(57)【要約】【課題】板状の被処理品を処理装置へ出し入れする場合に採用可能な受け渡し装置として、被処理品を処理する際の被処理品よりも下側の隙間等を小さくせしめ、処理装置側で無駄な大きなスペースを生起させなくて済むものとし、その結果、処理装置として、処理時間の短縮や処理コストの低廉化等が図れるようにする。【解決手段】圧力容器の形成する処理室の内部の処理位置に対し被処理品Ｗを出し入れするときに用いる板状被処理品の受け渡し装置として、処理位置に至るまでの中継位置で被処理品Ｗを暫時的に保持し、圧力容器が処理室を形成する際にはその処理室の外部に退避する仮保持部材１３を有した構成にさせる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力容器の形成する処理室の内部の処理位置に対し板状の被処理品（Ｗ）を出し入れするときに用いる板状被処理品の受け渡し装置であって、
前記処理位置に至るまでの中継位置で被処理品（Ｗ）を暫時的に保持し、圧力容器が処理室を形成する際には当該処理室の外部に退避する仮保持部材（１３）を有していることを特徴とする板状被処理品の受け渡し装置。
【請求項２】
前記仮保持部材（１３）は、直線的な動きで処理位置に至るまでの中継位置へ近接・離反可能とされていることを特徴とする請求項１記載の板状被処理品の受け渡し装置。
【請求項３】
前記仮保持部材（１３）は、処理位置に至るまでの中継位置に対して高低差を有した斜め方向に沿って直線動作可能になっていることを特徴とする請求項２記載の板状被処理品の受け渡し装置。
【請求項４】
前記仮保持部材（１３）は、揺動によって処理位置に至るまでの中継位置へ近接・離反可能とされていることを特徴とする請求項１記載の板状被処理品の受け渡し装置。
【請求項５】
圧力容器の形成する処理室の内部の、板状の被処理品（Ｗ）を高圧処理する処理位置でその処理中に被処理品（Ｗ）を保持する保持装置（４）と、処理位置に対し被処理品（Ｗ）を出し入れするときにその処理位置に至るまでの中継位置で被処理品（Ｗ）を暫時的に保持し、圧力容器が処理室を形成する際には当該処理室の外部に退避する受け渡し装置（１２）とを有していることを特徴とする板状被処理品の高圧処理装置。
【請求項６】
前記圧力容器が互いに近接・離反可能で相対的に移動可能な２つの部分容器にて構成され、前記処理室がその２つの部分容器同士が近接し合体する際に形成される両者の間の空間であることを特徴とする請求項５に記載の板状被処理品の高圧処理装置。
【請求項７】
前記保持装置（４）は前記２つの部分容器のうちのいずれかに付設され、それの付設されている当該部分容器の移動に伴い前記受け渡し装置（１２）による被処理品（Ｗ）の中継位置とそこからの退避位置との間で移動可能になっていることを特徴とする請求項６記載の板状被処理品の高圧処理装置。
【請求項８】
板状の被処理品（Ｗ）を保持する保持部（４）を有する第１容器（２）に対して開閉自在な第２容器（３）を開閉手段により閉状態として、第１容器（２）と第２容器（３）とで協働して形成される処理室内で高圧処理を行う高圧処理装置において、第１容器（２）に対して第２容器（３）が開状態であるときに、第１容器（２）と第２容器（３）との間に位置する中継位置に対して被処理品（Ｗ）を搬入・搬出する搬送手段と、第１容器（２）に対して第２容器（３）が開状態であるときに、中継位置と、第１容器（２）と第２容器（３）との間の空間より外方の退避位置との間で、第１容器（２）と第２容器（３）との間隙を介して移動自在であるとともに、中継位置で被処理品（Ｗ）を保持可能な受け渡し手段と、中継位置と被処理品（Ｗ）を保持部（４）に保持させる保持位置との間で受け渡し手段を保持部（４）に対して相対的に移動させる移動手段と、を有することを特徴とする高圧処理装置。
【請求項９】
前記受け渡し手段が保持部（４）に対向する第２容器（３）に設けられ、前記開閉手段が移動手段を兼用し、当該開閉手段による第１容器（２）に対する第２容器（３）の開閉動作によって被処理品（Ｗ）を中継位置と保持位置との間で移動することを特徴とする請求項８に記載の高圧処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状被処理品の受け渡し装置及び高圧処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ等の板状の被処理品を、高圧処理等を施すための処理装置へ出したり入れたりする場合には、被処理品を保護しつつ、迅速、確実、且つ安定的に移載する装置が必要になる。そのため従来は、種々の搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１乃至特許文献３等参照）。
このうち特許文献１では、第１の基板搬送機構がカセットから被処理品（「半導体基板」と記載）を取り出し、この第１の基板搬送機構から第２の基板搬送機構に被処理品が引き継がれた後、この第２の基板搬送機構により各種処理装置（「プロセスユニット」と記載）へ被処理品が移送されたり、またこの逆に、各種処理装置から第２の基板搬送機構及び第１の基板搬送機構を介して被処理品（ここでは処理済み品である）がカセットに戻されるということが記載されている。
【０００３】
このような場合、各種の処理装置との間で被処理品の受け渡し動作をしている第２の基板搬送機構では、被処理品をその下側から支える構造となっている。
特許文献２や特許文献３でも、処理装置との間で被処理品の受け渡し動作をしている部分は、同様に、被処理品をその下側から支える構造となっている。
【０００４】
【特許文献１】
実用新案登録第２５０３７３２号公報
【特許文献２】
特開平１１−１８６３６０号公報
【特許文献３】
特許第３１０７３１０号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来公知の各種搬送装置のように、被処理品をその下側から支える構造（以下、この構造部分を「被処理品支持部」と言う）を採用した場合、処理装置側では、被処理品を保持するスペースとして、この被処理品よりも下側に上記被処理品支持部の出入りする隙間を形成させる必要が生じる。
殊に、この搬送装置を長い距離にわたって移動させるときには、強度的な観点から上記被処理品支持部も堅牢で大柄とせざるを得なくなり、それだけこの被処理品支持部を出入りさせるための隙間も拡大される傾向となる。
【０００６】
このような隙間は、処理装置が高圧処理を行うものである場合に種々の問題を派生させることになる。
例えば、このような隙間はスループットの低下（処理気体を圧縮する時間の長大化や処理気体の使用量の増大化）に繋がる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、板状の被処理品を処理装置へ出し入れする場合に採用可能な装置として、被処理品を処理する際の被処理品よりも下側の隙間等を小さくせしめ、処理装置側で無駄な大きなスペースを生起させなくて済むようにし、もって処理時間の短縮や処理コストの低廉化等が図れるようにした板状被処理品の受け渡し装置と、この受け渡し装置を用いた高圧処理装置とを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は次の手段を講じた。
即ち、本発明に係る板状被処理品Ｗの受け渡し装置１２は、圧力容器の形成する処理室の内部の処理位置に対し板状の被処理品Ｗを出し入れするときに用いられる。
そしてこの受け渡し装置１２は、処理位置に至るまでの中継位置で被処理品Ｗを暫時的に保持し、圧力容器が処理室を形成する際にはその処理室の外部に退避する仮保持部材１３を有したものとなっている。
【０００８】
このような仮保持部材１３を設けておけば、処理位置に対して被処理品Ｗを挿入するために用いられた搬送装置の被処理品支持部は、被処理品Ｗを処理位置側へ残したまま、この処理位置側から退避させることができる。
従って、処理位置側において、被処理品支持部との干渉を避けるためのスペースをわざわざ確保しておく必要はなくなる。
また、被処理品Ｗ用の搬送装置としては、従来のものをそのまま活かすことができる（何ら、改造や変更を要しない）。
【０００９】
仮保持部材１３は、直線的な動きで処理位置に至るまでの中継位置へ近接・離反可能とさせておけばよい。
この場合、動作方向は、水平方向に沿ったものとしてもよいし、処理位置に至るまでの中継位置に対して高低差を有した斜め方向に沿ったものとしてもよい。
また場合によっては、揺動によって処理位置に至るまでの中継位置へ近接・離反可能なものとしてもよい。
一方、本発明に係る板状被処理品Ｗの高圧処理装置１は、圧力容器と保持装置４と受け渡し装置１２とを有したものである。
【００１０】
保持装置４は、圧力容器の形成する処理室の内部の、板状の被処理品Ｗを高圧処理する処理位置でその処理中に被処理品Ｗを保持するものである。
受け渡し装置１２は、処理位置に対し被処理品Ｗを出し入れするときにその処理位置に至るまでの中継位置で被処理品Ｗを暫時的に保持し、圧力容器が処理室を形成する際にはその処理室の外部に退避するものである。
そして、圧力容器は、互いに近接・離反可能で相対的に移動可能な２つの部分容器にて構成され、その処理室がその２つの部分容器同士が近接し合体する際に形成される両者の間の空間であるものであればよい。
【００１１】
また、保持装置４は２つの部分容器のうちのいずれかに付設され、それの付設されている部分容器の移動に伴い受け渡し装置１２による被処理品Ｗの中継位置とそこからの退避位置との間で移動可能となっているのが良い。
また、更には、本発明に係る板状被処理品Ｗの高圧処理装置１は、板状の被処理品Ｗを保持する保持部４を有する第１容器２に対して開閉自在な第２容器３をを開閉手段により閉状態として、第１容器２と第２容器３とで協働して形成される処理室内で高圧処理を行うものであって、第１容器２に対して第２容器３が開状態であるときに、第１容器２と第２容器３との間に位置する中継位置に対して被処理品Ｗを搬入・搬出する搬送手段と、第１容器２に対して第２容器３が開状態であるときに、中継位置と、第１容器２と第２容器３との間の空間より外方の退避位置との間で、第１容器２と第２容器３との間隙を介して移動自在であるとともに、中継位置で被処理品Ｗを保持可能な受け渡し手段と、中継位置と被処理品Ｗを保持部４に保持させる保持位置との間で受け渡し手段を相対的に移動させる移動手段と、を有するものであってもよい。
【００１２】
その場合、受け渡し手段が保持部４に対向する第２容器３に設けられ、開閉手段が移動手段を兼用し、開閉手段による第１容器２に対する第２容器３の開閉動作によって被処理品Ｗを中継位置と保持位置との間で移動するものであっても良い。
これにより、開閉手段とは別異の移動手段を設ける必要がなく、装置構成を簡略化することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づき説明する。
図１は、本発明に係る高圧処理装置１の一実施形態を示している。
この高圧処理装置１は、下容器（第１容器）２と上容器（第２容器）３とを有し、これらが合体することでその内部に密閉された圧力室を形成させるようになっている。この圧力室が、板状の被処理品Ｗに対して高圧処理を施すための処理位置となる。
【００１４】
そして、この圧力室内に臨むようなかたちで保持装置４（保持部４）が設けられている。この保持装置４は、上記した圧力室内（処理位置）にて被処理品Ｗを保持するためのものである。なお、この保持装置４（保持部４）と上容器３は互いに対向して配置されているともいえる。
本実施形態において、この保持装置４は下容器２側に一体的に組み付けられたものとしてある。
下容器２と上容器３とが合体したり合体を解いたりするうえで、下容器２は合体位置を基準としてそこから下降によって退避したり上昇によって合体位置へ戻ったりする。また上容器３も、合体位置を基準としてそこから上昇によって退避したり下降によって合体位置へ戻ったりする。
【００１５】
これら下容器２の上下動と上容器３の上下動とは、シリンダ等を動力源として組み込んだ開閉手段（図示略）により、各別に制御可能になっている。
図２に一例を示すように、この高圧処理装置１では、カセット５から搬送装置６が被処理品Ｗの所要数を取り出し、この搬送装置６の直接的な動作又は別の搬送装置７を介した間接的な動作により、保持装置４に対する被処理品Ｗの出し入れが行われるようになっている。
この場合、被処理品Ｗは、その下側から搬送装置６や７が有する被処理品支持部８によって支持されるようになっている。
【００１６】
上記高圧処理装置１は、更に受け渡し装置（受け渡し手段）１２を有している。
この受け渡し装置１２は、保持装置４に対する被処理品Ｗの出し入れを暫時的に補助するためのものである。
すなわち、搬送装置６又は７の被処理品支持部８から保持装置４へ被処理品Ｗが装入されるときには、保持装置４に先だち、一旦、受け渡し装置１２が搬送装置６又は７の被処理品支持部８から被処理品Ｗを受け取り、その後、この受け渡し装置１２から改めて保持装置４へ被処理品Ｗが送り渡されるようになっている。
【００１７】
また保持装置４から被処理品Ｗが取り出されるときには、一旦、受け渡し装置１２が保持装置４から被処理品Ｗを受け取り、その後、この受け渡し装置１２から改めて搬送装置６又は７の被処理品支持部８へ被処理品Ｗが送り渡されるようになっている。
本実施形態において、この受け渡し装置１２は上容器３に対して設けられたものとしてある。
図３乃至図７から明らかなように、この受け渡し装置１２は仮保持部材１３を有している。この仮保持部材１３は複数（図例では２組）ある。
【００１８】
各仮保持部材１３は、軸心を縦方向に向けた回転軸１４と、この回転軸１４の下端部に設けられた受け部材１５とを有している。
回転軸１４は、上容器３内又はその上部に設けられる回転駆動機構（図示略）により、所定角度範囲内を回転可能になっている。この回転駆動機構にはステッピングモーターやその他のモーター、或いはシリンダ等を動力源として組み込んだものを用いればよい。
また受け部材１５は、回転軸１４から径方向へ突出した部分に段差のある構造で段部１５ａが形成されており、その段部１５ａにて被処理品Ｗの外周の一部を下方から支えるようになっている。
【００１９】
なお、被処理品Ｗの側面に対向する部分、受け部材１５の段部１５ａは被処理品Ｗの外形に沿った形状に形成されている。本実施形態では、被処理品Ｗが円形板状を呈したものとしたので、受け部材１５の段部１５ａは凹側の円弧カーブを有したものとしてある。これにより、被処理品Ｗの水平方向の大きなずれを受け部材１５によって修正することができる。
これらの説明から明らかなように、回転駆動機構によって回転軸１４が回転されるたびに、受け部材１５は、被処理品Ｗを保持する位置とそこから退避した位置との間で水平揺動することになる。
【００２０】
前述したとおり、受け部材１５の段部１５ａが凹側の円弧カーブを有したものとすることで、この受け部材１５の水平揺動の際、被処理品Ｗの水平方向の大きなずれを修正することができる。ただし、受け部材１５が被処理品Ｗの側面に接触することによって逆に被処理品Ｗの水平方向のずれを生じさせることのないよう、被処理品Ｗの側面とそれに対向する受け部材１５の段部１５ａの側面との間には若干の間隙が設けられるように構成してある。
なお、受け部材１５で被処理品Ｗを保持する際に、受け部材１５を被処理品Ｗの側面に当接し、その側面を押圧するよう構成してもよい。この場合、受け部材１５の水平揺動の際、受け部材１５が被処理品Ｗの側面に接触することによって被処理品Ｗの水平方向のずれを生じさせることのないよう、被処理品Ｗの側面とそれに対向する受け部材１５の段部１５ａの側面との間には充分な間隙が設けられるように構成し、尚且つ、受け部材１５の水平揺動が終り、受け部材１５と被処理品Ｗとが当接する面同士が対向している状態から、受け部材１５が被処理品Ｗに向かって直線的に移動するよう、あるいは、受け部材１５の一部の部材を被処理品Ｗに向かって直線的に延伸することができるように構成されることが望ましい。その場合、被処理品Ｗの水平方向のずれを受け部材１５にて修正し、被処理品Ｗの水平方向の位置決めを確実に行うことができる。
【００２１】
なお、本実施形態では仮保持部材１３が２組あるものとして説明した。そのため、これら両仮保持部材１３によって被処理品Ｗは外周上の対称位置にて保持されることになる。
しかし、仮保持部材１３は３組以上設けることも可能である。この場合には被処理部材Ｗに対してその外周上の等配位置（３組なら３等分配置、４組なら４等分配置といった具合）に各仮保持部材１３を設ければよい。
このような仮保持部材１３を具備した受け渡し装置１２によって被処理品Ｗが保持される位置は、保持装置４の真上とされている。
【００２２】
そのため、この受け渡し装置１２が被処理品Ｗを保持しているとき、下容器２が上容器３との合体位置へ向けて上昇するか、反対に上容器３が下容器２との合体位置へ向けて下降するか、或いはこれら両方の動きがなされるかすれば、被処理品Ｗを保持装置４の上へ預け置くことができるようになる。
またこれとは反対に、はじめに保持装置４上で被処理品Ｗが保持されている状態であれば、受け渡し装置１２は、下容器２や上容器３による上記と逆の動作を受けて被処理品Ｗを保持装置４上から取り上げることができる。
【００２３】
このことから明らかなように、保持装置４の真上が、高圧処理装置１に対して被処理品Ｗを出し入れするうえでの中継位置となっている。
次に、この高圧処理装置１により被処理品Ｗの高圧処理をするに際しての被処理品Ｗの出し入れ状況を説明する。
図３に示すように、下容器２が下降し上容器３が上昇した状態にあるとき、搬送装置６又は７がその被処理品支持部８上に被処理品Ｗを載せた状態で、この被処理品Ｗを保持装置４の真上（即ち、高圧処理装置１に対する中継位置）まで搬入する。
【００２４】
そこで図４に示すように、受け渡し装置１２が各仮保持部材１３を動作させて被処理品Ｗを受け取り、保持状態にする。
そして図６に示すように、例えば下容器２が上容器３との合体位置へ向けて上昇する。
これにより、中継位置で受け渡し装置１２が保持していた被処理品Ｗを、下容器２の上昇、ひいては保持装置４の上昇によって、保持装置４に所定の保持位置にて保持させる。換言すれば、ここでは、受け渡し装置１２が保持していた被処理品Ｗの中継位置と、保持装置４が保持する保持位置との間で、受け渡し装置１２を保持装置４に対して相対的に移動させている。
【００２５】
そして下容器２に設けられた保持装置４に対して被処理品Ｗが保持された後、受け渡し装置１２は各仮保持部材１３を被処理品Ｗから退避させる。
そこで、図７に示すように上容器３が下容器２との合体位置へ向けて下降し、これら下容器２と上容器３との間で圧力室内（処理位置）を形成させることになる。勿論、この圧力室内では被処理品Ｗが安定保持されていることになり、またこの圧力室内に仮保持部材１３は含まれていない状態にある。
前述のとおり、従来技術の各種搬送装置であれば、被処理品Ｗを長い距離にわたって搬送する必要があったため、強度的な観点から被処理品支持部を堅牢で大柄とせざるを得なくなり、その分、被処理品支持部を出入りさせるための隙間に大きなものが必要であった。しかしながら、本発明にかかる仮保持部材１３は被処理品Ｗを長い距離にわたっての搬送するものではなく、あくまで暫時的に被処理品Ｗを保持するものであるので、薄手で小柄なもので良い。仮保持部材１３が被処理品Ｗをその下方から支えるものであっても、また例え、搬送装置６又は７の被処理品支持部８が大柄なものであっても、処理室が形成され、その処理室の内部で被処理品Ｗを処理する際のその被処理品Ｗの下方の空間（処理室が形成されたときの被処理品Ｗと保持装置４との間の空間）を小さなものとすることができる。
【００２６】
従って、この圧力室内に無駄な大きなスペースを生起させなくて済み、スループットの低下（処理気体を圧縮する時間の長大化や処理気体の使用量の増大化）を招来するおそれもなくなる。
この高圧処理装置１によって所定の高圧処理が終了した後は、上記と略逆の動作にて、上下容器２，３の合体解消、受け渡し装置１２による被処理品Ｗ（この段階では処理済み品である）の暫時保持、この受け渡し装置１２から搬送装置６又は７の被処理品支持部８への送り渡し、この搬送装置６又は７による被処理品Ｗの搬出といった動作が行われることになる。
【００２７】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、実施の形態に応じて適宜変更可能である。
例えば、受け渡し装置１２において、仮保持部材１３は、直線的な動きで保持装置４の中継位置へ近接・離反可能とさせることができる。例えば、図８に示すように水平方向で移動させたり、図９に示すように高低差を持たせて斜めに移動させたり、図１０に示すように平面的に見て斜め方向となるように移動させたりすることができる。
【００２８】
また、この受け渡し装置１２は、高圧処理装置１に対して組み込むことが限定されるものではなく、別装置として構成させ、高圧処理装置１へ近接配置させるようにしてもよい。
この受け渡し装置１２は、高圧処理装置１以外の各種処理装置で採用することも可能であり、また被処理品Ｗについても材質や形状が限定されるものではない。
また、上記した実施形態では、下容器２の上下動と上容器３の上下動とは、開閉手段（図示略）により、各別に制御可能である形態を記したが、下容器２、上容器３のいずれか一方のみが絶対的に移動し、他方が固定している（下容器２、上容器３とは互いに対して相対的に移動する）形態でも良い。
【００２９】
また上記した実施形態では、保持装置４は下容器２側に一体的に組み付けられ、開閉手段（図示略）により下容器２が上下動するのに伴い、被処理品Ｗが受け渡し装置１２に保持される中継位置と保持装置４に保持される保持位置との間で移動する形態を示した。
即ち、被処理品Ｗを受け渡し装置１２に保持される中継位置と保持装置４に保持される保持位置との間で移動するために、開閉手段（図示略）が、受け渡し装置１２を保持装置４に対して相対的に移動させる移動手段をも兼用している。この場合、開閉手段とは別異の移動手段を設ける必要はないことから、装置構成を簡略化できる利点があるが、本発明はこれに限るものではなく、開閉手段とは別異の移動手段を設けてもよい。
【００３０】
例えば、保持装置４が被処理品Ｗを保持する際の当該被処理品Ｗと接する部位と下容器２との距離が変更可能なように、保持装置４と下容器２との間にシリンダ等の駆動機構を介設したうえで保持装置４を下容器２側に組み付けたり、あるいは受け渡し装置１２の回転軸１４に当該回転軸が伸縮自在となるような駆動機構を内在させて受け渡し装置１２の受け部材１５を上下動可能としたりし、それら駆動機構をここでいう移動手段としてもよい。
【００３１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る板状被処理品の受け渡し装置は、板状の被処理品を処理装置へ出し入れする場合に採用可能であって、処理装置側で無駄な大きなスペース（被処理品よりも下側の隙間等）を生起させなくて済む。
そのため、この受け渡し装置を用いて構成する本発明に係る高圧処理装置では、処理時間の短縮や処理コストの低廉化等が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る高圧処理装置の一実施形態を示した斜視図である。
【図２】図１の高圧処理装置の設置例を示した一部破砕側面図である。
【図３】図１の高圧処理装置の動作状況を示した一部破砕側面図（図２のＡ−Ａ線矢視図に略相当）である。
【図４】図３に続く動作状況を示した一部破砕側面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線矢視状態を実線にし図４中のＣ−Ｃ線矢視状態を二点鎖線にして示した平面図である。
【図６】図４に続く動作状況を示した一部破砕側面図である。
【図７】図６に続く動作状況を示した一部破砕側面図である。
【図８】受け渡し装置における別実施形態を示した側面図である。
【図９】受け渡し装置における図８とは異なる別実施形態を示した側面図である。
【図１０】受け渡し装置における図８及び図９とは更に異なる別実施形態を示した平面図である。
【符号の説明】
１      高圧処理装置
４      保持装置
１２      受け渡し装置
１３      仮保持部材
Ｗ      被処理品
【図１】
2004304037.tif 000003
【図２】
2004304037.tif 000004
【図３】
2004304037.tif 000005
【図４】
2004304037.tif 000006
【図５】
2004304037.tif 000007
【図６】
2004304037.tif 000008
【図７】
2004304037.tif 000009
【図８】
2004304037.tif 000010
【図９】
2004304037.tif 000011
【図１０】
2004304037.tif 000012