(57)【要約】【課題】隙間や亀裂等の欠陥から生じる不良品を確実かつ容易に発見可能な積層型ガスセンサ素子の検査方法を提供すること。【解決手段】センサセルを有し，かつ被測定ガス側電極を多孔質の拡散抵抗層で被覆積層し，拡散抵抗層１４１を緻密保護層１４２で被覆積層した積層型ガスセンサ素子１を検査するに当たり，積層型ガスセンサ素子１を導電性検査液に浸し，かつ基準電極１３１は導電性検査液２と非接触として，導電性検査液２と基準電極１３１との間に電圧を印加して導電性検査液２と基準電極１３１との間に流れる電流値を測定し，導電性検査液２と基準電極１３１との間で絶縁が確保されているか否かを判定する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質板と該固体電解質板の表面に設けて被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極及び基準ガスにさらされる基準電極とよりなるセンサセルを有し，
かつ上記被測定ガス側電極を多孔質の拡散抵抗層で被覆積層し，更に上記拡散抵抗層を緻密保護層で被覆積層した積層型ガスセンサ素子を検査するに当たり，
上記積層型ガスセンサ素子を導電性検査液に浸し，かつ上記基準電極は上記導電性検査液と非接触として，
上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加して上記導電性検査液と上記基準電極との間に流れる電流値を測定し，上記導電性検査液と上記基準電極との間で絶縁が確保されているか否かを判定することを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。
【請求項２】
請求項１において，上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加する際は，
上記基準電極と電気的に導通し，積層型ガスセンサ素子の外部に露出形成され，上記導電性検査液と接触していない基準側外部端子と上記導電性検査液との間に電圧を印加して行うことを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。
【請求項３】
請求項１または２において，上記導電性検査液と上記基準電極との間に印加する電圧は２５０〜１０００Ｖであることを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において，上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加して上記導電性検査液と上記基準電極との間に流れる電流値が５μＡ以下である積層型ガスセンサ素子を良品と判定することを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において，上記導電性検査液はエタノールであることを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，内燃機関の排気系に設置して燃焼制御に利用する積層型ガスセンサ素子の検査方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
自動車エンジンの排気系に設置して，排気ガス中の各種のガス濃度を測定してエンジンの燃焼制御等に利用する積層型ガスセンサ素子として以下に示す積層型の素子が知られている。
この積層型ガスセンサ素子１９は，後述する図１１に示すごとく，被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極１２１と基準ガス室１５０に面して基準ガスにさらされる基準電極１３１を有する固体電解質板１１と基準ガス室１５０を形成するスペーサ１５とヒータ基板１９１とよりなる。
上記積層型ガスセンサ素子１９において，上記被測定ガス側電極１２１は多孔質の拡散抵抗層１４１で覆われ，積層型ガスセンサ素子１の全周を覆うようにガスを略遮蔽可能な緻密保護層１４４が設けてある。
【０００３】
ところで積層型ガスセンサ素子は，固体電解質板やスペーサ等を構成するグリーンシートを適宜積層して形成した積層体を焼成して作製する。従って，各グリーンシート間の密着が不十分な場合に不良品が発生することがある。また，各グリーンシートや電極等に亀裂が入った不良品が発生することもある。
この不良品を見つけるために，従来は染色検査を利用していた。
【０００４】
【特許文献１】
特開平０７−１２０４２９号公報
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかしながら染色検査では，上記密着不十分な部分や亀裂の生じた部分に十分に染色液が染み込まなければ，不具合を発見することが困難となる。
上述した構成の積層型ガスセンサ素子は全周が緻密保護層で覆われているため，密着不十分な部分や亀裂の発生部分が染色液浸透不十分となって不良品の発見が非常に困難であった。
また，後述する図１１以外の例えば図３，図４にかかるような構成やその他の構成で積層型ガスセンサ素子の表面に緻密保護層を持つ場合は，上記と同様に染色液浸透不十分となって不良品の発見が非常に困難であった。
【０００６】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，隙間や亀裂等の欠陥から生じる不良品を確実かつ容易に発見可能な積層型ガスセンサ素子の検査方法を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題の解決手段】
本発明は，固体電解質板と該固体電解質板の表面に設けて被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極及び基準ガスにさらされる基準電極とよりなるセンサセルを有し，
かつ上記被測定ガス側電極を多孔質の拡散抵抗層で被覆積層し，更に上記拡散抵抗層を緻密保護層で被覆積層した積層型ガスセンサ素子を検査するに当たり，上記積層型ガスセンサ素子を導電性検査液に浸し，かつ上記基準電極は上記導電性検査液と非接触として，
上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加して上記導電性検査液と上記基準電極との間に流れる電流値を測定し，上記導電性検査液と上記基準電極との間で絶縁が確保されているか否かを判定することを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法にある（請求項１）。
【０００８】
本発明の作用効果につき説明する。
本発明にかかる検査方法は，積層型ガスセンサ素子を導電性検査液に浸し，導電性検査液と基準電極との間に電圧を印加して両者の間で絶縁されているか否かによって積層型ガスセンサ素子の良／不良を発見する。
ところで積層型ガスセンサ素子は，センサセルにおける被測定ガス側電極と基準ガス側電極との間に電圧を印加して，被測定ガス中の酸素をイオン化し，この酸素イオンより生じる酸素イオン電流から酸素濃度を測定できるよう構成する。あるいは，被測定ガスと基準ガスとの間の特定ガスの濃度差から被測定ガス側電極と基準電極との間における電位差を測定し，該電位差から特定ガス濃度を測定できるよう構成する。
あるいは，センサセルにおける被測定ガス側電極と基準ガス側電極との間に電圧を印加して，被測定ガス中の特定ガスを分解して酸素イオンを生じせしめ，これによる酸素イオン電流から特定ガス濃度を測定できるよう構成する。
従って，基準ガスにさらされる基準電極は被測定ガスから遮断された状態にあらねばならず，そのように積層型ガスセンサ素子は構成する必要がある。
【０００９】
本発明にかかる検査方法において上記基準電極と積層型ガスセンサ素子の外部を取り巻く導電性検査液との間に電流が流れる場合は，積層型ガスセンサ素子のどこかに隙間や亀裂等が存在し，そこから積層型ガスセンサ素子内部に導電性検査液が流れ込んでしまい，従って導電性検査液と基準電極とが電気的に導通すると考えられる。
導電性検査液と基準電極との間が略絶縁状態である場合は，積層型ガスセンサ素子内部に導電性検査液が殆ど流れ込んでいないと考えられ，従って隙間や亀裂等の欠陥が積層型ガスセンサ素子に殆ど存在しないと考えられる。
【００１０】
そして，本発明にかかる検査方法は，従来の染色液を浸透させ，その結果を目視で観察し欠陥を見つける方法とは異なり，染色液が浸透し難い部分にある欠陥で生じる不良品を発見することができる。
また，導電性検査液と基準電極との間に流れる電流値に基づいて不良品を判別するため，欠陥の状態を数値化しやすく，また判別も高価な画像認識システムを必要とせず，また作業員による目視確認に頼ることなく，自動かつ安価に実現することができる。
【００１１】
以上，本発明によれば，隙間や亀裂等の欠陥から生じる不良品を確実かつ容易に発見可能な積層型ガスセンサ素子の検査方法という効果を得ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明（請求項１）にかかる検査方法は，積層型ガスセンサ素子一般に適用可能であるが，特に緻密で染色液を通し難い緻密保護層を備えた積層型ガスセンサ素子に対する検査に最適である。
また，積層型の積層型ガスセンサ素子としては，酸素濃度を検出する１セル型の酸素センサ素子（限界電流式，酸素濃淡起電力式），自動車エンジン等の内燃機関の排気系において酸素濃度を測定することで空燃比を検出する空燃比センサ素子や理論空燃比（λ点）を検出するλセンサ素子，また２セル式のＮＯｘセンサ素子，ＣＯセンサ素子，ＨＣセンサ素子等がある。
【００１３】
また，本発明において，上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加する際は，
上記基準電極と電気的に導通し，積層型ガスセンサ素子の外部に露出形成され，上記導電性検査液と接触していない基準側外部端子と上記導電性検査液との間に電圧を印加して行うことが好ましい（請求項２）。
この場合には，電圧印加のために積層型ガスセンサ素子内部の基準電極に延設する器具やしくみが不要となって，容易に電圧を印加することができる。
【００１４】
また，上記導電性検査液と上記基準電極との間に印加する電圧は２５０〜１０００Ｖであることが好ましい（請求項３）。
これにより積層型ガスセンサ素子を損傷することなく効率的かつ安価に不良品の選別を行うことができる。
１０００Ｖより電圧が大きい場合，積層型ガスセンサ素子が損傷するおそれもあり，高電圧を印加することによる安全性の確保が困難となるし，また電力消費も大きくなりコスト高となる。
２５０Ｖより小さい場合は，流れる電流が小さくなりすぎて，不良品の発見が困難となるおそれがある。
また，検査に使用する電源機器にかかる負荷，不良品の発見効率を考慮すると，印加する電圧は４９０Ｖ〜５１０Ｖとすることがより好ましい。
【００１５】
また，上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加して上記導電性検査液と上記基準電極との間に流れる電流値が５μＡ以下である積層型ガスセンサ素子を良品と判定することが好ましい（請求項４）。
これにより，本検査方法の信頼性が向上し，検査時間の短縮化を図ることができる。５μＡより大きい場合，良品と不良品の判定において，精度（検出能力）が低下するおそれがある。
【００１６】
また，上記導電性検査液はエタノールであることが好ましい（請求項５）。
本発明において使用可能な導電性検査液は，ある程度の導電性を備え，亀裂等の欠陥に対する浸透性が高く，積層型ガスセンサ素子を変質させたり汚染したりしない物質よりなることが好ましく，これらの要件を満たす物質であるエタノールを用いることが好ましい。
また，純水，エタノールと純水の混合液を利用することもできるし，アルコール類でエタノールと同様の物性を備えるものであれば，問題なく使用することができる。
【００１７】
【実施例】
以下に，図面を用いて本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
本例は，図３，図４に示すごとく，固体電解質板１１と該固体電解質板１１の表面に設けて被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極１２１及び基準ガスにさらされる基準電極１３１とよりなるセンサセル１１０を有し，かつ上記被測定ガス側電極１２１を多孔質の拡散抵抗層１４１で被覆積層し，更に上記拡散抵抗層１４１を緻密保護層１４２で被覆積層した積層型ガスセンサ素子１を検査する方法について説明する。
【００１８】
すなわち，図１，図２に示すごとく，上記積層型ガスセンサ素子１を導電性検査液２に浸し，かつ上記基準電極１３１は上記導電性検査液２と非接触として，上記導電性検査液２と上記基準電極１３１との間に電圧を印加して上記導電性検査液２と上記基準電極１３１との間に流れる電流値を測定し，上記導電性検査液２と上記基準電極１３１との間で絶縁が確保されているか否かを判定する。
【００１９】
本例で検査する積層型ガスセンサ素子１の構造について説明する。
本例の積層型ガスセンサ素子１は，被測定ガス中の酸素を濃度を測る限界電流式の素子である。
図３，図４に示すごとく，固体電解質板１１と基準ガス室形成用のスペーサ１５とヒータ１９とを積層して構成した積層型ガスセンサ素子１であって，固体電解質板１１の一方の面には被測定ガス側電極１２１と，該電極１２１と導通するリード部１２２及び外部端子１２３を有する。
被測定ガス側電極１２１は多孔質で通気性を備えた拡散抵抗層１４１で覆われ，該拡散抵抗層１４１は通気性が殆どない緻密保護層１４２で覆われる。なお，拡散抵抗層１４１の側面１４３は緻密保護層１４２で覆われておらず，ここから被測定ガスが電極１２１付近に浸透する。
【００２０】
固体電解質板１１の他方の面は基準電極１３１と該電極１３１と導通したリード部１３２及び内部端子１３３を有する。内部端子１３３はスルーホール１３４を通じて外部端子１２３と隣接する基準側外部端子１３６と導通する。
基準電極１３１はスペーサー１５にて形成された基準ガス室１５０と対面し，基準ガスにさらされる。
上記スペーサー１５は溝部を備えた柱形状で，この溝部が固体電解質板１１と合わさることで基準ガス室１５０を形成する。基準ガス室１５０は被測定ガスの雰囲気と隔絶され，開口部１５１から大気を導入するよう構成される。
【００２１】
上記ヒータ１９は，ヒータ基板と該ヒータ基板に設けた通電により発熱する発熱体１８１，該発熱体１８１と導通するよう構成したヒータリード部１８２，またヒータ基板１９１に設けたスルーホール１９０を介して発熱体１８１を設けた側と反対の面であり積層型ガスセンサ素子１の外部に露出する面に設けたヒータ端子１８３とよりなる。
なお，ヒータ基板１９１とスペーサ１５，スペーサ１５と固体電解質板１１，固体電解質板１１と拡散抵抗層１４１，拡散抵抗層１４１と緻密保護層１４２との間を別層で接合する構成もある（図示略）。
【００２２】
本例の積層型ガスセンサ素子１に対する検査方法の詳細について説明する。
図１，図２に示すごとく，緻密保護層１４２と拡散抵抗層１４１とが隠れる程度の深さの導電性検査液２に積層型ガスセンサ素子１を浸す。このとき外部端子１２３，基準側外部端子１３６は共に導電性検査液２の外部雰囲気にさらされ，基準ガス室１５０の開口部１５１も外部雰囲気にさらされて，開口部１５１から大気が基準ガス室１５０に自由に出入り可能となる。なお，符合２１は導電性検査液２を満たす検査槽である。
また，本例では，積層型ガスセンサ素子１の先端部１０１から液面２０までの深さをＤとすると，Ｄ＝１８〜３０ｍｍとした。
【００２３】
ここに上記積層型ガスセンサ素子１に生じる可能性のある欠陥としては，
（１）被測定ガス側電極１２１や基準電極１３１に入る亀裂，及び電極１２１，１３１が形成された固体電解質板１１の亀裂
（２）各リード部１２２，１３２，内部端子１３３，外部端子１２３，基準側外部端子１３６に入る亀裂，
（３）緻密保護層１４２と拡散抵抗層１４１との間の密着不良等による隙間，
（４）拡散抵抗層１４１と固体電解質板１１との間の密着不良等による隙間，
（５）固体電解質板１１とスペーサ１５との間の密着不良等による隙間，
が挙げられる。
（１）から（５）の中でも，（１）「被測定ガス側電極１２１や基準電極１３１に入る亀裂，及び電極１２１，１３１が形成された固体電解質板１１の亀裂」は染色液が緻密保護層１４２によって侵透し難く，染色箇所も目視で確認し難いことから従来にかかる染色法で確認し難い欠陥である。
【００２４】
本例は，図２に示すように，導電性検査液２に浸した接地電極２５１と積層型ガスセンサ素子１の基準側外部端子１３６に接した電極２５２との間に超絶縁計２５を備えた検査回路２５０を接続し，５００Ｖの電圧を印加して両者の絶縁状態について測定し，５μＡ以下の電流が流れた素子を良品，それ以外を不良品として選別した。
【００２５】
次に，本例にかかる検査方法と従来の染色法との比較を行った。
本例にかかる検査方法で図３，図４に記載した積層型ガスセンサ素子１を１０本検査した。結果，良品が５本，不良品が５本であった。良品，不良品共に実際に自動車エンジン実機の排気系にガスセンサに内蔵した状態で取り付けて排気ガス中の酸素濃度の測定を行った。その結果，本例にかかる検査方法で良品とされた５本の積層型ガスセンサ素子は正常に酸素濃度を測定することができたが，不良品とされた５本の積層型ガスセンサ素子は酸素濃度の測定ができなかった。よって，本例にかかる検査方法が良品，不良品を確実に識別していることが分かった。
【００２６】
また，染色液浸漬法（１分放置）による検査を，図３，図４に記載した積層型ガスセンサ素子１の１０本に対して行った。検査結果は良品が９本，不良品が１本であった。その後，上記と同様に，良品，不良品共に自動車エンジン実機で排気ガス中の酸素濃度測定を行ったところ，良品とされた積層型ガスセンサ素子の中に異常出力を発するものが４本発見された。異常出力を発した素子について分解断面観察で内部を調べてみると，いずれも上述した（１）〜（５）にかかる欠陥を備えていた。
このように，本例にかかる検査方法は，染色法より確実に欠陥のある積層型ガスセンサ素子を発見できることが分かった。
【００２７】
本例の作用効果について説明する。
基準電極１３１と積層型ガスセンサ素子１の外部を取り巻く導電性検査液２との間に電流が流れる場合，積層型ガスセンサ素子１のどこかに隙間や亀裂等が存在し，そこから積層型ガスセンサ素子１の内部に導電性検査液２が流れ込んでしまい，従って導電性検査液２と基準電極１３１とが電気的に導通していると考えられる。
導電性検査液２と基準電極１３１との間が略絶縁状態である場合は，積層型ガスセンサ素子１の内部に導電性検査液２が殆ど流れ込んでいないと考えられ，従って隙間や亀裂等の欠陥が積層型ガスセンサ素子１に殆ど存在しないと考えられる。
【００２８】
そして，本例にかかる検査方法は，従来の染色液を浸透させ，その結果を目視で観察し欠陥を見つける方法とは異なり，染色液が浸透し難い部分にある欠陥で生じる不良品を発見することができる。
また，導電性検査液２と基準電極１３１との間に流れる電流値に基づいて不良品を判別するため，欠陥の状態を数値化しやすく，また判別も高価な画像認識システムを必要とせず，また作業員による目視確認に頼ることなく，自動かつ安価に実現することができる。
【００２９】
以上，本例によれば，隙間や亀裂等の欠陥から生じる不良品を確実かつ容易に発見可能な積層型ガスセンサ素子の検査方法という効果を得ることができる。
【００３０】
（実施例２）
本例は，実施例１に示した検査方法を実現する検査装置について説明する。
図５に示すごとく，検査装置３は筐体３０の上下に仕切った下部３０２にポンプユニット３２１，Ｒ／Ｂコントローラー３２２を備え，上部３０１に２つの検査槽３６２，ドライエアによるブロー装置３１２，該ブロー装置３１２より送風されるドライエアの排出口３１３，不良品置き場３１５，検査用ヘッド３４１を備えたロボットアーム３４，検査用ヘッド乾燥用の乾燥装置３１４を有する。筐体３０の外部には，パレット台３０３，３０４や超絶縁計３３２，抵抗測定計３３３，記録装置３３４及び操作盤３３１を有する。
【００３１】
検査槽３６２に対し積層型ガスセンサ素子１を図７に示すごとくセットしたパレット３７を配置するが，図６に示すごとく，検査槽３６２には液位を一定に保持するための液位センサ３６５及び該検査槽３６２の液位を一定に保持するに際して排出された余分の導電性検査液を受け止める外側槽３６１がある。また，ポンプ３２１は余分の導電性検査液を回収し，再循環させるために設けてある。また，図６において積層型ガスセンサ素子１は３本のみ記載した。
【００３２】
図８に示すごとく，上記液位センサ３６５は，側面に吸入穴３６６を備えた有底円筒型の本体部３６９と該本体部３６９の内部に設けた一対の電極３６７と該電極３６７にそれぞれ接続したリード線３６８とよりなる。
図８（ａ）に示すごとく，液位センサ３６５が液面２０より上方にある場合は，本体部３６９内の電極３６７は導通していないため，リード線３６８より電圧を印加しても，電流は流れない。
図８（ｂ）に示すごとく，液位センサ３６５を浸すことで，吸入穴３６６より導電性検査液が本体部３６９内に浸入し，電極３６７間が電気的に導通するため，リード線３６８より電圧を印加することで電流が流れる。よって，液面２０が所定の位置以上に上昇したことがわかる。
【００３３】
検査用ヘッド３４１を備えたロボットアーム３４はＲ／Ｂコントローラー３２２によって制御される水平多関節式のアームである。また，検査用ヘッド３４１は，図７に示すごとく，２種類の測定端子３５２，３５３，３５４とパレット７から積層型ガスセンサ素子１をつまんで移送可能に構成した排出用チャック３５１を備える。
【００３４】
２種類の測定端子のうち，１種類は積層型ガスセンサ素子１におけるヒータの電気抵抗を測定し規格を満たすか否かを判別するための抵抗測定計３３３に接続された２本の電気抵抗測定端子３５２，３５３である。他の１種類は実施例１にかかる検査を行う超絶縁計３３２に接続された１本の絶縁測定端子３５４である。また，超絶縁計３３２は別の接地端子を備え，該接地端子は検査の際には検査槽３６２において導電性検査液に浸っている。接地端子は，図６においての図示は省略したが，検査槽３６２の内側面に固定した。なお，接地端子は液中にあってもかまわない。
【００３５】
上記パレット３７は，図６，図９（ａ）に示すごとく，積層型ガスセンサ素子１を保持する保持穴３７０を多数設けた上板３７１，ガスセンサ素子１の先端部を突き当てる下板３７３，両板の間で所定の間隔を保持する支柱３７２よりなる。また，上板３７１には検査前，検査後の識別が容易となるように検査ピン３７４をセットする。
図１０に示すごとく，検査ピン３７４が存在する場合は，別のパレット３７５をパレット３７に積載することができず，容易に区別できる。検査ピン３７２を抜き取った状態が図９（ｂ）である。更に，検査ピン３７４がないパレットは装置の自動起動がかからず検査されない。検査が終了したパレットからはロボットアームが自動で検査ピン３７４を抜き取る。これにより，本検査における未検査品の流出（工程飛び）を防ぐことが可能となる。
【００３６】
次に本例にかかる検査装置３を用いた検査の手順について説明する。
まず，パレット３７に検査すべき積層型ガスセンサ素子１を作業員の手でセットする。１つのパレット３７に１００本の積層型ガスセンサ素子１をセット可能である。検査前後のパレット３７を識別できるように，検査前のパレット３７に対しては検査ピン３７４をセットする。また，積層型ガスセンサ素子１のセットはパレット台３０３，３０４において行った。
【００３７】
次に，パレット３７を検査槽３６２にセットする。
続いて，操作盤３３１から検査装置３を起動すると，検査槽３６２脇にあるパレット自動昇降装置３１１がパレット３７を検査槽３６２内に降ろし，積層型ガスセンサ素子１の所定の箇所まで導電性検査液に浸される。実施例１にかかる積層型ガスセンサ素子１では，液位は積層型ガスセンサ素子１の先端部より１８〜３０ｍｍの位置となるように調整する。この調整の際に余分の導電性検査液は外側槽３６１に排出される。
【００３８】
なお，本例の検査装置３において検査槽３６２は２つある。これは片方の検査槽３６２にパレット３７をセットしている間，他方の検査槽３６２では検査を行うことができるため，検査時間を短縮することができる。
また，本例のように複数の検査槽３６２を備えたタイプの検査装置では効率的に検査槽３６２を個別に稼動できるので，検査液使用の無駄を省くことができる。さらに，設備設計（検査槽配置等）の自由度を高くすることができる。
【００３９】
ついで，検査用ヘッド３４１を，図６に示すごとく検査すべき積層型ガスセンサ素子１の真上に移動させ，最初に電気抵抗測定端子３５２，３５３を積層型ガスセンサ素子１におけるヒータ端子１８３に接触させる。これによりヒータの電気抵抗を測定し，ヒータにかかる不良を見出すことができる。そして，規格を満足しない積層型ガスセンサ素子１を排出チャック３５１にて不良品置き場３１５に運び出す。
なお，電気抵抗測定端子３５２，３５３の接触不良，積層型ガスセンサ素子１の基準側外部端子１３６を設けた面に電気抵抗測定端子３５２，３５３が接触した場合は，抵抗値が無限大となって測定不能となる。この場合は排出チャック３５１にて同じく不良品置き場３１５に運び出す。
【００４０】
続いて，超絶縁測定端子３５４を積層型ガスセンサ素子１の基準電極と電気的に導通した基準側外部端子１３６に，接地端子（図示略）を導電性検査液に浸し，５００±１０Ｖで電圧を印加して超絶縁測定を行う。この測定で流れる電流が５μＡより大きい積層型ガスセンサ素子１を不良品と見なして，排出チャック３５１にて不良品置き場３１５に運び出す。
こうしてパレット３７にセットした積層型ガスセンサ素子１を１本１本チェックして，最終的にパレット３７内から不良品を全て取り除く。
パレット３７内が良品だけとなったら，検査装置３を操作盤３３１から操作して停止させ，検査済みのパレット３７を作業員が検査槽３６２から取り除き，未検査のパレット３７を新たに設置する。
【００４１】
上記検査の際はドライエアのブロー装置３１２を用いて，パレット３７の上を経由して排出口３１３めがけて湿度３０％以下，温度が室温以下のドライエアを送風する。また，検査ヘッド３４１は積層型ガスセンサ素子１を１本検査するごとに乾燥装置３１４から乾燥したエアを送風して乾燥させ，ぬれにより生じる誤判定を防止する。また検査装置３の外部に備え付けたコンピュータからなる記録装置３３４に，抵抗測定計３３３や超絶縁測定計３３２による測定結果を送出して記録する。
以上本例にかかる装置を用いることで，実施例１に記した検査方法で多量の積層型ガスセンサ素子の検査を行うことができる。
【００４２】
（実施例３）
本例にかかる積層型ガスセンサ素子１は，図１１に示すごとく，緻密保護層１４４が積層型ガスセンサ素子１の全周を覆うように設けてある
すなわち，本例の積層型ガスセンサ素子１９は，被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極１２１と基準ガス室１５０に面して基準ガスにさらされる基準電極１３１を有する固体電解質板１１と基準ガス室１５０を形成するスペーサ１５と発熱体１８１を備えたヒータ基板１９１とよりなる。
【００４３】
そして，被測定ガス側電極１２１は多孔質の拡散抵抗層１４１で覆われ，積層型ガスセンサ素子１の全周を覆うようにガスを略遮蔽可能な緻密保護層１４４が設けてある。
その他詳細な構成は実施例１に示した素子と同様であり，本例にかかる積層型ガスセンサ素子について実施例１にかかる検査を行うことで，同様の作用効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，積層型ガスセンサ素子の検査時の説明図。
【図２】実施例１における，積層型ガスセンサ素子の検査方法を示す説明図。
【図３】実施例１における，積層型ガスセンサ素子の展開説明図。
【図４】実施例１における，積層型ガスセンサ素子の要部断面説明図。
【図５】実施例２における，積層型ガスセンサ素子の検査に用いる検査装置の説明図。
【図６】実施例２における，検査槽と該検査槽にセットしたパレットの説明図。
【図７】実施例２における，測定端子と排出チャック，積層型ガスセンサ素子の位置関係を示す説明図。
【図８】実施例２における，液位センサの構造を示す説明図。
【図９】実施例２における，検査の際に積層型ガスセンサ素子をセットするパレットの説明図。
【図１０】実施例２における，検査ピンがささったままのパレットに別のパレットを積層しようとした状態を示す説明図。
【図１１】実施例３にかかる，全周を覆うようにガスを略遮蔽可能な緻密保護層を設けた積層型ガスセンサ素子の説明図。
【符号の説明】
１．．．積層型ガスセンサ素子，
１１．．．固体電解質板，
１２１．．．被測定ガス側電極，
１３１．．．基準電極，
１３６．．．基準側外部端子，
１４１．．．拡散抵抗層，
１４２．．．緻密保護層，
２．．．導電性検査液，
３．．．検査装置，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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