(57)【要約】【課題】各発光源のレーザ光を分離せずに１つの受光素子で受光し、この受光素子の受光出力を用いて、各発光源のレーザ出力を一定に制御する。【解決手段】ＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１が一定周期ｔ２で設定されて、この調節期間ｔ１で、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの発光が停止されて、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ光だけが受光素子１２で受光され、受光素子１２の受光出力に基づいて、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定となる様にＣＤ用ＬＤ１１ａの駆動電流が調節される。同様の手順で、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂについても、レーザ出力が一定となる様に駆動電流が調節される。このため、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力をそれぞれの一定レベルに保ちつつ、ＣＤ用ＬＤ１１ａの特性変動及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの特性変動を同時に検査することができる。【選択図】図１
2004179407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発光源を含む半導体レーザ装置の試験方法において、
各発光源を発光させつつ、各発光源のレーザ出力を検出しており、各発光源を周期的に１つずつ選択して、選択された発光源の発光を継続させるとともに、選択されなかった他の発光源の発光を停止させ、該選択されなかった他の発光源の発光が停止されている期間に、該選択された発光源のレーザ出力を検出して、この検出したレーザ出力が一定となる様に該選択された発光源の駆動電流を自動電流制御方式により調節することを特徴とする半導体レーザ装置の試験方法。
【請求項２】
各発光源のレーザ出力の波長が相互に異なることを特徴とする請求項１に記載の半導体レーザ装置の試験方法。
【請求項３】
各発光源のいずれについても、発光期間に対する発光停止期間の割合が１０％以下であることを特徴とする請求項１に記載の半導体レーザ装置の試験方法。
【請求項４】
各発光源を１つずつ選択する周期を０．１秒乃至１０秒の範囲で設定したことを特徴とする請求項１に記載の半導体レーザ装置の試験方法。
【請求項５】
選択されなかった他の発光源の駆動電流をＩｏｐとすると、該選択されなかった他の発光源の発光を停止させるために、駆動電流Ｉｏｐを０＜Ｉｏｐ＜しきい電流値Ｉｔｈの範囲で設定することを特徴とする請求項１に記載の半導体レーザ装置の試験方法。
【請求項６】
複数の発光源を含む半導体レーザ装置の試験装置において、
各発光源の駆動電流をそれぞれ調節する複数の自動電流制御手段と、
各発光源のレーザ出力を検出するレーザ出力検出手段と、
各発光源を周期的に１つずつ選択して、選択された発光源の発光を継続させるとともに、選択されなかった他の発光源の発光を停止させる発光停止制御手段とを備え、
該選択されなかった他の発光源の発光が停止されている期間に、該選択された発光源のレーザ出力をレーザ出力検出手段により検出して、この検出された発光源のレーザ出力が一定となる様に該選択された発光源の駆動電流を自動電流制御手段により調節することを特徴とする半導体レーザ装置の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザ装置の試験方法及び試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体レーザ装置は、例えばＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＭＯ、ＤＶＤ等の光ディスクの記録もしくは再生を行なう光ディスク装置に用いられるものである。半導体レーザ装置については、製造工程でのサージ等による劣化程度、諸特性の安定性、及び寿命等を知るためにスクリーニング試験が行われる。具体的には、所定の温度環境で、所定のレーザ出力が得られる様に半導体レーザ装置を電流駆動し、この電流駆動を一定時間継続している間の半導体レーザ装置の特性変動を検査するという所謂バーンイン試験が行なわれる。
【０００３】
バーンイン試験においては、例えば図４に示す様に半導体レーザ装置２０１からレーザ光を出射させ、このレーザ光を受光素子２０２で受光して光電変換し、受光素子２０２の受光出力を電流電圧変換器２０３により電圧信号に変換し、この電圧信号を自動出力制御回路（ＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｐｏｗｅｒ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）回路）２０４に加える。ＡＰＣ回路２０４は、電圧信号を入力すると共に、目標レーザ出力に対応する電圧をコントローラ２０５から指示され、この電圧信号の電圧が目標レーザ出力に対応する電圧となる様にレーザ光の駆動電流を制御する。これにより、半導体レーザ装置２０１のレーザ出力が目標レーザ出力に維持され続ける。そして、半導体レーザ装置２０１のレーザ出力を目標レーザ出力に一定時間維持し続け、この期間の半導体レーザ装置２０１の特性変動を検査する。検査する特性としては、例えば、しきい電流値、発振波長、駆動電流値、ＣＯＤレベル、特性温度等である。
【０００４】
近年、複数の発光源を含む半導体レーザ装置が良く用いられるようになってきた。例えば、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ用のレーザ光を出射するレーザダイオード及びＤＶＤ−Ｒ／ＲＷ用のレーザ光を出射するレーザダイオードを含む半導体レーザ装置である。この複数の発光源を含む半導体レーザ装置のバーンイン試験を行なう場合は、各発光源別に、発光源のレーザ出力を一定に制御する必要ある。このため、例えば特許文献１には、半導体レーザ装置の各発光源のレーザ光を光学手段により分離して、各発光源のレーザ光をそれぞれの受光素子に入射させ、各発光源のレーザ出力を各受光素子により検出し、各受光素子の受光出力をそれぞれのＡＰＣ回路に加え、各ＡＰＣ回路によりそれぞれの発光源のレーザ出力を制御するという技術が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−３３５４２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１の様に各発光源のレーザ光を光学手段により分離させる場合は、各発光源と光学手段間の位置決め精度を高くせねばならず、かつ光学手段そのものの精度も高くなければならず、コストが高くなり、また装置本体が大型化した。
【０００７】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、各発光源のレーザ光を分離せずに１つの受光素子で受光し、この受光素子の受光出力を用いて、各発光源のレーザ出力を一定に制御することが可能な半導体レーザ装置の試験方法及び試験装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、複数の発光源を含む半導体レーザ装置の試験方法において、各発光源を発光させつつ、各発光源のレーザ出力を検出しており、各発光源を周期的に１つずつ選択して、選択された発光源の発光を継続させるとともに、選択されなかった他の発光源の発光を停止させ、該選択されなかった他の発光源の発光が停止されている期間に、該選択された発光源のレーザ出力を検出して、この検出したレーザ出力が一定となる様に該選択された発光源の駆動電流を自動電流制御方式により調節している。
【０００９】
この様な構成の本発明によれば、各発光源を周期的に１つずつ選択して、選択された発光源の発光を継続させるとともに、選択されなかった他の発光源の発光を停止させている。そして、選択されなかった他の発光源の発光が停止され、かつ選択された発光源だけが発光している期間に、該選択された発光源のレーザ出力を検出して、この検出したレーザ出力が一定となる様に該選択された発光源の駆動電流を自動電流制御方式により調節している。これにより、該選択された発光源のレーザ出力を高精度で制御することができる。同様に、他の発光源についても、周期的に選択し、レーザ出力が一定となる様にその駆動電流を自動電流制御方式により調節し、レーザ出力を高精度で制御する。また、各発光源のいずれについても、駆動電流の調節が周期的に行なわれるので、レーザ出力を略一定に保持することができ、それらのバーンイン試験を同時進行させることができる。
【００１０】
また、本発明においては、各発光源のレーザ出力の波長が相互に異なる。
【００１１】
例えば、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ用のレーザ光を出射するレーザダイオード及びＤＶＤ−Ｒ／ＲＷ用のレーザ光を出射するレーザダイオードを含む半導体レーザ装置のバーンイン試験を行なう。
【００１２】
更に、本発明においては、各発光源のいずれについても、発光期間に対する発光停止期間の割合が１０％以下である。
【００１３】
この様に発光停止期間が短ければ、発光期間が長くなり、各発光源のバーンイン試験の精度が向上する。
【００１４】
また、本発明においては、各発光源を１つずつ選択する周期を０．１秒乃至１０秒の範囲で設定している。
【００１５】
この様に各発光源を１つずつ選択する周期を適宜に設定し、これにより各発光源の駆動電流の調節間隔を適宜に設定すれば、各発光源のレーザ出力変動を小さく抑えることができる。
【００１６】
更に、本発明においては、選択されなかった他の発光源の駆動電流をＩｏｐとすると、該選択されなかった他の発光源の発光を停止させるために、駆動電流Ｉｏｐを０＜Ｉｏｐ＜しきい電流値Ｉｔｈの範囲で設定している。
【００１７】
この様に駆動電流Ｉｏｐを０＜Ｉｏｐ＜しきい電流値Ｉｔｈの範囲で設定し、駆動電流Ｉｏｐを０にしなければ、駆動電流の変動を小さくして、駆動電流の変動に伴う各発光源の諸特性の変化を小さく抑えることができる。
【００１８】
次に、本発明は、複数の発光源を含む半導体レーザ装置の試験装置において、各発光源の駆動電流をそれぞれ調節する複数の自動電流制御手段と、各発光源のレーザ出力を検出するレーザ出力検出手段と、各発光源を周期的に１つずつ選択して、選択された発光源の発光を継続させるとともに、選択されなかった他の発光源の発光を停止させる発光停止制御手段とを備え、該選択されなかった他の発光源の発光が停止されている期間に、該選択された発光源のレーザ出力をレーザ出力検出手段により検出して、この検出された発光源のレーザ出力が一定となる様に該選択された発光源の駆動電流を自動電流制御手段により調節している。
【００１９】
この様な構成の本発明の装置においても、本発明の方法と同様の作用並びに効果を達成することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図１は、本発明の試験装置の一実施形態を示すブロック図である。本実施形態の試験装置１０では、ＣＤ用レーザダイオード（以下ＣＤ用ＬＤと称す）１１ａ及びＤＶＤ用レーザダイオード（以下ＤＶＤ用ＬＤと称す）１１ｂを含む半導体レーザ装置１１のバーンイン試験を行なう。ＣＤ用ＬＤ１１ａからはＣＤ−Ｒ／ＲＷ用のレーザ光が出射され、またＤＶＤ用ＬＤ１１ｂからはＤＶＤ−Ｒ／ＲＷ用のレーザ光が出射され、これらのレーザ光の波長が相互に異なる。
【００２２】
この試験装置１０は、各ＬＤ１１ａ，１１ｂのレーザ光を受光する１つの受光素子１２と、半導体レーザ装置１１及び受光素子１２の環境温度を一定に維持する温度槽１３と、受光素子１２の受光出力を電流電圧変換する電流電圧変換器１４と、ＣＤ用ＬＤ１１ａの駆動電流値を記憶する第１メモリ１５ａと、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの駆動電流値を記憶する第２メモリ１５ｂと、第１メモリ１５ａ内の駆動電流値に対応する駆動電流をＣＤ用ＬＤ１１ａに供給する第１自動電流制御駆動回路（以下第１ＡＣＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｃｕｒｒｅｎｔ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）駆動回路と称す）１６ａと、第２メモリ１５ｂ内の駆動電流値に対応する駆動電流をＤＶＤ用ＬＤ１１ｂに供給する第２自動電流制御駆動回路（以下第２ＡＣＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｃｕｒｒｅｎｔ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）駆動回路と称す）１６ｂと、試験装置１０全体を制御するコントローラ１７とを備えている。
【００２３】
次に、図２のフローチャート及び図３のタイミングチャートに従って、試験装置１０による処理過程を述べる。
【００２４】
まず、コントローラ１７は、第１及び第２メモリ１５ａ，１５ｂ等を初期化し、予め設定されたそれぞれの駆動電流値を第１及び第２メモリ１５ａ，１５ｂに書き込む。第１ＡＣＣ駆動回路１６ａは、第１メモリ１５ａ内の駆動電流値を読み出し、この駆動電流値に対応する駆動電流をＣＤ用ＬＤ１１ａに供給して、ＣＤ用ＬＤ１１ａを発光させる。同様に、第２ＡＣＣ駆動回路１６ｂは、第２メモリ１５ｂ内の駆動電流値を読み出し、この駆動電流値に対応する駆動電流をＤＶＤ用ＬＤ１１ｂに供給して、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂを発光させる（図２のステップＳ１０１）。このときには、ＣＤ用ＬＤ１１ａ及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂが共に発光している。
【００２５】
次に、コントローラ１７は、図３のＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１の開始時点で、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの発光が停止する駆動電流値を第２メモリ１５ｂに書き込み、期間ｔ１の間、第２メモリ１５ｂ内の該駆動電流値を保持する。これにより、期間ｔ１の間、第２メモリ１５ｂ内の駆動電流値に対応する駆動電流が第２ＡＣＣ駆動回路１６ｂからＤＶＤ用ＬＤ１１ｂに供給されて、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの発光が停止される（ステップＳ１０２）。この発光が停止する駆動電流は、該駆動電流をＩｏｐ２とすると、０＜Ｉｏｐ２＜しきい電流値Ｉｔｈ２の範囲で設定される。しきい電流値Ｉｔｈ２は、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ発振開始時の駆動電流値である。従って、ＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１では、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの発光が停止されながらも、僅かの駆動電流がＤＶＤ用ＬＤ１１ｂに流れる状態となっている。
【００２６】
また、コントローラ１７は、ＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１になると、第１メモリ１５ａ内の駆動電流値を書き換えて、この駆動電流値を予め設定された分だけ増大させる。第１ＡＣＣ駆動回路１６ａは、第１メモリ１５ａ内の駆動電流値に対応する駆動電流をＣＤ用ＬＤ１１ａに供給して、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力を僅かに上昇させる（ステップＳ１０３）。
【００２７】
ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂが発光せず、ＣＤ用ＬＤ１１ａが発光していることから、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ光だけが受光素子１２で受光され、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力に対応する受光出力が受光素子１２から電流電圧変換器１４に加えられ、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力に対応する電圧信号が電流電圧変換器１４からコントローラ１７に加えられる（ステップＳ１０４）。コントローラ１７は、この電圧信号を予め設定された閾値と比較し、この電圧信号が閾値未満であるか否かを判定することにより、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベル未満であるか否かを判定する（ステップＳ１０５）。そして、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベル未満であれば（ステップＳ１０５で「Ｙｅｓ」）、ステップＳ１０３に戻る。従って、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベル未満であれば、ステップＳ１０３が繰り返され、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベル以上に調節される。
【００２８】
また、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベル未満でなければ（ステップＳ１０５で「Ｎｏ」）、コントローラ１７は、電流電圧変換器１４からの電圧信号が閾値と等しいか否かを判定することにより、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルであるか否かを判定する（ステップＳ１０６）。そして、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルでなければ（ステップＳ１０６で「Ｎｏ」）、コントローラ１７は、電流電圧変換器１４からの電圧信号が閾値よりも大きいか否かを判定することにより、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルよりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１０７）。更に、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルよりも大きければ（ステップＳ１０７で「Ｙｅｓ」）、コントローラ１７は、第１メモリ１５ａ内の駆動電流値を予め設定された分だけ減少させる。第１ＡＣＣ駆動回路１６ａは、第１メモリ１５ａ内の駆動電流値に対応する駆動電流をＣＤ用ＬＤ１１ａに供給して、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力を僅かに下降させる（ステップＳ１０８）。この後、ステップＳ１０４に戻る。従って、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルよりも大きければ、ステップＳ１０７が繰り返され、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベル以下に調節される。
【００２９】
また、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルでなく（ステップＳ１０６で「Ｎｏ」）、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルよりも大きくなければ（ステップＳ１０７で「Ｎｏ」）、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベル未満であるから、ステップＳ１０３に戻り、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベル以上に調節される。
【００３０】
ＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１では、各ステップＳ１０３〜Ｓ１０８が繰り返され、これによりＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルに調節される（ステップＳ１０６で「Ｙｅｓ」）。
【００３１】
このとき、コントローラ１７は、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定レベルとなった第１メモリ１５ａ内の駆動電流値を保持し、第１ＡＣＣ駆動回路１６ａからＣＤ用ＬＤ１１ａへの駆動電流を維持する。また、コントローラ１７は、ＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１の開始時点で書き換えられた第２メモリ１５ｂ内の駆動電流値を該調節期間ｔ１の直前の駆動電流値に戻す。この戻された駆動電流値に対応する駆動電流が第２ＡＣＣ駆動回路１６ｂからＤＶＤ用ＬＤ１１ｂに供給され、該調節期間ｔ１の直前のＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が復帰する（ステップＳ１０９）。この後、次のＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの調節期間ｔ２を待機する（ステップＳ１１０）。
【００３２】
次に、コントローラ１７は、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの調節期間ｔ３の開始時点で、ＣＤ用ＬＤ１１ａの発光が停止する駆動電流値を第１メモリ１５ａに書き込み、期間ｔ３の間、第１メモリ１５ａ内の該駆動電流値を保持する。これにより、期間ｔ３の間、第２メモリ１５ｂ内の駆動電流値に対応する駆動電流が第１ＡＣＣ駆動回路１６ａからＣＤ用ＬＤ１１ａに供給されて、ＣＤ用ＬＤ１１ａの発光が停止される（ステップＳ１１１）。この発光が停止する駆動電流は、該駆動電流をＩｏｐ１とすると、０＜Ｉｏｐ１＜しきい電流値Ｉｔｈ１の範囲で設定される。しきい電流値Ｉｔｈ１は、ＣＤ用ＬＤ１１ａの発光開始時の駆動電流値である。
【００３３】
また、コントローラ１７は、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの調節期間ｔ３になると、第２メモリ１５ｂ内の駆動電流値を書き換えて、この駆動電流値を予め設定された分だけ増大させ、第２ＡＣＣ駆動回路１６ｂからＤＶＤ用ＬＤ１１ｂに供給される駆動電流を僅かに増大させて、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力を僅かに上昇させる（ステップＳ１１２）。
【００３４】
ＣＤ用ＬＤ１１ａが発光せず、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂが発光していることから、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ光だけが受光素子１２で受光され、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力に対応する受光出力が受光素子１２から電流電圧変換器１４に加えられ、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力に対応する電圧信号が電流電圧変換器１４からコントローラ１７に加えられる（ステップＳ１１３）。コントローラ１７は、この電圧信号を予め設定された閾値と比較し、この電圧信号が閾値未満であるか否か、つまりＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベル未満であるか否かを判定する（ステップＳ１１４）。そして、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベル未満であれば（ステップＳ１１４で「Ｙｅｓ」）、ステップＳ１１２に戻る。従って、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベル未満であれば、ステップＳ１１２が繰り返され、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベル以上に調節される。
【００３５】
また、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベル未満でなければ（ステップＳ１１４で「Ｎｏ」）、コントローラ１７は、電流電圧変換器１４からの電圧信号が閾値未満と等しいか否か、つまりＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルであるか否かを判定する（ステップＳ１１５）。そして、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルでなければ（ステップＳ１１５で「Ｎｏ」）、コントローラ１７は、電流電圧変換器１４からの電圧信号が閾値よりも大きいか否か、つまりＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルよりも大きいか否かを判定する（ステップＳ１１６）。更に、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルよりも大きければ（ステップＳ１１６で「Ｙｅｓ」）、コントローラ１７は、第２メモリ１５ｂ内の駆動電流値を予め設定された分だけ減少させて、第１ＡＣＣ駆動回路１６ａからＣＤ用ＬＤ１１ａに供給される駆動電流を僅かに減少させ、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力を僅かに下降させる（ステップＳ１１７）。この後、ステップＳ１１３に戻る。従って、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルよりも大きければ、ステップＳ１１６が繰り返され、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベル以下に調節される。
【００３６】
また、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルでなく（ステップＳ１１５で「Ｎｏ」）、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルよりも大きくなければ（ステップＳ１１６で「Ｎｏ」）、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベル未満であるから、ステップＳ１１２に戻り、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベル以上に調節される。
【００３７】
ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの調節期間ｔ３では、各ステップＳ１１２〜Ｓ１１７が繰り返され、これによりＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルに調節される（ステップＳ１１５で「Ｙｅｓ」）。
【００３８】
このとき、コントローラ１７は、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定レベルとなった第２メモリ１５ｂ内の駆動電流値を保持し、第２ＡＣＣ駆動回路１６ｂからＤＶＤ用ＬＤ１１ｂへの駆動電流を維持する。また、コントローラ１７は、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの調節期間ｔ３の開始時点で書き換えられた第１メモリ１５ａ内の駆動電流値を該調節期間ｔ３の直前の駆動電流値に戻す。この戻された駆動電流値に対応する駆動電流が第１ＡＣＣ駆動回路１６ａからＣＤ用ＬＤ１１ａに供給され、該調節期間ｔ３の直前のＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が復帰する（ステップＳ１１８）。この後、次のＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１を待機する（ステップＳ１１９）。
【００３９】
以降同様に、ＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１が一定周期ｔ２で設定され、この調節期間ｔ１にＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの発光が停止されて、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ光だけが受光素子１２で受光され、受光素子１２の受光出力に基づいて、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力が一定となる様にＣＤ用ＬＤ１１ａの駆動電流が調節される。同様に、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの調節期間ｔ３が一定周期ｔ４で設定され、この調節期間ｔ３にＣＤ用ＬＤ１１ａの発光が停止されて、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ光だけが受光素子１２で受光され、受光素子１２の受光出力に基づいて、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力が一定となる様にＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの駆動電流が調節される。
【００４０】
このため、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのレーザ出力をそれぞれの一定レベルに保ちつつ、ＣＤ用ＬＤ１１ａの特性変動及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの特性変動を同時に検査することができる。つまり、ＣＤ用ＬＤ１１ａのバーンイン検査及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのバーンイン検査を同時進行させることができる。
【００４１】
また、ＣＤ用ＬＤ１１ａの発光を停止させているときでも、０＜Ｉｏｐ１＜しきい電流値Ｉｔｈ１の範囲で駆動電流Ｉｏｐ１を設定して、駆動電流Ｉｏｐ１をＣＤ用ＬＤ１１ａに流し、かつＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの発光を停止させているときでも、０＜Ｉｏｐ２＜しきい電流値Ｉｔｈ２の範囲で駆動電流Ｉｏｐ２を設定して、駆動電流Ｉｏｐ２をＤＶＤ用ＬＤ１１ｂに流していることから、半導体レーザ装置１１全体での駆動電流の変動を小さくすることができ、駆動電流の変動に伴う半導体レーザ装置１１の温度変化や特性変化を低く抑えて、バーンイン試験の誤差を小さくすることができる。
【００４２】
ここで、調節期間ｔ１と周期ｔ２の比ｔ１／ｔ２、及び調節期間ｔ３と周期ｔ４の比ｔ３／ｔ４は、１０％以下に設定することが望ましい。これらの比を１０％よりも大きくすると、ＣＤ用ＬＤ１１ａの通電時間及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの通電時間が短くなりすぎる。
【００４３】
また、例えば各比ｔ１／ｔ２，ｔ３／ｔ４を１０％に設定し、ＣＤ用ＬＤ１１ａの通電時間及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの通電時間を１０時間に設定するならば、バーンイン試験に要する時間が（１０時間＋１０時間×（１−０．１））＝１１時間とる。仮に、ＣＤ用ＬＤ１１ａのバーンイン試験及びＤＶＤ用ＬＤ１１ｂのバーンイン試験を別々に行なうならば、それぞれのバーンイン試験に１０時間を要するので、全体で２０時間を費やしてしまう。従って、本実施形態の試験装置１０を用いれば、試験時間を短縮化することができる。
【００４４】
更に、半導体レーザ装置に含まれる各発光源の個数が多くなる程、バーンイン試験に要する時間の短縮化の程度が著しくなる。
【００４５】
また、ＣＤ用ＬＤ１１ａの調節期間ｔ１を設定する周期ｔ２は、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力変動を小さく抑えるために、０．１秒〜１０秒の範囲で設定することが好ましい。周期ｔ２が短すぎると、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力のオンオフ回数が増えすぎ、また周期ｔ２が長すぎると、ＣＤ用ＬＤ１１ａのレーザ出力変動が大きくなる。同様の理由で、ＤＶＤ用ＬＤ１１ｂの調節期間ｔ３を設定する周期ｔ４は、０．１秒〜１０秒の範囲で設定することが好ましい。
【００４６】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、多様に変形することができる。例えば、他の種類の半導体レーザ装置であっても、本発明を適用することができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明した様に本発明によれば、選択されなかった他の発光源の発光が停止され、かつ選択された発光源だけが発光している期間に、該選択された発光源のレーザ出力を検出して、この検出したレーザ出力が一定となる様に該選択された発光源の駆動電流を自動電流制御方式により調節している。これにより、該選択された発光源のレーザ出力を高精度で制御することができる。同様に、他の発光源についても、周期的に選択し、レーザ出力が一定となる様にその駆動電流を自動電流制御方式により調節し、レーザ出力を高精度で制御する。また、各発光源のいずれについても、駆動電流の調節が周期的に行なわれるので、レーザ出力を略一定に保持することができ、それらのバーンイン試験を同時進行させることができる。
【００４８】
また、各発光源のいずれについても、発光期間に対する発光停止期間の割合が１０％以下に設定されているため、発光期間が長くなり、各発光源のバーンイン試験の精度が向上する。更に、各発光源の駆動電流の調節間隔を適宜に設定しているため、各発光源のレーザ出力変動を小さく抑えることができる。
【００４９】
また、発光源の発光を停止させるために、駆動電流Ｉｏｐを０＜Ｉｏｐ＜しきい電流値Ｉｔｈの範囲で設定しているので、駆動電流の変動を小さくして、駆動電流の変動に伴う各発光源の諸特性の変化を小さく抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の試験装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１の試験装置による処理過程を示すフローチャートである。
【図３】図１の試験装置におけるＣＤ用レーザダイオード及びＤＶＤ用レーザダイオードの発光タイミングを示すタイミングチャートである。
【図４】従来の試験装置を例示するブロック図である。
【符号の説明】
１０    試験装置
１１    半導体レーザ装置
１１ａ    ＣＤ用レーザダイオード（ＣＤ用ＬＤ）
１１ｂ    ＤＶＤ用レーザダイオード（ＤＶＤ用ＬＤ）
１２    受光素子
１３    温度槽
１４    電流電圧変換器
１５ａ    第１メモリ
１５ｂ    第２メモリ
１６ａ    第１自動電流制御駆動回路（第１ＡＣＣ駆動回路）
１６ｂ    第２自動電流制御駆動回路（第２ＡＣＣ駆動回路）
１７    コントローラ
【図１】
2004179407.tif 000003
【図２】
2004179407.tif 000004
【図３】
2004179407.tif 000005
【図４】
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