。すなわち、ねじりバネの剛性、ねじりバネによって軸支された揺動体の形状、表面積、長さ、断面積等を適当に設定することで、その揺動周波数、検知電極の面積、配置形態などを柔軟に決定でき、場合に応じた感度、精度、信頼性を容易に実現できる。更には、共振周波数を利用して高い周波数で揺動体を駆動できるので、高感度のものを容易に実現できる。また、揺動体に信号検出手段の電極、回路、駆動装置の一部を一体成型することもできて、小型、低コストの電位測定装置を容易に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態で、電位センサと測定対象との位置関係を示す断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態で、揺動体が揺動している際の各部品と測定対象の位置関係を説明する図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態で、センサの駆動機構を説明する断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態を示す分解図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１００・・・・・・支持基板
１０１・・・・・・支持基板開口部
１０２、１０３・・ねじりバネ
１０４・・・・・・揺動体
１１１、１１２・・検知電極
１１３、１１４・・検知電極配線
１１５、１１６・・信号取出し用電極
１１７、１１８・・配線
１２０・・・・・・差動増幅器
１２１・・・・・・反転入力接点
１２２・・・・・・非反転入力接点
２０１・・・・・・電位測定対象
２０２・・・・・・電位センサ用ケース
２０３、２０４・・装着冶具
４０１・・・・・・圧電素子
４０２、４０３・・圧電素子駆動用電極
４０４・・・・・・圧電素子駆動用電源
５００・・・・・・第２の基板
５０１・・・・・・硬磁性膜
５０２・・・・・・第２の基板の開口部
５０３・・・・・・平面コイル
５０４・・・・・・スペーサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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