(57)【要約】【課題】光沢剤の偏析がなく、各析出部で形状ばらつきのないレンズ状突起アレイ及びその形成方法、レンズ金型、レンズの提供を目的としている。【解決手段】本発明は、導電性基板１の導電層２上に開口部３ａを有する絶縁パターン３を形成する工程と、開口部３ａ内の導電層２に電析により金属を析出させて開口部３ａを充填した後、絶縁パターン３上に突起４を形成する電析工程とから少なくとも成るレンズ状突起アレイの形成方法において、前記電析工程の少なくとも一部の工程において、光沢剤を含有する電析浴７で電析を行なう光沢電析工程を行ない、この工程で、金属析出部近傍の液流を抑制することを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性基板の導電層上に開口部を有する絶縁パターンを形成する工程と、
前記開口部内の導電層に電析により金属を析出させて開口部を充填した後、絶縁パターン上に突起を形成する電析工程と、
から少なくとも成るレンズ状突起アレイの形成方法において、
前記電析工程の少なくとも一部の工程において、光沢剤を含有する電析浴で電析を行う光沢電析工程を行い、この工程で、金属析出部近傍の液流を抑制することを特徴とするレンズ状突起アレイの形成方法。
【請求項２】
前記光沢電析工程において、液を攪拌しないことを特徴とする請求項１に記載のレンズ状突起アレイの形成方法。
【請求項３】
前記光沢電析工程において、電析浴全体を加熱することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のレンズ状突起アレイの形成方法。
【請求項４】
前記光沢電析工程において、電析浴を密閉することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のレンズ状突起アレイの形成方法。
【請求項５】
前記光沢電析工程において、電流密度２Ａ／ｄｍ２以下で電析することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のレンズ状突起アレイの形成方法。
【請求項６】
前記光沢電析工程において、導電性基板を開口部が上面になるように水平に配置し、金属を導電性基板の上方に析出させることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のレンズ状突起アレイの形成方法。
【請求項７】
請求項６に記載のレンズ状突起アレイの形成方法で形成され、突起の形状が回転対称性を有する半球状であることを特徴とするレンズ状突起アレイ。
【請求項８】
前記光沢電析工程において、導電性基板を垂直に配置し、金属を水平方向に析出させることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のレンズ状突起アレイの形成方法。
【請求項９】
請求項８記載のレンズ状突起アレイの形成方法で形成され、突起の径が電析時の垂直方向と水平方向で異なり、かつ、突起の形状が水平方向に対称であることを特徴とするレンズ状突起アレイ。
【請求項１０】
請求項７または請求項９に記載のレンズ状突起アレイの反転形状部を有することを特徴とするレンズ金型。
【請求項１１】
請求項１０に記載のレンズ金型を用いて作製したことを特徴とするレンズ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電析を用いた微小レンズ状突起アレイ及びその形成方法に係わり、さらには、これを用いた金型並びにレンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信用カップリングレンズアレイ、デジタルカメラ、プロジェクターおよび三次元ディスプレーなどに使用されるマイクロレンズの形状を精度良く形成するために、マイクロレンズ用のレンズ金型の形状は微小にも関らず正確であることが要求される。
【０００３】
そこで、電析により半球状の突起を形成し、それを金駒としてレンズを作製する製造方法が各社から提案されている（例えば、特許文献１参照）。ここでは、まず導電性基板上に微小なレジストパターン孔を形成しておく。レジストパターン孔は所望のマイクロレンズを作製することができるような間隔としておく。次にスルファミン酸ニッケルを主成分とした硫酸ニッケル及び光沢剤から成る電析浴を使用し、電析によってレジストパターン孔に半球状のニッケル金属を析出させる。析出する半球状のニッケル金属の半径が、所望のマイクロレンズの半径と同じになるまで電析を行えば、所望のレンズ曲率半径であるニッケル金属の半球を有するレンズ金駒を形成することができる。さらに、このレンズ金駒を鋳型として、半球のレンズ金駒と同じ形状の凹部をもつレンズ金型を作製する。このレンズ金型によって所望のレンズ形状のマイクロレンズを得ることができる。
【０００４】
また、別の従来技術（例えば、特許文献２および特許文献３参照）においても、光沢剤を含有する電析浴を用いる光沢電析を行っている。これは、光沢剤を含有しない無光沢電析では、表面粗さが大きくなるが、光沢電析では、レベリング作用により、凸部より凹部の析出速度が速いため、表面粗さが小さくなり、レンズ金駒として好適なためである。
【０００５】
しかしながら、光沢電析では液流があると光沢剤の偏析がおき、突起形状が変形しやすい。例えば、更に別の従来技術（例えば、特許文献４、特許文献５、特許文献６参照）に開示されているように、真円形状の開口を有する基板を垂直に配置して、光沢電析を行ったが、図５に示されるように、突起１００の形状が変形して回転対称性を有する半球形状とならず、各析出部で形状がばらついた。そのため、この突起アレイをレンズ金駒として用いることはできなかった。
【０００６】
そこで、無光沢電析で半球状の突起を形成した後、該突起の表面が所望の表面粗さになるまで光沢電析を行い薄い光沢層を形成することにより、半球形状で表面粗さの小さい突起を形成することを可能とする技術が提案されている（特許文献７参照）（無光沢電析は光沢剤を含まないので偏析がおきず、突起形状を半球になる。しかし、そのままでは表面粗さが大きいので、さらに光沢電析を行い、表面粗さを低減している。）
【０００７】
【特許文献１】
特開平８−２５８０５１号公報
【特許文献２】
特公昭６４−１０１６９号公報
【特許文献３】
特開２００１−１３４９号公報
【特許文献４】
特開平８−２５８０５１号公報（図３）
【特許文献５】
特開２０００−２８０２５６号公報（図６）
【特許文献６】
特開２００１−１３４９号公報（図２）
【特許文献７】
特開２００２−３２６２２９号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献７の技術では、この突起の曲率半径を大きくするため、光沢層を厚く形成すると、突起形状が半球形状から変形するため、曲率半径の大きな突起を形成できなかった。
【０００９】
本発明は、前記事情に着目してなされたものであり、その目的とするところは、光沢剤の偏析がなく、各析出部で形状ばらつきのないレンズ状突起アレイ及びその形成方法、レンズ金型、レンズを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、請求項１に記載された発明は、導電性基板の導電層上に開口部を有する絶縁パターンを形成する工程と、前記開口部内の導電層に電析により金属を析出させて開口部を充填した後、絶縁パターン上に突起を形成する電析工程とから少なくとも成るレンズ状突起アレイの形成方法において、前記電析工程の少なくとも一部の工程において、光沢剤を含有する電析浴で電析を行う光沢電析工程を行い、この工程で、金属析出部近傍の液流を抑制することを特徴とする。
【００１１】
この請求項１に記載された発明によれば、光沢電析工程で、金属析出部近傍の液流を抑制しているので、光沢剤の偏析がなく、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００１２】
また、請求項２に記載された発明は、請求項１に記載された発明において、前記光沢電析工程で、液を攪拌しないことを特徴とする。
【００１３】
この請求項２に記載された発明によれば、請求項１に記載された発明と同様の作用効果が得られるとともに、前記光沢電析工程で、液を攪拌していないので、金属析出部近傍の液流を抑制でき、光沢剤の偏析がなく各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００１４】
また、請求項３に記載された発明は、請求項１または請求項２に記載された発明において、前記光沢電析工程で、電析浴全体を加熱することを特徴とする。
【００１５】
この請求項３に記載された発明によれば、請求項１または請求項２に記載された発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程で、液全体を加熱しているので、電析浴全体の対流を低減して金属析出部近傍の液流を抑制でき、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００１６】
また、請求項４に記載された発明は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の発明において、前記光沢電析工程で、電析浴を密閉することを特徴とする。
【００１７】
この請求項４に記載された発明によれば、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程で、電析浴を密閉しているので、浴液の蒸発を防いで電析浴全体の対流をなくして金属析出部近傍の液流を抑制できる。そのため、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成でき、また、水分の蒸発によるイオン濃度の変化を防げるため、異常な析出を防止できる。
【００１８】
また、請求項５に記載された発明は、請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の発明において、前記光沢電析工程で、電流密度２Ａ／ｄｍ２以下で電析することを特徴とする。
【００１９】
この請求項５に記載された発明によれば、請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程において、電流密度２Ａ／ｄｍ２以下で電析しているので、基板表面の発熱量を抑制して、発熱による液流の発生を抑制できる。そのため、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００２０】
また、請求項６に記載された発明は、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の発明において、前記光沢電析工程で、導電性基板を開口部が上面になるように水平に配置し、金属を導電性基板の上方に析出させることを特徴とする。
【００２１】
この請求項６に記載された発明によれば、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程において、導電性基板を開口部が上面になるように水平に配置し、金属を導電性基板の上方に析出させているので、基板表面の発熱で生じる液流が主に基板表面から上方への流れ、突起の等方成長を妨げない。そのため、半球状の突起を形成できる。
【００２２】
また、請求項７に記載されたレンズ状突起アレイは、請求項６に記載のレンズ状突起アレイの形成方法で形成され、突起の形状が回転対称性を有する半球状であることを特徴とする。
【００２３】
この請求項７に記載された発明によれば、請求項６記載のレンズ状突起アレイの形成方法で形成しているので、突起の形状が回転対称性を有する半球状となり、しかも突起の形状精度が良い。
【００２４】
また、請求項８に記載された発明は、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の発明において、前記光沢電析工程で、導電性基板を垂直に配置し、金属を水平方向に析出させることを特徴とする。
【００２５】
この請求項８に記載された発明によれば、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程において、導電性基板を垂直に配置し、金属を水平方向に析出させているので、基板表面の沿って下から上への微小な液流が生じる。そのため、突起の径が電析時の垂直方向と水平方向で異なり、かつ、突起の形状が水平方向に対称である突起を形成できる。
【００２６】
また、請求項９に記載されたレンズ状突起アレイは、請求項８記載のレンズ状突起アレイの形成方法で形成され、突起の径が電析時の垂直方向と水平方向で異なり、かつ、突起の形状が水平方向に対称であることを特徴とする。
【００２７】
この請求項９に記載された発明によれば、請求項８記載のレンズ状突起アレイの形成方法で形成しているので、突起が長軸と短軸を有し、かつ、突起の形状が長軸または短軸に対して対称となり、しかも突起の形状精度が良い。
【００２８】
また、請求項１０に記載されたレンズ金型は、請求項７または請求項９に記載のレンズ状突起アレイの反転形状部を有することを特徴とする。
【００２９】
この請求項１０に記載された発明によれば、請求項７または９記載のレンズ状突起アレイの反転形状部を有しているので、従来のレンズ金型に比べ、様々な形状や、形状精度のよいレンズの反転形状部を有することができる。
【００３０】
また、請求項１１に記載されたレンズは、請求項１０に記載のレンズ金型を用いて作製したことを特徴とする。
【００３１】
この請求項１１のレンズにおいては、請求項１０記載のレンズ金型を用いて作製しているので、様々な形状で、形状精度のよいレンズまたはレンズアレイを得ることができる。また、大量のレンズを同時に作製できるので、安価なレンズまたはレンズアレイを得ることができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
【００３３】
図１および図２は本発明の第１の実施形態を示している。図１に示されるように、本実施形態では、突起アレイを、導電性基板１と、この基板１上に形成された少なくとも１つ以上の開口部３ａを有する絶縁層３と、開口部３ａおよび絶縁層３上に形成された電析層からなる構成としている。図中７は電析液である。以下に突起の詳細な形成方法の例を説明する。
【００３４】
第一の工程で、導電性基板１上に開口部３ａを有する絶縁パターンを形成する。具体的には、シリコン、ガラス、セラミックス、ガラエポ等の基板に導電層２を形成した基板１に、フォトレジスト等で絶縁パターン３を形成し開口部３ａを設ける。また、導電層２と絶縁層３（例えば、銅箔とポリイミド層）を積層し、絶縁層３に孔を形成して開口部３としたフレキシブル導電性基板を用いてもよい。開口部３ａはここでは真円形状としている。
【００３５】
第二の工程で、導電性基板１上の絶縁パターン３の開口部３ａに電析により金属を析出させて突起４を形成する。ここでは、電析工程を光沢電析のみで行う場合を説明する。
【００３６】
ワット浴に光沢剤を添加した電析浴７（硫酸ニッケル３５０ｇ／ｌ、塩化ニッケル５０ｇ／ｌ、硼酸４５ｇ／ｌ、第１種光沢剤と第２種光沢剤を数ｇ／ｌ）を、５０℃前後の一定温度に温めておく。基板１は開口部３ａを形成した範囲が浴液に触れるようにした陰極治具５にセットし、基板１の導電層２と電源間の導通を確認しておく。基板１をセットした陰極治具５を浴槽８に入れ、導電性基板１を開口部３ａが上面になるように水平に配置する。
【００３７】
陽極６は、陰極治具５に対向するように、浴槽８内に配置する。なお、電析浴７は陰極や陽極の配置前に浴槽に入れてもよいし、配置後でもよい。浴液や電極を浴槽８に入れた直後は、浴液の流れがあるため、流れが収まるまで、しばらく待つ。そのまま無攪拌状態で電流を流して、電析を行う。
【００３８】
電析浴は一定温度に保温するため、電析浴全体を恒温槽９に入れるなどして液の全面を加熱する。例えば、浴槽８の底面からのみ加熱すると、電析浴全体で対流がおきる。また、上面のみ常温の空気層だとそこから熱が逃げ、同様に電析浴全体で対流がおきる。また、液の蒸発を防ぐため、電析浴を密閉する。
【００３９】
電析浴を密閉せずに液の蒸発量が多くなると電析浴全体の対流が生じる。ここでは、液の全面を加熱加熱と併用し液と空気層の温度差がないため液の蒸発が抑えられており電析浴全体の対流は起きにくいが、水分の減少でイオン濃度が変わり、また、液を攪拌していないため電析浴内のイオン濃度分布が大きくなりため、析出状態が変わる。以上のように、液の流れが収まるまで待ち、かつ、無攪拌状態で行うのは、光沢電析では液流があると光沢剤の偏析がおき、光沢剤が多く析出するところの突起の成長は遅くなるため、突起の形状がくずれるためである。また、電流密度２Ａ／ｄｍ２以下で電析を行う。
【００４０】
このように低い電流密度で行うのは、基板表面（金属析出部含む）の発熱等により生じる液流を極力抑えるためである。また、微小な液流が発生しても、導電性基板を開口部が上面になるように水平に配置しているので、液流の方向は基板表面から上方へと向かうため、析出部の等方成長を阻害しないので、突起の形状はくずれない。また、高い電流密度で行うと、液流がないので電析浴中の金属イオンよりも水素イオンの方が陰極へ輸送される速度が速くなり、金属イオンよりも水素イオンの還元、すなわち水素の発生が優先的になり電析効率が落ちる。さらには、液流がないと電析層表面に水素が付着したままとなり、析出形状を変えてしまうこともあるが、導電性基板を開口部が上面になるように水平に配置しているので、水素が発生しても上方へ移動し電析層表面に付着したままとはならない。そして、所望の突起サイズになる通電量になり、電析を終了した。これにより、突起の形状が回転対称性を有する半球状であるレンズ状突起アレイ４・・・を得た（図２参照）。
【００４１】
なお、ここでは開口部形状が円状で突起が半球状の場合の例を示したが、開口部形状が矩形で突起がかまぼこ型等の、開口部が円状以外でそこから等方的に成長する突起も、同様の工程で形成できる。
【００４２】
図３および図４は本発明の第２の実施形態を示している。図３に示されるように、本実施形態は、第１の実施形態の水平配置を垂直配置に変更した場合の形成例を示す。装置構成や電流密度等の条件は同じで、基板配置だけを変更する。この場合、基板１の表面（金属析出部含む）の発熱等により生じる液流は、基板１の表面に沿って下方から上方へと流れるため、析出部の等方成長が阻害され、垂直方向の成長が水平方向の成長より早くなる。これにより、突起の形状が水平方向に対称性を有する半球状であるレンズ状突起アレイ４ａ・・・を得た（図４参照）。
【００４３】
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。本実施形態では、第１および第２の実施形態で作製したレンズ状突起アレイを金駒として用いることにより、回転対称や左右対称等の様々な形状でかつ精度の良いレンズ状突起アレイの反転形状部を有するレンズ金型を得る。レンズ金型の形成方法の例を以下に説明する。
【００４４】
第１および第２の実施形態で作製したレンズ状突起アレイの表面、すなわち、突起および絶縁パターン上に、スパッタリングや無電解メッキ等で導電性皮膜を形成する。次に、ＵＶ／Ｏ３処理等により導電性皮膜の表面に酸化膜を形成し、易剥離膜とする。他には有機薄膜を形成してもよい。次に、易剥離膜に電析により金属を析出させ、金駒の反転形状層を形成する。次に、反転形状層を易剥離膜から剥離し、反転型すなわちレンズ金型を得る。以上のように、容易な方法で、レンズ状突起アレイの反転形状部を有するレンズ金型を形成できる。
【００４５】
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。本実施形態では、第３の実施形態で作製したレンズ金型として用いることにより、様々な形状で形状精度の良いレンズまたはレンズアレイを得ることが出来る。レンズの作成方法としては以下のような方法がある。プラスチックレンズは、樹脂成形材料を射出成形や熱プレスなどの方法で成形することができる。又、ゾルゲルガラスレンズは液状のガラスをレンズ金型に流し込み、温度や時間を調整しながら固化することでガラスレンズを作製する。このように、安価で形状精度の良いレンズ金型を用い、大量のレンズを同時に作製できるので、安価で形状精度の高いレンズまたはレンズアレイを得ることができる。
【００４６】
以上説明したように、前述した各実施形態においては、光沢電析工程で、金属析出部近傍の液流を抑制しているので、光沢剤の偏析がなく、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００４７】
また、前述した各実施形態では、光沢電析工程で、液を攪拌していないので、金属析出部近傍の液流を抑制でき、光沢剤の偏析がなく各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００４８】
また、前述した各実施形態では、光沢電析工程で、液全体を加熱しているので、電析浴全体の対流を低減して金属析出部近傍の液流を抑制でき、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００４９】
また、前述した各実施形態では、光沢電析工程で、電析浴を密閉しているので、浴液の蒸発を防いで電析浴全体の対流をなくして金属析出部近傍の液流を抑制でき、したがって、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成でき、また、水分の蒸発によるイオン濃度の変化を防げるため、異常な析出を防止できる。
【００５０】
また、前述した各実施形態では、光沢電析工程で、電流密度２Ａ／ｄｍ２以下で電析しているので、基板表面の発熱量を抑制して、発熱による液流の発生を抑制できる。そのため、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００５１】
また、前述した各実施形態では、光沢電析工程で、導電性基板を開口部が上面になるように水平に配置し、金属を導電性基板の上方に析出させているので、基板表面の発熱で生じる液流が主に基板表面から上方への流れ、突起の等方成長を妨げない。そのため、半球状の突起を形成できる。
【００５２】
【発明の効果】
請求項１に記載された発明によれば、光沢電析工程で、金属析出部近傍の液流を抑制しているので、光沢剤の偏析がなく、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００５３】
請求項２に記載された発明によれば、請求項１に記載された発明と同様の作用効果が得られるとともに、前記光沢電析工程で、液を攪拌していないので、金属析出部近傍の液流を抑制でき、光沢剤の偏析がなく各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００５４】
請求項３に記載された発明によれば、請求項１または請求項２に記載された発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程で、液全体を加熱しているので、電析浴全体の対流を低減して金属析出部近傍の液流を抑制でき、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００５５】
請求項４に記載された発明によれば、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程で、電析浴を密閉しているので、浴液の蒸発を防いで電析浴全体の対流をなくして金属析出部近傍の液流を抑制できる。そのため、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成でき、また、水分の蒸発によるイオン濃度の変化を防げるため、異常な析出を防止できる。
【００５６】
請求項５に記載された発明によれば、請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程において、電流密度２Ａ／ｄｍ２以下で電析しているので、基板表面の発熱量を抑制して、発熱による液流の発生を抑制できる。そのため、各析出部で形状ばらつきのない突起を形成できる。
【００５７】
請求項６に記載された発明によれば、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程において、導電性基板を開口部が上面になるように水平に配置し、金属を導電性基板の上方に析出させているので、基板表面の発熱で生じる液流が主に基板表面から上方への流れ、突起の等方成長を妨げない。そのため、半球状の突起を形成できる。
【００５８】
請求項７に記載された発明によれば、請求項６記載のレンズ状突起アレイの形成方法で形成しているので、突起の形状が回転対称性を有する半球状となり、しかも突起の形状精度が良い。
【００５９】
請求項８に記載された発明によれば、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の発明と同様の作用効果が得られるとともに、光沢電析工程において、導電性基板を垂直に配置し、金属を水平方向に析出させているので、基板表面の沿って下から上への微小な液流が生じる。そのため、突起の径が電析時の垂直方向と水平方向で異なり、かつ、突起の形状が水平方向に対称である突起を形成できる。
【００６０】
請求項９に記載された発明によれば、請求項８記載のレンズ状突起アレイの形成方法で形成しているので、突起が長軸と短軸を有し、かつ、突起の形状が長軸または短軸に対して対称となり、しかも突起の形状精度が良い。
【００６１】
請求項１０に記載された発明によれば、請求項７または９記載のレンズ状突起アレイの反転形状部を有しているので、従来のレンズ金型に比べ、様々な形状や、形状精度のよいレンズの反転形状部を有することができる。
【００６２】
請求項１１のレンズにおいては、請求項１０記載のレンズ金型を用いて作製しているので、様々な形状で、形状精度のよいレンズまたはレンズアレイを得ることができる。また、大量のレンズを同時に作製できるので、安価なレンズまたはレンズアレイを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るレンズ状突起アレイ形成方法を説明するための概略図である。
【図２】図１の形成方法によって得られた突起の平面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るレンズ状突起アレイ形成方法を説明するための概略図である。
【図４】図３の形成方法によって得られた突起の平面図である。
【図５】従来の突起の平面図である。
【符号の説明】
１    導電性基板
２    導電層
３    絶縁層
３ａ  開口部
４    突起
【図１】
2004279905.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004279905.tif 000005
【図４】
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【図５】
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