(57)【要約】【課題】背面基板と、前面基板と、これら両基板間に表示領域を周回して介挿され所定の内部空間を形成する支持体と、この支持体と前記両基板とを封着部材を介して気密封着した表示装置で、前記内部空間の真空度を確保して長寿命の表示装置を可能にする。【解決手段】表示領域外で支持体３の内側に略平行に隔壁体７を設け、この隔壁体７と前記支持体３で囲まれた空間９１にゲッタ−２４を配置した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、
一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設され、かつ電子源を有する複数本の陰極配線と、表示領域内で前記陰極配線と非接触で対向し、かつ前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、この制御電極及び前記陰極配線を内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、
前記前面基板と前記背面基板の間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持するための支持体と、
この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ気密封着する封着部材と、ゲッタ−とを有する表示装置であって、
前記ゲッタ−を、前記支持体と、この支持体より内側で前記支持体と略平行に延在して配置された隔壁体との間に固定配置したことを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記隔壁体は前記支持体と略同じ高さを有することを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記隔壁体は前記ゲッタ−対向面が凹凸形状を呈することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記隔壁体は前記制御電極を保持する電極抑えであることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の表示装置。
【請求項５】
前記制御電極が複数本の帯状電極素子を平行配列した構成から成ることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の表示装置。
【請求項６】
前記ゲッタ−は分散ゲッタ−であることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載の表示装置。
【請求項７】
陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、
一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設され、かつ電子源を有する複数本の陰極配線と、表示領域内で前記陰極配線と非接触で対向し、かつ前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、この制御電極及び前記陰極配線を内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、
前記前面基板と前記背面基板の間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持するための支持体と、
この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ気密封着する封着部材と、ゲッタ−とを有する表示装置であって、
前記ゲッタ−を前記支持体と前記制御電極間に配置すると共に、前記支持体と前記制御電極間に前記他方向に延在して前記陰極配線を覆う絶縁膜を配置したことを特徴とする表示装置。
【請求項８】
前記絶縁膜は前記支持体と前記制御電極間の略全面を覆うことを特徴とする請求項７に記載の表示装置。
【請求項９】
前記ゲッタ−は分散ゲッタ−であることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記支持体より内側で、かつ前記表示領域外に前記一方向に延在して配置され前記制御電極を保持する隔壁体を備えたことを特徴とする請求項７乃至請求項９の何れかに記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、前面基板と背面基板の間に形成される真空中への電子放出を利用した表示装置に係り、特に、電子源を有する陰極配線及び電子源からの電子の引き出し量（放出量）を制御する制御電極を設置すると共に前面基板と背面基板の間を真空に保って安定した表示特性を有する表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
高輝度、高精細に優れたディスプレイデバイスとして従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、省スペースの平板状ディスプレイ（パネルディスプレイ）の要求が高まっている。
【０００３】
その典型例として液晶表示装置、プラズマ表示装置などが実用化されている。又、特に、高輝度化が可能なものとして、電子源から真空への電子放出を利用した表示装置として、電子放出型表示装置、又は電界放出型表示装置と呼ばれるものや、低消費電力を特徴とする有機ＥＬディスプレイなど、種々の型式のパネル型表示装置の実用化も図られている。
【０００４】
このようなパネル型の表示装置のうち、上記電界放出型表示装置には、Ｃ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔらにより発案された電子放出構造をもつもの、メタル−インシュレータ−メタル（ＭＩＭ）型の電子放出構造をもつもの、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造（表面伝導型電子源とも呼ばれる）をもつもの、さらにはダイアモンド膜やグラファイト膜、カーボンナノチューブ等による電子放出現象を利用するもの、等が知られている。
【０００５】
このようなパネル型の表示装置のうち、電界放出型ディスプレイは、内面にアノード電極と蛍光体層を備えた前面パネルと、電界放出型のカソードと制御電極である格子電極を形成した背面パネルを例えば０．５ｍｍ以上の間隔をもって貼り合わせて封止し、当該二枚のパネル間の密閉空間を外界の気圧より低圧、あるいは真空としている。
【０００６】
近年、この種の平板状ディスプレイのカソードを構成する電界放出型電子源としてカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を用いることが検討されている。カーボンナノチューブは極めて細い針状の炭素化合物（厳密に言えば、炭素原子が六角形状に結合した所謂グラフェンシ−トが円筒形状になったもの）を多数個まとめたカーボンナノチューブ集合体をカソード用電極に固定したものである。このカーボンナノチューブを有するカソード用電極に電界を印加することで、当該カーボンナノチューブから高効率で高密度の電子を放出させることができ、この電子で蛍光体を励起することで輝度の高い各種の表示装置や画像等を表示できるフラットパネルディスプレイを構成できる。
【０００７】
図１３は電界放出型ディスプレイの基本構成を説明する模式図である。ＣＮＴはカソード（カソード電極）Ｋの上に設けたカーボンナノチューブ、Ａはアノード（アノード電極）であり、アノードＡの内面には蛍光体ＰＨが形成されている。カソードＫ近傍には電子の放出を制御する格子電極Ｇが設けられており、カソードＫと格子電極Ｇとの間に電圧Ｖs を印加することによりカーボンナノチユーブＣＮＴから電子が放出される。カソードＫとアノードＡの間に高電圧Ｅｂを印加することでカーボンナノチューブＣＮＴから放出された電子ｅを加速させて蛍光体ＰＨを励起し、当該蛍光体ＰＨの組成に依存する色光Ｌを放射する。そして、例えばカソードＫ近傍に設けた格子電極Ｇに与える変調電圧Ｖｓにより放出される電子の量を制御することで色光Ｌの輝度をコントロールすることができる。
【０００８】
図１４は電界放出型ディスプレイの構成例を説明する模式断面図である。この電界放出型ディスプレイ（ＦＥＤ）は、ガラス板からなる背面基板１と同じくガラス板からなる前面基板２を、例えば１ｍｍ程度の高さを持ち表示領域を周回して介挿され両基板１、２間を所定の間隔を保持する枠状の支持体３を介して貼り合わせ、その内部密閉空間を真空封止してある。背面基板１の内面には陰極配線１３、絶縁層１４、格子電極１５を有し、前面基板２の内面にはアノード電極１１と蛍光体１２が形成されている。陰極配線１３には図示しない電子源のカーボンナノチューブが設けてある。
【０００９】
図１５は図１４に示した電界放出型ディスプレイの背面基板１側からみた模式平面図である。前面基板２の内面の有効表示領域ＡＲ内には３色の蛍光体Ｒ、Ｇ、Ｂを備えている。各画素間はこの例では仕切り１６で区画されている。なお、モノクロ表示の場合は全ての蛍光体は同色で構成される。
【００１０】
このような二枚のパネルで構成するパネルディスプレイは、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）や、メタル−インシュレータ−メタル型電界放出源を有するパネルディスプレイ（ＭＩＭ−ＦＥＤ）でも同様な構成である。以下では、本発明の説明をＦＥＤを例として説明するが、ＰＤＰやＭＩＭ−ＦＥＤについても同様に適用できる。表面伝導素子を用いたディスプレイについても同様である。
【００１１】
なお、この種のパネルディスプレイの従来技術を開示したものとしては、排気のコンダクタンスが小さいことをカバ−するため、ゲッタ−収納室を別途設ける構成が特許文献１に開示されている。又、高温排気中に不活性ガスを導入してゲッタ−へのガス吸着を防止する構成が特許文献２に開示されている。更に、真空室内で封着、排気を行う構成が特許文献３に開示されている。更に又、ゲッタフッラッシュの飛散方向を制御するゲッタ支持具を設ける構成が特許文献４に開示されている。
【００１２】
【特許文献１】
特開２０００−１４９７８８
【特許文献２】
特開２００２−７５２０２
【特許文献３】
特開２００２−５６７７７
【特許文献４】
特開２００２−４２６３８
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
前述した電界放出型の表示装置では、電子源からの電子が制御電極の開孔を通過して陽極の蛍光体に射突し、これを励起、発光させて表示を行う型式で、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、省スペースの平板状ディスプレイを可能とする優れた構成である。ところが、この様な優れた構成にかかわらず解決すべき課題を有している。すなわち、前述したＦＥＤ等の前面基板と背面基板との間隔が比較的大きいフラットパネルディスプレイでは、当該両基板の貼り合わせ間隔を所定値に保持するためのシール機構の融着処理が重要となる。
【００１４】
又、表示領域が広いフラットパネルディスプレイでは、前面基板と背面基板及び支持体で形成される密閉空間を低圧あるいは真空とする排気処理が重要となる。すなわち、表示領域が広いフラットパネルディスプレイでは、前面基板と背面基板及び支持体で形成される密閉空間を低圧あるいは真空とする排気処理と共に、前記密閉空間を両基板とその間に介挿した支持体とを封着部材を溶融して形成する際、全体をべーキング炉で加熱処理する製法が前述した特許文献３で提案されている。しかし、前面基板と背面基板の間隔を最初から所定値に融着して排気を施した場合、当該密閉空間のコンダクタンスが小さいために、充分な排気が困難となり、所望の真空度が得られ難いと云う問題がある。
【００１５】
この問題は、例えばカーボンナノチューブを電子放出源として用いたＦＥＤやプラズマディスプレイでは、真空度が充分でないとその寿命特性が短縮し、製品の信頼性が低下するため、真空度確保は最も重要な課題となっている。
【００１６】
又、ＭＩＭ−ＦＥＤでは、パネルの内面を高温処理すると、所謂ヒロック（Ｈｉｌｌｏｃｋ）が発生し易くなって、不良率が高くなる。更に、カーボンナノチューブを電子放出源として用いた場合でも、処理温度が高いとその一部あるいは全部が消失するという問題が発生する。又、この特許文献３で示された方式では巨大な排気装置が必要となる問題が有る。
【００１７】
特許文献１に開示されたゲッタ−収納室を別途設ける構成の製造方法では、排気処理を真空チャンバ−を用いることから大形サイズへの適用に難点が有る。そして、特許文献２に開示された封着工程で不活性ガスを導入する製造方法では、構成部材の持つガス吸収、排出特性により、逆に残留ガスを前記構成部材が再吸収する恐れが有り、所望する真空度の確保に問題がある。又、溶融した封着部材に微細孔が残存し気密封着の信頼性の確保が困難となり真空度確保を更に困難にしている等の問題が有る。更に特許文献４に開示されたゲッタ−フラッシュの飛散方向を制御するゲッタ支持具を設ける構成では、ゲッタ支持具の構成上ゲッタ−フラッシュ自体が困難になる恐れが有ることと、更にゲッタ加熱時の過熱に伴い熱損傷によりゲッタ支持具の固定確保に問題が有る。このように、所望する特性が得られる真空度の確保が困難となる等前述した諸々の問題と合わせてこれらを解消することが課題となっていた。本発明の目的は、前述した諸々の問題を解決して所望の真空度の確保が容易な長寿命の表示装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、典型的な本発明は支持体と電極間に隔壁体を配置し、この隔壁体と支持体間の空間にゲッタ−を固定配置した構成を特徴とする。又更に典型的な本発明は支持体と電極間にゲッタ−を配置し、かつ電極を絶縁膜で被覆する構成を特徴とする。以下、本発明の表示装置の代表的な構成を記述する。
【００１９】
本発明による表示装置は、陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設され、かつ電子源を有する複数本の陰極配線と、表示領域内で前記陰極配線と非接触で対向し、かつ前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、この制御電極及び前記陰極配線を内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、前記前面基板と前記背面基板の間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持するための支持体と、この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ気密封着する封着部材と、ゲッタ−とを有し、前記ゲッタ−を前記支持体とこの支持体より内側で前記支持体と略並行に延在して配置された隔壁体との間に配置したことを特徴とする。
【００２０】
又、本発明による表示装置は、隔壁体の高さを支持体と略同じ高さにすることができる。そして隔壁体はゲッタ−との対向面を凹凸形状とすることができる。又、隔壁体は制御電極を保持する電極抑えと兼用することができる。更に制御電極を複数本の帯状電極素子を平行配列して構成することができる。更に又、ゲッタ−は分散ゲッタ−とすることができる。
【００２１】
更に、本発明による表示装置は、陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設され、かつ電子源を有する複数本の陰極配線と、表示領域内で前記陰極配線と非接触で対向し、かつ前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、この制御電極及び前記陰極配線を内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、前記前面基板と前記背面基板の間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持するための支持体と、この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ気密封着する封着部材と、ゲッタ−とを有し、前記ゲッタ−を前記支持体と前記制御電極間に配置すると共に、前記支持体と前記制御電極間に前記他方向に延在して前記陰極配線を覆う絶縁膜を配置したことを特徴とする。
【００２２】
又、本発明による表示装置は、前記絶縁膜を前記支持体と前記制御電極間の全面を覆う構成とすることができる。又、前記制御電極を保持する隔壁体を備えることができる。
【００２３】
上記の構成により、所望の真空度の確保と気密封着の信頼性の高い長寿命の表示装置を可能にした。
【００２４】
なお、本発明は、上記の構成および後述する実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明による表示装置の一実施例を示す電界放出型の表示装置の概略構成の説明図で、図１（ａ）は前面基板側から見た模式平面図、同（ｂ）は模式正面図、同（ｃ）は模式側面図、図２は図１（ａ）のＡ−Ａ線の模式断面図である。図１及び図２において、参照符号１は背面基板、２は前面基板で、これら背面基板１と前面基板２とはｚ方向に積み重られている。なお、ｚは背面基板１および前面基板２の基板面と直交する方向を示す。３は外枠を兼ねた支持体で、この支持体３は背面基板１と前面基板２との対向する間隙に表示領域ＡＲを周回して介挿されている。４は排気管を示す。
【００２６】
背面基板１は、前記前面基板２と同様にガラスあるいはアルミナ等のセラミックスを好適とし、板厚が数ｍｍ、例えば３ｍｍ程度の絶縁基板から構成され、この背面基板１の表面に、電子源をもつ複数本の陰極配線５が一方向（ｘ方向）に延在しこの一方向と交差する他方向（ｙ方向）に並設されている。この陰極配線５は銀などを含む導電ペーストを印刷等でパターニングで形成される。この陰極配線５の端部は陰極配線引出し線５ａとして外枠を兼ねる支持体３の外側に引き出されている。陰極配線５上には、メタル−インシュレータ−メタル（ＭＩＭ）型の電子放出素子、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造（表面伝導型電子源とも呼ばれる）素子、ダイアモンド膜やグラファイト膜、あるいはカーボンナノチューブ等の何れかからなる電子源５１を有する。
【００２７】
又、陰極配線５の上方（前面基板２側）に制御電極６を近接配置、例えば０．１ｍｍ以下程度に近接して配置している。この陰極配線５と制御電極６は少なくとも表示領域ＡＲの全域にわたって対向しており、かつ両者間は絶縁されている。
【００２８】
制御電極６は、複数個の電子通過孔６ｂを有する多数の帯状電極素子（金属リボン）６１を平行に配列して構成したもので、本発明に至る開発過程で本発明者等が提案したものである。これらの帯状電極素子６１は鉄系ステンレス材、あるいは鉄材で形成され、その板厚は、例えば０．０２５ｍｍ〜０．１５０ｍｍ程度の寸法を有している。この帯状電極素子６１をｙ方向に延在しｘ方向に並設させて制御電極６を構成している。
【００２９】
この板状の制御電極６は、前述した図１４に示す様な絶縁層上に金属薄膜を蒸着等で成膜して制御電極とするものに比べ、陰極配線５との間隙を一様にすることが容易であり、表示領域の全域で個々の画素の制御特性を均一化して高品質の映像表示を得ることが可能である等の特徴を備えている。
【００３０】
この板状の制御電極６は、電子源を有する陰極配線５の上方（前面基板側）に近接して設置されると共に、外枠を兼ねる支持体３の近傍で引出し線４０が接続されて表示装置の外縁に引き出され外部回路と接続する構成となっている。この制御電極引出し線４０は帯状電極素子６１を延長しても良い。
【００３１】
そして、陰極配線５と板状の制御電極６との交差部に前記電子源５１と電子通過孔６ｂがそれぞれ対向配置される構成となっている。
【００３２】
又、この板状の制御電極６は、その両端部６ａ近傍を、有効表示領域ＡＲの外側で、かつ外枠を兼ねる支持体３の内側にそれぞれ設けた電極抑えを兼ねた隔壁体７（７１、７２）で背面基板１に固定されている。
【００３３】
この隔壁体７は、前記支持体３と同様にガラス或いはセラミックス等の絶縁体から構成され、その高さを支持体３と略同一高さ、例えば３ｍｍ程度としており、かつ支持体３と両基板１、２とが正規に封着された状態で前面基板２の内表面との間に例えば１ｍｍ以下程度の微小間隙Ｓが形成される寸法としている。又長軸に垂直な断面は正方形或いは長方形を好適としている。
【００３４】
次に、参照符号８は排気孔で、この排気孔８は前記背面基板１に穿設され、一端を内部空間９に、又他端は前記排気管４にそれぞれ連通している。
【００３５】
前記内部空間９は、背面基板１と、ｚ方向に積み重られた前面基板２と、これらの対向する間隙に表示領域ＡＲを周回して介挿された外枠を兼ねた支持体３とで囲まれた空間を示し、この内部空間９は封着部材１０で気密封止され所定の真空度に排気されている。
【００３６】
ここで、前記封着部材１０は、例えばＰｂＯ：７５〜８０ｗｔ％、Ｂ2 Ｏ3 ：約１０ｗｔ％、その他：１０〜１５ｗｔ％等の組成からなり、かつ非晶質タイプのフリットガラスを含むガラス材料からなるもので、前述の様に支持体３と両基板１、２との気密封着を行うものであるが、この実施例では気密封着後の封着部材１０の支持体３の内側面３ｉ、外側面３ｏからのそれぞれのはみ出し形状が内外で異なる。
【００３７】
すなわち、表示領域側である内側面３ｉからのはみ出し部１０ｉが、反対側の外側面３ｏからのはみ出し部１０ｏに比して厚肉で、しかもｚ軸方向の断面が略楕円形状に近いものに形成されており、かつ対向基板方向に延在して突出する形状を呈している。一方反対側の外側面３ｏからのはみ出し部１０ｏの形状は略楔形状に近いものである。
【００３８】
又、はみ出し部１０ｉの内側方向へのはみ出し寸法が、反対側のはみ出し部１０ｏの外側方向へのはみ出し寸法より大きくなっている。
【００３９】
更に、本実施例では、はみ出し部１０ｉの支持体３端面から対向基板方向への突出長が、反対側のはみ出し部１０ｏの対向基板方向への突出長に対し長くなっている。
【００４０】
はみ出し部の形状は、封着部材１０の材質、封着時の加熱温度、封着時の加圧力等種々の要因により種々の形状を呈するが、ゲッタ−の配置位置、所望する真空度、更には基板、電極寸法等を基に最適なものを選択すれば良い。
【００４１】
この封着部材１０は、前記隔壁体７により制御電極６の両端部６ａ近傍を背面基板１に固定保持する際に用いることも可能で、この固定により前記電子源５１と電子通過孔６ｂとの同軸性を高めることができる。
【００４２】
この電子通過孔６ｂは陰極配線５との交差部で前記電子源５１と同軸の位置に１又は複数個配置され、電子源５１からの電子を陽極２１側に通過させている。この陽極２１と前記制御電極６との間隔は数ｍｍ、例えば３ｍｍ程度に設定される。この例では陽極２１はメタルバック膜兼用となっている。
【００４３】
この様な構成の下、電子源５１から出た電子は１００Ｖ程度のグリット電圧の印加された制御電極６の電子通過孔６ｂで制御を受けてここを通過し、数ＫＶ〜１０数ＫＶの陽極電圧の印加された前面基板２の陽極２１で覆われた蛍光体２２に射突してこれを発光させ、所望の表示を行うものである。なお、参照符号２３はブラックマトリクス（ＢＭ）膜を示し、本実施例ではＢＭ膜２３、蛍光体２２及び陽極２１からなる蛍光面は従来のカラ−陰極線管蛍光面と略同様な構成である。
【００４４】
又、参照符号２４はゲッタ−で、このゲッタ−２４は分散ゲッタ−、すなわちＢａゲッタ−の様な蒸発型のゲッタ−で、このゲッタ−２４を支持体３と隔壁体７１、７２との間の空間９１にそれぞれ複数個配置している。
【００４５】
このゲッタ−２４はゲッタ−容器２４ａとゲッタ−サポ−ト２４ｂを有し、ゲッタ−容器２４ａのゲッタ−材飛散方向を隔壁体７側となるように向け、ゲッタ−サポ−ト２４ｂを隔壁体７で固定保持する構成としている。
この固定保持は、隔壁体７の下端側７ａと背面基板１間で、ゲッタ−サポ−ト２４ｂと制御電極６とを共に挟持し、封着部材１０で同時に或いは個別に接着固定保持している。
【００４６】
このゲッタ−２４は耐熱性、例えば４５０℃程度の高温に耐える特性を備えたものが好ましい。これは両基板と支持体との封着によるパネル形成時に大気中で数百度の高温に曝されるのでそれに耐える特性が要求される。
【００４７】
又、ゲッタ−２４の大きさはゲッタ−容器２４ａの直径が例えば５ｍｍ、厚さ１ｍｍ程度のものを用い、これを例えば５０ｍｍ程度の間隔で配置する。このゲッタ−２４の寸法、配置数等は、基板寸法、ゲッタ−量等で決定すれば良く、更に非蒸発型のゲッタ−も低温活性形でなく排気後に活性化するものであれば併用することも可能で、併用すれば効果的である。
【００４８】
パネル内に装着されたゲッタ−２４は、パネル内の排気、排気管４のチップオフ後、パネル外から後述する周波数及び装置を用いて高周波加熱によりゲッタ−フラシュを行う。
【００４９】
これにより空間９１にゲッタ−材が飛散し、飛散したゲッタ−材の殆どは隔壁体７の表面に付着し、残部がこの空間９１を取り囲む支持体３、両基板１、２及び封着部材１０の各部材の表面に付着してゲッタ−作用を発揮する。
【００５０】
この空間９１は、微小間隙Ｓの存在等からゲッタ−フラシュ後は被着したゲッタ−蒸着膜によりガス吸着機能を持つが、ゲッタ−フラシュ時は蒸発粒子径等から略密閉空間とみなすことができ、ゲッタ−材の空間外への散逸は無視できる。
【００５１】
ここで、前記ゲッタ−フラシュにより空間９１を取り囲む各部材の表面に付着したゲッタ−材は導電性を有するが、隔壁体７の頂面７ｂと前面基板２との間には例えば１ｍｍ以下程度の微小間隙Ｓが存在し、これにより隔壁体７を介する経路では両基板１、２間の絶縁性は確保できる。
【００５２】
一方、支持体３を介する経路では、封着部材１０のはみ出し部１０ｉ部分と内側面３ｉ部分の境界部付近でゲッタ−蒸着膜が不連続となるため、この経路での両基板１、２間の絶縁性も確保できる。すなわち、前述したように封着部材１０の表示領域側である内側面３ｉからのはみ出し部１０ｉのｚ軸方向の断面形状が実施例のような略楕円形状に近いものであれば、ゲッタフラシュによって内側面３ｉから前面基板２の内表面に亘って被着するゲッタ−膜が、前記はみ出し部１０ｉ部分で不連続となり、この経路での両基板１、２間の絶縁性も確保できる。
【００５３】
従って、ゲッタ−材飛散に伴う背面基板と前面基板間の耐電圧特性の低下は阻止され、ゲッタ−作用は所期の目的通り充分に発揮される。
【００５４】
又、ゲッタ−自体は封着部材１０で固定されているため、パネル内部でゲッタ−が移動し他の部材を損傷する恐れも無い。
【００５５】
更にゲッタ−容器２４ａが空間に露呈しているため、ゲッタ−容器２４ａのみを集中的に加熱でき、これにより加熱時間の短縮と他の部材の熱的損傷を確実に防止できる特徴を備えている。
【００５６】
ここで、背面基板１側に付着したゲッタ−材が隔壁体７より外側の制御電極６の帯状電極素子６１相互を短絡する恐れが有る場合は、当該部分を予め絶縁膜で被覆することで短絡を防止できる。
【００５７】
このゲッタ−フラシュ作業に用いる高周波は例えば５００ＫＨｚ以下が好ましく、３５０ＫＨｚ程度が作業性の点から好適である。
【００５８】
又、このゲッタ−フラシュ作業では、陰極配線５、電子源５１、制御電極６更にはゲッタ−２４等の構成上及び耐熱性等の制約等から、加熱用高周波コイルをゲッタ−２４に近接出来ない場合があり、その場合は加熱用高周波コイル内にフェライトコアを配置して高周波の集中を行うことで対処すれば良く、これにより過度の入力パワ−は不要となり、設備コストの低減と高周波によるパネル内の異常放電現象を抑制できる。
【００５９】
次に、図３は本発明による表示装置の他の実施例を示す図２に対応する模式断面図で、前述した図１及び図２と同じ部分には同一記号を付してある。図３において、隔壁体７はゲッタ−２４に対向する外側面７ｃを凹凸形状とし、これによりゲッタ−蒸着膜被着面積の増大を図かったものである。又、この図３の構成では隔壁体７の外側面７ｃの沿面距離が増長している。
【００６０】
この構成であれば、ゲッタ−材飛散に伴う背面基板と前面基板間の耐電圧特性の低下は前述したと同様に阻止され、かつ両基板間のゲッタ−蒸着膜被着面積が増大することでゲッタ−作用がより高くなって所期の目的通りガス吸着作用は充分に発揮され、所望の真空度確保が容易となる。
【００６１】
この図３の構造に更に支持体３の内表面３ｉも同時に凹凸形状とすれば、ゲッタ−材被蒸着面積の増大と相俟って、前記沿面距離の増長により支持体３を介する経路での耐電圧特性は一層向上する。
【００６２】
次に、図４は本発明による表示装置の更に他の実施例を示す電界放出型の表示装置の概略構成の説明図で、図４（ａ）は前面基板側から見た模式平面図、同（ｂ）は模式正面図、同（ｃ）は模式側面図、図５は図４のＢ−Ｂ線の模式断面図で、前述した図１乃至図３と同じ部分には同一記号を付してある。
【００６３】
図４及び図５において、この実施例では帯状電極素子６１の延在方向と平行で前記制御電極６の外側にさらに隔壁体７（７３、７４）を配置し、この隔壁体７３、７４と前記支持体３との空間９２にもゲッタ−２４を配置したものである。
【００６４】
この隔壁体７３、７４は、その高さを支持体３及び隔壁体７１、７２と略同一高さとしており、隔壁体７１、７２と同様に支持体３と両基板１、２とが正規に封着された状態で前面基板２の内表面との間に例えば１ｍｍ以下程度の微小間隙Ｓが形成される寸法としている。更に長軸に垂直な断面は隔壁体７１、７２と略同じ正方形或いは長方形を好適としている。
【００６５】
又、この実施例では空間９１、９２に配置した全てのゲッタ−材飛散方向を支持体３方向に向けている。
【００６６】
この構成でゲッタ−フラッシュを行うと、飛散したゲッタ−材の殆どは支持体３の内表面に付着し、残部がこの空間９１、９２を取り囲む隔壁体７と、両基板１、２及び封着部材１０の各部材の内表面に付着してゲッタ−作用を発揮する。
【００６７】
ここで、前記ゲッタ−フラシュにより空間９１、９２を取り囲む各部材の内表面に付着したゲッタ−蒸着膜は導電性を有するが、隔壁体７と前面基板２との間には微小間隙Ｓが存在し、これにより隔壁体７を介する経路では両基板１、２間の絶縁性は確保できる。
【００６８】
一方、支持体３を介する経路では、封着部材１０のはみ出し部１０ｉ部分と内側面３ｉ部分の境界部付近でゲッタ−蒸着膜が不連続となるため、この経路での両基板１、２間の絶縁性も確保できる。
【００６９】
すなわち、前述したように封着部材１０の表示領域側である内側面３ｉからのはみ出し部１０ｉのｚ軸方向の断面形状が実施例のような略楕円形状に近いものであれば、ゲッタフラッシュによって内側面３ｉから前面基板２の内表面に亘って被着するゲッタ−蒸着膜が、前記はみ出し部１０ｉ部分で不連続となり、この経路での両基板１、２間の絶縁性も確保できる。
【００７０】
はみ出し部の形状は、封着部材の材質、封着時の加熱温度、封着時の加圧力等種々の要因により種々の形状を呈するが、ゲッタ−の配置位置、所望する真空度、更には基板、電極寸法等を基に最適なものを選択すれば良い。
【００７１】
従って、ゲッタ−材飛散に伴う背面基板と前面基板間の耐電圧特性の低下は阻止され、ゲッタ−作用は所期の目的通り充分に発揮される。
【００７２】
又、背面基板１側に付着したゲッタ−蒸着膜が隔壁体７より外側の陰極配線５、帯状制御電極素子６１相互を短絡する恐れが有る場合は、当該部分を予め絶縁膜で被覆することで短絡を防止できる。
【００７３】
一方、ゲッタ−材飛散方向を支持体３側としたことで、飛散したゲッタ−材の殆どは支持体３内表面付近に付着し蛍光面側への廻り込み量は僅少となり、蛍光面への影響は更に無視できる。
【００７４】
次に、図６は本発明による表示装置の更に他の実施例を示す電界放出型の表示装置の概略構成の説明図で、図６（ａ）は前面基板側から見た模式平面図、同（ｂ）は模式正面図、同（ｃ）は模式側面図、図７は図６のＣ−Ｃ線の模式断面図で、前述した図１乃至図５と同じ部分には同一記号を付してある。
【００７５】
図６及び図７において、この実施例では帯状電極素子６１の延在方向と平行で前記制御電極６の外側の所定の位置に陰極配線５を横断して覆うように帯状の絶縁膜１７（１７１、１７２）を配置すると共に、空間９２にゲッタ−２４を配置したものである。
【００７６】
この帯状の絶縁膜１７（１７１、１７２）を形成する位置は、ゲッタ−２４をゲッタ−材飛散方向を支持体３側となるように向けて取り付けた際、ゲッタ−蒸着膜の廻り込み量が最大となる位置に設定するのが好ましい。
【００７７】
このゲッタ−２４はゲッタ−容器２４ａのゲッタ−材飛散方向を支持体３側となるように向け、ゲッタ−サポ−ト２４ｂを支持体３で固定保持する構成としている。
この固定保持は、隔壁体７の下端側７ａと背面基板１間で、ゲッタ−サポ−ト２４ｂを挟持し、封着部材１０で接着固定する構成としている。
【００７８】
この構成でゲッタ−フラッシュを行うと、空間９２では飛散したゲッタ−材の殆どは支持体３の内表面に付着し、残部がこの空間９２を取り囲む両基板１、２及び封着部材１０の各部材の内表面、更に一部は蛍光面のメタルバック２１に付着し、ゲッタ−作用を発揮する。
【００７９】
ここで、前記ゲッタ−フラシュにより各部材の内表面に付着したゲッタ−蒸着膜は導電性を有するが、支持体３の内表面側に付着したゲッタ−蒸着膜は、封着部材１０のはみ出し部１０ｉ部分と内側面３ｉ部分の境界部付近でゲッタ−蒸着膜が不連続となるため、両基板１、２間の絶縁性は確保できる。
【００８０】
一方、蛍光面のメタルバック２１に付着したゲッタ−蒸着膜は、封着部材１０のはみ出し部１０ｉ部分と内側面３ｉ部分の境界部付近でゲッタ−蒸着膜が不連続となるため耐電圧的には何ら悪影響を与えることもなく、反って前面基板１に付着して蛍光面のコントラスト向上に寄与する効果を発揮する。
【００８１】
更に、陰極配線５側に廻り込んだゲッタ−蒸着膜は、陰極配線５が帯状の絶縁膜１７（１７１、１７２）で覆われているため、陰極配線５相互の電気的絶縁は確保される。
【００８２】
次に、図８のように帯状の絶縁膜１７（１７１、１７２）を、支持体３の内側面３ｉから制御電極６に接する付近までの広範囲にわたって形成すれば陰極配線５相互の電気的絶縁はより確実に確保される。
【００８３】
この実施例ではゲッタ−２４はゲッタ−容器２４ａのゲッタ−材飛散方向を支持体３側となるように向け、ゲッタ−サポ−ト２４ｂを支持体３の上端側７ｂと前面基板２間で挟持し、封着部材１０で接着固定保持する構成としている。
【００８４】
なお、図８は本発明の表示装置の他の実施例の図７に対応する模式断面図である。
【００８５】
ここで、前述した図６乃至図８で示す実施例の構成では、空間９２側の排気時のコンダクタンスが改良され、排気時間の短縮と到達真空度の高真空化が達成出来、加えてゲッタ−蒸着膜によるゲッタ−作用とが相俟って所望の真空度確保が容易となる。
【００８６】
次に、図９は本発明の表示装置の更に他の実施例の図２に対応する模式断面図で、この実施例ではゲッタ−２４の量を増加させたもので、支持体３及び隔壁体７と両基板間でそれぞれ挟持し、封着部材１０で接着固定保持する構成としている。
【００８７】
この構成であれば、背面基板と前面基板間の耐電圧特性の低下は前述したと同様に阻止され、かつ両基板間のゲッタ−蒸着膜被着面積が増大することでゲッタ−作用がより高くなって所期の目的通りガス吸着作用は充分に発揮され、所望の真空度確保が容易となる。
【００８８】
次に、図１０は本発明による表示装置の更に他の実施例を示す電界放出型の表示装置の概略構成の説明図で、図１０（ａ）は前面基板側から見た模式平面図、同（ｂ）は模式正面図、同（ｃ）は模式側面図で、前述した図１乃至図９と同じ部分には同一記号を付してある。
【００８９】
図１０に示す実施例では、ゲッタ−２４を隔壁体７３、７４と支持体３との間のみに配置したものである。すなわち、帯状電極素子６１の延在方向と同一方向の前記他方向に延在する隔壁体７３、７４と支持体３との間のみに配置し、隔壁体７３、７４と背面基板２との間で挟持して封着部材１０で接着固定保持する構成としている。
【００９０】
この構成であれば、帯状電極素子６１を電極抑えを兼用する隔壁体７１、７２で背面基板１に固定する作業がゲッタ−２４を同時に固定するものに比べて容易となり、しかも帯状電極素子６１相互の位置関係も高精度に管理可能となる。
【００９１】
一方、陰極配線５は背面基板１に印刷のような手段で予め形成されている為、ゲッタ−２４を固定保持する際に陰極配線５は何等悪影響を受ける恐れはない。
【００９２】
ここで、前述した各実施例ではゲッタ−を基板と支持体或いは隔壁体とで挟持する構成としたが、支持体或いは隔壁体の側面に接着固定する構成でも良いことは勿論で、この側面固定では固定作業自体が別途必要になる場合もある。
【００９３】
次に、図１１は本発明による表示装置に用いられる隔壁体７の構造例を示し、同図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ平面図、（ｃ）は他の例の正面図、（ｄ）は（ｃ）のＤ−Ｄ線断面図、（ｅ）は更に他の例の正面図、（ｆ）は（ｅ）のＥ−Ｅ線断面図である。
【００９４】
図１１において、同図（ａ）に示す隔壁体７は一体で枠型を呈し、支持体３の内側の所望の位置に配置する。
【００９５】
この構成では、支持体３自体の機械的強度が向上すると共に取扱が容易となる。又、各辺相互の位置関係が正確に規制できる。更に辺単位で高さを変えて排気時のコンダクタンスを改善することも可能である。
【００９６】
又、同図（ｂ）に示す隔壁体７はＬ字状を呈し、このＬ字状を２個を組み合わせて用いるか、或いは単辺と組み合わせて用いる。
【００９７】
この構成では、４個に分割したものに比べ取扱が容易となるのみならず、辺の長さを変えて隔間Ｗを調整することで排気時のコンダクタンスを改善することも可能である。
【００９８】
更に、図示しないが３辺をコ字状とし、これと単辺とを組み合わせて用いる等種々の構成が可能である。
【００９９】
更に、同図（ｃ）（ｄ）に示す隔壁体７は、側壁に孔７ｄを穿設したもので、かつ孔７ｄを外側面７ｃ側が小径で反対側が大径となるテ−パ状としたものである。
【０１００】
この構成では、蒸発したゲッタ−材は蒸着膜として隔壁体７の外側面７ｃから孔７ｄ内壁面に被着するが、孔７ｄを制御することで通過は阻止できる。一方、内側面のガス発生源側を大孔径としたことで排気効率を向上出来、所望の真空度を確保できる。
なお、孔７ｄの形状は丸孔のみならず楕円、長方形など種々の形状が可能である。
【０１０１】
次に、同図（ｅ）（ｆ）に示す隔壁体７は、頂面７ｄに外側面７ｃ側から内側面側にかけて下がる方向に傾斜を持たせたものである。
【０１０２】
この構成では、蒸発したゲッタ−材は外側面７ｃ側の頂上と前面基板２との微小間隙Ｓから表示領域側に入り込む恐れがあるがその量は殆ど無視できる。一方、内側面のガス発生源側の隙間を大きくしたことで排気効率を向上出来、所望の真空度を確保できる。
【０１０３】
次に、図１２は本発明の表示装置の等価回路例の説明図である。図中に破線で示した領域は表示領域ＡＲであり、この表示領域ＡＲに陰極配線５と制御電極６（帯状電極素子６１）が互いに交差して配置されてｎ×ｍのマトリクスが形成されている。マトリクスの各交差部は単位画素を構成し、図中の“Ｒ”，“Ｇ”，“Ｂ”の１グループでカラー１画素を構成する。陰極配線５は陰極配線引出し線５ａ（Ｘ１，Ｘ２，・・・Ｘｎ）で映像駆動回路２００に接続され、制御電極６は制御電極引出し線４０（Ｙ１，Ｙ２，・・・Ｙｍ）で走査駆動回路４００に接続されている。
【０１０４】
映像駆動回路２００には外部信号源から映像信号２０１が入力され、走査駆動回路４００には同様に走査信号（同期信号）４０１が入力される。
【０１０５】
これにより、帯状電極素子６１と陰極配線５とで順次選択された所定の画素が所定の色光で発光し、２次元の映像を表示する。本構成例の表示装置により、比較的低電圧で高効率のフラットパネル型の表示装置が実現される。
【０１０６】
【発明の効果】
以上説明したように、表示領域外で支持体の内側にこの支持体と略平行に延在する隔壁体を配置し、この隔壁体と前記支持体との間の空間にゲッタ−を配置したことにより、ゲッタ−フラッシュによる他の部材への悪影響を軽減できると共に、ゲッタ−フラッシュによる電極類の汚染が発生し難くなり、ガス吸着機能を持つゲッタ−蒸着膜を広範囲にわたって確実にかつ充分に確保する事ができ、これにより耐電圧特性に優れ、かつ所望の真空度を確保して長寿命で信頼性の高い表示装置を提供することができる。
【０１０７】
更に、制御電極の外側でこの制御電極の延在方向と略平行に延在する帯状の絶縁膜を備えると共に、支持体と制御電極間にゲッタ−を配置したことにより、ゲッタ−フラッシュによる他の部材への悪影響を軽減できると共に、ゲッタ−フラッシュによる電極相互の短絡を防止してガス吸着機能を持つゲッタ−蒸着膜を広範囲にわたって確実にかつ充分に確保する事ができ、これにより耐電圧特性に優れ、かつ所望の真空度を確保して長寿命で信頼性の高い表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による表示装置の一実施例の概略構成の説明図で、図１（ａ）は前面基板側からみた模式平面図、同（ｂ）は模式正面図、同（ｃ）は模式側面図である。
【図２】図１（ａ）のＡ−Ａ線の模式断面図である。
【図３】本発明による表示装置の他の実施例の図２に対応する模式断面図である。
【図４】本発明による表示装置の他の実施例の概略構成の説明図で、図４（ａ）は前面基板側からみた模式平面図、同（ｂ）は模式正面図、同（ｃ）は模式側面図である。
【図５】図４（ａ）のＢ−Ｂ線の模式断面図である。
【図６】本発明による表示装置の更に他の実施例の概略構成の説明図で、図６（ａ）は前面基板側からみた模式平面図、同（ｂ）は模式正面図、同（ｃ）は模式側面図である。
【図７】図６（ａ）のＣ−Ｃ線の模式断面図である。
【図８】本発明による表示装置の更に他の実施例の図７に対応する模式断面図である。
【図９】本発明による表示装置の更に他の実施例の図２に対応する模式断面図である。
【図１０】本発明による表示装置の更に他の実施例の概略構成の説明図で、図１０（ａ）は前面基板側からみた模式平面図、同（ｂ）は模式正面図、同（ｃ）は模式側面図である。
【図１１】本発明の表示装置に用いられる隔壁体の構造例を示し、同図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ平面図、（ｃ）は他の例の正面図、（ｄ）は（ｃ）のＤ−Ｄ線断面図、（ｅ）は更に他の例の正面図、（ｆ）は（ｅ）のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１２】本発明の表示装置の等価回路例の説明図である。
【図１３】電界放出型ディスプレイの基本構成を説明する模式図である。
【図１４】電界放出型ディスプレイの構成例を説明する模式断面図である。
【図１５】図１４に示した電界放出型ディスプレイの模式平面図である。
【符号の説明】
１  背面基板
２  前面基板
３  支持体
３ｉ  支持体の内側面
３ｏ  支持体の外側面
４  排気管
５  陰極配線
５ａ  陰極配線引出し線
６  制御電極
６ａ  電子通過孔
７  隔壁体
９  内部空間
９１、９２  空間
１０  封着部材
１０ｉ  内側はみ出し部
１０ｏ  外側はみ出し部
２１  メタルバック（陽極）
２３  蛍光体
２４  ゲッタ−
２８  パネル組立体
４０  制御電極引出し線
５１  電子源
６１  帯状電極素子
ＡＲ  表示領域。
Ｓ  微小間隙。
【図１】
2004200049.tif 000003
【図２】
2004200049.tif 000004
【図３】
2004200049.tif 000005
【図４】
2004200049.tif 000006
【図５】
2004200049.tif 000007
【図６】
2004200049.tif 000008
【図７】
2004200049.tif 000009
【図８】
2004200049.tif 000010
【図９】
2004200049.tif 000011
【図１０】
2004200049.tif 000012
【図１１】
2004200049.tif 000013
【図１２】
2004200049.tif 000014
【図１３】
2004200049.tif 000015
【図１４】
2004200049.tif 000016
【図１５】
2004200049.tif 000017