(57)【要約】【課題】縦方向以外の方向（特に横方向）からの衝突に対する耐久性の高い対物レンズを提供すること。【解決手段】被検物２側の先端部付近に配置され、光軸に平行な方向以外の方向からの衝突に対して対物レンズの先端部を保護するための衝突保護部材（１４、１４１、１４２、１４３）を備えた。【選択図】　　図１
2004094114.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物側の先端部付近に配置され、光軸に平行な方向以外の方向からの衝突に対して対物レンズの先端部を保護するための衝突保護部材を具備することを特徴とする対物レンズ。
【請求項２】
請求項１に記載の対物レンズにおいて、前記先端部は、先頭レンズないし先頭レンズ保持粋が中筒、中間筒或いは外筒で覆われていない露出部分であることを特徴とする対物レンズ。
【請求項３】
請求項２に記載の対物レンズにおいて、前記衝突保護部材は、前記露出部分を接触又は非接触で覆っていることを特徴とする対物レンズ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、前記衝突保護部材は、中間筒又は外筒に、着脱可能に取り付けられることを特徴とする対物レンズ。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、前記衝突保護部材は、前記露出部の外周部を覆うように取り付けられることを特徴とする対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡又は各種計測装置、評価装置、検査装置或いは露光装置の位置決め機構などに用いられる対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７を参照して、従来の対物レンズの構成について説明する。図７は従来の対物レンズの構成を示す図である。
【０００３】
対物レンズは、例えば、レンズ３ａ〜３ｄ（全てを指す場合には、「レンズ３」と称する）と、レンズ３に対応するレンズ保持枠４ａ〜４ｄ（全てを指す場合には、「レンズ保持枠４」と称する）と、スプリング５と、中筒６と、中間筒７と、外筒８とを備えている。なお、本明細書においては、特に、被検物側のレンズ３ａを先頭レンズと称し、当該先頭レンズ３ａに対応する先頭レンズ保持枠４ａを先頭レンズ保持枠と称する。
【０００４】
上記のような構成において、対物レンズの多くは、使用時において被検物２或いはステージ１と距離が非常に接近する。このため、ピント調節操作時に対物レンズを被検物２に向かって下降する場合に、対物レンズが過剰下降して被検物２に衝突することが頻繁に発生する。
【０００５】
この場合において、対物レンズと被検物２との衝突によって、対物レンズ又は被検物２が破損するおそれがある。これを解決するために、スプリング５を用いて、衝突時における衝撃を吸収して対物レンズ又は被検物２の破損を防止するように構成されており、対物レンズと被検物２との衝突の際には、レンズ３を保持したレンズ保持枠４を収容した中筒６が、中間筒７に摺動する機構が備えられている。
このように、対物レンズには光軸と平行な方向（すなわち、前方向）からの衝撃に対する衝突保護機能を有するものがある。
【０００６】
ところが、従来の対物レンズにおいては、光軸と平行な方向からの衝突に対する衝突保護機能は考慮されているものの、それ以外の方向、例えば、光軸と垂直な方向からの衝撃に対する保護機能は考慮されていない。この場合において、例えば、光軸と垂直な方向から外筒８に衝撃が与えられた場合には、レンズ３に直接その衝撃が伝わらないので、光学系に影響を及ぼすことはない。ところが、先頭レンズ或いは先頭レンズ保持枠４ａに直接光軸と垂直な方向から衝撃が与えられた場合には、光学系に影響を及ぼすことになる。その様子を図８を参照して説明する。図８は対物レンズの先端部（以下、本明細書において「先端部」というときは、対物レンズの被検物側の部分をいう）と被検物或いはステージとが干渉する状態を示す図である。
【０００７】
図８に示すような状態で、対物レンズを対物レンズの光軸１２に垂直な方向（図中矢印方向）へ移動させる操作や、被検物２もしくはステージ１を矢印と逆の方向へ移動させる操作を行った場合には、先頭レンズ保持枠４ａがステージ１と衝突することになる。なお、対物レンズがステージ１から光軸方向に離れた位置であれば、ステージ１に衝突しない場合であっても、被検物２に衝突する可能性もある。このような、光軸方向と垂直な方向からの衝突を「横方向の衝突」と称する。これに対し、光軸方向と平行な方向からの衝突を「縦方向の衝突」と称する。
【０００８】
上記のような、横方向の衝突は、被検物２を装置上の視野内に入れるため被検物を載せたステージ１を移動させる操作、つまり被検物の位置を選択・変更する際などに発生する。しかし、従来の対物レンズにおいては、上記のように、縦方向の衝突に対する保護機能は有しているものはあるものの、縦方向以外の衝突、例えば横方向の衝突に対する保護機能を有しているものはない。従って、先頭レンズ保持枠４ａに対して横方向の衝突があった場合には、先頭レンズ３ａ或いは先頭レンズ保持枠４ａのみならず中筒６に収納されているレンズ３及びレンズ保持枠４にも衝撃が伝わる。そのため、レンズ３又はレンズ保持枠４が破損したり、レンズ３及びレンズ保持枠４が光軸１２に対し偏心したりするなどして、対物レンズの性能劣化が生じる。また、ステージ１や被検物２が破損するおそれもある。
なお、図７及び図８の例では、先頭レンズ３ａが先頭レンズ保持枠４ａから被検物２側に突出（以下、「露出」とも称する）している場合にも同様であり、この場合には、ステージ１或いは被検物２が先頭レンズ３ａ又は先頭レンズ保持枠４ａのいずれかと衝突することになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、対物レンズ使用時には、ピント調節操作以外に被検物の位置を選択或いは変更するために対物レンズもしくはステージないし被検物を対物レンズの光軸と垂直な方向に移動する操作が頻繁に発生する。
この場合において、特に先頭レンズ保持枠が中筒或いは中間筒或いは外筒から外に突出している対物レンズでは、上記移動操作を行う際に発生する対物レンズとステージ又は被検物との縦方向以外の方向からの衝突により、レンズ或いは保持粋が破損したり、レンズ又はレンズ保持枠が光軸に対し偏心したりして、これが性能劣化を引き起こす原因となる。
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、縦方向以外の方向（特に横方向）からの衝突に対する耐久性の高い対物レンズを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために次のような手段を講じた。
【００１２】
本発明の対物レンズは上記目的を達成するために、被検物側の先端部付近に配置され、光軸に平行な方向以外の方向からの衝突に対して対物レンズの先端部を保護するための衝突保護部材を具備することを特徴とする。
【００１３】
上記の対物レンズの好ましい実施態様は以下のとおりである。なお、以下の各実施態様は、単独で適用しても良いし、適宜組み合わせて適用しても良い。
（１）　前記先端部は、先頭レンズないし先頭レンズ保持粋が中筒、中間筒或いは外筒で覆われていない露出部分であること。
（２）　前記衝突保護部材は、前記露出部分を接触又は非接触で覆っていること。
（３）　前記衝突保護部材は、中間筒又は外筒に、着脱可能に取り付けられること。
（４）　前記衝突保護部材は、前記露出部の外周部を覆うように取り付けられること。
（５）　外筒、中間筒の先端部で、露出部を覆うこと。
（６）　前記衝突保護部材は、前記外筒、中間筒、或いは中筒に嵌合又は螺合により取り付けられること、或いは外筒又は中筒に対して摺動するように構成したこと。
（７）　前記衝突保護部材は、金属或いはプラスチックであること。
（８）　前記衝突保護部材は、シリコンゴムなどの弾性部材であること。
（９）　衝突保護部材の形状を、前記露出部の外側面に沿った形状としたこと。
（１０）顕微鏡におけるレボルバ回転などの対物レンズの基本操作中、対物レンズに前記衝突保護部材を所持させたことによるステージ又は被検物との干渉がないことを予め計算により確認したこと。
【００１４】
なお、本発明は、対物レンズの発明に加えて、対物レンズに着脱可能な衝突保護部材の発明としても成立する。この場合には、対物レンズに着脱可能な衝突保護部材であって、対物レンズの先端部（先頭レンズ或いは先頭レンズ保持枠）を保護するものとして定義できる。
【００１５】
本発明によれば、対物レンズとステージ又は被検物とが衝突した場合に、ステージ又は被検物は、必ず前記衝突保護部材が先に衝突することになるので、先頭レンズないし先頭レンズ保持枠が、ステージ又は被検物と直接衝突することはない。
【００１６】
前記衝突保護部材は、対物レンズの中筒、中間筒、外筒のいずれかの被検物側の先端部外周に着脱可能に取り付けられている。さらに前記衝突保護部材は、先頭レンズないし先頭レンズ保持枠が中筒或いは中間筒或いは外筒より外に突出した外側面を金属やプラスチックのような剛性の高い部材で非接触で覆っているため、衝突による衝撃は、衝突保護部材及び衝突保護部材と嵌合されている中筒又は中間筒又は外筒ないしステージ又は被検物に伝わり吸収される。
【００１７】
従って、先頭レンズないし先頭レンズ保持粋が衝突による衝撃を直接受けることはない。このため、レンズ或いはレンズ保持枠の破損が生じたり、レンズ或いはレンズ保持枠の光軸に対する偏心が発生し性能の劣化を引き起こさない。
【００１８】
また、衝突保護部材の素材に衝撃を吸収するシリコンゴムなどの弾性部材を用いても良く、シリコンゴムなどの弾性部材を用いることにより、衝突保護部材内で衝突の衝撃を吸収し、対物レンズ側を保護するだけでなく、ステージ、被検物側も衝突保護が可能になる。なお、金属とプラスチックのような部材に弾性部材を組み合わせた構成であっても良い。
【００１９】
また、対物レンズの中間筒又は外筒に衝突保護部材を嵌め合わせた場合にも、従来のスプリングを用いた中筒の摺勤による対物レンズの光軸の被検物方向からの衝突に対する保護機能をそのまま働かせると共に、上記衝突時に衝突保護部材による被検物、ステージヘの破損を防止するために、上記中筒の摺動機構と同様にスプリングを用い、衝突保護部材もまた中間筒又は外筒への摺動を可能にする。
【００２０】
被検物方向からの衝突に対して、衝突保護部材が衝撃を受けた場合、衝突保護部材がスプリングに抗して中間筒又は外筒内に摺勤するため、衝撃を吸収し、対物レンズの光軸の垂直方向からの衝撃に対してだけでなく、従来の対物レンズ同様、光軸の被検物方向からの衝突からも対物レンズないし被検物、ステージを保護することができる。
【００２１】
さらに、衝突保護部材の形状を、露出部の外側面に沿った形状にすることにより、視点位置をステージと同レベルにしなくても被検物と対物レンズの先端部を容易に確認できるので、使用者の作業効率を低下させない。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の各実施形態では、光軸に対して垂直な方向からの衝突による衝撃を中筒、中間筒又は外筒から突出（露出）した先頭レンズ又は先頭レンズの保持枠に伝わることを防止する機構を説明する。
【００２３】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る対物レンズの構成を示す図である。図１において、図７と同じ部分には、同じ符号を付し、本発明と直接関連しない部分についての説明は省略する。
図１に示すように、本実施形態に係る対物レンズは、衝撃防止機構として、図７の従来の対物レンズの構成に加えて、衝突保護部材１４を備えている。図１において、衝突保護部材１４が、中間筒７１の被検物側先端の外周部に取り付けられており、衝突保護部材１４は中間筒７１にビス１５で固定されている。なお、衝突保護部材１４は強固な金属又はプラスチックなどの素材より形成されており、先頭レンズ３ａと、先頭レンズ保持枠４ａ１と、中筒６の被検物側の先端部とが衝突保護部材１４により非接触で覆われている。
【００２４】
また、先頭レンズ保持枠４ａ１と、中間筒７１と、外筒８１の形状は、衝突保護部材１４を装着しやすくするために、図７の形状から変形させている。さらに、衝突保護部材１４の形状は、図示しない被検物と対物レンズの先端部の周辺を使用者から見やすい形状、つまり、先頭レンズ、先頭レンズ保持枠、中筒の先端部の外側面に沿った形状になっている。これにより、使用者は、視点位置をステージと同レベルにしなくても被検物と対物レンズの先端部を容易に確認できる。従って、衝突保護部材が対物レンズの先端部に装着されても、使用者の作業効率が低下することはない。
【００２５】
図８に示すように、対物レンズの先端部と被検物或いはステージとが干渉（衝突）するような状態にある場合には、対物レンズ或いは被検物或いはステージの対物レンズの横方向への移動による衝突は、全て対物レンズの先端部を覆っている衝突保護部材１４と被検物或いはステージとで発生する。本実施形態では、衝突保護部材１４は中間筒７１に取り付けられており、更に衝突保護部材１４は先頭レンズ３ａ及び先頭レンズ保持枠４ａとは非接触である。このため、対物レンズと被検物或いはステージとの衝突による衝撃は、衝突保護部材１４で吸収されて先頭レンズ３ａ及び先頭レンズ保持枠４ａに伝わらない。従って、レンズ３、レンズ保持枠４の破損やレンズ３、レンズ保持枠４が光軸に対し偏心することによる性能劣化は発生しない。
【００２６】
また、前記衝突保護部材１４の中間筒７１との嵌合部には、すくなくとも１つのねじ穴１６が設けられており、中間筒７１には、衝突保護部材１４を固定するためのねじ穴１６に対応する溝１７が形成されている。このように、本実施形態では、ビス１５をねじ穴１６にねじ込むことによって、衝突保護部材１４を中間筒７１に固定するようにしているので、外筒８１を対物レンズから外して、固定に用いたビス１５を取り外すことにより、容易に衝突保護部材１４の着脱が可能となっている。これにより、衝突保護部材１４が衝突で破損した場合などには、新しい衝突保護部材と容易に交換ができる。
【００２７】
（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係る対物レンズの構成を示す図である。図２において、図１と同じ部分には、同じ符号を付し、当該部分の詳細な説明は省略する。
第１の実施形態では、衝突保護部材１４をビス１５によって、中間筒７２に固定しているが、第２の実施形態では、衝突保護部材１４１と中間筒７２との取り付け部をねじとし、螺合によって固定している。すなわち、衝突保護部材１４１の螺合部を雄ねじ１９とし、中間筒側の螺合部を雌ねじ１８として、衝突保護部材１４１を中間筒７２にねじ込み（螺合）によって固定している。
【００２８】
なお、図２では、図１のように、先頭レンズ３ａの先端部が先頭レンズ保持枠４ａ１から露出しておらず、全て覆われている場合を示している。従って、本実施形態では、衝突保護部材１４１は先頭レンズ保持枠４ａ１が中筒６１から露出した先端部の側面を非接触で覆っている。
【００２９】
このような構成により、衝突による衝撃は先頭レンズ保持枠４ａ１に伝わらず、レンズ３、レンズ保持枠４の破損やレンズ３、レンズ保持粋４が光軸に対して偏心することによる性能劣化は発生しない。
【００３０】
また、衝突保護部材１４１と中間筒７２の取り付け方法も、螺合による取り付けとしたので、衝突保護部材１４１と中間筒７２との着脱も容易である。
【００３１】
（第３の実施形態）
図３は、本発明の第３の実施形態に係る対物レンズの構成を示す図である。図３において、図１と同じ部分には、同じ符号を付し、当該部分の詳細な説明は省略する。
第１の実施形態及び第２の実施形態では、衝突保護部材１４による露出部分の保護を非接触で覆うことによって行っているが、本実施形態では、衝突保護部材１４と露出部分を接触させている。このため、本実施形態では、衝突保護部材１４の素材に例えばシリコンゴムのような弾性部材を使用している。
【００３２】
すなわち、図３では、衝突保護部材１４２と中間筒７３との嵌合部における衝突保護部材１４２の内径は中間筒７３の外径よりも僅かに小さく形成されている。また、中間筒７３の嵌合部の外周側面は先端部に向かって次第に径が大きくなるような逆テーバー状を有し、さらに、中間筒７３の嵌合部の外周側面には、外周に沿って溝２２が形成されている。そして、衝突保護部材１４２の中間筒７３との嵌合部には内周に沿って凸形状２１が形成されている。なお、凸形状２１の円周径は溝２２より僅かに小さく形成されている。このような構成により、弾性部材で形成された衝突保護部材１４２は、自らの収縮力により中間筒７３に密着固定される。なお、衝突保護部材１４２の中間筒７３からの着脱も可能である。
【００３３】
このように、本実施形態では、弾性部材を用いて衝突保護部材１４２を形成することにより、衝突保護部材１４２は弾力性が向上し、衝突による衝撃が衝突保護部材１４２で吸収され、レンズ３、レンズ保持枠４の破損やレンズ３、レンズ保持粋４が光軸に対し偏心することによる性能劣化は発生しない。
【００３４】
上記のように、本実施形態によれば、図３のように、衝突保護部材１４が露出部の側面を接触して覆った場合でも、第１の実施形態ないし第２の実施形態と同様な効果が得られる。
【００３５】
（第４の実施形態）
図４は、本発明の第４の実施形態に係る対物レンズの構成を示す図である。図４において、図１と同じ部分には、同じ符号を付し、当該部分の詳細な説明は省略する。
第１の実施形態から第３の実施形態では、衝突保護部材１４（１４１、１４２）を新たに追加して、中間筒７１（７２、７３）に取り付けるようにしたが、本実施形態では、外筒８２の先端部で先頭レンズ保持枠４ａ１の露出部を覆うようにして、外筒８２と衝突保護部材とを一体化している。この場合において、外筒８２の先端部の形状は図２の衝突保護部材１４１と同様である。
【００３６】
このように外筒８２を衝突保護部材として使用するようにしたので、衝突による衝撃は先頭レンズ保持枠４ａ１に伝わらず、レンズ３、レンズ保持枠４の破損やレンズ３、レンズ保持枠４が光軸に対し偏心することによる性能劣化は発生しない。また、外筒８２は、着脱可能であるので、勿論、衝突保護部材の着脱も可能である。
【００３７】
（第５の実施形態）
図５は、本発明の第５の実施形態に係る対物レンズの構成を示す図である。図５において、図１と同じ部分には、同じ符号を付し、当該部分の詳細な説明は省略する。
第１の実施形態から第４の実施形態では、衝突保護部材１４（１４１、１４２）は、中間筒に固定されたり、外筒と共有された構成を有しているが、本実施形態では、衝突保護部材１４３が外筒（中筒）に対して摺動するように構成されている。
【００３８】
図５に示すように、本実施形態では、衝突保護部材１４３に設けた側面（Ａ面）と中間筒７４に設けた側面（Ｂ面）に端点を固定したスプリング２３を当接させるようにしているので、衝突保護部材１４が被検物方向（光軸と平行な方向）からの衝突による衝撃を受けた場合に、衝突保護部材１４３が、外筒８３の内側面と中間筒７４の外側面に沿って摺動する。このため、衝突保護部材１４３に加えられた衝撃はスプリング２３で吸収される。従って、光軸に平行な方向からの衝突による被検物ないしステージの破損は発生しない。
【００３９】
なお、衝撃が加わっていない場合は、外筒８３に設けた位置決め面（Ｃ面）とスプリングの押圧により衝突保護部材１４は定位置に止まっている。また、衝撃が、衝突保護部材１４だけでなく先頭レンズ３ａないし先頭レンズ保持枠４ａ１にも同時加わった場合には、対物レンズが従来より有する機構（中筒が中間筒に摺動する機構）と上記衝突保護部材１４の摺動機構が同時に作用するので、衝突保護部材１４により被検物ないしステージの破損は発生しない。
【００４０】
また、横方向への対物レンズ或いは被検物或いはステージの移動による衝突保護に対しては、詳細説明するまでもなく第１の実施形態ないし第４の実施形態と同様の効果も有している。
【００４１】
なお、ねじ２４により中間筒７４に取り付けられた外筒８３を外すことにより、衝突保護部材１４３の着脱が可能である。
【００４２】
上記では５つの実施形態を述べたが、対物レンズを装置に取り付け、合焦の状態で対物レンズをある位置を中心に回転移動させて、別の仕様の異なる対物レンズと交換する操作を行うことがある。顕微鏡におけるレボルバ１３の回転操作などがその例である。
【００４３】
こように合焦の状態で対物レンズをある位置を中心に回転させる場合、対物レンズの先端位置に前述の各実施形態に設けられた衝突保護部材を所持することにより、ステージ又は被検物と衝突保護部材の先端部が操作中に干渉しないことを、予め衝突保護部材１４の形状を設計する中で確認しておくことが重要である。
【００４４】
顕微鏡のレボルバ回転操作時の衝突保護部材とステージ又は被検物との干渉確認計算の例を図６に示す。
【００４５】
図６において、レボルバ１３の回転操作により衝突保護部材１４の先端円周上にある点Ｐはステージ又は被検物と最も接近する点である。点Ｐがレボルバ１３の回転操作により点Ｑの位置で最も被検物に接近する。そのときのステージ又は被検物との距離Ｈは、下式で求められる。
Ｈ＝Ｌ＋ｆ−｛（Ｌ＋ｌ）２＋Ｄ２｝１／２
ここで、Ｈ：点Ｐがステージ又は被検物に最も接近したときの距離
Ｌ：点Ｏから対物レンズ胴付までの距離
ｆ：合焦状態でのステージ又は被検物から胴付までの距離
ｌ：胴付から点Ｐまでの距離
Ｄ：対物レンズ光軸（Ｏ′）から点Ｐまでの距離
なお、上式において、Ｄは衝突保護部材上の先端円周の半径でもある。また、点Ｏは、レボルバの回転中心であり、点Ｐは、衝突保護部材の先端円周上にある点Ｏを中心に対物レンズが回転移動したとき被検物に最も接近する点である。
【００４６】
上式において、Ｈの値が０より大きければ衝突保護部材を対物レンズに所持しても合焦状態でレボルバの回転操作を行っても衝突保護部材とステージ又は被検物は干渉しないことが確認できる。また、上式の各ファクターには製造誤差を考慮した値を用いて計算することにより、更に確認の精度を向上することができる。また、このような手段を、講じたことにより、衝突保護部材とステージ又は被検物との干渉を避けることができるので、本発明は光軸と平行な方向に対する保護機能がない対物レンズにも有効である。また、他の実施形態においても、光軸と平行な方向に対する保護機能がない対物レンズに対して、光軸と平行な方向に衝撃が加わった場合でも、先頭レンズや先頭レンズ保持枠より先に衝突保護部材に衝撃が加わる可能性が高いので、本発明は光軸と平行な方向に対する保護機能がない対物レンズにも有効である。
【００４７】
上述した実施形態中に記載した衝突部材は、剛性を有する金属又はプラスチックを例に挙げていたが、弾性を有する金属またはプラスチックを先頭レンズや先頭レンズ保持枠と非接触に設けるようにしても良い。
【００４８】
また、上述した実施形態では、衝突保護部材として金属又はプラスチックを先頭レンズや先頭レンズ保持枠に対して非接触で設けるものと、シリコンゴムのような弾性部材を先頭レンズや先頭レンズ保持枠に対して接触するように設けるものとが開示され、それぞれ特性の異なる部材を先頭レンズや先頭レンズ保持枠に対して非接触か接触させるかで使い分けていたが、それぞれを組み合わせて使用しても良く、例えば、衝突保護部材に金属又はプラスチックを先頭レンズや先頭レンズ保持枠に対して非接触で設けると共に、当該金属又はプラスチックの外側（先頭レンズや先頭レンズ保持枠側とは反対の側）にシリコンゴムのような弾性部材を設けるようにしても良い。
【００４９】
なお、本発明は、上記の発明の実施の形態に限定されるものではない。本発明の要旨を変更しない範囲で種々変形して実施できるのは勿論である。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、対物レンズを構成する先頭レンズないし先頭レンズ保持枠と被検物又はステージとが、対物レンズの光軸と平行な方向以外の方向から衝突した場合に、その衝撃によるレンズないしレンズ保持枠の破損又はレンズないしレンズ保持枠の光軸に対する偏心による性能劣化を発生させない。さらに、衝突保護機能を有したことによる使用者の作業効率を低下させない対物レンズを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す図。
【図２】本発明の第２の実施形態を示す図。
【図３】本発明の第３の実施形態を示す図。
【図４】本発明の第４の実施形態を示す図。
【図５】本発明の第５の実施形態を示す図。
【図６】顕微鏡におけるレボルバ回転操作中の衝突防止部材と披検物との干渉確認を示す図。
【図７】従来の対物レンズの構成を示す図。
【図８】対物レンズが被検物又はステージと干渉する位置を示す図。
【符号の説明】
１…ステージ
２…被検物
３、３ａ〜３ｄ…レンズ
３ａ…先頭レンズ
４、４ａ〜４ｄ…レンズ保持枠
４ａ、４ａ１…先頭レンズ保持枠
５…スプリング
６、６１…中筒
７、７１、７２、７３、７４…中間筒
８、８１、８２、８３…外筒
１２…光軸
１３…レボルバ
１４、１４１、１４２、１４３…衝突保護部材
１５…ビス
１６…ねじ穴
１７、２２…溝
２３…スプリング
【図１】
2004094114.tif 000003
【図２】
2004094114.tif 000004
【図３】
2004094114.tif 000005
【図４】
2004094114.tif 000006
【図５】
2004094114.tif 000007
【図６】
2004094114.tif 000008
【図７】
2004094114.tif 000009
【図８】
2004094114.tif 000010