(57)【要約】【課題】  繰り返し使用によるスクリーンマスクのテンションの低減を、構造の複雑化を招かず簡易な操作で適正値に保持できるようにし、印刷精度を高めるとともに、スクリーンマスクの寿命の延長を図る。【解決手段】  マスク枠２を構成する枠辺部３、４を外方に弾性変形させ、張り付けられたスクリーンマスク７のテンションを調節できる印刷用マスク１を用いる。その調節は、マスク枠２を構成する対向する枠辺部３、４の間に、突っ張り状にねじ部材９を配置し、調節用のナット１６の回転により枠辺部３、４相互の間隔を広げることによる。スクリーンマスク７のテンションが低減したときは、調節用のナット１６を適量回転し、マスク中央部の小さくなった印刷パターン部分Ｐを枠ごと引き伸ばして、テンションを適正値に保持する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して被印刷物にスクリーン印刷する方法において、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項２】
前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置したことを特徴とする、請求項１に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項３】
マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートに、配線層等の形成のためのメタライズインクをスクリーン印刷するにあたり、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする、セラミック製配線基板の製造方法。
【請求項４】
前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置したことを特徴とする、請求項３に記載のセラミック製配線基板の製造方法。
【請求項５】
マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクにおいて、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項６】
前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置したことを特徴とする、請求項５に記載のスクリーン印刷用マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷方法及びセラミック製配線基板の製造方法、並びにこれらの方法に使用するスクリーン印刷用マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック製配線基板は、配線層形成用に、タングステン等の高融点金属からなるメタライズインク（メタライズペーストともいわれる）が印刷されたセラミックグリーンシートを積層、圧着して、焼成することで形成される。この場合、セラミックグリーンシートは、一度に多数の配線基板が得られる大きさを有するものが使用され、焼成後に各配線基板単位に分割されるのが普通である。ところで、このようなセラミックグリーンシートへのメタライズインク（以下、単にインクとも言う）の印刷は、従来よりスクリーン印刷法にて行われている。スクリーン印刷では、図８に示したように、平坦な印刷台１００の上に被印刷物たるセラミックグリーンシート（以下、グリーンシートとも言う）Ｇを位置決めして載置し、その上に、スクリーンマスク（版）７が張り付けられたマスク枠２を位置決めして重ねる。そして、スクリーンマスク７上にのせたインク１０５をスキージ１０６でかき、或いは、押付けるようにし、グリーンシートＧの表面にインクを転移し、所定のパターンの印刷を行っている。
【０００３】
図９は、このようなスクリーン印刷に使用される、スクリーン印刷用マスク１０１の平面図である。図８及び図９に示したように、スクリーンマスク７は、平面視、矩形をなすマスク枠２の下面に張りつけられている。このマスク枠（以下、単に枠とも言う）２は、通常、４角形の枠をなすように、断面四角の枠辺部３〜６によりフレーム（額縁）状に形成され、スクリーンマスク７はその枠の下面に、所定のテンションを保持した状態で張り付けられる。なお、マスク枠２は例えばアルミダイキャストなどの金属からなる一体成形品か、枠辺部を組付けた組立て構造のものとされるのが普通である。一方、スクリーンマスク（以下、単にマスクとも言う）７は、例えばステンレス合金製の薄板を素材として形成され、詳しくは図示しないが、枠を下面から包むように、端縁部を枠辺部３〜６に沿って巻き付けるようにして固定され、枠２に張り付けられる。なお、マスク７には、所望とする印刷パターンが得られるように、その中央に印刷パターン部分（図中２点鎖線で示された領域）Ｐが形成され、そこには多数の印刷用の開口が存在するように、メッシュ状に形成され、又は微小孔群が形成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このようなスクリーン印刷用マスク１０１を使用して、インク１０５を印刷する際には、スキージ１０６で、マスク７を下に押さえつけるようにしてインクをかくことから、その印刷過程においてマスク７には強い引張り力が作用する。このため、このような印刷を繰り返すことにより、スクリーンマスク７はとくにその中央の印刷パターン部分Ｐが微小ではあるが伸びてしまい、張り付け時のテンションが低減してしまう。このようなマスク７のテンションの低減（マスクの伸び）があると、自由状態ではそのテンションの減少に起因して、スクリーンマスク７における印刷パターン部分Ｐ、つまり無数の微小開口群が微妙に縮むことになる。この結果、印刷パターンが微妙に小さくなってしまったり、印刷位置に誤差がでるなど、印刷精度が低下してしまうことになる。
【０００５】
このため、このようなスクリーン印刷で、精度の要求される印刷をする場合には、繰返し印刷によるスクリーンマスク７の伸びが例え僅かでも一定量以上となると、マスクの寿命としてマスクの交換をして、印刷精度の維持を図っていた。したがって、このような印刷方法で印刷精度を高く保持するには、マスクの交換を頻繁に行う必要がある。このため、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへの配線層等のためのメタライズインクの印刷のように、極めて高い印刷精度が要求されるものでは、製造効率の低下や製造コストの増大を招いているなど、その問題が大きかった。
【０００６】
本発明は、こうした問題点に鑑みてなされたもので、その目的は次のようである。すなわち、繰り返し使用によるスクリーンマスクの微小な伸びに起因する印刷精度の低下の原因となっている、そのテンションを、簡易な機構で操作で適正値に保持できるようにし、もって印刷精度を高めるとともに、スクリーンマスクの寿命の延長を図ることのできる技術を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するため、請求項１記載の発明は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して被印刷物にスクリーン印刷する方法において、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする。
【０００８】
本発明では、スクリーンマスクの伸びに応じて、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段により、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節できるスクリーン印刷用マスクを使用するものである。このため、スクリーン印刷用マスクについてはその構造の複雑化を招くことなく、しかも簡易な操作によりその調節を適宜に行うことで、同じスクリーンマスクでありながら、精度の高い印刷を繰返し行うことができる。
【０００９】
前記スクリーンマスクのテンション調節手段は、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて、該マスク枠の対向する枠辺部相互の間隔を広げるように、公知の各種のねじ機構にて具体化すればよい。
【００１０】
ただし、請求項１に記載のスクリーン印刷方法では、請求項２に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて、複数配置するとよい。テンション調節手段は、とくに、スクリーンマスクの両側縁寄り部位に略対称に配置するとよい。
【００１１】
そして、請求項３に記載のセラミック製配線基板の製造方法は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートに、配線層等の形成のためのメタライズインクをスクリーン印刷するにあたり、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする。
【００１２】
請求項１又は２に記載のスクリーン印刷方法は、その被印刷物のいかんに係らず適用できる。しかし、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへのメタライズインクの印刷においては、とくに微小な印刷誤差が問題となることから、請求項３に記載のセラミック製配線基板の製造方法においてはその効果が大きい。
【００１３】
なお、請求項３に記載のセラミック製配線基板の製造方法でも、請求項４に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置するとよい。
【００１４】
また、請求項５に記載の本発明は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクにおいて、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなることを特徴とする。
【００１５】
本発明では、スクリーンマスクの伸びに応じて、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段により、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させ、対向する枠辺部相互の間隔を広げて前記スクリーンマスクのテンションを調節できるため、構造の複雑化を招くことなく、精度の高い印刷を多数回行うことができる。そして、請求項５に記載のスクリーン印刷用マスクにおいても、請求項６に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置するとよい。
【発明の効果】
【００１６】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、スクリーン印刷用マスクの構造の複雑化を招くことなく、しかも簡易な操作によりその調節を適宜に行うことで、同じスクリーンマスクでありながら、精度の高い印刷を繰返し行うことができる。したがって、印刷精度の向上と共に、スクリーンマスクの寿命の延長を図ることができる。このため、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへの配線層等の形成のためのメタライズインクの印刷においては、著しい効果が得られることから、同配線基板のコストの低減が期待される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明のスクリーン印刷用マスクの第１の実施形態について、図１及び図２に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の方法に使用するスクリーン印刷用マスク１の平面図及び要部拡大図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図及び要部拡大図である。このスクリーン印刷用マスク１をなすマスク枠２は、例えば、アルミニウム製で長方形の枠状に形成されており、四辺をなす各枠辺部３〜６は略四角断面をなす棒状体からなっている。また、スクリーンマスク７は、その端縁部７ａを、各枠辺部３〜６の下面（図２下側面）から外側及び上面３ａ、４ａ、５ａ、６ａへと巻くようにして枠２の下面に張り付けられている。そして、枠２の四つの枠辺部３〜６の上面の適所において、スクリーンマスク７の上から端縁部７ａをねじ止めなどによって固定され、マスク枠２において一定のテンションが付与され、緊張状態が保持されている。なお、マスク枠２は、ダイキャストによる一体成形品から所定寸法に加工、形成したものである。また、上記スクリーンマスク７は、上記枠辺部３〜６に接着剤等で固定してもよい。
【００１８】
このようなマスク枠２に対し、本形態ではスクリーンマスク７のテンション調節手段が次のように設けられている。本形態では、枠辺部３〜６のうち、短辺をなす対向する枠辺部３、４の相互の間に、平面視、その短辺の枠辺部３、４の中央を通る垂直線Ｓを挟み、２本の軸体（ＳＵＳ３０４製で例えば外径１０ｍｍで長さ約４００ｍｍの丸棒）９、９が所定の間隔を保持して略対称に平行に配置されている。以下、１本の軸体９を含むテンション調節手段は同じものであるため、そのうちの一方について説明する。なお、２本の軸体９、９の間隔は、スクリーンマスクの中央の印刷パターン部分（図１中の２点鎖線の矩形領域）Ｐを避けてスキージの移動に支障がないように配置されている。
【００１９】
すなわち、本形態では、テンション調節手段に次記するような軸体９が使用されている。この軸体９は、図１、２に示したようにその両端部外周面に一定長さ（例えば３０ｍｍ）のねじ（例えばＭ１０）１０、１０を備えている。なお、本明細書において単に「ねじ」という場合には右ねじをいうものとする。この軸体９は、その図示右側端部が、枠辺部４に設けられたねじ穴１１に所定量ねじ込まれて固定されている。ただし、緩み止めのため、例えばロックナット１２が図示右側の枠辺部４の内側面に締めつけられている。なお、ロックはピン打ちなどによってもよい。一方、この軸体９の図示左側端部は、枠辺部３に設けられたストレート孔１４に隙間嵌め状に通され、図示左側の枠辺部３の内側面に対し、スリップワッシャ１５を介して、テンション調節手段を構成する調節用のナット１６が螺着されている。
【００２０】
つまり、この調節用のナット１６を回転させて図示左方へ螺進してスリップワッシャ１５を介し、枠辺部３の内側面にこの調節用のナット１６を当接させた状態から、さらに回転させて図示左方へ螺進する。すると、対向する左右の枠辺部３、４は、調節用のナット１６及び軸体９によって、軸体９の軸線方向に力を受け、左右の枠辺部３、４の相互の間隔が押し広げられる作用を受ける。これにより、左右の枠辺部３、４は、図１中に２点鎖線で誇張して示したように外方に弾性変形するため、対向する枠辺部相互の間隔が大きくなる。なお、枠辺部３〜６が本形態におけるように同一素材からなり、同じ断面形状、寸法の場合には、左右の各枠辺部３、４の変形量（撓み量）は一定となる。また、調節用のナット１６を逆回転させて図示右へ移動（螺退）すれば、枠辺部が受ける力は減少し、その変形も減少する。そしてその力が０になると変形はなくなり、元の枠形状、寸法に戻る。
【００２１】
このような本形態のスクリーン印刷用マスク１を用いてスクリーン印刷する場合には、次のようである。すなわち、この印刷用マスク１の使用にあたって、当初は調節用のナット１６が利いていない状態としておく。そして、従来と同様に、印刷台の上に載せた被印刷物（例えば配線基板製造用のセラミックグリーンシート）の上に、この印刷用マスク１を位置決めして重ね、その状態の下で、平面視、軸体９、９間に位置するスクリーンマスク７の印刷パターン部分Ｐで、メタライズインクを印刷する。そして、繰り替えし印刷により、例えば、スクリーンマスク７が軸体９の軸方向に伸びて同方向に対するスクリーンマスク７のテンション（張り）が減少し、印刷パターン部分Ｐが所定値以上に縮むようになったら、その縮みに相応する分、２つの軸体９、９における調節用のナット１６を適宜回転させて左へ微量螺進する。こうすることで、枠辺部３、４は外方に安定して弾性変形することから、スクリーンマスク７も同方向に引張られる形となりそのテンション（張り）が強く適正値に保持される。この結果、印刷パターン部分Ｐの寸法精度が保持されるため、被印刷物に対する印刷位置、寸法の精度が保持される。
【００２２】
かくして、スクリーンマスク７のテンションの減少に対応して、ある印刷回数ごとに、調節用のナット１６を回動するだけで、いわばスクリーンマスク７をマスク枠２ごと引き伸ばすことができる構成のため、スクリーン印刷用マスクの構造の複雑化を招くことなく、マスク７のテンションを所定の値に簡易な操作で保持できる。すなわち、繰り返し使用によるスクリーンマスク７の伸びに起因する印刷精度の低下を構造の複雑化を招くことなく防止できる上に、１スクリーンマスクで印刷できる回数を増やすことができるため、印刷コストの低減が図られる。
【００２３】
各枠辺部を外方へ弾性変形させる調節用のナット１６の螺進量は、ねじ１０のピッチと調節用のナット１６の回転数（回転角度）から定まるため、例えばピッチが１ｍｍのねじであり、軸体９の位置での枠辺部３、４相互の間隔の押し広げ量を０．５ｍｍとしたいときは、２つの軸体９における調節用のナット１６を１８０度回転すればよい。このように、調節用のナット１６の回転角又は回転数により、枠辺部相互の間隔を所望量広げることができるため、簡易にスクリーンマスク７のテンションの調節ができる。なお、スクリーンマスク７の伸びは微量であるため、その１回の調節量も、５〜１０μｍ程度の微小であることから、なるべく小さいピッチのねじを選定するのが好ましい。
【００２４】
因みに、セラミックグリーンシートに配線層等のためのメタライズインクを印刷するとき、従来のスクリーン印刷用マスクを使用した場合には、１０００回程度の印刷で、スクリーンマスクの伸びに起因する印刷パターン部分の縮小が問題となり、そのスクリーンマスクの使用ができなくなった。これに対し、本形態のスクリーン印刷用マスクを用いた場合には、１０００回の印刷ごとに、枠辺部３、４相互の間隔を５〜１０μｍ程度づつ広げることで、４０００回程度まで、その印刷回数を増やすことができた。
【００２５】
本発明におけるねじ機構によるスクリーンマスク７のテンション調節手段は、上記の実施形態のものに限定されるものではない。同手段は、マスク枠２を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて、マスク枠２の対向する枠辺部３、４相互の間隔を広げるように、公知の各種のねじ機構を使用できる。
【００２６】
図３は、スクリーン印刷用マスク２１の別の実施形態を示したものであるが、ねじ機構によるスクリーンマスク７のテンション調節手段が前記形態のものと異なるだけであり、その他の構成については異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一箇所には同一の符号を付すに止める。すなわち、対向する図示右側の枠辺部４に前記したのと同様のねじ穴１１を設け、そのねじ穴１１に長寸ボルト２９をねじ込んでおき、先端２９ａが対向する図示左側の枠辺部３の内側面に当接するようにしておく。ただし、長寸ボルト２９の頭部２９ｂ下長さＬは、先端２９ａが枠辺部３の内側面に当接した状態において、図示右側の枠辺部４の外側面と頭部２９ｂとの間に、ロックナット１２を介在させることができるとともに、必要な調節量を見込んだ長さのものを使用する必要がある。テンション調節手段をなす長寸ボルト２９は前記形態と同様に平面視、スクリーンマスク７の略中央に形成された印刷パターン部分Ｐと重ならないように避けて複数、例えば図３における中央水平線Ｓに対称に配置しておくのが好ましい。
【００２７】
このものでは、スクリーンマスク７のテンションが減少したときは、ロックナット１２を緩め、その減少に対応して、適宜にその長寸ボルト２９の頭部（又はその先端部分に設けたハンドル）２９ｂを回動して締めこむようにすればよい。なおこの場合には、長寸ボルト２９の先端２９ａが当接する、図示左側の枠辺部３の内側面部分には、長寸ボルト２９の軸線が変位しないように、例えばその先端２９ａが少し入りこむように凹部を設けておくとよい。なお、ロックナット１２がなくても長寸ボルト２９の緩みがないようなねじを用いる場合には、もちろんロックナットは不要である。
【００２８】
また図４は、スクリーン印刷用マスク７１のさらに別の実施形態を示したものであるが、これについてもスクリーンマスク７のテンション調節手段が異なるだけであり、その他の構成については第１の実施形態と異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一箇所には同一の符号を付すに止める。このものは、対向する図示左側の枠辺部３に図１の右側の枠辺部４に設けたのと同様のねじ穴１１を設けておき、このねじ穴１１に枠辺部３の内側面から、頭部２９ｂの端面中央に凹部２９ｃを設けた調整用の短いボルト２９がねじ込まれている。一方、対向する図示右側の枠辺部４の内側面にも凹部３９ｃが形成されている。そして、その両凹部２９ｃ、３９ｃ間には例えば丸棒（円軸）３９が対向する枠辺部３、４に垂直で突っ張り状に介在されている。この構成により、その調整用のボルト２９を螺退（図示右側に進行）すると、強く突っ張り状となることから、マスク枠２を構成する対向する枠辺部３、４は外方に撓むように弾性変形し、その枠辺部相互の間隔が広げられる。こうして、枠２に張り付けられたスクリーンマスク７のテンションは調節される。なお、この場合においても、要すればロックナット１２を図示２点鎖線で示したように螺着しておけばよい。
【００２９】
図５は、さらに別のスクリーン印刷用マスク４１を示したものであるが、これについてもスクリーンマスク７のテンション調節手段が異なるだけであり、その他の構成については第１の実施形態と異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一部位には同一の符号を付すに止める。このものは次のように構成されている。対向する枠辺部３、４の内側であって、平面視、同枠辺部３、４の各中央を通る直線Ｓと平行な位置に、左右逆ねじをなすナット部材４２、４３が溶接などにより同軸（線）で固定されている。例えば左側の枠辺部３の内側面に右ねじのナット部材４２を溶接などにより固定し、右側の枠辺部４の内側面には同軸で左ねじのナット部材４３を固定しておく。ただし、枠辺部３、４には、各ナット４２、４３の軸と同軸でそれぞれねじ径より大きい貫通穴１４が開けてある。そして、先端部に各ナット部材４２、４３に螺合するねじを有する軸部材４９、５０を用意し、図５に示したように、これらをその各先端のねじを介して各ナット４２、４３に適量螺合する。ただし、左右の両軸部材４９、５０の基端部（図示左右の中央寄り部位）は、両軸部材４９、５０を同時に同方向に回動可能に連結部材５１で連結しておく。例えば、連結部材５１に、その両端に貫通するように、ストレートの連結穴４４を形成しておき、両軸部材４９、５０の基端部をこの連結穴４４に連結部材５１の各端から挿入し、各軸部材４９、５０の先端のねじを各ナット４２、４３に適量螺合する。そして、両軸部材４９、５０の各基端部の半径方向に貫通するように連結部材５１にピン５３を打ち込んで固定する。なお、本形態では、連結部材５１を軸回りに回転させることで両軸部材４９、５０を一緒に回転させることができればよく、したがって、ピンの打ち込みに代えて止めねじで固定してもよい。このように構成しておくことで、その連結部材５１を一方に回動すると、逆ねじ機構により、対向する枠辺部３、４相互間の間隔が離間又は近接するようになるため、スクリーンマスク７のテンションの調節ができる。
【００３０】
なお、上記各形態においては、マスク枠を構成する短辺をなす枠辺部に垂直となる配置で、ねじ軸を有するテンション調節手段を設けた場合を例示したが、本発明における同テンション調節手段はそのようなねじ軸の配置に限定されるものではない。マスクのテンションの低減によっては、マスク枠を構成する長辺をなす枠辺部に垂直となる配置で、ねじ軸を有するテンション調節手段を設けてもよい。
【００３１】
また、本発明における同テンション調節手段は、そのように縦又は横の一方にねじ軸を配置するものに限定されるものではない。前記各形態において、長辺をなす対向する枠辺部の相互間におけるスクリーンマスクの伸びも問題となるとき、つまり、枠の縦横両方の二次元的な伸びが問題となるときは、長辺をなす、対向する枠辺部の相互間にも前記した各形態のテンション調節手段を設ければよい。また、正方形のマスク枠についても同様である。つまり、マスク枠の平面視において、図示はしないが、井桁状（「井」の字の形）になるようにテンション調節手段を配置すればよい。上記した各マスク枠のように平面視矩形のラーメン構造のものでは、短辺をなす対向する枠辺部が外方に撓むと、長辺をなす対向する枠辺部は逆に内方に撓むようになる。このため、この長辺をなす対向する枠辺部の内方への撓みが問題となる場合には、テンション調節手段を井桁状に配置するとよい。
【００３２】
また、マスク枠が平面視、矩形の場合においては、図６に示したスクリーン印刷用マスク５１のように、その四つのコーナー寄り部位に例えば、平面視、傾斜した配置となるように、長寸ボルト５９を配置しておいてもよい。すなわち、四つのコーナーにおいて、１枠辺部のコーナー寄り部位に平面視、例えばθ４５度でねじ穴５１を貫通形成しておき、ここにボルト５９を螺装して、その先端が隣接する枠辺部３、４の内側面に当接するようにしておくのである。このようにしておけば、各ボルト５９のねじ込みにより、短辺をなす枠辺部３、４相互間と、長辺をなす枠辺部５、６相互間との両方の間隔を拡大調節できるため、スクリーンマスク７の縦横両方の二次元的な伸びに対応できる。なお、ボルト５９の先端が当接する枠辺部３、４の内側面には凹部５９ｃを設けておき、その凹部５９ｃにボルト５９の先端が入り込む様にしておくと、その先端が逃げないことから好ましい。図中、１２はロックナットである。なお、ロックナット１２の安定のため、ねじ穴５１の外側には、ボルト５９の軸に垂直となるロックナット１２の着座面を備えた凸部５９ｄを設けておくとよい。
【００３３】
上記したスクリーン印刷用マスクの各実施形態においては、スクリーンマスクのテンション調節手段をマスク枠の内側に配置して枠辺部を外方に押し広げるようにしたが、このスクリーンマスクのテンション調節手段は、マスク枠の外側に配置し、枠辺部を外方に引き広げるようにすることもできる。
【００３４】
図７はそのように具体化したスクリーン印刷用マスク６１の実施形態を示したものである。すなわち、このスクリーン印刷用マスク６１では、マスク枠２の外側に、間隔を保持してマスク枠２より高強度の外枠６２を配置して二重枠構造としたものである。ただし、マスク枠２の短辺をなす対向する枠辺部３、４のそれぞれの外側面に、先端寄り部位にねじが形成された軸体６９を、そのねじが先端側に位置するようにして基端側（マスク枠２側）をねじ込み或いは溶接などで固定している。ただし、本形態では軸体６９を、左右の枠辺部３、４において、その外側面に垂直に２本づつ固定している。そして、外枠６２にはその軸体６９の先端寄り部位が貫通するストレート孔６４が貫設され、このストレート孔６４から軸体６９の先端寄り部位が突出されるように配置され、軸体６９の先端寄り部位のねじにそれぞれ調節用のナット６６が螺着されている。
【００３５】
しかして、例えば左側の２つの調節用のナット６６を締めつけることで、マスク枠２の短辺をなす枠辺部３、４を外方に撓むように弾性変形させることができる。これにより、図１の実施形態のものと同様に、スクリーンマスク７の伸び（テンションの低減）に起因する印刷パターン部分Ｐの縮小を解消できる。なお、このように二重枠構造とする場合において、その外枠６２は、実質的に変形しないように、内枠をなすマスク枠２に比べてできるだけ高強度（高剛性）の断面形状、寸法のものとするのが好ましい。なお、このような、いわばマスク枠２の外側からマスク枠をなす枠辺部を引き広げる場合においても、長辺をなす枠辺部５、６の相互間にも同様のスクリーンマスクのテンション調節手段を設けることができる。
【００３６】
本発明における、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段は、枠辺部の内側に配置するものでは、ナット又は軸体などに形成したねじ、又はボルトをその軸線回りに回転することで、対向する枠辺部の相互の間隔が突っ張り状になるように構成された、各種の公知のねじ機構を使用することができる。また、枠（枠辺部）の外側に配置するものでは、ナット又は軸体などに形成したねじをその軸線回りに相対的に回転することで、対向する枠辺部の相互の間隔が外側から引き広げられるようになる、公知のねじ機構を使用することができる。
【００３７】
このように、本発明におけるスクリーン印刷用マスクは、上記した実施形態のものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、適宜、設計変更して具体化できる。また、スクリーン印刷用マスクは、通常は平面視略四角のマスク枠をベースに形成されるが、四角と言えないような多角形のマスク枠においても本発明は具体化できる。なお、本発明のスクリーン印刷用マスクを用いるスクリーン印刷方法は、セラミックグリーンシートに限られることなく、各種の被印刷物に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明のスクリーン印刷用マスクの第１の実施形態を示した平面図、及び要部拡大図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図、及び要部拡大図。
【図３】スクリーンマスクのテンション調節手段の別形態を示した平面図、及び要部拡大図。
【図４】スクリーンマスクのテンション調節手段のさらに別形態を示した平面図、及び要部拡大図。
【図５】スクリーンマスクのテンション調節手段のさらに別形態を示した平面図、及び要部拡大図。
【図６】スクリーンマスクのテンション調節手段のさらに別形態を示した平面図。
【図７】スクリーンマスクのテンション調節手段のさらに別形態を示した平面図。
【図８】従来のスクリーン印刷を説明する概念図。
【図９】従来のスクリーン印刷に使用しているスクリーン印刷用マスクの平面図。
【符号の説明】
【００３９】
１、２１、３１、４１、５１、６１  スクリーン印刷用マスク
２  マスク枠
３、４、５、６  枠辺部
７  スクリーンマスク
Ｐ  印刷パターン部分
Ｇ  グリーンシート（被印刷物）
【図１】
2004243775.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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