(57)【要約】【課題】マイナス粒子発生装置において、長期にわたり、マイナス粒子の発生を維持すると共に、いっそうの爽快感が得られるようにすること。【解決手段】少なくとも基板と、前記基板上にバリア性を有し、なおかつ光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜を有する光電子放出板１と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源２と、酸素富化膜４を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜４透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させるようにした。上記接地により、長期にわたり、マイナス粒子の発生を維持すると共に、得られる酸素富化空気によりいっそうの爽快感が得られるマイナス粒子発生装置が実現できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも基板と、前記基板上にバリア性を有し、なおかつ光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜を有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置。
【請求項２】
少なくとも導電性基板と、前記導電性基板直上にバリア性を有し、なおかつ光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜を有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置。
【請求項３】
少なくとも基板と、前記基板上にバリア性を有し、なおかつ光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜と、前記光電子を放出する膜の直下に導電性膜を有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置。
【請求項４】
少なくとも基板と、前記基板上にバリア性を有する膜と、前記バリア性を有する膜の直上に光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜とを有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置。
【請求項５】
少なくとも基板と、前記基板上にバリア性かつ導電性を有する膜と、前記膜の直上に光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜とを有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置。
【請求項６】
少なくとも導電性基板と、前記導電性基板上にバリア性かつ導電性を有する膜と、前記膜の直上に光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜とを有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置。
【請求項７】
酸素富化装置と光電子を放出する膜との間に、流路制御材を設けたことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のマイナス粒子発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、酸素富化空気にマイナス粒子を付加する装置に関するものであり、特に、酸素富化膜を有する酸素富化装置から生成される酸素富化空気に、光電効果により発生する光電子を利用してマイナス粒子を付加するマイナス粒子発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のマイナス粒子を発生する手法としては、電気的に接地した光電子発生材に光を照射すると共に、前記光電子発生材の表面に空気を流してマイナス粒子を発生させる装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特許第３３２２２６７号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方法では、酸素量そのものは増加しないものであった。
【０００５】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、時間経過とともにマイナス粒子数が減少することもなく、耐久性に優れ、また、発生する酸素富化空気でより爽快感の得られるマイナス粒子発生装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するために本発明は、少なくとも基板と、前記基板上にバリア性を有し、なおかつ光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜を有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置とした。これにより、耐久性に優れ、また、発生する酸素富化空気でより爽快感の得られるマイナス粒子発生装置を提供できる。
【０００７】
【発明実施の形態】
請求項１に記載の発明は、少なくとも基板と、前記基板上にバリア性を有し、なおかつ光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜を有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置とした。
【０００８】
これにより、光照射により光電子を放出する膜を拡散して、下地材がこの膜表面を被覆することを防ぐことで、マイナス粒子発生時間により、マイナス粒子数が大きく減少することのない、すなわち長期にわたり耐久性に優れており、また同時に酸素を富化することができ、爽快感が得られるマイナス粒子発生装置となる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、少なくとも導電性基板と、前記導電性基板直上にバリア性を有し、なおかつ光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜を有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置とした。
【００１０】
これにより、マイナス粒子の発生により、不足した光電子放出板の電子は、導電性基板を電気的に接地する等の手段で補うことができ、そのため長期にわたり耐久性に優れ、かつ多くのマイナス粒子を放出し、また同時に酸素を富化することができ、爽快感が得られるマイナス粒子発生装置となる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、少なくとも基板と、前記基板上にバリア性を有し、なおかつ光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜と、前記光電子を放出する膜の直下に導電性膜を有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置とした。
【００１２】
これにより、マイナス粒子の発生により、不足した光電子放出板の電子は、導電性膜を電気的に接地する等の手段ですばやく補うことができ、そのため、長期にわたり、耐久性に優れかつ多くのマイナス粒子を放出し、また同時に酸素を富化することができ、爽快感が得られるマイナス粒子発生装置となる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、少なくとも基板と、前記基板上にバリア性を有する膜と、前記バリア性を有する膜の直上に光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜とを有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置とした。
【００１４】
これにより、マイナス粒子発生時間により、マイナス粒子数が大きく減少することのない、すなわち長期にわたり耐久性に優れた、また同時に酸素を富化することができ、爽快感が得られるマイナス粒子発生装置となる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、少なくとも基板と、前記基板上にバリア性かつ導電性を有する膜と、前記膜の直上に光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜とを有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置とした。
【００１６】
これにより、マイナス粒子の発生により、不足した光電子放出板の電子をすばやく補うことができ、そのため長期にわたり耐久性に優れ、かつ多くのマイナス粒子を放出し、また同時に酸素を富化することができ、爽快感が得られるマイナス粒子発生装置となる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、少なくとも導電性基板と、前記導電性基板上にバリア性かつ導電性を有する膜と、前記膜の直上に光照射することにより光電子を放出する電気的に接地された膜とを有する光電子放出板と、前記光電子を放出する膜に光照射するための光源と、酸素富化膜を有する酸素富化装置とを備え、前記光電子を放出する膜に光を照射すると共に、前記光電子を放出する膜の表面に前記酸素富化膜透過後の酸素富化空気を流すことでマイナス粒子を発生させることを特徴とするマイナス粒子発生装置とした。
【００１８】
これにより、マイナス粒子の発生により、不足した光電子放出板の電子を、導電性基板が電気的に接地されることで補うことができ、そのため長期にわたり耐久性に優れ、かつ多くのマイナス粒子を放出し、また同時に酸素を富化することができ、爽快感が得られるマイナス粒子発生装置となる。
【００１９】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載の発明に加えて、酸素富化装置と光電子を放出する膜との間に、流路制御材を設けた。
【００２０】
これにより、光電子を放出する膜の表面に空気が衝突するように流すと、発生したマイナス粒子が光電子発生板の表面に戻らないため、マイナス粒子を減少することなく発生することができる。
【００２１】
なお、バリア膜としては、上記の他にセラミック膜および、それらの複合化合物が有効である。
【００２２】
また、基板としては、導電性を有するものとしては、銅、アルミニウム、等の金属もしくは合金、ステンレス、真鍮等の合金も有効である。また導電性を有しなくてもよく、ガラス、プラスチック等も有効であり、バリア性かつ導電性を有する膜を設け、それを電気的に接地することで、マイナス粒子を多くすることができる。
【００２３】
また、そのバリア性かつ導電性を有する膜としては、窒化チタン、チタンカーバイド、窒化ジルコニウム、ジルコニウムカーバイド、炭素、等のセラミックまたはそれらの複合化合物も有効である。
【００２４】
また、光照射することにより光電子を放出する膜としては、金属もしくは導電性セラミックも有効である。
【００２５】
【実施例】
本発明の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置について図１を用いて説明する。図１は酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置を断面図としたものであり、図１において光電子放出板１は、光照射するための光源２を挟み込むように通風口の上下壁に設置されている。通風口の背後には酸素富化膜４と真空ポンプ５が設置され、通風口に酸素富化の気体を送るようになっている。また特に明記のない場合には１の基板側に電気的接地３が取り付けられている。なお、光源２は６Ｗの冷陰極管を使用し、気体の送風量を２００Ｌ／ｍｉｎとした。また、特に明記しない場合、すべてのスイッチをｏｎにした。
【００２６】
（実施例１）
アクリル基板上に窒化チタン１μｍを蒸着し、光電子放出板を作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載した場合（１Ａ）と、図１の酸素富化膜を取り除いたマイナス粒子発生装置に搭載した場合（１Ｂ）とで、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。なお、電気的接地は窒化チタン膜に行った。
【００２７】
（酸素富化膜の特性）
図２は、マイナス粒子発生装置１Ａと１Ｂの、動作時間に対するマイナス粒子の数である。酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置１Ａのほうが、初期からマイナス粒子の数が多いことがわかり、酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置１Ａが本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００２８】
（実施例２）
アクリル基板上に窒化チタン１μｍを蒸着し、光電子放出板２Ａを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。なお、電気的接地は窒化チタン膜に行った。
【００２９】
（比較例２）
アクリル基板上に金１μｍを蒸着し、光電子放出板２Ｂを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。なお、電気的接地は金膜に行った。
【００３０】
（バリア性を有しかつ、光照射することにより光電子を放出する膜の特性）
図３は、光電子放出板２Ａと２Ｂの、動作時間に対するマイナス粒子の数である。バリア性を有する光電子放出板２Ａのほうが、長期にわたりマイナス粒子の数を維持していることがわかり、光電子放出板２Ａが本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００３１】
（実施例３）
ステンレス基板上に窒化チタン１μｍを蒸着し、光電子放出板３Ａを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。
【００３２】
（比較例３）
アクリル基板上に窒化チタン１μｍを蒸着し、光電子放出板３Ｂを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。
【００３３】
（基板が導電性である場合の特性）
図４は、光電子放出板３Ａと３Ｂの、動作時間に対するマイナス粒子の数である。基板が導電性である光電子放出板３Ａのほうが、多くのマイナス粒子の数を放出し、長期にわたり維持していることがわかり、光電子放出板３Ａが本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００３４】
（実施例４）
アクリル基板上にアルミを蒸着し、さらにその上に窒化チタン１μｍを蒸着し、光電子放出板４Ａを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。なお、電気的接地はアルミ膜に行った。
【００３５】
（比較例４）
アクリル基板上に窒化チタン１μｍを蒸着し、光電子放出板４Ｂを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。
【００３６】
（下地に導電膜がある場合の特性）
図５は、光電子放出板４Ａと４Ｂの、動作時間に対するマイナス粒子の数である。下地に導電膜を有する光電子放出板４Ａのほうが、長期にわたり多くのマイナス粒子の数を維持していることがわかり、光電子放出板４Ａが本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００３７】
（実施例５）
アクリル基板上にスパッタ法でシリカ１μｍを設け、その上に金１μｍを蒸着し、光電子放出板５Ａを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。なお、電気的接地は金膜に行った。
【００３８】
（比較例５）
アクリル基板上に金１μｍを蒸着し、光電子放出板５Ｂを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。なお、電気的接地は金膜に行った。
【００３９】
（バリア膜有無による特性）
図６は、光電子放出板５Ａと５Ｂの、動作時間に対するマイナス粒子の数である。バリア性を有する光電子放出板５Ａのほうが、長期にわたりマイナス粒子の数を維持していることがわかり、光電子放出板５Ａが本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００４０】
（実施例６）
アクリル基板上に窒化チタン１μｍを蒸着し、その上に金１μｍを蒸着し、光電子放出板６Ａを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。なお、電気的接地は窒化チタンに行った。
【００４１】
（比較例６）
アクリル基板上にスパッタ法でシリカ１μｍを設け、その上に金１μｍを蒸着し、光電子放出板６Ｂを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。なお、電気的接地はシリカに行った。
【００４２】
（下地に導電膜がある場合の特性）
図７は、光電子放出板６Ａと６Ｂの、動作時間に対するマイナス粒子の数である。下地に導電膜を有する光電子放出板６Ａのほうが、長期にわたり多くのマイナス粒子の数を放出し、維持していることがわかり、光電子放出板６Ａが本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００４３】
（実施例７）
ステンレス基板上に窒化チタン１μｍを蒸着し、さらにその上に金１μｍを蒸着し、光電子放出板７Ａを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。
【００４４】
（比較例７）
アクリル基板上に窒化チタン１μｍを蒸着し、さらにその上に金１μｍを蒸着し、光電子放出板７Ｂを作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。
【００４５】
（基板が導電性の場合の特性）
図８は、光電子放出板７Ａと７Ｂの、動作時間に対するマイナス粒子の数である。基板が導電性である場合の光電子放出板７Ａのほうが、多くのマイナス粒子の数を放出し、長期にわたり維持していることがわかり、光電子放出板７Ａが本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００４６】
（実施例８）
図９は本実施例８の検証を行うための酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置であり、図１に流路制御材３４を取り付けたものである。図９において、光電子放出板３１は、光照射するための光源３２を挟み込むように通風口の上下壁に設置されている。通風口の背後には酸素富化膜３５と真空ポンプ３６が設置され、通風口に酸素を多く含む気体を送るようになっており、流路制御材３４で通風が制御される。また特に明記のない場合には３１の基板側に電気的接地３３が取り付けられている。なお、光源３２は６Ｗの冷陰極管を使用し、気体の送風量を２００Ｌ／ｍｉｎとした。また、特に明記しない場合、すべてのスイッチをｏｎにした。
【００４７】
ステンレス基板上（最大表面粗さ０．８μｍ）に窒化チタン１μｍを蒸着した光電子放出板を作製し、図９の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載した場合（８Ａ）と、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載した場合（８Ｂ）で、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。
【００４８】
図１０は、酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置８Ａと８Ｂの場合で、動作時間に対するマイナス粒子の数である。酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に流路制御材を設ければ、初期のマイナス粒子数が増えることがわかり、長期にわたり多くのマイナス粒子の数を維持することもわかり、流路制御材を設けた８Ａが本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００４９】
（実施例９）
ステンレス基板上（最大表面粗さ０．８μｍ）に窒化チタン１μｍを蒸着した光電子放出板を作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、窒化チタンへの電気的接地がある場合と無い場合で、動作時間に対するマイナス粒子の数を測定した。
【００５０】
（接地特性）
図１１は、電気的接地が有る場合（９Ａ）と無い場合（９Ｂ）の動作時間に対するマイナス粒子の数である。窒化チタンに電気的接地が有る９Ａは、長期にわたり多くのマイナス粒子の数を維持していることがわかり、電気的接地が無い９Ｂは、すぐにマイナス粒子の数は減少することがわかる。このことから電気的接地が本発明の効果を発揮していることがわかる。
【００５１】
（実施例１０）
ステンレス基板上（最大表面粗さ０．８μｍ）に窒化チタン１μｍを蒸着した光電子放出板を作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、窒化チタンへ電気的接地を取り付けて、図示していない電気的接地状態と絶縁状態が切り替え可能な回路を取り付け、本酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置の性能を評価するための実験を行った。
【００５２】
７ｍ３のチャンバー内に酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置を入れ、電気的接地状態にして装置からマイナス粒子を発生させ、チャンバー内のマイナス粒子数を測定した。装置作動後から３０分後に電気的絶縁状態にして、さらに３０分後に再び電気的接地状態にして、これらを繰り返した。経過時間毎にチャンバー内の単位体積当たりのマイナス粒子数をイオンテスターで測定した。測定結果を図１２に示す。
【００５３】
図１２の結果から明らかなように、本発明の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置を用いれば、空間内のマイナス粒子数を極端に増加させることもなく、単位体積当たりに１０００個から２５００個で安定に調整することができる。このことから、本発明はマイナス粒子の数を一定の範囲内で調整できる空間を実現することができた。
【００５４】
（実施例１１）
ステンレス基板上（最大表面粗さ０．８μｍ）に窒化チタン１μｍを蒸着した光電子放出板を作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、窒化チタンへ電気的接地を取り付けて、図示していない接地回路に流れる電流を測定するために微少電流計を取り付け、本酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置の性能を評価するための実験を行った。装置から発生する単位体積当たりのマイナス粒子数をイオンテスターで測定し、接地回路に流れる電流を同時に測定した。この結果より接地回路に流れる電流に対する、マイナス粒子数の関係を求めた。測定結果を図１３に示す。
【００５５】
図１３の結果から明らかなように、本発明の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置を用いれば、接地回路に流れる電流を測定することで、装置から発生するマイナス粒子の数がわかる。このことから、本発明は装置から発生するマイナス粒子の数を簡単に見積もることができる酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置を実現することができた。
【００５６】
（実施例１２）
ステンレス基板上（最大表面粗さ０．８μｍ）に窒化チタン１μｍを蒸着した光電子放出板を作製し、図１の酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置に搭載し、窒化チタンに対して、図示していない定電圧装置を用いて直流電圧を印加し、酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置を作動させ、発生するマイナス粒子を計測した。印加電圧とマイナス粒子数の関係を図１４に示す。
【００５７】
図１４の結果から明らかなように、窒化チタンに対して直流電圧を印加した酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置（１４Ａ）を用いれば、常に安定したマイナス粒子の発生が見られた。光電子放出板を電気的に接地しただけの場合（１４Ｂ：電圧０Ｖ）と比較して発生するマイナス粒子個数は増加した。このことから、窒化チタンに印加した直流電圧により、マイナス粒子の発生を制御できる酸素富化膜を備えるマイナス粒子発生装置を実現することができた。
【００５８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、時間経過とともにマイナス粒子数が減少することもなく、耐久性に優れ、また、発生する酸素富化空気により、さらに爽快感の得られるマイナス粒子発生装置を提供できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１におけるマイナス粒子発生装置の要部構成図
【図２】同、マイナス粒子発生装置で発生するマイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図３】本発明の実施例２のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図４】本発明の実施例３のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図５】本発明の実施例４のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図６】本発明の実施例５のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図７】本発明の実施例６のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図８】本発明の実施例７のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図９】本発明の実施例８におけるマイナス粒子発生装置の要部断面図
【図１０】本発明の実施例８のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図１１】本発明の実施例９のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図１２】本発明の実施例１０のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図１３】本発明の実施例１１のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【図１４】本発明の実施例１２のマイナス粒子発生装置における、マイナス粒子数と運転時間との相関を表すグラフ
【符号の説明】
１、３１  光電子放出板
２、３２  光源
３、３３  電気的接地
４、３５  酸素富化膜
３４  流路制御材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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