(57)【要約】【課題】光多重通信システムなどに用いられる小型で安価な光スイッチを提供すること。【解決手段】ベース２上に光ファイバ１１〜１４、シリンドリカルレンズ４、ＭＥＭＳ基板５を配置する。光ファイバ１１からの光を光ファイバ１３に入射する角度と、光ファイバ１１からの光を光ファイバ１４に、光ファイバ１２からの光ファイバ１３に入射する角度とに、ミラーユニット２１のチルトミラーを切換える。こうすればシリンドリカルレンズ４や光ファイバ１１〜１４をベース２上の所定位置に固定しておくだけで、正確な光軸合わせが不要の光スイッチが実現できる。【選択図】　　　　図２
2004070053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース上に互いに平行に隣接して配置された第１，第２の入射部及び第１，第２の出射部と、
前記第１，第２の入射部と前記１，第２の出射部の各光軸の光を集束させるシリンドリカルレンズと、
前記シリンドリカルレンズの焦点位置に配置され、前記各光軸でなす面に垂直な回動軸に沿って回動自在のチルトミラーを含むミラーユニットと、
前記ミラーユニットのチルトミラーの反射角度を切換えるチルトミラー制御部と、を具備し、
前記チルトミラー制御部は、前記第１の入射部から入射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された光を前記第１の出射部に入射する第１の位置と、
前記第１の入射部より出射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された反射光を前記第２の出射部に入射すると共に、前記第２の入射部から出射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された反射光を前記第１の出射部に入射する第２の位置とに切換えることを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
互いに平行に隣接して配置された入射部及び第１，第２の出射部と、
前記入射部と前記１，第２の出射部の各光軸の光を集束させるシリンドリカルレンズと、
前記シリンドリカルレンズの焦点位置に配置され、前記各光軸でなす面に垂直な回動軸に沿って回動自在のチルトミラーを含むミラーユニットと、
前記ミラーユニットのチルトミラーの反射角度を切換えるチルトミラー制御部と、を具備し、
前記チルトミラー制御部は、前記入射部から入射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された光を前記第１の出射部に入射する第１の位置と、
前記入射部より出射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された反射光を前記第２の出射部に入射する第２の位置とに切換えることを特徴とする光スイッチ。
【請求項３】
互いに平行に隣接して配置された第１，第２の入射部及び出射部と、
前記第１，第２の入射部と前記出射部の各光軸の光を集束させるシリンドリカルレンズと、
前記シリンドリカルレンズの焦点位置に配置され、前記各光軸でなす面に垂直な回動軸に沿って回動自在のチルトミラーを含むミラーユニットと、
前記ミラーユニットのチルトミラーの反射角度を切換えるチルトミラー制御部と、を具備し、
前記チルトミラー制御部は、前記第１の入射部から入射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された光を前記出射部に入射する第１の位置と、
前記第２の入射部から出射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された反射光を前記出射部に入射する第２の位置とに切換えることを特徴とする光スイッチ。
【請求項４】
前記各入射部及び前記各出射部は、光ファイバと、その先端に設けられ光ファイバの光をコリメートするレンズ部であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光スイッチ。
【請求項５】
前記各入射部及び各出射部は、ベース上に固定され、前記各光ファイバを収納するＶ溝を有するブロックにより保持されていることを特徴とする請求項４記載の光スイッチ。
【請求項６】
前記シリンドリカルレンズは、前記各入射部及び各出射部の光軸に平行な平面を下面に有し、前記ベース上にその下面が固定されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光スイッチ。
【請求項７】
前記ミラーユニットは、
上面に反射面が形成された可動部の一部がヒンジ部でベース基板と接続され、そのヒンジを中心に回転するチルトミラーと、基板上に形成された電極との間に電圧を加えることによって、前記チルトミラーを回転させるものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光スイッチ。
【請求項８】
前記ベースは、前記各入射部及び各出射部、前記ミラーユニット及び前記シリンドリカルレンズを位置決めするための位置決め機構を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光スイッチ。
【請求項９】
前記シリンドリカルレンズは、前記ベースと一体に成形されてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光スイッチ。
【請求項１０】
前記ベースに請求項１〜９のいずれか１項記載の光スイッチを複数並列に配置したことを特徴とする光スイッチアレー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光ネットワークシステムの分岐ノードに用いられる集積化した光スイッチ及び光スイッチアレーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光通信システムにおいて光波長多重分割及び伝送技術の進展に伴い多様で柔軟な光伝送システムが要求されている。光伝送システムにおいては、任意のノードで波長多重された光信号から所望の波長の光を取り出し、又は所望の波長の光を加えて波長多重光として伝送することが求められる。
【０００３】
図１２は従来の４チャンネルの光アドドロップ装置の構成を示している。本図において波長多重光は光分波器１０１に加えられ、多重化された波長λ１　〜λｎ　から所望の波長、例えばλ１　，λ２　，λ３　，λ４　が分波される。分波された波長の光は光スイッチ１０２ａ〜１０２ｄに夫々入射される。光スイッチ１０２ａ〜１０２ｄには新たに変調された波長λ１　〜λ４　の信号も同時に入射される。光スイッチ１０２ａ〜１０２ｄは２つの入力、２つの出力端を有しており、外部からの制御信号に基づいて光分波器で分波された信号と新たに変調されたλ１　〜λ４　の信号とを選択して、２つの出力端より出力する。光スイッチ１０２ａ〜１０２ｄの夫々の出力は光可変アッテネータ１０３ａ〜１０３ｄ及び分波器１０４ａ〜１０４ｄを介して合波器１０５に与えられる。分波器１０４ａ〜１０４ｄは光可変アッテネータ１０３ａ〜１０３ｄの出力の一部を抽出してモニタ１０６に出力する。そしてモニタ１０６にて光可変アッテネータからの出力を調整することにより、信号光の光強度を夫々同一あるいは最適となるように設定するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
最近の波長多重伝送技術の進歩に伴い光ファイバを伝送されてくる情報が各波長の信号として分配（クロスコネクト）されたり、選択され、又は新たな信号がアドドロップされたりして必要な経路に伝送されていく。このようなノードでは、合分波器や光スイッチ，光アッテネータ等の光部品が用いられるが、これらの部品は極めて低損失であることが求められている。又これに加えて小型で安価な光部品が求められている。
【０００５】
又既に確立された半導体プロセス技術を利用したＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　ａｎｄ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）技術に基づく２次元型及び３次元型の光スイッチが提案されている。２次元型のスイッチは光の通路を平面上に沿って配置し、ポップ型のミラーを設けて出力側の受光レンズに導くようにした構造のものが提案されている。このスイッチではＮ×Ｎのスイッチを構成するためにＮ２　のミラーが必要で大規模なスイッチの構成が難しいという欠点があった。又光の空間を通過する距離が経路によって変化するため、挿入損失も変化することがあるという欠点があった。
【０００６】
一方３次元型の光スイッチは３次元に入出力レンズアレイを配置し、ミラーを設けて光を３次元上に移動させて所望の入出力部を空間上に配置した構造のものが提案されている。このスイッチはＮ×Ｎのスイッチを実現するために２Ｎ個のミラーがあればよく、大規模なスイッチに有利であるが、位置を正確に設定することが難しく、素子の制御が複雑になるという欠点があった。又これらはいずれも波長多重光通信において用いられるアド、ドロップのスイッチングに適したものではなかった。このようにいずれもＭＥＭＳ技術の性能と特徴を生かしたものではないという欠点があった。
【０００７】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、２×２アドドロップスイッチを平面上に配置可能として入出力光を短距離で結合できる光学構成をとることによって、このような問題点を解決するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本願の請求項１の光スイッチは、ベース上に互いに平行に隣接して配置された第１，第２の入射部及び第１，第２の出射部と、前記第１，第２の入射部と前記１，第２の出射部の各光軸の光を集束させるシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズの焦点位置に配置され、前記各光軸でなす面に垂直な回動軸に沿って回動自在のチルトミラーを含むミラーユニットと、前記ミラーユニットのチルトミラーの反射角度を切換えるチルトミラー制御部と、を具備し、前記チルトミラー制御部は、前記第１の入射部から入射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された光を前記第１の出射部に入射する第１の位置と、前記第１の入射部より出射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された反射光を前記第２の出射部に入射すると共に、前記第２の入射部から出射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された反射光を前記第１の出射部に入射する第２の位置とに切換えることを特徴とするものである。
【０００９】
本願の請求項２の光スイッチは、互いに平行に隣接して配置された入射部及び第１，第２の出射部と、前記入射部と前記１，第２の出射部の各光軸の光を集束させるシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズの焦点位置に配置され、前記各光軸でなす面に垂直な回動軸に沿って回動自在のチルトミラーを含むミラーユニットと、前記ミラーユニットのチルトミラーの反射角度を切換えるチルトミラー制御部と、を具備し、前記チルトミラー制御部は、前記入射部から入射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された光を前記第１の出射部に入射する第１の位置と、前記入射部より出射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された反射光を前記第２の出射部に入射する第２の位置とに切換えることを特徴とするものである。
【００１０】
本願の請求項３の光スイッチは、互いに平行に隣接して配置された第１，第２の入射部及び出射部と、前記第１，第２の入射部と前記出射部の各光軸の光を集束させるシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズの焦点位置に配置され、前記各光軸でなす面に垂直な回動軸に沿って回動自在のチルトミラーを含むミラーユニットと、前記ミラーユニットのチルトミラーの反射角度を切換えるチルトミラー制御部と、を具備し、前記チルトミラー制御部は、前記第１の入射部から入射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された光を前記出射部に入射する第１の位置と、前記第２の入射部から出射され、前記シリンドリカルレンズを介して前記チルトミラーで反射された反射光を前記出射部に入射する第２の位置とに切換えることを特徴とするものである。
【００１１】
本願の請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の光スイッチにおいて、前記各入射部及び前記各出射部は、光ファイバと、その先端に設けられ光ファイバの光をコリメートするレンズ部であることを特徴とするものである。
【００１２】
本願の請求項５の発明は、請求項４の光スイッチにおいて、前記各入射部及び各出射部は、ベース上に固定され、前記各光ファイバを収納するＶ溝を有するブロックにより保持されていることを特徴とするものである。
【００１３】
本願の請求項６の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の光スイッチにおいて、前記シリンドリカルレンズは、前記各入射部及び各出射部の光軸に平行な平面を下面に有し、前記ベース上にその下面が固定されていることを特徴とするものである。
【００１４】
本願の請求項７の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の光スイッチにおいて、前記ミラーユニットは、上面に反射面が形成された可動部の一部がヒンジ部でベース基板と接続され、そのヒンジを中心に回転するチルトミラーと、基板上に形成された電極との間に電圧を加えることによって、前記チルトミラーを回転させることを特徴とするものである。
【００１５】
本願の請求項８の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の光スイッチにおいて、前記ベースは、前記各入射部及び各出射部、前記ミラーユニット及び前記シリンドリカルレンズを位置決めするための位置決め機構を有することを特徴とするものである。
【００１６】
本願の請求項９の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の光スイッチにおいて、前記シリンドリカルレンズは、前記ベースと一体に成形されてなることを特徴とするものである。
【００１７】
本願の請求項１０の光スイッチアレーは、前記ベースに請求項１〜９のいずれか１項記載の光スイッチを複数並列に配置したことを特徴とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施の形態１による２×２アドドロップによる光スイッチの組立状態を示す斜視図、図２は組立後の状態を示す斜視図であり、図３、図４はその互いに異なった方向からの断面図である。これらの図に示すように、本実施の形態による光スイッチ１はベース２上の所定の位置にブロック３、シリンドリカルレンズ４及び後述するチルトミラーを保持するＭＥＭＳ（マイクロエレクトロメカニカルシステム）基板５を固定して構成される。ベース２には図１に破線で示すようにあらかじめ各部品を配置するためのマーキングが施され、その位置に正確に載置する。又ＭＥＭＳ基板５を配置するための溝がベース２の端部に設けられる。ブロック３やシリンドリカルレンズ４の位置決めを正確にするため、図５に示すように、ベース２の表面にガイド用突起２ａ〜２ｈやピン、窪み等の位置決め機構を設けておいてもよい。
【００１９】
さてブロック３は図３に断面図を示すように、上面に平行な４本のＶ字形の溝を有し、Ｘ軸方向に平行なＶ字形の溝が並列に形成されている。ブロック３のＶ字形溝６，７，８，９はＸＹ平面に平行に形成される。その溝にちょうど高さが一致する光ファイバ１１〜１４が平行に配置されており、この先端部分には夫々コリメートレンズ１５〜１８が一体に形成されている。光ファイバ１１とその先端のコリメートレンズ１５とは第１の入射部を構成しており、光ファイバ１２とその先端のコリメートレンズ１６とは第２の入射部を構成している。又光ファイバ１３とコリメートレンズ１７とは第１の出射部を構成しており、光ファイバ１４とコリメートレンズ１８とは第２の出射部を構成している。第１，第２の入射部の光軸Ｌ１，Ｌ２とし、第１，第２の出射部の光軸Ｌ３，Ｌ４とする。これらの光軸はＸ軸に平行とする。このように入出射部の光ファイバをブロック３のＶ字形溝に挿入して固定しておくことによって、光軸の位置決めを正確に行うことができる。
【００２０】
さてベース２上にはコリメートレンズ側にシリンドリカルレンズ４が固定される。シリンドリカルレンズ４は下面と上面が平面状に形成されており、下面がベース２の所定位置に配置される。シリンドリカルレンズ４の光軸はＸ軸に平行とする。このシリンドリカルレンズ４はＭＥＭＳ基板５上に焦点を結び、この位置には後述するミラーユニットが形成される。
【００２１】
又ＭＥＭＳ基板５の側面には光軸Ｌ１，　Ｌ２，　Ｌ３，Ｌ４でなす面内で光軸１Ｌ２，　Ｌ３の間の位置にミラーユニット２１が配置される。以下ミラーユニット２１の周辺部分について図６に基づいて説明する。ミラーユニット２１はＭＥＭＳ基板５の上面に、図示のように対称に第１，　第２の電極２２ａ，２２ｂが形成されている。又その側方にはスペーサ２３ａ，２３ｂを介して第３，　第４の電極２４ａ，２４ｂが配置されており、この中心からヒンジ２５を介してチルトミラー２６が回動自在に保持されている。ヒンジ２５とチルトミラー２６を貫くラインは回動軸となっており、この回動軸に沿ってＭＥＭＳ基板５の第１，　第２の電極２２ａ，２２ｂが分断されるようになっている。チルトミラー２６は直径約９０μｍの円形又は六角形状の部材であり、その表面はミラーであり、且つ電極ともなっている。そして図７に示すように、チルトミラー２６に電気的に接続されている電極２４ａ，２４ｂと電極２２ａ，２２ｂの一方との間に、電圧が電圧源２７、スイッチ２８を介して印加できるように構成される。
【００２２】
図７（ａ）は電圧を印加しない状態であり、（ｂ）は電圧を印加した状態である。図７（ｂ）に示すように電圧を印加することによって静電気力がチルトミラー２６ａと一方の電極２２ａとの間に働き、チルトミラー２６をヒンジ２５に沿って回動させることができる。そしてこの電圧を変化させることによって傾き角度を変化させることができる。ここで電圧源２７と電圧のオンオフを制御するスイッチ２８とは、チルトミラーの反射角度を切換えるチルトミラー制御部を構成している。そしてチルトミラーの回動軸はＺ軸に平行な軸とし、回動角度はθとする。
【００２３】
ここで用いられる回動可能なミラーユニット２１として、例えばＭＥＭＳオプティカル社のＳＥＲＩＥＳ８００１を用いてもよい。
【００２４】
次に本実施の形態の動作について図８、図９を用いて説明する。まずチルトミラー２１が図８に示すように各光軸を含むＸＹ平面と平行な面に垂直状態とする。このとき入力用の光ファイバ１１から光が入射されると、コリメートレンズ１５によって平行光となり、シリンドリカルレンズ４を通って焦点位置のチルトミラー２６に入射する。そしてチルトミラー２６で同一の角度で反射されてコリメートレンズ１７に加わり、光ファイバ１３に加わる。従って光ファイバ１１のＩＮポートと光ファイバ１３のＯＵＴポートが接続されることとなる。又光ファイバ１２から光が入射されると、コリメートレンズ１６によって平行光となり、シリンドリカルレンズ４を通って焦点位置のチルトミラー２６に入射する。そしてチルトミラー２６で同一の角度で反射される。この反射光もシリンドリカルレンズ４を通って平行に出射される。このとき図８に示すように光ファイバ１２，１３の間隔ａと、光ファイバ１１，１２の間隔及び１３，１４の間隔ｂとを異ならせておけば、光ファイバ１２からの光は他の光ファイバに再び入射することがなくなる。
【００２５】
次に図９に示すようにチルトミラー２６を角度θだけ回転させる。このとき光ファイバ１１から光が入射されると、コリメートレンズ１５によって平行光となり、シリンドリカルレンズ４を通って焦点位置のチルトミラー２６に入射する。そしてチルトミラー２６で同一の角度で反射されてコリメートレンズ１８に加わり、光ファイバ１４に入射する。又光ファイバ１２から光が入射されるとコリメートレンズ１６によって平行光となり、シリンドリカルレンズ４を通って焦点位置のチルトミラー２６に入射する。そしてチルトミラー２６で同一の角度で反射される。この光はシリンドリカルレンズ４を介してコリメートレンズ１７に加わり、光ファイバ１３に入射する。こうして光ファイバ１１のＩＮポートと光ファイバ１４のＤＲＯＰポート、及び光ファイバ１２のＡＤＤポートと光ファイバ１３のＯＵＴポートが、シリンドリカルレンズ４、チルトミラー２６を介して連結されることとなる。
【００２６】
ここでコリメートレンズ４の焦点距離：ｆ＝１．７ｍｍ、
回転角度の動作最適値がθ＝３°
ファイバ間の平均間隔を（ａ＋ｂ）／２＝０．６ｍｍ
と決めたとすると、
ｔａｎ　φ＝（ａ＋ｂ）／２ｆ　（１）
φ＝φ’＋　２θ　　　　　　（２）
ｔａｎ　φ’＝（ａ−ｂ）／２ｆ（３）
式（１）よりφ＝１９．４°，　　（２）　よりφ’＝１３．４°
（ａ−ｂ）／２ｆ＝ｔａｎ　φ’＝０．８
即ち、ａ−ｂ＝０．８
ａ＋ｂ＝１．２より、ａ＝０．５，　ｂ＝０．７ｍｍとなる。
【００２７】
ここで図８に示すように、コリメートレンズ４の焦点位置を１〜２ｍｍ程度とする。光ファイバ１１から光ファイバ１３又は１４に達するまでの間隔は、Ｘ軸に平行なラインを考慮しない場合は５ｍｍ以下となり、光の空間での進行距離であるワーキングディスタンスを極めて小さくすることができる。このためレンズファイバやボールレンズファイバ等を採用することができ、挿入損失を小さくすることができる。このためチルトミラーとして直径の小さい小型のミラーを使用することができる。チルトミラーが小型であれば低電圧駆動で高速に回動を行うことができるため、スイッチング速度を高速にすることができる。
【００２８】
次に本発明の実施の形態２について説明する。前述した実施の形態では、１チャンネルの２×２のスイッチングを行う光スイッチについて説明したが、本実施の形態はこのような光スイッチを多数並列に配置した光スイッチアレーである。図１０は実施の形態２の概略を示す斜視図である。各光スイッチについては実施の形態１と同様であるので詳細な説明を省略する。この実施の形態では図１０に示すように、ベース３０上に４本の光ファイバ対３１〜３４が横方向に並列に配列されている。そして各光ファイバ対に対向する位置に実施の形態１と同様に、各対の光ファイバの光軸を集束するシリンドリカルレンズ３５〜３８を配置する。この場合には４×４本のＶ溝が設けられたブロックを用いてもよく、又複数のシリンドリカルレンズが連結して一体化されたシリンドリカルレンズを用いてもよい。又この各シリンドリカルレンズの焦点位置にミラーユニット４０〜４３を有するＭＥＭＳ基板３９を設ける。各ミラーユニットは前述の場合と同様に、夫々チルトミラーを有している。チルトミラーの動作については実施の形態１と同様である。こうすればベース３０上にこれらの光部品とＭＥＭＳ基板とを配置するだけで、光スイッチアレーを容易に組立てることができる。このように光スイッチアレーを構成すれば、各チルトミラーの角度を変化させることによって２×２のスイッチングを４チャンネル並列に実行することができる。
【００２９】
又４チャンネルに限らず、任意の自然数をｎとすると、ｎ×４の光ファイバを並列に配列して光スイッチアレーとすることにより、（２×２）×ｎのスイッチングを実現することができる。こうすれば多チャンネルを基板上に配置して組立てることができ、小型のアレー化された光スイッチアレーを実現できる。
【００３０】
又前述した実施の形態では光ファイバ１１〜１４の４本の光ファイバにより２×２のアドドロップ型の光スイッチとしているが、これに限定されるものではない。出射側を光ファイバ１３のみとし、２×１のスイッチングを行う光スイッチとすることもできる。入力側を光ファイバ１１のみとし、その光をチルトミラーの傾きによって光ファイバ１３と１４のいずれかの光ファイバに入射させる１×２のスイッチングを行う光スイッチとすることも可能である。
【００３１】
又前述した実施の形態では図１１に示すように、各光ファイバの先端に小型ボールレンズをコリメートレンズとして取り付けたもので説明している。これに代えて通常の非球面レンズ、ＧＲＩＮレンズ、あるいはマイクロレンズアレーなどをコリメートレンズとして各光ファイバを接続したコリメータを採用しても良い。
【００３２】
又シリンドリカルレンズはベース２と一体化して成形したり、フォトリゾグラフィやエッチング技術を用いてベースと同時に成形することができる。こうすればベース上に配置する必要がなく、位置決め精度を向上させて製造工程を簡略化することが可能である。
【００３３】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本願の請求項１〜１０の発明によれば、入出力光を短距離で結合することができ、小型で安価の光スイッチを実現することができる。又下面が平坦なシリンドリカルレンズを用いてベース上に配置するだけで位置決めを容易に行うことができ、実際に光を入射して最適位置や角度等を微調整する必要がなくなる。従って光軸合わせが不要で信頼性の高い光スイッチとすることができる。又請求項１では２×２の光スイッチ、請求項２では１×２の光スイッチ、請求項３では２×１の光スイッチを小型で安価に実現することができる。更に請求項５に示すように入出射部をＶ字形溝を有するブロック内で保持することによって、入出射部の位置決めを容易に行うことができる。請求項６においてもシリンドリカルレンズを正確にベース上に配置することができる。又この光スイッチをアレー状に形成することによって、ｎチャンネルのスイッチを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１による光スイッチの組立構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１による光スイッチの全体構成を示す斜視図である。
【図３】本実施の形態のブロックとその上部に配置される光ファイバを示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１による光スイッチの主要部の構成を示す断面図である。
【図５】実施の形態１の変形例を示す組立構成図である。
【図６】本実施の形態によるミラーユニットの構造を示す斜視図である。
【図７】本実施の形態によるミラーユニットの電圧を印加しない状態、及び印加した状態の回動を示す断面図である。
【図８】実施の形態１によるチルトミラーを回動させない状態での反射面と光の経路を示す図である。
【図９】実施の形態１によるチルトミラーを回動させた状態での反射面と光の経路を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態２による光スイッチアレーを示す斜視図である。
【図１１】光ファイバとその先端に設けられるコリメートレンズを示す図である。
【図１２】従来の４チャンネルの光アドドロップの構成を示す図である。
【符号の説明】
１　光スイッチ
２　ベース
３　ブロック
４　シリンドリカルレンズ
５　ＭＥＭＳ基板
６〜９　Ｖ字形溝
１１〜１４　光ファイバ
１５〜１８　コリメートレンズ
２１　ミラーユニット
２２ａ，２２ｂ，　２４ａ，２４ｂ　電極
２３ａ，２３ｂ　スペーサ
２５　ヒンジ
２６　チルトミラー
２７　電圧源
２８　スイッチ
３１〜３４　光ファイバ対
３５〜３８　シリンドリカルレンズ
３９　ＭＥＭＳ基板
４０〜４３　ミラーユニット
５１，５２　コリメータ
【図１】
2004070053.tif 000003
【図２】
2004070053.tif 000004
【図３】
2004070053.tif 000005
【図４】
2004070053.tif 000006
【図５】
2004070053.tif 000007
【図６】
2004070053.tif 000008
【図７】
2004070053.tif 000009
【図８】
2004070053.tif 000010
【図９】
2004070053.tif 000011
【図１０】
2004070053.tif 000012
【図１１】
2004070053.tif 000013
【図１２】
2004070053.tif 000014