(57)【要約】【課題】本発明は、検査員の数を減らしたとしても、検査工程のスループットを維持することができ、更に、目視検査の作業を複数の検査員に分散させることで、検査工程のスループットを向上させることが可能なディスプレイパネル欠陥検査システムを提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係るディスプレイパネル欠陥検査システムは、検査対象物の画像データを送信する手段と、検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を含む複数の自動検査装置１２と、複数の自動検査装置１２で送信された画像データを受信する手段と、判定データを送信する手段を含む複数の端末装置１４と、複数の自動検査装置１２と複数の端末装置１４とを接続するネットワーク装置１６とを含んで構成される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を含むディスプレイパネルの欠陥検査システムであって、
前記検査対象物の画像データを送信する手段と、前記検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を含む複数の自動検査装置と、
前記複数の自動検査装置で送信された画像データを受信する手段と、判定データを送信する手段を含む端末装置と、
前記複数の自動検査装置と前記端末装置とを接続するネットワーク装置と、
を含む、ディスプレイパネルの欠陥検査システム。
【請求項２】
前記端末装置を複数設けたことを含む、請求項１に記載のディスプレイパネルの欠陥検査システム。
【請求項３】
前記自動検査装置が、
前記良否判定で良否を判定できない一の検査対象物を一時退避させる一時保管手段と、
前記端末装置からの判定データにより、一時保管手段に退避した一の検査対象物を良否に分別する指示分別手段と、
を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のディスプレイパネルの欠陥検査システム。
【請求項４】
前記ネットワーク装置が、
前記複数の自動検査装置で撮影された検査対象物の画像データを一時保存する画像記録手段と、
前記複数の端末装置に該検査対象物の画像データを振り分ける画像配信手段と、
を含むことを特徴とする請求項２乃至請求項３に記載のディスプレイパネルの欠陥検査システム。
【請求項５】
検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を複数個用いたディスプレイパネルの欠陥検査方法であって、
前記自動検査装置において判別不能品であると判定されたディスプレイパネルの画像データを、該自動検査装置に記録し、ネットワーク装置を介して端末装置に通知するステップと、
前記端末装置が、前記通知した自動検査装置にアクセスし、該自動検査装置に記録された判別不能品の画像データを受信するステップと、
前記端末装置で、表示された前記画像データを用いて良否判定を行い、その判定データを前記自動判別装置に送信するステップと、
を含むディスプレイパネルの欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスプレイパネルの表示欠陥検査に用いる欠陥検査システム及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットパネルディスプレイの代表格である液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙと略す）は、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）と比較して、消費電力が少ないことや省スペースであるという特徴を有する。これにより近年、ＬＣＤパネルはパーソナルコンピュータの表示装置や家庭用テレビ受像装置として積極的に用いられている。このＬＣＤパネルは、その製造工程において自動検査装置を用いた欠陥検査が行われる。
【０００３】
この自動検査装置は、ＬＣＤパネルを実際に点灯させ、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ等により画像を撮影し、画像処理などの手法を用いてＬＣＤパネルの特性を自動的に検査するものである。この自動検査装置においては、明らかな良品及び不良品を検出することは容易である。しかし、良品とも不良品とも選別することが出来ない判別不能品も存在する。この判別不能品は別工程において人による目視検査が行われる。
【０００４】
通常、目視検査においては、ＬＣＤパネルを目視用検査装置に移動させ、検査プローブを端子に正確に接触させる作業等が必要になる。このため、ＬＣＤパネルの歩留りが悪く判別不能品が多い場合には、目視検査に時間がかかってしまい、検査工程のスループットを低下させてしまう原因となっていた。
【０００５】
そこで、従来においては、ＣＣＤカメラ等で撮影した画像に、欠陥と判定されるであろう範囲を囲む等の画像処理を施し、その欠陥範囲を含む画像による目視検査を行うことで、目視検査の時間を短縮する発明が提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−２８９７３３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の発明における技術思想では、１台の自動検査装置に１人の検査員が常駐して検査を行わなければならず、検査員の数を減らしたならば検査工程のスループットを維持することができない。また、複数の自動検査装置を用いて同時に検査をする際に、例えば、一つの自動検査装置に判別不能品が集中した場合には、１人の検査員に作業が集中してしまい、検査工程のスループットは低下してしまう。
【０００８】
そこで本発明の目的は、検査員の数を減らしたとしても、検査工程のスループットを維持することができ、更に、目視検査の作業を複数の検査員に分散させることで、検査工程のスループットを向上させることが可能なディスプレイパネル欠陥検査システムを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムは、検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を含むディスプレイパネルの欠陥検査システムであって、前記検査対象物の画像データを送信する手段と、前記検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を含む複数の自動検査装置と、前記複数の自動検査装置で送信された画像データを受信する手段と、判定データを送信する手段を含む端末装置と、前記複数の自動検査装置と前記端末装置とを接続するネットワーク装置とを含んで構成される。
【００１０】
上述の構成を採用することにより、複数の自動検査装置で撮影された画像を、端末装置を用いて検査員が目視検査することができる。よって、検査員の数を減らしたとしても、検査工程のスループットを維持することが可能になる。
【００１１】
また、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムは、上述の構成に加えて、前記端末装置を複数設けたことを特徴とする。
【００１２】
上述の構成を採用することにより、複数の自動検査装置を複数の検査員が目視検査することができる。よって、目視検査作業を複数の検査員に分散させることで、検査工程のスループットを向上させることが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムは、上述の構成に加えて、前記自動検査装置が、前記良否判定で良否を判定できない一の検査対象物を一時退避させる一時保管手段と、前記端末装置からの判定データにより、一時保管手段に退避した一の検査対象物を良否に分別する指示分別手段とを含むことを特徴とする。
【００１４】
上述の構成を採用することにより、自動検査装置で良否が判定できない判定不能品を一時退避させることができる。よって、自動検査の作業が滞らないので、自動検査装置のスループットを維持することができる。また、一時退避させた判別不能品を端末装置からの指示により、良品又は不良品に分別することができる。よって、検査工程のスループットを向上させることができる。
【００１５】
更に、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムは、上述の構成に加えて、前記ネットワーク装置が、前記複数の自動検査装置で撮影された検査対象物の画像データを一時保存する画像記録手段と、前記複数の端末装置に該検査対象物の画像データを振り分ける画像配信手段とを含むことを特徴とする。
【００１６】
上述の構成を採用することにより、ネットワーク装置に含まれる画像記録手段に画像データが一時保存され、その保存された画像データを、画像配信手段を用いて適切な検査員に振り分けることができる。よって、目視検査作業を複数の検査員に分散させることができるので、検査工程のスループットを向上させることが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査方法は、検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を複数個用いたディスプレイパネルの欠陥検査方法であって、前記自動検査装置において判別不能品であると判定されたディスプレイパネルの画像データを、該自動検査装置に記録し、ネットワーク装置を介して端末装置に通知するステップと、前記端末装置が、前記通知した自動検査装置にアクセスし、該自動検査装置に記録された判別不能品の画像データを受信するステップと、前記端末装置で、表示された前記画像データを用いて良否判定を行い、その判定データを前記自動判別装置に送信するステップを含むことを特徴とする。検査されるディスプレイパネルはＬＣＤパネルである。
【００１８】
これにより、検査員が端末装置を用いて、複数の自動検査装置の何れかにアクセスして判別不能品の画像データを受信し、その画像データで目視検査を行い、判定データを自動検査装置に送信することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明に係るディスプレイの欠陥検査システム１０を、第１、及び第２の実施形態を用いて説明する。第１の実施形態におけるディスプレイパネルの欠陥検査システムは、検査対象物であるディスプレイパネルに信号を印加し、表示状態を撮影して画像データとして記録し、該画像データを用いて自動で良否判定を行う自動検査装置を含むディスプレイパネルの欠陥検査システムであって、図１に示すように、検査対象物の画像データを送信する手段と、検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を含む複数の自動検査装置１２と、複数の自動検査装置１２で送信された画像データを受信する手段と、判定データを送信する手段を含む複数の端末装置１４と、複数の自動検査装置１２と複数の端末装置１４とを接続するネットワーク装置１６とを含んで構成される。ここで、端末装置１４の数は、少なくとも自動検査装置１２の数より少ない数で構成されている。
【００２０】
自動検査装置１２について説明する。本実施形態における自動検査装置１２は、ディスプレイパネルを固定し、ディスプレイパネルの端子に接続して検査用の信号を流すプローバ２２と、検査用の信号により点灯したディスプレイパネルを上面から撮影するＣＣＤカメラ２０と、プローバ２２と、ＣＣＤカメラ２０を制御し、良否判定の演算を行う検査用コンピュータ１８を含んで構成される。
【００２１】
検査用コンピュータ１８は、プローバ２２がディスプレイパネルに供給する検査用の信号を制御する。また、検査用コンピュータ１８は、ＣＣＤカメラ２０で撮影されたディスプレイパネルの画像に、画像処理を施して検査員に見易い画像に変換する作業を行う。また、検査用コンピュータ１８は、後述する端末装置１４に画像処理された画像データを送信する手段、及び端末装置１４から検査対象物の良否判定結果である判定データを受信する手段を実現している。
【００２２】
検査用コンピュータ１８は、ＣＣＤカメラ２０で撮影された画像を用いて、検査対象物であるディスプレイパネルに対して、良品、不良品、判別不能品の何れかの良否判断を自動で行う。例えば、予め決められた欠陥検出アルゴリズムに従って、撮影された画像データに演算処理が施される。演算処理の結果、欠陥の種類やサイズ、位置等を考慮してディスプレイパネルの良否判定を行っている。検査用コンピュータ１８が欠陥を発見し、そのディスプレイパネルが判別不能品である判断をしたならば、そのディスプレイパネルの画像に対して画像処理が施される。この画像処理とは、観測画面に対して検査員にとって視覚的に見やすくしたり、画像の有用性を高めたりする処理のことをいう。また、ここでいう欠陥とは、ディスプレイパネルにおける、キズ、クロストーク、しみ、ピンホール、フリッカ、むら等のことを示す。判別不能品と判断されたならば、自動検査装置１２は、後述する端末装置１４を操作する検査員に良否の判定を仰ぎ、検査員が画像データを用いて目視により良否判定を行う。
【００２３】
詳しくは、自動検査装置１２の検査用コンピュータが、後述するネットワーク装置１６を介して端末装置１４に信号を送り、検査員の判別が必要なディスプレイパネルが検出されたことを伝える。検査員は、この信号が端末装置１４に伝達されると、端末装置１４を用いて自動検査装置にアクセスして判別不能品の画像データを受信する。これにより、自動検査装置１２において判別不能品と判断されたディスプレイパネルは、端末装置１４で画像データを用いて、検査員により良否判定されることになる。
【００２４】
検査用コンピュータ１８が行う画像処理は、▲１▼欠陥箇所を拡大又は縮小すること▲２▼欠陥箇所をコントラストで強調したり、色を付けることで強調したりすること▲３▼自動検査装置１２が検出した欠陥箇所をマーキングすること▲４▼欠陥の種類や特徴を表示すること▲５▼欠陥箇所を立体的に表示すること等である。
【００２５】
検査用コンピュータ１８には記録媒体が組み込まれている。検査用コンピュータ１８は、画像処理後の画像データに識別番号を付して、検査用コンピュータ１８の記録媒体に記録する。検査用コンピュータ１８は、後述する複数の端末装置１４からのアクセスにより、記録媒体に記録された画像データを端末装置１４に送信している。
【００２６】
また、自動検査装置１２は、検査対象物の良否判定を自動で行い、該良否判定で判別できない一の検査対象物を一時退避させる一時保管手段と、端末装置１４からの指示により、一時保管手段に退避した一の検査対象物を良否に分別する指示分別手段とを含んで構成される。
【００２７】
一時保管手段は、検査用コンピュータ１８が判定不能品であると判断した場合に、その判断されたディスプレイパネルを自動検査装置１２に設けられた一時保管場所に退避させる手段を示す。具体的には、判定不能品であると判断されたディスプレイパネルを、ハンドリング装置を用いてプローバ２２から取り外し、ディスプレイパネルをストックしておく一時保管場所に移動させる手段である。自動検査装置１２は、判定不能品であるディスプレイパネルを一時保管場所に移動させた後、次の検査対象物のディスプレイパネルをプローバ２２に固定する作業を行う。
【００２８】
指示分別手段は、一時保管場所に退避させたディスプレイパネルを、後述する端末装置１４からの判断データで、良品或いは不良品のどちらかに分別する手段を示す。具体的には、端末装置１４で検査員により入力された判断データ（良品又は不良品）を基に、一時保管場所に退避されたディスプレイパネルを、ハンドリング装置を用いて良品をストックする場所、又は不良品をストックする場所に移動させることである。
【００２９】
端末装置１４について説明する。端末装置１４は、端末用コンピュータ２４により実現している。端末用コンピュータ２４は、画像を表示するためのディスプレイと、検査員の指示を入力するためのキーボード等により構成されている。この端末用コンピュータ２４は、複数の自動検査装置１２で送信された画像データを受信する手段と、キーボード等により入力された検査員の判定データを自動検査装置１２に送信する手段を実現している。
【００３０】
端末装置１４では、検査員が表示されたディスプレイパネルの画像データを目視することで、良否判定を行っている。検査員は、自動検査装置１２から発信された信号に応じて、その信号が発信された自動検査装置１２にアクセスし、画像データを受信する。その受信した画像データを端末装置１４のディスプレイに表示させ、検査員がその画像データを目視することにより、良品であるか不良品であるかの判定を行う。検査員は、その判定した結果をキーボード等で端末装置１４に入力する。端末装置１４は、その入力された結果を判定データとして自動検査装置１２に送信する。端末装置１４は、検査員が目視検査を行った画像データに対応するディスプレイパネルが保管されている自動検査装置１２に判定データを送信する。
【００３１】
ネットワーク装置１６について説明する。ネットワーク装置１６は、複数の自動検査装置１２と、複数の端末装置１４とを接続するネットワーク回線網により構成されている。このネットワーク回線網は、ＬＡＮ（ｌｏｃａｌ  ａｒｅａ  ｎｅｔｗｏｒｋ）により構成されている。また、インターネット回線網を含むＷＡＮ（ｗｉｄｅ  ａｒｅａ  ｎｅｔｗｏｒｋ）により構成することも可能である。
【００３２】
次に、具体的にディスプレイパネルの欠陥検査の手順を、図２を用いて説明する。▲１▼検査対象物であるディスプレイパネルをプローバ２２に固定する。▲２▼ディスプレイパネルに検査用信号を印加する。▲３▼ＣＣＤカメラ２０がディスプレイパネルの上面から、表示状態を撮影する。▲４▼自動検査装置１２が撮影された画像データを用いて自動で良否判定を行い、判定不能品と判断した場合に、検査用コンピュータ１８が、その画像データに画像処理を施す。▲５▼画像処理後の画像データにディスプレイパネル固有の識別番号を付して自動検査装置１２の記録媒体に記録し、端末装置１４を操作する検査員に、判定不能品についての判定を仰ぐ。自動検査装置１２は、その判定不能品であるディスプレイパネルをプローバ２２から取り外して一時保管場所に移動させ、プローバ２２には次の検査対象のディスプレイパネルを固定する。▲６▼検査員が端末装置１４を用いて自動検査装置１２にアクセスし、検査すべき画像データを受信する。▲７▼検査員は端末装置１４のディスプレイに表示された画像を目視して検査を行い、判定結果を端末装置１４に入力する。▲８▼端末装置１４は、その画像データに対応するディスプレイのある自動検査装置１２に、検査員の判定データを送信する。▲９▼自動検査装置１２は受信した判定データを用いて、ディスプレイパネルを所定の場所（良品をストックする場所、又は不良品をストックする場所）に移動させる。
【００３３】
第１の実施形態におけるディスプレイパネルの欠陥検査システム１０では、複数の自動検査装置１２と複数の端末装置１４（端末装置１４の数は、少なくとも自動検査装置１２の数より少ない）とをネットワーク装置１６を介して接続している。よって、１つの自動検査装置１２に１人の検査員を常駐させなくても、検査工程のスループットを維持することができる。また、特定の自動検査装置１２に判定不良品が集中したとしても、その自動検査装置１２から複数の端末装置１４に画像データが送信されるので、検査工程が滞らない。
【００３４】
また第１の実施形態におけるディスプレイパネルの欠陥検査システム１０では、自動検査装置１２が検査員の判定結果を待つことなく、次の製品の検査を行うことができる。また、検査員が端末装置１４のディスプレイを用いて画像データによる目視検査を行っているので、従来の目視検査に必要であった、目視検査用プローバ、及びプローブを必要としない。
【００３５】
次に第２の実施形態に係るディスプレイパネルの欠陥検査システム１０を、図３を用いて説明する。第２の実施形態では、ネットワーク装置１６に、ネットワーク回線網を制御するネットワークサーバー２６を含んで構成することに特徴を有する。このネットワークサーバー２６では、複数の自動検査装置１２で撮影された検査対象物の画像を一時保存する画像記録手段と、複数の端末装置１４に該検査対象物の画像を振り分ける画像配信手段を実現している。
【００３６】
画像記録手段は、ネットワークサーバー２６のソフトウエア、及び記録媒体にて実現している。詳しくは、自動検査装置１２において撮影された画像データを、ネットワーク回線網を介して受信し、サーバー内の記録媒体に一時記憶している。
【００３７】
画像配信手段は、ネットワークサーバー２６のソフトウエアにて実現している。画像配信手段は、ネットワークサーバー２６の記録媒体に一時記憶された画像データを、ネットワーク回線網を介して、複数の端末装置１４の何れかに送信している。この際、ネットワークサーバー２６のソフトウエアにて、どの端末装置１４に送信すれば効率よく目視検査の作業が進むのかを判断している。効率良く目視検査を行うためには、複数の端末装置１４の中で最も作業が手薄な端末装置１４に画像データを配信することが望ましい。よって、この判断には、端末装置１４における作業の進み具合の情報が用いられる。また、この判断には、端末装置１４を担当する検査員の能力、癖などのデータを基に判断し、欠陥の種類に応じて、どの検査員に送信すれば最適であるかの判断も含む。
【００３８】
このように、第２の実施形態におけるディスプレイパネルの欠陥検査システム１０では、ネットワークサーバー２６に、検査対象物の画像データを一時保管し、ネットワークサーバー２６が、複数の端末装置１４の中で、最も適切な端末装置１４を選択し、その端末装置１４に画像データを送信している。よって、特定の自動検査装置１２に判別不能品が集中したとしても、複数の端末装置１４に検査対象物の画像データが送信されるので、検査工程のスループットを低下させることが無い。
【００３９】
尚、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々なる改良、修正、変形を加えた態様で実施できるものである。例えば、画像データの送信は、自動検査装置１２から端末装置１４に送られることに限定されず、複数の端末装置１４の間で画像データの送受信を行うことも本発明の技術的範囲に含まれる。これにより、一の検査員が、良否の判定を迷った場合に他の検査員にその画像データを送信し、他の検査員に判定の指示を仰ぐことが可能となる。また、１つの画像データを複数の端末装置１４に送信することも、本発明の技術的範囲に含まれる。これにより、判定が難しい画像データを複数の検査員が判定することで、より効果的な判定を下すことが可能となる。
【００４０】
また、複数の端末装置１４から、特定の自動検査装置１２に送信される判定データを用いて、自動検査装置１２の判定の閾値（良品と判別不能品との閾値、判別不能品と不良品との閾値）を自動で調節することも、本発明の技術的範囲に含まれる。例えば、自動検査装置１２を制御する検査用コンピュータ１８のソフトウエアで、複数の端末装置１４から送信される判定データを参照し、以後の自動検査装置１２における判定の閾値を自動で調節することである。つまり、最初に設定した判定の閾値を、実際に検査員が目視することで下した判定を参照することにより、調節することである。これにより、良品、又は不良品と判定してもよい品であるのに関わらず、判別不能品であると判断された場合に、閾値の調節を端末装置１４から指示することで、検査工程のスループットを向上させることが可能となる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムによれば、複数の自動検査装置と複数の端末装置とをネットワーク装置を介して接続している。よって、１人の検査員が複数台の自動検査装置からの画像を受信することができるので、検査員の数を減らしたとしても、検査工程のスループットを維持することができる。これにより、検査工程における人的コストを低下させることができる。また、特定の自動検査装置に判定不良品が集中したとしても、その自動検査装置から複数の端末装置に画像データが送信されるので、検査工程が滞らない。よって検査工程のスループットを向上させることが可能である。
【００４２】
また本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムによれば、ディスプレイパネルの歩留りの変動による、目視検査の作業量の変動にも柔軟に対応できる。つまり、従来は、１つの自動検査装置に１人の検査員が常駐しているので、目視検査の作業量が減ったとしても、その検査員は自動検査装置から離れることができなかった。しかし本発明により、作業量が増えたら検査員の数を増やし、作業量が減ったら検査員の数を減らすという柔軟な対応が可能となる。
【００４３】
また本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムによれば、自動検査装置が検査員の判定結果を待つことなく、次の製品の検査を行うことができる。よって、ＴＡＣＴ制限（工程の時間的制限）のあるインライン装置等の場合において検査の時間的制限が無くなる。また、検査員が端末装置のディスプレイを用いて画像データによる目視検査を行っているので、従来の目視検査に必要であった、目視検査用プローバ、及びプローブを必要としない。よって、設備に対するコストを抑えることができる。また、検査員の作業エリアを自動検査装置の周辺に限定されず任意に配置できるので、工場内のスペースの有効利用が可能となる。
【００４４】
更に、本発明に係るディスプレイパネルの欠陥検査システムによれば、ネットワークサーバーに、検査対象物の画像データを一時保管し、ネットワークサーバーが、複数の端末装置の中で、最も適切な端末装置を選択し、その端末装置に画像データを送信している。よって、特定の自動検査装置に判別不能品が集中したとしても、複数の端末装置に検査対象物の画像データが送信されるので、検査工程のスループットを低下させることが無い。また、複数の端末装置の作業状況に応じて、ネットワークサーバーから画像データが送信されるので、より効率良く検査工程を進めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る欠陥検査システムの第１実施形態の構成図である。
【図２】本発明に係る欠陥検査システムの第１実施形態の流れ図である。
【図３】本発明に係る欠陥検査システムの第２実施形態の構成図である。
【符号の説明】
１０：欠陥検査システム
１２：自動検査装置
１４：端末装置
１６：ネットワーク装置
１８：検査用コンピュータ
２０：ＣＣＤカメラ
２２：プローバ
２４：端末用コンピュータ
２６：ネットワークサーバー
【図１】
2004279037.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004279037.tif 000005