(57)【要約】【課題】自己診断や機能試験，誤動作の原因追及などを容易とする。【解決手段】機器を駆動制御するための制御データを伝送する制御データバス１１２と，各制御モジュールからのインターロック情報を挿入して多重化したインターロックデータを伝送するインターロックデータバス１１４とで各制御モジュールを接続し，制御モジュール１１０はインターロック回路１４２にてインターロック情報が発生すると，そのインターロック情報をインターロックデータに挿入してバス１１４へ送信し，送受信回路１５０からインターロックデータを受信すると，そのデータから自らの制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報を抽出し，その情報に基づいて自らが制御する機器に対して制御データによって駆動制御されないようなインターロック制御を行い，このインターロックデータに基づいてインターロック制御の診断や機能試験を行う。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１又は複数の機器を駆動制御する制御モジュールをバスで複数接続し，前記各制御モジュール間でインターロック制御を行う制御装置において，
前記各制御モジュールを接続するバスは，前記機器を駆動制御するための制御データを伝送する制御データバスと，前記各制御モジュールからのインターロック情報を挿入したインターロックデータを伝送するインターロックデータバスとを有し，
前記各制御モジュールは，自らの制御モジュールにおいて他の制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報が発生すると，そのインターロック情報をインターロックデータに挿入して前記インターロックデータバスへ送信し，前記インターロックデータバスからインターロックデータを受信すると，そのインターロックデータから自らの制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報を抽出するインターロック情報送受信手段と，
前記インターロック情報送受信手段で抽出したインターロック情報に基づいて自らの制御モジュールが制御する前記機器に対して前記制御データによって駆動制御されないようなインターロック制御を行うインターロック制御手段とを設けた，
ことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
前記各制御モジュールは，前記インターロック制御手段を自己診断するための擬似のインターロック情報を発生する自己診断手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記自己診断手段は，前記自己診断を行っている間は，自らの制御モジュールが制御する機器に対してその機器が駆動制御されないような擬似の制御信号を送出することを特徴とする請求項２に記載の制御装置。
【請求項４】
前記制御モジュールの前記インターロックデータバスとの接続部位に試験用モジュールを脱着自在に構成した試験用インタフェースを設け，
前記試験用モジュールは，試験を行う制御モジュールの試験用インタフェースに接続して前記インターロックデータバスを介してインターロックデータを送受信することによりインターロック制御の試験を行うこと，
を特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の制御装置。
【請求項５】
前記試験用モジュールは，擬似のインターロック情報を含むインターロックデータを前記インターロックデータバスを介して送受信可能に構成したことを特徴とする請求項４に記載の制御装置。
【請求項６】
１又は複数の機器を駆動制御する制御モジュールをバスで複数接続し，各機器の駆動制御は各制御モジュールを接続する制御データバスで伝送される制御データに基づいて行い，前記制御モジュール間のインターロック制御は，各制御モジュールを接続するインターロックデータバスで伝送される，前記各制御モジュールからのインターロック情報を挿入したインターロックデータに基づいて行う制御方法であって，
前記各制御モジュールは，自らの制御モジュールにおいて他の制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報が発生すると，そのインターロック情報をインターロックデータに挿入して前記インターロックデータバスへ送信し，
前記制御モジュールは，前記インターロックデータバスからインターロックデータを受信すると，そのインターロックデータから自らの制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報を抽出するインターロック情報送受信手段と，
前記インターロック情報送受信手段で抽出したインターロック情報に基づいて自らの制御モジュールが制御する前記機器に対して前記制御データによって駆動制御されないようなインターロック制御を行う，
ことを特徴とする制御方法。
【請求項７】
前記各制御モジュールは，自己診断手段により前記インターロック制御の自己診断をするための擬似のインターロック情報を発生することを特徴とする請求項６に記載の制御方法。
【請求項８】
前記自己診断手段は，前記自己診断を行っている間は，自らの制御モジュールが制御する機器に対してその機器が駆動制御されないような擬似の制御信号を送出することを特徴とする請求項７に記載の制御方法。
【請求項９】
１又は複数の機器を駆動制御する制御モジュールをバスで複数接続し，各機器の駆動制御は各制御モジュールを接続する制御データバスで伝送される制御データに基づいて行い，前記制御モジュール間のインターロック制御は各制御モジュールを接続するインターロックデータバスで伝送される，前記各制御モジュールからのインターロック情報を挿入したインターロックデータに基づいて行う制御装置における前記インターロック制御の試験方法であって，
前記制御モジュールの前記インターロックデータバスとの接続部位に設けた試験用インタフェースに試験用モジュールを接続し，
前記試験用モジュールは，試験を行う制御モジュールの試験用インタフェースに接続した状態で前記インターロックデータバスを介してインターロックデータを送受信し，そのインターロックデータに基づいてインターロック制御の試験を行うこと，
を特徴とするインターロック制御の試験方法。
【請求項１０】
前記試験用モジュールは，擬似のインターロック情報を含むインターロックデータを前記インターロックデータバスを介して送受信可能に構成したことを特徴とする請求項９に記載のインターロック制御の試験方法。
【請求項１１】
１又は複数の機器を駆動制御する制御モジュールをバスで複数接続した制御装置における前記制御モジュール間で行われるインターロック制御を試験するための試験用モジュールであって，
前記各制御モジュールからのインターロック情報を挿入したインターロックデータを伝送するインターロックデータバスに設けた試験用インタフェースに脱着自在に構成され，
前記インターロックデータバスを介して送受信したインターロックデータに基づいてインターロック制御の試験を行うこと，
を特徴とする試験用モジュール。
【請求項１２】
擬似のインターロック情報を含むインターロックデータを前記インターロックデータバスを介して送受信可能に構成したことを特徴とする請求項１１に記載の試験用モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，複数の制御モジュールに接続した被制御機器のインターロック制御などを行う制御装置，特にエッチング装置など複数の機器を制御する装置に適した制御装置，制御方法，インターロック制御の試験方法，試験用モジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えばエッチング装置などでは，ウエハを処理室へ搬出入する搬送制御系，処理室へ導入する処理ガスの流量制御系，処理室へプラズマを発生させるための電極に供給する高周波電力の電力制御系など各制御系ごとに制御モジュールを設け，各制御系に設けた複数の機器（センサ，モータなど）を制御する制御装置を設けている。かかる制御装置では，ある制御モジュールに接続した機器（例えばセンサ）がＯＮしている間は，別の制御モジュールに接続した機器（例えばモータ）を駆動しないようにしたい場合がある。このような場合に各制御モジュールを連携させたインターロック制御を行う。
【０００３】
従来は，図７に示すようにリレー回路により上記インターロック制御を行っていた。制御装置１は，制御信号を送受信するネットワークバス２を介してそれぞれ接続した各制御モジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，各制御モジュール間のリレー回路のスイッチングを行うシステムインターロック回路２０，上記ネットワークバス２を介して接続した制御部３０を備える。各制御モジュール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃはそれぞれ例えば搬送制御系，電力制御系，流量制御系の制御モジュールとする。各制御モジュールは，異なる制御系のものであるため，その構成要素には符号Ａ，Ｂ，Ｃを付して区別する。
【０００４】
ここで，制御モジュール１０の構成を説明をする。各制御モジュールは，異なる制御系のものではあるが，それぞれ同様の構成であるため，ここではＡ，Ｂ，Ｃを省略して代表的な説明をする。上記各制御モジュール１０は，リレー回路からなるモジュールインターロック回路１２，制御データを送受信する制御データ入出力回路１４，センサなど制御のきっかけとなる信号を発生する末端機器１６，モータなど制御の対象となる末端機器１８を備える。
【０００５】
上記モジュールインターロック回路１２は，リレーＲａ，Ｒｂ，Ｒｃを設けており，システムインターロック回路２０は，リレーＲ１，Ｒ２，Ｒ３を設けている。各リレーＲは接点部Ｒ′と接点部Ｒ′の接点と端子とのオンオフを制御する制御部Ｒ″からなる。リレーＲａ，Ｒｂ，Ｒｃの接点部をＲａ′，Ｒｂ′，Ｒｃ′で表し，制御部をＲａ″，Ｒｂ″，Ｒｃ″で表す。またリレーＲ１，Ｒ２，Ｒ３の接点部をＲ１′，Ｒ２′，Ｒ３′で表し，制御部をＲ１″，Ｒ２″，Ｒ３″で表す。
【０００６】
上記入出力回路１４の入力端子（ＤＩ）にはリレーＲａの接点部Ｒａ′が接続し，入出力回路１４の出力端子（ＤＯ）にはリレーＲｂの制御部Ｒｂ″が接続している。上記末端機器１８にはリレーＲａの制御部Ｒａ″が接続されており，末端機器１６にはリレーＲｂ，Ｒｃの接点部Ｒｂ′，Ｒｃ′が直列に接続されている。
【０００７】
上記システムインターロック回路２０において，リレーＲ１の制御部Ｒ１″には，制御モジュール１０ＣのリレーＲａの接点部Ｒａ′が接続しており，リレーＲ３の接点部Ｒ３′には，制御モジュール１０ＣのリレーＲｃの制御部Ｒｃ″が接続している。リレーＲ２の制御部Ｒ２″には，制御モジュール１０ＢのリレーＲａの接点部Ｒａ′が接続しており，リレーＲ３の接点部Ｒ３′には，制御モジュール１０ＣのリレーＲｃの制御部Ｒｃ″が接続している。リレーＲ３の制御部Ｒ３″には，制御モジュール１０ＡのリレーＲａの接点部Ｒａ′が接続しており，リレーＲ１の接点部Ｒ１′には，制御モジュール１０ＡのリレーＲｃの制御部Ｒｃ″が接続している。
【０００８】
このような制御装置では，例えば制御モジュール１０Ａに接続している末端機器１６Ａが仮にセンサとし，制御モジュール１０Ｃに接続している末端機器１８Ｃが仮に高周波電源のスイッチとして，上記センサ（末端機器１６Ａ）がＯＦＦの間は高周波電源のスイッチ（末端機器１８Ｃ）をＯＦＦにしたい場合には，以下のように制御される。
【０００９】
先ず，制御モジュール１０Ａにおいて，センサ（末端機器１６Ａ）がＯＦＦのときにはモジュールインターロック回路１２ＡのリレーＲａの制御部Ｒａ″により接点部Ｒａ′がＯＦＦとなる。このため，システムインターロック回路２０のリレーＲ３の制御部Ｒ３″の制御信号により接点部Ｒ３′がＯＦＦとなる。これにより，制御モジュール１０ＣのリレーＲｃの制御部Ｒｃ″により接点部Ｒｃ′がＯＦＦとなる。これにより，末端機器１８ＣのスイッチはＯＦＦとなり，高周波電力は印加されない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
このような制御装置においては，インターロック制御を行うのにリレーを使用し，制御モジュール間のインターロック信号はシステムインターロック回路２０を介してやり取りしているため，多数のリレーが必要となる。
【００１１】
このように多数のリレーを介してインターロック制御を行っているにも拘らず，従来はインターロック制御を自己診断する機能がなかったので，例えば故障によるインターロックを事前に防止することができず，またインターロックが誤動作した場合でもその原因を追及するのは容易ではなかった。
【００１２】
また，従来はインターロック制御を擬似信号により自己診断や機能試験を行う機能がなかったため，例えば自己診断や機能試験を行う際には，実際に各機器を動作させて制御モジュールを稼働し，実際にインターロックを発生させる必要があったので，非常に手間がかかった。特に，インターロック制御の診断や試験においてはセンサやモータなどの機器にオンオフを繰返すような動作を行わせることが多いので，自己診断で実際に末端機器を動作させるとその末端機器の故障が生じたり寿命が短くなったりするなどの問題があった。
【００１３】
また，インターロック制御の診断や機能試験を行うには，各機器のインターロック制御の仕様を知らないと，どの機器を動作させれば所望の機器に対してインターロック制御が行われるかわからないため，従来は診断や機能試験を誰でも容易にできるものではなかった。
【００１４】
さらに，従来は多数のリレーを使用するため回路規模が大きくなるとともに，配線数が多くなるという問題もあった。
【００１５】
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，自己診断や機能試験を容易に行うことができ，またインターロック回路の故障を事前に防止できるとともにインターロックの誤動作が発生した場合でもその原因追及が容易となり，しかも回路規模を小さくできるとともに配線数を減少させることもできる制御装置等を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，１又は複数の機器を駆動制御する制御モジュールをバスで複数接続し，前記各制御モジュール間でインターロック制御を行う制御装置において，前記各制御モジュールを接続するバスは，前記機器を駆動制御するための制御データを伝送する制御データバスと，前記各制御モジュールからのインターロック情報を挿入したインターロックデータを伝送するインターロックデータバスとを有し，前記各制御モジュールは，自らの制御モジュール（自機の制御モジュール）において他の制御モジュール（他機の制御モジュール）が制御する機器に関するインターロック情報が発生すると，そのインターロック情報をインターロックデータに挿入して前記インターロックデータバスへ送信し，前記インターロックデータバスからインターロックデータを受信すると，そのインターロックデータから自らの制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報を抽出するインターロック情報送受信手段と，前記インターロック情報送受信手段で抽出したインターロック情報に基づいて自らの制御モジュールが制御する前記機器に対して前記制御データによって駆動制御されないようなインターロック制御を行うインターロック制御手段とを設けたことを特徴とする制御装置が提供される。
【００１７】
上記課題を解決するために，本発明の第２の観点によれば，１又は複数の機器を駆動制御する制御モジュールをバスで複数接続し，各機器の駆動制御は各制御モジュールを接続する制御データバスで伝送される制御データに基づいて行い，前記制御モジュール間のインターロック制御は，各制御モジュールを接続するインターロックデータバスで伝送される，前記各制御モジュールからのインターロック情報を挿入したインターロックデータに基づいて行う制御方法であって，前記各制御モジュールは，自らの制御モジュールにおいて他の制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報が発生すると，そのインターロック情報をインターロックデータに挿入して前記インターロックデータバスへ送信し，前記制御モジュールは，前記インターロックデータバスからインターロックデータを受信すると，そのインターロックデータから自らの制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報を抽出するインターロック情報送受信手段と，前記インターロック情報送受信手段で抽出したインターロック情報に基づいて自らの制御モジュールが制御する前記機器に対して前記制御データによって駆動制御されないようなインターロック制御を行うことを特徴とする制御方法が提供される。
【００１８】
このような本発明の第１，第２の観点による制御装置，制御方法によれば，各制御モジュールを制御データバスとは別にインターロックデータバスで接続し，各制御モジュールからのインターロック情報を挿入して多重化したインターロックデータに基づいてインターロック制御を行うので，このインターロックデータを監視等するだけでインターロック制御の診断や試験などを容易に行うことができ，また故障などの原因追求も容易に行うことができる。また，このような制御装置，制御方法であれば例えばインターロック制御に関する回路を半導体素子で構成することができるので，従来のようにインターロック回路をリレーで構成する場合に比して配線数を減少させることができるとともに回路規模を小さくすることもできる。さらに制御モジュールを増やしてもインターロック制御用のリレーなどの回路を新たに追加する必要がないため，機能拡張も容易に行うことができる。
【００１９】
また，上記制御装置，制御方法において，各制御モジュールは，自己診断手段によりインターロック制御手段を自己診断するための擬似のインターロック情報（例えばドアセンサなどのオンオフ信号）を発生する如く構成すれば，実際に装置を稼働させずに自己診断することができるので，簡単にインターロック制御の診断を行うことができる。また，実際に装置を稼働する前に自己診断すれば，インターロックの誤動作による故障などを事前に防止できる。なお，自己診断手段は，自己診断を行っている間は，自らの制御モジュールが制御する機器（例えばモータなど）に対してその機器が駆動制御されないような擬似の制御信号を送出するようにしてもよい。これにより，自己診断中に機器が制御データにより，無駄に駆動することを防止できるので，回路の故障等を防止でき，機器の寿命を延すこともできる。
【００２０】
また，前記制御モジュールの前記インターロックデータバスとの接続部位に試験用モジュールを脱着自在に構成した試験用インタフェースを設け，前記試験用モジュールは，試験を行う制御モジュールの試験用インタフェースに接続して前記インターロックデータバスを介してインターロックデータを送受信することによりインターロック制御の試験を行うように構成すれば，この試験用モジュールによりインターロックデータを監視することができるので，インターロック制御の診断や試験などを容易に行うことができ，また故障などの原因追求も容易に行うことができる。
【００２１】
上記課題を解決するために，本発明の第３の観点によれば，１又は複数の機器を駆動制御する制御モジュールをバスで複数接続し，各機器の駆動制御は各制御モジュールを接続する制御データバスで伝送される制御データに基づいて行い，前記制御モジュール間のインターロック制御は各制御モジュールを接続するインターロックデータバスで伝送される，前記各制御モジュールからのインターロック情報を挿入したインターロックデータに基づいて行う制御装置における前記インターロック制御の試験方法であって，前記制御モジュールの前記インターロックデータバスとの接続部位に設けた試験用インタフェースに試験用モジュールを接続し，前記試験用モジュールは，試験を行う制御モジュールの試験用インタフェースに接続した状態で前記インターロックデータバスを介してインターロックデータを送受信し，そのインターロックデータに基づいてインターロック制御の試験を行うことを特徴とするインターロック制御の試験方法が提供される。
【００２２】
上記課題を解決するために，本発明の第４の観点によれば，１又は複数の機器を駆動制御する制御モジュールをバスで複数接続した制御装置における前記制御モジュール間で行われるインターロック制御を試験するための試験用モジュールであって，前記各制御モジュールからのインターロック情報を挿入したインターロックデータを伝送するインターロックデータバスに設けた試験用インタフェースに脱着自在に構成され，試験を行う制御モジュールの試験用インタフェースに接続した状態で前記インターロックデータバスを介してインターロックデータを送受信し，そのインターロックデータに基づいてインターロックデータに基づいてインターロック制御の試験を行うことを特徴とする試験用モジュールが提供される。
【００２３】
このような本発明の第３，第４の観点によれば，試験用モジュールによりインターロックデータを監視することができるので，インターロック制御の診断や試験などを容易に行うことができ，また故障などの原因追求も容易に行うことができる。
【００２４】
また，前記試験用モジュールは，擬似のインターロック情報を含むインターロックデータを前記インターロックデータバスを介して送受信可能に構成すれば，他の制御モジュールの擬似のインターロック情報をインターロックデータに挿入して試験用インタフェースから制御モジュールに供給することができるので，制御モジュール単体であってもインターロック制御の試験（例えば正常に動作するか否かの試験，故障の原因を追及する試験など）を行うことができるので，客先，出荷時の機能試験を容易に行うことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下，本発明をエッチング装置の制御装置について適用した場合の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は，本実施形態にかかる制御装置の構成を示すブロック図である。制御装置１００は，インターネットバスの１つである制御信号を送受信する制御データバス１１２を介してそれぞれ接続した制御モジュール群（各制御モジュール１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｃ），上記制御データバス１１２を介して接続した制御部２００を備える。制御モジュール１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｃはそれぞれ例えば搬送制御系，電力制御系，流量制御系の制御モジュールとする。各制御モジュールは，異なる制御系のものであるため，その構成要素には符号Ａ，Ｂ，Ｃを付して区別する。
【００２６】
各制御モジュール１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｃは，インターネットバスの１つであるインターロックデータを送受信するインターロックデータバス１１４（１１４ａ，１１４ｂ）により接続されている。例えば各制御モジュール１１０は図１，図２に示すようにインターロックデータバス１１４によりカスケード接続されている。図２は，各制御モジュール１１０Ａ，１１０Ｂ，…１１０Ｊをカスケード接続した場合を示す。例えば制御モジュール１１０Ａの入力端子（ＩＮ），出力端子（ＯＵＴ）にはそれぞれ制御モジュール１１０Ｂの出力端子（ＯＵＴ），入力端子（ＩＮ）が接続され，制御モジュール１１０Ｂの入力端子（ＩＮ），出力端子（ＯＵＴ）にはそれぞれ制御モジュール１１０Ｃの出力端子（ＯＵＴ），入力端子（ＩＮ）が接続される。各制御モジュール１１０の入力端子（ＩＮ），出力端子（ＯＵＴ）は送受信回路１５０に接続され，送受信回路１５０には多重分離化回路１４４が接続している。制御モジュール１１０では多重分離化回路１４４においてインターロックデータに対するその制御モジュール１１０についてのインターロック情報の挿入又は抽出が行われる。ここでいうインターロック情報としては，例えばメンテナンスドアの開閉センサのオンオフ信号が挙げられる。
【００２７】
インターロックデータは，図３に示すように構成される。同図（ａ）はビット同期用のクロック信号，同図（ｂ）はフレーム同期用のフレーム信号，同図（ｃ）インターロックデータである。インターロックデータは制御モジュール１１０ごとのフレームで構成される。１つの制御モジュール１１０には１つのフレームが対応する。従って多数の制御モジュールを接続する場合は，その制御モジュールの数をフレームの数とすればよい。図３では，最大１０個のフレームを構成するため，制御モジュールも最大１０個接続できる。１フレームは例えば最大８０ｂｉｔで構成される。１ｂｉｔのデータに１つのインターロック情報を挿入する。
【００２８】
このようなインターロックデータは，インターロックデータバス１１４を介してすべての制御モジュール１１０に送受信回路１５０を介して入力される。各制御モジュール１１０は，インターロックデータを受信すると，多重分離化回路１４４によりインターロックデータのうちの対応するフレームに対して自らの制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報の抽出又は挿入を行う。
【００２９】
例えば他の制御モジュールが制御する機器に対するインターロック情報が発生すると，自らの制御モジュールに割当てられたフレームにそのインターロック情報を挿入するようにしておき，インターロックデータを受信すると，インターロックデータのうちの自らの制御モジュールが制御する機器に関するインターロック情報を予め定められた他の制御モジュールに割当てられたフレームから抽出するようにしてもよい。
【００３０】
また，インターロックデータを受信すると，インターロックデータのうちの自らの制御モジュールに割当てられたフレームからインターロック情報を抽出するようにしておき，他の制御モジュールが制御する機器に対するインターロック情報が発生すると，当該他の制御モジュールに割当てられたフレームにインターロック情報を挿入するようにしてもよい。
【００３１】
なお，インターロックデータは，例えば各制御モジュール１１０に対応するフレームを１組のマルチフレームとし，３組のマルチフレームに同じデータを載せるようにしてもよい。これにより，各制御モジュール１１０において３回連続して同じインターロック情報を抽出できた場合にのみ，そのインターロック情報を有効とすることができるので，インターロック情報を正確に送受信することができる。
【００３２】
次に，制御モジュール１１０の構成を説明をする。なお，各制御モジュール１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｃは異なる制御系のものではあるが，それぞれ同様の構成であるため，Ａ，Ｂ，Ｃを省略して説明をする。
【００３３】
上記各制御モジュール１１０は，インターロック部１２０，制御データバス１１２を介して異なる制御モジュール１１０間で末端機器を制御する制御データを送受信する制御データ入出力回路（Ｉ／Ｏ）１３０，センサなどの末端機器１８２，モータなどの末端機器１８４，後述するテストモジュール３００を接続する試験用インタフェースとしてのテストモジュール用インタフェース（Ｉ／Ｆ）１９０を備える。
【００３４】
インターロック部１２０は，複数のインターロック情報発生回路１４０，上記インターロックデータバス１１４を介してインターロック情報を送受信する送受信回路１５０，上記インターロック部１２０を末端機器１８２，１８４とを電気的に分離するアイソレーション回路１６０を備える。アイソレーション回路１６０は例えばフォトカプラなどで構成され，電源系であるインターロック部１２０を末端機器１８２，１８４と電気的に切離すことによりインターロック部１２０へのノイズの混入などを防止できる。
【００３５】
インターロック部１２０は，いずれかのインターロック情報発生回路１４０の信号を選択出力するセレクタ１７２，１７４，１７６を備える。具体的にはセレクタ１７２，１７４，１７６はそれぞれ，後述するインターロック回路１４２からの信号，多重分離化回路１４４からの信号，自己診断手段としての自己診断回路１４６からの信号を選択出力する。例えば複数のインターロック情報発生回路１４０からの出力信号をセレクタ１７２，１７４，１７６により，定期的に切換えるようにしてもよい。これにより，インターロック情報発生回路１４０の寿命を延すことができる。
【００３６】
インターロック情報発生回路１４０はそれぞれ，インターロック制御手段としてのインターロック情報を発生させてインターロック制御を行うインターロック回路１４２，送受信回路１５０で送受信するインターロックデータに対してインターロック情報の挿入又は抽出（多重化又は分離化）を行う多重分離化回路１４４，各制御モジュール１１０のインターロック回路を診断する自己診断回路１４６を備える。多重分離化回路１４４は上記送受信回路１５０とともにインターロック情報送受信手段を構成する。
【００３７】
自己診断回路１４６は，擬似信号を出力することによりインターロック回路が正常に機能するか否かを自己診断するための制御を行う。この自己診断は，例えばプラズマ処理装置を立ち上げたときやメンテナンスを行った後などに行う。具体的には，自己診断回路１４６は，インターロック回路１４２に対してセンサなどの末端機器１８２の出力信号と同様の信号を擬似信号として出力する。これにより，末端機器を手動で必要なタイミングで手動でオンオフさせる手間を省くことができ，また末端機器の故障を防止することができる。また，自己診断回路１４６はモータなどの末端機器１８４に対して自己診断中に動作させないような制御信号を擬似信号として出力する。これにより，自己診断中にモータなどの末端機器１８４がオンオフされて被処理体や他の機器を故障させることを防止できる。
【００３８】
次に，制御部２００と制御モジュール１１０との制御データの送受信について説明する。図４に制御部２００，制御モジュール１１０の制御データ入出力回路１３０の構成例を示す。制御部２００は，制御部本体を構成するＭＰＵ（マイクロ・プロセッサ・ユニット）２１０，メインメモリ２２０，ＤＭＡＣ（ダイナミック・メモリ・アクセス・コントローラ）２３０，ディスプレイ２５０などが接続されるビデオインタフェース（ビデオＩ／Ｆ）２４０を備える。上記ＭＰＵ２１０は例えばＣＰＵ（中央処理装置），ＲＯＭ（リード・オンリ・メモリ），ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）などから構成される。
【００３９】
制御部２００は，制御データバス１１２を介して各制御モジュール１１０と接続されるＩ／Ｏレジスタ（入出力レジスタ）２６０，このＩ／Ｏレジスタ２６０を制御するレジスタコントローラ２７０を備える。Ｉ／Ｏレジスタ２６０及びレジスタコントローラ２７０は各制御モジュール１１０の数だけ設けられている。ここではＩ／Ｏレジスタ２６０及びレジスタコントローラ２７０には対応する制御モジュール１１０に付加した符号Ａ，Ｂ，…Ｊを付加している。上記ＭＰＵ２１０と，メインメモリ２２０，ＤＭＡＣ２３０，ビデオインタフェース２４０，各Ｉ／Ｏレジスタ２６０，各レジスタコントローラ２７０とは，バス２８０を介して相互に接続されている。
【００４０】
各制御モジュール１１０の制御データ入出力回路１３０は，ＭＰＵ１３１，メモリ１３２，ＤＭＡＣ１３３，インターロック部１２０に接続されたスキャン回路１３４を備える。スキャン回路１３４にはインターロック部１２０に対して入出力するインターロック情報のデータを一時的に記憶するバッファレジスタ１３５が設けられている。スキャン回路１３４はインターロック部１２０からのアクセス状況（例えばＤＩ，ＤＯの信号の有無）を監視し，バッファレジスタ１３５へのデータの書込みがあるとインターロック部１２０に対してインターロック情報のデータの入出力を行う。
【００４１】
上記制御データ入出力回路１３０は，制御データバス１１２を介して制御部２００と接続されるＩ／Ｏレジスタ（入出力レジスタ）１３６を備える。上記ＭＰＵ１３１と，メモリ１３２，ＤＭＡＣ１３３，スキャン回路１３４，Ｉ／Ｏレジスタ１３６とは，バス１３７を介して相互に接続されている。
【００４２】
このような制御部２００と制御モジュール１１０とにおける上記制御データ処理の流れを図５に示す。先ず制御モジュール１１０におけるインターロック部１２０から制御データバス１１２へ出力される制御データ（ＤＩ）の流れを説明する。
【００４３】
制御モジュール１１０側では，ステップＳ１１０にてスキャン回路１３４でインターロック部１２０から制御データ（ＤＩ）が出力されたか否かを判断（スキャニング）し，出力されたと判断した場合はステップＳ１２０にてバッファレジスタ１３５へその制御データ（ＤＩ）を書込む。このスキャン回路１３４によるスキャニングは例えば５ｍｓ間隔で行う。続いてステップＳ１３０にて上記バッファレジスタ１３５の制御データ（ＤＩ）はＤＭＡＣ１３３によるＤＭＡ転送によりメモリ１３２へ転送され，ステップＳ１４０にてメモリ１３２からＩ／Ｏレジスタ１３６へ転送される。
【００４４】
制御部２００側では，ステップＳ２１０にてＭＰＵ２１０によりレジスタコントローラ２７０を介して行われたＩ／Ｏレジスタ２６０の設定に基づいて，ステップＳ２２０にてＩ／Ｏレジスタ２６０と上記制御モジュール１１０のＩ／Ｏレジスタ１３６との間でＤＭＡＣ２３０によるＤＭＡ転送が行われる。これにより，制御モジュール１１０のＩ／Ｏレジスタ１３６の制御データ（ＤＩ）は，制御部２００のＩ／Ｏレジスタ２６０へ転送される。続いてステップＳ２３０にて制御部２００のＩ／Ｏレジスタ２６０へ転送された制御データは，ＤＭＡＣ２３０によるＤＭＡ転送によりメインメモリ２２０に転送される。そして制御部２００は上記制御データに基づいてステップＳ２４０にて各制御モジュール１１０における末端機器の制御やインターロック制御を行うとともに，プラズマ処理装置全体の制御を行う。
【００４５】
次に，制御データバス１１２を介して制御部２００から制御モジュール１１０におけるインターロック部１２０へ出力される制御データ（ＤＯ）の流れを説明する。制御部２００側ではステップＳ２５０にてＤＭＡ転送によりメインメモリ２２０の制御データをＩ／Ｏレジスタ２６０へ転送する。次いでステップＳ２６０にてＩ／Ｏレジスタ２６０と上記制御モジュール１１０のＩ／Ｏレジスタ１３６との間でＤＭＡＣ２３０によるＤＭＡ転送が行われる。これにより，制御部２００のＩ／Ｏレジスタ２６０の制御データは，制御モジュール１１０のＩ／Ｏレジスタ１３６へ転送される。
【００４６】
上記制御モジュール１１０側では，Ｉ／Ｏレジスタ１３６に転送された上記制御データ（ＤＯ）は，ステップＳ１５０にてメモリ１３２へ転送され，ステップＳ１６０にてメモリ１３２からバッファレジスタ１３５へＤＭＡ転送される。続いてステップＳ１７０にて上記制御データ（ＤＯ）はバッファレジスタ１３５から読出され，ステップＳ１８０にてスキャン回路１３４からインターロック回路へ出力される。
【００４７】
なお，制御部２００のＩ／Ｏレジスタ２６０と上記制御モジュール１１０のＩ／Ｏレジスタ１３６との間におけるＤＭＡＣ２３０によるＤＭＡ転送は，例えば１０ｍｓで行われる。またＤＩとＤＯの制御データのＤＭＡ転送は同時に行われる。
【００４８】
次に，このような構成の制御モジュールにおけるインターロック制御について説明する。インターロック制御は，装置自体，装置で処理する材料，装置の操作者などを保護するため，例えばある末端機器の状態に応じて他の末端機器が動作しないように制御するものである。
【００４９】
制御モジュールで制御されるセンサなどの末端機器１８２の信号は，アイソレーション回路１６０及び自己診断回路１４６を介してインターロック回路１４２に供給される。インターロック回路１４２では末端機器から信号に応じて制御信号を発生する。例えば末端機器がメンテナンスドアの開閉状態を検出するセンサであった場合は，メンテナンスドアが開状態であることを示す制御信号が発生する。
【００５０】
インターロック回路１４２で発生した信号は，多重分離化回路１４４により多重化されて，他の制御モジュールにおける末端機器をインターロック制御するためのインターロックデータとしてセレクタ１７４及び送受信回路１５０を介してインターロックデータバス１１４へ送出される。また，このインターロック情報は，他の制御モジュールにおける末端機器を駆動制御するための制御データとしてセレクタ１７２及び制御データ入出力回路１３０を介して制御データバス１１２へも送出される。
【００５１】
インターロックデータバス１１４からのインターロックデータは，送受信回路１５０を介して多重分離化回路１４４へ入力される。多重分離化回路１４４では，インターロックデータを分離化し，自己の制御モジュールに対するインターロック情報を抽出する。抽出されたインターロック情報は送受信回路１５０を介してインターロック回路１４２へ入力される。これによりインターロック回路１４２は，受信したインターロック情報に対応する制御信号を，自己診断回路１４６，セレクタ１７６，アイソレーション回路１６０を介してモータなどの末端機器１８４に供給する。例えば上記メンテナンスドアの開信号に基づくインターロック情報に対しては，モータなどの末端機器１８４を停止する制御信号が出力されインターロック制御が行われる。
【００５２】
次に，自己診断回路１４６による自己診断を行う場合について説明する。自己診断を行う際，各制御モジュール１１０において自己診断回路１４６は，あたかもセンサなどの末端機器１８２が動作しているかのような自己診断用の擬似信号をインターロック回路１４２へ出力する。インターロック回路１４２は，上記擬似信号に基づいてインターロック情報を発生する。このインターロック情報は，制御データ入出力回路１３０を介して制御データとして制御データバスへ出力されるとともに，多重分離化回路１４４を介してインターロックデータとしてインターロックデータバスへ出力される。このような制御データ及びインターロックデータに基づいて他の制御モジュールにおいて自己診断のためのインターロック制御が行われる。
【００５３】
また自己診断中は，各制御モジュール１１０における自己診断回路１４６は，モータなどの末端機器１８４を動作させないような制御信号をその末端機器１８４へ出力し続ける。この制御信号は，インターロック回路１４２からのインターロック情報の有無に拘らず，モータなどの末端機器１８４へ出力される。従って，上記制御データ及びインターロックデータに基づいてインターロック回路１４２でモータなどの末端機器１８４に対するインターロック情報が発生しても，そのインターロック情報がその末端機器１８４へ出力されることはない。
【００５４】
このような自己診断によりインターロック部１２０が正常に動作しているか否かを判断する。インターロック部１２０が正常に動作していないと判断した場合には，例えば報知手段により報知を行ってもよい。また例えばそのインターロック部１２０からの出力はセレクタ１７２，１７４，１７６により選択されないようにする。これにより，正常なインターロック部１２０を使用することができ，常に正常なインターロック制御を行うことができる。
【００５５】
このように，本実施の形態においては，各制御モジュール１１０を制御データバス１１２とは別にインターロックデータバス１１４で接続し，各制御モジュール１１０からのインターロック情報を多重化したインターロックデータに基づいてインターロック制御を行うので，このインターロックデータを監視等するだけでインターロック制御の診断や試験などを容易に行うことができ，また故障などの原因追求も容易に行うことができる。
【００５６】
また，インターロックデータに基づいてインターロック制御を行うようにしたので，例えばインターロック制御に関する回路（例えば多重分離化回路１４４，インターロック回路１４２，自己診断回路１４６など）を半導体素子で構成することができるため，従来のようにインターロック回路をリレーで構成する場合に比して配線数を減少させることができるとともに回路規模を小さくすることもできる。さらに制御モジュールを増やしてもインターロック制御用のリレーなどの回路を新たに追加する必要がないため，機能拡張も容易に行うことができる。
【００５７】
また，インターロックデータを多重化して各制御モジュール１１０で必要なインターロック情報を送受信できるようにしたので，インターロック制御を行う回路部分（例えば送受信回路１５０，多重分離化回路１４４，インターロック回路１４２，自己診断回路１４６など）を共通化することができるため，回路の生成も容易となる。
【００５８】
また，インターロックデータを専用のインターロックデータバス１１４を介して伝送するため，従来のようにリレーを介して次々と情報を伝達させる場合に比してインターロック情報を高速で送受信することができる。
【００５９】
また，各制御モジュール１１０は，自己診断回路１４６を設け，この自己診断回路１４６によりインターロック制御手段を自己診断するための擬似のインターロック情報（例えばドアセンサなどのオンオフ信号）を発生する如く構成すれば，実際に装置を稼働させずに自己診断することができるので，簡単にインターロック制御の診断を行うことができる。また，実際に装置を稼働する前に自己診断すれば，インターロックの誤動作による故障などを事前に防止できる。
【００６０】
また，自己診断回路１４６は，自己診断を行っている間は，自らの制御モジュールが制御する例えばモータなどの機器１８４に対してその機器１８４が駆動制御されないような擬似の制御信号を送出するようにしてもよい。これにより，自己診断中に機器１８４が制御データにより，無駄に駆動することを防止できる。このため，例えば回路や機器の故障防止の他，機器で処理する被処理体の破損を防止し，機器の寿命を延すこともできる。
【００６１】
次に，本実施形態にかかる試験用モジュールとしてのテストモジュールの構成例を図６を参照しながら説明する。このテストモジュール３００は，各制御モジュール１１０のテストモジュール用インタフェース（Ｉ／Ｆ）１９０に接続し，制御モジュール１１０に対してインターロックデータバス１１４を介して擬似信号を送受信することにより，インターロック機能が正常に動作するか否かを試験したり，インターロックデータを受信して故障の原因を特定したりするものである。インタフェース１９０に接続した制御モジュール１１０に，他の制御モジュール１１０のインターロックデータを擬似信号として出力することができるので，制御モジュール単体で機能試験を行うことができる。
【００６２】
具体的には，各制御モジュール１１０のインタフェース１９０はそれぞれ，インターロックデータバス１１４が前段の制御モジュールにカスケード接続される入力端子及び出力端子，後段の制御モジュールにカスケード接続される入力端子及び出力端子を備える。
【００６３】
テストモジュール３００は，図６に示すように制御モジュール１１０のインタフェース１９０に接続する入力端子３１０ａと出力端子３１２ａ，入力端子３１０ｂと出力端子３１２ｂを備える。テストモジュール３００の入力端子３１０ａと出力端子３１２ａとはそれぞれインタフェース１９０における前段制御モジュールの出力端子，入力端子に接続される。テストモジュール３００の入力端子３１０ｂと出力端子３１２ｂとは，それぞれインタフェース１９０における後段制御モジュールの出力端子，入力端子に接続される。ここでは，前段の制御モジュールに接続する部分は符号ａを付加し，後段の制御モジュールに接続する部分は符号ｂを付して区別する。
【００６４】
テストモジュール３００は，制御レジスタ３２０，パーソナルコンピュータ３３２と例えばＲＳ２３２Ｃなどのバスにより接続されるシリアル通信インタフェース３３０，受信部３４０ａ，３４０ｂ，出力端子３１２ｂ，３１２ｂへインターロックデータを出力する送信部３５０ａ，３５０ｂを備える。
【００６５】
上記受信部３４０ａ，３４０ｂ又は送信部３５０ａ，３５０ｂの構成はそれぞれ同様であるので，符号ａ，ｂを省略して説明する。受信部３４０は入力端子３１０からのインターロックデータを受信する受信回路（レシーブ回路）３４２，受信回路３４２で受信したインターロックデータから機能試験を行う制御モジュールのフレームにあるインターロック情報のデータを抽出するデータ抽出回路３４４，抽出したインターロック情報のデータを一時的に記憶するバッファメモリ３４６を備える。
【００６６】
上記送信部３５０はシリアル通信インタフェース３３０を介してパーソナルコンピュータ３３２から受信したインターロック情報のデータを一時的に記憶するバッファメモリ３５６，バッファメモリ３５６に記憶したインターロック情報のデータをインターロックデータのうちの機能試験を行う制御モジュールのフレームに挿入する機能と前段の制御モジュールからのインターロックデータをデータ抽出回路３４４を介して受取りそのまま後段の制御モジュールへ送出するリタイミング機能を兼ね備えるデータ挿入リタイミング回路３５４，データ挿入リタイミング回路３５４からのインターロックデータを出力端子３１２へ出力する送信回路（ドライバ回路）３５２を備える。
【００６７】
制御レジスタ３２０は，シリアル通信インタフェース３３０を介してパーソナルコンピュータ３３２から受信したノード設定情報に基づいてノード設定信号をデータ抽出回路３４４へ出力してノード設定を行う。このノード設定により，例えばインターロックデータからインターロック情報のデータを抽出するフレームが設定される。これにより，例えばインターロックデータのうちのインターロック情報のデータを挿入するフレームが設定される。
【００６８】
制御レジスタ３２０は，データ挿入リタイミング回路３５４へデータ挿入制御信号を出力する。データ挿入リタイミング回路３５４はこのデータ挿入制御信号に基づいてインターロックデータの所定のフレームへインターロック情報のデータを挿入する。
【００６９】
パーソナルコンピュータ３３２は，ＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ　Ｕｓｅｒ　Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）機能に基づいて各制御モジュールのインターロック制御などの機能試験を行うようにしてもよい。例えばインターロックの機能試験の項目をマウスなどのポインタでクリックすれば，必要なインターロック情報のデータをテストモジュール３００に対して送信又は受信するようにしてもよい。またテストモジュール３００で受信したインターロックデータの各フレームのデータに基づいて，動作対象となっているインターロック回路をパーソナルコンピュータ３３２のディスプレイに表示させるようにしてもい。このようにすることにより，納品前の機能試験や客先での機能試験などを行う場合でも，インターロック機能の仕様を知らなくてもインターロックなどの機能試験を簡単に行うことができる。またテストモジュール３００によりインターロックデータを受信して解析することにより故障の原因を容易に特定することもできる。
【００７０】
さらにパーソナルコンピュータ３３２は，他の制御モジュールにおけるインターロックデータの擬似信号を作成してテストモジュール３００に対して送信又は受信するようにしてもよい。これにより，他の制御モジュールがなくても，インターロックなどの機能試験を行うことができる。従って，制御モジュール単体で機能確認ができるため，客先などでの制御モジュールのセットアップの時間を短縮することもできる。なお，このインターロックデータについての擬似信号の作成もＧＵＩ機能を使用するようにしてもよい。例えば擬似信号を作成する対象となる制御モジュールをマウスなどのポインタでクリックすれば，必要なインターロックデータの擬似信号をテストモジュールに送信するようにしてもよい。これにより，簡単にインターロックデータの擬似信号を作成することができる。
【００７１】
以上，添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００７２】
例えば，本実施の形態においては，本発明をプラズマ処理装置の制御装置等に適用した場合について説明したが，必ずしもこれに限定されるものではなく，複数の制御モジュール間でインターロック制御を行う機器を制御する制御装置であれば，どのような制御装置等に適用してもよい。
【００７３】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば，インターロックデータバスからのインターロックデータを監視等するだけでインターロック制御の診断や試験などを容易に行うことができ，また故障などの原因追求も容易に行うことができる。さらに回路規模を小さくできるとともに配線数を減少させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態にかかるプラズマ処理装置における制御装置の構成を示すブロック図。
【図２】同実施形態におけるインターロックデータバスの接続例を説明する図。
【図３】同実施形態におけるインターロックデータの構成を説明する図。
【図４】同実施形態における制御データの送受信を行う制御部と制御モジュールとの構成例を説明する図。
【図５】同実施形態における制御データバスによる制御データのやり取りの動作フローを示す図。
【図６】同実施形態におけるテストモジュールの構成例を説明する図。
【図７】従来のプラズマ処理装置における制御装置の構成を示すブロック図。
【符号の説明】
１００　　　制御装置
１１０　　　制御モジュール
１１２　　　制御データバス
１１４　　　インターロックデータバス
１２０　　　インターロック部
１３０　　　制御データ入出力回路
１３２　　　メモリ
１３４　　　スキャン回路
１３５　　　バッファレジスタ
１３６　　　Ｉ／Ｏレジスタ
１３７　　　バス
１４０　　　インターロック情報発生回路
１４２　　　インターロック回路
１４４　　　多重分離化回路
１４６　　　自己診断回路
１５０　　　送受信回路
１６０　　　アイソレーション回路
１７２　　　セレクタ
１７４　　　セレクタ
１７６　　　セレクタ
１８２　　　末端機器
１８４　　　末端機器
１９０　　　インタフェース
２００　　　制御部
２２０　　　メインメモリ
２４０　　　ビデオインタフェース
２５０　　　ディスプレイ
２６０　　　入出力レジスタ
２７０　　　レジスタコントローラ
２８０　　　バス
３００　　　テストモジュール
３１０　　　入力端子
３１２　　　出力端子
３２０　　　制御レジスタ
３３０　　　シリアル通信インタフェース
３３２　　　パーソナルコンピュータ
３４０　　　受信部
３４２　　　受信回路
３４４　　　データ抽出回路
３４６　　　バッファメモリ
３５０　　　送信部
３５４　　　データ挿入リタイミング回路
３５６　　　バッファメモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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