(57)【要約】【課題】基板の品種を変更した際にも速やかに検査が可能となるディスプレイパネル背面板に形成された蛍光体の検査装置を提供することにある。【解決手段】照明手段と、照明手段から液状蛍光体層に照射され反射した光のうち入射光入射角度と略同じ角度で反射した光を主として撮像する撮像手段と、光を反射させる光反射手段と、信号処理手段とを有し、液状蛍光体層と交差する方向へ、基板と照明手段および撮像手段および光反射手段とを相対移動させながら液状蛍光体層毎の反射光量を測定し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状蛍光体層の充填量を測定することを特徴とするディスプレイパネルの検査装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明手段と、照明手段から液状蛍光体層に照射され反射した光のうち入射光入射角度と略同じ角度で反射した光を主として撮像する撮像手段と、光を反射させる光反射手段と、信号処理手段とを有し、液状蛍光体層と交差する方向へ、基板と照明手段および撮像手段および光反射手段とを相対移動させながら液状蛍光体層毎の反射光量を測定し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状蛍光体層の充填量を測定することを特徴とするディスプレイパネルの検査装置。
【請求項２】
光反射手段が厚さ２ｍｍ以上の鏡であることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネルの検査装置。
【請求項３】
光反射手段がピッチ角度調整機能を有することを特徴とする請求項１または２に記載のディスプレイパネルの検査装置。
【請求項４】
該相対移動の方向をＸ方向、該基板面に垂直な方向をＺ方向として、ピッチ角度調整機能の回転中心のＸ軸位置が反射位置より視野位置側、回転中心のＺ軸位置が反射位置と視野位置との延長線上より下側であることを特徴とする請求項３に記載のディスプレイパネルの検査装置。
【請求項５】
該基板面に垂直な方向を中心軸とする角度をヨー角として、光反射手段がヨー角度調整手段を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のディスプレイパネルの検査装置。
【請求項６】
照明手段および撮像手段および光反射手段測定が移動することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のディスプレイパネルの検査装置。
【請求項７】
照明手段がＬＥＤであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のディスプレイパネルの検査装置。
【請求項８】
該相対移動の方向（Ｘ方向）及び該基板面に垂直な方向（Ｚ方向）のいずれに対しても垂直な方向をＹ方向として、Ｙ軸ステージが基板上面より下側にあることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のディスプレイパネルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネルの背面板には、通常、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）用の蛍光体が、ストライプ状に順に繰り返し塗着されているが、各蛍光体が均一に塗着されていなければ、表示の輝度及び色調が不均一となる色ムラが生じたり、あるいは、塗着抜けにより発光状態におかれ得ない暗点が存在する等の不具合が生じる。
【０００２】
このような蛍光体の塗着状態に不具合を持つ背面板を、前面板と張り合わせることを防ぐために、また、塗着状態に不具合が発生した場合、直ちに製造工程の不具合箇所を修正して不良製品を造らないようにするためにも、蛍光体の塗着後速やかに検査を行うことが必要となってくる。
【０００３】
この検査は、照明光を各蛍光体が塗着された背面板に照射し、その反射光をカメラで撮像することによって行われている。たとえば、特許文献１には、背面板の斜め上方から所定の角度でスリット光を背面板に照射し、その正反射光をラインセンサカメラで撮像し検査する方法が開示されている。
【０００４】
しかしながら、この方式の検査方法は製造する基板の品種が変わった際に光学系の条件を変更する必要があるが、特許文献１に開示の方法では条件変更に時間がかかり生産性を低下させていた。すなわち、背面板の隔壁高さ、間隔の関係から、照明照射角度および撮像角度を最適な角度に調整する必要があるが、調整手段として照明手段および撮像手段の位置、高さ、角度を変更する機構しか持たないので、角度が変わる度にこれら３つの調整機構を別々に調整しなければならないためである。
【０００５】
【特許文献１】特願２００１−６１７６０公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、従来技術の上記問題点を解決し、基板の品種を変更した際にも速やかに検査が可能となるディスプレイパネル背面板に形成された蛍光体の検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のディスプレイパネルの検査装置は、照明手段と、照明手段から液状蛍光体層に照射され反射した光のうち入射光入射角度と略同じ角度で反射した光を主として撮像する撮像手段と、光を反射させる光反射手段と、信号処理手段とを有し、液状蛍光体層と交差する方向へ、基板と照明手段および撮像手段および光反射手段とを相対移動させながら液状蛍光体層毎の反射光量を測定し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状蛍光体層の充填量を測定することを特徴とするものである。光反射手段は厚さ２ｍｍ以上の鏡であることが望ましい。また、光反射手段がピッチ角度調整機能を有し、背面板の品種が変わった際にこの機構を用いて光学系の条件を変更することが望ましい。さらに、該相対移動の方向をＸ方向、該基板面に垂直な方向をＺ方向として、ピッチ角度調整機能の回転中心のＸ軸位置が反射位置より視野位置側、回転中心のＺ軸位置が反射位置と視野位置との延長線上より下側であることが望ましい。
【０００８】
該基板面に垂直な方向を中心軸とする角度をヨー角として、光反射手段がヨー角度調整手段をさらに有し、基板の中心軸と進行方向の角度ずれを補正することが望ましい。
【０００９】
本発明に係る検査装置においては、照明手段および撮像手段および光反射手段測定が移動し、固定した背面板を走査する構成とすることもできる。この構成においては、照明手段がＬＥＤであることが特に望ましい。また、照明手段および撮像手段および光反射手段測定を移動させるＹ軸ステージが基板上面より下側にあることが望ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明のディスプレイパネルの検査装置は、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状蛍光体層の充填量を測定するディスプレイパネルの検査装置であって、照明手段と、照明手段から液状蛍光体層に照射され反射した光のうち入射光入射角度と略同じ角度で反射した光を主として撮像する撮像手段と、前記照明手段から照射された光を反射させる光反射手段と、前記反射された光を反射させる光反射手段と、信号処理手段とを有し、液状蛍光体層と交差する方向へ、基板と照明手段および撮像手段および光反射手段とを相対移動させながら液状蛍光体層毎の反射光量を測定し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状蛍光体層の充填量を測定することを特徴とするものである。以下に、本発明の望ましい実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は、本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置を示している。図１において、１は、検査に供されるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略称することもある。）の背面板を示しており、このＰＤＰ背面板１には、図２に示すように、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）用の蛍光体３０５、３０６、３０７がストライプ状に順に繰り返し塗着されている。
【００１２】
プラズマディスプレイパネル３００としては、図３に示すように、背面ガラス基板３０１上に、アドレス電極３０２が配置された誘電体層３０３上に、隔壁３０４間にＲＧＢ蛍光体３０５、３０６、３０７がストライプ状に順に繰り返し塗着されたＰＤＰ背面板１の上方に、表示電極３０９が配置された誘電体層３１０と保護膜３１１が介装された前面板３０８が設けられ、前記蛍光体層と前面板との空間には、放電ガスを封入した構成となっている。
【００１３】
表示電極３０９とアドレス電極３０２との間に印加した電圧により放電ガスがプラズマ化することで紫外線が発生し、それによって選択された位置の蛍光体層が発色され、各蛍光体の発色の組み合わせにより所望の色表示が行われるようになっている。
【００１４】
プラズマは、前記蛍光体層と前面板との空間に発生するが、この空間の形状により、発生する紫外線量が変化、すなわち、表示光量が変化する。つまり、蛍光体形状が不均一であると、色ムラ発生の原因となるため、蛍光体層の形状を均一にし、前記空間の形状を均一に保つ必要がある。
【００１５】
ＰＤＰ背面板１へのＲＧＢ蛍光体３０５、３０６、３０７の塗着方法には、スクリーン印刷、ノズル塗布などがある。スクリーン印刷は、図４に示した側面図のように、まず、所定幅の開口部４０３が、ピッチｐの３倍のピッチで設けられたマスクスクリーン４０２を、ＰＤＰ背面板１に対して位置合わせをし、隔壁間４０４と対向するように配置する。次に、所定発光色の蛍光体とバインダーとを混合した蛍光体ペースト４０５を図４のように開口部から吐出して隔壁間４０４に落とし込む。このとき、蛍光体ペースト４０５として、上述のようにプラズマが発生する空間を設けるために、固形分濃度を１０〜５０％にしたものを用いる。この蛍光体ペーストを開口部からガラス基板側へ吐出するために、スキージを矢印の方向に移動させる。隔壁間の空隙に吐出する蛍光体ペーストの量はスキージの移動速度、角度、押し込み量で調節可能である。
【００１６】
ノズル塗布による方法では、図５に示した側面図のように口金５０１にピッチｐの３倍のピッチで設けられた吐出孔５０３を、ＰＤＰ背面板１に対して位置合わせし隔壁間４０４と対向するように配置する。次に、圧力印加孔５０２から圧力を印加し、吐出孔５０３から蛍光体ペースト４０５を吐出させ隔壁間４０４に落とし込みながら、口金を隔壁間に平行に（図５では紙面奥行き方向に）移動させ、基板全面について蛍光体ペーストを塗着する。なお、使用する蛍光体ペーストは、上述のスクリーン印刷で用いるものと同様である。また、隔壁間の空隙に吐出する蛍光体ペーストの量は印加する圧力により調節可能である。
【００１７】
次に、蛍光体ペースト４０５を乾燥、焼成することで、バインダー成分を除去し、所定の形状の蛍光体層を形成する。図６の（ａ０６１）〜（ａ０６３）に蛍光体ペースト塗着直後のＰＤＰ背面板の断面図を、図６の（ｂ０６１）〜（ｂ０６３）に乾燥、焼成後のＰＤＰ背面板の断面図を示す。この図からわかるように、塗着される蛍光体ペーストの量が変化した場合には、焼成、乾燥後の蛍光体層の形状が変化し、色ムラ、塗着抜け等の欠陥が発生する。塗着される蛍光体ペーストの量が変化する原因としては、スクリーン印刷ではスクリーンの目詰まり、スキージの傷や蛍光体塗布装置の調整不良、ノズル塗布においてはノズル孔の詰まりや印加する圧力の変化が考えられる。これらに起因する欠陥は、一度発生するとその後全ての基板にわたって連続的に発生する連続欠陥となり、収率を大幅に下げる原因となるので、蛍光体ペーストの塗着後速やかに、つまり蛍光体層が液状のうちに検査を行うことが必要となってくる。
【００１８】
ＰＤＰ背面板１へのＲＧＢ蛍光体３０５、３０６、３０７の塗着における上記のような欠陥が、図１に示した検査装置により検査される。再び図１を参照して説明するに、搬送ローラ等を備えた搬送手段２によりＰＤＰ背面板１が搬送され、搬送手段２は駆動制御手段３によって制御される。
【００１９】
搬送手段２の上方には、照明手段４と撮像手段１０が配置されている。搬送手段３は、撮像手段１０の撮像範囲をＰＤＰ背面板１の全幅にわたって走査させるためのもので、ＰＤＰ背面板１を一定速度で搬送する。照明手段４は、光反射手段６を介してＰＤＰ背面板１上に塗着された液状蛍光体層に光を照射し、その正反射光は光反射手段８を介して撮像手段１０に至る。照明手段４としては、ＬＥＤ照明、ハロゲンランプを使用した光ファイバ照明等が使用可能であるが、冷却ファンが不必要で発塵しないという理由からＬＥＤ照明が望ましい。光反射手段６、８としては、鏡面加工した金属反射板、鏡等が使用可能であるが、経時変化が無い鏡が好ましい。しかし、ガラス部分の薄い鏡を使用した場合には、ガラス表面の反射光により撮像する像がぼやけるため、ガラスの厚さは２ｍｍ以上とすることが望ましい。この光反射手段を使用して、照明手段から撮像手段に至るまでの光軸を屈曲させているため、測定ヘッド１４を小さくすることが可能である。
【００２０】
撮像手段１０は、ＰＤＰ背面板１上のある範囲を画素に分割して、その画素ごとの正反射光強度を測定して映像信号に変換し、画像処理装置１１に送信する。これらの撮像手段には、受光素子が一次元に配列されて内蔵されており、蛍光体層の方向に沿って、一次元的に映像を出力できるようになっている。
【００２１】
画像処理装置１１は、液状蛍光体層に発生する欠陥を検出するためのもので、撮像手段１０で撮像された映像信号を入力し、公知の画像処理技術により画像解析を行い欠陥を検出する。すなわち、映像信号を所定の基準値と比較し、基準値との異同に基づき液状蛍光体層の形状の良否を判断する。図７に液状蛍光体層の状態と、撮像手段１０からの映像信号との関係を示す。この図のとおり、７０３ａのように隔壁間の空隙を蛍光体ペーストで埋め尽くした状態、つまり液状蛍光体層の上面が平面となるとき、映像信号は最大となる。この状態より蛍光体ペーストの吐出量が少なくなった場合には、液状蛍光体層の上面は表面張力のため７０２ａのように下に凸の円弧状となる。蛍光体ペーストの吐出量が少なくなる程に円弧の半径が小さくなり映像信号も小さくなっていき、全く蛍光体ペーストがない場合には、映像信号は７０１ｂのように最小値となる。逆に吐出量が多い場合には、７０４ａのように上に凸の円弧状となり映像信号も小さくなる。特に、７０２ａのような状態が標準状態となるように蛍光体ペーストを塗着させると、映像信号の強弱から吐出量が測定できるため望ましい。この場合の液状蛍光体層の上面付近の拡大図を図８に示す。８０１は照明手段からの照射光、８０２は液状蛍光体層の上面での反射位置、８０３は正反射光、θは入反射角、θｋは撮像手段の開口角を示す。この図において、蛍光体ペーストの吐出量が少なくなると反射位置８０２が下に移動することになり、開口角θｋの一部が隔壁に遮られるため、急激に映像信号が小さくなる。入反射角θを大きくすると、隔壁に遮られることは無くなるが、液状蛍光体層上面での反射率が小さくなり十分な映像信号が得られない。このため、許容される吐出量バラツキの下限値に対応する液状蛍光体層の状態で、図８に示すように開口角θｋの下側が隔壁と接触するような入反射角θとする必要がある。つまり、入反射角θは、隔壁高さＨ、隔壁間隔Ｌ、反射位置高さＨｐ、開口角θｋから決定するので、基板の品種毎に変更する必要がある。
【００２２】
このため、特願２００１−６１７６０公報に開示の方法では、品種変更のたびに照明手段および撮像手段の位置、高さ、角度をそれぞれ別々に変更して入反射角θを調整しなければならず、条件変更に時間がかかり生産性を低下させていた。そこで、図１に示すようにピッチ角度調整手段７、９で反射手段６、８の角度を調整するようにすれば、短時間で角度調整を行うことができる。特に、反射手段の角度を調整したときに、反射位置８０２が一定となるようにした場合、特に短時間で調整を行うことが可能である。そのためには、ピッチ角度調整機能の回転中心を図９に示すとおり設定する必要がある。図９を説明すると、設定可能な最大入反射角の時の光軸を８０３ａ、最小入反射角の時の光軸を８０３ｂとし、これらの光軸と撮像手段の光軸８０６とのなす角の中心線８０５ａ、８０５ｂの交点９ａを回転中心とすることで、上述の効果を得ることができる。ピッチ角度調整手段９により、前記交点９ｂを回転中心とするピッチ角度調整機能は、以下の通りである。即ち、角度調整手段９は部材９ｂ、９ｃよりなり、摺動面９ｄに沿って摺動可能とする。そして、部材９ｂを測定ヘッドなどに固定状態とし、摺動面９ｄが交点９ａを中心とする円弧となるように設定しておけば、部材９ｃは交点９ａを中心とする円弧に沿って動くことができ、部材９ｃに固定された反射手段８は交点９ａを中心としてピッチ角の調整が可能となる。又、必要ならば、部材９ｃと反射手段８との取り付け位置や角度も可変的に調整する手段を有していても良い。かかる角度調整手段としては、ゴニオステージが好適である。
【００２３】
なお、図９においては、反射光−撮像手段側に沿って説明したが、これは照射手段−入射光側についても同様である。
【００２４】
なお、設計上の理由で８０５ａと８０５ｂの交点に回転中心を設定できない場合は、ピッチ角度調整機能の回転中心のＸ軸位置が反射位置より視野位置側、回転中心のＺ軸位置が反射位置と視野位置との延長線上より下側であるように設定すれば、ピッチ角度を調整した際にもＰＤＰ背面板上での反射位置の移動が少ないため、短時間で調整を行なうことができる。つまり、図１０に図示する通り７ｂ、９ｂの領域（照射手段の光軸と最大入射角により挟まれた７ａ側領域、撮像手段の光軸と最大反射角により挟まれた９ａ側領域）に設定すれば、他の位置に回転中心がある場合よりも反射位置８０２の移動量を少なくすることが可能である。ただし、反射位置が移動する場合には、照明手段４または撮像手段１０に対して、Ｘ軸方向の移動が可能な調整手段を追加する必要がある。
【００２５】
制御装置１３は、搬送手段３、点灯制御装置５、画像処理装置１１に接続されており、決められた手順に基づいて、搬送手段３の搬送動作、点灯制御装置５を介しての照明手段５の照明強度制御、撮像手段１０および画像処理装置１１による撮像および信号処理動作に対し操作指令を与えるものである。画像処理装置１１には表示装置１２が接続されており、表示装置１２は画像処理装置１１で検出した欠陥情報を表示する。
【００２６】
このように構成されたディスプレイパネルの検査装置においては、上流側の装置からＰＤＰ背面板１が搬送手段３に投入されると、搬送手段３は制御装置１３に背面板投入信号を与え、背面板１の搬送を開始する。制御装置１３は、背面板投入信号が入力されると、点灯制御装置５を作動させ照明手段４から光を照射する。搬送手段３は、背面板１を撮像位置まで搬送すると、内蔵している背面板検知センサ（図示略）から背面板進入信号を制御装置１３に与える。背面板進入信号が入力されると制御装置１３は、画像処理装置１１に画像取り込み開始信号を与え、画像処理装置１１は、撮像手段１０から出力される映像信号の取り込みを開始する。画像処理装置１１は映像信号を記憶し、公知の画像処理技術によりＰＤＰ背面板１に発生する欠陥を検出して、その結果を表示装置１２に表示する。画像処理装置１１は、画像取り込み終了後、制御装置１１に画像取り込み終了信号を与え、制御装置１３は点灯制御装置５を介して照射手段４を停止させる。
【００２７】
特に、本発明において、反射手段の角度を調整したときに反射位置８０２が一定となるよう構成した場合には、角度変更後に行なう、視野位置合わせ、照明手段と撮像手段の軸合わせ、を行なう必要がないため、短時間で調整を行うことが可能である。
【００２８】
さらに、ピッチ角度調整手段７、８による角度調整および撮像手段１０のピント位置調整を制御装置１３を用いて自動的に行うと、手動で調整を行うことなく品種毎に最適な角度で検査を行うことが可能である。
【００２９】
このような検査装置を用いて、ＰＤＰ背面板１に形成されたＲＧＢ蛍光体の塗着状態を検査し、得られた欠陥情報に基づいて、そのＰＤＰ背面板１が良品であるか不良品であるかの判別を行うことができる。また、インラインで検査を行い、得られた欠陥情報に基づいて、蛍光体層の製造条件の修正を直ちに行うことができる。さらに、ＰＤＰ背面板の品種を変更した際にも、速やかに検査機の調整を行うことができる。
【００３０】
なお、本発明では、図２に示したＲ、Ｇ、Ｂ用蛍光体をストライプ状に順に繰り返し塗着したもの以外、たとえば図１１に示すような、格子状の隔壁に塗着された液状蛍光体層の検査にも対応できる。このようなＰＤＰ背面板に蛍光体を塗着すると、塗着直後には格子毎にわずかに蛍光体ペーストの吐出量が異なることがあり検査精度が低下する。このような場合には、格子の長手方向（図１１においては前後方向）に信号を積算することで測定精度を向上させることが可能である。積算処理を行う場合には、格子の長手方向と撮像手段の視野の方向を合わせる必要がある。この２つの方向にずれが生じると液状蛍光体層以外の信号を積算してしまうため、検査精度が低下する。実際の製造設備では、図１２に示すとおりＰＤＰ背面板が傾いた状態で搬送される場合がある。これは、上流装置が搬送手段へ基板を設置する際のずれ、搬送精度が影響するためであり、基板ごとにほぼ同じ傾きで搬送されてくる。このように傾いた基板に対し、信号の積算処理を行なうと検査精度が低下するため、撮像手段の視野を基板の傾きに合わせて調整する必要がある。このため、光反射手段６、８を図１２に示す紙面上で回転させるようなヨー角度調整手段を具備すると、撮像手段の視野の向きを簡単に、しかも短時間で調整することが可能である。
【００３１】
また、本発明の実施形態として、測定ヘッドが１台の場合について説明を行ったが、測定ヘッドを複数台並列に設置することで基板全面を検査することも可能である。大型ディスプレイの場合、液状蛍光体層が長大となり、１台の撮像手段の撮像範囲ではカバーしきれない場合に有効である。なお、ノズル塗布により蛍光体の塗着を行った場合、ノズル孔の詰まり等により欠陥が生じると、詰まりを除去するまで欠陥は連続して発生する。このため、ノズルを移動させながら塗布した最後の部分について全ノズルに対応する蛍光体層の検査を行い、その部分が正常であることを確認すると、基板全面について正常であることが確認できる。このため、ノズル塗布を使用した場合には、測定ヘッドが１台の構成でも工程異常を発見することができる。
【００３２】
図１３は、本発明の別の実施態様を示しており、搬送手段上でＰＤＰ背面板を一時停止させ、測定ヘッド１３をＹ軸ステージ１４にて移動させ、ＰＤＰ背面板１の一部について検査を行うようにした検査装置の例を示している。このような構成にすると検査スペースが狭い場合にも精度の良い検査が可能となる。なお、この構成の場合、測定ヘッド部を往復させる必要があるため、照明手段に光ファイバを使用したものを使用すると、往復時に光ファイバが劣化するのでメンテナンス費用が高い。このため、ＬＥＤ照明を使用すると、このようなメンテ費用が発生せず、さらにＬＥＤ自体の寿命も長いため、低コストで検査ができるので望ましい。また、Ｙ軸ステージを動作させる際には発塵が伴うため、図１３の（ｂ１３）に図示するとおり、Ｙ軸ステージ１４をＰＤＰ背面板より下に配置する構成とすることで、発生した塵がＰＤＰ背面板に付着することを防止できる。なお、発生した塵がＰＤＰ背面板に付着した場合には、最終工程の異物検査等で不良品となる。
【００３３】
【実施例】
図１に示した装置を用いて試験した。照射手段４は白色ＬＥＤを複数個並べたものを使用し、撮像手段１０には、２０４８画素のラインセンサカメラを使用し１画素がＰＤＰ背面板上で５０μｍに対応するようにレンズを選定した。反射手段６、８としては厚さ２ｍｍのガラス板の裏面にアルミを蒸着した鏡を使用し、ピッチ角度調整手段７、９にはゴニオステージを使用し、入反射角は３０度となるよう配置した。なお、ゴニオステージの回転中心は、最小入反射角が２５度、最大入反射角が３５度として上述の方法で設定した。ＰＤＰ背面板１はノズル塗布で蛍光体を塗着させ塗布抜けを含む基板を使用し、ローラーを使用した搬送手段３により５ｍ／ｍｉｎで搬送し、検査を行った。その結果、塗布抜けを精度よく検出できた。
【００３４】
また、入反射角を３５度となる条件で検査を実施するため調整をおこなった。調整はゴニオステージの角度を変更するとともに、撮像手段のピント位置を若干手前に設定するのみで終了した。この条件で検査を行った結果、塗布抜けを精度よく検出できた。
【００３５】
【発明の効果】
本発明は、光を反射させる光反射手段を有し、照明手段から撮像手段に至るまでの光軸を屈曲させるので測定ヘッドを小型化することができる。このため、検査装置を小型化することができ、クリーンルーム等での設置面積を節約できる。
【００３６】
また、光反射手段として厚さ２ｍｍ以上の鏡を使用した場合には、ガラス表面での映り込みがなく精度のよい検査が行える。
【００３７】
また、光反射手段がピッチ角度調整機能を有している場合には、製造するＰＤＰ背面板の品種変更の際にも、短時間で調整を行なうことができるので生産性が向上する。
【００３８】
さらにまた、ピッチ角度調整機能の回転中心のＸ軸位置が反射位置より視野位置側、回転中心のＺ軸位置が反射位置と視野位置との延長線上より下側である場合には、角度を調整した際にもＰＤＰ背面板上での反射位置の移動が少ないため、さらに短時間で調整を行なうことができるので生産性が向上する。
【００３９】
また、光反射手段がヨー角度調整手段をさらに有している場合には、基板の中心軸と進行方向の角度ずれを補正することができるので精度の良い検査が可能となる。
【００４０】
また、測定ヘッドが移動し、固定した背面板を走査する構成とした場合には、検査装置をさらに小型化することができ、クリーンルーム等での設置面積を最小化できる。
【００４１】
さらにまた、照明手段がＬＥＤである場合には、低コストで検査が可能である。
【００４２】
さらにまた、測定ヘッドを移動させるＹ軸ステージが基板上面より下側に設置した場合には、Ｙ軸ステージの動作によって発生した塵がＰＤＰ背面板に付着することがないので、収率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置の概略構成図である。
【図２】プラズマディスプレイパネル背面板の概略平面図である。
【図３】プラズマディスプレイパネルの部分縦断面図である。
【図４】スクリーン印刷によるプラズマディスプレイパネル背面板への蛍光体ペースト塗着の例を示す縦断面図である。
【図５】ノズル塗布によるプラズマディスプレイパネル背面板への蛍光体ペースト塗着の例を示す縦断面図である。
【図６】プラズマディスプレイパネル背面板の蛍光体ペースト塗着工程直後の部分縦断面図（（ａ０６１）〜（ａ０６３））とプラズマディスプレイパネル背面板の乾燥、焼成後の部分縦断面図（（ｂ０６１）〜（ｂ０６３））を対照させた図である。
【図７】液状蛍光体層の状態と、撮像手段からの映像信号との関係を示す図である。
【図８】液状蛍光体層の上面での照明光、反射位置、反射光の位置関係を示す図である。
【図９】ピッチ角度調整機能の回転中心を説明する図である。
【図１０】ピッチ角度調整機能の回転中心を説明する図である。
【図１１】プラズマディスプレイパネル背面板の別の例を示す概略斜視図である。
【図１２】本発明のさらに別の実施形態に係るプラズマディスパネルの検査装置の平面図である。
【図１３】本発明のさらに別の実施形態に係るプラズマディスパネルの検査装置の概略斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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