(57)【要約】【課題】装置の大型化を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることのできる物体搬送装置を提供する。【解決手段】物体搬送台１３をリニアガイド１２の長手方向に駆動する駆動手段１４を物体搬送台１３に固定された超音波リニアモータ１５と、この超音波リニアモータ１５を物体搬送台１３の移動方向に走行させるモータ摺動面１６ａを有する金属製走行用プレート１６とから構成する。また、超音波リニアモータ１５で発生した熱を金属製走行用プレート１６に伝える伝熱部材１７を設ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定ベースと、この固定ベース上に設置されたリニアガイドと、このリニアガイドを介して前記固定ベースに直動可能に支持された物体搬送台と、この物体搬送台を前記リニアガイドの長手方向に駆動する駆動装置とを備えた物体搬送装置において、
前記駆動装置を前記物体搬送台に固定された超音波リニアモータと、前記固定ベースに固定され前記超音波リニアモータを前記物体搬送台の移動方向に走行させるモータ摺動面を有する金属製走行用プレートとから構成し、かつ前記超音波リニアモータで発生した熱を前記金属製走行用プレートに伝える伝熱部材を設けたことを特徴とする物体搬送装置。
【請求項２】
前記伝熱部材を前記金属製走行用プレートの長手方向両端に設けたことを特徴とする請求項１記載の物体搬送装置。
【請求項３】
前記超音波リニアモータの移動側端面と接触するモータ接触面を前記伝熱部材に設けたことを特徴とする請求項２記載の物体搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の物体を搬送する物体搬送装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ等の物体を搬送する従来の物体搬送装置は、その物体搬送台を駆動する駆動装置として、ボールねじとステッピングモータを組み合わせたものを使用しているが、半導体製造装置や液晶製造装置などでは、鉄粉等の摩耗粉がボールねじから発生するため、製品の歩留りを低下させるという問題がある。また、Ｘ線や電子線等の非磁力線を用いた計測装置では、ステッピングモータから発生する磁場によって装置の測定精度が低下するなどの問題がある。
【０００３】
そこで、これらの問題を解決すべく、従来、図４に示すような物体搬送装置が提案されている。この物体搬送装置は、図示しない機械の基台等に固定される固定ベース１１と、この固定ベース１１上に互いに平行に設置された複数のリニアガイド１２と、これらのリニアガイド１２を介して固定ベース１１に直動可能に支持された物体搬送台１３と、この物体搬送台１３をリニアガイド１２の長手方向に駆動する駆動装置１４とからなり、駆動装置１４は固定ベース１１に固定された超音波リニアモータ１５と、この超音波リニアモータ１５を物体搬送台１３の移動方向に走行させるモータ摺動面１６ａを有する金属製走行用プレート１６とから構成されている。
【０００４】
このように構成される物体搬送装置は、物体搬送台１３を駆動する駆動源として、摩耗粉や磁場を発生しない超音波リニアモータ１５を使用しているため、清浄性あるいは非磁性が要求される環境下でも好適に使用することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した物体搬送装置にあっては、超音波リニアモータ１５が固定ベース１１に固定されているため、物体搬送台１３の長さＬが固定ベース１１よりも長くなる。このため、物体搬送台１３の移動ストロークを大きくしようとすると物体搬送台１３の長さも長くなってしまい、装置が大型化するという問題があった。
本発明は上記のような問題点に着目してなされたもので、装置の大型化を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることのできる物体搬送装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、固定ベースと、この固定ベース上に設置されたリニアガイドと、このリニアガイドを介して前記固定ベースに直動可能に支持された物体搬送台と、この物体搬送台を前記リニアガイドの長手方向に駆動する駆動装置とを備えた物体搬送装置において、前記駆動装置を前記物体搬送台に固定された超音波リニアモータと、前記固定ベースに固定され前記超音波リニアモータを前記物体搬送台の移動方向に走行させるモータ摺動面を有する金属製走行用プレートとから構成し、かつ前記超音波リニアモータで発生した熱を前記金属製走行用プレートに伝える伝熱部材を設けたことを特徴とする。
【０００７】
請求項１の発明では、物体搬送台の長さが固定ベースよりも長くなることがないので、装置の大型化を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。また、超音波リニアモータで発生した熱は伝熱部材を介して金属製走行用プレートに伝わり、この金属製走行用プレートおよび固定ベースから放熱されるので、超音波リニアモータの熱的損傷を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載の物体搬送装置において、前記伝熱部材を前記金属製走行用プレートの長手方向両端に設けたことを特徴とするものであり、このような構成を採用することで、超音波リニアモータは金属製走行用プレートの長手方向両端部で伝熱部材と接触し、移動中は伝熱部材と接触しないので、超音波リニアモータの負荷を増大させることなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項２記載の物体搬送装置において、前記超音波リニアモータの移動側端面と接触するモータ接触面を前記伝熱部材に設けたことを特徴とするものであり、このような構成を採用することで、超音波リニアモータの移動側端面が伝熱部材のモータ接触面に接触すると、超音波リニアモータの移動が停止するので、伝熱部材を超音波リニアモータのストッパーとして用いることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る物体搬送装置の平面図で、図２は同実施形態に係る物体搬送装置の側面図である。図１及び図２に示すように、物体搬送装置１０は、図示しない機械の基台等に固定される金属製の固定ベース１１と、この固定ベース１１上に互いに平行に設置された複数のリニアガイド１２と、これらのリニアガイド１２を介して固定ベース１１に直動可能に支持された物体搬送台１３と、この物体搬送台１３をリニアガイド１２の長手方向に駆動する駆動手段１４（図１参照）とを備えている。
【００１１】
リニアガイド１２は、図３に示すように、両側面にボール転動溝１２２を有する案内レール１２１と、この案内レール１２１の両側面と対向する内側面にボール転動溝１２４を有するスライダ１２３と、このスライダ１２３に組み込まれた多数のボール１２５とを備えており、スライダ１２３が案内レール１２１の長手方向に相対移動するとボール１２５がボール転動溝１２２，１２４間を転動し、さらにスライダ１２３内に形成されたボール方向転換路１２６とボール戻し路１２７とからなるボール循環路を転動するようになっている。
【００１２】
駆動手段１４は、物体搬送台１３に固定された超音波リニアモータ１５と、この超音波リニアモータ１５を物体搬送台１３の移動方向に走行させるモータ摺動面１６ａ（図２参照）を有する金属製走行用プレート１６とから構成されている。
金属製走行用プレート１６は固定ベース１１の側面に取り付けられており、この金属製走行用プレート１６の長手方向両端には、超音波リニアモータ１５で発生した熱を金属製走行用プレート１６に伝える伝熱部材１７がそれぞれ設けられている。
【００１３】
伝熱部材１７は、アルミニウム等の金属で形成されている。また、伝熱部材１７は超音波リニアモータ１５の移動側端面１５ａと接触するモータ接触面１７ａ（図１参照）を有しており、このモータ接触面１７ａに移動側端面１５ａが接触すると超音波リニアモータ１５の移動が停止するようになっている。
このように構成される物体搬送装置１０では、物体搬送台１３をリニアガイド１２の長手方向に駆動する駆動手段１４が物体搬送台１３に固定された超音波リニアモータ１５と、この超音波リニアモータ１５を物体搬送台１３の移動方向に走行させるモータ摺動面１６ａを有する金属製走行用プレート１６とから構成されているため、前述した従来例のように、物体搬送台１３の長さＬが固定ベース１１よりも長くなることがない。したがって、装置の大型化を招くことなく物体搬送台１３の移動ストロークを大きくすることができる。
【００１４】
また、超音波リニアモータ１５で発生した熱は伝熱部材１７を介して金属製走行用プレート１６に伝わり、この金属製走行用プレート１６および固定ベース１１から放熱されるので、超音波リニアモータ１５の熱的損傷を招くことなく物体搬送台１３の移動ストロークを大きくすることができる。すなわち、伝熱部材１７を備えていない場合には、超音波リニアモータ１５で発生した熱はリニアガイド１２を介して固定ベース１１に伝わることになるが、リニアガイド１２のスライダ１２３とボール１２５及びボール１２５と案内レール１２１との接触部で熱が伝わり難くなるため、超音波リニアモータ１５の熱的損傷を招く虞がある。これに対し、上述した実施形態では超音波リニアモータ１５で発生した熱が伝熱部材１７を介して金属製走行用プレート１６に伝わり、この金属製走行用プレート１６および固定ベース１１から放熱されるので、超音波リニアモータ１５の熱的損傷を招くことなく物体搬送台１３の移動ストロークを大きくすることができる。
【００１５】
さらに、超音波リニアモータ１５は金属製走行用プレート１６の長手方向両端部で伝熱部材１７と接触し、移動中は伝熱部材１７と接触しないので、超音波リニアモータ１５の負荷を増大させることなく物体搬送台１３の移動ストロークを大きくすることができる。また、超音波リニアモータ１５の移動側端面１５ａが伝熱部材１７のモータ接触面１７ａに接触すると、超音波リニアモータ１５の移動が停止するので、伝熱部材１７を超音波リニアモータ１５のストッパーとして用いることができる。
【００１６】
なお、上述した実施の形態では、リニアガイド１２の案内レール１２１を固定ベース１１に固定し、スライダ１２４を物体搬送台１３に固定したが、案内レール１２１を物体搬送台１３に固定し、スライダ１２４を固定ベース１１に固定してもよい。また上述した実施の形態では、固定ベース１１上に設置された複数のリニアガイド１２で物体搬送台１３を固定ベース１１に対して直動可能に支持したが、１つのリニアガイド１２で物体搬送台１３を直動可能に支持してもよい。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、物体搬送台の長さが固定ベースよりも長くなることがないので、装置の大型化を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。また、超音波リニアモータで発生した熱が伝熱部材を介して金属製走行用プレートに伝わり、この金属製走行用プレートおよび固定ベースから放熱されるので、超音波リニアモータの熱的損傷を招くことなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。
【００１８】
請求項２の発明によれば、超音波リニアモータは金属製走行用プレートの長手方向両端部で伝熱部材と接触し、移動中は伝熱部材と接触しないので、上述した効果に加え、超音波リニアモータの負荷を増大させることなく物体搬送台の移動ストロークを大きくすることができる。
請求項３の発明によれば、超音波リニアモータの移動側端面が伝熱部材のモータ接触面に接触すると、上述した効果に加え、超音波リニアモータの移動が停止するので、伝熱部材を超音波リニアモータのストッパーとして用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る物体搬送装置の平面図である。
【図２】図１に示す物体搬送装置の側面図である。
【図３】図１に示すリニアガイドの斜視図である。
【図４】従来の物体搬送装置の側面図である。
【符号の説明】
１１    固定ベース
１２    リニアガイド
１３    物体搬送台
１４    駆動手段
１５    超音波リニアモータ
１５ａ  移動側端面
１６    走行用プレート
１６ａ  モータ摺動面
１７    伝熱部材
１７ａ  モータ接触面
【図１】
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【図２】
2004200498.tif 000004
【図３】
2004200498.tif 000005
【図４】
2004200498.tif 000006