(57)【要約】【課題】光導波路と光ファイバとが一体化された光配線であって、光導波路のコアと光ファイバのコアとのズレ等による光結合効率の低下を抑制し、かつ製造コストが低い、光配線及びその製造方法を提供する。【解決手段】光配線１０は、平面型光導波路１０Ａと光ファイバ１０Ｂとから構成されている。平面型光導波路１０Ａは、基板１２と、基板１２上に成膜された下部クラッド１４と、下部クラッド１４上の一部に形成された帯状のコア１６と、コア１６を囲んで下部クラッド１４上に成膜された上部クラッド１８とを有する。光ファイバ１０Ｂは、光ファイバ１０Ｂの一方の端部が、コア１６の一方の端面１６Ａからコア１６の内側に、コア１６の延在方向と平行に埋め込まれ、かつコア１６を構成する高分子有機化合物によりコア１６に固着されている。コア１６の断面形状は、一辺が１０μｍから２００μｍの長方形をなし、かつコア１６が円形断面を有する光ファイバ１０Ｂを収容できるように、長方形の各辺が光ファイバ１０Ｂの直径よりも大きい値に設定されている。【選択図】        図１
2004279622.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面型光導波路と光ファイバとを接続し、光結合する光配線であって、
前記平面型光導波路は、下部クラッドと、前記下部クラッド上に形成された帯状のコアと、前記コアを囲んで前記下部クラッド上に成膜された上部クラッドとを有し、
前記光ファイバの端部が、前記コアの一方の端面から前記コアの内部に、前記コアの延在方向と平行に埋め込まれ、かつ前記コアの構成成分を固着媒体として前記コアに固着されていることを特徴とする光配線。
【請求項２】
前記コアが前記下部クラッド上に形成された複数本のコアであり、
前記複数本のコアのうちの少なくとも１本の前記コアの一方の端面から前記コアの内部に、前記光ファイバの端部が前記コアの延在方向と平行に埋め込まれ、かつ前記コアの構成成分を固着媒体として前記コアに固着されていることを特徴とする請求項１に記載の光配線。
【請求項３】
前記下部クラッド、コア、及び上部クラッドが、それぞれ高分子有機化合物から構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光配線。
【請求項４】
前記コアが、紫外線の照射により硬化する高分子有機化合物から構成されていることを特徴とする請求項３に記載の光配線。
【請求項５】
基板上に第１の高分子有機化合物からなる下部クラッドを成膜して硬化させ、
前記下部クラッド上に前記第１の高分子有機化合物よりも大きい屈折率を有し、かつ紫外線の照射により硬化する第２の高分子有機化合物からなるコア形成層を成膜し、
光ファイバの端部を液体状の前記コア形成層の中に埋め込み、
前記コア形成層の前記光ファイバの端部を埋め込んだ領域を含み、かつ前記光ファイバの端部に平行な帯状の領域に紫外線を照射して、前記紫外線の照射領域のコア形成層を硬化させてコアとすると共に、前記コアの構成成分を固着媒体として前記光ファイバの端部を前記コアに固着させ、
未硬化の前記コア形成層を除去し、
前記コアを囲んで前記下部クラッド上に前記第１の高分子有機化合物からなる上部クラッドを成膜して硬化させることを特徴とする光配線の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路と光ファイバとを接続する光配線及びその製造方法に関し、更に詳細には、光インタコネクションの分野に用いられ、光導波路と光ファイバとを一体化して接続する光配線であって、光導波路のコアと光ファイバのコアとのズレ等による光結合効率の低下を抑制し、かつ製造コストが低い、光配線及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
情報化社会の到来と共に、大容量かつ高速の通信方式が必要とされている。一方、従来から情報伝達手段として用いられている電気配線は、システムの高速化に伴い高周波応答に限界が生じてくる。
そこで、大容量かつ高速の通信方式で用いられる次世代光インタコネクションでは、電気配線に代わり、光信号を伝達する光配線が脚光を浴びている。
【０００３】
光インタコネクションで光配線を用いる場合、基板上に実装された光導波路と光ファイバとを接続して光結合させる必要があるが、光導波路と光ファイバとを良好な光結合効率で接続することは容易ではない。
即ち、光導波路と光ファイバとを良好な光結合効率で接続するには、例えば、光ファイバを基板上の所定位置に固定するＶ字状溝が形成されたＶ溝基板、光を光ファイバのコア又は光導波路のコアに集光するためのレンズ、及び光学部品を接着するための特殊な光学接着剤などの多くの部品を必要とし、かつ高度な技術が必要とされる。
【０００４】
また、良好な光結合効率を確保するため、光導波路に実際に光を通して光ファイバの位置合せを行う、アクティブアライメント（Ａｃｔｉｖｅ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）法が用いられている。しかし、アクティブアライメント法は、作業者が光導波路又は光ファイバの光の通り具合を確認しながら位置合せを行うので、非常に手間がかかる。
このように、従来、光導波路と光ファイバとを光結合させるには、多くの部品と手間とを要し、製品の高コスト化の一因になっていた。
【０００５】
そこで、光導波路と光ファイバとのアライメントを容易にし、部品と手間とを減らして、製品の低コスト化を実現する光配線として、特開２００１−２５５４２８号公報は、平面型の光導波路のコアと光ファイバとを一体化して接続し、光結合させる光配線層を提案している。
ここで、図５を参照して、前掲公報に開示されている光配線層の構成を説明する。図５は、前掲公報に開示されている光配線層の構成を示す斜視図である。
【０００６】
前掲公報によれば、光配線層３０は帯状のコア３２と、コア３２の周囲に延在するクラッド３４と、コア３２の光入出射口に設けられた、光ファイバ３８を接続するための接続穴３６とを有する。
コア３２及びクラッド３４は、それぞれ、石英等の無機材料又はポリマー材料からなり、コア３２はクラッド３４を構成する材料の屈折率より大きな屈折率を有する材料から構成されている。
接続穴３６は、接続する光ファイバ３８の直径と略等しい口径を有し、コア３２の延在方向に対して平行に形成されている。また、接続穴３６に光ファイバ３８を接続した際に、露出したコア３２と光ファイバ３８のコアとが向い合う位置に形成されている。
【０００７】
コア３２及びクラッド３４にポリマー系材料を用いる場合の光配線層３０の製造方法について、図６及び図７を参照して説明する。図６（ａ）から（ｃ）及び図７は、光配線層の製造工程を示す断面図であり、図８は光配線層の製造工程を示す平面図である。
先ず、図６（ａ）に示すように、基板４０上に、クラッド用のポリマー系材料を塗布してスピンコータで成膜し、硬化させ、第１クラッド３４Ａを形成する。
次いで、第１クラッド３４Ａ上に、第１クラッド３４Ａに用いたポリマー系材料の屈折率より高い屈折率を有するコア用のポリマー系材料をスピンコータで成膜し、コア形成層３２ａとする。
【０００８】
続いて、図６（ｂ）及び図８に示すように、コア形成層３２ａ及び第１クラッド３４Ａの一部を、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法などにより、所定の形状にパターニングしてコア３２を形成する。パターニングする深さＤは、後に光ファイバ３８を載せたときに、光ファイバ３８のコア４４の中心と、光配線層３０のコア３２の中心の高さとが一致する値に設定する。またパターニングする際に、光ファイバ３８を左右から保持するための２つの突起４２Ａ、４２Ｂを形成する。
【０００９】
次いで、図６（ｃ）に示すように、２つの突起４２Ａ、４２Ｂの間に光ファイバ３８を保持し、この状態で光ファイバ３８と基板４０とを接着剤（図示せず）などを用いて固定する。接着剤は、後の工程で光ファイバを取り外せるように、水溶性の接着剤や、加熱やＵＶ照射によって接着力が消失するものであって、クラッド３４及び光ファイバ３８の材料に適したものを用いる。
続いて、図７に示すように、光ファイバ３８を固定したまま、コア３２を囲んで第１クラッド３４Ａ上に、第１クラッド３４Ａと同じポリマー系材料を塗布してスピンコータで成膜し、ポリマー系材料を硬化させ、第２クラッド３４Ｂを形成する。
【００１０】
最後に、光ファイバ３８と下部クラッド３４Ａとを接着している接着剤について、水溶性の接着剤の場合には剥離液に浸すことにより接着剤を除去し、加熱、ＵＶ照射によって接着力が消失する接着剤を用いている場合には、それぞれ、加熱、ＵＶ照射によって接着剤の接着力を消失させた後、光ファイバ３８を積層構造から引き抜くことにより、光配線層３０を完成することができる。
【００１１】
上述の光配線層３０と光ファイバ３８とを接続する場合には、接続穴３６と光ファイバ３８の端部との位置を合せて、光ファイバ３８を接続穴３６に差し込み、例えばＵＶ硬化の光学接着剤などを用いて固定する。
前掲公報に開示の光配線層３０は、このように平面型光導波路と光ファイバとを一体化して接続し、光結合させることにより、製造が容易で、製造コストが低い光配線を実現している。
【００１２】
【特許文献１】
特開２００１−２５５４２８号（段落００１５から００２４）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前掲公報に開示の光配線層３０には以下のような問題があった。
第１には、前掲公報に開示の光配線層３０では、光配線層３０と光ファイバ３８とを接続する場合に、光配線層３０と光ファイバ３８の双方のコアの位置を高い精度で合せることが実際には困難であり、双方のコアの位置にズレを生じて、光結合効率が低下するという問題があった。
【００１４】
第２には、光配線層３０と光ファイバ３８とを接続する光学接着剤の選定が容易ではないという問題があった。ここで、光学接着剤とは、屈折率を制御した紫外線硬化型接着剤を言う。
例えば、光学接着剤は、光配線層３０及び光ファイバ３８を構成する材料と十分な固着力を有する必要があり、かつこれらの材料の材質を変性させるものであってはならない。
また、光学接着剤がコアを導波する光の吸収を生じ、或いは光学接着剤の屈折率とコアを構成する材料の屈折率とが異なる場合には、光配線層３０と光ファイバ３８との接着部分で光信号の損失を生じ、光結合効率の低下を招いてしまう。
このように、光配線層３０と光ファイバ３８とを接続する光学接着剤には、光配線層３０及び光ファイバ３８を構成する材料との適性を有すると共に、コアを導波する光に対する良好な光学特性を有することが必要とされるが、このような光学接着剤を選定するのは非常に困難であった。
【００１５】
そこで、本発明の目的は、光導波路と光ファイバとが一体化された光配線であって、光導波路のコアと光ファイバのコアとのズレ等による光結合効率の低下を抑制し、かつ製造コストが低い、光配線及びその製造方法を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記問題を解決するために検討を行い、光導波路の製造工程で、光ファイバの端部をコア形成用の材料の内部に埋め込んだ状態でコアを形成することにより、上記問題を解決できるのではないかと考えた。
つまり、光ファイバの端部をコア形成用の材料の内部に埋め込んだ状態でコア形成用の材料を硬化させ、光ファイバの端部と平行にコアを形成すれば、光学接着剤を用いることなく、光導波路と光ファイバとが確実に光結合され、かつ光ファイバの端部が光導波路のコアに確実に固定される。
従って、特開２００１−２５５４２８号公報に開示の光配線層３０のように、光配線層３０（光導波路）と光ファイバとの接続時に双方のコアの位置にズレを生じることがなく、確実に一定の光結合効率を有する光配線を得ることができる。
【００１７】
また、上述の光配線は、従来の光配線のように多くの部品や、アクティブアライメントの際の光の通り具合を確認する手間などを必要とせず、製造コストを抑制することができる。
本発明者は、このように上記問題を解決する光配線及びその製造方法を実現することに着想し、種々の実験の末、本発明を発明するに至った。
【００１８】
そこで、上記目的を達成するために、上述の知見に基づいて、本発明に係る光配線は、平面型光導波路と光ファイバとを接続し、光結合する光配線であって、
平面型光導波路は、下部クラッドと、下部クラッド上に形成された帯状のコアと、コアを囲んで下部クラッド上に成膜された上部クラッドとを有し、
光ファイバの端部が、コアの一方の端面からコアの内部に、コアの延在方向と平行に埋め込まれ、かつコアの構成成分を固着媒体としてコアに固着されていることを特徴としている。
【００１９】
本発明の光配線によれば、光ファイバの端部が、コアの一方の端面からコアの内部に、コアの延在方向と平行に埋め込まれ、かつコアの構成成分を固着媒体としてコアに固着されていることにより、光学接着剤を用いることなく、平面型光導波路と光ファイバとが確実に光結合し、かつ光ファイバの端部を光導波路のコアに確実に固定することができる。
また、本発明の光配線は、光配線の製造の際に、光導波路のコアと光ファイバのコアとが物理的に光結合するように、機械的なアライメントにより一体的に形成されるので、アクティブアライメントを用いることなく高い光結合効率を有するアライメントを実現している。
このように、本発明の光配線によれば、従来の光導波路と光ファイバとを接続する光配線のように多くの部品や手間を必要としないので、製造が容易で、製造コストが低い光配線を実現している。
【００２０】
本発明の好適な実施態様では、コアが下部クラッド上に形成された複数本のコアであり、
複数本のコアのうちの少なくとも１本のコアの一方の端面からコアの内部に、光ファイバの端部がコアの延在方向と平行に埋め込まれ、かつコアの構成成分を固着媒体としてコアに固着されている。
これにより、光配線の集積度を高めて、伝送容量を高めることができる。
【００２１】
本発明の好適な実施態様では、下部クラッド、コア、及び上部クラッドが、それぞれ高分子有機化合物から構成されている。これにより、光導波路と光ファイバとを接続する光配線を更に容易に製造することができる。
この場合、光ファイバの材質には限定はないが、ガラスファイバではなく、プラスチックファイバ（ＰＯＦ）を用いれば、コアを構成する高分子有機化合物とのより良好な固着性が得られる。
本発明は、好適には、コアが、紫外線の照射により硬化する高分子有機化合物から構成されている。この場合、所定のパターンを有するマスクを介して紫外線を照射することにより、コアを容易に形成することができるので、より良好な上記効果を得ることができる。
【００２２】
本発明に係る光配線は、基板上に平面型光導波路などの光配線及び電気配線が形成された光・電気配線基板に好適に適用することができる。
また、前述の光・電気配線基板上に、電子部品、ＩＣなどの素子、及びＬＤ、ＰＤなどの光素子が実装された光・電気実装基板に好適に適用することができる。
【００２３】
本発明に係る光配線の製造方法は、基板上に第１の高分子有機化合物からなる下部クラッドを成膜して硬化させ、
下部クラッド上に第１の高分子有機化合物よりも大きい屈折率を有し、かつ紫外線の照射により硬化する第２の高分子有機化合物からなるコア形成層を成膜し、
光ファイバの端部を液体状のコア形成層の中に埋め込み、
コア形成層の光ファイバの端部を埋め込んだ領域を含み、かつ光ファイバの端部に平行な帯状の領域に紫外線を照射して、紫外線の照射領域のコア形成層を硬化させてコアとすると共に、コアの構成成分を固着媒体として光ファイバの端部をコアに固着させ、
未硬化のコア形成層を除去し、
コアを囲んで下部クラッド上に第１の高分子有機化合物からなる上部クラッドを成膜して硬化させることを特徴としている。
【００２４】
本発明方法では、所定のパターンを有するマスクを介して紫外線を照射することにより、所望の形状のコアを形成することができるので、製造が容易な光配線の製造方法を実現している。
【００２５】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して、本実施形態例に基づいて本発明をより詳細に説明する。
光配線の実施形態例
本実施形態例は本発明に係る光配線の実施形態の一例である。図１は本実施形態例の光配線の構成を示す斜視図、図２（ａ）は図１の矢視Ｉ−Ｉでの横断面を示す断面図、図２（ｂ）は図１の矢視ＩＩ−ＩＩでの縦断面を示す断面図である。
本実施形態例の光配線１０は、光ファイバと平面型光導波路とを一体化して接続し、光結合させる光配線であって、図１及び図２（ａ）、（ｂ）に示すように、平面型光導波路１０Ａと光ファイバ１０Ｂとから構成されている。
【００２６】
平面型光導波路１０Ａは、基板１２と、基板１２上に成膜された下部クラッド１４と、下部クラッド１４上の一部に形成された帯状のコア１６と、コア１６を囲んで下部クラッド１４上に成膜された上部クラッド１８とを有する。
光ファイバ１０Ｂは、光ファイバ１０Ｂの一方の端面２０から長さＬ１＝２ｃｍ程度の光ファイバ１０Ｂの端部が、コア１６の一方の端面１６Ａからコア１６の内側に、コア１６の延在方向と平行に埋め込まれ、かつ後述するコア１６を構成する高分子有機化合物によりコア１６に固着されている。
コア１６の断面形状は、一辺が１０μｍから２００μｍの長方形をなし、かつコア１６が円形断面を有する光ファイバ１０Ｂを収容できるように、長方形の各辺が光ファイバ１０Ｂの直径よりも大きい値に設定されている。
本実施形態例では、コア径が５０μｍ、全体の外径が１２５μｍの光ファイバ１０Ｂを用い、コア１６の断面形状は縦が１５０μｍで横が１５０μｍの長方形とした。
【００２７】
下部クラッド１４及び上部クラッド１８は同じ高分子有機化合物から構成され、コア１６は下部クラッド１４及び上部クラッド１８を構成する高分子有機化合物の屈折率より０．１％から２．０％程度大きな屈折率を有する。
本実施形態例では、コア１６は屈折率が１．５４３のオキセタン樹脂から、下部クラッド１４及び上部クラッド１８は屈折率が１．５１６のオキセタン樹脂から構成されている。
【００２８】
オキセタン樹脂を用いて光導波路を形成する方法は、特開２０００−３５６７２０号公報に詳述されている。前掲公報を参照して、オキセタン樹脂を簡単に説明すると、オキセタン樹脂は、オキセタン環を有するオキセタン化合物と、オキシラン環を有するオキシラン化合物と、連鎖反応によりオキセタン化合物の重合を開始させるカチオン重合開始剤とを含み、紫外線等のエネルギービームを照射することにより硬化する樹脂成分である。
【００２９】
オキセタン化合物として、例えばジ［１−エチル（３−オキセタニル）］メチルエーテル（室温で液体）、１，４−ビス｛［（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ］メチル｝ベンゼンとジ［４−（１−エチル−３−オキセタニルメトキシメチル）］ベンジルエーテルとの混合物（以下、キシレンジオキセタンともいう。）（室温で液体）、フェノールノボラックオキセタン（室温で固体）、オキセタニルシルセスキオキセタン（室温で液体）等が挙げられる。
【００３０】
オキシラン化合物として、例えばリモネンジオキサイド、多官能脂肪族環状エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とビスフェノールＦ型エポキシ樹脂との混合物（混合比約１：１）、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、二官能脂肪族環状エポキシ樹脂等が挙げられる。
また、カチオン重合開始剤は、例えば４−４′ビス［ジ（βヒドロキシエトキシ）フェニルスルフォニオ］フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチモネート（旭電化社製）である。
【００３１】
オキセタン化合物の屈折率（２５℃、ナトリウムＤ線）は、オキセタン化合物の種類によって異なり、例えばジ［１−エチル（３−オキセタニル）］メチルエーテルで１．４５４４、またフェノールノボラックオキセタンで１．５７程度である。
また、オキシラン化合物の屈折率（２５℃、Ｄ線）は、例えばリモネンジオキサイドで１．４６５６、またビスフェノールＡ型エポキシ樹脂で１．５６８３である。
【００３２】
オキセタン樹脂は、オキセタン化合物及びオキシラン化合物の種類並びに配合比を調整することにより、屈折率を調節することができる。
例えば、光導波路のコア部を形成するためには、クラッド部との屈折率の差が安定して得られるように、屈折率が１．５未満のものを１０〜３０重量％含み、屈折率が１．５以上のものを４０〜６０重量％含み、残部がオキシラン化合物であるオキセタン樹脂を使用する。また、クラッド部を形成するためには、屈折率が１．５未満のオキセタン化合物を４０重量％よりも多く含み、残部がオキシラン化合物であって、屈折率が１．５以上のオキセタン化合物を含まないオキセタン樹脂を使用する。
【００３３】
具体的には、例えば、キシレンジオキセタン１０重量部、フェノールノボラックオキセタン２０重量部、二官能脂肪族環状エポキシ樹脂３０重量部、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とビスフェノールＦ型エポキシ樹脂との混合物２０重量部、およびビスフェノールＡ型エポキシ樹脂２０重量部を混合し、９０℃で２時間加熱して溶解した後、カチオン重合開始剤２重量部を配合し、更に、フィルタリングを行ってダストなどを除去することにより、光導波路コア形成用のオキセタン樹脂を得ることができる。
【００３４】
また、ジ［１−エチル（３−オキセタニル）］メチルエーテル２２重量部、オキセタニルシルセスキオキセタン１３重量部、多官能脂肪族環状エポキシ樹脂３５重量部、および二官能脂肪族環状エポキシ樹脂３０重量部を混合し、９０℃で２時間加熱して溶解した後、カチオン重合開始剤２重量部を配合し、更に、フィルタリングを行ってダストなどを除去することにより、光導波路クラッド形成用のオキセタン樹脂を得ることができる。
【００３５】
本実施形態例の光配線１０によれば、光ファイバ１０Ｂの一方の端面２０から長さＬ１＝２ｃｍ程度の光ファイバ１０Ｂの端部が、コアの端面１６Ａからコア１６の内部に、コア１６の延在方向と平行に埋め込まれ、かつコア１６を構成する高分子有機化合物によりコア１６に固着されていることにより、平面型光導波路１０Ａと光ファイバ１０Ｂとを確実に光結合させ、かつ光ファイバの端部をコア１６に確実に固定することができる。
【００３６】
尚、下部クラッド１４、コア１６、及び上部クラッド１８を構成する高分子化合物には、上記オキセタン樹脂（ソニーケミカル製）以外にも、フッ素化ポリイミド（ＮＴＴアドバンステクノロジー製、日立化成工業製）などを用いることもできる。
光ファイバ１０Ｂの材質には限定はないが、ガラスファイバではなくプラスチックファイバ（ＰＯＦ）は、コア１６を構成する高分子有機化合物との固着性が高いので好ましい。
【００３７】
光配線の製造方法の実施形態例
本実施形態例は、本発明に係る光配線の製造方法を上述の光配線１０の製造に適用した実施形態の一例であって、相互に屈折率の異なる２種類のオキセタン樹脂を使った例である。図３（ａ）、（ｂ）及び図４（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ、本実施形態例の光配線の製造工程を示す斜視図である。
本実施形態例の光配線の製造方法では、先ず、図３（ａ）に示すように、基板１２上に屈折率１．５１６のオキセタン樹脂を塗布してスピンコート法で成膜し、紫外線を照射して、オキセタン樹脂層を硬化させ、下部クラッド１４を形成する。
次いで、下部クラッド１４上に、屈折率１．５４３のオキセタン樹脂を塗布して、コア１６の膜厚に等しい膜厚のコア形成層１６ａをスピンコート法で成膜する。
【００３８】
次いで、図３（ｂ）に示すように、支持器２２ａ、２２ｂを用いて、光ファイバの端面２０から支持器２２ａまでの距離Ｌ２が３ｃｍ程度になるように光ファイバ１０Ｂを２点支持する。そして、光ファイバ１０Ｂの端部の位置と方向とが所定の基準線に対して一致するように光ファイバ１０Ｂの端部を水平に保持しつつ、液体状のコア形成層１６ａ中に光ファイバの端面２０からＬ１＝２ｃｍ程度を埋め込み、埋め込んだ光ファイバ１０Ｂの端部を、硬化した下部クラッド１４上まで押し込んで保持する。
【００３９】
続いて、図４（ｃ）に示すように、コア１６のパターンを紫外線に対して透明な領域２４ａとして、その他の領域を紫外線に対して不透明な領域２４ｂとして有するマスク２４を、透明な領域２４ａのパターンが光ファイバ１０Ｂの端部を埋め込んだコア形成層１６ａの領域を含むように、上述の所定の基準線に対して位置合せする。
続いて、フォトリソグラフィ処理により、位置合わせされたマスク２４を介して、コア形成層１６ａに対して、照度２５０Ｗ、照射量３分の紫外線照射を行う。紫外線照射により、コア形成層１６ａ中で、領域２４ａの下部の紫外線照射領域のみが硬化して、コア１６となる。
【００４０】
次いで、図４（ｄ）に示すように、領域２４ｂの下部の紫外線非照射領域のコア形成層１６ａ（非硬化層）をアセトンで除去する。
続いて、下部クラッド１４に用いたオキセタン樹脂と同じオキセタン樹脂を塗布してスピンコート法で成膜し、紫外線を照射して硬化させ上部クラッド１８を形成することにより、図１に示した光配線１０を完成することができる。
【００４１】
尚、光導波路では、通常、コアと外部との良好な光結合効率を保つために、コアの端面をコアの延在方向に垂直な平面状に形成するが、本実施形態例では、コアの内部で平面型光導波路と光ファイバとを光結合させるので、光導波路のコアの端面を必ずしも平面状に形成する必要はない。
また、基板１６としては、ポリイミド基板、ガラス基板、石英基板、Ｓｉ基板、又はＧａＡｓ基板などを使用することができる。
【００４２】
本実施形態例の光配線の製造方法によれば、光ファイバ１０Ｂの端部を液体状のコア形成層１６ａの中に埋め込み、紫外線照射によりコア１６を形成すると共に、コア１６を構成する高分子有機化合物（オキセタン樹脂）が光ファイバ１０Ｂの端部をコア１６に固着させるので、平面型光導波路１０Ａと光ファイバ１０Ｂとが確実に光結合し、かつ光ファイバ１０Ｂをコア１６に確実に固定する光配線１６を容易に形成することができる。
従って、光結合に必要な部品及び手間を大きく減少させることができるので、製造コストが低い光配線の製造方法を実現している。
尚、本発明に係る光配線及びその製造方法は、光配線の実施形態例及び光配線の製造方法の実施形態例に示した１本のコアを有する平面型光導波路だけでなく、複数本のコアを有する平面型光導波路などにも適用することができる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明の光配線によれば、光ファイバの端部が、コアの一方の端面からコアの内部に、コアの延在方向と平行に埋め込まれ、かつコアの構成成分を固着媒体としてコアに固着されていることにより、光学接着剤を用いることなく、平面型光導波路と光ファイバとが確実に光結合し、かつ光ファイバの端部を光導波路のコアに確実に固定することができる。
また、本発明の光配線によれば、従来の光導波路と光ファイバとを接続する光配線のように多くの部品や手間とを必要としないので、製造が容易で、製造コストが低い光配線を実現している。
本発明方法によれば、所定のパターンを有するマスクを介して紫外線を照射することにより、所望の形状のコアを形成することができるので、製造が容易な光配線の製造方法を実現している。
【図面の簡単な説明】
【図１】光配線の実施形態例に係る光配線の斜視図である。
【図２】（ａ）は図１の矢視Ｉ−Ｉでの横断面を示す断面図であり、（ｂ）は図１の矢視ＩＩ−ＩＩでの縦断面を示す断面図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、光配線の製造方法の実施形態例に係る光配線の製造工程を示す斜視図である。
【図４】（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ、光配線の製造方法の実施形態例に係る光配線の製造工程を示す斜視図である。
【図５】特開２００１−２５５４２８号公報に開示の光配線層を示す斜視図である。
【図６】（ａ）から（ｃ）は、それぞれ、特開２００１−２５５４２８号公報に開示の光配線層の製造工程を示す断面図である。
【図７】特開２００１−２５５４２８号公報に開示の光配線層の製造工程を示す断面図である。
【図８】特開２００１−２５５４２８号公報に開示の光配線層の製造工程を示す平面図である。
【符号の説明】
１０……光配線の実施形態例に係る光配線、１０Ａ……平面型光導波路、１０Ｂ……光ファイバ、１２……基板、１４……下部クラッド、１６……コア、１６ａ……コア形成層、１６Ａ……（コアの）端面、１８……上部クラッド、２０……（光ファイバの）端面、２２ａ、２２ｂ……（光ファイバ）支持器、２４……マスク、２４ａ……透明な領域、２４ｂ……不透明な領域、３０……特開２００１−２５５４２８号公報に開示の光配線層、３２……（光配線層の）コア、３２ａ……コア形成層、３４……クラッド、３４Ａ……第１クラッド、３４Ｂ……第２クラッド、３６……接続穴、３８……光ファイバ、４０……基板、４２Ａ、４２Ｂ……突起、４４……（光ファイバの）コア。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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