(57)【要約】【課題】シンプルで小型の構造を有し，モーメント測定可能な力学量センサ素子を提供すること。【解決手段】電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる基体部１０と，基体部１０から立設した複数の独立したセンシング部２を有してなる。各センシング部２は，電気絶縁性を有するセラミックスよりなる母材中に圧力抵抗効果もしくは磁気抵抗効果を有するセンサ材料が分散してなる複合セラミックスよりなる感圧体３を有してなり，かつ，感圧体３は基体部１０と一体的に焼結されている。各センシング部２は，感圧体３の受圧面３５に配設された電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる受圧体４を有してなり，受圧体４は感圧体３と一体的に焼結されていることが好ましい。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる基体部と，該基体部から立設した複数の独立したセンシング部を有してなり，
上記各センシング部は，電気絶縁性を有するセラミックスよりなる母材中に圧力抵抗効果もしくは磁気抵抗効果を有するセンサ材料が分散してなる複合セラミックスよりなる感圧体を有してなり，かつ，該感圧体は上記基体部と一体的に焼結されていることを特徴とする力学量センサ素子。
【請求項２】
請求項１において，上記各センシング部は，上記感圧体の受圧面に配設された電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる受圧体を有してなり，該受圧体は上記感圧体と一体的に焼結されていることを特徴とする力学量センサ素子。
【請求項３】
請求項１又は２において，上記基体部は，平板上の本体部と，該本体部から突出した複数の土台部とを有し，該土台部上にそれぞれ上記センシング部を設けてなることを特徴とする力学量センサ素子。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において，上記センシング部を設けていない上記基体部の表面から上記センシング部の先端部までの高さをＨ（ｍｍ），上記センシング部の先端面の面積をＳ（ｍｍ２）とした場合，Ｓ／Ｈが０．４〜４０の範囲内にあることを特徴とする力学量センサ素子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において，上記基体部は略多角形状を呈しており，該多角形の頂角部近傍にそれぞれ上記センシング部を設けてあることを特徴とする力学量センサ素子。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項において，上記感圧体に含有される上記センサ材料は，（Ｌａ，Ｓｒ）ＭｎＯ３よりなることを特徴とする力学量センサ素子。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項において，上記基体部を構成する絶縁セラミックス及び上記感圧体の上記母材を構成する絶縁セラミックスは，いずれもジルコニアよりなることを特徴とする力学量センサ素子。
【請求項８】
請求項２において，上記受圧体を構成する絶縁セラミックスはジルコニアよりなることを特徴とする力学量センサ素子。
【請求項９】
電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる基体部となる第１層と，電気絶縁性を有するセラミックスよりなる母材中に圧力抵抗効果もしくは磁気抵抗効果を有するセンサ材料が分散してなる複合セラミックスよりなる感圧体となる第２層とを積層して積層体を形成する積層工程と，
上記積層体を加熱することにより，上記基体部と上記感圧体とが一体的に焼結された焼結積層体を得る焼結工程と，
上記焼結積層体における上記感圧体を設けた面の少なくとも一部を，少なくとも上記感圧体の厚み以上に切削又は研削することにより，上記感圧体を複数の孤立した領域に分断して複数の独立したセンシング部を形成すると共に，該センシング部の高さを他の部分よりも高くするセンシング部形成工程とを有することを特徴とする力学量センサ素子の製造方法。
【請求項１０】
請求項９において，上記積層工程では，上記第１層と上記第２層と，上記感圧体の受圧面に配設される電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる受圧体となる第３層とを積層して積層体を形成し，
上記焼結工程では，上記基体部と上記感圧体と上記受圧体とが一体的に焼結された焼結積層体を得，
上記センシング部形成工程では，上記焼結積層体における上記受圧体を設けた面の少なくとも一部を，少なくとも上記受圧体及び上記感圧体の合計厚み以上に切削又は研削することにより，上記受圧体及び上記感圧体を複数の孤立した領域に分断して複数の独立したセンシング部を形成することを特徴とする力学量センサ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，シンプルで小型の構造を有し，荷重もしくはモーメント測定可能な力学量センサ素子に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来，荷重あるいはモーメントを測定するセンサとしては，金属歪みゲージを用いるのが一般的である。また，荷重測定とモーメント測定の両方を行うことができるセンサを構成する場合も，複数の金属歪みゲージを組み合わせることが行われている（例えば，特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平７−１２６６４号公報
【０００４】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来の金属歪みゲージを組み合わせたセンサは，金属歪みゲージを配設する起歪部を設けることが必要であり，構造が非常に複雑となる。また，センサ全体の大きさも大きくなってしまい，適用用途が限定されてしまうという不具合もある。
【０００５】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，シンプルで小型の構造を有し，荷重もしくはモーメント測定可能な力学量センサ素子を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題の解決手段】
第１の発明は，電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる基体部と，該基体部から立設した複数の独立したセンシング部を有してなり，
上記各センシング部は，電気絶縁性を有するセラミックスよりなる母材中に圧力抵抗効果もしくは磁気抵抗効果を有するセンサ材料が分散してなる複合セラミックスよりなる感圧体を有してなり，かつ，該感圧体は上記基体部と一体的に焼結されていることを特徴とする力学量センサ素子にある（請求項１）。
【０００７】
本発明の力学量センサ素子は，上記のごとく，上記基体部から立設した複数の独立したセンシング部を有している。そのため，この複数のセンシング部から独立した測定信号を得ることにより，単なる荷重測定はもとより，モーメントの測定も容易に行うことができる。
【０００８】
また，上記力学量センサ素子では，上記センシング部を構成する上記感圧体が上記基体部と一体焼結されている。そのため，上記力学量センサ素子は，従来の歪みゲージを用いた場合のような複数の起歪部を有する部材と複数の歪みゲージを組み合わせるというような複雑な構造をとる必要がなく，非常にシンプルで小型の構造となる。また，上記一体化を焼結により行っており，接着剤等を一切使っていないので，寸法の安定性を非常に高めることができる。
また，上記感圧体そのものが，上記のごとく複合セラミックスよりなり，剛性が高く，構造体の役割をも果たす。そのため，より一層寸法安定性に優れ，測定精度の優れたものとすることができる。
【０００９】
第２の発明は，電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる基体部となる第１層と，電気絶縁性を有するセラミックスよりなる母材中に圧力抵抗効果もしくは磁気抵抗効果を有するセンサ材料が分散してなる複合セラミックスよりなる感圧体となる第２層とを積層して積層体を形成する積層工程と，
上記積層体を加熱することにより，上記基体部と上記感圧体とが一体的に焼結された焼結積層体を得る焼結工程と，
上記焼結積層体における上記感圧体を設けた面の少なくとも一部を，少なくとも上記感圧体の厚み以上に切削又は研削することにより，上記感圧体を複数の孤立した領域に分断して複数の独立したセンシング部を形成すると共に，該センシング部の高さを他の部分よりも高くするセンシング部形成工程とを有することを特徴とする力学量センサ素子の製造方法にある（請求項９）。
【００１０】
本発明の製造方法では，上記のごとく，まず，積層工程及び焼結工程を実施して，上記基体部と上記感圧体とが一体的に焼結された焼結積層体を作製する。そしてその後に，上記焼結積層体に切削又は研削を施す上記センシング部形成工程を行う。これによって，上記基体部と感圧体との一体的な強固な結合関係を維持したまま，上記複数の独立したセンシング部を形成することができる。
【００１１】
また，上記センシング部形成工程は，切削又は研削によって行い，他の部材を組み付ける必要は全くない。そのため，複数の部品を組み付ける場合のような組み付け精度を考慮する必要がなく，一体化された一個の部品を加工する加工精度を向上するだけで，寸法精度を制御することができる。それ故，比較的容易に寸法精度の向上を図ることができる。
【００１２】
また，得られた力学量センサ素子は，上記基体部から立設した複数の独立したセンシング部を有する構造となるので，単なる荷重測定はもとより，モーメントの測定も容易に行うことができる。さらに，従来の歪みゲージを用いた場合よりも，シンプルで小型の構造となり，かつ，上記の寸法精度の向上によって測定精度にも優れたものとなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
上記第１の発明においては，上記各センシング部は，上記感圧体の受圧面に配設された電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる受圧体を有してなり，該受圧体は上記感圧体と一体的に焼結されていることが好ましい（請求項２）。この場合には，上記感圧体を上記基体部と上記受圧体との間において保護することができ，感圧体の健全性を長期間維持することができる。また，複数のセンシング部における感圧体の厚みを変更することなく，上記受圧体又は上記基体部の厚みを調整することによって上記センシング部の高さ寸法等を調整することができるので，容易に寸法精度の調整を行うことができる。
【００１４】
また，上記基体部は，平板上の本体部と，該本体部から突出した複数の土台部とを有し，該土台部上にそれぞれ上記センシング部を設けてなることが好ましい（請求項３）。この場合には，後述する製造方法を用いて一体的に焼結した焼結積層体を切削又は研削して複数のセンシング部を形成する場合に，各センシング部の独立化を容易に行うことができる。
【００１５】
また，上記センシング部を設けていない上記基体部の表面から上記センシング部の先端部までの高さをＨ（ｍｍ），上記センシング部の先端面の面積をＳ（ｍｍ２）とした場合，Ｓ／Ｈが０．４〜４０の範囲内にあることが好ましい（請求項４）。上記Ｓ／Ｈを上記範囲に制限することによって，センサ特性のヒステリシスを小さくすることができる。一方，Ｓ／Ｈが０．４未満の場合及び４０を超える場合には，ヒステリシス，非直線性が大きくなり，センシング精度が低下するという問題がある。
【００１６】
また，上記基体部は略多角形状を呈しており，該多角形の頂角部近傍にそれぞれ上記センシング部を設けてあることが好ましい（請求項５）。この場合には，複数のセンシング部の位置決めを容易に行うことができる。また，製造も容易となる。
【００１７】
上記多角形としては，四角形が好ましく，特に正方形が最も好ましい。四角形の場合には，４つの角にそれぞれセンシング部を設けることができ，モーメント測定が容易となる。さらに，正方形の場合には，その角部の配置が左右前後において同一寸法であるので，方向性をあまり考慮することなく用いることができ，その適用範囲を拡大することができる。
【００１８】
また，上記感圧体に含有される上記センサ材料は，（Ｌａ，Ｓｒ）ＭｎＯ３よりなることが好ましい（請求項６）。この（Ｌａ，Ｓｒ）ＭｎＯ３は，圧力抵抗変化率が大きく，略平坦な温度抵抗変化率を有する感圧体を構成することができる。ここで，上記（Ｌａ，Ｓｒ）ＭｎＯ３の具体的な組成としては，例えば，Ｌａ１−ｘＳｒｘＭｎＯ３，（ここに０＜ｘ≦０．５）であることが好ましい。上記ｘの値が０の場合あるいは０．５を超えた場合には，圧力抵抗効果を発現しない，もしくは発現したとしても十分な値でないか，あるいは補正し難い大きな温度抵抗変化率を有するものとなるおそれがある。
【００１９】
また，上記基体部を構成する絶縁セラミックス及び上記感圧体の上記母材を構成する絶縁セラミックスは，いずれもジルコニアよりなることが好ましい（請求項７）。ジルコニアは，強度特性に優れ，上記力学量センサ素子全体を高強度のものとすることができる。なお，上記ジルコニアは，単なるＺｒＯ２に限らず，３Ｙ−ＺｒＯ２，あるいは１２Ｃｅ−ＺｒＯ２等の組成のものも含む概念である。また，上記受圧体を構成する絶縁セラミックスも，上記と同様にはジルコニアよりなることが好ましい（請求項８）。
【００２０】
なお，上記基体部及び上記受圧体においては，十分な電気絶縁性を維持できる範囲において，上記ジルコニアに，上記感圧体に含有されるセラミック材料を含有させることが好ましい。この場合には，上記基体部及び受圧体と，上記感圧体との間における焼結時の熱収縮差を低減することができ，両者の接合性を向上させることができる。
【００２１】
次に，上記第２の発明においては，上記積層工程では，上記第１層と上記第２層と，上記感圧体の受圧面に配設される電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる受圧体となる第３層とを積層して積層体を形成し，上記焼結工程では，上記基体部と上記感圧体と上記受圧体とが一体的に焼結された焼結積層体を得，上記センシング部形成工程では，上記焼結積層体における上記受圧体及び上記感圧体を設けた面の少なくとも一部を，少なくとも上記受圧体及び上記感圧体の合計厚み以上に切削又は研削することにより，上記受圧体及び上記感圧体を複数の孤立した領域に分断して複数の独立したセンシング部を形成することが好ましい（請求項１０）。
【００２２】
この場合には，上記積層工程において，上記第１層と第２層だけでなく第３層をも積層し，上記焼結工程を施すことによって，上記基体部と感圧体と受圧体という３層が積層された焼結積層体を得る。そして，上記センシング部形成工程では，上記受圧体と上記感圧体とを切削又は研削することにより，上記基体部上に，感圧体と受圧体とが一体的に積層されてなる上記センシング部を独立して複数形成する。これにより，上記センシング部の先端に上記受圧体を備えた力学量センサ素子を容易に作製することができる。
【００２３】
なお，上記積層工程における第１層，第２層および第３層を形成するには，セラミックスのグリーンシートを形成する様々な方法を適用することができ，例えば，金型プレス成形法，ドクターブレード法，押出成形法，印刷法（スクリーン印刷，転写）等を適用することができる。
【００２４】
【実施例】
実施例１
本発明の実施例に係る力学量センサ素子及びその製造方法につき，図１〜図４を用いて説明する。
本例の力学量センサ素子１は，図３（ａ）（ｂ）に示すごとく，電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる基体部１０と，該基体部１０から立設した複数の独立したセンシング部２を有してなる。
【００２５】
上記各センシング部２は，図４に示すごとく，電気絶縁性を有するセラミックスよりなる母材３０中に圧力抵抗効果もしくは磁気抵抗効果を有するセンサ材料３１が分散してなる複合セラミックスよりなる感圧体３を有してなり，かつ，図３（ｂ）に示すごとく，感圧体３は基体部１０と一体的に焼結されている。
さらに，各センシング部２は，上記感圧体３の受圧面３５に配設された電気絶縁性を有する絶縁セラミックスよりなる受圧体４を有してなる。受圧体４は上記感圧体３と一体的に焼結されている。
以下，これを詳説する。
【００２６】
本例の力学量センサ素子１における上記基体部１０は，図３に示すごとく，平板上の本体部１１と，本体部１１から突出した４つの土台部１２とを有し，該土台部１２上にそれぞれセンシング部２を設けてある。より具体的には，上記基体部１０は，一辺ａが１５ｍｍの正方形状の外形を有する平板状の本体部１１と，その一方の面の四隅の角部においてその面から突出するように設けた四角形の４つの土台部１２を設けてある。
【００２７】
各土台部１２には，上記のごとくそれぞれセンシング部２を配設してある。各センシング部２は，上記土台部１２上に配設された四角柱状の感圧体３と，感圧体３の受圧面３５上に配設された四角柱状の受圧体４とを有している。このセンシング部２の高さＨ，即ち，センシング部２を設けていない基体部１０の本体部１１の表面からセンシング部２の先端部（受圧体４の受圧面４５）までの高さＨは１ｍｍとした。
【００２８】
また，本例では，センシング部２の先端面（受圧面４５）の面積Ｓが１ｍｍ２となるようにした。なお，本例では，センシング部２の起立方向と直交する方向の断面積はいずれの位置でも一定となるようにしたので，先端面に限らず，どの位置の断面積も上記Ｓと同じである。
このような寸法関係にしたので，本例では，Ｓ／Ｈが１である。
また，本例では，上記各感圧体３の厚みｔは全て０．３ｍｍとし，その側面に一対の取り出し電極としての銀ペーストを焼き付けして配設してある（図示略）。
【００２９】
また，上記基体部１０及び上記受圧体４を構成する絶縁セラミックスとしては，いずれもジルコニアを用いた。ただし，本例では，後述する製造方法でも示すごとく，基体部１０及び受圧体４は，ジルコニア中に，センサ材料であるＬａ０．７５Ｓｒ０．２５ＭｎＯ３を，全体の１５重量％分だけ分散させたものを用いた。これは，焼結時における感圧体３と熱収縮の差を縮めて接合性を高めるためである。
【００３０】
また，感圧体３としては，そのセラミック母材としてジルコニアを用い，これに分散させるセンサ材料としては，（Ｌａ，Ｓｒ）ＭｎＯ３，具体的には，Ｌａ０．７５Ｓｒ０．２５ＭｎＯ３を用いた。また，Ｌａ０．７５Ｓｒ０．２５ＭｎＯ３の含有量は，全体の２６重量％となるようにしてある。
【００３１】
次に，上記構成の力学量センサ素子１の製造方法につき説明する。
まず，図１に示すごとく，基体部１０となる第１層１０１と，感圧体３となる第２層１０２と，受圧体４となる第３層１０３とを積層して積層体１００を形成する積層工程を行う。具体的な手法としては，本例では金型プレス成形法を採用した。
【００３２】
上記第１層１０１の原料としては，ジルコニアを８５重量％とＬａ０．７５Ｓｒ０．２５ＭｎＯ３を１５重量％含むスラリーを調整し，これをスプレードライ法によって乾燥して粒径５０〜１００μｍ程度の造粒粉を予め得ておく。この造粒粉を四角柱状のキャビティを有する金型に充填すると共に，加圧用のポンチを上記キャビティに挿入して所定のプレス圧の２５％の圧力でプレスすることにより，まず上記第１層１０１を圧粉成形する。
【００３３】
次に，上記第２層１０２の原料としては，ジルコニアを７４重量％とＬａ０．７５Ｓｒ０．２５ＭｎＯ３を２６重量％含むスラリーを調整し，これをスプレードライ法によって乾燥して粒径５０〜１００μｍ程度の造粒粉を予め得ておく。この造粒粉を，上記金型のキャビティ内に残っている第１層１０１の上に充填して，再び所定のプレス圧の２５％の圧力でプレスすることにより，第２層１０２を圧粉成形する。
【００３４】
次に，上記第３層１０３の原料としては上記第１層１０１の原料と同じ造粒粉を用い，これを上記金型のキャビティ内に残っている第２層１０２の上に充填して，今度は所定のプレス圧，つまり前回までのプレスの４倍の圧力でプレスすることにより，第３層１０３を圧粉成形する。これにより，図２に示すごとく，第１層１０１，第２層１０２，第３層１０３が積層された積層体１００が形成される（積層体形成工程）。次に，上記積層体１００にはＣＩＰ（静水圧プレス）成形を施し，さらに緻密な積層体とする。
【００３５】
次に，上記積層体１００を酸素雰囲気炉内において加熱して焼成する（焼成工程）。これにより，図２に示すごとく，上記第１層１０１よりなる基体部１０と，上記第２層１０２よりなる感圧体３と，上記第３層よりなる受圧体４とが一体的に焼結された焼結積層体１５０を得る。
【００３６】
次に，図３に示すごとく，焼結積層体１５０における受圧体４を設けた面の少なくとも一部を，少なくとも受圧体４及び感圧体３の厚み以上に研削する（センシング部形成工程）。これにより，受圧体４及び感圧体３を４つの孤立した領域に分断して４つの独立したセンシング部２を形成すると共に，該センシング部２の高さを他の部分（基体部１０の本体部１１）よりも高くする。
最後に，各センシング部２の一対の対向する側面に，取り出し電極としての銀ペーストを焼き付ける（図示略）。これにより，上記構造の力学量センサ素子１が得られる。
なお，本例では，力学量センサ素子１を固定するためのボルト等を貫通させる貫通穴１９を基体部１０の中央部に設けた。
【００３７】
本例の力学量センサ素子１は，上記のごとく，基体部１０から立設した４つの独立したセンシング部２を有している。そのため，この４つのセンシング部２から独立した測定信号を得ることにより，単なる荷重測定はもとより，モーメントの測定も容易に行うことができる。
【００３８】
また，力学量センサ素子１においては，センシング部２を構成する感圧体３が基体部１０及び受圧体４と焼結され一体化されている。そのため，力学量センサ素子１は，従来の歪みゲージを用いた場合のような複雑な構造をとる必要がなく，非常にシンプルで小型の構造となる。
【００３９】
また，上記一体化を焼結により行っており，接着剤等を一切使っていないので，寸法の安定性を非常に高めることができる。
また，上記感圧体そのものが，上記のごとく複合セラミックスよりなり，剛性が高く，構造体の役割をも果たす。そのため，より一層寸法安定性に優れ，測定精度の優れたものとすることができる。
【００４０】
また，本例の製造方法においては，上記のごとく焼結積層体１５０を研削することによって，上記センシング部２の形成を行う。そのため，基体部１０と感圧体３と受圧体４との一体的な強固な結合関係を維持したまま，上記４つの独立したセンシング部２を形成することができる。そして，他の部材を組み付ける必要が全くないので，複数の部品を組み付ける場合のような組み付け精度を考慮する必要がなく，一体化された一個の部品を加工する加工精度を向上するだけで，寸法精度を制御することができる。それ故，比較的容易に寸法精度の向上を図ることができる。
【００４１】
なお，本例では，上記基体部１０及び受圧体４には１５重量％のＬａ０．７５Ｓｒ０．２５ＭｎＯ３を混合させたが，この量は１０〜１５重量％の範囲で変更することができる。また，上記感圧体３におけるＬａ０．７５Ｓｒ０．２５ＭｎＯ３の含有量は２６重量％としたが，この量は２１〜３０重量％の範囲で変更することができる。
【００４２】
実施例２
本例は，実施例１における積層体形成工程の具体的方法を変更した例である。即ち，本例では，上記第１層１０１，第２層１０２，第３層１０３の原料としては，実施例１と同様の造形粉を用いた。これらの造形粉にそれぞれ有機バインダを混合し，シート成形装置によって数百μｍ厚みのセラミックグリーンシートを成形し，これらを第１層１０１，第２層１０２，第３層１０３とした。
【００４３】
そして，第１層１０１，第２層１０２，第３層１０３を積層し，ホットプレスで圧着することによって，積層体１００を得た。
その後の焼成工程及びセンシング部形成工程は実施例１と同様である。
本例の場合にも，実施例１と同様の優れた力学量センサ素子を得ることができる。
【００４４】
実施例３
本例も，実施例１における積層体形成工程の具体的方法を変更した例である。
即ち，本例では，上記第１層１０１，第２層１０２，第３層１０３の原料としては，実施例１と同様の造形粉を用いた。そして，上記第１層１０１及び第３層１０３としては，圧粉成形したものを焼結させて焼結板を作製してこれを用いた。また，上記第２層１０２としては，実施例１と同様の造形粉に有機バインダを混合してスクリーン印刷できるようなペーストを作製し，これを上記第１層１０１条にスクリーン印刷することにより形成した。
【００４５】
次に，第２層１０２の上面に上記焼結板として作製しておいた第３層１０３を積層し，３層構造の積層体１００を得る。
次に，電気炉で積層体１００全体を加熱して焼成することにより，焼結積層体１５０を得た。
その後の焼成工程及びセンシング部形成工程は実施例１と同様である。
本例の場合にも，実施例１と同様の優れた力学量センサ素子を得ることができる。
【００４６】
実施例４
本例は，図５〜図７に示すごとく，実施例１の力学量センサ素子１を使用する際の具体的態様の一例を示す例である。
図５〜図７に示すごとく，本例では，固定部５２と可動部５１という２枚のプレートにより，力学量センサ素子１を挟持したユニットを構成した。力学量センサ素子１は，その中央の貫通穴１９にボルト等の固定具（図示略）を通して固定部５２に強固に固定する。一方，可動部５１には，図６，図７に示すごとく，力学量センサ素子１の全てのセンシング部２の先端面（受圧体４の受圧面４５）を密着させる。
【００４７】
このようなユニット構成を取ることにより，上記固定部５２及び可動部５１を，所望の測定位置に挟み込むように配置することが容易にできる。そして，これにより，可動部５１に伝達される荷重及びモーメントを力学量センサ素子１の４つのセンシング部２によって正確に測定することができる。
【００４８】
なお，上記固定部５２及び可動部５１を用いる例は一つの例であり，平坦な挟持面を有する被測定物であれば，上記力学量センサ素子１を直接的に配設することも勿論可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，積層体を構成する各層（第１層，第２層，第３層）を展開した説明図。
【図２】実施例１における，積層体（焼結積層体）を側面から見た説明図。
【図３】実施例１における力学量センサ素子の，（ａ）平面図，（ｂ）側面図。
【図４】実施例１における，感圧体の構成を示す説明図。
【図５】実施例４における，力学量センサ素子を固定部及び可動部の間に挟持したユニットの可動部を外した展開説明図。
【図６】実施例４における，力学量センサ素子を固定部及び可動部の間に挟持したユニットを可動部の上面から見た説明図。
【図７】実施例４における，力学量センサ素子を固定部及び可動部の間に挟持したユニットを側面から見た説明図。
【符号の説明】
１．．．力学量センサ素子，
１０．．．基体部，
１００．．．積層体，
１０１．．．第１層，
１０２．．．第２層，
１０３．．．第３層，
１５０．．．焼結積層体，
２．．．センシング部，
３．．．感圧体，
４．．．受圧体，
【図１】
2004279331.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004279331.tif 000007
【図６】
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【図７】
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