(57)【要約】【課題】ＬＣＤ整列層のような感光性を得た基板に高強度の均一な偏光したＵＶ照射を当てるための露光装置を提供する。【解決手段】露光装置において、テレセントリック投影系（２０）は、照射用の表面（２８）への均一化された光を投影する。一つ以上の個々の光源（１２）を、表面（２８）のエリアにわたって必要とされる強度を提供するために、組み合わせることができる。組み合わせ構造（４２）をもつ積分器（４０）は、多数の光源（１２）からの光の組み合わせを可能にする。偏光子（１８）は、露光照明の経路における位置の交互の数の一つに提供される。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の均一な照射用の装置であって、
（ａ）源の放射を提供する光源、
（ｂ）前記源の放射を均質化して視野にわたって均一なエネルギーを有する均一な露光ビームを提供する均一化部品、
（ｃ）前記均一な露光ビームを状態調節して偏光した均一な露光ビームを提供する偏光子、及び
（ｄ）前記基板へ前記偏光した均一な露光ビームを投影するテレセントリック投影系
を含む、基板を照射する装置。
【請求項２】
前記光源は、ＵＶ光を提供する請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項３】
前記光源は、
（ａ）少なくとも二つのランプ、及び
（ｂ）前記少なくとも二つのランプからの光を組み合わせて前記源の放射を提供する光学的コンバイナー
を含む請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項４】
積分棒は、前記光学的コンバイナーとして作用する請求項３記載の基板を照射する装置。
【請求項５】
前記光源は、熱流しをさらに含む請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項６】
前記均一化部品は、積分棒を含む請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項７】
前記均一化部品は、小レンズの配列を含む請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項８】
前記偏光子は、ワイヤーグリッド偏光子を含む請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項９】
前記偏光子は、回転させられて前記基板における偏光の角度を変化させることができる請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項１０】
前記偏光子は、ブルースター板の偏光子を含む請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項１１】
前記光学的コンバイナーは、二色性コンバイナーである請求項３記載の基板を照射する装置。
【請求項１２】
前記基板へ向かって前記偏光した均一な露光ビームを方向付ける鏡をさらに含む請求項１記載の基板を照射する装置。
【請求項１３】
前記鏡は、実質的に球形の部分である請求項１２記載の基板を照射する装置。
【請求項１４】
前記鏡は、前記偏光した均一な露光ビームの入射角を変化させる傾斜の調節を可能にする請求項１２記載の基板を照射する装置。
【請求項１５】
前記少なくとも二つのランプの数は、一度に照射される基板のエリアによって決定される請求項３記載の基板を照射する装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、一般的に、感光性を得た基板上へ露光エネルギーを当てるための装置に関し、より詳しくは、均一の偏光した高強度のＵＶ光で感光性を得た基板を照射するための露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
感光性基板を照射するための従来の方法は、硬化の工程からマイクロリソグラフィーにまで及ぶ。最近、偏光した紫外（ＵＶ）光の照射は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製作において整列層の効率的な調製に関して利点を有することが示されてきた。この方法は、現在、整列層の処理に関する従来の摩擦方法の代わりとして広く使用される。
例えば、表面に当てられる光の放射の部分偏光及び部分的平行化を得るために、よろい張りのある配置を用いる、偏光した光の露光システムが開示されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００３】
従来のブルースター角の偏光子を使用する、ＵＶ照射用の偏光した光の露光デバイスが開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００４】
ブルースター角の偏光子又は類似のデバイスであってもよいより小さい偏光部品を用いるＵＶ照射用の偏光した光の露光デバイスが開示されている（例えば、特許文献４参照）。同様に、代替のＶ字状のブルースター角の配置を用いるデバイスが開示されている（例えば、特許文献５及び６参照）。
【０００５】
特定のタイプのフォトアライメント材料及び整列用の照射方法が開示されている（例えば、特許文献７参照）。斜めの方向で適用される、偏光してない又は円偏光した源を使用する、フォトアライメントの方法が開示されている（例えば、特許文献８参照）。
【０００６】
感光性重合体の照射に関する直線偏光したＵＶ光の使用が開示されている（例えば、特許文献９参照）。
【０００７】
ＵＶ光を使用して照射するシステムに使用される、ブルースター角に配置された水晶の部分の大規模な偏光子を使用することが開示されている（例えば、特許文献１０参照）。
【０００８】
フォトマスクにおけるスリットを通じて平行にされたＵＶを方向付けることによって整列層を形成することが開示されている（例えば、特許文献１１及び１２参照）。
【０００９】
偏光したレーザー源によるＬＣＤの整列表面の照射が開示されている（例えば、特許文献１３参照）。
【００１０】
【特許文献１】
米国特許第６，３０７，６０９号明細書
【特許文献２】
米国特許第６，０６１，１３８号明細書
【特許文献３】
米国特許第５，９３４，７８０号明細書
【特許文献４】
米国特許第６，１９０，０１６号明細書
【特許文献５】
欧州特許出願公開第１０２０７３９Ａ２号明細書
【特許文献６】
欧州特許出願公開第１１７２６８４号明細書
【特許文献７】
米国特許第６，３００，９９１号明細書
【特許文献８】
国際公開第００／４６６３４号パンフレット
【特許文献９】
米国特許第５，３８９，６９８号明細書
【特許文献１０】
米国特許第６，２９２，２９６号明細書
【特許文献１１】
米国特許第５，６０４，６１５号明細書
【特許文献１２】
欧州特許出願公開第０６８４５００Ａ２号明細書
【特許文献１３】
米国特許第６，２９５，１１０号明細書
【発明が解決しようとする課題】
上に挙げた特許が、いくつかの運転可能なデバイス及びＵＶ光を使用する整列に関する技術を示してきた一方で、改善の余地が残る。整列層の調製に関するデバイスに関する特定の問題は、以下のものを含む。
【００１１】
（１）顕著な光の強度が要求される。これは、効率的な加工及び速度に重要である。高強度の露光エネルギーを、多数の光源を使用することによるような、多くの方法で達成することができる。しかしながら、多数の光源を、以下に記載するように均一性に対する要求もまた満足するような様式で組み合わせられなければならない。
【００１２】
（２）相対的に大きいエリアを照射しなければならない。典型的に、一度にわずかに数平方インチの表面を照射する、マイクロリソグラフィーの装置とは対照的に、整列層の加工用の装置は、例えば一辺で３０インチ以上の、かなり大きい表面積を照射しなければならない。露光エネルギーは、強度及びエリアの両方の要因であるので、そのエリアを増加させることが、強度の需要を拡大することが認識される。
【００１３】
（３）均一な露光エネルギーをある表面にわたって当てなければならない。この要求は、表面積が増加すると、満たすことがより困難になる。
【００１４】
（４）均一な照明の角度が必要とされる。これは、また、表面積における増加と共により困難になる。
【００１５】
加えて、理想的解決は、コストを最小にすると共に高度に専門化された点灯部品の必要性を最小にするであろうことを認識することができる。
【００１６】
偏光したＵＶ光は、整列層の照射に最適な光源を提供する。整列層の調製に関して、加工は、典型的に、二つのステージで行われる。第一のステージで、整列基板は、設定された時間の間に第一の角度で偏光したＵＶ光に露光される。次に、第二のステージで、第一の角度に関して９０度回転した偏光を有するＵＶ光を当てる。
【００１７】
ＵＶ照射に関する既存のシステムの周知の欠点の幾つかは、偏光方法に関する。高い熱の要求は、吸収によって動作する従来の偏光する部品の使用を不要にする。しかしながら、従来のＵＶ照射装置に対する偏光の解決は、低いコストで均一性を提供することから離れて行われる。例えば、基板の表面より上に配置された特許文献１０に開示された偏光子は、非常に大きいと共に生産するためには高価である。同様に、露光ビームの経路に配置された大きいブルースター板を伴った、特許文献３に開示されたアプローチは、その特許に開示されるように、追加されたコスト及び平行にする光学部品の複雑さを要求し、扱いにくいと共に高価であろう。特許文献１に開示されたブルースター板のアプローチは、大きい表面積にわたる整列のために、実施することが困難であると共に高価であろう。積分器及びシャッターの前方に配置されたブルースター板を伴った、特許文献４に開示されたブルースター板の偏光を使用するための代わりのアプローチは、偏光子へ入射する光が、視野にわたって様々な角度にあるので、必要とされる均一性を提供しないであろう。特許文献５及び特許文献６の代わりのＶ字状のブルースター板の配置は、視野にわたって必要な均一性を提供しない。いくつかの配向において、これらのＶ字状の外形が、影を見せることは知られている。
【００１８】
ＵＶ照射用の従来の設備は、特にマイクロリソグラフィーにおいて、平行にされた又は実質的に平行にされたＵＶ光を使用する。例えば、Ｔａｍａｒａｃｋ　Ｓｅｉｅｎｔｉｆｉｃ　Ｃｏ．，Ｉｎｃ，Ｃｏｒｏｎａ，ＣＡによって製造されたもののような細線のＵＶ露光システムは、露光表面上へ平行にされた光を方向付けるために、平行にする反射器を使用する。特許文献２、特許文献３、特許文献４、特許文献５、及び特許文献６は、露光ビームの経路に平行にする光学部品を用いる露光装置を開示する。従来のブルースター板の偏光子を使用するとき、平行にされた光は、特に有利である。しかしながら、これは、非常に小さい光源を使用するときのみ、理想的な平行化が実現可能であるので、特に大規模な照射に関して、費用を追加すると共に、達成することが困難である。さらに、平行にされた光は、適切な整列の加工に必要でない。上に述べるように、目標は、十分な強度を有する偏光したＵＶ照射を提供することであり、ここで光は、感光性を得た表面積にわたって空間的に均一である。それ自体の平行化は、空間的な非均一性を補正しない。
【００１９】
このように、感光性を得た表面へ、特に大規模な表面に対して、均一な高強度のＵＶ露光エネルギーを当てるための改善された装置及び方法に対する要求があることを理解することができる。
【００２０】
本発明の目的は、ＬＣＤの製作における整列層の調製に有用であろう、大規模での基板の均一な照射に関する装置及び方法を提供することである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上の目的を考慮して、本発明は、
（ａ）源の放射を提供するための光源、
（ｂ）視野にわたって均一なエネルギーを有する均一な露光ビームを提供するために、源の放射を均質化するための均一化部品、
（ｃ）偏光した均一な露光ビームを提供するために、均一な露光ビームを状態調節するための偏光子、及び
（ｄ）基板上へ偏光した均一な露光ビームを投影するためのテレセントリック投影系を含む、基板の均一な照射用の装置を提供する。
【００２２】
本発明の特徴は、それが、テレセントリックの形態で高強度の放射を提供するための投影システムを提供することである。
【００２３】
本発明の利点は、それが、露光される表面積に関して、照明の強度が、適切に拡大縮小されることを可能にすることである。追加の強度を、装置の全体的な大きさを増加させる必要なしに、光源の数を増加させることによって、提供することができる。
【００２４】
本発明のさらなる利点は、それが、照射される表面の大きさ及び角度の配向を適応させるために、装置を適合させる際の柔軟性を許容することである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明のこれら及び他の目的、特徴、及び利点は、図面と併せて考慮するとき、以下の詳細な説明を読むことで、業者に明らかになると思われるが、ここで、本発明の実例となる実施例を示すと共に記載する。
【００２６】
明細書が、本発明の主題を特に指摘すると共に明確に請求する請求項で結論を出す一方で、本発明が、添付する図面を併せて考慮するとき、以下の記載からより良好に理解されると思われると信じる。
【００２７】
本記載は、特に、本発明と一致した装置の一部を形成する、又は該装置とより直接に協働する素子に向けられる。必ずしも具体的に示されない又は記載されない素子は、当業者に周知の様々な形態をとってもよいことを理解することができる。
【００２８】
図１を参照して、表面２８で感光性を得た基板を照射するための露光装置１０を示す。光源１２は、鏡１４、好適な実施例においては二色性のＵＶ−Ｂを反射する鏡によって、積分器４０へ向けられる源の照明を提供する。積分器４０は、視野をわたって均一な強度を提供するために、入射する光を均質化する、均一化器として作用する。次に、均質化された又は均一化された光は、一組みのレンズ２１、好適な実施例においては三つの素子が融合した珪酸レンズ、及び鏡２６を含む、テレセントリック投影レンズ２０を通じて向けられる。好適な実施例において、鏡２６は、球形に湾曲される。それによって、テレセントリック照明は、表面２８で感光性を得た基板の上に向けられる。熱流し２２を、鏡１４を通じて伝達された熱を散逸させるために提供する。
【００２９】
表面２８は、感光性を得た基板の露光用の明確に定められたエリアを有する。好適な実施例において、感光性を得た基板は、例えば、連続様式で露光される感光性を得た媒体の完全な巻き取りを可能にする、固定速度で表面２８を通じて制御可能に引かれる。
【００３０】
露光装置１０が、表面２８で高強度のＵＶ照射を提供する、好適な実施例において、光源１２は、高強度の８ＫＷのＵＶランプである。表面２８のエリアが、単一のランプが提供することができる、より多くの強度を要求する場合には、光源１２は、光学的コンバイナー２４が、光源１２ａ、１２ｂ、及び１２ｃからの照明エネルギーを組み合わせるために使用される図２に示すように、一つ以上の個々のランプを含んでもよい。
【００３１】
光学的コンバイナー２４は、撮像する技術において周知であるような、二色性コンバイナーであり得るであろう。しかしながら、本発明は、以下に記載するように、光学的コンバイナー２４としてより丈夫な代替物を提供する。
【００３２】
｛積分器４０の外形｝
それの最も単純な外形において、積分器４０は、図３ａに示すように、投影レンズ２０に均質化された光を提供する積分器棒である。しかしながら、一つより多い光源１２がある場合には、積分器４０は、図３ｂ、３ｃ、及び３ｄに示す配置におけるように、機能を均一化すること、及び組み合わせることの両方を行ってもよい。図３ｂを参照して、積分器４０が、三つもの光源１２からの光を組み合わせることを可能にする外形を示す。組み合わせ構造４２は、光チャネル４４ａ及び４４ｃの中へ光を方向付けるプリズムとして作用する。図３ｂの配向に関して、光源１２は、積分器４０より上及び下から提供される。第三の光源１２は、光チャンネル４４ｂを通じて積分器４０の中へ光を方向付ける。図４を参照すると、光チャンネル４４ａ、４４ｂ、及び４４ｃは、次に、積分器棒であってもよい、又は例えば小レンズの配列のような、いくつかの他のタイプの均一化部品であってもよい、均一化器素子４８によって組み合わせられる。
【００３３】
図３ｃを参照して、積分器４０が、六つもの別個の光源１２からの光を組み合わせることを可能にする配置を示す。図３ｂの配置におけるように、図３ｃの配置は、光を積分器４０の積分棒の中へ方向付けるために、光チャネル４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄ、４６ｅ、及び４６ｆを使用する。組み合わせ構造４２は、示すような光チャンネル４６ａ、４６ｂ、４６ｅ、及び４６ｆに提供される。
【００３４】
図３ｄを参照して、積分器４０が、六つまでの別個の光源１２からの光を組み合わせることができる、代わりの配置を示す。組み合わせ構造４２は、左及び右側からの光が、光チャンネル４４ｂ及び４４ｃに入ることを可能にする。光チャンネル４４ａは、光源１２が、投影レンズ２０の直後に位置決めされることを可能にする。垂直の光チャンネル４４ｄ、４４ｅ及び４４ｆは、投影レンズ２０の後及び横への追加の光源１２を許容する、組み合わせ構造４２を含む。部分４１ａ及び４１ｂは、光チャンネル４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、及び４４ｄ、４４ｅ、４４ｆの各組みからの光を組み合わせる。部分４１ａにおける対角の表面４３は、投影の経路に沿った整列に必要とされるように、光チャンネル４４ｄ、４４ｅ、及び４４ｆからの光の方向を変化させる。
【００３５】
｛偏光子１８の外形に関する自由選択｝
照射の用途に使用される高強度の光エネルギーにより、従来のシート偏光子は、露光装置１０における偏光子１８としての使用に適さない。従来のブルースター板デバイスは、良好な熱的性質を有するが、大きさ、コスト、及び性能特性により最適でない場合もある。
【００３６】
好適な実施例において、偏光子１８は、例えば、Ｍｏｘｔｅｋ　Ｉｎｃ．　ｏｆ　Ｏｒｅｍ，ＵＴによって製造される、又は米国特許第６，１２２，１０３号明細書に記載されるデバイスのようなワイヤーグリッド偏光子である。ワイヤーグリッド偏光子は、高い消光率及び高い効率を示す。これらのデバイスは、良好な熱的性能を有し、ガラスを主材料とした偏光デバイスの特性である熱応力複屈折を示さない。
【００３７】
ワイヤーグリッド偏光子は、光の強度、温度、及び振動の苛酷な条件によく耐えることができると共に従来のガラスの偏光ビームスプリッターを使用して利用可能であるより高い開口数を提供することが示されてきた。これは、従来の偏光デバイスに対して比較したとき、相対的により高いレベルの光のスループットを許容する。ワイヤーグリッド偏光子は、これらのデバイスが、露光照明の経路に沿った多くの適切な点でそれらの配置を許容する、相対的に小さい寸法の輪郭を有するので、特定の利点を提示する。図１に戻って参照して、偏光子１８は、均一化された光を、それが投影レンズ２０へ入射する前に偏光させる、露光照明の経路における積分器４０直後に位置決めされる。代わりに、偏光子１８を、投影レンズ２０内に配置することができるであろう。図５を参照して、偏光子で、テレセントリック投影レンズ２０内で湾曲した鏡２６の前に位置決めされる偏光子１８を備えた、代わりの配置を示す。さらに別の代わりの配置は、図６に示すように、表面２８のちょうど上に位置決めされる大きい偏光子１８を使用するであろう。
【００３８】
実施することができるあまり望ましくない自由選択を図７に示す。ここで、ブルースター板の偏光子３０は、ワイヤーグリッド偏光子の代わりに使用される。しかしながら、大きさ、重量、及び整備の制約により、図７の配置は、一般的に、表面２８に大きなエリアにわたって均一な偏光したＵＶ放射を送出することに決して最適ではない。
【００３９】
偏光子１８は、光軸のまわりに回転可能であるようにすることができる。この特徴を、例えば、同じ露光装置１０が、異なる偏光で照射することを可能にするために、使用することができるであろう。
【００４０】
偏光に関する一つの固有の問題は、光エネルギーの損失に関する。偏光は、積分器４０から出てくる光の半分を有効に消費する。図１０を参照して、そうでなければ捨てられるであろう照明の偏向した成分を再使用するために形づくられた部品の一つの配置を示す。図１０において、円形記号は、ｓ偏光した光を示し、短い垂直な線は、ｐ偏光した光を示し、重ねられた線及び円は、偏光されなかった光を示す。偏光されなかった光は、積分器４０から出でくると共に偏光ビームスプリッター５０に行く。ｐ偏光した光を透過させ、ｓ偏光した光を偏光ビームスプリッター５０によって反射させる。ｓ偏光した光は、通常、捨てられるであろう。しかしながら、鏡５２は、四分の一波長板５４を通じてｓ偏光した光を方向付ける。四分の一波長板５４は、ｐ偏光した出力を提供するために、入射するｓ偏光した光の偏光を回転させる。このように、積分器４０からの光の全ては、ｐ偏光を伴って提供される。図１０の例が、ｐ偏光した出力を必要とすることを仮定することに注意しなければならない。わずかな再配置で、偏光ビームスプリッター５０を通じて透過したｐ偏光した光の経路中へ四分の一波長板５４を移動させると、図１０の配置は、ｓ偏光した光を十分に提供する。代わりに、偏光ビームスプリッター５０は、ｐ偏光した光を透過させると共にｓ偏光した光を反射させることができるであろう。
【００４１】
｛テレセントリック照射｝
上に記載したように、従来のＵＶ照射システムは、感光性を得た基板に平行にされた光を提供する。上で注意したように、わずかな角度の変動に敏感なブルースター板の偏光子は、実質的に平行にされた光で最良に作動する。しかしながら、多くのタイプの感光性を得た基板は、平行にされた光を要求しない。その代わり、小さい範囲の入射角にわたって均一化された光を提供することは十分であることが見出されてきた。この理由のために、本発明のアプローチは、投影レンズ２０を使用して、平行にされたというよりもむしろテレセントリックな照明を提供することである。平行にされた照明では、全ての光線は、平行である。他方では、均一なテレセントリック照明で、視野を横切る主光線は、平行であるが、周縁光線は、投影光学部品の方へふり返って見ると、像平面における各々の点は、同じ収束する光円錐を有効に見るように、像平面で収束する。テレセントリックな撮像は、例えば、透視の歪みの誤差を最小にするマシンビジョンの用途において広く使用される。鏡２６、好ましくは球形の断面の鏡は、表面２８上へテレセントリック光を投影する。
【００４２】
ミラー２６を、表面２８に入射する露光ビームの角度を調節するために、傾いた配置のハードウェアと共に提供することができるであろう。図２における入射角Ａを図８における入射角Ａ’と比較すると、鏡２６の角度の配向におけるわずかな変化が、露光ビームの入射角に影響を及ぼし得ることを理解することができる。
【００４３】
図９を参照して、投影レンズ２０を、表面２８上へ直接照明を投影するために、鏡２６無しで実施することができるであろう。しかしながら、光が、テレセントリックでないであろうことに注意すること。照射の入射角は、表面２８にわたって均一ではないであろう。この外形を、入射角の均一性が、必要条件でない場合に、使用することができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の露光装置を示す構成図である。
【図２】露光装置の照明経路において基幹の光学部品を示す構成図である。
【図３ａ】一つの光源に対する積分部品の代わりの配置を示す透視図である。
【図３ｂ】三つの光源に対する積分部品の代わりの配置を示す透視図である。
【図３ｃ】六つの光源に対する積分部品の代わりの配置を示す透視図である。
【図３ｄ】六つの光源に対する積分部品の代わりの配置を示す透視図である。
【図４】均一化器として使用される積分棒に関する代わりの実施例を示す構成図である。
【図５】投影光学部品の前方に配置された偏光子と共に、本発明の装置の代わりの配置を示す構成図である。
【図６】照射される表面に最も近く配置された偏光子を備えた本発明の装置の代わりの配置を示す構成図である。
【図７】照射される表面に最も近く配置されたブルースター板の偏光子を備えた本発明の装置の代わりの配置を示す構成図である。
【図８】本発明の投影装置が、入射角の角度の調節をどのように可能にするかを示す構成図である。
【図９】湾曲した鏡の無い投影光学部品の代わりの配置を示す構成図である。
【図１０】源の光の両方の直交する偏光成分を利用することによって輝度を増加させるための光学部品の配置を示す構成図である。
【符号の説明】
１０　　露光装置
１２、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ　　光源
１４、２６、５２　　鏡
１８　　偏光子
２０　　投影レンズ
２１　　レンズ
２２　　熱流し
２４　　光学的コンバイナー
２８、４３　　表面
３０　　ブルースター板の偏光子
４０　　積分器
４１ａ、４１ｂ　　部分
４２　　組み合わせ構造
４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄ、４４ｅ、４４ｆ、４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄ、４６ｅ、４６ｆ　　光チャネル
４８　　均一化器素子
５０　　偏光ビームスプリッター
５４　　四分の一波長板
【図１】
2004004817.tif 000003
【図２】
2004004817.tif 000004
【図３ａ】
2004004817.tif 000005
【図３ｂ】
2004004817.tif 000006
【図３ｃ】
2004004817.tif 000007
【図３ｄ】
2004004817.tif 000008
【図４】
2004004817.tif 000009
【図５】
2004004817.tif 000010
【図６】
2004004817.tif 000011
【図７】
2004004817.tif 000012
【図８】
2004004817.tif 000013
【図９】
2004004817.tif 000014
【図１０】
2004004817.tif 000015