(57)【要約】【課題】プリント配線板および各種半導体パッケージ用基板（ＢＧＡ，ＣＳＰ，ＴＡＢ等）等の被検査体がテープもしくは毎葉のいずれの場合であっても搬送可能な搬送機構とその搬送機構を有する検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】搬送機構は投入側と、受取側と、毎葉もしくはテープ状基板を固定するホルダー１１と、ホルダー１１を移動させるためのガイドレール１２とから構成されており、検査装置１００は、搬送機構１０と、Ｏ／Ｓ検査部２０と、ホッパ一体型ローダ３０と、ストッカ一体型アンローダ４０とから構成されている。被検査体１４はローダ部３１によって投入側で待機中の搬送機構１０のホルダー１１に移され保持・固定され、Ｏ／Ｓ検査部２０での検査が行われ、受取側の所定の位置まで移動し、被検査体１４の保持・固定が解除され、ホルダー１１は搬送機構１０の投入側の所定の位置まで戻される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板および各種半導体パッケージ用基板（ＢＧＡ，ＣＳＰ，ＴＡＢ等）の毎葉もしくはテープ状基板を移動する搬送機構であって、少なくとも投入側、受取側、ホルダーとで構成されており、前記投入側で毎葉もしくはテープ状基板を前記ホルダーで保持・固定する手段と、前記ホルダーを所定量移動し、停止する手段と、前記受取側で毎葉もしくはテープ状基板の保持・固定を解除し、前記ホルダーを前記投入側の所定位置に移動し、停止する手段とを有することを特徴とする毎葉もしくはテープ状基板の搬送機構。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送機構とＯ／Ｓ（オープン／ショート）検査部を有する毎葉もしくはテープ状基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプリント配線板および各種パッケージ用基板の各種製造装置もしくは各種検査機に用いられている搬送機構および検査機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線板および各種パッケージ用基板の搬送機構として各種の搬送機構が用いられているが、ここでは、プリント配線板および各種パッケージ用基板のＯ／Ｓ検査装置を例に説明をする。
【０００３】
図６に被検査体が毎葉の場合の検査装置の構成の一例を示す。
被検査体が毎葉の場合、被検査体１４はホッパ７１に収納されており、ローダ７０によってＯ／Ｓ検査部２０のステージ２３へ運ばれ、ステージ２３でＯ／Ｓ検査が行われた後、被検査体１４はアンローダ８０によってストッカ８１に収納される。
【０００４】
ローダ７０およびアンローダ８０がＯ／Ｓ検査部２０の内部に入り込んでおり、被検査体１４は図７（ａ）に示すようなバキュームパッド９１を有するピックアップ９０によって搬送される。
【０００５】
このような構成の場合、検査前の被検査体１４をステージ２３へロードする際、または検査の終了した被検査体１４をステージ２３からアンロードする際、Ｏ／Ｓ検査部２０の上検査ヘッド２１を大きく上方へ退避させなければならない。
【０００６】
したがって、上検査ヘッド２１の退避機構が必要となり、検査装置のコストアップにつながる。また、退避動作をすることによる処理能力の低下が生じる。
【０００７】
更に、ローダ７０およびアンローダ８０が故障した場合、Ｏ／Ｓ検査部２０のみを手動で稼働させることが実際上できないため、稼働率の低下にもつながる。
【０００８】
図８に被検査体１５がテープの場合の検査装置の構成の一例を示す。
被検査体１５のテープはテープ搬送機（巻出し側）１１０から検査スピードに合わせて連続もしくは断続的に送られ、テープ搬送機（巻取り側）１２０に巻き取られる。
被検査体１５の送りは、テープ搬送機（巻出し側）１１０およびテープ搬送機（巻取り側）１２０に設けられた駆動ローラ１１１及び駆動ローラ１２１によってコントロールされる。
【０００９】
以上のように、被検査体が毎葉とテープの場合とではまったく異なる搬送機構を使わなければならず、共用はできない。同一の工程に両方の形態の被検査体が投入される場合（通常の流れとして、両方の形態の被検査体が投入される場合、あるいはテープ状の被検査体を何らかの理由で毎葉に切断し再度投入する場合等）どちらにも対応できるよう２種類の検査装置を準備しなければならない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点に鑑み考案されたもので、プリント配線板および各種半導体パッケージ用基板（ＢＧＡ，ＣＳＰ，ＴＡＢ等）等の被検査体がテープもしくは毎葉のいずれの場合であっても搬送可能な搬送機構とその搬送機構を有する検査装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明において上記の課題を解決するために、まず請求項１の発明は、プリント配線板および各種半導体パッケージ用基板（ＢＧＡ，ＣＳＰ，ＴＡＢ等）の毎葉もしくはテープ状基板を移動する搬送機構であって、プリント配線板および各種半導体パッケージ用基板（ＢＧＡ，ＣＳＰ，ＴＡＢ等）の毎葉もしくはテープ状基板を移動する搬送機構であって、少なくとも投入側、受取側、ホルダーとで構成されており、前記投入側で毎葉もしくはテープ状基板を前記ホルダーで保持・固定する手段と、前記ホルダーを所定量移動し、停止する手段と、前記受取側で毎葉もしくはテープ状基板の保持・固定を解除し、前記ホルダーを前記投入側の所定位置に移動し、停止する手段とを有することを特徴とする毎葉もしくはテープ状基板の搬送機構としたものである。
【００１２】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の搬送機構とＯ／Ｓ検査部を有する毎葉もしくはテープ状基板の検査装置としたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１は本発明の搬送機構１０及びＯ／Ｓ検査部２０を組み込んだ検査装置の基本形である。搬送機構１０は投入側と、受取側と、毎葉もしくはテープ状基板を固定するホルダー１１と、ホルダー１１を移動させるためのガイドレール１２とから構成されている。
【００１４】
ホルダー１１は単に移動式のステージということではなく、毎葉もしくはテープ状基板を投入側でホルダー１１に保持・固定する機構と、所定の範囲を移動し、Ｏ／Ｓ検査部２０の所定位置に移動、停止する機構と、受取側で毎葉もしくはテープ状基板の保持・固定をホルダー１１から解除し、ホルダー１１を投入側の所定位置に移動し、停止する機構とを有し、毎葉もしくはテープ状基板の検査を連続的に行うことができる。
【００１５】
投入側と受取側はともにＯ／Ｓ検査部２０の外に出ており、これにより、上検査ヘッド２１を大きく退避させる機構が不要になり、コストアップや処理能力の低下を防ぐことができる。
【００１６】
また、後記するように、ローダおよびアンローダ、あるいはテープ搬送機が一体となっていないため、被検査体の形態によって両者を付けかえて運用することができ、被検査体が毎葉の場合は、ローダもしくはアンローダが故障した場合でも、Ｏ／Ｓ検査部２０を手動で独立して稼働させることができ、稼働率の低下を防ぐことができる。
【００１７】
図２は本発明の検査装置の一例を示す構成概略図である。
本発明の検査装置１００は、被検査体が毎葉の場合の検査装置で、搬送機構１０と、Ｏ／Ｓ検査部２０と、ホッパ一体型ローダ３０と、ストッカ一体型アンローダ４０とから構成されている。
ホッパ一体型ローダ３０のホッパ部３２に収納された被検査体１４がローダ部３１によって投入側で待機中の搬送機構１０のホルダー１１に移され保持・固定される。ホルダー１１はガイドレール１２上を移動し、Ｏ／Ｓ検査部２０の上検査ヘッド２１と下検査ヘッド２２の間の所定の位置で停止し、Ｏ／Ｓ検査が行われる。Ｏ／Ｓ検査が終了したら、ホルダー１１はガイドレール１２上を受取側の所定の位置まで移動し、停止する。被検査体１４の保持・固定が解除され、ストッカ一体型アンローダ４０のアンローダ部４１によって被検査体１４がホルダー１１からストッカ部４２へ移され、ホルダー１１は搬送機構１０の投入側の所定の位置まで移動し、停止する。
以下、上記工程を所定回数繰り返すことにより毎葉の被検査体の検査を連続的に行うことができる。
【００１８】
図３は本発明の検査装置の他の例を示す構成概略図である。
本発明の検査装置２００は、被検査体がテープ状の場合の検査装置で、搬送機構１０と、Ｏ／Ｓ検査部２０と、テープ搬送機（巻出し側）５０と、テープ搬送機（巻取り側）６０とから構成されている。
テープ搬送機（巻出し側）５０より供給されるテープ状の被検査体１５は投入側のホルダー１１にて保持・固定され、ガイドレール１２上を移動し、Ｏ／Ｓ検査部２０の上検査ヘッド２１と下検査ヘッド２２の間の所定の位置で停止し、Ｏ／Ｓ検査が行われる。Ｏ／Ｓ検査が終了したら、被検査体１５の保持・固定が解除され、ホルダー１１だけがガイドレール１２上を搬送機構１０の投入側の所定位置まで移動し、停止する。
以下、上記工程を所定回数繰り返すことによりテープ状の被検査体の検査を連続的に行うことができる。
【００１９】
テープ搬送機（巻出し側）５０、テープ搬送機（巻取り側）６０ともに、積極的にテープの搬送を行うことはせず、ホルダー１１の動きにしたがって一定量のテープ状の被検査体の巻出し、巻取りを行うだけである。
【００２０】
被検査体１５がテープの場合、製品の検査単位が連続してテープ上に作り込まれているため、ホルダー１１は図３に示すように、投入側とＯ／Ｓ検査部２０の上検査ヘッド２１および下検査ヘッド２２の間の所定の位置を往復するだけで、受取側には移動しない。また、投入側の戻る位置は検査単位がテープ上に作り込まれているピッチとホルダーの構造、サイズによって決まる。
【００２１】
図４および図５に搬送機構１０のホルダーで被検査体を保持・固定する方式の一例を示す。図４は被検査体を挟み込んで保持・固定するブック式ホルダー１１ａを、図５は被検査体をバキュームで保持・固定するバキューム式ホルダー１１ｂをそれぞれ示す。
【００２２】
【発明の効果】
本発明の搬送機構は、被検査体が毎葉もしくはテープのいずれの場合でも搬送ができるため、被検査体の種別毎に、ローダ、アンローダ、テープ搬送機（巻出し側）及びテープ搬送機（巻取り側）を容易に付け替えることができ、稼働効率の高い検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の搬送機構及び検査装置の基本形を示す構成概略図である。
【図２】本発明の検査装置の一例を示す構成概略図である。
【図３】本発明の検査装置の他の例を示す構成概略図である。
【図４】本発明の搬送機構のホルダーで毎葉もしくはテープ状の被検査体を保持・固定する方式の一例を示す構成概略図である。
【図５】本発明の搬送機構のホルダーで毎葉もしくはテープ状の被検査体を保持・固定する方式の他の例を示す構成概略図である。
【図６】従来の検査装置の一例を示す構成概略図である。
【図７】（ａ）は、従来の検査装置で用いられるピックアップの一例を示す構成概略図である。
（ｂ）は、ピックアップで被検査体を保持した状態を示す説明図である。
【図８】従来の検査装置の他の例を示す構成概略図である。
【符号の説明】
１０…搬送機構
１１…ホルダー
１１ａ…ブック式ホルダー
１１ｂ…バキューム式ホルダー
１２…ガイドレール
１４…毎葉被検査体
１５…テープ状検査体
２０…Ｏ／Ｓ（オープン／ショート）検査部
２１…上検査ヘッド
２２…下検査ヘッド
２３…ステージ
３０…ホッパー一体型ローダ
３１…ローダ部
３２…ホッパ部
４０…ストッカ一体型アンローダ
４１…アンローダ部
４２…ストッカ部
５０、１１０…テープ搬送機（巻出し側）
６０、１２０…テープ搬送機（巻取り側）
７０…ローダ
７１…ホッパ
８０…アンローダ
８１…ストッカ
９０…ピックアップ
９１…バキュームパッド
１００、２００、３００、４００…検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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