(57)【要約】【課題】内槽内のエッチング液の温度を保持して、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減させるとともに、外部環境の影響を完全に排除する。【解決手段】エッチング処理装置１は、エッチング処理槽３とタンク４と熱交換温調材５とポンプ６とフィルタ７とが備えられている。エッチング処理槽３は、フィルタ７からエッチング液を流入させるとともにこのエッチング液に複数枚のウェハを浸漬してエッチングする内槽３１と、この内槽３１の側面３１ａ及び底面３１ｂに沿ってその外方に設けられた外槽３２と、この外槽３２の側面３２ａ及び底面３２ｂを被覆した断熱材３３とが備えられてなる。このエッチング処理槽３には、内槽３１からオーバフローさせて外槽３２に流入させたエッチング液によって、内槽３１内のエッチング液の温度を予め設定したエッチング処理可能な所定温度に保持する温度保持手段が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング処理対象物を配する内槽と、この内槽に沿ってその外方に設けられた外槽とが備えられ、前記内槽内でエッチング対象物をエッチング液に浸漬してエッチングするエッチング処理槽において、
外部から前記内槽に液体を流入し、前記内槽内に流入した液体をオーバーフローさせて前記外槽に流入し、前記外槽に流入した液体を外部に流出するよう、前記内槽と前記外槽とが関連付けられ、
前記内槽からオーバフローして前記外槽に流入した液体によって、前記内槽内のエッチング液の温度を予め設定した所定温度に保持する温度保持手段が設けられたことを特徴とするエッチング処理槽。
【請求項２】
前記液体は、エッチング液であることを特徴とする請求項１に記載のエッチング処理槽。
【請求項３】
前記液体は、水であり、前記内槽には、エッチング処理対象物を浸漬してエッチングするカセットが設けられたことを特徴とする請求項１に記載のエッチング処理槽。
【請求項４】
前記温度保持手段は、前記内槽からオーバフローさせた前記液体を前記内槽に沿って流すとともに外部に流出させるための流通路が、前記外槽に形成されてなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のエッチング処理槽。
【請求項５】
前記流通路は、前記内槽に沿ってその外方に向かって連続的に形成され、
前記内槽からオーバフローさせた前記液体を、前記内槽側の流通路からその外方に向けて連続的に形成された流通路を順々に介し最外方に位置する流通路に流して、この最外方に位置する流通路から外部に流出させることを特徴とする請求項４に記載のエッチング処理槽。
【請求項６】
前記流通路は、前記外槽に仕切板が設けられて形成されたことを請求項４または５に記載のエッチング処理槽。
【請求項７】
前記外槽の外周面が、断熱材によって被覆されたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載のエッチング処理槽。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１つに記載のエッチング処理槽と、前記液体を循環させるためのポンプと、前記外槽から排出した前記液体の温度を予め設定した所定温度に制御する熱交換温調材と、が備えられ、
前記外槽から流出した前記液体を前記ポンプと前記熱交換温調材とを介して再び前記内槽に流入させることにより、前記液体を循環させることを特徴とするエッチング処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エッチング処理槽及び、エッチング処理槽を備えたエッチング処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エッチング処理槽を備えたエッチング処理装置とは、エッチング処理槽に、エッチング処理対象物である、例えばウェハを配し、エッチング液を流入させるとともにウェハを浸漬してエッチングし、ウェハにエッチング形成を行なうための装置である（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
具体的に、このエッチング処理槽を備えたエッチング処理装置に、図５に示すような従来のエッチング処理槽を備えたエッチング処理装置がある。
【０００４】
このエッチング処理装置１は、ドラフト２内部に備えられたエッチング処理槽３と、エッチング処理槽３から流出したエッチング液を貯水するタンク４と、タンク４に貯水したエッチング液の温度をエッチング処理可能な温度に上昇させる熱交換温調材５と、熱交換温調材５によって温度調整されたエッチング液をエッチング処理槽３に圧送して流入させるポンプ６と、ポンプ６によってエッチング処理槽３に流入するエッチング液に含有する不純物を取り除くフィルタ７とが備えられている。
【０００５】
ドラフト２には、外部から熱貫流を取り入れるドラフト開口部２１と、このドラフト開口部２１から取り入れた熱貫流を排気するシャッタ２２ａを有した排気口２２とが形成されている。これらドラフト開口部２１と排気口２２とは、図５に示すように、ドラフト２内部に備えられたエッチング処理槽３の上方に位置するドラフト２の側面２ａに対向して形成されている。また、タンク４と熱交換温調材５とポンプ６とフィルタ７とはドラフト２外部に設けられている。
【０００６】
エッチング処理槽３は、エッチング液を流入させるとともにウェハを浸漬してエッチングする内槽３１と、この内槽３１の側面３１ａ及び底面３１ｂを被覆した断熱材３３と、この断熱材３３の上方であって内槽３１の外方に設けられた外槽３２と、が備えられてなる。このエッチング処理槽３では、フィルタ７で不純物を取り除いたエッチング液を内槽３１に流入させ、内槽３１内のエッチング液をオーバーフローさせて外槽３２に流入させ、外槽３２からタンク４にエッチング液を流出する。
【０００７】
このエッチング処理装置１は、エッチング液をエッチング処理槽３の内槽３１からオーバーフローさせて外槽３２に流出し、外槽３２からタンク４を介して熱交換温調材５に流出しエッチング液の温度を上昇させ、ポンプ６とフィルタ７とを介して再び内槽３１に流入するという循環サイクルを採用している。
【０００８】
このエッチング処理装置１を用いたウェハのエッチング工程、例えば、音叉型水晶振動子の外形エッチング工程や、逆メサ構造を有するデバイスの周波数の合わせ込みエッチング工程において、エッチングのバラツキを低減させるためには、エッチング処理を行なうエッチング処理槽３の内槽３１には、投げ込みヒータや循環式温度槽などの熱交換温調材５を用いて温度調整を行なったエッチング液を流入する必要がある。
【０００９】
【特許文献１】
特開昭６２−２９４１８２号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このエッチング処理装置１において、熱交換温調材５を用いてエッチング液の温度調節を行なう場合、ドラフト開口部２１から取り入れられる熱貫流などの環境温度や排気口２２のシャッタ２２ａ開閉による風速などが変動するため、内槽３１に流入させてオーバーフローさせるエッチング液が直接その影響を受け、エッチング液の温度を一定に保持することができず、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減することが困難であった。
【００１１】
また、図５に示すエッチング処理装置１のように、内槽３１の周りに断熱材３３が設けられていても、外部からの熱貫流が上記した変動に伴って変化するため、外部環境の影響を完全に排除することはできない。
【００１２】
そこで、上記課題を解決するために本発明は、内槽内のエッチング液の温度を保持して、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減させるとともに、外部環境の影響を完全に排除するエッチング処理槽及びエッチング処理槽を備えたエッチング処理装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明にかかるエッチング処理槽は、エッチング処理対象物を配する内槽と、この内槽に沿ってその外方に設けられた外槽とが備えられ、前記内槽内でエッチング対象物をエッチング液に浸漬してエッチングするエッチング処理槽において、外部から前記内槽に液体を流入し、前記内槽内に流入した液体をオーバーフローさせて前記外槽に流入し、前記外槽に流入した液体を外部に流出するよう、前記内槽と前記外槽とが関連付けられ、前記内槽からオーバフローして前記外槽に流入した液体によって、前記内槽内のエッチング液の温度を予め設定した所定温度に保持する温度保持手段が設けられたことを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、温度保持手段が設けられているので、外槽に流れる液体により内槽内のエッチング液の温度を保持することが可能となる。その結果、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減させ、センター周波数の合わせ込みも容易に行なうことが可能となる。
【００１５】
上記構成において、上記液体は、エッチング液であってもよい。
【００１６】
また、上記構成において、上記液体は、水であり、上記内槽には、エッチング処理対象物を浸漬してエッチングするカセットが設けられてもよい。
【００１７】
この場合、エッチング液は、実際にウェハを浸漬するところでのみ使用するため、無駄にエッチング液を用いる必要がない。例えば、エッチング液でのエッチング作用は、ウェハ３０枚に対して有効であり、それ以上の枚数のウェハをエッチングする場合、エッチング液を入れかえる必要がある。なお、ここでいうウェハ３０枚という限定は、カセットの容量やエッチング液の濃度によって可変させることも可能であり、例えば、ウェハ１００枚に対して有効になるようカセットの容量やエッチング液の濃度を変更してもよい。
【００１８】
また、このエッチング処理槽によれば、ウェハの枚数を監視することができるとともに、エッチング液の管理も容易に行なうことができる。
【００１９】
具体的に、上記構成において、上記温度保持手段は、上記内槽からオーバフローさせた上記液体を上記内槽に沿って流すとともに外部に流出させるための流通路が、上記外槽に形成されてなってもよい。
【００２０】
この場合、内槽内のエッチング液の温度を保持するための断熱材などの保持材を別途用いる必要がないため、コストの削減も可能となる。
【００２１】
上記構成において、上記流通路は、上記内槽に沿ってその外方に向かって連続的に形成され、上記内槽からオーバフローさせた上記液体を、上記内槽側の流通路からその外方に向けて連続的に形成された流通路を順々に介し最外方に位置する流通路に流して、この最外方に位置する流通路から外部に流出させてもよい。
【００２２】
この場合、流通路が上記内槽に沿ってその外方に向かって連続的に形成されているので、形成される流通路が内槽に沿ったのみの流通路の場合と比較して、内槽に沿ってその外方に向かって連続的に形成された流通路の分だけ断熱層として利用する流通路を厚くすることが可能となり、内槽内のエッチング液の温度を保持するのに好ましい。すなわち、流通路の厚さが増えるにともなって隣合った流通路間での温度差を小さくすることが可能となる。その結果、外部環境の影響をさらに受けにくくすることが可能となる。また、液体の予め設定した所定温度が維持し易い。
【００２３】
上記構成において、上記流通路は、上記外槽に仕切板が設けられて形成されてもよい。
【００２４】
この場合、流通路は、外槽に仕切板が設けられて形成されているので、容易に流通路を形成することが可能となる。また、仕切板を脱着可能な状態で設けられた場合、組み立て分解が容易であり、その結果、メンテナンスを容易に行なうことが可能となる。
【００２５】
上記構成において、上記外槽の外周面が、断熱材によって被覆されてもよい。
【００２６】
この場合、外槽の外周面が断熱材によって被覆されているので、さらに内槽内のエッチング液の温度を保持するのに好ましい。
【００２７】
また、上記目的を達成するため本発明にかかるエッチング処理装置は、上記したエッチング処理槽と、前記液体を循環させるためのポンプと、前記外槽から排出した前記液体の温度を予め設定した所定温度に制御する熱交換温調材と、が備えられ、前記外槽から流出した前記液体を前記ポンプと前記熱交換温調材とを介して再び前記内槽に流入させることにより、前記液体を循環させることを特徴とする。
【００２８】
この発明によれば、上記したエッチング処理槽が備えられているので、外槽に流れる液体により内槽内のエッチング液の温度を保持することが可能となる。その結果、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減させ、センター周波数の合わせ込みも容易に行なうことが可能となる。また、熱交換温調材で設定した所定温度を維持し易い。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す本実施の形態では、エッチング対象物としてウェハに本発明を適用した場合を示す。
【００３０】
このエッチング処理装置１は、図１に示すように、ドラフト２内部に備えられた、複数枚のウェハ（図示省略）を配しエッチングを行なうエッチング処理槽３と、エッチング処理槽３から流出したエッチング液（図示省略）を貯水するタンク４と、タンク４に貯水したエッチング液の温度を予め設定したエッチング処理可能な温度に上昇させるよう制御する熱交換温調材５と、熱交換温調材５によって温度調整されたエッチング液をエッチング処理槽３に圧送して流入させるポンプ６と、ポンプ６によってエッチング処理槽３に流入させるエッチング液に含有する不純物を取り除くフィルタ７とが備えられている。
【００３１】
ドラフト２には、外部から熱貫流を取り入れるドラフト開口部２１と、このドラフト開口部２１から取り入れた熱貫流を排気するシャッタ２２ａを有した排気口２２とが形成されている。これらドラフト開口部２１と排気口２２とは、図１に示すように、ドラフト２内部に備えられたエッチング処理槽３の上方に位置するドラフト２の側面２ａに対向して形成されている。また、タンク４と熱交換温調材５とポンプ６とフィルタ７とはドラフト２外部に設けられている。
【００３２】
エッチング処理槽３は、円筒状の形状からなり、フィルタ７からエッチング液を流入させるとともにこのエッチング液に複数枚のウェハを浸漬してエッチングする内槽３１と、この内槽３１の側面３１ａ及び底面３１ｂに沿ってその外方に設けられた外槽３２と、この外槽３２の側面３２ａ及び底面３２ｂを被覆した断熱材３３とが備えられてなる。このエッチング処理槽３では、フィルタ７で不純物を取り除いたエッチング液を内槽３１に流入させ、内槽３１に流入させたエッチング液をオーバーフローさせて外槽３２に流入させ、外槽に流入させたエッチング液を外槽３２からタンク４に流出する。
【００３３】
また、このエッチング処理槽３には、内槽３１からオーバフローさせて外槽３２に流入させたエッチング液によって、内槽３１内のエッチング液の温度を予め設定したエッチング処理可能な所定温度に保持する温度保持手段が設けられている。
【００３４】
この温度保持手段は、内槽３１からオーバフローさせたエッチング液を内槽３１に沿って流すとともにタンク４に流出させるための流通路３４（３４ａ、３４ｂ、３４ｃ）が、外槽３２に形成されてなる。
【００３５】
流通路３４は、内槽３１に沿ってその外方に向かって連続的に形成され、内槽３１からオーバーフローさせたエッチング液を、内槽側の流通路３４ａからその外方に向けて連続的に形成された流通路３４ｂ、３４ｃを順々に介し最外方に位置する流通路３４ｃに流して、この最外方に位置する流通路３４ｃからタンク４に流出させている。また、流通路３４は、外槽３２に仕切板３５が設けられて形成されている。
【００３６】
次に、このエッチング処理装置におけるエッチング工程を、図１を用いて以下に説明する。なお、このエッチング処理装置１におけるエッチング液の流れを、図１に矢印を用いて示している。
【００３７】
まず、複数枚のウェハを内槽３１内に配し、蓋（図示省略）によって内槽３１を密封し、タンク４にエッチング液を供給する。供給したエッチング液は熱交換温調材に流出し、熱交換温調によってエッチング液の温度を予め設定したウェハをエッチングするのに最適な温度（エッチング処理可能な温度）に上昇させるよう制御する。温度制御したエッチング液をポンプ６に流出し、ポンプによって内槽３１に圧送する。この時、フィルタ７によって、内槽３１に圧送するエッチング液に含有する不純物を取り除く。
【００３８】
次に、ポンプ６によって内槽３１に流入させたエッチング液により、ウェハを浸漬してエッチングする。そして、内槽３１に流入させたエッチング液はオーバーフローして外槽３２に流出する。外槽３２に流入させたエッチング液は、流通路３４ａ、３４ｂ、３４ｃを順々に流れて最外層の流通路３４ｃからタンク４に流出する。
【００３９】
そして、タンク４に流入させたエッチング液は、再び熱交換温調材５に流出してエッチング液の温度を予め設定したエッチング処理可能な所定温度に上昇させ、ポンプ６とフィルタ７とを介して再び内槽に流入する。以下、同様にしてエッチング液を循環させる。
【００４０】
上記したエッチング処理槽３を備えたエッチング処理装置１によれば、温度保持手段が設けられているので、外槽３２に流れるエッチング液により内槽３１内のエッチング液の温度を保持することができる。その結果、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減させ、センター周波数の合わせ込みも容易に行なうことができる。
【００４１】
また、流通路３４は、内槽３１に沿ってその外方に向かって連続的に形成されているので、内槽３１内のエッチング液の温度を保持するための断熱材などの保持材を別途用いる必要がないため、コストの削減もできる。
【００４２】
また、流通路３４が内槽３１に沿ってその外方に積層して形成されているので、形成される流通路が内槽に沿ったのみの流通路の場合と比較して、内槽３１に沿ってその外方に向かって連続的に形成された流通路３４の分だけ断熱層として利用する流通路を厚くすることができ、内槽３１内のエッチング液の温度を保持するのに好ましい。すなわち、流通路３４の厚さが増えるにともなって隣合った流通路間（３４ａ、３４ｂ、３４ｃ）での温度差を小さくすることができる。その結果、外部環境の影響をさらに受けにくくすることができる。また、熱交換温調材５で設定したエッチング液の所定温度を内槽３１内で維持し易い。
【００４３】
また、流通路３４は、外槽３２に仕切板３５が設けられて形成されているので、容易に流通路３４を形成することができる。また、仕切板３５を脱着可能な状態で設けられた場合、組み立て分解が容易であり、その結果、メンテナンスを容易に行なうことができる。
【００４４】
また、外槽３２の側面３２ａ及び底面３２ｂが断熱材３３によって被覆されているので、さらに内槽３１内のエッチング液の温度を保持するのに好ましい。
【００４５】
なお、本実施の形態では、複数枚のウェハを同時にエッチングしているが、これに限定されるものではなく、その枚数は１枚であってもよい。
【００４６】
また、本実施の形態では、エッチング処理対象物としてウエハを用いたがこれに限定されるものではなく、水晶片など他のものであってもよい。
【００４７】
また、本実施の形態では、内槽３１の側面３１ａ及び底面３１ｂに沿って流通路３４が形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、蓋に流通路が形成されていてもよい。
【００４８】
また、本実施の形態では、図１に示すような形状の仕切版３５が設けられているが、これに限定されるものではなく、例えばＯリング等であってもよい。
【００４９】
また、本実施の形態では、内槽３１内のエッチング液の温度保持状態を良好な状態にするためにエッチング処理槽３に断熱材３３が設けられているが、これに限定されるものではなく、図２に示すように、断熱材が設けられていなくても本発明の作用効果を有する。
【００５０】
また、温度保持手段により、内槽内のエッチング液の温度を予め設定した所定温度に保持することが可能であれば、その温度の冷温は問わない。また、ウェハをエッチングすることが可能であれば、エッチング温度の冷温も問わない。
【００５１】
また、本実施の形態では、流通路３４が内槽３１に沿ってその外方に積層して形成されているが、これに限定されるものではなく、図３に示すように、内槽３１に沿って形成されていれば１層からなる流通路３６が形成されていてもよい。また、図３では、流通路３６が内槽３１に沿ってらせん状に形成されているが、内槽３１に沿って形成されていれば内槽３１に沿って形成されていれば、その流通路３６の形状は限定されるものではない。
【００５２】
また、本実施の形態では、エッチング液を循環させているが、これに限定されるものではなく、図４に示すように、ウェハを配するカセット７を内槽３１内に設け、このカセット７内にのみエッチング液Ｅを供給して、他の内槽３１内に温水を流入させて循環させてもよい。また、図４に示す符号８は、パンチングメタルを示し、このパンチングメタル８は、内槽３１内に流入する水、例えば温水の流れを制御するとともに、カセット７を保持するものである。
【００５３】
この図４に示すエッチング処理槽３によれば、エッチング液は、実際にウェハを浸漬するところでのみ使用するため、無駄にエッチング液を用いる必要がない。また、エッチング液でのエッチング作用は、ウェハ３０枚に対して有効であり、それ以上の枚数のウェハをエッチングする場合、エッチング液を入れかえる必要がある。なお、図４に示すエッチング処理槽３では、ウェハ３０枚に対して有効であるとしたが、これに限定されるものではなく、他のウェハ枚数、例えばウェハ１００枚に対して有効になるようカセット７の容量やエッチング液Ｅの濃度を変更してもよい。
【００５４】
また、この図４に示すエッチング処理槽３によれば、ウェハの枚数を監視することができるとともに、エッチング液の管理も容易に行なうことができる。
【００５５】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明にかかるエッチング処理槽及びエッチング処理槽を備えたエッチング処理装置によれば、内槽内のエッチング液の温度を保持して、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減させるとともに、外部環境の影響を完全に排除することができる。
【００５６】
すなわち、本発明にかかるエッチング処理槽によれば、温度保持手段が設けられているので、外槽に流れる液体により内槽内のエッチング液の温度を保持することができる。その結果、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減させ、センター周波数の合わせ込みも容易に行なうことができる。
【００５７】
また、本発明にかかるエッチング処理装置によれば、上記したエッチング処理槽が備えられているので、外槽に流れる液体により内槽内のエッチング液の温度を保持することができる。その結果、エッチング上がりのウェハの周波数のバラツキを低減させ、センター周波数の合わせ込みも容易に行なうことができる。また、熱交換温調材で設定した所定温度を維持し易い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかるエッチング処理装置の概略構成図である。
【図２】本実施の形態にかかる、内槽に沿った流通路のみが形成されたエッチング処理槽の概略構成図である。
【図３】本実施の形態にかかる、断熱材を除いた状態のエッチング処理槽の概略構成図である。
【図４】本実施の形態にかかる、ウェハを配するカセットを内槽内に設けたエッチング処理槽の概略構成図である。
【図５】従来のエッチング処理装置の概略構成図である。
【符号の説明】
１  エッチング処理装置
３  エッチング処理槽
３１  内槽
３２  外槽
３３  断熱材
３４  流通路
３４ａ  内槽側の流通路
３４ｃ  最外方に位置する流通路
３５  仕切板
５  熱交換温調材
６  ポンプ
７  カセット
８  パンチングメタル
【図１】
2004200483.tif 000003
【図２】
2004200483.tif 000004
【図３】
2004200483.tif 000005
【図４】
2004200483.tif 000006
【図５】
2004200483.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成14年12月26日(2002.12.26)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング処理対象物を配する内槽と、この内槽に沿ってその外方に設けられた外槽とが備えられ、前記内槽内でエッチング対象物をエッチング液に浸漬してエッチングするエッチング処理槽において、
外部から前記内槽に液体を流入し、前記内槽内に流入した液体をオーバーフローさせて前記外槽に流入し、前記外槽に流入した液体を外部に流出するよう、前記内槽と前記外槽とが関連付けられ、
前記内槽からオーバフローして前記外槽に流入した液体によって、前記内槽内のエッチング液の温度を予め設定した所定温度に保持する温度保持手段が設けられたことを特徴とするエッチング処理槽。
【請求項２】
前記液体は、エッチング液であることを特徴とする請求項１に記載のエッチング処理槽。
【請求項３】
前記液体は、水であり、前記内槽には、エッチング処理対象物を浸漬してエッチングするカセットが設けられたことを特徴とする請求項１に記載のエッチング処理槽。
【請求項４】
前記温度保持手段は、前記内槽からオーバフローさせた前記液体を前記内槽に沿って流すとともに外部に流出させるための流通路が、前記外槽に形成されてなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のエッチング処理槽。
【請求項５】
前記流通路は、前記内槽に沿ってその外方に向かって連続的に形成され、
前記内槽からオーバフローさせた前記液体を、前記内槽側の流通路からその外方に向けて連続的に形成された流通路を順々に介し最外方に位置する流通路に流して、この最外方に位置する流通路から外部に流出させることを特徴とする請求項４に記載のエッチング処理槽。
【請求項６】
前記流通路は、前記外槽に仕切板が設けられて形成されたことを請求項４または５に記載のエッチング処理槽。
【請求項７】
前記外槽の外周面が、断熱材によって被覆されたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載のエッチング処理槽。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１つに記載のエッチング処理槽と、前記液体を循環させるためのポンプと、前記外槽から排出した前記液体の温度を予め設定した所定温度に制御する熱交換温調材と、が備えられ、
前記外槽から流出した前記液体を前記ポンプと前記熱交換温調材とを介して再び前記内槽に流入させることにより、前記液体を循環させることを特徴とするエッチング処理装置。