(57)【要約】【課題】本発明は、カセット搬送装置の重量の低減及び装置のコストダウン、防振性能向上ならびに作業者の操作性向上が可能なカセット搬送装置を提供することを課題とする。【解決手段】搬送装置は、基板を収容したカセット１を移載するスライドフォーク３と、防振機構２０と、防振機構２０を介してスライドフォークに取り付けられた支持プレート９とを有する。防振機構２０は、防振機能を有する弾性体よりなる防振材２１を有する。防振材２１の上ボルト２１ａはカセット１が載置される支持プレート９に固定される。防振材２１の下ボルト２１ｂはスライドフォーク３のプレート３ａに固定される。防振材２１の周囲に防振リング２２が設けられ、支持プレート９の水平方向の揺動を抑制する。【選択図】        図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容したカセットを搬送するための搬送装置の防振機構であって、
防振機能を有する弾性体よりなる防振材と、
該防振材の両端に設けられ、該防振材を搬送装置の構成部材に固定するための固定部と
を有することを特徴とする防振機構。
【請求項２】
請求項１記載の防振機構であって、
前記防振材の周囲を囲むように設けられた弾性体よりなる揺動防止部材を更に有することを特徴とする防振機構。
【請求項３】
請求項２記載の防振機構であって、
前記揺動防止部材は円筒形状の弾性体であり、該円筒状の弾性体の外周又は内周に嵌合して該揺動防止部材の位置を固定する位置決め部材を更に有することを特徴とする防振機構。
【請求項４】
基板を収容したカセットを移載する移載機構と、
該移載機構に取り付けられた防振機構と、
該防振機構を介して前記移載機構に取り付けられ、前記容器を載置するための載置部と
を有する搬送装置であって、
前記防振機構は、
防振機能を有する弾性体よりなる防振材と、
該防振材の一端に設けられ、前記移載機構に固定される第１の固定部と、
該防振材の他端に設けられ、前記載置部に固定される第２の固定部と
を有することを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
請求項４記載の搬送装置であって、
前記防振材の周囲を囲むように設けられた弾性体よりなる揺動防止部材と、該揺動防止部材の位置を固定する位置固定部材とを更に有することを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は搬送装置に係わり、特にガラス基板を使用した液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程において、ガラス基板搬送用カセットの運搬に用いられる、防振機構が設けられた搬送装置に関する。
【０００２】
近年、ＬＣＤ業界において、ＬＣＤのコストダウンが急務となっている。その対策の１つとして、ＬＣＤ用基板１枚当りで製作できる枚数を増やしてコストを下げるために、ガラス基板の大型化が進んでいる。しかし、ガラス基板の大型化は、搬送物であるガラス基板自体の重量増加につながり、また、ガラス基板を収容するカセットあるいはそれを搬送する搬送装置の重量増加につながる。このため、特に手動搬送を考えた場合、搬送装置の軽量化が重要な課題となっている。
【０００３】
【従来の技術】
上述のように、処理装置間でのカセットの搬送にはＭＧＶ（Ｍａｎｕａｌ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）と称される手動搬送台車が現在でも使用されている。ところが、ＬＣＤパネルのコストダウンを目的としたガラス基板サイズの大型化に伴い、基板ならびにそれを収納するカセット重量が増加する。例えば、縦×横×厚みが６８０×８８０×０．６ｍｍの基板２０枚とそれを収容するカセットとで約５０ｋｇの重量となる。このため、手動搬送台車強度を維持し且つカセットをスライドフォークで移載する際の転倒を防止するために、手動搬送台車の重量を増加しなければならず、人力で運搬する事が困難になりつつある。
【０００４】
また、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）等の自動搬送台車においても、ＭＧＶと同様に装置重量が増加するため、ＡＧＶ用動力モータの出力を増大する必要があり、消費電力増加によるバッテリ寿命の短縮が問題となってくる。更には、カセットの大型化によるカセット搬送装置の大型化に伴い、カセット搬送装置自体の製造コストがアップする。
【０００５】
ここで、従来の一般的なカセット搬送装置について、ＬＣＤ製造で使用されている手動搬送台車を例にとって説明する。
【０００６】
図１に示すように、ガラス基板が２０〜２５枚程収納されたカセット１を処理装置間で移載を行う目的で、手動搬送台車と称される箱型筐体の運搬台車２が広く使用されている。運搬台車２には、カセット１を移載するためのスライドフォーク３が設けられており、スライドフォーク３をカセット１の下に差し込んでから上に乗せて運搬台車２に移載するようになっている。
【０００７】
すなわち、スライドフォーク３の上下、左右（または前後）の動きにより運搬台車２と処理装置４の間でカセットの移載を行う。したがって、スライドフォーク３の差し込み動作に干渉しないように、処理装置４側にはフォークの逃げとなる切欠き４ａが設けられている。
【０００８】
スライドフォーク３に乗せられたカセット１は、スライドフォーク３を運搬台車２に引き込むことにより、運搬台車２の上部に設けられたカバー２ａ内に収容される。そして、カセットをカバー２ａ内に収容した状態で、図２に示すように、作業者の人力により運搬台車２を動かして、所望の位置まで移動する。この際、運搬台車２の移動に伴って運搬台車２からカセット１に振動が伝わり、また、移動の際の慣性力によりカセット１内のガラス基板に力が加わる。
【０００９】
このようなカセット１への振動や慣性力を抑制する目的で、一般的にカセット１と運搬台車２との間に防振機構５が設けられる。防振機構５は運搬台車２上でカセット１を柔軟に支持して振動を吸収する。ところが、防振機構５を設けると、カセット１に加わる慣性力に起因して、図３に示すように、カバー２ａ内あるいは運搬台車２の筺体フレーム２ｂ内でカセット１が揺動することとなる。したがって、運搬台車２に載せられたカセット１と運搬台車２の筺体フレーム２ｂとの間には所定のクリアランスが設けられ、カセット１が最大揺れ幅で揺動しても筺体フレーム２ｂやカバー２ａに接触しないように構成される。
【００１０】
防振機構５の具体的な例として、空気バネを利用した防振装置が挙げられる。図４は空気バネを利用した防振装置を備えた運搬台車の全体を示す図であり、図５は図４において楕円で囲まれた空気バネ部を拡大して示す図である。
【００１１】
図４に示すように、運搬台車２の筺体フレーム２ｂから水平方向に延出した台座２ｃ上に空気バネ６が取り付けられ、カセット１は空気バネ６の上に載置される。図５の拡大図に示されるように、台座２ｃ上にさらに空気バネ用の台座２ｄが取り付けられ、その上に空気バネ６が取り付けられる。空気バネ６の上にはカセット位置決めブロック７が取り付けられ、この上にカセット１が載置される。
【００１２】
空気バネ６には圧縮空気を供給するためのエアホース６ａが接続され、エアホース６ａは運搬台車２の本体部分に設けられた圧力調整ユニット接続される。運搬台車には、圧縮空気源として空気圧縮機あるいは圧縮空気タンクも設けられる。
【００１３】
以上のように、空気バネ６を運搬台車２に設けるためには、様々な部品が必要であり、また空気圧縮機や圧縮空気タンクと圧力調整ユニットも設ける必要があり、運搬台車２の重量を増大させる大きな要因となる。また、部品点数が多い分空気バネを用いた防振機構は製造コストが高いという問題もある。
【００１４】
そこで、空気バネの代わりに防振ゴムを用いた防振機構が提案されている。防振ゴムを用いた防振機構は小型・安価であり、図６に示すように、防振機構８をスライドフォーク３に取り付けることができる。図７は図６において楕円で囲んだ部分における防振機構８を拡大して示す断面図である。
【００１５】
防振ゴムを利用した防振機構８は、スライドフォーク３のプレート３ａとカセット１が載置される支持プレート９との間に設けられる。防振ゴムは円筒状のウレタンゴム１０よりなり、位置ずれ防止リング１１を介してプレート３ａと支持プレート９との間に設けられる。支持プレート９は段付き孔１２を有しており、この段付き孔１２からウレタンゴム１０の中央の孔を貫通してボルト１３をプレート３ａのネジ部に締めこむことにより、支持プレート９はウレタンゴム１０により支持された状態となる。なお、支持プレート９の上側には、カセット１を所定の位置に載置するための位置決めブロック７が取り付けられる。
【００１６】
図７に示す防振機構８では、ボルト１３は支持プレート９が水平方向に移動しない程度に締め付けられ、支持プレート９上にカセット１が載置された場合には、支持プレート９ごと沈みこんでウレタンゴム１０がある程度圧縮された状態で支持プレート９を支持するよう構成される。したがって、段付き孔１２の小径部内壁１２ａの直径は、ボルト１３の外径より僅かに大きくなるよう設定され、それらの間に間隙（クリアランス）が設けられる。
【００１７】
【特許文献１】
特開平５−１７０１１０号公報
【００１８】
【特許文献２】
特開平７−１０１５０３号公報
【００１９】
【特許文献３】
特開２００１−２９８０６５号公報
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、重量軽減やコストダウンを目的として、空気バネ使用による防振機構から防振ゴムを使用した防振機構を採用した運搬台車に切り替わりつつある。
【００２１】
ところが、防振ゴムを用いた防振機構は、空気バネを用いた防振機構に比べて防振性能が劣るため、運搬中にカセットの基板保持部とガラス基板の裏面が振動により擦れて塵埃が発生する、あるいはガラス基板に損傷（欠け）が発生するといった問題が発生する。また、図７に示す防振ゴムを用いた防振機構のように、取り付け用のボルト１３と支持プレート９との間に間隙が生じる構成であると、ボルト１３と支持プレート９とが擦れて塵埃が発生するといった問題もある。
【００２２】
また、ガラス基板サイズの大型化により、それを収納するカセット寸法が大きくなるため、カセット搬送装置の幅、奥行き、高さ寸法が大きくなり、カセットを運搬するための搬送スペースを大きく取る必要がある。この結果、クリーンルームの床面積増加による建屋コストアップという問題が生じる。更には、ＭＧＶの場合、作業者の操作性が低下する。
【００２３】
カセット搬送装置の寸法に影響をあたえる要因の１つに防振ゴムの硬度が挙げられる。上部カバー付きのＭＧＶの場合、防振ゴムの硬度が高いと運搬時でもカセットの揺動が小さいため、上部カバーのカセット幅に対するクリアランスは小さくできるが、その反面、ガラス基板に振動が伝わリ易く、ガラス基板とこれを支持する部分との擦れによる塵埃発生やガラス基板端部の欠け等の問題が発生する。
【００２４】
逆に防振材が柔らかすぎると、防振性能は向上するが運搬時のカセットの移動量（揺動）が大きくなり、上部カバーとカセットとのクリアランスを大きく取る必要がある。その結果、カセット搬送装置の寸法が増大してしまう。
【００２５】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、カセット搬送装置の重量の低減及び装置のコストダウン、防振性能向上ならびに作業者の操作性向上が可能なカセット搬送装置を提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明によれば、基板を収容したカセットを搬送するための搬送装置の防振機構であって、防振機能を有する弾性体よりなる防振材と、該防振材の両端に設けられ、該防振材を搬送装置の構成部材に固定するための固定部とを有することを特徴とする防振機構が提供される。
【００２７】
上述の発明による防振機構は、前記防振材の周囲を囲むように設けられた弾性体よりなる揺動防止部材を更に有することが好ましい。また、前記揺動防止部材は円筒形状の弾性体であり、該円筒状の弾性体の外周又は内周に嵌合して該揺動防止部材の位置を固定する位置決め部材を更に有することとしてもよい。
【００２８】
上述の発明によれば、防振ゴム等から上下にボルトまたはネジ穴の付いた防振材を用いることにより、軽量かつ防振性能の優れた防振機構を得ることができ、重量増加やコストアップ、塵埃増加ならびに防振性能低下の問題を解決出来る。更に、上部カバーの設置が必要な場合、上下にボルトまたはネジ穴の付いた防振材とその外周に揺動防止部材を組み合わせることにより、防振性能を損なうことなくカセットの水平方向の揺動きを抑制することができる。したがって、搬送物とカバーとの間に余分はクリアランスを設ける必要がなく、搬送装置の小型簡素化、軽量化を達成することができる。
【００２９】
また、本発明によれば、基板を収容したカセットを移載する移載機構と、該移載機構に取り付けられた防振機構と、該防振機構を介して前記移載機構に取り付けられ、前記カセットを載置するための載置部とを有する搬送装置であって、前記防振機構は、防振機能を有する弾性体よりなる防振材と、該防振材の一端に設けられ、前記移載機構に固定される第１の固定部と、該防振材の他端に設けられ、前記載置部に固定される第２の固定部とを有することを特徴とする搬送装置が提供される。
【００３０】
上述の発明による搬送装置は、前記防振材の周囲を囲むように設けられた弾性体よりなる揺動防止部材と、該揺動防止部材の位置を固定する位置固定部材とを更に有することが好ましい。
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面と共に説明する。
【００３１】
図８は本発明の一実施例による搬送装置の概略構成を示す図である。図８において、図６に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は適宜省略する。図８に示す運搬台車は基本的に図６に示す運搬台車と同様であるが、スライドフォークに取り付けられた防振機構が異なる。
【００３２】
本実施例による搬送装置は、運搬台車２の上の箱型筐体内であるカバー２ａにカセット１を移載する移載機構であるスライドフォーク３とその上に取り付けられた防振機構２０を備えており、またその他に使用環境からの影響  （主にパーティクル）  を遮断する為のカバー類や操作スイッチ、取手などで構成される。更には、清浄度を維持するためにカバー２ａにＨＥＰＡフィルタが設けられることもある。
【００３３】
搬送装置は作業者の人力によりクリーンルーム内の通路を走行移動し、処理装置に対するカセット１の供給と取り出しとを上記操作スイッチによりスライドフォーク３を操作しながら行う。本実施例では、ＬＣＤ製造で広く使用されている手動搬送台車  （ＭＧＶ）  を用いているが、この方式に限定することなく、コンピュータにより管理・制御された自動搬送台車  （ＡＧＶ）  等にも用いることができる。
【００３４】
次に、搬送装置が行うカセットの取り出し動作について説明する。ある処理装置において１つのカセット１に収容された基板の処理が終了すると、処理装置はオペレータコールを発する。すると、作業者は、オペレータコールを発した処理装置まで搬送装置を人力により移動させ、互いに設けられた位置決め治具により位置を定める。尚、この時に電装機器への受電が行われる構造になっている。
【００３５】
続いて、搬送装置のスイッチ操作によりカバー上部のシャッターを下降させ、搬送装置内のスライドフォーク３を処理装置側にスライドさせる。スライド完了後、スライドフォーク３を上昇させて処理装置のカセットポジションからカセット１をすくい上げる。その後、スライドフォーク３を搬送装置内へとスライドさせ、原点位置に戻す。この動作が完了するとカバー部のシャッターが閉じて、カセット１の取り出し動作が完了する。カセット１の供給動作は、取り出し動作の逆の動作であるため、詳細な説明は省略する。
【００３６】
以上説明した本実施例による搬送装置には、図９に示す防振機構２０が設けられる。防振機構は、移載機構としてのスライドフォーク３のプレート３ａと、カセット１を載置する載置部を構成する支持プレート９との間に設けられる。防振機構２０の取り付け位置は、図７に示す防振機構と同様である。また、防振機構はプレート３ａと支持プレート９との間に複数個、例えば、カセット１の四角に相当する位置に４個設けられ、スライドフォーク３ａ上で支持プレート９を水平に支持する。なお、防振機構２０の数は４個に限ることなく、支持するカセット１の重量や要求される防振性能に基づいて任意の数を設けることもできる。
【００３７】
防振機構２０は大別して、防振材２１と、防振リング２２と、位置ずれ防止リング２３と、固定ナット２４とよりなる。
【００３８】
防振材２１は、図９に示すように、中央が膨らんだ円柱形状に形成されたウレタンゴムであり、その上側に上ボルト２１ａが形成された円板が接着剤等により貼り付けられ、下側に下ボルト２１ｂが形成された円板が接着剤等により貼り付けられている。防振材２１の形状は中央が膨らんだ円柱形状に限ることなく、一般に防振材として用いられる様々形状であってもよい。また、材質もウレタンゴムに限ることなく、様々なゴムや弾性樹脂を採用することができる。
【００３９】
本実施例における防振リング２２は、防振材２１の外周にはめ込まれ、カセット運搬時や停止動作時に働く水平方向の力  （カセットの水平方向移動量）  を制約するために設けられる。防振リング２２は、例えばウレタンゴムにより形成され、ウレタンゴムの硬度は比較的高めのものが使用  （硬度  ９０度程度）される。また、防振リング２２の高さ寸法は、スライドフォーク３上にカセット１が乗っていない状態  （無負荷状態）  では、防振材２１よりも僅かに低めに設定される。  すなわち、無負荷状態では、支持プレート９０の下面と防振リング２２の上面との間に隙間が形成される。支持プレート９上にカセット１が乗り、その重量で防振材２１が圧縮された場合に、支持プレート９と防振リング２２の上面とが接触するように防振材２１の硬度ならびに高さ寸法を調整、選択する。なお、この防振リング２２も防振材２１と同様にウレタンゴムに限ることなく、他の様々なゴムや弾性樹脂により形成することとしてもよい。
【００４０】
位置ズレ防止リング２３は、例えばアルミニウム製のつば付リングであり、中央の開口に下ボルト２１ｂが挿入され、外周のつば部に防振リング２２の下部が嵌合するような形状である。したがって、防振リング２２の位置が位置ズレ防止リングにより固定され、支持プレート９が水平方向に移動しても防振リングがずれることがなくなる。
【００４１】
防振材２１の上側の上ボルト２１ａは、支持プレート９の段付孔１２に挿入され、ナット２４が支持プレート９を挟み込んだ状態で上ボルトに締め込まれる。したがって、上ボルト２１ａは支持プレートに固定される。
【００４２】
なお、本実施例では、位置ズレ防止リング２３をプレート３ａ側に設けているが、支持プレート９側に設けてもよく、また、両側に設けてもよい。また、上ボルト２１ａ及び下ボルト２１ｂは、防振材２１の上下両端を夫々支持プレート９とプレート３とに固定するための固定部として設けられるものであり、ボルトではなく例えばナットのように、他の固定手段を採用することとしてもよい。
【００４３】
以上のように、本実施例による防振機構２０において、防振材２１が主に防振の機能を果たし、防振リング２２が主に水平方向の揺動の防止機能を果たす。これにより、高い防振機能と高い揺動防止機能の両方を兼ね備えることができる。さらに、支持プレート９が水平方向に移動しても金属同士が擦れあう部分が存在せず、塵埃の発生する部分はない。したがって、高い防振機能を有しながら塵埃の発生を極力抑えた搬送装置が実現できる。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、カセット搬送装置内のスライドフォークに取り付けられた防振材と防振リング、位置ずれ防止リングと固定ナットから成る防振機構により、防振機構の構造が簡略化され、搬送装置の軽量化、コスト低減あるいは防振性能向上や操作性向上等を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の手動搬送台車の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す手動搬送台車の移動中の状態を示す概要図である。
【図３】手動搬送台車に載せられたカセットの動きを説明するための図である。
【図４】空気バネを用いた手動搬送台車の概略構成を示す図である。
【図５】図４に示す空気バネ付近の拡大図である。
【図６】防振ゴムを用いた防振機構が設けられた手動搬送台車の概略構成を示す図である。
【図７】図６において楕円で囲んだ部分における防振機構の拡大断面図である。
【図８】本発明の一実施例による搬送装置の概略構成を示す図である。
【図９】図８に示す防振機構を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１  カセット
２  運搬台車
３  スライドフォーク
３ａ  プレート
７  カセット位置決めブロック
９  支持プレート
１２  段付き孔
１２ａ  小径部
１３  ボルト
２０  防振機構
２１  防振材
２１ａ  上ボルト
２１ｂ  下ボルト
２２  防振リング
２３  位置ズレ防止リング
【図１】
2004301290.tif 000003
【図２】
2004301290.tif 000004
【図３】
2004301290.tif 000005
【図４】
2004301290.tif 000006
【図５】
2004301290.tif 000007
【図６】
2004301290.tif 000008
【図７】
2004301290.tif 000009
【図８】
2004301290.tif 000010
【図９】
2004301290.tif 000011