(57)【要約】【課題】膨大な制御マップを用いずに、リフト・作動角可変機構と位相可変機構とを制御する。【解決手段】可変動弁機構として、リフト・作動角を連続的に可変制御するリフト・作動角可変機構と、リフト中心角の位相を連続的に可変制御する位相可変機構と、を備え、バルブタイミングによって吸気量が制御される。アクセル開度から必要トルクが求められ、これに対応する必要空気量が算出される（ステップ１，２）。必要空気量と機関回転速度とから許容残留ガス量が算出され、許容残留ガス量に対応したＩＶＯと総ガス量に対応したＩＶＣとが決定される（ステップ３，４，５）。ＩＶＯ〜ＩＶＣの角度として作動角が求まり、両者の中間点が位相となる（ステップ６）。これらが限界値を越える場合には、限界内となるように補正される（ステップ７）。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気弁の作動角を連続的に拡大，縮小制御可能な作動角可変機構と、吸気弁のリフト中心角の位相を遅進させる位相可変機構と、を備え、上記作動角と上記位相とによって定まる吸気弁のバルブタイミングによって吸気量を制御する内燃機関の吸気弁駆動制御装置において、
アクセル開度から必要空気量を求めるとともに、この必要空気量と機関回転速度から許容残留ガス量を求め、上記必要空気量と上記許容残留ガス量とがシリンダ内に入るように最適な吸気弁開時期および吸気弁閉時期を算出し、これらの吸気弁開時期および吸気弁閉時期から上記作動角および上記位相を決定することを特徴とする内燃機関の吸気弁駆動制御装置。
【請求項２】
最適な吸気弁開時期および吸気弁閉時期に対応した作動角が上記作動角可変機構の作動角限界値を越える場合に、該作動角限界値の下で必要トルクが発生するように上記位相を補正することを特徴とする請求項１に記載の内燃機関の吸気弁駆動制御装置。
【請求項３】
最適な吸気弁開時期および吸気弁閉時期に対応した位相が上記位相可変機構の位相限界値を越える場合に、該位相限界値の下で必要トルクが発生するように上記作動角を補正することを特徴とする請求項１または２に記載の内燃機関の吸気弁駆動制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、吸気弁の可変動弁機構として、吸気弁の作動角を連続的に拡大，縮小制御可能な作動角可変機構と、吸気弁のリフト中心角の位相を遅進させる位相可変機構と、を備えた内燃機関の吸気弁駆動制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
機関運転条件に最適なバルブリフト特性を得るために、吸気弁の作動角を連続的に拡大，縮小制御可能な作動角可変機構と、吸気弁のリフト中心角の位相を遅進させる位相可変機構と、を組み合わせた可変動弁機構が、例えば本出願人による特開２００１−２８０１６７号公報によって既に公知となっている。
【０００３】
また、特開２００１−２６３１０４号公報には、電磁駆動式の吸気弁および排気弁を用い、シリンダ内の残留ガスの割合を目標値に得るように、吸気弁閉時期と排気弁閉時期とを制御する技術が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような作動角可変機構と位相可変機構とを組み合わせた構成では、ある一つのバルブリフト特性は、作動角可変機構により制御される作動角と、位相可変機構により制御される位相と、の双方によって実現されることになるが、例えば、機関運転条件（機関回転速度、負荷）に対して作動角を割り付けた作動角制御マップと、同じく機関運転条件に対して位相を割り付けた位相制御マップと、を用いて、作動角および位相を個々に制御しようとすると、膨大なマップが必要となる。しかも、外気温や高度等、燃焼状態に関係する運転環境の変化などに対し補正を加えるような場合に、作動角および位相が個々に制御されていると、その最適化や実際の演算処理が極めて煩雑である。
【０００５】
一方、上記特開２００１−２６３１０４号公報の技術は、電磁駆動式の吸気弁および排気弁を用いたものであり、上記のように作動角可変機構と位相可変機構とを組み合わせた場合のそれぞれの制御の問題を解決し得るものではない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明の吸気弁駆動制御装置は、吸気弁の作動角を連続的に拡大，縮小制御可能な作動角可変機構と、吸気弁のリフト中心角の位相を遅進させる位相可変機構と、を用いたものであり、上記作動角と上記位相とによって吸気弁のバルブタイミングが定まり、このバルブタイミングによって吸気量が制御されるようになっている。
【０００７】
そして、特に、本発明では、アクセル開度から必要空気量を求めるとともに、この必要空気量と機関回転速度から許容残留ガス量を求め、上記必要空気量と上記許容残留ガス量とがシリンダ内に入るように最適な吸気弁開時期および吸気弁閉時期を算出し、これらの吸気弁開時期および吸気弁閉時期から上記作動角および上記位相を決定する。
【０００８】
すなわち、アクセル開度から要求トルクひいては必要空気量が定まる。必要空気量と機関回転速度と許容残留ガス量とは、概ね図１０に示すような関係となっている。従って、例えば、この関係をマップ化し、参照することで、そのときの許容残留ガス量が求められる。なお、例えば、高度や外気温が変化し、許容残留ガス率が低下したときには、図１０の関係から定まる基本の許容残留ガス量に低下率を乗じることで、その補正が容易に可能である。
【０００９】
一方、吸気弁開時期（ＩＶＯ）から吸気弁閉時期（ＩＶＣ）までのシリンダ内のガス流れは、図１１のように変化する。図の（ａ）はＩＶＯでの状態、（ｂ）は吸気上死点での状態、（ｃ）はＩＶＣでの状態、をそれぞれ示している。また、図中のＶＥＧ１は、許容残留ガス量のうち、シリンダからの吹き返し量、ＶＥＧ２は、許容残留ガス量のうち、排気ポートから一旦吸気ポートへ吹き抜けた吹き抜け量、ＶＥＧ３は、許容残留ガス量のうち、シリンダ内の残留量、ＶＥＧは、許容残留ガス量（つまりＶＥＧ１＋ＶＥＧ２＋ＶＥＧ３）、ＶＦＲは、新気つまり必要空気量である。図示するように、ＩＶＯによって吹き返し量ＶＥＧ１および吹き抜け量ＶＥＧ２が定まり、またこれらは吸気ポートから最終的にシリンダ内に戻ってくるので、ＩＶＣによって総ガス量（ＶＥＧ＋ＶＦＲ）が定まる。従って、そのときの必要空気量ＶＦＲと許容残留ガス量ＶＥＧとから、必要なＩＶＯおよびＩＶＣが決定される。
【００１０】
そして、ＩＶＯ〜ＩＶＣの角度として作動角が求められ、ＩＶＯ〜ＩＶＣの例えば中央の点として位相が求められるので、これに沿って、作動角可変機構および位相可変機構が駆動される。
【００１１】
【発明の効果】
本発明によれば、必要なＩＶＯおよびＩＶＣを決定し、これらから作動角および位相を算出して作動角可変機構および位相可変機構を制御するので、膨大な制御マップが不要となり、制御の簡素化が可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好ましい実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
図１は、この発明をＶ型６気筒のガソリン機関１に適用した実施例を示しており、左右バンクの吸気弁３側に、後述する可変動弁機構２がそれぞれ設けられている。排気弁４側の動弁機構は、排気カムシャフト５により排気弁４を駆動する直動型のものであり、そのバルブリフト特性は、常に一定である。
【００１４】
左右バンクの排気マニホルド６は、触媒コンバータ７に接続され、かつこの触媒コンバータ７の上流位置に、排気空燃比を検出する空燃比センサ８が設けられている。左右バンクの排気通路９は、触媒コンバータ７の下流側で合流し、さらに下流に、第２の触媒コンバータ１０および消音器１１を備えている。
【００１５】
各気筒の吸気ポートにはブランチ通路１５が接続され、かつこの６本のブランチ通路１５の上流端が、コレクタ１６にそれぞれ接続されている。上記コレクタ１６の一端には、吸気入口通路１７が接続されており、この吸気入口通路１７に、負圧生成用の電子制御スロットル弁１８が設けられている。この電子制御スロットル弁１８は、電気モータからなるアクチュエータを備え、エンジンコントロールユニット１９から与えられる制御信号によって、その開度が制御される。なお、スロットル弁１８の実際の開度を検出する図示せぬセンサを一体に備えており、その検出信号に基づいて、スロットル弁開度が目標開度にクローズドループ制御される。また、スロットル弁１８の上流に、吸入空気流量を検出するエアフロメータ２５が配置され、さらに上流にエアクリーナ２０が設けられている。
【００１６】
また、機関回転速度およびクランク角位置を検出するために、クランクシャフトに対してクランク角センサ２１が設けられており、さらに、運転者により操作されるアクセルペダル開度（踏込量）を検出するアクセル開度センサ２２を備えている。これらの検出信号は、上記のエアフロメータ２５や空燃比センサ８の検出信号とともに、エンジンコントロールユニット１９に入力されている。エンジンコントロールユニット１９では、これらの検出信号に基づいて、燃料噴射弁２３の噴射量や噴射時期、点火プラグ２４による点火時期、可変動弁機構２によるバルブリフト特性、スロットル弁１８の開度、などを制御する。
【００１７】
次に、図２に基づいて吸気弁３側の可変動弁機構２の構成を説明する。この可変動弁機構２は、吸気弁のリフト・作動角を変化させるリフト・作動角可変機構５１と、そのリフトの中心角の位相（図示せぬクランクシャフトに対する位相）を進角もしくは遅角させる位相可変機構７１と、が組み合わされて構成されている。
【００１８】
まず、リフト・作動角可変機構５１を説明する。なお、このリフト・作動角可変機構１は、本出願人が先に提案したものであるが、例えば上記の特開２００１−２８０１６７号公報や特開２００２−８９３０３号公報等によって公知となっているので、その概要のみを説明する。
【００１９】
リフト・作動角可変機構５１は、シリンダヘッドに摺動自在に設けられた上記の吸気弁３と、シリンダヘッド上部のカムブラケット（図示せず）に回転自在に支持された駆動軸５２と、この駆動軸５２に、圧入等により固定された偏心カム５３と、上記駆動軸５２の上方位置に同じカムブラケットによって回転自在に支持されるとともに駆動軸５２と平行に配置された制御軸６２と、この制御軸６２の偏心カム部６８に揺動自在に支持されたロッカアーム５６と、各吸気弁３の上端部に配置されたタペット６０に当接する揺動カム５９と、を備えている。上記偏心カム５３とロッカアーム５６とはリンクアーム５４によって連係されており、ロッカアーム５６と揺動カム５９とは、リンク部材５８によって連係されている。
【００２０】
上記駆動軸５２は、後述するように、タイミングチェーンないしはタイミングベルトを介して機関のクランクシャフトによって駆動されるものである。
【００２１】
上記偏心カム５３は、円形外周面を有し、該外周面の中心が駆動軸５２の軸心から所定量だけオフセットしているとともに、この外周面に、リンクアーム５４の環状部が回転可能に嵌合している。
【００２２】
上記ロッカアーム５６は、略中央部が上記偏心カム部６８によって揺動可能に支持されており、その一端部に、連結ピン５５を介して上記リンクアーム５４のアーム部が連係しているとともに、他端部に、連結ピン５７を介して上記リンク部材５８の上端部が連係している。上記偏心カム部６８は、制御軸６２の軸心から偏心しており、従って、制御軸６２の角度位置に応じてロッカアーム５６の揺動中心は変化する。
【００２３】
上記揺動カム５９は、駆動軸５２の外周に嵌合して回転自在に支持されており、側方へ延びた端部に、連結ピン６７を介して上記リンク部材５８の下端部が連係している。この揺動カム５９の下面には、駆動軸５２と同心状の円弧をなす基円面と、該基円面から所定の曲線を描いて延びるカム面と、が連続して形成されており、これらの基円面ならびにカム面が、揺動カム５９の揺動位置に応じてタペット６０の上面に当接するようになっている。
【００２４】
すなわち、上記基円面はベースサークル区間として、リフト量が０となる区間であり、揺動カム５９が揺動してカム面がタペット６０に接触すると、徐々にリフトしていくことになる。なお、ベースサークル区間とリフト区間との間には若干のランプ区間が設けられている。
【００２５】
上記制御軸６２は、図示するように、一端部に設けられたリフト・作動角制御用アクチュエータ６３によって所定角度範囲内で回転するように構成されている。このリフト・作動角制御用アクチュエータ６３は、例えばウォームギア６５を介して制御軸６２を駆動するサーボモータ等からなり、エンジンコントロールユニット１９からの制御信号によって制御されている。なお、制御軸６２の回転角度は、制御軸センサ６４によって検出される。
【００２６】
このリフト・作動角可変機構５１の作用を説明すると、駆動軸５２が回転すると、偏心カム５３のカム作用によってリンクアーム５４が上下動し、これに伴ってロッカアーム５６が揺動する。このロッカアーム５６の揺動は、リンク部材５８を介して揺動カム５９へ伝達され、該揺動カム５９が揺動する。この揺動カム５９のカム作用によって、タペット６０が押圧され、吸気弁３がリフトする。
【００２７】
ここで、リフト・作動角制御用アクチュエータ６３を介して制御軸６２の角度が変化すると、ロッカアーム５６の初期位置が変化し、ひいては揺動カム５９の初期揺動位置が変化する。
【００２８】
例えば偏心カム部６８が図の上方へ位置しているとすると、ロッカアーム５６は全体として上方へ位置し、揺動カム５９の連結ピン６７側の端部が相対的に上方へ引き上げられた状態となる。つまり、揺動カム５９の初期位置は、そのカム面がタペット６０から離れる方向に傾く。従って、駆動軸５２の回転に伴って揺動カム５９が揺動した際に、基円面が長くタペット６０に接触し続け、カム面がタペット６０に接触する期間は短い。従って、リフト量が全体として小さくなり、かつその開時期から閉時期までの角度範囲つまり作動角も縮小する。
【００２９】
逆に、偏心カム部６８が図の下方へ位置しているとすると、ロッカアーム５６は全体として下方へ位置し、揺動カム５９の連結ピン６７側の端部が相対的に下方へ押し下げられた状態となる。つまり、揺動カム５９の初期位置は、そのカム面がタペット６０に近付く方向に傾く。従って、駆動軸５２の回転に伴って揺動カム５９が揺動した際に、タペット６０と接触する部位が基円面からカム面へと直ちに移行する。従って、リフト量が全体として大きくなり、かつその作動角も拡大する。
【００３０】
上記の偏心カム部６８の初期位置は連続的に変化させ得るので、これに伴って、バルブリフト特性は、連続的に変化する。つまり、リフトならびに作動角を、両者同時に、連続的に拡大，縮小させることができる。各部のレイアウトによるが、例えば、リフト・作動角の大小変化に伴い、吸気弁３の開時期と閉時期とがほぼ対称に変化する。
【００３１】
次に、位相可変機構７１は、図２に示すように、上記駆動軸５２の前端部に設けられたスプロケット７２と、このスプロケット７２と上記駆動軸５２とを、所定の角度範囲内において相対的に回転させる位相制御用アクチュエータ７３と、から構成されている。上記スプロケット７２は、図示せぬタイミングチェーンもしくはタイミングベルトを介して、クランクシャフトに連動している。上記位相制御用アクチュエータ７３は、例えば油圧式、電磁式などの回転型アクチュエータからなり、エンジンコントロールユニット１９からの制御信号によって制御されている。この位相制御用アクチュエータ７３の作用によって、スプロケット７２と駆動軸５２とが相対的に回転し、バルブリフトにおけるリフト中心角が遅進する。つまり、リフト特性の曲線自体は変わらずに、全体が進角もしくは遅角する。また、この変化も、連続的に得ることができる。この位相可変機構７１の制御状態は、駆動軸５２の回転位置に応答する駆動軸センサ６６によって検出される。
【００３２】
上記のように、可変動弁機構２として、リフト・作動角可変機構５１と位相可変機構７１とを備えることで、両者の制御の組み合わせにより、吸気弁３のバルブリフト特性、特に吸気弁開時期（ＩＶＯ）と吸気弁閉時期（ＩＶＣ）とを、大幅にかつ連続的に可変制御することが可能となる。そして、基本的に、スロットル弁１８に依存せずに、吸気弁３の可変制御によって吸気量を制御することが可能となっている。本実施例では、スロットル弁１８は、吸気量の制御ではなく適宜な負圧を生成するために存在しており、コレクタ１６内の圧力が所定の負圧つまり負圧源として必要最小限の負圧（例えば、−５０ｍｍＨｇ）となるように、スロットル弁１８の開度が概ね一定に保持され、最終的な吸気量の制御は、可変動弁機構２によってなされる。このように、スロットル弁１８の開度を十分に大きく保持することで、実質的にスロットルレス運転となり、ポンピングロスが大幅に低減する。また、コレクタ１６内に必要最小限の負圧が確保されることから、実用機関として必要なブローバイガスの還流などの負圧を利用した種々のシステムを、大幅な変更を要さずにそのまま適用することが可能である。なお、本発明は、スロットル弁１８を具備しない完全なスロットルレスの構成としても適用することが可能である。
【００３３】
次に、上記のリフト・作動角可変機構５１と位相可変機構７１とを運転条件に応じて制御する具体的な制御方法を説明する。
【００３４】
図３は、制御の全体的な流れを示すメインフローチャートであって、まずステップ１で、アクセル開度センサ２２によって検出されたアクセル開度から、必要トルクを算出し、かつステップ２で、この必要トルクに対応する必要空気量を算出する。ステップ３では、このステップ２で算出した必要空気量と、そのときの機関回転速度とから、前述した図１０の関係に基づいて、例えばマップ参照により、許容残留ガス量を算出する。そして、上記の必要空気量と許容残留ガス量とから、ステップ４およびステップ５で、最適なＩＶＣおよびＩＶＯを算出する。
【００３５】
ステップ６では、このＩＶＯおよびＩＶＣから作動角および位相を算出する。つまり、ＩＶＯ〜ＩＶＣの角度として作動角を求め、またＩＶＯ〜ＩＶＣの間の中央の点として位相を求める。なお、ここでは、リフト中心角の位相を、下死点から進角側に計測したクランク角で表すものとし、これを「位相角」と呼ぶ。ステップ７では、これらの最適な作動角および位相が、上記のリフト・作動角可変機構５１および位相可変機構７１によって実現可能な範囲であるか判断し、これらの作動角限界値あるいは位相限界値を越える場合には、後述するような補正を加える。そして、最終的に決定した作動角および位相を、リフト・作動角可変機構５１および位相可変機構７１に、それぞれ目標値として与える。
【００３６】
図４は、最適な作動角および位相が、リフト・作動角可変機構５１の作動角限界値および位相可変機構７１の位相限界値の範囲内である場合の作動角目標値や位相角目標値等の変化の状況を示すタイムチャートである。この例では、アクセル開度が増加したとき、つまり機関加速時の変化を示し、必要トルクおよび必要空気量がアクセル開度に伴って増加する。そして、ＩＶＯがやや進角してバルブオーバラップが拡大する一方、ＩＶＣが大きく遅角し、下死点に近付く。これにより、実質的な吸気行程が増大する。ＩＶＯとＩＶＣの変化に伴い、作動角は増大し、かつ位相角は減少つまり遅角側へ移動する。
【００３７】
一方、最適値として決定された位相まで位相可変機構７１が変位できない場合には、前述したステップ７の作動角・位相角補正手段により、制限された位相の範囲内で燃費が最良となるように、ＩＶＣおよびＩＶＯが補正される。図５および図６は、特にその位相角の制限に対する処理の流れを示すフローチャートであり、ステップ２１で、算出された位相角が位相角最大値（つまり進角側の位相限界値）以下であるか判断し、位相角最大値を越えている場合には、ステップ２２以降で補正を行う。
【００３８】
まずステップ１２で、そのときの作動角から微小量減算して、新たな作動角を求め、次にステップ１３で、ステップ４において算出されたＩＶＣとこの修正後の作動角とから、新たなＩＶＯを算出する。ステップ１４では、この新たなＩＶＯとＩＶＣとから、発生トルクを求める。そして、ステップ１５で、この発生トルクが要求トルクに一致しているか判定する。作動角およびＩＶＯの変更により発生トルクが変化する場合には、ステップ１５からステップ１８（図６）へ進み、発生トルクが要求トルクよりも増加するのか減少するのかを判断し、増加するのであれば、ステップ１９で、ＩＶＣに微小量加算して進角側へ修正する。逆に発生トルクが減少するのであれば、ステップ２０で、ＩＶＣから微小量減算して遅角側へ修正する。このステップ１８〜２０の処理は、ステップ１５で発生トルクが要求トルクに一致するまで繰り返される。発生トルクが要求トルクに一致したら、ステップ１６で、修正後のＩＶＣとＩＶＯとから位相角を求め、ステップ１７で、この新たな位相角が位相角最大値以下となったか判定する。まだ位相角最大値以下に達しなければ、再びステップ１２へ戻り、上述した処理を繰り返す。この結果、位相角最大値に達する作動角が求められるとともに、発生トルクが要求トルクに一致するように、ＩＶＣさらにはＩＶＯが決定される。
【００３９】
図７は、このような位相角最大値に制限される場合の作動角目標値や位相角目標値等の変化の状況を示すタイムチャートである。この例では、アクセル開度が減少した機関減速時の変化を示し、作動角が縮小しつつ位相が進角しようとするが、位相角が機構上の最大値に達した時点で、それ以上進角することができないので、位相角を最大値に保ったまま、要求トルクが得られるようにＩＶＯおよびＩＶＣが補正される。なお、このとき、残留ガス量が最大限に維持されるので、制限された位相の範囲内で、燃費が最良の特性となる。
【００４０】
次に、図８は、最適値として決定された作動角がリフト・作動角可変機構５１の機構上の限界値を越えている場合の補正処理の流れを示すフローチャートであり、ステップ３１で、算出された作動角が作動角最大値以下であるか判断し、作動角最大値を越えている場合には、ステップ３２以降で補正を行う。
【００４１】
まずステップ３２で、作動角を作動角最大値に固定する。次にステップ３３で、ステップ４において算出されたＩＶＣから、発生トルクを求める。そして、ステップ３４で、この発生トルクが要求トルクに一致しているか判定する。発生トルクが要求トルクに一致していない場合には、ステップ３５へ進み、発生トルクが要求トルクよりも増加するのか減少するのかを判断し、増加するのであれば、ステップ３６で、ＩＶＣに微小量加算して進角側へ修正する。逆に発生トルクが減少するのであれば、ステップ３７で、ＩＶＣから微小量減算して遅角側へ修正する。このステップ３５〜３７の処理は、ステップ３４で発生トルクが要求トルクに一致するまで繰り返される。この結果、作動角が最大値に維持されるとともに、発生トルクが要求トルクに一致するように、ＩＶＣさらにはＩＶＯが決定される。
【００４２】
図９は、このような作動角最大値に制限される場合の作動角目標値や位相角目標値等の変化の状況を示すタイムチャートである。この例では、アクセル開度が増加した機関加速時の変化を示し、作動角が増加しつつ位相が遅角しようとするが、作動角が機構上の最大値に達した時点で、それ以上拡大することができないので、作動角を最大値に保ったまま、要求トルクが得られるようにＩＶＯおよびＩＶＣが補正される。なお、このとき、やはり残留ガス量が最大限に維持されるので、制限された作動角の範囲内で、燃費が最良の特性となる。
【００４３】
なお、上記実施例では、作動角可変機構として、リフトと作動角とが同時に変化するリフト・作動角可変機構５１を用いているが、最大リフトが一定のまま作動角が変化する形式の機構を利用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る吸気弁駆動制御装置を備えた内燃機関の構成説明図。
【図２】可変動弁機構の構成を示す斜視図。
【図３】作動角および位相の制御を示すメインフローチャート。
【図４】機関加速時の作動角や位相等の変化を示すタイムチャート。
【図５】位相角が制限される場合の補正制御を示すフローチャート。
【図６】図５に続くフローチャート。
【図７】位相角が制限されたときの作動角や位相等の変化を示すタイムチャート。
【図８】作動角が制限される場合の補正制御を示すフローチャート。
【図９】作動角が制限されたときの作動角や位相等の変化を示すタイムチャート。
【図１０】必要空気量と機関回転速度と許容残留ガス量との関係を示す特性図。
【図１１】ＩＶＯからＩＶＣまでのシリンダ内のガス流れを説明する説明図。
【符号の説明】
２…可変動弁機構
１９…エンジンコントロールユニット
５１…リフト・作動角可変機構
７１…位相可変機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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