(57)【要約】【課題】一対の外輪と軸との間にそれぞれ複数個のボールを介して前記軸を回転可能に保持して一対の玉軸受を形成すると共に、前記両外輪が離反する方向に所定の弾性付勢力を付与した軸受ユニットの振動測定方法および装置であって、より正確な振動測定が得られる手段を提供する。【解決手段】保持台１の基板部１ａに固定された固定軸１３の先端に、その固定軸１３の軸方向より測定すべき前記軸受ユニット２の軸の一方の先端を当接せしめ、前記軸の他方の端部に振動測定センサ３を弾性力を付与した状態で当接し、その状態で軸受ユニット２の両外輪を前記軸を中心に回転駆動することを特徴とするものであり、この構成によれば、軸受ユニツト単体での予圧荷重を維持したままで振動測定が可能であるため、きわめて正確な測定結果が得られるものである。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の外輪と軸との間にそれぞれ複数個のボールを介して前記軸を前記一対の外輪で回転可能に保持して一対の玉軸受を形成すると共に、前記両外輪が離反する方向に所定の弾性付勢力を付与した軸受ユニットの振動測定方法であって、保持台に固定された固定軸の先端に、その固定軸の軸方向より測定すべき前記軸受ユニットの前記軸の一方の先端を当接せしめ、前記軸の他方の端部に振動測定センサを当接し、その状態で前記両外輪を前記軸を中心に回転駆動することを特徴とする軸受ユニツトの振動測定方法。
【請求項２】
一対の外輪と軸との間にそれぞれ複数個のボールを介して前記軸を前記一対の外輪で回転可能に保持して一対の玉軸受を形成すると共に、前記両外輪が離反する方向に所定の弾性付勢力を付与した軸受ユニットの振動測定装置であって、保持台の基板部に固定された固定軸に回転可能に取り付けられたチャックベースと、一端が前記チャツクベースに固定され、他端が測定すべき前記軸受ユニットの外輪の外周に係合して、その軸受ユニットを前記軸の先端が前記固定軸の先端と当接した状態で着脱可能に保持する保持手段と、前記基板部から前記固定軸に並行に伸びる支持部材と、振動測定センサの先端が前記保持手段に保持された軸受ユニットの前記軸の他端に当接するように前記振動測定センサを前記固定軸方向に移動可能に前記支持部材に保持する振動測定センサ取付け手段と、前記チャックベースを前記固定軸を中心として回転駆動せしめる駆動手段とを有することを特徴とする軸受ユニットの振動測定装置。
【請求項３】
前記保持手段は、一端が前記チャツクベースに固定されており、先端部に前記軸受ユニットの外輪と当接するチャック爪が形成された弾性変形可能な複数本のチャックアームよりなり、その複数本のチャックアームが前記固定軸を中心として環状に配置されていることを特徴とする請求項２記載の軸受ユニットの振動測定装置。
【請求項４】
前記チャックアームには、前記軸受ユニットの一対の外輪にそれぞれ当接する一対の上チャック爪と下チャック爪が形成されており、その両チャック爪の間は他の部分より弾性変形が容易に構成されていることを特徴とする請求項３記載の軸受ユニットの振動測定装置。
【請求項５】
前記複数本のチャックアームは第一のチャックアームと第二のチャックアームより構成され、前記第一のチャックアームには前記軸受ユニットの一方の外輪に当接するチャック爪が形成されており、第二のチャックアームには前記軸受ユニットの他方の外輪に当接するチャック爪が形成されており、この第一と第二のチャックアームが交互に配置されていることを特徴する請求項３記載の軸受ユニットの振動測定装置。
【請求項６】
前記軸受ユニットの軸は、前記固定軸の端部に配置された鋼球を介して前記固定軸に当接していることを特徴とする請求項２記載の軸受ユニットの振動測定装置。
【請求項７】
前記チャックベースと前記基板部の互いに対向する面に、それぞれマグネットと駆動コイルユニットが配置されており、前記チャックベースをロータとするモータが形成されていることを特徴とする請求項２記載の軸受ユニットの振動測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一対の外輪と軸との間にそれぞれ複数個のボールを介して前記軸を前記一対の外輪で回転可能に保持して一対の玉軸受を形成すると共に、前記両外輪が離反する方向に所定の弾性付勢力を付与した軸受ユニットの振動測定方法および測定装置に関するもので、より正確な振動測定が出来る測定方法および装置を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一対の玉軸受を使用して軸を回転可能に支持する軸受ユニット２は、一般に図６に示す構成となっている。図６において、軸３７にはボール３６が転動するための内輪レース溝３７ａ、３７ｂが所定の間隔をおいて形成され、この内輪レース溝３７ａ，３７ｂにそれぞれ複数個のボール３６を配置し、その外側に外輪レース溝３４ａ，３５ａがそれぞれ形成された外輪３４、３５が配設されて、軸３７を前記一対の外輪３４，３５で回転可能に保持する一対の玉軸受を形成している。
【０００３】
さらに、両外輪３４、３５間にはバネ受け３２，３３を介して予圧バネ３１が取り付けられている。この予圧バネ３１は軸受ユニット２に組み込まれた状態で各々の外輪３４，３５に対して矢印３１ａ，３１ｂで示す方向、すなわち、前記両外輪３４，３５が離反する方向に弾性付勢力が働くように自由状態から若干縮められた状態で軸受ユニット２に組み込まれている。この付勢力が軸受の予圧となるもので、この予圧によって内輪レース溝３７ａ，３７ｂ，ボール３６、外輪レース溝３４ａ、３５ａの隙間を相殺し、軸受剛性を与えて安定した回転状態を実現している。
【０００４】
このような軸受ユニットの振動測定方法としては、例えば特許第３１３０９８６号に記載のように、軸受ユニットの一対の外輪の一方を回転駆動可能な円筒状の保持台上に載置し、その軸受ユニットの軸に振動測定センサを軸方向より圧接せしめた状態で、前記保持台を回転駆動して前記外輪を回転せしめながら測定するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような測定方法では、振動測定センサの軸に対する押圧力により、軸受ユニットの内輪と外輪の相対位置が異なり、軸受に印加された予圧は、軸受ユニット単体時と振動測定中とで異なることとなる。
【０００６】
この現象について図７を用いてより詳しく説明する。図７は図６における内輪レース溝３７ｂ、ボール３６、外輪レース溝３５ａの関係を示したもので、この関係は、通常は図７（ａ）に示すように予圧３１ｂが外輪３５に印加されることで外輪３５は軸３７に対して相対的に移動し、内輪レース溝３７ｂ、ボール３６、外輪レース溝３５ａの間で接触点４１、４２を結ぶ直線４３の方向で相互の隙間が零となる。これによって外輪３５，ボール３６、外輪レース溝３５ａの相対位置が決まり、軸受の安定な回転が可能となっている。他方の内輪溝３７ａ，ボール３６、外輪レース溝３４ａの関係も前記と同様になっている。
【０００７】
このように構成された軸受ユニットを前述の構成の振動測定装置にセットすると図８に示す状態となる。図８において、保持台５１に軸受ユニット２の外輪３５を置き、軸３７の前記外輪３５と相対する側の端面に振動測定センサ５２を接触させ、外輪３５が保持台５１に押しつけられるように矢印５３の方向に振動測定センサ５２を付勢して振動測定を行う。このように外輪３５を受けた状態で振動測定センサ５２を矢印５３方向に付勢すると、図７（ａ）にて説明した外輪３５，ボール３６，軸３７の相対位置や予圧量に変化が発生してしまう。
【０００８】
図８の状態で保持された軸受ユニット２の外輪３５，ボール３６，軸３７の相対位置について図７（ｂ）を用いて詳しく説明する。図７（ｂ）において、外輪３５は保持台５１に支えられ、軸３７には矢印５３の方向から付勢力が与えられている。このため外輪３５は保持台５１より反力３８を受けることになる。ところが、外輪３５には予め予圧バネ（図示せず）から予圧力３１ｂが印加されている。従って、反力３８と予圧力３１ｂの大小関係によつて外輪３５，ボール３６，軸３７の相対位置が変わってくることになる。
【０００９】
この関係は以下のようになる。
【００１０】
（１）予圧力３１ｂ≧反力３８　の場合
外輪３５、ボール３６、軸３７の相対位置は図７（ａ）に示す位置関係になるが、正味の予圧力は、（予圧力３１ｂ−反力３８）の値となる。しかし、被測定軸受ユニットが測定装置から取り出され、付勢力から解放されると、反力３８が無くなるため、外輪３５，ボール３６、軸３７の相対位置は図７（ａ）に示す元の状態に復帰する。つまり、測定中と測定装置から取り出した状態とでは予圧力は大きく異なることになる。
【００１１】
（２）予圧力３１ｂ＜反力３８　の場合
この時、外輪３５，ボール３６、軸３７の相対位置は、図７（ｂ）に示すように、反力３８が予圧力３１ｂより勝っているため外輪３５は軸３７に対し相対的に上方に移動し、内輪レース溝３７ｂ、ボール３６，外輪レース溝３５ａの間で接触点４４，４５を結ぶ直線４６の方向で相互の隙間が零になる。また、正味の予圧力は、（反力３８−予圧力３１ｂ）で、しかも初期と方向が逆になる。しかし、この場合も被測軸受ユニットが測定装置から取り出され、付勢力から解放されると反力３８がなくなるため、外輪３５，ボール３６、軸３７の相対位置は図７（ａ）に示す状態に復帰する。
【００１２】
この場合も被測定軸受ユニットが測定装置から取り出され、付勢力から解放されると、反力３８が無くなるため、外輪３５，ボール３６，軸３７の相対位置は図７（ａ）に示す状態に復帰する。この場合は、測定中と測定装置から取り出した状態とで予圧力は大きく異なるばかりでなく、内輪レース溝３７ｂ、ボール３６，外輪レース溝３５ａの間で接触点も全く異なる状態となることがわかる。
【００１３】
さらに、図示してないが他方上側の軸受においては、上記２つの状態とも測定中の予圧量は、（反力３８＋予圧力３１ｂ）となり、これも通常とは全く異なるものとなる。
【００１４】
前述のように、軸受ユニット単品状態と測定装置にセットした状態では予圧量や外輪３５、ボール３６、軸３７の相対位置が全く異なるため、前述の測定方法では正しい振動測定を期し難いという重大な問題を有していた。例えば、図７（ａ）に示す接触点４１に傷があった場合、前記（２）の状態で振動測定がなされると、図７（ｂ）に示す状態で被測定軸受けユニットを回転させて測ることになるため、無接触点４１の傷によって発生するであろう異常振動は検出されない。
【００１５】
しかし、この軸受ユニットを用いて組み立てられた機器では図７（ａ）の状態で軸受が回転するため、接触点４１の傷によって異常な振動が発生してしまうこととなる。このように測定結果が軸受ユニット単体の性能評価に直結しないという重大な欠点を有している。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決する為に、本発明の軸受ユニットの振動測定方法および装置は、一対の外輪と軸との間にそれぞれ複数個のボールを介して前記軸を回転可能に保持して一対の玉軸受を形成すると共に、前記両外輪が離反する方向に所定の弾性付勢力を付与した軸受ユニットの振動測定方法および装置であって、保持台に固定された固定軸の先端に、その固定軸の軸方向より測定すべき前記軸受ユニットの前記軸の一方の先端を当接せしめ、前記軸の他方の端部に振動測定センサを当接し、その状態で前記両外輪を前記軸を中心に回転駆動することを特徴とするものであり、この構成によれば、振動測定センサによる軸への押圧力に関係なく、軸受ユニット単体での予圧荷重を維持したままで振動測定が可能であるため、きわめて正確な測定結果が得られるものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、一対の外輪と軸との間にそれぞれ複数個のボールを介して前記軸を前記一対の外輪で回転可能に保持して一対の玉軸受を形成すると共に、前記両外輪が離反する方向に所定の弾性付勢力を付与した軸受ユニットの振動測定方法であって、保持台に固定された固定軸の先端に、その固定軸の軸方向より測定すべき前記軸受ユニットの前記軸の一方の先端を当接せしめ、前記軸の他方の端部に振動測定センサを当接し、その状態で前記両外輪を前記軸を中心に回転駆動することを特徴とするものであり、この構成によれば、軸受ユニット単体での予圧荷重を維持したままで振動測定が可能であるため、きわめて正確な測定結果が得られるものである。
【００１８】
本発明の請求項２に記載の発明は、一対の外輪と軸との間にそれぞれ複数個のボールを介して前記軸を前記一対の外輪で回転可能に保持して一対の玉軸受を形成すると共に、前記両外輪が離反する方向に所定の弾性付勢力を付与した軸受ユニットの振動測定装置であって、保持台の基板部に固定された固定軸に回転可能に取り付けられたチャックベースと、一端が前記保持台に固定され、他端が測定すべき前記軸受ユニットの外輪の外周に係合して、その軸受ユニットを前記軸の先端が前記固定軸の先端と当接した状態で着脱可能に保持する保持手段と、前記保持台の基板部から前記固定軸に並行に伸びる支持部材と、振動測定センサの先端が前記保持手段に保持された軸受ユニットの前記軸の他端に当接するように前記振動測定センサを前記固定軸方向に移動可能に前記支持部材に保持する振動測定センサ取付け手段と、前記保持台を前記固定軸を中心として回転駆動せしめる駆動手段とを有することを特徴とする軸受ユニットの振動測定装置であり、この構成によれば、軸受単体での予圧荷重を維持したままで振動測定が可能であるため、きわめて正確な測定結果が得られるものである。
【００１９】
次に、本発明の請求項３に記載の発明は、前記保持手段は、一端が前記チャツクベースに固定されており、先端部に前記軸受ユニットの外輪と当接するチャック爪が形成された弾性変形可能な複数本のチャックアームよりなり、その複数本のチャックアームが前記固定軸を中心として環状に配置されていることを特徴とする請求項２記載の軸受ユニットの振動測定装置であり、確実にチャックベース上の所定の位置に測定すべき軸受ユニットを載置固定できるものである。
【００２０】
本発明の請求項４に記載の発明は、前記チャックアームには、前記軸受ユニツトの一対の外輪にそれぞれ当接する一対の上チャック爪と下チャック爪が形成されており、その両チャック爪の間は他の部分より弾性変形が容易に構成されていることを特徴とする請求項３記載の軸受ユニットの振動測定装置であり、所定の間隔をもって配置されている一対の外輪を、それぞれ上チャック爪と下チャック爪により確実にチャックベースに固定することが出来る。
【００２１】
本発明の請求項５に記載の発明は、前記複数本のチャックアームは第一のチャックアームと第二のチャックアームより構成され、前記第一のチャックアームには前記軸受ユニットの一方の外輪に当接するチャック爪が形成されており、第二のチャックアームには前記軸受ユニットの他方の外輪に当接するチャック爪が形成されており、この第一と第二のチャックアームが交互に配置されていることを特徴する請求項３記載の軸受ユニットの振動測定装置であり、一対の外輪をそれぞれ異なる独立して変形可能な第一と第二のチャックアームで保持するため、より確実に軸受ユニツトをチャツクベースに保持できるものである。
【００２２】
本発明の請求項６に記載の発明は、前記軸受ユニットの軸は、前記固定軸の端部に配置された鋼球を介して前記固定軸に当接していることを特徴とする請求項２記載の軸受ユニットの振動測定装置であり、測定すべき軸受ユニットの軸が、鋼球を介して、固定軸に当接するため、より安定な当接が望めるものである。
【００２３】
本発明の請求項７に記載の発明は、　前記チャックベースと前記基板部の互いに対向する面に、それぞれマグネットと駆動コイルユニットが配置されており、前記チャックベースをロータとするモータが形成されていることを特徴とする請求項２記載の軸受ユニットの振動測定装置であり、装置の基板となる保持台の基板部上のチャックベース自体がロータと成っているため、装置は小型化されるものである。
【００２４】
（実施の形態）
以下に、本発明の請求項１ないし請求項７に記載された発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。図１は本発明の軸受ユニットの振動測定装置の一例を示す断面図、図２は同装置の被測定軸受ユニットの保持機構部を示す断面図である。
【００２５】
図１において、１は基板部１ａとその基板部１ａから垂直方向に伸びるＬ字状の保持部材１ｃとからなる断面が略コ字状に形成された保持台であり、この保持台１の前記基板部１ａに形成された係合穴１ｂには、固定軸１３が植設された駆動ベース部材７が、その固定軸１３と前記保持部材１ｃとが並行するように係合固定されている。前記固定軸１３にはチャックベース１４が、非接触方式のラジアル軸受１５により回転可能に取り付けられており、また、固定軸１３に固定されたフランジ１６との間には非接触方式のスラスト軸受１７が形成されている。これらの非接触方式の軸受は、流体、空気、磁力など利用したいずれの方式でも良い。
【００２６】
前記駆動ベース部材７の前記チャックベース１４と対向する面には、サブヨーク１１を介して駆動コイルユニット８が設けられており、また、チャックベース１４のには、メインヨーク１０を介してマグネット９が設けられており、これらにより前記チャックベース１４をロータとするブラシレスモータが形成されている。なお、１２は前記駆動コイルユニツト８に接続された駆動回路である。
【００２７】
前記固定軸１３の上端には被測定軸受ユニツト２の軸の端部と接触し、その被測定軸受ユニット２の自重と振動測定センサ３の接触圧を受けるための鋼球１９がホルダ１８により保持されている。また、前記チャックベース１４の上部には、４本の可撓性のチャックアーム１４ａが固定軸１３を中心として環状に等間隔に、かつ、固定軸１３と並行するよう設けられている。
【００２８】
前記の各チャックアーム１４ａの先端部の内側には、被測定軸受ユニット２の２つの外輪を挟むための上チャック爪１４ｂおよび下チャック爪１４ｃが所定の間隔を持って形成されている。また、これらのチャツクアーム１４ａの先端部の外側には、チャック力を発生させるキャップ２０と係合かるリブ１４ｄがそれぞれ形成されており、図１に示すように、被測定軸受２をチャックアーム１４ａの内側に挿入、チャックアーム１４ａで被測定軸受ユニット２の外輪を挟持した後に、キャップ２０を上方より、各チャックアーム１４ａの外側に、挿入し、前記リブ２０と係合せしめることにより被測定軸受２を確実にチャックベース１４に固定するよう構成されている。
【００２９】
なお、前記チャックアーム１４ａの数は、図３に示すように３本あるいは６本等３本以上設ることにより、被測定軸受ユニット２を安定に保持し、測定中の回転バランスを良好に保ち、正確な測定が期待できる。
【００３０】
一方、前記保持台１の保持部材１ｃには前記固定軸１３と並行に伸びるガイドレール４が設けられており、そのガイドレール４には、振動測定センサ３の固定された移動台４ａが摺動移動可能に係合されている。この振動測定センサ３には測定量を表示する表示部３ａが接続されている。また、この振動測定センサ３は、前記固定軸１３と同軸上に位置するよう設定されているため、この振動測定センサ３を上方に移動せしめた状態で、被測定軸受２を前述のようにしてチャックアーム１４ａに取り付け、その状態で前記移動台４ａを下方に移動せしめることにより、振動測定センサ３を被測定軸受２の軸に接触せしめるものである。
【００３１】
この時、保持台１に螺合したネジ５に一端が固定され、他端が振動測定センサ３に固定されたバネ６の弾性付勢力により、振動測定センサ３を所定の圧接力で被測定軸受２の軸に当接するように構成されており、前記ネジ５を回動せしめることにより、前記圧接力を調整可能に構成されている。
【００３２】
図１のように振動測定センサ３が被測定軸受２の軸に圧接された状態で、駆動回路１２によりチャックベース４を所定の回転数により回転駆動し、それに伴い被測定軸受２の外輪を回転せしめることにより、被測定軸受２から発生する振動を測定することが出来る。
【００３３】
次に被測定軸受２の保持方法について、さらに詳しく説明する。図２（ａ）は被測定軸受２と、これを挿入する前のチャックアーム１４ａとの関係を示している。
【００３４】
いま、被測定軸受ユニット２の上側外輪の外径をｄ１，下側外輪の外径をｄ２，チャックアーム１４ａの上チャック爪１４ｂの内径をＤ１、下チャック爪１４ｃの内径をＤ２とすると以下の関係に構成されている。
【００３５】
Ｄ１＞ｄ１
Ｄ２＞ｄ２
よって、予圧バネ３１によって予め所定の予圧（Ｎ）が与えられている被測定軸受ユニット２を前記寸法に設定されてチャックアーム１４ａ間に挿入する際に、図２（ｂ）に示すよう何らの外乱を与えることなく所定の予圧を保ったままの状態での挿入が可能である。次に図２（ｃ）に示すようにキャップ２０をリブ１４ｄに嵌合させることで開いていたチャックアーム１４ａを閉じ、被測定軸受ユニット２を保持する。
【００３６】
この時キャップ２０の下端面に案内面取り２０ａを設けることでキャップの挿入をスムースにでき、被測定軸受ユニット２の下端を鋼球１８に確実に接触させた状態で保持できる。さらに、図２（ｄ）に示すようにキャップ２０を完全に挿入した後、所定回転数で被測定軸受２を回転させた状態で、振動測定センサ３を被測定軸受ユニット２の軸の上端に触接させて振動を測定する。
【００３７】
この時、被測定軸受ユニット２に振動測定センサ３の圧接力が印加されても、被測定軸受ユニット２の軸の下端は鋼球１８で支持されているため、被測定軸受ユニット２の軸はチャック保持された外輪に対して相対的に移動することなく、つまり、単品状態で設定された予圧状態を維持したままで回転中の振動測定を行うものである。
【００３８】
次に、チャックアーム形状の詳細について図４，図５を用いて説明する。図４は本発明になる振動測定装置のチャック爪の形状の一例であり、図４（ａ）はその断面を示し、図４（ｂ）は被測定軸受ユニット２を保持した状態を詳細に示した図である。図４（ａ）において、チャックアームの上チャック爪１４ｂと下チャック爪１４ｃの間の連結部に、前記上チャック爪１４ｂおよび下チャック爪１４ｃよりも断面積が小さく曲が離易い薄肉部１４ｅが設けられている。
【００３９】
この構成により、被測定軸受ユニット２を保持すると、図４（ｂ）に示すように前記薄肉部１４ｅの部分でチャックアームがたわみ、上下のチャツク爪１４ｂ，１４ｃが片当たりすることなく、被測定軸受ユニット２の上下の外輪を均等に保持することが可能になる。
【００４０】
さらに、図５に本発明の振動測定装置のチャック爪の形状の他の実施の形態を示す。図５（ａ）はチャック部を真上から見た平面図であり、その断面Ａ−Ａ
を図５（ｂ）に示す。
【００４１】
図５（ｂ）に示すように、本実施の形態では長いチャックアーム２１と短いチャックアーム２２を交互に設け、その長いチャックアーム２１の先端内周には、上チャック爪２１ａを、短いチャックアーム２の先端内周には下チャック爪２２ａをそれぞれ設け、また、そのチャックアーム２１，２２の外周の同じ高さの位置に、それぞれリブ２１ｂ、２２ｂを形成している。
【００４２】
このように一つのチャックアームに一つのチャック爪を配置することで、互いに影響し合うことなく、被測定軸受ユニットの上下各々の外輪を確実に保持し、そらに回転軸を中心に均等に配置することで測定装置自身の回転中の振動を極めて低い状態に保ち、被測定軸受ユニットの振動成分のみを測定することで精度の高い測定結果を得ることができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上のように本発明の軸受ユニットの振動測定方法および装置によれば、軸受ユニット単体での予圧荷重を維持したままで振動測定が可能となり、極めて正確で精度の高い測定結果が得られるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における軸受ユニットの測定装置の側断面図
【図２】同軸受ユニットの測定装置のそれぞれの動作状態を示す要部側断面図
【図３】同軸受ユニットの測定装置の他の実施の形態を示す要部平面図
【図４】同軸受ユニットの測定装置の要部側断面図
【図５】同軸受ユニットの測定装置の他の実施の形態における要部平面図および側断面図
【図６】従来の玉軸受を使用した軸受ユニットの側断面図
【図７】軸受ユニットの単体時および従来の軸受ユニットの振動測定装置による測定時の軸受ユニットの要部側断面図
【図８】従来の軸受ユニットの振動測定装置による測定時の軸受ユニットの要部側断面図
【符号の説明】
１　保持台
１ａ　基板部
１ｃ　保持部材
２　軸受ユニット
３　振動測定センサ
７　駆動ベース部材
８　駆動コイルユニット
９　マグネット
１０、１１
１２　駆動回路
１３　固定軸
１４　チャックベース
１４ａ　チャックアーム
１４ｂ　上チャック爪
１４ｃ　下チャック爪
１４ｄ　リブ
１４ｅ　薄肉部
１５　ラジアル軸受
１６　フランジ
１７　スラスト軸受
１９　鋼球
【図１】
2004069631.tif 000003
【図２】
2004069631.tif 000004
【図３】
2004069631.tif 000005
【図４】
2004069631.tif 000006
【図５】
2004069631.tif 000007
【図６】
2004069631.tif 000008
【図７】
2004069631.tif 000009
【図８】
2004069631.tif 000010