(57)【要約】【課題】容器の位置ずれなどの影響を受けることなく、容器の外形を高精度に検査できるようにし、加えて有効径の大きなレンズを用いずに大型や広口の容器についても検査できるようにする。【解決手段】容器９９′の外周面に向けて投光する投光装置１と、容器９９′の両側部分に対応させて前記投光装置１と対向するように配備された一対の光学系７Ａ，７Ｂと、各光学系７Ａ，７Ｂにより容器９９′の両側部分の光学像を結像させる結像面８Ａ，８Ｂとを含んでいる。各光学系７Ａ，７Ｂは、レンズ９Ａ，９Ｂの後方側の焦点位置に絞り１０Ａ，１０Ｂを位置させたテレセントリック光学系により構成されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器の外周面に向けて投光する投光装置と、容器の両側部分に対応させて前記投光装置と対向するように配備された一対の光学系と、各光学系により容器の両側部分の光学像を結像させる結像面とを含み、各光学系は、レンズの後方側の焦点位置に絞りを位置させたテレセントリック光学系により構成されて成る容器の外形検査装置。
【請求項２】
前記投光装置は、拡散光を発生させる光源と、光源からの光を通過させて容器に向けて投射する光学系とを含み、前記光学系は、レンズの前方側の焦点位置に絞りを位置させたテレセントリック光学系により構成されている請求項１に記載された容器の外形検査装置。
【請求項３】
前記投光装置は、容器の両側部分に対応させて互いに平行に配備された一対の投光装置である請求項１または２に記載された容器の外形検査装置。
【請求項４】
各光学系は、互いに接近または離間が可能なように移動可能である請求項１に記載された容器の外形検査装置。
【請求項５】
各光学系は、容器の胴部の両側部分に対応させて位置決めされている請求項１または４に記載された容器の外形検査装置。
【請求項６】
各光学系は、容器の口部の両側部分に対応させて位置決めされている請求項１または４に記載された容器の外形検査装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載された容器の外形検査装置であって、前記容器の両側部分の光学像を結像面より取り込んで容器の外径を計測するための画像処理を実行する画像処理装置をさらに備えて成る容器の口部検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、ガラスびん、ペットボトルなどの容器について、胴部や口部の外形などを非接触で光学的に検査するための容器の外形検査装置に関し、特にこの発明は、胴径が大きな大型の容器や口部径が大きな広口と呼ばれる容器についても検査の対象となし得る容器の外形検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に容器を製造するとき、その検査工程において、口部や胴部の外形などが適正かどうかの検査が行われる。例えば容器の胴部については、へたりや伸びなどによって胴径が規定値より大きくまたは小さくなっていないかどうかを検査したり、胴部の外周形状が真円であるかどうかを検査したりするもので、従来は、接触式の胴径検査装置によりその種の検査が行われていた（例えば、特許文献参照）。
【０００３】
【特許文献】
実開昭５８−６３５１２号公報
【０００４】
図１０は、従来の胴径検査装置を示すもので、スターホイール５０の凹部５１内に支持された容器１をスターホイール５０の間欠回転により所定の検査ステーションへ運んだ後、容器１の外周面に回転ホイール５２を接触させて摩擦により容器１を軸回転させつつ容器１の胴径を所定の高さ位置で計測している。容器１の胴部の外周面には所定の高さ位置にローラ５３がばね５５により押し付けられ、このローラ５３を容器１の軸回転に伴って容器１の胴部上を転動させる。ローラ５３はロッド５４の先端に回転自在に支持され、ロッド５４の基端には光電式の変位センサー（図示せず）が設けられている。この変位センサーの出力はロッド５４の往復動に応じて変動するので、その出力から容器１の胴径を判別する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記した胴径検査装置では、容器１の外周面にローラ５３を押し付けて接触させるので、容器１が位置ずれしたり、ローラ５３が転動時に飛び跳ねたりすると、変位センサーの出力に誤差が生じ、検査の精度が悪くなる。また、長期にわたる使用によってローラ５３の摩耗やがたつきが発生し、検査の精度が次第に低下してゆくという問題もある。
【０００６】
この問題を解決するには、容器の外形を非接触で検査する光学的な検査装置を用いる必要がある。その種の検査装置を用いれば、容器の位置ずれやローラの飛跳ね現象などの悪影響を受けることのない高精度の検査が可能となり、しかも、長期にわたって検査の精度を維持することも可能である。
【０００７】
図１１は、光学的な検査装置の典型例を示している。同図中、１０１は拡散光を発生する光源であり、この光源１０１を発した光は容器９９の外周面へ照射される。容器９９を挟んで光源１０１と対向する位置には光学装置１０３が配置されている。光学装置１０３は、複数枚のレンズとその中間位置に配置された絞りとが一体にマウントされた光学系１０５を含むもので、結像面１０６に容器９９の光学像１０７を結像させる。なお、図中、光学系１０５の中心を通る点線は光学系１０５の光軸１０４である。また、光学系１０５を通って結像面１０６に至る実線は光学像１０７の明るく見える部分の光路である。
【０００８】
上記した構成の検査装置では、容器９９の位置が、図中一点鎖線で示すように、光軸１０４に沿って変位すると、光学像１０７の大きさがＰ１からＰ２に変動するため、容器９９の外径の計測値に誤差が生じる。この計測誤差の発生を防止するには、容器９９の位置がずれないように容器９９の位置決め精度を高める必要があるが、その種の精度を高めるには限界がある。
【０００９】
この発明は、上記問題に着目してなされたもので、容器の位置ずれなどの影響を受けることなく、容器の外形を高精度に検査できる容器の外径検査装置を提供することを目的とする。
【００１０】
また、この発明が他に目的とするところは、有効径の大きなレンズを用いることなく、胴径が大きな大型の容器や口部径が大きな広口の容器についても検査することができる安価で小型の容器の外形検査装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明による容器の外形検査装置は、容器の外周面に向けて投光する投光装置と、容器の両側部分に対応させて前記投光装置と対向するように配備された一対の光学系と、各光学系により容器の両側部分の光学像を結像させる結像面とを含んでいる。各光学系は、レンズの後方側の焦点位置に絞りを位置させたテレセントリック光学系により構成されて成る。
【００１２】
また、この発明による容器の外形検査装置は、上記した構成に加えて、前記容器の両側部分の光学像を結像面より取り込んで容器の外径を計測するための画像処理を実行する画像処理装置をさらに備えたものである。
【００１３】
この発明の好ましい実施態様においては、画像処理が容易なコントラストの良好な光学像を得るために、前記投光装置として、拡散光を発生させる光源と、光源からの光を通過させて容器に向けて投射する光学系とを含んだものであって、前記光学系は、レンズの前方側の焦点位置に絞りを位置させたテレセントリック光学系により構成されたものを用いるようにする。しかし、前記光学系は必ずしもテレセントリック光学系である必要はなく、また、光学像の画質を多少犠牲にするのであれば、投光装置として例えば拡散光を発生させる光源のみから成るものを用いてもよい。
【００１４】
なお、投光装置は、単一の投光装置であってもよく、また、容器の両側部分に対応させて互いに平行に配備された一対の投光装置であってもよい。
【００１５】
また、各光学系は、検査対象の容器の大きさに対応させて、互いに接近または離間が可能なように移動可能であるのが望ましいが、例えば検査対象が決まったものであれば、必ずしも移動可能な構成である必要はない。
【００１６】
この発明による容器の外形検査装置は、例えば、容器の胴部や口部の外形を検査するものであるが、胴部を検査する場合には、各光学系は容器の胴部の両側部分に対応させて位置決めされ、口部を検査する場合には、各光学系は容器の口部の両側部分に対応させて位置決めされる。
【００１７】
【作用】
一対の光学系を例えば大型の容器の胴部の両側部分に対応させて投光装置と対向するように配置した後、前記投光装置によって容器の外周面に向けて投光すると、各光学系による胴部の両側部分の光学像が結像面に結像されるもので、各光学像により容器の胴部の外形に関わる情報を取得し得る。
各光学系はテレセントリック光学系により構成されているので、光軸と平行な光のみがレンズを屈折して通過した後、絞りの開口を通って結像面に至り、一方、光軸に平行でない光はレンズを屈折して通過しても絞りの開口へは至らずに遮断される。従って、容器の位置がずれても、光学像の大きさは変動しない。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１および図２は、この発明の一実施例である容器の外形検査装置の構成を示している。
図示例の外形検査装置は、胴径の小さな小型の容器や口部径の小さな広口でない容器のみならず、大型または広口の容器９９′についても検査の対象となし得るものであるが、小型の容器や広口でない容器９９を専ら検査対象とする図３に図示した外形検査装置と基本原理において共通している。従って、ここでは、図３の外形検査装置によって原理を説明しつつ、図１，２に示した実施例の構成に言及する。なお、以下の具体例では容器の胴部を検査する場合を想定しているが、これに限らず、容器の口部を検査することもできる。
【００１９】
図３の外形検査装置は、容器９９の外周面へ投光する投光装置１として、拡散光を発生する光源２と、この光源２からの光を容器９９の胴部へ照射するための光学系（以下「第１光学系」という。）３とを含んでいる。容器９９の中心を通る光軸１１上には他の光学系（以下「第２光学系」という。）７を含む光学装置６が配置されており、この光学装置６によって容器９９の胴部の光学像１２をＣＣＤより成る結像面８に結像させる。
【００２０】
第１、第２の各光学系３，７はテレセントリック光学系によって構成されている。このように、第１光学系３をテレセントリック光学系により構成したので、容器９９が光軸１１に沿う方向へ位置がずれても光学像１２の大きさは変動しない。また、第２光学系７をテレセントリック光学系により構成したので、光学像１２のコントラストが高められる。
なお、図１，２に示されるこの発明の実施例は、容器９９′の胴部の両側部分を一対の光学装置６Ａ，６Ｂによって観測するようにしたもので、各光学装置６Ａ，６Ｂが含む第２光学系７Ａ，７Ｂの光軸１１Ａ，１１Ｂは、容器９９ａの中心線１００と平行であって容器９９の胴径Ｄに対応する距離だけ離れている。
【００２１】
第１、第２の各光学系３，７は、光軸１１上に複数枚のレンズの集合体であるピント調整が可能なレンズマウント（以下単に「レンズ」という。）４，９と絞り５，１０とをそれぞれ備えたもので、第１光学系３では、絞り５の開口５ａがレンズ４の前側の焦点位置に、また、第２光学系７では、絞り１０の開口１０ａがレンズ９の後側の焦点位置に、それぞれ位置するように配置されている。
【００２２】
第１光学系３によると、光源２からの光のうち、絞り５の開口５ａを通過した光は光軸１１と平行となる。また、第２光学系７によると、光軸１１と平行な光のみがレンズ９を屈折して通過した後、絞り１０の開口１０ａを通って結像面８に集光される。従って、光軸１１に平行でない光は、レンズ９を屈折して通過しても、絞り１０の開口１０ａへは至らずに遮断される。
なお、図３では、結像面８に結像した光学像１２の明るく見える部分の光路は実線で、暗く見える部分の仮想光路（実際には光の通過はない）は点線で、それぞれ示してある。
【００２３】
第２光学系７のレンズ９は、胴部の外周部が最も突き出る部分Ｐ、すなわち、光軸１１と直交する容器９９の直径に当たる部分にピントが合わされており、これにより、容器９９の胴部の外形に関わる情報を取得し得る光学像１２を得ている。
【００２４】
第２光学系７において、前記光学像１２の結像に関わる光軸１１と平行な主光線は、実際には、主光線Ｌ（図中、実線で示す。）を中心として外周方向へ最大αの開き角度をもつ光成分（図中、一点鎖線で示す。）を有している。これは第２光学系７の絞り１０の開口１０ａを計測に必要な光量を確保するために相応の大きさの口径に設定したことによるものである。
同様に、第１光学系３において、光軸１１と平行となる主光線も、主光線Ｌ′を中心として外周方向へ最大α′の開き角度をもつ光成分（図中、一点鎖線で示す。）を有している。これは第１光学系３の絞り５の開口５ａを計測に必要な光量を確保するために相応の大きさの口径に設定したことによるものである。
【００２５】
図５は、図３の光学装置６の結像面８に結像した光学像１２を示している。この光学像１２は、容器９９の胴部中央を通過した光によって生成される中央部分の明部１４と、その明部１４を挟む両側の暗部１５，１５とを含むものである。前記暗部１５は主として胴部の内厚部分で光が遮断されることによって現れる部分であるが、第１光学系３の絞り５の開口５ａを小径にすると、この暗部１５の幅が拡がって背景の明部１６とのコントラストが高められる。なお、前記明部１６は、レンズ９の最大視野で制限された容器９９の背後にある光源２の画像である。
両側の暗部１５，１５の外縁間の距離ｄは容器９９の胴径Ｄに相当するもので、前記距離ｄが所定のしきい値の範囲内にあれば、その光学像１２の容器９９は「良品」であると判断され、一方、しきい値の範囲外にあれば、その光学像１２の容器９９は「不良品」であると判断される。
【００２６】
結像側の第２光学系７をテレセントリック光学系により構成したので、容器９９の位置が光軸１１に沿ってずれても光学像１２の大きさは変動しない。また、投光側の第１光学系３をテレセントリック光学系により構成したので、前記光学像１２における暗部１５と明部１６との間のコントラストが高められて光学像１２の画像処理が実行し易くなる。
【００２７】
図１，２に示されるこの発明の実施例の外形検査装置は、一対の光学装置６Ａ，６Ｂによって容器９９′の胴部の両側部分の光学像１２Ａ，１２Ｂを各結像面８Ａ，８Ｂに結像させ、各光学像１２Ａ，１２Ｂを画像処理により結合したうえで、その合成画像によって胴径や胴部の外形を検査するものである。
【００２８】
図示例の外形検査装置は、大型または広口の容器９９′を検査対象とするために、図３の単一の光学装置６に代えて、一対の光学装置６Ａ，６Ｂを用いたものである。この外形検査装置は、単一の投光装置１と一対の光学装置６Ａ，６Ｂとディスプレイ１９を有する画像処理装置２０とで構成されている。前記投光装置１は、拡散光を発生する光源２と、テレセントリック光学系より成る第１光学系３とを含むものである。第１光学系３はレンズ４と絞り５とを含み、絞り５はその開口５ａがレンズ４の前側の焦点位置に位置するように位置決めされている。
【００２９】
検査対象の容器９９′は、図示しない搬出入機構によって回転テーブル３０上に導入されて検査される。そして、検査終了後は前記搬出入機構によって回転テーブル３０上より導出される。検査の実施に際しては、回転テーブル３０は所定の角度づつ間欠的に回転させるもので、図示しない回転機構に接続されている。
【００３０】
各光学装置６Ａ，６Ｂは、互いに接近または離間が可能なように移動可能となっており、容器９９′の胴部の両側部分に対応させて前記投光装置１と対向させかつそれぞれの光軸１１Ａ，１１Ｂが互いに平行となるように位置決めされる第２光学系７Ａ，７Ｂと、各第２光学系７Ａ，７Ｂによって容器９９′の胴部の両側部分の光学像１２Ａ，１２Ｂを結像させる結像面８Ａ，８Ｂとを含んでいる。各結像面８Ａ，８ＢはＣＣＤをもって構成されている。各結像面８Ａ，８Ｂに結像された第２光学系７Ａ，７Ｂによる光学像１２Ａ，１２Ｂは、画像処理装置２０に取り込まれて胴径計測のための画像処理が行われる。
【００３１】
各第２光学系７Ａ，７Ｂは、テレセントリック光学系を構成するレンズ９Ａ，９Ｂと絞り１０Ａ，１０Ｂとをそれぞれ含んでいる。各レンズ９Ａ，９Ｂは、それぞれの光軸１１Ａ，１１Ｂが容器９９′の中心線１００と平行でありかつその中線線１００から等距離だけ離れて位置している。各光軸１１Ａ，１１Ｂ上にレンズ９Ａ，９Ｂがそれぞれ位置し、各レンズ９Ａ，９Ｂの後方側の焦点位置に絞り１０Ａ，１０Ｂが位置決めされ、さらに各絞り１０Ａ，１０Ｂの後方に結像面８Ａ，８Ｂが位置決めされる。
【００３２】
各レンズ９Ａ，９Ｂは複数枚のレンズの集合体であり、ピントの調整が可能である。各レンズ９Ａ，９Ｂのピントは、容器９９′の胴部の外周面が最も突き出る部分Ｐに合わされている。
各絞り１０Ａ，１０Ｂは中央に開口１０ａ，１０ｂを有しており、絞り値の調整によって開口面積を変えて、各結像面８Ａ，８Ｂに当たる光量を調整する。この絞り値は、ある程度の焦点深度が得られかつ計測に必要な光量が十分に確保できる最適な値に設定される。
【００３３】
図２では、第２光学系７Ａ，７Ｂにおいて光学像１２Ａ，１２Ｂの結像に関わる主光線ＬＡ，ＬＢは実線で、各主光線ＬＡ，ＬＢを中心として最大αの開き角度をもつ光成分が一点鎖線で、それぞれ示してある。また、第１光学系３において光軸１１Ａ，１１Ｂと平行となる主光線ＬＡ′，ＬＢ′は実線で、各主光線ＬＡ′，ＬＢ′を中心として最大α′の開き角度をもつ光成分が一点鎖線で、それぞれ示してある。
【００３４】
なお、上記の実施例では、投光装置１は光源２とテレセントリック光学系より成る第１光学系３とで構成されているが、光学像１２Ａ，１２Ｂの画質を多少犠牲にするのであれば、図４に示すように、光源２のみをもって投光装置１を構成してもよい。この場合に、１個の光源２に代えて、容器９９の両側部分に対応させた２個の光源２Ａ，２Ｂ（図中、一点鎖線で示す。）をもって構成することもできる。
また、上記の実施例では、１個の投光装置１を用いているが、これに代えて、容器９９の両側部分に対応させた２個の投光装置（図示せず。）をもって構成してもよい。
【００３５】
図６（１）（２）は、各結像面８Ａ，８Ｂに結像した容器９９′の胴部の両側部分の光学像１２Ａ，１２Ｂを示している。各光学像１２Ａ，１２Ｂは、胴部の所定高さの部分像であるが、図５で説明した光学像１２と同様、暗部１５の幅が拡がって背景の明部１６とのコントラストが高められて暗部１５のエッジが明瞭となっている。
【００３６】
図１に示される画像処理装置２０は、各結像面８Ａ，８Ｂより光学像１２Ａ，１２Ｂを取り込んで容器９９′の胴径計測のための所定の画像処理を実行するもので、図７に示すように、一対の画像入力部２１Ａ，２１Ｂ、一対の画像メモリ２２Ａ，２２Ｂ、画像出力部２３、および制御部２４などで構成されている。
各画像入力部２１Ａ，２１Ｂは各光学像１２Ａ，１２Ｂの濃淡画像信号を取り込んでデジタル量の濃淡画像データに変換し、さらに、所定の２値化しきい値で２値化処理して２値画像を生成する。各画像メモリ２２Ａ，２２Ｂは濃淡画像データやその２値画像データを記憶するためのものである。画像出力部２３は画像データをアナログ量の画像データに変換してディスプレイ１９へ出力し、画面上に画像を表示させる。
【００３７】
前記制御部２４は、各光学像１２Ａ，１２Ｂの２値画像を結合して図８に示すような合成画像１２Ｃを生成した後、その合成画像１２Ｃによって容器９９の胴径Ｄを算出する。まず制御部２４は、２個の光学像１２Ａ，１２Ｂのエッジ間距離（画素数）ｘ１を、画像の一方の端縁から一方の光学像１２Ｂのエッジまでの画素数ｘ３と前記端縁から他方の光学像１２Ａのエッジまでの画素数ｘ２との差（ｘ１＝ｘ３−ｘ２）から求める。つぎに、エッジ間距離ｘ１に画像の結合によって生じる結合誤差Δｘを加えることにより胴径Ｄに相当する画素数Ｒを求める（Ｒ＝ｘ１＋Δｘ）。つぎに、前記画素数Ｒを画素数と実寸法との換算率βで割って胴径Ｄを算出する（Ｄ＝Ｒ／β）。
【００３８】
前記換算率βは、図１の外形検査装置における一方の光学装置（例えば６Ａ）を用いて基準物体の光学像１２Ｓ（図９に示す）を生成することによって求めることができる。
例えば、光軸１１Ａが基準物体の中心線に一致するように一方の光学装置６Ａを位置決めし、その光学装置６Ａによって得られた前記光学像１２Ｓについて、エッジ間距離（画素数）Ｓ１を画像の一方の端縁から一方の光学像１２Ｓのエッジまでの画素数Ｓ３と前記端縁から他方の光学像１２Ｓのエッジまでの画素数Ｓ２との差（Ｓ１＝Ｓ３−Ｓ２）から求めた後、エッジ間距離Ｓ１を基準物体の実寸法ｓで割って前記換算率βを算出する（β＝Ｓ１／ｓ）。
【００３９】
また、前記結合誤差Δｘは、図１の外形検査装置における両方の光学装置６Ａ，６Ｂを用いて基準物体としての大型の容器の光学像１２Ｅ（図８に示す。）を生成することによって求めることができる。
すなわち、各光学装置６Ａ，６Ｂによる光学像１２Ａ，１２Ｂの２値画像を結合して合成画像１２Ｅを生成し、その合成画像１２Ｅについて、まず、２個の光学像１２Ａ，１２Ｂのエッジ間距離（画素数）Ｅ１を、画像の一方の端縁から一方の光学像１２Ｂのエッジまでの画素数Ｅ３と前記端縁から他方の光学像１２Ａのエッジまでの画素数Ｅ２との差（Ｅ１＝Ｅ３−Ｅ２）から求めた後、基準物体のの実寸法ｅに前記換算値βを掛けて実寸法ｅを画素数に換算した換算値Ｅを求め、前記エッジ間距離Ｅ１と換算値Ｅとの差から前記結合誤差Δｘを算出する（Δｘ＝Ｅ１−Ｅ）。
【００４０】
検査対象である大型の容器９９′が回転テーブル３０上に導入されると、回転テーブル３０を所定の角度づつ間欠的に回転させつつ胴部の両側部分の光学像１２Ａ，１２Ｂを生成して、上記した画像処理によって胴径Ｄを設定個数だけ算出する。前記制御部２４は、設定個数の胴径Ｄの算出値から最大値、最小値、および最大値と最小値との偏差とを求め、最大値は最大値のしきい値と、最小値は最小値のしきい値と、偏差は偏差のしきい値と、それぞれ比較し、そのいずれもがしきい値を越えなければ、「良品」と判断される。しかし、いずれかがしきい値を越えれば、「不良品」の判断がなされる。
【００４１】
なお、上記の良否判別は、この実施例のように、胴径Ｄを設定個数だけ算出してその算出値の最大値、最小値、および偏差をそれぞれのしきい値と比較することにより行ってもよいが、画素数から実寸法への換算を行わずに、胴径Ｄに相当する画素数Ｒを設定個数だけ算出してその算出値の最大値、最小値、および偏差をそれぞれのしきい値（画素数）と比較することにより行ってもよい。
【００４２】
【発明の効果】
この発明によれば、容器の位置ずれなどの影響を受けることなく、容器の外形を高精度に検査することができる。また、有効径の大きな高価なレンズを用いることなく、大型や広口の容器についても検査できるもので、装置の大型化とコスト高とを招くおそれもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例である容器の外形検査装置の構成を示す正面図である。
【図２】光学装置の構成と光路とを示す説明図である。
【図３】この発明の原理説明図である。
【図４】他の実施例の正面図である。
【図５】胴部の光学像を示す説明図である。
【図６】一対の光学装置による胴部の両側部分の光学像を示す説明図である。
【図７】画像処理装置の構成を示すブロック図である。
【図８】２個の光学像を結合して得られた合成画像を示す説明図である。
【図９】基準物体の光学像を示す説明図である。
【図１０】従来の接触式の外形検査装置の構成を示す平面図である。
【図１１】光学的な検査装置の典型例の構成と光路とを示す説明図である。
【符号の説明】
１    投光装置
２    光源
３    第１光学系
４    レンズ
５    絞り
６Ａ，６Ｂ    光学装置
７Ａ，７Ｂ    第２光学系
８Ａ，８Ｂ    結像面
９Ａ，９Ｂ    レンズ
１０Ａ，１０Ｂ    絞り
１１Ａ，１１Ｂ    光軸
２０    画像処理装置
９９，９９′  容器
【図１】
2004294256.tif 000003
【図２】
2004294256.tif 000004
【図３】
2004294256.tif 000005
【図４】
2004294256.tif 000006
【図５】
2004294256.tif 000007
【図６】
2004294256.tif 000008
【図７】
2004294256.tif 000009
【図８】
2004294256.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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