(57)【要約】【課題】鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡及びその製造方法並びにその形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えた光情報入出力装置を提供する。【解決手段】鏡部は、圧電素子２が設けられる変形部、鏡固定用部材に固定される固定部１４、並びに変形部及び固定部１４の間に設けられ変形部を固定部１４に対して支持する支持部１６、を含み、支持部１６は、弾性変形可能であるとする。【選択図】　　　　図６
2004070004.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鏡部、前記鏡部の鏡面の形状を変形させる圧電素子、及び前記鏡部を固定する鏡固定用部材を含む形状可変鏡において、
前記鏡部は、前記圧電素子が設けられる変形部、前記鏡固定用部材に固定される固定部、並びに前記変形部及び前記固定部の間に設けられ前記変形部を前記固定部に対して支持する支持部、を含み、
前記支持部は、弾性変形可能であることを特徴とする形状可変鏡。
【請求項２】
前記支持部は、片持ち梁であり、
前記片持ち梁の固定端は、前記固定部に固定され、
前記片持ち梁の自由端は、前記変形部に接続されることを特徴とする請求項１記載の形状可変鏡。
【請求項３】
前記変形部は、隅部分を有し、
前記片持ち梁の自由端は、前記隅部分に接続される請求項２記載の形状可変鏡。
【請求項４】
前記支持部は、曲げ部を有することを特徴とする請求項２又は３記載の形状可変鏡。
【請求項５】
前記支持部は、溝部を有することを特徴とする請求項１乃至４いずれか１項記載の形状可変鏡。
【請求項６】
前記溝部の厚さは、前記変形部の厚さよりも小さいことを特徴とする請求項５項記載の形状可変鏡。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれか１項記載の形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えることを特徴とする光情報入出力装置。
【請求項８】
請求項５又は６記載の形状可変鏡の製造方法であって、
前記溝部を異方性エッチングによって形成する溝部形成ステップを含むこと特徴とする形状可変鏡の製造方法。
【請求項９】
前記鏡部における基板の一部分の厚さを減少させる基板減厚ステップをさらに含み、
前記基板減厚ステップの後に前記溝形成ステップを行うことを特徴とする請求項８記載の形状可変鏡の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、鏡部、前記鏡部の鏡面の形状を変形させる圧電素子、及び前記鏡部を固定する鏡固定用部材を含む形状可変鏡及びその製造方法、並びに光ピックアップ装置を備えた光情報入出力装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に光ディスクを用いた光ディスク情報入出力装置としてＣＤやＤＶＤなどがある。ＤＶＤなどは、ＣＤに比べ記録密度が高い為、情報の読み書きに関する条件がより厳しくなっている。例えば光ピックアップ装置の光軸とディスク面は垂直であることが理想であるが、実際には光ディスクが樹脂製である為、ディスク面はかなりうねりを持っている。このようなディスク面を回転させると光ピックアップ装置の光軸とディスク面は、必ずしも常に垂直ではなく、ディスク面が光軸に対して傾きを持つことがある（以下、光軸に対するディスク面の傾きをチルトと表現する）。
【０００３】
ＣＤ、ＤＶＤ共に光ディスクにおいては、図１に示すように、記録層１０８が樹脂層１０２ａ、１０２ｂを介在している為、チルトすなわちディスク面が傾くとレーザー光の光路が曲げられてコマ収差が発生し、図１の１０３ａ、１０３ｂに示すように光ディスク上に正しくスポットを絞れなくなる。このコマ収差が許容される量よりも大きくなると、情報を正しく読み書きできなくなるという不具合が生じる。
【０００４】
チルトにより発生する収差を低減する手段としては、対物レンズと記録層との間にある樹脂層の厚さを薄くする方法がある。実際に図１（ｂ）に示すようなＤＶＤにおいて、対物レンズ１０１ｂと記録層１０８との間の樹脂層１０２ｂの厚さを、図１（ａ）に示すＣＤの場合に比較して半分にしてあるのは、コマ収差の低減を意図したものである。しかしこの方法では、ＤＶＤよりも記録密度を高くしようとした場合には樹脂層の厚さをさらに薄くしてチルトの影響を低減することになるが、今度は光ディスク上にゴミや傷が付いた場合に信号を正しく読み書きできなくなるという不具合が生じる。このため、アクチュエーターによって光ピックアップ装置の光軸を傾けて、コマ収差を補償しているのが現状である。
【０００５】
チルトによる影響を光学的に低減する手段として、まず特開平１０−７９１３５に記載の液晶板を用いる方法がある。またチルトによるコマ収差などを圧電素子を用いて低減させる手段として、特開平５−１４４０５６に記載のレーザー光の光路中に透明圧電素子を用いる方法や、特開平５−３３３２７４に記載の複数のアクチェーターを利用した形状可変鏡を用いる方法などが提案されている。
【０００６】
しかしながら、特開平１０−７９１３５のように液晶板を用いてレーザー光の位相を制御することでコマ収差を低減させる方法では、レーザーが液晶板を通過するために光量が減衰して書き込みに必要なエネルギーを得ることが困難であり、また液晶の特性から、特にタンジェンシャルチルトの制御に要求される高周波動作に使用することは困難である。
【０００７】
また、特開平５−１４４０５６のように透明圧電素子単独でその必要な厚さの変化を得るためには、実際には高電圧が必要となり光ピックアップ装置などに用いるには現実的ではない。
【０００８】
さらに、特開平５−３３３２７４のように形状可変鏡の鏡自体を積層型圧電素子で変形させて光の位相を制御する方法は、光ピックアップ装置などの小さい部品に用いるには配線などの考慮がされておらず、複雑になり、かつ組み付けコストも高くなる。また、配線などの問題が解決できたとしても、積層型圧電素子を小型化することは、技術的にもコスト的にも困難である。
【０００９】
上述した従来技術の問題点を解決する為、チルトなどにより発生する波面収差（主としてコマ収差）を、圧電素子を利用したユニモルフ又はバイモルフ構造の形状可変鏡で低減する方法が考えられる。これは、例えば図２（ａ）、（ｂ）に示すような鏡面の形状が可変な形状可変鏡である。
【００１０】
図２（ａ）は、配線４ｃ、５ｃを有する鏡固定用部材８を取り除いて鏡材１と反対側から見た形状可変鏡の平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ’方向における形状可変鏡の断面図である。図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明の形状可変鏡は、鏡面側を下側、鏡面と反対側を上側と呼ぶことにすると、鏡基板６の上下の面にそれぞれ絶縁膜７ｂがあり、鏡面側（下側）には絶縁膜７ｂを介して鏡材１があり、鏡面と反対側（上側）には絶縁膜７ｂを介して配線４ｂ、５ｂがある。鏡基板６は、周辺部における厚い部分（固定部）１４を有している。ここで、鏡材、鏡基板、絶縁膜、配線を含む部分を鏡部と定義する。さらに、鏡部の配線４ｂ上には、配線４ｂと接続している配線電極４ａが形成されており、配線電極４ａの上には、圧電素子２が接着されており、さらに圧電素子２の上には、互いに分離した二つの個別電極５ａがある。ここで、圧電素子、配線電極、及び個別電極で構成される部分を圧電素子部と定義する。鏡基板６の周辺に形成された配線４ｂと、配線電極４ａと接続している圧電素子２の下にある配線４ｂとの間、及び鏡基板６の周辺に形成された配線５ｂと圧電素子２上に形成された個別電極５ａとの間は、それぞれワイヤがある。また、図２の形状可変鏡においては、鏡部の変形を容易とする為に、鏡部にスリットを設けてある。圧電素子部及びワイヤを有する鏡部は、配線４ｃ、５ｃを有する鏡固定用部材８に固定されている。
【００１１】
図２（ａ）、（ｂ）に示すような構造の形状可変鏡において、配線４ｂ、従って、配線電極４ａを接地し、配線５ｂから二つの個別電極５ａの片方にプラスの電圧、他方にマイナスの電圧を印加したとする。鏡基板６自体は電圧を印加しても伸縮しないが、圧電素子２は、電圧を印加すれば伸縮する。個別電極５ａにプラスの電圧を印加した場合に、個別電極５ａの設置された部分の圧電素子２が縮むとすると、マイナスの電圧を印加した場合には、その部分の圧電素子２は伸びることとなり、個別電極５ａにプラスの電圧を印加した部分の鏡面は凸面に、電極５ａにマイナスの電圧を印加した部分の鏡面は凹面になる。その結果、図２（ａ）、（ｂ）に示す形状可変鏡の鏡面の形状は、図２（ｃ）に示すように、Ａ−Ａ’方向に鏡面の中心を挟んで凸面と凹面を有し、Ａ−Ａ’方向の断面は鏡面の中心が節に相当する波型の形状になる。なお、図２（ｃ）の横軸は、図２に示す形状可変鏡のＡ−Ａ方向の軸、縦軸は、Ａ−Ａ方向の断面における鏡面形状の変化量である。また二つの個別電極５ａに前述と逆向きに電圧を印加した場合には、図２（ｃ）に示す形状と逆の波型の形状になる。また図２（ａ）、（ｂ）に示す形状可変鏡では、鏡面と反対側における鏡基板６の中央部分（固定部１４以外の部分）は、エッチングにより固定部１４よりも薄く形成してある。このように鏡基板６の中央部分を薄く形成してあるため、形状可変鏡の鏡部の形状を、低電圧で変形させることができる。図２（ａ）、（ｂ）に示すような形状可変鏡を、光ディスク情報入出力装置における光ピックアップ装置の光軸上に設置し、鏡面の形状を制御することによって、チルトによるコマ収差を低減することが可能になる。
【００１２】
光ディスク情報入出力装置において、光ディスクにチルト、即ちレーザー光の光軸に対して垂直な方向を基準とした光ディスクの傾き、が生じると、光ディスクから反射して戻ってきたレーザー光の波面は乱れコマ収差が発生する。チルトした光ディスクから戻ってきて形状可変鏡の鏡面に入射するレーザー光の波面収差は、レーザー光の光束の断面に対して図３に示すような等高線で表わされる。ここで、レーザーの光束の断面において、光ディスクがチルトした方向に対応する方向が図３のＡ−Ａ’方向である。すなわちＡ−Ａ’方向に沿って符号が変わる波面収差（コマ収差）が発生する。
【００１３】
このようなチルトにより発生する波面収差を低減する為に、図２に示す本発明の形状可変鏡を、図２（ａ）のＡ−Ａ’方向と図３のＡ−Ａ’方向とを一致させて光ピックアップ装置の光軸上に設置する。前述した形状可変鏡の動作により、Ａ−Ａ’方向について凸面と凹面とが生じるように、鏡面の形状を適切に制御すれば、チルトによる波面収差（コマ収差）の補正又は低減が可能となる。ここで簡単の為に図３におけるＡ−Ａ’方向についてのみ注目して、レーザー光の波面収差の低減を、図４（ａ）乃至（ｃ）を用いて説明する。図４（ａ）は、光ディスクがチルトした場合に発生するレーザー光の波面収差に関する図３のＡ−Ａ’方向の波面収差図である。ここで、図４（ａ）乃至（ｃ）における縦軸は、波面収差であり、図４における横軸は、図３のＡ−Ａ’方向の軸（即ち形状可変鏡のＡ−Ａ’方向の軸）である。なお、光ディスクがチルトせずレーザー光の光軸に対し垂直であれば、図４（ａ）に示すような波面収差は発生せず、波面は横軸に一致する。図４（ｂ）は、形状可変鏡を故意に収差を発生させるように動作させ、無収差の光を形状可変鏡に照射した場合の反射光の波面収差を示した図である。今、光ディスクにチルトが生じ、光ディスクからの反射光の波面収差が図４（ａ）であったとして、光ディスクにチルトが生じていない場合に形状可変鏡で反射した光の波面収差が図４（ｂ）となるように形状可変鏡の鏡面の形状を制御する。この場合には、図４（ａ）と図４（ｂ）の波面収差が互いに相殺する関係となって、形状可変鏡からの反射光の波面収差は、図４（ｃ）のようになり、図４（ａ）と比較して波面収差を低減させることができる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図２（ａ）、（ｂ）に示すような形状可変鏡において、鏡部の鏡面形状を変化させたとき、図５に示すように鏡面、即ち鏡材１の表面に歪みが発生する。図５は、鏡部の鏡面形状を変化させた場合において、鏡面側から見た形状可変鏡の平面図である（固定部１４を示す点線は、固定部１４が鏡面と反対側にあることを示す）。ここで、鏡部は、変形部、固定部、支持部を含み、圧電素子が設けられる部分を含む鏡部の中央側の部分を変形部、鏡固定用部材に固定される部分を含む鏡部の周辺側の部分を固定部、変形部と固定部との間にあり変形部を固定部に対して支持する鏡部の部分を支持部と定義する。図５では、変形部は、複数のスリット１５より中央側の部分であり、固定部は、複数のスリット１５より周辺側の部分であり、支持部１６は、複数のスリット１５間の部分である。鏡部の変形部では、圧電素子２の伸縮によって鏡部の鏡面形状が有意に変化する。図５に示すように、発明者は、鏡部の鏡面形状を変化させたとき、鏡部の支持部１６の剛性によって、鏡部における支持部１６の近傍で鏡面の歪み１７が発生することを発見した。このような鏡面の歪み１７は、レーザー光の干渉縞により表面の凹凸を検出する平面度の測定によって確認された。
【００１５】
鏡部の支持部１６の剛性によって発生する鏡面の歪み１７は、鏡部の鏡面を適切な形状に変化させることを妨げるため、チルトなどにより発生するレーザー光の波面収差を良好に低減させることができなくなり、結果として光ディスクに対して情報を読み書きするときにエラーが発生する場合がある。また、このような鏡面の歪み１７に対して鏡部の鏡面を適切な形状にするためには、圧電素子２により高い電圧を印加する必要があり、鏡部の変形効率が低下する。
【００１６】
本発明は、上記問題に鑑みなされたものであり、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡及びその製造方法並びに前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えた光情報入出力装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、鏡部、前記鏡部の鏡面の形状を変形させる圧電素子、及び前記鏡部を固定する鏡固定用部材を含む形状可変鏡において、前記鏡部は、前記圧電素子が設けられる変形部、前記鏡固定用部材に固定される固定部、並びに前記変形部及び前記固定部の間に設けられ前記変形部を前記固定部に対して支持する支持部、を含み、前記支持部は、弾性変形可能であることを特徴とする。
【００１８】
請求項１記載の発明によれば、前記鏡部は、前記圧電素子が設けられる変形部、前記鏡固定用部材に固定される固定部、並びに前記変形部及び前記固定部の間に設けられ前記変形部を前記固定部に対して支持する支持部、を含み、前記支持部は、弾性変形可能であるので、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡を提供することができる。
【００１９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の形状可変鏡において、前記支持部は、片持ち梁であり、前記片持ち梁の固定端は、前記固定部に固定され、前記片持ち梁の自由端は、前記変形部に接続されることを特徴とする。
【００２０】
請求項２記載の発明によれば、前記支持部は、片持ち梁であり、前記片持ち梁の固定端は、前記固定部に固定され、前記片持ち梁の自由端は、前記変形部に接続されるので、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の鏡面形状を所望の形状により近づけることができ、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡を提供することができる。
【００２１】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の形状可変鏡において、前記変形部は、隅部分を有し、前記片持ち梁の自由端は、前記隅部分に接続される。
【００２２】
請求項３記載の発明によれば、前記変形部は、隅部分を有し、前記片持ち梁の自由端は、前記隅部分に接続されるので、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みの鏡面形状に対する影響を小さくして、鏡部の変形効率を向上させることができる。
【００２３】
請求項４記載の発明は、請求項２又は３記載の形状可変鏡において、前記支持部は、曲げ部を有することを特徴とする。
【００２４】
請求項４記載の発明によれば、前記支持部は、曲げ部を有するので、鏡部の厚さを変更することなく簡便に、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡を提供することができる。
【００２５】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４いずれか１項記載の形状可変鏡において、前記支持部は、溝部を有することを特徴とする。
【００２６】
請求項５記載の発明によれば、前記支持部は、溝部を有するので、鏡部の変形部の面積を大きく変更することなく、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みをより低減させると共に鏡部の変形効率をより向上させた形状可変鏡を提供することができる。
【００２７】
請求項６記載の発明は、請求項５項記載の形状可変鏡において、前記溝部の厚さは、前記変形部の厚さよりも小さいことを特徴とする。
【００２８】
請求項６記載の発明によれば、前記溝部の厚さは、前記変形部の厚さよりも小さいので、支持部を、より容易に弾性変形させることができ、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを一層低減させると共に鏡部の変形効率を一層向上させた形状可変鏡を提供することができる。
【００２９】
請求項７記載の発明は、光ピックアップ装置を備える光情報入出力装置において、請求項１乃至６いずれか１項記載の形状可変鏡を有することを特徴とする。
【００３０】
請求項７記載の発明によれば、請求項１乃至６いずれか１項記載の形状可変鏡を有するので、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えた光情報入出力装置を提供することができる。
【００３１】
請求項８記載の発明は、請求項５又は６記載の形状可変鏡の製造方法であって、
前記溝部を異方性エッチングによって形成する溝部形成ステップを含むこと特徴とする。
【００３２】
請求項８記載の発明によれば、前記溝部を異方性エッチングによって形成する溝部形成ステップを含むので、溝部を支持部に精度良く形成することができ、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡の製造方法を提供することができる。
【００３３】
請求項９記載の発明は、請求項８記載の形状可変鏡の製造方法において、前記鏡部における基板の一部分の厚さを減少させる基板減厚ステップをさらに含み、
前記基板減厚ステップの後に前記溝形成ステップを行うことを特徴とする。
【００３４】
請求項９記載の発明によれば、前記鏡部における基板の一部分の厚さを減少させる基板減厚ステップをさらに含み、
前記基板減厚ステップの後に前記溝形成ステップを行うので、溝部の鏡面からの高さを容易に調節することができ、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡の製造方法を提供することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
｛実施例１｝
まず、本発明の第一の実施例を図６と共に説明する。図６は、本実施例における形状可変鏡の鏡面側から見た平面図であり、（ａ）は、スリットを有する形状可変鏡、（ｂ）は、スリットの無い形状可変鏡を示す図である。
【００３６】
本実施例において、図６（ａ）に示す形状可変鏡の基本的な構造及び動作は、図２（ａ）、（ｂ）に示す形状可変鏡のものと同じである。即ち図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施例における形状可変鏡は、鏡面側を下側、鏡面と反対側を上側と呼ぶことにすると、鏡基板６の上下の面にそれぞれ絶縁膜７ｂがあり、鏡面側（下側）には絶縁膜７ｂを介して鏡材１があり、鏡面と反対側（上側）には絶縁膜７ｂを介して配線４ｂ、５ｂがある。鏡基板６は、周辺に厚い部分（固定部）１４を有している。ここで、鏡材、鏡基板、絶縁膜、配線を含む部分を鏡部と定義する（以下同じ）。さらに、鏡部の配線４ｂ上には、配線４ｂと接続している配線電極４ａが形成されており、配線電極４ａの上には、圧電素子２が接着されており、さらに圧電素子２の上には、互いに分離した二つの個別電極５ａがある。ここで、圧電素子、配線電極、及び個別電極で構成される部分を圧電素子部と定義する（以下同じ）。鏡基板６の周辺に形成された配線４ｂと、配線電極４ａと接続している圧電素子２の下にある配線４ｂとの間、及び鏡基板６の周辺に形成された配線５ｂと圧電素子２上に形成された個別電極５ａとの間は、それぞれワイヤがある。また、図２の形状可変鏡においては、鏡部の変形を容易とする為に、鏡部にスリット（穴）を設けてある。圧電素子部及びワイヤを有する鏡部は、配線４ｃ、５ｃを有する鏡固定用部材８に固定されている。
【００３７】
図６（ａ）は、本実施例における鏡部にスリットを有する形状可変鏡の鏡面側から見た平面図である（固定部１４及び圧電素子２を示す点線は、それぞれ固定部１４及び圧電素子２が鏡面と反対側にあることを示す、以下同じ）。ここで、鏡部は、変形部、固定部、支持部を含み、圧電素子が設けられる部分を含む鏡部の中央側の部分を変形部、鏡固定用部材に固定される部分を含む鏡部の周辺側の部分を固定部、変形部と固定部との間にあり変形部を固定部に対して支持する鏡部の部分を支持部と定義する（以下同じ）。図６（ａ）では、変形部は、鏡部における複数のスリット１５より中央側の部分であり、固定部は、鏡部における複数のスリット１５より周辺側の部分であり、支持部１６は、鏡部における複数のスリット１５間の部分である。鏡部の変形部では、圧電素子２の伸縮によって鏡部の鏡面形状が有意に変化する。即ち、図６（ａ）では、支持部１６は、片持ち梁であり、片持ち梁の固定端は、固定部に固定され、片持ち梁の自由端は、変形部に接続される。ここで、片持ち梁は、一端（固定端と呼ぶ）のみを固定し、他端（自由端）を自由にした梁であり、その形態は、特に限定されず、板状、棒状など任意の形態が可能である。ただし、本発明において、前記‘自由にした’とは、完全に自由で何も接続されないという意味ではなく、変位するという意味であり、本発明における片持ち梁の自由端には、鏡部の変形部が接続されている。
【００３８】
図６（ａ）に示す本実施例における形状可変鏡では、支持部１６が、弾性変形可能である。支持部１６が、弾性変形可能であるので、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させることができる。また支持部１６が、固定端が固定部に固定されると共に自由端が変形部に接続される片持ち梁であるので、言い換えれば、鏡部が、変形部と固定部との間にスリット（穴）を有するので、鏡部の鏡面を変形させるとき、変形部の変形に対する支持部による束縛を減少させることができる。よって、鏡部の鏡面形状を所望の形状により近づけることができる。即ち、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを更に低減させると共に鏡部の変形効率を更に向上させることができる。
【００３９】
支持部１６が弾性変形可能であるためには、支持部１６の剛性を、変形部の剛性よりも小さくすればよい。これは、支持部１６に溝部を設けて、支持部１６における鏡部の厚さを、変形部の厚さよりも薄くすることで実現できる。例えば、変形部−固定部方向における支持部の断面形状を凹形状としたり、以下の実施例３に記載するように変形部−固定部方向における支持部の断面形状をＶ字形状若しくはＷ字形状としてもよい。また、支持部が弾性変形可能であるためには、支持部１６を片持ち梁とし、片持ち梁の固定端（固定部側）から自由端（変形部側）に向って片持ち梁を固定端から自由端に沿って長い形状にすればよい。例えば、以下の実施例２に記載するように、折れ曲り部を有する／曲り部を有さない自由端−固定端に沿って長い片持ち梁としてもよい。
【００４０】
図６（ａ）に示す本実施例では、支持部１６が弾性変形可能であるように、鏡部の支持部１６における厚さを、鏡部の変形部における厚さの半分とした。具体的には、鏡部の支持部１６における厚さは、５０μｍであり、鏡部の変形部における厚さは、１００μｍである。支持部１６である複数のスリット１５間の部分は、正方形であり、長さ、幅共に３００μｍである。この形状可変鏡の鏡部の鏡面形状を所望の形状に変化させ、レーザー光の干渉縞により表面の凹凸を検出する平面度測定器（商品名：ｚｙｇｏ）を用いて、支持部１６近傍における鏡面の歪みを測定したところ、鏡部の支持部１６における厚さを減少させることにより、支持部１６近傍における鏡面の歪みが低減されることを確認することができた。また、鏡部の支持部１６における厚さを減少させることにより、圧電素子２に同じ電圧を印加するとき、鏡部の変形効率が、数％であるが向上した。
【００４１】
また、図６（ｂ）は、実施例における鏡部にスリットを有さない形状可変鏡の鏡面側から見た平面図である。図６（ｂ）に示す形状可変鏡において、上述した鏡部の変形部、固定部、支持部に関して、変形部は、圧電素子２が設けられる部分を含む鏡部の中央側の部分であり、固定部は、鏡部における鏡固定用部材に固定される部分１４であり、支持部は、変形部と固定部との間にあって変形部を固定部に対して支持する鏡部の部分である。ここで、支持部１６は、弾性変形可能である。支持部１６が、弾性変形可能であるので、支持部が弾性変形可能でない同様な形状可変鏡に対して、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させることができる。支持部１６を弾性変形可能とするためには、支持部１６の剛性を変形部の剛性よりも小さくすればよく、上述のような手段を使用することができる。
【００４２】
｛実施例２｝
次に、本発明の第二の実施例を図７と共に説明する。図７は、本実施例における形状可変鏡の鏡面側から見た平面図であり、（ａ）は、支持部が曲り部を有さない片持ち梁である形状可変鏡、（ｂ）は、支持部が折れ曲り部を有する片持ち梁である形状可変鏡を示す図である。
【００４３】
図７（ａ）に示す本実施例における形状可変鏡では、図６（ａ）に示すような支持部が弾性変形可能な片持ち梁でありである形状可変鏡において、支持部１６の自由端が、変形部の隅部分に接続されることを特徴とする。ここで、変形部の隅部分とは、鏡部の鏡面形状を変形させるとき、変形部における鏡面形状の変化量が少ない部分又は変形しない部分であり、レーザー光が当たらない（入射するレーザー光の照度が無視できる）部分である。また、隅部分は、かどを有する形状であっても、有さない形状であっても良い。図７（ａ）に示す形状可変鏡においては、変形部の隅部分は、長方形の平板の形状である変形部の四隅であり、支持部１６の自由端（ＢＢ’側）が、長方形の変形部の隅部分に接続されている。このように、支持部１６の自由端が、変形部の隅部分に接続されることによって、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、変形部の鏡面の変形に対する自由端による束縛をより小さくすることができる。よって、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みの鏡面形状に対する影響を小さくして、鏡部の変形効率を向上させることができる。変形部が複数の隅部分を有する場合には、レーザー光が当たらず、鏡面形状の変化量がなるべく少ない隅部分に、支持部の片持ち梁の自由端を接続させることが望ましい。
【００４４】
また、片持ち梁である支持部は、変形部−固定部方向に沿って長い形状であることが望ましい。即ち、支持部の変形部から固定部に沿った長さは、支持部と変形部との最短の境界の長さ、及び支持部と固定部との最短の境界の長さよりも長いことが望ましい。図７（ａ）においては、支持部が、短冊形状であり、支持部の変形部−固定部方向に沿った長さＢＣ及びＢ’Ｃ’が、支持部と変形部との最短の境界の長さＢＢ’、及び／又は支持部と固定部との最短の境界の長さＣＣ’よりも長い。このような自由端−固定端方向に沿って長い形状の片持ち梁である支持部を有する形状可変鏡においては、支持部の厚さが、変形部及び／又は固定部における鏡部の厚さと同じであっても、支持部が、弾性変形可能である。よって、支持部の厚さを変更することなく、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させることができる。
【００４５】
加えて、上述のような変形部−固定部方向に沿って長い形状の支持部における変形部−固定部方向に沿った長さが、変形部と固定部との間の間隔よりも長いこと、換言すれば、変形部−固定部方向に沿って長い形状の支持部が、曲げ部を有することが望ましい。ここで、曲げ部は、支持部におけるかどを有する折れ曲りの部分であっても、支持部におけるかどを有さない滑らかに曲がった部分であってもよい。この場合には、鏡部の厚さを変更することなく簡便に、支持部が弾性変形可能であるように支持部を変形部−固定部に沿って長い形状にすることができる。即ち、鏡部の厚さを変更することなく簡便に、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させることができる。
【００４６】
例えば、図７（ｂ）に示す形状可変鏡においては、変形部−固定部方向に沿って長い形状の支持部における変形部−固定部に沿った長さＢＣ及びＢ’Ｃ’が、変形部と固定部との間の間隔よりも長くなっている。ここで、支持部１６は、図７（ｂ）に示すように二つのかどを有する折れ曲がりの部分（曲り部）を有するクランク形状である。
【００４７】
具体的には、図７（ｂ）における片持ち梁である支持部１６の幅は、５００μｍ、片持ち梁の変形部−固定部に沿った長さは、約３ｍｍであり、厚さは、１００μｍである。また、スリット１５の短辺方向の幅は、２００μｍである。この形状可変鏡の鏡部の鏡面形状を所望の形状に変化させ、上記平面度測定器を用いて、支持部１６近傍における鏡面の歪みを測定したところ、支持部１６が弾性変形可能であるため、支持部１６近傍における鏡面の歪みが無い（測定誤差範囲内である）ことを確認することができた。また、本実施例における形状可変鏡では、圧電素子２に同じ電圧を印加するとき、鏡部の変形効率が、約５％向上した。
【００４８】
図７（ａ）、（ｂ）では、短冊形状及びクランク形状の片持ち梁である支持部を示してあるが、本発明の形状可変鏡の支持部は、その形状や大きさ（長さ、幅、厚さ）等は、クランク形状に限定されない。
【００４９】
｛実施例３｝
次に、本発明の第三の実施例を図８と共に説明する。図８は、本実施例における形状可変鏡を説明する図であり、（ａ）は、形状可変鏡の鏡面側から見た平面図、（ｂ）は、（ａ）に示す形状可変鏡の支持部のＡ−Ａ’方向における断面図、（ｃ）は、（ｂ）と異なる支持部のＡ−Ａ’方向における断面図である。
【００５０】
本実施例では、第一の実施例で説明した形状可変鏡において、支持部が、溝部を有する。ここで溝部は、支持部における溝を有する部分であり、溝の形状は、溝部が溝の内側へ変形可能であれば、形成可能な任意の形状でよい。即ち、溝の底は、点、線、平面、曲面のいずれでもよく、溝部の面は、平面でも曲面でもよい。このように支持部が溝部を有する形状可変鏡においては、支持部が、弾性変形可能である。ここで、溝部は、変形部の外周に沿った方向に延びることが望ましい。特に、支持部が、片持ち梁である場合には、溝の両端が、片持ち梁の固定端及び自由端になく、自由端−固定端の間の境界上にあることが望ましい。このように支持部に溝部を設けることで、支持部が、弾性変形可能になり、鏡部の変形部の面積を大きく変更することなく、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させることができる。なお、支持部に設ける溝部の数が多いほど、支持部が弾性変形を生じ易くなり、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みをより低減させると共に鏡部の変形効率をより向上させることができる。
【００５１】
例えば、図８（ａ）及び（ｂ）に示す形状可変鏡は、支持部１６が、変形部の外周に沿った溝部を有し、溝の両端が、自由端−固定端の間の境界上にあり、支持部１６における溝部のＡ−Ａ’方向における断面形状が、Ｖ字形状である。また、図８（ｃ）に示す形状可変鏡は、支持部１６が、図８（ａ）、（ｂ）に示す溝部と同様な形態の二つの溝部を有し、支持部１６のＡ−Ａ’方向における断面形状がＷ字形状である。図８（ｃ）に示すＷ字形状の溝部が形成された支持部は、図８（ａ）及び（ｂ）に示すＶ字形状の溝部が形成された支持部よりも容易に弾性変形する。よって、図８（ｃ）に示す支持部の形状可変鏡は、図８（ａ）及び（ｂ）に示す支持部の形状可変鏡よりも、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させることができる。
【００５２】
具体的には、図８（ａ）、（ｂ）に示すＶ字断面形状の溝部の開口における幅（鏡面内のＡ−Ａ’方向と垂直な方向における長さ）は、４００μｍ、開口における長さ（鏡面内のＡ−Ａ’方向における長さ）は、３００μｍ、厚さは、１００μｍであり、Ｖ字の二つの斜面に沿った長さの合計は、約５５０μｍであった。図８（ｃ）に示すＷ字断面形状の溝部の開口における幅は、４００μｍ、開口における長さは、６００μｍ、厚さは、１００μｍであり、Ｗ字形状の溝部における四つの斜面に沿った長さの合計は、約１１００μｍである。
【００５３】
この形状可変鏡の鏡部の鏡面形状を所望の形状に変化させ、上記平面度測定器を用いて、支持部１６近傍における鏡面の歪みを測定したところ、支持部１６が弾性変形可能であるため、支持部１６近傍における鏡面の歪みが低減されたことを確認することができた。特に、図８（ｃ）に示すＷ字形状の溝部を有する形状可変鏡の鏡面の歪みは、図８（ａ）及び（ｂ）に示すＶ字形状の溝部を有する形状可変鏡よりも少なく、ほどんど無いことが確認できた。また、圧電素子２に同じ電圧を印加する場合における鏡部の変形効率に関しても、図８（ｃ）に示すＷ字形状の溝部を有する形状可変鏡の変形効率は、図８（ａ）及び（ｂ）に示すＶ字形状の溝部を有する形状可変鏡の変形効率よりも数％高かった。
【００５４】
図８では、断面がＶ字形状やＷ字形状の溝部を示してあるが、本発明の形状可変鏡の支持部は、溝部の形状や大きさ（長さ、幅、厚さ）等は、Ｖ字断面形状やＷ字断面形状のものに限定されない。
【００５５】
｛実施例４｝
次に、本発明の第四の実施例を図９と共に説明する。図９は、本実施例における形状可変鏡の断面図である。
【００５６】
本実施例では、支持部が、溝部を有すると共に、溝部の厚さは、鏡部の変形部よりも薄く、支持部を、より容易に弾性変形させることができる。よって、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを一層低減させると共に鏡部の変形効率を一層向上させることができる。なお、溝部の変形部−固定部に沿った方向における断面形状は、例えばＶ字形状又はＷ字形状であってもよい。
【００５７】
図９に示す形状可変鏡は、支持部１６が、溝部を有し、溝部の変形部−固定部に沿った方向における断面形状がＷ字形状であり、溝部の厚さは、変形部の厚さよりも小さい。具体的には、図９に示す断面がＷ字形状の溝部の開口における幅は、４００μｍ、開口における長さは、６００μｍ、厚さは、５０μｍであり、Ｗ字（二つのＶ字）の斜面に沿った長さの合計は、約１１００μｍであった。圧電素子２に同じ電圧を印加するとき、鏡部の変形効率に関して、図９に示す厚さ５０μｍのＷ字断面形状の溝部を有する形状可変鏡の変形効率は、図８（ｃ）に示す厚さ１００μｍのＷ字形状の溝部を有する形状可変鏡の変形効率よりも約５％乃至１０％向上させることができた。
【００５８】
図９では、一例として厚さ５０μｍのＷ字形状の溝部を示してあるが、本発明の形状可変鏡の支持部は、溝部の形状や大きさ（長さ、幅、厚さ）等は、厚さ５０μｍのＷ字断面形状に限定されない。
【００５９】
｛実施例５｝
次に、本発明の第五の実施例を図１０と共に説明する。図１０は、断面がＶ字形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の製造方法を説明するための断面図であり、（ａ）乃至（ｅ）は、形状可変鏡の各製造工程を説明する図、（ｆ）は、（ａ）乃至（ｅ）の製造工程で製造した形状可変鏡の断面図である。
【００６０】
本実施例では、支持部における溝部を異方性エッチングによって形成する。異方性エッチングを使用することにより、溝部を支持部に精度良く形成することができる。
【００６１】
次に、異方性エッチングを用いて、溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の製造工程を説明する。簡単のために、図１０（ａ）乃至（ｅ）において、Ｖ字断面形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の製造工程を説明する。
【００６２】
まず、図１０（ａ）に示すように、酸化シリコン（ＳｉＯ２）の絶縁膜７ａ付きシリコン（Ｓｉ）の鏡基板６（面方位：＜１００＞、厚さ：３００μｍ）の表裏のＳｉＯ２膜７ａに対して、フォトリソグラフィー法によって窓開け（ｉ部分及びｈ部分）を行う。図１０（ａ）のｉ部分における窓開けは、後に鏡基板６の鏡面と反対側を異方性エッチングすることにより鏡基板６の中央部分の厚さを薄くして凹部を形成するための窓開けである。また、同じ図のｈ部分の窓開けは、鏡部の鏡面側に、断面がＶ字形状の溝部を支持部に形成するための窓開けである。このとき、鏡面側のＶ字断面形状の溝部と並んで、鏡部の鏡面と反対側にもＶ字断面形状の溝部を形成する必要があるため、鏡基板６の鏡面側とその反対側の両側に窓開け（ｈ部分）を行う。
【００６３】
次に、図１０（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィー法によって窓開けされた絶縁膜７ａをマスク材として、水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液によって、鏡面側とその反対側の両側から鏡基板６の異方性エッチングを行う。この異方性エッチングは、鏡基板６の中央部分（ｉ部分）における厚さが１００μｍになるように行われる。これにより、中央部分の凹部とＶ字断面形状の溝部を有する支持部とが鏡基板６に同時に形成される。その後、マスク材のＳｉＯ２膜７ａをエッチングにより除去する。
【００６４】
次に、図１０（ｃ）に示すように、新たなマスク材となるＳｉＯ２の絶縁膜７ｂを、酸化法によってＳｉの鏡基板６の両側に１μｍだけ形成した後、スリットが形成される部分（ｊ部分）に窓開けを行う。図１０（ｃ）には、分かりやすいように、片側（右側）のみを窓開けした鏡基板６を示す。
【００６５】
次に、図１０（ｄ）に示すように、窓開けを行ったＳｉＯ２膜７ｂをマスク材として、水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液を用いた異方性エッチング、又はドライエッチングを行い、鏡基板６にスリットを形成する。
【００６６】
次に、図１０（ｅ）に示すように、鏡面側のＳｉＯ２膜７ｂのみをエッチングにより除去した後、鏡面側には、鏡材１として誘電体多層膜をスパッタ法により形成し、鏡面と反対側にはＡｌ膜をスパッタ法により成膜すると共にパターニングして共通電極４を形成した後、共通電極４に圧電素子２を接着する。
【００６７】
本実施例では、図１０（ｂ）の点線で囲んだ鏡基板６の部分の拡大図１０（ｆ）に示すような寸法で、断面がＶ字形状の溝部が形成された支持部を有する鏡部を製造した。
【００６８】
変形部の厚さａは、１００μｍであり、Ｖ字断面形状の溝部の深さｄが２００μｍであるように、Ｖ字断面形状の溝部における開口の寸法ｅは、約２８４μｍとした。このことは、Ｖ字断面形状の溝部の斜面としてＳｉの＜１１１＞面が露出し、Ｖ字断面形状の溝部における斜面の傾斜角は、必然的に約５４．７°となることによる。Ｖ字断面形状の溝部における底面ｆの寸法は、１２０μｍとすることで、Ｖ字断面形状の溝部の厚さｂを、変形部の厚さとほぼ同じ、約１００μｍとすることができる。Ｖ字断面形状の溝部における開口ｅの寸法を変えずに、Ｖ字断面形状の溝部の厚さｂを、変形部の厚さ１００μｍよりも小さくするためには、Ｖ字断面形状の溝部における底面ｆの寸法を１２０μｍより狭くすればよい。
【００６９】
本実施例では、Ｖ字断面形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の製造方法について説明してきたが、Ｗ字断面形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡など、他の断面形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の鏡部も、マスクパターンを変更するだけで、異方性エッチングを用いた同様の製造工程で製造することができる。
【００７０】
｛実施例６｝
次に、本発明の第六の実施例を図１１と共に説明する。図１１は、図１０と異なるＶ字断面形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の製造方法を説明するための断面図であり、（ａ）乃至（ｄ）は、形状可変鏡の各製造工程を説明する図、（ｅ）は、（ａ）乃至（ｄ）の製造工程で製造した形状可変鏡の断面図である。
【００７１】
本実施例では、上述の第五の実施例に示す形状可変鏡の製造方法において、鏡基板の一部分の厚さを減少させた後、溝部を有する支持部を、異方性エッチングによって形成する。鏡基板の一部分の厚さを減少させた後に、支持部を製造することで、溝部の鏡面からの高さを容易に調節することができる。
【００７２】
次に、本実施例の製造工程について説明する。簡単のために、図１１（ａ）乃至（ｄ）において、高さの低いＶ字断面形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の製造工程を説明する。
【００７３】
まず、図１１（ａ）に示すように、酸化シリコン（ＳｉＯ２）の絶縁膜７ａ付きシリコン（Ｓｉ）の鏡基板６（面方位：＜１００＞、厚さ：３００μｍ）の鏡面と反対側にあるＳｉＯ２膜７ａに対して、フォトリソグラフィー法によって窓開けを行う。図１１（ａ）の鏡面と反対側における鏡基板６の窓開けは、後に鏡基板６の鏡面と反対側を異方性エッチングすることにより鏡基板６の中央部分を薄くして凹部を形成する、及び高さの低いＶ字断面形状の溝部を形成するための窓開けである。
【００７４】
次に、図１１（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィー法によって窓開けされた絶縁膜７ａをマスク材として、鏡面側と反対側から鏡基板６に対して、水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液を用いた異方性エッチング又はドライエッチングを行う。これにより、鏡基板６の鏡面と反対側に凹部が形成される。このエッチングは、鏡基板６における中央部分の凹部の厚さが１００μｍになるように行われる。そのため、固定部１４とＶ字断面形状の溝部の底面とが１００μｍ離れることになる。その後、マスク材のＳｉＯ２膜７ａをエッチングにより除去する。
【００７５】
次に、図１１（ｃ）に示すように、新たなマスク材となるＳｉＯ２の絶縁膜７ｂを、酸化法によってＳｉの鏡基板６の両側に１μｍだけ形成した後、鏡基板６の中央部分にさらに形成される凹部及びＶ字断面形状の溝部が形成される部分に窓開けを行う。この窓開けを行った絶縁膜７ｂは、鏡基板６の中央部分にさらに形成される凹部及びＶ字断面形状の溝部を形成するためのマスク材となる。
【００７６】
次に、図１１（ｄ）に示すように、窓開けを行ったＳｉＯ２膜７ｂをマスク材として、水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液を用いた異方性エッチングを行い、鏡基板６に中央部分におけるさらなる凹部及びＶ字断面形状の溝部を同時に形成する。この異方性エッチングは、変形部の厚さが、１００μｍであるように行われる。
【００７７】
以後は、図１０（ｄ）、（ｅ）に示す実施例５と同様の工程を行えばよい。
【００７８】
本実施例では、図１１（ｄ）の点線で囲んだ鏡基板６の部分の拡大図１１（ｆ）に示すような寸法で、Ｖ字断面形状の溝部が形成された支持部を有する鏡部を製造した。
【００７９】
変形部の厚さａは、１００μｍであり、Ｖ字断面形状の溝部の深さｄが２００μｍであるように、Ｖ字断面形状の溝部における開口の寸法ｅは、約１４２μｍとした。このことは、Ｖ字断面形状の溝部の斜面としてＳｉの＜１１１＞面が露出し、Ｖ字断面形状の溝部における斜面の傾斜角は、必然的に約５４．７°となることによる。Ｖ字断面形状の溝部における底面ｆの寸法は、１２０μｍとすることで、Ｖ字断面形状の溝部の厚さｂを、変形部の厚さとほぼ同じ、約１００μｍとすることができる。また、固定部１４とＶ字断面形状の溝部の底面との距離ｇを１００μｍとすることができる。
【００８０】
図１１（ｆ）に示す形状可変鏡の鏡部においては、Ｖ字断面形状の溝部の高さが低く、固定部１４とＶ字断面形状の溝部の底面との高さに差があるので、鏡部の鏡面形状を変形させたとき、支持部と鏡固定用部材とが接触して鏡部の鏡面に歪みが発生することを回避することができる。
【００８１】
以上、本発明を説明するためにいくつかの実施例を示してきたが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、これらの実施例の組み合わせや種々の応用ができることは言うまでもない。例えば、上述の実施例では、圧電素子の極性が一方向であるとして説明したが、形状可変鏡の構造などにより必要に応じて、極性の異なる複数の圧電素子を使用してもかまわない。また、複数の異なる極性の部分を有する単一の圧電素子を使用してもよい。さらに上述の実施形態においては、チルトにより発生したコマ収差を低減する形状可変鏡として説明してきたが、形状可変鏡の中央付近に伸縮しない支柱を持たない形状可変鏡については、電極の配置や電極に印加する電圧の符号などを適切に選択することにより鏡面形状を制御して、レーザー光の球面収差や非点収差などを低減させることもできる。
【００８２】
【発明の効果】
本発明によれば、鏡部の鏡面形状を変化させるとき、鏡部の支持部近傍における鏡面の歪みを低減させると共に鏡部の変形効率を向上させた形状可変鏡及びその製造方法並びに前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えた光情報入出力装置を提供することができる。
【００８３】
【図面の簡単な説明】
【図１】光ディスクのチルトによるコマ収差の発生を説明する図であり、（ａ）は、ＣＤにおける図、（ｂ）は、ＤＶＤにおける図である。
【図２】形状可変鏡を説明する図であり、（ａ）は、鏡固定用部材を取り除いて鏡面と反対側から見た形状可変鏡の平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’方向における形状可変鏡の断面図であり、（ｃ）は、波面収差を低減する為に変形させた鏡面形状のＡ−Ａ’方向における断面の形状を説明する図である。
【図３】チルトによって生じたレーザー光の波面収差の等高線図である。
【図４】本発明の形状可変鏡のＡ−Ａ’方向の断面における波面収差の低減を説明する図であり、（ａ）は、チルトにより発生したレーザー光の波面収差図、（ｂ）は、本発明の形状可変鏡により発生させた波面収差図、（ｃ）は、本発明の形状可変鏡で低減した後のレーザー光の波面収差図である。
【図５】鏡部の鏡面形状を変化させた場合における、鏡面側から見た従来の形状可変鏡の平面図である。
【図６】本発明の第一の実施例における形状可変鏡の鏡面側から見た平面図であり、（ａ）は、スリットを有する形状可変鏡、（ｂ）は、スリットの無い形状可変鏡を示す図である。
【図７】本実施例における形状可変鏡の鏡面側から見た平面図であり、（ａ）は、支持部が曲り部を有さない片持ち梁である形状可変鏡、（ｂ）は、支持部が折れ曲り部を有する片持ち梁である形状可変鏡を示す図である。
【図８】本発明の第三の実施例における形状可変鏡を説明する図であり、（ａ）は、形状可変鏡の鏡面側から見た平面図、（ｂ）は、（ａ）に示す形状可変鏡の支持部のＡ−Ａ’方向における断面図、（ｃ）は、（ｂ）と異なる支持部のＡ−Ａ’方向における断面図である。
【図９】本発明の第四の実施例における形状可変鏡の断面図である。
【図１０】Ｖ字断面形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の製造方法を説明する図であり、（ａ）乃至（ｅ）は、形状可変鏡の各製造工程を説明する図、（ｆ）は、（ａ）乃至（ｅ）の製造工程で製造した形状可変鏡の図である。
【図１１】図１０と異なるＶ字断面形状の溝部が形成された支持部を有する形状可変鏡の製造方法を説明する図であり、（ａ）乃至（ｄ）は、形状可変鏡の各製造工程を説明する図、（ｅ）は、（ａ）乃至（ｄ）の製造工程で製造した形状可変鏡の図である。
【符号の説明】
１　　鏡材
２　　圧電素子
４　　共通電極
４ａ　　配線電極
４ｂ，４ｃ，５ｂ，５ｃ　　配線
５ａ　　個別電極
６　　鏡基板
７ａ，７ｂ　　絶縁膜
８　　鏡固定用部材
１４　　固定部
１５　　スリット
１６　　支持部
１７　　鏡面の歪み
１０１ａ，１０１ｂ　　対物レンズ
１０２ａ，１０２ｂ　　樹脂層
１０３ａ，１０３ｂ　　スポット
１０８　　記録層
【図１】
2004070004.tif 000003
【図２】
2004070004.tif 000004
【図３】
2004070004.tif 000005
【図４】
2004070004.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004070004.tif 000008
【図７】
2004070004.tif 000009
【図８】
2004070004.tif 000010
【図９】
2004070004.tif 000011
【図１０】
2004070004.tif 000012
【図１１】
2004070004.tif 000013