(57)【要約】【課題】ターボ分子ポンプにおいて、翼部の熱が外側のケーシング部へ伝達され易いような静翼段の製造方法を提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプの静翼段２の製造工程において、外周部の第１円筒状部１ａと、該第１円筒状部１ａの内周部の円板状部１ｂと、該円板状部１ｂの内周部の第２円筒状部１ｃとからなる中間工程部材１を素材から一体に削出して形成し、前記円板状部１ｂに多数の静翼１ｂａをプレスの切り起し加工により形成し、該中間工程部材１の中心を通る直径線に沿って該中間工程部材１を２分割して、２つの半月形からなる静翼段２を形成した。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板の円板状部と該円板状部の外周に形成した第１円筒状部と該円板状部の内周に形成した短い第２円筒状部とからなる静翼段の中間工程部材を形成し、該中間工程部材の前記円板状部にプレスの切り起し加工を行なって該円板状部に多数の静翼を放射状に形成して静翼段を得るターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
【請求項２】
前記円板状部に多数の静翼を放射状に形成してから前記第２円筒状部を切り落して静翼段を得る請求項１に記載のターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
【請求項３】
薄板の円板状部と該円板状部の外周に形成した第１円筒状部とからなる静翼段の中間工程部材を形成し、該中間工程部材の前記円板状部にプレスの切り起し加工を行なって該円板部に多数の静翼を放射状に形成して静翼段を得るターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
【請求項４】
前記中間工程部材は、金属素材から機械加工によって一体に成型して製造するようにした請求項１乃至請求項３のいずれか１に記載のターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
【請求項５】
前記静翼段を、中心を通る半径線に沿って２以上の複数に分割する請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載のターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ターボ分子ポンプの静翼段の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ターボ分子ポンプは分子流領域において気体の排気を行なう高真空ポンプである。
【０００３】
図３に従来のターボ分子ポンプの縦断面図の一例を示した。
【０００４】
即ち、ターボ分子ポンプは、ローターａの外周部に多数の動翼ｂを外向きの放射状に突出させて形成した動翼段Ｍ１、Ｍ２、…と、ケーシングｃの内周部に多数の静翼ｄを内向きの放射状に多数突出させて形成した静翼段Ｓ１、Ｓ２、…とを交互に多段に有している。
【０００５】
前記静翼段Ｓ１の詳細な構造の一例を図４に示した。
【０００６】
従来の静翼段Ｓ１は、薄板円板にプレスの切り起し加工を行なって形成した放射状の静翼ｄを多数有しており、該薄板円板の外周部には平坦な鍔部ｅが形成されている。
【０００７】
従来のターボ分子ポンプでは、スペーサリングを兼ねる押さえリングｆ１、ｆ２によりこの鍔部ｅを上下から挟持して、前記静翼段Ｓ１をケーシングｃに係着するようにしていた。
【０００８】
尚、スペーサリングとは動翼段の翼部の外周を覆うように環状に形成された静翼段と動翼段との間隔を適切に配置するためのリングであり、該スペーサリングの内周と前記動翼段の翼部の外周との間には僅少の隙間を有して、前記動翼段が該スペーサリング内を自在に回動できるように形成されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
前記の静翼段の如く、静翼ｄ及び鍔部ｅが押さえリングｆ１、ｆ２を介してケーシングｃに係着している従来の構造は、静翼ｄからケーシングｃへの熱伝達率が低いという問題があった。
【００１０】
このため、高流量排気時には、翼部で発生する熱が冷却されずに翼部の昇温をもたらし、内部部品、特にローターａの過熱による故障の発生原因になるという問題があった。
【００１１】
本発明は上記の問題点を解消し、ターボ分子ポンプにおいて、冷却性能が良く製造コストの低い静翼段の製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべく、薄板の円板状部と該円板状部の外周に形成した第１円筒状部と該円板状部の内周に形成した短い第２円筒状部とからなる静翼段の中間工程部材を形成し、該中間工程部材の前記円板状部にプレスの切り起し加工を行なって該円板状部に多数の静翼を放射状に形成して静翼段を製造した。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１及び図２により説明する。
【００１４】
図１は、本発明のターボ分子ポンプの静翼段の製造工程における中間工程部材１の縦断面図を示す。
【００１５】
該中間工程部材１は、外周部に形成された短い第１円筒状部即ちスペーサリング１ａと、該スペーサリング１ａの内周部に形成された薄板状の円板状部１ｂと、該円板状部１ｂの内周部に形成された短い第２円筒状部１ｃとからなり、これは鋼又はアルミニウム合金等の金属素材から旋盤加工等により一体に削り出されて形成されている。
【００１６】
然る後に該中間工程部材１の円板状部１ｂにプレスの切り起し加工を施工して、多数の静翼１ｂａを放射状に形成し、該中間工程部材１の中心を通る直径線に沿って該中間工程部材１を２分割して、図２に示す２つの半月形からなる静翼段２を形成した。
【００１７】
尚、前記プレスの切り起し加工とは、前記円板状部１ｂにプレスにてスリット１ｂｃを多数打ち抜くと共に該スリット１ｂｃの左右の板状部を一様に前後に捩り曲げて静翼１ｂａに形成する加工法である。
【００１８】
次に本実施の形態によって製造された静翼段２の使用方法及びその効果について説明する。
【００１９】
ターボ分子ポンプを組立てる際には、多数の動翼段を有するローターを軸受箱部に回動自在に軸支して取付け、次いで前記各動翼段の間に静翼段を取付ける。
【００２０】
このとき、前記静翼段２は２つ割れとなっているので、各動翼段の間に上下又は左右からこれら半月形の静翼段２を割り込ませて、相対する該半月形を互いに突き合せて１つの段の静翼段２を形成させ、更に相隣る静翼段２の各々のスペーサリング１ａの側縁部を逐次当接させて多段に形成し、これらスペーサリング１ａの外側からケーシング（図示せず）をこれらスペーサリング１ａと接するように被せて、ターボ分子ポンプを組立てていく。
【００２１】
このように本実施の形態では、静翼段２を構成する静翼１ｂａとスペーサリング１ａとが一体に形成されているので熱伝導性がよく、更に該スペーサリング１ａが外側のケーシングに直接に接していて熱伝達率も高いので、翼部が異常に昇温したり、又はローターの過熱のため故障を発生したりするということがない。
【００２２】
又、静翼段２の製造工程において、前記中間工程部材１の内周部に第２円筒状部１ｃを設けたので、プレスによる静翼１ｂａの切り起し加工時に歪の発生が防止される効果を有している。
【００２３】
尚、本実施の形態はターボ分子ポンプの場合について説明したが、これはターボ分子ポンプ部とねじ溝ポンプ部とを有する複合分子ポンプにおいても同様に実施してよい。又、本実施の形態では静翼段の中間工程部材１の内周部に第２円筒状部１ｃを有する構造としたが、この第２円筒状部を有しない中間工程部材を使用するようにしてもよい。
【００２４】
或いは又、中間工程部材１の円板状部１ｂに多数の静翼１ｂａを切り起し加工後、前記第２円筒状部１ｃを切り落して静翼段に形成してもよい。
【００２５】
【発明の効果】
このように本発明によれば、翼部から外側のケーシング部への熱伝達率が向上するので、翼部が異常に昇温したり、又はローターの過熱のために故障が発生したりすることのないようなターボ分子ポンプの静翼段の製造方法を提供できる効果を有しており、又、静翼段の翼部はプレスによる切り起し加工としたため、製造コストが大幅に低減する効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の静翼段の中間工程部材の縦断面図である。
【図２】前記静翼段の完成品の正面図である。
【図３】従来のターボ分子ポンプの一例を示す縦断面図である。
【図４】従来のターボ分子ポンプの静翼段の詳細を示す一部縦断面図である。
【符号の説明】
１　　　　　静翼段の中間工程部材
１ａ、１ｃ　円筒部材
１ｂ　　　　円板状部
１ｂａ　　　静翼
２　　　　　静翼段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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