(57)【要約】【課題】消滅可能な基板表面の欠陥の検出を抑制し、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことのできる光透過性基板の検査方法およびその検査装置を提供する。【解決手段】光透過性を有する光透過性液体１中に検査対象であるガラス基板等の光透過性基板２を浸漬させ、基板側面から当該基板表面に対して略平行な検査光Ｌを入射する。そして、光透過性基板２の基板表面方向Ｃから観察して検査光Ｌにより浮かび上がった欠陥の有無を検査する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過性液体中に光透過性基板を浸漬させた状態で、前記光透過性基板の基板側面から当該基板表面に対して略平行な検査光を入射し、前記光透過性基板を前記基板表面方向から観察することを特徴とする光透過性基板の検査方法。
【請求項２】
光透過性液体を入れるための容器と、
前記容器内に光透過性基板を保持するための基板保持具と、
前記光透過性基板の基板側面から検査光を入射するための光源とを具備し、
前記検査光が、前記光透過性基板の基板表面に対して略平行に入射することを特徴とする光透過性基板の検査装置。
【請求項３】
前記容器は、光透過性を有する光透過部を少なくとも一部に有することを特徴とする請求項２記載の光透過性基板の検査装置。
【請求項４】
前記光透過部は、拡大機能を有する観察部を少なくとも一部に有することを特徴とする請求項３記載の光透過性基板の検査装置。
【請求項５】
前記容器は、光透過性容器であり、前記光透過部を除いた部分を遮光部材で遮光することを特徴とする請求項３または４記載の光透過性基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板等の光透過性を有する基板の内部欠陥を検査するための検査方法およびその検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネル等に用いられるガラス基板等の光透過性を有する基板には、その製法上、気泡等の欠陥が発生することを回避するのは困難である。特に、基板内部に発生した欠陥は、透明性を低下させ、基板の品質を低下させることとなるため、近年、特に高品質を要求されるフラットディスプレイパネル用の基板には、検査選別を繰り返し行うことにより、透明性の高い良品を採用するのが現状である。
【０００３】
このような光透過性基板の検査方法としては、光透過性基板の側面（エッジ部分）からスリット光を導入し、欠陥で反射した光により当該欠陥を基板の表面から観察したり、光透過性基板の一方の表面から光を照射し、欠陥で反射した光により当該欠陥を基板の他の表面から観察したりする透過・反射法がよく用いられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平０６−１３８０４５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような透過・反射法においては、検出された欠陥が基板の表面に存在するか基板の内部に存在するかのいずれであるかを判別することができない問題点がある。基板内部の欠陥は消すことができず、このような基板は良品となり得ないが、基板表面の欠陥は、研磨処理で消滅可能なものであり、このような基板は良品となり得る。すなわち、従来の検査方法においては、良品となり得る基板に対しても不良品であると検出される場合があった。
【０００６】
また、表面に凹凸を有する基板や、すりガラス状の基板においては、表面の凹凸部分や、すりガラス部分も欠陥として検出されるため、本当の欠陥か判別できず、このような基板を検査することは大変困難であった。
【０００７】
本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するべくなされたもので、消滅可能な基板表面の欠陥の検出を抑制し、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことのできる光透過性基板の検査方法およびその検査装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光透過性基板の検査方法は、光透過性液体中に光透過性基板を浸漬させた状態で、前記光透過性基板の基板側面から当該基板表面に対して略平行な検査光を入射し、前記光透過性基板を前記基板表面方向から観察するものである。
【０００９】
本発明に係る光透過性基板の検査方法においては、光透過性を有する光透過性液体中に検査対象であるガラス基板等の光透過性基板を浸漬させ、基板側面から当該基板表面に対して略平行な検査光を入射する（いわゆるエッジライト式に検査光を入射する）。そして、光透過性基板を基板表面方向から観察して検査光によって浮かび上がった欠陥の有無を検査する。
【００１０】
一般的に、光透過性基板と光透過性液体との屈折率の差は、光透過性基板と検査雰囲気（空気）との屈折率の差に比べて小さい。屈折率の差が小さいと入射した検査光が異なった媒質の境界（光透過性液体と光透過性基板との境界）へ到達したときに起こる屈折が抑制される。さらに、屈折率の差が小さいと入射した検査光が異なった媒質の境界（光透過性液体と光透過性基板との境界）へ到達したときに起こる反射も抑制される。したがって、表面に形成された欠陥（気泡等）が光透過性液体により満たされて、屈折および反射が抑制されることにより、検査光が当該欠陥において散乱することなく略直進することとなる。これにより、基板表面方向から観察したときに、基板表面にある欠陥が検出されることを抑制することができる。
【００１１】
一方、光透過性基板内部にある欠陥（気泡等）は、光透過性液体によって満たされないため、欠陥に進入した検査光は、屈折および反射し、基板表面方向からの観察によって、欠陥として検出される。
【００１２】
このように、光透過性基板を光透過性液体に浸漬し、基板表面にある欠陥を光透過性基板の屈折率に近い媒質で満たすことにより、基板表面にある欠陥における屈折および反射を抑制し、基板表面の欠陥の検出を抑制する一方、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことができる。
【００１３】
さらに、本発明によれば、表面に凹凸を有する基板や、すりガラス状の基板においても、表面の凹凸部分や、すりガラス部分が欠陥として検出されることが抑制されるため、このような基板の内部にある欠陥の検査も有効に行うことができる。
【００１４】
なお、光透過性液体は、光透過性を有する液体であれば、検査雰囲気（屈折率≒１）より屈折率が光透過性基板に近づくので選択可能である。例えば、ガラス基板（ガラスは、成分の違いにより種々の屈折率を有するものが存在するが例えば、屈折率＝１．５）に対して水（屈折率≒１．３３）を選択可能である。また、検査対象である光透過性基板によって、当該基板の屈折率に近似する液体を適宜選択することが好ましい。さらに、基板表面方向からの観察は、直接目視することによるものであってもよいし、基板観察用の装置を組み込んで用いてもよい。
【００１５】
また、本発明に係る光透過性基板の検査装置は、光透過性液体を入れるための容器と、前記容器内に光透過性基板を保持するための基板保持具と、前記光透過性基板の基板側面から検査光を入射するための光源とを具備し、前記検査光が、前記光透過性基板の基板表面に対して略平行に入射するものである。
【００１６】
本発明に係る光透過性基板の検査装置においては、容器に光透過性液体を満たし、その中に光透過性基板を浸漬させる。基板保持具は、光透過性液体に浸漬させた状態で光透過性基板を保持する。光源は、基板保持具に保持された光透過性基板の基板側面から検査光を基板表面に対して略平行に入射させる。そして、光透過性基板の基板表面方向から観察して検査光により浮かび上がった欠陥の有無を検査する。
【００１７】
このように、光透過性基板を光透過性液体に浸漬し、基板表面にある欠陥を光透過性基板の屈折率に近い媒質で満たすことにより、基板表面にある欠陥における屈折および反射を抑制し、基板表面の欠陥の検出を抑制することができる。したがって、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことができる。
【００１８】
好ましくは、前記容器は、光透過性を有する光透過部を少なくとも一部に有するように構成される。
【００１９】
この場合、容器外に光源を設け、光透過部を容器の検査光導入部として用い、容器内部に検査光を導入することができる。したがって、光源の防液処理が不要となり、装置がより容易に構成できる。
【００２０】
一方、光透過部を容器の側面または底面に設けることにより、当該容器の側面または底面からの観察が可能となる。特に、容器の側面に観察のための光透過部を設ける場合には、光透過性基板を縦方向（基板表面が容器底面に対して垂直な方向）に設置できるため、光透過性液体を容器に満たした状態であっても、当該液体の抵抗を最小限に抑えて短時間で容易に光透過性基板を出し入れすることができる。したがって、多数の光透過性基板に対して短時間で有効な検査を行うことができる。
【００２１】
なお、光透過部は、容器の一部のみに形成してもよいし、容器全体を光透過性を有する部材（例えば、透明樹脂等）により形成することとしてもよい。容器全体を光透過性を有する部材により形成する場合は、容器を容易に形成することができる。
【００２２】
好ましくは、前記光透過部は、拡大機能を有する観察部を少なくとも一部に有するように構成される。
【００２３】
この場合、観察のための光透過部（すなわち観察部）を凸レンズ形状等の拡大機能を有するように形成する。これにより、欠陥がより大きく表示されるため、微小な欠陥であっても容易かつ確実に検出することができる。特に、目視により観察する場合により効果的である。
【００２４】
なお、観察部をレンズ形状に形成するには、観察部における容器の外面に平凸レンズまたは平凸シリンドリカルレンズを貼着することにより形成してもよいし、観察部における容器自体の形状を容器外方向に凸の断面アーチ形状または容器外方向に凸のドーム形状に形成してもよい。容器自体の形状を上記のように形成する場合は、容器に光透過性液体を満たすことによって、当該光透過性液体が観察部の外形により矯正され、凸レンズの機能を発揮することができる。
【００２５】
容器全体を光透過性を有する部材により形成する場合には、容器を筒型に形成することとしてもよい。これにより、容器側面のいずれにおいてもレンズ形状が形成された観察部として容易に構成することができる。
【００２６】
好ましくは、前記容器は、光透過性容器であり、前記光透過部を除いた部分を遮光部材で遮光するように構成される。
【００２７】
容器全体を光透過性を有する部材により形成した光透過性容器とすることにより、光透過部を構成する場合は、観察部以外から外光が入射する場合がある。このように、検査光以外の光が容器内に入り込むと、微小な屈折光や反射光により検出される微小な欠陥を検出することが困難になる場合がある。そこで、光透過部を除いた部分を遮光部材で覆うことにより、外光の入射を最小限に抑制し、微小な欠陥の検出であってもより容易かつ確実に行うことができる。
【００２８】
また、光源から光透過性基板に入射する検査光の光束の直径が光透過性基板の厚みよりも大きいと、検査光が当該基板外に漏れ、欠陥の検出が困難になる場合がある。このため、検査光の光束の直径が光透過性基板の厚み以下に設定する必要がある。容器外に光源を設けた場合は、前述のように、光源と光透過性基板との間に容器の検査光導入部が存在するため、当該検査光導入部を除いた容器の周囲を遮光部材で覆う（すなわち、遮光部材をスリット状に開口して検査光導入部とする）ことが好ましい。これにより、検査光以外の光の入射を最小限に抑制することができるとともに、スリット状の開口部の形状を検査対象の光透過性基板の厚さ、形状等に適宜合わせることにより、複数種類の厚み、形状等を有する光透過性基板においても検査光が当該基板外に漏れるのを防ぎ、微小な欠陥の検出であってもより容易かつ確実に行うことができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を説明する。
【００３０】
＜第１実施形態＞
図１は本発明の第１実施形態に係る検査装置についての概略図である。図１（ａ）は検査装置の平面図を示し、図１（ｂ）は検査装置の側面図を示し、図１（ｃ）は検査装置の斜視図を示す。
【００３１】
本発明の第１実施形態に係る光透過性基板の検査装置は、図１に示すように、光透過性液体１を入れるための容器３と、前記容器３内に光透過性基板２を保持するための基板保持具４と、前記光透過性基板２の基板側面から検査光Ｌを入射するための光源５とを具備し、前記検査光Ｌが、前記光透過性基板２の基板表面に対して略平行に入射するものである。そして、本発明に係る光透過性基板２の検査方法として、上記条件の上で、前記光透過性基板２を前記基板表面方向Ｃから観察するものである。
【００３２】
図１に示すように、容器３に光透過性液体１を満たし、その中に光透過性基板２を浸漬させる。基板保持具４は、光透過性液体１に浸漬させた状態で光透過性基板２を保持する。光源５は、基板保持具４に保持された光透過性基板２の基板側面から検査光Ｌを基板表面に対して略平行に入射させる（いわゆるエッジライト式に検査光Ｌを入射する）。そして、光透過性基板２の基板表面方向Ｃから観察して検査光Ｌによって浮かび上がった欠陥の有無を検査する。
【００３３】
一般的に、光透過性基板２と光透過性液体１との屈折率の差は、光透過性基板２と検査雰囲気（空気）との屈折率の差に比べて小さい。これは、光が屈折率ｎ１の媒質から屈折率ｎ２の媒質に入射角θｎ１で入射したときの屈折角θｎ２の関係を示すスネルの法則（次式）から導かれる。これをもとに説明する。
【数１】
2004251706.tif 000003
【００３４】
図２は光透過性基板の表面欠陥近傍における検査光の進み方を示す図である。図２における表面欠陥Ｄは、便宜上、断面半円形状としている。また、光透過性液体１の屈折率ｎ１は、水の屈折率である１．３３を用い、光透過性基板２の屈折率ｎ２は、ガラス基板として標準的な値である１．５を用いて計算している。
【００３５】
検査光Ｌが表面欠陥Ｄに入射されると屈折および／または反射する。表面欠陥Ｄが光透過性液体１で満たされていない場合は、図２の一点鎖線で示すような屈折光Ｍａｉ，Ｍｂｉ（ｉ＝１，２，…）を生じるが、表面欠陥Ｄが光透過性液体１で満たされることによって、屈折率の差が小さくなった場合、図２の実線で示す屈折光Ｌａｉ，Ｌｂｉ（ｉ＝１，２，…）のように、入射した検査光Ｌが異なった媒質の境界（光透過性液体１と光透過性基板２との境界）へ到達したときに起こる屈折が抑制される。
【００３６】
例えば、図２の光透過性基板２から表面欠陥Ｄの表面へ入射角１０°で入射した検査光Ｌについて、光透過性液体１が満たされていないときの屈折角は、１５．１０°（屈折光Ｍａ１）であるのに対し、光透過性液体１が満たされているときの屈折角は、１１．２９°（屈折光Ｌａ１）となり、屈折が抑制されている。屈折した光Ｍａ１，Ｌａ１は再び光透過性基板２に入射する際に再度屈折し、検査光Ｌに対してそれぞれ２５．１０°（屈折光Ｍｂ１）および２１．２９°（屈折光Ｌｂ１）屈折した光となる。
【００３７】
さらに、屈折率の差が小さいと入射した検査光Ｌが異なった媒質の境界（光透過性液体１と光透過性基板２との境界）へ到達したときに起こる反射も抑制される。これは、フレネルの反射法則より導かれ、反射率ｋをｐ偏光、ｓ偏光の二乗平均で表せば、次式のように示される。
【数２】
2004251706.tif 000004
【００３８】
例えば、図２の光透過性基板２から表面欠陥Ｄの表面へ入射角１０°で入射した検査光Ｌについての反射光Ｒａ１において、光透過性液体１が満たされていない場合、屈折角が上記より１５．１０°であることから、反射率ｋは、ｋ＝０．０４０（４．０％）となるのに対し、光透過性液体１が満たされている場合、屈折角が上記より１１．２９°であることから、反射率ｋは、ｋ＝０．００３６（０．３６％）となり、反射が抑制されている。
【００３９】
したがって、表面に形成された欠陥Ｄ（気泡等）が光透過性液体１により満たされて、屈折および反射が抑制されることにより、検査光Ｌが当該欠陥Ｄにおいて散乱することなく略直進することとなる。これにより、基板表面方向Ｃから観察したときに、基板表面にある欠陥Ｄが検出されることを抑制することができる。
【００４０】
一方、光透過性基板２の内部にある欠陥（気泡等）は、光透過性液体１によって満たされることがないため、欠陥に進入した検査光Ｌは、図２における屈折光Ｍａｉ，Ｍｂｉと同様に屈折および反射し、基板表面方向Ｃからの観察によって、欠陥として検出される。
【００４１】
このように、光透過性基板２を光透過性液体１に浸漬し、基板表面にある欠陥を光透過性基板２の屈折率ｎ２に近い媒質で満たすことにより、基板表面にある欠陥Ｄにおける屈折および反射を抑制し、基板表面の欠陥Ｄの検出を抑制する一方、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことができる。
【００４２】
さらに、本実施形態によれば、表面に凹凸を有する基板や、すりガラス状の基板においても、表面の凹凸部分や、すりガラス部分が欠陥として検出されることが抑制されるため、このような基板の内部にある欠陥の検査も有効に行うことができる。
【００４３】
なお、光透過性液体１は、光透過性を有する液体であれば、検査雰囲気（屈折率≒１．０）より屈折率ｎ１が光透過性基板２に近づくので選択可能である。例えば、ガラス基板（ガラスは、成分の違いにより種々の屈折率を有するものが存在するが、例えば、本実施の形態で用いた屈折率ｎ２＝１．５）に対して本実施の形態で用いた水（屈折率ｎ１≒１．３３）を選択可能である。また、検査対象である光透過性基板２によって、当該基板の屈折率ｎ２に近似する液体を適宜選択することが好ましい。さらに、基板表面方向Ｃからの観察は、直接目視することによるものであってもよいし、基板観察用の装置を組み込んで用いてもよい。また、光源５は、基板側面のいずれか一方向から照射させるものであってもよいし、対向する両側から照射させるものであってもよい。検査対象である光透過性基板２の表面面積が大きくなると検査光Ｌの減衰が大きくなるおそれがあるため、その場合は、複数方向から検査光Ｌを照射させるのが好ましい。
【００４４】
＜第２実施形態＞
図３は本発明の第２実施形態に係る検査装置についての概略図である。図３（ａ）は検査装置の平面図を示し、図３（ｂ）は検査装置の側面図を示す。第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００４５】
第２実施形態が第１実施形態と異なるのは、前記容器３は、光透過性を有する光透過部を少なくとも一部に有するように構成し、容器３の外側に光源５を設けることである。
【００４６】
この場合、図３（ｂ）に示すように、容器３下に光源５が収容可能な土台７を設け、容器３の外側に光源５を設け、光透過部を容器３の検査光導入部として用い、容器３内部に検査光Ｌを導入することができる。したがって、光源５の防液処理が不要となり、装置がより容易に構成できる。
【００４７】
＜第３実施形態＞
図４は本発明の第３実施形態に係る検査装置についての概略図である。図４（ａ）は検査装置の平面図を示し、図４（ｂ）は検査装置の側面図を示す。第２実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００４８】
第３実施形態が第２実施形態と異なるのは、前記光透過部を前記容器３の側面または底面に設けるように構成し、前記側面または底面から観察することである。
【００４９】
これにより、当該容器３の側面または底面からの観察が可能となる。特に、容器３の側面に観察のための光透過部を設ける場合には、光透過性基板２を縦方向（基板表面が容器底面に対して垂直な方向）に設置できるため、光透過性液体１を容器３に満たした状態であっても、当該液体の抵抗を最小限に抑えて短時間で容易に光透過性基板２を出し入れすることができる。したがって、多数の光透過性基板２に対して短時間で有効な検査を行うことができる。
【００５０】
なお、第２実施形態および第３実施形態における光透過部は、容器３の一部のみに形成してもよいし、容器３全体を光透過性を有する部材（例えば、透明樹脂等）により形成することとしてもよい。容器３全体を光透過性を有する部材により形成する場合は、容器３を容易に形成することができる。
【００５１】
＜第４実施形態＞
図５は本発明の第４実施形態に係る検査装置についての概略平面図である。第２、第３実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００５２】
第４実施形態が第２、第３実施形態と異なるのは、前記光透過部は、拡大機能を有する観察部３ａを少なくとも一部に有するように構成されることである。
【００５３】
この場合、図５に示すように、観察部３ａにおける容器３の外面に平凸レンズまたは平凸シリンドリカルレンズを貼着することにより、観察のための光透過部（すなわち観察部３ａ）をレンズ形状に形成する。これにより、欠陥がより大きく表示されるため、微小な欠陥であっても容易かつ確実に検出することができる。特に、目視により観察する場合により効果的である。
【００５４】
＜第５実施形態＞
図６は本発明の第５実施形態に係る検査装置についての概略平面図である。第４実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００５５】
第５実施形態が第４実施形態と異なるのは、前記観察部３ａにおける容器３自体の形状が容器外方向に凸の断面アーチ形状または容器外方向に凸のドーム形状に形成されることである。
【００５６】
この場合、図６に示すように、容器３に光透過性液体１を満たすことによって、当該光透過性液体１が観察部３ａの外形により矯正される。したがって、観察部３ａが容器３に満たされた光透過性液体１によって凸レンズの機能を発揮することができる。
【００５７】
＜第６実施形態＞
図７は本発明の第６実施形態に係る検査装置についての概略図である。図７（ａ）は検査装置の平面図を示し、図７（ｂ）は検査装置の側面図を示す。第５実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００５８】
第６実施形態が第５実施形態と異なるのは、容器３全体が光透過性を有する部材により形成され、容器３が筒型に形成されることである。
【００５９】
この場合、図７に示されるように、容器３の側面のいずれにおいてもレンズ形状が形成された観察部３ａとして容易に構成することができる。
【００６０】
ここで、本実施形態においては、前記光透過部を除いた部分を遮光部材６で遮光するように構成される。図８は図７の検査装置についての遮光部材の取り付け例を示す概念図である。
【００６１】
この場合、図８に示すように、光源５から光透過性基板２に入射する検査光Ｌの光束の直径が光透過性基板２の厚みよりも大きいと、検査光Ｌが当該基板外に漏れ、欠陥の検出が困難になる場合がある。このため、検査光Ｌの光束の直径が光透過性基板２の厚み以下に設定する必要がある。容器３外の土台７に光源５を設けた場合は、前述のように、光源５と光透過性基板２との間に容器３の検査光導入部が存在するため、当該検査光導入部を除いた容器の周囲を遮光部材６で覆う（すなわち、遮光部材６にスリット状の開口部６を設ける）ことが好ましい。これにより、検査光Ｌ以外の光の入射を最小限に抑制することができるとともに、スリット状の開口部６の形状を検査対象の光透過性基板２の厚さ、形状等に適宜合わせることにより、複数種類の厚み、形状等を有する光透過性基板２においても検査光Ｌが当該基板外に漏れるのを防ぎ、微小な欠陥の検出であってもより容易かつ確実に行うことができる。
【００６２】
また、容器３全体を光透過性を有する部材により形成した光透過性容器とすることにより、光透過部を構成する場合は、観察部３ａや検査光導入部以外から外光が入射する場合がある。
【００６３】
検査光Ｌ以外の光が容器３内に入り込むと微小な屈折光や反射光により検出される微小な欠陥を検出することが困難になる場合がある。そこで、光透過部を除いた部分を遮光部材６で覆うことにより、外光の入射を最小限に抑制し、微小な欠陥の検出であってもより容易かつ確実に行うことができる。
【００６４】
【発明の効果】
本発明に係る光透過性基板の検査方法および検査装置によれば、光透過性基板を光透過性液体に浸漬し、基板表面にある欠陥を光透過性基板の屈折率に近い媒質で満たすことにより、基板表面にある欠陥における屈折および反射を抑制し、基板表面の欠陥の検出を抑制することができる。したがって、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことができる。
【００６５】
さらに、本発明によれば、表面に凹凸を有する基板や、すりガラス状の基板においても、表面の凹凸部分や、すりガラス部分が欠陥として検出されることが抑制されるため、このような基板の内部にある欠陥の検査も有効に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る検査装置についての概略図である。
【図２】光透過性基板の表面欠陥近傍における検査光の進み方を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る検査装置についての概略図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る検査装置についての概略図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る検査装置についての概略平面図である。
【図６】本発明の第５実施形態に係る検査装置についての概略平面図である。
【図７】本発明の第６実施形態に係る検査装置についての概略図である。
【図８】図７の検査装置についての遮光部材の取り付け例を示す概念図である。
【符号の説明】
１  光透過性液体
２  光透過性基板
３  容器
４  基板保持具
５  光源
６  遮光部材
３ａ  観察部
Ｃ  基板表面方向
Ｌ  検査光
【図１】
2004251706.tif 000005
【図２】
2004251706.tif 000006
【図３】
2004251706.tif 000007
【図４】
2004251706.tif 000008
【図５】
2004251706.tif 000009
【図６】
2004251706.tif 000010
【図７】
2004251706.tif 000011
【図８】
2004251706.tif 000012