(57)【要約】【課題】可動部材を有する液体吐出ヘッドにおいて、高密度に液流路を配列した場合にも、各液流路に十分な液を供給でき、かつ製造歩留まりがよく高耐久性の液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口７、複数の液流路３、隣接する液流路を分割する流路隔壁、液体に気泡を発生させる発熱体４を備えた素子基板１、自由端８ａが発熱体４に対向するように配置される可動部材８、可動部材８の変位を規制する先端規制部１２ａおよび撓み規制部１２ｂを有し、気泡発生時に生じる圧力によって液体を吐出口７から吐出させる。その際、可動部材８の可動部が変位し、液流路３はその上流側と実質上遮断される。撓み規制部１２ｂは、流路隔壁間に接続して設けられているので、流路隔壁の剛性が大きくなり、隣接液流路間の干渉を小さくし、安定した液吐出が可能となる。【選択図】        図１
2004299280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口と、
該吐出口に連通し前記液体を供給する液流路と、
隣接する前記液流路を分割する流路隔壁と、
前記液流路に充填された前記液体に気泡を発生させる発熱体が備えられた素子基板と、
該素子基板上に固定された固定部と、前記吐出口側を自由端とし、前記発熱体に対向する位置に前記素子基板との間に間隙を介して配置されている可動部とを有する可動部材と、
該可動部材の変位量を規制する先端規制部材と、
該先端規制部材から離間した位置に配置されている少なくとも１つの撓み規制部材とを有し、
前記気泡の発生によって生じる圧力によって前記液体を前記吐出口から吐出させ、その際前記可動部材の前記可動部が変位する液体吐出ヘッドであって、
前記撓み規制部材は、隣接する前記流路隔壁間を横断して前記流路隔壁に接続して設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記先端規制部材と前記撓み規制部材との間隔、あるいは前記撓み規制部材間の間隔、あるいは前記撓み規制部材と前記可動部材の固定部との間隔は前記液流路の幅よりも大であることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記撓み規制部材の少なくとも１つは、複数の前記流路隔壁間に連続的に接続して設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留する液体容器とを有することを特徴とする液体吐出ヘッドカートリッジ。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドあるいは請求項４記載の液体吐出ヘッドカートリッジと、前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を付着させる被記録媒体を相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドあるいは請求項４記載の液体吐出ヘッドカートリッジと、該液滴吐出ヘッドから吐出されたインクを付着させる被記録媒体を相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱エネルギーを液体に作用させて気泡を発生させることによって液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドカートリッジ、液体吐出装置およびインクジェット記録装置に関し、さらに詳しくは、液流路の剛性を大きくすることによって、隣接する流路間の干渉がなく、安定した液吐出を行うことができる液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドカートリッジ、液体吐出装置およびインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
また、本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対して記録を行うプリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる液体吐出ヘッドおよびその応用装置に関する発明である。なお、本発明における「記録」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を被記録媒体に付与することをも意味するものである。
【０００３】
【従来の技術】
従来、プリンタ等の記録装置において、インク流路中の液体インクに熱等のエネルギーを与えて気泡を発生させ、それに伴う急峻な体積変化に基づく作用力によって吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着させて画像形成を行なうインクジェット記録方法、いわゆるバブルインクジェット記録方法が知られている。このバブルインクジェット記録方法を用いる記録装置には、米国特許第４，７２３，１２９号等に開示されているように、インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に連通する流路と、流路内に配されたインクを吐出するためのエネルギー発生手段としての電気熱変換体が一般的に使用される。
【０００４】
このような記録方法によれば、品位の高い画像を高速、低騒音で記録することができるとともに、この記録方法を行う記録ヘッドではインクを吐出するための吐出口を高密度に配置することができるため、小型の装置で高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得ることができるという多くの優れた点を有している。このため、このバブルインクジェット記録方法は近年、プリンタ、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利用されており、さらに捺染装置などの産業用システムにまで利用されるようになってきている。
【０００５】
このように、バブルインクジェット技術が多方面の製品に利用されるに従って様々な要求が高まっており、例えば、高画質な画像を得るために、インクの吐出スピードが速く、安定した気泡発生に基づく良好なインク吐出を行える液体吐出方法を与えるための駆動条件が提案されたり、また高速記録の観点から、吐出された液体の液流路内への充填（リフィル）速度の速い液体吐出ヘッドを得るために流路形状を改良したものも提案されている。
【０００６】
このうち、ノズル内において気泡を発生させ、この気泡成長に伴い液体を吐出させるヘッドにおいて、吐出口とは反対方向への気泡成長およびこれによる液流が吐出エネルギー効率およびリフィル特性を低下させる要因として知られており、このような吐出エネルギー効率およびリフィル特性を向上させる構造の発明が特許文献１に提案されている。
【０００７】
特許文献１に開示された液体吐出ヘッドは、液流路と共通液体供給室との間にこれらを遮断する可動部材を設けたものである。可動部材を有する構成の液体吐出ヘッドでは、液体吐出の度に、液体の加熱発泡および消泡に伴って可動部材が変位と復帰を繰り返す。ただし、通常の液体吐出のための発泡よりも大きな気泡が発生した場合、可動部材が過度の変形を生じる恐れがある。通常は、流路は吐出口のメニスカス部分以外はほとんどすべて液体で満たされているが、液体吐出ヘッドの吸引回復処理を行った後などに、流路中の液体を排出し過ぎて流路中に液体で満たされていない空間が存在する場合がある。
【０００８】
この状態で、液体吐出のための発熱体の加熱が行われると、液体の発泡に伴い可動部材が変位して、可動部材の自由端（先端）が規制部により規制されて所望の位置で停止するが、可動部材の中間部（自由端と支点との間）は規制されておらず上方へ強く引き寄せられる。特に可動部材の上方に液体の存在しない空間がある状態では、液体の圧力もないため上流方向へ引っ張られる応力を大きく受け、上方（天板側）に凸の撓み変形を生じる。この撓み変形により可動部材にクラックや欠陥が発生してしまう恐れがある。さらに、この撓み変形が大きくなったり、度々繰り返されると、可動部材が破断する場合もある。
【０００９】
この問題に対し、特許文献２に開示された液体吐出ヘッド、特許文献３に開示された液体吐出ヘッドでは、可動部材の変形を抑制する変位規制部材を設けている。すなわち、特許文献２に開示された液体吐出ヘッドでは、可動部材の自由端部およびそれに連続する両側部で囲まれる領域で可動部材の変形を抑制している。また、特許文献３に開示された液体吐出ヘッドでは、可動部材の自由端部の先端規制部材のほかにも、可動部材の撓みを抑制する撓み規制部を設けている。
【００１０】
また、本出願人の出願に係る特許文献４に開示された静電型インクジェットヘッドにおいては、個別電極が形成された電極基板を貫通してインクを供給し、振動板の延長部分によって各液室へのインク供給口に可動部材（逆止弁）を形成している。
【００１１】
【特許文献１】
特開２００１−３８９０３号公報
【特許文献２】
特開２００１−２２５４７０号公報
【特許文献３】
特開２００２−１４４５７８号公報
【特許文献４】
特開２００１−１８３８５号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献２に開示された液体吐出ヘッドは、可動部材の自由端部およびそれに連続する両側部で囲まれる領域で可動部材の変形を抑制しているので、それぞれの液流路へ液体の流入する開口は可動部材よりも小さくなっている。近年、液体吐出ヘッドを用いたインクジェットプリンタは、高速化・高画質化が求められ、液流路密度は高くなっている。例えば、６００ｄｐｉで液流路を並べると、そのピッチは４２．３μｍとなる。液流路はそれらを仕切る流路側壁分だけ幅が狭くなる。可動部材は液流路よりも幅が狭い必要があるので、高密度に並べたヘッドでは可動部材の幅は非常に狭くなる。
【００１３】
図１７は、特許文献２に開示された液体吐出ヘッドを示す平断面図で、後述する本発明の実施例１を示す図３に対応する図である。
特許文献２に開示された液体吐出ヘッドでは、図１７に示すように液流路１０３へ液の流入する開口領域Ｓは、可動部材１０８の幅より小さくしなければならない。そのため、共通液体供給室から液体供給口１０５を介して各液流路１０３へ液を供給する部分の流体抵抗が非常に大きくなってしまい、高速印字のために高周波数駆動した場合には、液流路１０３への液の供給が追いつかなくなり、印字不良・不能となる不具合が生じる恐れがある。また、普通紙に滲みのない印字を行うには高粘度のインクが有効であるが、高粘度インクになるほど流体抵抗が大きくなり、なおさら問題となる。
【００１４】
図１８は、特許文献３に開示された液体吐出ヘッドの共通液体供給室を示す断面図である。
特許文献３に開示された液体吐出ヘッドでは、図１８（Ａ），（Ｂ）に示すように可動部材２１１の撓み規制部材２１２ａ，２１２ｂを共通液体供給室２０３の天井となる天板２０２に設けている。この構成においては、可動部材２１１の撓み規制部材２１２ａ，２１２ｂである柱を共通液体供給室２０３に液流路と同ピッチで設けている。共通液体供給室の液はこの柱（撓み規制部材２１２ａ）あるいは柱と柱（撓み規制部材２１２ｂ）と流路側壁２０７の隙間を介して各液流路へ供給されることになる。液流路を高密度にならべたものではこの柱の隙間が非常に狭くなるので、各液流路への液供給は十分行えなくなる恐れがある。また、撓み規制部材である柱は非常に細いものとなるので、ヘッド組立て中に破損して歩留りが低くなったり、あるいはヘッド駆動時に気泡の力により破損し、印字できなくなったりする恐れもある。
【００１５】
本発明の目的は、可動部材を有する液体吐出ヘッドにおいて、高密度に液流路を配列した場合にも、各液流路に十分な液を供給でき、製造歩留まりがよく高耐久性とすること、および前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出ヘッドカートリッジ、液体吐出装置及びインクジェット記録装置を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
前記した課題を解決するため、請求項１の発明は、液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通し前記液体を供給する液流路と、隣接する前記液流路を分割する流路隔壁と、前記液流路に充填された前記液体に気泡を発生させる発熱体が備えられた素子基板と、該素子基板上に固定された固定部と、前記吐出口側を自由端とし、前記発熱体に対向する位置に前記素子基板との間に間隙を介して配置されている可動部とを有する可動部材と、該可動部材の変位量を規制する先端規制部材と、該先端規制部材から離間した位置に配置されている少なくとも１つの撓み規制部材とを有し、前記気泡の発生によって生じる圧力によって前記液体を前記吐出口から吐出させ、その際前記可動部材の前記可動部が変位する液体吐出ヘッドであって、前記撓み規制部材は、隣接する前記流路隔壁間を横断して前記流路隔壁に接続して設けられていることを特徴とする。
【００１７】
請求項２の発明は、請求項１の液滴吐出ヘッドであって、前記先端規制部材と前記撓み規制部材との間隔、あるいは前記撓み規制部材間の間隔、あるいは前記撓み規制部材と前記可動部材の固定部との間隔は前記液流路の幅よりも大であることを特徴とする。
【００１８】
請求項３の発明は、請求項１または２の液体吐出ヘッドであって、前記撓み規制部材の少なくとも１つは、複数の前記流路隔壁間に連続的に接続して設けられていることを特徴とする。
【００１９】
請求項４の発明は、請求項１〜３の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留する液体容器とを有する液体吐出ヘッドカートリッジであることを特徴とする。
【００２０】
請求項５の発明は、請求項１〜３の液体吐出ヘッドあるいは請求項４の液体吐出ヘッドカートリッジと、前記液体吐出ヘッドから吐出された液体を付着させる被記録媒体を相対的に移動させる移動手段とを備えた液体吐出装置であることを特徴とする。
【００２１】
請求項６の発明は、請求項１〜３の液体吐出ヘッドあるいは請求項４の液体吐出ヘッドカートリッジと、該液滴吐出ヘッドから吐出されたインクを付着させる被記録媒体を相対的に移動させる移動手段とを備えたインクジェット記録装置であることを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図１〜図１６に示す実施例に基づいて説明する。
（実施例１）
図１は、本発明の実施例１による液体吐出ヘッドの１つの液流路を液流路方向に沿って断面した模式的側断面図、図２は図１のＸ−Ｘ’線で断面した断面図、図３は図１のＹ−Ｙ’線で断面した断面図である。
なお、本発明の説明で用いる「上流」「下流」とは、液体の供給源から気泡発生領域（又は可動部材）を経て、吐出口へ向かう液体の流れ方向に関して、またはこの構成上の方向に関しての表現として使用されている。また、気泡自体に関する「下流側」とは、気泡の中心に対して、上記流れ方向や上記構成上の方向に関する下流側、または発熱体の面積中心より下流側の領域で発生する気泡を意味する。
【００２３】
図１〜図３に示す複数液流路−共通液体供給室形態の液体吐出ヘッドでは、素子基板１と天板２とが複数の流路隔壁１０を介して積層状態で固着され、素子基板１と天板２との間には、一端が吐出口７と常に連通し他端が閉じられた液流路３が形成されている。この液流路３は１個の液体吐出ヘッドに多数設けられている。また、素子基板１には各々の液流路３に対し、液流路３に充填された液体に気泡を発生させる気泡発生手段としての電気熱変換素子等の発熱体４が配置されている。発熱体４と吐出液との接する面の近傍領域には、発熱体４が急速に加熱されて吐出液に発泡が生じる気泡発生領域１１が存在する。
【００２４】
多数の液流路３の各々は、液体を供給する大容積の共通液体供給室６に連通している。つまり、単一の共通液体供給室６から多数の液流路３に分岐した形状となっており、各液流路３と連通する吐出口７から吐出された液体に見合う量の液体をこの共通液体供給室６から受け取る。
【００２５】
共通液体供給室６と液流路３との間には、可動部材８、可動部材８の上方への変位を規制する先端規制部材１２ａ、撓み規制部材１２ｂが設けられている。先端規制部材１２ａは天板２の下面に接続されており、撓み規制部材１２ｂは流路隔壁１０と接続して、複数の液流路３および共通液体供給室６を横断するように設けられている。可動部材８は、一端が固定部材９に支持される片持ち梁状で、他端は素子基板１の発熱体４側に位置する自由端８ａであり、上下方向に移動可能である。可動部材８は素子基板１に配設された発熱体４のほぼ中央領域に位置するように設置され、初期状態においては素子基板１との間に隙間を保ちつつ素子基板１に略平行するように設置されている。
【００２６】
先端規制部材１２ａは、可動部材８の自由端８ａが先端規制部材１２ａに接触することで自由端８ａの上方への変位量を規制するものである。可動部材８の変位規制時（可動部材接触時）には、液流路３は、可動部材８および先端規制部材１２ａにより上流側と下流側が実質的に遮断される。また、固定部材９によって液流路３の吐出口７と反対側端が閉じられている。
液流路３の吐出口７は、素子基板１と天板２と吐出口７が形成されたオリフィスプレート１３が接合されることによって形成されている。
【００２７】
可動部材８は多数の可動部が一体的に形成されており、素子基板１の上流側位置に固定される固定部材９によって、片持ち梁状に支持されている。
ある開口を液体が通過するときの流体抵抗は、開口面積が同じ場合、細長い開口の方が大きくなる。例えば、四角形状の開口の場合、流体抵抗値は開口の長辺、短辺の３乗、に比例する。よって、短辺が小さくなると著しく流体抵抗が大きくなる。本発明の液滴吐出ヘッドでは、撓み規制部材１２ｂが複数の液流路３間および供給液体供給室６間を横断するように流路隔壁１０に接続して設けられている。そのため、共通液体供給室６から各液流路３へ流入する部分の幅を小さくすることなく、液流路の幅と同じだけ広くとることができる。その結果、高密度に液流路を並べた液体吐出ヘッドにおいても各液流路３への液流入時の流体抵抗を小さくすることができ、印字速度を上げるために高周波数駆動した場合にも、液供給を十分に行うことができる。
【００２８】
また、インクを被記録媒体に付着させるインクジェット記録装置において、普通紙に印字する場合、滲みのない画像を得るためには、例えば４ｃｐ以上の高粘度のインクを用いるのが有効となる。高粘度の液体は、低粘度の液体に比べ細い部分を通過するときの流体抵抗が大きくなる。本発明の液体吐出ヘッドによれば、高粘度インクを用いた場合にも、流体抵抗値を小さくすることができるので、普通紙への印字も滲みのない良好な画質を得ることができる。また、撓み規制部材１２ｂは流路隔壁１０間を接続しているため、流路隔壁１０の剛性が大きくなる。よって、隣り合う液流路間の干渉（クロストーク）を小さくすることができ、安定した液吐出を行うことができる。
【００２９】
また、撓み規制部材１２ｂは、細い柱状などのような壊れやすい構造ではないので、製造歩留りが高く、低コスト化が可能である。また、ヘッド駆動時にも気泡の力によって撓み規制部材１２ｂが壊れるといった不良も少なくなる。
【００３０】
また、液体の流体抵抗を小さくするには、前記したように開口の短辺を大きくするのが有効である。図３に示すように、開口の一方をなす液流路幅ａは、液流路３のピッチと流路隔壁１０の幅が決まれば一義的に決まり、大きくすることができない。よって、先端規制部材１２ａと撓み規制部材１２ｂで決まる開口幅ｂ１、あるいは撓み規制部材１２ｂと可動部材８の固定部材９で決まる開口幅ｂ２を液流路幅ａよりも大きくすることにより、流体抵抗値を小さくすることができる。
【００３１】
図４は、図２と異なる構成の液体吐出ヘッドを図１のＸ−Ｘ’線で断面した断面図である。
図５は、図３と異なる構成の液体吐出ヘッドを図１のＹ−Ｙ’線で断面した断面図である。
図５に示すように、撓み規制部材１２ｂは、複数の液流路３の流路隔壁１０に対して連続して設けるのが好ましい。図４のように、撓み規制部材１２ｂを各液流路３に個別に設けた場合よりも強度が得られ、製造歩留りがあがり、ヘッド駆動時における撓み規制部材１２ｂの破損による故障なども減少する。また、流路隔壁１０の剛性も大きくすることができ、クロストークの低減にも効果がある。
【００３２】
また、図２に示す液体吐出ヘッドでは、撓み規制部材１２ｂを１つ設けたが、図５に示すように、第２の撓み規制部材１２ｃを追加して、撓み規制部材を２つ設けた構成、あるいは必要に応じてさらに多数設けた構成とすることもできる。
【００３３】
図６（Ａ）〜（Ｃ）、図７（Ｄ）〜（Ｆ）は、図１〜図３に示した液体吐出ヘッドからの液体の吐出過程を説明する図である。
実施例１の液体吐出ヘッドでは、可動部材８の自由端８ａが発熱体４のほぼ中央領域に位置するように可動部材８が配設され、可動部材８の自由端８ａ上方であって、天板２の下面に先端規制部材１２ａが設けられ、発熱体４の上流側端部よりも上流側に撓み規制部材１２ｂが設けられている。先端規制部材１２ａは、可動部材８の自由端８ａに当接してその上方への移動を規制する。撓み規制部材１２ｂは、可動部材８の撓み変形（自由端８ａと支点との間の中間部が上流側に凸状になる変形）を規制する。
【００３４】
また、先端規制部材１２ａから下流側の液流路３の高さは急激に高くなる形状となっている。この構成により、気泡発生領域１１の下流側の気泡１４は、可動部材８が変位規制部材１２ａおよび撓み規制部材１２ｂによって規制された際にも十分な流路高さを有しているため、成長が阻害されることなく、液体を吐出口７向かってスムーズに向かわせることができる。さらに、吐出口７の下端から上端までの高さ方向での圧力バランスの不均一が少なくなる。したがって、良好な液体の吐出を行うことができる。
【００３５】
なお、実施例１の液体吐出ヘッドにおいては、気泡１４の下流側の部分と吐出口７との間は液流に対し真直な流路構造を保っている「直線的連通状態」となっている。これは、気泡１４の発生時に生じる圧力波の伝播方向とそれに伴う液体の流動方向と吐出方向とを直線的に一致させることで、後述の吐出滴１５の吐出方向や吐出速度等の吐出状態をきわめて高いレベルで安定化させるという理想状態を形成する。実施例１の液体吐出ヘッドでは、この理想状態を達成、または近似させるための一つの構成として、吐出口７と発熱体４、特に気泡１４の吐出口７側に影響力を持つ発熱体４の吐出口７側（下流側）とが直接直線で結ばれる構成とすればよく、これは、液流路３内の液体がない状態であれば、吐出口７の外側から見て発熱体４、特に発熱体４の下流側が観察することが可能な状態である。
【００３６】
図６（Ａ）は、発熱体４に電気エネルギー等のエネルギーが印加される前の状態であり、発熱体４が熱を発生する前の状態を示す。可動部材８は、後述するように、発熱体４の発熱によって発生する気泡１４に対し、この気泡１４の上流側半分に対面する領域に位置している。
【００３７】
図６（Ｂ）は、気泡発生領域１１内を満たす液体の一部が発熱体４によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡１４が発泡し始めた状態を示す。このとき、可動部材８の変位は気泡１４の体積変化より遅れて始まる。すなわち、膜沸騰による気泡１４の発生に基づく圧力波が液流路３内を伝播し、それに伴い液体は気泡発生領域１１の中央領域を境に下流側および上流側に移動し、上流側においては気泡１４の成長に伴う液の流れにより可動部材８が変位し始める。また、上流側への液体の移動は、液流路３の流路隔壁１０と可動部材８との間を通り共通液体供給室６側に向かう。この時点における先端規制部材１２ａと可動部材８との間のクリアランスは、可動部材８が変位するにつれ狭くなっていく。この状態で、吐出口７からは吐出滴１５が吐出され始める。
【００３８】
図６（Ｃ）は、気泡１４のさらなる成長により、変位した可動部材８の自由端８ａが先端規制部材１２ａに接触した状態を示す。
可動部材変位体積変化率ｖ２は、図６（Ｂ）に示す状態から図６（Ｃ）に示す状態である可動部材８が先端規制部材１２ａに接触する前、急激に低下する。これは、可動部材８が先端規制部材１２ａに接触する直前において、可動部材８と先端規制部材１２ａとの間の液体の流抵抗が急激に大きくなることによるものである。また、気泡体積変化率ｖ１も急激に低下する。
【００３９】
その後、可動部材８は先端規制部材１２ａにさらに接近し、接触する。そして、可動部材８が先端規制部材１２ａに接触すると、それ以上の上方への変位が規制されるため、上流方向への液体の移動もそこで大きく制限される。これに伴い気泡１４の上流側への成長も可動部材８で制限される。
【００４０】
通常発泡状態であれば、ここで可動部材８の上方への変位は規制されるが、流路中のインク量が少なくインクで満たされていない部分が（特に、可動部材８の上方に）存在する状態で加熱発泡すると、通常よりも大きな気泡が発生し、インクに過剰な力が加わる。このため、可動部材８は、さらに上流方向へ引っ張られる大きな応力を受け、上方（天板側）に向かって凸になるように撓み変形しようとする。仮に、このように撓み変形すると、可動部材８に過剰な応力が働いてクラックや欠陥が発生するおそれがあり、さらに変形が大きくなると、可動部材８が破断するという場合がある。
これに対し、実施例１の液体吐出ヘッドでは、発熱体４の上流側端部よりも上流側に撓み規制部材１２ｂが設けられているので、図７（Ｄ）に示すように、可動部材８が上方（天板側）に向かって凸になるような撓み変形は防止される。
【００４１】
撓み規制部材１２ｂは、可動部材８の上方への撓み変形規制を目的としており、先端規制部材１２ａのように流路を遮断する（仕切る）必要はないので、できるだけ流路抵抗が大きくならない（リフィルの妨げにならない）ような形状が望ましい。また、このとき気泡１４は吐出口７から大気に連通するようにしても良い。気泡１４を大気に連通させることにより、発熱体４や発熱体４上に設けられた保護膜への気泡１４の消泡によるキャビテーションの影響を小さくすることができる。
【００４２】
図７（Ｅ）は、前記した膜沸騰の後に気泡１４の内部の負圧が、液流路３内の下流側への液体の移動に打ち勝って、気泡１４の収縮が開始された状態を示す。気泡１４の収縮に伴い、可動部材８は下方変位するが、可動部材８自身が片持ち梁ばねの応力と前述した上方凸変形の応力を持っており、それにより下方変位する速度を高める。そして、これに伴う、共通液体供給室６と液流路３との間に形成された低流路抵抗領域である可動部材８の上流側での、液体の下流方向への流れは流路抵抗が小さいため、急速に大きな流れとなって液流路３へ流れ込む。
【００４３】
これらの動作で、共通液体供給室６側の液体は、液流路３内へと誘導される。液流路３内に導かれた液体は、そのまま先端規制部材１２ａと下方変位した可動部材８との間を通り、発熱体４の下流側に流れ込むと同時に、まだ消泡しきっていない気泡１４に対し消泡を加速するように作用する。この液体の流れは、消泡を助けたあと、吐出口７方向にさらに流れを作りメニスカスの復帰を助け、リフィル速度を向上する。
この段階で、吐出口７から出た吐出滴１５からなる液柱は、液滴となり外部へと飛翔する。
【００４４】
また、前記した可動部材８と先端規制部材１２ａとの間の部分を介した液流路３への流れ込みは、天板２側での流速を高めるため、この部分での微少泡などの残留も極めて少なく、吐出の安定性に寄与している。
さらに、消泡によるキャビテーション発生ポイントも気泡発生領域の下流側にずれるため、発熱体４に対するダメージが少なくなる。同時に、同現象によりこの領域での発熱体４へのこげの付着も少なくなるため、吐出安定性が向上する。
【００４５】
図７（Ｆ）は、気泡１４が完全に消泡したあと、可動部材８が初期状態から下方にオーバーシュートして変位した状態を示す。
この可動部材８のオーバーシュートは、可動部材８の剛性や使用する液体の粘度にもよるが、短い時間で減衰収束し、初期状態に戻る。
【００４６】
図８は、図１の液体吐出ヘッドの単位ヘッドを示す透視斜視図である。
図８を用いて、特に可動部材８の両側部から隆起する隆起気泡１６と、吐出口７での液体のメニスカスに関して詳細に説明する。
実施例１の液体吐出ヘッドでは、液流路３を構成する流路隔壁１０の壁面と可動部材８の両側部には僅かながらクリアランスが存在し、可動部材８のスムーズな変位を可能にしている。さらに、発熱体４による発泡の成長工程において、気泡１４は可動部材８を変位させるとともに、前記したクリアランスを介し可動部材８の上面側へ隆起して低流路抵抗領域３ａに若干侵入する。この侵入した隆起気泡１６は、可動部材８の背面（気泡発生領域１１と反対面）に回り込むことで、可動部材８のブレを抑え、吐出特性を安定化する。
【００４７】
さらに、気泡１４の消泡工程において、隆起気泡１６が低流路抵抗領域３ａから気泡発生領域１１への液流を促進させ、前述した吐出口７側からの高速なメニスカス引き込みと相まって、消泡をすみやかに完了させる。特に、隆起気泡１６が引き起こす液流によって、可動部材８や液流路３のコーナに気泡１４を滞留させることがほとんどない。
【００４８】
このように、前記構成の液体吐出ヘッドでは、気泡１４の発生によって吐出口７から液体が吐出された瞬間では、吐出滴１５は先端に球状部を持つ液柱に近い状態で吐出される。このことは従来の液体吐出ヘッドの構造でも同じであるが、実施例１の液体吐出ヘッドでは、気泡１４の成長工程によって可動部材８が変位し、この変位した可動部材８が先端規制部材１２ａに接触したとき、気泡発生領域１１を有する液流路３が吐出口７を除いて、実質的に閉じた空間が形成される。したがって、この状態で気泡１４を消泡すれば、消泡によって可動部材８が先端規制部材１２ａより離れるまでは上述の閉空間が保たれるため、気泡１４の消泡エネルギーのほとんどが吐出口７近傍の液体を上流方向へ移動させる力として働くこととなる。その結果、気泡１４の消泡開始直後においては、吐出口７からメニスカスが液流路３内に急速に引き込まれ、吐出口７の外側で吐出滴１５と繋がって液柱を形成している尾引き部分がメニスカスにより強い力ですばやく切り離される。
これにより、尾引き部分から形成されるサテライトドットが小さくなり、印字品位を向上させることができる。
【００４９】
さらに、尾引き部分がいつまでもメニスカスに引っ張られ続けないことで、吐出速度が低下せず、また吐出滴１５とサテライトドットとの距離も短くなるので、吐出滴１５の後方でいわゆるスリップストリーム現象によりサテライトドットが引き寄せられる。その結果、吐出滴１５とサテライトドットの合体も起こり得て、サテライトドットがほとんど無い液体吐出ヘッドを提供することが可能である。
【００５０】
さらに、実施例１の液体吐出ヘッドは、可動部材８が、吐出口７に向かう液体の流れに関して上流方向に成長する気泡１４のみを抑制するために設けられている。より好ましくは、可動部材８の自由端８ａが気泡発生領域１１の実質中央部に位置している。この構成によれば、液体の吐出にとって直接関係しない、気泡成長による上流側へのバック波および液体の慣性力を抑えるとともに、気泡１４の下流側への成長成分を素直に吐出口７の方向に向けることが可能である。
【００５１】
図９は、図２の液体吐出ヘッドにおける撓み規制部材の２種類の変形例を示す断面図である。
図２に示す例では、可動部材８が設置されている高さより高い流路隔壁１０の上に撓み規制部材１２ｂを設けたが、図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、可動部材８が設置されている高さより低い高さの流路隔壁１０の場合、撓み規制部材１２ｂを嵩上げした構成にしても良い。また、図９（Ｂ）に示すように、撓み規制部材１２ｂの表面に液体の流れ方向に沿った溝を形成することにより、流路断面を大として流路抵抗をより低下することができる。
【００５２】
可動部材８の材料としては、窒化シリコンのほか、耐久性の高い、銀、ニッケル、金、鉄、チタン、アルミニウム、白金、タンタル、ステンレス、りん青銅などの金属およびその合金、または、アクリロニトリル、ブタジエン、スチレンなどのニトリル基を有する樹脂、ポリアミドなどのアミド基を有する樹脂、ポリカーボネイトなどのカルボキシル基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を持つ樹脂、ポリサルフォン等のスルホン基を持つ樹脂、そのほか液晶ポリマー等の樹脂およびその化合物、耐インク性の高い、金、タングステン、タンタル、ニッケル、ステンレス、チタンなどの金属およびその合金およびこれらを表面にコーティングして耐インク性を向上させたもの、若しくは、ポリアミドなどのアミド基を有する樹脂、ポリアセタールなどのアルデヒド基を持つ樹脂、ポリエーテルエーテルケトンなどのケトン基を有する樹脂、ポリイミドなどのイミド基を有する樹脂、フェノール樹脂などの水酸基を有する樹脂、ポリエチレンなどのエチル基を有する樹脂、ポリプロピレンなどのアルキル基を持つ樹脂、エポキシ樹脂などのエポキシ基を持つ樹脂、メラミン樹脂などのアミノ基を持つ樹脂、キシレン樹脂などのメチロール基を持つ樹脂およびその化合物、さらに二酸化珪素、チッ化珪素などのセラミックおよびその化合物が望ましい。
【００５３】
（実施例２）
図１０は、本発明の実施例２による液体吐出ヘッドの１つの液流路を液流路方向に沿って断面した模式的側断面図である。
素子基板１上には、前記した液流路３を構成する溝を設けた溝付き天板２が配されている。
素子基板１は、シリコン等の基体１８に絶縁および蓄熱を目的としたシリコン酸化膜またはチッ化シリコン膜１７を成膜し、その上に発熱体４を構成するハフニウムボライド（ＨｆＢ２）、チッ化タンタル（ＴａＮ）、タンタルアルミニウム（ＴａＡｌ）などの電気抵抗層１９（厚さ０．０１〜０．２μｍ）とアルミニウム等の配線電極２０（厚さ０．２〜１．０μｍ）を図１０のようにパターニングしている。この配線電極２０から電気抵抗層１９に電圧を印加し、電気抵抗層１９に電流を流し発熱させる。配線電極２０間の電気抵抗層１９上には、酸化シリコンやチッ化シリコン等の保護膜２１を厚さ０．１〜２．０μｍ形成し、さらにそのうえにタンタル等の耐キャビテーション層２２（厚さ０．１〜０．６μｍ）が成膜されており、インク等の各種の液体から電気抵抗層１９を保護している。
【００５４】
特に、気泡の発生、消泡の際に発生する圧力や衝撃波は非常に強く、堅くてもろい酸化膜の耐久性を著しく低下させるため、金属材料のタンタル（Ｔａ）等が耐キャビテーション層２２として用いられる。
また、液体、流路構成、抵抗材料の組み合わせにより、上述の電気抵抗層１９に保護膜２１を必要としない構成でもよい。
【００５５】
各実施形態においては、発熱体４として電気信号に応じて発熱する電気抵抗層１９で構成された発熱部を有するものを用いたが、これに限られることなく、吐出液を吐出させるのに十分な気泡を発泡液に生じさせるものであればよい。例えば、レーザ等の光を受けることで発熱するような光熱変換体や高周波を受けることで発熱するような発熱部を有する発熱体でもよい。
【００５６】
なお、前記した素子基板１には、前記した発熱部を構成する電気抵抗層１９とこの電気抵抗層１９に電気信号を供給するための配線電極２０で構成される発熱体４の他に、この発熱体４（電気熱変換素子）を選択的に駆動するためのトランジスタ、ダイオード、ラッチ、シフトレジスタ等の機能素子が一体的に半導体製造工程によって作り込まれていてもよい。
【００５７】
図１１は、図１０の液体吐出ヘッドの変形例を示す模式的側断面図である。
実施例２の液体吐出ヘッドは、変形例として図１１に示すように、可動部材８の固定部材９を用いずに、可動部材８の固定部を素子基板１に支持固定する構成とすることもできる。
【００５８】
（実施例３）
実施例１，２の液体吐出ヘッドは、エッジシュータタイプの液体吐出ヘッドの例であったが、サイドシュータタイプの液体吐出ヘッドとすることもできる。
図１２は、実施例３のサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドを液流路方向に沿って断面した模式的側断面図である。
実施例３のサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドは、２つの液流路を互いに突き合わせて、１つの液流路３としており、液流路３の部分の天板２に吐出口７が形成されている。
【００５９】
図１２（Ａ）は、発熱体４に電気エネルギーが印加され、発熱体４が熱を発生する前の状態を示している。
図１２（Ｂ）は、気泡発生領域１１内を満たす液体の一部が発熱体４によって加熱され、膜沸騰に伴う気泡１４が発泡し始めた状態を示す。このとき、可動部材８の変位は気泡１４の体積変化より遅れて始まる。この時点における先端規制部材１２ａと可動部材８との間のクリアランスは、可動部材８が変位するにつれ狭くなっていく。この状態で、吐出口７からは吐出滴１５が吐出され始める。
サイドシュータタイプでも前記したエッジシュータタイプと同様の効果を得ることができる。
【００６０】
（実施例４）
図１３は、実施例４の液体吐出ヘッドカートリッジを示す斜視図である。
実施例１〜３で説明したような液体吐出ヘッド３２と、液体吐出ヘッド３２に供給する液体を保持する液体容器３３とが一体化され、液体吐出ヘッドカートリッジ３１が形成される。なお、この液体容器３３には、液体消費後に液体を再充填することによって、液体吐出ヘッドカートリッジ３１を再使用する可能とすることができる。
【００６１】
（実施例５）
図１４は、実施例５のインクジェット記録装置を示す斜視図である。
実施例５のインクジェット記録装置は、実施例１〜３の液体吐出ヘッドを装着して適用することのできる液体吐出装置の一例である。液体吐出ヘッドカートリッジ４１は、実施例１〜３の液体吐出ヘッドと、その液体吐出ヘッドに供給される液体を保持する液体容器３３とを有する。液体吐出ヘッドカートリッジ４１は、駆動モータ４２の正逆回転に連動して駆動力伝達ギヤ４３および４４を介して回転するリードスクリュ４５の螺旋溝４６に係合するキャリッジ４７上に搭載されている。駆動モータ４２の動力によって、液体吐出ヘッドカートリッジ４１がキャリッジ４７ともとにガイド４８に沿って矢印ａおよびｂの方向に往復移動される。
【００６２】
インクジェット記録装置４０には、液体吐出ヘッドカートリッジ４１から吐出されたインク等の液体を受ける被記録媒体としてのプリント用紙Ｐを搬送する被記録媒体搬送手段（不図示）が備えられている。被記録媒体搬送手段によってプラテン４９上を搬送されるプリント用紙Ｐの紙押さえ板５０は、キャリッジ４７の移動方向にわたってプリント用紙Ｐをプラテン４９に対して押圧する。
【００６３】
リードスクリュ４５の一端の近傍には、フォトカプラ５１，５２が配設されている。フォトカプラ５１，５２は、キャリッジ４７のレバー４７ａの、フォトカプラ５１，５２の領域での存在を確認して駆動モータ４２の回転方向の切り換え等を行うためのホームポジション検知手段である。プラテン４９の一端の近傍には、液体吐出ヘッドカートリッジ４１の吐出口のある前面を覆うキャップ部材５４を支持する支持部材５３が備えられている。また、液体吐出ヘッドカートリッジ４１から空吐出等されてキャップ部材５４の内部に溜まったインクを吸引するインク吸引手段５５が備えられている。このインク吸引手段５５によりキャップ部材５４の開口部を介して液体吐出ヘッドカートリッジ４１の吸引回復が行われる。
【００６４】
インクジェット記録装置４０には本体支持体５９が備えられている。この本体支持体５９には、移動部材５８が前後方向、すなわちキャリッジ４７の移動方向に対して直角な方向に移動可能に支持されている。移動部材５８には、クリーニングブレード５７が取り付けられている。クリーニングブレード５７はこの形態に限らず、他の形態の公知のクリーニングブレードであってもよい。さらに、インク吸引手段５５による吸引回復操作にあたって、吸引を開始するためのレバー６０が備えられており、レバー６０は、キャリッジ４７と係合するカム６１の移動に伴って移動し、駆動モータ４２からの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達手段で移動制御される。液体吐出ヘッドカートリッジ４１に設けられた発熱体に信号を付与したり、前述した各機構の駆動制御を司ったりするインクジェット記録制御部は記録装置本体側に設けられており、図１４では示されていない。
【００６５】
前記構成を有するインクジェット記録装置４０では、被記録媒体搬送手段によりプラテン４９上を搬送されるプリント用紙Ｐに対して、液体吐出ヘッドカートリッジ４１がプリント用紙Ｐの全幅にわたって往復移動する。この移動時に駆動信号供給手段（不図示）から液体吐出ヘッドカートリッジ４１に駆動信号が供給されると、この信号に応じて液体吐出ヘッド部から被記録媒体に対してインク（記録液体）が吐出され、記録が行われる。
【００６６】
図１５は、本発明の液体吐出装置によりインクジェット式記録を行なうための記録装置全体のブロック図である。
記録装置は、ホストコンピュータ７０より印字情報を制御信号として受信する。印字情報は、記録装置内部の入出力インターフェイス７１に一時保存されると同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、ヘッド駆動信号供給手段を兼ねるＣＰＵ（中央処理装置）７２に入力される。ＣＰＵ７２は、ＲＯＭ（リード・オンリー・メモリ）７３に保存されている制御プログラムに基づき、ＣＰＵ７２に入力されたデータをＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）７４等の周辺ユニットを用いて処理し、印字するデータ（画像データ）に変換する。
【００６７】
また、ＣＰＵ７２は前記画像データを記録用紙上の適当な位置に記録するために、画像データに同期して記録用紙および液体吐出ヘッドカートリッジ４１を搭載したキャリッジ４７を移動する駆動用モータ４２を駆動するための駆動データを作る。画像データおよびモータ駆動データは、各々ヘッドドライバ７７と、モータドライバ７５を介し、液体吐出ヘッドカートリッジ４１および駆動用モータ４２に伝達され、それぞれ制御されたタイミングで駆動され画像を形成する。
【００６８】
このような記録装置に用いられ、インク等の液体の付与が行われる被記録媒体としては、各種の紙やＯＨＰシート、コンパクトディスクや装飾板等に用いられるプラスチック材、布帛、アルミニウムや銅などの金属材、牛皮、豚皮、人工皮革などの皮革材、木、合板などの木材、竹材、タイルなどのセラミックス材、スポンジなどの三次元構造体などを対象とすることができる。
【００６９】
また、この記録装置として、各種の紙やＯＨＰシートなどに対して記録を行うプリンタ装置、コンパクトディスクなどのプラスチック材に記録を行うプラスチック用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、皮革に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木材用記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミックス用記録装置、スポンジなどの三次元網状構造体に対して記録を行う記録装置、または布帛に記録を行う捺染装置などをも含むものである。
また、これらの液体吐出装置に用いる吐出液としては、それぞれの被記録媒体や記録条件に合わせた液体を用いればよい。
【００７０】
（実施例６）
図１６は、実施例６の液体吐出装置を示す斜視図である。
実施例６の液体吐出装置は、被記録媒体８０の記録可能領域の全幅にわたって複数の吐出口が配された、いわゆるフルラインヘッド８１を有している。フルラインヘッド８１は、搬送ドラム８２による、被記録媒体８０の搬送経路上に、搬送経路を横切るように配置されており、被記録媒体８０の記録可能領域の全幅に一括して記録を行うことができる。
【００７１】
フルライン型インクジェット記録装置では、薄い紙や普通紙などでは、インクの浸透により紙が膨潤し皺が発生する、いわゆるコックリング現象により紙がヘッドに接触するといった問題が生じやすい。その場合、高粘度インクを用いて、紙への浸透をおさえてコックリングを起きづらくすることができる。また、フルライン型インクジェット記録装置では、一度のスキャンで印字する必要があるので、それに用いる記録ヘッドは高密度にノズルや液流路を並べたものを用いる必要がある。本発明の液滴吐出ヘッドによれば、高密度に液流路を並べ、かつ高粘度のインクにも対応できるため、フルライン型記録ヘッドあるいはフルライン型装置において特に有効である。
【００７２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば次のような効果を奏する。
請求項１の発明によれば、撓み規制部材が流路隔壁に接続して設けられているので、高密度に液流路を並べた液体吐出ヘッドにおいても各液流路への液流入時の流体抵抗を小さくすることができ、印写速度を上げるために高周波数で駆動した場合にも、液供給を十分に行うことができる。また、撓み規制部材は、流路隔壁間を接続しているため、流路隔壁の剛性が大きくなる。したがって、隣り合う液流路間の干渉（クロストーク）を小さくすることができ、安定した液吐出を行うことができる。また、撓み規制部材は、細い柱状などのような壊れやすい構造ではないので、製造歩留りが高く低コスト化が可能である。また、液体吐出ヘッドの駆動時にも気泡の力によって撓み規制部が壊れるといった不良も少なくすることができる。
【００７３】
請求項２の発明によれば、先端規制部材と撓み規制部材との間隔、あるいは撓み規制部材間の間隔、あるいは撓み規制部材と可動部材の固定部との間隔を液流路の幅よりも大きくするので、先端規制部材と撓み規制部材との間隔、あるいは撓み規制部材間の間隔、あるいは撓み規制部材と可動板の固定部で決まる間隔を液流路幅よりも大きくすることにより、流体抵抗値を小さくすることができる。
【００７４】
請求項３の発明によれば、撓み規制部材の少なくとも１つは、複数の前記流路隔壁間に連続的に接続して設けられているので、撓み規制部材を各液流路に個別に設けた場合よりも大きな強度が得られ、製造歩留りがあがり、また液体吐出ヘッドの駆動時における撓み規制部材の破損による故障なども減少する。また、流路隔壁の剛性も大きくすることができ、クロストークを低減することができる。
【００７５】
請求項４の発明によれば、請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留する液体容器とを有するヘッドカートリッジであるので、製造歩留りが高く低コスト化が可能である。また、隣り合う液流路間の干渉（クロストーク）を小さくすることができ、安定した液吐出を行うことができる。
【００７６】
請求項５の発明によれば、請求項１〜３記載の液体吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドから吐出された液体を付着させる被記録媒体を相対的に移動させる移動手段とを備えた液体吐出装置であるので、粘性の高い液体を用いた場合にも安定して高周波数で液吐出が可能で、液の粘性自由度が大きく、高速な液体吐出を行うことができる。
【００７７】
請求項６の発明によれば、請求項１〜３記載の液体吐出ヘッドあるいは請求項４のヘッドカートリッジと、該液滴吐出ヘッドから吐出されたインクを付着させる被記録媒体を相対的に移動させる移動手段とを備えたインクジェット記録装置であるので、高粘度インクを用いた場合にも、流体抵抗値を小さくすることができ、普通紙への印字も滲みのない良好な画質を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１による液体吐出ヘッドの１つの液流路を液流路方向に沿って断面した模式的側断面図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ’線で断面した断面図である。
【図３】図１のＹ−Ｙ’線で断面した断面図である。
【図４】図２と異なる構成の液体吐出ヘッドを図１のＸ−Ｘ’線で断面した断面図である。
【図５】図３と異なる構成の液体吐出ヘッドを図１のＹ−Ｙ’線で断面した断面図である。
【図６】図１〜図３に示した液体吐出ヘッドからの液体の吐出過程を説明する図である。
【図７】図１〜図３に示した液体吐出ヘッドからの液体の吐出過程を説明する図である。
【図８】図１の液体吐出ヘッドの単位ヘッドを示す透視斜視図である。
【図９】図２の液体吐出ヘッドにおける撓み規制部材の２種類の変形例を示す断面図である。
【図１０】実施例２による液体吐出ヘッドの１つの液流路を液流路方向に沿って断面した模式的側断面図である。
【図１１】図１０の液体吐出ヘッドの変形例を示す模式的側断面図である。
【図１２】実施例３のサイドシュータタイプの液体吐出ヘッドを液流路方向に沿って断面した模式的側断面図である。
【図１３】実施例４の液体吐出ヘッドカートリッジを示す斜視図である。
【図１４】実施例５のインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図１５】本発明の液体吐出装置によりインクジェット式記録を行なうための記録装置全体のブロック図である。
【図１６】実施例６の液体吐出装置を示す斜視図である。
【図１７】特許文献２に開示された液体吐出ヘッドを示す平断面図で、後述する本発明の実施例１を示す図３に対応する図である。
【図１８】特許文献３に開示された液体吐出ヘッドの共通液体供給室を示す断面図である。
【符号の説明】
１…素子基板、２…天板、３…液流路、４…発熱体、６…共通液体供給室、７…吐出口、８…可動部材、８ａ…自由端、９…固定部材、１０…流路隔壁、１１…気泡発生領域、１２ａ…先端規制部材、１２ｂ…撓み規制部材、１２ｃ…第２の撓み規制部材、１３…オリフィスプレート、１４…気泡、１５…吐出滴、１６…隆起気泡、１７…シリコン酸化膜（チッ化シリコン膜）、１８…シリコン基体、１９…電気抵抗層、２０…配線電極、２１…保護膜、２２…耐キャビテーション層、３１…液体吐出ヘッドカートリッジ、３２…液体吐出ヘッド、３３…液体容器、４０…インクジェット記録装置、４１…液体吐出ヘッドカートリッジ、４２…駆動用モータ、４５…リードスクリュウ、４７…キャリッジ、４８…ガイド、４９…プラテン、５４…キャップ部材、５５…インク吸引手段、７０…ホストコンピュータ、７１…入出力インターフェイス、７２…ＣＰＵ、７３…ＲＯＭ、７４…ＲＡＭ、７５…モータドライバ、７７…ヘッドドライバ、８０…被記録媒体、８１…フルラインヘッド、８２…搬送ドラム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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