(57)【要約】【課題】テストパターンのデバッグ時間の短縮を図ることを目的とする。【解決手段】イベントデータ１３とイベント変更指示ファイル２１よりイベント状態の変更やイベントの追加・削除を行うことができるイベント修正装置２０を備えることにより、試験結果を反映してイベントデータ１３を直接変更することが可能となるので、論理シミュレーションを介することなくテストパターンの生成とそのテストパターンを用いた試験を行なうことができ、テストパターンのデバッグ時間を短縮することができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
イベントデータを生成するデバイス論理シミュレータを備え、前記イベントデータより生成したテストパターンを用いてデバイスの試験を実施するイベント型半導体テスト装置であって、
前記試験の結果よりイベントデータの変更内容を指示するイベント変更指示ファイルを生成するイベント変更指示ファイル生成装置と、
前記イベント変更指示ファイルに基づいてイベントデータを修正するイベント修正装置と
を有し、前記試験結果によりテストパターンの修正が必要となった場合に、試験結果に基づいてイベントデータを直接修正し、修正したイベントデータからテストパターンを生成して試験を行うことを特徴とするイベント型半導体テスト装置。
【請求項２】
イベントデータを生成するデバイス論理シミュレータを備え、前記イベントデータより生成したテストパターンを用いてデバイスの試験を実施するイベント型半導体テスト装置において、
前記試験の結果よりイベントデータの変更内容を指示するイベント変更指示ファイルを生成するイベント変更指示ファイル生成工程と、
前記イベント変更指示ファイルに基づいてイベントデータを修正するイベント修正工程と
を有し、前記試験結果によりテストパターンの修正が必要となった場合に、試験結果に基づいてイベントデータを直接修正し、修正したイベントデータからテストパターンを生成して試験を行うことを特徴とするイベント型半導体テスト方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シミュレーション結果をテストパターンにフィードバックして試験を行うイベント型半導体テスト装置およびイベント型半導体テスト方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のイベント型半導体テスト装置では、テストパターンが原因で試験装置による試験が正しく行なえなかった場合、テストベクタを変更し再度論理シミュレーションを行なうことで新たなイベントデータを生成し、それをインターフェイスを通してコンパイルすることでテストパターンを生成していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−６７３９５号公報（第１６頁、第１１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このようなイベント型半導体テスト装置では、テストパターンに不具合があった場合、テストベクタを修正した上で再度論理シミュレーションを実行し、イベントデータを生成する必要があった。
【０００５】
しかしながら、実際のテストパターンデバッグにおいては論理回路の動作が全く変わるようなシミュレーションを行なう場合ばかりではなく、微小な変更で済む場合も多い。例えばテストパターンの修正がデバイスの初期化パターンを変更するだけで済むような場合であれば、論理シミュレーションを再度行なうのは逆に時間がかかりすぎてしまうし、デバイス特性上の原因により期待値となる出力信号のタイミングが期待値に対して一定の遅延を持って出力するような場合であればシミュレーションで再現することが困難となることもある。
【０００６】
このように従来のイベント型半導体テスト装置ではイベントデータが論理シミュレーションの結果からしか作成できなかったので、テストベクタを修正する度に論理シミュレーションを行なう必要がありテストパターンのデバッグに時間がかかり過ぎるという問題があった。
【０００７】
本発明は上述したような問題点に鑑みてなされるものであり、イベント型半導体テスト装置において、論理シミュレーションを介さないでイベントデータを変更し、テストパターンを生成できる手段を備えることにより、テストパターンのデバッグ時間の短縮を図ることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１記載のイベント型半導体テスト装置は、イベントデータを生成するデバイス論理シミュレータを備え、前記イベントデータより生成したテストパターンを用いてデバイスの試験を実施するイベント型半導体テスト装置であって、前記試験の結果よりイベントデータの変更内容を指示するイベント変更指示ファイルを生成するイベント変更指示ファイル生成装置と、前記イベント変更指示ファイルに基づいてイベントデータを修正するイベント修正装置とを有し、前記試験結果によりテストパターンの修正が必要となった場合に、試験結果に基づいてイベントデータを直接修正し、修正したイベントデータからテストパターンを生成して試験を行うことを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項２記載のイベント型半導体テスト方法は、イベントデータを生成するデバイス論理シミュレータを備え、前記イベントデータより生成したテストパターンを用いてデバイスの試験を実施するイベント型半導体テスト装置において、前記試験の結果よりイベントデータの変更内容を指示するイベント変更指示ファイルを生成するイベント変更指示ファイル生成工程と、前記イベント変更指示ファイルに基づいてイベントデータを修正するイベント修正工程とを有し、前記試験結果によりテストパターンの修正が必要となった場合に、試験結果に基づいてイベントデータを直接修正し、修正したイベントデータからテストパターンを生成して試験を行うことを特徴とする。
【００１０】
以上により、テストパターンのデバッグ時間の短縮を図ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明のイベント型半導体テスト装置の構成を説明する図である。
【００１２】
図１において、１１は半導体デバイスの論理設計段階で論理シミュレーション行なうシミュレータ，１２は論理シミュレーションのテストベンチである。１３はシミュレーションにより出力されたイベントデータであり、イベントデータの代表的な例としてはＶｅｒｉｌｏｇのＶＣＤファイルなどがある。１４は論理シミュレーションにより得られたイベントデータを試験装置環境に受け渡すためのインターフェイス部，１８は試験装置，１５はイベントデータを試験装置１８のテストパターンに変換するコンパイラ，１６はコンパイラによって生成されたテストパターンである。１７はローダ，１９は試験結果ファイルである。２０は論理シミュレーションを行なう際に必要なテストベンチの生成処理、もしくは試験装置による試験結果を受けてテストパターンの修正が必要となった場合にテストベンチの修正処理を行なうテストベンチ生成・修正装置である。２４はイベントデータを変更する場合、その変更内容を指示するイベント変更指示ファイル２１を生成するイベント変更指示ファイル生成装置，２２はイベント変更指示ファイル２１に基づいて、イベントデータ１３内のイベント状態の変更やイベントの追加・削除を行うイベント修正装置，２３はイベント修正装置２２によって編集された後のイベントデータを示している。
【００１３】
次に、本発明のイベント型半導体テスト装置の動作を図１を用いて説明する。
まず、テストベンチ生成・修正装置２０により生成されたテストベンチ１２を用いてシミュレータ１１にて論理シミュレーションを行なう。次に、シミュレータ１１より出力されたイベントデータ１３をインターフェイス部１４に入力して、コンパイラ１５からテストパターン１６を生成する。次に、生成されたテストパターン１６をローダ１７でロードして試験装置１８に送る。試験装置１８にて半導体デバイスの試験を行い、試験結果は試験結果ファイル１９に出力される。ここで、この試験結果ファイル１９で試験結果がフェイル判定であり、なおかつそれがテストパターン要因であった場合、テストパターン１６のデバッグを行なう必要がある。この時、従来のイベント型半導体テスト装置では、テストベンチ生成・修正装置２０を経て再度論理シミュレーションを行なうことで、イベントデータ１３を再生成してテストパターン１６をコンパイラ１５により生成しなければならなかった。
【００１４】
しかし本発明においては、次の手段が備え付けられている。すなわち、試験装置１８により半導体デバイスの試験を行い、この試験結果ファイル１９で試験結果がフェイル判定であった場合、まず、試験結果ファイル１９の内容に基づきイベントデータの変更内容を把握し、イベント変更指示ファイル生成装置２４にてイベントデータの変更内容を指示したイベント変更指示ファイル２１を作成する。このイベント変更指示ファイル生成装置２４とは、入力信号や出力信号などのシミュレーション情報を時系列で明示的に図示あるいは数値表示できるシミュレーション装置１１の機能をベースとしていて、このベース機能に、▲１▼シミュレーション情報に対比させる形で実際の試験装置の結果（試験結果ファイル１９を入力データとする）を表示する機能と、▲２▼シミュレーションの入出力信号情報つまりイベント情報――例えば入力信号の印加ステップ数・印加時間・印加タイミングや入出力信号の論理値など――の中で、追加、削除、変更したい箇所をグラフィック入力あるいは数値入力により編集できる編集機能と、▲３▼編集機能により編集された情報をハードウエアに記憶させる記憶機能と、▲４▼記憶機能で記憶された編集情報をテキストファイルもしくはバイナリファイルとしてファイル出力させる機能とを備えたソフトウエアツールである。
【００１５】
次に、既に生成されているイベントデータ１３とイベント変更指示ファイル２１をイベント修正装置２２に入力し、イベント修正装置２２によって編集されたイベントデータ２３を出力する。このイベント修正装置２２とは、イベントデータ１３の情報をイベント変更指示ファイル２１の編集情報に基づいてファイル編集を行ない、編集されたファイルをイベントデータ１３と同じファイルフォーマット形式でイベントデータ２３として出力することができるソフトウエアツールのことである。
【００１６】
次に、このイベント修正装置２２によって編集されたイベントデータ２３をインターフェイス部１４に入力して、コンパイラ１５からテストパターン１６を生成する。
【００１７】
以上のように本実施例によれば、イベントデータ１３とイベント変更指示ファイル２１よりイベント状態の変更やイベントの追加・削除を行うことができるイベント修正装置２２を備えることで、イベントデータ１３を直接変更することが可能となるので、論理シミュレーション１１を介することなくテストパターン１６の生成を行なうことができる。このため、回路内における論理的な振る舞いが変わらないような初期化パターンの変更や出力信号の出力タイミングの変更などを行なうような時などテストパターン１６の微小な変更において、論理シミュレーション１１を行なう必要がないため、テストパターン１６のデバッグ時間を大幅に短縮することができる。
【００１８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明のイベント型半導体テスト装置によると、イベントデータとイベント変更指示ファイルよりイベント状態の変更やイベントの追加・削除を行うことができるイベント修正装置を備えることにより、試験結果を反映してイベントデータを直接変更することが可能となるので、論理シミュレーションを介することなくテストパターンの生成とそのテストパターンを用いた試験を行なうことができ、テストパターンのデバッグ時間を短縮する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のイベント型半導体テスト装置の構成を説明する図
【符号の説明】
１１    シミュレータ
１２    テストベンチ
１３    イベントデータ
１４    インターフェイス部
１５    コンパイラ
１６    テストパターン
１７    ローダ
１８    試験装置
１９    試験結果ファイル
２０    テストベンチ生成・修正装置
２１    イベント変更指示ファイル
２２    イベント修正装置
２３    イベントデータ
２４    イベント変更指示ファイル生成装置
【図１】
2004257999.tif 000003