(57)【要約】【課題】画像の階調に対応する駆動電流をディスプレイに出力するドライバを含む半導体集積回路の検査において、既存のＬＳＩテスタを利用しながら、ドライバの出力電流を短時間に測定する。【解決手段】この半導体集積回路は、出力端子を介して電流駆動型のディスプレイに電流を供給するドライバ１１と、一端に所定の電位が供給される抵抗１５と、抵抗の他端と出力端子との間に接続されたスイッチ１６と、ドライバ及びスイッチを制御する制御回路１８とを具備する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
出力端子を介して電流駆動型のディスプレイに電流を供給するドライバと、
一端に所定の電位が供給される抵抗と、
前記抵抗の他端と前記出力端子との間に接続されたスイッチと、
前記ドライバ及び前記スイッチを制御する制御回路と、
を具備する半導体集積回路。
【請求項２】
出力端子を介して電流駆動型のディスプレイに電流を供給するドライバと、一端に所定の電位が供給される抵抗と、前記抵抗の他端と前記出力端子との間に接続されたスイッチと、前記ドライバ及び前記スイッチを制御する制御回路とを含む半導体集積回路を検査する方法であって、
前記ドライバから電流が供給されないように前記制御回路を用いて前記ドライバを制御するステップ（ａ）と、
前記スイッチがオンするように前記制御回路を用いて前記スイッチを制御するステップ（ｂ）と、
外部から前記出力端子を介して前記抵抗に電流を供給しながら、前記出力端子の電位を測定するステップ（ｃ）と、
前記ドライバから前記抵抗に電流が供給されるように前記制御回路を用いて前記ドライバを制御しながら、前記出力端子の電位を測定するステップ（ｄ）と、
前記所定の電位とステップ（ｃ）において供給した電流の値及び測定された電位とステップ（ｄ）において測定された電位とに基づいて、前記ドライバから前記抵抗に供給される電流の値を算出するステップ（ｅ）と、
を具備する検査方法。
【請求項３】
ステップ（ｅ）が、前記所定の電位とステップ（ｃ）において供給した電流の値及び測定された電位とに基づいて、前記抵抗の値を算出するステップ（ｅ１）と、
前記所定の電位とステップ（ｄ）において測定された電位とステップ（ｅ１）において算出された前記抵抗の値とに基づいて、前記ドライバから前記抵抗に供給される電流の値を算出するステップ（ｅ２）と、
を含む、請求項２記載の検査方法。
【請求項４】
複数の階調に対応して、前記ドライバから供給される電流の値を変更しながらステップ（ｄ）及びステップ（ｅ２）を繰り返す請求項３記載の検査方法。
【請求項５】
出力端子を介して電流駆動型のディスプレイに電流を供給するドライバを含む半導体集積回路を、一端が前記半導体集積回路の出力端子に接続された第１のスイッチと、一端が前記第１のスイッチの他端に各々接続された第２〜第４のスイッチと、一端に所定の電位が供給され他端が前記第２のスイッチの他端に接続された抵抗と、第３のスイッチの他端の電位が所定の範囲内であるか否かを測定するコンパレータと、第４のスイッチの他端に電流を供給する電流印加装置と、第４のスイッチの他端の電位を測定する電圧測定装置とを用いて検査する方法であって、
前記第１及び第３のスイッチをオフすると共に、前記第２及び第４のスイッチをオンするステップ（ａ）と、
前記電流印加装置を用いて前記抵抗に電流を供給しながら、前記電圧測定装置を用いて前記抵抗の他端の電位を測定するステップ（ｂ）と、
前記所定の電位とステップ（ｂ）において供給した電流の値及び測定された電位とに基づいて、前記抵抗の値を算出するステップ（ｃ）と、
前記第４のスイッチをオフすると共に、前記第１〜第３のスイッチをオンするステップ（ｄ）と、
前記半導体集積回路のドライバから前記抵抗に電流を供給しながら、前記コンパレータを用いて前記抵抗の他端の電位が所定の範囲内であるか否かを判定するステップ（ｅ）と、
を具備する検査方法。
【請求項６】
前記抵抗が可変抵抗であって、ステップ（ｃ）において算出された前記抵抗の値が所定の規格内に入っていない場合に、前記抵抗の設定値を変化させてステップ（ｂ）及びステップ（ｃ）を繰り返す請求項５記載の検査方法。
【請求項７】
複数の階調に対応して、前記ドライバから供給される電流の値を変更しながらステップ（ｅ）を繰り返す請求項５又は６記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像の階調に対応する駆動電流をディスプレイに出力するドライバを含む半導体集積回路に関する。さらに、本発明は、そのような半導体集積回路を検査する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、携帯電話やコンピュータ等の情報機器に用いられているＬＣＤ  （ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ：液晶ディスプレイ）においては、各画素を駆動するために、ＴＦＴ（ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）が用いられることがある。ＴＦＴは、電圧によって制御されるので、ＴＦＴを有するＬＣＤを駆動するためには、電圧を出力するドライバ（ＬＣＤドライバ）が用いられる。
【０００３】
そのようなＬＣＤドライバを検査する際には、電圧測定が可能なＬＳＩテスタを用いて、ＬＣＤドライバが所望の電圧を出力しているか否かを検査する。ここで、画像階調に対応する電圧をＬＣＤドライバから出力することによって数万種類以上の色を表現できるので、ＬＣＤドライバ検査用として、高分解能の電圧測定が可能なＬＳＩテスタが用いられている。
【０００４】
一方、最近では、有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏ  ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）を用いたディスプレイが開発されている。有機ＥＬは、素子に電流を流すことによって発光する。また、有機ＥＬは、素子に流す電流の値によって発光する輝度が変化する。そのため、有機ＥＬを用いたディスプレイには、画像の階調に対応する駆動電流を供給するドライバ（有機ＥＬドライバ）が用いられている。
【０００５】
そのような有機ＥＬドライバを検査する際には、図５に示すような測定回路が複数の出力毎に使用されていた。図５に、有機ＥＬドライバを含む従来の半導体集積回路（ＩＣ）と、電流測定装置及び電圧印加装置を含む従来のＬＳＩテスタの構成を示す。
【０００６】
図５に示すように、ＩＣ１００に含まれている有機ＥＬドライバ１０１は、電源１から電源電圧が供給される定電流出力回路１０２と、電源２から電源電圧が供給され、画像の階調に対応する駆動電流を出力するように定電流出力回路１０２を制御する定電流制御回路１０３とを有している。また、ＩＣ１００は、定電流出力回路１０２から外部に駆動電流を供給するための出力端子１０４を含んでいる。
【０００７】
ＬＳＩテスタ２００は、スイッチ機能を有するテスタリレー２０１と、電流を測定する電流測定装置２０２と、電圧を印加する電圧印加装置２０３とを含んでいる。
【０００８】
ＩＣ１００の定電流出力回路１０２は、ＬＳＩテスタ２００のテスタリレー２０１がオンされた時に、出力端子１０４を介して電流測定装置２０２に駆動電流を供給する。そこで、電流測定装置２０２は、出力端子１０４を介して出力される駆動電流の値が所望の範囲内にあるか否かを検査する。
【０００９】
しかしながら、現在用いられている通常のＬＳＩテスタに内蔵されている電流測定装置は３２個程度であり、有機ＥＬドライバが５２８個の出力端子を有している場合には、少なくとも５２８÷３２回の接続変更が必要となるので、検査時間が長くなり検査コストが高くなってしまうという問題があった。
【００１０】
ところで、下記の特許文献１には、検査時間の増大を招くことなく、且つ安価な検査装置で高精度な測定を可能とする、検査容易化回路を内蔵した半導体集積回路装置について述べられている。
【００１１】
この半導体集積回路装置によれば、各階調に対応する電圧を選択的に出力し、コンパレータを使用することでディジタル判定を行うことが可能である。しかしながら、各階調に対応する駆動電流の判定については述べられていない。
【００１２】
【特許文献１】
特開２０００−１６５２４４号公報  （第３頁、図１）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、上記の点に鑑み、本発明は、画像の階調に対応する駆動電流をディスプレイに出力するドライバを含む半導体集積回路の検査において、既存のＬＳＩテスタを利用しながら、ドライバから出力される駆動電流を短時間に測定することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係る半導体集積回路は、出力端子を介して電流駆動型のディスプレイに電流を供給するドライバと、一端に所定の電位が供給される抵抗と、抵抗の他端と出力端子との間に接続されたスイッチと、ドライバ及びスイッチを制御する制御回路とを具備する。
【００１５】
本発明の第１の観点に係る半導体集積回路の検査方法は、出力端子を介して電流駆動型のディスプレイに電流を供給するドライバと、一端に所定の電位が供給される抵抗と、抵抗の他端と出力端子との間に接続されたスイッチと、ドライバ及びスイッチを制御する制御回路とを含む半導体集積回路を検査する方法であって、ドライバから電流が供給されないように制御回路を用いてドライバを制御するステップ（ａ）と、スイッチがオンするように制御回路を用いてスイッチを制御するステップ（ｂ）と、外部から出力端子を介して抵抗に電流を供給しながら、出力端子の電位を測定するステップ（ｃ）と、ドライバから抵抗に電流が供給されるように制御回路を用いてドライバを制御しながら、出力端子の電位を測定するステップ（ｄ）と、所定の電位とステップ（ｃ）において供給した電流の値及び測定された電位とステップ（ｄ）において測定された電位とに基づいて、ドライバから抵抗に供給される電流の値を算出するステップ（ｅ）とを具備する。
【００１６】
ここで、ステップ（ｅ）が、所定の電位とステップ（ｃ）において供給した電流の値及び測定された電位とに基づいて、抵抗の値を算出するステップ（ｅ１）と、所定の電位とステップ（ｄ）において測定された電位とステップ（ｅ１）において算出された抵抗の値とに基づいて、ドライバから抵抗に供給される電流の値を算出するステップ（ｅ２）とを含むようにしても良い。さらに、複数の階調に対応して、ドライバから供給される電流の値を変更しながらステップ（ｄ）及びステップ（ｅ２）を繰り返すようにしても良い。
【００１７】
また、本発明の第２の観点に係る半導体集積回路の検査方法は、出力端子を介して電流駆動型のディスプレイに電流を供給するドライバを含む半導体集積回路を、一端が前記半導体集積回路の出力端子に接続された第１のスイッチと、一端が第１のスイッチの他端に各々接続された第２〜第４のスイッチと、一端に所定の電位が供給され他端が第２のスイッチの他端に接続された抵抗と、第３のスイッチの他端の電位が所定の範囲内であるか否かを測定するコンパレータと、第４のスイッチの他端に電流を供給する電流印加装置と、第４のスイッチの他端の電位を測定する電圧測定装置とを用いて検査する方法であって、第１及び第３のスイッチをオフすると共に、第２及び第４のスイッチをオンするステップ（ａ）と、
電流印加装置を用いて抵抗に電流を供給しながら、電圧測定装置を用いて抵抗の他端の電位を測定するステップ（ｂ）と、所定の電位とステップ（ｂ）において供給した電流の値及び測定された電位とに基づいて、抵抗の値を算出するステップ（ｃ）と、第４のスイッチをオフすると共に、第１〜第３のスイッチをオンするステップ（ｄ）と、半導体集積回路のドライバから抵抗に電流を供給しながら、コンパレータを用いて抵抗の他端の電位が所定の範囲内であるか否かを判定するステップ（ｅ）とを具備する。
【００１８】
ここで、抵抗が可変抵抗であって、ステップ（ｃ）において算出された抵抗の値が所定の規格内に入っていない場合に、抵抗の設定値を変化させてステップ（ｂ）及びステップ（ｃ）を繰り返すようにしても良い。また、複数の階調に対応して、ドライバから供給される電流の値を変更しながらステップ（ｅ）を繰り返すようにしても良い。
【００１９】
本発明によれば、画像の階調に対応する駆動電流をディスプレイに出力するドライバを含む半導体集積回路の検査において、駆動電流を電圧に変換すると共にその変換係数を正確に求めることができるので、既存のＬＳＩテスタを利用しながら、ドライバから出力される駆動電流を短時間に測定することが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。なお、同一の構成要素には同一の参照番号を付して、説明を省略する。
まず、本発明の第１の実施形態に係る検査方法について説明する。図１に、本発明の第１の実施形態に係る半導体集積回路（ＩＣ）と、それを検査するＬＳＩテスタの構成を示す。
【００２１】
図１に示すように、ＩＣ１０は、電流駆動型の有機ＥＬディスプレイに電流を供給する有機ＥＬドライバ１１を含んでいる。有機ＥＬドライバ１１は、電源１から電源電圧が供給される定電流出力回路１２と、電源２から電源電圧が供給され、画像の階調に対応する駆動電流を供給するように定電流出力回路１２を制御する定電流制御回路１３とを有している。
【００２２】
また、ＩＣ１０は、定電流出力回路１２から外部に駆動電流を供給するための出力端子１４と、一端に電源１から電源電位が供給され、定電流出力回路１２から出力される電流を電圧に変換する抵抗１５と、抵抗１５の他端と出力端子１４との間に接続されたアナログスイッチ１６と、インバータ１７と、電源３から電源電圧が供給され、テストモードにおいて有機ＥＬドライバ１１及びアナログスイッチ１６を制御するテスト制御回路１８とを含んでいる。
【００２３】
ＩＣ１０に含まれている有機ＥＬドライバ１１から出力される駆動電流が所定の範囲内であるか否かを検査するために、ＬＳＩテスタ２０が用いられる。ＬＳＩテスタ２０は、スイッチ機能を有するテスタリレー２１と、電圧を高速に測定することが可能な電流印加電圧測定装置２２とを含んでいる。電流印加電圧測定装置２２は、電流を供給する電流印加装置２３と、電圧を測定する電圧測定装置２４とを有している。
【００２４】
ここでは、説明を簡単にするために、１つの出力端子に駆動電流を供給してこれを測定する構成について説明したが、実際には、ＩＣ１０は、多数の出力端子に駆動電流を供給するための同様の構成を含んでおり、これらの出力端子における電位を同時に測定できるＬＳＩテスタを用いることにより、検査時間を大幅に減少させることができる。
【００２５】
次に、ＩＣ１０を検査するためのＩＣ１０及びＬＳＩテスタ２０の動作について、図１及び図２を参照しながら説明する。図２は、図１に示すＩＣ及びＬＳＩテスタの動作を示すフローチャートである。
【００２６】
まず、ステップＳ１〜Ｓ７において、ＩＣ１０内の抵抗１５の抵抗値Ｒを算出する。ステップＳ１において、ＩＣ１０のテスト制御回路１８が、定電流出力回路１２をオフするためのオフ命令信号を定電流制御回路１３に送信する。ステップＳ２において、オフ命令信号を受信した定電流制御回路１３は、これに従って、定電流出力回路１２をオフさせる。これにより、有機ＥＬドライバ１１から駆動電流が出力されないようになる。
【００２７】
ステップＳ３において、テスト制御回路１８が、アナログスイッチ１６をオンする。これにより、抵抗１５が、電源１と出力端子１４との間に接続される。
ステップＳ４において、ＬＳＩテスタ２０が、テスタリレー２１をオンする。これにより、ＩＣ１０の出力端子１４とＬＳＩテスタ２０の電流印加電圧測定装置２２とが接続され、出力端子１４における電位を測定することが可能となる。
【００２８】
ステップＳ５において、ＬＳＩテスタ２０の電流印加装置２３は、電流値が−ＩＤ（負方向）である電流を出力する。これにより、抵抗１５には、電流値ＩＤの負荷電流が流れる。ステップＳ６において、電圧測定装置２４は、出力端子１４における電位ＶＤを測定する。
【００２９】
ステップＳ７において、電源１の電源電位Ｖ１Ｄと、出力端子１４における電流値ＩＤ及び電位ＶＤとに基づいて、次式（１）により、抵抗１５の抵抗値Ｒを算出する。
Ｒ＝（Ｖ１Ｄ−ＶＤ）／ＩＤ  ・・・（１）
【００３０】
次に、ステップＳ８〜Ｓ１６において、定電流出力回路１２が出力する駆動電流を測定する。ステップＳ８において、電流印加装置２３が出力する電流の値を０Ａに設定する。これにより、電流印加装置２３からは、電流が出力されないことになる。
【００３１】
ステップＳ９において、テスト制御回路１８は、定電流出力回路１２をオンするためのオン命令信号を定電流制御回路１３に送信する。ステップＳ１０において、オン命令信号を受信した定電流制御回路１３は、これに基づいて、定電流出力回路１２をオンする。
【００３２】
ステップＳ１１において、テスト制御回路１８の制御の下、定電流制御回路１３は、定電流出力回路１２から出力される駆動電流値をＩＭに設定する（Ｍ＝１、２、・・・）。ステップＳ１２において、定電流出力回路１２は、設定値ＩＭに従って、駆動電流を出力する。
【００３３】
ステップＳ１３において、電圧測定装置２４は、出力端子１４における電位ＶＭを測定する。ステップＳ１４において、電源１の電源電位Ｖ１Ｍと出力端子１４における電圧値ＶＭと抵抗値Ｒとに基づいて、次式（２）により、定電流出力回路１２から出力される駆動電流の測定値ＩＭ’を算出する。
ＩＭ’＝（Ｖ１Ｍ−ＶＭ）／Ｒ  ・・・（２）
【００３４】
ステップＳ１５において、ステップＳ１４において算出された電流値ＩＭ’が規格内であるか否かを判定する。ステップＳ１６において、駆動電流の測定を行っていない階調があるか否かを判定する。駆動電流の測定を行っていない階調がある場合には、階調を変化させてステップＳ１１に移行する。一方、全ての階調及び全ての出力端子について駆動電流の測定を完了した場合には、検査を終了する。
【００３５】
なお、本実施形態においては、ステップＳ１〜Ｓ７における抵抗値Ｒの算出と、ステップＳ８〜Ｓ１６における駆動電流の測定とにおいて、電源１から供給される電源電位が異なることとしたが、同一の電源電位としても良い。
【００３６】
次に、本発明の第２の実施形態に係る検査方法について説明する。図３に、本発明の第２の実施形態に係る検査方法において用いられるＩＣ及びＬＳＩテスタの構成を示す。
【００３７】
図３に示すように、ＩＣ３０は、電流駆動型の有機ＥＬディスプレイに電流を供給する有機ＥＬドライバ１１と、出力端子１４とを含んでいる。また、ＬＳＩテスタ４０は、入力される電位が規格内か否かを測定するコンパレータ４１と、ＩＣ３０から出力される電流を電圧に変換する可変抵抗４２と、可変抵抗４２の抵抗値を設定するために用いられる電流印加電圧測定装置２２とを含んでいる。ここで、電流印加電圧測定装置２２は、電流印加装置２３と、電圧測定装置２４とを有している。
【００３８】
さらに、ＬＳＩテスタ４０は、ＩＣ３０の出力端子１４とノードＮ１との間に接続されたテスタリレー４４と、ノードＮ１と可変抵抗４２との間に接続されたテスタリレー４５と、ノードＮ１とコンパレータ４１との間に接続されたテスタリレー４６と、ノードＮ１と電流印加電圧測定装置２２との間に接続されたテスタリレー４７とを含んでいる。
【００３９】
ここでは、説明を簡単にするために、１つの出力端子に駆動電流を供給してこれを測定する構成について説明したが、実際には、ＩＣ３０は、多数の出力端子に駆動電流を供給するための同様の構成を含んでおり、これらの出力端子における電位を同時に測定できるＬＳＩテスタを用いることにより、検査時間を大幅に減少させることができる。
【００４０】
次に、ＩＣ３０を検査するためのＩＣ３０及びＬＳＩテスタ４０の動作について、図３及び図４を参照しながら説明する。図４は、図３に示すＩＣ及びＬＳＩテスタの動作を示すフローチャートである。
【００４１】
まず、ステップＳ１〜Ｓ８において、可変抵抗４２の抵抗値Ｒを設定する。ステップＳ１において、テスタリレー４４〜４７をオフする。ステップＳ２において、テスタリレー４５及び４７をオンする。ステップＳ３において、定電流出力回路１２の出力電流値及びコンパレータ４１の精度を考慮して、可変抵抗４２の目標抵抗値ＲＴを決定する。
【００４２】
ステップＳ４において、電流印加装置２３が、電流値が−ＩＤである電流を印加する。これにより、可変抵抗４２に電流値ＩＤの電流が流れる。ステップＳ５において、電圧測定装置２４が、ノードＮ１における電位ＶＤを測定する。
【００４３】
ステップＳ６において、電源４の電源電位Ｖ４Ｄ、ノードＮ１における電流値ＩＤ及び電位ＶＤに基づいて、次式（３）により、抵抗値Ｒを算出する。
Ｒ＝（Ｖ４Ｄ−ＶＤ）／ＩＤ  ・・・（３）
【００４４】
ステップＳ７において、算出された抵抗値Ｒが目標抵抗値ＲＴに対して許容範囲内であるか否かを判定する。抵抗値Ｒが許容範囲内である場合には、ステップＳ９に移行し、抵抗値Ｒが許容範囲外である場合には、ステップＳ８に移行する。ステップＳ８においては、可変抵抗４２の設定値を変更して、ステップ４に移行する。
【００４５】
次に、ステップＳ９〜Ｓ１４において、定電流出力回路１２が出力する駆動電流を測定する。ステップＳ９において、テスタリレー４７をオフして、テスタリレー４４〜４６をオンする。
【００４６】
ステップＳ１０において、電源４の電源電位Ｖ４Ｍと定電流出力回路１２が出力する駆動電流の設定値ＩＭと目標抵抗値ＲＴとに基づいて、次式（４）により、コンパレータ４１の高電位側の規格値ＶＯＨを設定する。また、次式（５）により、低電位側の規格値ＶＯＬを設定する。
ＶＯＨ＝Ｖ４Ｍ−（ＩＭ−ΔＩ）ＲＴ  ・・・（４）
ＶＯＬ＝Ｖ４Ｍ−（ＩＭ＋ΔＩ）ＲＴ  ・・・（５）
ここで、ΔＩは、定電流出力回路１２から出力される駆動電流の設定された規格幅である。
【００４７】
ステップＳ１１において、定電流制御回路１３は、テスト制御回路１８の制御の下、定電流出力回路１２から出力される駆動電流値をＩＭに設定する（Ｍ＝１、２、・・・）。ステップＳ１２において、定電流出力回路１２は、設定値ＩＭに従って駆動電流を出力する。
【００４８】
ステップＳ１３において、コンパレータ４１は、ノードＮ１における電位ＶＭを規格値ＶＯＨ及びＶＯＬと比較する。ここで、コンパレータ４１は、ＶＯＨ＞ＶＭ＞ＶＯＬである場合にハイレベルの電圧を出力し、ＶＭ＞ＶＯＨ又はＶＯＬ＞ＶＭである場合にローレベルの電圧を出力する。これにより、定電流出力回路１２から出力される電流が規格内であるか否かを判定している。
【００４９】
ステップＳ１４において、駆動電流の測定を行っていない階調があるか否かを判定する。駆動電流の測定を行っていない階調がある場合には、階調を変化させてステップＳ１０に移行する。一方、全ての階調及び全ての出力端子について駆動電流の測定を完了した場合には、検査を終了する。
【００５０】
なお、本実施形態においては、ステップＳ１〜Ｓ８における抵抗値Ｒの設定と、ステップＳ９〜Ｓ１４における駆動電流の測定とにおいて、電源４が出力する電源電位の値が異なることとしたが、同一の電圧値としても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るＩＣ及びＬＳＩテスタを示す図。
【図２】図１に示すＩＣ及びＬＳＩテスタの動作を示すフローチャート。
【図３】本発明の第２の実施形態におけるＩＣ及びＬＳＩテスタを示す図。
【図４】図３に示すＩＣ及びＬＳＩテスタの動作を示すフローチャート。
【図５】有機ＥＬドライバを含む従来のＩＣ及びＬＳＩテスタを示す図。
【符号の説明】
１０、３０  ＩＣ、  １１  有機ＥＬドライバ、  １２  定電流出力回路、  １３  定電流制御回路、  １４  出力端子、  １５  抵抗、  １６  アナログスイッチ、  １７  インバータ、  １８  テスト制御回路、  ２０、４０  ＬＳＩテスタ、  ２１、４４〜４７  テスタリレー、  ２２  電流印加電圧測定装置、２３  電流印加装置、  ２４  電圧測定装置、  ４１  コンパレータ、  ４２
可変抵抗
【図１】
2004294093.tif 000003
【図２】
2004294093.tif 000004
【図３】
2004294093.tif 000005
【図４】
2004294093.tif 000006
【図５】
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