(57)【要約】【課題】　コリメータ間の光軸ずれを容易に補正することができて、良好な光結合が得られる光モジュールを提供する。【解決手段】　入力光用コリメータ１１１、出力光用コリメータ１１２、分岐光用コリメータ１１３、挿入光用コリメータ１１４、及び、波長選択フィルタ１１５を共通基板１３０上に配置し、各コリメータ１１１〜１１４と波長選択フィルタ１１５の間の光路にそれぞれ光路補正用部材としてミラー１２１〜１２４を配置し、ミラーの調整によりコリメータ間の光軸ずれを補正するようにした。【選択図】　　　図１
2004094242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部からの入力光をコリメートする入力光用コリメータと、外部への出力光を入射して集光し外部へ伝送する出力光用コリメータと、前記入力光用コリメータから出力光用コリメータまでの光路中に配置された干渉フィルタと、前記各コリメータと干渉フィルタとの間の光路中にそれぞれ配置された光路補正用部材とを共通の基板上に装備してなることを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
前記干渉フィルタとして、
　（ａ）入射される光のうち特定の波長帯域の光のみを透過し、他の波長の光を反射する波長選択フィルタ；
　（ｂ）入射される光の強度が波長に対して均一でない場合に、この強度を平坦化するように光強度を補正する利得等化フィルタ；
　（ｃ）入射される光の光量の一部分のみを取り出すためのフィルタ；
のうちの少なくともいずれかが使用されていることを特徴とする請求項１記載の光モジュール。
【請求項３】
入力用光伝送路より伝送されてくる波長多重光を平行光にコリメートする入力光用コリメータと、該入力光用コリメータを通して入射される波長多重光のうち特定の波長帯域の光のみを透過し他の波長帯域の光を反射する波長選択フィルタと、該波長選択フィルタを透過した光を集光して外部の分岐用光伝送路に伝送する分岐光用コリメータと、外部の挿入用光伝送路より伝送されくる特定の波長帯域の光を平行光にコリメートして前記波長選択フィルタに入射させる挿入光用コリメータと、該挿入光用コリメータにより波長選択フィルタに入射されて透過した光と、前記波長多重光のうち波長選択フィルタで反射された光との合成光を、集光して外部の出力用光伝送路に伝送する出力光用コリメータと、前記各コリメータと波長選択フィルタの間の光路にそれぞれ配置された光路補正用部材と、を備え、これら各コリメータと波長選択フィルタと光路補正用部材とを共通の基板上に装備してなることを特徴とする光モジュール。
【請求項４】
入射光の中の特定波長の光のみを透過し他波長の光を反射する分波機能と、片面から入射されて透過する特定波長の光と他面から入射されて反射する他波長の光を合波する合波機能とを有する波長選択フィルタを、前記特定波長を異ならせて複数装備すると共に、
　前記複数の波長選択フィルタを、光の進行方向の上流側から下流側に向かって順番にフィルタの反射光が入射するように配置し、
　最上流の波長選択フィルタへの入射光の光路上と、各波長選択フィルタの透過光の光路上と、最下流の波長選択フィルタの反射光の光路上とにそれぞれコリメータを配置し、
　各コリメータと波長選択フィルタの間の光路にそれぞれ光路補正用部材を配置し、
　前記各コリメータ、波長選択フィルタ、及び光路補正用部材を、共通の基板上に配置したことを特徴とする光モジュール。
【請求項５】
前記請求項４に記載の光モジュールのうち、最上流のコリメータを、外部の入力用光伝送路からの波長多重光を受光する入力光用コリメータとし、それ以外のコリメータを、前記波長選択フィルタで透過または反射した光を外部に取り出すための分岐光用コリメータとし、前記波長選択フィルタを分波用光素子として利用することで、波長多重光を順次分波する複数波長光分波装置を構成したことを特徴とする光モジュール。
【請求項６】
前記請求項４に記載の光モジュールのうち、最下流のコリメータを、外部の出力用光伝送路へ出力光を伝送する出力光用コリメータとし、それ以外のコリメータを、外部から前記波長選択フィルタに対して異なる波長の光を入射する挿入光用コリメータとし、前記波長選択フィルタを合波用光素子として利用することで、異なる波長の光を順次合波する複数波長光合波装置を構成したことを特徴とする光モジュール。
【請求項７】
前記各コリメータを、共通の基板上に形成したＶ溝に配置したことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の光モジュール。
【請求項８】
前記各コリメータを、共通の基板上に平行に形成したＶ溝に配置したことを特徴とする請求項７に記載の光モジュール。
【請求項９】
前記各コリメータを、光ファイバと、該光ファイバの出射端あるいは入射端に配置したコリメートレンズとで構成したことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の光モジュール。
【請求項１０】
前記光路補正用部材として、ミラーおよび／またはプリズムを用いたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の光モジュール。
【請求項１１】
前記光路補正用部材のミラーとして、ジンバル型のミラーを使用したことを特徴とする請求項１０に記載の光モジュール。
【請求項１２】
前記光路補正用部材のプリズムとして、ジンバル型の位置調整を行う全反射プリズムを使用したことを特徴とする請求項１０に記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、例えば、光通信分野において、中継局に向けて幹線から信号光を分岐したり、中継局からの信号光を幹線に挿入したりする光分岐挿入装置に利用される光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
　波長分割多重を用いた光通信において、特定波長の信号を中継局に分岐したり特定波長の信号を中継局から挿入したりする目的で用いられる装置として、特許文献１に開示されているような光分岐挿入装置が知られている。
【０００３】
　この光分岐挿入装置は、図３に示すように、入力用光伝送路１から入力される波長多重光を各波長の光に分波する光分波器３と、一旦分波された各波長の光を合波して出力伝送路２へと送るための光合波器４とを有している。この光分岐挿入装置には、また、光分波器３で分波された各波長の光を中継局８の受信機７へ分岐した上で中継局８の送信機６より送信された信号を新たに挿入するか、あるいは、光分波器３で分波された各波長の光をそのまま光合波器４に透過させるかを選択するための光スイッチ５が、各波長の光路に対応して複数個備えられている。
【０００４】
　このような分岐挿入装置において、光分波器３あるいは光合波器４には、波長選択フィルタやレンズ等を光ファイバからの出射光路上に固定し、多波長信号から単波長成分を分離する機能、あるいは、単波長成分を多波長信号に挿入する機能を持たせたフィルタモジュールが使用されることが多い。
【０００５】
　このようなフィルタモジュールは、例えば、特許文献２や特許文献３に記載されているように、レンズと光ファイバからなるコリメータを、波長選択フィルタを挟んで、対向させて配置した構成をなしている。
【０００６】
　一般には、このようなフィルタモジュールにおいては、波長選択フィルタ、レンズ、及び光ファイバが、光軸調整された状態で共通の筒状の筐体に挿入固定されている。このようなモジュールは、一般に、Add／Drop Multiplexer（ADM）と呼ばれている。
【０００７】
　図３の光分岐挿入装置における光分波器３や光合波器４は、複数の波長について同様の合波あるいは分波を行う必要があるため、異なる波長分離特性を有する上記フィルタモジュール単体を複数個用い、これらの信号入出射端の光ファイバを順次融着などの方法で接続することにより構成されている。このようなモジュールは一般に「Mux／DeMux」と呼ばれている。光分波器３あるいは光合波器４に入力される光は、上記フィルタモジュールの複数を順次通過することによって、各波長に分波されるか、あるいは、各波長の光が順次合波されるようになされている（例えば、特許文献４等参照）。なお、順次接続された複数個の上記単体モジュールは、単体のケースに装着されているのが一般的である。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−１８３８１６号公報
【特許文献２】特表平１０−５１１４７６号公報
【特許文献３】特開平１０−３１１９０５号公報
【特許文献４】特開平１１−３３７７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
　ところで、上述したフィルタモジュールを用いた光分岐挿入装置においては、光通信に使用するチャンネル数が多くなればなるほど、それに対応して単体のフィルターモジュールの使用個数を増やす必要がある。そのため、原材料部品価格が、単体のフィルターモジュール価格の倍数以上となってしまう。また、フィルタモジュールの入出力端の光ファイバを融着する工程を有するため、工程が煩雑でコスト高になると共に、融着接続時の軸ずれに起因する接続損失が生じてしまう。更に、単体のフィルタモジュールは筐体内に固定された構造をなしているため、機能部分以外の無駄な体積を要し、チャンネルの増大に伴って必要な部品体積も同様に拡大する、等の問題があった。
【００１０】
　本発明者らは、これらの問題を解消するため、フィルタモジュールの筐体である外装体を無くし、上述したような各構成部品を単一基板上に固定し、部品間を光が空間伝搬する構成とすることにより、無駄な部品を使わず、必要最小限の体積で、光モジュールの低価格化、小型化、低損失化を図ることを試みた。
【００１１】
　しかし、実際にモジュール内の要素部品を分離して基板上に配置する場合、各部品からの出射光に光軸ずれが発生し、光結合が容易に行えず、期待した性能を得ることができないということが判明した。
【００１２】
　この、光軸ずれの要因としては、
　（１）反射損失低減を目的とするため、光ファイバと屈折率分布型レンズ等の端面を斜め端面としていること；
　（２）波長選択フィルタである誘電体多層膜フィルタの基板を光が透過する際に光軸がずれること；
　（３）各部品の外形精度がシングルモードファイバ同士の光結合に必要な加工精度以下でしか作製できないこと；
　（４）これらの部品を設置する基板の加工精度がシングルモードファイバ同士の光結合に必要な精度以下でしか作製できないこと；
などが考えられる。
【００１３】
　上記の内容を具体的に説明すると、光ファイバ同士、特にシングルモードファイバ同士の光結合には、コア径が１０μｍ以下であるので、サブミクロンレベルの位置合わせ精度が要求されるが、ファイバピグテイルやレンズといったパッシブな光部品では、部品公差や製造公差がこれを越えてしまい、事実上この精度での作製は不可能である。また、たとえ個々の作製が可能であったとしても、現在主流の製法で作製されたコリメータでは、出射光が光軸からずれてしまうという問題が残っている。
【００１４】
　図４に現在主流の製法、即ち、ファイバピグテイル１１と屈折率分布レンズ１２との組み合わせで作製されたコリメータを示す。反射損失の低減のため、ピグテイル１１及びレンズ１２の各端面には約８°の角度が付けられており、これが原因で、出射光は入射光の位置に比して、位置ずれδと角度ずれθが発生する。特に角度ずれθによる光軸ずれ量は、図５に示すように結合距離Ｌが離れるほど大きくなる。従って、同一直線上にあるＶ溝等に設置されたコリメータ対は、その間隔が数ｍｍ以上離れると、光結合がほとんど０（ゼロ）となってしまう。
【００１５】
　また、基板上にコリメータを固定するためのＶ溝を研削で作製する場合、コリメータ対を配置する２つのＶ溝は、作業上の要請から互いに平行に形成することが望ましいが、このようなＶ溝上では、上述した理由により有効な光結合を実現するコリメータ対を作製することができない。
【００１６】
　また、波長選択フィルタ等の干渉フィルタは、図６に示すように、通常有限の厚みを持つガラス基板１５上に成膜を施すことで作製されており、発生する膜圧に対する破壊を免れるために約１ｍｍ程度の厚みを持っている。屈折率ｎ１の媒質１から厚みｈを持つ屈折率ｎ２の媒質２に入射角θで入射した光の平行位置ずれ量δ（＝媒質２が無い場合に通るべき光路と実際の光路との差）は、次式で示すことができる。
【００１７】
【数１】
2004094242.tif 000003
【００１８】
　図７は、様々な厚み（０．５〜１．５ｍｍ）を持つ基板を、図６のように光が通過するときの光軸のずれ量δ（μｍ）と入射角θ（Degree）との関係を示している。この図に示すように、基板の厚みと入射角に依存して光軸ずれが発生するので、干渉フィルタ挿入前に予めコリメータ対の光結合を行った状態にしてあったとしても、フィルタを挿入するだけで、光路がずれ、損失が大幅に増大ないしは結合不可能となってしまう。
【００１９】
　さらに、たとえ上記のようなずれをすべて見込んで設計を行ったとしても、部品及び基板などの加工誤差や組立誤差などが個々の部品で発生し、しかも、これらの誤差は光結合に必要な精度を明らかに逸脱したレベルのものであるため、意味のないものとなってしまう。
【００２０】
　以上述べたように、従来の試みのように、同一基板上に形成した部品固定用の各Ｖ溝にただ単に各部品を平行に並べて配置しただけでは、現実的には、光軸ずれが大きく十分な光結合が得られないという問題があった。
【００２１】
　本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、同一基板上にコリメータ及び干渉フィルタ等の各部品を配置した光モジュールにおいて、光軸ずれを容易に補正することができて、良好な光結合が得られる光モジュールを提供することを目的とする。また、光通信分野で用いられる光分波装置や光合波装置として利用することのできる、低損失で小型化及び低価格化が可能な光モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
　請求項１の発明の光モジュールは、外部からの入力光をコリメートする入力光用コリメータと、外部への出力光を入射して集光し外部へ伝送する出力光用コリメータと、前記入力光用コリメータから出力光用コリメータまでの光路中に配置された干渉フィルタと、前記各コリメータと干渉フィルタとの間の光路中にそれぞれ配置された光路補正用部材とを共通の基板上に装備してなることを特徴とする。
【００２３】
　本発明では、各コリメータと干渉フィルタとの間の光路中にそれぞれ光路補正部材を配置しているので、各光路補正部材を調整することによって、コリメータ間の光軸ずれを容易に補正することができ、良好な光結合を実現することができる。また、各構成部品を共通基板上に固定し、部品間を光が空間伝搬する構成としているので、無駄な部品を使わずに済み、必要最小限の体積で、光モジュールの低価格化及び小型化を図ることができる。
【００２４】
　前記干渉フィルタとしては、請求項２の発明のように、
　（ａ）入射される光のうち特定の波長帯域の光のみを透過し、他の波長の光を反射する波長選択フィルタ；
　（ｂ）入射される光の強度が波長に対して均一でない場合に、この強度を平坦化するように光強度を補正する利得等化フィルタ；
　（ｃ）入射される光の光量の一部分のみを取り出すためのフィルタ；
のうちの少なくともいずれかを使用することができる。
【００２５】
　請求項３の発明の光モジュールは、入力用光伝送路より伝送されてくる波長多重光を平行光にコリメートする入力光用コリメータと、該入力光用コリメータを通して入射される波長多重光のうち特定の波長帯域の光のみを透過し他の波長帯域の光を反射する波長選択フィルタと、該波長選択フィルタを透過した光を集光して外部の分岐用光伝送路に伝送する分岐光用コリメータと、外部の挿入用光伝送路より伝送されてくる特定の波長帯域の光を平行光にコリメートして前記波長選択フィルタに入射させる挿入光用コリメータと、該挿入光用コリメータにより波長選択フィルタに入射されて透過した光と、前記波長多重光のうち波長選択フィルタで反射された光との合成光を、集光して外部の出力用光伝送路に伝送する出力光用コリメータと、前記各コリメータと波長選択フィルタの間の光路にそれ
ぞれ配置された光路補正用部材とを備え、これら各コリメータと波長選択フィルタと光路補正部材とを共通の基板上に装備してなることを特徴とする。
【００２６】
　本発明では、各コリメータと波長選択フィルタとの間の光路中にそれぞれ光路補正用部材を配置したので、各光路補正用部材を調整することによって、コリメータ間の光軸ずれを容易に補正することができ、良好な光結合を行うことができる。従って、低損失の光分岐挿入装置を実現することができる。また、各構成部品を単一基板上に固定し、部品間を光が空間伝搬する構成としているので、無駄な部品を使わずに済み、必要最小限の体積で、光モジュールの低価格化及び小型化を図ることができる。
【００２７】
　請求項４の発明の光モジュールは、入射光の中の特定波長の光のみを透過し他波長の光を反射する分波機能と、片面から入射されて透過する特定波長の光と他面から入射されて反射する他波長の光を合波する合波機能とを有する波長選択フィルタを、前記特定波長を異ならせて複数装備すると共に、複数の波長選択フィルタを、光の進行方向の上流側から下流側に向かって順番にフィルタの反射光が入射するように配置し、最上流の波長選択フィルタへの入射光の光路上と、各波長選択フィルタの透過光の光路上と、最下流の波長選択フィルタの反射光の光路上とにそれぞれコリメータを配置し、各コリメータと波長選択フィルタの間の光路にそれぞれ光路補正用部材を配置し、前記各コリメータ、波長選択フィルタ、及び光路補正用部材を、共通の基板上に配置したことを特徴とする。
【００２８】
　本発明では、波長多重光から順次異なる波長の光を分岐して取り出したり、異なる波長の光を順次合波して波長多重化したりすることができる。その際、コリメータや波長選択フィルタを単一基板上に固定し、部品間を光が空間伝搬する構成としているので、無駄な部品を使わずに済み、必要最小限の体積で、光モジュールの低価格化及び小型化を図ることができる。また、各コリメータと波長選択フィルタとの間の光路中に、それぞれ光路補正用部材を配置しているので、各光路補正用部材を調整することによって、コリメータ間の光軸ずれを容易に補正することができ、良好な光結合を行うことができる。従って、低損失の複数波長光分波装置や複数波長光合波装置を作ることができる。
【００２９】
　請求項５の発明の光モジュールは、請求項４に記載の光モジュールのうち、最上流のコリメータを、外部の入力用光伝送路からの波長多重光を受光する入力光用コリメータとし、それ以外のコリメータを、前記波長選択フィルタで透過または反射した光を外部に取り出すための分岐光用コリメータとし、前記波長選択フィルタを分波用光素子として利用することで、波長多重光を順次分波する複数波長光分波装置を構成したことを特徴とする。
【００３０】
　請求項６の発明の光モジュールは、請求項４に記載の光モジュールのうち、最下流のコリメータを、外部の出力用光伝送路へ出力光を伝送する出力光用コリメータとし、それ以外のコリメータを、外部から前記波長選択フィルタに対して異なる波長の光を入射する挿入光用コリメータとし、前記波長選択フィルタを合波用光素子として利用することで、異なる波長の光を順次合波する複数波長光合波装置を構成したことを特徴とする。
【００３１】
　請求項５の発明によれば、低損失で波長多重光を異なる波長の光に順次分波することができるし、請求項６の発明によれば、低損失で異なる波長の光を合波し波長多重化することができる。
【００３２】
　請求項７の発明の光モジュールは、請求項１〜６のいずれかにおいて、前記各コリメータを、共通の基板上に形成したＶ溝に配置したことを特徴とする。
【００３３】
　本発明では、共通基板上に形成したＶ溝に各コリメータを固定しているので、組み立てが容易である。
【００３４】
　請求項８の発明の光モジュールは、請求項７において、前記各コリメータを、共通の基板上に平行に形成したＶ溝に配置したことを特徴とする。
【００３５】
　本発明では、共通基板上に平行に形成したＶ溝に各コリメータを固定しているので、光路補正用部材で光路を調整することにより、加工の容易な平行なＶ溝を使用しながら、各コリメータ間の光軸ずれを容易に補正することができ、良好な光結合を行うことができる。
【００３６】
　前記コリメータとしては、請求項９の発明のように、光ファイバと、該光ファイバの出射端あるいは入射端に配置したコリメートレンズとで構成したものを使用するのが望ましい。
【００３７】
　請求項１０に記載したように、請求項１〜９のいずれかに記載の光モジュールにおいて、前記光路補正用部材として、ミラーおよび／またはプリズムを好個に用いることができる。ここでプリズムとしては、全反射型のプリズム、楔形プリズム、ジンバル型の位置調整を行う全反射プリズム、等を好個に用いることができる。
【００３８】
　そして、請求項１０に記載した光路補正用部材に用いるプリズムとして、全反射型のプリズムまたは任意角度を有する楔形プリズムの頂角部分を使用することは、さらに望ましい構成である。
【００３９】
　請求項１１に記載したように、請求項１０に記載した前記光路補正用部材に用いるミラーとして、ジンバル型のミラーを使用することは、さらに望ましい構成である。
【００４０】
　請求項１２に記載したように、請求項１０に記載した前記光路補正用部材に用いるプリズムとして、ジンバル型の位置調整を行う全反射型のプリズムを使用することは、さらに望ましい構成である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
　図１は本発明の第１実施形態の光モジュール１００を示す構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。この光モジュール１００は、光分岐挿入装置としての機能（即ち、入力される波長多重光に対し特定波長の光を外部に分岐し、且つ、外部より入力される特定波長の光を、分岐されなかった光に合波して出力する機能）を有するものであり、同一基板１３０上に、４つのコリメータ１１１、１１２、１１３、１１４及び１つの波長選択フィルタ１１５を配置し、波長選択フィルタ１１５と各コリメータ１１１、１１２、１１３、１１４との間にそれぞれ光路補正用部材としてミラー１２１、１２２、１２３、１２４を配置し、各部品間で光が空間伝搬するように構成したものである。
【００４２】
　波長選択フィルタ１１５は、入射光の中の特定波長の光のみを透過し他波長の光を反射する分波機能と、片面から入射されて透過する特定波長の光と他面から入射されて反射する他波長の光を合波する合波機能とを有するものである。この波長選択フィルタ１１５は、ガラスや樹脂等の透光性基板上に光学多層膜（例：誘電体多層膜）を形成し、光学多層膜の材料及び層構造によってフィルタ特性を発揮できるようにしたものである。光学多層膜は一般的に、屈折率の小さい材料と屈折率の大きい材料を交互に積層した構造をなしている。
【００４３】
　この光モジュール１００では、４つのコリメータとして、入力光用コリメータ１１１、出力光用コリメータ１１２、分岐光用コリメータ１１３、挿入光用コリメータ１１４を設けている。
【００４４】
　入力光用コリメータ１１１は、入力用光伝送路（幹線光ファイバ）から入力される波長多重光（入力光）を空間伝送用にコリメートして波長選択フィルタ１１５の表面に入射させるもの、分岐光用コリメータ１１３は、波長選択フィルタ１１５の表面に入射して透過した特定波長の光を集光して分岐用光伝送路に入射させるもの、挿入光用コリメータ１３４は、外部の挿入用光伝送路を通して入射された光を空間伝送用にコリメートして波長選択フィルタ１１５の裏面に入射させるもの、出力光用コリメータ１１２は、挿入光用コリメータ１１４を通して外部より波長選択フィルタ１１５に入力された特定波長の光と、波長選択フィルタ１１５で反射された他波長の光の合波した光を集光して出力用光伝送路へ出力するものである。
【００４５】
　本実施形態に使用されている入力光用コリメータ１１１、出力光用コリメータ１１２、分岐光用コリメータ１１３、挿入光用コリメータ１１４の各コリメータは、いずれも光ファイバと光学的に結合するコリメートレンズで構成され、光ファイバの信号光を平行光に変換（コリメート）して空間に向けて出射したり、空間伝送されてきた平行光を光ファイバの端面に集光させて入射したりする機能を果たす。
【００４６】
　コリメートレンズとしては、取り扱いが容易な点から、ロッド状のレンズを用いるのが好ましい。このようなロッド状のレンズとしては、屈折率分布型のロッド状レンズや、均一なロッドの一端部に球面または非球面が形成されたレンズが挙げられる。コリメータは、光ファイバとレンズをそれぞれ基板上に配置して構成してもよいが、予め光ファイバとレンズを組み合わせたものを作成しておき、これを基板上に配置して構成してもよい。後者のものは、例えば、コリメートレンズと同じ径の保持具に光ファイバを固定し、コリメートレンズ及び光ファイバ付き保持具を、ガラスやステンレスなどの金属製の共通の筒状部材に挿入固定することで形成することができる。
【００４７】
　前記各コリメータ１１１〜１１４は、同一基板１３０上に互いに平行に形成されたＶ溝１３１〜１３４上にそれぞれ位置決め固定されている。ここで、入力光用コリメータ１１１を固定した第１のＶ溝１３１と、挿入光用コリメータ１１４を固定した第４のＶ溝１３４は切り通しで形成され、出力光用コリメータ１１２を固定した第２のＶ溝１３２と、分岐光用コリメータ１１３を固定した第３のＶ溝１３３は切り通しで形成されている。
【００４８】
　従って、入力光用コリメータ１１１及び出力光用コリメータ１１２は、矩形の基板１３０の一方の辺に近い位置に互いに隣接するよう配置され、これに対向する辺に近い位置に、分岐光用コリメータ１１３及び挿入光用コリメータ１１４が互いに隣接するよう配置されている。また、第１のＶ溝１３１と第４のＶ溝１３４が切り通しで形成されていることにより、入力光用コリメータ１１１と挿入光用コリメータ１１４の各出射端が互いに対向し、出力光用コリメータ１１２と分岐光用コリメータ１１３の各入射端が互いに対向している。波長選択フィルタ１１５は、上述した互いに対向する２対のコリメータ１１１、１１４、１１２、１１３に挟まれるように基板１３０のほぼ中心に配置されている。
【００４９】
　そして、入力光用コリメータ１１１を出射した光が波長選択フィルタ１１５の表面（片面）に所定角度で入射し、波長選択フィルタ１１５を透過した光が分岐光用コリメータ１１３に入射するように、入力光用コリメータ１１１と波長選択フィルタ１１５の間の光路、及び、分岐光用コリメータ１１３と波長選択フィルタ１１５の間の光路に、それぞれ光路補正用のミラー１２１、１２３が配置されている。また、挿入光用コリメータ１１４を出射した光が波長選択フィルタ１１５の裏面（他面）に所定角度で入射し、挿入光用コリメータ１１４から出射され波長選択フィルタ１１５を透過した光と、入力光用コリメータ１１１から出射され波長選択フィルタ１１５の表面で反射した光との合波光が、出力光用コリメータ１１２に入射するように、挿入光用コリメータ１１４と波長選択フィルタ１１５の間の光路、及び、出力光用コリメータ１１２と波長選択フィルタ１１５の間の光路に、それぞれ光路補正用のミラー１２４、１２２が配置されている。
【００５０】
　ここで、各コリメータ１１１〜１１４や波長選択フィルタ１１５等の固定に使用する基板１３０としては、組み立て後の部品間の位置ずれを防ぐため、熱膨張係数の小さいシリコン基板、ガラス基板、アルミニウム等の金属基板、プラスチック基板などを使用することができる。また、基板１３０の厚みは、十分な剛性が得られる程度あればよい。また、基板１３０に形成するコリメータ配置用のＶ溝１３１〜１３４は、研削で形成することができる。ガラスやプラスチック基板を用いた場合には、プレス成形により型の形状を転写することで、Ｖ溝を形成することもできる。また、基板に、波長選択フィルタや、ミラーを固定するスリット等の溝を設けてもよい。
【００５１】
　前記ミラー１２１〜１２４は、光路を変更すると共に、部品の外形精度によって生じる光軸ずれ及び部品通過時の光軸ずれを補正するために用いられている。従って、ジンバル（Gimbal）機構を有したミラーか、それに準じた調整機構を持つミラーを用いるのが好ましい。ジンバル機構を有したミラーとは、ミラーの１点（通常中心）を回転中心として、その傾きが調整可能なミラーをいう。これらのミラー１２１〜１２４としては、反射率や耐久性に優れている点から、アルミニウムや金等の金属ミラーを用いるのが好適である。
【００５２】
　この光モジュール１００は、次のようにして製造することができる。
　まず、Ｖ溝１３１〜１３４を形成した基板１３０を準備する。次に各コリメータ１１１〜１１４を基板１３０上のＶ溝１３１〜１３４に配置して固定する。この時のコリメータ１１１〜１１４の固定は、一時的でも恒久的でもよい。ただし、熱硬化あるいはＵＶ硬化など、硬化プロセス時間の短縮化のためには、後でまとめて恒久的に基板に接着するのがよい。
【００５３】
　コリメータ１１１〜１１４を配置したら、次に試験的に入力光用コリメータ１１１より光を出射し、この光が分岐光用コリメータ１１３と結合するように、各コリメータ１１１、１１３間に２枚のミラー１２１、１２３を配置し、その位置及び傾きを調整する。これら２枚のミラー１２１、１２３は、その向きや傾きを調整することにより、三次元的な光路変換を行う機能を有するので、入力光用コリメータ１１１からの出射光を、分岐光用コリメータ１１３がどんな位置関係にあっても、これに入射することができ、低損失で両者の光結合を行うことができる。コリメータ１１１、１１３対の光結合の確認には、任意波長の光を発生する光源と出射側のコリメータ１１１とを接続し、コリメートされた光源光量と、相手側コリメータ１１３に入射する光量とを、光マルチメータなどでモニタする。
同様に、挿入光用コリメータ１１４より光を出し、出力光用コリメータ１１２との間で適切な光結合がなされるように、２つのコリメータ１１４、１１２間にミラー１２４、１２２を配置し、その位置及び傾きを調整する。
【００５４】
　次に、基板１３０のほぼ中央に波長選択フィルタ１１５を配置する。この波長選択フィルタ１１５は、ミラー１２１〜１２４と同様に自身の向きと傾きを変えることができる。ここでは、まず、波長選択フィルタ１１５で反射される波長の光を入力光用コリメータ１１１から出射する。そして、入力光用コリメータ１１１から出射された光が、ミラー１２１で反射して波長選択フィルタ１１５に入射し、波長選択フィルタ１１５で反射した光が、更にミラー１２２で反射して出力光用コリメータ１１２に入射するように、波長選択フィルタ１１５の位置及び傾きを調整する。
【００５５】
　次に、波長選択フィルタ１１５の透過波長の光を入力光用コリメータ１１１から出射する。そして、波長選択フィルタ１１５を透過することにより生じる光軸ずれを、波長選択フィルタ１１５と分岐光用コリメータ１１３間に配置したミラー１２３で調整する。また、挿入光用コリメータ１１４から波長選択フィルタ１１５の透過波長の光を出射し、波長選択フィルタ１１５を透過した光が、出力光用コリメータ１１２と光結合するように、挿入光用コリメータ１１４と波長選択フィルタ１１５間に配置したミラー１２４で調整する。
【００５６】
　以上のようにミラー１２１〜１２４を調整することにより、全ての部品間の光路を一致させることができ、波長選択フィルタ１１５の波長選択特性に応じた光の分波・合波機能（＝光分岐挿入機能）を有する光モジュール１００を作製することができる。実際に作製した光モジュール１００によれば、各コリメータ対の間では、０．２ｄＢ以内の結合損失で光結合を行うことができた。なお、基板１３０上に配置した各部品は、光軸調整後に基板１３０上に固定するのが好ましい。ただし、各ミラー１２１〜１２４については、通常の使用で動かないようにさえなっていれば、その傾きを固定してしまわず、後で微調整できるようにしておいてもよい。例えばジンバル型のミラーを使用することも好ましい。
【００５７】
　次に上記構成の光モジュール１００の作用を説明する。
　まず、入力用光伝送路より供給された波長多重光（波長λ１〜λｎの光を含むとする）は、入力光用コリメータ１１１から平行光として出射される。出射された波長多重光は、ミラー１２１を介して波長選択フィルタ１１５の表面側に入射され、波長選択フィルタ１１５の波長選択性により、特定波長の光（仮に波長λ１とする）のみが波長選択フィルタ１１５を透過し、その他の波長の光（波長λ２からλｎ）は波長選択フィルタ１１５で反射される。
【００５８】
　波長選択フィルタ１１５を透過した波長λ１の光は、ミラー１２３を介して分岐光用コリメータ１１３に入射し、外部へと送られる。一方、外部より入力される波長λ１の光は、挿入光用コリメータ１１４より平行光として出射される。挿入光用コリメータ１１４より出射された光は、ミラー１２４を介して波長選択フィルタ１１５の裏面側に入射し、これを透過するとと共に、波長選択フィルタ１１５で反射された波長λ２〜λｎの光と合波されて、波長λ１からλｎを含む波長多重光となって、ミラー１２２を介して出力光用コリメータ１１２に入射し、出力用光伝送路へと送られる。このようにして、入力された波長多重光に対し、外部への特定の波長の信号光の分岐・挿入が行われる。
【００５９】
　この光モジュール１００によれば、光の入出力部分にコリメータ１１１〜１１４を使用し、部品間で光を空間伝播させるようにしているので、部品間を光ファイバで接続する必要がなく、製造の容易化及び装置の小型化が可能になると共に、不良時の部品交換も容易に行えるようになる。また、１波長の分岐挿入処理に波長選択フィルタ１１５を１個だけ使用するので、高価なフィルタの個数を減らすことができて、製造コストの低減が可能になる。
【００６０】
　また、コリメータ１１１、１１３間、コリメータ１１４、１１２間の光軸ずれを波長選択フィルタ１１５とコリメータ１１１〜１１４間に配置したミラー１２１〜１２４で補正するようにしているので、各ミラー１２１〜１２４を調整することによって、十分な光結合が得られ、損失の少ない光分岐挿入処理を行うことができる。また、同一基板１３０上にコリメータ１１１〜１１４、波長選択フィルタ１１５、ミラー１２１〜１２４を配置し、部品間を光が空間伝搬する構成としているので、無駄な部品を使わずに済み、必要最小限の体積で、光モジュール１００の低価格化及び小型化を図ることができる。特に、基板１３０に形成した互いに平行なＶ溝１３１〜１３４上に各コリメータ１１１〜１１４を固定しているので、組み立てが容易にできる。
【００６１】
　なお、上記実施形態では、干渉フィルタとして波長選択フィルタ１１５を使用した場合を示したが、それ以外に、原信号の光強度が波長に対して均一でない場合に光強度を平坦化補正する利得等化フィルタや、入射される光の光量の一部分のみを取り出すフィルタ等、他のフィルタ特性を有する干渉フィルタを使用してもよい。
【００６２】
　次に、本発明の第２実施形態について説明する。
　図２は本発明の第２実施形態の光モジュール２００を示す平面図である。（ａ）は光分波装置として使用した場合の光の入出射方向を矢印で示し、（ｂ）は光合波装置として使用した場合の光の入出射方向を矢印で示している。
【００６３】
　この光モジュール２００は、複数のコリメータ２１０〜２１５と、複数の波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄと、光路補正用部材として複数のミラー２２０〜２２５とを、共通の１枚の基板２３０上に配置・固定したものである。これら各要素は、第１実施形態にて説明したものと同様の機能を有する。例えば、波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄは、入射光の中の特定波長の光のみを透過し他波長の光を反射する分波機能と、片面から入射されて透過する特定波長の光と他面から入射されて反射する他波長の光を合波する合波機能とを有する。
【００６４】
　ここでは、特定波長を異ならせた複数の波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄを装備している。第１の波長選択フィルタ１１５ａは特定波長λ１の光を透過する特性を有し、第２の波長選択フィルタ１１５ｂは特定波長λ２の光を透過する特性を有し、第３の波長選択フィルタ１１５ｃは特定波長λ３の光を透過する特性を有し、第４の波長選択フィルタ１１５ｄは特定波長λ４の光を透過する特性を有している。
【００６５】
　これらの複数の波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄは、光の進行方向の上流側から下流側に向かって、順番にフィルタの反射光が入射するように配置されている。（ａ）の光分波装置として利用する場合を基準にすると、光の進行方向の上流側から下流側に向かって順番にフィルタの反射光が入射するように、波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄが、この順に配置されている。即ち、第１、第３の波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｃと第２、第４の波長選択フィルタ１１５ｂ、１１５ｄとが斜めに対向する位置関係にあり、第１と第３の波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｃ、及び、第２と第４の波長選択フィルタ１１５ｂ、１１５ｄがそれぞれ互いに隣接する位置関係にあるように、各フィルタが配置されている。
【００６６】
　そして、最上流の波長選択フィルタ１１５ａへの入射光の光路上に入出力用のコリメータ２１０が配置され、各波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄの透過光の光路上と、最下流の波長選択フィルタ１１５ｄの反射光の光路上にそれぞれ分岐挿入用の第１〜第５のコリメータ２１１〜２１５が配置され、更に、各コリメータ２１０〜２１５と波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄの間の光路にそれぞれ光路補正用のミラー２２０〜２２５が配置されている。入出力用のコリメータ２１０と第２、第４のコリメータ２１２、２１４は、長方形状の基板２３０の一方の短辺に沿ってこの順に配置され、第１、第３、第５のコリメータ２１１、２１３、２１５は基板２３０の他方の短辺に沿ってこの順に配置されている。
【００６７】
　各ミラー２２１〜２１６は、次のように光が進行するように光路を調整している。まず、入出力用のコリメータ２１１から出射された光が、第１の波長選択フィルタ１１５ａに入射し、その透過光が、第１の分岐挿入用のコリメータ２１２に入射する。また、第１の波長選択フィルタ１１５ａの反射光が、第２の波長選択フィルタ１１５ｂに入射し、その透過光が、第２の分岐挿入用のコリメータ２１３に入射する。また、第２の波長選択フィルタ１１５ｂの反射光が、第３の波長選択フィルタ１１５ｃに入射し、その透過光が、第３の分岐挿入用のコリメータ２１４に入射する。また、第３の波長選択フィルタ１１５ｃの反射光が、第４の波長選択フィルタ１１５ｄに入射し、その透過光が、第４の分岐挿入用のコリメータ２１５に入射する。第４の波長選択フィルタ１１５ｄの反射光が、第５の分岐挿入用のコリメータ２１６に入射する。
【００６８】
　この光モジュール２００は、次のようにして製造することができる。
　まず、Ｖ溝（図示略）を形成した基板２３０を準備する。次に各コリメータ２１０〜２１５を基板２３０上のＶ溝に配置・固定する。固定に伴う作業及び光結合の確認は第１実施形態と同様である。
【００６９】
　次に、入出力用のコリメータ２１０より任意の波長の光を出射し、この光が第１の分岐挿入用のコリメータ２１１と結合するように、両コリメータ２１０、２１１間に２枚のミラー２２０、２２１を配置し、それらの位置及び向きと傾きを調整する。コリメータ２１０、２１１の間に設置される２枚のミラー２２０、２２１は、その向きや傾きを調整することにより、三次元的な光路変換を行う機能を有するので、一対のコリメータ２１０、２１１がどんな位置関係にあっても、両者の光結合を低損失で行うことができる。
【００７０】
　次に、２つのミラー２２０、２２１間における入出力用コリメータ２１０からの出射光の当たる位置に、第１の波長選択フィルタ１１５ａを配置する。この第１の波長選択フィルタ１１５ａは、ミラー２２０、２２１と同様に、自身の向きと傾きを変えることのできる機能を有している。また、第２の分岐挿入用のコリメータ２１２に、入出力用のコリメータ２１０から出射されて第１の波長選択フィルタ１１５ａで反射された光が入るように、ミラー２２２を設置する。即ち、入出力用のコリメータ２１０から第１の波長選択フィルタ１１５ａで反射される波長（λ１以外の波長）の光を出射し、この光が第２の分岐挿入用のコリメータ２１２に適正に入射するように、第１の波長選択フィルタ１１５ａ及びミラー２２２の位置・向き・傾きを調整する。
【００７１】
　ここで、第１の波長選択フィルタ１１５ａを挿入することにより、第１の分岐挿入用コリメータ２１１への入射光軸がずれるが、これは後で、入出力用コリメータ２１０から第１の波長選択フィルタ１１５ａの透過波長（λ１）の光を出射し、該フィルタ１１５ａを透過した光が、第１の分岐挿入用コリメータ２１１に適正に入射するように、ミラー２２１の向きと傾きを微調整することで、簡単に補正することができる。従って、フィルタ挿入前と同等の光結合を得ることができる。
【００７２】
　次に、第１の波長選択フィルタ１１５ａとミラー２２２の間における入出力用コリメータ２１０からの出射光（波長選択フィルタ１１５ａの反射光）の当たる位置に、第２の波長選択フィルタ１１５ｂを配置する。この第２の波長選択フィルタ１１５ｂも、ミラーと同様に自身の向きと傾きを変えることができる機能を有している。また、第３の分岐挿入用コリメータ２１３に、入出力用のコリメータ２１０から出射されて第１、第２の波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｂで順次反射された光が入るように、ミラー２２３を設置する。即ち、入出力用のコリメータ２１０から第１、第２の波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｂで反射される波長（λ１、λ２以外の波長）の光を出射し、この光が第３の分岐挿入用のコリメータ２１３に適正に入射するように、第２の波長選択フィルタ１１５ｂ及び
ミラー２２３の位置・向き・傾きを調整する。
【００７３】
　この場合も、第２の波長選択フィルタ１１５ｂを挿入することにより、第２の分岐挿入用コリメータ２１２への入射光軸がずれるが、これは後で、入出力用コリメータ２１０から第２の波長選択フィルタ１１５ｂの透過波長（λ２）の光を出射し、該フィルタ１１５ｂを透過した光が、第２の分岐挿入用コリメータ２１２に適正に入射するように、ミラー２２２の向きと傾きを微調整することで、簡単に補正することができる。従って、フィルタ挿入前と同等の光結合を得ることができる。
【００７４】
　次に、第２の波長選択フィルタ１１５ｂとミラー２２３の間における入出力用コリメータ２１０からの出射光（波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｂの反射光）の当たる位置に、第３の波長選択フィルタ１１５ｃを配置する。この第３の波長選択フィルタ１１５ｃも、ミラーと同様に自身の向きと傾きを変えることができる機能を有している。また、第４の分岐挿入用コリメータ２１４に、入出力用のコリメータ２１０から出射されて第１、第２、第３の波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃで順次反射された光が入るように、ミラー２２４を設置する。即ち、入出力用のコリメータ２１０から第１、第２、第３の波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃで反射される波長（λ１、λ２、λ３以外の波長）の光を出射し、この光が、第４の分岐挿入用のコリメータ２１４に適正に入射するように、第３の波長選択フィルタ１１５ｃ及びミラー２２４の位置・向き・傾きを調整する。
【００７５】
　この場合も、第３の波長選択フィルタ１１５ｃを挿入することにより、第３の分岐挿入用コリメータ２１３への入射光軸がずれるが、これは後で、入出力用コリメータ２１０から第３の波長選択フィルタ１１５ｃの透過波長（λ３）の光を出射し、該フィルタ１１５ｃを透過した光が、第３の分岐挿入用コリメータ２１３に適正に入射するように、ミラー２２３の向きと傾きを微調整することで、簡単に補正することができる。従って、フィルタ挿入前と同等の光結合を得ることができる。
【００７６】
　次に、第３の波長選択フィルタ１１５ｃとミラー２２４の間における入出力用コリメータ２１０からの出射光（波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃの反射光）の当たる位置に、第４の波長選択フィルタ１１５ｄを配置する。この第４の波長選択フィルタ１１５ｄも、ミラーと同様に自身の向きと傾きを変えることができる機能を有している。また、第５の分岐挿入用コリメータ２１４に、入出力用のコリメータ２１０から出射されて第１、第２、第３、第４の波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄで順次反射された光が入るように、ミラー２２５を設置する。即ち、入出力用のコリメータ２１０から第１、第２、第３、第４の波長選択フィルタ１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１５ｄで反射される波長（λ１、λ２、λ３、λ４以外の波長）の光を出射し、この光が第５の分岐挿入用のコリメータ２１５に適正に入射するように、第４の波長選択フィルタ１１５ｄ及びミラー２２５の位置・向き・傾きを調整する。
【００７７】
　この場合も、第４の波長選択フィルタ１１５ｄを挿入することにより、第４の分岐挿入用コリメータ２１４への入射光軸がずれるが、これは後で、入出力用コリメータ２１０から第４の波長選択フィルタ１１５ｄの透過波長（λ４）の光を出射し、該フィルタ１１５ｄを透過した光が、第４の分岐挿入用コリメータ２１４に適正に入射するように、ミラー２２４の向きと傾きを微調整することで、簡単に補正することができる。従って、フィルタ挿入前と同等の光結合を得ることができる。
【００７８】
　次に、この光モジュール２００を、複数波長光分波装置として使用する場合について説明する。光分波装置として使用する場合は、図２（ａ）に示すように、入出力用のコリメータ２１０を、外部の入力用光伝送路からの波長多重光を受光する入力用コリメータとし、それ以外のコリメータ２１１〜２１５を、波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄで透過または反射した光を外部に取り出す分岐光用コリメータとし、波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄを分波用光素子として利用することで、波長多重光を順次分波する機能を発揮する。
【００７９】
　今、波長λ１〜λ５よりなる波長多重光が入出力用のコリメータ２１０に入力された場合、λ１の波長の光のみが、第１の波長選択フィルタ１１５ａを透過して第１の分岐挿入用のコリメータ２１１に入射され、その他の波長λ２〜λ５の光は、第２の波長選択フィルタ１１５ｂに向けて反射される。同様に、第２の波長選択フィルタ１１５ｂでは、λ２の波長の光のみが透過して第２の分岐挿入用のコリメータ２１２に入射され、その他の波長λ３〜λ５の光は、第３の波長選択フィルタ１１５ｃに向けて反射される。また、第３の波長選択フィルタ１１５ｃでは、λ３の波長の光のみが透過して第３の分岐挿入用のコリメータ２１３に入射され、その他の波長λ４、λ５の光は、第４の波長選択フィルタ１１５ｄに向けて反射される。第４の波長選択フィルタ１１５ｄでは、λ４の波長の光のみ
が透過して第４の分岐挿入用のコリメータ２１４に入射され、その他の波長λ５の光は第５の分岐挿入用のコリメータ２１５に向けて反射される。これにより、各波長の光が順次分波される。
【００８０】
　次に、この光モジュール２００を、複数波長光合波装置として使用する場合について説明する。光合波装置として使用する場合は、図２（ｂ）に示すように、入出力用のコリメータ２１０を、外部の出力用光伝送路へ出力光を伝送する出力光用コリメータとし、それ以外のコリメータ２１１〜２１５を、外部から波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄに対して異なる波長の光を入射する挿入光用コリメータとし、波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄを合波用光素子として利用することで、異なる波長の光を順次合波する機能を発揮する。
【００８１】
　今、波長λ１〜λ５の光が順次分岐挿入用のコリメータ２１１〜２１５に入力された場合、第４の波長選択フィルタ１１５ｄにおいて波長λ５とλ４の光が合波され、第３の波長選択フィルタ１１５ｃにおいて波長λ５〜λ３の光が合波され、第２の波長選択フィルタ１１５ｂにおいて波長λ５〜λ２の光が合波され、第１の波長選択フィルタ１１５ａにおいて波長λ５〜λ１の光が合波される。そして、第１の波長選択フィルタ１１５ａから出た光が、入出力用のコリメータ２１０に入射されて、外部の光伝送路に伝送される。
【００８２】
　以上のように、本実施形態の光モジュール２００は、光分波装置として使用することもできるし、光合波装置として使用することもできる。しかもその場合、各部品を通過する際に生じる光軸ずれを、波長選択フィルタ１１５ａ〜１１５ｄと各コリメータ２１０〜２１５との間に配置したミラー２２０〜２２５で補正するようにしているので、十分な光結合が得られ、損失の少ない光分波処理あるいは光合波処理を行うことができる。また、この光モジュール２００では、基板２３０上に各部品を配置して部品間を光が空間伝播するようにしているので、従来のように複数のフィルタモジュールを用い、フィルタモジュール間を光ファイバで接続するタイプの光分波装置あるいは光合波装置と比較して、低損失で小型及び低価格の光分波装置あるいは光合波装置を得ることができる。特にチャンネル数が多くなればなるほど、本実施形態の光モジュールは有利さを発揮できる。
【００８３】
　次に、本発明の第３実施形態について説明する。
　図８は、本発明の第３実施形態の光モジュール３００、５００の構成を示す平面図で、（ａ）は、光路補正用部材として全反射プリズムを用いた光モジュール３００であり、（ｂ）は、楔形プリズムを用いた光モジュール５００である。尚、図８（ａ）に示す光モジュール３００は、ミラーを全反射プリズムに代替した以外は、図１（ａ）に示す光モジュール１００と同様の構成を有し、（ｂ）に示す光モジュール５００も、ミラーを楔形プリズムに代替した以外は、図１（ａ）に示す光モジュール１００と同様の構成を有する。
　図９は、本発明の第３実施形態の全反射プリズム型光モジュール４００の平面図で、（ａ）は、当該光モジュール４００を光分波装置として使用した場合、（ｂ）は、光合波装置として使用した場合である。尚、図９（ａ）（ｂ）に示す光モジュール４００は、ミラーを全反射プリズムに代替した以外は、図２（ａ）（ｂ）に示す光モジュール２００と同様の構成を有する。
　図１０は、本発明の第３実施形態の楔形プリズム型光モジュール６００の平面図で、（ａ）は、当該光モジュール６００を光分波装置として使用した場合、（ｂ）は、光合波装置として使用した場合である。尚、図１０（ａ）（ｂ）に示す光モジュール６００は、ミラーを楔形プリズムに代替した以外は、図２（ａ）（ｂ）に示す光モジュール２００と同様の構成を有する。
【００８４】
　上述した、本発明の第1および第２実施形態において、光路補正用部材としてミラーを用いた場合について説明した。そして図８〜１０に示したように、このミラーをプリズムに置換した場合においても、光モジュール３００、４００、５００、６００に示すように、同様の効果を得ることが出来る。勿論、ミラー、プリズム以外であっても、所定の精度をもって光路を補正する機能を有する部材であれば、光路補正用部材として使用可能である。
さらに所望により、光モジュール内において、これらミラー、プリズム等を混合して用いることも可能である。
【００８５】
　図８（ａ）、図９に示した、光モジュール３００および４００において、光路補正用部材として全反射プリズム３０１〜３０４、４１０〜４１５を用いた場合も、ミラーを用いた場合と同様に、信号光の光路を補正することが出来た。
【００８６】
　また図８（ｂ）、図１０に示した、光モジュール５００および６００において、光路補正用部材として任意角度を有する楔形のプリズム５０１〜５０４、６１０〜６１５を用いた場合も、信号光の屈折角を利用することでミラーを用いた場合と同様に、光路補正を行うことが出来た。
【００８７】
　光路補正用部材であるプリズムとして、全反射型と楔形とのいずれを用いた場合も、光の透過面に反射防止膜を付ければ、反射ミラーと同じ効果を得ることが出来る。特に楔形のプリズムの場合では、低角度反射で発生するビームの拡大がないため、プリズム自体を小さくすることが出来るので、全体の小型化を図ることが出来るという利点もある。さらに、図１のミラー１２１〜１２４にて説明したように、各プリズムについても通常の使用で動かないようにさえなっていれば、その傾きを固定してしまわず、後で微調整できるようにしておいてもよい。例えばジンバル型の位置調整を行うプリズムを使用することも好ましい。
【００８８】
　なお、各コリメータ、光路補正用部材、波長選択フィルタ等の各部品の配置は、上記実施形態に限られるものではなく、必要な光路が形成できるものであれば、他の配置にしてもよい。また、上記実施形態では、干渉フィルタとして波長選択フィルタを用いた場合を示したが、他の機能を有する干渉フィルタを用いてもよい。また、必要に応じて、コリメータ、光路補正用部材、フィルタ以外に、他の光学部品、例えば、偏光素子、レンズ等を同一基板上に配置してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
　以上説明したように、本発明によれば、コリメータと干渉フィルタとの間の光路中にそれぞれ光路補正用のミラーを配置し、コリメータ間の光軸ずれを光路補正用部材で補正するようにしているので、良好な光結合を実現することができる。また、各構成部品を共通基板上に固定し、部品間を光が空間伝搬する構成としているので、無駄な部品を使わずに済み、必要最小限の体積で、光モジュールの低価格化及び小型化を図ることができる。また、請求項３の発明によれば、良好な光結合を行うことで、低損失の光分岐挿入装置を実現することができる。また、請求項４の発明によれば、低損失の複数波長光分波装置（請求項５の発明）や複数波長光合波装置（請求項６の発明）を作ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の第１実施形態の光モジュールの構成図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図２】本発明の第２実施形態の光モジュールの平面図で、（ａ）は光分波装置として使用した場合、（ｂ）は光合波装置として使用した場合の説明図である。
【図３】従来の光分岐挿入装置の概略構成図である。
【図４】コリメータの光軸ずれの説明図である。
【図５】コリメータの光軸ずれの特性を示す図である。
【図６】波長選択フィルタの光軸ずれの説明図である。
【図７】波長選択フィルタの光軸ずれの特性を示す図である。
【図８】本発明の第３実施形態の光モジュールの構成を示す平面図で、（ａ）は全反射プリズム型、（ｂ）は楔形プリズム型である。
【図９】本発明の第３実施形態の全反射プリズム型光モジュールの平面図で、（ａ）は光分波装置として使用した場合、（ｂ）は光合波装置として使用した場合である。
【図１０】本発明の第３実施形態の楔形プリズム型光モジュールの平面図で、（ａ）は光分波装置として使用した場合、（ｂ）は光合波装置として使用した場合である。
【符号の説明】
【００９１】
　１３０，２３０　基板
　１００，２００，３００，４００，５００，６００　光モジュール
　１１１　入力光用コリメータ
　１１２　出力光用コリメータ
　１１３　分岐光用コリメータ
　１１４　挿入光用コリメータ
　１１５，１１５ａ〜１１５ｄ　波長選択フィルタ
　１２１〜１２４，２２０〜２２５　光路補正用部材であるミラー
　３０１〜３０４，４１０〜４１５　光路補正用部材である反射型プリズム
　５０１〜５０４，６１０〜６１５　光路補正用部材である楔型プリズム
　１３１〜１３４　Ｖ溝
　２１０〜２１５　コリメータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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