(57)【要約】【課題】機能液滴吐出ヘッドと対向配置される保守部を複数有する液滴吐出装置において、装置を複雑化することなく、保守装置の配置の自由度を確保できる液滴吐出装置を提供することを課題とする。【解決手段】ワークＷに対し機能液滴吐出ヘッド９１から機能液を選択的に吐出する描画動作と、機能液滴吐出ヘッド９１の保守に供する複数の保守装置２２に対し、機能液滴吐出ヘッド９１を選択的に臨ませて機能液滴吐出ヘッド９１の保守処理を行う保守動作と、を行う液滴吐出装置２において、ヘッドユニット８１を昇降自在に支持するヘッド昇降機構２０２を備え、ヘッド昇降機構２０２は、ヘッドユニット８１を介して、機能液滴吐出ヘッド９１を、少なくとも描画動作時の描画高さ位置と、保守動作時の保守高さ位置との間で昇降自在に支持することを特徴とする。【選択図】  図１３
2004337769.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを搭載するヘッドユニットを、キャリッジを介して相対的に移動させながら、当該機能液滴吐出ヘッドから機能液を選択的に吐出する描画動作と、
前記機能液滴吐出ヘッドの保守に供する複数の保守装置に対し、前記機能液滴吐出ヘッドを選択的に臨ませて前記機能液滴吐出ヘッドの保守処理を行う保守動作と、を行う液滴吐出装置において、
前記ヘッドユニットを昇降自在に支持するヘッド昇降機構を備え、
前記ヘッド昇降機構は、前記ヘッドユニットを介して、前記機能液滴吐出ヘッドを、少なくとも前記描画動作時の描画高さ位置と、前記保守動作時の保守高さ位置との間で昇降自在に支持することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記キャリッジは、正面に開口を有する箱状のキャリッジ本体を有しており、
前記ヘッド昇降機構は、前記キャリッジ本体の内部に組み込まれ、
前記ヘッドユニットは、前記キャリッジ本体の前記開口から突出するように、前記ヘッド昇降機構に昇降自在に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記ヘッド昇降機構は、前記ヘッドユニットを昇降させるためのヘッド昇降モータを有しており
前記ヘッドユニットに対し、上向きの力を作用させるヘッドバランス機構をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ヘッド昇降機構は、前記ヘッド昇降モータに連結したリードねじおよび前記リードねじに螺合する雌ねじ部材からなるねじ機構を有しており、
前記雌ねじ部材には、前記ヘッドユニットが固定されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記ヘッドバランス機構は、前記ヘッドユニットの荷重と釣り合う力を作用させることを特徴とする請求項３または４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記ヘッドユニットに対する前記ヘッドバランス機構における上向きの力の作用点が、前記ヘッドユニットの重心を通る垂線上に略位置していることを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ヘッドバランス機構は、一端をキャリッジに固定し、他端をヘッドユニットに固定した弾性部材で構成されていることを特徴とする請求項３ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記ヘッドバランス機構は、複数の前記弾性部材で構成されていることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記弾性部材は、ばねで構成されていることを特徴とする請求項７または８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドの保守に供する複数の保守装置を備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液滴吐出装置の一種として知られるインクジェット記録装置には、記録ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）を保守するためのヘッド回復ユニット（保守装置）が備えられている。ヘッド回復ユニットは、キャリッジにより移動する記録ヘッドのノズル面と対向する位置に配設されており、記録ヘッドは、ヘッド回復ユニットに臨んで保守処理を受けることにより、安定した（機能液の）吐出を維持できるようになっている。ヘッド回復ユニットには、記録ヘッドに保守処理を行うための保守部、具体的には、記録ヘッドの吸引回復処理を行うためのキャップや記録ヘッドのワイピング処理を行うためのワイピングブレードが備えられており、記録ヘッドを移動させてヘッド回復ユニットに臨ませた後、記録ヘッドをヘッド回復ユニットの保守部に当接させることにより、記録ヘッドの保守を行うようになっている。そして、記録ヘッドは（印刷時の高さのまま）左右方向に平行移動する構成のため、ヘッド回復ユニットの保守部は、記録ヘッドのノズル面に当接できるように記録ヘッドのノズル面の高さに合わせて構成されており、ヘッド回復ユニットの保守部は、予め記録ヘッドのノズル面の高さ位置に合わせて配設されているか、記録ヘッドのノズル面の高さに合わせて昇降（上下）する構成となっていた（例えば特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００３−８９２１２号公報（第２頁−第１７頁）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、機能液滴吐出ヘッドと対向配置される保守装置を複数有する液滴吐出装置において、上述のように、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の高さに合わせて予め複数の保守装置の保守部を配設しようとすると、複数の保守装置の配置の自由度が少なくなるため、装置内の空間が著しく減少する。これに伴い、ワーク交換や装置のメンテナンス等に利用可能な作業空間も著しく減少するため、作業効率が悪化するという問題が生じる。一方、複数の保守部を、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の高さに合わせて昇降させるようとすると、保守部を昇降させるための昇降機構が複数必要となるため、装置構成が複雑となる。また、複数の保守部を同一のベース上に配設し、一つの昇降機構で複数の保守部を昇降させることも考えられるが、かかる場合、複数の保守部を同時に昇降させるための大きな駆動源が必要となるため、コストがかかってしまう。
【０００５】
そこで、本発明は、機能液滴吐出ヘッドと対向配置される保守部を複数有する液滴吐出装置において、装置を複雑化することなく、保守装置の配置の自由度を確保できる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを搭載するヘッドユニットを、キャリッジを介して相対的に移動させながら、当該機能液滴吐出ヘッドから機能液を選択的に吐出する描画動作と、機能液滴吐出ヘッドの保守に供する複数の保守装置に対し、機能液滴吐出ヘッドを選択的に臨ませて機能液滴吐出ヘッドの保守処理を行う保守動作と、を行う液滴吐出装置において、ヘッドユニットを昇降自在に支持するヘッド昇降機構を備え、ヘッド昇降機構は、ヘッドユニットを介して、機能液滴吐出ヘッドを、少なくとも描画動作時の描画高さ位置と、保守動作時の保守高さ位置との間で昇降自在に支持することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを、少なくとも描画動作時の描画高さ位置と、保守動作時の保守高さ位置との間で昇降自在に支持するヘッド昇降機構を備えているので、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の高さに対応させて、（複数の）保守装置を配設する必要がない。この場合、複数の保守装置としては、例えば、機能液滴吐出ヘッドからの機能液の予備吐出を受けるフラッシングユニットや、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引ユニット、機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングするワイピングユニット、機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液の飛翔状態を検査する吐出検査ユニット、機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニットが挙げられる。
【０００８】
この場合、キャリッジは、正面に開口を有する箱状のキャリッジ本体を有しており、ヘッド昇降機構は、キャリッジ本体の内部に組み込まれ、ヘッドユニットは、キャリッジ本体の開口から突出するように、ヘッド昇降機構に昇降自在に支持されていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、ヘッドユニットを相対的に移動させるキャリッジのキャリッジ本体内にヘッド昇降機構が組み込まれ、ヘッドユニットはキャリッジ本体の正面に形成された開口から突出するように支持されているので、キャリッジの下方にヘッドユニットを吊設する構成に比して、キャリッジおよびヘッドユニットから成るユニットを小型化することができる。
【００１０】
これらの場合、ヘッド昇降機構は、ヘッドユニットを昇降させるためのヘッド昇降モータを有しており、ヘッドユニットに対し、上向きの力を作用させるヘッドバランス機構をさらに備えたことが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ヘッド昇降モータが停電等により非常停止した場合であっても、ヘッドユニットにかかる重力に抗し、ヘッドバランス機構がヘッドユニットに対し上向きの力を作用させるので、ヘッド昇降モータの非常ブレーキ機構の効きが遅れても、ヘッドユニットが過度に下降することを防止することができる。したがって、ヘッドユニットに搭載する機能液滴吐出ヘッドのノズル面とワークとのギャップ（ワークギャップ）が極めて僅少な状態で、ヘッド昇降モータが非常停止しても、機能液滴吐出ヘッドのノズル面がワークと衝突するのを有効に防止できる。また、ヘッドバランス機構によって、ヘッドユニットに対し上向きの力が作用しているので、ヘッドユニットの荷重が一部相殺され、ヘッドユニットを上昇させるときに必要な駆動力を小さくすることができ、モータの小型化を図ることができる。
【００１２】
この場合、ヘッド昇降機構は、ヘッド昇降モータに連結したリードねじおよびリードねじに螺合する雌ねじ部材からなるねじ機構を有しており、雌ねじ部材には、ヘッドユニットが固定されていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、ねじ機構の公差に起因して、ヘッド昇降モータの非常停止時にヘッドユニットが下降することを防止することができる。
【００１４】
これらの場合、ヘッドバランス機構は、ヘッドユニットの荷重と釣り合う力を作用させることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、ヘッドユニットに作用する上向きの力を、ヘッドユニットの下降を防止するための最低限の力、すなわち（ヘッド昇降機構に支持された状態の）ヘッドユニットに作用する下向きの力である重力と釣り合わせている。したがって、ヘッド昇降モータの非常停止時にヘッドユニットを下降させることないと共に、ヘッドユニットの下降時におけるヘッド昇降モータの負荷を最小限に抑えることができる。
【００１６】
これらの場合、ヘッドユニットに対するヘッドバランス機構における上向きの力の作用点が、ヘッドユニットの重心を通る垂線上に略位置していることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、ヘッドバランス機構によるヘッドユニットに対する力の作用点が、ヘッドユニットの重心を通る垂線上に略位置しているので、ヘッドユニットに不均一な力がかからない。したがって、ヘッドユニットに上向きの力が均一に作用し、ヘッドユニットの姿勢を安定に保つことができる。
【００１８】
これらの場合、ヘッドバランス機構は、一端をキャリッジに固定し、他端をヘッドユニットに固定した弾性部材で構成されていることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、ヘッドバランス機構を構成する弾性部材の一端を、キャリッジに、他端をヘッドユニットに固定するという簡易な構成により、ヘッドユニットに上向きの力を作用させることができる。また、ヘッドユニットとキャリッジとの間に弾性部材を張架する構成であるため、装置を大型化させることがない。
【００２０】
この場合、ヘッドバランス機構は、複数の弾性部材で構成されていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、単一の弾性部材でヘッドバランス機構を構成する場合に比べ、安定してヘッドユニットに上向きの力を作用させることができる。
【００２２】
これらの場合、弾性部材は、ばねで構成されていることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、ばねにより、ヘッドユニットに（上向きの）引張り力を作用させることができる。この場合、ばねのストロークを大きくとることにより、ヘッド昇降機構によるヘッドユニットの上限位置および下限位置において、略同一の上向きの力を作用させることができる。
【００２４】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２６】
これらの構成によれば、液滴吐出装置には、ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの（描画時の）ノズル面の高さ位置に規制されることなく、機能液滴吐出ヘッドの交換等のメンテナンスやワーク交換のための作業領域が確保されるように保守装置を配置することができる。したがって、機能液滴吐出ヘッドの交換等のメンテナンスやワーク交換などの作業効率を向上させることができ、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２７】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２８】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の液滴吐出装置を適用して構成した描画システムについて説明する。本実施形態の描画システムは、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成するものである。
【００３０】
ここでは先ず、描画システムの説明に先立ち、有機ＥＬ装置の構造および製造工程について簡単に説明する。図１は、有機ＥＬ装置の断面図を示した図である。同図に示すように、有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００３１】
同図に示すように、有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。
【００３２】
有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００３３】
また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
【００３４】
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
【００３５】
次に、描画システムについて説明する。この描画システム１は、有機ＥＬ素子７０２の発光素子７５１を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するものであり、機能液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を用いて発光素子７５１（正孔注入／輸送層７５２および発光層７５３）を形成できるようになっている。具体的には、上記のバンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部７４１が形成された基板７１１（ワークＷ）に対して、発光機能材料を導入した相対的に機能液滴吐出ヘッドを走査させることにより、基板７１１の画素電極７３１の位置（画素領域）に対応して、正孔注入／輸送層７５２および発光層７５３の成膜部を形成するものである。
【００３６】
図示省略したが、描画システム１は、２台の液滴吐出装置２と、乾燥装置（図示省略）と、を備えている。２台の液滴吐出装置２は同様の構成をしており、液滴吐出装置２のうち、１台は、正孔注入／輸送層７５２を形成するための第１液滴吐出装置、もう１台は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の発光層７５３を形成するための第２液滴吐出装置となっている。上述したように、有機ＥＬ素子７０２は大気中の水分等を嫌うため、これらの各装置は、それぞれチャンバ装置３内に収容されており、発光素子形成工程における大気の影響を排除できるようになっている。また、ワークＷも大気の影響を避けるため、ドライエアー雰囲気に密閉したワークボックス４内に収容された状態で各装置に導入（搬入）されるようになっている。
【００３７】
チャンバ装置３は、ドライエアーを連続的に導入すると共に排気することにより、チャンバ装置３内を良好なドライエアー雰囲気に維持するものであり、各装置を収容する３台のチャンバ装置３は、略同様の構成をしている。各チャンバ装置３は、各装置を直接収容する主チャンバ１１と、ワークＷを主チャンバ１１内に導入（搬入および搬出）するための搬出入チャンバ１２と、主チャンバ１１のワーク導入エリアおよびと搬出入チャンバ１２の内部間を架渡す、ワークＷの搬送するための搬送部（図示省略）と、を備えている（図２ないし図４参照）。搬出入チャンバ１２には、ワークボックス４を着脱自在に装着可能な装着開口（図示省略）が形成されていると共に、搬出入チャンバ１２内には、ワークボックス４に収容されたワークＷを仮置きする載置テーブル１３が配設されている。
【００３８】
主チャンバ１１および搬出入チャンバ１２は、それぞれ独立して個別にエアー管理されており、主チャンバ１１内の雰囲気に極力変動が生じないようになっている。すなわち、ワークボックス４を搬出入チャンバ１２の装着開口に装着して、ワークボックス４内のワークＷを載置テーブル１３に載置し、搬出入チャンバ１２内の雰囲気を主チャンバ１１内の雰囲気と同じにパージした後、搬送部を介して、載置テーブル１３上のワークＷを主チャンバ１１のワーク導入エリアに搬入することにより、主チャンバ１１内の雰囲気を変動させずに（ワークボックス４内の）ワークＷを主チャンバ１１内の各装置にセットできるようになっている。
【００３９】
ここで、導入されたワークＷに対する描画システム１の一連の作業プロセスについて説明する。まず、正孔注入／輸送層形成工程が行われ、ワークボックス４に収容されたワークＷは、チャンバ装置３内の第１液滴吐出装置にセットされる。ワークＷがセットされると、第１液滴吐出装置は、ワークＷに対して、正孔注入層材料を溶剤に溶かした機能液を吐出させ、ワークＷの画素領域に正孔注入層材料（機能液）を吐出（塗布）する。正孔注入層材料が塗布されたワークＷは、再びワークボックス４に収容され、次に乾燥装置にセットされる。ここでは、ワークＷを所定時間、気流を伴う高温のドライエアーの雰囲気に曝して溶剤を気化（乾燥）させることにより、正孔注入層材料を析出させ、正孔注入／輸送層７５２を形成する。
【００４０】
正孔注入／輸送層７５２が形成されたワークＷは、ワークボックス４を介して、第２液滴吐出装置にセットされ、発光素子形成工程が行われる。第２液滴吐出装置では、正孔注入層材料に代えて発光材料を溶剤に溶かした機能液が用いられ、第２液滴吐出装置にセットされたワークＷには、正孔注入／輸送層７５２の上に重ねて発光材料（機能液）が吐出（塗布）される。発光材料が塗布されたワークＷは、溶剤を気化させて発光層７５３を形成するため、正孔注入／輸送層形成工程と同様に乾燥装置へ搬送される。
【００４１】
なお、発光素子形成工程では、ワークＷに対して、Ｒ・Ｇ・Ｂに対応する機能液を１色分ずつ吐出させていき、１色分の機能液の塗布が終了する毎に乾燥を行うことによりＲ・Ｇ・Ｂの発光層７５３を１色ずつ形成する構成にしてもよいし、Ｒ・Ｇ・Ｂに対応する機能液を同時に吐出させることにより、３色分の発光層７５３を同時に形成する構成としてもよい。
【００４２】
次に、液滴吐出装置２について説明する。この液滴吐出装置２は、正孔注入層材料や発光材料等の機能液をワークＷに塗布するものであり、ワークＷに対して機能液の吐出処理を行うものである。図２ないし図４に示すように、液滴吐出装置２は、機能液滴吐出ヘッド９１を搭載したヘッドユニット８１有し、ワークＷに対して機能液を吐出するための吐出手段２１と、吐出手段２１（機能液滴吐出ヘッド９１）のメンテナンスを行うメンテナンス手段２２と、各手段に液体（例えば、機能液や洗浄液）を供給すると共に不要となった液体を回収する液体供給回収手段２３と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアー（ドライエアー）を供給するエアー供給手段２４と、ワークＷを吸引固定するためのエアー吸引手段２５と、を備えている。
【００４３】
液滴吐出装置２には、この他にも、ヘッドユニット８１の位置認識を行うヘッド認識カメラ３１や、ワークＷの位置認識を行うためのワーク認識カメラ３２、ワークＷに吐出した機能液滴の描画結果を観察するための描画観察カメラ３３、エアー吸引手段２５を駆動させるための吸引用スイッチ３４等の付帯装置が備えられている。また、液滴吐出装置２には、ホスト・コンピュータ２６が接続されており、ホスト・コンピュータ２６により、液滴吐出装置２全体の制御が行われている。
【００４４】
図２および図３に示すように、液滴吐出装置２は、大小２つの機台４１、４２を備えており、エアー吸引手段２５を除く液滴吐出装置２の主要部が、これら機台４１、４２上に配設されている。大型の機台４１の近傍には、エアー吸引手段２５が配設され、大型の機台４１の左側には、小型の機台４２が添設されている。大型の機台４１は、吐出手段２１およびメンテナンス手段２２を支持する石定盤５１と、石定盤５１を支持する支持台５２と、上記のチャンバ装置３および支持台５２を支持する支持ベース５３と、支持ベース５３を支持する機台本体５４と、を備えている。
【００４５】
石定盤５１の下面には、複数（９個）の調節脚６１（アジャストボルト付支持脚）が取付けられており、石定盤５１の平面度を調節できるようになっている。石定盤５１の左部上面は、平坦に削られて一段低くなっており、石定盤５１の低くなった部分には、メンテナンス手段２２の主要部が設置され、石定盤５１の高くなった部分には、吐出手段２１の主要部が設置されている（図３参照）。支持ベース５３は、石定盤５１および支持台５２の平面形状よりも一回り大きく形成された方形の支持板６２と、支持板６２を機台本体５４に支持させる複数の支持脚６３と、を有している。石定盤５１および支持台５２からはみ出した支持板６２の縁部は、チャンバ装置３（の主チャンバ１１）を載せこむためのチャンバ支持部６４、すなわち主チャンバ１１の底板を兼ねており、石定盤５１上に配設された吐出手段２１およびメンテナンス手段２２をチャンバ装置３で完全に囲うことができるようになっている。
【００４６】
機台本体５４は、キャビネット形式に構成されており、内部には大型の機台４１にエアーを供給するエアー供給手段２４の一部が収容されている。また、機台本体５４の下面には複数（９個）の支持脚６７が取付けられている。
【００４７】
小型の機台４２は、開閉扉７２を有するキャビネット形式の機台本体７１を備えており、機台本体７１上には、収容ボックス７３が配設されている。収容ボックス７３内には、機能液滴吐出ヘッド９１に機能液を供給するための液体供給回収手段２３の機能液供給系５４１（後述する）が収容されている。収容ボックス７３および機台本体７１には、それぞれ排気筒７４が設けられており、排気筒７４を介して、収容ボックス７３および機台本体７１内のエアーを排気する（排気処理設備に送る）ようになっている。また、機台本体７１には、収容室７５が形成されており、収容室７５には、液体供給回収手段２３のタンク類と、小型の機台４２にエアーを供給するエアー供給手段２４の一部が収容されている。
【００４８】
次に、液滴吐出装置２の各手段について説明する。図５に示すように、吐出手段２１は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド９１を搭載したヘッドユニット８１と、ヘッドユニット８１を支持し、ヘッドユニット８１の水平面における角度および高さを調整可能なヘッド調整機構８２と、ヘッド調整機構８２を介して、ヘッドユニット８１を支持するキャリッジ８３と、ヘッドユニット８１（機能液滴吐出ヘッド９１）をワークＷに対して相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構８４と、を備えている。
【００４９】
ヘッドユニット８１は、３個の機能液滴吐出ヘッド９１と、３個の機能液滴吐出ヘッド９１を搭載するヘッドプレート９２と、ヘッドプレート９２を支持するヘッドホルダ９３と、を備えている。３個の機能液滴吐出ヘッド９１は、上記した有機ＥＬ素子７０２のＲ・Ｇ・Ｂの発光層７５３を形成するための３種類の機能液に対応させたものであり、それぞれの機能液滴吐出ヘッド９１に、Ｒ・Ｇ・Ｂの発光層７５３を形成する機能液が１種類ずつ対応するようになっている。
【００５０】
図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド９１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針１０２を有する機能液導入部１０１と、機能液導入部１０１に連なる２連のヘッド基板１０３と、機能液導入部１０１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体１０５と、を備えている。各接続針１０２は、配管アダプタ１１１を介して、機能液供給系５４１の給液チューブ５５３（後述する）に接続されており、機能液滴吐出ヘッド９１は、各接続針１０２から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド基板１０３には、配管アダプタ１１１に接続する給液チューブ５５３を支持するチューブ支持部１０４が形成されており、チューブ支持部１０４の上面に給液チューブ５５３を載せこむようになっている。ヘッド本体１０３は、２連のポンプ部１０６（ピエゾ圧電素子）と、ノズル面１０８を有するノズルプレート１０７と、で構成されている。ノズル面１０８の下面には、多数（１８０個）の吐出ノズル１０９からなるノズル列が２列形成されている。機能液滴吐出ヘッド９１では、ポンプ部１０６の作用により吐出ノズル１０９から機能液を吐出するようになっている。
【００５１】
ヘッドプレート９２は、略方形に成形されたステンレス製の厚板であり、機能液滴吐出ヘッド９１を位置決め固定するための３個の装着開口１２１が横並びに形成されている。そして、機能液滴吐出ヘッド９１は、ヘッド本体１０５を下方に突出させると共に、チューブ支持部１０４をはみ出すように、ヘッドプレート９２に着脱自在に固定されるようになっている（図８および図９参照）。また、ヘッドプレート９２には、ヘッドプレート９２をヘッドホルダ９３に固定するためのヘッド側ねじ穴１２２が４個形成されている。なお、機能液滴吐出ヘッド９１の個数および配列は、上記したものに限られるものではなく、状況に応じて任意に設定可能である。
【００５２】
図７ないし図９に示すように、ヘッドホルダ９３は、ヘッドプレート９２を支持するホルダ本体１３１と、ホルダ本体１３１をヘッド調整機構８２に支持させるための支持プレート１３２と、ホルダ本体１３１を支持プレート１３２に支持させると共に、ヘッドプレート９２の支持姿勢（あおり）を調整するためのあおり調整機構１３３と、を備えている。ホルダ本体１３１は、ヘッドプレート９２を水平に支持する下ホルダプレート１４１と、下ホルダプレート１４１に対向配置され、支持プレート１３２が固定される上ホルダプレート１４２と、上ホルダプレート１４２および下ホルダプレート１４１を連結する４本の支柱部材１４３と、を有している。そして、４本の支柱部材１４３に、上下ホルダプレート１４１、１４２がねじ止めされている。
【００５３】
上下ホルダプレート１４１、１４２は、ヘッドプレート９２と略同じ大きさに形成されており、ホルダ本体１３１から機能液滴吐出ヘッド９１のチューブ支持部１０４がはみ出すようになっている。下ホルダプレート１４１には、ヘッドプレート９２の平面形状に合わせて、凹部１５１が形成されており、凹部１５１にヘッドプレート９２を遊嵌状態でセットするになっている。凹部１５１には、ヘッドプレート９２に搭載された機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８を下ホルダプレート１４１から突出させるための開口部１５２が形成されている（図７および図８参照）。また、凹部１５１には、ヘッドプレート９２の端に当接して、ヘッドプレート９２を位置決めするための３個の当接ピン１５３が立設されていると共に、ヘッドプレート９２に形成されたヘッド側ねじ穴１２２と対応するホルダ側ねじ穴１５４が４個形成されている。ヘッドプレート９２は、下ホルダプレート１４１の３個の当接ピン１５３により位置決めされた後、ヘッド側ねじ穴１２２およびホルダ側ねじ穴１５４を４本のねじ（図示省略）によって、下側から着脱自在に固定するようになっている。
【００５４】
上ホルダプレート１４２の中心には、後述するあおり調整機構１３３の基準ボルト１８３を貫通させるための貫通口（図示省略）が形成されている。貫通口の下半部は、後述する基準ボルト１８３の座面と相補的形状を為すように、球面状に拡開形成されている。また、上ホルダプレート１４２の上面には、上ホルダプレート１４２の短辺方向に向かって、あおり調整機構１３３の第２調整ねじ１９３（後述する）と当接するＶ溝１６２が１箇所形成されている。ホルダ本体１３１の側面は、ヘッドホルダ９３内に挿入する給液チューブ５５３の挿入部分を除き、ヘッドカバー１６５で覆われている。
【００５５】
支持プレート１３２は、上ホルダプレート１４２の上側に配設され、あおり調整機構１３３を介してホルダ本体１３１を支持している。支持プレート１３２の中心には、基準ボルト１８３の胴部１８４を貫通させるばか穴（図示省略）が形成されている。また、支持プレート１３２には、ばか穴を挟んで、２個の位置決めピン１７２が上面から突出している。図７に示すように、支持プレート１３２の上面からは、基準ボルト１８３の胴部１８４および２個の位置決めピン１７２が突出しており、これらによって、ヘッド調整機構８２に対して支持プレート１３２を位置決めできるようになっている。
【００５６】
また、支持プレート１３２の上面には、位置決めした支持プレート１３２をヘッド調整機構８２に取付けるための４個のねじ穴１７３が形成されている。なお、基準ボルト１８３の胴部１８４は、ヘッドプレート９２（ホルダ本体１３１）の重心を通るθ軸上に形成されており、４個のねじ穴１７３は、突出する基準ボルト１８３の胴部１８４に対してそれぞれ対称に形成されている。そして、支持プレート１３２を介してヘッドプレート９２が、ヘッド調整機構８２に均一に支持されるようになっている。
【００５７】
あおり調整機構１３３は、ヘッドプレート９２のあおりを調整可能に、ホルダ本体１３１を支持プレート１３２に支持させるものである。すなわち、あおり調整機構１３３により、ヘッドプレート９２に搭載された機能液滴吐出ヘッド９１（のノズル面１０８）の平行度を適切に調整することができるようになっている。図７および図８に示すように、あおり調整機構１３３は、ヘッドプレート９２（ヘッドユニット８１）の長辺方向における傾き（ピッチング）を調整する第１あおり調整機構１８１と、ヘッドプレート９２の短辺方向における傾き（ローリング）を調整する第２あおり調整機構１８２と、あおりを調節するための基準となる基準ボルト１８３と、を有している。
【００５８】
基準ボルト１８３は、その胴部１８４が支持プレート１３２の中心に形成されたばか穴１７３に螺合することによって、座面が上ホルダプレート１４２と当接した状態で固定される。基準ボルト１８３の座面は、冠球形状に形成されており、球面状に形成された上ホルダプレート１４２の貫通口の下半部に自在継手様に連結されている（すなわち、基準ボルト１８３の座面および貫通口の側面で球面すり合わせが形成されている）。
【００５９】
第１あおり調整機構１８１は、下端が半球状に形成された第１調整ねじ１９１と、支持プレート１３２にホルダ本体１３１を固定させる第１ホルダ支持部材１９２と、を有している。第１調整ねじ１９１および第１ホルダ支持部材１９２は、ヘッドプレート９２の長手方向における支持プレート１３２の中心を通る軸上に対向して配設されている。第１調整ねじ１９１は、支持プレート１３２を貫通し、その下端が上ホルダプレート１４２の上面に当接している。第１ホルダ支持部材１９２は、一端が上ホルダプレート１４２に固定され、他端が支持プレート１３２に固定されている。第１ホルダ支持部材１９２は、圧縮ばね等の弾性部材を内蔵しており、第１調整ねじ１９１の下端部が上ホルダプレート１４２に当接するように、ホルダ本体１３１を支持プレート１３２に弾力的に支持させている。
【００６０】
第１調整ねじ１９１をねじ込むと、第１調整ねじ１９１の下端部によって、上ホルダプレート１４２が下に押され、基準ボルト１８３の座面にガイドされながら、上ホルダプレート１４２の第１ホルダ支持部材１９２が固定されていない側の端が押下げられ、ヘッドプレート９２が押下げられる。また、第１調整ねじ１９１を緩めると、第１ホルダ支持部材１９２の弾性力により、上ホルダプレート１４２が上向きに力を受け、基準ボルト１８３の座面にガイドされながら、ヘッドプレート９２が押上げられる。すなわち、第１調整ねじ１９１を上下することにより、基準ボルト１８３の座面を基準に、ヘッドプレート９２をその長辺方向に傾動させ、ヘッドプレート９２の長辺方向におけるあおりを調整するようになっている。
【００６１】
第２あおり調整機構１８２は、下端が半球状に形成された第２調整ねじ１９３と、基準ボルト１８３を挟んで第２調整ねじ１９３に対向する第２ホルダ支持部材１９４と、を有しており、これらはヘッドプレート９２の短辺方向に互いに対向して配設されている。第２調整ねじ１９３の下端部は、上ホルダプレート１４２に形成されたＶ溝１６２に当接し、第２調整ねじ１９３の長辺方向における位置決めが為されている。第２あおり調整機構１８２も、第１あおり調整機構１８１と同様の構成かつ機構を有しており、第２調整ねじ１９３を上下させてヘッドプレート９２を傾動させることにより、ヘッドプレート９２の短辺方向におけるあおりを調整できるようになっている。
【００６２】
なお、ヘッドホルダ９３には、ヘッドプレート９２が着脱自在に固定されており、ヘッドプレート９２に搭載された機能液滴吐出ヘッド９１の交換を行う場合には、ヘッドプレート９２ごとヘッドホルダ９３から取り外すようになっている。
【００６３】
ヘッド調整機構８２は、ヘッドホルダ９３を支持し、ヘッドホルダ９３を介してヘッドプレート９２を回動させるヘッド回動機構２０１と、ヘッド回動機構２０１を支持し、ヘッド回動機構２０１（ヘッドホルダ９３）を介して、ヘッドプレート９２を昇降させるヘッド昇降機構２０２と、を備えている。図５に示すように、ヘッド昇降機構２０２には、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１が、吊設されている。
【００６４】
ヘッド回動機構２０１は、ヘッドプレート９２を、（ヘッドホルダ９３の重心を通る）θ軸を中心に回動させることにより、水平面内における機能液滴吐出ヘッド９１の向きを自在に変更させるものであり、後述するメンテナンス手段２２に対応させて、機能液滴吐出ヘッド９１の向きを変更する場合や、ワークＷの種類に合わせて、吐出ノズル１０９のノズル間隔や機能液滴の塗布密度を調節する場合などに用いられる。ヘッド回動機構２０１は、ヘッド支持フレーム２１１と、ヘッド支持フレーム２１１に回動自在に支持され、ヘッドホルダ９３を吊下げるように支持する吊設部材２１２と、吊設部材２１２を介し、ヘッドホルダ９３に搭載されたヘッドプレート９２を回動させるためのヘッド回動モータ２１３と、ヘッド回動モータ２１３の動力を吊設部材２１２に伝達する動力伝達機構２１４（ハーモニックドライブ）と、を備えている。
【００６５】
ヘッド支持フレーム２１１は、背面支持フレーム２２１と、背面支持フレーム２２１の上端から前方に延びる上フレーム２２２と、背面支持フレーム２２１の下端から前方に延びる上フレーム２２２に対向配置される下フレーム２２３と、背面支持フレーム２２１に固定され、上下両フレーム２２２、２２３の間に配設された一対のサイドフレーム２２４と、を有している。
【００６６】
背面支持フレーム２２１は、ヘッド昇降機構２０２に対する（ヘッド回動機構２０１の）固定部材となっている。図１１および図１２に示すように、背面支持フレーム２２１は、平面視略方形状であり、背面支持フレーム２２１の両側の中央には、背面支持フレーム２２１をヘッド昇降機構２０２に対して位置決めするための左右一対の位置決め凸部２３１（位置決めピン）が設けられている。そして、一対の位置決め凸部２３１を上下に挟んで、背面支持フレーム２２１をヘッド昇降機構２０２に固定するためのねじ穴２３２が４個形成されている。上フレーム２２２には、上フレーム２２２を貫通して、動力伝達機構２１４を収容するケーシング２３３が固定されている。また、上フレーム２２２には、後述のヘッドバランス機構６５１の引張りばね６５２を固定するための３個のヘッド側フック２３４が固定されている。下フレーム２２３には、ケーシング２３３に回動自在に支持された吊設部材２１２を下方に突出させるための開口部２３５が形成されている。
【００６７】
また、両図に示すように、サイドフレーム２２４には、下方に向かい垂直に延在するアーム部材２３６を介して、ワークＷ（の上面）までの距離を検出する距離検出センサ２３７が固定されている。同図に示すように、アーム部材２３６は、サイドフレーム２２４に固定された断面「Ｌ」字状の固定部材２４０上に配設された調整ねじ２３８により、上下方向にスライド自在に構成されている。そして、距離検出センサ２３７の検出部２３９をヘッドユニット８１の機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８と同じ高さに調整することにより、ノズル面１０８からワークＷまでの距離（ワークギャップ）を検出できるようになっている。
【００６８】
吊設部材２１２は、円柱状に形成されており、上フレーム２２２に固定されたケーシング２２３により、その中心がθ軸を通るように回動自在に軸支されている。吊設部材２１２は、下フレーム２２３の下側に突出しており、その下端には、ヘッドホルダ９３の支持プレート１３２を固定する平面視円形のヘッド固定部２４１が固定されている。ヘッド固定部２４１には、支持プレート１３２から突出する基準ボルト１８３の胴部１８４および２個の位置決めピン１７２に対応して、３個の凹部（図示省略）が形成されており、ヘッド固定部２４１の各凹部に上記した支持プレート１３２から突出する基準ボルトの胴部１８４および位置決めピン１７２をそれぞれ係合させることにより、θ軸を中心に、支持プレート１３２（ヘッドユニット８１）を位置決めできるようになっている。また、ヘッド固定部２４１には、位置決めした支持プレート１３２のねじ穴１７３に対応して、４個のねじ穴（図示省略）が形成されており、これらのねじ穴に小ねじ（図示省略）を螺合させることにより、ヘッド固定部２４１に支持プレート１３２を固定できるようになっている。また、吊設部材２１２の上部には、後述する動力伝達機構２１４の駆動歯車（図示省略）と噛合する従動歯車（図示省略）が固定されている。
【００６９】
ヘッド回動モータ２１３（サーボモータ）は、ヘッドホルダ９３の重心を通るθ軸を中心にヘッドホルダ９３（ヘッドプレート９２）を回動させるための駆動源となっている。ヘッド回動モータ２１３は、その出力軸がθ軸と一致するようにケーシング２３３に固定されている。また、図示省略したが、ヘッド回動モータ２１３の出力軸には、回動用ロータリエンコーダ（スリット円板とこれに臨むフォトインタラプタから成る）が固定されており、ヘッド回動モータ２１３の回転量（回転角度）に基づいて、吊設部材２１２の回動量を制御できるようになっている。動力伝達機構２１４は、ヘッド回動モータ２１３の回転動力を減速して吊設部材２１２に伝達するためのものである。動力伝達機構２１４には、ヘッド回動モータ２１３の出力軸に固定された歯車を有するハーモニックドライブ（図示省略）が組み込まれており、ハーモニックドライブの駆動歯車（図示省略）が吊設部材２１２の従動歯車（図示省略）に噛合して回転することにより、ヘッド回動モータ２１３の動力が減速して吊設部材２１２に伝達するようになっている。
【００７０】
本実施形態では、ヘッドプレート９２を、所定のヘッド基準位置（ヘッドユニット８１に搭載された機能液滴吐出ヘッド９１の姿勢がＸ軸およびＹ軸に対して４５°となる位置）である０°から±６０°の範囲で回動させるようになっており、図１２に示すように、吊設部材２１２の側面には、この範囲内で吊設部材２１２の回動を止めるための回動規制部材２４２が固定されていると共に、各サイドフレーム２２４には、上記の回動規制部材２４２に当接して、ヘッドユニット８１の基準位置から±６０°の位置で、吊設部材２１２の回動を停止させる回動止め２４３（ストッパ）が固定されている。
【００７１】
また、図１１および図１２に示すように、ヘッドプレート９２（吊設部材２１２）を所定のヘッド基準位置から±６０°の範囲で回動させるために、ヘッド回動機構２０１には、吊設部材２１２の正逆回動端位置を検出するための（一対の）回動端検出センサ２５１と回動のセンター位置（すなわちヘッド基準位置）を検出するセンター位置検出センサ２５２と、が配設されており、上記した回動用ロータリエンコーダと回動端検出センサ２５１およびセンター位置検出センサ２５２に基づいてヘッド回動モータ２１３を制御するようになっている。回動端検出センサ２５１およびセンター位置検出センサ２５２は、下フレーム２２３の上面に固定された３個のフォトセンサ２５３から構成されている。各フォトセンサ２５３は、透過型のフォトインタラプタで構成されている。
【００７２】
また、吊設部材２１２の側面には、下フレーム２２３に固定されたフォトセンサ２５３の高さに対応して、リング状の支持リング２６１が固定されている。そして、支持リング２６１には、フォトセンサ２５３の検出光を遮断するための遮光部材２６２が固定されている。遮光部材２６２は、支持リング２６１よりも一回り大きく、かつリング状の遮光材を、吊設部材２１２の回動範囲（すなわち１２０°）に対応させて（円弧状に）形成されている。支持リング２６１には、遮光部材２６２を固定するためのねじ穴（図示省略）が２個形成されている。そして、遮光部材２６２には、支持リング２６１のねじ穴に対応して、２個の長孔２６３が形成されており、支持リング２６１に対して遮光部材２６２の取付け位置を調整可能となっている。
【００７３】
回動端検出センサ２５１およびセンター位置検出センサ２５２を構成する３個のフォトセンサ２５３は、吊設部材２１２の回動に伴い移動する遮光部材２６２の軌跡に対応して、遮光部材２６２の移動範囲に均等に配設されている。そして、吊設部材２１２が回動すると、遮光部材２６２が各センサの検出光を遮光又は透過するようになっており、回動端検出センサ２５１およびセンター位置検出センサ２５２は、３個のフォトセンサ２５３の検出結果の組合せから、ヘッド基準位置０°（センター）と、±６０°（両端位置）の３つの角度状態を検出できるようになっている。
【００７４】
ヘッド昇降機構２０２は、ヘッドホルダ９３を支持するヘッド回動機構２０１を介して、ヘッドホルダ９３（ヘッドプレート９２）を昇降させるものであり、ワークＷと機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８とのギャップ調整を行う場合や、後述するメンテナンス手段２２の各ユニットに対応させて、機能液滴吐出ヘッド９１（のノズル面１０８）を適切な所定の高さ位置に調節するためのものである。
【００７５】
図５および図１３、１４に示すように、ヘッド昇降機構２０２は、上記のキャリッジ８３に取付けられている。ヘッド昇降機構２０２は、キャリッジの正面に突設されるヘッド回動機構２０１を支持する左右一対の支持ブロック２７１と、ヘッド昇降ボールねじ２７２と、ヘッド昇降ボールねじ２７２を正逆回転させるヘッド昇降モータ２７３（ブレーキ付サーボモータ）と、ヘッド昇降ボールねじ２７２に螺合し、左右一対の支持ブロック２７１を上下方向にスライド自在に支持する昇降ブロック２７４と、支持ブロック２７１の移動を案内する左右一対のヘッド昇降ガイド２７５と、を有しており、これらは左右対称に配設されている。
【００７６】
そして、ヘッド昇降モータ２７３が正逆回転すると、昇降ブロック２７４を介して支持ブロック２７１が昇降し、ヘッドホルダ９３（ヘッドプレート９２に搭載した機能液滴吐出ヘッド９１）が上下方向に移動するようになっている。各支持ブロック２７１には、ヘッド回動機構２０１の背面支持フレーム２２１の片側に形成された位置決め凸部２３１に係合する凹部２７６と、背面支持フレーム２２１に形成されたねじ穴２３２に対応する２個のねじ穴２７７と、が形成されている。ヘッド回動機構２０１は、キャリッジ８３に組み込まれたヘッド昇降機構２０２の中心線と、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１の重心を通るθ軸とが平行に重なり合うように、ヘッド昇降機構２０２に固定されている。
【００７７】
なお、ヘッドプレート９２には、基準となる所定のヘッド高さ位置が決められており、ヘッド高さ位置を基準として、ヘッドプレート９２の上限位置および下限位置が予め設定されている。そして、図１４に示すように、キャリッジ８３には、支持ブロック２７１の位置に基づいて、ヘッドプレート９２の昇降限界を検出するための昇降位置検出センサ２８１が配設されている。昇降位置検出センサ２８１は、ヘッドプレート９２のヘッド高さ位置を検出する基準位置検出センサ２８２と、ヘッドプレート９２の上限位置を検出する上限検出センサ２８３と、ヘッドプレート９２の下限位置を検出する下限検出センサ２８４と、を有している。また、ヘッド昇降モータ２７３の出力軸には、ヘッド昇降モータ２７３の回転量からヘッドプレート９２の昇降量を検出する昇降用ロータリエンコーダ（図示省略）が固定されており、ヘッド昇降モータ２７３は、昇降位置検出センサ２８１および昇降用ロータリエンコーダに基づいて制御されるようになっている。
【００７８】
図５、図１３および１４に示すように、キャリッジ８３は、正面に大きな開口２９２を有する箱状のキャリッジ本体２９１と、キャリッジ本体２９１上に固定されたサブフレーム２９３と、を有しており、キャリッジ８３には、ヘッド昇降機構２０２および後述するヘッドバランス機構６５１が取付けられている。キャリッジ本体２９１は、断面略「コ」字状のキャリッジフレーム２９４と、キャリッジフレーム２９４の両側および正面を覆うキャリッジカバー２９５と、を有している。ヘッド昇降機構２０２の主要部は、キャリッジ本体２９１内に組み込まれており、キャリッジフレーム２９４の正面に、ヘッド昇降ボールねじ２７２、昇降ブロック２７４、左右一対の支持ブロック２７１、および左右一対のヘッド昇降ガイド２７５が左右対称に突設されている。
【００７９】
同図に示すように、キャリッジフレーム２９４の背面には、後述するＹ軸テーブル３０２の取付けブロック３２２への取付け位置を位置決めするキャリッジピン（図示省略）が突出している。また、キャリッジフレーム２９４の左側には、取付けブロック３２２に対するキャリッジの取付け姿勢を調整するための上下一対の調整ねじ２９８を有する姿勢調整機構２９７が設けられており、ヘッド昇降機構２０２のヘッド昇降ボールねじ２７２が垂直に支持されると共に、ヘッドユニット８１に搭載された機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８が水平になるように、キャリッジ８３を取付けブロック３２２に固定できるようになっている。
【００８０】
サブフレーム２９３は、断面略逆「Ｎ」字状に形成されている。サブフレーム２９３の一端はキャリッジフレーム２９４の上端に固定され、他端には、後述するヘッドバランス機構６５１の３本の引張りばね６５２を固定するためのキャリッジ側フック２９９が３個、横並びに突出して固定されている。
【００８１】
Ｘ・Ｙ移動機構８４は、いわゆるＸ・Ｙロボットであり、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル３０１と、キャリッジ８３を介して、ヘッドユニット８１をＹ軸方向（副走査方向）に移動させるＹ軸テーブル３０２と、を有している（図２等参照）。Ｘ・Ｙ移動機構８４は、上記した石定盤５１の高い部分に載置されており、ワークＷの平坦度を維持すると共に、ヘッドユニット８１を正確に移動させることができるようになっている。
【００８２】
図２に示すように、Ｘ軸テーブル３０１は、石定盤５１のＸ軸方向に延在し、石定盤５１上に直接設置されている。Ｘ軸テーブル３０１は、ワークＷをセットするためのセットテーブル３１１と、セットテーブル３１１を支持するθテーブル３１２と、θテーブル３１２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ（図示省略）と、θテーブル３１２およびセットテーブル３１１を介して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダに併設したＸ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。なお、Ｘ軸リニアモータ、Ｘ軸エアースライダ、およびＸ軸リニアスケールは、Ｘ軸に対して平行に配設されており、Ｘ軸ボックス３１６内に収容されている。また、θテーブル３１２には、上記したヘッド認識カメラ３１が固定されており、セットテーブル３１１に対して、ヘッドユニット８１の位置を補正可能となっている。
【００８３】
同図に示すように、セットテーブル３１１の中心部には、ワークＷをエアー吸引により吸着セットするための吸引溝３１７が形成されている。セットテーブル３１１には、上記したエアー吸引手段２５のエアー吸引チューブ（図示省略）が接続されている。そして、上記した吸引用スイッチ３４をＯＮにすると、エアー吸引手段２５が駆動してエアー吸引がなされ、ワークＷの平行度を維持しつつ不動にセットできるようになっている。Ｘ軸テーブル３０１では、Ｘ軸リニアモータの駆動により、θテーブル３１２とワークＷを吸着セットしたセットテーブル３１１とが、Ｘ軸エアースライダを案内にしてＸ軸方向に移動する。
【００８４】
Ｙ軸テーブル３０２は、石定盤５１に立設されたスタンド付のＹ軸フレーム３２１に載置されており、Ｘ軸テーブル３０１を跨ぎ、Ｘ軸テーブル３０１に直交して延在している。Ｙ軸テーブル３０２は、ヘッドユニット８１を搭載したキャリッジ８３を正面に取付ける取付けブロック３２２と、Ｙ軸フレーム３２１にスライド自在に支持され、取付けブロック３２２を支持するＹ軸エアースライダ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダを介して、キャリッジ８３をＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダに併設したＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している（図２参照）。なお、取付けブロック３２２とＹ軸エアースライダとを一体に形成することも可能である。
【００８５】
また、Ｙ軸フレーム３２１には、Ｙ軸エアースライダの他に、エアースライダ（図示省略）がスライド自在に支持されており、エアースライダには、上記したワーク認識カメラ３２および描画観察カメラ３３が固定されている。エアースライダとＹ軸スライダは、独立して移動可能に構成されており、Ｙ軸リニアモータの駆動により、ワーク認識カメラ３２および描画観察カメラ３３は、キャリッジとは独立にＹ軸方向へ移動する。なお、ワーク認識カメラ３２は、ワークＷの位置補正に用いられ、描画観察カメラ３３は、機能液が適切に塗布されているか否かの観察に用いられる。
【００８６】
ここで、吐出手段２１の一連の動作について簡単に説明する。先ず、機能液を吐出する前の準備として、ワークＷにワーク認識カメラ３２を臨ませ、セットテーブル３１１にセットされたワークＷの位置補正を行うと共に、ヘッド認識カメラ３１およびヘッドユニット８１を移動させて、ヘッド認識カメラ３１にヘッドユニット８１を臨ませ、ヘッド認識カメラ３１により、ヘッドユニット８１の位置補正を行う。また、距離検出センサ２３７により機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８からワークＷまでの距離を測定し、ワークギャップが所定の値となるように、ヘッド昇降機構２０２によりヘッドユニット８１の高さ調整を行う。（なお、ワーク処理時におけるヘッドユニット８１の高さをヘッドユニット８１の描画高さとする。）
【００８７】
次に、Ｘ・Ｙ移動機構８４（Ｘ軸テーブル３０１）が、ワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往動させる。ワークＷの往動と同期して、機能液滴吐出ヘッド９１が選択的に駆動され、ワークＷに対する機能液の選択的な吐出動作が行われる。ワークＷが一往動すると、Ｘ・Ｙ移動機構８４（Ｙ軸テーブル３０２）は、ヘッドユニット８１を副走査（Ｙ軸）方向に移動させる。そして、Ｘ・Ｙ移動機構８４により、ワークＷを復動させると共に、これと同期して機能液滴吐出ヘッド９１の選択的な駆動を行う。ワークＷの一復動が終了すると、Ｘ・Ｙ移動機構８４により、ヘッドユニット８１を副走査させる。そして、ワークＷの主走査方向へ往復動と機能液滴吐出ヘッド９１の駆動と、を繰り返すことにより吐出手段２１は、ワークＷに対する機能液の吐出処理を行っている。なお、ワークギャップは、ワークＷの厚みや種類などを考慮して設定されており、ヘッドユニット８１の描画高さは、設定されたワークギャップに基づいてセットテーブル３１１の上面よりも常に高い位置に設定される。
【００８８】
次に、メンテナンス手段２２について説明する。メンテナンス手段２２は、機能液滴吐出ヘッド９１の保守を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド９１から適切に機能液が吐出されているか否かの検査を行い、機能液滴吐出ヘッド９１による機能液の吐出を安定させるためのものである。
【００８９】
図２ないし図４に示すように、メンテナンス手段２２は、機能液滴吐出ヘッド９１から予備吐出された機能液を受けるためのフラッシングユニット３４１と、機能液滴吐出ヘッド９１の吸引を行う吸引ユニット３４２と、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８に付着する汚れを払拭するためのワイピングユニット３４３と、機能液滴吐出ヘッド９１から吐出される機能液の吐出状態を検査するための吐出検査ユニット３４４と、機能液滴吐出ヘッド９１から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット３４５と、を備えており、これら各ユニットは、セットテーブル３１１の周囲に集約的に配設されている。
【００９０】
図２に示すように、吸引ユニット３４２、ワイピングユニット３４３、および重量測定ユニット３４５は、Ｙ軸方向に移動するヘッドユニット８１の移動軌跡（移動軸）上に配設されており、Ｙ軸テーブル３０２によるヘッドユニット８１の移動を利用して、ヘッドユニット８１に臨み、保守に供するようになっている。また、同図に示すように、上記した石定盤５１の低い位置には、共通支持フレーム３５１および移動テーブル３５２が横並びに設置されており、共通支持フレーム３５１上には、吸引ユニット３４２および吐出検査ユニット３４４が、移動テーブル３５２上にはワイピングユニット３４３がそれぞれ支持されている。
【００９１】
共通支持フレーム３５１は、平面視略長方形のベース部３６１と、ベース部３６１の端に立設したスタンド部３６２と、を有しており、吸引ユニット３４２はスタンド部３６２に配設され、吐出検査ユニット３４４はベース部３６１に配設されている。なお、共通支持フレーム３５１は、ベース部３６１の長手方向がＸ軸と平行になるように配設されている（図１９および図２０参照）。
【００９２】
移動テーブル３５２は、Ｘ軸と平行に配設されており、ワイピングユニット３４３を支持するＸ軸方向にスライド自在の移動スライダ３７１と、移動スライダ３７１を水平移動させる移動エアーシリンダ３７２と、移動スライダ３７１をスライド自在に支持すると共に移動スライダ３７１の移動をガイドする移動ガイド３７３と、を有している。移動エアーシリンダ３７２のピストンロッド３７４の先端には、断面「Ｌ」字状の固定片３７５が取付けられており、移動エアーシリンダ３７２は、固定片３７５を介して移動スライダ３７１に固定されている（図１７参照）。移動テーブル３５２は、上記したヘッドプレート９２をヘッドホルダ９３から取り外すときに用いられ、ヘッドユニット８１の移動軌跡上に位置するワイピングユニット３４３を、ヘッドユニット８１の移動軌跡上から逃がすようになっている。
【００９３】
フラッシングユニット３４１は、フラッシングの機能液を受けるためのものである。フラッシングとは、機能液滴吐出ヘッド９１の吐出ノズル１０９から機能液を予備吐出（捨て打ち）することにより、吐出ノズル１０９のノズル詰まりを防止すると共に、吐出ノズル１０９に新鮮な機能液を導入するためのものである。フラッシングには、ワークＷに対して機能液を吐出させる直前に行う吐出前フラッシングと、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する機能液の吐出が一時的に休止される時に定期的に行われる定期フラッシングとがあり、フラッシングユニット３４１は、吐出前フラッシングの機能液を受けるものである。なお、詳細は後述するが、定期フラッシングの機能液は、吸引ユニット３４２で受けるようになっている。
【００９４】
図２および図４に示すようにフラッシングユニット３４１は、機能液を受ける一対のフラッシングボックス３８１と、一対のフラッシングボックス３８１をその両端部に固定したスライダ（図示省略）と、を備えている。各フラッシングボックス３８１には、機能液を吸収させる吸収材（図示省略）が敷設されている。また、各フラッシングボックス３８１の底面中央部には、機能液を排出するための排出口（図示省略）が形成されている。スライダは、Ｘ軸テーブル３０１のθテーブル３１２に固定されており、一対のフラッシングボックス３８１は、θテーブル３１２およびセットテーブル３１１を挟んで配設されている。
【００９５】
すなわち、主走査におけるθテーブル３１２（ワークＷ）の移動に同期して、一対のフラッシングボックス３８１も、ヘッドユニット８１へ向かってＸ軸方向に移動していくので、ワークＷと共に、ヘッドユニット８１に臨む構成となっている。したがって、機能液滴吐出ヘッド９１は、ワークＷに対して機能液を吐出させる直前に、順次フラッシングボックス３８１に臨んで、吐出ノズル１０９から機能液を順次予備吐出させることができるようになっている。
【００９６】
吸引ユニット３４２は、機能液滴吐出ヘッド９１を吸引することにより、機能液滴吐出ヘッド９１の吐出ノズル１０９から機能液を強制的に排出させるものであり、例えば、新たにヘッドユニット８１に機能液滴吐出ヘッド９１を投入した場合のように機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド９１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に吸引ユニット３４２は用いられる。
【００９７】
図１５および図１６に示すように、吸引ユニット３４２は、ヘッドユニット８１に搭載された機能液滴吐出ヘッド９１に密着させる３個のキャップ３９１と、３個のキャップ３９１を支持するトレー状のキャップベース３９２と、キャップ３９１を介して機能液滴吐出ヘッド９１の吸引を行う吸引ポンプ３９３と、キャップベース３９２を支持するキャップスタンド３９４と、を備えている。また、図２に示すように、吸引ユニット３４２は、Ｙ軸方向を移動するヘッドユニット８１に臨むように、Ｙ軸方向に移動するヘッドユニット８１の移動軌跡上に配設されている。そして、ヘッドユニット８１が吸引ユニット３４２に臨んだときに、上記したヘッド昇降機構２０２を駆動してヘッドユニット８１を下降させることにより、機能液滴吐出ヘッド９１をキャップ３９１に密着させることができるようになっている。
【００９８】
各キャップ３９１は、キャップ本体４０１とキャップ本体４０１を支持するキャップホルダ４０２とで構成されている。キャップ本体４０１の上面には、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８を包含する凹部４１１が形成され、凹部４１１の周縁部には、ノズル面１０８に形成された吐出ノズル１０９を包含するようにシールパッキン４１２が取り付けられている。凹部４１１の底部には、小孔４１３が形成されている。この小孔４１３は、吸引用の接続チューブ（図示省略）を介して吸引ポンプ３９３に接続されるＬ字継手４１４と連通している。また、凹部４１１には、吸収材４１５が敷設されており、吸収材４１５は押え枠４１６によって押し付けられている。
【００９９】
キャップホルダ４０２は、平面視略長方形であり、キャップホルダ４０２の長手方向に対し、その上面が僅かに傾斜した形状となっている。そして、キャップ本体４０１は、上方（キャップホルダ４０２）に付勢され、かつ僅かに上下動可能な状態でキャップホルダ４０２に保持されている。したがって、ヘッド昇降機構２０２を駆動して、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８をキャップ３９１に押し付けることにより、ノズル面１０８にならってシールパッキン４１２を密着させることができ、ノズル面１０８を確実に封止できるようになっている。
【０１００】
キャップベース３９２には、ヘッドユニット８１の（３個の）機能液滴吐出ヘッド９１の配置に対応させて、キャップ３９１を取付けるための取付け開口（図示省略）が形成されている。そして、キャップ３９１の下部を取付け開口に挿入して、キャップベース３９２にキャップホルダ４０２をねじ止めすることにより、ヘッドユニット８１の機能液滴吐出ヘッド９１の配置に対応させてキャップ３９１を固定できるようになっている。キャップスタンド３９４は、共通支持フレーム３５１のスタンド部３６２に立設されている。なお、キャップスタンド３９４には、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８の高さ位置を検出するノズル面検出センサ４２１が固定されている。
【０１０１】
上述したが、吸引ユニット３４２は、機能液滴吐出ヘッド９１の吸引の他に、定期フラッシング時の機能液受けとして用いられている。この場合、ヘッドユニット８１は、ヘッド昇降機構２０２により、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８とキャップ３９１との間に間隙が生じる所定のフラッシング位置まで下降するようになっており、機能液滴吐出ヘッド９１はこのフラッシング位置からキャップ３９１に対してフラッシングを行う。そこで、キャップホルダ４０２の上面部には、機能液を受けるための機能液受け４１８が形成されている。また、キャップベース３９２はトレー状に形成されており、キャップホルダ４０２の機能液受け４１８からはみ出した機能液が飛び散らないようになっている。さらに、キャップスタンド３９４には、キャップベース３９２からはみ出した機能液を受ける廃液パン４１９が、キャップベース３９２に臨んで配設されている（図１９参照）。
【０１０２】
ワイピングユニット３４３は、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８を、ロール状に巻回されたワイピングシート４２１を繰り出しながら拭き取るものである。ワイピングユニット３４３は、上述した移動テーブル３５２上に配設され、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。図１７および図１８に示すように、ワイピングユニット３４３は、支持フレーム４２２と、ワイピングシート４２１を繰出しながら巻き取っていく巻取りユニット４２３と、繰り出されたワイピングシート４２１でノズル面１０８を拭き取るための拭き取りユニット４２４と、を有している。
【０１０３】
支持フレーム４２２は、「Ｌ」字状に折り曲げられ、移動スライダ３５２に固定された一対の鉛直プレート４３１と、一対の鉛直プレート４３１の上部に掛け渡した水平プレート４３２と、を有している。一対の鉛直プレート４３１には、巻取りユニット４２３が両持ち支持されており、水平プレート４３２上には、拭き取りユニット４２４が配設されている。
【０１０４】
巻取りユニット４２３は、ロール状のワイピングシート４２１を装填し、ワイピングシート４２１を繰り出す上側の繰出しリール４４１と、繰り出されたワイピングシート４２１を巻き取る下側の巻取りリール４４２と、巻取りリール４４２を回転させると共に、巻取りリール４４２の回転を介して繰出しリール４４１を回転させる巻取りモータ４４３と、を備えている。繰出しリール４４１および巻取りリール４４２は、鉛直プレート４３１により、回転自在に支持されている。繰出しリール４４１には、トルクリミッタ４４４等の制動機構が組み込まれており、繰出されたワイピングシート４２１に一定の張力を付与できるようになっている。巻取りリール４４２および巻取りモータ４４３との間には、タイミングベルト４４５が掛け渡されており、巻取りモータ４４３が回転することにより、タイミングベルト４４５を介して巻取りリール４４２が回転し、ワイピングシート４２１を繰出すと共に、これを順次巻き取るようになっている。
【０１０５】
拭き取りユニット４２４は、水平プレート４３２上に固定された一対のサブスタンド４５１と、サブスタンド４５１に支持され、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８にワイピングシート４２１を当接させる拭き取りローラ４５２と、サブスタンド４５１に支持され、繰出しリール４４１から繰出されたワイピングシート４２１を拭き取りローラ４５２に送る中間ローラ４５３と、繰出されたワイピングシート４２１に洗浄液を滴下する複数（８個）の滴下ノズル４５６と、を備えている。なお、移動テーブル３５２の移動スライダ３７１には、一対の鉛直プレート４３１に挟まれて洗浄液パン４５７が固定されており、ワイピングユニット３４３からはみ出した洗浄液で装置内が汚れないようになっている。
【０１０６】
図１７に示すように、拭き取りローラ４５２は、一対のサブスタンド４５１に回転自在かつ両持ちで、水平に支持されている。そして、拭き取りローラ４５２は、ワイピングシート４２１を当接させる機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８がサブスタンド４５１に衝突しないように、サブスタンド４５１からその上端がはみ出すように支持されている。また、拭き取りローラ４５２は、ローラ高調整ねじ４６２を有するローラ高調整機構４６１を介して、サブスタンド４５１に支持されており、ローラ高調整ねじ４６２により、拭き取りローラ４５２のローラ高さおよび平行度を微調整できるようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８の損傷を防止するため、拭き取りローラ４５２は、柔軟性と弾力性を有するゴム等で構成することが好ましい。
【０１０７】
中間ローラ４５３は、ワイピングシート４２１を挟んで対峙する上下２つのローラ４５３ａ、４５３ｂからなるグリップローラで構成されており、サブスタンド４５１に回転自在かつ両持ちで、水平に支持されている。中間ローラ４５３の下側のローラ４５３ｂには、ローラの回転速度を検出する速度検出器４６５が固定されている。速度検出器４６５による検出結果に基づいてワイピングシート４２１の送り速度を検出できるようになっており、ワイピングシート４２１が所定の速度で送られるよう、巻取りモータ４４３は、速度検出器４６５の検出結果に基づいて制御されている。
【０１０８】
滴下ノズル４５６は、後述する液体供給回収手段２３の洗浄液タンク６１３に接続されており、ワイピングシート４２１に洗浄液を滴下するものである。滴下ノズルは、サブスタンド４５１に水平支持されたノズル支持部材４６８に支持されている。ノズル支持部材４６８は、ワイピングシート４２１の送り方向における、中間ローラ４５３と拭き取りローラ４５２との間に固定されている。そして、複数の滴下ノズル４５６は、ワイピングシート４２１の幅方向に対して均一に洗浄液を滴下できるように、ワイピングシート４２１の幅に合わせて横並びに等間隔で支持されている。
【０１０９】
図１８に示すように、ワイピングユニット３４３に装填されたワイピングシート４２１は、繰出しリール４４１から繰り出され、中間ローラ４５３、拭き取りローラ４５２を周回して、巻取りリール４４２に巻き取られるようになっている。一連の拭き取り動作について簡単に説明する。まず、Ｙ軸テーブル３０２を駆動して、ヘッドユニット８１をＹ軸方向に移動させて、ヘッドユニット８１をワイピングユニット３４３に臨ませる。
【０１１０】
次に、滴下ノズル４５６からワイピングシート４２１に洗浄液を滴下させ、ワイピングシート４２１に洗浄液を含浸させる。洗浄液の滴下を続けながら、巻取りモータ４４３を駆動して、ワイピングシート４２１の洗浄液を含浸した部分を拭き取りローラ４５２に送っていく。さらに、洗浄液の滴下とワイピングシート４２１の送りを続けながら、上記したヘッド昇降機構２０２を駆動してヘッドユニット８１を下降させ、洗浄液を含浸したワイピングシート４２１を介して、拭き取りローラ４５２に機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８を当接させる。そして、この状態のまま、再びヘッドユニット８１をＹ軸方向へ移動させていき、ワイピングシート４２１で機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８を拭き取っていく。全ての機能液滴吐出ヘッド９１が拭き取りローラ４５２を通過すると、拭き取り動作は完了となり、洗浄液の滴下およびワイピングシート４２１の送りが停止される。
【０１１１】
吐出検査ユニット３４４は、機能液滴吐出ヘッド９１から実際に吐出された飛翔中の機能液滴を撮像することにより、機能液滴吐出ヘッド９１から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するものである。図１９および図２０に示すように、吐出検査ユニット３４４は、飛翔中の機能液滴を撮像する撮像ユニット４７１と、撮像する機能液滴に光を照射する照明ユニット４７２と、を備えている。吐出検査のために吐出された機能液の機能液受けは吸引ユニット３４２が兼ねており、撮像ユニット４７１および照明ユニット４７２は、吸引ユニット３４２のキャップベース３９２を支持する共通支持フレーム３５１のスタンド部３６２を挟んで対向配置されている。
【０１１２】
撮像ユニット４７１は、機能液滴を撮像するＣＣＤカメラ４８１と、ＣＣＤカメラ４８１を支持するカメラスタンド４８２と、カメラスタンド４８２を介し、ＣＣＤカメラ４８１を移動させるカメラ移動機構４８３と、を備えている。図示省略したが、ＣＣＤカメラ４８１は、撮像用の対物レンズや、対物レンズにより結像した機能液滴の画像を電気信号に変換するＣＣＤ撮像素子などを有している。また、ＣＣＤカメラ４８１は、撮像倍率（視野）を変えるためのカメラズーム４８４を有しており、カメラズーム４８４用のズームモータ４８５を具備している。なお、ＣＣＤカメラ４８１は、吐出検査のための機能液滴吐出ヘッド９１の駆動と同期しており、飛翔中の機能液滴を的確に撮像できるようになっている。カメラスタンド４８２には、ＣＣＤカメラ４８１（対物レンズ）の前後（Ｘ軸）方向の角度を微調整するためのカメラ角度調整機構４８６や、ＣＣＤカメラ４８１の高さを微調整するためのカメラ高さ調整機構４８７が組み込まれている。
【０１１３】
カメラ移動機構４８３は、ＣＣＤカメラ４８１の焦点距離を調整するために、ＣＣＤカメラ４８１を移動させるものである。カメラ移動機構４８３は、上記した共通支持フレーム３５１のベース部３６１に固定されている。カメラ移動機構４８３は、ベース部３６１の長手方向（Ｘ軸）に平行に配設されており、カメラスタンド４８２をＸ軸方向にスライド自在に支持するカメラ用スライダ４８８と、カメラ用スライダ４８８を移動させるためのカメラ用ボールねじ（図示省略）と、カメラ用ボールねじに併設されたカメラ用リニアスケール（図示省略）と、カメラ用ボールねじを正逆回転させるカメラ移動モータ４８９と、を備えている。カメラ移動モータ４８９が駆動すると、ボールねじが正逆回転して、カメラ用スライダ４８８を介してＣＣＤカメラ４８１がＸ軸方向に移動する。
【０１１４】
照明ユニット４７２は、撮像の光源となるストロボ４９１と、ストロボ４９１から照射される照射光の光量を調節するための透光板４９２と、を有している。ストロボ４９１は、Ｘ軸方向に延在し、カメラスタンド４８２に固定されたアーム部材４９３に支持されている。アーム部材４９３には、ストロボ４９１の前後（Ｘ軸）方向の角度および高さを調整するためのストロボ位置調整機構４９４が組み込まれており、ストロボ４９１の光軸がＣＣＤカメラ４８１の光軸と一致するように、ストロボ４９１の位置調整がなされる。ストロボ４９１は、カメラスタンド４８２に固定されたアーム部材４９３に支持されているため、ストロボ４９１は、その光軸をＣＣＤカメラ４８１の光軸と一致させた状態で、ＣＣＤカメラ４８１の移動に追従するようになっている。なお、ストロボ４９１は、十分な光量を確保できると共に装置内への熱的影響が少ないＬＥＤアレイで構成することが好ましい。
【０１１５】
ストロボ４９１も機能液滴吐出ヘッド９１の駆動と同期しており、ＣＣＤカメラ４８１の撮像タイミングに合わせて発光するようになっている。したがって、機能液滴や背景の色に関わらず、機能液滴の周囲は比較的輝度の高い白色に、機能液滴は比較的輝度の低い黒色に撮像することができる。
【０１１６】
透光板４９２は、アクリル板等の透光性を有する透明の板で構成されている。透光板４９２は、ストロボ４９１の照射光を減光するためのもので、ストロボ４９１のＣＣＤカメラ４８１側前方に配設されている。透光板４９２は、共通支持フレーム３５１のスタンド部３６２に固定された透光板昇降シリンダ４９５（エアーシリンダ）に支持されており、ＣＣＤカメラ４８１の撮像倍率に対応して、上下するようになっている。すなわち、撮像倍率が高いときには、ストロボ４９１から十分な光量を得られるよう透光板４９２を下げ、撮像倍率が低いときには、ストロボ４９１からの照射光を減光するために透光板４９２を上昇させるようになっている。
【０１１７】
吐出検査ユニット３４４による吐出検査は、ＣＣＤカメラ４８１を間欠移動させながら、各機能液滴吐出ヘッド９１のノズル列毎に行われる。具体的に説明すると、まず、ヘッドユニット８１を移動させて吸引ユニット３４２に臨ませた後、ヘッド昇降機構２０２を駆動して、ヘッドユニット８１を所定の撮像高さまで下降させる。そして、機能液滴吐出ヘッド９１の１列目のノズル列を構成する吐出ノズル１０９から機能液滴を吐出させ、１列目の吐出ノズル１０９から吐出される機能液滴を撮像する。ＣＣＤカメラ４８１の視野内に、１列目を構成する全吐出ノズル１０９が収まらないときは、ＣＣＤカメラ４８１の視野に合わせて、１列目のノズル列を複数のグループに分割し、グループ毎に順次撮像を行うことにより１列分の吐出ノズル１０９から吐出される機能液滴を撮像する。すなわち、１つのグループの撮像が終了すると、次のグループの全吐出ノズル１０９がＣＣＤカメラ４８１の視野内に収まるように、機能液滴吐出ヘッド９１を移動させる、といった動作を繰り返し、１列目の全吐出ノズル１０９から吐出される機能液滴の撮像を行う。
【０１１８】
１列目の撮像が終了すると、カメラ移動モータ４８９を駆動して、２列目の吐出ノズル１０９から吐出される機能液滴に焦点が合うように、２列目のノズル列の位置に対応させて、ＣＣＤカメラ４８１を移動させる。そして、１列目と同様に、２列目の全吐出ノズル１０９から吐出される機能液滴を撮像する。そして、このような動作を繰り返し、１個の機能液滴吐出ヘッド９１の全ノズル列について撮像を行う。１個の機能液滴吐出ヘッド９１の吐出検査が終了すると、ヘッドユニット８１またはＣＣＤカメラ４８１を適宜移動させて、次の機能液滴吐出ヘッド９１について吐出検査を行う。そして、これを機能液滴吐出ヘッド９１の数（３回）、繰り返すことにより、ヘッドユニット８１の全機能液滴吐出ヘッド９１の吐出検査を行うことができるようになっている。
【０１１９】
なお、ＣＣＤカメラ４８１による撮像結果は、上記したホスト・コンピュータ２６に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド９１の各吐出ノズル１０９が正常に機能液を吐出しているか否かが判断される。
【０１２０】
重量測定ユニット３４５は、機能液滴吐出ヘッド９１から吐出された機能液滴の重量を測定することにより、機能液滴吐出ヘッド９１の吐出不良を検出するためのものである。図２１および図２２に示すように、重量測定ユニット３４５は、機能液滴の重量を測定する電子天秤５０１と、電子天秤５０１を収容する略直方体の天秤収容ボックス５０２と、天秤収容ボックス５０２を支持する天秤スタンド５０３と、を備えている。
【０１２１】
電子天秤５０１は、機能液滴吐出ヘッド９１から吐出された機能液滴を受ける受け皿５１１と、受け皿５１１を支持する支持部５１２と、支持部５１２を支持すると共に、受け皿５１１に吐出された機能液滴の重量を測定する測定部５１３と、を有している。受け皿５１１は、平面視方形状であり、ヘッドユニット８１に搭載された３個の機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８が十分に収まるよう、大きめに形成されている。受け皿５１１の上面は、機能液を吸着するスポンジ状の吸着シート５１４が敷設されており、吐出された機能液を確実に受け皿５１１上に捕捉できるようになっている。
【０１２２】
天秤収容ボックス５０２は、内部に電子天秤５０１を収容し、電子天秤５０１の測定結果に対する気流の影響を防止するためのものである。天秤収容ボックス５０２の上面には、受け皿５１１の大きさに対応して、方形の開口部５２１が突出して形成されており、開口部５２１に受け皿５１１が位置するようになっている。図２２に示すように、天秤収容ボックス５０２は平面視長方形であり、天秤収容ボックス５０２には、開口部５２１を覆うと共に、天秤収容ボックス５０２の長手方向に対してスライド自在のカバー５２２が配設されている。そして、天秤収容ボックス５０２には、カバー５２２を移動させるカバー移動機構５２３が設けられており、機能液滴吐出ヘッド９１から吐出された機能液滴を受け皿５１１に受けるときのみ、カバー５２２が移動して、受け皿５１１の上面が露出するようになっている。
【０１２３】
カバー移動機構５２３は、カバー５２２をスライド自在に支持するスライダ５２４と、スライダを移動させるためのエアーシリンダ５２５（復動シリンダ）と、天秤収容ボックス５０２の側面に固定され、天秤収容ボックス５０２の側面に形成又は固定され、スライダ５２４の移動を案内するスライダガイド（図示省略）と、を有している。スライダ５２４には、取付け片５２７が固定されており、取付け片５２７にエアーシリンダ５２５のピストンロッド５２６が固定されている。そして、エアーシリンダ５２５にエアーを供給すると、ピストンロッド５２６が往動することによりカバー５２２が開き、ピストンロッド５２６が復動することによりカバー５２２が閉じるようになっている。なお、エアーシリンダ５２５は、エアー供給手段２４からエアー供給を受けるようになっている。
【０１２４】
天秤スタンド５０３は、ベースプレート５３１と、ベースプレート５３１に立設した４本の支柱部材５３２と、を有しており、４本の支柱部材５３２上に電子天秤５０１を収容した天秤収容ボックス５０２が固定されている。ベースプレート５３１は、電子天秤５０１の受け皿５１１がヘッドユニット８１の移動軌跡上に位置するよう、上記した石定盤５１の高い位置に設置される。支柱部材５３２は、電子天秤５０１の高さおよび平行度を調節可能な調節脚となっている。
【０１２５】
重量測定ユニット３４５の一連の動作について説明する。受け皿５１１に機能液滴吐出ヘッド９１が臨むよう、ヘッドユニット８１を重量測定ユニット３４５まで移動させた後、ヘッドユニット８１を所定の重量測定高さまで下降させる。このとき、電子天秤５０１のゼロ点調整を行う。そして、カバー移動機構５２３を駆動してカバー５２２を開き、機能液滴吐出ヘッド９１から機能液を受け皿５１１に（数百ショット）吐出させる。機能液の吐出が終了すると、ヘッドユニット８１を上昇させると共に、カバー５２２を閉じ、受け皿５１１に吐出された機能液の重量を測定する。なお、機能液滴の重量測定方法は、任意に設定可能であり、機能液滴吐出ヘッド９１単位で行うことも可能であるし、ノズル列毎に行うことも可能である。また、３個分の機能液滴吐出ヘッド９１から吐出された機能液滴を同時に測定し、異常が検出されたときのみ各機能液滴吐出ヘッド９１について測定を行うようにしてもよい。
【０１２６】
なお、上述したように、この液滴吐出装置２には、ヘッド昇降機構２０２が設けられ、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８の高さを調節することが可能であるため、ヘッド昇降機構２０２によるヘッドプレート９２の昇降範囲に対応させて、メンテナンス手段２２の各ユニットを構成すればよい。本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８と各メンテナンス手段２２の各ユニットとの間に、ワーク交換などに利用する作業空間を確保して効率的に作業を行えるようにするため、メンテナンス手段２２のほとんどのユニットは、その上端部がセットテーブル３１１よりも低くなるよう配設され、ヘッドプレート９２の下限付近にその保守高さ、すなわち機能液滴吐出ヘッド９１が各ユニットのメンテナンスに供されるときの高さ、が位置するようになっている（図３および図４参照）。
【０１２７】
次に、液体供給回収手段２３について説明する。液体供給回収手段２３は、ヘッドユニット８１（各機能液滴吐出ヘッド９１）に機能液を供給する機能液供給系５４１と、メンテナンス手段２２の吸引ユニット３４２で吸引した機能液および吸引ユニット３４２に吐出された機能液を回収する機能液回収系５４３と、ワイピングユニット３４３に機能材料の溶剤を洗浄用として供給する洗浄液供給系５４４と、で構成されている。
【０１２８】
機能液供給系５４１は、機能液を貯留する機能液パック（図示省略）と、これを支持する機能液スタンド５５１と、機能液パックと各機能液滴吐出ヘッド９１とを接続する給液チューブ５５３を有し、機能液パック内の機能液を各機能液滴吐出ヘッド９１に供給するための給液チューブユニット５５２を備えている。機能液パックおよび機能液スタンド５５１は、上記した小型の機台４２に配設された収容ボックス７３内に収容されており、機能液パックの交換時に、大型の機台４１に搭載された各手段を収容するチャンバ装置３（主チャンバ１１）内の雰囲気を破壊しないようになっている。
【０１２９】
図示省略したが、機能液パックは、機能液を貯留し、アルミ蒸着フィルム等で構成した袋状のパック本体と、パック本体の一端に取り付けられ、パック本体内の機能液の供給口となる機能液供給口部材と、を備えている。なお、機能液パックは密閉されており、パック内の機能液が外部エアーの影響を受けることはない。また、機能液パックの他に、カートリッジ形式のものやタンク形式のものを用いることも可能である。
【０１３０】
機能液スタンド５５１は、機能液パックを載置する載置部材５６１と、載置部材５６１を支持する昇降プレート５６２と、昇降プレート５６２を介して機能液パックを上下させる昇降機構５６３と、を備えている。図２３に示すように、機能液スタンド５５１は、３個の載置部材５６１を有しており、昇降プレート５６２には、３個の載置部材５６１が横並びに配設されている。そして、液滴吐出装置２を発光素子の形成に用いる場合には、Ｒ・Ｇ・Ｂに対応する機能液を貯留する３種類の機能液パックを各載置部材５６１にそれぞれ載置するようになっている。また、昇降プレート５６２には、所定の基準位置が定められており、昇降機構５６３は、基準位置から所定の範囲内で昇降プレート５６２を昇降させるようになっている。
【０１３１】
各載置部材５６１は、機能液パックを載置する載置プレート５７１と、載置プレート５７１を支持するプレート支持部材５７２と、を有している。プレート支持部材５７２は、載置プレート５７１の高さを調整可能なプレート昇降機構５７３を有しており、昇降プレート５６２が基準位置に位置するときに、ヘッドユニット８１に搭載された機能液滴吐出ヘッド９１と機能液パックとの水頭差が予め規定された値となるように、各載置プレート５７１の高さを調整するようになっている。プレート昇降機構５７３は、載置プレート５７１を上下に移動させるラック・ピニオン５７４と、ピニオン（図示省略）に固定されたプレート高調整ねじ５７５と、を有しており、プレート高調整ねじ５７５を回転させると、ピニオンがラック５７６上を相対的に移動して、載置プレート５７１が上下に移動するようになっている。
【０１３２】
昇降機構５６３は、ベース５８１に立設され、昇降プレート５６２を上下方向にスライド自在に支持している。昇降機構５６３は、昇降プレート５６２を上下方向に移動可能なスライド部材５８２と、スライド部材５８２の移動を案内する昇降ガイド５８３と、スライド部材５８２を上下に移動させるための昇降モータ（図示省略）と、昇降モータの駆動により正逆回転する昇降ボールねじ（図示省略）と、昇降ボールねじを正逆回転させると、昇降ボールねじに螺合すると共に、スライド部材５８２を支持する昇降部材５８６と、を備えている。なお、昇降モータおよび昇降ボールねじは、ケーシング５８４内に収容されている。本実施形態では、昇降モータは、中空軸モータで構成されており、昇降ボールねじは昇降モータを貫通して固定されている。
【０１３３】
スライド部材５８２は、「Ｌ」字状に折り曲げられており、昇降プレート５６２に固定する固定部５８７と、上下方向にスライド移動可能なスライド部５８８と、を有している。スライド部５８８には、遮光板を「Ｌ」字に折り曲げた小片５８９が固定されている。昇降ガイド５８３は、スライド部５８８と当接し、スライド部５８８の移動をガイドする。昇降部材５８６は、スライド部材５８８の固定部５８７に固定されている。昇降モータが駆動すると、スライド部材５８２が昇降ガイド５８３にガイドされながら昇降し、昇降プレート５６２を安定的に上下に移動させるようになっている。
【０１３４】
上述したように、昇降機構５６３は、基準位置にある昇降プレート５６２を所定の範囲内で上下させるようになっており、昇降機構５６３に併設されたプレート位置検出センサ５９１に基づいて、昇降モータのパルス制御を行うことにより、所定の範囲内で昇降プレート５６２を上下させることができるようになっている。プレート位置検出センサ５９１は、昇降プレート５６２の上限位置および下限位置を検出するものであり、発光素子および受光素子を有するフォトセンサ（透過型のフォトインタラプタ）で構成されている。そして、スライド部材５８２に固定された小片５８９で発光素子の光を遮断させることにより、昇降プレート５６２の位置を検出できるようになっている。
【０１３５】
プレート位置検出センサ５９１は、昇降プレート５６２の基準位置を検出するプレート基準検出センサ５９２、昇降プレート５６２の上限位置を検出するプレート上限センサ５９３、および昇降プレート５６２の下限位置を検出するプレート下限センサ５９４と、を有している。プレート基準検出センサ５９２は、昇降プレート５６２の基準位置おける小片５８９の位置に対応して配設されており、昇降プレート５６２が基準位置に達すると、小片５８９がプレート基準検出センサ５９２の受光素子と発光素子との間に位置するようになっている。これと同様に、プレート上限センサ５９３、およびプレート下限センサ５９４は、昇降プレート５６２の上限位置おける小片５８９の位置、および昇降プレート５６２の下限位置おける小片５８９の位置に対応させて、それぞれ配設されている。
【０１３６】
機能液回収系５４３は、吸引ユニット３４２のキャップ３９１を介して吸引した機能液および定期フラッシングでキャップ３９１に吐出された機能液を回収するためのものであり、機能液を貯留する再利用タンク６１１と、吸引ポンプ３９３に接続され、吸引した機能液を再利用タンク６１１へ導く回収用チューブ（図示省略）と、を備えている。そして、キャップ３９１に排出された機能液は、吸引ポンプ３９３により、再利用タンク６１１に導かれるようになっている。なお、本実施形態では、３個の再利用タンク６１１が設けられており、Ｒ、Ｇ、およびＢ色の機能液を個別に回収できるようになっている（図２参照）。
【０１３７】
洗浄液供給系５４４は、ワイピングユニット３４３のワイピングシート４２１に滴下する洗浄液を滴下ノズル４５６に供給するためのもので、洗浄液を貯留する洗浄液タンク６１３と、洗浄液タンク６１３と滴下ノズル４５６を接続する洗浄液供給チューブ（図示省略）と、を有している。洗浄液タンク６１３は、エアー供給手段２４に接続されており、エアー供給手段２４から洗浄液タンク６１３に圧縮エアーを導入することにより、洗浄液タンク６１３から洗浄液が加圧送液されるようになっている。なお、８個の滴下ノズル４５６に接続された各洗浄液供給チューブは、洗浄液タンク６１３に接続する１本の洗浄液供給チューブを（７個の）二分岐継手６１５によって分岐していったものである（図１８参照）。洗浄液供給チューブは、均等に分岐されており、分岐された各洗浄液供給チューブ内における洗浄液の圧力損失は略均一となっているため、各滴下ノズル４５６に供給される洗浄液の液量をほぼ一定にすることが可能である。また、洗浄液には、比較的揮発性の高い機能液の溶剤が用いられており、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８に付着する機能液を効率的に除去できるようになっている。
【０１３８】
なお、小型の機台４２の機台本体７１には、引き出し形式の防液パン６２１が収容されており、機能液回収系５４３の再利用タンク６１１、および洗浄液供給系５４４の洗浄液タンク６１３は、防液パン６２１上に設置されている（図２参照）。
【０１３９】
次に、エアー供給手段２４について説明する。エアー供給手段２４は、ドライエアーを圧縮した圧縮エアーを各部に供給するためものである。エアー供給手段２４は、大型の機台４１に載置された各手段に圧縮エアーを供給する第１エアー供給ユニット６３１と、小型の機台４２に載置された収容ボックス７３に圧縮エアーを供給する第２エアー供給ユニット６３２と、を備えている。図示省略したが、第１・第２エアー供給ユニット６３１、６３２には、ドライエアーを圧縮するエアーポンプ（コンプレッサー）と、エアーポンプからの圧縮エアーを供給先に応じて一定圧力に保つレギュレータと、エアーポンプと各部とを配管接続して、圧縮エアーを各部に供給するエアー供給チューブと、がそれぞれ備えられている。
【０１４０】
エアー吸引手段２５は、エアー吸引を行う真空ポンプ６４１と、セットテーブル３１１の吸引溝３１７と真空ポンプ６４１とを接続するためのエアー吸引チューブ（図示省略）と、を備えている。
【０１４１】
次に、液滴吐出装置２に接続されるホスト・コンピュータ２６について説明する。図示省略したが、ホスト・コンピュータ２６は、パソコン等で構成されており、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭと、各種記憶領域を有し、液滴吐出装置２の制御プログラムや液滴吐出装置２に関する各種データを記憶するハードディスクと、ハードディスクに記憶されたプログラム等に基づいて、各種データを演算処理するＣＰＵと、これらを互いに接続するバスと、を備えている。
【０１４２】
ホスト・コンピュータ２６では、ＣＰＵが、ＲＡＭや液滴吐出装置２からの各種検出信号、各種指令、各種データ等を、ハードディスクの制御プログラムに従って処理しており、ＣＰＵの出力に基づいて、液滴吐出装置２の制御信号が出力される。これにより、液滴吐出装置２の各手段が有機的に制御され、液滴吐出装置２全体が制御されるようになっている。
【０１４３】
また、図示省略したが、ホスト・コンピュータ２６は、各種データやメッセージ等を表示し、ユーザの視認に用いられるモニタディスプレイや、ＦＤドライブやＣＤドライブ等の各種ドライブを備えている。
【０１４４】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置２では、上記した距離検出センサ２３７に基づいて、ヘッド昇降機構２０２（ヘッド昇降モータ２７３）の駆動を制御することにより、ワーク処理時における機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８とワークＷとの間隙、すなわちワークギャップを０．１５ｍｍ〜０．３０ｍｍまで調整できるようになっている。そして、ワーク処理中にワークギャップが狂うことを防止するため、ヘッド昇降モータ２７３は、ワーク処理中も励磁され、静止した状態となっている。
【０１４５】
ヘッド昇降モータ２７３は、無励磁作動形のブレーキを備えたいわゆるブレーキ付モータで構成されており、ヘッド昇降モータ２７３の非励磁時にはその出力軸が固定され、ヘッドユニット８１が自身の重みで下降しないようになっている。しかしながら、停電が生じた場合などのように、ヘッド昇降モータ２７３が非常停止した場合には、ヘッド昇降モータ２７３のブレーキの効きが遅れるため、ヘッド昇降ボールねじ２７２やこれに螺合する昇降ブロック２７４の公差などが原因となって、ヘッドユニット８１が過度に下降してしまう。特に、ワーク処理中では、ワークギャップが僅かであるために、ヘッドユニット８１の下降により、機能液滴吐出ヘッド９１のノズル面１０８とワークＷが衝突する惧れが生じる。
【０１４６】
そこで、本実施形態では、ヘッド回動機構２０１を介してヘッドユニット８１に引上げ力を作用させることにより、ヘッドユニット８１がその重みで下降することを防止するヘッドバランス機構６５１が備えられている。図５、図１３および図１４に示すように、ヘッドバランス機構６５１は、コイルばねで構成された３本の引張りばね６５２を有している。各引張りばね６５２は、キャリッジ８３に固定したキャリッジ側フック２９９に一端を固定され、他端をヘッド回動機構２０１に固定したヘッド側フック２３４に固定されている。そして、各引張りばね６５２は、ヘッド回動機構２０１に対して垂直に固定されており、ヘッド回動機構２０１を介して、ヘッドユニット８１に上向きの力（引張り力）を作用させている。
【０１４７】
各引張りばね６５２は、３本の引張りばね６５２によってヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１に作用する力が、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１にかかる下向きの力（重力）と釣り合うように構成されている。すなわち、３本の引張りばね６５２により、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１が自身の重みで下降することがない最小の力をヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１に作用させることにより、（引張りばね６５２に抗して）ヘッドユニット８１を下降させるときのヘッド昇降モータ２７３の負荷を最小限に抑えることができるようになっている。
【０１４８】
なお、ヘッドバランス機構６５１は、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１に上向きの力を作用させるものであるため、ヘッド回動機構２０１およびヘッドユニット８１を上昇させるときのヘッド昇降モータ２７３にかかる負荷を軽減させることができる。したがって、ヘッドバランス機構６５１を備えることにより、ヘッド昇降モータ２７３を、駆動力の小さい比較的小型のもので構成することが可能となる。
【０１４９】
３本の引張りばね６５２は、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１の重心を通るθ軸に対して左右対称に配設されており、各引張りばね６５２には、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１による荷重が均等に分散してかかるようになっている。すなわち、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１は、各引張りばね６５２から均等に力を受け、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１には、安定した引張り力が作用するようになっている。
【０１５０】
なお、本実施形態では、ヘッドバランス機構６５１を３本の引張りばね６５２で構成しているが、引張りばね６５２の個数は任意に設定可能であり、ヘッドユニット８１およびヘッド回動機構２０１に対し、安定した引張り力を作用させることができれば、例えば、ヘッドバランス機構６５１を１本の引張りばね６５２で構成することも可能である。また、ヘッドバランス機構６５１は、引張り力を作用させることができるものであれば、コイルばね以外の弾性体（例えば、ねじりコイルばね、ゴム）で構成することも可能である。
【０１５１】
次に、上記の液滴吐出装置２を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図２４は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。そして、画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。また、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【０１５２】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えており、着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【０１５３】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ  ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。また、対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【０１５４】
液滴吐出装置２は、上記したカラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
【０１５５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置２を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【０１５６】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の液滴吐出装置は、ヘッド昇降機構を備えているので、ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドのノズル面の高さに左右されずに保守装置（メンテナンス手段の各ユニット）を配設することができ、装置内にワーク交換やメンテナンスに用いるための作業用の空間を生み出すことができる。したがって、ワーク交換やメンテナンス等の作業効率を向上させることができる。
【０１５７】
また、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドバランス機構を備えているので、停電等により、ヘッド昇降機構のヘッド昇降モータが非常停止しても、ヘッドユニットが過度に下がることがなく、ヘッドユニットに搭載した機能液滴吐出ヘッド（のノズル面）がワークに衝突することを有効に防止するが可能である。
【０１５８】
また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の液滴吐出装置を用いて製造されるので、作業効率が良く、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機ＥＬ装置の縦断面図である。
【図２】本実施形態の描画システムの平面図である。
【図３】本実施形態の描画システムの正面図である。
【図４】本実施形態の描画システムの右側面図である。
【図５】本実施形態の描画システムで適用される、液滴吐出装置の吐出手段廻りの外観斜視図である。
【図６】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。
【図７】液滴吐出装置のヘッドホルダの外観斜視図である。
【図８】ヘッドホルダの説明図であり、（ａ）は、ヘッドホルダの正面図、（ｂ）は、ヘッドホルダの側面図である。
【図９】上ホルダプレートを外したヘッドホルダの平面図である。
【図１０】ヘッド回動機構廻りの外観斜視図である。
【図１１】ヘッド回動機構の正面図である。
【図１２】ヘッド回動機構の説明図であり、図１１のＡ−Ａ断面図である。
【図１３】キャリッジ廻りの外観斜視図である。
【図１４】キャリッジ廻りの正面図である。
【図１５】吸引ユニットの外観斜視図である。
【図１６】吸引ユニットの説明図であり、（ａ）は、吸引ユニットの平面図、（ｂ）は、吸引ユニットの側面図である。
【図１７】移動テーブルに設置されたワイピングユニット廻りの外観斜視図である。
【図１８】ワイピングユニットの左側面図である。
【図１９】共通支持フレームに設置された吐出検査ユニット廻りの外観斜視図である。
【図２０】吐出検査ユニットの側面図である。
【図２１】重量測定ユニットの外観斜視図である。
【図２２】重量測定ユニットの説明図であり、（ａ）は、天秤収容ボックスの上面を除いたときの平面図であり、（ｂ）は、重量測定ユニットの正面図である。
【図２３】機能液供給系の機能液スタンドの説明図であり、（ａ）は、機能液スタンドの正面図、（ｂ）は、機能液スタンドの左側面図である。
【図２４】液晶表示装置の断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置                    ２２  メンテナンス手段
９１  機能液滴吐出ヘッド              ８１  ヘッドユニット
８３  キャリッジ                    ２０２  ヘッド昇降機構
２７２  ヘッド昇降ボールねじ          ２７３  ヘッド昇降モータ
２９１  キャリッジ本体                ３１１  セットテーブル
３４２  吸引ユニット                  ３４３  ワイピングユニット
３４４  吐出検査ユニット              ３４５  重量測定ユニット
３５２  移動テーブル                  ６５１  ヘッドバランス機構
６５２  引張りばね
Ｗ  基板（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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