(57)【要約】【課題】洗浄後にプローブピンを支持するピンボードにソルベントクランク等の不具合を生じさせずに、プローブピンの触針部分のみを確実に洗浄し、その洗浄確認が容易な小型のプローブピン洗浄装置を得ることを提供する。【解決手段】プローブピン洗浄装置１は、エタノール等の洗浄液２を収容する有底箱状の洗浄容器３と、この洗浄容器３の内底部上に配置されかつプローブピンＰＰが下に向いた状態のピンボードＰＢを水平に支持するステー４と、洗浄容器３の上部開口３ａの外縁部３ｂを、衝撃吸収材５を介して支持する上部開口縁部６ａを有する外箱６と、超音波振動発生装置７とから概略構成されている。【選択図】        図１
2004305936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下向きにしたプローブピンの触針部分が浸る洗浄液に対して超音波振動を発生させる超音波振動発生手段を備えたプローブピン洗浄装置。
【請求項２】
洗浄液はエチルアルコールであることを特徴とする請求項１記載のプローブピン洗浄装置。
【請求項３】
プローブピンの触針部分に対して汚れを確認するための紫外線を照射する紫外線照射手段を備えたことを特徴とする請求項２記載のプローブピン洗浄装置。
【請求項４】
洗浄液を収容する洗浄容器の底部に設けられかつ紫外線照射手段からの紫外線を反射してプローブピンの触針部分に当てる反射鏡を備えたことを特徴とする請求項３記載のプローブピン洗浄装置。
【請求項５】
紫外線照射されたプローブピンの触針部分の画像を認識して前記プローブピンの汚れを確認する画像認識手段を備えたことを特徴とする請求３記載のプローブピン洗浄装置。
【請求項６】
ピンボードに支持されたプローブピンの触針部分が洗浄液に浸っているか否かを検知する検知手段と、該検知手段による検知情報に基いて前記プローブピンの触針部分の位置を洗浄液の液面に対して変更する昇降手段とを備えたことを特徴とする請求項５記載のプローブピン洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ピンボードに支持されたプローブピンに対して洗浄治具を接触させずに洗浄を行う非接触方式のプローブピン洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
チップ部品を実装したプリント配線基板に対しては、インサーキットテストを用いて各端子間の電気量を測定し、配線不良、誤実装または部品不良等が検査されている。インサーキットテスタには、試験対象となるプリント配線基板の各端子にそれぞれ対応する複数のプローブピンを支持した試験治具（以下、ピンボードという）が用いられている。このピンボードは、スリーブとこのスリーブ内に配設したコイルばねとで構成された摺動部により、プローブピンをその長さ方向に沿って摺動可能に支持しており、これにより、導通検査時にプローブピンをプリント配線基板の各端子に対して所定の押圧力をもって接触させることが可能である。ところが、ピンボードに支持されたプローブピンの先端には、導通検査後に、プリント配線基板からフラックス等の汚れが付着することがある。
【０００３】
従来、プローブピンの洗浄に対しては、例えば、特許文献１に開示されているように、プローブピンの触針部分を直接洗浄するブラシ等を用いる、いわゆる接触方式のプローブピン洗浄装置が主に用いられている。この接触方式のプローブピン洗浄装置では、ブラシによりプローブピンに対して大きな外力を加えることになるため、プローブピンが変形するなどのダメージを受けることになる。
【０００４】
これに対して、非接触方式のプローブピン洗浄装置も知られている。特許文献２は、ピンボード上に支持されかつ上向きに置かれたプローブピンの触針部分に付着した汚れを溶解する洗浄液と洗浄用エアーとをプローブピンの触針部分に上方から噴射して洗浄する非接触方式の洗浄機を開示している。この洗浄機では、プローブピンに対して変形等のダメージを与えることは少ない。
【０００５】
なお、特許文献３は、フラックス洗浄を行っていないプリント配線基板に対しても安定して導通検査することを目的として、プローブピンの触針部分に静的押圧力と超音波振動を付加して触針、導通させるピンボードを開示している。しかし、このピンボードに支持されたプローブピンに汚れが付着した場合には、結果として、上述のような従来のプローブピン洗浄装置を用いて洗浄することになる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−２８１２５７号公報（請求項１、図１）
【特許文献２】
特開平８−２９００９０号公報（請求項１、図４）
【特許文献３】
特開平５−２６４５８８号公報（請求項１、図１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のプローブピン洗浄装置は上述のような構成を有しているので、以下のような課題があった。
すなわち、従来の非接触方式のプローブピン洗浄装置では、上向きにしたプローブピンに対して噴射された洗浄液がプローブピンを伝ってピンボードの摺動部内に浸入して当該摺動部内のコイルばねを腐食させてしまうことがある。この場合には、腐食したコイルばねにより摺動すべきプローブピンが所定の距離を摺動できなくなるため、プリント配線基板の各端子に対するプローブピンの接触が不十分となり、精密な導通検査を実施できないおそれがあるという課題があった。また、洗浄液として例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）またはグリコールエーテル（ＧＥ）を使用する場合には、その取り扱いや入手が困難であると共に、洗浄液のピンボードへの染み込みによる割れ等のダメージ（以下、ソルベントクラックという）が発生してしまうという課題があった。洗浄液と洗浄用エアーとを噴射する手段を個別に備える必要があるため、装置自体が大掛かりとなるという課題があった。さらに、従来のプローブピン洗浄装置では、汚れの落ち具合に関して、ユーザーが微細なプローブピンをそのまま目視で確認するか、あるいは拡大鏡等の装置を用いて確認しているため、洗浄終了の確認をとるのに手間取るという課題があった。
【０００８】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、洗浄後にプローブピンを支持するピンボードにソルベントクランク等の不具合を生じさせずに、プローブピンの触針部分のみを確実に洗浄し、その洗浄確認が容易な小型のプローブピン洗浄装置を得ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るプローブピン洗浄装置は、下向きにしたプローブピンの触針部分が浸る洗浄液に対して超音波振動を発生させる超音波振動発生手段を備えるように構成したものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるプローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図であり、図２は図１に示したプローブピン洗浄装置の洗浄対象であるプローブピンに対して用いられる別体の紫外線照射手段を示す正面図である。
【００１１】
図１に示すように、プローブピン洗浄装置１は、ピンボードＰＢに支持され下向きにされた複数のプローブピンＰＰの先端に位置する触針部分に対して超音波洗浄を施す洗浄装置であって、洗浄液２を収容する有底箱状の洗浄容器３と、この洗浄容器３の内底部上に配置されかつプローブピンＰＰが下に向いた状態のピンボードＰＢを水平に支持するステー（支持部材）４と、上記洗浄容器３の上部開口３ａの外縁部３ｂを、衝撃吸収材５を介して支持する上部開口縁部６ａを有する外箱６と、超音波振動発生装置（超音波振動発生手段）７とから概略構成されている。超音波振動発生装置７は、洗浄容器３の底部と外箱６の底部との間に形成された内空間８内に配設されかつ洗浄容器３の外底部に固定された振動子９と、この振動子９と電気的に接続されかつ外箱６の外部に置かれた発振器１０とから概略構成されている。発振器１０は、振動子９を振動させて洗浄容器３を介して洗浄液２に対して超音波振動を与えるものである。また、発振器１０は周期的にまたは周波数や振幅を変えて超音波振動を出力することが可能であり、プローブピンＰＰの汚れ具合に応じて振動モードを適宜変更することが可能である。
【００１２】
洗浄液２としては、従来、洗浄液として使用されてきたＩＰＡまたはＧＥよりも入手が容易で人体や環境に無害であり、洗浄能力および揮発性に優れたエチルアルコール（以下、エタノールという）が好適に用いられる。但し、洗浄液２はエタノールに限定されるものではなく、エタノールと同等の洗浄能力、無害性および揮発性を有する洗浄液であれば、如何なる洗浄液でも使用可能である。なお、エタノール濃度は、洗浄対象であるプローブピンＰＰの汚れ具合、揮発性や経済性等を勘案して適宜決められる。このため、洗浄容器３は洗浄液２に使用される濃度のエタノールに耐えるに十分な耐エタノール性材料、例えばステンレス等で形成されている。また、洗浄容器３の上部開口３ａの寸法および形状はピンボードＰＢをそのまま収容できるように設定されている。このため、ピンボードＰＢからプローブピンＰＰを取り外すことなく、当該ピンボードＰＢに支持された複数のプローブピンＰＰの触針部分を同時に効率よく洗浄することが可能である。
【００１３】
ステー４は、支持したピンボードＰＢに設けられたプローブピンＰＰの触針部分のみが洗浄容器３内の洗浄液２に浸るように、ピンボードＰＢごとに長さが異なるプローブピンＰＰの触針部分の位置と洗浄液２の液面位置との関係を補填する高さを有するものであり、洗浄対象のピンボードＰＢごとに専用のステー４が用意される。
【００１４】
衝撃吸収材５は、外箱６の上部開口縁部６ａ上に沿って配設される略環状の部材であり、この衝撃吸収材５としては、超音波振動により洗浄容器３のみを効率よく振動させかつ洗浄容器３からの外箱６への超音波振動の伝達を遮断するに十分な弾性と、超音波振動に耐えるに十分な耐久性とを備えた材料で形成されることが望ましく、例えばゴム等の弾性体が好適に用いられる。この衝撃吸収材５を配置することで、プローブピン洗浄装置１を設置する際に超音波振動の周囲への影響を配慮する必要がない。
【００１５】
このような構成のプローブピン洗浄装置１には、別体のバックライト（紫外線照射手段）１１および送風手段（図示せず）が配設されている。バックライト１１は、洗浄前後にプローブピンＰＰに紫外線を照射してプローブピンＰＰの触針部分に付着した汚れの有無を確認するための手段であり、これにより紫外線に反射して白く発光する汚れをユーザーが目視により容易に確認することが可能である。ここで、目視とは、ユーザーが裸眼により観察することを意味するものではなく、当然に紫外線除去フィルタを通して観察することを意味するものである。なお、プローブピン洗浄装置１には、超音波振動発生装置７、バックライト１１および送風手段（図示せず）を駆動する駆動電源（図示せず）が設けられているが、以下の動作説明では、各装置または手段は駆動電源（図示せず）により駆動可能状態にあるものとする。
【００１６】
次に動作について説明する。
まず、図２に示すように、洗浄対象となるピンボードＰＢのプローブピンＰＰに対してバックライト１１から紫外線を照射してプローブピンＰＰの触針部分に付着した汚れを目視により確認する。次に、図１に示すように、洗浄容器３の内底部上に上記ピンボードＰＢ専用のステー４を設置した後、所定の深さになるように所定量のエタノール等の洗浄液２を洗浄容器３内に注ぐ。
【００１７】
次に、上記ピンボードＰＢのプローブピンＰＰが下向きになるようにピンボードＰＢを逆さにしてステー４上に載置し、プローブピンＰＰの触針部分の所定長さ（例えば１ｍｍ程度）が洗浄液２に浸るようにした後、洗浄容器３を、衝撃吸収材５を介して外箱６の上部に設置する。あるいは、洗浄容器３を、衝撃吸収材５を介して外箱６の上部に設置した後に、洗浄容器３の内底部にステー４を設置し、洗浄容器３内に洗浄液２を注ぎ、ピンボードＰＢを逆さにしてステー４上に載置してプローブピンＰＰの触針部分が洗浄液２に浸るようにしてもよい。
【００１８】
次に、超音波振動発生装置７の発振器１０を駆動して振動子９から洗浄容器３を介して洗浄液２に超音波振動を発生させてプローブピンＰＰの触針部分に対して洗浄を開始する。次に、所定時間が経過した後、超音波振動発生装置７を停止し、洗浄容器３から外したピンボードＰＢ上のプローブピンＰＰに対して必要に応じて送風手段（図示せず）から送風して洗浄液２を揮発させ、プローブピンＰＰが上向きになるように置いたピンボードＰＢの当該プローブピンＰＰに対して、再び図２に示すように、バックライト１１から紫外線を照射してプローブピンＰＰの触針部分に付着した汚れの落ち具合を目視により確認する。汚れが完全に落ちていることが確認された場合には、当該ピンボードＰＢはプリント配線基板（図示せず）等の導通検査への再使用が可能となる。
【００１９】
以上のように、この実施の形態１によれば、下向きにしたプローブピンＰＰの触針部分が浸る洗浄液２に対して超音波振動を発生させる超音波振動発生装置７を備えるように構成したので、洗浄液２を介してプローブピンＰＰの触針部分に伝わる超音波振動によりプローブピンＰＰの触針部分のみを効率よく確実に洗浄することができると共に、プローブピンＰＰを伝ってピンボードＰＢに向けて洗浄液２が流下することがないため、従来洗浄後にピンボードＰＢに発生していたソルベントクランク等の不具合の発生を確実に防止することができるという効果がある。また、この実施の形態１によれば、従来使用されていた洗浄液と洗浄用エアーとを噴射する手段を備える必要がないので、装置自体の小型化を図ることができるという効果がある。
【００２０】
この実施の形態１によれば、洗浄液２としてエタノールを用いるように構成したので、従来、洗浄液として使用されてきたＩＰＡまたはＧＥと比べて、容易に入手することができ、人体や環境への悪影響を排除でき、洗浄能力を高めることができ、優れた揮発性により簡単にプローブピンＰＰを乾燥させることができるという効果がある。
【００２１】
この実施の形態１によれば、プローブピンＰＰの触針部分に対して紫外線を照射してプローブピンＰＰの汚れを目視により確認するためのバックライト１１を備えるように構成したので、洗浄前後にプローブピンＰＰに対して紫外線を照射することで、これに反射して白く発光する汚れをユーザーが目視により容易に確認することができるという効果がある。
【００２２】
実施の形態２．
図３はこの発明の実施の形態２によるプローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図である。なお、この実施の形態２の構成要素のうち、実施の形態１の構成要素と共通するものについては同一符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００２３】
この実施の形態２の特徴は、バックライト１１からの紫外線を反射してプローブピンＰＰの触針部分に当てる反射鏡１２を洗浄容器３の内底部に設けた点にある。この実施の形態２では、バックライト１１は、洗浄容器３の上部開口３ａの斜め上方から洗浄容器３内の反射鏡１２に対して紫外線を照射できるように、洗浄容器３の斜め上方に配置されている。なお、洗浄容器３の内部が紫外線を透過する材料で形成されている場合には、反射鏡１２は洗浄容器３の外底部に設けてもよい。
【００２４】
次に動作について説明する。
まず、図３に示すように、洗浄容器３の内底部上に設けた反射鏡１２上に上記ピンボードＰＢ専用のステー４を設置した後、所定の深さになるように所定量のエタノール等の洗浄液２を洗浄容器３内に注ぐ。
【００２５】
次に、上記ピンボードＰＢのプローブピンＰＰが下向きになるようにピンボードＰＢを逆さにしてステー４上に載置し、プローブピンＰＰの触針部分の所定長さ（例えば１ｍｍ程度）が洗浄液２に浸るようにした後、洗浄容器３を、衝撃吸収材５を介して外箱６の上部に設置する。あるいは、洗浄容器３を、衝撃吸収材５を介して外箱６の上部に設置した後に、洗浄容器３の内底部にステー４を設置し、洗浄容器３内に洗浄液２を注ぎ、ピンボードＰＢを逆さにしてステー４上に載置してプローブピンＰＰの触針部分が洗浄液２に浸るようにしてもよい。
【００２６】
次に、バックライト１１を点灯して、洗浄容器３の内底部上に設けた反射鏡１２に向けて紫外線を照射し、その紫外線により白く発光する汚れがプローブピンＰＰの触針部分に付着していることを目視により確認しながら、超音波振動発生装置７の発振器１０を駆動して振動子９から洗浄容器３を介して洗浄液２に超音波振動を発生させてプローブピンＰＰの触針部分に対して洗浄を開始する。次に、所定時間が経過しても、汚れが完全に落ちていなければ、必要に応じて洗浄時間を延長する。次に、汚れが完全に落ちていることが確認された場合には、バックライト１１を消灯しかつ超音波振動発生装置７の駆動を停止した後、洗浄容器３から外したピンボードＰＢ上のプローブピンＰＰに対して必要に応じて送風手段（図示せず）から送風して洗浄液２を揮発させる。これにより、ピンボードＰＢはプリント配線基板（図示せず）等の導通検査への再使用が可能となる。
【００２７】
以上のように、この実施の形態２によれば、実施の形態１における構成に加えて、バックライト１１からの紫外線を反射してプローブピンＰＰの触針部分に当てる反射鏡１２を洗浄容器３の内底部に設けるように構成したので、プローブピンＰＰの触針部分に付着した汚れの落ち具合、すなわち洗浄レベルを確認しながら、超音波振動発生装置７を駆動して発生させた超音波振動によりプローブピンＰＰの触針部分のみを洗浄することができるという効果がある。従って、この実施の形態２では、プローブピン洗浄装置１から取り出してからプローブピンＰＰの触針部分における洗浄レベルを確認する実施の形態１に比べて、洗浄時間の短縮化および洗浄の効率化を図ることができるという効果がある。
【００２８】
実施の形態３．
図４はこの発明の実施の形態３による自動プローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図であり、図５は図４に示した自動プローブピン洗浄装置の動作を説明するためのフローチャートである。なお、この実施の形態３の構成要素のうち、実施の形態１の構成要素等と共通するものについては同一符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００２９】
この実施の形態３の特徴は、超音波振動によるプローブピンＰＰの触針部分に対する洗浄を自動化した点にある。すなわち、図４に示すように、自動プローブピン洗浄装置２０における洗浄容器３の底部にはブラックライト透過領域３ｃが形成されており、内空間８内にはブラックライト透過領域３ｃの下側にブラックライト照明機能を備えた画像認識カメラ２１が配設されている。
【００３０】
画像認識カメラ２１は、洗浄容器３上に載置されるピンボードＰＢに支持された複数のプローブピンＰＰのうち、少なくとも１つのプローブピンＰＰの触針部分に対して紫外線を照射しながら、当該触針部分を重点的に逐次観察する手段である。また、洗浄容器３の内底部上には、上記画像認識カメラ２１により観察されるプローブピンＰＰを除いたプローブピンＰＰの触針部分の位置を検出する触針位置検出センサ２２と、洗浄容器３内に注がれる洗浄液２の液位を検出する液位計２３と、プローブピンＰＰの触針部分の位置を洗浄液２の液面に対して変更可能なようにピンボードＰＢを水平に昇降させる電動エレベータ（昇降手段）２４とが配設されている。
【００３１】
画像認識カメラ２１、触針位置検出センサ２２、液位計２３、電動エレベータ２４および超音波振動発生装置７の発振器１０は、それぞれ計算機２５と電気的に接続されている。従って、計算機２５は、画像認識カメラ２１、触針位置検出センサ２２および液位計２３からの情報に基いて電動エレベータ２４および超音波振動発生装置７の駆動を制御することが可能である。具体的には、計算機２５は、画像認識カメラ２１と協同して、画像認識カメラ２１からのプローブピンＰＰの触針部分の画像情報を分析してプローブピンＰＰの触針部分の洗浄レベルを把握する画像認識手段を構成している。
【００３２】
また、計算機２５は、触針位置検出センサ２２および液位計２３と協同して、触針位置検出センサ２２からのプローブピンＰＰの触針部分の位置情報と液位計２３からの洗浄液２の液位情報とを分析してプローブピンＰＰの触針部分が洗浄液２に浸っているか否かを検知する検知手段を構成している。なお、電動エレベータ２４の上部にはピンボードＰＢが載置されたか否かを判断する重量センサ（図示せず）が配設されている。
【００３３】
ブラックライト透過領域３ｃを形成する材料としてはガラスが好適であるが、これに限定されるものではなく、ガラスと同等の透過率および機械強度を有していれば、他の材料でブラックライト透過領域３ｃを形成してもよい。
【００３４】
電動エレベータ２４は、昇降の開始および停止のタイミングを計算機２５からの指令により電気的に行い、かつ例えばミリメートル単位でピンボードＰＢを精密に昇降させる手段であれば、如何なる昇降手段をも利用することが可能である。
【００３５】
なお、ピンボードＰＢ上にエタノール等の洗浄液２に接触させてはならない非接触部位２６が存在する場合には、図４に示すように非接触部位２６を覆う突起物カバー２７をピンボードＰＢに対して、例えばスナップフィット構造等により着脱自在に取り付けるように構成してもよい。
【００３６】
次に動作について説明する。
まず、洗浄開始前の電動エレベータ２４はプローブピンＰＰの触針部分を洗浄液２に浸らせない位置（以下、上位置という）で停止しており、洗浄液２の注入量は、電動エレベータ２４上にピンボードＰＢが逆さに載置されたときにプローブピンＰＰの触針部分が洗浄液２に浸らないように決められている。この状態で、液位計２３により洗浄容器３内の洗浄液２の液位が正確に検出され（ステップＳＴ１）、検出された場合には、その液位情報は計算機２５へ送られ、保存される。
【００３７】
次に、重量センサ（図示せず）により電動エレベータ２４上にピンボードＰＢが載置されたか否かが検知される（ステップＳＴ２）。電動エレベータ２４上にピンボードＰＢが載置されると、その検知情報は計算機２５へ送られ、これがトリガーとなって触針位置検出センサ２２により電動エレベータ２４上に載置されたピンボードＰＢの触針部分の位置が検出される（ステップＳＴ３）。この触針位置検出情報は計算機２５へ送られ、計算機２５は触針位置検出情報と上記液位情報とに基いてプローブピンＰＰの触針部分のみを洗浄液２に浸らせる位置（以下、下位置という）を求め、電動エレベータ２４を当該下位置まで下降させる（ステップＳＴ４）。
【００３８】
次に、プローブピンＰＰの触針部分が洗浄液２に浸っている状態で、画像認識カメラ２１のバックライト機能によりプローブピンＰＰの触針部分に対してブラックライト透過領域３ｃを通して紫外線が照射され、同時に画像認識カメラ２１により洗浄開始前におけるプローブピンＰＰの触針部分がモニターされる（ステップＳＴ５）。この画像情報は、プローブピンＰＰの触針部分の汚れ具合を示す情報として逐一計算機２５へ送られる。
【００３９】
次に、超音波振動発生装置７の発振器１０を駆動して振動子９から洗浄容器３を介して洗浄液２に超音波振動を発生させてプローブピンＰＰの触針部分に対して洗浄を開始する（ステップＳＴ６）。次に、画像認識カメラ２１でモニターされた画像情報に基いて、プローブピンＰＰの触針部分の汚れが完全に落ちているか否かが計算機２５により判断され（ステップＳＴ７）、汚れが完全に落ちたと判断された場合には、画像認識カメラ２１の作動および超音波振動発生装置７の駆動を停止させて洗浄を終了する（ステップＳＴ８）。
【００４０】
次に、電動エレベータ２４を上位置まで上昇させた状態でピンボードＰＢを取外し、このピンボードＰＢ上のプローブピンＰＰに対して必要に応じて送風手段（図示せず）から送風して洗浄液２を揮発させる。これにより、ピンボードＰＢはプリント配線基板（図示せず）等の導通検査への再使用が可能となる。
【００４１】
以上のように、この実施の形態３によれば、超音波振動発生装置７に加え、紫外線照射されたプローブピンＰＰの触針部分の画像を認識してプローブピンＰＰの汚れを確認する画像認識手段（画像認識カメラ２１および計算機２５）を備えるように構成したので、プローブピンＰＰの触針部分の洗浄レベルをモニターしながらプローブピンＰＰの触針部分に対して超音波洗浄することができるという効果がある。従って、洗浄時間を管理することができ、プローブピンＰＰの触針部分に対する洗浄の自動化を図ることができるという効果がある。
【００４２】
この実施の形態３によれば、ピンボードＰＢに支持されたプローブピンＰＰの触針部分が洗浄液２に浸っているか否かを検知する検知手段（触針位置検出センサ２２、液位計２３および計算機２５）と、この検知手段による検知情報に基いてプローブピンＰＰの触針部分の位置を洗浄液２の液面に対して変更する電動エレベータ（昇降手段）２４とを備えるように構成したので、ユーザーがピンボードＰＢを電動エレベータ２４上に載置するだけで、プローブピンＰＰの触針部分のみを洗浄液２に浸らせるようにピンボードＰＢを自動的に昇降させることができ、洗浄開始前の準備段階の自動化を図ることができるという効果がある。
【００４３】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、下向きにしたプローブピンの触針部分が浸る洗浄液に対して超音波振動を発生させる超音波振動発生手段を備えるように構成したので、洗浄液を介してプローブピンの触針部分に伝わる超音波振動によりプローブピンの触針部分のみを効率よく確実に洗浄することができると共に、プローブピンを伝ってプローブピンを支持するピンボードに向けて洗浄液が流下することがないため、従来洗浄後にピンボードに発生していたソルベントクランク等の不具合の発生を確実に防止することができるという効果がある。また、この発明によれば、従来使用されていた洗浄液と洗浄用エアーとを噴射する手段を備える必要がないので、装置自体の小型化を図ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１によるプローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図である。
【図２】図１に示したプローブピン洗浄装置の洗浄対称であるプローブピンに対して用いられる別体の紫外線照射手段を示す正面図である。
【図３】この発明の実施の形態２によるプローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図である。
【図４】この発明の実施の形態３による自動プローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図である。
【図５】図４に示した自動プローブピン洗浄装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
１  プローブピン洗浄装置、２  洗浄液、３  洗浄容器、３ａ  上部開口、３ｂ  外縁部、３ｃ  ブラックライト透過領域、４  ステー（支持部材）、５  衝撃吸収材、６  外箱、６ａ  上部開口縁部、７  超音波振動発生装置（超音波振動発生手段）、８  内空間、９  振動子、１０  発振器、１１  バックライト（紫外線照射手段）、１２  反射鏡、２０  自動プローブピン洗浄装置、２１  画像認識カメラ（画像認識手段）、２２  触針位置検出センサ（検知手段）、２３液位計（検知手段）、２４  電動エレベータ（昇降手段）、２５  計算機（検知手段）、２６  非接触部位、２７  突起物カバー、ＰＢ  ピンボード、ＰＰ  プローブピン。
【図１】
2004305936.tif 000003
【図２】
2004305936.tif 000004
【図３】
2004305936.tif 000005
【図４】
2004305936.tif 000006
【図５】
2004305936.tif 000007