(57)【要約】【課題】ゲート開口部を開閉する際の衝撃による振動および衝撃音を低減し、シール部材などへの負担が少ない真空用ゲート弁、およびシール部材を弁体に形成された装着用溝へ適切かつ簡便に装着することができるシール部材の装着方法を提供する。【解決手段】真空用ゲート弁１の弁体５を開閉する際に、エアシリンダ２０へのエアの供給を、弁体５が閉開端位置から所定の距離に達した際に調整して、弁体５の移動速度を減速するようにするとともに、減速された弁体５が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、エアシリンダ２０へのエアの供給を調整して、弁体５の開閉動作を完了するように構成された開閉制御装置を備えることとした。また、弁体５に形成された装着用溝１４に沿ってシール部材１３を仮着し、該開閉制御装置の制御により弁体５を作動してシール部材１３を弁座面に加圧することによって、装着を完了するようにした。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略箱形状に形成された弁箱本体と、
該弁箱本体に貫通して形成されたゲート開口部と、
エアシリンダのシリンダシャフトの上端に取り付けられた弁体とを備え、
前記エアシリンダの駆動により、弁体を作動させることによって、前記ゲート開口部を開閉するように構成した真空用ゲート弁であって、
前記弁体を開閉する際に、エアシリンダへのエアの供給を、弁体が閉開端位置から所定の距離に達した際に調整して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
前記減速された弁体が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、前記エアシリンダへのエアの供給を調整して、弁体の開閉動作を完了するように構成した開閉制御装置を備えることを特徴とする真空用ゲート弁。
【請求項２】
前記開閉制御装置が、
前記弁体が閉開端位置から所定の距離に達したかどうかを検知する、前記エアシリンダのシリンダ室に付設した減速開始位置センサと、
前記弁体が閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達したかどうかを検知する、前記エアシリンダのシリンダ室に付設した動作完了開始位置センサとを備え、
前記弁体を開閉する際に、前記減速開始位置センサの検知結果に基づいて、エアシリンダへのエアの供給を、弁体が閉開端位置から所定の距離に達した際に停止して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
前記動作完了開始位置センサの検知結果に基づいて、前記減速された弁体が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、前記エアシリンダへのエアを再び供給して、弁体の開閉動作を完了するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の真空用ゲート弁。
【請求項３】
前記減速開始位置センサが、前記エアシリンダの開放側シリンダ室に付設した開放側減速開始位置センサと、前記エアシリンダの閉止側シリンダ室に付設した閉止側減速開始位置センサとからなるとともに、
前記動作完了開始位置センサが、前記エアシリンダの開放側シリンダ室に付設した開放側動作完了開始位置センサと、前記エアシリンダの閉止側シリンダ室に付設した閉止側動作完了開始位置センサとからなることを特徴とする請求項２に記載の真空用ゲート弁。
【請求項４】
前記開閉制御装置が、前記エアシリンダの開放側シリンダ室および閉止側シリンダ室へのエアの供給と停止とを切り替えるエア供給切り替え装置を備えることを特徴とする請求項３に記載の真空用ゲート弁。
【請求項５】
前記開閉制御装置が、タイマーの作動によって、前記弁体を開閉する際に、エアシリンダへのエアの供給を、弁体が閉開端位置から所定の距離に達する所定時間に調整して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
タイマーの作動によって、前記減速された弁体が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達する時間に、前記エアシリンダへのエアを調整して、弁体の開閉動作を完了するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の真空用ゲート弁。
【請求項６】
前記開閉制御装置が、前記エアシリンダの開放側シリンダ室に供給するエアの供給量と、前記エアシリンダの閉止側シリンダ室に供給するエアの供給量とを調整するエア供給量調整装置を備え、
前記エア供給量調整装置によって、
前記弁体を開閉する際に、エアシリンダの開放側シリンダ室へのエアの供給量と閉止側シリンダ室へのエアの供給量とを、弁体が閉開端位置から所定の位置に達した際に調整して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
前記減速された弁体が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、エアシリンダの開放側シリンダ室へのエアの供給量と閉止側シリンダ室へのエアの供給量とを調整して、弁体の開閉動作を完了するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の真空用ゲート弁。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の真空用ゲート弁のシール部材の装着方法であって、
前記弁体に形成されたシール部材装着用溝に沿ってシール部材を仮着し、
前記弁体を閉止する際に、エアシリンダへのエアの供給を、弁体が閉止端位置から所定の距離に達した際に調整して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
前記減速された弁体が、閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達した際に、前記エアシリンダへのエアの供給を調整して、弁体の閉止加圧動作を完了するようにして、前記シール部材を弁座面に加圧することによって、シール部材をシール部材装着用溝に装着することを特徴とする真空用ゲート弁のシール部材の装着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶の製造装置などにおいて、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で使用される真空用ゲート弁、および該真空用ゲート弁のシール部材の装着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコンウェハなどの半導体の製造、薄膜の製造、液晶ディスプレイの製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのワークの加工、処理などが行われている。
これらの製造装置において、たとえば真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で使用される、いわゆる「ワンアクション式」と呼ばれる真空用ゲート弁（たとえば特許文献１参照）は、図１１および図１２に示したような構造を備えている。
【０００３】
真空用ゲート弁１０１の、略箱形状に形成された弁箱本体１０２には、弁箱本体１０２を貫通するように、ゲート開口部１０９が形成されている。そして、このゲート開口部１０９を縦断する方向に、エアシリンダ（図示せず）のシリンダシャフト１０６が上下方向に移動するようになっている。
このシリンダシャフト１０６の移動によって、シリンダシャフト１０６の上端に取り付けられた略板形状の弁体１０５が、弁箱本体１０２に形成された弁座面１１１ａ、１１１ｂに対して、離反、接近することによって、ゲート開口部１０９を開放または閉止するように構成されている。
【０００４】
弁体１０５の先端部１０５ａと基端部１０５ｂには、シール部材１１３が装着されている。このシール部材１１３は、シール部分を気密的に閉止するように変形し得る柔軟性をもち、たとえばフッ素系のエラストマーシール材などが用いられる。そして、図１３に示したように、長細い環状のシール部材１１３を、破線位置から両側に押し開いた状態で、弁体１０５に形成されたシール部材装着用溝１１４へ手作業で装着して使用されるものである。
【０００５】
そして、弁体１０５がシリンダシャフト１０６を介して、ゲート開口部１０９を閉止する方向に作動して、その先端部１０５ａと基端部１０５ｂが、弁箱本体１０２に形成された弁座面１１１ａ、１１１ｂに着座した際に、このシール部材１１３によって、気密的に閉止されるようになっている。なお、図中、１０３は、弁箱本体１０２のゲート開口部１０９に装着されるサイドプレートである。また、弁座面１１１ａおよび１１１ｂは段違いであっても連続した弁座面１１１を形成しており、ゲート開口部１０９をシール部材１１３と密着して完全に密閉するようになっている。
【０００６】
このような構成の真空用ゲート弁１０１の弁体１０５を、図１４に示したようなエアシリンダ１２０の駆動によって作動させている。すなわち、ゲート開口部１０９を閉止する際には、エアシリンダ１２０内の、シリンダシャフト１０６の下端に取り付けられたピストン１２１によって区画された、閉止側シリンダ室１２２へ、エア供給源（図示せず）からのエアを、エア導入口１７１を通して供給し、シリンダシャフト１０６を上方向に移動させることによって、シリンダシャフト１０６の上端に取り付けられた弁体１０５をゲート開口部１０９に接近する方向に作動させる。
【０００７】
また、ゲート開口部１０９を開放する際には、ピストン１２１によって区画された開放側シリンダ室１２３へ、エア供給源からのエアを、エア導入口１７０を通して供給し、シリンダシャフト１０６を下方向に移動させることによって、シリンダシャフト１０６の上端に取り付けられた弁体１０５をゲート開口部１０９に離反する方向に作動させる。
【０００８】
そして、エア導入口１７０、１７１からのエアは、図１５に示したように、弁体１０５の作動中、ゲート開口部１０９の閉止または開放動作が完了するまでほぼ一定の圧力でシリンダ室１２２または１２３へ供給されている。
したがって、ゲート開口部１０９を閉止する際には、この一定の圧力に基づく速度で上昇する弁体１０５が、弁箱本体１０２の弁座面１１１と、シール部材１１３を介して衝突して（図１５中のａ点）ゲート開口部１０９の閉止動作が完了する。
【０００９】
また、ゲート開口部１０９を開放する際には、この一定の圧力に基づく速度で下降するピストン１２１が、エアシリンダ１２０の底部座面１７４へ衝突して（図１５中のｂ点）弁体１０５の下降が停止し、ゲート開口部１０９の開放動作が完了する。なお、ピストン１２１の下面側には、通常はピストン１２１と底部座面１７４との衝突時に変形し得る柔軟性をもつ、たとえば合成ゴム（ＮＢＲ等）やウレタンなどのクッション部材１７２が取り付けられており、ピストン１２１と底部座面１７４との衝突による衝撃を緩和するためのクッションとして作用している。
【００１０】
【特許文献１】
特公平６−５０１４８号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
最近では、たとえば液晶ディスプレイなどの製造装置で加工する液晶基板が大型化するなど、ゲート開口部１０９の横方向の長さがたとえば６００ｍｍ以上にもなる大型の真空用ゲート弁１０１が求められるようになってきている。
このような大型の真空用ゲート弁１０１では、弁体１０５も大きくその重量も重くなり、弁体１０５を作動してゲート開口部１０９を閉止する際の、弁体１０５と弁箱本体１０２との衝突による衝撃も相当に大きくなる。また、ゲート開口部１０９を開放する際の、ピストン１２１とエアシリンダ１２０の底部座面１７４との衝突による衝撃も同様である。
【００１２】
そして、このように衝撃が大きくなると、開閉動作の度に生じる大きい衝撃によって発生する振動が、真空用ゲート弁１０１の周辺に配置された各機器に悪影響を与えてしまうことが懸念される。
また、この振動や、同時に発生する衝撃音は、装置の近くにいる作業員へ心理的な負担を与えてしまう。
【００１３】
さらに、激しい衝突によるシール部材１１３およびクッション部材１７２への負荷も大きく、開閉動作の繰り返しとともに痛んでしまい、性能が損なわれ、これらの部材の耐久性を損なってしまう。
一方、弁体１０５へシール部材１１３を装着する際に、従来のように弁体１０５に形成されたシール部材装着用溝１１４へ手作業で押し込んで装着すると、場合によってはその一部が溝１１４からずれてしまい、シール性能に影響を与える可能性もあり、またシール部材の交換の度に煩雑な装着作業を要する。このシール部材の交換作業は、大型化すればするほど煩雑な作業となる。
【００１４】
本発明は、上記した従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、真空用ゲート弁のゲート開口部を、弁体を作動して開閉する際の衝撃による振動および衝撃音を低減し、シール部材およびクッション部材への負荷が少なくその耐久性を向上することができる真空用ゲート弁を提供することを目的としている。
【００１５】
さらに本発明は、シール部材をシール装着溝へ適切かつ簡便に装着することができるシール部材の装着方法を提供することを目的としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
第一の本発明の真空用ゲート弁は、略箱形状に形成された弁箱本体と、
該弁箱本体に貫通して形成されたゲート開口部と、
エアシリンダのシリンダシャフトの上端に取り付けられた弁体とを備え、
前記エアシリンダの駆動により、弁体を作動させることによって、前記ゲート開口部を開閉するように構成した真空用ゲート弁であって、
前記弁体を開閉する際に、エアシリンダへのエアの供給を、弁体が閉開端位置から所定の距離に達した際に調整して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
前記減速された弁体が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、前記エアシリンダへのエアの供給を調整して、弁体の開閉動作を完了するように構成した開閉制御装置を備えることを特徴としている。
【００１７】
かかる構成の本発明によれば、弁体の開閉動作を完了する前に一旦弁体の移動速度を減速し、次いで閉開端から直前の位置で弁体を弁座面へ加圧して弁体の開閉動作を完了することとしたので、開閉動作時の衝撃による振動および衝撃音を大きく低減することができる。さらに、柔らかい押圧でシール部材やクッション部材が座面へ当接されるため、これら部材への負荷が少なくその耐久性を向上することができる。
【００１８】
本発明の真空用ゲート弁は、上記第一の発明において、前記開閉制御装置が、前記弁体が閉開端位置から所定の距離に達したかどうかを検知する、前記エアシリンダのシリンダ室に付設した減速開始位置センサと、
前記弁体が閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達したかどうかを検知する、前記エアシリンダのシリンダ室に付設した動作完了開始位置センサとを備え、
前記弁体を開閉する際に、前記減速開始位置センサの検知結果に基づいて、エアシリンダへのエアの供給を、弁体が閉開端位置から所定の距離に達した際に停止して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
前記動作完了開始位置センサの検知結果に基づいて、前記減速された弁体が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、前記エアシリンダへのエアを再び供給して、弁体の開閉動作を完了するように構成したことを特徴としている。
【００１９】
かかる構成の本発明によれば、開閉制御装置に位置センサを備え、これにより弁体が閉開端位置から所定の距離に達した際、および閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際にこれを精度よく検知し、この検知結果に基づいて弁体の開閉動作を制御することとしたので、正確に上記の効果を得ることができる。
本発明の真空用ゲート弁は、上記の発明において、前記減速開始位置センサが、前記エアシリンダの開放側シリンダ室に付設した開放側減速開始位置センサと、前記エアシリンダの閉止側シリンダ室に付設した閉止側減速開始位置センサとからなるとともに、
前記動作完了開始位置センサが、前記エアシリンダの開放側シリンダ室に付設した開放側動作完了開始位置センサと、前記エアシリンダの閉止側シリンダ室に付設した閉止側動作完了開始位置センサとからなることを特徴としている。
【００２０】
かかる構成の本発明によれば、開放側および閉止側シリンダ室のそれぞれに位置センサを備えることとしたので、開放および閉止動作時のいずれにおいても上記の効果を得ることができる。
本発明の真空用ゲート弁は、上記の発明において、前記開閉制御装置が、前記エアシリンダの開放側シリンダ室および閉止側シリンダ室へのエアの供給と停止とを切り替えるエア供給切り替え装置を備えることを特徴としている。
【００２１】
かかる構成の本発明によれば、位置センサからの検知結果に基づいて適切にシリンダ室へのエアの供給と停止とを切り替え、これにより正確に上記の効果を得ることができる。
本発明の真空用ゲート弁は、上記第一の発明において、前記開閉制御装置が、タイマーの作動によって、前記弁体を開閉する際に、エアシリンダへのエアの供給を、弁体が閉開端位置から所定の距離に達する所定時間に調整して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
タイマーの作動によって、前記減速された弁体が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達する時間に、前記エアシリンダへのエアを調整して、弁体の開閉動作を完了するように構成したことを特徴としている。
【００２２】
かかる構成の本発明によれば、開閉制御装置のタイマーの作動により、弁体が閉開端位置から所定の距離に達した際、および閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際の時間に基づき弁体の開閉動作を精度よく制御することとしたので、正確に上記の効果を得ることができる。
本発明の真空用ゲート弁は、上記第一の発明において、前記開閉制御装置が、前記エアシリンダの開放側シリンダ室に供給するエアの供給量と、前記エアシリンダの閉止側シリンダ室に供給するエアの供給量とを調整するエア供給量調整装置を備え、
前記エア供給量調整装置によって、
前記弁体を開閉する際に、エアシリンダの開放側シリンダ室へのエアの供給量と閉止側シリンダ室へのエアの供給量とを、弁体が閉開端位置から所定の位置に達した際に調整して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
前記減速された弁体が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、エアシリンダの開放側シリンダ室へのエアの供給量と閉止側シリンダ室へのエアの供給量とを調整して、弁体の開閉動作を完了するように構成したことを特徴としている。
【００２３】
かかる構成の本発明によれば、開閉制御装置にエア供給量調整装置を備えることとしたので、エアシリンダの開放側および閉止側シリンダ室へのエアの供給量を適切に制御し、これにより正確に上記の効果を得ることができる。
第二の本発明の真空用ゲート弁のシール部材の装着方法は、上記のいずれかの真空用ゲート弁のシール部材の装着方法であって、
前記弁体に形成されたシール部材装着用溝に沿ってシール部材を仮着し、
前記弁体を閉止する際に、エアシリンダへのエアの供給を、弁体が閉止端位置から所定の距離に達した際に調整して、弁体の移動速度を減速するようにするとともに、
前記減速された弁体が、閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達した際に、前記エアシリンダへのエアの供給を調整して、弁体の閉止加圧動作を完了するようにして、前記シール部材を弁座面に加圧することによって、シール部材をシール部材装着用溝に装着することを特徴としている。
【００２４】
かかる構成の本発明によれば、弁体が閉止端位置から所定の距離に達した際に一旦弁体の移動速度を減速し、次いで閉止端から直前の位置で弁体に仮着したシール部材を弁座面に加圧することとしたので、シール部材をシール装着溝へ適切かつ簡便に装着することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態（実施例）を説明する。
図１は、本発明の真空用ゲート弁の弁箱本体および弁体の概略分解斜視図、図２は、ゲート開口部が閉止した状態における弁箱本体および弁体の概略断面図、図３〜図６は、本発明の真空用ゲート弁の各実施例の概略図、図７は、エアシリンダの概略断面図、図８および図９は、エア供給圧と弁体移動距離の時間変化を示したグラフ、図１０は、本発明のシール部材の装着方法における、シール部材の装着前後の状態を示した概略断面図である。
【００２６】
本発明の真空用ゲート弁の弁箱本体および弁体には、従来と同様の構成のものを使用することができる。図１および図２にその概略を示す。なお、従来技術と対応する部分は、符号から１００を省略して表している。真空用ゲート弁１の、略箱形状に形成された弁箱本体２には、弁箱本体２を貫通するように、ゲート開口部９が形成されている。そして、このゲート開口部９を縦断する方向に、エアシリンダ（図示せず）のシリンダシャフト６が移動するようになっている。
【００２７】
このシリンダシャフト６が上下方向へ移動することによって、シリンダシャフト６の上端に取り付けられた略板形状の弁体５が、弁箱本体２に形成された弁座面１１ａ、１１ｂに対して、離反、接近し、これによりゲート開口部９を開放または閉止するように構成されている。
弁体５の先端部５ａと基端部５ｂに形成されたシール装着溝１４には、シール部材１３が装着されている。このシール部材１３は、前記したようにシール部分を気密的に閉止するように変形し得る柔軟性を有している。
【００２８】
そして、弁体５がシリンダシャフト６を介して、ゲート開口部９を閉止する方向に作動して、弁箱本体２に形成された弁座面１１ａ、１１ｂに着座した際に、このシール部材１３によって気密的に閉止されるようになっている。なお、図中、３は、弁箱本体２のゲート開口部９に装着されるサイドプレートである。また、弁座面１１ａおよび１１ｂは段違いであっても連続した弁座面１１を形成しており、ゲート開口部９をシール部材１３と完全に密閉するようになっている。
【００２９】
本発明では、この弁体５を開閉作動する際に、エアシリンダへのエアの供給を調整して弁体５の作動を制御することにより、前記した開閉作動にともなう衝撃を緩和している。そして、このような制御を行うために、開閉制御装置を備えている。この開閉制御装置は、弁体５を作動してゲート開口部９を開閉する際に、弁体５が閉開端位置（ゲート開口部９を閉止する際に弁体５が弁箱本体２と当接して閉止を完了する閉止端位置、およびゲート開口部９を開放する際にシリンダ内のピストンがシリンダの底部座面と当接して開放を完了する開放端位置）から所定の距離まで達した際に、エアシリンダへのエアの供給を調整して、弁体５の移動速度を減速するように制御する。次いで、減速された弁体５が、該閉開端位置から所定の開閉端直前位置まで達した際に、エアシリンダへのエアの供給量を増加して、弁体の開閉動作を完了するように制御する。
【００３０】
このような開閉制御装置を備えた本発明の真空用ゲート弁１の実施例を図３〜図６に基づき説明する。
図３に示した実施例の真空用ゲート弁１ａは、コントローラ４２ａと、エアシリンダ２０に付設された図７に示す減速開始位置センサ２６、２８および動作完了開始位置センサ２７、２９と、エアシリンダ２０内のピストン２１で区画された開放側シリンダ室２３と閉止側シリンダ室２２へのエアの供給と停止とを切り替える電磁弁３８（エア供給切り替え装置）とからなる開閉制御装置を備えている。
【００３１】
コントローラ４２ａは、減速開始位置センサ２６、２８および動作完了開始位置センサ２７、２９と電気的に接続され、これらの位置センサからの電気信号に基づき電磁弁３８を駆動して、配管３０、３１を開閉することによって、エアシリンダ２０へのエアの供給を制御し、これにより弁体５の作動を制御している。
ゲート開口部９を閉止する際には、エア供給源４０からのエアを、配管３０を通してエア供給口７１から閉止側シリンダ室２２へ供給することによって、ピストン２１をエア圧力で上方向へ摺動させる。これによりピストン２１に下端で取り付けられたシリンダシャフト６を介して弁体５を上方向へ作動させる。
【００３２】
ゲート開口部９を閉止する際には、エア供給源４０からのエアを、配管３１を通してエア供給口７０から開放側シリンダ室２３へ供給することによって、ピストン２１をエア圧力で下方向へ摺動させる。これによりピストン２１に下端で取り付けられたシリンダシャフト６を介して弁体５を下方向へ作動させる。
開閉制御装置は、ゲート開口部９を閉止する際に、弁体５の作動を次のように制御する。初期状態では、ピストン２１はエアシリンダ２０の底部座面７４に当接してシリンダ下部に位置している。まず、電磁弁３８により配管３０を開き、エア供給源４０からのエアを下側のシリンダ室２２へ所定圧で供給する。これにより、エア圧力を受けたピストン２１は上方向へ摺動し、シリンダシャフト６の上端に取り付けられた弁体５は、図８に示したグラフにおいて原点からｈ１までの傾きで表される速い速度で上昇する。
【００３３】
そして、弁体５が上昇して、閉開端位置から所定の距離に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ１まで達したことを、減速開始位置センサ２６が、磁気的に検知して検知信号を生成する。このときの、弁体５に装着されたシール部材１３の先端と弁箱本体の弁座面１１との距離は、たとえば５〜１５ｍｍ程度である。
【００３４】
この検知信号は、減速開始位置センサ２６と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づき電磁弁３８へ制御信号を送り、電磁弁３８が配管３０を閉じるように制御する。これにより、エア供給源４０から閉止側シリンダ室２２へのエアの供給が停止される。
このようにエアの供給が停止されると、弁体５は慣性で上方向へ移動する状態となり、その移動速度は減速される。すなわち、図８に示したグラフにおいてｈ１からｈ２までの傾きで表される減速された速度で上昇することになる。
【００３５】
そして、さらに弁体５が上方向へ移動することにより、閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ２まで達したことを、動作完了開始位置センサ２７が、磁気的に検知して検知信号を生成する。このときの、弁体５のシール部材１３の先端と弁箱本体２の弁座面１１との距離は、たとえば５ｍｍ以内か、あるいはシール部材１３が弁座面１１へすでに当接してシール部材１３が潰れはじめている状態（たとえばシール部材１３が１ｍｍ程度潰れた状態）である。
【００３６】
この検知信号は、動作完了開始位置センサ２７と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づき電磁弁３８へ制御信号を送り、電磁弁３８が配管３０を再び開くように制御する。これにより、エア供給源４０から閉止側シリンダ室２２へ再びエアが供給される。
【００３７】
すると、弁体５は再びエア圧が付与された状態で上昇し、これにより弁体５に装着されたシール部材１３を弁箱本体２の弁座面１１へ加圧して、ゲート開口部９の閉止動作を完了する。この際、シール部材１３が弁座面１１へ激しく衝突することなく、柔らかい押圧でシール部材１３を所望量だけ潰して弁座面１１へ密着させることができる。したがって、閉止時の衝撃は従来のゲート弁に比して大幅に緩和され、これにともなう振動および衝撃音を低減することができる。
【００３８】
また、弁体５が弁箱本体２の弁座面１１へ充分に接近してから弁体５を減速しているので（たとえば弁体５の作動を開始してからゲート開口部９の閉止が完了するまで３秒程度かかる場合に、閉止動作の完了時から０．５秒程度前に減速する）、迅速な閉止動作を妨げることがない。
さらに、シール部材１３への負荷を低減することができ、その耐久性を向上することができる。シール部材１３への負荷を考慮すれば、弁体５が閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達して動作完了開始位置センサ２７がこれを検知する時点ではすでにシール部材１３と弁座面１１とが当接していることが好ましい。特に、弁体５が閉止端位置から所定の距離に達して減速開始位置センサ２６がこれを検知する時点におけるシール部材１３の先端と弁座面１１との距離は、５〜１５ｍｍ程度であり、ここから弁体５が減速され、そして弁体５が閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達して動作完了位置センサ２７がこれを検知する時点ではすでにシール部材１３と弁座面１１とが当接しており、シール部材１３が１ｍｍ程度潰れた状態で再び閉止側シリンダ室２２へのエアの供給を行うことが好ましい。
【００３９】
ゲート開口部９を開放する際にも、開閉制御装置は弁体５の作動を閉止動作時と同様に制御する。初期状態では、ピストン２１はエアシリンダ２０の上部に位置して弁体５はゲート開口部９を閉止している。まず、電磁弁３８により配管３１を開き、エア供給源４０からのエアを開放側シリンダ室２３へ所定圧で供給する。これにより、エア圧力を受けたピストン２１は下方向へ摺動し、シリンダシャフト６の上端に取り付けられた弁体５は、図８に示したグラフにおいて原点からｈ３までの傾きで表される速い速度で下降する。
【００４０】
そして、弁体５が下降して、開放端位置から所定の距離に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ３まで達したことを、減速開始位置センサ２８が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
この検知信号は、減速開始位置センサ２８と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づき電磁弁３８へ制御信号を送り、電磁弁３８が配管３１を閉じるように制御する。これにより、エア供給源４０から開放側シリンダ室２３へのエアの供給が停止される。
【００４１】
このようにエアの供給が停止されると、弁体５は慣性で下方向へ移動する状態となり、その移動速度は減速される。すなわち、図８に示したグラフにおいてｈ３からｈ４までの傾きで表される減速された速度で下降することになる。
そして、さらに弁体５が下方向へ移動することにより、開放端位置から所定の開放端直前位置に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ４まで達したことを、動作完了開始位置センサ２９が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
【００４２】
この検知信号は、動作完了開始位置センサ２９と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づき電磁弁３８へ制御信号を送り、電磁弁３８が配管３１を再び開くように制御する。これにより、エア供給源４０から開放側シリンダ室２３へ再びエアが供給される。
【００４３】
すると、弁体５は再びエア圧が付与された状態で下降し、これによりピストン２１の下面に装着されたクッション部材７２をシリンダ２０の底部座面７４へ加圧して、ゲート開口部９の開放動作を完了する。この際、クッション部材７２が底部座面７４へ激しく衝突することなく、柔らかい押圧でクッション部材７２を所望量だけ潰して、開放動作を完了することができる。したがって、開放時の衝撃は従来のゲート弁に比して大幅に緩和され、これにともなう振動および衝撃音を低減することができる。また、クッション部材７２への負荷が少なく、その耐久性を向上することができる。
【００４４】
なお、図３の実施例において、複数のシリンダ６，６・・・毎に電磁弁３８，３８・・・を備えて一つのコントローラ４２ａで各電磁弁３８，３８・・・への制御を行うことにより各シリンダへのエアの供給を調整してもよく、あるいは電磁弁３８を一つ備え配管３０、３１を分岐して各シリンダ６，６・・・へ取り付ける構成とし、一つの電磁弁３８を制御して各シリンダ６，６・・・へのエア供給を調整することも可能である。
【００４５】
このように、開閉制御装置を備え、弁体５の開閉動作を完了する前に一旦弁体５の移動速度を減速し、次いで閉開端から直前の位置で弁体５を弁座面へ加圧して弁体５の開閉動作を完了することとしたので、開閉動作時の衝撃による従来技術の問題点を解決することができる。
また、開閉制御装置に減速開始位置センサおよび動作完了位置センサを備えることにより、弁体５が閉開端位置から所定の距離に達した際、および閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際にこれを精度よく検知し、この検知結果に基づいて弁体の開閉動作を制御することができ、正確に上記の効果を得ることができる。
【００４６】
また、開放側および閉止側シリンダ室のそれぞれに減速開始位置センサ２６、２８および動作完了位置センサ２７、２９を備えることにより、開放および閉止動作時のいずれにおいても上記の効果を得ることができる。
また、エアシリンダ２０の開放側シリンダ室２３および閉止側シリンダ室２２へのエアの供給と停止とを切り替えるエア供給切り替え装置（本実施例では電磁弁３８）を備えることにより、位置センサからの検知結果に基づいて適切にシリンダ室へのエアの供給と停止とを切り替え、これにより正確に上記の効果を得ることができる。
【００４７】
図４に示した実施例の真空用ゲート弁１ｂは、コントローラ４２ｂに弁体５の作動開始にともなう基準時間からの所定時間を設定したタイマー（図示せず）を備えている。これ以外の構成は図３に示した実施例と同一である。本実施例では、弁体５を作動してゲート開口部９を開閉する際に、エアシリンダ２０へのエアの供給を、タイマーの作動により、弁体５が閉開端位置から所定の距離に達する所定時間に停止して、弁体５の移動速度を減速するように制御している。次いで、減速された弁体５が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達する時間に、タイマーの作動により、エアシリンダ２０へのエアを再び供給して、弁体５の開閉動作を完了するように制御している。
【００４８】
コントローラ４２ｂと、電磁弁３８とからなる開閉制御装置は、ゲート開口部９を閉止する際に、弁体５の作動を次のように制御する。初期状態では、ピストン２１はエアシリンダ２０の底部座面７４に当接してシリンダ下部に位置している。まず、電磁弁３８により配管３０を開き、エア供給源４０からのエアを下側のシリンダ室２２へ所定圧で供給する。これにより、エア圧力を受けたピストン２１は上方向へ摺動し、シリンダシャフト６の上端に取り付けられた弁体５は、図９に示したグラフにおいて原点からｔ１までの傾きで表される速い速度で上昇する。
【００４９】
そして、弁体５が上昇して、閉止端位置から所定の距離に達する所定時間に、コントローラ４２ｂのタイマーが作動して、電磁弁３８へ制御信号を送り、電磁弁３８が配管３０を閉じるように制御する。これにより、エア供給源４０から閉止側シリンダ室２２へのエアの供給が停止される。
このようにエアの供給が停止されると、弁体５は慣性で上方向へ移動する状態となり、その移動速度は減速される。すなわち、図９に示したグラフにおいてｔ１からｔ２までの傾きで表される減速された速度で上昇することになる。
【００５０】
そして、さらに弁体５が上方向へ移動することにより、閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達する時間に、コントローラ４２ｂのタイマーが作動して、電磁弁３８へ制御信号を送り、電磁弁３８が配管３０を再び開くように制御する。これにより、エア供給源４０から閉止側シリンダ室２２へ再びエアが供給される。
【００５１】
すると、弁体５は再びエア圧が付与された状態で上昇し、これにより弁体５に装着されたシール部材１３を弁箱本体２の弁座面１１へ加圧して、ゲート開口部９の閉止動作を完了する。
ゲート開口部９を開放する際にも、開閉制御装置は弁体５の作動を閉止動作時と同様に制御する。初期状態では、ピストン２１はエアシリンダ２０の上部に位置して弁体５はゲート開口部９を閉止している。まず、電磁弁３８により配管３１を開き、エア供給源４０からのエアを開放側シリンダ室２３へ所定圧で供給する。これにより、エア圧力を受けたピストン２１は下方向へ摺動し、シリンダシャフト６の上端に取り付けられた弁体５は、図９に示したグラフにおいて原点からｔ３までの傾きで表される速い速度で下降する。
【００５２】
そして、弁体５が下降して、開放端位置から所定の距離に達する所定時間に、コントローラ４２ｂのタイマーが作動して、電磁弁３８へ制御信号を送り、電磁弁３８が配管３１を閉じるように制御する。これにより、エア供給源４０から開放側シリンダ室２３へのエアの供給が停止される。
このようにエアの供給が停止されると、弁体５は慣性で下方向へ移動する状態となり、その移動速度は減速される。すなわち、図９に示したグラフにおいてｔ３からｔ４までの傾きで表される減速された速度で下降することになる。
【００５３】
そして、さらに弁体５が下方向へ移動することにより、開放端位置から所定の開放端直前位置に達する時間に、コントローラ４２ｂのタイマーが作動して、電磁弁３８へ制御信号を送り、電磁弁３８が配管３１を再び開くように制御する。これにより、エア供給源４０から開放側シリンダ室２３へ再びエアが供給される。
【００５４】
すると、弁体５は再びエア圧が付与された状態で下降し、これによりピストン２１の下面に装着されたクッション部材７２をシリンダ２０の底部座面７４へ加圧して、ゲート開口部９の開放動作を完了する。
図５に示した実施例の真空用ゲート弁１ｃは、コントローラ４２ａと、エアシリンダ２０に付設された図７に示す減速開始位置センサ２６、２８および動作完了開始位置センサ２７、２９と、ストップ弁３９（エア供給量調整装置）とからなる開閉制御装置を備えている。
【００５５】
ストップ弁３９は、弁体５を開閉する際に、コントローラ４２ａの制御により、エアシリンダ２０の開放側シリンダ室２３へのエアの供給量と閉止側シリンダ室２２へのエアの供給量とを、弁体５が閉開端位置から所定の位置に達した際に調整して、弁体５の移動速度を減速するように制御する。次いで、減速された弁体５が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、エアシリンダ２０の開放側シリンダ室２３へのエアの供給量と閉止側シリンダ室２２へのエアの供給量とを調整して、弁体５の開閉動作を完了するように制御する。
【００５６】
本実施例の開閉制御装置は、ゲート開口部９を閉止する際に、弁体５の作動を次のように制御する。閉止側シリンダ室２２へエアを供給して弁体５を上昇させ、閉止端位置から所定の距離に達した際に、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ１まで達したことを、減速開始位置センサ２６が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
【００５７】
この検知信号は、減速開始位置センサ２６と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づきストップ弁３９へ制御信号を送り、ストップ弁３９が閉止側シリンダ室２２に供給するエアの供給量を減少するように制御する。これにより、弁体５の移動速度が減速される。
【００５８】
そして、さらに弁体５が上方向へ移動することにより、閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ２まで達したことを、動作完了開始位置センサ２７が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
この検知信号は、動作完了開始位置センサ２７と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づきストップ弁３９へ制御信号を送り、ストップ弁３９が閉止側シリンダ室２２に供給するエアの供給量を再び増加するように制御する。これにより弁体５に装着されたシール部材１３を弁箱本体２の弁座面１１へ加圧して、ゲート開口部９の閉止動作を完了する。
【００５９】
ゲート開口部９を開放する際にも、開閉制御装置は弁体５の作動を閉止動作時と同様に制御する。すなわち、電磁弁３８により配管３１を開き、開放側シリンダ室２３へエアを供給して弁体５を下降させ、開放端位置から所定の距離に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ３まで達したことを、減速開始位置センサ２８が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
【００６０】
この検知信号は、減速開始位置センサ２８と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づきストップ弁３９へ制御信号を送り、ストップ弁３９が開放側シリンダ室２３に供給するエアの供給量を減少するように制御する。これにより、弁体５の移動速度が減速される。
【００６１】
そして、さらに弁体５が下方向へ移動することにより、開放端位置から所定の開放端直前位置に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ４まで達したことを、動作完了開始位置センサ２９が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
この検知信号は、動作完了開始位置センサ２９と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づきストップ弁３９へ制御信号を送り、ストップ弁３９が開放側シリンダ室２３に供給するエアの供給量を再び増加するように制御する。これによりピストン２１の下面に装着されたクッション部材７２をシリンダ２０の底部座面７４へ加圧して、ゲート開口部９の開放動作を完了する。
【００６２】
図６に示した実施例の真空用ゲート弁１ｄは、コントローラ４２ａと、エアシリンダ２０に付設された図７に示す減速開始位置センサ２６、２８および動作完了開始位置センサ２７、２９と、電磁弁３８ａ、３８ｂ（エア供給量調整装置）とからなる開閉制御装置を備えている。そして、エア供給源４０に加えて、エア供給源４０からのエアよりも低圧のエアを供給するエア供給源４１を備えている。
【００６３】
電磁弁３８ａ、３８ｂは、コントローラ４２ａの制御により、エアシリンダ２０の開放側シリンダ室２３および閉止側シリンダ室２２へのエアの供給量を調整する。すなわち、弁体５が閉開端位置から所定の位置に達した際に電磁弁３８ａを介したエア供給源４０からのエアの供給を、電磁弁３８ｂを介したエア供給源４１からの低圧エアの供給へ切り替えることにより、弁体５の移動速度を減速するように制御する。さらに、減速された弁体５が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際に、電磁弁３８ｂを介したエア供給源４１からの低圧エアの供給を、電磁弁３８ａを介したエア供給源４０からのエアの供給へ再び切り替えることにより、弁体５の開閉動作を完了するように制御する。
【００６４】
本実施例の開閉制御装置は、ゲート開口部９を閉止する際に、弁体５の作動を次のように制御する。電磁弁３８ａにより配管３０ａを開き、配管３０ｂを閉じた状態で、閉止側シリンダ室２２へエア供給源４０からのエアを供給して弁体５を上昇させる。そして弁体５が上昇して閉止端位置から所定の距離に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ１まで達したことを、減速開始位置センサ２６が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
【００６５】
この検知信号は、減速開始位置センサ２６と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づき電磁弁３８ａ、３８ｂへ制御信号を送り、電磁弁３８ａにより配管３０ａを閉じ、電磁弁３８ｂにより配管３０ｂを開くように制御する。これにより、閉止側シリンダ室２２へのエア供給源４０からのエアの供給が、エア供給源４１からの低圧エアの供給へ切り替えられる。これにより、弁体５の移動速度が減速される。
【００６６】
そして、さらに弁体５が上方向へ移動することにより、閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ２まで達したことを、動作完了開始位置センサ２７が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
この検知信号は、動作完了開始位置センサ２７と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づき電磁弁３８ａ、３８ｂへ制御信号を送り、電磁弁３８ｂにより配管３０ｂを閉じ、電磁弁３８ａにより配管３０ａを開くように制御する。これにより、閉止側シリンダ室２２へのエア供給源４１からの低圧エアの供給が、エア供給源４０からのエアの供給へ切り替えられ、再び閉止側シリンダ室２２へのエア供給が増加する。これにより弁体５に装着されたシール部材１３を弁箱本体２の弁座面１１へ加圧して、ゲート開口部９の閉止動作を完了する。
【００６７】
なお、低圧エアの圧力は、具体的な装置構成に応じて適切に調整することができる。
ゲート開口部９を開放する際にも、開閉制御装置は弁体５の作動を閉止動作時と同様に制御する。すなわち、電磁弁３８ａにより配管３１ａを開き、配管３０ａを閉じた状態で、開放側シリンダ室２３へエア供給源４０からのエアを供給して弁体５を下降させる。そして弁体５が下降して開放端位置から所定の距離に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ３まで達したことを、減速開始位置センサ２８が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
【００６８】
この検知信号は、減速開始位置センサ２８と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づき電磁弁３８ａ、３８ｂへ制御信号を送り、電磁弁３８ａにより配管３１ａを閉じ、電磁弁３８ｂにより配管３１ｂを開くように制御する。これにより、開放側シリンダ室２３へのエア供給源４０からのエアの供給が、エア供給源４１からの低圧エアの供給へ切り替えられる。これにより、弁体５の移動速度が減速される。
【００６９】
そして、さらに弁体５が下方向へ移動することにより、開放端位置から所定の開放端直前位置に達し、これに対応してピストン２１が、図７の位置ｈ４まで達したことを、動作完了開始位置センサ２９が、磁気的に検知して検知信号を生成する。
この検知信号は、動作完了開始位置センサ２９と電気的に接続されたコントローラ４２ａへ送られる。そしてコントローラ４２ａは、この検知信号に基づき電磁弁３８ａ、３８ｂへ制御信号を送り、電磁弁３８ｂにより配管３１ｂを閉じ、電磁弁３８ａにより配管３１ａを開くように制御する。これにより、開放側シリンダ室２３へのエア供給源４１からの低圧エアの供給が、エア供給源４０からのエアの供給へ切り替えられ、再び開放側シリンダ室２３へのエア供給が増加する。これによりピストン２１の下面に装着されたクッション部材７２をシリンダ２０の底部座面７４へ加圧して、ゲート開口部９の開放動作を完了する。
【００７０】
上記の図５、６の実施例では、開閉制御装置にエア供給量調整装置を備えることとしたので、エアシリンダの開放側および閉止側シリンダ室へのエアの供給量を適切に制御し、これにより正確に上記の効果を得ることができる。
以上、本発明の真空用ゲート弁の実施例について説明したが、本発明は上記の各実施例になんら限定されることはなく、本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。たとえば、図４のタイマーを用いた実施例へ、エア供給切り替え装置に代えて図５または図６の実施例のエア供給量調整装置を配設する構成としてもよい。このような構成によっても、開閉制御装置が、タイマーの作動によって、エアシリンダ２０へのエアの供給を、弁体５が閉開端位置から所定の距離に達する所定時間に調整して、弁体５の移動速度を減速するようにするとともに、減速された弁体５が、閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達する時間に、エアシリンダ２０へのエアを調整して、弁体５の開閉動作を完了するように構成することができる。
【００７１】
また、上述の実施例では位置センサ２６〜２９として磁気センサを用いたが、これ以外のセンサを使用することもできる。位置センサとしては有接点型と無接点型があり、有接点型にはリミットセンサ、無接点型には、磁気やレーザー、電波を利用したセンサ等、種々のセンサがあるが、何れのセンサも利用可能である。中でも、本発明ではシリンダに直接設置するため、近接型センサ、特に磁気近接型センサを使用することが好ましい。
【００７２】
さらに、以上に説明した本発明の真空用ゲート弁により、シール部材１３を適切かつ簡便に装着することができる。この方法ではまずシール部材１３を弁体５に形成されたシール部材装着用溝１４に沿って仮着した後、たとえば図３〜図６の実施例のように弁体５を閉止する作動を行う。すなわち、開閉制御装置により、エアシリンダ２０へのエアの供給を、シール部材１３を仮着した弁体５が閉止端位置から所定の距離に達した際に調整して、弁体５の移動速度を減速するように制御する（図１０の（１））。次いで、減速された弁体５が、閉止端位置から所定の閉止端直前位置に達した際に、エアシリンダ２０へのエアの供給を調整して（図１０の（２））、弁体５の閉止加圧動作を完了するように制御する（図１０の（３））。このようにシール部材１３を弁座面１１に加圧することによって、減速後の再加圧による柔らかい押圧でシール部材１３をシール部材装着用溝１４に押し込み、適切かつ簡便に装着することができる。
【００７３】
【発明の効果】
本発明の真空用ゲート弁によれば、弁体の開閉動作を完了する前に一旦弁体の移動速度を減速し、次いで閉開端から直前の位置で弁体を弁座面へ加圧して弁体の開閉動作を完了することとしたので、開閉動作時の衝撃による振動および衝撃音を大きく低減することができる。さらに、柔らかい押圧でシール部材やクッション部材が座面へ当接されるため、これら部材への負荷が少なくその耐久性を向上することができる。
【００７４】
また、開閉制御装置に位置センサを備え、これにより弁体が閉開端位置から所定の距離に達した際、および閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際にこれを精度よく検知し、この検知結果に基づいて弁体の開閉動作を制御することで、正確に上記の効果を得ることができる。
また、開放側および閉止側シリンダ室のそれぞれに位置センサを備えることで、開放および閉止動作時のいずれにおいても上記の効果を得ることができる。
【００７５】
また、開閉制御装置にエア供給切り替え装置を備えることで、位置センサからの検知結果に基づいて適切にシリンダ室へのエアの供給と停止とを切り替え、正確に上記の効果を得ることができる。
また、開閉制御装置をタイマーの作動により制御する構成とすることで、弁体が閉開端位置から所定の距離に達した際、および閉開端位置から所定の開閉端直前位置に達した際の時間に基づき弁体の開閉動作を精度よく制御することとしたので、正確に上記の効果を得ることができる。
【００７６】
また、開閉制御装置にエア供給量調整装置を備えることで、エアシリンダの開放側および閉止側シリンダ室へのエアの供給量を適切に制御し、これにより正確に上記の効果を得ることができる。
本発明のシール部材の装着方法によれば、弁体が閉止端位置から所定の距離に達した際に一旦弁体の移動速度を減速し、次いで閉止端から直前の位置で弁体に仮着したシール部材を弁座面に加圧することとしたので、シール部材をシール装着溝へ適切かつ簡便に装着することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空用ゲート弁の弁箱本体および弁体の概略分解斜視図である。
【図２】ゲート開口部が閉止した状態における弁箱本体および弁体の概略断面図である。
【図３】本発明の真空用ゲート弁の一実施例の概略図である。
【図４】本発明の真空用ゲート弁の他の実施例の概略図である。
【図５】本発明の真空用ゲート弁の他の実施例の概略図である。
【図６】本発明の真空用ゲート弁の他の実施例の概略図である。
【図７】本発明の真空用ゲート弁に用いられるエアシリンダの概略断面図である。
【図８】本発明の真空用ゲート弁におけるエア供給圧と弁体移動距離の時間変化を示したグラフである。
【図９】本発明の真空用ゲート弁におけるエア供給圧と弁体移動距離の時間変化を示したグラフである。
【図１０】本発明のシール部材の装着方法における、シール部材の装着前後の状態を示した概略断面図である。
【図１１】従来の真空用ゲート弁の概略分解斜視図である。
【図１２】従来の真空用ゲート弁の概略断面図である。
【図１３】シール部材の概略図である。
【図１４】従来の真空用ゲート弁に用いられるエアシリンダの概略断面図である。
【図１５】従来の真空用ゲート弁におけるエア供給圧と弁体移動距離の時間変化を示したグラフである。
【符号の説明】
１、１０１      ゲート弁
２、１０２      弁箱本体
３、１０３      サイドプレート
５、１０５      弁体
６、１０６      シリンダシャフト
９、１０９      ゲート開口部
１１、１１１    弁座面
１３、１１３    シール部材
１４、１１４    シール部材装着用溝
２０、１２０    エアシリンダ
２１、１２１    ピストン
２２、１２２    閉止側シリンダ室
２３、１２３    開放側シリンダ室
２６      減速開始位置センサ
２７      動作完了開始位置センサ
２８      減速開始位置センサ
２９      動作完了開始位置センサ
３０      配管
３１      配管
３８      電磁弁
３９      ストップ弁
４０      エア供給源
４１      エア供給源
４２      コントローラ
７０、１７０    エア供給口
７１、１７１    エア供給口
７２、１７２    クッション部材
７４、１７４    底部座面
【図１】
2004257527.tif 000003
【図２】
2004257527.tif 000004
【図３】
2004257527.tif 000005
【図４】
2004257527.tif 000006
【図５】
2004257527.tif 000007
【図６】
2004257527.tif 000008
【図７】
2004257527.tif 000009
【図８】
2004257527.tif 000010
【図９】
2004257527.tif 000011
【図１０】
2004257527.tif 000012
【図１１】
2004257527.tif 000013
【図１２】
2004257527.tif 000014
【図１３】
2004257527.tif 000015
【図１４】
2004257527.tif 000016
【図１５】
2004257527.tif 000017