(57)【要約】【課題】予圧付与作業の効率化を図ることができると共に、予圧付与に用いる装置構成を簡略化し、更には目標とする転がり軸受のロストルクを間単に得ることができる転がり軸受装置の予圧付与装置を提供する。【解決手段】予圧付与装置２１は、軸２３を固定支持する軸受支持手段３１と、軸２３の外周に嵌合した内輪６を予圧付与のために軸線方向に変位させる内輪送り手段３３と、複列玉軸受装置２９のハウジング２７を一定トルクで非接触状態で回転させる回転駆動手段３７と、ハウジング２７の回転速度を非接触に検出する速度検出手段３９と、回転駆動手段３７によって複列玉軸受装置２９のハウジング２７を回転させると共に、内輪送り手段３３により内輪６を軸線方向に変位動作させて複列玉軸受装置２９に予圧を徐々に付与しながら、速度検出手段３９からの検出回転速度を予め設定した閾値と比較し、内輪送り手段３３の送り動作を制御する制御手段４１と、を備える。【選択図】　　　　図１
2004069033.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸と、該軸に転がり軸受を介して回転可能に外嵌されたハウジングとを備えた転がり軸受装置に予圧を付与する装置であって、
前記軸を固定支持する軸受支持手段と、
前記軸の外周に嵌合した内輪を予圧付与のために軸線方向に変位させる内輪送り手段と、
前記軸受支持手段によって前記軸が固定支持された前記転がり軸受装置のハウジングを一定トルクで非接触状態で回転させる回転駆動手段と、
回転する前記ハウジングの回転速度を非接触に検出する速度検出手段と、
前記回転駆動手段によって前記転がり軸受装置のハウジングを回転させると共に、前記内輪送り手段により前記内輪を軸線方向に変位動作させて前記転がり軸受装置に予圧を徐々に付与しながら、前記速度検出手段からの検出回転速度を予め設定した閾値と比較し、前記内輪送り手段の送り動作を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする転がり軸受装置の予圧付与装置。
【請求項２】
前記回転駆動手段は、ノズルが前記ハウジングの外周面に噴射する圧力流体により、該ハウジングを一定トルクで非接触状態で回転させることを特徴とする請求項１に記載の転がり軸受装置の予圧付与装置。
【請求項３】
前記速度検出手段として、前記ハウジングの外周面でのレーザ光の反射によって該ハウジングの表面速度を検出するレーザ速度計を使用したことを特徴とする請求項１又は２に記載の転がり軸受装置の予圧付与装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は転がり軸受装置の予圧付与装置に関し、情報機器や精密測定機器、或いは工作機械等に組み込まれる転がり軸受装置に所望の予圧を付与する予圧付与装置の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
情報機器や精密測定機器、或いは工作機械等で、スピンドルやスイングアーム等の支持用として使用される転がり軸受装置は、軸の振れ回り運動や軸方向の振れを防止して高精度な動作を実現するために、軸方向の予圧を付与した状態で使用される。
【０００３】
従来の転がり軸受装置の予圧付与装置としては、特開平６−２２１３２６号公報に記載されたものが知られている。
図８及び図９を参照して説明すると、転がり軸受装置としての複列玉軸受装置１は、軸方向に互いに離間配置された一対の玉軸受４，４を介してハウジング３が軸２に回転可能に外嵌固定されている。前記玉軸受４は、内輪軌道５を有する内輪６と、外輪軌道７を有する外輪８と、両軌道５，７間に保持器９を介して転動自在に介装された転動体としての複数個の玉１０とを備えており、外輪８はハウジング３に内嵌固定され、内輪６は軸２に外嵌固定されている。
【０００４】
そして、前記複列玉軸受装置１に予圧を付与する予圧付与装置１００は、図８及び図９に示したように、軸２の一端部（図８中、左端部）を保持して回転させる保持具１１と、ハウジング３の外周面に一端が巻き付けられた糸１２の他端に接続されて該ハウジング３に作用するトルクを検出する荷重センサ１３と、前記軸２の他端側（図８中、右端側）の玉軸受４における内輪６の端面を押圧する押し込み腕１４と、この押し込み腕１４を軸方向に移動させて軸２の他端側の内輪６を軸２の一端側に押圧変位させる図示せぬ押込み装置と、を備える。
【０００５】
そこで、上記予圧付与装置１００は、保持具１１を介して軸２を回転させ、この軸２と共に回転するハウジング３の回転抵抗（ロストルク）を荷重センサ１３により測定しつつ、図示せぬ押込み装置によって押し込み腕１４を軸２の他端側の内輪６の端面を押圧することにより、この内輪６を一端側の内輪６に向け移動させる。
【０００６】
そして、荷重センサ１３による測定ロストルクが予め設定した設定値にほぼ一致した状態で、押し込み腕１４による内輪６の軸方向の移動を停止する。
複列玉軸受装置１のロストルクと予圧量との間には一定の関係があることは従来から知られており、従って、所定の予圧付与を行うべき複列玉軸受装置１と同じ構成を有し、且つ、適正な予圧が付与された複列玉軸受装置のロストルクを予め測定しておけば、上述の様に押し込み腕１４による内輪６の軸方向の移動を停止した時点で複列玉軸受装置１に適正な予圧を付与することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した予圧付与装置１００では、予圧の付与を開始する前に、予圧付与を行う複列玉軸受装置１毎にハウジング３の外周面に糸１２の一端部を巻き付ける前処理が必要となり、又、予圧の付与を終了した後に、ハウジング３から糸１２を取り外す後処理が必要となる。
【０００８】
そこで、特にハードディスクドライブ等に組み込まれる小さな複列玉軸受装置１では、この糸１２の巻き付け・取り外し作業が面倒であり、予圧付与作業の効率化を妨げる原因になっている。
また、押し込み腕１４も、保持具１１と同様に回転させる機構が必要となり、保持具１１及び押し込み腕１４を含んで構成する予圧付与装置１００の構造が複雑になるという問題がある。
【０００９】
従って、本発明の目的は上記課題を解消することに係り、予圧付与作業の効率化を図ることができると共に、予圧付与に用いる装置構成を簡略化し、更には目標とする転がり軸受装置のロストルクを間単に得ることができる転がり軸受装置の予圧付与装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、軸と、該軸に転がり軸受を介して回転可能に外嵌されたハウジングとを備えた転がり軸受装置に予圧を付与する装置であって、
前記軸を固定支持する軸受支持手段と、
前記軸の外周に嵌合した内輪を予圧付与のために軸線方向に変位させる内輪送り手段と、
前記軸受支持手段によって前記軸が固定支持された前記転がり軸受装置のハウジングを一定トルクで非接触状態で回転させる回転駆動手段と、
回転する前記ハウジングの回転速度を非接触に検出する速度検出手段と、
前記回転駆動手段によって前記転がり軸受装置のハウジングを回転させると共に、前記内輪送り手段により前記内輪を軸線方向に変位動作させて前記転がり軸受装置に予圧を徐々に付与しながら、前記速度検出手段からの検出回転速度を予め設定した閾値と比較し、前記内輪送り手段の送り動作を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする転がり軸受装置の予圧付与装置により達成される。
【００１１】
ここで、上述の如き転がり軸受装置においては、一定トルクで回転駆動されるハウジングの回転速度が、転がり軸受装置に付与した予圧量に応じて増大するロストルクに反比例する相関を示す。そこで、上記構成の転がり軸受装置の予圧付与装置のように、予圧処理時にロストルクの代わりにハウジングの回転速度を検出し、検出回転速度を予め設定した閾値と比較して、内輪送り手段の送り動作を制御することで、予圧量を制御することができる。そして、閾値としては、適正予圧が付与された転がり軸受装置を前記一定トルクで回転させた時の前記ハウジングの回転速度を用いることができる。
【００１２】
即ち、上記構成によれば、転がり軸受装置の予圧量を制御するためのハウジングの回転速度検出を非接触で行っているため、従来のように予圧の付与を開始する前にロストルクを直接検出するための糸をハウジングに接続する面倒な前処理が不要となり、又、予圧の付与を終了した後にロストルク検出用の糸を取り外す後処理も不要となり、予圧付与作業の処理効率を向上させることができる。
【００１３】
更に、予圧付与時にハウジングに与える回転動作は、転がり軸受装置に対して非接触の回転駆動手段によって行うため、転がり軸受装置を支持する軸受支持手段や内輪に軸方向の変位を与える内輪送り手段には、回転力を入力する機能が必要とならず、機構を単純化することができる。
また、予圧付与時に内輪を軸線方向に変位させる内輪送り手段の押圧力は、前記回転駆動手段には作用しないので、該回転駆動手段の回転精度に影響を及ぼすことがなく、内輪の送り量やハウジングの回転速度を正確に管理して、予圧付与の精度を向上させることができる。
【００１４】
なお、好ましくは前記回転駆動手段は、ノズルが前記ハウジングの外周面に噴射する圧力流体により、該ハウジングを一定トルクで非接触状態で回転させる。このような構成では、例えば、圧縮空気を噴射するエアジェットノズルが、ハウジングの周囲に等間隔で複数個配置されることで、ハウジングの安定した回転動作を比較的容易に実現することができる。
【００１５】
更に好ましくは、前記速度検出手段として、前記ハウジングの外周面でのレーザ光の反射によって該ハウジングの表面速度を検出するレーザ速度計を使用する。
このようにすると、レーザ速度計は速度検出帯域が大きいため、予圧付与対象の転がり軸受装置の仕様に合致する回転状況下で正確に回転速度の検出が可能で、予圧付与の精度向上を図ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明の一実施形態に係る転がり軸受装置の予圧付与装置を詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る転がり軸受装置の予圧付与装置を説明するための概略構成図である。
【００１７】
本実施形態に係る転がり軸受装置の予圧付与装置２１は、情報機器や精密測定機器、或いは工作機械等でスピンドルやスイングアーム等の支持用として使用される転がり軸受装置に、軸方向の予圧を付与するものである。
前記転がり軸受装置としての複列玉軸受装置２９は、図１に示したように、軸方向に互いに離間配置された一対の玉軸受４，４を介してハウジング２７が軸２３に回転可能に外嵌固定されている。前記玉軸受４は、図８に示した玉軸受４と同様の構成であり、内輪６と外輪８との間に複数個の玉１０を備えており、外輪８は円筒状のハウジング３に内嵌固定され、内輪６は円筒状の軸２に外嵌固定されている。
【００１８】
前記予圧付与装置２１は、図１に示したように、前記軸２３を固定支持する軸受支持手段３１と、前記軸２３の外周に嵌合した複列玉軸受装置２９の内輪６を予圧付与のために軸線方向に変位させる内輪送り手段３３と、前記軸受支持手段３１によって前記軸２３が固定支持された前記複列玉軸受装置２９のハウジング２７を一定トルクで非接触状態で回転させる回転駆動手段３７と、回転する前記ハウジング２７の回転速度を非接触に検出する速度検出手段３９と、前記回転駆動手段３７によって前記複列玉軸受装置２９のハウジング２７を回転させると共に、前記内輪送り手段３３により前記内輪６を軸線方向に変位動作させて前記複列玉軸受装置２９に予圧を徐々に付与しながら、前記速度検出手段３９からの検出回転速度を予め設定した閾値と比較し、前記内輪送り手段３３の送り動作を制御する制御手段４１と、を備えている。
【００１９】
前記軸受支持手段３１は、前記軸２３の一方（図中、下方）の開口端内に円柱状の支持突起３２を嵌入することで、複列玉軸受装置２９の位置決めをしている。
前記内輪送り手段３３は、前記軸２３の他方（図中、上方）の開口端側の転がり軸受４の内輪６の端面に当接する押圧用治具３３ａと、この押圧用治具３３ａが先端に装備された送り軸３３ｂと、この送り軸３３ｂを軸２３の軸方向に進退自在に支持するガイド部材３３ｅと、送り軸３３ｂに螺合するボールねじ３３ｃと、ボールねじ３３ｃを回転駆動することで前記送り軸３３ｂと一体に押圧用治具３３ａを軸２３の軸方向に変位させるパルスモータ３３ｄとを備えた構成であり、パルスモータ３３ｄの動作が制御手段４１によって制御される。
【００２０】
前記回転駆動手段３７は、ハウジング２７の周囲に装備した複数本のノズル３７ａから圧縮空気等の圧力流体３７ｂをハウジング２７の外周面に吹き付けて、ハウジング２７に回転方向の駆動トルクを付与する。
本実施形態の場合、図２に示すように、装備したノズル３７ａは２本であり、ハウジング２７の周方向の一側と他側で互いに噴射口の向きを逆にして並行配置されており、各ノズル３７ａの噴射口のからハウジング２７の外周面に向けて圧縮空気等の圧力流体を吹き付けることにより、ハウジング２７に回転方向の駆動トルクが付与されるようになっている。
【００２１】
ここで、前記ハウジング２７の外周面に２本の前記ノズル３７ａによって圧縮空気を吹き付けて、該ハウジング２７に回転トルクを付与する場合、前記ノズル３７ａから噴射される圧縮空気の空気圧と、ハウジング２７に作用する回転トルクとは、図５に示す相関を持つ。
本実施形態では、図５に示した空気圧と回転トルクとの相関に基づいて、前記ハウジング２７に作用する回転トルクが、目標とする予圧付与時のロストルクに応じた一定のトルクとなるように、各ハウジング２７から噴射する圧縮空気圧を設定する。
【００２２】
なお、前記ノズル３７ａの装備数は、１本でもよいが、回転トルクを安定して与えるためには、ノズル３７ａの装備数をハウジング２７の周方向に等間隔で複数本配置した方が良く、特に小さいトルク設定の場合には複数本で等配置がより好ましい。
【００２３】
本実施形態の前記速度検出手段３９は、図１に示したように、ハウジング２７の外周面にレーザ光３９ａを出射し、回転面でのレーザ光３９ａの反射によって該回転面（即ち、ハウジング２７の外周面）の回転速度を検出するレーザ速度計を使用している。
【００２４】
本実施形態の制御手段４１は、図３に示すように、ハードウエア的にはロードセル３５の出力信号を増幅するロードセルアンプ５１と、前記速度検出手段３９の出力信号を増幅するレーザ速度アンプ５２と、パルスモータ３３ｄに動作制御信号を送るモータコントロールドライバ５３と、前記ロードセルアンプ５１及び前記レーザ速度アンプ５２の出力信号に対して規定の演算処理を実施して、演算処理結果に応じてモータコントロールドライバ５３の出力を制御する演算装置５５とから構成されている。
【００２５】
図６は、転がり軸受装置２９に付与した予圧量に応じて発生するロストルクと、一定トルクで回転駆動される前記ハウジング２７の回転速度を測定したもので、縦軸にロストルク、横軸に回転速度を示している。
この図から明らかなように、一定トルクで回転駆動されるハウジング２７の回転速度は、転がり軸受装置２９に付与した予圧量に応じて発生するロストルクに反比例する相関を示す。
【００２６】
そこで、前記制御手段４１の具体的な処理としては、図６に示したハウジング２７の回転速度とロストルクとの相関に基づいて、適正予圧が付与された転がり軸受装置２９を一定トルクで回転させた時の前記ハウジング２７の回転速度を閾値として予め記憶しており、前記内輪送り手段３３により前記内輪６を軸線方向に変位動作させる時には、前記速度検出手段３９の検出値を前記閾値と比較し、前記速度センサ３９の検出値が前記閾値に達するときに、前記内輪送り手段３３による内輪６の変位動作を終了させる。
【００２７】
尚、前記制御手段４１においては、図７に示すように、前記内輪送り手段３３による内輪６の変位動作を終了させる位置Ｂに接近したＡ位置に到達すると、ハウジング２７の回転速度を高精度に閾値に一致させることができるように、内輪送り手段３３による送り軸３３ｂの移動速度を遅くする。
【００２８】
図４は、上述のような予圧付与装置２１における予圧付与処理の手順を示したものである。
先ず、内輪送り手段３３による送り軸３３ｂの降下を開始する（ステップＳ２０１）。送り軸３３ｂの降下時には、軸２３に圧入されている内輪６を介して軸２３に作用する押圧荷重をロードセル３５によって監視し、押圧荷重が内輪６を軸方向に押圧変位させる荷重設定値に達するか否かをチェックする（ステップＳ２０２，２０３）。
【００２９】
前記内輪送り手段３３による押圧荷重が荷重設定値に達したら、前記回転駆動手段３７による圧縮空気の噴射を開始し（ステップＳ２０４）、図７に示したＡ位置まで一定の降下速度で送り軸３３ｂを降下させる。図７のＡ位置に到達したか否かは、ハウジング２７の回転速度がＡ位置に相当する速度になったか否かを、速度検出手段３９の検出に基づいて判定することによって行う（ステップＳ２０５，２０６）。
【００３０】
次に、Ａ位置に到達したら、送り軸３３ｂの降下速度を遅くして、図７に示したＢ位置まで送り軸３３ｂを降下させる。図７のＢ位置に到達したか否かは、ハウジング２７の回転速度がＢ位置に相当する速度になったか否かを、速度検出手段３９の検出と予め設定した閾値との比較に基づいて判定することによって行う（ステップＳ２０５，２０６）。
【００３１】
そして、Ｂ位置に到達したら、内輪送り手段３３のパルスモータ３３ｄを停止させて、送り軸３３ｂの送りを止め（ステップＳ２０９）、次いで、回転駆動手段３７による圧縮空気の噴射を止める（ステップＳ２１０）と共に、送り軸３３ｂを初期位置の戻す復帰動作を完了させる（ステップＳ２１１）ことにより、予圧付与処理が終了する。
【００３２】
以上に説明した本発明の一実施形態に係る転がり軸受装置の予圧付与装置２１によれば、転がり軸受装置２９の予圧量を制御するためのハウジング２７の回転速度検出を非接触で行っているため、従来のように予圧の付与を開始する前にロストルクを直接検出するための糸をハウジングに接続する面倒な前処理が不要となり、又、予圧の付与を終了した後にロストルク検出用の糸を取り外す後処理も不要となり、予圧付与作業の処理効率を向上させることができる。
【００３３】
更に、予圧付与時に転がり軸受装置２９のハウジング２７に与える回転動作は、転がり軸受装置２９に対して非接触の回転駆動手段３７によって行うため、転がり軸受装置２９を支持する軸受支持手段３１や内輪６に軸方向の変位を与える内輪送り手段３３には、回転力を入力する機能が必要とならず、機構を単純化することができる。
【００３４】
また、予圧付与時に内輪６を軸線方向に変位させる内輪送り手段３３の押圧力は、前記回転駆動手段３７には作用しないので、該回転駆動手段３７の回転精度に影響を及ぼすことがなく、内輪６の送り量やハウジング２７の回転速度を正確に管理して、予圧付与の精度を向上させることができる。
【００３５】
更に、本実施形態の回転駆動手段３７は、ノズル３７ａが前記ハウジング２７の外周面に噴射する圧縮空気等の圧縮流体３７ｂにより、該ハウジング２７を一定トルクで非接触状態で回転させる構成であり、圧縮空気等を噴射するノズル３７ａをハウジング２７の周囲に等間隔で複数個配置することで、ハウジング２７の安定した回転動作を比較的容易に実現することができる。
【００３６】
更に、本実施形態では速度検出手段３９として、前記ハウジング２７の外周面でのレーザ光の反射によって該ハウジング２７の表面速度を検出するレーザ速度計を使用しており、該レーザ速度計は速度検出帯域が大きいため、予圧付与対象の転がり軸受装置２９の仕様に合致する高速回転状況下で正確に回転速度の検出が可能で、予圧付与の精度向上を図ることができる。
【００３７】
ここで、上記実施形態においては、予圧を付与するために軸方向に変位させる軸受の内輪６が、軸２３に対して締まり嵌めとなる場合を説明したが、軸２３に対してスキマ嵌めの内輪６についても、上記予圧付与装置２１で予圧の付与が可能である。その場合は、規定の予圧を付与後に、内輪送り手段３３によって内輪６を位置決めしている状態で、該内輪６を軸２３に接着固定し、その後に、内輪送り手段３３を復帰させれば良い。
【００３８】
また、本発明の転がり軸受装置の予圧付与装置により予圧付与の対象となる転がり軸受は、上記実施形態の複列玉軸受装置２９に限らず、複列円すいころ軸受装置等の他の転がり軸受装置も処理対象にすることができる。
また、上記実施形態では、軸２３に装備される一対の玉軸受４，４は、何れも内輪６を有した構成であるが、内輪送り手段３３によって軸線方向に変位させられる側と反対側の玉軸受は、軸２３の外周面に直接軌道面を形成して内輪６を省略た構成であっても良い。
更に、予圧を付与する転がり軸受装置は、別体の外輪８を使用せず、ハウジング２７自体に、転動体が転動する軌道面を形成した構成とすることもできる。
【００３９】
尚、本発明の転がり軸受装置の予圧付与装置における軸受支持手段、内輪送り手段、回転駆動手段、速度検出手段、及び制御手段等の構成は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の形態を採りうることは云うまでもない。
【００４０】
例えば、ハウジング２７がステンレス鋼等の導電性の材料によって作られている場合、そのハウジング２７の外周に電磁誘導コイルを緩く（ラジアル隙間を介在させた状態で）外挿して、該電磁誘導コイルに設定電圧を印加して回転磁界を付与することによって、ハウジング２７を非接触で回転させるようにしても良い。
【００４１】
【発明の効果】
上述したように、本発明の転がり軸受装置の予圧付与装置によれば、転がり軸受装置の予圧量を制御するためのハウジングの回転速度検出を非接触で行っているため、従来のように予圧の付与を開始する前にロストルクを直接検出するための糸をハウジングに接続する面倒な前処理が不要となり、又、予圧の付与を終了した後にロストルク検出用の糸を取り外す後処理も不要となり、予圧付与作業の処理効率を向上させることができる。
【００４２】
更に、予圧付与時にハウジングに与える回転動作は、転がり軸受装置に対して非接触の回転駆動手段によって行うため、転がり軸受装置を支持する軸受支持手段や内輪に軸方向の変位を与える内輪送り手段には、回転力を入力する機能が必要とならず、機構を単純化することができる。
また、予圧付与時に内輪を軸線方向に変位させる内輪送り手段の押圧力は、前記回転駆動手段には作用しないので、該回転駆動手段の回転精度に影響を及ぼすことがなく、内輪の送り量やハウジングの回転速度を正確に管理して、予圧付与の精度を向上させることができる。
【００４３】
従って、予圧付与作業の効率化を図ることができると共に、予圧付与に用いる装置構成を簡略化し、更には目標とする転がり軸受のロストルクを間単に得ることができる軸受装置の予圧付与装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る転がり軸受装置の予圧付与装置を説明するための概略構成図である。
【図２】図１に示した予圧付与装置において、ハウジングに回転力を付与するノズルの位置関係を説明する要部平面図である。
【図３】図１に示した予圧付与装置における制御手段の構成を示すブロック図である。
【図４】図１に示した予圧付与装置における予圧付与処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】図２に示した回転駆動手段におけるノズルがハウジングに噴射する圧縮空気の空気圧と、その時にハウジングが受けるトルクとの相関図である。
【図６】図１に示した予圧付与装置において、ハウジングを回転させる圧縮空気の空気圧を一定にしておいて、転がり軸受装置に付与する予圧量を変化させた時のハウジングの回転速度とロストルク（動トルク）との相関図である。
【図７】図１に示した予圧付与装置において、内輪を変位動作させた際のハウジングの回転速度と経過時間との相関図である。
【図８】従来の転がり軸受装置の予圧付与装置を示す要部概略図である。
【図９】図８に示した予圧付与装置におけるロストルクの測定方法を説明するための平面図である。
【符号の説明】
４　玉軸受（転がり軸受）
２１　転がり軸受装置の予圧付与装置
２３　軸
２７　ハウジング
２９　複列玉軸受装置（転がり軸受装置）
３１　軸受支持手段
３３　内輪送り手段
３７　回転駆動手段
３７ａ　ノズル
３９　速度検出手段
４１　制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004069033.tif 000005
【図４】
2004069033.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004069033.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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