(57)【要約】【課題】優れた耐めっき性、可撓性、剥離性等を有し、現像スカムの発生しない感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【解決手段】（Ａ）エトキシ鎖及びプロポキシ鎖の両鎖を有するエチレン性不飽和基を１分子中に３個以上含有する不飽和化合物、（Ｂ）有機ハロゲン化合物、（Ｃ）フィルム性付与ポリマー並びに（Ｄ）活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤及び／又は光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物と前記組成物の層と支持体フィルムを有する感光性エレメント。【選択図】　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式（Ｉ）
【化１】
2004004635.tif 000009
〔式中、Ｒ１は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ２はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ３はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ２とＲ３とは必ず異なる基であり、ｍ及びｎは繰り返し単位の個数を示しそれぞれ１以上の整数である〕で示される不飽和基を１分子中に３個以上有するエチレン性不飽和化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。
【請求項２】
一般式（Ｉ）で示される不飽和基を１分子中に３個以上有するエチレン性不飽和化合物を、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対して１０〜８０重量部含有してなる請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物の層と支持体フィルムを有する感光性エレメント。
【請求項４】
剥離可能なカバーフィルムを感光性樹脂組成物の層上に積層してなる請求項３記載の感光性エレメント。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷配線板作成等に用いられる感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】
印刷配線板製造の分野において、エッチング、めっき等の基材の化学的、電気的処理を用いる際に、レジスト材料として感光性組成物及びこれを用いた感光性エレメントを使用することが知られている。そして、感光性エレメントとしては、支持体上に感光性樹脂組成物を積層したものが広く使用されている。
【０００３】
従来、印刷配線板の製造法には、テンティング法とめっき法という二つの方法が知られている。テンティング法は、チップ搭載のための銅スルーホールをレジストで保護し、エッチング、レジスト剥離を経て電気回路形成を行うのに対し、めっき法は、電気めっきによってスルーホールに銅を析出させ、ハンダめっきで保護し、レジスト剥離、エッチングによって電気回路の形成を行う方法がある。
【０００４】
したがって、使用する感光性樹脂組成物に要求される特性は、金属に対する強い密着性、エッチング液やめっき薬品に対する耐薬品性、剥離性等である。
【０００５】
特開昭６２−７４９１２号公報には、下記式（ＩＩ）
【化２】
2004004635.tif 000002
で示される不飽和基を１分子中に３個以上有するエチレン性不飽和化合物を用いて、レジストの剥離性が改善された感光性樹脂組成物が開示されている（Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はＨ又はＣＨ３、ｎは整数）。しかしながら、Ｒ１＝Ｒ２＝Ｈのポリエチレングリコール鎖を有するエチレン性不飽和化合物を用いた場合、剥離性が改善されるものの、レジストの形状が悪くなり、エッチング時にラインギザを発生したり、レジストの可撓性や耐めっき性等がまだ充分でない。また、Ｒ１＝Ｈ、Ｒ２＝ＣＨ３又はＲ１＝ＣＨ３、Ｒ２＝Ｈのポリプロピレングリコール鎖を有するエチレン性不飽和化合物を用いた場合、良好な可撓性を有するものの、感度やテンティング性が低下したり、アルカリ現像液中で分離しやすく、スカムの原因となり、基板に付着するとショート、断線の原因となる等の問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の従来技術の問題点を解消し、優れた耐めっき性、可撓性及び剥離性を有し、現像スカムの発生しない感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、１分子中にポリエチレングリコール鎖とポリプロピレングリコール鎖とを組み込んだエチレン性不飽和化合物を用いることによって上記の問題点を解決したものである。
【０００８】
すなわち、本発明は、（Ａ）一般式（Ｉ）
【化３】
2004004635.tif 000003
〔式中、Ｒ１は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ２はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ３はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ２とＲ３とは必ず異なる基であり、ｍ及びｎは繰り返し単位の個数を示しそれぞれ１以上の整数である〕で示される不飽和基を１分子中に３個以上有するエチレン性不飽和化合物、（Ｂ）有機ハロゲン化合物、（Ｃ）フィルム性付与ポリマー並びに（Ｄ）活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤及び／又は光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物並びに該組成物の層とこれを支持する支持体フィルムとからなる感光性エレメントに関する。
【０００９】
次に、本発明の感光性樹脂組成物について詳細に説明する。まず、（Ａ）成分であるエチレン性不飽和化合物は、前記一般式（Ｉ）においてＲ１は水素又はメチル基を表す。ｍ及びｎはそれぞれ１以上の整数であるが、ｍとｎの和が２〜１０であることが好ましい。ｍとｎの和が１０を超えると、レジスト形状が劣る傾向がある。なお、一般式（Ｉ）における−Ｒ３Ｏ−及び−Ｒ２Ｏ−の基は、必ずしもそれぞれこの位置でｎ個連続及びｍ個連続して存在する必要はない。すなわち、ランダムに存在してもよいし、ブロック的に存在してもよい。
【００１０】
一般式（Ｉ）で示される不飽和基を１分子中に３個以上有するエチレン性不飽和化合物としては、例えば、グリセリルポリエトキシポリプロポキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンポリエトキシポリプロポキシトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールポリエトキシポリプロポキシトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールポリエトキシポリプロポキシテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタンポリエトキシポリプロポキシトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリエトキシポリプロポキシトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリエトキシポリプロポキシテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリエトキシポリプロポキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリエトキシポリプロポキシヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。（Ａ）成分であるエチレン性不飽和化合物は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１１】
本発明の感光性樹脂組成物において、（Ａ）成分であるエチレン性不飽和化合物の使用量は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対して１０〜８０重量部とすることが好ましく、２０〜５０重量部とすることがより好ましい。（Ａ）成分の使用量が少なすぎると、耐現像液性が低下する傾向があり、多すぎると感光性樹脂組成物としての粘度が低下し、エッジフュージョンが発生する傾向がある。
【００１２】
本発明の感光性樹脂組成物において、上記一般式（Ｉ）で示される不飽和基を１分子中に３個以上有するエチレン性不飽和化合物以外の（Ｅ）他のエチレン性不飽和化合物を添加することができる。このような（Ｅ）他のエチレン性不飽和化合物としては、感度が高いという点から、アクリレート単量体又はメタクリレート単量体の使用が好ましく、例えば、多価アルコールにα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、例えば、ビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）アクリレート等、グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレート等、多価カルボン酸、例えば、無水フタル酸等と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質、例えば、β−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等とのエステル化物、アクリル酸若しくはメタクリル酸のアルキルエステル、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、トリレンジイソシアネートと２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリル酸エステルとの反応物やトリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとシクロヘキサンジメタノールと２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリル酸エステルとの反応物等のウレタン（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００１３】
本発明の感光性樹脂組成物における（Ｂ）成分である有機ハロゲン化合物としては、活性光により容易にハロゲンラジカルを遊離するもの又は連鎖移動により容易にハロゲンラジカルを遊離するものが好ましく、これらは感度が向上する等の好ましい結果を与える。（Ｂ）成分としては、例えば、四塩化炭素、クロロホルム、ブロモホルム、１，１，１−トリクロロエタン、臭化メチレン、沃化メチレン、塩化メチレン、四臭化炭素、ヨードホルム、１，１，２，２−テトラブロモエタン、ペンタブロモエタン、トリブロモアセトフェノン、ビス−（トリブロモメチル）スルホン、塩化ビニル、塩素化オレフィン等が挙げられる。これらのうち、炭素−ハロゲン結合強度の弱い脂肪族ハロゲン化合物、特に同一炭素上に２個以上のハロゲン原子が結合している化合物、とりわけ有機ブロム化合物が好ましい。トリブロモメチル基を有する有機ハロゲン化合物が一層好ましい結果を与える。
【００１４】
（Ｂ）成分の使用量は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対して０．１〜１０重量部用いることが好ましく、０．２〜５重量部とすることがより好ましい。（Ｂ）成分の使用量が少なすぎるとイメージング性が低下する傾向があり、多すぎるとテント強度が低下する傾向がある。
【００１５】
（Ｃ）成分として用いるフィルム性付与ポリマーには、特に制限はないが、ビニル共重合によって得られる高分子量体が好ましい。ビニル共重合体に用いられるビニル重合性単量体としては、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸α−エチルヘキシル、メタクリル酸ラウリル、アクリル酸エチル、アクリル酸メチルスチレン、ビニルトルエン、Ｎ−ビニルピロリドン、α−メチルスチレン、α−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレート等が挙げられる。
【００１６】
（Ｃ）成分の使用量は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対して２０〜９０重量部とすることが好ましく、５０〜８０重量部とすることがより好ましい。（Ｃ）成分の使用量が少なすぎると、塗膜性、現像性の向上、エッジフュージョンの発生の低下の達成が困難となる傾向があり、多すぎると感度が低下する傾向がある。
【００１７】
（Ｄ）成分である活性線により遊離ラジカルを生成する光開始剤及び光開始剤系についても特に制限はなく、従来知られているものを用いることができる。例えば、ベンゾフェノン、４，４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、４，４′−ジクロロベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、２−エチルアントラキノン、ｔ−ブチルアントラキノン等のアントラキノン類、２−クロロチオキサントン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジル、２，４，５−トリアリ−ルイミダゾール二量体（ロフィン二量体）、アクリジン系化合物等を挙げることができ、これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１８】
（Ｄ）成分の使用量は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対して０．０１〜２０重量部とすることが好ましく、０．０５〜１０重量部とすることがより好ましい。この使用量が少なすぎると、十分な光感度が得られない傾向があり、多すぎると露光の際に組成物の表面での光吸収が増加して内部の光硬化が不十分となる傾向がある。
【００１９】
上記のような（Ａ）〜（Ｄ）成分や（Ｅ）成分の混合順序、混合法等については特に制限はない。なお、本発明の感光性樹脂組成物には、他の副次的成分、例えば、染料、顔料、可塑剤、難燃剤、安定剤などを必要に応じて添加することができる。また、密着性付与剤を使用することもできる。
【００２０】
次に、本発明の感光性エレメントについて詳細に説明する。本発明の感光性エレメントは、支持体フィルム上に前記感光性樹脂組成物の層を積層して形成することにより得られる。支持体フィルム上への感光性樹脂組成物層の形成は、常法により行うことができる。例えば、感光性樹脂組成物をメチルエチルケトン、トルエン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ、この溶液を該支持体フィルム上にナイフコート法、ロールコート法、スプレーコート法、スピンコート法等で塗布し、乾燥することにより行われる。感光層中の残存溶剤量は、特性保持のために２重量％以下に抑えることが好ましい。
【００２１】
本発明に用いられる支持体フィルムは、感光性エレメントの製造時に必要な耐熱性、耐溶剤性を有していることが好ましいが、テフロンフィルム、離型紙等の離型性フィルムを一時的な支持体フィルムとし、この上に感光性樹脂組成物の層を形成した後、この層の上に耐熱性あるいは耐溶剤性の低いフィルムをラミネートし、該一時的な支持体フィルムを剥離して耐熱性あるいは耐溶剤性の低い支持体フィルムを有する感光性エレメントを製造することもできる。また、支持体フィルムは、活性光に対して透明であっても不透明であってもよい。使用しうる支持体フィルムの例として、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等、公知のフィルムを挙げることができる。
【００２２】
長尺の感光性エレメントを製造する場合には、製造の最終段階で該エレメントをロール状に巻き取る。この場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用い、背面処理した支持体フィルムを用いることにより、ロール状に巻き取ったときの感光性樹脂組成物の層の支持体フィルム背面への転着を防ぐことができる。同じ目的、さらに塵の付着を防ぐ目的で、該エレメントの感光性樹脂組成物の層の上に剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。
【００２３】
剥離可能なカバーフィルムの具体例としては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフイルム、テフロンフィルム、表面処理した紙等があり、カバーフィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層と支持体フィルムとの接着力よりも感光性樹脂組成物の層とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。
【００２４】
本発明の感光性エレメントを構成する感光性樹脂組成物の層の厚さは、無電解めっきにより析出させるめっき銅の厚さ等によって異なるが、通常１０〜１００μｍとされる。
【００２５】
本発明における感光性樹脂組成物を溶液として、基板上に塗布し、乾燥後、あるいは感光性エレメントとしてその感光性樹脂組成物の層を基板上に積層した後、像的に露光し、現像してめっきレジストが製造される。
【００２６】
露光及び現像処理は、常法により行える。すなわち、支持体フィルムが活性光に不透明である場合は、支持体フィルムを剥離した後、高圧水銀灯、超高圧水銀灯等の光源を用い、ネガマスクを通して像的に露光する。露光前後の５０〜１００℃での加熱処理は、基板と感光性樹脂層との密着性を向上するために好ましい。
【００２７】
現像処理に用いられる現像液としては、アルカリ水溶液が用いられ、例えば、アルカリ金属の水酸化物の水溶液、アルカリ金属リン酸塩の水溶液、炭酸ナトリウム等のアルカリ金属炭酸塩の水溶液などが挙げられる。特に、炭酸ナトリウムの水溶液が好ましい。
【００２８】
本発明の樹脂組成物のアルカリ現像は、現像液温度が１０〜５０℃、好ましくは２０〜４０℃の温度で、市販の現像機を用いて行うことができる。
【００２９】
このようにしてめっきレジストパターンを形成した後、高圧水銀灯、超高圧水銀灯等の光源を用いて、活性光を再照射することが好ましく、めっきレジストの耐薬品性が向上する。
【００３０】
また、本発明の感光性樹脂組成物の溶液をディップコート法、フローコート法等の方法で基板に直接塗布し、溶剤を乾燥後、直接あるいはポリエステルフィルム等の活性光に透明なフィルムを積層後、前記の感光性エレメントの場合と同様にして、ネガマスクを通して像的に露光し、現像し、さらに好ましくは活性光の露光をすることによっても前記と同様に特性の優れためっきレジストが形成できる。
【００３１】
【実施例】
次に、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれによって制限されるものではない。
【００３２】
合成例１（フィルム性付与ポリマーの製造）
メチルセロソルブ／トルエン＝３：２（重量比）の溶液（以下、溶液Ａと称する）５００ｍｌをフラスコに入れ、８５℃に昇温し、１時間放置した。その後、メタクリル酸２３．７ｇ、メタクリル酸メチル４６．８ｇ、アクリル酸エチル３１．２ｇ、アクリル酸２−エチルヘキシル１．５ｇ及びアゾビスイソブチロニトリル０．１７ｇを溶液Ａ３１．２ｇに溶解したものを４時間かけて滴下し、反応させた。
【００３３】
次いで、メチルセロソルブ７．１ｇを加え、２時間保温し、メタクリル酸０．６ｇ及びアゾビスイソブチロニトリル０．５４ｇを溶液Ａ４．８ｇに溶解したものを反応液に加え、さらに２時間保温した。その後、アゾビスイソブチロニトリル０．０２４ｇをメチルセロソルブ１．２ｇに溶解した溶液を添加して５時間保温した後、ハイドロキノン０．０１ｇをメチルセロソルブ０．２ｇに溶解した溶液を加え、冷却した。得られた重合体を以下、ポリマー▲１▼と称する。ポリマー▲１▼は、不揮発分が３８．５重量％、ガードナー粘度が２５℃で１１０秒、重量平均分子量が８４，０００であった。なお、この重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算した値である。
【００３４】
実施例１〜８及び比較例１〜３表１に示す配合（単位は重量部）で感光性樹脂組成物溶液を調製し、各々の溶液を厚さ２３μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製、登録商標ルミラー）に乾燥後の膜厚が５０μｍとなるように塗工し、乾燥し、厚さ３５μｍのポリエチレンフィルムで被覆して感光性エレメントを得た。なお、表１中、ＢＰＥ−１０は新中村化学株式会社製ビスフェノールＡポリオキシエチレンジメタクリレートを意味し、エチレン性不飽和化合物ａ〜ｉは、一般式（Ｉ）における記号が表２に示すものを表す化合物を意味する。
【００３５】
【表１】
2004004635.tif 000004
【００３６】
【表２】
2004004635.tif 000005
【００３７】
得られた各感光性エレメントについて、次に示す試験を行い、得られた結果を表５に示した。なお、これらの試験において、感光性エレメントの積層は、基板温度２５℃、積層温度１１０℃、積層圧力（ラミネーターのエアシリンダー圧力）３．５ｋｇ／ｃｍ２、積層速度１．５ｍ／分の条件で行った。
【００３８】
（１）耐めっき性
得られた感光性エレメントを基材の上に前記の条件で積層し、ネガフィルムを適用し、３ｋＷの高圧水銀灯（オーク製作所社製、ＨＭＷ−２０１Ｂ）で６０ｍＪ／ｃｍ２の露光を行った。この際光感度を評価できるように、光透過量が段階的に少なくなるように作られたネガフィルム（光学密度０．０５を１段目とし、１段ごとに光学密度が０．１５ずつ増加する２１段のステップタブレット）を用いた。光感度はステップタブレットの段数で示され、このステップタブレットの段数が高いほど光感度が高いことを示している。
【００３９】
次いで、ＰＥＴを除去し、現像処理したものを、脱脂後、流水水洗を１分間行い、次いで過酸化水素／硫酸の１０／２０容量％水溶液中に２分間浸漬した。さらに流水水洗を１分間行った後、１０重量％硫酸水溶液浴に１分間浸漬し、再び流水水洗を１分間行った。次いで、硫酸銅めっき浴〔硫酸銅７５ｇ／ｌ、硫酸１９０ｇ／１、塩素イオン７５ｐｐｍ、カパーグリームＰＣＭ（メルテックス社製、商品名）５ｍｌ／ｌ〕に入れ、硫酸銅めっき浴２５℃、３Ａ／ｄｍ２で４０分間行った。硫酸銅めっき終了後、直ちに水洗し、続いて、１０重量％ホウフッ化水素酸水溶液浴に１分間浸漬し、続いて半田めっき浴〔４５重量％ホウフッ化錫６４ｍｌ／ｌ、４５重量％ホウフッ化鉛２２ｍｌ／ｌ、４２重量％ホウフッ化水素酸２００ｍｌ／ｌ、プルティンＬＡコンダクティビティソルト（メルテックス社、商品名）２０ｇ／ｌ、プルティンＬＡスターター（メルテックス社、商品名）４０ｍｌ／ｌ〕に入れ、２５℃、２Ａ／ｄｍ２で２０分間行った。半田めっき終了後、水洗を行い、乾燥した。
【００４０】
耐めっき性を調べるため、乾燥後、直ちにセロテープを貼り、これを垂直方向に引き剥がし、レジストの剥がれの有無を調べた（テープテスト）。その後、上方から光学顕微鏡で半田めっきのもぐりの有無を観察した。半田めっきのもぐりを生じた場合は、透明なレジストを介してその下部に観察される。その結果を後記の表５に示す。
【００４１】
（２）剥離性
得られた感光性エレメントを基材の上に前記の条件で積層し、５ｃｍ×７ｃｍの長方形の開口部（光透過部）を有するネガフィルムを適用して、２１段ステップタブレットで８段になるような露光量で露光し、現像した。次に、５０℃の３重量％の水酸化ナトリウム水溶液を入れたビーカーに現像後の試料を浸漬し、レジスト（光硬化被膜）を剥離し、剥離片の大きさと剥離時間（秒）を測定し、結果を後記の表５に示した。剥離片の大きさの評価は、表３に示した基準によって行った。
【００４２】
【表３】
2004004635.tif 000006
【００４３】
（３）クロスカット性
得られた感光性エレメントを基材の上に前記の条件で積層し、（２）と同様にして露光し、現像した。次いで、ＪＩＳ−Ｋ５４００の方法で、クロスカット性を評価し、結果を後記の表５に示した。評価は、表４に示した基準で行った。クロスカット性の評価点数が高いものは、可撓性及び密着性に優れる。
【００４４】
【表４】
2004004635.tif 000007
【００４５】
（４）レジスト形状
得られた感光性エレメントを基材の上に前記の条件で積層し、２１段ステップタブレットで８段になるような露光量で露光後、現像して１２０μｍ／１２０μｍ＝ライン／スペースのレジストパターンを得た。走査型電子顕微鏡（日立製作所製、Ｓ−２１００Ａ）でレジストの形状を観察し、評価した。ライン形状に凹凸があるかどうかを評価し、その結果を後記の表５に示した。評価は下記の基準により行った。
【００４６】
○　ライン形状に凹凸なし
×　ライン形状に凹凸あり
（５）スカム発生性
得られたエレメントの感光層だけを０．２ｍ２取り出し、１重量％炭酸ナトリウム水溶液に加え、撹拌機で常温で２時間撹拌した。得られたエマルジョンに所定量のノニオン系消泡剤を０．１重量％になるように添加し、さらに１０分撹拌して一昼夜放置した。その後、スカムの発生の有無を観察した。
【００４７】
【表５】
2004004635.tif 000008
【００４８】
【発明の効果】
本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは、下地金属（銅箔）への密着性が良好で、耐めっき性、可撓性、レジスト形状及び剥離性等に優れ、現像液中でのスカム発生がない。