(57)【要約】【課題】十分なセンサ出力を確実に得ることができるようにし、検出精度を向上させたガス検知方法及びその装置を提供する。【解決手段】吸着燃焼式ガスセンサ４０を所定時間だけ電源断とした後に通電し、通電直後の吸着燃焼式ガスセンサ４０の出力値のピーク値を取得し、このピーク値と被検知ガスに対応するピーク値データとを比較し、この比較結果に基づき被検知ガスを検知するようにしているので、目的とするガスを確実に検知可能になる。【選択図】　　　図１
2004069465.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電し、前記通電直後の前記吸着燃焼式ガスセンサの出力値のピーク値を取得し、このピーク値と被検知ガスに対応する予め格納されたピーク値データとを比較し、この比較結果に基づき前記被検知ガスを検知する、
ことを特徴とするガス検知方法。
【請求項２】
吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電し、前記通電直後の所定時間にわたる前記吸着燃焼式ガスセンサの出力値の積分値を演算し、この積分値と被検知ガスに対応する予め格納された積分値データとを比較し、この比較結果に基づき前記被検知ガスを検知する、
ことを特徴とするガス検知方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のガス検知方法において、
前記被検知ガスは、エタノール、キシレン、ジエチルカーボネイト、ジメチルカーボネイト、酢酸及びホルムアルデヒド等の揮発性有機化合物ガスである、
ことを特徴とするガス検知方法。
【請求項４】
吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電するセンサ駆動制御手段と、
前記通電直後の前記吸着燃焼式ガスセンサの出力値のピーク値を取得するピーク値取得手段と、
被検知ガスに対応する前記通電直後のピーク値データを予め格納する格納手段と、
前記ピーク値取得手段にて検知されたピーク値と、前記格納手段に格納されるピーク値データとを、比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果に基づき前記被検知ガスを検知してその結果を出力する出力手段と、
を有することを特徴とするガス検知装置。
【請求項５】
吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電するセンサ駆動制御手段と、
前記通電直後の前記吸着燃焼式ガスセンサの出力値の所定時間にわたる積分値を演算する積分値演算手段と、
前記被検知ガスに対応する前記所定時間にわたる積分値データを予め格納する格納手段と、
前記積分値演算手段にて演算された積分値と、前記格納手段に格納される積分値データとを、比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果に基づき前記被検知ガスを検知してその結果を出力する出力手段と、
を有することを特徴とするガス検知装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸着燃焼式ガスセンサを用いたガス検知方法及びその装置に関し、特に、揮発性有機化合物ガスを検出可能な方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ガス漏れ検知等のために、汎用性の高い接触燃焼式ガスセンサが数多く提案されている。このような接触燃焼式ガスセンサは、例えば、特開平１１−００６８１１号公報にも開示されている。この接触燃焼式ガスセンサは、パラジウムを担持したγアルミナ触媒膜を白金ヒータ上にスクリーン印刷、ディスペンサ塗布、或いは、薄膜蒸着等により形成し、ガスに反応しない補償素子とブリッジ回路を構成することでガスセンサを構成する。
【０００３】
このガスセンサは、空気中での酸素と可燃性ガス分子とが触媒上で接触燃焼したときに発生する燃焼熱を白金ヒータの抵抗変化としてとらえることで、所定のガスを検知するようにしている。なお、実際には、検知素子と補償素子とでブリッジ回路を構成しているため、抵抗変化はブリッジ回路の電位差出力で表される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来の接触燃焼式ガスセンサを用いた検出方法では、ガスセンサに通電後、所定時間経過した後にセンサ出力を取得するようにしている。このようにして取得したセンサ出力は図８にも示すようにあまり大きな値が得られない。特に、低濃度の場合には、センサ出力は非常に低く、十分な検出精度を得られない場合があった。なお、図８においては、エタノールのみを例示しているが、他のガスに対しても同様の傾向がみられる。
【０００５】
よって本発明は、上述した現状に鑑み、十分なセンサ出力を確実に得ることができるようにし、検出精度を向上させたガス検知方法及びその装置を提供することを課題としている。また、本発明は、特に、揮発性有機化合物ガスを検知するのに有効なガス検知方法及びその装置を提供することを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載のガス検知方法は、吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電し、前記通電直後の前記吸着燃焼式ガスセンサの出力値のピーク値を取得し、このピーク値と被検知ガスに対応する予め格納されたピーク値データとを比較し、この比較結果に基づき前記被検知ガスを検知する、ことを特徴とする。
【０００７】
また、上記課題を解決するためになされた請求項２記載のガス検知方法は、吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電し、前記通電直後の所定時間にわたる前記吸着燃焼式ガスセンサの出力値の積分値を演算し、この積分値と被検知ガスに対応する予め格納された積分値データとを比較し、この比較結果に基づき前記被検知ガスを検知する、ことを特徴とする。
【０００８】
また、上記課題を解決するためになされた請求項３記載のガス検知方法は、請求項１又は請求項２記載のガス検知方法において、前記被検知ガスは、エタノール、キシレン、ジエチルカーボネイト、ジメチルカーボネイト、酢酸及びホルムアルデヒド等の揮発性有機化合物ガスである、ことを特徴とする。
【０００９】
また、上記課題を解決するためになされた請求項４記載のガス検知装置は、吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電するセンサ駆動制御手段と、前記通電直後の前記吸着燃焼式ガスセンサの出力値のピーク値を取得するピーク値取得手段と、被検知ガスに対応する前記通電直後のピーク値データを予め格納する格納手段と、前記ピーク値取得手段にて検知されたピーク値と、前記格納手段に格納されるピーク値データとを、比較する比較手段と、前記比較手段による比較結果に基づき前記被検知ガスを検知してその結果を出力する出力手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
また、上記課題を解決するためになされた請求項５記載のガス検知装置は、吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電するセンサ駆動制御手段と、前記通電直後の前記吸着燃焼式ガスセンサの出力値の所定時間にわたる積分値を演算する積分値演算手段と、前記被検知ガスに対応する前記所定時間にわたる積分値データを予め格納する格納手段と、前記積分値演算手段にて演算された積分値と、前記格納手段に格納される積分値データとを、比較する比較手段と、前記比較手段による比較結果に基づき前記被検知ガスを検知してその結果を出力する出力手段と、を有することを特徴とする。
【００１１】
請求項１及び請求項４記載の発明によれば、吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電し、通電直後の吸着燃焼式ガスセンサの出力値のピーク値を取得し、このピーク値と被検知ガスに対応するピーク値データとを比較し、この比較結果に基づき被検知ガスを検知するようにしているので、目的とするガスを確実に検知可能になる。すなわち、ピーク値を利用してガス検知しているので、従来の接触式ガスセンサと比べて大きなセンサ出力が得られ、特に、低濃度においても大きなセンサ出力が得られるようになる。
【００１２】
また、請求項２及び請求項５記載の発明によれば、吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電し、通電直後の所定時間にわたる吸着燃焼式ガスセンサの出力値の積分値を演算し、この積分値と被検知ガスに対応する積分値データとを比較し、この比較結果に基づき被検知ガスを検知するようにしているので、目的とするガスを確実に検知可能になる。すなわち、積分値はピーク値と相関があるので、ピーク値を利用するのと同様に、大きなセンサ出力が得られる上に検知に必要な値が安定的に得られるようになる。
【００１３】
また、請求項３記載の発明によれば、日常的に発生する種々のガスも確実に検知可能であるので、現実的なガスセンサが提供される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず、図１〜図４を用いて、本発明の一実施形態について説明する。図１は、本発明のガス検知装置の一実施形態を示すブロック図である。図２は、図１のガス検知装置に用いられる駆動波形の一例を示すタイムチャートである。図３は、吸着燃焼式ガスセンサによるエタノールのセンサ出力特性を示すグラフである。なお、図３においては、横軸は、図２に示す駆動パルスを吸着燃焼式ガスセンサに供給した際の通電開始時点（図中、０時点）からの経過時間を示す。また、図４（Ａ）、図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）はそれぞれ、図１のガス検知装置に用いられる吸着燃焼式ガスセンサの平面図、背面図及びＡＡ線断面図である。
【００１５】
図１に示すように、本ガス検知装置１は、コントローラ１０、駆動電源２０、ガス検知出力手段３０及び検出用のブリッジ回路を含む吸着燃焼式ガスセンサ４０を含んで構成される。コントローラ１０には、駆動電源２０、ガス検知出力手段３０及び吸着燃焼式ガスセンサ４０が接続されている。
【００１６】
本ガス検知装置１では、図２に示すような駆動パルスが供給されて吸着燃焼式ガスセンサ４０が通電制御され、このセンサ４０のセンサ出力に基づいて所望のガス種が検知され出力される。この検知の原理は、吸着燃焼式ガスセンサ４０の通電開始時点からセンサ出力が安定する定常時点までの立上り期間（請求項の通電直後に相当）におけるセンサ出力が、特定種のガスに対して固有のピーク波形を呈することを利用するものである。
【００１７】
詳しくは、図３に示すように、揮発性有機化合物ガスは特異なピーク波形を呈するが、とりわけ、３０秒オフ後の通電期間において最も顕著にピークが現れ、本実施形態では、この現象を有効に利用するようにしている。すなわち、図２に示すように、３０ｓ（秒）の通電オフ期間後の２００ｍｓの通電期間において、センサ出力を取得するようにしている。
【００１８】
なお、図３の例では、有機化合物ガスとして１０００ｐｐｍのエタノールを例示するが、他の揮発性有機化合物ガス、例えば、エタノール、キシレン、ジエチルカーボネイト、ジメチルカーボネイト、酢酸及びホルムアルデヒドも同様にピーク波形を呈することが知られている。通電オフ時間は、ｐｐｍレベルの測定では、１０〜６０秒程度であり、通電時間は２００ｍｓ程度が良好であることがわかっている。
【００１９】
コントローラ１０は、補正手段１１、センサ駆動制御手段１２、計時手段１３、ピーク値取得手段１４、格納手段１５及び比較手段１６を含んで構成される。このコントローラ１０は、演算部、記憶部等を有するマイクロコンピュータにて具現化可能である。
【００２０】
コントローラ１０に含まれる補正手段１１は、後述するブリッジ回路からの検出出力に所定の補正を施したものをセンサ出力として、上記ピーク値取得手段１４に供給する。すなわち、ガス漏れのない空気中における上記ブリッジ回路からの検出出力を初期検出出力として予め計測しておき、この初期検出出力を実際に上記ブリッジ回路から得られる検出出力から減算したものを、上記センサ出力として出力する。なお、補正手段１１とブリッジ回路との間には、図示しない増幅回路が介設されてもよい。
【００２１】
センサ駆動制御手段１２は、吸着燃焼式ガスセンサ４０に対して駆動電源２０を、計時手段１３から供給されるクロック信号を参照しつつ通電制御して図２で示すような３０ｓの通電オフ期間と２００ｍｓの通電期間とで１周期が構成される駆動パルスを、電源オンされて所定のトリガーが有るまで、継続的に発生させる。なお、図２で示す駆動パルスにおいて、オフに相当する駆動パルスのレベルは必ずしもゼロである必要はない。すなわち、この駆動パルスは取得手段１４で所望のセンサ出力が取得されやすいように、直流バイアスが印加されることもある。
【００２２】
ピーク値取得手段１４は、計時手段１３から供給されるクロック信号を参照しつつ、通電直後の吸着燃焼式ガスセンサ４０の出力値のピーク値を取得する。詳しくは、ピーク値取得手段１４は、検知すべきガスのピーク値を検出するのに十分な通電直後の時間にわたって、補正手段１１からのセンサ出力をサンプリングすると共にこれらをそれぞれ保持しておき、この時間内におけるピーク値を取得する。サンプリングする時間は、例えば、被検知ガスがエタノールの場合、２００〜３００ｍｓ程度である。
【００２３】
格納手段１５には、被検知ガスに対応する通電直後のピーク値データが予め格納されている。詳しくは、被検知ガスに特有のピーク値は、実験等により事前に取得可能なので、これがピーク値データとして格納されている。例えば、エタノールの場合には、図４に示すように３．５Ｖ程度とする。また、比較手段１６では、ピーク値取得手段１４にて検知されたピーク値と、格納手段１５に格納されるピーク値データとが比較されその結果が出力手段３０に出力される。
【００２４】
コントローラ１０に接続される出力手段３０は、比較手段１６による比較結果に基づき被検知ガスを検知してその結果を出力する。この結果の出力は、例えば、発光ダイオード等の可視信号による方法やブザー等の可聴信号による方法が想定される。或いは、電話回線等の通信手段を利用した方法であってもよい。出力手段３０は、これら可視又は可聴信号を発生するデバイスやそのドライバ回路や通信装置等を含んで構成される。なお、コントローラ１０に接続される駆動電源２０は、周知の電池等や商用電源が利用可能である。
【００２５】
吸着燃焼式ガスセンサ４０は、センサ駆動制御手段１２にて図２で示すような駆動パルスが供給されて間欠的に駆動する。この吸着燃焼式ガスセンサ４０は、基本的に、感応素子部Ｒｓ及び補償素子部Ｒｒから構成されている。感応素子部Ｒｓは（白金）Ｐｔヒータ４２及びＰｄ／γＡｌ２Ｏ３触媒層４３を含み、補償素子部ＲｒはＰｔヒータ４４及びγＡｌ２Ｏ３触媒層４５を含む。上記Ｐｔヒータ４２、４４は、固定抵抗Ｒ１、Ｒ２及び可変抵抗Ｒｖと共にブリッジ回路を構成している。そして、このブリッジ回路のＰｔヒータ４４及び固定抵抗Ｒ１の接続点、並びにＰｔヒータ４２及び固定抵抗Ｒ２の接続点には、上記コントローラ１０を介して駆動パルスが所定のインターバルで間欠的に供給される。また、Ｐｔヒータ４２及び４４の接続点、並びに可変抵抗Ｒｖからは、センサ出力としての電圧値がコントローラ１０に供給される。
【００２６】
この吸着燃焼式ガスセンサ４０を使用するに際しては、まず、検出動作開始前に、上記補正手段１１からのセンサ出力がゼロになるように上記可変抵抗Ｒｖを調整する。この状態において、エタノール等が感応素子部Ｒｓに触れると触媒作用により、この素子の表面で酸化されて反応熱が生じる。この反応熱により、Ｐｔヒータ４２の抵抗値が上昇し、この抵抗値の上昇によりブリッジ回路の平衡が崩れ、コントローラ１０に上記センサ出力が供給される。この場合、Ｐｔヒータ４４は周囲温度の変動によるＰｔヒータ４２の抵抗値の変動を相殺し、反応熱に起因するＰｔヒータ４２の抵抗値の変動成分のみを取り出せるように補償する。上記吸着燃焼式ガスセンサ４０の構造については、以下に図４を用いて後述する。
【００２７】
図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、この吸着燃焼式ガスセンサは、４００μｍ程度の（シリコン）Ｓｉウエハ４１の上に、（酸化）ＳｉＯ２膜４８ｃ、（窒化）ＳｉＮ膜４８ｂ、及び（酸化ハフニウム）ＨｆＯ２膜４８ａからなる１μｍ程度の絶縁薄膜が生膜され、その上に、感応素子部Ｒｓとして（白金）Ｐｔヒータ、Ａｌ２Ｏ３層４２及びＰｄ／γＡｌ２Ｏ３触媒層４３、並びに、補償素子部Ｒｒとして（白金）Ｐｔヒータ、Ａｌ２Ｏ３層４４及びγＡｌ２Ｏ３触媒層４５が形成されている。これらの厚さは１０μｍ程度である。また、図４（Ｃ）に示すように、異方性エッチングして凹部４６及び４７を形成して、それぞれ薄膜ダイヤフラムＤｓ及びＤｒを形成している。なお、上記触媒としては、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｔ等の金属触媒でも可能である。また、触媒担体としては、シリカ、活性炭等の多孔質材料でも可能である。
【００２８】
このような構成のガス検知装置１において、センサ駆動制御手段１２に制御されて図２に示すような駆動パルスが継続的に出力されている。通電開始と同時に触媒担体上へ吸着したガス分子が燃焼され、この燃焼熱によってＰｔヒータの抵抗変化を引き起こす。これがブリッジ回路において電位差として検出される。このように被検知ガスが吸着燃焼式ガスセンサ４０にて検出されると、そのセンサ出力は補正手段１１を介してピーク値取得手段１４に与えられる。ピーク値取得手段１４ではセンサ出力からピーク値が検出されて、これが比較手段１６に与えられて格納手段１５に格納されるピーク値データと比較される。そして、比較結果が出力手段３０に出力されて、所定の出力方法で警報出力等が行われる。
【００２９】
このように、ピーク値を利用してガス検知しているので、従来の接触式ガスセンサと比べて大きなセンサ出力が得られる。特に、図５に示すように、センサ出力のピーク値は、濃度の対数に依存することが確かめられており、低濃度においても大きなセンサ出力が得られるようになる。この結果、検出精度が大幅に向上する。なお、図５では、エタノールのみを例示するが、他の揮発性有機化合物ガスも同様であることが知られている。
【００３０】
上記実施形態においては、ピーク値を利用して所望の有機化合物ガスを検知する例を示したが、ピーク値に替えて、センサ出力の積分値を利用して、所望の有機化合物ガスを検知することも可能である。すなわち、図６に示すように、実線で示すセンサ出力のピーク値と点線で示す積分面積は相関性があることが確かめられている。なお、この例は、１０００ｐｐｍのエタノールに対する、通電オフ時間とセンサ出力、積分面積との関係を示す（センサ出力のサンプリング時間は２００ｍｓとした）ものであるが、他の揮発性有機化合物ガスに関しても同様であることが確かめられている。
【００３１】
図７は、センサ出力に替えて積分値を利用したガス検知装置を示すブロック図である。図７において、図１に示した実施形態のピーク値取得手段１４が、ここでは、積分値演算手段１４′に置換されている。これに付随して格納手段１５′及び比較手段１６′も小変更される。他の構成要件は、図１に示した実施形態と同様であるので、ここでは繰り返し説明は省略する。
【００３２】
積分値演算手段１４′は、計時手段１３から供給されるクロック信号を参照しつつ、通電直後の吸着燃焼式ガスセンサ４０の出力値の所定時間にわたる積分値を演算する。詳しくは、積分値演算手段１４′は、検知すべきガスのピーク値に対応するタイミングを含む通電直後の所定時間にわたって、補正手段１１からのセンサ出力をサンプリングすると共にこれらを積分する。積分期間は、例えば、２００ｍｓ程度である。
【００３３】
格納手段１５′には、被検知ガスに対応する上記所定時間にわたる積分値データが予め格納されている。詳しくは、被検知ガスに特有の積分値は、事前に演算可能なので、これが積分値データとして格納されている。例えば、積分値データは、図６に示す通りである。また、比較手段１６′では、積分値演算手段１４′にて演算された積分値と、格納手段１５′に格納される積分値データとが比較されその結果が出力手段３０に出力される。
【００３４】
このような構成のガス検知装置１において、センサ駆動制御手段１２に制御されて図２に示すような駆動パルスが継続的に出力されている。被検知ガスが吸着燃焼式ガスセンサ４０にて検知されると、そのセンサ出力は補正手段１１を介して積分値演算手段１４′に与えられる。積分値演算手段１４′ではセンサ出力から積分値が演算されて、これが比較手段１６′に与えられて格納手段１５′に格納される積分値データと比較される。そして、比較結果が出力手段３０に出力されて、所定の出力方法で警報出力等が行われる。
【００３５】
このように、積分値を利用してガス検知しているので、目的とするガスを確実に検知可能になる。すなわち、積分値はピーク値と相関があるので、ピーク値を利用するのと同様に、大きなセンサ出力が得られる上に検知に必要な値が安定的に得られるようになり、この結果、検出精度が大幅に向上する。
【００３６】
このように、本実施形態によれば、検出精度を大幅に向上させたガス検知方法及びその装置が提供される。特に、本実施形態は、揮発性有機化合物ガスを検知するのに特に有効となる。
【００３７】
なお、上記実施形態においては、エタノールを例に挙げて説明したが、本発明は、エタノールのみの検知に限定されず、複数種の揮発性有機化合物ガスであれば同様に検知可能である。例えば、キシレン、ジエチルカーボネイト、ジメチルカーボネイト、酢酸及びホルムアルデヒドを含む有機化合物ガスも検知可能である。これにともない通電オンオフ間隔、通電時間等も適宜変更可能である。本発明は、その要旨を変更しない範囲で適宜変更可能である。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１及び請求項４記載の発明によれば、吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電し、通電直後の吸着燃焼式ガスセンサの出力値のピーク値を取得し、このピーク値と被検知ガスに対応するピーク値データとを比較し、この比較結果に基づき被検知ガスを検知するようにしているので、目的とするガスを確実に検知可能になる。すなわち、ピーク値を利用してガス検知しているので、従来の接触式ガスセンサと比べて大きなセンサ出力が得られ、特に、低濃度においても大きなセンサ出力が得られるようになり、この結果、検出精度が大幅に向上する。
【００３９】
請求項２及び請求項５記載の発明によれば、吸着燃焼式ガスセンサを所定時間だけ電源断とした後に通電し、通電直後の所定時間にわたる吸着燃焼式ガスセンサの出力値の積分値を演算し、この積分値と被検知ガスに対応する積分値データとを比較し、この比較結果に基づき被検知ガスを検知するようにしているので、目的とするガスを確実に検知可能になる。すなわち、積分値はピーク値と相関があるので、ピーク値を利用するのと同様に、大きなセンサ出力が得られる上に検知に必要な値が安定的に得られるようになり、この結果、検出精度が大幅に向上する。
【００４０】
請求項３記載の発明によれば、日常的に発生する種々のガスも確実に検知可能であるので、現実的なガスセンサが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガス検知装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１のガス検知装置に用いられる駆動波形の一例を示すタイムチャートである。
【図３】吸着燃焼式ガスセンサによるエタノールのセンサ出力特性を示すグラフである。
【図４】図４（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ、吸着燃焼式ガスセンサの平面図、背面図及びＡＡ線断面図である。
【図５】本実施形態のガス検知装置による、エタノールに対するガス濃度とセンサ出力の関係を示すグラフである。
【図６】１０００ｐｐｍのエタノールに対する、通電オフ時間とセンサ出力、積分面積との関係を示すグラフである。
【図７】本発明のガス検知装置の他の実施形態を示すブロック図である。
【図８】従来の接触燃焼式ガスセンサによる、エタノールに対するガス濃度とセンサ出力の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１、１′　ガス検知装置
１０、１０′　コントローラ
２０　駆動電源
３０　出力手段
４０　吸着燃焼式ガスセンサ
４２、４４　Ｐｔヒータ
４３　Ｐｄ／γＡｌ２Ｏ３触媒層
４５　γＡｌ２Ｏ３触媒層
Ｒｓ　感応素子部
Ｒｒ　補償素子部
【図１】
2004069465.tif 000003
【図２】
2004069465.tif 000004
【図３】
2004069465.tif 000005
【図４】
2004069465.tif 000006
【図５】
2004069465.tif 000007
【図６】
2004069465.tif 000008
【図７】
2004069465.tif 000009
【図８】
2004069465.tif 000010