(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドに対するキャッピング吸引動作を迅速に行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドに密着し得るキャップ８７と、キャップ８７での吸引力を発生するエジェクタ６０とを備え、キャップ８７を介して液滴吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を実行可能な液滴吐出装置であって、キャッピング吸引動作中に液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に増大するように制御する吸引力制御手段７を設けたことを特徴とする。【選択図】図１７
2004243251.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに対応して設けられたキャップと、前記キャップでの吸引力を発生する吸引力発生手段とを備え、前記液滴吐出ヘッドに前記キャップを接触または近接させた状態で前記吸引力発生手段を作動し、その吸引力により前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を実行可能な液滴吐出装置であって、
前記キャッピング吸引動作中に前記液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に増大するように制御する吸引力制御手段を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記吸引力制御手段は、前記キャッピング吸引動作中に前記液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に段階的に増大するように制御する請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記液滴吐出ヘッド内に吐出対象液を初期充填する際に前記液滴吐出ヘッド内に吐出対象液が充満するように前記キャッピング吸引動作を行う第１のキャッピング吸引動作と、前記液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりを解消するように前記キャッピング吸引動作を行う第２のキャッピング吸引動作との少なくとも一方のキャッピング吸引動作を行うように構成されており、前記吸引力制御手段は、前記第１のキャッピング吸引動作および／または前記第２のキャッピング吸引動作において、前記液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に増大するように制御する請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
さらに、前記液滴吐出ヘッド内から吐出対象液を排出するように前記キャッピング吸引動作を行う第３のキャッピング吸引動作と、前記液滴吐出ヘッドへ供給された洗浄液を吸引して前記液滴吐出ヘッド内および吐出対象液の流路内を洗浄するように前記キャッピング吸引動作を行う第４のキャッピング吸引動作とのうちの少なくとも一方のキャッピング吸引動作を行うように構成されている請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記吸引力発生手段は、エジェクタで構成されている請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記吸引力制御手段は、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を調節することにより、前記エジェクタの吸引力を制御する請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記吸引力制御手段は、前記エジェクタに供給する作動流体の流路を複数に分岐させた分岐流路と、前記複数の分岐流路から選択した１つの分岐流路に作動流体を流すように流路を切り替える流路切り替え弁と、前記各分岐流路に設置され、作動流体の流量を前記各分岐流路間で互いに異なる流量に調整する調整弁と、前記流路切り替え弁を切り替え作動させる駆動手段とを有し、前記流路切り替え弁を切り替えることにより、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を変化させる請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記キャッピング吸引動作によって吸引した液体を貯留するタンクを有し、前記吸引力発生手段は、前記タンクの内部を負圧にするように作動することにより、前記キャップでの吸引力を発生する請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
複数の前記液滴吐出ヘッドと、
前記吸引力発生手段から複数の前記キャップへの各吸引流路にそれぞれ設けられた開閉弁とを備え、
前記各開閉弁の開閉を切り替えることにより、複数の前記液滴吐出ヘッドに対して１個ずつ順次前記キャッピング吸引動作を行うように構成されている請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記キャップへの吸引流路内の圧力を検出する圧力検出手段をさらに備える請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
装置本体と、ワークが載置されるワーク載置部と、前記ヘッドユニットと前記ワーク載置部とを相対的に移動させる相対移動機構とをさらに備え、前記ワーク載置部と前記へッドユニットとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成する請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用して、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用する産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている。
【０００３】
このような液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）に接触（密着）し得るキャップを有し、このキャップに接続された吸引ポンプの吸引力によって液滴吐出ヘッドから液体を吸引するキャッピング手段が設けられている（例えば、特許文献１参照）。このキャッピング手段は、液滴吐出ヘッド内にインク等の液体を初期充填したり、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル詰まりを解消したりする際に使用される。
【０００４】
液滴吐出装置をなるべく短いサイクルタイムで稼動させて生産効率を向上するためには、キャッピング手段を用いた液滴吐出ヘッド内への液体の初期充填や吐出ノズル詰まり解消も迅速に行うことが必要であるが、これらを迅速に行うためにキャッピング手段の吸引力を強くすると、液体中に溶け込んでいた気体が気泡となり、液滴吐出ヘッド内や配管内に気泡が生じてしまって吸引効率が低下するので、吸引に要する時間の短縮につながらないという問題や、発生した気泡が原因となって全吐出ノズルに対して確実に詰まりを解消できず、詰まりが解消されない吐出ノズルが残ってしまうという問題、さらには、発生した気泡がその後の液滴吐出動作に悪影響を及ぼすおそれがあるという問題がある。また、気泡が生じないように吸引力を弱くすると、吸引に長時間を要するという問題がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３２２２９６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドに対するキャッピング吸引動作を迅速かつ確実に行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに対応して設けられたキャップと、前記キャップでの吸引力を発生する吸引力発生手段とを備え、前記液滴吐出ヘッドに前記キャップを接触または近接させた状態で前記吸引力発生手段を作動し、その吸引力により前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を実行可能な液滴吐出装置であって、
前記キャッピング吸引動作中に前記液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に増大するように制御する吸引力制御手段を設けたことを特徴とする。
これにより、キャッピング吸引動作の初期の段階では液滴吐出ヘッドからゆっくりとした流速で吸引されるので、吐出対象液に溶け込んでいた気体が気泡となって液滴吐出ヘッド内や配管内に発生するのを防止することができる。その結果、高い吸引効率を維持することができる。また、液滴吐出ヘッド内や配管内に気泡が発生しないので、吐出ノズルの詰まりを解消する場合、全吐出ノズルについてより確実に解消することができ、また、気泡がその後の液滴吐出動作に悪影響を及ぼすのを防止することもできる。そして、キャッピング吸引動作のその後の段階では液滴吐出ヘッドから速い流速で吸引されるので、前記の高い吸引効率と相まって、例えば吐出対象液の初期充填や、吐出ノズル詰まり解消を迅速に（短時間で）行うことができる。よって、サイクルタイム（ワーク１枚当たりの処理時間）を短縮することができるので、生産効率（能率）が向上し、ワークの製造コストの低減が図れる。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引力制御手段は、前記キャッピング吸引動作中に前記液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に段階的に増大するように制御することが好ましい。
これにより、簡単な構成で、上記効果を達成することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記液滴吐出ヘッド内に吐出対象液を初期充填する際に前記液滴吐出ヘッド内に吐出対象液が充満するように前記キャッピング吸引動作を行う第１のキャッピング吸引動作と、前記液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりを解消するように前記キャッピング吸引動作を行う第２のキャッピング吸引動作との少なくとも一方のキャッピング吸引動作を行うように構成されており、前記吸引力制御手段は、前記第１のキャッピング吸引動作および／または前記第２のキャッピング吸引動作において、前記液滴吐出ヘッドに作用する吸引力が経時的に増大するように制御することが好ましい。
これにより、吐出対象液の初期充填や吐出ノズル詰まり解消を迅速かつ確実に行うことができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、さらに、前記液滴吐出ヘッド内から吐出対象液を排出するように前記キャッピング吸引動作を行う第３のキャッピング吸引動作と、前記液滴吐出ヘッドへ供給された洗浄液を吸引して前記液滴吐出ヘッド内および吐出対象液の流路内を洗浄するように前記キャッピング吸引動作を行う第４のキャッピング吸引動作とのうちの少なくとも一方のキャッピング吸引動作を行うように構成されていることが好ましい。
これにより、キャッピング吸引動作を、吐出対象液の排出や流路内洗浄にも利用することができるので、液滴吐出装置の小型化および構造の簡素化が図れ、液滴吐出装置の開発に要する期間の短縮ができ、また、液滴吐出装置を使用する際の調整作業の負担軽減も図れる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引力発生手段は、エジェクタで構成されていることが好ましい。
これにより、エジェクタは、可動部を有さず小型であるので、装置の簡素化および小型化が図れる。また、キャッピング吸引動作の初期の段階において、吐出対象液に先行して気体が吸引される場合であっても、高い吸引効率で吸引することができるので、要する時間をさらに短縮することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引力制御手段は、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を調節することにより、前記エジェクタの吸引力を制御することが好ましい。
これにより、吸引力制御手段は、簡単な構成で、エジェクタの吸引力を制御することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引力制御手段は、前記エジェクタに供給する作動流体の流路を複数に分岐させた分岐流路と、前記複数の分岐流路から選択した１つの分岐流路に作動流体を流すように流路を切り替える流路切り替え弁と、前記各分岐流路に設置され、作動流体の流量を前記各分岐流路間で互いに異なる流量に調整する調整弁と、前記流路切り替え弁を切り替え作動させる駆動手段とを有し、前記流路切り替え弁を切り替えることにより、前記エジェクタに供給する作動流体の流量を変化させることが好ましい。
これにより、吸引力制御手段は、簡単な構成で、エジェクタの吸引力を制御することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置では、前記キャッピング吸引動作によって吸引した液体を貯留するタンクを有し、前記吸引力発生手段は、前記タンクの内部を負圧にするように作動することにより、前記キャップでの吸引力を発生することが好ましい。
これにより、吸引力発生手段は、気体のみを吸引し、液体を吸引しないで済むので、吸引効率をさらに向上することができる。また、簡単な構造で、１台の吸引力発生手段により複数の液滴吐出ヘッド（複数のキャップ）に対応することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置では、複数の前記液滴吐出ヘッドと、
前記吸引力発生手段から複数の前記キャップへの各吸引流路にそれぞれ設けられた開閉弁とを備え、
前記各開閉弁の開閉を切り替えることにより、複数の前記液滴吐出ヘッドに対して１個ずつ順次前記キャッピング吸引動作を行うように構成されていることが好ましい。
これにより、複数の液滴吐出ヘッドに１台の吸引力発生手段で対応する場合、各液滴吐出ヘッドに吸引力を集中させてキャッピング吸引動作を行うことができるので、吐出ノズル詰まり解消、液体の充填、液体の排出等を行う場合、全部の液滴吐出ヘッドに対してより確実に（より効果的に）行うことができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置では、前記キャップへの吸引流路内の圧力を検出する圧力検出手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、圧力検出手段の検出結果を、例えば各キャップにおける吸引エラーの検知や、吸引力制御手段の制御に利用することができる。
本発明の液滴吐出装置では、装置本体と、ワークが載置されるワーク載置部と、前記ヘッドユニットと前記ワーク載置部とを相対的に移動させる相対移動機構とをさらに備え、前記ワーク載置部と前記へッドユニットとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電気光学装置を提供することができる。
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、ワークに対するパターンの形成（描画）を高い精度で行うことができるとともに、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電子機器を提供することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図および側面図、図９は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるタンク収納部を示す斜視図、図１８は、図１および図２に示す液滴吐出装置のブロック図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００１８】
図１および図２に示す液滴吐出システム（液滴吐出系）１０は、液滴吐出ヘッド１１１を有する液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１と、この液滴吐出装置１を収容するチャンバ（チャンバルーム）９１とを備えている。
液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出対象液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができるものである。液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。
【００１９】
また、本発明で対象とするワークは、板状の部材に限らず、底面が平らな部材であればいかなるものでもよい。例えば、本発明は、レンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００２０】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、ワーク載置部としての基板搬送テーブル（基板搬送ステージ）３と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、装置本体２の側方に設置された付帯装置（メンテナンス装置）１２と、タンク収納部１３と、基板Ｗにガスを吹き付けるブロー装置１４と、基板搬送テーブル３の移動距離を測定するレーザー測長器１５と、ドット抜け検出ユニット１９とを備えている。
【００２１】
液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２２】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤（定盤）２２とを有している。石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板搬送テーブル３は、リニアモータ５１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板搬送テーブル３上に載置される。
【００２３】
液滴吐出装置１では、基板搬送テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板搬送テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板搬送テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板搬送テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２４】
図１に示すように、基板搬送テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出（捨て打ち、予備吐出またはフラッシングとも呼ばれる）された液滴を受ける描画前フラッシングユニット１０４が設置されている。描画前フラッシングユニット１０４には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出対象液は、この吸引チューブを通り、後述する排液装置１８により回収・貯留される。
【００２５】
基板搬送テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２側に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、ミラー１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板搬送テーブル３側に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、ミラー１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、ミラー１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板搬送テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００２６】
装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ６１が、基板搬送テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータとガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ６２の駆動により、メインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００２７】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１のいわゆる主走査は、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動しつつ、レーザー測長器１５を用いて生成した吐出タイミングに基づいて、液滴吐出ヘッド１１１の駆動（液滴の選択的吐出）を行う。また、これに対応して、いわゆる副走査は、ヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）のＸ軸方向への移動により行われる。
【００２８】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を半乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板搬送テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００２９】
装置本体２および付帯装置１２の近傍には、ラック（棚）１３１を有するタンク収納部１３が設置されている。図９に示すように、タンク収納部１３のラック１３１には、第１の一次タンク（吐出対象液タンク）４０１、第２の一次タンク（吐出対象液タンク）４０２、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２、第１の再利用タンク（再利用貯留部）１７１、第２の再利用タンク（再利用貯留部）１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２がそれぞれ設置（収納）されている（第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、図９中では図示を省略）。なお、本実施形態では、上述したように、同種のタンクを２個ずつ備えているが、１個ずつでも３個以上ずつでもよい。
【００３０】
第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、液滴吐出ヘッド１１１から吐出するための吐出対象液を貯留する。第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２は、後述するクリーニングユニット８１に供給するための洗浄液を貯留する。第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２は、後述するキャッピングユニット８３から回収された吐出対象液を貯留する。第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、描画前フラッシングユニット１０４、後述する定期フラッシングユニット８２および後述するドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より吐出された吐出対象液を貯留する。
【００３１】
第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２は、それぞれ、空になったときに吐出対象液を補充したり、満杯になっているタンクに交換したりすることができるようになっている。なお、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、交換（着脱）と、吐出対象液の補充との少なくとも一方が行えるようになっていればよい。
【００３２】
同様に、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２も、それぞれ、交換または洗浄液の補充を行うことができるようになっている。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、それぞれ、満杯になったときに空のタンクへの交換または内部の液体の抜き取りを行うことができるようになっている。
【００３３】
図１に示すように、ドット抜け検出ユニット１９は、石定盤２２上における基板搬送テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所に固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズルの詰まりが原因となって生じるドット抜けの有無を検査（検出）するドット抜け検査（吐出確認検査）を行うものである。ドット抜け検出ユニット１９は、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部と、ドット抜け検査用液受け部とを備えている。
【００３４】
ドット抜け検査を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから液滴を吐出する。ドット抜け検出ユニット１９は、この吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしている吐出ノズルの有無および個所を光学的に検出する。このドット抜け検査の際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された液体（液滴）は、ドット抜け検査用液受け部で受けられる。
【００３５】
ドット抜け検査用液受け部の底部には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、ドット抜け検査用液受け部が受けた液体は、この吸引チューブを通って後述する排液装置１８により回収され、前記第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２内に貯留される。
なお、ドット抜け検出ユニット１９を用いたドット抜け検査は、具体的には例えば特開２００２−１９２７４０号公報に記載された方法によって行うことができるが、これに限定されず、いかなる方法で行うものでもよい。
【００３６】
このような液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の作動をそれぞれ制御する制御装置（制御手段）１６を備えている（図１参照）。図示の構成では、制御装置１６は、後述するチャンバ９１の外部に設置されている。図１８に示すように、制御装置１６は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１６１と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部１６２とを有している。制御装置１６には、後述するＸ軸方向移動機構６、保守ユニット移動機構８５４、キャップ昇降機構８３３、吐出対象液供給装置４、液体回収装置１７、操作パネル１００、三方弁（流路切り替え弁）７３を切り替え作動させる駆動手段７６、各圧力センサ８８４、各開閉弁８８３を開閉作動させる駆動手段８９８がそれぞれ電気的に接続されている。さらに、制御装置１６には、図１８に示す以外にも液滴吐出装置１の各部が電気的に接続されているが、図１８中では図示を省略する。
【００３７】
図１に示すように、制御装置１６の近傍には、操作パネル（入力手段）１００が設置されている。液滴吐出装置１のオペレーター（操作者）は、この操作パネル１００を操作して、実行させる動作を選択したり、各種条件等のデータの入力を行ったりする。
図１および図２に示すように、このような液滴吐出装置１（制御装置１６を除く）は、好ましくは、チャンバ装置９により、雰囲気の温度および湿度が管理された環境下で基板Ｗに対する液滴の吐出（描画）を行う。チャンバ装置９は、液滴吐出装置１を収容（収納）するチャンバ９１と、チャンバ９１の外部に設置された空調装置９２とを有している。空調装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、空気の温度および湿度を調節（調整）して、この空気を導入ダクト９３を介してチャンバ９１の天井裏９１１に送り込む。空調装置９２から天井裏９１１に送り込まれた空気は、天井に設置されたフィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。
【００３８】
チャンバ９１内には、主室９１３のほかに、隔壁９１４、９１５により副室９１６が設けられており、タンク収納部１３は、この副室９１６内に設置されている。隔壁９１４には、主室９１３と副室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。
副室９１６には、チャンバ９１の外部に対する開閉扉（開閉部）９１８が設けられている（図１参照）。なお、副室９１６の開閉部は、開閉扉９１８のような開き戸に限らず、引き戸、シャッターなどでもよい。
また、副室９１６には、副室９１６内の気体を排出する排気口が形成され、この排気口には、外部へ伸びる排気ダクト９４が接続されている。主室９１３内の空気は、連通部９１７を通過して副室９１６に流入した後、排気ダクト９４を通過してチャンバ装置９の外部に排出される。
【００３９】
このようなチャンバ装置９によって液滴吐出装置１の周囲の温度および湿度が管理されることにより、温度変化による基板Ｗや装置各部の膨張・収縮が原因となって誤差が生じるのを防止することができ、基板Ｗ上に液滴によって描画（形成）されるパターンの精度をより高くすることができる。また、タンク収納部１３も温度および湿度が管理された環境に置かれるので、吐出対象液の粘度等の特性も安定し、液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することができ、基板Ｗを清浄に維持することができる。
なお、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を空調して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
【００４０】
また、このような液滴吐出システム１０では、開閉扉９１８を開くことにより、主室９１３を外部に開放することなく、タンク収納部１３にアクセスすることができる。これにより、タンク収納部１３へのアクセス時に液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、タンクの交換、液体の補充または回収を行った直後でも、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、タンクの交換、液体の補充または回収を行った後でも、主室９１３内の温度や液滴吐出装置１の各部の温度が管理された値に戻るのを待たずに済むので、スループット（生産能率）の向上が図れる。このようなことから、基板Ｗ等のワークを高い精度で量産するのに極めて有利であり、製造コスト低減が図れる。
【００４１】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図である。
図３および図４に示すように、石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３と、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５とが設置されている。図３に示すように、基板搬送テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００４２】
図４に示すように、Ｙ軸方向移動機構５は、リニアモータ５１と、エアスライダ５２とを有している。エアスライダ５２は、石定盤２２上でＹ軸方向に沿って延在するスライドガイド５２１と、このスライドガイド５２１に沿って移動するスライドブロック５２２とを有している。スライドブロック５２２は、スライドガイド５２１との間に空気を吹き出す吹き出し口を有しており、この吹き出し口から吹き出す空気をスライドガイド５２１との間に介在させることにより、円滑に移動可能になっている。
【００４３】
スライドブロック５２２上には、ベース１０８が固定され、このベース１０８の上に、基板搬送テーブル３がθ軸回転機構１０５を介して固定されている。このようにして、基板搬送テーブル３は、エアスライダ５２によってＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ５１の駆動によりＹ軸方向に移動するようになっている。また、基板搬送テーブル３は、θ軸回転機構１０５により、基板搬送テーブル３の中心を通る鉛直なθ軸を回転中心として所定範囲で回動可能になっている。
【００４４】
Ｙ軸方向移動機構５の上方には、例えばステンレス鋼等の金属材料で構成された一対の帯状の薄板１０１がＹ軸方向移動機構５を上側から覆うように張り渡されている。薄板１０１は、ベース１０８の上面に形成された凹部（溝）内を通ってベース１０８とθ軸回転機構１０５との間を挿通している。この薄板１０１が設けられていることにより、液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出対象液がＹ軸方向移動機構５に付着するのを防止することができ、Ｙ軸方向移動機構５を保護することができる。
【００４５】
石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２は、環境温度変化に対する安定性、振動に対する減衰性、経年変化（劣化）に対する安定性、吐出対象液に対する耐食性等の各種の特性に優れている。本実施形態では、このような石定盤２２によってＹ軸方向移動機構５および後述するＸ軸方向移動機構６を支持したことにより、環境温度変化、振動、経年変化（劣化）等の影響による誤差が少なく、基板搬送テーブル３とヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）との相対的な移動に高い精度が得られるとともに、その高い精度を常に安定して維持することができる。その結果、液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で、かつ常に安定して行うことができる。
石定盤２２を構成する石材は、特に限定されないが、ベルファストブラック、ラステンバーグ、クルヌールおよびインディアンブラックのいずれかであるのが好ましい。これにより、石定盤２２の上記の各特性をより優れたものとすることができる。
【００４６】
このような石定盤２２は、架台２１に支持されている。架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。架台２１は、好ましくは空気バネまたはゴムブッシュ等による防振構造を有しており、床からの振動を石定盤２２に極力伝達しないように構成されている。
また、石定盤２２は、好ましくは架台２１と非締結状態（非固定状態）で架台２１に支持（載置）されている。これにより、架台２１に生じる熱膨張等が石定盤２２に影響するのを回避することができ、その結果、液滴によるパターンの形成（描画）をさらに高い精度で行うことができる。
【００４７】
また、本実施形態では、石定盤２２は、平面視で、Ｙ軸方向に長い長方形をなすＹ軸方向移動機構支持部２２１と、このＹ軸方向移動機構支持部２２１の長手方向の途中の部分からＸ軸方向に両側にそれぞれ突出する支柱支持部２２２および２２３とで構成されており、その結果、石定盤２２の形状は、平面視で十字状をなしている。換言すれば、石定盤２２は、平面視で、長方形から４つの隅部付近を除去したような形状をなしている。支柱支持部２２２および２２３上には、後述する４本の支柱２３が設置される。すなわち、石定盤２２は、平面視で、長方形から、Ｙ軸方向移動機構５および支柱２３を設置しない部分を除去したような形状をなすものとなっている。
【００４８】
これにより、石定盤２２の重量を軽減することができ、また、石定盤２２が占める領域を少なくできるので、液滴吐出装置１の据え付け場所への輸送が容易になるとともに、工場の据え付け場所の床の耐荷重も小さくて済み、また、工場内での液滴吐出システム１０の占有面積を小さくすることができる。なお、このような本実施形態における石定盤２２は、１個の石材で構成されていても、複数個の石材を組み合わせて構成されていてもよい。
【００４９】
図５は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図、図７は、図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図である。
図６および図７に示すように、石定盤２２（支柱支持部２２２および２２３）の上には、Ｙ軸方向移動機構５を挟んで２本ずつ対峙する計４本の支柱２３と、これらの支柱２３に支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とが設置されている。基板搬送テーブル３は、この桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００５０】
液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６は、桁２４および２５を介して、４本の支柱２３に支持されている。図５に示すように、Ｘ軸方向移動機構６は、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ（ヘッドユニット支持体）６１と、桁２４上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するとともに駆動するリニアモータアクチュエータ６２と、桁２５上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するガイド６３とを有している。メインキャリッジ６１は、リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間に架け渡されるようにして設置されている。
なお、本実施形態では、Ｙ軸方向移動機構５とＸ軸方向移動機構６とで、基板搬送テーブル３と液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）とを相対的に移動させる相対移動機構が構成される。
【００５１】
ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対し着脱可能に支持されている。ヘッドユニット１１がメインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１１１の副走査が行われる。
また、ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対するヘッドユニット１１の高さを調整するヘッドユニット高さ調整機構２０を介してメインキャリッジ６１に支持されている。これにより、基板Ｗの厚さに合わせて、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面と基板Ｗとの隙間を調整することができる。ヘッドユニット高さ調整機構２０は、例えば、ボールねじとこれを回転駆動するモータとを備えた構成になっている。
【００５２】
図７に示すように、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３は、支柱２３を超えてさらに外側に延長して設けられている。これにより、ヘッドユニット１１は、後述する付帯装置１２の上方にまで移動することができるようになっている。
リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間には、さらに、カメラキャリッジ１０６が架け渡されるようにして設置されている。カメラキャリッジ１０６は、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３をメインキャリッジ６１と共用するとともに、メインキャリッジ６１と独立してＸ軸方向に移動する。
カメラキャリッジ１０６には、基板Ｗの所定の個所に設けられたアライメントマークを画像認識するための認識カメラ１０７が設置されている。認識カメラ１０７は、カメラキャリッジ１０６から下方に吊り下げられた状態で支持されている。なお、認識カメラ１０７は、他の用途に用いてもよい。
【００５３】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるパターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図である。図８に示すように、ヘッドユニット１１には、液滴吐出ヘッド１１１が複数個（本実施形態では１２個）設置されている。各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴を吐出する多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。ヘッドユニット１１において、１２個の液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並んで配置されるとともに、各液滴吐出ヘッド１１１は、そのノズル列が副走査方向に対し傾斜した姿勢になっている。
【００５４】
液滴吐出ヘッド１１１には、各吐出ノズルに対し、それぞれ、駆動素子としての図示しない圧電素子（ピエゾ素子）を有する駆動部が設けられている。前記制御装置１６は、各液滴吐出ヘッド１１１に対し、それぞれ、図示しないドライバを介して前記各駆動部の駆動を制御する。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１は、所定の液滴吐出ヘッド１１１の所定の吐出ノズルからそれぞれ液滴を吐出する。この場合、例えば、圧電素子に所定の電圧が印加されると、その圧電素子が変形（伸縮）し、これにより対応する圧力室（液室）内が加圧され、対応する吐出ノズル（当該圧力室に連通する吐出ノズル）から所定量の液滴が吐出される。
【００５５】
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１１は、上記のような構成に限らず、例えば、吐出対象液を駆動素子としてのヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたようなものであってもよい。
また、ヘッドユニット１１における各液滴吐出ヘッド１１１の上述した配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００５６】
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出ヘッド１１１で構成してもよい。また、メインキャリッジ６１に複数のヘッドユニット１１が設置されていてもよい。
【００５７】
次に、制御装置１６の制御による液滴吐出装置１の全体の作動について簡単に説明する。基板搬送テーブル３上に基板Ｗが給材され、液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）の作動により基板搬送テーブル３上で所定の位置に位置決め（プリアライメント）されると、基板搬送テーブル３の各吸引口３３２からのエアー吸引により、基板Ｗは、基板搬送テーブル３に吸着・固定される。次いで、基板搬送テーブル３およびカメラキャリッジ１０６がそれぞれ移動することにより、認識カメラ１０７が基板Ｗの所定の個所（１箇所または複数箇所）に設けられたアライメントマークの上方に移動し、このアライメントマークを認識する。この認識結果に基づいて、θ軸回転機構１０５が作動して基板Ｗのθ軸回りの角度が補正されるとともに、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われる（本アライメント）。
以上のような基板Ｗのアライメント作業が完了すると、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する動作を開始する。この動作は、液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）を基板Ｗに対し主走査および副走査することにより行われる。
【００５８】
本実施形態の液滴吐出装置１では、主走査は、ヘッドユニット１１を装置本体２に対し停止した（移動しない）状態で、基板搬送テーブル３の移動により基板ＷをＹ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対し各液滴吐出ヘッド１１１から液滴を吐出することにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸方向が主走査方向となる。
【００５９】
この主走査は、基板搬送テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板搬送テーブル３を複数回往復させて、複数回繰り返し行ってもよい。このような主走査により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って延びる領域に、液滴の吐出が終了する。
このような主走査の後、副走査を行う。副走査は、液滴の非吐出時に、メインキャリッジ６１の移動により、ヘッドユニット１１を前記所定の幅の分だけＸ軸方向に移動させることにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸方向が副走査方向となる。
このような副走査の後、前記と同様の主走査を行う。これにより、前回の主走査で液滴が吐出された領域に隣接する領域に対し、液滴が吐出される。
このようにして、主走査と副走査とを交互に繰り返し行うことにより、基板Ｗの全領域に対して液滴が吐出され、基板Ｗ上に、吐出された液滴（液体）による所定のパターンを形成（描画）することができる。
【００６０】
なお、本発明では、主走査方向と副走査方向とは、上述したのと逆になっていてもよい。すなわち、基板Ｗ（基板搬送テーブル３）を停止させた状態で液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させながら基板Ｗに対して液滴を吐出することによって主走査を行い、液滴の非吐出時に基板Ｗ（基板搬送テーブル３）をＹ軸方向に移動させることによって副走査を行うように構成されていてもよい。
【００６１】
図１０および図１１は、それぞれ、図１および図２に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図および側面図である。以下、これらの図に基づいて、液滴吐出装置１の付帯装置１２について説明する。
ヘッドユニット１１は、例えば基板Ｗの給材時および除材時などには、付帯装置１２の上方の位置で待機する。そして、この待機中には、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃（クリーニング）や後述するキャッピング吸引動作を行ったり、定期的な捨て吐出（定期フラッシング）を行ったりする。
【００６２】
付帯装置１２は、装置本体２の架台２１および石定盤２２の側方（装置本体２に対しＸ軸方向前方側）に設置されている。図１０に示すように、この付帯装置１２は、床上に設置された付属台８５と、付属台８５上でＹ軸方向に移動可能な移動台８６と、クリーニングユニット（液滴吐出ヘッド清掃装置）８１と、定期フラッシングユニット８２と、キャッピングユニット８３と、吐出量測定用ユニット（重量測定用ユニット）８４とを有している。
【００６３】
クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４は、それぞれ、液滴吐出ヘッド１１１の機能維持、機能回復、調整または検査のために使用される液滴吐出ヘッド保守ユニットの一種である。本実施形態では、これらのクリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４（以下、総称して「四種の液滴吐出ヘッド保守ユニット」とも言う）は、保守ユニット設置部（保守ユニット設置領域）としての移動台８６上にまとめて（ひとまとまりに）配置されている。
【００６４】
付帯装置１２の付属台８５は、Ｙ軸方向に長い形状をなしており、その上部（上面）には、保守ユニット移動機構８５４が設置されている。保守ユニット移動機構８５４は、移動台８６をＹ軸方向に案内する一対のガイド（レール）８５１と、ボールねじ８５２と、このボールねじ８５２を回転駆動するモータ８５３とを有しており、移動台８６をＹ軸方向に移動（前進・後退）させることができる。
【００６５】
図１１に示すように、移動台８６は、上段８６１と、下段８６２と、ボールねじを用いた昇降機構（高さ調整機構）８６３と、昇降ハンドル８６４とを有している。上段８６１は、下段８６２に対し昇降機構８６３により昇降可能になっており、昇降ハンドル８６４を回して昇降機構８６３を作動させることにより、上段８６１の高さを調整可能になっている。なお、昇降機構８６３は、上記のように手動で作動させる構成に限らず、モータ等の駆動源を設けて自動で作動するように構成してもよい。
【００６６】
移動台８６の上段８６１上には、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４が、Ｙ軸方向に沿って一列に並んで設置されている。よって、移動台８６がＹ軸方向に移動することにより、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に位置したとき、これら四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットのいずれかをヘッドユニット１１の下方に選択的に位置決めでき、その選択した液滴吐出ヘッド保守ユニットによる保守を行うことができるようになっている。
【００６７】
例えば、移動台８６の位置が図１に示す状態では、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に移動した場合、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１の下方にキャッピングユニット８３が位置するので、キャッピングを行うことができる。そして、移動台８６の位置を変更することにより、クリーニングユニット８１を用いた液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃や、定期フラッシングユニット８２を用いた捨て吐出や、吐出量測定用ユニット８４への液滴の吐出をそれぞれ行うことができる。
【００６８】
また、本実施形態では、ヘッドユニット高さ調整機構２０によって基板Ｗの厚さに応じて液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）の高さが変更された場合、昇降機構８６３によって上段８６１上に設置された各液滴吐出ヘッド保守ユニットの高さをこれに合わせて調整することができ、製造する基板Ｗの厚さの変更に伴う液滴吐出ヘッド１１１の高さの変更に容易に対応することができる。また、各液滴吐出ヘッド保守ユニットと液滴吐出ヘッド１１１との高さの調整（高さ合わせ）は、ヘッドユニット高さ調整機構２０によるヘッドユニット１１の上下動によって行ってもよい。
【００６９】
以下、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２および吐出量測定用ユニット８４について順次説明する。キャッピングユニット８３については別途後述する。
図１０に示すように、クリーニングユニット８１は、ワイピングシート供給ユニット１５０と、ローラユニット１６０とを有している。ワイピングシート供給ユニット１５０は、ワイピングシート（図示せず）を巻き出して供給する巻き出しローラ７８と、各ノズル形成面を拭った後のワイピングシートを巻き取る巻き取りローラ７９と、該巻き取りローラ７９を回転駆動する電動モータとを備えている。ローラユニット１６０は、巻き出しローラ７８から巻き出されたワイピングシートを各ノズル形成面に押し付けるローラ７６を有している。
【００７０】
このようなクリーニングユニット８１によれば、ワイピングシートの新しい清掃面を絶えず各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に対して供給することができるようになっている。しかも、ローラ７６の押し付け力によりワイピングシートを各ノズル形成面に押し付ける構成であるため、各ノズル形成面に対して清掃面を確実に当てることもできるようになっている。
【００７１】
ローラ７６の近傍には、各ノズル形成面を拭う前のワイピングシートへ向けて洗浄液を噴射する複数の噴射口（ノズル）を備えたノズルユニット１６４が設置されている。ノズルユニット１６４は、その上（または下）を通過していくワイピングシートに対し、その裏面（または表面）側から、各噴射口より洗浄液を噴射する。これにより、各ノズル形成面を拭う直前のワイピングシートが洗浄液を吸収し、ワイピングシートを湿らせることができる。なお、洗浄液としては、特に限定されないが、例えば各種洗浄剤や有機溶剤などを使用することができる。ノズルユニット１６４の各噴射口には、後述する洗浄液供給装置５０により、洗浄液が供給される。
【００７２】
このようなクリーニングユニット８１によって、定期的または随時に、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に付着した吐出対象液を拭い去ることにより、各吐出ノズルからの液滴の吐出方向（飛ばす方向）にヨレ（乱れ）を生じるようなことが防止され、真っ直ぐに液滴を飛ばすことができるので、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を高い精度を維持して行うことができる。
【００７３】
図１０に示すように、定期フラッシングユニット８２は、液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した液滴を受ける液受け部８２１を有している。ヘッドユニット１１は、待機時において、定期的または随時に、各液滴吐出ヘッド１１１から液受け部８２１に対し液滴を捨て吐出する。このような動作を行う目的は、次のようなものである。
【００７４】
一般に、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を休止してから吐出を再開するまでの時間が長くなると、液滴の吐出方向が乱れる、吐出量が多くなり過ぎる、吐出量が少なくなり過ぎる等の現象が起こり易くなり、液滴吐出動作が不安定になる傾向がある。すなわち、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を開始した直後は、吐出状態が安定せずにまっすぐ飛びにくい、吐出量が安定しない等の傾向がある。このため、待機時にも、液受け部８２１に捨て吐出を行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１が適正に液滴を吐出することができる状態を維持する。
【００７５】
液受け部８２１には、好ましくは、例えばスポンジなどで構成された液体吸収体が設置されている。液受け部８２１に捨て吐出された液滴は、まず、この液体吸収体に吸収される。これにより、捨て吐出された液滴が周囲に飛散するのをより確実に防止することができる。また、液受け部８２１には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、液受け部８２１に溜まった吐出対象液は、この吸引チューブを通って回収され、後述する排液装置１８により、回収・貯留される。
【００７６】
吐出量測定用ユニット８４は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１１は、吐出量測定用ユニット８４の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルから１回または複数回液滴を吐出量測定用ユニット８４に対し吐出する。吐出量測定用ユニット８４は、吐出された液滴を受ける着脱可能な液受け部を備えており、この液受け部で受けた液体の重量を液滴吐出システム１０の外部に設置された電子天秤等の重量計で計測する。または、吐出量測定用ユニット８４に重量計を設け、ここで重量を計測してもよい。制御装置１６は、この重量計測結果に基づいて、吐出ノズルから吐出される１滴の液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド１１１を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【００７７】
図１２は、図１および図２に示す液滴吐出装置における吐出対象液供給装置、洗浄液供給装置および排液装置を示す配管系統図、図１３は、液量検出手段の構成を模式的に示す図である。以下、これらの図および図６に基づいて、液滴吐出装置１における吐出対象液供給装置４、洗浄液供給装置５０、排液装置１８について説明する。
まず、各液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液を供給する吐出対象液供給装置４について説明する。
図１２に示すように、吐出対象液供給装置４は、吐出対象液を貯留する一次タンク系４０と、この一次タンク系４０と後述する二次タンク４１２とを接続する１本の一次流路４１１とを有している。一次タンク系４０は、前記タンク収納部１３に設置された第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２と、第１の一次タンク４０１に接続された流出配管４０３と、第２の一次タンク４０２に接続された流出配管４０４と、三方弁（流路切り替え手段）４０５とを有している。三方弁４０５には、一次流路４１１と、流出配管４０３および４０４とがそれぞれ接続されている。吐出対象液供給装置４は、制御装置１６の制御に基づき三方弁４０５にて流路を切り替えることにより、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２のいずれかから選択的に吐出対象液を一次流路４１１に供給することができる。
【００７８】
また、吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２内に加圧気体を供給する加圧手段４０６と、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２にそれぞれ接続された加圧配管４０７および４０８と、加圧手段４０６からの配管４１０と、これら３つの配管が接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）４０９とをさらに有している。加圧手段４０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される。吐出対象液供給装置４は、制御装置１６の制御に基づき三方弁４０９にて流路を切り替えることにより、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２のいずれかの内部を加圧手段４０６により選択的に加圧し、その圧力により吐出対象液を送出する。
【００７９】
図６に示すように、二次タンク４１２は、メインキャリッジ１０２に対し固定的に設置されている。すなわち、二次タンク４１２は、メインキャリッジ１０２とともにＸ軸方向移動する。二次タンク４１２には、三方弁４０５から伸びる一次流路４１１の他端が接続されており、一次タンク系４０の吐出対象液は、一次流路４１１を通って二次タンク４１２内に流入する。
一次流路４１１は、好ましくは可撓性を有するチューブで構成されている。この一次流路４１１の途中には、メインキャリッジ１０２とともに移動する二次タンク４１２の移動に合わせて一次流路４１１の二次タンク４１２側の部分が移動可能となるように一次流路４１１を中継する中継部４１３が設けられている。
【００８０】
二次タンク４１２とヘッドユニット１１との間は、ヘッドユニット１１が備える１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の二次流路４１４によって接続されている。すなわち、ヘッドユニット１１には、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口（接続口）１１２が設けられており、二次タンク４１２から伸びる１２本の二次流路４１４の他端は、それぞれ、各流入口１１２に接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の二次流路４１４のうちの２本のみを図示する。図示の構成では、二次流路４１４は、可撓性を有するチューブで構成されているが、これに限らず、硬質な管体で構成されていてもよい。また、以下では、一次流路４１１、二次タンク４１２および二次流路４１４を総称して「吐出対象液の流路」と呼ぶことがある。
【００８１】
二次タンク４１２内は、図示しない圧力制御ユニット（負圧制御ユニット）によって、圧力が制御され、負圧になっている。二次タンク４１２内で圧力制御された吐出対象液は、各二次流路４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１に供給される吐出対象液の圧力が制御され、各液滴吐出ヘッド１１１の各ノズルにおいて良好な液滴吐出状態が得られる。
【００８２】
各二次流路４１４の途中には、流路を遮断可能な遮断弁４１５が設けられている。遮断弁４１５は、前記圧力制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、二次流路４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出対象液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【００８３】
図１３（ａ）に示すように、吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１の内部の液量を検出する液量検出手段４１６をさらに有している。液量検出手段４１６は、第１の一次タンク４０１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の一次タンク４０１内に連通した光透過性を有するチューブ４１７と、第１の一次タンク４０１の底部付近においてチューブ４１７を挟んで対向するように設置された投光部４１８および受光部４１９とで構成されている。この液量検出手段４１６は、受光部４１９での受光光量の変化により、第１の一次タンク４０１内の液量が減少して所定の下限レベルＥ（空の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段４１６の検出結果は、制御装置１６に入力される。
【００８４】
また、吐出対象液供給装置４は、第２の一次タンク４０２の内部の液量を検出する同様の液量検出手段４２０を有している。液量検出手段４２０は、第２の一次タンク４０２内の液量が減少して所定の下限レベルＥになったとき、これを検出し、その検出結果を制御装置１６に入力する。
このような吐出対象液供給装置４は、図１２に示す状態では、加圧手段４０６により第１の一次タンク４０１内が加圧され、この圧力により第１の一次タンク４０１内の吐出対象液は、流出配管４０３および一次流路４１１内を通って送出され、二次タンク４１２および二次流路４１４を経て、液滴吐出ヘッド１１１に供給される。
【００８５】
そして、第１の一次タンク４０１内の吐出対象液が消費されていき、液量検出手段４１６が第１の一次タンク４０１が空になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替える。これにより、加圧手段４０６が第２の一次タンク４０２内を加圧するとともに、この圧力により第２の一次タンク４０２内の吐出対象液が、流出配管４０４および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される状態に切り替わる。
【００８６】
第２の一次タンク４０２から吐出対象液が供給されている間に、作業者は、空になった第１の一次タンク４０１をラック１３１から取り外し、吐出対象液を再充填した後、ラック１３１に戻す。その後、液量検出手段４２０が第２の一次タンク４０２が空になったのを検出すると、制御装置１６は、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替え、第１の一次タンク４０１から吐出対象液を供給する状態に切り替える。そして、第１の一次タンク４０１から吐出対象液が供給されている間に、作業者は、空になった第２の一次タンク４０２をラック１３１から取り外して吐出対象液を再充填する。
【００８７】
制御装置１６は、第１の一次タンク４０１が空になったとき、および、第２の一次タンク４０２が空になったときには、それぞれ、その旨を報知し、タンクの交換（吐出対象液の補充）を作業者に促すのが好ましい。この報知の方法としては、操作パネル１００に文字または図形などを表示したり、音または音声を出したりする方法が挙げられる。また、第１の一次タンク４０１が空になったときと、第２の一次タンク４０２が空になったときとで、報知のための文字、図形、音または音声等を異ならせ、いずれの一次タンクが空になったのかが分かるようにするのが好ましい。
【００８８】
以上説明したような本実施形態の吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う吐出対象液消費量の増大に有効に対応することができる。また、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の各々の容量を過大にすることなく、全体の大容量化が図れるので、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の重量（特に充填時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。
【００８９】
次に、クリーニングユニット８１で用いる洗浄液を供給する洗浄液供給装置５０について説明するが、前記吐出対象液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１２に示すように、洗浄液供給装置５０は、前記タンク収納部１３に設置された第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された流出配管５０３と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された流出配管５０４と、流出配管５０３および５０４とクリーニングユニット８１への給液配管５１１とがそれぞれ接続された三方弁（流路切り替え手段）５０５と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の一次タンク５０２内に加圧気体を供給する加圧手段５０６と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された加圧配管５０７と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された加圧配管５０８と、加圧配管５０７および５０８と加圧手段５０６からの配管（経路）５１０とがそれぞれ接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）５０９と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２の残液量を検出する液量検出手段（図示せず）とを有している。
【００９０】
次に、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液（吐出対象液）を回収する排液装置１８について説明するが、後述する液体回収装置１７と同様の事項については説明を省略する。
図１２に示すように、排液装置１８は、前記タンク収納部１３に設置された（図９中には表れていない）第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２と、第１の排液タンク１８１に接続された流入配管１８３と、第２の排液タンク１８２に接続された流入配管１８４と、三方弁（流路切り替え手段）１８５とを有している。
【００９１】
三方弁１８５には、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９からの吸引チューブ（図示せず）が合流した排液配管１８６と、流入配管１８３および１８４とがそれぞれ接続されている。また、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２には、それぞれ、後述する液量検出手段１７７ａ、１７７ｂと同様の液量検出手段（図示せず）が設けられている。
【００９２】
本実施形態では、このような排液装置１８により、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９から排出された吐出対象液を回収してこれらを共通して貯留する。これらの各ユニットから回収した吐出対象液は、各ユニットの液受け部において一旦外部に露出したものであるので、異物（ゴミ）が混入していたり、外気に触れて溶媒が蒸発して濃度が変化していたりするため、通常は廃棄される。本実施形態では、これらの廃棄すべき液体が共通に第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２に貯留されるので、液体を廃棄する作業が１回で済み、オペレーターの労力の軽減に寄与する。
【００９３】
なお、排液装置１８によって回収された吐出対象液は、廃棄せずに、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液として再利用してもよい。これにより、吐出対象液の無駄な消費量を削減することができるので、基板Ｗの製造コストのさらなる低減が図れる。排液装置１８によって回収された吐出対象液を再利用する場合には、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻す前に、後述するような不純物除去処理、脱気処理や、濃度調整などの各種の処理を施すことが好ましい。
【００９４】
図１４および図１５は、それぞれ、図１０および図１１に示す付帯装置におけるキャッピングユニットを示す斜視図および側面図、図１６は、液滴吐出ヘッドにキャップが接触した状態を示す断面図、図１７は、キャッピングユニットの各キャップへの吸引配管系統図、図１９は、液滴吐出装置が稼動するときの工程の流れを示すフローチャート、図２０および図２１は、それぞれ、エジェクタ、流路切り替え弁および調整弁を示す斜視図および正面図である。以下、これらの図および図１８に基づいて、キャッピングユニット８３、その吸引配管系統およびキャッピング吸引動作について説明する。なお、図２０および図２１中では、配管（チューブ）の図示を省略している。
【００９５】
図１４に示すように、キャッピングユニット８３は、ベースプレート８３１と、このベースプレート８３１上に配設された１２個のキャップ８７とを有している。１２個のキャップ８７は、それぞれ、ヘッドユニット１１に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１１１に対応するものであり、液滴吐出ヘッド１１１と同様の配置パターンで配置されている。これにより、各キャップ８７は、それぞれ、対応する液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズル形成面に接触（密着）することができる。
【００９６】
図１５に示すように、キャッピングユニット８３は、移動台８６上に固定された支持部８３２を有し、ベースプレート８３１は、この支持部８３２によって支持されている。支持部８３２には、ベースプレート８３１を上下方向に昇降させる空気圧シリンダを有するキャップ昇降機構８３３が設けられている。このキャップ昇降機構８３３の作動により、各キャップ８７は、一体となって昇降可能になっている。キャップ昇降機構８３３は、その空気圧シリンダのピストンロッドのストッパ位置調整を行うことにより、昇降ストロークを調整可能になっている。
【００９７】
図１６に示すように、キャップ８７は、キャップ本体８７１と、キャップホルダ８７２とを有し、キャップ本体８７１は、２つのコイルバネ８７３により上方に付勢されるとともに、一定の範囲で上下動可能な状態でキャップホルダ８７２に保持されている。キャップ本体８７１の上面には、液滴吐出ヘッド１１１に形成された吐出ノズル群を包含し得る凹部８７４が形成され、凹部８７４の周縁部には、液滴吐出ヘッド１１１に密着し得るシールパッキン（シール部材）８７５が設置されている。
【００９８】
凹部８７４の底部には、液体を吸収し得る例えばスポンジのような吸収材８７６が枠状の押さえ部材８７７により上から押さえられた状態で設置されている。また、凹部８７４の底部には、液滴吐出ヘッド１１１から吸引した流体を排出する排出口８７８が形成され、この排出口８７８は、Ｌ字継ぎ手８７９に連通している。Ｌ字継ぎ手８７９には、後述する吸引流路８８２を構成する図示しない配管（チューブ）が接続される。
【００９９】
各キャップ８７には、開放弁８８０が設けられており、凹部８７４の底面側で外部に開放できるようになっている。開放弁８８０は、コイルバネ８８１で上方の閉じ側に付勢されており、キャッピング吸引動作の最終段階で、開放弁８８０を引き下げて開弁することにより、吸収材８７６に含浸している液体をも吸引することができる。
【０１００】
液滴吐出装置１は、上述したような各キャップ８７での（各キャップ８７内に）吸引力（負圧）を発生する吸引力発生手段として、エジェクタ（真空エジェクタ）６０を有している。図２０および図２１に示すように、エジェクタ６０は、吸引口６０１と、供給口６０２と、排出口６０３とを有している。このエジェクタ６０は、図９中では見えていないが、タンク収納部１３に設置されている。
【０１０１】
エジェクタ６０の供給口６０２には、圧縮エア供給手段（作動流体供給手段）９９９から供給される圧縮エア（作動流体）が流入し、流入した圧縮エアは、排出口６０３から排出される。そして、エジェクタ６０内に生じた圧縮エアの流れにより、吸引口６０１には、吸引力（負圧）が発生する。圧縮エア供給手段９９９としては、工場に設けられた圧縮エア（圧空）供給装置を用いてもよく、また、液滴吐出装置１が独自に有しているものでもよい。
【０１０２】
制御装置１６は、各液滴吐出ヘッド１１１に各キャップ８７を接触（密着）させた状態でエジェクタ６０を作動し、その吸引力により各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから流体を吸引する動作（以下、「キャッピング吸引動作」と言う）を実行するように制御を行うことが可能とされている。
図１８に示すように、本実施形態では、前述したＸ軸方向移動機構６と、保守ユニット移動機構８５４と、キャップ昇降機構８３３とで、各液滴吐出ヘッド１１１に各キャップ８７を接触（密着）させるように作動可能なヘッド−キャップ相対移動機構３００が構成される。
【０１０３】
キャッピング吸引動作においては、制御装置１６は、各部を以下のように作動させる。制御装置１６は、まず、保守ユニット移動機構８５４を作動させてキャッピングユニット８３をヘッドユニット１１の移動領域の下方の位置（図１に示す位置）に移動させるとともに、Ｘ軸方向移動機構６を作動させてヘッドユニット１１を付帯装置１２の上方の位置に移動させる。これにより、キャッピングユニット８３の上方にヘッドユニット１１が位置決めされる。次いで、キャップ昇降機構８３３を作動させて各キャップ８７を上昇させることにより、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に各キャップ８７を接触（密着）させる。次いで、制御装置１６は、エジェクタ６０を作動させて、この吸引力により、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから流体（気体および液体）を吸引する。
【０１０４】
なお、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に各キャップ８７を接触させる動作は、キャップ昇降機構８３３を作動させて各キャップ８７を上昇させることに代えて、ヘッドユニット高さ調整機構２０を作動させてヘッドユニット１１を下降させることで行ってもよい。すなわち、ヘッドユニット高さ調整機構２０がヘッド−キャップ相対移動機構３００の一部を構成してもよい。
【０１０５】
液滴吐出装置１では、このようなキャッピング吸引動作は、定期的にまたは随時に行われるが、本実施形態の液滴吐出装置１では、次のような４つの目的に適用される４種のキャッピング吸引動作を行う。
第１のキャッピング吸引動作は、各液滴吐出ヘッド１１１内に吐出対象液を初期充填する際に、液滴吐出ヘッド１１１内に吐出対象液を充満させる目的で行われるものである。
第２のキャッピング吸引動作は、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルの詰まりを解消し、適正な吐出状態を回復する目的で行われるものである。
【０１０６】
第３のキャッピング吸引動作は、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内から吐出対象液を排出する目的で行われるものである。すなわち、第３のキャッピング吸引動作は、使用する吐出対象液を種類の異なるものに交換する場合や、基板Ｗの生産を一旦終了する場合に、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内から吐出対象液を排出し切る（抜き取る）場合に行われる。この第３のキャッピング吸引動作を行う際には、吐出対象液供給装置４は、各液滴吐出ヘッド１１１への吐出対象液の供給を停止する。
【０１０７】
第４のキャッピング吸引動作は、各液滴吐出ヘッド１１１へ供給された洗浄液を吸引して各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内を洗浄する（以下、単に「流路内洗浄」とも言う）目的で行われるものである。第４のキャッピング吸引動作を行う際には、タンク収納部１３の第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２を取り外し、代わりに洗浄液（例えばブチルアルコール等の溶剤など）を貯留した洗浄液タンクを載せ換え、この洗浄液タンクから一次流路４１１、二次タンク４１２および二次流路４１４を経て、各液滴吐出ヘッド１１１内に洗浄液を貯留する。なお、この洗浄液タンクは、初めからタンク収納部１３に設置しておき、洗浄を行うときに流路を切り替えて洗浄液を供給するように構成されていてもよい。
また、これらの各キャッピング吸引動作では、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥するのを防止する効果も得られる。
【０１０８】
制御装置１６は、前記第１〜第４の各キャッピング吸引動作に対応する第１モード、第２モード、第３モードおよび第４モードの各制御モードを有している。オペレーターは、操作パネル１００を操作して第１〜第４モードのいずれかを選択し、実行するキャッピング吸引動作の種類を入力する。制御装置１６は、第１〜第４のキャッピング吸引動作のうち、選択（入力）されたモードに対応するキャッピング吸引動作を実行するように各部の制御を行う。
【０１０９】
以下、図１９に基づいて、液滴吐出装置１が稼動するときの工程の流れの一例を説明する。液滴吐出装置１の稼動を開始する際には、稼動前の準備作業の１つとして、第１モードによる第１のキャッピング吸引動作を行い、吐出対象液の初期充填を行う（ステップＳ１）。吐出対象液の初期充填その他の準備作業が完了したら、基板Ｗに対して液滴吐出動作を行い、パターンを形成（描画）する（ステップＳ２）。
【０１１０】
基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を終了し（ステップＳ３）、さらに基板Ｗの生産を継続する場合には（ステップＳ４）、ドット抜け検出ユニット１９を用いてドット抜け検査を行い、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルに詰まりが生じていないかどうかを検査する（ステップＳ５）。ドット抜け検査の結果、いずれの吐出ノズルにもノズル詰まりを生じていない場合には、ステップＳ２に戻り、新たな基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を再開する。
【０１１１】
ドット抜け検査の結果、ノズル詰まりを生じている吐出ノズルがある場合には、第２モードによる第２のキャッピング吸引動作を行い、吐出ノズルの詰まりを解消し、適正状態を回復する（ステップＳ６）。この場合、詰まっている吐出ノズルが属する液滴吐出ヘッド１１１のみから吸引してもよく、また、全液滴吐出ヘッド１１１から吸引してもよい。第２のキャッピング吸引動作を終えたら、クリーニングユニット８１を用いて各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃を行う（ステップＳ７）。そして、ステップＳ５に戻り、再度ドット抜け検査を行う。
【０１１２】
ステップＳ４において、基板Ｗの生産を継続しない場合（吐出対象液を種類の異なるものに交換する場合や、基板Ｗの生産を一旦終了する場合等）には、第３モードによる第３のキャッピング吸引動作を行い、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内から吐出対象液を排出する（ステップＳ８）。次いで、第４モードによる第４のキャッピング吸引動作を行い、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内に洗浄液を流通させて吐出対象液を洗い流し、清浄な状態にする（ステップＳ９）。基板Ｗの生産を再開する場合には、ステップ１に戻り、吐出対象液の初期充填から開始する。
なお、上述したような図１９に示す一連の工程は、制御装置１６の制御により、全自動で行われるように構成されていてもよい。
【０１１３】
以下、各キャップ８７への吸引配管系統について説明する。
図１７に示すように、各キャップ８７には、それぞれ、吸引流路８８２が接続されている。各吸引流路８８２の途中には、それぞれ、当該流路を開閉可能（開通／遮断の切り替え可能）な開閉弁８８３が設置されている。開閉弁８８３は、駆動手段８９８を介したアクチュエータの作動によって切り替え作動するようになっており、制御装置１６の制御に基づいて切り替わる。
さらに、各吸引流路８８２の途中には、それぞれ、当該流路内の圧力を検出する圧力センサ（圧力検出手段）８８４が設置されている。この圧力センサ８８４の検出結果は、制御装置１６に入力され、この検出結果に基づいて、各キャップ８７における吸引エラー等を検知して報知したりすることができる。
【０１１４】
本実施形態では、キャッピング吸引動作では、各開閉弁８８３の開閉の切り替えにより、全キャップ８７のうちの１個のキャップ８７以外のキャップ８７からの吸引流路８８２を遮断した状態として、当該１個のキャップ８７から吸引する。そして、開閉弁８８３を切り替えていき、全キャップ８７を１個ずつ順次吸引する。
このようにして、液滴吐出装置１は、１２個の液滴吐出ヘッド１１１に対して１個ずつ順次キャッピング吸引動作を行う。これにより、１台のエジェクタ６０（吸引力発生手段）で複数の液滴吐出ヘッド１１１から同時に吸引する場合と比べ、各液滴吐出ヘッド１１１に対する吸引力にムラが出るようなことがないので、全部の液滴吐出ヘッド１１１に対して、第１〜第４のキャッピング吸引動作による吐出ノズル詰まり解消、吐出対象液の充填、吐出対象液の排出、流路内洗浄をより確実に（より効果的に）行うことができる。
【０１１５】
キャッピング吸引動作において、吸引対象とするキャップ８７を順次切り替えていく場合、その切り替えのタイミングは、例えば、予め設定した一定の時間が経過するのを待って切り替えていくものとすることができる。あるいは、圧力センサ８８４の検出結果に基づいて切り替えていってもよいし、これらを組み合わせたような方法でもよい。
なお、本発明では、このような制御を行わず、全液滴吐出ヘッド１１１（全キャップ８７）に対して一斉にキャッピング吸引動作を行ってもよい。
【０１１６】
図１７に示すように、すべての吸引流路８８２は、一本に合流して排出流路１７６となり、この排出流路１７６は、三方弁（流路切り替え手段）１７５に接続されている。三方弁１７５は、アクチュエータにより自動で切り替え可能になっており、制御装置１６の制御に基づいて切り替わる。
三方弁１７５の下流側は、流入流路１７３と、流入流路１７４とに分岐しており、流入流路１７３は、第１の再利用タンク１７１に接続されており、流入流路１７４は、第２の再利用タンク１７２に接続されている。第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２は、前述したようにタンク収納部１３に設置されている。
【０１１７】
本実施形態では、上述した第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、流入流路１７３、流入流路１７４、三方弁１７５および排出流路１７６により、液体回収装置（液体回収手段）１７が構成される。
液体回収装置１７は、第１〜第３のキャッピング吸引動作において、排出流路１７６を流れてきた吐出対象液を、三方弁１７５の切り替えにより、第１の再利用タンク１７１または第２の再利用タンク１７２内に導入し、貯留する。
【０１１８】
このように、液体回収装置１７は、第１〜第３のキャッピング吸引動作において各液滴吐出ヘッド１１から排出された吐出対象液を移送し、これを他の液体（例えば、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９で受けた吐出対象液や、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内の洗浄に用いた洗浄液など）と混合することなく、専用の第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に貯留する。また、本実施形態の液体回収装置１７は、各組のキャップ８７を介して吸引した吐出対象液を共通して第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に貯留する。
【０１１９】
第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液は、液滴吐出ヘッド１１１より排出されてから第１の再利用タンク１７１または第２の再利用タンク１７２に移送されてくるまでの間、外部に露出しておらず、外気にも接触していないので、ゴミ等の異物の混入が無いかあっても僅かであり、溶媒が蒸発して濃度が変化しているようなこともない。また、上述したように他の液体も混入していないので、変質・劣化・異物混入などのない、良好な状態の吐出対象液である。よって、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液は、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻して、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液として再利用することができる。これにより、吐出対象液の無駄な消費量を大幅に削減することができるので、基板Ｗの製造コストの低減が図れる。
【０１２０】
第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液に対しては、再利用する前（第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻す前）に、その中の不純物を除去する処理（例えば、フィルターによるろ過などの処理）や、その中に溶解した気体を除去する脱気処理（例えば、減圧環境下に置いて、溶解した気体を発泡させるなどの処理）を施すことが好ましい。これにより、回収した吐出対象液をより良好な状態にして再利用することができる。
【０１２１】
また、第４のキャッピング吸引動作を行う際には、各液滴吐出ヘッド１１１内および吐出対象液の流路内を洗浄する際には、各液滴吐出ヘッド１１１に洗浄液が供給されるが、このときには、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に代えて図示しない廃液タンクを据えて、この廃液タンクに使用済みの洗浄液を回収する。
【０１２２】
本実施形態の液体回収装置１７では、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴うキャッピング時の吸引量の増大に有効に対応することができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の各々の容量を過大にすることなく全体の大容量化が図れるので、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の重量（特に満杯時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の交換（回収）を交互に行うことにより、液滴吐出装置１の稼動を停止することなく、吐出対象液を回収することができる。よって、生産効率の向上が図れ、高い生産量（スループット）が得られる。
【０１２３】
図１３（ｂ）に示すように、液体回収装置１７は、第１の再利用タンク１７１の内部の液量を検出する液量検出手段１７７ａをさらに有している。液量検出手段１７７ａは、第１の再利用タンク１７１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の再利用タンク１７１内に連通した光透過性を有するチューブ１７８と、第１の再利用タンク１７１の頂部付近においてチューブ１７８を挟んで対向するように設置された投光部１７９および受光部１７０とで構成されている。この液量検出手段１７７ａは、受光部１７０での受光光量の変化により、第１の再利用タンク１７１内の液量が増大して所定の上限レベルＦ（満杯の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段１７７ａの検出結果は、制御装置１６に入力される。また、液体回収装置１７は、第２の再利用タンク１７２の内部の液量を検出する前記液量検出手段１７７ａと同様の液量検出手段１７７ｂをさらに有している。
【０１２４】
このような液体回収装置１７では、図１７に示す状態では、キャッピングユニット８３から吸引された吐出対象液は、第１の再利用タンク１７１内に導入される。そして、第１の再利用タンク１７１内に吐出対象液が蓄積していき、液量検出手段１７７ａが第１の再利用タンク１７１が満杯になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁１７５を切り替え、吐出対象液が第２の再利用タンク１７２内に導入される状態に切り替える。
【０１２５】
制御装置１６は、第１の再利用タンク１７１が満杯になったとき、および、第２の再利用タンク１７２が満杯になったときには、それぞれ、その旨を例えば前記と同様の方法で報知し、タンクの交換（吐出対象液の回収）を作業者に促すのが好ましい。
なお、本実施形態の液体回収装置１７では、上述したように再利用タンクが２個設けられているが、再利用タンクの設置個数は、１個でも、３個以上でもよい。
【０１２６】
以上説明したように、本実施形態の液滴吐出装置１では、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作を行うように構成されていることにより、１つのキャッピングユニット８３を用いて、吐出対象液の初期充填、吐出ノズル詰まり解消、吐出対象液の排出、および、流路内洗浄のそれぞれを行うことができ、これらの４つの目的ごとにそれぞれ別のユニット（装置）を設ける必要がない。よって、液滴吐出装置１の開発（設計・試作・実験等）に要する期間（時間）を短縮したり、液滴吐出装置１を小型化したり、液滴吐出装置１の構造を簡素化したり、液滴吐出装置１の製造コストを低減したりすることができる。また、液滴吐出装置１を稼動させる際の準備作業としての調整作業（例えばキャップ昇降機構８３３の昇降ストローク調整など）も１つのキャッピングユニット８３に対してのみ行えばよいので、この調整作業量を少なくすることができ、オペレーターの負担を軽減することができる。このようなことから、液滴吐出装置１では、生産する基板Ｗの製造コストの低減にも寄与する。
【０１２７】
なお、本発明の液滴吐出装置では、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作のうちの少なくとも２つのキャッピング吸引動作を行うように構成されているのが好ましく、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作のうちの少なくとも３つのキャッピング吸引動作を行うように構成されていることがより好ましく、本実施形態のように、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作の各キャッピング吸引動作をすべて行うように構成されていることが最も好ましい。
【０１２８】
さて、このような液滴吐出装置１は、キャッピング吸引動作中に液滴吐出ヘッド１１１に作用する吸引力が経時的に（時間の経過に伴って）増大するように制御する吸引力制御手段７を備えている。本実施形態の吸引力制御手段７は、エジェクタ６０に供給する圧縮エア（作動流体）の流量を調節することにより、エジェクタ６０が発生する吸引力を制御する。以下、この吸引力制御手段７について説明する。
【０１２９】
図１７に示すように、吸引力制御手段７は、圧縮エア供給手段９９９から供給される圧縮エアの流路を２つに分岐させた分岐流路７１および７２と、分岐流路７１および７２のうちの１つに圧縮エアを流すように流路を切り替える三方弁（流路切り替え弁）７３と、分岐流路７１および７２にそれぞれ設置された調整弁（レギュレータ）７４および７５とを備えている。図２０および図２１に示すように、本実施形態では、三方弁７３、調整弁７４および７５は、エジェクタ６０の近傍に設置されている。
【０１３０】
また、図１８に示すように、吸引力制御手段７は、制御装置１６の制御（指令）に基づいて三方弁７３を図示しないアクチュエータによって切り替え作動させる駆動手段７６をさらに備えている。また、制御装置１６の機能の一部も、吸引力制御手段７を構成する。
調整弁７４は、調整弁７５よりも、少ない流量レベルの仕様になっており、圧縮エアは、分岐流路７１を流れる場合は、分岐流路７２を流れる場合よりも流量が少なくなるように調整される。よって、圧縮エアが分岐流路７１を通過するように三方弁７３を切り替えると、エジェクタ６０に比較的少ない流量で圧縮エアが供給され、その結果、エジェクタ６０が発生する吸引力は比較的小さくなる。これに対し、圧縮エアが分岐流路７２を通過するように三方弁７３を切り替えると、エジェクタ６０に比較的多い流量で圧縮エアが供給され、その結果、エジェクタ６０が発生する吸引力は比較的大きくなる。
【０１３１】
制御装置１６は、前記第１のキャッピング吸引動作および第２のキャッピング吸引動作を行う場合、初めはエジェクタ６０が発生する吸引力を比較的弱い状態（圧縮エアを分岐流路７１に流す状態）にし、その後、三方弁７３を切り替えて、エジェクタ６０が発生する吸引力を比較的強い状態（圧縮エアを分岐流路７２に流す状態）にするように制御する。この場合、前述したように１２個の液滴吐出ヘッド１１１に対して１個ずつ順次キャッピング吸引動作を行っていくが、各液滴吐出ヘッドに対するキャッピング吸引動作中でそれぞれ初めは吸引力が弱い状態とし、その後、吸引力が強い状態とする。
【０１３２】
このような吸引力制御手段７により、本発明の液滴吐出装置１では、前記第１のキャッピング吸引動作および第２のキャッピング吸引動作を行う場合、キャッピング吸引動作中に液滴吐出ヘッド１１１に作用する吸引力が経時的に段階的に（２段階に）増大するように制御する。これにより、キャッピング吸引動作の初期の段階では液滴吐出ヘッド１１１からゆっくりとした流速で吸引されるので、吐出対象液に溶け込んでいた気体が気泡となって液滴吐出ヘッド１１１内や配管内に発生するのを防止することができる。その結果、高い吸引効率を維持することができる。また、液滴吐出ヘッド１１１内や配管内に気泡が発生しないので、吐出ノズルの詰まりを解消する場合、全吐出ノズルについてより確実に解消することができ、また、気泡がその後の液滴吐出動作に悪影響を及ぼすのを防止することもできる。そして、キャッピング吸引動作のその後の段階では液滴吐出ヘッド１１１から速い流速で吸引されるので、前記の高い吸引効率と相まって、吐出対象液の初期充填（第１のキャッピング吸引動作）や、吐出ノズル詰まり解消（第２のキャッピング吸引動作）を迅速に（短時間で）行うことができる。よって、サイクルタイム（基板Ｗ１枚当たりの処理時間）を短縮することができるので、生産効率（能率）が向上し、基板Ｗの製造コストの低減が図れる。
なお、前記第３のキャッピング吸引動作および第４のキャッピング吸引動作においては、経時的に一定の吸引力で吸引してもよいが、上記と同様に経時的に吸引力を増大させて行うのが好ましい。これにより、前記第３のキャッピング吸引動作および第４のキャッピング吸引動作についても迅速かつ確実に行うことができる。
【０１３３】
図２０および図２１に示すように、調整弁７４、７５では、それらのツマミ７４１、７５１を回すことにより、圧縮エアの流量（または圧力）を調整可能になっている。キャッピング吸引動作では、吐出対象液の粘度等の特性によって吸引力の好ましい大きさが異なるが、事前にツマミ７４１、７５１を調整することにより、吐出対象液の特性に合わせて、第１段階の弱い吸引力の大きさと、第２段階の強い吸引力の大きさとをそれぞれ好ましいレベルに設定することができる。また、調整弁７４、７５では、それらの備える目盛り（ゲージ）７４２、７５２に圧力が表示され、この表示を見ながらツマミ７４１、７５１を回して圧力（流量）を容易に調整することができる。
なお、調整弁７４、７５としては、図示のようなマニュアル調整レギュレータに限らず、例えば電空レギュレータを用いることもでき、より細かな制御を行うことも可能である。
【０１３４】
また、キャッピング吸引動作の継続時間や、吸引力（三方弁７３）の切り替えのタイミング等の吸引条件は、操作パネル１００から入力して設定可能になっており、吐出対象液の特性等に合わせて調整（変更）することができる。なお、前記第１〜第４のキャッピング吸引動作における吸引条件は、それぞれの目的に合わせ、互いに異なる条件に設定されていても、互いに同じ条件でもよい。また、吸引力制御手段７は、各圧力センサ８８４で検出した圧力に基づいて吸引条件を制御するようにしてもよい。
【０１３５】
図１７に示すように、本実施形態では、エジェクタ６０は、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２の下流側に設けられており、これらの内部を負圧にするように作動することにより、キャップ８７での吸引力を発生するように構成されている。これにより、エジェクタ６０は、空気（気体）のみを吸引し、吐出対象液（液体）を吸引しないで済むので、エジェクタ６０での吸引効率をさらに向上することができる。また、簡単な構造で、１台のエジェクタ６０により複数の液滴吐出ヘッド１１１（複数のキャップ８７）に対応することができる。
なお、本発明では、このような構成に限らず、エジェクタ６０等の吸引力発生手段を第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２の上流側に設け、吸引力発生手段が液体を吸引するように構成されていてもよい。
【０１３６】
また、本実施形態では、吸引力発生手段としてエジェクタ６０を用いたことにより、次のような効果が得られる。まず、エジェクタ６０は、ポンプと異なり可動部を有さず小型であるので、装置の簡素化および小型化が図れる。また、キャッピング吸引動作の初期の段階において、吐出対象液に先行して空気（気体）が吸引される場合であっても、ポンプの場合と比べて高い吸引効率で吸引することができるので、要する時間をさらに短縮することができる。
なお、エジェクタ６０に供給する作動流体は、本実施形態と異なり、液体であってもよい。
【０１３７】
なお、本発明では、吸引力発生手段としては、エジェクタに限らず、ポンプ（真空ポンプ）を用いてもよく、そのポンプの形式も、ピストンポンプ、遠心ポンプなど、いかなるものでもよい。その場合、吸引力制御手段は、該ポンプの回転数を調整することによって、液滴吐出ヘッド１１１に作用する吸引力が経時的に増大するように制御するものとすることができる。
【０１３８】
また、本発明では、図示の構成と異なり、エジェクタ６０等の吸引力発生手段を各液滴吐出ヘッド１１１（各キャップ８７）に対して１台ずつ設けてもよい。この場合、全部の液滴吐出ヘッド１１１に対するキャッピング吸引動作を同時に行うことができる。
また、本実施形態では、吸引力制御手段７は、吸引力が経時的に２段階に増大するように制御するものであったが、本発明では、吸引力制御手段は、吸引力が経時的に３段階以上に増大するように制御するものであってもよく、また、吸引力が経時的に連続的に（無段階的に）増大するように制御するものであってもよい。
【０１３９】
以上、本発明の液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
例えば、Ｙ軸方向移動機構、Ｘ軸方向移動機構は、リニアモータを利用するものに代えて、例えばボールねじ（送りねじ）などを利用するものでもよい。
また、キャッピング吸引動作は、キャップを液滴吐出ヘッドに近接させた状態、すなわち、キャップを液滴吐出ヘッドに接触させない状態で行ってもよい。
【０１４０】
さらに、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）を装置本体に対し固定とし、ワーク（ワーク載置部）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。また、これと逆に、ワーク（ワーク載置部）を装置本体に対し固定とし、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。すなわち、本発明の液滴吐出装置は、ワーク載置部と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構を備えるものであればよい。
【０１４１】
また、本発明の電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。本発明の電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
【０１４２】
また、本発明の電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。本発明の電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図。
【図４】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図。
【図５】ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図。
【図６】図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図。
【図８】パターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図。
【図９】タンク収納部を示す斜視図。
【図１０】液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図。
【図１１】液滴吐出装置における付帯装置を示す側面図。
【図１２】吐出対象液供給装置、洗浄液供給装置および排液装置を示す配管系統図。
【図１３】液量検出手段の構成を模式的に示す図。
【図１４】付帯装置におけるキャッピングユニットを示す斜視図。
【図１５】付帯装置におけるキャッピングユニットを示す側面図。
【図１６】液滴吐出ヘッドにキャップが接触した状態を示す断面図。
【図１７】キャッピングユニットの各キャップへの吸引配管系統図。
【図１８】図１および図２に示す液滴吐出装置のブロック図。
【図１９】液滴吐出装置が稼動するときの工程の流れを示すフローチャート。
【図２０】エジェクタ、流路切り替え弁および調整弁を示す斜視図。
【図２１】エジェクタ、流路切り替え弁および調整弁を示す正面図。
【符号の説明】
１……液滴吐出装置、１０……液滴吐出システム、１００……操作パネル、１０１……薄板、１０５……θ軸回転機構、１０４……描画前フラッシングユニット、１０６……カメラキャリッジ、１０７……認識カメラ、１０８……ベース、１１……ヘッドユニット、１１１……液滴吐出ヘッド、１１２……流入口、１２……付帯装置、１３……タンク収納部、１４……ブロー装置、１５……レーザー測長器、１５１……レーザー測長器センサヘッド、１５２……ミラー、１５３……レーザー測長器本体、１５４……コーナーキューブ、１６……制御装置、１６１……ＣＰＵ、１６２……記憶部、１７……液体回収装置、１７１……第１の再利用タンク、１７２……第２の再利用タンク、１７３……流入流路、１７４……流入流路、１７５……三方弁、１７６……排出流路、１７７ａ……液量検出手段、１７７ｂ……液量検出手段、１７８……チューブ、１７９……投光部、１７０……受光部、１８……排液装置、１８１……第１の排液タンク、１８２……第２の排液タンク、１８３……流入配管、１８４……流入配管、１８５……三方弁、１８６……排液配管、１９……ドット抜け検出ユニット、２０……ヘッドユニット高さ調整機構、２……装置本体、２１……架台、２１１……枠体、２１２……支持脚、２２……石定盤、２２１……Ｙ軸方向移動機構支持部、２２２……支柱支持部、２２３……支柱支持部、２３……支柱、２４……桁、２５……桁、３……基板搬送テーブル、３３２……吸引口、４……吐出対象液供給装置、４０……一次タンク系、４０１……第１の一次タンク、４０２……第２の一次タンク、４０３……流出配管、４０４……流出配管、４０５……三方弁、４０６……加圧ポンプ、４０７……加圧配管、４０８……加圧配管、４０９……三方弁、４１０……配管、４１１……一次流路、４１２……二次タンク、４１３……中継部、４１４……二次流路、４１５……遮断弁、４１６……液量検出手段、４１７……チューブ、４１８……投光部、４１９……受光部、４２０……液量検出手段、５……Ｙ軸方向移動機構、５１……リニアモータ、５２……エアスライダ、５２１……スライドガイド、５２２……スライドブロック、６……Ｘ軸方向移動機構、６１……メインキャリッジ、６２……リニアモータアクチュエータ、６３……ガイド、７……吸引力制御手段、７１……分岐流路、７２……分岐流路、７３……三方弁、７４……調整弁、７４１……ツマミ、７４２……目盛り、７５……調整弁、７５１……ツマミ、７５２……目盛り、７６……駆動手段、９９９……圧縮エア供給手段、８１……クリーニングユニット、８２……定期フラッシングユニット、８２１……液受け部、８３……キャッピングユニット、８３１……ベースプレート、８３２……支持部、８３３……キャップ昇降機構、８４……吐出量測定用ユニット、８５……付属台、８５１……ガイド、８５２……ボールねじ、８５３……モータ、８５４……保守ユニット移動機構、８６……移動台、８６１……上段、８６２……下段、８６３……昇降機構、８６４……昇降ハンドル、８７……キャップ、８７１……キャップ本体、８７２……キャップホルダ、８７３……コイルバネ、８７４……凹部、８７５……シールパッキン、８７６……吸収材���８７７……押さえ部材、８７８……排出口、８７９……Ｌ字継ぎ手、８８０……開放弁、８８１……コイルバネ、８８２……吸引流路、８８３……開閉弁、８８４……圧力センサ、８９８……駆動手段、５０……洗浄液供給装置、５０１……第１の洗浄液タンク、５０２……第２の洗浄液タンク、５０３……流出配管、５０４……流出配管、５０５……三方弁、５０６……加圧ポンプ、５０７……加圧配管、５０８……加圧配管、５０９……三方弁、５１０……配管、５１１……給液配管、６０……エジェクタ、６０１……吸引口、６０２……供給口、６０３……排出口、３００……ヘッド−キャップ相対移動機構、Ｗ……基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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