(57)【要約】【課題】ＣＩ値の上昇を招くことなく、振動腕の垂直方向の動きを抑制して、振動腕のほぼ全長にわたり剛性を確保することで、適切な振動を実現できる圧電振動片と、この圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。【解決手段】圧電材料により形成されており、基部５１から平行に延びる一対の振動腕３４，３５と、前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝４４，４４と、前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部４５，４５とを備える。【選択図】    図３
2004200917.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、
前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝と、
前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部と
を備えることを特徴とする、圧電振動片。
【請求項２】
前記支持部の前記溝の底部と一体になった一体部が、この支持部の少なくとも前記溝の開口側の端部よりも、その厚みが増すように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記溝が前記各振動腕の表面及び裏面にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記支持部が、前記溝の一つに対して複数形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記各振動腕の腕幅が、５０μｍないし１５０μｍであり、前記溝の深さが、前記各振動腕の材料厚みの３０パーセント以上、５０パーセント未満であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記各振動腕に設けた前記溝の溝幅が、各振動腕の腕幅の４０パーセント以上であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記各振動腕に設けた前記溝の溝幅が、各振動腕の腕幅の７０パーセント以上であることを特徴とする請求項６に記載の圧電振動片。
【請求項８】
ケースもしくはパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
前記圧電振動片が、
基部から平行に延びる一対の振動腕と、
前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝と、
前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部と
を備えることを特徴とする、圧電デバイス。
【請求項９】
ケースもしくはパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、
前記圧電振動片が、
基部から平行に延びる一対の振動腕と、
前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝と、
前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部とを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、携帯電話装置。
【請求項１０】
ケースもしくはパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した電子機器であって、
前記圧電振動片が、
基部から平行に延びる一対の振動腕と、
前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝と、
前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部とを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動片と、この圧電振動片をパッケージに収容した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
図１１は、このような圧電デバイスの構成例を示す概略断面図である。
図において、圧電デバイス１は、パッケージ２の内部に、圧電振動片３を収容している。パッケージ２はこの場合、絶縁材料を浅い箱状に形成したもので、内部に圧電振動片３を収容固定した後で、蓋体４により封止されるようになっている。
【０００３】
パッケージ２は、セラミックのグリーンシートでなる複数の基板２ａ，２ｂ，２ｃを成形して積層し、焼結することにより形成されており、基板２ｂ，２ｃ  の内側には、成形時に材料を除去して形成した孔を設けることにより、図示するように圧電振動片３を収容する空間を形成している。
【０００４】
圧電振動片３は、例えば水晶をエッチングすることにより図１２のような形成とされている。図示されているように、圧電振動片３は、基部５と、この基部５から図において右方に平行に延びる一対の振動腕６，７を備える、所謂、音叉型水晶片で構成されている。
振動腕６，７には、長さ方向に延びる溝６ａと溝７ａとがそれぞれ形成されている。この振動腕７のＢ−Ｂ線切断端面図を図１３に示す。図１３に示されているように、励振電極８ａ，８ｂが形成されており、この励振電極８ａ，８ｂに対して外部から駆動電圧を印加することにより、図１３の矢印に示すように、振動腕７内部に矢印で示すように電界が形成される。このような電界の作用によって、図１２の各振動腕６，７について、それぞれ、各溝６ａ，７ａを挟んだ両側の材料が、矢印に示すように伸長と、収縮を交互に繰り返す。
【０００５】
これにより、図１２に示すように、振動腕６，７は、矢印Ａに示すように、その先端側を互いに接近、離間するように振動する。尚、図１２では、理解の便宜のため、振動腕６，７の動きを実際よりも極端に誇張して示している。このような振動に基づく振動周波数を取り出すことにより、制御クロック信号等の各種信号に利用されるようになっている。
ここで、図１２の振動腕６，７の矢印Ａに沿った振動は、図１３の矢印ｘ方向（この方向を、以下、「水平方向」という）に沿う水平な動きである。
【０００６】
【特許文献１】特開昭５６−６５５１７号
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、図１３において、振動腕７について、その表裏に溝７ａ，７ａを形成する製造工程では、振動腕７の表側と裏側から、それぞれハーフエッチングすることで溝７ａ，７ａを形成している。そして、１００μｍ程度の腕幅しかない振動腕７に対して、表裏面に設けられる各溝７ａ，７ａは、振動腕７の表側と裏側から別々に形成されるために、図１３に示されているように、図において、左右方向に位置が互いにずれた状態で形成されることがある。
このような状態であると、図１２で示すように、振動腕６，７が矢印Ａ方向に振動する際に、その動きに図１３のｚ方向（この方向を、以下、「垂直方向」という）成分の動きが加わり、矢印Ｃ方向の振動となってしまう。
【０００８】
このような振動特性の変化により種々の弊害があるが、例えば、図１４は、各振動腕６，７が矢印Ａ方向に、正しく振動した場合の圧電振動片３の周波数シフトと温度変化の相関を示し、図１５は、各振動腕６，７が図１３で説明したように垂直成分の動きを伴って振動した場合の圧電振動片３の周波数シフトと温度変化の相関を示している。
すなわち、周波数ｆは、ｋを定数、Ｅを弾性定数、Ｉを断面二次モーメントとすると、次式で表される。
ｆ＝ｋ・（Ｅ・Ｉ）-2・・・・・式（１）
このため、温度特性は、弾性定数や弾性二次モーメントの変化により、二次曲線を示す。
これらの圧電振動片３の温度特性を比較すると、周波数変化の頂点温度が図１４の場合は正常で、摂氏２５度付近であるが、図１５の場合には、マイナス側にずれて摂氏１４度程度になっている。
【０００９】
本発明は、振動腕の垂直方向の動きを抑制して、振動腕のほぼ全長にわたり剛性を確保することで、適切な振動を実現できる圧電振動片と、この圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述の目的は、第１の発明によれば、圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝と、前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部とを備える、圧電振動片により、達成される。
第１の発明の構成によれば、各振動腕に形成される溝は、有底の溝であることから、各振動腕に貫通溝を形成する場合と比較すると、これら各振動腕は、より高い剛性を備えることになる。さらに、各溝には、この溝を幅方向に横切るように設けられ、溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部が設けられている。これにより、支持部は、特に、溝の底部の構造と一体となって、溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を支持し、変形が生じないようにする。このため、各振動腕の捩じれ方向の剛性を強化することができる。
したがって、本発明によれば、支持部を振動腕に多数設ける必要がないので、振動腕の垂直方向の動きを抑制して、振動腕のほぼ全長にわたり剛性を確保することで、適切な振動を実現できる圧電振動片を得ることができるいう効果を発揮する。
【００１１】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記支持部の前記溝の底部と一体になった一体部が、この支持部の少なくとも前記溝の開口側の端部よりも、その厚みが増すように形成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、前記支持部の前記溝の底部と一体になった一体部が、この支持部の少なくとも前記溝の開口側の端部よりも、その厚みが増すように形成されている。言い換えれば、前記支持部は溝の底部に向かってその厚みが増すように形成されている。このため、支持部は溝の底部と特に強固に接続されている。したがって、この圧電振動片においては、前記支持部がこの溝の底部と強固に固定されることで、振動腕の捩じれ方向の変形力に対して、有効に対抗でき、この捩じれ方向の変形を一層効果的に防止することができる。
【００１２】
第３の発明は、第１または第２の発明のいずれかの構成において、前記溝が前記各振動腕の表面及び裏面にそれぞれ設けられていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、各振動腕の表裏面にそれぞれ前記溝を形成するので、細い振動腕に微細な幅で溝を形成することで、表裏の溝位置がずれてしまう場合がある。しかしながら、本発明者は、このような有底の溝が振動腕の剛性を強化する上で大きな効果を発揮することに着目して、このような表裏の溝のずれという加工上の欠点を許容し、それに伴う弊害は、表裏の各溝に前記支持部を形成して解決するようにしている。つまり、溝が底部を設けることと、表裏の溝に前記支持部を形成することがあいまって、各振動腕の垂直成分の動きを効果的に抑制することができる。
【００１３】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記支持部が、前記溝の一つに対して複数形成されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、ひとつの溝に形成される支持部の数を増やすと、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値が上昇するが、支持部の数を増やすことで、振動腕の剛性はその分向上する。
【００１４】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記各振動腕の腕幅が、５０μｍないし１５０μｍであり、前記溝の深さが、前記各振動腕の材料厚みの３０パーセント以上５０パーセント未満であることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、前記各振動腕の腕幅を、５０μｍないし１５０μｍとした場合において、前記溝の深さが、前記各振動腕の材料厚みの３０パーセント未満であると、ＣＩ値の低減効果が十分得られず、実用可能なＣＩ値とならない場合がある。また、前記溝の深さが、前記各振動腕の材料厚みの５０パーセントを越えると、振動腕の表裏面にそれぞれ溝を形成することが不可能となる。
【００１５】
第６の発明は、第１ないし第５の発明のいずれかの構成において、前記各振動腕に設けた前記溝の溝幅が、各振動腕の腕幅の４０パーセント以上であることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、振動腕の腕幅の４０パーセント以上とすることにより、ＣＩ値を適切に抑制して実用可能なＣＩ値を実現することができるという作用を発揮する。
【００１６】
第７の発明は、第６の発明の構成において、前記各振動腕に設けた前記溝の溝幅が、各振動腕の腕幅の７０パーセント以上であることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、振動腕の腕幅の７０パーセント以上とすることにより、ＣＩ値の抑制が最大限に可能となり、振動腕の腕幅の１００パーセント近くなると、振動腕に溝を形成することが不可能になる。
【００１７】
上述の目的は、第８の発明によれば、ケースもしくはパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、前記圧電振動片が、基部から平行に延びる一対の振動腕と、前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝と、前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部とを備える、圧電デバイスにより、達成される。
第８の発明によれば、この圧電デバイスに収容されている圧電振動片の各振動腕には有底の溝が形成されており、この溝に設けた支持部は、特に、溝の底部の構造と一体となって、溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を支持し、変形が生じないようにする。このため、各振動腕の捩じれ方向の剛性を強化することができる。このことにより、圧電デバイスに収容された圧電振動片について、その振動腕の垂直方向の動きを抑制して、振動腕のほぼ全長にわたり剛性を確保できるので、適切な振動を実現できる。
【００１８】
上述の目的は、第９の発明によれば、ケースもしくはパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、前記圧電振動片が、基部から平行に延びる一対の振動腕と、前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝と、前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部とを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、携帯電話装置により、達成される。
【００１９】
上述の目的は、第１０の発明によれば、ケースもしくはパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した電子機器であって、前記圧電振動片が、基部から平行に延びる一対の振動腕と、前記各振動腕にそれぞれ設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って延びる有底の溝と、前記溝を幅方向に横切るように設けられ、前記溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部とを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、電子機器により、達成される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１及び図２は、本発明の圧電デバイスの第１の実施の形態を示しており、図１はその概略平面図、図２は図１のＥ−Ｅ線概略断面図である。
図において、圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示しており、圧電デバイス３０は、パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。パッケージ３６は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。複数の各基板は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した場合に内側に所定の内部空間Ｓ２を形成するようにされている。この実施形態は、パッケージ３６の厚さを最小とするために、第１の基板６１と第２の基板６２を積層して形成されていおり、第２の基板６２の内側の材料を除去することで、内部空間Ｓ２のスペースを形成している。
この内部空間Ｓ２が圧電振動片を収容するための収容空間である。
【００２１】
パッケージ３６の内部空間Ｓ２内の図において左端部付近において、内部空間Ｓ２に露出して内側底部を構成する第１の基板６１には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成した電極部３１，３１が設けられている。
この電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部３１，３１の上に導電性接着剤４３，４３が塗布され、この導電性接着剤４３，４３の上に圧電振動片３２の基部５１の幅方向両端部に設けた引き出し電極３３，３３が載置されて、導電性接着剤４３，４３が硬化されるようになっている。尚、導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたものが使用でき、シリコーン系、エポキシ系またはポリイミド系導電性接着剤等を利用することができる。
【００２２】
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図示する形状とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、パッケージ３６側と後述するようにして固定される基部５１と、この基部５１を基端として、図において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
この圧電振動片３２の詳しい構成については、さらに後で説明する。
【００２３】
パッケージ３６の開放された上端には、蓋体３９が接合されることにより、封止されている。蓋体３９は、パッケージ３６に封止固定した後で、図２に示すように、外部からレーザ光ＬＢを圧電振動片３２の金属被覆部もしくは励振電極の一部（図示せず）に照射して、質量削減方式により周波数調整を行うために、光を透過する材料，特に、薄板ガラスにより形成されている。
蓋体３９として適するガラス材料としては、例えば、ダウンドロー法により製造される薄板ガラスとして、例えば、硼珪酸ガラスが使用される。
【００２４】
次に、図３及び図４を参照して、圧電デバイス３０のパッケージ３６内に収容される圧電振動片３２について、詳しく説明する。
図３は、圧電振動片３２の構成を示す概略斜視図、図４は図３のＦ−Ｆ線切断端面図（切断面だけを示す図）である。
図３において、圧電振動片３２は、例えば、圧電材料である水晶を音叉型に加工されて形成されている。このとき、図３に示すＸ軸が電気軸、Ｙ軸が機械軸及びＺ軸が光軸となるように水晶の単結晶から切り出されることになる。また、水晶の単結晶から切り出す際、上述のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる直交座標系において、Ｘ軸回りに、Ｘ軸とＹ軸とからなるＸＹ平面を反時計方向に約マイナス５度乃至プラス５度傾けて形成される。
【００２５】
図３において、圧電振動片３２は、このような条件のもとに、上述したように、基部５１から平行に延びる一対の振動腕３４，３５を有している。この実施形態では、圧電振動片３２は、基部５１の各振動腕３４，３５の基端部近傍に、基部５１の幅を縮幅するようにして設けたくびれ部、もしくは切欠き部４８，４８を備えている。圧電振動片３２は、この切欠き部４８，４８を備えることにより、各振動腕３４，３５からの振動の基部５１側への漏れ込みが抑制されるようになっている。
【００２６】
各振動腕３４，３５には、それぞれ長さ方向に延びる溝４４，４４を有している。この各溝４４，４４は、図４に示されているように、各振動腕３４の表裏両面に形成されており、図４には示されていないが、振動腕３５に形成される溝も同じ構造である。図４において、溝４４の長さ方向の一端部Ｍ１から他端部Ｍ２に到る全長がＬＡで示されている。
【００２７】
さらに、圧電振動片３２の基部５１の端部（図２では左端部）の幅方向両端付近には、上述したように、パッケージ３６の電極部３１，３１と接続するための引き出し電極３３，３３が形成されている。各引き出し電極３３，３３は、圧電振動片３２の基部５１の表裏に設けられている。これらの各引き出し電極３３，３３は、各振動腕３４，３５の溝４４，４４内に設けた図示しない励振電極と接続されている。励振電極の形成箇所の設け方は従来と同様であるから省略する。
【００２８】
次に、振動腕３４，３５に設けられた溝４４，４４の構造について説明するが、これらは各振動腕３４，３５について同一の構造なので、図３及び図４に関して、どちらか現れている箇所を示しながら、全体としての振動腕と溝との関係等について説明する。
圧電振動片３２の腕幅Ｗ１は、例えば、５０μｍないし１５０μｍである。この圧電振動片３２の振動腕３４の厚みＤ１に対して、図４に示す溝４４の溝深さＤ２は、Ｄ１の３０パーセント以上、５０パーセント未満に設定されている。
また、溝４４の溝幅Ｗ２は、好ましくは、振動腕３５の腕幅Ｗ１の４０パーセント以上に設定され、さらに好ましくは、７０パーセント以上とされている。
【００２９】
また、図３に示すように、振動腕３４を構成する材料（この実施形態では「水晶材料」）は、この振動腕３４に設けた溝４４により、３４ａの部分と３４ｂの部分に分離されているが、図４に示すように、底部４６は一体に形成されている。したがって、溝４４は有底の溝であり貫通していない。
【００３０】
さらに、図３に示すように、振動腕３４，３５の各溝４４，４４には、それぞれ、例えば、サイドバー状の支持部４５，４５が設けらている。具体的には、振動腕３４の溝４４により分離される３４ａの部分と３４ｂの部分には、支持部４５が一体に接続されている。
図４に示されているように、支持部４５は、溝４４の底部４６と一体であり、この支持部４５の溝の底部４６と一体になった一体部４５ａ，４５ｂが、この支持部４５の少なくとも溝４４の開口側の端部よりも、その厚みが増すように形成されている。具体的には、支持部４５と底部４６とが一体となる箇所である一体部４５ａは裾を引くように底部４６側に向かって拡がっている。
【００３１】
この実施形態では、図４に示されているように、溝４４に支持部４５はひとつだけ設けられ、溝４４の一端部Ｍ１から、支持部４５の中心Ｏまでの距離Ｌ１と、支持部４５の中心Ｏから溝４４の他端部Ｍ２までの距離Ｌ２は等しい関係になるようにされている。
これにより、溝４４はその全長ＬＡが支持部４５により二分されることになり、圧電振動片３２が駆動された際に、その屈曲振動が支持部４５により等分されることになるので、捩じれ方向の変形が打ち消しあって、全体として捩じれ変形が生じにくい。
また、支持部４５は溝４４の全長ＬＡの範囲で複数設けるようにしてもよい。これにより、振動腕３４の剛性はその分向上するが、ＣＩ値も上昇する。したがって、ＣＩ値の上昇が許容される範囲において、支持部４５の数を増やすことで、より振動腕３４の剛性を向上させることができる。
【００３２】
本実施形態は以上のように構成されており、図４で説明したように、圧電振動片３２の各振動腕３４，３５に形成される溝４４，４４は、有底の溝であることから、各振動腕３４，３５に貫通溝を形成する場合と比較すると、これら各振動腕３４，３５は、より高い剛性を備えることになる。
しかも、図３及び図４において、各溝４４には、支持部４５が設けられている。この支持部４５は、溝４４の底部４６と一体となって、溝４４により幅方向に分離された振動腕３４を構成する材料３４ａ，３４ｂを支持し、変形が生じないようにする。このため、振動腕３４の捩じれ方向の剛性を強化することができる。
したがって、この圧電振動片３２では、支持部４５を振動腕３４，３５のひとつの溝４４に多数設ける必要がないので、ＣＩ値の上昇を招くことなく、振動腕３４，３５の垂直方向の動きを抑制して、振動腕のほぼ全長にわたり剛性を確保することで、適切な振動を実現できる。
【００３３】
しかも、図４で説明したように、支持部４５は溝４４の底部４６に向かってその厚みが増すようにした一体部４５ａ，４５ｂを備えている。このため、支持部４５は溝４４の底部４６と特に強固に接続されている。したがって、この圧電振動片３２においては、支持部４５が、溝４４の底部４６と強固に固定されることで、振動腕３４の捩じれ方向の変形力に対して、効果的に対抗して、この捩じれ方向の変形を一層効果的に防止することができる。
【００３４】
さらに、上述したように、圧電振動片３２の各振動腕３４，３５の腕幅Ｗ１が、５０μｍないし１５０μｍであり、溝４４の深さＤ２が、各振動腕３４，３５の材料厚みの３０パーセント以上５０パーセント未満とされている。これにより、十分低いＣＩ値とすることができる。
この場合、溝４４の深さＤ２が、振動腕３４の材料厚みＤ１の３０パーセント未満であると、ＣＩ値の低減効果が十分得られず、実用可能なＣＩ値とすることができない場合がある。例えば、３２．７６８ｋＨｚの音叉振動子で腕幅が１００μｍの場合、溝深さ３０μｍ（材料厚みの３０パーセント）、溝幅７０μｍ（腕幅の７０パーセントであって、これ以上溝幅を広げてもＣＩ値があまり低下しなくなる寸法）であっても、ＣＩ値は１００ｋΩ程度と実用範囲の限界付近の値となっている。
また、溝４４の深さＤ２が、振動腕３４の材料厚みＤ１の５０パーセントを越えると、振動腕の表裏面にそれぞれ溝４４を形成することが不可能となる。
【００３５】
また、図３に示すように、圧電振動片３２の溝４４の溝幅Ｗ２が、振動腕の腕幅Ｗ１の４０パーセント以上とされている。この場合、溝４４の溝幅Ｗ２が、振動腕の腕幅Ｗ１の４０パーセント未満であると、ＣＩ値の低減効果が十分得られないことから、実用可能なＣＩ値とならない可能性がある。例えば、３２．７６８ｋＨｚの音叉振動子で腕幅が１００μｍの場合、溝深さ４５μｍ（材料厚みの４５パーセントで、これ以上溝深さを拡大すると、貫通のおそれがあることから製造が困難である）、溝幅４０μｍ（腕幅の４０パーセント）では、ＣＩ値は１００ｋΩ程度と実用範囲の限界付近の値となっている。
【００３６】
さらに、好ましくは、圧電振動片３２では、溝４４の溝幅Ｗ２が、振動腕の腕幅Ｗ１の７０パーセント以上とすることができる。これにより、ＣＩ値の低減効果は最大限に得られる範囲となる。尚、溝４４の溝幅Ｗ２が、振動腕の腕幅Ｗ１の１００パーセントでは溝形成が不可能となることは言うまでもない。。
【００３７】
図５ないし図７は、駆動時に圧電振動片に形成される電界に基づく電流と、周波数変化率の関係をシュミレーシュンにより確認したグラフである。
所謂音叉型の圧電振動片では、Δｆ／ｆ＝周波数変化率、Ｉ2 ＝圧電振動片に流れる電流の二乗値、とすると、一般に次式の関係が成立する。
Δｆ／ｆ＝ｋ１・Ｉ2 ＋ｋ２・Ｉ2 ・・・・・式（２）
ここで、ｋ１は、圧電振動片が水平方向（図１３のｘ方向）に振動する弾性体として決まる定数（正の値となる）。ｋ２は、圧電振動片が垂直方向（図１３のｚ方向）に振動する弾性体として決まる定数（負の値となる）。
【００３８】
図５は、圧電振動片に溝を形成しない場合、つまり、図３のような圧電振動片３２において、例えば、溝４４，４４を設けないような形態の圧電振動片の特性を示している。この場合には、Δｆ／ｆは正の値を示し、振動周波数は３ないし５ｐｐｍの範囲でばらついている。
図６は、圧電振動片に溝のみを形成した場合、つまり、図３の圧電振動片３２において、例えば、溝４４，４４を設けて、支持部４５，４５を設けないような形態の圧電振動片の特性を示している。この場合には、図１３で説明した理由により、ｋ２である垂直振動成分が大きくなり、Δｆ／ｆは負の値を示し、振動周波数はマイナス８ないしマイナス４ｐｐｍの範囲でばらついている。
図７は、本実施形態の圧電振動片３２であり、各振動腕３４，３５に溝４４，４４を形成し、溝４４内には支持部４５を形成した形態の圧電振動片の特性を示している。図示されているように、図６に比べてｋ２である垂直振動成分が大幅に小さくなり、Δｆ／ｆである振動周波数の変動率もマイナス１ないしプラス２ｐｐｍ程度のばらつきに収まることがわかる。
【００３９】
図８及び図９は、所謂音叉型の圧電振動片について、ＣＩ値と温度特性との相関を示したグラフであり、ＣＩ値の変化と図１４及び図１５で説明した頂点温度の関係を示している。
図８は振動腕に溝を設け支持部を形成しない場合のＣＩ値−温度特性を示し、図９は本実施形態の圧電振動片３２のＣＩ値−温度特性を示すグラフである。
図８の場合、ＣＩ値が変化（上昇）するにしたがい、頂点温度がマイナス側にシフトしている。これに対して、図９の本実施形態の場合には、ＣＩ値が変化しても頂点温度がシフトしないことがわかる。
すなわち、図８のようにＣＩ値と頂点温度に相関が現れるのは、振動腕に溝を設け支持部を形成しない場合に、振動腕の垂直振動成分の不安定さが生じるからであり、図９のように、振動腕に溝を設け支持部を形成すると、図９のようにＣＩ値に依存せずに頂点温度を安定させることができる。
【００４０】
図１０は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図である。
図において、送信者の音声を受信するマイクロフォン３０８及び受信内容を音声出力とするためのスピーカ３０９を備えており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続された制御部としての集積回路等でなるＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）３０１を備えている。
ＣＰＵ３０１は、送受信信号の変調及び復調の他に画像表示部としてのＬＣＤや情報入力のための操作キー等でなる情報の入出力部３０２や、ＲＡＭ，ＲＯＭ等でなる情報記憶手段３０３の制御を行うようになっている。このため、ＣＰＵ３０１には、圧電デバイス３０が取り付けられて、その出力周波数をＣＰＵ３０１に内蔵された所定の分周回路（図示せず）等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようにされている。このＣＰＵ３０１に取付けられる圧電デバイス３０は、圧電デバイス３０等単体でなくても、圧電デバイス３０等と、所定の分周回路等とを組み合わせた発振器であってもよい。
【００４１】
ＣＰＵ３０１は、さらに、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）３０５と接続され、温度補償水晶発振器３０５は、送信部３０７と受信部３０６に接続されている。これにより、ＣＰＵ３０１からの基本クロックが、環境温度が変化した場合に変動しても、温度補償水晶発振器３０５により修正されて、送信部３０７及び受信部３０６に与えられるようになっている。
【００４２】
このように、制御部を備えたディジタル式携帯電話装置３００のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電振動片３２と、これらを利用した圧電デバイス３０を利用することにより、ＣＩ値の上昇を招くことなく、振動腕の垂直方向の動きを抑制して、振動腕のほぼ全長にわたり剛性を確保することで、適切な振動を実現できることから、正確なクロック信号を生成することができる。
【００４３】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、パッケージ内、あるいは金属製の筒状のケース等に圧電振動片を収容するものであれば、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、全ての圧電デバイスに適用することができる。
また、上述の実施形態では、パッケージに圧電材料を使用した箱状のものを利用しているが、このような形態に限らず、少なくともパッケージの一部について、光が透過できる箇所を設けたものであれば、いかなるパッケージやケースを伴うものについても本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電デバイスの実施形態を示す概略平面図。
【図２】図１のＥ−Ｅ線概略断面図。
【図３】図１の圧電デバイスに利用される圧電振動片の主要部を示す概略斜視図。
【図４】図３のＦ−Ｆ線切断端面図。
【図５】振動腕に溝を形成しない圧電振動片に駆動時に形成される電界に基づく電流と、周波数変化率の関係を示すグラフ。
【図６】振動腕に溝を形成し支持部を設けない圧電振動片に駆動時に形成される電界に基づく電流と、周波数変化率の関係を示すグラフ。
【図７】本実施形態の圧電振動片に駆動時に形成される電界に基づく電流と、周波数変化率の関係を示すグラフ。
【図８】振動腕に溝を設け支持部を形成しない所謂音叉型の圧電振動片について、ＣＩ値と温度特性との相関を示したグラフ。
【図９】本実施形態の圧電振動片について、ＣＩ値と温度特性との相関を示したグラフ。
【図１０】本発明の実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図１１】従来の圧電デバイスの一例を示す概略断面図。
【図１２】図１１の圧電デバイスに使用される圧電振動片の概略平面図。
【図１３】図１２のＢ−Ｂ線切断端面図。
【図１４】図１１の圧電デバイスに使用される圧電振動片について周波数シフトと温度特性との正常な関係を示すグラフ。
【図１５】図１１の圧電デバイスに使用される圧電振動片について周波数シフトと温度特性との好ましくない関係が生じていること示すグラフ。
【符号の説明】
３０・・・圧電デバイス、３２・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、４５・・・支持部、４５ａ，４５ｂ・・・一体部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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