(57)【要約】【課題】ワークに対して高さ方向における整合位置および露光位置が異なることがなく、また、整合作業を行なう場合に作業者が介在することがなく、さらに、透光板の周囲を囲む金属フレームを必要とせず、マスクが設置される上側透光板の操作が容易となる露光装置およびその方法を提供すること。【解決手段】搬入搬出位置Ｐ１および前記露光位置Ｐ２に亘って上下２段に配置された第１搬送経路Ｌ１および第２搬送経路Ｌ２と、搬入搬出位置に配置された前記第１テーブル体１０と、露光位置に配置された前記第２テーブル体２０と、前記両テーブル体のそれぞれを異なる前記搬送経路に昇降移動させる昇降機構６と、搬入搬出位置または露光位置にそれぞれ搬送する搬送機構５と、を備え、前記両テーブル体は、ワークを載置するためのステージ板１２、２２と、前記マスクをあらかじめ設置するための上側透光板１１，２１とをそれぞれ有する構成とした。【選択図】　　　　図１
2004101951.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの搬入および搬出を行なうと共に整合作業を行なう搬入搬出位置と、ワークに紫外線を含む光を照射して露光作業を行なう露光位置とに亘ってそれぞれ交互に搬送される第１テーブル体および第２テーブル体を介してワークを露光する露光装置であって、
前記搬入搬出位置および前記露光位置に亘って上下２段に配置された第１搬送経路および第２搬送経路と、この第２搬送経路上で搬入搬出位置に配置された前記第１テーブル体と、前記第１搬送経路上で露光位置に配置された前記第２テーブル体と、前記両テーブル体のそれぞれを異なる前記搬送経路に昇降移動させる昇降機構と、この昇降機構により昇降移動させた前記両テーブル体を前記搬入搬出位置または露光位置にそれぞれ搬送する搬送機構と、この搬送機構により前記搬出搬入位置に搬送された前記両テーブル体の一方にワークを搬入してマスクとの整合作業を行なう整合機構、ならびに、前記搬送機構により前記露光位置に搬送された前記両テーブル体の他方に紫外線を含む光を照射する光照射機構と、を備え、
前記両テーブル体は、ワークを載置するためのステージ板と、前記マスクをあらかじめ設置するための上側透光板とをそれぞれ有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
ワークの搬入および搬出を行なうと共に整合作業を行なう搬入搬出位置と、ワークに紫外線を含む光を照射して露光作業を行なう露光位置とに亘ってそれぞれ交互に搬送される第１テーブル体および第２テーブル体を介してワークを露光する露光装置であって、
前記搬入搬出位置および前記露光位置に亘って上下２段に配置された第１搬送経路および第２搬送経路と、この第２搬送経路上で搬入搬出位置に配置された前記第１テーブル体と、前記第１搬送経路上で露光位置に配置された前記第２テーブル体と、前記両テーブル体にそれぞれに昇降ガイドを介して係合して配置され、前記両テーブル体のそれぞれを異なる前記搬送経路に昇降移動させる昇降機構と、この昇降機構により昇降移動させた前記両テーブル体を前記昇降ガイドに係合した駆動手段によりそれぞれ搬送する搬送機構と、この搬送機構により前記搬出搬入位置に搬送された前記両テーブル体の一方にワークを搬入してマスクとの整合作業を行なう整合機構、ならびに、前記搬送機構により前記露光位置に搬送された前記両テーブル体の他方に紫外線を含む光を照射する光照射機構と、を備え、
前記両テーブル体は、ワークを載置するためのステージ板と、前記マスクをあらかじめ設置するための上側透光板とをそれぞれ有することを特徴とする露光装置。
【請求項３】
前記両テーブル体の上側透光板は、前記マスクを設置するための透光板と、この透光板の側辺で前記露光位置から前記搬入搬出位置に向かう搬送方向に対して前方となる位置に設けたフレーム体と、このフレーム体から突出して設けた位置決め基準突部とを有し、
前記両テーブル体の前記上側透光板を載置する位置に、前記フレーム体に対向する前記上側透光板の側辺を着脱自在に係合するコ字状開口を備える透光板係合部を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記搬入搬出位置には、前記上側透光板の位置決め基準突部に対して当接離間自在に設けた当接基準部を備え、
前記第２搬送経路に沿った位置には、前記上側透光板の透光板係合部を押動して前記位置決め基準突部を前記当接基準部に押圧させるための押圧手段を備えることを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第１テーブル体および第２テーブル体のそれぞれは、前記上側透光板と前記ステージ板とを対面させて離間した状態で支持する躯体枠と、この躯体枠で支持する上側透光板およびステージ板のマスクにワークを真空吸着するための真空吸着機構とを備えることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記躯体枠は、そのステージ板を支持する支持部分に、あらかじめ設定された前記ステージ板の支持基準位置に誘導するための誘導機構を備えることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記躯体枠は、前記上側透光板を搬送方向に沿ってスライド移動させるための押動板を有するスライド手段を備え、
前記第２搬送経路に沿った位置には、前記押動板に当接離間する当接押動部を備えると共に、前記スライド手段を介してスライド移動した前記上側透光板を搬入搬出位置に搬送された前記ステージ板に対面する位置まで移動させるための上側透光板移動手段を備えることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記躯体枠は、前記両搬送経路に沿って配置される両側辺の一方に設けた搬送ローラと、この搬送ローラと対向する前記両側辺の他方に設けられ前記昇降ガイドに係合される係合部とを備え、
前記両搬送経路には、前記搬送ローラが移動するための移動レールを備え、前記第１搬送径路の移動レールは、前記搬送ローラが前記昇降機構により昇降移動できる切欠部と、この切欠部に対して前記搬送ローラの補助搬送経路を出没自在に保持する補助レール機構と、を備えることを特徴とする請求項５から請求項７までのいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記搬送機構の駆動手段は、前記搬入搬出位置から前記露光位置を囲む周囲に配置され、前記両テーブル体の昇降ガイドを支持する駆動ベルトと、この駆動ベルトをガイドするベルトガイドとを備えることを特徴とする請求項２から請求項８までのいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記昇降機構は、前記搬出搬入位置から前記露光位置に亘って配置され前記両テーブル体の搬送方向に対して左右となるいずれか一方側と他方側でその第１テーブル体と第２テーブル体にそれぞれ係合される第１昇降棹および第２昇降棹と、この第１昇降棹および第２昇降棹に沿ってそれぞれ配置される第１回転中心棹および第２回転中心棹と、この第１回転中心棹および前記第１昇降棹を長手方向に直交する方向で支持する第１リンク体および前記第２回転中心棹および前記第２昇降棹とを長手方向に直交する方向で支持する第２リンク体と、前記両リンク体について前記両回転中心棹を中心として回転方向に移動させるリンク駆動部とを備えることを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１１】
ワークを搬入すると共に、露光済のワークを搬出する搬入搬出位置に配置され上側透光板とステージ板を有する第１テーブル体と、露光位置に整合作業済のワークおよびマスクを真空密着した状態で配置され上側透光板とステージ板を有する第２テーブル体とを、搬入搬出位置から露光位置に亘って上下に設けた第１搬送経路および第２搬送経路に昇降機構により前記両テーブル体のそれぞれを昇降移動させると共に、その両搬送経路に沿って搬送機構を介して搬送し、前記搬入搬出位置に搬送された前記両テーブル体の一方に対して整合機構により整合作業を行い、かつ、露光位置に搬送された前記両テーブル体の他方に対して紫外線を含む光を照射して露光作業を行なう露光方法であって、
搬入搬出位置の第１テーブル体のステージ板上にワークを搬入するステップと、搬入されたワークに対して前記露光位置の下方側で待機していたマスクを保持する第１テーブル体の上側透光板をスライドさせ対面させるステップと、露光位置で露光が終了したワークとマスクとの真空密着を解除するステップと、前記搬入搬出位置の対面しているワークとマスクとを真空密着して整合作業を行なうステップと、整合作業が終了したワークおよびマスクを保持する前記第１テーブル体、および、露光位置のマスクとワークとが離間した状態で保持する前記第２テーブル体とを前記昇降機構を介して第１搬送経路および第２搬送経路にそれぞれ昇降移動させるステップと、前記搬入搬出位置で上昇移動した第１テーブル体を露光位置に搬送すると共に、露光位置で降下移動した第２テーブル体のワークを支持するステージ板を、マスクを支持する上側透光板と分離して搬入搬出位置に搬送するステップとを含むことを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線板など枚葉のワークを露光する際に使用される露光装置に係り、特に、搬入搬出位置のワークと露光位置のワークとを交互に整合作業および露光作業を行なうことができる露光装置およびその方法に関するものである。
【従来の技術】
【０００２】
従来、プリント配線基板、液晶パネル、液晶用のカラーフィルタなどワークに対して電子回路等の図形パターンを露光形成するために、所定波長の紫外線をワークに照射して露光処理する露光装置は、様々なものが提案されており、ワークを作業者が搬入、搬出する所謂半自動露光装置と、搬入から搬出まで装置が自動的に行う完全自動露光装置がある。
【０００３】
例えば、一例として図１４に示すようなものがある。図１４は従来の露光装置の全体を模式的に示す模式図である。図１４に示すように、半自動露光装置としての露光装置１００は、搬入搬出位置Ｈ１と、露光位置下方Ｒ１とにワークを支持する第１テーブル１０１および第２テーブル１０２とを搬送する搬送機構１０３と、この搬送機構１０３により搬入搬出位置Ｈ１から露光位置下方Ｒ１に搬送された両テーブル１０１，１０２のいずれか一方のワークＷおよびマスクＭを載置する載置板１０１ａ（１０２ａ）を露光位置Ｒ２に上昇移動させ、かつ、露光位置Ｒ２にあるワークＷおよびマスクＭを載置する載置板１０１ａ（１０２ａ）を露光位置下方Ｒ１に降下移動させてそれぞれのテーブル１０１（１０２）のいずれか一方に載置するための昇降機構１０４と、この昇降機構１０４により上昇移動させたワークＷおよびマスクを載置する載置板１０１ａ（１０２ａ）のいずれか一方と真空密着して保持する上側フレーム１０５と、この上側フレーム１０５に紫外線を含む光を、光学系１０６を介して照射する光照射機構１０７と、搬入搬出位置Ｈ１に設置された撮像手段１０８および整合テーブル１０９ならびにマスク保持機構１１０と、を備えている。
【０００４】
そのため、半自動露光装置（露光装置）１００の搬入搬出位置Ｈ１に配置されている第１テーブル１０１の載置板１０１ａにワークＷを載置すると共に、マスクＭをそのワークＷに合せて設置する。つぎに、撮像手段１０８によりマスクＭとワークＷの整合マーク（図示せず）を撮像する。そして、ワークＷを整合移動する場合は、マスク保持機構１１０によりマスクＭを吸着保持すると共に、マスクＭの少なくとも一部をワークＷから所定距離だけ離間させ、整合テーブル１０９により載置板１０１ａを整合移動させる。さらに、マスク保持機構１１０を降下してマスクＭとワークＷとを重ねて配置し、撮像手段１０８により撮像して両マーク（図示せず）が整合許容範囲であれば、マスクＭとワークＷの整合作業が終了して、その位置でマスクを粘着テープなどの固定手段で載置板１０１ａ上に固定する。
【０００５】
つぎに、搬送機構１０３を作動させ第１テーブル１０１を露光位置下方Ｒ１に搬送すると共に、露光位置下方Ｒ１の第２テーブル１０２を搬入搬出位置Ｈ１に搬送する。さらに、露光位置下方Ｒ１に搬送された第１テーブル１０１の載置板１０１ａを昇降機構１０４により上昇移動させ、露光位置Ｒ２に設置されている上側フレーム１０５に真空密着させることで合体させる。そして、上側フレーム１０５と載置板１０１ａにより挟持されているマスクＭおよびワークＷに対して光照射機構１０７からの照射光を、光学系１０６を介して照射させることで、マスクＭのパターンをワークＷに露光形成する露光作業を行なっている。
【０００６】
露光作業が終了したワークＷおよびマスクＭは、上側フレーム１０５と載置板１０１ａとの真空密着が解除されることで、その上側フレーム１０５から分離して、載置板１０１ａに載置された状態で昇降機構１０４に受け取られ、その昇降機構の降下に伴って露光位置下方Ｒ２に待機している第１テーブル１０１に降下移動して支持される。
一方、露光作業が行なわれている間に、第２テーブル１０２では、ワークＷとマスクＭとの整合作用が第１テーブル１０１で行なわれた状態と同様に行なわれている。
【０００７】
そのため、搬入搬出位置Ｈ１にある両テーブル１０１，１０２の一方では、整合作業が行なわれ、露光位置下方Ｒ１にある両テーブル１０１，１０２の他方では、露光位置Ｒ２において露光作業が行なわれ、交互に整合作業、露光作業が繰り返し行なうことができるものである。なお、第１テーブル１０１と第２テーブル１０２では、露光位置下方Ｒ２の位置で高さが異なる状態となるが、昇降機構１０４の昇降移動の距離を変えることで上側フレーム１０５に当接離間できるように対応している。
【０００８】
また、他の構成における露光装置では、前記構成の半自動露光装置１００の第１テーブル１０１と第２テーブル１０２が搬送される露光位置下方Ｒ１において、紫外線を含む光を照射することで、露光作業を行なっているものも知られている。この露光装置では、ワークを載置する両テーブルが、マスクを保持する透光板を開閉することでワークをマスクに対面する位置に設置する構成としている。なお、この露光装置では、互い違いに露光位置下方に搬送される両テーブルの一方に対して、光照射する時間を変えることで、高さ方向の距離の異なるワークに対して適正な露光状態を維持するように対応している。
【０００９】
【特許文献１】
特開平８−４３９５０号公報（段落番号００４３〜００８２）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の露光装置では、さらに改良する余地があり、以下で示す問題を解決する必要があった。
（１）従来の露光装置は、ワークを交互に搬送する第１テーブルおよび第２テーブルからワークを載置する載置板を、昇降機構を介してそれら両テーブルから分離して上昇させて上側フレームに合体させることで露光位置にワークを設定するため、ワークとマスクとが整合状態を保ったまま露光位置に真空密着して設置されるまでに、その整合状態を維持することが困難であった。また、搬入搬出位置と露光位置とに交互に両テーブルを搬送することと、両テーブルの搬送経路を切替えて昇降移動させる動作を両立する構成のものは存在しなかった。さらに、整合作業を行なう場合に、両テーブル位置の高さがことなるため、整合テーブルにより同一高さで整合作業を行なうことに比較して余計な動作制御が必要になってしまった。
【００１１】
（２）従来の露光装置は、マスク側となる透光板に対して周囲を囲む金属フレームを設置する構成であるため、透光板の初期あるいは段取替え時におけるその透光板の設定作業を必要としていた。
【００１２】
（３）従来の露光装置は、マスクとワークとの整合作業を行なう場合に、マスクを保持するマスク保持機構を介してワークを整合移動させる構成としているが、構造が複雑で、作業者が粘着テープなどの固定手段を使用するなど作業者が介在することになってしまった。
【００１３】
（４）従来の露光装置は、マスクとワークとを整合させる状態に設置する場合に、マスクおよびワークの両者を作業者が設置しなければならず、搬入搬出作業が面倒であった。また、透光板が開閉することでワークを設置するタイプの露光装置では、透光板の開口を行なう操作が作業者に大きな労働負担を与えると共に、透光板の開口に伴う動作により撮像手段が衝突しない位置まで退避する必要が生じた。
【００１４】
（５）従来の露光装置は、搬入搬出位置および露光位置に亘って上下２段に搬送経路を確保して、両テーブルを交互に搬送する構成と、搬入搬出位置および露光位置において整合作業および露光作業を同じ高さで行なうために、搬送機構からテーブルを分離する構成をとるため、大きな重量を上下に移動制御する必要が生じてその移動制御に対応する大きな動力が必要になった。
【００１５】
本発明は、前記の問題点に鑑み創案されたものであり、交互に搬送されるワークに対して高さ方向における整合位置および露光位置が異なることがなく、また、ワークの整合作業を行なう場合に作業者が介在することがなく、さらに、透光板の周囲を囲む金属フレームを必要とせず、マスクが設置される上側透光板の操作が容易となる露光装置およびその方法を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る露光装置は、前記の問題を解決するため、つぎのように構成した。すなわち、ワークの搬入および搬出を行なうと共に整合作業を行なう搬入搬出位置と、ワークに紫外線を含む光を照射して露光作業を行なう露光位置とに亘ってそれぞれ交互に搬送される第１テーブル体および第２テーブル体を介してワークを露光する露光装置であって、前記搬入搬出位置および前記露光位置に亘って上下２段に配置された第１搬送経路および第２搬送経路と、この第２搬送経路上で搬入搬出位置に配置された前記第１テーブル体と、前記第１搬送経路上で露光位置に配置された前記第２テーブル体と、前記両テーブル体のそれぞれを異なる前記搬送経路に昇降移動させる昇降機構と、この昇降機構により昇降移動させた前記両テーブル体を前記搬入搬出位置または露光位置にそれぞれ搬送する搬送機構と、この搬送機構により前記搬出搬入位置に搬送された前記両テーブル体の一方にワークを搬入してマスクとの整合作業を行なう整合機構、ならびに、前記搬送機構により前記露光位置に搬送された前記両テーブル体の他方に紫外線を含む光を照射する光照射機構と、を備え、前記両テーブル体は、ワークを載置するためのステージ板と、前記マスクをあらかじめ設置するための上側透光板とをそれぞれ有する構成とした。
【００１７】
このように構成されることにより、露光装置は、露光作業が終了した両テーブル体の一方と、整合作業が終了した両テーブル体の他方とが、昇降機構を介して搬入搬出位置から露光位置に亘って上下２段に配置された第１搬送経路から第２搬送経路に、あるいは、第２搬送経路から第１搬送経路に昇降移動することで経路を切替えられる。そして、マスクおよびワークを保持する第１テーブル体および第２テーブル体が交互に搬入搬出位置と露光位置とに搬送機構を介して搬送される。搬入搬出位置および露光位置は、第１搬送径路および第２搬送径路のいずれかにあれば、どちらが上でどちらが下となってもよい。また、両テーブル体は、上側透光板にマスクを設置しているため、マスクとワークとの整合マークを整合機構により直接撮像することができる。
【００１８】
また、露光装置は、ワークの搬入および搬出を行なうと共に整合作業を行なう搬入搬出位置と、ワークに紫外線を含む光を照射して露光作業を行なう露光位置とに亘ってそれぞれ交互に搬送される第１テーブル体および第２テーブル体を介してワークを露光する露光装置であって、前記搬入搬出位置および前記露光位置に亘って上下２段に配置された第１搬送経路および第２搬送経路と、この第２搬送経路上で搬入搬出位置に配置された前記第１テーブル体と、前記第１搬送経路上で露光位置に配置された前記第２テーブル体と、前記両テーブル体にそれぞれに昇降ガイドを介して係合して配置され、前記両テーブル体のそれぞれを異なる前記搬送経路に昇降移動させる昇降機構と、この昇降機構により昇降移動させた前記両テーブル体を前記昇降ガイドに係合した駆動手段によりそれぞれ搬送する搬送機構と、この搬送機構により前記搬出搬入位置に搬送された前記両テーブル体の一方にワークを搬入してマスクとの整合作業を行なう整合機構、ならびに、前記搬送機構により前記露光位置に搬送された前記両テーブル体の他方に紫外線を含む光を照射する光照射機構と、を備え、前記両テーブル体は、ワークを載置するためのステージ板と、前記マスクをあらかじめ設置するための上側透光板とをそれぞれ有する構成とした。
【００１９】
このように構成されることにより、露光装置は、搬入搬出位置においてワークが第１ステージ体のステージ板に載置され上側透光板に設置されたマスクと整合機構を介して整合作業が行なわれる。このとき露光位置にすでに整合作業が終了して搬送された第２テーブル体には、光照射機構を介して光照射され露光作業が行なわれる。そして、第１テーブル体側の整合作業が終了し、かつ、第２テーブル体の露光作業が終了すると、昇降機構により第１テーブル体は昇降ガイドを介して第１搬送径路に上昇して、また、第２テーブル体は昇降ガイドを介して第２搬送径路に降下する。さらに、搬送径路を切り替えられた両テーブル体は、搬送機構の駆動手段を介して両昇降ガイドが移動することでそれぞれの搬送径路を搬送され第１テーブル体が露光位置に搬送され、また、第２テーブル体が搬入搬出位置に搬送される。
【００２０】
さらに、前記露光装置において、前記両テーブル体の上側透光板は、前記マスクを設置するための透光板と、この透光板の側辺で前記露光位置から前記搬入搬出位置に向かう搬送方向に対して前方となる位置に設けたフレーム体と、このフレーム体から突出して設けた位置決め基準突部とを有し、前記両テーブル体の前記上側透光板を載置する位置に、前記フレーム体に対向する前記上側透光板の側辺を着脱自在に係合するコ字状開口を備える透光板係合部を備える構成とした。
【００２１】
このように構成されることにより、露光装置は、位置決め基準突部を作業者が把持して引き抜くことで、第１テーブル体あるいは第２テーブル体の透光板係合部から透光板の側辺を離脱させることができる。また、同様に作業者が位置決め基準突部を把持して透光板の側辺を透光板係合部のコ字状開口から係合させることができる。
【００２２】
また、前記露光装置において、前記搬入搬出位置には、前記上側透光板の位置決め基準突部に対して当接離間自在に設けた当接基準部を備え、前記第２搬送経路に沿った位置には、前記上側透光板の透光板係合部を押動して前記位置決め基準突部を前記当接基準部に押圧させるための押圧手段を備える構成とした。
【００２３】
このように構成されることにより、露光装置は、搬入搬出位置の当接基準部に対して、押圧手段を介して上側透光板の透光板係合部を押動することで、その上側透光板の位置決め基準突部を押圧する。
【００２４】
さらに、前記露光装置において、第１テーブル体および第２テーブル体のそれぞれは、前記上側透光板と前記ステージ板とを対面させて離間した状態で支持する躯体枠と、この躯体枠で支持する上側透光板およびステージ板のマスクにワークを真空吸着するための真空吸着機構とを備える構成とした。
【００２５】
このように構成されることにより、露光装置は、ステージ板を整合移動させる整合テーブルが支持して躯体枠の支持部分から持ち上げた状態で整合作業を行い、ワークの整合移動が完了すると、マスクを保持する上側透光板に真空密着して合体する。また、露光作業が完了して上側透光板とステージ板との真空密着が解除されると、ステージ板はワークを載置した状態で、上側透光板から分離して下方に落下した状態で躯体枠に支持される。
【００２６】
また、このように構成されることにより、露光装置は、搬入搬出位置では、整合機構によりワークをマスクに当接するように移動させ真空吸着機構によりマスクとワークが真空密着した状態で昇降機構により上昇させ搬送機構により、そのテーブル体を露光位置に搬送する。また、露光位置では、真空吸着機構が解除されることにより、上側透光板と露光済のワークを載置したステージ板とが躯体枠に離間した状態で支持され、昇降機構により降下させ搬送機構により搬入搬出位置に搬送される。
【００２７】
そして、前記露光装置において、前記躯体枠は、そのステージ板を支持する支持部分に、あらかじめ設定された前記ステージ板の支持基準位置に誘導するための誘導機構を備える構成とした。
【００２８】
このように構成されることにより、露光装置は、露光位置で、真空吸着機構が解除されることにより、上側透光板と露光済のワークを載置したステージ板とが躯体枠に離間した状態で支持されるとき、躯体枠の支持部分に設けた誘導機構が上側透光板を、常に支持基準位置に誘導して支持する。なお、この誘導機構は、例えば、上側透光板に設けた凹部に嵌合するように誘導ピンとしてもよい。
【００２９】
また、前記露光装置において、前記躯体枠は、前記上側透光板を搬送方向に沿ってスライド移動させるための押動板を有するスライド手段を備え、前記第２搬送経路に沿った位置には、前記押動板に当接離間する当接押動部を備えると共に、前記スライド手段を介してスライド移動した前記上側透光板を搬入搬出位置に搬送された前記ステージ板に対面する位置まで移動させるための上側透光板移動手段を備える構成とした。
【００３０】
このように構成されることにより、露光装置は、露光位置において上側透光板とステージ板とが離間された状態で躯体枠に支持され、搬送機構により搬入搬出位置に搬送される第２テーブル体（第１テーブル体）では、第２搬送径路に沿って移動すると上側透光板の押動板が、当接押動部に当接することで、スライド手段を介して躯体枠からスライドする。そして、躯体枠を支持しているステージ板が搬入搬出位置に露光済のワークを取り出しできる状態で搬送される。なお、搬入搬出位置で露光済のワークが取り出され、新たなワークがステージ板に載置されると、上側透光板移動手段により上側透光板を押動してスライド手段を介してステージ板の対面する位置まで移動させる。そして、ここでは、上側透光板移動手段が整合作業を行なう際に、その上側透光板を移動方向に押し続ける押圧手段の役割を兼ねることで、上側透光板を整合作業の際に一定位置に固定させる。
【００３１】
また、前記露光装置において、前記躯体枠は、前記両搬送経路に沿って配置される両側辺の一方に設けた搬送ローラと、この搬送ローラと対向する前記両側辺の他方に設けられ前記昇降ガイドに係合される係合部とを備え、前記両搬送経路には、前記搬送ローラが移動するための移動レールを備え、前記第１搬送径路の移動レールは、前記搬送ローラが前記昇降機構により昇降移動できる切欠部と、この切欠部に対して前記搬送ローラの補助搬送経路を出没自在に保持する補助レール機構と、を備える構成とした。
【００３２】
このように構成されることにより、露光装置では、昇降ガイドが駆動手段を介して搬送機構により移動させられると、両テーブル体の係合部がその昇降ガイドにより、また、搬送ローラは移動レールに沿って、その両テーブル体のそれぞれが露光位置あるいは搬入搬出位置に搬送される。そして、第１搬送径路を移動する両テーブル体の一方は、移動レールの切欠部に突出して径路を確保する補助レール機構を介して搬送ローラが移動する。また、昇降機構を介して昇降移動する両テーブル体は、昇降ガイドに沿って係合部が移動し、かつ、搬送ローラが移動レールの切欠部を通過することで、上下に配置された搬送径路を切替えることができる。
【００３３】
また、前記露光装置において、前記搬送機構の駆動手段は、前記搬入搬出位置から前記露光位置を囲む周囲に配置され、前記両テーブル体の昇降ガイドを支持する駆動ベルトと、この駆動ベルトをガイドするベルトガイドとを備える構成とした。
【００３４】
このように構成されることにより、露光装置では、両搬送径路の搬入搬出位置および露光位置に配置されている両テーブル体について、駆動ベルトを駆動させることで昇降ガイドを介して同期して搬送することができる。
【００３５】
さらに、前記露光装置において、前記昇降機構は、前記搬出搬入位置から前記露光位置に亘って配置され前記両テーブル体の搬送方向に対して左右となるいずれか一方側と他方側でその第１テーブル体と第２テーブル体にそれぞれ係合される第１昇降棹および第２昇降棹と、この第１昇降棹および第２昇降棹に沿ってそれぞれ配置される第１回転中心棹および第２回転中心棹と、この第１回転中心棹および前記第１昇降棹を長手方向に直交する方向で支持する第１リンク体および前記第２回転中心棹および前記第２昇降棹とを長手方向に直交する方向で支持する第２リンク体と、前記両リンク体について前記両回転中心棹を中心として回転方向に移動させるリンク駆動部とを備える構成とした。
【００３６】
このように構成されることにより、露光装置では、リンク駆動部を作動させると、第１リンク体および第２リンク体が第１回転中心棹および第２回転中心棹を中心に所定角度回転することで、第１昇降棹および第２昇降棹の一方を上昇移動させ、また、他方を下降移動させる。そのため、両テーブル体の一方が昇降ガイドを介して上昇移動して、また、他方が昇降ガイドを介して下降移動する。
【００３７】
また、露光方法として、ワークを搬入すると共に、露光済のワークを搬出する搬入搬出位置に配置され上側透光板とステージ板を有する第１テーブル体と、露光位置に整合作業済のワークおよびマスクを真空密着した状態で配置され上側透光板とステージ板を有する第２テーブル体とを、搬入搬出位置から露光位置に亘って上下に設けた第１搬送経路および第２搬送経路に昇降機構により前記両テーブル体のそれぞれを昇降移動させると共に、その両搬送経路に沿って搬送機構を介して搬送し、前記搬入搬出位置に搬送された前記両テーブル体の一方に対して整合機構により整合作業を行い、かつ、露光位置に搬送された前記両テーブル体の他方に対して紫外線を含む光を照射して露光作業を行なう露光方法であって、以下のようにした。
【００３８】
すなわち、搬入搬出位置の第１テーブル体のステージ板上にワークを搬入するステップと、搬入されたワークに対して前記露光位置の下方側で待機していたマスクを保持する第１テーブル体の上側透光板をスライドさせ対面させるステップと、露光位置で露光が終了したワークとマスクとの真空密着を解除するステップと、前記搬入搬出位置の対面しているワークとマスクとを真空密着して整合作業を行なうステップと、整合作業が終了したワークおよびマスクを保持する前記第１テーブル体、および、露光位置のマスクとワークとが離間した状態で保持する前記第２テーブル体とを前記昇降機構を介して第１搬送経路および第２搬送経路にそれぞれ昇降移動させるステップと、前記搬入搬出位置で上昇移動した第１テーブル体を露光位置に搬送すると共に、露光位置で降下移動した第２テーブル体のワークを支持するステージ板を、マスクを支持する上側透光板と分離して搬入搬出位置に搬送するステップとを含むこととした。
【００３９】
このようにすることで、露光方法では、搬入搬出位置では、両テーブル体の一方で作業者が、露光済ワークあるいは新たなワークを、上側透光板を操作することなく、ステージ板から取り除くあるいは載置すると、整合作業が行なわれる。そして、このときすでに整合作業が終了して露光位置に搬送された両テーブル体の他方では露光作業が行なわれる。さらに、整合作業および露光作業が終了すると、昇降機構を介して両テーブル体が昇降移動することで、両搬送径路が切替えられ、搬送機構を介して両テーブル体の一方が露光位置に搬送されると共に、両テーブル体の他方が搬入搬出位置に搬送される。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、ここでは露光装置は、その一例として、基板の両面を同時に露光処理する装置として説明する。図１は露光装置の全体を模式的に示す分解斜視図、図２は露光装置の第１テーブル体の構成を示す斜視図である。
【００４１】
図１、図２および図６に示すように、露光装置１は、筐体２の手前となる位置に作業者がワークＷの搬入および搬出を行なう搬入搬出位置Ｐ１を設け、その搬入搬出位置からその筐体２の奥側にそのワークＷの露光位置Ｐ２を設けて構成されている。
【００４２】
そして、この露光装置１は、搬出搬入位置Ｐ１とワークの露光位置Ｐ２とに亘って上下２段に配置した第１搬送経路Ｌ１および第２搬送経路Ｌ２と、この両搬送経路Ｌ１，Ｌ２（図６参照）に沿って搬送される第１テーブル体１０と第２テーブル体２０と、両テーブル体１０，２０を搬送経路Ｌ１，Ｌ２に沿って移動させる搬送機構５と、搬入搬出位置Ｐ１および露光位置Ｐ２にある両テーブル体１０，２０を昇降移動させ搬送経路を切替える昇降機構６と、両テーブル体１０，２０の一方が露光位置から搬入搬出位置に移動する際に、その第１テーブル体１０（または第２テーブル体２０）の上側透光板１１（２１）およびステージ板１２（２２）をスライドさせて開閉するための、スライド手段９Ａ、スライド開始手段９Ｂおよび上側透光板移動手段９Ｃを有する上側透光板スライド機構９と、搬出搬入位置Ｐ１に設けた整合機構３としての撮像手段３Ａおよび整合テーブル４と、露光位置Ｐ２に紫外線を含む光を照射する光照射機構８とを備えている。
【００４３】
はじめに、第１テーブル体１０および第２テーブル体２０の構成について説明する。なお、第１テーブル体１０および第２テーブル体２０は、搬送方向に対して左右が反対になるが同じ構成であるため、第１テーブル体１０の構成を説明することで第２テーブル体２０についての構成の説明を省略する。
【００４４】
図１および図２に示すように、第１テーブル体１０は、ワークＷを整合移動させる整合テーブル４がステージ板１２を支持することができる開口を備える躯体枠１６と、この躯体枠１６に対面して離間した状態で支持されている上側透光板１１およびステージ板１２と、上側透光板１１を躯体枠１６にスライド自在に支持するスライド手段９Ｃと、躯体枠１６の搬送方向に対して左右となる一方の側辺に設けた搬送ローラ１４と、この搬送ローラ１４の反対側となる躯体枠１６の側辺に設けた係合部１６ａと、を備えている。
【００４５】
図１および図２に示すように、上側透光板１１は、所定波長の紫外線を透過するアクリル板、あるいは、石英ガラス板、合成石英ガラス板などの透光板１１ａと、この透光板１１ａの手前側となる側辺（露光位置から搬入搬出位置に向かうときに前方となる側辺）に設けたフレーム体１１ｂと、このフレーム体１１ｂに突出して設けた位置決め基準突部１１ｃ、１１ｃとを備えている。そして、上側透光板１１の位置決め基準突部１１ｃ，１１ｃは、フレーム体１１の長手方向の幅に対して均等になる位置に配置されており、ここでは、後記する当接基準部２Ａとの当接部分が、断面円形の金属フレームとなっており全体としてコの字状に形成されてフレーム体１１ｂから水平方向に突出している。
【００４６】
この位置決め基準突部１１ｃ，１１ｃは、ここでは２箇所に設けた構成としているが、一箇所であることや、また、３箇所以上であっても構わない。また、ここでは、位置決め基準突部１１ｃ，１１ｃは、作業者が把持して第１テーブル体１０から上側透光板１１を抜き取るために操作する把手としての役割も兼ねている。
【００４７】
図２に示すように、第１テーブル体１０の上側透光板１１は、フレーム体１１ｂの位置と対向する透光板１１ａの側辺が、スライド手段９Ａの上側透光板載置部９ａ４において後部側（露光位置Ｐ２側）に設けた透光板係合部１１ｄに係合した状態で、その上側透光板載置部９ａ４に載置されている。この透光板係合部１１ｄは、図２に示すように、コ字状の開口を備えており、透光板１１ａの側辺を、ほぼフレーム体１１ｂと同様の形状で係合するもので、上側透光板載置部９ａ４に固定して設けられ、透光板１１ａの側辺を係合し易いように開口側の端部がその開口を大きくするように折り曲げて形成されている。
【００４８】
この透光板係合部１１ｄは、ここでは透光板１１ａの側辺に亘って形成されているが、透光板１１ａを係合してその上側透光板載置部９ａ４に載置することができかつ、透光板１１ａの弛みを防止するものであれば、その設置長さおよび透光板１１ａの係合深さは限定されるものではない。さらに、図２および図４に示すように、透光板１１ａは、搬送方向に沿った両側辺では、Ｌ字状の規制部分１５に沿って配置されている。なお、上側透光板１１は、その位置決め基準突部１１ｃ，１１ｃを作業者が把持して、透光板係合部１１ｄから抜き取る方向に移動させると容易に取り外すことができる構成となっている。
【００４９】
図２に示すように、上側透光板１１を載置した状態で搬送方向に沿ってスライドさせるためのスライド手段９Ａは、躯体枠１６の搬送方向に対して左右となる側辺に設けたスライドガイド９ａ１，９ａ１と、このスライドガイド９ａ１，９ａ１に摺動自在に設けたガイド摺動部９ａ２，９ａ２と、このガイド摺動部９ａ２，９ａ２を固定してワークＷおよびマスクＭに光照射できる開口を有するスライド枠９ａ３と、このスライド枠９ａ３の上端側に形成され上側透光板１１を載置するための上側透光板載置部９ａ４と、スライド枠９ａ３の搬送方向に対して左右となる側方に突出して設けたストッパ板９ａ５と、すでに説明した上側テーブル体載置部９ａ４の後部側に設けた係合フレーム体１１ｄとを備えている。
【００５０】
図２および図４に示すように、スライド枠９ａ３は、ここでは、躯体枠１６上に支持されているステージ板１２に対して、上側透光板１１がマスクＭおよびワークＷを介在させた状態で整合移動できる空間を空けた状態で離間する高さ寸法に構成されている。
また、ストッパ板９ａ５は、第２搬送経路Ｌ２（図６参照）に沿って設けた当接押動部９Ｂに当接した時に、スライドガイド９ａ１，９ａ１に沿ってスライド枠９ａ３をスライド移動させるためのもので、ここでは、スライド枠９ａ３の側部に突出して、露光位置Ｐ２から搬入搬出位置Ｐ１に向かう搬送方向において前方となる位置に設けられている。このストッパ板９ａ５は、スライド枠９ａ３をスライド移動させることができれば、その形状、設置位置を特に限定されるものではない。
【００５１】
図２および図４に示すように、第１テーブル体１０のステージ板１２は、躯体枠１６に形成された支持部分に載置されており、ワークＷの両面を露光する場合には、所定波長の紫外線を含む光を透過するアクリル板、石英板あるいは合成石英板などの透光板で形成されており、ここでは片面露光であるために平面性に優れた樹脂板１２ａと、この樹脂板１２ａの周縁部分に形成された凹部１２ｃ，１２ｃを備えている。なお、樹脂板１２ａの搬送方向に対して前後の側片に対応する位置には、搬送方向に対して左右となる躯体枠１６の左右の部分に掛け渡して設けたフレーム体１２ｂが当接するように配置されている。このフレーム体１２ｂは、ステージ板１２の弛みを防止するためのものである。
【００５２】
ステージ板１２の凹部１２ｃは、躯体枠１６の支持部分から突出させて設けた誘導ピン（誘導機構）１３に係合することで、あらかじめ決められた原点位置に常に配置されるように構成されている。なお、図４に示すように、このステージ板１２は、ステージ板１２の凹部１２ｃの開口部分に傾斜面を備えるか、あるいは誘導ピン１３の頂点から周縁に向かって傾斜面を備える構成としている。これは、ステージ板１２が整合作業の時に整合移動して、露光作業が終了して上側テーブル体１１との真空密着が解除された場合、そのステージ板１２が落下したときに、誘導ピン１３に凹部１２ｃが係合し易くするためである。
【００５３】
図２および図４に示すように、第１テーブル体１０の躯体枠１６は、ステージ板１２と上側透光板１１とを対面させ離間した状態で支持できるように構成されており、ステージ板１２の受面１６ｂと、上側透光板１１の載置面（ここでは上側テーブル体載置部９ａ４）を備えている。そして、この躯体枠１６の係合部１６ａ（図９（ａ−１）参照）は、搬送方向に対して左右となる一方の側辺で中央に設けられている。この係合部１６ａ（図９（ａ−１）参照）は、後記する昇降機構６の昇降移動をガイドする昇降ガイド７に係合すると共に、昇降機構６の第１昇降棹６ｆ２が固定されている。
【００５４】
さらに、図２および図７に示すように、躯体枠１６の係合部１６ａとは対向する側辺に設けた搬送ローラ１４，１４は、搬送方向に対して前後となる２箇所に配置されており、各搬送ローラ１４が上ローラ１４ａと下ローラ１４ｂとをアングル材（中央の水平板の左端と右端に設けた垂直板を有する）１４ｃで支持した状態で構成されている。そして、図１１に示すように、ここでは、上ローラ１４ａは、第１搬送経路Ｌ１に沿って移動し（下ローラ１４ｂは非接触状態）、また、下ローラ１４ｂは、第２搬送経路Ｌ２に沿って移動する（上ローラ１４ａは非接触状態）ように構成されている。
【００５５】
図８に示すように、上側透光板１１のマスクＭと、ステージ板１２のワークＷと、を着脱自在に真空吸着する真空吸着機構１８は、マスクＭとワークＷとを上側透光板１１およびステージ板１２ならびに周縁シール（土手ゴム）１１ｅを介して真空密着するメイン真空吸着機構１８ａと、ステージ板１２のワークＷを保持するワーク真空吸着機構１８ｂと、を備えている。
そのため、搬入搬出位置Ｐ１（図９参照）でワークＷをステージ板１２に載置する場合には、ワーク真空吸着機構１８ｂが作動してワークＷをステージ板１２に真空吸着して保持する。そして、マスクＭとワークＷとを当接して真空密着する場合には、メイン真空吸着機構１８ａが作動する。
【００５６】
図２に示すように、スライド手段９Ａ、スライド開始手段９Ｂ、上側透光板移動手段９Ｃを有するスライド開閉機構９について説明する。なお、スライド手段９Ａについてはすでに説明したので、ここでは、スライド開始手段９Ｂおよび上側透光板移動手段９Ｃについて説明する。
【００５７】
図２に示すように、スライド開始手段９Ｂは、第２搬送経路Ｌ２（図６参照）に沿った位置で、ストッパ板９ａ５の移動軌跡上に出没して、そのストッパ板９ａ５に当接離間する当接押動部９ｂ１と、この当接押動部９ｂ１をストッパ板９ａ５に対して当接離間するように出没作動させる駆動部９ｂ２とを備えている。このスライド開始手段９Ｂは、第１テーブル体１０と第２テーブル体２０（図６参照）とに対応して、第２搬送経路Ｌ２の搬送方向に対して左右になる位置に設けられて動作するように構成されている。また、ストッパ板９ａ５は、搬送ローラ１４の搬送径路に対して障害とならない位置になるように搬送方向に対して直交する方向に突出して配置されている。
【００５８】
図２に示すように、上側透光板移動手段９Ｃは、第２搬送経路Ｌ２に沿って、その第２搬送経路Ｌ２により搬送される第１テーブル体１０あるいは第２テーブル体２０の下方となる位置に配置された上側透光板搬送駆動部９ｃ１と、この上側透光板搬送駆動部９ｃ１により駆動され、上側透光板１１の透光板係合部１１ｄに当接して搬入搬出位置側に押動する上側透光板押動部９ｃ２とを備えている。ここでは、上側透光板移動手段９Ｃの上側透光板押動部９ｃ２が、上側透光板１１の位置決め基準突部１１ｃを当接基準部２Ａ（図３参照）に押圧する押圧手段を兼ねる構成としている。なお、上側透光板押動部９ｃ２は、昇降移動できるように構成してもよく、上側透光板１１の透光板係合部１１ｄを押動する際に上昇し、動作が終了したときには、降下した位置に待機あるいはその状態で移動できるようになり都合がよい。
【００５９】
図１および図２に示すように、搬入搬出位置Ｐ１に設けた整合機構３である撮像手段３Ａ、整合テーブル４と、当接基準部２Ａについて説明する。
整合機構３は、ＣＣＤカメラなどの撮像手段３Ａと、この撮像手段３Ａで撮像したマスクＭとワークＷの両整合マークＭｍ，Ｗｍとの位置を演算してワークＷの整合移動距離を算出してワークＷを整合移動させる整合テーブル４とを備えている。撮像手段３Ａは、両整合マークＭｍ，Ｗｍを撮像する際に、認識が良くできるように露光処理が促進されることがない照明光を照射する構成にすると都合がよい。また、撮像手段３Ａは、ワークＷをステージ板１２の所定位置に載置する際に、目印となる位置を示すレーザ光を照射する構成を備えていると都合がよい。なお、整合機構３は、撮像手段３Ａで撮像した画像を作業者が目視できるように、搬入搬出位置Ｐ１の上方に設置されたディスプレイＤに表示している。
【００６０】
図１および図５に示すように、整合テーブル４は、ステージ板１２を載置する整合載置台４ａと、この整合載置台４ａに載置するステージ板１２を固定するために、その整合載置台４ａに設けた穴部分から出没して真空吸着する吸着パッド４ｂと、整合載置台４ａに吸着パッド４ｂにより吸着保持したステージ板１２を、上下方向であるＺ方向に移動すると共に、Ｚ方向に直交する水平面方向の一方向であるＸ方向、このＸ方向に直交するＹ方向およびＺ方向を中心とした回転方向であるθ方向に移動させる整合駆動部４ｃとを備えている。
【００６１】
また、図３に示すように、当接基準部２Ａは、第２搬送経路にある上側透光板１１のフレーム体１１ｂから水平方向に突出している位置決め基準突部１１ｃに対して当接離間する当接位置決め部２ｃと、この当接位置決め部２ｃを支持する駆動基部２ｂと、この駆動基部２ｂを前進後退自在に駆動させる駆動部２ａとを備えている。そして、当接位置決め部２ｃは、ここでは、位置決め基準突部１１ｃの当接部分が円筒面に形成されているため、その位置決め基準突部１１ｃに平行に上下から挟み込む円筒面を回転自在に備えるように形成されている。なお、この当接位置決め部２ｃは、位置決め基準突部１１ｃを繰り返し一定の位置に固定できる形状であれば特に限定されるものではない。この当接基準部２ａは、上側透光板１１が搬入搬出位置Ｐ１（図６参照）の移動端まで搬送されるまでは待機しており、上側透光板１１の搬入搬出位置Ｐ１への移動動作が終了したときに駆動部２ａの駆動により前進して位置決め基準突部１１ｃに当接するように、ここでは作動させている。
【００６２】
つぎに、昇降ガイド７、搬送機構５および昇降機構６について説明する。
図１に示すように、昇降ガイド７は、両透光板１０，２０の係合部１６ａ，２６ａ（図９参照）を嵌合してスライドさせるスライド部７ａと、このスライド部７ａの裏面側に設けた搬送機構５側にスライド自在に係合するスライド係合部７ｂとを備えている。そして、この昇降ガイド７は、搬送機構５の駆動手段である駆動ベルト５ｂの所定位置に配置されその駆動ベルト５ｂに取り付けられている。
【００６３】
図１および図１３に示すように、搬送機構５は、搬入搬出位置Ｐ１および露光位置Ｐ２を囲む周囲に設置した駆動ベルト５ｂと、この駆動ベルト５ｂを一定高さ位置で支持してその駆動ベルト５ｂの移動をガイドするベルトガイド５ｃと、昇降ガイド７，７の一方を保持して直線往復移動させることで駆動ベルト５ｂを駆動させる搬送アクチュエータ５ａとを備えている。
【００６４】
駆動ベルト５ｂは、無端環状に形成され、ベルトガイド５ｃと対面する位置に一定間隔で形成された凹凸面（図５参照）を備えている。そして、ベルトガイド５ｃは、駆動ベルト５ｂの凹凸面に噛み合って駆動ベルト５を送る歯車状に形成されている。また、搬送アクチュエータ５ａと対面する位置の昇降ガイド７には、スライド係合部７ｂが係合して直線往復移動できるように直線ガイド５ｄを筐体２側に固定して設けている。ここで使用される搬送アクチュエータ５ａは、昇降ガイド７を保持して直線往復移動できるものであれば、ＬＭガイド、油圧シリンダ、空圧シリンダ、あるいは送りねじ機構など、特に限定されるものではない。
【００６５】
さらに、ここでは、搬送アクチュエータ５ａを一方側だけに設けた構成として説明したが、搬送アクチュエータ５ａを両透光板１０，２０の搬送方向に対して左右となる位置に設けて同期あるいは非同期状態で駆動できる構成としても良い。搬送アクチュエータ５ａを２箇所に設ける場合には、駆動ベルト５ｂおよびベルトガイド５ｃは不要となる。
【００６６】
図７、図１０および図１１に示すように、第１搬送経路Ｌ１は、搬送方向に平行で、搬入搬出位置Ｐ１から露光位置Ｐ２に亘っては配置された左右の上ローラ移動レール３１，３１と、この上ローラ移動レール３１，３１の搬送方向（長手方向）における中央に形成した切欠部３１ａ１，３１ａ２に対して搬送路を補充する補助レール機構３５とを備えており、また、上ローラ移動レール３１，３１の両端位置には、昇降機構６により昇降移動する昇降補助レール６ｇ１，６ｇ１，６ｇ２，６ｇ２を有している。
【００６７】
図７および図１０に示すように、上ローラ移動レール３１，３１は、筐体１Ａ側に固定され、両テーブル体１０，２０が搬入搬出位置Ｐ１と露光位置Ｐ２に配置されたときの一方の搬送ローラ１４（２４）が昇降補助レール６ｇ１（６ｇ２）に、また、他方の搬送ローラ１４（２４）が切欠部３１ａ１（３１ａ２）に配置できる長さを有している。この上ローラ移動レール３１，３１は、左右に配置された一方が、第１テーブル体１０の搬送ローラ１４、１４を移動させるためのものであり、左右に配置された他方が、第２テーブル体２０の搬送ローラ２４，２４を移動させるためのものである。
【００６８】
そして、この上ローラ移動レール３１，３１の中央に形成された切欠部３１ａ１，３１ａ２は、第１テーブル体１０が搬入搬出位置Ｐ１に配置され、第２テーブル体２０が露光位置Ｐ２に配置されているときに、搬送ローラ１４の上ローラ１４ａと、搬送ローラ２４の上ローラ２４ａとが並列できる大きさに形成されている。
【００６９】
補助レール機構３５は、上ローラ移動レール３１，３１の切欠部３１ａ１，３１ａ２に対して同一平面上に配置されて補助する補助レール３５ｂ，３５ｂと、この補助レール３５ｂ，３５ｂを出没自在に駆動する補助レール駆動部３５ａ，３５ａと、を備えている。そして、この補助レール機構３５は、後記する昇降機構６の昇降補助レール６ｇ１（昇降補助レール６ｇ２）と同期して作動するように構成されている。
【００７０】
また、第２搬送経路Ｌ２は、第１搬送経路Ｌ１の下方で、その第１搬送経路Ｌ１の設置幅より小さな設置幅で左右に配置された下ローラ移動レール３２，３２を備えている。この第２搬送径路Ｌ２の下ローラ移動レール３２，３２は、左右に配置された一方が、第１テーブル体１０の搬送ローラ１４、１４の下ローラ１４ｂ，１４ｂを移動させるためのものであり、左右に配置された他方が、第２テーブル体２０の搬送ローラ２４，２４の下ローラ２４ｂ，２４ｂを移動させるためのものである。
【００７１】
図１および図９に示すように、昇降機構６は、搬入搬出位置Ｐ１から露光位置Ｐ２に亘って延び、両透光板１０，２０の下方で搬送方向に沿って平行に左右に配置された第１回転中心棹６ｅ１、第２回転中心棹６ｅ２と、この第１回転中心棹６ｅ１、第２回転中心棹６ｅ２の両端位置でそれぞれ係合する板状の第１リンク体６ｃ１，第２リンク体６ｃ２と、この第１リンク体６ｃ１，第２リンク体６ｃ２に係合され第１回転中心棹６ｅ１、第２回転中心棹６ｅ２にそれぞれ並列して配置された第１昇降棹６ｆ１，第２昇降棹６ｆ２と、第１リンク体６ｃ１および第２リンク体６ｃ２を係合させ同期して作動させるための係合ロッド６ｄと、この係合ロッド６ｄを介して第１回転中心棹６ｅ１、第２回転中心棹６ｅ２を回転中心とし第１リンク体６ｃ１および第２リンク体６ｃ２を所定角度に回転作動させるリンク駆動部６ａおよび押動ロッド６ｂとを備えている。また、この昇降機構６は、第１リンク体６ｃ１，第２リンク体６ｃ２で、それぞれ第１昇降棹６ｆ１，第２昇降棹６ｆ２とは反対側に係合して昇降動作する昇降補助レール６ｇを作動させるように構成されている。
【００７２】
この昇降機構６の第１昇降棹６ｆ１，第２昇降棹６ｆ２は、それぞれ第１、第２テーブル体１０，２０の中央となる位置で両テーブル体１０，２０の左右側の係合部１６ａ、２６ａに係合されている。そして、両リンク体６ｃ１，６ｃ２は、第１テーブル体１０，第２テーブル体２０を、第１搬送経路Ｌ１、第２搬送経路Ｌ２のそれぞれに昇降移動させて切替えられる回転中心からの長さ寸法を有している。この両リンク体６ｃ１（６ｃ２）は、第１回転中心棹６ｅ１，（第２回転中心棹６ｅ２）の左右に第１昇降棹６ｆ１（第２昇降棹６ｆ２）および昇降補助レール６ｇを係合できるものであれば、その形状、大きさ、配置を特定されるものではない。
【００７３】
つぎに、図６に示すように、光照射機構８について説明する。なお、ここでは平行光をワークＷに対して照射する構成について述べるが、メタルハライドランプを用いて散乱光を使用する構成とするなど、露光装置で使用されることができるものであれば限定されるものではない。
光照射機構４０は、所定波長の紫外線を含む光を照射するショートアークランプなどの放電灯８ａと、この放電灯８ａの後方から覆うように配置された楕円反射鏡８ｂと、この放電灯８ａおよび楕円反射鏡８ｂからの照射光のエネルギーを照射面に対して均等になるように調整するフライアイレンズ８ｃと、このフライアイレンズ８ｃからの照射光を反射する反射鏡８ｄと、この反射鏡８ｄからの反射光を平行光として露光位置Ｐ２に反射する反射鏡８ｅとを備えている。
なお、放電灯８ａが設置されている空間は、仕切りを設けてワークＷ側と区分けすると共に、放電灯８ａ側の空間を冷却する冷却ファンなどの冷却機構（図示せず）を設置すると都合がよい。
【００７４】
つぎに、露光装置１の動作についてワークＷの搬入搬出動作、整合動作、昇降動作、搬送動作、露光動作、上側透光板分離動作、上側透光板スライド動作について説明する。
なお、はじめに、全体の動作の概要について図６および図１３を参照して説明する。
【００７５】
図６および図１３（ａ）に示すように、搬入搬出位置Ｐ１においてワークＷが搬入され整合作業が終了した第１テーブル体１０と、露光位置Ｐ２に配置され露光作業が終了（装置始動時は露光作業なし）している第２テーブル体２０とは、図１３（ｂ）に示すように、昇降機構６を介して昇降ガイド７，７に沿って、第１テーブル体１０が第１搬送径路Ｌ１に上昇移動して、かつ、第２テーブル体２０が第２搬送径路Ｌ２に降下移動する。
【００７６】
そして、図１３（ｃ）に示すように、第１テーブル体１０は、露光位置Ｐ２に第１搬送径路Ｌ１に沿って搬送機構５を介して搬送され、また、第２テーブル体２０は、搬入搬出位置Ｐ１に第２搬送径路Ｌ２に沿って搬送機構５を介して搬送される。このとき、第２テーブル体２０は、上側透光板２１が、上側透光板スライド機構９を介してステージ板２２からスライド開口した状態となり、ステージ板２２側が、搬入搬出位置Ｐ１に搬送される。また、露光位置Ｐ１に搬送された第１テーブル体１０には、光照射機構８から光照射されて露光作業が行なわれる。
【００７７】
一方、搬入搬出位置Ｐ１に搬送された第２テーブル体２０のステージ板にワークＷが搬入されると、図１３（ｄ）および図６に示すように、上側透光板スライド機構９により上側透光板２１がステージ板２１と対面する位置まで搬送されて整合機構３および整合テーブル４を介して整合作業が行なわれる。図１３（ｅ）に示すように、整合作業が終了した第２テーブル体２０と、すでに露光作業が終了して待機していた第１テーブル体１０とが、昇降機構６を介して昇降移動して搬送径路を切り替える。
【００７８】
さらに、図１３（ｆ）および図６に示すように、第１テーブル体１０は搬入搬出位置Ｐ１に、第２テーブル体２０は露光位置Ｐ２に、搬送機構５を介して搬送される。なお、第１テーブル体１０の上側透光板１１は、上側透光板スライド機構９によりステージ板１２からスライドして、搬入搬出位置Ｐ１に搬送されたステージ板１２から露光済みワークＷが搬出されて新たなワークＷが搬入されると、図１３（ｇ）および図６に示すように、上側透光板スライド機構９によりステージ板１２と対面する位置まで搬送される。
このように、露光装置１は、図１３（ａ）〜（ｇ）の動作を繰り返してワークＷを交互に整合作業、露光作業するものである。以下、各動作について詳細に説明する。
【００７９】
＜ワークＷの搬入作業＞
図１および図６に示すように、第１テーブル体１０および第２テーブル体２０は、両搬送径路Ｌ１、Ｌ２の搬送端である搬入搬出位置Ｐ１と露光位置Ｐ２とに配置されており、搬入搬出位置Ｐ１の第１テーブル体１０は、上側透光板１１がスライドしてステージ板１２にワークＷを載置できる状態となっている。作業者がワークＷを第１テーブル体１０のステージ板１２の上に載置するときは、整合機構３の図示しないレーザ照射機構からワークＷの整合マークＷｍの位置を特定できるように赤外線レーザなどがピンポイントでレーザ照射されており、その位置に整合マークＷｍが合うようにワークＷを載置する。
【００８０】
露光装置１は、ワークＷがステージ板１２に載置されると、ワーク真空吸着機構１８ａが作動してワークＷをステージ板１２に真空吸着すると共に、図１２（ｃ−１）〜、（ｄ−２）に示すように、上側透光板スライド機構９の上側透光板搬送駆動部９ｃ１を作動させ上側透光板搬送駆動部９ｃ２により上側透光板１１の透光板係合部１１ｄを押動することで、スライド枠９ａ３をスライドガイド９ａ１，９ａ１に沿ってスライド移動させ、上側透光板１１のマスクＭとステージ板１２のワークＷとを対面させる。
【００８１】
そして、マスクＭとワークＷとが対面する位置になると、図３に示すように、露光装置１は、当接基準部２Ａの駆動部２ａを駆動させ、当接位置決め部２ｃ，２ｃを前進移動させて、位置決め基準突部１１ｃ，１１ｃに当接させる。このとき、上側透光板搬送駆動部９ｃ２（図１２（ｄ−２）参照）により上側透光板１１の透光板係合部１１ｄを押動しつづけており、上側透光板１１の位置をあらかじめ決められた基準位置とする。
【００８２】
＜整合作業＞
マスクＭを備える上側透光板１１の位置が固定されると、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、整合テーブル４の吸着パッド４ｂ（図５参照）が上昇してステージ板１２を吸着保持すると共に、整合載置台４ａが上昇してステージ板１２を、躯体枠１６の載置部分から上昇させてワークＷがマスクＭと当接するように移動させる。そして、マスクＭとワークＷとが当接すると、メイン真空吸着機構１８ａを作動させマスクＭとワークＷとを真空密着させる。
【００８３】
そして、整合機構３によりマスクＭとワークＷとの整合マークＭｍ，Ｗｍ（図１参照）を撮像して整合許容範囲外であれば、図８（ｃ）に示すように、整合移動距離を演算して整合テーブル４に信号を送り、メイン真空吸着機構１８ａによる真空密着状態を解除すると共にワーク真空吸着機構１８ｂを作動させてワークをステージ板１２に真空吸着した状態で、整合テーブル４を整合駆動部４ｃにより降下させＸＹθ方向に適宜整合移動させる。
【００８４】
さらに、図８（ｄ）に示すように、整合テーブル４を上昇させ、再びメイン真空吸着機構１８ａによりマスクＭとワークＷとを真空密着させ、整合機構３により整合マークＭｍ，Ｗｍ（図１参照）を撮像して整合許容範囲内であれば、整合テーブル４は降下移動して、図８（ｅ）に示すように、上側透光板１１とステージ板１２とを真空密着した状態で整合作業が終了する。
【００８５】
つぎに、昇降機構６による昇降動作について説明する。
図９（ａ−１）から（ｂ−２）に示すように、整合作業が終了した状態の第１テーブル体１０は、第２搬送径路Ｌ２の一方の搬送端である搬入搬出位置Ｐ１に配置されており、また、第２テーブル体２０は、第１搬送径路Ｌ１の他方の搬送端である露光位置Ｐ２に配置されており、昇降機構６により、図９（ｂ−１），（ｂ−２）で示すように、互いに搬送径路を切替える。
【００８６】
すなわち、昇降機構６は、リンク駆動部６ａが作動して押動ロッド６ｂを所定間隔伸縮させると、第１リンク体６ｃ１が第１回転中心棹６ｅ１を中心にして所定角度回転すると共に、係合ロッド６ｄが第２リンク体６ｃ２を、第２回転中心棹６ｅ２を中心として所定角度回転させる。そのため、昇降機構６は、第１昇降棹６ｆ１を上昇移動させ、かつ、第１昇降棹６ｆ２を降下移動させることで第１テーブル体１０を昇降ガイド７に沿って上昇させ第１搬送径路Ｌ１に上昇移動させると共に、第２テーブル体２０を昇降ガイド７に沿って第２搬送径路Ｌ２に降下移動させる。
【００８７】
このとき、第１テーブル体１０の搬送ローラ１４の上ローラを載置している昇降補助ローラ６ｇ１は、上ローラ移動レールの位置まで上昇移動すると共に、第２テーブル体２０の搬送ローラ１４の上ローラを載置している昇降補助レール６ｇ２は、降下移動する。
【００８８】
そして、この昇降動作を行なうときには、第１テーブル体１０は、昇降ガイド７に沿って係合部１６ａがスライド上昇し、かつ、図１０（ａ）、（ｂ）および図７に示すように、搬送方向に対して前方側（搬入搬出位置Ｐ１に向かう側）の搬送ローラ１４が昇降補助レール６ｇ１の上昇移動により上昇し、後方側の搬送ローラ１４が切欠部３１ａ１を下から上に通過することで、第１リンク体６ｃ１の所定角度の回転により、第２搬送径路Ｌ２から第１搬送径路Ｌ１に昇降移動する。
【００８９】
また、第２テーブル体２０は、昇降ガイド７に沿って係合部１６ａがスライド降下し、かつ、図１０（ｄ）、（ｅ）および図７に示すように、搬送方向に対して前方側（露光位置Ｐ２に向かう側）の搬送ローラ２４が昇降補助レール６ｇ２の降下移動により降下し、後方側の搬送ローラ２４が切欠部３１ａ２を上から下に通過することで、第１リンク体６ｃ２の所定角度の回転により、第１搬送径路Ｌ１から第２搬送径路Ｌ２に降下移動する。
【００９０】
なお、露光位置Ｐ２の第２テーブル体２０は、図１１（ａ）に示すように、降下移動するときには、上側透光板２１とステージ板２２とが離間した状態、つまり、メイン真空吸着機構１８ａによる吸引動作が解除され躯体枠２６に支持された状態となっている。また、図１１（ｂ）に示すように、第１搬送径路Ｌ１に上昇移動した第１テーブル体１０は、上側透光板１１にステージ板１２がメイン真空吸着機構１８ａにより真空吸着した状態で躯体枠１６に支持された状態となっている。
そして、図９（ａ−１）〜（ｄ−２）に示すように、昇降機構６により両テーブル体１０，２０は、搬入搬出位置Ｐ１と露光位置Ｐ２とで、順次昇降移動して搬送径路を切替えている。
【００９１】
つぎに、搬送動作について説明する。
第１テーブル体１０は、図１および図１２（ａ−１）〜（ｃ−２）に示すように、搬送機構５の搬送アクチュエータ５ａが動作して第２テーブル体２０側の昇降ガイド７を搬入搬出位置Ｐ１に向かって移動されると、その昇降ガイド７に固定されている駆動ベルト５ｂがベルトガイド５ｃに係合した状態で送られ、第１テーブル体１０が係合している昇降ガイド７が、直線ガイドに沿って、かつ、搬送ローラ１４が上ローラ移動レールに沿って、露光位置Ｐ２側に送られることで搬送される。
【００９２】
このとき、図１０（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、第１搬送径路Ｌ１の補助レール機構３５が補助レール３５ｂを切欠部３１ａ１に出力して搬送路を確保しているため、第１テーブル体１０の搬送ローラ１４の上ローラ１４ａ，１４ａは、スムーズに上ローラ移動レールに沿って移動することができる。そして、露光位置Ｐ２に搬送された第１テーブル体１０の前方側の上ローラ１４ａは、図１０（ｄ）に示すように、昇降補助レール６ｇ１に載置された状態となっている。
【００９３】
一方、第２テーブル体２０は、搬入搬出位置Ｐ１に向かって搬送される場合に、上側透光板２１とステージ板２２とが別々に搬送される。すなわち、図１および図１２（ａ−１）〜（ｃ−２）に示すように、搬送機構５の搬送アクチュエータ５ａが動作して昇降ガイド７を搬入搬出位置Ｐ１に向かって移動させると、第２テーブル体２０は、搬送ローラ２４の下ローラ２４ｂが下ローラ移動レールに沿って移動することで搬入搬出位置Ｐ１に向かって搬送される。
【００９４】
このとき、第２搬送径路Ｌ２の途中に配置されたスライド開始手段９Ｂの当接押動部９ｂ１が、駆動部９ｂ２により上昇して、ストッパ板９ａ５に当接することで、図２および図１２（ｂ−１），（ｂ−２）に示すように、スライド枠９ａ３を躯体枠２６のスライドガイド９ａ１に沿ってスライドさせ、上側透光板２１を待機させた状態で、躯体枠２６側、つまり、ステージ板２２側を搬入搬出位置Ｐ１に搬送する。
【００９５】
なお、搬入搬出位置Ｐ１に搬送される第２テーブル体の下ローラ１４ｂは、搬送径路Ｌ２の下ローラ移動レール３２に沿って移動し、前方側の搬送ローラ１４の上ローラ１４ａが昇降補助レール６ｇ２に載置する。また、搬入搬出位置Ｐ１に搬送されたステージ板２２が、すでに露光済のワークＷを保持している場合には、ワーク真空吸着機構１８ｂの動作が解除され、露光済のワークＷが搬出される。このとき、作業者は、すでに上側透光板２１がスライド開口しているのでワークＷを取り出す作業を行なうだけでよい。
【００９６】
そして、第２テーブル体２０のステージ板２２にワークＷが前記した手順で載置されると、スライド開始手段９Ｂの当接押動部９ｂ１が、駆動部９ｂ２により降下して、図２および図１２（ｃ−１）〜（ｄ−２）に示すように、上側透光板移動手段９Ｃの上側透光板押動部９ｃ２が、上側透光板搬送駆動部９ｃ１を作動して上側透光板２１の透光板係合部２１ｄを押動することで、スライド枠９ａ４を躯体枠２６のスライドガイド９ａ１に沿って移動させ上側透光板２１をスライド板２２側に対面する位置まで搬送する。さらに、整合作業の際にすでに説明したような作業が行なわれる。
【００９７】
＜露光作業＞
なお、露光位置Ｐ２に搬送された第１テーブル体１０には、光照射機構８の放電灯８ａから紫外線を含む光が、光学系（８ｂ〜８ｅ）を介して一定時間照射されることで露光作業が行なわれている。この露光作業は、露光位置Ｐ２に搬送される両テーブル体１０，２０が、常に、高さ方向において一定の位置となることと、マスクＭが上側透光板１１，２１にあらかじめ固定された状態で行なわれることから、露光精度が安定した状態となる。
【００９８】
このようにして、露光装置１は、整合作業、露光作業、昇降移動、搬送を繰り返し行うことにより、両テーブル体１０，２０を介してワークＷを順次交互に露光処理するものである。
【００９９】
なお、前記した露光装置１では、第１搬送径路Ｌ１の搬送端に露光位置Ｐ２を配置して、第２搬送径路Ｌ２の搬送端に搬入搬出位置Ｐ１を配置した構成として説明したが、第１搬送径路Ｌ１に搬入搬出位置Ｐ１を、第２搬送径路Ｌ２に露光位置Ｐ２を配置しても構わない。
【０１００】
また、露光装置１では、昇降機構６としてリンク機構を一例として説明したが、搬入搬出位置Ｐ１と露光位置Ｐ２とにリフトピン昇降機構（図示せず）を設け、両テーブル体１０，２０を昇降作動させる構成としても構わない。このとき、昇降ガイド７，７を備える構成としてもよく、また、昇降ガイド７，７を用いない場合には、搬送径路に沿って移動すると共に、その搬送径路に沿って両テーブル体１０，２０が移動できるように、出没する係合爪（図示せず）を備える構成とすると都合がよい。
【０１０１】
さらに、前記した露光装置１では、搬送機構５として駆動ベルト５ｂおよびベルトガイド５ｃを用いて両テーブル体１０，２０を搬送移動させるように構成しているが、駆動アクチュエータ５ａを左右に設けて同期させて作動する構成としても構わない。
【０１０２】
【発明の効果】
本発明に係る露光装置は、以上のように構成しているため以下に示すように優れた効果を奏する。
（１）露光装置は、ステージ板に支持されたワークをあらかじめマスクが設置された上側透光板を備える第１テーブル体および第２テーブル体を搬入搬出位置および露光位置に搬送機構および昇降機構を介して交互に搬送することで整合作業および露光作業を行なうため、露光位置では、両テーブル体のそれぞれが同一高さ位置で露光作業を行なうことができる。また、作業者が操作する工程を減らして整合作業および露光作業を精度よく行なうことができる。
なお、露光装置は、上側透光板およびステージ板の構成が簡素化され、ステージ板について躯体枠から移動させるため、従来の装置のようにテーブル体全体を搬送機構から分離させて上下させることはなく、ステージ板を昇降移動させるための最小限の駆動力で足りる。
【０１０３】
（２）露光装置は、昇降ガイドを介して昇降機構が両テーブル体を第１搬送径路または第２搬送径路に昇降移動させ、その昇降ガイドが移動手段を介して搬送機構により移動させることで、両テーブル体のそれぞれを露光位置および搬入搬出位置に搬送することができるため、露光位置では、両テーブル体のそれぞれが同一高さ位置で露光作業を行なうことができる。また、露光装置では、搬入搬出位置において、マスクとワークの整合作業が対面した状態で行なわれるため、整合精度が向上した状態で露光することが可能となる。
【０１０４】
（３）露光装置は、マスクを設置する上側透光板が、透光板の側片に設けたフレーム体から突出する位置決め基準突部を作業者が把持して、両テーブル体に設けた透光板係合部のコ字状開口に、その透光板のフレーム体とは対向する側片を着脱自在にしているため、構成が簡略化でき、両テーブル体から分離、係合する操作を容易かつスムーズに行なうことができる。
【０１０５】
（４）露光装置は、搬入搬出位置に設けた当接基準部に、押圧手段がその上側透光板の透光板係合部を押動することで、上側透光板の位置決め基準突部を押圧するため、整合作業を行なう場合に整合精度を保つことが可能となる。
【０１０６】
（５）露光装置は、両テーブル体の躯体枠に上側透光板とステージ板とを離間した状態で載置しているため、搬入搬出位置では、整合機構によりワークがマスクに当接するように移動すると真空吸着機構によりマスクとワークが真空密着した状態で昇降機構により上昇して搬送機構により露光位置に搬送される。また、露光位置では、真空吸着機構が解除されることにより、上側透光板と露光済のワークを載置したステージ板とが躯体枠に離間した状態で支持され、昇降機構により降下して搬送機構により搬入搬出位置に搬送される。そのため、マスクとワークの整合マークを実際に撮像して整合作業ができ、かつ、躯体枠に分離された状態でステージ板が支持される場合に、常に基準位置にステージ板を誘導することが可能となる。
【０１０７】
（６）露光装置は、露光位置で真空吸着機構の動作が解除されると、露光済ワークを載置するステージ板が上側透光板と離間して、躯体枠の支持される支持部分の誘導機構によりあらかじめ決められた支持基準位置に誘導される。そのため、整合作業により整合移動したステージ板は、常に支持基準位置から整合作業が行なうことができる。
【０１０８】
（７）露光装置は、搬送機構により搬入搬出位置に搬送される第２テーブル体（第１テーブル体）が、当接押動部に押動板を当接させることで、スライド手段を介して躯体枠からスライドして、躯体枠を支持しているステージ板が搬入搬出位置に露光済のワークを取り出しできる状態で搬送される。そのため、搬入搬出位置で露光済のワークが容易に取り出され、あらたなワークがステージ板に対して容易に載置させることができる。また、露光装置は、上側透光板移動手段により上側透光板を押動してスライド手段を介してステージ板の対面する位置まで移動させ、上側透光板移動手段が整合作業を行なう際に、その上側透光板を移動方向に押し続ける押圧手段の役割を兼ねることで、上側透光板を整合作業の際に一定位置に固定させる。そのため、露光装置は、上側透光板の構成を簡略化することが可能となる。
【０１０９】
（８）露光装置は、搬送機構により両搬送径路に沿って搬送される両テーブル体が、移動レールを移動する搬送ローラと昇降ガイドに係合する係合部とにより安定して搬送される。そして、昇降機構によって昇降移動する両テーブル体は、昇降ガイドに沿って係合部が昇降移動すると共に、搬送ローラが移動レールの切欠部を介して昇降移動して搬送径路が切替えられるため、装置全体をコンパクトに構成することができる。
【０１１０】
（９）露光装置は、搬送機構の駆動手段を駆動ベルトおよびベルトガイドを備えることで、搬送機構の構成が簡略化され、かつ、同期させることで両テーブル体を正確に搬送することができる。
【０１１１】
（１０）露光装置は、昇降機構のリンク駆動部により両リンク体を、両回転中心棹を中心に所定角度回転移動させ、両昇降棹を上下移動させることで、両テーブル体を昇降移動させるため、狭いスペースであっても設置できると共に、確実に両搬送径路に両テーブル体を切り替えることができる。
【０１１２】
（１１）露光方法では、搬入搬出位置で作業者が、露光済ワークあるいは新たなワークを、上側透光板を操作することなく、ステージ板から取り除くあるいは載置することができる。また、整合作業および露光作業が、両テーブル体ともに同一高さ位置で行なわれるため、精度を確保して作業者の操作負担を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る露光装置の全体を模式的に示す分解斜視図である。
【図２】本発明に係る露光装置の第１テーブル体（第２テーブル体）の構成を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る露光装置の搬出搬入位置における当接基準を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る露光装置の整合テーブルの構成を模式的に示す模式図である
【図５】本発明に係る露光装置の搬出搬入位置における整合テーブルの構成を示す斜視図である。
【図６】本発明に係る露光装置の全体の構成を模式的に示す模式図である。
【図７】本発明に係る露光装置の両搬送径路の構成を示す平面図である。
【図８】（ａ）〜（ｅ）は本発明に係る露光装置の整合動作を説明する模式図である。
【図９】（ａ−１）〜（ｄ−２）は本発明に係る露光装置における昇降動作と搬送動作を示す模式図である。
【図１０】（ａ）〜（ｆ）は本発明に係る露光装置における昇降動作と搬送動作を示す模式図である。
【図１１】（ａ），（ｂ）は本発明に係る露光装置の両テーブル体の搬送径路における状態を示す模式図である。
【図１２】（ａ−１）〜（ｄ−２）は本発明に係る露光装置の両テーブル体の搬送径路における上側透光板とステージ板の構成を示す模式図である。
【図１３】（ａ）〜（ｇ）は本発明に係る露光装置の両テーブル体における全体の動作を示す模式図である。
【図１４】従来の露光装置の全体を模式的に示す模式図である。
【符号の説明】
１　　　　　　　　　露光装置
２　　　　　　　　　筐体
２Ａ　　　　　　　　当接基準部
２ａ　　　　　　　　駆動部
２ｂ　　　　　　　　駆動基部
２ｃ　　　　　　　　当接位置決め部
３　　　　　　　　　整合機構
３Ａ　　　　　　　　撮像手段
４　　　　　　　　　整合テーブル
４ａ　　　　　　　　整合載置台
４ｂ　　　　　　　　吸着パッド
４ｃ　　　　　　　　整合駆動部
５　　　　　　　　　搬送機構
５ａ　　　　　　　　搬送アクチュエータ
５ｂ　　　　　　　　駆動ベルト（駆動手段）
５ｃ　　　　　　　　ベルトガイド（駆動手段）
５ｄ　　　　　　　　直線ガイド
６　　　　　　　　　昇降機構
６ａ　　　　　　　　リンク駆動部
６ｂ　　　　　　　　押動ロッド
６ｃ１　　　　　　　第１リンク体
６ｃ２　　　　　　　第２リンク体
６ｄ　　　　　　　　係合ロッド
６ｅ１　　　　　　　第１回転中心棹
６ｅ２　　　　　　　第２回転中心棹
６ｆ１　　　　　　　第１昇降棹
６ｆ２　　　　　　　第２昇降棹
６ｇ１（６ｇ２）　　　昇降補助レール
７　　　　　　　　　昇降ガイド
８　　　　　　　　　光照射機構
８ａ　　　　　　　　放電灯
８ｂ　　　　　　　　楕円反射鏡
８ｃ　　　　　　　　フライアイレンズ
８ｄ　　　　　　　　反射鏡
８ｅ　　　　　　　　反射鏡
９　　　　　　　　　上側透光板スライド機構
９Ａ　　　　　　　　スライド手段
９ａ１　　　　　　　スライドガイド
９ａ２　　　　　　　ガイド摺動部
９ａ３　　　　　　　スライド枠
９ａ４　　　　　　　上側透光板載置部
９ａ５　　　　　　　ストッパ板（押動板）
９Ｂ　　　　　　　　スライド開始手段
９ｂ１　　　　　　　当接押動部
９ｂ２　　　　　　　駆動部
９Ｃ　　　　　　　　上側透光板移動手段（押圧手段）
９ｃ１　　　　　　　上側透光板搬送駆動部
９ｃ２　　　　　　　上側透光板押動部
１０（２０）　　　　第１テーブル体（第２テーブル体）
１１（２１）　　　　上側透光板
１１ａ（２１ａ）　　透光板
１１ｂ（２１ｂ）　　フレーム体
１１ｃ（２１ｃ）　　位置決め基準突部
１１ｄ（２１ｄ）　　透光板係合部
１２（２２）　　　　ステージ板
１２ａ（２２ａ）　　樹脂板
１２ｂ（２２ｂ）　　フレーム体
１２ｃ（２２ｃ）　　凹部
１３，２３　　　　　誘導ピン（誘導機構）
１４，２４　　　　　搬送ローラ
１４ａ（２４ａ）　　上ローラ
１４ｂ（２４ｂ）　　下ローラ
１５，２５　　　　　規制部分
１６，２６　　　　　躯体枠
１６ａ，２６ａ　　　係合部
１６ｂ，２６ｂ　　　受面
１８，２８　　　　　真空吸着機構
１８ａ（２８ａ）　　メイン真空吸着機構
１８ｂ（２８ｂ）　　ワーク真空吸着機構
３１　　　　　　　　上ローラ移動レール
３１ａ１（３１ａ２）　切欠部
３２　　　　　　　　下ローラ移動レール
３５　　　　　　　　補助レール機構
３５ａ　　　　　　　補助レール駆動部
３５ｂ　　　　　　　補助レール
Ｐ１　　　　　　　　搬入搬出位置
Ｐ２　　　　　　　　露光位置
Ｌ１　　　　　　　　第１搬送経路
Ｌ２　　　　　　　　第２搬送経路
Ｄ　　　　　　　　　ディスプレイ
Ｍ　　　　　　　　　マスク
Ｍｍ　　　　　　　　整合マーク
Ｗ　　　　　　　　　ワーク
Ｗｍ　　　　　　　　整合マーク
【図１】
2004101951.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004101951.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004101951.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004101951.tif 000009
【図８】
2004101951.tif 000010
【図９】
2004101951.tif 000011
【図１０】
2004101951.tif 000012
【図１１】
2004101951.tif 000013
【図１２】
2004101951.tif 000014
【図１３】
2004101951.tif 000015
【図１４】
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