(57)【要約】【課題】容易に端子電極の多列化が可能である半導体パッケージの製造方法を提供する。【解決手段】樹脂封止による半導体パッケージの製造方法において、支持テープ１に設けられた複数の互いに独立した端子電極３並びに、ボンディングワイヤー接続面にボンディングワイヤー５によって接続される半導体素子４とを樹脂封止した後に、樹脂を切断する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂封止による半導体パッケージの製造方法において、
テープに設けられたボンディングワイヤー接続面と外部基板接続面とを有する複数の互いに独立した端子電極並びに、前記ボンディングワイヤー接続面にボンディングワイヤーによって接続される第１の面と該第１の面と向かい合う第２の面とを有する半導体素子とを樹脂封止する工程と、
前記樹脂を切断する工程とを備える
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
【請求項２】
前記複数の端子電極は、所定間隔で整列している
ことを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項３】
前記半導体素子は、前記端子電極の上に配されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項４】
前記第２の面にグランド端子が形成されている
ことを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３に記載の半導体パッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体パッケージの製造方法に関する。詳しくは、樹脂封止による半導体パッケージの製造方法に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体パッケージは、金属板を精密プレスによる打ち抜きやエッチングによって所望のパターンが形成され、半導体素子を固定するためのダイパッド１０１や複数のリード１０２を有する図６で示す様なリードフレーム１０３を使用し、リードフレームのダイパッド上に半導体素子を固定すると共に、半導体素子とリードの先端部（端子電極）をワイヤーボンディングした後、半導体素子やボンディングワイヤーを含むリード内側を絶縁性の樹脂で封止し、不要なリードフレーム部分を切断除去すると共に、パッケージから突出するリードを切断することによって製造されていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、近年、端子電極の多列化が求められており、図７で示す様にリードとリードとの間に補助リード１０４を形成し、この補助リードの先端部１０５を端子電極として機能させることによって端子電極の多列化を実現していた。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−２８０４９３号公報  （第２−５頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した端子電極の多列化方法では、リードとリードとの間に補助リードを形成するためにリードの間隔を広げる必要があり、半導体パッケージの小型化の要求に応じることが困難であった。なお、補助リードを形成して端子電極の多列化を図る方法では技術的な問題から２列が限界であった。
更に、補助リードの形成も極めて困難であり、組み立てコストが増加してしまうという不都合もあった。
【０００６】
本発明は、以上の点に鑑みて創案されたものであって、容易に端子電極の多列化が可能である半導体パッケージの製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る半導体パッケージの製造方法では、樹脂封止による半導体パッケージの製造方法において、テープに設けられたボンディングワイヤー接続面と外部基板接続面とを有する複数の互いに独立した端子電極並びに、前記ボンディングワイヤー接続面にボンディングワイヤーによって接続される第１の面と該第１の面と向かい合う第２の面とを有する半導体素子とを樹脂封止する工程と、前記樹脂を切断する工程とを備える。
【０００８】
ここで、テープに設けられたボンディングワイヤー接続面と外部基板接続面とを有する複数の互いに独立した端子電極並びに、前記ボンディングワイヤー接続面にボンディングワイヤーによって接続される第１の面と第１の面と向かい合う第２の面とを有する半導体素子とを樹脂封止することによって、複数の半導体パッケージが結合した半導体パッケージの結合体を得ることができる。
また、樹脂を切断することによって、半導体パッケージの結合体から個々の半導体パッケージを得ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
【００１０】
図１及び図２は本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例を説明するための模式的な図である。
本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例では、先ず、図１（ａ）で示す様に、耐熱性を有する支持テープ１の表面に銅薄膜２を形成した後に、汎用のフォトリソグラフィー技術及びエッチング技術を用いて銅薄膜のエッチングを行い、図１（ｂ）で示す様に、所定の間隔で規則的に整列した多数の端子電極３を形成する。
【００１１】
ここで、支持テープは端子電極を所定の位置に保持することができる程度の粘着力を有する必要があり、後述するワイヤーボンディング作業やトランスファーモールド技術による樹脂封止の際には、３００℃程度にまで温度が上昇することも考えられるために、ワイヤーボンディング作業やトランスファーモールド技術による樹脂封止の際の温度に耐えられる程度の耐熱性を有するものを用いる。
【００１２】
また、支持テープの表面に形成する薄膜は、導電性を有する薄膜であればいかなるものであっても良く、必ずしも銅薄膜である必要が無いのは勿論である。
【００１３】
更に、端子電極は必ずしも支持テープの表面に形成された銅薄膜をエッチングすることによって形成する必要は無く、支持テープの表面にそれぞれの端子電極をマウントしても良い。
【００１４】
また、端子電極は後述するワイヤーボンディングを行うことにより半導体素子と外部基板とを電気的に接続することができるのであれば、その形状はいかなる形状であっても構わないが、支持テープを剥離した後に、端子電極の欠落を抑制するために、図３（ａ）や図３（ｂ）で示す様に、符号ａで示す外部基板と接続する外部基板接続面と比較して符号ｂで示すボンディングワイヤーと接続するボンディングワイヤー接続面が大きくなる様に形成された方が好ましい。
なお、ボンディングワイヤー接続面を大きく形成することによって、後述するワイヤーボンディング作業の容易化を図ることもできる。
【００１５】
次に、図１（ｃ）で示す様に、その下面にグランド端子（図示せず）が形成された半導体素子４を端子電極に搭載し、半導体素子と端子電極とを金細線から成るボンディングワイヤー５によって電気的に接続するワイヤーボンディング作業を行う。
【００１６】
ここでは、その下面にグランド端子が形成された半導体素子を端子電極に搭載することによりグランド端子と端子電極とを電気的に接続し、端子電極を通じて半導体素子のグランド電位を確保しているが、半導体素子のグランド電位を、半導体素子が搭載された端子電極を通じて確保する必要が無い場合には半導体素子の下面にグランド端子が形成される必要が無いのは勿論である。
【００１７】
続いて、汎用のトランスファーモールド技術を用いて図２（ｄ）で示す様に、半導体素子、ボンディングワイヤー及び端子電極をモールド樹脂６によって封止を行い、半導体パッケージの結合体７を得ることができる。
【００１８】
なお、モールド樹脂による封止は、半導体素子、ボンディングワイヤー及び端子電極を封止することができれば充分であり、必ずしもトランスファーモールド技術を用いて樹脂封止を行う必要は無く、例えば、ポッティングモールド技術によって樹脂封止を行っても良いが、生産性を考慮するとトランスファーモールド技術による樹脂封止の方が好ましいと考えられる。
【００１９】
次に、図２（ｅ）で示す様に半導体パッケージの結合体から支持テープの剥離を行った後に、半導体パッケージの結合体をダイシングテープ８に貼り合わせ、図２（ｆ）で示す様にダイシングブレード９によって半導体パッケージの結合体を個片化することによって、図２（ｇ）で示す様な半導体パッケージを得ることができる。
【００２０】
なお、本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例では、半導体パッケージの結合体から支持テープの剥離を行った後に半導体パッケージの結合体の個片化を行ったが、必ずしも支持テープの剥離を行った後に個片化を行う必要は無く、個片化を行った後に支持テープの剥離を行っても良い。
【００２１】
本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例では、個々に独立した多数の端子電極を支持テープで支持した状態で樹脂封止することによって、容易に端子電極の多列化が可能である。
【００２２】
なお、特開２００３−３１７３０号公報で提案されている半導体パッケージの製造方法によっても、個々に独立した多数の端子電極を得ることができ、容易に端子電極の多列化が可能であるとも考えられるが、かかる技術では樹脂封止をした後に個々に独立した多数の端子電極を形成すべくリードの切断を行う必要があり、後述するリードを切断することによる不具合が生じてしまう。
【００２３】
また、半導体パッケージの結合体をダイシングブレードによって個片化する際にリードを切断する必要が無いために、半導体パッケージの品質及び歩留りの向上を図ることができる。
即ち、従来の半導体パッケージの製造方法の様に、ダイシングブレードによってモールド樹脂のみならずリードをも切断する必要がある場合には、ダイシングの際にリードを構成する銅等の金属の粘性によって隣り合うリード同士が電気的に接続してしまい、ショートを生じる等の不具合が生じる恐れがあるが、独立した端子電極を用いて、ダイシングブレードによってリードを切断する必要が無い本発明を適用した半導体パッケージの製造方法では、この様な不具合が無く、半導体パッケージの品質及び歩留りの向上を図ることができる。
【００２４】
更に、本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例では、上記の様にダイシングブレードによって個片化する際にリードを切断する必要が無いために、半導体パッケージの側面にリードが露出しておらず、静電気ダメージに強い半導体パッケージを得ることができる。
【００２５】
また、本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例では、ダイパッドとしての役割を果たす端子電極と、半導体素子と外部基板とを電気的に接続する役割を果たす端子電極との差異が構造上無いために、即ち、全ての端子電極がダイパットとしての役割及び半導体素子と外部基板とを電気的に接続する役割を担うことができるために、搭載する半導体素子の大きさに柔軟に対応することが可能である。
即ち、半導体素子を搭載するダイパッドが形成され、半導体素子とボンディングワイヤーによって電気的に接続するリードが形成されたリードフレームを使用する従来の半導体パッケージの製造方法では、リードフレームの形状によって定められた一定の半導体素子を用いた半導体パッケージのみしか製造することができないが、本発明を適用した半導体パッケージの製造方法では、規則的に整列した端子電極のいずれの場所に半導体素子を搭載しても良く、また、外部基板との接続を考慮した上である程度自由にワイヤーボンディングができるために、搭載する半導体素子の大きさに柔軟に対応することができる。
【００２６】
なお、上記した本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例では、同一大きさの半導体素子を端子基板に搭載し、半導体パッケージの中には単一の半導体素子が搭載された半導体パッケージの製造方法を例に挙げて説明を行ったが、この様な製造方法に限定されることは無く、例えば、図４（ａ）に示す様に異なる大きさの半導体素子を含む半導体パッケージを同一プロセスにおいて製造しても良いし、図４（ｂ）で示す様に端子電極に搭載された２つの半導体素子を同一の半導体パッケージに含む様なものであっても良く、また、図４（ｃ）で示す様に端子電極に搭載された半導体素子の上に絶縁膜を介して更に半導体素子を搭載した様な半導体パッケージであっても良い。なお、図４中符号ｃで示す点線は個片化する際にダイシングブレードによって切断する個所を表している。
【００２７】
図５は本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の他の一例を説明するための模式的な図である。
本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の他の一例では、先ず、図５（ａ）で示す様に、後述するダイシング作業の際におけるダイシングテープとしての機能をも兼ねた支持テープの表面に、銅から成る端子電極をマウントによって形成する。
【００２８】
なお、ワイヤーボンディング作業やトランスファーモールド技術による樹脂封止の際の温度に耐えられる程度の耐熱性を有する支持テープを用いる点及び外部基板接続面と比較してボンディングワイヤー接続面が大きくなる様に形成された端子電極が好ましい点は上記した本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例と同様である。
【００２９】
次に、図５（ｂ）で示す様に、支持テープに半導体素子を貼り合わせ、半導体素子と端子電極とを金細線から成るボンディングワイヤーによって電気的に接続するワイヤーボンディング作業を行った後に、汎用のトランスファーモールド技術を用いて図５（ｃ）で示す様に、半導体素子、ボンディングワイヤー及び端子電極をモールド樹脂によって封止を行い、半導体パッケージの結合体を得ることができる。
【００３０】
なお、モールド樹脂による封止は必ずしもトランスファーモールド技術を用いて樹脂封止を行う必要は無く、ポッティングモールド技術によって樹脂封止を行っても良いが、生産性を考慮するとトランスファーモールド技術による樹脂封止の方が好ましいと考えられる点は上記した本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例と同様である。
【００３１】
続いて、図５（ｄ）で示す様にダイシングブレードによって半導体パッケージの結合体を個片化した後に支持テープから剥離することによって、図５（ｅ）で示す様な半導体パッケージを得ることができる。
【００３２】
本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の他の一例では、上記した本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例と同様に容易に端子電極の多列化が可能であると共に個片化する際にリードを切断する必要が無く、半導体パッケージの品質及び歩留りの向上を図ることができる。また、静電気ダメージに強い半導体パッケージを得ることができる。
【００３３】
更に、本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の他の一例によって得られる半導体パッケージは端子電極の外部基板接続面がモールド樹脂より突出しているために、モールド樹脂の下面と端子電極の外部基板接続面との距離である図５（ｅ）中符号ｄで示すスタンドオフを大きくとることができ、半導体パッケージを実装する際における異物によるテンプラ不良を抑制することができる。
【００３４】
なお、異なる大きさの半導体素子を含む半導体パッケージを同一のプロセスで製造しても良いし、２つ以上の半導体素子を含む半導体パッケージであっても良い点は上記した本発明を適用した半導体パッケージの製造方法と同様である。
【００３５】
【発明の効果】
以上述べてきた如く、本発明の半導体パッケージの製造方法では、容易に端子電極の多列化を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例を説明するための模式的な図（１）である。
【図２】本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例を説明するための模式的な図（２）である。
【図３】端子電極の形状を説明するための模式的な断面図である。
【図４】本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の変形例を説明するための平面図である。
【図５】本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の他の一例を説明するための模式的な図である。
【図６】従来のリードフレームを説明するための図（１）である。
【図７】従来のリードフレームを説明するための図（２）である。
【符号の説明】
１    支持テープ
２    銅薄膜
３    端子電極
４    半導体素子
５    ボンディングワイヤー
６    モールド樹脂
７    半導体パッケージの結合体
８    ダイシングテープ
９    ダイシングブレード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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