(57)【要約】【課題】耐久性に優れた防振効果を有する小型の角速度検出装置を実現する。【解決手段】角速度の検出に係る信号処理を行う信号処理回路基板１４が、その下方の筐体１２内に中空部１７を形成するよう、ネジ１６によって筐体に固定される。また、導電性の防振部材１５によって、筐体の中空部に、外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する振動子（角速度検知手段）１３を吊り下げ状態となるよう配置する。このとき、振動子の信号出力端子と信号処理回路基板の電極面とが電気的に接続される。防振部材は、振動子にとって角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行うとともに、角速度の検知に伴って振動子から出力される電気信号を信号処理回路基板に伝える媒体としての機能も有する。【選択図】        図１
2004279373.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する角速度検知手段と、前記角速度検知手段から供給される前記電気信号の処理を行い、前記角速度の検出結果を出力する信号処理回路基板とを、筐体内に有する角速度検出装置であって、
前記角速度検知手段と前記信号処理回路基板とを電気的に接続し、かつ、前記角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行う導電性の防振部材を有する角速度検出装置。
【請求項２】
前記角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行うよう、前記防振部材の振動減衰率又は共振周波数が設定されていることを特徴とする請求項１に記載の角速度検出装置。
【請求項３】
前記防振部材の前記共振周波数が、２００Ｈｚ以上に設定されていることを特徴とする請求項２に記載の角速度検出装置。
【請求項４】
外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する角速度検知手段と、前記角速度検知手段から供給される前記電気信号の処理を行い、前記角速度の検出結果を出力する信号処理回路基板とを、筐体内に有する角速度検出装置であって、
導電性の防振部材を有し、前記信号処理回路基板が、前記筐体内に中空部を形成するよう前記筐体に固定され、前記角速度検知手段が、前記信号処理回路基板下方の前記筐体内の中空部に前記防振部材によって吊り下げられており、前記角速度検知手段から前記信号処理回路基板に対して、前記防振部材を通じて前記電気信号が供給されるよう構成されている角速度検出装置。
【請求項５】
前記防振部材として、バネ形状の金属線が用いられることを特徴とする請求項４に記載の角速度検出装置。
【請求項６】
前記角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行うよう、前記防振部材の振動減衰率又は共振周波数が設定されていることを特徴とする請求項５に記載の角速度検出装置。
【請求項７】
前記防振部材の前記共振周波数が、２００Ｈｚ以上に設定されていることを特徴とする請求項６に記載の角速度検出装置。
【請求項８】
前記防振部材として、導電性の防振ゴムが用いられることを特徴とする請求項４に記載の角速度検出装置。
【請求項９】
外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する角速度検知手段と、前記角速度検知手段から供給される前記電気信号の処理を行い、前記角速度の検出結果を出力する信号処理回路基板とを、筐体内に有する角速度検出装置であって、
導電性の防振ゴムを有し、前記信号処理回路基板が、前記筐体内に中空部を形成するよう前記筐体に固定され、前記防振ゴムが、前記信号処理回路基板及び前記筐体に対して固定的に設置され、前記角速度検知手段が、前記筐体内の中空部に配置されるよう前記防振ゴムに支持されており、前記角速度検知手段から前記信号処理回路基板に対して、前記防振ゴムを通じて前記電気信号が供給されるよう構成されている角速度検出装置。
【請求項１０】
外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する角速度検知手段と、前記角速度検知手段から供給される前記電気信号の処理を行い、前記角速度の検出結果を出力する信号処理回路基板とを、筐体内に有する角速度検出装置であって、
導電性の防振ゴムを有し、前記筐体内に、前記角速度検知手段、前記防振ゴム、前記信号処理回路基板の順に積層されており、前記角速度検知手段から前記信号処理回路基板に対して、前記防振ゴムを通じて前記電気信号が供給されるよう構成されている角速度検出装置。
【請求項１１】
前記角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行うよう、前記防振ゴムの振動減衰率又は共振周波数が設定されていることを特徴とする請求項８から１０のいずれか１つに記載の角速度検出装置。
【請求項１２】
前記防振ゴムの前記共振周波数が、２００Ｈｚ以上に設定されていることを特徴とする請求項１１に記載の角速度検出装置。
【請求項１３】
前記防振ゴムが、防振特性を有さない導電性ゴム層と、防振特性を有し前記導電性ゴム層内に一様に配置されているシリコンゴム粒子とにより構成されており、前記シリコンゴム粒子の硬さ（ＪＩＳ）が４０〜７０であり、前記導電性ゴム層の硬さが、前記シリコンゴム粒子よりも１０％以上低い硬さであることを特徴とする請求項８から１２のいずれか１つに記載の角速度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、防振支持構造を有する角速度検出装置に関し、特に、車両の動作制御やカーナビゲーションシステムなどに用いられるために、車両に加わる角速度を検出する角速度検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、自動車などの車両の動作制御や、ナビゲーションシステムの処理などにおいて、車両に加わる角速度を検出する角速度検出装置（角速度センサ）は必須であり、この角速度検出装置の小型化や低価格化が望まれている。
【０００３】
従来の一般的な角速度検出装置は、筐体内に、振動子などの振動検出部を検出周波数範囲の振動を受けられるように設けるとともに、振動検出部からの信号を処理する信号処理回路を固定的に設ける構成となっている。また、振動子に車両の振動ノイズや突発的な衝撃などが加わると、正規のセンサ出力が得られなくなるため、振動子に対する防振支持構造が設けられている。
【０００４】
このような角速度検出装置の従来例として、例えば、下記の特許文献１に開示されている技術が存在する。この特許文献１によれば、振動子（検出素子）をフレキシブル基板に実装し、そのフレキシブル基板を信号処理回路基板の下方に吊り下げ状態に接続するようにして筐体内に収容し、さらに、筐体内に液状のゴム材料（シリコンゴム）を充填して硬化させることによって角速度検出装置の製造を行う。これにより、フレキシブル基板に実装された振動子が防振ゴム層内に埋没状態となり、防振ゴム層によって振動子に対する防振支持構造が実現される。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３２４３３３号公報（段落０００７、０００８、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示されている角速度検出装置では、振動子を実装して吊り下げ状態となっており、さらにその一部が防振ゴム層内に埋没状態となっているフレキシブル基板が、防振ゴム層の共振による負荷を受けるため、フレキシブル基板の断線を引き起こす可能性がある。したがって、特許文献１に記載の角速度検出装置は耐久性が低く、フレキシブル基板が断線した場合には、角速度検出装置が動作しなくなってしまうという問題がある。特に、車両走行時には、防振ゴム層が共振を起こしやすく、フレキシブル基板が断線しやすいという問題がある。
【０００７】
上記問題点に鑑み、本発明は、耐久性に優れた防振効果を有する小型の角速度検出装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する角速度検知手段と、角速度検知手段から供給される電気信号の処理を行い、角速度の検出結果を出力する信号処理回路基板とを、筐体内に有する角速度検出装置であって、角速度検知手段と信号処理回路基板とを電気的に接続し、かつ、角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行う導電性の防振部材を有するよう構成している。
この構成により、防振部材が、電気的な接続及び角速度検知手段の防振作用の両方を行うことが可能となり、耐久性に優れた防振効果を有する小型の角速度検出装置を実現することが可能となる。
【０００９】
さらに、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行うよう、防振部材の振動減衰率又は共振周波数が設定されるようにしている。
この構成により、角速度の検知の妨げとなる振動に対して、防振部材が確実に防振を行うようにし、角速度の検出精度を向上させることが可能となる。
【００１０】
さらに、請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の発明において、防振部材の共振周波数が、２００Ｈｚ以上に設定されるようにしている。
この構成により、例えば、車両などに搭載された場合には、車両の振動の影響を受けにくくすることが可能となり、角速度の検出精度を向上させることが可能となる。
【００１１】
また、上記目的を達成するため、請求項４に記載の発明では、外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する角速度検知手段と、角速度検知手段から供給される電気信号の処理を行い、角速度の検出結果を出力する信号処理回路基板とを、筐体内に有する角速度検出装置であって、導電性の防振部材を有し、信号処理回路基板が、筐体内に中空部を形成するよう筐体に固定され、角速度検知手段が、信号処理回路基板下方の筐体内の中空部に防振部材によって吊り下げられており、角速度検知手段から信号処理回路基板に対して、防振部材を通じて電気信号が供給されるよう構成している。
この構成により、防振部材が、電気的な接続及び角速度検知手段の防振作用の両方を行うことが可能となり、耐久性に優れた防振効果を有する小型の角速度検出装置を実現することが可能となる。
【００１２】
さらに、請求項５に記載の発明では、請求項４に記載の発明において、防振部材として、バネ形状の金属線が用いられるようにしている。
この構成により、簡素な構成要素によって、耐久性に優れた防振効果を有する小型の角速度検出装置を実現することが可能となる。
【００１３】
さらに、請求項６に記載の発明では、請求項５に記載の発明において、角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行うよう、防振部材の振動減衰率又は共振周波数が設定されるようにしている。
この構成により、角速度の検知の妨げとなる振動に対して、防振部材が確実に防振を行うようにし、角速度の検出精度を向上させることが可能となる。
【００１４】
さらに、請求項７に記載の発明では、請求項６に記載の発明において、防振部材の共振周波数が、２００Ｈｚ以上に設定されるようにしている。
この構成により、例えば、車両などに搭載された場合には、車両の振動の影響を受けにくくすることが可能となり、角速度の検出精度を向上させることが可能となる。
【００１５】
さらに、請求項８に記載の発明では、請求項４に記載の発明において、防振部材として、導電性の防振ゴムが用いられるようにしている。
この構成により、耐久性に優れ、様々な環境下で安定した振動絶縁特性を有するシリコンゴムなどの防振ゴムを利用して、耐久性に優れた防振効果を有する小型の角速度検出装置を実現することが可能となる。
【００１６】
また、上記目的を達成するため、請求項９に記載の発明では、外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する角速度検知手段と、角速度検知手段から供給される電気信号の処理を行い、角速度の検出結果を出力する信号処理回路基板とを、筐体内に有する角速度検出装置であって、導電性の防振ゴムを有し、信号処理回路基板が、筐体内に中空部を形成するよう筐体に固定され、防振ゴムが、信号処理回路基板及び筐体に対して固定的に設置され、角速度検知手段が、筐体内の中空部に配置されるよう防振ゴムに支持されており、角速度検知手段から信号処理回路基板に対して、防振ゴムを通じて電気信号が供給されるよう構成している。
この構成により、防振部材が、電気的な接続及び角速度検知手段の防振作用の両方を行うことが可能となり、耐久性に優れた防振効果を有する小型の角速度検出装置を実現することが可能となる。
【００１７】
また、上記目的を達成するため、請求項１０に記載の発明では、外部から加えられる角速度に応じて電気信号を出力する角速度検知手段と、角速度検知手段から供給される電気信号の処理を行い、角速度の検出結果を出力する信号処理回路基板とを、筐体内に有する角速度検出装置であって、導電性の防振ゴムを有し、筐体内に、角速度検知手段、防振ゴム、信号処理回路基板の順に積層されており、角速度検知手段から信号処理回路基板に対して、防振ゴムを通じて電気信号が供給されるよう構成している。
この構成により、防振部材が、電気的な接続及び角速度検知手段の防振作用の両方を行うことが可能となり、耐久性に優れた防振効果を有する非常に小型の角速度検出装置を実現することが可能となる。
【００１８】
さらに、請求項１１に記載の発明では、請求項８から１０のいずれか１つに記載の発明において、角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行うよう、防振ゴムの振動減衰率又は共振周波数が設定されるようにしている。
この構成により、角速度の検知の妨げとなる振動に対して、防振部材が確実に防振を行うようにし、角速度の検出精度を向上させることが可能となる。
【００１９】
さらに、請求項１２に記載の発明では、請求項１１に記載の発明において、防振ゴムの共振周波数が、２００Ｈｚ以上に設定されるようにしている。
この構成により、例えば、車両などに搭載された場合には、車両の振動の影響を受けにくくすることが可能となり、角速度の検出精度を向上させることが可能となる。
【００２０】
さらに、請求項１３に記載の発明では、請求項８から１２のいずれか１つに記載の発明において、防振ゴムが、防振特性を有さない導電性ゴム層と、防振特性を有し導電性ゴム層内に一様に配置されているシリコンゴム粒子とにより構成されており、シリコンゴム粒子の硬さ（ＪＩＳ）が４０〜７０であり、導電性ゴム層の硬さが、シリコンゴム粒子よりも１０％以上低い硬さであるようにしている。
この構成により、角速度の検知の妨げとなる振動に対して確実に防振を行うことが可能な導電性の防振ゴムが得られ、この防振部材が、電気的な接続及び角速度検知手段の防振作用の両方を行うことによって、耐久性に優れた防振効果を有する非常に小型の角速度検出装置を実現することが可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の角速度検出装置の第１〜第３の実施の形態について説明する。
【００２２】
＜第１の実施の形態＞
まず、本発明の角速度検出装置の第１の実施の形態について説明する。図１は、本発明の角速度検出装置の第１の実施の形態を示す模式的な縦断面図である。図１に示す角速度検出装置１１は、その筐体１２内に、振動子（角速度検知手段）１３、信号処理回路基板１４、導電性を有する防振部材１５を有している。
【００２３】
図１に示す角速度検出装置１１では、振動子１３が防振部材１５に組み付けられ、さらに、防振部材１５が信号処理回路基板１４に接続されて、振動子１３と信号処理回路基板１４とが、防振部材１５を介して略平行となるように接続される。そして、振動子１３が防振部材１５によって、信号処理回路基板１４下方の筐体１２内の中空部１７内に吊り下げ状態となるように、ネジ１６などの螺合部材によって、信号処理回路基板１４が筐体１２に固定的に取り付けられる。また、導電性を有する防振部材１５によって、振動子１３の信号出力端子と信号処理回路基板１４の電極面とが、電気的に接続される。防振部材１５として、図１に示すバネ形状の金属線（防振ワイヤ）を用いることが可能であるが、例えば、導電性を有する防振ゴムなどを用いることも可能である。
【００２４】
防振部材１５は、防振機能、及び、振動子１３と信号処理回路基板１４との電気的接続の機能の両方を有している。すなわち、防振部材１５は、振動子１３が検出周波数範囲の振動を受けられるようにしながら、検出周波数以外の振動に対しては防振状態に支持する防振機能と、振動子１３から信号処理回路基板１４に送られる電気信号の媒体としての機能とを有している。なお、図１では、左右一対の防振部材１５のみが図示されているが、さらに多くの防振部材１５を配置して振動子１３の吊り下げ支持を行うことも可能である。また、防振及び電気的接続の両方を兼用する防振部材１５に加えて、電気的な接続が行われずに防振機能のみを有する防振部材１５を配置して、振動子１３の吊り下げ支持を行うことも可能である。
【００２５】
以下、図１に示す角速度検出装置１１の動作について説明する。例えば、本発明の角速度検出装置１１を圧電振動型とする場合、駆動用（励振用）及び検出用の圧電セラミックスを組み合わせた振動子１３を利用する。振動状態において外部から角速度が加わった場合には、振動子１３は、角速度に応じたコリオリ力を検知する。振動子１３による角速度の検知結果は、防振部材１５を通じて信号処理回路基板１４に電気的に供給され、信号処理回路基板１４の処理によって角速度が検出されて、角速度検出装置１１から、角速度の検出結果がヨーレート信号として出力され、例えば、所定の車両制御システム（不図示）などに供給される。なお、上記の圧電振動型の振動子１３による検知動作は一例であり、その他の振動子１３を用いて角速度の検知を行うことも可能である。
【００２６】
次に、本発明の角速度検出装置１１に係る振動絶縁特性について説明する。図２は、本発明の角速度検出装置を説明するためのものであり、一般的な振動絶縁特性を示すグラフである。振動絶縁特性とは、所定の周波数範囲の振動に関する伝達を妨げる性質であり、振動伝達率τによって示されるものである。振動減衰率をζ、振動数比をλとした場合、一般的に、振動伝達率τは下記の式によって表される。
【００２７】
【数１】
2004279373.tif 000003
【００２８】
なお、振動減衰率ζは、特に、共振周波数（防振を行う部材に固有の固有振動数ｆ０とほぼ同じである）付近で起きる共振現象における振動の増幅を抑制するための振動減衰を表すパラメータである。図２から判るように、振動減衰率ζを高く設定すれば共振現象時の振動伝達率を低く抑えることができるが、高周波数範囲における振動伝達率τは高くなってしまう。また、振動数比λは、外部から加えられる振動の振動数ｆと固有振動数ｆ０との比であり、振動数比λ＝（ｆ／ｆ０）となる。
【００２９】
本発明では、防振部材１５に関して、次のような振動絶縁特性が要求される。まず、検出周波数範囲の角速度入力に対しては振動子１３を作用させる必要があるため、その検出周波数範囲では、外部から加えられる振動を振動子１３に伝達する必要がある。すなわち、図２の領域Ａ（低周波数領域）では、防振部材１５の振動伝達率τが高くなるよう設定することが要求される。なお、角速度を検出するための検出周波数範囲は約１０Ｈｚ以下である。
【００３０】
また、振動子１３の角速度の検知に誤差を生じさせる可能性のある振動子１３の離調周波数付近（振動子１３の駆動及び検知周波数の差の周波数）では、防振部材１５は、外部から加えられる振動を振動子１３に伝達しないようにする必要がある。すなわち、図２の領域Ｂ（比較的高い周波数領域）では、防振部材１５の振動伝達率τが低くなるよう設定することが要求される。なお、振動子１３の離調周波数は、数百Ｈｚ〜数千Ｈｚ程度である。
【００３１】
さらに、振動子１３の共振周波数（振動子１３の駆動周波数）付近では、共振現象によって、振動子１３による角速度の検知に誤差が生じてしまう可能性がある。したがって、振動子１３の共振周波数付近では、防振部材１５は、外部から加えられる振動を振動子１３に伝達しないようにする必要もある。
【００３２】
上記の要求を実現するためには、防振部材１５の振動絶縁特性を調整する必要がある。一方、防振部材１５の振動絶縁特性は、上記の振動減衰率ζ及び固有振動数ｆ０によって定まっている。したがって、防振部材１５の振動減衰率ζ及び固有振動数ｆ０を調整することによって、振動絶縁特性を調整することが可能である。
【００３３】
また、防振部材１５が吊り下げ支持する振動子１３の質量をＭとした場合、下記の式のように、防振部材１５の振動減衰率ζ及び固有振動数ｆ０を、ばね定数Ｋ及びダンパー定数Ｃに換算することが可能である。防振部材１５の硬度や材質などにより、ばね定数Ｋやダンパー定数Ｃを変えることによって、防振部材１５の振動伝達特性を調整することが可能である。
【００３４】
【数２】
2004279373.tif 000004
【００３５】
【数３】
2004279373.tif 000005
【００３６】
具体的には、例えば、防振部材１５の共振周波数を、車両の振動の影響を受けにくい２００Ｈｚ以上とすることが好ましい。また、防振部材１５として防振ゴムを用いた場合、防振ゴムは温度だけではなく湿度に対しても耐久劣化するため、温度及び湿度の両方に対して安定しているシリコンゴムを用いることが好ましい。特に、亜熱帯のような高温多湿の環境下においては、防振ゴムとしてシリコンゴムを用いることが有効であり、安定した振動絶縁特性を得ることができ、角速度の検知における誤差を低減することが可能となる。
【００３７】
また、防振部材１５として防振ゴムを用いた場合、防振特性を有さない導電性ゴム層と、当該導電性ゴム層内に一様に配置された防振特性を有するボール状のシリコンゴム粒子（非導電性）とにより構成されている防振ゴムを用いることが好ましい。この構成によって、安定した振動絶縁特性が得られるだけでなく、振動子１３の実装精度を向上させることも可能である。また、前述の特許文献１に記載されているように、ボール状のシリコンゴム粒子としては、硬度（ＪＩＳ）が４０〜７０のものを用いることが好ましいが、導電性ゴム層は、ボール状のシリコンゴム粒子よりも１０％以上低い硬度にすることが好ましい。
【００３８】
＜第２の実施の形態＞
次に、本発明の角速度検出装置の第２の実施の形態について説明する。図３は、本発明の角速度検出装置の第２の実施の形態を示す模式的な縦断面図である。図３に示す角度検出装置２１は、その筐体２２内に、振動子（角速度検知手段）２３、信号処理回路基板２４、導電性を有する防振ゴム２５を有している。
【００３９】
図３に示す角速度検出装置２１では、振動子２３が防振ゴム２５に組み付けられ、さらに、防振ゴム２５が信号処理回路基板２４に装着されて、振動子２３と信号処理回路基板２４とが略平行となるように、振動子２３、信号処理回路基板２４、防振ゴム２５が一体化される。そして、上面又は下面のいずれかが開放された筐体２２内に、振動子２３及び防振ゴム２５が収容されて、ネジ２６などの螺合部材によって、信号処理回路基板２４が筐体２２に固定的に取り付けられる。このとき、防振ゴム２５によって支持された振動子２３は、筐体２２内の中空部２７内に配置される。また、導電性を有する防振ゴム２５によって、振動子２３の信号出力端子と信号処理回路基板２４の電極面とが、電気的に接続される。
【００４０】
これにより、上記第１の実施の形態で説明した動作及び作用効果を実現することが可能な角速度検出装置２１を得ることが可能となる。なお、第１の実施の形態と同様、所望の防振特性が得られるように、防振ゴム２５の振動絶縁特性が調整されることが好ましい。また、さらに、図１に示す角速度検出装置１１では、振動子１３を吊り下げ状態とできるような筐体１２内の中空部１７を確保する必要があったが、図３に示す角速度検出装置２１ではその必要がなくなり、筐体２２内の中空部２７の容積を小さくして、より小型化することが可能である。
【００４１】
＜第３の実施の形態＞
次に、本発明の角速度検出装置の第３の実施の形態について説明する。図４は、本発明の角速度検出装置の第３の実施の形態を示す模式的な縦断面図である。図４に示す角度検出装置３１は、その筐体３２内に、振動子（角速度検知手段）３３、信号処理回路基板３４、導電性を有する防振ゴム層３５を有している。
【００４２】
図４に示す角速度検出装置３１は、微細加工が可能な半導体プロセスを用いて形成される。すなわち、振動子（小型の半導体振動子）３３の下面に導電性防振ゴム層３５を設けて、信号処理回路基板３４に溶着又は接着することによって、同一の筐体３２内に、信号処理回路基板３４、導電性防振ゴム層３５、振動子３３を階層的に収容する。また、このとき、導電性防振ゴム層３５によって、振動子３３の信号出力端子と信号処理回路基板３４の電極面とが、電気的に接続される。
【００４３】
これにより、上記第１の実施の形態で説明した動作及び作用効果を実現することが可能な角速度検出装置３１を得ることが可能となる。なお、第１の実施の形態と同様、所望の防振特性が得られるように、導電性防振ゴム層３５の振動絶縁特性が調整されることが好ましい。また、角速度検出装置３１を非常に小型化することが可能となり、本発明の角速度検出装置３１をＳＭＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｍｏｕｎｔｉｎｇ  Ｄｅｖｉｃｅ：表面実装部品）として、ＳＭＤ実装することが可能となり、車両の動作制御やナビゲーションシステムの処理などのために車両に搭載されるだけでなく、小型の装置（例えば、カメラ）などにも搭載可能となる。
【００４４】
以上、説明したように、本発明によれば、振動子と信号処理回路基板とを防振部材を介して接続し、この防振部材が、振動子にとって角速度の検知の妨げとなる振動の防振を行うとともに、角速度の検知に伴って振動子から出力される電気信号を信号処理回路基板に伝える媒体としての機能も有するようにするので、耐久性に優れた防振効果を有する小型の角速度検出装置を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の角速度検出装置の第１の実施の形態を示す模式的な縦断面図である。
【図２】本発明の角速度検出装置を説明するためのものであり、一般的な振動絶縁特性を示すグラフである。
【図３】本発明の角速度検出装置の第２の実施の形態を示す模式的な縦断面図である。
【図４】本発明の角速度検出装置の第３の実施の形態を示す模式的な縦断面図である。
【符号の説明】
１１、２１、３１  角速度検出装置
１２、２２、３２  筐体
１３、２３、３３  振動子（角速度検知手段）
１４、２４、３４  信号処理回路基板
１５  防振部材
１６、２６  ネジ
１７、２７  中空部
２５  防振ゴム
３５  導電性防振ゴム層
【図１】
2004279373.tif 000006
【図２】
2004279373.tif 000007
【図３】
2004279373.tif 000008
【図４】
2004279373.tif 000009