(57)【要約】【課題】設備費用の上昇を招くことなく、かつ、カバーシートの貼りズレ検出に要する時間を短縮することができるようにする。【解決手段】カバーシート貼りズレ検出装置は、カバーシートが貼り合わされた側の一主面に光を照射する照射部２と、一主面により反射された光を受光し、受光した光に応じた信号を出力する受光部３と、受光手段から出力された信号に基づき、受光した光の光量に応じた全光量信号と、光の受光位置に応じた位置信号とを生成し、全光量信号が所定レベルとなる区間内において位置信号が所定レベルとなったか否かを判別し、全光量信号が所定レベルとなる区間内において位置信号が所定レベルとなったと判別した場合には、カバーシートに貼りズレがあることを示す信号を出力する検出回路４とを備える。【選択図】　図１
2004070985.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を透過可能なシートが情報信号部上に貼り合わされた構成を有する光ディスクのシートの貼りズレを検出するシート貼りズレ検出装置であって、
上記シートが貼り合わされた側の一主面に光を照射する照射手段と、
上記一主面により反射された上記光を受光し、受光した上記光に応じた信号を出力する受光手段と、
上記受光手段から出力された信号に基づき、受光した上記光の光量に応じた全光量信号と、上記光の受光位置に応じた位置信号とを生成し、上記全光量信号が所定レベルとなる区間内において、上記位置信号が所定レベルとなったか否かを判別することにより、上記シートの貼りズレを検出する検出手段と
を備えることを特徴とするシート貼りズレ検出装置。
【請求項２】
上記検出手段は、上記全光量信号のレベルと、予め設定されたしきい値とを比較することにより、反射率異常欠陥および／あるいは初期化不良欠陥をさらに検出することを特徴とする請求項１記載のシート貼りズレ検出装置。
【請求項３】
上記受光手段は、２次元位置検出素子であることを特徴とする請求項１記載のシート貼りズレ検出装置。
【請求項４】
上記光ディスクを回転するための駆動手段をさらに備え、
上記照射手段が、回転された上記光ディスクの一主面に内周側から外周側に向けて繰り返し光を照射することを特徴とする請求項１記載のシート貼りズレ検出装置。
【請求項５】
上記照射手段は、光源および多面鏡を備え、回転された上記多面鏡が、光源から入射した光を反射することにより、回転された上記光ディスクの一主面に内周側から外周側に向けて繰り返し光を照射することを特徴とする請求項４記載のシート貼りズレ検出装置。
【請求項６】
レーザ光を透過可能なシートが情報信号部上に貼り合わされた構成を有する光ディスクのシートの貼りズレを検出するシート貼りズレ検出方法であって、
上記シートが貼り合わされた側の一主面に光を照射する照射ステップと、
上記一主面により反射された上記光を受光し、受光した上記光に応じた信号を出力する受光ステップと、
上記受光ステップにより出力された信号に基づき、受光した上記光の光量に応じた全光量信号と、上記光の受光位置に応じた位置信号とを生成し、上記全光量信号が所定レベルとなる区間内において、上記位置信号が所定レベルとなったか否かを判別することにより、上記シートの貼りズレを検出する貼りズレ検出ステップと
を備えることを特徴とするシート貼りズレ検出方法。
【請求項７】
上記全光量信号のレベルと、予め設定されたしきい値とを比較することにより、反射率異常欠陥および／あるいは初期化不良欠陥を検出する欠陥検出ステップをさらに備えることを特徴とする請求項６記載のシート貼りズレ検出方法。
【請求項８】
上記照射ステップが、回転された上記光ディスクの上記一主面に内周側から外周側に向けて繰り返し光を照射することを特徴とする請求項６記載のシート貼りズレ検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、シート貼りズレ検出装置およびシート貼りズレ検出方法に関し、特に、基板の一主面に貼り合わされたカバーシートの貼りズレを検出するシート貼りズレ検出装置に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクは、大量のデータを記録可能であるとともに、再生専用型、追記型、書換可能型などのそれぞれのメモリ形態に対応可能であるという利点を有するため、広く普及している。
【０００３】
光ディスクでは、ディスクへの記録およびディスクからの再生がスムーズにできることを保証するために、相変化膜や磁性膜などの記録膜や反射膜が正常に成膜されているか、またはこれらの膜中にキズや異物、あるいはピンホール等の欠陥が存在していないかを検査する必要がある。
【０００４】
このため、相変化膜や磁性膜などの記録膜や反射膜が正常に成膜されているか、またはこれらの膜中にキズや異物、あるいはピンホール等の欠陥が存在していないかを検査する方法が提案されている。この検査方法では、まず、光ディスクに対して基板側からレーザ光を照射させるとともに、光ディスクを回転駆動させる。これにより、ディスク全面が、レーザ光により走査される。
【０００５】
光ディスクからの反射光（ピンホールの場合は透過光）が、フォトディテクタにおいて受光され、電気信号に変換されて出力される。そして、この電気信号が、検出回路において、正常な信号レベルよりも若干低いスライスレベル、もしくは若干高いレベルに予め設定されたスライスレベルと比較され、若干低いスライスレベルより低い、もしくは若干高いスライスレベルより高い場合には、欠陥があることを示す信号が出力される。
【０００６】
また、光ディスクでは、その耐久性および信頼性を保証するために、ディスク上に保護膜が正常に形成されているか、あるいは基板自体に傷や割れ等の欠陥が存在していないかを検査する必要がある。
【０００７】
このため、反射率により正常な保護膜が形成されているか否かを検査する方法が提案されている。この方法では、まず、保護層が形成された側の一主面に対して、レーザ光を照射する。そして、光ディスクからの反射光が、フォトディテクタにおいて受光され、電気信号に変換されて出力される。この電気信号が、検出回路において、正常な信号レベルよりも若干高いレベルに予め設定されたスライスレベルと比較され、このスライスレベルよりも高い場合には、正常な保護膜が形成されていないことを示す信号が出力される。
【０００８】
また、保護膜により反射されたレーザ光と、記録膜あるいは反射膜により反射されたレーザ光とが干渉することを利用して、正常な保護膜が形成されているか否かを検査する方法も提案されている。
【０００９】
この方法では、まず、光ディスクの保護膜が形成された面に内周側から外周側に向けてレーザ光を照射し、スキャンする。そして、光ディスクからの反射光が、フォトディテクタにおいて受光され、電気信号に変換されて出力される。検出回路において、この電気信号に生じる波を検出する。波が検出されなかった場合には、正常な保護膜が形成されていないことを示す信号が出力される。
【００１０】
ところで、近年では、基板側からではなく、保護層側からレーザ光を照射することにより情報の記録および／あるいは再生を行うようにした次世代の高密度光ディスク（例えば、Ｂｌｕ−ｒａｙ　ＤｉｓｃあるいはＤＶＲ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｉｄｅｏ　Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ　ｓｙｓｔｅｍ）ディスク）が提案されている。
【００１１】
図１２Ａは、次世代の高密度光ディスク１００の記録あるいは再生時におけるイメージを示す。図１２Ａに示すように、次世代の高密度光ディスク１００では、光ピックアップ１０４が保護膜１０３側からレーザ光を照射することにより、情報信号の記録および／あるいは再生が行われる。
【００１２】
図１２Ｂは、従来の光ディスク１１０の記録あるいは再生時におけるイメージを示す。図１２Ｂに示すように、従来の光ディスク１１０では、光ピックアップ１１４が基板１１１側からレーザ光を照射することにより、情報信号の記録および／あるいは再生が行われる。
【００１３】
また、次世代の高密度ディスクでは、従来の光ディスクとは異なるプロセスにより保護膜が形成される。従来の光ディスクでは、スピンコート法により紫外線硬化樹脂を一様に塗布し、紫外線を照射するプロセスにより、保護膜が形成される。一方、次世代の高密度光ディスクでは、ポリカーボネートからなる、無色透明のカバーシートを、接着剤を介して、基板に貼り合わせるプロセスにより、保護膜が形成される。
【００１４】
このため、次世代の高密度光ディスクの保護膜形成工程では、基板の中心とカバーシートの中心とが一致せずに、カバーシートの中心が基板の中心からずれる、いわゆる貼りズレを起こすことがある。
【００１５】
図１３Ａに、カバーシートの貼りズレがある光ディスクの平面図を示す。図１３Ｂに、カバーシートの貼りズレがない光ディスクの平面図を示す。図１３Ａに示すように、カバーシートの貼りズレが生じた場合には、相変化膜や磁性膜などの情報信号部の保護を目的としたカバーシートが情報信号部上を完全に覆わないことになる。その結果、光ディスクの耐久性が損なわれるばかりではなく、磁性膜などの記録膜あるいは反射膜が剥がれ、正常な記録再生が損なわれる可能性もある。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
このため、カバーシートの貼りズレを検出することが重要になるが、上述した保護膜が正常に形成されているか否か検出する方法では、カバーシートの貼りズレを検出することは困難である。これは、次世代の高密度光ディスクではカバーシートが０．１ｍｍの厚さであり、カバーシートにより覆われている面と、覆われていない面との反射率の変動量が微小であるためと、次世代の高密度ディスクでは内周側から外周側に向けて光ディスクをスキャンしても、干渉縞が生じないためである。
【００１７】
また、図１４に示すように、上述した、従来の光ディスクにおける記録膜などの検査では、その検査範囲が記録エリアに限定されている。これは光ディスクの安定した記録、再生に関わる部分は記録エリアに依存することと、ディスク最内周、最外周に一般的に存在するミラーエリアが直接記録などに関係が無く、且つミラーエリアと記録エリアには著しい反射率の差が存在する為に、上述した記録膜などを検査する方法では、ミラーエリアと記録エリアの境目で電気信号が乱れ、欠陥と判別する可能性があるからである。したがって、従来の記録膜などを検査する方法は、記録エリアのみを走査するのが一般的であり、この方法では検査範囲外ゆえ、カバーシートの貼りズレ検出は困難である。
【００１８】
そこで、目視によりカバーシートの貼りズレを検出する方法と、画像処理によりカバーシートの貼りズレを検出する方法とが提案されている。ところが、目視によりカバーシートの貼りズレを検出する方法では、カバーシートの貼りズレを検出する工程における人件費が増大することと、人為的な検出ミスがあることが問題とされている。一方、画像処理によりカバーシートの貼りズレを検出する方法では、カバーシートの貼りズレを検出するシステムの構築に多額の費用がかかり、その結果、設備費用の上昇を招くことと、カバーシートの貼りズレ検出に要する時間が比較的長いことが問題とされている。
【００１９】
したがって、この発明の課題は、カバーシートの貼りズレを検出する工程における人件費を低減し、かつ、人為的な検出ミスを回避することができるシート貼りズレ検出装置およびシート貼りズレ検出方法を提供することにある。
【００２０】
また、この発明の課題は、設備費用の上昇を招くことなく、かつ、カバーシートの貼りズレ検出に要する時間を短縮することができるシート貼りズレ検出装置およびシート貼りズレ検出方法を提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本願第１の発明は、レーザ光を透過可能なシートが情報信号部上に貼り合わされた構成を有する光ディスクのシートの貼りズレを検出するシート貼りズレ検出装置であって、
シートが貼り合わされた側の一主面に光を照射する照射手段と、
一主面により反射された光を受光し、受光した光に応じた信号を出力する受光手段と、
受光手段から出力された信号に基づき、受光した光の光量に応じた全光量信号と、光の受光位置に応じた位置信号とを生成し、全光量信号が所定レベルとなる区間内において、位置信号が所定レベルとなったか否かを判別することにより、シートの貼りズレを検出する検出手段と
を備えることを特徴とするシート貼りズレ検出装置である。
【００２２】
本願第２の発明は、レーザ光を透過可能なシートが情報信号部上に貼り合わされた構成を有する光ディスクのシートの貼りズレを検出するシート貼りズレ検出方法であって、
シートが貼り合わされた側の一主面に光を照射する照射ステップと、
一主面により反射された光を受光し、受光した光に応じた信号を出力する受光ステップと、
受光ステップにより出力された信号に基づき、受光した光の光量に応じた全光量信号と、光の受光位置に応じた位置信号とを生成し、全光量信号が所定レベルとなる区間内において、位置信号が所定レベルとなったか否かを判別することにより、シートの貼りズレを検出する貼りズレ検出ステップと
を備えることを特徴とするシート貼りズレ検出方法である。
【００２３】
上述のように構成されたこの発明のシート貼りズレ検出装置では、照射手段がシートが貼り合わされた側の一主面に光を照射し、受光手段が一主面により反射された光を受光し、受光した光に応じた信号を出力し、判別手段が受光手段から出力された信号に基づき、受光した光の光量に応じた全光量信号と、光の受光位置に応じた位置信号とを生成し、全光量信号が所定レベルとなる区間内において、位置信号が所定レベルとなったか否かを判別するため、情報信号部がシートにより覆われているか否かを判別することができる。よって、光ディスクのシートに貼りズレを検出することができる。したがって、カバーシートの貼りズレを検出する工程における人件費を低減し、かつ、人為的な検出ミスを回避することができる。また、設備費用の上昇を招くことなく、かつ、カバーシートの貼りズレ検出に要する時間を短縮することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態の全図においては、同一または対応する部分には同一の符号を付す。
【００２５】
図１は、この発明の第１の実施形態によるカバーシート貼りズレ検出装置の構成の一例を示す側面図である。図１に示すように、この発明の第１の実施形態によるカバーシート貼りズレ検出装置は、光ディスクＤを回転駆動させるためのスピンドル１と、回転駆動された光ディスクＤにレーザ光Ｌを照射する照射部２と、光ディスクＤにより反射されたレーザ光Ｌを受光し、この受光したレーザ光Ｌに応じた信号を出力する受光部３と、受光部３から出力された信号に基づき、光ディスクＤのカバーシートの貼りズレを検出するカバーシート貼りズレ検出回路４とを備える。
【００２６】
被検査ディスクである光ディスクＤは、情報信号部上に貼り合わされたカバーシート側からレーザ光を照射することにより、情報信号の記録および／あるいは再生を行うようにした高密度光ディスク、例えばＢｌｕ−ｒａｙ　ＤｉｓｃあるいはＤＶＲ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｉｄｅｏ　Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ　ｓｙｓｔｅｍ）ディスクである。
【００２７】
図２Ａおよび２Ｂに、被検査ディスクである光ディスクＤの正面図を示す。図２Ａは、カバーシート６の貼りズレがない光ディスクＤの正面図を示す。図２Ｂは、カバーシート６の貼りズレがある光ディスクＤの正面図を示す。
【００２８】
図２Ａに示すように、カバーシート６の貼りズレがない場合には、記録エリアおよびミラーエリアからなる成膜エリアがカバーシート６により覆われている。
【００２９】
図２Ｂに示すように、カバーシート６の貼りズレがある場合には、記録エリアおよびミラーエリアからなる成膜エリアがカバーシート６からはみ出してしまっている。
【００３０】
スピンドル１は、光ディスクＤを回転駆動するためのものであり、図示を省略したスピンドルモータにより回転される。この回転数は、カバーシート貼りズレ検出回路４が、センサ２２から出力された信号を処理し、ディスクの良否を判定するのにかかる時間から算出され、例えば７２ｒｐｍ程度に設定される。また、スピンドル１は、光ディスクＤを真空チャッキング可能に構成されている。
【００３１】
照射部２は、スピンドル１に載置された光ディスクＤにレーザ光Ｌを照射するためのものであり、スピンドル１により回転される光ディスクＤを、内周部から外周部に渡って、繰り返し高速でスキャンする。
【００３２】
また、照射部２は、被検査ディスクである光ディスクＤの一主面上に所定のレーザスポット（例えば、周方向に２００μｍ、径方向に５０μｍ）を結ぶように、光ディスクＤの所定角度θ（例えば、４５度）の角度でレーザ光を入射可能な位置に設置されている。
【００３３】
また、照射部２は、カバーシート上で反射されたレーザ光が全てセンサ２２の受光面上の所定位置に入射するとともに、カバーシートエッジで反射されたレーザ光がセンサ２２の受光面上の所定位置からずれた位置に入射するような位置に設置されている。
【００３４】
図３に、光ディスクＤに入射するレーザ光Ｌの経路を示す。Ｌ１は、カバーシート６上に入射するレーザ光を示し、Ｌ２は、カバーシート６の外周側エッジに入射するレーザ光を示す。カバーシート６上に入射するレーザ光Ｌ１は、センサ２２の受光面の所定位置に入射する。一方、外周部エッジに入射するレーザ光Ｌ２は、外周エッジにより反射され、センサ２２の受光面の所定位置からずれる。
【００３５】
図４は、この発明の第１の実施形態による照射部２の構成の一例を示す正面図である。図４に示すように、照射部２は、半導体レーザ１１、シリンドリカルレンズ１２、ミラー１３、シリンドリカルレンズ１４、ポリゴンミラー１５およびコリメータレンズ１６を備える。
【００３６】
半導体レーザ１１は、所定波長のレーザ光Ｌをシリンドリカルレンズ１２を介して、ミラー１３に入射する。ミラー１３は、半導体レーザ１１からシリンドリカルレンズ１２を介して入射されたレーザ光Ｌを反射する。この反射されたレーザ光Ｌは、シリンドリカルレンズ１４を介して、回転するポリゴンミラー１５の反射面上に集光される。
【００３７】
ポリゴンミラー１５は、その中心を軸として、所定の回転数により回転するとともに、シリンドリカルレンズ１４を介して入射されたレーザ光Ｌを反射する。この反射されたレーザ光Ｌはコリメータレンズ１６を介して光ディスクＤのカバーシートが貼り合わされた側の一主面に入射する。これにより、光ディスクＤの一主面が、内周側から外周側にかけてレーザ光Ｌにより高速スキャンされる。ここで、ポリゴンミラー１５は、例えば１２面体ポリゴンミラーである。
【００３８】
受光部３は、光ディスクＤの一主面において反射されたレーザ光Ｌを受光するためのものである。この受光部３は、図１に示すように、センサ２２およびコリメータレンズ２１を備える。センサ２２は、例えば２次元位置検出素子（ＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ　Ｄｅｖｉｃｅ））であり、光ディスクＤの一主面により反射されたレーザ光Ｌをコリメータレンズ２１を介して受光し、この受光したレーザ光Ｌに応じた信号を検出回路４に供給する。
【００３９】
図５に、この発明の第１の実施形態によるカバーシート貼りズレ検出回路４の構成の一例を示すブロック図である。図５に示すように、カバーシート貼りズレ検出回路４は、全光量信号生成回路３１、位置信号生成回路３２、コンパレータ３３、コンパレータ３４およびＡＮＤ回路３５を備える。
【００４０】
図６は、全光量信号生成回路３１および位置信号生成回路３２の構成の一例を示すブロック図である。全光量信号生成回路３１および位置信号生成回路３２は、図６に示すように、ヘッドアンプ回路４１、ヘッドアンプ回路４２、ヘッドアンプ回路４３、ヘッドアンプ回路４４、減算回路４５、加算回路４６、減算回路４７、アナログ割算器４８を備える。なお、ここで示した回路構成は、センサ２２が２次元位置検出素子である場合の回路構成である。
【００４１】
図７に、光ディスクＤの一主面を内周側から外周側に向けてスキャンした場合の位置信号および全光量信号の信号波形を示す。図７に示すように、位置信号には、時刻Ｔ１およびＴ２付近で信号の乱れがある。この信号の乱れは、センサ２２に入射するレーザ光Ｌが、その受光面の所定位置からずれたことに起因するものである。すなわち、光ディスクＤの一主面に入射したレーザ光Ｌがカバーシートのエッジにより反射されたことに起因するものである。Ｔ１付近における位置信号の乱れＳＡが、レーザ光Ｌがカバーシートの内周側エッジに反射されたことに起因するものであり、Ｔ２付近における位置信号の乱れＳＢが、カバーシートの外周側エッジに反射されたことに起因するものである。また、図７において、全光量信号のレベルが、区間ΔＴ（Ｔ２−Ｔ１）において、所定位置以上となる。この区間ΔＴは、記録エリアおよびミラーエリアからなる成膜エリアに対応する。
【００４２】
次に、この発明の第１の実施形態によるカバーシート貼りズレ検出回路４の動作について説明する。
【００４３】
まず、カバーシート貼りズレ検出回路４は、受光部２１から供給される信号に基づき、位置信号および全光量信号を生成する。
【００４４】
次に、カバーシートの貼りズレ検出回路４が、区間ΔＴ内にカバーシートのエッジに応じた信号の乱れがあるか否かを判別する。区間ΔＴ内にカバーシートのエッジに応じた信号の乱れがあると判別した場合には、カバーシートの貼りズレがあることを示す信号を出力し、区間ΔＴ内にカバーシートのエッジに応じた信号の乱れがないと判別した場合には、カバーシートの貼りズレがないことを示す信号を出力する。
【００４５】
次に、この発明の第１の実施形態によるカバーシート貼りズレ検出回路４の各部の動作について説明する。
【００４６】
全光量信号生成回路３１は、センサ２２から出力された信号に基づき、センサ２２において受光されたレーザ光Ｌの受光量に応じた全光量信号を生成し、コンパレータ３３に供給する。
【００４７】
位置信号生成回路３２は、センサ２２から供給された信号に基づき、センサ２２の受光面の受光位置に応じた位置信号を生成し、コンパレータ３４に供給する。
【００４８】
図８Ａは、図２Ａに示した光ディスクＤ（カバーシートの貼りズレがない光ディスクＤ）の一主面を内周側から外周側に向けてスキャンした場合に、全光量信号生成回路３１から出力された全光量信号および位置信号生成回路３２から出力された位置信号の波形を示す。図８Ａに示すように、位置信号の乱れＳＡおよびＳＢが、成膜エリアに対応する区間ΔＴの外に位置する。
【００４９】
図８Ｂは、図２Ｂに示した光ディスクＤ（カバーシートの貼りズレがある光ディスクＤ）の一主面を内周側から外周側に向けてスキャンした場合に、全光量信号生成回路３１から出力された全光量信号および位置信号生成回路３２から出力された位置信号の波形を示す。図８Ｂに示すように、位置信号の乱れＳＡおよびＳＢが、成膜エリアに対応する区間ΔＴ内に位置する。
【００５０】
コンパレータ３３は、全光量信号生成回路３１から供給される全光量信号を、予め設定された電圧値Ｖｒｅｆ−ｓと比較する。電圧値Ｖｒｅｆ−ｓ以上である場合にはＡＮＤ回路２５供給する信号をハイレベルにする。ここで、電圧値Ｖｒｅｆ−ｓは、１．０Ｖ程度に設定することが好ましい。
【００５１】
コンパレータ３４は、位置信号生成回路３２から供給される位置信号を、予め設定された電圧値Ｖｒｅｆ−ｐと比較する。電圧値Ｖｒｅｆ−ｐ以上である場合にはＡＮＤ回路２５供給する信号をハイレベルにする。ここで、電圧値Ｖｒｅｆ−ｐは、７０〜８０ｍＶに設定することが好ましい。
【００５２】
ＡＮＤ回路３５は、コンパレータ３３から供給される信号とコンパレータ３４から供給される信号とが同時にハイレベルとなった場合には、出力信号をハイレベルにする。
【００５３】
次に、全光量信号生成回路３１および位置信号生成回路３２の各部の動作について説明する。
【００５４】
センサ２２は、Ｘ０座標信号、Ｘ１座標信号、Ｙ０座標信号およびＹ１座標信号を生成し、この生成したＸ０座標信号、Ｘ１座標信号、Ｙ０座標信号、Ｙ１座標信号を、それぞれ、ヘッドアンプ回路４１、ヘッドアンプ回路４２、ヘッドアンプ回路４３、ヘッドアンプ回路４４に供給する。
【００５５】
ヘッドアンプ回路４１は、センサ２２から供給されるＸ０座標信号を増幅し、減算回路４５および加算回路４６に供給する。
【００５６】
ヘッドアンプ回路４２は、センサ２２から供給されるＸ１座標信号を増幅し、減算回路４５および加算回路４６に供給する。
【００５７】
ヘッドアンプ回路４３は、センサ２２から供給されるＹ０座標信号を増幅し、加算回路４６および減算回路４７に供給する。
【００５８】
ヘッドアンプ回路４４は、センサ２２から供給されるＹ１座標信号を増幅し、加算回路４６および減算回路４７に供給する。
【００５９】
減算回路４５は、ヘッドアンプ回路４１から供給されるＸ０座標信号からヘッドアンプ回路４２から供給されるＸ１座標信号を減算し、アナログ割算器４８に供給する。
【００６０】
加算回路４６は、ヘッドアンプ回路４１から供給されるＸ０座標信号と、ヘッドアンプ回路４２から供給されるＸ１座標信号と、ヘッドアンプ回路４３から供給されるＹ０座標信号と、ヘッドアンプ回路４４から供給されるＹ１座標信号とを加算し、アナログ割算器４８に供給するとともに、全光量信としてコンパレータ３３に供給する。
【００６１】
減算回路４７は、ヘッドアンプ回路４３から供給されるＹ０座標信号からヘッドアンプ回路４４から供給されるＹ１座標信号を減算し、アナログ割算器４８に供給する。
【００６２】
アナログ割算器４８は、減算回路４５から供給される信号（Ｘ０−Ｘ１）から減算回路４７から供給される信号（Ｙ０−Ｙ１）を減算し、この信号（Ｘ０−Ｘ１）−（Ｙ０−Ｙ１）を、加算回路４６から供給される信号Ｘ０＋Ｘ１＋Ｙ０＋Ｙ１により割算し、位置信号として、コンパレータ３４に供給する。
【００６３】
この発明の第１の実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。照射部２が、光ディスクＤのカバーシートが貼り合わされた側の一主面に内周側から外周側に向かってレーザ光Ｌを照射することによりスキャンする。センサ２２が、光ディスクＤの一主面で反射されたレーザ光Ｌを、コリメータレンズ２１を介して受光し、この受光したレーザ光Ｌに基づき信号を生成し、検出回路４に供給する。検出回路４は、センサ２２から供給された信号に基づき、全光量信号および位置信号を生成し、この生成した全光量信号および位置信号に基づき、カバーシートの貼りズレを検出する。したがって、カバーシートの貼りズレを検出する工程における人件費を低減し、かつ、人為的な検出ミスを回避することができる。また、設備費用の上昇を招くことなく、かつ、カバーシートの貼りズレ検出に要する時間を短縮することができる。
【００６４】
次に、この発明の第２の実施形態によるカバーシート貼りズレ検出装置について説明する。この発明の第２の実施形態におけるカバーシート貼りズレ検出装置は、カバーシートの貼りズレとともに、反射率異常欠陥および初期化不良欠陥を検出するものである。
【００６５】
この発明の第２の実施形態によるカバーシート貼りズレ検出装置は、反射率欠陥および初期化不良欠陥のある部分と、これらの欠陥のない部分との反射率が異なることを利用することにより、反射率欠陥および初期化不良欠陥を検出するものである。すなわち、全光量信号のレベルが所定値以上であるか否かを判別することにより、反射率欠陥および初期化不良欠陥の有無を検出するものである。
【００６６】
以下、この発明の第２の実施形態による検出回路を動作について説明する。まず、反射率検出回路は、センサ２２から供給される信号に基づき、全光量信号信号を生成する。
【００６７】
図１０に、初期化不良部分を有する光ディスクＤ１の一例を示す。この光ディスクＤ１は、図１０に示すように、外周側に初期化不良部分を有する。初期化不良不良部分は、初期化正常部分と異なる反射率を有する。
【００６８】
図１１に、図１０に示した光ディスクＤ１を内周側から外周側に向けてスキャンすることにより得られた全光量信号の波形を示す。図１１に示すように、初期化不良部分に対応する領域において、全光量信号のレベルが、しきい値信号のレベル以下となる。
【００６９】
次に、反射率不良検出回路は、全光量信号のレベルが所定レベル以上であるかを判別するとともに、所定レベル以下であるか否かを判別する。所定レベル以上あるいは所定レベル以下であると判別した場合には、光ディスクに反射率異常欠陥および初期化不良欠陥があることを示す信号を出力する。一方、所定レベル以上あるいは所定レベル以下でないと判別した場合には、光ディスクに反射率異常欠陥および初期化不良欠陥がないことを示す信号を出力する。
【００７０】
図９は、この発明の第２の実施形態による反射率不良検出回路５０の構成の一例を示すブロック図である。この反射率不良検出回路５０は、図９に示すように、コンパレータ５１、コンパレータ５２、コンパレータ５３およびＡＮＤ回路５４を備える。ここで、コンパレータ５１、コンパレータ５２およびコンパレータ５３の入力端子の一方は、全光量信号生成回路３１に接続される。
【００７１】
この発明の第２の実施形態による反射率不良検出回路に備えられた各部の動作について説明する。
【００７２】
コンパレータ５１は、全光量信号生成回路３１から供給される全光量信号を、予め設定された電圧値Ｖｒｅｆ−ｓと比較する。電圧値Ｖｒｅｆ−ｓ以上である場合にはＡＮＤ回路５４に供給する信号をハイレベルにする。
【００７３】
コンパレータ５２は、全光量信号生成回路３１から供給される全光量信号を、予め設定された電圧値Ｖｒｅｆ−Ｈと比較する。電圧値Ｖｒｅｆ−Ｈ以上である場合にはＡＮＤ回路５４に供給する信号をハイレベルにする。
【００７４】
コンパレータ５３は、全光量信号生成回路３１から供給される全光量信号を、予め設定された電圧値Ｖｒｅｆ−Ｌと比較する。電圧値Ｖｒｅｆ−Ｌ以上である場合にはＡＮＤ回路５４に供給する信号をハイレベルにする。
【００７５】
ＡＮＤ回路５４は、コンパレータ５１から供給される信号と、コンパレータ５２あるいは５３から供給される信号とが同時にハイレベルとなった場合には、出力信号をハイレベルにする。
【００７６】
これ以外のことは、上述した第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００７７】
この発明の第２の実施形態によれば、上述した第１の実施形態以外に、以下のような効果を得ることができる。
反射率不良検出回路５０が、全光量信号生成回路３１から供給される全光量信号のレベルが、正常な信号より若干高いレベルに設定されたしきい値信号のレベル以上であるか否かを判別するとともに、正常な信号より若干低いレベルに設定されたしきい値信号以下であるか否かを判別するため、成膜エリアに反射率が所定位置以上および所定位置以下の領域があるか否かを判別することができる。したがって、反射率異常欠陥および初期化不良欠陥を検出することができる。
【００７８】
以上、この発明の実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【００７９】
例えば、上述の実施形態において挙げた数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１および６に記載の発明によれば、カバーシートの貼りズレを検出する工程における人件費を低減し、かつ、人為的な検出ミスを回避することができる。また、設備費用の上昇を招くことなく、かつ、カバーシートの貼りズレ検出に要する時間を短縮することができる。
【００８１】
また、請求項２および７に記載の発明によれば、光ディスクの貼りズレを検出するとともに、光ディスクの異常欠陥および初期化不良欠陥を検出することができる。したがって、光ディスクの信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施形態によるカバーシート貼りズレ検査装置の構成の一例を示す側面図である。
【図２】この発明の第１の実施形態による光ディスクの構成を示す正面図である。
【図３】この発明の第１の実施形態による照射部から光ディスクに照射されるレーザ光の経路を示す略線図である。
【図４】この発明の第１の実施形態による照射部の構成の一例を示す側面図である。
【図５】この発明の第１の実施形態によるカバーシート貼りズレ検出回路の構成の一例を示すブロック図である。
【図６】この発明の第１の実施形態による全光量信号生成回路および位置信号生成回路の構成の一例を示すブロック図である。
【図７】この発明の第１の実施形態によるカバーシート検出回路から出力された位置信号および全光量信号の波形を示す略線図である。
【図８】この発明の第１の実施形態によるカバーシート検出回路から出力された位置信号および全光量信号の波形を示す略線図である。
【図９】この発明の第２の実施形態による反射率不良検出装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図１０】初期化不良部分を有する光ディスクの正面図である。
【図１１】この発明の第２の実施形態によるカバーシート検出回路から出力された全光量信号の波形を示す略線図である。
【図１２】光ディスクの記録あるいは再生時におけるイメージを示す断面図である。
【図１３】カバーシートの貼り合わせ位置を示す光ディスクの正面図である。
【図１４】光ディスクの検査範囲を示す正面図である。
【符号の説明】
１・・・スピンドル、２・・・光照射部、３・・・受光部、４・・・検出回路、１１・・・半導体レンズ、１２，１４・・・シリンドリカルレンズ、１３・・・ミラー、１５・・・ポリゴンミラー、１６・・・コリメータレンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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