(57)【要約】【課題】チャンバをコスト安に製造できるようにする。【解決手段】チャンバ１８を、胴部材３４と、被解凍物の出し入れに供する開口部３９を打ち抜きにより形成し胴部材３４の前部に結合した前部材３５と、この前部材３５から開口部３９を打ち抜き形成した部材から成り胴部材３４の後部に結合した後部材３６とにより構成した。そのほか、チャンバ１８の胴部材３４を、開口部３９を開閉するドアの枢支側の側面部の上部で溶接（３７）し、もしくは上面部と下面部とで溶接して、その下面部の溶接部の上方に被解凍物を載置する皿が位置するようにした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被解凍物を収容するチャンバと、このチャンバ内を減圧する減圧装置、並びにチャンバ内の前記被解凍物を加熱する加熱装置を具え、前記チャンバ内を減圧した状態で前記被解凍物の加熱をし解凍をするようにしたものにおいて、
前記チャンバを、
胴部材と、
前記被解凍物の出し入れに供する開口部を打ち抜きにより形成し、前記胴部材の前部に結合された前部材と、
この前部材から前記開口部を打ち抜き形成した部材から成り、前記胴部材の後部に結合された後部材と、
により構成したことを特徴とする真空解凍機。
【請求項２】
被解凍物を収容するチャンバと、このチャンバ内を減圧する減圧装置、並びにチャンバ内の前記被解凍物を加熱する加熱装置を具え、前記チャンバ内を減圧した状態で前記被解凍物の加熱をし解凍をするようにしたものにおいて、
前記チャンバの胴部材を、該チャンバの前記被解凍物を出し入れするための開口部を開閉するドアの枢支側の側面部の上部で溶接して構成したことを特徴とする真空解凍機。
【請求項３】
チャンバの胴部材を、ドアの枢支側とは反対側の側面部では下部で溶接して構成したことを特徴とする請求項２記載の真空解凍機。
【請求項４】
被解凍物を収容するチャンバと、このチャンバ内を減圧する減圧装置、並びにチャンバ内の前記被解凍物を加熱する加熱装置を具え、前記チャンバ内を減圧した状態で前記被解凍物の加熱をし解凍をするようにしたものにおいて、
前記チャンバの胴部材を、上面部と下面部とで溶接して構成し、その下面部の溶接部の上方に前記被解凍物を載置する皿が位置することを特徴とする真空解凍機。
【請求項５】
チャンバの胴部材の溶接部を、溶接した各面部の中央より偏倚する位置に設定したことを特徴とする請求項４記載の真空解凍機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はチャンバ構造を改良した真空解凍機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、真空解凍機においては、被解凍物を収容するチャンバ（金属製耐圧気密容器）が具えられると共に、このチャンバ内を減圧する減圧装置、並びにチャンバ内の前記被解凍物を加熱する加熱装置が具えられ、これらによって、チャンバ内を減圧した状態で前記被解凍物の加熱をし解凍をするようになっている。
【０００３】
図１０はこのもののチャンバ１を分解状態で示しており、胴部材２と、前部材３、及び後部材４が存している。このうち、胴部材２は、矩形筒状を成すもので、これが、上半部の胴上部材２ａと下半部の胴下部材２ｂとにより、左右の両側面部の中央で溶接部５，６で示すように溶接して構成されている。
【０００４】
一方、前部材３は被解凍物の出し入れに供する開口部７を有する矩形枠状を成し、これが例えば板厚５〔ｍｍ〕の板材で形成されている。これに対して、後部材４は板厚が前部材３よりも薄い板材で形成されており、減圧に対するその強度不足を補うために、周縁部にフランジ４ａを折曲してこれらをそれぞれ溶接部８で示すように溶接して成る矩形盆状に形成されている。従って、これらは異なる板材を素材として個別に形成されており、そして、上記溶接後の胴部材２の前部に前部材３が、後部に後部材４がそれぞれ溶接して結合されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のものの場合、チャンバ１を構成するについて、前部材３と後部材４とが個別に形成されていたため、コスト高となっていた。
又、胴部材２については、胴上部材２ａと胴下部材２ｂとが左右の両側面部の中央で溶接されていたために、その溶接部５，６が、開口部７を開閉するドア（図示せず）を開けたときに開口部７を通してチャンバ１内を目視する使用者の目に付きやすく、その見栄えを良くするために、溶接部５，６を酸洗いして更にその後研磨するなど、修正処理を高度に施す必要があり、一層コスト高となっていた。
【０００６】
更に、胴上部材２ａと胴下部材２ｂとが左右の両側面部の中央で溶接された胴部材２については、チャンバ１内を減圧し更に復圧するときの溶接部５，６部分の変形が大きく、それに耐え得る強度を確保するために、それらの溶接を堅固にする必要があって、更にコスト高となっていた。
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、従ってその目的は、チャンバをコスト安に製造できる真空解凍機を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の真空解凍機は、被解凍物を収容するチャンバと、このチャンバ内を減圧する減圧装置、並びにチャンバ内の前記被解凍物を加熱する加熱装置を具え、前記チャンバ内を減圧した状態で前記被解凍物の加熱をし解凍をするようにしたものにおいて、第１に、前記チャンバを、胴部材と、前記被解凍物の出し入れに供する開口部を打ち抜きにより形成し、前記胴部材の前部に結合された前部材と、この前部材から前記開口部を打ち抜き形成した部材から成り、前記胴部材の後部に結合された後部材とにより構成したことを特徴とする（請求項１の発明）。
【０００８】
このものによれば、チャンバの後部材が前部材から被解凍物の出し入れ用の開口部を打ち抜き形成した部材より成るため、後部材には前部材のこれまで廃材となっていた部分を使用でき、従来のように前部材とは別に形成する必要がないので、コスト安にできる。
【０００９】
本発明の真空解凍機は、第２に、前記チャンバの胴部材を、該チャンバの前記被解凍物を出し入れするための開口部を開閉するドアの枢支側の側面部の上部で溶接して構成したことを特徴とする（請求項２の発明）。
【００１０】
ドアを開けたとき、チャンバ内を目視する使用者の目が自然に行くのは、チャンバの胴部材中、ドアの枢支側の側面部とそれとは反対側の側面部とでは、枢支側の側面部であり、中でも、そこの中央部分から下部が良く見える。これに対して、上記構成のものは、その部分に溶接部がない（該溶接部は見えにくい上部にしかない）ため、溶接部が目に付きにくい。よって、その溶接部には修正処理を高度に施す必要がなくなり、コスト安にできる。
【００１１】
又、このチャンバの胴部材をドアの枢支側の側面部の上部で溶接して構成したものでは、チャンバ内を減圧し更に復圧するときのその溶接部部分の変形が少なくなるから、その溶接をことさら堅固にする必要がなくなって、一段とコスト安にできる。
【００１２】
この場合、チャンバの胴部材を、ドアの枢支側とは反対側の側面部では下部で溶接して構成するとなお良い（請求項３の発明）。
このものでは、上述のチャンバ内を減圧し更に復圧するときの溶接部部分の変形が少なくなる作用をドアの枢支側とは反対側の側面部でも得ることができる。しかも、それと先のチャンバの胴部材をドアの枢支側の側面部の上部で溶接した構成と併せることにより、チャンバの胴部材の胴上部材と胴下部材とを共通の部品で構成できるようになり、よって、更にコスト安にできるようになる。
【００１３】
本発明の真空解凍機は、第３に、前記チャンバの胴部材を、上面部と下面部とで溶接して構成し、その下面部の溶接部の上方に前記被解凍物を載置する皿が位置することを特徴とする（請求項４の発明）。
ドアを開けたとき、チャンバ内を目視する使用者の目が自然に行く部分としては、ほかにチャンバの胴部材の下面部がある。これに対して、上記構成のものは、その部分に溶接部があるものの、それの上方に被解凍物を載置する皿が位置するため、この皿に隠されて溶接部が目に付くことがなくなる。よって、この場合も、その溶接部には修正処理を高度に施す必要がなくなり、コスト安にできる。
【００１４】
この場合、チャンバの胴部材の溶接部を、溶接した各面部の中央より偏倚する位置に設定すると良い（請求項５の発明）。
このものでは、前述のチャンバ内を減圧し更に復圧するときの溶接部部分の変形が少なくなる作用を胴部材の上下面部で得ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施例につき、図１ないし図７を参照して説明する。
まず、図４には、真空解凍機の全体を正面形で示しており、キャビネット１１が、下部の内部に機械室１２を有し、上部の前面に、取手１３を具えたドア１４を有していて、更にその上方の最上部の前面に操作パネル１５を有している。キャビネット１１の底部の外下方には、複数個のキャスタ１６と、複数個の固定脚１７とを有している。
【００１６】
次いで、図５には、チャンバ１８を示しており、これは、上記キャビネット１１の上部の内部に配設したもので、金属製の耐圧気密容器であり、その内面はマイクロ波を反射し得るようになっている。又、このチャンバ１８は前面に開口部（後に詳述する）を有しており、この開口部を前記ドア１４が開閉し、その閉鎖状態では該開口部をドア１４が気密に封鎖するようになっている。
【００１７】
チャンバ１８の内底部には、皿１９を配設している。この皿１９は、チャンバ１８の外下方に配設した減速機付きのモータ２０により、チャンバ１８の底壁を気密に貫通した支軸２１を介して回転駆動されるようになっており、いわゆるターンテーブルとして機能するようになっている。
【００１８】
チャンバ１８の上面には、逆止弁２２を介して真空ポンプ２３を接続している。この真空ポンプ２３はチャンバ１８内を減圧する減圧装置であり、水分離機能を有するサイレンサ２４を接続している。なお、前述の機械室１２には、この真空ポンプ２３と上述の皿１９駆動用のモータ２０等を収納している。
【００１９】
チャンバ１８の背面には、サイレンサ２５を有する大気開放弁２６と、サイレンサ２７及びスピードコントローラ２８を有する調圧弁２９とを接続すると共に、放電センサ３０を接続しており、更に、マグネトロン３１を接続すると共に、真空圧力センサ３２を接続している。
【００２０】
上記大気開放弁２６はチャンバ１８内を大気に開放させるもので、調圧弁２９はチャンバ１８内の真空圧力を調整、特には後述のごとく減圧したチャンバ１８内を復圧させるもの、放電センサ３０はチャンバ１８内の放電を検知するものである。マグネトロン３１はチャンバ１８内の被解凍物（図示せず）を加熱する加熱装置であって、マイクロ波を発生し、そのマイクロ波を通す導波管３３を介して上記チャンバ１８の背面に接続している。このほか、真空圧力センサ３２はチャンバ１８内の真空圧力を検知するものである。
【００２１】
ここで、図１ないし図３は、チャンバ１８の構造を詳細に示しており、胴部材３４と、前部材３５、及び後部材３６が存している。このうち、胴部材３４は、矩形筒状を成すもので、これを、胴上部材３４ａとの胴下部材３４ｂとにより、右側面部では中央より上方に偏倚する位置である上部、左側面部では中央より下方に偏倚する位置である下部で、それぞれ溶接部３７，３８で示すように溶接して構成している。
【００２２】
従って、この場合、胴上部材３４ａは、右側面部で下方への寸法が短く、左側面部で下方への寸法が長くなっており、反対に、胴下部材３４ｂは、右側面部で上方への寸法が長く、左側面部で上方への寸法が短くなっている。そして特に、その短い方の寸法同士、長い方の寸法同士は、それぞれを同一に定めており、従って、胴上部材３４ａと胴下部材３４ｂは対称（点対称）形で、共通の部品となっている。
【００２３】
一方、前部材３５は被解凍物の出し入れに供する前述の開口部３９を有する矩形枠状を成すものであり、後部材３６はその前部材３５から開口部３９を打ち抜き形成した部材から成っている。従って、前部材３５の開口部３９と後部材３６とは、厚さが同じで、例えば５〔ｍｍ〕であり、縦，横の寸法は、開口部３９の打ち抜きに必要不可欠の抜きしろ（例えば０．５〔ｍｍ〕程度）だけの差があるほゞ同一となっている。加えて、前部材３５と板厚が同じの後部材３６は、その板厚で減圧に対する必要な強度を確保し得るため、従来のチャンバ１の後部材４のようなフランジ４ａを折曲形成する必要がなく、平直状を成している。
【００２４】
そして、図２に示すように、前記溶接後の胴部材３４の前部に前部材３５を、後部に後部材３６をそれぞれ溶接して結合し、かくしてチャンバ１８を組立て構成している。
【００２５】
なお、図３には、上述のごとく構成したチャンバ１８の前部材３５の周縁部の裏側に複数個固着した取付部材である段付きボルト４０を、上辺部（図２中、Ａ部）の一つで代表して示しており、頭部４０ａを前部材３５に埋込んで溶接等により固着している。このボルト４０のねじ部４０ｂにはアングル状の取付板４１を挿嵌してナット４２により締付けている。取付板４１には前記ドア１４を枢支するヒンジを取付けるためのヒンジ取付板４３を取付けており、段付きボルト４０の段部４０ｃには、前記キャビネット１１の外箱４４を側方から嵌め付けている。
【００２６】
更に、図６は、全体の上部をドア１４の開放状態で示しており、この図で明らかなように、ドア１４は、この場合、チャンバ１８の右側部を起点に右側へ開かれる右開き構造に枢支しており、前述の胴部材３４の右側面部における溶接部３７は、このドア１４の枢支側で上部に位置しており、左側面部における溶接部３８は、ドア１４の枢支側とは反対側で下部に位置している。
【００２７】
次に、上記構成のものの作用を述べる。
上記構成のもので、被解凍物を解凍するには、まず、ドア１４を開け、チャンバ１８内の皿１９上に被解凍物を載置することにより該被解凍物をチャンバ１８が収容する状態として、その後にドア１４を閉じる。そして、操作パネル１５を操作することにより、解凍運転を開始させる。
【００２８】
すると、例えば操作パネル１５の裏側に具えた制御装置（図示せず）が、大気開放弁２６と調圧弁２９とを閉鎖させた状態で、真空ポンプ２３を駆動させ、駆動された真空ポンプ２３はチャンバ１８内の空気を吸引し、該チャンバ１８内の減圧をする。このチャンバ１８内の減圧は、チャンバ１８内の気圧が減圧平衡域に達するまで行われるもので、この減圧行程により、被解凍物の予備解凍が行われる。なお、チャンバ１８内の気圧が減圧平衡域に達したか否かの判断は、制御装置が真空圧力センサ３２からの圧力検知信号に基づき演算して行う。
【００２９】
その後、制御装置は、真空ポンプ２３を停止させた状態で、調圧弁２９を所定の開度で開放させる。これにより、チャンバ１８内の気圧は、上述の減圧平衡域から上昇し復されるもので、チャンバ１８内の気圧が復圧上限値に達するまで、この復圧行程を実行する。チャンバ１８内の気圧が上記復圧上限値に達したか否かの判断も、制御装置が真空圧力センサ３２からの圧力検知信号に基づき演算して行う。
【００３０】
又、この復圧行程におけるチャンバ１８内の気圧が一般的に真空放電を起こさない下限値を越えた後の時点からは、マグネトロン３１にマイクロ波を発生させるものであり、この発生されたマイクロ波は、図示しない導波管を通じてチャンバ１８内に照射され、前記被解凍物の加熱解凍に供する。
この後、制御装置は、調圧弁２９を閉鎖させた状態で、再び真空ポンプ２３を駆動させることにより、減圧行程を実行する。そして、それにより、チャンバ１８内の気圧が上述の一般的に真空放電を起こさない下限値に達する手前の時点まで、上記マグネトロン３１からチャンバ１８内へのマイクロ波の照射を継続する。
【００３１】
更にその後、制御装置は、チャンバ１８内の気圧が減圧平衡域に達した後、上述同様の復圧行程、減圧行程を、上述同様のマイクロ波の照射を伴って繰返し実行する。すると、被解凍物の温度が上昇するのに伴い、チャンバ１８内の飽和蒸気圧が上昇するので、減圧平衡域における減圧値は漸次上昇し、この減圧平衡域の減圧値が所定の値に達したと判断されたときに、大気開放弁２６を開放させて解凍運転を終了する。
【００３２】
なお、上述の解凍運転中、チャンバ１８内に放電が発生すれば、その放電光が放電センサ３０に達することにより、放電センサ３０がチャンバ１８内における放電を検知し、放電検知信号を出力する。よって、それに基づき、制御装置は、マイクロ波の照射を停止し、もしくは解凍運転を全面的に停止する。
【００３３】
このように、本構成のものでは、減圧状態で（チャンバ１８内の気圧が復圧上限値未満の状態にあるとき）マイクロ波を照射することにより被解凍物の解凍を行うもので、そのためのチャンバ１８を、胴部材３４と、被解凍物の出し入れに供する開口部３９を打ち抜きにより形成して胴部材３４の前部に結合した前部材３５、並びにその前部材３５から上記開口部３９を打ち抜き形成した部材から成って胴部材３４の後部に結合した後部材３６とにより構成している。
【００３４】
このものでは、チャンバ１８の後部材３６が前部材３５から被解凍物の出し入れ用の開口部３９を打ち抜き形成した部材より成るため、後部材３６には前部材３５のこれまで廃材となっていた部分を使用できるものであり、よって、後部材３６を従来のもののように前部材３５とは別に形成する必要がなく、その分、コスト安にできる。
【００３５】
又、本構成のものの場合、上記チャンバ１８の胴部材３４を、ドア１４の枢支側の側面部（上記実施例ではドア１４が右開きで、右側が枢支部であること基づき、右側面部）の上部で溶接して構成している。これは、図６に示すように、ドア１４を開けたとき、チャンバ１８内を目視する使用者の目が自然に行くのは、チャンバ１８の胴部材３４中、ドア１４の枢支側の側面部（図中、右側面部）とそれとは反対側の側面部（図中、左側面部）とでは、枢支側の側面部であり、中でも、そこの中央部分から下部が良く見えることによるもので、それに対し、本構成のごとくすることにより、その部分に溶接部３７がない（該溶接部３７は見えにくい上部にしかない）ため、溶接部３７が目に付きにくくなる。よって、その溶接部３７には修正処理を従来のもののように高度に施す必要がなくなり、その分、コスト安にできる。
【００３６】
なお、チャンバ１８のドア１４の枢支側とは反対側の側面部は、ドア１４を開けたとき、チャンバ１８内を目視する使用者の目が自然に行く方向にはないため、その部分の溶接部３８には、もともと修正処理を高度に施す必要がない。
【００３７】
更に、本構成のようにチャンバ１８の胴部材３４をドア１４の枢支側の側面部の上部で溶接して構成したものでは、チャンバ１８内を減圧し更に復圧するときのその溶接部３７部分の変形が少なくなる。図７はこのことを表しており、同図において、二点鎖線はチャンバ１８内を減圧したときの胴部材３４の変形を示し、この状態から、復圧することにより、胴部材３４は実線で示す状態に戻る。これらのとき、胴部材３４の各面部の変形量は、中央部で寸法Ｌ１で示すように大きいが、それよりも上方に偏倚した部分又は下方に偏倚した部分では寸法Ｌ２で示すように小さい。従って、溶接部３７部分の変形も少なくなるものであり、このため、その溶接を従来のもののようにことさら堅固にする必要がなくなって、一段とコスト安にできる。
【００３８】
加えて、この場合、チャンバ１８の胴部材３４を、ドア１４の枢支側とは反対側の側面部では下部で溶接している。これにより、上述のチャンバ１８内を減圧し更に復圧するときの変形が少なくなる作用をドア１４の枢支側とは反対側の側面部の溶接部３８でも得ることができる。よって、この部分でも、その溶接を従来のもののようにことさら堅固にする必要がなくなって、更にコスト安にできる。
【００３９】
しかも、それと先のチャンバ１８の胴部材３４をドア１４の枢支側の側面部の上部で溶接した構成と併せることにより、図１に示すように、チャンバ１８の胴部材３４の胴上部材３４ａと胴下部材３４ｂとを共通の部品で構成できるようになり、よって、一層コスト安にできるようになる。
【００４０】
以上に対して、図８及び図９は本発明の第２及び第３実施例を示すもので、それぞれ、第１実施例と同一の部分には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。
【００４１】
［第２実施例］
図８に示す第２実施例においては、チャンバ１８の胴部材５１を、前述の胴部材３４に代え、胴上部材５１ａとの胴下部材５１ｂとにより、右側面部では下部、左側面部では上部で、それぞれ溶接部５２，５３で示すように溶接して構成している。
【００４２】
従って、この場合、胴上部材５１ａは、右側面部で下方への寸法が長く、左側面部で下方への寸法が短くなっており、反対に、胴下部材５１ｂは、右側面部で上方への寸法が短く、左側面部で上方への寸法が長くなっている。そして又、この場合も、その短い方の寸法同士、長い方の寸法同士は、それぞれを同一に定めており、従って、胴上部材５１ａと胴下部材５１ｂは対称（点対称）形で、共通の部品となっており、これらの胴上部材５１ａ及び胴下部材５１ｂにより構成した胴部材５１の前部に前述の前部材３５を結合し、後部に後部材３６を結合して、チャンバ１８を組立て構成している。
【００４３】
更に、この図８で明らかなように、ドア１４は、この場合、チャンバ１８の左側部を起点に左側へ開かれる左開き構造に枢支しており、上述の胴部材５１の左側面部における溶接部５３は、このドア１４の枢支側で上部に位置しており、右側面部における溶接部５２は、ドア１４の枢支側とは反対側で下部に位置している。
従って、この場合も、チャンバ１８の胴部材５１について、第１実施例の胴部材３４と同様の作用効果を得ることができる。
【００４４】
［第３実施例］
図９に示す第３実施例においては、チャンバ１８の胴部材６１を、前述の胴部材３４に代え、胴左部材６１ａと胴右部材６１ｂとにより左右に分けて、これらを上面部と下面部とでそれぞれ溶接部６２，６３で示すように溶接して構成しており、そのうちの下面部の溶接部６３に対して、前述の被解凍物を載置する皿１９がその上方に位置するようにしている。
【００４５】
又、この場合、溶接部６２，６３に関しては、詳細には、溶接部６２の位置を上面部の中央より右側に偏倚する位置である右側部に設定し、溶接部６３の位置を下面部の中央より左に偏倚する位置である左側部に設定している。従って、この場合、胴左部材６１ａは、上面部で右側への寸法が長く、下面部で右側への寸法が短くなっており、反対に、胴右部材６１ｂは、上面部で左側への寸法が短く、下面部で右側への寸法が長くなっている。そして特に、その長い方の寸法同士、短い方の寸法同士は、それぞれを同一に定めており、従って、この場合も、胴左部材６１ａと胴右部材６１ｂは対称（点対称）形で、共通の部品となっている。
【００４６】
ここで、前述のドア１４を開けたとき、チャンバ１８内を目視する使用者の目が自然に行く部分としては、前述のドア１４の枢支側の側面部のほかに下面部がある。これに対して、上記構成のものは、その部分に溶接部６３があるものの、それの上方に被解凍物を載置する皿１９が位置するため、この皿１９に覆い隠されて溶接部６３が目に付くことがない。よって、この場合も、その溶接部６３には修正処理を高度に施す必要がなくなり、コスト安にできる。
【００４７】
なお、チャンバ１８の上面部は、ドア１４を開けたとき、チャンバ１８内を目視する使用者の目が自然に行く方向にはないため、その部分の溶接部６２には、もともと修正処理を高度に施す必要がない。
【００４８】
加えて、この場合、チャンバ１８の胴部材６１の溶接部６２，６３を、溶接した各面部の中央より左右に偏倚する位置に設定している。これにより、前述のチャンバ１８内を減圧し更に復圧するときの溶接部６２，６３部分の変形が少なくなる作用を胴部材６１の上下面で前述の左右両側面と同様に得ることができ、それらの溶接を従来のもののようにことさら堅固にする必要がなくなるので、コスト安にできる。
【００４９】
このほか、本発明は上記し且つ図面に示した実施例にのみ限定されるものではなく、例えばチャンバ内の被解凍物を加熱する加熱装置はマグネトロン以外に電熱ヒータであっても良いなど、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得る。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の真空解凍機によれば、チャンバをコスト安に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示すチャンバの分解斜視図
【図２】チャンバの縦断側面図
【図３】チャンバの部分拡大縦断側面図
【図４】全体の正面図
【図５】チャンバとその周辺部分の概略縦断側面図
【図６】全体の上部の開扉状態での斜視図
【図７】作用を説明するためのチャンバ胴部材の正面図
【図８】本発明の第２実施例を示す図６相当図
【図９】本発明の第３実施例を示すチャンバ胴部材の斜視図
【図１０】従来例を示す図１相当図
【符号の説明】
１４はドア、１８はチャンバ、１９は皿、２３は真空ポンプ（減圧装置）、３１はマグネトロン（加熱装置）、３４は胴部材、３４ａは胴上部材、３４ｂは胴下部材、３５は前部材、３６は後部材、３７，３８は溶接部、３９は開口部、５１は胴部材、５１ａは胴上部材、５１ｂは胴下部材、５２，５３は溶接部、６１は胴部材、６１ａは胴左部材、６１ｂは胴右部材、６２，６３は溶接部を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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