(57)【要約】【課題】積層コンデンサの小型化、大容量化、低インダクタンス化を図る。【解決手段】誘電体層１２０を積層して構成されるコンデンサ本体１１０において、誘電体層１２０の積層方向に垂直な２つの最外面のうちの一方である最外面１７０上には、実装端子１５０ａ，１５０ｂが設けられている。コンデンサ本体１１０は、誘電体層１２０を挟んで交互に設けられた第１および第２の内部電極層１３０ａ，１３０ｂと、積層方向に沿って設けられた第１および第２のビア導体１４０ａ，１４０ｂとを備える。第１のビア導体１４０ａは、第１の内部電極層１３０ａと電気的に接続すると共に、その一部を突出させて第１の実装端子１５０ａを形成し、第１の実装端子１５０ａ上に第１の被覆層を備える。第２のビア導体１４０ｂも同様に、その一部を突出させて形成する第２の実装端子１５０ｂ上に、第２の被覆層を備える。【選択図】        図１
2004153041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の誘電体層を積層して構成されるコンデンサ本体と、前記誘電体層の積層方向にほぼ垂直な２つの最外面のうち、少なくとも一方の最外面上に設けられた複数の実装端子と、を有する積層コンデンサであって、
前記コンデンサ本体は、
前記誘電体層を挟むように交互に設けられ、電気的に絶縁された少なくとも１対の第１および第２の内部電極層と、
前記第１の内部電極層に電気的に接続され、前記積層方向に沿って設けられた複数の第１のビア導体と、
前記第２の内部電極層に電気的に接続され、前記積層方向に沿って設けられた複数の第２のビア導体と、を備えており、
前記複数の実装端子は、
前記第１の内部電極層に電気的に接続された複数の第１の実装端子と、
前記第２の内部電極層に電気的に接続された複数の第２の実装端子と、によって構成されており、
前記第１の実装端子は、前記一方の最外面上に前記第１のビア導体の一部を突出させることにより、前記第１のビア導体とほぼ同一の外径を有するように形成された第１の端子電極と、該第１の端子電極上に形成されて該第１の端子電極表面を被覆する第１の被覆層と、を備え、
前記第２の実装端子は、前記一方の最外面上に前記第２のビア導体の一部を突出させることにより、前記第２のビア導体とほぼ同一の外径を有するように形成された第２の端子電極と、該第２の端子電極上に形成されて該第２の端子電極表面を被覆する第２の被覆層と、を備えることを特徴とする
積層コンデンサ。
【請求項２】
請求項１記載の積層コンデンサであって、
前記第１および第２の被覆層は、３μｍ〜１０μｍの厚さに形成されている
積層コンデンサ。
【請求項３】
請求項１または２記載の積層コンデンサであって、
前記第１および第２の被覆層は、ニッケル（Ｎｉ）または銅（Ｃｕ）を備える
積層コンデンサ。
【請求項４】
請求項１ないし３いずれか記載の積層コンデンサであって、
前記第１および第２の被覆層上に、該被覆層が化学変化を起こすのを防止する化学変化防止層をさらに備える
積層コンデンサ。
【請求項５】
請求項４記載の積層コンデンサであって、
前記化学変化防止層は、金（Ａｕ）、スズ（Ｓｎ）または半田を備える
積層コンデンサ。
【請求項６】
請求項１ないし５いずれか記載の積層コンデンサであって、
前記第１および第２のビア導体は、前記一方の最外面より１５μｍ〜１００μｍの高さで突出している
積層コンデンサ。
【請求項７】
請求項１ないし６いずれか記載の積層コンデンサであって、
複数の前記ビア導体のうち、最短距離にある前記ビア導体同士の間隔が１００μｍ〜１０００μｍである
積層コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層コンデンサに関し、特に、等価的な直列インダクタンス成分が小さく高周波回路に適する積層コンデンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
等価的な直列インダクタンス成分が小さく高周波回路に適する積層コンデンサとして、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。
【０００３】
図７は、従来の積層コンデンサの垂直断面構造を概略的に示す説明図である。この積層コンデンサ１０は、複数の誘電体層１２が積層されたコンデンサ本体１１を備えている。誘電体層１２は、例えばセラミック誘電体から構成される。
【０００４】
コンデンサ本体１１の内部には、誘電体層１２を挟むように第１の内部電極層１３ａと第２の内部電極層１３ｂとが交互に設けられている。
【０００５】
誘電体層１２と内部電極層１３ａ，１３ｂの積層方向の最外面１６，１７の一方の最外面１７上には、複数の第１および第２の実装端子１５ａ，１５ｂが設けられている。
【０００６】
コンデンサ本体１１の内部には、積層方向に沿って延びる複数の第１のビア導体１４ａおよび複数の第２のビア導体１４ｂとが設けられている。第１のビア導体１４ａは、第２の内部電極層１３ｂと電気的に絶縁され、第１の内部電極層１３ａおよび実装端子１５ａに電気的に接続されるように形成されている。第２のビア導体１４ｂは、第１の内部電極層１３ａと電気的に絶縁され、第２の内部電極層１３ｂおよび実装端子１５ｂに電気的に接続されるように形成されている。
【０００７】
なお、第１の実装端子１５ａは、第１のビア導体１４ａと電気的に接続された第１の導体パッド２２ａと、第１の導体パッド２２ａ上に形成された第１の半田バンプ２４ａとで構成されている。同様に、第２の実装端子１５ｂは、第２のビア導体１４ｂと電気的に接続された第２の導体パッド２２ｂと、第２の導体パッド２２ｂ上に形成された第２の半田バンプ２４ｂとで構成されている。
【０００８】
この積層コンデンサ１０では、複数対の第１の内部電極層１３ａと第２の内部電極層１３ｂとの間にそれぞれ形成される静電容量が、第１のビア導体１４ａおよび第２のビア導体１４ｂによって並列接続され、複数対の第１の実装端子１５ａと第２の実装端子１５ｂとの間の静電容量として外部に取り出される。これにより、この積層コンデンサ１０では、小型化および大容量化が図られている。
【０００９】
また、この積層コンデンサ１０では、複数の第１のビア導体１４ａおよび第２のビア導体１４ｂが、それぞれ互いに異なるビア導体が隣接するように第１の内部電極層１３ａおよび第２の内部電極層１３ｂの全面にわたって配置されている。より具体的には、これらのビア導体は、格子状に交互に並ぶように配置されている。これにより、この積層コンデンサ１０では、等価的に発生するインダクタンス成分の低減化が図られている。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−１４８３２５号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記構造を有する積層コンデンサにおいて、さらに、小型化、大容量化、低インダクタンス化を図ることが望まれており、そのための手法として、実装端子の間隔（実装端子のピッチ）、すなわち、ビア導体の間隔（ビア導体のピッチ）をさらに狭くすることが考えられる。
【００１２】
しかしながら、上述したように、第１の実装端子１５ａは、第１の半田バンプ２４ａを形成するための第１の導体パッド２２ａを有している。第２の実装端子１５ｂも、同様に第２の半田バンプ２４ｂを形成するための第２の導体パッド２２ｂを有している。第１の導体パッド２２ａは、対応する第１のビア導体１４ａへの接続を確保するとともに、その上部に第１の半田バンプ２４ａを形成するために、第１のビア導体１４ａの径よりも大きな径で形成されている。第２の導体パッド２２ｂも同様である。
【００１３】
従って、実装端子を狭ピッチ化するためには、導体パッドの径も小さくする必要があり、導体パッドの形成精度、導体パッドとビア導体の接続の信頼性等の問題が発生し、実装端子の狭ピッチ化が困難であるという問題がある。
【００１４】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、積層コンデンサが有する複数の実装端子を狭ピッチ化し、積層コンデンサの小型化、大容量化、低インダクタンス化を図ることが可能な技術を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
上記課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の積層コンデンサは、複数の誘電体層を積層して構成されるコンデンサ本体と、前記誘電体層の積層方向にほぼ垂直な２つの最外面のうち、少なくとも一方の最外面上に設けられた複数の実装端子と、を有する積層コンデンサであって、
前記コンデンサ本体は、
前記誘電体層を挟むように交互に設けられ、電気的に絶縁された少なくとも１対の第１および第２の内部電極層と、
前記第１の内部電極層に電気的に接続され、前記積層方向に沿って設けられた複数の第１のビア導体と、
前記第２の内部電極層に電気的に接続され、前記積層方向に沿って設けられた複数の第２のビア導体と、を備えており、
前記複数の実装端子は、
前記第１の内部電極層に電気的に接続された複数の第１の実装端子と、
前記第２の内部電極層に電気的に接続された複数の第２の実装端子と、によって構成されており、
前記第１の実装端子は、前記一方の最外面上に前記第１のビア導体の一部を突出させることにより、前記第１のビア導体とほぼ同一の外径を有するように形成された第１の端子電極と、該第１の端子電極上に形成されて該第１の端子電極表面を被覆する第１の被覆層と、を備え、
前記第２の実装端子は、前記一方の最外面上に前記第２のビア導体の一部を突出させることにより、前記第２のビア導体とほぼ同一の外径を有するように形成された第２の端子電極と、該第２の端子電極上に形成されて該第２の端子電極表面を被覆する第２の被覆層と、を備えることを要旨とする。
【００１６】
本発明の積層コンデンサによると、第１および第２の実装端子を構成する端子電極を、第１および第２のビア導体により構成することができるので、実装端子の間隔、すなわち、ビア導体の間隔を小さくすることが可能となる。特に、上記第１および第２の端子電極が、それぞれ第１および第２のビア導体とほぼ同一の外形を有するように形成されることにより、実装端子をより小型化して、ビア導体の間隔をより小さくすることが可能となる。これにより、ビア導体の間隔に依存する積層コンデンサのインダクタンス成分を一層小さくすることができる。このとき、上記端子電極上に被覆層を形成することで、この積層コンデンサを実装する際に端子電極と半田とが直接接触するのを防止することができるため、接続の信頼性を向上させることができる。
【００１７】
なお、前記第１および第２の被覆層は、３μｍ〜１０μｍの厚さに形成されていることが望ましい。このような構成とすれば、端子電極の表面に微細な凹凸が形成される場合にも、隙間なく端子電極を被覆層で覆って、端子電極と半田との接触を確実に防止可能となる。また、前記第１および第２の被覆層は、ニッケル（Ｎｉ）または銅（Ｃｕ）を備える構成も好適である。
【００１８】
本発明の積層コンデンサにおいて、前記第１および第２の被覆層上に、該被覆層が酸化などの化学変化を起こすのを防止する化学変化防止層をさらに備えることとしても良い。このような構成とすれば、被覆層が化学変化を起こすことで接続状態が悪化してしまうのを確実に防止可能となる。ここで、前記化学変化防止層は、０．０３〜０．１μｍの厚さに形成されることが望ましく、被覆層の化学変化を充分に防止可能な厚さであれば良い。また、前記化学変化防止層は、金（Ａｕ）、スズ（Ｓｎ）または半田を備える構成も好適である。
【００１９】
また、上記積層コンデンサにおいて、前記第１および第２のビア導体は、前記一方の最外面より１５μｍ〜１００μｍの高さで突出していることが好ましい。突出量が多すぎると、突出したビア導体が破断しやすく、少なすぎると、接続に十分な大きさの端子電極が形成できない場合がある。突出量が上記の範囲内であれば、これらの問題を抑制することができる。
【００２０】
また、上記積層コンデンサにおいて、複数の前記ビア導体のうち、最短距離にある前記ビア導体同士の間隔が１００μｍ〜１０００μｍであることが好ましい。最短距離にあるビア導体同士の間隔が１００μｍ〜１０００μｍの範囲内であれば、効果的にインダクタンス成分の低減を図ることができる。なお、ビア導体同士の間隔とは、ビア導体の中心同士の間隔、すなわち、ビア導体のピッチを意味している。
【００２１】
なお、本発明の積層コンデンサは、
所定のフィルム上に複数の誘電体層が積層されるとともに、少なくとも１対の第１と第２の内部電極層が前記誘電体層を挟むように交互に積層されており、かつ、前記第１の内部電極層に電気的に接続され、前記誘電体層の積層方向に沿って設けられた複数の第１のビア導体と、前記第２の内部電極層に電気的に接続され、前記積層方向に沿って設けられた複数の第２のビア導体とを有する積層体を用意し、
前記積層体から前記所定のフィルムを剥離することにより、前記第１のビア導体の一部を突出させて第１の実装端子が形成されるとともに、前記第２のビア導体の一部を突出させて第２の実装端子が形成された積層コンデンサであってもよい。
【００２２】
このようにすれば、ビア導体の突出量、すなわち、実装端子の高さを所定のフィルムの厚さに応じて設定することが可能である。
【００２３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を実施例に基づいて以下の順序で説明する。
Ａ．積層コンデンサの構造：
Ｂ．実装端子の構造：
Ｃ．製造方法：
Ｄ．変形例：
【００２４】
Ａ．積層コンデンサの構造：
図１は、実施例としての積層コンデンサの垂直断面構造を概略的に示す説明図である。この積層コンデンサ１００は、複数の誘電体層１２０が積層されたコンデンサ本体１１０を備えている。誘電体層１２０は、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）等の高誘電率セラミックにより形成される。
【００２５】
コンデンサ本体１１０の内部には、誘電体層１２０を挟むように第１の内部電極層１３０ａと第２の内部電極層１３０ｂとが交互に設けられている。
【００２６】
誘電体層１２０と内部電極層１３０ａ，１３０ｂとが積層される方向（積層方向）に垂直な最外面１６０，１７０のうち少なくとも一方の最外面１７０上には、複数の第１および第２の実装端子１５０ａ，１５０ｂが設けられている。
【００２７】
コンデンサ本体１１０の内部には、積層方向に沿って延びる複数の第１のビア導体１４０ａおよび複数の第２のビア導体１４０ｂが設けられている。第１のビア導体１４０ａは、第２の内部電極層１３０ｂと電気的に絶縁され、第１の内部電極層１３０ａおよび実装端子１５０ａに電気的に接続されるように形成されている。第２のビア導体１４０ｂは、第１の内部電極層１３０ａと電気的に絶縁され、第２の内部電極層１３０ｂおよび実装端子１５０ｂに電気的に接続されるように形成されている。なお、第１の実装端子１５０ａおよび第２の実装端子１５０ｂについては、さらに後述する。
【００２８】
図２は、ビア導体と内部電極層との接続について示す説明図である。図２（ａ）は積層コンデンサ１００の第１の内部電極層１３０ａを含む断面を示し、図２（ｂ）は第２の内部電極層１３０ｂを含む断面を示している。
【００２９】
図２（ａ）に示すように、第１の内部電極層１３０ａにおける第２のビア導体１４０ｂの貫通する部分の周囲にはギャップ１８０が形成されており、それによって、第２のビア導体１４０ｂは、第１の内部電極層１３０ａに対して電気的に絶縁されている。また、図２（ｂ）に示すように、第２の内部電極層１３０ｂにおける第１のビア導体１４０ａの貫通する部分の周囲にはギャップ１９０が形成されており、それによって、第１のビア導体１４０ａは、第２の内部電極層１３０ｂに対して電気的に絶縁されている。
【００３０】
この積層コンデンサ１００では、従来例の積層コンデンサ１０（図７参照）と同様に、より大きな静電容量を得るために、複数の第１の内部電極層１３０ａおよび複数の第２の内部電極層１３０ｂを、誘電体層１２０を挟むように積層方向に交互に配置し、複数のコンデンサユニットを形成する構成としている。すなわち、これら複数のコンデンサユニットが、上述した第１のビア導体１４０ａおよび第２のビア導体１４０ｂによって並列接続される構成となっている。そして、それぞれのコンデンサユニットの静電容量の総和が、複数対の第１の実装端子１５０ａと第２の実装端子１５０ｂとの間の静電容量として外部に取り出される。本例では、第１の内部電極層１３０ａと第２の内部電極層１３０ｂとが、それぞれ５つずつ形成されている場合を示しているが、さらに多数、例えば５０以上の内部電極層が形成されることが好ましい。
【００３１】
また、この積層コンデンサ１００では、従来例の積層コンデンサ１０と同様に、複数の第１のビア導体１４０ａおよび第２のビア導体１４０ｂが、それぞれ交互に隣接するように第１の内部電極層１３０ａおよび第２の内部電極層１３０ｂの全面にわたって格子状に配置されている。これにより、この積層コンデンサ１００においても、従来の積層コンデンサ１０と同様に、インダクタンス成分の低減化が図られている。
【００３２】
なお、本例では、アスペクト比（導体の直径に対する長さの比）が１０で、直径が１００μｍのビア導体が３００μｍの間隔で格子上に配置されている。
【００３３】
Ｂ．実装端子の構造：
上記積層コンデンサ１００は、第１の実装端子１５０ａおよび第２の実装端子１５０ｂの構造に特徴を有している。図３は、実装端子の垂直断面構造を拡大して示す説明図である。図３に示すように、第１のビア導体１４０ａは、最外面１７０から一部突出して形成されており、この突出している部分２２０ａが第１の実装端子１５０ａの第１の端子電極として利用される。第１の端子電極２２０ａの外径は、第１のビア導体１４０ａの外径とほぼ同じである。そして、この第１の端子電極２２０ａ上を覆うように、被覆層２５２および化学変化防止層２５４からなる保護層２５０が形成されている。
【００３４】
第２の実装端子１５０ｂも、第１の実装端子１５０ａと同様に、最外面１７０から一部突出する部分２２０ｂが第２の端子電極として利用され、第２の端子電極２２０ｂ上を覆うように、被覆層２５２および化学変化防止層２５４からなる保護層２５０が形成されている。
【００３５】
ここで、隣接する第１のビア導体１４０ａと第２のビア導体１４０ｂとの間隔が小さいほど、第１のビア導体１４０ａと第２のビア導体１４０ｂとを流れる電流によって発生する磁束が効果的に相殺され、相互インダクタンスが低減されることが知られている。また、第１の内部電極層１３０ａおよび第２の内部電極層１３０ｂを流れる電流の経路は、隣り合う第１のビア導体１４０ａと第２のビア導体１４０ｂとの間に限られ、その電流長を短くすることにより自己インダクタンスを低減することができる。すなわち、ビア導体の間隔を狭くするほど積層コンデンサに含まれるインダクタンス成分を小さくすることができる。
【００３６】
本例の積層コンデンサ１００では、従来例の積層コンデンサ１０（図７参照）における第１および第２の実装端子１５ａ，１５ｂに含まれる第１および第２の導体パッド２２ａ，２２ｂを省略して、第１および第２のビア導体１４０ａ，１４０ｂの一部を第１および第２の端子電極２２０ａ，２２０ｂとすることができる。これにより、導体パッドによって制限されていた実装端子の間隔、すなわち、ビア導体の間隔を狭くすることが可能である。この結果、上述したように、積層コンデンサに含まれるインダクタンス成分を一層小さくすることが可能となる。
【００３７】
また、ビア導体の間隔を狭くすることにより、積層コンデンサをより小型化、大容量化することも可能である。
【００３８】
Ｃ．製造方法：
図４および図５は、実施例の積層コンデンサを製造する方法について示す説明図である。
【００３９】
まず、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）粉末を主成分とする複数の高誘電体セラミックグリーンシート（以下、単にシートという）を準備し、約半数のシート上に第１の内部電極層１３０ａに相当するパターンを形成し、残り約半数のシート上に第２の内部電極層１３０ｂに相当するパターンを形成する。なお、高誘電率セラミックとしては、ＢａＴｉＯ３の他に、ＰｂＴｉＯ３，ＰｂＺｒＯ３，ｉＯ２，ＳｒＴｉＯ３，ＣａＴｉＯ３，ＭｇＴｉＯ３，ＫＮｂＯ３，ＮａＴｉＯ３，ＫＴａＯ３，ＲｂＴａＯ３等が利用可能である。
【００４０】
図４（ａ）に示すように、それら２種類のシートを交互に積層する。次いで、図４（ｂ）に示すように、積層した上記シートを積層方向に貫通するように、第１および第２のビアホール２００ａ，２００ｂをレーザによって格子状に形成する。そして、図４（ｃ）に示すように、第１および第２のビアホール２００ａ，２００ｂ内に導体形成用ペーストを充填することにより、第１および第２のビア導体１４０ａ，１４０ｂを形成する。なお、導体形成用ペーストに含まれる金属粉末（導電材料）としては、例えば、Ａｇ−Ｐｄ（ＡｇとＰｄの割合は例えば７：３とすることができる）が利用される。ただし、これに限定されるものではなく、Ａｇ，Ａｇ−Ｐｔ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｐｔ等の種々の金属粉末が利用可能である。また、メッキ性を良好にするために、導体形成用ペースト中のガラス材料の含有量は、２５重量％以下であることが好ましく、２０重量％以下であることがより好ましい。さらに、ガラス材料を含有しない導体形成用ペーストを用いるのがよい。また、後述する工程の焼成後の出来上がり寸法を調整するために、無機材料を含有させるようにしてもよい。
【００４１】
その後、図４（ｄ）に示すように、最後に積層したシートの外側に、さらにベースとなるシートを積層した上で圧着する。なお、図４（ａ）に示した積層の動作を行なう際には、下面にキャリアフィルム２１０が付着しているシート上に、電極層のパターンを形成したシートを順次積層する。そのため、図４（ｄ）に示すように、最下部に位置するシートの下面には、実際にはキャリアフィルム２１０が付着している。この下側のキャリアフィルム２１０を剥離することで、図５（ａ）に示すように、第１のビア導体１４０ａおよび第２のビア導体１４０ｂの一部を突出させる。そして、全体を焼成することにより、図５（ｂ）に示すように第１の端子電極２２０ａおよび第２の端子電極２２０ｂを形成する。第１の端子電極２２０ａおよび第２の端子電極２２０ｂは、上記した金属粉末や焼成温度などの選択により、図５（ｂ）に示すように、焼成によって表面を曲面状に形成させることもできる（いわゆる「面取り」がなされる）。なお、第１の端子電極２２０ａおよび第２の端子電極２２０ｂの突出量は、キャリアフィルム２１０の厚さにほぼ依存して決定される。例えば、第１の端子電極２２０ａおよび第２の端子電極２２０ｂの突出量は、１５μｍ〜１００μｍの範囲、好ましくは２０μｍ〜５０μｍの範囲、さらに好ましくは２０μｍ〜４０μｍの範囲となるように設定される。
【００４２】
次に、図５（ｃ）に示すように、第１の端子電極２２０ａおよび第２の端子電極２２０ｂ上に、これら各端子電極を覆うように被覆層２５２を形成する。本実施例では、無電解メッキによってニッケル（Ｎｉ）層を形成することで、被覆層２５２を形成している。
【００４３】
その後さらに、図５（ｄ）に示すように、上記のように形成した各被覆層２５２上に、これら各被覆層２５２を覆うように化学変化防止層２５４を形成する。このように、第１の端子電極２２０ａおよび第２の端子電極２２０ｂのそれぞれを覆うように、被覆層２５２および化学変化防止層２５４から成る保護層２５０を形成して、本実施例の積層コンデンサを完成する。本実施例では、無電解メッキによって金（Ａｕ）層を形成することで、化学変化防止層２５４を形成している。
【００４４】
このように、端子電極上に被覆層２５２を形成することで、この積層コンデンサを実装したときに接続の信頼性を向上させることができる。実装端子における接続状態悪化の例として、接触する金属同士が混ざり合って電極を劣化させることがあり、例えば、端子電極と半田とが直接接触することによる半田くわれを挙げることができる。被覆層２５２を設けることで、実装端子において半田くわれが生じるのを防止することができる。また、被覆層２５２上にさらに化学変化防止層２５４を形成するため、被覆層２５２が酸化されることで接続状態が悪化してしまうのを確実に防止可能となる。
【００４５】
ここで、被覆層２５２は、３μｍ〜１０μｍの厚さに形成されていることが望ましい。端子電極およびビア導体は、既述したように、金属粉末等の材料を含有する導体形成用ペーストによって形成するため、端子電極の表面は、導体形成用ペーストに含まれる材料を構成する粒子の粒径に応じて、所定の凹凸を有している。被覆層２５２の厚さを上記範囲とすることで、端子電極の表面に微細な凹凸が形成される場合にも、隙間なく端子電極を覆って、端子電極と半田との接触を確実に防止可能となる。このような被覆層２５２は、上記したＮｉの他、銅（Ｃｕ）を備える金属等、他の導電性材料によって形成することとしても良く、半田と接触することによる半田くわれ等の不都合を防止可能であればよい。
【００４６】
また、化学変化防止層２５４は、０．０３〜０．１μｍの厚さに形成されていることが望ましく、被覆層２５２の酸化を充分に防止可能な厚さであれば良い。化学変化防止層２５４は、上記したＡｕの他、スズ（Ｓｎ）または半田を備える金属等、他の導電性材料によって形成することとしても良く、積層コンデンサを実装する際に半田との接続性を確保することができれば良い。さらに、被覆層２５２の酸化が許容できる程度であれば、化学変化防止層２５４を設けず、保護層２５０を被覆層２５２のみによって形成することとしても良い。
【００４７】
なお、被覆層２５２を形成するために端子電極の表面をメッキ処理する場合に、メッキのしやすさを考慮すると、既述したように、ビア導体中のガラス材料の含有量をより少なくすることが好ましく、理想的にはガラス材料が含まれないようにすることが望ましい。
【００４８】
また、上記実施例では、被覆層２５２および化学変化防止層２５４を無電解メッキによって形成したが、電解メッキなど異なる方法によって形成することとしても良い。被覆層あるいは化学変化防止層を構成可能な材料で端子電極上を被覆することができればどのような方法で被覆処理してもよく、所定の範囲の厚みで、充分に緻密な層を形成可能であれば良い。
【００４９】
なお、この積層コンデンサの製造方法は、上述した工程に限定されるものではなく、任意の適切な工程を用いて実施することができる。
【００５０】
なお、ビア導体のアスペクト比を高くすることによって、具体的には、ビア導体の直径を小さくすることによっても、ビア導体の間隔を短くすることが可能であり、これによりインダクタンス成分を低減することができる。また、ギャップ１８０および１９０の直径を小さくすることも可能であり、それによって、第１および第２の内部電極層の重なり部分を大きくし、容量を増大することができる。しかし、ビア導体のアスペクト比が大きければよいというわけではなく、ビア導体のアスペクト比が大きいほど、上記導体形成用ペーストを充填する工程が困難になる。
【００５１】
従って、ビア導体のアスペクト比（導体の直径に対する長さの比）は、４〜３０の範囲に設定されることが好ましいが、４〜２５の範囲に設定されるほうがより好ましく、５〜２０の範囲に設定されるほうがさらに好ましい。また、ビア導体の直径は、５０μｍ〜１２０μｍの範囲に設定されることが好ましいが、６０μｍ〜１１０μｍの範囲に設定されるほうがより好ましく、７０μｍ〜１００μｍの範囲に設定されるほうがさらに好ましい。また、ビア導体の間隔、すなわち、実装端子の間隔は、１００μｍ〜１０００μｍの範囲で設定されることが好ましいが、１００μｍ〜６００μｍの範囲で設定されるほうが好ましく、１５０μｍ〜４５０μｍの範囲で設定されるほうがさらに好ましい。
【００５２】
なお、本発明は上記の実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。内部電極層やビア導体の数は、上記実施例の構成に限られず、種々に変更してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例としての積層コンデンサの垂直断面構造を概略的に示す説明図である。
【図２】ビア導体と内部電極層との接続について示す説明図である。
【図３】実装端子の垂直断面構造を拡大して示す説明図である。
【図４】積層コンデンサ１００の製造方法について示す説明図である。
【図５】積層コンデンサ１００の製造方法について示す説明図である。
【図６】従来の積層コンデンサの垂直断面構造を概略的に示す説明図である。
【符号の説明】
１０…積層コンデンサ
１１…コンデンサ本体
１２…誘電体層
１３ａ，１３ｂ…内部電極層
１４ａ，１４ｂ…ビア導体
１５ａ，１５ｂ…実装端子
１６，１７…最外面
２２ａ，２２ｂ…導体パッド
２４ａ，２４ｂ…半田バンプ
１００…積層コンデンサ
１１０…コンデンサ本体
１２０…誘電体層
１３０ａ，１３０ｂ…内部電極層
１４０ａ，１４０ｂ…ビア導体
１５０ａ，１５０ｂ…実装端子
１６０，１７０…最外面
１８０…ギャップ
１９０…ギャップ
２００ａ，２００ｂ…ビアホール
２１０…キャリアフィルム
２２０ａ，２２０ｂ…端子電極
２５０…保護層
２５２…被覆層
２５４…化学変化防止層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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