(57)【要約】【課題】螺旋状痕を有するワーク表面の螺旋状痕の形成状況の良否の判定精度を向上させる。【解決手段】それぞれ所定の数Ｎだけ抽出されたパワースペクトルのデータを相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂにより第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２を求める（Ｓ４）。求められた第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２のデータを演算手段２８によりＲ１×Ｒ２  と演算し、相関係数積Ｙｆ値を求める（Ｓ５）。判定手段３０は相関係数積Ｙｆ値のデータを受け取ると記憶手段３２からＹｆ下限値を読み出し、相関係数積Ｙｆ値がその値をしきい値としてそれ以上であれば螺旋状痕の形成状況は良好であると判定し、それよりも小さい値であれば形成状況が良好ではないと判定する（Ｓ６）。最後に、形成状況が良好であると判定した場合は、そのエンジンボアは良品であると判定して本工程を通過許可する（Ｓ７）。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク表面に形成される螺旋状痕の画像輝度値を取得し、画像輝度値を２次元フーリエ変換してパワースペクトル群を求め、前記パワースペクトル群の相関係数に基づいて前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定する表面判定装置において、
前記螺旋状痕の画像輝度値を取得する画像輝度値取得手段と、
取得された画像輝度値を２次元フーリエ変換して、パワースペクトル群を取得するフーリエ変換手段と、
前記パワースペクトル群のうち第１象限または第３象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から第１の所定の数のパワースペクトルを抽出する第１の抽出手段と、
前記パワースペクトル群のうち第２象限または第４象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から第２の所定の数のパワースペクトルを抽出する第２の抽出手段と、
第１の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第１の相関係数を取得する第１の相関係数取得手段と、
第２の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第２の相関係数を取得する第２の相関係数取得手段と、を有し、
前記第１の相関係数と前記第２の相関係数との積である相関係数積を求め、前記相関係数積を、予め定められた所定のしきい値と比較することで、前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定すること、
を特徴とする表面判定装置。
【請求項２】
請求項１に記載される表面判定装置において、
前記第１の所定の数と前記第２の所定の数の少なくとも一方が３０以上であることを特徴とする表面判定装置。
【請求項３】
ワーク表面に形成される螺旋状痕の画像輝度値を取得し、画像輝度値を２次元フーリエ変換してパワースペクトル群を求め、前記パワースペクトル群の相関係数に基づいて前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定する表面判定方法において、
前記螺旋状痕の画像輝度値を取得する画像輝度値取得手段と、
取得された画像輝度値を２次元フーリエ変換して、パワースペクトル群を取得するフーリエ変換手段と、
前記パワースペクトル群のうち第１象限または第３象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から第１の所定の数のパワースペクトルを抽出する第１の抽出手段と、
前記パワースペクトル群のうち第２象限または第４象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から第２の所定の数のパワースペクトルを抽出する第２の抽出手段と、
第１の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第１の相関係数を取得する第１の相関係数取得手段と、
第２の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第２の相関係数を取得する第２の相関係数取得手段と、を有し、
前記第１の相関係数と前記第２の相関係数との積である相関係数積を求め、前記相関係数積を、予め定められた所定のしきい値と比較することで、前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定すること、
を特徴とする表面判定方法。
【請求項４】
請求項３に記載される表面判定方法において、
前記第１の所定の数と前記第２の所定の数の少なくとも一方が３０以上であることを特徴とする表面判定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は表面判定装置および方法、特に螺旋状痕を有するワーク表面に形成された前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定する表面判定装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から螺旋状痕（クロスハッチ）を表面に有するワークにおいて、そのワークの表面の螺旋状痕の形成の良否がワークの表面物性上などで重要となることが知られている。例えば、ホーニング加工によってエンジンボアの内側表面では、螺旋状痕が形成される。螺旋状痕が形成されたエンジンボアにおいては、この螺旋状痕がエンジンボア表面にエンジンオイルのオイル溜まりを作るという作用を奏する。オイル溜まりはエンジンボアとピストンの間の潤滑性を高める性質を持つ。しかし、螺旋状痕の形成状況が悪いとオイル溜まりのとしての機能が悪くなる。さらに、螺旋状痕の形成状況が悪いとエンジン駆動時に燃焼室へエンジンオイルが流出しやすくなり、オイル消費量が大きくなってしまうことにもなる。
【０００３】
図１４は形成された螺旋状痕１０の模式図である。螺旋状痕１０は、右上がりの斜線溝（以下、右斜線溝という）１０ａと左上がりの斜線溝（以下、左斜線溝という）１０ｂとで四角形が形成されている。螺旋状痕１０の形成状況の良否の判断基準の重要なものとして、この四角形の形成状況がある。斜線溝１０ａ同士と左斜線溝１０ｂ同士ともに平行に近いものであり、螺旋状痕１０が平行四辺形に近いマトリックスとして形成されているほど、その形成状況は良好であると言える。このような螺旋状痕であれば、オイル溜まりのできやオイル消費量の抑制等が効果的であることが知られている。
【０００４】
このような観点から螺旋状痕を形成するマトリックスが平行四辺形にどれほど近いかという形成状況（本願では単に形成状況という）を検査し、その良否を判定することが重要となる。従来、その良否はエンジンボアの内側表面の螺旋状痕にＳＵＭＰ法（Ｓｕｚｕｋｉ’ｓ  Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  Ｍｉｃｒｏ  Ｐｒｉｎｔｉｎｇ  Ｍｅｔｈｏｄ）を施すなどして、螺旋状痕の形成状況を作業者が目視で検査し、その良否を判定することとしていた。
【０００５】
螺旋状痕の形成状況を作業者の目視以外で検査し、その良否を判定した技術として、トヨタ技術公開集「エンジンボアのホーニング品質定量評価方法」（トヨタ自動車株式会社発行：発行日２００２年４月２６日：発行番号１３４１１）がある。この技術では、ワーク表面に形成される螺旋状痕の画像輝度値を取得し、取得した画像輝度値を２次元フーリエ変換してパワースペクトル群を求め、その第１象限（または第３象限）のパワースペクトル群の第１の相関係数Ｒ１と第２象限（または第４象限）のパワースペクトル群の相関係数Ｒ２との比である相関係数比（Ｒ１／Ｒ２）に基づいて螺旋状痕の形成状況の良否を判定する方法を提供している。
【０００６】
なお、上記以外の従来技術としては、特開平１０−５８３０４号公報に、エンジンボアのホーニング加工時の螺旋状痕の形成をホーニング加工の際の切削抵抗から監視する方法が記載され、特開平８−１２８９６０号公報に、２次元フーリエ変換を用いて、エンジンボアの螺旋状痕と傷とを区別する方法が記載されていることが挙げられる。
【０００７】
【非特許文献１】
トヨタ技術公開集、発行番号１３４１１、トヨタ自動車株式会社発行
【特許文献１】
特開平１０−５８３０４号公報
【特許文献２】
特開平８−１２８９６０号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上記相関係数比を求める判定方法で形成状況が良好であると判定した螺旋状痕であっても、従来から行われている目視でその螺旋状痕を確認した場合、形成状況が良好とは判定できない場合がある。このように上記相関係数比を求める判定方法と目視による判定方法とで得られた螺旋状痕の形成状況の良否の判定結果が一致しない場合がある。したがって、相関係数比を求める判定方法では、螺旋状痕の形成状況の良否の判定精度が芳しくない場合があった。
【０００９】
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、螺旋状痕を有するワーク表面の螺旋状痕の形成角度の良否を判定する表面判定装置において、螺旋状痕の形成状況の良否の判定精度を向上できる表面判定装置および方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の表面判定装置は、ワーク表面に形成される螺旋状痕の画像輝度値を取得し、画像輝度値を２次元フーリエ変換してパワースペクトル群を求め、前記パワースペクトル群の相関係数に基づいて前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定する表面判定装置において、前記螺旋状痕の画像輝度値を取得する画像輝度値取得手段と、取得された画像輝度値を２次元フーリエ変換して、パワースペクトル群を取得するフーリエ変換手段と、前記パワースペクトル群のうち第１象限または第３象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から第１の所定の数のパワースペクトルを抽出する第１の抽出手段と、前記パワースペクトル群のうち第２象限または第４象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から第２の所定の数のパワースペクトルを抽出する第２の抽出手段と、第１の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第１の相関係数を取得する第１の相関係数取得手段と、第２の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第２の相関係数を取得する第２の相関係数取得手段と、を有し、前記第１の相関係数と前記第２の相関係数との積である相関係数積を求め、前記相関係数積を、予め定められた所定のしきい値と比較することで、前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定することを特徴とする。
【００１１】
上記、表面判定装置において、前記第１の所定の数と前記第２の所定の数の少なくとも一方が３０以上であってもよい。
【００１２】
また、上記課題を解決するために本発明の表面判定方法は、ワーク表面に形成される螺旋状痕の画像輝度値を取得し、画像輝度値を２次元フーリエ変換してパワースペクトル群を求め、前記パワースペクトル群の相関係数に基づいて前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定する表面判定方法において、前記螺旋状痕の画像輝度値を取得する画像輝度値取得手段と、取得された画像輝度値を２次元フーリエ変換して、パワースペクトル群を取得するフーリエ変換手段と、前記パワースペクトル群のうち第１象限または第３象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から第１の所定の数のパワースペクトルを抽出する第１の抽出手段と、前記パワースペクトル群のうち第２象限または第４象限のいずれか一方の象限に存在するパワースペクトル群のうち強度が大きいパワースペクトルの方から第２の所定の数のパワースペクトルを抽出する第２の抽出手段と、第１の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第１の相関係数を取得する第１の相関係数取得手段と、第２の抽出手段により抽出されたパワースペクトルの相互間の相関係数である第２の相関係数を取得する第２の相関係数取得手段と、を有し、前記第１の相関係数と前記第２の相関係数との積である相関係数積を求め、前記相関係数積を、予め定められた所定のしきい値と比較することで、前記螺旋状痕の形成状況の良否を判定することを特徴とする。
【００１３】
上記表面判定方法において、前記第１の所定の数と前記第２の所定の数の少なくとも一方が３０以上であってもよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の表面判定装置を用いて、ワークであるエンジンボアの内側表面にホーニング加工によって形成された螺旋状痕の形成状況を検査し、その良否を判定する実施形態について説明する。なお、本発明の実施形態は、本発明の実施に関しての好ましい一例であって、本発明は、本実施形態に限定されるものではない。
【００１５】
図１は本実施形態の表面判定装置のブロック図である。画像輝度値取得手段であるＣＣＤカメラ２０は、エンジンボアの内側表面の画像輝度値を取得する。ＣＣＤカメラ２０は、２次元ＦＦＴ手段２２と接続されている。２次元ＦＦＴ手段２２は画像輝度値を２次元ＦＦＴ（高速フーリエ変換）処理して、パワースペクトル群の画像に変換する。２次元ＦＦＴ手段２２は、第１象限のパワースペクトル群のうち、強度が大きいものから所定の数Ｎ個を抽出する抽出手段２４ａと第２象限のパワースペクトル群のうち、強度が大きいものから所定の数Ｎ個を抽出する抽出手段２４ｂとに接続されている。この抽出手段２４ａおよび２４ｂはそれぞれ相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂに接続されている。相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂは抽出されたＮ個のパワースペクトルの１次回帰分析を行い相関係数Ｒ１および相関係数Ｒ２をそれぞれ取得する（本願では相関係数の値は絶対値で示す）。相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂは演算手段２８に接続されている。演算手段２８は相関係数Ｒ１および相関係数Ｒ２の積である相関係数積Ｙｆを求める。ここでこれら２４〜３２の手段は通常、１つのコンピュータにより構成される。
【００１６】
演算手段２８は判定手段３０に接続されている。判定手段３０は記憶手段３２に接続されている。ここで記憶手段３２には、予め定められたしきい値としてＹｆ下限値が記憶されている。螺旋状痕の相関係数積Ｙｆ値がどの値（例えば０．８）以上であれば、形成状況が良好であると判定できるのかを決定し、その決定値をＹｆ下限値としている。判定手段３０は相関係数積Ｙｆがデータとして送られてきた場合には、記憶手段３２からＹｆ下限値を読み出し、相関係数積ＹｆとＹｆ下限値とを比較することで螺旋状痕の形成角度の良否を判定する。
【００１７】
次に、図１の表面判定装置を用いた本実施形態を図２のフローチャートを用いて説明する。ホーニング加工を終え、その内側表面に螺旋状痕が形成されたエンジンボアがある。ＣＣＤカメラ２０によりその内側表面の画像輝度値を測定する（Ｓ１）。図３はＣＣＤカメラ２０によって撮像された螺旋状痕の様子を示す模式図である。螺旋状痕１０は、右斜線溝１０ａと左斜線溝１０ｂにより形成されているが、これらの溝は大きいほど画像輝度値が低くなるため、画像輝度値によって溝の大きさがわかる。
【００１８】
ＣＣＤカメラ２０から送られた画像輝度値のデータは２次元ＦＦＴ手段２２によりパワースペクトル群の画像データ（図４）に変換される（Ｓ２）。図４において、パワースペクトルの強度はそれに対応する溝（低輝度値）と溝が形成されていない部分（高輝度値）との画像輝度値の差に対応する。したがって、低輝度値である溝（大きな溝）に対応するパワースペクトルほど画像輝度値の差が大きく、パワースペクトル強度は大きいものとなる。ところで図４では、２次元フーリエ変換の特徴から第１象限（ｉ）と第３象限（ｉｉｉ）に現れるパワースペクトル２０、および第２象限（ｉｉ）と第４象限（ｉｖ）に現れるパワースペクトルは、Ｘ字状となり原点に対して点対称に現れていることがわかる。それぞれどちらかの象限のパワースペクトルを解析すれば本発明では足りることとなるので、以下、第１象限（ｉ）と第２象限（ｉｉ）に現れるパワースペクトルを用いて説明する。
【００１９】
２次元ＦＦＴ手段２２により得られたパワースペクトル群の画像データは抽出手段２４ａおよび２４ｂに送られ、第１象限（ｉ）と第２象限（ｉｉ）に現れるパワースペクトルのうち強度が大きいものから所定の数Ｎ（抽出数Ｎ）だけそれぞれ抽出される（図５では説明の便宜上Ｎは５としている）（Ｓ３）。大きい溝から形成される螺旋状痕の形成状況がオイル溜まりの形成やオイル消費等の螺旋状痕の効果の寄与率として大きなものになるからである。
【００２０】
第１象限（ｉ）と第２象限（ｉｉ）、それぞれ抽出数Ｎだけ抽出されたパワースペクトルのデータを相関係数Ｒ１取得手段２６ａおよび相関係数Ｒ２取得手段２６ｂにより第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２を求める（Ｓ４）。
【００２１】
求められた第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２のデータを演算手段２８によりＲ１×Ｒ２  と演算し、相関係数積Ｙｆ値を求める（Ｓ５）。判定手段３０は相関係数積Ｙｆ値のデータを受け取ると記憶手段３２からＹｆ下限値を読み出し、相関係数積Ｙｆ値がその値をしきい値としてそれ以上であれば螺旋状痕の形成状況は良好であると判定し、それよりも小さい値であれば形成状況が良好ではないと判定する（Ｓ６）。最後に、形成状況が良好であると判定した場合は、そのエンジンボアは良品であると判定して本工程を通過許可する（Ｓ７）。一方、形成状況が良好ではないと判定した場合にはそのエンジンボアは不良品であるとしてハネ出す（Ｓ８）。
【００２２】
相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２、およびその比である相関係数比（Ｒ１／Ｒ２）とその積である相関係数積Ｙｆとの対比について説明する。図６（ａ）には相関係数Ｒ１が１よりもかなり小さい場合、図６（ｂ）には１に近似している場合の螺旋状痕を形成する右斜線溝１０ａの形成される様子がそれぞれ示される。相関係数Ｒ１の値は１に近いほど形成される右斜線溝１０ｂ（Ｒ２に対する左斜線溝１０ｂも同様）同士は平行に近いものとなる。したがって、第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２が共に１に近いとき、溝１０ａと溝１０ｂで形成される螺旋状痕１０は平行四辺形となり、優れた形成状況となる（図６（ｃ））。しかし、第１象限の相関係数Ｒ１と第２象限の相関係数Ｒ２の少なくとも一方が１よりもかなり小さい値である場合は図６（ｄ）に示されるように平行四辺形とならずに良好な形成状況とすることができない。したがって、相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２は共に１に近い場合でなければ形成状況は良好であるということはできない。そのため相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２のバランスを表すパラメータとして従来は相関係数比で判定していた。この相関係数比（Ｒ１／Ｒ２）による形成状況の良否判定方法では、相関係数比が１に近いとき、その形成状況が良好であると判断していた。
【００２３】
しかしながら、相関係数比による方法では、相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２が共に１よりかなり小さい値の場合であっても、相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２が近い値である場合には、相関係数比の値が１にかなり近い値となる。相関係数比が１に近い値であったとしても、相関係数Ｒ１と相関係数Ｒ２が共に１に近い場合でなければ形成状況は良好であるということはできないのは前述の通りである。図７（ａ）にはＲ１＝０．１０３４、Ｒ２＝０．１０５０である螺旋状痕１０の模式図が、図７（ｂ）にはＲ１＝０．９６４７、Ｒ２＝０．９９８５でとなる螺旋状痕１０の模式図が示される。図７（ａ）はＲ１／Ｒ２＝０．９８４７となり、図７（ｂ）はＲ１／Ｒ２＝０．９６６１となり図７（ａ）は図７（ｂ）よりも形成状況が良好であると誤判定をすることになる。したがって、図７の例のように相関係数比を求める判定方法では、形成状況が良好であると判定した螺旋状痕であっても、目視でその螺旋状痕を確認した場合、形成状況が良好とはならない場合がある。したがって目視での判定結果と相関係数比による方法では一致しない場合がある。
【００２４】
一方、本発明の相関係数積Ｙｆ（Ｙｆ＝Ｒ１×Ｒ２）を求め、その値が１に近いほど形成状況が良好であると判定する方法では、図７（ａ）でＲ１×Ｒ２＝０．０１０９であり、図７（ｂ）でＲ１×Ｒ２＝０．９６３３となり、図７（ａ）は図７（ｂ）と比較して著しく形成状況が悪いと判定でき、目視による形成状況と一致した判定結果を得ることができる。
【００２５】
したがって、相関係数比を求めて形成状況を判定するよりも本発明の相関係数積による表面判定装置によれば、螺旋状痕の形成状況の良否の判定精度を向上させることができる。
【００２６】
また、抽出数Ｎが３０以上であればさらに判定精度の向上となる信頼できる相関係数積Ｙｆ値を得ることができる。抽出数Ｎが小さい場合にはパワースペクトル強度が大きい（溝が大きい）もののみを検査対象とするが、抽出数Ｎが増大するにつれて徐々にパワースペクトル強度が小さい（溝が浅い）ものまで勘案することになるからである。３０以上のパワースペクトルを抽出するのは、３０以上抽出するとＹｆ値がそれ以上抽出したＹｆ値と比較しても変化量が少なく、安定する傾向があるからである。ここで、より好ましくは抽出数Ｎは３０〜５０である。あまりに抽出数Ｎが増大するとパワースペクトル強度が小さい斜線溝もＹｆ値に加味されることになる。しかし、パワースペクトル強度が小さい溝は微細な溝である。したがってそのような微細な溝ではオイル溜まりの形成やオイル消費の抑制等といった効果に対する寄与率は小さく、無視できることが多い。そのような微細な溝を考慮することは上記効果等の実情に照らしてもＹｆ値による判定精度を低下させてしまうおそれがあり、好ましくない場合がありうる。抽出させるパワースペクトル数Ｎは抽出手段２４ａと２４ｂで一致させることが好ましいが、必要に応じて差異をつけてもよい。
【００２７】
以上の本発明の表面判定装置を用いると、従来に比べ螺旋状痕の形成状況の良否を高精度に判定できるようになる。したがって、従来からの目視での判定結果と一致させることがより確実となる。このように確実な良否判定ができるようになると、従来の目視による方法と比べて、本発明は極めて迅速に工程処理を可能とでき、工程のスピードがアップする。その結果、抜き取り検査しかできなかった対象物が全数検査できることとなる。
【００２８】
また、目視での良否判定は人的なものであり時間・コスト等が著しくかかっていたために全数検査は実情として難しい場合があった。さらに、検査する人間によりどうしても人的誤差が生じることもあるが、本発明の表面判定装置を用いればそのようなことも防止できる。
【００２９】
本発明は、エンジンボアに限られず、ホーニング加工等で螺旋状痕を有するワークであれば何でも適用できる（例えばコンロッド等）。
【００３０】
【実施例】
本発明の表面判定装置を用い、相関係数積Ｙｆが抽出されるパワースペクトル数（抽出数Ｎ）に応じてどのように変化するかを検討した。その対象としてＶ型６気筒エンジンの６つのエンジンボアを用いた（本実施例では、以下、Ｖ型６気筒エンジンのフロント方向から数字順に第１ボアから第６ボアと呼ぶこととする。）。ここで各エンジンボアについて、ホーニング加工を施された部分の（１）燃焼室側から上端領域、（２）中間領域（３）下端領域の３箇所を本発明の表面判定装置を用いることでＹｆ値を求めた。図１〜図６はそれぞれ第１ボア〜第６ボアに関してＹｆ値を求めた結果である。横軸にパワースペクトルの抽出数Ｎをとり、縦軸にＹｆ値をプロットしたものである。抽出されるパワースペクトル数Ｎは５から、以降５ずつ増加させ、５０まで変化させ、上述の（１）〜（３）の各領域について１０点ずつプロットした。
【００３１】
「（１）〜（３）の各領域について」
（１）上端領域と（３）下端領域が（２）中間領域よりも概してＹｆ値が小さく、螺旋状痕の形成状況が悪いことがわかる。これは、ホーニングの際、加工砥石がこの２つの端領域では折り返すために、螺旋状痕の形成状況が乱れやすいことが一因である。それに対して、（２）中間領域では折り返す必要がないために極めてよい形成状況が得られやすい（Ｙｆ値はどのボアでもほぼ１である。）。
【００３２】
次に（２）中間領域では抽出数Ｎの増加によってＹｆ値はそれほど変わらないのにもかかわらず、この端領域は抽出数Ｎによって大きくそのＹｆ値が異なる。
「抽出数Ｎについて」
抽出数Ｎが３０以下では（１）上端領域および（３）下端領域では抽出数ＮによってＹｆ値が大きく変動する様子がわかる（特に一般にホーニング加工がその剛性等のために難しいとされている第３、第４ボアでは、その傾向が大きい。）。しかしながら、抽出数Ｎが３０を超えると抽出数Ｎを増加させてもＹｆ値は安定（例えばＹｆ＝±０．０５０で収束するなどをもって安定としている。）する。したがって、抽出数が３０以上であればＹｆ値は安定するため、信頼性の高いＹｆ値を得られることになる。したがって、抽出数Ｎは３０以上とすることが望ましい。ただし、（２）中間領域のように抽出数Ｎにあまり依存しない場合もあるのでその時は抽出数Ｎを３０よりも小さい値とすることも可能である。様々な条件に応じて抽出数Ｎはその数値を変更されるべきである。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の表面判定装置および方法を用いることにより、螺旋状痕を有するワーク表面の螺旋状痕の形成角度の良否を判定する表面判定装置において、螺旋状痕の形成状況の良否の判定精度を向上できる表面判定装置および方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の表面判定装置を示す図である。
【図２】本実施形態のフローチャートである。
【図３】撮像された螺旋状痕の様子を示す図である。
【図４】パワースペクトル群の画像データを示す図である。
【図５】抽出されたパワースペクトルから相関係数を求める説明図である。
【図６】螺旋状痕と相関係数の関係の説明図である。
【図７】螺旋状痕と相関係数の関係の説明図である。
【図８】相関係数積と抽出数の関係図である。
【図９】相関係数積と抽出数の関係図である。
【図１０】相関係数積と抽出数の関係図である。
【図１１】相関係数積と抽出数の関係図である。
【図１２】相関係数積と抽出数の関係図である。
【図１３】相関係数積と抽出数の関係図である。
【図１４】螺旋状痕の説明図である。
【符号の説明】
１０  螺旋状痕（クロスハッチ）、１０ａ  右斜線溝、１０ｂ  左斜線溝、２０  ＣＣＤカメラ、２２  ２次元ＦＦＴ手段、２４ａ，２４ｂ  抽出手段、２６ａ，２６ｂ  相関係数取得手段、２８  演算手段、３０  判定手段、３２  記憶手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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