(57)【要約】【課題】高速条件下，腐食環境下，又は高温環境下において高荷重下で使用されても長寿命な転動装置を提供する。【解決手段】リニアガイド装置の案内レール１，スライダ２，及び転動体５を、破壊靱性値ＫＩＣ／（ヤング率Ｅ×最大表面粗さＲｍａｘ　０．５　）の値が１．０×１０−２以上である硬脆材料で構成した。【選択図】　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転運動可能又は直線運動可能な可動子と、該可動子を回転運動可能又は直線運動可能に支持する支持体と、前記可動子と前記支持体との間に介在し前記可動子の運動に伴って転動する複数の転動体と、を備えるとともに、前記可動子，前記支持体，及び前記転動体がセラミックス，サーメット，超硬合金等の硬脆材料で構成された転動装置において、
前記硬脆材料が、破壊靱性値ＫＩＣ／（ヤング率Ｅ×最大表面粗さＲｍａｘ　０．５　）≧１．０×１０−２なる式を満足することを特徴とする転動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転がり軸受，リニアガイド装置，ボールねじ等の転動装置に係り、特に、各種スピンドル，各種ポンプ，半導体製造装置（搬送装置，電子部品装着機，ワイヤボンダ，露光装置など），工作機械，タービン等のような高速条件下，腐食環境下，又は高温環境下において、高荷重下で使用可能な転動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体，液晶パネル，ハードディスクなどを製造する際の洗浄工程や成膜工程では種々の薬品が使用されているため、これらの工程において用いられる転動装置には、前記薬品の雰囲気中などの腐食環境下でも問題なく作動することが要求される。また、ウエハや液晶パネルの大口径化のため、転動装置はより大きな荷重を支持する必要が生じてきている。
【０００３】
特開平８−１２１４８８号公報には、外輪が常圧焼結法で製造されたセラミックス材料からなり、内輪がガス圧焼結法又はＨＩＰ法で製造されたセラミックス材料からなる耐食性転がり軸受が開示されている。
また、特開平１０−８２４２６号公報には、内輪，外輪，及び転動体をそれぞれ炭化ケイ素で構成した、耐食性に優れるセラミック製の転がり軸受が開示されている。
【０００４】
一方、ジェットエンジンやガスタービンにおいては、省エネルギー化及び環境問題の観点から高効率化が進められているため、これらに用いられる転動装置には、より高荷重，高温下でも問題なく作動することが要求されている。
特開平１１−６２９５８号公報には、転動体が３００ＧＰａ以上の縦弾性係数を有する材料で構成され、レール及びスライダが２５０ＧＰａ以上の縦弾性係数を有する材料で構成されたリニアボールガイドが開示されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−１２１４８８号公報
【特許文献２】
特開平１０−８２４２６号公報
【特許文献３】
特開平１１−６２９５８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の特開平８−１２１４８８号公報に記載の転がり軸受は、外輪が常圧焼結法で製造されているため、以下のような問題点を有している。すなわち、常圧焼結法で製造された部材は強度や破壊靱性が低く、表面や内部の欠陥を起点として微小クラックが伝播しやすい。そのため、摩耗粉が多量に発生したり割れが生じたりして、転がり軸受が短寿命となる場合がある。
【０００７】
また、特開平１０−８２４２６号公報に記載の転がり軸受のように、内輪，外輪，及び転動体を炭化ケイ素で構成した場合は、耐食性は優れるものの、強度及び破壊靱性が低いという問題点がある。このような転がり軸受に荷重がある程度負荷されると、表面又は全体にクラックが伝播して、剥離や割れが生じてしまう場合がある。
【０００８】
さらに、特開平１１−６２９５８号公報に記載のリニアボールガイドは、転動体等の各構成部材の縦弾性係数が高いので、接触部における弾性変形が小さく漸増形ロストモーションの発生は抑制されるものの、縦弾性係数が２５０ＧＰａ以上であると接触面の面圧が高くなるため、ある程度の荷重が負荷されると表面又は全体にクラックが伝播して、剥離や割れが生じてしまう場合がある。
【０００９】
さらにまた、従来の転動装置においては、その構成部材である可動子，支持体，及び転動体のうち少なくとも一つを金属材料（軸受鋼やステンレス鋼）で構成している場合がある。このような転動装置は、特に高速で駆動される場合には、金属材料が接触点で凝着を起こして焼付くおそれがあった。また、剛性や耐食性が不十分である場合があるという問題点も有していた。
【００１０】
そこで、本発明は、上記のような従来の転動装置が有する問題点を解決し、高速条件下，腐食環境下，又は高温環境下において高荷重下で使用されても長寿命な転動装置を提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明の転動装置は、回転運動可能又は直線運動可能な可動子と、該可動子を回転運動可能又は直線運動可能に支持する支持体と、前記可動子と前記支持体との間に介在し前記可動子の運動に伴って転動する複数の転動体と、を備えるとともに、前記可動子，前記支持体，及び前記転動体がセラミックス，サーメット，超硬合金等の硬脆材料で構成された転動装置において、前記硬脆材料が、破壊靱性値ＫＩＣ／（ヤング率Ｅ×最大表面粗さＲｍａｘ　０．５　）≧１．０×１０−２なる式を満足することを特徴とする。
【００１２】
ここで硬脆材料の破壊靱性値ＫＩＣ（単位はＭＰａ・ｍ１／２　）は、平坦面を対象にしてＪＩＳ　Ｒ１６０７のＩＦ法（Ｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ　Ｆｒａｃｔｕｒｅ法）により測定されたものであり、ヤング率Ｅ（単位はＧＰａ）は、試験片を対象にしてＪＩＳ　Ｒ１６０２により測定されたものである。
前記可動子，前記支持体，及び前記転動体はセラミックス，サーメット，超硬合金等のような硬脆材料で構成されているので、耐摩耗性に優れていて凝着しにくい、耐食性及び耐熱性に優れている、剛性が高い、軽量である等の性質を有している。
【００１３】
さらに、硬脆材料は前記式を満足しているので、硬脆材料の表面又は内部においてクラックが伝播しにくく、剥離や摩耗が生じにくい。したがって、該転動装置は高速条件下，腐食環境下，又は高温環境下において高荷重下で作動することが可能であり、しかも長寿命である。
前記硬脆材料が前記式を満足しないと、表面又は内部の欠陥を起点としてクラックが伝播しやすいため、摩耗や割れが発生しやすい。よって、該転動装置は高荷重下において作動されると短寿命となる場合がある。
【００１４】
破壊靱性値ＫＩＣが大きいと材料のクラックに対する抵抗力が高くなる。また、ヤング率Ｅが小さいと接触面積が大きくなり、材料に作用する応力が小さくなる。さらに、最大表面粗さＲｍａｘ　が小さいとクラックが発生しにくくなる。よって、これら３つの物性値を前記式に代入することにより算出される値が好ましい範囲内にあれば、転動装置に前述のような優れた性能が付与される。
【００１５】
これら３つの物性値を別々にコントロールした場合には、転動装置に前述のような優れた性能が付与されない場合がある。例えば、破壊靱性値ＫＩＣが比較的大きく材料としてはクラックに対する抵抗力がある程度高くても、表面仕上げが不十分で最大表面粗さＲｍａｘ　が大きいとクラックが発生して寿命が極端に短くなる場合がある。しかし、前記式によれば、寿命に大きな影響を及ぼす材料物性（破壊靱性値ＫＩＣ，ヤング率Ｅ）と加工仕上げ（最大表面粗さＲｍａｘ　）との両方を同時にコントロールすることができるので、表面又は内部で発生，伝播するクラックが効果的に抑制されて、転動装置に前述のような優れた性能が付与される。
【００１６】
なお、前記可動子，前記支持体，及び前記転動体を構成する硬脆材料は、それぞれの硬脆材料が前記式を満足すれば、全て同種の硬脆材料でもよいし、全て異種の硬脆材料でもよい。もちろん、前記可動子，前記支持体，及び前記転動体のうちの２つが同種で、残りの１つが異種の硬脆材料でもよい。
また、本発明は、種々の転動装置に適用することができる。例えば、転がり軸受，ボールねじ，リニアガイド装置，直動ベアリング等である。転動装置が転がり軸受の場合は、回転輪（通常は内輪）が可動子に相当し、固定輪（通常は外輪）が支持体に相当する。また、転動装置がリニアガイド装置の場合は、スライダが可動子に相当し、案内レールが支持体に相当する。また、転動装置がボールねじの場合は、ナットが可動子に相当し、ねじ軸が支持体に相当する。そして、転動装置が直動ベアリングの場合は、外筒が可動子に相当し、軸が支持体に相当する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明に係る転動装置の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明に係る転動装置の一実施形態であるリニアガイド装置の構造を示す斜視図である。また、図２は、図１のリニアガイド装置を軸方向から見た正面図である。ただし、図２においては、後述するエンドキャップ２Ｂの図示は省略してある。
【００１８】
軸方向に延びる角形の案内レール１上に、横断面形状がほぼコ字形のスライダ２が軸方向に相対移動可能に装着されている。このスライダ２は、スライダ本体２Ａと、その軸方向の両端部に着脱可能に取り付けられたエンドキャップ２Ｂ，２Ｂと、で構成されている。
また、案内レール１の上面１ａと両側面１ｂ，１ｂとが交差する稜線部には、断面ほぼ１／４円弧形状の凹溝である転動体転動溝３Ａ，３Ａが軸方向に形成されている。さらに、案内レール１の両側面１ｂ，１ｂの中間位置には、断面ほぼ半円形の凹溝である転動体転動溝３Ｂ，３Ｂが軸方向に形成されている。
【００１９】
一方、スライダ本体２Ａの両袖部４，４の内側のコーナ部には、案内レール１の転動体転動溝３Ａに対向する断面ほぼ半円形の負荷転動体転動溝１１が形成され、両袖部４，４の内側面の中央部には案内レール１の転動体転動溝３Ｂに対向する断面ほぼ半円形の負荷転動体転動溝１２が形成されている。
そして、案内レール１の転動体転動溝３Ａとスライダ２の負荷転動体転動溝１１とで断面ほぼ円形の負荷転動体転動路１３が構成され、案内レール１の転動体転動溝３Ｂとスライダ２の負荷転動体転動溝１２とで断面ほぼ円形の負荷転動体転動路１４が構成されている。
【００２０】
また、スライダ本体２Ａの袖部４の肉厚部分の上部には、負荷転動体転動路１３に平行な軸方向に延びる断面円形の貫通孔からなる転動体戻し路１５が形成され、袖部４の肉厚部分の下部には、負荷転動体転動路１４に平行な軸方向に延びる貫通孔からなる転動体戻し路１６が形成されている。
さらに、断面ほぼコ字状に形成されているエンドキャップ２Ｂの裏面には、断面円形で半ドーナツ状の湾曲路（図示せず）が上下二段に形成されており、スライダ本体２Ａの負荷転動体転動路１４と転動体戻し路１６とがこの湾曲路によって連通される。また、上段の負荷転動体転動路１３と転動体戻し路１５も同様に連通される。そして、これら負荷転動体転動路１３，１４と転動体戻し路１５，１６と湾曲路とで、転動体の循環路が形成され、この循環路内には多数の転動体５が転動自在に装填されている。
【００２１】
案内レール１上をスライダ２が移動すると、転動体５は負荷転動体転動路１３，１４内を転動しつつスライダ２の移動方向にスライダ２より遅い速度で移動し、一端側の湾曲路でＵターンして転動体戻し路１５，１６を逆方向に転動しつつ移動し、他端側の湾曲路で逆Ｕターンして負荷転動体転動路１３，１４内に戻る循環を繰り返す。
【００２２】
このようなリニアガイド装置は、案内レール１，スライダ２，及び転動体５の全てがセラミックス，サーメット，超硬合金等のような硬脆材料で構成されており、しかも、この硬脆材料は、破壊靱性値ＫＩＣ／（ヤング率Ｅ×最大表面粗さＲｍａｘ　０．５　）≧１．０×１０−２なる式を満足するものである。
このような本実施形態のリニアガイド装置は、案内レール１，スライダ２，及び転動体５が硬脆材料で構成されていることから、耐摩耗性に優れていて凝着しにくい、耐食性及び耐熱性に優れている、剛性が高い、軽量である等の性質を有している。
【００２３】
さらに、硬脆材料は前記式を満足しているので、硬脆材料の表面又は内部においてクラックが伝播しにくく、剥離や摩耗が生じにくい。したがって、本実施形態のリニアガイド装置は高速条件下，腐食環境下，又は高温環境下において高荷重下で作動することが可能であり、しかも長寿命である。
よって、本実施形態のリニアガイド装置は、各種スピンドル，各種ポンプ，半導体製造装置（搬送装置，電子部品装着機，ワイヤボンダ，露光装置など），工作機械，タービン等に好適に使用することができる。ただし、他の機器，用途にも適用可能であることは勿論である。
【００２４】
なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、転動装置としてリニアガイド装置を例示して説明したが、本発明の転動装置は、他の様々な種類の転動装置に対して適用することができる。例えば、転がり軸受，ボールねじ，直動ベアリング，リニアブッシュ等の他の転動装置にも好適に適用可能である。
【００２５】
また、本発明の転動装置のうち転がり軸受は、様々な転がり軸受に対して適用することができる。例えば、深溝玉軸受，アンギュラ玉軸受，円筒ころ軸受，円すいころ軸受，針状ころ軸受，自動調心ころ軸受等のラジアル形の転がり軸受や、スラスト玉軸受，スラストころ軸受等のスラスト形の転がり軸受である。
次に、上記と同様の構成のリニアガイド装置において、案内レール１及びスライダ２を構成する硬脆材料の種類を種々変更したものを用意した。そして、各リニアガイド装置を連続運転して、その耐久性を評価した。
【００２６】
実施例１〜１０及び比較例１〜３のリニアガイド装置は、案内レール１及びスライダ２を表１に示すような種類の硬脆材料で構成してある。そして、その破壊靱性値ＫＩＣ，ヤング率Ｅ，及び最大表面粗さＲｍａｘ　から算出される破壊靱性値ＫＩＣ／（ヤング率Ｅ×最大表面粗さＲｍａｘ　０．５　）の値（以降は式値と記す）は、表１に示すような値である。なお、転動体５は、どのリニアガイド装置においても後述する窒化ケイ素で構成してあり、その式値は４．１×１０−２である。
【００２７】
【表１】
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【００２８】
使用した硬脆材料は、以下の通りである。
・窒化ケイ素：日本タングステン株式会社製　ＮＰＮ−３、破壊靱性値ＫＩＣ＝７ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝３１０ＧＰａ
・ジルコニア：日本タングステン株式会社製　ＮＰＺ−２、破壊靱性値ＫＩＣ＝７．５ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝２４０ＧＰａ
・アルミナ１：京セラ株式会社製　Ａ−６０１Ｄ、破壊靱性値ＫＩＣ＝５．７ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝３８０ＧＰａ
・アルミナ２：株式会社ソディックニューマテリアル製　ＳＡ８１２、破壊靱性値ＫＩＣ＝３．２ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝３７０ＧＰａ
・炭化ケイ素：日本ガイシ株式会社製　ＳＣ−２０、破壊靱性値ＫＩＣ＝２．５ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝４２０ＧＰａ
・超硬合金１：住友電気工業株式会社製　Ｍ６１Ｕ（ＷＣ−Ｎｉ−Ｃｒ系）、破壊靱性値ＫＩＣ＝９ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝４６０ＧＰａ
・超硬合金２：日本タングステン株式会社製　ＮＲ１１（ＷＣ−Ｎｉ−Ｃｒ系）、破壊靱性値ＫＩＣ＝１２．１ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝５３０ＧＰａ
・超硬合金３：日本タングステン株式会社製　ＲＣＣＬ（ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ系）、破壊靱性値ＫＩＣ＝６．５ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝６４０ＧＰａ
・サーメット１：日本タングステン株式会社製　ＤＵＸ４０（ＴｉＣ−ＴａＮ−Ｎｉ−Ｍｏ系）、破壊靱性値ＫＩＣ＝７ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝４７０ＧＰａ
・サーメット２：旭硝子株式会社製　ＵＤ−ＩＩ３５Ｔ（ホウ化物系）、破壊靱性値ＫＩＣ＝１７．５ＭＰａ・ｍ１／２　、ヤング率Ｅ＝３４０ＧＰａ
次に、リニアガイド装置の耐久性の評価方法について説明する。耐久性の評価は、図３に示すような試験装置を用いて行った。
【００２９】
試験装置の基台２０に、２個のリニアガイド装置２１，２１が案内レール２２，２２を平行にして取り付けられている。これらのリニアガイド装置２１，２１はそれぞれ２個のスライダ２３Ａ，２３Ｂを備えており、スライダ２３Ａ，２３Ｂが基台２０に固定され、案内レール２２，２２は図示しない外部駆動手段により往復運動可能とされている。そして、２本の案内レール２２，２２は、その一端がバネ２５により連結されていて、このバネ２５により擬似的な曲げモーメントが負荷されている。
【００３０】
スライダ２３Ａ，２３Ｂにそれぞれ１．５Ｎ，０．７Ｎの初期予圧を負荷した上、移動ストロークが１００ｍｍ、往復周期が０．３秒、バネ荷重が１００Ｎという条件で案内レール２２，２２を往復運動させ、案内レール２２がロックして移動不可能となるまでの時間を寿命とし、この寿命によって耐久性を評価した。評価結果を表１に併せて示す。なお、表１における耐久性の数値は、比較例１の耐久性を１とした場合の相対値で示してある。
【００３１】
表１から分かるように、実施例１〜１０のリニアガイド装置は、案内レール及びスライダ共に式値が１．０×１０−２以上であるので、案内レール及びスライダの少なくとも一方の式値が１．０×１０−２未満である比較例１〜３と比べて、耐久性が格段に優れていた。
次に、案内レールの式値を種々変化させて耐久性を評価し、式値と耐久性との相関性を調査した。なお、スライダは前述のサーメット２で構成され、その式値は３．６×１０−２であり、転動体は前述の窒化ケイ素で構成され、その式値は４．１×１０−２である。また、耐久性の評価方法は前述と同様である。
【００３２】
結果を図４のグラフに示す。なお、このグラフにおける耐久性の数値は、前述の比較例１の耐久性を１とした場合の相対値で示してある。
図４のグラフから分かるように、式値が１．０×１０−２以上であるとリニアガイド装置の耐久性が優れていた。また、１．５×１０−２以上であると耐久性がより優れていて、２．０×１０−２以上であると耐久性がさらに優れていた。
【００３３】
なお、本発明において使用可能なセラミックス，サーメット，及び超硬合金の種類は、特に限定されるものではない。
セラミックスとしては、窒化ケイ素（Ｓｉ３　Ｎ４　）系，　ジルコニア（ＺｒＯ２　）系，　アルミナ（Ａｌ２　Ｏ３　）系，　炭化ケイ素（ＳｉＣ）系，窒化アルミニウム（ＡｌＮ）系，炭化ホウ素（Ｂ４　Ｃ）系，　ホウ化チタン（ＴｉＢ２　）系，窒化ホウ素（ＢＮ）系，　炭化チタン（ＴｉＣ）系，　窒化チタン（ＴｉＮ）系、又はこれらのうち２種以上を複合させたセラミック系複合材料などを例示できる。
【００３４】
このようなセラミックスには、破壊靱性や機械的強度などを向上させるために、繊維状充填材を配合することができる。繊維状充填材の種類は特に限定されるものではないが、炭化ケイ素ウィスカー，窒化ケイ素ウィスカー，　アルミナウィスカー，窒化アルミニウムウィスカー等を例示できる。
また、サーメット及び超硬合金とは、周期律表のＩＶｂ族，Ｖｂ族，ＶＩｂ族に属する９種類の金属（Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ）の炭化物粉末と鉄，コバルト，ニッケル等の鉄族金属とを混合して焼結した合金である。
【００３５】
サーメットとしては、例えば、ＴｉＣ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−Ｍｏ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−Ｃｏ系，ＴｉＣ−Ｍｏ２　Ｃ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−Ｍｏ２　Ｃ−ＺｒＣ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−Ｍｏ２　Ｃ−Ｃｏ系，Ｍｏ２　Ｃ−Ｎｉ系，Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ２　Ｃ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−ＴｉＮ−Ｍｏ２　Ｃ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−ＴｉＮ−Ｍｏ２　Ｃ−Ｃｏ系，ＴｉＣ−ＴｉＮ−Ｍｏ２　Ｃ−ＴａＣ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−ＴｉＮ−Ｍｏ２　Ｃ−ＷＣ−ＴａＣ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−ＷＣ−Ｎｉ系，Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−ＷＣ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−Ｍｏ系，Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ系，ホウ化物系（ＭｏＢ−Ｎｉ系，Ｂ４　Ｃ／（Ｗ，Ｍｏ）Ｂ２　系等）等があげられる。
【００３６】
なお、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ２　Ｃ−Ｎｉ系，Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−ＷＣ−Ｎｉ系，及びＴｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ系はそれぞれ、ＴｉＣ−Ｍｏ２　Ｃ−Ｎｉ系，ＴｉＣ−ＷＣ−Ｎｉ系，及びＴｉＣ−Ｍｏ系を窒素ガス中で焼結したものである。
また、超硬合金としては、例えば、ＷＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−Ｃｏ−Ｎｉ系，ＷＣ−Ｃｒ３　Ｃ２　−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴａＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴｉＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＮｂＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴａＣ−ＮｂＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ−ＮｂＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＺｒＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴｉＣ−ＺｒＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴａＣ−ＶＣ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴｉＣ−Ｃｒ３　Ｃ２　−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ系等があげられる。
【００３７】
また、非磁性であり耐食性を向上させた超硬合金として、ＷＣ−Ｎｉ系，ＷＣ−Ｃｒ３　Ｃ２　−Ｍｏ２　Ｃ−Ｎｉ系，ＷＣ−Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−ＴａＣ系，ＷＣ−Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）系，Ｃｒ３　Ｃ２　−Ｎｉ系等がある。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように、本発明の転動装置は、高速条件下，腐食環境下，又は高温環境下において、高荷重下で使用されても長寿命である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る転動装置の一実施形態であるリニアガイド装置の構造を示す斜視図である。
【図２】図１のリニアガイド装置を軸方向から見た正面図である。
【図３】リニアガイド装置の耐久性を評価するために使用した試験装置の平面図である。
【図４】硬脆材料の破壊靱性値ＫＩＣ／（ヤング率Ｅ×最大表面粗さＲｍａｘ　０．５　）の値とリニアガイド装置の耐久性との相関を示すグラフである。
【符号の説明】
１　　案内レール
２　　スライダ
５　　転動体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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