(57)【要約】      （修正有）【課題】平面パネルディスプレイなどの電気回路の欠陥の検査をするのに好適なカラーフラッシュ画像取得システムを提供する。【解決手段】検査は、電気回路の概ね鏡の面をフラッシュ光を用いて照明する。フラッシュ光は少なくとも２つのスペクトルが異なる光源から到来し、時間的に間隔をあけられている。カメラは、それぞれのフラッシュ光について回路の光学画像を形成する。合成画像を提供するために、光学画像は合成される。合成画像の解析は欠陥の検出を可能とし、製造に関連する決定はこの解析に基づいていても良い。【選択図】図１Ａ
2004191355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像化すべき概ね鏡のような面に形成されるパターンの一部分を照明する照明装置であって、少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔のあいた、概ね同じ入射角で前記一部分に入射するフラッシュ光を提供する照明装置と、
フラッシュ毎に少なくとも一つの前記一部分の光学画像を取得する為に、前記フラッシュからの、前記概ね鏡のような面の前記一部分で反射した光を受光するよう配置されたカメラと、
合成画像を生成するために、異なるフラッシュから取得される画像を合成するよう動作する画像コンバイナ（combiner）と、
を備える事を特徴とする検査システム。
【請求項２】
前記パターン内の欠陥を検知するために、前記合成画像を受信及び解析するよう動作する欠陥解析装置をさらに備えた、請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
前記異なるフラッシュのそれぞれの光のスペクトルは重複しない、請求項１に記載の検査システム。
【請求項４】
前記異なるフラッシュのそれぞれの光のスペクトルは部分的に重複する、請求項１に記載の検査システム。
【請求項５】
前記照明装置は、それぞれ異なる色の光を放射する少なくとも２つのフラッシュライトを備える、請求項１に記載の検査システム。
【請求項６】
前記少なくとも２つのフラッシュライトは、赤いフラッシュライト、緑のフラッシュライト、および青いフラッシュライトを備える、請求項５に記載の検査システム。
【請求項７】
前記少なくとも２つのフラッシュライトは、ＬＥＤ発光体を備える、請求項５に記載の検査システム。
【請求項８】
前記少なくとも２つのフラッシュライトは、ＬＥＤ発光体を備える、請求項６に記載の検査システム。
【請求項９】
前記赤いフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体、前記緑のフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体、及び前記青いフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体は、お互いに離れている、請求項８に記載の検査システム。
【請求項１０】
前記赤いフラッシュライトを放射する前記ＬＥＤ発光体、前記緑のフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体、及び前記青いフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体は、複数のお互いに織り交ぜられたＬＥＤ発光体を備える、請求項９に記載の検査システム。
【請求項１１】
前記照明装置と前記面の間に配置された、光ホモジナイザー（homogenizer）を更に備える、請求項１０に記載の検査システム。
【請求項１２】
前記光ホモジナイザーは、前記ＬＥＤ発光体によって放射された光を、まるでこのような光が分散光源（extended light source）により放射されたかの様に出現するように処理する動作を行う、請求項１１に記載の検査システム。
【請求項１３】
前記照明装置と前記一部分の間に置かれた、少なくとも部分的に反射性のある面を更に備え、前記少なくとも部分的に反射性のある面は、概ね前記一部分に垂直な軸に沿って前記一部分に当たるよう前記照明装置からの光を反射する、請求項１に記載の検査システム。
【請求項１４】
前記少なくとも部分的に反射性のある面は、前記垂直な軸に沿って配置され、かつ前記カメラに当たるよう前記面で反射した光を透過させるように構成されている、請求項１３に記載の検査システム。
【請求項１５】
前記カメラは、前記垂直な軸に沿って配置されている、請求項１３に記載の検査システム。
【請求項１６】
前記光学画像は前記一部分の明視野画像からなる、請求項１に記載の検査システム。
【請求項１７】
前記概ね鏡のような面は、内部組立の電気回路の面である、請求項１に記載の検査システム。
【請求項１８】
前記内部組立の電気回路は、内部組立の平面パネルディスプレイからなる、請求項１７に記載の検査システム。
【請求項１９】
画像化すべき概ね鏡のような面の一部分を照明する照明装置であって、少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔のあいた、概ね同じ入射角で前記一部分に入射するフラッシュ光を提供する照明装置と、
フラッシュ毎に少なくとも一つの前記一部分の光学画像を取得する為に、前記フラッシュからの、前記概ね鏡のような面の前記一部分で反射した光を受光するよう配置されたカメラと、
合成画像を生成するために、異なるフラッシュから取得される画像を合成するよう動作する画像コンバイナ（combiner）と、
を備える事を特徴とするイメージャ（imager）。
【請求項２０】
前記異なるフラッシュのそれぞれの光のスペクトルは重複しない、請求項１９に記載のイメージャ。
【請求項２１】
前記異なるフラッシュのそれぞれの光のスペクトルは部分的に重複する、請求項１９に記載のイメージャ。
【請求項２２】
前記照明装置は、それぞれ異なる色の光を放射する少なくとも２つのフラッシュライトを備える、請求項１９に記載のイメージャ。
【請求項２３】
前記少なくとも２つのフラッシュライトは、赤いフラッシュライト、緑のフラッシュライト、及び青いフラッシュライトを備える、請求項２２に記載のイメージャ。
【請求項２４】
前記少なくとも２つのフラッシュライトは、ＬＥＤ発光体を備える、請求項２２に記載のイメージャ。
【請求項２５】
前記少なくとも２つのフラッシュライトは、ＬＥＤ発光体を備える、請求項２３に記載のイメージャ。
【請求項２６】
前記赤いフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体、前記緑のフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体、及び前記青いフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体は、お互いに離れている、請求項２５に記載のイメージャ。
【請求項２７】
前記赤いフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体、前記緑のフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体、前記青いフラッシュライトを放射するＬＥＤ発光体は、複数のお互いに織り交ぜられたＬＥＤ発光体を備える、請求項２６に記載のイメージャ。
【請求項２８】
前記照明装置と前記面の間に配置された、光ホモジナイザーを更に備える、請求項２７に記載のイメージャ。
【請求項２９】
前記光ホモジナイザーは、前記ＬＥＤ発光体によって放射された光を、まるでこのような光が分散光源により放射されたかの様に出現するように処理する動作を行う、請求項２８に記載のイメージャ。
【請求項３０】
前記照明装置と前記一部分の間に置かれた、少なくとも部分的に反射性のある面を更に備え、前記少なくとも部分的に反射性のある面は、概ね前記一部分に垂直な軸に沿って前記一部分に当たるよう前記照明装置からの光を反射する、請求項１９に記載のイメージャ。
【請求項３１】
前記少なくとも部分的に反射性のある面は、前記垂直な軸に沿って配置され、かつ前記カメラに当たるよう前記面で反射した光を透過させるように構成されている、請求項３０に記載のイメージャ。
【請求項３２】
前記カメラは、前記垂直な軸に沿って配置されている、請求項３０に記載のイメージャ。
【請求項３３】
前記照明装置の光学画像は前記一部分の明視野画像からなる、請求項１９に記載のイメージャ。
【請求項３４】
前記概ね鏡のような面は、内部組立の電気回路の面である、請求項１９に記載のイメージャ。
【請求項３５】
前記内部組立の電気回路は、内部組立の平面パネルディスプレイからなる、請求項３４に記載のイメージャ。
【請求項３６】
前記面の欠陥を検出するために、合成画像を受信し及び解析するよう動作する欠陥アナライザを更に備える、請求項１９に記載のイメージャ。
【請求項３７】
欠陥について表面を検査する方法であって、
少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔の開いた、それぞれが概ね同じ入射角で表面に入射するフラッシュ光を用いて、検査すべき概ね鏡のような表面の一部分を照明し、
前記少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔の開いたフラッシュ光の中の一番目のフラッシュにより照明された前記表面の前記一部分の一番目の光学画像を取得し、
前記少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔の開いたフラッシュ光の中の二番目のフラッシュにより照明された前記表面の前記一部分の二番目の光学画像を取得し、
合成画像を形成する為に前記一番目の光学画像と前記二番目の光学画像とを合成すること、
を備える方法。
【請求項３８】
前記基板の欠陥を検出するために前記合成画像を解析する事を更に備える請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
電気回路を製造する為の方法であって、
基板上に少なくとも電気回路の一部分を形成し、
少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔の開いた、それぞれが概ね同じ入射角で前記基板に入射するフラッシュ光を用いて前記一部分を照明し、
前記少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔の開いたフラッシュ光の中の一番目のフラッシュによって前記表面が照明される時間間隔の間、前記一部分の一番目の光学画像を取得し、
前記少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔の開いたフラッシュ光の中の二番目のフラッシュによって前記表面が照明される時間間隔の間、前記一部分の二番目の光学画像を取得し、
合成画像を形成する為に前記一番目の光学画像と前記二番目の光学画像とを合成し、
前記合成画像を検査し、
前記検査に応じて、検査後の動作を実行する事、
を備える方法。
【請求項４０】
前記検査後の作業は、前記基板を廃棄する事を備える、請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記検査後の作業は、前記一部分を修理する事を備える、請求項３９に記載の方法。
【請求項４２】
前記検査後の作業は、前記一部分に欠陥がない事を確認する事を備える、請求項３９に記載の方法。
【請求項４３】
前記検査後の作業は、前記一部分を形成するために使用される製造工程を変更する事を備える、請求項３９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に照明及び画像取得システムに関し、特に製造中の平面パネルディスプレイの検査を含む電気回路検査に好適なカラーフラッシュ画像取得システム組立品に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動式の光学検査（ＡＯＩ）システムは、一般に、プリント回路基板、平面パネルディスプレイ、チップキャリア、集積回路及びこれらと同様なものを含む電気回路の検査において使用される。商業的に利用可能なＡＯＩシステムは、むき出しのプリント回路基板を検査するためのIinspireTM 9060,SK-75TM,V-300 TMシステム、部品に占められたプリント回路基板を検査するためのTrion TM システム, 平面パネルディスプレイを検査するためのFPI-6090 TM及びFPI-7590 TMシステム、チップキャリアを検査するためのICP 8060 TMシステムなどがある。上記全てのシステムは、イスラエルのヤフネ(Yavne)にあるオルボテック株式会社から販売されているものである。
【０００３】
白黒カメラとの併用でカラーフラッシュを用いてカラー画像を取得するシステムは、その開示が参照により本明細書に組み込まれる、2001年5月9日に公開された、Orbotech-Schuh、GMbH株式会社、ＫＧのヨーロッパ特許出願1098190 A2に記載されている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、表面のカラー画像を取得するための改良されたシステムを提供する事を探求する。本発明によって構成され動作するシステムを用いて得られる画像の通常の応用は、特に平面パネルディスプレイなどの電気回路の欠陥の検査をする事である。
【０００５】
本発明の一般の側面によれば、改良されたシステムは、カラー画像を取得するために提供される。改良されたシステムは、製造組立の平面パネルディスプレイの一部分のような鏡のような表面の明視野のカラー画像を取得するのに特に有用である。本発明は、例えば赤、緑、青成分など成分画像のそれぞれが非常に高精度かつ正確な位置合わせとなっている明視野カラー画像を取得する事が望まれるならば必ず使用することができる。
【０００６】
本発明の実施形態によれば、改良されたシステムは、概ね鏡のような表面の部分を画像化するセンサー、及び、少なくとも２つのスペクトル的に異なりかつ時間的に分離したフラッシュ光を提供する照明装置を備える。センサーと照明装置は、それぞれのフラッシュ光出力からの光が概ね同じ入射角で鏡の面の部分に入射するように、及びセンサーが鏡の面の部分に入射し反射された反射光を画像化するように配列されている。画像コンバイナ（combiner）が、合成画像を生成するために、異なるフラッシュ光からの照明により得られた画像を合成するよう提供される。
【０００７】
本発明の実施形態は、下記の特徴の一つ以上を含むことができる。
【０００８】
照明装置は、フラッシュライトのセットを含み、それぞれのフラッシュライトは、異なる色の光を放出する。
【０００９】
フラッシュライトのセットは、赤いフラッシュライト、緑のフラッシュライト、及び青いフラッシュライトから選択される２つ以上のフラッシュライトを備える。
【００１０】
フラッシュライトは所定のスペクトル範囲内で光を放出する。それぞれのフラッシュライトのスペクトル範囲は、重複するものであっても良く、又は重複しないものであっても良い。
【００１１】
フラッシュライトは、ＬＥＤ発光体である。
【００１２】
赤いフラッシュライト、緑のフラッシュライト、及び青いフラッシュライトを放出するＬＥＤ発光体はお互いに離れている。
【００１３】
赤いフラッシュライト、緑のフラッシュライト、及び青いフラッシュライトを放出するＬＥＤ発光体は相互に織り交ぜられている。
【００１４】
光ホモジナイザーは表面と照明装置の間に配置されている。光ホモジナイザーは、まるで分散光源（extended light source）により放射されたかのように、ＬＥＤ発光体から放射された光を処理する。
【００１５】
少なくとも部分的には反射性のある面が、照明装置と照明される部分の間に配置されている。反射性のある面は、照明装置からの光を、概ね部分に垂直な軸に沿って部分に当たるように反射する。
【００１６】
照明装置と照明される部分の間に配置された反射性のある面は、照明装置により放射され表面により反射された光を、センサーに当たるよう透過させる為、ビームスプリッターとして構成されている。
【００１７】
センサーも、照明される部分に垂直な軸に沿って配置される。
【００１８】
照明装置とセンサーは、画像化される部分の光学画像が明視野画像となるよう構成され配置されている。
【００１９】
画像化されている概ね鏡のような面は、例えば内部組立のディスプレイパネルのような内部組立の電気回路の表面である。
【００２０】
システムはさらには、合成画像を受信し、合成画像の解析に応じて基板上の欠陥を検出するよう動作する欠陥検出器を備える。
【００２１】
本発明の別の一般的な側面によれば、改良されたシステムは、平面パネルディスプレイのような電気回路基板を製造する為の工程の一部に使用される。
工程は、概ね鏡のような基板上にパターンを形成する事、少なくとも２つのスペクトル的に異なり時間的に間隔の開いたそれぞれが概ね同一の入射角度で表面に入射するフラッシュ光を用いて、基板の表面の一部分を照明する事、概ね鏡のような表面の一部分で反射した一番目のフラッシュからの光を受光するよう配置されたカメラを用いて、一部分の少なくとも一番目の光学画像を取得する事、概ね鏡のような表面の一部分で反射した二番目のフラッシュからの光を受光するよう配置されたカメラを用いて、一部分の少なくとも二番目の光学画像を取得する事、検査画像を形成するために一番目の光学画像と二番目の光学画像を合成する事、欠陥に関して検査画像を検査する事、及び基板に関し検査後の動作を実行する事、を含む。
検査後の動作は、基板を廃棄する事、基板を修理する事、又は基板に欠陥がないことを確認する事、の少なくとも一つを含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
発明は、多数の典型的な実施形態を用いて、これから教示される。実施形態は詳細に記述されるけれども、本発明はそれらの実施形態のみには限定されず、かなり広い範囲を持つという点は理解されよう。本明細書に添付された請求項は、本発明の全範囲を決定するために調べられるべきである。
【００２３】
本発明の実施形態により構成及び動作される、照明及び画像取得システム１０の簡略化された模式図である図１をここで参照する。
【００２４】
システム１０は、製造中の電気回路を検査するのに特に適している。限定ではなく拡充の目的で、電気回路という用語は、本明細書において使用されるとき、内部組立の平面パネルディスプレイ、集積回路のアセンブリの前、中、後のプリント回路基板、集積回路、チップキャリア及びこれらと同様なもの、またそれらの一部分を含む事が理解されるべきである。電気回路はまた、例えば、ガラスパネル板上に配置された画素配列、及び、プリント回路基板を形成するために一緒に結合された誘電体基板及び電気コネクタの層を含んでいても良い。
【００２５】
本発明の実施形態によれば、照明及び画像取得システム１０は、平面パネルディスプレイ又は他の公的な電気回路の製造に使用されるガラスパネル板のような基板１２の表面の画像を取得するよう動作する。システム１０は一般には、製造中の内部組立の平面パネルディスプレイのような電気回路の欠陥の検知に使用される欠陥検知システム（図示せず）の一部である。
【００２６】
例えば内部組立の平面パネルディスプレイなどの電気回路の表面は、本質的には概して鏡面のようであることが理解されよう。本発明の実施形態によれば、システム１０の構成は、鏡面を持っている電気回路を欠陥に関して検査するように最適化されている。このような検査の結果は、例えば欠陥のある基板を廃棄もしくは修理すること、基板１２には欠陥がない事を確認すること、又は電気回路の製造中に使用される製造工程を改良することを目的として用いられても良い。
【００２７】
図１Ａに見られるように、システム１０は一般に、基板１２上の画像化すべき表面の一部分１６を照明する照明装置１４、照明装置１４からの光を受光し、その光の向きを基板１２の部分１６を照明するように導くビームスプリッター１８を含む。さらに、図１Ａに見られるように、システム１０において、照明装置１４は一部分１６の表面に対して概ね垂直である光軸１７に沿って一部分１６を照明し、ＣＣＤもしくはＣＭＯＳタイプのセンサーのようなセンサー２２を備えたカメラ２０は、一部分１６の光学画像を得るよう配置されている。
【００２８】
図１Ａに見られるような配置では、カメラ２０は、照明装置１４により提供され、一部分１６により反射され、すべてが概して光軸１７に沿って配列されたビームスプリッター１８及び画像光学部品２４を通過した光を受光する。結果として、本発明の実施形態によれば、図１Ａに示されるように、照明装置１４によって出力される照明の角度は、カメラ２０により得られた画像が明視野画像となるような角度となる。さらに、照明装置１４は、カメラ２０による暗視野画像の取得をもたらす照明を提供するように構成されても良い。
【００２９】
照明装置１４が、少なくとも２つのスペクトルが異なり時間的に間隔のあいたフラッシュ光を提供する事は、本発明の実施形態の一つの特徴である。フラッシュ光のそれぞれのスペクトルは、部分的に重なる又は部分的に重ならないスペクトルであっても良い。異なるスペクトルが、それぞれＲ、Ｇ及びＢと表示された矢印により図１Ａに示されている。本発明の実施形態によれば、異なるスペクトルそれぞれでの照明は、同じ時間に放出されるのでもなく重複する時間に放出されるのでもない、時間分離されたフラッシュの列として照明装置１４によって提供される。
【００３０】
さらには、本発明の実施形態によれば、照明装置１４は、各フラッシュ光が概ね同じ入射角で表面の一部分１６に入射するように構成される。このことは、カメラ２０によって得られる各画像が、連続したフラッシュ間でのスペクトルの変化にもかかわらず、概ね均一で制御された状態下で得られる事を可能にする。
【００３１】
本発明の実施形態によれば、合成画像は、それぞれ異なるスペクトル範囲の光により照明された、連続的に得られた画像から構成される。異なる色による連続した照明は、色分解に対応する画像を生成する。照明装置１４、カメラ２０、一部分１６の相対的な位置が、各画像が得られる間中しっかりと保持されるという条件の下では、各異なる色の画像は高精度で正確な位置合わせで重ね合わせを行なうことができる。このように、好適にカラーバランスがとられた照明が一部分１６を連続して照明するために使用された時、結果として得られた画像の組み合わせは一部分１６のカラー画像を再現する。
【００３２】
図１Ａに見られるように、フレームグラバー２６はカメラ２０によって得られた画像を取り込むために備えられる。さらに、制御装置２８は、照明装置１４による光フラッシュの提供と、カメラ２０及びフレームグラバー２６による画像の取り込みとを連係して動作させるために提供される。結果として得られた画像は、当技術分野で知られているような画像検査及び解析のための欠陥検出器（図示せず）に提供されても良い。
【００３３】
ここで、本発明の実施形態による、図１Ａに見られるシステム１０に使用される照明装置１４の簡略化された正面図である図１Ｂ、及び、照明装置１４の動作を示している簡略化された側面図である図２Ａ−２Ｃを参照する。
【００３４】
本発明の実施形態によれば、照明装置１４は、選択的に異なる色の光を提供する為に、それぞれが異なるスペクトル範囲で光を放つフラッシュライト３０のセットを、少なくとも２つ、好ましくは複数個、備える。例えば、フラッシュライト３０のいくつかで、Ｒを指定されたものは赤い光を放つ。フラッシュライト３０のいくつかで、Ｇを指定されたものは、緑の光を放つ。フラッシュライト３０のいくつかで、Ｂを指定されたものは、青い光を放つ。
【００３５】
異なる色の光を提供する為の手段は、当技術分野で良く知られている。例えば、フラッシュライト３０は、明確に定義されたスペクトル範囲内で光を放つ発光ダイオードであっても良い。代替的には、フラッシュライト３０は、好適な光学フィルタ（不図示）と共に用いられる、例えばキセノンフラッシュチューブのような、広い範囲のスペクトルの光、つまり白色光の光を放つフラッシュチューブから成っていても良い。スペクトルが異なり時間的に分離されたフラッシュ光を提供する為の別の適切な手段が使用されても良い。
【００３６】
本発明の実施形態によれば、例えば図１Ｂに見られるように、フラッシュライト３０は、お互いに間隔を開けられている。さらには、異なる色のフラッシュライト３０は、織り交ぜられたパターンで配列されている。本発明の実施形態によれば、照明の色にかかわらず一部分１６が概ね均一に照明され、また照明が概ね同じ入射角で提供されるよう照明装置１４を構成する為に、様々な織り交ぜのパターンが使用されても良く、またそれは望ましいことである。様々なレンズ（図示せず）が、一部分１６へ入射する照明の適切な角度範囲を提供する為、及び、一部分１６への入射する照明の空間範囲を適切に調整するために、照明装置１４と一部分１６の間に配置されても良い。
【００３７】
本発明の実施形態によれば、光を均一化する別の適当な光学部品が使用されてもよいが、例えばデフューザーと併用されるガラス棒などの光ホモジナイザー４０（図２Ａ−２Ｃに見られる）もまた、どんな色の光が提供されるか又はどのフラッシュライト３０が照明を放射するかにかかわらず、フラッシュライト３０により放射された光をさらに均一化するため、及び、照明装置１４によって提供される照明の強度が空間的に均一になることを確実にするために提供される。光ホモジナイザー４０の構成は、光ホモジナイザーを極めて一般化し簡略化した模式図である事及び、光ホモジナイザーの実際の構造は、図に示されたものとは違うであろうことに注意しなければならない。したがって、図２Ａ−２Ｃに示されるように、フラッシュライト３０のいくつかのみが、赤、緑、青色の光をそれぞれ発生させるのに使用される。
【００３８】
間隔の開いたフラッシュライトの使用により、各色に関して空間的に均一でない照明、又は色の間で空間的な不均一さが異なる照明を生成する可能性が生じる。比較上の不均一性は、図２Ａ−２Ｃにおける各々の均一化前の矢印４２間の比較的大きい隙間によって示されている。光がホモジナイザーを通過した後、各色それぞれについて、非常に高い空間的均一性をもった照明が生成される。比較上の均一性は、図２Ａ−２Ｃにおける各々の均一化後の矢印４４間の比較的小さい隙間によって示されている。
【００３９】
ここで、電気回路を製造するための方法１００のフロー図である図３を参照する。システム１０（図１）のような検査システムを使用する方法１００は、概ね鏡のような基板上に形成された電気回路を製造する事に特に適している。
【００４０】
方法１００は、基板上に電気回路の少なくとも一部分を形成する作業で始まる。例えば、平面パネルディスプレイの製造では、画素の列がガラス基板上に形成される。
【００４１】
次に、検査されるべき電気回路の一部分は、少なくとも２つのスペクトルが異なり時間的に間隔をおかれたフラッシュ光で照明される。それぞれのフラッシュ光が、概ね同じ入射角度で基板上に入射する事が本発明の実施形態の一つの特徴である。
【００４２】
表面が一番目のフラッシュ光により照明される時間間隔の間、例えばカメラ２０（図１）により、その一部分の一番目の光学画像が取得される。次に、表面が二番目のフラッシュ光により照明される時間間隔の間、その同じ一部分の二番目の光学画像が取得される。上記のように、二番目のフラッシュ光は、一番目のフラッシュ光とはスペクトルが異なり、両者は概して同じ入射角度で基板上に入射する。それぞれが異なるスペクトルではあるが概して同じ入射角度で基板に当たるよう提供された、追加のフラッシュ光の照明の下で、追加の画像が取得されても良いという点が理解されよう。
【００４３】
その一番目の光学画像と二番目の光学画像は、合成画像を形成するために合成される。合成画像は、例えば、カラー画像であり、一番目と二番目の光学画像のそれぞれは、合成カラー画像の色成分から構成されている。
【００４４】
次の動作において、合成画像は、基板上の、又は基板の上に形成されたパターンの一部分内の欠陥を検査するために解析される。それから、合成画像の解析に応じて、検査後の動作が行なわれる。検査後の動作は、例えば下記の動作の一つ以上でも良い。すなわち、欠陥であることが分かった基板又はその基板上に欠陥パターンがある基板を廃棄する事、欠陥が見つけられた箇所を修理する事、基板又は基板上のパターンが形成された部分に欠陥がないことを確認する事、又は、基板上のパターン部分を形成するのに使用される製造工程を変更する事である。
【００４５】
本発明は、上記で特別に示され記述されたことにより限定されないことを、当技術分野の当業者であれば理解するであろう。むしろ本発明の範囲は、本明細書で記述されている特徴の組み合わせ及びサブコンビネーションの両方ばかりではなく、それらについての、本分野の当業者が従来にない前述の本明細書の記述を読むことにより気付くであろう改良形、変化形も含んでいる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１Ａ】本発明の実施形態によって、構成され、動作する照明装置と画像取得システムの模式図である。
【図１Ｂ】図１Ａのシステムで使用された照明装置の簡略化された正面図である。
【図２Ａ】図１Ａのシステムで使用された照明装置の動作を示している照明装置の簡略化された側面図である。
【図２Ｂ】図１Ａのシステムで使用された照明装置の動作を示している照明装置の簡略化された側面図である。
【図２Ｃ】図１Ａのシステムで使用された照明装置の動作を示している照明装置の簡略化された側面図である。
【図３】本発明の実施形態による、電気回路を製造するための方法の簡略化されたフロー図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  画像取得システム
１２  基板
２０  カメラ
２６  欠陥解析装置
２８  制御装置
【図１Ａ】
2004191355.tif 000003
【図１Ｂ】
2004191355.tif 000004
【図２Ａ】
2004191355.tif 000005
【図２Ｂ】
2004191355.tif 000006
【図２Ｃ】
2004191355.tif 000007
【図３】
2004191355.tif 000008
【外国語明細書】
2004191355.tif 000009
2004191355.tif 000010
2004191355.tif 000011
2004191355.tif 000012
2004191355.tif 000013
2004191355.tif 000014
2004191355.tif 000015
2004191355.tif 000016
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2004191355.tif 000018
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2004191355.tif 000027
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