(57)【要約】【課題】カラーフィルタの着色層の欠陥部を、欠陥部のない着色層の膜厚と適切に整合させた修正インクの成膜により修正し、修正不良の発生を防止する。【解決手段】カラーフィルタ２の着色層の欠陥部にレーザ加工装置７でレーザ光Ｌを照射して、欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットヘッド２１からのインクジェットにより加工エリアに修正インクｆを滴下し、滴下した修正インクを加熱して硬化、成膜させる。その場合、予め求められた、インクジェットによる修正インクｆの滴下量と、修正インクｆの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との基準データにもとづいて、制御コンピュータ（制御装置）９が、欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ光Ｌの照射で除去する着色層の加工エリアの面積とから、加工エリアに対する修正インクの滴下量を求めてインクジェット装置８を制御する。【選択図】        図１
2004251988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットにより前記加工エリアに修正インクを滴下し、その後に、該滴下した修正インクを硬化、成膜させる欠陥修正方法において、
前記インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求めることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項２】
カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットにより前記加工エリアに修正インクを滴下し、その後に、該滴下した修正インクを硬化、成膜させる欠陥修正方法において、
前記インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、前記基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚と前記インクジェットによる修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求めることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項３】
カラーフィルタの着色層の欠陥部を測定する測定装置と、該測定装置によって測定された欠陥部にレーザ光を照射して該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去するレーザ加工装置と、該レーザ加工装置によって着色層を除去された前記加工エリアに修正インクを滴下するインクジェット装置と、該インクジェット装置によって滴下された修正インクを硬化させるインク硬化装置と、前記インクジェット装置による修正インクの滴下量と前記レーザ加工装置により除去される着色層の加工エリアの面積とを設定すると共に、前記測定装置、レーザ加工装置およびインクジェット装置の動作を制御する制御装置とを設けた欠陥修正装置において、
前記制御装置は、予め求められた、前記インクジェット装置からの修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを記憶する記憶手段と、該記記憶手段に記憶された基準データにもとづき、欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ加工装置により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求め、または前記設定膜厚と前記インクジェット装置による修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求める演算制御手段とを備えていることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルのカラーフィルタに生じた突起欠陥部や白黒欠陥部を修正する方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のカラーフィルタの欠陥修正方法として、カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェット装置により前記加工エリアに前記着色層の色と同色の修正インクを滴下し、その後に、滴下された修正インクをインク硬化装置によって硬化、成膜させることにより欠陥部の修正を行う方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−６６４１８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記カラーフィルタの修正方法では、インクジェット装置のインクジェットヘッドから滴下される修正インクの塗布範囲の大きさが直径３０μｍ程度であるので、前記欠陥部がピンホール等の小さな直径を有するものである場合には、前記欠陥部に対する修正インクの塗布量が多くなり過ぎて、インク硬化装置による熱処理で収縮するのを見込んでも修正部分の膜厚が厚くなり、欠陥部のない着色層の膜厚と整合せず、修正不良が発生するおそれがあった。また、欠陥部の面積が大きい場合、インクジェットによる修正インクの滴下回数を複数回行う際、欠陥部面積が修正インクの滴下回数の整数倍とならないこともあり、前述と同様な問題があった。
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、カラーフィルタの着色層の欠陥部を、欠陥部のない着色層の膜厚と適切に整合させた修正インクの成膜により修正して、修正不良が発生することのないカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項１に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットにより前記加工エリアに修正インクを滴下し、その後に、該滴下した修正インクを硬化、成膜させる欠陥修正方法において、前記インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求めることを特徴としている。
【０００７】
また、請求項２に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、カラーフィルタの着色層の欠陥部にレーザ光を照射することにより、該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去した後、インクジェットにより前記加工エリアに修正インクを滴下し、その後に、該滴下した修正インクを硬化、成膜させる欠陥修正方法において、前記インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、前記基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚と前記インクジェットによる修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求めることを特徴としている。
【０００８】
また、請求項３に係るカラーフィルタの欠陥修正装置は、カラーフィルタの着色層の欠陥部を測定する測定装置と、該測定装置によって測定された欠陥部にレーザ光を照射して該欠陥部を含む着色層の加工エリアを除去するレーザ加工装置と、該レーザ加工装置によって着色層を除去された前記加工エリアに修正インクを滴下するインクジェット装置と、該インクジェット装置によって滴下された修正インクを硬化させるインク硬化装置と、前記インクジェット装置による修正インクの滴下量と前記レーザ加工装置により除去される着色層の加工エリアの面積とを設定すると共に、前記測定装置、レーザ加工装置およびインクジェット装置の動作を制御する制御装置とを設けた欠陥修正装置において、前記制御装置は、予め求められた、前記インクジェット装置からの修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを記憶する記憶手段と、該記記憶手段に記憶された基準データにもとづき、欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ加工装置により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求め、または前記設定膜厚と前記インクジェット装置による修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求める演算制御手段とを備えていることを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正装置について図１を参照して説明する。
図１において、１は本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正装置である。該カラーフィルタの欠陥修正装置１は、カラーフィルタ２をクランプ３ａで移動台３に支持し、駆動モータ４の作動で前記移動台３を基台（図示せず）上でＹ軸方向（図１の紙面に垂直な方向）に移動させることにより、該Ｙ軸方向に前記カラーフィルタ２を移動させる基板移動装置５と、前記カラーフィルタ２の着色層の欠陥部を測定する測定装置６と、該測定装置６によって測定された着色層の欠陥部にレーザ光を照射して、該欠陥部を含む加工エリア（加工エリア）の着色層を除去するレーザ加工装置７と、前記レーザ加工装置７で除去された着色層の前記加工エリアに、該着色層の色と同一色の修正インクｆを滴下するインクジェット装置８と、インクジェット装置８によって滴下された修正インクを焼成（熱処理）して硬化、成膜させるインク硬化装置（図示せず）と、前記基板移動装置５、測定装置６、レーザ加工装置７、インクジェット装置８およびインク硬化装置の動作を制御する制御コンピュータ（制御装置）９と、カラーフィルタ２に関する基本情報情報等を記憶しているホストコンピュータ（制御装置）１０とを備えている。
【００１０】
前記測定装置６は、顕微鏡を通して撮像するＣＣＤカメラ（カメラ）１１と，照明器１２と、照明光学系１３と、一対のミラー１４，１４と、対物レンズ１５とを備え、前記照明器１２の光で照明光学系１３、ミラー１４，１４および対物レンズ１５を介して前記カラーフィルタ２の表面を照明しながら前記ＣＣＤカメラで観察し、カラーフィルタ２の着色層の欠陥部を検出、測定して該欠陥部の位置、形状、寸法等に関する測定データを前記制御コンピュータ９に送信するようになっている。
【００１１】
また、前記レーザ加工装置７は、レーザ電源１６と、レーザ発信器１７と、レーザ光学系１８とを備え、前記制御コンピュータ９からの指令により動作して、レーザ発信器１７で発生されたレーザ光をレーザ光学系１８、前記測定装置６と共用される一方のミラー１４および前記対物レンズ１５を通して前記カラーフィルタ２の着色層に照射し、その欠陥部を含む加工エリアを溶融、除去する加工を行うようになっている。前記対物レンズ１５は、倍率の異なる複数のレンズを切換えて使用できるタレット式となっており、必要に応じて倍率を換えてＣＣＤカメラ１１での測定ができるようになっている。
【００１２】
前記インクジェット装置８は、インクジェット制御回路１９と、異なる色の修正インクを充填された複数のインクカートリッジ２０と、該インクカートリッジ２０に対応して設けた最小可能滴下量（インクジェットヘッド２１から滴下される縮小前の修正インクの最小量であって、そのヘッド２１において最小に設定できる量をいう）が異なる複数のインクジェットヘッド２１とを備え、前記制御コンピュータ８からの指令で動作し、インクジェット制御回路１９により吐出量（滴下量）を制御された修正インクｆがインクジェットヘッド２１から前記カラーフィルタ２の加工エリアに滴下されるようになっている。
なお、前記測定装置６とレーザ加工装置７とインクジェット装置８は、門型の支持部材（図示せず）に支持されて前記Ｙ軸方向に直角なＸ軸方向（図１で左右方向）に移動自在の往復台（図示せず）に取り付けられており、前記制御コンピュータ９の指令でＸ軸駆動手段が作動されて前記往復台が移動されると、一緒にＸ軸方向に往復移動するようになっており、また、それぞれ、個別にＸＹ軸に直行するＺ軸方向（図１で上下方向）に移動調節可能となっている。
【００１３】
なお、前記インクジェット装置８のインクジェットヘッド２１による修正インクｆの滴下量と、修正インクｆの滴下領域（加工エリアに対応）の面積と、該滴下領域に滴下された修正インクの前記インク硬化装置による成膜後の膜厚との関係を予め実験によって求めたところ、修正インクのｆの滴下量３０ｐｌ〜３００ｐｌの範囲で、図２に示すように、修正インクｆの滴下量が多いほど成膜の膜厚が大きくなり、滴下領域が広くなるにしたがって前記膜厚が双曲線状の曲線に沿った値で薄くなる相関関係を示す実験データ（以下「基準データ」と称する）が得られた。
前記制御コンピュータ９は、前記修正インクｆの滴下量と、滴下領域の面積と、成膜後の膜厚との相関関係を示す前記基準データや各装置５，６，７，８に所要の動作を実行させるシーケンスプログラム等を記憶するＲＯＭ（記憶手段）と、前記測定装置６で得られた測定データ等を記憶するＲＡＭ（記憶手段）と、ＲＯＭ内の前記基準データとＲＡＭ内の前記測定データを読み出して、前記カラーフィルタ２の着色層における欠陥部の加工エリアの面積や前記インクジェットヘッド２１からの修正インクｆの滴下量を演算する演算制御手段と、該演算制御手段の指令で前記ＣＣＤカメラ１１により得られた前記欠陥部の画像や前記測定データを表示する表示器等とを備えている。
【００１４】
また、前記インク硬化装置（図示せず）は、前記欠陥修正装置１内の前記インクジェット装置８の近く、もしくはその対向側のカラーフィルタ２の下面側に配置したランプ加熱手段でカラーフィルタ２の加工エリアに滴下された修正インクｆを加熱、焼成するもの、または欠陥修正装置１とは別に設置された加熱炉内のヒータで、欠陥修正装置１による処理の後工程において前記加工エリアに滴下された修正インクを加熱、焼成するものとすることができる。
【００１５】
次に、前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正装置１の作用と共に、本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法について、図３、図４をも参照して説明する。
前記欠陥修正装置１が作動が開始されると、制御コンピュータ９が、ホストコンピュータ１０からカラーフィルタ２に関する基板情報を入力してそのＲＡＭに記憶する（ステップＳ１）と共に、前記基板移動装置５の駆動モータ４と前記Ｘ軸駆動手段（図示せず）を作動させ、カラーフィルタ２をＹ軸方向へ、測定装置６をＸ軸方向へ移動させて、その顕微鏡の視野内にカラーフィルタ２の着色層の欠陥部が入るようようにする（ステップＳ２）。これにより、前記顕微鏡を介してＣＣＤカメラ１１で測定された画像データが前記制御コンピュータ９に送られて画像処理が行われ、顕微鏡の視野の中央に前記欠陥部が位置されるように、カラーフィルタ２と顕微鏡とがＸＹ軸方向に相対移動される（ステップＳ３）。
【００１６】
次に、前記対物レンズ１５が高倍率のものに変換されて前記欠陥部Ｇの形状が自動的に認識され（ステップＳ４）、ＣＣＤカメラ１１から得られた測定データ（画像データ）にもとづいて、前記制御コンピュータ９の演算制御手段が、前記欠陥部Ｇを含むＸ、Ｙ軸方向の辺を有する直角四辺形の最小領域を最小の加工エリアＫとして、Ｘ、Ｙ軸方向の各辺の寸法ｘ、ｙを算出する（ステップＳ５）（図４（ａ）参照）。
さらに、前記制御コンピュータ９の演算制御手段は、カラーフィルタ２に関する基板情報のうちの着色層２ａの膜厚（設定膜厚）ｔをもとに、該膜厚ｔと前記加工エリアＫの面積（ｘ・ｙ）とから、加工エリアＫにおける着色層２ａの体積Ｖｄ（＝ｘ・ｙ・ｔ）を算出し（ステップＳ６）、前記体積Ｖｄが、前記インクジェット装置８のインクジェットヘッド２１からの修正インクｆの最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎに、熱処理により修正インクｆが縮小するのを見込んだ係数Ｆを乗算した最小滴下量（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）より大きい（Ｖｄ≧Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）か否かを比較する（ステップＳ７）。
【００１７】
前記体積Ｖｄが最小滴下量（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）より大きい場合には、前記制御コンピュータ９からレーザ加工装置７に指令が送られて、前記ステップＳ５で算出された最小の加工エリアＫの寸法ｘ，ｙで前記着色層２ａをレーザ光Ｌで除去する加工が行われ（ステップＳ８）（図４（ｂ）参照）、次いで、前記インクジェット装置８のインクジェットヘッド２１から最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎで修正インクｆを前記加工エリアＫに滴下する場合には、滴下回数の演算（Ｖｄ／Ｖｉｊｍｉｎ）を行って、修正インクｆの滴下回数を求めて、求めた滴下回数だけ前記修正インクｆを加工エリアＫに滴下する（ステップＳ９）（図４（ｃ）参照）。この場合、滴下回数の計算値が端数になったときは、該計算値に近い正の整数（ゼロを除く）の滴下回数が選択される。また、前記インクジェットヘッド２１に体積Ｖｄに相当する量の滴下量を一度に滴下できる容量の基準データがあれば、もしくは、最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎの正の整数倍量を滴下できる容量の基準データの複数個（前記演算で得られた滴下回数より少ない数）を加算することにより前記体積Ｖｄに相当する滴下量を滴下できる基準データがあれば、前記インクジェット制御回路１９によって滴下量を前記体積Ｖｄに合うように制御して１回だけ、もしくは前記加算数だけを滴下するようにすると、前記欠陥部の修正処理時間を短縮できて好ましい。
【００１８】
前記ステップＳ７において、前記体積Ｖｄが最小滴下量（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）に満たない場合には、前記制御コンピュータ９の演算制御手段は、前記インクジェットヘッド２１からの最小滴下量（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）を前記膜厚ｔで除算（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ／ｔ）して、着色層２ａの除去すべき加工エリアＫの面積（ｘ’・ｙ’＝Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ／ｔ）を演算し、ｘ’≧ｘ、ｙ’≧ｙを条件として、加工エリアＫの寸法ｘ’、ｙ’を逆算した後、これらの寸法ｘ’、ｙ’にもとづいて着色層２ａの加工エリアＫのレーザ加工装置７による除去加工を行う（ステップＳ１０）。しかる後に、演算（ｘ’・ｙ’・ｔ／Ｖｉｊｍｉｎ）を行って、ステップＳ９の場合と同様に、修正インクｆの前記最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎによる滴下回数を求めて、求めた滴下回数だけ前記修正インクｆを加工エリアＫに滴下する（ステップＳ１１）。なお、前記演算において、滴下回数が端数になったときは、その端数分の滴下量はインクジェットヘッド２１から得られないので、計算上の滴下回数に近い正の整数倍（最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎの正の整数（ゼロを除く）倍）の滴下回数が得られるように、前記加工エリアＫの面積（ｘ’・ｙ’）から割り出して加工エリアＫの加工をし直してから修正インクを滴下するものとする。この場合も、体積（ｘ’・ｙ’・ｔ）に相当する量の滴下量の基準データ、もしくは、最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎの正の整数倍量を滴下できる容量の基準データの複数個（前記演算で得られた滴下回数より少ない数）を加算することにより前記体積Ｖｄに相当する滴下量を滴下できる基準データがあれば、前記インクジェット制御回路１９によって滴下量を前記体積（ｘ’・ｙ’・ｔ）に合うように制御して１回だけ、もしくは前記加算数だけを滴下するようにすると、前記欠陥部の修正処理時間を短縮できて好ましい。
【００１９】
前記カラーフィルタ２の着色層２ａの加工エリアＫに修正インクｆが滴下されると、滴下された修正インクｆ１は、加工エリアＫの全面に広がり着色層２ａの表面より盛り上がった状態となり、その修正インクｆ１に対して、インク硬化装置（図示せず）によって加熱、焼成処理が行われる。これにより、前記修正インクｆ１が縮小されて欠陥部Ｇのなかった正常な着色層２ａに整合された厚さに成膜され、欠陥修正装置１によるカラーフィルタ２における欠陥部Ｇの修正処理が完了する（図４（ｄ）参照）。
【００２０】
前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、カラーフィルタ２の着色層２ａの欠陥部Ｇにレーザ加工装置７からのレーザ光Ｌを照射することにより、該欠陥部Ｇを含む着色層２ａの加工エリアＫを除去した後、インクジェット装置８のインクジェットヘッド２１からのインクジェットにより前記加工エリアＫに修正インクｆを滴下し、その後に、該滴下した修正インクｆ１をインク硬化装置によって硬化、成膜させる欠陥修正方法において、前記インクジェット装置８からのインクジェットによる修正インクｆの滴下量（体積）Ｖｄと、修正インクｆの滴下領域の面積（ｘ・ｙ）と、滴下領域に滴下された修正インクｆ１の成膜後の膜厚ｔとの相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部Ｇがある着色層２ａの設定膜厚ｔとレーザ光Ｌの照射により除去する着色層２ａの加工エリアＫの面積（ｘ・ｙ）とから、該加工エリアＫに対する修正インクｆの滴下量Ｖｄを求めるようにしたので、レーザ加工装置７からのレーザ光Ｌにより除止された着色層の加工エリアＫの体積（ｘ・ｙ・ｔ）に対し、修正インクｆの滴下量Ｖｄを適切に設定することができ、カラーフィルタ２の着色層２ａの欠陥部Ｇを、それのなかった着色層２ａの膜厚ｔと均等に整合させた修正インクの成膜により修正することができて、修正不良の発生を確実に防止することができる。
【００２１】
また、実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、前記相関データにもとづいて、前記欠陥部Ｇがある着色層２ａの設定膜厚ｔと前記インクジェットヘッド２１のインクジェットによる修正インクの最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎの整数倍とから、前記レーザ光Ｌの照射により除去する着色層２ａの加工エリアＫの面積（ｘ’・ｙ’）を求めるようにしたので、前記カラーフィルタ２の着色層２ａの欠陥部Ｇがピンホールのような非常に小さな直径を有するものであっても、前記インクジェット装置８のインクジェットヘッド２１による最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎ以上の修正インクｆを、これに適合させた面積を有する加工エリアＫにほぼ過不足無く滴下させることができ、カラーフィルタ２における着色層２ａの修正後の膜厚を、欠陥部Ｇのなかった着色層２ａの膜厚ｔに対して均等に整合させることができる。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば以下の優れた効果を奏する。
請求項１に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部があるカラーフィルタの着色層の設定膜厚とレーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積とから、該加工エリアに対する修正インクの滴下量を求めるようにしたので、レーザ光により除去された着色層の加工エリアの体積に対し、修正インクの滴下量を適切に設定することができ、カラーフィルタの着色層の欠陥部を、それのなかった着色層の膜厚と均等に整合させた修正インクの成膜により修正することができて、その修正不良の発生を確実に防止することができる。
【００２３】
請求項２に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、インクジェットによる修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、前記基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚と前記インクジェットによる修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層の加工エリアの面積を求めるようにしたので、前記カラーフィルタの着色層の欠陥部がピンホールのような非常に小さな直径を有するものであっても、前記インクジェットによる最小可能滴下量以上の修正インクを、これに適合させた面積を有する加工エリアに過不足無く滴下させることができ、カラーフィルタにおける着色層の修正後の膜厚を、欠陥部のなかった着色層の膜厚に対して均等に整合させることができる。
【００２４】
請求項３に係るカラーフィルタの欠陥修正装置によれば、請求項１と請求項２に係るカラーフィルタの欠陥修正方法を確実に実施できる欠陥修正装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正装置を示すブロック図である。
【図２】カラーフィルタの着色層におけるレーザ加工エリアの面積と修正インクの成膜後の膜厚と修正インクの滴下量との相関関係を示す線図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法を示すフロー図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法の工程を示す説明図である。
【符号の説明】
１  欠陥修正装置
２  カラーフィルタ
３  移動台
５  基板移動装置
６  測定装置
７  レーザ加工装置
８  インクジェット装置
９  制御コンピュータ（制御装置）
１０  ホストコンピュータ（制御装置）
１１  ＣＣＤカメラ（カメラ）
１２  照明器
１５  対物レンズ
１７  レーザ発信器
１９  インクジェット制御回路
２０  インクカートリッジ
２１  インクジェットヘッド
Ｇ  欠陥部
Ｋ  加工エリア
Ｌ  レーザ光
ｆ  修正インク
ｘ  加工エリアのＸ軸方向の寸法
ｙ  加工エリアのＹ軸方向の寸法
【図１】
2004251988.tif 000003
【図２】
2004251988.tif 000004
【図３】
2004251988.tif 000005
【図４】
2004251988.tif 000006