(57)【要約】【課題】被洗浄物が破損することを防止でき、被洗浄物の洗浄にかかるコストを抑制できる被洗浄物の洗浄装置を提供する。【解決手段】被洗浄物の洗浄装置１は被洗浄物としてのマスクを収容する洗浄槽１０と超音波振動発生部１１と中間槽１２とを備えている。洗浄槽１０は箱状に形成されかつマスクを収容しかつ洗浄液が満たされる槽本体１５を備えている。超音波振動発生部１１は圧電発振器２１を複数備えている。圧電発振器２１は中間槽１２の外壁２４ｂに取り付けられている。中間槽１２は槽本体１５と超音波振動発生部１１との間に設けられている。中間層１２内には純水が満たされる。圧電発振器２１が矢印Ｓに沿って振動する。振動は中間槽１２内の純水に伝わる。振動は純水内で拡がった後洗浄槽１２の槽本体１５に伝わる。振動は槽本体１５内の洗浄液を振動させてマスク４を洗浄する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を収容しかつ前記被洗浄物を洗浄する洗浄液で満たされる洗浄槽と、
超音波振動する振動子を複数有した振動源と、
前記洗浄槽と前記振動源との間に配されかつ超音波振動を伝播する液体で満たされる中間槽と、を備え、
前記振動源が発生する超音波振動を前記中間槽内の液体が前記洗浄槽内の洗浄液に伝えて、前記洗浄槽内の被洗浄物を前記洗浄液が洗浄することを特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
【請求項２】
前記中間槽内の液体を一旦中間槽外に導いた後、再度前記中間槽内に導く液体循環手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄槽内の洗浄液を一旦洗浄槽外に導いた後、再度前記洗浄槽内に導く洗浄液循環手段を備え、
この洗浄液循環手段は、前記洗浄液を濾過して前記洗浄液を清浄に保つ濾過手段を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項４】
被洗浄物を支持する支持手段と、
超音波振動する振動子を複数有した振動源と、
前記支持手段に支持された被洗浄物と前記振動源との間に配されかつ超音波振動を伝播する液体で満たされるとともに前記支持手段に支持された被洗浄物と間隔をあけて配された中間槽と、
前記支持手段に支持された被洗浄物と中間槽との間に前記被洗浄物を洗浄する洗浄液を流す洗浄液流下手段と、を備え、
前記振動源が発生する超音波振動を前記中間槽内の液体が前記被洗浄物と中間槽との間を流れる洗浄液に伝えて、前記被洗浄物を前記洗浄液が洗浄することを特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
【請求項５】
前記中間槽内の液体を一旦中間槽外に導いた後、再度前記中間槽内に導く液体循環手段を備えたことを特徴とする請求項４記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項６】
前記被洗浄物と中間槽との間を流れた洗浄液を蓄える受け部と、前記受け部内の洗浄液を再度前記洗浄液流下手段に供給する洗浄液循環手段を備え、
この洗浄液循環手段は、前記洗浄液を濾過して前記洗浄液を清浄に保つ濾過手段を備えたことを特徴とする請求項４または請求項５記載の被洗浄物の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷配線板上にはんだペーストをスクリーン印刷する際に用いられるマスクなどの被洗浄物を洗浄する被洗浄物の洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
印刷配線板に多数の電子部品を実装するために、前記印刷配線板の表面にはんだペーストを塗布し、その上に前記電子部品の電極又はリード線を位置あわせして重ねる。その後、加熱してはんだペーストをリフローさせて、前記電子部品をはんだを用いたろう付けで印刷配線板に取り付けている。
【０００３】
前述したはんだペーストを印刷配線板上に塗布する際には、スクリーン印刷を行う。スクリーン印刷では、マスクを用いる。マスクは、平板状のマスク部と、マスク部の外縁を囲む枠状の枠部と、を備えている。マスク部には、貫通孔が設けられている。貫通孔は、前記印刷配線板にはんだペーストを印刷する所定のパターンと同じ形状に形成されている。
【０００４】
前記スクリーン印刷では、マスクのマスク部を印刷配線板に重ね、該マスク部上から貫通孔を通してはんだペーストを押し込むことにより、印刷配線板上にはんだペーストを所定のパターンで塗布する。はんだペーストの印刷作業が終了した後、マスクを放置すると、はんだペーストがマスク部及び枠部に凝固して付着する。すると、所定のパターンで印刷配線板にはんだペーストを印刷できなくなることがある。
【０００５】
このため、スクリーン印刷が終了すると、従来から種々の洗浄装置を用いて、被洗浄物としての前述したマスクを洗浄してきた。例えば、洗浄装置は、前記マスクを収容するとともに洗浄液で満たされる洗浄槽と、前記洗浄槽槽内の洗浄液を超音波振動させる振動源とを備えている。
【０００６】
振動源は、複数の圧電発振器などと、板状の振動板などを備えている。圧電発振器は、印加されると振動する（超音波振動する）。振動板は、圧電発振器により振動される。振動板は、前記圧電発振器からの振動（超音波振動）を洗浄槽内の洗浄液に伝える。則ち、振動源は、洗浄槽内の洗浄液を振動（超音波振動）させる。
【０００７】
前述した洗浄装置は、洗浄槽内に被洗浄物としてのマスクを収容する。そして、前記収容槽内を洗浄液で満たす。その後、振動源の圧電発振器に印加して、洗浄槽内の洗浄液を超音波振動させる。超音波振動する洗浄液がマスクにぶつかる事などにより、マスクからはんだペーストなどを除去できる。こうして、前述した洗浄装置は、マスクなどの被洗浄物を洗浄する。
【０００８】
また、被洗浄物としてのマスクを洗浄する洗浄装置として、前述した洗浄槽を用いないものもある（例えば、特許文献１参照）。この種の洗浄装置は、前記マスクを保持する支持手段と、前記支持手段に支持されたマスクと微少な間隔をあけて配される振動源と、前記支持手段に支持されたマスクと振動源との間に洗浄液を流す流下手段とを備えている。
【０００９】
支持手段は、マスクの表面が鉛直方向に沿う状態でマスクを保持する。振動源は、複数の圧電発振器などと、板状の振動板などを備えている。圧電発振器は、印加されると振動する（超音波振動する）。振動板は、圧電発振器により振動される。振動板は、前記圧電発振器からの振動（超音波振動）を前記マスクの表面上を流れる洗浄液に伝える。則ち、振動源は、マスクの表面上の洗浄液を振動（超音波振動）させる。流下手段は、マスクの上方から該マスクの表面上に洗浄液を流す。支持手段にマスクを保持する。そして、前記流下手段が、マスクの上方から振動源とマスクとの間に洗浄液を流す。その後、振動源の圧電発振器に印加して、洗浄液を超音波振動させる。超音波振動する洗浄液により、マスクからはんだペーストなどを除去できる。こうして、前述した洗浄装置は、マスクなどの被洗浄物を洗浄する。
【００１０】
【特許文献１】
特開２０００−１０７７１１号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
前述した双方の洗浄装置は、前記マスクの洗浄を長時間行うと、前述した超音波振動により、振動板が加熱することがある。すると、前記洗浄液が加熱されて、該洗浄液の洗浄作用が強くなり、マスクからはんだペーストなどを除去することにくわえ、前記マスク部と枠部とを止めた接着剤を剥離させるなどのマスク自体を破損させる虞があった。
【００１２】
また、前述した洗浄槽を備えた洗浄装置では、複数の圧電発振器から発生する超音波振動が洗浄液内を圧電発振器から放射状に拡がっていく。このため、複数の圧電発振器から発生する超音波振動をむらなくマスクに伝えるために、振動源とマスクとの間隔を拡げる必要があった。このため、洗浄槽が大型化して、多量の洗浄液が必要になる。このため、マスクなどの被洗浄物の洗浄にかかるコストが高騰する傾向にあった。
【００１３】
一方、前述した洗浄槽を用いない洗浄装置では、マスクの表面を流れる洗浄液に超音波振動を伝えるため、マスクと振動源との間隔が狭くなる。このため、複数の圧電発振器から発生する超音波振動をむらなくマスクに伝えることが困難となり、圧電発振器の近傍では振動が強くなり他の箇所では振動が弱くなる虞があった。このため、マスクをむらなく洗浄することが困難となり、マスクを確実に洗浄することが困難となっていた。
【００１４】
したがって、本発明の第１の目的は、被洗浄物が破損することを防止でき、被洗浄物の洗浄にかかるコストを抑制できる被洗浄物の洗浄装置を提供することを一例とする。第２の目的は、被洗浄物が破損することを防止でき、被洗浄物をむら無く確実に洗浄できる被洗浄物の洗浄装置を提供することを一例とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し第１の目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の被洗浄物の洗浄装置は、被洗浄物を収容しかつ前記被洗浄物を洗浄する洗浄液で満たされる洗浄槽と、超音波振動する振動子を複数有した振動源と、前記洗浄槽と前記振動源との間に配されかつ超音波振動を伝播する液体で満たされる中間槽と、を備え、前記振動源が発生する超音波振動を前記中間槽内の液体が前記洗浄槽内の洗浄液に伝えて、前記洗浄槽内の被洗浄物を前記洗浄液が洗浄することを特徴としている。
【００１６】
前記課題を解決し第２の目的を達成するために、請求項４に記載の本発明の被洗浄物の洗浄装置は、被洗浄物を支持する支持手段と、超音波振動する振動子を複数有した振動源と、前記支持手段に支持された被洗浄物と前記振動源との間に配されかつ超音波振動を伝播する液体で満たされるとともに前記支持手段に支持された被洗浄物と間隔をあけて配された中間槽と、前記支持手段に支持された被洗浄物と中間槽との間に前記被洗浄物を洗浄する洗浄液を流す洗浄液流下手段と、を備え、前記振動源が発生する超音波振動を前記中間槽内の液体が前記被洗浄物と中間槽との間を流れる洗浄液に伝えて、前記被洗浄物を前記洗浄液が洗浄することを特徴としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
この発明の被洗浄物の洗浄装置は、上記のように、被洗浄物を収容する洗浄槽と振動源との間に液体を満たす中間槽を設けている。こうすることで、振動源が発生する超音波振動を中間槽内の液体を介して洗浄槽内の洗浄液に伝えるようにしたものである。
【００１８】
また、この発明の被洗浄物の洗浄装置において、中間槽内に満たされる液体を中間槽の内外に循環させる液体循環手段を設ければ良い。
【００１９】
さらに、この発明の被洗浄物の洗浄装置において、洗浄槽内に満たされる洗浄液を洗浄槽の内外に循環させる洗浄液循環手段を設ければ良い。
【００２０】
また、この発明の被洗浄物の洗浄装置は、上記のように、支持手段により保持される被洗浄物と振動源との間に液体を満たす中間槽を設け、中間槽を支持手段に支持された被洗浄物と間隔をあけて配している。こうすることで、振動源が発生する超音波振動を中間槽内の液体を介して、洗浄液流下手段により被洗浄物の表面を流れる洗浄液に伝えるようにしても良い。
【００２１】
また、この発明の被洗浄物の洗浄装置において、中間槽内に満たされる液体を中間槽の内外に循環させる液体循環手段を設ければ良い。
【００２２】
さらに、この発明の被洗浄物の洗浄装置において、被洗浄物の表面を流れた洗浄液を、再度洗浄液流下手段に循環させる洗浄液循環手段を設ければ良い。
【００２３】
【実施例】
本発明の第１の実施例にかかる被洗浄物の洗浄装置（以下単に洗浄装置と呼ぶ）を図１乃至図８を参照して説明する。図１及び図２に示す洗浄装置１は、被洗浄物としての図６などに示すマスク４を洗浄する装置である。図６などに示すマスク４は、印刷配線板２上にはんだペースト３（図７に示す）を所定のパターンにしたがって印刷・供給するスクリーン印刷で用いられる。マスク４は、図６及び図７に示すように、枠状の枠部５と、網状の網部材６と、マスク板７とを備えている。
【００２４】
枠部５は、四角筒状の梁５ａを四つ備えて、枠状に形成されている。枠部５は、平面形状が矩形状に形成されている。網部材６は、伸縮可能なシート状に形成されている。網部材６の平面形状は、矩形状に形成されている。網部材６として、ポリエステル又はステンレス鋼などからなるメッシュ状のメッシュスクリーンが用いられている。
【００２５】
網部材６は、枠部５の内側に、引っ張られた状態（所定の力で引っ張られた状態）で張られている。網部材６は、図８に示すように、枠部５の各梁５ａの外面にゴム形接着剤などの周知の接着剤により貼り付けられている。網部材６の中央には、開口部６ａが開口している。開口部６ａは、網部材６を貫通しているとともに、平面形状が矩形状に形成されている。
【００２６】
マスク板７は、例えばステンレス鋼などの金属からなり平板状に形成されている。マスク板７は、平面形状が矩形状に形成されている。マスク板７には、複数の貫通孔８が設けられている。貫通孔８は、マスク板７を貫通しており、印刷配線板２にはんだペースト３を印刷する所定のパターンに形成されている。
【００２７】
マスク板７は、図８に示すように、外縁部を網部材６の開口部６ａの内縁部に重ねて、周知の接着剤などにより前記外縁部が網部材６の開口部６ａの内縁部に接着されるなどして、網部材６に取り付けられている。マスク板７は、前記開口部６ａを塞ぐ格好で、網部材６に取り付けられている。
【００２８】
前述したマスク４を用いて、スクリーン印刷を行う際には、まず、図７に示すように、印刷配線板２にマスク４のマスク板７を重ねる。マスク板７上にはんだペースト３を供給する。スキージ９でマスク板７を印刷配線板２に押し付けて、該スキージ９ではんだペースト３をマスク板７上を移動させる。貫通孔８内にはんだペースト３が押し込まれ、印刷配線板２上に所定のパターンにしたがってはんだペースト３が印刷される。なお、はんだペースト３とは、はんだ粉末をフラックスなどと混練して構成されている。
【００２９】
洗浄装置１は、図３に示すように、洗浄槽１０と、振動源としての超音波振動発生部１１と、中間槽１２と、液体循環手段としての液体循環部１３と、洗浄液循環手段としての洗浄液循環部１４とを備えている。
【００３０】
洗浄槽１０は、上方が開口した箱状の槽本体１５と、支持手段としての一対のマスク支持レール１６（図３中に一方のみ示す）を備えている。槽本体１５は、底壁１７と、この底壁１７の外縁から立設した複数の周壁１８とを備えて、箱状に形成されている。底壁１７は、表面が水平方向に沿う状態に配される。底壁１７は、平面形状が矩形状に形成されている。
【００３１】
周壁１８は、それぞれ平板状に形成されており、図示例では四つ設けられている。図３中左側に位置する一つの周壁１８（以下符号１８ａで示す）には、開口部１９が設けられている。開口部１９は、勿論、前述した一つの周壁１８ａを貫通している。開口部１９は、洗浄槽１０の槽本体１５内に収容されるマスク４のマスク板７と相対する。槽本体１５内則ち洗浄槽１０内には、前記マスク４からはんだペースト３などを除去する周知の洗浄液が満たされる。洗浄液として、例えば、グリコールエーテル系などの周知の有機溶剤を用いることができる。
【００３２】
マスク支持レール１６は、底壁１７から鉛直方向に沿って上方に立設している。一対のマスク支持レール１６は、底壁１７の長手方向に沿って互いに間隔をあけて配されている。マスク支持レール１６は、鉛直方向に沿って移動自在にマスク４を支持する。マスク支持レール１６は、互いの間にマスク４を位置付けた状態で、底壁上１７則ち槽本体１５内にマスク４を支持する。
【００３３】
超音波振動発生部１１は、図３に示すように、箱状のケース２０と、複数の圧電発振器２１と、を備えている。ケース２０は、板金などからなる。ケース２０は、圧電発振器２１を収容している。ケース２０は、中間槽１２の後述する外壁２４ｂに取り付けられている。
【００３４】
圧電発振器２１は、図示しない電源などと接続しており、前記電源などにより印加されると、図３中の矢印Ｓに沿って振動する。この振動を本明細書では、超音波振動と呼ぶ。複数の圧電発振器２１は、前記外壁２４ｂに略等間隔に取り付けられている。
【００３５】
前記矢印Ｓ則ち圧電発振器２１の超音波振動する方向は、マスク支持レール１６により支持されるマスク４のマスク板７の表面に対し直交している。このように、前記圧電発振器２１は、洗浄槽１０内に収容されるマスク４のマスク板７の表面に対し直交する方向に沿って振動する。または、前記圧電発振器２１は、超音波振動発生部１１が洗浄槽１０内に収容されるマスク４に相対する方向に沿って、振動する。また、前記圧電発振器２１則ち超音波振動発生部１１は、中間槽１２を介して洗浄槽１０内に収容されるマスク４と相対する。圧電発振器２１は、本明細書に記した振動子をなしている。
【００３６】
中間槽１２は、板金などからなり、略平坦な底壁２２と、この底壁２２と間隔をあけて相対する天井壁２３と、前記底壁２２と天井壁２３とに連なる複数の外壁２４とを備えて箱状に形成されている。底壁２２と天井壁２３とは、互いに同形状の矩形状に形成されている。底壁２２と天井壁２３との表面は、水平方向に沿っている。複数の外壁２４は、底壁２２と天井壁２３との双方の外縁に連なっている。中間槽１２は、一つの外壁２４（以下符号２４ａで示す）が、前記開口部１９を塞ぐ格好で洗浄槽１０の一つの周壁１８ａに重ねられている。中間槽１２は、洗浄槽１０に取り付けられている。
【００３７】
また、中間槽１２の外壁２４ａと間隔をあけて相対する他の外壁２４（以下符号２４ｂで示す）には、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が取り付けられている。こうして、中間槽１２は、洗浄槽１０と超音波振動発生部１１との双方に取り付けられているとともに、洗浄槽１０と超音波振動発生部１１との間に設けられている。中間槽１２内には、前述した超音波振動を伝播（伝える）液体としての純水が満たされる。
【００３８】
液体循環部１３は、配管２５と、ポンプ２６と、タンク２７とを備えている。配管２５は、一端が中間槽１２の底壁２２に連結しており、他端が中間槽１２の天井壁２３に連結している。勿論、配管２５は、中間槽１２内と連通している。このため、配管２５内には、前述した中間槽１２内に満たされる液体としての純水が通される。
【００３９】
ポンプ２６は、配管２５の中央部に取り付けられている。ポンプ２６は、配管２５内の純水を送る。タンク２７は、前記配管２５の中央部に取り付けられているとともに、前記ポンプ２６より前記天井壁２３寄りに配されている。タンク２７は、前記配管２５内に通される純水を一旦収容する。
【００４０】
前述した構成の液体循環部１３は、ポンプ２６が純水を底壁２２側から中間槽１２内に送り出し、前記天井壁２３から前記中間槽１２内の純水を一旦中間槽１２外に導く。液体循環部１３は、中間槽１２内の純水を一旦中間槽１２外に導いて、タンク２７内に導いた後、再度、底壁２２側から中間槽１２内に導く。こうして、液体循環部１３は、図３中の矢印Ｅに沿って、純水を中間槽１２と配管２５とタンク２７内に循環させる。
【００４１】
洗浄液循環部１４は、配管２８と、ポンプ２９と、濾過手段としてのフィルタ３０とを備えている。配管２８は、一端が洗浄槽１０の底壁１７に連結しており、他端が洗浄槽１０の周壁１８に連結している。勿論、配管２８は、洗浄槽１０の槽本体１５内と連通している。このため、配管２８内には、前述した洗浄槽１０の槽本体１５内に満たされる洗浄液が通される。
【００４２】
ポンプ２９は、配管２８の中央部に取り付けられている。ポンプ２９は、配管２８内の洗浄液を送る。フィルタ３０は、前記配管２８の中央部に取り付けられているとともに、前記ポンプ２９より前記周壁１８寄りに配されている。フィルタ３０は、前記配管２８内に通される洗浄液をこして、該洗浄液内のはんだペースト３などの不純物を除去する。こうして、フィルタ３０は、洗浄液を濾過して清浄に保つ。
【００４３】
前述した構成の洗浄液循環部１４は、ポンプ２９が洗浄液を底壁１７側から洗浄槽１０の槽本体１５内に送り出し、前記周壁１８から前記洗浄槽１０の槽本体１５内の洗浄液を前記槽本体１５外に一旦導く。洗浄液循環部１４は、洗浄槽１０の槽本体１５内の洗浄液を一旦洗浄槽１０の槽本体１５外に導いて、フィルタ３０に通した後、再度、底壁１７側から洗浄槽１０の槽本体１５内に導く。こうして、洗浄液循環部１４は、図３中の矢印Ｊに沿って、洗浄液を洗浄槽１０の槽本体１５と配管２８内に循環させる。
【００４４】
前述した構成の洗浄装置１でマスク４を洗浄する際には、まず、図１及び図２中の矢印Ｋに沿って、マスク４を洗浄槽１０の槽本体１５内に挿入する。このとき、マスク４を、一対のマスク支持レール１６間に挿入するとともに、図４に示すように、マスク板７が中間槽１２を介して超音波振動発生部１１と相対する状態で洗浄槽１０の槽本体１５内に収容する。
【００４５】
そして、図４に示すように、洗浄槽１０の槽本体１５内と洗浄液循環部１４の配管２８内とに洗浄液を満たし、中間槽１２内と液体循環部１３の配管２５内とに液体としての純水を満たす。超音波振動発生部１１の圧電発振器２１を印加して、圧電発振器２１を矢印Ｓに沿って振動（超音波振動）させる。液体循環部１３のポンプ２６を駆動して、純水を矢印Ｅに沿って、配管２５内などを循環させる。さらに、洗浄液循環部１４のポンプ２９を駆動して、洗浄液を矢印Ｊに沿って、配管２８内などを循環させる。
【００４６】
すると、前記圧電発振器２１の超音波振動が、中間槽１２内の純水に伝播して、洗浄槽１０の槽本体１５に向かって進む。そして、前記圧電発振器２１の超音波振動が、図５に示す波紋Ｈ１のように、中間槽１２内で超音波振動発生部１１から離れるにしたがって徐々に拡がる。中間槽１２の洗浄槽１０の槽本体１５寄りの外壁２４ａに到達した超音波振動は、前記外壁２４ａを矢印Ｓに沿って振動させる。
【００４７】
そして、超音波振動は、洗浄槽１０内の洗浄液に伝播して、マスク４に向かって進む。そして、超音波振動は、図５に示す波紋Ｈ２のように、一対のマスク支持レール１６間に支持されたマスク４の特にマスク板７に衝突する。そして、洗浄液は、前記マスク４の特にマスク板７からはんだペースト３などを除去して、マスク４を洗浄する。こうして、マスク４の洗浄が行われる。
【００４８】
本実施例によれば、超音波振動発生部１１と洗浄槽１０との間に中間槽１２を設けている。また、中間槽１２は、超音波振動を伝播する液体としての純水で満たされる。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が発生する超音波振動は、中間槽１２内の純水に伝わった後、洗浄槽１０の槽本体１５内の洗浄液に伝わる。超音波振動発生部１１の圧電発振器２１からの超音波振動は、中間槽１２内の純水内で拡がる。
【００４９】
このため、中間槽１２則ち周壁１８ａと洗浄槽１０内のマスク４との間隔を狭くしても、むらなくマスク４に超音波振動を伝えることができる。このため、洗浄槽１０の槽本体１５の小型化を図ることができ、マスク４の洗浄にかかる洗浄液の量を抑制できる。したがって、マスク４の洗浄にかかるコストを抑制できる。また、むらなくマスク４に超音波振動を伝えることができるので、マスク４をむらなく洗浄でき、マスク４を確実に洗浄できる。
【００５０】
また、超音波振動発生部１１と洗浄槽１０との間に純水で満たされる中間槽１２を設けている。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより発生する熱が、中間槽１２及び純水を介して洗浄槽１０内の洗浄液に伝わる。このため、洗浄槽１０内の洗浄液が加熱されることを防止でき、マスク４が破損することを防止できる。
【００５１】
さらに、液体循環部１３が純水を中間槽１２の内外に循環させる。このため、中間槽１２内の純水が超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、配管２５内を通る際に冷却される。したがって、洗浄槽１０内の洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００５２】
また、洗浄液循環部１４が洗浄液を洗浄槽１０の槽本体１５の内外に循環させる。このため、洗浄槽１０内の洗浄液が超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、配管２８内を通る際に冷却される。したがって、洗浄槽１０内の洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００５３】
次に、本発明の第２の実施例にかかる洗浄装置１を図９ないし図１１を参照して説明する。なお、前述した第１の実施例と同一部分には、同一符号を付して説明する。
【００５４】
本実施例にかかる洗浄装置１は、図９に示すように、受け部としての受け槽３１と、超音波振動発生部１１と、中間槽１２と、洗浄液流下手段としての流下配管３２と、液体循環部１３と、洗浄液循環部１４を備えている。受け槽３１は、底壁３３と、底壁３３の外縁から立設した複数の周壁３４とを備えて、上方が開口した箱状に形成されている。
【００５５】
底壁３３は、表面が水平方向に沿っている。また、底壁３３には、支持手段としての一対のマスク支持レール１６（図９には一方のみ図示する）が立設している。一対のマスク支持レール１６は、互いの間にマスク４をマスク板７の表面が鉛直方向に沿う状態に支持する。
【００５６】
本実施例の超音波振動発生部１１は、前述した第１の実施例と同様に、中間槽１２の外壁２４ｂに取り付けられている。また、中間槽１２は、外壁２４ａ，２４ｂが一対のマスク支持レール１６間に支持されるマスク４のマスク板７と平行な状態に配される。
【００５７】
また、中間槽１２は、外壁２４ｂが一対のマスク支持レール１６間に支持されるマスク４のマスク板７と微少な間隔をあけている。中間槽１２は、外壁２４ａが一対のマスク支持レール１６間に支持されるマスク４のマスク板７と相対する。このため、中間槽１２は、超音波振動発生部１１と一対のマスク支持レール１６により支持されたマスク４との間に設けられている。
【００５８】
流下配管３２は、水平方向に沿って延在しており、前記一対のマスク支持レール１６と中間槽１２との間の上方に設けられている。流下配管３２の長手方向は、一対のマスク支持レール１６間に支持されるマスク４のマスク板７の表面に沿っている。流下配管３２は、図示しない洗浄液供給源と連結しており、この洗浄液供給源から洗浄液が供給される。流下配管３２には、孔３５が貫通している。
【００５９】
孔３５は、流下配管３２の長手方向に沿って並べられている。孔３５は、流下配管３２の下部を貫通している。流下配管３２は、洗浄液循環部１４の配管２８などにより供給される洗浄液を、前記孔３５を通して、マスク４の特にマスク板７と中間槽１２との間に流す。流下配管３２の孔３５から流れ出た洗浄液は、マスク４のマスク板７の表面を流れて下方に向かう。そして、洗浄液は、受け槽３１内に一旦蓄えられる。
【００６０】
本実施例の液体循環部１３は、前述した第１の実施例と同様に、中間槽１２内の液体としての純水を配管２５とタンク２７とに循環する。また、本実施例の洗浄液循環部１４の配管２８は、一端が受け槽３１の底壁３３に連結しているとともに他端が流下配管３２の一端に連結している。また、配管２８は、流下配管３２の他端と該流下配管３２の一端とを連結している。
【００６１】
洗浄液循環部１４のポンプ２９は、受け槽３１内の洗浄液を配管２８内を通して流下配管３２に送り出すとともに、流下配管３２を通った洗浄液を再度流下配管３２に送り出す。また、洗浄液循環部１４のフィルタ３０は、ポンプ２９により底壁３３寄りに配されている。フィルタ３０は、洗浄液を濾過して、該洗浄液を清浄に保つ。本実施例の洗浄液循環部１４は、流下配管３２の孔３５から流れ出てマスク４の表面を流れて受け槽３１内に蓄えられた洗浄液を、図９中の矢印Ｊ１に沿って再度流下配管３２に供給する。
【００６２】
本実施例の洗浄装置１でマスク４を洗浄する際には、まず、マスク４を一対のマスク支持レール１６間に挿入する。このとき、図１０に示すように、マスク板７が中間槽１２を介して超音波振動発生部１１に相対させる。
【００６３】
そして、図１０に示すように、中間槽１２内と液体循環部１３の配管２５内とに液体としての純水を満たし、洗浄液供給源１４から流下配管３２に洗浄液を供給する。超音波振動発生部１１の圧電発振器２１を印加して、圧電発振器２１を矢印Ｓに沿って振動（超音波振動）させる。流下配管３２の孔３５を通って、洗浄液がマスク４のマスク板７と中間槽１２との間に流される。
【００６４】
流された洗浄液は、マスク４のマスク板７の表面を流れて、下方則ち受け槽３１に向かって移動する。液体循環部１３のポンプ２６を駆動して、純水を矢印Ｅに沿って、配管２５内などを循環させる。さらに、洗浄液循環部１４のポンプ２９を駆動して、受け槽３１から再度流下配管３２に洗浄液を供給する。
【００６５】
すると、前記圧電発振器２１の超音波振動が、中間槽１２内の純水に伝播して、一対のマスク支持レール１６により支持されたマスク４に向かって進む。そして、前記圧電発振器２１の超音波振動が、図１１に示す波紋Ｈ３のように、中間槽１２内で圧電発振器２１から離れるのにしたがって徐々に拡がる。そして、前記圧電発振器２１の超音波振動が、中間槽１２とマスク４のマスク板７との間を流れる洗浄液に伝わる。
【００６６】
そして、マスク４のマスク板７の表面を流れる洗浄液が、超音波振動する。この洗浄液の超音波振動は、一対のマスク支持レール１６間に支持されたマスク４の特にマスク板７に衝突する。そして、洗浄液は、前記マスク４の特にマスク板７からはんだペースト３などを除去して、マスク４を洗浄するとともに、受け槽３１内に収容される。こうして、マスク４の洗浄が行われる。
【００６７】
本実施例によれば、超音波振動発生部１１と一対のマスク支持レール１６により支持されたマスク４との間に中間槽１２を設けている。また、中間槽１２は、超音波振動を伝播する液体としての純水で満たされる。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が発生する超音波振動は、中間槽１２内の純水に伝わった後、マスク４の特にマスク板７の表面に流れる洗浄液に伝わる。超音波振動発生部１１の圧電発振器２１からの超音波振動は、中間槽１２内の純水内で拡がる。
【００６８】
このため、中間槽１２とマスク４との間隔を狭くしても、むらなくマスク４に超音波振動を伝えることができる。このため、マスク４をむらなく洗浄でき、マスク４を確実に洗浄できる。
【００６９】
また、超音波振動発生部１１と一対のマスク支持レール１６間に支持されたマスク４との間に純水で満たされる中間槽１２を設けている。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより発生する熱が、中間槽１２及び純水を介して洗浄液に伝わる。このため、マスク４の表面を流れる洗浄液が加熱されることを防止でき、マスク４が破損することを防止できる。
【００７０】
液体循環部１３が純水を中間槽１２の内外に循環させる。このため、中間槽１２内の純水が超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、配管２５内を通る際に冷却される。したがって、マスク４の表面を流れる洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００７１】
また、洗浄液循環部１４が洗浄液を循環させる。このため、マスク４の表面を流れる洗浄液が超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、配管２８内を通る際に冷却される。したがって、マスク４の表面を流れる洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００７２】
また、マスク４の表面を流れた洗浄液を、再度流下配管３２の孔３５を通して、マスク４の表面に流す。このため、マスク４の洗浄にかかる洗浄液の量を抑制でき、マスク４の洗浄にかかるコストを抑制できる。
【００７３】
前述した第１の実施例と第２の実施例の洗浄装置によれば、以下の洗浄装置１が得られる。
（付記１）  マスク４を収容しかつ前記マスク４を洗浄する洗浄液で満たされる洗浄槽１０と、
超音波振動する圧電発振器２１を複数有した超音波振動発生部１１と、
前記洗浄槽１０と前記超音波振動発生部１１との間に配されかつ超音波振動を伝播する純水で満たされる中間槽１２と、を備え、
前記超音波振動発生部１１が発生する超音波振動を前記中間槽１２内の純水が前記洗浄槽１０内の洗浄液に伝えて、前記洗浄槽１０内のマスク４を前記洗浄液が洗浄することを特徴とする洗浄装置１。
【００７４】
（付記２）  前記中間槽１２内の純水を一旦中間槽１２外に導いた後、再度前記中間槽１２内に導く液体循環部１３を備えたことを特徴とする付記１記載の洗浄装置１。
【００７５】
（付記３）  前記洗浄槽１０内の洗浄液を一旦洗浄槽１０外に導いた後、再度前記洗浄槽１０内に導く洗浄液循環部１４を備え、
この洗浄液循環部１４は、前記洗浄液を濾過して前記洗浄液を清浄に保つフィルタ３０を備えたことを特徴とする付記１または付記２記載の洗浄装置１。
【００７６】
（付記４）  マスク４を支持する一対のマスク支持レール１６と、
超音波振動する圧電発振器２１を複数有した超音波振動発生部１１と、
前記一対のマスク支持レール１６に支持されたマスク４と前記超音波振動発生部１１との間に配されかつ超音波振動を伝播する純水で満たされるとともに前記一対のマスク支持レール１６に支持されたマスク４と間隔をあけて配された中間槽１２と、
前記一対のマスク支持レール１６に支持されたマスク４と中間槽１２との間に前記マスク４を洗浄する洗浄液を流す流下配管３２と、を備え、
前記超音波振動発生部１１が発生する超音波振動を前記中間槽１２内の純水が前記マスク４と中間槽１２との間を流れる洗浄液に伝えて、前記マスク４を前記洗浄液が洗浄することを特徴とする洗浄装置１。
【００７７】
（付記５）  前記中間槽１２内の液体を一旦中間槽１２外に導いた後、再度前記中間槽１２内に導く液体循環部１３を備えたことを特徴とする付記４記載の洗浄装置１。
【００７８】
（付記６）  前記マスク４と中間槽１２との間を流れた洗浄液を蓄える受け槽３１と、前記受け槽３１内の洗浄液を再度前記流下配管３２に供給する洗浄液循環部１４を備え、
この洗浄液循環部１４は、前記洗浄液を濾過して前記洗浄液を清浄に保つフィルタ３０を備えたことを特徴とする付記４または付記５記載の洗浄装置１。
【００７９】
付記１に記載した洗浄装置１によれば、超音波振動発生部１１と洗浄槽１０との間に中間槽１２を設けている。また、中間槽１２は、超音波振動を伝播する純水で満たされる。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が発生する超音波振動は、中間槽１２内の純水に伝わった後、中間槽１２内の純水から洗浄槽１０内の洗浄液に伝わる。超音波振動発生部１１の圧電発振器２１からの超音波振動は、中間槽１２内の純水内で拡がる。
【００８０】
このため、中間槽１２と洗浄槽１０内のマスク４との間隔を狭くしても、むらなくマスク４に超音波振動を伝えることができる。このため、洗浄槽１０の小型化を図ることができ、マスク４の洗浄にかかる洗浄液の量を抑制できる。したがって、マスク４の洗浄にかかるコストを抑制できる。また、むらなくマスク４に超音波振動を伝えることができるので、マスク４をむらなく洗浄でき、マスク４を確実に洗浄できる。
【００８１】
また、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１と洗浄槽１０との間に純水で満たされる中間槽１２を設けている。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより発生する熱が、中間槽１２及び純水を介して洗浄槽１０内の洗浄液に伝わる。このため、洗浄槽１０内の洗浄液が加熱されることを防止でき、マスク４が破損することを防止できる。
【００８２】
付記２に記載した洗浄装置１によれば、液体循環部１３が純水を中間槽１２の内外に循環させる。このため、中間槽１２内の純水が、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、循環する間に冷却される。したがって、洗浄槽１０内の洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００８３】
付記３に記載した洗浄装置１によれば、洗浄液循環部１４が洗浄液を洗浄槽１０の内外に循環させる。このため、洗浄槽１０内の洗浄液が、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、循環する間に冷却される。したがって、洗浄槽１０内の洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００８４】
付記４に記載した洗浄装置１によれば、超音波振動発生部１１と、一対のマスク支持レール１６により支持されたマスク４との間に中間槽１２を設けている。また、中間槽１２は、超音波振動を伝播する純水で満たされる。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が発生する超音波振動は、中間槽１２内の純水に伝わった後、中間槽１２内の純水からマスク４の表面を流れる洗浄液に伝わる。超音波振動発生部１１の圧電発振器２１からの超音波振動は、中間槽１２内の純水内で拡がる。
【００８５】
このため、中間槽１２とマスク４との間隔を狭くしても、むらなくマスク４に超音波振動を伝えることができる。このため、マスク４をむらなく洗浄でき、マスク４を確実に洗浄できる。
【００８６】
また、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１と、一対のマスク支持レール１６間に支持されるマスク４との間に純水で満たされる中間槽１２を設けている。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより発生する熱が、中間槽１２及び純水を介して洗浄液に伝わる。このため、マスク４の表面を流れる洗浄液が加熱されることを防止でき、マスク４が破損することを防止できる。
【００８７】
付記５に記載した洗浄装置１によれば、液体循環部１３が純水を中間槽１２の内外に循環させる。このため、中間槽１２内の純水が、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、循環する間に冷却される。したがって、マスク４の表面を流れる洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００８８】
付記６に記載した洗浄装置１によれば、洗浄液循環部１４が洗浄液を循環させる。このため、マスク４の表面を流れる洗浄液が、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、循環する間に冷却される。したがって、マスク４の表面を流れる洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００８９】
また、マスク４の表面を流れた洗浄液を再度流下配管３２からマスク４の表面に流す。このため、マスク４の洗浄にかかる洗浄液の量を抑制でき、マスク４の洗浄にかかるコストを抑制できる。
【００９０】
前述した実施例では、被洗浄物としてのマスク４を洗浄している。しかしながら、本発明では、マスク４の他にスキージ９などの被洗浄物として他の物品を洗浄しても良い。また、前述した実施例では、中間槽１２内に満たす液体として純水を用いている。しかしながら、本発明では、超音波振動を伝播すれば他の液体を用いても良いことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例にかかる洗浄装置の斜視図である。
【図２】図１に示された洗浄装置を他の方向からみた斜視図である。
【図３】図１中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図３に示された洗浄装置の洗浄槽内にマスクを収容した状態を示す断面図である。
【図５】図４に示された洗浄装置の超音波振動発生部を駆動した状態を示す断面図である。
【図６】図１に示された洗浄装置で洗浄されるマスクなどを示す斜視図である。
【図７】図６に示されたマスクを用いてスクリーン印刷を行う状態を示す斜視図である。
【図８】図６中のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図９】本発明の第２の実施例にかかる洗浄装置の断面図である。
【図１０】図９に示された洗浄装置の一対のマスク支持レール間にマスクを支持した状態を示す断面図である。
【図１１】図１０に示された洗浄装置の超音波振動発生部を駆動した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１  洗浄装置（被洗浄物の洗浄装置）
４  マスク（被洗浄物）
１０  洗浄槽
１１  超音波振動発生部（振動源）
１２  中間槽
１３  液体循環部（液体循環手段）
１４  洗浄液循環部（洗浄液循環手段）
１６  マスク支持レール（支持手段）
２１  圧電発振器（振動子）
３０  フィルタ（濾過手段）
３２  流下配管（洗浄液流下手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004181421.tif 000009
【図８】
2004181421.tif 000010
【図９】
2004181421.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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