(57)【要約】【課題】計測装置のユーザーにおいて計測対象物の計測が不可能となった場合に、装置メーカー等の知識を利用して容易に問題を解決させる。【解決手段】計測がうまくいかない場合には、メニューバーのヘルプをクリックすると、プルダウンメニュー中に「計測不具合原因抽出」の項目が現われる。この項目のいずれかをクリックすると、測定ソフトウエアが起動し、ウィザード式で計測がうまくいかないときのデータが収集される。このデータは、計測装置のハードディスクに保存された後、電子メールに添付して装置メーカーの担当セクションなどへ送信される。そして、そこで計測がうまくいかない原因の分析を受けることができる。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測装置に組み込むための計測ソフトウエアであって、
計測がうまくいかないという入力情報の有無を判断するステップと、
計測がうまくいかないという入力情報があったと判断した場合に、計測がうまくいったときの計測データと計測がうまくいかなかったときの計測データのうち少なくとも計測がうまくいかなかったときの計測データを収集するステップと、
収集した計測データを計測装置の記憶手段に保存させるステップとを備えた計測ソフトウエア。
【請求項２】
前記収集された計測データを計測装置から取り出し可能な記録媒体に保存させるステップを備えた、請求項１に記載の計測ソフトウエア。
【請求項３】
上記収集された計測データを電子メールにより送信させるステップを備えた、請求項１に記載の計測ソフトウエア。
【請求項４】
請求項１、２又は３に記載の計測ソフトウエアを記録された記録媒体。
【請求項５】
請求項１、２又は３に記載の計測ソフトウエアを備え、上記計測ソフトウエアの不具合解析情報収集処理を実行可能にしたことを特徴とする光学式膜計測装置。
【請求項６】
請求項１、２又は３に記載の計測ソフトウエアを備え、上記計測ソフトウエアの不具合解析情報収集処理を実行可能にしたことを特徴とする良否判別装置。
【請求項７】
請求項１、２又は３に記載の計測ソフトウエアを備え、上記計測ソフトウエアの不具合解析情報収集処理を実行可能にしたことを特徴とする寸法計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、計測ソフトウエア及び当該ソフトウエアを実装した装置に関し、具体的にいうと計測作業時に計測不可となった場合の処理を行わせるようにした計測ソフトウエアと、当該計測ソフトウエアを実装した光学式膜計測装置、良否判別装置及び寸法計測装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
計測対象物の種々の膜厚や変位、印字の良否など物理量や良否情報に変換する計測装置が種々用いられているが、ユーザーによっていろいろな対象物が計測されるので、計測装置の設定方法が不適切であったりすると計測を行えない場合も発生する。そのため設定方法に関する問い合わせや、計測ができないといった相談がユーザーから計測装置のメーカーへ寄せられることがある。
【０００３】
ここでは、従来の膜厚計測装置の場合を例にとって説明する。膜厚計測装置では、光ファイバヘッドから画像を取り込み、顕微鏡光学系を通じて当該画像をＣＣＤカメラに結像させ、ＣＣＤカメラで撮像された画像に対してコンピュータ上で膜厚演算を行っており、コンピュータに接続されたモニタ・ディスプレイには、図１のメイン表示画面に示すように、計測データや計測値（計測履歴のリストボックス１０）などがメニューバー９やボタン等とともに表示されている。
【０００４】
図２はこのような膜厚計測装置において、膜厚計測ソフトウエアがファイル類や投受光制御部にアクセスする状況を表す概要図である。膜厚計測装置は、膜厚計測装置全体を制御して膜厚計測を行わせるための膜厚計測アプリケーションソフトウエア１を備えている。膜厚計測アプリケーションソフトウエア１が投光制御部２に指令を送ると、投光制御部２は光源等を制御して計測対象物を照明し、また、膜厚計測アプリケーションソフトウエア１が受光制御部３に制御指令を送ると、受光制御部３は、ＣＣＤカメラで計測対象物の画像を撮像し、膜厚計測アプリケーションソフトウエア１の信号処理部へ送り、当該計測データに基づいて膜厚演算を行わせる。
【０００５】
膜厚計測装置は、計測に必要な設定類や受光量データ等をファイルとして記憶装置内に保持している。リファレンスファイル４には、計測対象物の種類（レシピ）に対応する最適な照明の光量や受光部のダイナミックレンジが記録されている。マテリアルファイル５には、（１）膜又は基板の材質名、（２）その光学定数（屈折率と吸収係数）などの情報が納められている。例えば、「ＳｉＯ２」というマテリアルファイルには、ＳｉＯ２の屈折率と吸収係数が記載されている。レシピファイル６には、（１）膜と基板の材質の組み合わせ名称（レシピ）、（２）計測する光波長範囲、（３）そのレシピで取得されたリファレンス光量が記載されたリファレンスファイル名、（４）リファレンス取得に使用されたマテリアルファイル名、（５）その他、ユーザーが設定したい項目が納められている。
【０００６】
例えば、ユーザーがＳｉ上のＳｉＯ２膜を計測したいときには、次のような手順で計測される。ユーザーは、図１において、メニューバー９の「ファイル」をマウスでクリックすると、画面にプルダウンメニューが現れ、その中の「新規レシピ作成」を選択すると、レシピ編集画面（図示せず）がモニタ・ディスプレイ上に現れる。その中で、「ＳｉＯ２  Ｔｅｓｔ」等の名称（レシピ名）や、
膜種：ＳｉＯ２
基板種：Ｓｉ
計測する光波長範囲：５００〜６８０ｎｍ
リファレンス取得時に使用されるマテリアルファイル名：Ｓｉ
といった設定内容を記載し、これを保存するとレシピ保存画面が閉じられ、図１のようなメイン表示画面に戻る。
【０００７】
膜の形成されていないＳｉ基板を計測位置に置き、メイン表示画面において「リファレンス」ボタン７をクリックすると、膜厚計測アプリケーションソフトウエア１は、リファレンス取得時に使用されるマテリアルファイルに格納されているＳｉの屈折率と吸収係数、及び膜の形成されていないＳｉ基板からの反射光をもとに、投光制御部２及び受光制御部３をコントロールして、Ｓｉ基板に対して最適な光量及び受光ダイナミックレンジを設定する。この結果、設定された光量及びダイナミックレンジが数値化され、上記のような「ＳｉＯ２  Ｔｅｓｔ」という名称のリファレンスファイルが自動的に新規作成され、レシピファイルに関連付けられる。
【０００８】
メイン表示画面に「ＳｉＯ２」がレシピファイルとして選択されている場合には、リファレンスファイルに基づいて最適な光量とダイナミックレンジが設定されている。この状態で、ＳｉＯ２膜が形成されたＳｉ基板を計測位置に置き、ＳｉＯ２膜の計測を行う。
【０００９】
メイン表示画面上の「計測」ボタン８をマウスでクリックすると、膜厚計測アプリケーションソフトウエア１は、投光制御部２及び受光制御部３を介して投光部と受光部を制御し、ＣＣＤカメラから画像を取り込み、その受光データが信号処理部へ取り込まれ、カーブフィッティング法に基づいて膜厚が演算される。その演算結果は、図１のメイン表示画面に示すように、実測した受光波形とカーブフィッティング法で選択された理論波形として表され、計測値として理論波形の膜厚値が最新の計測履歴として表示される。
【００１０】
このような膜厚計測装置でも、いろいろな原因で計測不能になることがある。例えば、外乱光が計測装置の光学系に入光したり、計測対象物に対向させて計測対象物の画像を取り込むための光ファイバヘッドの固定位置がずれていたり、あるいは、計測対象となる膜の光学定数が物性的に一様でないなど、さまざまな原因により膜厚計測が正しく行われないことがある。このようなトラブルが生じたとき、メイン表示画面上の波形の力一ブフィットの様子から、その原因を推定するためには、光学理論や薄膜による光干渉理論を理解していることが必要である。ところが、実際に成膜現場で膜厚計測装置を使用している人は、光学理論や光干渉理論に精通していないことが多いので、膜厚計測装置のユーザーが自ら波形のカーブフィットの様子からその原因を推定し、対策を講じて膜厚計測を正しくできるように改善することができない。
【００１１】
図３は、膜厚約１０００ｎｍを目的としてＳｉウエハ上に形成されたＳｉＯ２膜の実際の膜厚計測を行ったとき、白熱灯などの外乱光が光ファイバヘッドに入ったため、膜厚が約数十ｎｍ程度であると誤って計測された際の光干渉波形の様子を示している。このＳｉＯ２膜が正常に計測されている場合には、その干渉波形は図１に示したような波形となる。図３のような誤差が生じた理由は、光ファイバへ外乱光が入射したことにより、実測波形の反射率が一様に上がり、その結果干渉波形の振幅が相対的に小さくなり、波形がほぼ直線状である数十ｎｍ程度の薄い膜の理論波形の方が実測波形との自乗和誤差が小さくなったためである。光学理論や光干渉理論に精通している人であれば、このような原因推定が可能であるが、一般には、ユーザーがその原因を推察することは難しく、その結果誤計測を繰り返すことになってしまう。
【００１２】
なお、このような誤計測の問題は、膜厚計測に限らず、光学式三角測距方式及び光切断式の変位計や測長計、また、カメラを使用した画像認識方式による文字判別装置や図形採寸装置などでも起こり得る。
【００１３】
【発明の開示】
本発明は、上記のような間題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、計測装置のユーザーにおいて計測対象物の計測が不可能となった場合に、装置メーカー等の知識を利用して問題を解決することを容易にさせることにある。
【００１４】
本発明の計測ソフトウエアは、計測装置に組み込むための計測ソフトウエアであって、計測がうまくいかないという入力情報の有無を判断するステップと、計測がうまくいかないという入力情報があったと判断した場合に、計測がうまくいったときの計測データと計測がうまくいかなかったときの計測データのうち少なくとも計測がうまくいかなかったときの計測データを収集するステップと、収集した計測データを計測装置の記憶手段に保存させるステップとを備えたものである。ここで、計測がうまくいかないという入力情報は、計測装置のユーザーにより入力されるものである。また、収集される計測データとは、少なくとも計測がうまくいかなかった場合の計測結果（計測値）、計測を行うための計測対象物に関するデータ、計測装置自体の設定値などである。
【００１５】
ユーザーにおいて計測がうまくいかないと判断した場合には、本発明の計測ソフトウエアを起動して計測がうまくいかないという情報を入力すると、計測ソフトウエアは、自動的に、あるいは手順ガイド式で、あるいウィザード形式で、あるいは対話方式で所定の計測データを収集し、一つに集められた計測データを一箇所に保存する。例えば、計測装置内のハードディスク内の所定のホルダー（ディレクトリ）に保存する。こうして、計測がうまくいかない原因を判断または分析するのに必要な計測データが収集されるので、ユーザーは、この収集された計測データを装置メーカーや専門機関などに送り、そこで原因を分析してもらうことにより、簡単に計測がうまくいかない原因を調査して貰うことができる。よって、ユーザーにおいて手に負えないような計測不能も容易に、短時間で解決することが可能になる。
【００１６】
収集された計測データを装置メーカーや専門機関に送る手段としては、電子メールによる方法が簡易である。電子メールによる場合には、ユーザーが自ら手作業で送信しても良いが、収集された計測データが添付ファイルとして自動的に所定の送り先へ送信されるようにしておけば、手間が掛からず、送信先を間違える恐れもない。
【００１７】
また、収集された計測データを計測装置から取り出し可能な（リムーバルタイプの）記録媒体、例えばフロッピーディスク、ＭＯ、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、リムーバブルハードディスクなどに保存させられるようにしてあれば、この記録媒体を郵便によって装置メーカーや専門機関などに送ることができる。また、計測装置に電子メール機能がない場合には、記録媒体を介して計測データを別なコンピュータへ移し、そのコンピュータから電子メールで送付することもできる。
【００１８】
この計測ソフトウエアは、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ等の記録媒体に保存しておくことができ、記録媒体から計測装置内部のハードディスクなどにインストールして実行させることができる。
【００１９】
また、この計測ソフトウエアは、どのような計測装置にも用いることができる。例えば、光学式膜計測装置、良否判別装置、寸法計測装置などにインストールしておき、ユーザーにおいて計測不能の原因を特定できない場合の対処を容易にすることができる。
【００２０】
なお、この発明の以上説明した構成要素は、可能な限り任意に組み合わせることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
図４は本発明の第１の実施形態による膜厚計測装置の構成を示す図である。この膜厚計測装置１１では、ハロゲンランプ等の光源１２は、横向けに光を出射するように配置されている。光源１２から出射された白色光は、コリメートレンズ１３によって平行光に変換された後、ハーフミラー１４で反射されて下方の計測対象物１５に向けて投射され、計測対象物１５は白色平行光により同軸落射照明される。計測対象物１５の薄膜に照射された光は、薄膜の表面と裏面で反射し、薄膜の表面で反射した光と裏面で反射した光が薄膜の膜厚に応じて各波長毎に干渉を起こす。
【００２２】
計測対象物１５で正反射して戻ってくる白色反射光は、顕微鏡光学系１６によってＣＣＤカメラ等からなる光検出器１８の受光面に結像させられる。このとき光検出器１８に入射する光は、回折格子等からなる分光器１７によって分光され、分光された各波長の光が光検出器１８に入射させられる。
【００２３】
光検出器１８に入射した各波長の光は、光検出器１８によって各波長毎の受光量（測定対象物による反射率）を計測され、その計測データは、膜厚検査コントローラ１９へ送られる。膜厚検査コントローラ１９では、計測された実測波形とマッチする理論波形が算出され、算出結果の理論波形から計測対象物１５の膜厚が算出される。モニタ・ディスプレイ２０には、実測波形と理論波形、膜厚の計測値（計測履歴）、メニューバー９、ボタン等が表示される。これらは従来例において図１で説明したので、説明は省略する。また、膜厚計測装置１１は、計測に必要な設定類や受光量データ等をリファレンスファイル４、マテリアルファイル、レシピファイルといったファイルとして膜厚検査コントローラ１９内の記憶装置（図示せず）に保持している。リファレンスファイル４、マテリアルファイル５、レシピファイル６については、従来例（図２）において説明したので、ここでは説明を省略し、同一符号を用いて引用する。
【００２４】
図４に示すコントローラ操作部２１は、膜厚検査コントローラ１９に対して各種データやコマンドを入力させたり、モニタ・ディスプレイ２０の画面表示を操作するための入力手段である。照明制御部２２は、照明制御部２２を最適な照度となるように制御するものである。読み書きデバイス２３は、リムーバブルタイプの記録媒体に読み書きする装置であって、メモリカードにデータを書き込んだり読み出したりするメモリカード・リード／ライタ、フロッピーディスクに読み書きするフロッピーディスクドライバ、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒ等のメディアディスクに読み書きする装置などを用いることができる。
【００２５】
本発明の膜厚計測装置１１は、膜厚検査コントローラ１９内の記憶装置に膜厚計測処理を実行させるための計測ソフトウエア（膜厚計測アプリケーションソフトウエア）を格納されているが、この計測ソフトウエアは、ユーザーが膜厚計測が不可能であると判断したときのウィザード処理（計測支援プログラム）も含んでいる。この処理は、膜厚計測が不可能であると判断された場合には、ユーザーに、計測可と判断したデジタル情報と計測不可と判断したデジタル情報の双方を、あるいは、計測不可と判断したデジタル情報のみを選択させ、いずれかが選択されると、それらに付随する計測項目を含めて一つのファイルに変換し、膜厚計測装置１１の外部に取り出し可能な状態にする手順を、手順ガイド式のソフトウエアとしたものである。以下、本発明の膜厚計測装置１１において、膜厚計測不可能と判断された場合の処理を説明する。
【００２６】
モニタ・ディスプレイ２０のメイン表示画面（図１、図３参照）を見て膜厚が「正しく計測できていない」と感じたら、作業者は、メニューバー９上の「ヘルプ」をクリックする。「ヘルプ」をクリックすると、プルダウンメニューが現われ、プルダウンメニュー中に「計測不具合原因抽出」の項目が現われるので、それをクリックすると、子ウインドウがメイン表示画面上に現われる。この子ウインドウ２４が表示されているメイン表示画面を図６に示し、子ウインドウ２４の内容を図７に示す。
【００２７】
計測がうまくいかない場合には、計測するたびに必ずうまくいかない場合と、計測するとうまくいったりいかなかったりする場合の２通りが考えられるので、子ウインドウ２４には、「膜厚計測がうまくいったりいかなかったりする」を選択するボタン２５と、「膜厚計測がうまくいかない」を選択するボタン２６を表示し、いずれかを選択させている。
【００２８】
計測がうまくいったりいかなかったりする場合には、ユーザーが子ウィンドウ２４の「膜厚計測がうまくいったりいかなかったりする」というボタン２５をクリックすると、膜厚計測装置１１は図８、図９、図１０、図１１の流れでユーザーに手順の指示を行う。
【００２９】
すなわち、図７の「膜厚計測がうまくいったりいかなかったりする」というボタン２５がクリックされると、メイン表示画面には、図８に示すような子ウィンドウ２７が表示される。子ウィンドウ２７には、「膜厚がうまくいく場合と、うまくいかない場合の両方が現われるまで、計測を繰り返してください。両方が現われたら、『次へ』をクリックしてください。」と表示され、その下には「前へ」のボタン２８、「次へ」のボタン２９、「キャンセル」のボタン３０が並んでいる。通常は、計測履歴にはうまくいった場合の計測値とうまくいかなかった場合の計測値とが並んでいる筈であるから、「次へ」ボタン２９がクリックされる。なお、子ウィンドウ２７で「前へ」ボタン２８をクリックすると、子ウインドウ２４へ戻る。
【００３０】
たまたま計測履歴には、うまくいった場合の計測値とうまくいかなかった場合の計測値のうち一方しか残っていなかった場合には、一旦「キャンセル」ボタン３０をクリックして処理を中止する。処理を中止すると、作業者は、計測を再度繰り返して計測履歴にうまくいった場合の計測値とうまくいかなかった場合の計測値とが並ぶようにする。この後、再び「ヘルプ」→子ウインドウ２４→子ウィンドウ２７と進み、「次へ」ボタン２９をクリックする。なお、再度計測しても正常な計測値が得られない場合には、子ウインドウ２４で「膜厚計測がうまくいかない」のボタン２６をクリックする。
【００３１】
子ウィンドウ２７の「次へ」ボタン３０がクリックされると、メイン表示画面には、図９に示すような子ウィンドウ３１が表示される。子ウィンドウ３１には、「計測履歴をスクロールして、膜厚がうまくいったときの代表的な計測Ｎｏ．をダブルクリックして、反転表示させてください。できたら、『次へ』をクリックしてください。」と表示され、その下には「前へ」のボタン３２、「次へ」のボタン３３、「キャンセル」のボタン３４が並んでいる。
【００３２】
子ウィンドウ３１の表示に従って正常な計測値を反転表示させ、「次へ」ボタン３３をクリックすると、図１０に示すような子ウィンドウ３５が現われる。子ウィンドウ３５には、「計測履歴をスクロールして、膜厚がうまくいかなかったときの代表的な計測Ｎｏ．をダブルクリックして、反転表示させてください。できたら、『次へ』をクリックしてください。」と表示され、その下には「前へ」のボタン３６、「次へ」のボタン３７、「キャンセル」のボタン３８が並んでいる。
【００３３】
子ウィンドウ３５の表示に従って異常な計測値を反転表示させ、「次へ」ボタン３７をクリックすると、図１１に示すような子ウィンドウ３９が表示される。子ウィンドウ３９には、「原因抽出のための波形の取得が完了しました。『保存』をクリックすると、関連ファイルを圧縮し『設定』内で指定されたパスに所定の名称で保存します。『保存して通信』をクリックすると、上記手順で保存したうえ、『設定』内に指定されたメールアドレスに自動メール発送します。」と表示され、その下には「前へ」のボタン４０、「保存」のボタン４１、「保存して通信」のボタン４２、「キャンセル」のボタン４３が並んでいる。
【００３４】
また、計測が必ずうまくいかない場合には、ユーザーが図７の子ウインドウ２４の「膜厚計測がうまくいかない」というボタン２６をクリックすると、膜厚計測装置１１は、図１０、図１１の流れでユーザーに手順の指示を行う。
【００３５】
すなわち、図７の「膜厚計測がうまくいかない」というボタン２６がクリックされると、メイン表示画面には、図１０の子ウィンドウ３５が表示される。子ウィンドウ３５の表示に従って異常な計測値を反転表示させ、「次へ」ボタン３７をクリックすると、図１１の子ウィンドウ３９が表示される。
【００３６】
よって、図７の子ウインドウ２４のいずれのボタンをクリックしても最終的には子ウィンドウ３９に達することになる。子ウィンドウ３９の指示に従って、「保存」ボタン４１又は「保存して通信」ボタン４２をクリックすると、計測ソフトウェアは、使用しているレシピファイル６、マテリアルファイル５、リファレンスファイル４を抽出する。また、ユーザーが計測不具合原因抽出ソフト操作中に選択した計測値（正しく計測されたもの、正しく計測できていないもの）の光干渉波形は、実測波形・理論波形ともひとつのファイルに納められる。ファイルのフォーマットは、たとえば表計算用の汎用フォーマットであるＣＳＶ（Ｃｏｍｍａ  Ｓｅｐａｒａｔｅｄ  Ｖａ１ｕｅ）形式を用いる。なお、ユーザーが「正しく計測できている」と判断した光干渉波形と、「正しく計測できていない」と判断した光干渉波形は、解析者が判断できるよう、例えば「Ｇｏｏｄｗａｖｅ００００１．ｃｓｖ」と「Ｎｏｇｏｏｄｗａｖｅ００００１．ｃｓｖ」などのように判断可能なファイル名を計測ソフトウェアが自動的に付ける。こうして抽出された各種設定ファイルと光干渉波形ファイルは、たとえばＬＺＨ、ＺＩＰなど汎用的なファイル圧縮技術を用いて、自動的に圧縮・名前付けされ、メニューバー９内の「設定」であらかじめユーザーが設定した、コンピュータ内の固定ディスクの所定フォルダ内に保存される。
【００３７】
子ウィンドウ３９の「保存して通信」ボタン４２がクリックされた場合には、計測ソフトウエアは、予め登録されているコンピュータ内の電子メールソフト（メーラー）を自動起動し、固定ディスクに保存されている圧縮ファイル（各種設定ファイルと光干渉波形ファイル）をメールに自動で添付して、あらかじめ設定されている装置メーカーの解析担当者もしくは担当セクションへ送信する。
【００３８】
また、子ウィンドウ３９の「保存」ボタン４１がクリックされた場合には、計測ソフトウエアは、読み書きデバイス２３にフロッピーディスクやメモリカードなどのメディアをセットするように促し、そのメディアに固定ディスク内の圧縮ファイルをコピーし、圧縮ファイルをコピーされたメディアを装置メーカーの解析担当者もしくは担当セクションへ郵送するよう、メッセージを出力する。あるいは、作業者は、固定ディスクに保存されている圧縮ファイルを自らメールで装置メーカーの解析担当者もしくは担当セクションへ送信することもできる。
【００３９】
メール又は郵便などで圧縮ファイルが納められたメディアを受け取った解析担当者は、圧縮ファイルを解凍し、光干渉波形や各種設定ファイルの内容を確認して原因を推定し、ユーザーに推定原因と対策案を伝える。
【００４０】
よって、このような膜厚計測装置１１ないし計測ソフトウエアによれば、ユーザーにおいて計測がうまくいかない場合には、計測ソフトウエアを起動して各種設定ファイルと光干渉波形ファイルを抽出して圧縮ファイルとし、一つに集めて一箇所に保存させることができる。よって、計測がうまくいかない原因を判断または分析するのに必要なデータが収集されるので、ユーザーは、この収集された計測データを装置メーカーや専門機関などに送り、そこで原因を分析してもらうことにより、簡単に計測がうまくいかない原因の調査を受けることができる。膜厚を光学的に非接触で計測している膜厚計測装置においては、主に光学的な問題で、正しく計測できないことがあるのに対し、ユーザーは通常光学に精通していないため、自ら原因が推定できないということであるが、本発明の計測ソフトウエアを利用することで簡単に第三者の診断を受けることができる。
【００４１】
また、膜厚計測装置などは、現在はほとんどコンピュータ上のデジタルデータ情報にて計測処理を行っているので、計測ソフトウエアによる処理で、計測できない原因を解析するために必要なデジタル情報を的確・確実に収集し、解析者に簡便に送付できる。
【００４２】
本発明にかかる計測ソフトウエア（プログラム）は、上記のような処理を行うものであり、例えば図５に示すフロー図のような手順で実行される。すなわち、作業者による計測不具合の入力情報がある（ステップＳ１）と、図６のような子ウィンドウを表示し、計測がうまくいったりいかなかったりするのか、常にうまくいかないのか、不具合の状況を問い合わせる（ステップＳ２）。作業者からの入力（ボタンクリック）により常にうまくいかないのか判定し（ステップＳ３）、常にうまくいかない場合には、計測がうまくいかなかったときの代表値を作業者に問い合わせ、入力を求める（ステップＳ８）。また、計測がうまくいったりうまくいかなかったりする場合には、その両方の場合の計測値が記録されているか作業者に問い合わせ（ステップＳ４）、両方の計測値が揃っていない場合（ステップＳ５で「なし」の場合）には、データを揃えさせるために処理を中止する。また。両方の計測値が揃っている場合（ステップＳ５で「あり」の場合）には、計測がうまくいったときの代表値を作業者に問い合わせて入力を求め（ステップＳ７）、さらに、計測がうまくいかなかったときの代表値を作業者に問い合わせて入力を求める（ステップＳ８）。
【００４３】
こうして必要なデータが揃うと、計測値のデータやリファレンスファイル４、マテリアルファイル５、レシピファイル６などを抽出して抽出ファイルを作成し（ステップＳ９）、作成したファイルを圧縮して（ステップＳ１０）固定ディスク内の所定フォルダに保存する（ステップＳ１１）。ついで、抽出ファイルを電子メールで送信するか、ＦＤ等の記録媒体にコピーするか問い合わせ（ステップＳ１２）、送信の指示があれば電子メールに添付して抽出ファイルを装置メーカー等へ送信し（ステップＳ１３）、保存の指示があればＦＤ等の記録媒体に書き込んで（ステップＳ１４）処理を終了する。
【００４４】
（第２の実施形態）
図１２に示すものは本発明にかかる計測ソフトウエアを備えた視覚検査装置の概略構成図である。この視覚検査装置４６は、例えば製品製造ラインにおいて、製品又はその包装に施された印刷の状態を検査するものである。図１２では、キャップ製造ラインにおいて、コンベア４７によって搬送されているキャップ４８上の印字品質検査を行っている様子を表している。
【００４５】
この視覚検査装置４６は、視覚検査を行う視覚検査コントローラ４９、モニタ・ディスプレイ２０、コントローラ操作部２１、光源１２、照明制御部２２、ＣＣＤカメラからなる光検出器１８、読み書きデバイスとしてのメモリーカード・リード／ライタからなる読み書きデバイス２３によって構成されている。視覚検査装置４６は、計測対象物を光源１２で照明し、計測対象物をＣＣＤカメラ１８ａによって撮像し、その画像を視覚検査コントローラ４９で判別することにより、印刷状態などを検査する。
【００４６】
図１３（ａ）は正常な印字５０が行われた良品を示し、図１３（ｂ）は印字５０のかすれ５０ａが起こっている不良品の例を示す。図１４（ａ）と図１３（ｂ）の状態を完全に判別できれば問題ないが、照明用の光源１２の設置状況が良くなかったり、判別アルゴリズムの内部における諸設定数値が最適でない場合、図１３（ｂ）のような計測対象物を良品と判別してしまうことが起こりうる。そのような判別不良が起こった場合、ユーザーはコントローラ操作部２１を操作して、モニタ・ディスプレイ２０上にメニューを表示させ、その中の「不具合解析情報収集ウィザード」を選択させる。
【００４７】
このウィザードが選択されて計測ソフトウエアが実行された後は、膜厚計測装置１１における実施形態と同様に、「不良品を毎回良品と誤計測する」のか、「不良品を良品と誤計測したりしなかったりする」のかを対話式表示により選択させ、対話を進めることにより、所望のファイル類をひとつの圧縮ファイルにまとめる。まとめられた圧縮ファイルは、視覚検査コントローラ４９に接続された読み書きデバイス２３上のメモリーカードに書き込まれる。
【００４８】
保存される設定ファイル・画像ファイル類は、「不良品を毎回良品と誤計測する」が選択されたときにおいては、照明制御内容ファイル、選択された画像処理アルゴリズムと諸設定パラメータの数値、光検出器１８（ＣＣＤカメラ）のシャッター速度など、光検出器１８側の制御内容ファイル、誤計測した画像のファイルである。また、「不良品を良品と誤計測したりしなかったりする」が選択されたときにおいては、上記ファイル類に加え、正常に不良品と判定した画像のファイルも保存される。
【００４９】
このメモリカードをインターネット機能を有するコンピュータのメモリーカードリーダにセットし、メモリーカードに書き込まれている圧縮ファイルを装置メーカーの担当者又は担当セクションに電子メール等で送付する。もちろん、視覚検査装置４６が電子メール機能を有していれば、直接視覚検査装置４６から電子メールで送信してもよい。また、このメモリカードを郵便で装置メーカーへ送ってもよい。
【００５０】
この圧縮ファイルを受け取った担当者は、圧縮ファイルに納められているデータを分析することにより、視覚検査がうまくいかない原因を解析し、解析結果や原因、対処方法などをユーザーへ連絡する。
【００５１】
（第３の実施形態）
図１４は本発明のさらに別な実施形態による光学式寸法計測装置５１の概略構成図である。ここでは、光学式寸法計測装置５１としてレーザ式変位計測装置を用い、ステージ５５の上に置かれたプラスチック板５４の反り量を計測する場合を例にとって説明する。
【００５２】
センサヘッド５３内にはレーザダイオードと２次元ＣＣＤカメラ（いずれも図示せず）が配置されており、レーザーダイオードから出射された光を計測対象物の表面に照射し、計測対象物で反射した光を２次元ＣＣＤカメラで受光することにより、三角測距の原理を用いて、レーザ光の当たっている位置における計測対象物の変位を計測できる。計測対象物の変位は、２次元ＣＣＤカメラの受光位置に基づいて変位計コントローラにより演算される。また、２次元ＣＣＤカメラの全体画像を用いることで、計測対象物にどのように光が当たっているかをモニタ・ディスプレイ２０上に映し出すことができる。
【００５３】
さらに、ステージ５５を駆動して水平に移動させれば、計測対象物のレーザ光が当たる位置が変化するので、計測対象物の表面の上下方向の変位を計測することで、ステージ５５の移動方向における計測対象物表面の反りの量を計測することができる。
【００５４】
正常に計測できるかどうかは、レーザ光のパワー、受光する２次元ＣＣＤカメラのゲイン、計測領域内に正しくワークが設置されているかどうか等で異なり、これらの設定が最適で無いと、ステージ５５を移動させたときに、一部の場所で正しく変位が測れないなどの問題が生ずる。そのような計測不良が起こった場合には、ユーザはコントローラ操作部２１を操作して、モニタ・ディスプレイ２０上にメニュー表示画面を表示させ、その中の「不具合解析情報収集ウィザード」を選択する。その後は、膜厚計における実施形態と同様に、「完全に変位量が測れない」のか、「計測対象物の位置により測れたり測れなかったりする」のかを対話式表示により選択させ、対話を進めることにより、所望のファイル類を一つにまとめて圧縮ファイルにする。保存される設定ファイル・画像ファイル類は、「完全に変位量が測れない」が選択されたときにおいては、レーザ制御内容ファイル、受光ＣＣＤのゲインなどの受光側各種制御内容ファイルと、測れない状態のＣＣＤ画像のファイルとである。また、「ワーク場所により測れたり測れなかったりする」が選択されたときにおいては、上記ファイル類に加え、正常に変位が出力されている場所におけるＣＣＤ画像のファイルも保存される。
【００５５】
こうして作成された圧縮ファイルは、電子メールにより、あるいは郵便により装置メーカーの担当者又は担当セクションへ送られる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明の計測ソフトウエアを用いれば、ユーザーにおいて計測がうまくいかないと判断した場合には、計測ソフトウエアを起動して計測がうまくいかないという情報を入力すると、計測ソフトウエアは、所定の計測データを収集し、一つに集められた計測データを一箇所に保存する。そして、計測がうまくいかない原因を判断または分析するのに必要な計測データが収集されるので、ユーザーは、この収集された計測データを装置メーカーや専門機関などに送り、そこで原因を分析してもらうことにより、簡単に計測がうまくいかない原因を調査して貰うことができる。よって、ユーザーにおいて手に負えないような計測不能も容易に、短時間で解決することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の膜厚計測装置のメイン表示画面を示す図である。
【図２】同上の膜厚計測装置において、膜厚計測ソフトウエアがファイル類や投受光制御部にアクセスする状況を表す概要図である。
【図３】膜厚計測がうまくいっていない場合のメイン表示画面を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態による膜厚計測装置の構成を示す図である。
【図５】本発明の膜厚計測装置における計測がうまくいかない場合の処理手順を示すフロー図である。
【図６】メニューバーの「ヘルプ」をクリックし、さらにその「計測不具合原因抽出」の項目をクリックして子ウインドウが表示されたメイン表示画面を示す図である。
【図７】同上の子ウィンドウの拡大図である。
【図８】図７の子ウィンドウの「膜厚計測がうまくいったりいかなかったりする」というボタンをクリックしたときに現れる子ウィンドウを示す図である。
【図９】図８の子ウィンドウの「次へ」ボタンをクリックしたときに現れる子ウィンドウを示す図である。
【図１０】図９の子ウィンドウの「次へ」ボタンをクリックしたときに現れる子ウィンドウを示す図である。
【図１１】図１０の子ウィンドウの「次へ」ボタンをクリックしたときに現れる子ウィンドウを示す図である。
【図１２】本発明の別な実施形態による視覚検査装置の構成を示す図である。
【図１３】（ａ）は正常に印字されたキャップの平面図、（ｂ）は印字にかすれが生じているキャップの平面図である。
【図１４】本発明のさらに別な実施形態による光学式寸法計測装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
１１  膜厚計測装置
１２  光源
１７  分光器
１８  光検出器
１９  膜厚検査コントローラ
２０  モニタ・ディスプレイ
２１  コントローラ操作部
２３  読み書きデバイス
２４、２７、３１、３５、３９  子ウィンドウ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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