(57)【要約】【課題】ピント面にのみよくピントの合った鮮明なラミノ画像を得ること。【解決手段】放射線２を被検体４に向けて照射する放射線源１と、被検体４を透過した放射線２を検出する放射線検出手段３と、放射線源１と放射線検出手段３との間であって、放射線源１と放射線検出手段３とを結ぶ中心線１１に対して所定角度の傾きを有する回転軸１０を中心に、放射線源と１放射線検出手段３との組に対して被検体４に相対的回転運動を与える回転手段５，６と、回転軸１０を中心として被検体４を相対的にほぼ所定角度ずつ回動させる毎に、放射線検出手段３からの出力を透過画像として夫々収集するデータ収集手段７と、当該収集された透過画像夫々に対して、回転軸の放射線に沿った投影とほぼ直交する方向に高周波強調フィルタ処理を加え、さらに被検体内に設定した任意のピント面上のマトリックス点へ放射線に沿って逆投影して夫々を加算する画像処理手段７とを備える。【選択図】　　図１
2004108990.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線を被検体に向けて照射する放射線源と、
前記被検体を透過した放射線を実質２次元の空間分解能をもって検出する放射線検出手段と、
前記放射線源と前記放射線検出手段との間であって、前記放射線源と前記放射線検出手段とを結ぶ中心線に対して所定角度の傾きを有する回転軸を中心に、前記放射線源と前記放射線検出手段との組に対して前記被検体に相対的回転運動を与える回転手段と、
前記回転手段によりその回転軸を中心として前記被検体を相対的にほぼ所定角度ずつ回動させる毎に、前記放射線検出手段からの出力を透過画像としてそれぞれ収集するデータ収集手段と、
前記データ収集手段により収集された透過画像それぞれに対して、前記回転手段の回転軸の放射線に沿った投影とほぼ直交する方向に高周波強調フィルタ処理を加え、さらに前記被検体内に設定した任意のピント面上のマトリックス点へ放射線に沿って逆投影してそれぞれを加算する画像処理手段とを備えて成り、
前記被検体内の前記ピント面に焦点の合った透過画像を得るようにしたことを特徴とするフィルタ処理付ラミノグラフ。
【請求項２】
放射線を被検体に向けて照射する放射線源と、
前記被検体を透過した放射線を実質２次元の空間分解能をもって検出する放射線検出手段と、
前記放射線源と前記放射線検出手段との間に前記被検体を配置し、少なくとも前記放射線源と前記被検体とに相対的直進運動を与える直進手段と、
前記直進手段により直進運動をほぼ所定量ずつ直進させる毎に、前記放射線検出手段からの出力を透過画像としてそれぞれ収集するデータ収集手段と、
前記データ収集手段により収集された透過画像それぞれに対して、前記直進運動方向の放射線に沿った投影にほぼ沿って高周波強調フィルタ処理を加え、さらに前記被検体内に設定した任意のピント面上のマトリックス点へ放射線に沿って逆投影してそれぞれを加算する画像処理手段とを備えて成り、
前記被検体内の前記ピント面に焦点の合った透過画像を得るようにしたことを特徴とするフィルタ処理付ラミノグラフ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検体を透過した放射線を検出し、当該被検体内に設定したピント面にピント（焦点）の合った透過画像であるラミノ画像を得るラミノグラフに係り、特に例えば電子部品を実装した基板の部品接合部を非破壊で検査したり、食品の内部に混入した異物を非破壊で検査するのに適したフィルタ処理付ラミノグラフに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、この種のラミノグラフは、例えば電子部品を実装した基板の部品接合部を検査する目的で使用し得るものとして、注目され始めてきているものである。
【０００３】
このラミノグラフは、基本的には、医療用として使われている断層写真装置と同じであるが、断層写真装置が、Ｘ線用フイルムを用いて１つの面に焦点の合った透過画像である断層像を得るものであるのに対して、ラミノグラフは、面センサ出力をデジタル画像化し、画像処理で断層像（ラミノ画像）を作成するものである点が異なっている。
【０００４】
図１１は、この種の従来のラミノグラフの原理構成例を示す概要図である。
【０００５】
図１１において、Ｘ線管１０１が円形に回転されることで、Ｘ線焦点Ｆが円形に走査される。
【０００６】
２次元面センサである回転Ｘ線検出器１０４は、Ｘ線焦点Ｆに同期して回転し、この回転中に収集された、被検体１０２を透過した多数の透過画像は、デジタル処理により加算されて、１つのラミノ画像が作成される。
【０００７】
このラミノ画像は、Ｘ線焦点Ｆの回転半径と回転Ｘ線検出器１０４の回転半径とから決まる、１つのピント面１０３にピントの合った透過画像である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のラミノグラフにおいては、ラミノ画像は、１つのピント面以外はボケた透過画像であることから、ピント面以外の構造の影響が残って、鮮明なピント面のラミノ画像が得られないという問題がある。
【０００９】
本発明の目的は、ピント面以外の構造の影響を極力少なくして、ピント面にのみよくピントの合った鮮明なラミノ画像を得ることが可能なフィルタ処理付ラミノグラフを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に対応する発明のフィルタ処理付ラミノグラフは、放射線を被検体に向けて照射する放射線源と、被検体を透過した放射線を実質２次元の空間分解能をもって検出する放射線検出手段と、放射線源と放射線検出手段との間であって、放射線源と放射線検出手段とを結ぶ中心線に対して所定角度の傾きを有する回転軸を中心に、放射線源と放射線検出手段との組に対して被検体に相対的回転運動を与える回転手段と、回転手段によりその回転軸を中心として被検体を相対的にほぼ所定角度ずつ回動させる毎に、放射線検出手段からの出力を透過画像としてそれぞれ収集するデータ収集手段と、データ収集手段により収集された透過画像それぞれに対して、回転手段の回転軸の放射線に沿った投影とほぼ直交する方向に高周波強調フィルタ処理を加え、さらに被検体内に設定した任意のピント面上のマトリックス点へ放射線に沿って逆投影してそれぞれを加算する画像処理手段とを備えて成り、被検体内のピント面に焦点の合った透過画像を得るようにしている。
【００１１】
従って、請求項１に対応する発明のフィルタ処理付ラミノグラフにおいては、画像処理手段は、透過角度の異なる多数の透過画像それぞれに、回転軸の投影とほぼ直交する方向に高周波強調フィルタ処理を加え、ピント面に逆投影してそれぞれを加算し、当該回転軸の投影と直交する方向の高周波強調フィルタ処理を行なうことにより、ピント面以外の構造の影響を極力少なくして、ピント面にのみよくピントの合った鮮明な透過画像（ラミノ画像）を得ることができる。
【００１２】
また、請求項２に対応する発明のフィルタ処理付ラミノグラフは、放射線を被検体に向けて照射する放射線源と、被検体を透過した放射線を実質２次元の空間分解能をもって検出する放射線検出手段と、放射線源と放射線検出手段との間に被検体を配置し、少なくとも放射線源と被検体とに相対的直進運動を与える直進手段と、直進手段により直進運動をほぼ所定量ずつ直進させる毎に、放射線検出手段からの出力を透過画像としてそれぞれ収集するデータ収集手段と、データ収集手段により収集された透過画像それぞれに対して、直進運動方向の放射線に沿った投影にほぼ沿って高周波強調フィルタ処理を加え、さらに被検体内に設定した任意のピント面上のマトリックス点へ放射線に沿って逆投影してそれぞれを加算する画像処理手段とを備えて成り、被検体内のピント面に焦点の合った透過画像を得るようにしている。
【００１３】
従って、請求項２に対応する発明のフィルタ処理付ラミノグラフにおいては、画像処理手段は、透過角度の異なる多数の透過画像それぞれに、直進運動方向の投影にほぼ沿って高周波強調フィルタ処理を加え、ピント面に逆投影してそれぞれを加算し、当該直進運動方向の投影に沿った高周波強調フィルタ処理を行なうことにより、ピント面以外の構造の影響を極力少なくして、ピント面にのみよくピントの合った鮮明な透過画像（ラミノ画像）を得ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態によるフィルタ処理付ラミノグラフの概略構成例を示す概要図である。
【００１６】
図１において、放射線源であるＸ線管１と、放射線検出手段であるＸ線検出器３とが、フロアより支持され、Ｘ線焦点Ｆから発生した放射線であるＸ線ビーム２が、図示斜め上方の実質２次元の分解能をもったＸ線検出器３で検出されるように配置されている。
【００１７】
被検体４は、回転テーブル５に載置されており、Ｘ線ビーム２中に位置決めされる。
【００１８】
この回転テーブル５は、回転機構６により垂直な回転軸１０に対して回転される。
【００１９】
この回転軸１０は、Ｘ線焦点ＦとＸ線検出器３の中心とを結ぶ中心線１１に対し、所定角度αの傾きをなしている。
【００２０】
ここで、所定角度αとしては、通常は３０°ないし６０°に設定することが好ましい。
【００２１】
また、Ｘ線検出器３としては、Ｘ線Ｉ．Ｉ．とテレビカメラとの組み合わせか、Ｘ線フラットパネルセンサを用いることが好ましい。
【００２２】
Ｘ線検出器３で検出された透過画像は画像処理部７に送られ、デジタル画像に変換されて、処理が行なわれる（本実施の形態では、データ収集機能は、画像処理部７内のビデオキャプチャーボードが受け持っている）。
【００２３】
処理後の画像は、表示部８に表示される。
【００２４】
回転制御部９は、画像処理部７からの指令により回転機構６を制御する。
【００２５】
なお、図１において、ラミノ像のピント面１２は、被検体４に固定された仮想面で、操作者が画像処理部７に入力して指定する面である。
【００２６】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるフィルタ処理付ラミノグラフの作用について、図２乃至図５を用いて説明する。
【００２７】
図１において、被検体４を回転軸１０に対して回転させながら、ほぼ一定角度おきに、あるいはほぼ一定時間おきに、Ｘ線検出器３で被検体４の透過画像を撮影し、各デジタル画像を画像処理部７に記憶する。
【００２８】
図２は、かかる作用を説明するための概念図である。
【００２９】
図２は、検出面（透過画像）１４と回転軸１０とピント面１２の幾何関係を示している。
【００３０】
透過画像は、Ｘ線検出器３の検出面１４上のマトリックス点でのデータとして得られる。
【００３１】
マトリックスのＸ方向は、回転軸１０の（Ｘ線ビーム２に沿った）投影１０Ｐの方向にほぼ合わせて配置されている。
【００３２】
回転軸１０の投影１０Ｐの方向とほぼ直交するＹ軸方向が、フィルタリングの方向１５である。
【００３３】
フィルタ処理後の透過画像は、検出面１４からＸ線ビーム２に沿って、Ｘ線焦点Ｆに向けてピント面１２上に逆投影され、ピント面１２上のマトリックス点へ加算される（ピント面１２は被検体４に固定された面で、被検体４の回転と共に回転する。）
図３は、かかる作用を説明するためのフローチャートである。
【００３４】
図３を用いて、順を追って説明する。
【００３５】
ステップＳ１において、回転させながら、１つの回転位置で透過画像を一枚撮影する。
【００３６】
ここで、回転としては、連続回転でも、ステップ回転でもよい。
【００３７】
次に、ステップＳ２において、透過画像に対して前処理を行なう。
【００３８】
ここで、前処理としては、オフセット補正、エアー補正、対数変換である。
【００３９】
オフセット補正では、Ｘ線ビーム２が入射しない時のデータを減算し、エアー補正では、被検体４がない（エアー）場合のデータで除算し、対数変換して被検体４の透過長にほぼ比例したデータにする。
【００４０】
次に、ステップＳ３において、当該透過画像に対して、各行、Ｙ方向ラインデータに高周波強調フィルタ処理を行なう。
【００４１】
次に、ステップＳ４において、当該高周波強調フィルタ処理後の透過画像を、ピント面１２の各マトリックス点に逆投影して加算する。
【００４２】
次に、ステップＳ５において、３６０度回転終了したかどうかを判定し、ＮＯの場合には、次の回転位置に移る。
【００４３】
また、ＹＥＳの場合には、処理を終了する。
【００４４】
以上のようにして、ピント面１２の各マトリックス点に３６０度分逆投影されると、ラミノ像が完成する。
【００４５】
図４は、高周波強調フィルタ処理のフィルタ関数の一例を示す図である。
【００４６】
高周波強調フィルタ処理の１つの方法として、まず、ラインデータをフーリエ変換して周波数空間で記載し、次に図４に示すようなフィルタ関数を掛け、逆フーリエ変換で元に戻す方法がある。
【００４７】
フィルタ関数としては、図４（ａ）に示すように、周波数に比例して増大するフィルタ関数、あるいは図４（ｂ）に示すように、高周波域で比例ラインから若干低下させたフィルタ関数を用いる。
【００４８】
通常は、図４（ａ）ないし図４（ｂ）のフィルタ関数を用いるが、画像のエッジ強調や、エッジのスムーズ化を同時に行ないたい場合、高周波域をさらに上昇させたり低下させたりして調整することができる。
【００４９】
上述したように、本実施の形態によるフィルタ処理付ラミノグラフでは、回転軸１０の投影とほぼ直交する方向に高周波強調フィルタ処理を加えるようにしているので、ピント面以外の構造の影響を極力少なくして、ピント面にのみよくピントの合った鮮明なラミノ画像を得ることが可能となる。
【００５０】
ここで、フィルタ処理の方向は、回転軸１０の投影と直交する方向が好ましく、最も効果が上がるが、少し方向がずれると直ちに効果が無くなってしまうわけでなく、ずれに応じて徐々に効果が少なくなる関係がある。
【００５１】
図５は、本実施の形態によるラミノ画像の一例（シミュレーション）を示す図である。
【００５２】
円筒（管）の中央面の画像で、図５（ａ）はフィルタ処理無し（従来例）、図５（ｂ）はフィルタ処理あり（本実施の形態）をそれぞれ示している。
【００５３】
本実施の形態のフィルタ処理により、ピント面１２以外の影響が減って、円筒の形がコントラストよく現われていることがわかる。
【００５４】
また、中央面上のボイドもよく観察することができる。
【００５５】
（第１の実施の形態の変形例）
前記図３に示すフローチャートでは、撮影する毎に、フィルタ処理と逆投影処理とを行なうようにしているが、これに限らず、例えば３６０°分すべて撮影して記憶してから処理するようにしてもよいし、撮影は撮影で進行させ、透過画像を次々と記憶していき、処理は処理で進行させ、記憶されている透過画像を次々と処理（順番はどうでもよい）していくようにしてもよい。
【００５６】
また、前処理としては、第１の実施の形態で述べた通りでなくてもよい。
【００５７】
例えば、対数変換せず、リニアな画像であっても、前述と同様の効果を実現することができる。
【００５８】
さらに、高周波強調フィルタ処理としては、当業者にとっては明らかであるが、フーリエ変換を用いないで、コンボルーションで行なうようにしてもよい。
【００５９】
一方、回転としては、滑らかな連続回転でも、撮影する時に停止させるステップ回転でもよい。
【００６０】
いずれの場合でも、本発明を有効に適用することができる。
【００６１】
また、撮影としては、必ずしもちょうど３６０°分でなくてもよい。
【００６２】
さらに、ピント面１２としては、必ずしも回転軸１０に直交する面である必要はない。
【００６３】
すなわち、ピント面１２としては、傾斜していても、回転軸１０に沿った面でもよい。一度に複数面の処理もでき、この場合はフィルタ処理は共通で、複数のピント面に逆投影するようにする。また、積層した複数面、すなわち立体であってもよい。この場合、ラミノ画像は３次元画像となる。
【００６４】
また、ピント面１２としては、必ずしも平面である必要はない。
【００６５】
すなわち、ピント面１２としては、円筒面や球面であってもよい。
【００６６】
一方、本発明では、Ｘ線検出器３として何を使用するかは本質的なことでなく、ただ２次元の分解能でもつて測定できれば使用することができる。
【００６７】
また、放射線としても、必ずしもＸ線ビーム２でなくても、例えばγ線等の透過性をもった放射線ならば適用することができる。
【００６８】
図６は、第１の実施の形態の変形例によるフィルタ処理付ラミノグラフを示す模式図である。
【００６９】
図６において、ＦはＸ線焦点、３はＸ線検出器、４は被検体、１０は回転軸をそれぞれ示している。
【００７０】
図６（ａ）は、第１の実施の形態そのものであり、被検体４が回転する。
【００７１】
本実施の形態では、所定角度αは３０°ないし６０°としたが、小さすぎなければこれ以外の角度であってもよい。
【００７２】
例えば、所定角度αとしては、２０°ないし１６０°ならば、本発明を有効に適用することができる。
【００７３】
また、容易に理解できるように、回転としては、被検体４を固定して相対的に等価であるように、Ｘ線焦点ＦとＸ線検出器３の方を回転させるようにしてもよい。
【００７４】
また、図６（ａ）では、Ｘ線検出器３をＸ線焦点Ｆに真直ぐに向けているが、図６（ｂ）に示すように、任意角度βだけ（任意の方位へ）傾斜させたものにも適用することができる。
【００７５】
図６（ｃ）は、図６（ａ）で所定角度αを約９０°にして、被検体４の代わりに、Ｘ線焦点ＦとＸ線検出器３を回転させるようにしたものである。
【００７６】
ここでは、Ｘ線検出器３は、回転したとき常に向きが変わらないように傾斜される。
【００７７】
この図６（ｃ）の形式は、医療用として使われている断層写真装置と同じであるが、この形式に対しても本発明を有効に適用することができる。
【００７８】
すなわち、一般的に、被検体４とＸ線焦点ＦとＸ線検出器３との間に相対的回転運動を与えて、角度の異なる透過画像を得るラミノグラフに対して、本発明を有効に適用することができる。
【００７９】
（第２の実施の形態）
図７は、本実施の形態によるフィルタ処理付ラミノグラフの概略構成例を示す概要図である。
【００８０】
図７において、放射線源であるＸ線管２１と、放射線検出手段であるＸ線検出器２３とが、フロアより支持され、Ｘ線焦点Ｆから発生した放射線であるＸ線ビーム２２が、図示下方の実質２次元の分解能をもったＸ線検出器２３で検出されるように配置されている。
【００８１】
被検体２４は、ベルトコンベア２５により、Ｘ線ビーム２２中を通過して、Ｘ線検出器２３の検出面にほぼ沿った直進方向３０に直進させられる。
【００８２】
ここで、Ｘ線検出器２３としては、Ｘ線フラットパネルセンサか、蛍光板とテレビカメラとの組み合わせを用いることが好ましい。
【００８３】
Ｘ線検出器２３で検出された透過画像は画像処理部２７に送られ、デジタル画像に変換されて、処理が行なわれる。
【００８４】
処理後の画像は、表示部２８に表示される。
【００８５】
駆動制御部２９は、画像処理部２７からの指令によりベルトコンベア２５を制御する。
【００８６】
なお、図７において、ラミノ像のピント面３２は、被検体２４に固定された仮想面で、操作者が画像処理部７に入力して指定する面である。
【００８７】
次に、以上のように構成した本実施の形態によるフィルタ処理付ラミノグラフの作用について、図８乃至図９を用いて説明する。
【００８８】
図７において、被検体２４をベルトコンベア２５で直進させながら、ほぼ一定量おきに、あるいはほぼ一定時間おきに、Ｘ線検出器２３で被検体２４の透過画像を撮影し、各デジタル画像を画像処理部２７に記憶する。
【００８９】
図８は、かかる作用を説明するための概念図である。
【００９０】
図８は、検出面（透過画像）３４と直進方向３０とピント面３２の幾何関係を示している。
【００９１】
透過画像は、Ｘ線検出器２３の検出面３４上のマトリックス点でのデータとして得られる。
【００９２】
マトリックスのＹ方向は、直進方向３０の（Ｘ線ビーム２２に沿った）投影３０Ｐの方向にほぼ合わせて配置されている。
【００９３】
直進方向３０の投影３０Ｐの方向とほぼ一致するＹ軸方向が、フィルタリングの方向３５である。
【００９４】
フィルタ処理後の透過画像は、検出面３４からＸ線ビーム２２に沿って、Ｘ線焦点Ｆに向けてピント面３２上に逆投影され、ピント面３２上のマトリックス点へ加算される（ピント面３２は被検体２４に固定された面で、被検体２４の直進と共に直進する。）
かかる作用のフローは、前記図３に示す第１の実施の形態の場合と、回転と直進の違いのみでほぼ同様である。
【００９５】
また、高周波強調フィルタ処理についても、前期第１の実施の形態の場合と同様である。
【００９６】
上述したように、本実施の形態によるフィルタ処理付ラミノグラフでは、ほぼ直進方向３０の投影の方向に高周波強調フィルタ処理を加えるようにしているので、ピント面以外の構造の影響を極力少なくして、ピント面にのみよくピントの合った鮮明なラミノ画像を得ることが可能となる。
【００９７】
ここで、フィルタ処理の方向は、直進方向３０の投影の方向が好ましく、最も効果が上がるが、少し方向がずれると直ちに効果が無くなってしまうわけでなく、ずれに応じて徐々に効果が少なくなる関係がある。
【００９８】
図９は、本実施の形態によるラミノ画像の一例（シミュレーション）を示す図である。
【００９９】
円筒（管）の中央面の画像で、図９（ａ）はフィルタ処理無し（従来例）、図９（ｂ）はフィルタ処理あり（本実施の形態）をそれぞれ示している。
【０１００】
本実施の形態のフィルタ処理により、ピント面３２以外の影響が減って、円筒の形がコントラストよく現われていることがわかる。
【０１０１】
また、中央面上のボイドもよく観察することができる。
【０１０２】
（第２の実施の形態の変形例）
前記図３に示すフローチャートでは、撮影する毎に、フィルタ処理と逆投影処理とを行なうようにしているが、これに限らず、すべて撮影して記憶してから処理するようにしてもよいし、撮影は撮影で進行させ、透過画像を次々と記憶していき、処理は処理で進行させ、記憶されている透過画像を次々と処理（順番はどうでもよい）していくようにしてもよい。
【０１０３】
また、前処理としては、第１の実施の形態で述べた通りでなくてもよい。
【０１０４】
例えば、対数変換せず、リニアな画像であっても、前述と同様の効果を実現することができる。
【０１０５】
さらに、高周波強調フィルタ処理としては、当業者にとっては明らかであるが、フーリエ変換を用いないで、コンボルーションで行なうようにしてもよい。
【０１０６】
一方、直進としては、滑らかな連続直進でも、撮影する時に停止させるステップ直進でもよい。
【０１０７】
いずれの場合でも、本発明を有効に適用することができる。
【０１０８】
また、ピント面３２としては、必ずしも直進方向３０や、検出面３４に平行する面である必要はない。
【０１０９】
すなわち、ピント面３２としては、傾斜していてもよい。一度に複数面の処理もでき、この場合、フィルタ処理は共通で、複数のピント面に逆投影するようにする。また、積層した複数面、すなわち立体であってもよい。この場合、ラミノ画像は３次元画像となる。これは、特に食品異物検査には有効である。
【０１１０】
また、ピント面３２としては、必ずしも平面である必要はない。
【０１１１】
すなわち、ピント面３２としては、円筒面や球面であってもよい。
【０１１２】
さらに、直進方向３０としては、必ずしも検出面３４に平行である必要はない。
【０１１３】
一方、本発明では、Ｘ線検出器２３として何を使用するかは本質的なことでなく、ただ２次元の分解能でもって測定できれば使用することができる。
【０１１４】
また、放射線としても、必ずしもＸ線ビーム２２でなくても、例えばγ線等の透過性をもった放射線ならば適用することができる。
【０１１５】
図１０は、第２の実施の形態の変形例によるフィルタ処理付ラミノグラフを示す模式図である。
【０１１６】
図１０において、ＦはＸ線焦点、２３はＸ線検出器、２４は被検体、３０は直進方向をそれぞれ示している。
【０１１７】
図１０（ａ）のａ１は、第２の実施の形態そのものであり、被検体２４が直進する。
【０１１８】
また、容易に理解できるように、直進は、図１０（ａ）のａ２に示すように、被検体２４を固定して相対的に等価であるように、Ｘ線焦点ＦとＸ線検出器２３の方を直進させるようにしてもよい。
【０１１９】
また、図１０（ａ）では、Ｘ線焦点ＦとＸ線検出器２３が相対的に固定される場合であるが、図１０（ｂ）に示すように、Ｘ線検出器２３と被検体２４を相対的に固定するようにしてもよい。
【０１２０】
直進は、Ｘ線焦点ＦとＸ線検出器２３，被検体２４に対して相対的に行なえばよく、図１０（ｂ）のｂ１に示すように、Ｘ線検出器２３，被検体２４側を直進させても、１０（ｂ）のｂ２に示すように、Ｘ線焦点Ｆ側を直進させても同じことである。
【０１２１】
さらに、図１０（ｃ）に示すように、Ｘ線焦点ＦとＸ線検出器２３と被検体２４の三者を相対的な固定がないように直進させてもよい。
【０１２２】
図１０（ｃ）のｃ１は、Ｘ線焦点Ｆ固定でＸ線検出器２３と被検体２４が直進、図１０（ｃ）のｃ２は、被検体２４固定でＸ線焦点ＦとＸ線検出器２３が直進、図１０（ｃ）のｃ３は、Ｘ線検出器２３が固定でＸ線焦点Ｆと被検体２４が直進する場合である。
【０１２３】
すなわち、一般的に、被検体２４とＸ線焦点ＦとＸ線検出器２３との間に相対的直進運動を与えて、角度の異なる透過画像を得るラミノグラフに対して、本発明を有効に適用することができる。
【０１２４】
（その他の実施の形態）
尚、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施することが可能である。
また、上記各実施の形態は可能な限り適宜組み合わせて実施してもよく、その場合には組み合わせた作用効果を得ることができる。
【０１２５】
さらに、上記各実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより、種々の発明を抽出することができる。
例えば、上記各実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題（の少なくとも一つ）が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果（の少なくとも一つ）が得られる場合には、この構成要件が削除された構成を発明として抽出することができる。
【０１２６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のフィルタ処理付ラミノグラフによれば、回転軸の投影と直交する方向に高周波強調フィルタ処理を加えるようにするか、あるいは直進方向の投影の方向に高周波強調フィルタ処理を加えるようにしているので、ピント面以外の構造の影響を極力少なくして、ピント面にのみよくピントの合った鮮明なラミノ画像を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるフィルタ処理付ラミノグラフの第１の実施の形態を示す概要図。
【図２】同第１の実施の形態のフィルタ処理付ラミノグラフにおける作用を説明するための概念図。
【図３】同第１の実施の形態のフィルタ処理付ラミノグラフにおける作用を説明するためのフローチャート。
【図４】同第１の実施の形態のフィルタ処理付ラミノグラフにおける作用を説明するための高周波強調フィルタ処理のフィルタ関数の一例を示す図。
【図５】同第１の実施の形態のフィルタ処理付ラミノグラフにおける作用を説明するためのラミノ画像の一例（シミュレーション）を示す写真。
【図６】本発明によるフィルタ処理付ラミノグラフの第１の実施の形態の変形例を示す概要図。
【図７】本発明によるフィルタ処理付ラミノグラフの第２の実施の形態を示す概要図。
【図８】同第２の実施の形態のフィルタ処理付ラミノグラフにおける作用を説明するための概念図。
【図９】同第２の実施の形態のフィルタ処理付ラミノグラフにおける作用を説明するためのラミノ画像の一例（シミュレーション）を示す写真。
【図１０】本発明によるフィルタ処理付ラミノグラフの第２の実施の形態の変形例を示す概要図。
【図１１】従来のラミノグラフの原理構成例を示す概要図。
【符号の説明】
１…Ｘ線管
２…Ｘ線ビーム
３…Ｘ線検出器
４…被検体
５…回転テーブル
６…回転機構
７…画像処理部
８…表示部
９…回転制御部
１０…回転軸
１０Ｐ…回転軸１０の投影
１１…中心線
１２…ピント面
１４…検出面（透過画像）
１５…フィルタリングの方向
２１…Ｘ線管
２２…Ｘ線ビーム
２３…Ｘ線検出器
２４…被検体
２５…ベルトコンベア
２７…画像処理部
２８…表示部
２９…駆動制御部
３０…直進方向
３０Ｐ…直進方向３０の投影
３２…ピント面
３４…検出面（透過画像）
３５…フィルタリングの方向
Ｆ…Ｘ線焦点。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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