(57)【要約】【構成】ベース部４とミドル部６とトップ部８とを備えたスライドフォークにおいて、駆動モータ２０によりスプロケット２２，２４を回転させ、チェーン２６，３６を異なる速度で駆動する。チェーン２６にはミドル部６を固定し、チェーン３６にはトップ部８を固定し、これらを所定の速度比と所定のストローク比で駆動する。【効果】ミドル部の先端にスプロケットが無いため、棚上で発塵しない。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部に対してミドル部とトップ部とを進退させることにより、前記トップ部を物品載置位置まで前後進させるようにしたスライドフォークにおいて、
ミドル部駆動用の駆動部材にミドル部を固定し、トップ部駆動用の駆動部材にトップ部を固定し、これらの駆動部材を少なくとも１個のモータにより駆動し、かつ前記各駆動部材と前記モータとを、前記物品載置位置と鉛直方向に重ならないように、物品載置位置よりもベース部側に配置したことを特徴とする、スライドフォーク。
【請求項２】
前記各駆動部材がチェーンまたはベルトで構成され、該チェーンまたはベルトの両端に配設したスプロケットまたはプーリからなる案内車と前記モータとを、前記ベース部に設けたことを特徴とする、請求項１のスライドフォーク。
【請求項３】
前記モータを１個設けて、該モータにより周速が異なる少なくとも一対のスプロケットまたはプーリを駆動し、前記スプロケットまたはプーリにより前記各駆動部材を駆動する、ように構成したことを特徴とする、請求項２のスライドフォーク。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】
この発明は、クリーンルームなどで使用する、発塵の少ないスライドフォークに関する。
【０００２】
【従来技術】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３５８１９号公報
【０００４】
クリーンルームなどでの物品の移載には、特に発塵を嫌う場合にはスカラアームを用い、それ以外の場合にはスライドフォークを用いることが行われている。スライドフォークの構造は例えば特許文献１に示されており、チェーンやベルトなどの駆動部材の一端をトップ部に、他端をベース部に固定し、これらの間にスプロケットやプーリなどの案内車を配置する。そしてミドル部の先端に案内車が必要で、またトップ部の先端までチェーンなどが延びるため、スライドフォークを前進させると、棚上であるいは物品上でミドル部先端の案内車などで発塵する恐れがある。
【０００５】
ところで半導体基板や液晶基板などの大型化に伴い、スカラーアームでは移載能力が不足することが考えられる。しかしスライドフォークを移載に用いると、棚上や物品上での発塵が問題になる。
【０００６】
【発明の課題】
この発明の基本的課題は、棚上や物品上での発塵が少なく、クリーンルームでの使用に適したスライドフォークを提供することにある（請求項１〜３）。
請求項２の発明での追加の課題は、そのための具体的な構成を提供することにある。
請求項３の発明での追加の課題は、ミドル用とトップ用の駆動用のモータを兼用することにある。
【０００７】
【発明の構成】
この発明は、ベース部に対してミドル部とトップ部とを進退させることにより、前記トップ部を物品載置位置まで前後進させるようにしたスライドフォークにおいて、ミドル部駆動用の駆動部材にミドル部を固定し、トップ部駆動用の駆動部材にトップ部を固定し、これらの駆動部材を少なくとも１個のモータにより駆動し、かつ前記各駆動部材と前記モータとを、前記物品載置位置と鉛直方向に重ならないように、物品載置位置よりもベース部側に配置したことを特徴とする（請求項１）。
好ましくは、前記各駆動部材と前記モータとを、ミドル部とトップ部の進退方向に沿って、実質的にベース部を越えない位置に配置する。
【０００８】
好ましくは、前記各駆動部材がチェーンまたはベルトで構成され、該チェーンまたはベルトの両端に配設したスプロケットまたはプーリからなる案内車と前記モータとを、前記ベース部に設ける（請求項２）。
【０００９】
特に好ましくは、前記モータを１個設けて、該モータにより周速が異なる少なくとも一対のスプロケットまたはプーリを駆動し、前記スプロケットまたはプーリにより前記各駆動部材を駆動する（請求項３）。
【００１０】
【発明の作用と効果】
この発明では、ミドル部やトップ部の駆動部材や駆動用のモータは、物品載置位置と鉛直方向に重ならないように配置されているので、駆動部材やモータによる発塵は物品を保管する棚や物品上から離れた位置で生じ、物品を汚染する恐れが少ない（請求項１）。
【００１１】
請求項２の発明では、チェーンやベルトでミドル部やトップ部を進退させ、これらの案内車をベース部に設ける。このため案内車からの発塵で物品を汚染する恐れを少なくできる。
【００１２】
請求項３の発明では、１個のモータで周速の異なる２つのスプロケットあるいはプーリを駆動して、駆動部材のチェーンやベルトを駆動する。このためモータを２つの駆動部材に兼用でき、かつそれらの同期も簡単に取ることができる。
【００１３】
【実施例】
図１〜図３に、実施例とその変形とを示す。図１において、２はスライドフォークで、４はそのベース部で、左右一対のフレームを両端のアーム５，５’で連結してある。６はミドル部で、ベース部４に対して摺動し、一対のフレームを基端側のアーム７で連結したものである。８はトップ部で、ミドル部６に対して摺動し、一対のフレームをその基端側でアーム９により連結したものである。なお実施例では、ミドル部６やトップ部８が進退する方向を進退方向と呼び、これらがベース部４に対して前進することを前進、ベース部４側へ復帰することを後退と呼ぶ。また進退方向に直角な方向を左右方向、あるいは幅方向と呼ぶ。
【００１４】
スライドフォーク２は、スタッカークレーンなどの昇降台１０に搭載され、１２はスタッカークレーンの支柱で、ロープ１４などにより、昇降台１０は支柱１２に沿って昇降する。さらにスライドフォーク２はターンテーブル１６上に載せられ、例えば１８０°回動自在で、昇降台１０の両側に対して物品を移載できるようにしてある。１８は回動用モータで、ターンテーブル１６を回動させるためのものである。なお片側移載でよい場合、ターンテーブル１６は不要である。またここでは、スライドフォーク２をスタッカークレーンに搭載したが、無人搬送車や有軌道台車などに搭載してもよく、あるいはスライドフォーク２を単独で移載装置として用いてもよい。
【００１５】
図１，図２の実施例では、スライドフォーク２の嵩高さを減らすことにより、物品を保管する棚４９を、低い位置から有効に利用できるようにした。このため駆動モータ２０は、ターンテーブル１６の内部に納められ、駆動モータ２０と同軸に径の異なる一対のスプロケット２２，２４を設け、小径のスプロケット２２でチェーン２６を駆動して、ミドル部６を進退させる。また大径のスプロケット２４で、チェーン３６を駆動して、トップ部８を進退させる。
【００１６】
チェーン２６は、ベース部４の基端側に設けたアーム５上のスプロケット２８とスプロケット２９、及びアイドラーとしてのスプロケット３０等を介して駆動させる。そしてミドル部６のアーム７を、固定部３３でチェーン２６に固定し、チェーン２６と共に進退させる。
【００１７】
トップ部８用のチェーン３６は、ベース部４の両端に設けたアーム５，５’上のスプロケット３８，３９で案内され、トップ部８のアーム９に設けた固定部４３に固定されている。このため、トップ部８はチェーン３６の運動に従って進退する。なお４０，４１はアイドラー用のスプロケットである。ところでチェーン２６，３６を長い距離に渡って配置すると、下向きに垂れる恐れがあるので、適宜の箇所にローラ４４やベアリング用のボールなどを配置して、垂れを防止することが好ましい。ローラ４４は左右一対のフリーローラで構成されている。
【００１８】
スプロケット２２，２４の径が異なるので、これらの周速も異なり、従ってチェーン２６，３６の速度も異なる。このためミドル部６とトップ部８とのストローク比を適宜に定めることができ、かつこれらの進退を同期させることができ、これらの速度比はストロークの比で定まる。またミドル部６はトップ部８に対してストロークが例えば約１／２なので、チェーン２６の長さはチェーン３６の例えば長さの約１／２とする。なおスプロケット２２，２４を同軸にして径を変える代わりに、これらを別の軸に取り付け、変速用の歯車やベルトなどを介して周速を異ならせても良い。
【００１９】
スライドフォーク２では、発塵はターンテーブル１６の付近と、ベース部４の両端付近からのものが考えられる。このため例えばターンテーブル１６の進退方向に沿った前後（ベース部４の前後）に、一対のフィルターファンユニット（ＦＦＵ）４６，４６’を設け、これらの部分からの発塵を防止することが好ましい。またターンテーブル１６の底面側には、図示しない別のフィルターファンユニットなどを設けて、駆動モータ２０などからの発塵を処理することが好ましい。なおクリーン度への要求が低い場合、フィルターファンユニット４６，４６’は設けなくてもよい。４８，４８はスタッカークレーンの通路限界線で、限界線４８，４８の右側や左側には、半導体基板や液晶基板などのための棚４９，４９が配置されている。そしてこの棚４９，４９に物品の載置位置が設けられているので、駆動モータ２０やスプロケット３８、チェーン２６，３６は、棚４９，４９の物品載置位置と鉛直方向に重ならないように、物品載置位置よりもベース部４寄りに設け、好ましくは棚４９，４９よりもベース部４寄りに設け、実施例では実質的にベース部４内に配置する。
【００２０】
図２に、ターンテーブル１６内の構造を模式的に示す。５０はベアリングで、スライドフォーク２を例えば１８０°回動させるための部材で、５２はベルトで、回動用のモータに接続されている。
【００２１】
図３に、第２の実施例のスライドフォーク６２を示す。なお特に指摘した点以外は、図１，図２のスライドフォーク２と同様で、同じ符号は同じものを表す。６４は駆動モータで、ターンテーブル１６よりもベース部４の後部に設けられ、例えばベルト７０を介して一対のスプロケット６６，６８を駆動する。そしてミドル部６用のスプロケット６６は小径で、トップ部８用のスプロケット６８は大径で、これらは同軸に接続され、ベルト７０を介して駆動モータ６４により駆動される。この実施例の場合、ベース部４の後部にはモータ６４等を配置するためのプレートやフレームなどを配置し、発塵はスライドフォーク６２のベース部４の後部に集中するので、この部分に例えば開口７２を設け、その下部に設けたフィルターファンユニット４６により、発塵した空気を処理する。なおベース部４の先端側にもフィルターファンユニット４６’を設けたが、このフィルターファンユニット４６’は設けなくてもい。
【００２２】
各実施例の動作を説明する。スライドフォーク２，６２はターンテーブル１６の回転により、例えば１８０°回動でき、昇降台１０の左右両方向に対して物品を移載できる。駆動モータ２０，６４の動力は、同軸で径が異なるスプロケット２２，２４やスプロケット６６，６８に伝えられ、これらによって一対のチェーン２６，３６が異なる速度で駆動される。スプロケット２２，２４や、スプロケット６６，６８の径の比を適当に定めると、ミドル部６とトップ部８とのストロークの比や速度の比が定まり、このストロークに合わせて、チェーン２６や３６を配置する範囲を定める。駆動モータ２０，６４や、スプロケット類あるいはチェーン２６，３６は、全てベース部４に設けられているので、棚や物品の上で発塵することが少ない。そして生じた発塵はフィルターファンユニット４６，４６’などにより処理される。
【００２３】
実施例では駆動部材としてチェーン２６，３６を用いたが、これに代えてタイミングベルトなどを用いてもよく、その場合はスプロケットをプーリなどに代えればよい。またチェーン２６，３６で駆動する代わりに、一対のボールネジなどを用い、それらの回転数の比などを変えて、トップ部８に対してはミドル部６の約２倍の送り量が得られるようにしてもよい。実施例では駆動モータやチェーン並びにスプロケット類を全てベース部４上に設けたが、トップ部８の駆動用のモータやチェーンなどを、ミドル部６上に設けてもよい。但しこの場合、チェーンやスプロケット並びに駆動モータを配置する位置は、ミドル部６が前進しても、トップ部４から突き出さない範囲内とする。またチェーン２６とチェーン３６とを別のモータで駆動しても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例のスライドフォークの平面図
【図２】実施例のスライドフォークでのターンテーブルの断面図
【図３】第２の実施例のスライドフォークの平面図
【符号の説明】
２，６２          スライドフォーク
４                ベース部
５，５’，７，９  アーム
６                ミドル部
８                トップ部
１０              昇降台
１２              支柱
１４              ロープ
１６              ターンテーブル
１８              回動用モータ
２０，６４        駆動モータ
２２，２４        スプロケット
２６，３６        チェーン
２８〜３０        スプロケット
３８〜４１        スプロケット
３３，４３        固定部
４４              ローラ
４６，４６’      フィルターファンユニット（ＦＦＵ）
４８              通路限界線
４９              棚
５０              ベアリング
５２              ベルト
６６，６８        スプロケット
７０              ベルト
７２              開口
【図１】
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【図２】
2004238090.tif 000004
【図３】
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