(57)【要約】【課題】装置の起動（再起動含む）に伴って、速やかに製品水素の供給を行えるようにする。【解決手段】炭化水素ガスに、高温下で水蒸気を反応させて水素リッチガスに改質する改質装置１と、改質装置１からの水素リッチガスを圧縮して昇圧する昇圧装置４と、昇圧された水素リッチガス中の不純物を加圧下において吸着剤に吸着させて高純度水素ガスを精製し、その吸着した不純物を減圧下において吸着剤から脱着させる水素精製装置７と、その水素精製装置７からのオフガスを改質装置１に燃料ガスとして供給自在なオフガス供給路Ｋとを備えた水素製造装置において、水素精製装置７からのガスを流路切替によって昇圧装置４を経由して水素精製装置７に戻すことが可能な閉循環路ＬＣを設け、水素精製装置７からのガス流路を、閉循環路ＬＣに切り替えてガス循環させるガス循環手段Ｊを設けてある。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化水素ガスに、高温下で水蒸気を反応させて水素リッチガスに改質する改質装置と、前記改質装置からの前記水素リッチガスを圧縮して昇圧する昇圧装置と、昇圧された前記水素リッチガス中の不純物を加圧下において吸着剤に吸着させて高純度水素ガスを精製し、その吸着した不純物を減圧下において前記吸着剤から脱着させる水素精製装置と、その水素精製装置からのオフガスを前記改質装置に燃料ガスとして供給自在なオフガス供給路とを備えた水素製造装置であって、
前記水素精製装置からのガスを流路切替によって前記昇圧装置を経由して水素精製装置に戻すことが可能な閉循環路を設け、前記水素精製装置からのガス流路を、前記閉循環路に切り替えてガス循環させるガス循環手段を設けてある水素製造装置。
【請求項２】
前記閉循環路の一部が、前記オフガス供給路で兼用してある請求項１に記載の水素製造装置。
【請求項３】
前記改質装置への炭化水素ガスの供給が停止するに伴って前記ガス循環手段を連動させる循環制御手段を設けてある請求項１又は２に記載の水素製造装置。
【請求項４】
炭化水素ガスに高温下で水蒸気を反応させて水素リッチガスとして改質し、その水素リッチガスを昇圧装置で圧縮して昇圧させて、水素精製装置での加圧下においてガス中の不純物を吸着剤に吸着させて高純度水素ガスを精製する一方、吸着した不純物を減圧下において前記吸着剤から脱着させてできたオフガスを、前記炭化水素ガスの改質に使用する燃料ガスとして供給する水素製造方法であって、
前記炭化水素ガスの改質操作を停止するに伴って、前記水素精製装置からのガスを、前記昇圧装置を経由して再び前記水素精製装置に戻す循環操作を、前記炭化水素ガスの改質操作を再開するまで続ける水素製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明装置は、炭化水素ガスに、高温下で水蒸気を反応させて水素リッチガスに改質する改質装置と、前記改質装置からの前記水素リッチガスを圧縮して昇圧する昇圧装置と、昇圧された前記水素リッチガス中の不純物を加圧下において吸着剤に吸着させて高純度水素ガスを精製し、その吸着した不純物を減圧下において前記吸着剤から脱着させる水素精製装置と、その水素精製装置からのオフガスを前記改質装置に燃料ガスとして供給自在なオフガス供給路とを備えた水素製造装置に関する。
また、本発明方法は、炭化水素ガスに高温下で水蒸気を反応させて水素リッチガスとして改質し、その水素リッチガスを昇圧装置で圧縮して昇圧させて、水素精製装置での加圧下においてガス中の不純物を吸着剤に吸着させて高純度水素ガスを精製する一方、吸着した不純物を減圧下において前記吸着剤から脱着させてできたオフガスを、前記炭化水素ガスの改質に使用する燃料ガスとして供給する水素製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
水素は、燃料電池の燃料やバーナの燃料をはじめとして不飽和結合への添加用などの各種の用途に供されるもので、各種方法により製造される。
しかし、製造後の水素中に多量の不純物が含まれていると、用途によっては使用不能になる可能性があるため、水素中に含まれる不純物を除去して高純度の水素に精製する必要がある。
このように、高純度の水素を精製する従来の水素製造技術の一つとして、原料に都市ガスや天然ガス等の炭化水素ガスを使用した燃料ガス変成法による水素製造技術があった。
この水素製造技術は、図４に示すような水素製造装置を用いて水素ガスを製造することができる。
水素製造装置としては、炭化水素ガスに、高温下で水蒸気を反応させて水素リッチガスに改質する改質装置１を設け、改質装置１からの前記水素リッチガスを圧縮して昇圧する昇圧装置４を設け、昇圧された前記水素リッチガス中の不純物を除去して高純度水素ガスを精製する水素精製装置７を設け、改質装置１から昇圧装置４、水素精製装置７を経由して供給先に伸びる水素ガス供給路Ｌを設け、水素精製装置７から発生するオフガスを前記改質装置１に燃料ガスとして供給自在なオフガス供給路Ｋを設け、オフガス供給路Ｋの途中に前記オフガスを溜めるオフガス用タンク９を設けたものがあった（例えば、特許文献１参照）。そして、精製行程での上流側である改質装置からのガス供給をストップした場合は、下流側すべてが稼動を停止するように構成してあった。
尚、上述した水素精製装置７は、吸着、均圧、減圧、洗浄、昇圧の各工程を繰り返して高純度の水素に精製するもので、複数の水素精製部を並列接続して構成し、各水素精製部で上記各工程を分担して切り替えることで連続した水素ガスの精製を行えるように構成してある。
また、水素製造方法としては、上述の水素製造装置７を用いて、炭化水素ガスを前記水素ガス供給路Ｌに設置された各装置で処理することによって高純度水素ガスを精製するもので、水素精製行程での上流側である改質装置からのガス供給をストップする際には、下流側すべての稼動を停止させる方法を採っている。
尚、この様な従来技術に関しては、当業者の間で広く知られているものであるが、ガス供給ストップに関して詳しく言及した特許文献などは見あたらないので、先行技術文献は示していない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の水素製造技術によれば、装置の起動初期においては、改質装置が水素リッチガスの供給を行うまでに脱硫器、改質反応器、ＣＯ変成器の昇温工程を必要とする。その間、水素精製装置は停止している。水素リッチガスが供給可能となると、水素リッチガス中の不純物成分（例えば、ＣＨ４  、ＣＯ２  、ＣＯ、Ｎ２  、Ｈ２  Ｏ等）を吸着除去する水素精製装置は起動されるが、起動初期においては、水素精製装置の各水素精製部の内、吸着を行う水素精製部（以後、単に吸着精製部と言う）を対象として昇圧工程が必要となる。昇圧工程が完了して運転が開始され、製造される製品水素中の不純物濃度が一定値より低い値（例えばＣＯ濃度１０ｐｐｍ未満）となった状態で水素供給が可能となる。
そして、水素精製装置停止時には、前記吸着精製部に不純物成分が残存する。不純物成分は時間経過と共にその吸着精製部全体に拡散され、再起動時（吸着精製部への水素リッチガス再供給開始時）初期には拡散されている不純物が製品水素中に多く流出される。
このように、従来の水素製造技術によれば、製品中不純物濃度が低減されるまで、製品水素供給は行えず、可能な限り低流量の水素リッチガスでの純度確認運転が必要であった。また、製品水素供給までの時間を短縮するためには、従来の水素精製装置では、停止時に吸着精製部内を減圧処理し、不純物を外部へパージしたり、減圧後に製品水素による水素精製部の洗浄を行い、更に不純物を外部へパージし、残存不純物濃度を下げるような処理が必要とされるが、減圧処理を実施する場合は、再起動時に吸着精製部の再昇圧処理が必要となり、再起動に要する時間が長くなることに加え、昇圧用に多くの水素リッチガスが必要となる。
即ち、従来の水素製造技術によれば、装置の起動（再起動含む）時に、手間と時間が掛かり、直ぐに製品水素の供給ができないという問題があった。
【０００４】
従って、本発明の目的は、上記問題点を解消し、装置の起動（再起動含む）に伴って、速やかに製品水素の供給を行うことができる水素製造技術を提供するところにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の特徴構成は、炭化水素ガスに、高温下で水蒸気を反応させて水素リッチガスに改質する改質装置と、前記改質装置からの前記水素リッチガスを圧縮して昇圧する昇圧装置と、昇圧された前記水素リッチガス中の不純物を加圧下において吸着剤に吸着させて高純度水素ガスを精製し、その吸着した不純物を減圧下において前記吸着剤から脱着させる水素精製装置と、その水素精製装置からのオフガスを前記改質装置に燃料ガスとして供給自在なオフガス供給路とを備えた水素製造装置において、前記水素精製装置からのガスを流路切替によって前記昇圧装置を経由して水素精製装置に戻すことが可能な閉循環路を設け、前記水素精製装置からのガス流路を、前記閉循環路に切り替えてガス循環させるガス循環手段を設けてあるところにある。
【０００６】
請求項１の発明の特徴構成によれば、前記水素精製装置からのガスを流路切替によって前記昇圧装置を経由して水素精製装置に戻すことが可能な閉循環路を設け、前記水素精製装置からのガス流路を、前記閉循環路に切り替えてガス循環させるガス循環手段を設けてあるから、水素製造装置の通常運転継続状態においては、ガス流路を、改質装置から昇圧装置・水素精製装置を経て製品ガス供給先にいたる状態に維持して、所定の製品水素ガスの製造を行うことができる一方、装置の初期起動（又は再起動）時においては、従来のように、水素リッチガスの純度確認運転を実施したり、吸着精製部の再昇圧処理を実施しなければならないと言ったロスタイムを低減することができる。従って、装置の起動（再起動含む）時に手間と時間が掛かると言ったことがなく、速やかに製品水素ガスの供給を開始することができる。
即ち、前記改質装置を停止させるような場合には、ガス循環手段によって、ガス流路を、昇圧装置と水素精製装置とに亘って巡る前記閉循環路に切り替えることができ、昇圧装置と水素精製装置とを巡るガス循環を継続することが可能となる。その結果、この閉循環路内においては、いつでも製品水素ガスを供給できるスタンバイ状態を維持することができる。
従って、改質装置を起動（又は再起動）させるに伴っては、閉循環路から通常運転継続状態のガス流路に切り替えることによって、簡単に、且つ、速やかに通常の製品水素ガス製造を開始して供給することができる。以上の結果、水素製造装置全体とした操作即応性（レスポンス性）を向上させることが可能となる。
【０００７】
請求項２の発明の特徴構成は、前記閉循環路の一部が、前記オフガス供給路で兼用してあるところにある。
【０００８】
請求項２の発明の特徴構成によれば、請求項１の発明による作用効果を叶えることができるのに加えて、配管系の兼用により、設備が煩雑となるのを防止することができると共に、コストダウンを叶えることが可能となる。
【０００９】
請求項３の発明の特徴構成は、前記改質装置への炭化水素ガスの供給が停止するに伴って前記ガス循環手段を連動させる循環制御手段を設けてあるところにある。
【００１０】
請求項３の発明の特徴構成によれば、請求項１又は２の発明による作用効果を叶えることができるのに加えて、人為的な改質装置の停止のみならず、意図しない改質装置の停止時にも、水素精製装置を上述のスタンバイ運転に切替制御することができ、自動運転を実施し易くなる。また、切替制御のための人手が掛からないと言うことは勿論のことである。
【００１１】
請求項４の発明の特徴構成は、炭化水素ガスに高温下で水蒸気を反応させて水素リッチガスとして改質し、その水素リッチガスを昇圧装置で圧縮して昇圧させて、水素精製装置での加圧下においてガス中の不純物を吸着剤に吸着させて高純度水素ガスを精製する一方、吸着した不純物を減圧下において前記吸着剤から脱着させてできたオフガスを、前記炭化水素ガスの改質に使用する燃料ガスとして供給する水素製造方法において、前記炭化水素ガスの改質操作を停止するに伴って、前記水素精製装置からのガスを、前記昇圧装置を経由して再び前記水素精製装置に戻す循環操作を、前記炭化水素ガスの改質操作を再開するまで続けるところにある。
【００１２】
請求項４の発明の特徴構成によれば、前記炭化水素ガスの改質操作を停止するに伴って、前記水素精製装置からのガスを、前記昇圧装置を経由して再び前記水素精製装置に戻す循環操作を、前記炭化水素ガスの改質操作を再開するまで続けるから、水素精製装置内では、通常の精製工程と同様に、吸着、均圧、減圧、洗浄、昇圧の各工程が繰り返されて、いつでも製品水素ガスを供給できるスタンバイ状態を維持することができる。
従って、改質装置を起動（又は再起動）させて、元の状態にガス流路を切り替えることによって、簡単に、且つ、速やかに通常の製品水素ガス製造を開始して供給することができる。
以上の結果、水素製造装置全体とした操作即応性（レスポンス性）を向上させることが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。尚、図面において従来例と同一の符号で表示した部分は、同一又は相当の部分を示している。
本発明による水素製造装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
この水素製造装置は、例えば、原料である炭化水素として１３Ａなどの都市ガスを使用して高純度の水素を製造するもので、図１に示すように、バーナ１ａを有する改質器（改質装置に相当）１、コンプレッサ（昇圧装置に相当）４、水素精製装置７、水素貯蔵タンク８、オフガス用タンク９などを備えて構成されている。
【００１４】
前記改質器１は、バーナ１ａの燃焼により７５０℃程度の高温に維持され、水蒸気改質用の触媒によって炭化水素ガスに水蒸気を反応させて水素リッチなガスに改質し、改質後の水素リッチガスは、第１配管ラインＬ１を通ってコンプレッサ１に送られる。この第１配管ラインＬ１には、第１開閉バルブＶ１を介装してある。
【００１５】
コンプレッサ１は、第１配管ラインＬ１を経由して供給される水素リッチガスを圧縮して昇圧するもので、例えば、０．１５ＭＰａあるいはそれ以上の圧力を有する水素リッチガスを０．９８ＭＰａ程度にまで昇圧し、第２配管ラインＬ２を通って水素精製装置７に送ることができる。
【００１６】
水素精製装置７は、例えば、活性アルミナ、カーボンモレキュラーシーブ（ＣＭＳ）、ゼオライトなどの吸着剤を充填した圧力スイング式の水素精製装置で、加圧下において水素リッチガスから水、二酸化炭素（ＣＯ２  ）、一酸化炭素（ＣＯ）、メタン（ＣＨ４  ）、窒素（Ｎ２  ）などの不純物を吸着除去して高純度の水素を精製し、その吸着した不純物を減圧下において吸着剤から脱着させるものである。
その水素精製装置７は、図２に詳しく示すように、例えば、３塔の水素精製部、つまり、第１水素精製部７ａ、第２水素精製部７ｂ、および、第３水素精製部７ｃにより構成されて、それら第１〜第３の水素精製部７ａ〜７ｃが並列に接続され、後に詳しく説明するように、各水素精製部７ａ〜７ｃにおいて、吸着、均圧、減圧、洗浄、昇圧の各工程を順番に繰り返すことにより高純度の水素を連続的に精製するように構成されている。
【００１７】
各水素精製部７ａ〜７ｃからの高純度水素は、第３配管ラインＬ３を通って水素貯蔵タンク８に送られ、供給側と需要側での流量変動を吸収して常時一定量の製品水素として供給できるように、その水素貯蔵タンク８に貯蔵され、需要に応じて、第４配管ラインＬ４から供給される。尚、第３配管ラインＬ３には、第２電磁バルブＶ２を介装してある。
【００１８】
また、各水素精製部７ａ〜７ｃからのオフガスは、オフガス供給路としての第５配管ラインＬ５を通ってオフガス用タンク９に送られる。そして、オフガス用タンク９から、第６配管ラインＬ６を通って改質器１用のバーナ１ａ側に送られるように構成されている。前記オフガスは、第７配管ラインＬ７から供給される１３Ａなどの都市ガスと共にバーナ１ａに供給され、燃焼後の排ガスは、第８配管ラインＬ８を通って装置外へ排出される。また、前記第６配管ラインＬ６には、第３電磁バルブＶ３を介装してある。前記第５配管ラインＬ５と第６配管ラインＬ６とによってオフガス供給路Ｋが構成されている。
【００１９】
一方、第３配管ラインＬ３の第２電磁バルブＶ２の上手側部分と、前記オフガス用タンク９との間には、流路切替用の第９配管ラインＬ９と、第４電磁バルブＶ４と、圧力調整弁ＶＰとが設けてある。
【００２０】
第６配管ラインＬ６と第１配管ラインＬ１との間には、前記第３電磁バルブの上手側部分と、第１開閉バルブＶ１の上手側部分とにわたる第１０配管ラインＬ１０を設けてあると共に、前記第３電磁バルブの下手側部分と、第１開閉バルブＶ１の下手側部分とにわたる第１１配管ラインＬ１１を設けてある。
第１０配管ラインＬには、第５電磁バルブＶ５と、流量調整弁ＶＱとを設けてあり、第１１配管ラインＬ１１には、第６電磁バルブＶ６が設けてある。
【００２１】
次に、前記水素精製装置７について詳しく説明する。各水素精製部７ａ〜７ｃは、第７電磁バルブＶ７ａ〜Ｖ７ｃを有する第１２補助配管ラインＬ１２ａ〜Ｌ１２ｃを介してそれぞれ第１２配管ラインＬ１２に接続され、さらに、第８電磁バルブＶ８ａ〜Ｖ８ｃを有する第１３補助配管ラインＬ１３ａ〜Ｌ１３ｃを介してそれぞれ第１３配管ラインＬ１３に接続されて、その第１３配管ラインＬ１３が、第１２補助配管ラインＬ１２ｃの接続箇所よりも下手側において第３配管ラインＬ３に接続されている。
また、各水素精製部７ａ〜７ｃは、第９電磁バルブＶ９ａ〜Ｖ９ｃを有する第１４補助配管ラインＬ１４ａ〜Ｌ１４ｃを介してそれぞれ第１４配管ラインＬ１４に接続され、その第１４配管ラインＬ１４が前記第５配管ラインＬ５に連通接続されオフガス用タンク９に達している。また、第１５補助配管ラインＬ１５ａ〜Ｌ１５ｃに対し、第１０電磁バルブＶ１０を構成する第１０電磁バルブＶ１０ａ〜Ｖ１０ｃを有する第１５補助配管ラインＬ１５ａ〜Ｌ１５ｃを介して第１５配管ラインＬ１５がそれぞれ接続され、前記第２配管ラインＬ２と連通接続されている。
【００２２】
前記オフガス用タンク９は、各水素精製部７ａ〜７ｃから供給されるオフガスを一時的に貯蔵して常時一定量のオフガスをバーナ１ａに供給できるように設けてある。
【００２３】
つぎに、この水素製造装置の作動について説明する。
まず、装置の循環系全体を所定の温度にまで昇温する起動運転を実行した後、水素精製運転を行うのであり、その水素精製運転では、原料である炭化水素ガスが、第７配管ラインＬ７から改質器１に導入され、改質器１において、バーナ１ａの燃焼による高温下で、水蒸気改質用の触媒により水蒸気と反応して水素リッチガスに改質される。
改質後の水素リッチガスは、第一配管ラインＬ１からコンプレッサ４に導入され昇圧された状態で３塔ある水素精製部７ａ〜７ｃのいずれかにおいて不純物が吸着除去されて高純度の水素に精製される。
【００２４】
例えば、図３の上段に示すように、水素リッチガスが第１水素精製部７ａにおいて精製される場合であれば、図３の下段に示すように、時間ｔ１〜ｔ３の間、第１０電磁バルブＶ１０ａの開弁によって第１水素精製部７ａに水素リッチガスが供給され、第１水素精製部７ａが、加圧下において水素リッチガス中に含まれる水、二酸化炭素、一酸化炭素、メタン、窒素などの不純物を吸着剤に吸着させる吸着工程を実行し、高純度の水素は、第７電磁バルブＶ７ａの開弁によって水素貯蔵タンク８へ送られて貯蔵される。
その際、第２水素精製部７ｂは、洗浄工程が終了した直後の均圧工程にあり、第３水素精製部７ｃは、吸着工程が終了した直後の均圧工程にあって、時間ｔ１の間、第８電磁バルブＶ８ｂ，Ｖ８ｃの開弁によって、図３における上段の左に示すように、第２と第３水素精製部７ｂ，７ｃが均圧化される。
【００２５】
その後、第８電磁バルブＶ８ｂ，Ｖ８ｃが閉弁され、時間ｔ２の間、第７電磁バルブＶ７ｂと第９電磁バルブＶ９ｃの開弁によって、図３における上段の中央に示すように、第２水素精製部７ｂが昇圧され、同時に、第３水素精製部７ｃが減圧されて、その減圧下において吸着剤に吸着された不純物が脱着されてオフガスが発生する。
第３水素精製部７ｃの減圧工程において、オフガスがオフガス用タンク９に貯蔵される。そして、オフガス用タンク９からのオフガスは、第６配管ラインＬ６を通して改質器１のバーナ１ａに供給され、第７配管ラインＬ７からの都市ガスと共に燃焼される。
【００２６】
引き続いて、時間ｔ３の間、図３における上段の右に示すように、第２水素精製部７ｂが昇圧され、第３水素精製部７ｃには、例えば、水素貯蔵タンク８内の水素が供給されて洗浄され、その洗浄後のオフガスは、第５配管ラインＬ５・オフガス用タンク９から改質器１のバーナ１ａに供給され、第７配管ラインＬ７からの都市ガスと共に燃焼される。
そして、第１〜第３の水素精製部７ａ〜７ｃにおいて、このような工程を順次繰り返すことによって高純度の水素を連続的に精製するとともに、水素精製時に発生するオフガスを有効に利用して改質器１を加熱するのである。
【００２７】
そして、改質器１を停止するに伴っては、第１開閉バルブＶ１、第２電磁バルブＶ２、第３電磁バルブＶ３を閉めると共に、第４電磁バルブＶ４、第５電磁バルブＶ５を開けることで、第２配管ラインＬ２、第３配管ラインＬ３、第９配管ラインＬ９、第５配管ラインＬ５、第６配管ラインＬ６、第１０配管ラインＬ１０からなる閉循環路ＬＣを形成する。これによって、閉循環路ＬＣ内をガス循環させることができ、水素精製装置７内における上述の運転が継続して実施することが可能となる。従って、水素精製装置７のスタンバイ状態を維持でき、改質器１の起動時には、第１開閉バルブＶ１、第２電磁バルブＶ２、第３電磁バルブＶ３を開けると共に、第４電磁バルブＶ４、第５電磁バルブＶ５を閉めることで、流路切替を行って、直ちに、通常の製品水素の製造を行うことができる。
第１開閉バルブＶ１、第２電磁バルブＶ２、第３電磁バルブＶ３、第４電磁バルブＶ４、第５電磁バルブＶ５によって、ガス循環手段Ｊが構成されている。
【００２８】
〔別実施形態〕
以下に他の実施の形態を説明する。
【００２９】
〈１〉  前記閉循環路は、先の実施形態では、通常の水素精製運転時に使用する配管ラインの一部を兼用する例を説明したが、これに限るものではなく、例えば、専用の配管ラインを設けて、その配管ラインによって閉循環路を構成するものであってもよい。この場合、通常のガス流路を閉循環路に切り替えるガス循環手段は、当然の事ながら、先の実施形態で説明したものを適宜変更する必要がある。
尚、先の実施形態で説明した水素製造装置において、改質装置１の運転状況に応じて、前記ガス流路を、通常の状態と前記閉循環路とに自動切り替えする循環制御手段を設けてあってもよい。この場合は、改質装置１の駆動検知を行うセンサと、センサからの駆動情報によってガス循環手段に切替命令を与えるコンピュータ等によって前記循環制御手段を構成することができる。
〈２〉  先の実施形態では、３塔の水素精製部７ａ〜７ｃを並列に接続して水素精製装置７を構成した例を示したが、例えば、３塔以外の複数の水素精製部を並列に接続して使用する水素製造装置７においても適用可能である。
【００３０】
尚、上述のように、図面との対照を便利にするために符号を記したが、該記入により本発明は添付図面の構成に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】水素製造装置の全体を示す概略構成図
【図２】水素製造装置の要部を示す概略構成図
【図３】水素精製装置の作動を示す説明図
【図４】従来の水素製造装置の全体を示す概略構成図
【符号の説明】
１      改質器（改質装置に相当）
４      コンプレッサ（昇圧装置に相当）
７      水素精製装置
Ｊ      ガス循環手段
Ｋ      オフガス供給路
ＬＣ    閉循環路
【図１】
2004299995.tif 000003
【図２】
2004299995.tif 000004
【図３】
2004299995.tif 000005
【図４】
2004299995.tif 000006