(57)【要約】【課題】本発明は、天井搬送機構と搬送物の受け渡し可能なリフタを設けることにより、製造設備に設けられるストッカの数及び工程内搬送機構の数を低減することのできる製造設備の搬送システムを提供することを課題とする。【解決手段】天井搬送機構ＭＣとストッカ１との間に、コンベア３とステーションリフタ６とを有するカセットステーション１Ａを設ける。コンベア３は、ストッカクレーン２とステーションリフタ６との両方との間でカセットの受け渡しができるように構成される。【選択図】        図３
2004304056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
工程間搬送機構により搬送されてきた搬送物を上下に複数の列に配置された複数の棚に保管するストッカと、
該複数の棚の各々に対して該搬送物を移送するために、該ストッカ内で上下及び該棚の列に沿って移動可能な第１の工程内搬送機構と、
整列して配置されて搬送物を処理するための複数の装置に沿って設けられ、該装置に対して搬送物を移送するための第２の工程内搬送機構と、
前記工程間搬送機構と前記ストッカとの間に設けられた移載機構と
を有する製造設備の搬送システムであって、
前記移載機構は、前記工程間搬送機構との間で搬送物の受け渡しが可能に構成された水平移送機構と、搬送物を上下に移送可能な昇降機構とを有し、
前記水平移送機構は、前記第１の工程内搬送機構と前記昇降機構との両方との間で搬送物の受け渡しが可能に構成されたことを特徴とする製造設備の搬送システム。
【請求項２】
請求項１記載の製造設備の搬送システムであって、
前記移載機構は搬送物を一時的に保管するための保管場所を有し、前記昇降機構により搬送物を該保管場所に移送可能に構成したことを特徴とする製造設備の搬送システム。
【請求項３】
請求項１又は２記載の製造設備の搬送システムであって、
前記工程間搬送機構は天井搬送機構又は床下搬送機構であり、前記第１の工程内搬送機構はストッカクレーンであり、前記第２の工程内搬送機構は軌道搬送機構であり、前記水平移送機構は前記工程間搬送機構と前記クレーンストッカとの間に設けられたコンベアであり、前記昇降機構は前記コンベアとの間で搬送物の受け渡しが可能なリフタである、ことを特徴とする製造設備の搬送システム。
【請求項４】
請求項３記載の製造設備の搬送システムであって、
前記コンベアは、前記工程間搬送システムとの間で搬送物の受け渡しを行う第１の位置と、前記ストッカクレーンとの間で搬送物の受け渡しを行う第２の位置との間で水平に延在し、前記第１の位置と前記第２の位置の間に、前記リフタとの間で搬送物の受け渡しを行う第３の位置が設けられたことを特徴とする製造設備の搬送システム。
【請求項５】
工程間搬送機構により搬送されてきた搬送物を保管するストッカと、
該複数の棚の各々に対して該搬送物を移送するために、該ストッカ内で移動可能な第１の工程内搬送機構と、
整列して配置されて搬送物を処理するための複数の装置に沿って設けられ、該装置に対して搬送物を移送するための第２の工程内搬送機構と、
を有する製造設備の搬送システムであって、
前記ストッカと前記第の工程内搬送機構との間に前記複数の装置の一部が配置され、前記ストッカと前記第の工程内搬送機構との間で搬送物を搬送する水平搬送機構が設けられたことを特徴とする製造設備の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は製造設備の搬送システムに係り、特にクリーンルーム内に設置される半導体製品の製造設備等の搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
多くの液晶表示装置の液晶パネル（特に薄膜トランジスタ基板：ＴＦＴ基板）や半導体製品の製造設備では、同種機能を有する装置群、またはこのような装置群を複数個組合せたさらに大きな装置群から構成されるジョブショップを用いた生産形態を採用している。このような一群の装置またはそれに設けられるローダー／アンローダー（カセットの搬入出ポートを有するカセットステーション）をパーテション等で仕切られた小部屋内に配置して、装置の群管理を行うことが一般的に行なわれている。この小部屋は全体の搬送系に対してベイと称される。
【０００３】
従来の生産ラインの構成として最も一般的なものは、中央にベイ（工程）間搬送のメイン通路を配置し、メイン通路の周りに各ベイ（工程）毎に１台のストッカを設けて、このストッカから各ベイ内の搬送を行う方式である。この場合、ストッカはベイ内およびベイ間の搬送に対するバッファとしての機能を果たす。
【０００４】
中央のベイ間搬送（メイン通路）に対して両側にベイを配置する方式を、一般に両側ベイ方式と称する。各ベイへのカセットの搬送は、通常各ループ内を一定方向に移動する搬送機にカセットを搭載して行われる。両側ベイ方式の特殊な場合として、中央のベイ間搬送のメイン通路に対し、片側だけにベイを配置する方式を、片側ベイ方式と称する。ベイ間搬送通路の長さが両側ベイ方式と同等であれば、ベイの長さは長くなり、ベイの数は少なくなる。
【０００５】
ストッカが、工程間やストッカ間の天井、または床下搬送と、ストッカの端部でカセットを取合う搬送ラインの構成において、このストッカと天井搬送の間のカセット取合いは、従来天井、または床下搬送からの荷降しポートをストッカ内に持ち、この荷降しポートから、ストッカクレーンとの受渡しポートまで、コンベアを敷設しストッカクレーンと受け渡す方法で行っていた。
【０００６】
しかし、上述の方法では、ストッカと天井搬送、及び工程内搬送との受渡し負荷が増加した場合、ストッカ台数を増やして対応する必要があり、ストッカ台数が増加してしまう。この問題を回避する方法として、１つのストッカに複数のクレーンを走らセル方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
また、ジョブショップ方式の生産ラインの構成方法として、貫通ベイ方式と称する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。この方式では中央のベイ間搬送のメイン通路に対して、ベイの副搬送路が交差する構成となっている。この方式ではベイの数が少なく、工程間のメイン搬送からベイの奥までの距離が短いという利点がある。
【０００８】
【特許文献１】
特開平７−１７９２９３号公報
【０００９】
【特許文献２】
米国特許第６，０８９，８１１号明細書
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述の１つのストッカに複数のクレーンを走らせる方法では、クレーンの負荷は分散できるが、ストッカクレーンの制御方法が極めて複雑となり、制御ソフトのコスト増加と、メンテナンス工数が増加するという問題がある。さらに制御系の暴走などで大きな事故に繋がる可能性も否定できない。そして、２つのクレーンの間でカセットの受渡しも必要となる為、余分な搬送が発生してしまう。
【００１１】
また、工程内搬送台車がストッカと並行に搬送を行う生産ラインの構成において、ストッカが両側で、搬送台車と取合う場合は、台車が片側のみでしか装置とカセットを取合うことができず、多数の装置と取合う場合搬送台車の走行長が増加して、平均サイクルタイムが長くなり、搬送できる装置数が限定される。したがって搬送台車が１台の有軌道自動搬送台車（ＲＧＶ）の場合は、搬送ライン数が増加し、複数台車が走行可能な、無軌道搬送台車（ＡＧＶ）の場合は、搬送台車数が増加するという問題があった。
【００１２】
また、上述の貫通ベイ方式では、中央のベイ間搬送のメイン通路において、ループの復路が装置取合いの無い無駄な搬送になってしまう。また工程毎の装置の大きさの差が大きくなり、ベイ毎のアンバランスによりスペース効率が低下する。これを回避するため、中央にストッカを２列に並ベた中央ストッカ方式にすると、ストッカの長さが中途半端になり、必要な棚数の確保ができないという問題がある。
【００１３】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ストッカクレーンとステーションリフタの両方が天井搬送機構と取り合い可能とすることにより、製造設備に設けられるストッカの数を低減することのできる製造設備の搬送システムを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明によれば、工程間搬送機構により搬送されてきた搬送物を上下に複数の列に配置された複数の棚に保管するストッカと、該複数の棚の各々に対して該搬送物を移送するために、該ストッカ内で上下及び該棚の列に沿って移動可能な第１の工程内搬送機構と、整列して配置されて搬送物を処理するための複数の装置に沿って設けられ、該装置に対して搬送物を移送するための第２の工程内搬送機構と、前記工程間搬送機構と前記ストッカとの間に設けられた移載機構とを有する製造設備の搬送システムであって、前記移載機構は、前記工程間搬送機構との間で搬送物の受け渡しが可能に構成された水平移送機構と、搬送物を上下に移送可能な昇降機構とを有し、前記水平移送機構は、前記第１の工程内搬送機構と前記昇降機構との両方との間で搬送物の受け渡しが可能に構成されたことを特徴とする製造設備の搬送システムが提供される。
【００１５】
上述の発明によれば、工程間搬送機構から第２の工程内搬送機構に対して昇降機構を用いて搬送物を直接移送することができる。したがって、第１の工程内搬送機構の負荷を増大することなく、第２の工程内搬送機構により多くの搬送物を移送することができ、第２工程内搬送機構の稼動率を高めることができる。これにより、搬送システム全体の効率化が達成され、製造設備に配置される第２の工程内搬送機構の数及びストッカの数を低減することができる。
【００１６】
上述の発明において、前記移載機構は搬送物を一時的に保管するための保管場所を有し、前記昇降機構により搬送物を該保管場所に移送可能に構成してもよい。これにより、搬送物を保管場所に仮置きして工程間搬送機構との間の搬送タイミングのずれを吸収するためのバッファ機能を達成することができる。
【００１７】
本発明の一実施例において、前記工程間搬送機構は天井搬送機構又は床下搬送機構であり、前記第１の工程内搬送機構はストッカクレーンであり、前記第２の工程内搬送機構は軌道搬送機構であり、前記水平移送機構は前記工程間搬送機構と前記クレーンストッカとの間に設けられたコンベアであり、前記昇降機構は前記コンベアとの間で搬送物の受け渡しが可能なリフタであることが好ましい。
【００１８】
さらに、前記コンベアは、前記工程間搬送システムとの間で搬送物の受け渡しを行う第１の位置と、前記ストッカクレーンとの間で搬送物の受け渡しを行う第２の位置との間で水平に延在し、前記第１の位置と前記第２の位置の間に、前記リフタとの間で搬送物の受け渡しを行う第３の位置が設けられることが好ましい。
【００１９】
また、本発明によれば、工程間搬送機構により搬送されてきた搬送物を保管するストッカと、該複数の棚の各々に対して該搬送物を移送するために、該ストッカ内で移動可能な第１の工程内搬送機構と、整列して配置されて搬送物を処理するための複数の装置に沿って設けられ、該装置に対して搬送物を移送するための第２の工程内搬送機構と、を有する製造設備の搬送システムであって、前記ストッカと前記第の工程内搬送機構との間に前記複数の装置の一部が配置され、前記ストッカと前記第の工程内搬送機構との間で搬送物を搬送する水平搬送機構が設けられたことを特徴とする製造設備の搬送システムが提供される。
【００２０】
上述の発明によれば、第２の工程内搬送機構の両側に装置を配置することができるので、１つの第２の工程内搬送機構に対してより多くの装置を配置することができ、第２の工程内搬送機構の稼動率を高めることができ、第２の工程内搬送機構の数を削減することができる。
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面と共に説明する。
【００２１】
まず、本発明を適用する前の製造設備の配置構成について説明する。図１は製造設備の一例として液晶表示装置の製造設備の配置構成を示す図である。図１に示す製造設備では、液晶基板上に薄膜トランジスタを形成する工程が行われる。
【００２２】
図１中、成膜装置ｂ１〜ｂ４及びｃ１〜ｃ８は、２台のストッカＡ，Ｃに対して整列して配置されている。また、ストッカＡに沿って軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｂが設けられ、ストッカＣに沿って２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｃ１，Ｒｃ２が設けられている。フォトリソグラフィ装置ｄ１〜ｄ５，ｅ１〜ｅ５，ｇ１〜ｇ５は，夫々ストッカＤ，Ｅ，Ｇに沿って配列され、それらの間に軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｄ，Ｒｅ，Ｒｇが設けられている。
【００２３】
検査装置ｈ１〜ｈ６，ｉ１〜ｉ６は、２台のストッカＨ，Ｉに沿って設けられ、それらの間に軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｈ，Ｒｉが設けられている。エッチング装置ｊ１〜ｊ９，ｋ１〜ｋ９は、夫々ストッカＪ，Ｋに沿って配置される。エッチング装置ｊ１〜ｊ９とストッカＪとの間には、２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｊ１，Ｒｊ２が設けられ、エッチング装置ｋ１〜ｋ９とストッカＫとの間には、２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｊ１，Ｒｊ２が設けられている。
【００２４】
試験装置ｌ１〜ｌ１８はストッカＬに沿って配置され、それらの間に２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｌ１，Ｒｌ２が設けられている。
【００２５】
以上のストッカＡ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｇ，Ｈ，Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌは、その一端側で中央の天井搬送機構（ＬＩＭ）ＭＣに対して接続されており、天井搬送機構ＭＣと各ストッカ内に設けられた搬送用クレーンとの間で搬送物（液晶基板が収容されたカセット）の受け渡しが行われる。各ストッカからは、それに沿って設けられた軌道搬送機構（ＲＧＶ）を介して液晶基板が配送される。
【００２６】
図１に示す装置の配置構成では、中央の工程間搬送ループ（天井搬送機構ＭＣ）において、ループの復路を有効に利用できるため、工程毎の装置の大きさのアンバランスを、各工程に対するベイの数の割り当てで調整できる。またストッカを、ベイと並行に配置するため、ストッカの長さの制約が少なく、必要な棚数の確保が可能となる。
【００２７】
ここで、上述の天井搬送機構は工程間搬送機構を構成する。また、上述のストッカ内に設けられた搬送用クレーンは第１の工程内搬送機構を構成し、軌道搬送機構（ＲＧＶ）は第２の工程内搬送機構を構成する。
【００２８】
図２は図１における各ストッカと天井搬送機構との間での搬送物の受け渡し機構移載機構を示す図である。図２はストッカ１の内部を上方から見た図であり、中央の点線はストッカクレーン２の移動路を示している。図２に示す例では、通常稼動するストッカクレーン２の他に予備のストッカクレーン２Ａが端部に配置されている。なお、ストッカ１は図１におけるストッカを代表して示すものとする。
【００２９】
ストッカクレーン２と天井搬送機構との間の搬送物の受け渡しは、水平移送機構を構成する２台のコンベア３を介して行なわれる。コンベア３の一方はストッカ１への搬入側であり、他方は搬出側である。コンベア３とストッカクレーン２との間での搬送物の移載は移載位置４（第２の移載位置）において行われる。また、コンベア３と天井搬送機構ＭＣとの間での搬送物の移載は移載位置５（第１の移載位置）において行われる。
【００３０】
図３は図２に対応した図であり、本発明による移載機構を構成するカセットステーション１Ａが設けられたストッカを示す図である。図３に示す例では、予備クレーン２Ａを設けずに、予備クレーン２Ａの代わりに昇降機構を構成するステーションリフタ６を設けた構成である。
【００３１】
ステーションリフタ６は、搬送物（以下、カセットと称する）を昇降する機構であり、移載位置７（第３の移載位置）においてコンベア３との間でカセットの受け渡しを行うことができる。したがって、天井搬送機構ＭＣからコンベア３に移載されたカセットは、ストッカクレーン２とステーションリフタ６の両方に渡すことができる。また、反対に、ストッカクレーン２とステーションリフタ６の両方からコンベア３にカセットを渡すことができる。
【００３２】
図４は図３に示すカセットステーション１Ａを中央の天井搬送機構側からみた構成図である。ステーションリフタ６は垂直方向に搬送物（図中点線で示すカセット）を移動する昇降機構であり、カセットコンベア３から搬送物を貰い受け、コンベア３の下側に設けられた移載位置８に移送することができる。移載位置８に移送されたカセットは、ストッカ１に並行して設けられた軌道搬送機構（ＲＧＶ）のＲＧＶシャトル９に移載することができる。また、逆に、ＲＧＶシャトル９から移載位置８にカセットを移送することもできる。
【００３３】
したがって、ストッカクレーン２を用いずに、コンベア３とステーションリフタ６とを介してカセットを天井搬送機構ＭＣからＲＧＶシャトル９に移送することができる。また、逆に、コンベア３とステーションリフタ６とを介してカセットをＲＧＶシャトル９から天井搬送機構ＭＣに移送することができる。コンベア３とストッカクレーン２との間のカセットの受け渡しは、これまでどおりに移載位置４において行なうことができる。
【００３４】
すなわち、ストッカ１に一時的に保管する必要のないカセットについては、ステーションリフタ６を選択して直接ＲＧＶシャトル９に移送し、ストッカ１に保管するカセットはストッカクレーン９を選択してストッカ内の保管場所に移送する。これにより、天井搬送機構ＭＣから移送されたカセットを、カセットクレーン２を用いずにＲＧＶシャトル９に移送して、各装置まで搬送することができるのでストッカクレーン２の負荷を低減することができる。また、各装置から天井搬送機構ＭＣへのカセットの移送も、ストッカクレーン２とステーションリフタ６を選択的に用いることができ、ストッカクレーン２の負荷を低減することができる。
【００３５】
なお、移載位置８の上方に示すカセット保管位置１０は、カセットステーション１Ａにおいて一時的にカセットを退避させておくことのできる位置である。すなわち、ステーションリフタ６によりカセットをカセット保管位置１０に移動することができる。カセットをカセット保管位置１０に一時的に保管することにより、ストッカクレーン２や軌道搬送機構（ＲＧＶ）と天井搬送機構ＭＣとの間のカセットの受け渡しのタイミングのずれを調整するバファリング機能を達成することができる。
【００３６】
次に、ストッカ１のカセットステーション１ＡとＲＧＶシャトル９との間でカセットの受け渡しについて説明する。図５は図１に示すようにストッカ１の両側に軌道搬送機構を設けた例を示す。
【００３７】
図５において、ストッカ１の両側にＲＧＶシャトルの移動経路であるＲＧＶレーン１５が設けられる。ＲＶＧレーン１５は図１における軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｃ１，Ｒｃ２ｂ等に相当する。ＲＧＶレーン１５に沿って装置１６が整列して配置される。装置１６は、図１における成膜装置、フォトグラフィ装置、検査装置、エッチング装置、試験装置等に相当する。図５に示す構成では、ストッカ１の両側に夫々ＲＧＶレーン１５を配置し、その外側に装置１６を整列して配置している。
【００３８】
ここで、図５に示す構成を本発明により改善した構成例を図６に示す。図６に示す構成例では、ストッカ１の片側に装置１６が２列に配置され、装置の列の間に、ＲＧＶレーン１５が設けられる。したがって、ＲＧＶレーン１５がストッカ１から離れるので、それらの間に水平搬送機構を構成するＲＧＶ移載用コンベア１７が２台設けられる。一台はストッカ１からＲＧＶシャトル９への移載用であり、１台はＲＧＶシャトル９からストッカ１への移載用である。
【００３９】
図５に示す構成では、ＲＧＶシャトル９がストッカ１の搬送ポートに近接して停止して、ＲＧＶシャトル９の移載機構（ロボットアーム等）によりカセットを直接移載している。これに対して、図６に示す構成では、ストッカ１とＲＧＶシャトル９との間のカセットの移送は、ＲＧＶ移載用コンベア１７を介して行われる。ＲＧＶ移載用コンベア１７を追加することになるが、図５に示す構成では装置１６に対して軌道搬送機構（ＲＧＶ）を２つ設けているに対し、図６に示す構成では同数の装置１６に対して軌道搬送機構（ＲＧＶ）は一つであり、高価な軌道搬送機構（ＲＧＶ）を削減することができる。
【００４０】
図７は上述の図３に示すカセットステーション１Ａを有する構成と図６に示すＲＧＶ移載用コンベア１７とを組み込んだ製造設備の配置構成を示す図である。図７に示す例は、図１に示す製造設備の配置構成に本発明を適用して改善した例である。図７において、図１に示す構成部品と同じ部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００４１】
図７において、ストッカＣ，Ｄ，Ｈに対して、図３に示すカセットステーション１Ａが設けられている。また、ストッカＣ，Ｊ，Ｋ，Ｌに対して図６に示すＲＧＶ移載用コンベア１７が設けられている。これにより、図１における２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｃ１，Ｒｃ２が１つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｃとなり、２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｉ，Ｒｈが１つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｈとなり、２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｊ１，Ｒｊ２が１つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｊとなり、２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｋ１，Ｒｋ２が１つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｋとなり、２つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｌ１，Ｒｌ２が１つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）Ｒｌとなり、軌道搬送機構（ＲＧＶ）の数が１４台から９台に減少し、製造設備の設置面積の大きな削減が達成されている。また、図１におけるストッカＥ，Ｉが削減され、さらに設置面積が低減されている。また、これに伴い、製造設備コストも大幅に低減されている。
【００４２】
例えば、図１に示す製造設備のフットプリントは１８０ｍ×１４０ｍで設置面積は２５２００ｍ２であるのに対し、図７に示す製造設備のフットプリントは１６０×１４０ｍで設置面積は２２４００ｍ２に減少している。面積にすると約３０００ｍ２の削減となる。
【００４３】
以上の効果は、ステーションリフタ６を有するカセットステーション１Ａを設け、且つカセット移載コンベア１７を設けることにより、主に軌道搬送機構（ＲＧＶ）の稼動率を高めたことによるものである。
【００４４】
本発明を適用する前の製造設備と本発明を適用した後の製造設備におけるストッカクレーンと軌道搬送機構（ＲＧＶ）の稼動率を図８に示す。図８において、製造設備の配置構成が異なるＡ及びＢの２つの構成例について稼働率が示されている。図８からわかるように、本発明を適用した構成例Ａ及びＢの両方ともに、クレーンの平均稼働率を変えることなく、軌道搬送機構（ＲＧＶ）の平均稼動率を１２から１３％上げることができる。
【００４５】
図９は、図８における構成例Ａ，Ｂについて搬送システム全体への投資金額を算出した結果を示す図である。本発明を適用した場合には、構成例Ａ，Ｂともに約２億円の投資金額の削減が達成されていることがわかる。
【００４６】
以上説明したように、本発明によればベイを構成するストッカと軌道搬送機構（ＲＧＶ）及び中央の搬送機構との間の搬送物の受け渡し機構を改善して、製造設備の設置面積を低減することができ、搬送システム全体の投資金額を削減することができる。
【００４７】
なお、上述の実施例では、中央の工程間搬送機構として天井搬送機構について説明したが、これに限ることなく、床上移動クレーンのような搬送機構や、クリーンルームの床下を走行する搬送車による床下搬送機構等、様々な搬送機構を用いることができる。
【００４８】
また、図３に示すステーションリフタ６の代わりに、昇降と移動の両機能を有するクレーンを設けた小型のストッカを設けることとしてもよい。さらに、例えば、図２に示す予備クレーン２Ａをステーションリフタ６の代わりに用いることもできる。
【発明の効果】
上述の如く、本発明によれば、天井搬送機構から軌道搬送機構（ＲＧＶ）に対してステーションリフタを用いてカセットを直接移送することができる。したがって、ストッカクレーンの負荷を増大することなく、軌道搬送機構（ＲＧＶ）により多くの搬送物を移送することができ、軌道搬送機構（ＲＧＶ）の稼動率を高めることができる。これにより、搬送システム全体の効率化が達成され、製造設備に配置される軌道搬送機構（ＲＧＶ）の数及びストッカの数を低減することができる。また、上述の発明によれば、軌道搬送機構（ＲＧＶ）の両側に装置を配置することができるので、１つの軌道搬送機構（ＲＧＶ）に対してより多くの装置を配置することができ、軌道搬送機構（ＲＧＶ）稼動率を高めることができ、軌道搬送機構（ＲＧＶ）の数を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】製造設備の一例として液晶表示装置の製造設備の配置構成を示す図である。
【図２】図１における各ストッカと天井搬送機構との間での搬送物の受け渡し機構を示す図である。
【図３】本発明によるカセットステーションリフタが設けられたストッカを示す図である。
【図４】図３に示すカセットステーションを中央の天井搬送機構側からみた構成図である。
【図５】ストッカの両側に軌道搬送機構を設けた例を示す図である。
【図６】図５に示す構成を本発明により改善した構成例を示す図である。
【図７】図３に示すカセットステーションを有する構成と図６に示すＲＧＶ移載用コンベアとを組み込んだ製造設備の配置構成を示す図である。
【図８】本発明を適用する前の製造設備と本発明を適用した後の製造設備におけるストッカクレーンと軌道搬送機構（ＲＧＶ）の稼動率を示す図である。
【図９】図８における構成例について搬送システム全体への投資金額を算出した結果を示す図である。
【符号の説明】
１  ストッカ
１Ａ  カセットステーション
２  ストッカクレーン
２Ａ  予備クレーン
３  コンベア
４，５，７，８  移載位置
６  ステーションリフタ
９  ＲＧＶシャトル
１０  カセット保管位置
１５  ＲＧＶレーン
１６  装置
１７  ＲＧＶ移載用コンベア
【図１】
2004304056.tif 000003
【図２】
2004304056.tif 000004
【図３】
2004304056.tif 000005
【図４】
2004304056.tif 000006
【図５】
2004304056.tif 000007
【図６】
2004304056.tif 000008
【図７】
2004304056.tif 000009
【図８】
2004304056.tif 000010
【図９】
2004304056.tif 000011