(57)【要約】【課題】簡単な構成で、精度の高いパターンを基板などのワーク上に形成できる液滴吐出装置を提供することを目的とする。【解決手段】ステージ４上に載置されるガラス基板５に対して液滴を吐出するノズルを配列した吐出ヘッド群３を備え、撮像装置１２で取得したガラス基板５のアライメントマーク２１からガラス基板５の位置のずれ量を演算し、このずれ量に相当するデータ数をシフトした吐出データを作成し、ノズルからの液滴の吐出を制御するように構成した。【選択図】    図１
2004337702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出してワーク表面にパターンを形成するにあたり、前記パターンのデータを読み取って、液滴の吐出タイミングを制御する吐出データを作成し、前記吐出データに従って吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出装置において、
ワークの位置を検出する位置検出手段と制御装置とを備え、前記制御装置は、前もって設定された前記ワークの位置と前記位置検出手段で検出した前記ワークの位置とのずれ量を演算すると共に、前記パターンのデータであって、格子状に配列したピクセルから構成するデータを、前記ワークの位置ずれの方向に前記ずれ量に相当するデータ量だけシフトさせて前記吐出データを作成する構成を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記吐出ヘッドのノズルの配列方向と直交する方向に前記ワークを搬送する搬送機構を備え、前記制御装置は、前記ワークの搬送方向、または、前記ノズルの配列方向の少なくとも一方にデータをシフトさせることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記パターンを形成する前記ワークの表面を面内回転させる回転機構を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
液滴を吐出してワーク表面にパターンを形成するにあたり、前記パターンのデータを読み取って、液滴の吐出タイミングを制御する吐出データを作成し、前記吐出データに従って吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出方法において、
前記ワークの位置と検出し、前もって定めた前記ワークの位置とのずれ量を演算し、前記ワークの位置ずれの方向に、前記ずれ量だけ前記吐出ヘッドまたは前記ワークの位置の少なくとも一方を移動させた後に液滴と吐出させることを特徴とする液滴吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークに向かって液滴を吐出して所望のパターンを形成させる液滴吐出装置および液滴吐出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話機、携帯型コンピュータなどといった電子機器の表示部として、液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置などが用いられている。例えば、液晶装置では、ガラス、プラスチックなどによって形成された基板の表面に、赤、緑、青のドット状の各色のフィルタエレメントを、いわゆるストライプ配列、デルタ配列またはモザイク配列などといった所定の配列で並べてカラーフィルタを形成している。
【０００３】
また、このようなカラーフィルタの形成方法としては、赤、緑、青のそれぞれの色素の液滴を噴出する色素滴噴出ヘッドをスキャンさせながら、ガラス基板上に塗布したアクリル樹脂に液滴を噴出し、固着させる方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平２−１７３７０３号公報（第２頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、各液滴は、基板上の前もって定めた位置に固着させる必要があるので、大面積の基板上に多数のカラーフィルタを形成する場合には、基板の位置を精度良く調整する機構が必要であった。特に、基板上に形成するパターンが微細なカラーフィルタや、複雑な形状を有する回路などである場合には、高精度の整機構を設けなければならない。さらに、基板の位置を調整する機構の駆動に時間がかかる場合には、１枚の基板当たりのタクトタイムが長くなることがある。
本発明は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、簡単な構成で、精度の高いパターンを基板などのワーク上に形成できる液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決する本発明の請求項１にかかる発明は、液滴を吐出してワーク表面にパターンを形成するにあたり、前記パターンのデータを読み取って、液滴の吐出タイミングを制御する吐出データを作成し、前記吐出データに従って吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出装置において、ワークの位置を検出する位置検出手段と制御装置とを備え、前記制御装置は、前もって設定された前記ワークの位置と前記位置検出手段で検出した前記ワークの位置とのずれ量を演算すると共に、前記パターンのデータであって、格子状に配列したピクセルから構成するデータを、前記ワークの位置ずれの方向に前記ずれ量に相当するデータ量だけシフトさせて前記吐出データを作成する構成を有することを特徴とする液滴吐出装置とした。
【０００７】
この液滴吐出装置は、前もって設定してあった位置からずれた位置にワークが搬入された場合に、そのようなワークであっても正しい位置に液滴を着弾させるように、位置ずれの方向およびずれ量に応じたデータ処理を制御装置が行い、吐出するタイミングなどを調整する。具体例をあげると、パターンをビットマップ形式のデータで作成した場合に、位置ずれ量に相当するデータ量だけデータ列をシフトする。
【０００８】
請求項２にかかる発明は、請求項１に記載の液滴吐出装置において、前記吐出ヘッドのノズルの配列方向と直交する方向に前記ワークを搬送する搬送機構を備え、前記制御装置は、前記ワークの搬送方向、または、前記ノズルの配列方向の少なくとも一方にデータをシフトさせることを特徴とする。
【０００９】
この液滴吐出装置は、ワークのずれ量をノズルの配列方向およびワークの搬送方向に分解し、これらの方向に沿ってデータをシフトさせる。例えば、ワークの搬送方向にデータをシフトする場合には、同じノズルで吐出タイミングを遅らせたり、早めたりする。また、ノズルの配列方向にデータをシフトする場合には、吐出タイミングを変化させたり、吐出させるノズルを変更したりする。
【００１０】
請求項３にかかる発明は、請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置において、前記パターンを形成する前記ワークの表面を面内回転させる回転機構を備えることを特徴とする。
【００１１】
この液滴吐出装置は、ワークを面内回転させることでワークの回転方向の位置ずれを修正する。直線方向の位置ずれは、上述したように、位置のずれ量に相当するデータ数を制御装置においてシフトさせることで補正する。
【００１２】
請求項４にかかる発明は、液滴を吐出してワーク表面にパターンを形成するにあたり、前記パターンのデータを読み取って、液滴の吐出タイミングを制御する吐出データを作成し、前記吐出データに従って吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出方法において、前記ワークの位置と検出し、前もって定めた前記ワークの位置とのずれ量を演算し、前記ワークの位置ずれの方向に、前記ずれ量だけ前記吐出ヘッドまたは前記ワークの位置の少なくとも一方を移動させた後に液滴と吐出させることを特徴とする液滴吐出方法とした。
【００１３】
この液滴吐出方法によれば、吐出データに変更を加えるのではなく、吐出ヘッドの位置、またはワークの位置、あるいは吐出ヘッドおよびワークの位置を、ずれ量に応じて変更した後に液滴を吐出する。ずれ量の検出には、例えば、ワークに形成したアライメントマークと、液滴吐出装置側の撮像装置を用いることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は液滴吐出装置であるインクジェット装置の構成を示す斜視図である。図２は制御装置のブロック図である。
【００１５】
図１に示す本実施形態の液滴吐出装置であるインクジェット装置１は、制御装置２からの指令に応じて吐出ヘッド群３から液滴を吐出し、ステージ４に載置したワークであるガラス基板５上に所定のパターンを形成するもので、吐出ヘッド群３の配置方向と直交する方向にガラス基板５が搬送される構成を有する。なお、以下において、吐出ヘッド群３の配置方向は、液滴を吐出するノズルの配列方向と同一であり、この方向をＸ方向する。ガラス基板５の搬送方向をＹ方向とする。ＸＹ平面内における面内回転方向をθ方向とする。
【００１６】
吐出ヘッド群３は、基台６から立設する支柱７間に、ステージ５を跨ぐようにＸ方向に平行に架設したＸ方向軸８に固定してある。この吐出ヘッド群３は、Ｘ方向軸８に沿って細長形状を有し、１列に配列した複数の吐出ヘッドから構成してある。吐出ヘッドの配列長さは、ガラス基板５に形成するパターンのＸ方向の長さ以上である。各吐出ヘッドには、Ｘ方向に沿って、液滴を吐出するノズルがガラス基板５に向かって多数穿設してある。液滴を吐出する機構としては、吐出させるインクを貯溜するチャンバをノズルごとに設け、チャンバの壁面を構成する圧電素子を電圧制御により変形させて、チャンバの容積を変化させ、連通するノズルから所定の量のインクを液滴として吐出させるものがあげられるが、吐出ヘッドの構成はこれに限定されるものではない。なお、例えば、各吐出ヘッドのノズルの穿設間隔（ピッチ）に対して、必要とされる分解能が半分であった場合には、Ｘ方向に１／２ピッチずらした吐出ヘッドを２列配置する。このように吐出ヘッドを多数配列すると、分解能を高めることができる。ここで、分解能とは、ガラス基板５に形成するパターンのサイズの変化量に相当する。つまり、パターンが５０μｍの線幅と６０μｍの線幅とからなる場合には、１０μｍの分解能が必要となる。
【００１７】
ガラス基板５を載置するステージ４は、ガラス基板５を位置決めして載置する不図示のピンなどを備える載置部４１を、不図示の回転機構によりベース部４２に対してＸＹ平面上で面内回転可能に連結した構成を有する。また、ベース部４２には、Ｙ方向におけるステージ４の位置を検出するためにＹ軸に沿って基台６に取り付けたリニアスケール１５のスケールを読み取るエンコーダ４３を取り付けてある。なお、回転機構としては、載置部４１の中心を軸支する支持ピンと、載置部４１の端部をＸ方向、またはＹ方向に押圧して載置部４１を支持ピン回りに回転させるプッシャピンと、プッシャピンを進退させるアクチュエータとがあげられる。また、支持ピン自体を回転させるモータでも良い。
【００１８】
さらに、このステージ４は、Ｘ方向と直交するように敷設してあるＹ方向軸９に沿って移動可能に構成になっている。ステージ４をＹ方向に移動させる搬送機構としては、Ｙ方向軸９上に配列した永久磁石１０と、ステージ４のベース部４１の下側に固設したプレート１１にＹ方向に沿って、かつ、永久磁石１０に近接させて配列した複数のコイル（不図示）とから構成されるリニアモータがあげられる。
【００１９】
制御装置２は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）や、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）や、入出力用のインターフェイス、発振回路などをバス接続した構成を有し、インクジェット装置１を統括して制御する。制御装置２に入力するデータとしては、ガラス基板５に形成するパターンをビットマップ形式などの所定の形式に則って作成したデータと、ステージ４の位置情報とがあげられる。制御装置７から出力するデータとしては、ステージ４のコイルの制御信号と、ステージ４の回転機構の制御信号と、吐出ヘッド群３の制御信号とがあげられる。吐出ヘッド群３の制御信号としては、発振回路で形成したクロック信号と、ノズルごとに吐出タイミングの制御するデータである吐出データなどがある。
【００２０】
また、制御装置２を機能ブロックに分割すると図２のようになる。すなわち、制御装置２は、吐出データの設定値の入力を受け付ける吐出データ設定値入力部２２、吐出ヘッド群３の吐出ヘッドの設定値の入力を受け付ける吐出ヘッド設定値入力部２３と、ガラス基板５の位置に応じてビットマップデータに行ったり、ステージ４の回転機構の駆動量を演算したりする補正値を演算する補正演算部２４と、吐出データを作成する吐出データ作成部２５と、外部の各種機器との入出力を制御する入出力ＩＦ（Ｉｎｔｅｒ  Ｆａｃｅ）２６とを有する。
【００２１】
さらに、ガラス基板５にパターンを形成するために制御装置２に取り込まれるデータである吐出データ設定値と、吐出ヘッド設定値と、ビットマップデータと、制御装置２からの出力データである吐出データについて説明する。
吐出データ設定値は、ガラスサイズやパターンの大きさ、パターンの形成ピッチなどの情報である。
吐出ヘッド設定値は、使用するヘッド数、ノズル数、配置について情報である。
【００２２】
ビットマップデータは、ガラス基板５に形成するパターンを設計する際に作成するベクトルデータからなるＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ａｉｄｅｄ  Ｄｅｓｉｇｎ）データを、ＸＹ格子に多数のピクセルを配列したデータ構成を有するビットマップ形式に変換したデータである。例えば、図３（ａ）に示すようなカラーフィルタ３１をＣＡＤ装置で設計した場合に、ビットマップデータは、図４に示すようなイメージのビットマップを与えるデータとなる。
【００２３】
図４のビットマップで現されるイメージは、横方向が図１のＸ方向に対応し、縦方向がＹ方向に対応する。本実施形態では、吐出ヘッド群３がＸ方向の１列分（Ｙ＝０のライン）に相当するノズル数を有するので、Ｘ方向の各ピクセルが吐出ヘッド群３のノズル位置に相当する。このため、図４のイメージに相当するデータが吐出データとなる。すなわち、このビットマップのＸ方向の各ピクセルがノズルからの液滴の吐出のオンまたはオフを示す。ノズルからの液滴の吐出のオン、オフとは、例えば、４列目では、ピクセルｐ３３およびピクセルｐ４３に対応するノズルが液滴を吐出し（オン）、ピクセルｐ３５に対応するノズルは液滴を吐出しない（オフ）ことである。また、Ｙ方向は時間の経過を示す。例えば、吐出開始のときは、Ｙ＝０の列のデータが吐出ヘッド群３の各ノズルの制御信号となる。また、最初の液滴の吐出後に１ピクセルに相当する所定距離だけステージ４が移動した後に、Ｙ＝１の列のデータが吐出ヘッド群３の各ノズルの制御信号となる。さらに、各ピクセルには吐出させるインクについての情報が含まれている。これにより、例えば、フィルタ片Ｒのピクセルに相当する位置では、赤色の色素を含有するインクを吐出させ、他の色素を含有するインクが吐出されることはない。
【００２４】
ここで、本実施形態のガラス基板５およびガラス基板５の表面に形成されるパターンについて図１および図３を用いて説明する。
ガラス基板５には、図３（ａ）に示すように、携帯電話のディスプレイに用いられる液晶表示装置などのカラーフィルタ３１を形成することができる。カラーフィルタ３１は、赤色用のフィルタ片Ｒと、緑色用のフィルタ片Ｇと、青色用のフィルタ片Ｂとを平行に配列（ストライプ配列）したものを１画素に対応するフィルタ（パターン）とし、このようなフィルタをＸ方向およびＹ方向にそれぞれ所定数だけ配列した構成を有する。また、ガラス基板５に形成するパターンは、図３（ｂ）に一例を示すような配線３２とコンデンサ３３とを有する回路でも良い。なお、回路は、配線３２、コンデンサ３３の他に、抵抗や、コイル、フィルタなどの回路素子や、これらの組み合わせであっても良い。
【００２５】
このようなパターンは、１枚のガラス基板５に多数形成できるように、つまり、いわゆる多面取りできるようになっている。そして、各パターンを正確に形成するために、ガラス基板５には、位置決めの基準として活用できるアライメントマーク２１（図１参照）を形成してある。
【００２６】
なお、アライメントマーク２１を利用したガラス基板５の位置決めを行うために、インクジェット装置１は、ガラス基板５のアライメントマーク２１を撮像する位置検出手段である撮像装置１２を備える。撮像装置１２は、基台６から立設する支柱１３に架設した撮像軸１４の所定位置に固定してある。所定位置とは、各撮像装置１２の視野内にアライメントマーク２１が入るような位置である。なお、制御装置２に入力されるステージ４の位置情報とは、この撮像装置１２の情報と、上述のエンコーダ４３で読み取ったリニアスケール１５の情報とからなる。
【００２７】
次に、ガラス基板５にパターンを形成する手順について説明する。なお、以下においてインクジェット装置１は、１パスでフィルタ片Ｒ，Ｇ，Ｂを形成できるものとする。したがって、吐出ヘッド群３には、フィルタ片Ｒを形成する赤色の色素を含有するインクと、フィルタ片Ｇを形成する緑色の色素を含有するインクと、フィルタ片Ｂを形成する青色の色素を含有するインクとを別々に吐出するノズルを有する。
【００２８】
まず、インクジェット装置１よりも前段に配置した図示しない供給装置で、前処理工程の終了したガラス基板５を空のステージ４上に移載する。
制御装置２は、ステージ４のコイルに電流を通電させて、ステージ４を所定位置に達するまでＹ方向に移動させる。ここでの所定位置とは、ガラス基板５のアライメントマーク２１が撮像装置１２の視野内に入る位置である。
【００２９】
アライメントマーク２１が撮像装置１２の視野内に入ったら、補正演算部２４が撮像装置１２で取得したアライメントマーク２１の像を画像処理し、撮像装置１２の視野の中心からアライメントマーク２１の中心までのずれ量を演算する。さらに、補正演算部２４は、２つのアライメントマーク２１の中心を結ぶ仮想線と、Ｘ方向とのなす角度を求める。この角度は、ガラス基板５のθ方向のずれ量に相当するので、この角度に相当する駆動信号を作成して入出力ＩＦ２６からステージ４の回転機構に送信し、回転機構を稼動させて載置部４１を回転させる。これにより、ガラス基板５のθ方向の角度が修正される。
【００３０】
θ方向の角度を修正したら、補正演算部２４は、再び撮像装置１２の視野の中心からアライメントマーク２１の中心までのＸ方向のずれ量と、Ｙ方向のずれ量とをそれぞれ演算する。そして、演算結果を吐出データ作成部２５に受け渡す。
【００３１】
一方、吐出データ作成部２５は、前もってカラーフィルタ３１のＣＡＤデータから変換したビットマップデータと、吐出データ設定値入力部２２から取得した吐出データ設定値と、吐出ヘッド設定値入力部２３から取得した吐出ヘッド設定値とを取得し、バッファメモリに格納してあり、これらと上述のＸ方向のずれ量と、Ｙ方向のずれ量とから吐出ヘッド群３を制御する吐出データを作成する。
【００３２】
例えば、アライメントマーク２１が、ビットマップのＸ方向で、かつピクセル数が増加する方向（位置ずれの方向）に、２ピクセル分に相当する距離だけずれた位置にあるときには、図５に示すように、Ｘ方向のずれ量に相当するデータ列として、２列のダミーデータ列をＸ＝０のピクセル側からＹ方向に沿って挿入し、その分だけ、元のビットマップのデータを位置ずれの方向にシフトさせる。このようにして作成されるデータが、液滴の吐出位置をＸ方向にオフセットさせた吐出データとなる。つまり、元のビットマップＢ１のピクセルｐ３３は、補正後のビットマップＢ２ではピクセルｐ５３となり、Ｘ方向に２つずれた位置にあるノズルから液滴が吐出されることになる。一方、例えば、Ｘ方向ではあるが、ピクセル数が減少する方向（位置ずれの方向）に、ガラス基板５の位置がずれていた場合には、ずれ量に相当するピクセル数だけ、Ｙ方向に沿ってデータ列を削除し、元のビットマップのデータをその分だけ位置ずれの方向にシフトさせて吐出データとする。
【００３３】
また、アライメントマーク２１が、ビットマップのＹ方向で、かつピクセル数が増加する方向（位置ずれの方向）に、１ピクセル分に相当する距離だけ搬送方向で手前にあるときには、図６に示すように、Ｙ方向のずれ量に相当するデータ列として、１列のダミーデータ列をＹ＝０のピクセル側からＸ方向に沿って挿入し、その分だけ、元のビットマップのデータをＹ方向で、かつ、ピクセル数が増加する方向（位置ずれの方向）にシフトさせて、液滴の吐出位置をＹ方向にオフセットさせた吐出データとする。まり、元のビットマップＢ１のピクセルｐ３３は、補正後のビットマップＢ３ではピクセルｐ３４となる。これは、元の吐出タイミングに比べて、ガラス基板５がＹ方向に１列分だけ送れたタイミングで吐出されることに相当する。一方、例えば、アライメントマーク２１がＹ方向に１ピクセル分に相当する距離だけ前進した位置にある場合には、１ピクセル分のデータ列をＸ方向に沿って、Ｙ＝０のピクセル側から削除し、その分だけビットマップのデータをＹ方向で、かつ、ピクセル数が減少する方向にシフトさせ、これを吐出データとする。
【００３４】
そして、アライメントマーク２１がＸ方向およびＹ方向にそれぞれ所定ピクセル数に相当する距離だけずれた位置にあるときには、位置ずれの方向、および、ずれ量に応じて、上述した処理を行い、元のビットマップをＸ方向およびＹ方向にそれぞれ必要なデータ量だけ位置ずれの方向にシフトさせ、シフト量に相当する分だけ液滴の吐出位置や吐出タイミングをオフセットさせた吐出データを作成する。
【００３５】
制御装置２は、このように必要に応じてデータをシフトさせて吐出データを作成したら、この吐出データを入出力ＩＦ２６から吐出ヘッド群３に出力する。
吐出ヘッド群３の各吐出ヘッドのノズルは、この吐出データに従って、液滴を吐出すべきノズルから所定量の液滴をガラス基板５の表面に向けて吐出する。また、制御装置２は、１ライン分の吐出データにより吐出した液滴がガラス基板５の表面に着弾してから、次の１ライン分の吐出データにより吐出した液滴がラス基板５の表面に着弾するまでの間に、ステージ４を１ピクセル分に相当する距離だけ前進させる。ノズルの吐出タイミングと、ステージ４の移動タイミングとは、発振回路で発生させたクロック信号により同期させることができる。
【００３６】
以降は、ステージ４を順送りしながら、吐出データのすべてのラインに基づいて吐出ヘッド群３から液滴を吐出させ、ガラス基板５上に所定のピッチでフィルタ片Ｒ，Ｇ，Ｂを形成する。フィルタ片Ｒ，Ｇ，Ｂを形成したガラス基板５は、インクジェット装置１から搬出され、不図示の搬出装置から焼成工程などの次工程に送られる。なお、インクジェット装置１が、フィルタ片Ｒのみを形成する装置である場合には、インクジェット装置１から搬出されたガラス基板５が、フィルタ片Ｇを形成する他のインクジェット装置や、フィルタ片Ｂを形成する他のインクジェット装置に、順番に移送され、カラーフィルタ３１が形成される。この場合の吐出データは、装置ごと、つまりフィルタ片Ｒ、Ｇ，Ｂごとに作成される。
【００３７】
このように、本実施形態では、固定した吐出ヘッド群３に対して、ガラス基板５を移動させながらパターンを形成するに際し、ガラス基板５の位置ずれを回転方向のずれと、直線方向のずれとに分解し、回転方向の位置ずれをガラス基板５の面内回転で修正し、直線方向の位置ずれに応じてデータをシフトするようにした。これにより、ガラス基板５の位置がずれたときでも、常に正しい位置に液滴を着弾させることができ、単な構成で精度の高いパターンをガラス基板５上に形成できる。また、Ｘ方向、Ｙ方向の位置ずれを機械的に修正する場合に比べて、吐出するノズルや、液滴の吐出タイミングの制御が容易であるので、ガラス基板５の位置がずれている場合でも簡単な装置構成でパターンを容易に形成できる。さらに、ステージ４に対するガラス基板５の載置位置の精度が高くない場合であっても高精度のパターンを形成することができる。
【００３８】
次に、本発明の第二実施形態について図面を参照して説明する。なお、前記実施形態と同一の構成要素には同じ符号を付している。また、重複する説明は省略する。
【００３９】
図７に示す本実施形態の液滴吐出装置であるインクジェット装置５１は、吐出ヘッド群５３が、ステージ４およびガラス基板５の上方に架設したＸ方向軸８に沿って移動可能であることを特徴とする。
【００４０】
吐出ヘッド群５３は、液滴を吐出するノズルをＸ方向に沿って複数穿設した吐出ヘッドを少なくとも１つ備え、そのＸ方向の長さはガラス基板５のＸ方向の長さよりも短い。なお、上述のように、吐出ヘッドの配列は、Ｘ方向に沿って１列であっても良いし、２列以上であっても良い。
【００４１】
吐出ヘッド群５３をＸ方向軸８に沿って往復移動させる走査手段は、吐出ヘッド群５３のキャリッジ５４にＸ方向に沿って配設したコイル（不図示）と、コイルに近接するようにＸ方向軸８に配設した永久磁石５５とからなるリニアモータである。このような走査手段を備えることで、吐出ヘッド群５３をガラス基板５の上方で、精度の良くＸ方向に走査することができる。
【００４２】
また、このインクジェット装置５１を制御する制御装置２は、図２に示す構成を有すると共に、入出力ＩＦから出力するデータとして、上述のステージ４のコイルへの制御信号と、ステージ４の回転機構の制御信号と、吐出ヘッド群３の制御信号とに加えて、吐出ヘッド群５３のキャリッジ５４のコイルへの制御信号が付加される。
【００４３】
パターン形成時には、インクジェット装置５１が、ガラス基板５のＸ方向、Ｙ方向、およびθ方向の位置ずれを撮像装置１２を用いて測定し、θ方向のずれをステージ４の回転機構を修正した後にビットマップのデータに基づいて吐出ヘッド５３をＸ方向に往復移動させながら必要な場所に液滴を吐出する。また、液滴の吐出と連動させてステージ４を順送りし、ガラス基板５に必要なパターンを形成する。
【００４４】
ここにおいて、吐出ヘッド群５３は、図４に例示するビットマップのＸ方向の１ラインに相当するノズル数を有しないので、吐出データのＸ方向のデータ列は、吐出ヘッド群５３の各ノズルの移動軌跡に相当する。つまり、１つのノズルについて吐出をオンまたはオフするデータが、所定の周期ごとに配列した構成になっている。所定の周期としては、吐出に使用するノズルの両端の間の長さに相当する距離や、隣り合うノズルのピッチの半分の長さに相当する距離などがあげられる。ガラス基板５にＸ方向の位置ずれがあった場合には吐出ヘッド群５３のコイルに通電して吐出ヘッド群５３を位置ずれの量だけ移動させた後に同じノズルから液滴を吐出する。なお、吐出データのＹ方向が時間の経過を示すことは上述と同じであり、Ｙ方向に位置ずれがあった場合には位置ずれの量に応じてステージ４を順送りしてから吐出を開始する。Ｘ方向およびＹ方向の両方に位置ずれがあった場合には、吐出ヘッド群５３の位置およびステージ４（ガラス基板５）の位置ずれの量に応じて修正した後に液滴を吐出する。
【００４５】
本実施形態では、吐出ヘッド群５３を移動させながら液滴を吐出するので、ノズルを穿設したピッチよりも短い間隔で液滴を着弾させることができ、ガラス基板５上に形成するパターンの分解能を向上させ、高精度のパタンを形成することができる。
【００４６】
なお、本発明は、前記した各実施形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、Ｘ方向に吐出ヘッド群５３を移動させる走査手段や、Ｙ方向にステージ４を移動させる搬送機構は、ステッピングモータなどの回転角度を高精度に制御可能なモータと、このモータに係合したリードスクリューとから構成しても良い。この場合は、リードスクリューをＸ方向またはＹ方向に平行に架設し、キャリッジ５４またはステージ４にリードスクリューと螺合するナットを設ける。
【００４７】
Ｘ方向軸８をＹ方向に往復移動可能に構成し、吐出ヘッド群３，５３をＹ方向にも走査可能に構成しても良い。
また、制御装置２は、ビットマップ形式のデータを読み取って処理を行うとしたが、ＣＡＤデータを取り込んでビットマップ形成にデータ変換した上で上述のデータ処理を行う構成であっても良い。
さらに、Ｙ方向にガラス基板５の位置がずれていた場合には、データを削除する代わりにステージ４のコイルに通電してステージ４を進めても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態における液滴吐出装置であるインクジェット装置の構成を示す斜視図である。
【図２】制御装置の構成を示すブロック図である。
【図３】ガラス基板上に形成するパターンを例示する図であり、図３（ａ）はカラーフィルタを示し、図３（ｂ）は回路を示す図である。
【図４】ガラス基板上に形成するパターンを説明する図である。
【図５】データ処理の概要を説明する図である。
【図６】データ処理の概要を説明する図である。
【図７】本発明の第二実施形態における液滴吐出装置であるインクジェット装置の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，５１      インクジェット装置（液滴吐出装置）
２      制御装置
３，５３      吐出ヘッド群（吐出ヘッド）
５      ガラス基板（ワーク）
１０    永久磁石
１２    位置検出手段
２４    補正演算部
２５    吐出データ作成部
【図１】
2004337702.tif 000003
【図２】
2004337702.tif 000004
【図３】
2004337702.tif 000005
【図４】
2004337702.tif 000006
【図５】
2004337702.tif 000007
【図６】
2004337702.tif 000008
【図７】
2004337702.tif 000009