(57)【要約】【課題】水晶片を配する複数個のステージの形状が異なること等による振動周波数誤差が生じても、振動周波数誤差による各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止して水晶片を分類する。【解決手段】分類装置１には、ステージ１１を回転可能に配置面外周１２１に沿って備えたターンテーブル１２が設けられ、ターンテーブル１２には、水晶片Ｃの振動周波数を非接触で測定する測定部１６と、この測定部１６により測定した振動周波数により水晶片Ｃを分類して分類箱１７に排出する分類排出部１８とが設けられている。また、各ステージ１１における水晶片Ｃの振動周波数誤差を予め測定し、この予め測定した振動周波数誤差を測定部１６によって実測した振動周波数の測定結果に反映させて、振動周波数誤差による各ステージ１１における水晶片Ｃの振動周波数の誤測定を防止する制御部２が設けられている。【選択図】図１
2004191079.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶片を配する複数個のステージと、これら複数個のステージが回転可能に配置面外周に沿って備えられたターンテーブルと、前記ステージに配置した前記水晶片の前記ステージ上での位置決めをする位置決め部と、この位置決め部により位置決めした前記水晶片の振動周波数を非接触で測定する測定部と、この測定部により測定した振動周波数により前記水晶片を振動周波数帯域別に分類するとともに、分類した前記水晶片を振動周波数帯域別に構成された分類箱に排出する分類排出部と、が設けられ、ステージに配された前記水晶片が、位置決め部、測定部、そして分類排出部に順々に送られ、その振動周波数により分類される振動周波数による水晶片の分類装置であって、
前記各ステージにおける前記水晶片の振動周波数誤差を予め測定し、この予め測定した振動周波数誤差を前記測定部によって実測した振動周波数の測定結果に反映させて、振動周波数誤差による前記各ステージにおける前記水晶片の振動周波数の誤測定を防止する制御部が設けられたことを特徴とする振動周波数による水晶片の分類装置。
【請求項２】
請求項１に記載の振動周波数による水晶片の分類装置において、
前記各ステージには、前記制御部、前記測定部及び前記分類排出部において前記各ステージを認識するためのインデックスが付されたことを特徴とする振動周波数による水晶片の分類装置。
【請求項３】
請求項２に記載の振動周波数による水晶片の分類装置において、
前記制御部は、前記ステージ、前記分類排出部及び前記測定部に記憶情報や命令情報を送受信する送受信部と、前記各ステージにおける前記水晶片の振動周波数誤差を記憶する誤差記憶部と、前記測定部で測定した各ステージにおける前記水晶片の振動周波数を一次記憶する一次記憶部と、前記誤差記憶部に記憶した前記各ステージにおける前記水晶片の振動周波数誤差を、前記一次記憶部に記憶した振動周波数偏差の偏差率に反映させて前記水晶片の振動周波数を算出する算出部と、前記算出部により算出した前記水晶片の振動周波数偏差の偏差率から前記水晶片の分類を決定し、この決定命令に基づき分類排出部において前記水晶片を分類させる水晶片分類命令部と、前記測定部から分類排出部に前記ステージを移動させるために前記ステージの回転命令を出すステージ回転命令部と、前記測定部に移動したステージのインデックス情報を通知し、測定開始を命令する測定開始命令部と、から構成されたことを特徴とする振動周波数による水晶片の分類装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の振動周波数による水晶片の分類装置において、
前記測定部での測定と前記分類排出部での分類とは、予め設定した前記水晶片の振動周波数に対する実測した前記水晶片の振動周波数偏差の偏差率によって行なわれることを特徴とする振動周波数による水晶片の分類装置。
【請求項５】
ターンテーブルの配置面外周に沿って回転可能に備えられた複数個のステージに水晶片を配する水晶片配置工程と、この水晶配置工程により前記ステージに配置した前記水晶片の前記ステージ上での位置決めをする位置決め工程と、この位置決め工程により位置決めした前記水晶片の振動周波数を非接触で測定する測定工程と、この測定工程により測定した振動周波数により前記水晶片を振動周波数帯域別に分類するとともに、分類した前記水晶片を振動周波数帯域別に構成された分類箱に排出する分類排出工程と、を有し、回転可能なステージに配した前記水晶片をその振動周波数により分類する水晶片の分類方法であって、
前記各ステージにおける前記水晶片の振動周波数誤差を予め測定し、この予め測定した振動周波数誤差を前記測定工程によって実測した振動周波数の測定結果に反映させて、振動周波数誤差による前記各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止することを特徴とする水晶片の分類方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水晶片をその振動周波数により分類する水晶片の分類装置及びその分類方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、振動周波数及び時間の基準源として通信機器を含む電子機器に広く用いられている水晶振動子は、高周波数化（１００ＭＨＺ）が進んでいる。そのため、水晶振動子にはＡＴカットされた水晶片が多く用いられ、かつ、水晶振動子の厚さを極薄化（２０μ以下）にする必要がある。
【０００３】
ところで、この水晶振動子を製造する工程の一つに、水晶片の厚みに応じた振動周波数を測定し、その測定した振動周波数により水晶片を分類する水晶片の分類装置がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
下記する特許文献１に記載の振動周波数による水晶片の分類装置は、図４に示すように、水晶片を個々に隔離して収容するパレット９１と、このパレット９１から水晶片を吸着して移載するとともに吸着ノズル９２を多孔とした吸着移載装置２８と、この吸着移載装置９３から移載された水晶片の保持孔９４を外周に有して両主面側から検出電極棒９５を当接して水晶片の振動周波数を検出する回転板９６と、この回転板９６の水晶片を吸着して該水晶片の振動周波数に応じた分類箱９７に分類する吸着分類装置９８とから構成されている。
【０００５】
また、吸着ノズル９２は、多孔とした構成からなり、真空引きとエア送出の切り替機構によって吸着と離脱を切替えられる。
【０００６】
この下記する特許文献１に記載の振動周波数による水晶片の分類装置によれば、吸着ノズル９２を単孔から多孔にして板面を大きくしたので、水晶片の離脱時にコンプレッサのエアーが板面に均等に吹付けられる。したがって、水晶片が傾斜することなく離脱し、静電気によって吸着ノズル９２に付着することを防止し、確実に保持孔９４に投入できる。
【０００７】
また、下面側の検出電極棒（図示省略）は吸着式としたので、振動周波数の測定後、上面側の検出電極棒９５ａに静電気によって付着することを防止する。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００１−１６５９７８号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記した特許文献１に記載の振動周波数による水晶片の分類装置では、すべての保持孔９４における水晶片の保持位置の関係が同一ではない。すなわち、複数個の保持孔９４がすべて同一の形状に形成されることはなく、水晶片が傾斜して保持される場合等がある。また、保持孔９４の側壁によって水晶片が引っかかり傾斜して保持される場合がある。これら水晶片が傾斜して保持された場合、両主面側から検出電極棒９５を当接させて水晶片の振動周波数を測定するため、その傾斜角度によって水晶片の振動周波数が異なる。特に、水晶片の厚さが薄い場合、傾斜角度によって水晶片の振動周波数は大きく異なる。
【００１０】
そこで、上記課題を解決するために、本発明は、水晶片を配する複数個のステージの形状が異なること等による振動周波数誤差が生じても、振動周波数誤差による各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止して水晶片を分類する水晶片の分類装置及びその分類方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明にかかる振動周波数による水晶片の分類装置は、水晶片を配する複数個のステージと、これら複数個のステージが回転可能に配置面外周に沿って備えられたターンテーブルと、前記ステージに配置した前記水晶片の前記ステージ上での位置決めをする位置決め部と、この位置決め部により位置決めした前記水晶片の振動周波数を非接触で測定する測定部と、この測定部により測定した振動周波数により前記水晶片を振動周波数帯域別に分類するとともに、分類した前記水晶片を振動周波数帯域別に構成された分類箱に排出する分類排出部と、が設けられ、ステージに配された前記水晶片が、位置決め部、測定部、そして分類排出部に順々に送られ、その振動周波数により分類される振動周波数による水晶片の分類装置であって、前記各ステージにおける前記水晶片の振動周波数誤差を予め測定し、この予め測定した振動周波数誤差を前記測定部によって実測した振動周波数の測定結果に反映させて、振動周波数誤差による前記各ステージにおける前記水晶片の振動周波数の誤測定を防止する制御部が設けられたことを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、制御部が設けられているので、各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止して、各ステージとも水晶片の振動周波数の測定状態を均一に保つことが可能となる。すなわち、水晶片を配するステージの配置面の形状が傾斜もしくは凹凸している場合、そのステージに配する水晶片の振動周波数は、配置面の形状が平坦であるステージに配した水晶片の振動周波数と比べて振動周波数誤差が生じるが、本発明では制御部が設けられているので、各ステージにおける振動周波数誤差を実測した水晶片の振動周波数に反映させて、いずれのステージにおいても測定状態を均一に保つことが可能となり、各ステージにおいて正確に振動周波数を測定することが可能となる。
【００１３】
上記構成において、上記各ステージには、上記制御部、上記測定部及び上記分類排出部において上記各ステージを認識するためのインデックスが付されてもよい。
【００１４】
この場合、各ステージに、制御部、測定部及び分類排出部において各ステージを認識するためのインデックスが付されているので、各ステージを常に明確にすることが可能となり、複数個のステージの誤認による水晶片の振動周波数誤差の間違いを防止することが可能となる。
【００１５】
上記構成において、上記制御部は、具体的に、上記ステージ、上記分類排出部及び上記測定部に記憶情報や命令情報を送受信する送受信部と、上記各ステージにおける上記水晶片の振動周波数誤差を記憶する誤差記憶部と、上記測定部で測定した各ステージにおける上記水晶片の振動周波数を一次記憶する一次記憶部と、上記誤差記憶部に記憶した上記各ステージにおける上記水晶片の振動周波数誤差を、上記一次記憶部に記憶した振動周波数偏差の偏差率に反映させて上記水晶片の振動周波数を算出する算出部と、上記算出部により算出した上記水晶片の振動周波数偏差の偏差率から上記水晶片の分類を決定し、この決定命令に基づき分類排出部において上記水晶片を分類させる水晶片分類命令部と、上記測定部から分類排出部に上記ステージを移動させるために上記ステージの回転命令を出すステージ回転命令部と、上記測定部に移動したステージのインデックス情報を通知し、測定開始を命令する測定開始命令部と、から構成されてもよい。
【００１６】
また、上記構成において、上記測定部での測定と上記分類排出部での分類とは、予め設定した上記水晶片の振動周波数に対する実測した上記水晶片の振動周波数偏差の偏差率によって行なわれてもよい。
【００１７】
この場合、測定部での測定と分類排出部での分類とは、予め設定した水晶片の振動周波数に対する実測した水晶片の振動周波数偏差の偏差率によって行なわれるので、測定対象が異なる振動周波数であっても、異なる振動周波数ごとに各ステージにおける水晶片の振動周波数誤差を測定しなくてもよく、製造時間を短縮することが可能となる。
【００１８】
さらに、上記目的を達成するため本発明にかかる水晶片の分類方法は、ターンテーブルの配置面外周に沿って回転可能に備えられた複数個のステージに水晶片を配する水晶片配置工程と、この水晶配置工程により前記ステージに配置した前記水晶片の前記ステージ上での位置決めをする位置決め工程と、この位置決め工程により位置決めした前記水晶片の振動周波数を非接触で測定する測定工程と、この測定工程により測定した振動周波数により前記水晶片を振動周波数帯域別に分類するとともに、分類した前記水晶片を振動周波数帯域別に構成された分類箱に排出する分類排出工程と、を有し、回転可能なステージに配した前記水晶片をその振動周波数により分類する水晶片の分類方法であって、前記各ステージにおける前記水晶片の振動周波数誤差を予め測定し、この予め測定した振動周波数誤差を前記測定工程によって実測した振動周波数の測定結果に反映させて、振動周波数誤差による前記各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止することを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、各ステージにおける水晶片の振動周波数誤差を予め測定し、この予め測定した振動周波数誤差を測定工程によって実測した振動周波数の測定結果に反映させて、振動周波数誤差による各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止するので、各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止して、各ステージとも水晶片の振動周波数の測定状態を均一に保つことが可能となる。すなわち、水晶片を配するステージの配置面の形状が傾斜もしくは凹凸している場合、そのステージに配する水晶片の振動周波数は、配置面の形状が平坦であるステージに配した水晶片の振動周波数と比べて振動周波数誤差が生じるが、本発明では制御部が設けられているので、各ステージにおける振動周波数誤差を実測した水晶片の振動周波数に反映させて、いずれのステージにおいても測定状態を均一に保つことが可能となり、各ステージにおいて正確に振動周波数を測定することが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、本実施の形態で用いる水晶片はその厚さで振動周波数が決定されるＡＴカットされた水晶片を用いている。
【００２１】
本発明にかかる水晶片Ｃ（図２参照）の分類装置１には、図１に示すように、水晶片Ｃを配するステージ１１と、ステージ１１を回転可能に配置面外周１２１に沿って備えたターンテーブル１２と、が設けられている。
【００２２】
ステージ１１は、図１に示すように、８個からなり（ステージ１１１〜１１８）、８個のステージ１１１〜１１８がターンテーブル１２の配置面外周１２１に沿って並んで備えられている。また、各ステージ１１１〜１１８の下面１１ａには下記する下電極１６１が設けられ、この下電極１６１とターンテーブル１２との間に絶縁材１３が介在されている。これら各ステージ１１１〜１１８には、下記する制御部２、測定部１６及び分類排出部１８において各ステージ１１１〜１１８を認識するためのインデックスが付されている。
【００２３】
ターンテーブル１２には、水晶片Ｃをステージ１１に配する挿入部１４と、この挿入部１４によりステージ１１に配した水晶片Ｃのステージ１１上での位置決めをする位置決め部１５と、この位置決め部１５により位置決めした水晶片Ｃの振動周波数を非接触で測定する測定部１６と、この測定部１６により測定した振動周波数により水晶片Ｃを振動周波数帯域別に分類するとともに、分類した水晶片Ｃを振動周波数帯域別に構成された分類箱１７（振動周波数帯域別１７１〜１７６）に排出する分類排出部１８と、分類排出部１８によりステージ１１に配した水晶片Ｃが排出されたか否かを判断する残留検知部１９と、が設けられている。また、これら挿入部１４と位置決め部１５と測定部１６と分類排出部１８と残留検知部１９とは、図１に示すように、ターンテーブル１２の配置面外周１２１に時計回り方向に連続して設けられている。
【００２４】
分類装置１を起動させた時に挿入部１４の位置に配されるステージ１１１が、機械的原点Ｘと設定されている（図１参照）。
【００２５】
位置決め部１５には、モータロータが用いられ（図示省略）、ステージ１１の配置面におけるＸ軸（図示省略）が設定されている。このモータロータは、まず、Ｘ軸方向に水晶片Ｃを移動させ、続いてＸ軸に対して垂直方向であるＹ軸方向（図示省略）に移動させて、水晶片Ｃの中心点（図示省略）をステージ１１の中心点（図示省略）に配させるものである。
【００２６】
測定部１６は、図２に示すように、ステージ１１１〜１１８の下面１１ａに設けられた下電極１６１と、ステージの配置面に配した水晶片Ｃを挟んで対向する上電極１６２とから構成され、下電極１６１と上電極１６２との間にはＧａｐが生じる構成とされている。また、ステージに水晶片Ｃを配した状態で、水晶片Ｃと上電極１６２とのＧａｐ量は、約２０μｍに設定されている。この測定部１６における水晶片Ｃの振動周波数の測定は、予め振動周波数の特定された基準水晶片Ｃの振動周波数に対する実測した水晶片Ｃの振動周波数偏差の偏差率（ｐｐｍ）によって行なわれている。なお、この測定部１６では、振動周波数と同時にそのクリスタルインピーダンス（ＣＩ）の測定も行なわれる。
【００２７】
分類排出部１８では、水晶片Ｃの分類が、予め設定した水晶片Ｃの振動周波数に対する実測した水晶片Ｃの振動周波数偏差の偏差率に、予め測定した各ステージ１１１〜１１８における振動周波数誤差を反映させて行なわれている。また、この分類排出部１８では、水晶片Ｃがその振動周波数により５０分類により分類されている。
【００２８】
また、この分類装置１には、各ステージ１１１〜１１８における水晶片Ｃの振動周波数誤差を予め測定し、この予め測定した振動周波数誤差を測定部１６によって実測した振動周波数の測定結果に反映させて、振動周波数誤差による各ステージ１１１〜１１８における水晶片Ｃの振動周波数の誤測定を防止する制御部２が設けられている。
【００２９】
この制御部２は、図３に示すように、第１及び第２の制御部２１、２２とから構成され、これら第１及び第２の制御部２１、２２は電気的に接続されている。
【００３０】
第１の制御部２１は、図３に示すように、第２の制御部２２及び測定部１６に記憶情報や命令情報を送受信する送受信部２１１と、各ステージ１１１〜１１８における水晶片Ｃの振動周波数誤差を記憶する誤差記憶部２１２と、測定部１６で測定した各ステージ１１１〜１１８における水晶片Ｃの振動周波数を一次記憶する一次記憶部２１３と、誤差記憶部２１２に記憶した各ステージ１１１〜１１８における水晶片Ｃの振動周波数誤差を、一次記憶部２１３に記憶した振動周波数偏差の偏差率に反映させて水晶片Ｃの振動周波数を算出する算出部２１４と、この算出部２１４により算出した水晶片Ｃの振動周波数偏差の偏差率から水晶片の分類を決定し、この決定命令を第２の制御部２２に送信する分類決定部２１５と、ステージ１１を回転させる命令を第２の制御部２２に送信する回転命令部２１６と、から構成されている。
【００３１】
第２の制御部２２は、図３に示すように、第１の制御部２１、ステージ１１及び分類排出部１８に記憶情報や命令情報を送信する送受信部２２１と、第１の制御部２１の回転命令部２１６から受信した命令に基づいてステージ１１を回転させるステージ回転命令部２２２と、測定部１６に移動したステージ１１のインデックス情報を通知し、測定開始を命令する測定開始命令部２２３と、第１の制御部２１の分類決定部２１５から受信した決定命令に基づいて分類排出部１８において水晶片Ｃを分類させる水晶片分類命令部２２４と、から構成されている。
【００３２】
上記した分類装置１を用いて、水晶片Ｃを振動周波数により分類する工程を以下に、説明する。
【００３３】
まず、２７．０ＭＨｚの振動周波数を有する水晶片Ｃを挿入部１４から挿入し、機械的原点Ｘとなるステージ１１１上に配する。
【００３４】
水晶片Ｃを配すると、ステージ１１１は、時計回り方向に回転し、水晶片Ｃを配したステージ１１１は、位置決め部１５まで移動する。この時、挿入部１４から次の２７．０ＭＨｚの振動周波数を有する水晶片Ｃを挿入し、挿入部１４に移動した次のステージに配する。以下、同様に残りのステージ１１２〜１１８に対して順々に水晶片配置工程を行なう。
【００３５】
この位置決め部１５では、モータロータにより、まず、ステージ１１１の配置面に設定されたＸ軸方向に水晶片Ｃを移動させ、続いてＸ軸に対して垂直方向であるＹ軸方向に移動させて、水晶片Ｃの中心点をステージ１１１の中心点に配させる。
【００３６】
水晶片Ｃのステージ１１１上の位置を決めると、ステージ１１１は、時計回り方向に回転し、水晶片を配したステージ１１１は、測定部１６まで移動する。測定部１６まで移動すると、第２の制御部２２の測定開始命令部２２３から第１の制御部２１を介して測定部に測定開始命令が送信され、測定部１６により、水晶片Ｃの振動周波数を測定する。ここで測定したステージ１１１に配した水晶片Ｃの振動周波数が２７．１ＭＨｚとする。この水晶片Ｃの振動周波数は２７．０ＭＨｚであるため、このステージ１１１における振動周波数偏差は、０．１ＭＨｚであり、周波数誤差は、約３７００ｐｐｍである。このステージ１１１における周波数誤差の値が第１の制御部２１の誤差記憶部２１２に記憶される。
【００３７】
そして、測定が終わると、時計回り方向に回転し、水晶片を配したステージ１１１は、分類排出部１８まで移動し、水晶片Ｃを排出する。同様にして、残りの７個のステージ１１２〜１１８全ての周波数誤差を第１の制御部２１の誤差記憶部２１２に順々に記憶して、各ステージ１１１〜１１８における周波数誤差の測定を終了する。
【００３８】
次に、周波数分類されていない水晶片を振動周波数により分類する工程を以下に、説明する。なお、ここで分類する水晶片Ｃは、すべてその周波数を２７．０ＭＨｚとなるように形成されている。
【００３９】
水晶片Ｃを挿入部１４から挿入し、機械的原点Ｘとなるステージ１１１上に配する（本発明でいう水晶片配置工程）。
【００４０】
水晶片Ｃを配すると、ステージ１１１は、時計回り方向に回転し、水晶片を配したステージ１１１は、位置決め部１５まで移動する。この時、挿入部１４から次の振動周波数を有する水晶片を挿入し、挿入部１４に移動した次のステージに配する。以下、同様に残りのステージ１１２〜１１８に対して順々に挿入工程を行なう。
【００４１】
この位置決め部１５では、モータロータにより、まず、ステージ１１１の配置面に設定されたＸ軸方向に水晶片Ｃを移動させ、続いてＸ軸に対して垂直方向であるＹ軸方向に移動させて、水晶片Ｃの中心点をステージ１１１の中心点に配させる（本発明でいう位置決め工程）。
【００４２】
水晶片Ｃのステージ１１１上の位置を決めると、ステージ１１１は、時計回り方向に回転し、水晶片を配したステージ１１１は、測定部１６まで移動する。測定部１６まで移動すると、第２の制御部２２の測定開始命令部２２３から第１の制御部２１を介して測定部に測定開始命令が送信され、測定部１６により、水晶片Ｃの振動周波数を測定する（本発明でいう測定工程）。ここで測定したステージ１１１に配した水晶片Ｃの振動周波数が２７．３ＭＨｚとする。この水晶片Ｃの予め設定した振動周波数は２７．０ＭＨｚであるため、このステージ１１１における振動周波数偏差は、０．３ＭＨｚであり、振動周波数偏差の偏差率は、約１１１００ｐｐｍである。このステージ１１１における周波数誤差の値が、第１の制御部２１の一次記憶部２１３に記憶される。そして、第１の制御部２１の算出部２１４において、誤差記憶部２１２に記憶したステージ１１１における水晶片Ｃの振動周波数誤差３７００ｐｐｍを、一次記憶部２１３に記憶した振動周波数偏差の偏差率１１１００ｐｐｍに反映させて水晶片Ｃの振動周波数を算出する。つまり、振動周波数偏差の偏差率から振動周波数誤差を減算した値がこの水晶片Ｃの実際の振動周波数偏差の偏差率であり、その値は、７４００ｐｐｍである。算出部２１４により算出した水晶片Ｃの振動周波数偏差の偏差率から水晶片Ｃの分類を決定し、この決定命令を分類決定部２１５から第２の制御部２２の水晶片分類命令部２２４に送信する。同時に、第１の制御部２１の回転命令部２１６からステージ１１１を回転させる命令を第２の制御部２２のステージ回転命令部２２２に送信し、ステージ１１１は、時計回り方向に回転し、分類排出部１８まで移動する。分類排出部１８までステージ１１１が移動すると、第２の制御部２２の水晶片分類命令部２２４から分類命令が分類排出部１８に送信され、この送信により、ステージ１１１上の水晶片Ｃの周波数分類を決定し、その振動周波数帯域別１７１〜１７６に構成された分類箱１７に水晶片Ｃを排出する（本発明でいう分類排出工程）。
【００４３】
そして、図１に示すように、ステージ１１１は、時計回り方向に回転し、水晶片を配したステージ１１１は、残留検知部１９まで移動し、分類排出部１８によりステージ１１１に配した水晶片Ｃが排出されたか否かを判断する。この時、ステージ１１１上に水晶片Ｃが無ければ、ステージ１１１は、時計回り方向に回転し、水晶片Ｃは位置決め工程により挿入部１４から新たに水晶片Ｃを挿入し、同様の工程を繰り返す。この時、機械的原点Ｘを有するステージ１１１を基準として各ステージ１１１〜１１８にインデックスを付しているので、２周目以降であっても、各ステージにおける振動周波数誤差を制御部２において明確に認識している。また、ステージ１１１上に水晶片Ｃが有れば、ステージ１１１は、時計回り方向に回転し、そのまま位置決め部１５まで移動する。
【００４４】
同様にして、残りの７個のステージ１１２〜１１８全てを順々に時計回り方向に移動させて、水晶片Ｃの分類を行なう。
【００４５】
上記したように、この振動周波数による水晶片Ｃの分類装置１によれば、制御部２が設けられているので、各ステージ１１１〜１１８における水晶片Ｃの振動周波数の誤測定を防止して、各ステージ１１１〜１１８とも水晶片Ｃの振動周波数の測定状態を均一に保つことができる。
【００４６】
例えば、水晶片Ｃを配するステージ１１の配置面の形状が傾斜もしくは凹凸している場合、そのステージ１１に配する水晶片Ｃの振動周波数は、配置面の形状が平坦であるステージ１１に配した水晶片Ｃの振動周波数と比べて振動周波数誤差が生じるが、本発明では制御部２が設けられているので、各ステージ１１１〜１１８における振動周波数誤差を実測した水晶片Ｃの振動周波数に反映させて、いずれのステージ１１１〜１１８においても測定状態を均一に保つことができ、各ステージ１１１〜１１８において正確に振動周波数を測定することができる。
【００４７】
また、測定部１６において位置決め部１５により位置決めした水晶片Ｃの振動周波数を非接触で測定するので、測定部１６における各電極１６１、１６２間のバラツキが測定結果に影響する。しかし、本発明によれば、特に下電極１６１の高さなどがステージ１１毎によってバラツキがある場合であっても、そのバラツキを是正することができる。
【００４８】
また、測定部１６での測定と分類排出部１８での分類とは、予め設定した水晶片Ｃの振動周波数に対する実測した水晶片Ｃの振動周波数偏差の偏差率によって行なわれるので、測定対象が異なる振動周波数であっても、異なる振動周波数ごとに各ステージ１１１〜１１８における水晶片Ｃの振動周波数誤差を測定しなくてもよく、製造時間を短縮することができる。
【００４９】
この場合、各ステージ１１１〜１１８に、制御部２、測定部１６及び分類排出部１８において各ステージ１１１〜１１８を認識するためのインデックスが付されているので、各ステージ１１１〜１１８を常に明確にすることができ、８個のステージ１１１〜１１８の誤認による水晶片Ｃの振動周波数誤差の間違いを防止することができる。
【００５０】
なお、本実施の形態では、ステージ１１が８個設けられているが、これに限定されるものではなく、２個以上であればいくつでもかまわない。
【００５１】
また、本実施の形態では、ターンテーブル１２を回転させてステージ１１を回転させているが、これに限定されるものではなく、順々に各工程を行なうことができればステージ１１だけを回転させるような機構を設けてもよい。また、ターンテーブル１２によりステージ１１を平面的に回転させる構成に限定されず、例えば、直線的に一方向にステージを順次移動させて各工程を行なう構成であってもよい。
【００５２】
また、本実施の形態では、分類排出部１８での分類は、予め設定した水晶片Ｃの振動周波数に対する実測した水晶片Ｃの振動周波数偏差の偏差率によって行なわれているが、これに限定されることではなく、例えば、予め設定した水晶片Ｃの振動周波数に対する実測した水晶片Ｃの振動周波数偏差によって行なわれてもよい。
【００５３】
また、本実施の形態では、ステージ１１の円柱形状がテーブル状に形成されているが、これに限定されるものではなく、水晶片Ｃを配することが可能であれば、例えば凹部状に形成されていてもよい。
【００５４】
また、本実施の形態では、位置決め部１５にモータロータを用いているが、これに限定されるものではなく、各ステージ１１１〜１１８上の水晶片の位置決めを行なうことができれば、例えば、画像処理によりステージ１１１〜１１８上の水晶片Ｃを配する位置を決めてもよい。
【００５５】
また、本実施の形態では、ステージに水晶片Ｃを配した状態で、水晶片Ｃと上電極１６２とのＧａｐ量が約２０μｍに設定されているが、非接触状態で水晶片Ｃの振動周波数を測定できれば、Ｇａｐ量は限定されるものではない。
【００５６】
また、本実施の形態では、制御部２が第１及び第２の制御部２１、２２とから構成されているが、これに限定されるものではなく、１つの制御部から構成されてもよい。
【００５７】
また、本実施の形態では、１つのステージ１１に１つの水晶片Ｃを配しているが、これに限定されるものではなく、複数個のステージ１１全てに同数の水晶片Ｃを配してもよい。
【００５８】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明にかかる振動周波数による水晶片の分類装置及びその分類方法によれば、水晶片を配する複数個のステージの形状が異なること等による振動周波数誤差が生じても、振動周波数誤差による各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止して水晶片を分類することができる。
【００５９】
すなわち、本発明にかかる振動周波数による水晶片の分類装置によれば、制御部が設けられているので、各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止して、各ステージとも水晶片の振動周波数の測定状態を均一に保つことが可能となる。すなわち、水晶片を配するステージの配置面の形状が傾斜もしくは凹凸している場合、そのステージに配する水晶片の振動周波数は、配置面の形状が平坦であるステージに配した水晶片の振動周波数と比べて振動周波数誤差が生じるが、本発明では制御部が設けられているので、各ステージにおける振動周波数誤差を実測した水晶片の振動周波数に反映させて、いずれのステージにおいても測定状態を均一に保つことが可能となり、各ステージにおいて正確に振動周波数を測定することが可能となる。
【００６０】
また、本発明にかかる水晶片の分類方法によれば、各ステージにおける水晶片の振動周波数誤差を予め測定し、この予め測定した振動周波数誤差を測定工程によって実測した振動周波数の測定結果に反映させて、振動周波数誤差による各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止するので、各ステージにおける水晶片の振動周波数の誤測定を防止して、各ステージとも水晶片の振動周波数の測定状態を均一に保つことが可能となる。すなわち、水晶片を配するステージの配置面の形状が傾斜もしくは凹凸している場合、そのステージに配する水晶片の振動周波数は、配置面の形状が平坦であるステージに配した水晶片の振動周波数と比べて振動周波数誤差が生じるが、本発明では制御部が設けられているので、各ステージにおける振動周波数誤差を実測した水晶片の振動周波数に反映させて、いずれのステージにおいても測定状態を均一に保つことが可能となり、各ステージにおいて正確に振動周波数を測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかる、振動周波数による水晶片の分類装置の概略構成図である。
【図２】本実施の形態にかかる、振動周波数による水晶片の分類装置に設けられた測定部の概略構成図である。
【図３】本実施の形態にかかる、振動周波数による水晶片の分類装置に設けられた制御部のブロック図である。
【図４】従来の振動周波数による水晶片の分類装置の概略構成図である。
【符号の説明】
Ｃ    水晶片
１    分類装置
１１    ステージ
１２    ターンテーブル
１２１    ターンテーブルの配置面外周
１５    位置決め部
１６    測定部
１７    分類箱
１８    分類排出部
２    制御部
２１１、２２１    送受信部
２１２    誤差記憶部
２１３    一次記憶部
２１４    算出部
２２２    ステージ回転命令部
２２３    測定開始命令部
２２４    水晶片分類命令部
【図１】
2004191079.tif 000003
【図２】
2004191079.tif 000004
【図３】
2004191079.tif 000005
【図４】
2004191079.tif 000006