(57)【要約】【課題】過酸化水素含有廃水中の過酸化水素の分解処理前において過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬の際の過酸化水素の急激な自己分解による突沸を抑制することができる、過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法および処理方法を提供する。【解決手段】過酸化水素含有廃水供給源１２から過酸化水素と金属とキレート剤とを含むアルカリ性の過酸化水素含有廃水を反応槽１０に供給するとともに、酸供給源（または酸および有価金属沈殿薬剤供給源）１４から気体、液体または固体の酸（またはこの酸と、廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させる薬剤）を反応槽１０に供給し、廃水と酸（または酸と有価金属沈殿薬剤）を攪拌機１６で攪拌して混合するとともに、ｐＨをｐＨ調整装置１８で調整し、沈殿した有価金属またはその化合物を固液分離装置２０で固液分離し、ｐＨ調整後の過酸化水素含有廃水を貯蔵タンク２２に貯蔵する。【選択図】      図１
2004337651.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
過酸化水素と金属とキレート剤とを含むアルカリ性の過酸化水素含有廃水に酸を混合することにより、過酸化水素含有廃水のｐＨを８．５以下にして過酸化水素含有廃水を貯蔵または運搬することを特徴とする、過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項２】
前記金属が、周期律表ＩＩＩＡ、ＩＶＡ、ＶＡ、ＶＩＩＡ、ＶＩＩＩ、ＩＢおよびＩＩＢ族に属する元素の群から選ばれる少なくとも１つ以上の金属であることを特徴とする、請求項１に記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項３】
前記金属が、Ａｌ、Ｉｎ、ＳｎおよびＰｂの群から選ばれる少なくとも１つ以上の金属であることを特徴とする、請求項１に記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項４】
前記キレート剤が、カルボキシル基を有する有機酸または有機酸塩およびこれらの誘導体の少なくとも１つ以上であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項５】
前記キレート剤が、エチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）、ニトリロトリ酢酸（ＮＴＡ）、シクロヘキサンジアミン−Ｎ，Ｎ’−四酢酸（ＣｙＤＴＡ）、ジエチレントリアミン五酢酸（ＤＴＰＡ）、トリエチレンテトラアミン六酢酸（ＴＴＨＡ）、グリコールエーテルジアミン四酢酸（ＧＥＤＴＡ）およびこれらの塩の少なくとも１つ以上であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項６】
前記アルカリ性の過酸化水素含有廃水が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウムおよび水溶性アミン類の少なくとも１つ以上のアルカリを含むことを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項７】
前記アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させる物質を前記アルカリ性の過酸化水素含有廃水に混合することにより、前記アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれかに記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項８】
前記酸が、前記アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させる酸であり、前記アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれかに記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項９】
前記アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させた後に固液分離を行って有価金属を回収することを特徴とする、請求項７または８に記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項１０】
前記酸が、塩酸、硫酸、リン酸、フッ化水素酸、ヨウ化水素酸および蓚酸の少なくとも１つ以上の酸であることを特徴とする、請求項１乃至９のいずれかに記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかに記載の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法によって貯蔵または運搬された過酸化水素含有廃水を活性炭と接触させることにより過酸化水素を分解することを特徴とする、過酸化水素含有廃水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法および処理方法に関し、特に電子部品製造工程から排出される廃水を安全に処理する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、過酸化水素含有水の処理方法として、過酸化水素含有水に鉄塩を添加し、ｐＨ２〜３．５で活性炭と接触させることにより、過酸化水素を分解する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特公平２−２１８７４号公報（第１頁第２欄１０−１２行）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、例えば、ＥＤＴＡ−過酸化水素−ＮａＯＨ液で処理したＡｇ含有廃液などの場合には、過酸化水素が自己分解し易く、反応熱により反応が異常に促進して突沸や爆発が起こる危険がある。特に、夏季などの気温が高い場合などにその危険性が顕著である。
【０００５】
そのため、特許文献１に開示された処理方法によって過酸化水素分解処理を行う場合にも、上記のようなＡｇ含有廃液が処理前に異常に反応してしまう場合もあり得るため、高価な過酸化水素処理装置を設置しなければならないのみならず、オンライン方式で処理しなければならず、操業上の制約がある。また、上記のようなＡｇ含有廃液の引取運搬を外部業者に委託する場合でも、突沸などの問題がある。
【０００６】
さらに、上記のようなＡｇ含有廃液は、キレート剤を含有しているため、廃液中の有価金属の溶存濃度が高くなり、廃液の安定性を低下させる要因になる場合がある。
【０００７】
したがって、本発明は、このような従来の問題点に鑑み、過酸化水素含有廃水中の過酸化水素の分解処理前において過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬の際の過酸化水素の急激な自己分解による突沸を抑制することができる、過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法および処理方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、過酸化水素と金属とキレート剤とを含むアルカリ性の過酸化水素含有廃水に酸を混合して過酸化水素含有廃水のｐＨを８．５以下にすることにより、過酸化水素含有廃水中の過酸化水素の分解処理前において過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬の際の過酸化水素の急激な自己分解による突沸を抑制することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法は、過酸化水素と金属とキレート剤とを含むアルカリ性の過酸化水素含有廃水に酸を混合することにより、過酸化水素含有廃水のｐＨを８．５以下にして過酸化水素含有廃水を貯蔵または運搬することを特徴とする。
【００１０】
この過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法において、金属が、周期律表ＩＩＩＡ、ＩＶＡ、ＶＡ、ＶＩＩＡ、ＶＩＩＩ、ＩＢおよびＩＩＢ族に属する元素の群から選ばれる少なくとも１つ以上の金属、またはＡｌ、Ｉｎ、ＳｎおよびＰｂの群から選ばれる少なくとも１つ以上の金属であるのが好ましい。また、キレート剤が、カルボキシル基を有する有機酸または有機酸塩およびこれらの誘導体の少なくとも１つ以上であるのが好ましく、エチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）、ニトリロトリ酢酸（ＮＴＡ）、シクロヘキサンジアミン−Ｎ，Ｎ’−四酢酸（ＣｙＤＴＡ）、ジエチレントリアミン五酢酸（ＤＴＰＡ）、トリエチレンテトラアミン六酢酸（ＴＴＨＡ）、グリコールエーテルジアミン四酢酸（ＧＥＤＴＡ）およびこれらの塩の少なくとも１つ以上であるのがさらに好ましい。また、アルカリ性の過酸化水素含有廃水が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウムおよび水溶性アミン類の少なくとも１つ以上のアルカリを含むのが好ましい。さらに、酸が、塩酸、硫酸、リン酸、フッ化水素酸、ヨウ化水素酸および蓚酸の少なくとも１つ以上の酸であるのが好ましい。
【００１１】
また、上記の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法において、アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させる物質をアルカリ性の過酸化水素含有廃水に混合することにより、アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させるのが好ましい。あるいは、酸が、アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させる酸であり、アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させるようにしてもよい。これらの場合、アルカリ性の過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させた後に固液分離を行って有価金属を回収するのが好ましい。
【００１２】
また、本発明による過酸化水素含有廃水の処理方法は、上記の過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法によって貯蔵または運搬された過酸化水素含有廃水を活性炭と接触させることにより過酸化水素を分解することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法の実施の形態では、過酸化水素と金属とキレート剤とを含むアルカリ性の過酸化水素含有廃水に酸を添加してｐＨを調整することにより、過酸化水素含有廃水を安定化し、夏季などの気温が高い場合でも、過酸化水素含有廃水を安全に貯蔵または運搬できるようにする。また、過酸化水素含有廃水が有価金属を含む場合には、過酸化水素含有廃水から有価金属を沈殿として分離することにより、過酸化水素含有廃水中の自己分解触媒として作用する金属の濃度を低下させるとともに、有価金属のリサイクルを容易にする。
【００１４】
本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法および処理方法に使用する過酸化水素含有廃水として、ＥＤＴＡやＤＴＰＡのようなカルボキシル基を有する有機酸またはその誘導体を含む過酸化水素含有廃水を使用することができる。ＥＤＴＡやＤＴＰＡのようなカルボキシル基を有する有機酸またはその誘導体の濃度は、特に限定されないが、沈殿の形成を考慮すると、数％以下であるのが好ましい。また、過酸化水素含有廃水が、アルカリとして、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウムおよび水溶性アミン類などを含んでもよく、錯体を形成し難い水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムを含むのが好ましい。
【００１５】
過酸化水素含有廃水に混合する酸の種類は、単なる中和であれば特に限定されないが、過酸化水素との反応性や価格などの点で、硫酸または塩酸を使用するのが好ましい。また、その地域の排水基準に従って酸の種類を選択するのが好ましい。なお、酸の濃度が高すぎると、希釈熱が多量に発生し、ｐＨ調整時の液の安定性が低下するとともにｐＨの制御が難しくなる可能性があり、気体の酸の場合でも溶解熱が多量に発生する可能性がある。また、固体の酸の場合には、溶解までの時間がかかり、スケール化する可能性があるので、水で希釈した酸の溶液を使用するのが好ましい。
【００１６】
過酸化水素含有廃水が有価金属を含む場合には、有価金属を沈殿させる薬剤を混合するのが好ましい。この有価金属を沈殿させる薬剤は、過酸化水素含有廃水中に溶存する有価金属の種類とキレート剤の種類や混合ｐＨによって適宜選択することができる。例えば、過酸化水素−ＥＤＴＡ−ＮａＯＨ中のＡｇについては、塩化物やヨウ化物を形成する化合物、例えば、ＨＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＩなどを使用するのが好ましい。特に、ＨＣｌについては、ｐＨを所定値にするための酸としても使用することができる。また、有価金属を沈殿させる薬剤の濃度は、液中の濃度や残留錯体形成分や過飽和溶存分を考慮して、適宜設定することができるが、好ましくは８０％以上、さらに好ましくは９５％以上の有価金属が沈殿する濃度にする。
【００１７】
本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法および処理方法の実施の形態では、液の突沸の抑止と活性炭による過酸化水素の分解効率の改善が両立できるｐＨ、好ましくはｐＨ８．５以下、さらに好ましくはｐＨ８以下になるように、過酸化水素含有廃水のｐＨを酸で調整する。
【００１８】
過酸化水素含有廃水は、直接反応槽に投入してもよいし、仮貯液した後にそこから反応槽に投入してもよい。活性炭により過酸化水素を分解する過酸化水素分解処理装置への過酸化水素含有廃水の投入は、オンライン方式またはオフライン方式のいずれによってもかまわない。
【００１９】
また、過酸化水素含有廃水のｐＨを強いアルカリ性側で調整すると、中和熱により液温が上昇して、ｐＨ８．５以下になるまでに突沸してしまう可能性があるので、最初に酸を反応槽に投入し、次いで、過酸化水素含有廃水を反応槽に投入して、酸性側からｐＨ８．５側へｐＨを調整するのが好ましい。特に、この方法は、運搬用タンクの場合に好適である。
【００２０】
また、活性炭と接触させて過酸化水素を分解するのに適当なｐＨに調整したり、添加薬剤の濃度によって添加時に所定のｐＨからずれることもあるので、必要に応じて酸やアルカリ液の補給装置を設置することも好ましい。過酸化水素含有廃水と酸との混合方法については、酸の形態などによって既存の方法を適宜選択することができる。例えば、反応槽内に攪拌羽根またはスタチックミキサのような静的攪拌機を設置し、攪拌しながら廃水と酸を混合することができる。混合条件によっては、中和反応による発熱によって温度が上昇することが考えられるため、チラーなどの冷却装置を設置してもよい。
【００２１】
本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法および処理方法の実施の形態は、過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬の安定化に使用することができる。
【００２２】
以下、添付図面を参照して、本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法および処理方法の実施の形態に使用する装置について説明する。
【００２３】
図１に示すように、本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵装置は、（ポンプなどを含む）過酸化水素含有廃水供給源１２から過酸化水素と金属とキレート剤とを含むアルカリ性の過酸化水素含有廃水が供給されるとともに、酸供給源（または酸および有価金属沈殿薬剤供給源）１４から気体、液体または固体の酸（またはこの酸と、過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させる薬剤）が供給される反応槽１０と、過酸化水素含有廃水と酸（または酸と有価金属沈殿薬剤）を攪拌して混合するために反応槽１０内に設けられたスタチックミキサなどの攪拌機１６と、反応槽１０中の液のｐＨを調整するために反応槽１０内に設けられたｐＨ調整装置１８と、反応槽１０において沈殿した有価金属またはその化合物を固液分離する固液分離装置２０と、この固液分離装置２０を通過したｐＨ調整後の過酸化水素含有廃水を貯蔵する貯蔵タンク２２とからなる。
【００２４】
また、図２に示すように、本発明による過酸化水素含有廃水の処理装置には、図１に示す過酸化水素含有廃水の貯蔵装置に加えて、貯蔵タンク２２に貯蔵されたｐＨ調整後の過酸化水素含有廃水中の過酸化水素を活性炭によって分解する過酸化水素分解装置２４が設けられている。
【００２５】
また、図３に示すように、本発明による過酸化水素含有廃水の運搬装置は、過酸化水素含有廃水供給源１２から過酸化水素と金属とキレート剤とを含むアルカリ性の過酸化水素含有廃水が供給されるとともに、酸供給源（または酸および有価金属沈殿薬剤供給源）１４から気体、液体または固体の酸（またはこの酸と、過酸化水素含有廃水中の有価金属を金属単体または化合物として沈殿させる薬剤）が供給される運搬タンク２６と、この運搬タンク２６に供給された過酸化水素含有廃水と酸（または酸と有価金属沈殿薬剤）を攪拌して混合するために運搬タンク２６内に設けられたスタチックミキサなどの攪拌機１６と、運搬タンク２６中の液のｐＨを調整するために運搬タンク２６内に設けられたｐＨ調整装置１８とからなる。
【００２６】
【実施例】
以下、本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法の実施例について詳細に説明する。
【００２７】
［実施例１］
ＥＤＴＡ１．４ｇ、３５％過酸化水素水１７０ｍＬ、２８％アンモニア水１００ｍＬに純水を加えて１Ｌになるようにした水溶液に、Ａｇが１．０ｇ／Ｌ、Ｃｕが０．７ｇ／Ｌになるように溶解させて試験溶液を作成し、この試験溶液に３０％Ｈ２ＳＯ４をｐＨ７．５になるまで攪拌しながら添加した。この溶液を３５℃で攪拌して１時間加温したが、突沸は発生しなかった。
【００２８】
［実施例２］
ＥＤＴＡ１．４ｇ、３５％過酸化水素水１７０ｍＬ、２８％アンモニア水１１０ｍＬに純水を加えて１Ｌになるようにした水溶液に、Ａｇが０．２４ｇ／Ｌ、Ｃｕが０．１６ｇ／Ｌになるように溶解させて試験溶液を作成し、この試験溶液に３５％ＨＣｌをｐＨ８．０になるまで攪拌しながら添加した。この溶液を濾紙（東洋濾紙製Ｎｏ．５Ｃ）で固液分離してＡｇＣｌを回収した。また、ろ液を３５℃で攪拌して１時間加温したが、突沸は発生しなかった。
【００２９】
［実施例３］
ＥＤＴＡ１．４ｇ、３５％過酸化水素水１７０ｍＬ、２８％アンモニア水１１０ｍＬに純水を加えて１Ｌになるようにした水溶液に、Ａｇが０．２４ｇ／Ｌ、Ｃｕが０．１６ｇ／Ｌになるように溶解させて試験溶液を作成し、この試験溶液に３５％ＨＣｌをｐＨ７．０になるまで攪拌しながら添加した。この溶液を濾紙（東洋濾紙製Ｎｏ．５Ｃ）で固液分離してＡｇＣｌを回収した。また、ろ液を３５℃で攪拌して１時間加温したが、突沸は発生しなかった。
【００３０】
［実施例４］
ＥＤＴＡ１．４ｇ、３５％過酸化水素水１７０ｍＬ、２８％アンモニア水１１０ｍＬに純水を加えて１Ｌになるようにした水溶液に、Ａｇが０．２４ｇ／Ｌ、Ｃｕが０．１６ｇ／Ｌになるように溶解させて試験溶液を作成し、この試験溶液にＨＣｌ８５ｇ／Ｌと塩化第二銅３００ｇ／Ｌの混合溶液をｐＨ８．０になるまで攪拌しながら添加した。この溶液を濾紙（東洋濾紙製Ｎｏ．５Ｃ）で固液分離してＡｇＣｌを回収した。また、ろ液を３５℃で攪拌して１時間加温したが、突沸は発生しなかった。
【００３１】
［実施例５］
ＥＤＴＡのかわりにＤＴＰＡを使用した以外は実施例２と同じ方法により得られたろ液を３５℃で攪拌して１時間加温したが、突沸は発生しなかった。
【００３２】
［実施例６］
ＥＤＴＡ１．４ｇ、３５％過酸化水素水１７０ｍＬ、２８％アンモニア水１００ｍＬに純水を加えて１Ｌになるようにした水溶液に、Ａｇが１．０ｇ／Ｌ、Ｃｕが０．７ｇ／Ｌになるように溶解させて試験溶液を作成し、この試験溶液を３０％Ｈ２ＳＯ４水溶液にｐＨ７．５になるまで攪拌しながら添加した。この溶液を３５℃で攪拌して１時間加温したが、突沸は発生しなかった。
【００３３】
［比較例１］
ＥＤＴＡ１．４ｇ、３５％過酸化水素水１７０ｍＬ、２８％アンモニア水１１０ｍＬに純水を加えて１Ｌになるようにした水溶液に、Ａｇが０．２４ｇ／Ｌ、Ｃｕが０．１６ｇ／Ｌになるように溶解させて試験溶液を作成し、この試験溶液を２５℃で攪拌したところ、液温が急激に上昇し、突沸が発生した。
【００３４】
［比較例２］
ＥＤＴＡのかわりにＤＴＰＡを使用した以外は実施例２と同じ方法により得られた試験溶液を２５℃で攪拌したところ、液温が急激に上昇し、突沸が発生した。
【００３５】
［比較例３］
ＤＴＰＡ１．４ｇ、３５％過酸化水素水１７０ｍＬ、２８％アンモニア水１１０ｍＬに純水を加えて１Ｌになるようにした水溶液に、Ａｇが１．０ｇ／Ｌ、Ｃｕが０．７ｇ／Ｌになるように溶解させて試験溶液を作成し、この試験溶液を２５℃で攪拌したところ、液温が急激に上昇し、突沸が発生した。
【００３６】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、過酸化水素含有廃水中の過酸化水素の分解処理前において過酸化水素含有廃水の貯蔵および運搬の際の過酸化水素の急激な自己分解による突沸を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法の実施の形態に使用する過酸化水素含有廃水の貯蔵装置を概略的に示す図。
【図２】本発明による過酸化水素含有廃水の処理方法の実施の形態に使用する過酸化水素含有廃水の処理装置を概略的に示す図。
【図３】本発明による過酸化水素含有廃水の貯蔵または運搬方法の実施の形態に使用する過酸化水素含有廃水の運搬装置を概略的に示す図。
【符号の説明】
１０  反応槽
１２  過酸化水素含有廃水供給源
１４  酸供給源（酸および有価金属沈殿薬剤供給源）
１６  攪拌機
１８  ｐＨ調整装置
２０  固液分離装置
２２  貯蔵タンク
２４  過酸化水素分解装置
２６  運搬タンク
【図１】
2004337651.tif 000003
【図２】
2004337651.tif 000004
【図３】
2004337651.tif 000005