(57)【要約】【課題】液体の粘度変化にしたがって液滴の吐出制御を行う液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】本発明に係るインクジェット装置１００は、液体貯蔵槽１５０から供給された液体を、吐出波形を印加することで液滴として吐出するインクジェットヘッド１１４と、液体貯蔵槽１５０の液体の測定粘度が吐出可能である粘度の範囲内にあるか否かを判定する判定部１７４と、粘度測定部１４０による判定が肯定的であったならば、測定した粘度に対応する吐出波形をインクジェットヘッド１１４の液滴の吐出に適用させ、また、判定部１７４による判定が否定的であったならば、インクジェットヘッド１１４における液滴の吐出を中断させる制御部１７６とを有する。【選択図】      図１
2004299097.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯蔵する液体貯蔵手段と、
前記液体貯蔵手段から供給された液体を、吐出波形を印加することで液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液体貯蔵手段における液体の粘度を測定する測定手段と、
該測定した粘度が吐出可能と判断される粘度の範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、
前記範囲内で設定した粘度に応じた吐出波形を記憶する記憶手段と、
前記判定手段による判定が肯定的であったならば、前記測定手段で測定した粘度と前記記憶手段の粘度との照合により合致する吐出波形を前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出に適用させる制御手段とを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記制御手段は、前記判定手段による判定が否定的であったならば、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出を中断させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出装置において、
前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させる粘度変化手段をさらに有し、
前記制御手段は、前記判定手段による判定が否定的でありかつ前記測定手段で測定した粘度が前記範囲外にあったならば、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出を中断させると共に、前記粘度変化手段により前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させ前記範囲内に移行させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
液体を貯蔵する液体貯蔵手段と、
前記液体貯蔵手段から供給された液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液体貯蔵手段における液体の粘度を測定する測定手段と、
該測定した粘度が吐出可能と判断される粘度の範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、
前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させる粘度変化手段と、
前記判定手段による判定が否定的でありかつ前記測定手段で測定した粘度が前記範囲外にあったならば、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出を中断させると共に、前記粘度変化手段により前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させ前記範囲内に移行させる制御手段とを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の液滴吐出装置において、
前記測定手段は、
前記液体貯蔵手段における液体に浸した電極部と、
前記電極部の発振周波数を計測する計測部と、
該計測された発振周波数と前記電極部の固有の発振周波数との比により粘度を測定する測定部とを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求１乃至５のいずれかに記載の液滴吐出装置の用途が、印刷のための印字液体の吐出、導線パターンの形成のための導電液体の吐出、表示装置における液晶材料若しくはカラーフィルタの形成のためのフィルタ液体の吐出、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）層形成のためのＥＬ材料液体の吐出、レジスト層の形成のためのレジスト液体の吐出、生化物質を含む生化学液体の吐出、またはマイクロレンズアレイの形成のための光透過性材料の液体の吐出のいずれかであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の液滴吐出装置によって製造したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載の液滴吐出装置によって製造された電気光学装置を搭載した電子機器。
【請求項９】
請求項１乃至６のいずれかに記載の液滴吐出装置を使用した電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
液体を貯蔵する液体貯蔵手段から供給された液体を、吐出波形を印加することで液滴として吐出する液滴吐出装置の吐出制御方法において、
前記液体貯蔵手段における液体の粘度を測定する第１ステップと、
該測定した粘度が吐出可能と判断される粘度の範囲内にあるか否かを判定する第２ステップと、
前記第２ステップによる判定が肯定的であったならば、前記第１ステップで測定した粘度に対応する吐出波形を液滴の吐出に適用させることを特徴とする液滴吐出装置の吐出制御方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出装置の吐出制御方法において、
前記第２ステップによる判定が否定的であったならば、液滴の吐出を中断させる第３ステップとを有することを特徴とする液滴吐出装置の吐出制御方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液滴吐出装置の吐出制御方法において、
前記第３ステップでは、前記第２ステップによる判定が否定的でありかつ前記第１ステップで測定した粘度が前記範囲外にあったならば、液滴の吐出を中断させると共に、前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させ前記範囲内に移行させることを特徴とする液滴吐出装置の吐出制御方法。
【請求項１３】
液体を供給する液体貯蔵手段から供給された液体を、液滴として吐出する液滴吐出装置の吐出制御方法において、
前記液体貯蔵手段における液体の粘度を測定する第１ステップと、
該測定した粘度が吐出可能と判断される粘度の範囲内にあるか否かを判定する第２ステップと、
前記第２ステップによる判定が否定的でありかつ前記第１ステップで測定した粘度が前記範囲外にあったならば液滴の吐出を中断させると共に、前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させ前記範囲内に移行させることを特徴とする液滴吐出装置の吐出制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴を吐出する液滴吐出装置、電気光学装置、電子機器、電気光学装置の製造方法、液滴吐出装置の吐出制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液滴を吐出して対象媒体に付着させる液滴吐出装置（インクジェット装置）においては、その液体の粘度が経時的に変化してしまっていた。この液体の粘度の変化は、周囲の温度変化や溶媒の蒸発などに伴って生じる。
この粘度変化の発生による不都合の解消のために、従来、インク流路を形成しているヘッドベースに正特性サーミスタを密着するように配置したインクジェットヘッドが提案されている（例えば、特許文献１）。このインクジェットヘッドでは、この正特性サーミスタをヒータとして用い、同時にヒータ自身の温度を正特性サーミスタから検出して、インク流路を一定温度に制御することで粘度の経時的変化を是正する。このインクジェットヘッドを用いることにより、設定温度への立ち上がり時間を早め、温度を正確に制御し、さらにヒータ容量を小さくしたという効果が得られる。
【０００３】
また、他に、インクノズルと流路とに連結配置された第１ヒータと、インク溜めに隣接した第２ヒータとを設け、或る一定値以下の粘度になると第１ヒータを加熱し、第２ヒータによりインク溜め部を融点以上かつ流路部の温度未満に保持するインクジェットヘッドが提案されている（例えば、特許文献２）。このインクジェットヘッドでは、インク流路とノズル部におけるインクを、一定値以下の粘度とするために加熱している。
【０００４】
【特許文献１】
特開昭５９−１０９３７０号公報
【特許文献２】
特開平０３−１４７８５１号広報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この特許文献１，２に示されたインクジェットヘッドは共に、粘度を低減するために加熱温度自体を制御する技術、つまり液体の加熱によって推定される粘度を得る技術であるが、例えこのように加熱によって液体の粘度を低減させるとしても、液体の粘度は、実際、加熱による温度上昇以外に周囲の温度や湿度などに影響される。このことから、温度測定、一定の温度検出、ヒータによる加熱処理、インク温度変化と順次なされる一連のステップおよび状態変化を経た後に、インク温度が安定するまでにはある程度の時間を要し、早急かつ精度よく所定の粘度へと導くことはできなかった。さらにこれに加えて、液体の種類によっては、温度変化による粘度変化が著しいものや、逆に、粘度変化が非常に緩やかなものもあり、加熱温度を変化させることで粘度を変化させるということでは、所望の粘度が得られたのか否かを判断することは困難である。
【０００６】
本発明は上述した課題に鑑みてなされ、その目的は、液体の粘度変化にしたがって液滴の吐出制御を行う液滴吐出装置、電気光学装置、電子機器、電気光学装置の製造方法、液滴吐出装置の吐出制御方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
（１）上述課題を解決するため、本発明の液滴吐出装置は、液体を貯蔵する液体貯蔵手段と、前記液体貯蔵手段から供給された液体を、吐出波形を印加することで液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液体貯蔵手段における液体の粘度を測定する測定手段と、該測定した粘度が吐出可能と判断される粘度の範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、前記範囲内で設定した粘度に応じた吐出波形を記憶する記憶手段と、前記判定手段による判定が肯定的であったならば、前記測定手段で測定した粘度と前記記憶手段の粘度との照合により合致する吐出波形を前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出に適用させる制御手段とを有することを特徴とする。
これにより、液体の粘度を直接的に反映させて適切な吐出波形の印加を行うことができるようになる。
【０００８】
（２）また、本発明は、上記（１）に記載の液滴吐出装置において、前記制御手段は、前記判定手段による判定が否定的であったならば、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出を中断させることを特徴とする。
これにより、所望の液滴の生成時において支障をきたすほどの高粘度を有する液体の吐出の中断を行うことができる。
【０００９】
（３）また、本発明は、上記（２）に記載の液滴吐出装置において、前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させる粘度変化手段をさらに有し、前記制御手段は、前記判定手段による判定が否定的でありかつ前記測定手段で測定した粘度が前記範囲外にあったならば、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出を中断させると共に、前記粘度変化手段により前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させ前記範囲内に移行させることを特徴とする。
これにより、液体の粘度変化に合わせて液滴の吐出に伴い印加する吐出波形を置換し、また、所定範囲外の粘度を有する液体については、その吐出駆動を中断すると共に、この中断期間中に適宜液体の粘度を変化させし、吐出に適した粘度へと変化させることができる。
【００１０】
（４）また、本発明の液滴吐出装置は、液体を貯蔵する液体貯蔵手段と、前記液体貯蔵手段から供給された液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液体貯蔵手段における液体の粘度を測定する測定手段と、該測定した粘度が吐出可能と判断される粘度の範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させる粘度変化手段と、前記判定手段による判定が否定的でありかつ前記測定手段で測定した粘度が前記範囲外にあったならば、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出を中断させると共に、前記粘度変化手段により前記液体貯蔵手段における液体の粘度を変化させ前記範囲内に移行させる制御手段とを有することを特徴とする。
このように、所定範囲外の粘度を有する液体については、その吐出駆動を中断すると共に、この中断期間中に適宜液体の粘度を変化させ、吐出に適した粘度へと変化させるようにしてもよい。
【００１１】
（５）また、本発明は、上記（１）乃至（４）のいずれかに記載の液滴吐出装置において、前記測定手段は、前記液体貯蔵手段における液体に浸した電極部と、前記電極部の発振周波数を計測する計測部と、該計測された発振周波数と前記電極部の固有の発振周波数との比により粘度を測定する測定部とを有することを特徴とする。
【００１２】
（６）また、本発明は、上記（１）乃至（５）のいずれかに記載の液滴吐出装置の用途が、印刷のための印字液体の吐出、導線パターンの形成のための導電液体の吐出、表示装置における液晶材料若しくはカラーフィルタの形成のためのフィルタ液体の吐出、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）層形成のためのＥＬ材料液体の吐出、レジスト層の形成のためのレジスト液体の吐出、生化物質を含む生化学液体の吐出、またはマイクロレンズアレイの形成のための光透過性材料の液体の吐出のいずれかであることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
＜第１の実施形態＞
（インクジェット装置１００の構成）
図１を用いて、本発明に係るインクジェット装置１００の構成を説明する。
図１は、本発明に係るインクジェット装置１００の一形態を機能的に示した図である。このインクジェット装置１００は、例えば、銀微粒子およびＣ１４Ｈ３０（テトラデカン）を含む液滴を基板１２６の所定の位置に付着させ、この基板１２６上に所望の導電膜パターンを形成する装置である。
【００１５】
このインクジェット装置１００では、基台１０２上に、ヘッド部搬送手段であるＸ方向駆動装置１１０、および基板搬送手段であるＹ方向駆動装置１２０が設けられている。また、基台１０２下に、ヘッド駆動制御回路１３０が設けられている。なお、Ｘ方向，Ｙ方向およびＺ方向は互いに直交している。
【００１６】
Ｘ方向駆動装置１１０は、Ｘ方向駆動モータ１１１、Ｘ方向駆動軸１１２、インクジェットヘッド１１４を有している。Ｘ方向駆動モータ１１１は、図示しないＸ方向駆動回路より所定期間（例えば１０ｍｓ）毎に、インクジェットヘッド１１４を走査させるＸ走査駆動信号を受け、Ｘ方向駆動軸１１２に沿ってインクジェットヘッド１１４を搬送させる。また同様に、Ｙ方向駆動装置１２０は、Ｙ方向駆動モータ１２１、Ｙ方向駆動軸１２２、基板保持台１２４を有している。Ｙ方向駆動モータ１２１は、図示しないＹ方向駆動回路より基板保持台１２４を走査させるＹ走査駆動信号を受け、Ｙ方向駆動軸１２２に沿って基板保持台１２４を移動させる。インクジェットヘッド１１４から吐出された液滴の吐出対象となる基板１２６は、図示しない真空吸引手段によって基板保持台１２４へ固定されているため、基板保持台１２４の移動に伴って搬送される。
【００１７】
また、ヘッド駆動制御回路１３０は、Ｘ方向駆動装置１１０またはＹ方向駆動装置１２０の走査を停止させるのに同期して、液滴の吐出駆動の開始を指示する吐出開始信号ＰＴＳ１（Ｐｒｉｎｔ  Ｔｉｍｉｎｇ  Ｓｉｇｎａｌ  １）を生成する。ヘッド駆動制御回路１３０は、この吐出開始信号ＰＴＳ１にしたがって、インクジェットヘッド１１４の吐出口から吐出させるべき液滴の吐出データを読み出し、これをインクジェットヘッド１１４に供給する。また、ヘッド駆動制御回路１３０の駆動波形データ生成部１３４は、この吐出データに対応する駆動波形データが記憶されている駆動波形データ記憶部１３２から、駆動波形データを読み出し、駆動波形信号ＣＯＭを生成する。そして、駆動波形データ生成部１３４は、この生成した駆動波形信号ＣＯＭを、吐出データがインクジェットヘッド１１４に供給されるのに同期して、インクジェットヘッド１１４に供給する。さらに、駆動波形データ生成部１３４は、後述する粘度測定装置１４０から供給される駆動波形データの置換指示信号を受信し、駆動波形データを変更する。
【００１８】
インクジェットヘッド１１４には、供給された吐出データおよび駆動波形信号ＣＯＭに基づいて、所望の吐出駆動電圧が印加される。
なお、インクジェットヘッド１１４には、後述する粘度測定装置１４０における液体貯蔵槽１５０から送り出された液体が、供給管１１６内を通って供給されている。インクジェットヘッド１１４は、上記所望の吐出駆動電圧が印加されることで、この液体が充填された内部容器（図示せず）を圧縮または膨張させ、所望の体積を有する液滴を吐出口から吐出する。
【００１９】
また、このインクジェット装置１００には、水晶振動子により液体の粘度を測定する粘度測定装置１４０が設けられている。
粘度測定装置１４０は、液体１５４に浸された電極部１６０を介して、水晶振動子が設けられた計測回路１６２で、この水晶振動子の固有の発振周波数と、測定した発振周波数とを計測する。計測回路１６２は、この互いの発振周波数の比を算出し、この比に基づく関数系にしたがって液体貯蔵槽１５０内に充填された液体の粘度を測定する。なお、この液体貯蔵槽１５０内には、液体を撹拌する撹拌機１５２が設けられている。
【００２０】
計測回路１６２で測定された粘度データは、接続線１６４を介して、粘度判定を行う粘度判定装置１７０に送信される。粘度判定装置１７０の判定部１７４では、粘度データが、記憶部１７２に予め設定された設定粘度の範囲内にあるか否かを判定する。
【００２１】
ここで、図２を用いて、この記憶部１７２に記憶された設定粘度を示す設定粘度テーブルの一例を説明する。
設定粘度として、例えば計８カテゴリが記憶されている。
「波形信号値：０００」のレコード（行方向）には、「粘度範囲（ｍＰａ・ｓ）：〜１３．０」が記憶されている。この「粘度範囲（ｍＰａ・ｓ）：〜１３．０」は、液体の粘度が、１３．０ｍＰａ・ｓ未満の範囲内にあることを示している。
同様に、「波形信号値：００１」のレコードには、「粘度範囲（ｍＰａ・ｓ）：１３．０〜１３．５」が記憶されている。この「粘度範囲（ｍＰａ・ｓ）：１３．０〜１３．５」は、液体の粘度が、１３．０ｍＰａ・ｓ以上１３．５ｍＰａ・ｓ未満の範囲内にあることを示している。
同様に、「波形信号値：１１１」のレコードには、「粘度範囲（ｍＰａ・ｓ）：１６．０〜１６．５」が記憶されている。この「粘度範囲（ｍＰａ・ｓ）：１６．０〜１６．５」は、液体の粘度が、１６．０ｍＰａ・ｓ以上１６．５ｍＰａ・ｓ未満の範囲内にあることを示している。
【００２２】
制御部１７６は、判定部１７４による設定粘度の範囲内（粘度１６．５ｍＰａ・ｓ未満）が確認されたならば、Ｘ方向駆動装置１１０またはＹ方向駆動装置１２０による走査移動の完了に伴って発信される吐出開始信号ＰＴＳ１を有効にさせるための「オン」を示す指示信号ＲＥＡＤＹを、接続線１７８を介して、ヘッド駆動制御回路１３０に送信する。また、制御部１７６は、図２に示した設定粘度テーブルの設定粘度の範囲に合致する波形信号値を選択し、この波形信号値を、接続線１７８を介してヘッド駆動制御回路１３０に送信する。一方、制御部１７６は、判定部１７４による設定粘度の範囲内（粘度１６．５ｍＰａ・ｓ未満）が確認されなかったならば、Ｘ方向駆動装置１１０またはＹ方向駆動装置１２０による走査移動の完了に伴って発信される吐出開始信号ＰＴＳ１を無効にさせるための「オフ」を示す指示信号ＲＥＡＤＹを、接続線１７８を介して、ヘッド駆動制御回路１３０に送信する。
【００２３】
図３には、ヘッド駆動制御回路１３０内において、この粘度測定装置１４０から送信された「オン」または「オフ」を示す指示信号ＲＥＡＤＹにしたがって、吐出駆動の開始を命令する吐出開始信号ＰＴＳ１を有効または無効にするための回路図を示す。
この論理積回路３００は、吐出開始信号ＰＴＳ１が供給され、かつ指示信号ＲＥＡＤＹが「オン」となっている場合に、吐出開始信号ＰＴＳ１に対応する信号である吐出開始信号ＰＴＳ２を発信する。これとは逆に、論理積回路３００は、吐出開始信号ＰＴＳ１が供給されていても、指示信号ＲＥＡＤＹが「オフ」となっている場合には、吐出開始信号ＰＴＳ２は発信されない。
【００２４】
（インクジェット装置１００の作用）
次に、図４のフローチャート、およびそれと関連するタイミングおよび動作を概念的に示す図５，６のタイミングチャートを適宜用いて、インクジェット装置１００の作用および効果について説明する。
【００２５】
粘度測定装置１４０は、電極部１６０を介して、ある所定期間（例えば５秒）毎に、液体貯蔵槽１５０内の液体１５４の粘度を測定する（ステップＳ４０１）。例えば、当初粘度１３．３ｍＰａ・ｓの液体１５４に対して、この時、粘度１４．１ｍＰａ・ｓが測定されたとする（以下、測定粘度１４．１ｍＰａ・ｓなどと称す）。
なお、この測定粘度１４．１ｍＰａ・ｓが測定される時点は、図５のタイミングチャートの時点ｔ１２に相当する。
【００２６】
粘度測定装置１４０の判定部１７４は、（図２に示した）記憶部１７２に記憶された設定粘度テーブルを読み出し（ステップＳ４０２）、この設定粘度の範囲内（１６．５ｍＰａ・ｓ未満）に、測定粘度１４．１ｍＰａ・ｓがあるか否かを照合する（ステップＳ４０３）。
【００２７】
ここでは、粘度測定装置１４０の判定部１７４は、測定粘度１４．１ｍＰａ・ｓがこの設定粘度の範囲内にあることを確認し、さらに、この測定粘度１４．１ｍＰａ・ｓに対応する波形信号値「０１１」を選択し、これを読み出す（ステップＳ４０４）。
【００２８】
粘度測定装置１４０の制御部１７６は、当初の粘度１３．３ｍＰａ・ｓに設定されている波形信号値「００１」に対応する駆動波形信号ＣＯＭに代えて、この読み出された波形信号値「０１１」に対応する駆動波形信号ＣＯＭに置換する置換指示信号を、接続線１７８を介して、ヘッド駆動制御回路１３０に送信する。これを受信したヘッド駆動制御回路１３０の駆動波形データ生成部１３４は、その駆動波形信号ＣＯＭのデータが記憶されている駆動波形データ記憶部１３２において、波形信号値「０１１」に対応する駆動波形信号ＣＯＭを読み出す（ステップＳ４０５）。これにより、ヘッド駆動制御回路１３０の駆動波形データ生成部１３４は、波形信号値「００１」に対応する駆動波形信号ＣＯＭに代えて、この読み出した波形信号値「０１１」に対応する駆動波形信号ＣＯＭをインクジェットヘッド１１４に供給する。
【００２９】
以後、インクジェット装置１００は、粘度測定装置１４０により所定の期間毎、例えば図５のタイミングチャートに示すように、次期の粘度測定がなされる時点ｔ４５以降時点ｔ５までの期間ｔ４５〜ｔ５において、上述のステップＳ４０１〜Ｓ４０５と同様の動作を行う。
【００３０】
一方、図４の上記ステップＳ４０１において、当初粘度１３．３ｍＰａ・ｓの液体１５４に対して、この時、粘度３０．０ｍＰａ・ｓが測定された場合について以下に説明する。
この粘度測定が行われる時点は、図６の時点ｔ１２に相当する。
【００３１】
粘度測定装置１４０の判定部１７４は、（図２に示した）記憶部１７２に記憶された設定粘度テーブルを読み出し（ステップＳ４０２）、この設定粘度の範囲内（１６．５ｍＰａ・ｓ未満）に、測定粘度３０．０ｍＰａ・ｓがあるか否かを照合し（ステップＳ４０３）する。ここでは、粘度測定装置１４０の判定部１７４は、測定粘度３０．０ｍＰａ・ｓがこの設定粘度の範囲内にないことを確認する。
【００３２】
この後、図６に示すように、このステップＳ４０３が行われた時点ｔ１２に同期して、粘度測定装置１４０の制御部１７６は、接続線１７８を介して、吐出開始信号ＰＴＳ１を無効にするため「オフ」を示す指示信号ＲＥＡＤＹを発信する。この指示信号ＲＥＡＤＹは、図３に示した論理積回路３００に供給される。図６の時点ｔ２では、既にＲＥＡＤＹ信号が「オフ」となっているため、時点ｔ２において吐出開始信号ＰＴＳ２に突出点は表れず、結局、以後のＸ方向駆動回路１１０またはＹ方向駆動装置１２０による走査は行われず、吐出駆動が中断される（ステップＳ４１１）。
なお、上述の例では、測定粘度が３０．００ｍＰａ・ｓと、設定粘度よりも高い場合を説明したが、逆に、測定粘度が５ｍＰａ・ｓと低い時にも吐出駆動を中断する場合もある。この場合、図２における波形信号値「０００」は、例えば１２．５〜１３．０と設定することで、測定粘度が低いことを確認することができるようになる。
【００３３】
本形態のインクジェット装置１００は、液体の粘度変化にしたがって、吐出データに対応させて印加する駆動波形信号を置換し、また、所定範囲を超える高い粘度を有する液体については、その吐出駆動を中断する。これにより、液体の粘度を直接的に反映させて適切な駆動波形信号の印加、および、所望の液滴の生成時において支障をきたすほどの高粘度または低粘度を有する液体の吐出駆動を中断させることができる。
【００３４】
＜第２の実施形態＞
（本形態のインクジェット装置の構成）
次に、本第２の実施形態のインクジェット装置について説明する。ここで、本形態のインクジェット装置は、特に、図１における粘度測定装置１４０の構成が異なっている。以下には、図７を用いて、本形態で用いられる粘度測定装置１４０Ａの構成を説明する。なお、インクジェット装置１００と同様な構成のものについては、重複する説明を避けるため、同符号を用いることとする。この同符号の利用については、以下の実施形態においても同様である。
【００３５】
粘度測定装置１４０Ａは、液体１５４に浸された電極部１６０を介して、水晶振動子が設けられた計測回路１６２で、この水晶振動子の固有の発振周波数と、測定した発振周波数とを計測する。計測回路１６２は、この互いの発振周波数の比を算出し、この比にしたがって液体貯蔵槽１５０内に充填された液体の粘度を測定する。この液体貯蔵槽１５０の底面には、高温高圧バルブによる加熱、および冷却バルブによる冷却により液体の粘度を変化させる変熱部７００が設けられている。粘度判定装置１７０Ａの制御部１７６Ａは、図１の制御部１７６の機能を有すると共に、判定部１７４による設定粘度の範囲内（粘度１６．５ｍＰａ・ｓ未満）が確認されなかったならば、接続線１７８Ａを介して、この変熱部７００を駆動させるための電圧を供給する。
【００３６】
（本形態のインクジェット装置の作用）
次に、図８のフローチャート、およびそれと関連するタイミングおよび動作を概念的に示す図９のタイミングチャートを適宜用いて、本形態のインクジェット装置の作用および効果について説明する。ここで、図４と同様なステップＳ４０１〜Ｓ４０５の説明については、適宜省略する。また、本形態の設定粘度テーブル２００Ａでは、上述の図２の設定粘度テーブル２００における波形信号値「０００」は、１０．０ｍＰａ・ｓ以上１３．０ｍＰａ・ｓ未満の粘度範囲に設定されているとして、以下の説明を進める。
【００３７】
粘度測定装置１４０Ａは、電極部１６０により、当初粘度１３．３ｍＰａ・ｓの液体１５４に対して、この時、粘度３２．０ｍＰａ・ｓを測定する（ステップＳ４０１）。
なお、この粘度測定が行われる時点は、図９のタイミングチャートの時点ｔ１２に相当する。
粘度測定装置１４０Ａの判定部１７４は、記憶部１７２に記憶された設定粘度テーブル２００Ａを読み出し（ステップＳ４０２）、この設定粘度の範囲内（１０．０ｍＰａ・ｓ以上〜１６．５ｍＰａ・ｓ未満）に、測定粘度３２．０ｍＰａ・ｓがあるか否かを照合する（ステップＳ４０３）。
ここでは、粘度測定装置１４０Ａの判定部１７４は、測定粘度３２．０ｍＰａ・ｓはこの設定粘度の範囲内にはないことを確認する。
【００３８】
次に、図４のステップＳ４１１と同様の動作が行われる（ステップＳ８０１）。
一方、上記ステップＳ８０１で、測定した粘度３２．０ｍＰａ・ｓがこの設定粘度の範囲を上回っていることが確認されたならば（ステップＳ８０２）、粘度測定装置１４０Ａの制御部１７６Ａは、液体貯蔵槽１５０を加熱するために、接続線１７８Ａを介して変熱部７００に電圧を供給する（ステップＳ８０３−１）。
【００３９】
この電圧が供給される終期は、以後の粘度測定装置１４０Ａによる粘度測定により、設定粘度の範囲内が確認される時点である。これが確認されたならば、粘度測定装置１４０Ａの制御部１７６Ａは、変熱部７００への電圧供給を終了する（ステップＳ８０４−１）。
なお、このステップＳ８０１〜Ｓ８０４が行われる時期は、図９のタイミングチャートにおいて、吐出開始信号ＰＴＳ１と「オフ」を示す指示信号ＲＥＡＤＹとの論理積回路（図３参照）で、吐出駆動の中断が確認された時点ｔ２から、以降の粘度測定時で設定粘度の範囲内が確認される時点ｔ２３２までの期間ｔ２〜ｔ２３２に相当する。
【００４０】
次に、粘度測定装置１４０Ａの制御部１７６Ａは、吐出開始信号ＰＴＳ１を有効にするために、「オン」を示す指示信号ＲＥＡＤＹを、接続線１７８を介してヘッド駆動制御回路１３０に供給する。これにより、ヘッド駆動制御回路１３０における吐出駆動は再開される（ステップＳ８０５）。
なお、このステップＳ８０５が行われるのは、図９のタイミングチャートにおいて吐出可能信号ＰＴＳ２が立上がる時点ｔ３に相当する。なお、上記ステップＳ８０２で、仮に測定した粘度５．０ｍＰａ・ｓが確認されたならば、粘度測定装置１４０Ａの制御部１７６Ａは、液体貯蔵槽１５０を冷却するために、接続線１７８Ａを介して変熱部７００に電圧を供給する（ステップＳ８０３−２）。そして、以後の粘度測定装置１４０Ａによる粘度測定により、設定粘度の範囲内が確認されたならば、粘度測定装置１４０Ａの制御部１７６Ａは、変熱部７００への電圧供給を終了する（ステップＳ８０４−２）。
【００４１】
このように、本形態のインクジェット装置を用いることで、液体の粘度変化に合わせて液滴の吐出に伴い印加する駆動信号を置換し、また、所定範囲外の粘度を有する液体については、その吐出駆動を中断すると共に、この中断期間中に適宜粘度を変化させ、吐出に適した粘度へと変化させることができる。これにより、液体の粘度を直接的に反映させた駆動信号の印加、および、所望の液滴の生成時において支障をきたすほどの高粘度を有する液体の吐出駆動を中断することができる。
【００４２】
（本形態のインクジェット装置の変形例）
上述の図７〜９を用いて説明したインクジェット装置は、その形態を以下のように変化させて用いることも可能である。
本形態のインクジェット装置は、図８のフローチャートにおけるステップＳ４０３の動作が一部異なり、また、ステップＳ４０４，Ｓ４０５の動作が削除されたものとなっている。構成としては、図７において、記憶部１７２で記憶する設定粘度テーブル２００のデータと、判定部１７４の判定処理が異なっている。以下、図７および図１０を参照して説明する。
【００４３】
本形態のインクジェット装置では、記憶部１７２に相当する本形態の記憶部には、吐出すべき対象の粘度範囲が記憶されている。この粘度範囲は、例えば、「１３．０ｍＰａ・ｓ〜１５．０ｍＰａ・ｓ」として記憶されている。
判定部１７２に相当する本形態の判定部は、測定した粘度が、この粘度範囲内にあるか否かを判定する。
制御部１７６Ａは、この判定部１７２の判定にしたがって、測定した粘度がこの粘度範囲内にあれば、以降の吐出駆動も、既に設定された駆動波形信号ＣＯＭにしたがって行う。一方、制御部１７６Ａは、測定した粘度がこの粘度範囲内になければ、図８に示すステップＳ８０１〜Ｓ８０５を実行する。
【００４４】
このように、本変形形態のインクジェット装置を用いることで、所定範囲を超える高い粘度を有する液体については、その吐出駆動を中断すると共に、この中断期間中に適宜加熱し、吐出に適した粘度へと変化させることができる。これにより、所望の液滴の生成時において支障をきたすほどの高粘度を有する液体の吐出駆動を中断することができる。
【００４５】
＜本発明が適用される様々な形態＞
上述の第１，２の実施形態で説明したインクジェット装置は一例であり、本発明は、その趣旨から逸脱しない範囲で様々な形態を採ることが可能である。
上述の第２の実施形態では、図９に示すように、粘度測定装置１４０Ａによる粘度測定時の粘度が設定粘度の範囲内に変化したか否かによって加熱する期間が決まっていたが、この他、液体毎の粘度の変化の相違や、液体の加熱温度と加熱時間とに基づく粘度変化の相関グラフに基づいて、加熱温度および加熱時間を予め設定してもよい。この場合、変熱部７００に電圧を供給する制御部１７６Ａに、この相関グラフに基づく粘度変化テーブルを記憶させる。制御部１７６Ａは、この粘度変化テーブルにしたがって、変熱部７００に、加熱時間に対応する時間、加熱温度に対応する電圧レベルを供給する。
これは、第２の実施形態において示した変形形態においても同様である。
【００４６】
また、第１の実施形態のインクジェット装置では、粘度測定装置１４０による粘度測定は、所定期間（例えば５秒）毎に行われるとして説明を進めたが、他に、所定期間毎ではなく、予め測定時間を設定しこれにしたがって粘度の測定を開始してもよいし、また、吐出開始信号ＰＴＳ１の供給に同期してその粘度の測定を開始するようにしてもよい。
これは、第２の実施形態およびその変形形態においても同様である。
【００４７】
また、第１の実施形態のインクジェット装置では、図２に示す論理積回路３００を用いて、吐出開始信号ＰＴＳ１と指示信号ＲＥＡＤＹとに基づいて、吐出駆動の中断を判断していたが、この他、Ｘ方向駆動装置１１０またはＹ方向駆動装置１２０に供給する駆動電圧の供給の有無に基づいて、吐出駆動の中断を判断してもよい。
【００４８】
また、上述の第１，２の実施形態およびその様々な適用形態において、インクジェット装置の各々は、導電性材料を含む液滴を基板１２６の所定の位置に付着させる装置として説明したが、他に、着色液体の用紙印字、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子の製造、レジスト形成、液晶表示装置におけるガラス基板上のカラーフィルタ形成や液晶材料の封入、マイクロレンズアレイの製造、あるいは生体物質の測定のための液体吐出などの用途にも用いることができる。
この本発明のインクジェット装置としては例えば、有機ＥＬ素子における正孔輸送性発光層または電子輸送層などの層を形成する装置、あるいは無機ＥＬ素子における蛍光発光層の層形成装置が挙げられる。また他に、本発明のインクジェット装置として、所定の導電膜パターン形成の際におけるリソグラフィ工程のレジストを塗布する装置、マイクロレンズアレイの製造工程において複数の凸部を有する原盤に光透過性材料を塗布する装置、試験管などの容器媒体に注入されたＤＮＡ（ｄｅｏｘｙｒｉｂｏｎｕｃｌｅｉｃ  ａｃｉｄ）などの生体物質の種類または量を測定するための触媒を吐出する装置、あるいはその生体物質自体をシャーレなどの媒体に吐出する装置が挙げられる。
【００４９】
＜電気光学装置および電子機器＞
最後に、上述の第１，２の実施形態およびその様々な適用形態における液滴吐出装置により形成されたカラーフィルタを有する電気光学装置と、この電気光学装置を表示部として適用した電子機器について説明する。
図１１は、カラーフィルタを有する電気光学装置の断面図である。この図に示すように、電気光学装置１１４０は、大略して、観察者側に向けて光を放出するバックライト機構１１４２と、バックライト機構１１４２から放出された光を選択的に透過させるパッシブ型液晶表示パネル１１４４とを有している。このうち、液晶表示パネル１１４４は、基板１１４６と、電極１１４８と、配向膜１１５０と、スペーサ１１５２と、配向膜１１５４と、電極１１５６と、カラーフィルタ１１６０とを有している。カラーフィルタ１１６０は、前掲した図と上下逆に示されており、隔壁１１２０からみて基板１１００側が上側（観察者側）に位置している。このカラーフィルタ１１６０に含まれる赤色カラーフィルタ１１３２Ｒ、緑色カラーフィルタ１１３２Ｇおよび青色カラーフィルタ１１３２Ｂは、本発明の液滴吐出装置によりパターニングされたものであり、略設計値と等しい厚みを有している。また、各カラーフィルタ１１３２Ｒ、１１３２Ｇ、１１３２Ｂの背面側には、それらの保護を目的としたオーバーコート層１１５８が設けられている。
スペーサ１１５２を隔てて対向する２つの配向膜１１５０、１１５４の間隙には、液晶が封入されており、電極１１４８、１１５６により電圧が印加されると、バックライト機構１１４２から放出された光を、各カラーフィルタ１１３２Ｒ、１１３２Ｇ、１１３２Ｂに対応する領域毎に選択的に透過させる。
【００５０】
次に、図１２は、電気光学装置１１４０を搭載した携帯電話機１２００の外観図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２１０の他、受話口１２２０、送話口１２３０とともに、電話番号などの各種情報を表示する表示部として、カラーフィルタを含む電気光学装置１１４０を備えている。
また、携帯電話機１２００以外にも、本発明の液滴吐出装置を用いて製造された電気光学装置１１４０は、コンピュータや、プロジェクタ、デジタルカメラ、ムービーカメラ、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）、車載機器、複写機、オーディオ機器などの各種電子機器の表示部として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態のインクジェット装置の構成図である。
【図２】同装置の粘度測定装置に記憶された設定粘度テーブルの一例を示す図である。
【図３】同装置の駆動制御回路に設けられた論理積回路である。
【図４】同装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】同装置の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図６】同装置の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図７】第２の実施形態のインクジェット装置の構成図である。
【図８】同装置の動作を示すフローチャートである。
【図９】同装置の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図１０】同装置の変形形態の動作を示すフローチャートである。
【図１１】本発明のインクジェット装置によって製造された電気光学装置である。
【図１２】本発明のインクジェット装置によって製造された電気光学装置を搭載した電子機器である。
【符号の説明】
１００…インクジェット装置、１１０…Ｘ方向駆動装置、１１２…Ｘ方向駆動軸、１１４…インクジェットヘッド、１１６…供給管、１２０…Ｙ方向駆動装置、１２２…Ｙ方向駆動軸、１２４…基板保持台、１２６…基板、１３０…ヘッド駆動制御回路、１３２…駆動波形データ記憶部、１３４…駆動波形データ生成部、１４０，１４０Ａ…粘度測定装置、１５０…液体貯蔵槽、１６０…電極部、１６２…計測回路、１７０，１７０Ａ…粘度判定装置、１７２…記憶部、１７４…判定部、１７６，１７６Ａ…制御部、３００…論理積回路、７００…変熱部。
【図１】
2004299097.tif 000003
【図２】
2004299097.tif 000004
【図３】
2004299097.tif 000005
【図４】
2004299097.tif 000006
【図５】
2004299097.tif 000007
【図６】
2004299097.tif 000008
【図７】
2004299097.tif 000009
【図８】
2004299097.tif 000010
【図９】
2004299097.tif 000011
【図１０】
2004299097.tif 000012
【図１１】
2004299097.tif 000013
【図１２】
2004299097.tif 000014