(57)【要約】【課題】ＴＶカメラを１台のみ使用する遠隔撮像方式のカメラシステムであっても、測定精度を落とすことなくフォーカス状態を測定することができるカラー受像管検査方法を提供する。【解決手段】画像検査パターンを、ＴＶカメラにおけるＣＣＤ素子の１画素分に相当するスクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンの幅に対して、任意の整数分の１だけ縦方向あるいは横方向に画像検査パターンを移動させ、各移動時点におけるスクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンを撮像してメモリに記録し、画像検査パターンの移動と記録を順次、複数回繰り返し、メモリに記録されている全ての画像検査パターンを、移動量に応じて補正した上で合成し、合成された画像に基づいてカラー受像管の画像状態を計算する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラー受像管の蛍光体が塗布されたスクリーン面に映し出された画像検査パターンをＴＶカメラで撮像し、撮像された前記画像検査パターンに基づいて前記カラー受像管におけるフォーカス状態を計算し、前記カラー受像管の画質状態の良否を判定するカラー受像管検査方法であって、
前記画像検査パターンを、前記ＴＶカメラにおけるＣＣＤ素子の１画素分に相当する前記スクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンの幅に対して、任意の整数分の１だけ縦方向あるいは横方向に前記画像検査パターンを移動させる工程と、
各移動時点における前記スクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンを撮像し、画像データとしてメモリに記録する工程と、
前記画像検査パターンの移動と記録を順次、複数回繰り返す工程と、
前記メモリに記録されている全ての前記画像データを、前記移動量に応じて補正した上で合成する工程と、
合成された前記画像データに基づいて前記カラー受像管の画像状態を計算する工程を含むことを特徴とするカラー受像管検査方法。
【請求項２】
前記画像検査パターンの移動と記録を複数回繰り返す工程において、前記任意の整数から１を減じた回数だけ順次、前記画像検査パターンの移動と記録を繰り返す請求項１に記載のカラー受像管検査方法。
【請求項３】
カラー受像管の蛍光体が塗布されたスクリーン面に映し出された画像検査パターンをＴＶカメラで撮像し、撮像された前記画像検査パターンに基づいて前記カラー受像管におけるフォーカス状態を計算し、前記カラー受像管の画質状態の良否を判定するカラー受像管検査装置であって、
前記画像検査パターンを、前記ＴＶカメラにおけるＣＣＤ素子の１画素分に相当する前記スクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンの幅に対して、任意の整数分の１だけ縦方向あるいは横方向に前記画像検査パターンを移動させる手段と、
各移動時点における前記スクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンを撮像し、画像データとしてメモリに記録する手段と、
前記画像検査パターンの移動と記録を順次、複数回繰り返す手段と、
前記メモリに記録されている全ての前記画像データを、前記移動量に応じて補正した上で合成する手段と、
合成された前記画像データに基づいて前記カラー受像管の画像状態を計算する手段を含むことを特徴とするカラー受像管検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はカラー受像管検査方法及び装置に関する。特に、ＴＶカメラを用いて画像状態の良否判定をするカラー受像管検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラー受像管の画像状態を検査する場合、通常はカラー受像管のスクリーン面に所定の画像検査パターンを映し出し、映し出された画像検査パターンのフォーカス状態を測定することによって、画像状態の良否を判定する。
【０００３】
従来、かかる方法を用いた画像状態の検査方法としては、（特許文献１）に開示されている方法が良く知られている。すなわち、当該方法においては、ビームスポットを１／３ピッチずつ水平方向に移動させながら、映し出されたドットパターンをＴＶカメラで撮像して保存する。そして、ビームスポットの移動前に撮像しておいたブラックマトリックスが塗布された部分に隠れてビームスポットが表示されていない非画像表示位置に、ビームスポットを移動させた後に撮像されて保存されている画像データを補正して合成することによって、合成された画像に基づいてフォーカス状態を測定するものである。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−１４９３６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述したような検査方法においては、蛍光体が塗布されたドットパターンの１／３ピッチずつビームスポットを移動させた場合に映し出される画像状態をＴＶカメラで測定しているが、ブラックマトリックスが塗布された部分によってビームスポットが隠される境界であるエッジ部分を必ずＴＶカメラで認識しておく必要がある。
【０００６】
そのため、複数台のカメラをカラー受像管に近接させ、カラー受像管の一部のみを拡大撮影する近接撮像方式のカメラシステムにおいては、小さな画像の移動量についても容易に検出することができるので、本検査方法を実行することができるものの、１台のカメラのみでカラー受像管全体を撮像する遠隔撮像方式のカメラシステムにおいては、ドットパターンの１／３ピッチという小さな画像の移動量を認識することができないことから、ビームスポットを移動させながら数回撮像した場合であっても、それぞれの画像データが同じ様に撮像されてしまい区別がつかなくなってしまう。
【０００７】
したがって、遠隔撮像方式のカメラシステムにおいては、ビームスポットの移動に伴う画像データの変化を検出することができず、フォーカス状態を精度良く測定することができないという問題点があった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するために、ＴＶカメラを１台のみ使用する遠隔撮像方式のカメラシステムであっても、測定精度を落とすことなくフォーカス状態を測定することができるカラー受像管検査方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明にかかるカラー受像管検査方法は、カラー受像管の蛍光体が塗布されたスクリーン面に映し出された画像検査パターンをＴＶカメラで撮像し、撮像された画像検査パターンに基づいてカラー受像管におけるフォーカス状態を計算し、カラー受像管の画質状態の良否を判定するカラー受像管検査方法であって、画像検査パターンを、ＴＶカメラにおけるＣＣＤ素子の１画素分に相当するスクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンの幅に対して、任意の整数分の１だけ縦方向あるいは横方向に画像検査パターンを移動させる工程と、各移動時点におけるスクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンを撮像し、画像データとしてメモリに記録する工程と、画像検査パターンの移動と記録を順次、複数回繰り返す工程と、メモリに記録されている全ての画像データを、移動量に応じて補正した上で合成する工程と、合成された画像データに基づいてカラー受像管の画像状態を計算する工程を含むことを特徴とする。
【００１０】
かかる構成により、ＴＶカメラ１台のみ使用する遠隔撮像方式のカメラシステムであっても、ＣＣＤ素子の間を補間することにより、画像測定時における輝度データの有効数を増加させてカラー受像管の画像検査を実施することができ、高精度な画像検査が可能となる。
【００１１】
また、本発明にかかるカラー受像管検査方法は、画像検査パターンの移動と記録を複数回繰り返す工程において、任意の整数から１を減じた回数だけ順次、画像検査パターンの移動と記録を繰り返すことが好ましい。遠隔撮像方式のカメラシステムであっても、実際に画像が撮影されたＣＣＤ素子における画素の位置と、画像移動量分だけ画像検査パターンを移動させた移動量との相対位置のズレ量を漏れなく補正することができ、測定精度を落とすことがないからである。
【００１２】
次に、上記目的を達成するために本発明にかかるカラー受像管検査装置は、カラー受像管の蛍光体が塗布されたスクリーン面に映し出された画像検査パターンをＴＶカメラで撮像し、撮像された画像検査パターンに基づいてカラー受像管におけるフォーカス状態を計算し、カラー受像管の画質状態の良否を判定するカラー受像管検査装置であって、画像検査パターンを、ＴＶカメラにおけるＣＣＤ素子の１画素分に相当するスクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンの幅に対して、任意の整数分の１だけ縦方向あるいは横方向に画像検査パターンを移動させる手段と、各移動時点におけるスクリーン面に映し出された実際の画像検査パターンを撮像し、画像データとしてメモリに記録する手段と、画像検査パターンの移動と記録を順次、複数回繰り返す手段と、メモリに記録されている全ての画像データを、移動量に応じて補正した上で合成する手段と、合成された画像データに基づいてカラー受像管の画像状態を計算する手段を含むことを特徴とする。
【００１３】
かかる構成により、ＴＶカメラ１台のみ使用する遠隔撮像方式のカメラシステムであっても、ＣＣＤ素子の間を補間することにより、画像測定時における輝度データの有効数を増加させてカラー受像管の画像検査を実施することができ、高精度な画像検査が可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態にかかるカラー受像管検査方法について、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施の形態にかかるカラー受像管検査方法を具現化する検査装置の概略構成図である。
【００１５】
図１において、カラー受像管１を設置するカラー受像管保持装置４に、検査の対象となるカラー受像管１を設置し、当該カラー受像管１の蛍光体が塗布されたスクリーン面２を撮像することができるように、例えばＣＣＤ素子を使用したＴＶカメラ１１をスクリーン面２に対向して設ける。
【００１６】
当該ＴＶカメラ１１には、撮像される画像の倍率や焦点を調整できる機能を有するカメラレンズ１２が取り付けられており、サイズの異なるカラー受像管１を用いた場合であっても、カメラレンズ１２において倍率調整あるいは焦点調整等行うことによって、ＴＶカメラ１１で画像を撮像する状態を調整することができる。なお、倍率調整や焦点調整等は、カメラレンズ１２を用いて行うことに限定されるものではない。
【００１７】
ＴＶカメラ１１には、画像検査部２１が接続されている。画像検査部２１は、画像データを記憶するメモリ２２を有する。メモリ２２には、ＴＶカメラ１１で撮像された画像が、例えば水平５１２列、垂直４７８行であるマトリックス上に８ビットの画像データとして記憶される。また、それに加えて、ＴＶカメラ１１で撮像する検査対象となるカラー受像管１に映し出された画像検査パターンの表示位置を移動させた場合においても、移動位置それぞれに対応した記憶アドレスに当該画像データを記憶することができる。そして、画像合成処理回路２３によって、画像検査パターンの移動位置に対応する各々の画像データを１つに合成することができる。
【００１８】
また、画像位置検出回路２４では、メモリ２２に記憶されているスクリーン面２に映し出された画像データ上で指定された任意の位置を中心とする所定の範囲内で検出された輝度データに基づいて、画像データのフォーカス状態を検出する。
【００１９】
輝度データとしては、様々なデータ形式が考えられる。例えば、図２の破線で囲まれている部分に表示されている画像検査パターン３５におけるコントラストデータに基づいて、図３に示すような画像データの輝度分布３７を求めるのが一般的である。また、輝度分布３７のみならず、輝度的な重心点を考慮して、当該輝度的な重心点における輝度の検出を行っても良いし、あるいは画像データのノイズ成分を除去するために低輝度レベルである部分をカットするべく、ある一定輝度レベルより輝度値が高くなっている連続部分、すなわち画像検査パターン３５の輝線幅３６を求めるものであっても良い。
【００２０】
次に、画像検査回路２５においては、カラー受像管１の検査項目であるスクリーン面２上の指定位置におけるミスコンバージェンスや、ミスコンバージェンスの測定位置の周辺部における画像歪み、あるいはミスコンバージェンスの測定位置における縦方向中心を含む水平部分の２端におけるヨーク回転等について、それぞれの値を測定したり、測定値の良否を検査することになる。
【００２１】
また、画像検査部２１内における画像位置検出回路２４等の各回路や、カラー受像管１へ画像検査パターン３５を表示させたり表示位置を調整するカラー受像管駆動部３１内に位置する偏向電源３２をコントロールする画像表示位置調整回路２６等を連続的に動作させるために、各回路は例えばマイクロコンピュータ２７により一括制御される。また、動作させるために必要な各種データ、例えば各カラー受像管１の種類ごとの検査位置データや画像位置の制御データ等は、データメモリ２８に記録されている。
【００２２】
画像検査部２１に接続されているモニタ２９は、ＴＶカメラ１１で撮像された画像がそのまま表示できる。したがって、検査対象となるカラー受像管１の大きさが変わり、映像としてＴＶカメラ１１の視野内におけるカラー受像管１の大きさ等が変更になった場合、あるいはＴＶカメラ１１の取り付け位置のズレにより発生するＴＶカメラ１１で撮像された画像位置のズレやカメラレンズ１２による画像焦点のズレが発生した場合には、モニタ２９に表示される画像を見ながら、カラー受像管１のスクリーン面２がＴＶカメラ１１の画像視野内に収まるように、あるいは中心位置が一致するように、さらには画像焦点が検査対象となるカラー受像管１のスクリーン面２と一致するように、ＴＶカメラ１１の設置位置やカメラレンズ１２の倍率や焦点を調整する。また、モニタ２９は、ＴＶカメラ１１で撮像された画像データを、ＣＣＤ素子中の指定した位置における１画素単位の輝度データ、例えば８ビットの数値として表示することもできる。
【００２３】
一方、検査対象となるカラー受像管１には、カラー受像管駆動部３１が接続されている。カラー受像管駆動部３１に、画像検査パターンを生成するパターン発生器３４が含まれている。
【００２４】
パターン発生器３４では、撮影された画像上で水平あるいは垂直方向に、それぞれ又は同時に、コントラストデータに基づいて作成された輝度分布上で、輝度的な重心点を考慮した輝度重心部分や、ある一定レベルより輝度が高い連続部分があるような画像検査パターン３５を生成することができる。
【００２５】
パターン発生器３４は、スクリーン面２上に画像を表示することができる偏向電源３２に接続され、カラー受像管駆動電源３３もカラー受像管１に接続することによって、検査対象となるカラー受像管１に画像検査パターン３５を映し出すことができる。当該画像検査パターン３５は、画像表示位置調整回路２６によって偏向電源３２を制御することができ、検査対象となるカラー受像管１への表示位置を上下あるいは左右方向へと移動することができる。
【００２６】
また、マイクロコンピュータ２７によって、画像検査パターン３５の表示位置の移動に伴って同期を取りながら、ＴＶカメラ１１がスクリーン面２に映し出された画像検査パターン３５の画像を撮像するよう制御する。かかる画像検査パターン３５の表示位置の移動とＴＶカメラ１１による撮像を数回繰り返すことによって、各移動位置に対応して撮像された画像データは、画像位置検出回路２４内に記憶される。
【００２７】
画像位置検出回路２４においては、画像データとメモリアドレス位置を対応させて記憶している。そして、実際の画像表示位置の移動に対して、撮影された画像データが移動された移動量との相対位置のズレ量を、メモリアドレス位置を指定することによって補正する。
【００２８】
そして、全ての画像の移動と撮像が完了すると、画像位置検出回路２２によって記憶されている全ての画像データが合成される。合成された画像データは画像検査回路２３に送られ、当該画像データに基づいて、カラー受像管１に表示されている画像検査パターン３５の輝線幅３６の良否によって画像のフォーカス状態を判定することになる。
【００２９】
次に、上記構成によるカラー受像管検査装置を用いて画像検査を行う手法について説明する。まず、自動検査を行う前段階における準備作業について説明する。
【００３０】
検査対象となるカラー受像管１と同じサイズかつ同じタイプであるカラー受像管１をカラー受像管保持装置４に設置し、カラー受像管表示機構３１によりカラー受像管１のスクリーン面２に所定の画像検査パターン３５を映し出す。
【００３１】
そして、カラー受像管１のスクリーン面２に対向して設けられているＴＶカメラ１１により画像検査パターン３５を撮像し、画像検査部２１のメモリ２２に記録する。メモリ２２に記録された画像検査パターン３５の画像データをモニタ２９に表示させ、ＴＶカメラ１１におけるカメラレンズ１２によって画像検査パターン３５を撮像している撮影状態を調整する。
【００３２】
さらに、ＴＶカメラ１１により撮像された輝度データ４３に対して、ＣＣＤ素子４１の１つ１つの画素が得た輝度レベルデータについても、同時にモニタ２７に表示させる。例えば図４（ａ）における５１ａ等の輝度レベルデータについても、同時にモニタ２７に表示することになる。そして、当該輝度レベルデータ５１ａ等の中から、画像検査パターン３５を撮像しているある一つのＣＣＤ画素５１のみに対応する輝度レベルデータ５１ａを確認する。
【００３３】
確認された輝度レベルデータ５１ａを基準として、カラー受像管１に画像を表示している偏向電源３２を画像表示位置調整回路２６によりコントロールして、画像検査パターン３５をまず横方向に少しずつ移動させ、図４（ａ）における輝度レベル４３が、記録された１つのＣＣＤ画素５１に対して、図４（ｂ）に示す当該画像検査パターン３５を移動させる方向の一つ横隣に位置する画素であるＣＣＤ画素５２の輝度レベルデータ５２ｂが、記録されているＣＣＤ画素５１の輝度レベルデータ５１ａと同一輝度レベルになるまで画像検査パターン３５の表示位置を移動させる。輝度レベルが一致するまで移動させることで、ＣＣＤ素子４１の１画素分の移動に対応するスクリーン面２上の実際の距離に対して、画像検査パターン３５を横方向に移動させたことになる。
【００３４】
こうして求まったＣＣＤ素子４１の１画素分の移動に対する画像検査パターン３５の横方向の移動量を画像横方向移動基準量とする。そして、当該画像横方向移動基準量の例えば１／４の移動量を画像横方向移動量として、データメモリ２５に記録する。かかる画像横方向移動基準量とは、当該検査準備段階におけるＣＣＤ素子４１の１画素分を実際にスクリーン面上で画像検査パターン３５を横方向に移動させるために画像表示位置調整回路２６が偏向電源３３をコントロールする量を示しており、画像横方向移動量とは、画像検査時において画像検査パターン３５を横方向に１回移動させるために画像表示位置調整回路２６が偏向電源３３をコントロールする量を示している。また、縦方向に対しても上記と同様にして、画像縦方向移動基準量と画像縦方向移動量を求め、データメモリ２５に記録する。
【００３５】
さらに、スクリーン面２に対して、フォーカス画像を検査する位置となる画像検査パターン３５の位置３８の位置データや、当該位置データを基準として画像を測定するエリアの幅３９のエリア幅データ、またフォーカス状態の良否を判定する輝線幅３６の閾値等についてもデータメモリ２５に記録する。
【００３６】
なお、フォーカス状態の良否を判定する輝線幅３６の閾値については、例えばＣＣＤ画素数単位で良否を判定する場合には、本実施例においては、データ補間することによってＣＣＤ画素数が見かけ上４倍になることから、実際のＣＣＤ画素数の４倍に設定することになる。
【００３７】
次に、上記構成によるカラー受像管検査装置を用いて実際に画像検査を行う手法について説明する。
【００３８】
上述した準備作業と同様に、検査対象となるカラー受像管１をカラー受像管保持装置４に設置し、カラー受像管表示機構３１によりカラー受像管１のスクリーン面２に所定の画像検査パターン３５を映し出させる。
【００３９】
カラー受像管１のスクリーン面２に対向して設けられているＴＶカメラ１１により、画像検査パターン３５を撮像して、データメモリ２８に記録されている画像検査位置の測定エリアに対応する撮像された画像データを画像検査部２１内のメモリ２２に記録する。
【００４０】
そのとき、元来の画像データが表示されていた位置に対して、撮像された画像データの輝度レベルデータをメモリ２２へ記録する。例えば図４（ａ）における５１ａについて説明する。
【００４１】
まず上述した準備作業によって、メモリ２２のデータアドレス４２について、画像横方向及び画像縦方向の移動量を求めたが、当該横方向移動量として横方向移動基準量から除算した分、例えば移動量をＣＣＤ１画素の１／４分とした場合には、各ＣＣＤ素子４１に対してデータアドレス４２を４ステップごとに対応する画像データを記録させる。例えば、アドレス１＝６１、アドレス５＝６５、アドレス９＝６９、．．．というように、それぞれのアドレスに対応する画像データを順に記録することになる。
【００４２】
そして、画像データを記録した後、前記準備作業で求めた画像横方向移動量分だけ、検査機構内のマイクロコンピュータ２７から画像表示位置調整回路２６により偏向電源３２をコントロールして、画像検査パターン３５を横方向に移動させる。画像検査パターン３５の表示位置を移動させた後に、再度ＴＶカメラ１１で移動後の画像検査パターン３５を撮像し、撮像された画像データの輝度レベルデータをメモリ２２に記録する。例えば図５（ａ）では、輝度レベルデータ５１ｂを対応する輝度レベルデータとしてメモリ２２に記録する。さらに、基準となる画像データが記録されているデータアドレスを基準にして、データアドレス４２を１ステップ移動させて、例えばアドレス２＝６２、アドレス６＝６６、アドレス１０＝、．．．というアドレス順で画像データを記録する。
【００４３】
このように、画像検査パターン３５を移動させつつ撮像し、メモリ２２に画像データとして記録するという手順を、｛（画像横方向移動基準量／画像横方向移動量）−１｝回、すなわち本実施例においては３回繰り返す。それぞれのアドレスに対応する輝度レベルデータを図５（ｂ）及び（ｃ）に示す。
【００４４】
こうして、３回繰り返して画像検査パターン３５を移動して撮影した後、アドレス１＝６１である輝度レベルデータ５１ａから順に、アドレス２＝６２の輝度レベルデータ５１ｂ、アドレス３＝６３の輝度レベルデータ５１ｃ、と各輝度レベルデータを合成し、見かけ上高密度化された輝度データ４２’を作成する。このようにすることで、図６に示すように、実際に画像の輝度が撮影されたＣＣＤ素子４１の画素の位置と、画像横方向移動量分だけ画像検査パターン３５を移動させた移動量との相対位置のズレ量を補正した状態となる。
【００４５】
また、縦方向に対しても、上述した横方向と同様の処理を繰り返し行うことによって、画像検査パターン３５を撮像する。こうすることによって、ＣＣＤ画素の数に対して、本実施例においては４倍の補間データを作成することができ、画像検査パターン３５における輝度データの取得密度を高めることができる。なお、補間データの倍密度は４倍に限定されるものでないことは言うまでもない。
【００４６】
このようにしてＣＣＤ画素間を補間した画像の輝度データ４２’に基づいて、画像検査パターン３５の輝度データ上の指定した位置におけるフォーカス状態を測定する。すなわち、画像検査部２１内の画像位置検出回路２３により、指定された画像位置における画像検査パターン３５の輝線幅３６を、合成された画像データから得られるコントラストデータから作成される輝度分布３７のデータに基づいて算出する。例えば、ある一定レベルより輝度が高い部分が連続している部分の幅を計算して、当該画像検査パターン３５の輝線幅３６としてデータメモリ２８に記録する。
【００４７】
そして、画像状態に関するデータを画像検査回路２３に送り、当該データに基づいて、カラー受像管１に表示されている画像のフォーカス状態を示す画像検査パターン３５の輝線幅３６の良否を判定する。
【００４８】
以上のように本実施の形態によれば、ＴＶカメラ１台のみ使用する遠隔撮像方式のカメラシステムでも、ＣＣＤ素子の間を補間することにより、画像測定時の輝度データの有効数を増加させてカラー受像管の画像検査を実施することができ、高精度な画像検査を可能とすることができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上のように本発明にかかるカラー受像管検査方法によれば、ＴＶカメラ１台のみ使用する遠隔撮像方式のカメラシステムでも、ＣＣＤ素子の間を補間することにより、画像測定時の輝度データの有効数を増加させてカラー受像管の画像検査を実施することができ、高精度な画像検査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかるカラー受像管検査方法を具現化する検査装置のブロック構成図
【図２】カラー受像管に画像検査パターンを映し出させた状態を示す図
【図３】画像検査パターンの拡大図
【図４】画像検査パターンの撮影状態の説明図
【図５】ＴＶカメラ移動時における画像検査パターンの撮影状態の説明図
【図６】画像検査パターンの合成状態の説明図
【符号の説明】
１  カラー受像管
２  スクリーン面
３  画像偏向部
４  カラー受像管保持装置
１１  ＣＣＤカメラ
１２  カメラレンズ
２１  画像検査部
２２  メモリ
２３  画像合成処理回路
２４  画像位置検出回路
２５  画像検査回路
２６  画像表示位置調整回路
２７  マイクロコンピュータ
２８  データメモリ
２９  モニタ
３１  カラー受像管表示機構
３２  偏向電源
３３  カラー受像管駆動電源
３４  検査パターン発生器
３５  画像検査パターン
３６  輝線幅
３７  ＴＶカメラで撮影された輝度データ
３８  画像検査位置
３９  画像測定エリア
４１  画像メモリアドレス
４２  データ合成後の画像メモリアドレス
４３  画像検査パターンの輝度データ
５１、５２  ＣＣＤ素子の１画素
５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、５２ａ  ＣＣＤ素子の１画素で測定された輝度データ
５２ｂ  ＣＣＤ素子の１画素分の距離だけ画像を移動させた時の輝度データ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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