(57)【要約】【課題】機械的な移動を要することなく、高速かつ容易に、光透過率が連続的に変化する調光機能を備え、調光及び調光量制御のための電気エネルギーを大幅に低減した窓を提供する。【解決手段】本調光窓は、磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備することを特徴とする。具体的には、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び磁気光学効果を有する層を介して偏光子層を設けるとともに、該透明支持体の他方の面上に偏光子層を設けた構成とする。【選択図】　　　図１
2004003134.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備することを特徴とする調光窓。
【請求項２】
磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び磁気光学効果を有する層を介して偏光子層を設けるとともに、該透明支持体の他方の面上に偏光子層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
【請求項３】
磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び偏光子の機能を有しかつ磁気光学効果を有する層を設けるとともに、該透明支持体の他方の面上に偏光子層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
【請求項４】
磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び磁気光学効果を有する層を介して偏光変換層を設けるとともに、該透明支持体の他方の面上に偏光子層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
【請求項５】
磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び周期溝構造中に磁性体を配置してなる磁気光学効果を有する層を介して偏光子層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
【請求項６】
磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び周期溝構造中に磁性体を配置してなる磁気光学効果を有する層を介して偏光変換層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
【請求項７】
該透明支持体は、透明窓本体であることを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載の調光窓。
【請求項８】
該透明支持体は、プラスチックフィルムであり、該光学素子は、透明窓本体に貼り付けられていることを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載の調光窓。
【請求項９】
該磁気光学効果を有する層は、透明磁性材料からなることを特徴とする請求項２〜８のいずれかに記載の調光窓。
【請求項１０】
該透明磁気材料は、無機磁性材料であることを特徴とする請求項９に記載の調光窓。
【請求項１１】
該無機磁性材料が下記一般式で表される希土類鉄ガーネットであることを特徴とする請求項１０に記載の調光窓。
Ｒ３−ｘＡｘＦｅ５−ｙＢｙＯ１２
（式中、０．２＜ｘ＜３、０≦ｙ＜５であり、
Ｒは希土類金属で、Ｙ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ及びＬｕのうちの少なくとも一種以上であり、
ＡはＢｉ、Ｃｅ、Ｐｂ、Ｃａ及びＰｔのうちの少なくとも一種以上であり、
ＢはＡｌ、Ｇａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｃ、Ｉｎ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｃｏ、Ｆｅ（ＩＩ）、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｌｉ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｚｒ、Ｔｉの少なくとも一種以上である）
【請求項１２】
該透明磁性材料は、有機磁性材料であることを特徴とする請求項９に記載の調光窓。
【請求項１３】
該磁気光学効果を有する層は、複数の誘電体膜と複数の磁性体膜からなる透明複合膜であることを特徴とする請求項２〜８のいずれかに記載の調光窓。
【請求項１４】
該透明複合膜は、誘電体膜をＧ、磁性体膜をＭとしたとき、｛（ＧＭ）ｎ（ＭＧ）ｎ｝ｍなる層構成であることを特徴とする請求項１３に記載の調光窓。
【請求項１５】
窓の表面側に透明保護層が設けられていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載の調光窓。
【請求項１６】
該透明保護層は、剥離可能なものであることを特徴とする請求項１５に記載の調光窓。
【請求項１７】
該透明支持体は、着色された透明体であることを特徴とする請求項２〜１６のいずれかに記載の調光窓。
【請求項１８】
窓の光入射側に、別のガラス板を貼り合わせたことを特徴とする請求項１〜１７のいずれかに記載の調光窓。
【請求項１９】
該マイクロ磁気ヘッドアレイを駆動するための電流を供給するための太陽電池を設けたことを特徴とする請求項１〜１８のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２０】
該マイクロ磁気ヘッドアレイに対する電気配線は、すべて光に透明な層からなることを特徴とする請求項１〜１９のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２１】
該マイクロ磁気ヘッドアレイに対する給電を選択的に行うことができることを特徴とする請求項１〜２０のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２２】
すべてのマイクロ磁気ヘッドアレイを直列に接続したことを特徴とする請求項１〜２１のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２３】
マイクロ磁気ヘッドアレイの配列をＸ方向とＹ方向の別々の配線としたことを特徴とする請求項１〜２１のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２４】
マイクロ磁気ヘッドアレイの磁気ヘッドが直線状であることを特徴とする請求項１〜２１のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２５】
マイクロ磁気ヘッドアレイの磁気ヘッドがコイル状であることを特徴とする請求項１〜２１のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２６】
外光量の強度を検知する光センサーを設け、該光センサーからの信号出力に基づき透過光量を制御するようにしたことを特徴とする請求項１〜２５のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２７】
該磁気光学効果を有する層を補助加熱する手段を設けたことを特徴とする請求項１〜２６のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２８】
自動車の窓に使用される請求項１〜２７のいずれかに記載の調光窓。
【請求項２９】
ビルや工場等の建造物の窓に使用される請求項１〜２７のいずれかに記載の調光窓。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、外光を取りこんだり、遮断したりする自動車や建造物等の窓に関し、さらに詳しくは、磁気光学効果を有する層を利用した新規な調光機能を有する窓（調光窓）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ビルや工場等の建造物の窓ガラスには、通常、外部から見えないようにするために、シャッターやカーテン等の別体の手段が取り付けられている。このシャッターやカーテンは一般的に光遮蔽物を機械的に移動させて、光を透過させたり、遮断したりして用いられる。また、自動車の窓ガラスにおける光遮蔽についても同様な手段が採られていた。
【０００３】
一方、ビルの窓ガラスや自動車の窓ガラスを別体のものを取り付けて全面に覆うことなく、しかも完全に遮蔽する方法としては、これまで以下の方法が試みられてきた。
▲１▼安価なフィルム偏光子２枚を窓ガラスに取り付けて機械的に回転させて、光を透過、遮断する方法。
▲２▼上記偏光子を回す代わりに、中間に液晶板を用いて電気的に光を透過、遮断する方法。
▲３▼エレクトロ・クロミズムの技術を利用する方法。例えば、窓ガラスにＷＯ３やＮｉＯ２の薄膜及び上下透明電極を設けて、上下透明電極から数Ｖの電圧を印加して着色させ、透過光量を制御しようとする技術である。
【０００４】
しかしながら、上記のような従来技術には次のような問題点があった。
まず、▲１▼の方法では、光量の調整すなわち調光は可能であるが、偏光子を機械的に回転させるには窓寸法以上の大きな回転用空間必要である。特に偏光子を用いるために、最大の光透過率が５０％ときわめて低いことが欠点である。
▲２▼の方法では、回転用空間を必要とせず、電気的に比較的高速度で遮断できる点では改善されているが、依然、上記低光透過率の課題を解決していない。また光を遮断しておくには電圧を掛け続けていなければならない。更にはガラスとガラスの間に正確に間隔を保持して液晶を封入せねばならず、大面積化は困難であった。
▲３▼のエレクトロ・クロミズムを利用した方法では、▲１▼▲２▼の技術よりも光利用効率は高く、改善されている。しかしこの方法には多くの欠点があった。たとえば以下の通りである。
１）ＷＯ３は着色すると青色になる。ＮｉＯ２は茶褐色になる。この着色により光を遮蔽するが、この着色は窓として必ずしも好ましくなかった。
２）着色により透過光量を下げるためには、絶えず電圧を印加しつづけなければならない。また大面積の場合には、大電力が必要となり、実用的ではなかった。
３）光シャッターとして、全開の場合でも７０％程度であり、全閉の場合でも２０％程度の光が透過した。すなわち光量制御の幅が不充分で、特に全閉でも２０％透過することは大きな実用上の欠点であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来技術の問題点を解消し、以下のような調光窓を提供することをその課題とする。
（１）機械的な移動を要することなく、高速かつ容易に、光透過率が連続的に変化する調光機能を備えた窓を得る。
（２）５０％以上の近い高い光透過率と、０％に近い光透過率（高光遮蔽）との間を無段階で変化可能とする調光機能を備えた窓を得る。
（３）窓ガラスに貼り付けるだけですぐれた調光機能を有し、かつ交換などのメンテナンスが容易な窓を得る。
（４）調光及び調光量制御のための電気エネルギーを大幅に低減した窓を得る。
（５）大面積で、軽量で、しかも破損しにくい調光機能を備えた窓を得る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、上記課題は下記の技術的手段の採用により解決される。
（１）磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備することを特徴とする調光窓。
（２）磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び磁気光学効果を有する層を介して偏光子層を設けるとともに、該透明支持体の他方の面上に偏光子層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
（３）磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び偏光子の機能を有しかつ磁気光学効果を有する層を設けるとともに、該透明支持体の他方の面上に偏光子層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
（４）磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び磁気光学効果を有する層を介して偏光変換層を設けるとともに、該透明支持体の他方の面上に偏光子層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
（５）磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び周期溝構造中に磁性体を配置してなる磁気光学効果を有する層を介して偏光子層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
（６）磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子本体に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備し、該光学素子は、透明支持体の一方の面上に、透明なマイクロ磁気ヘッドアレイ及び周期溝構造中に磁性体を配置してなる磁気光学効果を有する層を介して偏光変換層を設けたものであることを特徴とする調光窓。
（７）該透明支持体は、透明窓本体であることを特徴とする前記（２）〜（６）のいずれかに記載の調光窓。
（８）該透明支持体は、プラスチックフィルムであり、該光学素子は、透明窓本体に貼り付けられていることを特徴とする前記（２）〜（６）のいずれかに記載の調光窓。
（９）該磁気光学効果を有する層は、透明磁性材料からなることを特徴とする前記（２）〜（８）のいずれかに記載の調光窓。
（１０）該透明磁性材料は、無機磁性材料であることを特徴とする前記（９）に記載の調光窓。
（１１）該無機磁性材料が下記一般式で表される希土類鉄ガーネットであることを特徴とする前記（１０）に記載の調光窓。
Ｒ３−ｘＡｘＦｅ５−ｙＢｙＯ１２
（式中、０．２＜ｘ＜３、０≦ｙ＜５であり、
Ｒは希土類金属で、Ｙ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ及びＬｕのうちの少なくとも一種以上であり、
ＡはＢｉ、Ｃｅ、Ｐｂ、Ｃａ及びＰｔのうちの少なくとも一種以上であり、
ＢはＡｌ、Ｇａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｃ、Ｉｎ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｃｏ、Ｆｅ（ＩＩ）、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｌｉ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｚｒ、Ｔｉの少なくとも一種以上である）
（１２）該透明磁性材料は、有機磁性材料であることを特徴とする前記（９）に記載の調光窓。
（１３）該磁気光学効果を有する層は、複数の誘電体膜と複数の磁性体膜からなる透明複合膜であることを特徴とする前記（２）〜（８）のいずれかに記載の調光窓。
（１４）該透明複合膜は、誘電体膜をＧ、磁性体膜をＭとしたとき、｛（ＧＭ）ｎ（ＭＧ）ｎ｝ｍなる層構成であることを特徴とする前記（１３）に記載の調光窓。
（１５）窓の表面側に透明保護層が設けられていることを特徴とする前記（１）〜（１４）のいずれかに記載の調光窓。
（１６）該透明保護層は、剥離可能なものであることを特徴とする前記（１５）に記載の調光窓。
（１７）該透明支持体は、着色された透明体であることを特徴とする前記（２）〜（１６）のいずれかに記載の調光窓。
（１８）窓の光入射側に、別のガラス板を貼り合わせたことを特徴とする前記（１）〜（１７）のいずれかに記載の調光窓。
（１９）該マイクロ磁気ヘッドアレイを駆動するための電流を供給するための太陽電池を設けたことを特徴とする前記（１）〜（１８）のいずれかに記載の調光窓。
（２０）該マイクロ磁気ヘッドアレイに対する電気配線は、すべて光に透明な層からなることを特徴とする前記（１）〜（１９）のいずれかに記載の調光窓。
（２１）該マイクロ磁気ヘッドアレイに対する給電を選択的に行うことができることを特徴とする前記（１）〜（２０）のいずれかに記載の調光窓。
（２２）すべてのマイクロ磁気ヘッドアレイを直列に接続したことを特徴とする前記（１）〜（２１）のいずれかに記載の調光窓。
（２３）マイクロ磁気ヘッドアレイの配列をＸ方向とＹ方向の別々の配線としたことを特徴とする前記（１）〜（２１）のいずれかに記載の調光窓。
（２４）マイクロ磁気ヘッドアレイの磁気ヘッドが直線状であることを特徴とする前記（１）〜（２１）のいずれかに記載の調光窓。
（２５）マイクロ磁気ヘッドアレイの磁気ヘッドがコイル状であることを特徴とする前記（１）〜（２１）のいずれかに記載の調光窓。
（２６）外光量の強度を検知する光センサーを設け、該光センサーからの信号出力に基づき透過光量を制御するようにしたことを特徴とする前記（１）〜（２５）のいずれかに記載の調光窓。
（２７）該磁気光学効果を有する層を補助加熱する手段を設けたことを特徴とする前記（１）〜（２６）のいずれかに記載の調光窓。
（２８）自動車の窓に使用される前記（１）〜（２７）のいずれかに記載の調光窓。
（２９）ビルや工場等の建造物の窓に使用される前記（１）〜（２７）のいずれかに記載の調光窓。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の調光機能を有する窓（調光窓）は、基本的に、磁界の印加により光透過率が変化する光学素子本体と、該光学素子に磁界を印加する透明なマイクロ磁気ヘッドアレイからなる光学素子を具備することを特徴とする。すなわち、透明な磁気ヘッドアレイの磁界の印加により、高い光透過率の状態と低い光透過率の状態（光遮蔽状態）とを繰り返し変化させることができるものである。高光透過率の状態と低光透過率の状態は２段階、複数段階、無段階とすることができる。
【０００８】
本発明による典型的な調光窓の構成例を図１に示す。この調光窓は、透明支持体の一方の面上に、透明マイクロ磁気ヘッドアレイ、磁気光学効果（ファラデー効果）を有する層、偏光子層を設けるとともに、該透明支持体の他方の面上に偏光子層を設けた構成となっている。主な光の方向を図中に矢印で示した。本例では、室外側は他方の面上に設けた偏光子層側である。
本発明では、磁気光学効果を有する層が偏光子の機能を有する場合には、偏光子層は１層のみ（窓の室内側の偏光子層のみ）とすることができる。
また、本発明では、図２に示すように、偏光子層の代わりに偏光変換層を設けた構成とすることもできる。この場合、偏光変換層は外光の側、すなわち窓の室外側に設けることが望ましい。本発明において、偏光変換層とは、円偏光をＳ及びＰ偏光に分離した後、一方を変換してＳ又はＰ偏光のみにして利用できるようにする機能を有した層のことをいう。
さらに、本発明によれば、図３に示すように、磁気光学効果を有する層を、周期溝構造中に磁性体を配置してなる層とすることができる。この場合、この磁気光学効果を有する層は、偏光子の機能を具備するので、図１における窓の室内側の偏光子を設けなくてもよい。溝の周期Ｐ（ランドＬとスペースＳ）を可視光波長４００ｎｍ以下、好ましくは５０〜４００ｎｍの寸法とし、そこに磁性体を配置すると透過光が回折せず、その形態から偏光子の機能を有する。また、高い透明性と高い磁気光学効果が同時に得られるため好ましい。溝の高さＨは５ｎｍから１μｍ程度が好ましい。周期構造は必ずしも矩形でなく、波型などでも構わない。
【０００９】
本発明の調光窓では、室外から入射する円偏光は、偏光子層（又は偏光変換層）を通過した後、直線偏光Ｐ（又はＳのどちらか）となる。磁気光学効果を有する層に透明マイクロ磁気ヘッドアレイにより磁界を印加すると、その層は磁化又は消磁される。そして、室外から入射する円の磁化の状態に依存して、直線偏光の偏光面を回転させる。回転した直線偏光はつぎに配設された偏光子を通過したり、通過できなかったりするために、光の透過率が異なることになる（このため、室内側偏光子はこの偏光面を持った光が通過するようにあらかじめ偏光軸が所定方向を向くように設定されている）。
【００１０】
ここで、本発明による調光の原理を室外側から、偏光変換層／磁気光学効果を有する層／透明マイクロ磁気ヘッドアレイ／透明支持体／偏光子層とした構成例により説明する。
本構成例では、室外から入射する円偏光は、偏光変換層を通過した後、直線偏光Ｐ（又はＳのどちらか）となる。この直線偏光は、透明マイクロ磁気ヘッドアレイで磁化された磁気光学効果を有する層を通過することにより、その偏光面が回転する。偏光面が回転した直線偏光は次に配設された偏光子層を通過できないために（できないように偏光変換層と偏光子層の偏光軸を前以て合わせておく）、遮光効果が働く。磁気光学効果を有する層が磁化されていない場合には（消磁された場合又は逆方向に磁化した場合にも同様になるように、偏光変換層と偏光子層の偏光軸を前以て合わせておいても良い）直線偏光はそのまま透明マイクロ磁気ヘッドを通過し、さらに偏光子層を通過する。
【００１１】
なお磁気光学効果を有する層の磁化の強さは、透明マイクロ磁気ヘッドアレイに流される電流値によって変化させることができる。このため直線偏光の回転角を変化させることができ、透過する光量を連続的にあるいは任意に制御させることができる。また調光方法としては、マイクロ磁気ヘッドアレイ中のヘッドの選択により、すなわち透過するヘッドと遮断するヘッドを選択して、全体の光透過率を制御することも可能である。もちろん、上記の両者の手法を併せて利用することも可能である。
【００１２】
本構成例では、偏光変換層で偏光変換された光はほぼＰ偏光に変換されるので、最大の透過光量は１００％に近い値となる。このことは従来技術で述べた技術に比べて、大きく改善された点である。また磁気光学効果を有する層で９０度回転させられた直線偏光は（必ずしも９０度でなくても良いが）、偏光子を通過することができずにほぼ０％の透過率となる。
室内の光は原理的に調光窓を逆にもどることが困難であるので、室内の光を外に逃がすことが少ない。偏光変換層の代わりに偏光子を用いれば、若干透過効率が低下するものの、室内の光を外部へ逃がすことができるようになる。なお、本構成例の説明では、室外から室内への光について説明するが、必ずしもこのような使用ばかりではなく、偏光変換層側から強いランプ光を照射する場合に、光シャッターとして用いるようなケースにも本構成例は適用可能である。
【００１３】
通常の窓ガラスのように外からも中からも相互に見えるようにするには、前述したように、磁気光学効果を有する層を、周期溝構造中に磁性体を配置してなる構造（図３）とすればよい。例えば偏光変換層／透明磁気ヘッドアレイ／磁気光学効果を有する層（図３）／透明支持体の構成とし、偏光子層を用いないようにする。この場合の磁気光学効果を有する層は、可視光波長よりも短い周期の磁性体周期的格子構造を透明支持体上に作る）。この周期構造の周期は可視光波長よりも短いために、可視光で回折することがなく（１次以降の回折光が透過しない）透過するが、ワイヤグリッドポラライザーと同形状のために、偏光子の機能（円偏光を直線偏光に変換する）を有することになる。従って偏光子が不要となるだけでなく、磁気光学効果を有する層側からの入射光は直線偏光となり、そのまま偏光変換層を通過するので、相互に見えることになる。なお図３の周期的磁性体はつながっていても同様の効果があることがわかっている。この構成は光透過率を低減させる偏光子層を用いなくてもよいために、光利用効率が向上するという大きな特徴がある。溝の周期Ｐ（ランドＬとスペースＳ）は可視光波長４００ｎｍ以下、好ましくは５０〜４００ｎｍの寸法が好ましく、溝の高さＨは５ｎｍから１μｍ程度が好ましい。周期構造は必ずしも矩形でなく、波型などでも構わない。
【００１４】
本発明に用いるマイクロ磁気ヘッドアレイや磁気光学効果を有する層や透明支持体は可視光に対して１００％に近い透過率を有することが望ましい。従ってマイクロ磁気ヘッドアレイに用いる配線層には、一般的に用いられるＩＴＯ膜や低温製膜できるＺｎＯ膜や透明有機物導電膜などが好ましく用いられる。
【００１５】
透明マイクロ磁気ヘッドアレイの駆動用電源は、本発明では太陽電池を好ましく用いるが、この太陽電池も可視光に透明である太陽電池も用いれば更に都合がよい。この電池駆動方式により、太陽電池を窓ガラスの一部に設ければ、電池交換も必要がなくなり、２次電池を用いた場合の充電作業は必要がなくなる。もちろん、太陽電池以外の公知の電力供給方式も採用することができる。
【００１６】
マイクロ磁気ヘッドアレイによる磁界の強さは、公知のボリュームスイッチ等の切替手段を用いて手動で制御することもできるが、外光に対する光センサーを偏光変換層側に設けておき、外光強度に対応した制御、すなわち外光が強ければ強い電流値に設定して透過率を押さえ、また外光が弱くなれば電流を少なくして透過率を多くして、一定に近い光量に保つようにすることが好ましい。
【００１７】
また、全てのマイクロ磁気ヘッドアレイを直列につないだ構成とし、この構成に電流を流せば、瞬間的に調光が可能となる。また、マイクロ磁気ヘッドアレイの配線をＸ方向とＹ方向を別々の配線（直交する配線）とし、交差する部位のコイルを個々に制御して光量を制御するようにしてもよい。
【００１８】
また、本発明では、磁気光学効果を有する層（磁性体）を旋光要素として用いているため、液晶よりも反応速度が１０００倍程度速くなるというメリットがある他、一度磁化すれば半永久的に磁化状態すなわち調光状態がエネルギーの消費なしで保持できる大きな利点がある。
【００１９】
また、本発明では、液晶のように液体を均一な間隔で封じこめておく容器などの必要がなく、１μｍ程度の厚みの固体薄膜層だけの利用でよいので、構造は簡単となり、大面積、軽量化が容易となる。
【００２０】
更に、本発明の調光窓は、透明支持体として窓ガラス本体を用い、光学素子を直接形成することができる。また、透明支持体としてプラスチックフィルムなどを用いて、光学素子を作製し、この光学素子を窓ガラスに貼りつけるようにしてもよく、この場合には、窓ガラスの補強効果も得られ、また剥離することも容易となる上、その形状を自在の形状として貼り付けることができるなどのバリエーションが増える。
【００２１】
以下、本発明の調光窓を構成する各要素について詳述する。
まず、磁気光学効果（ファラデー効果）を有する層について述べる。この磁気光学効果を有する層に使用する材料は制限されないが、特に磁気光学効果の大きな透明磁性材料が好ましい。このような透明磁性材料としては、例えば本発明者が提案している、複数の誘電体膜と磁性体膜との複合膜で構成される磁気光学効果の大きな透明磁性層や、またいわゆる一般的な透明磁気記録材料を用いても良い。さらに、本発明では、磁気光学効果を有する層として、後述の偏光子の機能を備えたものを利用することもできる。
ここで、本発明において好ましく用いられる、誘電体膜と磁性体膜の多層膜からなる透明磁性層によって、磁気光学効果が従来より大幅に増大されることを利用した例を以下に２つ示す。
【００２２】
まず、第１の複合透明磁性層は、誘電体をＧ、磁性体をＭとすると、｛（ＧＭ）ｎ（ＭＧ）ｎ｝ｍの層構成を有するものである。誘電体層Ｇと磁性体層Ｍは、ＧＭの次はＭＧのように積層順が逆になる。即ち磁性体層Ｍに関して対称となることが必要である。ｎ＝１、Ｍ＝１の場合を図４に示すが、通常、ｎは１〜４０、ｍは１〜４０が適当である。光学膜厚（ｎ・ｄ）は１／４波長である。
第２の複合透明磁性層は、第１の複合透明磁性層において、上記Ｇの層を高屈折率層と低屈折率層の２層で構成したものである。
これらの場合において、誘電体層と磁性体層の材料としては後述するような各種材料を使用することができる。
【００２３】
本発明の磁気光学効果を有する層に誘電体膜を併せて用いる場合、その誘電体膜に用いられる材料は、透明でかつ熱的に安定な物質が適し、例えば金属や半金属の酸化物、窒化物、カルコゲン化物、フッ化物、炭化物、及びこれらの混合物であり、具体的にはＳｉＯ２、ＳｉＯ、Ａｌ２Ｏ３、ＧｅＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、ＴｅＯ２、ＴｉＯ２、ＭｏＯ３、ＷＯ３、ＺｒＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、ＡｌＮ、ＢＮ、ＴｉＮ、ＺｎＳ、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＡｇＦ、ＰｂＦ２、ＭｎＦ２、ＮｉＦ２、ＳｉＣなどの単体あるいはこれらの混合物である。これらの材料の中から透明磁性体層と屈折率を異にする種類を選択すればよい。各膜厚は５〜２００ｎｍ、好ましくは５〜３０ｎｍの範囲にするのがよい。誘電体膜は複数の層構成としても良い。膜は各種のＰＶＤ、ＣＶＤ法を用いて作製される。
【００２４】
また、本発明における磁気光学効果を有する層に用いられる一般的な透明磁性材料としては、Ｃｏフェライト、Ｂａフェライトなどの酸化物、ＦｅＢＯ３、ＦｅＦ３、ＹＦｅＯ３、ＮｄＦｅＯ３などの複屈折が大きな材料、ＭｎＢｉ、ＭｎＣｕＢｉ、ＰｔＣｏなどが挙げられ、透明性が得られる程度に薄くして（誘電体膜と組み合わせても良い）使用することが可能である。特に透明度が高い無機磁性材料としては、ｎ型Ｚｎ１−ｘＶｘＯやＣｏをドープしたＴｉＯ２などがある。
また、可視光全体にわたって均一でかつ大きな性能指数を有する透明磁性材料としては、下記一般式で表される希土類鉄ガーネットを用いることができる。
Ｒ３−ｘＡｘＦｅ５−ｙＢｙＯ１２
（式中、０．２＜ｘ＜３、０≦ｙ＜５であり、
Ｒは希土類金属で、Ｙ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ及びＬｕのうちの少なくとも一種以上であり、
ＡはＢｉ、Ｃｅ、Ｐｂ、Ｃａ及びＰｔのうちの少なくとも一種以上であり、
ＢはＡｌ、Ｇａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｃ、Ｉｎ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｃｏ、Ｆｅ（ＩＩ）、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｌｉ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｚｒ、Ｔｉの少なくとも一種以上である）
希土類鉄ガーネットは紫外線の吸収係数が大きいために、窓材料として好ましい。また赤外線に対して大きなファラデー回転角を有するので、赤外線の透過率制御には薄い膜厚で可能であり、窓としての着色も大幅に少なくなり好ましい。
【００２５】
また、本発明において、透明磁性材料として好ましく利用できる材料に、有機磁性材料がある。このような材料としては、例えば、バナジウムクロムヘキサシアノ錯体　ＫＩ０．６３ＶＩＩ［ＣｒＩＩＩ（ＣＮ）６］０．８８７．５２Ｏ　０．４ＥｔＯＨ　や　ＫＩ［（ＶＩＩ０．６ＶＩＩＩ０．４）ＸＣｒＩＩ１−Ｘ］［（ＣｒＩＩＩ（ＣＮ）６）などがある。後者は金属イオンの組成比　Ｘ＝ＶＩＩ／ＩＩＩＣｒＩＩにより、青色（Ｘ＝１）、水色（Ｘ＝０．３）、緑（Ｘ＝０．２２）、無色透明（Ｘ＝０）と変化する。膜作製は電気化学的な合成方法を用いる。このような各色の窓ガラスを特別にカラー化処理を施すことなく得ることができる。
【００２６】
更にはこのような透明有機磁性材料と上記した無機透明磁性材料との積層構造を用いることもできる。このようにすると、両者の屈折率差が、従来の無機磁性体と無機磁性体や、無機磁性体と誘電体との組み合わせよりも大きいために、光の閉じ込め効果が大きくなり、より大きなファラデー回転角が得られるので好ましい。
【００２７】
磁気光学効果を有する層の保磁力は組成を調整して、１０００　Ｏｅ以下好ましくは、５０〜３００　Ｏｅにして用いることが好ましい。保磁力は一般的に小さいほど磁気的書き込みのためのエネルギーが小さくて済み、従って磁気ヘッドの作製が簡便となり好ましいが、あまり小さいとハンドバッグの永久磁石などに近づいた場合に消去されてしまうなどの不具合が生ずる。この観点から、保磁力は５０〜３００　Ｏｅが好ましい。３００　Ｏｅ以下の場合は、巻き数の多いコイル状磁気ヘッドで無くても、直線状配線層によって形成された、格子形状にした矩形の磁気ヘッドでも、十分な磁界強度が得られて、磁性体を磁化できる。磁気光学効果を有する層の厚みは、５０ｎｍ〜１０μｍ程度が好ましく、強磁性体単独の場合には５０ｎｍ〜２μｍの範囲が好ましい。
【００２８】
また、磁気光学効果は、光の進行方向とスピンの方向とが平行の場合に、最も大きな効果が得られるので、磁気光学効果を有する層に使用される材料は膜面に垂直に磁気異方性を有する膜が特に好ましい。
【００２９】
これらの磁気光学効果を有する層の磁性材料は、いずれも加熱によって保磁力が小さくなる。従ってガラス中に埋め込んだヒーターなどの補助加熱手段で加熱を行うと、記録や消去のためのヘッド電流が小さくて済み、メリットが大きい。もちろん全体が消去されるほど過熱することは望ましくないが、そのような利用の仕方も可能である。特に上記した希土類鉄ガーネットでは、室温付近に補償温度を有するように設計すれば、室温では消去が困難であるが、少し温度を上昇させれば微小磁界で容易に書き換え可能となり、補助過熱を用いることが非常に有効となる。
【００３０】
これらの透明磁性材料からなる層は、一般的なスパッタ、真空蒸着、ＭＢＥ、イオンプレーティング、パルスレーザー蒸着、レーザーフラシュ法などのＰＶＤ法やＣＶＤ法、メッキ法等によって形成される。共沈法によって作製した超微粒子を、塗布法やメッキ法あるいは溶射法によって支持体上に形成しても良い。ＰＶＤ法、ゾルゲル法では、希土類鉄ガーネット利用の場合、６５０度近い加熱が結晶化のために必要である。特に品質の高い磁性層が得られるＰＶＤ法では、高価な高真空装置が必要であるので、低基板温度で非晶質膜を形成した後、紫外線レーザーアニールによる方法を用いても良い（希土類鉄ガーネットは紫外光の吸収が大きい）。結晶化済みの微粒子を用いるメッキ法、塗布法では、膜中の微粒子による光の散乱が避けがたく、透明度に僅かなくもりが生じて、高画像品質を得るのは難しい。
【００３１】
溶射法とは、金属などの表面に膜作製して、固くするなど、表面改質のために一般的に用いられている方法である。結晶化している微粒子を、プラズマなどの高温中を通過せしめて、溶融させて支持体上に高速度で噴射させ、薄層を形成する方法である。溶融させる方法によって、プラズマ溶射法、ジェットコート溶射法、ローカイド／スフェコード溶射法など多くの種類が開発されている。この方法の特徴は、支持体温度が低温（１００℃以下）で形成できる点である。微粒子は一度数千度以上の高温で加熱され、加圧によってマッハ２〜５に及ぶ超高速度で、収束ジェット流としてノズル端から支持体上に供給される。支持体上では低温となり、たとえばプラスチック支持体上にも膜を形成できることである。微粒子径を特に小さくすれば、ＰＶＤ法等で形成したと同様の性質（表面平滑性、膜厚均一性など）を有する薄膜を得ることができる。特に空気中で形成可能なので、高真空が必要なＰＶＤ法、ＣＶＤ法などに比較して、低コスト化も可能となる。
【００３２】
次に、透明支持体について述べる。
本発明における透明支持体には、一般的ガラス、透明セラミックス、石英などの他、次のようなプラスチックフィルムを用いることができる。
ＭＭＡ、ＰＭＭＡ、ＡＢＳ樹脂、ポリカーボネート、ポリプロピレン、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリアリレート、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、エポキシ樹脂、ポリ−４−メチルペンテン−１、フッ素化ポリイミド、フッ素樹脂、フェノキシ樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ナイロン樹脂
もちろん、本発明において用いることのできる透明支持体材料はこれらに限定されるものではなく、他にも例えば透明ガラス紙（例えば特許第２５３８５２７号掲載公報、特開平１１−２４７０９３号公報参照）を用いることができる。透明ガラス紙の作製に用いられるオルガノポリシロキ酸は、アルコール可溶性で加水分解可能な有機金属化合物であり、Ｒ３ＳｉＯ（Ｒ２ＳｉＯ）ｎＳｉＲ３、（Ｒ２ＳｉＯ）ｎなどによって示される化合物の内、特に分子量の高いものをいう。
本発明の透明支持体の厚みは１０μｍ〜１０ｍｍ程度まで、目的や材料に応じて任意に選択することができる。
【００３３】
また、本発明の透明支持体としては、着色透明支持体を用いることができる。透明支持体を染料や顔料を用いてうすく着色（クリヤーカラー）しておくと、光の透過率を変化させるだけでなく、磁化強度を調整してウインドウの透明度を高くした場合に着色した色が明確になってきて、カラーコーディネートが可能となり、デザイン機能を持たせることができる利点がある。
【００３４】
次に、偏光子層について述べる。
偏光子層としては、各種の市販の偏光フィルム等が用いることができる。偏光フィルムには大別して多ハロゲン偏光フィルム、染料偏光フィルム、金属偏光フィルムなどがある。
また次のような偏光子も利用できるが、これらに制限されるものではない。
（１）強磁性体微粒子からなる多数の棒状素子を基板表面に一定方向に配列させて固着形成することにより、製造が容易でかつ光学的特性の優れた偏光板（特開平１−９３７０２号公報参照）。
（２）ワイヤグリッド偏光子
透明基板に微小な間隔で金やアルミニウムの線をひいた偏光子（東京農工大学佐藤勝昭著「現代人の物理−光と磁気」（朝倉書店）１９８８年出版、ページ１０３に記載）。この場合、線の間隔ｄ、波長をλとすると、λ≫ｄの波長の光に対して、透過光は線に垂直な振動面を持つほぼ完全な直線偏光になることを利用している。偏光度は９７％程度と言われている。
（３）ポーラコア（ダウコーニング社製）
長く延伸させた金属銀をガラス自身の中に一方向に配列させることにより、偏光特性を持たせたガラスで、従来の有機物偏光素子と異なり耐熱性、耐湿性、耐化学薬品性、レーザーに対する耐性に非常に優れている。赤外線用が主であるが、特殊仕様として可視光用がある。
（４）積層型偏光子
東北大学電気通信研究所の川上彰二郎教授が１９９１年頃に発表したもので、可視光用にはＲＦスパッタリング法で、６〜８ｎｍの厚みのＧｅ（ゲルマニウム）と、１μｍ厚みのＳｉＯ２を交互に６０μｍ厚みになるまで積層して作製している。０．６μｍの波長で測定した性能指数αＴＥ／αＴＭ（ＴＥ波とＴＭ波に対する消衰定数の比）は４００近く、０．８μｍの波長で測定した消光比は３５ｄＢ、挿入損失は０．１８ｄＢであり、可視光に対して十分なものである。
（５）反射型偏光子
住友３Ｍ株式会社が販売している。屈折率の異なる薄膜を、何百層も重ねて積層し、層間で反射・透過を繰り返し、偏光を取り出す。ＳとＰ偏光の内一方を反射して、一方を通過させるために、反射型という。全厚みは１００μｍ程度である。吸収タイプに比較して、反射するので画像が明るく感じられる。また米国Ｍｏｘｔｅｋ社のアルミニウム細線を周期的に並べた、ワイヤグリッドタイプの反射型偏光子もある。
（６）偏光ビームスプリッター
光束を２本以上のビームに分割又は合成する光学素子をビームスプリッターという。その中でも分岐された２光波の偏光方向が異なるように分割するものを偏光ビームスプリッターという。２個の直角プリズムを接着した面に誘電体多層膜コートしたものが一般的であり、Ｐ偏光成分は透過し、Ｓ偏光成分は９０度反射するようになっている。透過率、反射率ともに９８％以上のものが得られる。他には特殊なグレーティングを用いたようなものもある。
（７）偏光プリズム
１軸性結晶は、光学軸方向に垂直に振動する常光線と光学軸を含む主断面内に振動方向をもつ異常光線では異なった屈折率をもつので、１軸性結晶から切り出した２つのプリズムを組み合わせると、振動面の異なる光を分離する偏光子を作ることが出きる。ニコルプリズム、グラントムソンプリズム、グランフーコープリズム、グランテーラープリズム、ロションプリズム、ウォーラストンプリズムなどがある。
（８）回折格子
回折格子はピッチを小さくしていけば、ＴＥ波とＴＭ波の透過率が異なり、偏光子として機能する。偏光子とは呼ばないが偏光子機能を有するので、本発明に偏光子として用いることが可能である。
偏光子層を２層用いる場合には、両者は同じタイプのものでも、異なったタイプのものでもよい。
【００３５】
次に偏光変換層について述べる。
自然光を１枚の偏光子（例えばフィルム偏光子）に透過させると、光の利用効率がやや劣る。特に本発明の対象とするビル等の建造物の窓や自動車の窓への適用においては、１００％近いの光を利用することが望まれる。偏光変換層とは、前述のように、一度偏光子を透過させてＰ又はＳ偏光を得た後、残りのＳ又はＰ偏光を変換して、すべて同一種の偏光を得るための層である。
【００３６】
偏光変換層としては、レンズ、アルミプレート、複屈折結晶、波長板からなる偏光変換素子が日本真空光学（株）などから販売されている。また反射型偏光子を２枚用いて、間に円偏光を入射させ、Ｓ又はＰ偏光のみを効率良く出射させるような方式も用いられる。このような市販品を用いても良いし、また本発明者が提案したような薄膜タイプの偏光変換素子や液晶を用いた偏光変換素子（特開２０００−４７０３２公報等）を用いてもよい。
【００３７】
次に透明なマイクロ磁気ヘッドアレイについて述べる。
本発明で用いる透明マイクロ磁気ヘッドアレイは、磁気ヘッドとなるコイルを２次元的に複数個並べたものである。その典型的な例を図５及び図６に示す。
図５の（ａ）及び（ｂ）に示すものは直線型の磁気ヘッドで、ヘッド配線部分の概略図を併せて示してある。図６に示すものは平面コイル型の磁気ヘッドである。
２次元的に配列した磁気ヘッドは、直列につなげて同時に電流を流して用いることができる。大面積の場合には、いくつかに分割して電流を流すことも可能である。図５の直線型磁気ヘッドの場合には、各磁気ヘッドを縦と横に結線して、交点の強い磁場を利用して選択的表示することも可能である。
【００３８】
磁気ヘッド１個の外形には特に制限は無く、本発明のように画像表示が主目的で無い場合には、２００μｍから１ｍｍ程度が目安として好ましい。磁気ヘッドに発生する熱を少なくするためには、配線の形状は幅２μｍ〜１００μｍ程度が好ましく、高さを大きくとるようにすれば、大きな電流を流すこともできるし、磁気ヘッド間のデッドスペースを小さくすることができる。透明マイクロ磁気ヘッドアレイの配置は、磁気光学効果を有する層にできる限り近い場所が望ましく、磁気光学効果を有する層の片側又は両面に配置される。
【００３９】
磁気ヘッドの形状は丸型、四角型など特に限定されないが、四角型コイルがデッドスペースを少なくできるので好ましい。各種コイルの場合に、複数のコイル層を絶縁層を介して構成すれば、より低電流で済むので過熱などの課題がなくなる。調光できないデッドスペースをなくする方法として、これらの透明マイクロ磁気ヘッドアレイを複数層構成し、各層の磁気ヘッドアレイの位置をずらす方法も可能である。
【００４０】
本発明の特徴のうちの重要な特徴の一つは、このマイクロ磁気ヘッドアレイが透明である点である。このマイクロ磁気ヘッドアレイの透明化が実現できた理由を以下に述べる。
【００４１】
（１）従来は、金属導電性材料、例えば不透明な金や銅などをコイルに用いていた。更にコイルの中心には、コア材として金属で不透明な高透磁率材料を用いていた。本発明では、この導電性材料として、以下に示す透明なＩＴＯ膜を用いた。更に配線をコイル形状から直線状に変更したので、コアを用いる必要が無くなった。
（２）マイクロ磁気ヘッドアレイの直上に磁性層（磁気光学効果を有する層）を設けて（磁性層／マイクロ磁気ヘッド／支持体又はマイクロ磁気ヘッドアレイ／磁性層／支持体の層構成として、磁性層と磁気ヘッド層間に他の層を入れない）、磁性層とヘッド間距離を近接させ、ヘッドからの磁界利用効率を向上させた。このため少ないヘッド駆動電流で、画像形成が可能となり、ターン数の多い磁気コイルでなくても、直線状配線で十分に磁化できるようにした。直線状配線は透明ＩＴＯ膜で作製可能である。
（３）磁性層の磁化が容易となるように、磁性層の保磁力を低減させた。これにより、小電流で磁化可能となり、ＩＴＯ膜の直線状配線が使用できるようになった。
【００４２】
マイクロ磁気ヘッドアレイに用いられる導電材料は、透明性の点から透明導電膜が好ましい。透明導電膜とは、可視光の透過率が高く、また導電性がある膜であり、酸化錫膜（ＳｎＯ２）、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）膜の系統が代表的な材料である。酸化インジウム膜には、比抵抗を下げるために微量添加元素（ドーパント）として、スズ（Ｔｉｎ）が用いられており、Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅの頭文字をとって、ＩＴＯ膜とよばれる。本明細書では、この膜をＩＴＯ膜と記す。ＩＴＯ膜は０．１〜５．０μｍ程度の膜厚として用いられ、面抵抗（１ｃｍ角の抵抗値）は１０〜８００Ω／□程度で使用される。上記以外に、酸化亜鉛膜や透明有機導電性膜等の透明導電膜を用いることもできる。
【００４３】
マイクロ磁気ヘッドアレイに用いられる透明絶縁材料としては、一般的な有機、無機絶縁材料を用いることができるが、透明でかつ耐熱性が必要なことから、有機絶縁材料としては、透明ポリイミド樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、オクタキス・ヒドリドシルセスキオキサン分子とビスフェニルエチニル・ベンゼン分子を、触媒を使って共重合させた樹脂、珪素系液体、透明フッ素樹脂、オレフィン・マレイミド共重合体、ポリエステル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリカーボネート樹脂などが好ましく用いられる。
上記のうち、透明ポリイミド樹脂としては、例えば日産化学工業社製の商品名「サンエバー」が好ましく利用できる。この中でも電圧印加時の樹脂自身の分極をほとんど無くしたタイプのもの（サンエバーＲＮ８１２）は、可視光透明性が大幅に向上して９３％以上（１μｍ厚み）と高いだけでなく、成膜したＩＴＯ膜のフィルム基板への付着性も大きく向上しており、耐溶剤性、電気絶縁性、加工性、低通気性、低吸湿性、表面平滑性などにすぐれている。また、熱分解温度が４５０度以上であるので、本発明の目的にとって非常に好ましい。
また、フッ素化ポリイミド樹脂はＮＴＴによって開発され、光透過率は９０％程度と高い（従来のポリイミド樹脂は褐色に着色していたがこれとは異なる）。現在日立化成工業によって「ＯＰＩ」の商品名で市販されている。フッ素含有率は２０〜３０％で、熱線膨張係数は５×１０−６／℃である。但し透明ポリイミド樹脂（フッ素化ポリイミド樹脂も含む）はコストが高いため、オレフィン・マレイミド共重合体フィルムとの積層や、従来使用されたポリエステル、ポリアリレート、ポリエーテルスルフォン、ポリカーボネートのフィルムとの積層としても用いることができる。
また、無機絶縁材料としては、前述した誘電体材料を使用することができる。
【００４４】
マイクロ磁気ヘッドアレイの製造方法としては、大別して、フォトリソグラフィー法、電気メッキ法が用いられる。配線のパターン形成用には、各種レーザー光や軟Ｘ線、紫外線などが用いられる。配線の加工においては、導線の断面積（線幅、線高さ）がより大きいことが、電気抵抗を低下させる点から重要であるが、前述したように、解像度の点から磁気ヘッドピッチには制限があるので、導線間の絶縁層体積がより少ない方法が選ばれる。
【００４５】
本発明の直線状配線層上に、高透磁率層を加えると、磁界発生効率が向上する。一般的なコイル形状の場合に、コイル中心部にコアとして、磁束を収束させる高透磁率材料を配置すると、磁束の発散を防いで磁気ヘッドとしての効率が向上する。直線状配線による磁界収束部（格子状配線間の中心部）でも、同様の効果が得られることがわかった。高透磁率層の膜厚は１００〜５０００ｎｍが好ましい。
【００４６】
高透磁率薄膜に用いる透明軟磁性材料としては、従来より多用される、純鉄、珪素鋼、鉄やニッケル及びコバルトとの各種合金（Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ系、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ系）などを１０ｎｍ以下の膜厚で透明度の高い状態で用いることも可能であるが、好ましくは可視光に透明な有機磁性材料が用いられる。透磁率は１００以上もしくは１０００以上が良い。
【００４７】
本発明では、マイクロ磁気ヘッドアレイ駆動用電源としては、通常の交流電源から直流に変換して用いることもできるが、ペーパー電池と言われる厚みが１ｍｍ以下の２次電池などを用いることもできる。ノートパソコンなどに搭載されているフィルム状リチウムポリマー２次電池や、フッ素系高分子樹脂を用いた「ポリマー電解質」を、リチウム系の酸化物とグラファイトで表面を覆った３層構造の２次電池なども用いられる。消費電力は１時間当たり１０００ミリアンペア以上、電圧は３ボルト以上が好ましい。もちろん一次電池の使用も可能である。
【００４８】
また、本発明では、交換不要の太陽電池が好ましく利用される。太陽電池としては化合物系、シリコン系、有機系などの種類のものがある。これらの中でシリコン系が主に実用化されている。シリコン系太陽電池の中には、単結晶、多結晶、アモルファスの３種類のものに大別されるが、これらのハイブリット系太陽電池などがある。調光窓上に直接配備して効率良く利用できれば、どのような太陽電池でも構わない。利用効率を上げるために、反射膜を用いたものでも利用できる。上記２次電池との併用も可能である。
調光窓上に配置して用いる太陽電池は、可視光に透明であると室内での光の利用効率が向上して好ましい。色素増感型太陽電池（Ｇｒａｅｔｚｅｌ型）は透過率も高くできるのでより好ましい。
【００４９】
また、本発明の調光窓は、カラーフィルターを用いて着色することもできる。窓ガラスをカラー化するためには、液晶ディスプレイに使用されているのと同様なカラーフィルターを用いることができる。カラーフィルターは透明支持体上にブラックマトリックスを形成して用いても良いし、光透過性のよいＲＧＢ（Ｒｅｄ、Ｇｒｅｅｎ、Ｂｌｕｅ）の各色のカラーフィルター層を単独で又は磁気ヘッドごとに色を変えて作製する。市販のカラーフィルターを張りつけて用いても良いし、インクジェットを用いて磁気ヘッドごとに色を変えて形成しても良い。カラーフィルター層の厚みは１〜３μｍである。そのフィルター層の上に、色層の保護や平滑性を目的としたオーバーコート層を設けてもよい。カラーフィルターの製造方法としては、染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等一般的な製造方法が使用できる。
【００５０】
本発明の調光窓では、マイクロ磁気ヘッドアレイへの給電を光センサーからの信号出力により制御してもよい。本発明で言う光センサーとは、光の強度を検出する光検出器のことを示す。このような光センサーとしては、光電効果を用いる光電管、ＣｄＳ、ＰｂＳなどの光伝導セル、シリコンやゲルマニウムなどのｐｎ接合を用いる光起電力セルなどと熱効果を用いる熱電対、ボロメーター、ゴレー・セルなどがある。光センサーを用いて外光の強度を検出して、窓ガラスのマイクロ磁気ヘッドアレイへの電流量を調整して、調光することができる。望みの調光量を最初に設定しておけば、この光センサーによって自動的に任意の一定調光量を任意時間確保する事が出来る。いわゆる自動調光可能な「スマートウインドウ」として窓ガラスが利用できる。
【００５１】
本発明の調光窓には、最表面を保護するために最表面保護膜を設けることができる。最表面保護膜の形成に用いる材料としては、ＳｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＩＴＯ、ＭｇＦ２、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＢｅＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３　、Ｃなどの無機物やそれらの混合物が利用できる。また、重合性モノマーおよびオリゴマーを主成分とする光硬化性樹脂組成物や、熱硬化性樹脂組成物からなる有機樹脂保護膜も用いることができる。
【００５２】
さらに、本発明の調光窓を長時間使用すると、ほこりなどにより汚れが発生する場合がある。偏光子層や保護層の上からでは、必ずしも十分にクリーニングを行えない場合がある。これに対して、透明支持体の反対側にガラス板を貼り合わせた構造とすると、自動車やビルの窓の両側からクリーニングを十分に容易に実施できるようになる。
【００５３】
【実施例】
以下、本発明を実施例によって詳しく説明する。
【００５４】
実施例１
透明耐熱支持体として厚味７５μｍ、縦５０ｃｍ、横５０ｃｍのポリカーボネートフィルムを用い、その一方の面上に透明なマイクロ磁気ヘッドアレイを形成した。このマイクロ磁気ヘッドアレイの形成は次のようにして行った。まず支持体であるポリカーボネートフィルム上に直接、ＩＴＯ膜／絶縁膜／ＩＴＯ膜の層構成を作製した。各ＩＴＯ膜はスパッタ法を用い厚みは２μｍとなるよう設けた。絶縁層としてはＳｉＯ２膜をスパッタ法により厚みが０．５μｍとなるように設けた。この各ＩＴＯ膜にフォトリソグラフィー法を用いて、図５（ｂ）のようにパターニングして直線状配線を形成した。配線の線幅は３μｍ、線間（同図中Ａ、Ｂ、ＣとＧ、Ｈ、Ｉの周期的距離）は２５０μｍとなるようにした。同図中のコの字が重なった部分の辺の長さは２３５μｍとした。図では縦配線（実線）と横配線（点線）がずらして図示されているが、上下が重なるように配線した。
次に、市販の太陽電池を用いて、縦（図中、電極Ａを＋、Ｄを−）と横（図中、電極Ｇを＋、Ｊを−）方向に電流を流した場合に、コの字が重なった場所の磁界強度を測定した結果、５００ｍＡの通電時で約３３０ガウスであった。各コイルは全て直列にして連結せしめ、スイッチを端部に配設してマイクロ磁気ヘッドアレイとした。
次に、磁気光学効果を有する層としてＢｉ置換希土類鉄ガーネット（組成はＣｅ１Ｙ２Ｆｅ５Ｏ１２）を、基板温度１００℃にして、上記マイクロ磁気ヘッドアレイの上に作製した。膜厚は１４０ｎｍとした。その後ＸｅＣｌエキシマレーザー光（波長３０８ｎｍ）の光強度を４００ｍＪ、幅０．５ｍｍ、繰り返し照射数１０回として、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットを加熱し結晶化させた。レーザー光は支持体よりもガーネットで吸収されたために、支持体へのダメージは無かった。
該磁気光学効果を有する層の保磁力をＶＳＭ（振動試料型磁力計）で磁界を膜面に垂直に印加して測定した結果、１２０　Ｏｅであった。
以上のようにして作製した、磁気光学効果を有する層／透明マイクロ磁気ヘッドアレイ／透明支持体の構造体における磁気光学効果を有する層の上に、市販されている偏光変換層（リコー光学社製）を設けるとともに、透明支持体の反対側に市販の偏光子（偏光・反射フィルム　ＲＤＦ；住友スリーエム社製）を設けた。偏光変換層と偏光子の偏光軸は、磁気光学効果を有する層による偏光面回転角（＋方向に電流を流す）が最大となる場合に、最大の透過率となるように、またこれと逆の電流方向（−方向）に電流を流した場合には、最大の光透過率となるようにして設けた。
以上のようにして偏光変換層／磁気光学効果を有する層／マイクロ磁気ヘッドアレイ／透明支持体／偏光子層の構成を有する光学素子を作製した後、窓ガラスに接着剤を用いて貼り付けた。また、上記窓ガラスのうち、プラスチック支持体の無い部分に、市販の太陽電池（アモルファスシリコンタイプ；電圧１０Ｖ）をマイクロ磁気ヘッドアレイ駆動用の電源として貼り付けた。さらに上記窓ガラスのうち、プラスチック支持体の無い部分に、市販の光センサー（ＣｄＳ）を外光量の検出と上記マイクロ磁気ヘッドアレイ駆動用電流調整用として貼り付けた。外光量が多い場合にはマイクロ磁気ヘッドアレイ駆動用電流が多く流れて、窓ガラスを通過する光量が減少するように、また逆に外光量が少ない場合には、通過光量が増加して、通過光量がほぼ一定となるように調整した。
次に、マイクロ磁気ヘッドアレイと接続された前記した太陽電池からの配線上のスイッチを入れて、全マイクロ磁気ヘッドアレイに電流方向を逆にして電流を流した。その結果、マイクロ磁気ヘッドアレイを配した個所の光透過率をほぼ７０％（電流−方向）から０％（電流＋方向）まで変化させることができた。また電流を流さない場合には、ほぼ中間の（３５％程度）の光透過率を得ることができた。これらの透過率状態は電流を切った場合でもそのまま維持することができた。次にこの電気回路に上記光センサー回路をつなぎ、ランプを用いて外光量を変化させたが、外光量によらず一定の光透過率を得ることができた。
さらに、ガラスの片面にヒーター線と絶縁層を重ねて設けた後、ガラスの反対側に上記窓ガラスを貼り付けた。そしてヒーター線に電流を流して、ガラス表面温度を約１００℃とした。その結果、マイクロ磁気ヘッドアレイへの電流は上記した４００ｍＡの半分の電流で光透過率をほぼ７０％から０％まで変化させることができた。
【００５５】
実施例２
実施例１と同様にして、支持体上にマイクロ磁気ヘッドアレイを作製し、Ｃｅ置換希土類鉄ガーネット膜を２００ｎｍの厚みで作製した後、フォトリソグラフィー法を用いて、図３（ａ）のようにエッチングを行って周期構造を設けた。周期Ｐは２６０ｎｍ、ＬとＳはともに１３０ｎｍ、Ｈは２００ｎｍとした。実施例１のように偏光子層を設けることなく、偏光変換層／マイクロ磁気ヘッドアレイ／周期構造による磁気光学効果を有する層／透明支持体の構成を作製した。実施例１と同様にして電流を流したところ、約７０％と０％の間で光透過率を制御することができた。
【００５６】
実施例３
実施例１と同様にして、支持体上にマイクロ磁気ヘッドアレイを作製した後、ＩＴＯ膜を該アレイ上に１００ｎｍの厚みにして設けた。実施例１の構成の内、磁気光学効果を有する層としてＢｉ置換希土類鉄ガーネットの周期構造を設ける代わりに、有機透明磁性体であるＫＩ［（ＶＩＩ０．６ＶＩＩＩ０．４）ＸＣｒＩＩ１−Ｘ］［（ＣｒＩＩＩ（ＣＮ）６）を一様な約５μｍ厚の膜として、上記ＩＴＯ膜上に作製した。金属イオンの組成比Ｘ＝ＶＩＩ／ＩＩＩＣｒＩＩを０．２２として、緑色の膜が得られた。光センサーや磁気センサーは設けなかったが、実施例１と同様にして電流を流したところ、約６０％と８％の間で光透過率を制御することができた。
【００５７】
【発明の効果】
本発明によれば、調光窓を外部からの磁界の印加により光透過率が変化する光学素子を具備する構成としたので、機械的な移動を要することなく、高速かつ容易に、光透過率が連続的に変化させることができる。また、磁界の印加を利用して、高い光透過率（５０％以上）と０％に近い光透過率との状態を繰り返し変化させることができるので光利用性にすぐれる。また、プラスチック透明支持体を用いた光学素子を窓ガラスに貼り付けるタイプのものでは、その設置が容易で、かつ交換などのメンテナンスも容易となる。さらに調光及び調光量制御のための電気エネルギーを大幅に低減できる。その上、大面積で軽量で、しかも破損しにくい調光機能を備えた窓が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による調光窓の一構成例を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明による調光窓の別の構成例を模式的に示す断面図である。
【図３】周期溝構造中に磁性体を配置して構成した、磁気光学効果を有する層の説明断面図である。
【図４】磁気効果を増大させる構成の説明断面図である。
【図５】マイクロ磁気ヘッドアレイ及びその配線の説明図である。
【図６】マイクロ磁気ヘッドの説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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