(57)【要約】【課題】光量測定の精度を向上させると共に、二つの波長の光が夫々被測定物を透過する際の光量を自動で測定可能な光量測定装置を提供する。【解決手段】光量測定装置は、光源となるレーザダイオード１と、検光子４と、レーザダイオード１と検光子４とを結合する結合部１２と、光検出器となるフォトダイオード６とを同一光軸上に配置してなり、前記検光子４が出射する光の光軸上に被測定物５を戴置して、被測定物５を透過する光量を測定するものである。レーザダイオード１と結合部１２と検光子４とは、光軸を中心に回転可能とするため、モータ７と、モータ７に取り付けた小径の歯車８と、検光子４を中心部に保持した歯車状の回転板９とによる回転機構を設け、更に、前記モータ７にはロータリーエンコーダ１０と、前記回転板９にはフォトセンサ１１とを備えており、検光子４の回転角を検出するよう機能している。【選択図】        図１
2004257883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定光を出射するレーザダイオードと、
該レーザダイオードに電源を供給する電源供給部と、
前記レーザダイオードに接続固定し所定の偏光成分の光を出射する検光子と、該検光子を前記レーザダイオードと共に光軸を中心に回転させる回転機構と、
光量の検出を行う光検出器とを備えており、
前記検光子が出射する光の光軸上に被測定物を配置して、該被測定物を透過する光量を測定することを特徴とする光量測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の電源供給部は、プリント基板の上面にレーザダイオードとこれを駆動するための回路を搭載した駆動部と、
該駆動部に取り付けており、前記回転機構による回転に伴い回転する絶縁性の円筒部と、
該円筒部の外周面に形成した環状の複数の金属パターンと、
前記駆動部に取り付けた円筒部を表面に配置し保持するプレートと、
該プレートと前記円筒部に形成した複数の金属パターンとの接触面に、所定の幅及び長さで形成した帯状の複数の金属パターンとにより構成したことを特徴とする請求項１記載の光量測定装置。
【請求項３】
請求項２記載のプレートに形成した複数の金属パターンが、板バネ形状をしていることを特徴とする請求項２記載の光量測定装置。
【請求項４】
請求項１記載の回転機構は、検光子を回転させる動力となるモータと、
該モータに取り付けた小径の歯車と、
検光子を中心部に保持し、検光子の光軸を中心に前記小径の歯車と接合して回転する歯車状の回転板と、
モータに前記小径の歯車を介して接続固定し、モータの回転数をカウントすることにより検光子の回転角を判別するロータリーエンコーダと、
前記歯車状の回転板に取り付け、検光子の回転するタイミングを判別するフォトセンサとにより構成したことを特徴とする請求項１記載の光量測定装置。
【請求項５】
第一の波長の測定光を出射する第一のレーザダイオードと、
第一のレーザダイオードが出射する光の偏光成分を選択する第一のビームスプリッタと、
第二の波長の測定光を出射する第二のレーザダイオードと、
第二のレーザダイオードが出射する光の偏光成分を選択する第二のビームスプリッタと、
第一のビームスプリッタが出射する偏光成分の光を透過し、第二のビームスプリッタが出射する偏光成分の光を反射するプリズムと、
該プリズムを収容し、第一のビームスプリッタが出射する偏光成分の光と前記第二のビームスプリッタが出射する偏光成分の光とを交互に所定のタイミングで入射し前記プリズムを介して出射する回転シャッタ機構と、
前記プリズムが出射する偏光成分の光を円偏光に変換する広帯域１／４波長板と、
所定の偏光成分の光を出射する偏光子と、
該偏光子を光軸を中心に回転させる回転機構と、
光量の検出を行う光検出器とを備えており、
前記偏光子から出射する測定光の光軸上に被測定物を配置して、該被測定物を透過する光量を測定することを特徴とする光量測定装置。
【請求項６】
請求項５記載のプリズムは、ダイクロイックプリズムであることを特徴とする請求項５記載の光量測定装置。
【請求項７】
請求項５記載の回転シャッタ機構は、円柱状の構造の外周面に第一のレーザダイオードが出射する偏光成分の光と第二のレーザダイオードが出射する偏光成分の光とを交互に入射した後前記プリズムを介して出射する三つの穴を設けると共に、第一のビームスプリッタの出射面と対向して透過面が、第二のビームスプリッタの出射面と対向して反射面が夫々位置するようプリズムを中心部に配置し、交互に入射した偏光成分の光を出射する回転シャッタと、
該回転シャッタを常時回転させるため回転シャッタに接続固定したモータと、
該モータに接続固定し、前記回転シャッタが第一のレーザダイオードが出射する偏光成分の光を出射しているか否かの判別を行う第一のフォトセンサと、
該モータに接続固定し、前記回転シャッタが第二のレーザダイオードが出射する偏光成分の光を出射しているか否かの判別を行う第二のフォトセンサとにより構成したことを特徴とする請求項５記載の光量測定装置。
【請求項８】
請求項５記載の回転機構は、偏光子を回転させる動力となるモータと、
該モータに取り付けた小径の歯車と、
偏光子を中心部に保持し、偏光子の光軸を中心に前記小径の歯車と接合して回転する歯車状の回転板と、
モータに前記小径の歯車を介して接続固定し、モータの回転数をカウントすることにより偏光子の回転角を判別するロータリーエンコーダと、
前記歯車状の回転板に取り付け、偏光子の回転するタイミングを判別する第三のフォトセンサとにより構成したことを特徴とする請求項５記載の光量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光量測定装置に関し、特に被測定物に光を照射した際の、被測定物を透過する各偏光方向の光量の測定、及び複数の波長に対応した前記光量の測定を自動的に行う光量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光学部品の光量を測定する光量測定装置として、図５に示すような光量測定装置が知られている。
図５は、従来の光量測定装置の機能図の例である。光量測定装置は、光源となるレーザダイオード１と、偏光子２と、１／４波長板３と、検光子４と、被測定物５と、光検出器となるフォトダイオード６とを同一光軸上に配置してなり、検光子４は、光軸を中心として回転可能とするため、モータ７と、モータ７に取り付けた小径の歯車８と、検光子４を中心部に保持した歯車状の回転板９とによる回転機構を設け、更に、前記モータ７にはロータリーエンコーダ１０と、前記回転板９にはフォトセンサ１１とを備えており、検光子４の回転角を検出するよう機能している。
【０００３】
図５の動作を説明すると、レーザダイオード１から出射された光が偏光子２を透過して直線偏光となり、その直線偏光が１／４波長板３を透過して円偏光となる。次に、円偏光となった光は検光子４に入射して、所定の直線偏光となって被測定物５に入射し、その透過光がフォトダイオード６に入射して光の光量を測定する。一方、前述したように検光子４には、回転機構が設けられており、検光子４の回転角が認識可能となっている。よって、フォトダイオード６において光の光量を測定する際に検光子４の回転角を変化させることにより、被測定物５の向きを変えることなく、被測定物５に入射する光の偏光面を変化させながら光量が自動で測定可能となる。
【０００４】
次に、光学系メディアとしてＣＤ及びＤＶＤが普及しており、近年ではＣＤ及びＤＶＤ両者に対応した機能を有する機器が主流になりつつあるが、例えば、特開２００１−３４４８０４号公報に開示されている通り、ＣＤとＤＶＤとでは、使用するレーザ光の波長が異なり、ＣＤであれば７８０ｎｍ、ＤＶＤであれば６５０ｎｍの波長にて機能することが必要である。そこで、このような機器に使用される光学部品においては、二つの波長の光に対する光学特性の評価が必要となり、光量測定においても同様である。
【０００５】
図６は、二つの波長に対応した従来の光量測定装置の機能図の例である。図６の基本機能は、前述した図５に示した光量測定装置と同一であり同様に動作するが、図６における機能は、光源として第一のレーザダイオード１ａと第二のレーザダイオード１ｂを用意し、夫々７８０ｎｍ、及び６５０ｎｍの波長に対応させると共に、入射した直線偏光を円偏光に変換する１／４波長板として、光源が７８０ｎｍの波長の場合には７８０ｎｍに対応した第一の１／４波長板３ａを使用し、光源が６５０ｎｍの波長の場合には６５０ｎｍに対応した第二の１／４波長板３ｂを使用する。そのため、波長７８０ｎｍについて光量測定する際は、第一のレーザダイオード１ａと第一の１／４波長板３ａとを組み合わせて使用し、波長６５０ｎｍについて光量測定する際は、第二のレーザダイオード１ｂと第二の１／４波長板３ｂとを組み合わせて使用する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の光量測定装置においては、以下の問題が生じていた。
図５に示した従来の光量測定装置は、測定光となるレーザダイオード１より出射する光が、１／４波長板３を透過した後に完全な円偏光とはならずに楕円偏光状態となるのが一般的である。これは、例えば７８０ｎｍの波長に対応した１／４波長板を準備しても、レーザダイオードより出射する光の波長は、製造段階でバラツキを有しており、波長を７８０ｎｍ丁度に設定することは難しく、レーザダイオードより出射する光の波長と１／４波長板の動作波長とを完全に一致させることは困難であることによる。又、レーザダイオードは、温度の影響で波長が変化する特性を有しているため、更に、レーザダイオードの波長と１／４波長板の動作波長とを一致させることは困難である。
【０００７】
次に、光量測定にあたっては、図５において示した光量測定装置の測定系において、被測定物５を配置しない状態で測定系の基準データを知る必要がある。
図７は、被測定物５を配置しない状態で、検光子４を回転させた際の回転角に対するフォトダイオード６の光検出特性例を示すグラフである。本特性は、１／４波長板３の特性に依存しており、１／４波長板３の特性が入射光を完全な円偏光に変換する機能を有している場合は、検光子４の回転角にかかわらず常に一定値を検出するが、前述したように１／４波長板３の特性が入射光を楕円偏光とするよう機能すると、図７に示すように、フォトダイオード６による光検出特性は、検光子４の回転角により変化する。
【０００８】
そこで、図７において、光量が極大となる時の検光子回転角α°（Ａ位置）における検出光量を基準データ（１００％）として、他の回転角における検出光量も基準データと同じになるよう補償を施すべくフォトダイオード６の出力、もしくはレーザダイオード１のパワーを自動調整する必要があり、問題と成っていた。
【０００９】
又、図６に示した二つの波長に対応した従来の光量測定装置においては、光量測定の際に、第一のレーザダイオード１ａと第一の１／４波長板３ａとを組み合わせて行う光量測定と、第二のレーザダイオード１ｂと第二の１／４波長板３ｂとを組み合わせて行う光量測定とを切り替えて２度の測定を行う必要があり、煩雑な作業が必要で問題となっていた。更に、従来、二つの波長を同時に測定可能な装置として分光光度計が知られているが、測定に用いる光源として白色光源を用いており、光源のパワーが小さいため、精度が悪く、測定に要する時間もかかるという問題があった。
本発明は、上述したような問題を解決するためになされたものであって、光量測定の精度を向上させると共に、二つの波長の光が夫々被測定物を透過する際の光量を自動で測定可能な光量測定装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明に係わる光量測定装置は、以下の構成をとる。
請求項１記載の光量測定装置は、測定光を出射するレーザダイオードと、該レーザダイオードに電源を供給する電源供給部と、前記レーザダイオードに接続固定し所定の偏光成分の光を出射する検光子と、該検光子を前記レーザダイオードと共に光軸を中心に回転させる回転機構と、光量の検出を行う光検出器とを備えており、前記検光子が出射する光の光軸上に被測定物を配置して、該被測定物を透過する光量を測定するよう構成する。
【００１１】
請求項２記載の光量測定装置は、請求項１記載の電源供給部が、プリント基板の上面にレーザダイオードとこれを駆動するための回路を搭載した駆動部と、該駆動部に取り付けており、前記回転機構による回転に伴い回転する絶縁性の円筒部と、該円筒部の外周面に形成した環状の複数の金属パターンと、前記駆動部に取り付けた円筒部を表面に配置し保持するプレートと、該プレートと前記円筒部に形成した複数の金属パターンとの接触面に所定の幅及び長さで形成した帯状の複数の金属パターンとにより構成する。
【００１２】
請求項３記載の光量測定装置は、請求項２記載のプレートに形成した複数の金属パターンが、板バネ形状であるよう構成する。
【００１３】
請求項４記載の光量測定装置は、請求項１記載の回転機構が、検光子を回転させる動力となるモータと、該モータに取り付けた小径の歯車と、検光子を中心部に保持し、検光子の光軸を中心に前記小径の歯車と接合して回転する歯車状の回転板と、モータに前記小径の歯車を介して接続固定し、モータの回転数をカウントすることにより検光子の回転角を判別するロータリーエンコーダと、前記歯車状の回転板に取り付け、検光子の回転するタイミングを判別するフォトセンサとにより構成する。
【００１４】
請求項５記載の光量測定装置は、第一の波長の測定光を出射する第一のレーザダイオードと、第一のレーザダイオードが出射する光の偏光成分を選択する第一のビームスプリッタと、第二の波長の測定光を出射する第二のレーザダイオードと、第二のレーザダイオードが出射する光の偏光成分を選択する第二のビームスプリッタと、第一のビームスプリッタが出射する偏光成分の光を透過し、第二のビームスプリッタが出射する偏光成分の光を反射するプリズムと、該プリズムを収容し、第一のビームスプリッタが出射する偏光成分の光と前記第二のビームスプリッタが出射する偏光成分の光とを交互に所定のタイミングで入射し前記プリズムを介して出射する回転シャッタ機構と、前記プリズムが出射する偏光成分の光を円偏光に変換する広帯域１／４波長板と、所定の偏光成分の光を出射する偏光子と、該偏光子を光軸を中心に回転させる回転機構と、光量の検出を行う光検出器とを備えており、前記偏光子から出射する測定光の光軸上に被測定物を配置して、該被測定物を透過する光量を測定するよう構成する。
【００１５】
請求項６記載の光量測定装置は、請求項５記載のプリズムが、ダイクロイックプリズムであるよう構成する。
【００１６】
請求項７記載の光量測定装置は、請求項５記載の回転シャッタ機構が、円柱状の構造の外周面に第一のレーザダイオードが出射する偏光成分の光と第二のレーザダイオードが出射する偏光成分の光とを交互に入射した後前記プリズムを介して出射する三つの穴を設けると共に、第一のビームスプリッタの出射面と対向して透過面が、第二のビームスプリッタの出射面と対向して反射面が夫々位置するようプリズムを中心部に配置し、交互に入射した偏光成分の光を出射する回転シャッタと、該回転シャッタを常時回転させるため回転シャッタに接続固定したモータと、該モータに接続固定し、前記回転シャッタが第一のレーザダイオードが出射する偏光成分の光を出射しているか否かの判別を行う第一のフォトセンサと、該モータに接続固定し、前記回転シャッタが第二のレーザダイオードが出射する偏光成分の光を出射しているか否かの判別を行う第二のフォトセンサとにより構成する。
【００１７】
請求項８記載の光量測定装置は、請求項５記載の回転機構が、偏光子を回転させる動力となるモータと、該モータに取り付けた小径の歯車と、偏光子を中心部に保持し、偏光子の光軸を中心に前記小径の歯車と接合して回転する歯車状の回転板と、モータに前記小径の歯車を介して接続固定し、モータの回転数をカウントすることにより偏光子の回転角を判別するロータリーエンコーダと、前記歯車状の回転板に取り付け、偏光子の回転するタイミングを判別する第三のフォトセンサとにより構成する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図示した実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。
図１は、本発明に係る光量測定装置の第一の実施形態を示す図である。本実施例においては、検光子を回転させた際の回転角に対するフォトダイオードの光検出特性を一定にするため、レーザダイオードと検光子とを一体化して回転させる構造とした。そこで、図１に示した光量測定装置は、光源となるレーザダイオード１と、検光子４と、レーザダイオード１と検光子４とを結合する結合部１２と、光検出器となるフォトダイオード６とを同一光軸上に配置してなり、前記検光子４を出射した光の光軸上に戴置した被測定物５を透過する光量を測定するものである。レーザダイオード１と結合部１２と検光子４とは、光軸を中心に回転可能とするため、モータ７と、モータ７に取り付けた小径の歯車８と、検光子４を中心部に保持した歯車状の回転板９とによる回転機構に取り付けられている。更に、前記モータ７にはロータリーエンコーダ１０が、前記回転板９にはフォトセンサ１１が夫々具備されており、検光子４の回転角を検出するよう機能している。
【００１９】
図１の動作を説明すると、レーザダイオード１から出射された光は、結合部１２を介して検光子４に入射され、所定の直線偏光となって被測定物５に入射し、その透過光をフォトダイオード６に入射して光の光量を測定する。本実施例においては、レーザダイオード１と検光子４とが一体となって回転しているので、レーザダイオード１から出射した光は常に一定の条件で検光子４に供給されるので、これを透過した光の偏光面は一定となり、偏光子は不要となる。又、レーザダイオード１と検光子４とが一体化して回転しているということは、被測定物に対して回転角に応じた偏光成分の光を出射していることになり、本実施例においては、１／４波長板も不要となる。
【００２０】
一方、前述したようにレーザダイオード１と検光子４には、回転機構が設けられており、検光子４の回転角が認識可能となっている。そこで、回転機構について説明すると、この回転機構に備えたモータ７には小径の歯車８が設けてあり、検光子４を中心部に保持した歯車状の回転板９を回転させる。回転板９は、その回転軸を光軸と一致させて設けると共に、モータ７の回転軸も光軸に対して平行に配置している。回転板９の下部に設けたフォトインタラプタ型のフォトセンサ１１が回転板９が一周するごとに出力するタイミングパルスと、モータ７に接続されたロータリーエンコーダ１０により得られるパルス（例えば一周当たり８００パルス（１パルス０．４５°））とに基づいて検光子４の回転角を検出し、該回転角に対応させて、被測定物５から出射する所定の偏光成分の光量を測定し、基準値と比較することで被測定物５の透過光量値を計測する。
【００２１】
次に、レーザダイオード１を結合部１２を介して検光子４に接続し、検光子４と共に回転させる際に、レーザダイオード１を駆動する駆動部に電源を供給する方法について説明する。
図２は、本発明に係る光量測定装置の第一の実施形態において、レーザダイオードの駆動部に電源を供給する電源供給部の一実施例を示す機能図ある。図１に示したように、レーザダイオード１は回転するため、リード線により駆動用の電源を供給するとリード線がねじれてしまうので、図２に示す如き電源供給部が接続固定されている。本実施例による電源供給部は、プリント基板の上面に、レーザダイオード１とこれを駆動するための回路を搭載した駆動部１３と、該駆動部１３と接続固定した絶縁性の円筒部１４と、該円筒部１４の外周面に形成した環状の第一の金属パターン１５と、第二の金属パターン１６と、第三の金属パターン１７と、前記円筒部１４を図中上面に配置し保持したプレート１８と、該プレート１８に形成し前記第一の金属パターン１５と接する第四の金属パターン１９と、前記プレート１８に形成し前記第二の金属パターン１６と接する第五の金属パターン２０と、前記プレート１８に形成し前記第三の金属パターン１７と接する第六の金属パターン２１とにより構成する。
【００２２】
図２の動作を説明すると、駆動部１３を介してレーザダイオード１と接続されている円筒部１４は、光量測定時、レーザダイオード１が回転することに伴って回転するが、円筒部１４に形成された第一の金属パターン１５と第二の金属パターン１６と第三の金属パターン１７は、回転時においても夫々プレート１８に形成した第四の金属パターン１９と第五の金属パターン２０と第六の金属パターン２１とに接触しており、プレート１８に形成した三つの金属パターンに電源を印加することにより、円筒部１４に形成した三つの金属パターンに電源を供給可能となる。そこで、円筒部１４に形成した三つの金属パターンをリード線を用いて駆動部１３に接続することにより、プレート１８に形成した三つの金属パターンに電源を印加することにより、回転する円筒部１４を介して駆動部１３に電源供給可能となり、レーザダイオードは発光する。
【００２３】
又、プレート１８に形成する第四の金属パターン１９と第五の金属パターン２０と第六の金属パターン２１とは、円筒部１４に形成した第一の金属パターン１５と第二の金属パターン１６と第三の金属パターン１７との接触の信頼性を高めるため、図中上側に付勢された板バネ形状の構造を採用しても良い。
尚、本実施例は、三つの金属パターンを第一の電源、第二の電源、及び接地用として利用する三端子の場合について説明したが、円筒部１４及びプレート１８に形成する金属パターンの数を変更することにより、供給する電源の種類を変更可能である。
以上説明したように、被測定物を透過する光量を測定する際に検光子を所定の回転角に設定し、その回転角を変化させることにより、被測定物の向きを変えることなく、被測定物を透過する所定の偏光成分の光量が精度良く自動で測定可能となる。
【００２４】
図３は、本発明に係る光量測定装置の第二の実施形態を示す図である。本実施例は、二つの波長において被測定物を透過する光量を自動で測定可能な光量測定装置を提供するもので、その光学系は、光源となる第一のレーザダイオード２２と、第一のレーザダイオード２２が出射する光の偏光成分を選択する第一のビームスプリッタ２３と、光源となる第二のレーザダイオード２４と、第二のレーザダイオード２４が出射する光の偏光成分を選択する第二のビームスプリッタ２５と、第一のビームスプリッタ２３が出射する偏光成分の光を透過し、第二のビームスプリッタ２５が出射する偏光成分の光を反射するダイクロイックプリズム２６と、ダイクロイックプリズム２６が出射する偏光成分の光を円偏光に変換する広帯域１／４波長板２７と、所定の偏光成分の光を出射する偏光子２８と、所定の偏光成分の光量を検出するフォトダイオード６とによりなり、前記偏光子２８が出射する測定光の光軸上に被測定物５を戴置して、該被測定物を透過する光量を測定するものである。
【００２５】
一方、前記ダイクロイックプリズム２６は、回転シャッタ２９の中心部に配置されており、測定波長を選択するため回転シャッタ２９は、モータ３０と接続して常時回転している。回転シャッタ２９は、円柱状の構造を為しており、外周面３３に光を通過させる三つの穴３４を設けている。又、モータ３０には、測定波長の判別を行うための第一のフォトセンサ３１及び第二のフォトセンサ３２を備えている。
又、前記偏光子２８は、光軸を中心として回転可能とするため、モータ７と、モータ７に取り付けた小径の歯車８と、偏光子２８を中心部に保持した回転板９とによる回転機構を設け、更に、前記モータ７にはロータリーエンコーダ１０を備え、前記回転板９には第三のフォトセンサ１１を備えており、偏光子２８の回転角を検出するよう機能している。
【００２６】
図３の動作を説明すると、第一のレーザダイオード２２及び第二のレーザダイオード２４は、常時発光させておき、第一のレーザダイオード２２から出射された光は、第一のビームスプリッタ２３に入射して所定の偏光成分の光を選択し、第二のレーザダイオード２４から出射された光は第二のビームスプリッタ２５に入射して所定の偏光成分の光を選択し、夫々の偏光成分の光をダイクロイックプリズム２６に入射する。一方、回転シャッタ２９は円柱状の構造を有しており、その円柱状の構造の中央部にダイクロイックプリズム２６を配置し、円柱状の構造をした外周面３３に第一のレーザダイオード２２が出射する偏光成分の光と第二のレーザダイオード２４が出射する偏光成分の光とを交互に入射した後前記ダイクロイックプリズム２６を介して出射する三つの穴３４が設けられており、回転シャッタ２９は、モータ３０により常時回転している。
【００２７】
図４は、本発明に係わる光量測定装置の第二の実施形態において、回転シャッタの外観構造例を示す図であり、図４（ａ）は、上面断面図を示し、図４（ｂ）は、正面図を示す。図４に示すように回転シャッタ２９は円柱状の構造を有し、その外周面３３に、所定の穴３４ａ、３４ｂ、３４ｃが設けられている。そこで、第一のレーザダイオード２２が出射する偏光成分の光は、穴３４ｃより入射し、穴３４ａより出射する。一方、第二のレーザダイオード２４が出射する偏光成分の光は、穴３４ａより入射し、穴３４ｂより出射する。
【００２８】
従って、ダイクロイックプリズム２６には、第一のレーザダイオード２２が出射する偏光成分の光と第二のレーザダイオード２４が出射する偏光成分の光とが所定のタイミングで交互に入射される。モータ３０には、第一のフォトセンサ３１と第二のフォトセンサ３２とが取り付けられており、夫々ダイクロイックプリズム２６に入射している偏光成分の光が、第一のレーザダイオード２２が出射した光か、或いは第二のレーザダイオード２４が出射した光かを判別し、図示していない制御部に出力して測定の制御を行う。
【００２９】
そこで、所定のタイミングで、第一のビームスプリッタ２３が出力する偏光成分の光は、ダイクロイックプリズム２６の透過面に入射されると共に、第二のビームスプリッタ２５が出力する偏光成分の光はダイクロイックプリズム２６の反射面に入射され、夫々の偏光成分の光が広帯域１／４波長板２７へ出射される。広帯域１／４波長板２７は、第一のレーザダイオード２２が出射する光の波長と、第二のレーザダイオード２４が出射する光の波長の両者に対応するもので、入射した偏光成分の光を円偏光に変換し出射する。変換された円偏光成分の光は、モータ７と接続されて常時回転している偏光子２８に入射され、偏光子２８からは、回転角に応じた偏光成分の光が出射され、被測定物５に入射した後、透過光をフォトダイオード６に入射して光量の測定を行い、基準値と比較することで被測定物５の透過光量値を計測する。又、偏光子２８の回転機構は、図１において説明した回転機構と同一のものである。
【００３０】
従って、本測定においては、第一のフォトセンサ３１、第二のフォトセンサ３２と第三のフォトセンサ１１が出力するタイミング信号の同期をとることにより、測定光の使用波長と何れの偏光成分の光かの判別が為され、図示していない制御部により制御して、２波長に対して所定の偏光成分の光の光学特性データを精度良く瞬時に取得する。
【００３１】
【発明の効果】
上述したように請求項１乃至４記載の発明は、検光子を回転させた際に、被測定物に入射される光量が常に一定となり、精度の良い光量測定が可能となる。又、測定装置を構成する部品点数を軽減出来、安価な測定系を実現する上で大きな効果を発揮する。
【００３２】
請求項５乃至８記載の発明は、２波長に対する光学製品の光量測定を行う際に、２波長、且つ所定の偏光成分の光の光学データが精度良く瞬時に取得可能となり、光量測定を行う上で作業を効率化し、光学部品を製造する上で大きな効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光量測定装置の第一の実施形態を示す図である。
【図２】本発明に係る光量測定装置の第一の実施形態において、レーザダイオードの駆動部に電源を供給する電源供給部の一実施例を示す機能図である。
【図３】本発明に係る光量測定装置の第二の実施形態を示す図である。
【図４】本発明に関わる光量測定装置の第二の実施形態において、回転シャッタの外観構造例を示す図である。
【図５】従来の光量測定装置の機能図の例である。
【図６】二つの波長に対応した従来の光量測定装置の機能図の例である。
【図７】被測定物を配置しない状態で、検光子を回転させた際の回転角に対するフォトダイオードの光検出特性例を示すグラフである。
【符号の説明】
１・・レーザダイオード、          １ａ・・第一のレーザダイオード、
１ｂ・・第二のレーザダイオード、  ２・・偏光子、
３・・１／４波長板、              ３ａ・・第一の１／４波長板、
３ｂ・・第二の１／４波長板、      ４・・検光子、
５・・被測定物、                  ６・・フォトダイオード、
７・・モータ、                    ８・・歯車、
９・・回転板、                  １０・・ロータリーエンコーダ、
１１・・フォトセンサ、又は、第三のフォトセンサ、
１２・・結合部、                  １３・・駆動部、
１４・・円筒部、                  １５・・第一の金属パターン、
１６・・第二の金属パターン、      １７・・第三の金属パターン、
１８・・プレート、                １９・・第四の金属パターン、
２０・・第五の金属パターン、      ２１・・第六の金属パターン、
２２・・第一のレーザダイオード、  ２３・・第一のビームスプリッタ、
２４・・第二のレーザダイオード、  ２５・・第二のビームスプリッタ、
２６・・ダイクロイックプリズム、  ２７・・広帯域１／４波長板、
２８・・偏光子、                  ２９・・回転シャッタ、
３０・・モータ、                  ３１・・第一のフォトセンサ、
３２・・第二のフォトセンサ、      ３３・・外周面、
３４、３４ａ、３４ｂ、３４ｃ・・穴
【図１】
2004257883.tif 000003
【図２】
2004257883.tif 000004
【図３】
2004257883.tif 000005
【図４】
2004257883.tif 000006
【図５】
2004257883.tif 000007
【図６】
2004257883.tif 000008
【図７】
2004257883.tif 000009