(57)【要約】【課題】リニアモータの固定子の熱変位を防止し、該固定子に配置された磁石列を利用した位置検出の精度を向上させるようにしたリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータ１は、固定子１０に、高剛性の非磁性材料で形成された本体１１と、磁性材料で形成されたバックヨーク１６と、熱膨張率の小さなセラミック材料で形成されたそれぞれ複数の永久磁石片２１及びスペーサ２２とを交互に配置して構成される磁石列２０Ａ、２０Ｂと、前記固定子１０の両端に配置された一対の保持部材１７、１７とを有している。そして、保持部材１７、１７と前記本体１１及びバックヨーク１６との間に伸縮許容間隙を設けて構成される。本体１１やバックヨーク１６の伸縮が、磁石列２０Ａ、２０Ｃに影響することがなく、移動子３０の位置を高精度に検出することができる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に磁石列の取付け部が軸心方向と平行に形成された筒状の本体と、前記取付け部に配置され、前記磁石列を構成するそれぞれ複数の永久磁石片及びスペーサと、を備えた固定子と、前記磁石列と対向するように複数の電機子が前記軸心方向に配列された移動子とを有し、該移動子を、前記磁石列と電機子との間の磁気相互作用により該固定子に沿って前記軸心方向に移動駆動自在に設けたリニアモータにおいて、
前記本体は、高剛性の非磁性材料から形成されると共に、
前記複数の永久磁石片及びスペーサは、セラミック材料から形成されており、
更に、前記リニアモータは、
磁性材料で形成され、前記本体の取付け部に、該本体と該取付け部に取付けられる前記磁石列との間に位置するように配置されたバックヨークと、
前記固定子の両端に配置され、前記本体に対し前記磁石列を保持する一対の保持部材と、を設け、
前記保持部材とバックヨーク及び本体間に、前記軸心方向に伸縮許容間隙をそれぞれ設けた、
ことを特徴とする、リニアモータ。
【請求項２】
前記保持部材は、
前記本体に対して前記軸心方向に相対移動自在に嵌合し、前記伸縮許容間隙は、少なくとも一方の前記保持部材と該本体の端面との間に形成された、
ことを特徴とする、請求項１記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記バックヨークは、前記軸心方向に移動可能に配設され、前記伸縮許容間隙は、少なくともその一端と前記保持部材との間に形成された、
ことを特徴とする、請求項１記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記バックヨークは、
前記軸心に対し所定の角度傾斜する切断線により、該軸心方向に、前記伸縮許容間隙を介して少なくとも２個に分割されたバックヨーク片を有している、
ことを特徴とする、請求項１記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記バックヨークは、
前記分割された位置においても、前記永久磁石片によって飽和磁束密度となる厚さを有する、
ことを特徴とする、請求項４記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記取付け部は、前記磁石列の取付け位置に、前記本体の外側に向けて開口する蟻溝状に形成され、
前記取付け部の底部に前記バックヨークを配設した、
ことを特徴とする、請求項１記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータに係り、詳しくは、該リニアモータの固定子を構成する磁石列を用いて移動子の位置を検出し得るようにしたリニアモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
環状に配置された複数の磁石列が所定の間隔で配列された本体を有する固定子と、前記磁石列と対向する電機子が軸心方向に複数列所定の間隔で配列された移動子とを有し、該移動子を、前記固定子と該移動子との間の磁気相互作用により前記軸方向に移動駆動自在に設けたリニアモータが知られている。そして、このようなリニアモータにおいて、固定子の磁石列を構成する永久磁石片を利用して、移動子の位置を検出するようにしたものも知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このようなリニアモータで移動子を移動駆動した場合、移動子の電機子で発生するジュール熱や、該電機子で発生する磁気と固定子の永久磁石片の磁気の相互作用によって発生する渦電流による発熱等、大きな熱が発生する。そして、この発熱により固定子や移動子に熱膨張による熱変位が発生する。この熱変位は、リニアモータ（特に、軸心方向の長さが長い固定子）全体が均一に変位するのではなく、発熱した部位とその近傍の変位量が大きくなり、発熱部から遠くなるにしたがってその変位量が小さくなる。
【０００４】
このため、固定子に配置された磁石列の磁気作用によって電機子の電磁コイル側に発生する誘導電流を検出して、移動子の位置を検出するようにしたリニアモータでは、検出された移動子の位置の検出精度が低下することになる。従って、このようなリニアモータを加工装置に適用した場合、ワークの加工精度が低下するなどの原因となる。
【０００５】
上記の事情に鑑み、本発明は、リニアモータの固定子の熱変位を防止し、該固定子に配置された磁石列を利用した位置検出精度を向上させるようにしたリニアモータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、外周面に磁石列（２０）の取付け部（１５）が軸心（ＣＬ１）方向と平行に形成された筒状の本体（１１）と、前記取付け部（１５）に配置され、前記磁石列（２０）を構成するそれぞれ複数の永久磁石片（２１）及びスペーサ（２２）と、を備えた固定子（１０）と、前記磁石列（２０）と対向するように複数の電機子（３５）が前記軸心（ＣＬ１）方向に配列された移動子（３０）とを有し、該移動子（３０）を、前記磁石列（２０）と電機子（３５）との間の磁気相互作用により該固定子（１０）に沿って前記軸心（ＣＬ１）方向に移動駆動自在に設けたリニアモータにおいて、
前記本体（１１）は、高剛性の非磁性材料から形成されると共に、
前記複数の永久磁石片（２１）及びスペーサ（２２）は、セラミック材料から形成されており、
更に、前記リニアモータは、
磁性材料で形成され、前記本体（１１）の取付け部（１５）に、該本体（１１）と該取付け部（１５）に取付けられる前記磁石列（２０）との間に位置するように配置されたバックヨーク（１６、２５）と、
前記固定子（１０）の両端に配置され、前記本体（１１）に対し前記磁石列（２０）を保持する一対の保持部材（１７、１７）と、を設け、
前記保持部材（１７、１７）とバックヨーク（１６、２５）及び本体（１１）間に、前記軸心（ＣＬ１）方向に伸縮許容間隙（Ｇ、ｇ）をそれぞれ設けて構成される。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の発明において、
前記保持部材（１７、１７）は、
前記本体（１１）に対して前記軸心（ＣＬ１）方向に相対移動自在に嵌合し、前記伸縮許容間隙（Ｇ、ｇ）は、少なくとも一方の前記保持部材（１７、１７）と該本体（１１）の端面（１１ａ）との間に形成して構成される。
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項１記載の発明において、
前記バックヨーク（１６）は、前記軸心（ＣＬ１）方向に移動可能に配設され、前記伸縮許容間隙（Ｇ、ｇ）は、少なくともその一端（１６ａ）と前記保持部材（１７、１７）との間に形成されている。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項１記載のリニアモータにおいて、
前記バックヨーク（２５）は、
前記軸心（ＣＬ１）に対し所定の角度傾斜する切断線により、該軸心（ＣＬ１）方向に、前記伸縮許容間隙（Ｇ１）を介して少なくとも２個に分割されたバックヨーク片（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄ）を有している。
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項４記載のリニアモータにおいて、
前記バックヨーク（２５）は、
前記分割された位置においても、前記永久磁石片（２１）によって飽和磁束密度となる厚さを有する。
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項１記載のリニアモータにおいて、
前記取付け部（１５）は、前記磁石列（２０）の取付け位置に、前記本体の外側に向けて開口する蟻溝状に形成されている。
【００１２】
なお、括弧内の符号等は、図面と対照するためのものであり、これは、発明の理解を容易にするための便宜的なものであって、特許請求の範囲に何等影響を及ぼすものではない。
【００１３】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によると、磁石列の両端に保持部材を配置し、該保持部材と固定子の本体及びバックヨークとの間に伸縮許容間隙を設けたので、リニアモータの温度変化による前記本体及びバックヨークの伸縮にかかわらず、前記磁石列を用いて移動子の位置検出を正確に行なうことができる。
【００１４】
請求項２に係る発明によると、磁石列を保持する保持部材と固定子の本体を軸心方向に相対移動自在に設けたので、リニアモータの温度が変化して本体がその軸心ＣＬ１方向に伸縮したとしても、該本体の軸心方向への伸縮は、伸縮許容間隙によって吸収され、保持部材や磁石列に影響を及ぼすことがなく、従って、固定子と移動子の相対位置を変化させることがないので、移動子の位置を高精度で検出することができる。
【００１５】
請求項３に係る発明によると、バックヨークは、保持部材との間に固定子の軸心に沿って伸縮自在に配置されているので、リニアモータの温度が変化してバックヨークがその軸心ＣＬ１方向に伸縮したとしても、該バックヨークの軸心方向への伸縮は、伸縮許容間隙によって吸収され、保持部材や磁石列に影響を及ぼすことがなく、従って、固定子と移動子の相対位置を変化させることがないので、移動子の位置を高精度で検出することができる。
【００１６】
請求項４に係る発明によると、バックヨークは、固定子の軸心に対し所定の角度傾斜する切断線により、該軸心方向に少なくとも２個に分割されたバックヨーク片で構成されているので、バックヨークを構成する個々のバックヨーク片の長さを短くすることができ、幅や厚さに比較して長さが極めて長いバックヨークを容易に製造することができる。
【００１７】
請求項５に係る発明によると、バックヨークは、前記分割された位置においても、前記永久磁石片によって飽和磁束密度となる厚さを有するので、リニアモータの性能を低下させることなく、バックヨークを容易に製造することができる。
【００１８】
請求項６に係る発明によると、固定子の本体に蟻溝状の取付け部を形成し、該取付け部にバックヨーク及び磁石列を取付けるようにしたので、本体及びバックヨークが熱膨張により伸縮しても、本体、バックヨーク及び磁石列の相対位置を安定した状態で保持することが出来る。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２０】
図１乃至図５は、本発明の実施の形態を示すもので、図１は、本発明によるリニアモータの側面断面図、図２は、図１における固定子の側面断面図、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図、図４は、図２における固定子の分解斜視図、図５は、図２に示す固定子の本体部分周辺における磁石列の配列態様をを示す展開図である。
【００２１】
リニアモータ１は、図１に示すように、全体が細長い筒状に形成された固定子１０と、該固定子１０上を固定子１０の軸心ＣＬ１方向に移動駆動自在に設けられた移動子３０とからなる。
【００２２】
前記固定子１０は、高剛性を有する非磁性材料（例えば、炭素繊維やアラミド繊維をエポキシ樹脂などの樹脂で固めた高性能繊維固化材料）で細長い筒状に形成された本体１１を有し、該本体１１には、前記軸心ＣＬ１方向に貫通する中空部１２が形成されている。前記本体１１は、図３及び図４に示すように、断面外周部が略矩形（中空部１２も略矩形）の細長い筒状に形成されており、その外周を構成する平面１３（１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｄ）には、蟻溝状の取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）が形成されている。なお、前記本体１１の断面形状は、図３及び図４に示すような略矩形（四角形）に限らず、六角形、八角形などの多角形でもよい。
【００２３】
前記取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）には、図２及び図３に示すように、それぞれバックヨーク１６（１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）と磁石列２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ）が配設される。
【００２４】
前記バックヨーク１６（１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）は、強磁性材料で、図３に示すように、その断面が、前記取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）の底部に嵌合する台形に形成され、図４に示すように、前記本体１１の端面１１ａから該取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）に装着される。なお、前記バックヨーク１６（１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）は、図２に示すように、前記本体１１の長さより所定の長さ２（Ｇ−ｇ）分だけ短く形成されている。
【００２５】
前記磁石列２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ）は、熱膨張率（線膨張率）の小さなセラミックス（例えば、熱膨張率が実質０の低膨張ガラスセラミックス）で形成された永久磁石片２１とスペーサ２２を交互に配置して構成される。前記永久磁石片２１とスペーサ２２は、図３に示すように、その断面が、前記取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）の外周部に嵌合する台形に形成され、図４に示すように、前記本体１１の端面１１ａから該取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）にそれぞれ交互に装着される。なお、前記磁石列２０は、図２に示すように、前記本体１１の長さより所定の長さ２ｇだけ長く形成され、該本体１１の両端から突出する。
【００２６】
なお、前記本体１１の取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）と、前記バックヨーク１６、磁石列２０（永久磁石片２１及びスペーサ２２）との前記軸心ＣＬ１の直交断面における隙間ｇ１（図３参照、１個所のみ表示）は、固定子１０全体が熱膨張、熱収縮したときでも、前記本体１１、バックヨーク１６及び磁石列２０が前記軸心ＣＬ１方向に相対移動し得るように設定されている。
【００２７】
前記磁石列２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ）の両端部２０ａには、例えば、前記本体１１と同じ材料で形成された保持部材１７、１７のフランジ部１７ａが固定されている。前記保持部材１７、１７のフランジ部１７ａから前記本体１１側に向けて突出する軸部１７ｂは、前記本体１１の中空部１２に摺動自在に嵌合し、該本体１１を保持している。
【００２８】
そして、前記磁石列２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ）に保持手段１７、１７を介して前記本体１１を保持したとき、前記フランジ部１７ａと前記本体１１の端面１１ａとの間には、間隙ｇが、前記フランジ部１７ａ、１７ａと前記バックヨーク１６（１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）端面１６ａとの間には、間隙Ｇがそれぞれ軸心ＣＬ１方向に形成される。この間隙ｇ、Ｇの大きさ（図２の場合は、両側にあるので、２ｇ、２Ｇ）は、リニアモータ１の温度上昇が最大になっても、熱膨張によって伸長する前記本体１１の端部１１ａ及びバックヨーク１６（１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）の端部１６ａが前記保持部材１７、１７のフランジ部１７ａに当接しない大きさとする。
【００２９】
前記磁石列２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ）は、図２に示すように、前記本体１１の内外方向に磁化された複数の永久磁石片２１と、複数のスペーサ２２で構成され、図５に示すように、それぞれ前記軸心ＣＬ２方向に隣接する前記永久磁石片２１の極性が逆（Ｓ−Ｎ−Ｓ−Ｎ−…）になるように交互に配置されている。また、前記本体１１の外周に環状に配置された前記永久磁石片２１の各段（図５の上下方向）Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５ごとの極性は、段Ｌ１は全てＳ極、段Ｌ２は全てＮ極のように同一になるように配置されている。
【００３０】
各磁石列２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄを構成する前記永久磁石片２１は、図５に示すように、軸心ＣＬ１方向の幅がＨ１で、軸心ＣＬ１方向に所定角度傾斜するように形成されている。そして、前記永久磁石片２１は、前記スペーサ２２を含め前記軸心ＣＬ１方向にピッチＰ２で配列されている。また、前記各磁石列２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄの内、前記本体１１の外周方向に隣接する磁石列２０Ａと磁石列２０Ｂ、磁石列２０Ｂと磁石列２０Ｃ、磁石列２０Ｃと磁石列２０Ｄ、磁石列２０Ｄと磁石列２０Ａの間の位相が、それぞれ軸心ＣＬ１方向にピッチＰ１だけずれるように配置されているので、コギングトルクを抑制することができる。相対向する磁石列２０Ａと磁石列２０Ｃ、磁石列２０Ｂと磁石列２０Ｄは軸心ＣＬ２方向において同じ位相になっている。なお、隣接する磁石列２０Ａと２０Ｂ、２０Ｂと２０Ｃ、２０Ｃと２０Ｄ、２０Ｄと２０Ａの間の位相は、Ｐ１＝Ｐ２／４のピッチだけずれるように配置してもよい。
【００３１】
前記移動子３０は、図１に示すように、図示しない適宜な支持手段によって前記軸心ＣＬ１方向に移動自在に支持された被駆動対象物３１（例えば、工作機械のテーブルなど）に固定され、前記固定子１０に移動自在に外嵌する形で装着されている。
【００３２】
前記移動子３０は、全体箱状に形成された本体３２を有し、該本体３２の軸心ＣＬ１方向の両端には、前記固定子１０が相対移動可能に貫通する貫通穴３２ａが形成され、内部に電機子装着空間３２ｂが形成されている。該電機子装着空間３２ｂには、前記固定子１０の外周を取り囲み、かつ前記磁石列２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ）と対向するように複数の電機子列３３（３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄ）（電機子列３３Ｂ、３３Ｄは図示せず）が装着されている。
【００３３】
前記電機子列３３（３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄ）は、それぞれ鉄心３６の周囲に巻設された複数の電磁コイル３７を前記軸心ＣＬ１方向に、前記固定子１０の磁石列２０における永久磁石片２１のピッチＰ２（図５参照）とは異なるピッチＰ３（Ｐ３＜Ｐ２）で、その基端部を前記本体３２に接続した形で配設されている。
【００３４】
リニアモータ１は、前記のような構成を有するので、前記移動子３０の電機子３５を構成する電磁コイル３７を、公知の手法で順次励磁し、その際の前記電機子３５の鉄心３６を通る磁束と前記固定子１０の磁石列２０を構成する永久磁石片２１の磁束とによって、前記鉄心３６と永久磁石片２１の間に作用する吸引力と反発力により、前記移動子３０は、前記固定子１０の軸心ＣＬ１方向に移動駆動され、前記移動子３０に固着された被駆動対象物１５も同方向に駆動される。
【００３５】
このとき、前記移動子３０の前記軸心ＣＬ１方向の移動により、該移動子３０の電機子３５を構成する電磁コイル３７が、前記永久磁石片２１の磁束を横切ることにより、該電磁コイル３７に誘導電流が発生する。この誘導電流を検出することにより公知の手法で前記移動子３０（即ち、被駆動対象物３１）の位置を検出することができる。
【００３６】
前記のように、前記移動子３０を移動駆動する際に、前記移動子３０は、前記電磁コイル３７に印加される電流によるジュール熱と、前記鉄心３６が前記固定子１０の永久磁石片２１が発生する磁束を横切ることにより前記鉄心３６に発生する渦電流よる発熱とにより該鉄心３６及び電磁コイル３７の温度が上昇する。しかし、前記移動子３０は、前記固定子１０に比べ、軸心ＣＬ１方向の長さが短く、しかも、本体３２及び被駆動対象物３１を通して放熱することができるので、移動子１０全体の温度上昇を低く押え、熱膨張を小さくすることができる。
【００３７】
一方、前記固定子１０側では、前記電磁コイル３７で発生し、前記鉄心３６を介して放射される磁束の変動により、前記永久磁石片２１及びバックヨーク１６に渦電流が発生し、該渦電流による発熱により該永久磁石片２１とバックヨーク１６の温度が上昇する。前記バックヨーク１６で発生した熱の一部は、前記永久磁石片２１及びスペーサ２２に伝達され、該永久磁石片２１及びスペーサ２２を通して大気中に放出され、他の一部は前記本体１１に伝達されて、該本体１１を加熱する。
【００３８】
前述したように、前記永久磁石片２１及びスペーサ２２は、熱膨張率が実質０の低膨張ガラスセラミックスで形成されているため、温度上昇があっても前記磁石列２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ）は、熱膨張しない状態で維持される。一方、前記本体１１とバックヨーク１６は、温度上昇によりそれぞれの熱膨張率に応じて軸心ＣＬ１方向に伸長する。
【００３９】
このとき、前述したように、前記磁石列２０の両端に固定された保持部材１７、１７の軸部１７ｂ、１７ｂと、前記本体１１の中空部１２は軸心ＣＬ１方向に摺動可能に嵌合しているので、本体１１は該軸部１７ｂ、１７ｂに沿って軸心ＣＬ１方向に伸長する。これにより、本体１１の軸心ＣＬ１方向の熱膨張は軸部１７ｂ、１７ｂとの相対移動により吸収され、保持部材１７、１７間の距離Ｌｘは、熱膨張の無視できる磁石列２０によってのみその長さが規定されるので、熱による距離Ｌｘの変化は無視することができ、常に一定の距離Ｌｘを保持することができる。
【００４０】
また、図２に示すように、前記保持部材１７のフランジ部と前記本体１１の端部１１ａ及びバックヨーク１６の端部１６ａとの間に、それぞれ間隙ｇ、間隙Ｇが形成されているので、前記本体１１とバックヨーク１６が熱膨張により軸心ＣＬ１方向に伸長しても、該本体１１の両端部１１ａ、１１ａ、バックヨーク１６の両端部１６ａ、１６ａが同時に保持部材１７、１７と当接することはない。即ち、本体１１とバックヨーク１６の熱膨張が磁石列２０の寸法や位置に影響を与えることはない。従って、前記磁石列２０を基準として移動子３０の位置を検出することにより、移動子３０の位置を高精度に検出することができる。
【００４１】
図６は、本発明によるリニアモータの固定子に使用するバックヨークの第２の実施の形態を示す平面図である。
【００４２】
同図において、図３、図５と同じものは同じ符号を付けて示し、説明を省略する。固定子１０の本体１１に形成された取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）に装着されるバックヨーク２５（２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃ、２５Ｄ）は、前記固定子１０の軸心ＣＬ１に対し角度α傾斜した切断線で切断された複数のバックヨーク片２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄで構成され、各バックヨーク片２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄは、前記本体１１の取付け部１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）に装着したとき、バックヨーク片２６ａとバックヨーク片２６ｂとの間、バックヨーク片２６ｂとバックヨーク片２６ｃとの間、バックヨーク片２６ｃとバックヨーク片２６ｄとの間に、それぞれ間隙Ｇ１を軸心ＣＬ１方向に形成するように、それぞれ中央部が、例えば、ねじ２７により前記本体１１に固定され、軸心ＣＬ１方向に移動しないように係止される。
【００４３】
前記間隙Ｇ１の大きさは、リニアモータの温度上昇が最大になったとき、熱膨張によって伸長するバックヨーク片２６ａ（２６ｂ、２６ｃ）とバックヨーク片２６ｂ（２６ｃ、２６ｄ）が互いに当接しない寸法に設定されている。
【００４４】
また、各バックヨーク片２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄは、前記分割位置においても、前記永久磁石片２１によって飽和磁束密度となる厚さを有し、隣接する永久磁石片２１間の磁気回路を構成する。
【００４５】
このような構成としても前記実施の形態と同様の作用、効果を得ることができ、しかも、厚さや幅に比較して軸心ＣＬ１方向の長さが極めて長いバックヨーク２５を複数のバックヨーク片２６（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄ）に分けて作ることができるので、その製造を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるリニアモータの側面断面図。
【図２】図１における固定子の側面断面図。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図。
【図４】図２における固定子の分解斜視図。
【図５】図２に置ける固定子の磁石列を示す側面図。
【図６】本発明によるリニアモータの固定子に使用するバックヨークの第２の実施の形態を示す平面図。
【符号の説明】
１０…固定子
１１…本体
１１ａ…端面
１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）…取付け部
１６（１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ）…バックヨーク
１７…保持部材
２０（２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ）…磁石列
２１…永久磁石片
２２…スペーサ
２５…バックヨーク
２６（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄ）…バックヨーク片
３０…移動子
３５…電機子
ＣＬ１…軸心
ＣＬ２…軸心
Ｇ…伸縮許容間隙
Ｇ１…伸縮許容間隙
ｇ…伸縮許容間隙
【図１】
2004056864.tif 000003
【図２】
2004056864.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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