(57)【要約】【課題】  標準ガス発生装置により多種の標準ガスを製造し、そのガスをガス分析装置の分析手段に気体試料導入装置により導入し、ガス分析を全自動で行えるガス分析方法を提供する。【解決手段】 （Ｄ）とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置（Ｔ）を有するガス分析装置を用いたガス分析方法において、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程（Ｓ２）と、気体試料を分析手段（Ｇ１）に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程（Ｓ５）と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程（Ｓ６）と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程（Ｓ９）と、分析結果を保存するデータ保存工程（Ｓ７）とを含み、これ等の各工程が全自動で実施される。【選択図】  図１５
2004239921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を有するガス分析装置を用いたガス分析方法において、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程とを含み、これ等の各工程が全自動で実施されることを特徴とするガス分析方法。
【請求項２】
標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を有するガス分析装置を用い、試料混合ガスを気体試料として導入し、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程とを含み、これ等の各工程を全自動で実施してガス分析を行い、標準ガスの分析結果を用いて試料混合ガスの成分を決定することを特徴とする試料混合ガスの分析方法。
【請求項３】
標準ガス発生装置及びこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を含むガス分析装置の試料導入圧力と分析結果の直線性を判定する直線性判定方法において、気体試料の導入圧力を選択する圧力選択工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、分析結果の直線性を判定する直線性判定工程とを有することを特徴とするガス分析装置の直線性判定方法。
【請求項４】
標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置とを有するガス分析装置を使用して行うガス分析方法の分析結果の繰返し再現性を判定する繰返し再現性判定方法において、繰返し回数を設定する繰返し回数設定工程と、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、分析結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程、とを含むことを特徴とする繰返し再現性判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス分析方法に関し、より詳しくは標準ガス発生装置と、この標準ガス発生装置で製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置とを有する標準ガス発生装置を用いたガス分析方法、試料混合ガス分析法、直線性判定方法、繰返し再現性判定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスクロマトグラフを用いて定量分析を行うためには、濃度既知の標準ガスにより、あらかじめ校正をしておく必要がある。この標準ガスは、通常メーカが作製したものを用いており、普通はボンベ詰めであり、製造に要する期間は数日から数週間かかるものもある。そして、多成分を広範囲の濃度で定量分析するためには、あらかじめ多数の標準ガスを用意しておく必要がある。
【０００３】
また、従来の希釈器は、試料が導入されたバッファタンクの圧力を測定し、その分圧（希釈倍率）から、成分の濃度を決定している。そのため、所定濃度にするのにバッファタンクの分圧を調整しなければならず、その調整方法は、バッファタンクへの試料流入量を制御することで行っていた。しかし、流入量の制御のみで所定濃度を繰り返し再現するためには、極めて微量に、長時間かけてバッファタンクに導入しなければならない。
【０００４】
そして、ガスクロマトグラフを用いて気体試料を分析する場合には、採取した気体試料をガスタイトシリンジでガスクロマトグラフに導入する方法と、ガスクロマトグラフ導入部に設置された計量管により導入する方法とがある。
【０００５】
ガスタイトシリンジを用いる場合は、全てが手作業であるため、専任の分析者が必要であり、また多数の試料を連続して分析するには、終夜を徹した作業となる。
【０００６】
さらに、計量管を用いる方法は、一般にプロセスガスクロマトグラフに用いられる場合で、固定されたライン中の気体試料を連続的に分析するのに用いられている。そして、気体試料をラインから計量管に導入するため、試料自体に圧力がなければならず、また、正確な測定のためには、計量管部分までのラインを充分試料でパージする必要があり、多量の試料が必要となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上述したガスクロマトグラフを用いて気体試料を分析する場合における各種要請に鑑みて提案されたものであり、いかなる圧力状態（加圧、大気圧、負圧）の気体試料であっても分析手段に導入できて、多数の気体試料を連続全自動で分析が可能な気体試料導入装置と、測定する気体試料に合わせた標準ガスが容易に製造できる標準ガス発生装置を用いたガス分析方法、試料混合ガス分析法、直線性判定方法、繰返し再現性判定方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のガス分析方法は、標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を有するガス分析装置を用いたガス分析方法において、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程とを含み、これ等の各工程が全自動で実施されることを特徴としている。
【０００９】
ここで、前記導入工程に際して使用される気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して１本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク（特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク）を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。
【００１０】
次に、本発明の混合ガスの分析方法は、標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を有するガス分析装置を用い、試料混合ガスを気体試料として導入し、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、同一試料を繰り返し分析して得られた結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程とを含み、これ等の各工程を全自動で実施してガス分析を行い、標準ガスの分析結果を用いて試料混合ガスの成分を決定することを特徴ととしている。
【００１１】
ここで、前記導入工程に際して使用される気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して１本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク（特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク）を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。
【００１２】
また、本発明のガス分析装置の直線性判定方法は、標準ガス発生装置及び該標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置を含むガス分析装置の試料導入圧力と分析結果の直線性を判定する直線性判定方法において、気体試料の導入圧力を選択する圧力選択工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、分析結果の直線性を判定する直線性判定工程とを有することを特徴としている。
【００１３】
この直線性判定方法において、その導入工程に際して使用された気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して１本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク（特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク）を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。
【００１４】
さらに、ガス分析方法の分析結果の繰返し再現性を判定する本発明の繰返し再現性判定方法は、標準ガス発生装置とこの標準ガス発生装置により製造した標準ガスを導入する気体試料導入装置とを有するガス分析装置を使用して行うガス分析方法の分析結果の繰返し再現性を判定する繰返し再現性判定方法において、繰返し回数を設定する繰返し回数設定工程と、気体試料の導入圧を決定する導入圧決定工程と、気体試料を分析手段に導入する導入工程と、導入された気体試料を分析するガス分析工程と、分析結果の再現性を比較確認する比較工程と、比較結果が異常であれば警報を発する警報工程と、分析結果を保存するデータ保存工程、とを含んでいる。
【００１５】
この繰返し再現性判定方法において、その導入工程に際して使用された気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して１本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク（特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク）を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。
【００１６】
或いは、前記ガス分析装置は、標準ガス発生装置と気体試料導入装置とを有し、前記標準ガス発生装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれを１本の主配管の一端に連通し、その主配管の他端には複数のバッファタンク（特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク）を直列に連通し、前記主配管から分岐して試料採取口及び希釈ガス挿入口のそれぞれに連通する配管を設け、これらの配管より成る管路を開閉して切換える複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けており、前記気体試料導入装置は、ガス、液のいずれかを充填した複数の容器にそれぞれ選択用のバルブ及び流量調整器を介装した配管を並列に設け、それらの配管のそれぞれに連通して１本にまとめた主配管を設け、複数のバッファタンク（特に好ましくは、圧力計を装備した複数のバッファタンク）を直列に設け、複数の配管の接続を切換える切換え弁を設け、その切換え弁は、前記バッファタンクに連通する配管、前記主配管の他端、分析器に連通する配管、計量管に連通する配管、のそれぞれに接続してこれらの配管の接続を切換える様に構成されており、前記配管より成る管路を開閉する複数のバルブと、管路内のガスを吸引するための真空ポンプ、とを設けているのが好ましい。
【００１７】
なお、本発明に使用するガス分析装置は、ガスクロマトグラフが好ましい。そして、分析装置は複数台併設しても良い。また、本発明の分析方法は、シーケンサによって自動制御し、パーソナルコンピュータでデータ処理、工程管理及び報告書作成をするのが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は以上説明した様に構成されているので、測定したい気体試料に合わせて内蔵した希釈器により多種の標準ガスを製造し、そしていかなる圧力状態（加圧、大気圧、負圧）の気体試料でも、分析者が希望する設定圧力でガスクロマトグラフに導入して、ガスクロマトグラフの校正を行うことができ、試料の正確な分析ができる。そして、いかなる圧力状態の試料でも全自動でガスクロマトグラフに導入できる。そのため、ガス分析、試料混合ガス分析、直線性判定、繰返し再現性判定を全自動で、正確かつ効率的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図１には、本発明の標準ガス製造用ガス希釈器Ｄの流路系統が示されている。図示しない試料ガス、混合標準ガス、及び複数の純ガス（液）をそれぞれ充填した（ここに示す例では合計１６本）ボンベから、選択用の通常時閉型バルブｂ１〜ｂ１６が介装されて流量調整器ｃ１〜ｃ１６にそれぞれ接続され、さらに通常時閉型バルブｄ１〜ｄ１６をそれぞれ介装した配管ａ１〜ａ１６が並列に設けられ、これらの配管ａ１〜ａ１６は符号Ｌで示す主配管の１本にまとめられ、通常時閉型バルブＶ１を介して第１のバッファタンクＢ１に接続されている。
【００２０】
第１のバッファタンクＢ１はバルブＶ３を介して第２のバッファタンクＢ２に、更にバルブＶ４を介して第１の真空ポンプＶＰ１に接続されている。また、前記主配管ＬのバルブＶ１と第１のバッファタンクＢ１との間からは、配管Ｌ２が分岐されてバルブＶ２を介して試料採取口Ｓに接続され、そして、希釈ガスが導入される配管Ｌ１が、バルブｆから流量調整器ｇ及びバルブｈを介装して接続されている。
【００２１】
なお、前記第１、第２のバッファタンクＢ１、Ｂ２は、恒温槽ＣＢ内に配設されており、その容量は、例えば、前段のＢ１は、２００〜４００ミリリットル（ｍｌ）、後段のＢ２は４００〜６００ミリリットル（ｍｌ）程度が適している。また、バルブ、流量調整器、配管等も、試料の液化を防ぐため加温されている。  一方、前記配管ａ１〜ａ１６のバルブｂ１〜ｂ１６と流量調整器ｃ１〜ｃ１６間からは、それぞれバルブｅ１〜ｅ１６を介して配管が一本にまとめられ、第２の真空ポンプＶＰ２に接続されている。
【００２２】
ここで、符号ｊ１、ｊ２は前記第１、第２の真空ポンプＶＰ１、ＶＰ２のバイパスを開閉するバルブを示す。そして、符号Ｐ１〜Ｐ３は圧力計を示しており、換言すれば、第１及び第２のバッファタンクＢ１、Ｂ２は圧力計Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を装備しているのである。
【００２３】
次に、本発明の標準ガス製造用ガス希釈器Ｄによる標準ガスの製造方法を、図２〜図８を参照して説明する。なお、図中、黒塗りのバルブは閉弁状態を示している。
【００２４】
まず、分圧が高い場合（例えば、２００ｍｍＨｇ以上）には、上記のバッファタンクＢ１のみを使う。
（Ａ１）  図２に示す様に、希釈したい純ガスライン（図示の例ではａ１、Ｌ）を、配管Ｌ１から導入した希釈用ガスでパージする（ライン洗浄第１工程）。この場合、バッファタンク内の負圧と希釈用ガスの加圧により導入される。
（Ａ２）  次に、真空ポンプＶＰ１、ＶＰ２でそのラインを真空引きし、圧力計Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３により０ｍｍＨｇであることの確認をする。
（Ａ３）  そして、必要に応じて、希釈したい純ガスラインをその純ガスでパージし、試料によるラインのともあらいを行う。
（Ａ５）  試料の充填に当たり、分圧が高い場合は、図３に示す様に、バルブＶ３を閉じてバッファタンクＢ１のみを用い、図示の例では、配管ａ１より試料ガスを所定圧力まで充填する（試料の充填工程）。
（Ａ６）  次に、バルブＶ１を閉じてバッファタンクＢ１の前後の圧力計Ｐ１、Ｐ２が安定し且つ同一値になるまで放置して均圧化を図り、その圧力値を記録する（試料の均圧化工程）。この際、単位時間当たりの圧力値の変動をチェックし、該変動幅が予め決められた許容差以内に入ったならば、「均圧化」が為されたものとする。
（Ａ７）  次に、図４に示す様に、希釈ガスを所定圧力まで充填する（希釈ガスの充填工程）。
（Ａ８）  そして、バッファタンクＢ１の前後の圧力計Ｐ１、Ｐ２が安定し且つ同一値になるまで放置して均圧化を図り、その圧力値を記録する（希釈ガスの均圧化工程）。
（Ａ９）  こうして図５に示す様に、標準ガス採取口Ｓからバッグ、シリンダあるいは分析計へ標準ガスを採取する（標準ガス採取工程）。
（Ａ１０）  ガス採取後には、使用した全てのラインを真空ポンプＶＰ１、ＶＰ２で真空引きをし、標準ガスの排除を行う（ライン洗浄工程）。
【００２５】
一方、分圧が小さい場合には、上記の（Ａ５）試料の充填工程から（Ａ９）標準ガス採取工程までの工程に、下記の様にバッファタンクをＢ１、Ｂ２の２個を用いる。
（Ａ５´）  試料の充填工程では、図６に示す様に、バルブＶ３を開けてバッファタンクＢ１、Ｂ２の両方を用いて試料を所定圧力まで充填する。
（Ａ６´）  そして、試料の均圧化工程では、圧力計Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を用いて均圧化を図る。
（Ａ７´）  希釈ガスの充填工程では、図７に示す様に希釈ガスを両方のバッファタンクＢ１、Ｂ２に所定圧まで充填する。
（Ａ８´）  希釈ガスの均圧化工程では、圧力計Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を用いて均圧化を図る。
（Ａ９´）  標準ガス採取工程では、図８に示す様に、両タンクＢ１、Ｂ２を連通して標準ガス採取口Ｓからバッグ、シリンダあるいは分析計へ標準ガスを採取する。
【００２６】
上記の様に、本発明の標準ガス製造用ガス希釈器Ｄによれば、複数のバッファタンクＢ１、Ｂ２を直列に接続し、所定の分圧が高い場合には１個のバッファタンクＢ１を、分圧が低い場合には２個のバッファタンクＢ１、Ｂ２を使用することで、試料の導入流量が極めて微量であっても所定の分圧にすることができる。そして、各種の純ガスを並列に接続しているので、多種の成分の標準ガスを製造することができる。
【００２７】
また、図９には、本発明の気体試料導入装置Ｔの流路系統が示されている。図示左側の各ガス（液）ボンベの接続された配管ａ１〜ａ１６は、前記実施形態と同様である。そして、これらの配管ａ１〜ａ１６は、１本の主配管ＬＡにまとめられ、バルブＶ１を介して（６方バルブとして構成されている）切換え弁Ｖ２Ａの一方の口に連通されている。また、切換え弁Ｖ２Ａの他の口からは、第１のバッファタンクＢ１に接続され、そして、バルブＶ３を介して第２のバッファタンクＢ２に、更にバルブＶ４を介して第１の真空ポンプＶＰ１に連通されている。さらに、切換え弁Ｖ２Ａの他の口は、キャリヤガスが導入される配管Ｌ２Ａ、ガス分析装置（ガスクロマトグラフ）Ａに試料ガスを導入する配管、計量管ＭＴに連通する配管に連通されている。これらは、通常時には主配管ＬＡから計量管ＭＴを通ってバッファタンクＢ１に（計量管ＭＴはバッファタンクＢ１の上流に位置して）連通し、キャリヤガスが導入される配管Ｌ２Ａは、ガス分析装置Ａに連通する様に配設されている。
【００２８】
なお、前記第１及び第２のバッファタンクＢ１、Ｂ２、計量管ＭＴ、切換弁Ｖ２Ａは、恒温槽ＣＢ内に配設されている。また、バルブ、流量調整器、配管等も、試料の液化を防ぐため、加温されている。
【００２９】
一方、配管ａ１〜ａ１６の集結部には洗浄用ガスが供給される配管Ｌ１Ａがバルブｉを介装して連通されている。
【００３０】
次に、本発明の気体試料導入装置Ｔによるガス分析装置への気体試料の導入方法を、図１０〜図１３を参照して説明する。
（Ｂ１）  まず、図１０に示す様に、測定したい気体試料ライン（図示の例では配管ａ１のバルブｂ１から配管ＬＡのバッファタンクＢ２後のバルブＶ４まで）に、ガスクロマトグラフのキャリアガスと同種の洗浄用ガスを配管Ｌ１Ａから導入してパージする（ライン洗浄第１工程）。
（Ｂ２）  そして、真空ポンプＶＰ１、ＶＰ２で、そのラインを真空引きし、圧力計Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３により０ｍｍＨｇであることを確認する（ライン洗浄第２工程）。なお、この第１、第２の洗浄工程を繰り返すことでより効果的なライン洗浄ができる。
（Ｂ３）  次に、測定したい気体試料ラインを試料ガスによってパージする（試料によるラインのともあらい第１工程）。
（Ｂ４）  そして、そのラインを真空ポンプＶＰ１、ＶＰ２で真空引きし、圧力計Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３により０ｍｍＨｇであることの確認をする（試料によるラインのともあらい第２工程）。このともあらい第１、第２工程を繰り返せば、より効果的にライン中の不純物の除去が行える。なお、このともあらい第１、第２工程は、省略してもよい。
（Ｂ５）  次に、図１１に示す様に、計量管ＭＴ、バッファタンクＢ１に試料ガスを充填する（試料の充填工程）。
（Ｂ６）  そして、切換え弁Ｖ２ＡとバッファタンクＢ１の前後の圧力計Ｐ１、Ｐ２が安定し且つ同一値になるまで放置して均圧化をはかる（試料の均圧化工程）。なお、「均圧化」については、前記工程（Ａ６）で説明したのと同様である。
（Ｂ７）  次に、図１２に示す様に、切換え弁Ｖ２Ａを切換えて試料ガスをガスクロマトグラフ側へ導入する（試料のガス分析装置への導入工程）。
（Ｂ８）  そして、測定終了後には、測定した気体試料ラインを真空引きして試料ガスを除去する（ライン洗浄工程）。
【００３１】
ガス分析装置Ａ１に導入する試料ガスの圧力が低い場合には、バッファタンクはＢ１、Ｂ２の２個を使用する。すなわち、
（Ｂ５´）  試料充填工程においては、図１７に示す様に、計量管ＭＴ、バッファタンクＢ１及びＢ２に試料を充填する。
（Ｂ６´）  また、試料の均圧化工程では、圧力計Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３が安定し且つ同一値になるまで放置して均圧化をはかる。
なお、（Ｂ１）−（Ｂ４）、（Ｂ７）、（Ｂ８）については同様であるため、重複説明は省略する。
【００３２】
この様に、本発明の気体試料導入装置Ｔによれば、計量管ＭＴの後流にバッファタンクＢ１、Ｂ２が設けられている。従来は、計量管が小さい（０．５〜２ミリリットル）（０．５−２ｍｌ）ので、計量管のみでは、導入する試料の圧力状態が一定でないため、導入圧力を設定する事は不可能であったが、本発明の方法によれば、いかなる圧力状態（加圧、大気圧、負圧）の気体試料でも、分析者が希望する設定圧力でガスクロマトグラフに導入することができる。また、例えば、１００ミリリットル（ｍｌ）以下の少量の気体試料でもガス分析装置Ａに導入することができる。
【００３３】
次に、本発明に用いられるガス分析装置Ａの構成を説明する。図１４に示す分析手段Ｇ１には、一般にガスクロマトグラフが使用されている。そして、その分析手段Ｇ１の分析結果のデータを記憶する分析結果記憶手段Ｇ２と、そのデータの再現性を比較し判定する比較手段Ｇ３とが設けられ、比較回数をカウントして所定回以内であれば分析手段Ｇ１にフィードバックし、分析結果が異常であればメッセージを出力する警報手段Ｇ６に信号を送る比較回数カウンタＧ５が設けられ、また、導入ガスのデータ、分析結果データ等を保存するデータ保存手段Ｇ４が設けられている。
【００３４】
図１５には標準ガス（純ガス）の分析方法のフローチャートが示されている。まず、標準ガス値を入力し（ステップＳ１）、導入圧力を決定する（ステップＳ２、導入圧決定工程）。そして、標準ガス発生装置Ｄで製造した標準ガスを気体試料導入装置Ｔを介して分析手段Ｇ１に導入する（ステップＳ３、導入工程）。次に、導入圧が許容範囲内かどうか判定し（ステップＳ４）、ＮｏであればステップＳ３に戻る。Ｙｅｓであれば、ガス分析を行う（ステップＳ５、ガス分析工程）。そして、その結果を分析結果記憶手段Ｇ２に記憶して比較手段Ｇ３にて２回連続の再現性を確認する（ステップＳ６、比較工程）。それが、Ｎｏであれば、比較回数カウンタＧ５でカウントし、そして所定回数以内かどうか判定する（ステップＳ８）。Ｙｅｓであれば、ステップＳ３に戻り分析を繰り返し、Ｎｏであれば、警報手段Ｇ６にてメッセージを出力して（ステップＳ９、警報工程）終了する。そして、ステップＳ６がＹｅｓであれば、データ保存手段Ｇ４にて導入圧及びガスクロマトグラフのピークエリアのデータを保存し（ステップＳ７、データ保存工程）、終了する。
【００３５】
図１６には混合ガスの分析を行うガス分析装置の構成が示されている。図１４で説明した構成に対して、さらに、データ保存手段Ｇ４から試料ガスの成分を計算し、その生データの総和を演算する総和演算手段Ｇ７が設けられ、その総和演算手段Ｇ７で総和が許容範囲を越えた場合にメッセージを出力する第２の警報手段Ｇ６Ａと、総和演算手段Ｇ７の結果をノーマライズするノーマライズ手段Ｇ８と、その結果を印刷出力するプリンタ表示器Ｇ９とが設けられている。
【００３６】
図１７には、前記の図１６に示した構成による混合ガスの分析方法のフローチャートが示されている。まず、混合ガス値を入力し（ステップＳ１Ａ）、導入圧を決定する（ステップＳ２、導入圧決定工程）。そして、気体試料導入装置Ｔを介して、混合ガスを分析手段Ｇ１に導入し（ステップＳ３Ａ、導入工程）、導入圧が許容範囲内かどうか判定する（ステップＳ４）。Ｎｏであれば、ステップＳ１Ａに戻り、Ｙｅｓであれば、ガス分析を行う（ステップＳ５、ガス分析工程）。そして、その結果を分析結果記憶手段Ｇ２に記憶して比較手段Ｇ３にて２回連続の再現性を確認する（ステップＳ６、比較工程）。Ｎｏであれば、比較回数カウンタＧ５でカウントし、それが所定回数以内かどうか判定する（ステップＳ８）。Ｙｅｓであれば、ステップＳ３Ａに戻り分析を繰り返し、Ｎｏであれば、警報手段Ｇ６にてメッセージを出力して（ステップＳ９、警報工程）終了する。そして、ステップＳ６でＹｅｓであれば、データ保存手段Ｇ４にて各成分の導入圧及びガスクロマトグラフのピークエリアのデータを保存し（ステップＳ７Ａ、データ保存工程）、成分演算手段Ｇ７において標準ガス分析結果から成分を計算する（ステップＳ１０）。次に、総和演算手段Ｇ８で生データの総和が１００％±１％か判定し、Ｎｏであれば第２の警報手段Ｇ６Ａでメッセージを出力して（ステップＳ１４）終了する．Ｙｅｓであればノーマライズ手段Ｇ９にて、総和が１００％にノーマライズし（ステップＳ１２）、分析結果をプリンタ表示器Ｇ１０でプリントアウトし（ステップＳ１３）、終了する。
【００３７】
図１８には、ガス分析装置の試料導入圧力と分析結果の直線性判定に使用する構成が示されている。すなわち、圧力選定手段Ｇ１１と、分析手段Ｇ１と、データ保存手段Ｇ４と、結果を出力するプリンタ表示器Ｇ１０と、メッセージを出力する警報手段Ｇ６とで構成されている。
【００３８】
図１９に、ガス分析装置の試料導入圧力と分析結果の直線性判定方法のフローチャートが示されている。まず、圧力選択手段Ｇ１１にて、分析手段Ｇ１に導入するガス種を選択し（ステップＳ２１、圧力選択工程）、導入圧力を決定する（ステップＳ２２）。そして、気体試料導入装置Ｔを介して分析手段Ｇ１に選択したガスを導入し（ステップＳ２３、導入工程）、導入圧が範囲内かどうか判定する（ステップＳ２４）。Ｎｏであれば、ステップＳ２１に戻り、Ｙｅｓであれば、ガス分析を行い（ステップＳ２５、ガス分析工程）、データ保存手段Ｇ４にて導入圧及びガスクロマトグラフのピークエリアのデータを保存する（ステップＳ２６、データ保存工程）。そして、ステップＳ２２で決定した導入圧力変数（例えば、１００〜７００ｍｍＨｇ）が終了したか判定し（ステップＳ２７）、Ｎｏであれば、ステップＳ２２に戻り、次の導入圧力で分析を行う。変数を終了してステップＳ２７がＹｅｓであれば、プリンタ表示器Ｇ１０で、グラフ表示してプリントアウトする（ステップＳ２８）。その結果から直線性の判定を行い（ステップＳ２９、直線性判定工程）、Ｙｅｓであれば終了、Ｎｏであれば、警報手段Ｇ６によりメッセージを出力し（ステップＳ３０、警報工程）、終了する。
【００３９】
図２０及び図２１に分析結果の繰返し再現性判定に使用する構成が示されている。図２０は、標準ガスの分析の繰返し再現性判定の構成を示し、繰返し回数設定手段Ｇ１２を設け、それ以降の構成は前記図１４で説明した構成と同様に構成されている。そして、図２１は、混合ガスの分析の繰返し再現性判定の構成を示し、同様に繰返し回数設定手段Ｇ１２を設け、それ以降の構成は前記図１６で説明した構成と同様に構成されている。
【００４０】
図２２には、分析結果の繰返し再現性判定方法のフローチャートが示されている。まず、繰返し回数設定手段Ｇ１２において、繰返し再現性判定をするガス種、ガス濃度、繰返し回数を入力し（ステップＳ４１、繰返し回数設定工程）、導入圧力を決定する（ステップＳ４２、導入圧決定工程）。そして、標準ガス発生器Ｄ（標準ガスの場合）、気体試料導入装置Ｔを介して測定ガスを分析手段Ｇ１に導入し（ステップＳ４３、導入工程）、導入圧が範囲内かどうか判定する（ステップＳ４４）。Ｎｏであれば、ステップＳ４３に戻り、Ｙｅｓであれば、ガス分析を行い（ステップＳ４５、ガス分析工程）、分析結果記憶手段Ｇ２に記憶する。そして、比較手段Ｇ３にて、繰返し回数が所定回数以内かどうか判定し（ステップＳ４６）、Ｙｅｓであれば、比較回数カウンタＧ５でカウントしてステップＳ４３に戻り、この際、異常値であれば、警報手段Ｇ６でメッセージを出力する。Ｎｏであれば、データ保存手段Ｇ４で、導入圧及びガスクロマトグラフのピークエリアのデータを保存し（ステップＳ４７、データ保存工程）、各データ、標準偏差等をプリントアウト（ステップＳ４８）して終了する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の標準ガス製造用ガス希釈器の流路系統を示す図。
【図２】図１のライン洗浄第１工程を示す流路系統図。
【図３】図１の試料の充填工程を示す流路系統図。
【図４】図１の希釈ガスの充填工程を示す流路系統図。
【図５】図１の標準ガスの採取工程を示す流路系統図。
【図６】分圧が低い場合の試料の充填工程を示す流路系統図。
【図７】図６の希釈ガスの充填工程を示す流路系統図。
【図８】図６の標準ガスの採取工程を示す流路系統図。
【図９】本発明の気体試料導入装置の流路系統を示す図。
【図１０】図９のライン洗浄第１工程を示す流路系統図。
【図１１】図９の試料の充填工程を示す流路系統図。
【図１２】図９の試料のガスクロマトグラフへの導入工程を示す流路系統図。
【図１３】図９の試料の充填工程を示す流路系統図。
【図１４】本発明の分析装置の構成を示すブロック図。
【図１５】標準ガスの分析のフローチャート図。
【図１６】混合ガス分析の構成示すブロック図。
【図１７】混合ガスの分析のフローチャート図。
【図１８】分析装置の直線性判定の構成を示すブロック図。
【図１９】分析装置の直線性判定のフローチャート図。
【図２０】標準ガスの分析の再現性判定の構成を示すブロック図。
【図２１】混合ガスの分析の再現性判定の構成を示すブロック図。
【図２２】繰り返し再現性判定のフローチャート図。
【符号の説明】
【００４２】
Ａ・・・ガス分析装置
Ｂ１、Ｂ２・・・バッファタンク
Ｄ・・・希釈器
ＭＴ・・・計量管
Ｌ、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ１Ａ，Ｌ２Ａ・・・配管
Ｐ１〜Ｐ３・・・圧力計
Ｓ・・・試料採取口
Ｔ・・・気体試料導入装置
Ｖ１〜Ｖ４、Ｖ２Ａ・・・バルブ
ＶＰ１、ＶＰ２・・・真空ポンプ
ａ１〜ａ１６・・・配管
ｂ１〜ｂ１６・・・バルブ
ｃ１〜ｃ１６・・・流量調整器
ｄ１〜ｄ１６・・・バルブ
ｅ１〜ｅ１６・・・バルブ
ｆ・・・バルブ
ｇ・・・流量調整器
ｈ、ｉ、ｊ１、ｊ２・・・バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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