(57)【要約】【課題】チャンバの内部環境調整時の容積を従来に比較し格段に小さくすることができるロードポート装置を提供すること。【解決手段】チャンバ１内に薄板状のワーク２を保持し、製造工程間でワーク２の受け渡しを行うもので、前記チャンバ１内にワークを支持する複数列の支持部材３を配設するとともに、該支持部材３の下に、各支持部材３が嵌合する凹部４１を上面に備え、かつチャンバ１内を上下に仕切るフィラー部材４を配設し、該フィラー部材４を、支持部材３が嵌合する上昇位置と、支持部材３間に空隙Ｓを形成する下降位置とに昇降可能に設ける。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内に薄板状のワークを保持し、製造工程間でワークの受け渡しを行うロードポート装置において、前記チャンバ内にワークを支持する複数列の支持部材を配設するとともに、該支持部材の下に、各支持部材が嵌合する凹部を上面に備え、かつチャンバ内を上下に仕切るフィラー部材を配設し、該フィラー部材を、支持部材が嵌合する上昇位置と、支持部材間に空隙を形成する下降位置とに昇降可能に設けたことを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
前記支持部材を、ワークを載置して支持するとともに、噴出するエアによりワークを浮上させるエア浮上式コンベアにより構成したことを特徴とするロードポート装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロードポート装置に関し、特に、チャンバの内部環境調整時の容積を従来に比較し格段に小さくすることができるロードポート装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ロードポート装置は、例えば、化学反応炉や熱処理炉などのプロセス装置内部と装置外部とのワーク受け渡し用設備として、ワークの搬入や搬出に設置される。
このロードポート装置では、ロボットアーム先端のフォーク上に乗せた薄板状のワークをチャンバ内に挿入し、ワークをチャンバ内の支持枠上に載せた後、フォークを引き出したり、コンベアを利用してワークをチャンバに挿入する方法がとられている。
そして、ワークの挿入後はチャンバのシャッタを閉め、密閉内部の環境を調整した後、他のシャッタを開いて別のフォークを挿入し、ワーク単体や枠ごとワークを取り出すのが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、マーケットニーズの変化や生産性の向上のため、より大型で薄いワークの加工、処理が必要となってきているが、上記従来のロードポート装置は、チャンバの平面面積が増大する以外に、フォークの長大化に伴う撓みや薄型化するワークの撓みの増大のため、より大きな高さが必要となり、チャンバの容積が極めて大きくなってきている。
チャンバ容積の増大は、チャンバ内の密閉空間の環境調整、すなわち、排気や注気、ガス注入、成分認整、温度調整、圧力調整などの時間を大きく増大させることから、ロードポート装置の処理時間の増大をもたらし、工場全体の工程ネックとなる上にプロセス全体の生産性の低下をきたすようになっている。
【０００４】
本発明は、上記従来の薄板用ロードポート装置が有する問題点に鑑み、チャンバの内部環境調整時の容積を従来に比較し格段に小さくすることができるロードポート装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のロードポート装置は、チャンバ内に薄板状のワークを保持し、製造工程間でワークの受け渡しを行うロードポート装置において、前記チャンバ内にワークを支持する複数列の支持部材を配設するとともに、該支持部材の下に、各支持部材が嵌合する凹部を上面に備え、かつチャンバ内を上下に仕切るフィラー部材を配設し、該フィラー部材を、支持部材が嵌合する上昇位置と、支持部材間に空隙を形成する下降位置とに昇降可能に設けたことを特徴とする。
【０００６】
このロードポート装置は、チャンバ内にワークを支持する複数列の支持部材を配設するとともに、該支持部材の下に、各支持部材が嵌合する凹部を上面に備え、チャンバ内を上下に仕切るフィラー部材を配設し、該フィラー部材を、支持部材が嵌合する上昇位置と、支持部材間に空隙を形成する下降位置とに昇降可能に設けることから、ワークをチャンバに挿入するときは、フィラー部材を下降させてフォークを挿入する空隙を形成する一方、ワークをチャンバ内に収容した後は、フィラー部材を支持部材の嵌合位置まで上昇させて空隙を埋め、これにより、チャンバの内部環境調整時の容積を格段に小さくし、チャンバ内の密閉空間の環境調整時間を大幅に短縮するとともに、ロードポート装置の処理時間を短縮し、プロセス全体の生産性を向上させることができる。
【０００７】
この場合において、前記支持部材を、ワークを載置して支持するとともに、噴出するエアによりワークを浮上させるエア浮上式コンベアにより構成することができる。
【０００８】
これにより、ワークを支持部材に接触しないように挿入するとともに、支持部材の形状を単純にして、フィラー部材との嵌合を容易にし、かつ充填率を高めることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の薄板用ロードポート装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１〜図４に、本発明のロードポート装置の１実施例を示す。
このロードポート装置は、チャンバ１内に薄板状のワーク２を保持し、製造工程間でワーク２の受け渡しを行うもので、前記チャンバ１内にワークを支持する３列の支持部材３を配設するとともに、該支持部材３の下に、各支持部材３が嵌合する凹部４１を上面に備え、かつチャンバ１内を上下に仕切るフィラー部材４を配設し、該フィラー部材４を、支持部材３が嵌合する上昇位置と、支持部材３間に空隙Ｓを形成する下降位置とに昇降可能に設けている。
【００１１】
チャンバ１は、前後に密封式開閉シャッタ５、６を備えるとともに、該開閉シャッタ５、６と連動し、チャンバ１内の気圧を昇圧又は減圧し、さらに化学成分を調整したりする環境調整装置７と、支持部材３に浮上用エアを供給・遮断・排気制御するエア制御機器８とを備えている。
【００１２】
支持部材３は、フォークが挿入可能な間隔をあけて平行に配列されており、薄板状のワーク２を載置して支持するとともに、エア孔３１から噴出するエアによりワーク２を浮上させるエア浮上式コンベアにより構成されている。
これにより、ワーク２を支持部材３に接触しないように挿入するとともに、支持部材３の形状を四角形の柱状にして、フィラー部材４との嵌合を容易にし、かつ充填率を高めている。
【００１３】
フィラー部材４は、前記３列の支持部材３が嵌合する凹部４１を上面に備えた、チャンバ１内を上下に仕切る所定厚みの板状のものからなり、下部に配設された昇降機構９により昇降可能に設けられている。
このフィラー部材４は、少なくともフィラー部材４が上昇したときに、チャンバ１の周壁とフィラー部材４との間の気密性を保てるシール機構４２を外周部に備えている。
【００１４】
ところで、薄板ガラス製造やガラス加工などの製造工程間において、プロセス装置の内部が真空であったり、高圧ガス、高温ガス、爆発性ガス、有毒ガスなど特殊ガスである反応炉や熱処理炉において、プロセス装置の内部と外気とを遮断するため、ワーク２の出し入れ位置には一時保管用のロードポート装置が設けられるのが一般的である。
チャンバ１の前後には、独立して動作する密封式の開閉シャッタ５、６を設け、挿入側の密封式シャッタ５を開いてワーク２を挿入し、挿入完了後これを閉じる。
さらに、チャンバ１内部の環境を調整、すなわち、排気、注気、ガスの注入、成分調整、温度調整、圧力調整などを行い、搬出先と同様な環境にしたのち、受け入れ側の開閉シャッタ６を開き、ワーク２を取り出す。
本発明は、チャンバ１内部にワーク２をエア浮上させる単純な形状の複数の支持部材３を設置し、この支持部材３間の隙間を埋めるフィラー部材４を設け、昇降装置９により、フィラー部材４を気密を保って上下移動可能とすることにより、チャンバ１内部の環境調整時に少量の容積でガスの置換などを短時間にすることができる。
フィラー部材４は、ロボットアームのフォークの挿入空間を確保するために下降し、支持部材３間に空隙を形成する。フィラー部材４部材の寸法は、このフォークの形状、撓み、動作などによって決定される。
開閉シャッタ５、６の動作、チャンバ１の環境調整装置７やコンベアの浮上用エア制御機器８、搬送の制御装置、位置合わせ装置などが必要な場合は、既存の技術を応用する。
【００１５】
次に、本実施例のロードポート装置の動作を説明する。
ワークは、大気中の薄板ガラスを真空処理するプロセス装置に搬入する場合の例をもって説明する。
【００１６】
搬入の全体の流れは以下の通りである。
プロセス全体の動作は、図１に示すように、外部コンベア１０により搬送されたきたワーク２は、出側シャッタ６閉じた状態で、入側シャッタ５を開いてチャンバ１に挿入アーム１１により搬入される。
このとき、チャンバ１内は、図３の状態にあり、エア浮上式コンベアの支持部材３から噴出する空気により、ワーク２は支持部材３と非接触にてチャンバ１内に挿入される。
その後、図４に示すように、凹部４１内に支持部材３が嵌合するようにフィラー部材４が上昇し、チャンバ内の容積を小さくする。
また、昇降装置９側の室内は常時真空状態にあり、フィラー部材４側面のシール機構４２によりチャンバ１内とは気密状態が保たれている。
【００１７】
搬入が完了し、挿入アーム１１が外に出ると、入側シャッタ５が閉じ、チャンバ１内の環境調整が行われる。
環境調整では空気抜きが行われ、チャンバ１内も真空になった後、フィラー部材４が下降し、支持部材３間にロボットアーム１２を挿入する空隙Ｓが設けられる。
環境調整が終了すると、出側シャッタ６が開き、ロボットアーム１２が挿入され、ワーク２が取り出されてプロセス装置１３内に取り込まれる。
【００１８】
下記の表１に、本実施例ロードポート装置の動作の１例を示す。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
本実施例のロードポート装置では、表１の状況４において、環境調整装置７による大気圧を真空にするときに、フィラー部材４が支持部材３を嵌合する上昇位置にあるので、チャンバ１内の容積を極めてて少なくすることができる。
したがって、このロードポート装置によれば、特殊な容器やトレーなどは使わず、設置面積も極めて少なく、バキュームのような環境調整装置７の容量を極めて小さくすることができ、容量の縮減、設備費の低減、動力費の低減、建屋における設置面積の縮減、処理時間の短縮、タクトタイムの短縮による生産性の向上が可能となる。
さらに、大型ガラスの加工ラインのネックの解消となり、波及効果は極めて大きい。
【００２１】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明のロードポート装置は、この実施例の記載に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜に変更することが可能である。
【００２２】
【発明の効果】
本発明のロードポート装置によれば、チャンバ内にワークを支持する複数列の支持部材を配設するとともに、該支持部材の下に、各支持部材が嵌合する凹部を上面に備え、チャンバ内を上下に仕切るフィラー部材を配設し、該フィラー部材を、支持部材が嵌合する上昇位置と、支持部材間に空隙を形成する下降位置とに昇降可能に設けることから、ワークをチャンバに挿入するときは、フィラー部材を下降させてフォークを挿入する空隙を形成する一方、ワークをチャンバ内に収容した後は、フィラー部材を支持部材の嵌合位置まで上昇させて空隙を埋め、これにより、チャンバの内部環境調整時の容積を格段に小さくし、チャンバ内の密閉空間の環境調整時間を大幅に短縮するとともに、ロードポート装置の処理時間を短縮し、プロセス全体の生産性を向上させることができる。
【００２３】
また、前記支持部材を、ワークを載置して支持するとともに、噴出するエアによりワークを浮上させるエア浮上式コンベアにより構成することにより、ワークを支持部材に接触しないように挿入するとともに、支持部材の形状を単純にして、フィラー部材との嵌合を容易にし、かつ充填率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のロードポート装置の１実施例を示すロードポート装置の配置図である。
【図２】同実施例のロードポート装置を示す断面側面図である。
【図３】フィラー部材が上昇位置に上がった状態を示すロードポート装置の断面正面図である。
【図４】フィラー部材が下降位置に下がった状態を示すロードポート装置の断面正面図である。
【符号の説明】
１    チャンバ
２    ワーク
３    支持部材
３１  エア孔
４    フィラー部材
４１  凹部
４２  シール機構
５    開閉シャッタ
６    開閉シャッタ
７    環境調整装置
８    エア制御機器
９    昇降機構
１０  外部コンベア
１１  挿入アーム
１２  ロボットアーム
１３  プロセス装置
Ｓ    空隙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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