(57)【要約】　　　（修正有）【課題】顕微鏡において、広い範囲に亘って倍率を連続的に変化させ、同時に分解能と視野を大きくすることを可能とするアフォーカルズーム装置を提供する。【解決手段】物体側から見て順次並んだ４つの光学素子群Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４を有し、前記Ｇ１と前記Ｇ４は、位置固定的に配設されると共に、前記Ｇ２と前記Ｇ３は、ズーム倍率を変化させるために可動的に配設され、及び前記Ｇ２と前記Ｇ３との間の距離が増加すると、ズーム倍率が減少する形式のアフォーカルズーム装置において、ズーム比ｚが、ｚ＞１５であること、及びズーム倍率（ＶＺＯ）が最大のときのズーム入射瞳径をＥＮＰとし、顕微鏡の鏡筒レンズの焦点距離をｆＴとし、かつＥＮＰ＞２１ｍｍとする場合、ズーム倍率（ＶＺＯ）が次式：ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴを満たす。【選択図】　　　　　図６
2004004827.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鏡筒レンズを有する顕微鏡で使用可能なアフォーカルズーム装置であって、
物体側から見て順次並んだ４つの光学素子群（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４）を有すると共に、第一光学素子群（Ｇ１）が、正の焦点距離（ｆ１）を有し、第二光学素子群（Ｇ２）が、負の焦点距離（ｆ２）を有し、第三光学素子群（Ｇ３）が、正の焦点距離（ｆ３）を有し、第四光学素子群（Ｇ４）が、負の焦点距離（ｆ４）を有し、
前記第一光学素子群（Ｇ１）と前記第四光学素子群（Ｇ４）は、位置固定的に配設されると共に、前記第二光学素子群（Ｇ２）と前記第三光学素子群（Ｇ３）は、ズーム倍率を変化させるために可動的に配設され、及び
前記第二光学素子群（Ｇ２）と前記第三光学素子群（Ｇ３）との間の距離（Ｄ２３）が増加すると、ズーム倍率が減少する形式のアフォーカルズーム装置において、
ズーム倍率（ＶＺＯ）が最大のときのズーム入射瞳径をＥＮＰとし、顕微鏡の鏡筒レンズの焦点距離をｆＴとし、かつＥＮＰ＞２１ｍｍとする場合、ズーム倍率（ＶＺＯ）が次式：
ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴ
を満たすこと
を特徴とするアフォーカルズーム装置。
【請求項２】
鏡筒レンズを有する顕微鏡で使用可能なアフォーカルズーム装置であって、
物体側から見て順次並んだ４つの光学素子群（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４）を有すると共に、第一光学素子群（Ｇ１）が、正の焦点距離（ｆ１）を有し、第二光学素子群（Ｇ２）が、負の焦点距離（ｆ２）を有し、第三光学素子群（Ｇ３）が、正の焦点距離（ｆ３）を有し、第四光学素子群（Ｇ４）が、負の焦点距離（ｆ４）を有し、
前記第一光学素子群（Ｇ１）と前記第四光学素子群（Ｇ４）は、位置固定的に配設されると共に、前記第二光学素子群（Ｇ２）と前記第三光学素子群（Ｇ３）は、ズーム倍率を変化させるために可動的に配設され、及び
前記第二光学素子群（Ｇ２）と前記第三光学素子群（Ｇ３）との間の距離（Ｄ２３）が増加すると、ズーム倍率が減少する形式のアフォーカルズーム装置において、
ズーム比をｚとし、ズーム倍率が最大のときのｍｍ単位で表したズーム入射瞳径をＥＮＰとし、かつＥＮＰ＞２１ｍｍ、及びｚ＞１５とする場合、ズーム倍率が最小のときのズーム入射視野角（ｗ１）が次式：
ｔａｎ（ｗ１）≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰ
を満たすこと
を特徴とするアフォーカルズーム装置。
【請求項３】
ズーム比をｚとし、ＥＮＰをｍｍ単位で与えることができ、かつｚ＞１５とする場合、ズーム倍率が最小のときの前記ズーム入射視野角（ｗ１）が次式：
ｔａｎ（ｗ１）≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰ
を満たすこと
を特徴とする請求項１に記載のアフォーカルズーム装置。
【請求項４】
ズーム倍率が最大のときの前記ズーム入射瞳径（ＥＮＰ）が、次式：
２１ｍｍ＜ＥＮＰ≦２７ｍｍ
を満たすこと
を特徴とする請求項１〜３の一に記載のアフォーカルズーム装置。
【請求項５】
前記ズーム比（ｚ）が、次式：
１５＜ｚ≦２０
を満たすこと
を特徴とする請求項１〜４の一に記載のアフォーカルズーム装置。
【請求項６】
ズーム比をｚとし、位置固定の前記第一及び第四光学素子群（Ｇ１、Ｇ４）の各々の外側レンズの頂点間で測定されるズーム長さをＬとする場合、該ズーム長さ（Ｌ）が次式：
Ｌ／ＥＮＰ≦１．３７×ｚ１／２
を満たすこと
を特徴とする請求項１〜５の一に記載のアフォーカルズーム装置。
【請求項７】
前記第一光学素子群（Ｇ１）の正の焦点距離をｆ１とする場合、次式：
ｆ１／ＥＮＰ≦３．５
が満たされること
を特徴とする請求項１〜６の一に記載のアフォーカルズーム装置。
【請求項８】
面番号１〜５が前記第一光学素子群（Ｇ１）に、面番号６〜１０が前記第二光学素子群（Ｇ２）に、面番号１１〜１５が前記第三光学素子群（Ｇ３）に、及び面番号１６〜１８が前記第四光学素子群（Ｇ４）にそれぞれ与えられ、ＥＮＰ＝２２．５ｍｍかつｚ＝１６が与えられ、下記表に規定されるレンズ構成を有すること：
2004004827.tif 000008
（但し、表において、各列に左から右へ順に、レンズないし接合素子の面番号、各面の曲率半径、次の面までの距離、屈折率（ｎｄ）、分散（νｄ）、及び２つの部分分散（Ｐｇ、Ｆ及びＰＣ、ｔ）がそれぞれ列挙され、ｎｄは屈折率を、νｄ＝（ｎｄ−１）／（ｎＦ−ｎＣ）はアッベ数を、Ｐｇ、Ｆ＝（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長ｇとＦとに対する（相対）部分分散を、及びＰＣ、ｔ＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長Ｃとｔとに対する相対部分分散をそれぞれ意味すると共に、空気間隔は、物質特性値欄において空欄によって示され、Ｄ１、Ｄ２及びＤ３は、可変の距離を示すものとする）、
を特徴とする請求項１〜７の一に記載のアフォーカルズーム装置。
【請求項９】
請求項１〜８の一に記載のアフォーカルズーム装置を有する顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に、鏡筒レンズを有する顕微鏡において使用可能なアフォーカルズーム装置に関し、特に、物体側から見て順次並んだ４つの光学素子群を有すると共に、第一光学素子群が、正の焦点距離を有し、第二光学素子群が、負の焦点距離を有し、第三光学素子群が、正の焦点距離を有し、第四光学素子群が、負の焦点距離を有し、前記第一光学素子群と前記第四光学素子群は、位置固定的に配設されると共に、前記第二光学素子群と前記第三光学素子群は、ズーム倍率を変化させるために可動的に配設され、及び前記第二光学素子群と前記第三光学素子群との間の距離が増加すると、ズーム倍率が減少する形式のアフォーカルズーム装置に関する。更に本発明は、上記アフォーカルズーム装置を有する、顕微鏡及びステレオ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上述のようなアフォーカルズーム装置を有する、とりわけステレオ顕微鏡等の顕微鏡は、例えば半導体の構造又は微小機械構造体等の小さな物体を操作及び検査するテクノロジー企業、生物科学や物質科学の研究機関、並びに例えば細胞の研究及び操作又は手術を目的とする機関のような高倍率の物体拡大が必要とされる所では広く使用されている。小型化と、ますます小さくなる試料（被検対象物）に対する研究が押し進められるなか、一方では、そのような顕微鏡の分解能に対する要求が高まると共に、他方では、試料の迅速な位置合せと観察時の全体把握の改善のために、低倍率による視野（Ｇｅｓｉｃｈｔｓｆｅｌｄ）の大きさの重要性が高まっている。
【０００３】
顕微鏡において、倍率を大きくし、かつ同時に所定の領域において無段階的（連続的）に倍率を変化させることができるように、顕微鏡にはズーム装置が装備される。ところで、アフォーカルズーム装置は、無限遠方にある物体を無限遠方に位置する像に結像するものである。ここで、（該ズーム装置に入射する光線の）光軸に対する（入射）角度（この角度で物点が無限遠方に現れる）をｗＥで表し、（該光線が）ズーム装置を通り抜けた後の（光軸に対する）射出角（この角度で像点が無限遠方に現れる）をｗＡとすると、ズーム装置の倍率（ズーム倍率）ＶＺＯは、ＶＺＯ＝ｔａｎ（ｗＡ）／ｔａｎ（ｗＥ）で表される。ズームシステムは、物体位置及び像位置を変更することなく倍率を変化させることができる。ズーム倍率の最小値に対する最大値の比をズーム比（Ｚｏｏｍｆａｋｔｏｒ）ｚという。
【０００４】
本発明の請求項１の上位概念（前置部）に応じて構成された従来のアフォーカルズーム装置１を図１に示した（このようなズーム構造につき、例えば、特許文献１、非特許文献１参照）。この既知のタイプのズーム装置は、物体（被検対象物）から（図示左方から）見て、順に並んだ、４つの光学素子群Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３及びＧ４からなり、このうち光学素子群Ｇ１及びＧ４は位置固定的に配設される。光学素子群Ｇ１は、正の焦点距離ｆ１を有し、光学素子群Ｇ２は、負の焦点距離ｆ２を有し、光学素子群Ｇ３は、再び正の焦点距離ｆ３を有し、光学素子群Ｇ４は、再び負の焦点距離ｆ４を有する。ズーム倍率を変更するためには、可動的に配設された光学素子群Ｇ３及びＧ４を摺動させる。図１（ａ）に、倍率が最大となる場合の各光学素子群の配置を、図１（ｂ）に、倍率が最小となる場合の各光学素子群の配置を示した。光学素子群Ｇ２及びＧ３の位置の変更は、カム機構による制御により、光軸２に沿って行なわれる。文献から既知のヴュルナの方程式（Ｗｕｅｌｌｎｅｒｓｃｈｅ　Ｇｌｅｉｃｈｕｎｇｅｎ）により、２つの光学素子群Ｇ１及びＧ４の焦点間の既知の距離、光学素子群Ｇ２及びＧ３それぞれの既知の焦点距離ｆ２及びｆ３並びに選択される倍率から、この光学系に属する各距離、即ち光学素子群Ｇ１とＧ２との間の距離Ｄ１２、光学素子群Ｇ２とＧ３との間の距離Ｄ２３、並びに光学素子群Ｇ３とＧ４との間の距離Ｄ３４を算出することが可能となる。
【０００５】
図１から分かる通り、Ｄ２３は、倍率が最大のとき最小となるが、その状態から出発しズーム倍率が小さくなるほど大きくなり、そのため、Ｄ１２とＤ３４は、ズーム倍率が最小のとき最小となる。そのようなズームシステムのズーム比に対しては、倍率が最大のときは光学素子群Ｇ２とＧ３同士が、倍率が最小のときは、光学素子群Ｇ１とＧ２同士並びにＧ３とＧ４同士が、専ら、互いに（観念上）貫き合う（重畳し、更に場合によっては位置関係が逆転する）ようなことはあってはならないという条件（制限）を受ける。
【０００６】
ＥＮＰは、ズーム倍率が最大のとき（図１（ａ））のズーム装置の入射瞳の直径（ズーム入射瞳径）を表す。ズーム入射瞳径ＥＰは、ズーム倍率が最大のとき最大となる。ズーム入射視野角（Ｅｉｎｔｒｉｔｔｓｆｅｌｄｗｉｎｋｅｌ）ｗＥは、その角度で（の方向に）物体（被検対象物）が無限遠方に現れるときの観察角度ないし視角（Ｓｅｈｗｉｎｋｅｌ）（ズーム装置の光軸に対する、入射光線の入射角度）を表す。この角度は、ズーム倍率が最小のとき最大となり、図１（ｂ）から分かる通り値ｗ１をとる。ズーム装置の構造長さ（ズーム長さ）Ｌは、光学素子群Ｇ１とＧ４の各々の外側頂点同士の間の距離に相当する（図１（ｂ）参照）。
【０００７】
図２は、アフォーカルズーム装置１を有する顕微鏡の原理図である。物体（被検対象物）９は、対物レンズ１０の前側焦点に位置し、この対物レンズ１０によって無限遠方に結像される。対物レンズ１０に後置（物体から見て後方に配置）されたアフォーカルズーム装置１は、選択可能な範囲において倍率を変化させ、物体を再び無限遠方へ結像させる。ズーム装置１に後置された鏡筒レンズ１１は、接眼レンズ１３を介して眼１７によって視覚的に観察される中間像１２を生成する。ＥＰは、ズーム装置１の入射瞳の直径（入射瞳径）を表す。ＡＰは、接眼レンズ１３の方向への顕微鏡の射出瞳の直径（射出瞳径）を表す。周知の通り、顕微鏡の解像力ないし分解能は、対物レンズ１０の開口数ｎＡに依存し、開口数ｎＡは、入射瞳ＥＰによって制限され、物体中央に頂点を有する円錐の半頂角αの正弦（ｓｉｎα）として定義される。正弦条件を満たす良好に補正された光学システムは、周知の通り、ｆＯを対物レンズ１０の焦点距離とした場合、ＥＰ＝２×ｆＯ×ｎＡという関係を満たす。波長λ＝５５０ｎｍの場合、解像力は、経験則上（近似的に）３０００×ｎＡ（単位：ライン対／ｍｍ）で表される。開口数は、入射瞳径が大きくなるとともに大きくなるので、高解像力ないし高分解能を達成するためには、入射瞳径ＥＰを大きくする必要があるということはいうまでもない。
【０００８】
図３に、テレスコープタイプのステレオ顕微鏡の模式的構造を示した。ステレオ顕微鏡を用いることにより、観察者は、観察される物体（被検対象物）９の立体的印象（三次元画像）を得ることができる。これを行なうために、対物レンズ１０の前側焦点に位置する物体９は、互いに分離された２つの観察チャンネルを介して結像される。この２つの観察チャンネル１５Ｌ及び１５Ｒは、同じ態様で構成され、それぞれ、ズームシステム１Ｌ及び１Ｒ、鏡筒レンズ１１Ｌ及び１１Ｒ、並びに接眼レンズ１３Ｌ及び１３Ｒを有する。鏡筒レンズ１１Ｌ及び１１Ｒにそれぞれ後置される画像反転システム１６Ｌ及び１６Ｒは、（軸１４の）直交方向に中間像１２Ｌ及び１２Ｒを形成し、中間像１２Ｌ及び１２Ｒは、同じ接眼レンズの対１３Ｌ及び１３Ｒを介して、眼の対１７Ｌ及び１７Ｒによって視覚的に観察される。２つのズームシステム１Ｌ及び１Ｒは、選択的に倍率を変化させるが、これは、左右何れのチャンネルにおいても同じ態様で行なわれる。
【０００９】
２つの中間像１２Ｌ及び１２Ｒは、物体９の互いに異なる画像である。というのは、物体９は、左側チャンネル１５Ｌでは角度ｗＬで観察され、右側チャンネル１５Ｒでは角度ｗＲで観察されるからである。このようにして、物体９の立体的な（ステレオスコピックな）観察が可能となるが、これは、（ステレオ顕微鏡等による画像の処理を伴わない単なる）眼の対により物体を観察する場合と同様である。この互いに異なる２つの画像は、脳で処理されて三次元画像へと変換される。
【００１０】
ここでまた、ＥＰは、既知の通り、ズーム装置の入射瞳径であるが、ＥＰは、同じ態様で調節することができる２つのズームシステム１Ｌ及び１Ｒに対して同一である。ｕＬ及びｕＲは、入射瞳により画成（規定）され、物体中央に頂点を有する円錐の半頂角である。顕微鏡は対物レンズ１０の光軸１４に対し対称的に構成されているので、ｕＬ及びｕＲの大きさは同一である。従って、ｕＬ及びｕＲは、ｕとしてまとめて表すことができる。ｗＲ及びｗＬは、大きくないので、図２の顕微鏡と同様に関係式：ＥＰ＝２×ｆＯ×ｓｉｎ（ｕ）＝２×ｆＯ×ｎＡが適用できる。ここで、ｎＡは、同様に、開口数を表すが、この場合、２つのチャンネル１５Ｌ及び１５Ｒにおいて対物レンズ１０に対しそれぞれ後置されるズームシステム１Ｌ及び１Ｒの入射瞳に関する開口数を意味する。
【００１１】
図４に模式的に示したようなズーム装置を、上述のステレオ顕微鏡に適用することも提案されている（例えば、非特許文献１参照）。本出願人は、そのようなズーム装置を１９９５年４月３日に“ＭＺ１２”という名称で市場に出している。このズーム装置は、本発明の請求項１の上位概念（前置部）に応じて構成されている。ズーム倍率ＶＺＯが最大のとき（図４（ａ）参照）、入射瞳径は、ＥＮＰ＝２０ｍｍとなり、光学素子群Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４間の所定の距離は、Ｄ１２＝３３．５３ｍｍ、Ｄ２３＝２．９９ｍｍ、及びＤ３４＝３６．８２ｍｍである。各光学素子群の焦点距離は、ｆ１＝６５．４７ｍｍ、ｆ２＝−１５．３０ｍｍ、ｆ３＝３２．１７及びｆ４＝−４３．６５ｍｍである。ズーム倍率を最小に調節したとき（図４（ｂ）参照）、各光学素子群間の所定の距離は、Ｄ１２＝７．５１ｍｍ、Ｄ２３＝６２．８２ｍｍ、Ｄ３４＝３．０１ｍｍである。図４に示したズーム装置のズーム比ｚは、ｚ＝１２．５である。また、｜ｆ１／ｆ２｜＝４．２８である。
【００１２】
図４に示したズーム装置は、文献から既知のヴュルナの方程式（ＷｕｅｌｌｎｅｒｓｃｈｅＧｌｅｉｃｈｕｎｇｅｎ）に応じて、光学素子群Ｇ２及びＧ３が互いに（観念上）貫き合う（重畳し、更に場合によっては位置関係が逆転する）ことのないように、光学素子群Ｇ２及びＧ３を光軸２に沿って更に摺動させることにより、ズーム比ｚをより大きくすることができる。例えば、図５（ａ）から分かる通り、光学素子群Ｇ２は、光学素子群Ｇ３の方へ更に０．１２ｍｍ摺動され、光学素子群Ｇ３は、光学素子群Ｇ２の方へ更に０．８ｍｍ摺動されている。その結果、距離Ｄ２３は、Ｄ２３＝２．０７ｍｍとなり、これに応じて、Ｄ１２＝３３．６５ｍｍ、Ｄ３４＝３７．６２ｍｍとなる。このように調節することにより、ズーム倍率ＶＺＯは、ＶＺＯ＝５．２となる。図５（ｂ）では、図４（ｂ）の状態と比べて、光学素子群Ｇ２は、光学素子群Ｇ１の方へ更に２．２７ｍｍ摺動され、光学素子群Ｇ３は、光学素子群Ｇ４の方へ更に０．８５ｍｍ摺動されている。この状態（図５（ｂ））では、ズーム倍率ＶＺＯは、ＶＺＯ＝０．３５１７である。従って、図５に示したズーム装置のズーム比ｚは、ｚ＝１４．８である。更に、｜ｆ１／ｆ２｜＝４．２８、｜ｚ／（ｆ１／ｆ２）｜＝３．４６である。
【００１３】
また、交互に正負の焦点距離をとる４つの光学素子群Ｇ１〜Ｇ４から同様に構成される顕微鏡のアフォーカルズーム装置に特許が付与されている（特許文献１）。そこで保護が要求されているズーム装置では、ズーム比ｚは、ｚ＞１４であり、光学素子群Ｇ１及びＧ２の焦点距離の関係は、｜ｆ１／ｆ２｜＞３．９である。更には、より広い好ましい条件として、３＜｜ｚ／（ｆ１／ｆ２）｜＜５が与えられている。この条件は、一方では、ズーム長さが大きくなり過ぎることを阻止し、他方では、第一及び第二光学素子群Ｇ１及びＧ２の相互貫通（重畳）を阻止するものとされている。
【００１４】
【特許文献１】
ＵＳ６，３２０，７０２Ｂ１
【非特許文献１】
Ｋ．　−Ｐ．　Ｚｉｍｍｅｒ，　”Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｄｅｓｉｇｎｓ　ｆｏｒ　Ｓｔｅｒｅｏｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅｓ”，　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｄｅｓｉｇｎ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ　１９９８，　Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　ｏｆ　ＳＰＩＥ，　Ｖｏｌ．３４８２，　６９０−６９７頁，　１９９８年
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５に示した構造の欠点は、倍率がより大きくなる方向へズーム範囲を広げても、分解能はより大きくならないということである。分解能の増大は、入射瞳径の拡大によってしか行なうことができず、このため、とりわけステレオ顕微鏡では構造の寸法が大きくなり過ぎる（上記非特許文献１の６９３頁参照）。解像限界に至るところでは、顕微鏡の倍率を大きくすると、幾ら倍率を大きくしてもそれ以上細い（二点間ないし二線間の）微小間隔を判別できなくなるいわゆる無効倍率（ｌｅｅｒｅ　Ｖｅｒｇｒｏｅｓｓｅｒｕｎｇ）がおこる。
【００１６】
また、上記特許文献１のズーム装置では、レンズの数が全体として、図４及び図５に示したズーム装置に比べて多くなり、その上、図５に関して述べた、ズーム比を大きくしても顕微鏡の分解能は大きくならないという欠点も生じる。更に、ズーム倍率を大きくすると、最大倍率時には顕微鏡の射出瞳径が減少するという欠点もある。
【００１７】
それゆえ、本発明の課題は、できるだけ広い範囲に亘って倍率を連続的に変化させ、同時に分解能を最大限に大きくすることを可能とする、大きなズーム比を有する高分解能顕微鏡のための、冒頭で述べた種類のアフォーカルズーム装置を提供することに存する。更に、視野を大きくするという要求も充足することが望まれる。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の第一の視点によれば、冒頭に記載した形式の鏡筒レンズを有する顕微鏡で使用可能なアフォーカルズーム装置が提供される。即ち、物体側から見て順次並んだ４つの光学素子群を有すると共に、第一光学素子群が、正の焦点距離を有し、第二光学素子群が、負の焦点距離を有し、第三光学素子群が、正の焦点距離を有し、第四光学素子群が、負の焦点距離を有し、前記第一光学素子群と前記第四光学素子群は、位置固定的に配設されると共に、前記第二光学素子群と前記第三光学素子群は、ズーム倍率を変化させるために可動的に配設され、及び前記第二光学素子群と前記第三光学素子群との間の距離が増加すると、ズーム倍率が減少する形式のアフォーカルズーム装置が提供される。このアフォーカルズーム装置において、ズーム倍率（ＶＺＯ）が最大のときのズーム入射瞳径（ズーム装置の入射瞳の直径）をＥＮＰとし、顕微鏡の鏡筒レンズの焦点距離をｆＴとし、かつＥＮＰ＞２１ｍｍとする場合、ズーム倍率（ＶＺＯ）が次式：ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴを満たすことを特徴とする（形態１・基本構成１）。
更に、上記の課題を解決するために、本発明の第二の視点によれば、冒頭に記載した形式のアフォーカルズーム装置が提供される。このアフォーカルズーム装置において、ズーム比をｚとし、ズーム倍率が最大のときのｍｍ単位で表したズーム入射瞳径をＥＮＰとし、かつＥＮＰ＞２１ｍｍ、及びｚ＞１５とする場合、ズーム倍率が最小のときのズーム入射視野角（Ｅｉｎｔｒｉｔｔｓｆｅｌｄｗｉｎｋｅｌ）（ｗ１）が次式：ｔａｎ（ｗ１）≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰを満たすことを特徴とする（形態２・基本構成２）。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を示すが、これらは従属請求項の対象でもある。
（３）　上記（形態１の）のアフォーカルズーム装置において、ズーム比をｚとし、ＥＮＰをｍｍ単位で与えることができ、かつズーム比ｚをｚ＞１５とすること、ズーム倍率が最小のときの前記ズーム入射視野角（ｗ１）が次式：ｔａｎ（ｗ１）≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰを満たすことが好ましい（形態３）。
（４）　上記のアフォーカルズーム装置において、ズーム倍率が最大のときの前記ズーム入射瞳径（ＥＮＰ）が、次式：２１ｍｍ＜ＥＮＰ≦２７ｍｍを満たすことが好ましい（形態４）。
（５）　上記のアフォーカルズーム装置において、前記ズーム比（ｚ）が、次式：１５＜ｚ≦２０を満たすことが好ましい（形態５）。
（６）　上記のアフォーカルズーム装置において、ズーム比をｚととし、位置固定の前記第一及び第四光学素子群の各々の外側レンズの頂点間で測定されるズーム長さをＬとした場合、該ズーム長さＬが次式：Ｌ／ＥＮＰ≦１．３７×ｚ１／２を満たすことが好ましい（形態６）。
（７）　上記のアフォーカルズーム装置において、前記第一光学素子群の正の焦点距離をｆ１とする場合、次式：ｆ１／ＥＮＰ≦３．５が満たされることが好ましい（形態７）。
（８）　上記のアフォーカルズーム装置において、最大で１１枚のレンズから構成されることが好ましい（形態８）。
（９）　上記のアフォーカルズーム装置において、前記第四光学素子群は、互いに接合された（貼り合わされた：ｖｅｒｋｉｔｔｅｔ）最大で２枚のレンズから構成されることが好ましい（形態９）。
（１０）　上記のアフォーカルズーム装置において、前記第一光学素子群は、最大で、互いに接合された２枚のレンズから構成される１つの接合素子と１つの単レンズ（一枚レンズ）とから構成されると共に、物体側から見て、まず、該接合素子が、次に、該単レンズが配設され、前記単レンズは、両凸に構成され、かつ前記接合素子において、正の屈折力を有するレンズが物体側を向くよう配置されることが好ましい（形態１０）。
（１１）　上記のアフォーカルズーム装置において、面番号１〜５が前記第一光学素子群に、面番号６〜１０が前記第二光学素子群に、面番号１１〜１５が前記第三光学素子群に、及び面番号１６〜１８が前記第四光学素子群にそれぞれ与えられ、ＥＮＰ＝２２．５ｍｍかつｚ＝１６が与えられ、下記表示規定されるレンズ構成を有すること：
2004004827.tif 000003
（但し、表において、各列に（左から右へ順に）、レンズないし接合（組合）素子の面番号、各面の曲率半径、次の（次番号の）面までの距離、屈折率（ｎｄ）、分散（νｄ）、及び２つの部分分散（Ｐｇ、Ｆ及びＰＣ、ｔ）がそれぞれ列挙され、ｎｄは屈折率を、νｄ＝（ｎｄ−１）／（ｎＦ−ｎＣ）はアッベ数を、Ｐｇ、Ｆ＝（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長ｇとＦとに対する（相対）部分分散を、及びＰＣ、ｔ＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長Ｃとｔとに対する（相対）部分分散をそれぞれ意味すると共に、（レンズ又は接合（組合）素子間の）空気間隔は、物質（素材）特性値欄において空欄によって示され、Ｄ１、Ｄ２及びＤ３は、可変の距離を示すものとする）、が好ましい（形態１１）。
（１２）　顕微鏡において、上記形態１〜１１の一に記載のアフォーカルズーム装置を配設することが可能である（形態１２）。
（１３）　テレスコープタイプのステレオ顕微鏡において、上記形態１〜１１の一に記載のアフォーカルズーム装置を配設することが可能である（形態１３）。
【００２０】
以下では（Ｂ１）によって表示される条件式：ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴは、ズーム倍率に対する上限を定めるものであるが、これは、顕微鏡の鏡筒レンズの焦点距離ｆＴに対する、ズーム倍率が最大のときのズーム入射瞳径ＥＮＰの比に比例する。そのため、ズーム装置の特性（性能）データは、顕微鏡の光学的大きさと関連する。条件式（Ｂ１）を満たすことにより、大きな顕微鏡倍率が実効倍率の範囲内に含まれることが保証され、射出瞳が小さい場合におけるコントラストの低下が制限される。
【００２１】
ここで、顕微鏡の「実効倍率（ｆｏｅｒｄｅｒｌｉｃｈｅ　Ｖｅｒｇｒｏｅｓｓｅｒｕｎｇ）」とは、物体（被検対象物）の全ての構造が、分解され、拡大して結像され、かつ人間の眼によって識別される顕微鏡倍率の範囲として定義される。（実効倍率を超えて）更に倍率を大きくすることは可能ではあるが、意味がない。というのは、分解能には限界があるので顕微鏡対物レンズによって結像することができない更なる細部は識別できるようにはならないからである（より大きな画像は得られるが、（識別可能な）より細かい構造は得られないいわゆる「無効ないし空倍率（ｌｅｅｒｅ　Ｖｅｒｇｒｏｅｓｓｅｒｕｎｇ）」となる）。更に、細部識別可能性は、画像のコントラストにも依存する。この際、顕微鏡の射出瞳径が重要な役割を演じる。というのは、当該瞳径が増大すると、より明るい画像が供給され、眼球内における回折（Ｂｅｕｇｕｎｇ）と眼球の硝子体内の（組織の）不均整によるコントラストの低下は低減されるからである。
【００２２】
本発明の条件式（Ｂ１）を充足することにより、ＥＮＰ＞２１ｍｍの高分解能顕微鏡は、ズーム倍率ＶＺＯを大きくすると細部識別可能性も大きくなること、及び、同時に、細部識別可能性に反する（を悪化させる）よう作用するコントラストの低下が限定（抑制）された状態に維持されること、が保証される。
【００２３】
条件式（Ｂ１）が、倍率が最大のときのアフォーカルズーム装置に関する条件を定義しているのに対し、次の条件式（Ｂ２）は、倍率が最小のときのズーム装置に関する条件（要求）を与える。本発明では、条件式（Ｂ２）は、ｔａｎ（ｗ１）≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰである。ここに、図１（ｂ）から明らかな通り、ｗ１は、ズーム倍率が最小のときのズーム入射視野角（ズーム装置の光軸に対する、入射光の入射視野角：Ｅｉｎｔｒｉｔｔｓｆｅｌｄｗｉｎｋｅｌ）として定義される。ｚは、ズーム比（Ｚｏｏｍｆａｋｔｏｒ）、即ち、最大ズーム倍率の最小ズーム倍率に対する比であり、ここでは、ｚ＞１５である。ＥＮＰ（単位は［ｍｍ］）は、倍率が最大のときのズーム装置の入射瞳の直径（ズーム入射瞳径）を表し（図１（ａ）参照）、ここでは、ＥＮＰ＞２１ｍｍである。条件式（Ｂ２）を充足することにより、条件式（Ｂ１）が充足される場合と同様に、実効倍率の範囲内で作動されること、更に倍率が最小の場合でも少なくとも２２ｍｍの視野径（Ｓｅｈｆｅｌｄｄｕｒｃｈｍｅｓｓｅｒ）（中間像の直径）が利用可能であること、が保証される。条件式（Ｂ）は、顕微鏡にとって有利なこのような性質を、ズーム比ｚと最大入射瞳径ＥＮＰとを考慮したズーム倍率が最小のときの入射視野角ｗ１に関するズーム装置の必須的特性（性能）を定式化している。所定の入射瞳径ＥＮＰを有するズーム装置において、ズーム比ｚが大きくなるにつれて使用可能な視野も大きくなることが、有利な態様で達成される。このことにより、ズーム倍率が最小のときのけられないし口径食（Ｖｉｇｎｅｔｔｉｅｒｕｎｇ）が阻止され、被検試料（プレパラート）の迅速な位置決め（位置合せ）及び／又は検査（観察）の際の全体像把握の改善が可能となる。
【００２４】
本発明のズーム装置の作動時に顕微鏡倍率が実効倍率の範囲内にあること、及び倍率が小さいとき大きな視野を利用でき、倍率が最大のとき十分な分解能を利用できることが保証されるので、条件式（Ｂ１）及び（Ｂ２）を同時に充足すると有利である。
【００２５】
ズーム入射瞳径は、倍率が最大のとき、条件：２１ｍｍ＜ＥＮＰ≦２７ｍｍを充足することが有利であることが明らかとなっている。このような入射瞳径は、実際上、条件式（Ｂ１）を充足するためにとりわけ適切である。入射瞳をより大きくすると、実際上、とりわけステレオ顕微鏡の場合、構造寸法が過大となり、更に光学的結像誤差（収差）もより大きくなる。他方、入射瞳径をより小さくすると、分解能が小さくなる。
【００２６】
更に、ズーム比ｚについては、条件１５＜ｚ≦２０が充足されると有利である。条件式（Ｂ１）及び（Ｂ２）との関連では、ズーム比がこの範囲にあると、低倍率範囲において十分大きい視野を以って実効倍率の範囲内での作動が実際上良好に達成可能である。
【００２７】
ズーム装置の構造長さ（ズーム長さ）は、人間工学の観点からも、製造技術上の観点からも非常に重要である。ズーム装置が長いと、顕微鏡の構造高さも大きくなり、容易に（疲労なく）顕微鏡を覗き込むことが困難となる。大きい入射瞳径ＥＰと大きいズーム比ｚとを、構造長さの小さいズーム装置において実現することは非常に困難である。本発明のズーム装置では、ズーム長さＬを次の条件式（Ｂ３）によって上限を定めると有利であることが判明している：
Ｌ／ＥＮＰ≦ｋ×ｚ１／２≦１．３７×ｚ１／２
ここに、Ｌは、光学素子群Ｇ１及びＧ４の各々のレンズ頂点間で測定したズーム装置の長さ、ｋは、１．３４〜１．３７の範囲にある長さファクタを表す。以下に示した本発明の実施例では、上限をｋ＝１．３４に維持することが可能である。
【００２８】
高分解能の顕微鏡では、上述の通り、ズーム倍率が最大のときズーム装置の大きな入射瞳径ＥＮＰを必要とする。それにも拘らずズーム装置の構造長さを小さくすることが可能となるために、ＥＮＰが大きいにも拘らず光学素子群Ｇ１の焦点距離ｆ１が短いままに維持されるよう、光学素子群Ｇ１の構造を形成することができ有利である。（これを実現するために）とりわけ有利な条件式（Ｂ４）を、以下の不等式によって与えることができる：
ｆ１／ＥＮＰ≦３．５
【００２９】
（以下に示した）本発明のズーム装置の実施例では、３．５の代わりに３．３の上限を以って条件式（Ｂ４）が充足されており、そのため、大きなＥＮＰ（複数）の下での小さい構造長さ及び良好な結像特性の実現に有利な寄与が図られている。
【００３０】
（ズーム装置に使用される）レンズの枚数の上限を設けることは、製造技術上有利であり、コストも削減する。この観点から、本発明のズーム装置に含まれるレンズの枚数は、最大で１１枚であるととりわけ有利である。
【００３１】
光学素子群Ｇ４が、互いに接合（密着）された（貼り合わされた：ｖｅｒｋｉｔｔｅｔ）最大で２枚のレンズから構成されると、ズーム装置の製造コスト上とりわけ有利である。更に、光学素子群Ｇ１が、接合素子（Ｋｉｔｔｇｌｉｅｄ）と（被検対象物から見て）これに後置される１つの単レンズ（一枚レンズ）とから構成されると有利である。ここで、接合素子とは、互いに接合（密着）された（貼り合わされた：ｖｅｒｋｉｔｔｅｔ）２枚のレンズから構成されるものをいう。単レンズ（一枚レンズ）は、両凸に構成され、接合素子においては、正の屈折力を有するレンズが（ズーム装置に組み込まれた状態において）物体（被検対象物）の方を向くように構成される。
【００３２】
本発明のアフォーカルズーム装置のとりわけ好ましい一実施形態は、下記実施例１の表１に記載された特性を有する。この実施形態については、以下においてより詳細に説明する。
【００３３】
【実施例】
本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例は、発明の理解の容易化のためのものであり、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において当業者により実施可能な修正・変更等を排除することは意図していない。また、特許請求の範囲に付した図面参照符号も発明の理解の容易化のために過ぎず、本発明を図示の態様に限定することも意図していない。
【００３４】
図１〜図５については、従来技術として、従来の技術の欄で既述のとおりであるが、本発明の背景技術としての共通事項の説明をも兼ねる。以下に、とりわけステレオ顕微鏡等の顕微鏡において使用される本発明のアフォーカルズーム装置の４つの実施例を示した。以下に説明したズーム装置は、焦点距離ｆＴ＝１６０ｍｍの鏡筒レンズと組み合わせることにより、直径２２ｍｍの中間像を観察するものである。しかしながら、本発明は、鏡筒レンズの焦点距離に関し、如何なる場合においても、この値に限定されるものではない。
【００３５】
第一実施例
【００３６】
図６に記載したアフォーカルズーム装置１は、４つの光学素子群Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３及びＧ４から構成される。このうち、Ｇ１とＧ４は、位置固定的に配設され、他方Ｇ２とＧ３は、ズーム装置１の倍率（ズーム倍率）ＶＺＯを調節するために、光軸２に沿って摺動可能に構成される。図６（ａ）に、ズーム倍率が最大（この場合ＶＺＯ＝５．６６）のときのズーム状態を示した。この状態では、入射瞳の直径（入射瞳径）ＥＰも最大となる（ＥＮＰ＝２２．５ｍｍ）。図６（ｂ）に、ズーム倍率が最小（この場合ＶＺＯ＝０．３５）のときのズーム状態を示した。このため、ズーム比ｚは、ｚ＝１６となる。倍率が最小のときのズーム入射視野角（Ｅｉｎｔｒｉｔｔｓｆｅｌｄｗｉｎｋｅｌ）ｗ１は、ｗ１＝１１．２３°である。
【００３７】
このため、条件式（Ｂ１）は、ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴ＝４１×２２．５ｍｍ／１６０ｍｍ＝５．７７となり、最大倍率が５．６６である第一実施例のズーム装置は、条件式（Ｂ１）を充足する。
【００３８】
２番目の条件式（Ｂ２）は、ｔａｎ（ｗ１）＝０．２０≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰ＝０．２６８×１６／２２．５＝０．１９となり、条件式（Ｂ２）も充足されている。
【００３９】
ズーム装置１の構造長さＬの最大入射瞳径ＥＮＰに対する比は、第一実施例では、Ｌ／ＥＮＰ＝５．３３となり、５．３３≦１．３７×ｚ１／２＝１．３７×４＝５．４８となる条件式（Ｂ３）も充足されている。
【００４０】
ズーム装置１の光学素子群Ｇ１の焦点距離ｆ１はｆ１＝７３．０６ｍｍなので、ｆ１／ＥＮＰ＝３．２５≦３．５となり、条件式（Ｂ４）も充足されている。
【００４１】
要約すると、第一実施例では、４つの条件式Ｇ１〜Ｇ４は全て充足されること、そのため、本発明のズーム装置は、実効倍率の範囲内にある大きな顕微鏡倍率を保証し、かつ十分（に大き）なコントラストの下で、利用可能な２２ｍｍの視野径において物体の観察を可能にすることが確認される。本発明のズーム装置の構造長さＬは、Ｌ＝１２０ｍｍであり、これは対比すべき（従来の）ズーム装置より小さく、そのため人間工学上及び製造技術上有利な顕微鏡の構造高さを保証するために十分に小さい値をなす。このことは、ＥＮＰ＝２２．５ｍｍのときのｆ１＝７３．０６ｍｍという比較的小さい焦点距離によっても支援される。
【００４２】
図６（ａ）から明らかな通り、光学素子群Ｇ１は、物体側から見て近い位置に配設されるとともに、正の屈折力を有するレンズ５７及び負の屈折力を有するレンズ５８が接合された（貼り合わされた）１つの接合素子と、該接合素子に対し物体側から見て後方に配置される（後置される）１つの単レンズ（一枚レンズ）５９とを有する組合せレンズ系を成す。接合素子においては、正の屈折力を有するレンズ５７は外方（図示左方）へ向けられている（物体側に配置されている）。単レンズ５９は、両凸に構成されている。（Ｇ１の）このような構造では、全部で５つのレンズ面が形成される（面番号１〜５）。光学素子群Ｇ２は、１つの単レンズと１つの接合素子とから構成される組合せレンズ系（面番号６〜１０）を成し、光学素子群Ｇ３も、同様に、１つの単レンズと１つの接合素子とから構成される組合せレンズ系（面番号１１〜１５）を成すが、Ｇ３は、Ｇ２とは異なり、正の屈折力を有する。最後に、光学素子群Ｇ４は、負の屈折力を有し、二枚のレンズからなるただ１つの接合素子として構成される組合せレンズ系（面番号１６〜１８）を成す。以下に記載した表１に、このズーム装置の数値データを示す。
【００４３】
【表１】
2004004827.tif 000004
【００４４】
表１の各列に、左から右へ順に、面番号、曲率半径、次の（次番号の）面までの距離、屈折率ｎｄ、分散νｄ、及び２つの部分分散（ｐａｒｔｉｅｌｌｅ　Ｔｅｉｌｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）Ｐｇ、Ｆ及びＰＣ、ｔをそれぞれ列挙した。ここに、ｎｄは屈折率を、νｄ＝（ｎｄ−１）／（ｎＦ−ｎＣ）はアッベ数を、Ｐｇ、Ｆ＝（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長ｇとＦとに対する（相対）部分分散（ｒｅｌａｔｉｖｅ　Ｔｅｉｌｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）を、及びＰＣ、ｔ＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長Ｃとｔとに対する（相対）部分分散をそれぞれ意味する。（レンズないし接合素子間の）空気間隔は、物質特性値（ｎｄ、νｄ、Ｐｇ、Ｆ、ＰＣ、ｔ）の各欄において空欄によって示した。Ｄ１、Ｄ２及びＤ３は、可変の距離を意味するものとする。
【００４５】
ここで、波長は、以下のように定義した：黄色ヘリウム線ｄは、λ＝５８７．５６ｎｍ、青色水銀線ｇは、λ＝４３５．８３ｎｍ、青色水素線Ｆは、λ＝４８６．１３ｎｍ、赤色水素線Ｃは、λ＝６５６．２７ｎｍ、及び赤外水銀線ｔは、λ＝１０１３．９８ｎｍ。
【００４６】
図７に、図６のズーム装置の結像特性を示した。図７（ａ）は、最大ズーム倍率（ＶＺＯ＝５．６６）のときの結像特性であり、他方図７（ｂ）は、最小ズーム倍率（ＶＺＯ＝０．３５）のときの結像特性である。何れの図においても、球面収差、非点収差、及び歪曲（収差）が、２つの波長、即ちλ＝５８７．５６ｎｍのｄ線及びλ＝４３５．８３ｎｍのｇ線に対して記載されている。開口誤差（球面収差）は、ジオプトリに対する瞳高さ（入射高）の関数として与えられている。像殻（Ｂｉｌｄｓｃｈａｌｅ）（非点収差）と歪曲は、それぞれジオプトリ又はパーセントに対する入射視野角（Ｆｅｌｄｗｉｎｋｅｌ）の関数として与えられている。非点収差は、更に、メリジオナルないしタンジェンシャル（殻）（ｍｅｒｉｄｉｏｎａｌｅ　Ｓｃｈａｌｅ）とサジタル（殻）（ｓａｇｉｔｔａｌｅ　Ｓｃｈａｌｅ）との間で区別して示した。即ち、図７において、Ｓ１及びＳ２は、それぞれ、ｄ線及びｇ線に対するサジタル（アスティグマティズム）に関し、Ｔ１及びＴ２は、それぞれ、ｄ線及びｇ線に対するメリジオナル（アスティグマティズム）に関する。この点に関しては、図９、図１１、及び図１３においても同様である。
【００４７】
本発明のズーム装置は、開口誤差（球面収差）と色誤差（色収差）に対し良好に補正されており、とりわけ波長４３５．８３ｎｍに対する収差曲線の推移から分かる通り、２次スペクトルが明らかに低減されている。非点収差、像面湾曲、及び歪曲（収差）は、鏡筒レンズと接眼レンズによって通常の結像誤差（収差）の補正が行なわれるよう構成される。光学素子群Ｇ１の上述のような構造により、一方では、倍率が最大の場合の大きな瞳径ＥＮＰにおいて開口誤差を補正し、他方では、倍率が最小のときの大きな入射視野角（Ｆｅｌｄｗｉｎｋｅｌ）ｗ１に対して非点収差を補正することが可能となる。ズーム装置内に絞りを好適に配設することにより、有利なことに、倍率ＶＺＯを大きくすると、顕微鏡の開口数が、従って、上述の通り、それと関連する顕微鏡の分解能が連続的に大きくなることが可能となる。
【００４８】
第二実施例
【００４９】
図８に、本発明のズーム装置１の第二実施例の模式図を示した。この実施例では、ズーム倍率が最大のときの入射瞳径は、ＥＮＰ＝２７ｍｍであり、最大ズーム倍率は、ＶＺＯ＝５．６６である。倍率が最小のときのズーム装置１の入射視野角ｗ１は、ＶＺＯ＝０．３５でｗ１＝１１．１４°となり、ズーム比は、ｚ＝１６となる。
【００５０】
このことから、条件式（Ｂ１）は、ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴ＝４１×２７／１６０＝６．９２となり、最大倍率は、ＶＺＯ＝５．６６であるから条件式（Ｂ１）は充足される。更に、ｔａｎ（ｗ１）＝０．２０≧０．２６８×１６／２７＝０．１６となり、条件式（Ｂ２）も充足される。
【００５１】
図８に示したズーム装置の構造長さＬは、Ｌ＝１４０ｍｍなので、Ｌ／ＥＮＰ＝５．１９≦１．３７×ｚ１／２＝５．４８となり条件式（Ｂ３）も充足される。更に、焦点距離ｆ１は、ｆ１＝７６．４３ｍｍなので、比：ｆ１／ＥＮＰ＝２．８３（≦３．５）となり条件式（Ｂ４）も充足されている。図８に示したズーム装置は、従って、上記第一実施例について既に説明したのと同様に、上記４つの条件式の充足と結び付いた全体としての利点を有する。
【００５２】
以下の表２に、図８のズーム装置に関する数値データを示した。面番号は、図６について説明したものが適用される。
【００５３】
【表２】
2004004827.tif 000005
【００５４】
表２の各列に、左から右へ順に、面番号、曲率半径、次の（次番号の）面までの距離、屈折率ｎｄ、分散νｄ、及び２つの部分分散（ｐａｒｔｉｅｌｌｅ　Ｔｅｉｌｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）Ｐｇ、Ｆ及びＰＣ、ｔをそれぞれ列挙した。ここに、ｎｄは屈折率を、νｄ＝（ｎｄ−１）／（ｎＦ−ｎＣ）はアッベ数を、Ｐｇ、Ｆ＝（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長ｇとＦとに対する（相対）部分分散（ｒｅｌａｔｉｖｅ　Ｔｅｉｌｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）を、及びＰＣ、ｔ＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長Ｃとｔとに対する（相対）部分分散をそれぞれ意味する。（レンズないし接合素子間の）空気間隔は、物質特性値（ｎｄ、νｄ、Ｐｇ、Ｆ、ＰＣ、ｔ）の各欄において空欄によって示した。Ｄ１、Ｄ２及びＤ３は、可変の距離を意味するものとする。
【００５５】
図９に、本発明の第二実施例のズーム装置の結像特性を示した。ここで、図９（ａ）は、最大ズーム倍率（ＶＺＯ＝５．６６）のときの結像特性であり、図９（ｂ）は、最小ズーム倍率（ＶＺＯ＝０．３５）のときの結像特性である。詳細については、第一実施例と関連する図７についての説明を参照されたい。
【００５６】
第三実施例
【００５７】
図１０に、本発明のズーム装置１の第三実施例の模式図を示した。このズーム装置では、最大ズーム倍率も最大入射瞳径も明らかに大きくされている。最大ズーム倍率（ＶＺＯ＝６．７６）のときのズーム装置１の最大入射瞳径ＥＮＰは、ＥＮＰ＝２７ｍｍである。最小ズーム倍率（ＶＺＯ＝０．３４）のときのズーム入射視野角ｗ１は、ｗ１＝１１．５９°となり、以下に挙げる結果が得られる：
【００５８】
条件式（Ｂ１）は、ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴ＝４１×２７／１６０＝６．９２となる。最大倍率はＶＺＯ＝６．７６なので、条件式（Ｂ１）の上限を下回っている。
【００５９】
条件式（Ｂ２）は、ｔａｎ（ｗ１）＝０．２≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰ＝０．２６８×２０／２７＝０．２０となり、条件式（Ｂ２）も充足されている。
【００６０】
ズーム装置の構造長さＬは、この実施例では、１４０ｍｍなので、Ｌ／ＥＮＰ＝５．１９≦１．３７×ｚ１／２＝６．１３となり、条件式（Ｂ３）も充足されている。図１０に示したズーム装置の光学素子群Ｇ１の焦点距離ｆ１は、ｆ１＝７９．８６ｍｍなので、ｆ１／ＥＮＰ＝２．９６≦３．５となり、かくて条件式（Ｂ４）も充足される。
【００６１】
上記４つの条件式の充足によって得られる利点については、既に上記各実施例についての説明中に示してある。以下の表３には、図１０に示したズーム装置の各面番号のそれぞれに対する数値データを示す。
【００６２】
【表３】
2004004827.tif 000006
【００６３】
表３の各列に、左から右へ順に、面番号、曲率半径、次の（次番号の）面までの距離、屈折率ｎｄ、分散νｄ、及び２つの部分分散（ｐａｒｔｉｅｌｌｅ　Ｔｅｉｌｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）Ｐｇ、Ｆ及びＰＣ、ｔをそれぞれ列挙した。ここに、ｎｄは屈折率を、νｄ＝（ｎｄ−１）／（ｎＦ−ｎＣ）はアッベ数を、Ｐｇ、Ｆ＝（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長ｇとＦとに対する（相対）部分分散（ｒｅｌａｔｉｖｅ　Ｔｅｉｌｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）を、及びＰＣ、ｔ＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長Ｃとｔとに対する（相対）部分分散をそれぞれ意味する。（レンズないし接合素子間の）空気間隔は、物質特性値（ｎｄ、νｄ、Ｐｇ、Ｆ、ＰＣ、ｔ）の各欄において空欄によって示した。Ｄ１、Ｄ２及びＤ３は、可変の距離を意味するものとする。
【００６４】
図１１に、本発明の第三実施例のズーム装置の結像特性を示した。ここで、図１１（ａ）に、最大ズーム倍率（ＶＺＯ＝６．７６）のときの球面収差、非点収差及び歪曲（収差）を示し、図１１（ｂ）に、最小ズーム倍率（ＶＺＯ＝０．３４）のときの球面収差、非点収差及び歪曲（収差）を示した。このグラフの詳細及びそれから得られる性質（特性）については、類似的に構成された第一実施例のズーム装置（図７参照）についての説明を参照されたい。
【００６５】
第四実施例
【００６６】
図１２に、本発明のズーム装置１の第四実施例を示した。このズーム装置は、上記各実施例のズーム装置と類似して構成されたものである。この実施例では、ズーム比はｚ＝２０と大きいが、これはＥＮＰ＝２２．５ｍｍという比較的小さい最大入射瞳径に基づく。最大ズーム倍率は、ＶＺＯ＝５．６６であり（図１２（ａ））、倍率が最小のときのズーム装置の最大入射視野角ｗ１は、ｗ１＝１３．８８°である。第一光学素子群Ｇ１の焦点距離ｆ１は、ｆ１＝７３．４８ｍｍである。従って、以下に挙げる結果が得られる：
【００６７】
条件式（Ｂ１）は、ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴ＝４１×２２．５／１６０＝５．７７となり、５．６６という最大ズーム倍率は、この上限を下回っている。条件式（Ｂ２）は、ｔａｎ（ｗ１）＝０．２５≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰ＝０．２６８×２０／２２．５＝０．２４となり、条件式（Ｂ３）は、Ｌ／ＥＮＰ＝５．７８≦１．３７×ｚ１／２＝６．１３となり、条件式（Ｂ４）は、ｆ１／ＥＮＰ＝３．２７≦３．５となる。
【００６８】
従って、図１２に示した本発明のズーム装置も、上記条件式（Ｂ１）〜（Ｂ４）を充足することにより得られる全ての利点を享受する。以下の表４に、図１２のズーム構造の１８個の面の各々に関する数値データを示す。
【００６９】
【表４】
2004004827.tif 000007
【００７０】
表４の各列に、左から右へ順に、面番号、曲率半径、次の（次番号の）面までの距離、屈折率ｎｄ、分散νｄ、及び２つの部分分散（ｐａｒｔｉｅｌｌｅ　Ｔｅｉｌｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）Ｐｇ、Ｆ及びＰＣ、ｔをそれぞれ列挙した。ここに、ｎｄは屈折率を、νｄ＝（ｎｄ−１）／（ｎＦ−ｎＣ）はアッベ数を、Ｐｇ、Ｆ＝（ｎｇ−ｎＦ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長ｇとＦとに対する（相対）部分分散（ｒｅｌａｔｉｖｅ　Ｔｅｉｌｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ）を、及びＰＣ、ｔ＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＦ−ｎＣ）は波長Ｃとｔとに対する（相対）部分分散をそれぞれ意味する。（レンズないし接合素子間の）空気間隔は、物質特性値（ｎｄ、νｄ、Ｐｇ、Ｆ、ＰＣ、ｔ）の各欄において空欄によって示した。Ｄ１、Ｄ２及びＤ３は、可変の距離を意味するものとする。
【００７１】
図１３に、本発明の第四実施例のズーム装置の結像特性を示した。ここでは、上記各実施例の場合と同様に、図１３（ａ）に、最大ズーム倍率（ＶＺＯ＝５．６６）のときの結像特性を示し、図１３（ｂ）に、最小ズーム倍率（ＶＺＯ＝０．２８）のときの結像特性を示した。第四実施例のズーム装置は、第一実施例のズーム装置と類似して構成されているので、結像特性に関する説明等についても、第一実施例に関する説明が同様に当てはまる。
【００７２】
【発明の効果】
本発明の独立請求項１及び２により、所定の課題として掲げた効果が、上述の通り達成される。即ち、本発明のアフォーカルズーム装置により、大きなズーム比を有する高分解能の顕微鏡において、できるだけ広い範囲に亘って倍率を連続的に変化させ、同時に分解能を最大限大きくすることを可能とし、更に、視野を大きくすることが可能となる（基本構成１及び２）。
更に、各従属請求項により、既述のとおり付加的な効果がそれぞれ達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の技術の欄で説明した既知のズーム装置の模式図。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図２】従来の技術の欄で説明した図１のアフォーカルズーム装置を有する既知の顕微鏡の模式図。
【図３】従来の技術の欄で説明したテレスコープタイプのステレオ顕微鏡の模式図。
【図４】従来技術のアフォーカルズーム装置。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図５】僅かに修正された図４のズーム装置。
（ａ）　図４（ａ）に対応する状態。
（ｂ）　図４（ｂ）に対応する状態。
【図６】本発明のズーム装置の第一実施例の模式図。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図７】図６のズーム装置の結像特性。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図８】本発明のズーム装置の第二実施例の模式図。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図９】図８のズーム装置の結像特性。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図１０】本発明のズーム装置の第三実施例の模式図。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図１１】図１０のズーム装置の結像特性。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図１２】本発明のズーム装置の第四実施例の模式図。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【図１３】図１２のズーム装置の結像特性。
（ａ）　（ズーム）倍率が最大の場合。
（ｂ）　（ズーム）倍率が最小の場合。
【符号の説明】
１　　　アフォーカルズーム装置
２　　　アフォーカルズーム装置の光軸
５　　　上方周縁（周辺）光線
６　　　下方周縁（周辺）光線
９　　　対物レンズの前側焦点における物体（被検対象物）
１０　　対物レンズ
１１、１１Ｌ、１１Ｒ
鏡筒レンズ、ステレオ顕微鏡では左側又は右側チャンネルの鏡筒レンズ
１２、１２Ｌ、１２Ｒ
中間像、ステレオ顕微鏡では左側又は右側チャンネルの中間像
１３、１３Ｌ、１３Ｒ
接眼レンズ、ステレオ顕微鏡では左側又は右側チャンネルの接眼レンズ
１４　　対物レンズ１０の光学軸
１５Ｌ、１５Ｒ
ステレオ顕微鏡の左側及び右側観察チャンネル
１６Ｌ、１６Ｒ
左側及び右側観察チャンネルの像反転システム
１７、１７Ｌ、１７Ｒ
眼、ステレオ顕微鏡では左眼又は右眼
５５、５６
第四光学素子群Ｇ４の接合（貼り合わせ）レンズ（組合せレンズ系）
５７、５８
第一光学素子群Ｇ１の接合（貼り合わせ）レンズ
５９　　第一光学素子群Ｇ１の単レンズ（一枚レンズ）
ＡＰ　　顕微鏡の射出瞳の直径（射出瞳径）
Ｄ１２　ズーム素子（光学素子群）Ｇ１・Ｇ２間の距離
Ｄ２３　ズーム素子（光学素子群）Ｇ２・Ｇ３間の距離
Ｄ３４　ズーム素子（光学素子群）Ｇ３・Ｇ４間の距離
ＥＰ　　ズーム装置の入射瞳の直径（入射瞳径）
ＥＮＰ　（ズーム）倍率が最大のときのズーム装置の入射瞳径
Ｇ１　　ズーム装置の第一のレンズ群（第一光学素子群・組合せレンズ系）
Ｇ２　　ズーム装置の第二のレンズ群（第二光学素子群・組合せレンズ系）
Ｇ３　　ズーム装置の第三のレンズ群（第三光学素子群・組合せレンズ系）
Ｇ４　　ズーム装置の第四のレンズ群（第四光学素子群・組合せレンズ系）
ｆ１　　第一光学素子群Ｇ１の焦点距離
ｆ２　　第二光学素子群Ｇ２の焦点距離
ｆ３　　第三光学素子群Ｇ３の焦点距離
ｆ４　　第四光学素子群Ｇ４の焦点距離
ｆＯ　　対物レンズの焦点距離
ｆＴ　　鏡筒レンズの焦点距離
ｋ　　　長さファクタ
Ｌ　　　第一光学素子群Ｇ１の外側頂点と第四光学素子群Ｇ４の外側頂点との間の距離によって規定されるズーム装置の機械的構造長さ（ズーム長さ）
ｎＡ　　対物レンズの開口数
ｕ、ｕＲ、ｕＬ
物体の中央に頂点を有し、ＥＮＰによって画成（規定）される光円錐の半頂角
ＶＺＯ　ズーム装置の倍率（ズーム倍率）
ｗＡ　　望遠鏡／ズーム装置からの射出視野角（ズーム射出視野角）
ｗＥ　　望遠鏡／ズーム装置への入射視野角（ズーム入射視野角）
ｗ１　　ズーム倍率が最小のときのズーム入射視野角
ｗＬ、ｗＲ
対物レンズ１０における屈折後、左側又は右側観察チャンネル１５Ｌ又は１５Ｒの光軸をそれぞれ形成する光線の、光学軸１４に対する角度
ｚ　　　ズーム比＝最大ズーム倍率／最小ズーム倍率
使用した式
（Ｂ１）　ＶＺＯ≦４１×ＥＮＰ／ｆＴ
（Ｂ２）　ｔａｎ（ｗ１）≧０．２６８×ｚ／ＥＮＰ
（Ｂ３）　Ｌ／ＥＮＰ≦１．３７×ｚ１／２
（Ｂ４）　ｆ１／ＥＮＰ≦３．５
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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