(57)【要約】【課題】作動液の封入を支障なくかつ比較的安価に行いうるヒートパイプへの作動液封入装置を提供する。【解決手段】作動液注入口を有するヒートパイプのコンテナ１内に作動液を封入する装置である。コンテナ１の作動液注入口に着脱自在に接続されるガス抜き口部１２、および真空排気系に接続される真空引き口部１３を有する非凝縮性ガス回収容器１１を備えている。非凝縮性ガス回収容器１１は、一端が閉鎖されるとともに他端が開口した容器本体１４と、容器本体１４の開口端部に着脱自在に取り付けられかつガス抜き口部１２および真空引き口部１３を有する口部材１５とよりなる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動液注入口を有するヒートパイプのコンテナ内に作動液を封入する装置であって、
コンテナの作動液注入口に着脱自在に接続されるガス抜き口部、および真空排気系に接続される真空引き口部を有する非凝縮性ガス回収容器を備えているヒートパイプへの作動液封入装置。
【請求項２】
非凝縮性ガス回収容器が、一端が閉鎖されるとともに他端が開口した容器本体と、容器本体の開口端部に着脱自在に取り付けられかつガス抜き口部および真空引き口部を有する口部材とよりなる請求項１記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【請求項３】
非凝縮性ガス回収容器内の真空度を検出する真空計を備えている請求項１または２記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【請求項４】
ガス抜き口部を含んで非凝縮性ガス回収容器を外側から加熱する加熱手段を備えている請求項１〜３のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【請求項５】
ガス抜き口部の先端部にワンタッチジョイントの一方のジョイント部材が取り付けられており、このワンタッチジョイントの他方のジョイント部材がコンテナの作動液注入口に取り付けられるようになされている請求項１〜４のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【請求項６】
ガス抜き口部および真空引き口部に開閉弁が設けられている請求項１〜５のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【請求項７】
大気圧下での沸点が５０℃を越えている作動液を、ヒートパイプのコンテナ内に封入するのに用いられる請求項１〜６のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【請求項８】
作動液がＨＦＣ４３１０である請求項７記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【請求項９】
請求項１〜８のうちのいずれかに記載の作動液封入装置を用いて作動液注入口を有するヒートパイプのコンテナ内に作動液を封入する方法であって、
（ａ）作動液注入口からコンテナ内に作動液を注入すること、（ｂ）作動液が注入されたコンテナを加熱すること、（ｃ）作動液封入装置のガス抜き口部をコンテナの作動液注入口に接続すること、（ｄ）真空引き口部を通して作動液封入装置の非凝縮性ガス回収容器内を真空引きし、非凝縮性ガス回収容器内を真空状態に保つこと、（ｅ）コンテナの作動液注入口に作動液封入装置のガス抜き口を接続すること、（ｆ）コンテナ内と内部が真空状態に保たれた非凝縮性ガス回収容器内とを連通状態にすることにより、コンテナ内に存在した非凝縮性ガスを非凝縮性ガス回収容器内に流入させ、さらに作動液を蒸発させて非凝縮性ガスを非凝縮性ガス回収容器内に滞留させるとともに作動液をコンテナ内に残留させること、ならびに（ｇ）コンテナの作動液注入口を封止することを含むヒートパイプへの作動液封入方法。
【請求項１０】
上記（ａ）に引き続いて上記（ｂ）〜（ｅ）を行い、ついで上記（ｆ）の後に上記（ｇ）を行うものであり、上記（ｂ）〜（ｅ）を任意の順序で行う請求項９記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【請求項１１】
コンテナの作動液注入口の封止を、非凝縮性ガスとガス状作動液との境界部分で行う請求項９または１０記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【請求項１２】
上記（ｆ）を行う際に、ガス抜き口部を含んで非凝縮性ガス回収容器を外側から加熱する請求項９〜１１のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【請求項１３】
コンテナの内容積をＶ０、封入すべき作動液の体積をＶ１、非凝縮性ガス回収容器の内容積をＶ２、作動液封入時の外気温をＴ０、コンテナの加熱温度をＴ１（＞Ｔ０）、温度Ｔ０のときの外気圧をＰ０、温度Ｔ１のときの作動液の蒸気圧をＰ１とした場合、Ｖ２≧｛（Ｔ１・Ｐ０）／（Ｔ０・Ｐ１）｝・（Ｖ０−Ｖ１）という関係を満足させる請求項９〜１２のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【請求項１４】
大気圧下での沸点が５０℃を越えている作動液を用いる請求項９〜１３のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【請求項１５】
作動液がＨＦＣ４３１０である請求項１４記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【請求項１６】
請求項９〜１５のうちのいずれかに記載の方法によりコンテナ内に作動液が封入され、内部に非凝縮性ガスが残留していないヒートパイプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はヒートパイプへの作動液封入装置およびこれを用いた作動液封入方法に関する。
【０００２】
この明細書において、「アルミニウム」という用語には、純アルミニウムの他にアルミニウム合金を含むものとする。
【０００３】
【従来の技術】
ヒートパイプにおいては、そのコンテナ内部にＮ２、Ｏ２、ＣＯ２などの非凝縮性ガスが残留していないことが要求される。
【０００４】
従来、コンテナ内に非凝縮性ガスが残留しないように作動液を封入する方法として、たとえば次の３つ方法が知られている。
【０００５】
▲１▼作動液注入口からコンテナ内に作動液を注入した後、コンテナの作動液注入口に非凝縮性ガス回収容器を接続し、ついでコンテナを加熱して作動液を蒸発させることによりコンテナ内の非凝縮性ガスを非凝縮性ガス回収容器内に流入させて滞留させ、その後コンテナの作動液注入口を封止する方法（特許文献１参照）。
【０００６】
▲２▼コンテナに、作動液注入口、非凝縮性ガス排出口および非凝縮性ガス排出口に連なった非凝縮性ガス回収容器を設けておき、作動液注入口からコンテナ内に作動液を注入した後作動液注入口を封止し、ついでコンテナを加熱して作動液を蒸発させることによりコンテナ内の非凝縮性ガスを非凝縮性ガス排出口から非凝縮性ガス回収容器内に流入させて滞留させ、その後コンテナの非凝縮性ガス排出口を封止する方法（特許文献２参照）。
【０００７】
▲３▼コンテナ内に、作動液投入口から氷結した作動液を入れた後、コンテナ内を真空引きし、この状態で作動液投入口を封止する方法（特許文献３参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−１８８５９号公報（特許請求の範囲）
【０００９】
【特許文献２】
特開２０００−１８８６０号公報（特許請求の範囲）
【００１０】
【特許文献３】
特開２０００−２４９４８２号公報（特許請求の範囲）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の作動液封入方法によれば、次のような問題があることが判明した。
【００１２】
特許文献１および２に記載された方法によれば、コンテナの加熱は作動液蒸気圧が大気圧の２〜３倍になるような高温で行う必要があるため、大気圧下での沸点が高い作動液を用いる場合に問題が生じることがある。すなわち、上記加熱を安定して行うために、加熱源として一般に温水が用いられるが、作動液沸点が大気圧下で５０℃を越える場合には温水の温度を９０℃以上にする必要があり、作業者の火傷の危険があるとともに、水蒸気による設備トラブル対策が必要になる。また、コンテナがアルミニウム製の場合、その表面に水和皮膜による変色が発生して外観上問題になったり、コンテナが劣化したりする。
【００１３】
また、特許文献３に記載された方法によれば、作動液を氷結させるためにコストが高くなる。
【００１４】
この発明の目的は、上記問題を解決し、作動液の封入を支障なくかつ比較的安価に行いうるヒートパイプへの作動液封入装置およびこれを用いた作動液封入方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を解決するために次の手段からなる。
【００１６】
１）作動液注入口を有するヒートパイプのコンテナ内に作動液を封入する装置であって、コンテナの作動液注入口に着脱自在に接続されるガス抜き口部、および真空排気系に接続される真空引き口部を有する非凝縮性ガス回収容器を備えているヒートパイプへの作動液封入装置。
【００１７】
２）非凝縮性ガス回収容器が、一端が閉鎖されるとともに他端が開口した容器本体と、容器本体の開口端部に着脱自在に取り付けられかつガス抜き口部および真空引き口部を有する口部材とよりなる上記１）記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【００１８】
３）非凝縮性ガス回収容器内の真空度を検出する真空計を備えている上記１）または２）記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【００１９】
４）ガス抜き口部を含んで非凝縮性ガス回収容器を外側から加熱する加熱手段を備えている上記１）〜３）のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【００２０】
５）ガス抜き口部の先端部にワンタッチジョイントの一方のジョイント部材が取り付けられており、このワンタッチジョイントの他方のジョイント部材がコンテナの作動液注入口に取り付けられるようになされている上記１）〜４）のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【００２１】
６）ガス抜き口部および真空引き口部に開閉弁が設けられている上記１）〜５）のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【００２２】
７）大気圧下での沸点が５０℃を越えている作動液を、ヒートパイプのコンテナ内に封入するのに用いられる上記１）〜６）のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【００２３】
８）作動液がＨＦＣ４３１０である上記７）記載のヒートパイプへの作動液封入装置。
【００２４】
９）上記１）〜８）のうちのいずれかに記載の作動液封入装置を用いて作動液注入口を有するヒートパイプのコンテナ内に作動液を封入する方法であって、（ａ）作動液注入口からコンテナ内に作動液を注入すること、（ｂ）作動液が注入されたコンテナを加熱すること、（ｃ）作動液封入装置のガス抜き口部をコンテナの作動液注入口に接続すること、（ｄ）真空引き口部を通して作動液封入装置の非凝縮性ガス回収容器内を真空引きし、非凝縮性ガス回収容器内を真空状態に保つこと、（ｅ）コンテナの作動液注入口に作動液封入装置のガス抜き口を接続すること、（ｆ）コンテナ内と内部が真空状態に保たれた非凝縮性ガス回収容器内とを連通状態にすることにより、コンテナ内に存在した非凝縮性ガスを非凝縮性ガス回収容器内に流入させ、さらに作動液を蒸発させて非凝縮性ガスを非凝縮性ガス回収容器内に滞留させるとともに作動液をコンテナ内に残留させること、ならびに（ｇ）コンテナの作動液注入口を封止することを含むヒートパイプへの作動液封入方法。
【００２５】
１０）上記（ａ）に引き続いて上記（ｂ）〜（ｅ）を行い、ついで上記（ｆ）の後に上記（ｇ）を行うものであり、上記（ｂ）〜（ｅ）を任意の順序で行う上記９）記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【００２６】
１１）コンテナの作動液注入口の封止を、非凝縮性ガスとガス状作動液との境界部分で行う上記９）または１０）記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【００２７】
１２）上記（ｆ）を行う際に、ガス抜き口部を含んで非凝縮性ガス回収容器を外側から加熱する上記９）〜１１）のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【００２８】
１３）コンテナの内容積をＶ０、封入すべき作動液の体積をＶ１、非凝縮性ガス回収容器の内容積をＶ２、作動液封入時の外気温をＴ０、コンテナの加熱温度をＴ１（＞Ｔ０）、温度Ｔ０のときの外気圧をＰ０、温度Ｔ１のときの作動液の蒸気圧をＰ１とした場合、Ｖ２≧｛（Ｔ１・Ｐ０）／（Ｔ０・Ｐ１）｝・（Ｖ０−Ｖ１）という関係を満足させる上記９）〜１２）のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【００２９】
１４）大気圧下での沸点が５０℃を越えている作動液を用いる上記９）〜１３）のうちのいずれかに記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【００３０】
１５）作動液がＨＦＣ４３１０である請求項１４記載のヒートパイプへの作動液封入方法。
【００３１】
１６）上記９）〜１５）のうちのいずれかに記載の方法によりコンテナ内に作動液が封入され、内部に非凝縮性ガスが残留していないヒートパイプ。
【００３２】
【発明の実施形態】
以下、この発明の実施形態を、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、図面の上下、左右をそれぞれ上下、左右というものとする。
【００３３】
図１は作動液を封入すべきコンテナを示し、図２はこの発明による作動液封入装置を示し、図３は作動液封入装置を用いたヒートパイプへの作動液封入方法を示す。
【００３４】
まず、作動流体を封入すべきヒートパイプのコンテナについて、図１を参照して説明する。
【００３５】
図１に示すように、コンテナ（１）は、互いに圧着された２枚の金属板、たとえばアルミニウム板からなる略Ｌ字状の基板（２）を備えている。基板（２）を形成する２枚のアルミニウム板間には、基板（２）の水平部（２ａ）の右端部から垂直部（２ｂ）の上端部に至る略Ｌ字状のループ状中空状作動液封入部（３）が形成されている。また、基板（２）の垂直部（２ｂ）に連なって上方突出部（２ｃ）が一体に形成されており、基板（２）には、作動液封入部（３）の上端水平部に連なって上方に伸びかつ上方突出部（２ｃ）の上縁に開口した中空状作動液注入部（４）が形成されている。作動液注入部（４）の上部は円形に拡管され、これにより作動液注入口（５）が形成されている。作動液封入部（３）および作動液注入部（４）は、少なくともいずれか一方のアルミニウム板を外方に膨出させることにより形成されている。なお、作動液封入部（３）のパターンは、図１に示すものに限らず、適宜変更可能である。
【００３６】
コンテナ（１）は、２枚のアルミニウム板の合わせ面のうち少なくとも一方の面に圧着防止剤を所定パターンに印刷し、この状態で２枚のアルミニウム板を圧着して非圧着部を有する合わせ板をつくり、合わせ板の非圧着部に流体圧を導入して作動液封入部（３）および作動液注入部（４）を一挙に形成する、いわゆるロールボンド法によって製造される。
【００３７】
図２に示すように、作動液封入装置（１０）は、コンテナ（１）の作動液注入口（５）に着脱自在に接続されるガス抜き口部（１２）、および真空排気系に接続される真空引き口部（１３）有する非凝縮性ガス回収容器（１１）を備えている。
【００３８】
非凝縮性ガス回収容器（１１）は、上端が閉鎖されるとともに下端が開口した容器本体（１４）と、容器本体（１４）の開口端部に着脱自在に取り付けられかつ下方を向いたガス抜き口部（１２）および右方を向いた真空引き口部（１３）有する口部材（１５）とよりなる。口部材（１５）には、非凝縮性ガス回収容器（１１）内の真空度を検出する真空計（１６）が取り付けられている。ガス抜き口部（１２）には第１電磁バルブ（１７）（開閉弁）が、真空引き口部（１３）には第２電磁バルブ（１８）（開閉弁）がそれぞれ設けられている。また、ガス抜き口部（１２）の先端部には、ワンタッチジョイントの一方のジョイント部材（１９）が取り付けられており、このワンタッチジョイントの他方のジョイント部材（２０）がコンテナ（１）の作動液注入口（５）に取り付けられている（図３参照）。真空引き口部（１３）には、真空排気系の排気管（２１）が接続されている。また、作動液封入装置（１０）は、ガス抜き口部（１２）を含んで非凝縮性ガス回収容器（１１）を外側から加熱するヒータ（２２）（加熱手段）を備えている。なお、真空計（１６）、両電磁バルブ（１７）（１８）、真空排気系の真空ポンプ（図示略）およびヒータ（２２）は、それぞれ図示しない制御装置に接続されている。
【００３９】
次に、図３を参照して作動流体封入装置を用いてのヒートパイプのコンテナ（１）内への作動液封入方法について説明する。
【００４０】
まず、作動液注入口（５）から作動液注入部（４）を通して、作動液封入部（３）内に所定量の作動液、たとえばＨＦＣ４３１０を注入する。ついで、コンテナ（１）の下部を、貯湯槽（２５）に入れられた５５〜６０℃の温水（２６）内に浸漬する。ついで、コンテナ（１）の作動液注入口（５）に取り付けられたジョイント部材（２０）および作動液封入装置（１０）のガス抜き口部（１２）に取り付けられたジョイント部材（１９）を利用してガス抜き口部（１２）を作動液注入口（５）に接続する。
【００４１】
ついで、ガス抜き口部（１２）の第１電磁バルブ（１７）を閉じるとともに真空引き口部（１３）の第２電磁バルブ（１８）を開き、真空排気系の真空ポンプにより、排気管（２１）を通して非凝縮性ガス回収容器（１１）内を真空引きし、−０．５ｋＰａ以下の真空度にする。
【００４２】
ここで、コンテナ（１）の内容積をＶ０、封入すべき作動液の体積をＶ１、非凝縮性ガス回収容器（１１）の内容積をＶ２、作動液封入時の外気温をＴ０、コンテナ（１）の加熱温度をＴ１（＞Ｔ０）、温度Ｔ０のときの外気圧をＰ０、温度Ｔ１のときの作動液の蒸気圧をＰ１とした場合、Ｖ２≧｛（Ｔ１・Ｐ０）／（Ｔ０・Ｐ１）｝・（Ｖ０−Ｖ１）という関係を満足させる。
【００４３】
ついで、第２電磁バルブ（１８）を閉じるとともに第１電磁バルブ（１７）を開き、コンテナ（１）の作動液封入部（３）内と内部が真空状態に保たれた非凝縮性ガス回収容器（１１）内とを連通状態にする。すると、コンテナ（１）内に存在したＮ２、Ｏ２、ＣＯ２などの非凝縮性ガスが非凝縮性ガス回収容器（１１）内に流入するとともに、作動液が蒸発する。なお、作動液が蒸発することにより、作動液中に溶存していた非凝縮性ガスも非凝縮性ガス回収容器（１１）内に流入する。このとき、非凝縮性ガス回収容器（１１）内およびコンテナ（１）内の圧力は大気圧よりも低くなるので、作動液は大気圧下での沸点よりも低温で蒸発する。
【００４４】
作動液が蒸発すると、作動液は、作動液封入部（３）の温水（２６）に浸漬された部分で蒸発し、ガス状作動液が作動液注入部（４）の上端部に至り、ここで液化して流下するというヒートサイクルを行い、これにより非凝縮性ガス回収容器（１１）内の非凝縮性ガスのコンテナ（１）内への逆流が阻止される。その結果、作動液注入部（４）の上端部に、非凝縮性ガスと作動液との境界が形成される（図３鎖線参照）。
【００４５】
また、コンテナ（１）の作動液封入部（３）内と非凝縮性ガス回収容器（１１）内とを連通状態にする際に、ヒータ（２２）によりガス抜き口部（１２）を含んで非凝縮性ガス回収容器（１１）を外側から加熱する。この加熱温度は、作動液封入部（３）および非凝縮性ガス回収容器（１１）内の圧力下での作動液の沸点よりも高くする。
【００４６】
ついで、作動液注入部（４）を上記境界部分で線状に圧壊して仮封止した後、作動液封入装置（１０）を取り外し、さらに作動液注入部（４）全体および作動液注入口（５）を圧壊するとともに作動液注入口（５）を溶接などによって密閉することにより本封止する。こうして、ヒートパイプのコンテナ（１）内へ作動液が封入される。
【００４７】
【発明の効果】
上記１）の作動液封入装置によれば、（ａ）作動液注入口からコンテナ内に作動液を注入すること、（ｂ）作動液が注入されたコンテナを加熱すること、（ｃ）作動液封入装置のガス抜き口部をコンテナの作動液注入口に接続すること、（ｄ）真空引き口部を通して作動液封入装置の非凝縮性ガス回収容器内を真空引きし、非凝縮性ガス回収容器内を真空状態に保つこと、（ｅ）コンテナの作動液注入口に作動液封入装置のガス抜き口を接続すること、（ｆ）コンテナ内と内部が真空状態に保たれた非凝縮性ガス回収容器内とを連通状態にすることにより、コンテナ内に存在した非凝縮性ガスを非凝縮性ガス回収容器内に流入させ、さらに作動液を蒸発させて非凝縮性ガスを非凝縮性ガス回収容器内に滞留させるとともに作動液をコンテナ内に残留させること、ならびに（ｇ）コンテナの作動液注入口を封止することを含む方法により、ヒートパイプのコンテナ内へ作動液を封入することができる。
【００４８】
そして、作動液が蒸発する際には、コンテナ内と非凝縮性ガス回収容器内とが連通状態となって圧力が低下しているので、作動液の沸点が低くなる。したがって、大気圧下での沸点が高い作動液であっても、比較的低い温度で蒸発させることができ、加熱源として温水を用いた場合にも、その温度を特許文献１および２に記載された方法の場合よりも低くできる。その結果、作業者の火傷の危険がなくなるとともに、水蒸気による設備トラブル対策が不要になる。また、温水の温度が比較的低いので、コンテナがアルミニウム製の場合であっても、その表面に水和皮膜による変色が発生したり、コンテナが劣化したりすることを防止することができる。しかも、加熱温度が低温になると、作動液封入作業を比較的短時間で行うことができる。また、作動液がコンテナ外に流出したとしてもその量は極微量になるので、コンテナ内への作動液の封入量が安定する。しかも、特許文献３に記載された方法に比較してコストが安くなる。
【００４９】
上記２）の作動液封入装置によれば、種々の内容積を有する容器本体を用意しておき、作動液を封入すべきヒートパイプのコンテナの内容積が変更になった場合には、コンテナの内容積に応じた内容積を有する容器本体に交換することにより、作動液の封入を支障なく行うことができる。
【００５０】
上記３）の作動液封入装置によれば、非凝縮性ガス回収容器内の真空度を、ヒートパイプのコンテナの内容積および封入する作動液の種類に応じて適切なものにすることができる。
【００５１】
上記４）の作動液封入装置によれば、加熱手段により、ガス抜き口部を含んで非凝縮性ガス回収容器を外側から加熱することにより、作動液のコンテナ内からの流出を確実に防止することができる。
【００５２】
上記５）の作動液封入装置によれば、コンテナの作動液注入口の着脱作業を簡単に行うことができる。
【００５３】
上記６）の作動液封入装置によれば、真空引き口部を通して作動液封入装置の非凝縮性ガス回収容器内を真空引きし、非凝縮性ガス回収容器内を真空状態に保つこと、およびコンテナ内と内部が真空状態に保たれた非凝縮性ガス回収容器内とを連通状態にすることを簡単に行いうる。
【００５４】
上記９）および１０）の作動液封入方法によれば、上記１）で述べたような効果を奏する。
【００５５】
上記１１）の作動液封入方法によれば、非凝縮性ガスのコンテナ内への再流入を確実に防止することができる。
【００５６】
上記１２）の作動液封入方法によれば、上記４）で述べたような効果を奏する。
【００５７】
上記１３）の作動液封入方法によれば、種々の内容積を有するコンテナ内に、非凝縮性ガスを残留させることなく作動液を封入することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】作動液を封入すべきコンテナを示す斜視図である。
【図２】この発明による作動液封入装置を示す正面図である。
【図３】作動液封入装置を用いたヒートパイプへの作動液封入方法を示す図である。
【符号の説明】
（１）：コンテナ
（５）：作動液注入口
（１０）：作動液封入装置
（１１）：非凝縮性ガス回収容器
（１２）：ガス抜き口部
（１３）：真空引き口部
（１４）：容器本体
（１５）：口部材
（１６）：真空計
（１７）（１８）：電磁バルブ（開閉弁）
（１９）（２０）：ジョイント部材
（２２）：ヒータ（加熱手段）
【図１】
2004239466.tif 000003
【図２】
2004239466.tif 000004
【図３】
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