(57)【要約】【課題】ミラーの回転軸をずらすことなくミラーを回転駆動可能なミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法を提供すること。【解決手段】ミラー基板１を下から支持する第１の支持基板２に、ミラー４の回転方向の一方向側の端部の対向位置に電極１１と、ミラー４の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に電極１２を設け、ミラー基板１を上から支持する第２の支持基板３に、ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に電極１３と、ミラー４の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に電極１４を設け、各電極１１と電極１４との間にクーロン力を作用させてミラー４を回転駆動する。【選択図】　　　　図２
2004101822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第１および第２の支持基板を有し、
当該第１および第２の支持基板は、前記ミラーの回転駆動時に当該ミラーが近づく位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する少なくとも１つの対向側作用部をそれぞれ有することを特徴とするミラーデバイス。
【請求項２】
所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第１および第２の支持基板を有し、
前記第１の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第１の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第２の対向側作用部と、
を有し、
前記第２の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第３の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第４の対向側作用部と、
を有することを特徴とするミラーデバイス。
【請求項３】
請求項２において、
前記第１の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第３の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となり、前記第２の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第４の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となるように、前記ミラー基板と前記支持基板とを形成したことを特徴とするミラーデバイス。
【請求項４】
請求項２、３のいずれかにおいて、
前記第１の対向側作用部と、前記第３の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生し、前記第２の対向側作用部と、前記第４の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生するように各対向側作用部を形成したことを特徴とするミラーデバイス。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記距離依存性駆動力はクーロン力であることを特徴とするミラーデバイス。
【請求項６】
請求項５において、
各対向側作用部は電極であることを特徴とするミラーデバイス。
【請求項７】
請求項５、６のいずれかにおいて、
前記ミラー基板は導電性シリコン基板であることを特徴とするミラーデバイス。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のミラーデバイスを有し、前記ミラーの駆動によって光路を切り替えることを特徴とする光スイッチ。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれかに記載のミラーデバイスを有することを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第１および第２の支持基板を有し、
当該第１の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
前記第２の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の逆方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
各対向側作用部に前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動した状態で保持することを特徴とするミラーデバイス駆動方法。
【請求項１１】
所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第１および第２の支持基板を有し、
前記第１の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第１の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第２の対向側作用部と、
を有し、
前記第２の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第３の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第４の対向側作用部と、
を有し、
各対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動しない状態で保持することを特徴とするミラーデバイス駆動方法。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記第１の対向側作用部または前記第３の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生し、かつ、前記第４の対向側作用部または前記第２の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動することを特徴とするミラーデバイス駆動方法。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれかにおいて、
前記距離依存性駆動力はクーロン力であることを特徴とするミラーデバイス駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミラーを回転駆動するミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法に関する。
【０００２】
【背景技術および発明が解決しようとする課題】
ミラーを回転駆動する種々のミラーデバイスが提案されている。
【０００３】
例えば、特開平９−１０１４６８号公報等に記載されているように、従来のミラーデバイスは、ミラーを回転可能に回転軸部であるヒンジで支持し、ミラーの下方に電極を設け、電極に電圧を印加することによってクーロン力を発生してミラーを回転駆動していた。
【０００４】
しかし、この手法では、クーロン力によってミラーだけでなくヒンジも下方に吸引してしまい、ミラーの回転軸がずれてしまう場合があった。
【０００５】
ミラーの回転軸がずれてしまうと、例えば、ミラーを用いて光路を切り替える場合、意図した光路に光を導けなくなってしまう。
【０００６】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、ミラーの回転軸をずらすことなくミラーを回転駆動可能なミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係るミラーデバイスは、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第１および第２の支持基板を有し、
当該第１および第２の支持基板は、前記ミラーの回転駆動時に当該ミラーが近づく位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する少なくとも１つの対向側作用部をそれぞれ有することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る光スイッチは、上記ミラーデバイスを有し、前記ミラーの駆動によって光路を切り替えることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る電子機器は、上記ミラーデバイスを有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るミラーデバイス駆動方法は、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第１および第２の支持基板を有し、
当該第１の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
前記第２の支持基板は、前記ミラーの回転方向の一方向側の逆方向側の端部と対向する位置に設けられ、前記距離依存性駆動力が作用する対向側作用部を有し、
各対向側作用部に前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動した状態で保持することを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、ミラーデバイス等は、ミラーの回転方向において、ミラーを挟む形で距離依存性駆動力（例えば、クーロン力、電磁気力等）を作用させてミラーを回転駆動することにより、例えば、ミラーの下方から距離依存性駆動力を作用させる場合と比較してミラーの回転軸がずれにくく、ミラーをより安定させて駆動することができる。
【００１２】
特に、ミラーデバイス等は、ミラーを挟む形で設けられた複数の対向側作用部に距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを回転駆動した状態で保持することが可能となる。
【００１３】
これにより、ミラーデバイス等は、ミラーデバイス等に衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラーの位置をより安定させることができる。
【００１４】
なお、距離依存性駆動力を作用させる手法としては、例えば、前記距離依存性駆動力としてクーロン力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部に電位差を生じさせる手法を採用し、前記距離依存性駆動力として電磁気力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の極性を逆（例えば、Ｎ極とＳ極）にする手法を採用してもよい。
【００１５】
また、距離依存性駆動力の作用を停止する手法としては、例えば、前記距離依存性駆動力としてクーロン力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の電位差をなくす手法を採用し、前記距離依存性駆動力として電磁気力を用いる場合には、前記ミラーと前記対向側作用部の極性を同じ（例えば、Ｎ極とＮ極、Ｓ極とＳ極）にする手法を採用してもよい。
【００１６】
また、本発明に係るミラーデバイスは、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第１および第２の支持基板を有し、
前記第１の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第１の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第２の対向側作用部と、
を有し、
前記第２の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第３の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第４の対向側作用部と、
を有していることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明に係る光スイッチは、上記ミラーデバイスを有し、前記ミラーの駆動によって光路を切り替えることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明に係る電子機器は、上記ミラーデバイスを有することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明に係るミラーデバイス駆動方法は、所定の距離依存性駆動力によって回転駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスを駆動するミラーデバイス駆動方法において、前記ミラーデバイスは、前記ミラーの回転方向において前記ミラー基板を挟む形で第１および第２の支持基板を有し、
前記第１の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第１の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第２の対向側作用部と、
を有し、
前記第２の支持基板は、
前記ミラーの回転方向の一方向側の端部の対向位置に設けられた第３の対向側作用部と、
前記ミラーの回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に設けられた第４の対向側作用部と、
を有し、
各対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動しない状態で保持することを特徴とする。
【００２０】
本発明によれば、ミラーデバイス等は、ミラーの回転方向において、ミラーの駆動方向の端部を挟む形で距離依存性駆動力を作用させることにより、例えば、ミラーの下方から距離依存性駆動力を作用させる場合と比較してミラーの回転軸がずれにくく、ミラーをより安定させて駆動することができる。
【００２１】
特に、ミラーデバイス等は、ミラーの駆動方向の両端部を挟む形で設けられた複数の対向側作用部に距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを回転駆動しない状態で保持することが可能となる。
【００２２】
これにより、ミラーデバイス等は、ミラーデバイス等に衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラーの位置をより安定させることができる。
【００２３】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第１の対向側作用部または前記第３の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生し、かつ、前記第４の対向側作用部または前記第２の対向側作用部が前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを回転駆動してもよい。
【００２４】
これによれば、ミラーデバイス等は、ミラーの駆動方向の両端部のそれぞれに距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを所望の方向により安定させて回転駆動することができる。
【００２５】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第１の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第３の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となり、前記第２の対向側作用部と前記ミラーとの間隔と、前記第４の対向側作用部と前記ミラーとの間隔とがほぼ等間隔となるように、前記ミラー基板と前記支持基板とを形成してもよい。
【００２６】
これによれば、ミラーを介して対向する位置にある各対向側作用部とミラーとの間隔を等間隔とすることにより、ミラーデバイス等は、同じ力で距離依存性駆動力を作用させることができ、ミラーを安定させて駆動することができる。
【００２７】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記第１の対向側作用部と、前記第３の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生し、前記第２の対向側作用部と、前記第４の対向側作用部とがほぼ同じ力で前記距離依存性駆動力を発生するように各対向側作用部を形成してもよい。
【００２８】
これによれば、ミラーデバイス等は、同じ力で距離依存性駆動力を作用させることにより、ミラーを安定させて駆動することができる。
【００２９】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記距離依存性駆動力はクーロン力であってもよい。
【００３０】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、各対向側作用部は電極であってもよい。
【００３１】
これによれば、ミラーデバイス等は、クーロン力（静電気力）によって低電圧駆動でもミラーを大きく駆動することができる。また、ミラーデバイス等は、静電駆動方式を採用することにより、ミラーの駆動のために必要となる消費電力と発熱を抑制することができる。
【００３２】
また、前記ミラーデバイス、前記光スイッチ、前記電子機器および前記ミラーデバイス駆動方法において、前記ミラー基板は導電性シリコン基板であってもよい。
【００３３】
これによれば、ミラーデバイス等は、導電性シリコン基板を用いることにより、ミラー基板に電極を用いることなく、静電駆動することが可能となる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、ミラーの回転駆動によって光路を切り替えるミラーデバイスに適用した場合を例に採り、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施形態は、特許請求の範囲に記載された発明の内容を何ら限定するものではない。また、以下の実施形態に示す構成の全てが、特許請求の範囲に記載された発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００３５】
（実施例）
図１は、従来のミラーデバイスの概略断面図である。
【００３６】
従来は、図１に示すように、ミラー基板１とミラー基板１を支持する支持基板２を有するミラーデバイスは、ヒンジ５を回転軸としてミラー４を回転駆動し、回転駆動方向の一端にある電極１１に電圧を印加することによってクーロン力を発生させてミラー４を回転駆動していた。
【００３７】
このため、図１の２点鎖線で示すように、ミラー４だけでなく、ヒンジ５も電極１１側、すなわち、図１のＺ方向の逆方向側に引きつけられてしまい、ミラー４の反射光の光軸が本来意図した位置からずれてしまう場合があった。
【００３８】
本実施の形態では、支持基板として、ミラー４の回転方向においてミラー基板１を挟む形で第１および第２の支持基板を設けている。そして、第１の支持基板に、ミラー４の回転方向の一方向側の端部の対向位置に第１の対向側作用部と、ミラー４の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置にた第２の対向側作用部を設け、第２の支持基板に、ミラー４の回転方向の一方向側の端部の対向位置に第３の対向側作用部と、ミラー４の回転方向の一方向側と逆方向側の端部の対向位置に第４の対向側作用部を設けている。
【００３９】
まず、本実施形態のミラーデバイスの構成について説明する。
【００４０】
図２は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略断面図である。また、図３は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【００４１】
ミラー基板１の下側に設けられる第１の支持基板２は、第１の対向側作用部として機能する電極１１と、第２の対向側作用部として機能する電極１２とを含んで構成されている。
【００４２】
また、ミラー基板１の上側に設けられる第２の支持基板３は、第３の対向側作用部として機能する電極１３と、第４の対向側作用部として機能する電極１４とを含んで構成されている。
【００４３】
また、支持基板３は、支持基板３ａと支持基板３ｂの間に開口部を有し、当該開口部から光を入射するとともに、当該開口部を介してミラー４の反射光を出射する。
【００４４】
例えば、図２に示すように、開口部の長さをｘ、ミラー４の中央部から開口部までの距離をｄ、開口部の最端部とミラー４の中央部を結ぶ直線と開口部の中央部とミラー４の中央部とを結ぶ直線のなす角度をθとする。
【００４５】
この場合、開口部の長さｘを、２ｄｔａｎθ以上となるように設計すればよい。
【００４６】
なお、このようなミラーデバイスを実現するための材料としては、例えば、以下のものを適用できる。
【００４７】
ミラー基板１としては、例えば、シリコンにボロンをドープして導電性を付与した導電性シリコン基板等を用い、支持基板２としては、例えば、ホウケイ酸ナトリウムガラス等を用い、ミラー１０としては、例えば、導電性シリコン基板と同材料であってもよく、ミラー１０の反射部としてアルミニウム等を用いてもよい。
【００４８】
また、電極１１〜１４としては、例えば、ＩＴＯ等の透明電極を用いてもよい。
【００４９】
なお、本実施形態のミラーデバイスの製造方法としては、一般的なマイクロマシニング技術を用いて実現でき、例えば、特開平９−１５９９３７号公報に記載された手法を用いてもよい。特に、マイクロマシニング技術を用いることにより、ミラーデバイスを容易に小型化することが可能となる。
【００５０】
次に、本実施形態のミラーデバイスの動作について説明する。
【００５１】
図４は、本実施形態の一例に係るミラーデバイスの電極１１〜１４とミラー４の印加電圧とミラー４の状態との関係を示す図である。
【００５２】
例えば、ミラーデバイスは、ミラー４の図２等に示すＹ方向の端部を上昇させ、図２の２点鎖線で示す状態にする場合、電極１１および電極１４に１０Ｖの電圧を印可し、電極１２および電極１３に電圧を印可せずに０Ｖとする。なお、本実施例において、ミラー４は常に０Ｖである。
【００５３】
ミラーデバイスは、このように電圧を印可し、電極１１とミラー４との間および電極１４とミラー４との間に電位差を生じさせることにより、クーロン力を作用させ、図２に示す２点鎖線で示す状態にミラー４を傾けることができる。
【００５４】
また、ミラーデバイスは、ミラー４のＹ方向の端部を下降させ、逆方向に傾けることも可能である。
【００５５】
この場合、ミラーデバイスは、電極１１および電極１４には電圧を印可せずに０Ｖとし、電極１２および電極１３に電圧を印可して１０Ｖとする。
【００５６】
ミラーデバイスは、このように電圧を印可することにより、電極１２とミラー４との間および電極１３とミラー４との間にクーロン力を作用させ、図２に示す矢印と反対の方向にミラー４を傾けることができる。
【００５７】
さらに、ミラー４を水平に保持する場合、ミラーデバイスは、電極１１〜１４のすべてに１０Ｖの電圧を印可する。
【００５８】
これにより、電極１１〜１４とミラー４との間のそれぞれにクーロン力を作用させ、ミラー４を介した上下のクーロン力を相互に相殺させ、ミラー４を水平に保持することが可能となる。
【００５９】
以上のように、本実施の形態によれば、ミラーデバイスは、ミラー４の回転方向において、ミラー４を挟む形でクーロン力を作用させてミラー４を回転駆動することにより、例えば、ミラー４の下方からクーロン力を作用させる場合と比較してミラー４の回転軸であるヒンジ５がずれにくく、ミラー４をより安定させて駆動することができる。
【００６０】
特に、ミラーデバイスは、ミラー４を挟む形で設けられた電極１１と電極１４または電極１２と電極１３にクーロン力を作用させることにより、ミラーを回転駆動した状態で保持することが可能となる。
【００６１】
また、ミラーデバイスは、ミラー４の駆動方向の両端部を挟む形で設けられた電極１１〜１４のすべてにクーロン力を作用させることにより、ミラー４を回転駆動しない状態で水平に保持することが可能となる。
【００６２】
これにより、ミラーデバイスは、ミラーデバイスに衝撃が加わった場合であっても、従来と比べてミラー４の位置をより安定させることができる。
【００６３】
具体的には、例えば、ミラーデバイスをスロット形態で形成し、当該スロットを装置に抜き差しする場合、抜き差しする際の振動によってミラー４に傷が生じる可能性もないとは言えない。
【００６４】
このような場合であっても、本実施形態では、回転駆動状態または非駆動状態でミラー４を安定させることができるため、ミラー４に不具合が生じる可能性をより低減することが可能となる。
【００６５】
また、本実施の形態では、図２に示すように、電極１１とミラー４との間隔は、電極１３とミラー４との間隔と等間隔であり、電極１２とミラー４との間隔は、電極１４とミラー４との間隔と等間隔であり、すべての電極１１〜１４とミラー４との間隔を等間隔に形成している。
【００６６】
また、図４を用いて説明したように、すべての電極１１〜１４とミラー４との間に作用する電位差は１０Ｖであり、クーロン力も同じである。
【００６７】
したがって、ミラーデバイスは、同じ力でクーロン力を作用させることができ、ミラーを安定させて保持、駆動することができる。
【００６８】
なお、電位差は１０Ｖに限定されず、種々の電位差を適用可能であり、印加電圧も１０Ｖに限定されず、種々の電圧を適用可能である。
【００６９】
また、ミラーデバイスは、クーロン力を用いてミラー４を静電駆動するため、消費電力と発熱を低減することができる。
【００７０】
特に、ミラー４の上下に電極１１〜１４を設けることにより、ミラーデバイスは、従来と同じ印加電圧でミラー４に働くクーロン力を従来より大きくすることが可能である。
【００７１】
また、ミラー基板１を導電性のシリコン基板として形成することにより、ミラー４に電極を設ける必要はないため、消費電力と発熱をより低減することができる。
【００７２】
（変形例）
以上、本発明を適用した好適な実施の形態について説明してきたが、本発明は上述した実施例に限定されず、種々の変形が可能である。
【００７３】
例えば、上述した実施例では、開口部を設けたが、必ずしも開口部を設ける必要はない。
【００７４】
図５は、本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【００７５】
例えば、上述したように、支持基板６としてガラス等の透明材を用いれば、ミラーデバイスは、支持基板６を透過してミラー４に光を入射し、支持基板６を透過してミラー４からの反射光を出射することができる。
【００７６】
また、上述した実施例では、ミラー４の回転方向は順逆の２方向のみであったが、当該順逆方向に加え、当該順逆方向と交わる方向にミラーを回転駆動する場合であっても、本発明を適用することは可能である。
【００７７】
図６は、本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの平面図である。
【００７８】
例えば、図６に示すように、中央部に長方形の反射部を有し、当該反射部をヒンジを介して支持するとともに、当該ヒンジおよび反射部を駆動部で支持し、反射部の回転駆動方向と直交する方向に駆動部を反射部とともに回転駆動可能なミラー１９に対しても本発明を適用することは可能である。
【００７９】
このようなミラー１９の場合であっても、反射部の回転駆動方向の両端部に電極１７、１８を設け、駆動部の回転駆動方向の両端部に電極１５、１６を設け、ミラーデバイスが、各電極１５〜１８に選択的に電圧を印可することにより、所望の方向にミラーを回転駆動することが可能である。
【００８０】
なお、この場合、実際には、ミラー１９を挟む形で、電極１５〜１８はそれぞれ複数設けられる。
【００８１】
また、上述した実施例では、図２に示すように、ミラー４の両端部を挟む形で電極１１〜１４を設けたが、ミラー４を、水平状態と図２に示す２点鎖線の状態の２状態で駆動する場合、電極１２、１３を設けずに電極１１、１４を設けてミラー４を駆動してもよい。
【００８２】
このような形態であっても、クーロン力を２方向（図２に示す矢印の方向）に作用させることができるため、ミラー４を安定的に保持、駆動することが可能である。
【００８３】
また、上述した実施例では、距離依存性のある駆動力としてクーロン力を用いたが、例えば、電磁気力等を用いてもよい。
【００８４】
例えば、電磁気力を用いる場合には、距離依存性駆動力を発生する際には、ミラー側作用部と対向側作用部の極性を逆（例えば、Ｎ極とＳ極）にする手法を採用してもよく、距離依存性駆動力を停止する際には、ミラー側作用部と対向側作用部の極性を同じ（例えば、Ｎ極とＮ極、Ｓ極とＳ極）にする手法を採用してもよい。
【００８５】
また、本発明に係るミラーデバイスは、ミラーの傾きによって光路を切り替える光スイッチのほか、ルータ、プロジェクタ等の種々の電子機器に実装することが可能である。
【００８６】
さらに、上述した実施例ではいわゆる平行平板の静電アクチュエータ方式を採用したが、ミラー基板１側および支持基板２側の少なくとも一方に傾きを設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のミラーデバイスの概略断面図である。
【図２】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略断面図である。
【図３】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【図４】本実施形態の一例に係るミラーデバイスの電極とミラーの印加電圧とミラーの状態との関係を示す図である。
【図５】本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの概略分解斜視図である。
【図６】本実施形態の他の一例に係るミラーデバイスの平面図である。
【符号の説明】
１　ミラー基板、２　支持基板（第１の支持基板）、３　支持基板（第２の支持基板）、４、１９　ミラー、５　ヒンジ、１１　電極（第１の対向側作用部）、１２　電極（第２の対向側作用部）、１３　電極（第３の対向側作用部）、１４　電極（第４の対向側作用部）、１５〜１８　電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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