(57)【要約】【課題】比較的中小規模のクリーンルーム施設に適用して好適な形態を実現する。【解決手段】クリーンルーム１と、クリーンルーム内に設置される機器の補機を設置するための補機スペース２と、空調機等の設備を設置するための機械室４とを備えたクリーンルーム施設であって、この施設全体を平屋建てに構成して、クリーンルーム１の側方に補機スペース２と機械室４とを配置する。地盤に設けた基礎から束材８を介してクリーンルーム１の床５を支持する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームと、クリーンルーム内に設置される機器の補機類を設置するための補機スペースと、空調機等の設備機器類を設置するための機械室とを備えたクリーンルーム施設であって、この施設全体を平屋建てに構成して、クリーンルームの側方に補機スペースと機械室とを配置したことを特徴とするクリーンルーム施設。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンルーム施設であって、地盤に設けた基礎から束材を介してクリーンルームの床を支持したことを特徴とするクリーンルーム施設。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば半導体製造施設、液晶製造施設等に適用されるクリーンルーム施設に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のクリーンルーム施設としては、非特許文献１や図２〜図３に示されるように、クリーンルームの直下に補機スペースを配置する形態のものが一般的である。
【０００３】
【非特許文献１】
研究施設計画・設計研究会編集、「研究施設の計画と設計」、株式会社建築技術、昭和６０年２月１日、ｐ８７−９３
【０００４】
すなわち、クリーンルーム施設には空調機等の設備機器類を設置するための機械室が必要であることはもとより、クリーンルーム内に設置される各種の機器に関連する補機類を設置するための補機スペースをクリーンルーム外に確保する必要があり、そのため従来一般のクリーンルーム施設としては、非特許文献１に示されるように機械室をクリーンルームの下階に設けるか、あるいは図２に示すようにクリーンルーム１の直下に補機スペース２を確保し、それらの側方にダクトスペース３を介して機械室４を２階建てとして設ける形態のものが一般的である。そして、図２に示すものでは、クリーンルーム１の床５をグレーティングにより形成して補機スペース２が床下チャンバ６を兼ねるものとしておき、図中の矢印で示すようにクリーンルーム１の天井部に設けた天井チャンバ７からクリーンルーム１内に吹き出した清浄空気を、補機スペース２（床下チャンバ６）を通して循環させるような経路で空調を行うこととしている。
【０００５】
また、図２に示したものの変形例として、図３に示すように床下チャンバ６を補機スペース２とは独立に設ける場合もある。この場合は、補機スペース２が床下チャンバ６と区画されていることから、補機スペース２は清浄空気の循環経路から外れることになり、その分の負荷を軽減できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような従来一般のクリーンルーム施設では、クリーンルーム１と機械室４あるいは補機スペース２とを上下に配置していることから、必然的に施設全体が２階建てないしそれ以上の多層のものとならざる得ず、比較的中小規模のクリーンルーム施設であっても施設全体の全高は大きなものとなる。したがって、建屋の構造や形式も複雑にならざるを得ないし、その施工に当たっては充分な工期と工費を要するものとなる。そのため、比較的中小規模のクリーンルーム施設を計画するに際してはより簡易で合理的な施設の形態が望まれていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記事情に鑑み、請求項１の発明は、クリーンルームと、クリーンルーム内に設置される機器の補機類を設置するための補機スペースと、空調機等の設備機器類を設置するための機械室とを備えたクリーンルーム施設であって、この施設全体を平屋建てに構成して、クリーンルームの側方に補機スペースと機械室とを配置したことを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明のクリーンルーム施設であって、地盤に設けた基礎から束材を介してクリーンルームの床を支持したことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施形態であるクリーンルーム施設の概要を示すものである。このクリーンルーム施設は、上記のような従来一般のものと同様に、クリーンルーム１と、補機スペース２と、機械室４とを備えるものであるが、従来のものがそれらを上下に配置して施設全体を２階建てないしそれ以上の多層に構成しているのに対し、本実施形態のクリーンルーム施設では、この施設全体を平屋建てに構成して、クリーンルーム１の側方にダクトスペース３を介して補機スペース２と機械室４とを配置することとしている。それら補機スペース２と機械室４とは適宜区画すれば良いが、その必要がなければそれらを区画することなく共通のスペースとして使用する（設備関係の機器類と補機類を同一室内に混在させた状態で設置する）ことでも良い。また、図示例のクリーンルーム１の上下にはそれぞれ天井チャンバ７および床下チャンバ６が設けられており、それらを通して清浄空気を循環させて空調を行うことは従来と同様である。
【００１０】
このように、施設全体を平屋建てとしたことにより、本実施形態のクリーンルーム施設は従来の同規模の施設に較べて平面的にはやや大きくなるものの、高さを抑制することができ、したがって高さ制限のある地区にも設置が可能となることはもとより、２階建て以上とする場合に比較して建屋の構造や形式を簡略化することが可能であるし、その施工も容易となり、したがって従来一般の２階建て以上のクリーンルーム施設を施工する場合に較べて工期短縮と工費削減を図ることができる。
【００１１】
また、敷地に余裕のある場合は将来的に施設を平面的に拡張するような増築を容易に行い得ることはもとより、内部に対して改築を行う場合も全て１階での作業となるので、従来の２階建て以上の建屋内に対して改築を行う場合に較べて改築工事を簡易に行うことが可能である。
【００１２】
さらに、全体を平屋建てとしたことにより、当然にクリーンルーム１、補機スペース２、機械室４の全てが１階に設けられることになるから、それらが２階以上に設置されている場合に較べて外部からの出入りや機器類の搬出入、特に大型重量機器の搬出入を容易に行い得るので、従来一般の２階建て以上とされるクリーンルーム施設に比較して使用勝手に優れるという利点もある。
【００１３】
なお、従来一般のクリーンルーム施設では、クリーンルーム１の下階に機械室４や補機スペース２が設けられる関係上、クリーンルーム１の床５（通常はグレーティングにより形成される）の剛性を充分に確保することが必ずしも容易ではなく、通常はクリーンルーム１の床５を支持するための大断面の梁を多数設ける必要がある。それに対し、本実施形態のようにクリーンルーム１を１階に設けることにより、地盤に設けた頑強な基礎（図示略）から束材８を介して床５を直接的に支持することが可能となり、したがってクリーンルーム１の床５の剛性を確保しやすく、内部設置機器に対する振動対策上も有利である。
【００１４】
以上で本発明の一実施形態を説明したが、本発明は施設全体を平屋建てに構成してクリーンルーム１の側方に補機スペース２と機械室４とを配置する限りにおいて、施設全体の用途や平面形状、その規模、各室の配置の形態、その他の具体的な構成は、上記実施形態に限定されることなく適宜の設計的な変更が可能であることは言うまでもない。
【００１５】
【発明の効果】
請求項１の発明のクリーンルーム施設は、この施設全体を平屋建てに構成してクリーンルームの側方に補機スペースと機械室とを配置したので、２階建てないしそれ以上とされる従来一般のクリーンルーム施設に比較して施設全体の高さを抑制できることはもとより、建屋の構造とその形式を簡略化することができて短工期、低コストで施工することが可能であり、使用勝手にも優れ、将来的な増築や改築にも対応し易いという効果を有し、比較的中小規模のクリーンルーム施設の形態として最適である。
【００１６】
請求項２の発明は、地盤に設けた基礎から束材を介してクリーンルームの床を支持したので、クリーンルームの床の剛性を確保しやすく、内部設置機器に対する振動対策上も有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態であるクリーンルーム施設の概略構成を示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図２】従来一般のクリーンルーム施設の一例を示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図３】従来一般のクリーンルーム施設の他の例を示す断面図である。
【符号の説明】
１　クリーンルーム
２　補機スペース
３　ダクトスペース
４　機械室
５　床
６　床下チャンバ
７　天井チャンバ
８　束材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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