(57)【要約】【課題】副走査方向における光ビームの走査位置を簡単に、しかも高精度に調整して高品質な画像を形成することができる画像形成装置を提供する。【解決手段】光走査素子６５では、偏向ミラー面６５１を互いに直交する第１軸および第２軸回りに、しかも独立して揺動駆動することが可能となっている。そして、第１軸駆動部と第２軸駆動部とからなるミラー駆動部を制御することによって偏向ミラー面６５１を第１軸回りに揺動させることで光ビームＬを偏向して主走査方向に走査させている。一方、偏向ミラー面６５１を第２軸回りに揺動させることで副走査方向における感光体２上での走査光ビームＬの位置を調整している。すなわち、部品誤差や組立誤差などにより副走査方向において走査光ビームが基準走査位置からずれていたとしても該ずれを補正して高品質な画像を形成することができる。【選択図】        図１
2004279655.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
副走査方向に回転移動する潜像担持体と、光ビームを射出する光源と、前記副走査方向とほぼ直交する主走査方向に前記光源からの光ビームを偏向走査するとともに、該走査光ビームを前記潜像担持体上に照射する光走査手段と、前記光源および前記光走査手段を制御して前記潜像担持体上に潜像を形成する制御手段とを備えた画像形成装置において、
前記光走査手段は、前記光源からの光ビームまたは走査光ビームを前記副走査方向に偏向する微調整機構を有し、
前記制御手段は、前記微調整機構を制御することによって前記副走査方向における前記潜像担持体上での前記走査光ビームの位置を調整することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記光走査手段は、
前記光源からの光ビームを反射する偏向ミラー面を有する内側可動部材と、
前記内側可動部材を第１軸回りに揺動自在に支持する外側可動部材と、
前記外側可動部材を前記第１軸とは異なる第２軸回りに揺動自在に支持する支持部材と、
前記内側可動部材を前記第１軸回りに揺動駆動し、また前記外側可動部材を前記第２軸回りに揺動駆動するミラー駆動部とを備え、
前記ミラー駆動部は、前記第１軸および前記第２軸のうちの一方を主走査偏向軸として前記偏向ミラー面を揺動させて前記光源からの光ビームを前記主走査方向に走査させる一方、他方を微調整軸として前記偏向ミラー面を揺動駆動して前記副走査方向における前記潜像担持体上での前記走査光ビームの位置を変更する請求項１記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記内側可動部材、前記外側可動部材および前記支持部材はシリコン単結晶で構成されている請求項２記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記ミラー駆動部は、前記偏向ミラー面を共振モードで前記主走査偏向軸回りに揺動駆動する請求項２または３記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記ミラー駆動部は、静電吸着力により前記偏向ミラー面を前記主走査偏向軸回りに揺動駆動する請求項２ないし４のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記ミラー駆動部は、前記偏向ミラー面を非共振モードで前記微調整軸回りに揺動位置決めする請求項２ないし５のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記ミラー駆動部は、電磁気力により前記偏向ミラー面を前記微調整軸回りに揺動位置決めする請求項２ないし６のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記偏向ミラー面により前記主走査方向に走査される走査光ビームを前記潜像担持体の表面に結像させる結像光学系をさらに備え、
前記結像光学系は、単玉レンズで構成され、前記偏向ミラー面の固有の揺動特性で偏向された走査光ビームが各潜像担持体の表面上では等速で移動する歪み特性を有し、かつ、各潜像担持体の表面上の任意の位置における光ビームの子午方向の像面湾曲収差を補正するように、子午平面内の両面の形状が相互に異なる形の非円弧状に形成され、さらに、球欠方向の像面湾曲収差を補正するように、前記両面の少なくとも何れか一方の子午平面内での非円弧曲線に沿った位置の球欠方向の曲率が子午方向の曲率とは相関なく変化するように定められてなる請求項２ないし７のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記光走査手段は、
光ビームを反射する偏向ミラー面を複数個有し、前記主走査方向と直交する主走査偏向軸回りに回転駆動して前記偏向ミラー面で光ビームを前記主走査方向に偏向走査するポリゴンミラーと、
光ビームを反射する微調整用反射面を有し、前記副走査方向と直交する微調整軸回りに揺動して前記副走査方向における前記潜像担持体上での前記走査光ビームの位置を変更する微調整用揺動ミラーとを備え、
前記ポリゴンミラーおよび前記微調整用揺動ミラーのうちの一方が前記光源側に設けられて前記光源からの光ビームを反射するとともに、他方が前記一方のミラーからの光ビームを反射する請求項１記載の画像形成装置。
【請求項１０】
前記光走査手段は、
光ビームを反射する偏向ミラー面を有し、前記主走査方向と直交する主走査偏向軸回りに揺動して前記偏向ミラー面で光ビームを前記主走査方向に偏向走査する主走査用揺動ミラーと、
光ビームを反射する微調整用反射面を有し、前記副走査方向と直交する微調整軸回りに揺動して前記副走査方向における前記潜像担持体上での前記走査光ビームの位置を変更する微調整用揺動ミラーとを備え、
前記主走査用揺動ミラーおよび前記微調整用揺動ミラーのうちの一方が前記光源側に設けられて前記光源からの光ビームを反射するとともに、他方が前記一方のミラーからの光ビームを反射する請求項１記載の画像形成装置。
【請求項１１】
前記偏向ミラー面により前記主走査方向に走査される走査光ビームを前記潜像担持体の表面に結像させる結像光学系をさらに備え、
前記結像光学系は、単玉レンズで構成され、前記偏向ミラー面の固有の揺動特性で偏向された走査光ビームが各潜像担持体の表面上では等速で移動する歪み特性を有し、かつ、各潜像担持体の表面上の任意の位置における光ビームの子午方向の像面湾曲収差を補正するように、子午平面内の両面の形状が相互に異なる形の非円弧状に形成され、さらに、球欠方向の像面湾曲収差を補正するように、前記両面の少なくとも何れか一方の子午平面内での非円弧曲線に沿った位置の球欠方向の曲率が子午方向の曲率とは相関なく変化するように定められてなる請求項９または１０記載の画像形成装置。
【請求項１２】
前記副走査方向における前記潜像担持体上での基準走査位置に対するずれ情報を記憶する記憶手段をさらに備え、
前記制御手段は前記記憶手段に記憶された前記ずれ情報に基づき前記微調整機構を制御する請求項１ないし１１のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項１３】
前記副走査方向における前記潜像担持体上での基準走査位置に対するずれ量を検出する検出手段をさらに備え、
前記制御手段は前記検出手段により検出された前記ずれ量に基づき前記微調整機構を制御する請求項１ないし１１のいずれかに記載の画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光ビームを画像データに応じて感光体などの潜像担持体上に走査することにより画像形成を行うプリンタ、複写機およびファクシミリ装置などの画像形成装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の画像形成装置では、画像データに基づき変調された光ビームを光走査光学系により感光体などの潜像担持体の表面で主走査方向に走査させて画像データに対応する潜像を潜像担持体に形成する。また、その潜像をトナー像に現像した後、該トナー像を転写紙、用紙、複写紙などのシートに転写している。ここで、光走査光学系としては、ポリゴンミラーを偏向器として用いたものが従来より知られている（特許文献１）。
【０００３】
この特許文献１に記載の装置では、潜像担持体たる感光体は所定方向（副走査方向）に等速度で回転移動している。そして、半導体レーザなどの光源から射出された光ビームはコリメータレンズにより適当な大きさのコリメート光にビーム整形された後、ポリゴンミラーに入射される。これにより光ビームはポリゴンミラーにより偏向されて主走査方向に走査される。また、この走査光ビームは２枚の走査レンズよりなるｆ−θレンズを介して感光体上に結像される。こうして、感光体の表面に静電潜像が形成される。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−２９６５３１号公報（第３頁、図２）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ポリゴンミラーや揺動ミラーなどの偏向器の形状誤差を完全に除去することはできない。例えば、ポリゴンミラーは複数の偏向ミラー面を有しており、各偏向ミラー面で光ビームを反射しているが、この偏向ミラー面がポリゴンミラーの回転中心軸に対して傾斜していると、いわゆる面倒れが発生する。その結果、感光体上での光ビームの走査位置が副走査方向において基準走査位置からずれてしまい、画像品質の劣化が生じてしまう。特許文献１に記載の発明では偏向器の形状誤差について十分な配慮がなされておらず、画像品質の改善が望まれる。なお、この基準走査位置は光ビームを走査させる位置であり、予め設計上設定されている。
【０００６】
ここで、面倒れを補正するためには、従来より周知のように偏向器の前後に副走査方向にのみパワーを有する一対のシリンドリカルレンズを配置することが有効な対策となる。すなわち、このように構成することで、副走査方向において偏向ミラー面と感光体表面とが光学的に共役な関係となり、偏向ミラー面の傾きがあったとしても感光体上での結像位置は変化しなくなる。
【０００７】
しかしながら、シリンドリカルレンズの追加により部品点数が多くなり、装置コストが増大する。また、光学部品の増大により光走査光学系の大型化は避けられず、このことが画像形成装置のコンパクト化にとって大きな障害の一つとなっている。また、光学調整が複雑となるという問題もある。
【０００８】
また、上記した面倒れ補正を施したとしても、部品誤差や組立誤差などは不可避であり、製品組立後の最終調整段階で光走査光学系を再度組立調整することなく、簡便な対応により副走査方向における光ビームの走査位置を基準走査位置に合致させることが切望されている。
【０００９】
さらに、画像形成装置の動作中においては、温度や湿度などの動作環境が変化したり、振動のよる光学部品の位置ずれが発生したり、経時変化などによって副走査方向における光ビームの走査位置が基準走査位置からずれてしまうこともある。
【００１０】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、副走査方向における光ビームの走査位置を簡単に、しかも高精度に調整して高品質な画像を形成することができる画像形成装置を提供することを第１の目的とする。
【００１１】
また、この発明は、画像形成動作中において、副走査方向における光ビームの走査位置が基準走査位置からずれるのを解消し、常に高品質な画像を形成することができる画像形成装置を提供することを第２の目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明は、副走査方向に回転移動する潜像担持体と、光ビームを射出する光源と、副走査方向とほぼ直交する主走査方向に光源からの光ビームを偏向走査するとともに、該走査光ビームを潜像担持体上に照射する光走査手段と、光源および光走査手段を制御して潜像担持体上に潜像を形成する制御手段とを備えた画像形成装置であって、上記目的を達成するため、光走査手段は、光源からの光ビームまたは走査光ビームを副走査方向に偏向する微調整機構を有し、制御手段は、微調整機構を制御することによって副走査方向における潜像担持体上での走査光ビームの位置を調整することを特徴としている。
【００１３】
このように構成された発明では、光走査手段は単に光ビームを主走査方向に偏向走査するのみならず、偏向走査する前あるいは同時に光源からの光ビームを副走査方向に偏向する、あるいは走査光ビームを副走査方向に偏向するという機能、つまり微調整機能を有している。そして、この微調整機能によって潜像担持体上での走査光ビームの位置が副走査方向に調整される。このように微調整機構により副走査方向における光ビームまたは走査光ビームの偏向を制御することで潜像担持体上での副走査方向における光ビームの走査位置を簡単に、しかも高精度に調整することができる。その結果、副走査方向における走査光ビームのずれが補正されて高品質な画像を形成することができる。
【００１４】
ここで、光走査手段として、（１）２軸揺動ミラー方式のもの、（２）ポリゴンミラーと切替用揺動ミラーとを組み合わせたもの、（３）２つの揺動ミラーを組み合わせたもの等を用いることができる。
【００１５】
（１）２軸揺動ミラー方式の光走査手段は、光源からの光ビームを反射する偏向ミラー面を有する内側可動部材と、内側可動部材を第１軸回りに揺動自在に支持する外側可動部材と、外側可動部材を第１軸とは異なる第２軸回りに揺動自在に支持する支持部材と、内側可動部材を第１軸回りに揺動駆動し、また外側可動部材を第２軸回りに揺動駆動するミラー駆動部とを備えている。そして、ミラー駆動部は、第１軸および第２軸のうちの一方を主走査偏向軸として偏向ミラー面を揺動させて光源からの光ビームを主走査方向に走査させる一方、他方を微調整軸として偏向ミラー面を揺動駆動して副走査方向における潜像担持体上での走査光ビームの位置を変更する。このように偏向ミラー面を第１軸および第２軸の２軸回りに揺動可能に構成することで、上記した光走査手段（２）、（３）に比べて光走査手段を小型化することができ、装置をさらに小型化することができる。
【００１６】
また、内側可動部材、外側可動部材および支持部材をシリコン単結晶で構成することができる。例えばシリコン単結晶の基板を支持部材として用いるとともに、この基板に対してマイクロマシニング技術を適用することで内側可動部材および外側可動部材を形成することができる。このようにシリコン単結晶を用いて光走査手段の内側可動部材、外側可動部材および支持部材を構成すると、内側可動部材および外側可動部材を高精度に製造することができる。また、ステンレス鋼と同程度のバネ特性で内側可動部材および外側可動部材を揺動自在に支持することができ、偏向ミラー面を安定して、しかも高速で揺動することができる。
【００１７】
また、ミラー駆動部により偏向ミラー面を揺動駆動するのにあたり、偏向ミラー面を共振モードで主走査偏向軸回りに揺動駆動するように構成してもよい。このように構成することで少ないエネルギーで偏向ミラー面を主走査偏向軸回りに揺動駆動することができる。また、走査光ビームの主走査周期を安定化することができる。一方、偏向ミラー面を微調整軸回りに揺動位置決めするためには、偏向ミラー面を非共振モードで揺動駆動するのが望ましい。というのも、偏向ミラー面の微調整軸回りの揺動駆動は副走査方向における潜像担持体上での走査光ビームの位置を変更した後、偏向ミラー面の微調整軸回りの揺動を停止させる必要があるからである。したがって、揺動駆動と揺動停止とを精度良く行うためには、非共振モードで揺動駆動させるのが望ましい。
【００１８】
また、偏向ミラー面を揺動駆動させるための駆動力としては、静電吸着力や電磁気力などを用いることができるが、特に偏向ミラー面を主走査偏向軸回りに揺動駆動するために静電吸着力を用いるのが望ましく、偏向ミラー面を微調整軸回りに揺動駆動するために電磁気力を用いるのが望ましい。前者の理由は、コイルパターンを形成する必要がなく、光走査手段の小型化が可能となり、偏向走査をより高速化することができるからである。一方、後者の理由は、静電吸着力を発生させる場合に比べて低い駆動電圧で偏向ミラー面を揺動駆動することができ、電圧制御が容易となり、走査光ビームの位置精度を高めることができるからである。
【００１９】
ここで、走査光ビームを潜像担持体に結像するために複数のレンズを組み合わせた結像光学系が従来より多用されているが、次の結像光学系を用いることでレンズ枚数を１枚にすることができ、装置の小型化および低コスト化をさらに進めることができる。この結像光学系は、偏向ミラー面により主走査方向に走査される走査光ビームを、偏向ミラー面により導光される潜像担持体の表面に結像させる光学系であって、単玉レンズで構成されている。そして、その単玉レンズは、偏向ミラー面の固有の揺動特性で偏向された走査光ビームが各潜像担持体の表面上では等速で移動する歪み特性を有し、かつ、各潜像担持体の表面上の任意の位置における光ビームの子午方向の像面湾曲収差を補正するように、子午平面内の両面の形状が相互に異なる形の非円弧状に形成され、さらに、球欠方向の像面湾曲収差を補正するように、両面の少なくとも何れか一方の子午平面内での非円弧曲線に沿った位置の球欠方向の曲率が子午方向の曲率とは相関なく変化するように定められてなる。なお、以下の説明の便宜から、このように構成された単玉レンズを「単玉非球面レンズ」という。
【００２０】
（２）ポリゴンミラーと微調整用揺動ミラーとを組み合わせた光走査手段としては、次のように構成されたものを用いることができる。この光走査手段は、光ビームを反射する偏向ミラー面を複数個有し、主走査方向と直交する主走査偏向軸回りに回転駆動して偏向ミラー面で光ビームを主走査方向に偏向走査するポリゴンミラーと、光ビームを反射する微調整用反射面を有し、副走査方向と直交する微調整軸回りに揺動して光ビームが照射される潜像担持体を切り替える微調整用揺動ミラーとを備えている。そして、ポリゴンミラーおよび微調整用揺動ミラーのうちの一方が光源側に設けられて光源からの光ビームを反射するとともに、他方が一方のミラーからの光ビームを反射する。このように、微調整用揺動ミラーによって走査光ビームが偏向されて副走査方向における潜像担持体上での走査光ビームの位置が調整される。
【００２１】
（３）２つの揺動ミラーを組み合わせた光走査手段としては、次のように構成されたものを用いることができる。この光走査手段は、光ビームを反射する偏向ミラー面を有し、主走査方向と直交する主走査偏向軸回りに揺動して偏向ミラー面で光ビームを主走査方向に偏向走査する主走査用揺動ミラーと、光ビームを反射する微調整用反射面を有し、副走査方向と直交する微調整軸回りに揺動して副走査方向における潜像担持体上での走査光ビームの位置を変更する微調整用揺動ミラーとを備えている。そして、ポリゴンミラーおよび微調整用揺動ミラーのうちの一方が光源側に設けられて光源からの光ビームを反射するとともに、他方が一方のミラーからの光ビームを反射する。このように、微調整用揺動ミラーによって走査光ビームが偏向されて副走査方向における潜像担持体上での走査光ビームの位置が調整される。
【００２２】
ここで、光走査手段（２）や（３）を用いる場合にも、走査光ビームを潜像担持体に結像するために単玉非球面レンズを用いることで、上記発明と同様に、装置の小型化および低コスト化をさらに進めることができる。
【００２３】
ところで、この種の画像形成装置では、光ビームを走査させる予定位置、つまり基準走査位置が予め定められており、走査光ビームが基準走査位置に一致するように製品組立を行う。しかしながら、上記したように部品誤差や組立誤差などは不可避であり、製品組立後の最終調整段階で走査光ビームが基準走査位置と一致していない場合があり、従来では光走査光学系を再度組立調整する必要があった。これに対し、本発明では、副走査方向における潜像担持体上での基準走査位置に対するずれ情報が記憶手段に記憶されており、該ずれ情報に基づき微調整機構を制御することで走査光ビームが基準走査位置に一致する。このように、ずれ情報を記憶手段に記憶させることで走査光ビームを基準走査位置に一致させることができ、光走査光学系の再組立調整が不要となる。その結果、優れた作業性で画像形成装置を製造することができ、しかも、こうして得られた画像形成装置により高品質な画像を形成することができる。
【００２４】
さらに、上記したように画像形成装置の動作中に副走査方向における光ビームの走査位置が基準走査位置からずれてしまうこともある。しかしながら、副走査方向における潜像担持体上での基準走査位置に対するずれ情報を検出する検出手段をさらに設け、検出結果に基づき微調整機構によって副走査方向における走査光ビームの位置を調整することで走査光ビームを基準走査位置に一致させることができる。すなわち、装置の動作中に副走査方向における走査光ビームの位置を積極的に調整することによって、副走査方向における光ビームの走査位置が基準走査位置からずれるのを解消し、常に高品質な画像を形成することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
＜第１実施形態＞
図１は本発明にかかる画像形成装置の第１実施形態を示す図である。また、図２は図１の画像形成装置の電気的構成を示すブロック図である。この画像形成装置は、いわゆる４サイクル方式のカラープリンタである。この画像形成装置では、ユーザからの画像形成要求に応じてホストコンピュータなどの外部装置から印字指令がメインコントローラ１１に与えられると、このメインコントローラ１１のＣＰＵ１１１からの印字指令に応じてエンジンコントローラ１０がエンジン部ＥＧの各部を制御して複写紙、転写紙、用紙およびＯＨＰ用透明シートなどのシートに印字指令に対応する画像を形成する。
【００２６】
このエンジン部ＥＧでは、感光体２が図１の矢印方向（副走査方向）に回転自在に設けられている。また、この感光体２の周りにその回転方向に沿って、帯電ユニット３、ロータリー現像ユニット４およびクリーニング部（図示省略）がそれぞれ配置されている。帯電ユニット３には帯電制御部１０３が電気的に接続されており、所定の帯電バイアスを印加している。このバイアス印加によって感光体２の外周面が所定の表面電位に均一に帯電される。また、これらの感光体２、帯電ユニット３およびクリーニング部は一体的に感光体カートリッジを構成しており、感光体カートリッジが一体として装置本体５に対し着脱自在となっている。
【００２７】
そして、この帯電ユニット３によって帯電された感光体２の外周面に向けて露光ユニット６から光ビームＬが照射される。この露光ユニット６は、外部装置から与えられた画像信号に応じて光ビームＬを感光体２上に露光して画像信号に対応する静電潜像を形成する。なお、この露光ユニット６の構成および動作については後で詳述する。
【００２８】
こうして形成された静電潜像は現像ユニット４によってトナー現像される。すなわち、この実施形態では、現像ユニット４は、軸中心に回転自在に設けられた支持フレーム４０、支持フレーム４０に対して着脱自在のカートリッジとして構成されてそれぞれの色のトナーを内蔵するイエロー用の現像器４Ｙ、マゼンタ用の現像器４Ｍ、シアン用の現像器４Ｃ、およびブラック用の現像器４Ｋを備えている。そして、エンジンコントローラ１０の現像器制御部１０４からの制御指令に基づいて、現像ユニット４が回転駆動されるとともにこれらの現像器４Ｙ、４Ｃ、４Ｍ、４Ｋが選択的に感光体２と当接してまたは所定のギャップを隔てて対向する所定の現像位置に位置決めされると、当該現像器に設けられて選択された色のトナーを担持する現像ローラ４４から感光体２の表面にトナーを付与する。これによって、感光体２上の静電潜像が選択トナー色で顕像化される。
【００２９】
上記のようにして現像ユニット４で現像されたトナー像は、一次転写領域ＴＲ１で転写ユニット７の中間転写ベルト７１上に一次転写される。転写ユニット７は、複数のローラ７２、７３等に掛け渡された中間転写ベルト７１と、ローラ７３を回転駆動することで中間転写ベルト７１を所定の回転方向に回転させる駆動部（図示省略）とを備えている。
【００３０】
また、ローラ７２の近傍には、転写ベルトクリーナ（図示省略）、濃度センサ７６（図２）および垂直同期センサ７７（図２）が配置されている。これらのうち、濃度センサ７６は、中間転写ベルト７１の表面に対向して設けられており、中間転写ベルト７１の外周面に形成されるパッチ画像の光学濃度を測定する。また、垂直同期センサ７７は、中間転写ベルト７１の基準位置を検出するためのセンサであり、中間転写ベルト７１の副走査方向への回転駆動に関連して出力される同期信号、つまり垂直同期信号Ｖｓｙｎｃを得るための垂直同期センサとして機能する。そして、この装置では、各部の動作タイミングを揃えるとともに各色のトナー像を正確に重ね合わせるために、装置各部の動作はこの垂直同期信号Ｖｓｙｎｃに基づいて制御される。
【００３１】
そして、カラー画像をシートに転写する場合には、感光体２上に形成される各色のトナー像を中間転写ベルト７１上に重ね合わせてカラー画像を形成するとともに、カセット８から１枚ずつ取り出され搬送経路Ｆに沿って二次転写領域ＴＲ２まで搬送されてくるシート上にカラー画像を二次転写する。
【００３２】
このとき、中間転写ベルト７１上の画像をシート上の所定位置に正しく転写するため、二次転写領域ＴＲ２にシートを送り込むタイミングが管理されている。具体的には、搬送経路Ｆ上において二次転写領域ＴＲ２の手前側にゲートローラ８１が設けられており、中間転写ベルト７１の周回移動のタイミングに合わせてゲートローラ８１が回転することにより、シートが所定のタイミングで二次転写領域ＴＲ２に送り込まれる。
【００３３】
また、こうしてカラー画像が形成されたシートは定着ユニット９および排出ローラ８２を経由して装置本体５の上面部に設けられた排出トレイ部５１に搬送される。また、シートの両面に画像を形成する場合には、上記のようにして片面に画像を形成されたシートを排出ローラ８２によりスイッチバック移動させる。これによってシートは反転搬送経路ＦＲに沿って搬送される。そして、ゲートローラ８１の手前で再び搬送経路Ｆに乗せられるが、このとき、二次転写領域ＴＲ２において中間転写ベルト７１と当接し画像を転写されるシートの面は、先に画像が転写された面とは反対の面である。このようにして、シートの両面に画像を形成することができる。
【００３４】
なお、図２において、符号１１３はホストコンピュータなどの外部装置よりインターフェース１１２を介して与えられた画像データを記憶するためにメインコントローラ１１に設けられた画像メモリであり、符号１０６はＣＰＵ１０１が実行する演算プログラムやエンジン部ＥＧを制御するための制御データなどを記憶するためのＲＯＭ、また符号１０７はＣＰＵ１０１における演算結果やその他のデータを一時的に記憶するＲＡＭである。
【００３５】
図３は図１の画像形成装置に装備された露光ユニットの構成を示す副走査断面図である。また、図４は図１の画像形成装置に装備された露光ユニットの構成を示す主走査断面図である。また、図５は露光ユニットの光学構成を展開した副走査断面図である。また、図６ないし図８は露光ユニットの一構成要素たる光走査素子を示す図である。また、図９は露光ユニットおよび露光制御部の構成を示すブロック図である。以下、これらの図面を参照しつつ、露光ユニットの構成および動作について詳述する。さらに、図１０は図１の画像形成装置の動作を模式的に示す図である。
【００３６】
この露光ユニット６は露光筐体６１を有している。そして、露光筐体６１に単一のレーザー光源６２が固着されており、レーザー光源６２から光ビームを射出可能となっている。このレーザー光源６２は、図９に示すように、露光制御部１０２の光源駆動部１０２ａと電気的に接続されている。このため、画像データに応じて光源駆動部１０２ａがレーザー光源６２をＯＮ／ＯＦＦ制御してレーザー光源６２から画像データに対応して変調された光ビームが射出される。このように本実施形態では、レーザー光源６２が本発明の「光源」に相当してる。
【００３７】
また、この露光筐体６１の内部には、レーザー光源６２からの光ビームを感光体２の表面に走査露光するために、コリメータレンズ６３、シリンドリカルレンズ６４、光走査素子６５、第１走査レンズ６６、折り返しミラー６７および第２走査レンズ６８が設けられている。すなわち、レーザー光源６２からの光ビームは、コリメータレンズ６３により適当な大きさのコリメート光にビーム整形された後、図５に示すように副走査方向にのみパワーを有するシリンドリカルレンズ６４に入射される。そして、このコリメート光は副走査方向にのみ収束されて光走査素子６５の偏向ミラー面６５１付近で線状結像される。
【００３８】
この光走査素子６５は半導体製造技術を応用して微小機械を半導体基板上に一体形成するマイクロマシニング技術を用いて形成されるものであり、偏向ミラー面６５１で反射した光ビームを互いに直交する２方向、つまり主走査方向および副走査方向に光ビームを偏向可能となっている。より具体的には、光走査素子６５は次のように構成されている。
【００３９】
この光走査素子６５では、図６に示すように、シリコンの単結晶基板（以下「シリコン基板」という）６５２が本発明の「支持部材」として機能し、さらに該シリコン基板６５２の一部を加工することで外側可動板６５３が設けられている。この外側可動板６５３は枠状に形成され、ねじりバネ６５４によってシリコン基板６５２に弾性支持されており、主走査方向Ｘとほぼ平行に伸びる第２軸ＡＸ２回りに揺動自在となっている。また、外側可動板６５３の上面には、シリコン基板６５２上面に形成した一対の外側電極端子（図示省略）にねじりバネ６５４を介して電気的に接続する平面コイル６５５が「第２軸駆動用コイル」として絶縁層で被膜されて設けられている。
【００４０】
この外側可動板６５３の内側には、平板状の内側可動板６５６が軸支されている。すなわち、内側可動板６５６はねじりバネ６５４と軸方向が直交するねじりバネ６５７で外側可動板６５３の内側に弾性支持されており、副走査方向Ｙとほぼ平行に伸びる第１軸ＡＸ１回りに揺動自在となっている。そして、内側可動板６５６の中央部には、アルミニューム膜などが偏向ミラー面６５１として成膜されている。
【００４１】
また、シリコン基板６５２の略中央部には、図７および図８に示すように、外側可動板６５３および内側可動板６５６がそれぞれ第２軸ＡＸ２および第１軸ＡＸ１回りに揺動可能となるように、凹部６５２ａが設けられている。そして、凹部６５２ａの内底面のうち内側可動板６５６の両端部に対向する位置に電極６５８ａ、６５８ｂがそれぞれ固着されている（図７参照）。これら２つの電極６５８ａ、６５８ｂは内側可動板６５６を第１軸ＡＸ１回りに揺動駆動するための「第１軸用電極」として機能するものである。すなわち、これらの第１軸用電極６５８ａ、６５８ｂは露光制御部１０２の第１駆動部１０２ｂと電気的に接続されており、電極への電圧印加によって該電極と偏向ミラー面６５１との間に静電吸着力が作用して偏向ミラー面６５１の一方端部を該電極側に引き寄せる。したがって、第１駆動部１０２ｂから所定の電圧を第１軸用電極６５８ａ、６５８ｂに交互に印加すると、ねじりバネ６５７を第１軸ＡＸ１として偏向ミラー面６５１を往復振動させることができる。そして、この往復振動の駆動周波数を偏向ミラー面６５１の共振周波数に設定すると、偏向ミラー面６５１の振れ幅は大きくなり、電極６５８ａ、６５８ｂに近接する位置まで偏向ミラー面６５１の端部を変位させることができる。また、偏向ミラー面６５１の端部が共振で電極６５８ａ、６５８ｂと近接位置に達することで、電極６５８ａ、６５８ｂも偏向ミラー面６５１の駆動に寄与し、端部と平面部の両電極により振動維持をより安定させることができる。
【００４２】
この凹部６５２ａの内底面には、図８に示すように、外側可動板６５３の両端部に外方位置に永久磁石６５９ａ、６５９ｂが互いに異なる方位関係で固着されている。また、第２軸駆動用コイル６５５は、露光制御部１０２の第２駆動部１０２ｃと電気的に接続されており、コイル６５５への通電によって第２軸駆動用コイル６５５を流れる電流の方向と永久磁石６５９ａ、６５９ｂによる磁束の方向によりローレンツ力が作用し、外側可動板６５３を回転するモーメントが発生する。この際に内側可動板６５６（偏向ミラー面６５１）も外側可動板６５３と一体にねじりバネ６５４を第２軸ＡＸ２として揺動する。ここで、第２軸駆動用コイル６５５に流す電流を交流とし連続的に反復動作すれば、ねじりバネ６５４を第２軸ＡＸ２として偏向ミラー面６５１を往復振動させることができる。
【００４３】
このように光走査素子６５では、偏向ミラー面６５１を互いに直交する第１軸ＡＸ１および第２軸ＡＸ２回りに、しかも独立して揺動駆動することが可能となっている。そこで、この実施形態では、第１軸駆動部１０２ｂと第２軸駆動部１０２ｃとからなるミラー駆動部を制御することによって偏向ミラー面６５１を第１軸ＡＸ１回りに揺動させることで光ビームを偏向して主走査方向Ｘに走査させている。一方、偏向ミラー面６５１を第２軸ＡＸ２回りに揺動させることで副走査方向Ｙにおける感光体２上での走査光ビームの位置を調整している。このように本実施形態では、第１軸ＡＸ１を主走査偏向軸として機能させる。また、第２軸ＡＸ２を微調整軸とし、光走査素子６５が本発明の「微調整機構」として機能している。もちろん、第１軸ＡＸ１を微調整軸として機能させるとともに、第２軸ＡＸ２を主走査偏向軸として機能させるように構成してもよいことはいうまでもない。
【００４４】
図３および図４に戻って露光ユニット６の説明を続ける。上記のように光走査素子６５により走査された走査光ビームは副走査方向Ｙに微調整された後、感光体２に向けて光走査素子６５から射出されるが、その走査光ビームは第１走査レンズ６６、折り返しミラー６７および第２走査レンズ６８で構成された第２光学系を介して感光体２に照射される。これにより、図１０に示すように、走査ビームが主走査方向Ｘと平行に走査して主走査方向Ｘに伸びるライン状の潜像が感光体２上に形成される。
【００４５】
なお、この実施形態では、図４に示すように、光走査素子６５からの走査光ビームの開始または終端を水平同期用結像レンズ６９により同期センサ６０に結像している。すなわち、この実施形態では、同期センサ６０を、主走査方向Ｘにおける同期信号、つまり水平同期信号ＨＳＹＮＣを得るための水平同期用読取センサとして機能させている。
【００４６】
以上のように、この実施形態によれば、光走査素子６５は単に光ビームを主走査方向Ｘに偏向走査するのみならず、偏向走査と同時にレーザー光源６２からの光ビームを副走査方向Ｙに偏向することによって感光体２上での走査光ビームの位置ＳＬを副走査方向Ｙに調整可能となっている。このため、感光体２上での副走査方向Ｙにおける光ビームの走査位置を簡単に、しかも高精度に調整することができる。その結果、部品誤差や組立誤差などにより副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれていたとしても該ずれを補正して高品質な画像を形成することができる。なお、「基準走査位置」とは、光ビームを走査させる予定位置であり、装置の設計段階で予め定められており、走査光ビームが基準走査位置に一致するように製品組立を行う。
【００４７】
ここで、その微調整処理の一例について図１０を参照しつつ説明する。例えば、製品組立後の最終調整段階で、走査光ビームの走査位置ＳＬが同図中の破線で示す基準走査位置ＳＬ０から副走査方向Ｙにずれ量Δｙだけずれていることが発見された場合、次のように調整することができる。すなわち、ずれ量Δｙを求めて本発明の「記憶手段」として機能するＲＡＭ１０７に記憶しておけば、ＣＰＵ１０１がＲＡＭ１０７からずれ量を読出し、その値に対応して偏向ミラー面６５１を第２軸ＡＸ２回りに揺動させる。これにより、副走査方向Ｙにおける感光体２上での走査光ビームの位置が調整されて走査光ビームの走査位置ＳＬが基準走査位置ＳＬ０に一致する。このように、副走査方向Ｙにおける光ビームＬの走査位置ＳＬを簡単に、しかも高精度に基準走査位置ＳＬ０に一致させることができ、その結果、高品質な画像を形成することができる。
【００４８】
なお、この実施形態では、ずれ量を本発明の「ずれ情報」としてＲＡＭ１０７に記憶させているが、ずれ量そのものを記憶させる代わりにずれ量に関連する値やデータなどを「ずれ情報」として記憶させるようにしてもよい。また、電源を落とした場合にも、ずれ量や関連値などを記憶しておくために、不揮発性メモリを採用するのが望ましい。さらに、ずれ情報をコントローラ１１側に記憶させるようにしてもよい。
【００４９】
また、光走査素子６５を上記のように構成および動作させているため、上記した作用効果以外に、次のような作用効果も得ることができる。
【００５０】
（Ａ）偏向ミラー面６５１を第１軸ＡＸ１および第２軸ＡＸ２の２軸回りに揺動可能に構成された光走査素子６５を用いているため、後述する光走査手段（ポリゴンミラー＋揺動ミラー、２つの揺動ミラー）を採用した場合に比べて露光ユニット６を小型化することができ、装置の小型化の面で有利となっている。
【００５１】
（Ｂ）また、シリコンの単結晶基板６５２に対してマイクロマシニング技術を適用することで光走査素子６５の外側可動板６５３および内側可動板６５６を形成しているので、これらの光走査素子６５を高精度に製造することができる。また、ステンレス鋼と同程度のバネ特性で内側可動板６５６および外側可動板６５３を揺動自在に支持することができ、偏向ミラー面６５１を安定して、しかも高速で揺動することができる。
【００５２】
（Ｃ）また、駆動部１０２ｂ、１０２ｃからなるミラー駆動部により偏向ミラー面６５１を揺動駆動するのにあたり、偏向ミラー面６５１を共振モードで第１軸（主走査偏向軸）ＡＸ１回りに揺動駆動するように構成しているので、少ないエネルギーで偏向ミラー面６５１を第１軸ＡＸ１回りに揺動駆動することができる。また、走査光ビームの主走査周期を安定化することができる。
【００５３】
（Ｄ）一方、偏向ミラー面６５１を第２軸（微調整軸）ＡＸ２回りに揺動位置決めするために、偏向ミラー面６５１を非共振モードで揺動駆動しているので、次のような作用効果がある。すなわち、偏向ミラー面６５１の第２軸ＡＸ２回りの揺動駆動は走査光ビームの走査位置ＳＬを副走査方向Ｙに変更調整するため、変更調整後に偏向ミラー面６５１の第２軸ＡＸ２回りの揺動を停止させる必要がある。したがって、揺動駆動と揺動停止とを精度良く行うためには、非共振モードで揺動駆動させるのが望ましい。
【００５４】
（Ｅ）また、偏向ミラー面６５１を揺動駆動させるための駆動力としては、静電吸着力や電磁気力などを用いることができるが、特に偏向ミラー面６５１を第１軸（主走査偏向軸）ＡＸ１回りに揺動駆動するために静電吸着力を用いているので、コイルパターンを内側可動板６５６に形成する必要がなく、光走査素子６５の小型化が可能となり、偏向走査をより高速化することができる。
【００５５】
（Ｆ）また、偏向ミラー面６５１を第２軸（微調整軸）ＡＸ２回りに揺動駆動するために電磁気力を用いているので、静電吸着力を発生させる場合に比べて低い駆動電圧で偏向ミラー面６５１を揺動駆動することができ、電圧制御が容易となり、走査光ビームの位置精度を高めることができる。
【００５６】
＜第２実施形態＞
図１１は本発明にかかる画像形成装置の第２実施形態を示す図である。上記第１実施形態では各感光体２の表面と偏向ミラー面６５１とが光学的に共役な関係となるように構成しているのに対し、この第２実施形態では偏向ミラー面６５１が感光体表面の共役点ＣＰから距離Δｚだけずれており、いわゆる非共役型の光学系となっている。したがって、この第２実施形態では、面倒れ誤差が発生する可能性がある。すなわち、第２実施形態では、副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれる要因は、部品誤差や組立誤差に加えて、面倒れ誤差も含まれてしまう。
【００５７】
しかしながら、上記相違点を除き、その他の構成はすべて第１実施形態と同様であり、光走査素子６５は微調整機構を有している。そのため、副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれていたとしても該ずれ（ずれ量Δｙ）を補正して高品質な画像を形成することができる。
【００５８】
＜第３実施形態＞
図１２は本発明にかかる画像形成装置の第３実施形態を示す図である。この第３実施形態では、同図に示すように、レーザー光源６２からの光ビームがコリメータレンズ６３によりコリメート光にビーム整形された後、このコリメート光がそのまま光走査素子６５の偏向ミラー面６５１に入射している。そして、偏向ミラー面６５１により偏向された走査光ビームは第１走査レンズ６６および第２走査レンズ６８を含む第２光学系により各感光体２の表面に結像される。このように、この第３実施形態では、上記第２実施形態と同様に非共役型の光学系となっている。したがって、この第３実施形態においても、面倒れ誤差が発生する可能性がある。
【００５９】
しかしながら、上記相違点を除き、その他の構成はすべて第１実施形態と同様であり、光走査素子６５は微調整機構を有している。そのため、副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれていたとしても該ずれ（ずれ量Δｙ）を補正して高品質な画像を形成することができる。
【００６０】
また、この第３実施形態では、シリンドリカルレンズの配設が不要となっており、部品点数を削減することができる。そのため、装置コストを低減することができるとともに、露光ユニット６の小型化ならびに画像形成装置のコンパクト化を図ることができる。さらに、光学調整も簡単なものとなる。
【００６１】
さらに、第１ないし第３実施形態からわかるように、光走査素子６５が微調整機構を有することにより、共役型または非共役型にかかわらず、走査光ビームの位置調整を容易に、しかも高精度に行うことができる。したがって、レーザー光源６２からの光ビームを偏向走査する光走査光学系を種々の態様で構成することができ、装置の設計自由度を高めることができる。
【００６２】
＜第４ないし第６実施形態＞
図１３は本発明にかかる画像形成装置の第４実施形態を示す図である。この第４実施形態が第１実施形態と大きく相違する点は、偏向ミラー面６５１により主走査方向Ｘに走査される走査光ビームを感光体２に結像させる構成である。つまり、第１実施形態では第１走査レンズ６６と第２走査レンズ６８とで結像光学系（第２光学系）を構成し、走査レンズ６６、６８により走査光ビームＬを感光体２に結像させている。これに対し、第４実施形態では図１３に示すように単玉非球面レンズ６６１により走査光ビームＬを感光体２に結像している。
【００６３】
この単玉非球面レンズ６６１は、偏向ミラー面６５１の固有の揺動特性で偏向された走査光ビームが各感光体２の表面上では等速で移動する歪み特性を有し、かつ、各感光体２の表面上の任意の位置における走査光ビームの子午方向（主走査方向Ｘ）の像面湾曲収差を補正するように、子午平面（主走査平面）内の両面の形状が相互に異なる形の非円弧状に形成され、さらに、球欠方向（感光体２の回転方向に相当する）の像面湾曲収差を補正するように、前記両面の少なくとも何れか一方の子午平面内での非円弧曲線に沿った位置の球欠方向の曲率が子午方向の曲率とは相関なく変化するように定められてなるものである。なお、単玉非球面レンズの構成および作用については、例えば特公平７−６０２２１号公報に詳述されているため、ここではその説明を省略する。
【００６４】
この単玉非球面レンズ６６１により本発明の「結像光学系」を構成した場合、単玉であつてもほとんど収差がなくきわめて良好な結像スポツトが得られ、また広角偏向で光軸長の短い走査用レンズを構成することができる。したがって、露光ユニット６の小型化および低コスト化を効果的に図ることができ、如いては画像形成装置の小型化および低コスト化が可能となる。
【００６５】
もちろん、この第４実施形態においても、光走査素子６５が微調整機構を有しているため、第１実施形態と同様に、副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれていたとしても該ずれを補正して高品質な画像を形成することができる。
【００６６】
また第２実施形態と同様に、偏向ミラー面６５１を感光体表面の共役点ＣＰから距離Δｚだけずらした、いわゆる非共役型の光学系を構成してもよい（図１４に示す第５実施形態）。また、また第３実施形態と同様に、レーザー光源６２からの光ビームをコリメータレンズ６３によりコリメート光にビーム整形した後、このコリメート光をそのまま光走査素子６５の偏向ミラー面６５１に入射する光学系を構成してもよい（図１５に示す第６実施形態）。これらの場合も、光走査素子６５は微調整機構を有しているため、副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれていたとしても該ずれを補正して高品質な画像を形成することができる。
【００６７】
このように第４ないし第６実施形態からわかるように、光走査素子６５が微調整機構を有することにより、共役型または非共役型にかかわらず、走査光ビームの位置調整を容易に、しかも高精度に行うことができる。したがって、単玉非球面レンズ６６１により結像光学系を形成した場合であっても、レーザー光源６２からの光ビームを偏向走査する光走査光学系を種々の態様で構成することができ、装置の設計自由度を高めることができる。なお、結像光学系として単玉非球面レンズを用いてもよい点については、後の実施形態においても同様である。
【００６８】
＜第７実施形態＞
図１６は本発明にかかる画像形成装置の第７実施形態を示す図である。この画像形成装置は、いわゆるタンデム方式のカラープリンタであり、潜像担持体としてイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色の感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋを装置本体５内に並設している。そして、各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋ上のトナー像を重ね合わせてフルカラー画像を形成したり、ブラック（Ｋ）のトナー像のみを用いてモノクロ画像を形成する装置である。すなわち、この画像形成装置では、ユーザからの画像形成要求に応じてホストコンピュータなどの外部装置から印字指令がメインコントローラ１１に与えられると、このメインコントローラ１１のＣＰＵ１１１からの印字指令に応じてエンジンコントローラ１０がエンジン部ＥＧの各部を制御して複写紙、転写紙、用紙およびＯＨＰ用透明シートなどのシートＳに印字指令に対応する画像を形成する。なお、電気的構成については第１実施形態とほぼ同様であるため、図２および図９を適宜参照しながら説明する。
【００６９】
このエンジン部ＥＧでは、４つの感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋのそれぞれに対応して帯電ユニット、現像ユニットおよびクリーニング部が設けられている。なお、これら帯電ユニット、現像ユニットおよびクリーニング部の構成はいずれの色成分についても同一であるため、ここではイエローに関する構成について説明し、その他の色成分については相当符号を付して説明を省略する。
【００７０】
感光体２Ｙは図１６の矢印方向に回転自在に設けられている。そして、この感光体２Ｙの周りにその回転方向に沿って、帯電ユニット３Ｙ、現像ユニット４Ｙおよびクリーニング部（図示省略）がそれぞれ配置されている。帯電ユニット３Ｙは例えばスコロトロン帯電器で構成されており、帯電制御部１０３からの帯電バイアス印加によって感光体２Ｙの外周面を所定の表面電位に均一に帯電させる。そして、この帯電ユニット３Ｙによって帯電された感光体２Ｙの外周面に向けて露光ユニット６から走査光ビームＬｙが照射される。これによって印字指令に含まれるイエロー画像データに対応する静電潜像が感光体２Ｙ上に形成される。なお、この露光ユニット６はイエロー専用ではなく、各色成分に対して共通して設けられており、露光制御部１０２からの制御指令に応じて動作する。この露光ユニット６の構成および動作については後で詳述する。
【００７１】
こうして形成された静電潜像は現像ユニット４Ｙによってトナー現像される。この現像ユニット４Ｙはイエロートナーを内蔵している。そして、現像器制御部１０４から現像バイアスが現像ローラ４１Ｙに印加されると、現像ローラ４１Ｙ上に担持されたトナーが感光体２Ｙの表面各部にその表面電位に応じて部分的に付着する。その結果、感光体２Ｙ上の静電潜像がイエローのトナー像として顕像化される。なお、現像ローラ４１Ｙに与える現像バイアスとしては、直流電圧、もしくは直流電圧に交流電圧を重畳したもの等を用いることができるが、特に感光体２Ｙと現像ローラ４１Ｙとを離間配置し、両者の間でトナーを飛翔させることでトナー現像を行う非接触現像方式の画像形成装置では、効率よくトナーを飛翔させるために直流電圧に対して正弦波、三角波、矩形波等の交流電圧を重畳した電圧波形とすることが好ましい。
【００７２】
現像ユニット４Ｙで現像されたイエロートナー像は、一次転写領域ＴＲｙ１で転写ユニット７の中間転写ベルト７１上に一次転写される。また、イエロー以外の色成分についても、イエローと全く同様に構成されており、感光体２Ｍ、２Ｃ、２Ｋ上にマゼンタトナー像、シアントナー像、ブラックトナー像がそれぞれ形成されるとともに、一次転写領域ＴＲｍ１、ＴＲｃ１、ＴＲｋ１でそれぞれ中間転写ベルト７１上に一次転写される。
【００７３】
この転写ユニット７は、２つのローラ７２、７３に掛け渡された中間転写ベルト７１と、ローラ７２を回転駆動することで中間転写ベルト７１を所定の回転方向Ｒ２に回転させるベルト駆動部（図示省略）とを備えている。また、中間転写ベルト７１を挟んでローラ７３と対向する位置には、該ベルト７１表面に対して不図示の電磁クラッチにより当接・離間移動可能に構成された二次転写ローラ７４が設けられている。そして、カラー画像をシートＳに転写する場合には、一次転写タイミングを制御することで各トナー像を重ね合わせてカラー画像を中間転写ベルト７１上に形成するとともに、カセット８から取り出されて中間転写ベルト７１と二次転写ローラ７４との間の二次転写領域ＴＲ２に搬送されてくるシートＳ上にカラー画像を二次転写する。一方、モノクロ画像をシートＳに転写する場合には、ブラックトナー像のみを感光体２Ｋに形成するとともに、二次転写領域ＴＲ２に搬送されてくるシートＳ上にモノクロ画像を二次転写する。また、こうして画像の２次転写を受けたシートＳは定着ユニット９を経由して装置本体の上面部に設けられた排出トレイ部に向けて搬送される。
【００７４】
なお、中間転写ベルト７１へトナー像を一次転写した後の各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋは、不図示の除電手段によりその表面電位がリセットされ、さらに、その表面に残留したトナーがクリーニング部により除去された後、帯電ユニット３Ｙ、３Ｍ、３Ｃ、３Ｋにより次の帯電を受ける。
【００７５】
また、ローラ７２の近傍には、転写ベルトクリーナ７５、濃度センサ７６（図２）および垂直同期センサ７７（図２）が配置されている。これらのうち、クリーナ７５は図示を省略する電磁クラッチによってローラ７２に対して近接・離間移動可能となっている。そして、ローラ７２側に移動した状態でクリーナ７５のブレードがローラ７２に掛け渡された中間転写ベルト７１の表面に当接し、二次転写後に中間転写ベルト７１の外周面に残留付着しているトナーを除去する。また、濃度センサ７６は、中間転写ベルト７１の表面に対向して設けられており、中間転写ベルト７１の外周面に形成されるパッチ画像の光学濃度を測定する。さらに、垂直同期センサ７７は、中間転写ベルト７１の基準位置を検出するためのセンサであり、中間転写ベルト７１の副走査方向への回転駆動に関連して出力される同期信号、つまり垂直同期信号Ｖｓｙｎｃを得るための垂直同期センサとして機能する。そして、この装置では、各部の動作タイミングを揃えるとともに各色のトナー像を正確に重ね合わせるために、装置各部の動作はこの垂直同期信号Ｖｓｙｎｃに基づいて制御される。
【００７６】
図１７は図１６の画像形成装置に装備された露光ユニットの構成を示す副走査断面図である。また、図１８は図１６の画像形成装置に装備された露光ユニットの構成を示す主走査断面図である。この露光ユニット６は露光筐体６１を有している。そして、露光筐体６１に単一のレーザー光源６２が固着されており、レーザー光源６２から光ビームを射出可能となっている。このレーザー光源６２は、図９に示すように、露光制御部１０２の光源駆動部１０２ａと電気的に接続されている。このため、画像データに応じて光源駆動部１０２ａがレーザー光源６２をＯＮ／ＯＦＦ制御してレーザー光源６２から画像データに対応して変調された光ビームが射出される。このように本実施形態では、レーザー光源６２が本発明の「光源」に相当してる。
【００７７】
また、この露光筐体６１の内部には、レーザー光源６２からの光ビームを感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋの表面に走査露光するために、コリメータレンズ６３、シリンドリカルレンズ６４、光走査素子６５、第１走査レンズ６６、折り返しミラー群６７および第２走査レンズ６８（６８Ｙ、６８Ｍ、６８Ｃ、６８Ｋ）が設けられている。すなわち、レーザー光源６２からの光ビームは、コリメータレンズ６３により適当な大きさのコリメート光にビーム整形された後、図５に示すように副走査方向にのみパワーを有するシリンドリカルレンズ６４に入射される。そして、このコリメート光は副走査方向にのみ収束されて光走査素子６５の偏向ミラー面６５１付近で線状結像される。なお、光走査素子６５の構成は第１実施形態のそれと同一であるため、ここでは構成説明を省略し、光走査素子６５の動作を中心に説明する。
【００７８】
この実施形態では、第１軸駆動部１０２ｂと第２軸駆動部１０２ｃとからなるミラー駆動部を制御することによって偏向ミラー面６５１を第１軸ＡＸ１回りに揺動させることで光ビームを偏向して主走査方向Ｘに走査させている。一方、偏向ミラー面６５１を第２軸ＡＸ２回りに揺動させることで光ビームを４つの感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋのいずれかの一に導光して感光体のなかで走査光ビームが照射される感光体を選択的に切り替えるとともに、各感光体での副走査方向Ｙにおける走査光ビームの走査位置を微調整している。このように本実施形態では、第１軸ＡＸ１を主走査偏向軸として機能させるとともに、第２軸ＡＸ２を微調整軸として機能させている。もちろん、第１軸ＡＸ１を微調整軸として機能させるとともに、第２軸ＡＸ２を主走査偏向軸として機能させるように構成してもよいことはいうまでもない。
【００７９】
図１７および図１８に戻って露光ユニット６の説明を続ける。上記のように光走査素子６５により走査された走査光ビームは選択された感光体に向けて光走査素子６５から射出されるが、その走査光ビームは第１走査レンズ６６、折り返しミラー群６７および第２走査レンズ６８で構成された第２光学系を介して選択された感光体に照射される。例えば、光走査素子６５によりイエロー用の感光体２Ｙに切り替えられている際には、イエロー用の走査光ビームＬｙは第１走査レンズ６６、折り返しミラー群６７および第２走査レンズ６８Ｙを介して感光体２Ｙに照射されてライン状の潜像が形成される。なお、他の色成分についてもイエローと全く同様である。
【００８０】
次に、第７実施形態にかかる画像形成装置の動作について説明する。この画像形成装置では、ホストコンピュータなどの外部装置よりカラー印字指令が与えられると、その印字指令に含まれる画像データが画像メモリ１１３に記憶される。そして、メインコントローラ１１は色分解を実行して各色成分の１ライン画像データ群を得る。また、メインコントローラ１１では、画像データＤの１ページ分または所定ブロック分について色分解が完了すると、各感光体２への潜像書込タイミングに応じたタイミングで画像メモリ１１３から１ライン画像データを順番に読み出す。
【００８１】
そして、こうして読み出された１ライン画像データからなるシリアルデータに基づきレーザー光源６２をパルス幅変調するためのレーザ変調データ（ＰＷＭデータ）を作成し、図示を省略するビデオＩＦを介してエンジンコントローラ１０に出力する。例えばＹ→Ｍ→Ｃ→Ｋ→Ｙ…の順序でシリアルに１ライン画像データが画像メモリ１１３から読み出されると、各１ライン画像データに対応したＰＷＭデータがエンジンコントローラ１０に与えられる。
【００８２】
一方、このＰＷＭデータを受け取ったエンジンコントローラ１０では、各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋを一定速度Ｖで回転させながら各タイミングでＰＷＭデータに対応する感光体のみに走査光ビームを走査させてライン潜像を形成していく。すなわち、上記ＰＷＭデータが与えられる場合には、まずイエローの１ライン画像データに対応してレーザー光源６２がＯＮ／ＯＦＦ制御されながらレーザー光源６２から光ビームが光走査素子６５に射出される。また、このタイミングでは、第２軸駆動部１０２ｃからコイル６５５への通電によって偏向ミラー面６５１を微調整軸たる第２軸ＡＸ２回りに回動位置決めして光ビームを感光体２Ｙに導光するように設定される。そして、第２軸ＡＸ２回りの揺動を停止させた後、その設定状態のまま第１駆動部１０２ｂから所定の電圧が第１軸用電極６５８ａ、６５８ｂに交互に印加されて主走査偏向軸たる第１軸ＡＸ１回りに偏向ミラー面６５１を往復振動させて光ビームを偏向して主走査方向Ｘに走査させる。これによって、図１９（ａ）に示すように、走査光ビームＬｙが感光体２Ｙのみに走査されてイエローの１ライン画像データに対応するライン潜像が形成される。
【００８３】
また、ライン潜像の形成が完了すると、次のタイミングでマゼンタの１ライン画像データに対応してレーザー光源６２がＯＮ／ＯＦＦ制御されながらレーザー光源６２から光ビームが光走査素子６５に射出される。また、このタイミングでは、第２軸駆動部１０２ｃからコイル６５５への通電によって偏向ミラー面６５１を第２軸ＡＸ２回りに回動位置決めして光ビームを感光体２Ｍに導光するように設定される。そして、その設定状態のまま第１駆動部１０２ｂから所定の電圧が第１軸用電極６５８ａ、６５８ｂに交互に印加されて第１軸ＡＸ１回りに偏向ミラー面６５１を往復振動させて光ビームを偏向して主走査方向Ｘに走査させる。これによって、図１９（ｂ）に示すように、走査光ビームが感光体２Ｍのみに走査されてマゼンタの１ライン画像データに対応するライン潜像が形成される。
【００８４】
さらに、上記と同様にして、各タイミングでシアンライン潜像、ブラックライン潜像、イエローライン潜像、…がそれぞれ対応する色成分の感光体２上に形成されていく。こうして、各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋに画像データに対応する潜像が形成される。そして、これらの潜像は各現像ユニット４Ｙ、４Ｍ、４Ｃ、４Ｋによって現像されて４色のトナー像が形成される。また、一次転写タイミングを制御することで各トナー像は中間転写ベルト７１上で重ね合わされてカラー画像が形成される。その後、このカラー画像はシートＳ上に二次転写され、さらにシートＳに定着される。
【００８５】
以上のように、この実施形態によれば、各感光体２への潜像書込タイミングに応じたタイミングで画像メモリ１１３から１ライン画像データを順番に読み出してＰＷＭデータを作成している。そして、このＰＷＭデータにしたがってレーザー光源６２を変調するとともに、そのレーザー光源６２からの光ビームを主走査方向Ｘに偏向して走査光ビームを形成している。しかも、１ライン画像データの読出順序に応じて、偏向ミラー面６５１からの走査光ビームが照射される感光体２を選択的に切り替えるため、その切替動作に応じた感光体２にライン潜像が形成される。このようにレーザー光源６２を１つしか有していないにもかかわらず、４個の感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋの表面に走査光ビームＬｙ、Ｌｍ、Ｌｃ、Ｌｋをそれぞれ走査させて各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋにライン潜像を形成可能となっている。このため、４個の光源が必要となっていた従来装置に比べて、装置の小型化および低コスト化を図ることができる。また、光学的な調整作業性を簡素化することができる。
【００８６】
また、光走査素子６５は偏向走査動作と同時にレーザー光源６２からの光ビームを副走査方向Ｙに偏向することによって切替動作とともに感光体２上での走査光ビームの位置ＳＬを副走査方向Ｙに調整可能となっている。このため、各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋ上での副走査方向Ｙにおける光ビームの走査位置を簡単に、しかも高精度に調整することができる。その結果、部品誤差や組立誤差などにより副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれていたとしても該ずれを補正して高品質な画像を形成することができる。
【００８７】
ここで、その微調整処理の一例について図１９を参照しつつ説明する。例えば、製品組立後の最終調整段階で、各色成分について、走査光ビームの走査位置ＳＬが同図中の破線で示す基準走査位置ＳＬ０から副走査方向Ｙにずれ量Δｙｙ、Δｙｍ、Δｙｃ、Δｙｋだけずれていることが発見された場合、次のように調整することができる。すなわち、各色成分のずれ情報を求めて本発明の「記憶手段」として機能するＲＡＭ１０７に記憶しておけば、ＣＰＵ１０１がＲＡＭ１０７からずれ量を読出し、各値に対応して偏向ミラー面６５１を第２軸ＡＸ２回りに揺動させる。これにより、いずれに色成分についても副走査方向Ｙにおける感光体２上での走査光ビームの位置が調整されて走査光ビームの走査位置ＳＬが基準走査位置ＳＬ０に一致する。このように、副走査方向Ｙにおける光ビームＬの走査位置ＳＬを簡単に、しかも高精度に基準走査位置ＳＬ０に一致させることができ、その結果、高品質な画像を形成することができる。
【００８８】
＜第８実施形態＞
図２０は本発明にかかる画像形成装置の第８実施形態を示す図である。この第８実施形態が第７実施形態と大きく相違する点は、本発明の「光走査手段」としてポリゴンミラー６０１と微調整用揺動ミラー６０２とを組み合わせた光走査系６００を用いている点であり、その他の構成は基本的に第７実施形態と同じである。この第８実施形態では、露光筐体６１にポリゴンミラー６０１が固定されており、ポリゴンミラー６０１を主走査方向Ｘと直交する回転軸（主走査偏向軸）ＡＸ３回りに回転することで偏向ミラー面６０１ａによりレーザー光源６２からの光ビームを偏向して主走査方向Ｘに走査する。そして、偏向ミラー面６０１ａからの走査光ビームが揺動ミラー６０２の微調整用反射面６０２ａに入射される。
【００８９】
この揺動ミラー６０２は主走査方向Ｘと並行に延びる揺動軸（微調整軸）ＡＸ４回りに揺動自在となっており、図示を省略する揺動位置決め機構により揺動駆動される。このため、揺動ミラー６０２によって走査光ビームが偏向されて４個の感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋのいずれかの一に導光されるとともに、各感光体での副走査方向Ｙにおける走査光ビームの走査位置を微調整する。
【００９０】
したがって、第７実施形態と同様の作用効果を得ることができる。すなわち、光走査素子６５はレーザー光源６２からの光ビームを副走査方向Ｙに偏向することによって切替動作とともに各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋ上での走査光ビームの位置ＳＬを副走査方向Ｙに調整可能となっている。このため、各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋ上での副走査方向Ｙにおける光ビームの走査位置を簡単に、しかも高精度に調整することができる。その結果、部品誤差や組立誤差などにより副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれていたとしても該ずれを補正して高品質な画像を形成することができる。
【００９１】
なお、この第８実施形態では、光走査手段を構成するポリゴンミラー６０１および揺動ミラー６０２のうち前者をレーザー光源６２側に配置しているが、後者をレーザー光源６２側に配置するようにしてもよい。また、光走査素子６５の代わりにポリゴンミラー６０１と微調整用揺動ミラー６０２とを組み合わせた光走査系６００を用いることが可能な点に関しては、第１ないし第６実施形態においても全く同様である。
【００９２】
＜第９実施形態＞
図２１は本発明にかかる画像形成装置の第９実施形態を示す図である。この第９実施形態が第７実施形態と大きく相違する点は、本発明の「光走査手段」として２つの揺動ミラー６０３、６０２を組み合わせた光走査系６００を用いている点であり、その他の構成は基本的に第７実施形態と同じである。この第９実施形態では、揺動ミラー６０３が本発明の「主走査用揺動ミラー」として機能する。すなわち、揺動ミラー６０３は主走査方向Ｘと直交する揺動軸（主走査偏向軸）ＡＸ５回りに揺動自在に設けられており、揺動ミラー６０３を図示を省略する揺動位置決め機構により往復揺動することで偏向ミラー面６０３ａによりレーザー光源６２からの光ビームを偏向して主走査方向Ｘに走査する。そして、偏向ミラー面６０３ａからの走査光ビームが揺動ミラー６０２の微調整用反射面６０２ａに入射される。
【００９３】
この揺動ミラー６０２は第８実施形態のそれと全く同一構成を有しており、本発明の「微調整用揺動ミラー」として機能する。すなわち、揺動ミラー６０２によって走査光ビームが偏向されて４個の感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋのいずれかの一に導光されるとともに、各感光体での副走査方向Ｙにおける走査光ビームの走査位置を微調整する。
【００９４】
したがって、第７実施形態と同様の作用効果を得ることができる。すなわち、光走査素子６５はレーザー光源６２からの光ビームを副走査方向Ｙに偏向することによって切替動作とともに各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋ上での走査光ビームの位置ＳＬを副走査方向Ｙに調整可能となっている。このため、各感光体２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｋ上での副走査方向Ｙにおける光ビームの走査位置を簡単に、しかも高精度に調整することができる。その結果、部品誤差や組立誤差などにより副走査方向Ｙにおいて走査光ビームが基準走査位置ＳＬ０からずれていたとしても該ずれを補正して高品質な画像を形成することができる。
【００９５】
なお、この第９実施形態では、光走査手段を構成する光ビームを主走査方向Ｘに偏向する揺動ミラー６０３および光ビームを副走査方向Ｙに偏向する揺動ミラー６０２のうち前者をレーザー光源６２側に配置しているが、後者をレーザー光源６２側に配置するようにしてもよい。また、光走査素子６５の代わりに２つの揺動ミラー６０３、６０２を組み合わせた光走査系６００を用いることが可能な点に関しては、第１ないし第６実施形態においても全く同様である。
【００９６】
＜第１０実施形態＞
ところで、画像形成装置の動作中においては、上述したように動作環境の変化などにより副走査方向Ｙにおける走査光ビームの走査位置ＳＬが基準走査位置ＳＬ０からずれてしまうことがある。そこで、このような問題を解消して画像品質を高めるためには、例えば図２２に示す位置ずれ検出器を設けて走査位置ＳＬの位置ずれをアクティブに補正するようにすればよい。以下、図２２を参照しつつ本発明にかかる第１０実施形態について説明する。
【００９７】
図２２は本発明にかかる画像形成装置の第１０実施形態に装備された位置ずれ検出器の構成を示す図である。この位置ずれ検出器２００は、センサ基台２０１に２つのフォトセンサ２０２、２０３を主走査方向Ｘに所定距離だけ離間して取り付けたものである。これらのフォトセンサ２０２、２０３は長方形の有効センシング領域を有している。そして、その一方のフォトセンサ２０２は、有効センシング領域２０２ａの長手方向が主走査方向Ｘとほぼ直交するように配置されている。また、他方のフォトセンサ２０３は、有効センシング領域２０３ａの長手方向が主走査方向Ｘに対して角度θだけ傾斜するように配置されている。このため、同図に示すように基準走査位置ＳＬ０に対して走査位置ＳＬが副走査方向Ｙにずれると、フォトセンサ２０３でのセンシング位置が主走査方向Ｘにずれる。例えば、基準走査位置ＳＬ０ではセンシング間隔ＳＤ０であり、光ビームが基準走査位置ＳＬ０上を走査するとき、その走査時間は基準時間ｔ０である。これに対し、走査位置が副走査方向ＹにΔｙだけずれると、該走査位置ＳＬではセンシング間隔ＳＤであり、光ビームが該走査位置ＳＬ上を走査するとき、その走査時間は測定時間ｔｍとなる。したがって、その時間差（＝ｔｍ−ｔ０）に基づきずれ量Δｙを検出することができる。
【００９８】
この第１０実施形態では、フォトセンサ２０２、２０３はＣＰＵ１０１に電気的に接続されている。そして、フォトセンサ２０２、２０３からの出力信号に基づきＣＰＵ１０１は次式、つまり
Δｙ＝Ｖｓ×（ｔｍ−ｔ０）×ｔａｎθ
（ただし、Ｖｓは光ビームの走査速度）、
に基づき副走査方向Ｙにおける位置ずれ量Δｙを求める。また、走査位置の位置ずれ量Δｙに対応して微調整機構を走査光ビームの位置を調整する。
【００９９】
以上のように第１０実施形態によれば、位置ずれ検出器２００によって副走査方向Ｙにおける感光体上での基準走査位置ＳＬ０に対するずれ量Δｙを検出し、その検出結果に基づき微調整機構によって副走査方向Ｙにおける走査光ビームの位置ＳＬを調整することで走査光ビームを基準走査位置ＳＬ０に一致させることができる。すなわち、装置の動作中に副走査方向Ｙにおける走査光ビームの位置をアクティブ調整することによって、副走査方向Ｙにおける光ビームの走査位置ＳＬが基準走査位置ＳＬ０からずれるのを解消し、常に高品質な画像を形成することができる。
【０１００】
＜第１１実施形態＞
また、この種の画像形成装置では、垂直同期信号Ｖｓｙｎｃに基づいて潜像形成、現像処理や転写処理などを制御している。しかしながら、光ビームの走査タイミング、つまり水平同期信号ＨＳＹＮＣが垂直同期信号Ｖｓｙｎｃと非同期となっているため、垂直同期信号と走査タイミングとの同期誤差が発生することがある。この場合、同期誤差の分だけ中間転写ベルト７１などの転写媒体への転写位置がずれてしまう。そのため、同期誤差が各トナー色ごとにばらつくことで、トナー色間でトナー像が相互にずれてしまう、つまりレジストズレが生じてしまい、画像品質の低下を招いていしまう。そこで、走査位置を副走査方向Ｙ調整することでレジストズレを解消することが考えられる。この場合、水平同期信号ＨＳＹＮＣと垂直同期信号Ｖｓｙｎｃとの差を本発明の「ずれ量」とし、その値に基づき微調整機構によって副走査方向Ｙにおける走査光ビームの位置ＳＬを調整することで同期誤差に基づくレジストズレを解消することができる。特に、同期誤差を解消するためには優れたレスポンス性が要求されるが、微調整機構に基づくアクティブ制御を行うことで該要求を満足させることができ、優れた品質で画像を形成することができる。なお、ここでは、垂直同期センサ７７および同期センサ６０が本発明の「検出手段」に相当する。
【０１０１】
＜その他＞
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、４色のトナーを用いたカラー画像形成装置に本発明を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は単色あるいは複数色のトナーを用いた画像形成装置全般に対して適用可能である。
【０１０２】
また、上記実施形態では、ホストコンピュータなどの外部装置より与えられた印字指令に基づき該印字指令に含まれる画像を転写紙、複写紙などのシートＳに印字するプリンタを用いて説明しているが、本発明はこれに限られず、複写機やファクシミリ装置などを含む電子写真方式の画像形成装置全般に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる画像形成装置の第１実施形態を示す図である。
【図２】図１の画像形成装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図３】図１の画像形成装置に装備された露光ユニットの構成を示す副走査断面図である。
【図４】図１の画像形成装置に装備された露光ユニットの構成を示す主走査断面図である。
【図５】露光ユニットの光学構成を展開した副走査断面図である。
【図６】露光ユニットの一構成要素たる光走査素子を示す斜視図である。
【図７】図６の光走査素子の第１軸に沿った断面図である。
【図８】図６の光走査素子の第２軸に沿った断面図である。
【図９】露光ユニットおよび露光制御部の構成を示すブロック図である。
【図１０】感光体上での走査光ビームの走査位置と基準走査位置との関係を模式的に示す図である。
【図１１】本発明にかかる画像形成装置の第２実施形態を示す図である。
【図１２】本発明にかかる画像形成装置の第３実施形態を示す図である。
【図１３】本発明にかかる画像形成装置の第４実施形態を示す図である。
【図１４】本発明にかかる画像形成装置の第５実施形態を示す図である。
【図１５】本発明にかかる画像形成装置の第６実施形態を示す図である。
【図１６】本発明にかかる画像形成装置の第７実施形態を示す図である。
【図１７】図１６の画像形成装置に装備された露光ユニットの構成を示す副走査断面図である。
【図１８】図１６の画像形成装置に装備された露光ユニットの構成を示す主走査断面図である。
【図１９】各感光体上での走査光ビームの走査位置と基準走査位置との関係を模式的に示す図である。
【図２０】本発明にかかる画像形成装置の第８実施形態を示す図である。
【図２１】本発明にかかる画像形成装置の第９実施形態を示す図である。
【図２２】本発明にかかる画像形成装置の第１０実施形態に装備された位置ずれ検出器の構成を示す図である。
【符号の説明】
２，２Ｙ，２Ｍ，２Ｃ，２Ｋ…感光体、  ６０…同期センサ（検出手段）、  ６２…レーザー光源、  ６５…光走査素子（光走査手段）、  ７７…垂直同期センサ（検出手段）、  １０１…ＣＰＵ（制御手段）、  １０２ｂ…第１軸駆動部（ミラー駆動部）、  １０２ｃ…第２軸駆動部（ミラー駆動部）、  １０７…ＲＡＭ（記憶手段）、  ６００…光走査系（光走査手段）、  ６０１…ポリゴンミラー、  ６０１ａ，６０３ａ，６５１…偏向ミラー面、  ６０２…微調整用揺動ミラー、  ６０２ａ…微調整用反射面、  ６０３…主走査用揺動ミラー、  ６５２…シリコン基板、  ６５３…外側可動板、  ６５６…内側可動板、  ６６１…単玉非球面レンズ（結像光学系）、  ＡＸ１…第１軸（主走査偏向軸）、  ＡＸ２…第２軸（微調整軸）、  ＡＸ３…回転軸（主走査偏向軸）、  ＡＸ４…揺動軸（微調整軸）、  ＡＸ５…揺動軸（主走査偏向軸）、  Ｌ，Ｌｙ，Ｌｍ，Ｌｃ，Ｌｋ…走査光ビーム、  Ｘ…主走査方向、  Ｙ…副走査方向
【図１】
2004279655.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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