(57)【要約】【課題】より平坦な高い動圧分布を実現でき、負荷容量を大きくできるスラスト動圧軸受を提供する。【解決手段】このスラスト動圧軸受は、第１フォイル１の周方向前方縁７Ｂの後方の部分７Ｄを第２フォイル２の第１凸状部１３が支持し、第４フォイル４の第３凸状部２３は第１凸状部１３よりも前方で第３フォイル３の周方向前方縁１７Ｂを支持する。作動流体の流体圧によって、第１〜第４フォイル１〜４が弾性変形して、出口３１から入口３２に向かって下方に凸に湾曲しつつ下り勾配で、かつ、入口３２付近で下り勾配が大きくなっている動圧発生面Ｓ１が形成される。【選択図】　図２
2004108485.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状フォイルを積層してなるスラスト動圧軸受であって、
周方向に所定の間隔を隔てて複数の略ヘリングボーン形状の穴が形成された最上層の第１フォイルと、
上記第１フォイルの直下に配置され、上記第１フォイルの周方向に隣接する上記略ヘリングボーン形状の穴の間に位置する丘部の周方向前方縁に略沿った形状の第１凸状部と、上記丘部の周方向後方縁に略沿った形状の第２凸状部とを有し、上記第１凸状部の上面と上記第２凸状部の上面が上記第１フォイルの対向面に接触する第２フォイルと、
上記第２フォイルの直下に配置され、周方向に所定の間隔を隔てて複数の略ヘリングボーン形状の穴が形成され、隣接する上記略ヘリングボーン形状の穴の間に位置する丘部の周方向前方縁が、上記第２フォイルの第１凸状部よりも周方向前方に形成され、上記丘部の周方向後方縁が、上記第２フォイルの第２凸状部の周方向後方に形成された第３フォイルと、
上記第３フォイルの直下に配置され、上記第３フォイルの丘部の周方向前方縁に略沿った形状の第３凸状部と、上記第３フォイルの丘部の周方向後方縁に略沿った形状の第４凸状部とを有し、上記第３凸状部の上面と上記第４凸状部の上面が上記第３フォイルの対向面に接触する第４フォイルとを備え、
上記第４フォイルは基面上に配置されたことを特徴とするスラスト動圧軸受。
【請求項２】
請求項１に記載のスラスト動圧軸受において、
上記第２フォイルが薄板状部材からなり、隣接する上記第１凸状部と第２凸状部との間の部分が貫通孔である構造と、上記第４フォイルが薄板状部材からなり、隣接する上記第３凸状部と第４凸状部との間の部分が貫通孔である構造とのうちの、少なくとも一方の構造を有することを特徴とするスラスト動圧軸受。
【請求項３】
請求項１または２に記載のスラスト動圧軸受において、
上記第１フォイルの丘部の周方向前方縁が、作動流体の流動に伴って、下方に弾性変形して、上記周方向前方縁と被支持回転体の表面との間にくさび状空間を形成するべく、上記第２フォイルの第１凸状部が、上記第１フォイルの丘部の周方向前方縁よりも周方向後方に配置されている構造と、上記第３フォイルの丘部の周方向前方縁が、作動流体の流動に伴って、下方に弾性変形して、上記周方向前方縁と被支持回転体の表面との間にくさび状空間を形成するべく、上記第４フォイルの第３凸状部が、上記第３フォイルの丘部の周方向前方縁よりも周方向後方に配置されている構造とのうちの、少なくとも一方の構造を有することを特徴とするスラスト動圧軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、スラスト動圧軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、スラスト動圧軸受の減衰特性を向上させるために、薄板を積層した構成の軸受が提案されている。これらのスラスト動圧軸受では、スパイラル溝やくさび形状の隙間でもって、動圧を発生している。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１−２４２８１６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらのスラスト動圧軸受では、例えば、図５（Ａ）に示すように、エッジがほぼ垂直に切り立った動圧溝１０１では、被支持体１０２に加える面圧が、作動流体の入口付近でピーク１０３を示し、出口にかけて急激に低下している。一方、図５（Ｂ）に示すように、ほぼ一定の傾斜角の傾斜面からなる動圧溝１０５では、被支持体１０６に加える面圧は、出口付近でピーク１０７を示し、入口にかけて急低下している。
【０００５】
このような図５（Ａ）や図５（Ｂ）に示す面圧分布では、ピークの片側で面圧が急激に低下しているため、負荷能力が制限されていた。
【０００６】
そこで、この発明の目的は、より平坦な高い動圧分布を実現でき、負荷容量を大きくできるスラスト動圧軸受を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明は、板状フォイルを積層してなるスラスト動圧軸受であって、
周方向に所定の間隔を隔てて複数の略ヘリングボーン形状の穴が形成された最上層の第１フォイルと、
上記第１フォイルの直下に配置され、上記第１フォイルの周方向に隣接する上記略ヘリングボーン形状の穴の間に位置する丘部の周方向前方縁に略沿った形状の第１凸状部と、上記丘部の周方向後方縁に略沿った形状の第２凸状部とを有し、上記第１凸状部の上面と上記第２凸状部の上面が上記第１フォイルの対向面に接触する第２フォイルと、
上記第２フォイルの直下に配置され、周方向に所定の間隔を隔てて複数の略ヘリングボーン形状の穴が形成され、隣接する上記略ヘリングボーン形状の穴の間に位置する丘部の周方向前方縁が、上記第２フォイルの第１凸状部よりも周方向前方に形成され、上記丘部の周方向後方縁が、上記第２フォイルの第２凸状部の周方向後方に形成された第３フォイルと、
上記第３フォイルの直下に配置され、上記第３フォイルの上記丘部の周方向前方縁に略沿った形状の第３凸状部と、上記第３フォイルの上記丘部の周方向後方縁に略沿った形状の第４凸状部とを有し、上記第３凸状部の上面と上記第４凸状部の上面が上記第３フォイルの対向面に接触する第４フォイルとを備え、
上記第４フォイルは、基面上に配置されたことを特徴としている。
【０００８】
この請求項１の発明では、上から順に、第１フォイル、第２フォイル、第３フォイル、第４フォイルが配置されている。上記第１フォイルの下層の第２フォイルは、第１凸状部と第２凸状部でもって、上記第１フォイルの丘部の周方向前方縁と周方向後方縁を第３フォイルに対して支持する。また、この第３フォイルの周方向前方縁は、第２フォイルの第１凸状部よりも周方向前方に形成され、上記第３フォイルの周方向後方縁は、第２フォイルの第２凸状部の周方向後方に形成されている。また、この第３フォイルの周方向前方縁と周方向後方縁は、第４フォイルの第３凸状部と第４凸状部で基面に対して支持されている。
【０００９】
この発明では、第１，第３フォイルに形成された略ヘリングボーン形状の穴が、上記基面上に略ヘリングボーン形状の溝を形成し、上記最上層の第１フォイルの上方に配置される被支持回転体（例えば円盤）が回転すると、上記略ヘリングボーン形状の溝の効果で動圧が発生し、上記被支持回転体が第１〜第４フォイルに被接触で回転する。
【００１０】
また、この構成によれば、上記第１フォイル上に所定の動圧隙間を隔てて載置される被支持回転体（例えば、円盤）が回転し、周方向前方から周方向後方に動圧流体が流動する。この流動による流体圧によって、第１フォイルの周方向前方縁が弾性変形して下方に押し下げられ、この第１フォイルの周方向前方縁は、第２フォイルの第１凸状部を下方に押し下げ、この第２フォイルの第１凸状部は第３フォイルの周方向前方縁の後方の部分を下方に湾曲させる。
【００１１】
これにより、このスラスト動圧軸受は、作動流体が流出する出口側の高さよりも、作動流体が流入する入口側の高さ寸法が小さなくさび形状になる。さらに、上記第１フォイルは、第２フォイルの第１凸部と第２凸部とで支持されている丘部の周方向前方縁と周方向後方縁との間の部分が、作動流体が発生する動圧によって下方に凸に湾曲する。
【００１２】
上述の弾性変形によって、このスラスト動圧軸受は、一例として図５（Ｃ）に示す動圧発生面Ｓ１のように、出口から入口に向かって下方に凸に湾曲しつつ下り勾配で、かつ、入口付近で下り勾配が大きくなっている動圧発生面が形成される。このような動圧発生面によれば、一例を図５（Ｃ）に示すように、被支持回転体５０に対して、従来よりフラットな面圧（動圧）分布を実現でき、負荷容量を大きくできる。
【００１３】
また、上記第１フォイルの対向面と第２フォイルの第１，第２凸状部の上面との接触摩擦力、および、第３フォイルの対向面と第４フォイルの第３，第４凸状部の上面との接触摩擦力でもって、外乱発生時に各フォイルに自励振動が誘起されるのを抑制し自励振動を減衰させることができる。
【００１４】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載のスラスト動圧軸受において、上記第２フォイルが薄板状部材からなり、隣接する上記第１凸状部と第２凸状部との間の部分が貫通孔である構造と、上記第４フォイルが薄板状部材からなり、隣接する上記第３凸状部と第４凸状部との間の部分が貫通孔である構造とのうちの、少なくとも一方の構造を有することを特徴としている。
【００１５】
この請求項２の発明では、上記第２フォイルと第４フォイルのうちの少なくとも一方を、打ち抜きによって、容易に製作できる。
【００１６】
また、請求項３の発明は、請求項１または２に記載のスラスト動圧軸受において、上記第１フォイルの丘部の周方向前方縁が、作動流体の流動に伴って、下方に弾性変形して、上記周方向前方縁と被支持回転体の表面との間にくさび状空間を形成するべく、上記第２フォイルの第１凸状部が、上記第１フォイルの丘部の周方向前方縁よりも周方向後方に配置されている構造と、上記第３フォイルの丘部の周方向前方縁が、作動流体の流動に伴って、下方に弾性変形して、上記周方向前方縁と被支持回転体の表面との間にくさび状空間を形成するべく、上記第４フォイルの第３凸状部が、上記第３フォイルの丘部の周方向前方縁よりも周方向後方に配置されている構造とのうちの、少なくとも一方の構造を有することを特徴としている。
【００１７】
この請求項３の発明では、上記第１フォイルの丘部の周方向前方縁もしくは上記第３フォイルの丘部の周方向前方縁のうちの少なくとも一方が、作動流体の流動に伴って、下方に弾性変形して、上記周方向前方縁と被支持回転体の被支持面との間にくさび状空間を形成する。したがって、上記略ヘリングボーン形状の溝によって集められた作動流体を、入口となる上記周方向前方縁付近から周方向後方の出口に向かって、よりスムーズに流動させることができる。したがって、安定した動圧を発生できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００１９】
図１に、この発明のスラスト動圧軸受の実施の形態を中心軸Ｊの方向から見た平面形状を示し、図２（Ａ）に図１におけるＡ−Ａ線断面の形状を示す。
【００２０】
図１，図２（Ａ）に示すように、この実施形態は、最上層の円板形状の第１フォイル１の直下に、円板形状の第２フォイル２が配置され、この円板形状の第２フォイル２の直下に円板形状の第３フォイル３が配置されている。さらに、この第３フォイル３の直下に円板形状の第４フォイル４が配置され、この第４フォイル４は、下面５Ｂを有する円板形状の基板５の基面となる上面５Ａ上に配置されている。
【００２１】
上記第１フォイル１は、図３（Ａ）に示すように、中心穴９を有し、周方向に所定の間隔を隔てて複数の略ヘリンボーン形状の穴６が形成され、周方向に隣接する穴６の間は、丘部７になっている。この丘部７の径方向外方部７Ａには、穴８が形成されている。
【００２２】
また、上記第２フォイル２は、図３（Ｂ）に示すように、中心穴１０を有し、周方向に所定の間隔を隔てて複数の略ヘリンボーン形状の穴１１，１２が交互に形成されている。上記穴１１の周方向前方（つまり、図３（Ｂ）において時計回りの方向）に第１凸状部１３が位置し、上記穴１１の周方向後方（つまり、図３（Ｂ）において反時計回りの方向）に第２凸状部１４が位置している。
【００２３】
図１，図２（Ａ）に示すように、この第２フォイル２の第１凸状部１３は、第１フォイル１の丘部７の直下で周方向前方縁７Ｂに略沿った形状（略ヘリンボーン形状）になっている。また、この第２フォイル２の第２凸状部１４は、第１フォイル１の丘部７の直下で周方向後方縁７Ｃに略沿った形状（略ヘリンボーン形状）になっている。この第１凸状部１３の上面１３Ａおよび第２凸状部１４の上面１４Ａは、上記第１フォイル１の丘部７の対向面７Ｇに接触している。
【００２４】
さらに、図２（Ａ）に示すように、この第２フォイル２の第１凸状部１３は、第１フォイル１の丘部７の周方向前方縁７Ｂよりも周方向後方に配置されている。一方、第２フォイル２の第２凸状部１４の後方端面１４Ｂは、第１フォイル１の丘部７の周方向後方縁７Ｃに略面一になっている。
【００２５】
また、上記第３フォイル３は、図３（Ｃ）に示すように、中心穴１５を有し、周方向に所定の間隔を隔てて複数の略ヘリンボーン形状の穴１６が形成され、隣接する穴１６の間が丘部１７になっている。この丘部１７の径方向外方部１７Ａには、穴１８が形成されている。
【００２６】
図２（Ａ）に示すように、この第３フォイル３の丘部１７の周方向前方縁１７Ｂは、上記第２フォイル２の第１凸状部１３よりも周方向前方に形成され、この丘部１７の周方向後方縁１７Ｃは、第２フォイル２の第２凸状部１４よりも周方向後方に形成されている。
【００２７】
また、上記第４フォイル４は、図３（Ｄ）に示すように、中心穴２０を有し、周方向に所定の間隔を隔てて、複数の略ヘリンボーン形状の穴２１，２２が交互に形成されている。上記穴２１の周方向前方（つまり、図３（Ｄ）において時計回りの方向）に第３凸状部２３が位置し、穴２１の周方向後方（つまり、図３（Ｄ）において反時計回りの方向）に第４凸状部２４が位置している。
【００２８】
図１，図２（Ａ）に示すように、この第４フォイル４の第３凸状部２３は、第３フォイル３の丘部１７の直下で周方向前方縁１７Ｂに略沿った形状（略ヘリンボーン形状）になっている。また、この第４フォイル４の第４凸状部２４は、第３フォイル３の丘部１７の直下で周方向後方縁１７Ｃに略沿った形状（略ヘリンボーン形状）になっている。この第３凸状部２３の上面２３Ａおよび上記第４凸状部２４の上面２４Ａは、第３フォイル３の丘部１７の対向面１７Ｇに接触している。
【００２９】
さらに、図２（Ａ）に示すように、この第４フォイル４の第３凸状部２３は、第３フォイル３の丘部１７の周方向前方縁１７Ｂよりも周方向後方に配置されている。一方、第４フォイル４の第４凸状部２４の後方端面２４Ｂは、第３フォイル３の丘部１７の周方向後方縁１７Ｃに略面一になっている。
【００３０】
また、図３（Ｅ）に示すように、基板５は、中心穴２５を有し、径方向外径側の領域Ｒ１に周方向に所定の間隔を隔てて複数の空気流入口２６が形成され、径方向内径側の領域Ｒ２に周方向に所定の間隔を隔てて複数の空気流入口２７が形成されている。この径方向外径側の領域Ｒ１の空気流入口２６は、図１に示すように、第４フォイル４の穴２１、第３フォイル３の穴１６、第２フォイル２の穴１２、第１フォイル１の穴６に連通している。
【００３１】
また、上記径方向内径側の領域Ｒ２の空気流入口２７も、図１に示すように、第４フォイル４の穴２１、第３フォイル３の穴１６、第２フォイル２の穴１２、第１フォイル１の穴６に連通している。
【００３２】
上記構成のスラスト動圧軸受によれば、上から順に、第１フォイル１、第２フォイル２、第３フォイル３、第４フォイル４が基板５の上面５Ａ上に配置されている。第１フォイル１の下層の第２フォイル２は、第１凸状部１３と第２凸状部１４でもって、第１フォイル１の丘部７の周方向前方縁７Ｂと周方向後方縁７Ｃの内側を第３フォイル３に対して支持する。また、この第３フォイル３の周方向前方縁１７Ｂは、第２フォイル２の第１凸状部１３よりも周方向前方に形成され、第３フォイル３の周方向後方縁１７Ｃは、第２フォイル２の第２凸状部１４の周方向後方に形成されている。また、この第３フォイル３の周方向前方縁１７Ｂと周方向後方縁１７Ｃは、第４フォイル４の第３凸状部２３と第４凸状部２４で基板５の上面５Ａに対して支持されている。
【００３３】
この実施形態では、第１，第２，第３，第４フォイル１，２，３，４に形成された略ヘリングボーン形状の穴６，１２，１６，２１が、上記基板５の上面５Ａ上に略ヘリングボーン形状の溝を形成し、最上層の第１フォイル１の上方に所定の動圧隙間を隔てて配置される被支持回転体としての円盤３０が回転すると、上記略ヘリングボーン形状の溝の効果で動圧が発生し、上記円盤３０が第１〜第４フォイル１〜４に非接触で回転する。
【００３４】
この円盤３０は、図１の矢印Ｋ１の方向に回転し、周方向前方から周方向後方に（図１において反時計回り）作動流体としての空気が流動する。すなわち、この空気は、図２（Ｂ）に矢印Ｋ２で示す方向へ流動し、この空気による流体圧でもって、第１フォイル１の周方向前方縁７Ｂおよび第３フォイル３の周方向前方縁１７Ｂが弾性変形して下方に押し下げられる。
【００３５】
さらに、この第１フォイル１の周方向前方縁７Ｂの内側（後方）の部分７Ｄは、第２フォイル２の第１凸状部１３を下方に押し下げ、この第２フォイル２の第１凸状部１３は第３フォイル３の周方向前方縁１７Ｂの後方の第３凸状部２３よりも後方の部分１７Ｄを下方に湾曲させる。さらに、上記第１フォイル１は、第２フォイル２の第１凸部１３と第２凸部１４とで支持されている丘部７の周方向前方縁７Ｂと周方向後方縁７Ｃとの間の部分７Ｅが、作動流体としての空気が発生する動圧によって下方に凸に湾曲する。
【００３６】
上述のごとく、この実施形態のスラスト動圧軸受は、上記作動流体の流体圧によって、第１〜第４フォイル１〜４が弾性変形して、図２（Ｂ）に示すように、出口３１から入口３２に向かって下方に凸に湾曲しつつ下り勾配で、かつ、入口３２付近で下り勾配が大きくなっている動圧発生面Ｓ１が形成される。この動圧発生面Ｓ１によれば、図４に実線４１で示すように、図４に破線４２で示す従来の面圧分布に比べて、より平坦で全体として高い面圧（動圧）分布を実現でき、負荷容量を大きくできる。
【００３７】
また、上述のごとく、円盤３０が矢印Ｋ１の方向へ回転して作動流体としての空気が図２（Ｂ）に示すように矢印Ｋ２方向へ流動するのに伴って、第１フォイル１の丘部７の周方向前方縁７Ｂおよび第３フォイル３の丘部１７の周方向前方縁１７Ｂが、下方に弾性変形して、上記周方向前方縁７Ｂ，１７Ｂと円盤３０の被支持面３０Ａとの間にくさび状空間を形成する。したがって、上記略ヘリングボーン形状の溝によって集められた作動流体としての空気を、入口３２となる周方向前方縁１７Ｂ付近から周方向後方の出口３１に向かって、よりスムーズに流動させることができる。したがって、安定した動圧を発生できる。
【００３８】
また、上記第１フォイル１の丘部７の対向面７Ｇと第２フォイル２の第１，第２凸状部１３，１４の上面１３Ａ，１４Ａとの間の接触摩擦力、および、第２フォイル２の第１，第２凸状部１３，１４と第３フォイル３の丘部１７との間の接触摩擦力、および、第３フォイル３の丘部１７の対向面１７Ｇと第４フォイル４の第３，第４凸状部２３，２４の上面２３Ａ，２４Ａとの間の接触摩擦力、および第４フォイル４の第３，第４凸状部２３，２４と基板５の上面５Ａとの間の接触摩擦力でもって、外乱発生時に各フォイル１〜４に自励振動が誘起されるのを抑制できる。また、上記自励振動が誘起された場合でも、上記接触摩擦力でもって、速やかに減衰させることができる。
【００３９】
また、上記実施形態のスラスト動圧軸受では、上記第１〜第４フォイル１〜４は、ステンレス系材料としてのインコネル（商標名）からなる薄板状部材からなり、穴６，８、穴１１，１２、穴１６，１８、穴２１，２２は、それぞれ、貫通穴であり、打ち抜き成形でもって形成されている。したがって、上記第１〜第４フォイル１〜４は、製作が容易である。
【００４０】
また、上記実施形態では、図３（Ｅ）に示すように、基板５が、径方向外径側の領域Ｒ１，径方向内径側の領域Ｒ２に、空気流入口２６，２７を有している。したがって、この領域Ｒ１とＲ２の間の動圧発生領域Ｒ３へ、空気流入口２６，２７から図１に矢印Ｍ１，Ｍ２で示す方向に作動流体としての空気が供給され易い。また、上記空気流入口２６，２７からの空気の流入による冷却効果も高く、高温用途にも適する。
【００４１】
尚、上記実施形態では、第２フォイル２の第１凸状部１３と第２凸状部１４との間の部分を貫通した穴１１および貫通した穴１２としたが、これらの穴１１，１２に替えて、薄肉の凹状部としてもよい。また、上記実施形態では、第４フォイル４の第３凸状部２３と第４凸状部２４との間の部分を貫通した穴２１および２２としたが、これらの穴２１，２２に替えて、薄肉の凹状部としてもよい。
【００４２】
また、上記実施形態では、別体の第１〜第４フォイルを積層したが、第１フォイルと第２フォイルを一体物としてもよい。また、第３フォイルと第４フォイルを一体物としてもよい。また、上記実施形態では、第１〜第４フォイルの穴を打ち抜き成形で作製したが、エッチングで形成してもよい。また、上記実施形態では、第１〜第４フォイルをステンレス系のインコネル（商品名）からなる薄板状部材で形成したが、他のステンレス系材料あるいは金属材料で作製してもよく、発生する動圧で弾性変形するような薄板状部材で作製すればよい。また、上記実施形態では、動圧を発生する作動流体が空気である一例を説明したが、上記作動流体は空気以外の気体であってもよく、気体以外の流体であってもよい。また、上記実施形態では、第１〜第４フォイル１〜４および基板５を円板形状としたが、多角形状，楕円形状等であってもよい。さらに、より高速，低損失，高耐久性が要求される用途では、各フォイルに表面処理を施してもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上より明らかなように、この発明のスラスト動圧軸受は、作動流体の流体圧によって、第１〜第４フォイルが弾性変形して、出口から入口に向かって下方に凸に湾曲しつつ下り勾配で、かつ、入口付近で下り勾配が大きくなっている動圧発生面が形成される。この動圧発生面によれば、従来の面圧分布に比べて、より平坦で全体として高い面圧（動圧）分布を実現でき、負荷容量を大きくできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のスラスト動圧軸受の実施形態の平面図である。
【図２】図２（Ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図であり、図２（Ｂ）は動作中の上記実施形態の様子を示す断面図である。
【図３】図３（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）および図３（Ｅ）は第１，第２，第３，第４フォイルおよび基板の平面図である。
【図４】上記実施形態における面圧分布および従来例における面圧分布を示す図である。
【図５】図５（Ａ）および（Ｂ）は一従来例および他の従来例における動圧発生面と面圧分布を示す模式図であり、図５（Ｃ）は本発明における動圧発生面と面圧分布を示す模式図である。
【符号の説明】
１　第１フォイル
２　第２フォイル
３　第３フォイル
４　第４フォイル
５　基板
６，１１，１２，１６　略ヘリンボーン形状の穴
７，１７　丘部
７Ｂ，１７Ｂ　周方向前方縁
７Ｃ，１７Ｃ　周方向後方縁
８，１８　穴
９，１０，１５，２０，２５　中心穴
１３　第１凸状部
１４　第２凸状部
２３　第３凸状部
２４　第４凸状部
２６，２７　空気流入口
３０　円盤
Ｓ１　動圧発生面
【図１】
2004108485.tif 000003
【図２】
2004108485.tif 000004
【図３】
2004108485.tif 000005
【図４】
2004108485.tif 000006
【図５】
2004108485.tif 000007