(57)【要約】【課題】半導体製造工程内用３００ｍｍシリコンウェーハ収納ＢＯＸ（通称：ＦＯＵＰ）のドアを片手でスムーズに開けることが出来、かつ、クリーンルーム内での使用が可能な治具を提供する。【解決手段】ＦＯＵＰのドアの両ラッチ部に治具の両ラッチキーを挿入した後、治具のグリップ部６を握り絞ることにより収束ベルト８を収縮させて両回転部分１２及び両回転部分１２の先についたラッチキーを開方向に回すことにより、ＦＯＵＰのドアを開放する。また、ラッチキーの回転状態を固定するロック機構１４と１５を設け、このロック機構１４と１５を解除し、引き戻しバネ１３の縮む力により両回転部分１２を逆回転させて、ＦＯＵＰのドアを閉じる。また、開閉治具機構部を樹脂で覆いパーティクルの発生を押さえる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程内用３００ｍｍシリコンウェーハ収納ＢＯＸ（名称：Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄで、通称：ＦＯＵＰ。以下ＦＯＵＰと略す）のドアを片手で容易に開けることの出来る治具。
【請求項２】
ＦＯＵＰのドアを片手で容易に開けることの出来る治具で、ＦＯＵＰのドアの両ラッチ部に治具の両回転部分を差し込み、片手で治具の本体を握り絞める事により治具の両回転部分及び治具の両回転部分に連結したドアの両ラッチ部を開方向に回転させる機構から成る治具。
【請求項３】
ＦＯＵＰのドアを片手で容易に開けることの出来る治具で、治具の本体を握り絞める事により、ＦＯＵＰのドアの両ラッチ部に入れた治具の両回転部分及び連結したドアの両ラッチ部を開方向に回転させた後、治具の両回転部分がドアの両ラッチ部から外れないように且つドアの両ラッチ部の回転を固定する為にロックする機構から成る治具。
【請求項４】
ＦＯＵＰのドアを片手で容易に開けることの出来る治具で、ＦＯＵＰから開放されたドアをドアの両ラッチ部に治具の両回転部分を差し込んだままで、ドアの内側が上向きに置かれた状態から、片手で容易に治具を持ち上げることが出来るように治具の下に指が入るような突起物が付いた治具。
【請求項５】
ＦＯＵＰのドアを片手で容易に開けることの出来る治具で、開放されたＦＯＵＰのドアを両ラッチ部に治具の両回転部分を差し込んだ状態でＦＯＵＰに嵌め込み、治具の本体を握り絞める事により治具の両回転部分のロックを解除することにより治具の両回転部分及び治具の両回転部分と連結したドアの両ラッチ部を閉方向に回転させ、ドアをＦＯＵＰに組み付けた後、治具をドアから引き離すことによりＦＯＵＰのドアの両ラッチ部から治具の両回転部分を引き抜くことの出来る治具。
【請求項６】
ＦＯＵＰのドアを片手で容易に開けることの出来る治具で、機構部を全て樹脂で覆うことによりクリーンルームでの使用にも耐える、クリーン性を有する治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用３００ｍｍシリコンウェーハ製造プロセス及び３００ｍｍシリコンウェーハを使用したデバイス工程内で使用されている３００ｍｍシリコンウェーハ用収納ＢＯＸであるＦＯＵＰのラッチ式ドアの開閉治具に関するものであり、片手だけで治具を握りＦＯＵＰのラッチ式ドアを容易に開閉できるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＦＯＵＰは専用のロードポートにセットする形で使用され、ドアの開閉は自動オープナーで開け閉めされているのが一般的であるため、手動であける手段としては、一部のＦＯＵＰに見られるように備え付けの手動開閉用取っ手を回す方法か、付属の一対のラッチ部をまわす専用の治具か、または、市販の一体型の開閉専用治具を使う方法があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ＦＯＵＰのドアを手動で開ける手段としての従来の方式は、一対のラッチキーを両手で扱う必要があったり、一体型の開閉専用治具のようにラッチキーを両手で扱う必要はないものの治具本体が大きく重くなり両手で扱う必要がある為、ＦＯＵＰ本体を手で押さえられない状態になり、不安定な作業が強いられた。かつ、外されたドアのラッチ部が固定されていなかったため、ラッチ部が不安定な状態になり再度閉める場合にラッチキーの回転状態確認の必要があり、怠った場合にはドアの嵌め込み直しやドアの落下の危険性があった。また、一体型の開閉専用治具は、重く、ラッチ部にラッチキーを挿入する前にＦＯＵＰの所定の位置に治具をセットしなければならないなど使用する上での問題点があった。
本発明は、上記問題点を解決し、ＦＯＵＰのドアを片手でスムーズに開閉出来る治具の提供である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成させるため本発明は、片手で治具本体を握り絞ることにより収束ベルトを収縮させて収束ベルトと連動した両回転部分を回す構造を持ち、両回転部分の先につけたラッチキーをＦＯＵＰのドアの両ラッチ部に挿入し、両回転部分の回転で両ラッチ部を回すことの出来る方式を特徴とするものである。また、握り絞った治具本体の状態を固定出来るようにロック機構を設けることにより再度治具本体を握り絞るまでは両ラッチ部の回転状態を維持し続けるロック機能も付加させたところに特徴がある。この他に、片手でドアと治具を一緒に持てるよう治具の材質に樹脂を多用し、サイズを出来るだけ小さくし軽量化を図った。また、クリーンルームでの使用に耐えるよう開閉機構部を樹脂で覆う形を取った。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明は、ＦＯＵＰのドア１の開閉を片手でスムーズに出来る治具の発明であり、図面に基づいて説明すれば、片手で開閉治具４を持ち治具本体のグリップ部６を握り絞ることにより両回転部分１２と連動し、かつプーリー９により誘導された収束ベルト８をグリップ部６内部の凹凸形状の噛み合わせで収縮させて両回転部分１２及び両回転部分１２の先についた両ラッチキー５を開方向に回す構造を持ち、ＦＯＵＰのドア１の両ラッチ部３に挿入された開閉治具４の両回転部分１２及び両回転部分１２の先についた両ラッチキー５の回転でＦＯＵＰのドア１の両ラッチ部３を開方向に回すことが出来るようにしたものである。次に、握り絞ったグリップ部６の状態を固定出来るようにロック機構１４と１５を設けることにより、再度治具本体のグリップ部６を握り絞るまではＦＯＵＰのドア１の両ラッチ部３の回転状態を維持し続けるロック機能も付加させた。
また、ＦＯＵＰのドア１を閉める場合は、開放されているドア１に両ラッチ部３にて結合状態にある開閉治具４のグリップ部６を持ちＦＯＵＰの開口部２にドア１を嵌めこみ、治具本体のグリップ部６を握り絞り込んだ後緩めれば治具本体のグリップ部６の縮みを固定していたロック機構１４と１５のロックが解除され、引き戻しバネ１３の縮む力により両回転部分１２及び両回転部分１２の先に付いた両ラッチキー５が逆回転し、それに伴いＦＯＵＰのドア１の両ラッチ部３も逆回転してドア１が閉鎖状態になる。また、両回転部分１２の逆回転と同時に両回転部分１２と連動する収束ベルト８も引っ張られ治具本体のグリップ部６が持ち上がる。その後、開閉治具４を引くことにより両ラッチ部３で結合していた開閉治具４がＦＯＵＰのドア１から外れるようにした。
この他に、片手でドアと治具を一緒に持てるよう材質に樹脂を多用し、サイズを出来るだけ小さくし軽量化を図った。また、パーティクルの発生を極力押さえるため、開閉治具の機構部を樹脂で覆った。
【０００６】
【実施例】
以下に本発明の一実施例について説明する。
治具本体の構造体は軽量化を考慮し、アルミ板を用いた。プーリー９や両回転部分１２はＡＬ軽量合金を採用し、ラッチキー部はＳＵＳ３０４を用いた。収束ベルトは引っ張りに強く摩擦係数の小さいポリアミド系樹脂を用いて整形した。治具本体のカバーは、伸びがあり曲げに強いポリプロピレン樹脂で覆い合わせ箇所を溶着した。
使用しての結果は、先ずラッチキーの挿入は空いた手でＦＯＵＰを押さえる為、やり易くスムーズに出来た。次に、グリップ部の握り絞りは上下から押す形になり多少力を入れる必要があったが、グリップ部が縮み両ラッチキーを回すことができた。ロック機構が働く為に、ドアをＦＯＵＰから引き離す時は、軽く治具を握り、空いた手でＦＯＵＰを押さえながら横に引けば簡単にドアが外れた。外したドアは、内側を上に向け治具を下にして作業台の上に置け、突起部により治具の下に隙が出来る為にスムーズに握っていた手を抜くことが出来た。次に外したドアをＦＯＵＰに嵌め込む場合は、治具の下に手を入れ、治具を握りドアをＦＯＵＰの開口部に嵌め込み、ＦＯＵＰを押さえながら治具のグリップ部を一瞬だけ握り絞りロック機構を解除すれば、ラッチキーが閉方向に回りドアを閉めることが出来た。その後は治具を横に軽く引いてドアから治具をスムーズに外すことが出来た。
【０００７】
【発明の効果】
このようにすれば、ＦＯＵＰのドア１を手で開け閉めする場合、片手だけで容易に開閉治具４を保持出来、もう一方の空いた手でＦＯＵＰを押さえることが出来るため、ＦＯＵＰのドア１の両ラッチ部３に開閉治具４の両ラッチキー５を容易に差し込め、開閉治具４を持った手を握り絞ることにより治具本体のグリップ部６が縮みＦＯＵＰのドア１の両ラッチ部３が開方向に回り、ドア１のラッチ部３が容易にＦＯＵＰから開放され、開閉治具４を引けばドア１を簡単にＦＯＵＰから外すことが出来ると言う効果が得られる。
また、開閉治具４がついたままの外された状態のドア１をＦＯＵＰにつける場合も、片手だけで開閉治具４を保持し、もう一方の空いた手でＦＯＵＰを押さえることが出来るため、ＦＯＵＰの開口部２にドア１を容易に嵌めこむことが出来、開閉治具４のグリップ部６を握り絞り込んだ後緩めれば開閉治具４のグリップ部６の縮みを固定していたロック機構１３と１４が開放され、連動してＦＯＵＰのドア１の両ラッチ部分３が逆回転して容易にＦＯＵＰのドア１を閉めることが出来、その後開閉治具４を引くだけで開閉治具４の両ラッチキー５をＦＯＵＰのドア１の両ラッチ部分３から簡単に外すことが出来る。このようにＦＯＵＰのドア１の開閉が簡単にスムーズに出来るため、ＦＯＵＰ内に収納したシリコンウェーハへの環境などからのパーティクル汚染などの悪影響をより少なくさせることが出来ると言う効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＦＯＵＰの概略図である。
【図２】開閉治具の概略図である。
【図３】開閉治具の側面カバーを外した場合の内部概略図である。
【図４】開閉治具の側面カバーを外してグリップ部を縮めた場合の内部概略図である。（治具の両回転部分が開方向に所定の角度まで回転している。）
【図５】ロック機構通過用穴の空いた収束ベルトの例。
【図６】収束ベルトを上下に分けて設けた開閉治具の例。
【図７】握り絞ったグリップ部の状態を固定するロック機構の平面図。
【図８】図７のＡ−Ａの断面図。
【図９】ロック機構の概略図の一部。
【符号の説明】
１  ドア
２  開口部
３  ラッチ部
４  開閉治具
５  ラッチキー
６  グリップ部
７  突起部
８  収束ベルト
９  プーリー
１０  ストッパー
１１  リミッター
１２  回転部分
１３  引き戻しバネ
１４  ロック機構（上部）
１５  ロック機構（下部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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