(57)【要約】【課題】複数のＸ線源を効率よく交換して目的に応じた検査が可能となり、また検査対象物の非破壊画像を鮮明に判別しやすいモニタ画像を得ることにある。【解決手段】放射線発生器２と、被検体を載せる寝台天板７あるいは回転テーブルと、放射線発生器２より照射され被検体を透過した放射線を測定するカラーＸ線Ｉ．Ｉ１と、このカラーＸ線Ｉ．Ｉ１より得られる画像信号を記録すると共に、この画像信号を処理する画像処理装置とを備え、放射線源として、種類や照射エネルギーの異なる複数の放射線発生器２が支持構造物に選択可能に且つ角度や距離が可変可能にそれぞれ支持され、カラーＸ線Ｉ．Ｉ１は、複数の放射線源から選択された放射線源に対向する位置に移動可能な移動体に角度や距離を可変する機構を介して設置される。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線源と、被検体を固定する冶具または被検体を載せる寝台あるいは回転テーブルと、前記放射線源より照射され被検体を透過した放射線を測定するイメージセンサと、このイメージセンサより得られる画像信号を記録すると共に、この画像信号を処理する画像処理装置とを備え、
前記放射線源として、種類や照射エネルギーの異なる複数の放射線源が支持構造物に選択可能に且つ角度や距離が可変可能にそれぞれ支持され、
前記イメージセンサは、前記複数の放射線源から選択された放射線源に対向する位置に移動可能な移動体に角度や距離を可変する機構を介して設置されたことを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項２】
放射線源と、被検体を固定する冶具または被検体を載せる寝台あるいは回転テーブルと、前記放射線源より照射され被検体を透過した放射線を測定するイメージセンサと、このイメージセンサより得られる画像信号を記録すると共に、この画像信号を処理する画像処理装置とを備え、
前記イメージセンサは、カラーの画像信号を出力し、
前記画像処理装置は、前記イメージセンサから得られるカラー信号をそれぞれ色成分毎に分解する手段と、この手段により分解された色成分毎に放射線の種類又は放射線のエネルギー或いは照射強度に応じて信号強度を調整する演算処理手段と、この演算処理手段で処理された画像信号を記録するメモリとを備えたことを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の非破壊検査装置において、
前記支持構造物は、複数の放射線源を支持するそれぞれ異なる支柱であり、
前記放射線源は、放射線を放出し且つ垂直方向及び水平方向に回動可能な機構を備えた照射ヘッドを有し、この照射ヘッドが前記支柱に上下方向に移動可能に支持されていることを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項４】
請求項１記載非破壊検査装置において、
前記イメージセンサは、前記放射線源と独立して移動可能なキャスタを備えた寝台に、放射線の照射方向に対応させて垂直方向又は水平方向或いはその中間位置に回動可能な機構を介して設置されていることを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項５】
請求項１、請求項３又は請求項４の何れかに記載の非破壊検査装置において、
前記放射線源は、前記イメージセンサに対する放射線の照射位置を示すレーザマーカ又はライトを内蔵していることを特徴とした非破壊検査装置。
【請求項６】
請求項２記載の非破壊検査装置において、
前記画像処理装置は、入力されるカラー信号をＳ端子入力、ＲＧＢ入力、ＢＮＣまたはピン端子によるビデオ入力に対応した端子を具備し、各色ＲＧＢ成分に分離した信号を積算または平均化処理するメモリを有し、且つ演算処理量をモニタにて確認するための出力端子を備えていることを特徴とした非破壊検査装置。
【請求項７】
請求項６記載の非破壊検査装置において、
前記画像処理装置は、前記メモリで演算処理された信号を初期状態として色成分毎に保存し、次に得られた画像と比較して変化量のみを演算するサブトラクション機能を有し、このサブトラクション機能により求められた変化量を反転させてネガとポジ画像としてモニタに表示可能にしたことを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項８】
請求項７記載の非破壊検査装置において、
前記画像処理装置は、前記サブトラクション機能により演算処理された信号を色成分毎に擬似カラーを付けて合成し、識別しやすくしたことを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項９】
請求項６乃至請求項８の何れかに記載の非破壊検査装置において、
前記画像処理装置は、演算処理を外部よりつまみ、スイッチにて制御する制御手段を備えたことを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項１０】
請求項６乃至請求項８の何れかに記載の非破壊検査装置において、
前記画像処理装置は、演算処理を外部より計算機でリモート制御できるように通信機能を持たせたことを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項１１】
請求項９又は請求項１０記載の非破壊検査装置において、前記画像処理装置は、演算処理を外部よりつまみやスイッチまたは計算機でリモート制御した時に設定条件をモニタの画面上に表示、又は非表示で設定する機能を持たせたことを特徴とする非破壊検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非破壊にて被検体の検査並びに物質の分析などに適用されるＸ（γ）線非破壊検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ（γ）線が物質を透過する際には、その構成物の種類や形状によって吸収や散乱が異なってくる。従って、このＸ（γ）線の透過状態を映像として写真やビデオ、デジタルファイル等として記録すれば、物質の破損や変化、充填物の充填状況等を把握することができる。
【０００３】
これは一般にレントゲン写真で人体の内部の状態を診察する方法や、測定したい物体あるいは試料を破壊せずに内部の状態を測定する方法として用いられており、これらはラジオグラフィまたは非破壊放射線撮影法と呼ばれている。
【０００４】
ところで、医療診断や工業用非破壊検査などに利用されるＸ（γ）線撮影では、通常、撮影系の感度を向上させるために、Ｘ線イメージインテンシファイヤ（以下Ｉ．Ｉ．と略記する）が使用されている。
【０００５】
また、撮影に用いられるＸ線源は、照射するＸ線のエネルギーとＸ線発生量を管電圧と管電流により調整しているが、撮影の分解能はＸ線の発生源における焦点サイズに大きく影響されるため、高い分解能を得るには、焦点サイズが小さい通称マイクロフォーカス型が用いられる。
【０００６】
しかし、マイクロフォーカス型は、焦点サイズが小さいため、管電圧と管電流を上げて使用することができない。特に、金属などＸ線の透過しにくい物質の検査でＸ線透過厚さが厚い場合には、焦点サイズが大きく管電圧と管電流の大きなものでなければ検査することができない。
【０００７】
また、測定対象物が特定されていない複合材料で大きさも一定でないものをＸ線撮影する場合には、対象物と検査の精度に応じてＸ線源と検出器の組合せを最適化することが求められる。実際の撮影では、経験者がＸ線源の種類を選択し、撮影条件を決めてから行われる。従って、Ｘ線源と検出器の組合せを変えなければならない。
【０００８】
一方、撮影方法として種々の角度から撮影を行う場合には、Ｘ線発生装置と検出器を組合せた照射システムを対象物に対して角度が変えられるようにするか、照射システムを固定して対象物の角度を変えるかのいずれかになる。
【０００９】
多くの場合、通称Ｃアームを備えた万能型Ｘ線検査装置と呼ばれる照射システムが用いられ、測定対象物（人の場合が多い）に対して位置決めを行って撮影している（例えば、特許文献１、特許文献２）。
【００１０】
また、測定対象物を寝台に載せて寝台を動かして位置決めしたり、寝台の角度を変えたりするものもある（例えば、特許文献３）。
【００１１】
しかし、これらは、Ｘ線源を交換して撮影するには手間がかかるため、いずれもＸ線源を変えているものはほとんど無く、ＣアームにＸ線源とＸ線Ｉ．Ｉ．を固定して用いているのが一般的である。
【００１２】
また、Ｃアームを有する万能型検査装置は、設置に大きなスペースを取るため、施設管理の面からも小型化が望まれている。
【００１３】
他方、上記幾何学的な撮影機構とは別に、従来のＸ線Ｉ．Ｉ．に用いられているカメラの出力はモノクロである。
【００１４】
最近、本出願人によりカラー方式によるＸ線Ｉ．Ｉ．が開発され、その実用化が検討されている。このカラー方式によるＸ線Ｉ．Ｉ．は、Ｘ線透過の割合に応じて赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の信号が同時に異なった状態で出力されるものである。
【００１５】
従って、これらの信号の処理を工夫することで、従来のモノクロ画像とは異なり、カラー画像として表示できるようになる。更に、単純な疑似カラーではなく透過量に応じた情報から特定の物質（金属や樹脂が混在している場合には金属部分のみ特定したり、金属の中でもアルミニウムと鉄など同じ厚さであれば金属別に特定したりできる）を色分けして表示することが可能になると考えられる。
【００１６】
一般的に人が視認できるグレースケールは、１００段階と言われている。すなわち、輝度信号として８ｂｉｔの２５６段階、黒０レベルから白２５５レベルあっても、仮に２５５レベルと２５４レベルのグレー差を識別することはできない。１００レベルと１０１レベルでも同様である。
【００１７】
そこで、このような僅少なグレー差に対しては、視認しやすいように見たい領域をエンハンス（コントラスト強調）する手法が用いられている。例えば、欠陥部の階調が１００レベルから２００レベル迄の間に存在していた場合、１００〜２００レベルを０〜２５５レベルにエンハンス（この場合領域拡大）することで、輝度の差が２．５６倍に拡大されるため、視認性が増す。すなわち、仮に１００レベルと１０１レベルの差が欠陥部との差とすると、０と３（四捨五入されて）の差になる。更に１００〜１５０を０〜２５５にすることも可能である。
【００１８】
一方、これらのエンハンス処理を行うことで元々あった０〜１００迄の領域は０になってしまい見ることができなくなる。
【００１９】
以上の説明は、輝度信号として８ｂｉｔの２５６階調について説明したが、１６ｂｉｔ信号で処理できる場合には、６３０００階調で考えることになる。しかし、一般的な表示では、人の視認性の点もあり、グレー表示は８ｂｉｔ、カラー表示ではＲＧＢ各色８ｂｉｔの２４ｂｉｔである。そこで、Ｘ線Ｉ．Ｉ．をカラー化してＸ線透過量に応じて色を異なるように表示する場合には、見たい領域の視認性を上げるための工夫が必要となる。
【００２０】
【特許文献１】
米国特許第５４１０５８４号公報
【００２１】
【特許文献２】
特開２００２−３０６４６１号公報
【００２２】
【特許文献３】
特開２００２−０００５９１号公報
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来の放射線による非破壊検査装置においては、測定対象に応じてＸ線源やガンマ線源の撮影角度を変えながら行う必要があり、また測定対象物と検査の精度に応じて複数のＸ線源を効率よく交換しながら照射角度を変えて撮影できるシステムを小スペースに設置できることが望まれている。さらに、輝度信号として僅少なレベル差を撮影した画像を視認し易くするための画像処理システムも望まれている。
【００２４】
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたもので、検査目的に応じて複数のＸ線源を効率よく交換でき、また検査対象物の非破壊画像を鮮明に判別しやすいモニタ画像として処理することができる非破壊検査装置を提供することを目的とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成するため、次のような手段により非破壊検査装置を構成する。
【００２６】
本発明は、放射線源と、被検体を固定する冶具または被検体を載せる寝台あるいは回転テーブルと、前記放射線源より照射され被検体を透過した放射線を測定するイメージセンサと、このイメージセンサより得られる画像信号を記録すると共に、この画像信号を処理する画像処理装置とを備え、前記放射線源として、種類や照射エネルギーの異なる複数の放射線源が支持構造物に選択可能に且つ角度や距離が可変可能にそれぞれ支持され、前記イメージセンサは、前記複数の放射線源から選択された放射線源に対向する位置に移動可能な移動体に角度や距離を可変する機構を介して設置される。
【００２７】
上記構成において、支持構造物は、複数の放射線源を支持するそれぞれ異なる支柱であり、前記放射線源は、放射線を放出し且つ垂直方向及び水平方向に回動可能な機構を備えた照射ヘッドを有し、この照射ヘッドが前記支柱に上下方向に移動可能に支持される。
【００２８】
上記構成において、イメージセンサは、前記放射線源と独立して移動可能なキャスタを備えた寝台に、放射線の照射方向に対応させて垂直方向又は水平方向或いはその中間位置に回動可能な機構を介して設置される。
【００２９】
上記構成において、イメージセンサに対する放射線の照射位置を示すレーザマーカ又はライトを内蔵している。
【００３０】
また、本発明は、放射線源と、被検体を固定する冶具または被検体を載せる寝台あるいは回転テーブルと、前記放射線源より照射され被検体を透過した放射線を測定するイメージセンサと、このイメージセンサより得られる画像信号を記録すると共に、この画像信号を処理する画像処理装置とを備え、前記イメージセンサは、カラーの画像信号を出力し、前記画像処理装置は、前記イメージセンサから得られるカラー信号をそれぞれ色成分毎に分解する手段と、この手段により分解された色成分毎に放射線の種類又は放射線のエネルギー或いは照射強度に応じて信号強度を調整する演算処理手段と、この演算処理手段で処理された画像信号を記録するメモリとを備える。
【００３１】
上記構成において、前記画像処理装置は、入力されるカラー信号をＳ端子入力、ＲＧＢ入力、ＢＮＣまたはピン端子によるビデオ入力に対応した端子を具備し、各色ＲＧＢ成分に分離した信号を積算または平均化処理するメモリを有し、且つ演算処理量をモニタにて確認するための出力端子を備えている。
【００３２】
また、前記画像処理装置は、前記メモリで演算処理された信号を初期状態として色成分毎に保存し、次に得られた画像と比較して変化量のみを演算するサブトラクション機能を有し、このサブトラクション機能により求められた変化量を反転させてネガとポジ画像としてモニタに表示可能である。
【００３３】
さらに、前記画像処理装置は、前記サブトラクション機能により演算処理された信号を色成分毎に擬似カラーを付けて合成し、識別しやすくしている。
【００３４】
上記構成のいずれかに対して、演算処理を外部よりつまみ、スイッチにて制御する制御手段を備える。
【００３５】
上記構成のいずれかに対して、演算処理を外部より計算機でリモート制御できるように通信機能を持たせる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下本発明による非破壊検査装置の実施形態を図面を参照して説明する。
【００３７】
図１は本発明に係る非破壊検査装置の第１の実施形態を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。
【００３８】
図１において、４は装置全体を保持するＸ線発生器移動用フレーム架台で、このフレーム架台４に複数本（本例では３本）の支柱４ａが正面から見て左右方向に移動可能に保持され、これら各支柱４ａに上下方向に移動可能に支持されたＸ線発生器移動用アーム３に種類の異なるＸ線発生器２がそれぞれ取付けられている。この場合、各Ｘ線発生器２は垂直方向及び水平方向に回動可能な機構を備えた照射ヘッドを有し、この照射ヘッドが支柱４ａに上下方向に移動可能に支持され、各Ｘ線発生器２は操作ハンドル１７にて上下方向とＸ線の照射方向を垂直または水平に回動できるようになっている。
【００３９】
これら３種のＸ線発生器２は、Ｘ線源の焦点サイズや照射エネルギーの異なるものが用いられ、非破壊検査時に適宜選択される。
【００４０】
ここで、Ｘ線源としては管電圧と管電流が大きくとれないが、分解能を高くすることのできる焦点サイズが小さいマイクロフォーカスタイプや、管電圧が１００ｋＶ、管電流が０．５ｍＡ迄で焦点サイズがミニフォーカスタイプ、管電圧が３００ｋＶ、管電流が３ｍＡ迄で焦点サイズが１．５ｍｍのタイプ、イリジウムをアイソトープ線源としたガンマ線源を選択できるようにしてある。
【００４１】
図２は、Ｘ線発生器２を一つ選んで上部より下に照射する体型を示している。
【００４２】
一方、５は前後部にキャスタ１４を有する撮影架台で、この撮影台架台５の周囲部は撮影台カバー６で覆われ、また上面部には被検体を載せる撮影台天板７が取付けられ、上部からのＸ線照射を受けられる構造となっている。
【００４３】
また、撮影架台５内には、Ｘ線発生器２から照射される放射線を受けるため高感度のカラーＸ線イメージインテンシファイヤ（以下カラーＸ線Ｉ．Ｉ．と称す）１が設けられ、このカラーＸ線Ｉ．Ｉ．１は支持部材８ａに回動可能に支持されたカラーＸ線Ｉ．Ｉ．ブラケット８に取付けられている。
【００４４】
このカラーＸ線Ｉ．Ｉ．ブラケット８には駆動アーム９の一端部が連結され、この駆動アーム９の他端部に回転用ギアユニット１１に支持された回転用ＬＭガイド１３に沿って移動する回転用リードスクリュウ１０が結合され、撮影架台５の外側に設けられた回転ハンドル１２（図１（ｃ）に示す）を回転させることで、カラーＸ線Ｉ．Ｉ．１を回動させて撮影台天板７上に起こすように飛び出させ、横方向からの（図では左方向からの）照射を受けられるようにしている。
【００４５】
横方向からの照射を受けるように設定した場合、図１（ａ）に示す天板取り外し用取手１６により撮影台天板１５を取り外す必要がある。更にキャスタ１４にて照射距離を変えることが可能である。
【００４６】
従って、カラーＸ線Ｉ．Ｉ．１は、これらの回動機構により放射線の照射方向に対応させて垂直方向又は水平方向或いはその中間位置に移動させることができる。
【００４７】
また、カラーＸ線Ｉ．Ｉ．１が内蔵されている撮影架台５は、キャスタ１４によって前後左右に自由に移動させることができるため、Ｘ線発生器２に内蔵されているレーザマーカ１８によってカラーＸ線Ｉ．Ｉ．１に対する放射線の照射位置を事前に目視にて確認できる。
【００４８】
なお、レーザマーカ１８に代えて放射線の照射位置をライトにより確認できるようにしても良い。
【００４９】
さらに、図３に示すようにカラーＸ線Ｉ．Ｉ．１を回転ハンドル１２を回転して撮影台天板７上に起こすように飛び出させ、水平方向から照射できるようにしている。特に撮影台天板７の上に回転テーブル１９を設置し、その上に被検体を置き回転させて撮影を行うことで被検体内の構造を３６０度検査することができる。
【００５０】
この結果の一部を画像再構成することでＣＴ画像とし、断面をみることも可能となる。
【００５１】
特に薄くて立てかけることが難しい被検体の場合は、垂直方向からの図２の体型が撮影しやすく、立体的で複雑な内部構成を持つ被検体の場合には図３のように被検体を回転させながら内部を検査した方が内部構成を判別しやすい。
【００５２】
図４は、カラーＸ線Ｉ．Ｉ．１からのカラー信号を取り込み画像処理して出力する画像処理装置に関する基本回路を示す構成図である。
【００５３】
この画像処理装置は、大きく分けて画像入力および平均または積算処理を行う処理部Ａと画像演算およびカラー表示を行う処理部Ｂの２つの画像処理部から構成されている。
【００５４】
画像処理部Ａにおいて、カラー信号の入力では、輝度信号Ｙと色信号Ｃが分離しているＳ端子２０に入力されるＹ／Ｃ信号とＲＧＢそれぞれが分離してＲＧＢ端子２１に入力されるＲＧＢ信号とＢＮＣ端子２２に入力されるビデオ信号ＶＣに対応している。各色成分に分離されていないＹ／Ｃ信号とＶＣ信号は、ＲＧＢ分離回路２３にて分離される。
【００５５】
このＲＧＢ分離回路２３で色成分毎に分離された信号は、１６ｂｉｔ深度メモリ２４でアナログ信号をデジタルに変換して記憶し、積算または平均化処理しデジタルからアナログに変換してカラーモニタ３１で合成されて表示される。
【００５６】
この１６ｂｉｔ深度メモリ２４のデジタル出力が後段の画像処理部Ｂに渡され、リファレンス信号としてＲＥＦメモリ２５に各色毎初期状態として記録される。この場合、常にＲＥＦメモリ２５に記録する必要は無いが、照射エリアのＸ線照射むらや初期状態からの変化量のみを検査する場合には、赤色成分の一例として最初のＲＲと次のＭＲとを比較してその信号差からリファレンス信号を求めることができる。
【００５７】
このＲＥＦメモリ２５に記録された信号差を基に検査したい部分を観測しやすくするようにエンハンス処理回路２６でエンハンス処理を行い、コントラストと輝度の調整を行う。この調整結果のディジタルデータをＯＶＬＹメモリ（オーバレイメモリ）２６ａに記録する。
【００５８】
このエンハンス処理回路２６でエンハンス処理された信号は、演算処理回路２７に取り込まれ、この演算処理回路２７にて演算処理を行い、モノクロモニタ３２に各色毎モノクロ画像でモニタできるようにしている。この場合、モノクロ画像についてはＲＧＢ毎に独立してネガ・ポジの反転ができるように反転回路２９が設けられている。
【００５９】
また、演算処理回路２７で演算処理を行った後で各色毎に疑似カラー処理回路２８により擬似カラーを割り当てて合成し、エンコーダ３０にてＲＧＢモニタ３１に表示したり、Ｓ端子のＹ／Ｃ分離信号として出力したり、ビデオ信号ＶＢＳとして出力できるようにしている。
【００６０】
これらの信号処理は、制御部３３を経由して操作パネルＣの積算／平均切換スイッチ（ロータリースイッチ）３６で積算機能と平均化処理が行えるようにしている。この場合、積算または平均化処理枚数は、積算または平均化処理画像枚数設定スイッチ３７で選択できるようにしている。また、∞のポジションでは、積算または平均処理開始スイッチ（書込み押しボタン）３９を押すことでスタートし、積算または平均処理停止スイッチ（固定押しボタン）３８を押すまで処理を続けている。
【００６１】
画像演算およびカラー表示処理を行う画像処理部Ｂに対して、制御部３３を経由してハードで信号処理を行うようにしている。エンハンス処理下限調整つまみ４０とエンハンス処理上限つまみ４１により、エンハンス処理でＲＧＢそれぞれの見やすい位置を決定している。このエンハンス処理による効果を色毎にモノクロモニタ３２で確認する。上記の機能切換スイッチとして、現在の絵だけの画面にオーバーレイの形で表示４２、エンハンス入切４３、ネガ／ポジ切換４４、サブトラクションモード切換４５、擬似カラー表示４６を設けている。
【００６２】
以上のハードによる外部制御パネルを図５に示す。
【００６３】
更に、ハードパネルを用いずにリモート操作用計算機３５によりＲＳ２３２Ｃコネクター３４を介してコントロールできるようにしている。
【００６４】
この場合、画像処理部Ａ，Ｂは演算処理を外部よりつまみやスイッチまたは計算機でリモート制御した時に設定条件をモニタの画面上に表示する機能や、非表示で設定できる機能を持っている。また、画像処理部を機器内部に設置したり、計算機に組み込んだりできるとともに、Ｘ線源との同期をとってパルスＸ線に対応することも可能となる。
【００６５】
次に実際に撮影した例について説明する。
【００６６】
比重が２〜３ｇ／ｃｍ３のガラスと約２倍の６〜７ｇ／ｃｍ３のジルコニアを同じ厚さ１ｍｍずつのステップゲージを被検体とする。この外観写真を図６に示す。
【００６７】
次にＸ線の管電圧１００ｋＶで管電流０．０５ｍＡにて撮影した結果を図７に示す。図７の上部は本来カラー画像である。この上図にはガラスとジルコニアのステップの様子を同時に確認することができている。下の３つの図は、上のカラー画像をバックグランドのリファレンス画像を引き算してＲＧＢの色成分毎に示したものである。Ｒ（赤色）成分では比重の大きいＸ線の透過しにくいジルコニアのステップゲージは観察できるが、比重の小さくＸ線の透過しやすいガラスは観察できていない。
【００６８】
一方、Ｂ（青色）成分では逆にジルコニアは真っ黒になり、Ｘ線が透過していない状態でステップを確認できないが、ガラスのステップは確認できている。従って、ＲＧＢの色調整を行って比重の異なる材質毎の検査が可能となる。
【００６９】
次に画像処理部での効果を説明するため、被検体に３ＣＣＤカメラとして撮影した例で説明する。
【００７０】
図８は、撮影して何も処理していない画像で色成分毎に示している。
【００７１】
図９は、図８の画像に対してエンハンス処理を色成分毎に行い、視認性を高めた結果である。全体的にコントラストがはっきりした画像となっている。
【００７２】
図１０は、図９の画像から被検体を置かずに撮影したバックグランドのリファレンス信号との差を引いてサブトラクション処理を行い、エンハンス処理してネガ／ポジ反転をした結果である。
【００７３】
この結果は、フィルムで撮影した結果と同じように観測できＸ線照射のむらも補正できる。Ｒ成分画像では右側のコネクター部分の金属内部が確認できているが、細い配線や左のプラスチック製のレンズキャップは見えていない。
【００７４】
一方、青色画像では、金属内部は見えていないが、細い配線やレンズキャップを見ることができる。これらの画像は、回転テーブルに置いてリアルタイムで内部の配置を色成分毎に検査することが可能となる。
【００７５】
【発明の効果】
以上述べたように本発明による非破壊検査装置によれば、従来、放射線源とイメージセンサとの組合せにおいて、被検体に応じて放射線源を組み替えながら行わなければならなかったが、狭いスペースにエネルギーや焦点サイズの異なる放射線源がセットされており、その中から選択して使えるようになり、また、照射の方向も垂直から水平まで角度と距離を変えて撮影が可能になり、撮影の効率化を図ることができる。
【００７６】
一方、イメージセンサとして、カラーＸ線イメージインテンシファイヤを用いた場合に出力されるカラー信号をＲＧＢの色成分に分けて画像処理を行う画像処理部により、出力される画像の視認性を高め、検査の判定性能を高めることができる。
【００７７】
よって、これらの機能は、従来のモノクロ撮影ではできなかった材質の違いや厚さの違いを同時に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による非破壊検査装置の第１の実施形態を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図。
【図２】同実施形態において、垂直方向から照射する場合を示す正面図。
【図３】同実施形態において、水平方向から照射する場合を示す正面図。
【図４】同実施形態における画像処理装置を示す基本的な回路構成図。
【図５】同実施形態における画像処理ユニットに付ける外部制御パネルを示す図。
【図６】同実施形態において、被検体としてガラスとジルコニアのステップゲージの外観を示す写真。
【図７】図６の被検体を撮影した結果を示す中間調画像。
【図８】被検体に３ＣＣＤカメラを撮影した結果を示す中間調画像。
【図９】図８の結果にエンハンス処理を行なった結果を示す中間調画像。
【図１０】図９の結果にバックグラウンド処理を行い、画像処理を行った結果を示す中間調画像。
【符号の説明】
１：カラーＸ線イメージインテンシファイヤ
２：Ｘ線発生器
３：Ｘ線発生器移動用アーム
４：Ｘ線発生器移動用フレーム架台
４ａ：支柱
５：撮影架台
６：撮影台カバー
７：撮影台天板
８：カラーＸ線Ｉ．Ｉ．ブラケット
８ａ：支持部材
９：駆動アーム
１０：回転用リードスクリュウ
１１：回転用ギヤユニット
１２：回転ハンドル
１３：回転用ＬＭガイド
１４：キャスタ
１５：撮影台天板
１６：天板取り外し用取手
１７：操作ハンドル
１８：レーザマーカ
１９：回転テーブル
２０：Ｓ端子
２１：ＲＧＢ端子
２２：ＢＮＣ端子
２３：ＲＧＢ分離回路
２４：１６ｂｉｔ深度メモリ
２５：リファレンスメモリ
２６：エンハンス処理回路
２７：演算処理回路
２８：擬似カラー処理回路
２９：ネガ／ポジ反転回路
３０：エンコーダ
３１：ＲＧＢモニタ
３２：モノクロモニタ
３３：制御部
３４：ＲＳ２３２Ｃ端子
３５：リモート操作用計算機
３６：積算／平均切換スイッチ
３７：積算または平均処理画像枚数設定スイッチ
３８：積算または平均処理停止スイッチ
３９：積算または平均処理開始スイッチ
４０：エンハンス処理下限調整つまみ
４１：エンハンス処理上限調整つまみ
４２：数値表示スイッチ
４３：エンハンス入切スイッチ
４４：ネガ／ポジ切換スイッチ
４５：サブトラクションモード切換スイッチ
４６：擬似カラー表示スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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