(57)【要約】【課題】小型化を可能とし、かつ波長選択特性の面内分布に起因する測定誤差を排除できるようにした温度特性測定装置を提供する。【解決手段】固定手段４２に一端側が固定され、かつその一端側に熱交換手段５１が取り付けられた板状熱伝導部材４１の他端側に金属製回転台４３を回転可能に搭載し、その回転台４３上に波長選択光フィルタ３１を設置する。熱伝導部材４１は従来のように複数の固定部材によって完全固定される構造ではないので、小型化でき、また熱伝導部材４１の熱膨張による波長選択光フィルタ３１の位置変化によって生ずる面内分布に起因する測定誤差は回転台４３の１８０°回転前後の温度依存性データの平均をとることで相殺する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長選択光フィルタの波長選択特性の温度依存性を測定するために用いる装置であって、
断熱材からなる固定手段と、
その固定手段に一端側が固定された板状熱伝導部材と、
その熱伝導部材の上記一端側に取り付けられた熱交換手段と、
上記熱伝導部材の他端側に回転可能に搭載された金属製回転台と、
その回転台上に設置される波長選択光フィルタに必要な波長の光を供給する光源と、
その光源から出射され、上記波長選択光フィルタを透過した光を測定する光計測手段とを備え、
上記回転台及び熱伝導部材には上記透過光が通る貫通穴がそれぞれ設けられており、
上記回転台の回転中心軸が上記光源から出射されて上記波長選択光フィルタに入射する入射光の光軸と一致されていることを特徴とする波長選択光フィルタ用温度特性測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の波長選択光フィルタ用温度特性測定装置において、
上記回転台上に上記波長選択光フィルタを突き当て位置決めする突き当て部材が設けられていることを特徴とする波長選択光フィルタ用温度特性測定装置。
【請求項３】
波長選択光フィルタの波長選択特性の温度依存性を測定する方法であって、
断熱材からなる固定手段に一端側が固定され、かつその一端側に熱交換手段が取り付けられた板状熱伝導部材の他端側に回転可能に搭載された金属製回転台上に波長選択光フィルタを設置し、
その波長選択光フィルタに上記回転台の回転中心軸と光軸が一致された必要な波長の光を入射させ、その透過光を測定する工程を、上記熱交換手段によって波長選択光フィルタの温度を変化させる前後で行うことにより、波長選択特性の温度依存性を測定する第１のステップと、
上記回転台を１８０°回転させ、上記波長選択光フィルタに上記回転台の回転中心軸と光軸が一致された必要な波長の光を入射させ、その透過光を測定する工程を、上記熱交換手段によって波長選択光フィルタの温度を変化させる前後で行うことにより、波長選択特性の温度依存性を測定する第２のステップとを備え、
それら第１のステップの温度依存性データと第２のステップの温度依存性データの平均値を測定データとすることを特徴とする波長選択光フィルタの温度特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は光通信等の分野において使用される波長選択光フィルタの波長選択特性の温度依存性を測定するために用いる測定装置及びその測定装置を用いた測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５は従来使用されているこの種の温度特性測定装置の構成概要を示したものであり、この例では波長選択光フィルタを温度変化させる手段として温度制御された流体を使用するものとなっている。
流体は温度流体循環手段１１により所要の温度に制御されて管状流路１２を循環する構造とされ、流路１２はその折り返し部分において円板状をなす熱伝導板１３の周りを囲むように構成されている。熱伝導板１３は例えば銅板よりなり、流路１２と熱伝導板１３とは溶接されて固定一体化されている。
【０００３】
熱伝導板１３及び流路１２は真空槽１４内に収容され、流路１２の熱伝導板１３を囲む部分は真空槽１４の底板部１４ｂ上に設置固定された柱状をなす固定部材１５に固定されている。固定部材１５は断熱材よりなり、この例では流路１２に対し、４箇所に配置されている。なお、流路１２は真空槽１４の外に導出され、外部に設置されている温度流体循環手段１１と接続されている。
真空槽１４の上板部１４ａ及び底板部１４ｂには反射防止膜を具備する光学窓１６，１７がそれぞれ設けられており、これら光学窓１６，１７を介して真空槽１４内に光を入射させ、また真空槽１４内から光を出射させることができるものとなっている。図５中、１８は真空ポンプを示す。
【０００４】
光源２１はこの例では広帯域光源とされ、光源２１から出射された光は光ファイバ等の光導波手段２２を介してコリメータ２３に導かれる。コリメータ２３は上板部１４ａの光学窓１６と対向されて真空槽１４の外側に配置される。
一方、底板部１４ｂの光学窓１７の外側にはコリメータ２４が配置され、コリメータ２４は光ファイバ等の光導波手段２５を介して光計測手段２６に接続されている。光計測手段２６には光スペクトラムアナライザが用いられる。
なお、真空槽１４は結露点以下の温度での測定において、結露により水滴が波長選択光フィルタの表面に付着するのを防止するためのものである。
【０００５】
上記のような構成とされた測定装置を用いる波長選択光フィルタの波長選択特性の温度依存性の測定は、図５に示したように熱伝導板１３上に波長選択光フィルタ３１を載置して行われる。なお、図５では隠れて見えないが、熱伝導板１３には光を通過させる穴が形成されている。
コリメータ２３から出射される光源２１からの光は光学窓１６を通って波長選択光フィルタ３１に入射され、波長選択光フィルタ３１を透過した光は熱伝導板１３の穴、光学窓１７を通ってコリメータ２４に入射され、光導波手段２５を介して光計測手段２６に導かれる。
【０００６】
図６Ａ，Ｂは光源２１として広帯域光源を用いた場合の波長選択光フィルタ３１に入射される入射光Ｌｉの波長特性と、光計測手段２６で測定される透過光Ｌｔの波長特性を例示したものであり、波長選択光フィルタ３１は図６Ｂに示したように所定の波長帯の光のみ選択して透過させるものとなっている。
この波長選択特性の温度依存性の測定は温度制御された流体を流路１２に循環させ、波長選択光フィルタ３１の温度を変化させて、所要の温度における透過光Ｌｔの波長特性を測定することによって行われる。
【０００７】
図７は温度変化によって透過光Ｌｔの波長特性が変化する様子の一例を示したものであり、このような波長選択特性の温度依存性を測定することによって、波長選択光フィルタ３１の評価、温度試験が行われる。
ところで、上記のような構造を有する測定装置においては、熱伝導板１３を囲み、熱伝導板１３と一体化されている流路１２は断熱材よりなる固定部材１５によって数箇所、堅固に固定されており、このような固定の必要性について、以下、説明する。
【０００８】
ガラス等の透明基板上に光学多層膜が成膜形成されてなる構造の波長選択光フィルタ３１はその成膜プロセスや成膜条件に起因して膜厚が厳密には一様とならず、面内において膜厚分布が発生する。この膜厚分布により波長選択特性も面内の一点一点において基本的に異なり、面内分布をもつものとなる。
図８はこの様子を示したものであり、波長選択光フィルタ３１に例えば図８Ａに示したようにＸ方向において波長分布（膜厚分布）が存在するものとすると、このＸ方向における二点ａ，ｂにおいて測定した透過光Ｌｔの波長特性は例えば図８Ｂに示すような特性となり、波長選択特性が相違するものとなる。
【０００９】
従って、波長選択特性の温度依存性の測定において、波長選択光フィルタ３１と入射光Ｌｉの相対位置が変化すると、このような波長選択特性の面内分布が温度依存性測定の大きな誤差要因となってしまうことから、波長選択光フィルタ３１の位置変化を極力抑える必要がある。
熱伝導板１３を囲む流路１２の固定部材１５による固定はこのような理由から必要不可欠なものであり、温度変化によって流路１２や熱伝導板１３が熱膨張し、この熱膨張によって波長選択光フィルタ３１と入射光Ｌｉの相対位置が変化することのないよう、熱膨張（熱収縮）を抑止するものとなっている。また、このような理由から固定部材１５による固定は複数の箇所、固定する必要があり、図５に示したように少なくとも４箇所程度は固定する必要がある。
【００１０】
以上、説明したように従来の測定装置は熱伝導板１３を囲む流路１２を複数の固定部材１５によって完全固定するものとなっており、つまり熱伝導板１３を完全固定するものとなっている。
なお、波長選択光フィルタの波長選択特性の温度依存性を測定するための測定装置として、上述した構成以外に例えば非特許文献１に記載されている構成があるが、フィルタチップ（サンプル）が搭載され、フィルタチップに熱を伝導するチップホルダは上記した熱伝導板１３と同様、完全固定される構造となっている。
【００１１】
【非特許文献１】
株式会社オプトラン、“ＤＷＤＭ用フィルタの光学特性の評価について”、［online］、2002年１月１７日、［2002年１１月２６日検索］、インターネット＜URL:http://www.optorun.co.jp/lib/hp souse bc1107/lib file/p24-71.pdf＞
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、図５に示したような構造を有する従来の測定装置においては、温度変化に伴う熱膨張による波長選択光フィルタ３１の位置変化によって生ずる測定誤差要因を防止すべく、断熱材よりなる固定部材１５によって複数の箇所を完全固定しなければならず、これにより以下のような問題があった。
即ち、流路１２が熱伝導板１３の周りを囲んでいる構造であり、小型化を図ろうとすると、強度の低下を招き、温度変化によって予測不能な歪みが生じ、波長選択光フィルタ３１の位置と角度が変化するといった状況が発生する。図９（１）はこのような状況を例示したものである。
【００１３】
また、構成の簡易化、小型化を図るべく、固定部材１５の数を減らすと、例えば図９（２）に示したように反り等が発生し易くなり、これらの点から小型化が極めて図りにくいものとなっていた。
この発明の目的はこの問題に鑑み、小型化を可能とし、かつ波長選択特性の温度依存性の測定において波長選択特性の面内分布に起因する測定誤差を排除できるようにした波長選択光フィルタ用温度特性測定装置を提供することにあり、さらにその測定装置を用いた測定方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば、波長選択光フィルタの波長選択特性の温度依存性を測定するために用いる測定装置は、断熱材からなる固定手段と、その固定手段に一端側が固定された板状熱伝導部材と、その熱伝導部材の上記一端側に取り付けられた熱交換手段と、熱伝導部材の他端側に回転可能に搭載された金属製回転台と、その回転台上に設置される波長選択光フィルタに必要な波長の光を供給する光源と、その光源から出射され、波長選択光フィルタを透過した光を測定する光計測手段とを備え、回転台及び熱伝導部材には透過光が通る貫通穴がそれぞれ設けられ、回転台の回転中心軸が光源から出射されて波長選択光フィルタに入射する入射光の光軸と一致されているものとされる。
【００１５】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、回転台上に波長選択光フィルタを突き当て位置決めする突き当て部材が設けられているものとされる。
請求項３の発明によれば、波長選択光フィルタの波長選択特性の温度依存性の測定は、断熱材からなる固定手段に一端側が固定され、かつその一端側に熱交換手段が取り付けられた板状熱伝導部材の他端側に回転可能に搭載された金属製回転台上に波長選択光フィルタを設置し、その波長選択光フィルタに回転台の回転中心軸と光軸が一致された必要な波長の光を入射させ、その透過光を測定する工程を、熱交換手段によって波長選択光フィルタの温度を変化させる前後で行うことにより、波長選択特性の温度依存性を測定する第１のステップと、回転台を１８０°回転させ、波長選択光フィルタに回転台の回転中心軸と光軸が一致された必要な波長の光を入射させ、その透過光を測定する工程を、熱交換手段によって波長選択光フィルタの温度を変化させる前後で行うことにより、波長選択特性の温度依存性を測定する第２のステップとを備え、それら第１のステップの温度依存性データと第２のステップの温度依存性データの平均値を測定データとするものとされる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を図面を参照して実施例により説明する。
図１はこの発明による波長選択光フィルタ用温度特性測定装置の一実施例を示したものであり、図２はその要部構造を示したものである。まず、図２を参照して波長選択光フィルタの設置構造及び波長選択光フィルタを温度変化させるための構成について説明する。
熱伝導部材４１はこの例では矩形板状とされて、その一端側がセラミック材料等の断熱材からなる固定手段４２によって固定される構造とされ、自由端とされた他端側には金属製の回転台４３が搭載されている。
【００１７】
回転台４３は円板状とされて、その中心には貫通穴４４が設けられており、貫通穴４４はこの例では図２Ａに示したように上面側の小径部４４ａと、その小径部４４ａから下面に向ってテーパ状に拡径された拡径部４４ｂとよりなるものとされる。
回転台４３は熱伝導部材４１の上面に形成された円形の凹部４５に、その下面側が嵌め込まれて取り付けられており、その中心軸回りに熱伝導部材４１上で回転可能とされている。熱伝導部材４１の凹部４５の底面中央には回転台４３の貫通穴４４に続く貫通穴４６が形成されている。
【００１８】
回転台４３の上面の周縁部の互いに１８０°をなす位置には図２Ｂに示したように一対のマーカ４７ａ，４７ｂが設けられており、熱伝導部材４１の凹部４５の周辺先端側の中心線上にもマーカ４８が一つ設けられている。なお、回転台４３のマーカ４７ａ，４７ｂは上面から延長し、その周面にも設けるようにしてもよい。
回転台４３上にはこの例ではＬ字状のブロックよりなる突き当て部材４９が設置固定されており、波長選択光フィルタ３１は、その角部がこの突き当て部材４９に突き当て位置決めされて回転台４３上に設置されるものとなっている。
【００１９】
熱伝導部材４１は例えば銅板よりなるものとされ、回転台４３及び突き当て部材４９も例えば銅製とされる。マーカ４７ａ，４７ｂ，４８はこの例では表面に形成された浅い溝によって構成されている。なお、溝による形成に替えて塗料によってマーカ４７ａ，４７ｂ，４８を形成してもよい。
熱伝導部材４１の、固定手段４２によって固定される一端側の下面には熱交換手段５１が配置される。熱交換手段５１はこの例ではぺルチェ素子とされ、この熱交換手段５１を駆動することによって、回転台４３上に設置される波長選択光フィルタ３１の温度を変化させることができるものとなっている。
【００２０】
上記のような回転台４３及び位置決め部材４９が搭載された熱伝導部材４１と熱交換手段５１と固定手段４２は図１に示したように真空槽５２内に収納される。真空槽５２はこの例では上面が開放された本体５３と、その上面を蓋する蓋５４とによって構成されている。なお、図１中、１８は真空ポンプを示す。
固定手段４２は一対の脚部４２ａと上板部４２ｂとよりなるコ字形状をなし、一対の脚部４２ａ部分がねじ５５（図２Ｂ参照）によって真空槽５２の本体５３の内部底面に取り付け固定され、この際、その内部底面と固定手段４２の上板部４２ｂとによって熱伝導部材４１の一端側と熱交換手段５１とが挟み込まれて固定一体化されるものとなっている。
【００２１】
真空槽５２の蓋５４及び本体５３底面部には図５に示した従来の測定装置と同様に、反射防止膜を具備する光学窓１６，１７がそれぞれ設けられており、光学窓１６の外側には光導波手段２２を介して光源２１に接続されているコリメータ２３が配置され、一方光学窓１７の外側には光導波手段２５を介して光計測手段２６に接続されているコリメータ２４が配置されている。
光源２１はこの例ではＳＬＤ（スーパールミネッセントダイオード）等の広帯域光源とされ、光計測手段２６は光スペクトラムアナライザとされる。光源２１から出射されて真空槽５２内に入射される入射光Ｌｉの光軸は回転台４３の回転中心軸と一致されており、即ちコリメータ２３は入射光Ｌｉの光軸が回転台４３の回転中心軸に一致するように配置されている。
【００２２】
熱伝導部材４１上の回転台４３に近い位置には温度センサ５６が取り付けられており、温度センサ５６と熱交換手段５１は真空槽５２の外部に配置された温度コントロール手段５７に接続されている。温度センサ５６の温度をモニタしながら温度コントロール手段５７により熱交換手段５１を駆動することにより、熱伝導部材４１の温度を変化させることができ、これにより回転台４３上に設置される波長選択光フィルタ３１の温度を所要の温度に変化させることができるものとなっている。
【００２３】
なお、この例では熱交換手段５１は上述したようにペルチェ素子とされており、この熱交換手段５１の発熱を吸収するために真空槽５２の本体５３底面外側にはヒートシンク５８が熱交換手段５１の位置と対応して取り付けられている。ヒートシンク５８は空冷タイプ、水冷タイプいずれであってもよい。真空槽５２の本体５３は熱交換手段５１とヒートシンク５８との間の良好な熱伝導状態を得るべく、例えばアルミニウム製とされている。
上記のような構成とされた波長選択光フィルタ用温度特性測定装置において、波長選択光フィルタ３１の設置は真空槽５２の蓋５４をあけて行われ、波長選択光フィルタ３１は突き当て部材４９に突き当て位置決めされて回転台４３上に設置される。
【００２４】
コリメータ２３から出射される光源２１からの光は光学窓１６を通って波長選択光フィルタ３１に入射され、波長選択光フィルタ３１を透過した光は回転台４３の貫通穴４４、熱伝導部材４１の貫通穴４６を通り、光学窓１７を通ってコリメータ２４に入射され、光導波手段２５を介して光計測手段２６に導かれる。
なお、この例では上述したように、熱伝導部材４１はその一端側が固定手段４２によって固定されるのみで、波長選択光フィルタ３１が設置される他端側は固定されておらず、自由端となっていることから、温度変化によって熱膨張するものとなっている。
【００２５】
つまり、温度変化による熱膨張によって波長選択光フィルタ３１と入射光Ｌｉの相対位置が変化することのないよう、図５に示した従来の測定装置においては熱伝導板１３が完全固定されるものとなっていたのに対し、この例では熱伝導部材４１は完全固定されず、熱膨張するため、波長選択光フィルタ３１と入射光Ｌｉの相対位置が温度変化によって変化するものとなっている。
このような構造を有する測定装置を用いる波長選択特性の温度依存性の測定方法について、以下、説明する。
【００２６】
▲１▼  波長選択光フィルタ３１を回転台４３上に突き当て部材４９に突き当て位置決めして設置し、回転台４３のマーカ４７ａが図２Ｂに示したように熱伝導部材４１のマーカ４８に一致した状態に、まず、設定する。
▲２▼  この状態で、熱交換手段５１を駆動し、波長選択光フィルタ３１の温度を変化させながら、波長選択光フィルタ３１に入射光Ｌｉを入射させ、透過光Ｌｔの波長特性を測定する。ここでは、波長選択光フィルタ３１の温度をＴ0からＴ1に上昇させるものとし、温度Ｔ0，Ｔ1において透過光Ｌｔの波長特性を測定し、それら測定された波長特性から波長選択特性の温度依存性を求めるものとする。
【００２７】
図３Ａはこの時の様子を回転台４３、突き当て部材４９を省略し、模式的に示したものであり、図中、傾斜線６１は波長選択光フィルタ３１に存在する波長分布（膜厚分布）を示す。
波長選択光フィルタ３１にこのような波長分布６１が存在しているものとすると、温度をＴ0からＴ1に上昇させ、これにより熱伝導部材４１が熱膨張することにより、温度依存性データにこの波長分布が測定誤差として含まれるものとなり、この例では波長分布の分、波長が長くなる。
【００２８】
▲３▼  次に、回転台４３を１８０°回転させ、回転台４３のマーカ４７ｂを熱伝導部材４１のマーカ４８に一致させる。
▲４▼  この状態で、再度▲２▼項と同様に、温度Ｔ0，Ｔ1において透過光Ｌｔの波長特性を測定し、それら測定された波長特性から波長選択特性の温度依存性を求める。
図３Ｂはこの時の様子を図３Ａと同様に示したものであり、入射光Ｌｉの光軸は前述したように回転台４３の回転中心軸と一致されているため、上段の温度Ｔ0の状態においては入射光Ｌｉは波長選択光フィルタ３１に対し、▲２▼項における位置と同じ位置に入射する。
【００２９】
一方、下段の温度Ｔ1の状態では熱伝導部材４１が熱膨張するため、この場合の温度依存性データにも波長分布が測定誤差として含まれるものとなるものの、この場合は波長選択光フィルタ３１が１８０°回転されていることから、波長分布の分、波長は短くなる。
従って、波長選択特性の▲２▼項における温度依存性データと▲４▼項における温度依存性データとの平均値をとり、その平均値をこの波長選択光フィルタ３１の波長選択特性の温度依存性の測定データとすれば、面内の波長分布に起因する測定誤差を相殺することができ、よって正確な温度依存性データが得られるものとなる。
【００３０】
なお、熱伝導部材４１は上述したように単純な形状の板状とされ、その一端側だけが固定される構造となっていることから、その熱膨張（位置変動）の自由度は基本的に固定端と自由端とを結ぶ方向（長手方向）となり、また位置変動は温度再現性を持つものとなっており、この方向に対し、波長選択光フィルタ３１を１８０°回転させ、正逆両方向で測定を行うものとなっている。
図４は同一仕様で作製されたＡ〜Ｇ７つの波長選択光フィルタに対し、上記測定方法で測定した波長選択特性の温度依存性データを示したものであり、１回目、２回目、３回目は正方向（例えば図３Ａの状態）のデータを示し、４回目は逆方向（例えば図３Ｂの状態）のデータを示す。
【００３１】
この例では、サンプルＢ，Ｅ，Ｆは面内の波長分布が大きいものとなっているものの、正逆データを平均化することで、その波長分布に起因する測定誤差を相殺できることがわかる。なお、この図４に示したデータは温度Ｔ0，Ｔ1において測定した透過光Ｌｔの波長特性をそのピークレベルに対し、所定（例えば−２０ｄＢ）のスライスレベルで切り、その時の短波長側の波長（図７におけるλＳ0，λＳ1参照）をデータとしたものである。
上記のような基本的に一定の方向（一定の自由度）の予測可能な温度再現性をもつ熱膨張を生じさせるための熱伝導部材４１の大きさ（寸法）を例示すれば、長さ４０ｍｍ、幅２０ｍｍ、厚さ３ｍｍ程度に選定すればよく、よって熱伝導部材４１は小さくて済み、また図５に示した従来の測定装置のように多くの固定部材１５を配置する必要はなく、固定手段４２は１つで済むことから、従来に比し、大幅に測定装置の小型化を図ることができる。
【００３２】
具体的な大きさを示せば、真空槽５２の大きさとして、幅１１０ｍｍ、奥行７０ｍｍ、高さ５０ｍｍ程度とすることができる。なお、図５に示した従来の測定装置における真空槽１４の大きさを比較として示せば、幅２４０ｍｍ、奥行１８０ｍｍ、高さ１１０ｍｍ程度の大きさが必要であった。
また、このように熱伝達部材４１が小さいことから、この測定装置では温度変化速度が速いものとなっており、その点で測定を短時間で行えるものとなっている。
【００３３】
加えて、この例では熱交換手段５１としてペルチェ素子を用いており、この点でも温度変化速度が速いものとなっている。
なお、上述した例では必要な波長の光を供給する光源２１として広帯域光源を使用し、光計測手段２６として光スペクトラムアナライザを使用するものとなっているが、これらに替え、光源２１に波長可変光源を使用し、光計測手段２６にフォトダイオードを使用するといった構成とすることもできる。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明による波長選択光フィルタ用温度特性測定装置によれば、波長選択光フィルタを温度変化させるべく、波長選択光フィルタに熱を伝える熱伝導部材はその一端側が固定されるのみとなっており、よって熱膨張を抑止すべく完全固定していた従来の測定装置と異なり、構成の簡易化、小型化を図ることができ、その分測定装置の小型化を図ることができる。
また、波長選択光フィルタは熱伝導部材の他端側（自由端側）に搭載された回転台上に設置され、熱伝導部材上で回転させることができるものとなっており、よって熱伝導部材の基本的に一方向のみ、つまり固定端と自由端とを結ぶ方向のみ許容された熱膨張の方向に対し、０°と１８０°回転させた位置で波長選択特性の温度依存性データを測定し、それらデータの平均値を測定データとすれば、熱膨張による波長選択光フィルタの位置変化と、波長選択特性の面内分布とに起因する測定誤差を相殺することができ、従って熱膨張の影響を排除した正確な温度特性の測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による波長選択光フィルタ用温度特性測定装置の一実施例を説明するための図。
【図２】図１における要部構造を説明するための図。
【図３】図１に示した測定装置を用いる温度特性の測定方法を説明するための図。
【図４】温度特性の測定データ例を示すグラフ。
【図５】従来の波長選択光フィルタ用温度特性測定装置の構成を説明するための図。
【図６】Ａは広帯域光源を用いた場合の入射光の波長特性を示すグラフ、Ｂはその入射光が波長選択光フィルタを透過した透過光の波長特性を示すグラフ。
【図７】温度変化によって透過光の波長特性が変化する様子を示すグラフ。
【図８】波長選択光フィルタの面内波長分布を説明するための図。
【図９】図５に示した従来の測定装置を小型化することにより生じる問題を説明するための図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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