(57)【要約】【課題】大気開放弁を用いずに、機能液を飛散させることなく吸引キャップを液滴吐出ヘッドから適切に離間させることができる吸引キャップのキャップ解除方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】液滴吐出ヘッド８のノズル面５１にシール部位１３２ａを密着させてノズル孔５５から機能液を吸引した吸引キャップ１０１を、離接機構１０７により液滴吐出ヘッド８から相対的に離間させる吸引キャップのキャップ解除方法において、ノズル面５１に対する密着状態のシール部位１３２ａの離間が、その一部から徐々に進行するように、離接機構１０７による相対的な離間速度を低速に制御することを特徴とする。【選択図】  図８
2004305978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのノズル面にシール部位を密着させてノズル孔から機能液を吸引した吸引キャップを、離接機構により当該液滴吐出ヘッドから相対的に離間させる吸引キャップのキャップ解除方法において、
前記ノズル面に対する密着状態の前記シール部位の離間が、その一部から徐々に進行するように、前記離接機構による相対的な離間速度を低速に制御することを特徴とする吸引キャップのキャップ解除方法。
【請求項２】
前記離接機構は、駆動モータを動力源としており、
前記離間速度の制御は、前記駆動モータの速度制御により行われることを特徴とする請求項１に記載の吸引キャップのキャップ解除方法。
【請求項３】
前記離間速度は、低速状態で徐々に加速することを特徴とする請求項２に記載の吸引キャップのキャップ解除方法。
【請求項４】
前記吸引キャップの相対的な離間動作は、吸引処理の最終段階で吸引を継続しつつ行われることを特徴とする請求項１、２または３に記載の吸引キャップのキャップ解除方法。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドのノズル面にシール部位を密着させる吸引キャップを介して、当該液滴吐出ヘッドのノズル孔から機能液を吸引する吸引処理を行う液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドに対し前記吸引キャップを相対的に離接させる離接機構と、
前記離接機構を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記吸引処理後に前記離接機構を制御し、前記ノズル面に対する密着状態の前記シール部位の離間がその一部から徐々に進行するように、前記液滴吐出ヘッドに対し前記吸引キャップを相対的に低速で離間移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
前記離接機構は、動力源となる駆動モータを有しており、
前記制御手段は、前記吸引処理後に前記駆動モータを速度制御し、前記吸引キャップを相対的に低速で離間移動させることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記吸引処理後に前記駆動モータを速度制御し、前記吸引キャップの相対的な離間速度を低速状態で徐々に加速させることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記吸引キャップは、
前記シール部位を有するキャップ本体と、
前記ノズル面に対し前記キャップ本体を離接方向に僅かに移動自在に保持するキャップホルダと、
前記キャップ本体と前記キャップホルダとの間に介設され、当該キャップ本体をノズル面側に付勢する付勢手段と、を有し、
前記キャップホルダは、前記付勢手段と協働して自由状態の前記キャップ本体が前記ノズル面に対し僅かに傾くように、前記キャップ本体を位置規制する位置規制部を有することを特徴とする請求項５、６または７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記液滴吐出ヘッドは複数個が単一のヘッド側ベースプレートに設けられていると共に、これに対応して前記吸引キャップは複数個が単一のキャップ側ベースプレートに設けられており、
前記離接機構は、前記ヘッド側ベースプレートおよび前記キャップ側ベースプレートを介して、前記複数の液滴吐出ヘッドに対し前記複数の吸引キャップを一括して相対的に離接させることを特徴とする請求項５ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項５ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、
前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、基板上に成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項５ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、
前記液滴吐出ヘッドから吐出した機能液により形成した成膜部を基板上に有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドに密着して機能液を吸引した吸引キャップを、吸引処理後に離間させる吸引キャップのキャップ解除方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタなどの従来の液滴吐出装置では、ノズル孔の目詰まりを防止・解消するべく、液滴吐出ヘッドのノズル面に吸引キャップを密着させ、ノズル孔から機能液（インク）を強制的に吸引排出する吸引処理を行う。吸引キャップを液滴吐出ヘッドから離間させる吸引処理の最終段階では、機能液の外部への飛散等を防止するべく、先ず、吸引キャップに連通した大気通路を大気開放弁により開放して、吸引キャップと液滴吐出ヘッドとの間の密閉空間内を大気圧と略同程度にするようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
この場合、大気開放弁の開閉動作や吸引キャップの離間動作は、カム機構を用いて行うことも可能であるが、一般的にはソレノイド等により行われる。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−３６６０４号公報（第１１図など）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の構造では、吸引処理後に吸引キャップを適切に離間させるためには大気開放弁は必要不可欠であったため、吸引キャップ自体の構造等が煩雑化していた。また、大気開放弁の開閉動作がソレノイド等により行われると、吸引処理後の密閉空間が瞬間的に大気に開放されることもあり、実際には大気開放弁等から機能液が漏れるなどの問題があった。そしてかかる問題は、特に、クリーンルーム環境下で行われる有機ＥＬデバイスなどの成膜処理では、製品の歩留まりに影響をおよぼすおそれがあった。
このような問題に鑑みて、大気開放弁を省略した構造とすることも考えられる。しかし、従来の構造で大気開放弁を省略すると、ソレノイド等により吸引キャップのシール部位がノズル面から勢いよく離間すると同時に、密閉空間の大気開放が行われるため、シール部位やノズル面に付着した機能液は外部に勢いよく飛散してしまう。
【０００５】
本発明は、大気開放弁を用いずに、機能液を飛散させることなく吸引キャップを液滴吐出ヘッドから適切に離間させることができる吸引キャップのキャップ解除方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の吸引キャップのキャップ解除方法は、液滴吐出ヘッドのノズル面にシール部位を密着させてノズル孔から機能液を吸引した吸引キャップを、離接機構により当該液滴吐出ヘッドから相対的に離間させる吸引キャップのキャップ解除方法において、ノズル面に対する密着状態のシール部位の離間が、その一部から徐々に進行するように、離接機構による相対的な離間速度を低速に制御することを特徴とする。
【０００７】
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのノズル面にシール部位を密着させる吸引キャップを介して、当該液滴吐出ヘッドのノズル孔から機能液を吸引する吸引処理を行う液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドに対し吸引キャップを相対的に離接させる離接機構と、離接機構を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、吸引処理後に離接機構を制御し、ノズル面に対する密着状態のシール部位の離間がその一部から徐々に進行するように、液滴吐出ヘッドに対し吸引キャップを相対的に低速で離間移動させることを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、液滴吐出ヘッドに対し吸引キャップが相対的に低速で離間移動して、ノズル面に全面的に密着するシール部位の一部がノズル面から徐々に離間してゆく。このため、吸引キャップの相対的な離間動作に伴い、両者の密閉空間の僅かな隙間からエアーが流入しても、密閉空間内の圧力が急激に変動することを好適に抑制できるばかりか、ノズル面やシール部位に付着して残る機能液は、これらの表面張力により密閉空間側へと引き込まれる。
これにより、大気開放弁を用いずとも、吸引キャップ内等の機能液が外部に飛散することを適切に防止した状態で、吸引キャップの相対的な離間（キャップ解除）が可能となる。なお、吸引キャップの相対的な離間速度は、機能液の性状により異なるものである。すなわち、機能液の性状に対応した離間速度を設定することで、両者をより適切に離間させることができる。
【０００９】
この場合、離接機構は、駆動モータを動力源としており、離間速度の制御は、駆動モータの速度制御により行われることが、好ましい。
同様に、離接機構は、動力源となる駆動モータを有しており、制御手段は、吸引処理後に駆動モータを速度制御し、吸引キャップを相対的に低速で離間移動させることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、駆動モータの例えば回転数を制御することで、簡単且つ精密に吸引キャップの相対的な離間速度を制御することができる。なお、駆動モータはステッピングモータであることが好ましい。
【００１１】
この場合、離間速度は、低速状態で徐々に加速することが、好ましい。
同様に、制御手段は、吸引処理後に駆動モータを速度制御し、吸引キャップの相対的な離間速度を低速状態で徐々に加速させることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、機能液の外部への飛散を好適に防止しながら吸引キャップを迅速に離間させることができる。
【００１３】
これらの場合、吸引キャップの相対的な離間動作は、吸引処理の最終段階で吸引を継続しつつ行われることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、吸引処理により吸引キャップに液滴吐出ヘッドから機能液と共に気泡が排出されたとしても、負圧の付与を継続しながら吸引キャップの密着を解くことで、一旦排出した気泡を液滴吐出ヘッドに逆流することを防止できる。
【００１５】
これらの場合、吸引キャップは、シール部位を有するキャップ本体と、ノズル面に対しキャップ本体を離接方向に僅かに移動自在に保持するキャップホルダと、キャップ本体とキャップホルダとの間に介設され、当該キャップ本体をノズル面側に付勢する付勢手段と、を有し、キャップホルダは、付勢手段と協働して自由状態のキャップ本体がノズル面に対し僅かに傾くように、キャップ本体を位置規制する位置規制部を有することが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、吸引キャップの相対的な密着動作に伴い、液滴吐出ヘッドのノズル面にシール部位が付勢部材に抗して全面的に密着する一方、相対的な離間動作に伴い、キャップ本体が自由状態に戻ろうとすると、シール部位がノズル面に対し傾きながら離間してゆく。これにより、密着状態のノズル面に対しシール部位をその一部から徐々に離間させる動作を適切に行うことができる。
【００１７】
これらの場合、液滴吐出ヘッドは複数個が単一のヘッド側ベースプレートに設けられていると共に、これに対応して吸引キャップは複数個が単一のキャップ側ベースプレートに設けられており、離接機構は、ヘッド側ベースプレートおよびキャップ側ベースプレートを介して、複数の液滴吐出ヘッドに対し複数の吸引キャップを一括して相対的に離接させることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、各液滴吐出ヘッドから全ての吸引キャップを簡単且つ迅速に相対的に離間させることができる。また、各液滴吐出ヘッド専用の吸引キャップを設けているため、例えば吸引処理に伴う混色などの問題も生じ得ない。さらに、液滴吐出装置としては、複数の液滴吐出ヘッドにより、各種ワーク（用紙などの一般的な記録媒体の他、後述する電気光学装置の基板が含まれる。）に迅速に描画することができる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、基板上に成膜部を形成することを特徴とする。
本発明の電気光学装置は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから吐出した機能液により形成した成膜部を基板上に有することを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、上記の液滴吐出装置を用いての成膜処理であるため、電気光学装置のスループットを向上することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が含まれる。
【００２１】
本発明の電子機器は、上記した本発明の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、高性能な電気光学装置を搭載した電子機器を提供することができる。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話機、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置ついて説明する。この液滴吐出装置は、液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板（ワーク）に対し液滴吐出ヘッドから発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。そして本発明の特徴部分は、液滴吐出ヘッドから吸引処理後の吸引キャップを適切に離間させることにある。
【００２４】
図１は、液滴吐出装置の基本的構成を模式的に示す平面図である。同図に示すように、液滴吐出装置１は、機台２上に設置されたＸ軸テーブル４およびＹ軸テーブル５から成るＸ・Ｙ移動機構３と、Ｘ軸テーブル４に移動自在に取り付けたワークテーブル６と、Ｙ軸テーブル５に移動自在に取り付けたメインキャリッジ７と、を備えている。ワークテーブル６には、ガラスやプラスチック等から成る基板Ｗ（ワーク）が載置されている。メインキャリッジ７には、基板Ｗに対し機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッド８を１２個搭載したヘッドユニット９が保持されている。
【００２５】
また、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド８の保全処理を行うメンテナンス手段１１や、液滴吐出ヘッド８に機能液を供給する機能液供給系１３の他、これら各種構成装置を統括制御する制御装置１２を備えている。機能液としては、一般的なインクのほか、カラーフィルタのフィルタ材料や、描画後に金属配線として機能する液状金属材料など、各種基板Ｗの目的に対応した材料を含有する液体が用いられる。
【００２６】
Ｘ軸テーブル４は、制御装置１２に連なるモータドライバ２３を介してリニアモータ２１が駆動することにより、Ｘ軸方向に移動するＸ軸スライダ２２に固定したワークテーブル６を介して、基板ＷをＸ軸方向に移動させる。同様に、Ｙ軸テーブル５は、制御装置１２に連なるモータドライバ２７を介してリニアモータ２５が駆動することにより、Ｙ軸方向に移動するＹ軸スライダ２６に固定したメインキャリッジ７を介して、ヘッドユニット９をＹ軸方向に移動させる。
【００２７】
この場合、Ｘ軸テーブル４は機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル５は、Ｘ軸テーブル４およびメンテナンス手段１１を跨ぐようにしてＹ軸方向に延在し、その両端部を一対の支柱２８，２８に支持されている。したがって、Ｙ軸テーブル５は、液滴吐出ヘッド８の保全処理を行う場合には、ヘッドユニット９をメンテナンス手段１１の直上部に位置するメンテナンス位置に移動させ、また基板Ｗに描画を行う場合には、ヘッドユニット９をＸ軸テーブル４の直上部に位置する描画エリアに移動させる。
【００２８】
同図に示すように、Ｘ軸方向はインクジェット方式のいわゆる主走査方向に対応し、Ｙ軸方向はいわゆる副走査方向に対応している。したがって、基板Ｗへの描画処理は、Ｘ・Ｙ移動機構３により、基板Ｗに対し上方のヘッドユニット９（液滴吐出ヘッド８）が相対的に主走査および副走査する際に行われる。
【００２９】
図２に示すように、ヘッドユニット９は、６個ずつ２列に分けて主走査方向に離間して配置した１２個（複数）の液滴吐出ヘッド８と、複数の液滴吐出ヘッド８を搭載したサブキャリッジ３１（ヘッド側ベースプレート）と、サブキャリッジ３１に各液滴吐出ヘッド８を個々に取り付けるための１２個（複数）のヘッド保持部材３２（図３（ｂ）参照）と、を有している。各液滴吐出ヘッド８は、基板Ｗに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設され、更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド８は、副走査方向に対して相互に位置ずれして配設されている。
【００３０】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド８は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４１を有する液体導入部４２と、液体導入部４２の側方に連なり２連のコネクタ４３を有するヘッド基板４４と、液体導入部４２の下方（同図（ａ）では上方）に連なるヘッド本体４５と、で構成されている。各接続針４１は配管アダプタ４７を介して機能液供給系１３に接続されており、液体導入部４２は各接続針４１から機能液の供給を受ける。ヘッド基板４４は、各コネクタ４３に接続したＦＦＣ４８（Ｆｌａｔ  Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｃａｂｌｅ）を介して、制御装置１２に連なるヘッドドライバ４９に接続されている（図１参照）。
【００３１】
ヘッド本体４５は、平坦なノズル面５１を有するノズルプレート５２と、ノズルプレート５２に連なる直方体形状の２連のポンプ部５３とで構成されている。液滴吐出ヘッド８は、ヘッド本体４５がサブキャリッジ３１の下面から突出しており、ヘッド本体４５の下面、すなわち基板Ｗに平行に対峙するノズル面５１には、２本のノズル列５４が相互に平行に形成されている。各ノズル列５４は、例えば１８０個のノズル５５が等ピッチで並べられて構成されている。そして、ノズル５５の数に対応してポンプ部５３には圧電素子が設けられている。
【００３２】
このような構成により、ヘッドドライバ４９が各圧電素子に液滴吐出のための駆動信号を印加すると、液滴吐出ヘッド８は、各圧電素子のポンプ動作により、ノズル面５１に開口した各ノズル５５のノズル孔から機能液滴をドット状に吐出する。なお、液滴吐出ヘッド８をいわゆるバブルジェット（登録商標）方式のもので構成してもよい。また、基板Ｗに対しあえて傾けてセットしなくてもよいし、さらには、そのノズル数やノズル列数も任意である。
【００３３】
メンテナンス手段１１は、図１に示すように、機台２上に設置した移動テーブル６１と、移動テーブル６１に載置した吸引ユニット６２と、吸引ユニット６２に隣接して配設したワイピングユニット６３と、を備えている。移動テーブル６１は、Ｘ軸テーブル４と相互にＸ軸方向に平行に配設されていると共に、その上方をＹ軸テーブル５に跨がれている。
【００３４】
移動テーブル６１は、例えば移動系の主体をボールねじにより構成され、モータドライバ７１を介して駆動するサーボモータ７２が正逆回転することで、吸引ユニット６２およびワイピングユニット６３を一対のガイドレール７３，７３に沿ってＸ軸方向にスライド移動させる。これにより、吸引ユニット６２および吸引ユニット６２は個々に、メンテナンス位置に移動したヘッドユニット９に臨むようになっている。
【００３５】
吸引ユニット６２は、液滴吐出ヘッド８のノズル面５１に密着する吸引キャップ１０１（図７参照）を有し、液滴吐出装置１の稼働時やマニュアル操作により、吸引キャップ１０１を介して液滴吐出ヘッド８のノズル孔（ノズル５５）から機能液を強制的に吸引する吸引処理を行う（詳細は後述する）。この吸引処理により、液滴吐出ヘッド８のいわゆるドット抜けが防止・解消される。また、吸引ユニット６２は、非稼働時などには、吸引キャップ１０１によりノズル孔を気密に封止し、ノズル孔からの機能液乾燥を防止する保管処理を行う。
【００３６】
ワイピングユニット６３は、例えば、一連の動作において、洗浄剤を含浸させた布製のシート７５を繰出しリール７６から繰り出して各液滴吐出ヘッド８のノズル面５１に押し付け、その拭取済み部分を巻取りリール７７に随時巻き取る。このワイピング処理は、基本的に吸引ユニット６２による吸引処理の後で行われ、液滴ミストが付着した各液滴吐出ヘッド８のノズル面５１を清掃し、ノズル孔からの機能液滴の吐出を飛行曲がりなく良好に行わしめる。
【００３７】
制御装置１２は、ＣＰＵ８１を有して各種構成装置の動作を制御するためのものであり、液滴吐出装置１の制動動作を実行するための制御プログラムや制御データを記憶すると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。
【００３８】
例えば、制御装置１２は、描画処理を行う場合には、各モータドライバ２３，２７を介してＸ・Ｙ移動機構３による基板Ｗの往動作（主走査）および液滴吐出ヘッド８のピッチ送り動作（副走査）を制御すると共に、これに同期して、ヘッドドライバ４９を介して各液滴吐出ヘッド８の吐出駆動を制御する。また、本実施形態の制御装置１２は、特に、吸引ユニット６２による吸引処理後において、その駆動モータ１６１の速度制御を行う（図４参照で後述する）。
【００３９】
なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド８に対し、基板Ｗを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド８を主走査方向に移動させる構成であってもよい。さらに、基板Ｗを固定とし、液滴吐出ヘッド８を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４０】
ここで、図４および図５を参照して、吸引ユニット６２について詳細に説明する。
【００４１】
吸引ユニット６２は、主に図５（ｂ）に示すように、１２個の吸引キャップ１０１（図７参照）をベースプレート１０２に組み込んだキャップユニット１０３と、吸引キャップ１０１を介して機能液の吸引を行う吸引ポンプ１０４と、吸引キャップ１０１と吸引ポンプ１０４とを接続する配管ユニット１０５と、キャップユニット１０３を下側から支持する板状の支持プレート１０６と、支持プレート１０６を介してキャップユニット１０３を昇降させる昇降機構１０７と、昇降機構１０７を支持すると共に移動テーブル６１に固定された台座１０８と、で構成されている。
【００４２】
ベースプレート１０２（キャップ側ベースプレート）は、ヘッドユニット９の１２個の液滴吐出ヘッド８の配置に対応して形成した１２個の取付け開口１１１と、各取付け開口１１１を含むようにして形成した１２個の浅溝１１２と、を有している。そして、ベースプレート１０２に対し各吸引キャップ１０１は、下部を取付け開口１１１に挿入し、周縁部を浅溝１１２に位置決めされた状態で、両端部を浅溝１１２の部分にねじ固定されている。
【００４３】
各吸引キャップ１０１は、図７に示すように、キャップ本体１２１と、一対のばね１２３，１２３を介してキャップ本体１２１の両端部を保持するキャップホルダ１２２と、を有している。各吸引キャップ１０１は、キャップホルダ１２２を介してベースプレート１０２の各浅溝１１２にねじ固定されている。
【００４４】
キャップ本体１２１は、その上面に形成した凹部１３１と、凹部１３１の周縁部に取り付けたシールパッキン１３２と、凹部１３１の底部に敷設した吸収材１３３と、吸収材１３３を上側から押える押え枠１３４と、凹部１３１の底部に形成した小孔１３５と、を有している。吸収材１３３は、機能液を含浸保持可能に構成されている。
【００４５】
凹部１３１は、液滴吐出ヘッド８の２本のノズル列５４を包含可能に構成されている。シールパッキン１３２は、吸引キャップ１０１のキャップ表面に位置している。そして、シールパッキン１３２は、上方に向かって外側に広がる部位（シール部位１３２ａ）を、液滴吐出ヘッド８のノズル面５１の周縁部に密着可能に構成されている。
【００４６】
すなわち、吸引キャップ１０１は、２列のノズル列５４を包含するように、シール部位１３２ａを介して液滴吐出ヘッド８のノズル面５１に密着する（図８（ａ）参照で、以下、この状態を「キャップ密着状態」という。）。これにより、吸引キャップ１０１とノズル面５１との間に密閉空間が構成され、ノズル孔５５が気密に封止される。なお、以下の説明では、吸引キャップ１０１が液滴吐出ヘッド８から完全に離間した状態（非接触状態）を、「キャップ解除状態」という（図８（ｄ）参照）。
【００４７】
小孔１３５は、キャップホルダ１２２に下側から取り付けた配管ユニット１０５のＬ字継手１４１に連通している。キャップ密着状態で吸引ポンプ１０４を吸引駆動させると、配管ユニット１０５や小孔１３５を介して液滴吐出ヘッド８（密閉空間）には負圧がかかり、ノズル孔５５から機能液が吸引される。吸引した機能液は、吸収材１３３から小孔１３５や配管ユニット１０５を介して回収タンク１４６に導かれるようになっている（図５（ｂ）参照）。
【００４８】
キャップホルダ１２２は、ベースプレート１０２にねじ固定された固定ホルダ１５１と、固定ホルダ１５１の両端部の上面にねじ固定されると共にキャップ本体１２１をセット位置に位置規制する一対の規制ホルダ１５２，１５２と、で構成されている。各規制ホルダ１５２には、キャップ本体１２１の両端部をそれぞれ上側から押える位置規制部１５３が、内向きに突設されている。
【００４９】
そして、固定ホルダ１５１とキャップ本体１２１との間には、キャップ本体１２１を上方（ノズル面５１側）に付勢し且つこれを位置規制部１５３に押し付ける上記一対のばね１２３，１２３が介設されている。このような構成により、キャップ本体１２１は、キャップホルダ１２２に僅かに上下方向（離接方向）に僅かに移動自在に保持されると共に、各規制ホルダ１５２の位置規制部１５３によりセット位置に位置規制されている。
【００５０】
一対のばね１２３，１２３（付勢手段）は、キャップ本体１２１の長手方向に沿って相互に離間して設けられており、キャップ本体１２１をバランス良く上方に付勢している。したがって、図８（ａ）に示すキャップ密着状態では、キャップ本体１２１は、各ばね１２３に抗してノズル面５１により相対的に下方に押し込まれ、且つこれにシール部位１３２ａが略均等の力で押し付けられる。
【００５１】
本実施形態では、図７（ｂ）に示すように、固定ホルダ１５１の長手方向の両端上面は、異なる高さレベルで構成されており、キャップ本体１２１は、一対の規制ホルダ１５２を介してキャップ表面が水平面に対し約１°の勾配で傾斜するように位置規制されている。すなわち、位置規制部１５３は、一対のばね１２３と協働してキャップ解除状態（自由状態）のシール部位１３２ａがノズル面５１に対し平行に対峙した状態から僅かに傾くように、キャップ本体１２１をノズル面５１側から位置規制している（図８（ｄ）参照）。
【００５２】
配管ユニット１０５は、図５（ｂ）に模式的に示すように、１２個から成る上記のＬ字継手１４１のほか、各Ｌ字継手１４１と吸引ポンプ１０４とを接続する１２本の第１チューブ１４２と、各第１チューブ１４２に介設され、これを開閉する１２個の電磁弁１４３と、吸引ポンプ１０４と回収タンク１４６とを接続する第２チューブ１４４と、を有している。なお、第１チューブや第２チューブ等の数は任意であり、例えばマニホールドを用いることで減らすことができる。
【００５３】
Ｌ字継手１４１は、キャップユニット１０３のベースプレート１０２と支持プレート１０６との間の所定の間隙に位置している。また、これらＬ字継手１４１、キャップユニット１０３および支持プレート１０６の下側には、防液パン１４５が設けられている。電磁弁１４３は、制御装置１２に接続され、吸引ポンプ１０４の駆動に対応して開閉制御される。吸引ポンプ１０４は、例えばピストンポンプで構成され、制御装置１２に接続されている。なお、吸引ポンプ１０４に代えて吸引手段として、エゼクタおよびこれに圧縮エアーを供給するエアー供給手段で構成してもよい。
【００５４】
昇降機構１０７（離接機構）は、キャップユニット１０３を単位として、上記のキャップ密着状態とキャップ解除状態との間で、すなわち吸引キャップ１０１を液滴吐出ヘッド８に密着させる密着位置と、吸引キャップ１０１を液滴吐出ヘッド８から離間させる退避位置との間で、吸引キャップ１０１を液滴吐出ヘッド８に対し昇降（離接）するものである。
【００５５】
昇降機構１０７は、図４ないし図６に示すように、主軸を下側に向けて配設された駆動モータ１６１と、上部に支持プレート１０６を連結した昇降スライダ１６２と、昇降スライダ１６２を上下方向にスライド自在に支持するスライドベース１６３と、スライドベース１６３と昇降スライダ１６２との間に介設され昇降スライダ１６２の移動を案内する一対のスライドガイド１６４，１６４と、駆動モータ１６１およびスライドベース１６３を下側から支持すると共に台座１０８に固定された支持ベース１６５と、駆動モータ１６１の動力を昇降スライダ１６２に伝達する動力伝達部１６６と、を備えている。駆動モータ１６１は、ステッピングモータからなり、制御装置１２に連なるモータドライバ１６９を介して駆動される。
【００５６】
動力伝達部１６６は、図６に示すように、駆動モータ１６１の主軸に固着した駆動プーリ１７１と、昇降スライダ１６２側に配設されシャフト１７２に軸支された従動プーリ１７３と、駆動プーリ１７１および従動プーリ１７３に掛け渡したタイミングベルト１７４と、シャフト１７２にカップリング１７５を介して連結したボールねじ１７６と、ボールねじ１７６に螺合すると共に昇降スライダ１６２に固定された雌ねじブロック１７７と、を有している。これら駆動モータ１６１の主軸、駆動プーリ１７１、従動プーリ１７３およびタイミングベルト１７４は、支持ベース１６５と台座１０８との間の間隙に内包されている。
【００５７】
駆動モータ１６１の正逆回転により、駆動プーリ１７１を介してタイミングベルト１７４が正逆走行すると、ボールねじ１７６および雌ねじブロック１７７を介して昇降スライダ１６２が一対のスライドガイド１６４に案内されて昇降する。昇降スライダ１６２の昇降により、支持プレート１０６を介してキャップユニット１０３が昇降する。すなわち、駆動モータ１６１の駆動により、全ての吸引キャップ１０１が全ての液滴吐出ヘッド８に対し一括して離接移動する。
【００５８】
雌ねじブロック１７７は、昇降スライダ１６２の略左右中間位置に固定され、これに対応して一対のスライドガイド１６４は、雌ねじブロック１７７を挟んでボールねじ１７６等の軸線に対し、左右対称に配置されている。このように、雌ねじブロック１７７やスライドガイド１６４等を有効に配置しているため、昇降スライダ１６２をバランス良く昇降させることができる。
【００５９】
各スライドガイド１６４は、スライドベース１６３に固定され上下方向に延在する単一のトラックレール１８１と、トラックレール１８１にスライド自在に案内されると共に上下方向に並べた一対のスライダユニット１８２，１８２とからなり、各スライダユニット１８２が昇降スライダ１６２に固定されている。スライドガイド１６４は、リニアボールガイドなどの転がり案内で構成してもよいし、スライダユニットをエアースライダとする空気静圧案内で構成してもよい。
【００６０】
吸引ユニット６２による一連の吸引処理では、先ず、移動テーブル６１およびＸ・Ｙ移動機構３により吸引ユニット６２およびヘッドユニット９を、メンテナンス位置に移動させる。ここで昇降機構１０７を駆動して、キャップユニット１０３（吸引キャップ１０１）を密着位置に上昇させ、吸引キャップ１０１のシール部位１３２ａをノズル面５１に密着させて液滴吐出ヘッド８を封止する（図８（ａ）参照）。
【００６１】
このキャップ密着状態で、電磁弁１４３を開弁すると共に吸引ポンプ１０４を駆動することにより、１２個の液滴吐出ヘッド８から機能液の吸引が一括して行われる。そして、制御装置１２によるタイマー管理により、電磁弁１４３が閉弁されると共に吸引ポンプ１０４の駆動が停止されることで、吸引処理が完了する。
【００６２】
本実施形態では、吸引処理後に吸引キャップ１０１を退避位置に下降させる際に、吸引キャップ１０１内等の機能液の外部への飛散を防止するべく、昇降機構１０７を制御している。すなわち、駆動モータ１６１を速度制御し、ノズル面５１に対する密着状態のシール部位１３２ａの離間がその一部から徐々に進行するように、ノズル面５１に対し吸引キャップ１０１を低速で徐々に離間移動させるようにしている。
【００６３】
具体的には、図８（ｂ）に示すように、吸引キャップ１０１を低速で下降させると、上記したように吸引キャップ１０１はシール部位１３２ａが勾配をもって構成されていることもあり、キャップ本体１２１がばね１２３により自由状態に戻ろうとして、シール部位１３２ａの長手方向の片側の一部がノズル面５１に対し傾くようにして僅かに離間する。このとき、この隙間から吸引キャップ１０１とノズル面５１との間の密閉空間にエアーが流入するが、隙間が小さいために、密閉空間内の急激な圧力変動を好適に抑制できると共に、ノズル面５１やシール部位１３２ａに付着して残る機能液を、これらの表面張力により密閉空間側へと引き込むことができる。
【００６４】
したがって、同図（ｃ）に示すように、吸引キャップ１０１がさらに下降し、キャップ表面（シール部位１３２ａ）とノズル面５１とがなす角（鋭角となる交角）が進行した段階では、すなわち吸引キャップ１０１がその勾配分ノズル面５１から離間した段階では、両者の間の密閉空間内は大気圧と同程度になっている。このため、吸引キャップ１０１を液滴吐出ヘッド８から更に離間させ、退避位置に移動させても（同図（ｄ））、機能液が外部に飛散することがない。
【００６５】
図９は、このような吸引キャップ１０１の一連の離間動作における、駆動モータ１６１の速度制御について一例を示す説明図である。同図に示すように、吸引キャップ１０１の離間速度は、図８（ａ）の状態から同図（ｂ）の状態を経て同図（ｃ）の状態をすぎるまで、低速状態で徐々に加速される。また、その速度曲線は、様々な態様を選択することができる。換言すれば、液滴吐出ヘッド８に導入した機能液の性状に対応した離間速度を設定することで、吸引キャップ１０１をより適切に離間させることが可能となる。なお、低速の速度は、例えば０．２ｍｍ／ｓ〜０．３ｍｍ／ｓである。
【００６６】
最終的に、キャップ解除状態になると、液滴吐出ヘッド８（ヘッドユニット９）はワイピングユニット６３に臨む一方、吸引ユニット６２では、吸引ポンプ１０４が再駆動等されて、吸引キャップ１０１の吸収材１３３に含浸されている機能液が回収タンク１４６に回収される。そして、ワイピング処理された液滴吐出ヘッド８は基板Ｗへの描画処理に移行することとなる。
【００６７】
次に、吸引処理に係る他の実施形態について、特に図示せず第１実施形態との相違点を中心に説明する。第２実施形態に係る吸引キャップ１０１は、キャップ表面が勾配を有しない構成であり、キャップ解除状態（自由状態）で、シール部位１３２ａがノズル面５１に平行に対峙するものである。すなわち、固定ホルダ１５１の長手方向の両端上面は、同一の高さレベルで構成されている（図７参照）。
【００６８】
このような構成であっても、吸引処理後に、キャップ密着状態において、シール部位１３２ａの一部がノズル面５１から徐々に離間するほど低速に、吸引キャップ１０１の離間速度を制御することで、第１実施形態と同様に、機能液を外部に飛散することなく、キャップ解除状態へと移行させることが可能となる。
【００６９】
次に、第３実施形態について説明する。第１実施形態では吸引ポンプ１０４の駆動等を停止してから吸引キャップ１０１の離間動作を開始していたが、この構成に代えて第３実施形態は、吸引処理の最終段階で吸引ポンプ１０４による吸引を継続しつつ、吸引キャップ１０１を離間移動させるものである。したがって、吸引ポンプ１０４の駆動停止や電磁弁１４３の閉弁は、キャップ解除状態になったところで行われる。
【００７０】
これにより、密閉空間への負圧の付与を継続しながら吸引キャップ１０１の密着が解かれるため、機能液の飛散を好適に阻止することができる。また、仮に、吸引処理において液滴吐出ヘッド８から機能液と共に気泡が吸引キャップ１０１に排出されていたとしても、この気泡が液滴吐出ヘッド８に逆流することを好適に防止することができる。さらに、キャップ解除状態への移行に伴い、吸引キャップ１０１内の機能液の回収を行うことができる。
【００７１】
次に、第４実施形態について説明する。第１実施形態では吸引ユニット６２に昇降機構１０７を具備させ、液滴吐出ヘッド８に対し吸引キャップ１０１を昇降する構成であるが、この構成に代わる第４実施形態は、吸引キャップ１０１側を固定とし、液滴吐出ヘッド８を昇降させるものである。すなわち、第４実施形態に係るメインキャリッジ７には、ヘッドユニット９を単位として複数の液滴吐出ヘッド８を、一括して上下方向に微小移動させるヘッド側昇降機構が組み込まれている。
【００７２】
ヘッド側昇降機構は、上記の昇降機構１０７と同様に、移動系の主体をボールねじで構成すればよい。例えば、ヘッド側昇降機構は、ヘッドユニット９を下部に連結したスライダと、スライダを上下方向にスライド自在に支持するスライドベースと、スライドベースに固定したヘッド側駆動モータと、ヘッド側駆動モータにより正逆回転するボールねじと、ボールねじに螺合すると共にスライダに固定した雌ねじブロックと、を具備して構成すればよい。かかる構成により、ヘッド側駆動モータを正逆回転させることで、ボールねじおよび雌ねじブロックを介してスライダが昇降し、複数の液滴吐出ヘッド８が昇降する。
【００７３】
したがって、一連の吸引処理では、先ず、吸引ユニット６２の直上部に移動させた液滴吐出ヘッド８（ヘッドユニット９）を下降させて、キャップ密着状態とする。そして吸引処理後には、ヘッド側駆動モータを上記の駆動モータ１６１と同様に速度制御して、液滴吐出ヘッド８を上昇させ、キャップ解除状態へと移行させる。これにより、第１実施形態と同様に、機能液の飛散を適切に防止することができる。
【００７４】
また第４実施形態によれば、ヘッド側昇降機構を活用することで、ノズル面５１と基板Ｗの表面との間のワークギャップを微調整することができる。これにより、液滴吐出装置１に導入する厚みの異なる各種基板Ｗに適切に対応させることができるため、基板Ｗの厚みに関らず、描画処理を良好に行うことができる。
【００７５】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１は、各種の材料からなる機能液を用いることで、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話機を提供することができる。
【００７６】
そこで、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に説明し、他のデバイスについても簡単に説明する。
【００７７】
図１０は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００および対向基板４６６間には、配向膜４６１、４６４が構成され、対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【００７８】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク４１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１（ワークＷ）と、遮光性のバンク４１３とを備えている。バンク４１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層４２１を構成する。バンク４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【００７９】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク４１３で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド８により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層４２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド８により、オーバーコート層４２２など各種の成膜部を形成している。もちろん、吸引ユニット６２により、液滴吐出ヘッド８は吸引処理や保管処理がなされている。
【００８０】
同様に、図１１を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１（ワークＷ）上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２上に主体を為す有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【００８１】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極５０３で覆われている。
【００８２】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、液滴吐出ヘッド８に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成する等している。もちろん、吸引ユニット６２により、液滴吐出ヘッド８は吸引処理等がなされている。
【００８３】
そして、以下に示すデバイスの製造方法において、液滴吐出ヘッド８の吸引処理に、吸引ユニット６２が活用されている。
【００８４】
すなわち、ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド８にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板（ワークＷ）上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【００８５】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド８に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極（ワークＷ）上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【００８６】
金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド８に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【００８７】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド８にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板（ワークＷ）上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【００８８】
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド８に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【００８９】
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド８にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【００９０】
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド８に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【００９１】
【発明の効果】
本発明の吸引キャップのキャップ解除方法および液滴吐出装置によれば、吸引処理後において、液滴吐出ヘッドのノズル面と吸引キャップのシール部位との間で一部から徐々に離間が進行するように、液滴吐出ヘッドに対する吸引キャップの相対的な離間速度を低速に制御しているため、大気開放弁を用いなくとも、機能液を飛散させることなく、吸引キャップを液滴吐出ヘッドから適切に離間させることができる。
【００９２】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、上記の液滴吐出装置を用いての成膜処理であるため、高品質で信頼性の高い各種の電気光学装置、電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の基本的構成を模式的に示した平面図である。
【図２】実施形態に係るヘッドユニットの主要部を示す平面図である。
【図３】（ａ）実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図４】実施形態に係る吸引ユニットを示す外観斜視図である。
【図５】実施形態に係る吸引ユニットを示した図であり、（ａ）側面図、（ｂ）正面図である。
【図６】実施形態に係る吸引ユニットのＡ−Ａ線断面図である。
【図７】実施形態に係る吸引キャップを示した図であり、（ａ）斜視図、（ｂ）断面図である。
【図８】実施形態に係る吸引キャップを液滴吐出ヘッドから離間させる一連の動作を示す図であり、（ａ）キャップ密着状態、（ｂ）初期離間状態、（ｃ）終期離間状態、（ｄ）キャップ解除状態を示している。
【図９】実施形態に係る吸引キャップの離間速度を示す図である。
【図１０】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図１１】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置
８  液滴吐出ヘッド
１２  制御装置
３１  サブキャリッジ（ヘッド側ベースプレート）
５１  ノズル面
５５  ノズル孔
６２  吸引ユニット
１０１  吸引キャップ
１０２  ベースプレート（キャップ側ベースプレート）
１０７  昇降機構（離接機構）
１２１  キャップ本体
１２２  キャップホルダ
１２３  ばね（付勢手段）
１３２  シールパッキン
１３２ａ  シール部位
１６１  駆動モータ
Ｗ  基板
４５０  液晶表示装置
５００  有機ＥＬ装置
【図１】
2004305978.tif 000003
【図２】
2004305978.tif 000004
【図３】
2004305978.tif 000005
【図４】
2004305978.tif 000006
【図５】
2004305978.tif 000007
【図６】
2004305978.tif 000008
【図７】
2004305978.tif 000009
【図８】
2004305978.tif 000010
【図９】
2004305978.tif 000011
【図１０】
2004305978.tif 000012
【図１１】
2004305978.tif 000013