(57)【要約】【課題】本発明はシート状基板の破損を生ずる応力が発生する原因となり得る中子ステージが無くとも、脆弱なシート状基板を搬送することができる搬送装置及び搬送方法を提供する事を目的とする。【解決手段】シート状基板１０を平板状ステージ２０から取り出して搬送する装置において、シート状基板１０上に空気を基板の平面と平行方向に送る吸引手段５０、シート状基板１０の位置を制御するための制御ガイド６０を有する搬送装置である。シート状基板１０を下から保持する保持ガイド７０を有する搬送装置が好ましい。中子ステージを用いないので、本質的に上記の問題を解決し得る。【選択図】　図７
2004083180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ｉ）シート状基板が配置されるステージ、（ｉｉ）ステージに配置されるシート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出し、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する吸引手段、及び（ｉｉｉ）ステージに配置されるシート状基板の端部と当接する位置に設けられ、シート状基板の位置を制御する制御ガイドを有して成るシート状基板の搬送装置。
【請求項２】
吸引手段が、ベルヌーイチャックであることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
制御ガイドは、シート状基板の端部と当接する面が傾斜面である制御部を少なくとも一つ有することを特徴とする請求項１又２に記載の搬送装置。
【請求項４】
制御ガイドは、制御ガイドの制御部の先端に、更に突起部分を有することを特徴とする請求項３記載の搬送装置。
【請求項５】
（ｉｖ）シート状基板を保持する保持ガイドを、更に有する請求項１〜４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
ステージが、少なくとも一つの空気孔を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項７】
（ａ）シート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出して、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する工程、及び（ｂ）吸引したシート状基板の端部を制御して、シート状基板の位置を制御する工程を有することを特徴とするシート状基板の搬送方法。
【請求項８】
（ａ）工程及び（ｂ）工程の後、（ｃ）吸引したシート状基板の端部を下方から保持するとともに、シート状基板の吸引を終了する工程を、更に有することを特徴とする請求項７記載の搬送方法。
【請求項９】
（ａ）工程において、シート状基板を吸引するとともに、シート状基板の下方からシート状基板に空気を送ることを特徴とする請求項７又は８記載の搬送方法。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれかに記載の搬送装置を用いて行うことを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載のシート状基板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート状基板の搬送装置及び搬送方法に関し、特に脆弱なシート状の基板をステージから離脱させて搬送する搬送装置及び搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年太陽電池やフラットパネルディスプレー等を製造する際に、印刷装置を使用する製造方法が多用されるようになってきている。印刷は、通常シート状の基板を印刷用のステージに配置し、スクリーン印刷法によって行われる。これらの印刷に使用されるシート状基板として、例えば、太陽電池用シリコンウエハー及び液晶基板用ガラス板等の、通常厚さが大変薄く、また強度が脆弱な基板が多く使われている。従って、印刷中はもとより、印刷後にステージからシート状基板を取り出す際においても、基板の割れ等の破損を生ずることがある、取り出しに注意が必要であるという問題がある。
【０００３】
このような従来から使用されている印刷装置の印刷用ステージから印刷後のシート状基板を取り出して搬送するための搬送装置の一例の概要を、図１４に三角法を用いて示し、更に詳細にその問題点を説明する。シート状基板１１０は、印刷装置本体（図示せず）の一部である平板状ステージ１２０に配置される。平板状ステージ１２０には、その中央部に孔１２８が設けられており、その孔１２８の中を上下に動いて、孔１２８から出入可能な中子ステージ１２６が印刷装置本体の駆動部（図示せず）に支持されている。ここで、孔１２８の直径は、中子ステージ１２６の直径とほぼ同じであるが、中子ステージ１２６がスムーズに孔１２８の中を駆動できる程度にわずかに大きい。また、中子ステージ１２６の上面は、平板状ステージ１２０と同一平面を形成するようにされている。
【０００４】
平板状ステージ１２０の左上方に、シート状基板１１０を載せて搬送するためのＵ字状ハンド１９０が、印刷装置本体の駆動部（図示せず）によって、図中左右に移動可能に支持されている。Ｕ字状ハンド１９０のＵ字の径は中子ステージ１２６の径よりも少し大きくなっており、後述する図１７に示すように、Ｕ字状ハンド１９０が最も右に移動した場合、Ｕ字状ハンド１９０は、ほぼシート状基板１１０の真下に位置することができる。
【０００５】
上述したような構成を有する従来のシート状基板搬送装置の動作を、以下に図１５〜図１８を用いて説明する。
従来のシート状基板搬送装置の動作の第１ステップから第４ステップを、図１５〜図１８に示す。まず、第１ステップにおいて、平板状ステージ１２０上にシート状基板１１０が配置され、シート状基板に印刷する印刷機構（図示せず）によって、シート状基板１１０は、その上面に印刷される。図１５は、シート状基板１１０が印刷された直後の状態であって、Ｕ字状ハンド１９０で搬送される前の状態を示す。
【０００６】
次に第２ステップにおいて、孔１２８の中から中子ステージ１２６が上昇し、シート状基板１１０を下側から押し上げて、シート状基板１１０をＵ字状ハンド１９０より高い位置に保持する（図１６）。
引き続き第３ステップにおいて、Ｕ字状ハンド１９０が図中右方に移動し、Ｕ字状ハンド１９０はシート状基板１１０の下に位置する（図１７）。
最後に第４ステップにおいて、中子ステージ１２６が下降し、シート状基板１１０がＵ字状ハンド１９０の上に載せられる（図１８）。
【０００７】
以上説明したようにシート状基板１１０はＵ字状ハンド１９０の上に配置され、搬送可能となり、次の処理のために搬送される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の搬送装置において、平板状ステージ１２０と中子ステージ１２６の上面は、同一平面を形成するようにされているが、その間に段差を生ずることも有り得る。その場合、印刷工程でスキージがシート状基板を走査すると上述の段差部分に対応するシート状基板の部分に応力が集中するために、シート状基板に破損を生じ得るという問題がある。特にシート状基板が脆弱である場合、この破損の発生は顕著であった。
【０００９】
この問題を解決するため、平板状ステージ１２０と中子ステージ１２６との間に生じ得る段差を少なくするために、位置決め精度を高めることが考えられる。しかし、位置決め精度の向上は、コスト増になるという問題があり、また、完全に段差を無くすことは実質的に不可能である。
【００１０】
従って、本発明は上述した破損を発生させる応力が生ずる原因となる、ステージ内の中子ステージを用いなくとも、シート状基板を搬送可能とし得る、特に脆弱なシート状基板を搬送可能とし得る搬送装置及び搬送方法を提供する事を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上述の問題を解決するために種々検討した結果、シート状基板の上に負圧を発生させ、ステージから離脱せしめたシート状基板の端部を制御して、シート状基板の位置を制御することによって、シート状基板を搬送することができることを見出して、本発明に係るシート状基板の搬送装置及び搬送方法を完成するに至ったものである。
【００１２】
本発明は、一つの要旨において、新たなシート状基板の搬送装置を提供し、それは、
（ｉ）シート状基板が配置されるステージ（以下「ステージ」ともいう）、
（ｉｉ）ステージに配置されるシート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出し、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する吸引手段（以下「吸引手段」ともいう）、及び
（ｉｉｉ）ステージに配置されるシート状基板の端部と当接する位置に設けられ、シート状基板の位置を制御する制御ガイド（以下「制御ガイド」ともいう）を有して成る搬送装置である。
【００１３】
本発明の一つの態様において、吸引手段は、ベルヌーイチャックである搬送装置を提供する。
更に、本発明の他の態様において、制御ガイドは、シート状基板の端部と当接する面が傾斜面である制御部を少なくとも一つ有する搬送装置を提供する。
また、本発明の好ましい態様において、制御ガイドは、制御ガイドの制御部の先端に、更に突起部分を有する搬送装置を提供する。
【００１４】
本発明の一つの態様において、
（ｉｖ）シート状基板を保持する保持ガイドを、更に有する搬送装置を提供する。
更に、本発明の他の態様において、ステージが、少なくとも一つの空気孔を有する搬送装置を提供する。
【００１５】
更に、本発明の別の要旨において、新たなシート状基板の搬送方法を提供し、それは、
（ａ）シート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出して、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する工程（以下「（ａ）工程」ともいう）、及び
（ｂ）吸引したシート状基板の端部を制御して、シート状基板の位置を制御する工程（以下「（ｂ）工程」ともいう）
を有する搬送方法である。
【００１６】
本発明の一つの態様において、
（ａ）工程及び（ｂ）工程の後、（ｃ）吸引したシート状基板の端部を下方から保持するとともに、シート状基板の吸引を終了する工程を、更に有する搬送方法を提供する。
本発明の別の態様において、（ａ）工程において、シート状基板を吸引するとともに、シート状基板の下方からシート状基板に空気を送る搬送方法を提供する。
尚、上述の本発明の搬送方法は、上述の本発明の搬送装置を用いて、好ましく実施することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明に係るシート状基板搬送装置は、（ｉ）ステージ、（ｉｉ）シート状基板吸引手段及び、（ｉｉｉ）シート状基板の位置を制御する制御ガイドを有して成る。
本発明において「シート状基板」とは、通常「シート状基板」とされるものであれば、特に制限されるものではなく、例えば、ガラス、プラスチック、シリコン及びセラミック等の材料によって作られているシート状の形態をした薄い板状の基板をいう。従って、そのようなシート状基板として、具体的には、例えば、太陽電池用ウエハー及び液晶パネル用ガラス板等を例示することができる。本発明に係るシート状基板は、応力に弱い脆弱なシート状基板であってもよい。
【００１８】
本発明において「ステージ」とは、通常ステージとされるものであって、「シート状基板」をその上に配置することができるものであれば、特に制限されるものではない。ステージは、その上面が実質的に平面であることが好ましい。尚、「ステージ」は、平板状の形態を有する「平板状ステージ」であることが好ましい。
尚、ステージは、少なくとも一つの空気孔を有することが好ましい。これは、シート状基板をステージから離脱させる際に、空気孔から空気を送り、シート状基板の離脱をより容易にするためである。空気孔の大きさ、形状、数等は、適宜選択され得るものである。
【００１９】
本発明において「吸引手段」とは、ステージに配置されるシート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出し、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引することができる吸引手段であれば、特に制限されるものではない。吸引手段は、具体的には、例えば、ベルヌーイチャック及び吸引パッド等を例示することができるが、特に、ベルヌーイチャックが、シート状基板を非接触で吸引することができるので好ましい。尚、吸引手段とステージ（又はシート状基板）との間の距離は、吸引する強さ及びシート状基板の重さ、大きさ等を考慮して適宜選択され得るものである。
【００２０】
本発明において、「制御ガイド」とは、ステージに配置されるシート状基板の端部と当接する位置に設けられ、シート状基板の位置を制御することができるものであれば、特に制限されるものではない。制御ガイドは、通常、シート状基板の上方に設けられることが好ましい。シート状基板は、吸引手段によって吸引されて、ステージから上方に離脱し、制御ガイドはその離脱したシート状基板の位置を制御する。そのために、制御ガイドは、シート状基板の端部と当接する制御部を有し、シート状基板を吸引手段によって吸引する時、吸引手段よりシート状基板により近い位置に、その制御部をあらかじめ配置することが好ましい。これは、シート状基板と吸引手段の接触を防止するためである。制御部は、シート状基板の位置を制御することができれば、いずれの形状を有してもよい。また、その数も適宜選択することができる。
【００２１】
制御ガイドの制御部は、水平面を有する制御部であってよく、また傾斜面を有する制御部であってもよいが、傾斜面を有する制御部であることが、シート状基板の平面方向の移動を規制することができるので好ましい。更に制御部は、その先端に突起部分を有することが、シート状基板の存在範囲をより規制することができ、確実に吸引されたシート状基板と吸引手段の接触を防ぐことができるので好ましい。制御部の先端の突起部分の形状及び大きさ等は、適宜選択することができる。
【００２２】
本発明に係る搬送装置は、（ｉｖ）シート状基板を保持する保持ガイドを有することが好ましい。本発明において「保持ガイド」とは、制御ガイドが位置を制御しているシート状基板を下方から保持することができるものであれば、特に制限されるものではない。保持ガイドは、シート状基板を保持するための保持部を有するが、その保持部はシート状基板を保持することができれば、その形状及び大きさ等は適宜選択され得るものである。保持部は、シート状基板を保持するために、突起形状であることが好ましい。保持ガイドを用いることで、シート状基板を搬送するときに、吸引手段による空気の吸引を停止することができる。
【００２３】
「吸引手段」、「制御ガイド」及び「保持ガイド」は、各々が単独のデバイスとして本発明に係る搬送装置の中に組み込まれてもよいが、一つのシステムとして統合されて搬送装置内に組み込まれてもよい。このような統合の例として、「吸引手段」、「制御ガイド」及び「保持ガイド」のすべてが取り付けられている搬送アームを例示できる。また、「吸引手段」及び「制御ガイド」が取り付けられた搬送ハンドと「保持ガイド」が取り付けられている搬送アームを例示できる。
【００２４】
本発明に係るシート状基板の搬送方法は、
（ａ）シート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出して、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する工程、及び
（ｂ）吸引したシート状基板の端部を制御して、シート状基板の位置を制御する工程
を有する。
【００２５】
本発明において「（ａ）シート状基板を吸引する工程」とは、シート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出して、シート状基板の上方に負圧を発生させて、シート状基板をステージから離脱させる工程をいう。吸引手段によって吸引する強さ及び吸引手段とシート状基板（又はステージ）との間の距離等の吸引条件は、適宜選択され得るものである。（ａ）工程において、ステージからシート状基板をより容易に離脱させるために、更にシート状基板の下方から空気を送ることが好ましい。
【００２６】
また、「（ｂ）シート状基板の位置を制御する工程」とは、（ａ）工程においてステージから離脱したシート状基板の端部を制御することで、シート状基板の位置を制御する工程をいう。尚、（ａ）工程の吸引開始時には、シート状基板の位置の制御ができるように（ｂ）工程をあらかじめ準備し、吸引することでステージから離脱したシート状基板が吸引手段と接触することがないように、直ちにシート状基板の位置を制御することが好ましい。
【００２７】
上述の本発明に係る搬送方法は、（ａ）工程及び（ｂ）工程の後、（ｃ）吸引したシート状基板の端部を下方から保持するとともに、シート状基板の吸引を終了する工程を、更に有することが好ましい。（ｃ）工程において、シート状基板の端部を下方から保持することで、（ａ）工程以降続いている吸引手段からの空気の噴出を停止することができる。これによって、シート状基板の上面が印刷された場合、吸引手段を用いる吸引による印刷面への影響を低下させることができる。
【００２８】
尚、本発明に係るシート状基板の搬送方法は、上述の本発明に係る搬送装置を用いて実施することが好ましい。
【００２９】
本発明に係るシート状基板の搬送装置及び搬送方法は、シート状基板を取り扱う技術分野であれば、特に制限されることなくいずれの技術分野においても用いることができるが、そのような技術分野として、例えば、太陽電池用ウエハーの搬送及び液晶パネル用のガラス板の搬送等を例示することができる。
尚、本発明に係る搬送装置は、例えば、印刷装置、スプレー塗布装置、ハンダ付け装置、スピンコート装置等の他の装置の一部に組み込んで使用することができる。また、本発明に係る搬送方法は、例えば、印刷方法、スプレー塗布方法、ハンダ付け方法、スピンコート方法等の他の方法の一部に組み込んで使用することができる。
【００３０】
以下、更に添付した図面を参照しながら、本発明に係るシート状基板の搬送装置及び搬送方法について、具体的に詳細に説明するが、これらは単なる本発明の実施の形態の例示にすぎず、本発明は、これらの例示によって何ら制限されるものではない。
【００３１】
実施の形態１
図１は、本発明の実施の形態１を示すシート状基板の搬送装置の概略図である。シート状基板１０は、印刷装置本体（図示せず）の一部である平板状ステージ２０の上に配置されており、印刷装置本体（図示せず）に連結され上方に位置する搬送アーム３０によって搬送される。
搬送アーム３０に結合されている搬送ハンド４０の中央部に、シート状基板を吸引する吸引手段としてのベルヌーイチャック５０と、ベルヌーイチャック５０の左右にシート状基板の位置を制御する制御ガイド６０が設けられている。ベルヌーイチャック５０には中央に空気噴出孔５２が設けられており、エアー発生源（図示せず）から圧縮空気をステージのおよそ平面方向、即ち、シート状基板１０の平面に平行方向に噴出することができる。それによって、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０との間に負圧を発生させて、即ち、シート状基板１０の上方に負圧を発生させてシート状基板１０を吸引することができる。
尚、圧縮空気の噴出によって、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０との間にはエアクッションができるので、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０との接触は定常状態では発生しない。
【００３２】
一方、制御ガイド６０のシート状基板の位置を制御する制御部６２は傾斜面を形成している。シート状基板１０の端部を制御ガイド６０の傾斜面を形成した制御部６２に当接させることによって、ベルヌーイチャック５０にシート状基板１０が吸引された時に、一時的に両者が接触することを防止するためである。一般に前工程の印刷処理によって、シート状基板１０の上面に所定のパターンが印刷されているが、制御ガイド６０によって、この形成された印刷面１２とベルヌーイチャック５０との接触が防止される。またシート状基板１０を吸引した状態で搬送する場合、制御部６２が傾斜面を形成していると、シート状基板１０の平面方向の移動を制御ガイド６０を用いて規制することが可能となる。これはベルヌーイチャック５０とシート状基板１０との間には負圧が発生し、シート状基板１０を吸引しているが、ベルヌーイチャック５０を用いても図中水平方向には何ら規制力が働いていないからである。
【００３３】
上述した実施の形態１の搬送装置の動作及びそれを用いるシート状基板の搬送方法を図１及び図２を参照しながら説明する。
シート状基板１０に所定の印刷処理が行われた後、平板状ステージ２０からシート状基板１０を搬送するために搬送アーム３０がシート状基板１０のほぼ上方に移動する（図１）。空気噴出孔５２から、空気がシート状基板１０の平面と平行方向に噴出し、それによって発生する負圧により、シート状基板１０は上方に吸引される。シート状基板１０は、搬送アーム３０の制御ガイド６０に保持され、所定の位置に移動する事が可能となる（図２）。以上のように本発明では従来の搬送装置で使用されていた中子ステージを用いなくても、シート状基板をステージから搬送する事ができる。
【００３４】
尚、上述した制御ガイド６０は、図１及び２において、シート状基板１０の対向する二辺を制御するように記載されているが、制御ガイドをベルヌーイチャックの前後左右に配置してシート状基板の四辺を制御するように構成してもよい。また、図１及び２において、制御ガイド６０は左右に二箇所としているが、奥行き方向に二箇所またはそれ以上の箇所で制御するように構成してもよい。
【００３５】
実施の形態１では制御ガイド６０は、傾斜面を形成している制御部６２を有するが、図中水平方向に、それほど力が加わらないのであれば、図３に示すように、制御ガイド６０は、水平面を有する制御部６４を有してよい。即ち、この水平面を有する制御部６４がシート状基板１０の印刷面１２以外の部分に当接するように、本発明に係る搬送装置を構成してもよい。この場合、シート状基板の上面の印刷は、印刷面の端部まで行われていないことが好ましい。
【００３６】
実施の形態２
図４は、本発明の実施の形態２を示すシート状基板の搬送装置の概略図である。図４に示した搬送装置は、シート状基板１０を下方から保持する保持ガイドとして機能する搬送チャック７０が、搬送アーム３０に接合されていることを除いて、図１に示した搬送装置と同様の装置である。搬送チャック７０は搬送アーム３０に対し左右に一対として設けられ、図中左右方向に稼動可能に取りつけられている。図４に示す搬送チャック７０は最も外側に広がった状態を示す。搬送チャック７０にはそれぞれ保持部７２が突起形状として図４に示すように形成されている。搬送チャック７０が最も内側に狭まった状態では、二つの保持部７２同士の先端の間隔はシート状基板１０の幅よりも狭くなる。
【００３７】
上述した実施の形態２の搬送装置の動作及びそれを用いるシート状基板の搬送方法を、図４〜６を参照しながら説明する。
シート状基板１０に所定の印刷処理が行われた後、平板状ステージ２０からシート状基板１０を搬送するために搬送アーム３０がシート状基板１０のほぼ上方に移動する（図４）。空気噴出孔５２から、空気がシート状基板１０の平面と平行方向に噴出し、それによって発生する負圧により、シート状基板１０は上方に吸引される。シート状基板１０は、搬送アーム３０の制御ガイド６０に保持される（図５）。
【００３８】
次に図６に示すように搬送チャック７０がそれぞれ内側に移動し、保持部７２は、ともにシート状基板１０の下側であって、シート状基板１０を載せることができる位置に配置される。その後ベルヌーイチャック５０の空気の噴出しを停止すると、シート状基板１０は保持部７２に保持される（図６）。シート状基板１０はこの状態で所定の位置に搬送することが可能となる。
【００３９】
このように動作することにより、シート状基板１０の搬送時においては、空気の噴出しを停止して搬送することが可能となる。これにより、中子ステージを用いなくても、シート状基板をステージから搬送する事ができるとともに、印刷直後の印刷面１２のペースト等が乾ききらない状態のシート状基板を搬送する場合、空気を噴出することによる印刷面への影響（空気による波紋の発生等）をより少なくすることが可能となる。
【００４０】
実施の形態３
図７は、本発明の実施の形態３を示すシート状基板の搬送装置の概略図である。図７に示した搬送装置は、制御ガイド６０の傾斜面を形成する制御部６２の先端に、シート状基板１０の位置を更に規制する突起部分６６が形成されていることを除いて、図４に示した搬送装置と同様の装置である。実施の形態１において説明したように、シート状基板１０を吸引した状態で搬送する場合、制御ガイド６０は傾斜面を有する制御部６２を有するので、シート状基板１０の平面方向の移動を規制することが可能となるが、更に、突起部分６６によりシート状基板１０の存在範囲が規制されるために、より確実に吸引時のシート状基板１０とベルヌーイチャック５０の接触を防ぐ事が可能となる。
【００４１】
上述した実施の形態３の搬送装置の動作及びそれを用いるシート状基板の搬送方法を、図７〜９を参照しながら説明する。
シート状基板１０に所定の印刷処理が行われた後、平板状ステージ２０からシート状基板１０を搬送するために搬送アーム３０がシート状基板１０のほぼ上方に移動する（図７）。空気噴出孔５２から、空気がシート状基板１０の平面と平行方向に噴出し、それによって発生する負圧により、シート状基板１０は上方に吸引される。シート状基板１０は、搬送アーム３０の制御ガイド６０に保持され、突起部分６６によりシート状基板１０の存在範囲が更に確実に規制され、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０が接触することがより確実に防止される（図８）。
【００４２】
次に図９に示すように搬送チャック７０がそれぞれともに内側に移動し、保持部７２は、シート状基板１０の下側であって、シート状基板１０を載せることができる位置にともに配置される。その後ベルヌーイチャック５０の空気の噴出しを停止すると、シート状基板１０は保持部７２に保持される（図９）。シート状基板１０はこの状態で所定の位置に搬送することが可能となる。
【００４３】
このように動作することにより、シート状基板１０の搬送時においては、空気の噴出しを停止して搬送することが可能となる。これにより、中子ステージを用いなくても、シート状基板をステージからより確実に搬送する事ができるとともに、印刷直後の印刷面１２のペースト等が乾ききらない状態のシート状基板を搬送する場合、空気を噴出することによる印刷面への影響（空気による波紋の発生等）をより少なくすることが可能となる。
【００４４】
実施の形態４
図１０は、本発明の実施の形態４を示すシート状基板の搬送装置の概略図を示すものである。図１０に示した搬送装置は、平板状ステージ２０に空気孔２２が設けられていることを除いて、図７に示した搬送装置と同様の装置である。空気は、空気供給源（図示せず）から供給され、空気孔２２から噴出する。
【００４５】
上述した実施の形態４の搬送装置の動作及びそれを用いるシート状基板の搬送方法を、図１０〜１２を参照しながら説明する。
シート状基板１０に所定の印刷処理が行われた後、平板状ステージ２０からシート状基板１０を搬送するために搬送アーム３０がシート状基板１０のほぼ上方に移動する（図１０）。空気噴出孔５２から、空気がシート状基板１０の平面と平行方向に噴出し、それによって負圧を発生させるとともに、空気孔２２から空気を噴出することにより、シート状基板１０は平板状ステージ２０から離れる。そして、シート状基板１０は、搬送アーム３０の制御ガイド６０に保持され、制御部６２の突起部分６６によりシート状基板１０の存在範囲が更に確実に規制され、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０の接触がより確実に防がれる（図１１）。
【００４６】
次に図１２に示すように搬送チャック７０がそれぞれ内側に移動し、保持部７２は、シート状基板１０の下側であって、シート状基板１０を載せることができる位置に配置される。その後ベルヌーイチャック５０の空気の噴出しを停止すると、シート状基板１０は保持部７２に保持される（図１２）。シート状基板１０はこの状態で所定の位置に搬送することが可能となる。
【００４７】
このように動作することにより、シート状基板１０の搬送時において、ベルヌーイチャック５０からの吸引と平板状ステージ２０からの空気の噴出しを同時に行うことによって、より容易にシート状基板をステージから離脱させることができ、より確実にシート状基板１０を制御ガイド６０に当接させ、搬送チャック７０に保持させることができる。
【００４８】
尚、一般的に印刷装置のステージには、シート状基板などを印刷時に吸引し固定するために、吸引孔が設けられていることが多いが、この吸引孔を上述したステージに設ける空気孔として併用することも可能である。この場合、例えば、図１３に示すように、空気孔２２に接続される空気の供給配管８０と真空配管８６とをバルブ８２及び８４を用いて切り替えることができるような工夫が必要である。
【００４９】
以上の実施の形態においては、シート状基板は、形状が矩形である場合について説明したが、本発明は、矩形のシート状基板に限定されるものではなく、例えば、形状が円形であっても、制御ガイド等の形状及び配置を適宜変更することによって、同様に実施することができる。
【００５０】
【発明の効果】
本発明に係るシート状基板の搬送装置及び搬送方法を使用すると、シート状基板の上に負圧を発生させることで、シート状基板をステージから離脱させるので、従来からシート状基板をステージから離脱させるために用いられている中子ステージを使用する必要がない。従って、中子ステージを用いることによるステージと中子ステージの間の段差に基づいて、シート状基板の破損が発生するという問題が解消する。
【００５１】
更に、傾斜面を有する制御部を有する制御ガイドを用いることで、吸引手段とシート状基板の印刷面との間の接触を防止しつつ、搬送時にシート状基板が水平方向に移動する事を規制しながら搬送することが可能となる。
また、制御部の先端に突起部分を有する制御ガイドを用いることで、吸引手段とシート状基板の印刷面とが接触すること、及び搬送時にシート状基板が水平方向に移動することを、より確実に防止することができる。
【００５２】
保持ガイドを用いることで、シート状基板を吸引して保持ガイドで保持した後、吸引を停止することができる。従って、印刷されたシート状基板の印刷面への吸引による影響を低下させることができる。
更に、ステージ内の空気孔を用いることで、より容易にシート状基板をステージから離脱させることができ、より確実に制御ガイドにシート状基板を当接させ、保持ガイドにシート状基板を保持させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１を示すシート状基板搬送装置の概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図３】本発明の実施の形態１を示すシート状基板搬送装置と別の形態のシート状基板搬送装置の概略図である。
【図４】本発明の実施の形態２を示すシート状基板搬送装置の概略図である。
【図５】本発明の実施の形態２を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図６】本発明の実施の形態２を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図７】本発明の実施の形態３を示すシート状基板搬送装置の概略図である。
【図８】本発明の実施の形態３を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図９】本発明の実施の形態３を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図１０】本発明の実施の形態４を示すシート状基板搬送装置の概略図である。
【図１１】本発明の実施の形態４を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図１２】本発明の実施の形態４を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図１３】本発明の実施の形態４を示すシート状基板搬送装置において使用される空気配管の一例の概略図である。
【図１４】従来のシート状基板搬送装置の一例を示す概略図である。
【図１５】従来のシート状基板搬送装置の一例の動作の第１ステップを示す概略図である。
【図１６】従来のシート状基板搬送装置の一例の動作の第２ステップを示す概略図である。
【図１７】従来のシート状基板搬送装置の一例の動作の第３ステップを示す概略図である。
【図１８】従来のシート状基板搬送装置の一例の動作の第４ステップを示す概略図である。
【符号の説明】
１０…シート状基板
１２…シート状基板の印刷面
２０…平板状ステージ
２２…空気孔
３０…搬送アーム
４０…搬送ハンド
５０…ベルヌーイチャック
５２…空気噴出孔
６０…制御ガイド
６２…傾斜面を有する制御部
６４…水平面を有する制御部
６６…突起部分
７０…搬送チャック
７２…保持部
８０…空気の供給配管
８２…バルブ
８４…バルブ
８６…真空配管
１１０…シート状基板
１２０…平板状ステージ
１２６…中子ステージ
１２８…孔
１９０…Ｕ字状ハンド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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