(57)【要約】【課題】本発明は、細分化した処理機能を持つ複数のモジュール間の接続を画面上に表示されたセル図形で設定指示し、処理工程を管理するシステムを構築できるモジュール管理制御システムを提供する。【解決手段】複数のモジュールの対応した表示用の各セル図形を画面上に表示し、該セル図形を用いてモジュールの接続状態を設定指示する。該接続状態をモジュール毎の接続管理情報に設定し、該接続管理情報に基づいて、当該モジュールと他のモジュールとの接続を管理する。能動側モジュールに対応するセル図形ＣＡから接続線ＣＬＣＡを引き出し、受動側モジュールに対応するセル図形ＣＢの受ポートＰＣＢに接続する。接続線が受ポートに接続されたとき、能動側モジュールの接続先として受動側モジュールを設定するようにした。【選択図】      図１
2004213473.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のモジュールの夫々に対応したモジュール表示用セル図形を表示する表示手段と、
前記セル図形を用いて前記モジュールの接続状態を設定指示する入力手段と、
前記接続状態を前記モジュール毎の接続管理情報に設定し、該接続管理情報に基づいて、当該モジュールと他のモジュールとの接続を管理するモジュール接続管理手段とを有し、
前記接続管理情報に従って前記モジュールを処理動作させるモジュール管理制御システム。
【請求項２】
前記複数のモジュールの夫々は、処理工程に対応した処理機能を有し、前記接続管理情報に従って前記モジュールを処理動作させることによって、前記処理工程が管理制御されることを特徴とする請求項１に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項３】
前記モジュールが能動側モジュールである場合、該能動側モジュールに対応したセル図形は、該セル図形から引き出され接続先モジュールへの接続を示す接続線を有し、
前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段によって引き出された前記接続線が他のセル図形に指示されたとき、当該モジュールの前記接続管理情報を設定することを特徴とする請求項１又は２に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項４】
前記セル図形は、複数のセル図形への接続を示す複数の前記接続線を有し、該接続線毎に前記接続管理情報が設定されることを特徴とする請求項３に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項５】
前記接続管理情報は、接続先モジュールに係る接続先識別情報、受ポート番号、接続属性情報、接続先セル図形位置情報を含むことを特徴とする請求項３又は４に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項６】
前記モジュールが受動側モジュールである場合、該受動側モジュールに対応したセル図形は、前記接続線の受ポート部を有し、
前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段によって他のセル図形から引き出された前記接続線が前記受ポート部に指示されたとき、該接続線に係る前記能動側モジュールの接続管理情報に、当該セル図形に係る前記受動側モジュールの接続管理情報を設定することを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項７】
前記セル図形は、複数の受ポート部を有することを特徴とする請求項６に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項８】
前記受ポート部毎に当該モジュールにおける異なる処理機能が割り当てられている場合、該処理機能に対応して中継ポートが備えられていることを特徴とする請求項７に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項９】
前記接続管理情報は、自モジュールに係る自識別情報、自受ポート番号、自接続属性情報、自セル図形位置情報を含むことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１０】
前記表示手段は、前記処理工程のモジュールに対応する複数のセル図形が前記接続線によって接続されたシステム構成を表示することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１１】
前記入力手段により当該セル図形の移動指示があった場合、前記モジュール接続管理手段は、該セル図形に係る前記自セル図形位置情報と、該セル図形に接続された他のセル図形に係る前記接続先位置情報とを更新することを特徴とする請求項１０に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１２】
前記セル図形の移動指示は、前記入力手段による表示画面上における当該セル図形のドラッグ処理で実行されることを特徴とする請求項１０に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１３】
前記システム構成にモジュールが追加された場合、前記モジュール接続管理手段は、表示された追加モジュールに対応の追加セル図形に係る接続管理情報を前記入力手段による設定指示に従って設定し、該追加セル図形に接続された他のセル図形に係る前記接続管理情報を更新することを特徴とする請求項１０に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１４】
前記追加セル図形に係る前記設定指示は、前記入力手段による前記接続線の先端位置指定で実行されることを特徴とする請求項１３に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１５】
前記システム構成からモジュールを削除する場合、前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段による削除指示に従って、該モジュールに接続されていた他のモジュールに係る前記接続管理情報から削除対象のモジュールに係る接続管理情報を削除することを特徴とする請求項１０に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１６】
前記削除対象のセル図形に係る前記削除指示は、前記入力手段により前記接続線が該当受ポートから非接続とされることで実行されることを特徴とする請求項１５に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１７】
前記システム構成において当該モジュールに接続されたモジュールを他のモジュールに接続変更する場合、前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段によって当該モジュールに対応の前記セル図形に係る前記接続線が変更元のセル図形から変更先のセル図形への接続変更指示に従って、当該モジュールの前記接続管理情報を更新し、変更元のモジュールに係る前記接続管理情報から当該モジュールの前記接続管理情報を削除し、変更先のモジュールに係る前記接続管理情報を更新することを特徴とする請求項１０に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１８】
前記接続変更は、前記入力手段による前記接続線の先端位置指定を変更元から変更先へのドラッグ処理で実行されることを特徴とする請求項１７に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項１９】
前記接続管理情報は、モジュール毎に記憶手段に保持され、前記モジュール接続管理手段によって、前記モジュールの前記接続状態が管理されることを特徴とする請求項１０乃至１８のいずれか一項に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項２０】
前記表示手段は、前記入力手段により該当セル図形について接続状態の表示指定がされたとき、該セル図形に係るモジュールに対する前記接続管理情報を前記記憶手段から読み出し、表示することを特徴とする請求項１９に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項２１】
前記記憶手段は、前記モジュール毎の設定内容を保持しており、
前記表示手段は、前記入力手段により該当セル図形について内容表示指定がされたとき、前記記憶手段から読み出された該セル図形に係るモジュールに対する前記設定内容を表示することを特徴とする請求項１９又は２０に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項２２】
前記表示手段は、前記モジュールの前記設定内容が表示されているとき、前記入力手段の選択により該設定内容を変更できる入力ウインドウを表示することを特徴とする請求項２１に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項２３】
前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段により当該セル図形から引き出した前記接続線を他のセル図形に接続したとき、前記接続属性情報に基づいて当該セル図形に係るモジュールと他のセル図形に係るモジュールとの接続可否を判断することを特徴とする請求項９乃至２２のいずれか一項に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項２４】
前記接続可否の判断において接続不可となった場合、前記表示手段は、表示した前記接続線を消去するか、又は、前記接続線を接続不可の強調表示を行うことを特徴とする請求項２３に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項２５】
前記表示手段は、前記記憶手段を含むシステム制御手段によって制御され、
前記システム制御手段は、前記モジュール接続管理手段を含み、前記記憶手段に格納された前記処理工程に対する複数のモジュールに従って前記処理工程の実績管理制御を行うことを特徴とする請求項１９乃至２４のいずれか一項に記載のモジュール管理制御システム。
【請求項２６】
前記システム制御手段及び前記表示手段を含むサーバと、
前記処理工程の処理手段の夫々に接続され、該処理手段に係る実績管理情報をネットワークにより前記サーバに伝送するクライアント端末手段とを有することを特徴とする請求項２４に記載のモジュール管理制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、システム制御装置の画面上で複数のモジュールの接続を行えるモジュール管理制御システムに関し、特に、製造ラインに組み込まれた複数の処理装置に係る処理工程について一括管理でき、一時的な処理工程の組み換えや、処理工程の追加・削除などのシステム構成上の変更が、システム制御装置の画面上で簡単な操作で実現されるモジュール管理制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、各種の処理装置を順次配置した製造ラインを設け、該処理装置による処理工程に従って製品が連続的に製造されることが行われている。この様な製造ラインにおいて、各処理装置における処理の進捗、処理実績などが、コンピュータを含むサーバ装置によって一括管理されている。
【０００３】
図１４に、サーバ装置によって、各処理工程を一括管理する従来の管理システムについて、その概略ブロック構成を示した。この管理システムは、サーバ装置１、表示装置２、入力装置３を有し、サーバ装置１には、処理工程１乃至ｎを夫々個別に行い、かつ、製造ライン４を形成する処理装置４１乃至４ｎが接続されている。サーバ装置１と処理装置４１乃至４ｎとの接続は、同図では、直接接続の場合を示しているが、ネットワークを介して行われても良い。
【０００４】
サーバ装置１は、制御部１１、記憶部１２を含んでおり、制御部１１は、記憶部１２に格納された管理制御プログラムに従って、処理工程１乃至ｎにおける進捗を管理し、処理工程１乃至ｎでの実績を収集するようになっている。そして、制御部１１は、把握できた各処理工程の進捗状況や、収集した実績情報を記憶部１２に記憶すると共に、進捗状況や実績情報を管理状況として表示装置２の画面に表示する。
【０００５】
表示装置２の画面には、オペレータの要求によって入力装置３から入力指示された条件に従って、例えば、記憶部１２に格納された過去の情報や、特定の処理工程に係る仕様などについて表示される。図１４では、表示装置２と入力装置３とは、別体のものとし、入力装置３には、例えば、キーボード、マウスなどが含まれるものとして示したが、表示装置２の画面をタッチスクリーン方式で構成し、画面から必要な入力ができるようにされても良い。
【０００６】
この様な管理システムを利用して、製品を連続処理する製造ライン全体における生産性の向上を図ることが提案されている（例えば、特許文献１を参照）。ここでは、製造ラインの各処理装置における処理結果を各製品に関連付けて記録し、得られた各製品の各処理装置における処理結果から問題となる処理装置を特定するようにし、また、生産する製品の内容量を変え、或いは、種類を変えるような場合には、製造ラインにおける処理速度と歩留率を監視しながら、サーバ装置により各処理条件を設定変更するようにして、容易かつ迅速に対応することにより製造ライン全体の生産性を向上させている。
【０００７】
しかし、製品に対する技術革新又はニーズの多様化などに応じて、生産する製品も多種になり、或いは、途中でモデルチェンジなどが行われる。これらに対応して、製造現場の製造ラインにおいても、一時的な処理工程の組替えや、新しい処理工程の導入等が頻繁に行われることになる。
【０００８】
上述したような管理システムを利用して製造ラインを集中管理している場合にあっては、この様な状況に対処するために、管理システムの変更が必要となる。このシステム変更を行うには、サーバ装置１の記憶部１２に格納されている管理制御プログラムを追加又は変更しなければならない。
【０００９】
この管理制御プログラムの様子を、図１５のフロー図に示した。記憶部１１に格納されている管理制御プログラムでは、プログラム言語を用いて、必要な機能や、プログラムモジュール間の結合が記述されている（ステップ４１）。
【００１０】
このプログラム言語で記述されたプログラムを機械語に翻訳するコンパイルを行い、コンパイルされたプログラムファイルにライブラリを結合して実行ファイルを生成するリンケージが行われる（ステップＳ４２）。そこで、実行ファイルが生成さて、プログラムが実行される（ステップＳ４３）。
【００１１】
この様に、モジュールの機能や、モジュール間の接続等が、プログラム内にプログラム言語によって記述されるため、製造ラインのシステム変更に伴う新しい機能の追加や、モジュール間接続の変更がある場合には、プログラミング言語によってプログラムを記述し直すことになる。しかも、製造ラインのシステム変更の都度、プログラム修正が行われることになる。そして、プログラム修正中は、システムの稼動を停止しなければならない。
【００１２】
一方、一つのモデルに関するプログラムを複数のモジュールに分割して用意しておき、これらのモジュールを用いて大規模な系のモデルを効率的に作成する手法が提案されている（例えば、特許文献２を参照）。この手法では、ブロック線図解析装置を用いて、モジュールをブロック線図で表現し、この表現されたブロック線図に従ってモジュールを簡単に作成・修正できるようにし、大規模な系のモデルを作成している。
【００１３】
このブロック線図解析装置では、各種の機器の動作解析に共通して用いることのできる計算プログラムをモジュール作成処理部でモジュール化して記憶しておく。そして、モジュール化ブロック線図の作成処理部で所望の動作解析に必要なモジュールを呼び出して、モジュールを連結線で接続することによりモジュール化ブロック線図を作成する。さらに、モジュール化ブロック線図の展開処理部で、モジュール化ブロック線図を演算要素レベルのブロック線図に展開し、時間応答計算と結果の表示部により、演算要素レベルのブロック線図に基づいて時間応答計算を行い、シミュレーション結果が表示されるというものである。
【００１４】
【特許文献１】
特開平９−３０１３２７号公報
【特許文献２】
特開平９−２９７７８２号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
製造ラインに組み込まれた複数の処理装置における各処理工程をサーバ装置で一括管理する従来の管理システムでは、サーバ装置に管理制御用のプログラムが格納され、このプログラムの稼動によって、各処理工程に関する実績情報が収集され、処理の進捗状況が管理されている。
【００１６】
しかしながら、図１５に示されるように、このプログラムは、プログラム言語を用いて必要な機能やモジュール間の接続が記述されるので、製造現場における技術革新や顧客の要求などに対処するための製造ラインの追加や変更があった場合には、管理システムを停止した上で、プログラムの変更、修正を行わなければならない。製造ラインの追加や変更がある都度、管理システムを停止し、このプログラムの変更、修正を行わなければならないという煩雑さが問題となる。更には、近年においては、製造ラインの追加や変更が、頻繁に実施されるので、一層問題となる。
【００１７】
また、従来の管理システムでは、システムの流れが大きく変わるような変更の場合、システムを停止してから変更作業が行われ、再起動する必要があるが、この手順は、システムを変えられないようにするという安全性が向上される反面、急なシステム変更には、対応が困難となる。そのため、特に、システムメンテナンス用の処理では、想定できる全ての処理機能を予め組み込んでおかなければならないという問題がある。
【００１８】
そこで、管理システムの変更を最小限にするため、管理制御プログラムに、予め、想定できる機能を全て詰め込んでおくようにしても、そのシステムの変化とのマッチングが十分でないと、システム運用時の設定が返って煩雑になり、使用しづらいシステムになってしまうという問題がある。
【００１９】
一方、上述したように、ブロック線図解析装置では、モジュール化ブロックを組み合わせて一つのシミュレーションモデルを作成し、プラントの動特性に関するシミュレーションを実行している。ここでは、モジュール自体、或いは、モジュール相互の接続関係を改変することによって、必要とするモデルに改良することが行われている。このようなモデル作成手法によれば、用意された複数のモジュールの組み合わせ及び相互接続を変更でき、モデルの改良が柔軟に行えるものである。
【００２０】
しかしながら、上述のブロック線図解析装置は、プラントなどの特性をシミュレーションするものであって、モデルの改良が行われている間には、シミュレーション処理を停止している。従って、このモデル作成手法によるプログラム変更の仕方を、製造ラインの各処理工程を一括管理する管理システムのプログラムの変更に適用した場合にも、プログラム変更時には、製造ラインの管理システムも停止することとなり、製造ラインの変更が頻繁になると、その都度システム停止することになり、システム運用の煩雑さが問題となる。
【００２１】
また、上述のブロック線図解析装置では、モジュール化ブロックと接続線とによるモデルが、ディスプレイに表示され、モデル作成の様子が視覚化されているが、ここで表示されたモデルの構成は、オペレータの入力操作の結果をディスプレイに表示しているものであり、モデル作成に当たっては、モデルの改良に必要な、例えば、接続線の配置などの入力操作が必要であり、オペレータの入力操作が複雑となり、作業負担が大きくなるという問題がある。
【００２２】
そこで、本発明は、処理を細かな機能に分割して作成された複数のモジュールについて、各モジュールの接続を画面上で設定指示していくことにより、処理工程を管理する管理制御システムを構築することができるモジュール管理制御システムを提供することを目的とし、一時的な処理工程の組み換えや、処理工程の追加・削除などのシステム構成上の変更があっても、システム制御装置の画面上における簡単な操作で、その変更が実現されるものである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、本発明では、システム制御装置に組み込まれ、モジュールの接続管理情報に従って該モジュールを処理動作させるるモジュール管理制御システムにおいて、複数のモジュールの夫々に対応したモジュール表示用セル図形を表示する表示手段と、前記セル図形を用いて前記モジュールの接続状態を設定指示する入力手段と、前記接続状態を前記モジュール毎の接続管理情報に設定し、該接続管理情報に基づいて、当該モジュールと他のモジュールとの接続を管理するモジュール接続管理手段とを備えた。
【００２４】
そして、前記複数のモジュールの夫々は、処理工程に対応した処理機能を有し、前記接続管理情報に従って前記モジュールを処理動作させることによって、前記処理工程が管理制御されるものとした。
【００２５】
さらに、前記モジュールが能動側モジュールである場合、該能動側モジュールに対応したセル図形は、該セル図形から引き出され接続先モジュールへの接続を示す接続線を有し、前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段によって引き出された前記接続線が他のセル図形に指示されたとき、当該モジュールの前記接続管理情報が設定されるものとした。
【００２６】
前記セル図形は、複数のセル図形への接続を示す複数の前記接続線を有し、該接続線毎に前記接続管理情報が設定され、前記接続管理情報は、接続先モジュールに係る接続先識別情報、受ポート番号、接続属性情報、接続先セル図形位置情報を含むこととした。
【００２７】
また、前記モジュールが受動側モジュールである場合、該受動側モジュールに対応したセル図形は、前記接続線の受ポート部を有し、前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段によって他のセル図形から引き出された前記接続線が前記受ポート部に指示されたとき、該接続線に係る前記能動側モジュールの接続管理情報に、当該セル図形に係る前記受動側モジュールの接続管理情報を設定することとし、前記セル図形は、複数の受ポート部を有し、さらに、前記受ポート部毎に当該モジュールにおける異なる処理機能が割り当てられている場合、該処理機能に対応して中継ポートが備えられ、前記接続管理情報は、自モジュールに係る自識別情報、自受ポート番号、自接続属性情報、自セル図形位置情報を含むこととした。
【００２８】
前記表示手段は、前記処理工程のモジュールに対応する複数のセル図形が前記接続線によって接続されたシステム構成を表示するようにした。
【００２９】
前記入力手段により当該セル図形の移動指示があった場合、前記モジュール接続管理手段は、該セル図形に係る前記自セル図形位置情報と、該セル図形に接続された他のセル図形に係る前記接続先位置情報とを更新することとし、前記セル図形の移動指示は、前記入力手段による表示画面上における当該セル図形のドラッグ処理で実行されることとした。
【００３０】
また、前記システム構成にモジュールが追加された場合、前記モジュール接続管理手段は、表示された追加モジュールに対応の追加セル図形に係る接続管理情報を前記入力手段による設定指示に従って設定し、該追加セル図形に接続された他のセル図形に係る前記接続管理情報を更新することとし、前記追加セル図形に係る前記設定指示は、前記入力手段による前記接続線の先端位置指定で実行されるようにした。
【００３１】
前記システム構成からモジュールを削除する場合、前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段による削除指示に従って、該モジュールに接続されていた他のモジュールに係る前記接続管理情報から削除対象のモジュールに係る接続管理情報を削除することとし、前記削除対象のセル図形に係る前記削除指示は、前記入力手段により前記接続線が該当受ポートから非接続とされることで実行されるようにした。
【００３２】
前記システム構成において当該モジュールに接続されたモジュールを他のモジュールに接続変更する場合、前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段によって当該モジュールに対応の前記セル図形に係る前記接続線が変更元のセル図形から変更先のセル図形への接続変更指示に従って、当該モジュールの前記接続管理情報を更新し、変更元のモジュールに係る前記接続管理情報から当該モジュールの前記接続管理情報を削除し、変更先のモジュールに係る前記接続管理情報を更新することとし、前記接続変更は、前記入力手段による前記接続線の先端位置指定を変更元から変更先へのドラッグ処理で実行されるようにした。
【００３３】
前記接続管理情報は、モジュール毎に記憶手段に保持され、前記モジュール接続管理手段によって、前記モジュールの前記接続状態が管理されることとし、前記表示手段は、前記入力手段により該当セル図形について接続状態の表示指定がされたとき、該セル図形に係るモジュールに対する前記接続管理情報を前記記憶手段から読み出し、表示するようにした。
【００３４】
前記記憶手段は、前記モジュール毎の設定内容を保持しており、前記表示手段は、前記入力手段により該当セル図形について内容表示指定がされたとき、前記記憶手段から読み出された該セル図形に係るモジュールに対する前記設定内容を表示することとし、前記表示手段は、前記モジュールの前記設定内容が表示されているとき、前記入力手段の選択により該設定内容を変更できる入力ウインドウを表示するようにした。
【００３５】
前記モジュール接続管理手段は、前記入力手段により当該セル図形から引き出した前記接続線を他のセル図形に接続したとき、前記接続属性情報に基づいて当該セル図形に係るモジュールと他のセル図形に係るモジュールとの接続可否を判断することとし、前記接続可否の判断において接続不可となった場合、前記表示手段は、表示した前記接続線を消去するか、又は、前記接続線を接続不可の強調表示を行うようにした。
【００３６】
また、前記表示手段は、前記記憶手段を含むシステム制御手段によって制御され、前記システム制御手段は、前記モジュール接続管理手段を含み、前記記憶手段に格納された前記処理工程に対する複数のモジュールに従って前記処理工程の実績管理制御を行うこととした。
【００３７】
さらに、前記システム制御手段及び前記表示手段を含むサーバと、前記処理工程の処理手段の夫々に接続され、該処理手段に係る実績管理情報をネットワークにより前記サーバに伝送するクライアント端末手段とを備えた。
【００３８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明のモジュール管理制御システムの実施形態について、図を参照しながら説明する。本実施形態では、例えば、半導体製品の製造ラインにおける各種処理工程を一括管理し、処理工程における処理実績を収集する場合の管理システムを例にして説明する。
【００３９】
この管理システムに組み込まれる本実施形態のモジュール管理制御システムでは、製造ラインに配置された複数の処理装置における処理工程の実績情報を収集するプログラムを含んでいるものとし、このプログラムは、各処理工程の処理実績情報を収集するための細かな機能に分割された複数のモジュールによって構成される。そして、この複数のモジュールの接続をシステム制御装置の画面上で設定指示していくことにより、処理工程における実績を管理するプログラムを構築することができるようにした。
【００４０】
一時的な処理工程の組み換えや、処理工程の追加・削除などのシステム構成上の変更があったとき、複数のモジュールに関する接続変更を指示し、処理工程の追加に対しては、新しいモジュールの追加接続を行うことなどを、システム制御装置の画面上で設定指示することによって実施可能とし、処理工程に係る処理実績の収集を実行できるプログラムの構築或いは変更が簡単な操作で実現されるようにした。ここで、システム制御装置の画面上で、複数のモジュールに対する接続手法について、図１乃至図５を参照して説明する。
【００４１】
先ず、図１には、システム制御装置の画面に表示されるセル図形を示した。このセル図形の一つは、収集処理を細かな機能に分割して作成された複数のモジュールの一つに対応している。そのため、このセル図形の複数が接続されると、一つのシステムを構築できることになり、セル図形相互が接続されると、当該セル図形に対応するモジュールが動作上接続されるようになっている。これらのセル図形は、プログラム上、必要とされるモジュールに対応して、予めモジュールと共に、システム制御装置内に格納されている。図１では、説明を簡単にするため、各セル図形は、処理工程に係る機能を有するモジュールに対応した場合を示した。
【００４２】
セル図形には、他のセル図形との接続状態に応じて、能動側モジュールに対応したものと、受動側モジュールに対応したものとの２種類がある。この能動側モジュール対応のセル図形は、他のモジュールに対して処理を呼び出して、処理を実行させるモジュールであることを表しており、この接続状態を表示するため、画面上では、例えば、マウスなどで操作されるポインタによるドラッギングによって、当該セル図形から、受動側モジュール対応のセル図形まで接続線を引き出せるようになっている。この接続線の引き出し操作によって、モジュール相互間の接続が設定される。
【００４３】
また、受動側モジュール対応のセル図形は、能動側モジュールの処理呼び出しに応じて処理を実行するモジュールであることを表しており、能動側モジュール対応のセル図形から引き出された接続線を受け入れる受ポートを持っている。この受ポートに接続線がドラッギングされ、例えば、マウスにおけるクリックなどによって指示されると、モジュール相互間の接続が設定される。
【００４４】
なお、一つのセル図形において、当該セル図形に対応するモジュールが能動側と受動側の両方の機能を持っている場合も有り得る。この場合には、当該セル図形は、受ポートと接続線の両方を持つことになる。
【００４５】
図１の（ａ）乃至（ｃ）には、セル図形間の接続状態の代表例を示した。ここで、図１（ａ）は、能動側モジュール対応のセル図形ＣＡと受動側モジュール対応のセル図形ＣＢの接続状態に関する画面上の表示例を表している。セル図形ＣＡは、処理工程Ａに係る処理機能を有するモジュールを示し、能動側モジュールに対応しているので、セル図形ＣＡから、接続線ＣＬＣＡが引き出されている。そして、セル図形ＣＢは、処理工程Ｂに係る処理機能を有した受動側モジュールに対応しているので、受ポートＰＣＢを有しており、セル図形ＣＡからの接続線ＣＬＣＡが接続されている。この接続線ＣＬＣＡの画面上での引き出し操作は、マウスによりセル図形ＣＡをポインティングした後、受ポートＰＣＢまでドラッギングすることにより行える。
【００４６】
接続線ＣＬＣＡの画面上での引き出し操作によって、プログラム上におけるモジュール相互間の接続設定が行われる様子を、図２に示した。同図において、図１（ａ）におけるセル図形ＣＡが、能動側モジュールＡＭに、そして、セル図形ＣＢが、受動側モジュールＰＭに夫々対応している。能動側モジュールＡＭには、接続先管理領域が備えられ、受動側モジュールＰＭには、ポート管理領域が備えられている。このポート管理領域には、受動側モジュールＰＭとしてのモジュール識別情報である自ＩＤと、自セル図形にある受ポートＰＣＢの自ポート番号と、他のモジュールとに関る接続条件を示す自属性と、自セル図形の画面上における自座標とによる接続管理情報が格納されている。
【００４７】
そこで、先ず、必要なモジュール相互間の接続を行うため、当該モジュールに係るセル図形ＣＡとセル図形ＣＢとを格納場所から読み出し、画面上に表示させる。これらのセル図形の表示位置は、適当な間隔を置いて表示されればよい。セル図形相互間の接続が終了してから、表示位置の調整をすればよい。受動側モジュールＰＭの自座標は、セル図形ＣＢが画面上で移動されると、自動的に移動先の座標に更新されるようになっている。
【００４８】
セル図形ＣＡからの接続線ＣＬＣＡが、セル図形ＣＢの受ポートＰＣＢに置かれたとき、能動側モジュールＡＭが受動側モジュールＰＭに接続されたものとして、受動側モジュールＰＭに格納されている自ＩＤ、自ポート番号、自属性、自座標の接続管理情報が能動側モジュールＡＭに送信され、能動側モジュールＡＭの接続先管理領域に、接続先ＩＤ、接続先ポート番号、接続先属性、そして、接続先座標の接続先管理情報として格納される。そして、能動側モジュールＡＭでは、この接続先属性に基づいて、セル図形ＣＡがセル図形ＣＢに接続可能かどうかが判断され、接続可の場合に接続先設定され、図１（ａ）に示されるように、セル図形ＣＡから引き出された接続線ＣＬＣＡが受ポートＰＣＢに接続された線として表示される。
【００４９】
このように、能動側モジュールＡＭと受動側モジュールＰＭとが接続設定されているとき、能動側モジュールＡＭが起動されると、処理１が実行され、設定された接続先の処理、例えば、ＩＮ処理を呼び出すことになる。そして、接続先の受動側モジュールＰＭでは、このＩＮ処理が実行される。
【００５０】
以上では、図１（ａ）に示されるように、能動側モジュールＡＭと受動側モジュールＰＭとの１対１の接続状態であったが、図１（ｂ）に、一つの能動側モジュールＡＭが複数の受動側モジュールＰＭに接続される場合を示した。図１（ｂ）では、説明を簡単にするため、代表的に１対２の場合を示したが、１対ｍとすることができる。
【００５１】
図１（ｂ）に示した１対２のモジュール相互間に係る接続の仕方は、基本的に図１（ａ）に示した１対１の場合と同様であり、図１（ａ）に示した接続線ＣＬＣＡによる接続を、受動側モジュールに夫々対応したセル図形ＣＢ１とセル図形ＣＢ２に対して、夫々個別に行えばよい。セル図形ＣＢ１には、受ポートＰＣＢ１が、そして、セル図形ＣＢ２には、受ポートＰＣＢ２が備えられているので、セル図形ＣＡから夫々の受ポートに向けて、接続線ＣＬＣＡ１と接続線ＣＬＣＡ２を引き出すことになる。
【００５２】
ここで、受動側モジュールＣＢ１とＣＢ２では、受ポートが一つずつ備えられているだけであるので、受動側モジュールのポート管理領域は、図２に示される受動側モジュールＰＭの場合と同様であるが、図１（ｂ）に示されるセル図形ＣＡは、２本の接続線を引き出せるようになっており、この点で、図１（ａ）に示したセル図形ＣＡと異なっている。
【００５３】
図３に、能動側モジュールＡＭが、複数の受動側モジュールに接続可能な場合について示した。図３に示された受動側モジュールのポート管理領域の構成は、図２の受動側モジュールＰＭのそれと同様であり、同図では、受動側モジュールとして、ＰＭ１乃至ＰＭ３の３つが示されている。
【００５４】
能動側モジュールＡＭには、受動側モジュールＰＭ１乃至ＰＭ３のうちの２つについて接続が可能なように、２つに分けた管理領域、接続先１管理領域と接続先２管理領域を備え、夫々が、異なる受動側モジュールの一つと接続できるようになっている。図３では、接続先１として、受動側モジュールＰＭ１が、接続先２として、受動側モジュールＰＭ３が接続された状態を示している。即ち、セル図形ＣＢ１が受動側モジュールＰＭ１に、セル図形ＣＢ２が受動モジュールＰＭ３に対応していることを表している。
【００５５】
接続線ＣＬＣＡ１と接続線ＣＬＣＡ２がセル図形ＣＢ１とセル図形ＣＢ２に夫々接続されたとき、接続先１管理領域には、受動側モジュールＰＭ１の接続管理情報が、そして、接続先２管理領域には、受動側モジュールＰＭ３の接続管理情報が格納され、夫々に接続先が設定される。能動側モジュールＡＭが起動されると、接続先１に対しては、処理１が実行され、受動側モジュールＰＭ１のＩＮ処理を呼び出しに行き、該ＩＮ処理を実行させる。また、接続先２については、その起動時に、処理２が実行されると、受動側モジュールＰＭ３のＩＮ処理を呼び出しに行き、該ＩＮ処理を実行させる。
【００５６】
なお、図３に示された受動側モジュールＰＭ２は、受動側モジュールＰＭ１と置き換えられる場合を示している。図１（ｂ）には、示されていないが、受動側モジュールＰＭ２に対応するセル図形を画面上に表示し、セル図形ＣＢ１の受ポートＰＣＢ１に接続された接続線ＣＬＣＡ１の接続先を表示されている新しいセル図形の受ポートに接続換えを行う。このとき、接続可と判断された場合には、接続線ＣＬＣＡ１は、新しいセル図形の受ポートに接続して表示される。そして、セル図形ＣＢ１への接続線は、表示されなくなる。
【００５７】
一方、接続不適と判断された場合には、新しいセル図形の受ポートに移動された接続線は、消去され、元に接続された接続線ＣＬＣＡ１の表示が復元される。また、接続線の他のセル図形への接続換えには、接続されていた接続線を消去してから、新たに接続線を引き出すようにしてもよい。
【００５８】
次に、異なる２つの能動側モジュールが、一つの受動側モジュールに接続する場合について、その例を図１（ｃ）に示した。同図では、受動側モジュールに対応するセル図形ＣＢが、能動側モジュールに対応していることを表し、２つの受ポートＰＣＢ１とＰＣＢ２が備えられている。そして、接続線ＣＬＣＡ１が、処理工程Ａ１に係る能動側モジュールに対応したセル図形ＣＡ１から引き出され、受ポートＰＣＢ１に接続され、さらに、接続線ＣＬＣＡ２が、処理工程Ａ２に係る能動側モジュールに対応したセル図形ＣＡ２から引き出され、受ポートＰＣＢ２に接続されている。
【００５９】
この様に、セル図形ＣＡ１及びＣＡ２と、セル図形ＣＢとが接続される場合の能動側モジュールと受動側モジュールにおける接続状態を、図４に示した。同図に示した能動側モジュールＡＭ１は、図１（ｃ）のセル図形ＣＡ１に、能動側モジュールＡＭ２は、セル図形ＣＡ２に対応しており、また、受動側モジュールＰＭは、セル図形ＣＢに対応している。
【００６０】
ここで、セル図形ＣＡ１とＣＡ２の夫々からは、接続線が１本だけ引き出されているので、能動側モジュールＡＭ１とＡＭ２とは、図１（ａ）に示したセル図形ＣＡに対応する能動側モジュールＡＭの構成と同様になっている。一方、図１（ｃ）に示されるように、２つの受ポートＰＣＢ１とＰＣＢ２を備えているので、図４に示された受動側モジュールＰＭにおいても、ポート管理領域が２つ用意され、ポート１とポート２の管理領域を備えている。このポート管理領域におけるポート数は、受動側モジュールに対応するセル図形の受ポート数と同じになっており、当該モジュールの機能に応じて複数のポートを備えることができる。
【００６１】
セル図形ＣＡ１から接続線ＣＬＣＡ１が引き出されて受ポートＰＣＢ１に接続されたとき、受動側モジュールＰＭのポート１に格納されている自ポート番号、この例では、「１」と、ポート１の接続可否を示す自属性と、自座標と、さらには、自ＩＤが接続先管理情報として、能動側モジュールＡＭ１の接続先管理領域に格納され、能動側モジュールＡＭ１の接続先が受動モジュールＰＭのポート１に設定される。
【００６２】
また、セル図形ＣＡ２から接続線ＣＬＣＡ２が引き出されて受ポートＰＣＢ２に接続されたとき、受動側モジュールＰＭのポート２に格納されている自ポート番号、この例では、「２」と、ポート１の接続可否を示す自属性と、自座標と、さらには、自ＩＤが接続先管理情報として、能動側モジュールＡＭ２の接続先管理領域に格納され、能動側モジュールＡＭ２の接続先が受動側モジュールＰＭのポート２に設定される。ここで、各接続先管理領域に夫々格納される接続先ＩＤは、同じ自ＩＤであるが、接続先座標の夫々は、受ポートＰＣＢ１とＰＣＢ２の画面上の位置情報を示している。
【００６３】
受動側モジュールＰＭには、異なる処理機能毎にポートが用意されようになっている。図４の例では、２つのポート、ポート１とポート２が備えられているが、この複数のポートを使い分けるために、呼び出し形式が同一で異なった処理機能を呼び出すための中継ポートを備えている。図４の受動側モジュールＰＭの中継ポートには、ポート１の呼び出しに呼応して加算処理機能を実行するＡＤＤ処理と、ポート２の呼び出しに呼応して減算処理機能を実行するＳＵＢ処理とが含まれている。
【００６４】
なお、ＡＤＤ処理（例えば、Ｋ＝Ｋ＋１）とＳＵＢ処理（例えば、Ｋ＝Ｋ−１）は、受動側モジュールＰＭにおける処理機能の例を示したものであり、他の処理機能であっても良いことはいうまでもない。各ポートの呼び出しに応じて異なる処理機能を実行できるように、モジュールを多機能化することにより、システムに組み込まれるモジュール数を少なくすることができる。
【００６５】
そこで、能動側モジュールＡＭ１が起動されると、該モジュールの接続先に対しては、処理１が実行され、受動側モジュールＰＭのポート１の処理を実行させ、中継ポートのＡＤＤ処理を呼び出しに行き、該ＡＤＤ処理を実行させる。また、能動側モジュールＡＭ２が起動されると、該モジュールの接続先に対して、処理１が実行され、受動側モジュールＰＭ２のポート２の処理を実行させ、中継ポートのＳＵＢ処理を呼び出しに行き、該ＳＵＢ処理を実行させる。
【００６６】
この様に、受動側モジュールＰＭにある複数のポートに異なる処理機能を割り当て、複数の能動側モジュールＡＭ１又はＡＭ２に設定される接続先ポート番号を指定することにより、夫々の能動側モジュールＡＭ１又はＡＭ２の接続先を選択設定することができ、異なる処理機能に接続することができる。
【００６７】
これまで、能動側モジュールと受動側モジュールとの接続が、画面上に表示されたセル図形を用いて設定指示することによって行われることを説明したが、セル図形を利用して設定指示された各モジュールの接続先管理情報の格納について、図５に示した。
【００６８】
接続先管理情報は、各モジュールの処理機能とは分離して、モジュール毎に格納される。図５では、モジュールＭ１乃至Ｍｎの接続先管理情報を格納する構成が示されている。複数に分割されたモジュールの処理機能は、能動側、受動側のいずれか、又は、その両方を含むので、例えば、モジュールＭ２の内部構成は、受動側の管理情報と、能動側の接続先管理情報とを有している。
【００６９】
受動側の管理情報には、自モジュールに関する自ＩＤ、他のモジュールとの接続可否を示す自属性などによるモジュール種別、自座標等が含まれ、能動側の接続先管理情報には、複数の接続先の設定が含まれ、図５では、モジュールＭ２が複数の接続先１乃至ｍに接続設定されていることを表し、各接続先の接続先管理情報には、接続先ＩＤと接続先ポート番号が含まれている。なお、能動側モジュールの接続先管理領域に格納される接続先管理情報のうち、接続先属性と接続先座標は、画面上でモジュール間相互の接続作業を行うために一時的に必要となるものであり、接続設定後において格納されなくてもよい。
【００７０】
この様に、各モジュールの接続先管理情報が格納されるようになっているので、システムが稼動中であっても、個々のモジュールに係る管理情報を読み出し、当該モジュールに対応するセル図形を用いて、画面上でモジュール間相互の接続作業をおこなうことができ、システム変更に対応するモジュールの接続変更を、システムを停止せずに行うことができる。
【００７１】
なお、画面上に表示されるセル図形は、マウス操作などにより引き出される接続線と、該接続線を接続する受ポートとを備え、モジュール間相互を接続する機能を持っているが、セル図形は、モジュールに対応した画面上での表示を表しているだけであるので、例えば、セル図形に対応するモジュールの接続状態を知る必要がある場合がある。この様な場合には、当該セル図形のどこか又は特定箇所をマウス操作で表示指示を行うと、画面上に、モジュールの接続状態を表示するウインドウが開かれるようにすることもできる。また、該ウインドウに、モジュールの処理機能の内容や、処理工程の仕様などを表示できるようにしてもよい。
【００７２】
以上のように、図１の（ａ）乃至（ｃ）に示されるセル図形を用いたモジュール間の相互接続の代表例を画面上で組み合わせることにより、複数のモジュールによる管理制御システムを構築することができ、さらには、構築された管理制御システムの変更、例えば、モジュール間の接続変更、モジュールの追加又は削除が、画面上に表示されたセル図形に対する接続操作によって、システムを停止することなく、簡単に行われる。
【００７３】
この様なセル図形を用いた接続操作によって、システム構成を変更することができる管理制御システムを備え、各処理工程の実績情報を収集する工程実績管理システムの概要を、図６に示した。図６に示した工程実績管理システムの基本的な構成は、図１４に示された製造ラインの処理工程管理システムと同様であるが、工程実績管理システムでは、制御部１１にモジュール管理部１３が設けられ、記憶部１２には、システムを構成する複数のモジュールの他に、図５に示したモジュール毎の接続先管理情報が格納されていることが異なっている。
【００７４】
さらに、モジュール管理部１３は、表示装置２の画面に表示される、モジュールに対応するセル図形の表示を制御し、また、該画面上で設定指示された接続情報を読み取り、モジュール間の相互接続の設定を行う。入力装置３は、画面上で操作指示できる入力手段であり、この入力には、マウスによる指示や、タッチスクリーンによる指示も含まれる。
【００７５】
ここで、半導体製品を製造する製造ラインにおける各処理工程の処理実績を収集する管理制御システムの構成例を、図７に示した。同図のシステム構成例は、表示装置２の画面上に表示された状態を示している。複数のセル図形と、セル図形間を結合する接続線とを用いて、各工程の処理実績を収集するシステムの構成を表示している。セル図形Ｃ１、Ｃ３、Ｃ４ａ、Ｃ５、Ｃ６及びＣ８は、処理工程におけるモジュールに対応したものであり、セル図形Ｃ２とＣ７は、情報を分岐する機能を有するモジュールに対応している。そして、セル図形Ｃ９は、モニタ機能を有するモジュールに対応したものである。
【００７６】
セル図形Ｃ１乃至Ｃ９は、隣接するセル図形間における接続線によって結合され、該当するモジュール間相互の接続が行われている。例えば、セル図形Ｃ１とセル図形Ｃ２とは、図１（ａ）に示す接続例に従って結合され、接続線ＣＬＣ１が受ポートＰＣ２に引き出されて接続されている。セル図形Ｃ３は、図１（ｃ）に示す接続例に従って結合され、セル図形Ｃ２とセル図形Ｃ４ａとから夫々引き出された接続線ＣＬＣ２１と接続線ＣＬＣ４ａ１によって、受ポートＰＣ３１とＰＣ３２に接続されている。さらには、セル図形Ｃ４ａは、図１（ｂ）に示す接続例に従って結合され、セル図形Ｃ４ａから引き出された接続線ＣＬ４ａ１と接続線ＣＬ４ａ２が、夫々受ポートＰＣ３２と受ポートＰＣ５１に接続されている。
【００７７】
また、各処理工程の処理実績をモニタするため、モニタモジュールが接続されている。このモニタモジュールに対応するセル図形Ｃ９に関しては、情報分岐モジュールに対応するセル図形Ｃ２とセル図形Ｃ７とから夫々引き出された接続線ＣＬＣ２２と接続線ＣＬＣ７２とが、セル図形Ｃ９の受ポートＰＣ９１とＰＣ９２に接続されている。ここで、受ポートＰＣ９１に情報追加機能を割り当て、そして、受ポートＰＣ９２に情報削除機能を割り当てられていると、セル図形Ｃ２に対応する情報分岐モジュールからの呼び出しに応じて、モニタモジュールで情報の追加処理が実行され、セル図形Ｃ７に対応する情報分岐モジュールからの呼び出しに応じて、モニタモジュールで情報の削除処理が実行される。この様にして、製造ラインにおける仕掛りロットを常にモニタすることができる。
【００７８】
次に、図７において破線で示したセル図形Ｃ４ｂは、加工処理工程１ａにおける処理能力を向上させるため、加工処理工程１ａと同等の加工処理工程１ｂを挿入した場合を示している。この加工処理工程１ｂのモジュールに対応するセル図形Ｃ４ｂを画面上に表示した後に、セル図形Ｃ３の受ポートＰＣ３２まで接続線ＣＬＣ４ｂ１を引き出し接続する。さらに、セル図形Ｃ５の受ポートＰＣ５１まで接続線ＣＬＣ４ｂ２を引き出し接続する。
【００７９】
この様に接続することによって、受ポートＰＣ３２又は受ポートＰＣ５１には、２つのセル図形から接続線が接続されているので、例えば、セル図形Ｃ３に対応する仕掛り保管モジュールは、２つのモジュールから処理要求されることになる。従って、製造ライン中の処理装置にもう一つ同一の処理装置が併設されたことによるシステム変更を画面上で実施することができる。
【００８０】
一方、図７に破線で示されたセル図形Ｃ１０は、製造ラインにおいて、加工処理工程１ａ、仕掛り保管工程２及び加工処理工程２を一括して加工処理工程３に置き換える場合のシステム変更を示している。このシステム変更に際しては、先ず、接続線ＣＬＣ４ａ１と接続線ＣＬＣ６２とを受ポートＰＣ３２と受ポートＰＣ７とから夫々引き離して接続削除する。その後、セル図形Ｃ１０を画面上に表示し、受ポートＰＣ３２と受ポートＰＣ７とに、引き出した接続線ＣＬＣ１０１とＣＬＣ１０２を接続する。
【００８１】
この様に、製造ラインにおいて処理装置が入れ換えられるシステム変更が発生した場合、入れ換えられた処理装置に対応するモジュールについて、画面上に表示されたセル図形の接続変更を行うことで、システム変更を実施できる。
【００８２】
次に、サーバ装置１の制御部１１に設けられたモジュール管理部１３の処理手順について、図８のフロー図を参照して説明する。図８では、処理工程Ａが、能動側モジュールであり、処理工程Ｂが受動側モジュールである場合を示している。同図において、（ａ）は、工程Ａのモジュールに対応するセル図形ＣＡから工程Ｂのモジュールに対応するセル図形ＣＢに接続する場合、（ｂ）は、セル図形ＣＡに接続されたセル図形ＣＢ自体を画面上の表示位置を移動させた場合、（ｃ）は、セル図形ＣＡに対応するモジュールのデータを変更した場合を夫々示している。
【００８３】
図８（ａ）の場合は、図１（ａ）に示した接続例に対応している。先ず、モジュール管理部１３は、オペレータによる入力手段３の操作によって、セル図形ＣＡから接続線ＣＬＣＡを引き出し、セル図形ＣＢの受ポートＰＣＢまでドラッギングする。そこで、セル図形ＣＢに対応する工程Ｂモジュールの工程名とポート番号を返信する。
【００８４】
そこで、セル図形ＣＡに対応する工程Ａモジュールの接続先がセル図形ＣＢであることが分かるので、返信されたポート番号に従って、受ポートＰＣＢの座標を要求し、ポート管理領域に格納されている自座標を返信する。このポート番号と自座標に基づいて、接続状態が更新される。
【００８５】
この接続状態の更新について、図９のフローチャートを参照して、さらに詳細な手順について説明する。
【００８６】
先ず、セル図形ＣＡから接続線ＣＬＣＡを引き出し、セル図形ＣＢの受ポートＰＣＢまでドラッギングが終了したものとする（ステップＳ１）。ここで、接続線ＣＬＣＡに係るドラッギング終了ポイントにおけるセル図形の検索処理と、当該セル図形とポート番号の取出し処理が行われる（ステップＳ２）。
【００８７】
そこで、ドラッギング終了ポイントにおけるセル図形検索の結果、画面上に該当セル図形が有る場合には（ステップＳ３のＹ）、当該セル図形ＣＢの自属性が読み出され、セル図形ＣＡがセル図形ＣＢに接続できるかどうかの判断が行われる（ステップＳ４）。
【００８８】
セル図形ＣＡがセル図形ＣＢに接続できると判断された場合（Ｙ）、接続されたセル図形ＣＢとの接続状態がセル図形ＣＡに係る接続先管理領域に設定更新される（ステップＳ５）。
【００８９】
この更新された接続状態が、セル図形ＣＡと他のセル図形との接続から、セル図形ＣＢに接続変更する場合であるときには、以前の接続相手である他のセル図形に係る接続登録を削除する（ステップＳ６）。この場合は、図３において、能動側モジュールＡＭが、受動側モジュールＰＭ１から受動側モジュールＰＭ２に接続変更するときに相当している。
【００９０】
そして、接続相手側であるセル図形ＣＢが、接続更新と同時に、変化した場合に連絡を受けられるように、接続登録を行う（ステップＳ７）。
【００９１】
一方、ステップＳ３において、該当セル図形が無い場合（Ｎ）、或いは、ステップＳ４において、該当セル図形との接続が不可である場合（Ｎ）には、以前に接続した接続線をクリアし（ステップＳ８）、その接続相手側から接続登録を削除する（ステップＳ９）。
【００９２】
以上により、図１（ａ）に示されるように、セル図形ＣＡとセル図形ＣＢとを接続する場合、或いは、図３に示されるように、接続相手であるセル図形を変更する場合における接続処理手順について説明したが、次に、図８の（ｂ）に示されるように、セル図形ＣＡとセル図形ＣＢとが接続設定されているとき、セル図形ＣＢを画面上で移動させた場合における処理手順について説明する。
【００９３】
オペレータが入力装置３を操作して、画面上に表示されているセル図形ＣＢをドラッギングによって移動されたとする。このドラッギング操作に基づいて、移動されたという変更通知が、セル図形ＣＢ側からセル図形ＣＡ側に通知される。セル図形ＣＡ側では、この変更通知を受けて、セル図形ＣＢ側にポート番号を要求する。そして、セル図形ＣＡ側では、セル図形ＣＢ側から返信された移動後の座標を取得し、移動後の新しい位置に接続線ＣＬＣＡを表示する。
【００９４】
この受動側モジュールに対応するセル図形の移動処理の処理手順について、図１０のフローチャートを参照して説明する。なお、セル図形の移動には、セル図形自体のサイズ変更による移動も含まれる。
【００９５】
先ず、画面上に表示されているセル図形ＣＢをドラッギングによって移動させる（ステップＳ１１）。この移動によって、セル図形ＣＢに備えられた受ポートの画面上の表示位置が変化するので、移動後における受ポートＰＣＢの位置を再計算し、画面上の座標値を求める（ステップＳ１２）。
【００９６】
図１（ａ）に示されるような接続状態であれば、受ポートＰＣＢが一つであるので（ステップＳ１３のＹ）、接続相手側であるセル図形に座標更新を通知した後、再計算された座標値に基づいて、セル図形ＣＢを画面上で再描画する（ステップＳ１６）。
【００９７】
一方、セル図形ＣＢに複数の受ポートが備えられているときには（ステップＳ１３のＮ）、受ポート毎に接続されているセル図形に対し（ステップＳ１４）、当該受ポートが座標更新されたことを通知する（ステップＳ１５）。そして、セル図形ＣＢに備えられた全受ポートの夫々に接続されたセル図形側に、座標更新の通知が行われると（ステップＳ１３のＹ）、ステップＳ１６に進み、移動後のセル図形ＣＢが描画される。
【００９８】
なお、セル図形ＣＢのみを画面上で移動する場合を例にして説明したが、システムに組み込まれた複数のセル図形を一括して移動させるようにしても良い。例えば、マウスなどによるポインタで複数のセル図形を含む範囲指定し、この範囲を移動先までドラッギングする。移動先が指定されたとき、セル図形毎に、受ポートの座標を求め、当該モジュールの接続先を再設定することによって、一括イ号されたセル図形に対応するモジュールについて、モジュール間の接続を実現できる。セル図形の一括移動は、画面上でのシステム構築のための操作性を向上する。
【００９９】
これまでは、移動されたセル図形ＣＢに係る表示処理に関する手順であったが、図１１に、セル図形ＣＢの移動に伴う座標更新が通知されたセル図形ＣＡ側の処理に係るフローチャートを示した。
【０１００】
セル図形ＣＡ側では、セル図形ＣＢ側から座標更新の通知を受信したとき（ステップＳ２１）、セル図形ＣＢのポート番号に基づいて、セル図形ＣＢ側に対して更新された座標を要求し、当該座標を取り込む（ステップＳ２２）。そこで、取り込んだ座標に基づいて、セル図形ＣＡを再度描画する（ステップＳ２３）。
【０１０１】
以上のような処理手順に従って、画面上に表示されたセル図形についての移動、又は図形サイズの変更に伴う移動が行われるが、この移動対象は、主として、受動側モジュールに対応するセル図形であった。そこで、図８の（ｃ）に示されるように、能動側モジュールに対応するセル図形ＣＡに関して変更があった場合について説明する。
【０１０２】
能動側モジュールに対応するセル図形ＣＡが接続線ＣＬＣＡによって受動側モジュールに対応するセル図形ＣＢに接続しているとき、例えば、セル図形ＣＡが画面上で移動された場合、接続線ＣＬＣＡが接続されている受ポートＰＣＢの位置に影響しないので、セル図形ＣＡ自体の座標を再計算しても、該座標に基づいてセル図形ＣＡ自体の再描画が行われ、セル図形ＣＡ側からセル図形ＣＢ側には座標変更を通知するだけである。
【０１０３】
以上のようにして、画面上に表示された複数のセル図形を用いて、画面上の操作によってセル図形の移動、追加・削除、修正などが実現される。この結果、画面上では、複数のセル図形からなるシステム構築、或いは、変更が行われたことになる。
【０１０４】
しかし、これによって、セル図形に対する操作処理によって、セル図形に対応するモジュール間の接続が変更され、複数のモジュールで構成されるシステム構築、或いは、変更が行われるが、例えば、新しいモジュールを追加した場合のように、画面上での接続が変更されていても、未だモジュール接続が完了していないことが有り得る。この様な状態で、システムを再稼動させたとき、動作エラーになることがある。
【０１０５】
そこで、この様な事態を回避するためには、接続状態の復元処理が行われる。図１２に示したフローチャートを参照して、この接続状態の復元処理の手順について説明する。ここで、モジュールの接続状態の保存は、図５に示されるように行われ、保存時において、能動側モジュール情報の一部に、接続先ＩＤと接続先ポート番号が記録されているものとする。
【０１０６】
復元処理の開始にあたって、先ず、保存された複数のモジュール全てを読み込みメモリにロードする（ステップＳ３１）。これ以降、ステップＳ３２からステップＳ３４の処理によって、複数のモジュールから一つのモジュールが順次選択されて、再接続対象として、Ｋ番目のモジュールが設定される（ステップＳ３５）。
【０１０７】
次いで、Ｋ番目のモジュールに他のモジュールへの接続が複数存在する場合には、ステップＳ３６からステップＳ３８の処理によって、複数の接続が順次選定され、選定された接続に関して、接続先ＩＤと接続先モジュールを検索する（ステップＳ３９）。そこで、接続先ポート番号から接続ポートを特定し（ステップＳ４０）、そのポートを接続先としてセットする（ステップＳ４１）。
【０１０８】
この様に、接続の一つずつについて接続先がセットされ、接続数全てについて接続先がセットされた場合には（ステップＳ３７のＮ）、ステップＳ３３に戻って、次のモジュールが選択され、再接続対象に設定される（ステップＳ３５）。次に選択されたモジュールに対しても、上述の処理と同様に、ステップＳ３６からステップＳ４１の処理により、複数の接続全てについて、順次接続先がセットされる。
【０１０９】
そして、個々のモジュールにおける接続全てに対して、接続先がセットされ、ロードされたモジュール全てについて接続先がセットされたと判断されたとき（ステップＳ３３のＮ）、この復元処理が終了される。これで、システムを再稼動させても、動作エラーが発生することがなくなる。
【０１１０】
これまで、図７に示されるように、半導体製品を製造する一製造ラインにおける各処理工程の処理実績を収集する管理制御システムの構成例を中心にし、そのシステム変更について説明した。
【０１１１】
ところが、例えば、製造現場では、同じ仕様の半導体製品を増産しようとして、同じ製造ラインが増設されることがある。このとき、サーバ装置に備えられた管理制御システムにおいても、この増設に伴って、システム変更しなければならない。従来であれば、この増設された製造ラインに対応した管理制御システムを別途設けなければならなかった。この製造ライン増設に伴うシステム構築が簡単に行えることを、図１３を参照して説明する。
【０１１２】
製造現場には、加工装置Ａ１乃至Ａ３によって、供給された素材が順次加工処理されて製品となる製造ラインが、既に一ライン分設置されていたとする。この既設製造ラインに対して、サーバ装置には、該製造ラインの処理実績を収集する管理制御システムが構築されている。図６に示されるサーバ装置１に、製造ライン４と同じ製造ラインが、一ライン併設されたものとなる。
【０１１３】
図１３においては、サーバ側に、セル図形を用いたシステム構成の画面表示例が示されている。図中、素材、加工処理Ａ１乃至Ａ３、そして製品の各ブロックは、画面上でシステム構成を表示するためのセル図形を表し、これらのセル図形は、管理制御プログラムの複数のモジュールに対応している。
【０１１４】
ここで、製造現場において、既設製造ラインと同一の処理能力を持ち、加工装置Ｂ１乃至Ｂ３からなる新しい製造ラインが、破線で示されるように、既設製造ラインに併設される。この２つの製造ラインには、共通した素材が供給され、加工仕様も同一とする。
【０１１５】
このとき、サーバ側の表示画面に、加工処理Ａ１乃至Ａ３の各セル図形を複写して表示させる。これらのセル図形は、図１３において、破線で示されている。ここで、素材セル図形から接続線を引き出し、加工処理Ａ１のセル図形における受ポートに接続する。図中、この接続線は、破線の矢印で示される。
【０１１６】
さらに、加工処理Ａ２のセル図形から接続線を引き出し、加工処理Ａ２のセル図形における受ポートに接続する。この様にして、新しく表示されたセル図形間を全て接続線で接続することにより、画面上において、新しい製造ラインに対するシステム構築が行われ、既設製造ラインに係る管理制御システムに併設することができた。
【０１１７】
ここで、新しい製造ラインに対するシステム構築するとき、加工処理Ａ１乃至Ａ３のセル図形を既設製造ラインのシステムから複写した。このとき、セル図形に対応するモジュールも複写してプログラムに組み込むこともできるが、このシステム構築の仕方では、製造ラインの増設分のモジュールが追加され、モジュール数が増えることになる。
【０１１８】
そこで、この増設分のモジュールの処理機能は、既設製造ラインにおける既設モジュールと同じであるので、モジュールに複数設けられたポートのうちの一つを割り当てることによってモジュールの共有化を図ることができ、モジュール数の増加を抑えることができる。
【０１１９】
例えば、加工処理Ａ１のモジュールにポートを一つ増設し、このポートを加工処理Ｂ１に割り当て、素材セル図形から接続線が引き出され、加工処理Ｂ１のセル図形の受ポートに接続されたとき、素材モジュールの接続先が、加工処理Ａ１のモジュールにおいて割り当てられたポート番号で設定されるようにする。そして、素材モジュールから該ポート番号で加工処理Ｂ１の処理を呼び出すように設定しておく。
【０１２０】
さらには、加工処理Ｂ２のモジュールに関しては、加工処理Ａ２のモジュールにあるポートの一つを加工処理Ｂ２に割り当て、加工処理Ｂ１のセル図形から接続線が引き出され、加工処理Ｂ２のセル図形の受ポートに接続されたとき、加工処理Ａ１のモジュールの接続先が、加工処理Ａ１のモジュールにおいて割り当てられたポート番号で設定されるようにする。新しい製造ラインにおける他のモジュールについても、同様に設定される。
【０１２１】
この様なモジュール間の接続の仕方によれば、既設製造ラインと新設製図ラインのモジュール間で、処理機能が互いに同一であると、新設用のモジュールを新たに組み込む必要が無くなり、モジュール数の増加を抑制することができる。
【０１２２】
なお、製造ラインの増設の場合だけでなく、一つの製造ライン内においても、同一処理機能を有するモジュールが組み込まれているときに、上述したモジュールの接続の仕方を適用することにより、モジュールを共有化することができるので、モジュール数を減少させることができる。
【０１２３】
これまで説明した工程処理実績収集システムでは、図６に示されるように、製造ラインを形成する複数の処理装置は、管理制御システムを含むサーバ装置に、直接又はネットワークを介して接続されていた。しかし、各処理装置とサーバ装置との接続は、このような接続方式に拠らなくても、例えば、各処理装置がクライアント端末装置を介してネットワークに接続され、各処理装置の処理実績をサーバ装置で収集するようにしてもよい。
【０１２４】
さらに、このクライアント端末装置に、サーバ接続モジュール、データ形式変換モジュール、外部接続モジュールなどを備えることにより、外部システムとの双方向通信が可能となる。例えば、当該クライアント端末装置から、ＬＡＮなどのネットワークに接続された他の製造ラインのサーバ装置又はクライアント端末装置にアクセスでき、他の製造ラインとの処理情報の交換を行うことができる。この外部システムとの接続も、必要なモジュールを繋ぎ合わせることで実現できる。
【０１２５】
【発明の効果】
以上のように、本発明のモジュール管理制御システムでは、複数のモジュールの夫々に対応したモジュール表示用セル図形を画面上に表示し、該セル図形を用いて各モジュールの接続状態を設定するようにしたので、製造ラインの処理実績収集システムなどにおいて、システムの稼動中に、製造ラインの処理工程変更に伴うモジュール間の接続変更が可能となる。システムが稼動中であっても、画面上でセル図形間の接続を自由に変更することができ、例えば、必要に合わせてメンテナンス用のシステム修正を加えることができる。
【０１２６】
表示されるセル図形において、当該セル図形が能動側モジュールを表す場合には、該セル図形から接続線を引き出せるようにし、該接続線を受動側モジュールに対応するセル図形に設けられた受ポートに接続する操作を行うことによって、モジュール間接続を画面上で実現でき、簡単に、システム内におけるモジュールの追加、接続変更、削除や、新システムの追加などを行うことができる。そして、複雑なシステムを短時間で組み立てることが可能となった。
【０１２７】
また、受動側モジュールの管理情報に、他のモジュールとの接続の可否を示す接続属性を含めたので、画面上でセル図形から引き出された接続線が、受ポートに接続して、モジュール間の接続を実行したとき、該属性のチェックによってモジュールを識別し、接続可能な場合に接続先が設定される。そのため、画面上のセル図形の接続操作によって、確実なシステムを構築することが可能となる。
【０１２８】
さらに、受動側モジュールのポートを複数とすることにより、各ポートに異なる処理を割り振ることができ、複合機能を持ったモジュールを簡単に実現でき、この場合においても、表示されたセル図形を用いてモジュール間の接続を容易に行うことができる。
【０１２９】
一方、同一処理機能の受動側モジュールに対しては、能動側モジュールの接続先をポート番号で設定することにより、モジュールの共有化を図ることができ、システム構築に必要なモジュール数を少なくすることができる。
【０１３０】
また、各モジュールに対応したセル図形をシステム制御装置の表示画面上に表示し、モジュール間の接続操作を行えるので、システムの処理内容を視覚的に確認しながら接続を実行できる。システム構成するモジュールを共有化した場合でも、画面上では、システム構成の接続通りにセル図形が表示されるので、システム構成の把握が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のモジュール管理制御システムの操作画面上において、複数のモジュールに対応する各表示セル図形間における接続状態を説明する図である。
【図２】能動側モジュールと受動側モジュールとの接続状態を説明する図である。
【図３】能動側モジュールに複数の接続線がある場合における能動側モジュールと受動側モジュールとの接続状態を説明する図である。
【図４】受動側モジュールに複数の機能がある場合における能動側モジュールと受動側モジュールとの接続状態を説明する図である。
【図５】複数のモジュールに係る接続状態の保存形式を説明する図である。
【図６】加工装置を有する製造ラインの工程実績管理システムに適用した本実施形態に係る概略ブロック構成を示した図である。
【図７】半導体製造ラインに係る工程実績管理システムに適用した本発明のモジュール管理制御システムにおける画面表示例を説明する図である。
【図８】操作画面上で各表示セルの接続又は移動の操作を行った場合の操作手順を示すフロー図である。
【図９】操作画面上で能動側モジュールの接続線が移動された場合における接続状態の更新を説明するフローチャートである。
【図１０】操作画面上に表示されている表示セルの図形が移動又はサイズ変更された場合における接続状態の更新を説明するフローチャートである。
【図１１】図９において移動又はサイズ変更されたモジュールに接続された他のモジュールにおける接続状態の更新を説明するフローチャートである。
【図１２】操作画面上で複数のモジュール間の接続状態を更新した場合における接続状態の保存と復元を説明するフローチャートである。
【図１３】本実施形態に係るモジュール管理制御システムについて、サーバ上に複数のモジュールが有る場合における製造ラインのシステム変更の実施例を説明する図である。
【図１４】従来における製造ラインの処理工程管理システムの概略ブロック構成を説明する図である。
【図１５】従来の処理工程管理システムにおいてシステム変更に伴うプログラム修正の様子を説明するフロー図である。
【符号の説明】
１…サーバ装置
１１…制御部
１２…記憶部
１３…モジュール管理部
２…表示装置
３…入力装置
４…製造ライン
４１、４２、４ｎ…工程処理装置
ＡＭ、ＡＭ１、ＡＭ２…能動側モジュール
ＰＭ、ＰＭ１〜ＰＭ３…受動側モジュール
ＣＡ、ＣＢ、Ｃ１〜Ｃ１０…表示セル図形
ＣＬＣ１〜ＣＬＣ７２…接続線
ＰＣ２〜ＰＣ９２…受けポート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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