(57)【要約】【課題】ＰＤＰ等の大型基板を露光する際に、マスク板のサイズが相違していても同じマスク板支持装置を利用して露光ができ、負圧吸着によるマスク板の自重を打ち消すことができる露光装置のマスク板固定治具を提供することにある。【解決手段】この発明は、マスク板固定治具がマスクホルダに着脱可能に吸着保持されるマスクアタッチメントとなっていて、クランプ機構あるいは吸着孔を介してマスク板を保持するので、マスク板固定治具にマスク板を装着した状態でこれらを一体的に取り扱うことができる。しかも、マスク板固定治具を介してマスク板をマスクホルダベースに装着するようにしているので、マスク板固定治具の内径を決める開口の大きさに応じたマスク板を選択的にマスクホルダベースに装着することができる。【選択図】　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光光を透過させる窓を有するマスクホルダベースに設けられた吸着孔を介して着脱可能に吸着保持されてマスクホルダを形成する露光装置のマスク板固定治具であって、
外形が前記吸着孔をカバーするものであり、その内径は、装着される矩形のマスク板のサイズに合わせて開けられた矩形の開口により形成され、前記開口の周囲には前記マスク板を保持するために前記矩形の各辺に対応して複数個設けられた複数のクランパを有し、前記開口に合うサイズの前記マスク板の各辺が前記複数のクランパにより保持され、前記マスクホルダベースにこのマスク板固定治具が吸着保持されかつ前記マスク板と前記マスクベースとの間の空間のエアーが吸引されることでこの空間が負圧室となる露光装置のマスク板固定治具。
【請求項２】
露光光を透過させる窓を有するマスクホルダベースに設けられた吸着孔を介して着脱可能に吸着保持されてマスクホルダを形成する露光装置のマスク板固定治具であって、
外形が前記吸着孔をカバーするものであり、その内径は、装着されるマスク板のサイズに合わせて形成された開口により形成され、前記開口の周囲には前記マスク板を吸着する吸着孔と前記マスク板を保持するためのクランプ機構とが設けられ、前記開口に合うサイズの前記マスク板が前記開口の周囲に設けられた吸着孔により吸着されて前記マスク板が保持され、前記マスクホルダベースにこのマスク板固定治具が吸着保持されることで前記マスクベースとの間で前記負圧室となる空間が形成され、前記マスク板が吸着保持されていないときには前記マスク板が前記クランプ機構により保持される露光装置のマスク板固定治具。
【請求項３】
前記マスク板と前記マスクホルダとは矩形であって、前記マスク板固定治具は、炭素繊維強化プラスチック製であり、その厚さがマスク板の面密度と実質的に等しくなるような厚さに選択された矩形である請求項２記載の露光装置のマスク板固定治具。
【請求項４】
前記クランプ機構は、矩形の各辺に複数個設けられたクランパからなり、前記各辺の少なくとも３辺には、前記マスク板の装着をガイドする円錐状のガイドポールが設けられ、残りの１辺には、指が入り込む隙間でマスク板を一時的に係支し、前記マスク板の係支を解除する一時係支機構が設けられている請求項３記載の露光装置のマスク板固定治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、露光装置のマスク板固定治具に関し、詳しくは、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）等の大型基板を露光する際に、マスク板のサイズが相違していても同じマスク板支持装置を利用して露光ができ、負圧吸着によるマスク板の自重を打ち消すことができる露光装置のマスク板固定治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰ、液晶パネル等の表示パネルの製造においては、透明板にパターンを描いたマスク板を原板として、感光材が塗布されたガラス基板に原板の映像を投影露光してパターンを複写する工程がある。この種の露光装置としては、特開平３−２７２１２７号、特開平４−５６５９号、特開平７−１３４４２６号等を挙げることができる。
図６は、後者の特開平７−１３４４２６号に示された露光装置におけるマスク板支持装置の要部の平面図およびマスク板支持部分を中心とする側面図であって、液晶パネルに対する露光装置である。
図６（ａ）において、マスク板１の外径と同一の寸法の４辺７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄにより、平面性が良好なフレーム７を構成し、各辺にエア吸着溝Ｇｒを設けて吸着面とする。これにエア吸着されたマスク板１は良好な平行度で保持される。
【０００３】
次に、フレーム７の１辺７ａの中央部と、この対向辺７ｃの両端付近の対称的な２箇所とに、図６（ｂ）に示す、Ｌ形金具８１と、先端にスチールボールＳを有する調整ねじ８２よりなる支持具８をそれぞれ取り付ける。各調整ねじ８２を回転して、３個の各スチールボールＳの位置がフレーム７の下面に対して同一距離となるように調整し、３個の各スチールボールＳを支持部材３の水平部３ａに搭載してフレーム７を３点支持する。
次に、１辺７ａの両端付近の対称的な２箇所と対向辺７ｃの中央部とに、（ｃ）に示す、Ｌ形金具９１と取り付け具９２およびこれらを結合する結合ピン９３よりなる結合具９をそれぞれ設ける。支持部材３の水平部３ａにＬ形金具９１を、フレーム７に取り付け具９２をそれぞれ固定すると、支持部材３に対してフレーム７がフレキシブルに結合される。
以上により、小型のマスク板１は湾曲せず、またフレーム７も歪曲することなく、マスク板１は支持部材３に良好な平行度で固定され、焦点調整の精度が向上して正確な露光が可能となる。
【０００４】
ところで、マスク板１の下側には被露光板の載置台（ガラス板チャックステージ）が配置されていて、プロキシミティ方式の露光に際しては、マスク板１とこの載置台に乗せられたガラス基板とのギャップがプロキシミティギャップ、すなわち、平行で微小なギャップΔｇ（例えば、５０〜１００μｍ）に調整される。この調整においては、載置台を下降させてガラス基板を載置した後、上昇させてマスク板１に接近させ、複数のギャップ測定器により、通常、３点でマスク板１とガラス基板とのギャップが測定される。測定された３点のギャップを参照して、３個のチルト機構により、載置台の３箇所をそれぞれ上昇または下降させてマスク板１とガラス基板とが均一のギャップΔｇとなるように調整される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記は小型の液晶パネルの例である。一方、最近では、ＰＤＰは、３０インチを越えるような大型のＴＶに使用される。その関係で、液晶パネルよりも大きな基板が使用され、かつ、そのサイズも種々のものがあって、さらに大型化が進んでいる。そのため、そのマスク板も大型化してきている。
そこで、図６に示すような液晶パネルのマスク板支持機構では、３０インチを越えるような大型のマスク板の露光はできない。その理由は、自重のたわみが発生してガラス基板とのギャップΔｇを均一に保持できないからである。
従来、この自重たわみを補正するために２つの方式が提案されている。
その１つは、マスク板の対向する２辺を支持する際にたわみとは逆方向にモーメントを掛ける２辺矯正方式であり、他の１つは、マスク板の上部を密閉空間にして内部を負圧にすることでマスク板の自重を打ち消す方式である。
前者の２辺矯正方式は、基板の大きさに限界があって、基板が大きくなればなるほど均一な矯正をすることが難しい。後者の自重を打ち消し方式は、密閉空間を形成する関係からマスク板のサイズごとにマスクホルダを設けることが必要になる。そのためこのマスクホルダを支持する露光装置側に固定される支持機構を含めたマスク板支持装置をマスクサイズ対応に設けなければならず、マスク板等の搬送ロボットもそれに対応させる必要がある。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ＰＤＰ等の大型基板を露光する際に、マスク板のサイズが相違していても同じマスク板支持装置を利用して露光ができ、負圧吸着によるマスク板の自重を打ち消すことができる露光装置のマスク板固定治具を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成する第１の発明の露光装置のマスク板固定治具の特徴は、露光光を透過させる窓を有するマスクホルダベースに設けられた吸着孔を介して着脱可能に吸着保持されてマスクホルダを形成する露光装置のマスク板固定治具であって、
外形が吸着孔をカバーするものであり、その内径は、装着される矩形のマスク板のサイズに合わせて開けられた矩形の開口により形成され、開口の周囲にはマスク板を保持するために矩形の各辺に対応して複数個設けられた複数のクランパを有し、開口に合うサイズのマスク板の各辺が複数のクランパにより保持され、マスクホルダベースにこのマスク板固定治具が吸着保持されかつマスク板とマスクベースとの間の空間のエアーが吸引されることでこの空間が負圧室となるものである。
また、前記の目的を達成する第２の発明の露光装置のマスク板固定治具の特徴は、露光光を透過させる窓を有するマスクホルダベースに着脱可能に保持されてマスクホルダを形成する露光装置のマスク板固定治具であって、
外形が吸着孔をカバーするものであり、その内径は、装着されるマスク板のサイズに合わせて形成された開口により形成され、開口の周囲にはマスク板を吸着する吸着孔とマスク板を保持するためのクランプ機構とが設けられ、開口に合うサイズのマスク板が開口の周囲に設けられた吸着孔により吸着されてマスク板が保持され、マスクホルダベースにこのマスク板固定治具が吸着保持されることでマスクベースとの間で負圧室となる空間が形成され、マスク板が吸着保持されていないときにはマスク板がクランプ機構により保持されるものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
上記の構成のように、第１および第２の発明にあっては、マスク板固定治具がマスクホルダに着脱可能に吸着保持されるマスクアタッチメントとなっていて、第１の発明にあっては、開口の周囲に矩形のマスク板を保持するために矩形の各辺に対応して複数個、クランパを設けているので、このクランパにより面精度の高い矩形のマスク板の各辺をを保持することで、気密状態に近い状態で吸着されたこのマスク板固定治具を介してマスク板をマスクホルダベースに装着することが可能になる。そこで、マスク板とマスクベースとの間の空間のエアーを吸引することでこの空間が負圧室となり、マスク板をマスクベースに密着させることができる。
また、第２の発明にあっては、このマスク板固定治具がマスクホルダベースに保持されていないときには、クランプ機構によりマスク板を保持するので、マスク板固定治具にマスク板を装着した状態でこれらを一体的に取り扱うことができる。
これら第１，第２の発明にあっては、マスク板固定治具を介してマスク板をマスクホルダベースに装着するようにしているので、マスク板固定治具の内径を決める開口の大きさに応じたマスク板を選択的にマスクホルダベースに装着することができる。
このように、マスク板固定治具の外形サイズが一定しているので、マスクサイズに関係なく、種々の形状のマスク板をもつ同一形状のマスクホルダを用意することができ、マスク板固定治具の搬送処理等も容易になる。さらに、マスクホルダベースとマスク板固定治具とにより負圧室が形成されるので、マスク板の自重を負圧により打ち消すことができ、自重によるたわみを防止することができる。その結果、ＰＤＰ等の大型基板を露光する際に、マスク板のサイズが相違していても同じマスク板支持装置を利用して露光することができる。
【０００８】
【実施例】
図１は、この発明のマスク板固定治具を用いたマスク板支持機構の説明図であって、（ａ）は、マスク板支持装置の断面図、（ｂ）は、マスク板固定治具を用いたマスクアタッチメントの斜視図、図２は、クランパが相違する他のマスク板固定治具の実施例の平面図、図３は、さらに他のマスク板固定治具の平面図、図４は、さらに他のマスク板固定治具の平面図、図５は、図４のマスク板固定治具にマスク板を装着した状態の斜視図である。なお、図６と同様な構成要素は同一の符号で示し、それらの説明を割愛する。
図１（ａ）において、マスク板支持装置１０は、マスクホルダベース２とマスクアタッチメントプレート１１とからなるマスクホルダと、このマスクホルダを支持する図６に示した支持部材３とからなる。そして、マスクアタッチメントプレート１１は、マスク板１とこれが装着されるマスク固定治具１３とで構成されている。
マスクホルダベース２は、図６のフレーム７に対応するものであり、フレーム７の場合と同様に結合具９と支持具８の３個のスチールボールＳを介して支持部材３に支持される。マスクホルダベース２は、マスク板の露光最大エリアに対応する矩形の開口４ａを有する額縁状のフレーム５を有し、これには開口４ａの露光光を受ける上面にはマスク板１と同じ材質のウインドー板５ａが接着剤により固定され、装着されたマスク板１とともに開口４ａの空間を気密状態に保持している。これにより開口４ａの空間が負圧室６を形成している。
【０００９】
フレーム５の開口４ａの下面には、マスクアタッチメントプレート１１が真空吸着により固定されている。そのために、フレーム５とマスクアタッチメントプレート１１との当接面には矩形の辺に沿って矩形溝が二重に形成されていて、それが図１（ａ）に示すように、吸着孔４ｂ，４ｂとして設けられている。これらの吸着孔４ｂ，４ｂは、ポート６ａを介してエアー吸引されてマスクアタッチメントプレート１１がフレーム５の下面に負圧吸引される。
また、フレーム５の開口４ａにより形成される負圧室６を負圧にするためにポート６ａとは反対側に負圧室６に連通するポート６ｂが開けられていて、このポート６ｂを介して負圧室６のエアーが吸引されて負圧に保持され、マスク板１の自重を打ち消し、それが自重でたるむのを防止している。
マスクアタッチメントプレート１１は、図１（ａ）および（ｂ）に示すように、マスク板１とこのマスク板１の大きさより一回り小さい矩形の開口１２ａを有する額縁状のマスク固定治具１３とからなり、このマスク固定治具１３の下面に開口１２ａに適合する大きさのマスク板１が吸着固定され、さらにマスク固定治具１３の下面に設けられた１２個のクランパ（クランプ機構）１４，１４，…１４によりマスク板１が開口１２ａに合わせて固定されている。ここでは、矩形の開口１２ａにより形成される空間は、開口４ａに連続して負圧室６の一部となっている。
【００１０】
クランパ１４は、図１（ｂ）に示すように、マスク固定治具１３の各辺に対応して３個ずつ均等間隔で設けられていて、マスク固定治具１３の下面に沿ってスライドして中心部に向かって進退する。なお、クランパ１４，１４，…１４がスライドする溝は図では現れていないが、マスク固定治具１３の下面に直線状に刻まれていて、これに逆山型の突起が嵌合することで下面から落ちることなく、スライドする。クランパ１４がマスク板１の内側に（中心に）向かって前進したときには、先端側に段部として形成された爪部分１４ａがマスク板１の下面と当接係合することで、マスク板１の各辺を保持する。また、クランパ１４が後退したときにはマスク板１の下面から先端側の爪部分１４ａが外れてマスク板１の吸着が解除されているときにマスク固定治具１３の下面からマスク板１を取外すことができる。なお、爪部分１４ａの係合面は、前進方向にマスク固定治具１３の下面との間隔が少し広がるように微少な角度の傾斜面となっている。
このクランパ１４は、手動で進退させ、このクランパ１４によりマスク板１の下面を保持する。このことでマスク板１が装着されたマスク固定治具１３（マスクアタッチメントプレート１１）を搬送するときに、あるいはマスク板１をマスクアタッチメントプレート１１に吸着するときにマスク板１が落下しないで済む。
【００１１】
マスク固定治具１３の下面には、マスク板１との当接面に矩形の辺に沿って矩形溝が形成され、それが吸着孔１２ｂとして設けられている。この吸着孔１２ｂは、ポート１２ｃを介してエアー吸引されてマスク板１がマスク固定治具１３の下面に負圧吸引される。この吸引保持によりマスク板１は、マスク固定治具１３と密着し、これによりマスク固定治具１３とマスク板１との位置と厚さ方向の精度が確保される。一方、マスクアタッチメントプレート１１もマスクホルダベース２と密着してマスクアタッチメントプレート１１に同様に高精度に位置決め保持される。
ポート６ａとポート６ｂ、そしてポート１２ｂは、これらの端部開口に真空パッド（図示せず）が押し当てられ、エアーが吸引されることで、マスク板１とマスク固定治具１３、そしてマスクアタッチメントプレート１１とマスクホルダベース２とのそれぞれの吸着が行われる。したがって、このような吸着を解除すれば、マスク板１とマスク固定治具１３、そしてマスクホルダを構成するマスクアタッチメントプレート１１とマスクホルダベース２との分離は容易にでき、マスク板１の着脱も容易にできる。
１５は、被露光板の載置台（ガラス板チャックステージ）であって、マスク板１の下側に配置され、ＸＹＺステージ１６により上下移動とともに左右に移動する。載置台１５には、被露光板としてＰＤＰのガラス基板１７が載置されている。このとき、ギャップΔｇは、５０〜１００μｍにＸＹＺステージ１６により調整される。
【００１２】
ここで、マスクアタッチメントプレート１１のマスク固定治具１３は、露光に使用するマスク板１の大きさに応じてそれに対応する開口１２ａを持つものが用意される。もちろん、このとき、開口１２ａは、マスク固定治具１３に装着されるマスク板１の外形より少し小さいが、開口１２ａの大きさにほぼ対応している。
マスクホルダベース２の開口４ａの大きさは、最大露光範囲に対応しているので、これよりも小さい種々の大きさの開口１２ａを持ち、外形が同じものを多数用意する。これにより、マスクホルダベース２に対するマスクアタッチメントプレート１１の取り付は、マスク板１の大きさが変わってもマスク固定治具１３の枠が吸着孔４ｂ，４ｂをカバーする外形寸法（サイズ）であればよく、等しい外形とすることができる。
【００１３】
ここで、マスクアタッチメントプレート１１のマスク固定治具１３の材質は、ＣＦＲＰ（カーボン・ファイバグラス・リインフォースド・プラスチック）、いわゆる炭素繊維強化プラスチックであり、これにより形成され、その表面にはポリイミドフィルム１３ａがコーティングされている。炭素繊維強化プラスチックは、強度が高く、その比重がガラス板の比重の半分程度であので、厚さＤをマスク板１の２倍か、それ以上にすることができる。これによりマスク板１を含めてマスクアタッチメントプレート１１のたわみ強度を増加させる。また、ポリイミドフィルム１３ａのコーティングは、紫外線に対して炭素繊維強化プラスチック製マスク固定治具１３の劣化防止機能とマスク洗浄の際の耐薬品性を向上させる機能がある。
【００１４】
マスク固定治具１３の板厚Ｄ（図１（ｂ）参照）は、装着されるマスク板１の面積当たりの重さ（面密度）に対応している。そこで、装着されるマスク板１の大きさに応じてマスク固定治具１３の開口１２ａが増減しても、それによるマスク固定治具１３の枠幅の減増がマスク板１の大きさの変化による重さの増減を打ち消すことができ、マスク板１を装着したマスクアタッチメントプレート１１全体としての重さは、マスク板１のサイズが変化しても、その重量に変化がほとんどないようになっている。
すなわち、マスク固定治具１３の板厚Ｄを装着されるマスク板１の面密度と合わせることで、マスクアタッチメントプレート１１全体の重量がマスク板のサイズに関わらずほぼ一定になるように選択することができる。このようにすることで、マスク板交換時やマスクアタッチメントプレート１１の搬送時に重量の変化を最小限に抑えてかつ外形を等しくして、マスクアタッチメントプレート１１の搬送を安全で確実な状態で行うことができる。
以上により、大型のマスク板１であっても自重による湾曲はせず、またマスクアタッチメントプレート１１もマスクホルダベース２も歪曲することなく、マスク板１は、マスク板支持装置１０に良好な平行度で固定されて正確な露光が可能となる。
【００１５】
図２は、他のマスク固定治具１３０の平面図であり、マスク固定治具１３のスライド型のクランパ１４に換えて、根本を回動中心としたＬ字型のレバーによりＬの先端側を爪としてこれを回動して先端側を出し入れするクランパ１４０を設けたものである。クランパ１４０は、長辺に４個、短辺に２個の合計で１２個設けられている。１４１ａ，１４１ｂ，１４１ｃ，１４１ｄは、それぞれ対向する辺に対応して設けられたマスク位置決めピンであり、１４１ｄのみ角に設けられていて、このピンは移動可能である。１４２は、搬送用のロボットの指が接触する位置に対応して設けられた当接円板（座面）であり、１４３は、吊下げ金具である。
なお、吸着孔１２ｂは、この例では、細長い独立溝となっていて、短辺に１個、長辺に２個、それぞれの辺に沿って設けられている。そして、それぞれの溝に連通するようにポート１２ｃがそれぞれに対応して設けられている。
マスク固定治具１３０の外形形状は、マスク固定治具１３と同じであり、例えば、その外形は、１５００ｍｍ×１９００ｍｍであり、マスク板１を装着する開口１２ａは、１０５０ｍｍ×１２５０ｍｍの大きさである。これに装着されるマスク板１は、横長のものである。
図３は、他のマスク固定治具１３１の平面図であり、その外形は、マスク固定治具１３１と同じ、１５００ｍｍ×１９００ｍｍであるが、開口１２ａは、１２５０ｍｍ×７５０ｍｍであり、これに装着されるマスク板１は、図２とは逆に縦長の基板になる。また、吸着孔１２ｂを構成する細長い独立溝は、図２とは逆に短辺に２個、長辺に１個、それぞれの辺に沿って設けられている。
【００１６】
図４は、さらに他のマスク固定治具１３２の平面図であり、クランパ１４０を各辺に４個づつ合計で１６個設けたものである。
吸着孔１２ｂは、細長い独立溝となっていて、各辺に２個づつ辺に沿って設けられている。また、それぞれの溝に連通するようにポート１２ｃがそれぞれ設けられている。
マスク固定治具１３２の外形は、マスク固定治具１３１と同じ、１５００ｍｍ×１９００ｍｍであるが、開口１２ａは、１５００ｍｍ×１６５０ｍｍとなっていて、これに装着されるマスク板１ａ（図５参照）は図２のマスク板１よりも短辺，長辺ともに長いものになっている。
【００１７】
図５は、そのマスク板１ａを装着した状態の斜視図であって、これら図４，図５において、マスク固定治具１３２の３辺には、マスク板１ａの治具への装着をガイドする円錐状のガイドポール１４４が設けられている。残りの１辺にはマスク板１ａを落とし込むためのマスク装填ガイド１４５が設けられている。マスク装填ガイド１４５は、マスク板１ａを指が入る間隙をもって一時的に係支する回転式の一時係支機構である。これは、回転レバー１４６が頭部に水平に固定された円錐状のポールであり、回転可能にマスク固定治具１３２に軸支されている。そして、マスク装填ガイド１４５の側面には螺旋のフランジ１４７が設けられていて、このフランジ１４７の高い位置にマスク板１ａの１辺が載ることで、マスク板１ａをマスク固定治具１３２に装着したときに、マスク固定治具１３２の上面とマスク板１ａとの間に指が入るだけの隙間をその一部に確保する。
これにより指を挟み込むことなく間隙をもってマスク固定治具１３２上にマスク板１ａを一時的に載置することができる。
次に、マスク装填ガイド１４５の回転レバー１４６を手動で回転していけば、螺旋のフランジ１４７に沿ってマスク板１ａの係支された１辺をフランジの螺旋に沿って降下していき、マスク固定治具１３２の上面に落ち込む。ここで、クランパ１４０でマスク板１ａをクランプすることで、マスク固定治具１３２にマスク板１ａを安全に装着することができる。
【００１８】
ところで、マスク板１ａが大型になると、マスク固定治具１３２へのマスク板１ａの装着は難しくなり、指を挟むことのほかに、マスク板の変形や周辺欠けなどの不具合が発生し易い。しかし、前記のような構成を採ることで、安全に誰でも容易にマスク板１ａをマスク固定治具１３２へ装着することができる。
【００１９】
以上説明してきたが、実施例では、プロキシミティ方式の露光装置の例を中心としてマスク板固定治具の説明をしているが、この発明は、密着方式の露光装置のマスク板固定治具としても使用できることはもちろんである。
【００２０】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、この発明にあっては、マスク板固定治具がマスクホルダに着脱可能に保持されるマスクアタッチメントとなっていて、マスク板固定治具を介してマスク板をマスクホルダベースに装着するようにしているので、マスク板固定治具の内径を決める開口の大きさに応じたマスク板を選択的にマスクホルダベースに装着することができる。
その結果、ＰＤＰ等の大型基板を露光する際に、マスク板のサイズが相違していても同じマスク板支持装置を利用して露光することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明のマスク板固定治具を用いたマスク板支持機構の説明図であって、（ａ）は、マスク板支持装置の断面図、（ｂ）は、マスク板固定治具を用いたマスクアタッチメントの斜視図である。
【図２】図２は、クランパが相違する他のマスク板固定治具の実施例の平面図である。
【図３】図３は、さらに他のマスク板固定治具の平面図である。
【図４】図４は、さらに他のマスク板固定治具の平面図である。
【図５】図５は、図４のマスク板固定治具にマスク板を装着した状態の斜視図である。
【図６】図６は、特開平７−１３４４２６号に示された露光装置におけるマスク板支持装置の要部の平面図およびマスク板支持部分を中心とする側面図である。
【符号の説明】
１，１ａ…マスク板、２…マスクホルダベース、
３…支持部材、４ａ，１２ａ…開口、
４ｂ，４ｂ，１２ｂ…吸着孔、
５…フレーム、５ａ…ウインドー板、
６…負圧室、６ａ，６ｂ，１２ｃ…ポート、
７…フレーム、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ　…フレーム、
８…支持具、８１…Ｌ形金具、８２…調整ねじ、
９…結合具、９１…Ｌ形金具、９２…取り付け具、９３…結合ピン、
１０…マスク板支持装置、１１…マスクアタッチメントプレート、
１３，１３１，１３２…マスク固定治具、１４，１４０…クランパ、
１４ａ…爪、
１４１ａ，１４１ｂ，１４１ｃ，１４１ｄ…マスク位置決めピン、
１４２…座面、
１４３…吊り下げ金具、１４４…ガイドポール、
１４５…マスク装填ガイド、１４６…回転レバー、
１４７…螺旋状にフランジ、
１５…載置台（ガラス板チャックステージ）、
１６…ＸＹＺステージ、１７…ガラス基板、
Ｇｒ　…エア吸着溝、Ｓ…スチールボール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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