(57)【要約】【課題】ＰＤＰの高精細度化にともなう放電電流の増加を制限するとともに、縦横両方向におけるプラズマ放電の漏洩を抑制し、省電力で高性能、高効率のガス放電パネルを実現する。【解決手段】走査電極２２および維持電極２３における透明電極２２ａ、２３ａはそれぞれ平行な電極２２１、２２２および電極２３１、２３２を有し、それらの電極を放電セル３７の中央部において短絡する短絡部２２３、２３３とを有することで、放電電流の増加を制限し、プラズマ放電の漏洩を抑制する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ギャップを有する走査電極と維持電極とからなる一対の表示電極を複数備えた前面基板と、放電セルを形成する隔壁を備え前記前面基板に対向配置される背面基板とを有するガス放電パネルにおいて、
前記走査電極および前記維持電極は、それぞれ少なくとも透明電極を有し、前記透明電極は少なくとも２本の平行電極と、前記放電セルの中央部において前記平行電極を短絡する短絡部とを有することを特徴とするガス放電パネル。
【請求項２】
走査電極と維持電極とは電極形状が放電ギャップに対して対称であり、２本の平行電極のうちの前記放電ギャップに近い電極の幅をＬ１とし、他方の電極の幅をＬ２としたとき、Ｌ２／（Ｌ１＋Ｌ２）の値が０．５５〜０．７５であることを特徴とする請求項１に記載のガス放電パネル。
【請求項３】
放電セルは赤色、青色および緑色を表示する放電セルであり、赤色および青色を表示する放電セルにおける短絡部の幅が、緑色を表示する放電セルにおける短絡部の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のガス放電パネル。
【請求項４】
背面基板上に形成される隔壁は、表示電極と直交する縦隔壁と、前記縦隔壁と直交する横隔壁とを有し、前記縦隔壁と前記横隔壁とにより井桁状の隔壁としたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のガス放電パネル。
【請求項５】
表示電極上にはさらに誘電体層が設けられ、前面基板と背面基板とを対向配置したとき、横隔壁と前記誘電体層との間に空隙部を設けたことを特徴とする請求項４に記載のガス放電パネル。
【請求項６】
空隙部は誘電体層に設けられ、横隔壁と並行する連続した溝部であることを特徴とする請求項５に記載のガス放電パネル。
【請求項７】
溝部における溝底部と横隔壁頂部との間隙が３μｍ〜１７μｍであることを特徴とする請求項６に記載のガス放電パネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルなどのガス放電パネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）は薄型大画面化が容易な次世代のディスプレイパネルとして注目されている。
【０００３】
図５に、一般的な交流面放電型ＰＤＰの主要構成の部分的な断面斜視図を示す。ＸＹ平面がＰＤＰのパネル面に平行な平面に相当し、Ｚ方向がＰＤＰの厚み方向を示している。また、図６に前面パネルの従来の電極の構成例を示す。
【０００４】
図５に示すように、ＰＤＰは互いに主面を対峙させて配設された前面パネル２０および背面パネル２７から構成される。前面パネル２０の基板である前面ガラス基板（以下、前面基板という）２１には、片側の主面に走査電極２２と維持電極２３により構成される一対の表示電極２４がＸ方向に複数対構成され、それぞれ一対の表示電極２４間で面放電を行うようになっている。
【０００５】
また、図６に示すように、走査電極２２および維持電極２３は、それぞれ透明電極２２ａ、２３ａと、この透明電極２２ａ、２３ａ上に形成され、かつ、導電性を高めるための銀などからなる母電極２２ｂ、２３ｂとから構成される。
【０００６】
走査電極２２は、すべて電気的に独立して給電され、維持電極２３はすべて電気的に同電位に接続されている。
【０００７】
表示電極２４を配設した前面基板２１の主面には、表示電極２４を覆って絶縁性材料からなる誘電体層２５が塗布され、さらに、誘電体層２５は保護層２６により被覆されている。
【０００８】
また、背面パネル２７の基板である背面ガラス基板（以下、背面基板という）２８の片側の主面には、銀材料を主体とする複数のアドレス電極２９が表示電極２４と直交するＹ方向に一定間隔でストライプ状に並設され、アドレス電極２９を覆って絶縁性材料からなる誘電体層３０が設けられている。さらに、誘電体層３０上には、隣接する２つのアドレス電極２９の間隙に合わせて隔壁３１が配設され、隣接する２つの隔壁３１の各側壁とその間の誘電体層３０の面上には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のいずれかの色に対応する蛍光体層３２〜３４が形成されている。
【０００９】
前面パネル２０と背面パネル２７は、アドレス電極２９と表示電極２４とが互いの長手方向が直交するように対向配置され、フリットガラスなどの封止部材によりそれぞれの周縁部で封止密封されている。なお、密封された内部には、Ｘｅ（キセノン）を含む放電ガスが通常４０ｋＰａ〜６６ｋＰａ程度の圧力で封入されている。
【００１０】
したがって、対向配置された前面パネル２０と背面パネル２７との間に誘電体層２５と蛍光体層３２〜３４、および隣接する２つの隔壁３１で仕切られた放電空間３６を形成する。また、隣り合う走査電極２２と維持電極２３とにより形成される一対の表示電極２４と、背面パネル２７に設けられた１本のアドレス電極２９とが放電空間３６を挟んで交叉する領域が、画像表示に関わる放電セルとなる。ＰＤＰを駆動させる際には、アドレス電極２９と一対の表示電極２４のいずれかとの間で放電が開始され、続いて一対の表示電極２４間の放電によって紫外線が発生し、この紫外線を受けて蛍光体層３２〜３４が発光し、画像表示がなされる。
【００１１】
一方、ＰＤＰに対する要求として、高精細度化と低消費電力化がある。高精細度化には放電セルの微細化が必要であるが、放電セルを微細にすると隣接する放電セルに放電が漏れるクロストークが発生し、誤放電を生じる。クロストークによる画像表示上の問題を抑制することを目的としてＰＤＰの隔壁や表示電極の構造に工夫を加える例としては、例えば、透明電極をＴ字形状に形成し、表示電極の長手方向の横隔壁とアドレス電極の長手方向の縦隔壁により隔壁を井桁状に構成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１２】
また、放電電流のピーク値を抑制し、低消費電力と駆動回路の低コスト化を図る方法として、透明電極を長手方向に線状に複数に分割し、分割した電極を短絡部で電気的に接続する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１３】
【特許文献１】
特開２０００−１９５４３１号公報
【特許文献２】
特開平８−３１５７３５号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、できるだけ消費電力を抑えた電気製品が望まれる一方で、昨今の大画面化および高精細化の動向によって、ＰＤＰの消費電力が増加する傾向にあるため、省電力化を実現させる技術への要望が高くなっている。これに対して、単にＰＤＰの消費電力を減らす対策だけでは表示電極間で発生する放電規模が小さくなり、十分な発光量が得られなくなる。発光量が不足すればＰＤＰの表示性能が低下するため、発光効率を高め、消費電力を抑えながらも良好な表示性能を得る必要がある。
【００１５】
これに対し、透明電極を長手方向に線状に複数に分割して放電電流を抑制する従来の方法は、一般に放電電流の波形ピークが複数存在し、各放電が先行する放電の影響を受けやすく、駆動パルスの立ち上がり時間が変動したり、電圧ドロップなどの影響を受けて発光輝度や発光効率が変動する。したがって、放電電流の波形ピークを単一にする対策が必要である。
【００１６】
つぎに、表示性能の点ではクロストークの抑制が重要な課題であるが、従来、隔壁の構造に関して井桁形状が提案されているが、放電ガスを封入する際の排気対策として横隔壁の高さに対して縦隔壁の高さを低くすると、縦隔壁上の隙間に対してプラズマ放電が横方向に漏洩しやすく、画像表示時に横方向のクロストークが大きくなり、画質を劣化させる。また、透明電極をＴ字形状に形成してクロストークを抑制する方法は、Ｔ字の頭部が縦隔壁と重なると、輝度低下や駆動電圧の上昇が発生する反面、露光精度やガラス基板の熱収縮などの製造工程上の要因によって、電極と隔壁のアライメントがずれるため、電極のアライメント精度を厳しく管理する必要がある。
【００１７】
本発明はこのような状況に鑑み、透明電極、隔壁および誘電体の構造を改善することにより、ＰＤＰの高精細度化にともなう放電電流の増加を制限するとともに、縦横両方向におけるプラズマ放電の漏洩を抑制し、高精細度化に適した省電力で高性能、高効率のＰＤＰを実現することを目的としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明のガス放電パネルは、透明電極を２本の平行電極により構成し、各放電セルの中央部において、平行電極を短絡する短絡部を設けている。
【００１９】
より具体的には、放電ギャップを有する走査電極と維持電極とからなる一対の表示電極を複数備えた前面基板と、放電セルを形成する隔壁を備え前面基板に対向配置される背面基板とを有するガス放電パネルにおいて、走査電極および維持電極は、それぞれ少なくとも透明電極を有し、透明電極は少なくとも２本の平行電極と、放電セルの中央部において平行電極を短絡する短絡部とを有している。
【００２０】
この構成により、放電領域において透明電極の面積を小さくできるため、放電セルにおけるプラズマ放電の電流を低減することが可能となる。さらに、短絡部を放電セルの中央部に配置しているため、放電を放電セルの中心に集中させ隣接放電セルへのクロストークを抑制することが可能となる。また、平行電極を設けているために短絡部の位置精度の放電への影響を軽減することが可能となる。
【００２１】
また、本発明のガス放電パネルは、走査電極と維持電極とは電極形状が放電ギャップに対して対称であり、２本の平行電極のうちの放電ギャップに近い電極の幅をＬ１とし、他方の電極の幅をＬ２としたとき、Ｌ２／（Ｌ１＋Ｌ２）の値を０．５５〜０．７５としている。
【００２２】
この構成により、発光効率、クロストークおよび放電電力の変動の条件を最適化することが可能となる。したがって、発光効率が向上するとともに、放電セルにおけるプラズマ放電の漏洩による縦方向のクロストークを低減し、放電電力の変動を少なくすることができる。
【００２３】
また、本発明のガス放電パネルは、放電セルは赤色、青色および緑色を表示する放電セルであり、赤色および青色を表示する放電セルにおける短絡部の幅が、緑色を表示する放電セルにおける短絡部の幅よりも大きい。
【００２４】
この構成により、ガス放電パネル単体における赤色および青色の輝度を緑色に較べて大きくすることが可能となる。したがって、ホワイトバランスを取ったときに緑色の輝度を抑える割合を少なくし、輝度が高く、色バランスの良い商品のセットを簡単な構成で実現することができる。
【００２５】
また、本発明のガス放電パネルは、背面基板上に形成される隔壁は、表示電極と直交する縦隔壁と、縦隔壁と直交する横隔壁とを有し、縦隔壁と横隔壁とにより井桁状の隔壁としている。
【００２６】
この構成により、放電セルの縦方向において、放電の漏洩を抑制することが可能となる。したがって、表示装置において、特に縦横両方向のクロストークの発生を防止し、高精細度、高性能のガス放電パネルを実現することができる。
【００２７】
また、本発明のガス放電パネルは、表示電極上にはさらに誘電体層が設けられ、前面基板と背面基板とを対向配置したとき、横隔壁と誘電体層との間に空隙部を設けている。
【００２８】
この構成により、放電ガスを封入する際に、横隔壁と誘電体層との間の空隙部を通じて排気を行うことが可能となる。したがって、放電セルの縦方向において、放電の漏洩を抑制するとともに、ガス放電パネル製造時の排気工程でのコンダクタンスを改善し、高歩留まりを実現することができる。また、高地におけるノイズ発生の防止にも効果を発揮する。
【００２９】
また、本発明のガス放電パネルは、空隙部が横隔壁と並行する連続した溝部である。
【００３０】
この構成により、誘電体層に溝部を形成することにより、横隔壁と誘電体層との間に空隙部を設けることが可能となる。したがって、横隔壁と縦隔壁との間に微小な段差を設ける構成に較べて、ガス放電パネルの加工精度の管理が容易であり、ガス放電パネルを高歩留まりで製造することができる。
【００３１】
また、本発明のガス放電パネルは、溝部における溝底部と横隔壁頂部との間隙が３μｍ〜１７μｍである。
【００３２】
この構成により、排気溝としての機能に加えて、放電セルにおけるプラズマ放電の縦方向の漏洩を確実に抑制することが可能となる。したがって、縦横両方向のクロストークの発生を確実に防止することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態によるガス放電パネルであるＰＤＰについて、図面を用いて説明する。
【００３４】
本発明の実施の形態におけるＰＤＰの全体的な構成は、前述した従来の例とほぼ同様であり、本発明の特徴は主に表示電極とその周辺の構造にあるので、以下、当該部分を中心に、図１〜４により説明する。
【００３５】
図１は、放電セル３７における前面パネルおよび背面パネルの詳細な構造を示し、図１（ａ）はその平面図であり図１（ｂ）はその断面図である。図２は、表示電極の構造と発光効率の関係を示す特性図である。また、図３は、図１（ｂ）におけるＡ部の寸法構造を示す断面図であり、図４は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの前面パネルおよび背面パネルの構成を模式的に示す要部斜視図である。
【００３６】
図１に示すように、一対の表示電極２４は走査電極２２および維持電極２３により構成され、走査電極２２および維持電極２３は、透明電極２２ａおよび２３ａと、母電極２２ｂおよび２３ｂとにより、それぞれ構成されている。
【００３７】
また、背面基板２８上に形成される隔壁３１は、一対の表示電極２４と直交する縦隔壁３１ｂと、縦隔壁３１ｂと直交する横隔壁３１ａとを有し、縦隔壁３１ｂと横隔壁３１ａとにより井桁状に放電セル３７が形成されている。
【００３８】
さらに、走査電極２２と維持電極２３は電極形状が放電ギャップＧ１に対して対称である。透明電極２２ａ、２３ａは、放電ギャップＧ１の中心側に配設した２本の平行電極となる電極２２１、２３１と、放電ギャップＧ１の中心に対して電極２２１、２３１の外側に配設した電極２２２、２３２とにより構成し、それぞれをＰＤＰにおいてマトリクス状に配設される放電セル３７の行方向に延伸して設けている。また、各放電セル３７の中心線Ｘ−Ｘ上に配設した短絡部２２３により電極２２１と電極２２２とを短絡し、短絡部２３３により電極２３１と電極２３２とを短絡している。また、電極２２１、２２２、２３１、２３２はすべて平行であり、各短絡部２２３、２３３は、それらの電極に直交している。なお、短絡部２２３、２３３の幅Ｌ３は同じであり、２０μｍ程度を下限値とし、上限値は縦隔壁３１ｂのピッチおよび縦隔壁３１ｂと短絡部２２３、２３３の配置誤差を考慮し、短絡部２２３、２３３が縦隔壁３１ｂに接触しない程度とする。また、第１および第２のライン部の間隙Ｇ３は２０μｍ以上とし、放電ギャップＧ１以下としている。
【００３９】
このように、走査電極２２および維持電極２３の透明電極２２ａ、２３ａをそれぞれ電極２２１、２２２および電極２３１、２３２とに分割し、短絡部２２３、２３３を設けたことにより、従来の幅広いベタ電極に対して、放電セル３７内の電極面積が減少し、放電セル３７におけるプラズマ放電の電流を低減することができる。特に、電極２２１および２３１における放電に対して、短絡部２２３、２３３が電流を制限するため放電セル３７における放電電流の低減することができる。
【００４０】
また、放電ギャップＧ１から発生したプラズマ放電が短絡部２２３、２３３に沿って放電セル３７の中央部から外側へ広がりやすい。これに加えて、走査電極２２および維持電極２３のそれぞれの並行する電極間の間隙Ｇ３を放電ギャップＧ１以下として相互の距離を近接させている。したがって、電極２２１、２３１における放電と、電極２２２、２３２における放電が分離せず、放電電流の波形のピークが単一となり、安定した維持放電を行うことができる。
【００４１】
さらに、平行電極が設けられ、短絡部２２３、２３３が放電セル３７の中央部に配置されているため、短絡部２２３、２３３の形成時に特に厳密なアライメント精度を必要としない。
【００４２】
なお、放電電流の波形のピークを単一とするためには、間隙Ｇ３を誘電体層２５の膜厚の２倍以下とする構成も有効である。この構成は、誘電体層２５の影響によって、短絡部２２３、２３３における電界分布の変動を緩和し、放電セル３７内で放電電流の波形のピークを単一化する効果を有する。ここで、放電電流の波形のピークが単一とは、放電電流の波形において、見かけ上最大ピークのほかにピークがある場合でも、そのピーク値が最大ピークの１０％以下である場合を示している。また、短絡部２２３、２３３によるそのほかの効果として、並行する電極２２１、２３１における断線補償の効果を有するほか、短絡部２２３、２３３がアドレス電極２９と対向する位置に配設されているため、維持電極２３における書き込み動作が容易になり、書き込み電圧を低減する効果も発揮する。
【００４３】
さらに、本実施の形態では、電極２２１、２３１の幅をＬ１、電極２２２、２３２の幅をＬ２としてつぎのようにしている。
【００４４】
０．５５≦Ｌ２／（Ｌ１＋Ｌ２）＝０．７５
ここで、Ｌ２がＬ１以下の場合は、隣接セルの放電による影響を受け、壁電荷が減少し書き込み動作が不安定になる。逆にＬ２を増加すると、放電を広げ蛍光体の発光効率（輝度／投入電力）を向上する効果を有するが、Ｌ２が大きくなり過ぎると維持放電時に放電電力が過度に増加し発光効率が低下する。この結果、ＰＤＰの消費電力が増大するという課題が生じる。また、Ｌ１を小さくすることは、放電ギャップＧ１付近の壁電圧を低下させ、発光効率を低下させる。
【００４５】
図２は、Ｌ２／（Ｌ１＋Ｌ２）と発光効率ηとの関係を示している。図２において、▲１▼は透明電極間の間隙Ｇ２が大きい場合を示し、縦方向に隣接する放電セルにおける放電領域が離れるため、相互の漏れ電流による影響が小さく、縦方向のクロストークが小さい。これに対して、間隙Ｇ２を小さくすると、▲２▼に示すように、発光効率は高くなるが、隣接する放電領域が近接するため、縦方向のクロストークも大きくなる。本実施の形態では、透明電極２２ａ、２３ａの並行する電極がそれぞれ２本と少なく、縦方向の透明電極２２ａ、２３ａのパターン形成にあたり寸法上の余裕があり、間隙Ｇ２の寸法を調整することができる。したがって、Ｌ２／（Ｌ１＋Ｌ２）の範囲を前記のように定め、透明電極間の間隙Ｇ２および間隙Ｇ３の寸法を適宜設定することにより、発光効率、クロストークおよび放電電力の変動の条件を最適化することができる。この構成により、発光効率を向上するとともに、放電セルにおけるプラズマ放電の漏洩による縦方向のクロストークを低減し、放電電力の変動を少なくすることができる。
【００４６】
つぎに、放電セル３７は赤色、青色および緑色のいずれか１つを表示する放電セルである。本実施の形態では、赤色および青色を表示する放電セルにおける短絡部２２３、２３３の幅が、緑色を表示する放電セルにおける幅よりも大きい。短絡部２２３、２３３の幅を広げることによって放電セル３７における電極面積が増加し、放電セル３７の容量が増加する。したがって、赤色および青色を表示する放電セルにおける放電電流が増加し、緑色を表示する放電セルよりも輝度を高めることができる。一方、従来の商品のセットでは白色表示時に、青色に対して緑色と赤色の輝度を下げることで白色の青みを強調し、商品のセットとしての輝度を向上させている。これに対し、本実施の形態では、青色と赤色の輝度を大きくすることができ、ホワイトバランスを取ったときに緑色の輝度を抑える割合を少なくし、表示装置としての輝度を向上させることができる。また、表示装置として表現できる色範囲をバランス良く広げるために、青色だけでなく  赤色の輝度も緑色に対して向上させている。したがって、輝度が高く、色バランスの良い商品のセットを簡単な構成で実現することができる。なお、本実施の形態では、各放電セル３７に短絡部２２３、２３３を設けることによって書き込みが容易になり、放電セルの動作電圧が下がる。したがって、実質的に放電セル３７に印加される電圧が上昇し、各放電セル３７において輝度が上昇する。
【００４７】
さらに、本実施の形態では、図１（ｂ）、図３、図４に示すように、前面基板２１に形成された表示電極２４を覆って誘電体層２５が設けられ、誘電体層２５には、横隔壁３１ａと並行する連続した溝部３５が設けられている。これにより、井桁状の隔壁３１に対し、前面基板２１と背面基板２８とを対向配置したとき、横隔壁３１ａと誘電体層２５との間に空隙部を設けている。この空隙部は放電ガス封入時に排気溝の機能を果たし、パネル製造時の排気工程でコンダクタンスを改善し、高歩留まりを実現する。
【００４８】
空隙部の寸法は、図３に示すように、溝部３５における溝底部と横隔壁３１ａの頂部との間隙ｄを３μｍ〜１７μｍとしている。ただし、この寸法は製造工程における横隔壁３１ａの高さの寸法のバラツキを考慮したものであり、５μｍ〜１５μｍとするのが、より望ましい。また、横隔壁３１ａの頂部の幅Ｓ１および溝部３５の幅Ｓ２については、１０μｍ≦（Ｓ２−Ｓ１）≦３０μｍとしている。（Ｓ２−Ｓ１）＜１０μｍの場合は、溝部３５が排気溝としての効果を発揮できず、３０μｍ＜（Ｓ２−Ｓ１）の場合は、隣接する放電セル間にクロストークによる影響が発生する。
【００４９】
この構成により、放電セル３７において、プラズマ放電の縦方向の漏洩を抑制し、クロストークによる壁電圧の減少を抑制することができる。また、背面パネル２７に蛍光体層３２〜３４を塗布する際に、横隔壁３１ａの頂部に蛍光体が付着すると、横隔壁３１ａと前面パネル２０の表面との間に隙間が発生するが、溝部３５を設けることにより、これを防止することができる。この隙間は高地において外気圧が低下した場合にはＰＤＰの振動の原因となり、ノイズの原因となるため、高地ノイズに対しても効果を発揮する。
【００５０】
なお、誘電体層２５の縦隔壁３１ｂと接触する部分に溝を設けて排気を行う構成は、縦方向に形成された溝の部分からプラズマ放電が縦方向に漏洩しやすく、縦方向のクロストークとなって、画質を劣化させる。また、横隔壁３１ａと前面パネル２０との間隙を、横隔壁３１ａと縦隔壁３１ｂとの段差として形成することは、加工上で難点を有するが、本実施の形態においては、製造可能である。
【００５１】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、高精細度化にともなう放電電流の増加を制限し、放電電流の波形のピークを単一化して発光輝度や発光効率の変動を防止するとともに、プラズマ放電のクロストークを抑制する高品質、高歩留まりのガス放電パネルを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの要部を拡大して詳細な構造を示す平面図および断面図
【図２】本発明の実施の形態における表示電極の構造と発光効率の関係を示す特性図
【図３】図１の一部の寸法構造を示す断面図
【図４】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの主要構成を模式的に示す要部斜視図
【図５】一般的な交流面放電型ＰＤＰの主要構成を示す部分的な断面斜視図
【図６】一般的な交流面放電型ＰＤＰの表示電極の構成例を示す平面図および断面図
【符号の説明】
２０  前面パネル
２１  前面基板
２２  走査電極
２２ａ，２３ａ  透明電極
２２ｂ，２３ｂ  母電極
２３  維持電極
２４  表示電極
２５，３０  誘電体層
２６  保護層
２７  背面パネル
２８  背面基板
２９  アドレス電極
３１  隔壁
３１ａ  横隔壁
３１ｂ  縦隔壁
３２，３３，３４  蛍光体層
３５  溝部
３６  放電空間
３７  放電セル
２２１，２２２，２３１，２３２  電極
２２３，２３３  短絡部
【図１】
2004348995.tif 000003
【図２】
2004348995.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004348995.tif 000006
【図５】
2004348995.tif 000007
【図６】
2004348995.tif 000008