(57)【要約】【課題】リード線接続部からの放熱を抑制して温度分布を改善し、酸素排気特性の向上と耐久性の向上を図ること。【解決手段】固体電解質１の表面に形成した電極膜２ｂおよび３ｂの中央に熱伝導性の高いリード線４および５を形成している。これによって、リード線４および５を介して放熱が促進され、周囲よりやや高温の電極膜２ｂおよび３ｂの中央部の温度が降下するので固体電解質１全体が均一温度になる。したがって、熱歪みにより固体電解質１が破損することなく、酸素を効率よく排気することが可能となる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質と、前記固体電解質の一方の表面に形成した第一の電極膜と、前記固体電解質の他方の表面に形成した第二の電極膜と、前記第一の電極膜に形成した第一のリード線と、前記第二の電極膜に形成した第二のリード線と、開口部を有する金属箔とを備え、前記第二の電極膜と前記金属箔とを接着層を介して接合した電気化学デバイス。
【請求項２】
第一のリード線は第一の電極膜の中央に、第二のリード線は第二の電極膜の中央にそれぞれ形成した請求項１に記載の電気化学デバイス。
【請求項３】
第二のリード線は、接着層と電気的に導通して金属箔の表面に形成される請求項１又は２に記載の電気化学デバイス。
【請求項４】
接着層と電気的に導通し、一端が金属箔の端部に形成されるリード膜を備え、第二のリード線は、前記リード膜と電気的に導通して前記金属箔の端部に形成される請求項１又は２に記載の電気化学デバイス。
【請求項５】
第二のリード線の下端から屈曲して延設されたリード屈曲線を有し、前記リード屈曲線はリード膜の表面に形成される請求項４に記載の電気化学デバイス。
【請求項６】
金属箔の外周に枠体を備えた請求項１又は２に記載の電気化学デバイス。
【請求項７】
接着層は、一端が金属箔の端部に形成されるリード膜と、前記金属箔の外周に形成される枠部を備えた請求項１又は２に記載の電気化学デバイス。
【請求項８】
リード膜は、少なくとも三本以上設けられた請求項７に記載の電気化学デバイス。
【請求項９】
リード膜は放射状に均等な間隔で形成され且つ少なくとも三本以上設けられた請求項７に記載の電気化学デバイス。
【請求項１０】
第一の電極膜および第二の電極膜は、ペロブスカイト型金属複合酸化物である請求項１又は２に記載の電気化学デバイス。
【請求項１１】
ペロブスカイト型金属複合酸化物の表面に導電性の金属膜を形成し二層構造とした請求項１０に記載の電気化学デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電気化学デバイスに関し、更に詳しくは酸素イオン導電性の固体電解質を用いた酸素ポンプのリード実装構成に係る電気化学デバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の電気化学デバイス、特に酸素イオン導電性の固体電解質を用いた酸素ポンプの構成および動作を、図８を参照しながら説明する。図８において、１は固体電解質であり、酸素イオン導電性を有する。平板状の固体電解質１の表面には第一および第二の電極膜２および３がそれぞれ対向するように形成されている。また、第一および第二の電極膜２および３の端部には電気的に導通して、第一および第二のリード線４および５がそれぞれ形成されている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
また、酸素ポンプに大電流を流すためには、第一および第二のリード線４および５の抵抗を極力小さくする必要があり、導電率の高い線材を用いたり、線径を太くしたりするなどの工夫がなされている。
【０００４】
上記構成の酸素ポンプを密閉された容器に取り付け、酸素ポンプを加熱手段により動作温度に保持し、第一の電極膜２に正電圧、第二の電極膜３に負電圧を印加する。すると、第二の電極膜３に取り込まれた容器内の酸素が電子を受け取り酸素イオンとなり、酸素イオン導電性の固体電解質１中を移動する。そして、酸素イオンは、第一の電極膜２で電子を放ち、容器外へと放出される。この一連の動作により、容器内の酸素は外部へと排気され、容器内の酸素濃度が減少する（例えば特許文献２参照）。
【０００５】
このとき、容器の酸素ポンプ取り付け部と固体電解質１の熱膨張係数は実質的に同じである必要があり、容器の取りつけ部のヤング率が小さい場合、取りつけ部の熱膨張係数は、固体電解質１の熱膨張係数より多少大きくてもよく、逆に、ヤング率が大きい場合、固体電解質１の熱膨張係数により近い熱膨張係数を有することが必要であると言われている（例えば特許文献３参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−９４７９２号公報（第５頁、第１図）
【特許文献２】
特開平１１−２３５２５号公報（第５頁、第１図および第２図）
【特許文献３】
特開２０００−８６２０４号公報（第９頁）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の構成では、電気的に導通を取るために、固体電解質上の第一および第二の電極膜の端部に導電性だけでなく、熱伝導性も高いリード線を接続するので、加熱手段で固体電解質を加熱した場合、リード線の接続部より放熱してしまい、その部分の固体電解質の温度が降下し、温度分布が生じる。これにより、酸素排気効率が低下するだけでなく、熱歪みにより固体電解質が破損するという課題を有していた。
【０００８】
また、固体電解質を容器に取り付けるために、固体電解質と容器、あるいはこれらを接続する接着剤の熱膨張係数を互いに近い範囲内で選択しなければならないので、各材料が特定の材質に限定されてしまうという課題を有していた。
【０００９】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、温度分布を改善することにより、酸素排気特性と耐久性に優れた電気化学デバイスを提供するとともに、容器と固体電解質を形状的自由度が高く、ヤング率の小さい金属箔を介して接続することにより、固体電解質や容器の材質の選択自由度を高めることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するために、本発明の電気化学デバイスは、熱伝導性の高いリード線からの放熱を利用し、固体電解質の表面に形成した電極膜の中央にリード線を形成することにより、周囲よりやや高温の電極膜の中央部の温度を降下させ、固体電解質全体を均一に加熱するので、熱歪みにより固体電解質が破損することなく、酸素を効率よく排気することができる。
【００１１】
また、固体電解質を導電性の接着層を介し、形状的自由度が高く、ヤング率の小さい金属箔に固定し、金属箔を介して容器に取り付けるので、固体電解質と容器およびこれらを接続する接着剤の熱膨張係数を互いに近い範囲内で選択する必要がなくなり、材質の選定範囲を広げることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
請求項１に記載の発明は、固体電解質と、前記固体電解質の一方の表面に形成した第一の電極膜と、前記固体電解質のもう一方の表面に前記第一の電極膜と対向して形成した第二の電極膜と、前記第一の電極膜の中央に形成した第一のリード線と、前記第二の電極膜と電気的に導通した第二のリード線と、開口部を有する金属箔と、前記開口部の周囲と前記第二の電極膜を電気的に導通して接着する接着層とを備えたものであり、熱伝導性の高いリード線を電極膜の中央に形成するので、固体電解質を均一に加熱することができ、熱歪みにより固体電解質が破損することなく、酸素を効率よく排気することができる。また、固体電解質を導電性の接着層を介し、加工性に優れた形状的自由度の高い金属箔に固定するので、固体電解質を直接容器に取り付けるのではなく、金属箔を介し容器に取り付けることができ、固体電解質と容器の互いの熱膨張係数を厳密に合わせる必要がなくなり、材質の選定範囲を広げることができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、特に請求項１に記載の第二のリード線も、第二の電極の中央に形成するものであり、熱伝導の高いリード線を電極膜の中央に形成するので、一層固体電解質を均一に加熱することができ、熱歪みにより固体電解質が破損することなく、酸素を効率よく排気することができる。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、特に請求項１に記載の第二のリード線を、接着層と電気的に導通して金属箔の表面に形成するものであり、第二のリード線を第一のリード線と同じ側から、しかも同時に接続することができ、製造工程が簡単になるだけでなく、同じ側からリードを取ることができるので、構成も簡単になり、容器との密閉性も向上し、酸素を効率よく排気することができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、接着層と電気的に導通し、その一端が金属箔の端部に形成されるリード膜を備え、第二のリード線は、前記リード膜と電気的に導通して前記金属箔の端部に形成されるものであり、第二のリード線からの放熱を固体電解質から十分に離れた金属箔の端部で行うので、固体電解質の温度が降下することなく、酸素を効率よく排気することができ、温度分布もさらに改善されるので、熱的耐久性も向上する。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、接着層と電気的に導通し、その一端が金属箔の端部に形成されるリード膜を備え、第二のリード線は、前記リード膜と電気的に導通して前記金属箔の端部に形成されるものであり、前記第二のリード線の一部は、前記リード膜の表面に形成され、形状的自由度が高い金属箔の表面に、リード膜とリード線の一部を一体に形成するので、金属箔に変形や反りが生じ、形成したリード膜に多少のクラックが入っても、第二の電極膜と第二のリード線の電気的導通は、リード膜の上に形成したリード線の一部により確実に保持することができ、信頼性の高い電気化学デバイスを得ることができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、金属箔の外周に形成した枠体を備えたものであり、枠体が形状的自由度の高い金属箔の変形や反りを抑制するので、リード膜だけでなく、固体電解質と接着層の密着性を向上させることができ、より信頼性の高い電気化学デバイスを得ることができる。
【００１８】
請求項７に記載の発明は、接着層は、その一端が金属箔の端部に形成されるリード部と、前記金属箔の外周に形成される枠部を備えたものであり、接着層と、リード膜と、枠体が一体となって形成され、確実に電気的導通を確保するとともに、金属箔の変形や反りを抑制し、固体電解質と接着層との間の密着性や、容器と金属箔との密着性をより強固にすることができ、酸素を効率よく排気することができる。
【００１９】
請求項８に記載の発明は、接着層は、その一端が金属箔の端部に形成される少なくとも三本以上のリード部と、前記金属箔の外周に形成される枠部を備えたものであり、リード部が少なくとも三本以上あることで、固体電解質をより強固に固定することができ、製造工程における取り扱いや歩留まりを向上させることができる。
【００２０】
請求項９に記載の発明は、接着層は、その一端が金属箔の端部に形成され、放射状に均等な間隔で形成される少なくとも三本以上のリード部と、前記金属箔の外周に形成される枠部を備えたものであり、固体電解質部を強固に固定するだけでなく、放射状にリード部が形成されているので、均等に放熱され、温度分布が均一となり、熱歪みなどによる固体電解質の破損を防ぐことができる。
【００２１】
請求項１０に記載の発明は、第一および第二の電極膜は、ペロブスカイト型金属複合酸化物であり、ペロブスカイトの酸素欠陥構造を介して、気相中の酸素が効率よく固体電解質に出入りするので、酸素排気特性を向上させることができる。
【００２２】
請求項１１に記載の発明は、第一および第二の電極膜は、ペロブスカイト型金属複合酸化物の表面に導電性の金属膜を形成した二層構造であり、比較的抵抗の高い金属複合酸化物の導電性を高導電性の金属膜が補助するので、金属複合酸化物の自己発熱を抑制することができ、局部的な温度上昇を抑え、効率よく酸素を排気するだけでなく、温度分布が均一化され、熱的耐久性も向上させることができる。さらに、電極膜の抵抗を下げるので、印加電圧を下げることができ低消費電力の電気化学デバイスを得ることができる。
【００２３】
【実施例】
以下、本発明の電気化学デバイスの実施例について、図面を参照しながら説明する。
【００２４】
（実施例１）
図１は、本発明の実施例１における電気化学デバイスである酸素ポンプの断面構成図を示すものである。図１において、１は酸素イオン導電性を有する固体電解質であり、その両面には第一の電極膜２（２ａおよび２ｂ）と、第二の電極膜３（３ａおよび３ｂ）が互いに対向して形成されている。そして、それぞれの電極膜２および３の中央からは電気的に接続された導電性の高い金などの金属から成る第一および第二のリード線４および５が形成されている。リード線４および５は、大電流を流しても発熱しないよう線径が約１ｍｍ程度の太線あるいは０．１〜０．２ｍｍ程度の細線を５〜６本束ねた縒り線などを用い、その抵抗が低く保持されている。
【００２５】
したがって、導電性だけでなく熱伝導性も高くなってしまうが、本発明ではこの熱伝導性の高いリード線４および５からの放熱を利用し、リード線４および５を電極膜２および３の中央から取り出し、周囲よりやや高温の電極膜２および３の中央部の温度を降下させ、固体電解質１を均一に加熱するので、熱歪みによる応力により固体電解質１が破損することなく、酸素を効率よく排気することができる。
【００２６】
また、固体電解質１には酸素イオン導電性を有するランタンガリウム酸化物から成る約３０ｍｍ角で厚さ約０．５ｍｍの基板を用いた。これ以外にも他の酸素イオン導電性を有する安定化ジルコニア、安定化セリアなども使用することができ、実施例で用いたランタンガリウム酸化物の酸素イオン導電性を向上させるためにランタンサイトおよびガリウムサイトの一部に遷移金属やアルカリ土類金属などの異種金属を置換してもよい。
【００２７】
この固体電解質１の両面に第一および第二の電極膜２ａおよび３ａとしてペロブスカイト型の金属複合酸化物から成るペーストをスクリーン印刷などの方法により塗布し、乾燥後、１，０００〜１，２００℃で焼成した。さらにその上に集電体として、金ペーストを積層して印刷し、乾燥後、８００〜９００℃で焼成し、第一および第二の電極２ｂおよび３ｂを形成し、二層構造の第一および第二電極２および３を形成した。
【００２８】
第一および第二の電極膜２ａおよび２ｂに含まれるペロブスカイト型の金属複合酸化物は、ＡＢＯ３で表され、Ａサイトにはランタン、サマリウム、ネオジウム、ストロンチウムなどの内、少なくとも一種以上が含まれ、Ｂサイトにはコバルト、マンガン、ニッケル、鉄などの内、少なくとも一種以上が含まれ、優れた導電性と、酸素との高い電極反応性を有する。このペロブスカイト型金属複合酸化物により、気相中の酸素がペロブスカイトの酸素欠陥構造を介して、効率よく固体電解質１に出入りするので、酸素排気特性を向上させることができる。
【００２９】
また、比較的抵抗の高いペロブスカイト型の金属複合酸化物２ａおよび３ａの導電性を高導電性の金や白金から成る金属膜２ｂおよび３ｂが集電体として補助するので、金属複合酸化物の自己発熱を抑制することができ、局部的な温度上昇を抑え、効率よく酸素を排気するだけでなく、温度分布が均一化され、熱的耐久性も向上させることができる。さらに、電極膜２および３の抵抗を下げるので、印加電圧を下げることができ低消費電力の電気化学デバイスを得ることができる。
【００３０】
さらに、ステンレス製の厚さ１０〜２０μｍの金属箔６の開口部６ａの周囲に沿って接着層７として導電性の金属ペーストを印刷し、その上に固体電解質１を第二の電極膜３ｂの外周に沿って配置し、荷重をかけながら乾燥後、７００〜８００℃で焼成し、固体電解質１と金属箔６を密着させて接着した。
【００３１】
金属箔６としては、ステンレス以外にニッケル、鉄クロム、チタン、金および白金などの金属を用いることができる。これらの金属箔６は、固体電解質１よりヤング率が一桁以上小さいので、熱膨張係数差により発生する熱応力も小さい。また、セラミックから成る固体電解質１に比べて、金属箔６は弾性を示すので、大きな熱的歪みにも耐えることができる。したがって、高温でも固体電解質１と金属箔６の密着性を保持することができる。また、固体電解質１を直接容器に取り付けるのではなく、金属箔６を介し容器に取り付けることができ、固体電解質１と容器の互いの熱膨張係数を厳密に合わせる必要がなくなり、材質の選定範囲を広げることができる。
【００３２】
次に、導電性の金属ペーストを用いて第一および第二の電極膜２および３の中央部に第一および第二のリード線４および５を取り付け乾燥後、電気炉で７００〜８００℃で焼成した。
【００３３】
上記構成の酸素ポンプを金属箔６を介し、密閉された容器に取り付け、ヒーターと断熱材を取り付けた。さらに、第一および第二のリード線４および５の間に第一の電極膜２に正電圧、第二の電極膜３に負電圧が印加されるように、直流電源を接続した。そして、ヒーターにより、酸素ポンプを動作温度（５００〜８００℃）まで加熱し、第一および第二の電極膜２および３の間に直流電圧を印加した。容器内の酸素は多孔質な断熱材を介し、第二の電極膜３に吸着し、電子を受け取り、第二の電極膜３と固体電解質１と気相との間に形成される三相界面より固体電解質１中へ取り込まれ、酸素イオンとなり固体電解質１中を移動する。そして、第一の電極膜２に到達した酸素イオンは第一の電極膜２と固体電解質１と気相との間に形成される三相界面で電子を放ち、再び酸素となり大気へ排出される。この一連の動作により、容器内の酸素は外部へと排気され、容器内の酸素濃度を減少させることができる。
【００３４】
本発明の電気化学デバイスのリード実装構成における温度分布を測定した。従来例と比較するため、リード４および５を固体電解質１上の第一および第二電極膜２および３の端部より取り出した酸素ポンプの温度分布を調べた。約６００℃で動作した際の温度分布を測定した結果、従来構成の酸素ポンプの中央部が、電極膜２および３の自己発熱により、周囲に比べてやや高温となっていることが判った。また、リード線４および５の取り出し部分である固体電解質１の端部が、リード線４および５からの放熱により他の部分より温度が低くなっており、温度分布が目立っていた。動作後、酸素ポンプを取り出すと、固体電解質１基板の一部にクラックが入っており、その破損部から空気が漏れ、酸素の排気効率が低下していることが判った。
【００３５】
一方、本発明のリード実装構成の酸素ポンプの温度分布は、固体電解質１全体がほぼ均一な温度となっており、動作後も、固体電解質１基板が破損している様子は見られなかった。したがって、本発明の実施例の電気化学デバイスのリード実装構成によれば、固体電解質１が破損することなく、酸素を効率よく排気することができる。
【００３６】
また、本発明の電気化学デバイスは、酸素ポンプだけでなく、ＣＯセンサ、ＮＯｘセンサ、ＨＣセンサ、ＣＯ２センサおよびその他の可燃性ガスセンサ、あるいはＮＯｘ分解デバイス、燃料電池などの電気化学デバイスにも適用することができる。
【００３７】
（実施例２）
図２は、本発明の実施例２における電気化学デバイスである酸素ポンプの断面構成図を示すものである。図２において、実施例１と異なる点は、第二のリード線５を、接着層７と電気的に導通して金属箔６の表面に形成したところであり、それ以外の部分は実施例１と同一の構成である。
【００３８】
本実施例の電気化学デバイスによれば、第二のリード線５を第一のリード線４と同じ側から、しかも同時に接続することができ、製造工程が簡単になるだけでなく、同じ側からリードを取ることができるので、構成も簡単になり、容器との密閉性も向上し、酸素を効率よく排気することができる。
【００３９】
また、接着層７が第二の電極膜３の外周に沿って配置されるので、接着層７による放熱が放射状に均一となり、固体電解質１に熱歪みによる応力が加わらず、信頼性の高い電気化学デバイスを得ることができる。
【００４０】
（実施例３）
図３は、本発明の実施例３における電気化学デバイスである酸素ポンプの断面構成図を示すものである。図３において、実施例２と異なる点は、接着層７と電気的に導通し、その一端が金属箔６の端部に形成されるリード膜８を備え、第二のリード線５は、リード膜８と電気的に導通して金属箔６の端部に形成されるところであり、それ以外の部分は実施例２と同一の構成である。
【００４１】
本実施例の電気化学デバイスによれば、第二のリード線５からの放熱を固体電解質１から十分に離れた金属箔６の端部で行うので、固体電解質１の温度が降下することなく、酸素を効率よく排気することができ、温度分布もさらに改善されるので、熱的耐久性も向上させることができる。
【００４２】
（実施例４）
図４は、本発明の実施例４における電気化学デバイスである酸素ポンプの断面構成図を示すものである。図４において、実施例３と異なる点は、第二のリード線５の下端から屈曲して延設されたリード屈曲線５ａを有し、そしてこのリード屈曲線５ａは、リード膜８の表面に形成された点であり、それ以外は実施例３と同一の構成である。
【００４３】
本実施例の電気化学デバイスによれば、形状的自由度の高い金属箔６の表面に、リード膜８とリード屈曲線と５ａを一体的に形成するので、金属箔６に変形や反りが生じ、形成したリード膜８に多少のクラックが入っても、第二の電極膜３と第二のリード線５の電気的導通は、リード膜８の上に形成したリード屈曲線５ａにより確実に維持することができ、信頼性の高い電気化学デバイスを得ることができる。
【００４４】
（実施例５）
図５は、本発明の実施例５における電気化学デバイスである酸素ポンプの断面構成図を示すものである。図５において、実施例４と異なる点は、金属箔６の外周に形成した枠体９を備えたところであり、それ以外の部分は実施例４と同一の構成である。
【００４５】
本実施例の電気化学デバイスの構成によれば、枠体９が形状的自由度の高い金属箔６の変形や反りを抑制するので、リード膜８だけでなく、固体電解質１と接着層７の密着性を向上させることができ、より信頼性の高い電気化学デバイスを得ることができる。
【００４６】
（実施例６）
図６は、本発明の実施例６における電気化学デバイスである酸素ポンプの断面構成図を示すものである。図６において、実施例３と異なる点は、接着層７は、その一端が金属箔６の端部に形成されるリード膜８と、金属箔６の外周に形成される枠部７を備えたところであり、それ以外の部分は実施例３と同一の構成である。
【００４７】
本実施例の電気化学デバイスの構成によれば、接着層７と、リード膜８と、枠体９が一体となって形成され、確実に電気的導通を確保するとともに、金属箔６の変形や反りを抑制し、固体電解質１と接着層７との間の密着性や、容器と金属箔６との密着性をより強固にすることができ、酸素を効率よく排気することができる。
【００４８】
（実施例７）
図７は、本発明の実施例７における電気化学デバイスである酸素ポンプの断面構成図を示すものである。図７において、実施例６と異なる点は、接着層７は、その一端が金属箔の端部に形成され、放射状に均等な間隔で形成される少なくとも三本以上のリード膜８と、金属箔６の外周に形成される枠部７を備えたところであり、それ以外の部分は実施例６と同一の構成である。
【００４９】
本実施例の電気化学デバイスによれば、リード膜８が少なくとも三本以上あることで、固体電解質１をより強固に固定することができ、製造工程における取り扱いや歩留まりを向上させることができる。また、放射状にリード部が形成されているので、均等に放熱され、温度分布が均一となり、熱歪みなどによる固体電解質の破損を防ぐことができる。
【００５０】
【発明の効果】
以上のように本発明の電気化学デバイスによれば次の効果を奏する。
【００５１】
固体電解質と、この固体電解質の一方の表面に形成した第一の電極膜と、固体電解質の他方の表面に第一の電極膜と対向して形成した第二の電極膜と、第一の電極膜に形成した第一のリード線と、第二の電極膜に形成した第二のリード線と、開口部を有する金属箔とを備え、第二の電極膜と金属箔とを接着層を介して接合したことにより、熱伝導性の高いリード線が電極膜に形成され、固体電解質を均一に加熱することができ、また熱歪みにより固体電解質が破損することなく、酸素を効率よく排気することができる。
【００５２】
また、固体電解質を導電性の接着層を介し、加工性に優れた形状的自由度の高い金属箔に固定するので、固体電解質を直接容器に取り付けるのではなく、金属箔を介し容器に取り付けることができ、固体電解質と容器の互いの熱膨張係数を厳密に合わせる必要がなくなり、材質の選定範囲を広げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１における電気化学デバイスの構成を示す断面図
【図２】（ａ）本発明の実施例２における電気化学デバイスの構成を示す平面図
（ｂ）同デバイスの構成を示す断面図
【図３】（ａ）本発明の実施例３における電気化学デバイスの構成を示す平面図
（ｂ）同デバイスの構成を示す断面図
【図４】（ａ）本発明の実施例４における電気化学デバイスの構成を示す平面図
（ｂ）同デバイスの構成を示す断面図
【図５】（ａ）本発明の実施例５における電気化学デバイスの構成を示す平面図
（ｂ）同デバイスの構成を示す断面図
【図６】（ａ）本発明の実施例６における電気化学デバイスの構成を示す平面図
（ｂ）同デバイスの構成を示す断面図
【図７】（ａ）本発明の実施例７における電気化学デバイスの構成を示す平面図
（ｂ）同デバイスの構成を示す断面図
【図８】（ａ）従来の電気化学デバイスの構成を示す平面図
（ｂ）同デバイスの構成を示す断面図
【符号の説明】
１  固体電解質
２ａ  第一の電極膜（金属複合酸化物）
２ｂ  第一の電極膜（金属膜）
３ａ  第二の電極膜（金属複合酸化物）
３ｂ  第二の電極膜（金属膜）
４  第一のリード線
５  第二のリード線
５ａ  リード屈曲線
６  金属箔
６ａ  開口部
７  接着層
８  リード膜
９  枠体
【図１】
2004239657.tif 000003
【図２】
2004239657.tif 000004
【図３】
2004239657.tif 000005
【図４】
2004239657.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2004239657.tif 000009
【図８】
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