(57)【要約】【課題】クリーンルームの用役工事を効率良く行うことができるフロアパネルを提供する。【解決手段】フロアパネル１００は、底面パネル板２０と、グレーチング１０と、上面パネル板３０と、を備える。底面パネル板２０は、床面に据え付けられる装置に繋がる配管又は電気配線等の用役ラインが取り出される取合い部２１、２２、２３、２４を備える。底面パネル板２０は、グレーチング１０の下面に固定される。グレーチング１０の上面には、取合い用開口が開設された上面パネル板３０が固定される。【選択図】　図２
2004108106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置が設置されるクリーンルームの床面を構成するフロアパネルであって、
床面下に敷設される用役ラインを床面上に取り出すための用役取合い部を備える下部パネルと、
前記下部パネルに固定された枠状のグレーチングと、
前記用役取合い部から取り出される用役ラインを通す開口を備え、前記グレーチングに固定される上部パネルと、
を備える、ことを特徴とするフロアパネル。
【請求項２】
前記下部パネルは、支持体によって支持され、
前記上部パネルは、隣接するフロアパネルの上面と施工後に実質的に面一となるように、前記グレーチングに固定される、
ことを特徴とする請求項１に記載のフロアパネル。
【請求項３】
前記用役ラインは、前記床面に設置される製造装置からの排気ラインと、前記製造装置で使用されるガスを供給するガス供給ラインと、前記製造装置に電力を供給するための電力ラインと、前記製造装置の給排水ラインと、を含み、
前記用役取合い部は、前記下部パネルの上下にそれぞれ伸びて前記排気ラインに連結される継手と、前記ガス供給ラインと電力ラインと給排水ラインを通過させる開口と、を備える、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフロアパネル。
【請求項４】
前記上部パネルは、並設されて前記上部パネルを構成する、複数の分割パネル板より構成されている、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のフロアパネル。
【請求項５】
前記分割パネル板は、前記上部パネルの開口を構成する切り欠き部を備える、ことを特徴とする請求項４に記載のフロアパネル。
【請求項６】
組み合わされてクリーンルームの床面を構成する実質的に同一サイズの複数種類のフロアパネルであって、
第１のフロアパネルは、予め複数種類用意されており、それぞれ、床面下に敷設される用役ラインを床面上に取り出すための用役取合い部を備える下部パネルと、前記下部パネルに固定された枠状のグレーチングと、前記下部パネルの上部に配置され、前記用役取合い部から取り出された用役ラインを通す開口が設けられた上部パネルと、を備え、
第２のフロアパネルは、クリーンルーム内の空気を床面下に流通させるための通気パネルから構成され、
第３のフロアパネルは非通気性の気密性パネルから構成される、
ことを特徴とするフロアパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、クリーンルームの床面を形成するフロアパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置等の製造は、内部に高度の清浄雰囲気が形成されるクリーンルームの内部に設置された各種装置を用いて行われる。このようなクリーンルーム内の装置に用役系を接続する工事は、以下のように行われる。
【０００３】
まず、アクセスフロアパネル（フリーアクセスフロアパネル）をスラブ床上に多数枚敷設し、床面を形成する。このとき、床面下に一次用役ラインをある程度敷設しておく（事前工事）。次いで、クリーンルーム内に装置を搬入し、床面上の所定位置に配置する。次いで、装置の位置にあわせて一次用役ラインの配置を調整した後、床面下の一次用役ラインと、床面上の装置と、を接続する二次用役ラインを設ける。二次用役ラインの敷設は、床面（フロアパネル）に二次用役ラインを通すための貫通穴を形成して行う。
【０００４】
上記のような装置の用役工事は、以下に示すような点で非効率である。まず、事前工事において、一次用役ラインを目標物がない状態で敷設するため、そのルートやレベルが不明確である。従って、装置の実際の配置とあわず、配管の長さが不足する場合などには、もう一度敷設し直さなければならない。
【０００５】
また、クリーンルーム内に装置を設置した後に行う作業は、作業員の動ける範囲を狭め、作業効率を低下させる。これは、クリーンルーム内に複数の装置が配置されているときに、より顕著となる。さらに、貫通穴の開設等を含む二次用役ラインの敷設工事は、溶接作業等の特殊作業を含み、一般の作業員がこれを行う場合には作業効率が低い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
装置の用役工事における、上記のような非効率さを低減可能なアクセスフロアパネルが、下記特許文献１に開示されている。このアクセスフロアパネルは、床下から床上の装置に供給するガスを中継するための継手を備える。このアクセスフロアパネルによれば、貫通穴の開設工事が不要となり、作業効率の向上が図れる。
【０００７】
【特許文献１】
特開平５−３３２００６号公報
【０００８】
しかし、このアクセスフロアパネルには、継手の位置及びサイズが固定されているため、施工が難しいという問題がある。上記公報においては、配管にプラスチックチューブを使用することによりこの問題に対処しているが、半導体製造装置などの分野では、安全性や信頼性の面から、配管をプラスチックで形成すること自体が困難な場合が多い。例えば、腐食性のガスの配管、高排圧の排気管等に用いることはできない。
【０００９】
さらに、この公報に記載のフロアパネルは、１枚のフロアパネルに継手を埋め込んだ構成であるため、製造が困難で、重くて搬送等の作業に不便であり、さらに、継手が床面に露出してダストが溜まり易いという問題がある。
【００１０】
この発明は、上述した問題点に鑑み、クリーンルーム内への装置の用役工事を効率良く行うことができるフロアパネルを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明の第１の観点に係るフロアパネルは、
製造装置が設置されるクリーンルームの床面を構成するフロアパネルであって、
床面下に敷設される用役ラインを床面上に取り出すための用役取合い部を備える下部パネルと、
前記下部パネルに固定された枠状のグレーチングと、
前記用役取合い部から取り出される用役ラインを通す開口を備え、前記グレーチングに固定される上部パネルと、
を備える、ことを特徴とする。
【００１２】
上記構成のフロアパネルにおいて、前記下部パネルは、支持体によって支持されてもよく、
前記上部パネルは、隣接するフロアパネルの上面と施工後に実質的に面一となるように、前記グレーチングに固定されてもよい。
【００１３】
上記構成のフロアパネルにおいて、前記用役ラインは、前記床面に設置される製造装置からの排気ラインと、前記製造装置で使用されるガスを供給するガス供給ラインと、前記製造装置に電力を供給するための電力ラインと、前記製造装置の給排水ラインと、を含んでもよく、
前記用役取合い部は、前記下部パネルの上下にそれぞれ伸びて前記排気ラインに連結される継手と、前記ガス供給ラインと電力ラインと給排水ラインを通過させる開口と、を備えてもよい。
【００１４】
上記構成のフロアパネルにおいて、前記上部パネルは、並設されて前記上部パネルを構成する、複数の分割パネル板より構成されていてもよい。
【００１５】
上記構成のフロアパネルにおいて、前記分割パネル板は、前記上部パネルの開口を構成する切り欠き部を備えてもよい。
【００１６】
上記目的を達成するために、この発明の第２の観点に係るフロアパネルは、
組み合わされてクリーンルームの床面を構成する実質的に同一サイズの複数種類のフロアパネルであって、
第１のフロアパネルは、予め複数種類用意されており、それぞれ、床面下に敷設される用役ラインを床面上に取り出すための用役取合い部を備える下部パネルと、前記下部パネルに固定された枠状のグレーチングと、前記下部パネルの上部に配置され、前記用役取合い部から取り出された用役ラインを通す開口が設けられた上部パネルと、を備え、
第２のフロアパネルは、クリーンルーム内の空気を床面下に流通させるための通気パネルから構成され、
第３のフロアパネルは非通気性の気密性パネルから構成される、
ことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係るフロアパネルについて、図面を参照して説明する。本実施の形態のフロアパネルは、半導体製造装置が使用されるクリーンルームの床面を構成する。
【００１８】
図１に、本実施の形態に係るフロアパネル１００の斜視図を示し、図２にその分解図を示す。また、図３は、用役ラインが取り付けられた状態の、図１のＡ−Ａ線矢視断面を示す。
【００１９】
図１および２に示すように、フロアパネル１００は、グレーチング１０と、底面パネル２０と、上面パネル３０と、より構成されている。フロアパネル１００は、上面パネル３０が表面に露出する状態で敷設され、上面パネル３０が実質的に床面を構成する。
【００２０】
グレーチング１０は、図２に示すように、方形枠状に形成され、例えば、一辺の長さ６００ｍｍ、高さ５０ｍｍに設定されている。グレーチング１０は、例えば、５０ｍｍの幅を有し、従って、グレーチング１０の内側には、５００ｍｍ×５００ｍｍの方形の開口領域が形成される。
【００２１】
グレーチング１０は、一般的にフロアパネルに用いられ、ステンレス（ＳＵＳ）等からなる板状のグレーチングを上記形状にカットすることにより形成することができる。用力の取り合いを行わない床面を構成するフロアパネルは、グレーチングにこのような処理を行わないものが使用される。
【００２２】
図１に示すように、底面パネル板２０は、グレーチング１０とほぼ重なるように構成され、一辺が６００ｍｍの方形に形成されている。底面パネル板２０は、例えば、厚さ２ｍｍの、ＳＵＳ等からなる板から構成されている。底面パネル板２０は、グレーチング１０の一面（図中下面）にネジにより固定されている。
【００２３】
図２を参照して、底面パネル板２０は、排気取合い部２１と、ガス取合い部２２と、電気取合い部２３と、給排水取合い部２４と、を備える。
【００２４】
排気取合い部２１は、底面パネル板２０の一辺に略平行に２つ設けられている。
排気取合い部２１は、図３に示すように、フランジ継手２１ａが底面パネル板２０に開設された穴に嵌挿されて構成されている。
【００２５】
フランジ継手２１ａの、フロアパネル１００の裏面側（図の下側）の一端には、床面下を通される一次用役ラインとしての排気管１０１が接続される。一方、表面側（図の上側）の一端には、装置に直接接続される二次用役ラインとしての排気管１０１’が接続される。装置から排気されたガスは、排気管１０１、１０１’によって、クリーンルームの外部に導かれる。
【００２６】
ガス取合い部２２は、図２に示すように、底面パネル板２０の一辺に略平行に４つ設けられている。ガス取合い部２２は、底面パネル板２０に開設された穴に、スルー管２２ａが嵌挿されて構成されている。スルー管２２ａは、ＳＵＳ等から構成されている。
【００２７】
図３に示すように、スルー管２２ａには、装置にプロセスガス等を供給するガス供給管１０２が挿通される。スルー管２２ａの径は、通常プロセスガスラインに使用される管の径よりもわずかに大径に設定されている。
【００２８】
電気取合い部２３は、図２に示すように、底面パネル板２０の一辺に略平行に開設された長方形状の穴の内周縁に、ブッシング２３ａが設けられて構成されている。
【００２９】
ブッシング２３ａはセラミック等から構成され、枠状に形成されている。ブッシング２３ａは、底面パネル板２０の両面に所定高さで突出するように設けられる。
【００３０】
図３に示すように、ブッシング２３ａの内側から、床面下を通された電気配線１０３が引き出される。電気配線１０３は、装置に電力を供給する電力供給線や、クリーンルーム外部に配置された制御装置等と装置とを接続する配線等から構成される。
【００３１】
ブッシング２３ａは、比較的大きな開口を形成するように構成され、電気配線１０３をサイズに関わらず引き出し可能に構成されている。電気配線１０３が通されたブッシング２３ａの内側に形成される隙間は、ゴムブッシング２３ｂによって埋められ、電気配線１０３は固定される。
【００３２】
給排水取合い部２４は、図２に示すように、底面パネル板２０の一辺に略平行に４つ設けられている。給排水取合い部２４は、底面パネル板２０に開設された穴に、ユニオン継手２４ａが嵌挿されて構成されている。
【００３３】
図３に示すように、ユニオン継手２４ａは、床面下を通される一次用役ラインとしての給排水管１０４と、装置に直接接続される二次用役ラインとしての給排水管１０４’と、を接続する。給排水管１０４、１０４’を介して、外部から装置に水が供給され、また、装置から水が外部に排出される。
【００３４】
上面パネル板３０は、図１および図２に示すように、グレーチング１０全体を覆うように形成された方形板状部材から構成されている。上面パネル板３０は、底面パネル板２０との間にグレーチング１０を挟むように配置される。上面パネル板は、例えば、６００ｍｍ×６００ｍｍ、厚さ２ｍｍで形成される。
【００３５】
上面パネル板３０には、図１に示すように、排気取合い用開口３６と、ガス取合い用開口３７と、電気取合い用開口３８と、給排水取合い用開口３９と、が開設されている。
【００３６】
排気取合い用開口３６は、排気取合い部２１に接続された排気管１０１’が通過可能な径に設定されている。排気取合い用開口３６は、底面パネル板２０に開設された排気取合い部２１を構成する穴と対向する位置に、例えば、これと同径で形成されている。
【００３７】
ガス取合い用開口３７は、ガス取合い部２２を通過したガス供給管１０２が通過可能な径に設定されている。ガス取合い用開口３７は、底面パネル板２０に開設されたガス取合い部２２を構成する穴と対向する位置に、例えば、これと同径で形成されている。
【００３８】
電気取合い用開口３８は、電気取合い部２３を通過した電気配線１０３が通過可能に構成されている。電気取合い用開口３８は、底面パネル板２０に開設された電気取合い部２３を構成する長方形状の開口と対向する位置に、例えば、これと面積で形成されている。
【００３９】
給排水取合い用開口３９は、給排水取合い部２４を通過した給排水管１０４が通過可能な径に設定されている。給排水取合い用開口３９は、底面パネル板２０に開設された給排水取合い部２４を構成する穴と対向する位置に、例えば、これと同径で形成されている。
【００４０】
上面パネル板３０は、図２に示すように、５つの分割パネル板３１〜３５から構成されている。分割パネル板３１〜３５は、一辺が同じ長さを有する帯状に形成されている。分割パネル板３１〜３５は、それぞれ、グレーチング１０にネジ止め固定される。
【００４１】
分割パネル板３１〜３５は、それぞれの境界上に排気取合い用開口３６と、ガス取合い用開口３７と、電気取合い用開口３８と、給排水取合い用開口３９と、が形成されるように構成されている。
【００４２】
すなわち、分割パネル板３１と３２とには、それぞれ、排気取合い用開口３６を構成する弧状の切り欠き部分３１ａ、３２ａが形成されている。
分割パネル板３２と３３とには、それぞれ、ガス取合い用開口３７を構成する弧状の切り欠き部分３２ｂ、３３ａが形成されている。
分割パネル板３３と３４とには、それぞれ、電気取合い用開口３８を構成する略方形の切り欠き部分３３ｂ、３４ａが形成されている。
分割パネル板３４と３５とには、それぞれ、給排水取合い用開口３９を構成する弧状の切り欠き部分３４ｂ、３５ａが形成されている。
【００４３】
上面パネル板３０は、例えば、底面パネル板２０と同様に作製され、これを切断分割することにより、分割パネル板３１〜３５が作製される。
【００４４】
上記のように構成された上面パネル板３０は、配管の根本を保護し、また、その周辺にダストが溜まるのを防ぐ。また、フロアパネル１００は、底面パネル板２０と、グレーチング１０と、上面パネル板３０と、を組み合わせた状態で、他のフロアパネルと同等の厚みを構成し、これらとともに敷設されたときに上面パネル板３０は他のものと実質的に面一となり、段差を形成しない。
【００４５】
次に、本実施形態に係るフロアパネル１００を用いたクリーンルーム内に、装置を新設する方法について図面を参照して説明する。
【００４６】
図４に、装置が新設されるクリーンルームＣＲの構成を示す。クリーンルームＣＲ内には、例えば、２台の装置が既設されている。図４において、クリーンルームＣＲ内に、新設装置は、破線で囲まれる部分に設置される。
【００４７】
クリーンルームＣＲには、通常のフロアパネル１００’が多数枚敷設され、床面を構成している。フロアパネル１００’は、図５の側面図に示すように、施設の床上に立設された支柱脚１１０によって支持されている。フロアパネル１００’は、そのコーナ部において支柱脚１１０の上端にボルト等で支承されている。このように支持されたフロアパネル１００’は、施設の床面との間に空間を形成する、二重床を構成する。
【００４８】
ここで、フロアパネル１００’の内、所定割合のものが、グレーチング１０の両面に、例えば、メッシュ状のＳＵＳ板が張り付けられた、気体導通可能に構成されている。クリーンルームＣＲに供給されたエアーは、この気体導通可能なフロアパネル１００’から外部に放出される。
【００４９】
クリーンルームＣＲ内に新設装置を搬入、設置する前に、いわゆる前工事が行われる。前工事では、図４に示すような設置予定部分の近傍まで用役ラインＬ（一次用役ライン）を敷設する。用役ラインＬは、上述した排気管１０１、ガス供給管１０２、電気配線１０３、給排水管１０４等から構成される。
【００５０】
前工事において、作業員は、装置が設置される部分の近傍のフロアパネル１００’を、本実施の形態のフロアパネル１００に置き換える（図４中斜線部）。
【００５１】
ここで、フロアパネル１００は、複数の部品に分解することができる。従って、作業員は、搬送が楽になるなど、効率よく作業できる。勿論、各取合い部は、底面パネル板２０に予め溶接等により取り付けられており、フロアパネル１００の設置は、予めネジ止めして組み合わせた底面パネル板２０とグレーチング１０とを所定の場所にセットすることによって簡単に終了する。ここで、上面パネル板３０は、まだ固定しない。
【００５２】
次いで、作業員は、図５に示すように、一次用役ラインをクリーンルームＣＲの床面（フロアパネル１００’）の下方を通して敷設する。一次用役ラインの敷設の際、作業員は、フロアパネル１００を目標物として作業する。例えば、作業員は、排気管１０１を、フロアパネル１００に到達するルートおよびレベルで敷設し、排気取合い部２１に接続する。
【００５３】
前工事の後、装置が搬入され、所定位置に配置される。装置は、二次用役ラインによってフロアパネル１００の各取合い部に接続される。このように用役ラインＬに接続されて、装置は稼働可能な状態となる。
【００５４】
二次用役ラインの接続の後、フロアパネル１００の上面パネル板３０をネジ止めする。ここで、上面パネル板３０は、複数の分割パネル板３１〜３５から構成されており、効率よく作業可能である。例えば、搬送が容易であり、また、配管の周囲にも容易に取り付けることができる。以上のようにして、装置の設置工事は終了する。
【００５５】
なお、上記例では、設置工事の場合を例にとって説明したが、配管の接続交換、装置の撤去等、他の工事においても、フロアパネル１００を用いることにより作業の効率化が図れることは言うまでもない。
【００５６】
以上説明したように、上記実施の形態では、フリーアクセスフロアパネルを互いに容易にネジ止め固定可能な、グレーチング１０と、底部パネル板２０と、上面パネル板３０と、から構成している。このように、複数の部品から構成されることにより、搬送が容易になるなど、作業の効率化が図れる。
【００５７】
また、上部パネル板３０に設けられた用役取合い部は、排気ライン、ガスライン、電気ライン、給排水ラインというように、装置の稼働に必要な、あらゆるタイプの配管、配線からなる用役ラインをも取合い可能に構成されている。このため、用役ラインが集約可能となるなど、装置の設置等の作業の一層の効率化が図れる。
【００５８】
さらに、上面パネル板３０によって、取合い部が覆われていることから、取合い部分は保護され、また、この部分へのダストの溜まりも防止される。また、上面パネル板３０は、他のフロアパネル１００’と実質的に面一を構成することから、床面の平坦性が得られ、他の装置の床面上の移動が容易となるなど、作業の一層の効率化が図れる。
【００５９】
さらにまた、上記構成のフロアパネル１００は、通常使用するフリーアクセスフロアパネルに、簡単な加工を施すだけで作製可能である。従って、低いコストで簡単に、作業効率の向上が図れる。
【００６０】
本発明は、上記実施の形態に限られず、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な上記実施の形態の変形態様について、説明する。
【００６１】
用役ラインの構成は、上記例に限られない。すなわち、装置に接続する用役ラインの構成に応じて、底面パネル板２０に設ける開口の数、そのサイズ等は適宜変更可能である。
すなわち、本実施の形態のフロアパネル１００は、グレーチング１０のサイズを、例えば、一般的に用いられる６００ｍｍ×６００ｍｍのサイズに統一し、設置する装置の用役種類、口数、接続位置等に応じて底面パネル板２０および上面パネル板３０とに用役取合い部を設けることにより、複数タイプをラインアップすることができる。このように、本実施の形態のフロアパネル１００は、どのような装置および場所にも設置、取り付け可能な、汎用性に優れたものである。
【００６２】
勿論、一枚のフロアパネル１００に最大限の取合い部が設けられていることが望ましい。この場合、使用しない取合い部を封止するため、あるいは、取合い部を構成する、底面パネル板２０および上面パネル板３０に開設された開口を封止するための封止部材を用意することが望ましい。
【００６３】
また、上面パネル板３０の分割方法は上記例に限られない。より細かく、あるいは、より大きく分割するようにしてもよい。
また、上面パネル板３０に開設される開口は、底面パネル板２０に開設される開口と同径でなくともよい。例えば、底面パネル板２０の開口よりも大径に形成し、その内周縁にゴム、ＰＴＦＥ等の弾性、しゅう動性の部材を設けてもよい。これにより、上面パネル板３０の開口における用役ラインの損耗を防ぐことができる。
【００６４】
また、上記実施の形態では、装置の設置の際に、通常のフロアパネル１００’を、本実施の形態のフロアパネル１００と交換するものとした。しかし、予めフロアパネル１００を設置しておき、未使用時には、用役用の開口を有しないＳＵＳ等のパネル板を用いてその上面を面一で封止するようにしてもよい。使用時には、このパネル板を実施の形態の上面パネル板３０と交換すればよい。これにより、用役作業時、装置搬入時等における作業員の通行、物の運搬等を支障なく行うことができる。
【００６５】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、クリーンルームの用役工事を効率良く行うことが可能なフロアパネルが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るフロアパネルの構成を示す図である。
【図２】図１に示すフロアパネルの分解図を示す。
【図３】Ａ−Ａ線方向からみたときの図１に示すフロアパネルの断面図である。
【図４】クリーンルームのレイアウト図を示す。
【図５】クリーンルームの断面図を示す。
【符号の説明】
１００　フロアパネル
１０　グレーチング
２０　底面パネル板
２１　排気取合い部
２２　ガス取合い部
２３　電気取合い部
２４　給排水取合い部
３０　上面パネル板
３１〜３５　分割パネル板
【図１】
2004108106.tif 000003
【図２】
2004108106.tif 000004
【図３】
2004108106.tif 000005
【図４】
2004108106.tif 000006
【図５】
2004108106.tif 000007