(57)【要約】【課題】装置構成が簡易で安価に製造できる圧力検知装置を提供する。【解決手段】被検知空間での圧力状態を検知するための圧力検知装置２において、被検知空間での圧力変化に応じて断面形状が変化する圧力変化応答管５を備えたものとする。圧力変化応答管５は、たとえば弾性を有する素材により形成される。圧力検知装置２は、圧力変化応答管５の断面形状の変化の程度を増幅して伝播するための増幅手段４をさらに備えているのが好ましい。圧力検知装置２は、圧力変化応答管５の断面形状の変化を直接または間接的に検出するための検出手段６を備えているのが好ましい。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検知空間での圧力状態を検知するための圧力検知装置であって、
上記被検知空間での圧力変化に応じて断面形状が変化する圧力変化応答管を備えたことを特徴とする、圧力検知装置。
【請求項２】
上記圧力変化応答管は、弾性を有する素材により形成されている、請求項１に記載の圧力検知装置。
【請求項３】
上記圧力変化応答管の断面形状の変化の程度を増幅して伝播するための増幅手段をさらに備えている、請求項１または２に記載の圧力検知装置。
【請求項４】
上記増幅手段は、上記圧力変化応答管の断面形状の変化に応じて変位可能な第１および第２変位部を有する可変位部材を備えており、
上記第１変位部には、上記圧力変化応答管の内部圧力を反映した力が作用させられ、かつ、
上記第２変位部は、上記圧力変化応答管の断面形状が変化したときに、上記第１変位部よりも変位量が大きくなるように構成されている、請求項３に記載の圧力検知装置。
【請求項５】
上記第２変位部の変位を検出するための変位検出手段をさらに備えている、請求項４に記載の圧力検知装置。
【請求項６】
上記変位検出手段は、上記第２変位部に光を照射するための発光部と、上記第２変位部から進行してくる光を受光するための受光部と、を有するものであり、
上記第２変位部は、反射率または透過率が段階的または連続的に変化する領域を有している、請求項５に記載の圧力検知装置。
【請求項７】
上記圧力変化応答管の断面形状の変化を検出するための検出手段を備えている、請求項１に記載の圧力検知装置。
【請求項８】
上記圧力変化応答管に作用する力に対する上記第１および第２変位部の変位の程度を調整するための調整手段をさらに備えている、請求項４ないし６のいずれかに記載の圧力検知装置。
【請求項９】
上記調整手段は、上記可変位部材に作用させる押圧力を調整できるように構成されている、請求項８に記載の圧力検知装置。
【請求項１０】
サンプリングノズルと、このサンプリングノズルに対して配管を介して接続されたポンプと、上記配管における圧力変動を検知するための圧力検知装置と、を備えたサンプリング装置であって、
上記圧力検知装置として、請求項１ないし９のいずれかに記載したものが採用されていることを特徴とする、サンプリング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検知空間での圧力状態を検知するための圧力検知装置、およびこの圧力検知装置を備えたサンプリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動分析装置などにおいては、試料、試薬、緩衝液あるいは洗浄液などの液体を採取し、これを目的部位に分注するために、サンプリング装置を備えたものとして構成されることがある（たとえば特許文献１参照）。本発明を説明するための図１を参照すれば分かるように、サンプリング装置（Ｘ）は、通常、配管（１０）を介してポンプ（１１）に接続されたサンプリングノズル（１２）を用いて、液体の採取、移動、および分注が行われる。配管（１０）には、配管（１０）内における圧力変動、たとえば析出物による圧力増加や液漏れによる圧力低下を検知するために、圧力センサ（２）が配置される。
【０００３】
圧力センサ（２）としては、たとえばダイアフラムの弾性変形量に基づいて、半導体素子において測定対象物の圧力を検知するように構成されたものが知られている。このような圧力センサにおいては、ダイアフラムを測定対象物と直接接触させる構成を採用すると、測定対象物が腐食作用の強い成分を含んでいる場合には、ダイアフラムが腐食してしまうことがある。また、測定対象物中に水素原子が含まれていると、ダイアフラムに吸着した水素原子がダイアフラムの内部に拡散し、ダイアフラムの内部において水素ガスが溜まってしまうといった問題が生じうる。そのため、ダイアフラムをステンレス鋼、タンタル、チタンなどの高価な材料により形成してダイアフラムに耐食性を持たせたり、ダイアフラムの表面にメッキやコーティングなどの水素非透過処理を施すことが行われている（たとえば特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−２４２１８１号公報
【特許文献２】
特開２００２−３１８１６７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ダイアフラムの弾性変形を半導体素子に伝播する方法では、装置構成が複雑となるばかりか、各構成要素が比較的に高価であるために、製造コストが高くなる。とくに、ダイアフラムに対して高価素材により耐食性を持たせたり、ダイアフラムに水素非透過処理を施す場合には、製造効率の面で不利であるばかりか、製造コスト的にもさらに不利なものとなる。また、サンプリング装置のように、たとえば配管（１０）内での析出物による圧力増加や液漏れによる圧力低下を検知する場合には、正確に圧力変動を把握する必要がなく、その場合には、高価な圧力センサを採用するのは、製造コストなどの面で得策ではない。
【０００６】
本発明は、このような事情のもとに考えだされたものであって、装置構成が簡易で安価に製造できる圧力検知装置を提供することを課題としている。
【０００７】
【発明の開示】
本発明では、上記した課題を解決すべく、次の技術的手段を講じている。
【０００８】
すなわち、本発明の第１の側面においては、被検知空間での圧力状態を検知するための圧力検知装置であって、上記被検知空間での圧力変化に応じて断面形状が変化する圧力変化応答管を備えたことを特徴とする、圧力検知装置が提供される。圧力変化応答管は、たとえば弾性を有する素材により形成される。
【０００９】
本発明の圧力検知装置は、圧力変化応答管の断面形状の変化の程度を増幅して伝播するための増幅手段をさらに備えているのが好ましい。
【００１０】
増幅手段は、たとえば圧力変化応答管の断面形状の変化に応じて変位可能な第１および第２変位部を有する可変位部材を備えており、第１変位部には、圧力変化応答管の内部圧力を反映した力が作用させられ、かつ、第２変位部は、圧力変化応答管の断面形状が変化したときに、第１変位部よりも変位量が大きくなるように構成される。
【００１１】
本発明の圧力検知装置は、第２変位部の変位を検出するための変位検出手段をさらに備えているのが好ましい。
【００１２】
変位検出手段は、たとえば第２変位部に光を照射するための発光部と、第２変位部から進行してくる光を受光するための受光部と、を有するものであり、第２変位部は、反射率または透過率が段階的または連続的に変化する領域を有するものとして構成される。
【００１３】
本発明の圧力検知装置は、圧力変化応答管の断面形状の変化を直接検出するための検出手段を備えていてもよい。
【００１４】
本発明の圧力検知装置は、第１変位部に作用する力に対する第１および第２変位部の変位の程度を調整するための調整手段をさらに備えているのが好ましい。調整手段は、たとえば可変位部材に作用させる押圧力を調整できるように構成される。
【００１５】
本発明の第２の側面においては、サンプリングノズルと、このサンプリングノズルに対して配管を介して接続されたポンプと、上記配管における圧力変動を検知するための圧力検知装置と、を備えたサンプリング装置であって、上記圧力検知装置として、上述した本発明の第１の側面に記載したものが採用されていることを特徴とする、サンプリング装置が提供される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態について、図面を参照して具体的に説明する。
【００１７】
本発明に係るサンプリング装置は、試料、試薬あるいは洗浄液などの液体を採取し、これを目的とする領域に吐出するためのものである。より具体的には、たとえば自動分析装置に組み込まれて試験片に尿などの試料を供給するために使用され、あるいはクロマトグラフ用のオートインジェクタとして使用されるものである。
【００１８】
図１に示したサンプリング装置Ｘは、配管１０を介してエアポンプ１１に接続されたサンプリングノズル１２を用いて、試料の調整を行えるように構成されたものである。このサンプリング装置Ｘでは、試薬ボトル１３に保持された試薬や容器１４に保持された検体を調整槽１５に分注し、これを混合することにより試料が調整される。サンプリング装置Ｘはさらに、洗浄液ボトル１６に保持された洗浄液を用いてサンプリングノズル１２を洗浄するとともに、洗浄後の洗浄液や分析後の試料を廃棄槽１７に廃棄することができる。配管１０の途中には、圧力検知装置２が配置されている。この圧力検知装置２は、配管１０の内部における圧力変動を検知し、たとえば析出物による圧力増加や液漏れによる圧力低下を検出するために利用されるものである。
【００１９】
圧力検知装置２は、図２ないし図６に示したように、ベース部材３、可動部材４、チューブ５、検知機構６および調整機構７を備えている。
【００２０】
ベース部材３は、図３によく表れているように、溝部３０、一対の係合片３１および雌ネジ部３２を有している。溝部３０は、チューブ５を収容するためのものであり、係合片３１と雌ネジ部３２との間に設けられている。各係合片３１は、後述する可動部材４の係合片４１を係合するためのものである。雌ネジ部３２は、調整機構７を構築するためのものであり、螺旋溝を有している。このようなベース部材３は、たとえば樹脂成形やダイキャスト成形により形成することができる。
【００２１】
可動部材４は、図４ないし図９に示したようにベース部材３に対して回動可能なものであり、ベース部材３を覆うよう、かつチューブ５を押圧するようにして配置されている。この可動部材４は、図３によく表れているように本体部４０、一対の係合片４１、取付片４２および被検知部４３を有している。
【００２２】
本体部４０には、図３および図４に示したように、貫通孔４４および押圧部４５が設けられている。この貫通孔４４は、調整機構７を構築するためのものである。押圧部４５は、チューブ５と接触する部分であり、ベース部材３の溝部３０の直上に設定されている。
【００２３】
係合片４１は、図５および図８によく表れているように、ベース部材３の係合片３１に係合させるためのものであり、断面Ｌ字となるように屈曲した形態を有している。係合片３１，４１の係合部分は、可動部材４が回動する際の支点として機能する部分である。
【００２４】
取付片４２は、図３および図４に示したように、ネジＳを利用してベース部材３に対して可動部材４を固定するためのものであり、螺旋溝が形成された貫通孔４２ａを有している。取付片４２には、ネジＳが下方に突出した状態で固定されており、可動部材４が図４における右方向に必要以上に移動するのを抑制するように工夫されている。
【００２５】
被検知部４３は、検知機構６による検知対象部位となるものである。この被検知部４３は、連絡部４６とともに本体部４０から連続して延出するとともに、連絡部４６から下方に向けて延びている。
【００２６】
このような可動部材４は、たとえば金属板に対してプレス加工を施すことにより、あるいは樹脂成形により形成することができる。
【００２７】
チューブ５は、本体的には、円形の一様断面を有するものであり、内部圧力の変動により断面形状が変化するように構成されている。このチューブ５は、弾性を有する公知の種々の材料により形成することができ、大気圧下における径は、ベース部材３の溝部３０の深さよりも大きくなるように設定されている。したがって、チューブ５は、図４および図５によく表れているように、通常の組み付け状態においては、可動部材４により押圧されて断面が楕円形状を呈するようにベース部材３の溝部３０に収容されている。
【００２８】
チューブ５は、たとえば図１０（ａ）ないし（ｃ）に示したような状態で配管に対して接続される。図１０（ａ）には、圧力検知装置２が配管１０の途中に配置されるチューブ５の接続例を、図１０（ｂ）には、圧力検知装置２が配管１０に対して並列となるように配置されるチューブ５の接続例を、図１０（ｃ）には、圧力検知装置２が配管１０から分岐した状態となるチューブ５の接続例を示した。いずれの接続例においても、チューブ５の内部圧力は、配管１０の内部圧力と一致するようになされている。また、図１０（ａ）および（ｂ）に示した例では、チューブ５の両端部が配管１０に接続されているが、図１０（ｃ）に示した例ではチューブ５の一端部が配管１０に接続され、チューブ５の他端部が閉塞されている。
【００２９】
検知機構６は、図４ないし図９に示したように、光学的手法を利用して、可動部材４における被検知部４３が一定量以上変位したか否かを検知するためのものである。検知機構６は、支持ブロック６０を介してベース部材３に固定された第１および第２検知ブロック６１，６２を有している。第１および第２検知ブロック６１，６２は、図６に示したように、一定間隔隔てて互いに対向して配置されている。第１検知ブロック６１には、発光素子６３が保持されている。この発光素子６３は、発光面６３ａが第２検知ブロック６２に対面するように配置されている。一方、第２検知ブロック６２には受光素子６４が保持されている。この受光素子６４は、受光面６４ａが発光素子６３の発光面６３ａに対面するようにして保持されている。第１および第２検知ブロック６１、６２の間には、通常状態において発光素子６３からの光を遮るように、可動部材４の被検知部４３が位置している。その一方、図９に示したように、被検知部４３は、可動部材４が一定量以上変位した場合には、受光素子６４において発光素子６３からの光を受光できるように、上方に変位するように構成されている。したがって、検知機構６では、受光素子６４において一定量以上の光を受光できたか否かにより、可動部材４の被検知部４３が一定量以上変位したか否かを検出することができる。
【００３０】
調整機構７は、図４および図７に示したように、チューブ５に対して作用させる押圧力を調整することにより、チューブ５の内部圧力が変動した場合のチューブ５の変形量を規定するためのものである。すなわち、調整機構７は、チューブ５の内部圧力の変動に対する可動部材４における押圧部４５の変形量を規定することにより、チューブ５の内部圧力の変動に対する可動部材４の回動角度、ひいては被検知部４３の変位量を規定することができるように構成されている。この調整機構７は、ネジ７０およびコイルバネ７１を有している。調整機構７は、ベース部材３に可動部材４を積層し、ネジ山７０ａと可動部材４との間に座金７２およびコイルバネ７１を介在させた状態で、ネジ７０をベース部材３の雌ネジ部３２に螺合することにより構築されている。ネジ７０はさらに、ナット７３に螺合されており、ベース部材３に対するネジ７０の固定が確実化されている。したがって、ネジ７０を回転させてネジ山７０ａの高さ位置を選択することにより、チューブ５に対して作用させる押圧力、ひいては可動部材４に作用するコイルバネ７１からの弾反力の大きさを選択することができる。
【００３１】
チューブ５を収容するためのベース部材３の溝部３０は、係合片３１と調整機構７を構築するための雌ネジ部３２との間に設けられている。すなわち、チューブ５は、ベース部材３の係合片３１と可動部材４の係合片４１との係合部分（支点）と、調製調整７を構成するネジ７０と、の間に配置されているため、可動部材４に作用するコイルバネ７１の弾反力の大きさを選択することにより、チューブ５に作用させる押圧力を選択することができる。したがって、チューブ５の内部圧力が変化したときのチューブ５の変形量の程度、ひいては可動部材４における被検知部４３の変位量の程度を、調整機構７のネジ７０を利用して調整することができる。
【００３２】
次に、圧力検知装置２の動作について、図１に示したサンプリング装置Ｘに圧力検知装置２を組み込んで、配管１０の内部圧力の増加を検出する場合を例にとって説明する。なお、配管１０の内部圧力の増加は、たとえば配管１０の内部での析出物や外部から取り込んだ異物の付着などにより生じ得る。したがって、圧力検知装置２では、配管１０における内部圧力の増加を監視することにより、配管１０の内部に異常が生じている可能性があることを検出することができる。
【００３３】
図４ないし図６に示したように、圧力検知装置２は、配管１０（図１参照）の内部圧力の増加が一定値以下である場合には、可動部材４がベース部材３に密着した状態となるように調整されている。この状態では、可動部材４の被検知部４３は、検知機構６における発光素子６３からの光が受光素子６４において受光されるのを阻害するように、第１および第２ブロック６１，６２の間に位置している。
【００３４】
一方、配管１０の内部圧力が一定値以上増加した場合には、図７ないし図９に示したように、チューブ５の内部圧力も増加してチューブ５が膨らみ、可動部材４の押圧部４５が上方に変位する。このとき、可動部材４の全体は、係合片４１の部分を支点として回動し、可動部材４の被検知部４３も上方に変位する。被検知部４３は、押圧部４５よりも支点から離れた部位に存在するから、被検知部４３の変位量は、押圧部４５（チューブ５）の変位量に比べて大きくなる。すなわち、チューブ５の変位量が増幅された格好で、被検知部４３が変位する。したがって、チューブ５の変位量が小さくても、被検知部４３の変位を確認することにより、確実にチューブ５の変位を検知することができる。
【００３５】
上述したように、配管１０の内部圧力が一定値以下の場合には、被検知部４３は、発光素子６３からの光が受光素子６４において受光されるのを阻害するが、被検知部４３が上方に一定値以上変位した場合には、発光素子６３からの光が受光素子６４において受光される。したがって、受光素子６４での受光量を監視することにより、被検知部４３が一定値以上変位したこと、すなわちチューブ５の内部圧力ひいては配管１０の内部圧力が一定値以上増加したことを検出することができる。
【００３６】
圧力検知装置２では、配管１０の内部圧力がどの程度増加したときに可動部材４を回動させるかは、チューブ５に作用する力を調整すればよく、この調整は、上述したように、調整機構７のネジ７０を回転させるといった極めて簡易な作業により行うことができる。
【００３７】
圧力検知装置２は、従来の圧力センサに比べて構成が簡素であり、しかも安価かつ容易に製造することができる。したがって、サンプリング装置Ｘにおいては、安価な圧力検知装置２を採用することによって、さほど製造コストを増加させることなく、内部圧力が増加したことの検知を行うことができるようになる。
【００３８】
圧力検知装置２では、検知対象となる成分（配管１０の内部を移動する成分）がチューブ５の内部を流通するため、他の構成要素が検知対象成分と接触することはない。したがって、圧力検知装置２では、チューブ５以外の構成要素が検知対象物によって腐食したりすることはない。しかも、チューブ５は、適度な弾性を有していればよく、安価な材料により形成できるばかりか、仮にチューブが腐食したとしても、チューブを取り替えればよい。また、耐食性の高い樹脂材料を比較的安価に入手であるため、そのような材料によりチューブ５を形成すれば、安価かつ長期にわたってチューブ５の腐食を抑制することができる。
【００３９】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る圧力検知装置について、図１１および図１２を参照して説明する。
【００４０】
本実施の形態に係る圧力検知装置２′の基本的な構成は、先に説明した第１の実施の形態に係る圧力検知装置２（図２ないし図６参照）と同様であり、圧力検知装置２′は、ベース部材３′、可動部材４′およびチューブ５′を備えている。
【００４１】
ベース部材３′は、可動部材４′の回動を許容する貫通部３５′と、可動部材４′を回動自在に支持するための支持部３６′と、チューブ５′を保持するための溝部３７′と、を有している。
【００４２】
貫通部３５′は、ベース部材３′の略中央部に形成されており、図中の矢印Ｎ１方向に開放している。この開放部分には、互いに対面する第１および第２検知ブロック３７′，３８′が設けられている。第１検知ブロック３７′には、発光素子３９′が埋設されており、この発光素子３９′の発光面３９ａ′が第２検知ブロック３８′のほうを向いている。第２検知ブロック３８′には、受光素子（図示略）が埋設されており、図面上には表れていないが、この受光素子の受光面が発光素子３９′の発光面３９ａ′と対面している。したがって、発光素子３９′から発せられた光は、受光素子（図示略）において受光することができる。
【００４３】
支持部３６′は、貫通部３５′に対して図中の矢印Ｎ２方向側において隣接して設けられている。したがって、支持部３６′は、ベース部材３′の中央から、縁３Ａ′側に偏移した部位に設けられている。
【００４４】
溝部３７′は、支持部３６′と縁３Ａ′との間に設定されており、縁３Ａ′に沿って延びている。
【００４５】
可動部材４′は、一端部に設定された被検知部４３′と、チューブ５′と接触する押圧部４５′とを有している。
【００４６】
被検知部４３′は、ベース部材３′の第１および第２検知ブロック３７′，３８′の間に位置するように配置されている。この被検知部４３′は、チューブ５の内部圧力が一定値よりも小さい場合には、発光素子３９′からの光が受光素子（図示略）において受光されるのを妨げないように配置されている。
【００４７】
可動部材４′は、支持部３６′においてベース部材３′に支持されている。上述したように、ベース部材３′においては、チューブ５′を保持するための溝部３７′は、支持部３６′よりも縁３Ａ′よりの部位に設定されているとともに、支持部３６′は、ベース部材３′の中央よりも縁３Ａ′よりの部位に設けられている。すなわち、可動部材４′における押圧部４５′と支持部３６′までの距離に比べて、支持部３６′から被検知部４３′までの距離が大きくなるように構成されている。
【００４８】
圧力検知装置２′では、チューブ５′の内部圧力が一定値以上増加してチューブ５′が膨んだ場合には、可動部材４′の押圧部４５′が上方に変位する一方、被検知部４３′が下方に変位する。このとき、支持部３６′が被検知部４３′よりも押圧部４５′よりの部位に設けられているため、被検知部４３′の下方への変位量は、押圧部４５′の上方への変位量に比べて大きくなる。被検知部４３′が一定距離以上下方に変位した場合には、発光素子３９′から発せられた光が受光素子において受光されるのが阻害される。これにより、受光素子において受光量が減少するために、被検知部４３′が変位したこと、すなわちチューブ５′の内部圧力ひいては配管１０（図１参照）の内部圧力が一定値以上増加したことを検出することができる。
【００４９】
図１３に示したように、検知機構６″は、受光素子６４″において、発光素子６３″からの光を、被検知部４３″からの反射光として受光するように構成してもよい。
【００５０】
図１４（ａ）および（ｂ）に示したように、被検知部４３Ａは、光が照射され得る領域の幅寸法が連続的に変化するように構成してもよい。その場合には、検知機構においては、チューブが一定量以上変化したか否かではなく、チューブがどの程度変化したかを検知することができる。図１４（ｃ）に示したように、被検知部４３Ｂに、透光性あるいは反射率の異なる複数の領域４３ｂを設け、チューブの変位量に応じて、受光素子において受光される光の量が段階的に変化するように構成してもよい。
【００５１】
以上の実施の形態においては、チューブの変形量を増幅させて検知する場合を例にとって説明したが、チューブの変形量が比較的に大きい場合には、チューブの変形量を直接検知するように構成してもよい。チューブの変形量を直接検知する場合には、検知機構としては、たとえば図１５（ａ）および（ｂ）に示したような構成を採用することができる。検知機構６′では、チューブ５の内部が一定値以下の場合には、図１５（ａ）に示したように、発光素子６３からの光が遮られることなく受光素子６４において受光できる。一方、チューブ５の内部が一定値以上の場合には、図１５（ｂ）に示したようにチューブ５が膨張して、発光素子６３からの光のうち、少なくとも一部遮られ、受光素子６４において受光できる光量が小さくなる。したがって、検知機構６′における受光量の変化により、チューブ５の内部圧力の変化を検知することができる。
【００５２】
本発明の検知機構は、チューブの断面形状の変化を認識できればよく、チューブ、受光素子および発光素子のレイアウトは特に限定されない。チューブの変形量を検知するための検知機構は、光学的手法に限らず、たとえば機械式の検知センサを利用したものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るサンプリング装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る圧力検知装置の全体斜視図である。
【図３】図２に示した圧力検知装置の分解斜視図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】図２のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】圧力検知装置の動作を説明するための図４に相当する断面図である。
【図８】圧力検知装置の動作を説明するための図５に相当する断面図である。
【図９】圧力検知装置の動作を説明するための図６に相当する断面図である。
【図１０】配管に対する圧力検知装置（チューブ）の接続例を説明するための平面図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係る圧力検知装置の全体斜視図である。
【図１２】図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿う断面図である。
【図１３】検知機構の他の例を説明するための断面図である。
【図１４】被検知部の他の例を示す正面図である。
【図１５】チューブの変形量を直接検知する構成を説明するための要部断面図である。
【符号の説明】
Ｘ  サンプリング装置
１０  （サンプリング装置の）配管
１１  （サンプリング装置の）ポンプ
１２  （サンプリング装置の）サンプリングノズル
２  圧力検知装置
４  可動部材（可変位部材）
４３  被検知部（第２変位部）
４５  押圧部（第１変位部）
５，５′  チューブ（圧力応答管）
６  検知機構（変位検出手段）
６′  検知機構（検出手段）
６３  発光素子（変位検出手段の発光部）
６４  受光素子（変位検出手段の受光部）
７  調整機構（調整手段）
【図１】
2004251749.tif 000003
【図２】
2004251749.tif 000004
【図３】
2004251749.tif 000005
【図４】
2004251749.tif 000006
【図５】
2004251749.tif 000007
【図６】
2004251749.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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