(57)【要約】【課題】本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、低コスト化を図ることが可能な光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整方法等を提供することを目的とする。【解決手段】ＣＣＤ２３の撮像面上に形成された回折像Ｂの最大輝度点Ｘを原点Ｏに移動させてＸ軸上及びＹ軸上におけるこの回折像Ｂの光強度分布を算出するとともに、光強度が極大となる座標Ｘ１  〜Ｘ４  （Ｙ１  〜Ｙ４  ）の光強度Ｉ（Ｘ１）〜Ｉ（Ｘ４  ）（Ｉ（Ｙ１  ）〜Ｉ（Ｙ４  ））を算出する。そして、これらの値が互いに等しくなるように対物レンズ１５を±θＹ（±θＸ）回動させる。このように、回折像Ｂの光強度分布に基づいて対物レンズ１５の傾きを調整することで、高価なレンズが不要となり、もって、安価に対物レンズ傾き調整装置２を構成することができる。【選択図】  図８
2004213755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、その光源からの光を収束して外部に出射させる対物レンズとを備えた光ピックアップ装置において、前記対物レンズの傾きを調整する方法であって、
光学調整装置に前記対物レンズからの光を入射させ、この光学調整装置に備えられた回折手段により回折光を生じさせるとともに、この回折光を撮像手段に照射することで回折像を撮影し、前記回折像の最大輝度点が前記撮像手段の所定位置に配されるように前記光ピックアップ装置又は前記光学調整装置を移動させつつ、前記回折像の光強度分布が前記最大輝度点を中心に対称となるように前記対物レンズの傾きを調整することを特徴とする光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整方法。
【請求項２】
光源と、その光源からの光を収束して外部に出射させる対物レンズとを備えた光ピックアップ装置において、前記対物レンズの傾きを調整する光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整装置であって、
前記光ピックアップ装置を固定する調整ステージと、前記対物レンズの傾きを変更するレンズ傾角可変機構と、回折手段と、この回折手段により生じた回折光が照射されることで回折像を撮影する撮像手段と、前記回折像の最大輝度点が所定位置に配されるように前記調整ステージを移動させるステージ駆動機構と、前記回折像の光強度分布を算出する演算手段と、前記演算手段の演算結果に基づいて前記光強度分布が前記最大輝度点を中心に対称となるように前記レンズ傾角可変機構を調整する駆動手段とを備えることを特徴とする光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整装置。
【請求項３】
前記回折手段をピンホールにより構成するとともに、このピンホールの中心軸上に前記撮像手段を配し、前記ステージ駆動機構は前記最大輝度点が前記撮像手段において前記ピンホールの中心軸と交わる点に配されるように前記調整ステージを移動させることを特徴とする請求項２に記載の光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整装置。
【請求項４】
前記回折手段をゾーンプレートにより構成するとともに、このゾーンプレートの中心軸上に前記撮像手段を配し、前記ステージ駆動機構は前記最大輝度点が前記撮像手段においてゾーンプレートの中心軸と交わる点に配されるように前記調整ステージを移動させることを特徴とする請求項２に記載の光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整装置。
【請求項５】
光源と、その光源からの光を収束して外部に出射させる対物レンズとを備えた光ピックアップ装置において、前記対物レンズの傾きを調整する方法であって、
光学調整装置に前記対物レンズからの光を入射させ、この光学調整装置に備えられた回折手段により回折光を生じさせるとともに、この回折光を撮像手段に照射することで回折像を撮影し、前記回折像の最大輝度点が前記撮像手段の所定位置に配されるように前記光ピックアップ装置又は前記光学調整装置を移動させつつ、前記回折像の光強度分布が前記最大輝度点を中心に対称となるように前記対物レンズの傾きを調整する工程を含むことを特徴とする光ピックアップ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、低コスト化を図ることができる光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整方法等に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
対物レンズ傾き調整装置は、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ）やＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）等に搭載される光ピックアップ装置に備えられた対物レンズの調整を行なうものであり、その全体構成図が図１２に示されている。
まず、ピックアップ装置１００においては、投光素子１０１から発せられた光は１／４波長板１０２、ミラー１０３を介し、コリメートレンズ１０４で平行光とされた後、アクチュエータ１０５に取りつけられた対物レンズ１０６で収束光にしてから外部に照射する。
【０００３】
一方、対物レンズ傾き調整装置２００では、対物レンズ１０６からの収束光を擬似ディスク２０１を透過させた後、対物レンズ２０２により平行光にして収束レンズ２０３、リレーレンズ２０４、ＮＤフィルタ２０５を介して再び収束光とする。そして、この収束光をＣＣＤ２０６（撮像手段）の撮像面に照射する。尚、対物レンズ１０６からの収束光の焦点を擬似ディスク２０１の表面に合わせることが必要とされており、そうするために擬似ディスク２０１と対物レンズ２０２とを光軸ＬＣ方向に移動可能に設けている。
【０００４】
ＣＣＤ２０６の撮像面には、ビームスポットＢ（０次光）の周囲に同心円状に１次光、２次光・・・が照射される。ここで、対物レンズ１０６が光軸ＬＣに対して傾けられていると、コマ収差が発生して１次光、２次光・・・における輝度分布が不均一となり、それらの環状像のうちある方向が明るくなり、反対の方向が暗くなる（図１３参照）。そこで、従来、ビームスポットＢの面積中心位置と、上記１次光、２次光・・・の照射領域の面積中心位置とをそれぞれ算出し、それらの位置が一致するように（実際には、１次光の明るさが均一となるように）、対物レンズ１０６の傾きを調整することで、対物レンズ１０６をコマ収差が発生しない正しい位置（対物レンズの中心軸が光軸ＬＣと一致する位置）に設定するものがあった（下記特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−９０１１９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような構成のものでは、ＣＣＤ２０６上において、ビームスポットＢの０次光と、それ以外の１次光等とを区別可能な照射像として撮像させる必要があり、そのために、収差の少ない高品質の光学系で対物レンズ調整装置２００を構成しなければ高精度な傾き調整を行うことができない。また、ＣＣＤ２０６上でビームスポットＢの最大輝度点を形成する光が上記光学系の光軸（コマ収差がほとんど発生しない光路）から外れた経路を通過するような位置関係であっても、対物レンズ１０６の傾きが反映された正確な照射像を得るには、対物レンズ傾き調整装置２００の光学系を構成する各レンズ自体も収差の少ない高価なものとする必要がある。
【０００７】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、低コスト化を図ることが可能な光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整方法、光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整装置及び光ピックアップ装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、光源と、その光源からの光を収束して外部に出射させる対物レンズとを備えた光ピックアップ装置において、前記対物レンズの傾きを調整する方法であって、光学調整装置に前記対物レンズからの光を入射させ、この光学調整装置に備えられた回折手段により回折光を生じさせるとともに、この回折光を撮像手段に照射することで回折像を撮影し、前記回折像の最大輝度点が前記撮像手段の所定位置に配されるように前記光ピックアップ装置又は前記光学調整装置を移動させつつ、前記回折像の光強度分布が前記最大輝度点を中心に対称となるように前記対物レンズの傾きを調整するところに特徴を有する。
【０００９】
請求項２の発明は、光源と、その光源からの光を収束して外部に出射させる対物レンズとを備えた光ピックアップ装置において、前記対物レンズの傾きを調整する光ピックアップ装置の対物レンズ傾き調整装置であって、前記光ピックアップ装置を固定する調整ステージと、前記対物レンズの傾きを変更するレンズ傾角可変機構と、回折手段と、この回折手段により生じた回折光が照射されることで回折像を撮影する撮像手段と、前記回折像の最大輝度点が所定位置に配されるように前記調整ステージを移動させるステージ駆動機構と、前記回折像の光強度分布を算出する演算手段と、前記演算手段の演算結果に基づいて前記光強度分布が前記最大輝度点を中心に対称となるように前記レンズ傾角可変機構を調整する駆動手段とを備えるところに特徴を有する。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項２に記載のものにおいて、前記回折手段をピンホールにより構成するとともに、このピンホールの中心軸上に前記撮像手段を配し、前記ステージ駆動機構は前記最大輝度点が前記撮像手段において前記ピンホールの中心軸と交わる点に配されるように前記調整ステージを移動させるところに特徴を有する。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項２に記載のものにおいて、前記回折手段をゾーンプレートにより構成するとともに、このゾーンプレートの中心軸上に前記撮像手段を配し、前記ステージ駆動機構は前記最大輝度点が前記撮像手段においてゾーンプレートの中心軸と交わる点に配されるように前記調整ステージを移動させるところに特徴を有する。
【００１２】
請求項５の発明は、光源と、その光源からの光を収束して外部に出射させる対物レンズとを備えた光ピックアップ装置において、前記対物レンズの傾きを調整する方法であって、
光学調整装置に前記対物レンズからの光を入射させ、この光学調整装置に備えられた回折手段により回折光を生じさせるとともに、この回折光を撮像手段に照射することで回折像を撮影し、前記回折像の最大輝度点が前記撮像手段の所定位置に配されるように前記光ピックアップ装置又は前記光学調整装置を移動させつつ、前記回折像の光強度分布が前記最大輝度点を中心に対称となるように前記対物レンズの傾きを調整する工程を含むところに特徴を有する。
【００１３】
【発明の作用及び効果】
対物レンズによりコマ収差が発生しない状態に対して、対物レンズが傾いていると、撮像手段で撮影された回折像の光強度分布に偏りが生じ、回折像の最大輝度点を中心としてその光強度分布が非対称となる。つまり、回折像の最大輝度点を中心としてその光強度分布を検出することで、対物レンズが正規の姿勢（撮像手段の撮像面においてコマ収差が発生しないときの姿勢）から傾いているかどうか、及び、その傾き方向を知ることができる。
【００１４】
そこで、本発明は、撮像手段で撮影された回折像の最大輝度点を撮像面の所定位置に配されるように前記光ピックアップ装置又は光学調整装置を移動させつつ、回折像の光強度分布が最大輝度点を中心に対称となるように対物レンズの傾きを調整している。これによって、対物レンズの傾きによって生じるコマ収差をなくするようにその傾きを調整することができる。従って、従来の対物レンズ傾き調整装置に備えられていたレンズ光学系が不要となり、装置の低コスト化を図ることができる。
【００１５】
また、回折手段をピンホールとして構成するようにすれば、回折手段を非常にシンプルに構成することができ、一層の低コスト化を図ることができる（請求項３の発明）。
さらに、回折手段をゾーンプレートとして構成するようにすれば、撮像面上に形成される回折像のうち０次光の光強度が相対的に低下し、１次光以降の光強度が相対的に増加することで、対物レンズの傾きに対して光強度分布の変化が顕著となり、より正確な調整を行なうことができる（請求項４の発明）。
【００１６】
【発明の実施の形態】
＜第１実施形態＞
本発明に係る対物レンズ傾き調整装置の一実施形態を図１ないし図８を参照して説明する。本実施形態の対物レンズ傾き調整装置は、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ）やＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）等に搭載されている光ピックアップ装置に備えられた対物レンズの傾きの検出、調整を行なうものである。尚、図１において、図面横方向をＸ軸、図面と直交する方向をＹ軸、図面上下方向をＺ軸と定め、対物レンズ１５の中心を原点とする。
【００１７】
図１に示すように、光ピックアップ装置１は、投受光素子１１（本発明の「光源」に相当）と、１／４波長板１２と、反射ミラー１３と、コリメートレンズ１４と、対物レンズ１５と、この対物レンズ１５の支持する角度を調整可能な支持部材１６とからなり、本装置１は調整ステージ２７に固定された状態とされている。そして、投受光素子１１からの光は１／４波長板１２、反射ミラー１３を介して、コリメートレンズ１４を透過することで平行光に変えられ、その後対物レンズ１５を透過して収束光として外部に出射されるよう構成されている。
【００１８】
支持部材１６（本発明の「レンズ傾角可変機構」に相当）は、例えばこの対角位置に設けられた２本の螺子（図示せず）のうち、一方を回すことでθＸ方向（Ｘ軸を中心に対物レンズ１５を回動させる方向）に回動し、他方を回すことでθＹ方向（Ｙ軸を中心に対物レンズ１５を回動させる方向）に回動するようになっており、この支持部材１６の回動に伴なって対物レンズ１５も回動される。また、これらの螺子は後述するドライバ駆動手段２５に備えられたドライバ２５ａにより回されるようになっている。
【００１９】
調整ステージ２７には、サーボ機構（図示せず）が備え付けられており、後述するステージ制御手段２６からサーボ駆動信号Ｓｄを受けるとＸＹ平面を二次元的に移動するようにされている。このように、調整ステージ２７が移動すると、これに伴なって光ピックアップ装置１もＸＹ平面上を移動する。
【００２０】
対物レンズ傾き調整装置２は光ピックアップ装置１からの収束光を受けるように構成されている。詳しくは、対物レンズ１５から出射した収束光を擬似ディスク２１（球面収差補正板）に通した後、発散する光（発散光）の一部を開口面を有するピンホール板２２（本発明の「回折手段」に相当する。）を通してＣＣＤ２３の撮像面へ照射させるように構成されている。また、ＣＣＤ２３は撮像面を構成する各画素の受光量に応じたパルス列からなる撮像信号Ｓａを出力するようになっており、この撮像信号ＳａがＣＰＵ２４ａに送信される。
【００２１】
尚、擬似ディスク２１及びピンホール板２２は発散光の全てが開口面を透過しないようにＺ軸方向における位置が調整されているとともに、開口面の中心と撮像面の中央（以下、原点Ｏという。）とがＺ軸上で一致するようにされている。これにより、本発明での「ピンホールの中心軸上に撮像手段を配する」ことができるのである。また、ピンホール板２２とＣＣＤ２３とにより本発明の「光学調整装置」を構成している。
【００２２】
ＣＰＵ２４ａは、受信した撮像信号Ｓａに基づいてドライバ駆動手段２５及びステージ制御手段２６へそれぞれドライバ駆動信号Ｓｂ，ステージ駆動信号Ｓｃを送信するようになっている。また、ＣＰＵ２４ａに備えられたメモリ２４ｂには所定の記憶領域が確保されている。
ドライバ駆動手段２５はＣＰＵ２４ａからのドライバ駆動信号Ｓｂに基づいてドライバ２５ａにより支持部材１６に設けられている螺子を回すように構成されており、また、ステージ制御手段２６はＣＰＵ２４ａからのステージ駆動信号Ｓｃに基づいて調整ステージ２７のサーボ機構にサーボ駆動信号Ｓｄを送信するように構成されている。
【００２３】
本実施形態の構成は以上であり、続いてその動作についてＣＰＵ２７ａの処理を中心にして説明する。尚、図４，５，８，９においてＣＣＤ２３の撮像面の中央（原点Ｏ）を通る横軸をＸ軸、原点Ｏを通る縦軸をＹ軸と定める。
対物レンズ１５を透過した投受光素子１１からの光は、ピンホール板２２の開口面を通過する際に回折現象により回折光とされ、この回折光がＣＣＤ２３の撮像面に照射されることで、回折像Ｂが撮影される。この回折像Ｂは、最も明るい円形像（０次光）及びこの円形像を中心にして同心円状に形成された複数の環状像（１次光、２次光・・・）から構成される（図８参照。尚、図中には２次光までを図示している。そして、ＣＰＵ２４ａが図３に示す位置確定ルーチンを実行する（図２のステップＳ１）。
【００２４】
図３に示すようにＣＰＵ２４ａは、ＣＣＤ２３から受けた撮像信号Ｓａを基にして各画素の受光量を算出する（ステップＳ１１）。このとき、撮像面における中央の画素（上記原点Ｏに位置する画素）の受光量が全画素の中で最大であると判断した場合には（ステップＳ１２で「Ｙｅｓ」）、その受光量Ｌｎをメモリ２４ｂ記憶して（ステップＳ１３）、図６に示す傾きθＸの調整ルーチンの処理を実行する（図２のステップＳ２）。
【００２５】
逆に、中央の画素の受光量が最大と判断されなかったときには（ステップＳ１０２で「Ｎｏ」）、受光量が最大とされている画素と中央の画素との距離（ΔＸ，ΔＹ）を算出して（ステップＳ１３）、この距離に応じた制御信号Ｓｃをステージ制御手段２６に出力する（ステップＳ１４）。するとステージ制御手段２６からサーボ機構に対してサーボ駆動信号Ｓｄが出力され、サーボ機構は調整ステージ２７を（ΔＸ，ΔＹ）だけ移動させる。これに伴って対物レンズ１５が移動して回折像Ｂの最大輝度点Ｘが撮像面の中央部分に照射され、この結果、中央の画素が最大の受光量とされる（図４参照。図中には０次光のみを示す）。これにより、本発明でいう「回折像の最大輝度点を撮像面の所定の位置に移動させる」ことができるのである。そして、図６に示す傾きθＸの調整ルーチン（図２のステップＳ２）を実行する。
尚、回折像Ｂの最大輝度点Ｒが原点Ｏと一致していないときには、図５に示すように、回折像Ｂは楕円形状とされているとともに、最大輝度点Ｒが回折像Ｂの中心位置からずれている。一方、最大輝度点Ｒが原点Ｏと一致したときには、回折像Ｂは略真円となり、かつ、最大輝度点Ｒが回折像Ｂの中心位置と略一致する。
【００２６】
＜傾きθＸの調整＞
図６のステップＳ２１で撮像信号ＳａからＹ軸上の光強度Ｉ（Ｙ）を算出する。
そして、光強度が原点Ｏ以外で極大となる座標Ｙ１  〜Ｙ４  を算出する（ステップＳ２２）。これら座標Ｙ１  〜Ｙ４  のうち、座標Ｙ１  及び座標Ｙ３  は１次光により光強度が極大となる座標を示しており、座標Ｙ２  及び座標Ｙ４  は２次光により光強度が極大となる座標を示している（図８参照）。そして、ステップＳ２３で上記座標Ｙ１  〜Ｙ４  における光強度Ｉ（Ｙ１  ）〜Ｉ（Ｙ４  ）を算出する。この後、座標Ｙ１  の光強度Ｉ（Ｙ１  ）と座標Ｙ３の光強度Ｉ（Ｙ３  ）との大小比較及び座標Ｙ２の光強度Ｉ（Ｙ２  ）と座標Ｙ４の光強度Ｉ（Ｙ４  ）との大小比較を行ない、Ｉ（Ｙ１  ）とＩ（Ｙ３  ）とが不等であり、かつ、Ｉ（Ｙ２  ）とＩ（Ｙ４  ）とが不等である場合には（ステップＳ２４で「Ｎｏ」）、Ｉ（Ｙ１  ）とＩ（Ｙ３  ）とが等しくなり、かつ、Ｉ（Ｙ２  ）とＩ（Ｙ４  ）とが等しくなるように、Ｘ軸を中心に対物レンズ１５を±θＸ回動させる（ステップＳ２５）。具体的には、Ｉ（Ｙ１  ）とＩ（Ｙ３  ）との差及びＩ（Ｙ２  ）とＩ（Ｙ４  ）との差により対物レンズ１５をいずれの方向に回動させれば両者が等しくなるかが判るので、上記の差に応じて予め対応付けられた角度だけ対物レンズ１５を回動させる。この後、傾きθＹの調整ルーチンを実行する（図２のステップＳ３、図７参照）。
【００２７】
＜傾きθＹの調整＞
図７のステップＳ３１で撮像信号ＳａからＹ軸上の光強度Ｉ（Ｘ）を算出する。そして、受光強度が原点Ｏ以外で極大となる座標Ｘ１  〜Ｘ４  を算出する（ステップＳ３２）。これら座標Ｘ１  〜Ｘ４  のうち、座標Ｘ１  及び座標Ｘ３  は１次光により光強度が極大となる座標を示しており、座標Ｘ２  及び座標Ｘ４  は２次光により光強度が極大となる座標を示している（図８参照）。そして、ステップＳ３３で上記座標Ｘ１  〜Ｘ４  における光強度Ｉ（Ｘ１  ）〜Ｉ（Ｘ４  ）を算出する。この後、座標Ｘ１  の光強度Ｉ（Ｘ１  ）と座標Ｘ３  の光強度Ｉ（Ｘ３  ）との大小比較及び座標Ｘ２の光強度Ｉ（Ｘ２  ）と座標Ｘ４  の光強度Ｉ（Ｘ４  ）との大小比較を行ない、Ｉ（Ｘ１  ）とＩ（Ｘ３  ）とが不等であり、かつ、Ｉ（Ｘ２  ）とＩ（Ｘ４  ）とが不等である場合には（ステップＳ３４で「Ｎｏ」）、Ｉ（Ｘ１  ）とＩ（Ｘ３  ）とが等しくなり、かつ、Ｉ（Ｘ２  ）とＩ（Ｘ４  ）とが等しくなるように、Ｘ軸を中心に対物レンズ１５を±θＹ回動させる（ステップＳ３５）。具体的には、Ｉ（Ｘ１  ）とＩ（Ｘ３  ）との差及びＩ（Ｘ２  ）とＩ（Ｘ４  ）との差により対物レンズ１５をいずれの方向に回動させれば両者が等しくなるかが判るので、上記の差に応じて予め対応付けられた角度だけ対物レンズ１５を回動させる。
尚、上記光強度の比較は、ある程度の光強度の差を許容範囲としてその範囲内であれば光強度が同一であると判断するようにしても良い。
【００２８】
図８に示すように、例えば対物レンズ１５が＋θＹ方向に傾いて、コマ収差が発生している場合には、Ｘ軸上及びＹ軸上の光強度分布のうち、Ｘ軸上の光強度分布が原点Ｏを中心に非対称となる。詳しくは、Ｘ軸負方向において、光強度が極大となる座標の光強度Ｉ（Ｘ３  ），Ｉ（Ｘ４  ）がＸ軸正方向における光強度Ｉ（Ｘ１），Ｉ（Ｘ２  ）よりも大きくなっている。このことから、対物レンズ１５を−θＹ方向に所定角度回動させることで図９に示すように、光強度分布が原点Ｏに対して対称となり、これによって対物レンズ１５の傾きによるコマ収差を無くすことができる。
尚、上記の動作から、本実施形態では、ＣＰＵ２４ａは本発明の「受光量検出手段」及び「演算手段」として機能し、ＣＰＵ２４ａとドライバ駆動手段２８とで本発明の「駆動手段」を構成し、また、ＣＰＵ２４ａとステージ制御手段２６とで「ステージ駆動機構」を構成していることは明らかである。
【００２９】
なお、これにより対物レンズ１５の傾きが補正されるわけであるが、傾きθＸ，θＹの調整ルーチン実行によってＣＣＤ２３の撮像面における回折像Ｂの照射位置がずれて、中央の画素が全画素の中で最大の受光量とならなくなることも起こり得る。この場合には、上述した位置確定ルーチン、傾きθＸ及び傾きθＹの調整ルーチンを繰り返し実行することで、対物レンズ１５を正しい姿勢に調整することができる。
【００３０】
このように、本実施形態では、回折像Ｂにおける最大輝度点Ｒを原点Ｏに配し、原点Ｏを中心としてＸ軸上及びＹ軸上の光強度分布が対称となるように対物レンズ１５の傾きを調整している。従って、レンズ光学系が不要となり、装置２を低コスト化することが可能となる。
【００３１】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態は、図１０に示すように、上記第１実施形態の構成要件であるピンホール板２２に替わって、ゾーンプレート２８を用いた構成としている。このゾーンプレート２８は図１１（Ａ）に示すように透明板に光を遮断する黒色の塗料を印刷したものであり、中心の黒丸から同心円状に複数の黒色の円環が形成されている。そして、各円環の間には塗料が印刷されていない環状の隙間が径方向外側に向かうほど狭くなるように形成されており、これらの隙間から光が透過するようになっている。
このゾーンプレート２８に対物レンズ１５からの光を照射することで回折現象により回折光を生じさせ、この回折光をＣＣＤ２３の撮像面に照射して回折像を撮影すると、上記第１実施形態と同様に円形像（０次光）を中心として同心円状に複数の環状像（１次光、２次光・・・）が形成される。そして、その光強度分布をみると、図１１（Ｂ）に示すように、撮像面上に形成される回折像Ｂのうち０次光の光強度が相対的に低下し、１次光以降の光強度が相対的に増加する。これにより、対物レンズ１５の傾きに対して光強度分布の変化が顕著となり、その調整精度を一層高めることができる。
【００３２】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）上記実施形態ではθＸ、θＹの傾き調整を個別に行なう構成としていたが、これらを同時に行なうような構成としても良い。
【００３３】
（２）また、上記実施形態では、ピンホール２２及びゾーンプレート２８を回折手段として用いた構成を示したが、これ以外の回折手段を用いた構成としてもよい。たとえば、互いに直交する間隙を設けたスリットを２枚設け、それぞれをθＸ方向又はθＹ方向の傾き調整に対応させて交互に用いるような構成としてもよい。
【００３４】
（３）また、上記実施形態では、ピンホール２２・ゾーンプレート２８と擬似ディスク２１（球面収差補正板）とを別体とした構成を示したが、例えば、これらを一体として構成するようなものであっても良い。
ピンホール２２と擬似ディスク２１とを一体的に構成する場合には、例えば擬似ディスク２１の裏面（ＣＣＤ２３側の面）に、光を遮断する塗料を印刷し、対物レンズ１５からの光を透過させるために塗料を印刷しない非印刷部を設けて構成することができる。
また、ゾーンプレート２８と擬似ディスク２１とを一体的に構成する場合も同様に、擬似ディスク２１の裏面に光を遮断する塗料を同心円状に印刷して構成することができる。
【００３５】
（４）また、上記ピンホール２２・ゾーンプレート２８に替わって位相変調型ゾーンプレート（ＰＺＰ）を用いた構成としても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る対物レンズ傾き調整装置の構成を示す概略図
【図２】ＣＰＵのメイン処理を示すフローチャート
【図３】位置確定ルーチンのフローチャート
【図４】撮像面に形成された回折像の模式図
【図５】撮像面に形成された回折像の模式図
【図６】傾きθＸの調整ルーチンを示すフローチャート
【図７】傾きθＹの調整ルーチンを示すフローチャート
【図８】回折像及びＸ軸・Ｙ軸方向の光強度分布を示した模式図
【図９】回折像及びＸ軸・Ｙ軸方向の光強度分布を示した模式図
【図１０】第２実施形態に係る対物レンズ傾き調整装置の構成を示す概略図
【図１１】（Ａ）ゾーンプレートの模式図
（Ｂ）ゾーンプレートにより形成される回折像の径方向における光強度分布を示す図
【図１２】従来の対物レンズ傾き調整装置の構成を示す概略図
【図１３】撮像面に形成されるビームスポットの模式図
【符号の説明】
１…光ピックアップ装置
２…対物レンズ傾き調整装置
１５…対物レンズ
１６…支持部材
２２…ピンホール
２３…ＣＣＤ
２４ａ…ＣＰＵ
２５…ドライバ駆動手段
２６…ステージ制御手段
２７…調整ステージ
Ｂ…回折像
Ｒ…最大輝度点
Ｏ…原点
【図１】
2004213755.tif 000003
【図２】
2004213755.tif 000004
【図３】
2004213755.tif 000005
【図４】
2004213755.tif 000006
【図５】
2004213755.tif 000007
【図６】
2004213755.tif 000008
【図７】
2004213755.tif 000009
【図８】
2004213755.tif 000010
【図９】
2004213755.tif 000011
【図１０】
2004213755.tif 000012
【図１１】
2004213755.tif 000013
【図１２】
2004213755.tif 000014
【図１３】
2004213755.tif 000015