(57)【要約】      （修正有）【課題】パージの効果を長時間維持することができるともに、簡単な構造で取り付け取り外しができ、比較的短時間で効率よくガスパージを行えるガスパージ用バルブを備えた基板収納容器を提供する【解決手段】基板収納容器１の貫通孔４に取り付け可能なバルブ体２０であって、バルブ体２０は貫通孔４の一方から嵌められる固定筒２１と、貫通孔４の他方から嵌められ固定筒２１に組み合わされる保持筒２５と、これら固定筒２１と保持筒２５に隙間を介して内蔵される逆止弁３１と逆止弁３１を移動可能に支持する弾性支持部材３３から構成し、中蓋筒３４の内面には第一の係合部３９が形成され、逆止弁３１には前記第一の係合部３９と係合する第二の係合部４０を設け、逆止弁３１の外側に気体の通路を形成した。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と、容器本体の開口を開閉する蓋体と、これらの容器本体と蓋体の少なくとも一方の貫通孔に取り付けられ容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体とを含む基板収納容器であって、バルブ体は貫通孔の一方から嵌められる固定筒と、貫通孔の他方から嵌められ固定筒に組み合わされる保持筒と、保持筒の内側壁に保持される中蓋筒と、前記固定筒と前記保持筒に隙間を介して内蔵されると逆止弁と、前記逆止弁を移動可能に支持する弾性支持部材とを有し、中蓋筒の内面には第一の係合部が形成され、逆止弁には前記第一の係合部と係合する第二の係合部が設けられていて、前記固定筒の内側壁と前記逆止弁の外側壁との間に気体の通路となる隙間を形成したことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記バルブ体が、フィルタ部材を備えていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記逆止弁が、少なくとも１つのシール部材を有し、弾性支持部の押圧方向にシール部材を押し潰してシールを形成していることを特徴とする請求項１又は２の何れか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやフォトマスクガラス等の基板を収納し、ガスパージ可能な基板収納容器に関し、特には基板収納容器の内外に対する気体の通過を制御するガスパージ用のバルブ体を備えた基板収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体業界では、ＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）に代表されるように、半導体部品のコスト削減によるシェア争いが激化しており、これに伴い半導体製造のコストを削減するための生産システムの見直し、あるいは半導体部品の製造に使用される基板の大口径化（例えば、半導体ウェーハの場合３００ｍｍあるいはそれ以上）が実施されるようになってきている。
【０００３】
半導体生産システムは、半導体製造工場全体を高度にクリーンな状態（例えば、クリーン度１０以下）に維持して半導体部品を製造するという従来の方法から、基板の複数の処理工程を別々に区画して、こうして小さく区画された各内部空間を高度にクリーンな環境とし、各処理工程間の基板の受け渡しを基板収納容器を使用して行う方法に移行してきている。このような方法によれば、クリーンルーム建設の為の設備コストや設備維持の為のランニングコストを著しく削減することができ、しかも半導体の部品製造の歩留向上も可能である。
【０００４】
こうした局所にクリーンな環境に区画されて分離されている半導体工場で使用される基板収納容器には、ＳＥＭＩ規格（Ｅ１９、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ６３等）で定められていて、半導体製造工場内を自動機で搬送可能な搬送手段や自動機での蓋体の取り付け取り外しが可能なＦＩＭＳ対応のものが備え付けられている。また、収納する基板を汚染しないように、高い密封性が求められたり、容器内部を清浄な状態にするため、容器内部からの揮発性ガスの発生の少ないクリーンな原材料を使用して形成することが求められている。
【０００５】
しかしながら、昨今の半導体部品に形成される電子回路の最小線幅は益々低ピッチ化（０．１０μｍ以下）の方向にあり、一部又は複数の半導体製造工程において収納容器に収納された基板表面の自然酸化膜の形成や有機汚染を防止するため、基板収納容器の内部空間を窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去したドライエアで置換（ガスパージ）しておくことが有効であることが解ってきた。
この点に鑑み、基板収納容器の一部を開口させてフィルタを取り付けたり、開口の周縁部にチェックバルブ等のバルブを取り付けてガスパージする技術が提案されている。（特許文献１、２参照）
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−１９１５８７号公報（頁３−頁４、図１）
【特許文献２】
特表２００２−５２１１８９号公報（頁１１−１８、図２）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の基板収納容器は、以上のように構成されているので、以下のような問題点がある。ガスパージ用の開口にバルブを取り付ける場合、バルブを取り付ける係止構造が実に複雑になるという問題がある。さらに、通常のバルブの場合、中空部に狭い開口が設けられこれを閉鎖する開閉弁が開口部に設けられるテーパー部と接触してシールを行う構造になっているが、繰り返し使用するときに位置ずれし易く、シールが不完全になり易く漏れが生じやすいといった問題があった。
【０００８】
本発明は、上記した問題に鑑みてなされたものであり、繰り返し使用してもバルブが安定的に作動可能で、パージの効果を長時間維持することができるともに、簡単な構造で取り付け取り外しができ、比較的短時間で効率よくガスパージを行えるガスパージ用バルブを備えた基板収納容器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、容器本体と、容器本体の開口を開閉する蓋体と、これらの容器本体と蓋体の少なくとも一方の貫通孔に取り付けられ容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体とを含む基板収納容器であって、バルブ体は貫通孔の一方から嵌められる固定筒と、貫通孔の他方から嵌められ固定筒に組み合わされる保持筒と、保持筒の内側壁に保持される中蓋筒と、前記固定筒と前記保持筒に隙間を介して内蔵されると逆止弁と、前記逆止弁を移動可能に支持する弾性支持部材とを有し、中蓋筒の内面には第一の係合部が形成され、逆止弁には前記第一の係合部と係合する第二の係合部が設けられていて、前記固定筒の内側壁と前記逆止弁の外側壁との間に気体の通路となる隙間を形成したことを特徴とする基板収納容器である。
【００１０】
また、逆止弁の作動時に位置ずれを防止する為に逆止弁に設けられる第二の係合部と、逆止弁に相対する中蓋筒の内面に設けられる第一の係合部とは、互いに係合可能な形状で有れば良く、円筒形の突起とこれが嵌り込む円筒形状の凹部とか、傾斜側面を有する円錐状や角錐状の突起とこれらが嵌り込む傾斜側壁を有する凹部などの組合わせとして設けることができる。
【００１１】
ここで、特許請求の範囲における容器本体には、単数複数の半導体ウェーハやフォトマスクガラス等の基板が適宜収納される。この容器本体の開口は、正面、上面、底面、側面の何れでも良い。気体は、窒素などの不活性ガスやドライエアーが主であるが、何らこれに限定されるものではない。また、バルブ体は、単数複数何れでも良いし、容器本体と蓋体の貫通孔にそれぞれ設けても良く、蓋体の貫通孔に設けても良い。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を使って本発明の好ましい実施形態を説明する。本発明の実施形態の基板収納容器は、図１〜図７に示すように、一端に開口を有し１又は複数枚の基板Ｗを水平状態の向きで垂直方向に整列させて、収納する容器本体と、容器本体の開口を着脱自在に閉鎖する蓋体１０と、容器本体１の底部に配置されて容器本体１に対する気体の流通を制御する少なくとも１対のバルブ体２０とを備え、この複数のバルブ体２０のうち一方をガス導入バルブ２０Ａ、他方をガス排気バルブ２０Ｂとして設けている。このとき導入バルブと排出バルブは、収納する基板が容器本体１底面に投影される領域の外側に設けるのが好ましい。
【００１３】
容器本体１としては、図１に示すように、例えば炭素繊維や導電性ポリマーなどが添加され導電性が付与されたポリカーボネート樹脂を使用して一端が開口したフロントオープンボックスタイプとして形成される。容器本体１内部の相対する側壁には、基板Ｗの側部周縁を支持する支持部材が垂直方向に一定間隔で設けられている。この容器本体１の底部には、基板収納容器の種類を外部から検知したり、加工装置に搭載されるときの位置決めと固定を行う部材を備え略Ｙ字形に形成されるボトムプレート２が取り付け部材を介して装着されている。ボトムプレート２には、識別用の部材を取り付ける複数の貫通孔と、位置決め部材３、容器本体１を固定するためのクランプ穴が形成されている。
【００１４】
容器本体１の天井には略正方形をした天板部と天板部と垂直方向に延びる支柱部及びその先端の取り付け部とを有するロボティックハンドル６が着脱自在に装着され、このハンドル６がＯＨＴ（オーバーヘッドホイストトランスファー）と呼ばれる自動の天井搬送機に保持され、工程内及び工程間の搬送に使用される。また、容器本体１の開口正面には、蓋体１０嵌合用のリム部７が一体に形成され、このリム部７内面の上下面には、蓋体１０係止用の係止溝８が複数形成されている。容器本体１の外側壁には、手動にてハンドリングするときに使用される把持ハンドル９が着脱自在に装着される。
【００１５】
蓋体１０は図１に示すように、四隅が丸く湾曲した略矩形に形成され、内部には図示しない係止機構が配置されていて、この係止機構の先端の係止爪が蓋体１０の周壁に設けられた出没穴から突出されてリム部７の係止溝８に嵌入し、容器本体１と蓋体１０とを嵌合させて開口部を閉鎖する。蓋体１０の周壁には容器本体１との間にシールを形成するエンドレス形状のガスケット部材１３が取り付けられている。また、蓋体１０の裏面には容器本体１に収納された基板Ｗを所定のピッチで上下方向に水平に整列させて接触し支持するフロントリテーナ１２が装着される。
【００１６】
なお、容器本体１、ボトムプレート２、ロボティックハンドル６、１対の把持ハンドル９、蓋体１０は、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、環状オレフィン樹脂（ＣＯＰ）などの熱可塑性樹脂、あるいはこれらの熱可塑性樹脂に導電性を付与したものから形成される。
【００１７】
各バルブ体２０は、図３に示すように、貫通孔４及びその周縁のリブ５に下方から嵌入されて気体を流通させる固定筒２１と、貫通孔４にシール用のシール部材３０を介して上方から嵌入されて固定筒２１に上方から着脱自在に螺嵌される保持筒２５と、保持筒２５の内周壁に取り付けられ、保持筒２５との間にフィルタ３６を保持する中蓋筒３４とこれら固定筒２１と保持筒２５との間に内蔵され中蓋部材の開口一端と接触する逆止弁３１と、この逆止弁３１を一方から押圧して変形させる弾性部材３３とからなる。
逆止弁３１は、固定筒２１から保持筒２５にかけて気体が一方向に流れるように制御している。
【００１８】
固定筒２１は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して基本的には、一端に開口を有する有底円筒形に形成され、内周面には取り付け用の螺子溝２２が螺刻形成されている。この固定筒２１の底部中心には、気体流通用の丸い通気口２３が形成され、底部の外周面には半径外方向に伸びるリング状のフランジ２４が周設されており、リブ５の開口周縁部に接触する。
【００１９】
保持筒２５は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して基本的には、一端（底部側）に開口を有する円筒形に形成され、開口と相対する他端（上面側）には、気体流通用の複数の通気口２３を区画する区画リブ２６が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ２６の裏面には、フィルタ３６を収納する収納部が形成される。また、保持筒２５の上部外周面には、半径外方向に伸びるリング状のフランジ２８が周設され、このフランジ２８が貫通孔４の開口周縁に接触する。
【００２０】
保持筒２５の外周面には、取付用の螺子溝２９が螺刻形成され、この螺子溝２９が固定筒２１の螺子溝２２と螺合する。保持筒２５の外周面と貫通孔４の周面との間に介在されるシール部材３０は、容器本体１に対する外気の侵入や容器本体１からの気体の漏れを有効に防止する。
【００２１】
逆止弁３１は、熱可塑性樹脂を使用して断面コの字形の平面略円形に形成され、固定筒２１の内底面に嵌入搭載されて、丸い通気口２３を被覆し、保持筒２５の内周面との間に気体の流路となる僅かな隙間３２を形成している。逆止弁３１の中央部には、位置ずれ防止用の第二の係合部となる凹部又は、円周状リブが形成されている。この逆止弁３１の材料としては、ポリエチレンやポリプロピレン、ポリカーボネート、環状ポリオレフィン樹脂あるいは熱可塑性ポリエステル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマー材料があげあれる。逆止弁３１の固定筒２１の開口周縁部あるいは中蓋の開口端部と接触する部分には、これらによって押圧可能なシール部材３７、３８が装着されている。シール部材３７、３８は、フッ素ゴム、ＮＢＲゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭゴム、シリコーンゴム等の材料から形成される。またこれらの材料からなる芯材部の表面にフッ素シリコーンを被覆したり、コーティングしたりしても良い。
【００２２】
逆止弁３１は、バルブ体２０がガス導入バルブ２０Ａとして利用されるときには、固定筒２１の通気口２３を被覆するように弾性部材３３に押圧されるが、バルブ体２０がガス排気バルブ２０Ｂとして利用される場合には、弾性変形部材と上下逆に配置され、弾性変形部材によって中蓋部材の開口端部に接触するように押圧されている。
【００２３】
弾性部材３３は、ＳＵＳなどの金属スプリングや樹脂製のスプリングを用いることができる。また、弾性部材３３は各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂等から形成される板バネを使用することもできる。その他、弾力性を有する合成樹脂の発泡体、各種ゴムや熱可塑性エラストマーからなる支柱部材を用いることもできる。ここで金属部品を使用するときには、表面を樹脂でコーティングする事が好ましい。
【００２４】
中蓋筒３４は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して基本的には、一端（底部側）に開口を有する円筒形に形成され、開口と相対する他端（上面側）には、気体流通用の複数の通気口２３を区画する区画リブ２６が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ２６の上面には、フィルタ３６が搭載保持される。中蓋筒３４は、保持筒２５の内部上方との間にシールを確保するシール部材３０を備えている。中蓋筒３４の内面中央には、逆止弁３１を組み立てるときや逆止弁３１が可動するときの位置ずれを防止する第一の係合部３９となる円筒状の突起が突出形成されていて、バルブ体２０表面に設けられる第二の係合部４０である凹部と嵌合する。このように、逆止弁３１の可動時の位置を制御する機構を設けたので、繰り返し使用しても逆止弁３１の作動が安定化して、逆止弁３１が作動の途中で引っかかったりしてバルブが開き放しになったり、気体の流路を塞いで気体の置換が上手くできないという事故を防止できる。
【００２５】
フィルタ３６は、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂等からなる多孔質膜、ガラス繊維等からなる分子濾過フィルタ３６、活性炭繊維等の濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタ３６から選択されてなり、これらが保持筒２５の段差２７と中蓋筒３４の区画リブ２６との間に狭持された状態で、単数、複数枚挿入され、中蓋筒３４の通気口２３を被覆する。これらのフィルタ３６の表面と裏面には、ポリエチレンやポリプロピレン等からなり、円周状の枠体とを連結する格子状のリブとして形成される。同種類のフィルタ３６を使用しても良いが、異なる性質のフィルタ３６を組み合わせるとパーティクルの他有機物汚染を防止できて好ましい。
【００２６】
上記構成において、バルブ体２０をガス導入バルブ２０Ａとして利用する場合、不活性ガスやドライエアからなる気体が外部から供給されないときは、中蓋筒３４の開口周端部に保持されている弾性部材３３が弾性力によって略平板状の逆止弁３１を固定筒２１の内定面に押しつけるようになるが、逆止弁３１の固定筒２１の内底面と相対する表面には、シール部材３７としてＯリングが突出するように備えられていて、これらの接触部でシールを形成している。ここで、Ｏリングを接触する平面で潰しているので、確実にシール可能である。
【００２７】
これに対し、加工装置の気体導入部からバルブ体２０に不活性ガスやドライエアからなる気体が供給されるときには、噴出する気体の圧力によって逆止弁３１が保持筒２５の方向に押し圧されるので、固定筒２１の開口のシールが解除されて気体をバルブ体２０内部を通って基板収納容器内部へ流通可能となる。すなわち、気体は、固定筒２１の通気口２３と逆止弁３１との隙間３２、逆止弁３１と保持筒２５との隙間３２を介して、中蓋筒３４の中空部へ侵入し中蓋筒３４と保持筒２５に狭持されたフィルタ３６を介して基板収納容器内部へと流入する。
【００２８】
また、バルブ体２０がガス排気バルブ２０Ｂとして利用される場合には、弾性部材３３が弾性力によって逆止弁３１を中蓋筒３４の開口端部に押しつけられる。このとき、バルブ体２０の開口端部と相対する側の側壁に断面Ｌ字状をしたシール部材３８が備えられていて、中蓋筒３４の開口端部と面接触してシールを安定的に形成する。したがって、基板収納容器の外部から内部に気体等が流入したり、基板収納容器の内部から外部へ気体が漏れるのが有効に防止される。
【００２９】
これに対し、基板収納容器の内部に気体が充満してくると、充満する気体の圧力によって逆止弁３１が固定筒２１の方向に押圧されるので、中蓋筒３４と逆止弁３１との間のシールが解除されて気体をバルブ体２０内部を通って基板収納容器外部へ排気可能となる。すなわち、気体は、基板収納容器内部から中蓋筒３４と保持筒２５に狭持されたフィルタ３６を介して中蓋筒３４の中空部へ侵入し、逆止弁３１と保持筒２５との隙間３２Ａを通って、逆止弁３１との隙間３２を通って固定筒２１の通気口２３から基板収納容器の外部（加工装置の排気ノズル部）へと排気される。この時、排気用のノズル部を減圧しておくとより効率よく気体の置換が可能となる。
【００３０】
本発明の実施形態では、バルブ体２０のシール形成シール部材３７、３８を保持する面と垂直方向に押圧しているので、導入バルブとして用いても排気バルブとして用いてもそれぞれ確実にシールを形成することができる。したがって基板収納容器内部に置換された気体の保持時間が長くなり、ガスパージの効果がより長く持続される。また、バルブ体２０に収納される逆止弁３１の外周側の複数の通気用の隙間３２を通って気体が置換されるので、従来例のように中央１箇所の狭い内部空間を通って置換される場合に比べて、より効率よく気体の置換が行えるので、生産性が向上する。
【００３１】
本発明のバルブ体２０付き基板収納容器は、蓋体１０開閉装置（ロードポート又は蓋体オープナ）に載置されたときに気体の置換が行う事もできるし、ストッカでの保管中や工程内やストッカへの搬送途中に行うこともできる。このとき装置側には図８、図９に示したような給気ノズル部と排気ノズル部とそれぞれの気体の流路を備えた気体パージ用治具７２を設けておき、その上に基板収納容器をセットすることで気体の置換を行うことができる。前記治具７２の表面には、基板収納容器を位置決めピン７３がＹ字状に３箇所設けられておくことが好ましい。バルブ体２０と対面する位置には少なくとも１対の給気ノズル部７０と排気ノズル部７１が円筒形状の突起としてバルブ体２０と相対する位置に形成されていて、治具７２の内部には給気流路７４と排気流路７５とが形成されていて、それぞれ気体供給源や排気装置へと連通している。なお、給気ノズル部７０と排気ノズル部７１は、移動可動に設けておき、治具の表面を使用前は平面状にしておき、基板収納容器が載置され後に、給気ノズル部７０と排気ノズル部７１のそれぞれを、バルブ体２０Ａ、２０Ｂに接近させるようにしても良い。また、給気ノズル部７０と排気ノズル部７１の突起周辺には、パージする気体の漏れを防止するシール形成手段を設けておくことが好ましい。
【００３２】
図１０、図１１は、本発明のバルブ体２０の別の実施形態を表す断面図であり、この場合はガス導入側の逆止弁３１とガス排気側の逆止弁３１とを兼用化可能な構造としてたものである。バルブ体２０は、中央の円板部分と周縁部のシール部材３７、３８保持部とからなり、中央部には、中蓋筒３４の中央に設けられる第一の係合部３９と嵌合可能な第二の係合部４０が形成されている。シール部材保持部４１及び／又は第二の係合部４０である凹部は、円板部分の両面に設けておき、導入バルブとして使用するときと、排気バルブとして使用するときとで、バルブ体２０組立時の挿入方向を変えて、シールが必要な箇所にシール部材３７、３８を挿入することが可能となる。この場合使用する部品の共通化を行ったので、組み立て作業や管理の効率化が可能となる。
【００３３】
次に兼用化についてさらに詳細を説明する。図１０は本実施形態のバルブ体２０をガス導入バルブ２０Ａとして使用する場合を表す断面図であり、図１１は、本実施形態のバルブ体２０をガス排気バルブ２０Ｂとして使用する場合を表す断面図である。この場合、逆止弁２０の上下を逆さまにして固定筒２１と中蓋筒３４の間に組み込み、これに合わせて弾性部材３３の設置位置すなわち逆止弁のシール方向を変えることで、ガス導入バルブとガス排気バルブとを兼用化することができる。逆止弁の兼用化は本実施形態に止まらず、逆止弁３１の上下両面にシール部材保持部４１を設けておき、そこに必要に応じてシール部材を取り付けても良いし、逆止弁３１の上下両面に中蓋筒３４の第一の係合部３９と嵌合可能な第二の係合部４０となる凹部と弾性部材３３収納部を設けて於いても良い。この場合、逆止弁３１を兼用化しても逆止弁３１の向きは変えずに、弾性部材の取り付け位置を替えるだけでそのまま使用できる。
【００３４】
本発明のバルブ体２０を設ける位置及び個数は、特に限定されるものでなく、開口側とリア側にそれぞれ２個のバルブ体２０を設けても良いし、開口部に１対のバルブ体２０を設けたり、リア側に１対のバルブ体２０を設けたりしても良い。
【００３５】
中蓋筒に設けられる第一の係合部３９は、上記実施形態で示した突起の他、溝部や周囲をリブで囲まれた凹部として形成しても良く、この場合逆止弁には、前記溝部や凹部と係合する突起部を第二の係合部４０として形成してこれらを係合させると良い。
【００３６】
【発明の効果】
本発明は、逆止弁の可動時の位置ずれ防止用の係合部を設けたので、繰り返し使用しても安定的に気体の置換を行うことができる。また逆止弁の外側に気体の通路を設けたので、効率良く気体の置換が行える。さらにシールパッキンを面押圧で確実にシールを形成しているので、置換した気体の漏れを防いで長時間の維持ができる。
【００３７】
【実施例】
上記した図４，図６に示した１対のバルブ体を取り付けた本発明の基板収納容器を窒素ガスで置換したときの酸素濃度と、このような低酸素の状態を維持できる保持時間の測定を行った。その結果は、窒素ガスを２０Ｌ／分の割合で供給していくと、酸素濃度を１０ｐｐｍ以下に低下させるのに約１５分で可能であった。また、この状態で窒素ガスの供給を止めて、基板収納容器を放置しておくときの酸素濃度の変化を調べると酸素濃度が１％まで上昇するのに約５時間を要しており、このように基板を加工途中で一時保管するときなど低酸素状態を一定の時間維持できるので、基板の汚染や表面の酸化を抑制することができる。
比較のため従来技術で取り上げたバルブ付きの基板収納容器を使用した場合、酸素濃度が１０ｐｐｍから１％まで上昇するのに約７０分しか要さなかった。なお、測定は基板収納容器に２箇所の貫通穴部を設けて、２箇所の貫通穴を結ぶように測定用の配管経路を作成し、配管経路の途中に酸素濃度計を設置して酸素濃度の測定を１分毎に行った。貫通穴の周囲を密閉したのち、基板収納容器内部に導入バルブを介して窒素ガスを一定速度で供給した。また、酸素濃度は東レエンジニアリング社製の酸素濃度計（測定レンジ０．１ｐｐｍ〜１００ＶＯＬ％）を使用した。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる基板収納容器の実施形態を表す分解斜視図。
【図２】本発明に係わる基板収納容器の実施形態における容器本体を表す底面図。
【図３】本発明に係わる基板収納容器の実施形態におけるバルブ体を示す分解斜視図。
【図４】本発明に係わる基板収納容器の実施形態におけるガス導入バルブを表す断面説明図。
【図５】図４のガス導入バルブに気体が供給される状態を表す断面説明図。
【図６】本発明に係わる基板収納容器の実施形態におけるガス排気バルブを表す断面説明図。
【図７】図６のガス排気バルブから気体が排気される状態を表す断面説明図。
【図８】本発明に係わる基板収納容器にガス置換をするためのガス給排気治具を表す平面図。
【図９】図８に示した治具を表す側面図。
【図１０】本発明に係わる基板収納容器の別の実施形態におけるガス導入バルブを表す断面説明図。
【図１１】本発明に係わる基板収納容器の別の実施形態におけるガス排気バルブを表す断面説明図。
【符号の説明】
１      容器本体
４      貫通孔
５      リブ
１０    蓋体
２０    バルブ体
２０Ａ  ガス導入バルブ
２０Ｂ  ガス排気バルブ
２１    固定筒
２２    螺子溝
２３    通気口
２４    フランジ
２５    保持筒
２８    フランジ
２９    螺子溝
３０    シール部材
３１    逆止弁
３２    隙間
３２Ａ  隙間
３３    弾性部材
３４    中蓋筒
３６    フィルタ
３７    シール部材
３８    シール部材
３９    第一の係合部
４０    第一の係合部
４１    シール部材保持部
７０    給気ノズル部
７１    排気ノズル部
Ｗ      基板
【図１】
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【図２】
2004179449.tif 000004
【図３】
2004179449.tif 000005
【図４】
2004179449.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004179449.tif 000008
【図７】
2004179449.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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