(57)【要約】      （修正有）【課題】積層すべき基材と積層用フィルムとを作業性よく積層体とすることができる積層装置および積層方法を提供する。【解決手段】両面に積層用フィルムを重ね合わせた基板を挟持して搬送する無端状のキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂと、これらに挟持された基板と積層用フィルムとを吸引して密着させる吸引装置１２と、この吸引装置１２にて密着された基板と積層用フィルムとを加熱雰囲気下に加圧して積層体３Ａとする加圧装置１３とを備え、加圧装置１３の下流側には、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂをそれぞれ水平な搬送ラインから外れて走行するように導くとともに積層体３Ａをキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂから分離させる変角ローラ３５、３６を設け、各変角ローラ３５、３６の下流側には、それぞれ吸引装置１２もしくは加圧装置１３によってキャリアフィルムに転写された凹凸を平滑にするための加熱された一対の加圧ローラ３９、４０を設けた。【選択図】        図１
2004299146.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の無端状のキャリアフィルムをそれぞれ複数のローラに巻回して両者の対向する面が水平な搬送ラインを走行するように上下に配置し、この水平な搬送ラインを走行する一対の無端状のキャリアフィルムにより、両面に積層用フィルムを重ね合わせた板状の基材を挟持して搬送するように構成し、
前記搬送ラインには、一対の無端状のキャリアフィルムに挟持された前記基材と積層用フィルムとを吸引して密着させる吸引手段と、この吸引手段により密着された前記基材と積層用フィルムとを加熱雰囲気下に加圧して熱接着させて積層体とする加圧手段とを、一対の無端状のキャリアフィルムを介して対向するように設け、
前記加圧手段の下流側には、一対のキャリアフィルムをそれぞれ水平な搬送ラインから外れて走行するように導くとともに積層体をキャリアフィルムから分離させる変角ローラを設け、
各変角ローラの下流側には、それぞれ前記吸引手段もしくは加圧手段によってキャリアフィルムに転写された凹凸を平滑にするための加熱された一対の加圧ローラを設けた
ことを特徴とする積層装置。
【請求項２】
前記加圧手段は、流体を供給することによって膨張する膨張体であることを特徴とする請求項１記載の積層装置。
【請求項３】
積層用フィルムとして転用可能な一対のキャリアフィルムをそれぞれ複数のローラに巻回して両者の対向する面が水平な搬送ラインを走行するように上下に配置し、この水平な搬送ラインを走行する一対のキャリアフィルムにより、このキャリアフィルムよりも小さい幅の板状の基材を挟持して搬送するように構成し、
前記搬送ラインには、前記基材と前記基材を挟持した一対のキャリアフィルムの部位とを吸引して密着させる吸引手段と、この吸引手段により密着された前記基材と前記基材を挟持した一対のキャリアフィルムの部位とを加熱雰囲気下に加圧して熱接着させる加圧手段とを、一対のキャリアフィルムを介して対向するように設け、
前記加圧手段の下流側には、搬送ラインの上方に、熱接着された前記基材と前記基材を挟持したキャリアフィルムの部位とを積層体として一体に切り抜くための切断装置を配置し、その下方には、切断装置により切り抜かれた積層体がキャリアフィルムとともに下流側に搬送されるように、積層体を支持する支持台を配置し、
その下流側には、一対のキャリアフィルムをそれぞれ水平な搬送ラインから外れて走行するように導くとともに積層体をキャリアフィルムから分離させる変角ローラを設けた
ことを特徴とする積層装置。
【請求項４】
一対の無端状のキャリアフィルムで両面に積層用フィルムを重ね合わせた板状の基材を挟持して吸引手段に搬送し、
次いで吸引手段によって前記積層用フィルムと板状の基材とを吸引して密着させ、加圧手段によって前記積層用フィルムと板状の基材とを加熱雰囲気下に加圧することにより両者を熱接着させて積層体を形成し、
次いで前記キャリアフィルムにより前記積層体を下流側に搬送して積層体をキャリアフィルムから取り出し、
しかる後に前記キャリアフィルムに転写された凹凸を平滑化し、
次いで前記キャリアフィルムを吸引手段の上流側に循環させて両面に積層用フィルを重ね合わせた板状の基材の搬送に再び使用する
ことを特徴とする積層方法。
【請求項５】
積層用フィルムとして転用可能な一対のキャリアフィルムでこのキャリアフィルムよりも小さい幅の板状の基材を挟持して、吸引手段に搬送し、
次いで吸引手段によって前記基材と前記基材を挟持したキャリアフィルムの部位とを吸引して密着させ、加圧手段によって前記基材と前記基材を挟持したキャリアフィルムの部位とを加熱雰囲気下に加圧することにより両者を熱接着させ、
次いで熱接着された前記基材と前記基材を挟持したキャリアフィルムの部位とを一体に切り抜いて積層体を形成し、
次いで前記キャリアフィルムを下方から支えつつ、積層体をキャリアフィルムとともに下流側に搬送して積層体をキャリアフィルムから取り出す
ことを特徴とする積層方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層装置および積層方法に関するものであり、特に基板と積層用フィルムとの積層に好適な積層装置および積層方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の小型化、高密度化に伴い、それらを構成する電子部品や実装基板の小型化、高密度化が進んでおり、基板積層工法いわゆるビルドアップ工法が用いられている。これら基板積層工法を有効に行う手法として、真空積層装置や金型プレスなどを用いたプレス積層装置の開発が進められている。
【０００３】
例えば、基板と積層用フィルムを積層する真空積層装置としては、図６に示すような装置がある。この装置においては、キャリアフィルム１１３、１１４をそれぞれ巻出しローラ１１５から送り出し、キャリアフィルム１１３、１１４に基板１０１とフィルム状樹脂１０２を挟持した状態で、上部プレート１０５と下部プレート１０６を備えるとともに、吸引口１１０近傍に膜体１０７、１０８やシール部１０９を備えた真空積層装置で真空積層を行ない、積層後に一対の加熱加圧ローラ１０４により基板表面の平滑化を行い、一対の巻き取りローラ１１６によりキャリアフィルム１１３、１１４をそれぞれ巻き取り、フィルム状樹脂１０２が積層された基板１０１を、キャリアフィルム１１３、１１４から分離する装置が記載されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１４１３８８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この装置においては、基板１０１とフィルム状樹脂１０２を挟持するキャリアフィルム１１３、１１４には、真空積層装置および加熱加圧ローラ１０４にて基板の跡形が転写されることになるが、このキャリアフィルム１１３、１１４を再使用しようとすると、キャリアフィルム１１３、１１４を一旦巻き取った後に、これに転写された基板の跡形を除くことが必要になるなど作業性に劣るなどの課題があった。
【０００６】
そこで、本発明はこのよう課題を解決するものであって、第１の課題は、積層すべき基材と積層用フィルムとを搬送するキャリアフィルムに転写された凹凸を除去して、作業性よく積層体を得ることができる積層装置および積層方法を提供することを目的とし、第２の課題は、従来のキャリアフィルムを使用せずに、積層すべき基材を搬送するキャリアフィルムとして、積層用フィルムに転用可能なキャリアフィルムを用いて、作業性よく積層体を得ることができる積層装置および積層方法を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明の第１の積層装置は、一対の無端状のキャリアフィルムをそれぞれ複数のローラに巻回して両者の対向する面が水平な搬送ラインを走行するように上下に配置し、この水平な搬送ラインを走行する一対の無端状のキャリアフィルムにより、両面に積層用フィルムを重ね合わせた板状の基材を挟持して搬送するように構成し、前記搬送ラインには、一対の無端状のキャリアフィルムに挟持された前記基材と積層用フィルムとを吸引して密着させる吸引手段と、この吸引手段により密着された前記基材と積層用フィルムとを加熱雰囲気下に加圧して熱接着させて積層体とする加圧手段とを、一対の無端状のキャリアフィルムを介して対向するように設け、前記加圧手段の下流側には、一対のキャリアフィルムをそれぞれ水平な搬送ラインから外れて走行するように導くとともに積層体をキャリアフィルムから分離させる変角ローラを設け、各変角ローラの下流側には、それぞれ前記吸引手段もしくは加圧手段によってキャリアフィルムに転写された凹凸を平滑にするための加熱された一対の加圧ローラを設けたものである。
【０００８】
この構成によれば、変角ローラの下流側に、吸引手段もしくは加圧手段によってキャリアフィルムに転写された凹凸を平滑にするための加熱された一対の加圧ローラを設けたので、キャリアフィルムを一旦巻き取ることなく、積層工程中で、キャリアフィルムに転写された凹凸が加圧ローラによって平滑化されて、キャリアフィルムを元の状態である平滑な表面に復元させることができる。そのため、キャリアフィルムを一旦巻き取ることなく、連続して再使用することができる。したがって、作業性よく積層体を得ることができるものである。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、前記構成において、前記加圧手段は、流体を供給することによって膨張する膨張体であるものである。
この構成によれば、加圧手段に流体を供給するだけで、簡単に基材と積層用フィルムとを加熱雰囲気下に加圧して積層体とすることができる。
【００１０】
また、本発明の第２の積層装置は、積層用フィルムとして転用可能な一対のキャリアフィルムをそれぞれ複数のローラに巻回して両者の対向する面が水平な搬送ラインを走行するように上下に配置し、この水平な搬送ラインを走行する一対のキャリアフィルムにより、このキャリアフィルムよりも小さい幅の板状の基材を挟持して搬送するように構成し、前記搬送ラインには、前記基材と前記基材を挟持した一対のキャリアフィルムの部位とを吸引して密着させる吸引手段と、この吸引手段により密着された前記基材と前記基材を挟持した一対のキャリアフィルムの部位とを加熱雰囲気下に加圧して熱接着させる加圧手段とを、一対のキャリアフィルムを介して対向するように設け、前記加圧手段の下流側には、搬送ラインの上方に、熱接着された前記基材と前記基材を挟持したキャリアフィルムの部位とを積層体として一体に切り抜くための切断装置を配置し、その下方には、切断装置により切り抜かれた積層体がキャリアフィルムとともに下流側に搬送されるように、積層体を支持する支持台を配置し、その下流側には、一対のキャリアフィルムをそれぞれ水平な搬送ラインから外れて走行するように導くとともに積層体をキャリアフィルムから分離させる変角ローラを設けたものである。
【００１１】
この構成によれば、積層用フィルムとして転用可能なキャリアフィルムを用いるので、キャリアフィルムの一部が積層用フィルムとして使用されることになり、基材と積層用フィルムとを予め重ね合わせることなく、基材をキャリアフィルムにセットするだけで、作業性よく積層体を得ることができる。
【００１２】
さらに、本発明の第１の積層方法は、一対の無端状のキャリアフィルムで両面に積層用フィルムを重ね合わせた板状の基材を挟持して吸引手段に搬送し、次いで吸引手段によって前記積層用フィルムと板状の基材とを吸引して密着させ、加圧手段によって前記積層用フィルムと板状の基材とを加熱雰囲気下に加圧することにより両者を熱接着させて積層体を形成し、次いで前記キャリアフィルムにより前記積層体を下流側に搬送して積層体をキャリアフィルムから取り出し、しかる後に前記キャリアフィルムに転写された凹凸を平滑化し、次いで前記キャリアフィルムを吸引手段の上流側に循環させて両面に積層用フィルを重ね合わせた板状の基材の搬送に再び使用するものである。
【００１３】
この構成によれば、キャリアフィルムを一旦巻き取ることなく、連続して再使用することができ、作業性よく積層体を得ることができる。
さらにまた、本発明の第２の積層方法は、積層用フィルムとして転用可能な一対のキャリアフィルムでこのキャリアフィルムよりも小さい幅の板状の基材を挟持して、吸引手段に搬送し、次いで吸引手段によって前記基材と前記基材を挟持したキャリアフィルムの部位とを吸引して密着させ、加圧手段によって前記基材と前記基材を挟持したキャリアフィルムの部位とを加熱雰囲気下に加圧することにより両者を熱接着させ、次いで熱接着された前記基材と前記基材を挟持したキャリアフィルムの部位とを一体に切り抜いて積層体を形成し、次いで前記キャリアフィルムを下方から支えつつ、積層体をキャリアフィルムとともに下流側に搬送して積層体をキャリアフィルムから取り出すものである。
【００１４】
この構成によれば、基材と積層用フィルムとを予め重ね合わせることなく、基材をキャリアフィルムにセットするだけで、作業性よく積層体を得ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態における積層装置および積層方法について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１における積層装置および積層方法について、図１〜図３に基づいて説明する。
【００１７】
図１は本発明の一実施の形態における積層装置を示す概略構成図、図２は同積層装置を用いた基板と積層用フィルムとの積層状態を示す断面図であって、（ａ）は基板と積層用フィルムとの構成を示し、（ｂ）はキャリアフィルムに挟持されている積層体を示し、（ｃ）はキャリアフィルムから分離された積層体を示す。また、図３は同積層装置の部分拡大断面図である。
【００１８】
この積層装置は、一対の無端状のキャリアフィルム１１（１１Ａ、１１Ｂ）と、一対の無端状のキャリアフィルム１１により挟持されて搬送される基板１とその両面に積層用フィルム２を重ね合わせた状態の仮積層体３（図２（ａ）参照）を吸引して密着させる吸引装置１２と、吸引装置１２により密着された基板１と積層用フィルム２を加熱雰囲気下に加圧して積層体３Ａとする加圧装置１３と、一対の無端状のキャリアフィルム１１に転写された凹凸をそれぞれ平滑化するための一対の加圧ローラ３９、３９と一対の加圧ローラ４０、４０とを備えている。
【００１９】
吸引装置１２は、上部プレート２１の中央部の下面に設けられた吸引口２３と、この吸引口２３に連結された図示されていない吸引ポンプとを備えており、吸引装置１２の内部空間１２Ａの空気を吸引口２３を介して吸引ポンプにより吸引するようになっている。また、上部プレート２１には、図示されていないヒータが設けられている。
【００２０】
また、加圧装置１３は、下部プレート２２を備え、この下部プレート２２の中央部の上面には、加圧式ダイヤフラムなどにより空気を供給することによって膨張するゴムなどからなる膨張体２４が設けられている。また、下部プレート２２には、図示されていないヒータが設けられている。
【００２１】
そして、上部プレート２１と下部プレート２２は、対向するように配置され、両者の両端の突合せ部には、入り口部２５と出口部２６とが設けられており、この入り口部２５と出口部２６とにキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂを通すように構成されている。
【００２２】
また、上部プレート２１の中央部の下面と膨張体２４の中央部の上面には、それぞれエンボス形状またはスリット形状の凹凸部２７、２８が形成されており（図３参照）、これにより上部プレート２１とキャリアフィルム１１Ａとの離型性および膨張体２４とキャリアフィルム１１Ｂとの離型性をそれぞれ向上させている。
【００２３】
さらに、一対の無端状のキャリアフィルム１１は、それぞれ矢印で示す方向に連続走行可能に設けられている。つまり、上方に配置されたキャリアフィルム１１Ａと下方に配置されたキャリアフィルム１１Ｂは、それぞれ送りローラ３１、３２と、引き取りローラ３３、３４とに巻き掛けされ、その対向する面が水平な搬送ラインを走行して、吸引装置１２と加圧装置１３との間を通過するようになっている。そして、加圧装置１３の下流側には、一対の変角ローラ３５、３６が設けられている。さらに、変角ローラ３５の下流側には、変曲ローラ３７を介して加熱された一対の加圧ローラ３９、３９が設けられている。同様に変角ローラ３６の下流側には、変曲ローラ３８を介して加熱された一対の加圧ローラ４０、４０が設けられている。
【００２４】
そして、下方側に配置されるキャリアフィルム１１Ｂの下方には、このキャリアフィルム１１Ｂを下方から支えるための第１下搬送台４３が加圧装置１３の上流側に、第２下搬送台４４が加圧装置１３の下流側にそれぞれ配置されている。また、変角ローラ３５、３６の吸引装置１２および加圧装置１３と反対側には、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂから分離された積層体３Ａを搬出するための搬出台４５が配置されている。これらの搬送台４３、４４、または搬出台４５は、それぞれ無端ベルトまたは複数のローラなどから形成されている。
【００２５】
この構成の積層装置を用いて積層体を製造するには、まず、図２（ａ）に示すような基板１の両面に積層用フィルム２を重ね合わせた仮積層体３の状態で、吸引装置１２の上流側において走行しているキャリアフィルム１１Ｂ上にセットする。そして、両面に積層用フィルム２を重ね合わせた基板１は、キャリアフィルム１１Ｂにより吸引装置１２側に搬送されつつ、途中から上方に配置されたキャリアフィルム１１Ａとキャリアフィルム１１Ｂに挟持されて、吸引装置１２に導入される。
【００２６】
吸引装置１２に導入された基板１は、吸引装置１２の内部空間１２Ａを吸引口２３を介して吸引ポンプにより吸引することにより、キャリアフィルム１１Ａとキャリアフィルム１１Ｂとともに、吸引装置１２の中央部の下面側に吸引されて、基板１と積層用フィルム２とが互いに密着され、それにより基板１と積層用フィルム２の間に含まれた空気などが除かれる。それと同時に、膨張体２４に空気を供給して膨張させることにより、加熱雰囲気下で、両キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂが上部プレート２１側に押し付けられて、密着された基板１と積層用フィルム２とが加圧されて熱接着され、図２（ｂ）に示すような、基板１の両面に積層用フィルム２が積層された積層体３Ａとされる。
【００２７】
そして、積層体３Ａは、図２（ｂ）に示すように、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂに挟持された状態で、水平な搬送ラインに沿って変角ローラ３５、３６側に搬送される。変角ローラ３５、３６に搬送された積層体３Ａは、変角ローラ３５、３６にてキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂと分離されて、図２（ｃ）に示すような積層体３Ａ単体となって、搬出台４５に引き渡される。一方、変角ローラ３５、３６にて積層体３Ａと分離されたキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂは、それぞれ加熱された一対の加圧ローラ３９または４０に至り、これらに挟持されて加熱下に加圧される。これにより、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂは、吸引装置１２および膨張体２４においてキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂに転写された基板１の形跡による凹凸と、上部プレート２１の中央部の下面と膨張体２４の上面に設けたエンボス形状またはスリット形状の凹凸部２７、２８の転写による凹凸とが平滑化され、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂはそれぞれ表面が平滑なキャリアフィルム１１に復元される。そして、復元されたキャリアフィルム１１は、連続走行して再使用に供される。
【００２８】
この実施の形態によれば、加熱された加圧ローラ３９、４０を設けたので、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂにそれぞれ転写された前記各種の凹凸を平滑化することでき、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂを連続して再使用に供することができる。また、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂにより、両面に積層用フィルム２を重ねあわせた基板１を挟持するようにしたので、積層用フィルム２の表面に凹凸が形成されることなく、表面が平滑な積層体３Ａを得ることができる。
【００２９】
ここで、吸引装置１２による吸引度は、１０ｈＰａ以下となるような吸引度で吸引することが好ましく、特に１．０ｈＰａ以下が好ましい。
また、吸引装置１２内の加熱温度は３０〜２００℃であることが好ましい。さらに、膨張体４内の圧力は０．１ＭＰａ以上であることが好ましい。
【００３０】
また、加熱された一対の加圧ローラ３９またはローラ４０の加熱温度は、３０〜２００℃であることが好ましく、また、加圧ローラ間の接触圧力は１〜１０Ｋｇ／ｃｍ２であることが好ましい。また、キャリアフィルム１１の走行速度は、１〜２０ｍｍ／ｓｅｃであることが好ましい。
【００３１】
また、キャリアフィルム１１を構成する素材は、特に限定されないが、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ナイロンフィルム、ポリイミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルムなどが好ましい。また、キャリアフィルム１１の厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、特に２０〜１００μｍであることが好ましい。
【００３２】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２における積層装置および積層方法について、図４〜図５に基づいて説明する。
【００３３】
図４は本発明の実施の形態２における積層装置を示す概略構成図、図５は同積層装置における積層体の切断状態を示し、（ａ）は積層体の切断状態を示す断面図、（ｂ）は積層体の切断状態を示す平面図、（ｃ）はキャリアフィルムから分離された積層体を示す断面図である。なお、前記実施の形態１と共通の機能を有するものについては、符号のみを付してその説明を省略した。
【００３４】
本実施の形態における積層装置は、キャリアフィルム１１を積層用フィルムに転用可能なものを用いて、その一部を積層用フィルムとして利用したものである。
【００３５】
この実施の形態における積層装置においては、一対のキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂは、それぞれ巻出しローラ５１、５２から引き出され、水平な搬送ラインに沿って走行しつつ、対向して設けられた吸引装置１２と加圧装置１３との間を通過し、変角ローラ３５、３６を介して、それぞれ巻取りローラ５３、５４に巻き取るように構成されている。吸引装置１２、加圧装置１３は、実施の形態１と同様に構成されている。
【００３６】
そして、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂよりも小さい幅の基板１がキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂに挟持された状態で吸引装置１２に搬送され、基板１と基板１を挟持したキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂの部位とが吸引装置１２にて吸引されることにより密着され、吸引装置１２にて密着された基板１と基板１を挟持したキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂの部位が、加熱雰囲気下に加圧装置１３にて加圧されることにより、熱接着されるようになっている。
【００３７】
また、吸引装置１２と変角ローラ３５、３６との間には、搬送ラインの上方に、熱接着された基板１と基板１を挟持したキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂの部位とを、積層体として一体に切り抜くための切断装置６１が配置されている。この切断装置６１は、例えば、キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂに挟持されている基板１の位置を検出して、制御装置により作動するように構成されている。そして、切断装置６１の下方には、実施の形態１における第２下搬送台４４に代えて、切断装置６１にて切り抜かれた積層体がキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂとともに変角ローラ３５、３６側に搬送されるように、積層体を支持する支持台６２が配置され、この支持台６２は変角ローラ３５、３６側に延びている。
【００３８】
この積層装置においては、吸引装置１２の上流側において、走行しているキャリアフィルム１１Ｂ上に基板１のみがセットされる。そして、基板１はキャリアフィルム１１Ｂにより吸引装置１２側に搬送されつつ、途中から上方に配置されたキャリアフィルム１１Ａとキャリアフィルム１１Ｂに挟持されて、吸引装置１２に導入される。
【００３９】
吸引装置１２に導入された基板１は、吸引装置１２の内部空間１２Ａを吸引口２３を介して吸引ポンプにより吸引することにより、キャリアフィルム１１Ａとキャリアフィルム１１Ｂとともに、吸引装置１２の中央部の下面側に吸引されて、基板１と基板１を挟持したキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂの部位とが密着される。それと同時に、膨張体２４に空気を供給して膨張させることにより、加熱雰囲気下で、両キャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂが上部プレート２１側に押し付けられて、密着された基板１と基板１を挟持したキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂの部位とが加熱雰囲気下で加圧されて熱接着される。
【００４０】
そして、熱接着された基板１と基板１を挟持したキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂの部位は、下流側に搬送され、切断装置６１により、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、基板１の外周部を少し残して、基板１とともにキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂに細いスリット６３を入れて切り抜かれ、基板１の両面にキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂが積層用フィルム２として積層された所定寸法の積層体３Ａとされる。この場合、切断装置６１として、プレス型打抜き装置などを用いて機械的に切り抜く場合には、積層体３Ａとされる箇所を支持台６２で支えて、切断装置６１を下降させて積層体３Ａとされる箇所を切り抜くことになる。
【００４１】
所定寸法に切り抜かれた積層体３Ａは、切り抜き前のキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂの箇所に維持されてキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂとともに支持台６２上を変角ローラ３５、３６側まで搬送される。変角ローラ３５、３６側に搬送された積層体３Ａは、変角ローラ３５、３６にてキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂと分離されて、図５（ｃ）に示すような積層体３Ａ単体となって、搬出台４５に引き渡される。一方、変角ローラ３５、３６にて積層体３Ａと分離されたキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂは、それぞれ巻取りローラ５３、５４に巻き取られる。
【００４２】
この実施の形態によれば、積層用フィルム２として転用可能なキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂを用いたので、基板１と積層用フィルム２とを予め重ね合わせることなく、基板１をキャリアフィルム１１Ｂにセットするだけで、基板１と積層用フィルム２とが積層された積層体３Ａを得ることができ、作業性よく積層体を製造することができる。
【００４３】
この実施の形態においては、基板１の外周部を少し残して、基板１とともにキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂに細いスリット６３を入れて切り抜くようにしたが、基板１の元の寸法に合わせてキャリアフィルム１１Ａ、１１Ｂを切り抜くようにしてもよい。
【００４４】
ここで、切断装置６１としては、加圧式一体成型打抜き刃（トムソン刃）を有する装置、プレス型打抜き装置、レーザ光による切断装置などが用いられる。
本発明の積層装置は、基板に限らず、板状を有するものであれば、いずれにも適用することができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の第１の積層装置によれば、吸引手段もしくは加圧手段によってキャリアフィルムに転写された凹凸を平滑にするための加熱された一対の加圧ローラを設けたので、キャリアフィルムを一旦巻き取ることなく、積層工程中で、キャリアフィルムに転写された凹凸が加圧ローラによって平滑にされて、キャリアフィルムを元の状態である平滑な表面に復元させることができる。そのため、キャリアフィルムを一旦巻き取ることなく、連続して再使用することができる。したがって、作業性よく積層体を得ることができるものである。そのため、ビルドアップ工法などに好適に利用することができる。
【００４６】
また、請求項２に記載の発明によれば、加圧手段を膨張体から形成したことにより、加圧手段に流体を供給するだけで、簡単に基材と積層用フィルムとを加熱雰囲気下に加圧して積層体とすることができる。
【００４７】
さらに、本発明の第２の積層装置によれば、積層用フィルムとして転用可能なキャリアフィルムを用いるので、キャリアフィルムの一部が積層用フィルムとして使用されることになり、基材と積層用フィルムとを予め重ね合わせることなく、基材をキャリアフィルムにセットするだけで、作業性よく積層体を得ることができる。
【００４８】
さらに、本発明の第１の積層方法によれば、キャリアフィルムを一旦巻き取ることなく、連続して再使用することができ、作業性よく積層体を得ることができるものである。
【００４９】
さらにまた、本発明の第２の積層方法によれば、基材と積層用フィルムとを予め重ね合わせることなく、基材をキャリアフィルムにセットするだけで、作業性よく積層体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における積層装置を示す概略構成図である。
【図２】同積層装置を用いた基板と積層用フィルムとの積層状態を示す断面図であって、（ａ）は基板と積層用フィルムとの構成を示し、（ｂ）はキャリアフィルムに挟持されている積層体を示し、（ｃ）はキャリアフィルムから分離された積層体を示す。
【図３】同積層装置の部分拡大断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態の積層装置を示す概略構成図である。
【図５】同積層装置における積層体の切断状態を示し、（ａ）は積層体の切断状態を示す断面図、（ｂ）は積層体の切断状態を示す平面図、（ｃ）はキャリアフィルムから分離された積層体を示す断面図である。
【図６】従来の積層装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１    基板
２    積層用フィルム
３    仮積層体
３Ａ  積層体
１１、１１Ａ、１１Ｂ  キャリアフィルム
１２  吸引装置
１３  加圧装置
２１  上部プレート
２２  下部プレート
２３  吸引口
２４  膨張体
２５  入口部
２６  出口部
２７、２８  凹凸部
３１、３２  送りローラ
３３、３４  引き取りローラ
３５、３６  変角ローラ
３７、３８  変曲ローラ
３９、４０  加圧ローラ
４３  第１下搬送台
４４  第２下搬送台
４５  搬出台
５１、５２  巻出しローラ
５３、５４  巻取りローラ
６１  切断装置
６２  支持台
６３  スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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