(57)【要約】【課題】プローブの接触面がワーク上を摺動する距離を抑えて、ワーク上に条痕あるいは欠落が発生することを防止する。【解決手段】ワーク測定装置１は基台２と、基台２上を摺動するとともにワーク収納孔６を有する搬送テーブル３とを備えている。搬送テーブル３上にガイド板４が固定され、ガイド板４にはワーク収納孔６の上端部に位置するガイド口５が設けられている。ガイド板４の上方には、プローブ８が設けられ、このプローブ８はワーク収納孔６内のワークＷに対して付勢されている。搬送テーブル３の回転に伴なってプローブ８がガイド板４上を摺動した後、ガイド口５からワーク収納孔６内のワークＷ側へ案内されてワークＷに当接する。その後プローブ８はガイド口５から外へ出てくる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク収納孔を有する搬送体からなり、
ワーク収納孔は搬送体を貫通して形成されるとともに、少なくとも一側端にガイド口を有し、
搬送体の表側および裏側に、ワークに当接するプローブが各々設けられ、
ワークはワーク収納孔の一側端より内側に収まっており、
少なくとも一つのプローブはワーク収納孔内のワークに対して付勢され、当該プローブはガイド口に案内されてワーク収納孔内へ進入してワークに当接した後、ガイド口からワーク収納孔外方へ出てくることを特徴とするワーク測定装置。
【請求項２】
搬送体は電気絶縁材により一体に形成されていることを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【請求項３】
搬送体は搬送基板と、搬送基板に積層されガイド口を有するガイド板と、を有することを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【請求項４】
ガイド板は導電性材料からなることを特徴とする請求項３記載のワーク測定装置。
【請求項５】
ガイド板は絶縁性材料からなることを特徴とする請求項３記載のワーク測定装置。
【請求項６】
搬送体の他側に基台が設置され、
他のプローブは基台に設けられたベースプローブからなることを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【請求項７】
搬送体は、回転テーブルからなることを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【請求項８】
搬送体は、ベルトからなることを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【請求項９】
ガイド口の形状はワーク収納孔より大形に形成されていることを特徴とする請求項１記載のワーク測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、収納孔にワークを収納して搬送するワーク測定装置に係り、とりわけ測定プローブとの擦過（摩擦）によりワークの電極に生じる条痕や電極角部の欠落等電極不良の発生を抑えることができるワーク測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ワークを搬送しながら測定するワーク測定装置として、ワークの長さより若干薄い搬送体内にワークをその電極方向が厚さ方向になるように収納し、搬送体によりワークを搬送しながら、プローブをワークに接触させ、ワークを測定する装置が知られている。この場合、ワークは移動しながら測定されるため、ワークの電極端面に擦過による条痕により電極皮膜の不良や、突出したワークへのプローブの衝突で電極角部が欠落する等、電極不良が発生することがあった。
【０００３】
図６は従来のワーク測定装置を示す縦部分断面拡大図であり、図７は図６のプローブによりワークの特性測定を行ったときにワークの電極端面に生ずる条痕を模式的に示したものである。図６において、ワーク測定装置２０は基台２と、基台２上に回転自在に設けられた搬送体としての搬送テーブル３とを備え、搬送テーブル３には同心円状に複数のワーク収納孔６が等間隔をおいて設けられている。
【０００４】
ワーク収納孔６は図６に示すように搬送テーブル３を貫通し、ワーク収納孔６内にはワークＷが収納されている。また、搬送テーブル３の表裏側（以下表側を上側、裏側を下側という）がそれぞれワークＷの電極端面ｔ，ｔａとなっている。矢印で示す方向に搬送テーブル３が間欠回転すると、ワークＷが搬送される。
【０００５】
また基台２のワーク搬送面２ａと概面一となるようベースプローブ７が設けられ、このベースプローブ７は基台２を貫通し、絶縁層７ａにより基台２から絶縁されている。またベースプローブ７と対向してワーク収納孔６内のワークＷを挟持するように検測プローブ８が設けられている。検測プローブ８は図示しないプローブホルダにより支点を中心として上下方向に揺動自在に設けられており、検測プローブ８はプローブホルダに設けられた弾性体により常に搬送テーブル３側に付勢されている。
【０００６】
検測プローブ８の接触面８ａはその全面がワークＷの電極端面ｔと接触するように適切な角度に形成され、検測プローブ８はワークＷに対し前記搬送テーブル３側への付勢力によりベースプローブ７との間で適切な接触圧力が得られるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このようなワーク測定装置２０において、搬送テーブル３が矢印で示す方向に回転すると、搬送テーブル３の上面からワークＷの上側電極端面ｔが僅かに突出し、このワークＷの上側電極端面ｔに検測プローブ８の接触面８ａが乗り上げる。この場合、検測プローブ８の接触面８ａにより上側電極端面ｔが擦過されながら測定位置に到達して測定が行われる。
【０００８】
測定完了後、再び検測プローブ８の接触面８ａによりワークＷの上側電極端面ｔが擦過されながらワークＷが搬送されて、ワークＷは測定位置から抜出するようになっている。このため、測定位置を抜出したワークＷの上側電極端面ｔには、接触面８ａとの擦過により図７で模式的に示すような条痕１５が発生し、ワークＷの製品としての品質を低下させ、或いは不適合品にしてしまうという問題がある。
【０００９】
また、検測プローブ８においては接触面８ａがワークＷの上側電極端面ｔを擦過するので、上側電極端面ｔから剥ぎ取られた大量の酸化皮膜等の酸化物が検測プローブ８の接触面８ａに付着し、接触抵抗を増大させて測定精度を悪化させている。
【００１０】
更に測定の高速化を図る場合には搬送テーブル３の速度（即ちワークＷの速度）を高速にするため、ワークＷの電極端面ｔと検測プローブ８との接触時の衝撃力が強く、電極角部を欠落させることがある。
【００１１】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、測定中にワークに条痕や欠落を生じさせることのないワーク測定装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【発明を解決するための手段】
本発明は、ワーク収納孔を有する搬送体からなり、ワーク収納孔は搬送体を貫通して形成されるとともに、少なくとも一側端にガイド口を有し、搬送体の表側および裏側に、ワークに当接するプローブが各々設けられ、ワークはワーク収納孔の一側端より内側に収まっており、少なくとも一つのプローブはワーク収納孔内のワークに対して付勢され、当該プローブはガイド口に案内されてワーク収納孔内へ進入してワークに当接した後、ガイド口からワーク収納孔外方へ出てくることを特徴とするワーク測定装置である。
【００１３】
本発明は、搬送体は電気絶縁材により一体に形成されていることを特徴とするワーク測定装置である。
【００１４】
本発明は、搬送体は搬送基板と、搬送基板に積層されガイド口を有するガイド板と、を有することを特徴とするワーク測定装置である。
【００１５】
本発明は、ガイド板は導電性材料からなることを特徴とするワーク測定装置である。
【００１６】
本発明は、ガイド板は絶縁性材料からなることを特徴とするワーク測定装置である。
【００１７】
本発明は、搬送体の他側に基台が設置され、他のプローブは基台に設けられたベースプローブからなることを特徴とするワーク測定装置である。
【００１８】
本発明は、搬送体は、回転テーブルからなることを特徴とするワーク測定装置である。
【００１９】
本発明は、搬送体は、ベルトからなることを特徴とするワーク測定装置である。
【００２０】
本発明は、ガイド口の形状はワーク収納孔より大形に形成されていることを特徴とするワーク測定装置である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１および図２は本発明によるワーク測定装置の一実施の形態を示す図である。
【００２２】
図１および図２に示すように、ワーク測定装置１は基台２と、基台２上に回転自在に設けられた搬送テーブル３とを備えている。
【００２３】
また、搬送テーブル３の上側には円板状のガイド板４が固着され、搬送テーブル（搬送基板）３と、ガイド板４とによって搬送体が構成されている。この搬送体３、４には同心円状に複数のワーク収納孔６が等間隔をおいて配置され、このワーク収納孔６はワーク収納孔列６ａを形成している。この場合、各ワーク収納孔６は搬送体３、４を貫通して形成されている。
【００２４】
さらに、ガイド板４のうちワーク収納孔６の上側端（一側端）には、後述する検測プローブ８をワーク収納孔６内に導く円形状のガイド口５が設けられ、このガイド口５の周縁にはガイド斜面５ａが形成されている。
【００２５】
また各ワーク収納孔６内にはワークＷが収納され、このワークＷはワーク収納孔６の上側端表面より下方に（内側に）収まっている。
【００２６】
ワーク収納孔６内において、ワークＷは表側（上側）および裏側（下側）がそれぞれ電極端面ｔ，ｔａとなるように収納され、矢印で示す方向に搬送体３、４が間欠回転してワークＷが搬送される。また、基台２には、絶縁層７ａにより基台２から絶縁されたベースプローブ７が設けられ、ベースプローブ７の上端は基台２のワーク搬送面２ａと概面一となっており、またベースプローブ７は基台２を貫通している。
【００２７】
また上述のように、ベースプローブ７と対向して、収納孔６に収納されたワークＷを挟持するように検測プローブ８が設けられている。検測プローブ８はプローブホルダ９に保持されるとともに、このプローブホルダ９はプローブホルダ固定部９ａにより支点１０を中心として上下方向、即ち搬送体３、４方向に接近及び離間するように揺動自在に支持されている。またプローブホルダ９とプローブホルダ固定部９ａ間に弾性体１１が設けられ、この弾性体１１により検測プローブ８は常に搬送体３、４側に付勢されている。
【００２８】
また上述のように搬送テーブル３を覆う円板状のガイド板４は搬送テーブル３上に固定され、ガイド板４には各ワーク収納孔６それぞれに対応してガイド口５が設けられ、ガイド口５にはテーパ状のガイド斜面５ａが形成されている。ガイド口５は検測プローブ８の接触面８ａより少し大きい形状を有し、検測プローブ８をガイド口５からワーク収納孔６内に案内して、ワーク収納孔６内に収納されたワークＷの上側電極端面ｔと検測プローブ８の接触面８ａとを接触させることができるようになっている。
【００２９】
このときのワークＷの寸法と他の寸法条件は、次のようになっている。搬送中はワークＷの両電極ｔ，ｔａの両方にプローブ７、８が当接せず、測定点においてワークＷの両電極ｔ，ｔａにプローブ７、８が同時に当接する。
このためｔ１＋ｔ４−ｔ２＜ｔｗ＜ｔ１＋ｔ４となる。
ここで
ｔ１：搬送体３、４の厚さ
ｔ２：ガイド板４の厚さ
ｔ４：基台２と搬送体３、４との隙間
ｔｗ：ワークＷの電極端面ｔ，ｔａ間距離
また、ガイド口５の形状は、ワーク収納孔６より大径に形成されている。
【００３０】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００３１】
図１において、搬送体である搬送テーブル３およびガイド板４が矢印で示す方向に回転すると、弾性体１１によりガイド板４側へ付勢された検測プローブ８の接触面８ａがガイド板４の表面を相対的に摺動する。そして、ガイド板４のガイド口５が検測プローブ８の接触面８ａ下面位置に到達すると、図２（ａ）に示すように、検測プローブ８の先端部がガイド口５のガイド斜面５ａにガイドされてガイド口５内に侵入する。更に搬送テーブル３およびガイド板４が回転すると図２（ｂ）に示すように、検測プローブ８の先端部がガイド斜面５ａから外れて、検測プローブ８の接触面８ａがワークＷの上側電極端面ｔ上に接触する。
【００３２】
接触面８ａと上側電極端面ｔが接触した後、更に僅かに搬送テーブル３が回転して接触面８ａがワーク収納孔６の略中央に到達すると、搬送テーブル３が一時停止して、検測プローブ８の接触面８ａとベースプローブ７とによりワークＷを挟持してワークＷの特性測定等が行われる。
【００３３】
この場合、検測プローブ８の接触面８ａは、上側電極端面ｔに接触したとき接触面８ａがワークＷの上側電極端面ｔと略平行になるように形成されている。このため接触面８ａと上側電極端面ｔとの間で、良好な接触状態が得られると共に、検測プローブ８とベースプローブ７との間に挟持されたワークＷに対し弾性体１１の付勢力により適切な接触圧力が得られるようになっている。
【００３４】
特性測定等が実施された後、搬送テーブル３およびガイド板４が更に回転すると、図２（ｃ）に示すように検測プローブ８がガイド斜面５ａにより押上げられる。検測プローブ８の接触面８ａがワークＷの上側電極端面ｔから離脱した後、この接触面８ａがガイド板４表面を相対的に摺動し、同様にして次のガイド口５に位置決めされる。
【００３５】
以上のように本実施の形態によれば、検測プローブ８の接触面８ａは、ワークＷの上側電極端面ｔに測定時のみに接触することになる。このため上側電極端面ｔと接触面８ａとの擦過（摩擦）を抑えることができ、このためワークＷの擦過痕を最小に抑えることができ、かつワークＷの電極の欠落を防止できる。またワークＷのサイズが変更された場合、ワークサイズに合わせたワーク収納孔６を有する搬送テーブル３と交換することになるが、ワークＷの最大外形がガイド口５より小さければ検測プローブ８を変更する必要が無く、したがってガイド板４は共通に使用することができる。また、検測プローブ８の接触面８ａとワークＷの上側電極端面ｔが接触してから離脱するまで僅かに摺動するため、上側電極端面ｔの酸化皮膜を破壊して良好な接触状態を得ることができる。このとき検測プローブ８の接触面８ａに付着した微量の酸化物等はガイド板４表面を摺動することにより除去され、接触面８ａが清浄に保たれるようになっている。
【００３６】
なおガイド板４の材質は導電性或いは絶縁性の何れでも構わないが、導電性素材を用いた場合は、静電シールド効果を持たせることができる。一方、ガイド板４の材質として絶縁性素材を用いた場合は、逆に静電シールドの効果は無いものの絶縁性に優れている。このためワークＷに応じてそれぞれの長所を生かすことができる素材のガイド板４を選択する。例えばワークＷがコンデンサで高周波特性測定等の場合は、導電性素材を選択し、ワークＷが抵抗の場合あるいはワークＷがコンデンサで絶縁抵抗測定の場合には、絶縁性素材を選択することが好ましい。
【００３７】
次に図３乃至図５により、本発明の変形例について説明する。
【００３８】
図３に示す変形例は、ガイド板４を用いる代りに搬送テーブル３の上面側をガイド板４相当分だけ厚くし、厚くした部分にガイド口５およびガイド斜面５ａを直接的に設けたものである。図３において、図１および図２に示す実施の形態と同一部分には同一符号を符して詳細な説明は省略する。図３において、搬送テーブル３のテーブル素材は絶縁性素材に限られ、搬送テーブル３のみにより搬送体が構成される。
【００３９】
なお、図３において、搬送テーブル３の上面側はガイド板４相当分（厚さｔ２）だけ厚くなっている。
【００４０】
次に図４により他の変形例について示す。図４に示す変形例は搬送テーブル３の表側および裏側に各々可動の検測プローブ８を設けたものである。図４に示すように、搬送テーブル３の表側および裏側に各々ガイド板４，４が固定され、各ガイド板４，４にガイド斜面５ａを有するガイド口５が開口し、各ガイド口５内に可動の検測プローブ８が配置されている。
【００４１】
図４において、ワークＷと他の寸法条件は、ｔ１−ｔ２−ｔ３＜ｔｗ＜ｔ１となっている。
ｔ１：搬送体３、４の厚さ
ｔ２、ｔ３：ガイド板４の厚さ
ｔ４：基台２と搬送体３、４との隙間
ｔｗ：ワークＷの電極端面ｔ，ｔａ間距離
【００４２】
次に図５により更に他の変形例について説明する。図１に示す実施の形態においてガイド口５は円形状となっているが、図５に示すようにガイド口５を角形としてもよい。
【００４３】
なお、上記各実施の形態において、搬送体は基台２上で回転する搬送テーブル３から構成されているが、搬送体を直進性の搬送テーブル、例えばベルトコンベアやキャリアテープなどの長尺板状体から構成してもよい。
【００４４】
また、本実施例では、搬送テーブル３はワークＷのそれぞれの電極端面ｔ，ｔａを上下方向とするよう水平方向に配置されているが、水平方向に限らず垂直方向あるいは斜傾状に配置されていてもよい。
【００４５】
また、上記各実施の形態において、搬送体３、４に形成されたワーク収納孔６は、搬送体３、４の外縁より内側に形成されているが（図１（ｂ）参照）、これに限らずワーク収納孔６を搬送体３、４の外縁から外方へ開口するように設けてもよい。この場合、搬送体３、４に設けられたワーク収納孔６は、平面コ字状をなしていても良く、この平面コ字状のワーク収納孔６に対応してガイド口５もコ字状あるいは円形状となっている。
【００４６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、プローブがワーク上を摺動する距離を最小限とすることができ、これによりワークの条痕の発生および欠落を抑えることができる。また、ワーク上を僅かにプローブが摺動することにより、プローブへの酸化物等の付着量が減少し、その後搬送体とプローブとの摺動によりプローブの酸化物等を除去することができる。このためワークとプローブとの良好な接触状態を保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるワーク測定装置の一実施の形態を示す図。
【図２】本発明によるワーク測定装置の作用を説明する図。
【図３】本発明によるワーク測定装置の変形例を示す図。
【図４】本発明によるワーク測定装置の他の変形例を示す図。
【図５】本発明によるワーク測定装置の他の変形例を示す図。
【図６】従来のワーク測定装置を示す図。
【図７】ワークの端面電極に生じた条痕を示す図。
【符号の説明】
１  ワーク測定装置
２  基台
２ａ  搬送面
３  搬送テーブル
４  ガイド板
５  ガイド口
５ａ  ガイド斜面
６  ワーク収納孔
６ａ  収納孔列
７  ベースプローブ
７ａ  絶縁層
８  検測プローブ
８ａ  接触面
９  プローブホルダ
９ａ  プローブホルダ固定部
１０  支点
１１  弾性体
Ｗ  ワーク
ｔ  上側電極端面
ｔａ  下側電極端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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