(57)【要約】【課題】特に管球の場合において、発光管（発光部）の内径や電極間の距離といった寸法等の計測精度を著しく向上させる。【解決手段】中空部を有し、かつこの中空部内に固定された第一部材（電極１７）と中空部内を動き回る固体または液体の第二部材（水銀粒２０）とを有する被測定物（発光管１６）を電磁波によって透視し、その透視像を撮像して画像計測を行う方法であって、被測定物を透視した際、その透視像において第一部材の像と第二部材の像とが重ならないように被測定物の透視像を撮像する。【選択図】図１
2004191363.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空部を有し、かつこの中空部内に固定された第一部材と前記中空部内を動き回る固体または液体の第二部材とを有する被測定物を電磁波によって透視し、その透視像を撮像して画像計測を行う方法であって、前記被測定物を透視した際、その透視像において前記第一部材の像と前記第二部材の像とが重ならないように前記被測定物の透視像を撮像することを特徴とする画像計測方法。
【請求項２】
前記第一部材は電極であり、前記第二部材は前記中空部内に封入された封入物であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像計測方法。
【請求項３】
前記第一部材は互いに対向するように略同一軸上に配置された一対の電極であり、前記被測定物に対して前記電磁波を当てる方向は鉛直方向に対して斜め方向であり、かつ前記電極の長手方向の中心軸に対して略垂直方向であることを特徴とする請求項２記載の画像計測方法。
【請求項４】
中空部を有し、かつこの中空部内に当該中空部内を動き回る部材が入れられている被測定物を電磁波によって透視し、透視像を撮像して画像計測を行う方法であって、前記被測定物を透視した際、その透視像において前記部材の像の外側輪郭と前記中空部を形成する外囲器の像の内側輪郭とが重ならないように前記被測定物の透視像を撮像することを特徴とする画像計測方法。
【請求項５】
前記被測定物に前記電磁波を当てる方向は鉛直方向に対して斜め方向であることを特徴とする請求項４記載の画像計測方法。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれかに記載された画像計測方法に用いる画像計測装置であって、被測定物を載せるテーブルと、前記被測定物を透視するための電磁波を発生させる電磁波発生部と、前記被測定物の透視像を撮像する撮像部とを備え、前記電磁波発生部と前記撮像部との間に前記テーブルが配置されており、前記被測定物に前記電磁波を当てる方向が鉛直方向に対して斜め方向になるように、前記電磁波発生部と前記撮像部とは自在に移動可能であることを特徴とする画像計測装置。
【請求項７】
前記電磁波発生部と前記撮像部とが基準支持部材に取り付けられて一体化されており、前記基準支持部材は回動することを特徴とする請求項６記載の画像計測装置。
【請求項８】
前記被測定物が長尺状の形状を有しており、前記テーブルには複数の前記被測定物が、各々の前記被測定物の長手方向の軸が略平行になるよう、隣接して配置されていることを特徴とする請求項６または請求項７に記載の画像計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は画像計測方法、およびその画像計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶プロジェクタ等の画像表示装置に使用されている光源ユニットは、一般的に、凹面反射鏡と、この凹面反射鏡内に配置された管球、例えば高圧水銀ランプとが組み合わされて構成されている。
【０００３】
この高圧水銀ランプは、図４に示すように、略回転楕円体形状の発光部１４とこの発光部１４の両端部に形成されている封止部１５とを有し、外囲器が石英ガラス製の長尺形状を有した発光管１６を備えている。
【０００４】
発光部１４内には、一対の電極１７が互いに対向するように、かつ略同一軸上に配置されているとともに、封入物として、水銀（水銀粒２０）、臭素等のハロゲンガス、アルゴンガス等の希ガスがそれぞれ所定量封入されている。
【０００５】
このような高圧水銀ランプの製造方法の一例について説明する（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
まず、所定長さの石英ガラス管の中央部（以下、「発光部形成予定部」という）を加熱し軟化させた後、この発光部形成予定部を略回転楕円体形状に形成するための金型を、軟化した発光部形成予定部に当てた状態で、石英ガラス管内に例えばエアー等を吹き込むことによって略回転楕円体形状の発光部１４を形成する。
【０００７】
次に、この発光部１４の両端部に連接する石英ガラス管の一端部（以下、「第一封止部形成予定部」という）内に、電極１７が金属箔１８を介して外部リード線１９に接続されている電極マウントを挿入した後、第一封止部形成予定部を加熱し軟化させて減圧封着し、一方の封止部１５を形成する。その後、石英ガラス管の他端部（以下、「第二封止部形成予定部」という）から発光部１４内に封入物を入れ、さらに第二封止部形成予定部内に別の電極マウントを挿入した後、第二封止部形成予定部を加熱し軟化させて減圧封着し、他方の封止部１５を形成する。
【０００８】
ところで、封入物は、製造工程において発光部１４内に封入されるとき、水銀は粒状の液体の状態で、ハロゲンガスおよびアルゴンガスは気体の状態でそれぞれ封入される。そして、発光管１６の製造完了後からこれを点灯させるまでの間、封入された水銀粒２０は発光部１４の内壁や電極１７に付着することなく、粒状の状態のままで発光部１４内を自在に動き回ることが可能である。
【０００９】
こうして製造された発光管１６に対して反射鏡との組立工程に入る前工程として、その発光部１４の内径や厚み、電極１７間の距離、あるいは特に水銀粒２０のような封入物といった寸法が所定の仕様を満たしているかどうかの検査が行われる。
【００１０】
次に、このような高圧水銀ランプ等の管球の検査を行うことを主たる目的とした従来の画像計測方法、およびその装置について説明する。
【００１１】
なお、従来の画像計測装置の基本的構成は、後述の図１に示す画像計測装置において基準支持部材７は回動することなく、この基準支持部材７の長手方向の中心軸が鉛直方向（Ｚ方向）と平行な状態で固定されている点を除いて図１に示す画像計測装置の基本的構成と同じである。
【００１２】
画像計測装置は、被測定物を載せるためのテーブルと、このテーブルの下方に位置し、この被測定物を透視するための電磁波、例えばＸ線を発生させる電磁波発生部と、テーブルの上方に位置し、被測定物の透視像を撮像する撮像部とを備えている。
【００１３】
テーブルは、電磁波発生部と撮像部との間に配置されている。また、テーブルはＸ，Ｙ方向に移動可能である。
【００１４】
電磁波発生部と撮像部とはＺ方向に移動可能である。また、電磁波発生部のうちＸ線を照射するＸ線照射部と撮像部のうち透視像を受光する受光部とは同一軸上にあり、かつその軸は鉛直方向（Ｚ方向）に対して平行である。
【００１５】
なお、従来の画像計測装置として上述したもの以外に、基準支持部材７（基準支持部材７の長手方向の中心軸）を鉛直方向に対して９０°回転させるものがある。この場合、基準支持部材７を鉛直方向に対して９０°回転させた状態で画像計測を行う。
【００１６】
次に、この画像計測装置を用いた画像計測方法について説明する。
【００１７】
測定対象である発光管を複数個、テーブルの上に載せる。テーブルを移動させ、複数個の発光管のうち測定する発光管（以下、「被測定発光管」という）を電磁波発生部におけるＸ線が照射されるＸ線照射部の真上に位置するように移動させる。よって、発光管の中心部は電磁波発生部のＸ線照射部と撮像部の受光部とを結ぶ軸上に位置していることになる。
【００１８】
その後、図５に示すようにＸ線照射部からＸ線を、被測定発光管の真下から被測定発光管へ向けて照射し、被測定発光管の透視像を撮像部の受光部によって受光する。受光した光信号は光電子増倍管等によって増幅された後、ＣＣＤ（電荷結合素子）カメラ等によって電気信号に変換される。その電気信号は公知の手法によって画像処理され、図６に示すような透視像が画像表示装置上に画像表示される。
【００１９】
そして、その画像におけるコントラストの差の識別によって電極１７の輪郭や、発光部１４を形成する外囲器の内側輪郭を認識し、発光部１４の内径や電極１７間の距離等の計測を行う。
【００２０】
なお、コントラストの差の識別には、通常、公知のコンピュータを用いた自動計測手段によって行われる。
【００２１】
また、被測定発光管の像の拡大、縮小は電磁波発生部および撮像部をＺ方向に移動させることによって行われる。
【特許文献１】特開平６−２９０７４８号公報（段落番号［００１９］〜［００２９］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
ところが、特に液晶プロジェクタ等の光源として用いられている高圧水銀ランプは、例えば定格電力１５０Ｗにおいて、電極１７の先端部の直径が１．０ｍｍ〜１．２ｍｍ、電極１７間の距離が１．０ｍｍ〜１．５ｍｍ程度の範囲にある。これに対して、発光管１６内に封入される水銀粒２０は定格電力１５０Ｗで１２ｍｇ〜２０ｍｇ程度であり、その直径が１．２ｍｍ〜１．４ｍｍ程度になる。
【００２３】
したがって、従来の画像計測方法のうち、基準支持部材７の長手方向の中心軸が鉛直方向に対して平行な状態で固定されている場合において、水銀粒２０が発光部１４内を自由に動き回れる状態にあるため、常に発光部１４の内部空間（放電空間）の底部において発光部１４の内面と接触した状態にあり、その結果、図６から明らかなように、電極１７の像と水銀粒２０の像とが重なって見え、電極１７の像と水銀粒２０の像との境界がわかりにくく、よって電極１７や水銀粒２０の輪郭を認識することができず、正確な電極１７間の距離や水銀粒２０の大きさを計測することができないという問題があった。また、基準支持部材７を鉛直方向に対して９０°回転させた状態で、ランプを真横から撮像する場合にあっては、発光部１４の外囲器の像と水銀粒２０の像とについても重なって見え、発光部１４の外囲器の像と水銀粒２０の像との境界がわかりにくく、よって発光部１４の外囲器の内側輪郭を認識することができず、正確な発光部１４の内径を計測することができないという問題があった。
【００２４】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、発光管（発光部）の内径や電極間の距離といった寸法等の計測精度を著しく向上させることができる画像計測方法およびその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明の請求項１記載の管球の画像計測方法は、中空部を有し、かつこの中空部内に固定された第一部材と前記中空部内を動き回る固体または液体の第二部材とを有する被測定物を電磁波によって透視し、その透視像を撮像して画像計測を行う方法であって、前記被測定物を透視した際、その透視像において前記第一部材の像と前記第二部材の像とが重ならないように前記被測定物の透視像を撮像する方法を用いている。
【００２６】
この方法によれば、被測定物を透視した際、その透視像において第一部材の像と第二部材の像とが重ならないために、第一部材の像の輪郭形状、および第二部材の像の輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、両部材の寸法等の計測精度を著しく向上させることができる。
【００２７】
本発明の請求項２記載の管球の画像計測方法は、前記第一部材は電極であり、前記第二部材は前記中空部内に封入された封入物である方法を用いている。
【００２８】
この方法によれば、被測定物を透視した際、その透視像において第一部材である電極の像と、第二部材である封入物の像とが重ならないために、電極の像の輪郭形状、および封入物の像の輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、電極の寸法や、一対の電極を有する場合での電極間の距離、また封入物の寸法等の計測精度を著しく向上させることができる。
【００２９】
本発明の請求項３記載の管球の画像計測方法は、前記第一部材は互いに対向するように略同一軸上に配置された一対の電極であり、前記被測定物に対して前記電磁波を当てる方向は鉛直方向に対して斜め方向であり、かつ前記電極の長手方向の中心軸に対して略垂直方向である方法を用いている。
【００３０】
この方法によれば、中空部内に第一部材として一対の電極が互いに対向するように、かつ略同一軸上に配置された管球において、特に第二部材としての封入物が中空部内の下方に位置していても、その被測定物を透視した際、その透視像において電極の像と封入物の像とが重ならないために、電極の像の輪郭形状、および封入物の像の輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、電極の寸法や電極間の距離、また封入物の寸法等の計測精度を著しく向上させることができる。
【００３１】
本発明の請求項４記載の管球の画像計測方法は、中空部を有し、かつこの中空部内に当該中空部内を動き回る部材が入れられている被測定物を電磁波によって透視し、透視像を撮像して画像計測を行う方法であって、前記被測定物を透視した際、その透視像において前記部材の像の外側輪郭と前記中空部を形成する外囲器の像の内側輪郭とが重ならないように前記被測定物の透視像を撮像する方法を用いている。
【００３２】
この方法によれば、被測定物を透視した際、その透視像において部材の像の外側輪郭と中空部を形成する外囲器の像の内側輪郭とが重ならないために、部材の像の輪郭形状、および外囲器の像の内側輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、部材の寸法や外囲器の内径寸法等の計測精度を著しく向上させることができる。
【００３３】
この方法は、特に、中空部（放電空間）内には電極を有さず、部材（封入物）が封入されている無電極放電ランプ等の計測に有効である。
【００３４】
本発明の請求項５記載の管球の画像計測方法は、前記被測定物に前記電磁波を当てる方向は鉛直方向に対して斜め方向であるという方法を用いている。
【００３５】
この方法によれば、特に、部材が中空部内の下方に位置していても、被測定物を透視した際、その透視像において部材の像の外側輪郭と中空部を形成する外囲器の像の内側輪郭とが重ならないために、部材の像の輪郭形状、および外囲器の像の内側輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、部材の寸法や外囲器の内径寸法等の計測精度を著しく向上させることができる。
【００３６】
本発明の請求項６記載の管球の画像計測装置は、請求項１〜請求項５のいずれかに記載された画像計測方法に用いる画像計測装置であって、被測定物を載せるテーブルと、前記被測定物を透視するための電磁波を発生させる電磁波発生部と、前記被測定物の透視像を撮像する撮像部とを備え、前記電磁波発生部と前記撮像部との間に前記テーブルが配置されており、前記被測定物に前記電磁波を当てる方向が鉛直方向に対して斜め方向になるように、前記電磁波発生部と前記撮像部とは自在に移動可能である構成を有している。
【００３７】
この構成によれば、被測定物を透視した際、その透視像において第一部材の像と第二部材の像とが重ならないために、第一部材の像の輪郭形状、および第二部材の像の輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、両部材の寸法等の計測精度を著しく向上させることができる。
【００３８】
本発明の請求項７記載の管球の画像計測装置は、前記電磁波発生部と前記撮像部とが基準支持部材に取り付けられて一体化されており、前記基準支持部材は回動する構成を有している。
【００３９】
この構成によれば、特に、電磁波発生部と撮像部とを簡単な構造で同時に回動させることができるので、装置全体を小型化させることができるとともに、計測時間を短縮化することができる。
【００４０】
本発明の請求項８記載の管球の画像計測装置は、前記被測定物が長尺状の形状を有しており、前記テーブルには複数の前記被測定物が、各々の前記被測定物の長手方向の軸が略平行になるように、隣接して配置されている構成を有している。
【００４１】
この構成によれば、テーブルの大きさを大きくすることなく、複数の被測定物をテーブルに同時に載せることができるので、装置全体が大型化するのを抑制することができるとともに、隣の被測定物を計測する際、テーブルの移動量を小さくすることができるので、計測時間を一層短縮化することができる。
【００４２】
なお、「隣接」とは、隣り合う被測定物が接触している場合、および若干離れている場合の両方を含むものとする。
【発明の効果】
【００４３】
本発明は、例えば管球の場合において、発光管の内径や電極間距離といった寸法等の計測精度を著しく向上させることができる画像計測方法およびその装置を提供することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００４５】
本発明の実施の形態である画像計測方法に用いる画像計測装置は、図１に示すように、Ｘ線が外部に漏れないように遮蔽するための本体ボックス（図示せず）内に、被測定物を載せるためのテーブル１と、このテーブル１の下方に位置し、被測定物を透視するための電磁波、例えばＸ線を発生させる電磁波発生部２と、テーブル１の上方に位置し、被測定物の透視像を撮像する撮像部３とが収納されている。つまり、テーブル１は電磁波発生部２と撮像部３との間に配置されている。
【００４６】
なお、電磁波発生部２と撮像部３との位置は逆であってもよい。
【００４７】
なお、電磁波としてＸ線を使用したのは、Ｘ線の特性として屈折や回折等をしないので、後述する被測定物の形状が回転楕円体形状等である場合に適しているためである。したがって、被測定物の形状や材質に応じて、Ｘ線以外に赤外線、紫外線、可視光線等の電磁波を適宜使用することができる。
【００４８】
テーブル１は、長方形状の金属製のプレートからなり、テーブル１を制御するためのテーブル制御部４によって図１中のＸ方向およびＹ方向に移動可能である。
【００４９】
電磁波発生部２は、Ｘ線制御部５によって高電圧が印加されてＸ線を発生させ、その先端部に設けられたＸ線照射部６からＸ線を被測定物へ向けて照射する。このＸ線制御部５は、Ｘ線の管電圧や管電流を制御することができるとともに、電磁波発生部２の可動制御も行うことができる。
【００５０】
撮像部３は、被測定物の透視像を受光する受光部（図示せず）を有している。この受光部は、受光した光信号を増幅するための光電子増倍管（図示せず）と光信号を電気信号に変換するためのＣＣＤカメラ（図示せず）とを有している。
【００５１】
電磁波発生部２および撮像部３は、基準支持部材７の両端部にそれぞれ取り付けられている。基準支持部材７が基準支持部材制御部８によって制御され図１中の二点鎖線で示した状態の位置から実線で示した状態の位置へ回動することにより、これら電磁波発生部２および撮像部３も同時に回動する。基準支持部材７はＡＣサーボモーター等を用いて回動させている。さらに、電磁波発生部２および撮像部３はともに各々別個に基準支持部材７の長手方向の中心軸に対して平行に移動可能であり、この移動によって被測定物の透視像の拡大、縮小を行うことができる。
【００５２】
なお、本実施の形態では、電磁波発生部２と撮像部３とは一つの基準支持部材７に取り付けられているために同時に回動しているが、両者を別々の基準支持部材に取り付け、一方を回動させた後に他方を回動させてもよいし、両者を同期させて回動させてもよい。
【００５３】
画像処理部９は、撮像部３が受光した被測定物の透視像を公知の手法によって所定の画像に処理し、その画像データをこの画像処理部９内のメモリ（図示せず）に保存する。
【００５４】
計測部１０は、画像処理された被測定物の透視像において、被測定物における各部分のコントラストの差を利用して、被測定物の各寸法をコンピュータ等によって自動計測する。
【００５５】
画像表示装置１１は、被測定物の透視像や計測された被測定物の各寸法を画面表示する。
【００５６】
制御部１２は、オペレータによる操作部１３の操作を受けて、テーブル制御部４、Ｘ線制御部５、基準支持部材制御部８、画像処理部９、計測部１０および画像表示装置１１全体を制御する。
【００５７】
次に、このような画像計測装置を用いた画像計測方法の各ステップについて説明する。
【００５８】
被測定物としては、その一例として管球、例えば図２に示すような液晶プロジェクタ等の画像表示装置の光源として使用されている定格電力１５０Ｗの高圧水銀ランプの発光管１６を用いた。
【００５９】
（第１ステップ）
まず、被測定物のダミーとして寸法が既知の基準治具（図示せず）をテーブル１上に載せ、通常どおりの画像計測を行い、ＣＣＤカメラのスケール校正、つまりＣＣＤカメラの１画素が何μｍに相当するかを計測する。このスケール校正によってその計測値を基準にして被測定物の実寸を計測することができる。
【００６０】
（第２ステップ）
測定対象である複数個の発光管１６を、各々の発光管１６の長手方向の軸が略平行になるように隣接させてテーブル１の上に載せる。このとき、テーブル１はＺ方向（鉛直方向）に対して垂直な状態にある。また、基準支持部材７はＺ方向に対して平行な状態（図１の二点鎖線で示した状態）にあり、よってＸ線照射部６と受光部とを結ぶ線ＳはＺ方向と平行であり、テーブル１に対して垂直である。
【００６１】
上記のように複数個の発光管１６を、各々の発光管１６の長手方向の軸が略平行になるように隣接させてテーブル１の上に載せているので、テーブル１の大きさを大きくすることなく、多数の発光管１６をテーブル１に同時に載せることができ、装置全体の大型化を抑制することができるとともに、隣の発光管１６を計測する際、テーブル１の移動量を小さくすることができ、計測時間を短縮化することができる。
【００６２】
（第３ステップ）
次に、図１に示すように、基準支持部材制御部８によって基準支持部材７を回動させてＺ軸に対して０°を越え９０°未満の範囲、例えば４５°に傾ける。その後、テーブル１をＸ方向およびＹ方向に適宜移動させ、複数個の発光管１６のうち測定する発光管（以下、「被測定発光管」という）の中心部がＸ線照射部６と受光部とを結ぶ線上に位置させる。
【００６３】
（第４ステップ）
この状態でＸ線照射部６からＸ線を被測定発光管へ向けて照射し、被測定発光管の透視像を撮像部３の受光部によって受光する。受光した光信号は光電子増倍管等によって増幅された後、ＣＣＤ等によって電気信号に変換される。この電気信号は、画像処理部９によって画像処理され、その画像データが画像処理部９内のメモリに保存された後、計測部１０によって被測定物における各部の寸法の計測が行われ、被測定物の透視像（図２参照）および各部の寸法が画像表示装置１１に表示される。
【００６４】
ここで、被測定発光管に対するＸ線の照射方向は、図３に示すように、鉛直方向に対して斜め方向であり、かつ被測定発光管における一対の電極１７の長手方向の中心軸Ｔ（図４参照）に対して略垂直方向である。
【００６５】
以上のように本発明の実施の形態にかかる画像計測方法によれば、被測定物を透視した際、その透視像において電極１７の像と封入物である水銀粒２０の像とが重ならないために、電極１７の像の輪郭形状、および水銀粒２０の像の輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、両部材の寸法等の計測精度を著しく向上させることができるとともに、水銀粒２０の像の外側輪郭と発光管１６（発光部１４）を形成している外囲器の像の内側輪郭とが重ならないために、つまり図２に示すように、外囲器の像の内側輪郭に対して水銀粒の像が宙に浮いた状態になり、水銀粒２０の像の輪郭形状、および外囲器の像の内側輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、発光部１４の内径寸法等の計測精度を著しく向上させることができる。
【００６６】
また、本発明の実施の形態にかかる画像計測方法に用いた画像計測装置の構成によれば、発光部１４の内径寸法等の計測精度を著しく向上させることができることに加えて、電磁波発生部２と撮像部３とを簡単な構造で同時に回動させることができるので、装置全体を小型化させることができるとともに、計測時間を短縮化することができる。
【００６７】
なお、上記実施の形態では、被測定物として定格電力１５０Ｗの高圧水銀ランプの発光管１６を例示した場合について説明したが、この高圧水銀ランプ以外にも、メタルハライドランプ、キセノンランプ、高圧ナトリウムランプ等の高圧放電ランプの発光管はもちろんのこと、無電極放電ランプや低圧水銀蒸気放電ランプ等の発光管にも適用することができる。また、放電ランプの発光管以外にも、水銀スイッチ等にも適用することができる。
【００６８】
特に、無電極放電ランプ等の発光管を被測定物として透視した際、その透視像において封入物（部材）の像の外側輪郭と放電空間（中空部）を形成する外囲器の像の内側輪郭とが重ならないために、封入物の像の輪郭形状、および外囲器の像の内側輪郭形状がそれぞれ明確に現れ、封入物の寸法や外囲器の内径寸法等の計測精度を著しく向上させることができる。この場合、発光管にＸ線を当てる方向は例えば鉛直方向に対して斜め方向にすればよい。
【００６９】
また、上記実施の形態では、被測定物として回転楕円体形状の発光部１４を有する石英ガラス製の発光管１６の場合について説明したが、発光管の形状については円筒状等であってもよく、またその材質として石英ガラスの場合に限らず、硬質ガラスやソーダガラス等のガラス、セラミック等の場合でも上記と同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明に係る画像計測方法、およびその画像計測装置は、例えば管球の場合において、発光管の内径や電極間距離といった寸法等の計測精度を著しく向上させることが必要な画像計測方法、およびその画像計測装置等の用途にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の実施の形態である画像計測方法に用いる画像計測装置において、要部の機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記した図
【図２】同じく画像計測方法を用いた場合における高圧水銀ランプの発光管の透視像を示す図
【図３】同じく画像計測方法において、図４のＡ−Ａ線の断面図とＸ線の照射方向とを示す図
【図４】高圧水銀ランプの発光管の正面図
【図５】従来の画像計測方法において、図４のＡ−Ａ線の断面図とＸ線の照射方向とを示す図
【図６】同じく画像計測方法を用いた場合における高圧水銀ランプの発光管の透視像を示す図
【符号の説明】
【００７２】
１  テーブル
２  電磁波発生部
３  撮像部
４  テーブル制御部
５  Ｘ線制御部
６  Ｘ線照射部
７  基準支持部材
８  基準支持部材制御部
９  画像処理部
１０  計測部
１１  画像表示装置
１２  制御部
１３  操作部
１４  発光部
１５  封止部
１６  発光管
１７  電極
１８  金属箔
１９  外部リード線
２０  水銀粒
【図１】
2004191363.tif 000003
【図２】
2004191363.tif 000004
【図３】
2004191363.tif 000005
【図４】
2004191363.tif 000006
【図５】
2004191363.tif 000007
【図６】
2004191363.tif 000008