(57)【要約】【課題】単一あるいは少数の駆動手段によって搬送対象物を水平搬送することによって搬送装置の信頼性を確保すると共に設置コストを削減し、駆動手段を厳しい環境下に設置せずに搬送対象物を水平搬送することによって搬送装置の信頼性を確保すると共に、装置寿命を長くする。【解決手段】水平方向に搬送対象物Ｔ，Ｘを搬送する搬送装置１００であって、第１の駆動力によって水平方向に移動される水平移動部１０４と、該水平移動部１０４に設置され、第２の駆動力によって姿勢を規定される係合部１３０とを有し、係合部１３０が第１の姿勢状態の場合に、係合部１３０を搬送対象物Ｔ，Ｘに係合させた状態、あるいは係合部１３０を搬送対象物Ｔ，Ｘに当接させた状態で水平移動部１０４を移動することによって搬送対象物Ｔ，Ｘを搬送し、係合部１３０が第２の姿勢状態の場合に、搬送対象物Ｔ，Ｘを搬送せずに水平移動部１０４のみが移動する。【選択図】              図１
2004238715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向に搬送対象物を搬送する搬送装置であって、
第１の駆動力によって水平方向に移動される水平移動部と、該水平移動部に設置され、第２の駆動力によって姿勢を規定される係合部とを有し、係合部が第１の姿勢状態の場合に、係合部を搬送対象物に係合させた状態、あるいは係合部を搬送対象物に当接させた状態で水平移動部を移動することによって搬送対象物を搬送し、係合部が第２の姿勢状態の場合に、搬送対象物を搬送せずに水平移動部のみが移動することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
係合部は、水平方向に作用する第２の駆動力によって当該第２の駆動力の作用方向と直交し、かつ、水平に姿勢設定された回転軸を中心として回転し、これによって姿勢が規定されることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
水平移動部と同一の水平方向に移動する第２の水平移動部を有し、該第２の水平移動部は第２の駆動力によって水平移動部と相対移動することによって係合部の姿勢を規定することを特徴とする請求項１または２記載の搬送装置。
【請求項４】
単一の駆動源によって発生された駆動力を第１の駆動力あるいは第２の駆動力として伝達する切替伝達部を備えることを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
切替伝達部は、クラッチであり、なおかつ、第１の駆動力を水平移動部に伝達する第１の駆動力伝達部と、第２の駆動力を第２の水平移動部に伝達する第２の駆動力伝達部とを有し、
第１の駆動力伝達部は、水平移動部に自らの一部位が接続された無端の第１の環状部材と、クラッチを介して第１の駆動力によって回転され、これにより第１の環状部材を回転搬送させる第１のスプロケットとを備え、
第２の駆動力伝達部は、第２の水平移動部に自らの一部位が接続された無端の第２の環状部材と、第２の駆動力によって回転され、これにより第２の環状部材を回転搬送させる第２のスプロケットとを備える
ことを特徴とする請求項４記載の搬送装置。
【請求項６】
水平方向に配置される少なくとも２つの熱処理室を有する多室型の熱処理装置であって、
請求項１〜５いずれかに記載の搬送装置を備えることによって処理対象物を含む搬送対象物を熱処理室に搬出入することを特徴とする熱処理装置。
【請求項７】
単一の熱処理室を有する単一型の熱処理装置であって、
請求項１〜５いずれかに記載の搬送装置を備えることによって処理対象物を含む搬送対象物を熱処理室に搬出入することを特徴とする熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送対象物を水平搬送する搬送装置及びその搬送装置を備える熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
搬送対象物を水平方向に搬送する搬送装置は、通常、搬送対象物の搬送経路に複数のローラを設置し、この内、特定の複数のローラに駆動手段を設置し、該駆動部によってローラを回転させることによって搬送対処物を水平方向に搬送している。
【０００３】
このような搬送装置は、例えば、被処理物を複数の熱処理室において熱処理する多室型熱処理装置に設置されている。この多室型熱処理装置は、通常、被処理物を加熱する加熱室の搬出入口と、被処理物を冷却する冷却室の搬出入口とが水平方向に対向配置されている。この加熱室及び冷却室にはトレーごと被処理物を載置するための載置台が各々設置されており、この載置台は被処理物を搬送する場合には搬送経路として用いられる。そして、搬送装置のローラは載置台に設置され、駆動手段は加熱室及び冷却室に各々複数設けられている。このような多室型熱処理装置において被処理物を熱処理及び搬送する場合には、トレー等に載置された被処理物が搬出入口とは別に設けられた開閉扉から冷却室に装入され、その後、搬送装置によって被処理物をトレーごと加熱室に搬送して加熱処理する。そして、加熱処理が終了すると、搬送装置によって、被処理物をトレーごと冷却室に再び搬送して冷却処理する。
【０００４】
しかしながら、上述のように搬送装置には、特定の複数のローラを回転させるために複数の駆動手段を設置する必要がある。このため、コスト増大の原因となると共に、複雑な駆動手段を複数設置するために装置の信頼性が低下するという問題が生じる。特に、上述の多室型熱処理装置等の加熱室内や冷却室内に設置された駆動手段は、高温等の厳しい温度環境下にさらされているので、当然のことながら劣化が激しい。このため、搬送装置の寿命が短くなってしまう。
【０００５】
この他に、上述した載置台にローラを設置せずにトレーにローラ及びその駆動手段を設置することによって搬送対象物を水平搬送する技術が開示されている。この技術によれば、複数の駆動手段を冷却室及び加熱室に設置する必要はないが、駆動手段が厳しい温度環境下にさらされていることに変わりはない。
【０００６】
【特許文献１】
特開平２−１７８５９３号公報
【特許文献２】
実開平２−８９２９４号公報
【０００７】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、以下の点を目的とするものである。
（１）単一あるいは少数の駆動手段によって搬送対象物を水平搬送することによって搬送装置の信頼性を確保すると共に設置コストを削減する。
（２）駆動手段を厳しい環境下に設置せずに搬送対象物を水平搬送することによって搬送装置の信頼性を確保すると共に、装置寿命を長くする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、搬送装置に係る第１の手段として、水平方向に搬送対象物Ｔ，Ｘを搬送する搬送装置１００であって、第１の駆動力によって水平方向に移動される水平移動部１０４と、該水平移動部１０４に設置され、第２の駆動力によって姿勢を規定される係合部１３０とを有し、係合部１３０が第１の姿勢状態の場合に、係合部１３０を搬送対象物Ｔ，Ｘに係合させた状態、あるいは係合部１３０を搬送対象物Ｔ，Ｘに当接させた状態で水平移動部１０４を移動することによって搬送対象物Ｔ，Ｘを搬送し、係合部１３０が第２の姿勢状態の場合に、搬送対象物Ｔ，Ｘを搬送せずに水平移動部１０４のみが移動するという構成を採用する。
【０００９】
搬送装置に係る第２の手段として、上記第１の手段において、係合部１３０は、水平方向に作用する第２の駆動力によって当該第２の駆動力の作用方向と直交し、かつ、水平に姿勢設定された回転軸Ｌを中心として回転し、これによって姿勢が規定されるという構成を採用する。
【００１０】
搬送装置に係る第３の手段として、上記第１または第２の手段において、水平移動部１０４と同一の水平方向に移動する第２の水平移動部１３１を有し、該第２の水平移動部１３１は第２の駆動力によって水平移動部１０４と相対移動することによって係合部１３０の姿勢を規定するという構成を採用する。
【００１１】
搬送装置に係る第４の手段として、上記第１〜第３いずれかの手段において、単一の駆動源１０１によって発生された駆動力を第１の駆動力あるいは第２の駆動力として伝達する切替伝達部１０９を備えるという構成を採用する。
【００１２】
搬送装置に係る第５の手段として、上記第４の手段において、切替伝達部１０９は、クラッチであり、なおかつ、第１の駆動力を水平移動部１０４に伝達する第１の駆動力伝達部と、第２の駆動力を第２の水平移動部１３１に伝達する第２の駆動力伝達部とを有し、第１の駆動力伝達部は、水平移動部に自らの一部位が接続された無端の第１の環状部材１２６と、クラッチ１０９を介して第１の駆動力によって回転され、これにより第１の環状部材１２６を回転搬送させる第１のスプロケット１１９，１２４とを備え、第２の駆動力伝達部は、第２の水平移動部１３１に自らの一部位が接続された無端の第２の環状部材１２５と、第２の駆動力によって回転され、これにより第２の環状部材１２５を回転搬送させる第２のスプロケット１１５，１２３とを備えるという構成を採用する。
【００１３】
熱処理装置に係る第１の手段として、水平方向に配置される少なくとも２つの熱処理室２，３を有する多室型の熱処理装置であって、上記搬送装置に係る第１〜第５の手段のいずれかに記載の搬送装置１００を備えることによって処理対象物Ｘを含む搬送対象物Ｔ，Ｘを熱処理室２，３に搬出入するという構成を採用する。
【００１４】
熱処理装置に係る第２の手段として、単一の熱処理室を有する単一型の熱処理装置であって、上記搬送装置に係る第１〜第５の手段のいずれかに記載の搬送装置１００を備えることによって処理対象物Ｘを含む搬送対象物Ｔ，Ｘを熱処理室２，３に搬出入するという構成を採用する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係る搬送装置及び熱処理装置の一実施形態について説明する。なお、本実施形態は、本発明に係る搬送装置を備える多室型熱処理装置について説明する。
【００１６】
図１及び図２は、本実施形態に係る多室型熱処理装置（以下、熱処理装置と称す）１の全体構成の概略図であり、図１は縦断面図、図２は横断面図である。これらの図に示すように、本熱処理装置１は、トレーＴに載置された被処理物Ｘを冷却する冷却室（熱処理室）２、トレーＴに載置された被処理物Ｘを加熱する加熱室（熱処理室）３を備える多室型熱処理装置であり、これらに加えて、冷却室２と加熱室３との間に中間室４を有している。また、中間室４と対峙する加熱室３の側面側には、本発明に係る搬送装置１００の水平移動棒（水平移動部）１０４等を収納する収納室１８が設けられている。この熱処理装置１は、扉５が閉じた状態では、内側空間が外部と遮断された密閉状態となる。
【００１７】
冷却室２は、冷却室２の内部が加圧状態となった場合にその圧力に耐えられるように略円筒形に形状設定されており、この円筒形の中心軸が水平となるように姿勢設定されている。冷却室２の側面部（円筒形の底面部）には、一方側（図１及び図２における右側）にクラッチ式の扉５が設置されており、他方側（図１及び図２における左側）にクランプ式の真空シールド扉（中間扉）８が設置されている。この冷却室２の内部には、冷却室２の中心軸方向に長い略直方体形の風路室６が設置され、該風路室６の上方にはガス流案内板７ａが、風路室６の下方にはガス流案内板７ｂが設置されている。そして、風路室６の外側は、仕切版３３によって上下に２分されている。
【００１８】
風路室６の長手方向に対応する各側面部は、風路室６の本体に対して着脱自在に形成されており、扉５と真空シールド扉８とに各々固定されている。そして、扉５及び真空シールド扉８が閉まった場合に風路室６の内部が閉じられた空間となる。風路室６の上壁部及び下壁部には、冷却ガスＹを整流して通過させる格子状の整流板９ａ，９ｂが形成されている。これに加え、風路室６の内部には、被処理物Ｘを載置するための載置台１０が設置されている。この載置台１０は、冷却ガスＹが通過できるように、例えばコの字型のフレーム状に形成されると共に、被処理物Ｘの移送を良好に行うためのフリーローラ１１が複数設置されている。
【００１９】
また、風路室６の内部には、冷却室２の外部に設置された冷却ガス供給装置３１から供給される冷却ガスＹが被処理物Ｘの全体に吹付けられるように形状設定されたガス吐出枝管３０が被処理物Ｘを囲むように設置されている。具体的には、４本のガス吐出枝管３０が各々風路室６の長手方向に配置されている。このガス吐出枝管３０は、被処理物Ｘに向けて冷却ガスＹが吐出するようなガス吐出口が複数形成されており、ヘッダー管３４に各々接続されている。そして、ヘッダー管３４を介して冷却ガスＹがガス吐出枝管３０に供給される。なお、このように構成された冷却室２は、扉５及び真空シールド扉８が閉まった場合には、外部と遮断された密閉空間となる。
【００２０】
扉５は、中空に形状設定されており、その内部には、熱交換器１２、冷却ファン１３及びダンパ１４ａ，１４ｂが備えられている。この熱交換器１２の外部は、冷却室２と同様に仕切板３３によって上下に２分されており、この仕切板３３によって熱交換器１２を格納する略直方体形の熱交換器収納室１５が扉５内部のほぼ中央に支持されている。
【００２１】
熱交換器１２は、水と冷却ガスＹを熱交換することによって冷却ガスＹを冷却するものである。また、冷却ファン１３は、冷却ガスＹに流れを与えるためのものであり、熱交換器１２と扉５の内周面との間に配置されている。この冷却ファン１３は、扉５から突出するように設置された冷却ファンモータ１７によって駆動される。
【００２２】
このような冷却室２及び扉５の構成によれば、そして、ダンパ１４ａ，１４ｂにより熱交換器収納室１５への冷却ガスＹの流入経路を選択的に閉鎖することによって冷却ガスＹを、冷却ファン１３→ガス流案内板７ａ→整流板９ａ→被処理物Ｘ→整流板９ｂ→ガス流案内板７ｂ→熱交換器１２→冷却ファン１３の順、あるいは、冷却ファン１３→ガス流案内板７ｂ→整流板９ｂ→被処理物Ｘ→整流板９ａ→ガス流案内板７ａ→熱交換器１２→冷却ファン１３の順に流すことが可能となる。
【００２３】
また、扉５は、支持脚２８によって支持されており、この支持脚２８は地面に設置されたスライド装置２９に固定されている。このスライド装置２９が駆動することによって、扉５は、冷却室２に対して水平方向に近接あるいは離間する。
【００２４】
加熱室３は、冷却室２と同様に略円筒形に形状設定されており、図示するように、冷却室２に対向配置されている。加熱室３の内部には略直方形に形状設定された断熱室２０が設置されている。この断熱室２０の一方側（冷却室２と対向する側）の側壁部には、断熱扉２１が設置されており、他方側の側壁部には、後述する水平移動棒１０４の出入口となる移動棒用扉２２が設置されている。この移動棒用扉２２は、加熱室２の外壁から突出するように設置された昇降部２６によって開閉が規定される。なお、この移動棒用扉２２も断熱扉２１と同様に断熱設計されている。断熱室２０の内部には、被処理物Ｘを載置するための載置台２３が設置されている。この載置台２３は、水平移動棒１０４の軌道を規定すると共に水平移動棒１０４を支持するための載置台レール３５が設置されている。また、被処理物Ｘの移送を良好に行うためのフリーローラ２４が設置されている。なお、断熱室２０内部に設置された載置台２３と風路室６内部に設置された載置台１０は、同じ高さに配置されている。また、断熱室２０の内部には、被処理物Ｘを加熱するためのヒータ２５が複数設置されている。
【００２５】
中間室４は、中空の略方形状に形状設定されており、冷却室２と加熱室３との間に配置されている。その上部には、真空シールド扉８を昇降するためのシールド扉用昇降部２６と断熱扉２１を昇降するための断熱扉用昇降部２７とが設置されている。
【００２６】
また、冷却室２、加熱室３及び中間室４の外部には、加圧ガス供給装置３１の他に減圧装置３２が設置されている。この減圧装置３２は、熱処理室の内部を真空引きするためのものであり、冷却室２及び中間室４に各々接続されている。
【００２７】
続いて、本発明の特徴部分である搬送装置１００について、まず、図１、図２及び図３を参照して説明する。なお、図３は、図２におけるＩ−Ｉ’の模式的な矢視図である。本搬送装置１００は、トレーＴ及び被処理物Ｘを搬送対象物として水平搬送する装置である。
【００２８】
本搬送装置１００は、地面に固定配置されたモータ（駆動源）１０１が発生した駆動力がまず伝達される第１伝達部１０２と、該第１伝達部１０２を介して駆動力が伝達される第２伝達部１０３と、第２伝達部１０３によって水平方向に移動される水平移動棒１０４と、水平移動棒１０４の先端部に設置され、第２伝達部１０３から伝達された駆動力によって姿勢を規定される係合部１３０とを備えている。
【００２９】
第１伝達部１０２は、収納室１８の下方に設置されている。この第１伝達部１０２は、カップリング１０５を介してモータ１０１に接続された第１シャフト１０６と、該第１シャフト１０６に設置され、第１シャフト１０６の回転よって回転される第１スプロケット１０７と、第１シャフト１０６を支持する第１軸受け１０８と、クラッチ（切替伝達部）１０９を介して第１シャフト１０６に連結された当該第１シャフト１０６と同軸の第２シャフト１１０と、該第２シャフト１１０に設置され、第２シャフト１１０の回転によって回転される第２スプロケット１１１と、第２シャフト１１０を支持する第２軸受け１１２とから構成されている。
【００３０】
第２伝達部１０３は、収納室１８に挿通状態で設置される第３シャフト１１３と、該第３シャフト１１３の両端部に各々設置される第３スプロケット１１４及び第４スプロケット（第２のスプロケット）１１５と、第３シャフト１１３を支持する第３軸受け１１６と、第３シャフト１１３が挿通された収納室１８の側壁部に対峙する収納室１８の側壁部に挿通状態で設置される第４シャフト１１７と、該第４シャフトの両端部に各々設置される第５スプロケット１１８及び第６スプロケット（第１のスプロケット）１１９と、第４シャフト１１７を支持する第４軸受け１２０と、第３シャフト１１３と第４シャフト１１７とを連結する２つの第５軸受け１２１，１２２と、第４及び第６スプロケット１１５，１１９に対して収納室４の延在方向に回転自在に設置される第７スプロケット１２３（第２のスプロケット）、第８スプロケット（第１のスプロケット）１２４と、第４スプロケット１１５と第７スプロケット１２３とによって回転搬送される第１チェーン（第２の環状部材）１２５と、第６スプロケット１１９と第８スプロケット１２４によって回転搬送される第２チェーン（第１の環状部材）１２６とから構成されている。
【００３１】
第１スプロケット１０７と第３スプロケット１１４は、同一鉛直面上を回転するように配置されており、第１スプロケット１０７の回転によって第３スプロケット１１４が回転するように無端の第３チェーン１２７が各々に廻し掛けられている。第２スプロケット１１１と第５スプロケット１１８も、互いが同一鉛直面上を回転するように配置されており、第２のスプロケット１１１の回転によって第５スプロケット１１８が回転するように無端の第４チェーン１２８が各々に廻し掛けられている。
【００３２】
このような構成によれば、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０とを切り離すことによって第６スプロケット１１９を回転させずに第４スプロケット１１５を回転させることができ、また、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０とを接続することによって第４スプロケット１１５及び第６スプロケット１１９を同速で回転させることができる。
【００３３】
図４は、図３におけるＡ（第４シャフト１１７の挿通部位）の拡大図である。この図に示すように、収納室１８内部は、適所に設けられたＯリングによって収納室１８の外部と遮断されている。そして、第４シャフト１１７と収納室１８の壁部との間にはグリスが充填されており、これによって第４シャフト１１７の良好な回転が得られる。なお、グリスは、収納室１８の上部に設置されたグリスニップルから適宜補充される。また、第３シャフト１１３の挿通部位も同様の構成を採用している。
【００３４】
ここで、図３、図５及び図６を参照して、水平移動棒１０４、第２水平移動棒（第２の水平移動棒）１３１及び係合部１３０について詳説する。なお、図５は、水平移動棒１０４の外観図であり、（ａ）が上面図、（ｂ）が側面図である。図６は、水平移動棒１０４の断面の概略図である。
【００３５】
第２チェーン１２６の途中部位には、水平移動棒１０４が固定部１２９を介して固定されている。また、第１チェーン１２５の途中部位には、係合部１３０に対して水平方向に力を作用させる第２水平移動棒１３１が固定部１３２を介して固定されている。
【００３６】
水平移動棒１０４は、中空の棒状部材であり、その側面には複数のローラ１３３が設置されている。そして、収納室１８の内面には、収納室１８の延在方向と同じ方向に延在する収納室レール３６が設けられており、水平移動棒１０４は、載置台レール３５あるいは収納室レール３６にローラ１３３が係合されることによって支持されている。また、固定部１２９は、水平移動棒１０４の後端部（図５及び図６における左側の端部）近傍に設置されている。したがって、第２チェーン１２６が回転搬送されることによって水平移動棒１０４は水平方向に移動される。
【００３７】
水平移動棒１０４の内部には摺動支持部１３４が設置されており、棒状の第２水平移動棒１３１が摺動自在に支持されている。そして、この第２水平移動棒１３１の先端には水平移動棒１０４の移動方向と直交する方向に水平に突出したピン１３５が第２水平移動棒１３１の側面部に各々１つ設けられている。水平移動棒１０４の側面部には、所定の形状の貫通孔（図示せず）が設けられており、ピン１３５の先端は、上記貫通孔から水平移動棒１０４の外側に突出している。
【００３８】
係合部１３０は、水平移動棒１０４の先端（図５及び図６における右側の端部）近傍、かつ、両側面部に各々設けられており、搬送対象物に当接あるいは係合する爪部１３６が形成されている。この係合部１３０は、水平移動棒１０４の移動方向に直交し、かつ、水平に姿勢設定された中心軸Ｌを中心として回転するように水平移動棒１０４に設置されている。また、係合部１３０には、図６に示すように、所定形状の長穴１３７が形成されており、上述のピン１３５は、長穴１３７に係合されている。なお、ピン１３５が水平移動棒１０４に対して、図６における右側に移動した場合に爪部１３６が垂直（第１の姿勢）なるように係合部１３０が姿勢設定され、ピン１３５が水平移動棒１０４に対して、図６における左側に移動した場合に爪部１３６が、図示するように、寝た状態（第２の姿勢）となるように係合部１３０が姿勢設定されるように、長穴１３７の形状は規定されている。また、水平移動棒１０４の後端近傍にも貫通孔（図示せず）が設けられており、固定部１３２は、この貫通孔を通って第２水平移動棒１３１の後端近傍と第１チェーン１２５とを連結している。
【００３９】
このような構成によれば、第１チェーン１２５のみが回転搬送されることによって、第２水平移動棒１３１が水平移動棒１０４に対して、図６における右側に相対移動すれば爪部１３６が垂直なるように係合部１３０が姿勢設定され、逆に、図６における左側に相対移動すれば爪部１３６が寝た状態となるように係合部１３０が姿勢設定される。なお、爪部１３６が垂直状態で水平移動棒１０４が水平移動した場合には爪部１３６と搬送対象物（トレーＴ）とが干渉し、爪部１３６が寝ている場合で水平移動棒１０４が水平移動した場合には爪部１３６と搬送対象物（トレーＴ）とが干渉しないように係合部１３０は形状設定及び姿勢設定される。
【００４０】
なお、本発明に係る第１の駆動力とは、水平移動棒１０４を水平移動させるための駆動力であり、第２の駆動力とは、第２水平移動棒１３１を水平移動棒１０４に対して水平移動させるための駆動力である。また、第１伝達部１０２、第２チェーン１２６、第４チェーン１２８、第４シャフト１１７、第５スプロケット１１８、第６スプロケット１１９及び第８スプロケット１２４は、本発明に係る第１の駆動力伝達部を構成するものであり、第１チェーン１２５、第３チェーン１２７、第１スプロケット１０７、第３シャフト１１３、第３スプロケット１１４、第４スプロケット１１５及び第７スプロケット１２３は、本発明に係る第２の駆動力伝達部を構成するものである。
【００４１】
次に、このように構成された本発明に係る搬送装置を備える熱処理装置の動作について説明する。なお、以下の説明において、水平移動棒１０４を冷却室２に向けて水平移動させるようなモータ１０１の駆動を正駆動、逆に収納室１８側に向けて水平移動させるようなモータ１０１の駆動を逆駆動と言う。
【００４２】
まず、スライド装置２９によって扉５が冷却室２に対して離間された状態で、トレーＴに載置された被処理物Ｘは、風路室６内部の載置台１０に載置される。そして、扉５がスライド装置２９によって冷却室２に当接され、冷却室２が密閉される。そして、冷却室２、加熱室３及び中間室４は、減圧装置３２の駆動によって真空引きされる。そして、昇降部２６、真空シールド扉用昇降部２６及び断熱扉用昇降部２７とが駆動することによって移動棒用扉２２、真空シールド扉８及び断熱扉２１が開放される。
【００４３】
ここで、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０を切り離した状態で、モータ１０１を逆駆動させることによって、第２水平移動棒１３１を水平移動棒１０４に対して、図６の左側に摺動する。これによって第１チェーン１２５のみが回転搬送されるため、上述のように係合部１３０の爪部１３６は寝た状態となる。続いて、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０を接続した状態で、モータ１０１を正駆動させることによって、係合部１３０の爪部１３６が寝た状態を維持して水平移動棒１０４は、冷却室２に向けて収納室レール３６及び載置台レール３５に沿って移動される。そして、水平移動棒１０４は、係合部１３０が格子形状のトレーＴの下方に位置するまで移動される。
【００４４】
続いて、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０を切り離した状態でモータ１０１を正駆動させることによって、第２水平移動棒１３１は水平移動棒１０４に対して、図６の右側に摺動される。これによって係合部１３０の爪部１３６は垂直状態となる。そして、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０を接続し、モータ１０１を逆駆動させることによって係合部１３０の爪部１３６を格子形状のトレーＴの一部位に係合させる。この状態を維持してモータ１０１を逆駆動させ続けることによって、トレーＴ及び被処理物Ｘは、加熱室３に向けて水平搬送される。
【００４５】
そして、トレーＴ及び視処理物Ｘを加熱室用断熱室２０の載置台２３上まで搬送し後、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０を切り離した状態でモータ１０１を逆駆動させることによって係合部１３０の爪部１３６を寝かせた状態にする。続いて、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０を接続した状態でモータ１０１を逆駆動させることによって、係合部１３０が加熱室用断熱室２０の外部にでるまで水平移動棒１０４を水平移動させる。
【００４６】
そして、再び昇降部２６及び断熱扉用昇降部２７とが駆動して移動棒用扉２２及び断熱扉２１が閉じられる。そして、この状態において、被処理物Ｘは、ヒータ２５によって加熱される。被処理物Ｘの加熱が完了すると、移動棒用扉２２及び断熱扉２１が開放される。ここで、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０を切り離し、モータ１０１を正駆動させることによって係合部１３０の爪部１３６を垂直状態にする。そして、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０を接続し、モータ１０１を正駆動させることによって係合部１３０の爪部１３６をトレーＴに当接させる。この状態を維持したままでモータ１０１を正駆動させることによって、トレーＴは係合部１３０の爪部１３６に押圧されて風路室６の載置台１０上まで水平搬送される。そして、クラッチ１０９によって第１シャフト１０６と第２シャフト１１０とを接続し、モータ１０１が逆駆動することによって水平移動棒１０４は、収納室１８に収納される。
【００４７】
続いて、真空シールド扉８が密閉され、加圧ガス供給装置３１から加圧された冷却ガスＹがヘッダー管３４を介してガス吐出枝管３０に供給され、さらにこのガス吐出枝管３０からガス吐出口を介して被処理物Ｘ全体に均一に吹付けられる。そして、冷却ファン１３によって冷却ガスＹに流れを与え、ダンパ１４ａ，１４ｂが所定時間ごとに熱交換器収納室１５への冷却ガスＹの流入経路を閉鎖することによって冷却ガスＹの流れる方向を変化させ被処理物Ｘを均一に冷却する。そして、扉５が開放され、冷却された被処理物Ｘは外部に搬出される。
【００４８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態において、本発明に係る搬送装置１００を備える多室型熱処理装置１について説明した。しかしながら、本搬送装置１００は、多室型熱処理装置に備えられるばかりでなく、単室型熱処理装置に備えられることによって熱処理室に搬送対象物を搬出入することも可能である。また、さらには、搬送経路の特定の部位から他の部位に搬送対象物を水平搬送する場合においても用いることが可能である。
【００４９】
上記実施形態において、第１シャフト１０６と第２シャフト１１０とをクラッチ１０９で切り離すことによって、第２水平移動棒１３１を水平移動棒１０４に対して相対移動させる構成を採用した。しかしながら、これに限られるものではなく、例えば、水平移動棒１０４の後端にピストンを設置し、このピストンによって第２水平移動棒１３１を水平移動棒１０４に対して相対移動させても良い。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、水平方向に搬送対象物を搬送する搬送装置であって、第１の駆動力によって水平方向に移動される水平移動部と、該水平移動部に設置され、第２の駆動力によって姿勢を規定される係合部とを有し、係合部が第１の姿勢状態の場合に、係合部を搬送対象物に係合させた状態、あるいは係合部を搬送対象物に当接させた状態で水平移動部を移動することによって搬送対象物を搬送し、係合部が第２の姿勢状態の場合に、搬送対象物を搬送せずに水平移動部のみが移動するので、単一あるいは少数の駆動手段によって搬送対象物を水平搬送することによって搬送装置の信頼性を確保すると共に設置コストを削減し、駆動手段を厳しい環境下に設置せずに搬送対象物を水平搬送することによって搬送装置の信頼性を確保すると共に、装置寿命を長くすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る搬送装置を備える熱処理装置１の縦断面の概略図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る搬送装置を備える熱処理装置１の横断面の概略図である。
【図３】図２におけるＩ−Ｉ’の模式的な矢視図である。
【図４】図３におけるＡの拡大図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る水平移動棒１０４の外観図であり、（ａ）が上面図、（ｂ）が側面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る水平移動棒１０４の断面の概略図である。
【符号の説明】
１００……搬送装置
１０４……水平移動棒（水平移動部）
１０９……クラッチ（切替伝達部）
１２５……第１チェーン（第２の環状部材）
１２６……第２チェーン（第１の環状部材）
１３０……係合部
１３１……第２水平移動棒（第２の水平移動部）
Ｌ……中心軸
Ｔ……トレー（搬送対象物）
Ｘ……被処理物（搬送対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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