(57)【要約】【課題】エッチング液を用いてエッチング処理を行う複数の処理部２０，２０，…を備えたエッチング装置において、エッチング液の濃度を濃度計７０で測定して濃度管理を行う際に、濃度計７０の設置数を抑えて設備コストの低減を図るとともに、測定精度を高めてエッチング処理の精度向上に貢献できるようにする。【解決手段】各処理部２０の取出配管７１の開閉バルブ７４をコントローラ８０により順に開閉制御して各エッチング液を１つの濃度計７０に順に導入し、各エッチング液の濃度を順に測定する。また、濃度計７０では、予め新液補充槽４０のエッチング新液の濃度を測定しておき、その測定値を基準値として各エッチング液の濃度を相対測定する。【選択図】  図１
2004315846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液を用いて処理を行う複数の処理部を備えた薬液装置であって、
上記薬液の濃度を測定する濃度測定手段と、
上記複数の処理部の各薬液の一部をそれぞれ上記濃度測定手段に導入する薬液導入手段と、
上記複数の処理部の各薬液の濃度が上記濃度測定手段により順に測定されるように上記薬液導入手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする薬液装置。
【請求項２】
請求項１記載の薬液装置において、
所定の濃度に調整された薬液としての新液を貯留するための新液部と、
上記新液部の新液を濃度測定手段に導入する新液導入手段とを備え、
制御手段は、上記濃度測定手段に対し、上記新液部の新液が導入された後、各処理部の薬液の一部が導入されるように上記新液導入手段および上記薬液導入手段を制御する構成とされ、
上記濃度測定手段は、上記新液部の新液の濃度を測定して得た測定値を基準値とし、該基準値に基づいて上記各処理部の薬液の濃度を相対測定するように構成されていることを特徴とする薬液装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の薬液装置において、
薬液は、エッチング液であり、
複数の処理部は、それぞれ、上記エッチング液を用いてエッチング処理を行うように構成されていることを特徴とする薬液装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の処理部でそれぞれエッチング液などの薬液を用いて処理を行うようにしたエッチング装置などの薬液装置に関し、特に、薬液の濃度を管理する対策に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶表示パネルの電極基板のエッチング工程において、エッチング液を用いてエッチング処理を行う複数の処理部を備えたエッチング装置が使用されることは知られている。また、その際に、エッチング処理の精度を維持する上で、エッチング液の濃度を一定に保つ必要があることも知られている。
【０００３】
そのようなエッチング液の濃度を管理するようにした従来の技術としては、特許文献１に記載されたものが知られている。このものでは、薬液槽と処理槽との間でエッチング液を循環使用する複数の処理部を備えたエッチング装置において、各処理部毎に濃度計を配置し、測定された濃度に基づいて処理部毎にエッチング新液を補充するようになされており、これにより、各処理部のエッチング液の濃度を一定に維持することができるとされている。
【０００４】
また、特許文献２には、処理槽内のエッチング液と、限界付近に達したエッチング液としての参照液とにそれぞれ電極を浸漬させ、それら２つの電極の電位差により、参照液の濃度に対する薬液の濃度の差を相対的に測定することが記載されている。このものでは、エッチング液の絶対濃度を測定するよりも、高い精度の濃度測定が行えるとされている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７−２７８８４７号公報（第３頁，図１および図２）
【特許文献２】
特開昭５８−１１７８７号公報（第２頁，図２）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の場合には、各処理部毎に濃度計を設置する必要があり、そのために、設備コストが高くなるという問題がある。
【０００７】
また、複数の濃度計の間には、測定精度に個体差があることから、同じ濃度のエッチング液であっても、測定結果が完全に一致することはなく、このために、処理部間でエッチング液の濃度にばらつきが生じやすいという問題もある。
【０００８】
本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、エッチング液などの薬液を用いて処理を行う複数の処理部を備えたエッチング装置などの薬液装置において、薬液濃度を測定する濃度計の設置数を抑えて設備コストの低減を図ることができるとともに、各処理部毎の測定精度のばらつきをなくせるようにすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成すべく、本発明では、１つの濃度計で、全ての処理部の薬液濃度を順に測定するようにし、このことで、複数の濃度計により測定する場合に生じる測定精度のばらつきを回避することとした。
【００１０】
具体的には、本発明の第１の発明では、薬液を用いて処理を行う複数の処理部を備えた薬液装置を前提としている。
【００１１】
そして、上記薬液の濃度を測定する濃度測定手段と、上記複数の処理部の各薬液の一部をそれぞれ濃度測定手段に導入する薬液導入手段と、上記複数の処理部の各薬液の濃度が濃度測定手段により順に測定されるように薬液導入手段を制御する制御手段とを備えるようにする。
【００１２】
上記の構成において、薬液装置の各処理部で用いられている薬液の一部は、薬液導入手段により濃度測定手段に導入され、その濃度測定手段により濃度が測定される。このとき、制御手段が薬液導入手段を制御することにより、各処理部の薬液の一部は、順に濃度測定手段に導入され、濃度測定手段は、各薬液の濃度を順に測定する。
【００１３】
よって、複数の処理部に対し、濃度測定手段は１つで済むので、各処理部毎に濃度測定手段が設置されるようにする場合に比べて、濃度測定手段の設置数が削減されるので、その分、薬液装置に要する設備コストの低減に寄与することができる。また、１つの濃度測定手段により各処理部の薬液濃度が測定されるので、複数の濃度測定手段で各々の処理部の薬液濃度が測定されるようにする場合に比べて、薬液濃度の測定精度が高くなるので、その分、各処理部での処理精度の向上が図れるようになる。
【００１４】
本発明の第２の発明では、第１の発明において、所定の濃度に調整された薬液としての新液を貯留するための新液部と、この新液部の新液を濃度測定手段に導入する新液導入手段とを備えるようにする。その上で、制御手段は、濃度測定手段に対し、新液部の新液が導入された後、各処理部の薬液の一部が導入されるように新液導入手段および薬液導入手段を制御する構成とされているものとする。
そして、濃度測定手段は、新液部の新液の濃度を測定して得た測定値を基準値とし、この基準値に基づいて各処理部の薬液の濃度を相対測定するように構成されているものとする。
【００１５】
上記の構成において、濃度測定手段に対し、制御手段の制御により、新液導入手段が新液部の新液を導入した後、薬液導入手段が各処理部の薬液の一部を順に導入する。そして、濃度測定手段は、先ず、新液の濃度を測定し、その測定値を基準値として、各処理部の薬液の濃度を順に相対測定する。よって、各処理部の薬液に対する濃度測定手段の測定精度は、各処理部の薬液の濃度が絶対測定される場合よりも高くなる。
【００１６】
本発明の第３の発明では、第１および第２の発明に係る薬液装置は、各処理部が、エッチング液を薬液として用いたエッチング処理を行うように構成されているものとする。
【００１７】
上記の構成において、薬液がエッチング液であるので、第１の発明においては、濃度測定手段の設置数が削減される。また、１つの濃度測定手段により各処理部の薬液濃度が測定されるので、エッチング装置の設備コストの低減に寄与することができるとともに、エッチング液濃度の測定精度が高くなるので、その分、各処理部でのエッチング処理精度の向上が図れるようになる。一方、第２の発明においては、各処理部のエッチング液に対する濃度測定手段の測定精度が高くなるので、この場合には、エッチング処理精度のさらなる向上が図れることとなる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１は、本発明の実施形態に係るエッチング装置の全体構成を、ブロック図として示しており、このエッチング装置は、液晶表示パネルに使用する電極基板のエッチング工程において、リン酸と硝酸と酢酸と純水とを混合してなるエッチング液を用いて行うエッチング処理に使用される。
【００２０】
本エッチング装置は、図２に示すように、エッチング液を用いてエッチング処理を行うエッチング部１０と、このエッチング部１０で用いられるエッチング液の濃度管理を行う制御ユニット５０とを備えており、エッチング部１０は、図１に示したように、エッチング液を循環使用してエッチング処理を行う複数の処理部２０（図１には、処理部として第１処理部（第１槽）のみを示し、第２処理部（第２槽）は図示を省略する）からなっている。
【００２１】
上記各処理部２０は、エッチング液を貯留する薬液槽２１と、この薬液槽２１のエッチング液を用いて実際のエッチング処理を行う処理槽２２とを有する。処理槽２２には、該処理槽２２内において、エッチング対象物Ｗを支承する支承部２３と、この支承部２３上のエッチング対象物Ｗにエッチング液を散布するための複数のノズル２４，２４，…とが配置されている。また、薬液槽２１と処理槽２２との間には、薬液槽２１のエッチング液を処理槽２２のノズル２４，２４，…に供給するための供給配管２５と、処理槽２２から排出されたエッチング液を薬液槽２１に戻すための戻し配管２６とが設けられており、これらにより、薬液槽２１のエッチング液が処理槽２２に供給される一方、処理槽２２から排出されたエッチング液が薬液槽２１に戻されるようになっている。
【００２２】
また、上記の供給配管２５には、薬液槽２１から処理槽２２に向かって、薬液槽２１のエッチング液を吸引して処理槽２２側に送り出すポンプ２７と、エッチング液を濾過して異物を除去するフィルタ２８と、開閉バルブ２９とが介設されている。尚、供給配管２５における開閉バルブ２９の上流側部位からは、処理槽２２を経由しないで直接に薬液槽２１にエッチング液を戻すためのバイパス配管３０が分岐して設けられている。
【００２３】
上記のエッチング処理部１０には、所定の濃度に調整されたエッチング液、つまり、上記の各成分（リン酸，硝酸，酢酸，純水）が所定の混合比に混合されてなる未使用のエッチング新液を貯留する新液部としての新液補充槽４０が設けられている。この新液補充槽４０と、各処理部２０の薬液槽２１との間には、それぞれ、補充配管４１が設けられている。各補充配管４１の途中には開閉バルブ４２が介設されており、この開閉バルブ４２を開くことで、新液補充槽４０のエッチング新液が各薬液槽２１に補充される一方、開閉バルブ４２を閉じることで薬液槽２１に対するエッチング新液の補充が停止するようになっている。また、薬液槽２１には、下限用センサ４３と、上限用センサ４４と、オーバフロー用センサ４５とが設けられている。
【００２４】
一方、上記の制御ユニット５０は、エッチング液の各成分を一定割合の純水が混合されてなる原液の状態で貯留する複数の原液槽と、純水を供給する純水供給部５４とを備えている。図示する例では、上記複数の原液槽は、成分がリン酸である原液を貯留する原液槽５１と、成分が硝酸である原液を貯留する原液槽５２と、成分が酢酸である原液を貯留する原液槽５３との３つである。尚、以下の説明では、純水供給部５４も原液槽の１つとして扱っている。
【００２５】
上記原液槽５１〜５３および純水供給部５４と薬液槽２１との各間には、それぞれ、各原液（便宜的に、純水も原液という）を薬液槽２１に添加するための添加配管５５が設けられている。各添加配管５５の途中には、薬液槽２１に向かって、添加配管５５を流れる原液の流量が調整されるようにその流路面積を絞るオリフィス５６と、流量を計測してその積算値を出力する流量計５７と、開閉バルブ５８とが順に介設されている。一方、原液槽５１〜５３は気密状に設けられており、各原液槽５１〜５３には、該原液槽５１〜５３の内圧が高くなるように原液槽５１〜５３に不活性ガス（ここでは、Ｎ２  ガス）を供給するためのガス配管５９が接続されている。各ガス配管５９の途中には、開閉バルブ６０が介設されている。このことで、対応する添加配管５５の開閉バルブ５８が開いたときに、原液槽５１〜５３の原液が各々の添加配管５５を経由して薬液槽２１に添加されるようになっている。また、純水供給部５４についても、開閉バルブ５８が開くことで、該純水供給部５４の純水が添加配管５５を経由して薬液槽２１に添加されるようになっている。
【００２６】
また、上記の制御ユニット５０には、薬液槽２１のエッチング液の各成分毎の濃度を測定する濃度測定手段としての光学式の濃度計７０が設けられている。この濃度計７０には、各処理部２０の供給配管２５におけるポンプ２７とフィルタ２８との間からエッチング液の一部を取り出すために設けられた取出配管７１が接続されている。さらに、濃度計７０の入口側には、取出配管７１の他、新液補充槽４０のエッチング新液を該濃度計７０に供給する新液配管７２と、純水を濃度計７０に供給する純水配管７３とが接続されている。これら取出配管７１，新液配管７２および純水配管７３には、それぞれ、開閉バルブ７４，７５，７６が介設されている。一方、濃度計７０の出口側には、該濃度計７０に導入された液を廃液として外部に排出する排出配管７７が接続されている。ここで、上記の取出配管７１，７１，…および開閉バルブ７４，７４，…により、本発明における薬液導入手段が構成されている。また、上記の新液配管７２および開閉バルブ７５により、本発明における新液導入手段が構成されている。
【００２７】
上記の濃度計７０の内部では、取出配管７１，新液配管７２および純水配管７３の濃度計７０側の各端部は互いに接続されており、その接続部の下流側には、該接続部から流れてきた液を冷却する冷却部７８と、この冷却部７８にて冷却された液の成分濃度を測定する測定部７９とが設けられている。
【００２８】
上記の測定部７９は、図示は省略するが、液を通過させるサンプリング管と、このサンプリング管に向かって近赤外線を照射する光源と、この光源からの近赤外線を濾波する干渉フィルタと、この干渉フィルタを通過した近赤外線の周波数分布を検出するセンサとからなっており、その周波数分布に基づいて、液成分の濃度を検出するようになされている。尚、このような測定部７９としては、例えば、倉敷紡績株式会社製の「ケミカライザー（登録商標）」が挙げられる。
【００２９】
また、本実施形態では、上記の濃度計７０は、新液補充槽４０のエッチング新液の濃度を測定して得た測定値を基準値とし、この基準値に基づいて各処理部２０のエッチング液の濃度を相対測定するようになされている。具体的には、濃度計７０は、エッチング液の各成分の濃度を上記基準値に対する差分として測定するようになされている。
【００３０】
さらに、本エッチング装置は、上記濃度計７０の測定結果と、各流量計５７による各原液の流量とに基づいて、エッチング液の成分毎の濃度が所定値になるように原液槽５１〜５３および純水供給部５４の各開閉バルブ５８を開閉制御する制御手段としてのコントローラ８０を備えている。具体的には、コントローラ８０は、所定時間（例えば、２時間）毎に、新液配管７２の開閉バルブ７５を開いてエッチング新液の成分濃度を検出した後、各処理部２０の取込配管７１の開閉バルブ７４を開いてエッチング液の一部を順に濃度計７０に取り込む。そして、濃度計７０により、上記エッチング液の各成分の濃度が差分値として出力されると、その差分値に基づいて各原液の添加量を演算し、その添加量だけ原液が薬液槽２１に添加されるようになっている。尚、一般には、上記の添加は、１日に１回程度で収まる。
【００３１】
そして、本実施形態では、上記のコントローラ８０は、濃度計７０に対し、先ず、純水が導入され、次いで、新液補充槽４０のエッチング新液が導入され、しかる後、各処理部２０のエッチング液が順に導入されるように、純水配管７３の開閉バルブ７６，新液配管７２の開閉バルブ７５および取出配管７１，７１，…の各開閉バルブ７４の開閉作動をそれぞれ制御するようになされている。
【００３２】
ここで、図３のフローチャート図に基づいて、制御ユニット５０におけるエッチング液の濃度測定の処理を説明する。
【００３３】
ステップＳ１は、純水により濃度計７０を校正するステップであり、このステップでは、純水配管７３の開閉バルブ７６がコントローラ８０により所定時間だけ開かれ、これにより、所定量の純水が濃度計７０に導入される。その後、ステップＳ２に移る。
【００３４】
ステップＳ２では、新液配管７２の開閉バルブ７５がコントローラ８０により所定時間だけ開かれる。これにより、新液補充槽４０のエッチング新液が濃度計７０に所定量だけ導入され、そのエッチング新液により濃度計７０を校正する。
つまり、基準値を得るために、エッチング新液の成分濃度測定を測定する。そして、次の、ステップＳ３に移る。
【００３５】
このステップＳ３では、第１処理部（第１槽）２０の取出配管７１の開閉バルブ７４がコントローラ８０により所定時間だけ開かれる。これにより、第１処理部２０のエッチング液が所定量だけ濃度計７０に導入され、そのエッチング液の各成分の濃度を測定部７９により測定する。その後、ステップＳ４に移る。
【００３６】
ステップＳ４では、エッチング新液の各成分の測定濃度値を基準値としてエッチング液の各成分の濃度の差分値を演算し、次いで、各成分の差分値について、それぞれ、所定値に達しているか否かを判定する。そして、判定がＹＥＳであるとき、つまり、濃度が所定値に達せず添加が必要な濃度（要添加濃度）であるときには、原液を添加する必要があると見做し、ステップＳ５に移る。一方、判定がＮＯであるときには、原液を添加する必要はないと見做し、ステップＳ７に移る。
【００３７】
上記のステップＳ５では、各成分の差分値に基づき、各原液の添加量を演算する。そして、次のステップＳ６では、添加すべき原液に対応する添加配管５５の開閉バルブ５８が開かれて原液を添加する。そして、流量計５７からの信号に基づき、添加量が上記演算値に達したときに開閉バルブ５８を閉じる。これで、第１処理部２０のエッチング液に対する濃度管理の処理は終了する。
【００３８】
次いで、第２処理部（第２槽）２０のエッチング液に対する濃度管理に移り、ステップＳ７〜Ｓ１０の処理を行う。尚、これらステップＳ７〜Ｓ１０は、それぞれ、上記したステップＳ４〜Ｓ６の処理と同じであるので、説明は省略する。
【００３９】
以上のようにして、第１および第２処理部２０，２０の各エッチング液の濃度管理が行われる。尚、ここでは、処理部２０が２つである場合について説明したが、処理部２０が３つ以上である場合には、ステップＳ４〜Ｓ６の処理をその都度繰り返して行うことになる。また、その繰返しの都度に、ステップＳ１〜Ｓ３の処理を行うようにしてもよい。さらに、上記の例では、全ての処理部２０，２０，…に対し、順に原液を添加するようにしているが、一斉に添加するようにしてもよい。
【００４０】
ここで、上記ステップＳ５で行われる原液添加量の演算の一例を、次表に基づいて詳細に説明する。
【００４１】
【表１】
2004315846.tif 000003
【００４２】
先ず、リン酸，硝酸，酢酸，純水の各比重が、それぞれ、１．６９２，１．４１５９，１．０５１７，１であり、エッチング液のリン酸，硝酸，酢酸，純水の各成分の濃度（ｗ％）の初期比率が、
６０．００：１０．００：１０．００：２０．００
であり、エッチング液の総量が、２００リットルであるとする。
【００４３】
このとき、リン酸，硝酸，酢酸の各成分の濃度を各々の比重で割って（残りは純水）得られる各成分の体積（リットル）の比率は、
４９．２３：９．８０：１３．２０：２７．７７
であるので、各成分の体積は、それぞれ、９８．４６リットル，１９．６１リットル，２６．４０リットル，５５．５３リットルである。
【００４４】
一方、原液槽５１〜５４での各成分の濃度を、それぞれ、８５ｗ％，７０ｗ％，９９ｗ％，１００ｗ％である（残りは純水）とすると、現役中における各成分の体積の比率は、それぞれ、７７％，６２％，９９％，１００％である。
【００４５】
そして、１日後のエッチング液の各成分の濃度の変化量が、それぞれ、＋１．８０ｗ％，−０．３０ｗ％，−１．６０ｗ％，＋０．１０ｗ％であったとすると、このときの各成分の濃度の比率は、
６１．８０：９．７０：８．４０：２０．１０
である。
【００４６】
これを、体積の比率にすると、
５１．１１：９．５９：１１．１８：２８．１３
となり、このときの各体積は、それぞれ、１０２．２２リットル，１９．１７リットル，２２．３５リットル，５６．２５リットルである。
【００４７】
ここで、濃度の上昇する成分のうち、その上昇率の最も高いリン酸を基準にして、成分の体積の比率が、エッチング新液のとき（各成分の体積が、それぞれ、９８．４６リットル，１９．６１リットル，２６．４０リットル，５５．５３リットルであるとき）と同じになるように、その他の各成分の体積を演算すると、硝酸については、
１９．６１×１０２．２２÷９８．４６＝２０．３６
酢酸については、
２６．４０×１０２．２２÷９８．４６＝２７．４１
純水については、
５５．５３×１０２．２２÷９８．４６＝５７．６５
となる。
【００４８】
次に、上記を実現するために必要な各成分の添加量（リットル）を演算すると、硝酸については、
２０．３６−１９．１７＝１．１９
酢酸については、
２７．４１−２２．３５＝５．０６
純水については、
５７．６５−５６．２５＝１．４０
となる。
【００４９】
ここで、各成分の原液中での成分の体積比率を考慮して、各成分の原液の体積を演算すると、硝酸原液については、
１．１９÷０．６２＝１．９１
酢酸原液については、
５．０６÷０．９９＝５．１１
純水原液については、
１．４０÷１．００＝１．４０
となる。
【００５０】
但し、純水については、硝酸および酢酸の各原液にも含まれているので、その分だけ、差し引く必要がある。
【００５１】
つまり、各原液に含まれる純水の体積は、硝酸原液では、
１．９１−１．１９＝０．７２
酢酸原液では、
５．１１−５．０６＝０．０５
である。
【００５２】
したがって、原液としての純水の添加量は、
１．４０−（０．７２＋０．０５）＝０．６３
である。
【００５３】
これらにより、原液添加後の各成分の体積は、それぞれ、１０２．２２リットル，２０．３６リットル，２７．４１リットル，５７．６５リットル（総量は２０７．６４リットル）となり、その体積の比率は、
４９．２３：９．８０：１３．２０：２７．７７
であるので、各成分の濃度の比率は、エッチング新液の場合と同じく、
６０．００：１０．００：１０．００：２０．００
となる。
【００５４】
すなわち、この場合には、２００リットルのエッチング液に対し、硝酸，酢酸，純水の各原液を、それぞれ、１．９１リットル，５．１１リットル，０．６３リットルずつ（合計で７．６４リットル）添加することにより、エッチング液の各成分の濃度の比率は、エッチング新液と同じになる。
【００５５】
したがって、本実施形態によれば、エッチング液を用いてエッチング処理を行う複数の処理部２０，２０，…を備えたエッチング装置において、各処理部２０のエッチング液の濃度を、１つの濃度計７０により順に測定するようにしたので、各処理部２０毎に濃度計７０が設置されるようにする場合に比べて、濃度計７０の設置数を削減することができ、エッチング装置に要する設備コストの低減に寄与することができるとともに、エッチング液濃度の測定精度を高めることができ、各処理部２０でのエッチング処理精度の向上を図ることができる。
【００５６】
さらに、各処理部２０のエッチング液の濃度を、新液補充槽４０のエッチング新液の濃度の測定値を基準値として相対測定するようにしたので、絶対測定のときよりも高い精度の測定を行うことができ、エッチング液濃度の測定精度をさらに高めることができる。因みに、濃度計７０の測定部７９の一例として挙げた「ケミカライザー（登録商標）」の場合では、絶対測定のときの精度が±０．５ｗ％であるのに対し、相対測定のときの精度は、±０．１ｗ％であった。
【００５７】
尚、上記の実施形態では、エッチング液が、リン酸と硝酸と酢酸と純水とからなるものである場合について説明したが、エッチング液を構成する成分は、エッチング処理に応じて適宜任意に定めることができる。
【００５８】
また、上記の実施形態では、エッチング液を構成する各成分に対応して、リン酸原液と硝酸原液と酢酸原液と純水とを個別に用意する場合について説明したが、原液として２種類以上の成分（例えば、酢酸成分および硝酸成分）が所定の比率で混合されてなるものを利用することもできる。
【００５９】
さらに、上記の実施形態では、薬液がエッチング液である場合について説明したが、本発明は、エッチング液以外の薬液の濃度管理に適用することもできる。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したように、第１の発明によれば、薬液を用いて処理を行う複数の処理部を備えた薬液装置において、各処理部の薬液の濃度を濃度測定手段により順に測定するようにしたことで、１つの濃度測定手段で各処理部の薬液の濃度を測定することができ、よって、各処理部毎に濃度測定手段が設置されるようにする場合に比べて濃度測定手段の設置数を削減することができ、薬液装置に要する設備コストの低減に寄与することができるとともに、複数の濃度測定手段でそれぞれ測定する場合に比べて薬液濃度の測定精度を高めることができ、各処理部での処理精度の向上を図ることができる。
【００６１】
第２の発明によれば、各処理部の薬液濃度を、新液濃度の測定値を基準値として相対測定することで、絶対測定の場合よりも高い精度の測定を行うことができるので、薬液濃度の測定精度をさらに高めることができる。
【００６２】
第３の発明によれば、薬液が、エッチング液であるので、第１の発明では、エッチング装置の設備コストの低減に寄与することができるとともに、各処理部でのエッチング処理精度の向上を図ることができる。一方、第２の発明では、エッチング処理精度のさらなる向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るエッチング装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】エッチング装置の基本構成を示す説明図である。
【図３】制御ユニットにおけるエッチング液の濃度管理の処理を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
２０  処理部
４０  新液補充槽（新液部）
７０  濃度計（濃度測定手段）
７１  取出配管（薬液導入手段）
７２  新液配管（新液導入手段）
７４  開閉バルブ（薬液導入手段）
７５  開閉バルブ（新液導入手段）
８０  コントローラ（制御手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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