(57)【要約】【課題】高分解能電子顕微鏡用演算機能内蔵型ＣＣＤカメラを適用するだけではなく、更なる工夫を加えて、検査対象物の性質を容易かつ確実に判定する。【解決手段】缶１３を振動させつつ、缶１３の表面に光の縞模様を映し、ＣＣＤカメラ１６の撮影周期Ｃ２を缶１３の振動周期Ｃ１の略半分に設定して、缶１３の振動の位相が異なるそれぞれのタイミングで、ＣＣＤカメラ１６により正画像の縞模様と負画像の縞模様を撮影し、これらの縞模様の差を求めているので、この差により缶１３の性質を容易かつ確実に判定することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を振動させる加振ステップと、
検査対象物を照明して、該検査対象物表面に光の縞模様を映す照明ステップと、
検査対象物の振動の位相が異なるそれぞれのタイミングで該検査対象物を撮影し、これらのタイミングで撮影したそれぞれの画像の差を該検査対象物の固有パターンとして求める差分撮影ステップと
を含むことを特徴とする振動パターン可視化方法。
【請求項２】
検査対象物の振動の位相が異なる各タイミングの少なくとも一方は、該振動が振幅のピーク近傍にあるときのタイミングであることを特徴とする請求項１に記載の振動パターン可視化方法。
【請求項３】
検査対象物を振動させる加振手段と、
検査対象物を照明して、該検査対象表面に光の縞模様を映す照明手段と、
検査対象物の振動の位相が異なるそれぞれのタイミングで該検査対象物を撮影し、これらのタイミングで撮影したそれぞれの画像の差を出力する撮像手段とを備え、
撮像手段から出力された各画像の差に基づいて、検査対象物を検査することを特徴とする振動パターン可視化方法を用いた検査装置。
【請求項４】
撮像手段から出力された各画像の差を表示する表示手段を備えることを特徴とする請求項３に記載の振動パターン可視化方法を用いた検査装置。
【請求項５】
撮像手段から出力された各画像の差を画像処理することにより、検査対象物を検査する検査手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の振動パターン可視化方法を用いた検査装置。
【請求項６】
撮像手段は、
画素に対応する受光素子と、検査対象物の振動の位相が異なるそれぞれのタイミングで該受光素子に蓄積されたそれぞれの信号電荷を一時的に蓄積保持する電荷転送ゲートと、電荷転送ゲートから出力された該各信号電荷を転送するシフトレジスタと、シフトレジスタから出力された該各信号電荷の差を求めて出力する演算部とを備えることを特徴とする請求項３に記載の振動パターン可視化方法を用いた検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象物の検査に好適な振動パターン可視化方法およびそれを用いた検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、缶や容器等の検査対象物を検査する場合は、外観を目視により検査したり、検査対象物を叩いたときの音を聞いて、検査対象物の良否を判断していた。ところが、この様な検査方法は、人の判断に頼るものなので熟練を要し、また検査規準の均一化が困難であった。
【０００３】
また、ビデオカメラにより検査対象物を撮影し、その画像を画像処理することにより検査対象物の外観を検査していた。ところが、ビデオカメラにより撮影された画像に基づいて、検査対象物の外観を検査することができても、検査対象物の性質を検査することは困難であった。例えば、叩かれ振動している検査対象物をビデオカメラにより撮影し、その画像を画像処理しても、この画像から検査対象物の性質を抽出することが困難であった。これは、ビデオカメラの撮影周期が１／３０秒であって、この撮影周期よりも検査対象物の振動周期がかなり短いことが多いため、１／３０秒毎に撮影された各画像のいずれにおいても、検査対象物が少なくとも１周期分振動し、該各画像のいずれを比較しても、振動による検査対象物の変化が殆ど現れないからである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年になって、高分解能電子顕微鏡用演算機能内蔵型ＣＣＤカメラが提供されている。このＣＣＤカメラは、１／３０秒以内に少なくとも２枚の画像を撮影し、各画像の差を出力するというものである。従って、このＣＣＤカメラによって、例えば１／３０秒程度の周期で振動する検査対象物を撮影して、１／３０秒間に撮影した２枚の画像の差を求めれば、各画像の差に検査対象物の性質を見出すことが可能である（特許第２８８４０７７号公報、及びケミカルエンジニヤリングＶｏｌ．４７，Ｎｏ．４（２００２）の「高分解能電子顕微鏡用演算機能内蔵型ＣＣＤカメラ」等を参照）。
【０００５】
しかしながら、このＣＣＤカメラによって検査対象物を単に撮影するだけでは、各画像の差が顕著に現れないことがあり、検査対象物の性質を判定することが容易ではなかった。
【０００６】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、高分解能電子顕微鏡用演算機能内蔵型ＣＣＤカメラを適用するだけではなく、更なる工夫を加えて、検査対象物の性質を容易かつ確実に判定することを可能にした振動パターン可視化方法およびそれを用いた検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の振動パターン可視化方法は、検査対象物を振動させる加振ステップと、検査対象物を照明して、該検査対象物表面に光の縞模様を映す照明ステップと、検査対象物の振動の位相が異なるそれぞれのタイミングで該検査対象物を撮影し、これらのタイミングで撮影したそれぞれの画像の差を該検査対象物の固有パターンとして求める差分撮影ステップとを含んでいる。
【０００８】
この様な本発明の方法によれば、検査対象物表面に光の縞模様を映しておき、その上で検査対象物の振動の位相が異なる各タイミングで撮影したそれぞれの画像の差を検査対象物の固有パターンとして求めている。これらのタイミングでは、検査対象物の振動の位相が異なるため、検査対象物の状態が異なり、検査対象物表面の光の縞模様が変化する。従って、各タイミングで撮影したそれぞれの画像の差は、該各タイミングでの光の縞模様の差となる。この光の縞模様の差は、画像上で把握し易く、また画像処理によっても容易に抽出することができる。このため、振動による検査対象物の変化、つまり検査対象物の性質を容易かつ確実に判定することが可能となる。
【０００９】
また、本発明においては、検査対象物の振動の位相が異なる各タイミングの少なくとも一方は、該振動が振幅のピーク近傍にあるときのタイミングである。
【００１０】
振動が振幅のピーク近傍にあるときには、検査対象物の変化の程度が最も大きくなる。従って、振幅のピーク近傍にあるときのタイミングで画像を撮影すれば、この画像と他のタイミングで撮影した画像との差が明確に表われ易い。
【００１１】
次に、本発明の振動パターン可視化方法を用いた検査装置は、検査対象物を振動させる加振手段と、検査対象物を照明して、該検査対象表面に光の縞模様を映す照明手段と、検査対象物の振動の位相が異なるそれぞれのタイミングで該検査対象物を撮影し、これらのタイミングで撮影したそれぞれの画像の差を出力する撮像手段とを備え、撮像手段から出力された各画像の差に基づいて、検査対象物を検査している。
【００１２】
この様な本発明の装置でも、検査対象物の振動の位相が異なる各タイミングで撮影したそれぞれの画像の差は、該各タイミングでの光の縞模様の差となって現れる。この光の縞模様の差は、画像上で把握し易く、また画像処理によっても容易に抽出することができるため、検査対象物の性質を容易かつ確実に判定することが可能となる。
【００１３】
また、本発明においては、撮像手段から出力された各画像の差を表示する表示手段を備えている。
【００１４】
この様に各画像の差を表示すれば、光の縞模様の差を画像上で見て把握し、検査対象物の性質を判断することができる。
【００１５】
更に、本発明においては、撮像手段から出力された各画像の差を画像処理することにより、検査対象物を検査する検査手段を更に備えている。
【００１６】
ここでは。各画像の差を画像処理することにより、例えば光の縞模様の差を数値化して、検査対象物を検査する。
【００１７】
また、本発明においては、撮像手段は、画素に対応する受光素子と、検査対象物の振動の位相が異なるそれぞれのタイミングで該受光素子に蓄積されたそれぞれの信号電荷を一時的に蓄積保持する電荷転送ゲートと、電荷転送ゲートから出力された該各信号電荷を転送するシフトレジスタと、シフトレジスタから出力された該各信号電荷の差を求めて出力する演算部とを備えている。
【００１８】
この様な撮像手段は、特許第２８８４０７７号公報、及びケミカルエンジニヤリングＶｏｌ．４７，Ｎｏ．４（２００２）の「高分解能電子顕微鏡用演算機能内蔵型ＣＣＤカメラ」等に開示されたものであり、１／３０秒以内の短い周期で少なくとも２枚の画像を撮影し、２枚の画像の差を出力する。従って、この撮像手段の適用により、本発明の装置の実現が可能になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
図１は、本発明の振動パターン可視化方法を用いた検査装置の一実施形態を示すブロック図である。本実施形態の検査装置１１は、ベルトコンベア１２により搬送される缶１３を検査するものであり、缶１３を照明する照明装置１４、缶１３を振動させる加振装置１５、缶１３を撮影するＣＣＤカメラ１６、及びＣＣＤカメラ１６の出力に基づいて缶１３の良否を判別する判別器１７を備えている。
【００２１】
照明装置１４は、缶１３を照明し、缶１３の表面に光の縞模様を映し出す。照明装置１４は、例えば図２に示す様に光源２１、格子模様を有するフィルター２２、及びレンズ２３を備えており、光源２１の光をフィルター２２を介して缶１３に照射し、フィルター２２の格子模様をレンズ２３により缶１３の表面に結像させて、缶１３の表面に光の縞模様を映し出す。フィルター２２の代わりに、液晶表示パネルを適用し、この液晶表示パネルに格子模様を表示させても良い。この場合は、液晶表示パネルを駆動制御することにより、格子模様の巾や間隔等を随時調節することが可能になる。
【００２２】
また、照明装置１４は、図３に示す様に波面の揃ったレーザ光をプリズム２４によって屈折させてから缶１３に照射し、これにより缶１３の表面に光の干渉縞を映し出すものであっても良い。プリズム２４の代わりに、ミラーを用いても構わない。この場合は、ミラーの向きを変更することにより、光の縞模様の間隔や方向を調節することが可能になる。
【００２３】
加振装置１５は、例えば図４に示す様な振動板２５をバネ（図示せず）上に載せたものである。この振動板２５に缶１３を置き、振動板２５に外力を加えて、振動板２５を振動させ、この振動を缶１３に伝達して、缶１３も振動させる。バネの代わりに、振動板２５をスピーカ（図示せず）上に載せ、このスピーカを駆動することにより振動板２５を振動させ、この振動を缶１３に伝達しても良い。また、周知のバイブレータにより振動板２５を振動させ、この振動を缶１３に伝達しても構わない。更に、缶１３が磁性体である場合は、電磁力によって缶１３を直接振動させても良い。いずれの方法を用いるにしても、缶１３の共振周波数近傍で該缶１３を大振幅で振動させる。これにより、缶１３に性質に応じた振動状態が発生し易くなる。
【００２４】
ＣＣＤカメラ１６は、特許第２８８４０７７号公報、及びケミカルエンジニヤリングＶｏｌ．４７，Ｎｏ．４（２００２）の「高分解能電子顕微鏡用演算機能内蔵型ＣＣＤカメラ」等に開示されたものである。このＣＣＤカメラ１６は、図５に示す様に感光部３１、蓄積部３２、同期スイッチ３３、正側ラインバッファ３４、負側ラインバッファ３５、及び差動出力アンプ３６を備えている。感光部３１は、各受光素子３１ａを水平方向及び垂直方向に配列し、垂直方向のライン毎に、各受光素子３１ａをそれぞれの電荷転送ゲート３１ｂを介して垂直転送ＣＣＤ３１ｃに接続したものである。蓄積部３２は、感光部３１の各垂直転送ＣＣＤ３１ｃにそれぞれの垂直転送ＣＣＤ３２ａを接続し、各垂直転送ＣＣＤ３２ａを水平転送ＣＣＤ３２ｂに接続したものである。同期スイッチ３３は、水平転送ＣＣＤ３２ｂを正側ラインバッファ３４及び負側ラインバッファ３５に交互に切り換え接続する。差動出力アンプ３６は、正側ラインバッファ３４の出力と負側ラインバッファ３５の出力を入力し、該各出力の差を出力する。
【００２５】
このＣＣＤカメラ１６では、例えば１／３０秒間に８回の撮影という多重露光を行なっており、該各撮影の度に、水平方向及び垂直方向に配列された各受光素子３１ａの受光出力（信号電荷）を各垂直転送ＣＣＤ３１ｃに転送している。このとき、１／３０秒間の奇数番目の各撮影の度に、各受光素子３１ａの信号電荷を転送して各垂直転送ＣＣＤ３１ｃ上で積分することにより、正画像を示す各信号電荷を生成し、また１／３０秒間の偶数番目の各撮影の度に、各受光素子３１ａの信号電荷を転送して各垂直転送ＣＣＤ３１ｃ上で積分することにより、負画像を示す各信号電荷を生成している。そして、１／３０秒毎に全ての信号電荷を各垂直転送ＣＣＤ３１ｃから水平転送ＣＣＤ３２ｂへと転送し、正画像を示す各信号電荷及び負画像を示す各信号電荷を正側ラインバッファ３４及び負側ラインバッファ３５に振り分け、正側ラインバッファ３４と負側ラインバッファ３５の出力差、つまり正画像と負画像の差を差動出力アンプ３６から出力している。
【００２６】
１つの受光素子３１ａに着目すると、１／２４０秒の撮影の度に信号電荷が受光素子３１ａから垂直転送ＣＣＤ３１ｃへと転送される。そして、図６のタイミングチャートに示す様に１／３０秒間で、正画像の画素を示す奇数番目の各信号電荷及び負画像の画素を示す偶数番目の各信号電荷が受光素子３１ａから垂直転送ＣＣＤ３１ｃへと交互に転送される。ここで、正画像の画素を示す１番目の信号電荷が受光素子３１ａから垂直転送ＣＣＤ３１ｃに転送されると、垂直転送ＣＣＤ３１ｃの信号電荷が例えば上方向にシフトされ、次に負画像の画素を示す２番目の信号電荷が受光素子３１ａから垂直転送ＣＣＤ３１ｃに転送される。引き続いて、垂直転送ＣＣＤ３１ｃの信号電荷が下方向にシフトされ、次に正画像の画素を示す３番目の信号電荷が転送されて垂直転送ＣＣＤ３１ｃ上で先の１番目の信号電荷に積分される。更に、垂直転送ＣＣＤ３１ｃの信号電荷が上方向に再びシフトされ、次に負画像の画素を示す４番目の信号電荷が転送されて垂直転送ＣＣＤ３１ｃ上で先の３番目の信号電荷に積分される。以降同様の動作を繰り返す。すなわち、受光素子３１ａからの信号電荷の出力に同期して、垂直転送ＣＣＤ３１ｃの信号電荷を上下方向に往復移動させることにより、正画像の画素を示す奇数番目の各信号電荷を垂直転送ＣＣＤ３１ｃ上で積分し、かつ負画像の画素を示す偶数番目の各信号電荷を垂直転送ＣＣＤ３１ｃ上で積分している。
【００２７】
こうして１／３０秒間で正画像の画素を示す４つの信号電荷が垂直転送ＣＣＤ３１ｃ上で積分され、かつ負画像の画素を示す４つの信号電荷が垂直転送ＣＣＤ３１ｃ上で積分され後に、正画像の画素を示す信号電荷が正側ラインバッファ３４に転送され、負画像の画素を示す信号電荷が負側ラインバッファ３５に転送され、該各信号電荷が正側ラインバッファ３４及び負側ラインバッファ３５から差動出力アンプ３６に出力され、差動出力アンプ３６から該各信号電荷の差が出力される。
【００２８】
各受光素子３１ａのいずれについても、正画像の画素を示す信号電荷及び負画像の画素を示す信号電荷が正側ラインバッファ３４及び負側ラインバッファ３５に転送され、該各信号電荷の差が差動出力アンプ３６から出力される。そして、１／３０秒毎に、正画像と負画像の差が差動出力アンプ３６から出力される。
【００２９】
尚、ＣＣＤカメラ１６の撮影周期は、１／２４０秒だけに限らず、１／６０秒、１／１２０秒、１／４８０秒、１／９６０秒等に設定することができる。
【００３０】
一般的なビデオカメラ用のＣＣＤの場合は、図７のタイミングチャートに示す様に撮影周期が１／３０秒であるため、正画像と負画像の差を２／３０秒という長い周期で求めることになる。また、ＣＣＤの出力をパーソナルコンピュータ等に一旦入力して、画像処理を施すことにより正画像と負画像の差を求めることになるので、撮影時点から正画像と負画像の差を得るまでに長時間を要する。
【００３１】
さて、この様な構成の検査装置１１においては、缶１３をベルトコンベア１２により加振装置１５の振動板２５へと搬送し、缶１３を振動板２５上に載せて、缶１３を振動させつつ、照明装置１４により缶１３の表面に光の縞模様を映す。そして、例えば缶１３を略１／６０秒の周期で振動させているならば、１／１２０秒毎にＣＣＤカメラ１６による撮影を行い、１／３０秒毎に正画像の縞模様と負画像の縞模様の差を求める。
【００３２】
このとき、加振装置１５の振動周期の位相とＣＣＤカメラ１６の撮影周期Ｃ２の位相を適宜に制御して、図８のタイミングチャートに示す様に缶１３の振動周期Ｃ１とＣＣＤカメラ１６の撮影周期Ｃ２を略同期させる。ここでは、振動周期Ｃ１と撮影周期Ｃ２を比較すると明らかな様に、缶１３の振動が振幅のピーク近傍にあるときに缶１３表面の縞模様が撮影されて、この縞模様が正画像となり、更に１８０度位相がずれた振幅のピーク近傍にあるときに缶１３表面の縞模様が撮影されて、この縞模様が負画像となる。従って、缶１３が異なる各状態にあるときのそれぞれの縞模様が正画像及び負画像となる。例えば、正画像の撮影タイミングでは、図９に示す様に缶１３の表面Ａが平らであり、缶１３の表面Ａの縞模様が図１０（ａ）に示す様なものとなり、また負画像の撮影タイミングでは、図９に示す様に缶１３の表面Ｂが膨らみ、缶１３の表面Ｂの縞模様が図１０（ｂ）に示す様なものとなる。この場合、正画像が図１０（ａ）に示す縞模様となり、負画像が図１０（ｂ）に示す縞模様となる。そして、図１０（ｂ）の縞模様の白黒を反転させると、図１０（ｃ）に示す縞模様となるので、図１０（ａ）の正画像と図１０（ｂ）の負画像の差が図１０（ａ）の縞模様と図１０（ｃ）の縞模様の和に等しく、この和が図１０（ｄ）に示す様な模様となる。
【００３３】
尚、多重露光の途中で缶１３の振動が減衰し、正画像の縞模様と負画像の縞模様が一致しても、このときには該各縞模様が相殺されるため、正画像の縞模様と負画像の縞模様の最大差が求められる。
【００３４】
ＣＣＤカメラ１６の差動出力アンプ３６は、図１０（ｄ）に示す様な縞模様の白レベルを正電位で出力し、黒レベルを負電位で出力し、中間レベルを０電位で出力する。判別器１７は、図１０（ｄ）の模様を見易くするために、例えば差動出力アンプ３６の出力に対して絶対値処理を施して、図１０（ｅ）に示す様な模様を求め、更に縮小及び膨張を繰り返すという画像処理を施す。そして、判別器１７は、画像処理により得られた模様に基づいて、缶１３の良否を判別する。
【００３５】
図１１は、判別器１７による処理過程を示すフローチャートである。
【００３６】
まず、判別器１７は、正画像の縞模様と負画像の縞模様の差を示す画像を入力すると、この画像について、絶対値処理を施したり（白の模様を黒の模様に変換したり）、縮小及び膨張を繰り返すという画像処理を施す（ステップＳ１０１）。そして、判別器１７は、この画像処理により得られた模様における円の数を計数する（ステップＳ１０２）。
【００３７】
例えば、缶１３が良品である場合は、画像処理により図１０（ｅ）の模様が得られ、この模様における円の数が１となる。
【００３８】
また、缶１３が不良品である場合は、画像処理により例えば図１２に示す様な模様が得られ、この模様における円の数が２となる。あるいは、画像処理により得られた模様における円の数が０となる。
【００３９】
尚、円の数は、図１３に示す様に画像上のラインＬと交差する円弧の数を計数し、この計数値を２で割ることにより求められる。
【００４０】
従って、判別器１７は、模様における円の数が１であれば（ステップＳ１０３で「Ｙｅｓ」）、缶１３が良品であると判定し（ステップＳ１０４）、また模様における円の数が１でなければ（ステップＳ１０３で「Ｎｏ」）、缶１３が不良品であると判定する（ステップＳ１０５）。
【００４１】
こうして判定を行なった後に、缶１３をベルトコンベア１２により更に搬送し、良品と不良品を振り分ける。
【００４２】
この様に本実施形態の検査装置１１では、缶１３を振動させつつ、缶１３の表面に光の縞模様を映し、ＣＣＤカメラ１６の撮影周期Ｃ２を缶１３の振動周期Ｃ１の略半分に設定して、缶１３の振動の位相が異なるそれぞれのタイミングで、ＣＣＤカメラ１６により正画像の縞模様と負画像の縞模様を撮影し、これらの縞模様の差を求めているので、この差により缶１３の性質を容易かつ確実に判定することができる。
【００４３】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、多様に変形することができる。例えば、缶を１個ずつ順次検査しているが、複数個の缶を一度に検査しても構わない。仮に、１／３０秒毎に、４個の缶を検査するならば、毎秒１００個の缶を検査することができる。また、缶を検査対象物として例示しているが、振動させ得るものであれば、他の種類のものであっても、あるいは検査対象物のくぼみ、ピンホール、ひずみであっても検査することができ、固体に限らず、液体や気体であっても検査対象物となり得る。更に、正画像の縞模様と負画像の縞模様の差を表示装置の画面に表示し、人が画面上の該各縞模様の差を見て、検査対象物の良否を判断しても良い
【００４４】
【発明の効果】
以上説明した様に本発明の方法によれば、検査対象物表面に光の縞模様を映しておき、その上で検査対象物の振動の位相が異なる各タイミングで検査対象物を撮影している。これらのタイミングで撮影したそれぞれの画像の差は、各タイミングでの光の縞模様の差となる。この光の縞模様の差は、画像上で把握し易く、また画像処理によっても容易に抽出することができる。このため、振動による検査対象物の変化、つまり検査対象物の性質を容易かつ確実に判定することが可能となる。
【００４５】
また、振動が振幅のピーク近傍にあるときには、検査対象物の変化の程度が最も大きくなることから、振幅のピーク近傍にあるときのタイミングで画像を撮影している。これにより、この画像と他のタイミングで撮影した画像との差が明確に表われ易くなる。
【００４６】
更に、各画像の差を表示しているので、光の縞模様の差を画像上で見て把握し、検査対象物の性質を判断することができる。あるいは、各画像の差を画像処理することにより、例えば光の縞模様の差を数値化して、検査対象物を検査している。
【００４７】
また、撮像手段として、特許第２８８４０７７号公報、及びケミカルエンジニヤリングＶｏｌ．４７，Ｎｏ．４（２００２）の「高分解能電子顕微鏡用演算機能内蔵型ＣＣＤカメラ」等に開示されたものを適用しているので、パーソナルコンピュータ等による格別な画像処理を必要とせず、リアルタイムでの検査が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の振動パターン可視化方法を用いた検査装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１の検査装置における照明装置の一例を概略的に示す図である。
【図３】図１の検査装置における照明装置の他の例を概略的に示す図である。
【図４】図１の検査装置における加振装置の一例を概略的に示す図である。
【図５】図１の検査装置におけるＣＣＤカメラを概略的に示す図である。
【図６】図５のＣＣＤカメラにおける受光素子の出力を示すタイミングチャートである。
【図７】一般的なビデオカメラ用のＣＣＤにおける受光素子の出力を示すタイミングチャートである。
【図８】図１の検査装置における缶の振動周期とＣＣＤカメラの撮影周期を示すタイミングチャートである。
【図９】（ａ）及び（ｂ）は振動している缶表面の変化を示す図である。
【図１０】（ａ）及び（ｂ）は振動している缶表面の縞模様の変化を示す図であり、（ｃ）は（ｂ）の縞模様の白黒を反転させて示す図であり、（ｄ）は（ａ）と（ｃ）の和を示す図であり、（ｅ）は（ｄ）を処理した結果を示す図である。
【図１１】図１の検査装置における判別器の処理過程を示すフローチャートである。
【図１２】図１の検査装置により得られた画像の一例を示す図である。
【図１３】図１の検査装置における判別器の処理を説明するために用いた図である。
【符号の説明】
１１　　検査装置
１２　　ベルトコンベア
１３　　缶
１４　　照明装置
１５　　加振装置
１６　　ＣＣＤカメラ
１７　　判別器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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