(57)【要約】【課題】  光モジュールの部品の組立に関し、光結合の再現性が得られ、接合時のずれを少なくするとともに、周囲の温度環境に対し、光学的に安定なモジュールの組立を行えるような組立方法および装置を提供すること。【解決手段】  光モジュール部品の接合面の面合わせ時、各部品を非接触状態で接合面の傾きを測定し、接合面を装置の基台に対して平行に調整した後、接合面の隙間が２μｍ以下になる様に調整し、光モジュール部品の相対的な移動を行いながら、レンズを通過した光ビームの傾きを測定し、前記光ビームの方向が装置の基台と垂直になる様に調整し、２０Ｎ以下の荷重で両接合面を接触させて、ＹＡＧ溶接する組立方法および装置である。【選択図】          図１
2004297051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光モジュール部品を接合する工程において、
非接触状態で被接合物同士の接合面の傾きを測定し、
前記被接合物同士の接合面を基台に対して平行に調整する
ことを特徴とする光モジュールの組立方法。
【請求項２】
光素子ホルダとレンズホルダのどちらか一方を基準にし、
他方を移動させながらレンズを通過した光ビームの傾きを測定し、
前記光ビームの傾きを必要な角度に調整するようにした後、
加圧および接合する
ことを特徴とする請求項１に記載の光モジュールの組立方法。
【請求項３】
光モジュール部品を非接触状態で、
被接合物同士の接合面の傾きを測定する測定手段と、
前記被接合物同士の接合面を基台に対して平行に調整する調整手段と、
レンズを通過した光ビームの傾きを測定する測定手段と、
両接合面の位置関係を、平行を保ったまま移動しながら光ビームの傾きを必要な角度に調整する手段と、
前記被接合物同士の接合面を接触させて接合する接合手段を有する
ことを特徴とする光モジュールの組立装置。
【請求項４】
光素子ホルダとレンズホルダのどちらか一方を基準にし、
他方を移動させながらレンズを通過した光ビームの傾きを測定する測定手段と、
前記光ビームの傾きを必要な角度に調整する調整手段と、
前記光素子ホルダと前記レンズホルダを加圧および接合する加圧手段と接合手段
を有したことを特徴とする請求項３に記載の光モジュールの組立装置。
【請求項５】
前記接合手段が、２０Ｎ以下の接触荷重で接触させながら光モジュール部品を接合する手段からなる請求項３または４に記載の光モジュール組立装置。
【請求項６】
前記被接合物同士の接合面を基台に対して平行に調整する調整手段が、光モジュール部品を平行に調整する際、前記被接合物同士の間隔が２μｍ以下になることを特徴とする請求項３〜５に記載の光モジュール組立装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レーザや発光ダイオード等の光素子と光ファイバーを結合する光モジュール部品の組立に関し、結合効率の劣化を抑え、温度特性が安定な光モジュールの製造を効率よく行い、結合効率が最大になるように光モジュールを製造するための光モジュール部品の接合面合わせ、光軸調整方法、およびその組立装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図８に、光モジュールの構成を示す。光素子ホルダ１は光素子４（たとえば半導体レーザ、発光ダイオードなどの発光素子をいう）を保持（光素子ホルダ１内に固定され、電気的に導通が取れる形態をいう）し、レンズホルダ２は光ファイバー１４の端面と光素子４との間に介在するレンズ３を保持するホルダを示す。また、フェルール１３は光ファイバー１４を、たとえば接着などによって固着し、ファイバースリーブ１２はレンズホルダ２に対してフェルール１３を固着する。
【０００３】
これらの光モジュール部品（光素子ホルダ１とレンズホルダ２、レンズホルダ２とファイバスリーブ１２、ファイバスリーブ１２とフェルール１３）は溶接（溶接部１５）にて固着された形態に設けられており、光素子４から出射された光ビーム１６はレンズ３により集光された後、光ファイバ１４へ入射し、図示しない外部装置へ伝送される。
【０００４】
そのため、光素子ホルダ１とレンズホルダ２の接合面、レンズホルダ２とファイバスリーブ１２の接合面同士の平行度を正確に合わせると同時に、光学的特性（結合効率と光モジュールの温度変化による結合効率の変化量をいう）が得られるように調整する必要がある。もし、平行度調整ができていない状態で、光素子モジュール１７を構成する部品同士を固着してしまうと、最適な光学的特性が得られないという問題が発生してしまう。したがって、接合しようとする部品と部品の間隔（隙間）を正確に把握し、接合面の平行度を精密に合わせる必要がある。
【０００５】
また、従来の光モジュールの組立方法として、図９に特許文献１の簡略図（特許文献１の図１）を示す。この方法によると、図９（ａ）に示すように光モジュール部品の接合面の平行度を精密に合わせるため、接合する一方の光モジュール部品（光素子ホルダ１）を自由自在に回転角度を変えることができる半球形状のステージに保持し、他方の部品（レンズホルダ２）を押し付け、面合わせする方法が知られている。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２８１４６４  面合わせ装置
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１の方法で組み立てた場合、次のような問題がある。
（１）光素子ホルダ１を保持し、レンズホルダ２を光素子ホルダ１に接触させながら押し付けることで、球面軸受け部の揺動体１００の重量バランスが崩れ、揺動体１００の回転中心軸廻りに回転モーメントが生じてしまう。（図９（ｂ）の状態）。
【０００８】
この回転モーメントが加圧１０１によって光素子ホルダ１の接合面に掛かる圧力によって生じた歪みが応力を緩和させてバランスを崩すため、レンズホルダ２に光ファイバーを取り付けた時の結合効率（光素子から出射された光ビームが光ファイバに入射する割合をいう）を高くすることができない。
（２）レンズホルダ２の光軸方向（図９における加圧１０１方向）が周囲温度変化によって収縮し、光ビームの光軸ズレを起こす問題がある。そのため、光モジュール１７（図８参照）において、光ビーム１６の向きを光モジュール中心軸１８と平行になるように調整し、光素子ホルダ１とレンズホルダ２の接合位置および光ビーム１６の光モジュール中心軸１８に対する角度がずれないようにする必要がある。
【０００９】
また、フェルール１３の入射側端面が斜めに研磨されている場合、結合効率を最大にするためには、光ビームの角度を結合効率が最大になるようにフェルール１３の入射側端面角度に合わせる必要がある。
（３）従来、部品接合は、作業員によって溶接していたため、作業員の技量による品質のバラツキも生じていた。したがって光モジュール部品の接合（溶接）を自動化することにより、品質、生産能力を向上させることができる。
【００１０】
本発明は、光モジュール部品の組立に関し、接合時のズレを少なくするとともに、周囲の温度環境に対して光学的に安定した光モジュールの組立、フェルール１３の入射側端面が斜めに研磨されている場合、結合効率を最大にする組立方法および装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明に掛かる光モジュールの組立方法および装置は、光モジュール部品を接合する工程において、非接触状態で被接合物同士の接合面の傾きを測定し、前記被接合物同士の接合面を基台に対して平行に調整することを特徴とする光モジュールの組立方法からなることが好ましい。
【００１２】
また、光素子ホルダとレンズホルダのどちらか一方を基準にし、他方を移動させながらレンズを通過した光ビームの傾きを測定し、前記光ビームの傾きを必要な角度に調整するようにした後、加圧および接合する光モジュールの組立方法であってもよい。
【００１３】
光モジュール部品を非接触状態で、被接合物同士の接合面の傾きを測定する測定手段と、前記被接合物同士の接合面を基台に対して平行に調整する調整手段と、レンズを通過した光ビームの傾きを測定する測定手段と、両接合面の位置関係を、平行を保ったまま移動しながら光ビームの傾きを必要な角度に調整する手段と、前記被接合物同士の接合面を接触させて接合する接合手段を有する光モジュールの組立装置からなることが好ましい。
【００１４】
また、光素子ホルダとレンズホルダのどちらか一方を基準にし、他方を移動させながらレンズを通過した光ビームの傾きを測定する測定手段と、前記光ビームの傾きを必要な角度に調整する調整手段と、前記光素子ホルダと前記レンズホルダを加圧および接合する加圧手段と接合手段を有した光モジュールの組立装置であってもよい。
【００１５】
さらに、前記接合手段は、２０Ｎ以下の接触加圧で接触させながら光モジュール部品を接合する手段であることが好ましい。
【００１６】
さらに、前記被接合物同士の接合面を基台に対して平行に調整する調整手段が、光モジュール部品を平行に調整する際、前記被接合物同士の間隔（隙間）が２μｍ以下になる光モジュールの組立装置であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本出願の光モジュールの組立方法および装置は次のような効果を有する。
（１）被接合物接合面（光素子ホルダ、レンズホルダ、ファイバスリーブ）の平行度調整は、各々、光学式角度測定器にて接合面を測定した後、被接合物同士を接合させるため、接合面に加圧を掛けた際、接合面内の力分布が均等になり、接合によるズレを少なくすることができる。
（２）光モジュールの中心軸に対する光ビームの向きを観察しながら組立ることができるので、温度特性の良い光モジュールを提供することができ、光ビームの向きを光モジュール中心軸と平行になるように調整することができる。また、フェルールの入射側端面が斜めに研磨されている場合であっても、光ビームの角度を結合効率が最大になるように調整することができる。
（３）熟練技術者の勘に頼っていた調整が不要になるため、品質、生産能力を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
図１は本発明の実施形態例に係る光モジュールの組立装置図である。
【００１９】
ステージ３０は、Ｘθ方向に円弧移動制御可能なゴニオステージ３２、Ｙθ方向に円弧移動制御可能なゴニオステージ３３、Ｘ方向に平行移動制御可能なステージ３４、Ｙ方向に平行移動制御可能なステージ３５が、予め水平に設置されている基台２０に載置されている。ステージ３２上面の固定具３６は、光素子ホルダ１を着脱自在に、ＸＹＺ方向に位置決めすることが可能な形態に設けられている。
【００２０】
なお、ステージ３０は、Ｚθ方向に回転制御、Ｚ方向に昇降制御可能な形態であってもよく、これらを組み合わせた動作形態であっても良い。
【００２１】
加圧ヘッド４０は、昇降制御可能な加圧機構４９、加圧力を測定する加圧計４８（たとえば、歪みゲージを利用した測定方法、圧電素子を利用した測定方法など加圧力を測定する計測器をいう）、Ｘθ方向に円弧移動制御可能なゴニオステージ４５、Ｙθ方向に円弧移動制御可能なゴニオステージ４４、レンズホルダ２を保持し、認識手段５４を挿入可能な開口部４１ａを有した保持手段４１（たとえば、二爪、三爪、四爪など被接合物を保持する機構をいう）を備えている。
【００２２】
なお、加圧計４８は、ヘッド４０側に設けているが、加圧を測定できればステージ３０側に設けた形態であっても良い。
【００２３】
さらに、加圧ヘッド４０は、Ｚ方向に昇降制御可能な形態に設けられているが、Ｘ方向、Ｙ方向への平行移動制御、Ｚθ方向への回転制御可能な形態であってもよい。
【００２４】
また、保持手段４１は、複数爪によって保持する方法だけではなく、レンズホルダを保持できれば、どのような形態であってもよい。
【００２５】
光モジュール部品（光素子ホルダ１、レンズホルダ２、ファイバスリーブ１２）接合面の傾きを測定するために光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）は、予め水平に設置されている基台２０に載置されている。なお、光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）は、固定されているが、光モジュール部品（光素子ホルダ１、レンズホルダ２、ファイバスリーブ１２）接合面の傾きを測定できれば、平行移動制御、回転制御、昇降制御など、どのような移動制御形態であっても良い。
【００２６】
光ビームの傾きを測定する光軸測定手段５０は、Ｘ方向に平行移動制御可能なステージ５１、Ｙ方向に平行移動制御可能なステージ５２、Ｚ方向に昇降制御可能なステージ５３が基台２０に載置されている。また、ステージ５３は、光ビーム位置を認識するための認識手段５４が設けられており、その認識手段５４の先端には反射面５０１ａと反射面５０１ｂが９０度になるように設けられた光路変更手段５０１（たとえば、プリズム、ミラーなど）が設けられている。
【００２７】
なお、ステージ５１、５２、５３の組み合わせ順序はどのような順であってもよく、さらには、認識手段５４が、ヘッド４０に保持された被接合物とステージ３０に保持された被接合物の間に挿入できれば、ステージ５３に限らず、ステージ５１またはステージ５２に設けられた形態であってもよい。
【００２８】
図３に認識手段５４の構成を示す。光素子４から出射された光ビーム位置を認識するための認識手段５４は、光ビーム１６の断面像を認識するためのスクリーン５５、スクリーン５５の像を撮像素子５８に結像させるために光路を変更させるためのミラー５６、光ビームの光量を減衰させるための減光フィルタ５９、撮像素子５８にスクリーン５５の像を結像させるためのレンズ５７、二次元の座標を有した撮像素子５８、から構成されている。
【００２９】
次に、光素子モジュールの組立動作について、図１〜図９の図面に基づいて説明する。
【００３０】
まず、光モジュールの組立前に、光素子４の光素子ホルダ１への取り付け状態を確認するため光素子４の光ビームの光軸傾きを光軸測定手段５０によって測定し、光素子ホルダ１の良否判定を行う必要がある。
【００３１】
そこで、光素子４の光軸測定方法を図３を用いて説明する。
【００３２】
光素子４を発光させ、光ビーム１６の傾きを測定するために光ビーム断面位置を少なくとも２点、測定する必要がある。
【００３３】
１つめの測定箇所である光ビーム１６の断面１６Ａを測定するために、ステージ５１、５２、５３を移動制御して、待避位置から認識手段５４に設けられたスクリーン５５が光ビーム１６を受光する位置に移動した後、光ビーム像の光輝度の中心または最大輝度の座標を認識および記憶する。
【００３４】
同様に、２つめの測定箇所である断面１６Ｂを測定するために、ステージ５１、５２、５３を移動制御して、光ビーム像の光輝度の中心または最大輝度の座標を認識および記憶する。光軸角度の高精度測定を行うために、ステージ５３のストロークを認識手段５４の必要な位置認識精度範囲内で大きくすることが好ましい。
【００３５】
そして、各測定位置座標データと、光ビーム像の光輝度の中心または最大輝度の座標データに基づいて、光軸の傾きを演算し、良否判定を行なう。
【００３６】
なお、ステージ５１、５２、５３の制御組合せは、どのような組み合わせであっても良く、単一ステージのみを制御させる形態であっても良い。
【００３７】
次に、光モジュール部品（光素子ホルダ１、レンズホルダ２）の接合面の傾きを測定し、平行度を合わせる方法を図１に基づいて説明する。
【００３８】
基台２０を基準に、光素子ホルダ１上面の平行度を測定するために光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）から水平方向に測定用レーザ光（図示しない）が出射される。
【００３９】
このとき、光素子ホルダ１上面を測定するために、ステージ５１、５２、５３を制御し、光路変更手段５０１を待避位置から光素子ホルダ１の上面付近に移動させ、測定用レーザ光（図示しない）を反射面５０１ｂによって光素子ホルダ１方向へ光路を変更させて光素子ホルダ１上面の角度を光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）にて測定および記憶する。なお、測定箇所は光素子ホルダ１上面ならどこでもよく、測定点数も単数、複数どちらであってもよい。
【００４０】
そして、記憶した測定データに基づいて、基台２０の水平面に対して平行度２μｍ以下になるようにゴニオステージ３２，３３を制御する。
【００４１】
同様に、光素子ホルダ１上面を基準に、レンズホルダ２下面の平行度を測定するために、光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）から測定用レーザ光（図示しない）を出射し、反射面５０１ａによってレンズホルダ２方向へ光路を変更させてレンズホルダ２下面の角度を光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）で測定および記憶する。
【００４２】
そして、記憶した測定データに基づいて、基台２０の水平面に対して平行度２μｍ以下になるようにゴニオステージ４４，４５を制御する。
【００４３】
次に、光素子ホルダ１の中心とレンズホルダ２の中心が、一致するようにステージ３４、３５を平行移動制御した後、ヘッド４０を待避位置から降下させ、光素子ホルダ１とレンズホルダ２を接触させる。このとき、接触位置は加圧計４８によって加圧力変化を認知することができ、光素子ホルダ１を水平方向に移動可能な状態にするために、光素子ホルダ１とレンズホルダ２の接触位置からヘッド４０をわずかに上昇させて間隔（隙間）を開ける。なお、間隔（隙間）は、１０μｍ以下であることが好ましい。
【００４４】
ただし、光素子ホルダ１の中心とレンズホルダ２の中心が一致するようにステージ３４、３５を平行移動制御しても光素子ホルダ１の中心と光ビーム１６に誤差を有し、レンズホルダ２の中心に対してレンズ３の中心にも誤差を有する。そのためにレンズ３の中心と光ビーム１６の中心が一致しないため集光点付近の光軸が傾いている。
【００４５】
そこで、図４に示すようにように、光素子４から発光した光ビームの集光点２００付近の光軸傾きを測定するために光ビーム断面位置を少なくとも２点測定する必要がある。
【００４６】
認識手段５４を保持手段４１の開口部４１ａに進入させて、１つめの測定箇所（予め設定された集光点２００がスクリーン５５に位置するようにされている箇所）にステージ５１、５２、５３を各々移動制御し、光ビーム像の光輝度の中心または最大輝度の座標を認識および記憶する。
【００４７】
同様に、２つめの測定箇所にステージ５１、５２、５３（ステージ５３は、０．１〜３ｍｍ程度動かすことが望ましい）を移動させ、光ビーム像の光輝度の中心または最大輝度の座標を認識した後、認識手段５４は元の待避位置へ戻る。
【００４８】
そして、記憶した測定データと、光ビーム像の光輝度の中心または最大輝度の座標データに基づいて光軸の傾きを演算および記憶する。
【００４９】
そして、記憶した測定データに基づいて光素子ホルダ１とレンズホルダ２をステージ３４、３５で平行移動制御し、光ビームの集光点付近の光軸傾きが光ファイバ１４の端面形状に合った傾きに調整する。
【００５０】
なお、ステージ５１、５２、５３の制御組合せは、どのような組み合わせであっても良く、単一ステージのみを制御させる形態であっても良い。
【００５１】
なお、調整方法として、発光点の位置とレンズの特性（屈折率と曲率）と集光点付近の光軸傾きから求める方法、もしくはレンズ特性のバラツキによって前記方法で求められない場合は、光素子ホルダ１とレンズホルダ２との相対的な水平方向位置を認識手段５４の視野からビーム像が外れない範囲で移動させ、光ビームの向きの変化を測定し、光ファイバ１４の端面形状に合った傾きに調整する方法をとっても良い。（調整後の状態を図２（ａ）に示す）
次に、光素子ホルダ１の上面とレンズホルダ２の下面同士を接触させて、加圧ヘッド４０に組込まれた加圧計４８で加圧を測定しながら加圧を掛けて接合にて接合面を固着する。その後、保持手段４１はレンズホルダ２を解放し、ヘッド４０と共に元の待避位置へ戻る。
【００５２】
なお、接合方法は、溶接（たとえば、ＹＡＧレーザ溶接、ＣＯ２レーザ溶接、ＹＶО4レーザ溶接など）、超音波接合、常温接合など、光モジュール部品を固着できれば、その他の方法であっても良い。
【００５３】
なお、溶接時のズレを押さえるための加圧力は２０Ｎ以下が好ましい。
【００５４】
次に、レンズホルダー２上面とファイバースリーブ１２下面を接合するために、前記光素子ホルダー１とレンズホルダー２の接合過程と同様に接合面の平行度調整、光軸調整、接合を行う。
【００５５】
図５（ｂ）に示すように、予め、ファイバスリーブ１２にフェルール１３を挿入した状態で、ファイバスリーブ１２を図示していないファイバースリーブ保持手段にて保持されている。さらにフェルール１３は、ファイバースリーブ１２に対して上下方向の位置を調整するために図示していないフェルール保持手段にて保持されている。
【００５６】
なお、ファイバースリーブ保持手段、フェルール保持手段は移動制御可能な形態に設けられている。
【００５７】
基台２０を基準に、光素子ホルダ１上面の平行度を測定するために光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）から水平方向に測定用レーザ光（図示しない）が出射される。
【００５８】
このとき、レンズホルダ２上面を測定するために、ステージ５１、５２、５３を制御し、光路変更手段５０１を待避位置から光素子ホルダ１の上面付近に移動させ、測定用レーザ光（図示しない）を反射面５０１ｂによって光素子ホルダ１方向へ光路を変更させてレンズホルダ２上面の角度を光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）にて測定および記憶する。
【００５９】
なお、測定箇所はレンズホルダ２上面ならどこでもよく、測定点数も単数、複数どちらであってもよい。
【００６０】
そして、記憶した測定データに基づいて、基台２０の水平面に対して平行度２μｍ以下になるようにゴニオステージ３２，３３を制御する。
【００６１】
同様に、レンズホルダ２上面を基準に、レンズホルダ２下面の平行度を測定するために、光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）から測定用レーザ光（図示しない）を出射し、反射面５０１ａによってファイバスリーブ１２方向へ光路を変更させてファイバスリーブ１２下面の角度を光学式角度測定器６４（光学式角度測定部６０）で測定および記憶する。
【００６２】
そして、記憶した測定データに基づいて、基台２０の水平面に対して平行度２μｍ以下になるようにゴニオステージ４４，４５を制御する。
【００６３】
次に、レンズホルダ２の中心とファイバスリーブ１２の中心が、一致するようにステージ３４、３５を平行移動制御した後、ヘッド４０を待避位置から降下させ、レンズホルダ２とファイバスリーブ１２を接触させる。このとき、接触位置は加圧計４８によって加圧力変化を認知することができ、光素子ホルダ１を水平方向に移動可能な状態にするために、光素子ホルダ１とレンズホルダ２の接触位置からヘッド４０をわずかに上昇させて間隔（隙間）を開ける。なお、間隔（隙間）は、１０μｍ以下であることが好ましい。
【００６４】
ただし、レンズホルダ２の中心とファイバスリーブ１２の中心が一致するように調整しても部品精度のバラツキから十分な結合効率を得ることが出来ない。
【００６５】
そこで、光素子４から出射された光ビームがレンズ３を通って集光し光ファイバー１４に効率良く結合するように、ステージ３４，３５、フェルール１３を保持するフェルール保持手段（図示しいていない）を昇降制御して調整する。
【００６６】
光量の最大点を見付ける方法としては、まず、ステージ３４，３５を移動制御しながら、Ｘ、Ｙ水平面方向で、光量が最大になる箇所を探した後、Ｘ、Ｙ方向の光量が最大になっている箇所でフェルール保持手段（図示していない）を昇降制御して光量が最大になる位置を探す。また、光軸が斜めになっている場合は、Ｚ方向に複数回移動しＸ、Ｙ方向の光量が最大になる位置を求め最小自乗法にてＺ方向の光量が最大になる位置を算出する。
【００６７】
続いて、レンズホルダ２上面とファイバースリーブ１２下面の、接合面同士を接触させて、加圧計４８で加圧を測定しながら、加圧（２０Ｎ以下が好ましい）を掛ける。その後、光ファイバ内の光量を測定するための光量測定器（図示していない）を用いてが、光量の規格値を満たす箇所を見付けるために、フェルール保持手段（図示していない）を昇降制御し、光量測定器（図示していない）の値が得られる箇所に調整する。その状態で、光ファイバ１４のファイバースリーブ１２に対するＺ軸方向の位置を固定するため、ファイバースリーブ１２とフェルール１３を接合にて固着させる。
接合方法は、溶接（たとえば、ＹＡＧレーザ溶接、ＣＯ２レーザ溶接、ＹＶО4レーザ溶接など）、超音波接合、常温接合など、光モジュール部品同士を固着できれば、その他の方法であっても良い。
【００６８】
ただし、ファイバースリーブ１２とフェルール１３を接合する際に、前記で得られた光量が最大になるフェルール１３と集光点２００の位置にズレが生じるため再度調整が必要になる。
【００６９】
前記同様、レンズホルダ２とファイバースリーブ１２の接合面の接触状態を確認し、その後、レンズホルダ２の上面とファイバスリーブ１２の接触位置からヘッド４０をわずかに上昇させて間隔（隙間）を開ける。なお、この間隔（隙間）は１０μｍ以下であることが好ましい。
【００７０】
その間隔を保ったまま水平方向に平行移動制御することで、接合面同士の接触による平行度の狂いがなく、かつ光学的にほぼ影響のない範囲で、結合状態の調節ができる。
【００７１】
この状態で、光素子４から出射された光ビームがレンズ３を通って集光し光ファイバー１４に効率良く結合する様に、ステージ３４，３５移動させ調整する。
【００７２】
この調整は、光ファイバー１４に入射した光量を図示しない光量測定器にて測定し光量が最大になる位置にステージ３４，３５移動させ調整する。
続いて、レンズホルダ２の上面とファイバースリーブ１２の下面の、接合面同士を接触させて、加圧計４８で加圧を測定しながら、加圧（２０Ｎ以下が好ましい）を掛けて、光の結合状態が加圧によって変化しない事を確認する。もし、この加圧を掛けた時に光の結合状態が変化した場合は、再度、レンズホルダ２の上面とファイバースリーブ１２の下面の傾きを調整する。よって、加圧を掛けた状態で光学的な変化が生じないことを確認するため、溶接時のずれを少なくすることが出来る。
【００７３】
この加圧による光の結合状態が、ぼぼ変化しないようになったところで、接合する面、図６のｂ部を溶接などで固着させる。
【００７４】
以上の説明は、光モジュール部品の接合面の傾きを一致させるために、ヘッド側、ステージ側の両方にて制御していたが、光モジュール部品の接合面の傾きと、Ｘ、Ｙ、Ｚ座標を基に、複雑な各座標データの演算が必要になるが、簡易的な方法として、たとえば、ヘッド側の光モジュール部品は固定（基準）し、ステージ側の光モジュール部品の接合面を、基準となるヘッド側の光モジュール部品の接合面に合わせるようにステージ側のみ制御する形態であっても良い。
【００７５】
また、逆に、ステージ側の光モジュール部品は固定（基準）し、ヘッド側の光モジュール部品の接合面を、基準となるステージ側の光モジュール部品の接合面に合わせるようにヘッド側のみ制御する形態であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明に係る光モジュール組立装置の一例を示す断面図。
【図２】（ａ）レンズ通過後の光ビームが装置の基台と垂直ななる軸に平行に調整された状態を説明する図。（ｂ）光ファイバーの先端に施された反射光対策の斜め研磨を考慮し、レンズ通過後の光ビームが、結合効率を最大にする角度に調整された状態を説明する図。
【図３】光素子ホルダの光ビームの向きを測定する方法を示す図
【図４】レンズ通過後の光ビームを軸に平行に調整する際の測定方法を示す図
【図５】（ａ）、（ｂ）…レンズ部とファイバースリーブ部の傾き測定を示す図
【図６】光モジュールの完成組立図
【図７】光素子ホルダ、レンズホルダの傾き調整を説明する図
【図８】光モジュールの構成を説明する図
【図９】（ａ）、（ｂ）…従来技術の半球形状の治具による傾きの調整を説明する図
【図１０】接合面同士の傾きと隙間の状態を説明する図
【符号の説明】
【００７７】
１．光素子ホルダ
２．レンズホルダ
３．レンズ
４．光素子
１２．ファイバースリーブ
１３．フェルール
１４．光ファイバ
２０．装置の基台
３０．調整台
４０．加圧ヘッド
３１．３２．４１．４２．Ｘθ、Ｙθゴニオステージ
５０．光軸測定手段
５４．撮像部
６０．平行度測定手段
６４．光学式角度測定器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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