(57)【要約】【課題】結合長の波長依存性を改善した音響光学チューナブルフィルタを提供する。【解決手段】基板と、前記基板上に並列に形成された第１及び第２の弾性表面波のガイドと、前記第１の弾性表面波のガイドの一端側に形成され、弾性表面波を生成する第１のＩＤＴと、前記第２の弾性表面波のガイド上に形成された光導波路と、前記光導波路の入力側と出力側のそれぞれあるいは片方に、光波長多重信号のＴＭモードとＴＥモードを分離又は、合成する偏光ビームスプリッタもしくは偏光子を有し、前記に第１及び第２の弾性表面波のガイドの伝播特性が互いに異なるように構成される。【選択図】図３
2004294472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に並列に形成された第１及び第２の弾性表面波のガイドと、
前記第１の弾性表面波のガイドの一端側に形成され、弾性表面波を生成する第１のＩＤＴと、
前記第２の弾性表面波のガイド上に形成された光導波路と、
前記光導波路の入力側と出力側のそれぞれ又はいずれか一方に、光波長多重信号のＴＭモードとＴＥモードを分離又は合成する偏光ビームスプリッタもしくは偏光子を有し、
前記に第１及び第２の弾性表面波のガイドの伝播特性が互いに異なるように構成されている
ことを特徴とする音響光学チューナブルフィルタ。
【請求項２】
請求項１において、
更に、前記第２の弾性表面波のガイドを中心にして前記第１の弾性表面波のガイドと反対側に形成される第３の弾性表面波のガイドと、
前記第３の弾性表面波のガイドの一端側に形成され、弾性表面波を生成する第２のＩＤＴを有し、
前記第１及び第２のＩＤＴに同相の駆動信号を付与するように構成され、
更に前記第３の弾性表面波のガイドの伝播特性が少なくとも前記第２の弾性表面波のガイドの伝播特性と異なるように構成されたことを特徴とする音響光学チューナブルフィルタ。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第１乃至第３の弾性表面波のガイドは、前記弾性表面波のガイドとなる領域の両側の前記基板上にＴｉを拡散することにより形成されることを特徴とする音響光学チューナブルフィルタ。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記第１又は、第３の弾性表面波のガイドの幅を、前記第２の弾性表面波のガイドの幅と異ならすことにより、前記弾性表面波のガイドの伝播特性が互いに異なるように構成されていることを特徴とする音響光学チューナブルフィルタ。
【請求項５】
請求項１または２において、
前記第１乃至第３の弾性表面波のガイドを前記基板上に形成した薄膜により構成し、且つ前記第１又は、第３の弾性表面波のガイドに対する薄膜の厚さを前記第２の弾性表面波のガイドに対する薄膜の厚さと異ならすことにより、前記弾性表面波のガイドの伝播特性が互いに異なるように構成されていることを特徴とする音響光学チューナブルフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路を伝播する光と弾性表面波（ＳＡＷ：Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ）との相互作用を利用した音響光学チューナブルフィルタ（ＡＯＴＦ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
音響光学チューナブルフィルタは、交叉指状電極即ち、インターディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）により弾性表面波を発生し、この弾性表面波を光導波路に関連して伝播することで、光導波路の複屈折と弾性表面波の周波数により決まる特定波長の光に対して選択性を与える。
【０００３】
したがって、音響光学チューナブルフィルタに入力される波長分割多重された複数のチャネルの光信号は、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）等により分離され、弾性表面波と作用することでＴＥモードからＴＭモードへのモード変換或いはこの逆のモード変換を行う。
【０００４】
さらに、このモード変換された光を同様に偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）等により取り出すことで、波長分割多重された複数のチャネルの光信号を選択光と非選択光に分離することができる。
【０００５】
そして、選択光の波長は弾性表面波の周波数により決まるので、選択光の波長が同調可能（チューナブル）になる。かかる音響光学チューナブルフィルタの特性の改善に関し、種々の技術が提案されている。
【０００６】
その一つとして、誘電体基板上に光導波路を形成し、この光導波路により伝播される光のモードを変換する弾性表面波を発生させる交叉指状電極を有する構成において、弾性表面波を伝達する弾性表面波導波路の幅を前記交叉指状電極の最大交叉幅より大とすることによりフィルタ特性を改善する技術が知られている（特許文献１参照）。
【０００７】
また、光導波路に沿って、結合係数を徐々に変化するようにしてフィルタ特性におけるサイドロープを抑制する技術が知られている（特許文献２参照）。
【０００８】
さらに、音響光学チューナブルフィルタの特性の改善は、弾性表面波の強度分布に重み付けをすることにより可能である。重み付けの方法の一例として、上記の特許文献１，２のいずれにも記載のない弾性表面波（ＳＡＷ）方向性結合器を用いる方法があり、この方法によるサイドローブの低減など音響光学チューナブルフィルタの特性を改善する技術が知られている（非特許文献１）。
【０００９】
【特許文献１】
特開平５−１５０２０４号公報
【００１０】
【特許文献２】
特開平８−１１４７７６号公報
【００１１】
【非特許文献１】
Ｄ．  Ａ．  Ｓｍｉｔｈ  ａｎｄ  Ｊ．  Ｊ．  Ｊｏｈｏｎｓｏｎ，
”Ｓｉｄｅｌｏｂｅ  ｓｕｐｒｅｓｓｉｏｎ  ｉｎ  ａｎ  ａｃｏｕｓｔｏ−ｏｐｔｉｃ  ｆｉｌｔｅｒ  ｗｉｔｈ  ａ  ｒａｉｓｅｄ−ｃｏ        ｓｉｎｅ  ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ  ｓｔｒｅｎｇｔｈ”    Ａｐｐｌ．  Ｐｈｙｓ．  Ｌｅｔｔ．  ６１，  ｐｐ１０２５−１０２７
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上記の非特許文献１に記載される弾性表面波方向性結合器では、結合長に波長依存性が存在する。その理由は以下のとおりである。
【００１３】
一般に音響光学チューナブルフィルタの選択波長λは、の式で表される。ここでΔｎは光導波路の複屈折であり、Ｖは弾性表面波（ＳＡＷ）の音速、ｆは弾性表面波の周波数である。
【００１４】
ここで、選択波長λを変化させるためには、弾性表面波の周波数ｆを変える必要がある。弾性表面波の周波数ｆにより弾性表面波伝播路（ガイド）での弾性表面波の閉じ込めの強さが変わるため、結合長が変化する。そのため、音響光学チューナブルフィルタの選択波長によって弾性表面波の結合長が変化する。
【００１５】
一方、音響光学チューナブルフィルタは、近年における通信波長帯の拡大とともに同調範囲の広いものが求められており、広範囲の波長に渡って好ましい特性を実現するためには、結合長の波長依存性が問題となってくる。
【００１６】
したがって、本発明の目的は、結合長の波長依存性を改善した音響光学チューナブルフィルタを提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記の本発明の課題を達成する音響光学チューナブルフィルタの第１の態様は、基板と、前記基板上に並列に形成された第１及び第２の弾性表面波のガイドと、前記第１の弾性表面波のガイドの一端側に形成され、弾性表面波を生成する第１のＩＤＴと、前記第２の弾性表面波のガイド上に形成された光導波路と、前記光導波路の入力側と出力側のそれぞれあるいは片方に、光波長多重信号のＴＭモードとＴＥモードを分離又は、合成する偏光ビームスプリッタもしくは偏光子を有し、前記に第１及び第２の弾性表面波のガイドの伝播特性が互いに異なるように構成されていることを特徴とする。
【００１８】
上記の本発明の課題を達成する音響光学チューナブルフィルタの第２の態様は、第１の態様において、更に、前記第２の弾性表面波のガイドを中心にして前記第１の弾性表面波のガイドと反対側に形成される第３の弾性表面波のガイドと、前記第３の弾性表面波のガイドの一端側に形成され、弾性表面波を生成する第２のＩＤＴを有し、前記第１及び第２のＩＤＴに同相の駆動信号を付与するように構成され、更に前記第３の弾性表面波のガイドの伝播特性が少なくとも前記第２の弾性表面波のガイドの伝播特性と異なるように構成されたことを特徴とする。
【００１９】
上記の本発明の課題を達成する音響光学チューナブルフィルタの第３の態様は、第１または第２の態様において、前記第１乃至第３の弾性表面波のガイドは、前記弾性表面波のガイドとなる領域の両側の前記基板上にＴｉを拡散することにより形成されることを特徴とする。
【００２０】
上記の本発明の課題を達成する音響光学チューナブルフィルタの第４の態様は、第１または第２の態様において、前記第１又は、第３の弾性表面波のガイドの幅を、前記第２の弾性表面波のガイドの幅と異ならすことにより、前記弾性表面波のガイドの伝播特性が互いに異なるように構成されていることを特徴とする。
【００２１】
更に、上記の本発明の課題を達成する音響光学チューナブルフィルタの第５の態様は、第１または第２の態様において、前記第１乃至第３の弾性表面波のガイドを前記基板上に形成した薄膜により構成し、且つ前記第１又は、第３の弾性表面波のガイドに対する薄膜の厚さを前記第２の弾性表面波のガイドに対する薄膜の厚さと異ならすことにより、前記弾性表面波のガイドの伝播特性が互いに異なるように構成されていることを特徴とする。
【００２２】
本発明の特徴は、以下に図面に従い説明される発明の実施の形態例から更に明らかになる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に図面に従い本発明の実施の形態例を説明するが、発明の正しい理解のために、上記に説明した結合長の波長依存性を示す音響光学チューナブルフィルタ特性と弾性表面波結合長の関係を説明しておく。
【００２４】
図１は、本発明の対象とする音響光学チューナブルフィルタの構成及び結合長の波長依存性を説明する図である。
【００２５】
図１Ａにおいて、図示しない基板上に第１，第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２が形成される。第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１の一端には、弾性表面波を生成するための櫛形電極によるＩＤＴ（  Ｉｎｔｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）１３が形成され、他端には、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２の一端とともに、弾性表面波吸収体１４が形成されている。
【００２６】
ＩＤＴ１３で生成された弾性表面波は、第１の弾性表面波ガイド１１から第２の弾性表面波ガイド１２に結合し、それぞれ弾性表面波ガイド１１及び第２の弾性表面波ガイド１２に沿って進行し、弾性表面波吸収体１４で終端される。
【００２７】
図１Ａの構成例では、かかる第１の弾性表面波ガイド１１と第２の弾性表面波ガイド１２により弾性表面波方向性結合器を形成している。さらに、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２上には、２本の光導波路１５が形成され、入力側ＩＮＰＵＴと、出力側ＯＵＴＰＵＴにそれぞれ偏光ビームスプリッタＰＢＳ（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｂｅａｍ  Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）  １、ＰＢＳ２が備えられる。
【００２８】
図１Ａに示す構成において、入力側ＩＮＰＵＴより入力される波長多重された光信号は、偏光ビームスプリッタＰＢＳ１によりＴＥモードとＴＭモードに分けられ、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２上のそれぞれ対応する光導波路を伝播する。
【００２９】
光導波路を伝播する過程で、光信号は、それぞれ弾性表面波と相互作用し、特定波長の光のみがモード変換される。モード変換後の光は第２の偏光ビームスプリッタＰＢＳ２で合波されるため、ＴＥモード、ＴＭモードに関わらず選択光（モード変換された光）と、非選択光が分離されて出射される。
【００３０】
以降は、図１Ａのように、２本の光導波路と、２つの偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）が形成されている構成で実施例を説明するが、本発明の適用可能性は、光導波路の本数や偏光ビームスプリッタの個数はこの限りではない。例えば、図１Ｂは本発明の対象とする音響光学チューナブルフィルタの別の構成例である。図１Ｂにおいて、図１Ａと同様に第１、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２が形成される。
【００３１】
図１Ａと異なる点は、第二の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２上に１本の光導波路１５が形成され、出力側ＯＵＴに偏光子１６または偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）が備えられる。この構成では、例えばＴＥモードの光信号が入力された場合には、ＴＭモードへモード変換された選択光のみが偏光子１６で取り出される。
【００３２】
さらに、図１Ｃにおいて、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１、１２の弾性表面波ガイド長と弾性表面波（ＳＡＷ）結合長の関係を示している。縦軸に、弾性表面波（ＳＡＷ）の強度分布が示され、横軸に弾性表面波（ＳＡＷ）結合長が与えられる。
【００３３】
弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド長の範囲内で、弾性表面波（ＳＡＷ）結合長における強度分布を積分した大きさの弾性表面波エネルギーが、光導波路１５を伝播する光信号との相互作用において与えられる。したがって、この弾性表面波（ＳＡＷ）結合長は、光波長によって変化しないことが望ましい。
【００３４】
図２は、音響光学チューナブルフィルタにおける弾性表面波結合長をシミュレーション結果により示す図である。
【００３５】
図２において、横軸は結合長であり、縦軸がクロストーク（隣接チャネルの消光比）である。Ｃバンド左端（１．５３μｍ）、Ｃバンド右端（１．５６μｍ）、Ｌバンド右端（１．６２μｍ）についてのシミュレーション結果が記されている。図２の例では、結合長を５０ｍｍ程度とすれば、Ｃ〜Ｌバンドのチューニングレンジにおいて何れも、隣接クロストークが−３０ｄＢ以下と小さい特性の音響光学チューナブルフィルタが得られることが判る。
【００３６】
しかし、先に非特許文献１に関して説明したように、弾性表面波の周波数ｆにより弾性表面波ガイドでの弾性表面波の閉じ込めの強さが変わるため、結合長が変化し、音響光学チューナブルフィルタの選択波長によって弾性表面波の結合長が変化する。
【００３７】
したがって、結合長が図２の破線領域内の範囲で波長とともに変化するため音響光学チューナブルフィルタの特性が劣化してしまうことが理解できる。本発明は、かかる不都合を解決するものである。
【００３８】
図３は弾性表面波方向性結合器を用いた本発明の対象とする音響光学チューナブルフィルタの実施例の平面図である。
【００３９】
図３において、基板１０は、例としてＬｉＮｂＯ３の圧電物質を用いる。この基板１０上にＳｉＯ２やＬｉＴａＯ３の薄膜を形成して、弾性表面波（ＳＡＷ）を閉じ込める第１，第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２が形成される。
【００４０】
第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１の一端には、弾性表面波を生成するためのＩＤＴ１３が形成され、他端には、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２の一端とともに、弾性表面波吸収体１４が形成されている。
【００４１】
ＩＤＴ１３で生成された弾性表面波は、第１の弾性表面波ガイド１１から第２の弾性表面波ガイド１２に結合し、それぞれ弾性表面波ガイド１１及び第２の弾性表面波ガイド１２に沿って進行し、弾性表面波吸収体１４で終端される。図２の構成例では、かかる第１の弾性表面波ガイド１１と第２の弾性表面波ガイド１２により弾性表面波方向性結合器を形成している。
【００４２】
さらに、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２上には、２本の光導波路が形成され、入力側ＩＮＰＵＴと、出力側ＯＵＴＰＵＴ１，２にそれぞれ偏光ビームスプリッタＰＢＳ（Ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｂｅａｍ  Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）  １、ＰＢＳ２が備えられる。偏光ビームスプリッタＰＢＳ１、ＰＢＳ２は、例えば、ウォラストンプリズムのような複屈折性の結晶によって、光線束を２つに分離するものが適用できる。
【００４３】
図３に示す構成において、入力側ＩＮＰＵＴより入力される多波長多重された光信号は、偏光ビームスプリッタＰＢＳ１によりＴＥモードとＴＭモードに分けられ、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２上のそれぞれ対応する光導波路を伝播する。
【００４４】
光導波路を伝播する過程で、光信号は、それぞれ弾性表面波と相互作用し、特定波長の光のみがモード変換される。モード変換後の光は第２の偏光ビームスプリッタＰＢＳ２で合波されるため、ＴＥモード、ＴＭモードに関わらず非選択光は第１の出力ＯＵＴＰＵＴ１に、選択光（モード変換された光）は第２の出力ＯＵＴＰＵＴ２に出射される。
【００４５】
なお、図３において、Ｗ１、Ｗ２は、それぞれ第１、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１、１２のガイド幅である。
【００４６】
ここで、弾性表面波（ＳＡＷ）の強度分布は、２つの弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２より成る弾性表面波（ＳＡＷ）方向性結合器により重み付けされており、図４、図５に示す如き強度分布である。
【００４７】
即ち、図４は従来型のＳＡＷ方向性結合器における結合長の様子を示す図であり、図４ＡのＣバンドから図４ＢのＬバンドに変わると結合長が変化してしまう（Ｃバンドに対し、それより波長の長いＬバンドでは、結合長が短くなる。）。これは、先に図２において、説明したように、図２の破線領域内の範囲で結合長が波長とともに変化することに対応する。
【００４８】
このように、結合長が変化する場合、音響光学チューナブルフィルタの重み付けが変化し、特性が変わってしまう。
【００４９】
かかる点から本発明者は、種々の実験測定により、ＳＡＷ方向性結合器を構成する２つの弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２における弾性表面波の伝播定数を異ならしめることにより結合長が変化されないことを見出した。
【００５０】
図５は、図４に対応して示される図であって、本発明の効果を説明する図である。図５ＡのＣバンドから図５ＢのＬバンドに変わる場合であっても、結合長が変化せず最適な重み付けを保つことが出来る。
【００５１】
以下に、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２の伝播定数を非対称となるように異ならしめる具体的実施例を説明する。
【００５２】
ここで、第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１に対して第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２のガイド幅を大きくし、または小さくすることで結合長の波長依存性を小さくできる。
【００５３】
図６に一例として、第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１に対して第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２のガイド幅を大きくした場合のシミュレージョン結果を示す。
【００５４】
図６において、縦軸に結合長、横軸に波長を表し、第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１のガイド幅Ｗ１（図３参照）を７０μｍとするとき、特性Ｉでは、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２のガイド幅Ｗ２を同じく７０μｍとし、特性ＩＩ、ＩＩＩは、それぞれ第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２のガイド幅Ｗ２を７４μｍ、７６μｍに変化した場合である。
【００５５】
第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１のガイド幅Ｗ１に対し、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２のガイド幅Ｗ２との差を大きくすることにより、光信号の選択波長に対する結合長の変化が少なくなることが理解できる。
【００５６】
図７は、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２の伝播定数を非対称となるように異ならしめる例として、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイドの膜厚を変化する例である。即ち、ガイド膜厚を変えることで弾性表面波（ＳＡＷ）の音速を変化させることができる。
【００５７】
図３において、基板１０上にＳｉＯ２やＬｉＴａＯ３の薄膜を生成して弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２を形成する。図６と同様に図７において、縦軸に結合長、横軸に波長を表している。第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１の膜厚を３２０ｎｍとするとき、特性Ｉでは、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２の膜厚を同じく３２０ｎｍとし、特性ＩＩ、ＩＩＩは、それぞれ第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２の膜厚を３２７ｎｍ、３２９ｎｍに変化した場合である。このように、ガイドの膜厚を非対称にすることで、この場合も結合長の波長依存性をなくすことが可能であることが解る。
【００５８】
また、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２の伝播定数を非対称となるように異ならしめる他の方法として弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２を構成する材質を変えることで音速を変えることができる。例えば、基板１０としてＬｉＮｂＯ３を用いた場合には、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２を構成するする材質として基板１０よりも音速の遅いＳｉＯ２や、ＬｉＴａＯ３などが考えられる。弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２に対して相互に異なる材質を用いて形成するように、即ち非対称に用いることにより音速を非対称にすることができる。
【００５９】
また、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２に不純物をドープすることで弾性表面波（ＳＡＷ）の音速を変えることができる。例えば、ＳｉＯ２薄膜による弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１又は１２にＩｎＳｎをドープした場合、音速を小さくすることができる。この場合、ドープ量を非対称にすることで、音速を非対称にすることができる。
【００６０】
さらに、本発明に従い上記したように、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２のガイド幅や弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２の音速を組み合わせて、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２を非対称にすることで結合長の波長依存性を少なくすることができる。
【００６１】
ここで、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイドによる弾性表面波（ＳＡＷ）方向性結合器は図３に示した２本の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２で構成されるもののみでなく、３本の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイドで構成することも可能である。
【００６２】
図８に３本の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２，１６で構成されたＳＡＷ方向性結合器の一例を示す。
【００６３】
図８において、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１と１６の一端で、それぞれＩＤＴ１３，１７により弾性表面波（ＳＡＷ）を生成する。この時、ＩＤＴ１３，１７には、同相の駆動信号が与えられる。
【００６４】
更に、図８の実施の形態におけるＳＡＷ方向性結合器においても、図３に示した２本の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２を用いるＳＡＷ方向性結合器と同様に、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイドのガイド幅や弾性表面波（ＳＡＷ）の音速を非対称にすることで結合長の波長依存性をなくすことができる。
【００６５】
図９に図８の実施例において、ガイド膜厚を非対称にした場合のシミュレーション結果を示す。図９において、特性Ｉでは、第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１の膜厚を３２０ｎｍを基準として、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２及びの第３の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１６の膜厚を同様に３２０ｎｍとしている。これに対し、特性ＩＩでは、第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１の膜厚３２０ｎｍに対し、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２及びの第３の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１６の膜厚をそれぞれ３２７，３２０ｎｍとしている。
【００６６】
さらに、特性ＩＩＩでは、第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１の膜厚３２０ｎｍに対し、第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２及びの第３の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１６の膜厚をそれぞれ３３１，３２０ｎｍとしている。
【００６７】
このように、３本の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２、１６を用いる場合であっても、相互の弾性表面波（ＳＡＷ）の音速を異ならす伝播特性を得るように膜厚を異ならすことにより、波長による結合長の変化を小さくすることが出来ることが理解できる。
【００６８】
ここで、上記した実施の形態例における説明では、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２、更に図８の実施の形態例では弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１６は、弾性表面波（ＳＡＷ）が伝搬するコア部分が薄膜で構成されている構成を前提に説明した。
【００６９】
これに対し、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイドには、ガイドとなる両側にＴｉを深く拡散することによって、ガイドの周辺部の音速を速くしてクラッドとして機能させることで弾性表面波（ＳＡＷ）を閉じ込める方法がある（Ｔｉ拡散ガイド）。
【００７０】
図１０にＴｉを拡散した弾性表面波（ＳＡＷ）ガイドの一例を示す。構成は、図３に対応し、基板１０上の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２となる周辺部にＴｉを拡散することにより、図３の構成における薄膜による方向性結合器が形成される。かかる構成の方向性結合器を用いる場合であっても、本発明に従い、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２の伝播特性を非対称とすることにより結合長の波長依存性をなくすことができる。
【００７１】
【発明の効果】
図２により説明した様に、従来型方向性結合器を用いた場合には、弾性表面波（ＳＡＷ）結合長が波長依存性を持つ場合には、音響光学チューナブルフィルタの特性が悪化することは既に述べた。
【００７２】
図１１、図１２に音響光学チューナブルフィルタのフィルタ特性を従来型方向性結合器と非対称方向性結合器を用いた場合についてシミュレーションした結果を示す。
【００７３】
図１１ＡではＣバンドにおいて特性が良くなるように、従来型方向性結合器を設定している。この場合は図１１Ｂに示すように、Ｌバンドにおいて特性が悪化しているのが判る。
【００７４】
一方、図１２Ｂでは、Ｌバンドで良好な特性になるよう設定しているが、この場合は図１２Ａに示すようにＣバンドにおいて特性が悪化してしまうのが判る。
【００７５】
それに対して、非対称方向性結合器を用いるとＣバンドとＬバンドの両方の領域に渡って、良い特性が得られている。
【００７６】
以上のように、本発明によると、音響光学チューナブルフィルタを構成する弾性表面波（ＳＡＷ）方向性結合器の波長依存性をなくすことができ、広いチューニング範囲にわたって良好な特性を示す音響光学チューナブルフィルタが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の対象とする音響光学チューナブルフィルタの構成及び結合長の波長依存性を説明する図である。
【図２】音響光学チューナブルフィルタにおける弾性表面波結合長をシミュレーション結果により示す図である。
【図３】弾性表面波方向性結合器を用いた本発明の対象とする音響光学チューナブルフィルタの実施例の平面図である。
【図４】従来型のＳＡＷ方向性結合器における結合長の様子を示す図である。
【図５】図４に対応して示される図であって、本発明の効果を説明する図である。
【図６】第１の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１に対して第２の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１２のガイド幅を大きくした場合のシミュレージョン結果を示す図である。
【図７】弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２の伝播定数を非対称となるように異ならしめる例として、弾性表面波（ＳＡＷ）ガイドの膜厚を変化する例を示す図である。
【図８】３本の弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド１１，１２，１６で構成されたＳＡＷ方向性結合器の一例を示す図である。
【図９】
ガイド膜厚を非対称にした場合のシミュレーション結果を示す図である。
【図１０】Ｔｉを拡散して形成される弾性表面波（ＳＡＷ）ガイドの一例を示す図である。
【図１１】音響光学チューナブルフィルタのフィルタ特性を従来型方向性結合器を用いた場合についてシミュレーションした結果を示す図である。
【図１２】音響光学チューナブルフィルタのフィルタ特性を非対称方向性結合器を用いた場合についてシミュレーションした結果を示す図である。
【符号の説明】
１０  基板
１１、１２  弾性表面波（ＳＡＷ）ガイド
１３  ＩＤＴ
１４  ＳＡＷ吸収体
１５  光導波路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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