(57)【要約】【課題】上記事情に鑑みてなされたものであり、ワークのオシレーションによる加工の不均一を防止することができるラッピング加工用フィルムを提供する。【解決手段】本発明のラッピング加工用フィルム１１は、シューによりワークに押付けられ、回転および振動を与えられた前記ワークの表面を加工するためのラッピング加工用フィルムであって、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材と、前記基材上の前記ワークに押付けられる方の面において、該基材の幅方向の中央部よりも両端部において高密度に配置された砥粒８０とを含んでなる。砥粒８０の密度が異ならせ、特にフィルムの幅方向の両端側で密度が高くなるようにしているので、ワークの角によりフィルム両端側で砥粒８０が磨耗等しても、均一にワークを加工し、真直度を高めることができる。【選択図】            図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄肉基材の一面に砥粒が固着されてなるラッピング加工用フィルムであって、
前記砥粒は、前記基材の幅方向の中央部よりも両端部において高密度に配置されてなるラッピング加工用フィルム。
【請求項２】
前記砥粒は、前記基材の幅方向の中央部に両端部の略２０％〜９５％の密度に配置されてなる請求項１に記載のラッピング加工用フィルム。
【請求項３】
押付け部材によりワークに押付けられ、回転および振動を与えられた前記ワークの表面を加工するためのラッピング加工用フィルムであって、
薄肉基材と、
前記基材上の前記ワークに押付けられる方の面において、該基材の幅方向の中央部よりも両端部において高密度に配置された砥粒と、
を含んでなるラッピング加工用フィルム。
【請求項４】
前記砥粒は、前記基材の幅方向の中央部に両端部の略２０％〜９５％の割合に配置されてなる請求項３に記載のラッピング加工用フィルム。
【請求項５】
非伸縮性でかつ変形可能である請求項１〜５のいずれか一項に記載のラッピング加工用フィルム
【請求項６】
回転および振動が与えられるワークの表面に、片面に砥粒が接着されたラッピング加工用フィルムを砥粒と反対側から前記ワークに押付ける押付け部材であって、
押付け力が前記ラッピング加工用フィルムの幅方向の中央部よりも両端部において強く作用するラッピング加工用押付け部材。
【請求項７】
前記ラッピング加工用フィルムに向かって開口する開口部が、前記ワークの振動方向の中央に形成されてなる請求項６に記載のラッピング加工用押付け部材。
【請求項８】
前記開口部は、前記ワークの振動の幅以下の幅に形成されている請求項７に記載のラッピング加工用押付け部材。
【請求項９】
前記ラッピング加工用フィルムを押付ける面の前記ワークの振動方向の中央に薄板部が形成され、該薄板部より内部に中空部が形成されてなる請求項６に記載のラッピング加工用押付け部材。
【請求項１０】
前記薄板部および前記中空部は、前記ワークの振動の幅以下の幅に形成されている請求項７に記載のラッピング加工用押付け部材。
【請求項１１】
前記ワークは、カムシャフトであり、そのカムロブ部部表面が加工対象である請求項５〜１０のいずれか一項に記載のラッピング加工用押付け部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラッピング加工用フィルムおよびラッピング加工用押付け部材に関し、特にワークの表面を均一に加工するためのラッピング加工用フィルムおよびラッピング加工用押付け部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種機械部品の高精度化、高能率化の要求により、加工の精密性の必要が高まっている。加工の精密性を向上するものとして、ラッピング加工用フィルムによる超仕上げ加工が注目されている。
【０００３】
ラッピング加工用フィルムを用いた超仕上げ加工は、片面に砥粒が接着されたラッピング加工用フィルムを砥粒と反対側の面からシューによりワークに押付け、ワークに回転を与えると同時に、オシレーション（振動）も与えて微細な切削を行う加工である。ラッピング加工用フィルムは、ロールテープ状に形成されており、新たな加工ごとに送り出されて、加工工程に連続供給される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ここで、ワークに与えられるオシレーションの方向は、ラッピング加工用フィルムの幅方向である。ワークにオシレーションを与える場合、ラッピング加工用フィルムの砥粒側の表面上をワークが往復することとなり、往復するワークの角によってより早く砥粒が磨耗し、また剥離してしまう。特に、ワークの角はラッピング加工用フィルムの幅方向外側を通過するので、この部分でラッピング加工用フィルムの磨耗、剥離の進行が早い。
【０００５】
この結果、ラッピング加工用フィルムの内側には多く砥粒が残り、外側に少なくなって、ラッピング加工用フィルムの内側によるワークの加工が外側よりも早く進行することとなる。したがって、ワークは、内側での加工がより早く進み、一方で外側の加工が遅いので、中凹形状に加工されてしまう。
【０００６】
これでは、加工面に対して均一に加工できておらず、安定した精度を得ることができない。
【０００７】
【特許文献１】
特開平７−２３７１１６号公報（図１、図２参照）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ワークのオシレーションによる加工の不均一を防止することができるラッピング加工用フィルムおよびラッピング加工用押付け部材の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１は、薄肉基材の一面に砥粒が固着されてなるラッピング加工用フィルムであって、前記砥粒は、前記基材の幅方向の中央部よりも両端部において高密度に配置されてなるラッピング加工用フィルムである。
【００１０】
さらに、本発明の第２は、回転および振動が与えられるワークの表面に、片面に砥粒が接着されたラッピング加工用フィルムを砥粒と反対側から前記ワークに押付ける押付け部材であって、押付け力が前記ラッピング加工用フィルムの幅方向の中央部よりも両端部において強く作用するラッピング加工用押付け部材である。
【００１１】
【発明の効果】
本発明の第１によれば、ラッピング加工用フィルム上に、基材の幅方向の中央部よりも両端部において高密度に砥粒が配置されているので、ラッピング加工時のワークの振動によって該ワークの角により両端部の砥粒が脱落および磨耗しても、中央部と変わりなく均一なラッピング加工を行うことができる。
【００１２】
本発明の第２によれば、押付け力がラッピング加工用フィルムの幅方向の中央部よりも両端部において強く作用するので、ラッピング加工時のワークの振動によって該ワークの角により酔う端部の砥粒が脱落および磨耗しても、両端部で強く作用する押付け力により、中央部および両端部で均等なラッピング加工を行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
最初に本発明が適用されるラッピング加工装置の概略構成について説明し、その後に本発明の特徴となる部分について説明する。
【００１５】
図１は本発明が適用されるラッピング加工装置の概略構成図、図２はラッピング加工装置に開閉自在に設けられた上下のアームの閉状態を示す概略断面図、図３は上下のアームの開状態を示す概略断面図、図４はラッピング加工装置の要部を示す断面図、図１１はラッピング加工されるワークとしてのカムシャフトの一例を示す斜視図である。なお、説明の便宜上、カムシャフト６０の軸線方向（図１において左右方向）をＸ方向と定義し、Ｘ方向に対して直交する水平方向（図１において紙面に直交する方向）をＹ方向と定義し、Ｘ方向に対して直交する鉛直方向（図１において上下方向）をＺ方向と定義する。
【００１６】
図１〜図４を参照して本実施形態のラッピング加工装置１について概説すれば、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピング加工用フィルム１１と、ラッピング加工用フィルム１１の背面側に配置されたシュー（押付け部材に相当する）２１と、シュー２１を押付けてラッピング加工用フィルム１１の砥粒面をワークＷに押付けるシュー押付けユニット３０と、ワークＷを回転駆動する回転駆動ユニット４０と、ワークＷおよびラッピング加工用フィルム１１のうちの少なくとも一方にワークＷの軸線方向に沿うオシレーションを付与するオシレーションユニット５０と、を有し、回転するワークＷにラッピング加工用フィルム１１を押圧しラッピング加工を施している。前記シュー押付けユニット３０は、シュー押付け力Ｐを調整する調整手段３１を含んでいる（図４参照）。本実施形態のラッピング加工装置１は、断面非真円の円弧状の加工面を有するワークＷに対してラッピング加工を施すために好適に用いられる。この種のワークＷとして、図１１に示すように、カムシャフト６０を挙げることができ、このカムシャフト６０におけるカムロブ部６１の外周面が、ラッピング加工を施す加工面となる。カムロブ部６１の位置に対応して、対をなす上アーム２２および下アーム２３が複数対配置されている（図１参照）。
【００１７】
なお、本明細書における「断面非真円の円弧状」とは、回転中心から一の部位までの半径を他の部位までの半径と異ならせることを意図した円弧形状をいい、楕円形状や、図示したカムロブ部６１のような卵形状が含まれることはもちろんのこと、外形は円形状であるが回転中心が円中心から偏心したものも含まれると理解されなければならない。
【００１８】
以下、ラッピング加工装置１について詳述する。
【００１９】
図１を参照して、前記回転駆動ユニット４０は、主軸４１を回転自在に支持するヘッドストック４２と、主軸４１の先端に連結されカムシャフト６０の一端を把持するチャック４３と、主軸４１にベルト４４を介して接続される主軸モータＭ１と、カムシャフト６０の他端を支持するセンタ４５を備えるテールストック４６と、を有している。カムシャフト６０は、主軸モータＭ１の回転動がベルト４４および主軸４１を介して伝達されて回転駆動される。主軸モータＭ１の回転速度を変えることにより、ワーク回転速度が所望の速度に設定される。主軸４１には、加工中におけるワークＷの回転位置を検出するロータリエンコーダＳ１が取り付けられている。ヘッドストック４２およびテールストック４６のそれぞれはＹ方向に沿ってスライド移動自在なテーブル４７、４８上に設けられ、これらテーブル４７、４８は、Ｘ方向に沿ってスライド移動自在なテーブル４９上に配置されている。カムシャフト６０をヘッドストック４２とテールストック４６との間にセットしたり、カムシャフト６０を加工位置に移動したりするために、各テーブル４７、４８、４９が移動される。
【００２０】
前記オシレーションユニット５０は、テーブル４９の端面に当接する偏心回転体５１と、偏心回転体５１を回転駆動するオシレーション用モータＭ２と、を有している。オシレーションユニット５０には、テーブル４９の端面と偏心回転体５１とを常時当接させるためにテーブル４９を偏心回転体５１に向けて押圧する弾発力を付勢するバネなどの弾性手段５２が設けられている。オシレーション用モータＭ２の回転速度を変えることにより、オシレーション速度が所望の速度に設定される。オシレーションの振幅は、オシレーション用モータＭ２の軸心に対する偏心回転体５１の偏心量に基づいて定まる。偏心量は約１ｍｍであり、オシレーションの振幅は約２ｍｍである。なお、偏心回転体５１の偏心量は、例えば調整プレート（図示せず）の挿入枚数を変えるなどの公知の手段により調整自在となっている。
【００２１】
前記ラッピング加工用フィルム１１は、種々のタイプがあるが、本実施形態では、基材が非伸縮性の高い材料、例えば、板厚が２５μｍ〜１３０μｍ程度のポリエステルなどから構成され、この基材の一面には、数μｍ〜２００μｍ程度の粒径を有する多数の砥粒（具体的には、酸化アルミニウム、シリコンカーバイド、ダイアモンドなどからなる）が接着剤により取り付けられている。基材の他面には、シュー２１に対する滑り止めのため、ゴムあるいは合成樹脂等からなる抵抗材料（図示せず）を取り付けるバックコーティングか、場合によっては滑り止め加工が施されている。
【００２２】
図２および図３を参照して、ラッピング加工用フィルム１１は、供給リール１５から引き出され、上アーム２２の先端に設けられた一対の第１ガイドローラＲ１と、上アーム２２の内方位置に取り付けられている第２ガイドローラＲ２と、下アーム２３の内方位置に取り付けられている第３ガイドローラＲ３と、下アーム２３の先端に設けられた一対の第４ガイドローラＲ４などにガイドされ、巻取りリール１６に巻き取られる。巻取りリール１６にはモータＭ３が接続されている。モータＭ３を作動し巻取りリール１６を回転すると、供給リール１５からラッピング加工用フィルム１１が順次繰り出される。ラッピング加工用フィルム１１の繰り出し量を検出するために、巻取りリール１６の軸には、回転量を検出するロータリエンコーダＳ３が取り付けられている。供給リール１５および巻取りリール１６の近傍にはロック装置（図示せず）が設けられ、このロック装置の作動によりフィルム１１全体に所定のテンションが付与される。
【００２３】
前記対をなす上アーム２２および下アーム２３は、シュー２１を配置する先端部がＺ方向に相対的に開閉自在なように、支持ピン２４を介して回動自在に設けられている。上アーム２２の後端部には、油圧あるいは空気圧などにより作動する流体圧シリンダ２５の一端がピン連結され、下アーム２３の後端部にはピストンロッド２６の先端がピン連結されている。ピストンロッド２６を収縮状態から伸張すると、上下のアーム２２、２３は、支持ピン２４を中心として先端部が閉じる方向に回動し、図２に示す閉状態となる。一方、ピストンロッド２６を伸張状態から収縮すると、上下のアーム２２、２３は、先端部が開く方向に回動し、図３に示す開状態となる。上下のアーム２２、２３の回動は、ラッピング加工用フィルム１１と共に行なわれ、閉じ回動によりシュー２１がラッピング加工用フィルム１１を介してカムロブ部６１に当接し、開き回動によりカムロブ部６１とシュー２１との当接を解除する。
【００２４】
シュー２１は、その先端部の形状から凸シューと凹シューとに分類されるが、図示する実施形態では、前記シュー２１は、首振り自在に保持され、ラッピング加工用フィルム１１を介してカムロブ部６１の加工面に複数箇所（例えば２点）で当接する凹状先端部を有する凹シュー２１である。凹シュー２１は、先端部はへこ（凹）んでいるものの、ワークＷとの当接面自体は断面凸状の円弧面に形成されている。凹シュー２１は、フィルム１１を介してではあるが、カムロブ部６１の加工面とは２点での線接触となる。上下のシュー２１によりカムロブ部６１は４点支持されることから、当該カムロブ部６１を安定的に回転させることができる。なお、本明細書では、シュー２１がフィルム１１を介してワークＷの外周面と間接的に当接することを「接触」、シュー２１がフィルム１１を介してワークＷの外周面と間接的に当接する面積のことを「接触面積」と略称する。
【００２５】
図４にも示すように、上下のアーム２２、２３の先端部に形成した凹部２７の中に、シュー２１を保持したシューケース２８がワークＷに対して進退移動自在に収納されている。シューケース２８は、その外側面が凹部２７の内側面にガイドされながら移動する。シュー２１は、シューケース２８に設けた中空部２８ａ内に、揺動ピン２９を介して首振り自在に保持されている。上下の揺動ピン２９はカムシャフト６０の軸心Ｏを通る線上に位置し、シュー押付け力Ｐが効率的にフィルム１１に作用するようにしてある。図４中の符号７０は、クーラントを供給するためのノズルを示している。
【００２６】
前記シュー押付けユニット３０は、上下のアーム２２、２３の先端部のそれぞれに配置されている。シュー押付けユニット３０は、先端がシューケース２８に連結された連結ロッド３２と、圧縮コイルバネからなるワーククランプ用バネ３３と、連結ロッド３２の後端との間でワーククランプ用バネ３３を弾性変形させる押圧ロッド３４と、押圧ロッド３４の頭部に当接するカム形状の偏心回転体３５と、偏心回転体３５を回転駆動する押付け用モータＭ４と、を有している。連結ロッド３２および押圧ロッド３４は、アーム２２、２３に形成した貫通孔２２ａ、２３ａ内に摺動自在に収納されている。シューケース２８を押付けると、当該シューケース２８に保持されたシュー２１が押付けられ、ラッピング加工用フィルム１１の砥粒面がカムロブ部６１に押付けられることになる。上述したワーククランプ用バネ３３、押圧ロッド３４、偏心回転体３５および押付け用モータＭ４により、シュー押付け力Ｐを調整する調整手段３１が構成されている。たとえば、偏心回転体３５の回転停止位置を調整することで、シューの押付け力を所望の値にセットできる。
【００２７】
上記モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４およびロータリエンコーダＳ１、Ｓ２、Ｓ３は、ＣＰＵやメモリを主体とするコントローラ１００に接続されている。コントローラ１００は、ロータリエンコーダＳ１、Ｓ２、Ｓ３の検出結果を監視しつつ、モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４を制御し、ラッピング加工装置１の加工時および加工停止時の各構成の動作を制御している。
【００２８】
次に、ラッピング加工装置の構成の内、本発明の要旨となる部分に着目して説明する。本発明の要旨となるのは、（１）ラッピング加工用フィルム１１と、（２）シュー２１の構造であるので、以下、これらについて順に説明する。
【００２９】
（１）ラッピング加工用フィルム
本発明の第１は、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材の一面に砥粒が固着されてなるラッピング加工用フィルム１１であって、前記砥粒は、前記基材の幅方向の中央部よりも両端部において高密度に配置されてなるラッピング加工用フィルム１１である。
【００３０】
図５は、本発明のラッピング加工用フィルム１１の表面状態を示す該略図である。なお、図５では、砥粒の状態をより明確にするために砥粒を誇張して表現している。また、（１）の説明中におけるシュー２１は（２）で後述するような特別な形状を有するものではなく、一般的に使用されているものである。
【００３１】
本発明のラッピング加工用フィルム１１では、砥粒８０は、図５に示すようなイメージで、ラッピング加工用フィルム１１の幅方向で密度を異にして配置されている。ここで、ラッピング加工用フィルム１１の幅方向での中央側には、両端側の２０〜９５％の割合に砥粒８０が配置される。このようにラッピング加工用フィルム１１の幅方向の中央および両端側で配置する砥粒８０の密度を変更することによって、加工後のワーク表面の真直度を調整することができる。
【００３２】
図６は、中央側に配置する砥粒８０の割合と、カムロブ部加工後の真直度との関係を示す図である。
【００３３】
図６（Ａ）では、真直度を調べる対象となるカムロブ部６１のカムトップＴを示している。カムトップＴは、Ｘ方向に延びており、Ｚ方向の歪みが真直度の歪みとなる。また図６（Ｂ）では、上から順に中央側に配置する砥粒８０の密度が両端側の２０％、４０％、６０％、８０％、１００％の場合の、カムトップＴの形状を示している。
【００３４】
図６（Ｂ）を参照すれば、中央側に配置する砥粒８０の密度が両端側の２０％の場合は、カムトップは大きく中凸状に加工され、一方密度が１００％の場合は、従来どおり中凹状に加工されたことがわかる。そして、中央側に配置する砥粒８０の密度が両端側の８０％程度の場合に、カムトップＴは平坦に加工されている。このことから、上記密度は特に８０％程度が好ましいといえる。
【００３５】
次に、ラッピング加工用フィルム１１の具体的にどの範囲で砥粒８０の密度を異にすればよいかについて説明する。
【００３６】
図７は、本発明のラッピング加工用フィルム１１がラッピング加工装置に適用された場合の様子を示す図である。
【００３７】
図７に示すように、ラッピング加工装置にラッピング加工用フィルム１１を用いた場合、カムロブ部６１はラッピング加工用フィルム１１の幅方向にオシレーションされるので、カムロブ部６１の角Ｅ１は図面右側に示す両矢印の範囲を往復し、角Ｅ２は図面左側に示す両矢印の範囲を往復する。したがって、カムロブ部６１の角Ｅ１およびＥ２により、図中の両矢印の範囲内で砥粒８０の磨耗および脱落が多くなる。
【００３８】
このことより、砥粒８０の磨耗等を勘案して、カムロブ部６１のカムトップＴを均等に加工するためには、図中の両矢印で示す範囲内について、範囲外よりも砥粒８０の密度を高めることが望ましい。したがって、砥粒８０の密度を高くする範囲としては、ラッピング加工時にカムロブ部６１の角Ｅ１およびＥ２が往復する範囲が適切であり、この範囲で砥粒８０の密度を高くすることによって、砥粒８０の磨耗等があったとしても、均一な加工を行うことができる。
【００３９】
以上の範囲内について砥粒８０の密度を大きくすることによって、該範囲内での砥粒８０の磨耗および脱落を勘案して均一な加工を行うことができる。
【００４０】
（２）シュー
本発明の第２は、回転および振動が与えられるワークＷの表面に、片面に砥粒が接着されたラッピング加工用フィルム１１を砥粒と反対側からワークＷに押付けるシュー２１（ラッピング加工用押付け部材）であって、押付け力がラッピング加工用フィルム１１の幅方向の中央部よりも両端部において強く作用するシュー２１である。なお、（２）の説明中におけるラッピング加工用フィルム１１は、（１）で説明したようなものではなく、砥粒が均等に配置されている通常のものである。
【００４１】
シュー２１は、上述の通り、ラッピング加工において、ラッピング加工用フィルム１１をワークＷに押付けるための押付け部材である。
【００４２】
図８は、本発明のシューを示す図である。
【００４３】
本発明のシュー２１は、図４に示すように、シューケース２８に保持されて、一組でカムロブ部６１の両側面から挟み込み、ラッピング加工用フィルム１１を介してカムロブ部６１と４箇所で接触するように形成されている。ここで、シュー２１は、図８に示すように、ラッピング加工用フィルム１１に向かって開口する開口部２１ａが設けられている。この開口部２１ａの幅は、カムロブ部６１のオシレーションの振幅以下に形成されている。
【００４４】
このシュー２１を加工に適用した場合について、シュー２１の作用について説明する。
【００４５】
図９は、本発明のシュー２１の作用を説明するための図である。
【００４６】
シュー２１がラッピング加工用フィルム１１をカムロブ部６１に押付けている間、カムロブ部６１はオシレーションされており、カムロブ部６１の角Ｅ３は、図面右側の両矢印の範囲を移動し、角Ｅ４は、図面左側の両矢印の範囲を移動する。したがって、これらの角Ｅ３、Ｅ４が移動する範囲内において、該角Ｅ３およびＥ４によるラッピング加工用フィルム１１表面の砥粒の磨耗および脱落が多くなる。
【００４７】
一方、シュー２１は、図９に示す通り、カムロブ部６１の振動方向の中央に開口部２１ａが設けられているので、該開口部２１ａの範囲ではラッピング加工用フィルム１１をカムロブ部６１に押付けない。つまり、開口部２１ａの範囲ではシュー２１の押付け力が作用せず、逆に開口部２１ａ以外の範囲（両矢印の範囲）ではシュー２１の押付け力が作用する。
【００４８】
したがって、オシレーションによりラッピング加工用フィルム１１表面の砥粒が磨耗等して、磨耗等した部分での加工能率が低下したとしても、本発明のシュー２１では開口部２１ａで押付け力が作用せず予め加工能率を低下させているので、結果として、開口部２１ａの範囲およびそれ以外の範囲で均一な加工、すなわち表面粗さを得ることができる。
【００４９】
また、シュー２１に形成された開口部２１ａの幅は、カムロブ部６１のオシレーションの振幅以下に形成されているので、オシレーションによって砥粒の磨耗等が激しい部分以外の部分について、押付け力の作用を弱め、均一な加工を達成することができる。
【００５０】
上記のように、シュー２１に開口部２１ａを形成する他にも次のようなシュー２１により、押付け力の作用を調節し、均一な加工を達成することができる。
【００５１】
図１０は、本発明の他のシュー２１’の作用を説明するための図である。
【００５２】
図１０に示すように、シュー２１’は、ラッピング加工用フィルム１１を押付ける面のオシレーション方向中央に薄板部２１ｂが形成され、薄板部より内部に中空部２１ｃが形成されている。薄板部２１ｂおよび中空部２１ｃはカムロブ部６１のオシレーションの振幅以下の幅を有し、薄板部２１ｂはカムロブ部６１のオシレーション方向の略中央に形成されている。
【００５３】
シュー２１’がラッピング加工用フィルム１１を押付けている間、カムロブ部６１はオシレーションされており、カムロブ部６１の角Ｅ５は、図面右側の両矢印の範囲を移動し、角Ｅ６は、図面左側の両矢印の範囲を移動する。したがって、これらの角Ｅ５、Ｅ６が移動する範囲内において、該角Ｅ５およびＥ６によるラッピング加工用フィルム１１表面の砥粒の磨耗および脱落が多くなる。
【００５４】
一方、シュー２１’は、図１０に示す通り、カムロブ部６１の振動方向の中央に薄板部２１ｂが設けられ、内部に中空部２１ｃが設けられているので、該薄板部２１ｂの範囲では他の範囲よりもラッピング加工用フィルム１１をカムロブ部６１に押付ける押付け力が小さく作用する。つまり、薄板部２１ｂは背後に中空部２１ｃが設けられているので、シュー２１’に与えられる押付け力が中空部２１ｃを伝達せずに該中空部２１ｃを避けて伝達され、この結果、薄板部２１ｂに伝達される押付け力は小さくなる。
【００５５】
したがって、オシレーションによりラッピング加工用フィルム１１表面の砥粒が磨耗等して、磨耗等した部分での加工能率が低下したとしても、本発明のシュー２１’では薄板部２１ｂで押付け力が小さく作用させて予め加工能率を低下させているので、結果として、薄板部２１ｂの範囲およびそれ以外の範囲で均一な加工、すなわち表面粗さを得ることができる。
【００５６】
また、シュー２１に形成された薄板部および中空部の幅は、カムロブ部６１のオシレーションの振幅以下に形成されているので、オシレーションによって砥粒の磨耗等が激しい部分以外の部分について、押付け力を弱く作用させて、均一な加工を達成することができる。
【００５７】
以上説明してきたように、本発明では、ラッピング加工用フィルム１１上において砥粒を配置する割合を異ならせ、特に基材の幅方向の中央部よりも両端部において高密度に砥粒が配置されているので、ラッピング加工時のワークの振動によってワークの角により両端部の砥粒が脱落および磨耗しても、砥粒の磨耗等を勘案したラッピング加工を実施することができ、これにより、ワーク表面の高い真直度を達成することができる。
【００５８】
本発明の第２によれば、シューに開口部２１ａ、または、薄板部２１ｂおよび中空部２１ｃが設けてあり押付け力がラッピング加工用フィルムの幅方向の中央部よりも両端部において強く作用するので、ラッピング加工時のワークの振動によって該ワークの角により酔う端部の砥粒が脱落および磨耗しても、両端部で強く作用する押付け力により、中央部および両端部で均等なラッピング加工を行うことができ、これにより、ワーク表面の高い真直度を達成することができる。
【００５９】
また、開口部２１ａ、または、薄板部２１ｂおよび中空部２１ｃの幅がカムロブ部６１のオシレーションの振幅以下に形成されているので、オシレーションによって砥粒の磨耗等が激しい部分以外の部分について、押付け力の作用を弱め、均一な加工を達成することができる。
【００６０】
本発明は、特に、カムロブ部のように高度な真直度を要求されるワークの仕上げ加工に適している。しかし、カムロブ部の加工だけではなく、クランクシャフトのクランク部の加工等についても適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用されるラッピング加工装置の概略構成図である。
【図２】ラッピング加工装置に開閉自在に設けられた上下のアームの閉状態を示す概略断面図である。
【図３】上下のアームの開状態を示す概略断面図である。
【図４】ラッピング加工装置の要部を示す断面図である。
【図５】本発明のラッピング加工用フィルムの表面状態を示す該略図である。
【図６】中央側に配置する砥粒の割合と、カムロブ部加工後の真直度との関係を示す図であり、（Ａ）はカムロブ部のカムトップを示し、（Ｂ）は中央側に配置する砥粒の密度が２０％、４０％、６０％、８０％、１００％の場合のカムトップの形状を示している。
【図７】本発明のラッピング加工用フィルムがラッピング加工装置に適用された場合の様子を示す図である。
【図８】本発明のシューを示す図である。
【図９】本発明のシューの作用を説明するための図である。
【図１０】本発明の他のシューの作用を説明するための図である。
【図１１】ラッピング加工されるワークとしてのカムシャフトの一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…ラッピング加工装置、
１１…ラッピング加工用フィルム、
２１、２１’…シュー、凹シュー、
２１ａ…開口部、
２１ｂ…薄板部、
２１ｃ…中空部、
２８…シューケース、
３０…シュー押付けユニット、
３１…調整手段、
３２…連結ロッド、
３３…ワーククランプ用バネ、
３４…押圧ロッド、
３５…偏心回転体、
４０…回転駆動ユニット、
５０…オシレーションユニット、
６０…カムシャフト（ワーク）、
６１…カムロブ部、
Ｍ１…主軸モータ、
Ｍ２…オシレーション用モータ、
Ｍ４…押付け用モータ、
Ｗ…断面非真円の円弧状の加工面を有するワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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