(57)【要約】【課題】回転パルス信号と原点検出のための被検出部の作成および着磁が同時に行えて、製造が簡便であり、安価にできる磁気エンコーダを提供する。【解決手段】この原点付き磁気エンコーダ７は、回転検出に用いられるものであって、互いに同心のリング状の第１の被検出部７Ａおよび第２の被検出部７Ｂを有する。第１の被検出部７Ａは円周方向の各部の厚さが一定で、円周方向に並ぶ複数の磁極Ｎ，Ｓの形成された永久磁石である。第２の被検出部７Ｂは第１の被検出部７Ａと繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部７Ａと厚さが同一でかつ磁極を有する厚肉部分７Ｂａとされる。第２の被検出部７Ｂの他の部分は、上記厚肉部分７Ｂａよりも薄い薄肉部分７Ｂｂとされている。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転検出に用いられる原点付き磁気エンコーダであって、互いに同心のリング状の第１の被検出部および第２の被検出部を有し、第１の被検出部は円周方向の各部の厚さが一定で、円周方向に並ぶ複数の磁極の形成された永久磁石であり、第２の被検出部は第１の被検出部と繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部と厚さが同一でかつ磁極を有する厚肉部分とされ、他の部分が上記厚肉部分よりも薄い薄肉部分であることを特徴とする原点付き磁気エンコーダ。
【請求項２】
請求項１において、第１の被検出部および第２の被検出部が円筒状である原点付き磁気エンコーダ。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、第２の被検出部における上記厚肉部分の円周方向の幅寸法が、磁極幅と概ね同等以上でかつ３倍よりも小さい原点付き磁気エンコーダ。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかにおいて、第２の被検出部における厚肉部分と薄肉部分との段差が０．５ｍｍ以上である原点付き磁気エンコーダ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかにおいて、第１の被検出部および第２の被検出部がゴム磁石である原点付き磁気エンコーダ。
【請求項６】
転動体を介して互いに回転自在な回転輪および静止輪と、上記回転輪に設けられた磁気エンコーダとを備え、この磁気エンコーダが請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の原点付き磁気エンコーダであることを特徴とする回転検出機能付き軸受。
【請求項７】
請求項６において、上記原点付き磁気エンコーダにおける第２の被検出部の厚肉部分と円周方向位置が一致する原点位置表示マークを回転輪に設け、上記第２の被検出部を検出するセンサの円周方向の取付位置を示すセンサ取付位置表示マークを静止輪に設けた回転検出機能付き軸受。
【請求項８】
請求項７において、上記原点位置表示マークおよびセンサ取付位置表示マークが刻印である回転検出機能付き軸受。
【請求項９】
請求項６において、上記第１の被検出部を検出するセンサおよび第２の被検出部を検出するセンサをセンサケース内に設け、このセンサケースに、第２の被検出部の円周方向位置を示す表示マークを設けた回転検出機能付き軸受。
【請求項１０】
回転検出に用いられる原点付き磁気エンコーダの製造方法であって、互いに同心のリング状の第１の被検出部および第２の被検出部を有し、第１の被検出部は円周方向の各部の厚さが一定であり、第２の被検出部は第１の被検出部と繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部と厚さが同一の厚肉部分とされ、他の部分が上記厚肉部分よりも薄い薄肉部分である未着磁エンコーダ素材を製造する過程と、この未着磁エンコーダ素材の第１の被検出部に円周方向に並べて設ける複数の磁極、および第２の被検出部の厚肉部分に設ける磁極を同時に着磁する過程とを含む原点付き磁気エンコーダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、モータの制御やロボットの関節等に用いることのできる原点付き磁気エンコーダ、およびこの磁気エンコーダを内蔵した回転検出機能付き軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転パルス信号と１回転に１回の原点信号とを出力するための磁気エンコーダの例として、例えば特許文献１に示すものがある。図９，図１０に示すように、この例の磁気エンコーダ３７では、回転パルス信号を得るために、円周方向に同一ピッチで多極着磁されている第１の被検出部３７Ａと、円周方向の１箇所にのみ、他の部分とは異なる磁極を配置し、原点信号を得る第２の被検出部３７Ｂからなる構成とされている。第１の被検出部３７Ａに対向して２つの磁気センサ３８Ａ，３８Ｂが、磁極ピッチの９０°分の位相をずらせて配置され、回転方向の検出も可能とされている。磁気エンコーダ３７は、軸受３１における回転輪３２に取付けられ、固定輪３３に各磁気センサ３８Ａ〜３８Ｃが設置されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−１９４００９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の磁気エンコーダ３７では、パルス信号と原点検出のための被検出部３７Ａ，３７Ｂの作成および着磁を別々に行うことになるため、製造が煩雑である。そのためコスト高になる。
【０００５】
この発明の目的は、回転パルス信号と原点検出のための被検出部の作成および着磁が同時に行えて、製造が簡便であり、安価にできる原点付き磁気エンコーダ、および回転検出機能付き軸受を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明における第１の発明の原点付き磁気エンコーダは、回転検出に用いられる原点付き磁気エンコーダであって、互いに同心のリング状の第１の被検出部および第２の被検出部を有する。第１の被検出部は、円周方向の各部の厚さが一定で、円周方向に並ぶ複数の磁極が形成された永久磁石である。第２の被検出部は、第１の被検出部と繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部と厚さが同一でかつ磁極を有する厚肉部分とされ、他の部分が上記厚肉部分よりも薄い薄肉部分である。上記第１の被検出部および第２の被検出部は、例えば円筒状とされる。
この構成によると、第１の被検出部は円周方向に並ぶ磁極より回転パルス信号の検出が可能であり、第２の被検出部は円周上の１箇所の磁極により原点検出に用いられる。第１，第２の被検出部は互いに繋がっているため、着磁前までの作成が同時に行える。着磁についても、第２の被検出部は磁極形成部分が第１の被検出部と同じ厚肉部分であって、他の部分が薄肉部分とされているため、第１の被検出部と同時に全周に着磁のための磁界付与を行っても、薄肉部分はギャップが広くなることや、磁石となる部分の厚さが薄いことなどにより着磁強度が低くなる。そのため、薄肉部分は検出対象として無視できる着磁強度にでき、未着磁と同等に扱える。したがって、両被検出部の着磁が同時に行える。このように、回転パルス信号と原点検出のための被検出部の作成および着磁が同時に行えて、製造が簡便であり、安価にできる。また原点検出のための被検出部が独立した磁石でないため、芯金を用いる場合にその芯金への強固な接合が可能である。さらに、回転パルス信号と原点検出のための被検出部が一体であるため、コンパクトになる。
【０００７】
上記第２の被検出部における上記厚肉部分の円周方向の幅寸法は、磁極幅と概ね同等以上でかつ３倍よりも小さいものとするのが好ましい。幅寸法が磁極幅より狭くなると、磁極検出信号自体が低くなり、また幅寸法が磁極幅の３倍を超えると、１回転に２つ以上の原点信号が発生する可能性がある。そのため、この範囲の幅寸法が好ましい。
第２の被検出部における厚肉部分と薄肉部分との段差は０．５ｍｍ以上とすることが好ましい。この段差が０．５ｍｍ以上であると、第１，第２の被検出部の同時着磁で薄肉部分の着磁強度がセンサ出力に影響しないようにすることが容易である。
第１の被検出部および第２の被検出部はゴム磁石であっても良い。ゴム磁石はこの種の磁気エンコーダに製造上や性能上の種々の利点があるが、ゴム磁石においても、第２の被検出部を厚肉部分と薄肉部分とで構成したことによる同時作成，同時着磁が容易に行える。
【０００８】
この発明における回転検出機能付き軸受は、転動体を介して互いに回転自在な回転輪および静止輪と、上記回転輪に設けられた磁気エンコーダとを備え、この磁気エンコーダにこの発明の上記いずれかの構成の原点付き磁気エンコーダを用いたものである。
この構成によると、回転数検出だけでなく、原点検出も可能でかつ回転方向も検出できる回転検出機能付き軸受でありながら、回転数検出センサと原点検出センサを個別に設置する必要がなく、組立が簡単で、簡素でコンパクトな構造とすることができる。また、この発明の原点付き磁気エンコーダにおける製造簡便の効果により、高機能で安価な軸受とできる。
【０００９】
この軸受において、原点付き磁気エンコーダにおける第２の被検出部の厚肉部分と円周方向位置が一致する原点位置表示マークを回転輪に設け、上記第２の被検出部を検出するセンサの円周方向の取付位置を示すセンサ取付位置表示マークを静止輪に設けても良い。
このように各表示マークを施すと、磁気エンコーダやセンサが内蔵されて外部から見えなくても、原点位置表示マークおよびセンサ取付位置表示マークを見ることで、磁気エンコーダの原点位置およびセンサ位置を、軸やハウジングに正しく組み込むことができ、軸受の組み込み作業が容易に精度良く行える。
上記原点位置表示マークおよびセンサ取付位置表示マークは刻印であっても良い。刻印であると、容易に施すことができ、かつ消え難い。
また、この発明の回転検出機能付き軸受において、上記第１の被検出部を検出するセンサおよび第２の被検出部を検出するセンサをセンサケースに設け、このセンサケースに、第２の被検出部の円周方向位置を示す表示マークを設けても良い。センサケースに第２の被検出部の円周方向位置を示しておいた場合も、第２の被検出部が外部から直接に見えなくても、軸受のハウジングへの組み込みが、センサ位置が正しく、容易に行える。
【００１０】
この発明の原点付き磁気エンコーダの製造方法は、回転検出に用いられる原点付き磁気エンコーダの製造方法であって、互いに同心のリング状の第１の被検出部および第２の被検出部を有し、第１の被検出部は円周方向の各部の厚さが一定であり、第２の被検出部は第１の被検出部と繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部と厚さが同一の厚肉部分とされ、他の部分が上記厚肉部分よりも薄い薄肉部分である未着磁エンコーダ素材を製造する過程と、この未着磁エンコーダ素材の第１の被検出部に円周方向に並べて設ける複数の磁極、および第２の被検出部の厚肉部分に設ける磁極を同時に着磁する過程とを含む方法である。
この製造方法によると、第１の被検出部に円周方向に並べて複数の磁極Ｎ，Ｓが着磁されると同時に、第２の被検出部にも円周方向に並べて複数の磁極Ｎ，Ｓが着磁されるが、第２の被検出部では、厚肉部分において第１の被検出部と同じ磁力の磁極が着磁されるのに対して、薄肉部分においては、肉厚が薄いこと、および着磁時のギャップが大きい等の理由により、着磁強度が第１の被検出部に比べてかなり小さくなり、検出対象として無視できる磁力となる。これにより、第２の被検出部では、厚肉部分にのみ磁極が着磁されたと同等の結果が得られ、第１の被検出部と第２の被検出部の着磁を同時に行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
この発明の第１の実施形態を図１ないし図５と共に説明する。図１は、この実施形態の原点付き磁気エンコーダを内蔵した回転検出機能付き軸受の断面図を示す。この回転検出機能付き軸受１は、転動体４を介して互いに回転自在な回転輪２および静止輪３を有するものであって、回転輪２に設けた原点付き磁気エンコーダ７と、静止輪３に設けた３つの磁気センサ８Ａ，８Ｂ，８Ｃとで回転センサ６を構成している。回転輪２は内輪とされ、静止輪３は外輪とされている。内輪からなる回転輪２の外径面、および外輪からなる静止輪３の内径面には転動体４の軌道面２ａ，３ａが形成されている。転動体４は保持器５で保持されている。回転輪２と静止輪３の間の環状空間は、回転センサ６の設置側とは反対側の端部がシール部材９で密封されている。
【００１２】
回転センサ６を構成する磁気エンコーダ７はラジアル型のものであって、図２に示すように周方向に多極磁化された環状とされる。具体的には、環状のバックメタル１０と、その外周側に設けられた２つの被検出部７Ａ，７Ｂを有する。この磁気エンコーダ７はバックメタル１０を介して回転輪２に固着されている。
上記両被検出部７Ａ，７Ｂは、互いに同心のリング状、具体的には円筒状とされる。第１の被検出部７Ａは円周方向の各部の厚さが一定で、円周方向に等間隔で交互に並ぶ複数の磁極Ｎ，Ｓが形成された永久磁石である。第２の被検出部７Ｂは第１の被検出部７Ａと繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部７Ａと厚さが同一で、かつ磁極を有する厚肉部分７Ｂａとされ、他の部分が上記厚肉部分７Ｂａよりも薄い薄肉部分７Ｂｂとされている。ここでは、上記両被検出部７Ａ，７Ｂはゴム磁石からなる。
【００１３】
第２の被検出部７Ｂにおける上記厚肉部分７Ｂａの円周方向の幅寸法Ｗは、磁極幅と概ね同等とされているが、図３（Ｃ）に示すように磁極幅の略３倍としても良い。厚肉部分７Ｂａの円周方向の幅寸法Ｗが磁極幅より狭くなると、厚肉部分７Ｂａの磁極の検出信号自体が低くなり、また上記幅寸法Ｗが磁極幅の３倍を超えると、回転輪２が１回転する間に２つ以上の原点信号が発生する可能性があるため、上記幅寸法Ｗは磁極幅と概ね同等以上でかつ３倍より小さくするのが好ましい。これにより、回転輪２が１回転する間に、第２の被検出部７Ｂが確実に１つの原点信号を発生することになり、原点位置の検出を正確に行うことができる。第２の被検出部７Ｂにおける厚肉部分７Ｂａと薄肉部分７Ｂｂとの段差ｄは０，５ｍｍ以上とするのが好ましい。
【００１４】
磁気センサ８Ａ，８Ｂ，８Ｃは例えばホール素子からなる。これらの磁気センサ８Ａ，８Ｂ，８Ｃは、回転輪２の回転により、対向する磁気エンコーダ７の磁極Ｎ，Ｓの変化に対応して、インクリメンタルなパルス信号を出力する。１組となる２つの磁気センサ８Ａ，８Ｂと他の１つの磁気センサ８Ｃとは、軸方向に分けて配置され、１組の磁気センサ８Ａ，８Ｂとこれに対向する磁気エンコーダ７の第１の被検出部７Ａとで第１の回転センサ部１１が構成される。また、他の１つの磁気センサ８Ｃとこれに対向する第２の被検出部７Ｂとで第２の回転センサ部１２が構成される。すなわち、１つの磁気エンコーダ７において、第１の被検出部７Ａと第２の被検出部７Ｂが軸方向に並べた状態に配置される。このように１つの磁気エンコーダ７に２つの被検出部７Ａ，７Ｂを軸方向に並べて配置し、また肉厚差を持たせることにより、両被検出部７Ａ，７Ｂの着磁を同時に行うことができ、着磁のタクトタイムを短縮して、製造費用を削減することができる。また、第１の被検出部７Ａと第２の被検出部７Ｂとは、磁極配列の繰り返し周期における位相を等しくしており、その着磁作業をより簡単に行うことができる。
【００１５】
特に、第１の被検出部７Ａは円周方向の各部の厚さが一定であり、第２の被検出部７Ｂは第１の被検出部７Ａと繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部７Ａと厚さが同一の厚肉部分７Ｂａとされ、他の部分が上記厚肉部分７Ｂａよりも薄い薄肉部分７Ｂｂとされているので、両被検出部７Ａ，７Ｂの着磁を以下のように１工程で同時に行うことができる。
すなわち、上記肉厚構造とした第１の被検出部７Ａおよび第２の被検出部７Ｂを一体に有する未着磁エンコーダ素材に対して、複数の磁極Ｎ，Ｓを円周方向に並べて着磁する。これにより、第１の被検出部７Ａに円周方向に並べて複数の磁極Ｎ，Ｓが着磁されると同時に、第２の被検出部７Ｂにも円周方向に並べて複数の磁極Ｎ，Ｓが着磁される。しかし、第２の被検出部７Ｂでは、厚肉部分７Ｂａにおいて第１の被検出部７Ａと同じ磁力の磁極が着磁されるのに対して、他の薄肉部分７Ｂｂにおいては、肉厚が薄いこと、および着磁時のギャップが大きい等の理由により、着磁強度が第１の被検出部７Ａに比べてかなり小さくなり、検出対象として無視できる磁力となる。これにより、第２の被検出部７Ｂでは、厚肉部分７Ｂａにのみ磁極が着磁されたと同等の結果が得られる。このように、第１の被検出部７Ａと第２の被検出部７Ｂの着磁を同時に行えるので、上記エンコーダ７を容易に製造できコスト低減が可能となる。また、第１の被検出部７Ａと第２の被検出部７Ｂが分離独立していないので、バックメタル１０への強固な接合も可能となるばかりか、コンパクトに磁気エンコーダ７を構成できる。
【００１６】
上記３つの磁気センサ８Ａ，８Ｂ，８Ｃは、樹脂ケース１３内に挿入した後に樹脂モールドし、その樹脂ケース１３を金属ケース１４を介して静止輪３に固定することにより、静止輪３側に取り付けている。
【００１７】
図３（Ａ）は、第１の被検出部７Ａと１組の磁気センサ８Ａ，８Ｂとの位置関係を示し、図３（Ｂ）は第２の被検出部７Ｂと１つの磁気センサ８Ｃとの位置関係を示す。第２の被検出部７Ｂでは、その厚肉部分７Ｂａに１つの磁極Ｎが着磁されている。また、磁気センサ８Ａ，８Ｂの間では、磁極配列の繰り返し周期における位相の関係が、略９０°の位相差を有する位置関係とされている。
図３（Ｂ）では、第２の被検出部７Ｂの厚肉部分７Ｂａに１つの磁極Ｎが着磁された例を示しているが、厚肉部分７Ｂｂの幅Ｗが磁極幅の３倍弱である場合には、図３（Ｃ）に示すように厚肉部分７Ｂａにおいて、周方向に並ぶ３つの磁極（例えばＳ，Ｎ，Ｓ）が着磁されることになる。
【００１８】
図４は、回転センサ６からの出力信号を示す波形図である。図４（Ａ）は磁気センサ８Ａからの出力信号波形を、図４（Ｂ）は磁気センサ８Ｂからの出力信号波形をそれぞれ示す。図４（Ｃ）は磁気センサ８Ｃからの出力信号波形である。これらのパルス信号により回転輪２の回転数、回転方向、および原点位置を検出することができる。すなわち、磁気センサ８Ａ，８Ｂのいずれかの出力信号により回転数を検出することができる。また、磁気センサ８Ａの出力信号と磁気センサ８Ｂの出力信号の位相差から回転方向を検出することができる。さらに、磁気センサ８Ｃの出力信号から原点位置を検出することができる。
【００１９】
回転輪２における上記磁気エンコーダ７が設置される側の端面には、図５に示すように、磁気エンコーダ７の原点位置である第２の被検出部７Ｂの厚肉部分７Ｂａと円周方向位置が一致する原点位置表示マーク１５が刻印として設けられている。また、静止輪３における上記磁気センサ８Ａ〜８Ｃが設置される側の端面には、磁気エンコーダ７における第２の被検出部７Ｂを検出する磁気センサ８Ｃの円周方向の取付位置を示すセンサ取付位置表示マーク１６が刻印として設けられている。軸受１の組立時には、回転輪２の上記原点位置表示マーク１５に上記第２の被検出部７Ｂの厚肉部分７Ｂａが一致するように、磁気エンコーダ７が回転輪２に固定される。また、静止輪３の上記センサ取付位置表示マーク１６に上記磁気センサ８Ｃが一致するように、磁気センサ８Ａ，８Ｂ，８Ｃを内蔵する金属ケース１４が静止輪３に固定される。
【００２０】
このように、回転輪２および静止輪３に原点位置表示マーク１５およびセンサ取付位置表示マーク１６を設けることにより、この回転検出機能付き軸受１を回転軸およびハウジングに組み込む際に、磁気エンコーダ７の原点位置および原点位置検出用の磁気センサ８Ｃの位置を容易に確認できるので、軸受１の組込みを容易に行うことができる。
【００２１】
なお、上記原点位置表示マーク１５およびセンサ取付位置表示マーク１６は、刻印によるものに限らず、回転輪２や静止輪３の円周上の１箇所に設けられたキー溝など外見で識別できるものをこれらのマークとして利用してもよい。また、上記原点位置表示マーク１５およびセンサ取付位置表示マーク１６は、回転輪２や静止輪３に設ける場合に限らず、原点位置表示マーク１５は例えば磁気エンコーダ７のバックメタル１０に設け、センサ取付位置表示マーク１６は例えば樹脂ケース１３や金属ケース１４に設けても良い。
【００２２】
この実施形態の回転検出機能付き軸受１によると、回転数検出だけでなく、原点検出も可能でかつ回転方向も検出できる回転センサ内蔵の軸受でありながら、回転数検出センサと原点検出センサを個別に設置する必要がない。そのため、組立が簡単で、簡素でコンパクトな構造になる。
【００２３】
図６は、この発明の他の実施形態を示す断面図である。この実施形態にかかる回転検出機能付き軸受１は、図１〜図５に示した第１の実施形態において、回転センサ６を構成する磁気エンコーダ７をスラスト型としたものである。すなわち、磁気エンコーダ７は、断面Ｌ字状とされて内輪２の外径面に固定される環状のシール板２０のフランジ状の立板部２０ａに設けられている。磁気エンコーダ７は、互いに同心のリング状の第１の被検出部７Ａおよび第２の被検出部７Ｂを有し、第１の被検出部７Ａは上記シール板２０における立板部２０ａの外周側に設けられ、第２の被検出部７Ｂは第１の被検出部７Ａの内周側に設けられる。図７に示すように、第１の被検出部７Ａは、円周方向の各部の厚さが一定で、円周方向に並ぶ複数の磁極Ｎ，Ｓの形成された永久磁石とされている。第２の被検出部７Ｂは、第１の被検出部７Ｂと繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部７Ａと厚さが同一で、かつ磁極（ここではＮ）を有する厚肉部分７Ｂａとされ、他の部分が上記厚肉部分７Ｂａよりも薄肉部分７Ｂａとされている。
【００２４】
前記磁気エンコーダ７の両被検出部７Ａ，７Ｂを検出する磁気センサ８Ａ〜８Ｃは、磁気エンコーダ７と軸方向に向けて対向するように配置される。すなわち、例えば樹脂モールドされて断面Ｌ字状の金属ケース２４に取り付けられた磁気センサ８Ａ〜８Ｃは、金属ケース２４を静止輪３の外径面に固定することにより静止輪３側に取り付けられ、図８に示すように磁気センサ８Ａ，８Ｂが第１の被検出部７Ａに、磁気センサ８Ｃが第２の被検出部７Ｂに対向するように配置される。その他の構成および作用は第１の実施形態の場合と同様である。
【００２５】
【発明の効果】
この発明の原点付き磁気エンコーダは、リング状の第１の被検出部および第２の被検出部を有し、第１の被検出部は円周方向の各部の厚さが一定で、円周方向に並ぶ複数の磁極の形成された永久磁石であり、第２の被検出部は第１の被検出部と繋がっていて、円周上の１箇所のみ第１の被検出部と厚さが同一でかつ磁極を有する厚肉部分とされ、他の部分が薄肉部分とされているため、回転パルス信号と原点検出のための被検出部の作成および着磁が同時に行えて、製造が簡便であり、安価に製造できる。
この発明の回転検出機能付き軸受は、この発明の原点付き磁気エンコーダを備えたものであるため、回転数検出および原点検出機能を備えながら、回転数検出センサと原点検出センサを個別に設置する必要がなく、組立が簡単で、簡素でコンパクトな構造とすることができる。しかも、この発明の原点付き磁気エンコーダにおける製造簡便の効果により、高機能で安価な軸受とできる。
この発明の原点付き磁気エンコーダの製造方法は、回転パルス信号と原点検出のための被検出部の作成および着磁が同時に行えるため、製造が簡便であり、安価に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態にかかる原点付き磁気エンコーダを内蔵した回転検出機能付き軸受の断面図である。
【図２】同磁気エンコーダの斜視図である。
【図３】（Ａ）は同磁気エンコーダの第１の被検出部と磁気センサの位置関係を示す説明図、（Ｂ）は同磁気エンコーダの第２の被検出部と磁気センサの位置関係を示す説明図、（Ｃ）は同磁気エンコーダの他の例の第２の被検出部と磁気センサの位置関係を示す説明図である。
【図４】（Ａ）は第１の磁気センサの検出信号の波形図、（Ｂ）は第２の磁気センサの検出信号の波形図、（Ｃ）は第３の磁気センサの検出信号の波形図である。
【図５】上記回転検出機能付き軸受を一端側からみた部分正面図である。
【図６】この発明の他の実施形態にかかる原点付き磁気エンコーダを内蔵した回転検出機能付き軸受の断面図である。
【図７】同磁気エンコーダの一部を示す斜視図である。
【図８】同磁気エンコーダと磁気センサとの位置関係を示す説明図である。
【図９】従来の回転検出機能付き軸受の断面図である。
【図１０】同軸受に内蔵された磁気エンコーダと磁気センサとの位置関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１…回転検出機能付き軸受
２…回転輪
３…静止輪
４…転動体
７…原点付き磁気エンコーダ
７Ａ…第１の被検出部
７Ｂ…第２の被検出部
７Ｂａ…厚肉部分
７Ｂｂ…薄肉部分
１５…原点位置表示マーク
１６…センサ取付位置表示マーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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