(57)【要約】【課題】  液滴を確実に吐出することが可能な液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供する。【解決手段】  液滴吐出ヘッド１００は、溶液タンク１１０に貯えられた溶液を吐出するノズル１４０を有している。圧電素子１３０は、圧力室１２０内に貯えられる溶液を増圧あるいは減圧して、ノズル１４０から液柱を吐出あるいは吸引する。ノズル１４０近傍に設けられたレーザ２００および円筒レンズ２１０は、液柱にレーザビームを集光して、圧電素子１３０による液柱の液滴化を補助する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室に貯えられた液体を、前記圧力室への加圧によって、その吐出口から吐き出す吐出手段と、
前記加圧により前記吐出口から吐き出された液体に、その液滴化を補助するためのエネルギーを付与する液滴化補助手段と、
を具備することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記エネルギーは、光エネルギーであることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記光エネルギーは、コヒーレント光が有するエネルギーであることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記光エネルギーは、進行方向が互いに異なる複数の光が有するエネルギーであることを特徴とする請求項２あるいは３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記光エネルギーは、進行方向が互いに逆向きの複数の光が有するエネルギーであることを特徴とする請求項２あるいは３に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記エネルギーは熱エネルギーであることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記吐出口から液体の吐き出しが開始するのを検知する開始タイミング取得手段と、
前記開始タイミング取得手段により液体の吐き出し開始が検知されたタイミングから、予め定められた時間だけ経過したタイミングにて、前記液滴化の補助をするように前記液滴化補助手段を制御する制御手段と、
を具備することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記液体の吐出量が大なるほどに、前記時間を長くするように設定することを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記吐出口から吐き出された液体に光を照射する光出射手段と、
前記吐出口から吐き出された液体を介して、前記光出射手段と対面するとともに、前記光出射手段から出射された光を受光する受光手段とを更に有し、
前記開始タイミング取得手段は、前記受光手段による受光のレベルが変化したとき、前記液体の吐き出し開始を検知する
ことを特徴とする請求項７あるいは８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記液滴化補助手段は、前記液体の吐き出し開始の検知に用いられる光のエネルギーよりも大なるエネルギーの光を、前記光出射手段から出射させて液滴化を補助する
ことを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
圧力室に貯えられた液体を、前記圧力室への加圧によって、その吐出口から吐き出す吐出過程と、
前記加圧により前記吐出口から吐き出された液体に、その液滴化を補助するためのエネルギーを付与する液滴化補助過程と
を有することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１２】
前記エネルギーは、光エネルギーであることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出方法。
【請求項１３】
前記光エネルギーは、コヒーレント光が有するエネルギーであることを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出方法。
【請求項１４】
前記光エネルギーは、進行方向が互いに異なる複数の光によるエネルギーであることを特徴とする請求項１２あるいは１３に記載の液滴吐出方法。
【請求項１５】
前記光エネルギーは、進行方向が互いに逆向きの複数の光によるエネルギーであることを特徴とする請求項１２あるいは１３に記載の液滴吐出方法。
【請求項１６】
前記エネルギーは、熱エネルギーであることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出方法。
【請求項１７】
前記吐出口から液体の吐き出しが開始するのを検知する開始タイミング取得過程を更に有し、
前記吐き出し開始が検知されたタイミングから、予め定められた時間だけ経過したタイミングに、前記液滴化補助過程を開始する
ことを特徴とする請求項１１乃至１６のいずれか１に記載の液滴吐出方法。
【請求項１８】
前記液滴化補助過程において、前記液体の吐出量が大なるほどに、前記時間を長くするように設定することを特徴とする請求項１７に記載の液滴吐出方法。
【請求項１９】
前記開始タイミング取得過程において、
前記吐出口から吐き出された液体に光を照射する光出射手段から光を出射し、
前記吐き出された液体を介して前記光出射手段と対面する受光手段により、前記光出射手段から出射された光を受光し、
前記受光手段による受光のレベルが変化したとき、前記液体の吐き出し開始を検知する
ことを特徴とする請求項１７あるいは１８に記載の液滴吐出方法。
【請求項２０】
前記液滴化補助過程において、前記液体の吐き出し開始の検知に用いられる光のエネルギーよりも大なるエネルギーの光を、前記光出射手段から出射させて液滴化を補助する
ことを特徴とする請求項１９に記載の液滴吐出方法。
【請求項２１】
配線、カラーフィルタ、フォトレジスト、マイクロレンズアレイ、エレクトロ・ルミネセンス材料、生体物質、および、電気光学装置に含まれる素子のうちいずれか１のパターニングに用いることを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１に記載の液滴吐出方法。
【請求項２２】
請求項１１乃至２０のいずれかに記載の液滴吐出方法によりパターニングされた素子を有することを特徴とする電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出するための液滴吐出方法および液滴吐出装置ならびに当該液滴吐出方法により製造される電気光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
配線等のパターニング法のひとつとして、液滴吐出装置を用いたパターニング法が知られている。この種のパターニング法においては、銀粒子等の機能性材料を含有する液滴を、液滴吐出装置から回路基板に向けて吐出して、回路基板に機能性材料を定着させて配線を形成する（例えば、特許文献１参照）。このような方法によれば、設備構成が簡易なため、シャドウマスクを用いた蒸着法などと比較して、低コストでパターニングできるという利点がある。
【０００３】
図１２（ａ）から図１２（ｃ）は、従来における液滴吐出装置の吐出ヘッドから、１０ｐｌ（ピコリットル：１０−１５ｍ３）の液滴を吐出する様子を時系列的に示した図である。まず、図１２（ａ）に示すように、溶液タンク９００と連通状態にある圧力室９１０を形成する面９１２を、圧電素子９２０を用いて圧力室９１０外部に凸となるように変形させ、圧力室９１０内の溶液を減圧する。このように圧力室９１０内の溶液が減圧されると、溶液タンク９００から圧力室９１０に溶液が流入する。次いで、図１２（ｂ）に示すように、圧電素子９２０により、圧力室９１０の面９１２を圧力室９１０内部に凸となるように変形させ、圧力室９１０内の溶液を増圧し、連なった状態の溶液（以降「液柱」と称する）をノズル９３０から吐出させる。この状態の下、図１２（ｃ）に示すように、再び圧力室９１０内の溶液を減圧すると、液柱はノズル９３０を介して圧力室９１０に戻ろうとするが、慣性力の働きにより液柱にくびれが生じ、くびれ部分で液柱が分裂して、液滴が吐出ヘッドから吐出する。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１６４６３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、配線等のパターニングに使用される溶液には、銀粒子等の導電性微粒子が大量に含まれている。このため、パターニング用の溶液は、顔料系のインクなどと比較して粘度が高く、その一部には、２０ｍＰａ・ｓ（パスカル秒）もの粘度を有する溶液が用いられる。
一方で、パターニングを高精度で行うには、液滴吐出装置から吐出する液滴はできる限り微小なものが望ましい。
【０００６】
しかしながら、液滴吐出装置から吐出する溶液の粘度が高くなると、液滴の微小化が困難となる。ここで、図１３（ａ）および図１３（ｂ）は、粘度の高い溶液を２ｐｌ程度の微小液滴にて吐出しようとした場合の失敗例を示す図である。上述したように圧力室９１０の溶液を減圧後に増圧すると、ノズル９３０から液柱が流出する[図１３（ａ）]。この状態の下、圧力室９１０における溶液を減圧したとしても、液柱は、その分子間力が大きいため、図１３（ｂ）に示すように、分断されることなく圧力室９１０内に引き戻されてしまう。これを防止する方策としては、液柱の体積を大きくする方法や、溶液中の吐出の速度を大きく方法などが考え得る。ところが吐出速度を速くすると着弾時の飛びちりや着弾後の位置ずれ（液滴の移動）が問題になる。逆に液柱の体積を大きくしては微小液滴の塗布ができない。
このように、従来の液滴吐出装置においては、溶液の粘度が高くなると液滴の微小化が困難であった。
【０００７】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、微小な液滴を確実に吐出することが可能な液滴吐出方法、および、該液滴吐出方法を用いた液滴吐出装置、ならびに、当該液滴吐出方法により製造された電気光学装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、この発明にかかる液滴吐出装置は、圧力室に貯えられた液体を、前記圧力室への加圧によって、その吐出口から吐き出す吐出手段と、前記加圧により前記吐出口から吐き出された液体に、その液滴化を補助するためのエネルギーを付与する液滴化補助手段と、を具備することを特徴とする。
かかる液滴吐出装置によれば、吐出口から吐き出された液体は、液滴化補助手段により補助されつつ液滴化される。これにより、粘度が高い液体であっても、確実に液滴を吐出することが可能となる。
好ましい態様において、前記液滴化補助手段は、前記吐出口から吐き出された液体の側部に向けて、側方からエネルギーを与える。
【０００９】
ここで、前記エネルギーとしては、コヒーレント光などの光が有する光エネルギーや、熱エネルギーを用いることが好ましい。さらに、前記光エネルギーは、進行方向が互い異なる複数の光が有するエネルギーであることが好ましく、特に、進行方向が互い逆向きの複数の光が有するエネルギーであることが好ましい。
【００１０】
別の好ましい態様において、液滴吐出装置は、前記吐出口から液体の吐き出しが開始するのを検知する開始タイミング取得手段と、前記開始タイミング取得手段により液体の吐き出し開始が検知されたタイミングから、予め定められた時間だけ経過したタイミングにて、前記液滴化の補助をするように前記液滴化補助手段を制御する制御手段と、をさらに備える。このように、制御手段により液滴化の補助タイミングを調整することにより、任意の大きさの液滴を吐出することが可能となる。
ここで、前記制御手段は、前記液体の吐出量が大なるほどに、前記時間を長くするように設定する。
【００１１】
また、別の好ましい態様において、前記吐出口から吐き出された液体に光を照射する光出射手段と、前記吐出口から吐き出された液体を介して、前記光出射手段と対面するとともに、前記光出射手段から出射された光を受光する受光手段とを更に有し、前記開始タイミング取得手段は、前記受光手段による受光のレベルが変化したとき、前記液体の吐き出し開始を検知することを特徴とする。
ここで、前記液滴化補助手段は、前記液体の吐き出し開始の検知に用いられる光のエネルギーよりも大なるエネルギーの光を、前記光出射手段から出射させて液滴化を補助する。
【００１２】
また、本発明は、上述した液滴吐出装置のほか、該液滴吐出装置を実現するための液滴吐出方法を提供する。すなわち、本発明は、圧力室に貯えられた液体を、前記圧力室への加圧によって、その吐出口から吐き出す吐出過程と、前記加圧により前記吐出口から吐き出された液体に、その液滴化を補助するためのエネルギーを付与する液滴化補助過程とを有することを特徴とする液滴吐出方法を提供する。
この液滴吐出方法にあっても、上記液滴吐出装置と同様に、溶液の粘度に拘わらず、確実に液滴を吐出することができるという効果を奏する。
【００１３】
ここで、前記エネルギーとしては、コヒーレント光などの光が有する光エネルギーや、熱エネルギーを用いることが好ましい。さらに、前記光エネルギーは、進行方向が互い異なる複数の光が有するエネルギーであることが好ましく、特に、進行方向が互い逆向きの複数の光が有するエネルギーであることが好ましい。
【００１４】
別の好ましい態様において、前記吐出口から液体の吐き出しが開始するのを検知する開始タイミング取得過程を更に有し、前記吐き出し開始が検知されたタイミングから、予め定められた時間だけ経過したタイミングに、前記液滴化補助過程を開始する。ここで、前記液滴化補助過程において、前記液体の吐出量が大なるほどに、前記時間を長くするように設定する。
【００１５】
また、別の好ましい態様において、前記開始タイミング取得過程において、前記吐出口から吐き出された液体に光を照射する光出射手段にから光を出射し、前記吐き出された液体を介して前記光出射手段と対面する受光手段により、前記光出射手段から出射された光を受光し、前記受光手段による受光のレベルが変化したとき、前記液体の吐き出し開始を検知する。
ここで、前記液滴化補助過程において、前記液体の吐き出し開始の検知に用いられる光のエネルギーよりも大なるエネルギーの光を、前記光出射手段から出射させて液滴化を補助する。
【００１６】
上記液滴吐出方法の適用例としては、配線や、カラーフィルタ、フォトレジスト、エレクトロ・ルミネセンス材料、マイクロレンズアレイ、生体物質、電気光学装置に含まれる素子などのパターニングが挙げられる。
また、本発明は、上記液滴吐出方法によりパターニングされた素子を有することを特徴とする電気光学装置を提供する。ここで、上記液滴吐出方法により製造される電気光学装置としては、液晶装置、有機ＥＬ表示装置、プラズマ型表示装置、ＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）、電子源基板などがある。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、粘度が高い液体であっても、確実に液滴化して吐出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態にかかる液滴吐出装置に含まれる吐出ヘッドの周辺構成を示す図である。この図において、溶液タンク１１０は、吐出ヘッド１００から吐出される機能性材料を含む溶液（液体）を貯蔵する。具体的には、溶液タンク１１０は、Ｃ14Ｈ30（n-tetradecane）などの有機溶液に、銀の微小粒子が混合された粘度２０ｍＰａ・ｓ程度の溶液を貯蔵する。この溶液は、配線のパターニング用の材料であり、液滴吐出装置１０において、２ｐｌ程度の液滴にて吐出される。
なお、後述の液滴吐出装置１０の適用例において説明するように、液滴吐出装置１０から吐出される液滴は、配線パターン用の溶液に限らず、例えばＥＬ（エレクトロ・ルミネセンス）材料を含む溶液、液晶用カラーフィルタの製造に用いられるインク、フォトレジスト材料を含む溶液の他、印刷用のインクなどであっても良い。
【００１９】
圧力室１２０は、溶液タンク１１０内部と連通しており、溶液タンク１１０から溶液を流入し、流入した溶液を一時的に貯える。圧電素子１３０は、後述の制御部３００から供給される駆動信号に応じて、圧力室１２０の面１２２を、圧力室１２０外部あるいは内部に凸となるように変形させ、圧力室１２０に貯えられる溶液の圧力を制御する。圧力室１２０内の溶液は、圧力室１２０の面１２２が外部に凸となると減圧され、内部に凸となると増圧される。
【００２０】
ノズル１４０は、圧力室１２０内の溶液が増圧されると、液柱（図中二点鎖線）を吐出し、圧力室１２０内の溶液が減圧されると一旦吐出した液柱を圧力室１２０側に吸入する。なお、ノズル１４０の数は任意であるが、この実施形態においては、３つのノズル１４０を有する液滴吐出装置１０を例に挙げて説明する。
【００２１】
これらのノズル１４０近傍には、液柱の液滴化を補助する構成として、レーザ２００、円筒レンズ２１０および受光素子２３０が設けられている。図２はレーザ２００および円筒レンズ２１０の斜視図である。この図に示すように、レーザ２００は、レーザビームを出射する帯状の出射面２０２を有しており、高レベルあるいは低レベルのいずれかの強度にてレーザビームを出射する。円筒レンズ２１０は、凸レンズであり、レーザ２００から出射されたレーザビームを、３つのノズル１４０から吐出される液柱の各々を貫通する直線上に集光させる。つまり、レーザ２００および円筒レンズ２１０は、ノズル１４０から吐き出された液柱の側部に向けて、側方からエネルギーを与える役割を果す。
【００２２】
ここで、レーザ２００から出射される低レベルのレーザビームと高レベルのレーザビームとの相違について説明する。まず、高レベルのレーザビームは、円筒レンズ２１０により液柱に集光されると、液柱のうち集光部分を加熱するレーザビームであり、後述するように液柱の分裂を促進させ、液柱の液滴化を補助する役割を果たす。一方、低レベルのレーザビームは、液柱に集光されたとしても、液柱をほとんど加熱することはないレーザビームであり、液柱の吐き出し開始時点の検出に用いられる。
【００２３】
再び図１に説明を戻す。受光素子２３０は、レーザ２００の位置からみて各液柱の後方に位置するように、各々のノズル１４０に個別に対応するように設けられている。すなわち、受光素子２３０は、液柱を介して、レーザ２００と対向するように設けられている。この受光素子２３０は、低レベルのレーザビームの受光状態に応じて、液柱の吐き出し開始時点を検出する。さらに詳述すると、液柱が吐出していない場合には、円筒レンズ２１０と受光素子２３０との間には障害物が存在しないため、受光素子２３０は、低レベルのレーザビームをほとんど損失することなく受光する。受光素子２３０は、このように低レベルのレーザビームを受光すれば、受光信号ＲＳを制御部３００に供給する。一方、液柱の吐出が開始し、レーザ２００から受光素子２３０に至るまでのレーザビームの光路が、液柱により遮られた場合、レーザビームは、液柱に反射・吸収・散乱され、受光素子２３０まで到達しない。受光素子２３０は、液柱の吐出により、低レベルのレーザビームを受光しなくなると、制御部３００への受光信号ＲＳの供給を停止する。
【００２４】
図３は、吐出を開始した液柱により、レーザビームの光路が遮られる時点の様子を示す図である。この図に示すように、液柱の先端がレーザビームの集光位置Ｐに到達すると、レーザビームは液柱に反射・吸収・散乱される。受光素子２３０は、液柱によりレーザビームの到達が妨げられると、制御部３００への受光信号ＲＳの供給を停止する。なお、受光素子２３０は、レーザ２００から自身までのレーザビームの光路に液柱があるか否かを検出するための手段である。このため、液柱によりレーザビームが完全に遮断されない構成であれば、受光素子２３０は、受光レベルの変化を検出した場合に、上記受光信号ＲＳの供給を停止するものとしても良い。
【００２５】
再び図１において、制御部３００は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)や、タイマクロックなどを含み、圧電素子１３０およびレーザ２００を駆動して、ノズル１４０から液滴を吐出させる。さらに詳述すると、制御部３００は、圧電素子１３０を駆動して圧力室１２０内の溶液の増圧あるいは減圧にかかる制御を行う一方で、受光素子２３０から供給される受光信号ＲＳに応じて、レーザ２００から出射させるレーザビームの強度を切り替える。
なお、液滴吐出装置１０には、液滴のパターニング時に、吐出ヘッド１００を搬送するヘッドキャリッジや、基板などの液滴が塗布される被塗布媒体を搬送するため機構などが含まれるが、それらは周知の技術により実現し得るため詳細については省略する。また、被塗布媒体の所定位置に液滴を塗布するために（すなわち、パターニングするために）、制御部３００により実行される吐出ヘッド１００（圧電素子１３０）の制御方法についても、周知の技術により実現し得るためここでは省略する。
【００２６】
このような構成の下、液滴吐出装置１０においては、以下のようにして２ｐｌの微小液滴を７ｍ／ｓの初速度で吐出する。
はじめに、制御部３００は、レーザ２００から低レベルのレーザビームを出射させる。続いて、制御部３００は、圧電素子１３０に駆動信号を供給し、圧力室１２０の面１２２を外部に凸となるように変形させる。これにより、従来の技術で述べたように、圧力室１２０内の溶液は減圧され、溶液タンク１１０から圧力室１２０に溶液が流入する。次いで、制御部３００は、圧電素子１３０により、圧力室１２０内の溶液を増圧して、ノズル１４０から液柱を吐出させる。
【００２７】
ここで、溶液は２０ｍＰａ・ｓもの粘度を有している。このため、仮に７ｍ／ｓで液柱を一旦吐出した後、圧力室１２０内を減圧すると、液柱は分断されること無くノズル１４０を介して圧力室１２０に吸入されてしまい、液滴を吐出することができない。すなわち、従来における液柱のプッシュ（吐出）およびプル（吸入）の動作のみにより、液滴を吐出することができない。これに対処すべく、本実施形態にかかる液滴吐出装置１０は、以下のようにして、プッシュ-プル動作による液柱の液滴化を補助しつつ液滴を吐出する。
【００２８】
まず、制御部３００は、圧電素子１３０による液柱の吐出にかかる処理と並行して、液柱の吐き出し開始時点として、吐出中の液柱の先端が、レーザビームの集光位置Ｐを通過する時点を検出する。この際、制御部３００は、液柱の先端が集光位置Ｐを通過する時点として、受光素子２３０から受光信号ＲＳの供給が途絶えた時点を検出する。
【００２９】
次いで、制御部３００は、圧電素子１３０により引き続き液柱を吐出させつつ、タイマクロックからのクロック信号を用いて、液柱の先端が集光地点Ｐを通過してから所定時間経過したか否かを判定する。この所定時間とは、吐出過程における液柱が、その先端が集光地点Ｐを通過した時点から、図４に示すように、さらに距離「ｄ」だけ吐出するのに要する時間を示す。ここで、距離「ｄ」は、液柱において、先端から距離「ｄ」の区間に含まれる溶液量が略２ｐｌとなる距離を示す。なお、液柱が距離「ｄ」だけ吐出するのにかかる時間は、ノズル径や、圧電素子１３０の駆動条件などに応じて規定される変数（時間）であり、あらかじめ実験的に求めることが可能である。
【００３０】
制御部３００は、所定時間経過したと判定すると、液柱の吐出を停止して、液柱の吐出量を維持したまま、レーザ２００から出射するレーザビームの強度を低レベルから高レベルに切り替える。このように、レーザビームのレベルが高レベルに切り替えられると、液柱においてはレーザビームの集光部分が加熱される。これにより、液柱においては、図５（ａ）に示すように、集光部分近傍で、気泡の発生・粘度の低下・レーザビームの放射圧による溶液の飛散のうちいずれかが生じる。または、溶液の種類やレーザビームの強度に応じて、それらの組み合わせが液柱に生じる。この結果、液柱においては、図５（ｂ）に示すように、レーザビームの集光部分近傍でくびれが生じる。
【００３１】
制御部３００は、レーザビームの強度を高レベルにした後、液柱にくびれが生じる程度の時間が経過すると、レーザビームの強度を高レベルから低レベルに切り替える。その後、制御部３００は、圧力室１２０内の溶液を減圧させ、図５（ｃ）に示すように、液柱のうちノズル１４０側の部分を圧力室１２０側に吸入する。これにより、液柱は、慣性力の作用によりくびれ部分で分断され、２ｐｌの液滴が吐出ヘッド１００から吐出する。
なお、液柱にくびれを生じさせるのに要する時間は、溶液の粘度や、溶液の温度、レーザビームの強度などに応じて変動する変数（時間）であり、あらかじめ実験的に求めることが可能である。
【００３２】
このように本実施形態にかかる液滴吐出装置１０によれば、圧力室１２０の外部において、圧力室１２０から吐出された液柱にレーザビームを照射することにより液柱の液滴化を補助する。すなわち、レーザビームのエネルギーによる液柱の加熱、あるいは、その放射圧により液柱を噴き飛ばすことにより、液柱にくびれを生じさせて、プッシュ−プル動作による液柱の液滴化を補助する。これにより、粘度が高い溶液であっても、確実に微小液滴として吐出させることが可能となる。
【００３３】
また、液滴吐出装置１０によれば、液柱の液滴化を補助しつつ液滴を吐出するため、従来における液柱のプッシュ−プル動作のみにより液滴を吐出する技術と比較して、プッシュ‐プルの動作速度を低減させることができる。この結果、液滴の吐出速度を低減することが可能となり、液滴の基板への着弾時に生じる液滴の飛散を抑えることができる。
なお、本実施例では、高レベルのレーザビームの液柱への照射と、圧電素子１３０による液柱のプッシュ−プルの動作とを別個に行ったが、液柱の吐出と並行してレーザビームの照射の開始しても良いし、レーザビームの照射中に液柱を吸入しても良い。。
【００３４】
ところで、銀粒子を含む溶液であっても、溶液中の銀粒子の含有率を下げることにより、溶液の粘度を低下させることが可能である。このような溶液であれば、従来の液滴吐出装置を用いて微小液滴として吐出することができる。しかし、溶液の粘度を低下させた場合、液滴の微小化は可能であるものの、液滴の分子間力が弱いがため、着弾時に液滴が飛散するという欠点ある。
これに対し、本実施形態にかかる液滴吐出装置１０によれば、粘度に拘わらず微小液滴を吐出することが可能であるため、溶液の粘度を意図的に上げて、液滴の着弾時における飛散を低減させるという利点がある。
【００３５】
くわえて、本実施形態にかかる液滴吐出装置１０によれば、レーザビームの出射タイミングを制御することにより、液柱を任意の位置で分断して液滴化することが可能である。すなわち、液柱の吐き出し開始時点から、高レベルのレーザビームの出射開始時点までの時間間隔を長くするほど、液滴を大きなものとすることができる。このため、液滴の大きさの制御を容易に行うことができる。
【００３６】
なお、本発明は上述した実施形態に限られず、上述の実施形態に種々の応用・改良変形等を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態においては、複数の液柱にかかる液滴化の補助を、一組のレーザ２００と円筒レンズ２１０とにより一括して行う構成としたがこれに限られない。図６に示すように、各ノズル１４０に対して、レーザ４００とレンズ４１０との組を別個独立に設ける構成としても良い。この図において、レーザ４００は、レーザビームを出射する円形の出射面４０２を有している。一方、レンズ４１０は、各レーザ４００から出射されるレーザビームを、液柱のうちくびれを生じさせる部分に集光させる。このように、レーザ４００とレンズ４１０との組をノズル１４０毎に設けることにより、液柱を分断する位置やタイミングを、液柱毎に制御することが可能となる。
【００３７】
また、上述の実施形態においては、レーザ２００および円筒レンズ２１０は、吐出ヘッド１００と別個独立に設けられている例を示したが、図７に示すように、円筒レンズ５１０を含むレーザ５００を、吐出ヘッド１００の下面に設ける構成としても良い。このような構成にすれば、レーザ５００および円筒レンズ５１０を保持するための機構を特別に設ける必要がなくなる。
なお、吐出ヘッド１００の下面にレーザ５００を設置するスペースが充分に確保できない場合においては、図８に示すように、吐出ヘッド１００の側面に集光型のレーザ５００を配置し、その下方に、レーザ５００から出射されたレーザビームを反射して、レーザビームを液柱に集光させる反射部材５３０を設置する構成としても良い。
【００３８】
くわえて、上述した実施形態においては、液柱に向けて一方向からレーザビームを照射して、液柱の液滴化を補助する例を示した。しかし、一方向からのレーザビームにより液滴化を補助すると、レーザビームの放射圧により、液滴がレーザビームの進行方向に付勢されるおそれがある。これに対処すべく、図９に示すように、ひとつ液柱に対して、互いに逆向きの二方向からレーザビームを照射して液滴化を補助しても良い。
【００３９】
もっとも、レーザビームは、互いに逆方向に進行するレーザビームに限らず、異なる方向に進行する複数のレーザビームであれば、一方向に進行するレーザビームを用いて液滴化を補助する構成と比較して、レーザビームの付勢力による液滴の移動を抑えることができる。図１５は、三方向に進行するレーザビームにより液滴化を補助する例を示す図である。この図には、３つのレーザ７００のそれぞれから水平方向に出射されるレーザビームを、液柱ｌｃの軸線方向（液柱の吐出方向）から観察した様子が示されている。３つのレーザ７００は、自身から出射するレーザビームの光軸と、それと隣接する他のレーザ７００から出射されるレーザビームの光軸とのなす角が１２０°になるようにそれぞれ配置されている。また、３つのレンズは、レーザから出射されるレーザビームを、その光軸を保ったまま液柱ｌｃの一点に集光させる。
【００４０】
このように三方向に進行するレーザビームであっても、一方向に進行するレーザビームにより液滴化を補助する構成と比較して、レーザビームの付勢力による液滴の移動を抑えることができる。さらに好ましくは、レーザビームにより液柱に作用する力が釣り合う（すなわち、液柱に作用する力が互いに打ち消し合う）ように、レーザビームの強度や、レーザの出射面から集光点までの距離などを調整することにより、レーザビームの付勢力による影響をほとんどなくすことができる。
【００４１】
また、上述した実施形態においては、高レベルのレーザビームを液柱に照射するタイミングを、受光素子２３０からの受光信号ＲＳに応じて決定したがこれに限られない。例えば、図１０に示すような圧電素子１３０に供給される駆動信号のタイミングから液柱の吐出量を推定し、その推定結果に応じて、高レベルのレーザビームを液柱に照射させても良い。なお、駆動信号と、液柱の吐出量との関係は、実験的に求めることが可能である。また、このような方法を採用する場合、液柱の吐き出し開始時点について検出する必要がないため、レーザ２００からは高レベルのレーザビームのみが出射されることとなる。
【００４２】
さらに、以上説明した液滴吐出装置１０においては、レーザビームにより液滴化を補助したが、液滴化を補助する手段はレーザビームに限られるものではなく、集光性とエネルギー密度が十分であれば非コヒーレント光などを用いることも可能である。
【００４３】
また、図１１に示すように、液滴化の補助手段として加熱器６００を用いることも可能である。この図において、加熱器６００は、ノズル１４０から吐出される液柱のうち分断する部分を、液柱の側部から局所的に加熱する。このように、液柱を局所的に加熱することにより、上述したレーザビームによる加熱の作用と同様に、その部分に気泡を生じさせる他、粘度を低下させることが可能となる。従って、粘度が高い溶液であっても、液柱の液滴化を補助して、液滴の吐出を確実に行わせることが可能となる。このように、液滴吐出装置１０において液滴化を補助するためのエネルギーは、光エネルギーに限られず、熱エネルギーなど任意のエネルギーを用いることが可能である。
なお、この構成の液滴吐出装置１０においては、液柱の吐き出し開始時点を検出するためのレーザ２００および受光素子２３０を有していない。このため、加熱器６００による液柱の加熱タイミングは、次のようにして決定すればよい。すなわち、圧電素子１３０に供給する駆動信号（図１０参照）のタイミングから、液柱の吐出量を推定し、その推定結果に応じて、液柱の加熱タイミングを決定すれば良い。
【００４４】
また、上述した実施形態においては、吐出ヘッド１００の圧力室１２０に貯蔵される溶液を増圧し、ノズル１４０から液柱を吐出させる手段として圧電素子１３０を用いたがこれに限らない。例えば、圧力室１２０に貯蔵される溶液の一部をその沸点まで加熱して、加熱により生じた気泡により圧力室１２０内の溶液を増圧させても良い。要は、圧力室１２０内の溶液を増圧して、ノズル１４０から液柱を吐出させることが可能な手段であれば、圧力室１２０内の溶液を増圧する手段は如何なるものであって良い。
【００４５】
＜液滴吐出装置の適用例＞
最後に、以上説明した液滴吐出装置１０の適用例について説明する。
上述したように液滴吐出装置１０によれば、機能性材料を含む液体を微小な液滴として確実に吐出することができるため、液滴吐出装置１０は、電子機器や電気光学装置に含まれる素子の製造に好適である。すなわち、液滴吐出装置１０は、ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）タグや、電子放出素子、マイクロレンズ、カラーフィルタ、有機ＥＬ素子、プラズマ型表示装置などの製造に好適である。以下、本実施形態にかかる液滴吐出装置１０を用いたこれらの製品の製造方法について説明する。
【００４６】
＜ＲＦＩＤタグの製造方法＞
図１４は、液滴吐出装置１０によりパターニングされた配線を有するＲＦＩＤタグを示す図である。ここに示すＲＦＩＤタグＤ１は、電波方式認識システムで用いられる電子回路であり、いわゆるＩＣ（integrated circuit）カードなどに搭載される。さらに詳述すると、ＲＦＩＤタグＤ１は、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate）基板Ｄ１１上に設けられた集積回路（ＩＣ）Ｄ１２と、集積回路Ｄ１２に接続された渦巻状に形成されたアンテナＤ１３と、アンテナＤ１３上の一部に設けられたソルダーレジストＤ１４と、ソルダーレジストＤ１４上に形成されアンテナＤ１３の両端を接続してループ状にする接続線Ｄ１５とを含む。このうち、アンテナＤ１３は、上記液滴吐出装置１０によりパターニングされたものである。従って、アンテナＤ１３は、微小液滴により高精度にパターニングされており、短絡などが生じている可能性が低い。
【００４７】
＜電子放出素子の製造方法＞
次に、電子放出素子を有する電子源基板の製造方法について説明する。
図１６は、製造過程における電子源基板の構成を示す図である。さらに詳述すると、図１６（ａ）は、液滴吐出装置により導電性薄膜が形成される直前の電子源基板Ｄ２の側面図であり、図１６（ｂ）は、同電子源基板Ｄ２の上面図である。
【００４８】
この図に示すように、電子源基板Ｄ２は、ソーダガラスなどから形成された基板Ｄ２１を含む。基板Ｄ２１には、ニ酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を主成分とするナトリウム拡散防止層Ｄ２２が積層されている。このナトリウム拡散防止層Ｄ２２は、例えば、スパッタ法により１μｍ程度の膜厚となるように形成される。
【００４９】
素子電極Ｄ２３およびＤ２４は、例えば厚さ５ｎｍ程度のナトリウム拡散防止層Ｄ２２上に形成されたチタニウム層である。これらの素子電極Ｄ２３およびＤ２４は、例えば、スパッタ法や真空蒸着法によるチタニウム層の成膜工程と、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いた成形工程とを経て形成される。このようにして形成された素子電極Ｄ２３およびＤ２４は、ナトリウム拡散防止層Ｄ２２上にそれぞれマトリックス状に配置される。
【００５０】
金属配線Ｄ２５は、図中Ｙ方向に延在する帯状の電極であり、Ｙ方向に並ぶ素子電極Ｄ２３を部分的に覆うように複数形成されている。これらの金属配線Ｄ２５は、例えば、スクリーン印刷技術による銀（Ａｇ）ペーストの塗布過程と、塗布された銀ペーストの焼成過程とを経て形成される。絶縁膜Ｄ２７は、例えばガラスなどの絶縁体であり、金属配線Ｄ２５の幅方向（図中Ｘ方向）を覆うようにマトリックス状に形成されている。この絶縁膜Ｄ２７は、上記金属配線Ｄ２５と同様に、例えばスクリーン印刷技術によるガラスペーストの塗布過程と、塗布されたガラスペーストの焼成過程を経て形成される。
【００５１】
金属配線Ｄ２６は、金属電極Ｄ２５と交差するようにＸ方向に延在する帯状の電極であり、Ｘ方向に並ぶ素子電極Ｄ２４を部分的に覆うと共に、絶縁層Ｄ２７をＸ方向にて跨いでいる。この金属配線Ｄ２６は、例えば銀であり、上記金属配線Ｄ２５と同様にスクリーン印刷技術などを用いて形成される。
【００５２】
以上の電子源基板Ｄ２のうち、互いに近接する１対の素子電極Ｄ２３と素子電極Ｄ２４とを含む領域は、それぞれ画素領域に対応する。いま、ある画素領域に着目すれば、素子電極Ｄ２３は、対応する金属配線Ｄ２５と電気的に接続されている一方、素子電極Ｄ２４は、対応する金属配線Ｄ２６と電気的に接続されている。なお、金属配線Ｄ２６と金属配線Ｄ２７との間には絶縁層Ｄ２７が介在しているため、金属配線Ｄ２５と金属配線Ｄ２６とは絶縁されている。
【００５３】
各画素領域において、素子電極Ｄ２３の一部と、素子電極Ｄ２４の一部と、素子電極Ｄ２３および素子電極Ｄ２４の間で露出したナトリウム拡散防止層Ｄ２２とを含む領域Ｄ２８には、上記液滴吐出装置１０により導電性薄膜が形成される。これらの領域Ｄ２８（以下、「塗布領域Ｄ２８」と称する）は、電子源基板Ｄ２上においてマトリックス状に配置され、Ｘ方向に隣接する２つの塗布領域Ｄ２８のピッチＬＸは略１９０μｍである。このピッチＬＸは、画面サイズが４０インチ程度のハイビジョンテレビにおける画素領域のピッチに略対応する。
【００５４】
引き続き、塗布領域Ｄ２８に、液滴吐出装置１０により導電性薄膜を形成する工程について説明する。まず、液滴吐出装置１０により溶液を塗布する前処理として、電子源基板Ｄ２を親水化することが好ましい。このように電子源基板Ｄ２を親水化することにより、塗布領域Ｄ２８に液滴が定着しやすくなる。電子源基板Ｄ２の親水化の方法としては、例えば大気圧下の酸素プラズマ処理がある。
【００５５】
次に、図１７（ａ）に示すように、液滴吐出装置１０により、例えば有機パラジウム溶液などの導電性材料を含む液滴を、電子源基板Ｄ２の各塗布領域Ｄ２８に吐出する。ここで、液滴吐出装置１０においては、上記実施形態で説明したようにレーザビームにより液滴化を補助しつつ液滴を吐出する。このため、液滴吐出装置１０を用いた製造方法によれば、各塗布領域Ｄ２８に高精度に導電性材料を塗布することができる。
【００５６】
このようにして塗布された導電性材料が乾燥すると、図１７（ｂ）に示すように、塗布領域Ｄ２８に酸化パラジウムを主成分とする導電性薄膜Ｄ２９が形成される。導電性薄膜Ｄ２９は、それぞれの画素領域において、素子電極Ｄ２３の一部と、素子電極Ｄ２４の一部と、素子電極Ｄ２３および素子電極Ｄ２４の間に露出したナトリウム拡散防止層Ｄ２２とを覆うように形成される。
【００５７】
次に、素子電極Ｄ２３および素子電極Ｄ２４の間に、パルス状の電圧を印加すると、導電性薄膜Ｄ２９の一部分Ｄ２９１が、電子を放出する電子放出部となる。なお、素子電極Ｄ２３および素子電極Ｄ２４の電圧の印加は、有機物雰囲気下および真空条件下においてそれぞれ行われることが好ましい。これにより、電子放出部からの電子放出効率を向上させることができる。
以上の工程により得られた、各画素領域における素子電極Ｄ２３と、素子電極Ｄ２４と、電子放出部を有する導電性薄膜Ｄ２９とは電子放出素子として機能する。
【００５８】
次に、図１７（ｃ）に示すように、電子放出素子が形成された電子源基板Ｄ２と、前面基板Ｄ２９２とを貼り合わせることで、電子放出素子を備えた電気光学装置Ｄ２０が得られる。前面基板Ｄ２９２は、ガラス基板Ｄ２９３と、ガラス基板Ｄ２９３上に画素領域に対応して配置された複数の蛍光部Ｄ２９４と、各蛍光部Ｄ２９４を覆うメタルプレートＤ２９５とを有する。このうち、メタルプレートＤ２９５は、導電性薄膜Ｄ２９の電子放出部からの電子ビームを加速させるための電極として機能する。なお、前面基板２９２は、ガラス基板Ｄ２９３が外側となり、かつ、各蛍光部２９４が、各導電性薄膜Ｄ２９の電子放出素子のいずれかと対向すべく位置合わせされている。また、電子源基板７０Ｂと、前面基板７０Ｃとの間は真空状態に保たれている。
【００５９】
＜マイクロレンズの製造方法＞
図１８および図１９は、上記実施形態にかかる液滴吐出装置１０を用いたマイクロレンズの製造方法の流れを示す図である。まず、図１８（ａ）に示すように、吐出ヘッド１００から、光透過性樹脂を含む液滴を、その液滴化をレーザビームで補助しつつ基板Ｄ３１に向けて吐出する。この光透過性樹脂としては、アクリル系樹脂、アリル系樹脂、メタクリル樹脂などの熱可塑性または熱硬化性の樹脂の単体あるいは混合体を用いることができる。また、これらの光透過性樹脂のいずれかに、ビイミダゾール系化合物などの光重合開始剤が配合された放射線照射硬化型の光透過性樹脂も用いることができる。ここで、放射線照射硬化型の光透過性樹脂とは、紫外線などの放射線が照射されることにより硬化する性質を有する樹脂である。本適用例では、液滴吐出装置１０から吐出する液滴として、紫外線により硬化する放射線照射硬化型の樹脂を想定する。なお、この適用例のように、吐出ヘッド１００から吐出される液滴が、特定の光により硬化する光硬化性を有するならば、レーザ２００から出射されるレーザビームには、当該特定の光（本例では「紫外線」に相当）が含まれないことが好ましい。
【００６０】
一方、基板Ｄ３１としては、例えばスクリーン用の光学膜として使用されるマイクロレンズを製造する場合には、セルロース系樹脂や、ポリ塩化ビニルなどの光透過性材料からなる光透過性シートを用いることが可能である。
【００６１】
さて、吐出ヘッド１００から吐出された液滴が基板Ｄ３１に付着すると、液滴Ｄ３２は、その表面張力の作用により、図１８（ａ）に示すようなドーム型の形状となる。ここで、液滴Ｄ３２は、レーザビームにより補助されつつ液滴化されたものであるため微小なものとなる。
【００６２】
次に、図１８（ｂ）に示すように、基板Ｄ３１に付着した液滴Ｄ３２［図１８（ａ）参照］に向けて、紫外線照射部Ｄ３０２から紫外線を照射する。これにより、ドーム型の液滴Ｄ３２が硬化して硬化樹脂Ｄ３３となる。
【００６３】
続いて、図１９（ａ）に示すように、吐出ヘッド１００から、レーザビームで液滴化を補助しつつ、光拡散性微粒子Ｄ３４を含む液滴を硬化樹脂Ｄ３３に向けて吐出する。この光拡散性微粒子Ｄ３４としては、シリカ、アルミナ、チタニア、炭酸カルシウム、水酸化アルミニウム、アクリル樹脂、有機シリコン樹脂、ポリスチレン、尿素樹脂、ホルムアルデヒド縮合物などが用いられる。なお、光拡散性微粒子Ｄ３４は、溶剤（例えば上記光透過性樹脂に用いられている溶剤）に分散させられることにより、吐出ヘッド１００から吐出可能な液状に調整されている。
【００６４】
吐出ヘッド１００から吐出された液滴は、図１９（ａ）に示すように硬化樹脂Ｄ３３の表面に付着し、硬化樹脂Ｄ３３が光拡散性微粒子Ｄ３４を含む溶液Ｄ３５により覆われる。その後、溶液Ｄ３５により覆われた硬化樹脂Ｄ３３に対して、加熱処理、減圧処理、または加熱減圧処理を行う。これにより、溶液Ｄ３５に含まれる溶剤が蒸発する。硬化樹脂Ｄ３３の表面付近においは、溶液Ｄ３５の溶剤により一旦軟化するが、その後、溶剤が蒸発して再硬化する。これにより、図１９（ｂ）に示すように、表面付近に光拡散性微粒子Ｄ３４が分散されたマイクロレンズＤ３が得られる。
【００６５】
引き続き、このような製造方法によって得られたマイクロレンズＤ３を有するプロジェクター用のスクリーンについて説明する。
図２０は、マイクロレンズＤ３６を有するスクリーンの断面図である。このスクリーンＤ３７は、フィルム基材Ｄ３７１に、粘着層Ｄ３７２と、レンチキュラーシートＤ３７３と、フレネルレンズＤ３７４と、散乱膜Ｄ３７５とがこの順で積層されたものである。
【００６６】
このうち、レンチキュラーシートＤ３７３と散乱膜Ｄ３７５とが、上述した製造方法により得られたマイクロレンズＤ３を含んでなる。さらに詳述すると、レンチレギュラーシートＤ３７３および散乱膜Ｄ３７５は、いずれも複数のマイクロレンズＤ３が基板Ｄ３１に配置されているが、互いのマイクロレンズＤ３の密度が異なる、すなわち、レンチキュラーシートＤ３７３に含まれるマイクロレンズＤ３の密度が、散乱膜Ｄ３７５に含まれるマイクロレンズＤ３の密度より密になるように、レンチキュラーシートＤ３７３および散乱膜Ｄ３７５に含まれるマイクロレンズＤ３の形状および個数が選定されている。
【００６７】
＜カラーフィルタの製造方法＞
図２１および図２２は、上記実施形態にかかる液滴吐出装置１０を用いたカラーフィルタの製造方法を示す図である。
まず、図２１（ａ）に示すように、基板Ｄ４１上にブラックマトリクスＤ４２を形成する。ブラックマトリクスＤ４２は、金属クロムや、樹脂性ブラックマトリックス材料などがパターニングされたものであり、遮光性を有する薄膜である。例えば、金属クロムによりブラックマトリックスＤ４２を形成する場合には、スパッタ法や蒸着法などを用いることができる。
【００６８】
次に、ブラックマトリックスＤ４２上に、図２１（ｃ）に示すようなバンクＤ４５を形成する。すなわち、まず、図２１（ｂ）に示すように、基板Ｄ４１およびブラックマトリクスＤ４２上にレジスト層Ｄ４３を積層する。このレジスト層Ｄ４３は、例えばネガ型の感光性樹脂であり光硬化性を有する。次に、レジスト層Ｄ４３の上面をマスクフィルムＤ４４で被覆した状態で露光する。そして、レジスト層Ｄ４３の未露光部分にエッチング処理を施すと、図２１（ｃ）に示すバンクＤ４５が形成される。バンクＤ４５およびブラックマトリクスＤ４２は、赤、緑および青の光を選択的に透過させる着色層の仕切りとして機能する。この着色層は、上述した実施形態にかかる液滴吐出装置１０を用いて、以下に説明するようにして形成される。
【００６９】
まず、図２２（ａ）に示すように、バンクＤ４５およびブラックマトリクスＤ４２により仕切られる各領域に、液滴吐出装置１０により、赤色、緑色および青色のインク滴を選択的に吐出する。さらに詳述すると、液滴吐出装置１０は、赤色、緑色および青色のインクをそれぞれ貯蔵する３つの溶液タンク１１０と、各溶液タンク１１０から供給されるインクを液滴化して吐出する３つの吐出ヘッド１００とを有している。また、液滴吐出装置１０においては、レーザ２００と円筒レンズ２１０と受光素子２３０との組が、吐出ヘッド１００毎に設けられている。
【００７０】
この構成の下、液滴吐出装置１０は、バンクＤ４５およびブラックマトリクスＤ４２に仕切られる領域Ｄ４６に、赤色インクＤ４７Ｒ、緑色インクＤ４７Ｇおよび青色インクＤ４７Ｂを選択的に吐出ヘッド１００から液滴化して吐出する。この際、液滴吐出装置１０は、レーザビームにより液滴化を補助しつつインク滴を吐出する。なお、図２２（ａ）には、青色インクＤ４７Ｂが吐出される様子が示されている。
【００７１】
このようにして塗布された各色に対応するインク滴が乾燥すると、図２２（ｂ）に示すように、赤色の着色層Ｄ４８Ｒと、緑色の着色層Ｄ４８Ｇと、青色の着色層Ｄ４８Ｂが形成される。そして、同図に示すように、バンクＤ４５と、各着色層Ｄ４８Ｒ、Ｄ４８ＧおよびＤ４８Ｂとを覆うように保護膜Ｄ４９を形成すると、カラーフィルタＤ４が得られる。
【００７２】
次に、上述した製造方法により製造されたカラーフィルタＤ４を有する電気光学装置の一例として、パッシブマトリックス型液晶装置について説明する。図２３は、カラーフィルタＤ４を有する液晶装置の断面図である。なお、図２２においては、カラーフィルタＤ４は、前掲図２１（ｂ）とは上下が逆となるように示されている。
【００７３】
図２３に示すように、液晶装置Ｄ４０１は、カラーフィルタＤ４と、カラーフィルタＤ４と隙間を介して対向する対向基板Ｄ４０２と、カラーフィルタＤ４および対向基板Ｄ４０２の隙間に封入されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物などの液晶層Ｄ４０３とを有している。なお、特に図示しないが、対向基板Ｄ４０２およびカラーフィルタＤ４の外面（液晶層Ｄ４０３側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設されている。この液晶装置Ｄ４０３は、カラーフィルタＤ４側の面から観察される。
【００７４】
カラーフィルタＤ４の保護膜Ｄ４９のうち液晶層Ｄ４０３側の面には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料からなる第１電極Ｄ４０４が複数形成されている。これらの第１電極Ｄ４０４は、図中Ｙ方向に延在する帯状の電極であり、互いに間隔を隔てるように形成されている。第１配向膜Ｄ４０５は、例えばラビング処理が施されたポリイミド膜であり、第１電極Ｄ４０４およびカラーフィルタＤ４を覆うように形成されている。
【００７５】
一方、対向基板Ｄ４０２のうち液晶層Ｄ４０３側の面には、前述の各第１電極Ｄ４０４と交差する方向（この例では図中Ｘ方向）に延在する帯状の第２電極Ｄ４０６が設けられている。これらの第２電極Ｄ４０６は、ＩＴＯなどの透明導電材料であり、互いに間隔を隔てるように形成されている。第２配向膜Ｄ４０７は、例えばラビング処理が施されたポリイミド膜であり、各第２電極Ｄ４０６および対向基板Ｄ４０２を覆うように形成されている。
【００７６】
第１配向膜Ｄ４０５と第２配向膜Ｄ４０７との間に介在するスペーサＤ４０８は、液晶層Ｄ４０３の厚さ（セルギャップ）を略一定に保持するための部材である。また、シール材Ｄ４０９は、液晶層Ｄ４０３が外部へ漏出するのを防ぐ役割を果たす。そして、観察者からみて、第１電極Ｄ４０４と第２電極Ｄ４０６とが交差する部分が画素として機能し、この画素となる部分に、カラーフィルタＤ４の着色層Ｄ４８Ｒ、Ｄ４８ＧおよびＤ４８Ｂが位置するように構成されている。
特に図示しないが、液晶層Ｄ４０３の背面側に反射層を設けて、反射型の液晶装置としても良いし、これとは別に、液晶装置Ｄ４０１の背面側にバックライトを設けて透過型の液晶装置としても良い。
【００７７】
なお、液晶装置Ｄ４０１は、カラーフィルタＤ４が液晶層１０３より観察者側に位置していたが、これとは逆に、液晶層１０３がカラーフィルタＤ４より観察者側に位置する構成としても良い。また、液晶装置Ｄ４０１はパッシブマトリックス型液晶装置であるが、ＴＦＤ（Thin Film Diode）素子や、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子などのアクティブ素子により液晶を駆動するアクティブマトリックス型液晶装置にも、上記カラーフィルタＤ４が適用され得る。
【００７８】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に、上記液滴吐出装置１０を用いた有機ＥＬ表示装置の製造方法について説明する。図２４は、製造過程における有機ＥＬ表示装置を示す図であり、上記液滴吐出装置１０により正孔注入層が形成される直前の有機ＥＬ表示基体の断面図が示されている。
【００７９】
図２４に示すように、有機ＥＬ表示基体Ｄ５１は、ガラスなどの光透過性を有する基板Ｄ５１１を有する。この基板Ｄ５１１は、シリコン酸化膜からなる下地保護膜Ｄ５１２により覆われている。半導体膜Ｄ５１３は、下地保護層Ｄ５１２上に、例えば低温ポリシリコンプロセスにより形成されている。この半導体膜Ｄ５１３には、例えば高濃度陽イオン打ち込みにより、ソース電極およびドレイン電極がそれぞれ形成されている。
【００８０】
ゲート絶縁膜Ｄ５１４は、下地保護膜Ｄ５１２および半導体膜Ｄ５１３を覆うように形成されている。このゲート絶縁膜Ｄ５１４のうち半導体膜Ｄ５１３を覆う部分には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成される図示せぬゲート電極が積層されている。また、第１層間絶縁層Ｄ５１５および第２層間絶縁層Ｄ５１６は、この順で、ゲート絶縁層Ｄ５１４およびゲート電極を覆うように積層されている。
【００８１】
第２層間絶縁膜Ｄ５１６上には、ＩＴＯなどの光透過性を有する画素電極Ｄ５１９が、有機ＥＬ表示装置における画素領域に対応してマトリックス状に形成されている。この画素電極Ｄ５１９は、第１層間絶縁膜Ｄ５１５および第２層間絶縁膜Ｄ５１６を貫通するコンタクトホールＤ５１８を通じて、半導体膜Ｄ５１３のうちソース電極に接続されている。
【００８２】
第1層間絶縁膜Ｄ５１５上には図示せぬ電源線が配設されている。この電源線は、第１層間絶縁膜Ｄ５１５を貫通するコンタクトホールＤ５１７を通じて、半導体膜Ｄ５１３のうちドレイン電極に接続されている。
【００８３】
下層膜Ｄ５２０は、例えばシリコン酸化膜などの無機材料からなり、主に画素電極Ｄ５１９の隙間において、画素電極Ｄ５１９の縁端を覆うように形成される。バンクＤ５２１は、下層膜Ｄ５２０上に形成された仕切の一種であり、例えばアクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れた材料がパターニングされたものである。
【００８４】
また、画素電極Ｄ５１９の上面は、例えば処理ガスとして酸素を用いたプラズマ処理により親液化処理が施されている。一方、バンクＤ５２１の側壁面は、例えば処理ガスとして４フッ化メタンを用いたプラズマ処理により撥水処理が施されている。
【００８５】
以上の構成の有機ＥＬ表示基体Ｄ５１のうち、下層膜Ｄ５２０およびバンクＤ５２１で囲まれる領域（以下「発光領域」と称する）Ｄ５２２Ｒ、Ｄ５２２ＧおよびＤ５２２Ｂには、それぞれ正孔注入層と有機ＥＬ層とがこの順で画素電極Ｄ５１９上に積層される。ここで、発光領域Ｄ５２２Ｒには、赤色発光し得る有機ＥＬ層が形成され、発光領域Ｄ５２２Ｇには、緑色発光し得る有機ＥＬ層が形成され、発光領域Ｄ５２２Ｂには、青色発光し得る有機ＥＬ層が形成される。これらの有機ＥＬ層および正孔注入層は、上記液滴吐出装置１０を用いて形成される。
【００８６】
図２５は、液滴吐出装置１０により正孔注入層が形成される様子を示す図である。図２５（ａ）に示すように、液滴吐出装置１０の吐出ヘッド１００から、正孔注入材料を含む液滴を、レーザビームで液滴化を補助しつつ各発光領域Ｄ５２２Ｒ、Ｄ５２２ＧおよびＤ５２２Ｂに吐出する。
【００８７】
これにより、各発光領域Ｄ５２２Ｒ、Ｄ５２２ＧおよびＤ５２２における画素電極Ｄ５１９上には、正孔注入材料を含む液滴Ｄ５２３が塗布される。ここで、画素電極Ｄ５１９の上面は親水化処理が施されている一方、バンクＤ５２１の側壁面は撥水化処理が施されている。このため、液滴Ｄ５２３は確実に画素電極Ｄ５１９に付着する。
この後、各画素電極Ｄ５１９に塗布された溶液（液滴）が乾燥すると、図２５（ｂ）に示すような正孔注入層Ｄ５２４が形成される。
【００８８】
引き続き、正孔注入層Ｄ５２４上に有機ＥＬ層を形成する方法について説明する。
図２６は、液滴吐出装置１０により有機ＥＬ層が形成される様子を示す図である。図２６（ａ）に示すように、発光領域Ｄ５２２Ｒ、Ｄ５２２ＧおよびＤ５２２毎に異なる有機ＥＬ材料を含む液滴を、レーザビームで液滴化を補助しつつ吐出ヘッド１００から吐出する。さらに詳述すると、発光領域Ｄ５２２Ｒには、赤色発光し得る有機ＥＬ材料を含む液滴（溶液Ｄ５２５Ｒ）を吐出し、発光領域Ｄ５２２Ｇには、緑色発光し得る有機ＥＬ材料を含む液滴（溶液Ｄ５２５Ｇ）を吐出し、発光領域Ｄ５２２Ｂには、青色発光し得る有機ＥＬ材料を含む液滴（溶液Ｄ５２５Ｂ）を吐出する。なお、図２６（ａ）においては、発光領域Ｄ５２２Ｂについてのみ、液滴（溶液Ｄ５２５Ｂ）が吐出される様子が示されており、発光領域Ｄ５２２ＲおよびＤ５２２Ｇについては、既に溶液Ｄ５２５ＲおよびＤ５２５Ｇが塗布された状態が示されている。
【００８９】
この後、各正孔注入層Ｄ５２５に塗布された溶液Ｄ５２５Ｒ、Ｄ５２５ＧおよびＤ５２５Ｂが乾燥すると、図２６（ｂ）に示すような有機ＥＬ層Ｄ５２６Ｒ、Ｄ５２６ＧおよびＤ５２６Ｂが正孔注入層Ｄ５２４上に形成される。ここで、発光領域Ｄ５２２Ｒに形成された有機ＥＬ層Ｄ５２６Ｒは赤色発光し得る層であり、発光領域Ｄ５２２Ｇに形成された有機ＥＬ層Ｄ５２６Ｇは、緑色発光し得る層であり、発光領域Ｄ５２２Ｂに形成された有機ＥＬ層Ｄ５２６Ｂは、青色発光し得る層である。
【００９０】
次いで、図２７に示すように、バンク１２１と、各有機ＥＬ層Ｄ５２６Ｒ、Ｄ５２６ＧおよびＤ５２６Ｂとを覆うように陰極Ｄ５２７を形成する。陰極Ｄ５２７は、例えばアルミニウムなどの導体であり、蒸着法などにより薄膜形成される。そして、陰極Ｄ５２７上には封止材Ｄ５２８が配置される。以上の各工程により有機ＥＬ表示装置Ｄ５が完成する。
【００９１】
有機ＥＬ表示装置Ｄ５においては、半導体膜Ｄ５１３により、正孔注入層Ｄ５１９と、有機ＥＬ層Ｄ５２６Ｒ、Ｄ５２６ＧおよびＤ５２６Ｂとを含む層に選択的に電圧が印加される。有機ＥＬ層Ｄ５２６Ｒ、Ｄ５２６ＧおよびＤ５２６Ｂは、電圧が印加されると、対応する色の光を出射する。各有機ＥＬ層Ｄ５２６Ｒ、Ｄ５２６ＧおよびＤ５２６Ｂから出射された光は、基板Ｄ５１１を透過したうえで、有機ＥＬ表示装置Ｄ５のうち基板Ｄ５１１側に位置する観察者により視認される。
【００９２】
＜プラズマ型表示装置の製造方法＞
まず、プラズマ型表示装置の概略構成について説明する。図２８は、プラズマ型表示装置の分解斜視図である。この図に示すように、プラズマ型表示装置Ｄ６は、第１基板Ｄ６１と、これに対向する第２基板Ｄ６２と、第１基板Ｄ６１および第２基板Ｄ６２の間に介在する放電表示部Ｄ６３とを含む。放電表示部Ｄ６３は複数の放電室Ｄ６３１を有する。これらの放電室Ｄ６３１は、赤色放電室Ｄ６３１Ｒと、緑色放電室Ｄ６３１Ｇと、青色放電室Ｄ６３１Ｂとの３つの放電室Ｄ６３１が組となり１つの画素を構成するように配置されている。
【００９３】
第１基板Ｄ６１のうち第２基板Ｄ６２側の面には、帯状のアドレス電極Ｄ６１１が縞状に形成されている。誘電体層Ｄ６１２は、これらのアドレス電極Ｄ６１１と第１基板Ｄ６１とを覆うように形成されている。また、隔壁Ｄ６１３は、第１基板Ｄ６１の板面からみて、アドレス電極Ｄ６１１間の隙間の略中央に沿うように誘電体層Ｄ６１２上に延在する。この隔壁Ｄ６１３は、図示するアドレス電極Ｄ６１１の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極Ｄ６１１と直交する方向に延在する図示せぬものとを含む。そして、これらの隔壁Ｄ６１３によって仕切られた領域が放電室Ｄ６３１となる。
【００９４】
放電室Ｄ６３１内には蛍光体Ｄ６３２が配置されている。蛍光体Ｄ６３２は、赤色放電室Ｄ６３１Ｒの第１基板Ｄ６１側に配置される赤色蛍光体Ｄ６３２Ｒと、緑色放電室Ｄ６３１Ｇの第１基板Ｄ６１側に配置される緑色蛍光体Ｄ６３２Ｇと、青色放電室Ｄ６３１Ｂの第１基板Ｄ６１側に配置される青色蛍光体Ｄ６３２Ｂとを含む。
【００９５】
一方、第２基板Ｄ６２のうち第１基板Ｄ６１側の面には、上記アドレス電極Ｄ６１１と略直交する方向に、複数の帯状電極たる表示電極Ｄ６２１が縞状に形成されている。そして、第２基板Ｄ２および表示電極Ｄ６２１を覆うように、誘電体層Ｄ６２１と、ＭｇＯなどを含む保護膜Ｄ６２３とが第２基板Ｄ６２側からこの順で積層されている。
【００９６】
第１基板Ｄ６１および第２基板Ｄ６２は、アドレス電極Ｄ６１１および表示電極Ｄ６２１が互いに略直交した状態で対向するように貼り合わされている。なお、上記アドレス電極Ｄ６１１と表示電極Ｄ６２１とは図示せぬ交流電源に接続されている。
以上の構成のもと、各アドレス電極Ｄ６１１と表示電極Ｄ６２１とが通電されることにより、放電表示部Ｄ６３において蛍光体Ｄ６３２が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９７】
次に、本実施形態にかかる液滴吐出装置１０を用いたプラズマ型表示装置Ｄ６の製造方法について説明する。上述した液滴吐出装置１０を用いれば、プラズマ型表示装置Ｄ６に含まれるアドレス電極Ｄ６１１、表示電極Ｄ６２１、及び蛍光体Ｄ６３２を形成することができる。
このうち、アドレス電極Ｄ６１１を形成する場合、まず、上記液滴吐出装置１０から、導電性物質を含有する液滴を、アドレス電極形成領域に向けて吐出して、アドレス電極形成領域に液滴を塗布する。ここで、液滴は、上記実施形態と同様に、レーザビームにより液滴化が補助されつつ吐出ヘッド１００から吐出される。なお、液滴に含まれる導電性材料としては、金属微粒子や導電性ポリマーなどを用いることができる。この後、塗布された液滴が乾燥するとアドレス電極Ｄ６１１が形成される。
【００９８】
また、表示電極Ｄ６２１を形成する場合、アドレス電極１３０の場合と同様に、上記液滴吐出装置１０から、導電性材料を含有する液滴を吐出して、液滴を表示電極形成領域に塗布する。この後、塗布された液滴が乾燥すると表示電極Ｄ６２１が形成される。
【００９９】
一方、蛍光体Ｄ６３２を形成する場合には、赤、緑および青の各色に対応する蛍光材料を含んだ３種類の液体材料を選択的に吐出ヘッド１０から液滴化して吐出し、対応する色の放電室Ｄ６３１に着弾させる。この後、塗布された液滴が乾燥すると蛍光体Ｄ６３２が形成される。
【０１００】
以上説明した各電気光学装置の他、液滴吐出装置１０は、表面伝導型電子放出素子を利用したＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）などの電気光学装置の製造にも適用することができる。また、電気光学装置のみならず、液滴吐出装置１０はフォトレジストのパターニングなどにも用いることが可能であり、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid）やたんぱく質などの生体物質を含む液滴を、所定位置に塗布する場合においても使用され得る。いずれの材料を含む液滴を塗布する場合にあっても、吐出ヘッド１００から吐出される液滴は、その液滴化が補助されつつ液滴化したものであるため、溶液の粘度に拘わらず微小な液滴として吐出される。このため、パターニングの精度を向上させることが可能なる。
なお、本明細書にいう「電気光学装置」とは、複屈折性の変化、旋光性の変化、光散乱性の変化、などの光学的特性の変化（いわゆる電気光学効果）を利用する装置に限定されず、信号電圧の印加に応じて光を射出、透過、または反射する装置全般を意味する。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】本発明の実施形態にかかる液滴吐出装置に含まれる吐出ヘッド周辺の構成を示す図である。
【図２】同液滴吐出装置におけるノズル周辺構成の斜視図である。
【図３】同液滴吐出装置におけるノズル周辺の構成を示す図である。
【図４】同液滴吐出装置におけるノズル周辺の構成を示す図である。
【図５】液柱の液滴化を補助する様子を示す図である。
【図６】同実施形態の変形例にかかるレーザおよびレンズの斜視図である。
【図７】同変形例にかかるノズル周辺の構成を示す図である。
【図８】同変形例にかかるノズル周辺の構成を示す図である。
【図９】同変形例にかかるノズル周辺の構成を示す図である。
【図１０】同変形例における圧電素子に供給される駆動信号を示す図である。
【図１１】同変形例にかかる吐出ヘッド周辺の構成を示す図である。
【図１２】従来の液滴吐出装置を説明するための図である。
【図１３】従来の液滴吐出装置を説明するための図である。
【図１４】本実施形態にかかる液滴吐出装置を用いたＲＦＩＤタグの製造方法を説明するための図である。
【図１５】同液滴吐出装置の変形例を説明するための図である。
【図１６】同液滴吐出装置を用いた電子放出素子の製造方法を説明するための図である。
【図１７】同液滴吐出装置を用いた電子放出素子の製造方法を説明するための図である。
【図１８】同液滴吐出装置を用いたマイクロレンズの製造方法を説明するための図である。
【図１９】同液滴吐出装置を用いたマイクロレンズの製造方法を説明するための図である。
【図２０】同マイクロレンズを有するマイクロレンズスクリーンの断面図である。
【図２１】同液滴吐出装置を用いたカラーフィルタの製造方法を説明するための図である。
【図２２】同液滴吐出装置を用いたカラーフィルタの製造方法を説明するための図である。
【図２３】同カラーフィルタを有する液晶装置の断面図である。
【図２４】同液滴吐出装置を用いた有機ＥＬ表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図２５】同液滴吐出装置を用いた有機ＥＬ表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図２６】同液滴吐出装置を用いた有機ＥＬ表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図２７】同液滴吐出装置を用いた有機ＥＬ表示装置の製造方法を説明するための図である。
【図２８】同液滴吐出装置を用いたプラズマ型表示装置の製造方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１０…液滴吐出装置、１００…吐出ヘッド、１１０…溶液タンク、１２０…圧力室、１３０…圧電素子、１４０…ノズル、２００…レーザ、２１０…円筒レンズ、２３０…受光素子、３００…制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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