(57)【要約】【課題】電源投入時にイニシャライズ動作を行わずに、絶対回転角度を知ることができる安価でコンパクトなアブソリュートエンコーダ付軸受を提供する。【解決手段】このエンコーダ付軸受は、回転側軌道輪２、固定側軌道輪３、および転動体４からなる転がり軸受部１を有する。回転側軌道輪２には磁気特性を円周方向に周期的に変化させた被検出部７が取付けられる。固定側軌道輪３には被検出部７に対向して磁気センサからなる磁気検出部８が取付けられる。この磁気検出部８へ電力供給し、磁気検出部８の出力信号を処理して外部に出力する磁気検出回路基板９を備える。上記被検出部８の磁気特性は、回転側軌道輪２の１回転を１周期として変化させる。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転側軌道輪、固定側軌道輪、および転動体からなる転がり軸受部と、回転側軌道輪に取付けられ磁気特性を円周方向に周期的に変化させた被検出部と、被検出部に対向して固定側軌道輪に取付けられた磁気検出部と、この磁気検出部へ電力供給し、磁気検出部の出力信号を処理して外部に出力する磁気検出回路基板とを備え、
上記被検出部の上記磁気検出部に対する磁気特性を、回転側軌道輪の１回転を１周期として変化させたことを特徴とするアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項２】
請求項１に記載の軸受において、上記磁気検出部が磁束密度に対応した信号を発生する非巻線型の磁気センサであるアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項３】
請求項１に記載の軸受において、上記磁気検出部が巻線型の磁気センサであるアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の軸受において、上記被検出部が着磁された磁気発生部材または磁気発生部材を含む複合部材からなり、被検出部の着磁強度、断面積、および被検出部と磁気検出部との距離の少なくとも一つを変化させることにより、被検出部によって発生し磁気検出部を通過する磁束密度を、回転側軌道輪の１回転を１周期として変化させたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項５】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の軸受において、上記被検出部が磁性体または磁性体を含む複合部材からなり、上記磁気検出部の被検出部に対向する面の反対側に永久磁石を配置し、被検出部の断面積、および被検出部と磁気検出部との距離の少なくとも一つを変化させることにより、上記永久磁石によって発生し磁気検出部を通過する磁束密度を、回転側軌道輪の１回転を１周期として変化させたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の軸受において、上記被検出部の上記磁気検出部に対する磁気特性を、１回転を１周期として正弦波状に変化させ、上記磁気検出部が、所定の位相差を持って配置された２個の磁気検出部からなり、上記磁気検出回路基板が、上記２個の磁気検出部の所定の位相差を持つ出力信号の演算処理によって回転側軌道輪の絶対角度を出力する絶対角演算回路を含むアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項７】
請求項６に記載の軸受において、上記絶対角演算回路が、上記２個の磁気検出部の出力信号の値と回転側軌道輪の絶対角度との対応表を記憶する記憶部と、磁気検出部の出力信号の値に応じて上記対応表から回転側軌道輪の絶対角度を読み取って出力する読み取り部とからなるアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項８】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の軸受において、上記被検出部の磁気検出部に対する磁気特性を、円周上の１点を起点として円周方向に増加または減少する三角波状に変化させたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の軸受において、上記磁気検出部が円周方向に所定の間隔を持って設けた複数の磁気センサからなり、上記複数の磁気センサのうち、２個の磁気センサの差分出力を求めることにより、外部環境の変動等に伴う磁気センサ出力のオフセット分を補正するオフセット補正回路を、上記磁気検出用回路基板に設けたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の軸受において、上記磁気検出部が円周方向に所定の間隔を持って設けた複数の磁気センサからなり、上記複数の磁気センサのうち、２個の磁気センサの出力の比を求めることにより、外部環境の変動等に伴う磁気センサのゲイン変化を補正するゲイン補正回路を、上記磁気検出回路基板に設けたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の軸受において、上記磁気検出部が円周方向に所定の間隔を持って設けた複数の磁気センサからなり、上記複数の磁気センサのうち、９０°の位相差を持つ２個の磁気センサの出力を、それぞれ、これら出力の二乗和または二乗和の平方根で各出力を除することにより、外部環境の変動等に伴う磁気センサのゲイン変化を補正するゲイン補正回路を、上記磁気検出回路基板に設けたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１２】
請求項６に記載の軸受において、上記２個の磁気検出部を９０°の位相差を持って配置し、各磁気検出部は、それぞれ位相差を持って配置された２つの磁気センサからなる磁気センサ対で構成し、上記絶対角度演算手段は、各磁気検出部の出力として、磁気センサ対の２つのセンサ出力に所定の演算処理を施して一つの出力を得て、その得られた両磁気検出部の出力である９０°の位相差を持つ出力信号の演算処理によって回転側軌道輪の絶対角度を出力するものとしたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の軸受において、固定側軌道輪に対する回転側軌道輪の１回転中の原点を示す原点信号の生成手段を設けたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１４】
請求項１３に記載の軸受において、上記磁気検出部が、被検出部の検出出力につき互いに電気的な位相差を生じる２つ以上の磁気センサを有し、上記原点信号の生成手段が、上記２つ以上の磁気センサのうちの互いに位相差のある２つの磁気センサの差分出力から原点信号を生成するものとしたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１５】
請求項１３に記載の軸受において、上記磁気検出部がアナログ出力の磁気センサを有し、上記原点信号の生成手段が、上記磁気センサのアナログ出力と基準電圧とで原点信号を生成するものであるアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１６】
請求項１３に記載の軸受において、上記磁気検出部がラッチタイプまたはスイッチタイプの磁気センサを有し、上記原点信号の成形手段が、上記ラッチタイプまたはスイッチタイプの磁気センサの出力を原点信号とするものであるアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１７】
請求項１３ないし請求項１６のいずれかに記載の軸受において、上記磁気検出部として、上記原点信号の生成手段による原点信号の生成に用いられる磁気センサと、用いられない磁気センサとがあって、原点信号の生成に用いられる磁気センサを用いられない磁気センサよりも被検出部に近づけて配置したアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１８】
請求項１３に記載の軸受において、上記被検出部とは別に少なくとも１極の磁気特性を有する原点用磁気発生部材を回転側軌道輪に設け、この原点用磁気発生部材の磁気を検出する原点用検出部を固定側軌道輪に設け、上記原点信号の生成手段は上記原点用磁気発生部材と原点用検出部とでなるものとしたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項１９】
請求項１８に記載の軸受において、上記原点用磁気発生部材は、Ｎ極，Ｓ極が各１極であって、これらＮ極，Ｓ極が互いに一体または別体に設けられた磁気シート部材であるアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項２０】
回転側軌道輪、固定側軌道輪、および転動体からなる転がり軸受部と、回転側軌道輪に取付けられ磁気特性を円周方向に周期的に変化させた被検出部と、被検出部に対向して固定側軌道輪に取付けられた磁気検出部と、この磁気検出部へ電力供給し、磁気検出部の出力信号を処理して外部に出力する磁気検出回路基板とを備え、
上記被検出部の上記磁気検出部に対する磁気特性を、回転側軌道輪の１回転を２周期以上として変化させ、固定側軌道輪に対する回転側軌道輪の１回転中の原点を示す原点信号の生成手段を設けたことを特徴とするアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項２１】
請求項１ないし請求項２０のいずれかに記載の軸受において、上記固定側軌道輪に温度センサを固定し、温度センサの出力を用いて上記磁気センサ、上記着磁された被検出部、および上記永久磁石の少なくとも一つの温度特性を補正する温度特性補正回路を、磁気検出回路基板に設けたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【請求項２２】
請求項１ないし請求項２１のいずれかに記載の軸受において、磁気検出回路基板の少なくとも一部を、固定側軌道輪に一体に取付けたアブソリュートエンコーダ付軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、絶対角度の検出機能を有し、種々の機器、例えばロボットの関節等に使用されるアブソリュートエンコーダ付軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンパクトで組立が容易な利点に着目して、回転センサを転がり軸受に内蔵したものがある。その例を図２２に示す。同図の転がり軸受５１は、回転側軌道輪である内輪５２と、固定側軌道輪である外輪５３との間に保持器５５で保持される転動体５４を介在させたものであって、内輪５２に環状の磁気エンコーダ５６が固定されている。外輪５３には例えばホール素子からなる磁気センサ５７が、上記磁気エンコーダ５６に対向して固定されている。磁気エンコーダ５６は、例えばゴム磁石からなり、円周方向にＮ極とＳ極を交互に着磁したものである。磁気センサ５７は、樹脂ケース５８内に挿入された状態で樹脂モールドされ、この樹脂ケース５８を金属ケース５９を介して外輪５３に嵌着させることで、外輪５３に固定されている。
【０００３】
このように構成することにより、内輪５２の回転に伴い、図２３に示すように磁気センサ５７が磁気エンコーダ５６の磁極変化を検出し、その検出信号は図２４のようなインクリメンタルな回転パルス信号となる。この信号から内輪５２の回転数を知ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような構成では、インクリメンタルな回転パルス信号を得ることはできても、絶対回転角度を知ることができない。この場合、絶対回転角度を知るためには、電源投入時にイニシャライズ動作を行ってから、パルス数をカウントしなければならない。
【０００５】
この発明の目的は、電源投入時にイニシャライズ動作を行うことなく、絶対回転角度を知ることができる安価でコンパクトなアブソリュートエンコーダ付軸受を提供することである。
この発明の他の目的は、絶対回転角度に加えて、原点信号が得られるものとすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明のアブソリュートエンコーダ付軸受は、回転側軌道輪、固定側軌道輪、および転動体からなる転がり軸受部と、回転側軌道輪に取付けられ磁気特性を円周方向に周期的に変化させた被検出部と、被検出部に対向して固定側軌道輪に取付けられた磁気検出部と、この磁気検出部への電力供給および磁気検出部の出力信号を処理して外部に出力する磁気検出回路基板とを備え、
上記被検出部の磁気特性を、回転側軌道輪の１回転を１周期として変化させたものである。被検出部の円周方向の周期的な磁気特性の変化は、磁気検出部に対する変化であり、磁気検出部に対する相対的な変化で良い。
この構成によると、被検出部の磁気特性を、回転側軌道輪の１回転を１周期として変化させたため、簡単に絶対角度を出力することができる。これにより、電源投入時にイニシャライズ動作を行うことなく、絶対回転角度を知ることができ、また安価でコンパクトに構成できる。
【０００７】
上記磁気検出部は、磁気検出部が磁束密度に対応した信号を発生する非巻線型の磁気センサ、つまり巻き線を用いないセンサであっても良く、また巻き線型のセンサであっても良い。上記非巻線型の磁気センサとしては、ホール素子磁気センサや磁気抵抗素子磁気センサ等を用いることができる。
【０００８】
上記被検出部は、着磁された磁気発生部材または磁気発生部材を含む複合部材からなるものとしても良い。この場合に、上記被検出部の上記磁気特性の周期的な変化は、被検出部の着磁強度、断面積、および被検出部と磁気検出部との距離の少なくとも一つを変化させることにより、被検出部によって発生し磁気検出部を通過する磁束密度を、回転側軌道輪の１回転を１周期として変化させたものとしても良い。
このように被検出部が着磁されたものとすると、別途に磁界を与える手段が不要で、簡素な構成となる。
【０００９】
上記被検出部は、磁性体または磁性体を含む複合部材からなり、上記磁気検出部の被検出部に対向する面の反対側に永久磁石を配置したものであっても良い。この場合に、上記被検出部の上記磁気特性の周期的な変化は、被検出部の断面積、および被検出部と磁気検出部との距離の少なくとも一つを変化させることにより、上記永久磁石によって発生し磁気検出部を通過する磁束密度を、回転側軌道輪の１回転を１周期として変化させたものとしても良い。
この構成によると、永久磁石によって発生して磁気検出部を通過する磁束密度が、磁性体等からなる被検出部の回転による上記断面積等の変化に伴って変化する。この磁束密度の変化により回転が検出される。この構成の場合、磁気検出部側に永久磁石を設ける必要があるが、被検出部が着磁不要であるため、回転側となる被検出部の材質や形状選定の自由度が高い。なお、上記被検出部は、上記磁性体が着磁された磁気発生部材または磁気発生部材を含む複合材料であっても良い。
【００１０】
この発明における上記各構成の場合に、上記被検出部の上記磁気検出部に対する磁気特性を、１回転を１周期として正弦波状に変化させるようにしてもよい。その場合に、上記磁気検出部が、所定の位相差を持って配置された２個の磁気検出部からなり、上記磁気検出回路基板が、上記２個の被検出部の所定の位相差を持つ出力信号の演算処理によって回転側軌道輪の絶対角度を出力する絶対角演算回路を含むものとしても良い。
このように２個の磁気検出部を設けた場合、位相差を持つ２つの出力信号が得られるため、適宜の信号処理を施すことにより、外部磁界の影響を受け難くすることができる。上記位相差を略９０°とした場合は、象限判別が可能となり、より精度の高い絶対角度検出が可能である。
【００１１】
上記絶対角演算回路は、上記２個の磁気検出部の出力信号の値と回転側軌道輪の絶対角度との対応表を記憶する記憶部と、磁気検出部の出力信号の値に応じて上記記憶部に記憶した対応表から回転側軌道輪の絶対角度を読み取って出力する読み取り部とからなるものとしても良い。
このように対応表を準備しておくことで、回転側軌道輪の絶対角度を正確に検出することができる。
【００１２】
この発明における上記各構成の場合に、被検出部の磁気検出部に対する磁気特性は、円周上の１点を起点として円周方向に増加または減少する三角波状に変化させても良い。この三角波状は、鋸歯状であっても良い。このように被検出部が単調な変化を行うものであっても、絶対角度の検出が可能である。
【００１３】
この発明における上記各構成の場合に、上記磁気検出部が円周方向に所定の間隔を持って設けた複数の磁気センサからなり、上記複数の磁気センサのうち、２個の磁気センサの差分出力を求めることにより、外部環境の変動等に伴う磁気センサ出力のオフセット分を補正するオフセット補正回路を、上記磁気検出用回路基板に設けても良い。
このように２個の磁気センサの差分出力を求めてオフセット補正するように構成した場合、外部磁場の変化等の影響による磁気センサのオフセット電圧の変化を相殺することができ、回転側軌道輪の絶対角度をより正確に検出することができる。
【００１４】
また、この発明における上記各構成の場合に、上記磁気検出部が円周方向に所定の間隔を持って設けた複数の磁気センサからなり、上記複数の磁気センサのうち、２個の磁気センサの出力の比を求めることにより、外部環境の変動等に伴う磁気センサのゲイン変化を補正するゲイン補正回路を、磁気検出回路基板に設けても良い。
このように２個の磁気センサの出力の比を求めてゲイン補正するようにした場合は、温度変化等の外部環境の変化の影響によるセンサ感度の変動を相殺して、回転側軌道輪の絶対角度を正確に検出することができる。
【００１５】
上記ゲイン補正回路は、被検出部の磁気検出部に対する磁気特性を正弦波状に変化させ、２個の磁気センサを円周方向に９０°の間隔をおいて配置した場合には、２個の磁気センサの出力の比を求める代わりに、２個の磁気センサの出力を、それぞれ、これらの出力の二乗和または二乗和の平方根で各出力を除することにより、外部環境の変動等に伴う磁気センサのゲイン変化を補正するものとしても良い。
このように、２出力の二乗和または二乗和の平方根で正規化する演算によっても、温度変化等の外部環境の変化の影響によるセンサ感度の変動を相殺して、回転側軌道輪の絶対角度を正確に検出することができる。
【００１６】
また、この発明において、上記のように被検出部の磁気特性が１回転を１周期として正弦波状に変化するものとし、上記磁気検出部が、所定の位相差を持って配置された２個の磁気検出部からなり、上記磁気検出回路基板が、上記２個の磁気検出部の所定の位相差を持つ出力信号の演算処理によって回転側軌道輪の絶対角度を出力する絶対角演算回路を含むものとした場合に、上記２個の磁気検出部を９０°の位相差を持って配置し、各磁気検出部は、それぞれ位相差を持って配置された２つの磁気センサからなる磁気センサ対で構成しても良い。その場合、上記絶対角度演算手段は、各磁気検出部の出力として、磁気センサ対の２つのセンサ出力に所定の演算処理を施して一つの出力を得て、その得られた両磁気検出部の出力である９０°の位相差を持つ出力信号の演算処理によって回転側軌道輪の絶対角度を出力するものとする。
このように、円周方向に位相差を持って配置した磁気センサ対によって磁気検出部を構成すると、差動出力が可能となるため、温度変化等の影響による出力のオフセット分を補正することができる。
上記両磁気検出部の出力である９０°の位相差を持つ出力信号の演算処理は、２個の磁気検出部の出力を、それぞれ、これら出力の二乗和または二乗和の平方根で各出力を除する処理や、また上記の出力の比を求める処理を含んでいてもよいし、また、上記の出力と絶対角度の対応表から絶対角度を読み取る処理を含んでも良い。
【００１７】
この発明において、固定側軌道輪に対する回転側軌道輪の１回転中の原点を示す原点信号の生成手段を設けても良い。絶対角度の検出信号だけでなく、原点信号が得られるため、この軸受を使用する機器の制御が容易になる。
原点信号の生成手段は、絶対角度検出用の磁気検出部の出力を利用するものであっても良く、また絶対角度検出用とは別に原点検出用の磁気発生部材および検出部を設けても良い。絶対角度検出用の磁気検出部の出力を利用するものである場合は、原点検出用に新たな磁気検出部を設ける必要がなく、簡単な構成で原点信号を生成することができる。絶対角度検出用とは別に磁気発生部材および検出部を設けた場合は、高精度な原点信号を得ることができ、繰り返し原点検出精度が厳しく要求される場合に効果的に適用できる。
【００１８】
原点信号の生成手段のうち、絶対角度検出用の磁気検出部の出力を利用するものとして、例えば、次の各例の構成が採用できる。
その一つは、この発明において、上記磁気検出部が、被検出部の検出出力につき互いに電気的な位相差を生じる２つ以上の磁気センサを有するものとし、上記原点信号の生成手段が、上記２つ以上の磁気センサのうちの互いに位相差のある２つの磁気センサの差分出力から原点信号を生成するものととする。
他の一つは、この発明において、上記磁気検出部がアナログ出力の磁気センサを有するものとし、上記原点信号の生成手段が、上記磁気センサのアナログ出力と基準電圧とで原点信号を生成するものとする。
さらに他の一つは、この発明において、上記磁気検出部がラッチタイプまたはスイッチタイプの磁気センサを有するものとし、上記原点信号の成形手段が、上記ラッチタイプまたはスイッチタイプの磁気センサの出力を原点信号とするものである。
【００１９】
原点信号の生成手段を設けた場合であって、上記磁気検出部として、上記原点信号の生成手段による原点信号の生成に用いられる磁気センサと、用いられない磁気センサとがあるときに、原点信号の生成に用いられる磁気センサを用いられない磁気センサよりも被検出部に近づけて配置しても良い。
このように原点検出用の磁気センサを被検出部に近づけることで、精度良く原点が検出できる。原点検出に用いる磁気センサのみを被検出部に近づけるため、全ての磁気センサを被検出部に近づける場合に比べて、磁気センサと被検出部との不測の接触の回避に対して、製造上の精度の要求が緩和される。
【００２０】
原点信号の生成手段を絶対角度検出用とは別に設ける場合は、次の構成とできる。例えば、上記被検出部とは別に、少なくとも１極の磁気特性を有する原点用磁気発生部材を回転側軌道輪に設け、この原点用磁気発生部材の磁気を検出する原点用検出部を固定側軌道輪に設ける。上記原点信号の生成手段は上記原点用磁気発生部材と原点用検出部とでなるものとする。なお、原点用磁気発生部材は回転側軌道輪の原点位置との関係が特定できれば良く、原点用磁気発生部材を設けた位置が回転側軌道輪の原点とが機械的に一致している必要はない。
この場合に、上記原点用磁気発生部材は、Ｎ極，Ｓ極が各１極であって、これらＮ極，Ｓ極が互いに一体または別体に設けられた磁気シート部材であっても良い。磁気シート部材は、シート型の被検出部のことである。
【００２１】
この発明における他のアブソリュートエンコーダ付軸受は、回転側軌道輪、固定側軌道輪、および転動体からなる転がり軸受部と、回転側軌道輪に取付けられ磁気特性を円周方向に周期的に変化させた被検出部と、被検出部に対向して固定側軌道輪に取付けられた磁気検出部と、この磁気検出部へ電力供給し、磁気検出部の出力信号を処理して外部に出力する磁気検出回路基板とを備え、上記被検出部の上記磁気検出部に対する磁気特性を、回転側軌道輪の１回転を２周期以上として変化させ、固定側軌道輪に対する回転側軌道輪の１回転中の原点を示す原点信号の生成手段を設けたことを特徴とする。
原点信号の生成手段を有する場合、このように被検出部が回転側軌道輪の１回転を２周期以上として変化する磁気特性であっても、原点信号を利用することにより、絶対角度の検出が可能になる。被検出部の磁気特性を２周期以上として変化するものとすることにより、精度良く絶対角度を検出することができる。
【００２２】
また、この発明における上記各構成の場合に、上記固定側軌道輪に温度センサを固定し、温度センサの出力を用いて上記磁気センサ、上記着磁された被検出部、および上記永久磁石の少なくとも一つの温度特性を補正する温度特性補正回路を、磁気検出回路基板に設けても良い。
このように構成した場合も、温度変化の影響によるセンサ感度の変動を相殺して回転側軌道輪の絶対角度を正確に検出することができる。
【００２３】
また、この発明における上記各構成の場合に、磁気検出回路基板の少なくとも一部を、固定側軌道輪に一体に取付けても良い。これにより、一層のコンパクト化、取扱い性の向上が図れる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
この発明の第１の実施形態を図１ないし図３と共に説明する。このアブソリュートエンコーダ付軸受は、転動体４を介して互いに回転自在な回転側軌道輪２および固定側軌道輪３を有する軸受部１と、回転側軌道輪２の一端部に設けた被検出部７と、この被検出部７に対向して固定側軌道輪３の一端部に取付けられた磁気検出部８と、磁気検出回路基板９とを備える。軸受部１は、深溝玉軸受からなり、その内輪が回転側軌道輪２となり、外輪が固定側軌道輪３となる。回転側軌道輪２の外径面および固定側軌道輪３の内径面には転動体４の軌道面２ａ，３ａが形成されており、転動体４は保持器５で保持されている。回転側軌道輪２と固定側軌道輪３の間の環状空間は、被検出部７および磁気検出部８の設置側とは反対側の端部がシール部材１０で密封されている。
【００２５】
被検出部７はラジアル型のものであって、磁気検出部８に対する磁気特性を円周方向に変化させた環状の部品とされている。この磁気特性は、回転側軌道輪２の１回転を１周期として変化するものとしてある。具体的には、環状のバックメタル１１と、その外周側に設けられ周方向に向けて変化する磁極Ｎ，Ｓが着磁された磁気発生部材１２とを有する。この被検出部７はバックメタル１１を介して回転側軌道輪２に固着されている。磁気発生部材１２は例えばゴム磁石とされ、バックメタル１１に加硫接着される。磁気発生部材１２はプラスチック磁石や焼結磁石で形成されたものであっても良く、この場合にはバックメタル１１は必ずしも設けなくても良い。
【００２６】
図２は、被検出部７の磁気発生部材１２に上述した磁性特性を持たせる処理の一例を示す。この処理では、円筒状に巻かれた空心コイル１３の内部に、上記環状の被検出部７となる着磁前の環状部品を、その軸心が空心コイル１３の軸心と直交するように配置する。この被検出部７となる部品の外周部に着磁強度分布補正用の着磁ヨーク１４を配置した状態で、空心コイル１３に着磁電流を流す。これにより、被検出部７の磁気発生部材１２に、１回転を１周期とする正弦波状の着磁分布を得ることができる。
【００２７】
図１において、磁気検出部８は、磁束密度に対応した出力信号を発生する２つの磁気センサ８Ａ，８Ｂからなる。これら２つの磁気センサ８Ａ，８Ｂは、同図（Ｂ）のように円周方向に所定の間隔（ここでは９０°の位相差）を持たせて配置されている。これら両磁気センサ８Ａ，８Ｂは共にアナログセンサからなる。これら磁気センサ８Ａ，８Ｂは、同図（Ａ）のように磁気検出回路基板９に搭載され、この磁気検出回路基板１３と共に樹脂ケース１５内に挿入した後に樹脂モールドされる。この樹脂ケース１５を、金属ケース１６を介して固定側軌道輪３に固定することにより、磁気センサ８Ａ，８Ｂおよび磁気検出回路基板９が固定側軌道輪３に取付けられている。磁気検出回路基板９は、磁気検出部８への電力供給および磁気検出部８の出力信号を処理して外部に出力するための回路を実装した基板である。
【００２８】
図３は、回転側軌道輪２の回転に伴う両磁気センサ８Ａ，８Ｂの検出信号の波形図を示す。このように２つの磁気センサ８Ａ，８Ｂを用いることにより、象限判別が可能となり、磁気センサ８Ａ，８Ｂの出力から絶対角度を知ることができる。このような信号処理は、磁気検出回路基板９に設けられた絶対角演算回路（図示せず）によって行われる。
【００２９】
このように、このエンコーダ付軸受によると、磁気検出部８に対する被検出部７の磁気特性（ここでは着磁強度）を、被検出部７が取付けられた回転側軌道輪２の１回転を１周期として変化させているので、回転側軌道輪２の回転角度を絶対角度として検出することができる。また、電源投入時にイニシャライズ動作を行うことなく、絶対回転角度を知ることができる。
【００３０】
特に、この実施形態では、被検出部７の磁気特性を正弦波状に変化させると共に、磁気検出部８は所定の位相差を持って配置された２個の磁気センサ８Ａ，８Ｂで構成し、これら２個の磁気センサ８Ａ，８Ｂの位相差を持つ出力信号を、磁気検出回路基板９の絶対角演算回路により演算処理するようにしたため、より正確に回転側軌道輪２の絶対角度を検出することができる。
【００３１】
磁気検出回路基板９は、磁気検出部８と共に固定側軌道輪３に一体に取付けられているので、磁気検出部８と磁気検出回路基板１３とを接続する配線処理が簡単になり、アブソリュートエンコーダ付軸受を安価でコンパクトに構成することができる。
【００３２】
なおこの実施形態において、磁気検出部８を構成する２個の磁気センサ８Ａ，８Ｂのうち、一方をアナログセンサとし、他方をデジタルセンサとしても良い。図４は、この場合の両磁気センサ８Ａ，８Ｂの出力波形を示す。この場合、デジタルセンサである磁気センサ８Ｂの出力を象限判別用として利用することにより、回転側軌道輪である内輪３の回転角度を絶対角度としてより正確に、または簡素な処理で検出することができる。
【００３３】
また、この実施形態において、図５（Ａ）のように磁気検出部８を構成する２個の磁気センサ８Ａ，８Ｂの出力をゲイン補正回路１７で補正するようにしても良い。このゲイン補正回路１７は、両磁気センサ８Ａ，８Ｂの出力の比を求める除算器１８と、補正テーブル１９とからなる。補正テーブル１９は、図５（Ｂ）に示すように、上記出力比と絶対角度との対応表（図示せず）を記憶する記憶部２０と、この記憶部２０の対応表から回転側軌道輪２の絶対角度を読み取って出力する読み取り部２１とからなる。
このように２つのセンサ出力の除算によって感度の変動を相殺し、出力比と絶対角度との対応表によってセンサ出力を決定することにより、温度変化等の外部変化の影響によるセンサ感度の変動を相殺して回転側軌道輪２の絶対角度を正確に検出することができる。
【００３４】
被検出部の磁気検出部に対する磁気特性を正弦波状に変化させ、２個の磁気センサを周方向に９０°の間隔を置いて配置した場合は、ゲイン補正回路１７として、図６（Ａ）のように、各磁気センサ８Ａ，８Ｂの出力を、これらの二乗和または二乗和の平方根（ここでは二乗和の平方根）で除する正規化回路２２と、補正テーブル１９とで構成しても良い。補正テーブル１９は、図６（Ｂ）のように、前記正規化出力と、絶対角度との対応表（図示せず）を記憶する記憶部２３と、この記憶部２３の対応表から回転側軌道輪２の絶対角度を読み取って出力する読み取り部２４とからなる。この場合も、温度変化等の外部変化の影響によるセンサ感度の変動を相殺して回転側軌道輪２の絶対角度を正確に検出することができる。
【００３５】
なお、外部温度の変化によるセンサ感度の変動を補正する対策として、このほか、磁気検出部８の設置部の近傍に温度センサを設置して温度を計測し、温度センサの出力との対応表を持つ補正テーブルを参照することにより、温度変化の影響を補正するようにしても良い。
【００３６】
さらに、図７のように、一方の磁気センサ８Ａとして、位相差を１８０°とした２個の磁気センサ８Ａ１，８Ａ２を設けると共に、他方の磁気センサ８Ｂとして、位相差を１８０°とした２個の磁気センサ８Ｂ１，８Ｂ２を設けても良い。ここで言う磁気センサ８Ａ，８Ｂは、それぞれが請求項で言う磁気検出部であり、２個の磁気センサ８Ａ１，８Ａ２が一つの磁気センサ対となり、２個の磁気センサ８Ｂ１，８Ｂ２が他の一つの磁気センサ対となる。この場合、差動増幅器２５Ａで求めた磁気センサ８Ａ１，８Ａ２の出力ａ１，ａ２の差動出力ａを磁気センサ８Ａの出力とし、別の差動増幅器２５Ｂで求めた磁気センサ８Ｂ１，８Ｂ２の出力ｂ１，ｂ２の差動出力ｂを磁気センサ８Ｂの出力とする。このように得られた差動出力ａ，ｂにより、図５に示したゲイン補正回路１７を用いるようにしても、外部磁界の変動等によるオフセット電圧の変化をキャンセルすることができる。この場合、差動増幅器２５Ａ，２５Ｂは磁気センサ出力のオフセット分を補正するオフセット補正回路となる。
なお、図７では、磁気センサ８Ａ１，８Ａ２の間、および磁気センサ８Ｂ１，８Ｂ２の間の位相差を１８０°としたが、これらの位相差を小さくしても良い。この場合、差動出力は小さくなるが、局部的な外乱によるオフセット電圧の変化も補正することができる。なお、上記位相差が１８０°に近い場合は、差動出力としたセンサ出力が大きくなり、センサ感度を向上させることができる。
【００３７】
また、この実施形態では、被検出部７の磁気特性が正弦波形状の場合を例示したが、これに限らず、図８にセンサ出力例を示すように、円周上の１点を起点として円周方向に増加または減少する三角波状に変化させるようにしても良い。この三角波状は、鋸歯状であっても良い。すなち、出力を直線状に単調に変化させるものとしても良い。
【００３８】
図９および図１０はこの発明の他の実施形態を示す。このアブソリュートエンコーダ付軸受は、第１の実施形態において、内輪からなる回転側軌道輪２に取付けられる被検出部７に対して、磁気検出部８を軸方向に対向配置させたアキシアル型としている。被検出部７は断面Ｌ字状とした環状の磁性体を、その円筒部７ａで回転側軌道輪２の外径面に嵌着させている。図１０に示すように、この被検出部７の内向フランジ部７ｂは、その内径を回転側軌道輪２の軸心Ｏから偏心させてある。すなわち、被検出部７は、その断面積を回転側軌道輪２の１回転を１周期として増減変化させてある。なお、被検出部７は、第１の実施形態の場合のように磁気発生部材とバックメタルなどとの複合材料からなるものであっても良い。
【００３９】
一方、磁気検出部８側では、磁気検出部８の被検出部７に対向する面とは反対側に永久磁石２６を配置したバックマグネット型とされている。この実施形態におけるその他の各構成は第１の実施形態と同じである。この実施形態においても、磁気検出部８は磁気検出回路基板９に搭載され、この磁気検出回路基板９と共に樹脂ケース１５内に挿入した後に樹脂モールドされる。その樹脂ケース１５を金属ケース１６を介して固定側軌道輪３に固定することにより、磁気検出部８を固定側軌道輪３側に取付けている。
【００４０】
この構成の軸受の場合、回転側軌道輪２の１回転を１周期として被検出部７の断面積が変化するので、永久磁石２６によって発生し磁気検出部８を通過する磁束密度もこれに応じて変化し、磁気検出部８が回転側軌道輪２の１回転を１周期とする検出信号を得ることになる。そのため、回転側軌道輪２の回転角度を絶対角度として検出することができる。
【００４１】
なお、この実施形態においても、磁気検出部８を２個の磁気センサ８Ａ，８Ｂで構成し、図５や図６のゲイン補正回路１７で補正を行っても良く、図７のように４個の磁気センサ８Ａ１，８Ａ２，８Ｂ１，８Ｂ２を用いて差動出力を得ることで補正を行うようにしても良い。
【００４２】
また、この実施形態では、被検出部７の断面積を回転側軌道輪２の１回転を１周期として増減させた場合を例示したが、被検出部７を図１１（Ａ），（Ｂ）に正面図および側面図で示すように略１周のらせん状の環体とし、これを回転側軌道輪２の外径面に嵌着させることにより、被検出部７と磁気検出部８の軸方向ギャップを、回転側軌道輪２の１回転を１周期として増減させても良い。この場合にも、永久磁石２６によって発生し磁気検出部８を通過する磁束密度が、回転側軌道輪２の回転に応じて変化し、磁気検出部８が回転側軌道輪２の１回転を１周期とする検出信号を得ることになり、回転側軌道輪２の回転角度を絶対角度として検出することができる。
【００４３】
図１２は、この発明のさらに他の実施形態を示す。このアブソリュートエンコーダ付軸受は、図９に示した実施形態において、回転側軌道輪２に取付けられる被検出部７に対して、磁気検出部８を外径側に対向配置させたラジアル型としている。磁気検出部８の被検出部７と対向する側とは反対側に永久磁石２６を設けてバックマグネット型とすることは第２の実施形態と同じである。
この構成の場合も、被検出部７の断面積または磁気検出部８との距離が、回転側軌道輪２の１回転を１周期として変化することにより、永久磁石２６によって発生して磁気検出部８を通過する磁束密度が、回転側軌道輪２の回転に応じて変化する。これにより、磁気検出部８が回転側軌道輪２の１回転を１周期とする検出信号を得ることになり、回転側軌道輪２の回転角度を絶対角度として検出することができる。その他の構成は第１の実施形態と同じである。
【００４４】
つぎに、原点信号を得るようにした各実施形態を説明する。図１３，１４は、原点信号の生成手段として、絶対角度検出用の磁気検出部８の出力を利用するものを設けた実施形態を示す。この実施形態は、図１ないし図３に示す第１の実施形態において、図１４に示す原点信号の生成手段３１を追加したものであり、特に説明する事項を除き、第１の実施形態と同じである。この実施形態において、軸受部１、被検出部７、および磁気検出部８は、図１の実施形態とは若干形状を異ならせて図示してあるが、機能的には同じである。
【００４５】
図１３（Ｃ）は、被検出部７の磁気発生部材１２に、１回転を１周期とする正弦波状の着磁分布を与えた場合の、回転側軌道輪２の回転に伴う両磁気センサ８Ａ，８Ｂの検出信号の波形図を示す。この実施形態では、磁気センサ８Ａ，８Ｂの検出信号の検出信号は、０から駆動電圧Ｖｃの間で正弦波状に変化するものとしてあるが、駆動電圧Ｖｃの１／２が０となるように座標を変換すると、図３に示すセンサ出力と同じ波形となる。
このように２つの磁気センサ８Ａ，８Ｂを用いることにより、上記のように象限判別が可能となり、磁気センサ８Ａ，８Ｂの出力から絶対角度を知ることができる。このような信号処理は、磁気検出回路基板９に設けられた絶対角演算回路（図示せず）によって行なわれる。絶対角度の演算については、第１の実施形態等について説明した上述の各演算手法、例えば図５，図６等に示したゲイン補正回路１７等を用いるもの等を採用できる。
【００４６】
図１３の２つの磁気センサ８Ａ，８Ｂの出力を利用し、次のように原点信号を生成することができる。図１４（Ａ）において、原点信号の生成手段３１は、２つの磁気センサ８Ａ，８Ｂの差分出力から原点信号を生成するものであり、コンパレータ３２によって構成される。磁気センサ８Ａ，８Ｂの各出力は、差を取り矩形化処理するコンパレータ３２に入力され、同図（Ｂ）のように１回転を１周期とする信号を生成する。このような信号処理は、磁気検出回路基板９に設けられた演算回路（図示せず）によって行なわれる。
この原点信号の生成手段３１は、絶対角度検出用の磁気検出部８の出力を利用するものであるため、原点検出用に新たな磁気検出部を設ける必要がなく、簡単な構成で原点信号を生成することができる。
【００４７】
なお、図１３の実施形態において、磁気センサ８Ａ，８Ｂのいずれか一方の出力を利用し、原点信号を生成してもよい。図１５（Ａ）は、その場合の原点信号の生成手段３１の構成を示す。同図において、磁気センサ８Ａまたは磁気センサ８Ｂの出力は、コンパレータ１３に入力され、磁気センサ８Ａ（８Ｂ）の出力信号と基準電圧Ｖｃ／２との差を取り矩形出力される。同図（Ｂ）は、この場合の磁気センサ８Ａ（８Ｂ）の出力波形と基準電圧Ｖｃ／２を示す。また同図（Ｃ）はコンパレータ１３の出力信号を示し、この出力信号を原点信号として利用する。ここでの基準電圧とは、磁気センサ８Ａ（８Ｂ）に磁束密度が与えられていない場合の出力電圧を指し、一般的に磁気センサの駆動電圧をＶｃとすると、基準電圧は同図の例のようにＶｃ／２となる場合が多い。
【００４８】
また、図１３の実施形態において、図１６に示すように、磁気センサ８Ａ，８Ｂ以外に円周上の所定の位置に磁気センサ８Ｃを配置し、磁気センサ８Ａ，８Ｂも含めた全ての磁気センサ８Ａ〜８Ｃのうち、いずれか２つの磁気センサの出力を図１４（Ａ）の生成手段３１で処理するか、または少なくとも１つの磁気センサの出力を図１５（Ａ）の生成手段３１で処理することで、原点信号を生成するようにしても良い。なお、上記各センサ８Ａ，８Ｂ，８Ｃは同位相にならないように配置する。
【００４９】
また、磁気センサ８Ａ，８Ｂ以外に一つまたは複数の磁気センサ８Ｃを円周上の所定の位置（各センサが同位相にならないよう）に配置した実施形態の場合に磁気センサ８Ｃを、片側磁界動作型または交番磁界動作型のデジタルセンサとしても良い。このデジタルセンサからなる磁気センサの出力信号を原点信号とすることができる。この場合、上記デジタルセンサからなる磁気センサ８Ｃが原点信号の生成手段３１となる。
【００５０】
図１６の実施形態等のように、絶対角検出用の磁気センサ８Ａ，８Ｂとは別に磁気センサ８Ｃを設けた場合、被検出部７の磁気発生部材１２との半径方向のすきまδ２を磁気センサ８Ａ，８Ｂにおける半径方向すきまｄ１よりも近づけても良い。この場合、磁気センサ８Ａ，８Ｂの出力信号から原点信号を生成するより、高精度な原点信号を生成することができる。
【００５１】
図１７（Ａ）はこの発明のさらに他の実施形態を示す。この実施形態は、絶対角度検出用とは別に原点用の磁気発生部材３４および原点用の検出部３５を設けた例である。このアブソリュートエンコーダ付軸受は、図１３に示す実施形態において、内輪からなる回転側軌道輪２に取付けられる被検出部７の磁気発生部材１２とは別体の磁気発生部材３４を設けている。磁気発生部材３４は、ラジアル型のものであって、磁気センサからなる原点用検出部３５に対する磁気特性を円周方向に変化させたシート型の部品とされている。この磁気特性は、円周方向に少なくとも１極以上として変化するものとしてある。具体的にはこの磁気発生部材３４は、被検出部７のバックメタル１１を介して回転側軌道輪２に固着されている。磁気発生部材３４は、例えばゴム磁石とされバックメタル１１に接着される。磁気発生部材３４はプラスチック磁石や焼結磁石で形成されたものであっても良い。磁気発生部材３４と被検出部７の磁気発生部材１２との間にはアキシアル方向のすきま３６を設けているが、このすきま３６は無くても良い。
【００５２】
図１７（Ａ）において、原点用検出部３５は、磁束密度に対応した出力信号を発生する少なくとも１つ以上（図示の例は１つ）の磁気センサからなる。磁気センサを複数設ける場合は、円周方向に離して配置する。この原点用検出部３５となる磁気センサは、片側磁界動作型または交番磁界動作型のデジタルセンサからなる。この原点用検出部３５は、磁気検出部８の磁気センサ８Ａ，８Ｂと同一の磁気検出回路基板９に搭載され、この磁気検出回路基板９と共に樹脂ケース１５内に挿入した後に樹脂モールドされる。この樹脂ケース１５を、金属ケース１６を介して固定側軌道輪３に固定することにより、磁気センサ８Ａ，８Ｂ、原点用検出部３５、および磁気検出回路基板９が固定側軌道輪３に取付けられている。磁気検出回路基板９は、磁気センサ８Ａ，８Ｂおよび原点用検出部３５への電力供給、および磁気検出部８，原点用検出部３５の出力信号を処理して外部に出力するための回路を実装した基板である。
【００５３】
図１７（Ｂ）は、原点用の磁気発生部材３４に円周方向に１極対の着磁分布を与えた場合の図１７（Ａ）中のＹＹ断面を示す。
図１８は、磁気発生部材３４に、円周方向に１極対の着磁分布を与えた場合の回転側軌道輪２の回転に伴う原点用検出部３５の検出信号の波形図を示す。この出力信号を原点信号とする。
【００５４】
なおこの実施形態において、原点用の磁気発生部材３４の形態は、図１９（Ａ）に示すような単極の磁石のみを用いても良い。また同図（Ｂ）に示すような単極の磁石を並べても良い。また同図（Ｃ）に示すような一体型で少なくとも１極対以上の着磁分布を与えたものでも良い。
同図（Ｄ）は、図１８（Ａ）と図１８（Ｂ）と図１８（Ｃ）の磁気発生部材における円周方向の磁束の変化を示す。これを見ると図１８（Ｂ）の磁気発生部材３４の場合が、磁束０になる付近の磁束変化が激しく、磁気センサからなる原点用検出部３５の閾値のバラツキや温度による磁石の減磁に対する影響を少なくするできる。そのため、より高精度な原点検出信号を得ることが出来る。
【００５５】
この実施形態において、原点用の磁気発生部材３４の円周方向の長さは、任意の長さで良い。
またこの実施形態において、原点用検出部３５となる磁気センサは、アナログタイプでも良い。その場合、図１５の実施形態でも示したとおり、基準電圧と比較することにより、原点信号を生成することができる。
【００５６】
またこの実施形態において、図２０に示すように、磁気発生部材３４はアキシアル型でも良い。その場合、原点用検出部３５はアキシアル方向に設置する。
またこれら図１３，図２０の各実施形態において、図２１（Ａ）または同図（Ｂ）にそれぞれ示すように、巻線型センサからなる被検出部８′を、上記非巻き線型の磁気センサからなる磁気検出部８に代えて設けても良い。
【００５７】
上記図１７〜図２１の各実施形態に示すように、原点用の磁気発生部材３４および原点用検出部３５を設けた場合は、絶対位置検出用の被検出部７は、回転側軌道輪２の１回転を２周期以上として変化するものとしても良い。
原点用の磁気発生部材３４を有する場合、このように被検出部７が回転側軌道輪２の１回転を２周期以上として変化する磁気特性であっても、原点信号を利用することにより、絶対角度の検出が可能になる。被検出部の磁気特性を２周期以上として変化するものとすることにより、精度良く絶対角度を検出することができる。
【００５８】
なお、上記各実施形態では、回転側軌道輪２が内輪で、固定側軌道輪３が外輪である場合について説明したが、固定側軌道輪が内輪、回転側軌道輪が外輪であって、外輪に被検出部７を内輪に磁気検出部８をそれぞれ取付けても良く、その場合にも上記各実施形態と同様の効果を得ることができる。また、軸受部１は、アキシアル型の軸受であっても良い。
【００５９】
【発明の効果】
この発明のエンコーダ付軸受は、回転側軌道輪に取付けられる被検出部の磁気検出部に対する磁気特性を、回転側軌道輪の１回転を１周期として変化させたものであるため、電源投入時にイニシャライズ動作を行うことなく、絶対回転角度を知ることができる安価でコンパクトなアブソリュートエンコーダ付軸受とできる。
上記被検出部の磁気特性を、１回転を１周期として正弦波状に変化させ、上記磁気検出部を、所定の位相差を持って配置された２個の磁気検出部からなるものとした場合は、外部磁界の影響を受け難いものとすることができる。
上記被検出部を、位相差を持つ複数の磁気センサからなるものとし、２個の磁気センサの差分出力を求めてオフセット補正するように構成した場合は、温度変化等の外部環境の変化の影響による磁気センサのオフセット電圧の変化を相殺して絶対角度を正確に検出することができる。
上記被検出部を、位相差を持つ複数の磁気センサからなるものとし、２個の磁気センサの出力の比を求め、または出力の二乗和もしくは二乗和の平方根で各出力を除した値を求めてゲイン補正するようにした場合は、温度変化等の外部環境の変化の影響によるセンサ感度の変動を相殺して絶対角度を正確に検出することができる。
また、円周方向に位相差を持って配置した磁気センサ対を、９０°の位相差で２対配置すれば、磁気センサ対の差動出力によって９０°の位相差を持つ２つの出力信号を得ることが可能となるため、温度変化等の影響の他に、外部磁界の変化による影響も相殺可能となる。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　この発明において、固定側軌道輪に対する回転側軌道輪の１回転中の原点を示す原点信号の生成手段を設けた場合は、絶対角度の検出信号だけでなく、原点信号が得られ、制御が容易になる。原点信号の生成手段が、絶対角度検出用の磁気検出部の出力を利用するものである場合は、原点検出用に新たな磁気検出部を設ける必要がなく、簡単な構成で原点信号を生成することができる。絶対角度検出用とは別に磁気発生部材および検出部を設けた場合は、高精度な原点信号を得ることができ、繰り返し原点検出精度が厳しく要求される場合に効果的に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）はこの発明の第１の実施形態にかかるアブソリュートエンコーダ付軸受の断面図、（Ｂ）は同軸受における被検出部と磁気検出部との関係を示す概略図である。
【図２】同軸受における被検出部の着磁方法を示す説明図である。
【図３】同軸受における磁気検出部を構成する２つの磁気センサの出力を示す波形図である。
【図４】同軸受における磁気検出部を構成する２つの磁気センサの他の例の出力を示す波形図である。
【図５】（Ａ）は同軸受に用いるゲイン補正回路の一例を示すブロック図、（Ｂ）は同ゲイン補正回路における補正テーブルの構成例を示すブロック図である。
【図６】同軸受に用いるゲイン補正回路の他の例を示すブロック図である。
【図７】同軸受における磁気検出部の他の構成例とゲイン補正回路とを示すブロック図である。
【図８】同軸受における被検出部の着磁分布の他の例を示す波形図である。
【図９】この発明の他の実施形態にかかるアブソリュートエンコーダ付軸受の断面図である。
【図１０】同軸受における被検出部の正面図である。
【図１１】（Ａ）は同軸受における被検出部の他の例を示す正面図、（Ｂ）は同側面図である。
【図１２】この発明のさらに他の実施形態にかかるアブソリュートエンコーダ付軸受の断面図である。
【図１３】（Ａ）この発明のさらに他の実施形態にかかるアブソリュートエンコーダ付軸受の断面図、（Ｂ）は同軸受における被検出部と磁気検出部との関係を示す概略図、（Ｃ）はそのセンサ出力の波形図である。
【図１４】（Ａ）はその原点信号の生成手段の回路図、（Ｂ）は同回路の出力波形図である。
【図１５】（Ａ）は原点信号の生成手段の変形例の回路図、（Ｂ）はその入力となるセンサ出力の波形図、（Ｃ）は原点信号出力の波形図である。
【図１６】この発明のさらに他の実施形態にかかるアブソリュートエンコーダ付軸受の被検出部と各磁気センサの関係を示す説明図である。
【図１７】（Ａ）この発明のさらに他の実施形態にかかるアブソリュートエンコーダ付軸受の断面図、（Ｂ）は同図（Ａ）のＹ−Ｙ線断面図である。
【図１８】その原点用検出部となる磁気センサの出力波形の説明図である。
【図１９】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ原点用磁気発生部材の各例の説明図、（Ｄ）は同図（Ａ）〜（Ｃ）の各原点用磁気発生部材の検出磁束変化の比較説明図である。
【図２０】この発明のさらに他の実施形態にかかるアブソリュートエンコーダ付軸受の断面図である。
【図２１】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれこの発明のさらに他の実施形態にかかるアブソリュートエンコーダ付軸受の断面図である。
【図２２】従来例の断面図である。
【図２３】同従来例における磁気センサと磁気エンコーダとの関係を示す説明図である。
【図２４】同磁気センサの検出信号の波形図である。
【符号の説明】
２…回転側軌道輪（内輪）
３…固定側軌道輪（外輪）
７…被検出部
８，８′…磁気検出部
８Ａ，８Ｂ…磁気センサ
８Ａ１〜８Ｂ２…磁気センサ
９…磁気検出回路基板
１１…バックメタル
１２…磁気発生部材
１７…ゲイン補正回路
１８…除算器
１９…補正テーブル
２０，２３…記憶部
２１，２４…読み取り部
２２…正規化回路
２５Ａ，２５Ｂ…差動増幅器（オフセット補正回路）
２６…永久磁石
３１…原点信号の生成手段
３４…原点用磁気発生部材
３５…原点用検出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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