(57)【要約】【課題】マザーガラス基板やマザーシリコン基板の分割の際に発生するチッピングを防止し、チッピングによるガラスの傷発生防止や後工程のマテハンを安定化させ、同時にシリコン基板に形成してある素子の破損を防止する【解決手段】少なくとも、複数の画像表示領域を形成したマザーシリコン基板と該マザーシリコン基板に対応するマザーガラス基板を各画像表示領域毎にシール部材を設けて貼付する工程と、各画像表示領域毎にマザーシリコン基板とマザーガラス基板を分割する工程を有する液晶表示パネルの製造方法において、マザーガラス基板およびマザーシリコン基板はＶ溝状にダイシングしてからさらにＶ溝底部をスクライブして分割する液晶表示パネルの製造方法とする。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、複数の画像表示領域を形成したマザーシリコン基板と該マザーシリコン基板に対応するマザーガラス基板を各画像表示領域毎にシール部材を設けて貼付する工程と、各画像表示領域毎にマザーシリコン基板とマザーガラス基板を分割する工程を有する液晶表示パネルの製造方法において、マザーガラス基板はＶ溝状にダイシングしてからさらにＶ溝底部をスクライブして分割することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項２】
少なくとも、複数の画像表示領域を形成したマザーシリコン基板と該マザーシリコン基板に対応するマザーガラス基板を各画像表示領域毎にシール部材を設けて貼付する工程と、各画像表示領域毎にマザーシリコン基板とマザーガラス基板を分割する工程を有する液晶表示パネルの製造方法において、マザーガラス基板およびマザーシリコン基板はＶ溝状にダイシングしてからさらにＶ溝底部をスクライブして分割することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示パネルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置は２枚のマザー基板の一方に複数個の画像表示領域駆動電極を形成し、もう一方のマザー基板に該画像表示領域に対応する共通電極を形成した後、各画像表示領域毎にシール部材を設けて両マザー基板を位置合わせして貼付し、その後個々の画像表示領域に分割する製造方法がある。個々に分割されたものを液晶表示パネルといい、シール部材の一部に形成された液晶注入口から液晶を注入し、液晶注入口を封口することで液晶表示パネルが完成する。
【０００３】
２枚のマザー基板の組み合わせはいろいろあるが、ガラス基板とガラス基板、シリコン基板とガラス基板、プラスチック基板とプラスチック基板等が使用されており、本発明はシリコン基板とガラス基板の組み合わせによる液晶表示パネルの製造方法に関するものである。
【０００４】
マザーシリコン基板には複数の画像表示領域が形成され、マザーガラス基板にはマザーシリコン基板に形成された画像表示領域に対応する領域に共通電極が形成される。マザーシリコン基板またはマザーガラス基板の各画像表示領域外周に液晶注入口を形成してシール部材が設けられ、マザーシリコン基板とマザーガラス基板は貼付される。その後個々の液晶表示パネルに分断されるのは前述の通りである。
【０００５】
シリコン基板はスクライブでの分割が困難なため、ダイシング法が用いられている。ガラス基板はスクライブによる分割が可能であり、安価なスクライブ法が採用されていた。最初にマザーシリコン基板をダイシングしてブレークし、次にマザーガラス基板をスクライブしてブレークしている。シリコン基板とガラス基板を貼り合わせ、ガラス基板をダイシングし、次にシリコン基板をダイシングし、洗浄・乾燥後個別の液晶表示パネルに分割する液晶表示装置の製造方法が開示されている。（例えば、特許文献１）
【０００６】
【特許文献１】
特開平７−２４８４７７号公報（第４−５頁、図３）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ガラス基板をスクライブ法により分割すると、スクライブされたガラスのエッジ部からのチッピングが発生し、ガラス面を傷つけたり後工程でのマテハンの不安定要素となっていた。また、個々の液晶表示パネルに分割する際衝撃を加えるため、シリコン基板に形成された素子が破損することがある。ガラス基板をダイシング法で分割する場合も、ディスク状の砥石を回転させて分割ラインを形成するので切断部の形状がＵ状となり、分割する際にも衝撃を加えるのでスクライブと同様の問題が発生していた。
【０００８】
本発明はマザーガラス基板やマザーシリコン基板の分割の際に発生するチッピングを防止し、チッピングによるガラスの傷発生防止や後工程のマテハンを安定化させることを目的としている。同時にシリコン基板に形成してある素子の破損を防止することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
少なくとも、複数の画像表示領域を形成したマザーシリコン基板と該マザーシリコン基板に対応するマザーガラス基板を各画像表示領域毎にシール部材を設けて貼付する工程と、各画像表示領域毎にマザーシリコン基板とマザーガラス基板を分割する工程を有する液晶表示パネルの製造方法において、マザーガラス基板はＶ溝状にダイシングしてからさらにＶ溝底部をスクライブして分割する液晶表示パネルの製造方法とする。
【００１０】
少なくとも、複数の画像表示領域を形成したマザーシリコン基板と該マザーシリコン基板に対応するマザーガラス基板を各画像表示領域毎にシール部材を設けて貼付する工程と、各画像表示領域毎にマザーシリコン基板とマザーガラス基板を分割する工程を有する液晶表示パネルの製造方法において、マザーガラス基板およびマザーシリコン基板はＶ溝状にダイシングしてからさらにＶ溝底部をスクライブして分割する液晶表示パネルの製造方法とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１はマザーシリコン基板の画像表示領域の外周にシール部材を塗布した上面図であり、図２はマザーシリコン基板とマザーガラス基板を貼付した側面図である。マザーシリコン基板１に複数個形成された画像表示領域２の外周に液晶注入口３を残してシール部材４をスクリーン印刷等で塗布し、マザーガラス基板５を貼付し、シール部材を硬化させる。
【００１２】
図３は本発明を説明するための図であり、マザーガラス基板にＶ字状のダイシングをした断面図である。従来、ダイシングはディスク状の薄い砥石を使用してダイシングライン（断面形状はＵ）を形成していたが、本発明ではダイシングラインの断面形状がＶ字状になるようにした。例えば厚さ７００μｍのガラス基板に対しＶの開き角が９０度になるような溝深さ７０μｍのダイシングライン６を形成する。
【００１３】
図４は本発明を説明するための図であり、Ｖ字状溝底部をスクライブしている断面図である。ダイシングライン６のＶ字状溝底部にスクライブの刃先７を合わせて（この時スクライブの刃先角はＶ溝の開口角より小さい角度であることは言うまでもない）スクライブする。スクライブの圧力により、マザーガラス基板５は残肉部がライン８で分割される。マザーガラス基板５から分割するかマザーシリコン基板１から分割するかは単なる選択であるが、図４の状態では、マザーシリコン基板１は従来技術によりダイシングされた状態であるため、まだ分割されていないので、マザーガラス基板５が分割されてもばらばらになることはない。しかし、マザーガラス基板５をスクライブする前にマザーシリコン基板１をダイシングしておかねばならない。マザーシリコン基板１を先に分割する場合は、その前にマザーガラス基板５をダイシングしておくことも同様である。これはダイシングでは冷却液を使用するので、分割すると冷却液が液晶注入口から液晶表示パネルの中に侵入してしまうからである。
【００１４】
図５は分割して完成した液晶表示パネルの断面図である。ガラス基板５の角はダイシングにより面取り状態となっていて、チッピングの発生を防止できている。
【００１５】
図６は請求項２記載の発明の製造方法により完成した液晶表示パネルの断面図である。ガラス基板５、シリコン基板１共Ｖ溝状にダイシングしてあるので面取り効果があると共に、それぞれＶ溝状底部をスクライブして分割することにより、分割時の衝撃が必要なくなり、シリコン基板１に形成された素子を破壊することがない。
【００１６】
【発明の効果】
本発明によるとダイシングした面が面取り面となるため、角部に発生するチッピングが防止され、ガラス傷の発生が防止できる。よって後工程でのマテハンも楽にできるようになる。
【００１７】
本発明によると分割するための衝撃が必要なくなり、シリコン基板に形成されている素子の破損を防止でき、製造歩留りを上げることができ、液晶表示パネルを安価に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】マザーシリコン基板の画像表示領域の外周にシール部材を塗布した上面図
【図２】マザーシリコン基板とマザーガラス基板を貼付した側面図
【図３】本発明を説明するための図であり、マザーガラス基板にＶ字状のダイシングをした断面図
【図４】本発明を説明するための図であり、Ｖ字状溝底部をスクライブしている断面図
【図５】分割して完成した液晶表示パネルの断面図
【図６】請求項２記載の発明の製造方法により完成した液晶表示パネルの断面図
【符号の説明】
１    マザーシリコン基板
２    画像表示領域
３    液晶注入口
４    シール部材
５    マザーガラス基板
６    Ｖ溝
７    スクライブ刃先
８    分割ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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