(57)【要約】【課題】　ＭＣｒＡｌＸ合金粒子をコールドスプレーして基板上にオーバーレイコーティングを形成する方法を提供する。【解決手段】　ＭＣｒＡｌＸ合金粒子のガス力学的な溶射方法が、Ｍが１つ以上のＮｉ、Ｃｏ、およびＦｅから選択され、ＸがＭ、Ｃｒ、およびＡｌ以外の元素である、固体相ＭＣｒＡｌＸ合金粒子をその中に同伴しかつ粒子の融点より低い温度に粒子を保つガス流温度を有する超音速ガス流を用意する工程と、超音速ガス流中の固体相粒子を、加熱しないニッケルまたはコバルト基超合金基板に衝突させて、基板上にＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングを付着させる工程からなる。【選択図】　図１
2004076157.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　ａ）Ｍが１つ以上のＮｉ、Ｃｏ、およびＦｅ、およびその組合せから選択され、ＸがＭ、Ｃｒ、およびＡｌ以外の元素である、固体相ＭＣｒＡｌＸ合金粒子をその中に含みかつ粒子の融点より低い温度に粒子を保つガス流温度を有する超音速ガス流を用意する工程と、ｂ）前記超音速ガス流中の前記固体相粒子を、ニッケルまたはコバルト基超合金基板に衝突させて、基板上にＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングを付着させる工程を含むニッケルまたはコバルト基超合金基板のコーティング方法。
【請求項２】
　前記ＭＣｒＡｌＸ合金粒子は、Ｙ、希土類元素、および反応性元素、およびそれらの組合せより成るグループから選択されるＸにより構成される請求項１に記載の方法。
【請求項３】
　前記粒子は、約２０μｍ以下の平均粒径を有する請求項１に記載の方法。
【請求項４】
　前記粒子は、約１０μｍ以下の平均粒径を有する請求項３に記載の方法。
【請求項５】
　前記ガス流温度は、１００〜８００℃の範囲である請求項１に記載の方法。
【請求項６】
　衝突を受けるとき、前記基板は雰囲気空気温度である請求項１に記載の方法。
【請求項７】
　前記粒子は、重量％で、１４％〜３５％Ｃｒ、４％〜３０％Ａｌ、０．１％〜３％Ｘ、およびＮｉ、Ｃｏ、およびＦｅ、およびそれらの組合せより成るグループから選択される残分から実質的に構成される請求項１に記載の方法。
【請求項８】
　超合金基板上に付着した、溶射されたままのＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングを熱処理し、コーティングと基板間に拡散接合を形成する工程を含む請求項１に記載の方法。
【請求項９】
　前記固体相粒子がエアフォイル基板に衝突する請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
　請求項１〜７のいずれか１項において、ニッケルまたはコバルト基超合金基板およびその上に溶射されたＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングから構成されるコーティング処理されたガスタービンエンジン構成部品。
【請求項１１】
　タービンエアフォイルである請求項１０に記載の構成部品。
【請求項１２】
　ガスタービンエンジンのタービン動翼のチップ用の密封面の部分を構成するシュラウドブロックである請求項１０に記載の構成部品。
【請求項１３】
　冷却穴を有する外部表面および前記冷却穴を塞ぐことなく前記表面上に溶射された前記コーティングを有するタービン動翼である請求項１０に記載の構成部品。
【請求項１４】
　前記コーティングは、プロフィルメーターによる測定において３００マイクロインチより小さい表面粗さを有する請求項１０に記載の構成部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、ＭＣｒＡｌＸ合金粒子をコールドスプレーして基板上にオーバーレイコーティングを形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　Ｍが１つ以上のＮｉ、Ｃｏ、およびＦｅから選択されるＭＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングは、高温耐食性および耐酸化性コーティングとして、ガスタービンエンジンの（動翼および静翼等の）タービンエアフォイルやシュラウドを含むタービン構成部品のような機材に応用される。シュラウドは、よく知られているようにタービンブレードチップが回転する場合、タービンブレードがシールする環状のシール面をいっしょになって形成する。過去において、そのようなＭＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングが、様々な技術により応用されてきた。例えば、初期にはＭＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングは、電子ビーム物理蒸着（ＥＢ−ＰＶＤ）を用いて応用された。熱溶射技術は、このＥＢ−ＰＶＤ蒸着プロセスにつきもののいくつかの欠点を克服するために開発された。この熱溶射技術には、今日広く用いられている、減圧プラズマ溶射（ＬＰＰＳ）、高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）、および大気プラズマ溶射が含まれる。
【０００３】
　減圧プラズマ溶射において、ＭＣｒＡｌＹ合金の粉末粒子は融点より高温の高温プラズマジェットに加熱されて、１気圧より低い、一般に５０Ｔｏｒｒより低い低圧に溶射環境を保った真空チャンバー内の基板に向けて噴射される。粉末粒子の加熱および速度は、減圧雰囲気下での運転用に設計され改良されたプラズマトーチを用いて達成される。
【０００４】
　高速フレーム溶射コーティング法は、プラズマではなく燃焼トーチを用いて、熱エネルギーおよび運動エネルギーをＭＣｒＡｌＹ合金の粉末粒子へ移送する超音速フレーム溶射プロセスである。粒子は、基板に衝突する前に、その融点より高い温度へトーチにより加熱される。通常この方法は局所的な大気圧雰囲気において溶射環境中で行われ、トーチは手動によりあるいは自動システムを用いて操作される。通常コーティングされる構成部品は、テーブルや駆動システムに取付けられる。
【０００５】
　ＭＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングに応用されるＬＰＰＳプロセス、ＨＶＯＦプロセス、および大気プラズマ溶射プロセス等の熱溶射プロセスは、いくつかの欠点がある。例えば、中空のエアフォイル基板上に適用された熱溶射コーティングは、エアフォイル基板の外部表面上の表面膜冷却穴を覆い隠す。改良型冷却機構を持つエアフォイルを熱溶射によりコーティング処理すると、例えば、冷却穴の上にあるコーティングを腐食して取去ることにより酸が覆い隠された冷却穴を通して出て行くように、中空エアフォイル基板中に熱い酸を送液するなどして、コーティング処理後の冷却穴を開口しなければならない。別法として、ＭＣｒＡｌＹコーティングに穴を開けて下にある冷却穴を露出することができる。酸ポンプおよび穴開け作業は高価で時間がかかる。
【０００６】
　溶射したままのコーティング面に高価で時間のかかるショットピーニングや研磨作業を行いエンジン製造業者が要求するエアフォイル表面仕上げ（例えば、７５マイクロインチより細かい表面仕上げ）を達成する必要があるような、溶射したままのＭＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングは粗い表面（例えば、３００マイクロインチより粗い）を呈するという点において、そのような熱溶射プロセスは不利である。
【０００７】
　そのような熱溶射プロセスは、付着率（最初に溶射された粒子と基板に付着した粒子の割合）が低いという点から非効率である。例えば、ＨＶＯＦプロセスの付着率は、一般にわずか３０％〜３５％である。熱溶射粒子は１ポンドあたり４０ドル〜６０ドル費用がかかるので、低付着率は高価な原料を非常に浪費することになる。
【０００８】
　ＨＶＯＦプロセスやプラズマ溶射プロセスによりＭＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングを利用する際、エアフォイル基板の表面は、コーティングと基板間に機械的な結合が生成されるように粗くなければならない（例えば、２００マイクロインチより大きい表面粗さ）。基板に要求される表面粗さは、アグレッシブグリットブラスト作業（例えば、１６グリットアルミナ粒子を用いて５５〜６５ｐｓｉ）により達成される。グリット粒子は基板表面中に埋め込まれて、例えば米国特許第６，１９４，０２６号に記載されるようなグリット粒子除去作業が必要となる。
【特許文献１】米国特許第６，１９４，０２６号　最後に、熱溶射プロセスでは、コーティング付着に先立って基板をかなりの温度に加熱することが必要である。例えば、ＬＰＰＳプロセスを用いてＭＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングを適用する場合、プロセスは、コーティング付着の前に４分間以上の逆アーク洗浄を行った後に、４分間以上約７６０〜９８０℃（１４００〜１８００°Ｆ）に基板を加熱する必要がある。コーティング前の加熱および逆アーク洗浄には、基板にコーティング処理する全時間の５０％以上を費やしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
　本発明の課題は、ＭＣｒＡｌＸ合金粒子をコールドスプレーして基板上にオーバーレイコーティングを形成する方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
　本発明は、Ｍが１つ以上のＮｉ、Ｃｏ、およびＦｅから選択され、ＸはＭ、Ｃｒ、およびＡｌ以外の元素であって好適には１つ以上のＹ、希土類元素、および反応性元素から選択される、固体相ＭＣｒＡｌＸ合金粒子をその中に同伴しかつ粒子の融点より低い温度に粒子を保つガス流温度を有する超音速ガス流を用意する工程と、超音速ガス流中の固体相粒子を、ニッケルまたはコバルト基超合金基板に衝突させて、基板上にＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングを付着させる工程からなる、ＭＣｒＡｌＸ合金により構成される粒子のガス力学的な溶射方法を提供する。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
　本発明の例示的な実施例において、ＭＣｒＡｌＸ合金より構成される粒子は、好適には約２０μｍ以下、さらに好適には１０μｍ以下の平均粒径（直径）を有して、付着率を実質的に増加させかつ溶射したままのコーティング表面粗さを実質的に減少させる。
【００１２】
　本発明の別の例示的な実施例において、溶射したままのＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングは、大気雰囲気中にある加熱していない超合金基板上に付着される。
【００１３】
　本発明の別の例示的な実施例において、超合金基板上に付着した溶射したままのＭＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングは、熱処理されてコーティングと基板間の拡散接合を形成する。
【実施例】
【００１４】
　本発明の上記優位性は、次の詳細な説明と図面を参照することにより、より容易に明らかになるであろう。
【００１５】
　本発明の実施例は、ニッケルまたはコバルト基超合金基板上にＭＣｒＡｌＸ合金オーバーレイコーティングを付着するためのＭＣｒＡｌＸ合金により構成される粒子のガス力学的な溶射に関する。ＭＣｒＡｌＸ合金は、タービン動翼および静翼を含むエアフォイル、シュラウドブロック、およびその他のタービン構成部品のようなタービン構成部品あるいはタービンエンジンではない構成部品上にオーバーレイコーティングまたは層として施される耐高温腐食性および耐酸化性合金である。オーバーレイコーティングによるということは、溶射したままのコーティングはコーティングと基板間の冶金学的な拡散接合や拡散層により基板に結合しているのではなく、基板への機械的結合により基板と結合しているということを意味する。これらの合金において、Ｍ合金元素は、Ｎｉ、Ｃｏ、およびＦｅ、およびそれらの組合せからなるグループから選択される。Ｘ合金元素は、Ｍ、Ｃｒ、およびＡｌ以外の元素から構成される。Ｘは、Ｙと、Ｃｅおよび／またはＬａ等の希土類元素と、およびＳｉ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｋおよび／またはＣａおよび／またはＭｇ等のアルカリ土類金属、およびその他の反応性元素（ここで、反応性元素とは、コーティングの耐酸化性を損なう、安定な硫化物、フッ化物、リン化物、あるいはＳ、Ｂ、Ｐ等の種を持つその他の化合物のことを言う）等の反応性元素、および２つ以上のＹ、希土類元素、および反応性元素の組合せからなるグループから好適に選択される。
【００１６】
　一般にＭＣｒＡｌＸコーティングは、重量％で、約１４％〜約３５％Ｃｒ、約４％〜約３０％Ａｌ、約０．１％〜約３％Ｘ（Ｘは１つ以上の上記元素から選択される）、および実質的にＭの残分（Ｍは鉄および／またはニッケルおよび／またはコバルトである）から実質的に構成される。
【００１７】
　本発明は、固体相ＭＣｒＡｌＸ粒子をその中に同伴しかつ粒子の融点より低い温度にＭＣｒＡｌＸ粒子を保つガス流温度を有する超音速ガス流を用意する工程と、超音速ガス流中の固体相粒子を、ニッケルまたはコバルト基超合金基板に衝突させて基板上にＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングを付着させる工程からなる。本発明は空気、窒素、およびそれらの混合物のようなその他のキャリヤーガスを用いて実施することが可能であるが、好適にはヘリウムより成る圧縮キャリヤーガスのソース１０を備える、本発明を実施する装置を図１に示す。圧縮キャリヤーガスは、一般に１００〜６００ｐｓｉｇの圧力範囲にある。例示目的であり限定ではないが、４００ｐｓｉのヘリウムの高圧シリンダーが本発明の方法を実施するために用いられる。圧縮キャリヤーガスは、それぞれ導管１３と１５を経由してガス予備加熱器１２および粉末粒子供給器１４へ供給される。各バルブ１６と１８が、ガスを遮断するため導管１３と１５中に設けられる。
【００１８】
　ガス予備加熱器１２は、ＭＣｒＡｌＸ粒子が熔解せず超音速流中において固体相のままであるように、キャリヤーガス（例えばＨｅ）を雰囲気よりは高く溶射されるＭＣｒＡｌＸ粒子の融点より十分低い温度に予備加熱するように機能する。ガス予備加熱器は、従来の電気抵抗ガスヒーター、または本明細書の一部を構成するものとしてその教えをここに援用する米国特許第５，３０２，４１４号に記載されるようなガス予備加熱器等の圧縮ガスを加熱可能なその他のあらゆる型のヒーターにより構成することができる。
【００１９】
　圧縮され予備加熱されたガスが、ガス予備加熱器１２から導管２４を経由してチャンバー２２へ入るのに対して、粉末粒子供給器１４は、導管２０を経由して、ＭＣｒＡｌＸ粒子を混合チャンバー２２へ選択された粉末吐出量で調節しながら供給するように機能する。粉末粒子供給器１４は、本明細書の一部を構成するものとしてここに援用する米国特許第５，３０２，４１４号に記載されるようなドラム型の供給器により構成することができる。本発明は、限定ではないが、回転送り車、送りねじ、または流動送り床に基礎を置くその他の粉末粒子供給器を用いて実施することができる。
【００２０】
　圧縮キャリヤーガスとＭＣｒＡｌＸ粉末粒子の混合物は、ガス分布バッフル３０ａ、収束（音速の）区画３０ｂ、および発散（超音速の）区画３０ｃを有する超音速（中細）ノズル３０を通して流れ出る。ノズル３０を通る流れにより、キャリヤーガスおよびその中に同伴する粉末粒子は、本明細書の一部を構成するものとしてその教えをここに援用する米国特許第５，３０２，４１４号に記載されるように、マッハ約１〜５．２に相当する３５０〜１８００ｍ／ｓ（メーター／秒）の範囲内の超音速に加速される。超音速ガスジェット流は、加熱されない基板Ｓ上に衝突して、基板上にＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングを付着させる。基板が大気雰囲気温度、すなわち基板Ｓの予備加熱が必要のない状態で、ノズル３０と基板Ｓは大気雰囲気中で付着が行われる。
【００２１】
　次の例は、本発明を限定することなく、本発明をさらに例示するために提供される。Ｒｅｎｅ’４１と呼ばれるニッケル基超合金から成る基板試験片に、本発明による溶射を行い、その基板試験片上にＣｏＮｉＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングを付着した。基板のＲｅｎｅ’４１ニッケル基超合金は、重量％で、１９％Ｃｒ−１１％Ｃｏ−１０％Ｍｏ−５％Ｆｅ−０．０９％Ｃ−１．５％Ａｌ−３％Ｔｉ−残部Ｎｉの公称組成を有する。幅２インチ（約５ｃｍ）、長さ４インチ（約１０ｃｍ）、厚さ１／８インチ（約３．２ｍｍ）の寸法を有する板状の基板試験片であり、溶射に先立って４０〜６０ｐｓｉの空気圧で２２０グリットの酸化アルミニウム粒子を用いてグリットブラストにより予備処理を行った。Ｐｒａｘａｉｒ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社からＣＯ−２１０−６とＣＯ−２１０−２３として商業的に入手可能である、異なる粒径のＣｏＮｉＣｒＡｌＹ粉末を用いた。重量％で、３１．４％Ｎｉ−２０．５％Ｃｒ−９％Ａｌ−０．９％Ｙ−残部Ｃｏの公称組成を有する粉末を溶射して熱処理した後に、コーティングの分析を行った。２つの異なる粒径の粉末、すなわち６．４μｍの平均粒径（ＣＯ−２１０−６）と１４．８μｍの平均粒径（ＣＯ−２１０−２３）を有する粉末は、異なる溶射試験において溶射された。平均粒径は、粒子の半分が所定の寸法より大きな直径を持ちその他半分の粒子が所定の寸法より小さい直径を持ったことを意味する。
【００２２】
　例示目的であり限定ではないが、試験に用いられた溶射パラメータには、ａ＝２ｍｍでｂ＝１０ｍｍの寸法の長方形断面を有する図１の超音速ノズル区画３０ａが含まれた。ノズル区画３０ｃの長さＬは、１００ｍｍであった。図１の予備加熱器１２で４００℃に予備加熱された４００ｐｓｉのヘリウムは、圧縮キャリヤーガスとして用いられた。ノズル区画３０ａは、大気雰囲気温度である基板試験片から２５ｍｍのノズル高さがあった。これらのパラメータにより、ヘリウムの１９〜２５ｍｍ／秒の超音速ジェット中の粒子速度が達成された。米国特許第５，３０２，４１４号に記載されるものと構成と動作の点において類似の上記ドラム型供給器が、３〜５Ｋｇ／時の粉末の吐出量が可能なように用いられた。ＣｏＮｉＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングが、加熱しない基板試験片上に０．００４（約２００μｍ）〜０．００８インチ（約４００μｍ）の厚さに付着した。円形断面やその他の断面形状のノズル３０あるいはその他のノズル寸法およびその他の溶射パラメータを本発明の実施において用いることができるので、本発明は上記長方形状のノズルおよび溶射パラメータに限定されるものではない。
【００２３】
　前述の２つの異なる粒径寸法を用いる溶射プロセスの付着率は、初期重量がわかった板状試験片に重量のわかった粉末を溶射し、溶射後の板状試験片の最終重量を求めて、その上の付着した粉末による各板状試験片の重量増加を計算し、各試験片の重量増加を粉末が溶射された試験片の初期重量により割りさらに１００をかけることによって求めた。付着率を図２に示す。図２からわかるように、粉末粒子の寸法が減少すると、ＣｏＮｉＣｒＡｌＹ粉末についての付着率が増加した。５５％の最大付着率は、６．４μｍの平均粒径について達成された。これは、ＬＰＰＳやＨＶＯＦプロセスを用いる溶射において観測されるものと比較してコーティング粉末に対して著しいコスト節約になる付着効率の実質的な向上（例えば、１．７〜１．８倍高い）を意味する。粉末粒子は本発明による溶射プロセスの実施において溶解しないので、過剰に溶射したＭＣｒＡｌＸ粉末の再利用が可能であり、それにより粉末の利用率をさらに向上させ、原料コストをさらに減らすことができる。
【００２４】
　溶射したままのＣｏＮｉＣｒＡｌＹコーティングの表面仕上げ状態を、溶射方向に平行な方向および直角な方向についてプロフィルメーターを用いて測定した。複数の測定（各方向に６点）を平均化し、図３に示すように、平均表面仕上げを粉末粒径の関数としてプロットした。図３は、平均粒径が減少するとともに表面仕上げが向上するということを明らかにしている。２４３マイクロインチの表面仕上げが、６．４μｍの平均粒径を用いてＣｏＮｉＣｒＡｌＹコーティングに対して達成された。溶射された両方の粒径に関して述べると、コーティングの表面仕上げは、コーティングの表面仕上げが３００マイクロインチより大きな、ＬＰＰＳプロセス、ＨＶＯＦプロセス、および大気プラズマ溶射プロセスを用いて得られるものと同等かそれ以上であった。ガスタービンエンジン製造業者は１００マイクロインチ以下の表面仕上げを要求するので、本発明により達成される向上した表面仕上げ状態は、ＬＰＰＳプロセス、ＨＶＯＦプロセス、および大気プラズマ溶射プロセスによって溶射される同様なＭＣｒＡｌＸコーティングよりもコーティングの後処理工程が少なくて済む。
【００２５】
　例えば、ＬＰＰＳにより付着される一般のＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングに対する一般のコーティングの後処理工程は、最初に拡散熱処理（例えば、１０８０℃で２〜５時間）を行って、コーティングと基板間の拡散接合を形成し、さらにコーティング合金中に平衡相を形成する。次に、４００秒間ショットピーニングを行い、約１２５マイクロインチの表面仕上げを達成する。次に、熱処理されピーニング処理されたコーティングを、３時間バレル研磨し従来のメディアボウル研磨工程を用いて７５マイクロインチより細かい表面仕上げにしなければならない。
【００２６】
　比較すると、２４３マイクロインチのコーティング表面仕上げを有する６．４μｍの平均粉末粒径を用いて上記試験により付着させたＣｏＮｉＣｒＡｌＹオーバーレイコーティングについては、コーティング処理した基板を拡散熱処理（例えば、１０８０℃で２〜５時間）して、コーティングと基板間の拡散接合と形成し、さらにコーティング合金中に平衡相を形成した。しかし、コーティングの表面仕上げを７９マイクロインチに減少させるためには、わずか２１０秒間のショットピーニングが必要なだけであった。これは、ＬＰＰＳにより付着される一般のＭＣｒＡｌＹコーティングに比較して、ピーニング時間が４７％減少することを意味する。ＣｏＮｉＣｒＡｌＹコーティング上の６９マイクロインチの最終表面仕上げは、ＬＰＰＳにより付着される一般のＭＣｒＡｌＹコーティングの３時間最終表面仕上げに比較して、わずか３０分のメディアボウル研磨時間で得られた。これは、ＬＰＰＳにより付着される一般のＭＣｒＡｌＹコーティングに比較して、研磨時間が８４％減少することを意味する。
【００２７】
　さらに、上記溶射試験は、基板表面の作製によりアグレッシブでないグリットブラストを用いることができ、さらにＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングの許容されるグリーン体の接合強度（拡散熱処理に先立つ）を得ることができるということを実証している。また、本発明は、ＬＰＰＳプロセスにおいて要求される、グリット除去作業、予備加熱作業、および逆アーク洗浄の必要性がないように、溶射付着に先立つ基板の予備加熱なしに実施することが可能である。
【００２８】
　試験結果は、その外部表面に表面膜冷却穴を有するエアロフォイル基板上に付着したＭＣｒＡｌＸオーバーレイコーティングは、ＬＰＰＳプロセスやＨＶＯＦプロセスにより付着したＭＣｒＡｌＸコーティングの特徴であるような、冷却穴を跨いだり塞いだりすることがないということも実証している。
【００２９】
　本発明は、いくつかの実施例に関して示されかつ説明されたが、発明の構成および詳細におけるその他の様々な変更、変形、および省略は本発明の精神と範囲に反することなく実施できるということを当該分野の技術者は理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施例を実施するための溶射装置の概略図である。
【図１Ａ】ノズルの超音速区画の端面図である。
【図２】本発明の実施例により溶射されたＣｏＮｉＣｒＡｌＹ合金粉末について、付着率と平均粒径を示すグラフである。
【図３】本発明の実施例により溶射されたＣｏＮｉＣｒＡｌＹ合金コーティングについて、付着したままの表面仕上りと平均粒径を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３１】
　１０　ソース
　１２　ガス予備加熱器
　１３，１５　導管
　１４　粉末粒子供給器
　１６，１８　バルブ
　２０，２４　導管
　２２　チャンバー
　３０　ノズル
　３０ａ　ガス分布バッフル
　３０ｂ　収束（音速の）区画
　３０ｃ　発散（超音速の）区画
　Ｓ　基板
【図１】
2004076157.tif 000003
【図１Ａ】
2004076157.tif 000004
【図２】
2004076157.tif 000005
【図３】
2004076157.tif 000006