(57)【要約】【課題】軸受の摩耗量を高い信頼性を有して運転中等にリアルタイムに計測できる計測方法を提供する。【解決手段】計測対象物１１と一体に摩耗することで表面積が減少する電磁誘導体からなるダミー計測体１３に対して渦電流センサ１２により渦電流を生成し、該ダミー計測体１３の面積の減少に応じた該渦電流センサ１２の出力変化に応じて該計測対象物１１の摩耗量を計測する。【選択図】    図３
2004294132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測対象物と一体に摩耗することで表面積が減少する電磁誘導体からなるダミー計測体に対して渦電流センサにより渦電流を生成し、該ダミー計測体の面積の減少に応じた該渦電流センサの出力変化に応じて該計測対象物の摩耗量を計測する摩耗量計測方法。
【請求項２】
計測対象物と一体に切削されることで表面積が減少する電磁誘導体からなるダミー計測体に対して渦電流センサにより渦電流を生成し、該ダミー計測体の面積の減少に応じた該渦電流センサの出力変化に応じて該計測対象物の切削量を計測する切削量計測方法。
【請求項３】
渦電流センサと、前記渦電流センサで発生する磁界によって渦電流が生成される電磁誘導体からなるダミー計測体とを有し、前記渦電流センサに対して前記ダミー計測体を一定位置に固持し、前記ダミー計測体を計測対象物と一体に摩耗させることにより面積を減少させ、前記渦電流センサから前記ダミー計測体の面積減少に応じた信号を出力することを特徴とする摩耗量計測用センサ。
【請求項４】
渦電流センサと、前記渦電流センサで発生する磁界によって渦電流が生成される電磁誘導体からなるダミー計測体とを有し、前記渦電流センサに対して前記ダミー計測体を一定位置に固持し、前記ダミー計測体を計測対象物と一体に切削させることにより面積を減少させ、前記渦電流センサから前記ダミー計測体の面積減少に応じた信号を出力することを特徴とする切削量計測用センサ。
【請求項５】
前記ダミー計測体は、前記計測対象物の摩耗面に対して傾斜していることを特徴とする請求項３に記載の摩耗量計測用センサ。
【請求項６】
前記ダミー計測体は、前記計測対象物の切削面に対して傾斜していることを特徴とする請求項４に記載の切削量計測用センサ。
【請求項７】
請求項３または５に記載の摩耗量計測用センサと、前記ダミー計測体の出力に応じた摩耗量のデータが予め記憶されている処理装置とを有し、前記処理装置は前記摩耗量計測用センサからの出力と前記予め記憶されているデータとに基づいて計測対象物の摩耗量を演算することを特徴とする摩耗量計測装置。
【請求項８】
請求項４または６に記載の切削量計測用センサと、前記ダミー計測体の出力に応じた切削量のデータが予め記憶されている処理装置とを有し、前記処理装置は前記切削量計測用センサからの出力と前記予め記憶されているデータとに基づいて計測対象物の切削量を演算することを特徴とする切削量計測装置。
【請求項９】
回転軸を軸受部材により軸支する軸受において、請求項３または５に記載の摩耗量計測用センサを有し、前記計測対象物を前記軸受部材として前記摩耗量計測用センサの前記ダミー計測体を該軸受部材に設けたことを特徴とする軸受。
【請求項１０】
請求項９に記載の軸受と、前記軸受により軸支される回転軸と、前記回転軸により回転される被駆動体とを有することを摩耗量計測用センサを備えた装置。
【請求項１１】
前記装置は竪型ポンプで、前記被駆動体はインペラであることを特徴とする請求項１０に記載の摩耗量計測用センサを備えた装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軸受等の摩耗量あるいは被切削体の切削量等を計測する計測方法、計測用センサ、計測装置及び計測用センサを備えた装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種の産業分野において設備診断技術の開発および実用化がなされており、ポンプに関する診断技術やシステムが種々提案されている。
【０００３】
プラント、例えば発電所において使用されるポンプに竪型ポンプがあり、この竪型ポンプは海水の取水あるいは揚水用として使用され大型機であって、その重要度も高い。このような竪型ポンプは、全体として縦長構造で、ポンプの上部に駆動用モータが配置され、前記ポンプの入力軸（回転軸）と前記駆動用モータの出力軸とがカップリングにより接続されている。
【０００４】
ポンプ内の流体は、駆動用モータによって回転するインペラーにより吐出されるが、ポンプ内の昇圧された流体が回転軸から漏洩することを防止するために、一般的にメカニカルシールあるいはグランドパッキンが用いられている。
【０００５】
また、ポンプ内には、流体潤滑領域で使用されるように設計されたすべり軸受によって回転軸を軸支している。なお、すべり軸受の殆どは、高荷重，高速域，大型装置の軸受として使用されるケースが多い。
【０００６】
このような竪型ポンプの故障またはメインテナンス箇所の殆どは、回転体との接触部分である軸受部分および軸シールに集中しており、寿命に応じて定期的な交換や日常的な点検が必要とされている。
【０００７】
そこで、竪型ポンプの運転状況をモニタリングしてポンプの異常診断を行なうシステムが種々提案されているが、その一例としては、ポンプの運転中にポンプの軸受付近の外側における振動を測定し監視して、振動解析から軸受摩耗量の推測を行なうようにしたものがある。これは、ポンプの回転軸に振動が発生すればそれに伴い軸受に摩耗が生じ、摩耗量が増加すれば回転軸の振動振幅が大きくなることを利用し、この振動振幅を測定することによって軸受摩耗量を推測するようにしたものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような回転系の振動振幅を計測して竪型ポンプの軸受の摩耗量を推測する方法にあっては、上述のようにポンプには揚液の漏れを防止用のグランドパッキン等のシールがポンプケーシングと回転軸との間に設けられているため、これが大きな減衰効果をもたらし、また該グランドパッキンの状態や締め付けの違いによっても振動振幅が影響を受けるという問題があった。
【０００９】
このため、ポンプの定期点検時に軸受を分解して軸受の摩耗の観測、軸受の摩耗量の測定を行なっているのが現状である。
【００１０】
特に、点検等のために検査員等が容易に近づくことが難しく、また分解等の手間を要する機器における軸受、あるいは石炭等の粉体をパイプ輸送するシステムにおける該パイプ内周壁面の摩擦量を高い信頼性を有し、しかも運転中であってもリアルタイムに計測できることが要望されていた。
【００１１】
本願発明の目的は、このような従来の問題に鑑みなされたもので、軸受やパイプ輸送システムにおける管内等の摩耗箇所の摩耗量を高い信頼性を有して運転中等にリアルタイムに計測できる計測方法、計測用センサ、計測装置、軸受及び計測用センサを備えた装置を提供しようとするものである。
【００１２】
また、本願発明の他の目的は、測定対象を摩耗するものに限らず、切削加工等において、切削中においてリアルタイムに計測できる計測方法、計測用センサ、計測装置、軸受及び計測用センサを備えた装置を提供しようとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、請求項１に記載のように、計測対象物と一体に摩耗することで表面積が減少する電磁誘導体からなるダミー計測体に対して渦電流センサにより渦電流を生成し、該ダミー計測体の面積の減少に応じた該渦電流センサの出力変化に応じて該計測対象物の摩耗量を計測する摩耗量計測方法とするものである。
【００１４】
第２の発明は、請求項２に記載のように、計測対象物と一体に切削されることで表面積が減少する電磁誘導体からなるダミー計測体に対して渦電流センサにより渦電流を生成し、該ダミー計測体の面積の減少に応じた該渦電流センサの出力変化に応じて該計測対象物の切削量を計測する切削量計測方法とするものである。
【００１５】
第３の発明は、請求項３に記載のように、渦電流センサと、前記渦電流センサで発生する磁界によって渦電流が生成される電磁誘導体からなるダミー計測体とを有し、前記渦電流センサに対して前記ダミー計測体を一定位置に固持し、前記ダミー計測体を計測対象物と一体に摩耗させることにより面積を減少させ、前記渦電流センサから前記ダミー計測体の面積減少に応じた信号を出力することを特徴とする摩耗量計測用センサとするものである。
【００１６】
第４の発明は、請求項４に記載のように、渦電流センサと、前記渦電流センサで発生する磁界によって渦電流が生成される電磁誘導体からなるダミー計測体とを有し、前記渦電流センサに対して前記ダミー計測体を一定位置に固持し、前記ダミー計測体を計測対象物と一体に切削させることにより面積を減少させ、前記渦電流センサから前記ダミー計測体の面積減少に応じた信号を出力することを特徴とする切削量計測用センサとするものである。
【００１７】
第５の発明は、請求項５に記載のように、上記した第３の発明で、前記ダミー計測体は、前記計測対象物の摩耗面に対して傾斜していることを特徴とする。
【００１８】
第６の発明は、請求項６に記載のように、上記した第４の発明で、前記ダミー計測体は、前記計測対象物の切削面に対して傾斜していることを特徴とする。
【００１９】
第７の発明は、請求項７に記載のように、上記した第３または第５の発明である摩耗量計測用センサと、前記ダミー計測体の出力に応じた摩耗量のデータが予め記憶されている処理装置とを有し、前記処理装置は前記摩耗量計測用センサからの出力と前記予め記憶されているデータとに基づいて計測対象物の摩耗量を演算することを特徴とする摩耗量計測装置とするものである。
【００２０】
第８の発明は、請求項８に記載のように、上記した第４または第６の発明である切削量計測用センサと、前記ダミー計測体の出力に応じた切削量のデータが予め記憶されている処理装置とを有し、前記処理装置は前記切削量計測用センサからの出力と前記予め記憶されているデータとに基づいて計測対象物の切削量を演算することを特徴とする切削量計測装置とするものである。
【００２１】
第９の発明は、請求項９に記載のように、回転軸を軸受部材により軸支する軸受において、上記した第３または第５の発明である摩耗量計測用センサを有し、前記計測対象物を前記軸受部材として前記摩耗量計測用センサの前記ダミー計測体を該軸受部材に設けたことを特徴とするものである。
【００２２】
第１０の発明は、請求項１０に記載のように、上記した第９の発明である軸受と、前記軸受により軸支される回転軸と、前記回転軸により回転される被駆動体とを有することを摩耗量計測用センサを備えた装置とするものである。
【００２３】
第１１の発明は、請求項１１に記載のように、上記した第１０の発明で、前記装置は竪型ポンプで、前記被駆動体はインペラであることを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００２５】
図１は本発明の第１の実施の形態を示す竪型ポンプの概略構成を示す一部切り欠き斜視図及び軸受部分の拡大図を示す。
【００２６】
図１に示す竪型ポンプ１は、上下方向に延びるポンプケーシング２内に配置された回転軸３が軸受４により回転可能に軸支されており、ポンプの下部に配置された軸受４より下方に延びる回転軸３の下端部にインペラー５が取り付けられている。またポンプ１の上部にはモータ６が取り付けられ、モータ６の回転動力によりインペラー５が回転し、ケーシング２内を通して液体を上方にポンプアップする。このような竪型ポンプ１は、軸受４は液中に没した状態にあるため、従来のように軸受４の摩耗量を計測するには、ポンプを引上げてモータ６とポンプ１とを分離し、ポンプ１を分解し、さらに軸受４を分解する必要があった。
【００２７】
しかし、本実施の形態では、すべり軸受である軸受４に摩耗量を計測する摩耗量計測センサ７を取り付けている。
【００２８】
本実施の形態におけるすべり軸受４は、図１の拡大図に示すように、例えばステンレス鋳物製のケーシング８の内周部に円筒状のブッシュ９を取り付けた構造で、このブッシュ９は円筒状のラバー部材１０の内周部に、軸方向に沿って延びる直方体に形成したテフロン（登録商標）等のフッ素樹脂製の軸受部材１１を周方向に複数固着し、これらの軸受部材１１により回転軸３を軸支している。そして、回転軸３の回転により、回転軸３と摩擦接触する複数の軸受部材１１は表面が摩耗し、摩耗が進むと軸受部材１１の厚みが薄くなる。
【００２９】
摩耗量計測センサ７は、渦電流センサ１２と、渦電流センサ１２の発生する磁界に対して斜めに横切るように配置された金属、非鉄金属等の電磁誘導体（以下ダミー計測体と称す）１３とを基本構成としている。そして、ダミー計測体１３は例えばアルミ箔で形成し、このアルミ箔製のダミー計測体１３を軸受部材１１と同じ樹脂材料であるフッ素樹脂内に埋設している。
【００３０】
本実施の形態では、フッ素樹脂内にダミー計測体１３を埋設して円筒状に形成した埋設体１４を複数の軸受部材１１の中の一つに埋め込み、この軸受部材１１と同様にして埋設体１４も摩耗するようにしており、その際、埋設体１４内のダミー計測体１３も傾斜している先端部側（回転軸側）から摩耗が始まり表面積が徐々に減少する。
【００３１】
一方、渦電流センサ１２は、埋設体１４に対応してケーシング８を貫通する取り付け孔部１５内にねじ込まれている。埋設体１４の厚みを渦電流センサ１２の前面に当接するまでの厚みとしており、埋設体１４の外端面はラバー部材１０を貫通してケーシング８の取り付け孔部１５内で渦電流センサ１２の前端面に当接し、埋設体１４と渦電流センサ１２との距離が変化しないようにしている。なお、渦電流センサ１２はケーシング８にねじ結合されているので、埋設体１４をブッシュ９あるいはケーシング８に固定することにより、埋設体１４と渦電流センサ１２との距離を一定に維持することができる。
【００３２】
渦電流センサ１２は、一般に渦電流変位センサと称され、センサ部のコイルのインダクタンスＬと、変換部のコンデンサＣによりＬＣ共振回路を形成し、このＬＣ共振回路を例えば水晶発振子により共振状態とし、変位センサとして使用する場合は、高周波電流が流された該コイルからなるセンサ部に測定対象となる金属等の電磁誘導体（被測定物）を近づけると、該コイルで発生する交流磁界により被測定物内に渦電流が流れる。この渦電流の強さは到達する磁力線の強度、すなわち前記コイルと前記被測定物との距離（ギャップ）に依存するため、渦電流の強度によってインダクタンスＬが変化する。その結果、前記共振回路の端子電圧に変化が生じ、その変化は距離の関数となるため、この端子電圧に基づいてギャップを求めることができるようになっている。このように、このセンサは被測定物までのギャップを測定するために用いられていたため、渦電流変位センサと称されているが、本発明では被測定物までのギャップを測定するものではないため、単に渦電流センサと称する。
【００３３】
ここで、渦電流変位センサの端子電圧は、被測定物が近づくと減少するため、リニアライズ回路で直線性の補正を行なうことにより、センサ出力Ｐは、センサと被測定物間の距離ｄに正比例し、式（１）で表される。
【００３４】
Ｐ＝ｋ１ｄ・・・・（１）
但し、ｋ１はセンサ感度を示し、被測定物である電磁誘導体の種類によって決まる定数である。
【００３５】
本発明はこのようなギャップセンサとして用いられている渦電流変位センサにおいて、図２に示すように、センサ出力Ｐは磁界と交差する電磁誘導体の面積Ｓの大きさに影響を受けるのではないかという点に着目してなされたものである。この場合、式（１）は下記の式（２）に書き換えられる。
【００３６】
Ｐ＝Ｐ´｛１＋ｋ２ｆ（Ｓ／Ｓ０）｝・・・・（２）
但し、Ｐ´は式（１）、Ｓ０は全ての磁力線がダミー計測体と交差する範囲を示し、Ｋ２は関数ｆ（Ｓ／Ｓ０）が、０≦ｆ（Ｓ／Ｓ０）≦１、となるようにするための、すなわち関数ｆ（Ｓ／Ｓ０）を規格化するための定数である。なお、式（２）の関数ｆ（Ｓ／Ｓ０）の前の符号は、ダミー計測体に生成される渦電流が増加（減少）すると、センサ出力が減少（増加）するためのプラス符合である。
【００３７】
また、Ｓ≒Ｓ０とした場合、全ての磁界がダミー計測体と交差し、最大の渦電流が発生し、センサ出力が最小となる。換言すれば、関数ｆ（Ｓ／Ｓ０）は、ｆ（１）のとき０となり、結果的に式（１）となる。
【００３８】
しかし、図２（ａ）に示すように、ダミー計測体の面積がＳ０からＳに減少すると、ｆ（Ｓ／Ｓ０）が増加し、最終的にはｆ（０）＝１となる。このような状態は、図２（ｂ）に示すように、ダミー計測体を水平移動することによって模擬することができる。これは、センサとダミー計測体間の距離を一定に保ったとしても、ダミー計測体の寸法が変化すれば、その変化を測定できることを示している。
【００３９】
すなわち、本発明では、ダミー計測体のサイズの減少から例えば軸受部材１１の摩耗量を渦電流センサ１２で直接的に計測できることになる。
【００４０】
そこで、本実施の形態では、軸受部材１１の摩耗にあわせてアルミ箔で形成したダミー計測体１３を回転軸３によって面積が減少するように、回転軸３が軸受部材１１に対してなす接線に対し、θの傾斜角度を有してダミー計測体１３を配置し、また渦電流センサ１２に対しては磁界を斜めに横切るように配置する。そして、ダミー計測体１３の面積の減少を渦電流センサ１２により検出し、検出出力を演算処理装置である不図示の監視装置に送信して軸受の摩耗量を求めるようにしている。
【００４１】
図３は、幅Ｗのアルミ箔で形成したダミー計測体１３と渦電流センサ１２との関係、及び軸受部材１１の摩耗領域とダミー計測体１３との関係を示したもので、傾斜角度θで渦電流センサ１２に対して傾斜配置されているダミー計測体１３の傾斜後端を渦電流センサ１２の前端まで延ばしたものとして渦電流センサの出力Ｐの算出について説明する。
【００４２】
図３において、渦電流センサ１２の出力Ｐは、距離ｄとダミー計測体１３の面積Ｓとの関数となるので、式（３）で表される。
【００４３】
Ｐ＝Ｐ´｛１＋ｋ３ｇ（ｄｍａｘ，Ｓ／Ｓ０）｝
但し、ｄｍａｘは、距離ｄの最大値で、ｋ３は  ０≦ｇ（ｄｍａｘ，Ｓ／Ｓ０）≦１  となるように規格化するための定数である。
【００４４】
ｄｍａｘはダミー計測体１３の有効面積Ｓの減少に正比例して減少し、
また、Ｓ＝Ｗｄｍａｘ／ｓｉｎθの関係があるので、上述の式（３）は下記の式（４）のように簡素化できる。
【００４５】
Ｐ＝ｇ（Ｄ−ｄｍａｘ）・・・・（４）
ここで、Ｄは図３からもわかるように、ダミー計測体１３を最初にセットしたとき（摩耗の全くないとき）のダミー計測体１３と渦電流センサ１２との間の距離、すなわちｄｍａｘの最大値である。よって、Ｄ−ｄｍａｘは軸受部材１１の摩耗量を示し、上記した式（４）から得られる。
【００４６】
また、関数ｇ（Ｄ−ｄｍａｘ）は、予め実験的に求め、これを前記監視装置に記憶させて軸受摩耗量の校正曲線として用いる。
【００４７】
したがって、本実施の形態における摩耗量計測センサ７は、竪型ポンプの運転中において、軸受４の軸受部材１１が回転軸３との摩擦によって摩耗する摩耗量をアルミ箔からなるダミー計測体１３の面積の減少として渦電流センサ１２が計測し、この渦電流センサ１２からのセンサ出力を、前記監視装置で予め求めていた上記関数ｇ（Ｄ−ｄｍａｘ）で校正することにより、軸受４の軸受部材１１の摩耗量をリアルタイムに計測することができる。
【００４８】
実施例１
ダミー計測体１３の傾斜角度θと、渦電流センサ１２の出力との関係について、傾斜角度θをＡ：１８．６度、Ｂ：１５．６度、Ｃ：１２．６度とし、図４（ａ）に示すように、θの角度を持ったウエッジ形状のポリエステル板１６にアルミ箔１７を貼り付け、これを渦電流センサ１２と一体化して回転する砥石１８に向けて押し付けることにより、アルミ箔１７の先端から徐々に研削し、その時の渦電流センサ１２の移動量（摩耗量に相当し、上記Ｄ−ｄｍａｘに相当する）をレーザー変位計１９で計測した。このときの渦電流センサ１２の出力と摩耗量との関係を図４（ｂ）に示す。
【００４９】
これら３つの角度におけるＡ〜Ｃの特性曲線は感度に少しバラツキはあるものの類似しており、また角度θを２０度以上とした場合でも同様の結果が得られた。
【００５０】
したがって、角度θは渦電流センサ１２の測定距離、軸受摩耗量等によって決定され、例えば摩耗量が大きい場合には角度θを大きくすればよい。
【００５１】
以上述べたように本実施の形態によれば、竪型ポンプ１の軸受４における軸受部材１１に埋設体１４を設け、埋設体１４内に埋設した電磁誘導体であるアルミ箔製のダミー計測体１３を軸受部材１１が回転軸３の外周面に対する接線に対し角度θを有して傾斜配置し、回転軸３による軸受部材１１の摩耗と共にダミー計測体１３をその先端側から摩滅させてダミー計測体１３の表面積を減少させ、渦電流センサ１２はダミー計測体１３の表面積の減少を出力の増加として検出するので、予めダミー計測体１３の摩耗量と表面積との関係及びそのときの渦電流センサ１２の出力を求めておけば、ポンプの運転中における軸受４の摩擦部材１１の摩耗量をリアルタイムに計測することができる。
【００５２】
また、渦電流センサ１２はコイル部分を回転軸３側に向けているが、渦電流センサ１２と例えば電磁誘導体であるステンレス製の回転軸３との間には電磁誘導体であるアルミ箔からなるダミー計測体１３が介在しているため、ダミー計測体１３が回転軸３に対してシールド部材として作用し、特にダミー計測体１３が新品の場合には回転軸３に及ぼす磁場を完全にシールドすることができるので、回転軸３には渦電流センサ１２によって渦電流が発生しないため、回転軸３の振動の影響を受けない。しかし、図５に示すように、ダミー計測体１３の摩滅によって渦電流センサ１２の磁場によって回転軸３に渦電流が発生するため、渦電流センサ１２は回転軸３に形成される渦電流の影響を受ける。この回転軸３に形成される渦電流により、渦電流センサ１２は周期的にセンサ出力が減少する。この周期的な減少は回転軸３の回転による軸振動の一定の周波数ｆに依存する。これとは対照的に、軸受の摩耗に相当した渦電流センサ１２の出力信号は、日単位、月単位、年単位の変化であるため、Ｔ＝１／ｆ単位の時間で変化する回転軸の振動による変化と比較すれば、一定の直流的な変化であると考えられる。したがって、回転軸３に発生する渦電流による影響は、例えばデジタル的な数１０Ｈｚ（回転軸の軸振動の周波数）間にわたった平均化などのスムージング化処理、あるいはアナログ的なローパスフィルタ（周波数ｆ近傍の信号を無視する）によって解決することができ、軸受の摩耗量に相当する信号を取り出して軸受の摩耗量を計測することができる。
他の実施の形態
上記した実施の形態は、竪型ポンプの回転軸を軸支するすべり軸受の軸受部材の摩耗量を計測するものであったが、本発明はこの竪型ポンプの軸受における軸受部材の摩耗量を計測することに限られるものではなく、蒸気、あるいはガスタービン、の回転軸あるいはエンジンのクランクシャフトの軸受、石炭等の粉体をパイプ内を移送させる輸送システムにおいて、該パイプ内壁の摩耗量の計測、あるいは切削加工等において被加工物を切削する際の切削量の計測等にも適用することができる。
【００５３】
石炭等の粉体をパイプ内を移送させる輸送システムにおいて、該パイプの内壁の摩耗量を計測する場合、摩耗量計測センサを上記した実施の形態と同様に埋設体１４と渦電流センサ１２とにより構成し、パイプの周壁に形成した貫通孔部に埋設体１４を装着し、さらにその外側に渦電流センサ１２を取り付ける。なお、埋設体１４はアルミ箔製の被測定物を埋設する樹脂を硬質とし、パイプの内壁と同じ条件で摩耗する材質のものを選択すればよく、特にパイプ本体の内壁面にライニング部材を設けたものにあっては、該ライニング部材と同じ材質のものを用いれば良い。
【００５４】
また、切削加工等において被加工物を切削する際の切削量を計測する場合は、被切削物の端に埋設体１４と渦電流センサ１２とを一体化して構成される計測センサ（この場合は切削量計測センサ）を前記被加工物の例えば端に埋設体１４の上面を前記被切削物の上面に合わせて固定する。
【００５５】
そして、前記被切削物の上面を切削すると、埋設体１４の上面も切削され、上述した摩耗量の計測と同様にして切削量計測センサは被切削物の切削量を計測することができる。その際、埋設体１４内に埋設される電磁誘導体からなるアルミ箔等のダミー計測体を切削面に対して傾斜させているが、該ダミー計測体を切削面に対して直角に配置し、渦電流センサ１２からの磁界によって該ダミー計測体に渦電流を形成し、該ダミー計測体の切削による面積の減少に応じた渦電流センサ１２の出力基づいてダミー計測体の切削量を計測するようにしても良い。この場合、切削量計測センサは被切削物の端に配置できるため、切削面に対してダミー計測体を直角に配置し、かつ該被切削物の下方に延びるダミー計測体に対して渦電流センサ１２を直角に配置あるいは角度を有して配置することができる。
【００５６】
また、上記した実施の形態では、ダミー計測体としてアルミ箔を用いているが、他の材料からなる電磁誘導体製の金属箔、例えばプラチナ、チタン等を用いることができ、特に耐腐食性に優れたプラチナやチタン等を上記実施の形態のポンプ軸受用に用いれば、ダミー計測体の寿命を延ばすことができ、ひいてはセンサの寿命を延ばすことができる。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の計測方法によれば、摩耗量あるいは切削量をリアルタイムに計測することができ、例えば外部からの目視あるいは直接に計測することが困難な条件下での摩耗量の計測を可能とする。
【００５８】
また、本発明の計測センサによれば、渦電流センサとダミー計測体で構成することができ、渦電流センサとダミー計測体と計測対象物との配置を適宜に設定し、例えば計測対象物の摩耗にしたがってダミー計測体の面積を減少させるようにしておけば、渦電流センサの出力は、摩耗により減少するダミー計測体の面積に応じた値となり、摩耗量（切削量）を得ることが可能となる。
【００５９】
本発明の計測装置によれば、予めメモリなどに記憶していた摩耗量（切削量）と渦電流センサ出力との関係に基づいて、計測センサからの出力により摩耗量、切削量を演算することができる。
【００６０】
本発明の軸受によれば、摩耗量計測用センサは、渦電流センサと電磁誘導体からなるアルミ箔等のダミー計測体という可動部分がない構成とすることができるため、故障が少なく、交換、点検、修理などが面倒な機器の軸受における軸受部材の摩耗量をリアルタイムに計測することができる。
【００６１】
特に、竪型ポンプのインペラーを回転駆動する回転軸の軸受のように、常に水中に没している軸受に適用した場合にも摩耗量計測センサは高信頼度を有して常に摩耗量を計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す竪型ポンプの概略構成を示す一部切り欠き斜視図及び軸受部分の拡大図。
【図２】被測定物の面積の減少と渦電流センサの磁場との関係を示す図。
【図３】摩耗量と面積変化の関係を示す図。
【図４】傾斜角度に応じた摩耗量とセンサ出力との関係を示す図。
【図５】回転軸の影響を含んだセンサ出力を示す図表。
【符号の説明】
１  竪型ポンプ
２  ポンプケーシング
３  回転軸
４  軸受
５  インペラ
６  モータ
７  摩耗量計測センサ
８  ケーシング
９  ブッシュ
１０  ラバー
１１  軸受部材
１２  渦電流センサ
１３  ダミー計測体
１４  埋設体
１５  取り付け孔部
１６  ポリエステル板
１７  アルミ箔
１８  砥石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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