(57)【要約】　【課題】  関連製品に対する処理の進行状況にあわせて製品に対する処理の進行状況を制御できるようにする。　【解決手段】　処理状況管理手段１１は、ＬＳＩ開発試作ラインを構成する複数のプロセス装置における各ロットに対する処理の状況を製品処理状況情報として管理する。進行状況収集手段１２は、製品処理状況情報に基づいて第１のロットに対する処理の進行状況を収集する。処理計画抽出手段１３は、予め設定されている各ロットの処理計画のうちから第１のロットの処理計画を抽出する。処理優先度変更手段１４は、第１のロットに対する処理の進行状況と第１のロットの処理計画との比較結果に基づいて、第１のロットと関連する第２のロットの処理優先度を変更する。【選択図】　　　図１
2004070968.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　複数の製品に対して複数の装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて前記複数の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行制御方法であって、
　前記複数の装置における前記複数の製品に対する処理の状況を管理することにより、前記複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出した後、前記複数の製品に対する処理の進行状況において、前記複数の製品のうち前記第１の製品の処理結果を見極めてから処理を行なう第２の製品を特定し、その後、前記第２の製品に対して行なわれる他の工程が前記時刻までに処理終了又は処理開始するように前記第２の製品に対する処理の進行状況を制御することを特徴とする製品進行制御方法。
【請求項２】
　複数の製品に対して複数の装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて前記複数の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行制御方法であって、
　前記複数の装置における前記複数の製品に対する処理の状況を管理することにより、前記複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出した後、前記複数の製品に対する処理の進行状況において、前記第１の製品に対する前記一の工程の処理結果を見極めてから前記複数の製品のうちの第２の製品に対して行なわれる他の工程を特定し、その後、前記他の工程が前記時刻までに処理開始しないように前記第２の製品に対する処理の進行状況を制御することを特徴とする製品進行制御方法。
【請求項３】
　複数の製品に対して複数の装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて前記複数の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行制御装置であって、
　前記複数の装置における前記複数の製品に対する処理の状況を管理する処理状況管理手段と、
　前記複数の製品に対する処理の状況に基づき、前記複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出する工程終了開始時刻算出手段と、
　前記複数の製品に対する処理の進行状況において、前記複数の製品のうち前記第１の製品の処理結果を見極めてから処理を行なう第２の製品を特定する関連製品探索手段と、
　前記第２の製品に対して行なわれる他の工程が前記時刻までに処理終了又は処理開始するように前記第２の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行指示手段とを備えていることを特徴とする製品進行制御装置。
【請求項４】
複数の製品に対して複数の装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて前記複数の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行制御装置であって、
　前記複数の装置における前記複数の製品に対する処理の状況を管理する処理状況管理手段と、
　前記複数の製品に対する処理の状況に基づき、前記複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出する工程終了開始時刻算出手段と、
　前記複数の製品に対する処理の進行状況において、前記第１の製品に対する前記一の工程の処理結果を見極めてから前記複数の製品のうちの第２の製品に対して行なわれる他の工程を特定する関連工程探索手段と、
　前記他の工程が前記時刻までに処理開始しないように前記第２の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行停止手段とを備えていることを特徴とする製品進行制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、複数の製品に対して複数のプロセス装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて各製品に対する処理の進行状況をロット単位で制御する製品進行制御方法及び製品進行制御装置に関する。特に、各ロットに対する処理の進行状況に応じて、各ロットの処理優先度を変更したり、各ロットに対する処理の進行状況を制御したり、又はプロセス装置の立ち上げ、立ち下げ若しくはメンテナンスを行なう必要があるＬＳＩの生産や試作を行なうラインに本発明を適用した場合には、格別の効果を得ることができる。
【背景技術】
【０００２】
　従来の製品進行制御装置は、特定の製品に対する処理の進行状況と特定の製品の処理計画とのずれに応じて、特定の製品の処理優先度を変更したり、又は特定の製品に対する処理の進行状況を制御したりしていた。
【０００３】
　以下、従来の製品進行制御装置を図３８を参照しながら説明する。
【０００４】
　図３８は従来の製品進行制御装置のブロック図を示しており、該製品進行制御装置は、生産ラインを構成する各プロセス装置における複数の製品に対する処理の状況を管理する処理状況管理手段１と、特定の製品に対する処理の進行状況を収集する進行状況収集手段２と、特定の製品の処理計画を求める処理計画抽出手段３と、特定の製品に対する処理の進行状況と特定の製品の処理計画との比較結果に基づき特定の製品の処理優先度を変更する処理優先度変更手段４とを備えている。
【０００５】
　具体的には、処理状況管理手段１は、生産ラインを構成する各プロセス装置における各製品の処理開始時刻及び処理終了時刻を収集して、収集した各製品の処理開始時刻及び処理終了時刻を製品処理状況情報として例えばコンピュータ記憶装置上のテーブル等に登録する。また、進行状況算出手段２は、製品処理状況情報に基づいて特定の製品に対する処理の進行状況を収集する。また、処理計画抽出手段３は、予めコンピュータ記憶装置上のテーブル等に蓄積されている複数の製品の処理計画の中から特定の製品の処理計画を抽出する。また、処理優先度変更手段４は、特定の製品に対する処理の進行状況と特定の製品の処理計画とを比較して、特定の製品に対する処理の進行状況が計画よりも遅れている場合には、特定の製品を他の製品よりも優先して処理するために特定の製品の処理優先度を高くする一方、特定の製品に対する処理の進行状況が計画よりも進んでいる場合には、特定の製品の処理優先度を低くする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　しかしながら、従来の製品進行制御装置は、前述のように、特定の製品に対する処理の進行状況に応じて該特定の製品の処理優先度を適宜変更することによって、特定の製品に対する処理を計画通りに進行させようとするものであるので、以下に説明するような問題を生じる。
【０００７】
　（１）特定の製品に対する処理の進行と関連させて処理を進行させなければならない製品である関連製品が存在している場合であっても、関連製品に対する処理の進行状況に応じて特定の製品に対する処理の進行状況を制御することができない。例えば、関連製品に対する処理の進行状況が計画よりも進んでいる場合に、特定の製品に対する処理を計画よりも早く進行させることができない。特に、ＬＳＩ製品の生産や試作においては、特定のロットの製造途中での特性を確認してから他のロット（関連ロット）の処理条件又は処理進行の適否を決定することが多いため、関連ロットに対する処理の進行状況に応じて特定のロットに対する処理の進行状況を制御することが非常に重要な課題であるにも関わらず、この課題は従来の製品進行制御装置によっては解決できない。尚、ＬＳＩの微細化が進むにつれて、ＬＳＩの生産や試作を行なうラインにおいて検討したり確認したりする必要がある処理条件がますます増えるので、この課題の重要性はより一層増大する。
【０００８】
　（２）製品に対する処理の進行状況にあわせてプロセス装置の立ち上げ、立ち下げ又はメンテナンスを行なう必要があるにも関わらず、製品処理に支障を来さないようにプロセス装置に対して立ち上げ、立ち下げ又はメンテナンスの指示を行なうことができない。
【０００９】
　（３）特定の製品に対する処理の進行と関連させて処理を進行させなければならない少なくとも１つの製品である関連製品群が存在している場合であっても、関連製品群を構成する製品数又は関連製品群の処理優先度と対応するように特定の製品の処理優先度を決定することができない。特に、ＬＳＩ製品の製造や試作においては、特定のロットの製造途中での特性を確認してから関連ロット群の処理条件を決定することが多いので、ＬＳＩ製品をより短時間で完成させるためには、関連ロット群を構成するロット数又は関連ロット群の処理優先度と対応するように特定のロットの処理優先度を決定することが非常に重要な課題であるにも関わらず、この課題は従来の製品進行制御装置によっては解決できない。
【００１０】
　前記に鑑み、本発明は、関連製品に対する処理の進行状況にあわせて特定の製品に対する処理の進行状況を制御できるようにすることを第１の目的とし、製品に対する処理の進行状況にあわせてプロセス装置を稼働制御できるようにすることを第２の目的とし、関連製品群を構成する製品数又は関連製品群の処理優先度と対応するように特定の製品の処理優先度を決定できるようにすることを第３の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
　前記の第１の目的を達成するために、本発明に係る第１の製品進行制御方法は、複数の製品に対して複数の装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて複数の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行制御方法を前提とし、複数の装置における複数の製品に対する処理の状況を管理することにより、複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出した後、複数の製品に対する処理の進行状況において、複数の製品のうち第１の製品の処理結果を見極めてから処理を行なう第２の製品を特定し、その後、第２の製品に対して行なわれる他の工程が前記の時刻までに処理終了又は処理開始するように第２の製品に対する処理の進行状況を制御する。
【００１２】
　第１の製品進行制御方法によると、生産ラインを構成する複数の装置における複数の製品に対する処理の状況を管理することにより、複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出した後、算出された時刻までに、第１の製品と関連する第２の製品に対して行なわれる他の工程が処理終了又は処理開始するように第２の製品に対する処理の進行状況を制御する。このため、第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻にあわせて、第２の製品に対して行なわれる他の工程を実施することができ、それによって、第１の製品の進捗にあわせて第２の製品の進捗を制御することができる。言い換えると、複数の製品に対する処理を互いに同期を取りながら進行させることができる。また、特定の製品に対して行なわれる一の工程の処理結果を見極めてから、該一の工程と同種の工程をその他の製品に対して行なうときの処理条件を検討又は確認する必要があるＬＳＩの開発試作や量産立ち上げ等において、特定の製品に対する処理の進行状況にあわせて、その他の製品に対する処理の進行状況を制御でき、その結果、複数の製品に対する処理を互いに関連づけながら進行させることができる。
【００１３】
　前記の第１の目的を達成するために、本発明に係る第２の製品進行制御方法は、複数の製品に対して複数の装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて複数の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行制御方法を前提とし、複数の装置における複数の製品に対する処理の状況を管理することにより、複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出した後、複数の製品に対する処理の進行状況において、第１の製品に対する一の工程の処理結果を見極めてから複数の製品のうちの第２の製品に対して行なわれる他の工程を特定し、その後、他の工程が前記の時刻までに処理開始しないように第２の製品に対する処理の進行状況を制御する。
【００１４】
　第２の製品進行制御方法によると、生産ラインを構成する複数の装置における複数の製品に対する処理の状況を管理することにより、複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出した後、算出された時刻までに、一の工程と関連し且つ第２の製品に対して行なわれる他の工程が処理開始しないように第２の製品に対する処理の進行状況を制御する。このため、第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻まで、第２の製品に対して行なわれる他の工程の実施を停止させることができ、それによって、第１の製品の進捗にあわせて第２の製品の進捗を制御することができる。また、特定の製品に対して行なわれる一の工程の処理結果を見極めてから、該一の工程と同種の工程をその他の製品に対して行なうときの処理条件を検討又は確認する必要があるＬＳＩの開発試作や量産立ち上げ等において、特定の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了するまで、その他の製品に対する処理を自動的に中断させることができる。その結果、製品処理を中断させる指示を行なう手間を省くことができると共に、該指示を忘れることに起因して生じるトラブルを防止することができる。
【００１５】
　前記の第１の目的を達成するために、本発明に係る第１の製品進行制御装置は、本発明に係る第１の製品進行制御方法を実現するものであり、具体的には、複数の製品に対して複数の装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて複数の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行制御装置を前提とし、複数の装置における複数の製品に対する処理の状況を管理する処理状況管理手段と、複数の製品に対する処理の状況に基づき、複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出する工程終了開始時刻算出手段と、複数の製品に対する処理の進行状況において、複数の製品のうち第１の製品の処理結果を見極めてから処理を行なう第２の製品を特定する関連製品探索手段と、第２の製品に対して行なわれる他の工程が前記の時刻までに処理終了又は処理開始するように第２の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行指示手段とを備えている。
【００１６】
　第１の製品進行制御装置によると、工程終了開始時刻算出手段が、生産ラインを構成する複数の装置における複数の製品に対する処理の状況に基づき、複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出した後、製品進行指示手段が、算出された時刻までに、第１の製品と関連する第２の製品に対して行なわれる他の工程が処理終了又は処理開始するように第２の製品に対する処理の進行状況を制御する。このため、第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻にあわせて、第２の製品に対して行なわれる他の工程を実施することができ、それによって、第１の製品の進捗にあわせて第２の製品の進捗を制御することができる。言い換えると、複数の製品に対する処理を互いに同期を取りながら進行させることができる。
【００１７】
　前記の第１の目的を達成するために、本発明に係る第２の製品進行制御装置は、本発明に係る第２の製品進行制御方法を実現するものであり、具体的には、複数の製品に対して複数の装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて複数の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行制御装置を前提とし、複数の装置における複数の製品に対する処理の状況を管理する処理状況管理手段と、複数の製品に対する処理の状況に基づき、複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出する工程終了開始時刻算出手段と、複数の製品に対する処理の進行状況において、第１の製品に対する一の工程の処理結果を見極めてから複数の製品のうちの第２の製品に対して行なわれる他の工程を特定する関連工程探索手段と、他の工程が前記の時刻までに処理開始しないように第２の製品に対する処理の進行状況を制御する製品進行停止手段とを備えている。
【００１８】
　第２の製品進行制御装置によると、工程終了開始時刻算出手段が、生産ラインを構成する複数の装置における複数の製品に対する処理の状況に基づき、複数の製品のうちの第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻を算出した後、製品進行停止手段が、算出された時刻までに、一の工程と関連し且つ第２の製品に対して行なわれる他の工程が処理開始しないように第２の製品に対する処理の進行状況を制御する。このため、第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻まで、第２の製品に対して行なわれる他の工程の実施を停止させることができ、それによって、第１の製品の進捗にあわせて第２の製品の進捗を制御することができる。
【発明の効果】
【００１９】
　本発明によると、第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻にあわせて、第１の製品と関連する第２の製品に対して行なわれる他の工程を実施することができので、第１の製品に対する処理の進行状況にあわせて第２の製品に対する処理の進行状況を制御することができる。
【００２０】
　また、本発明によると、第１の製品に対して行なわれる一の工程が処理終了又は処理開始する時刻まで、一の工程と関連し且つ第２の製品に対して行なわれる他の工程の実施を停止させることができるので、第１の製品に対する処理の進行状況にあわせて第２の製品に対する処理の進行状況を制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
　以下に説明する本発明の各実施形態に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置は、複数の装置（プロセス装置）を用いてＬＳＩ等の電子デバイスの生産又は開発試作を行なう生産ラインにおいて製品に対する処理の進行状況を制御するものである。
【００２２】
　（第１の実施形態）
　以下、本発明の第１の実施形態に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置について、ＬＳＩ開発試作ラインにおいて製品に対する処理の進行状況をロット単位でコンピュータにより制御する場合を例として、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
　図１は第１の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図を示しており、該製品進行制御装置は、ＬＳＩ開発試作ラインを構成する複数のプロセス装置における各ロットに対する処理の状況を製品処理状況情報として管理する処理状況管理手段１１と、製品処理状況情報に基づいて特定のロット（以下、第１のロットと称する）に対する処理の進行状況を収集する進行状況収集手段１２と、予め設定されている各ロットの処理計画のうちから第１のロットの処理計画を抽出する処理計画抽出手段１３と、第１のロットに対する処理の進行状況と第１のロットの処理計画との比較結果に基づいて、第１のロットと関連するロット（以下、第２のロットと称する）の処理優先度を変更する処理優先度変更手段１４とを備えている。
【００２４】
　〔処理状況管理手段１１〕
　処理状況管理手段１１により行なわれる処理状況管理工程について図２を参照しながら説明する。
【００２５】
　まず、ステップＳ１１ａにおいて、図３に示すように、少なくともロット名、工程番号、プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間を項目として持つ処理フロー管理テーブルのレコードに、ＬＳＩ開発試作ラインで流すロット毎にプロセスフロー（ロット名、工程番号、プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間）を登録する。尚、処理フロー管理テーブルの作成場所は特に限定されず、例えばコンピュータの記憶装置上に作成してもよい。
【００２６】
　次に、ステップＳ１１ｂにおいて、図４に示すように、少なくともロット名、現在工程番号、現在ステータス、処理優先度、完了目標日、完了予定日及び関連ロット名を項目として持つ処理進捗管理テーブルに、ＬＳＩ開発試作ラインで流すロット毎にロット名、処理優先度（初期値）、完了目標日及び関連ロット名を登録する。尚、処理進捗管理テーブルの作成場所は特に限定されず、例えばコンピュータの記憶装置上に作成してもよい。
【００２７】
　ここで、処理優先度とは、対象となるロットに対する処理を他のロットと比べてどの程度優先して行なうかを示す尺度であり、本実施形態においては、処理優先度を表す数値が小さくなるほど他のロットと比べて優先して処理が行なわれること、つまり処理優先度が高いことを意味しているものとする。但し、処理進捗管理テーブルに登録する処理優先度の初期値は特に限定されず、例えば中程度の（平均的な）処理優先度を表す数値（例えば５０等）を登録してもよい。
【００２８】
　また、完了目標日とは、対象となるロットに対する処理を完了させたい期日である。
【００２９】
　また、関連ロット名とは、ロット名と対応する特定のロットの処理結果（プロセス結果又はＬＳＩ特性等）を見極めてから処理を行なう必要があるロット等の名称、言い換えると、特定のロットに対する処理の進行状況（以下、特定のロットの進捗と称する）と関連するロットの名称である。図４に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡと関連するロットはロットＢであり、ロットＸと関連するロットはロットＹである。
【００３０】
　次に、ステップＳ１１ｃにおいて、各ロットに対して行なわれる各工程の処理開始又は処理終了を示す信号を各プロセス装置から受信する度に、受信された信号と対応するロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの現在工程番号及び現在ステータスの項目に登録されている内容を更新する。図４に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡは工程番号３と対応する工程の処理を待っている状態（工程番号２と対応する工程での処理は終了している）にあり、ロットＢは工程番号２７と対応する工程で処理されている状態にあり、ロットＣは工程番号１０３と対応する工程の処理を待っている状態（工程番号１０２と対応する工程での処理は終了している）にあり、ロットＸは工程番号１２と対応する工程で処理されている状態にある。
【００３１】
　〔進行状況収集手段１２〕
　進行状況収集手段１２により行なわれる進行状況収集工程について図５を参照しながら説明する。
【００３２】
　まず、ステップＳ１２ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルから現在工程番号、現在ステータス及び処理優先度を抽出する。
【００３３】
　次に、ステップＳ１２ｂにおいて、ステップＳ１２ａで抽出された現在工程番号と第１のロットのロット名とを検索キーとして、図３に示す処理フロー管理テーブルから、第１のロットの現在工程番号以降の処理フロー（プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間）を抽出する。
【００３４】
　次に、ステップＳ１２ｃにおいて、予め準備されているデータベース等から、ＬＳＩ開発試作ラインの諸条件（プロセス装置の台数、プロセス装置の処理能力、及びラインに流すロットの数等）を抽出する。
【００３５】
　次に、ステップＳ１２ｄにおいて、ステップＳ１２ａで抽出された現在工程番号、現在ステータス及び処理優先度と、ステップＳ１２ｂで抽出された処理フローと、ステップＳ１２ｃで抽出されたＬＳＩ開発試作ラインの諸条件等に基づき、ロットスケジューラ等を用いて、第１のロットの処理完了予定日を算出すると共に、算出された処理完了予定日を、図４に示す処理進捗管理テーブルの第１のロットと対応するレコードにおける完了予定日の項目に登録する。
【００３６】
　尚、第１のロットの処理完了予定日の算出に使用するロットスケジューラは特に限定されず、例えば既存のロットスケジューラを用いてもよい。
【００３７】
　また、第１のロットの処理完了予定日を算出するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、又は第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよい。
【００３８】
　〔処理計画抽出手段１３〕
　処理計画抽出手段１３により行なわれる処理計画抽出工程について図６を参照しながら説明する。
【００３９】
　すなわち、ステップＳ１３ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルから完了目標日を抽出する。
【００４０】
　尚、第１のロットの完了目標日を抽出するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、又は進行状況収集手段１２により進行状況収集工程が行なわれたときに行なってもよい。
【００４１】
　〔処理優先度変更手段１４〕
　処理優先度変更手段１４により行なわれる処理優先度変更工程について図７を参照しながら説明する。
【００４２】
　まず、ステップＳ１４ａにおいて、進行状況収集手段１２により算出された第１のロットの処理完了予定日と、処理計画抽出手段１３により抽出された第１のロットの完了目標日とを比較する。このとき、「処理完了予定日」＞「完了目標日」（処理完了予定日が完了目標日よりも後）であれば、第１のロットの進捗は計画よりも遅れていると判断する。また、「処理完了予定日」＜「完了目標日」（処理完了予定日が完了目標日よりも前）であれば、第１のロットの進捗は計画よりも進んでいると判断する。尚、「処理完了予定日」＝「完了目標日」（処理完了予定日と完了目標日とが一致）であれば、処理優先度変更工程をそのまま（何もせずに）終了してもよい。
【００４３】
　「処理完了予定日」＞「完了目標日」である場合、ステップＳ１４ｂにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名を抽出し、抽出された関連ロット名と対応するロット、つまり第１のロットと関連するロットを第２のロットとする。その後、ステップＳ１４ｃにおいて、第２のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を大きくする。すなわち、第２のロットの処理優先度を低くする。このとき、第２のロットの処理優先度を低くする方法は特に限定されず、例えば第１のロットの進捗が計画よりも遅れている日数（「処理完了予定日」−「完了目標日」）に応じて処理優先度を低くしてもよい。具体的には、第１のロットの進捗が計画よりも５日間遅れている場合、図４に示す処理進捗管理テーブルにおける第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録されている数値に５を加算してもよい。
【００４４】
　「処理完了予定日」＜「完了目標日」である場合、ステップＳ１４ｄにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名を抽出し、抽出された関連ロット名と対応するロット、つまり第１のロットと関連するロットを第２のロットとする。その後、ステップＳ１４ｅにおいて、第２のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を小さくする。すなわち、第２のロットの処理優先度を高くする。このとき、第２のロットの処理優先度を高くする方法は特に限定されず、例えば第１のロットの進捗が計画よりも進んでいる日数（「完了目標日」−「処理完了予定日」）に応じて処理優先度を高くしてもよい。具体的には、第１のロットの進捗が計画よりも３日間進んでいる場合、図４に示す処理進捗管理テーブルにおける第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録されている数値から３を減算してもよい。
【００４５】
　次に、ステップＳ１４ｆにおいて、ステップＳ１４ｃ又はＳ１４ｅで変更された第２のロットの処理優先度を、図４に示す処理進捗管理テーブルにおける第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録する。
【００４６】
　尚、ステップＳ１４ｂ又はＳ１４ｄにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名が抽出されなかった場合、すなわち、第１のロットに関連するロットが存在しない場合、処理優先度変更工程をそのまま（何もせずに）終了してもよい。
【００４７】
　また、第２のロットの処理優先度を変更するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、又は進行状況収集手段１２により進行状況収集工程が行なわれたときに行なってもよいし、又は処理計画抽出手段１３により処理計画抽出工程が行なわれたときに行なってもよい。
【００４８】
　以上に説明したように、第１の実施形態によると、進行状況収集手段１２が、処理状況管理手段１１により管理される各ロットに対する処理の状況に基づき、第１のロットに対する処理の進行状況、具体的には処理完了予定日を収集した後、処理優先度変更手段１４が、第１のロットの処理完了予定日が完了目標日よりも遅い場合、第１のロットと関連する第２のロットの処理優先度を低くする一方、第１のロットの処理完了予定日が完了目標日よりも早い場合、第２のロットの処理優先度を高くする。このため、第１のロットの処理完了予定日が完了目標日よりも遅い場合、第２のロットに対する処理を計画よりも遅く進行させることができる一方、第１のロットの処理完了予定日が完了目標日よりも早い場合、第２のロットに対する処理を計画よりも早く進行させることができる。すなわち、第１のロットに対する処理の進行状況に応じて第２のロットの処理優先度を変更するので、第１のロットに対する処理の進行状況にあわせて第２のロットに対する処理の進行状況を制御することができる。また、特定のロットの処理結果を見極めてから、その他のロットの処理条件を検討又は確認する必要があるＬＳＩの開発試作や量産立ち上げ等において、特定のロットに対する処理の進行状況にあわせて、その他のロットに対する処理の進行状況を制御でき、その結果、複数のロットに対する処理を互いに関連づけながら進行させることができる。
【００４９】
　具体的には、例えば、第１のロットの最終的な処理結果又は製造途中の工程での処理結果を、第２のロットの製造途中の工程における処理条件にフィードバックする場合、第１のロットに対する処理の進行状況が予定より早ければ、第２のロットに対する処理の進行状況も予定よりも早めることによって、前述のフィードバックを早期に実施することができる。一方、第１のロットに対する処理の進行状況が予定より遅ければ、第２のロットに対する処理の進行状況を予定よりも遅くしても、前述のフィードバックの実施に支障は生じない。
【００５０】
　また、第２のロットの最終的な処理結果又は製造途中の工程での処理結果を、第１のロットの製造途中の工程における処理条件にフィードバックする場合にも、第１のロットに対する処理の進行状況が予定より早ければ、第２のロットに対する処理の進行状況も予定よりも早めることによって、前述のフィードバックを早期に実施することができる。一方、第１のロットに対する処理の進行状況が予定より遅ければ、第２のロットに対する処理の進行状況を予定よりも遅くしても、前述のフィードバックの実施に支障は生じない。
【００５１】
　尚、第１の実施形態において、処理フロー管理テーブル、又は処理進捗管理テーブルに対するデータの登録、検索又は抽出等の手法は特に限定されないが、ＤＢＭＳ（データベースマネージメントシステム）等に備わるＳＱＬ等を用いて行なってもよい。
【００５２】
　また、第１の実施形態において、処理フロー管理テーブル又は処理進捗管理テーブルはコンピュータの記憶装置上に存在したが、これに代えて、コンピュータがアクセス可能なコンピュータネットワーク上の記憶媒体に存在してもよい。また、処理フロー管理テーブル又は処理進捗管理テーブルを用いる代わりに、それぞれのテーブルと対応するリスト構造を用いてもよい。
【００５３】
　また、第１の実施形態において、処理状況管理手段１１により行なわれる処理状況管理工程で、各ロットの進捗における計画に対する遅れや進みを考慮せずに、各ロットの進捗と関連するロットの名称つまり関連ロット名を登録したが、これに代えて、各ロットの進捗が計画よりも遅れているときの関連ロット名と、各ロットの進捗が計画よりも進んでいるときの関連ロット名とを別々に登録してもよい。この場合、処理優先度変更手段１４により行なわれる処理優先度変更工程で、第１のロットの進捗における計画に対する進み又は遅れに応じて適切な関連ロットを抽出することが好ましい。
【００５４】
　また、第１の実施形態において、処理状況管理手段１１により行なわれる処理状況管理工程で、関連ロット名を固定的に登録したが、これに代えて、仕掛かり途中でのつまり製造途中での各ロットの処理結果や特性に応じて関連ロット名を動的に変更しながら登録してもよい。
【００５５】
　（第１の実施形態の変形例）
　以下、本発明の第１の実施形態の変形例に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置について、図面を参照しながら説明する。
【００５６】
　第１の実施形態の変形例が第１の実施形態と異なっている点は、処理優先度変更手段１４（図１参照）により行なわれる処理優先度変更工程の処理内容であるので、第１の実施形態の変形例における処理優先度変更手段１４により行なわれる処理優先度変更工程について図８を参照しながら説明する。
【００５７】
　まず、第１の実施形態のステップＳ１４ａと同じくステップＳ１４ａ’において、進行状況収集手段１２により算出された第１のロットの処理完了予定日と、処理計画抽出手段１３により抽出された第１のロットの完了目標日とを比較する。このとき、「処理完了予定日」＞「完了目標日」（処理完了予定日が完了目標日よりも後）であれば、第１のロットの進捗は計画よりも遅れていると判断する。また、「処理完了予定日」＜「完了目標日」（処理完了予定日が完了目標日よりも前）であれば、第１のロットの進捗は計画よりも進んでいると判断する。尚、「処理完了予定日」＝「完了目標日」（処理完了予定日と完了目標日とが一致）であれば、処理優先度変更工程をそのまま（何もせずに）終了してもよい。
【００５８】
　「処理完了予定日」＞「完了目標日」である場合、第１の実施形態のステップＳ１４ｂと同じくステップＳ１４ｂ’において、第１のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名を抽出し、抽出された関連ロット名と対応するロット、つまり第１のロットと関連するロットを第２のロットとする。その後、ステップＳ１４ｃ’において、第２のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を小さくする。すなわち、第２のロットの処理優先度を高くする。このとき、第２のロットの処理優先度を高くする方法は特に限定されず、例えば第１のロットの進捗が計画よりも進んでいる日数（「完了目標日」−「処理完了予定日」）に応じて処理優先度を高くしてもよい。具体的には、第１のロットの進捗が計画よりも３日間進んでいる場合、図４に示す処理進捗管理テーブルにおける第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録されている数値から３を減算してもよい。
【００５９】
　「処理完了予定日」＜「完了目標日」である場合、第１の実施形態のステップＳ１４ｄと同じくステップＳ１４ｄ’において、第１のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名を抽出し、抽出された関連ロット名と対応するロット、つまり第１のロットと関連するロットを第２のロットとする。その後、ステップＳ１４ｅ’において、第２のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を大きくする。すなわち、第２のロットの処理優先度を低くする。このとき、第２のロットの処理優先度を低くする方法は特に限定されず、例えば第１のロットの進捗が計画よりも遅れている日数（「処理完了予定日」−「完了目標日」）に応じて処理優先度を低くしてもよい。具体的には、第１のロットの進捗が計画よりも５日間遅れている場合、図４に示す処理進捗管理テーブルにおける第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録されている数値に５を加算してもよい。
【００６０】
　次に、ステップＳ１４ｆ’において、ステップＳ１４ｃ’又はＳ１４ｅ’で変更された第２のロットの処理優先度を、図４に示す処理進捗管理テーブルにおける第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録する。
【００６１】
　尚、ステップＳ１４ｂ’又はＳ１４ｄ’において、第１のロットのロット名を検索キーとして、図４に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名が抽出されなかった場合、すなわち、第１のロットに関連するロットが存在しない場合、処理優先度変更工程をそのまま（何もせずに）終了してもよい。
【００６２】
　また、第２のロットの処理優先度を変更するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、又は進行状況収集手段１２により進行状況収集工程が行なわれたときに行なってもよいし、又は処理計画抽出手段１３により処理計画抽出工程が行なわれたときに行なってもよい。
【００６３】
　以上に説明したように、第１の実施形態の変形例によると、処理優先度変更手段１４が、第１のロットの処理完了予定日が完了目標日よりも遅い場合、第１のロットと関連する第２のロットの処理優先度を高くするため、第２のロットに対する処理を計画よりも早く進行させることができる。すなわち、第１のロットに対する処理の進行状況が計画よりも遅れている場合、言い換えると、第１のロットの完成又は納品が計画よりも遅れる場合、第１のロットと同じ品種の第２のロットの処理優先度を高くすることにより、第２のロットに対する処理の進行状況を早めることができる。従って、第２のロットを早期に完成させることができるので、第１のロットの納品遅れを第２のロットによってカバーすることができる。
【００６４】
　尚、第１の実施形態の変形例において、処理状況管理手段１１により行なわれる処理状況管理工程で、各ロットの進捗が計画よりも遅れているときの関連ロット名と、各ロットの進捗が計画よりも進んでいるときの関連ロット名とを別々に登録する場合には、処理優先度変更手段１４により行なわれる処理優先度変更工程で、第１のロットの進捗における計画に対する進み又は遅れに応じて適切な関連ロットを抽出することが好ましい。
【００６５】
　また、第１の実施形態の変形例において、処理優先度変更手段１４により行なわれる処理優先度変更工程で、第１のロットの処理完了予定日が完了目標日よりも早い場合、第１のロットと関連する第２のロットの処理優先度を低くしたが、これに代えて、第１のロットの処理完了予定日が完了目標日よりも早い場合、第２のロットの処理優先度を変更しなくてもよい。
【００６６】
　（第２の実施形態）
　以下、本発明の第２の実施形態に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置について、ＬＳＩ開発試作ラインにおいて製品に対する処理の進行状況をロット単位でコンピュータにより制御する場合を例として、図面を参照しながら説明する。
【００６７】
　図９は第２の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図を示しており、該製品進行制御装置は、ＬＳＩ開発試作ラインを構成する複数のプロセス装置における各ロットに対する処理の状況を製品処理状況情報として管理する処理状況管理手段２１と、特定のロット（以下、第１のロットと称する）に対して行なわれる工程の一つ（以下、特定工程と称する）が処理終了又は処理開始する時刻を算出する工程終了開始時刻算出手段２２と、第１のロットと関連するロット（以下、第２のロットと称する）を特定する関連製品探索手段２３と、第２のロットに対して行なわれる工程の一つ（以下、関連工程と称する）が工程終了開始時刻算出手段２２により算出された時刻までに処理終了又は処理開始するように第２のロットに対する処理の進行状況を制御する製品進行指示手段２４とを備えている。
【００６８】
　〔処理状況管理手段２１〕
　処理状況管理手段２１により行なわれる処理状況管理工程について図１０を参照しながら説明する。
【００６９】
　まず、ステップＳ２１ａにおいて、第１の実施形態のステップＳ１１ａと同じく図３に示すように、少なくともロット名、工程番号、プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間を項目として持つ処理フロー管理テーブルのレコードに、ＬＳＩ開発試作ラインで流すロット毎にプロセスフロー（ロット名、工程番号、プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間）を登録する。尚、処理フロー管理テーブルの作成場所は特に限定されず、例えばコンピュータの記憶装置上に作成してもよい。
【００７０】
　次に、ステップＳ２１ｂにおいて、図１１に示すように、少なくともロット名、現在工程番号、現在ステータス、特定工程番号、特定工程の処理終了予定時刻、特定工程の処理開始予定時刻、関連ロット名及び関連工程番号を項目として持つ処理進捗管理テーブルに、ＬＳＩ開発試作ラインで流すロット毎にロット名、特定工程番号、関連ロット名及び関連工程番号を登録する。尚、処理進捗管理テーブルの作成場所は特に限定されず、例えばコンピュータの記憶装置上に作成してもよい。
【００７１】
　ここで、関連工程番号とは、ロット名と対応する特定のロットに対する特定工程の処理結果を見極めてから処理を行なう必要があるロット、つまり特定のロットの進捗と関連する関連ロットに対する関連工程の工程番号である。図１１に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡの関連ロット名及び関連工程番号はそれぞれロットＢ及び５８であり、ロットＸの関連ロット名及び関連工程番号はそれぞれロットＹ及び１２４である。
【００７２】
　次に、ステップＳ２１ｃにおいて、各ロットに対して行なわれる各工程の処理開始又は処理終了を示す信号を各プロセス装置から受信する度に、受信された信号と対応するロット名を検索キーとして、図１１に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの現在工程番号及び現在ステータスの項目に登録されている内容を更新する。図１１に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡは工程番号３と対応する工程の処理を待っている状態（工程番号２と対応する工程での処理は終了している）にあり、ロットＢは工程番号２７と対応する工程で処理されている状態にあり、ロットＣは工程番号１０３と対応する工程の処理を待っている状態（工程番号１０２と対応する工程での処理は終了している）にあり、ロットＸは工程番号１２と対応する工程で処理されている状態にある。
【００７３】
　〔工程終了開始時刻算出手段２２〕
　工程終了開始時刻算出手段２２により行なわれる工程終了開始時刻算出工程について図１２を参照しながら説明する。
【００７４】
　まず、ステップＳ２２ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図１１に示す処理進捗管理テーブルから現在工程番号、現在ステータス及び特定工程番号を抽出する。
【００７５】
　次に、ステップＳ２２ｂにおいて、ステップＳ２２ａで抽出された現在工程番号と第１のロットのロット名とを検索キーとして、図３に示す処理フロー管理テーブルから、第１のロットの現在工程番号以降の処理フロー（プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間）を抽出する。
【００７６】
　次に、ステップＳ２２ｃにおいて、予め準備されているデータベース等から、ＬＳＩ開発試作ラインの諸条件を抽出する。
【００７７】
　次に、ステップＳ２２ｄにおいて、ステップＳ２２ａで抽出された現在工程番号、現在ステータス及び特定工程番号と、ステップＳ２２ｂで抽出された処理フローと、ステップＳ２２ｃで抽出されたＬＳＩ開発試作ラインの諸条件等に基づき、ロットスケジューラ等を用いて、第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻を算出する。
【００７８】
　次に、ステップＳ２２ｅにおいて、ステップＳ２２ｄで算出された処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻を、図１１に示す処理進捗管理テーブルの第１のロットと対応するレコードにおける特定工程の処理終了予定時刻の項目又は特定工程の処理開始予定時刻の項目に登録する。図１１に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡに対する特定工程（工程番号１９）の処理終了予定時刻は1999/09/30 14:13であり、ロットＸに対する特定工程（工程番号３８）の処理開始予定時刻は1999/08/20 02:19である。
【００７９】
　尚、第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻の算出に使用するロットスケジューラは特に限定されず、例えば既存のロットスケジューラを用いてもよい。
【００８０】
　また、第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻を算出するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、又は第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよい。
【００８１】
　〔関連製品探索手段２３〕
　関連製品探索手段２３により行なわれる関連製品探索工程について図１３を参照しながら説明する。
【００８２】
　すなわち、ステップＳ２３ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図１１に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名及び関連工程番号を抽出する。このとき、抽出された関連ロット名と対応するロット、つまり第１のロットと関連するロットを第２のロットとする。
【００８３】
　尚、第１のロットの関連ロット及び関連工程を特定するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、又は工程終了開始時刻算出手段２２により工程終了開始時刻算出工程が行なわれたときに行なってもよい。
【００８４】
　〔製品進行指示手段２４〕
　製品進行指示手段２４により行なわれる製品進行指示工程について図１４を参照しながら説明する。
【００８５】
　まず、ステップＳ２４ａにおいて、工程終了開始時刻算出手段２２により算出された第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻までに、関連製品探索手段２３により特定された第２のロットに対する関連工程が処理終了又は処理開始するように、ロットスケジューラを用いて第２のロットの処理スケジュールを作成する。このとき、必要に応じて、第２のロットがその他のロットよりも優先的に処理されるように処理スケジュールを作成する。図１１に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡに対する特定工程（工程番号１９）の処理終了予定時刻1999/09/30 14:13までに、ロットＢに対する関連工程（工程番号５８）が処理終了又は処理開始するように、ロットスケジューラを用いてロットＢの処理スケジュールを作成する。また、ロットＸに対する特定工程（工程番号３８）の処理開始予定時刻1999/08/20 02:19までに、ロットＹに対する関連工程（工程番号１２４）が処理終了又は処理開始するように、ロットスケジューラを用いてロットＹの処理スケジュールを作成する。
【００８６】
　次に、ステップＳ２４ｂにおいて、ステップＳ２４ａで作成された第２のロットの処理スケジュールを、ＬＳＩ開発試作ラインの各プロセス装置に送信する。
【００８７】
　尚、第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻までに第２のロットに対する関連工程が処理終了又は処理開始するように第２のロットの処理スケジュールを作成できない場合には、第２のロットに対する関連工程が処理終了又は処理開始する予定時刻をロットスケジューラを用いて算出して、算出された時刻までに第１のロットに対する特定工程が処理終了又は処理開始するように第１のロットの処理スケジュールを作成した後、該処理スケジュールをＬＳＩ開発試作ラインの各プロセス装置に送信する。
【００８８】
　また、第２のロットの処理スケジュールの作成に使用するロットスケジューラは特に限定されず、例えば既存のロットスケジューラを用いてもよい。
【００８９】
　また、第２のロットの処理スケジュールを作成するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、又は工程終了開始時刻算出手段２２により工程終了開始時刻算出工程が行なわれたときに行なってもよいし、又は関連製品探索手段２３により関連製品探索工程が行なわれたときに行なってもよい。
【００９０】
　以上に説明したように、第２の実施形態によると、工程終了開始時刻算出手段２２が、処理状況管理手段２１により管理される各ロットに対する処理の状況に基づき、第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻を算出した後、製品進行指示手段２４が、算出された処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻までに、第１のロットと関連する第２のロットに対する関連工程が処理終了又は処理開始するように第２のロットに対する処理の進行状況を制御する。このため、第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻にあわせて、第２のロットに対する関連工程を実施することができ、それによって、第１のロットの進捗にあわせて第２のロットの進捗を制御することができる。言い換えると、複数のロットに対する処理を互いに同期を取りながら進行させることができる。また、特定のロットに対して行なわれる一の工程の処理結果を見極めてから、該一の工程と同種の工程をその他のロットに対して行なうときの処理条件を検討又は確認する必要があるＬＳＩの開発試作や量産立ち上げ等において、特定のロットに対する処理の進行状況にあわせて、その他のロットに対する処理の進行状況を制御でき、その結果、複数のロットに対する処理を互いに関連づけながら進行させることができる。
【００９１】
　具体的には、例えば、第２のロットに対する関連工程の処理結果を第１のロットに対する特定工程の処理条件にフィードバックするために、第１のロットに対する特定工程が処理開始するまでに、第２のロットに対する関連工程を処理終了させることができる。
【００９２】
　また、第２のロットに対する関連工程の処理結果を、第１のロットに対して特定工程の次に行なわれる工程の処理条件にフィードバックするために、第１のロットに対する特定工程が処理終了するまでに、第２のロットに対する関連工程を処理終了させることができる。このようにすると、第１のロットに対する処理において特定工程の終了直後に次の工程が処理開始する場合に特に有効である。
【００９３】
　尚、第２の実施形態において、処理フロー管理テーブル、又は処理進捗管理テーブルに対するデータの登録、検索又は抽出等の手法は特に限定されないが、ＤＢＭＳ（データベースマネージメントシステム）等に備わるＳＱＬ等を用いて行なってもよい。
【００９４】
　また、第２の実施形態において、処理フロー管理テーブル又は処理進捗管理テーブルはコンピュータの記憶装置上に存在したが、これに代えて、コンピュータがアクセス可能なコンピュータネットワーク上の記憶媒体に存在してもよい。また、処理フロー管理テーブル又は処理進捗管理テーブルを用いる代わりに、それぞれのテーブルと対応するリスト構造を用いてもよい。
【００９５】
　また、第２の実施形態において、処理状況管理手段２１により行なわれる処理状況管理工程で、特定工程番号、関連ロット名又は関連工程番号を固定的に登録したが、これに代えて、仕掛かり途中での各ロットの処理結果や特性に応じて特定工程番号、関連ロット名又は関連工程番号を動的に変更しながら登録してもよい。
【００９６】
　（第３の実施形態）
　以下、本発明の第３の実施形態に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置について、ＬＳＩ開発試作ラインにおいて製品に対する処理の進行状況をロット単位でコンピュータにより制御する場合を例として、図面を参照しながら説明する。
【００９７】
　図１５は第３の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図を示しており、該製品進行制御装置は、ＬＳＩ開発試作ラインを構成する複数のプロセス装置における各ロットに対する処理の状況を製品処理状況情報として管理する処理状況管理手段３１と、特定のロット（以下、第１のロットと称する）に対して行なわれる工程の一つ（以下、特定工程と称する）が処理終了又は処理開始する時刻を算出する工程終了開始時刻算出手段３２と、特定工程と関連し且つ第２のロットに対して行なわれる工程の一つである関連工程を特定する関連工程探索手段３３と、関連工程が工程終了開始時刻算出手段３２により算出された時刻までに処理開始しないように第２のロットに対する処理の進行状況を制御する製品進行停止手段３４とを備えている。
【００９８】
　〔処理状況管理手段３１〕
　処理状況管理手段３１により行なわれる処理状況管理工程は、第２の実施形態の処理状況管理手段２１により行なわれる処理状況管理工程（図１０参照）と同様であるので、説明を省略する。
【００９９】
　〔工程終了開始時刻算出手段３２〕
　工程終了開始時刻算出手段３２により行なわれる工程終了開始時刻算出工程は、第２の実施形態の工程終了開始時刻算出手段２２により行なわれる工程終了開始時刻算出工程（図１２参照）と同様であるので、説明を省略する。
【０１００】
　〔関連工程探索手段３３〕
　関連工程探索手段３３により行なわれる関連工程探索工程について図１６を参照しながら説明する。
【０１０１】
　すなわち、ステップＳ３３ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図１１に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名及び関連工程番号を抽出する。このとき、抽出された関連ロット名と対応するロット（関連ロット）を第２のロットとする。図１１に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡに対する特定工程（工程番号１９）の関連工程は、ロットＢに対して行なわれる工程番号５８の工程であり、ロットＸに対する特定工程（工程番号３８）の関連工程は、ロットＹに対して行なわれる工程番号１２４の工程である。
【０１０２】
　尚、第１のロットの関連ロット及び関連工程を特定するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、又は工程終了開始時刻算出手段３２により工程終了開始時刻算出工程が行なわれたときに行なってもよい。
【０１０３】
　〔製品進行停止手段３４〕
　製品進行停止手段３４により行なわれる製品進行停止工程について図１７を参照しながら説明する。
【０１０４】
　まず、ステップＳ３４ａにおいて、工程終了開始時刻算出手段３２により算出された第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻までに、関連工程探索手段３３により特定された第２のロットに対する関連工程が処理開始しないように、ロットスケジューラを用いて第２のロットの処理スケジュールを作成する。図１１に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡに対する特定工程（工程番号１９）の処理終了予定時刻1999/09/30 14:13までに、ロットＢに対する関連工程（工程番号５８）が処理開始しないように、ロットスケジューラを用いてロットＢの処理スケジュールを作成する。また、ロットＸに対する特定工程（工程番号３８）の処理開始予定時刻1999/08/20 02:19までに、ロットＹに対する関連工程（工程番号１２４）が処理開始しないように、ロットスケジューラを用いてロットＹの処理スケジュールを作成する。
【０１０５】
　次に、ステップＳ３４ｂにおいて、ステップＳ３４ａで作成された第２のロットの処理スケジュールを、ＬＳＩ開発試作ラインの各プロセス装置に送信する。
【０１０６】
　尚、第２のロットの処理スケジュールを作成する時点で、第２のロットに対して関連工程の直前の工程まで行なわれている場合には、第２のロットに対する処理が中断されるようにロットスケジューラを用いて第２のロットの処理スケジュールを作成してもよいし、又はロットスケジューラを用いることなく、第２のロットに対する処理を直ちに中断するように所定のプロセス装置に指示してもよい。
【０１０７】
　また、第２のロットの処理スケジュールの作成に使用するロットスケジューラは特に限定されず、例えば既存のロットスケジューラを用いてもよい。
【０１０８】
　また、第２のロットの処理スケジュールを作成するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、又は工程終了開始時刻算出手段３２により工程終了開始時刻算出工程が行なわれたときに行なってもよいし、又は関連工程探索手段３３により関連製品探索工程が行なわれたときに行なってもよい。
【０１０９】
　以上に説明したように、第３の実施形態によると、工程終了開始時刻算出手段３２が、処理状況管理手段３１により管理される各ロットに対する処理の状況に基づき、第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻を算出した後、製品進行停止手段３４が、算出された処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻までに、第１のロットに対する特定工程と関連し且つ第２のロットに対して行なわれる関連工程が処理開始しないように第２のロットに対する処理の進行状況を制御する。このため、第１のロットに対する特定工程の処理終了予定時刻又は処理開始予定時刻まで、第２のロットに対する関連工程の実施を停止させることができ、それによって、第１のロットの進捗にあわせて第２のロットの進捗を制御することができる。また、特定のロットに対して行なわれる一の工程の処理結果を見極めてから、該一の工程と同種の工程をその他のロットに対して行なうときの処理条件を検討又は確認する必要があるＬＳＩの開発試作や量産立ち上げ等において、特定のロットに対して行なわれる一の工程が処理終了するまで、その他のロットに対する処理を自動的に中断させることができる。その結果、製品処理を中断させる指示を行なう手間を省くことができると共に、該指示を忘れることに起因して生じるトラブルを防止することができる。
【０１１０】
　具体的には、例えば、第１のロットに対する特定工程の処理結果を第２のロットに対する関連工程の処理条件にフィードバックする必要がある場合、第１のロットに対する特定工程が処理終了するまで、第２のロットに対する関連工程を処理開始させないようにできる。
【０１１１】
　また、第１のロットに対する特定工程における処理中の状態を見ながら第２のロットに対する関連工程の処理条件を設定したり又は変更したりする必要がある場合、第１のロットに対する特定工程が処理開始するまで、第２のロットに対する関連工程を処理開始させないようにできる。
【０１１２】
　尚、第３の実施形態において、処理フロー管理テーブル又は処理進捗管理テーブルに対するデータの登録、検索又は抽出等の手法は特に限定されないが、ＤＢＭＳ（データベースマネージメントシステム）等に備わるＳＱＬ等を用いて行なってもよい。
【０１１３】
　また、第３の実施形態において、処理フロー管理テーブル又は処理進捗管理テーブルはコンピュータの記憶装置上に存在したが、これに代えて、コンピュータがアクセス可能なコンピュータネットワーク上の記憶媒体に存在してもよい。また、処理フロー管理テーブル又は処理進捗管理テーブルを用いる代わりに、それぞれのテーブルと対応するリスト構造を用いてもよい。
【０１１４】
　（第４の実施形態）
　以下、本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置について、ＬＳＩ開発試作ラインにおいて製品に対する処理の進行状況をロット単位でコンピュータにより制御する場合を例として、図面を参照しながら説明する。
【０１１５】
　図１８は第４の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図を示しており、該製品進行制御装置は、ＬＳＩ開発試作ラインを構成する複数のプロセス装置における各ロットに対する処理の状況を製品処理状況情報として管理する処理状況管理手段４１と、ロットの一つ（以下、対象ロットと称する）に対して行なわれる工程の一つ（以下、特定工程と称する）が処理開始する時刻を算出する工程開始時刻算出手段４２と、特定工程を実施するプロセス装置を特定する装置探索手段４３と、算出された時刻にプロセス装置が稼動状態にあるかどうかを検査する装置状態検査手段４４と、算出された時刻にプロセス装置が稼動状態にないと判定された場合、プロセス装置に対して算出された時刻までに立ち上げ又はメンテナンスを完了するように指示する装置立ち上げ指示手段４５とを備えている。
【０１１６】
　〔処理状況管理手段４１〕
　処理状況管理手段４１により行なわれる処理状況管理工程について図１９を参照しながら説明する。
【０１１７】
　まず、ステップＳ４１ａにおいて、第１の実施形態のステップＳ１１ａと同じく図３に示すように、少なくともロット名、工程番号、プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間を項目として持つ処理フロー管理テーブルのレコードに、ＬＳＩ開発試作ラインで流すロット毎にプロセスフロー（ロット名、工程番号、プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間）を登録する。尚、処理フロー管理テーブルの作成場所は特に限定されず、例えばコンピュータの記憶装置上に作成してもよい。
【０１１８】
　次に、ステップＳ４１ｂにおいて、図２０に示すように、少なくともロット名、現在工程番号、現在ステータス、特定工程番号及び特定工程の処理開始予定時刻を項目として持つ処理進捗管理テーブルに、ＬＳＩ開発試作ラインで流すロット毎にロット名及び特定工程番号を登録する。尚、処理進捗管理テーブルの作成場所は特に限定されず、例えばコンピュータの記憶装置上に作成してもよい。
【０１１９】
　次に、ステップＳ４１ｃにおいて、各ロットに対して行なわれる各工程の処理開始又は処理終了を示す信号を各プロセス装置から受信する度に、受信された信号と対応するロット名を検索キーとして、図２０に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの現在工程番号及び現在ステータスの項目に登録されている内容を更新する。図２０に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＡは工程番号３と対応する工程の処理を待っている状態（工程番号２と対応する工程での処理は終了している）にあり、ロットＢは工程番号２７と対応する工程で処理されている状態にあり、ロットＣは工程番号１０３と対応する工程の処理を待っている状態（工程番号１０２と対応する工程での処理は終了している）にあり、ロットＸは工程番号１２と対応する工程で処理されている状態にある。
【０１２０】
　次に、ステップＳ４１ｄにおいて、図２１に示すように、少なくともプロセス装置名及び稼働予定時間帯を項目として持つ装置稼働管理テーブルに、ＬＳＩ開発試作ラインを構成するプロセス装置毎に稼働予定時間帯を登録する。尚、稼働予定時間帯の登録は各プロセス装置の稼働予定時間帯が決定される度に行なうと共に、稼働予定時間帯の変更や取り消し等がある度に稼働予定時間帯の更新も行なう。また、装置稼働管理テーブルの作成場所は特に限定されず、例えばコンピュータの記憶装置上に作成してもよい。
【０１２１】
　〔工程開始時刻算出手段４２〕
　工程開始時刻算出手段４２により行なわれる工程開始時刻算出工程について図２２を参照しながら説明する。
【０１２２】
　まず、ステップＳ４２ａにおいて、対象ロットのロット名を検索キーとして、図２０に示す処理進捗管理テーブルから現在工程番号、現在ステータス及び特定工程番号を抽出する。
【０１２３】
　次に、ステップＳ４２ｂにおいて、ステップＳ４２ａで抽出された現在工程番号と対象ロットのロット名とを検索キーとして、図３に示す処理フロー管理テーブルから、対象ロットの現在工程番号以降の処理フロー（プロセス装置名、処理条件名及び工程所要時間）を抽出する。
【０１２４】
　次に、ステップＳ４２ｃにおいて、予め準備されているデータベース等から、ＬＳＩ開発試作ラインの諸条件を抽出する。
【０１２５】
　次に、ステップＳ４２ｄにおいて、ステップＳ４２ａで抽出された現在工程番号、現在ステータス及び特定工程番号と、ステップＳ４２ｂで抽出された処理フローと、ステップＳ４２ｃで抽出されたＬＳＩ開発試作ラインの諸条件等に基づき、ロットスケジューラ等を用いて、対象ロットに対する特定工程の処理開始予定時刻を算出する。
【０１２６】
　次に、ステップＳ４２ｅにおいて、ステップＳ４２ｄで算出された処理開始予定時刻を、図２０に示す処理進捗管理テーブルの対象ロットと対応するレコードにおける特定工程の処理開始予定時刻の項目に登録する。図２０に示す処理進捗管理テーブルの場合、ロットＸに対する特定工程（工程番号３８）の処理開始予定時刻は1999/08/20 02:19である。
【０１２７】
　尚、対象ロットに対する特定工程の処理開始予定時刻の算出に使用するロットスケジューラは特に限定されず、例えば既存のロットスケジューラを用いてもよい。
【０１２８】
　また、対象ロットに対する特定工程の処理開始予定時刻を算出するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、又は第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよい。
【０１２９】
　〔装置探索手段４３〕
　装置探索手段４３により行なわれる装置探索工程について図２３を参照しながら説明する。
【０１３０】
　まず、ステップＳ４３ａにおいて、対象ロットのロット名を検索キーとして、図２０に示す処理進捗管理テーブルから特定工程番号を抽出する。図２０に示す処理進捗管理テーブルにおいて対象ロットがロットＸである場合、特定工程番号３８が抽出される。
【０１３１】
　次に、ステップＳ４３ｂにおいて、ステップＳ４３ａで抽出された特定工程番号と対象ロットのロット名とを検索キーとして、図３に示す処理フロー管理テーブルからプロセス装置名を抽出する。このとき、抽出されたプロセス装置名と対応するプロセス装置が対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置となる。図３に示す処理フロー管理テーブルにおいて対象ロットがロットＸであり且つ特定工程が工程番号３８の工程である場合、対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置の名称として装置Ｋが抽出される。
【０１３２】
　尚、プロセス装置名を抽出するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、対象ロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、又は工程開始時刻算出手段４２により工程開始時刻算出工程が行なわれたときに行なってもよい。
【０１３３】
　〔装置状態検査手段４４〕
　装置状態検査手段４４により行なわれる装置状態検査工程について図２４を参照しながら説明する。
【０１３４】
　まず、ステップＳ４４ａにおいて、装置探索手段４３により抽出されたプロセス装置名を検索キーとして、図２１に示す装置稼働管理テーブルから稼働予定時間帯を抽出する。
【０１３５】
　次に、ステップＳ４４ｂにおいて、工程開始時刻算出手段４２により算出された処理開始予定時刻、つまり図２０に示す処理進捗管理テーブルの対象ロットと対応するレコードにおける特定工程の処理開始予定時刻の項目に登録された時刻が、ステップＳ４４ａで抽出された稼働予定時間帯に含まれるかどうかを検査する。すなわち、対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置が、該特定工程の処理開始予定時刻において稼働状態（ロットに対して処理を行なえる状態）にあるかどうかを検査する。図２０に示す処理進捗管理テーブルにおいて対象ロットがロットＸである場合、ロットＸに対する特定工程（工程番号３８）の処理開始予定時刻である1999/08/20 02:19は、図２１の装置稼働管理テーブルに示すように、該特定工程を実施する装置Ｋ（図３の処理フロー管理テーブル参照）の稼働予定時間帯に含まれていない。すなわち、該特定工程の処理開始予定時刻において装置Ｋは稼働状態にない。
【０１３６】
　尚、プロセス装置が稼働状態にあるかどうかを検査するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、対象ロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、工程開始時刻算出手段４２により工程開始時刻算出工程が行なわれたときに行なってもよいし、又は装置探索手段４３により装置探索工程が行なわれたときに行なってもよい。
【０１３７】
　〔装置立ち上げ指示手段４５〕
　装置立ち上げ指示手段４５により行なわれる装置立ち上げ指示工程について図２５を参照しながら説明する。
【０１３８】
　まず、ステップＳ４５ａにおいて、装置状態検査手段４４により行なわれた検査結果に基づいて、対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置が該特定工程の処理開始予定時刻に稼働状態にない場合には、ステップＳ４５ｂに進む一方、前記のプロセス装置が前記の処理開始予定時刻に稼働状態にある場合には、装置立ち上げ指示工程をそのまま（何もせずに）終了する。
【０１３９】
　次に、ステップＳ４５ｂにおいて、対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置が該特定工程の処理開始予定時刻までに立ち上げ又はメンテナンスを完了するように、装置稼働スケジューラ等を用いて前記のプロセス装置の装置稼働スケジュールを作成する。図２０に示す処理進捗管理テーブルにおいて対象ロットがロットＸである場合、ロットＸに対する特定工程（工程番号３８）の処理開始予定時刻である1999/08/20 02:19までに、該特定工程を実施する装置Ｋ（図３の処理フロー管理テーブル参照）が立ち上げ又はメンテナンスを完了するように装置稼働スケジュールを作成する。
【０１４０】
　次に、ステップＳ４５ｃにおいて、ステップＳ４５ｂで作成された装置稼働スケジュールを、対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置に送信する。これにより、対象ロットに対する特定工程の処理開始予定時刻までに、該特定工程を実施するプロセス装置を稼動状態にすることができる。
【０１４１】
　尚、装置稼働スケジュールの作成に使用する装置稼働スケジューラは特に限定されず、例えば既存の装置稼働スケジューラを用いてもよい。
【０１４２】
　また、装置稼働スケジュールを作成するタイミングは特に限定されず、例えば一定時間間隔毎に行なってもよいし、第１のロットに対して行なわれる各工程が処理開始若しくは処理終了したときに行なってもよいし、工程開始時刻算出手段４２により工程開始時刻算出工程が行なわれたときに行なってもよいし、装置探索手段４３により装置探索工程が行なわれたときに行なってもよいし、又は装置状態検査手段４４により装置状態検査工程が行なわれたときに行なってもよい。
【０１４３】
　以上に説明したように、第４の実施形態によると、工程開始時刻算出手段４２が、処理状況管理手段４１により管理される各ロットに対する処理の状況に基づき、対象ロットに対する特定工程の処理開始予定時刻を算出した後、装置立ち上げ指示手段４５が、対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置が該特定工程の処理開始予定時刻に稼動状態にない場合、前記のプロセス装置に対して前記の処理開始予定時刻までに立ち上げ又はメンテナンスを完了するように指示する。このため、特定のロットに対して行なわれる一の工程が処理開始する時刻に応じて、該一の工程を実施するプロセス装置に対して稼働指示を行なうことができるので、ロットに対する処理の進行状況にあわせてプロセス装置を稼働制御することができる。すなわち、特定のロットに対して行なわれる一の工程が処理開始するときに、該一の工程を実施するプロセス装置を常に稼働状態に保つことができるので、プロセス装置の未稼動に起因するロット処理の遅れを低減することができる。また、ＬＳＩの開発や試作に用いられる利用頻度が低いプロセス装置をロット処理を行なう時だけ稼働させることができるので、資源（電気、ガス、水、又は薬液等）を節約することができる。
【０１４４】
　尚、第４の実施形態において、処理フロー管理テーブル、処理進捗管理テーブル又は装置稼働管理テーブルに対するデータの登録、検索又は抽出等の手法は特に限定されないが、ＤＢＭＳ（データベースマネージメントシステム）等に備わるＳＱＬ等を用いて行なってもよい。
【０１４５】
　また、第４の実施形態において、処理フロー管理テーブル、処理進捗管理テーブル又は装置稼働管理テーブルはコンピュータの記憶装置上に存在したが、これに代えて、コンピュータがアクセス可能なコンピュータネットワーク上の記憶媒体に存在してもよい。また、処理フロー管理テーブル、処理進捗管理テーブル又は装置稼働管理テーブルを用いる代わりに、それぞれのテーブルと対応するリスト構造を用いてもよい。
【０１４６】
　また、第４の実施形態において、処理状況管理手段４１により行なわれる処理状況管理工程で、特定工程番号を固定的に登録したが、これに代えて、仕掛かり途中での各ロットの処理結果や特性に応じて特定工程番号を動的に変更しながら登録してもよい。
【０１４７】
　また、第４の実施形態において、装置立ち上げ指示手段４５により行なわれる装置立ち上げ指示工程で、装置稼働スケジューラを用いて装置稼働スケジュールを作成することによってプロセス装置を稼動制御したが、これに代えて、装置稼働スケジューラを用いることなくプロセス装置に直接指示を行なうことによってプロセス装置を稼動制御してもよい。
【０１４８】
　また、第４の実施形態において、装置立ち上げ指示手段４５により行なわれる装置立ち上げ指示工程で、対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置が該特定工程の処理開始予定時刻に稼働状態にある場合には、装置立ち上げ指示工程をそのまま終了したが、これに代えて、対象ロットに対する特定工程を実施するプロセス装置に対して該特定工程の処理開始予定時刻までに一旦立ち下げを完了するように指示を行なってもよい。この場合、前記のプロセス装置の立ち下げ完了後、前記のプロセス装置に対して前記の処理開始予定時刻までに立ち上げ又はメンテナンスを完了するように再度指示を行なうことが好ましい。
【０１４９】
　（第５の実施形態）
　以下、本発明の第５の実施形態に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置について、ＬＳＩ開発試作ラインにおいて製品に対する処理の進行状況をロット単位でコンピュータにより制御する場合を例として、図面を参照しながら説明する。
【０１５０】
　図２６は第５の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図を示しており、該製品進行制御装置は、ＬＳＩ開発試作ラインを構成する複数のプロセス装置における各ロットに対する処理の状況を製品処理状況情報として管理する処理状況管理手段５１と、第１のロットと関連する少なくとも１つのロットである第１の関連ロット群を特定する第１の関連製品群探索手段５２と、第２のロットと関連する少なくとも１つのロットである第２の関連ロット群を特定する第２の関連製品群探索手段５３と、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれを構成するロット数を比較する製品数比較手段５４と、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれを構成するロット数の比較結果に基づいて、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更する処理優先度変更手段５５とを備えている。
【０１５１】
　〔処理状況管理手段５１〕
　処理状況管理手段５１により行なわれる処理状況管理工程について図２７を参照しながら説明する。
【０１５２】
　すなわち、ステップＳ５１ａにおいて、図２８に示すように、少なくともロット名、処理優先度、及び関連ロット名を項目として持つ処理進捗管理テーブルに、ロット名、処理優先度（初期値）及び関連ロット名を、ＬＳＩ開発試作ラインで流すロットの数だけ繰り返し登録する。尚、処理進捗管理テーブルの作成場所は特に限定されず、例えばコンピュータの記憶装置上に作成してもよい。
【０１５３】
　ここで、処理優先度とは、対象となるロットに対する処理を他のロットと比べてどの程度優先して行なうかを示す尺度であり、本実施形態においては、処理優先度を表す数値が小さくなるほど他のロットと比べて優先して処理が行なわれること、つまり処理優先度が高いことを意味しているものとする。但し、処理進捗管理テーブルに登録する処理優先度の初期値は特に限定されず、例えばＬＳＩ開発試作ラインに投入する時点でのロットの処理優先度を表す数値を登録してもよい。
【０１５４】
　また、関連ロット名とは、ロット名と対応する特定のロットの処理結果を見極めてから処理を行なう必要があるロット、つまり特定のロットの進捗と関連する関連ロットの名称である。図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、「ロットＡ」の関連ロットは「ロットＢ」及び「ロットＣ」であり、「ロットＣ」の関連ロットは「ロットＦ」、「ロットＨ」及び「ロットＸ」であり、「ロットＸ」の関連ロットは「ロットＹ」であり、「ロットＢ」、「ロットＦ」、「ロットＧ」又は「ロットＹ」と関連するロットは存在していない。
【０１５５】
　〔第１の関連製品群探索手段５２〕
　第１の関連製品群探索手段５２により行なわれる第１の関連製品群探索工程について図２９を参照しながら説明する。
【０１５６】
　すなわち、ステップＳ５２ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名を抽出する。このとき、抽出された関連ロット名のそれぞれと対応するロット、つまり第１のロットと関連する少なくとも１つのロットを第１の関連ロット群とする。図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第１のロットを「ロットＡ」とすれば、第１の関連ロット群は「ロットＢ」及び「ロットＣ」により構成される。
【０１５７】
　尚、第１のロットとしては、処理優先度の変更対象となるロット、又は処理優先度の妥当性の確認対象となるロット等を指定する。
【０１５８】
　また、第１の関連ロット群を特定するタイミングは特に限定されず、例えば所定の時刻に行なってもよいし、一定時間間隔毎に行なってもよいし、又は第１のロットに対して処理優先度の確認や変更の必要性が生じたときに行なってもよい。
【０１５９】
　〔第２の関連製品群探索手段５３〕
　第２の関連製品群探索手段５３により行なわれる第２の関連製品群探索工程について図３０を参照しながら説明する。
【０１６０】
　すなわち、ステップＳ５３ａにおいて、第２のロットのロット名を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルから関連ロット名を抽出する。このとき、抽出された関連ロット名のそれぞれと対応するロット、つまり第２のロットと関連する少なくとも１つのロットを第２の関連ロット群とする。図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第２のロットを「ロットＸ」とすれば、第２の関連ロット群は「ロットＹ」のみにより構成される。
【０１６１】
　尚、第２のロットとしては、処理優先度の変更対象又は処理優先度の妥当性の確認対象となり且つ第１のロットとは異なるロット等を指定する。
【０１６２】
　また、第２の関連ロット群を特定するタイミングは特に限定されず、例えば所定の時刻に行なってもよいし、一定時間間隔毎に行なってもよいし、又は第２のロットに対して処理優先度の確認や変更の必要性が生じたときに行なってもよい。
【０１６３】
　〔製品数比較手段５４〕
　製品数比較手段５４により行なわれる製品数比較工程について図３１を参照しながら説明する。
【０１６４】
　まず、ステップＳ５４ａにおいて、第１の関連製品群探索手段５２により特定された第１の関連ロット群を構成するロット数と、第２の関連製品群探索手段５３により特定された第２の関連ロット群を構成するロット数とを比較する。
【０１６５】
　このとき、「第１の関連ロット群を構成するロット数」＞「第２の関連ロット群を構成するロット数」であれば、ステップＳ５４ｂにおいて、第１のロットに関連するロットの数が第２のロットに関連するロットの数よりも多いと判断する。
【０１６６】
　また、「第１の関連ロット群を構成するロット数」＜「第２の関連ロット群を構成するロット数」であれば、ステップＳ５４ｃにおいて、第２のロットに関連するロットの数が第１のロットに関連するロットの数よりも多いと判断する。
【０１６７】
　尚、「第１の関連ロット群を構成するロット数」＝「第２の関連ロット群を構成するロット数」であれば、後述する処理優先度変更手段５５により行なわれる処理優先度変更工程を行なわずに、そのまま処理を終了してもよい。
【０１６８】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第１のロットを「ロットＡ」とすると共に第２のロットを「ロットＸ」とすれば、第１の関連ロット群を構成するロット数（「ロットＢ」及び「ロットＣ」の２つ）が、第２の関連ロット群を構成するロット数（「ロットＹ」の１つ）よりも多い。
【０１６９】
　〔処理優先度変更手段５５〕
　処理優先度変更手段５５により行なわれる処理優先度変更工程について、引き続き図３１を参照しながら説明する。
【０１７０】
　前述の製品数比較工程のステップＳ５４ｂにおいて、第１のロットに関連するロットの数が第２のロットに関連するロットの数よりも多いと判断された場合、ステップＳ５５ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を小さくする。すなわち、第１のロットの処理優先度を高くする。このとき、第１のロットの処理優先度を高くする方法は特に限定されず、例えば、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値に１／２を乗じてもよい。
【０１７１】
　一方、前述の製品数比較工程のステップＳ５４ｃにおいて、第２のロットに関連するロットの数が第１のロットに関連するロットの数よりも多いと判断された場合、ステップＳ５５ｂにおいて、第２のロットのロット名を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を小さくする。すなわち、第２のロットの処理優先度を高くする。このとき、第２のロットの処理優先度を高くする方法は特に限定されず、例えば、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値に１／２を乗じてもよい。
【０１７２】
　次に、ステップＳ５５ｃにおいて、ステップＳ５５ａ又はＳ５５ｂで変更された第１のロット又は第２のロットの処理優先度を、図２８に示す処理進捗管理テーブルにおける第１のロット又は第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録する。
【０１７３】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合において例えば第１のロットを「ロットＡ」とすると共に第２のロットを「ロットＸ」とすれば、前述のように、第１のロットと関連するロットの数が第２のロットと関連するロットの数よりも多いので、「ロットＡ」の現在の処理優先度を表す「３０」に１／２を乗じた結果つまり「１５」を、処理進捗管理テーブルの該当する項目に新たに登録することにより、「ロットＡ」の処理優先度を高くする。
【０１７４】
　以上に説明したように、第５の実施形態によると、第１の関連製品群探索手段５２が、処理状況管理手段５１により管理される各ロットに対する処理の状況に基づき、第１のロットと関連する第１の関連ロット群を特定すると共に、第２の関連製品群探索手段５３が、各ロットに対する処理の状況に基づき、第２のロットと関連する第２の関連ロット群を特定した後、処理優先度変更手段５５が、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれを構成するロット数の大小関係に基づいて、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更する。このため、関連ロット群を構成するロット数と対応するように各ロットの処理優先度を決定することができる。また、特定のロットに対して行なわれる一の工程の処理結果を見極めてから、該一の工程と同種の工程を特定のロットの関連ロット群に対して行なうときの処理条件を検討又は確認する必要があるＬＳＩの開発試作や量産立ち上げ等において、関連ロット群のロット数が多いロットほど処理優先度を高くすることができる。その結果、処理待ち状態におかれる関連ロットの数又は処理が中断される関連ロットの数を少なくすることができると共に各関連ロットの処理待ち時間を減らすことができるので、ＬＳＩ製品をより短時間で完成させることができる。
【０１７５】
　すなわち、第５の実施形態によると、関連ロット群を構成するロット数の大小が各ロットの処理優先度を決める基準となっているため、関連ロット群のロット数が多いロット（例えば先行ロット）の処理優先度を高くすることによって、該先行ロットに対する処理が早く行なわれるので、該先行ロットの関連ロット群に対する処理も早く行なわれる。その結果、構成ロット数の多い関連ロット群が処理待ち状態におかれたり、該関連ロット群に対する処理が中断されたり、又は該関連ロット群の処理待ち時間が長くなったりする事態を回避することができる。
【０１７６】
　具体的には、例えば、第１のロットの最終的な処理結果又は製造途中の工程での処理結果を第１の関連ロット群の処理条件にフィードバックすると共に第２のロットの最終的な処理結果又は製造途中の工程での処理結果を第２の関連ロット群の処理条件にフィードバックする場合、該フィードバック対象の関連ロット群を構成するロット数の多いロットの処理優先度を上げることによって、構成ロット数の多い関連ロット群における前述のフィードバックの待ち時間をなくしたり又は低減したりすることができる。
【０１７７】
　尚、第５の実施形態において、処理進捗管理テーブルに対するデータの登録、検索又は抽出等の手法は特に限定されないが、ＤＢＭＳ（データベースマネージメントシステム）等に備わるＳＱＬ等を用いて行なってもよい。
【０１７８】
　また、第５の実施形態において、処理進捗管理テーブルはコンピュータの記憶装置上に存在したが、これに代えて、コンピュータがアクセス可能なコンピュータネットワーク上の記憶媒体に存在してもよい。また、処理進捗管理テーブルを用いる代わりに、該テーブルと対応するリスト構造を用いてもよい。
【０１７９】
　また、第５の実施形態において、処理状況管理手段５１により行なわれる処理状況管理工程で、関連ロット名を固定的に登録したが、これに代えて、仕掛かり途中での各ロットの処理結果や特性に応じて関連ロット名を動的に変更しながら登録してもよい。
【０１８０】
　また、第５の実施形態において、処理優先度変更手段５５により行なわれる処理優先度変更工程で第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群のロット数が多いロットの処理優先度を高くしたが、これに代えて、関連ロット群のロット数が少ないロットの処理優先度を低くしてもよい。このとき、処理優先度を低くする方法は特に限定されず、例えば、処理進捗管理テーブルの処理優先度の項目に登録されている数値に２を乗じてもよい。また、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群のロット数が多いロットの処理優先度と、関連ロット群のロット数が少ないロットの処理優先度とを互いに入れ替えてもよい。
【０１８１】
　また、第５の実施形態において、処理優先度変更手段５５により行なわれる処理優先度変更工程で第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群のロット数が多いロットの処理優先度が、関連ロット群のロット数が少ないロットの処理優先度よりも必ず高くなるように、各ロットの処理優先度を変更することが好ましい。このようにすると、関連ロット群のロット数が多いロットが、関連ロット群のロット数が少ないロットよりも必ず優先的に処理されるため、ロット数の多い関連ロット群が処理待ち状態におかれる確率をより一層低くすることができる。
【０１８２】
　また、第５の実施形態において、２つのロットを対象として、それぞれの関連ロット群のロット数の大小関係に基づいて処理優先度の変更を行なったが、これに代えて、３つ以上のロットを対象として、それぞれの関連ロット群のロット数の大小関係に基づいて処理優先度の変更を行なってもよい。
【０１８３】
　また、第５の実施形態において、１つのＬＳＩ開発試作ライン上で複数のロットに対する処理の進行状況を制御したが、これに代えて、複数のＬＳＩ開発試作ライン又はＬＳＩ生産ライン上で複数のロットに対する処理の進行状況を制御してもよい。
【０１８４】
　（第６の実施形態）
　以下、本発明の第６の実施形態に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置について、ＬＳＩ開発試作ラインにおいて製品に対する処理の進行状況をロット単位でコンピュータにより制御する場合を例として、図面を参照しながら説明する。
【０１８５】
　図３２は第６の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図を示しており、該製品進行制御装置は、ＬＳＩ開発試作ラインを構成する複数のプロセス装置における各ロットに対する処理の状況を製品処理状況情報として管理する処理状況管理手段６１と、第１のロットと関連する少なくとも１つのロットである第１の関連ロット群を特定する第１の関連製品群探索手段６２と、第２のロットと関連する少なくとも１つのロットである第２の関連ロット群を特定する第２の関連製品群探索手段６３と、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれの処理優先度を比較する処理優先度比較手段６４と、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれの処理優先度の比較結果に基づいて、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更する処理優先度変更手段６５とを備えている。
【０１８６】
　〔処理状況管理手段６１〕
　処理状況管理手段６１により行なわれる処理状況管理工程は、第５の実施形態の処理状況管理手段５１により行なわれる処理状況管理工程（図２７参照）と同様であるので、説明を省略する。
【０１８７】
　〔第１の関連製品群探索手段６２〕
　第１の関連製品群探索手段６２により行なわれる第１の関連製品群探索工程は、第５の実施形態の第１の関連製品群探索手段５２により行なわれる第１の関連製品群探索工程（図２９参照）と同様であるので、説明を省略する。
【０１８８】
　〔第２の関連製品群探索手段６３〕
　第２の関連製品群探索手段６３により行なわれる第２の関連製品群探索工程は、第５の実施形態の第２の関連製品群探索手段５３により行なわれる第２の関連製品群探索工程（図３０参照）と同様であるので、説明を省略する。
【０１８９】
　〔処理優先度比較手段６４〕
　処理優先度比較手段６４により行なわれる処理優先度比較工程について図３３を参照しながら説明する。
【０１９０】
　まず、ステップＳ６４ａにおいて、第１の関連製品群探索手段６２により特定された第１の関連ロット群のそれぞれのロット名（関連ロット名）を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルから処理優先度を抽出する。このとき、抽出された処理優先度が複数個存在する場合、該複数個の処理優先度の平均値、又は該複数個の処理優先度のうちの最高値（処理優先度を表す数値としては最小値）を第１の関連ロット群の処理優先度とする。
【０１９１】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第１のロットを「ロットＡ」とすれば、第１の関連ロット群は「ロットＢ」及び「ロットＣ」により構成されるので、「ロットＢ」及び「ロットＣ」の処理優先度を表す数値である「６０」及び「４５」が抽出される。従って、「ロットＢ」及び「ロットＣ」の処理優先度の平均値を第１の関連ロット群の処理優先度とする場合、第１の関連ロット群の処理優先度を表す数値は「（６０＋４５）／２」である。
【０１９２】
　次に、ステップＳ６４ｂにおいて、第２の関連製品群探索手段６３により特定された第２の関連ロット群のそれぞれのロット名（関連ロット名）を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルから処理優先度を抽出する。このとき、抽出された処理優先度が複数個存在する場合、該複数個の処理優先度の平均値、又は該複数個の処理優先度のうちの最高値（処理優先度を表す数値としては最小値）を第２の関連ロット群の処理優先度とする。
【０１９３】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第２のロットを「ロットＸ」とすれば、第２の関連ロット群は「ロットＹ」のみにより構成されるので、「ロットＹ」の処理優先度を表す数値である「３０」のみが抽出される。従って、第２の関連ロット群の処理優先度を表す数値は「３０」である。
【０１９４】
　次に、ステップＳ６４ｃにおいて、ステップＳ６４ａで抽出又は算出された第１の関連ロット群の処理優先度と、ステップＳ６４ｂで抽出又は算出された第２の関連ロット群の処理優先度とを比較する。
【０１９５】
　このとき、第１の関連ロット群の処理優先度が第２の関連ロット群の処理優先度よりも高ければ（第１の関連ロット群の処理優先度を表す数値が第２の関連ロット群の処理優先度を表す数値よりも小さければ）、ステップＳ６４ｄにおいて、第１のロットに関連するロットの処理優先度が第２のロットに関連するロットの処理優先度よりも高いと判断する。
【０１９６】
　また、第１の関連ロット群の処理優先度が第２の関連ロット群の処理優先度よりも低ければ（第１の関連ロット群の処理優先度を表す数値が第２の関連ロット群の処理優先度を表す数値よりも大きければ）、ステップＳ６４ｅにおいて、第２のロットに関連するロットの処理優先度が第１のロットに関連するロットの処理優先度よりも高いと判断する。
【０１９７】
　尚、第１の関連ロット群の処理優先度と第２の関連ロット群の処理優先度とが等しければ、後述する処理優先度変更手段６５により行なわれる処理優先度変更工程を行なわずに、そのまま処理を終了してもよい。
【０１９８】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第１のロットを「ロットＡ」とすると共に第２のロットを「ロットＸ」とすれば、前述のように、第１の関連ロット群（「ロットＢ」及び「ロットＣ」）の処理優先度を表す数値は「（６０＋４５）／２」であると共に第２の関連ロット群（「ロットＹ」）の処理優先度を表す数値は「３０」であるので、第２の関連ロット群の処理優先度が第１の関連ロット群の処理優先度よりも高い。
【０１９９】
　〔処理優先度変更手段６５〕
　処理優先度変更手段６５により行なわれる処理優先度変更工程について、引き続き図３３を参照しながら説明する。
【０２００】
　前述の処理優先度比較工程のステップＳ６４ｄにおいて、第１のロットに関連するロットの処理優先度が第２のロットに関連するロットの処理優先度よりも高いと判断された場合、ステップＳ６５ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を小さくする。すなわち、第１のロットの処理優先度を高くする。このとき、第１のロットの処理優先度を高くする方法は特に限定されず、例えば、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値に１／２を乗じてもよい。
【０２０１】
　一方、前述の処理優先度比較工程のステップＳ６４ｅにおいて、第２のロットに関連するロットの処理優先度が第１のロットに関連するロットの処理優先度よりも高いと判断された場合、ステップＳ６５ｂにおいて、第２のロットのロット名を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を小さくする。すなわち、第２のロットの処理優先度を高くする。このとき、第２のロットの処理優先度を高くする方法は特に限定されず、例えば、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値に１／２を乗じてもよい。
【０２０２】
　次に、ステップＳ６５ｃにおいて、ステップＳ６５ａ又はＳ６５ｂで変更された第１のロット又は第２のロットの処理優先度を、図２８に示す処理進捗管理テーブルにおける第１のロット又は第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録する。
【０２０３】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合において例えば第１のロットを「ロットＡ」とすると共に第２のロットを「ロットＸ」とすれば、前述のように、第２のロットと関連するロットの処理優先度が第１のロットと関連するロットの処理優先度よりも高いので、「ロットＸ」の現在の処理優先度を表す「３５」に１／２を乗じた結果つまり「１７．５」を、処理進捗管理テーブルの該当する項目に新たに登録することにより、「ロットＸ」の処理優先度を高くする。
【０２０４】
　以上に説明したように、第６の実施形態によると、第１の関連製品群探索手段６２が、処理状況管理手段６１により管理される各ロットに対する処理の状況に基づき、第１のロットと関連する第１の関連ロット群を特定すると共に、第２の関連製品群探索手段６３が、各ロットに対する処理の状況に基づき、第２のロットと関連する第２の関連ロット群を特定した後、処理優先度変更手段６５が、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれの処理優先度の高低に基づいて、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更する。このため、関連ロット群の処理優先度と対応するように各ロットの処理優先度を決定することができる。また、特定のロットに対して行なわれる一の工程の処理結果を見極めてから、該一の工程と同種の工程を特定のロットの関連ロット群に対して行なうときの処理条件を検討又は確認する必要があるＬＳＩの開発試作や量産立ち上げ等において、関連ロット群の処理優先度が高いロットほど処理優先度を高くすることができる。その結果、処理待ち状態におかれる関連ロットの数又は処理が中断される関連ロットの数を少なくすることができると共に各関連ロットの処理待ち時間を減らすことができるので、ＬＳＩ製品をより短時間で完成させることができる。
【０２０５】
　すなわち、第６の実施形態によると、関連ロット群の処理優先度の高低が各ロットの処理優先度を決める基準となっているため、関連ロット群の処理優先度が高いロット（例えば先行ロット）の処理優先度を高くすることによって、該先行ロットに対する処理が早く行なわれるので、該先行ロットの関連ロット群に対する処理も早く行なわれる。その結果、処理優先度の高い関連ロット群が処理待ち状態におかれたり、該関連ロット群に対する処理が中断されたり、又は該関連ロット群の処理待ち時間が長くなったりする事態を回避することができる。
【０２０６】
　具体的には、例えば、第１のロットの最終的な処理結果又は製造途中の工程での処理結果を第１の関連ロット群の処理条件にフィードバックすると共に第２のロットの最終的な処理結果又は製造途中の工程での処理結果を第２の関連ロット群の処理条件にフィードバックする場合、該フィードバック対象の関連ロット群の処理優先度が高いロットの処理優先度を上げることによって、処理優先度の高い関連ロット群における前述のフィードバックの待ち時間をなくしたり又は低減したりすることができる。
【０２０７】
　尚、第６の実施形態において、処理進捗管理テーブルに対するデータの登録、検索又は抽出等の手法は特に限定されないが、ＤＢＭＳ（データベースマネージメントシステム）等に備わるＳＱＬ等を用いて行なってもよい。
【０２０８】
　また、第６の実施形態において、処理進捗管理テーブルはコンピュータの記憶装置上に存在したが、これに代えて、コンピュータがアクセス可能なコンピュータネットワーク上の記憶媒体に存在してもよい。また、処理進捗管理テーブルを用いる代わりに、該テーブルと対応するリスト構造を用いてもよい。
【０２０９】
　また、第６の実施形態において、処理優先度変更手段６５により行なわれる処理優先度変更工程で第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群の処理優先度が高いロットの処理優先度を高くしたが、これに代えて、関連ロット群の処理優先度が低いロットの処理優先度を低くしてもよい。このとき、処理優先度を低くする方法は特に限定されず、例えば、処理進捗管理テーブルの処理優先度の項目に登録されている数値に２を乗じてもよい。また、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群の処理優先度が高いロットの処理優先度と、関連ロット群の処理優先度が低いロットの処理優先度とを互いに入れ替えてもよい。
【０２１０】
　また、第６の実施形態において、処理優先度変更手段６５により行なわれる処理優先度変更工程で第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群の処理優先度が高いロットの処理優先度が、関連ロット群の処理優先度が低いロットの処理優先度よりも必ず高くなるように、各ロットの処理優先度を変更することが好ましい。このようにすると、関連ロット群の処理優先度が高いロットが、関連ロット群の処理優先度が低いロットよりも必ず優先的に処理されるため、処理優先度の高い関連ロット群が処理待ち状態におかれる確率をより一層低くすることができる。
【０２１１】
　また、第６の実施形態において、２つのロットを対象として、それぞれの関連ロット群の処理優先度の高低に基づいて処理優先度の変更を行なったが、これに代えて、３つ以上のロットを対象として、それぞれの関連ロット群の処理優先度の高低に基づいて処理優先度の変更を行なってもよい。
【０２１２】
　また、第６の実施形態において、１つのＬＳＩ開発試作ライン上で複数のロットに対する処理の進行状況を制御したが、これに代えて、複数のＬＳＩ開発試作ライン又はＬＳＩ生産ライン上で複数のロットに対する処理の進行状況を制御してもよい。
【０２１３】
　（第７の実施形態）
　以下、本発明の第７の実施形態に係る製品進行制御方法及び製品進行制御装置について、ＬＳＩ開発試作ラインにおいて製品に対する処理の進行状況をロット単位でコンピュータにより制御する場合を例として、図面を参照しながら説明する。
【０２１４】
　図３４は第７の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図を示しており、該製品進行制御装置は、ＬＳＩ開発試作ラインを構成する複数のプロセス装置における各ロットに対する処理の状況を製品処理状況情報として管理する処理状況管理手段７１と、第１のロットと関連する少なくとも１つのロットである第１の関連ロット群を特定する第１の関連製品群探索手段７２と、第２のロットと関連する少なくとも１つのロットである第２の関連ロット群を特定する第２の関連製品群探索手段７３と、第１の関連ロット群のロット数及び処理優先度に基づき第１の関連ロット群の重要度を求める第１の重要度算出手段７４と、第２の関連ロット群のロット数及び処理優先度に基づき第２の関連ロット群の重要度を求める第２の重要度算出手段７５と、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれの重要度を比較する重要度比較手段７６と、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれの重要度の比較結果に基づいて、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更する処理優先度変更手段７７とを備えている。
【０２１５】
　〔処理状況管理手段７１〕
　処理状況管理手段７１により行なわれる処理状況管理工程は、第５の実施形態の処理状況管理手段５１により行なわれる処理状況管理工程（図２７参照）と同様であるので、説明を省略する。
【０２１６】
　〔第１の関連製品群探索手段７２〕
　第１の関連製品群探索手段７２により行なわれる第１の関連製品群探索工程は、第５の実施形態の第１の関連製品群探索手段５２により行なわれる第１の関連製品群探索工程（図２９参照）と同様であるので、説明を省略する。
【０２１７】
　〔第２の関連製品群探索手段７３〕
　第２の関連製品群探索手段７３により行なわれる第２の関連製品群探索工程は、第５の実施形態の第２の関連製品群探索手段５３により行なわれる第２の関連製品群探索工程（図３０参照）と同様であるので、説明を省略する。
【０２１８】
　〔第１の重要度算出手段７４〕
　第１の重要度算出手段７４により行なわれる第１の重要度算出工程について図３５を参照しながら説明する。
【０２１９】
　まず、ステップＳ７４ａにおいて、第１の関連製品群探索手段７２により特定された第１の関連ロット群を構成するロット数を抽出する。
【０２２０】
　次に、ステップＳ７４ｂにおいて、第１の関連製品群探索手段７２により特定された第１の関連ロット群のそれぞれのロット名（関連ロット名）を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルから処理優先度を抽出する。
【０２２１】
　次に、ステップＳ７４ｃにおいて、ステップＳ７４ａで抽出された第１の関連ロット群を構成するロット数と、ステップＳ７４ｂで抽出された第１の関連ロット群の処理優先度とに基づいて、第１の関連ロット群の重要度を算出する。
【０２２２】
　第１の関連ロット群の重要度の算出方法は特に限定されないが、例えば処理優先度を３段階（高優先度、中優先度、低優先度）に分けると共にステップＳ７４ａで第１の関連ロット群を構成するロット数を処理優先度の段階別に抽出することにより、
　第１の関連ロット群の重要度　＝　高優先度のロット数　×　５
　　　　　　　　　　　　　　　＋　中優先度のロット数　×　３
　　　　　　　　　　　　　　　＋　低優先度のロット数　×　１
等の計算式を用いて第１の関連ロット群の重要度を算出してもよい。但し、処理優先度は３段階に限らず何段階に分けてもよく、また、各段階の処理優先度のロット数に乗じる係数（前述の計算式の５、３、１等）の値も、処理優先度が高いほど大きい係数になっていれば特に限定されるものではない。
【０２２３】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第１のロットを「ロットＡ」とすれば、第１の関連ロット群は「ロットＢ」及び「ロットＣ」により構成されるので、「ロットＢ」及び「ロットＣ」の処理優先度を表す数値である「６０」及び「４５」が抽出される。このとき、「ロットＢ」の処理優先度を低優先度とすると共に「ロットＣ」の処理優先度を中優先度として、前述の計算式を用いると、
　第１の関連ロット群の重要度
　　＝　１（中優先度のロット数（「ロットＣ」のみ））　×　３
　　＋　１（低優先度のロット数（「ロットＢ」のみ））　×　１　＝　４
となる。
【０２２４】
　〔第２の重要度算出手段７５〕
　第２の重要度算出手段７５により行なわれる第２の重要度算出工程について図３６を参照しながら説明する。
【０２２５】
　まず、ステップＳ７５ａにおいて、第２の関連製品群探索手段７３により特定された第２の関連ロット群を構成するロット数を抽出する。
【０２２６】
　次に、ステップＳ７５ｂにおいて、第２の関連製品群探索手段７３により特定された第２の関連ロット群のそれぞれのロット名（関連ロット名）を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルから処理優先度を抽出する。
【０２２７】
　次に、ステップＳ７５ｃにおいて、ステップＳ７５ａで抽出された第２の関連ロット群を構成するロット数と、ステップＳ７５ｂで抽出された第２の関連ロット群の処理優先度とに基づいて、第２の関連ロット群の重要度を算出する。
【０２２８】
　尚、第２の関連ロット群の重要度の算出方法は、第１の関連ロット群の重要度の算出方法と同様である。
【０２２９】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第２のロットを「ロットＸ」とすれば、第２の関連ロット群は「ロットＹ」のみにより構成されるので、「ロットＹ」の処理優先度を表す数値である「３０」が抽出される。このとき、「ロットＹ」の処理優先度を高優先度として、前述の計算式を用いると、
　第２の関連ロット群の重要度
　　＝　１（高優先度のロット数（「ロットＹ」のみ））　×　５　＝　５
となる。
【０２３０】
　〔重要度比較手段７６〕
　重要度比較手段７６により行なわれる重要度比較工程について図３７を参照しながら説明する。
【０２３１】
　まず、ステップＳ７６ａにおいて、第１の重要度算出手段７４により算出された第１の関連ロット群の重要度と、第２の重要度算出手段７５により算出された第２の関連ロット群の重要度とを比較する。
【０２３２】
　このとき、第１の関連ロット群の重要度が第２の関連ロット群の重要度よりも高ければ（第１の関連ロット群の重要度を表す数値が第２の関連ロット群の重要度を表す数値よりも大きければ）、ステップＳ７６ｂにおいて、第１のロットに関連するロットの重要度が第２のロットに関連するロットの重要度よりも高いと判断する。
【０２３３】
　また、第１の関連ロット群の重要度が第２の関連ロット群の重要度よりも低ければ（第１の関連ロット群の重要度を表す数値が第２の関連ロット群の重要度を表す数値よりも小さければ）、ステップＳ７６ｃにおいて、第２のロットに関連するロットの重要度が第１のロットに関連するロットの重要度よりも高いと判断する。
【０２３４】
　尚、第１の関連ロット群の重要度と第２の関連ロット群の重要度とが等しければ、後述する処理優先度変更手段７７により行なわれる処理優先度変更工程を行なわずに、そのまま処理を終了してもよい。
【０２３５】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合、例えば第１のロットを「ロットＡ」とすると共に第２のロットを「ロットＸ」として前述の計算式を用いれば、第１の関連ロット群（「ロットＢ」及び「ロットＣ」）の重要度を表す数値は「４」であると共に第２の関連ロット群（「ロットＹ」）の重要度を表す数値は「５」であるので、第２の関連ロット群の重要度が第１の関連ロット群の重要度よりも高い。
【０２３６】
　〔処理優先度変更手段７７〕
　処理優先度変更手段７７により行なわれる処理優先度変更工程について、引き続き図３７を参照しながら説明する。
【０２３７】
　前述の重要度比較工程のステップＳ７６ｂにおいて、第１のロットに関連するロットの重要度が第２のロットに関連するロットの重要度よりも高いと判断された場合、ステップＳ７７ａにおいて、第１のロットのロット名を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を小さくする。すなわち、第１のロットの処理優先度を高くする。このとき、第１のロットの処理優先度を高くする方法は特に限定されず、例えば、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値に１／２を乗じてもよい。
【０２３８】
　一方、前述の重要度比較工程のステップＳ７６ｃにおいて、第２のロットに関連するロットの重要度が第１のロットに関連するロットの重要度よりも高いと判断された場合、ステップＳ７７ｂにおいて、第２のロットのロット名を検索キーとして、図２８に示す処理進捗管理テーブルからレコードを抽出して、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値を小さくする。すなわち、第２のロットの処理優先度を高くする。このとき、第２のロットの処理優先度を高くする方法は特に限定されず、例えば、抽出されたレコードの処理優先度の項目に登録されている数値に１／２を乗じてもよい。
【０２３９】
　次に、ステップＳ７７ｃにおいて、ステップＳ７７ａ又はＳ７７ｂで変更された第１のロット又は第２のロットの処理優先度を、図２８に示す処理進捗管理テーブルにおける第１のロット又は第２のロットと対応するレコードの処理優先度の項目に登録する。
【０２４０】
　具体的には、図２８に示す処理進捗管理テーブルの場合において例えば第１のロットを「ロットＡ」とすると共に第２のロットを「ロットＸ」とすれば、前述のように、第２のロットと関連するロットの重要度が第１のロットと関連するロットの重要度よりも高いので、「ロットＸ」の現在の処理優先度を表す「３５」に１／２を乗じた結果つまり「１７．５」を、処理進捗管理テーブルの該当する項目に新たに登録することにより、「ロットＸ」の処理優先度を高くする。
【０２４１】
　以上に説明したように、第７の実施形態によると、第１の関連製品群探索手段７２が、処理状況管理手段７１により管理される各ロットに対する処理の状況に基づき、第１のロットと関連する第１の関連ロット群を特定すると共に、第２の関連製品群探索手段７３が、各ロットに対する処理の状況に基づき、第２のロットと関連する第２の関連ロット群を特定した後、第１の重要度算出手段７４が、第１の関連ロット群のロット数及び処理優先度に基づき第１の関連ロット群の重要度を求めると共に、第２の重要度算出手段７５が、第２の関連ロット群のロット数及び処理優先度に基づき第２の関連ロット群の重要度を求め、その後、処理優先度変更手段７７が、第１の関連ロット群及び第２の関連ロット群のそれぞれの重要度の高低に基づいて、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更する。このため、関連ロット群の重要度、つまり関連ロット群の製品数及び処理優先度と対応するように各ロットの処理優先度を決定することができる。また、特定のロットに対して行なわれる一の工程の処理結果を見極めてから、該一の工程と同種の工程を特定のロットの関連ロット群に対して行なうときの処理条件を検討又は確認する必要があるＬＳＩの開発試作や量産立ち上げ等において、関連ロット群の重要度が高いロットほど処理優先度を高くすることができる。その結果、処理待ち状態におかれる関連ロットの数又は処理が中断される関連ロットの数を少なくすることができると共に各関連ロットの処理待ち時間を減らすことができるので、ＬＳＩ製品をより短時間で完成させることができる。
【０２４２】
　すなわち、第７の実施形態によると、関連ロット群の重要度の高低が各ロットの処理優先度を決める基準となっているため、関連ロット群の重要度が高いロット（例えば先行ロット）の処理優先度を高くすることによって、該先行ロットに対する処理が早く行なわれるので、該先行ロットの関連ロット群に対する処理も早く行なわれる。その結果、重要度の高い関連ロット群が処理待ち状態におかれたり、該関連ロット群に対する処理が中断されたり、又は該関連ロット群の処理待ち時間が長くなったりする事態を回避することができる。
【０２４３】
　具体的には、例えば、第１のロットの最終的な処理結果又は製造途中の工程での処理結果を第１の関連ロット群の処理条件にフィードバックすると共に第２のロットの最終的な処理結果又は製造途中の工程での処理結果を第２の関連ロット群の処理条件にフィードバックする場合、該フィードバック対象の関連ロット群の重要度が高いロットの処理優先度を上げることによって、重要度の高い関連ロット群における前述のフィードバックの待ち時間をなくしたり又は低減したりすることができる。
【０２４４】
　尚、第７の実施形態において、処理進捗管理テーブルに対するデータの登録、検索又は抽出等の手法は特に限定されないが、ＤＢＭＳ（データベースマネージメントシステム）等に備わるＳＱＬ等を用いて行なってもよい。
【０２４５】
　また、第７の実施形態において、処理進捗管理テーブルはコンピュータの記憶装置上に存在したが、これに代えて、コンピュータがアクセス可能なコンピュータネットワーク上の記憶媒体に存在してもよい。また、処理進捗管理テーブルを用いる代わりに、該テーブルと対応するリスト構造を用いてもよい。
【０２４６】
　また、第７の実施形態において、処理優先度変更手段７７により行なわれる処理優先度変更工程で第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群の重要度が高いロットの処理優先度を高くしたが、これに代えて、関連ロット群の重要度が低いロットの処理優先度を低くしてもよい。このとき、処理優先度を低くする方法は特に限定されず、例えば、処理進捗管理テーブルの処理優先度の項目に登録されている数値に２を乗じてもよい。また、第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群の重要度が高いロットの処理優先度と、関連ロット群の重要度が低いロットの処理優先度とを互いに入れ替えてもよい。
【０２４７】
　また、第７の実施形態において、処理優先度変更手段７７により行なわれる処理優先度変更工程で第１のロットの処理優先度又は第２のロットの処理優先度を変更するときに、関連ロット群の重要度が高いロットの処理優先度が、関連ロット群の重要度が低いロットの処理優先度よりも必ず高くなるように、各ロットの処理優先度を変更することが好ましい。このようにすると、関連ロット群の重要度が高いロットが、関連ロット群の重要度が低いロットよりも必ず優先的に処理されるため、重要度の高い関連ロット群が処理待ち状態におかれる確率をより一層低くすることができる。
【０２４８】
　また、第７の実施形態において、２つのロットを対象として、それぞれの関連ロット群の処理優先度の高低に基づいて処理優先度の変更を行なったが、これに代えて、３つ以上のロットを対象として、それぞれの関連ロット群の処理優先度の高低に基づいて処理優先度の変更を行なってもよい。
【０２４９】
　また、第７の実施形態において、１つのＬＳＩ開発試作ライン上で複数のロットに対する処理の進行状況を制御したが、これに代えて、複数のＬＳＩ開発試作ライン又はＬＳＩ生産ライン上で複数のロットに対する処理の進行状況を制御してもよい。
【産業上の利用可能性】
【０２５０】
　以上に説明したように、本発明は、複数の製品に対して複数のプロセス装置により順次処理を行なう生産ラインにおいて各製品に対する処理の進行状況をロット単位で制御する製品進行制御方法及び製品進行制御装置に関し、ＬＳＩの生産や試作を行なうライン等に適用する場合に特に有用である。
【図面の簡単な説明】
【０２５１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る製品進行制御方法における処理状況管理工程の各処理を説明するフロー図である。
【図３】本発明の第１、第２、第３又は第４の実施形態に係る製品進行制御装置及び製品進行制御方法において用いる処理フロー管理テーブルの一例を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る製品進行制御装置及び製品進行制御方法において用いる処理進捗管理テーブルの一例を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る製品進行制御方法における進行状況収集工程の各処理を説明するフロー図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係る製品進行制御方法における処理計画抽出工程の処理を説明するフロー図である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係る製品進行制御方法における処理優先度変更工程の各処理を説明するフロー図である。
【図８】本発明の第１の実施形態の変形例に係る製品進行制御方法における処理優先度変更工程の各処理を説明するフロー図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図である。
【図１０】本発明の第２又は第３の実施形態に係る製品進行制御方法における処理状況管理工程の各処理を説明するフロー図である。
【図１１】本発明の第２又は第３の実施形態に係る製品進行制御装置及び製品進行制御方法において用いる処理進捗管理テーブルの一例を示す図である。
【図１２】本発明の第２又は第３の実施形態に係る製品進行制御方法における工程終了開始時刻算出工程の各処理を説明するフロー図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る製品進行制御方法における関連製品探索工程の処理を説明するフロー図である。
【図１４】本発明の第２の実施形態に係る製品進行制御方法における製品進行指示工程の各処理を説明するフロー図である。
【図１５】本発明の第３の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図である。
【図１６】本発明の第３の実施形態に係る製品進行制御方法における関連工程探索工程の処理を説明するフロー図である。
【図１７】本発明の第３の実施形態に係る製品進行制御方法における製品進行停止工程の各処理を説明するフロー図である。
【図１８】本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図である。
【図１９】本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御方法における処理状況管理工程の各処理を説明するフロー図である。
【図２０】本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御装置及び製品進行制御方法において用いる処理進捗管理テーブルの一例を示す図である。
【図２１】本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御装置及び製品進行制御方法において用いる装置稼働管理テーブルの一例を示す図である。
【図２２】本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御方法における工程開始時刻算出工程の各処理を説明するフロー図である。
【図２３】本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御方法における装置探索工程の各処理を説明するフロー図である。
【図２４】本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御方法における装置状態検査工程の各処理を説明するフロー図である。
【図２５】本発明の第４の実施形態に係る製品進行制御方法における装置立ち上げ指示工程の各処理を説明するフロー図である。
【図２６】本発明の第５の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図である。
【図２７】本発明の第５、第６又は第７の実施形態に係る製品進行制御方法における処理状況管理工程の処理を説明するフロー図である。
【図２８】本発明の第５、第６又は第７の実施形態に係る製品進行制御装置及び製品進行制御方法において用いる処理進捗管理テーブルの一例を示す図である。
【図２９】本発明の第５、第６又は第７の実施形態に係る製品進行制御方法における第１の関連製品群探索工程の処理を説明するフロー図である。
【図３０】本発明の第５、第６又は第７の実施形態に係る製品進行制御方法における第２の関連製品群探索工程の処理を説明するフロー図である。
【図３１】本発明の第５の実施形態に係る製品進行制御方法における製品数比較工程の各処理及び処理優先度変更工程の各処理を説明するフロー図である。
【図３２】本発明の第６の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図である。
【図３３】本発明の第６の実施形態に係る製品進行制御方法における処理優先度比較工程の各処理及び処理優先度変更工程の各処理を説明するフロー図である。
【図３４】本発明の第７の実施形態に係る製品進行制御装置のブロック図である。
【図３５】本発明の第７の実施形態に係る製品進行制御方法における第１の重要度算出工程の各処理を説明するフロー図である。
【図３６】本発明の第７の実施形態に係る製品進行制御方法における第２の重要度算出工程の各処理を説明するフロー図である。
【図３７】本発明の第７の実施形態に係る製品進行制御方法における重要度比較工程の各処理及び処理優先度変更工程の各処理を説明するフロー図である。
【図３８】従来の製品進行制御装置のブロック図である。
【符号の説明】
【０２５２】
　１１　処理状況管理手段
　１２　進行状況収集手段
　１３　処理計画抽出手段
　１４　処理優先度変更手段
　２１　処理状況管理手段
　２２　工程終了開始時刻算出手段
　２３　関連製品探索手段
　２４　製品進行指示手段
　３１　処理状況管理手段
　３２　工程終了開始時刻算出手段
　３３　関連工程探索手段
　３４　製品進行停止手段
　４１　処理状況管理手段
　４２　工程開始時刻算出手段
　４３　装置探索手段
　４４　装置状態検査手段
　４５　装置立ち上げ指示手段
　５１　処理状況管理手段
　５２　第１の関連製品群探索手段
　５３　第２の関連製品群探索手段
　５４　製品数比較手段
　５５　処理優先度変更手段
　６１　処理状況管理手段
　６２　第１の関連製品群探索手段
　６３　第２の関連製品群探索手段
　６４　処理優先度比較手段
　６５　処理優先度変更手段
　７１　処理状況管理手段
　７２　第１の関連製品群探索手段
　７３　第２の関連製品群探索手段
　７４　第１の重要度算出手段
　７５　第２の重要度算出手段
　７６　重要度比較手段
　７７　処理優先度変更手段
【図１】
2004070968.tif 000003
【図２】
2004070968.tif 000004
【図３】
2004070968.tif 000005
【図４】
2004070968.tif 000006
【図５】
2004070968.tif 000007
【図６】
2004070968.tif 000008
【図７】
2004070968.tif 000009
【図８】
2004070968.tif 000010
【図９】
2004070968.tif 000011
【図１０】
2004070968.tif 000012
【図１１】
2004070968.tif 000013
【図１２】
2004070968.tif 000014
【図１３】
2004070968.tif 000015
【図１４】
2004070968.tif 000016
【図１５】
2004070968.tif 000017
【図１６】
2004070968.tif 000018
【図１７】
2004070968.tif 000019
【図１８】
2004070968.tif 000020
【図１９】
2004070968.tif 000021
【図２０】
2004070968.tif 000022
【図２１】
2004070968.tif 000023
【図２２】
2004070968.tif 000024
【図２３】
2004070968.tif 000025
【図２４】
2004070968.tif 000026
【図２５】
2004070968.tif 000027
【図２６】
2004070968.tif 000028
【図２７】
2004070968.tif 000029
【図２８】
2004070968.tif 000030
【図２９】
2004070968.tif 000031
【図３０】
2004070968.tif 000032
【図３１】
2004070968.tif 000033
【図３２】
2004070968.tif 000034
【図３３】
2004070968.tif 000035
【図３４】
2004070968.tif 000036
【図３５】
2004070968.tif 000037
【図３６】
2004070968.tif 000038
【図３７】
2004070968.tif 000039
【図３８】
2004070968.tif 000040