(57)【要約】【課題】ゴミや段差が存在するような被測定物においても、高精度に且つ高速に形状測定を行なうことが出来るようにする。【解決手段】測定物１上の略同一の点の位置を測定可能な複数の光学式変位計２，３と、複数の光学式変位計を測定物の表面に沿って走査させるための走査部４，５，６と、複数の光学式変位計のうちの１つの光学式変位計の計測信号に基づいて複数の光学式変位計の位置制御を行なう第１の制御状態と、複数の光学式変位計のうちの２つ以上の光学式変位計の計測信号に基づいて複数の光学式変位計の位置制御を行なう第２の制御状態と、複数の光学式変位計以外の位置計測センサ９の計測信号に基づいて複数の光学式変位計の位置制御を行なう第３の制御状態とを切り替える切り替え部と、切り替え部の切り替え動作を制御する制御部８とを具備する。【選択図】　　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定物上の同一の点の位置を測定可能な複数の光学式変位計と、
該複数の光学式変位計を前記測定物の表面に沿って走査させるための走査手段と、
前記複数の光学式変位計のうちの１つの光学式変位計の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第１の制御手段と、
前記複数の光学式変位計のうちの２つ以上の光学式変位計の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第２の制御手段と、
前記複数の光学式変位計以外の位置計測手段の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第３の制御手段と、
前記第１、第２、第３の制御手段を切り替える切り替え手段と、
該切り替え手段の切り替え動作を制御する切り替え動作制御手段と、
を具備することを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】
前記切り替え動作制御手段は、前記切り替え手段による制御状態の切り替えの順番として、前記第１の制御手段、前記第３の制御手段、前記第２の制御手段の順に切り替えるように前記切り替え手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の形状測定装置。
【請求項３】
前記切り替え動作制御手段は、前記光学式変位計の信号強度に基づいて、前記第１の制御手段から前記第３の制御手段に切り替えるように前記切り替え手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の形状測定装置。
【請求項４】
前記切り替え動作制御手段は、前記第３の制御手段による制御状態の継続時間、又は前記光学式変位計の走査方向への移動量、又は前記光学式変位計の信号強度に基づいて、前記第３の制御手段から前記第２の制御手段に切り替えるように前記切り替え手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の形状測定装置。
【請求項５】
前記切り替え動作制御手段は、前記第２の制御手段による制御状態の継続時間、又は前記光学式変位計の走査方向への移動量、又は前記光学式変位計の信号強度、又は前記第２の制御状態におけるサーボ偏差に基づいて、前記第２の制御手段から前記第１の制御手段に切り替えるように前記切り替え手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の形状測定装置。
【請求項６】
前記第２の制御手段において、前記２つ以上の光学式変位計のうち、前記第１の制御手段において用いられない他の光学式変位計の計測信号の値に補正値を加えることを特徴とする請求項１に記載の形状測定装置。
【請求項７】
前記第２の制御手段は、前記第１の制御手段から前記第３の制御手段に切り替えるときの、前記他の光学式変位計の初期出力値と切り替え時の出力値の差を前記補正値とすることを特徴とする請求項６に記載の形状測定装置。
【請求項８】
測定物上の同一の点の位置を測定可能な複数の光学式変位計と、該複数の光学式変位計を前記測定物の表面に沿って走査させるための走査手段とを備える形状測定装置を用いた形状測定方法であって、
前記複数の光学式変位計のうちの１つの光学式変位計の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第１の制御状態と、前記複数の光学式変位計のうちの２つ以上の光学式変位計の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第２の制御状態と、前記複数の光学式変位計以外の位置計測手段の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第３の制御状態とを切り替えて制御することを特徴とする形状測定方法。
【請求項９】
前記制御状態の切り替えの順番として、前記第１の制御状態、前記第３の制御状態、前記第２の制御状態の順に切り替えることを特徴とする請求項８に記載の形状測定方法。
【請求項１０】
前記制御状態の切り替えは、前記光学式変位計の信号強度に基づいて、前記第１の制御状態から前記第３の制御状態に切り替えることを特徴とする請求項９に記載の形状測定方法。
【請求項１１】
前記制御状態の切り替えは、前記第３の制御状態の継続時間、又は前記光学式変位計の走査方向への移動量、又は前記光学式変位計の信号強度に基づいて、前記第３の制御状態から前記第２の制御状態に切り替えることを特徴とする請求項９に記載の形状測定方法。
【請求項１２】
前記制御状態の切り替えは、前記第２の制御状態の継続時間、又は前記光学式変位計の走査方向への移動量、又は前記光学式変位計の信号強度、又は前記第２の制御状態におけるサーボ偏差に基づいて、前記第２の制御状態から前記第１の制御状態に切り替えることを特徴とする請求項９に記載の形状測定方法。
【請求項１３】
前記第２の制御状態において、前記２つ以上の光学式変位計のうち、前記第１の制御状態において用いられない他の光学式変位計の計測信号の値に補正値を加えることを特徴とする請求項８に記載の形状測定方法。
【請求項１４】
前記第１の制御状態から前記第３の制御状態に切り替えるときの、前記他の光学式変位計の初期出力値と切り替え時の出力値の差を前記補正値とすることを特徴とする請求項１３に記載の形状測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光を利用した非接触方式による走査型の高精度の形状測定技術に関し、被測定物に段差やゴミ、傷等があっても高精度に形状測定可能な走査型非接触形状測定技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
非球面レンズ等の形状の測定方法としては、接触式形状測定装置により測定することが一般的であるが、接触式の測定方法によると、被測定物にキズがつくという問題があった。そのため、被測定物の表面の損傷が問題となるような測定の場合には光学式変位計を用いた測定が用いられるようになってきている。この方法は、光学式変位計を常に被測定物表面に倣い制御させながら被測定面を走査し、光学式変位計の移動量から面形状を測定するものである。
【０００３】
光学式変位計を備えた形状測定装置で、段差やゴミを含む被測定物を測定することを考えてみる。光学式変位計を有する形状測定装置により、段差やゴミを含む被測定物表面を走査すると、被測定物表面の段差などで光が途切れ、段差を越えた後において、段差の前と違う位置でフォーカス制御をおこなってしまい、段差の後の測定データに光学式変位計の測定範囲の整数個分のオフセットがのることがある。これは、光学式変位計の測長範囲は、高々１μｍ弱であり、図４に示す様に同じ変位を繰り返し出力しているためである。つまり、段差の高さが光学式変位計の測定範囲を越えると、段差前と段差後では、被測定物と光学式変位計の距離は、本来は測定範囲の整数個分だけ異なる（図４、図５の距離Ａ、Ｂ）のに、光学式変位計の出力においては、同じ出力となる場合があり（図４の出力Ａ、Ｂ）、この出力に基づいてフォーカス制御を行うため、段差の前後で形状データにオフセットがのってしまうのである。段差などを測定するには、その高さよりも光学式変位計の測定範囲が充分広ければ、上述のことが発生しない。
【０００４】
光学式変位計の測定範囲を広げるためには、複数のわずかに周波数のずれたレーザ光を光源とすると有効であることが知られている（特開平１１−２０１７２７号公報）。そこで、被測定物に段差があるような被測定物を測定するためには、僅かにずれた複数の周波数のレーザ光を光源とした光学式変位計を備えた形状測定装置が用いられる。
【０００５】
上述した光学式変位計を有する形状測定装置の測定フローを図２に示す。
【０００６】
すなわち、まず、移動手段により、光学式変位計を測定開始位置に移動させる（ステップＳ２）。次いで、光学式変位計と被測定物の間の距離を徐々に近づけて、光学式変位計の信号出力が最大になる点（フォーカス位置）を探索、決定する（ステップＳ３）。フォーカス位置を決定した後は、光学式変位計と被測定物の間の距離が一定となるように制御手段により制御する（ステップＳ４）。その後、光学式変位計を被測定物全面にわたって走査させ、光学式変位計と被測定物表面の距離を一定に保ちながら測定を行い（ステップＳ５、ステップＳ６）、全面走査し終わったら、初期位置へ光学式変位計を移動させ測定を終了する（ステップＳ７、ステップＳ８）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような光学式変位計において、被測定面上に段差や傷、ゴミ等があると光が散乱し、測定光が減少し、光学式変位計が正常に動作しなくなる場合がある。さらに、倣い制御は光学式変位計の値に基づいて行っているため、光学式変位計が被測定物に衝突するなどの危険性があり、測定を続行することが不可能になる場合がある。
【０００８】
そこで、特開平９−２０３６２３号公報記載の発明では、ゴミ等によりフォーカス状態からはずれたとき、倣い制御から位置制御に切り替えて、光学式変位計をフォーカスがはずれる直前の位置に維持し、走査方向に微少距離移動した点において、再度フォーカス引き込み動作を実行し、フォーカス状態に復帰するようにさせている。しかしながら、特開平９−２０３６２３号公報記載の方法を用いると、段差やゴミ等があった場合途切れる直前の状態にとめ、その後微少距離移動して再度フォーカス引き込み動作を実行しているので、ゴミ等によりフォーカス状態からはずれると一回一回止めなければならず、測定に時間がかかることが予想される。特に、意図的に段差が存在するような被測定物では、特開平９−２０３６２３号公報記載の方法では測定に莫大な時間がかかり、実用的な用途に利用することは不可能になると思われる。
【０００９】
さらに、複数の光学式変位計の値を利用して測定領域を拡大する形状測定装置においては、いまひとつ重大な問題を併せ持っている。すなわち、複数の光学式変位計は本来、同一の測定点を測定するように設計されているのであるが、組立上の誤差あるいは経時的な変化により、全く同一の点を測定することは不可能であり、少なくともμｍオーダで光軸ズレΔｄを持っている（図６）。
【００１０】
このような光軸ズレが存在すると、複数の光学式変位計の値から変位を算出する時に、大きな誤差となることがわかっている。すなわち、測定面の斜度θが一定の場合には、図６に示すように、２つの光学式変位計の値の差Δｌは常に一定であるため誤差にはならないが、測定面の斜度が場所によって異なる測定物においては、斜度θと２つの光学式変位計の差Δｌには、
Δｌ＝Δｄ×ｔａｎθ
という関係があるため、変位を算出するときに大きな誤差となる。
従って、本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ゴミや段差が存在するような被測定物においても、高精度に且つ高速に形状測定を行なうことが出来るようにすることである。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、複数の光学式変位計の光軸ズレを補正し正常な変位を得ることを可能とすることである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わる形状測定装置は、測定物上の同一の点の位置を測定可能な複数の光学式変位計と、該複数の光学式変位計を前記測定物の表面に沿って走査させるための走査手段と、前記複数の光学式変位計のうちの１つの光学式変位計の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第１の制御手段と、前記複数の光学式変位計のうちの２つ以上の光学式変位計の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第２の制御手段と、前記複数の光学式変位計以外の位置計測手段の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第３の制御手段と、前記第１、第２、第３の制御手段を切り替える切り替え手段と、該切り替え手段の切り替え動作を制御する切り替え動作制御手段と、を具備することを特徴としている。
【００１３】
また、この発明に係わる形状測定装置において、前記切り替え動作制御手段は、前記切り替え手段による制御状態の切り替えの順番として、前記第１の制御手段、前記第３の制御手段、前記第２の制御手段の順に切り替えるように前記切り替え手段を制御することを特徴としている。
【００１４】
また、この発明に係わる形状測定装置において、前記切り替え動作制御手段は、前記光学式変位計の信号強度に基づいて、前記第１の制御手段から前記第３の制御手段に切り替えるように前記切り替え手段を制御することを特徴としている。
【００１５】
また、この発明に係わる形状測定装置において、前記切り替え動作制御手段は、前記第３の制御手段による制御状態の継続時間、又は前記光学式変位計の走査方向への移動量、又は前記光学式変位計の信号強度に基づいて、前記第３の制御手段から前記第２の制御手段に切り替えるように前記切り替え手段を制御することを特徴としている。
【００１６】
また、この発明に係わる形状測定装置において、前記切り替え動作制御手段は、前記第２の制御手段による制御状態の継続時間、又は前記光学式変位計の走査方向への移動量、又は前記光学式変位計の信号強度、又は前記第２の制御状態におけるサーボ偏差に基づいて、前記第２の制御手段から前記第１の制御手段に切り替えるように前記切り替え手段を制御することを特徴としている。
【００１７】
また、この発明に係わる形状測定装置において、前記第２の制御手段において、前記２つ以上の光学式変位計のうち、前記第１の制御手段において用いられない他の光学式変位計の計測信号の値に補正値を加えることを特徴としている。
【００１８】
また、この発明に係わる形状測定装置において、前記第２の制御手段は、前記第１の制御手段から前記第３の制御手段に切り替えるときの、前記他の光学式変位計の初期出力値と切り替え時の出力値の差を前記補正値とすることを特徴としている。
【００１９】
また、本発明に係わる形状測定方法は、測定物上の同一の点の位置を測定可能な複数の光学式変位計と、該複数の光学式変位計を前記測定物の表面に沿って走査させるための走査手段とを備える形状測定装置を用いた形状測定方法であって、前記複数の光学式変位計のうちの１つの光学式変位計の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第１の制御状態と、前記複数の光学式変位計のうちの２つ以上の光学式変位計の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第２の制御状態と、前記複数の光学式変位計以外の位置計測手段の計測信号に基づいて前記複数の光学式変位計の位置制御を行なう第３の制御状態とを切り替えて制御することを特徴としている。
【００２０】
また、この発明に係わる形状測定方法において、前記制御状態の切り替えの順番として、前記第１の制御状態、前記第３の制御状態、前記第２の制御状態の順に切り替えることを特徴としている。
【００２１】
また、この発明に係わる形状測定方法において、前記制御状態の切り替えは、前記光学式変位計の信号強度に基づいて、前記第１の制御状態から前記第３の制御状態に切り替えることを特徴としている。
【００２２】
また、この発明に係わる形状測定方法において、前記制御状態の切り替えは、前記第３の制御状態の継続時間、又は前記光学式変位計の走査方向への移動量、又は前記光学式変位計の信号強度に基づいて、前記第３の制御状態から前記第２の制御状態に切り替えることを特徴としている。
【００２３】
また、この発明に係わる形状測定方法において、前記制御状態の切り替えは、前記第２の制御状態の継続時間、又は前記光学式変位計の走査方向への移動量、又は前記光学式変位計の信号強度、又は前記第２の制御状態におけるサーボ偏差に基づいて、前記第２の制御状態から前記第１の制御状態に切り替えることを特徴としている。
【００２４】
また、この発明に係わる形状測定方法において、前記第２の制御状態において、前記２つ以上の光学式変位計のうち、前記第１の制御状態において用いられない他の光学式変位計の計測信号の値に補正値を加えることを特徴としている。
【００２５】
また、この発明に係わる形状測定方法において、前記第１の制御状態から前記第３の制御状態に切り替えるときの、前記他の光学式変位計の初期出力値と切り替え時の出力値の差を前記補正値とすることを特徴としている。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２７】
図３は、本発明の一実施形態の形状測定装置の概略構成を示す図である。
【００２８】
図３において、１は被測定物、２は第１の光学式変位計、３は第２の光学式変位計、４，５，６は、それぞれＹ軸走査部、Ｘ軸走査部、Ｚ軸走査部である。第１の光学式変位計２及び第２の光学式変位計３は同じ光学式変位計であり、被測定物１と第１の光学式変位計２及び第２の光学式変位計３は水平に配置されている。従って、Ｙ軸方向がフォーカス方向であり、Ｘ、或いは、Ｚ方向に走査する。他に、被測定物１と第１の光学式変位計２及び第２の光学式変位計３を垂直（上下）に配置し、Ｚ方向をフォーカス方向とし、Ｘ，Ｙ方向に走査しても構わない。なお、７は被測定物取り付け治具、８は制御部と記憶部と切り替え部とを格納した制御ユニット、９は光学式変位計以外の位置センサである。
【００２９】
本実施形態では、光学式変位計の測定領域を拡大するために、光学式変位計を２つ用いている。なお、２つの光学式変位計の光軸は図６に示すようにΔｄだけずれているものとする。また、光学式変位計としてヘテロダイン干渉計を用いることとし、２つのヘテロダイン干渉計から、それぞれ、位相Φ１、Φ２が得られるものとする。Φｉ（ｉ＝１，２）から被測定物までの距離Ｄ１を算出するときは、
Ｄ１＝λｉ／２　×　Φｉ／３６０
（ただし、λｉはレーザ光波長、Φｉとして得られる位相は０度〜３６０度であるとする）
によって距離を算出し、これを倣い制御のフィードバック信号として制御を行っている。
【００３０】
位相Φ１、Φ２から、被測定物までの距離Ｄｅｑを算出するときは、
まず、等価位相Φｅｑを
Φｅｑ＝Φ１−Φ２
により算出し、もし、Φｅｑ＜０となったら、Φｅｑに３６０度加算し、Φｅｑが正になるようにする。Φｅｑが求まったら、
Ｄｅｑ＝λｅｑ／２　×　Φｅｑ／３６０
により、Ｄｅｑを算出する。ここで、λｅｑ＝（λ１×λ２）／｜λ１−λ２｜である。
【００３１】
第１の光学式変位計２の値Φ１、もしくは第２の光学式変位計３の値Φ２もしくは、第１の光学式変位計２と第２の光学式変位計３の値Φ１、Φ２から算出された値Ｄｅｑを用いて、倣い制御を行う。第１の光学式変位計２、第２の光学式変位計３から得たＤ１，Ｄ２は、第１及び第２の光学式変位計２と３から算出されたＤｅｑに比べて分解能が細かく精度の良い倣い制御を行うことができる。通常、ゴミや段差のない面を走査するときは、Ｙ軸方向には、第１の光学式変位計２を用いて倣い制御をおこない、Ｘ軸方向は被測定物面上を走査する。
【００３２】
図１は、本実施形態の形状測定装置の動作フローチャートである。
【００３３】
前述したように、通常、ゴミ等のない面を走査するときは、第１の光学式変位計２を用いて倣い制御を行っている（モード２）。今、図７に示すような面を（Ａ）から（Ｅ）に向かって走査しているとする。（Ａ）点及び（Ｂ）点では、正常な変位が第１の光学式変位計２より得られる。（Ｃ）点では、ゴミが存在するため正常な変位が第１の光学式変位計２より得られず、第１の光学式変位計２の出力は異常値を出力する。異常値をもとに倣い制御を行うと、フォーカスを失って暴走し、被測定物に衝突したりする。（Ｃ）点では、光学式変位計の信号強度が下がり閾値を下回ると、第１の光学式変位計２による倣い制御から、光学式変位計以外のセンサによる位置制御に切り替える（モード０）。
【００３４】
モード０のまま、さらに走査させるとゴミを過ぎて、図１に示す評価値Ｅ０が閾値を越える。これを受けて位置制御から第１及び第２の光学式変位計２と３から算出されたＤｅｑをフィードバック信号にした倣い制御に切り替える（モード１）。評価値Ｅ０としては、モード０制御を行った時間、走査移動量、第１及び第２の光学式変位計２、３の信号強度などを用いる。本実施形態では、走査移動量を評価値としている。
【００３５】
モード１では第１の光学式変位計２と第２の光学式変位計３から算出されたＤｅｑを用いて倣い制御を行うが、これは、光学式変位計２もしくは３よりも分解能が粗く、これをもとに倣い制御を行っても、倣い制御精度が良くないので、（Ｄ）点で評価値Ｅ１が或る閾値を越えたら、Ｄｅｑによる倣い制御から第２の光学式変位計３による倣い制御に切り替える（モード２）。評価値Ｅ１として、モード１制御を行った時間、走査移動量、光学式変位計の信号強度、サーボ偏差量を使用する。本実施形態では、Ｅ１としてモード１制御を行った時間を用いている。
【００３６】
なお、モード１、モード０においても信号強度をチェックし、決められた強度に足りないとみなした時は、モード０へ変更するようにしている。
【００３７】
２つの光学式変位計の軸ズレによる誤差は、次に説明するような方法でキャンセルする。
【００３８】
本実施形態では、図７の（Ａ）から図７の（Ｅ）へ向かって走査している。点（Ａ）から点（Ｃ）までは、光学式変位計２の値から算出されたＤ１を利用して、倣い制御（モード２）を行っている。点（Ａ）から点（Ｃ）へ走査している最中において、制御に用いられている光学式変位計２の位相Φ１は、当然、一定値を示している。本来なら倣い制御に全く使用されていない光学式変位計３から得られる位相も光学式変位計２と同一点を測定しているので、Φ１が一定なら、Φ２も一定となるが、光学式変位計２と光学式変位計３の測定点がΔｄだけずれているために、測定面の斜度θが増加するにつれ、２つの光学式変位計の算出変位には差Δｌが生じる。斜度がθとなっている場合は、差Δｌは、
Δｌ＝Δｄ×ｔａｎθ
となる。そのため、Φ１とΦ２から算出されるＤｅｑも正常に算出されなくなる。つまり、Ｄｅｑを使用して倣い制御を行うモード１において、変位を正確に得ることができないことにより制御不能になる。
【００３９】
これを防ぐために、モード２からモード０へ切り替わるとき、フォーカス位置での光学式変位計３の位相Φ２ａと切り替え時の位相Φ２ｃの差ΔΦ（＝Φ２ｃ−Φ２ａ）を算出し、これを記憶する。
【００４０】
モード０の区間を過ぎて、モード１へ切り替えのときは、先に説明したように、第１及び第２の光学式変位計２、３から算出されたＤｅｑを利用して倣い制御を行うわけだが、１波長での制御に利用してない光学式変位計３の位相Φ２は、前述したように２つの変位計の軸ズレにより正常な値を出力していないため、直接Φ２を利用してＤｅｑを算出できない。
【００４１】
軸ズレを補正するため、モード２からモード０への切り替え時（点Ｃ）に、記憶したΔΦをモード１（点Ｄ）でＤｅｑを算出時に得られるΦ２ｄに加算して、新たに位相Φ２’（＝Φ２ｄ＋ΔΦ）を得る。通常（Ｃ）点と（Ｄ）点は非常に近傍に位置しているため、ΔΦ２’では、軸ズレ、測定物の斜度θの影響はキャンセルされ、これを用いれば正常なＤｅｑが得られ倣い制御が可能になる。
【００４２】
以上説明したように、同一点を測定可能な複数の光学式変位計を有する形状測定装置において、１つの光学式変位計の値による制御、２つの光学式変位計の値から新たに算出された値による制御、光学式変位計以外による制御の３つの制御方式を、時間、光学変位計の信号強度、サーボ偏差、走査移動量などを閾値として切り替えることと、複数の光学変位計間の軸ズレを光学式変位計の出力値に補正値を加え、軸ズレの影響をキャンセルしたことにより、測定面にゴミや段差が存在しても高精度、高速で安定な倣い制御を達成し測定が可能となった。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ゴミや段差が存在するような被測定物においても、高精度に且つ高速に形状測定を行なうことが可能となる。
【００４４】
また、複数の光学式変位計の光軸ズレを補正し正常な変位を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の形状測定装置の動作フローチャートである。
【図２】複数の光学式変位計を有する形状測定装置の測定フローチャートである。
【図３】本発明の一実施形態の形状測定装置の概略構成を示す図である。
【図４】光学式変位計の出力を示す図である。
【図５】光学式変位計の不連続測定面における出力を示す図である。
【図６】２つの光学式変位計の軸ズレを示す図である。
【図７】倣い制御中の光学式変位計の出力を示す図である。
【符号の説明】
１　被測定物
２　第１の光学式変位計
３　第２の光学式変位計
４，５，６　走査部
７　被測定物治具
８　制御ユニット
９　変位センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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