(57)【要約】【課題】【解決手段】本発明は、製造コストを抑え、応答のよい制振動作が可能な制振アクチュエータを提供することを目的とする。本発明は、簡単な構造でかつ確実に振動を検出できる振動センサーを提供することを目的とする。【解決手段】本願発明に係る制振アクチュエータ１０は、温度変化によって剛性が大きく変化する形状記憶合金繊維線１１を所定のピッチ（例えば１ｍｍ）でジグザクに配置した形状に構成した配線網１２と、前記配線網１２を含有させたガラス繊維強化プラスチック板１３とからなる。本発明に係る振動センサーは、形状記憶合金繊維線を所定のピッチでジグザクに配置した形状に構成した配線網と、前記配線網を含有させたガラス繊維強化プラスチック板とからなる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度変化によって剛性が大きく変化する形状記憶合金繊維線で構成した配線網と、前記配線網を含有させたガラス繊維強化プラスチック板とからなることを特徴とする制振アクチュエータ。
【請求項２】
抵抗材料である形状記憶合金繊維線で構成したと配線網と、前記配線網を含有させたガラス繊維強化プラスチック板とからなることを特徴とする振動センサー。
【請求項３】
振動を検出し当該振動に対して逆の運動を供給して制振させる制振制御システムであって、
振動を検出する振動センサーと、
当該振動センサーの検出信号を所定の振幅値にする検出補助回路と、
前記検出補助回路からの所定振幅の検出信号を前処理して振動信号にする前処理回路と、
前記前処理回路からの振動信号を取込み、当該振動信号が共振しているときに電流を供給し、当該振動信号が共振しないときに電流の供給を止める制御回路と、
前記制御回路から供給される電流の有無によって制振動作を行う制振アクチュエータとを備えたことを特徴とする制振制御システム。
【請求項４】
前記検出補助回路は、ホイートストンブリッジ回路であることを特徴とする請求項３記載の制振制御システム。
【請求項５】
前記前処理回路は、前記検出補助回路からの振動信号を所定のレベルまで増幅する増幅回路と、前記増幅回路からの振動信号の中の所定の周波数以上の高周波成分を除去するローパスフィルタ回路とからなることを特徴とする請求項３記載の制振制御システム。
【請求項６】
前記制御回路は、所定の周期で前記前処理回路からの振動信号をサンプリングし、一周期前のサンプリング信号と現在取り込んだサンプリング信号との差を二乗し、当該二乗した値と所定の基準電圧と比較することにより共振状態を判断し、当該二乗した値が基準電圧より大きいとき共振しているとして前記制振アクチュエータに電流を供給し、当該二乗した値が基準電圧より小さいときに共振していないとして前記制振アクチュエータに電流を供給しない動作をする回路であることを特徴とする請求項３記載の制振制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、制振動作ができる制振アクチュエータに関するものである。
また、本発明は、振動を検出できる振動センサーに関するものである。
さらに、本発明は、前記振動センサーと前記制振アクチュエータとを使用してなる制振制御システムに関するものである。
【０００２】
【従来技術】
従来、この種の制振制御システムとしては、加振源に取り付けたアクチュエータと、加振源近くに設けた振動検出センサーと、この振動検出センサーによって検出した加振源の変位あるいは加速度を増幅するセンサーアンプと、前記センサーアンプで増幅した振動信号に波動制御法を適用し振動抑制制御信号を作成するコントローラと、このコントローラからの振動抑制制御信号を基に前記アクチュエータに振動抑制駆動信号を供給するポワーアンプとからなるものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、この制振制御システムに使用される制振アクチュエータは、形状記憶合金に、電流を流すコイルを捲き、前記コイルに流れる電流値を制御し、温度を変化させることにより形状記憶合金が伸縮する作用を利用したものも使用している（例えば、特許文献１参照）。
このような制振制御システムによれば、加振源である配管の曲がり部分での振動を抑制することができるので、配管の振動に基づく騒音が伝搬されるのを防止できるものであった。
【特許文献１】特開平８−２９１８９０号公報（段落番号０００１以降、図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記制振制御システムによれば、コントローラで採用する制御法が複雑なため、コントローラに大きな負担がかかり、かつ、製造コストも高くなるという欠点があった。
また、上記制振制御システムに使用する形状記憶合金を用いたアクチュエータは、加熱用のコイルから形状記憶合金に熱が伝わるまでに時間がかかるため、制振制御ができなかったり、あるいは、熱伝導の速度を見越して制御をするようにすると、制御が複雑になってコントローラに負担がかかり、同様に製造コストが高くなるという欠点があった。
【０００５】
本発明は、上述して点に鑑み、製造コストを抑え、応答のよい制振動作が可能な制振アクチュエータを提供することを第１の目的とする。
本発明は、簡単な構造でかつ確実に振動を検出できる振動センサーを提供することを第２の目的とする。
本発明は、製造コストを抑え、かつ、確実に制振制御ができる制振制御システムを提供することを第３の目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための段】
上記第１の目的を達成するため、本願請求項１記載の発明に係る制振アクチュエータは、温度変化によって剛性が大きく変化する形状記憶合金繊維線で構成した配線網と、前記配線網を含有させたガラス繊維強化プラスチック板とからなることを特徴とするものである。
上記第２の目的を達成するため、請求項２記載の発明に係る振動センサーは、抵抗材料である形状記憶合金繊維線で構成したと配線網と、前記配線網を含有させたガラス繊維強化プラスチック板とからなることを特徴とするものである。
上記第３の目的を達成するため、請求項３記載の発明に係る制振制御システムは、振動を検出し当該振動に対して逆の運動を供給して制振させる制振制御システムであって、振動を検出する振動センサーと、当該振動センサーの検出信号を所定の振幅値にする検出補助回路と、前記検出補助回路からの所定振幅の検出信号を前処理して振動信号にする前処理回路と、前記前処理回路からの振動信号を取込み、当該振動信号が共振しているときに電流を供給し、当該振動信号が共振しないときに電流の供給を止める制御回路と前記制御回路から供給される電流の有無によって制振動作を行う制振アクチュエータとを備えたことを特徴とするものである。
請求項４記載の発明では、本願請求項３記載の制振制御システムにおいて、前記検出補助回路は、ホイートストンブリッジ回路であることを特徴とするものである。
請求項５記載の発明では、本願請求項３記載の制振制御システムにおいて、前記前処理回路は、前記検出補助回路からの振動信号を所定のレベルまで増幅する増幅回路と、前記増幅回路からの振動信号の中の所定の周波数以上の高周波成分を除去するローパスフィルタ回路とからなることを特徴とするものである。
請求項６記載の発明では、本願請求項３記載の制振制御システムにおいて、前記制御回路は、所定の周期で前記前処理回路からの振動信号をサンプリングし、一周期前のサンプリング信号と現在取り込んだサンプリング信号との差を二乗し、当該二乗した値と所定の基準電圧と比較することにより共振状態を判断し、当該二乗した値が基準電圧より大きいとき共振しているとして前記制振アクチュエータに電流を供給し、当該二乗した値が基準電圧より小さいときに共振していないとして前記制振アクチュエータに電流を供給しない動作をする回路であることを特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態及び実施例】
以下、本発明の実施の形態及び実施例について図面を参照して説明する。
〔本発明の第１の実施の形態及び第１の実施例〕
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータ及びそれの第１の実施例を示す斜視図である。図２は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータ及びそれの第１の実施例を示す平面図である。
【０００８】
本発明に係る制振アクチュエータ１０は、図１及び図２に示すように、温度変化によって剛性が大きく変化する形状記憶合金繊維線１１で構成した配線網１２と、前記配線網１２を含有させたガラス繊維強化プラスチック板１３とからなる。また、前記配線網１２の端末には、端子１４，１５が接続固定されている。
ここで、前記制振アクチュエータ１０は、図１に示すように、長さ１９０［ｍｍ］、幅１５［ｍｍ］、厚さ１．５［ｍｍ］の寸法に形成した形状になっている。また、前記制振アクチュエータ１０において、形状記憶合金繊維線１１がガラス繊維強化プラスチック板１３内に占める体積率（ガラス繊維強化プラスチック板１３の断面積に対する配線網１２の断面積の合計の割合）は、例えば１．０９〔％〕であった。
【０００９】
また、形状記憶合金繊維線１１は、チタン（Ｔｉ）−ニッケル（Ｎｉ）合金でマルテン変態温度の目安であるＡｓ（Ａｕｓｔｅｎｉｔｅ  Ｓｔａｒｔ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）温度が６５〔℃〕のものを用いて配線網１２を構成した。この配線網１２は、形状記憶合金繊維線１１を図２に示すように所定のピッチ（例えば１ｍｍ）でジグザクに配置した形状に構成したものである。
さらに、前記形状記憶合金繊維線１１は、すばやく変態温度まで上昇させる必要があるため、線径を例えば２００［μｍ］の適正電流値Ｉ〔Ａ〕及び抵抗値Ｒ〔Ω〕の関係を次の数式１に示すように実験的に導き出した。
Ｉ＝３８７３×Ｒ−５〔Ａ〕      ・・・〔１〕
【００１０】
（製造方法）
図３は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータの製造方法の一例を示す図である。
まず、図３（ａ）に示すような治具１を用い、これに形状記憶合金繊維線１１を配置して配線網１２を得る（第１の工程）。具体的には、所定の板５の上に、一定ピッチ（例えば１［ｍｍ］）でかつ所定の距離（例えば１６０［ｍｍ］）離れた２列にピン２，…、ピン３，…と、固定ピン４，５とを設けてなる治具１において、固定ピン４にまず形状記憶合金繊維線１１の末端を固定し、ついで２列にピン２，…、ピン３，…に形状記憶合金繊維線１１を順次配置してゆき、最後に固定ピン５に形状記憶合金繊維線１１の他の末端を固定する。これにより、配線網１２が得られる。
【００１１】
ついで、図３（ｂ）示すように、長さが例えば１９０［ｍｍ］、幅が例えば１５［ｍｍ］、厚さが０．７５［ｍｍ］の大きさで、かつ、紫外線を照射することにより硬化する柔らかいエポキシ系樹脂（ガラス繊維強化プラスチック）板Ｐを、前記配線網１２の上側と下側に配置して前記配線網１２に押しつけ、紫外線を例えば１５分以上照射する（第２の工程）。これにより、ガラス繊維強化プラスチック板１３の内部に配線網１２が含有した半製品の制振アクチュエータ１０が得られる。
【００１２】
さらに、図３（ｃ）に示すように、前記半製品の制振アクチュエータ１０の前記ガラス繊維強化プラスチック板１３の図示上側と下側から、加圧装置ＰＭによって、圧力が例えば１７〔ＭＰａ〕、温度が例えば８０〔℃〕で、１１０分間継続して圧力を加え続ける（第３の工程）。これにより、制振アクチュエータ１０の基本形態は完成する。
【００１３】
ついで、図３（ｄ）に示すように、不要な部分をカッティングし、かつ、配線網１２の両端にアルミ圧着端子１４，１５を取り付けることにより、完成品の制振アクチュエータ１０を得ることができる（第４の工程）。
なお、上記制振アクチュエータ１０の製造方法は、一例を示したものであって、これに限定されるものではなく、例えば旋盤の回転動作と送り動作を用いて、形状記憶合金繊維線１１を一定ピッチに捲回して配線網１２を作成し、かつ、出来上がった配線網１２にガラス繊維強化プラスチックの液体を流し込み、硬化させて形成するようなものであってもよい。
【００１４】
（検証１）
図４は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証する検証システムを示す図である。図５は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証する検証システムの振動台に制振アクチュエータを方持支持した状態を拡大して示す説明図である。
図６は、図５の状態に片持ち支持した制振アクチュエータを検証システムで検証した際に得られた振動特性を示す特性図であって、横軸に時間〔秒〕を、縦軸に振幅を、それぞれとったものである。図７は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証するシステムに与えた振動台の時刻履応答を示す特性図であって、横軸に時間〔秒〕を、縦軸に振幅を、それぞれとったものである。
【００１５】
まず、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータ１０の制振動作を検証するアクチュエータ検証システム２０は、図４に示すように、制振アクチュエータ１０に振動を与える振動台２１と、前記制振アクチュエータ１０の先端部の振動を検出して所定の振動信号として出力するレーザー変位計２２と、レーザー変位検出部２２ａを固定する固定具２３と、前記レーザー変位計２２から出力されたアナログ振動信号をデジタル振動信号に変換するアナログデジタル変換器２４と、前記アナログデジタル変換器２４からのデジタル信号を取込み解析するコンピュータ２５と、直流電源装置２６とから構成されている。
【００１６】
また、制振アクチュエータ１０は、図５に示すように、固定片２７，２７で片持ち支持（制振アクチュエータ１０の一方側で固定片２７，２７によって固定）されている。
なお、レーザー変位計２２は、レーザー変位検出部２２ａと、前記レーザー変位検出部２２ａの検出信号を処理して計測できる計測装置部２２ｂとからなる。ここで、このレーザー変位計２２は、株式会社キーエンス製のもので、レーザー変位検出部２２ａは型式がＬＫ−０３０のセンサヘッドであり、計測装置部２２ｂはＬＫ−２０００ｌのアンプユニットである。また、使用している光源は、赤色半導体レーザーで波長は６７０〔ｎｍ  ７のものである。さらに、出力は、±５〔Ｖ〕（１［μｍ］／ｍＶ）、サンプリング周期５１２［μＳ］、分解能が１［μｍ］のものである。
【００１７】
さらに、アナログデジタル変換器２４は、株式会社キーエンスのもので、型式がＮＲ−１１０、シングルエンド１６／差動８チャンネルで、レンジが±２．５〔Ｖ〕または±５〔Ｖ〕または±１０〔Ｖ〕である。また、ゲインは１倍または１０倍に設定できる。分解能は１４〔ビット〕で、変換精度は±１ＬＳＢである。サンプリング周期は、最大２０［μＳ］で、トリガ入力は１チャンネル電圧入力を使用できる。さらに、このアナログデジタル変換器２４は、使用周囲温度が１０〜３５〔℃〕の範囲で使用する必要があり、今回の検証では当然この範囲にで使用した。
【００１８】
また、制振アクチュエータ１０は、図５に示すように、長さが１５０［ｍｍ］、幅が１５［ｍｍ］、厚さが１．５［ｍｍ］のものを、前記振動台２１の上で固定片２７，２７で片持ち支持をし、図７の振動台の時刻歴応答のような振動を振動台２１を介して制振アクチュエータ１０に加えた。
【００１９】
上記コンピュータ２５はノート型パソコンからなり、このノート型パソコンは、中央処理ユニットと、主メモリと、ハードディスク装置と、入力出力ポートと、ディスプレイと、キーボードと、その他必要な機器が内蔵されている。また、前記コンピュータ２５は、当該ハードディスク装置に、例えばＷＩＮＤＯＷＳ（登録商標）９８、ｍｅ、ＮＴ、２０００、または、ＸＰなどからなるオペレーティングシステムと、制振アクチュエータの検証を行うためのアプリケーションプログラムが格納されている。
【００２０】
さらに、上記コンピュータ２５は、電源スイッチをオンとすると、ハードディスク装置からオペレーティングシステムが主メモリに展開記憶されて実行された後、さらに、本検証を行うためのアプリケーションプログラムが主メモリに展開記憶されて処理を実行できることになる。さらに、コンピュータ２５は、前記アプリケーションプログラムが実行されることにより、データ収集を行うことができる。
【００２１】
ここで、制振アクチュエータ１０は、形状記憶合金繊維線１１に２００［μｍ］のものを用いている。また、制振アクチュエータ１０は、形状記憶合金繊維線１１の体積率が１．０９〔％〕のものを使用し、全重量は１０〔グラム〕であった。また、このときの配線網１２の抵抗値は、４５．５〔Ω〕であり、かつ、配線網１２に与えた電流値は５７０［ｍＡ］とした。このような状態で振動台２１に振動を与えると、２３．５〔Ｈｚ〕で共振した。
このようなアクチュエータ検証システム２０によって測定した自由端付近の時刻歴応答は、図６に示すような減衰波形となり、振動を抑制していることがわかる。
【００２２】
（検証２）
図８は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証する検証システムの振動台に所定の長さのガラス繊維強化プラスチック板を片持ち支持するとともに前記ガラス繊維強化プラスチック板の固定部付近のみ制振アクチュエータを片持ち支持した状態を示す説明図である。
【００２３】
図９は、図８の状態に片持ち支持した制振アクチュエータを検証システムで検証した際に得られた振動特性を示す特性図であって、横軸に時間〔秒〕を、縦軸に振幅を、それぞれとったものである。図１０は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証する検証システムの振動台に与えた振動台の時刻履応答を示す特性図であって、横軸に時間〔秒〕を、縦軸に振幅を、それぞれとったものである。
なお、この図８の場合にも、図４のアクチュエータ検証システム２０を使用して測定をするものである。
【００２４】
制振アクチュエータ１０は、図８に示すように、片持ちの固定端からは１５０［ｍｍ］、試験片事態の長さは１９０［ｍｍ］、幅が２０［ｍｍ］、厚さが１．１［ｍｍ］のものを用いた。
また、実験には、長さが１９０［ｍｍ］、幅が２０［ｍｍ］、厚さが１．１ｍｍのガラス繊維強化プラスチック板２８を固定片２７，２７で片持ち支持してあり、この片持ち支持する際に前記ガラス繊維強化プラスチック板２８の固定部付近に制振アクチュエータ１０を同様に方持支持する。
【００２５】
ここで、制振アクチュエータ１０は、形状記憶合金繊維線１１に２００［μｍ］のものを用いている。また、制振アクチュエータ１０は、形状記憶合金繊維線１１の体積率が２．２８〔％〕のものを使用し、全重量は１３〔グラム〕であった。また、このときの配線網１２の抵抗値は、３０．７〔Ω〕であり、かつ、配線網１２に与えた電流値は１００７［ｍＡ］とした。このような状態で振動台２１に図１０に示す振動を与えると、２３．５〔Ｈｚ〕で共振した。
このようなアクチュエータ検証システム２０によって測定した自由端付近の時刻歴応答は、図９に示すような減衰波形となり、振動を抑制していることがわかる。
【００２６】
（制振アクチュエータの振幅と振動台の振幅との関係）
次に、制振アクチュエータ１０の振幅と振動台２１との振幅の関係を説明する。
図１１は、本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータの振幅と検証システムの振動台の振幅の関係を説明するための図である。
制振アクチュエータ１０の共振状態及び制振状態の各位置における振幅を求めるため、図１１に示すような静的な荷重Ｗが作用した長さｌの片持ち状態の梁２９を考える。
この梁２９の各位置ｘにおける撓みの方程式を求める。まず、図１１に示すように、固定端にｘ＝０をとって表す。曲げモーメントＭをｘの関数として表す必要があるため、固定端からｘでの距離での曲げモーメントＭは、数式２で示される。
【００２７】
Ｍ＝−Ｗ（ｌ−ｘ）                      ・・・〔２〕
ここで、数式１を撓みの式に代入すると、
ｄ２  ｖ／ｄｘ２  ＝Ｗ（ｌ−ｘ）÷ＥＩ        ・・・〔３〕
となる。ここに、Ｅは縦弾性率、Ｉは断面２次モーメントである。
上記数式３をｘで積分すると、
ｄｖ／ｄｘ＝Ｗ｛ｌｘ−（ｘ２  ／２）｝÷ＥＩ＋Ｃ１    ・・・〔４〕
となる。ここに、Ｃ１  は積分定数である。
さらに、上記数式４をｘで積分すると、
ｖ＝Ｗ｛（ｌｘ２  ／２）−（ｘ３  ／６）｝÷ＥＩ＋ｘＣ１  ＋Ｃ２  ・・〔５〕
ここに、Ｃ２  は積分定数である。
また、ｘ＝０のときｖ＝０、ｄｖ／ｄｘ＝０となるのでＣ１  ＝Ｃ２  ＝０となって、数式５は次の数式６に示すようになる。
ｖ＝Ｗ｛（ｌｘ２  ／２）−（ｘ３  ／６）｝÷ＥＩ        ・・・〔６〕
【００２８】
次に、数式６で示される撓みｖを振動時における振幅ｖとして、実際に制振アクチュエータ１０を振動台２１の上で片持ち支持し、レーザー変位計２２のレーザー変位検出部２２ａにより、自由端付近（ｘ＝１４０［ｍｍ］）の振幅、長さ（ｌ＝１５０［ｍｍ］）を数式６に代入する。
このときの制振アクチュエータ１０の振幅は、振動台２１を基準とするため振幅ｖは、図６の時刻歴応答のグラフから振幅抑制が完全に終了した３〔秒〕葺きの振幅の絶対値（＝１．０［ｍｍ］）と、振動台２１の振幅の絶対値（＝０．１２［ｍｍ］）の差（Δｖ＝０．８８［ｍｍ］とし、振動第に対する制振アクチュエータ１０の振幅とした。
これらの数値を数式〔６〕に代入する。
【００２９】
０．８８＝Ｗ｛（１５０×１４０２  ／２）−（１４０３  ／６）｝÷ＥＩ
∴  Ｗ／ＥＩ＝８．６９×１０−７          ・・・〔７〕
また、図６から共振時の振幅（＝３．９［ｍｍ］）でも、振動抑制時と同様に、制振アクチュエータ１０と振動台２１との相対的な振幅（Ｖ＝３．７８）を数式６に代入すると、
３．７８＝Ｗ｛（１５０×１４０２  ／２）−（１４０３  ／６）｝÷ＥＩ
∴  Ｗ／ＥＩ＝３．７３×１０−６          ・・・〔８〕
となる。
【００３０】
そして、数式７及び数式８として求められた値を数式６に代入すると、
（ｉ）  振動抑制時；ｖ＝８．６９×１０−７｛（１５０ｘ２  ／２）−（ｘ３  ／６）｝・・・〔９〕
（ｉｉ）共振時；ｖ＝３．７３×１０−６｛（１５０ｘ２  ／２）−（ｘ３  ／６）｝・・・〔１０〕
【００３１】
この数式９と数式１０の振幅ｖと、位置関係ｘ（０≦ｘ≦１５０）を図１２のグラフに示す。図１２は、上記数式によって求めた振幅ｖと、位置関係ｘ（０≦ｘ≦１５０）とを振動抑制時及び共振状態で示す特性図であって、横軸に位置ｘ［ｍｍ］を、縦軸に振幅ｖ［ｍｍ］を、それぞれとったものである。
この図からも分かるように、共振の場合には、ガラス繊維強化プラスチック板２９の先端にゆくほど振幅ｖが大きくなって最大（ｘ＝１５０）で振幅ｖが４．３［ｍｍ］となっていることかわかる。
【００３２】
また、振動抑制状態でも、ガラス繊維強化プラスチック板２９の先端にゆくに従って振幅ｖは大きくなる傾向を示すが、最大（ｘ＝１５０）でも振幅ｖが約１［ｍｍ］程度に抑えられていることがわかる。
一方、制振アクチュエータ１０の最初の位置を基準点（＝０点）としたときの、制振アクチュエータ１０の振幅ｖ’と、振幅測定位置ｘとの関係は、振動台２１の振幅（＝０．１２［ｍｍ］）をも含む必要がある。そのため、振幅抑制時では次の数式１１で求められ、共振時では次の数式１２で求められる。
【００３３】
（ｉｉｉ）  振動抑制状態；  ｖ’＝８．６９×１０−７｛（１５０ｘ２  ／２）−（ｘ３  ／６）｝＋０．１２  ・・・〔１１〕
（ｉｖ）共振時；ｖ’＝３．７３×１０−６｛（１５０ｘ２  ／２）−（ｘ３  ／６）｝＋０．１２        ・・・〔１２〕
【００３４】
この数式１１と数式１２の振幅ｖ’と、位置ｘ（０≦ｘ≦１５０）との関係、及び振動第の振幅（２３．４〔Ｈｚ〕時）とを図１３のグラフに示す。図１３は、上記数式によって求めた振幅ｖ’と、位置ｘ（０≦ｘ≦１５０）の関係、及び、振動台の振幅の関係を示す特性図であって、横軸に位置ｘ［ｍｍ］を、縦軸に振幅ｖ［ｍｍ］を、それぞれとったものである。
この図からも分かるように、共振の場合には、ガラス繊維強化プラスチック板２９の先端にゆくほど振幅ｖが大きくなって最大（ｘ＝１５０）で振幅ｖが４．５［ｍｍ］となっていることかわかる。
【００３５】
また、振動抑制状態でも、ガラス繊維強化プラスチック板２９の先端にゆくに従って振幅ｖは大きくなる傾向を示すが、最大（ｘ＝１５０）でも振幅ｖが約１［ｍｍ］程度に抑えられていることがわかる。
さらに、振動台２１の振動は、一定であることがわかる。
以上のことから、上記制振アクチュエータ１０は、振動を抑制するアクチュエータとしての能力を充分に有している。
【００３６】
〔本発明の第２の実施の形態及び第２の実施例〕
図１４は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサー及びそれの第２の実施例を示す平面図である。
本発明に係る振動センサー３０は、図１４に示すように、抵抗材料としての形状記憶合金繊維線３１で構成した配線網３２と、前記配線網３２を含有させたベースとしてのガラス繊維強化プラスチック板３３とからなる。すなわち、前記配線網３２は、抵抗材料としてＴｉ−Ｎｉ合金からなる形状記憶合金繊維線３１を所定のピッチ（例えば０．１［ｍｍ］）にジグザクに、ベースであるガラス繊維強化プラスチック板３３に密着固定させたものである。また、配線網３２の端末には、アルミ圧着端子３４，３５が接続固着されている。
【００３７】
ここで、前記振動センサー３０は、図１４に示すように、例えば長さ１９０［ｍｍ］、幅１５［ｍｍ］、厚さ１．５［ｍｍ］の寸法に形成した形状になっている。また、形状記憶合金繊維線３１の径は、１００［μｍ］のものを使用した。
また、振動センサー３０の重量は、１０〔ｇ〕に設定した。その結果、前記振動センサー３０において、形状記憶合金繊維線３１がガラス繊維強化プラスチック板３３内に占める体積率（ガラス繊維強化プラスチック板３３の断面積に対する配線網３２の断面積の合計の割合）は、０．５１〔％〕になった。
【００３８】
また、前記振動センサー３０は、変形なしの状態で５７７［Ω］となった。このような構造にすることにより、約１．０［μΩｍ］の抵抗率を持つ当該振動センサー３０を得ることができた。なお、この抵抗値及び抵抗率は、振動センサー３０のアルミ圧着端子３４，３５を抵抗計に接続して実測した結果得られたものである。
【００３９】
図１５は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサーと対比するために用いたひずみゲージを示す平面図である。
図１５において、ひずみゲージ４０は、抵抗材料としてニッケル（Ｎｉ）−クロム（Ｃｒ）合金から抵抗線箔４１で構成した配線網４２と、この配線網４２が蒸着されているポリイミドで構成したベース４３とから構成したものである。
【００４０】
このひずみゲージ４０は、株式会社共和電業製で、型式がＫＦＲＰ−５−１２０−Ｃ１−９のもので、抵抗線箔４１にはＮｉ−Ｃｒ系合金箔を使用し、ベース４３はポリイミドを使用している。さらに、前記ベース４３の寸法は縦５［ｍｍ］×横１５［ｍｍ］であり、前記ベース４３上に蒸着されている配線網４２の寸法は縦１．４［ｍｍ］×横５［ｍｍ］である。また、このひずみゲージ４０は変形なしの状態で１２０［Ω］となっており、かつ、ゲージ率は約２．１〔％〕とされている。このひずみゲージ４０の抵抗率は１．１［μΩｍ］であった。
【００４１】
したがって、上記図１４に示す振動センサー３０は、図１５に示すひずみゲージ４０とは寸法が異なるものの、前記形状記憶合金繊維線３１が前記ひずみゲージ４０の抵抗線箔４１と非常に近い性質をもっているため、前記ひずみゲージ４０と略同一の抵抗率を持ったものとなり、かつ、前記ひずみゲージ４０と同様に当該振動センサー３０が微小ひずみに対しても大きな抵抗Ｒ値の変動を得ることができることになる。
【００４２】
（検証１）
図１６は、本発明の第２の実施の形態に係る振動センサーがひずみゲージと同じ性質を有するか否かを検証するセンサー検証システムを示すブロック図である。図１７は、  比較用のひずみゲージを前記振動センサーと同一寸法のガラス繊維強化プラスチック板に貼り付け、当該ガラス繊維強化プラスチック板を自由振動させたときの測定系を示す図である。
【００４３】
図１８は、上記振動センサーを自由振動させたときに、前記センサー検証システムにより当該振動センサーの抵抗値の変化の様子を測定した結果得られた特性図であって、横軸に時間を、縦軸に抵抗値を、それぞれとったものである。
図１９は、比較用のひずみゲージを前記振動センサーと同一寸法のガラス繊維強化プラスチック板に貼り付け、当該ガラス繊維強化プラスチック板を自由振動させたときに、図１７の測定系を用いて、ひずみゲージの抵抗値の変化の様子を測定した結果得られた特性図であって、横軸に時間を、縦軸に抵抗値を、それぞれとったものである。
【００４４】
この図１６において、センサー検証システム５０は、当該振動センサー３０の検出信号を所定の振幅値にする検出補助回路５１と、前記検出補助回路５１からの検出信号を所定レベルまで増幅する演算増幅器５２と、前記演算増幅器５２からのアナログ検出信号をデジタル検出信号にするアナログ・デジタル変換器５３と、前記アナログ・デジタル変換器５３からのデジタル検出信号をデータ収集するコンピュータ５４とから構成されている。
【００４５】
前記検出補助回路５１はホイートストンブリッジで構成されており、ａ点とｃ点の間に抵抗Ｒａを、ｂ点とｄ点の間に抵抗Ｒｂを、ｃ点とｂ点の間に抵抗Ｒｃを、ａ点とｄ点の間に振動センサー３０と精密可変抵抗Ｒｘとの直列回路を、ｃ点とｄ点の間に直流５〔Ｖ〕の電池Ｅを、それぞれ接続し、かつ、ａ点とｂ点とから検出信号を取り出すようになっている。ここで、抵抗Ｒａ，Ｒｂ，Ｒｃは６００［Ω］を使用し、精密可変抵抗Ｒｘは０〜１００［Ω］の抵抗値のものを使用した。
【００４６】
また、振動センサー３０を図１６に示すように片持ち支持し、かつ、前記振動センサー３０を自由振動させて、上記センサー検証システム５０により、前記振動センサー３０の抵抗値の変化の様子（自由振動波形）を測定した。その測定結果は、図１８に示すような特性図となった。この図１８からわかるように、時刻にしたがって振動が減衰してゆく波形を得ることができた。
【００４７】
次に、ひずみゲージ４０の測定系を図１７を参照しながら説明する。ひずみゲージ４０の測定系は、図１７に示すように、端子ｉと端子ｋの間に接続した１２０［Ω］の抵抗Ｒｉ、端子ｊと端子ｌの間に接続した１２０［Ω］のＲｊ、端子ｋと端子ｌの間に接続した１２０［Ω］のＲｋからなるホイートストンブリッジＷＢと、端子ｉと端子ｊの間に接続したひずみゲージ４０と、前記端子ｊと端子ｋに直流電圧を供給しかつ前記端子ｊと端子ｋからひずみ検出信号を取り込む動ひずみ計ＤＳＭと、前記動ひずみ計ＤＳＭからのアナログひずみ検出信号をデジタルひずみ検出信号に変換アナログ・デジタル変換器５３と、前記アナログ・デジタル変換器５３からのデジタル検出信号をデータ収集するコンピュータ５４とから構成されている。
【００４８】
ここで、動ひずみ系ＤＳＭは、共和電業株式会社製で、型式ＤＰＭ−７００Ｂ、適用抵抗８０〜１０００［Ω］、平行調整範囲±２〔％〕、平行調整方式は十電子式オートバランスであり、感度は１０×１０−３ひずみ入力０．２［Ｖ］、ゲージ率２．００（固定）である。また、ホイートストンブリッジは、共和電業株式会社製、型式がＤＢ−１２０Ｐで、固定抵抗１２０［Ω］である。
【００４９】
さらに、前記振動センサー３０と同一の寸法のガラス繊維強化プラスチック板ＰＢを図１６に示すと同じように片持ち支持し、そのガラス繊維強化プラスチック板ＰＢの固定部分の近くにひずみゲージ４０を貼り付け、ガラス繊維強化プラスチック板ＰＢを自由振動させて、図１７に示す測定系を用いて、ひずみゲージ４０の抵抗値の変化の様子（自由振動波形）を測定した。その測定結果は、図１９に示すような特性図となった。この図１９からわかるように、時刻にしたがって振動が減衰してゆく波形を得ることができた。
【００５０】
すなわち、前記振動センサー３０の自由振動が減衰してゆく時間は、前記ひずみゲージ４０の自由振動が減衰してゆく時間とは異なるものの、同様な形状となることがわかる。
また、図１８の波形と図１９の波形から、前記振動センサー３０の検出能力の妥当性を調べるため、両測定値の固有振動数及び弦水肥を求めたところ、この振動センサー３０の測定値と、前記ひずみゲージ４０の測定値に大きな相違はなかったため、前記振動センサー３０の検出能力の有効性を確かめることができた。
【００５１】
なお、図８に示すような、ガラス繊維強化プラスチック板を片持ち支持し、それの固定部付近に、前記ガラス繊維強化プラスチック板より小さい振動センサーを固定した構造であっても、上述したと同様な波形を得ることができることはいうまでもない。
このように上記振動センサー３０は、振動を有効に検出できるセンサーとしての能力を有している。
【００５２】
（本発明の第３の実施の形態）
図２０は、本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムを示すブロック図である。
本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システム６０は、振動を検出し当該振動に対して逆の運動を供給して制振させるものであり、図２０に示すように、振動を検出する振動センサー６１と、当該振動センサー６１の検出信号を所定の振幅値にする検出補助回路６２と、前記検出補助回路６２からの所定振幅の検出信号を前処理して振動信号にする前処理回路６３と、前記前処理回路６３からの振動信号を取込み、当該振動信号が共振しているときに電流を供給し、当該振動信号が共振しないときに電流の供給を止める制御回路６４と、前記制御回路６４から供給される電流の有無によって制振動作を行う制振アクチュエータ６５とから構成されている。
【００５３】
なお、前記振動センサー６１と前記制振アクチュエータ６５は、振動源に取り付けられている。また、振動センサー６１は本発明の第２の実施の形態に係る振動センサー３０を使用し、前記制振アクチュエータ６５は本発明の第１の実施の形態の制振アクチュエータ１０を使用している。
さらに、前記前処理回路６３及び制御回路６４は、特に示していないが、直流電源から所望の電力の供給を受けるように構成されている。
このような構成の動作を説明する。図２１は、本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムにおける制御回路の動作を説明するためのフローチャートである。
【００５４】
前記振動センサー６１が振動を検出すると、前記検出補助回路６２で所定の振幅値にされて振動検出信号が出力される。前記振動検出信号は、前処理回路６３に入力される。前処理回路６３では、入力された振動検出信号を所定のレベルに増幅し、また、所定レベルになった振動検出信号から不要な成分を除去した後の振動信号を制御回路６４に与える。
【００５５】
前記制御回路６４は、入力された振動信号が共振しているか否かを判定する（図２１のＳ２０）。前記制御回路６４は、入力された振動信号が振動していると判断したときには（図２１のＳ２０；ＹＥＳ）、前記制振アクチュエータ６５に電流を供給する（図２１のＳ２１）。一方、前記制御回路６４は、入力された振動信号が振動していない判断したときには（図２１のＳ２０；ＮＯ）、前記制振アクチュエータ６５に電流を供給しない（図２１のＳ２２）。
前記制御回路６４は、上述した動作を繰り返すことにより、振動源からの振動を抑制させることができる。
【００５６】
（本発明の第３の実施の形態の具体例）
図２２ないし図２４は本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムの具体的構成例を説明するためのものである。ここに、図２２は、本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムの具体的構成例を示す回路図である。図２３は、本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムの具体的構成例において、制御回路の動作を説明するためのフローチャートである。図２４は、本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムの具体的構成例において、制御回路の動作を説明するためのタイミングチャートであって、図２４（ａ）が制御回路に入力される入力信号波形を、図２４（ｂ）が制御回路から出力される出力信号を、それぞれ示すものである。
【００５７】
また、図２４（ａ）において、横軸に時間を、縦軸に入力波形を、それぞれとったものである。図２４（ｂ）において、横軸に時間を、縦軸に出力信号を、それぞれとったものである。
本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システム６０の具体例も、図２２に示すように、振動センサー６１と、検出補助回路６２と、前処理回路６３と、制御回路６４と、制振アクチュエータ６５とから構成されており、前記検出補助回路６２と、前記前処理回路６３と、前記制御回路６４とが具体的な回路構成として示されている。以下、前記検出補助回路６２と、前記前処理回路６３と、前記制御回路６４とについて、具体的に説明する。
【００５８】
前記検出補助回路６２はホイートストンブリッジで構成されており、ａ点とｃ点の間に抵抗Ｒａを、ｂ点とｄ点の間に抵抗Ｒｂを、ｃ点とｂ点の間に抵抗Ｒｃを、ａ点とｄ点の間に振動センサー６１と精密可変抵抗Ｒｘとの直列回路を、ｃ点とｄ点の間に直流５〔Ｖ〕の電池Ｅを、それぞれ接続し、かつ、ａ点とｂ点とから検出信号を取り出すようになっている。ここで、抵抗Ｒａ，Ｒｂ，Ｒｃは６００［Ω］を使用し、精密可変抵抗Ｒｘは０〜１００［Ω］の抵抗値のものを使用している。
【００５９】
前記前処理回路６３は、前記検出補助回路６２のａ点とｂ点とから取り出された検出信号を増幅する増幅回路６３ａと、前記増幅回路６３ａで増幅された検出信号から高調波成分を取り除いて振動信号として出力するくローパスフィルタ回路６３ｂとから構成されている。
ここで、前記増幅回路６３ａは、ＡＮＡＬＯＧ  ＤＥＶＩＣＥＳ製のインスツルメンテーションアンプＩＣで、型式が「ＡＤ６２３」のものを使用し、増幅度を５０〔デシベル〕に設定した。演算増幅器ＯＰ１〜ＯＰ３と、抵抗Ｒ２〜Ｒ７とは、型式が「ＡＤ６２３」にワッチップＩＣとして内部に含まれる。ただし、抵抗Ｒ１だけは、増幅率を決定するために外付けする。また、コンデンサＣ１〜Ｃ３も外乱を防ぐために、外付けしたものである。
【００６０】
前記演算増幅器ＯＰ１，ＯＰ２，ＯＰ３は、電源プラス端子を直流電源（＋９〔Ｖ〕）に、電源マイナス端子をアースに、それぞれ接続されている。前記演算増幅器ＯＰ１の電源プラス端子はコンデンサＣ１（０．１［μＦ］）を介してアースに接続されている。前記演算増幅器ＯＰ２の電源プラス端子はコンデンサＣ２（０．１［μＦ］）を介してアースに接続されている。前記演算増幅器ＯＰ３の電源プラス端子はコンデンサＣ３（０．１［μＦ］）を介してアースに接続されている。
【００６１】
前記演算増幅器ＯＰ１のマイナス入力端子は抵抗Ｒ１（４００［Ω］）を介して前記演算増幅器ＯＰ２のマイナス入力端子に接続されている。前記演算増幅器ＯＰ１のプラス入力端子は、検出補助回路６２のホイートストンブリッジのａ点に接続されている。前記演算増幅器ＯＰ２のプラス入力端子は、検出補助回路６２のホイートストンブリッジのｂ点に接続されている。
【００６２】
前記演算増幅器ＯＰ１のプラス入力端子は、抵抗Ｒ２（５０［ｋΩ］）を介して前記演算増幅器ＯＰ１の出力端子に接続されている。前記演算増幅器ＯＰ２のプラス入力端子は、抵抗Ｒ３（５０［ｋΩ］）を介して前記演算増幅器ＯＰ２の出力端子に接続されている。前記演算増幅器ＯＰ１の出力端子は、抵抗Ｒ４（５０［ｋΩ］）を介して演算増幅器ＯＰ３のマイナス入力端子に接続されている。前記演算増幅器ＯＰ２の出力端子は、抵抗Ｒ５（５０［ｋΩ］）を介して演算増幅器ＯＰ３のプラス入力端子に接続されている。
【００６３】
前記演算増幅器ＯＰ３のマイナス入力端子は、抵抗Ｒ６（５０［ｋΩ］）を介して当該演算増幅器ＯＰ３の出力端子に接続されている。前記演算増幅器ＯＰ３のプラス入力端子は、抵抗Ｒ７（５０［ｋΩ］）を介してアースに接続されている。前記演算増幅器ＯＰ３の出力端子は、当該増幅回路６３ａの出力端子となる。
前記ローパスフィルタ回路６３ｂは、演算増幅器ＯＰ４と、抵抗Ｒ８，Ｒ９と、コンデンサＣ４〜Ｃ７とを備え、次のように構成されている。この演算増幅器ＯＰ４は、Ｔｅｘａｓ  Ｉｎｓｔｒｕｎｅｎｔｓ  Ｉｎｃ製、型式が「ＯＰ０７Ｃ」を使用した。前記演算増幅器ＯＰ４のプラス電源端子はプラス直流電源（＋９［Ｖ］）に接続されるとともに、コンデンサＣ４を介してアースに接続されている。また、前記演算増幅器ＯＰ４のマイナス電源端子はマイナス直流電源（−９［Ｖ］）に接続されるとともに、コンデンサＣ５を介してアースに接続されている。
【００６４】
前記増幅回路６３ａの出力端子（前記演算増幅器ＯＰ３の出力端子）は、抵抗Ｒ８（１０［ｋΩ］）と抵抗Ｒ９（１０［ｋΩ］）の直列回路を介して前記演算増幅器ＯＰ４のプラス入力端子に接続されている。前記抵抗Ｒ８と抵抗Ｒ９の接続点は、コンデンサＣ６を介して演算増幅器ＯＰ４の出力端子に接続されている。また、前記演算増幅器ＯＰ４のプラス入力端子は、コンデンサＣ７を介してアースに接続されている。前記演算増幅器ＯＰ４のマイナス入力端子は、当該演算増幅器ＯＰ４の出力端子に接続されている。この演算増幅器ＯＰ４の出力端子が前記ローパスフィルタ回路６３ｂの出力端子となる。なお、ローパスフィルタ回路６３ｂは、遮断周波数を１〔ｋＨｚ〕に設定した。
【００６５】
次に、制御回路６４の具体的構成を説明する。この制御回路６４は、ＰＩＣ（Ｐｅｒｉｐｈｅｒａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）６４ａと、前記ＰＩＣ６４ａからの出力信号を増幅する電力増幅回路６４ｂとから構成されている。
このＰＩＣ６４ａとは、コンピュータの周辺に接続される周辺機器の接続部分を制御するためのマイクロコントローラであって、プログラムにより機能を実現することができる集積回路（ＩＣ）である。
【００６６】
このＰＩＣ６４ａは、ミッドレンジシリースの「ＰＩＣ１６Ｆ８７７」を使用した。この「ＰＩＣ１６Ｆ８７７」は、Ｍｉｃｒｏｃｈｉｐ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｉｎｃ製である。このＰＩＣ６４ａは、検出補助回路６２から得られた振動検出信号を当該ＰＩＣ６４ａの内部に搭載したアナログ・デジタル変換器でアナログ・デジタル変換を行い、適切な電圧を計算して出力するような制御機能を持たせたものである。このＰＩＣ６４ａは、分解能が１０ビットのアナログ・デジタル変換器を内蔵したものである。また、ＰＩＣ６４ａのレファレンス電圧（０［Ｖ］＜Ｖｒｅｆ＜２．５［Ｖ］）の兼ね合いから、上記増幅回路６３ａの増幅度は５０〔ｄＢ〕に設定されている。
【００６７】
また、前記ＰＩＣ６４ａには、共振状態を判断させる手段として差分法の原理をプログラムして記憶させた。これのプログラムは次のような手法による。まず、図２３（ａ）に示すような入力信号がＰＩＣ６４ａに入力されると、前記ＰＩＣ６４ａは当該入力信号を周期Δｔでサンプリングし、当該ＰＩＣ６４ａ内のアナログ・デジタル変換器でアナログ・デジタル変換する。その時々の入力電圧の値をａ０  ，ａ１  ，ａ２  ，…，ａｎ  とする。また、ＰＩＣ６４ａは、「現在得られた入力信号の電圧値ａｍ  」と、「一つ前に測定した入力信号の電圧値ａｍ−１  」の差を二乗し、予め定められた基準値ΔＶ２  と比較し、（ａｍ  −ａｍ−１  ）２  がΔＶ２  より大きければ出力電圧Ｖｏｕｔ  をＯＮにし、（ａｍ  −ａｍ−１  ）２  がΔＶ２  より小さければ出力電圧Ｖｏｕｔ  をＯＦＦにする動作をするように構成されている。このＰＩＣ６４ａの出力電圧Ｖｏｕｔ  は、電力増幅回路６４ｂに入力される。電力増幅回路６４ｂは所定の電力増幅をし、その出力電圧を制振アクチュエータ６５に供給するようになっている。
【００６８】
このような構成の制振制御システム６０の動作を説明する。振動センサー６１が振動を検出すると、振動の大きさに応じた抵抗値の変化を示す。この振動センサー６１による抵抗値の変化は、ホイートストンブリッジで構成された検出補助回路６２によって所定のレベルの振動検出信号として出力される。
前記検出補助回路６２の出力端子から出力された振動検出信号は、前処理回路６３の増幅回路６３ａの演算増幅器ＯＰ１，ＯＰ２，ＯＰ３によって所定の増幅度（５０〔ｄＢ〕）で定められたレベルまで増幅される。
【００６９】
前記増幅回路６３ａで増幅された振動検出信号は、ローパスフィルタ回路６３ｂによって高調波成分が除去されて振動信号とされ、ローパスフィルタ回路６３ｂの出力端子からＰＩＣ６４ａの入力端子に供給される。このローパスフィルタ回路６３ｂから出力される振動信号（ＰＩＣ６４ａの入力端子に入力される振動信号）は、図２３（ａ）に示すような入力信号波形を示す。
前記ＰＩＣ６４ａは、入力された入力信号をサンプリング周期Δｔでアナログ・デジタル変換し、その電圧値をａ０  とし、これを記憶する。なお、ＰＩＣ６４ａは、現在の電圧値と、一サンプリング周期前の電圧値とを少なくとも記憶できるようになっている。
【００７０】
前記ＰＩＣ６４ａは、最初（  時刻ｔ０）  は、一サンプリング周期前に得て記憶しておいた電圧値がないので、これをゼロとし、このゼロと現在の電圧値ａ０  との差の二乗が、予め記憶させておいた基準電圧Δｔ２より小さいと判断され（図２２のＳ３０；Ｆａｌｓｅ）、出力電圧Ｖｏｕｔ  がＯＦＦになる（図２２のＳ３２）。これにより、前記電力増幅回路６４ｂから前記制振アクチュエータ６５には電流が供給されない。
【００７１】
次の周期（ｔ１）では、前記ＰＩＣ６４ａは、入力信号の電圧値ａ１  を得るので、（ａ０−ａ１  ）２  がΔＶ２  より大きくなって（図２３のＳ３０；Ｔｒｕｅ）、入力された振動信号が振動していると判断され、出力電圧Ｖ
ｏｕｔ  をＯＮになる（図２３のＳ３１、図２４（ｂ）の時刻ｔ１）。これにより、前記電力増幅回路６４ｂからは前記制振アクチュエータ６５に電流が供給される。
さらに次の周期（ｔ２）では、前記ＰＩＣ６４ａは、入力信号の電圧値ａ２を得ると、（ａ１−ａ２）２  がΔＶ２  より小さくなって（図２３のＳ３０；Ｆａｌｓｅ）、入力された振動信号が振動していないと判断され、出力電圧Ｖｏｕｔ  をＯＦＦとなる（図２３のＳ３１、図２４（ｂ）の時刻ｔ２）。これにより、前記電力増幅回路６４ｂから前記制振アクチュエータ６５には電流が供給されない。
【００７２】
次の周期（ｔ３）では、前記ＰＩＣ６４ａは、入力信号の電圧値ａ３  を得るので、（ａ２  −ａ３  ）２  がΔＶ２  より大きくなって（図２３のＳ３０；Ｔｒｕｅ）、入力された振動信号が振動していると判断され、出力電圧Ｖｏｕｔ  をＯＮになる（図２３のＳ３１、図２４（ｂ）の時刻ｔ３）。これにより、前記電力増幅回路６４ｂからは前記制振アクチュエータ６５に電流が供給される。
【００７３】
さらに次の周期（ｔ４）では、前記ＰＩＣ６４ａは、入力信号の電圧値ａ４  を得るので、（ａ３  −ａ４  ）２  がΔＶ２  より大きくなって（図２３のＳ３０；Ｔｒｕｅ）、入力された振動信号が振動していると判断され、出力電圧Ｖｏｕｔ  をＯＮになる（図２３のＳ３１、図２４（ｂ）の時刻ｔ４）。これにより、前記電力増幅回路６４ｂから前記制振アクチュエータ６５には電流が供給される。
さらに次の周期（ｔ５）では、前記ＰＩＣ６４ａは、入力信号の電圧値ａ５  を得ると、（ａ４  −ａ５  ）２  がΔＶ２  より小さくなって（図２３のＳ３０；Ｆａｌｓｅ）、入力された振動信号が振動していないと判断され、出力電圧Ｖｏｕｔ  をＯＦＦとなる（図２３のＳ３１、図２４（ｂ）の時刻ｔ５）。これにより、前記電力増幅回路６４ｂから前記制振アクチュエータ６５には電流が供給されない。
【００７４】
さらに次の周期（ｔ６）では、前記ＰＩＣ６４ａは、入力信号の電圧値ａ６  を得るので、（ａ５  −ａ６  ）２  がΔＶ２  より大きくなって（図２３のＳ３０；Ｔｒｕｅ）、入力された振動信号が振動していると判断され、出力電圧Ｖｏｕｔ  をＯＮになる（図２３のＳ３１、図２４（ｂ）の時刻ｔ６）。これにより、前記電力増幅回路６４ｂから前記制振アクチュエータ６５には電流が供給される。
前記ＰＩＣ６４ａが、振動源に取り付けた振動センサー６１からの振動検出信号を基に上述した動作を次々と繰り返すことにより、振動源に取り付けた制振アクチュエータ６５によって振動を抑制させることができる。
なお、上記振動センサー６１と制振アクチュエータ６５とは別々に振動源に取り付けてもよいし、また、振動センサー６１と制振アクチュエータ６５とを１体に構成したものであってもよい。
【００７５】
（応用例）
なお、上記制振制御システム６０は、例えば車両や運行体の各種制御システムを構成するＩＣプリント基盤の振動制御に応用できる。
また、上記制振制御システム６０は、スポーツ施設や体育館などに用いられるシェル空間構造の膜構造やフレーム剤の接合部に当該振動センサー６１と制振アクチュエータ６５との一体板を用い、かつ制振制御システム６０で制振アクチュエータ６５を制御するることにより、風や地震に対する免震材としての機能をさせることができる。
【００７６】
上述した制振アクチュエータ１０や振動センサー３０の構造をもつ本本発明の構造体は、可変剛性機能（硬さや変形のしにくさを変化させられる）、ひずみ検知機能、高い材料減衰特性、高い成型の自由度第、結露がしにくい、高い光透過性、電波透過性、形状記憶効果など多くの利点があるので、応用分野に応じた材料設計を行うことができ、多用な分野への適用が可能である。
【００７７】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１記載の発明によれば、形状記憶合金繊維線で構成した配線網と、前記配線網を含有させたガラス繊維強化プラスチック板とからなるので、製造コストが安く、かつ、応答のよい制振動作をする制振アクチュエータを得ることがきるという効果がある。
請求項２記載の発明によれば、形状記憶合金繊維線で構成したと配線網と、前記配線網を含有させたガラス繊維強化プラスチック板とからなるので、簡単な構造でかつ確実に振動を検出できる振動センサーを得ることができる。
請求項３記載の発明によれば、振動を検出する振動センサーと、当該振動センサーの検出信号を所定の振幅値にする検出補助回路と、前記検出補助回路からの所定振幅の検出信号を前処理して振動信号にする前処理回路と、前記前処理回路からの振動信号を取込み、当該振動信号が共振しているときに電流を供給し、当該振動信号が共振しないときに電流の供給を止める制御回路と、前記制御回路から供給される電流の有無によって制振動作を行う制振アクチュエータとからなり、振動センサーからの振動検出信号を基に共振しているか否かで制振アクチュエータに流す電流を制御して振動を抑制するので、製造コストを抑え、かつ、振動源の振動確実に抑制することができる制振制御システムを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータ及びそれの第１の実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータ及びそれの第１の実施例を示す平面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータの製造方法の一例を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証する検証システムを示す図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証する検証システムの振動台に制振アクチュエータを方持支持した状態を示す説明図である。
【図６】図５の状態に片持ち支持した制振アクチュエータを検証システムで検証した際に得られた振動特性を示す特性図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証するシステムに与えた振動台の時刻履応答を示す特性図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証する検証システムの振動台に所定の長さのガラス繊維強化プラスチック板を片持ち支持するとともに前記ガラス繊維強化プラスチック板の固定部付近のみ制振アクチュエータを片持ち支持した状態を示す説明図である。
【図９】図８の状態に片持ち支持した制振アクチュエータを検証システムで検証した際に得られた振動特性を示す特性図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータが制振できることを検証する検証システムの振動台に与えた振動台の時刻履応答を示す特性図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態に係る制振アクチュエータの振幅と検証システムの振動台の振幅の関係を説明するための図である。
【図１２】上記数式によって求めた振幅ｖと、位置関係ｘとを振動抑制時及び共振状態で示す特性図である。
【図１３】上記数式によって求めた振幅ｖ’と、位置ｘの関係、及び、振動台の振幅の関係を示す特性図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態に係る振動センサー及びそれの第２の実施例を示す平面図である。
【図１５】本発明の第２の実施の形態に係る振動センサーと対比するために用いたひずみゲージを示す平面図である。
【図１６】本発明の第２の実施の形態に係る振動センサーがひずみゲージと同じ性質を有するか否かを検証するセンサー検証システムを示すブロック図である。
【図１７】比較用のひずみゲージを振動センサーと同一寸法のガラス繊維強化プラスチック板に貼り付け、当該ガラス繊維強化プラスチック板を自由振動させたときの測定系を示す図である。
【図１８】上記振動センサーを自由振動させたときに、前記センサー検証システムにより当該振動センサーの抵抗値の変化の様子を測定した結果得られた特性図である。
【図１９】比較用のひずみゲージを前記振動センサーと同一寸法のガラス繊維強化プラスチック板に貼り付け、当該ガラス繊維強化プラスチック板を自由振動させたときに、図１７の測定系により、ひずみゲージの抵抗値の変化の様子を測定した結果得られた特性図である。
【図２０】本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムを示すブロック図である。
【図２１】本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムにおける制御回路の動作を説明するためのフローチャートである。
【図２２】本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムの具体的構成例を示す回路図である。
【図２３】本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムの具体的構成例において、制御回路の動作を説明するためのフローチャートである。
【図２４】本発明の第３の実施の形態に係る制振制御システムの具体的構成例において、制御回路の動作を説明するためのタイミングチャートである。
【符号の説明】
１０  制振アクチュエータ
３０  振動センサー
１１，３１  形状記憶合金繊維線
１２，３２  配線網
１３，３３  ガラス繊維強化プラスチック板
１４，１５、３４，３５  アルミ圧着端子
２０  アクチュエータ検証システム
２１  振動台
２２  レーザー変位計
２３  固定具
２４  アナログデジタル変換器
２５  コンピュータ
５０  センサー検証システム
５１  検出補助回路
５２  演算増幅器
５３  アナログ・デジタル変換器
５４  コンピュータ
６０  制振制御システム
６１  振動センサー
６２  検出補助回路
６３  前処理回路
６３ａ  増幅回路
６３ｂ  ローパスフィルタ回路
６４  制御回路
６４ａ  ＰＩＣ
６４ｂ  電力増幅回路
６５  制振アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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