(57)【要約】【課題】多自由度の高トルク回転運動を高エネルギー効率で実現する多自由度モータ導電性液体中適用方法及び導電性液体中多自由度モータの提供。【解決手段】複数の圧電素子１，１，…の全構成領域を含む固定子２の主要部を内部絶縁性液体４中で懸架保持すると共に、回転子３の全部及び超音波振動を当該回転子３に伝達する固定子２の一端面における固定子曝露部２ａを外部導電性液体中に曝露させる圧力容器６及び固定子曝露隔膜７と、圧力容器６内における内部絶縁性液体４の液体圧を外部導電性液体自身のもつ固有液体圧に一致させる均圧化装置８と、回転子３から固定子曝露部２ａに向かう定常的な予圧を当該回転子３に付与する回転子保持部材９及び複数の弾性体１０，１０…とを具備する特徴的構成手段の採用。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子が重層構成された円筒形の固定子と、それら複数の圧電素子への交流電圧の印加に伴って当該固定子に生じる超音波振動により多自由度方向へ回動する球形の回転子とを有して構成される多自由度モータを、任意の導電性液体中における使用に適応させるための多自由度モータ導電性液体中適用方法であって、
前記固定子全体の前記超音波振動が安定的に確保されるよう、前記複数の圧電素子の全構成領域を含む当該固定子の主要部を内部絶縁性液体中で懸架保持すると共に、前記回転子の全部及び前記超音波振動を当該回転子に伝達する前記固定子の一端面における超音波伝達領域を外部導電性液体中に曝露させ、
前記固定子の前記超音波振動が前記超音波伝達領域を介して前記回転子に安定的に伝達されるよう、当該回転子から前記超音波伝達領域に向かう定常的な予圧を当該回転子に付与する、
ことを特徴とする多自由度モータ導電性液体中適用方法。
【請求項２】
前記固定子の懸架保持は、
前記内部絶縁性液体で満たされた密閉空間内で行う、
ことを特徴とする請求項１に記載の多自由度モータ導電性液体中適用方法。
【請求項３】
前記固定子の懸架保持は、
前記密閉空間内における前記内部絶縁性液体の液体圧を前記外部導電性液体自身のもつ固有液体圧に一致させて行う、
ことを特徴とする請求項２に記載の多自由度モータ導電性液体中適用方法。
【請求項４】
前記回転子に対する前記予圧の付与は、
当該回転子を空転自在に保持して所要の当該予圧を機械的に発生させる予圧発生機構を用いて行う、
ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の多自由度モータ導電性液体中適用方法。
【請求項５】
前記回転子に対する前記予圧の付与は、
前記外部導電性液体中において、前記予圧発生機構により所要の当該予圧を前記回転子に付加して行う、
ことを特徴とする請求項４に記載の多自由度モータ導電性液体中適用方法。
【請求項６】
前記回転子に対する前記予圧の付与は、
前記外部導電性液体自身のもつ固有液体圧を利用して行う、
ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の多自由度モータ導電性液体中適用方法。
【請求項７】
前記回転子に対する前記予圧の付与は、
前記固定子の内部に設定された減圧空間に対し、吸引と同時に前記外部導電性液体の前記固有液体圧を印圧された状態により前記回転子を押圧して行う、
ことを特徴とする請求項６に記載の多自由度モータ導電性液体中適用方法。
【請求項８】
前記外部導電性液体中における前記回転子の姿勢保持は、
当該回転子及び同回転子に一体化する軸回転体の総密度を前記外部導電性液体自身のもつ固有密度に一致させて行う、
ことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６又は７に記載の多自由度モータ導電性液体中適用方法。
【請求項９】
複数の圧電素子が重層構成された円筒形の固定子と、それら複数の圧電素子への交流電圧の印加に伴って当該固定子に生じる超音波振動により多自由度方向へ回動する球形の回転子とを有して構成される、任意の導電性液体中における使用に適応した導電性液体中多自由度モータであって、
前記固定子全体の前記超音波振動が安定的に確保されるよう、前記複数の圧電素子の全構成領域を含む当該固定子の主要部を内部絶縁性液体中で懸架保持すると共に、前記回転子の全部及び前記超音波振動を当該回転子に伝達する前記固定子の一端面における超音波伝達領域を前記外部導電性液体中に曝露させるモータ絶縁懸架保持手段と、
このモータ絶縁懸架保持手段により前記内部絶縁性液体中に懸架保持された前記固定子の前記超音波振動が、同モータ絶縁懸架保持手段により前記外部導電性液体中に曝露された前記超音波伝達領域を介して前記回転子に安定的に伝達されるよう、当該回転子から前記超音波伝達領域に向かう定常的な予圧を当該回転子に付与する予圧付与手段と、を有して構成される、
ことを特徴とする導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１０】
前記モータ絶縁懸架保持手段は、
前記内部絶縁性液体で満たされた密閉空間を構成し、前記固定子における前記超音波振動の節にあたる部位を以って当該固定子を内部懸架保持する圧力容器と、
この圧力容器と共に前記密閉空間を構成し、当該密閉空間内への前記外部導電性液体の浸入を阻止しつつ、前記超音波振動を前記回転子に伝達する前記固定子の超音波伝達領域を前記外部導電性液体中に曝露させる固定子曝露隔膜と、
前記圧力容器内における前記内部絶縁性液体の液体圧を前記外部導電性液体自身のもつ固有液体圧に一致させる均圧化装置と、を有して構成される、
ことを特徴とする請求項９に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１１】
前記圧力容器は、
前記固定子の長手方向直交面に相当する断面の形状を円形状に形成される、
ことを特徴とする請求項１０に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１２】
前記圧力容器は、
前記固定子の長手方向直交面に相当する断面の形状を多角形に形成される、
ことを特徴とする請求項１０に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１３】
前記圧力容器は、
前記多角形に形成される断面形状を四角形に選定される、
ことを特徴とする請求項１２に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１４】
前記固定子曝露隔膜は、
前記固定子の前記超音波伝達領域における前記超音波振動を阻害することのない柔軟性を有する素材により形成される、
ことを特徴とする請求項１０、１１、１２又は１３に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１５】
前記予圧付与手段は、
前記回転子自身に所定の前記予圧を付加する機能手段であり、
当該予圧付与手段は、
前記回転子を多自由度回動自在に空転保持する回転子保持部材と、
この回転子保持部材の周縁部と当該周縁部に対向する前記圧力容器の天井部位との間に亙ってそれぞれ所定の伸張状態で張設された複数の弾性体と、を有して構成される、
ことを特徴とする請求項９、１０、１１、１２、１３又は１４に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１６】
前記回転子保持部材は、
複数のベアリングボールを用いた球受け構造を具備する、
ことを特徴とする請求項１５に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１７】
前記複数の弾性体は、
前記外部導電性液体中でも腐食することのない耐腐食性を有する素材により形成される、
ことを特徴とする請求項１５又は１６に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１８】
前記予圧付与手段は、
前記外部導電性液体自身のもつ固有液体圧により、前記回転子を前記固定子の前記超音波伝達領域端面に所定の前記予圧で押圧する機能手段であり、
当該予圧付与手段は、
前記固定子の前記超音波伝達領域端面に一端を拡大開口する減圧空間を当該固定子の内部に構成するための中空減圧空間構成芯材と、
この中空減圧空間構成芯材の開口部に前記回転子が押圧された状態において、前記外部導電性液体が前記減圧空間内に浸入するのを阻止するための受座防水部材と、を有して構成される、
ことを特徴とする請求項９、１０、１１、１２、１３又は１４に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項１９】
前記予圧付与手段は、
前記中空減圧空間構成芯材の他端において前記減圧空間から空気を抜き取るための一方向性空気弁を、さらに有して構成される、
ことを特徴とする請求項１８に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【請求項２０】
前記回転子は、
当該回転子及び同回転子に一体化する軸回転体の総密度を前記外部導電性液体自身のもつ固有密度に一致させるための浮力付与部材を、さらに有して構成される、
ことを特徴とする請求項９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８又は１９に記載の導電性液体中多自由度モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多自由度モータ導電性液体中適用方法及び導電性液体中多自由度モータに関し、詳しくは、複数の圧電素子が重層構成された円筒形の固定子と、それら複数の圧電素子への交流電圧の印加に伴って当該固定子に生じる超音波振動により多自由度方向へ回動する球形の回転子とを有して構成される多自由度モータを、任意の導電性液体中における使用に適応させるための多自由度モータ導電性液体中適用方法、及びその実施に直接使用される導電性液体中多自由度モータに係わる。
【０００２】
【従来の技術】
従来、外科手術や、水道管内作業、海中作業、原子炉内点検作業などにおいて使用される各種アクチュエータには、当該アクチュエータの使用環境における血液、汚水、海水などの導電性液体が内部に浸透して、その内部構成部品に電気的短絡が生じるのを防ぐために、極めて高い防水性が要求される。また、この種のアクチュエータは、一般に高密度の導電性液体中で使用されることを前提としているため、同アクチュエータには極めて高い耐圧性も要求される。
【０００３】
このため、上記のような劣悪な使用環境に適応したアクチュエータとしては、例えば、十分に高い防水性及び耐圧性を確保した圧力容器の内部に、電磁式又は油圧式のアクチュエータ（モータ）を封じ込めたものを利用するのが通常であるが、この場合、その圧力容器内部で発生したアクチュエータの運動を外部の導電性液体中に取り出すための技術が重要となる。
【０００４】
その具体的な手法としては、例えば、アクチュエータを封じ込めた圧力容器の内部に絶縁油などの絶縁性液体を満たすと共に、当該圧力容器に均圧化装置を設置し、同圧力容器内部の絶縁性液体と外部導電性液体との圧力を均等化することにより、外部導電性液体が圧力容器内部へ浸透しようとする力（浸透圧）を打ち消し、さらに、その圧力容器に開口された防水透孔からアクチュエータの回転シャフトを外部導電性液体中に曝露させることにより、同アクチュエータの回転運動を圧力容器外部に取り出す手法が知られている。
【０００５】
また、他の手法として、アクチュエータの回転シャフトを外部導電性液体中に曝露させることなく、別途、圧力容器外部に磁気回転シャフトを設け、圧力容器内部におけるアクチュエータの回転運動を、マグネットカップリングを利用して外部磁気回転シャフトに伝達して、圧力容器外部に取り出す手法も適用されることが多い。
【０００６】
なお、上記圧力容器内部におけるアクチュエータの回転運動を外部導電性液体中に取り出すための技術は、以下に示す非特許文献１に記載されている。
【０００７】
【非特許文献１】
浦環、高川真一編著、‘海中ロボット総覧’、ｐｐ２６２−２６４、平成６年２月、成山堂書店、東京
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の手法においては、アクチュエータの回転シャフトを圧力容器外部に曝露させる防水透孔の部分に防水シールを施す必要があり、この防水シールが、高い回転抵抗トルクを生じさせるという問題がある。
【０００９】
また、後者の手法にあっては、アクチュエータの回転運動が高速に行われる場合や、その回転運動の方向転換（揺れ転換）が短い周期で繰り返される場合などに、いわゆる脱調の現象を引き起こして、圧力容器内部の回転シャフトの回転運動に外部回転シャフトが追随できなくなるという問題がある。
【００１０】
さらに、これら各手法は、何れも導電性液体中における１自由度の回転運動を実現することを前提としており、多自由度の運動を実現するためには、該当する複数の装置を組み合せた複雑な構造を採用しなければならない。
【００１１】
ここにおいて、本発明の解決すべき主要な目的は、次のとおりである。
【００１２】
即ち、本発明の第１の目的は、多自由度の高トルク回転運動を高エネルギー効率で実現することの可能な多自由度モータ導電性液体中適用方法及び導電性液体中多自由度モータを提供せんとするものである。
【００１３】
本発明の第２の目的は、所要の多自由度回転運動を脱調の危険なしに安定して得ることの可能な多自由度モータ導電性液体中適用方法及び導電性液体中多自由度モータを提供せんとするものである。
【００１４】
本発明の第３の目的は、電気的絶縁を確保する密閉防液対策を施してなる多自由度モータ導電性液体中適用方法及び導電性液体中多自由度モータを提供せんとするものである。
【００１５】
本発明の他の目的は、明細書、図面、特に特許請求の範囲の各請求項の記載から、自ずと明らかとなろう。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
まず、本発明方法においては、複数の圧電素子の全構成領域を含む固定子の主要部を内部絶縁性液体中で懸架保持すると共に、回転子の全部及び超音波振動を当該回転子に伝達する固定子の一端面における超音波伝達領域を外部導電性液体中に曝露させ、当該回転子から超音波伝達領域に向かう定常的な予圧を当該回転子に付与する、という特徴的構成手法を講じる。
【００１７】
一方、本発明装置においては、複数の圧電素子の全構成領域を含む固定子の主要部を内部絶縁性液体中で懸架保持すると共に、回転子の全部及び超音波振動を当該回転子に伝達する固定子の一端面における超音波伝達領域を外部導電性液体中に曝露させるモータ絶縁懸架保持手段と、回転子から超音波伝達領域に向かう定常的な予圧を当該回転子に付与する予圧付与手段とを具備させる、という特徴的構成手段を講じる。
【００１８】
さらに、具体的詳細に述べると、当該課題の解決では、本発明が次に列挙する上位概念から下位概念に亙る新規な特徴的構成手法又は手段を採用することにより、上記目的を達成するよう為される。
【００１９】
即ち、本発明方法の第１の特徴は、複数の圧電素子が重層構成された円筒形の固定子と、それら複数の圧電素子への交流電圧の印加に伴って当該固定子に生じる超音波振動により多自由度方向へ回動する球形の回転子とを有して構成される多自由度モータを、任意の導電性液体中における使用に適応させるための多自由度モータ導電性液体中適用方法であって、前記固定子全体の前記超音波振動が安定的に確保されるよう、前記複数の圧電素子の全構成領域を含む当該固定子の主要部を内部絶縁性液体中で懸架保持すると共に、前記回転子の全部及び前記超音波振動を当該回転子に伝達する前記固定子の一端面における超音波伝達領域を前記外部導電性液体中に曝露させ、前記固定子の前記超音波振動が前記超音波伝達領域を介して前記回転子に安定的に伝達されるよう、当該回転子から前記超音波伝達領域に向かう定常的な予圧を当該回転子に付与してなる、多自由度モータ導電性液体中適用方法の構成採用にある。
【００２０】
本発明方法の第２の特徴は、上記本発明方法の第１の特徴における前記固定子の懸架保持を、前記内部絶縁性液体で満たされた密閉空間内で行ってなる、多自由度モータ導電性液体中適用方法の構成採用にある。
【００２１】
本発明方法の第３の特徴は、上記本発明方法の第２の特徴における前記固定子の懸架保持を、前記密閉空間内における前記内部絶縁性液体の液体圧を前記外部導電性液体自身のもつ固有液体圧に一致させて行ってなる、多自由度モータ導電性液体中適用方法の構成採用にある。
【００２２】
本発明方法の第４の特徴は、上記本発明方法の第１、第２又は第３の特徴における前記回転子に対する前記予圧の付与を、当該回転子を空転自在に保持して所要の当該予圧を機械的に発生させる予圧発生機構を用いて行ってなる、多自由度モータ導電性液体中適用方法の構成採用にある。
【００２３】
本発明方法の第５の特徴は、上記本発明方法の第４の特徴における前記回転子に対する前記予圧の付与を、前記外部導電性液体中において、前記予圧発生機構により所要の当該予圧を前記回転子に付加して行ってなる、多自由度モータ導電性液体中適用方法の構成採用にある。
【００２４】
本発明方法の第６の特徴は、上記本発明方法の第１、第２又は第３の特徴における前記回転子に対する前記予圧の付与を、前記外部導電性液体自身のもつ固有液体圧を利用して行ってなる、多自由度モータ導電性液体中適用方法の構成採用にある。
【００２５】
本発明方法の第７の特徴は、上記本発明方法の第６の特徴における前記回転子に対する前記予圧の付与を、前記固定子の内部に設定された減圧空間に対し、吸引と同時に前記外部導電性液体の前記固有液体圧を印圧された状態により前記回転子を押圧して行ってなる、多自由度モータ導電性液体中適用方法の構成採用にある。
【００２６】
本発明方法の第８の特徴は、上記本発明方法の第１、第２、第３、第４、第５、第６又は第７の特徴における前記外部導電性液体中における前記回転子の姿勢保持を、当該回転子及び同回転子に一体化する軸回転体の総密度を前記外部導電性液体自身のもつ固有密度に一致させて行ってなる、多自由度モータ導電性液体中適用方法の構成採用にある。
【００２７】
一方、本発明装置の第１の特徴は、複数の圧電素子が重層構成された円筒形の固定子と、それら複数の圧電素子への交流電圧の印加に伴って当該固定子に生じる超音波振動により多自由度方向へ回動する球形の回転子とを有して構成される、任意の導電性液体中における使用に適応した導電性液体中多自由度モータであって、前記固定子全体の前記超音波振動が安定的に確保されるよう、前記複数の圧電素子の全構成領域を含む当該固定子の主要部を内部絶縁性液体中で懸架保持すると共に、前記回転子の全部及び前記超音波振動を当該回転子に伝達する前記固定子の一端面における超音波伝達領域を前記外部導電性液体中に曝露させるモータ絶縁懸架保持手段と、このモータ絶縁懸架保持手段により前記内部絶縁性液体中に懸架保持された前記固定子の前記超音波振動が、同モータ絶縁懸架保持手段により前記外部導電性液体中に曝露された前記超音波伝達領域を介して前記回転子に安定的に伝達されるよう、当該回転子から前記超音波伝達領域に向かう定常的な予圧を当該回転子に付与する予圧付与手段とを有して構成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００２８】
本発明装置の第２の特徴は、上記本発明装置の第１の特徴における前記モータ絶縁懸架保持手段が、前記内部絶縁性液体で満たされた密閉空間を構成し、前記固定子における前記超音波振動の節にあたる部位を以って当該固定子を内部懸架保持する圧力容器と、この圧力容器と共に前記密閉空間を構成し、当該密閉空間内への前記外部導電性液体の浸入を阻止しつつ、前記超音波振動を前記回転子に伝達する前記固定子の超音波伝達領域を前記外部導電性液体中に曝露させる固定子曝露隔膜と、前記圧力容器内における前記内部絶縁性液体の液体圧を前記外部導電性液体自身のもつ固有液体圧に一致させる均圧化装置とを有して構成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００２９】
本発明装置の第３の特徴は、上記本発明装置の第２の特徴における前記圧力容器が、前記固定子の長手方向直交面に相当する断面の形状を円形状に形成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３０】
本発明装置の第４の特徴は、上記本発明装置の第２の特徴における前記圧力容器が、前記固定子の長手方向直交面に相当する断面の形状を多角形に形成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３１】
本発明装置の第５の特徴は、上記本発明装置の第４の特徴における前記圧力容器が、前記多角形に形成される断面形状を四角形に選定されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３２】
本発明装置の第６の特徴は、上記本発明装置の第２、第３、第４又は第５の特徴における前記固定子曝露隔膜が、前記固定子の前記超音波伝達領域における前記超音波振動を阻害することのない柔軟性を有する素材により形成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３３】
本発明装置の第７の特徴は、上記本発明装置の第１、第２、第３、第４、第５又は第６の特徴における前記予圧付与手段が、前記回転子自身に所定の前記予圧を付加する機能手段であり、当該予圧付与手段が、前記回転子を多自由度回動自在に空転保持する回転子保持部材と、この回転子保持部材の周縁部と当該周縁部に対向する前記圧力容器の天井部位との間に亙ってそれぞれ所定の伸張状態で張設された複数の弾性体とを有して構成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３４】
本発明装置の第８の特徴は、上記本発明装置の第７の特徴における前記回転子保持部材が、複数のベアリングボールを用いた球受け構造を具備してなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３５】
本発明装置の第９の特徴は、上記本発明装置の第７又は第８の特徴における前記複数の弾性体が、前記外部導電性液体中でも腐食することのない耐腐食性を有する素材により形成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３６】
本発明装置の第１０の特徴は、上記本発明装置の第１、第２、第３、第４、第５又は第６の特徴における前記予圧付与手段が、前記外部導電性液体自身のもつ固有液体圧により、前記回転子を前記固定子の前記超音波伝達領域端面に所定の前記予圧で押圧する機能手段であり、当該予圧付与手段が、前記固定子の前記超音波伝達領域端面に一端を拡大開口する減圧空間を当該固定子の内部に構成するための中空減圧空間構成芯材と、この中空減圧空間構成芯材の開口部に前記回転子が押圧された状態において、前記外部導電性液体が前記減圧空間内に浸入するのを阻止するための受座防水部材とを有して構成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３７】
本発明装置の第１１の特徴は、上記本発明装置の第１０の特徴における前記予圧付与手段が、前記中空減圧空間構成芯材の他端において前記減圧空間から空気を抜き取るための一方向性空気弁をさらに有して構成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３８】
本発明装置の第１２の特徴は、上記本発明装置の第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７、第８、第９、第１０又は第１１の特徴における前記回転子が、当該回転子及び同回転子に一体化する軸回転体の総密度を前記外部導電性液体自身のもつ固有密度に一致させるための浮力付与部材をさらに有して構成されてなる、導電性液体中多自由度モータの構成採用にある。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき、添付図面を参照しつつ、その第１及び第２装置例並びに対応する第１及び第２方法例を順に挙げて説明する。
【００４０】
（第１装置例）
まず、図１は、本発明の第１装置例に係る導電性液体中多自由度モータの内部構造を示す縦断面図である。
【００４１】
同図に示すように、本装置例に係る導電性液体中多自由度モータα１は、その基本的要素として、複数の圧電素子１，１，…が重層構成された円筒形の固定子２と、それら複数の圧電素子１，１，…への交流電圧の印加に伴って当該固定子２に生じる超音波振動により多自由度方向へ回動する球形の回転子３（固定子２からは非拘束の状態）とを有して構成される。
【００４２】
さらに、本導電性液体中多自由度モータα１は、絶縁油などの内部絶縁性液体４で満たされた密閉空間５を構成し、固定子２における超音波振動の節にあたる部位を以って当該固定子２を内部懸架保持する圧力容器６と、この圧力容器６と共に天井部位を密封閉成して密閉空間５を構成し、当該密閉空間５内への血液、汚水、海水などの導電性液体（図示せず）の浸入を阻止しつつ、超音波振動を回転子３に伝達する固定子２の超音波伝達領域をその外部導電性液体中に曝露させる固定子曝露隔膜７と、圧力容器６内における内部絶縁性液体４の液体圧を外部導電性液体自身のもつ固有液体圧に一致させる均圧化装置８と、回転シャフト３ａと一体化した回転子３を多自由度回動自在（回転及び傾斜自在）に空転保持する回転子保持部材９と、この回転子保持部材９の周縁部と当該周縁部に対向する圧力容器６の天井部位との間に亙ってそれぞれ所定の伸張状態で張設された複数の弾性体１０，１０，…とを有して構成される。
【００４３】
即ち、圧力容器６及び固定子曝露隔膜７は、固定子２全体の超音波振動が安定的に確保されるよう、複数の圧電素子１，１，…の全構成領域を含む当該固定子２の主要部を内部絶縁性液体４中で懸架保持すると共に、回転子３の全部及び超音波振動を当該回転子３に伝達する固定子２の一端面における超音波伝達領域を外部導電性液体中に曝露させるモータ絶縁懸架保持手段を構成し、一方、回転子保持部材９及び複数の弾性体１０，１０，…は、当該モータ絶縁懸架保持手段により内部絶縁性液体４中に懸架保持された固定子２の超音波振動が、同モータ絶縁懸架保持手段により外部導電性液体中に曝露された超音波伝達領域（図示の一転鎖線上方領域。以下、「固定子曝露部２ａ」という）を介して回転子３に安定的に伝達されるよう、当該回転子３から固定子曝露部２ａに向かう定常的な予圧を当該回転子３に付与する予圧付与手段を構成する。
【００４４】
ここで、圧力容器６は、固定子２の長手方向直交面に相当する断面の形状を円形状に形成された容器本体６ａと、この容器本体６ａに倣ってそれぞれ円形状に形成された容器上蓋６ｂ及び容器下蓋６ｃとから構成され、これら各部材は、当該密閉空間５内への外部導電性液体の浸入が阻止されるよう、それぞれオーリング（Ｏ−リング）１１ａ及び１１ｂにより封止される。以上の構造により、内部絶縁性液体４で満たされた密閉空間５が構成される。
【００４５】
このうち、容器本体６ａの内部側壁には、固定子２における超音波振動の節にあたる部位（即ち、固定子２の固有振動時に振幅を生じない部位）に予め構成された固定子懸架保持部材２ｂが、ボルト１１及びナット１２により複数箇所（図では２箇所）で強固に取り付けられる。この構造により、固定子２全体の超音波振動が安定的に確保されると共に、圧力容器６に伝導しようとする不要な超音波振動が最小限に抑制される。
【００４６】
なお、上記固定子２の一部を構成する固定子曝露部２ａの該当振動部材及び固定子懸架保持部材２ｂは、隣接する圧電素子１との間に薄板状の絶縁スペーサ（図示せず）を介在させることにより、該当する圧電素子１との電気的絶縁を図られた状態で当該固定子２にそれぞれ固定されている。
【００４７】
一方、容器上蓋６ｂの央部主要面には、密閉空間５内への外部導電性液体の浸入を阻止しつつ、超音波振動を回転子３に伝達する固定子２の固定子曝露部２ａを外部導電性液体中に曝露させる固定子曝露隔膜７が、当該固定子曝露部２ａにおける超音波振動を阻害することのない柔軟性を有し、かつ外部導電性液体中でも腐食することのない耐腐食性を有する素材を用いながら円形状に張設形成される。この構造により、圧力容器６内で発生した駆動力（超音波振動）を外部の回転子３に伝達する際の駆動エネルギーの損失が最小限に抑制されると共に、固定子２における複数の圧電素子１，１，…が固定子曝露部２ａ（該当振動部材）及び固定子懸架保持部材２ｂ並びに外部導電性液体から電気的に絶縁された状態が得られる。
【００４８】
さらに、容器下蓋６ｃには、固定子２における複数の圧電素子１，１，…からそれぞれ引き出された複数の駆動信号ケーブル１４を集線して、外部からモータ駆動電力の供給を受ける防水コネクタ１５（図では２つ）が、外部導電性液体の浸入を阻止しながら取り付けられると共に、圧力容器６内における内部絶縁性液体４の液体圧を外部導電性液体自身のもつ固有液体圧に一致させる均圧化装置８が取り付けられる。以上の構造により、外部導電性液体から固定子曝露隔膜７に加わる液体圧（浸透圧）が打ち消され、このために、圧力容器６全体の素材としては、圧力強度が低いもの（必要以上に高くないもの）を利用することができる。
【００４９】
一方、回転子保持部材９は、回転子３が多自由度回動自在（回転及び傾斜自在）に保持されるよう、複数のベアリングボール９ａ，９ａ…を用いた球受け構造を具備して構成され、複数の弾性体１０，１０，…は、外部導電性液体中でも腐食することのない耐腐食性を有する素材を用いながら、その回転子保持部材９の周縁部と当該周縁部に対向する容器上蓋６ｂの周縁部位との間に亙ってそれぞれ所定の伸張状態で張設される。この構造により、回転子３自身に所定の予圧を付加する機能手段を用いた予圧付与手段が得られる。なお、複数の弾性体１０，１０，…は、本導電性液体中多自由度モータα１が傾斜していない状態（図示の状態）において、回転シャフト３ａの回転中心軸から等距離、相互等間隔で配置される。
【００５０】
（第１方法例）
以上のように構成された第１装置例に係る導電性液体中多自由度モータα１によれば、これを任意の導電性液体中における使用に適応させるために、以下に示す第１方法例に係る過程が実現される。
【００５１】
即ち、本方法例では、容器本体６ａ、容器上蓋６ｂ及び容器下蓋６ｃからなる圧力容器６により、複数の圧電素子１，１，…の全構成領域を含む当該固定子２の主要部が内部絶縁性液体４で満たされた密閉空間５内で懸架保持されると共に、固定子曝露隔膜７により、回転子３の全部及び超音波振動を当該回転子３に伝達する固定子２の一端面における固定子曝露部２ａが外部導電性液体中に曝露させられ、この結果、固定子２全体の超音波振動が安定的に確保されるようになる。
【００５２】
また、回転子３を空転自在に保持して所要の予圧を機械的に発生させる予圧発生機構である回転子保持部材９及び複数の弾性体１０，１０，…の組み合せにより、当該回転子３から固定子曝露部２ａに向かう定常的な予圧が当該回転子３に付加され、その結果、固定子２の超音波振動が固定子曝露部２ａを介して回転子３に安定的に伝達されるようになる。
【００５３】
さらに、固定子２を内部で懸架保持する圧力容器６に構成された均圧化装置８により、密閉空間５内における内部絶縁性液体４の液体圧が外部導電性液体自身のもつ固有液体圧に随意に一致させられるようになる。
【００５４】
（第２装置例）
次に、図２は、本発明の第２装置例に係る導電性液体中多自由度モータにおける固定子２の内部構造を示す縦断面図である。
【００５５】
まず、本装置例に係る導電性液体中多自由度モータα２においては、上記第１装置例で説明した回転子保持部材９及び複数の弾性体１０，１０，…の組み合せからなる予圧付与手段に代えて、外部導電性液体自身のもつ固有液体圧により、回転子３を固定子２の固定子曝露部２ａ端面に所定の予圧で押圧する機能手段を具備したものを採用する。なお、その他の構成要素は、第１装置例で示したものと同一である。
【００５６】
即ち、同図に示すように、本導電性液体中多自由度モータα２における予圧付与手段は、固定子２一端面の超音波伝達領域２ａ端面に一旦を拡大開口する減圧空間１６を当該固定子２の内部に構成するための中空減圧空間構成芯材１７と、この中空減圧空間構成芯材１７の拡大開口内部に回転子３が押圧された状態において、外部導電性液体が減圧空間１６内に浸入するのを阻止するための受座防水部材１８と、中空減圧空間構成芯材１７の他端面内において減圧空間１８から空気を抜き取るための一方向性空気弁１９とを有して構成される。なお、本例では、第１装置例における固定子懸架保持部材２ａと機能が等価な芯材懸架保持部材１７ａを連設してなる中空減圧空間構成芯材１７を採用する。
【００５７】
ここで、減圧空間１６は、中空減圧空間構成芯材１７の拡大開口における受座防水部材１８に着座した回転子３が確実に押圧されるよう、ほぼ真空の状態とされるのが望ましく、このため、中空減圧空間構成芯材１７は、所要の硬性を有する素材により肉厚に形成される。また、受座防水部材１８には、ゴムのような弾力性を有する素材が適用され、当該受座防水部材１８により、減圧空間１６内への外部導電性液体の浸入が阻止される。
【００５８】
ここで、一方向性空気弁１９は、本導電性液体中多自由度モータα２の使用前において減圧空間１６内に存在する空気を、真空ポンプ（図示せず）により抜き取る際に機能すると共に、その使用中においては、当該減圧空間１６内に空気が逆流するのを永続的に阻止するよう機能する。以上の構成により、外部導電性液体自身のもつ固有液体圧によって回転子３に強い予圧を与えることができる。
【００５９】
（第２方法例）
以上のように構成された第２装置例に係る導電性液体中多自由度モータα２によれば、これを任意の導電性液体中における使用に適応させるために、以下に示す第２方法例に係る過程が実現される。
【００６０】
即ち、本方法例では、上記第１方法例における過程に加え、中空減圧空間構成芯材１７、受座防水部材１８及び一方向性空気弁１９の組み合せにより固定子２の内部に設定された減圧空間１６に対し、吸引と同時に外部導電性液体の固有液体圧を印圧された状態により回転子３が強固に押圧され、その結果、固定子２の超音波振動が固定子曝露部２ａを介して回転子３に安定的に伝達されるようになる。
【００６１】
なお、以上の導電性液体中多自由度モータα２によれば、例えばこれを海中で使用した場合に、その深度に応じた高い予圧を確実に得ることが可能になる。
【００６２】
【実施例】
続いて、本発明の実施例として、その変形例及び応用例を説明する。
【００６３】
まず、図３は、本発明の変形例に係る導電性液体中多自由度モータの外観構成を模式的に示す上面図である。
【００６４】
以上に説明した第１及び第２装置例並びに対応する第１及び第２方法例では、固定子２の長手方向直交面に相当する断面の形状を円形状に形成された圧力容器６を採用した。この場合、当該圧力容器６の体積を最小限に抑えることができるが、固定子２に生じる超音波振動が圧力容器６に伝わり、不要な超音波が容器本体６ａの側壁を通じて全方位に拡散する。
【００６５】
このため、同図に示すように、本変形例に係る導電性液体中多自由度モータβ１では、圧力容器６の断面形状を四角形（多角形）に選定形成することにより、上述した不要な超音波を、圧力容器６（容器本体６ａ）の法線方向（図示の点線矢印の方向）へ限定的に進行させることが可能となる。このような構成を採用することにより、例えば、本導電性液体中多自由度モータβ１を搭載予定の作業機械に超音波を利用する機器が使用されている場合でも、当該導電性液体中多自由度モータβ１が発生する超音波振動の影響を最小限に抑えることが可能となる。
【００６６】
次に、図４は、本発明の応用例に係る導電性液体中多自由度モータの外観構成を模式的に示す側面図である。
【００６７】
同図に示すように、本応用例に係る導電性液体中多自由度モータβ２は、回転シャフト３ａにスクリュープロペラ２０を取り付けた状態で、当該導電性液体中多自由度モータβ２を横倒しにして使用する形態を示している。この場合、回転子３並びに同回転子３に一体化する軸回転体としての回転シャフト３ａ及びスクリュープロペラ２０の質量により、回転シャフト３ａの回転軸が下方に傾倒する可能性がある。
【００６８】
このため、本導電性液体中多自由度モータβ２においては、回転子３及び上記軸回転体の総密度を外部導電性液体自身のもつ固有密度に一致させるための浮力付与部材２１を、当該回転子３及び軸回転体全体の重心位置に設置している（即ち、重心位置を浮心位置に設定する）。このような構成を採用することにより、当該導電性液体中多自由度モータβ２に余計な回転トルクを発生させることなしに、回転シャフト３ａの向きを常に水平に保つことが可能となる。
【００６９】
以上、本発明の実施の形態及び実施例につき、その第１及び第２装置例並びに対応する第１及び第２方法例、並びに変形例及び応用例を挙げて説明したが、本発明は、必ずしも上述した手段及び手法にのみ限定されるものではなく、後述する効果を有する範囲内において、適宜、変更実施することが可能なものである。
【００７０】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、多自由度の高トルク回転運動を高エネルギー効率で実現することが可能になると共に、所要の多自由度回転運動を脱調の危険なしに安定して得ることが可能となる。また、外部導電性液体自身のもつ固有液体圧を利用して回転子に予圧を付与する場合においては、その固有液体圧が高ければ高いほど、高トルクを得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１装置例に係る導電性液体中多自由度モータの内部構造を示す縦断面図である。
【図２】本発明の第２装置例に係る導電性液体中多自由度モータにおける固定子の内部構造を示す縦断面図である。
【図３】本発明の変形例に係る導電性液体中多自由度モータの外観構成を模式的に示す上面図である。
【図４】本発明の応用例に係る導電性液体中多自由度モータの外観構成を模式的に示す側面図である。
【符号の説明】
α１，α２，β１，β２…導電性液体中多自由度モータ
１…圧電素子
２…固定子
２ａ…固定子曝露部
２ｂ…固定子懸架保持部材
３…回転子
３ａ…回転シャフト
４…内部絶縁性液体
５…密閉空間
６…圧力容器
６ａ…容器本体
６ｂ…容器上蓋
６ｃ…容器下蓋
７…固定子曝露隔膜
８…均圧化装置
９…回転子保持部材
９ａ…ベアリングボール
１０…弾性体
１１ａ，１１ｂ…オーリング（Ｏ−リング）
１２…ボルト
１３…ナット
１４…駆動信号ケーブル
１５…防水コネクタ
１６…減圧空間
１７…中空減圧空間構成芯材
１７ａ…芯材懸架保持部材
１８…受座防水部材
１９…一方向性空気弁
２０…スクリュープロペラ
２１…浮力付与部材
【図１】
2004312809.tif 000003
【図２】
2004312809.tif 000004
【図３】
2004312809.tif 000005
【図４】
2004312809.tif 000006