(57)【要約】【課題】アームの揺動及び昇降をスムーズに行うことができ、ワークの載置高さが移載前後で異なる場合にも、ストッパ等を必要とせず十分対応可能なアーム型移載装置を提供すること。【解決手段】昇降回動軸１にワークＤの保持手段２１を有するアーム２を固定し、該昇降回動軸１を昇降及び回動させて該アーム２を昇降及び揺動させ、該ワークＤを移載させるアーム型移載装置Ａであって、該昇降回動軸１を軸方向に昇降可能に支持し且つ軸線周りに回動駆動させる回動駆動部３と、該昇降回動軸１を下方から回動自在に支持し且つ軸方向に昇降駆動させる昇降駆動部４とを備え、回動駆動部３は、該昇降回動軸１を回動駆動させる中空電動モータ３１を備え、昇降駆動部４は、該昇降回動軸１を下方から支持する支持軸５と、該支持軸５を軸方向に昇降駆動させる電動モータ４１とを備えるアーム型移載装置。【選択図】  図２
2004181546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降回動軸にワークの保持手段を有するアームを固定し、該昇降回動軸を昇降及び回動させて該アームを昇降及び揺動させ、該ワークを移載させるアーム型移載装置であって、
該昇降回動軸を軸方向に昇降可能に支持し且つ軸線周りに回動駆動させる回動駆動部と、
該昇降回動軸を下方から回動自在に支持し且つ軸方向に昇降駆動させる昇降駆動部とを備え、
回動駆動部は、該昇降回動軸を回動駆動させる中空電動モータを備え、
昇降駆動部は、該昇降回動軸を下方から支持する支持軸と、該支持軸を軸方向に昇降駆動させる電動モータとを備えることを特徴とするアーム型移載装置。
【請求項２】
前記昇降駆動部の電動モータは、その駆動により、支持軸とボールねじ構造を形成するボールナットを回動させ、支持軸をその軸方向に昇降させることを特徴とする請求項１記載のアーム型移載装置。
【請求項３】
前記昇降駆動部の電動モータは、中空電動モータであり、ボールナットが該中空電動モータの中空ロータに固定されていることを特徴とする請求項２記載のアーム型移載装置。
【請求項４】
前記支持軸は、ボールスプライン構造を介して、昇降駆動部に取り付けられてその軸方向に昇降可能に支持され、且つその軸線周りの回動を阻止されていることを特徴とする請求項１記載のアーム型移載装置。
【請求項５】
前記回動駆動部の中空電動モータは、その中空ロータに外筒が固定され、該外筒と昇降回動軸とにより形成されるボールスプライン構造により、  該昇降回動軸を軸方向に移動可能に支持し、且つその回動駆動により該昇降回動軸を軸線周りに回動させることを特徴とする請求項１記載のアーム型移載装置。
【請求項６】
昇降回動軸にワークの吸着チャックを有するアームを固定し、該昇降回動軸を昇降及び回動させて該アームを昇降及び揺動させ、該ワークを移載させる光ディスク製造用アーム型移載装置であって、
該昇降回動軸を軸方向に昇降可能に支持し且つ軸線周りに回動駆動させる回動駆動部と、
該昇降回動軸を下方から回動自在に支持し且つ軸方向に昇降駆動させる昇降駆動部とを備え、
回動駆動部は、該昇降回動軸を回動駆動させる中空電動モータを備え、
昇降駆動部は、該昇降回動軸を下方から支持する支持軸と、該支持軸を回動駆動させる電動モータとを備えることを特徴とする光ディスク製造用アーム型移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アーム型移載装置に関し、更に詳しくは、アームの揺動及び昇降をスムーズに行うことができ、しかもワークの載置高さが移載前後で異なる高さである場合にも対応可能なアーム型移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種製品の製造は、素材加工工程、部品加工工程、組立加工工程、処理加工工程、試験検査工程等の一連の工程が連携し、流れ工程で行われることが多い。
そして、こうしたシーケンスにおいては、各工程間或いは各工程内での半製品の移載手段として、種々の機能をもつ移載装置が採用されている。
【０００３】
例えば、ＤＶＤやＣＤ等の光ディスクの製造ラインにおいては、通常、光ディスク製造装置内で、ディスク基板集積工程、接着剤延展工程、貼り合わせ工程、紫外線照射工程、検査工程等の諸工程を経て、製品の製造が行われる。
そして、各工程間を移載装置によってワーク（１枚のディスク基板や接着剤で貼り合わされた２枚のディスク基板等）が移載される。
【０００４】
移載装置の一つとして、先端にワークを吸着する吸着チャック（例えば特許文献１参照）等の保持手段を有するアームを備えたアーム型移載装置が採用されている（例えば特許文献２〜４等参照）。
図９は、このような従来のアーム型移載装置の一例を示す概略図である。
【０００５】
従来のアーム型移載装置Ｂは、昇降回動軸１００、アーム１１０、中空電動モータ１２０、及びシリンダ１３０等よりなる。
中空電動モータ１２０は架台１４０に固定され、シリンダ１３０は架台１４０に取り付けられた固定手段１５０に固定される。
【０００６】
中空電動モータ１２０の中空ロータにはボールスプライン用の外筒１２１が固定されており、昇降回動軸１００の表面にはボールスプライン用の突起１０１が軸線方向に数本形成されている。
この外筒１２１（及び中空電動モータ１２０）が、上記突起１０１を両側から挟み込む複数のボールを介して昇降回動軸１００を軸方向（上下方向）に昇降可能に支持する。
【０００７】
このボールスプライン構造により、中空電動モータ１２０を回動駆動させると中空ロータの回動力が外筒１２１を介して昇降回動軸１００に伝わり、中空ロータの回動に同期させて昇降回動軸１００を軸線周りに回動させることができる。
一方、昇降回動軸１００の下端は、シリンダ１３０内のピストン（図示しない）によりベアリング等を介して回動自在に支持されており、ピストンを上下させることにより、昇降回動軸１００を昇降させることができる。
【０００８】
アーム１１０は、一方の端部で昇降回動軸１００の上端に水平方向に固定されており、中空電動モータ１２０の駆動によって生じる昇降回動軸１００の回動によって揺動し、他方の端部（先端）が所定位置に移動する。
アーム１１０の先端には、ディスク基板等のワークＤを吸着する吸着チャック１１１が設けられており、この吸着チャック１１１がワークＤを吸着し又は解放する。
【０００９】
以上のような構造のアーム型移載装置Ｂにより、ワークＤは、光ディスク製造装置内の上記各工程間を移載される。
ここで、具体的な移載作動について述べると、まず、中空電動モータ１２０を駆動して昇降回動軸１００を回動させ、それによってアーム１１０を揺動させ、その先端を所定位置まで移動させる。
【００１０】
その後、シリンダ１３０のピストンを下降させて昇降回動軸１００及びアーム１１０を下降させ、吸着チャック１１１にワークＤを吸着させる。
次に、吸着チャック１１１にワークＤを吸着させた状態のままシリンダ１３０のピストンを上昇させてアーム１１０及び吸着チャック１１１を上昇させる。
【００１１】
アーム１１０が所定位置まで上昇したら、中空電動モータ１００を駆動してアーム１１０を揺動させ、吸着チャック１１１を所定位置まで移動させる。
最後にシリンダ１３０のピストンを下降させて吸着チャック１１１を下降させ、ワークＤを解放することで、ワークＤの移載が完了する。
そして、この移載動作が順次繰り返されるのである。
【００１２】
こうした従来のアーム型移載装置では、昇降回動軸１００を上下動させるシリンダ１３０として、内部のエア圧でピストンを上下させるエアシリンダが採用されることが多い。
しかも、コスト等の関係で、そのほとんどは、ピストンが可動域の上昇限（上死点）又は下降限（下死点）においてのみ停止し、上下限の間では停止させられないタイプのものが用いられていた。
【００１３】
こうしたタイプのエアシリンダを用いた場合、エアシリンダのピストンが下降して停止する位置が下降限に限られるため、吸着チャック１１１が下降して停止する位置も限られ、移載の前後で同じ高さにならざるを得ない。
そのため、このアーム型移載装置ＢでワークＤを移載できるのは、移載前後のそれぞれの工程におけるワークＤの載置位置（載置高さ）が、同じ高さである場合に限られる。
つまり、移載前後の２つの工程で載置高さが異なる場合には、もはやこのようなアーム型移載装置では対応できないという問題があった。
【００１４】
もっとも、接触型ストッパを用いればよいが、ピストンが上昇して上昇限で停止する際に（或いは下降して下降限で停止する際に）、ストッパとの衝突による衝撃が発生する。
そして、その衝撃が昇降回動軸からアームを介して吸着チャックに伝わり、吸着チャックからワークが落下してしまうことがある。
【００１５】
また、電気的なストッパでは、装置自体が複雑となる。
しかも、ストッパによる限り急激な停止となるため、衝撃は避けられない。
更に、製造速度の高速化に合わせてピストンの昇降が高速化すると、衝突による衝撃がより大きくなる。
そのため、こうしたワークの落下事故の発生頻度がより大きくなってしまうという問題もあった。
【００１６】
また、アーム型移載装置におけるワークの移載は、上記のように、アームの揺動と昇降（上下動）とが組み合わされて行われるが、従来の移載装置では、揺動は中空電動モータが担当し、昇降はエアシリンダが担っている。
しかし、中空電動モータの電気的回動調整と、エアシリンダのエア圧調整とを一体的に連動させて行うのは、原理が異なるため必ずしも容易なことではない。
【００１７】
そのため、従来のアーム型移載装置は、上記のように、通常、中空電動モータによるアームの揺動とエアシリンダによるアームの昇降とをそれぞれ独立に行い、それを組み合わせてワークを移載していた。
しかし、これでは製造速度の高速化に追従できない。
更には、高速化により中空電動モータとエアシリンダの協働がより困難となり、アームの揺動や昇降、即ちアームの動きをスムーズに行うことが難しくなるという問題もあった。
【００１８】
【特許文献１】
特開平１０−１３４４２３号公報
【特許文献２】
特開平１１−３４５４３３号公報
【特許文献３】
特開２００２−１９７７２９号公報
【特許文献４】
特開２００２−３１９１８７号公報
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる実状を背景に、上記の問題点を克服するためになされたものである。
すなわち、本発明の目的は、アームの揺動及び昇降をスムーズに行うことができるアーム型移載装置を提供することである。
さらに、ワークの載置高さが移載前後で異なる場合にも、ストッパ等を必要とせず十分対応可能なアーム型移載装置を提供することである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
かくして、本発明者は、このような課題背景に対して、鋭意研究を重ねた結果、従来のアーム型移載装置において、エアシリンダを使用せず、昇降回動軸を支持し昇降させるものとして支持軸を用い、この支持軸を電動モータで昇降させることによりアームの揺動と昇降を連動させることができること、及びアームの昇降を任意の位置で停止させることができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたものである。
【００２１】
即ち、本発明は、（１）、昇降回動軸にワークの保持手段を有するアームを固定し、該昇降回動軸を昇降及び回動させて該アームを昇降及び揺動させ、該ワークを移載させるアーム型移載装置であって、該昇降回動軸を軸方向に昇降可能に支持し且つ軸線周りに回動駆動させる回動駆動部と、該昇降回動軸を下方から回動自在に支持し且つ軸方向に昇降駆動させる昇降駆動部とを備え、回動駆動部は、該昇降回動軸を回動駆動させる中空電動モータを備え、昇降駆動部は、該昇降回動軸を下方から支持する支持軸と、該支持軸を軸方向に昇降駆動させる電動モータとを備えるアーム型移載装置に存する。
【００２２】
そして、（２）、前記昇降駆動部の電動モータは、その駆動により、支持軸とボールねじ構造を形成するボールナットを回動させ、支持軸をその軸方向に昇降させるアーム型移載装置に存する。
【００２３】
そしてまた、（３）、前記昇降駆動部の電動モータは、中空電動モータであり、ボールナットが該中空電動モータの中空ロータに固定されているアーム型移載装置に存する。
【００２４】
そしてまた、（４）、前記支持軸は、ボールスプライン構造を介して、昇降駆動部に取り付けられてその軸方向に昇降可能に支持され、且つその軸線周りの回動を阻止されているアーム型移載装置に存する。
【００２５】
そしてまた、（５）、前記回動駆動部の中空電動モータは、その中空ロータに外筒が固定され、該外筒と昇降回動軸とにより形成されるボールスプライン構造により、  該昇降回動軸を軸方向に移動可能に支持し、且つその回動駆動により該昇降回動軸を軸線周りに回動させるアーム型移載装置に存する。
【００２６】
そしてまた、（６）、昇降回動軸にワークの吸着チャックを有するアームを固定し、該昇降回動軸を昇降及び回動させて該アームを昇降及び揺動させ、該ワークを移載させる光ディスク製造用アーム型移載装置であって、該昇降回動軸を軸方向に昇降可能に支持し且つ軸線周りに回動駆動させる回動駆動部と、該昇降回動軸を下方から回動自在に支持し且つ軸方向に昇降駆動させる昇降駆動部とを備え、回動駆動部は、該昇降回動軸を回動駆動させる中空電動モータを備え、昇降駆動部は、該昇降回動軸を下方から支持する支持軸と、該支持軸を回動駆動させる電動モータとを備える光ディスク製造用アーム型移載装置に存する。
【００２７】
本発明はこの目的に沿ったものであれば、上記１〜６の中から選ばれた２つ以上を組み合わせた構成も当然採用可能である。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき、本発明のアーム型移載装置の好適な実施の形態について説明する。
引き続き、光ディスク製造装置において採用されるアーム型移載装置を例にとって説明する。
まず、本実施形態のアーム型移載装置の構造について述べる。
【００２９】
図１は、本発明のアーム型移載装置の例を示す正面図である。
図２は、図１のアーム型移載装置の回動駆動部及び昇降駆動部の概略断面図である（ｂはベアリングを示す）。
図３は、このアーム型移載装置の昇降回動軸と外筒等により形成されるボールスプライン構造の一例を示す図である。
【００３０】
本発明のアーム型移載装置Ａは、昇降回動軸１、アーム２、回動駆動部３、及び昇降駆動部４よりなる。
昇降回動軸１の表面には、ボールスプライン用の突起１１が軸線方向に数本形成されている。
昇降回動軸１は、回動駆動部３の第１中空電動モータ３１の中空ロータ３２に挿入され、支持軸５により下方から回動自在に支持される。
【００３１】
アーム２は、その一方の端部において昇降回動軸１の上端に水平方向に固定され、後述する昇降回動軸１の昇降及び回動により、水平姿勢を保ったまま昇降し、昇降回動軸１を軸にして揺動する。
本実施形態においては、アーム２の先端には、ディスク基板等のワークＤを吸着する吸着チャック２１（すなわち保持手段）が取付固定されており、この吸着チャック２１がワークＤを吸着・解放する。
【００３２】
吸着チャック２１は、アーム２の昇降により上下方向に昇降し、またアーム２の揺動により水平方向に移動する。
アーム２の昇降及び揺動を一体的に行い、アーム２をスムーズに曲線的に動かすことについては、後で詳しく述べる。
【００３３】
回動駆動部３は、昇降回動軸１をその軸線周りに回動駆動させ、昇降回動軸１を軸方向（上下方向）に昇降自在に支持する部分である。
回動駆動部３における第１中空電動モータ３１の中空ロータ３２には、ボールスプライン用の外筒３３が挿入され、中空ロータ３２に固定されている。
【００３４】
外筒３３の内面には、図３のように複数のボール３４を転走可能に収納するためのボール溝３５が形成されたリテーナ３６が固定されている。
外筒３３に昇降回動軸１が挿入されると、リテーナ３６の複数のボール３６が昇降回動軸１の突起１１をその両側から挟みつける状態になる。
【００３５】
このようにボールスプライン構造を形成することにより、昇降回動軸１は、外筒３３を介して第１中空電動モータ３１に軸方向に昇降可能に支持される。
昇降回動軸１は、この構造により、外筒３３に対してその軸線が傾斜する動き（いわゆる斜めになり左右にぶれる動き）が阻止されるとともに、外筒３３に対して相対的に回動する（すなわち回動方向にずれる）ことも阻止される。
【００３６】
このような状態で、第１中空電動モータ３１の中空ロータ３２を回動駆動させると、その回動力が外筒３３に伝達され、複数のボール３４が昇降回動軸１の突起１１を回動方向に押し、昇降回動軸１がその軸線周りに回動する。
このように、外筒３３を介して第１中空電動モータ３１（の中空ロータ３２）の回動と同期して昇降回動軸１を回動させることができるため、第１中空電動モータ３１の回動駆動を制御することで、昇降回動軸１を自在に回動させることができる。
【００３７】
回動駆動部３及び昇降駆動部４は、互いに固定され、回動駆動部３が架台１４０に固定される。
昇降駆動部４は、昇降回動軸１を下方から支持し、その軸方向に昇降駆動させる部分である。
【００３８】
昇降駆動部４は、第２中空電動モータ４１、ボールナット４２、外筒４３、及び支持軸５等を備える。
第２中空電動モータ４１の中空ロータ４４の内側には、ボールねじ用のボールナット４２が固定されている。
このボールナット４２を含むボールねじ構造については、後述する。
【００３９】
昇降駆動部４の最下部には、支持軸５の上下方向の移動を可能にする外筒４３が形成されている。
この外筒４３は、図３に示したボールスプライン構造における外筒３３を上下逆向きにしたような状態で、昇降駆動部４に取付固定される。
【００４０】
支持軸５は、軸受け部５１、ねじ軸部５２、及びスプライン軸部５３が一体形成されてなる。
表面に突起５４が形成されたスプライン軸部５３と、上記の外筒４３とにより、図３と同様のボールスプライン構造が形成される。
【００４１】
この際、外筒４３は、上記のように昇降駆動部４の最下部に直接固定されており、図３に示した外筒３３とは異なって、その軸線周りに回動することはできない。
そのため、支持軸５も、このボールスプライン構造によりスプライン軸部５３の回動が外筒４３により阻止されるため、軸線周りに回動することができず、その軸方向（上下方向）の昇降のみを行うことができる。
【００４２】
軸受け部５１は、上面から凹部５５を穿設された円筒壁面を有するカップ状の構造に形成されている。
この凹部５５に昇降回動軸１の下端が挿入されると、支持軸５がこの軸受け部５１の凹部５５に設けられているラジアル軸受けｒを介して昇降回動軸１を下方から支持する。
そのため、昇降回動軸１の下端が、いわゆる遊びのない状態でその軸線周りに回動自在に支持されることになる。
【００４３】
ねじ軸部５２は、図４に例示されるボールねじ構造を形成する（図４ではボールナット４２のみ断面図で示した）。
ボールねじ構造は、支持軸５のねじ軸部５２と、第２中空電動モータ４１の中空ロータ４４の内側に固定されたボールナット４２と、複数のボール５６とよりなる。
【００４４】
ねじ軸部５２の表面には、ボール５６を転走可能に収納するボールねじ溝５７が螺旋状に形成されている。
ボールナット４２の内面（ねじ軸部５２に対向する面）には、ねじ軸部５２のボールねじ溝５７に対応する位置に、ボールねじ溝４６が形成されている。
【００４５】
ボールナット４２には、ねじ軸部５２とボールナット４２との間に介在するボール５６を循環させるための通路４７が形成されている。
複数のボール５６は、ねじ軸部５２のボールねじ溝５７とボールナット４２内面のボールねじ溝４６との間に形成される通路空間、及びボールナット４２の通路４７を整列した状態で順次循環する。
【００４６】
支持軸５は、上記のボールねじ構造を介して第２中空電動モータ４１に支持され、下方に落下するのを阻止される。
また、このボールねじ構造及び下方の外筒４３におけるボールスプライン構造により支持されて、その軸線が傾斜する動き（いわゆる左右にぶれる動き）が阻止される。
尚、支持軸５の軸線周りの回動が外筒４３でのボールスプライン構造により阻止されることは、既に述べたとおりである。
【００４７】
このように形成された昇降駆動部４において、第２中空電動モータ４１を駆動させると、ボールナット４２が支持軸５のねじ軸部５２の周りを回動する。
ボルトとナットの関係から分かるように、仮に支持軸５が固定されていれば、この回動によりボールナット４２が支持軸５（のねじ軸部５２）に対して昇降する動きをする。
【００４８】
しかし、昇降駆動部４においては、上記のように、ボールナット４２が第２中空電動モータ４１の中空ロータ４４に固定されており、支持軸５が軸方向（上下方向）に昇降可能に支持されている。
そのため、支持軸５の方が、軸方向に昇降するのである。
【００４９】
このように、昇降駆動部４では、第２中空電動モータ４１の回動駆動が、ボールねじ構造を介して支持軸５の昇降に変換される。
そして、第２中空電動モータ４１を回動駆動させて支持軸５を昇降させることにより、昇降回動軸１をその軸方向に昇降させることができるのである。
【００５０】
以上のように、本発明のアーム型移載装置においては、回動駆動部が昇降回動軸を軸方向に移動可能に支持してその軸線周りに回動駆動させ、昇降駆動部が昇降回動軸を下方から支持してその軸方向に昇降駆動させる。
この際、昇降駆動部において、第２中空電動モータの代わりに通常の電動モータ（例えば、主軸を有する電動モータ）を用い、ギアやベルト、チェーン等を介して、昇降駆動部内に回動可能に固定されたボールナットを回動させるようにすることも、当然可能である。
【００５１】
次に、本発明のアーム型移載装置の機能等について述べる。
図２に示す状態にあるアーム型移載装置Ａは、先述したように、昇降駆動部４の第２中空電動モータ４１を回動駆動させることにより、ボールねじ構造を介して支持軸５を上昇させることができる（図５参照）。
【００５２】
支持軸５が上昇すると、軸受け部５１が昇降回動軸１を押し上げ（図５の矢印参照）、それに伴ってアーム２及び吸着チャック２１が上昇し、ワークＤを載置場所から持ち上げることができる。
昇降駆動部４の第２中空電動モータ４１の回動を逆転させれば、昇降回動軸１及びアーム２等を下降させることができる（昇降機能）。
【００５３】
また、図５に示した状態で、回動駆動部３の第１中空電動モータ３１を回動駆動させることにより、ボールスプライン構造を介して昇降回動軸１を回動させることができる（図６参照）。
昇降回動軸１を回動させると（図６の矢印参照）、それに伴ってアーム２が同方向に揺動し、吸着チャック２１を所定位置に移動させることができる（回動機能）。
第１中空電動モータ３１を逆方向に回動させれば、アーム２は当然、逆方向に揺動する。
【００５４】
このように、本発明のアーム型移載装置Ａは、上記の昇降機能及び回動機能をそれぞれ電動モータが担っているため、コンピュータ制御等により、上記の両機能を一体的に連動させて発揮させることができる。
そのため、本発明のアーム型移載装置Ａは、アーム２をスムーズに曲線的に揺動させたり昇降させたりすることも容易に行える（図７参照）。
【００５５】
即ち、本発明のアーム型移載装置Ａによれば、２つの電動モータを一体的に連動させることも或いは単独で駆動させることも自在にしかも容易に行うことができるため、アームを思い通りに昇降させ揺動させることが可能となる。
また、たとえ製造工程が非常に高速化したとしても、電動モータとして、例えば、大きなトルク特性を有するダイレクトドライブモータ等を採用すれば、十分に対応することができる利点がある。
【００５６】
一方で、このようにアームの昇降（上下動）がスムーズであるため、従来のエアシリンダを用いた場合のようなアームの上下動の際の衝撃がほとんどない。
従って、従来のアーム型移載装置では、この衝撃によるワークの落下事故が比較的頻繁に生じていたが、本発明のアーム型移載装置では、そうした事故をほぼ完全に防止することができる。
【００５７】
更に、本発明のアーム型移載装置Ａでは、昇降駆動部の第２中空電動モータの駆動・停止を電気信号により自在に行うことができるため、支持軸や昇降回動軸の上下方向の位置をその可動範囲内で適宜任意に調整することができる。
従って、ワークの載置高さが、移載の前後で異なる高さである場合であっても、何ら問題なく移載することができる利点を有する（図８参照）。
【００５８】
また、昇降回動軸や支持軸の可動範囲を変えることも可能である。
即ち、図２や図５等から分かるように、支持軸５のねじ軸部５２やスプライン軸部５３の長さを長くしたり、昇降駆動部４の内部構造を、より上下方向に長くしたりすることにより、可動範囲を調整することができる。
【００５９】
本発明のアーム型移載装置は、以上説明してきた構造や機能等から容易に分かるように、その使用範囲は、例示したワークであるディスク基板等の移載のための光ディスク製造用移載装置に限られるものではない。
例えば、半導体デバイスの製造工程（装置）や自動車部品の組立工程（装置）等、各種製品の製造工程における種々の対象物（半製品、部品等）の移載装置として採用可能であることは言うまでもない。
その際、例示した光ディスク製造用移載装置における吸着チャック２１の代わりに、対象物の保持に適した保持手段が当然採用される。
【００６０】
最後に、本発明のアーム型移載装置の強調すべき特徴
（効果）について述べる。
本発明のアーム型移載装置は、先述したように、昇降回動軸と支持軸とを別体とし、回動駆動（回動駆動部）と昇降駆動（昇降駆動部）とを分離した。
そのため、アームを揺動・昇降する際にその位置決めが的確に行えるようになったため、その先端の吸着チャック（保持手段）がワークを吸着する際の位置のブレがほとんどなくなったのである。
【００６１】
本発明のように昇降回動軸と支持軸とを分離せず、１本の昇降回動軸にボールスプライン構造とボールねじ構造とを両方とも設けて、回動駆動と昇降駆動を行う構造とすることも考えられる。
しかし、この場合、例えば、アームの高さを変えずに水平面内で揺動させるために電動モータを回動駆動して昇降回動軸を軸線周りに回動させると、ボールねじ構造があるために、回動と同時に昇降回動軸が上昇（又は下降）してしまう。
【００６２】
そのため、更に第２の電動モータを回動して昇降回動軸を昇降駆動させて、上昇（又は下降）する分だけ昇降回動軸を下降（又は上昇）させなければならない。
つまり、上記構造のアーム型移載装置では、例えばアームを単に水平面内で揺動させるような単純な動きでも、いちいち２つの電動モータを駆動し、それらの駆動を調整しながら連動させなければならない。
【００６３】
このように、１本の昇降回動軸を用いる構造とすると、どうしても回動と昇降とが分離できないため、アームを正確に昇降させ揺動させることが困難になる。そしてそのため、アームの先端の保持手段の停止位置がぶれてしまい、ワーク（ディスク基板等）にぶつかってキズを付けたり、的確な位置で移載できず、工程を停止せざるを得なくなる等の問題が発生する。
【００６４】
本発明のアーム型移載装置では、昇降回動軸と支持軸とを別体とし、回動駆動と昇降駆動とを明確に分離したため、このような問題は一切生じることがない。
寧ろ、昇降回動軸の昇降と回動、即ち、昇降回動軸の縦方向の移動と横方向の回動とを明確に分離したため、これらの制御をコンピュータを使って非常に容易に且つ正確に行うことができるようになり、保持手段の位置決めを非常に正確に行うことができるようになった。
【００６５】
以上、本発明を説明してきたが、本発明は実施形態にのみ限定されるものではなく、その本質を逸脱しない範囲で、他の種々の変形例が可能であることは言うまでもない。
例えば、ボールスプライン構造やボールねじ構造は、種々の構造や機能を有するものが開発されているが、アーム型移載装置の用途や求められる機能によって適宜選択されて採用される。
【００６６】
また、昇降回動軸に対してアームを縦方向にも揺動可能にしたり、またアームの先端に対して保持手段（吸着チャック）を昇降可能にしたりすることは、適宜変更可能である。
【００６７】
【発明の効果】
本発明のアーム型移載装置によれば、アームの揺動及び昇降をスムーズに行うことができる。
また、対象物の載置高さが移載前後で異なる高さである場合であっても、十分に対応可能である。
更に、昇降回動軸と支持軸とを別体とし、回動駆動と昇降駆動とを明確に分離したため、コンピュータ制御等を非常に容易に且つ正確に行うことができ、保持手段の位置決めを非常に正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のアーム型移載装置の例を示す正面図である。
【図２】図２は、図１のアーム型移載装置の回動駆動部及び昇降駆動部の概略断面図である。
【図３】図３は、このアーム型移載装置の昇降回動軸と外筒等により形成されるボールスプライン構造の一例を示す図である。
【図４】図４は、支持軸のねじ軸部を含むボールねじ構造の一例を示す図である。
【図５】図５は、アーム型移載装置の昇降駆動部を駆動させてアームを上昇させた状態を示す図である。
【図６】図６は、アーム型移載装置の回動駆動部を駆動させてアームを揺動させた状態を示す図である。
【図７】図７は、本発明のアーム型移載装置がアームをスムーズに揺動させ昇降させることができることを示す模式図である。
【図８】図８は、本発明のアーム型移載装置が移載前後で異なる載置高さに移載できることを示す模式図である。
【図９】図９は、従来のアーム型移載装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
１…昇降回動軸
１１…突起
２…アーム
２１…吸着チャック
３…回動駆動部
３１…第１中空電動モータ
３２…中空ロータ
３３…外筒
３４…ボール
３５…ボール溝
３６…リテーナ
４…昇降駆動部
４１…第２中空電動モータ
４２…ボールナット
４３…外筒
４４…中空ロータ
４５…外筒
４６…ボールねじ溝
４７…通路
５…支持軸
５１…軸受け部
５２…ねじ軸部
５３…スプライン軸部
５４…突起
５５…凹部
５６…ボール
５７…ボールねじ溝
１００…昇降回動軸
１０１…突起
１１０…アーム
１１１…吸着チャック
１２０…中空電動モータ
１２１…外筒
１３０…シリンダ
１４０…架台
１５０…固定手段
Ａ…本発明のアーム型移載装置
Ｂ…従来のアーム型移載装置
Ｄ…ワーク
ｂ…ベアリング
ｒ…ラジアル軸受け
【図１】
2004181546.tif 000003
【図２】
2004181546.tif 000004
【図３】
2004181546.tif 000005
【図４】
2004181546.tif 000006
【図５】
2004181546.tif 000007
【図６】
2004181546.tif 000008
【図７】
2004181546.tif 000009
【図８】
2004181546.tif 000010
【図９】
2004181546.tif 000011