(57)【要約】【課題】温度低下を招くことなく、安定した酸化防止効果を得ることができる酸化防止構造を提供する。【解決手段】レール本体１１にリードフレーム１４の搬送路１３を凹設し、搬送路１３上のリードフレーム１４を図外のヒータで加熱する。カバー１２の基部２１中央にチャンバー２３を設け、チャンバー２３に連通穴３１を連通する。連通穴３１に縦穴３３を連通し、縦穴３３に対応するレール本体１１の部位に有底穴３４を設ける。有底穴３４底部に横穴３５を連通し、横穴３５に供給パイプを接続して酸化防止ガスをチャンバー２３に供給する。チャンバー２３下部に下方開口状の凹部を形成し、酸化防止ガスを搬送路１３へ送出する送出経路５１を形成する。送出経路５１に多孔質金属焼結体５２を内嵌し、基部２１に螺着した固定用ネジ５３の鍔５４で押さえる。【選択図】        図２
2004153051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバーよりワークが搬送される搬送路内へ酸化防止ガスが供給される酸化防止構造において、
前記チャンバーより前記搬送路内へ前記酸化防止ガスを送出する送出経路に多孔質金属焼結体を設けたことを特徴とする酸化防止構造。
【請求項２】
レール本体に凹設された前記搬送路を上方から覆うカバーに、前記チャンバーと、該チャンバーに連通した下方開口状の前記送出経路とを設けるとともに、該送出経路へ収容された前記多孔質金属焼結体を下方から支持する支持板を着脱自在に固定したことを特徴とする請求項１記載の酸化防止構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばチップがボンディングされるリードフレームの酸化を抑制する酸化防止構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体などのチップがボンディングされるリードフレームを搬送する際には、図４に示すように、搬送レール７０１が用いられていた。
【０００３】
この搬送レール７０１は、リードフレームの搬送路７１１が凹設されたレール本体７１２と、該レール本体７１２上に配設されたカバー７１３とにより構成されている。前記レール本体７１２は、図外のヒータで加熱されており、搬送されるリードフレーム７１４を加熱してボンディングを容易とするように構成されている。
【０００４】
前記カバー７１３には、外部から供給された酸化防止ガスが通流するチャンバー７２１が形成されており、該チャンバー７２１と前記搬送路７１１間には、該搬送路７１１内へ前記酸化防止ガスを噴出する内径が約１ｍｍの管状通路７２２，・・・が当該カバー７１３の長さ方向に沿って複数開設されている。これにより、このカバー７１３で覆われた搬送路７１１内に、前記酸化防止ガスを供給し、加熱されたリードフレーム７１４の酸化を抑制できるように構成されている。
【０００５】
また、搬送路内のリードフレームの酸化を抑制する他の構造としては、搬送路の両脇に酸化防止ガスの供給路を形成し、該供給路と前記搬送路間に前記酸化防止ガスを搬送路へ送出する為の溝を形成したものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−１７０８３０号公報（段落番号「００１９」及び図１〜図３）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの構造にあっては、いずれも酸化防止ガスを穴又は溝を介して搬送路７１１内へ噴出させる構造であり、リードフレーム７１４の温度低下を招いてしまう。
【０００８】
また、前記搬送路７１１内の雰囲気の流れによって、酸化防止効果にばらつきが生じてしまう。
【０００９】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、温度低下を招くことなく、安定した酸化防止効果を得ることができる酸化防止構造を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明の請求項１の酸化防止構造にあっては、チャンバーよりワークが搬送される搬送路内へ酸化防止ガスが供給される酸化防止構造において、前記チャンバーより前記搬送路内へ前記酸化防止ガスを送出する送出経路に多孔質金属焼結体を設けた。
【００１１】
すなわち、チャンバーから搬送路へ送出される酸化防止ガスは、送出経路内の多孔質金属焼結体に形成された多数の小孔に分散されて通過する。このとき、前記多孔質金属焼結体による圧力損失効果によって、前記酸化防止ガスの搬送路内への噴出圧力が減圧される。また、前記多孔質金属焼結体による消音効果によって発生音が抑えられる。
【００１２】
また、請求項２の酸化防止構造においては、レール本体に凹設された前記搬送路を上方から覆うカバーに、前記チャンバーと、該チャンバーに連通した下方開口状の前記送出経路とを設けるとともに、該送出経路へ収容された前記多孔質金属焼結体を下方から支持する支持板を着脱自在に固定した。
【００１３】
すなわち、多孔質金属焼結体を長期に渡り使用した際には、レール本体よりカバーを外し、前記多孔質金属焼結体を支持する支持板を取り外す。これにより、前記送出経路へ収容された前記多孔質金属焼結体は、下方開口状の送出経路から取り出され、新しい多孔質金属焼結体に交換される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかる酸化防止構造を備えたダイボンダ１を示す要部の平面図であり、該ダイボンダ１は、半導体などのチップをボンディングするボンディング作業部へリードフレームを搬送する為の搬送レール２を備えている。
【００１５】
この搬送レール２は、下部を構成するレール本体１１を備えてなり、該レール本体１１上には、複数のカバー１２，・・・がレール本体１１に沿って配列されている。該レール本体１１の上面には、図２に示すように、搬送路１３が凹設されており、該搬送路１３は、ワークとしての短冊状のリードフレーム１４が搬送されるように構成されている。前記レール本体１１は、図外のヒータを備えており、搬送路１３上のリードフレーム１４を加熱して下流でのボンディングが容易に行えるように構成されている。
【００１６】
前記カバー１２は、前記レール本体１１上に配置され前記搬送路２を上方から覆う基部２１と、該基部２１の両側部から下方に延出して前記レール本体１１の上部に外嵌するフランジ部２２，２２とにより構成されており、前記基部２１の中央には、チャンバー２３がカバー１２の長さ方向に延設されている（図１参照）。
【００１７】
前記チャンバー２３には、基部２１の側方から穿孔された連通穴３１が連通されており、該連通穴３１の端部は、埋め栓３２によって閉鎖されている。この連通穴３１には、基部２１下面から穿孔された縦穴３３に連通しており、該縦穴３３に対応する前記レール本体１１の部位には、下方に穿孔された有底穴３４が設けられている。該有底穴３４の底部には、側方に延在する横穴３５が連通されており、該横穴３５は、レール本体１１の側部に開口している。
【００１８】
この横穴３５には、図１に示したように、供給パイプ４１が接続されるように構成されており、この供給パイプ４１からの酸化防止ガスが、図２に示したように、前記横穴３５及び前記有底穴３４を通流した後、前記カバー１２の前記縦穴３３及び連通穴３１を介して、前記チャンバー２３内に供給されるように構成されている。
【００１９】
このチャンバー２３の下部には、該チャンバー２３に連通した一回り大きな下方開口状の凹部が形成されており、当該基部２１には、チャンバー２３内の酸化防止ガスを搬送路１３に送出する送出経路５１が形成されている。この送出経路５１には、長方形板状に形成された多孔質金属焼結体５２が内嵌されており、該多孔質金属焼結体５２は、図１に示したように、前記基部２１に螺着された固定用ネジ５３の鍔５４によって、その長さ方向両端部が支持されている。これにより、前記多孔質金属焼結体５２は、前記チャンバー２３及び前記送出経路５１間に形成された段部５５と、前記鍔５４とに挟まれた状態で固定されており、前記チャンバー２３内の前記酸化防止ガスを、当該多孔質金属焼結体５２が有する多数の小孔を通して前記搬送路１３へ供給することで、加熱された金属製のリードフレーム１４の酸化を防止できるように構成されている。
【００２０】
以上の構成にかかる本実施の形態において、チャンバー２３から搬送路１３へ送出される酸化防止ガスは、送出経路５１に内嵌した多孔質金属焼結体５２の多数の小孔に分散されて通過する。このため、このときに生じる圧力損失効果によって、酸化防止ガスを減圧して搬送路１３へ送出することができる。したがって、酸化防止ガスが穴又は溝を介して搬送路１３内へ噴出され、搬送路１３内のリードフレーム１４に直接吹き付けられてしまう従来と比較して、搬送路１３内のリードフレーム１４の温度低下を防止することができる。
【００２１】
また、前記酸化防止ガスを、前記多孔質金属焼結体５２を介して送出することで、酸化防止ガスを広範囲に渡って前記リードフレーム１４上へ均等に分散して送出することができる。これにより、搬送路１３において、酸化防止を阻害する気体の流れを防止でき、安定した酸化防止効果を得ることができる。
【００２２】
さらに、前記多孔質金属焼結体５２によって前記酸化防止ガスによる消音効果を得ることができる。このため、小径の管状通路から酸化防止ガスを噴出する場合と比較して、耳障りなシュー音の発生をも防止することができる。
【００２３】
なお、本実施の形態にあっては、送出経路５１に内嵌された多孔質金属焼結体５２を、カバー１２に螺着した固定用ネジ５３の鍔５４で支持する場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものでは無い。
【００２４】
すなわち、図３に示すように、送出経路５１に収容された多孔質金属焼結体５２を、支持板１０１によって下方から支持しても良い。
【００２５】
この支持板１０１は、薄肉の金属板によって形成されており、正方形状の固定部１１１を備えている。この固定部１１１には、円形穴１１２が設けられており、当該固定部１１１は、カバー１２の基部２１下面に形成された凹部１１３に収容された状態で、前記円形穴１１２を挿通する固定ネジ１１４が前記基部２１に螺着されることで、カバー１２に着脱自在に固定されている。
【００２６】
この固定部１１１からは、細長の支持片１２１が延出しており、該支持片１２１は、複数箇所が折曲され、基部２１の下面に沿って延在するうように構成されている。この支持片１２１は、前記送出経路５１に収容された多孔質金属焼結体５２の下面に沿って延在する長さに設定されており、該多孔質金属焼結体５２を上方へ向けて押圧するように構成されている。
【００２７】
以上の構成において、多孔質金属焼結体５２を長期に渡り使用した際には、レール本体１１よりカバー１２を外し、固定ネジ１１４を緩めて支持板１０１を取り外す。これにより、前記送出経路５１へ収容された前記多孔質金属焼結体５２を下方開口状の前記送出経路５１から取り出すことができる。
【００２８】
そして、新しい多孔質金属焼結体５２を前記送出経路５１へ収容するとともに、前記支持板１０１を固定ネジ１１４で固定して、多孔質金属焼結体５２の交換を完了する。
【００２９】
このように、多孔質金属焼結体５２に経時的な劣化が生じても、容易に交換することができる。したがって、長期使用が可能となる。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の請求項１の酸化防止構造にあっては、多孔質金属焼結体を通過する際の圧力損失効果によって、酸化防止ガスを減圧して搬送路へ送出することができる。このため、酸化防止ガスが穴又は溝を介して搬送路内へ噴出され、搬送路内のワークに直接吹き付けられてしまう従来と比較して、搬送路内のワークの温度低下を防止することができる。
【００３１】
また、前記酸化防止ガスを前記多孔質金属焼結体を介して送出することで、酸化防止ガスを広範囲へ均等に分散して送出することができる。これにより、搬送路において、酸化防止を阻害する気体の流れを防止でき、安定した酸化防止効果を得ることができる。
【００３２】
さらに、前記多孔質金属焼結体によって消音効果を得ることができるため、小径の管状通路から酸化防止ガスを噴出する場合と比較して、耳障りなシュー音の発生を防止することができる。
【００３３】
また、請求項２の酸化防止構造においては、レール本体よりカバーを外すとともに、多孔質金属焼結体を支持する支持板を取り外すことによって、下方開口状の送出経路に収容された多孔質金属焼結体を取り出して新しい多孔質金属焼結体と交換することができる。
【００３４】
このため、多孔質金属焼結体に経時的な劣化が生じても、容易に交換することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す要部の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図３】他の実施の形態を示す断面図である。
【図４】従来の搬送レールを示す断面図である。
【符号の説明】
２    搬送レール
１１    レール本体
１２    カバー
１３    搬送路
１４    リードフレーム（ワーク）
２３    チャンバー
５１    送出経路
５２    多孔質金属焼結体
１０１    支持板
１１４    固定ネジ
【図１】
2004153051.tif 000003
【図２】
2004153051.tif 000004
【図３】
2004153051.tif 000005
【図４】
2004153051.tif 000006