(57)【要約】【課題】大きなマグネットを用いなくても、安定した推力を得ることのできるリニアアクチュエータ、それを用いたそれを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置を提供すること。【解決手段】インナーヨーク３と、インナーヨーク３との間に第１の間隙６、および第２の間隙７を構成するアウターヨーク４と、間隙６、７内に平板状のマグネット９を備える可動体５とを有するリニアアクチュエータ１において、アウターヨーク４の第１の対向部分４１０、および第２の対向部分４２０の先端部同士の離間距離Ｇを０．５ｍｍ以上、３．０ｍｍ以下とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のヨークと、該第１のヨークとの間に軸線方向で離間する第１の隙間および第２の隙間を形成するように当該第１のヨークに対向配置された第２のヨークと、前記第２のヨーク、前記第１の隙間、前記第１のヨーク、前記第２の隙間、および前記第２のヨークを磁路として前記第１の隙間および前記第２の隙間に交番磁界を発生させるコイルと、前記第１のヨークと前記第２のヨークとの間にマグネットを備え、前記交番磁界に連動して軸線方向に往復駆動される可動体とを有するリニアアクチュエータにおいて、
前記第２のヨークは、前記コイルの外周側に位置する部分から当該コイルの両端面を通って先端側が前記第１の隙間を構成する第１の対向部分、および前記第２の隙間を構成する第２の対向部分として、前記第１のヨークと対向する位置まで延設され、
前記第１の対向部分の先端部と、前記第２の対向部分の先端部との離間距離が３ｍｍ以下に設定されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、前記第１の対向部分の先端部と、前記第２の対向部分の先端部との離間距離が０．５ｍｍ以上に設定されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に規定するリニアアクチュエータを用いたことを特徴とするポンプ装置。
【請求項４】
請求項１または２に規定するリニアアクチュエータを用いたことを特徴とするコンプレッサー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、シリンダ内でピストンが直線運動するようなポンプ装置やコンプレッサー装置でも、それに使用されるアクチュエータは、回転運動を出力するモータが使用されているため、モータの出力軸とピストンとの間でクランクシャフトで回転運動を直線運動に変換している。このため、力の伝達効率が低いという問題点がある。
【０００３】
そこで、図１１に示すように、インナーヨーク１０３と、このインナーヨーク１０３に対して軸線方向と直交する位置で対向して、インナーヨーク１０３との間に軸線方向で離間する第１の隙間１０９Ａおよび第２の隙間１０９Ｂを構成するアウターヨーク１０４と、アウターヨーク１０４、第１の隙間１０９Ａ、インナーヨーク１０３、第２の隙間１０９Ｂを磁路とする交番磁界を発生させるコイル１０８と、インナーヨーク１０３とアウターヨーク１０４との間において交番磁界に連動して軸線方向に交互に駆動されるマグネット１０６を備えた可動体とを有するリニアアクチュエータが検討されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このようなリニアアクチュエータにおいて、マグネット１０６としては、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の希土類磁石など、磁力の強いものを用いれば、大きな推力を得ることができる。
【０００５】
しかしながら、このようなマグネットは高価であるため、サイズの大きなものを用いることはコスト面で好ましくない。また、マグネット１０６を大きくすると、可動体が重くなってしまう。かといって、マグネット１０６が小さいと、マグネット１０６が軸線方向に移動するたびに推力が大きく変化してしまう。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、大きなマグネットを用いなくても、安定した推力を得ることのできるリニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本願発明者が様々な実験、検討を繰り返し行った結果、以下の構成に到達した。すなわち、本発明では、第１のヨークと、該第１のヨークとの間に軸線方向で離間する第１の隙間および第２の隙間を形成するように当該第１のヨークに対向配置された第２のヨークと、前記第２のヨーク、前記第１の隙間、前記第１のヨーク、前記第２の隙間、および前記第２のヨークを磁路として前記第１の隙間および前記第２の隙間に交番磁界を発生させるコイルと、前記第１のヨークと前記第２のヨークとの間にマグネットを備え、前記交番磁界に連動して軸線方向に往復駆動される可動体とを有するリニアアクチュエータにおいて、前記第２のヨークは、前記コイルの外周側に位置する部分から当該コイルの両端面を通って先端側が前記第１の隙間を構成する第１の対向部分、および前記第２の隙間を構成する第２の対向部分として、前記第１のヨークと対向する位置まで延設され、前記第１の対向部分の先端部と、前記第２の対向部分の先端部との離間距離が３ｍｍ以下に設定されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明では、第２のヨークの第１の対向部分の先端部と、第２の対向部分の先端部との離間距離を３ｍｍ以下に設定したため、軸線方向におけるマグネットの長さが例えば、９ｍｍ程度の場合でも、安定した推力を得ることができる。
【０００９】
本発明では、前記第１の対向部分の先端部と、前記第２の対向部分の先端部との離間距離が０．５ｍｍ以上に設定されていることが好ましい。第１の対向部分の先端部と、第２の対向部分の先端部との離間距離が０．５ｍｍ未満の場合には、第１の対向部分の先端部と、第２の対向部分の先端部との間での磁束の漏れが大きくなるため、離間距離を０．５ｍｍ以上に設定すれば、このような漏れを防止することができるので、大きな推力を得ることができる。
【００１０】
本発明に係るリニアアクチュエータは、各種流体を供給するためのポンプ装置、あるいはコンプレッサー装置として利用できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図面を参照して、本発明を適用したリニアアクチュエータを説明する。
【００１２】
（全体構成）
図１（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用したリニアアクチュエータの要部の横断面図、および半断面図である。
【００１３】
図１（Ａ）、（Ｂ）において、本形態のリニアアクチュエータ１は、各種流体を供給するためのポンプ装置、あるいはコンプレッサー装置に用いられるもので、ステータ側を保持するフレーム２と、このフレーム２に対して軸線Ａに沿って往復移動可能な可動体５とから構成されている。
【００１４】
本形態において、フレーム２上には、インナーヨーク３（第１のヨーク）と、このインナーヨーク３の外側に配置されたアウターヨーク４（第２のヨーク）と、アウターヨーク４の内側に配置されたコイル８とが搭載されている。また、可動体５は、インナーヨーク３とアウターヨーク４との間にマグネット９を備えている。可動体５の底部５１は、丸棒状あるいは円筒状の作動軸（図示せず）の基端側の固定部になっている。
【００１５】
本形態において、インナーヨーク３は、軸線方向からみたときに正八角形の辺に相当する位置に分割、配置され、周方向に等角度間隔に８枚、配置された状態にある。各インナーヨーク３は、例えば、磁性板の積層体からなる平板状を有しており、アウターヨーク４との対向面（外面）、およびその裏面（内面）のいずれもが平面になっている。
【００１６】
アウターヨーク４も、軸線方向からみたときに正八角形の辺に相当する位置に分割、配置され、周方向に等角度間隔に８個、配置された状態でホルダ２１、２２に保持されている。
【００１７】
本形態において、アウターヨーク４は、断面Ｕ字形状を備えた第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２が上下に重ねられた構成になっている。第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２は、例えば、磁性板の積層体から構成されている。
【００１８】
第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２はそれぞれ、コイル８の外周側に位置する部分からコイル８の両端面を通って先端側が第１の対向部分４１０および第２の対向部分４２０としてインナーヨーク３の外周面と対向する位置まで延設され、インナーヨーク３の外周面と第１の対向部分４１０との間、およびインナーヨーク３の外周面と第２の対向部分４２０との間に、軸線方向で離間する第１の隙間６、および第２の隙間７を構成している。
【００１９】
ここで、コイル８の外周側において、第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２の端部４１９、４２９同士は当接している。
【００２０】
これに対して、アウターヨーク部材４１、４２の第１の対向部分４１０および第２の対向部分４２０の先端部分同士は、所定の離間距離Ｇをもって離れている。
【００２１】
本形態では、後述する検討結果に基づいて、第１の対向部分４１０の先端部と、第２の対向部分４２０の先端部との離間距離Ｇを０．５ｍｍ以上、３ｍｍ以下に設定してある。
【００２２】
可動体５は、例えば、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の希土類磁石からなるマグネット９がインナーヨーク３とアウターヨーク４との第１の隙間６と、第２の隙間７に跨るように配置され、マグネット９は、表裏がそれぞれ反対の極に着磁されている。
【００２３】
マグネット９としては平板状のものが用いられ、可動体５において、マグネット９は、樹脂製のマグネット保持部５２に形成されている溝５２０に両端を差し込んだ状態で保持されている。マグネット保持部５２は、軸線方向からみたときに略三角形の平面形状をしており、三角形の頂点に相当する部分は、隣接するインナーヨーク３の間に楔状に入り込んでる一方、三角形の底辺に相当する部分は、隣接するアウターヨーク４の間に入り込んでいる。
【００２４】
アウターヨーク４において、第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２の間に構成される空間内には、樹脂成形品からなるコイルボビン８０が配置され、このコイルボビン８０の胴部８１にはコイル８が巻回されている。コイルボビン８０においてコイル８の巻回部分は、外側が樹脂製のカバー８９で覆われている。
【００２５】
（動作）
図２（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、このリニアアクチュエータの動作を示す説明図である。
【００２６】
本形態のリニアアクチュエータ１において、マグネット９の内側の面がＳ極に着磁され、外側の面がＮ極に着磁されている場合には、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、点線の矢印Ｂ１、Ｂ２で示す磁界が発生している。この状態でコイル８に交流電流を流したとき、図２（Ａ）に示すように、図面の向こう側から手前側に電流が流れている期間では、点線の矢印Ｂ３に示す磁界が発生し、第１の隙間６の側では、マグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが同一であるに対して、第２の隙間７の側ではマグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが反対である。その結果、マグネット９には、軸線方向における下方（第２の隙間７の方）に向かう力が作用する。
【００２７】
これに対して、図２（Ｂ）に示すように、図面の手前側から向こう側に電流が流れている期間では、点線の矢印Ｂ４に示す磁界が発生し、第１の隙間６の側では、マグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが反対であるに対して、第２の隙間７の側ではマグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが同一である。その結果、マグネット９には、軸線方向における上方（第１の隙間６の方）に向かう力が作用する。
【００２８】
このようにしてマグネット９には、コイル８による交番磁界の向きに対応して、軸線方向に加わる力の向きが入れ代わるので、それと一体の可動体５が軸線方向に振動し、可動体５に取り付けられたピストンから往復直線運動を出力することができる。また、アウターヨーク４、インナーヨーク３、およびマグネット９は、軸線方向からみたときに八角形状、あるいは円環状となるように形成されているため、周方向全体から可動体５に対する推力を得ることができる。
【００２９】
（離間距離Ｇに関する検討結果）
本形態のリニアアクチュエータ１において、マグネット９としては、高価なＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の希土類磁石を用いる。このため、比較的小さなマグネット９を用いてコストを低く抑えても安定した推力が得られるように、以下の検討結果に基づいて、アウターヨーク部材４１、４２の第１の対向部分４１０および第２の対向部分４２０の先端部分同士の離間距離Ｇを３．０ｍｍ以下に設定してある。また、比較的小さなマグネット９で大きな推力が得られるように、以下の検討結果に基づいて、アウターヨーク部材４１、４２の第１の対向部分４１０および第２の対向部分４２０の先端部分同士の離間距離Ｇを０．５ｍｍ以上に設定してある。
【００３０】
このような検討を行うにあたって、アウターヨーク部材４１、４２の第１および第２の対向部分４１０、４２０の先端部分同士の離間距離Ｇ、およびマグネットの長さ寸法Ｍ、およびマグネット９の厚さｔを種々、変更した際に、マグネット９の原点位置から軸線方向に移動した距離と、推力の関係を検討した。
【００３１】
なお、いずれの条件においても、コイル８の巻回数は４５０ターン、マグネット９の保持力は１０００ｋＡ／ｍ、アウターヨーク部材４１、４２の対向部分４１０、４２０とマグネット９との隙間は０．５ｍｍである。
【００３２】
まず、図３には以下の条件
マグネット９の厚さｔ：２．５ｍｍ
先端部分同士の離間距離Ｇ：０．３ｍｍ
で、マグネット９の長さ寸法Ｍを７．３ｍｍ、８．３ｍｍとした場合の結果をそれぞれ線Ｌ１、Ｌ２で示してある。
【００３３】
図４には以下の条件
マグネット９の厚さｔ：２．５ｍｍ
先端部分同士の離間距離Ｇ：０．５ｍｍ
で、マグネット９の長さ寸法Ｍを７．５ｍｍ、８．５ｍｍとした場合の結果をそれぞれ線Ｌ１１、Ｌ１２で示してある。
【００３４】
図５には以下の条件
マグネット９の厚さｔ：２．５ｍｍ
先端部分同士の離間距離Ｇ：１．０ｍｍ
で、マグネット９の長さ寸法Ｍを９ｍｍ、７ｍｍ、８ｍｍとした場合の結果をそれぞれ線Ｌ２１、Ｌ２２、Ｌ２３で示してある。
【００３５】
図６には以下の条件
マグネット９の厚さｔ：１．９ｍｍ
離間距離Ｇ：１．０ｍｍ
で、マグネット９の長さ寸法Ｍを７ｍｍ、９ｍｍ、１１ｍｍ、１３ｍｍ、１５ｍｍ、１７ｍｍとした場合の結果をそれぞれ線Ｌ３１、Ｌ３２、Ｌ３３、Ｌ３４、Ｌ３５、Ｌ３６で示してある。
【００３６】
図７には以下の条件
マグネット９の厚さｔ：１．９ｍｍ
離間距離Ｇ：３．０ｍｍ
で、マグネット９の長さ寸法Ｍを７ｍｍ、９ｍｍ、１１ｍｍ、１３ｍｍ、１５ｍｍ、１７ｍｍとした場合の結果をそれぞれ線Ｌ４１、Ｌ４２、Ｌ４３、Ｌ４４、Ｌ４５、Ｌ４６で示してある。
【００３７】
図８には以下の条件
マグネット９の厚さｔ：１．９ｍｍ
離間距離Ｇ：５．０ｍｍ
で、マグネット９の長さ寸法Ｍを７ｍｍ、９ｍｍ、１１ｍｍ、１３ｍｍ、１５ｍｍ、１７ｍｍとした場合の結果をそれぞれ線Ｌ５１、Ｌ５２、Ｌ５３、Ｌ５４、Ｌ５５、Ｌ５６で示してある。
【００３８】
図９には以下の条件
マグネット９の厚さｔ：１．９ｍｍ
離間距離Ｇ：７．０ｍｍ
で、マグネット９の長さ寸法Ｍを７ｍｍ、９ｍｍ、１１ｍｍ、１３ｍｍ、１５ｍｍ、１７ｍｍとした場合の結果をそれぞれ線Ｌ６１、Ｌ６２、Ｌ６３、Ｌ６４、Ｌ６５、Ｌ６６で示してある。
【００３９】
これらの結果からみて、アウターヨーク部材４１、４２の第１および第２の対向部分４１０、４２０の先端部分同士の離間距離Ｇが５ｍｍ、７ｍｍの場合には（図８および図９を参照）、大きな推力が得られる領域における平坦性が低いことから、推力の安定性が低いといえる。
【００４０】
これに対して、アウターヨーク部材４１、４２の第１および第２の対向部分４１０、４２０の先端部分同士の離間距離Ｇが３．０ｍｍ以下の場合には（図３ないし図７を参照）の場合には、大きな推力が得られる領域における平坦性が良好であることから、推力の安定性が高いといえる。
【００４１】
特に、アウターヨーク部材４１、４２の第１および第２の対向部分４１０、４２０の先端部分同士の離間距離Ｇが１．０ｍｍ以下の場合には（図３ないし図６を参照）の場合には、マグネット９の長さ寸法が７ｍｍ以下でも、大きな推力が得られる領域における平坦性が良好であることから、推力の安定性が特に高い。
【００４２】
但し、アウターヨーク部材４１、４２の第１および第２の対向部分４１０、４２０の先端部分同士の離間距離Ｇが小さければ小さいほど、アウターヨーク部材４１、４２の第１および第２の対向部分４１０、４２０の先端部分同士での磁束の漏れが発生するため、図３ないし図５から分かるように、高い推力が得られる領域において推力のレベルが低くなる傾向にある。従って、本形態のアクチュエータ１を各種用途に用いることができるようにとの観点からすれば、アウターヨーク部材４１、４２の第１および第２の対向部分４１０、４２０の先端部分同士の離間距離Ｇを０．３ｍｍ以上に設定することが好ましい。
【００４３】
［ポンプ装置並びにコンプレッサー装置への搭載例］
本発明を適用したリニアアクチュエータ１については、図１０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照して説明するように、ポンプ装置並びにコンプレッサー装置に適用できる。
【００４４】
図１０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、本発明を適用したエアーポンプ装置の平面図、断面図、および底面図であり、図１０（Ｂ）において、リニアアクチュエータ１に相当する部分は太線で囲ってある。
【００４５】
図１０（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において、本形態のエアーポンプ装置１００では、リニアアクチュエータ１の可動体５に対して作動軸１１０の基端側がワッシャ１５１、１５２を介してナット１５３で連結され、作動軸１１０は、インナーヨーク３を保持するフレーム２の穴１６を貫通する状態にある。作動軸１１０の基端側は、フレーム２に保持された軸受１５４によって支持され、かつ、作動軸１１０の周りには２本のスプリング１６１、１６２が装着されている。２本のスプリング１６１、１６２のうち、作動軸１１０の基端側に装着されたスプリング１６１は、フレーム２の穴１６内に形成されている段差１７と、作動軸１１０に装着されたＥ型止め輪１６３で両端が支持され、作動軸１１０の先端側に装着されたスプリング１６２は、Ｅ型止め輪１６３と、フレーム２の底部に固定されたスプリング押さえ１６４とによって両端が支持されている。
【００４６】
フレーム２の底部には、エアー吸い込み口１７１およびエアー吐出口１７２を備えたケース１７０がボルト１７３で固定され、エアー吸い込み口１７１にはフィルタ１７４が装着されている。ケース１７０の内側にはシリンダケース１２０が配置され、シリンダケース１２０の底部において、エアー吸い込み口１７１と対峙する部分には、バルブ押さえ１４３によってバルブ１４１が固定され、エアー吐出口１７２と対峙する部分にはバルブ押さえ１４４によってバルブ１４２が固定されている。
【００４７】
シリンダケース１２０の内部は、シリンダケース１２０の底部との間にシリンダ室１２２を構成するピストン１３０が配置され、このピストン１３０の側面には、シリンダケース１２０の内周側面との気密を確保するための加圧リング１３５が装着されている。
【００４８】
ピストン１３０に対しては、作動軸１１０の先端部分がワッシャ１３７、１３８およびＯリング１３６を介してナット１３９で固定されており、作動軸１１０の振動によって、ピストン１３０が軸線方向に駆動される。従って、リニアアクチュエータ１によって作動軸１１０が軸線方向の基端側（図面に向かって上方）に移動すると、エアー吸い込み口１７１からシリンダ室１２２内に空気が吸い込まれ、リニアアクチュエータ１によって作動軸１１０が軸線方向の先端側（図面に向かって下方）に移動すると、シリンダ室１２２内の空気がエアー吐出口１７２から吐出される。また、このような作動軸１１０の振動に対してスプリング１６１、１６２が共振するので、小型のリニアアクチュエータ１を用いたエアーポンプ装置１００であっても、優れたポンプ特性を備えている。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のリニアアクチュエータでは、様々な実験、検討を繰り返し行った結果に基づいて、第２のヨークが第１のヨークと対向する２つの対向部分の先端部同士の離間距離を３ｍｍ以下に設定したので、安定した推力を得ることができる。また、対向部分の先端部同士の離間距離を０．５ｍｍ以上に設定した場合には、大きな推力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用したリニアアクチュエータの要部の横断面図、および半断面図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、このリニアアクチュエータの動作を示す説明図である。
【図３】本発明を適用したリニアアクチュエータにおいて、マグネットの厚さを２．５ｍｍとし、アウターヨークの先端部分同士の離間距離を０．３ｍｍとし、マグネットの長さ寸法を７．３ｍｍ、８．３ｍｍとした場合におけるマグネットの原点位置から軸線方向に移動した距離と、推力の関係を示すグラフである。
【図４】本発明を適用したリニアアクチュエータにおいて、マグネットの厚さを２．５ｍｍとし、アウターヨークの先端部分同士の離間距離を０．５ｍｍとし、マグネットの長さ寸法を７．５ｍｍ、８．５ｍｍとした場合におけるマグネットの原点位置から軸線方向に移動した距離と、推力の関係を示すグラフである。
【図５】本発明を適用したリニアアクチュエータにおいて、マグネットの厚さを２．５ｍｍとし、アウターヨークの先端部分同士の離間距離を１．０ｍｍとし、マグネットの長さ寸法を９ｍｍ、７ｍｍ、８ｍｍとした場合におけるマグネットの原点位置から軸線方向に移動した距離と、推力の関係を示すグラフである。
【図６】本発明を適用したリニアアクチュエータにおいて、マグネットの厚さを１．９ｍｍとし、アウターヨークの先端部分同士の離間距離を１．０ｍｍとし、マグネットの長さ寸法を７ｍｍ、９ｍｍ、１１ｍｍ、１３ｍｍ、１５ｍｍ、１７ｍｍとした場合におけるマグネットの原点位置から軸線方向に移動した距離と、推力の関係を示すグラフである。
【図７】本発明を適用したリニアアクチュエータにおいて、マグネットの厚さを１．９ｍｍとし、アウターヨークの先端部分同士の離間距離を３．０ｍｍとし、マグネットの長さ寸法を７ｍｍ、９ｍｍ、１１ｍｍ、１３ｍｍ、１５ｍｍ、１７ｍｍとした場合におけるマグネットの原点位置から軸線方向に移動した距離と、推力の関係を示すグラフである。
【図８】本発明を適用したリニアアクチュエータにおいて、マグネットの厚さを１．９ｍｍとし、アウターヨークの先端部分同士の離間距離を５．０ｍｍとし、マグネットの長さ寸法を７ｍｍ、９ｍｍ、１１ｍｍ、１３ｍｍ、１５ｍｍ、１７ｍｍとした場合におけるマグネットの原点位置から軸線方向に移動した距離と、推力の関係を示すグラフである。
【図９】本発明を適用したリニアアクチュエータにおいて、マグネットの厚さを１．９ｍｍとし、アウターヨークの先端部分同士の離間距離を７．０ｍｍとし、マグネットの長さ寸法を７ｍｍ、９ｍｍ、１１ｍｍ、１３ｍｍ、１５ｍｍ、１７ｍｍとした場合におけるマグネットの原点位置から軸線方向に移動した距離と、推力の関係を示すグラフである。
【図１０】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、本発明を適用したリニアアクチュエータを備えたエアーポンプ装置の平面図、断面図、および底面図である。
【図１１】従来のリニアアクチュエータの説明図である。
【符号の説明】
１  リニアアクチュエータ
３  インナーヨーク（第１のヨーク）
４  アウターヨーク（第２のヨーク）
５  可動体
６  第１の隙間
７  第２の隙間
８  コイル
９  マグネット
４１  第１のアウターヨーク部材
４２  第２のアウターヨーク部材
４１０  アウターヨークの第１の対向部分
４２０  アウターヨークの第２の対向部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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