(57)【要約】【課題】少なくとも一方の面が非球面であるレンズの偏芯量を精度よく、かつ、短時間で測定できる測定方法及び測定装置を得る。【解決手段】第１面１ａが非球面、第２面１ｂが平面部１ｃを有する非球面からなるレンズ１の偏芯量を測定する方法。第１面１ａを干渉計２０で観察して干渉縞をワンカラーに調整することで、第１面１ａの非球面軸をレンズ１を保持するエア軸受け１１の回転軸と一致させる工程と、該エア軸受け１１でレンズ１を回転させた状態で、光てこ部３０により平面部１ｃ及び第２面１ｂの振れ量を測定し、該レンズ１の平行偏芯量及び傾き偏芯量を測定する工程とを備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の面が非球面であるレンズの偏芯量を測定する測定方法であって、
前記レンズの一方の面を干渉計で観察して干渉縞をワンカラーに調整する工程と、
前記レンズのもう一方の面に設けた有効径部以外の平面部及び／又はもう一方の面にレーザ光を照射し、反射されたレーザ光のレンズ回転時における振れ量を測定する工程と、
を備えたことを特徴とするレンズの偏芯測定方法。
【請求項２】
一方の面が非球面、もう一方の面がその有効径部以外に平面部を有する非球面からなるレンズの偏芯量を測定する方法であって、
前記一方の面を干渉計で観察して干渉縞をワンカラーに調整することで、一方の面の非球面軸をレンズを保持する軸受け部の回転軸と一致させる工程と、
前記軸受け部でレンズを回転させた状態で、振れ量測定器により前記平面部及び前記もう一方の面の振れ量を測定し、該レンズの傾き偏芯量及び平行偏芯量を測定する工程と、
を備えたことを特徴とするレンズの偏芯測定方法。
【請求項３】
一方の面が非球面、もう一方の面がその有効径部以外に平面部を有する非球面からなるレンズの偏芯量を測定する方法であって、
前記レンズを保持する軸受け部で該レンズを回転させた状態で、振れ量測定器により前記平面部及び前記もう一方の面の振れ量を測定し、もう一方の面の非球面軸を軸受け部の回転軸と一致させる工程と、
前記一方の面を干渉計で観察して前記レンズの傾き偏芯量及び傾き平行偏芯量を測定する工程と、
を備えたことを特徴とするレンズの偏芯測定方法。
【請求項４】
一方の面が非球面、もう一方の面が平面からなるレンズの偏芯量を測定する方法であって、
前記一方の面を干渉計で観察して干渉縞をワンカラーに調整することで、一方の面の非球面軸をレンズを保持する軸受け部の回転軸と一致させる工程と、
前記軸受け部でレンズを回転させた状態で、振れ量測定器により前記もう一方の面の振れ量を測定し、該レンズの傾き偏芯量を測定する工程と、
を備えたことを特徴とするレンズの偏芯測定方法。
【請求項５】
少なくとも一方の面が非球面であるレンズの偏芯量を測定する測定装置であって、
前記レンズを一方の面の非球面軸を中心に回転させるための軸受け部と、
前記軸受け部上に設けた前記レンズを回転軸に対して平行移動及び傾き移動させるステージ部と、
前記ステージ部上に設けたレンズホールド部と、
前記レンズの一方の面を観察するための干渉計と、
前記レンズのもう一方の面に設けた有効径部以外の平面部及び／又はもう一方の面にレーザ光を照射し、反射されたレーザ光のレンズ回転時における振れ量を測定する振れ量測定器と、
を備えたことを特徴とするレンズの偏芯測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レンズの偏芯測定方法及び測定装置、特に、少なくとも一方の面が非球面であるレンズの偏芯測定方法及び測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】
特許文献１：特開平１０−２７１４号公報
特許文献２：特開平１１−１４４９８号公報
特許文献３：特開２００１−１６５８０７号公報
【０００３】
従来、非球面レンズの偏芯の測定方法及び測定装置としては、トワイマン−グリーン干渉計やフィゾー干渉計を使用した位置決め計測による方法及び装置が知られており、特許文献１，２，３に開示されている。これらの測定方法においては、被検レンズの第１面と第２面の両方を干渉計によって観察し、干渉縞をワンカラーに調整することで、それぞれの面の非球面軸を求め、該非球面軸の位置関係から偏芯量を求めていた。
【０００４】
しかしながら、両面とも干渉計を用いる前記測定方法においては、第１面及び第２面を観察する干渉計の光軸を偏芯量の測定精度よりも十分に高い精度で合わせておく必要があった。例えば、平行偏芯量１μｍ以下、傾き偏芯量０．５分以下のような高精度を要求される測定においては、干渉計の光軸の精度は極めて高いものとなる。
【０００５】
このような高精度での測定のためには相当に高度な技術を要する作業となり、調整エラーが残ると偏芯量測定精度の低下を招く。加えて、干渉計での測定において干渉縞をワンカラーに合わせる工程は、ワンカラーの精度を非常に高く調整する必要があるため、被検レンズの両面について測定を行う際には長時間を要し、成形品（被検レンズ）の評価を抜き取り検査のごとくタイムラグを少なく行いたいときなどには不向きであった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、少なくとも一方の面が非球面であるレンズの偏芯量を精度よく、かつ、短時間で測定できる測定方法及び測定装置を提供することにある。
【０００７】
【発明の構成、作用及び効果】
以上の目的を達成するため、第１の発明は、少なくとも一方の面が非球面であるレンズの偏芯量を測定する測定方法であって、前記レンズの一方の面を干渉計で観察して干渉縞をワンカラーに調整する工程と、前記レンズのもう一方の面に設けた有効径部以外の平面部及び／又はもう一方の面にレーザ光を照射し、反射されたレーザ光のレンズ回転時における振れ量を測定する工程とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
第１の発明に係る測定方法においては、被検レンズの一方の面を干渉計で観察してワンカラーに調整し、もう一方の面は有効径部以外の平面部及び／又はもう一方の面における光の反射方式（例えば、光てこの方法）により振れ量を測定する。即ち、第１の発明によれば、被検レンズのもう一方の面を光の反射方式で振れ量を高精度に測定でき、かつ、干渉計の光軸と測定回転軸の高精度な芯合わせが不要であり、一方の面のみを干渉計で測定するのであるから二つの干渉計の光軸を合わせるという極めて高精度を要する調軸作業が不要であり、短時間で偏芯量を測定することができる。
【０００９】
第２の発明は、一方の面が非球面、もう一方の面がその有効径部以外に平面部を有する非球面からなるレンズの偏芯量を測定する方法であって、前記一方の面を干渉計で観察して干渉縞をワンカラーに調整することで、一方の面の非球面軸をレンズを保持する軸受け部の回転軸と一致させる工程と、前記軸受け部でレンズを回転させた状態で、振れ量測定器により前記平面部及び前記もう一方の面の振れ量を測定し、該レンズの平行偏芯量及び傾き偏芯量を測定する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
第２の発明に係る測定方法においては、被検レンズの一方の面を干渉計で観察してその非球面軸を軸受け部の回転軸と一致するように調整し、もう一方の面は被検レンズを回転させつつ振れ量測定器（例えば、光てこの方法）により有効径以外の平面部及びもう一方の面の振れ量を測定して被検レンズの平行偏芯量及び傾き偏芯量を測定する。即ち、第２の発明によれば、被検レンズのもう一方の面を振れ量測定器により振れ量を高精度に測定でき、かつ、干渉計の光軸と軸受け部の回転軸の高精度な芯合わせが不要であり、一方の面のみを干渉計で測定するのであるから二つの干渉計の光軸を合わせるという極めて高精度を要する調軸作業が不要であり、短時間で偏芯量を測定することができる。
【００１１】
第３の発明は、一方の面が非球面、もう一方の面がその有効径部以外に平面部を有する非球面からなるレンズの偏芯量を測定する方法であって、前記レンズを保持する軸受け部で該レンズを回転させた状態で、振れ量測定器により前記平面部及び前記もう一方の面の振れ量を測定し、もう一方の面の非球面軸を該軸受け部の回転軸と一致させる工程と、前記一方の面を干渉計で観察して前記レンズの平行偏芯量及び傾き偏芯量を測定する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
第３の発明に係る測定方法においては、被検レンズを回転させつつ振れ量測定器（例えば、光てこの方法）により有効径以外の平面部及びもう一方の面の振れ量を測定してもう一方の面の非球面軸を軸受け部の回転軸と一致するように調整し、一方の面は干渉計で観察して被検レンズの平行偏芯量及び傾き偏芯量を測定する。即ち、第３の発明によれば、被検レンズのもう一方の面を振れ量測定器により振れ量を高精度に測定でき、かつ、干渉計の光軸と軸受け部の回転軸の高精度な芯合わせが不要であり、一方の面のみを干渉計で測定するのであるから二つの干渉計の光軸を合わせるという極めて高精度を要する調軸作業が不要であり、短時間で偏芯量を測定することができる。
【００１３】
第４の発明は、一方の面が非球面、もう一方の面が平面からなるレンズの偏芯量を測定する方法であって、前記一方の面を干渉計で観察して干渉縞をワンカラーに調整することで、一方の面の非球面軸をレンズを保持する軸受け部の回転軸と一致させる工程と、前記軸受け部でレンズを回転させた状態で、振れ量測定器により前記もう一方の面の振れ量を測定し、該レンズの傾き偏芯量を測定する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
第４の発明に係る測定方法においては、被検レンズの一方の面を干渉計で観察してその非球面軸を軸受け部の回転軸と一致するように調整し、もう一方の面は被検レンズを回転させつつ振れ量測定器（例えば、光てこの方法）によりもう一方の面の振れ量を測定して被検レンズの傾き偏芯量を測定する。即ち、第４の発明によれば、被検レンズの平面からなるもう一方の面を振れ量測定器により振れ量を高精度に測定でき、かつ、干渉計の光軸と軸受け部の回転軸の高精度な芯合わせが不要であり、一方の面のみを干渉計で測定するのであるから二つの干渉計の光軸を合わせるという極めて高精度を要する調軸作業が不要であり、短時間で偏芯量を測定することができる。
【００１５】
第５の発明は、少なくとも一方の面が非球面であるレンズの偏芯量を測定する測定装置であって、前記レンズを一方の面の非球面軸を中心に回転させるための軸受け部と、前記軸受け部上に設けた前記レンズを回転軸に対して平行移動及び傾き移動させるステージ部と、前記ステージ部上に設けたレンズホールド部と、前記レンズの一方の面を観察するための干渉計と、前記レンズのもう一方の面に設けた有効径部以外の平面部及び／又はもう一方の面にレーザ光を照射し、反射されたレーザ光のレンズ回転時における振れ量を測定する振れ量測定器とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
第５の発明に係る測定装置においては、被検レンズの一方の面を干渉計で測定してその非球面を軸受け部の軸線と一致するように調整し、もう一方の面は有効径以外の平面部及び／又はもう一方の面における光の反射方式（例えば、光てこの方法）により振れ量を測定する。即ち、第５の発明によれば、前記第１〜第４の発明に係る測定方法を効果的に実施することができる。
【００１７】
特に、前記第１〜第５の発明に係る測定方法又は測定装置において、もう一方の面の偏芯量測定に光てこの方法ないし構成を用いることが好ましい。光てこの方法ないし構成は、比較的安価であり、測定精度の向上及び測定時間の短縮化に大きく寄与する。また、光てこの方法ないし構成は、有効径部以外に平面を有する被検レンズに対して、平行偏芯と傾き偏芯とを容易に分離して測定することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るレンズの偏芯測定方法及び測定装置の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
（測定装置、図１参照）
まず、図１を参照して、本発明に係るレンズの偏芯測定装置の一例について説明する。この測定装置は、概略、被検レンズ１の保持機構１０と、干渉計２０と、光てこ部３０とで構成されている。
【００２０】
保持機構１０は、エア軸受け１１上にｘ−ｙ−ｚステージ１２及びチルトステージ１３を介して被検レンズ１を保持するホールド部１４を設けたものである。エア軸受け１１は、被検レンズ１をｚ軸を中心に回転させるものであり、回転ぶれが５０ｎｍ程度で極めて小さく、高精度な振れ量の測定には最適である。
【００２１】
ｘ−ｙ−ｚステージ１２は、ホールド部１４をｘ軸方向、ｙ軸方向及びｚ軸方向に移動可能である。チルトステージ１３は、ホールド部１４をｘ軸及びｙ軸を中心としてその傾きを調整可能である。即ち、保持機構１０は被検レンズ１を５軸に調整することができる。
【００２２】
干渉計２０は、被検レンズ１の上方に、透過原器であるゾーンプレート２１を介して設けたもので、トワイマン−グリーン干渉計あるいはフィゾー干渉計として従来知られたものが用いられる。この干渉計２０の光軸とエア軸受け１１の回転軸はｚ軸上で予め一致するように調整されている。
【００２３】
ゾーンプレート２１は、被検レンズ１の第１面１ａである非球面形状に合わせて設計されている回折格子を備えたもので、干渉計２０からの光を被検レンズ１の第１面１ａに照射し、その反射光を干渉計２０に再入射させる。被検レンズ１の第１面１ａからの反射光と参照光との干渉縞をワンカラーに調整することで第１面１ａの非球面軸をエア軸受け１１の回転軸と一致させることができる。
【００２４】
光てこ部３０は、原子間力顕微鏡のカンチレバーの振れ量を観察するために用いられている技術であり、傾きの変化を高精度に測定できる手段である。原理的には、０．０１分の精度で傾きを測定することが可能である。
【００２５】
この光てこ部３０は、レーザ発振器３１、ビームスプリッタ３２、集光レンズ３３、ミラー３４及び４分割フォトディテクタ３５にて構成されている。レーザ発振器３１から放射された光をミラー３４から被検レンズ１の被検面（第２面１ｂ又は該第２面１ｂの有効径部以外の平面部１ｃ）に照射すると、その反射光は、仮に被検面がエア軸受け１１の回転軸に対して傾いていなければ、４分割フォトディテクタ３５上で一点に留まる。しかし、被検面が傾いていれば、四分割フォトディテクタ３５上で傾き量に対応した半径で円周を描く（図２参照）。
【００２６】
なお、図１に示す測定装置では、検出手段として４分割フォトディテクタ３５を用いているが、偏芯量が大きい場合には、それに代えてＣＣＤカメラ等を用いて回転軌跡の半径を目視で実測する構成としてもよい。
【００２７】
以下、前記測定装置を用いて被検レンズ１の偏芯を測定する方法について説明する。
【００２８】
（第１の測定方法）
この第１の測定方法では、被検レンズ１として、第１面１ａ及び第２面１ｂが非球面であり、第２面１ｂに該第２面１ｂの非球面軸に垂直な平面部１ｃを設けたものを測定する。
【００２９】
まず、第１面１ａの非球面軸をエア軸受け１１の回転軸に一致させる調整方法について説明する。干渉計２０で第１面１ａを観察し、エア軸受け１１上のｘ−ｙ−ｚステージ１２及びチルトステージ１３を調整することで、干渉縞をワンカラーに合わせる。このとき、前述のように、干渉計２０の光軸とエア軸受け１１の回転軸とは予めｚ軸に一致するように調整してある。従って、エア軸受け１１により被検レンズ１を回転させたとき、ワンカラーが保たれることになる。このときワンカラーが崩れる状態であると、被検レンズ１の平行、傾きの調整が不完全であり、再調整の必要がある。
【００３０】
勿論、ワンカラーからのずれ量は、偏芯量の測定精度がきつくないときには一定量許容されるものであり、それぞれの測定において基準を設けておいて、その許容ずれ量内に抑えることができるまで調整すればよい。
【００３１】
ここまでの調整で、偏芯量の測定に必要な精度で、被検レンズ１の第１面１ａの非球面軸をエア軸受け１１の回転軸に一致させることができる。次の工程は、被検レンズ１をエア軸受け１１でｚ軸を中心として回転させた状態で、光てこ部３０による偏芯量の測定を行う。
【００３２】
まず、傾き偏芯量を測定する方法を説明する。レーザ発振器３１からの光をビームスプリッタ３２、集光レンズ３３、ミラー３４を介して被検レンズ１の第２面１ｂの平面部１ｃに入射させる。該平面部１ｃからの反射光は前記とは逆の光路を通じてビームスプリッタ３２から４分割フォトディテクタ３５に入射する。
【００３３】
平面部１ｃは、第２面１ｂの非球面軸に対して垂直に設けられたものであり、平面部１ｃを測定することによって第１面１ａ及び第２面１ｂの各非球面軸の平行偏芯に関係なく傾き偏芯量のみを観察できる。
【００３４】
このとき、光の被照射面における集光スポットの直径は約６０μｍとしている。この集光スポット径は、レーザ発振器３１からの光の直径及び集光レンズ３３の焦点距離を調整することで任意に選択することができる。後に説明する非球面である第２面１ｂの測定を考慮すると、反射光の広がりを抑える観点から、被照射面での集光スポット径は小さい方が好ましい。
【００３５】
また、集光レンズ３３から被照射面までの距離は約６００ｍｍとしている。この距離が長いほど被検レンズ１の傾き偏芯量を一定としたときの４分割フォトディテクタ３５上の反射光の回転軌跡の半径が大きくなり、検出感度が高くなる。
【００３６】
光てこ部３０による測定データは次のようになる。４分割フォトディテクタ３５は、図２に示すように、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの検出領域が存在し、ここでの測定においては、（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）及び（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）の演算値を出力できるようになっている。
【００３７】
図２中、０°、９０°、１８０°は、それぞれ被検レンズ１の基準位置からの回転角度を示している。なお、基準位置の選択は任意であるが、ここでは基準位置方向に被検レンズ１が上側に傾いているときに、４分割フォトディテクタ３５上で図２において最も下側に光スポットが移動する状態としている。
【００３８】
４分割フォトディテクタ３５上の光スポットの軌跡を観察すると、図２に示す例では、０°のときに４分割フォトディテクタ３５上で図２の上側に光スポットが位置しており、被検レンズ１をエア軸受け１１で９０°回転させると、図２の左側に移動している。さらに、被検レンズ１を１８０°回転させると、光スポットは図２の下側に移動している。
【００３９】
前記軌跡を描いた場合の光てこ部３０の出力信号（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）は、図３に示すとおりであり、正弦波を描く。このときの正弦波の振幅から第２面１ｂの傾き偏芯量が検出でき、位相から傾き偏芯の方向が検出できる。この例では、被検レンズ１が基準位置である０°のときに４分割フォトディテクタ３５上で図２において最も上側に光スポットが位置する状態であることから、１８０°の回転位置の方向に被検レンズ１が上側に傾いている状態である。なお、光てこ部３０の出力信号（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）は、図３とは９０°位相がずれた正弦波となる。
【００４０】
ここまでで第２面１ｂの傾き偏芯量の測定まで行ったことになる。次に、第１面１ａ及び第２面１ｂの各非球面軸の平行偏芯の測定について説明する。
【００４１】
まず、傾き偏芯量の測定から、第２面１ｂの非球面軸がエア軸受け１１の回転軸に対し、どれだけ傾いているかが測定されたので、その偏芯量分だけ被検レンズ１をエア軸受け１１上のチルトステージ１３により傾け、第２面１ｂの非球面軸とエア軸受け１１の回転軸の傾きを一致させておく。
【００４２】
この状態で、レーザ発振器３１からの光をビームスプリッタ３２、集光レンズ３３、ミラー３４を介して被検レンズ１の第２面１ｂの非球面に入射させる。該非球面からの反射光は前記とは逆の光路を通じてビームスプリッタ３２から４分割フォトディテクタ３５に入射する。
【００４３】
このときの光てこ信号を演算することで第２面の平行偏芯量を測定することができる。このとき光てこ信号及び平行偏芯量の測定は、図２及び図３を参照した前述の傾き偏芯量の測定時とほぼ同様である。
【００４４】
なお、この第１の測定方法では、第２面１ｂの非球面軸とエア軸受け１１の回転軸の傾きを一致させた後に、平行偏芯量の測定を行っている。それ以外に、第２面１ｂの傾き偏芯を残した状態で第２面１ｂの非球面に対して平行偏芯量の測定を行い、得られた光てこ信号から傾き偏芯量の出力電圧を差し引くことで、平行偏芯に関する信号のみを検出することも可能である。
【００４５】
以上説明した第１の測定方法では、干渉計を用いるワンカラーの調整を第１面１ａの１回に減少することができる。また、干渉計での測定に必要であるエア軸受け１１の回転軸との高精度な芯出しを被検レンズ１の第１面１ａ側についてのみ行えばよいことになり、測定精度の向上及び測定時間の短縮化が可能になる。
【００４６】
また、光てこ部３０は、レーザ発振器３１といくつかの光学部品を用いる簡易な構成であり、干渉計を複数用いることに比べて非常に安価な装置で測定することができる。また、傾き偏芯量と平行偏芯量とを容易に分離可能であるという利点も有している。
【００４７】
（第２の測定方法）
この第２の測定方法では、第１の測定方法と同様に、被検レンズ１として、第１面１ａ及び第２面１ｂが非球面であり、第２面１ｂに該第２面１ｂの非球面軸に垂直な平面部１ｃを設けたものを測定する。
【００４８】
まず、第２面１ｂの非球面軸をエア軸受け１１の回転軸に一致させる調整方法について説明する。前記第１の測定方法では、光てこ部３０によって第２面１ｂの傾き偏芯量及び平行偏芯量を測定した。一方、本第２の測定方法では、まず、光てこ部３０によって第２面１ｂの非球面軸をエア軸受け１１の回転軸に一致させる。
【００４９】
その手順は、前記第１の測定方法と同様に、まず、平面部１ｃにて傾き偏芯量を測定することで、第２面１ｂの非球面軸がエア軸受け１１の回転軸に対してどれだけ傾いているかを測定する。そして、測定された偏芯量分だけ被検レンズ１をエア軸受け１１上のチルトステージ１３により傾け、第２面１ｂの非球面軸とエア軸受け１１の回転軸の傾きを一致させる。
【００５０】
次に、前記第１の測定方法と同様に、第２面１ｂの非球面の平行偏芯量を測定することで、第２面１ｂの非球面軸がエア軸受け１１の回転軸に対してどれだけの平行ずれがあるかを測定する。そして、測定された平行偏芯量部だけ被検レンズ１をエア軸受け１１上のｘ−ｙ−ｚステージ１２により平行移動させ、第２面１ｂの非球面軸をエア軸受け１１の回転軸と完全に一致させる。
【００５１】
ここまでの調整で、偏芯量の測定に必要な精度で、被検レンズ１の第２面１ｂの非球面軸をエア軸受け１１の回転軸に完全に一致させることができる。次の工程は、第２面１ｂの非球面軸と第１面１ａの非球面軸との傾き偏芯量及び平行偏芯量を測定する。
【００５２】
まず、干渉計２０で第１面１ａを観察し、フリンジスキャンによる干渉縞の解析を行い、解析の結果から得られたツェルニケ（ｚｅｒｎｉｋｅ）係数から傾き偏芯量及び平行偏芯量を演算する。勿論、この際にも干渉計２０の光軸とエア軸受け１１の回転軸とは予めｚ軸に一致するように調整しておく必要がある。
【００５３】
以上説明した第２の測定方法での利点は、干渉計を用いるワンカラーの調整を第１面１ａの１回に減少することができ、測定精度の向上及び測定時間の短縮化が可能になる等前記第１の測定方法と同様である。
【００５４】
（第３の測定方法）
この第３の測定方法では、被検レンズ１として第１面１ａが非球面、第２面１ｂが平面のものを測定する。
【００５５】
被検レンズ１の第１面１ａの非球面軸をエア軸受け１１の回転軸に一致させる方法は前記第１の測定方法と同様であり、その詳細は省略する。この被検レンズ１にあっては、第２面１ｂは平面であるから、その傾き偏芯量のみを測定すればよい。傾き偏芯量の測定は前記第１の測定方法において説明した平面部１ｃに対する傾き偏芯量の測定と同様であり、その詳細は省略する。
【００５６】
（他の実施形態）
なお、本発明に係るレンズの偏芯測定方法及び測定装置は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る測定装置の一例を示す概略構成図。
【図２】前記測定装置における４分割フォトディテクタ上での光スポットの軌跡を示すチャート図。
【図３】前記測定装置における光てこ信号の出力を示すグラフ。
【符号の説明】
１…被検レンズ
１ａ…第１面（一方の面）
１ｂ…第２面（もう一方の面）
１ｃ…平面部
１０…保持機構
１１…エア軸受け
１２…ｘ−ｙ−ｚステージ
１３…チルトステージ
２０…干渉計
３０…光てこ部
３１…レーザ発振器
３５…４分割フォトディテクタ
【図１】
2004279075.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004279075.tif 000005