(57)【要約】【課題】オフセット容量に対する圧力感度を高め、しかも高速動作が可能な静電容量型圧力センサを提供する。【解決手段】第１の固定電極板１１と第２の固定電極板１２の間に可動電極板が配置されている。この可動電極板は、両端が絶縁板１３に埋め込まれて固定された第１のダイアフラム１４と、この第１のダイアフラム１４の中央部Ｑから第１の固定電極１１に近接して対向するように分岐した第２のダイアフラム１５と、第１のダイアフラム１４の中央部Ｑから第２の固定電極１２に近接して対向するように分岐した第３のダイアフラム１６と、から構成されている。【選択図】  図１
2004294253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定電極と、この固定電極と対向して配置された可動電極とを備え、圧力差に応じて前記可動電極が変形することにより、この圧力差を検出する静電容量型圧力センサであって、前記可動電極は、両端が固定された第１の可動板と、この第１の可動板の中央部から前記固定電極に対向するように分岐した第２の可動板とを有することを特徴とする静電容量型圧力センサ。
【請求項２】
前記第２の可動板は導電体から成ることを特徴とする請求項１記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項３】
前記第２の可動板は絶縁体から成り、この第２の可動板の前記固定電極に対向する面に電極パターンを設けたことを特徴とする請求項１記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項４】
第１及び第２の固定電極と、これらの第１及び第２の固定電極の間に配置された可動電極とを備える静電容量型圧力センサであって、
前記可動電極は、両端が固定された第１の可動板と、
前記第１の可動板の中央部から前記第１の固定電極に対向するように分岐した第２の可動板と、
前記第１の可動板の中央部から前記第２の固定電極に対向するように、前記第２の可動板と対称に分岐した第３の可動板と、を有し、
前記第１の固定電極と第２の可動板との間に、互いに隣接する第１及び第２のコンデンサを形成すると共に、前記第２の固定電極と第３の可動板との間に、互いに隣接する第３及び第４のコンデンサを形成したことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
【請求項５】
前記第２及び第３の可動板は絶縁体から成り、前記第２の可動板上に前記第１及び第２のコンデンサ用の電極パターンを設け、かつ前記第３の可動板上に前記第３及び第４のコンデンサ用の電極パターンを設けたことを特徴とする請求項４記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項６】
前記電極パターンを導電性接着剤で構成したことを特徴とする請求項３又は請求項５記載の静電容量型圧力センサ。
【請求項７】
第１及び第２の固定電極と、これらの第１及び第２の固定電極の間に配置された可動板とを備える静電容量型圧力センサであって、
前記第１の固定電極と可動板の表面との間に、互いに隣接する第１及び第２のコンデンサを形成すると共に、前記第２の固定電極と前記可動板の裏面との間に、互いに隣接する第３及び第４のコンデンサを形成したことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
【請求項８】
前記可動板は絶縁体から成り、前記可動板の表面に前記第１及び第２のコンデンサ用の電極パターンを設け、かつ前記可動板の裏面に前記第３及び第４のコンデンサ用の電極パターンを設けたことを特徴とする請求項７記載の静電容量型圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主として油圧を検出するための静電容量型圧力センサに関し、特に固定電極と、この固定電極と対向して配置された可動電極とを備える静電容量型圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来の静電容量型圧力センサ１００の断面図である。同図において、第１の固定電極板１０１と第２の固定電極板１０２の間に可動電極板であるダイアフラム１０３が配置されている。このダイアフラム１０３の両端は、絶縁板１０４に埋め込まれて固定され、この絶縁板１０４によって、第１の固定電極板１０１及び第２の固定電極板１０２とダイアフラム１０３とが電気的に絶縁されている。
【０００３】
また、第１の固定電極板１０１とダイアフラム１０２との間の空洞部１０５に油圧Ｐ１を導入するための第１の貫通孔１０６が設けられ、同様に第２の固定電極板１０２とダイアフラム１０２との間の空洞部１０７に油圧Ｐ２を導入するための第２の貫通孔１０７が設けられている。
【０００４】
ここで、第１の固定電極板１０１とダイアフラム１０２との間の静電容量Ｃ１は、Ｃ１＝ε（Ｓ／ｄ）で表される。εは油の誘電率、Ｓは電極面積、ｄは電極間ギャップ幅である。また、第２の固定電極板１０２とダイアフラム１０２との間の静電容量Ｃ２は、Ｃ２＝ε（Ｓ／ｄ）で表される。
【０００５】
従って、静電容量Ｃ１，Ｃ２は、それぞれ電極ギャップ幅ｄに反比例して変化することになる。一方、油圧力Ｐ１，油圧力Ｐ２との圧力差と電極ギャップ幅ｄとの間には一定の関係があるので、静電容量Ｃ１，Ｃ２を検出することで、圧力を知ることができる。更に、基本的には静電容量Ｃ１，Ｃ２の比（Ｃ１／Ｃ２）を求めることにより、油の誘電率ε及び電極面積Ｓの温度・湿度変化や経時変化に起因した静電容量Ｃ１，Ｃ２の変動の影響を除去することができる。
【０００６】
なお、上述したような平行平板型のコンデンサを用いた圧力センサについては特許文献１に記載されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−２９５１７５号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の静電容量型圧力センサ１００では、圧力感度を高くすることが困難であった。この問題について図６を用いて説明する。いま、油圧力Ｐ２が油圧力Ｐ１より高いとする（Ｐ２＞Ｐ１）。すると、図中の破線で示すように、ダイアフラム１０２の両端は固定されているために、ダイアフラム１０２の中央部Ｑでは大きな変位Δｄ１を生じるが、ダイアフラム１０２の中央部からは両端部に向かうにつれてダイアフラム１０２の変位は小さくなる（Δｄ１＞Δｄ２）。
【０００９】
すなわち、静電容量Ｃ１をダイアフラム１０２に沿った多数の静電容量Ｃｉ（Ｃ１＝ΣＣｉ）に細分して考えると、ダイアフラム１０２の中央部Ｑの静電容量Ｃｉ（Ｑ）では、圧力差（Ｐ２−Ｐ１）に応じた変位Δｄ１によって大きな容量変化を生じるが、中央部Ｑから離れた場所Ｒの静電容量Ｃｉ（Ｒ）では、ダイアフラム１０２の変位Δｄ２が小さいために、小さな容量変化しか生じない。静電容量Ｃ１は、中央部Ｑでも圧力感度は高いが、中央部Ｑから離れた場所Ｒでの圧力感度は低くなる。
【００１０】
従って、従来の静電容量型圧力センサ１００では、オフセット容量（圧力差がない状態での静電容量）に対する圧力感度を大きくすることができなかった。また、圧力差（Ｐ２−Ｐ１）とダイアフラムの変位の関係における線形性が低いという問題もあった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明の静電容量型圧力センサの第１の特徴構成は、両端が固定された第１の可動板と、この第１の可動板の中央部から固定電極に対向するように分岐した第２の可動板とで可動電極を構成したものである（図１参照）。
【００１２】
また、本発明の静電容量型圧力センサの第２の特徴構成は、両端が固定された第１の可動板と、この第１の可動電極に対して対称に分岐して、Ｈ型構造を成す第２及び第３の可動板とで可動電極を構成し、第１の固定電極と第２の可動板との間に、２つの平行平板型コンデンサを構成し、更に、第２の固定電極と第３の可動板との間に、他の２つの平行平板型コンデンサを構成したものである（図２参照）。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下で、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の静電容量型圧力センサ１０の基本構造を示す断面図である。
【００１４】
同図において、第１の固定電極板１１と第２の固定電極板１２の間に可動電極板が配置されている。この可動電極板は、両端が絶縁板１３に埋め込まれて固定された第１のダイアフラム１４と、この第１のダイアフラム１４の中央部Ｑから第１の固定電極１１に近接して対向するように分岐した第２のダイアフラム１５と、第１のダイアフラム１４の中央部Ｑから第２の固定電極１２に近接して対向するように分岐した第３のダイアフラム１６と、から構成されている。
【００１５】
そして、第２のダイアフラム１５と第３ダイアフラム１６とは、第１のダイアフラム１４に対して対称となるように連結されており、全体として見るとＨ型の形状を有しているので、以下でこの可動電極板の構造をＨ型構造と呼ぶことにする。
【００１６】
また、第１の固定電極板１１と第１のダイアフラム１４との間の空洞部１７に油圧Ｐ１を有する油を導入するための第１の貫通孔１８が設けられ、同様に第２の固定電極板１２と第１のダイアフラム１４との間の空洞部１９に油圧Ｐ２を有する油を導入するための第２の貫通孔２０７が設けられている。
【００１７】
いま、油圧力Ｐ２が油圧力Ｐ１より高いとする（Ｐ２＞Ｐ１）。すると、図中の破線で示すように、第１のダイアフラム１４の両端は固定されているために、可撓性を有するダイアフラム１４の中央部Ｑでは、図１の紙面左方向に大きな変位Δｄ１を生じる。そして、この変位Δｄ１（Δｄ１＞０）が第２のダイアフラム１５に伝達されるため、第２のダイアフラム１５と第１の固定電極１１との電極ギャップ幅はｄ０−Δｄに変化する。ここで、ｄ０は圧力差がないとき（Ｐ１＝Ｐ２）の電極ギャップ幅である。
【００１８】
この電極ギャップ幅ｄ０−Δｄは第２のダイアフラム１５の全面に沿ってほぼ均一となる。一方、ダイアフラム１４の中央部Ｑの変位に伴い、第３のダイアフラム１６と第２の固定電極１２との電極ギャップ幅はｄ０＋Δｄに変化する。この電極ギャップ幅ｄ０＋Δｄも第３のダイアフラム１６の全面に沿ってほぼ均一となる。
【００１９】
従って、第１の固定電極板１１と第２のダイアフラム１５との間の静電容量Ｃ１は、Ｃ１＝εＳ／（ｄ０−Δｄ）で表される。εは油の誘電率、Ｓは電極面積である。また、第２の固定電極板１２と第３のダイアフラム１６との間の静電容量Ｃ２は、Ｃ２＝εＳ／（ｄ０＋Δｄ）で表される。すなわち、静電容量Ｃ１と静電容量Ｃ２とは、平行平板型コンデンサを構成することになり、これらは圧力差（Ｐ２−Ｐ１）に応じて相補的に動作する。これにより、圧力感度を高めることができ、同時に圧力差（Ｐ２−Ｐ１）とダイアフラムの変位Δｄとの関係における線形性を向上することができる。
【００２０】
ここで、静電容量Ｃ１，Ｃ２の差と和の比（Ｃ１−Ｃ２）／（Ｃ１＋Ｃ２）を求めると、これは以下の式で表される。
【００２１】
（Ｃ１−Ｃ２）／（Ｃ１＋Ｃ２）＝Δｄ／ｄ０
従って、この比を求めることにより、Δｄと圧力の関係から、圧力差（Ｐ２−Ｐ１）を知ることができる。また、油の誘電率ε及び電極面積Ｓの温度・湿度変化や経時変化に起因した静電容量Ｃ１，Ｃ２の変動の影響を除去することができる。
【００２２】
なお、上記の静電容量型圧力センサ１０において、第１のダイアフラム１４、第２のダイアフラム１５、第３のダイアフラム１６を導電体で構成しても良い。また、これらを全て絶縁体で構成して、第２のダイアフラム１５の第１の固定電極１１に対向する面に電極パターンを設け、第３のダイアフラム１６の第２の固定電極１２に対向する面に電極パターンを設けてもよい。これらの電極パターンは電極材料として導電性接着剤を用いることで、簡単な印刷で形成することができる。
【００２３】
次に、Ｈ型構造の可動電極板を用いた、更に高性能の静電容量型圧力センサ３０の構造について説明する。静電容量型圧力センサ３０は、相補的に動作する４つの平行平板型コンデンサを含むものである。
【００２４】
図２は、この静電容量型圧力センサ３０を示す図であり、図２（ａ）はその平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＸ−Ｘ線に沿った断面図である。Ｈ型構造を有する可動電極板は、円筒状の筐体３１に収納されている。この可動電極板は、両端が筐体３１の壁に埋め込まれて固定された第１のダイアフラム３２と、この第１のダイアフラム３２の中央部Ｑから、筐体３１の壁に近接して対向するように分岐した第２のダイアフラム３３と、第１のダイアフラム３２の中央部Ｑから筐体３１の反対側の壁に近接して対向するように分岐した第３のダイアフラム３４と、から構成されている。
【００２５】
そして、第２のダイアフラム３３と第３ダイアフラム３４とは、第１のダイアフラム３２に対して対称となるように連結され、Ｈ型構造を成している。
【００２６】
また、第１のダイアフラム３２で区画された筐体３１内の空洞部３５に油圧Ｐ１を有する油を導入するための第１の貫通孔３６が設けられ、同様に第１のダイアフラム３２で区画された反対側の空洞部３７に油圧Ｐ２を有する油を導入するための第２の貫通孔３８が設けられている。
【００２７】
そして、第２のダイアフラム３３の表面には電極パターン３９，４０が形成されており、これらの電極パターン３９，４０にそれぞれ対向して筐体３１の内壁面に電極パターン４１，４２が形成されている。従って、１対の電極パターン３９，４１によって第１のコンデンサ６１が構成され、これに隣接して１対の電極パターン４０，４２によって第２のコンデンサ６２が構成されている。
【００２８】
また、同様に第３のダイアフラム３４の表面には電極パターン４３，４４が形成されており、これらの電極パターン４３，４４にそれぞれ対向して筐体３１の内壁面に電極パターン４５，４６が形成されている。従って、１対の電極パターン４３，４５によって第３のコンデンサ６３が構成され、これに隣接して１対の電極パターン４４，４６によって第４のコンデンサ６４が構成されている。これら４つのコンデンサは、前述したＨ型構造の原理から、圧力変化に対応して平行平板型コンデンサとして機能する。
【００２９】
なお、上記電極パターンは電極材料として導電性接着剤を用いることで、簡単な印刷で形成することができる。また、各電極パターンには配線が接続され外部に取り出されているものとする。
【００３０】
ここで、第１のコンデンサ６１の容量をＣｓ１、第２のコンデンサ６２の容量をＣｄ１、第３のコンデンサ６３の容量をＣｓ２、第４のコンデンサ６４の容量をＣｄ２とすると、これらは以下の式で表される。
【００３１】
Ｃｓ１＝εＳ／（ｄ０−Δｄ）
Ｃｄ１＝εＳ／（ｄ０−Δｄ）
Ｃｓ２＝εＳ／（ｄ０＋Δｄ）
Ｃｄ２＝εＳ／（ｄ０＋Δｄ）
ここで、ｄ０は圧力差がないとき（Ｐ１＝Ｐ２）の電極ギャップ幅、Δｄは圧力差（Ｐ２−Ｐ１）に応じたダイアフラムの変位（第１のダイアフラム３２の中央部Ｑの変位）である。εは空洞部３５，３７に導入された油の誘電率である。Ｓは電極面積であり、４つのコンデンサは同じ電極面積を有しているものとする。従って、第１のコンデンサ６１と第３のコンデンサ６３とは相補的に動作し、第２のコンデンサ６２と第４のコンデンサ６４とは相補的に動作する。ここで、相補的に動作するという意味は、電極ギャップ幅Δｄの絶対値が同じで極性が異なるという意味である。
【００３２】
そこで、（Ｃｓ１−Ｃｓ２）／（Ｃｄ１＋Ｃｄ２）  という信号処理を行うことにより、次の式が得られる。
（Ｃｓ１−Ｃｓ２）／（Ｃｄ１＋Ｃｄ２）＝Δｄ／ｄ０
従って、Δｄと圧力の関係から、圧力差（Ｐ２−Ｐ１）を知ることができる。また、この信号処理により、油の誘電率ε及び電極面積Ｓの温度・湿度変化や経時変化に起因した変動の影響を除去することができる。また、この静電容量型圧力センサ３０は、４つのコンデンサを用いているので、（Ｃｓ１−Ｃｓ２）と（Ｃｄ１＋Ｃｄ２）とを後述するように、並列信号処理することができるので、第１の実施形態のように、時系列的に信号処理が必要なセンサに比べて高速なセンシングが可能となる。
【００３３】
図３は静電容量型圧力センサ３０の電極パターンの他の構成例を示している。なお、同一の構成部分については同一の符号を付して説明を省略する。同図に示すように、第１のコンデンサ６１は、円形の１対の電極パターン５０，５２で構成され、第２のコンデンサ６２はこれを取り囲むリング状の１対の電極パターン５１，５３で構成されている。
【００３４】
同様に、第３のコンデンサ６３は、円形の１対の電極パターン５４，５６で構成され、第４のコンデンサ６４はこれを取り囲むリング状の１対の電極パターン５５，５７で構成されている。
【００３５】
また、上述した静電容量型圧力センサ３０は、Ｈ型構造の可動電極板を用いることで圧力感度及び線形性を向上させ、更に４つのコンデンサを設けることで、高速なセンシングを可能にするものであるが、Ｈ型構造を用いないで４つのコンデンサを設けることも本特許の範囲に含まれる。これにより、少なくとも高速なセンシングが可能になる。
【００３６】
具体的な構成は、図２において、第１のダイアフラム３２から分岐した第２のダイアフラム３３及び第３のダイアフラム３４を除去し、第１のダイアフラム３２の表面に電極パターン３９，４０を隣接して形成し、第１のダイアフラム３２の裏面に電極パターン４３，４４を隣接して形成すればよい。他の構成は図２と同様である。
【００３７】
次に、上述した静電容量型圧力センサ３０のセンサ信号処理回路について説明する。図４はこのセンサ信号処理回路を示す回路図である。また、図５はこのセンサ信号処理回路のブロック線図である。
【００３８】
図４において、７０は交流信号源であり、交流入力信号Ｖｉｎを発生する。７１は演算増幅器Ａ１と２つの固定抵抗Ｒで構成される反転増幅器、８１は前記第１及び第３のコンデンサ６１，６３で構成される第１のセンサ、７２はコンデンサＣａ、第１のセンサ８１及び演算増幅器Ａ２で構成される第１のチャージアンプ、８２は前記第２及び第４のコンデンサ６２，６４で構成される第２のセンサ、７３はコンデンサＣｂ、第２のセンサ８２及び演算増幅器Ａ３で構成される第２のチャージアンプである。７４は乗算器である。
【００３９】
更に詳しくは、第１のチャージアンプ７２において、演算増幅器Ａ２の非反転入力端子（＋）は接地されており、反転入力端子（−）には第１及び第３のコンデンサ６１，６３の電極（可動電極板側の電極パターン）が接続され、これらは仮想接地されている。また、第２のチャージアンプ７３において、演算増幅器Ａ３の非反転入力端子（＋）は接地されており、反転入力端子（−）には第２及び第４のコンデンサ６２，６４の電極（可動電極板側の電極パターン）が接続され、これらは仮想接地されている。
【００４０】
そして、これらの第１のチャージアンプ７２及び第２のチャージアンプ７３の出力信号は、乗算器７４によって乗算処理され、その結果出力信号Ｖｏｕｔが得られる。
【００４１】
上述したように、第１のセンサ８１は一方のコンデンサ、例えば第１のコンデンサ６１の容量Ｃｓ１が増加すると、第３のコンデンサ６３の容量Ｃｓ２は減少するように、相補的に動作する。
【００４２】
そこで、このセンサ信号処理回路の伝達関数を求める。まず乗算器７４に入力される前のブロックを、反転増幅器７１と第１のチャージアンプ７２で構成される部分と、第２のチャージアップ７３で構成される部分に分割して考えることができる。これらの２つの構成部分は並列に演算処理を行っている。
【００４３】
それぞれの部分の伝達関数を求めた後に掛け合わせれば全体の伝達関数を得ることができる。まず、反転増幅器７１と第１のチャージアンプ７２で構成される部分の伝達関数をラプラス演算子ｓを用いて求める。第１のチャージアンプ７２の出力信号をＶａとすると次式が成り立つ。
【００４４】
【数１】
2004294253.tif 000003
【００４５】
この式をＶａについて解くと、
【００４６】
【数２】
2004294253.tif 000004
【００４７】
次に、第２のチャージアンプ７３の伝達関数をラプラス演算子ｓを用いて求める。第２のセンサ８２の容量Ｃｄ１，Ｃｄ２の和をＣｄとすると、Ｃｄは次式で表される。
【００４８】
【数３】
2004294253.tif 000005
【００４９】
第２のチャージアンプ７３の出力信号をＶｂよすると、次式が成り立つ。
【００５０】
【数４】
2004294253.tif 000006
【００５１】
これをＶｂについて解くと、
【００５２】
【数５】
2004294253.tif 000007
【００５３】
この式にＣｄを代入すると、
【００５４】
【数６】
2004294253.tif 000008
【００５５】
ここで、Ｖｏｕｔ＝Ｖａ×Ｖｂなので、数２，数５の式を掛け合わせると、
【００５６】
【数７】
2004294253.tif 000009
【００５７】
が得られる。
【００５８】
このように、このセンサ信号処理回路によれば、容量の和と差の成分を並列処理により高速に抽出することができる。従って、上述の静電容量型圧力センサ３０と、このセンサ信号処理回路を組み合わせることで、高速な圧力変化を高感度で検出することができるものである。
【００５９】
【発明の効果】
本発明の静電容量型圧力センサにより得られる、主な効果をまとめれば以下の通りである。
（１）可動電極板がＨ型構造を持つため、オフセット容量（＝圧力が印加されていない状態のセンサの静電容量）に対する圧力感度の割合を大きくできる。
（２）可動電極板がＨ型構造を持つため、ダイアフラムの小さな変位、即ち各部に生じた小さな歪みにおいても大きな圧力感度が得られる。
（３）可動電極板がＨ型構造を持つため、ダイアフラムの小さな変位、即ち各部に生じた小さな歪みにおいても大きな圧力感度が得られ、これはダイアフラムの圧力と変位の関係における線形性を高める効果がある。
（４）可動電極板がＨ型構造を持つため、ダイアフラムに生じさせる歪みを小さくでき、ダイアフラムには極めて小さな永久歪み、即ち極めて小さな塑性変形を生じるのみとなり、ダイアフラムに理想弾性材料を用いることなしに再現性の高い（＝ヒステリシスの小さい）計測器を作れる。
（５）可動電極板がセンサの温度特性（＝距離・面積成分変動）、湿度特性（＝ε成分変動）、雰囲気ガス成分の変化（＝ε成分変動）、センサキャパシタとなる平行平板コンデンサの電極板の位置ズレ（＝面積成分変動）等の影響を排除するためのレシオメトリック信号処理を行うため、同一平板上に平行平板コンデンサを２個配置し、さらに相補動作、即ち差（差圧力、差荷重）の計測のために、これを対称構造とする。これにより合計４つのキャパシタを持つこととなる。
（６）中央電極（＝可動電極）を仮想接地させる信号処理回路を用いると測定誤差となる寄生容量の影響を小さくできる。
（７）電極材料に導電性接着剤を用いることで、簡単な印刷を用いて電極パターンが作成できる。用いる導電性接着剤には室温硬化型のものも多く存在し、Ｍｏ−Ｍｎ法、ガラスペースト法、メッキ法等で必要な焼成等の熱処理を必要としない。従って工程を簡素化でき、センサに熱応力も与えない利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の静電容量型圧力センサ１０の基本構造を示す断面図である。
【図２】静電容量型圧力センサ３０を示す図である。
【図３】静電容量型圧力センサ３０を示す図である。
【図４】センサ信号処理回路を示す回路図である。
【図５】センサ信号処理回路のブロック線図である。
【図６】従来の静電容量型圧力センサ１００の断面図である。
【符号の説明】
１０  静電容量型圧力センサ    １１  第１の固定電極板
１２  第２の固定電極板        １３  絶縁板
１４  第１のダイアフラム      １５  第２のダイアフラム
１６  第３のダイアフラム      １７  空洞部            １８  第１の貫通孔
１９  空洞部                  ２０  第２の貫通孔
３０  静電容量型変位センサ    ３１  筐体        ３２  第１のダイアフラム
３３  第２のダイアフラム      ３４  第３のダイアフラム
３５  空洞部                  ３６  第１の貫通孔      ３７  空洞部
３８  第２の貫通孔            ３９〜４６  電極パターン
５０〜５７  電極パターン      ６１  第１のコンデンサ
６２  第２のコンデンサ        ６３  第３のコンデンサ
６４  第４のコンデンサ        ７０  交流入力信号      ７１  反転増幅器
７２  第１のチャージアンプ    ７３  第２のチャージアンプ
７４  乗算器                  ８１  第１のセンサ      ８２  第２のセンサ
８３  第３のコンデンサ        １００  静電容量型圧力センサ
１０１  第１の固定電極板      １０２  第２の固定電極板
１０３  ダイアフラム          １０４  絶縁板        １０５  空洞部
１０６  第１の貫通孔          １０７  空洞部        １０８  第２の貫通孔
【図１】
2004294253.tif 000010
【図２】
2004294253.tif 000011
【図３】
2004294253.tif 000012
【図４】
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【図５】
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【図６】
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