(57)【要約】【課題】低温焼成が可能で電子デバイス等の材料として好適な誘電体磁器組成物を提供することにある。【解決手段】本発明によれば、Ｃａ（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−δで表される組成を有する磁器組成物に、正の温度係数を有するＣａＴｉＯ３を組み合わせた、一般式Ｃａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）１−ｘＴｉｘ］Ｏ３−δで表される固溶体とすることにより、０ｐｐｍ／℃に近い温度係数を実現できる。同時に、この固溶体に低融点化合物であるＢ２Ｏ３を添加することによって、誘電特性を損なうことなく焼成温度を低下させることができる。また、Ｂ２Ｏ３とＢｉ２Ｏ３とを併用することにより、焼成温度のさらなる低温化を図ることができる。これにより、優れた誘電特性を備え、かつ、電極材料として多用されているＡｇやＣｕ等との同時焼成が可能な低温焼成誘電体磁器組成物を提供することができる。【選択図】　　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式Ｃａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）１−ｘＴｉｘ］Ｏ３−δで表される固溶体と、Ｂ２Ｏ３とを含むことを特徴とする低温焼成誘電体磁器組成物。
【請求項２】
Ｂｉ２Ｏ３が添加されていることを特徴とする請求項１に記載の低温焼成誘電体磁器組成物。
【請求項３】
Ｂ２Ｏ３の添加量が、前記固溶体に対して０．５重量％〜４重量％であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の低温焼成誘電体磁器組成物。
【請求項４】
Ｂｉ２Ｏ３の添加量が、前記固溶体に対して３重量％〜７重量％であることを特徴とする請求項１〜請求項３に記載の低温焼成誘電体磁器組成物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、低温焼成誘電体磁器組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
誘電体材料は、近年の情報通信技術の発展により、通信回路の特性を決定する重要な材料となりつつある。このような誘電体に要求される特性としては、一般に、▲１▼マイクロ波帯における比誘電率（εｒ）が高いこと、▲２▼誘電損失が小さいこと、すなわち品質係数（Ｑ・ｆ；但しＱは誘電正接ｔａｎδの逆数、ｆは共振周波数）が高いこと、▲３▼共振周波数の温度係数（τｆ）の絶対値が小さいこと、が挙げられる。
【０００３】
さらに、誘電体磁器組成物を使用してＭＩＣ（マイクロ波集積回路）等の電子デバイスを製造する場合には、同時焼成とよばれる方法が行われる場合がある。この同時焼成とは、焼成前のセラミックス基板（グリーンシート）の上に、導電ペースト等を用いて所定のパターンを印刷しておき、基板の焼成と同時に電極の形成を行うという方法である。この方法は、製造工程の削減や装置の小型化を図ることができ、また、基板の多層化を容易に行うことができる等、種々の利点を有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電極に用いられる導体材料は、高温状態に置かれると溶融・蒸発してしまうため、基板材料として比較的低温で焼成可能なセラミックス材料を選定する必要がある。このため、マイクロ波誘電特性を保持しながら、低温焼成可能な新規の誘電体磁器組成物の開発が求められている。
【０００５】
このような誘電体磁器組成物としては、例えばＢｉＮｂＯ４や、このＢｉＮｂＯ４においてＮｂの一部をＴａで置換したものが知られている。しかし、このものは、化合物中に含まれるＢｉが、電極材料として多用されているＡｇと化学反応するという問題があった。
【０００６】
また、本発明者らは、これまでに、ＡＢＯ３タイプのペロブスカイト構造を有するＣａ（ＬｉａＮｂｂ）Ｏ３−δにおいて、ａ：ｂ＝１：２とされたもの、すなわちＣａ（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−δで表される組成を有する磁器組成物が、優れた特性を有することを見出している。このものは、Ｂサイトのオーダリング構造を有するためにＱ値が高く、誘電特性が従来の材料とほぼ同等であるとともに、１１５０℃という比較的低温での焼成が可能である。
【０００７】
しかしながら、この焼成温度では組成物中のＬｉの蒸気化が起こるため、これを抑制するためにＰｔ容器内で焼成を行うことが必要である。このため作成行程が簡便でなく、製造コストの上昇を招くという問題点が挙げられる。また、約１２００℃以下では溶融・蒸発しない銀−パラジウムのようなの金属材料との同時焼成は可能であるものの、電極材料として多用されているＡｇ（融点９６０℃）やＣｕ（融点１０６０℃）との同時焼成は不可能である。このため、焼成温度の更なる低温化が求められている。
【０００８】
さらに、誘電体を電子デバイスに適用する場合には、幅広い温度域で安定に作動可能であることが求められ、このためには、温度係数τｆが０ｐｐｍ／℃に近いことが要求される。しかし、この磁器組成物の温度係数は−１９ｐｐｍ／℃であり、誘電体デバイスの周波数安定性を実現するためには、この値をさらに０に近づけることが要求される。
【０００９】
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、低温焼成が可能で電子デバイス等の材料として好適な誘電体磁器組成物を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、低温焼成が可能で電子デバイス等の材料として好適な誘電体磁器組成物を提供すべく鋭意研究した結果、Ｃａ（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−δで表される組成を有する磁器組成物に、正の温度係数を有するＣａＴｉＯ３を組み合わせることにより、０ｐｐｍ／℃に近い温度係数を実現するとともに、低融点化合物であるＢ２Ｏ３やＢｉ２Ｏ３を添加することによって、誘電特性を損なうことなく焼成温度を低下させることが可能であることを見出した。本発明は、かかる新規な知見に基づいてなされたものである。
【００１１】
すなわち、本発明は、一般式Ｃａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）１−ｘＴｉｘ］Ｏ３−δで表される固溶体と、Ｂ２Ｏ３とを含むことを特徴とする低温焼成誘電体磁器組成物である。
【００１２】
本発明の固溶体において、ｘの値は０＜ｘ≦０．５であることが好ましい。ｘの値が０．５を超えると、温度係数が過度に大きくなるとともに、Ｌｉ−Ｎｂのオーダリング構造が保たれなくなり、品質係数が低下してしまうため、好ましくない。また、０ｐｐｍ／℃に近い温度係数を実現するためには、０．１５≦ｘ≦０．３であることがより好ましい。なお、この固溶体は格子欠陥を有しており、式中δは酸素の欠損量を表す。
【００１３】
本発明の磁器組成物において、Ｂ２Ｏ３の添加量は、前記固溶体に対して０．５重量％〜４重量％であることが好ましい。添加量がこの範囲よりも少なければ、焼成温度の低温化の効果が充分に得られないため、好ましくない。
【００１４】
また、本発明の磁器組成物には、Ｂ２Ｏ３に加えて、さらにＢｉ２Ｏ３が添加されていてもよい。Ｂｉ２Ｏ３の添加量は、前記固溶体に対して３重量％〜７重量％であることが好ましい。ここで、上述したように、電極材料としてＡｇを使用する場合には、Ｂｉ２Ｏ３中のＢｉがＡｇと化学反応する。しかし、Ｂ２Ｏ３との併用により、Ｂｉ２Ｏ３の添加量を必要最小限とし、化学反応の影響を最小限に抑えつつ、焼成温度の低温化効果を最大限に得ることが可能となる。
【００１５】
本発明の磁器組成物は、上記した固溶体、Ｂ２Ｏ３、およびＢｉ２Ｏ３の他に、必要に応じて焼成助剤などの補助材料が含まれたものであってもよい。
【００１６】
【発明の作用、および発明の効果】
本発明によれば、Ｃａ（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−δで表される組成を有する磁器組成物に、正の温度係数を有するＣａＴｉＯ３を組み合わせた、一般式Ｃａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）１−ｘＴｉｘ］Ｏ３−δで表される固溶体とすることにより、０ｐｐｍ／℃に近い温度係数を実現できる。同時に、この固溶体に低融点化合物であるＢ２Ｏ３を添加することによって、誘電特性を損なうことなく焼成温度を低下させることができる。
また、Ｂ２Ｏ３とＢｉ２Ｏ３とを併用することにより、焼成温度のさらなる低温化を図ることができる。
【００１７】
これにより、優れた誘電特性を備え、かつ、電極材料として多用されているＡｇやＣｕ等との同時焼成が可能な低温焼成誘電体磁器組成物を提供することができる。また、組成物中のＬｉの蒸気化を防止するためのＰｔ容器が不要となるため、製造行程を簡素化でき、製造コストを低下させることができる。
【００１８】
【実施例】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。
【００１９】
［Ｂ２Ｏ３を添加した実施例群］
Ｃａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）１−ｘＴｉｘ］Ｏ３−δ＋３ｗｔ％Ｂ２Ｏ３で表される組成をもつ磁器組成物であって、ｘの値、および焼成温度を種々に変化させたものをを作製し、その特性を調べた。
【００２０】
＜実施例１−１＞
１．試験方法
１）磁器組成物の作製
上記の式においてｘ＝０である磁器組成物を作製した。
純度９９．９％以上のＣａＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、およびＮｂ２Ｏ５の粉末試薬を、磁器組成物中の各元素の組成比に基づいて秤量し、ジルコニアボールを用いたボールミルで２４時間混合し、乾燥した後、９００℃で２０時間仮焼した。仮焼後の粉末を粉砕し、３重量％のＢ２Ｏ３を添加して、再度ボールミルにて２４時間混合した。
【００２１】
次に、この混合物を、一軸加圧成形によって径１０ｍｍ、高さ７ｍｍのペレットに成形した。このペレットについて、１５００ｋｇ／ｃｍ２の圧力流体中で冷間等方加工プレス（ＣＩＰ）により再成形を行った。得られたペレットをアルミナシートに載せて、大気中、１０００℃で４時間焼成した。燒結後のペレットを、直径と高さとの比が２：１となるように鏡面研磨して、磁器組成物を得た。
【００２２】
２）誘電特性
上記１）で得た磁器組成物について、Ｈａｋｋｉ　ａｎｄ　Ｃｏｌｅｍａｎ法（ＪＩＳ　Ｒ　１６２７）に従って、誘電特性を評価した。なお、温度係数τｆは＋２０〜＋８０℃の温度範囲で共振周波数の変化から求めた。
【００２３】
３）密度
上記１）で得た磁器組成物について、アルキメデス法により密度を測定した。
【００２４】
＜実施例１−２＞
上記の式においてｘ＝０．０５である磁器組成物を作製した。
純度９９．９％以上のＣａＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、およびＴｉＯ２の粉末試薬を、磁器組成物中の各元素の組成比に基づいて秤量し、実施例１−１と同様にして磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００２５】
＜実施例１−３＞
焼成温度を１０５０℃として、実施例１−２と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００２６】
＜実施例１−４＞
実施例１−２と同様の方法で、上記の式においてｘ＝０．１である磁器組成物を作製した。但し、焼成温度を９７０℃とした。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００２７】
＜実施例１−５＞
焼成温度を１０００℃とし、実施例１−４と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００２８】
＜実施例１−６＞
焼成温度を１０５０℃とし、実施例１−４と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００２９】
＜実施例１−７＞
焼成温度を１１００℃とし、実施例１−４と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３０】
＜実施例１−８＞
実施例１−２と同様の方法で、上記の式においてｘ＝０．１５である磁器組成物を作製した。但し、焼成温度を９７０℃とした。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３１】
＜実施例１−９＞
焼成温度を１０００℃とし、実施例１−８と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３２】
＜実施例１−１０＞
焼成温度を１０５０℃とし、実施例１−８と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３３】
＜実施例１−１１＞
焼成温度を１１００℃とし、実施例１−８と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３４】
＜実施例１−１２＞
実施例１−２と同様の方法で、上記の式においてｘ＝０．２である磁器組成物を作製した。但し、焼成温度を１０００℃とした。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３５】
＜実施例１−１３＞
焼成温度を１１００℃とし、実施例１−１２と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３６】
＜実施例１−１４＞
実施例１−２と同様の方法で、上記の式においてｘ＝０．３である磁器組成物を作製した。但し、焼成温度を９７０℃とした。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３７】
＜実施例１−１５＞
焼成温度を１０００℃とし、実施例１−１４と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３８】
＜実施例１−１６＞
焼成温度を１０５０℃とし、実施例１−１４と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００３９】
＜実施例１−１７＞
焼成温度を１１００℃とし、実施例１−１４と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００４０】
＜実施例１−１８＞
実施例１−２と同様の方法で、上記の式においてｘ＝０．５である磁器組成物を作製した。但し、焼成温度を９７０℃とした。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００４１】
＜実施例１−１９＞
焼成温度を１０００℃とし、実施例１−１８と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００４２】
＜実施例１−２０＞
焼成温度を１０５０℃とし、実施例１−１８と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００４３】
＜実施例１−２１＞
焼成温度を１１００℃とし、実施例１−１８と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００４４】
［Ｂ２Ｏ３およびＢｉ２Ｏ３を添加した実施例群］
Ｃａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）０．７Ｔｉ０．３］Ｏ３−δ＋３ｗｔ％Ｂ２Ｏ３＋ｙｗｔ％Ｂｉ２Ｏ３で表される組成をもつ磁器組成物であって、Ｂｉ２Ｏ３の添加量（ｙの値）、および焼成温度を種々に変化させたものをを作製し、その特性を調べた。
【００４５】
＜実施例２−１＞
上記の式においてｙ＝１である磁器組成物を作製した。
純度９９．９％以上のＣａＣＯ３、Ｌｉ２ＣＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、およびＴｉＯ２の粉末試薬を、磁器組成物中の各元素の組成比に基づいて秤量し、ジルコニアボールを用いたボールミルで２４時間混合し、乾燥した後、９００℃で２０時間仮焼した。仮焼後の粉末を粉砕し、３重量％のＢ２Ｏ３、および１重量％のＢｉ２Ｏ３を添加して、再度ボールミルにて２４時間混合した。
【００４６】
この混合物について、実施例１−１と同様に一軸加圧成形、冷間等方加工プレス（ＣＩＰ）を行い、焼成して磁器組成物を得た。但し、焼成温度は９２０℃とした。
得られた磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００４７】
＜実施例２−２＞
焼成温度を９４０℃とし、実施例２−１と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００４８】
＜実施例２−３＞
焼成温度を９６０℃とし、実施例２−１と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００４９】
＜実施例２−４＞
焼成温度を９８０℃とし、実施例２−１と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００５０】
＜実施例２−５＞
実施例２−１と同様の方法で、上記の式においてｙ＝３である磁器組成物を作製した。但し、焼成温度を９４０℃とした。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００５１】
＜実施例２−６＞
焼成温度を９８０℃とし、実施例２−５と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００５２】
＜実施例２−７＞
実施例２−１と同様の方法で、上記の式においてｙ＝６である磁器組成物を作製した。但し、焼成温度を９２０℃とした。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００５３】
＜実施例２−８＞
焼成温度を９４０℃とし、実施例２−７と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００５４】
＜実施例２−９＞
焼成温度を９６０℃とし、実施例２−７と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００５５】
＜実施例２−１０＞
焼成温度を９８０℃とし、実施例２−７と同様の組成をもつ磁器組成物を作製した。この磁器組成物について、実施例１−１と同様にして試験を行った。
【００５６】
２．結果と考察
各実施例群における磁器組成物の組成（ｘの値、Ｂ２Ｏ３とＢｉ２Ｏ３の添加量）、焼成温度、密度、および誘電特性を、それぞれ表１、表２に示した。
また、ｘの値と、密度、比誘電率、品質係数、温度係数との関係を示すグラフを、それぞれ図１〜図４に示した。
【００５７】
【表１】
2004083310.tif 000002
【００５８】
【表２】
2004083310.tif 000003
【００５９】
１）Ｂ２Ｏ３を添加した実施例群
表１、図１より、３重量％のＢ２Ｏ３を添加したＣａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）０．７Ｔｉ０．３］Ｏ３−δは、焼成温度９７０℃では密度が低く、１０００℃以上では良好な密度が得られている。このことより、この磁器組成物は、焼成温度１０００℃以上で充分な焼結性が得られることが分かる。ｘの値の増加に伴う密度の低下は、十分な焼結性を得るために比較的高温での焼成を必要とするＣａＴｉＯ３の含有量が増加することに起因して、焼結が不十分となっているためと考えられる。
【００６０】
さらに、焼成温度１１００℃の場合には、ｘの値が０．３以下のもので、密度の低下が起こっている。これは、高温で焼成することにより、Ｌｉの蒸気化が起こっているためと考えられる。一方、焼成温度１０００℃の場合には、このような密度の低下は見られず、Ｌｉの蒸気化は起こっていないと考えられる。
【００６１】
以上より、焼成温度１０００℃にて焼結性に優れた磁器組成物が得られることが分かる。また、この温度では、Ｌｉの蒸気化が起こらないため、従来の製法では必要とされたＰｔ容器内での焼結が不要となり、製造コストの低下が可能となる。
【００６２】
表１、図２、図３より、９７０℃で焼結した磁器組成物の比誘電率、および品質係数は、他のものに比べてかなり低い値を示している。これは、先述したように磁器組成物の密度が低いこと、すなわち充分な焼結性が得られていないことが原因であると考えられる。
【００６３】
また、１０００〜１１００℃で焼結した磁器組成物では、比誘電率はｘの値の増加に伴いほぼ直線的に増加する傾向を示している。
一方、品質係数はｘの値の増加に伴いほぼ直線的に減少する傾向を示し、ｘ＝０．５では約１５０００ＧＨｚまで減少している。これは、上述したように比較的高温での焼成を必要とするＣａＴｉＯ３の含有量が増加することに起因して、焼結が不十分となっているためと考えられる。
【００６４】
表１、図４より、共振周波数の温度係数は、ｘ＝０の場合には約−１７ｐｐｍ／℃であるが、ｘの値が増大するにつれてほぼ直線的に増大し、０．１５≦ｘ≦０．３付近において、ほぼ０ｐｐｍ／℃に近い良好な値を得ることができた。これは、温度係数としてマイナスの値を持つＣａ（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−δと、プラスの値を持つＣａＴｉＯ３とを組み合わせてなる固溶体が形成されたことによるものである。このように、ｘの値を適当に調整することにより共振周波数の温度特性を制御することが可能であることがわかる。
【００６５】
以上のように、Ｃａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）０．７Ｔｉ０．３］Ｏ３−δ、に対し３重量％のＢ２Ｏ３を添加することにより、１０００℃での焼成が可能となる。その時の誘電特性はｘ＝０．２において、εｒ＝４０、　Ｑ・ｆ＝２０４９５ＧｈＺ、τｆ＝４．７ｐｐｍ／℃である。このマイクロ波誘電特性は、Ｐｔ容器内にて１１５０℃の焼成温度でＣａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）０．７Ｔｉ０．３］Ｏ３−δ磁器組成物を焼成した時のマイクロ波誘電特性（εｒ＝３８．６、　Ｑ・ｆ＝２６１００ＧｈＺ、τｆ＝０ｐｐｍ／℃）とほぼ同程度であり、本発明によって、優れた誘電特性を保ちつつ、焼成温度を１５０℃下げることに成功したといえる。この低温焼成化により、融点が１０６０℃であるＣｕとの同時焼成が可能となり、電極としてＣｕを用いたデバイスへの磁器組成物の応用が可能となる。
【００６６】
２）Ｂ２Ｏ３およびＢｉ２Ｏ３を添加した実施例群
表２より、Ｃａ［（Ｌｉ１／３Ｎｂ２／３）０．７Ｔｉ０．３］Ｏ３−δ＋３重量％Ｂ２Ｏ３＋ｙ重量％Ｂｉ２Ｏ３磁器組成物のマイクロ波誘電特性を示す。Ｂｉ２Ｏ３を添加することにより、焼成温度をさらに低温化することができた。特に、Ｂｉ２Ｏ３を６重量％添加した場合には９２０℃での低温焼成が可能となった。さらに、この磁器組成物のマイクロ波誘電特性は（εｒ＝４３．０８から４４．１７、　Ｑ・ｆ＝１０６０６〜１２００００ＧＨｚ、τｆ＝１０．７ｐｐｍ／℃）であり、優れた誘電特性を保ちつつ、焼成温度をさらに下げることに成功したといえる。この低温焼成化により、電極として広く用いられているＡｇ（融点９６０℃）との同時焼成が可能となり、Ａｇを用いたデバイスの開発に充分に対応可能な材料を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】各焼成温度における、ｘの値と密度との関係を示すグラフ
【図２】各焼成温度における、ｘの値と比誘電率との関係を示すグラフ
【図３】各焼成温度における、ｘの値と品質係数との関係を示すグラフ
【図４】ｘの値と温度係数との関係を示すグラフ
【図１】
2004083310.tif 000004
【図２】
2004083310.tif 000005
【図３】
2004083310.tif 000006
【図４】
2004083310.tif 000007