(57)【要約】【課題】ウエハ上に配列された画像センサなどの素子と、これらウエハ上に配列された素子に対して装着されるレンズアセンブリなどの素子間の高いアライメント精度を提供するウエハスケールのアセンブリ法を提供する。【解決手段】上記課題は、ウエハ上に配列され、隣接するメンバから既定の間隔だけ離隔している第１素子を提供するステップと、第２素子を提供するステップと、前記第２素子を隣接するメンバから既定の間隔だけ離隔する強制ステップと、前記第１素子の対応する前記第２素子を、アライメントされた状態で、前記ウエハに付着させる付着ステップとを有することを特徴とするウエハスケールのアセンブリ方法により解決される。【選択図】図１
2004304165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハスケールのアセンブリ方法において、
ウエハ上に配列され、隣接するメンバから既定の間隔だけ離隔している第１素子を提供するステップと、
第２素子を提供するステップと、
前記第２素子を隣接するメンバから既定の間隔だけ離隔する強制ステップと、
前記第１素子の対応する前記第２素子を、アライメントされた状態で、前記ウエハに付着させる付着ステップとを有することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記強制ステップは、
前記第２素子のサイズに対応する凹部を有し、隣接メンバから前記既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している間隔定義ジグを提供するステップと、
前記間隔定義ジグの前記凹部内に前記第２素子を挿入する挿入ステップとを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
相互接続アレイの形態で、隣接メンバから前記既定の間隔に近い間隔だけ離隔している前記第２素子を提供するステップを、さらに有し、
前記挿入ステップは、前記相互接続アレイ内の前記第２素子を前記間隔定義ジグの前記凹部内に挿入するステップを有することを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
採取／配置装置を提供するステップをさらに有し、
前記挿入ステップは、前記採取／配置装置を使用して前記間隔定義ジグの前記凹部内に前記第２素子を挿入するステップを有することを特徴とする請求項２または３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
振動台を提供するステップを、さらに有し、
前記挿入ステップは、前記振動台を使用して前記間隔定義ジグの前記凹部の対応するメンバ内に前記第２素子が挿入されるようにするステップを有することを特徴とする請求項２または３のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
前記第２素子を提供するステップが、隣接メンバから前記既定の間隔に近い間隔だけ離隔する凹部のアレイを有する移送トレイを提供することによりステップであって、前記凹部は前記第２素子の中の１つをそれぞれ格納する形状になっており、かつ、
前記挿入ステップは、前記第２素子を前記移送トレイの前記凹部から前記間隔定義ジグの前記凹部の対応するメンバに移送するステップを有することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
前記第２素子を提供するステップが、隣接メンバから前記既定の間隔に近い間隔だけ離隔している前記第２素子を、アレイとして配列する平らで粘着性の表面を有する移送トレイを提供するステップであって、
前記強制ステップは、前記第２素子を前記移送トレイから前記間隔定義ジグの前記凹部に移送するステップを有することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
前記第２素子を提供するステップが、前記ウエハの主表面に直交するｚ方向における前記ウエハから前記第２素子までのメンバの離隔状態を判定する離隔判定属性を有する前記第２素子を提供するステップを有し、
さらに、
離隔判定属性データを取得するべく、前記第２素子の少なくとも代表的なメンバの前記離隔判定属性を計測するステップと、
前記付着ステップの前に、前記離隔判定属性データに応答し、前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップと有することを特徴とする請求項１から７までのいずれかに記載の方法。
【請求項９】
前記離隔判定属性を計測するステップは、個々の離隔判定属性データを取得するべく、前記第２素子のそれぞれの前記離隔判定属性を計測するステップを有し、
前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップは、前記個々の離隔判定属性データに応答し、前記第２素子のそれぞれに前記選択的な離隔をを行うステップを有することを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２素子のサイズに対応し、隣接メンバが前記既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している凹部のアレイを含む間隔定義ジグを提供するステップと、
前記間隔定義ジグの前記凹部の個々のメンバ内に前記第２素子のそれぞれを挿入するステップと、を更に有し、
前記凹部は前記アレイに直交する方向において制御可能に移動でき、
前記第２素子のそれぞれに前記選択的な離隔をを行うステップは、前記個々に挿入された第２素子のメンバの離隔判定属性データに応答し、前記直交する方向において前記凹部のそれぞれを移動させるステップを有することを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記第２素子を提供するステップは、相互接続アレイの形態で提供され、隣接メンバが前記既定の間隔に近い間隔だけ離隔している前記第２素子を提供するステップを有し、
前記第２素子のそれぞれのメンバの前記離隔判定属性は、前記第２素子のアレイ内における前記第２素子のメンバの位置に相関しており、
前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップは、前記離隔判定属性データに応答し、前記第ｚ方向において前記第２素子のアレイを選択的に変形させるステップを有する請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップは、
前記第２素子のサイズに対応し、隣接メンバから前記既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している凹部を含む間隔定義ジグを提供するステップと、
前記相互接続アレイ内の前記第２素子を前記間隔定義ジグの前記凹部内に挿入するステップと、
前記アレイを選択的に変形させるステップは、前記離隔判定属性データに応答し、前記ｚ方向において前記間隔定義ジグを選択的に変形させるステップを有することを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第２素子を提供するステップは、それぞれが前記ウエハの主表面に直交するｚ方向における前記ウエハからの離隔状態に依存する個々の離隔依存属性を有する前記第２素子を提供するステップを有し、
さらに、
前記第２素子の少なくとも代表的なメンバの前記離隔依存属性を計測するステップと、
前記付着段階の前に、前記第２素子の少なくとも代表的なメンバの前記計測した離隔依存属性に応答し、前記第２素子を前記ウエハから前記ｚ方向に選択的な間隔だけ離隔するステップとを有することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
前記離隔依存属性を計測する段階は、前記第２素子のそれぞれの前記離隔依存属性を計測するステップを有し、
前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップは、前記個々の計測した離隔依存属性に応答し、前記第２素子のそれぞれを前記選択的な離隔状態にするステップを有することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第２素子を提供する段階は、前記第２素子のそれぞれのメンバの前記離隔依存属性が前記アレイにおける前記第２素子のメンバの位置に相関している相互接続アレイの形態で前記第２素子を提供するステップを有し、
前記第２素子の少なくとも代表的なメンバの前記離隔依存属性を計測するステップが、前記第２素子の代表的なメンバの前記離隔依存属性を計測し、
前記第２素子を前記ウエハから前記ｚ方向に選択的な間隔だけ離隔するステップは、前記第２素子の代表的なメンバの前記計測した離隔依存属性に応答し、前記ｚ方向において前記第２素子のアレイを選択的に変形させるステップとを有することを特徴とする請求項１３または１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記第２素子を提供する段階は、相互接続アレイの形態で前記第２素子を提供するステップを有し、
前記第２素子を離間するステップは、
前記第２素子のサイズに対応し、隣接メンバから前記既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している凹部を含む間隔定義ジグを提供するステップと、
前記相互接続アレイ内の前記第２素子を前記間隔定義ジグの前記凹部内に挿入するステップとを有し、
前記アレイを選択的に変形させるステップは、前記第２素子の代表的なメンバの前記離隔依存属性に応答し、前記ｚ方向において前記間隔定義ジグを選択的に変形させるステップを有することを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
最近の製造工程には、レンズ、光ファイバコネクタ、及び光ファイバなどの非半導体素子を半導体ダイに装着するプロセスが含まれている。例えば、静止画や動画のカメラに使用するＣＣＤやＣＭＯＳ画像センサアセンブリの中には、画像センサが製作された半導体ダイに、成型したレンズアセンブリを装着することによって製造するタイプのものが存在する。現在、１８０ｍｍ（６インチ）のシリコンウエハ上に、５００個の画像センサを製作することができる。通常、プラスチックレンズは、一度に多数成型されるが、それらは、ウエハを個々の画像センサのダイに切り分けた後に、画像センサのダイ上に個々に取り付けなければならない。この個別の取り付け作業には、費用を要すると共に、アライメント誤差が発生しやすい。
【０００２】
ウエハスケールのアセンブリプロセスを使用すれば、製造コストが低下し、取り付けプロセスも誤差が発生しにくいものになろう。このウエハスケールのアセンブリプロセスにおいては、まず、プラスチックレンズアセンブリのアレイをウエハ上の画像センサのピッチと正確に一致するピッチで成型する。そして、このレンズアセンブリアレイをウエハに装着し、数百個の画像センサアセンブリを一度に製造することになろう。しかしながら、多腔型を使用して成型するレンズアセンブリアレイのピッチをウエハ上の画像センサのピッチに正確に一致させることは困難であるため、このような装置のウエハスケールの製造は、従来、現実的ではなかった。
【０００３】
画像センサは、熱膨張係数（ＣＴＥ）の小さいシリコンウエハ内にフォトリソグラフによって定義される。一方、レンズアセンブリのアレイは、高温において高ＣＴＥ材料から成型される。レンズアセンブリアレイのピッチ（隣接するレンズの中心間において計測する）は、画像センサアレイのピッチ（隣接する画像センサの対応する地点間で計測する）と、±０．０５０ｍｍ（５０μｍ）の精度で一致しなければならず、このアライメント精度をウエハの幅の全域において維持しなければならない。成型されたレンズアセンブリのアレイは、不均一に収縮する可能性が高い。又、レンズ材料のＣＴＥは大きいため、レンズアセンブリアレイのピッチは、画像センサアレイのピッチよりも、温度によって左右されやすい。この結果、必要とされる精度で、レンズアセンブリアレイのピッチが画像センサアレイのピッチと一致する可能性は小さい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、ウエハ上に配列された画像センサなどの素子と、これらウエハ上に配列された素子に対して装着されるレンズアセンブリなどの素子間の高いアライメント精度を提供するウエハスケールのアセンブリ法が求められている。同時に、ウエハの領域全体においてこの高いアライメント精度を維持するウエハスケールのアセンブリ法が求められているのである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本方法によれば、隣接メンバが既定の間隔だけ離隔した状態でウエハ上に配列された第１素子を提供するウエハスケールのアセンブリ法が提供される。又、第２素子も提供する。本方法によれば、既定の間隔に等しい第２素子の隣接メンバ間の間隔を第２素子に対して強制する。次いで、第１素子の対応するものとアライメントされた状態で、これらの第２素子をウエハに付着させる。
【０００６】
本方法の一実施例においては、サイズにおいて第２素子に対応する凹部を含む間隔定義ジグが提供され、これら凹部の隣接メンバは、既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している。この間隔定義ジグの凹部内に第２素子を挿入する。
【０００７】
別の実施例においては、第２素子は、既定の間隔に近い間隔だけ第２素子の隣接メンバが離隔している準拠した相互接続アレイの形態で提供される。サイズにおいて第２素子に対応する凹部を含む間隔定義ジグが提供され、これら凹部の隣接メンバは、既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している。間隔定義ジグの凹部内に、準拠した相互接続アレイ内の第２素子を挿入することにより、既定の間隔を第２素子に対して強制する。
【０００８】
本方法の別の実施例においては、提供するそれぞれの第２素子は、ウエハの主表面に対して直交するｚ方向におけるウエハからの第２素子の離隔状態を判定する離隔判定属性を有している。離隔判定属性データを取得するべく、第２素子の少なくとも代表的なメンバの離隔判定属性を計測する。次いで、第２素子をウエハに付着させる前に、この離隔判定属性データに応答し、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態を第２素子に対して強制する。
【０００９】
本方法の別の実施例においては、提供するそれぞれの第２素子は、ウエハの主表面に対して直交するｚ方向におけるウエハからの第２素子の離隔状態に依存する個々の離隔依存属性を有している。第２素子の少なくとも代表的なメンバの離隔依存属性の計測値を取得する。次いで、第２素子をウエハに付着させる前に、計測した第２素子の少なくとも代表的なメンバの離隔依存属性に応答し、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態を第２素子に対して強制する。
【発明の効果】
【００１０】
従って、本発明によれば、ウエハ上に配列された画像センサなどの第１素子と、これらウエハ上に配列された第１素子に装着するレンズアセンブリなどの第２素子間における高いアライメント精度を付与するウエハスケールのアセンブリ法が提供される。又、本発明によれば、このアライメント精度をウエハの領域全体にわたって維持するウエハスケールアセンブリ法が提供される。具体的には、第２素子に対して既定の間隔に等しい間隔を強制することにより、１回のアライメント操作によって、すべての第２素子を、ウエハ上に配列されているすべての第１素子と正確にアライメントすることができる。最後に、本発明によれば、ｚ方向における第１素子からの第２素子の離隔状態を集合的又は個々に調節することが可能なウエハスケールアセンブリ法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、本発明によるウエハスケールアセンブリ法の模範的な実施例１００を示すフローチャートである。
【００１２】
まず、ブロック１０２において、ウエハ上に配列された第１素子を提供する。これら第１素子の隣接メンバは、既定の間隔だけ離隔している。第１素子は、通常、集積回路である。この代わりに、第１素子は、ウエハ中又は上に製作可能なその他の素子であってもよい。例えば、第１素子は、マイクロメカニカルデバイスであってよい。
【００１３】
ブロック１０４において、第２素子を提供する。
【００１４】
ブロック１０６において、既定の間隔に等しい第２素子の隣接メンバ間の間隔を第２素子に対して強制する。
【００１５】
ブロック１０８において、第１素子の対応するものとアライメントされた状態で第２素子をウエハに付着させる。
【００１６】
それぞれが画像センサに装着されたレンズアセンブリから構成された画像センサアセンブリのウエハスケールアセンブリを実行するべく方法１００を使用する際には、ブロック１０６において、既定の間隔に等しいレンズアセンブリの隣接メンバ間の間隔をレンズアセンブリに対して強制している。これにより、画像センサアレイのピッチに一致したピッチを有するレンズアセンブリアレイが生成される。この結果、これらのレンズアセンブリをウエハに付着させると、これらは画像センサと正確にアライメントされ、このアライメント精度がウエハの全体領域にわたって維持されることになる。
【００１７】
図２は、このウエハスケールアセンブリ法１００の実際的な第１の例２００を示すフローチャートである。この例においては、方法２００は、画像センサが製作されているシリコンウエハ上に、成型したレンズアセンブリを取り付けるべく使用される。尚、図１を参照して前述した方法１００の各要素に対応する方法２００の要素は、同一の参照符号を使用して示されており、再度の詳細な説明は省略する。この方法２００においては、画像センサが前述の第１素子の一例であり、レンズアセンブリが前述の第２素子の一例である。この例では、レンズアセンブリは、成型された準拠した相互接続アレイを構成しており、接続要素が、隣接するレンズアセンブリ間に延在している。これらの接続要素は、ウエハ上に取り付けるすべてのレンズアセンブリを相互接続し、１つのエンティティとして取り扱い可能なレンズアセンブリアレイを形成している。この結果、レンズアセンブリの取り扱いの利便性が格段に向上する。これらの相互接続要素は、レンズアセンブリが既定の間隔を強制され得るように、レンズアセンブリが配列された面内においてレンズアセンブリが容易に移動できるようにしている。一方、シリコンウエハ上には、円形のウエハの端部によって切り捨てられた二次元アレイの形態で、センサ素子が配列されている。従って、この画像センサのアレイは四角形ではない。接続されたレンズ素子のアレイは、それぞれのレンズ素子の向きを適切な対向方向に維持し、ウエハ上の画像センサの配列と一致する配列において正しい数のレンズ素子のアレイを設定している。
【００１８】
又、この例においては、間隔定義ジグが提供され、これを使用して既定の間隔をレンズアセンブリに対して強制している。この代わりに、詳細に後述するように、相互接続要素によって相互接続されていないレンズアセンブリを使用し、本方法を実行することも可能である。
【００１９】
図１のブロック１０４の実施例であるブロック２０４において、準拠した相互接続アレイの形態でレンズアセンブリを提供する。このアレイ内のレンズアセンブリの隣接メンバは、既定の間隔に近い間隔だけ離隔している。
【００２０】
ブロック２０５及び２０６は、図１のブロック１０６の実施例を集合的に構成している。即ち、ブロック２０５において、間隔定義ジクを提供する。この間隔定義ジグは、サイズにおいてレンズアセンブリに対応する凹部を含んでいる。この凹部の隣接メンバは、既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している。
【００２１】
そして、ブロック２０６において、準拠した相互接続アレイ内のレンズアセンブリを間隔定義ジグの凹部内に挿入する。この準拠した相互接続アレイ内のレンズアセンブリを間隔定義ジグの凹部内に挿入することにより、既定の間隔に等しい隣接メンバ間の間隔がレンズアセンブリに対して強制される。従って、これらのレンズアセンブリをウエハに付着させると、それらは、間隔定義ジグにより、個々の画像センサと正確にアライメントすることになる。
【００２２】
次に、画像センサが既に製作されているシリコンウエハにおいて、成型されたレンズアセンブリアレイのウエハスケールアセンブリを実行するのに使用される方法２００の実施例を示す図３Ａ〜図３Ｇを参照し、この方法２００について更に詳しく説明する。この実施例においては、レンズアセンブリは、接続要素によって接続された準拠した相互接続アレイとして提供される。又、間隔定義ジグを使用し、既定の間隔をレンズアセンブリに対して強制する。
【００２３】
図３Ａは、ブロック１０２において提供されるウエハ３０２の一例を示している。ウエハの主表面３０６上に、画像センサ３０８の二次元アレイ３０４が配置されている。図面を簡単にするべく、この例は高度に簡略化されされており、画像センサアレイ３０４は、９個の画像センサのみによって構成されている。しかしながら、通常、アレイ３０４は、数百個の画像センサから構成されている。又、図３Ａは、アレイ３０４を二次元アレイとして示しているが、この代わりに、アレイ３０４は、一次元のアレイであってもよい。
【００２４】
画像センサ３０８の隣接メンバは、既定の間隔だけ離隔している（この既定の間隔とは、１つの画像センサのメンバ上の所与の特徴から隣接する画像センサのメンバ上の同一の特徴までの距離である）。二次元アレイ３０４の場合には、この既定の間隔は、ｘ方向における成分Ｓｘとｙ方向における成分Ｓｙを有している。一次元アレイの場合には、既定の間隔の成分は１つだけである。この既定の間隔は、ウエハ３０２内／上において画像センサを製作するのに使用されるマスクセットの製造の際に、高精度で定義される。
【００２５】
図３Ｂ及び図３Ｃは、ブロック２０４において提供されるレンズアセンブリ３１０の一例を示すそれぞれ平面図及び側面図である。又、図３Ｃには、レンズアセンブリの１つのメンバの断面図も含まれている。それぞれのレンズアセンブリは、凸レンズ３１７とスペーサチューブ３１８から構成されている。通常、これらのレンズ及びスペーサチューブは、レンズがスペーサチューブの一端の近傍に位置した状態で、一体として成型される。この代わりに、後から組み立ててレンズアセンブリを形成するべく、レンズとスペーサチューブを別個のコンポーネントとして製作することも可能である。レンズと、レンズからは離隔しているスペーサチューブのウエハ対向面３１９間の距離は、レンズの有効焦点距離と略等しい。ウエハ対向面３１９が主表面３０６と接触した状態で、レンズアセンブリをウエハ３０２上に取り付けると、レンズが、その被写界深度内に位置する物体からの光を対応する画像センサ３０８上に合焦する。
【００２６】
レンズアセンブリ３１０は、レンズアセンブリが配列されているｘ及びｙ方向と直交するｚ方向にレンズの光軸３１２が向いているレンズアセンブリの二次元アレイ３１４の形態で提供される。これらのレンズアセンブリの隣接メンバは、接続要素３１６によって相互接続されている。これらの接続要素により、レンズアセンブリのすべてをウエハ３０２上に取り付けて、手動又は機械により（個々に取り扱うのではなく）１つのエンティティとして取り扱うことができるようになっている。又、ブロック１０６において既定の間隔をレンズアセンブリ３１０に対して強制できるよう、これらの相互接続要素により、レンズアセンブリはｘ及びｙ方向に容易に移動可能にもなっている。図３Ｂには、これらの接続要素３１６がＳ字の形状になっている例が示されている。尚、二次元の移動を許容する接続要素として使用するのに適したその他の形状は、当技術分野においては周知であり、代替使用可能である。
【００２７】
図３Ｄ及び図３Ｅは、レンズアセンブリに対して既定の間隔に等しい隣接メンバ間の間隔を強制するべく、ブロック２０５において提供され、ブロック２０６において使用される間隔定義ジグ３２０の一例を示すそれぞれ下面図及び断面図である。間隔定義ジグ３２０は、凹部３２６の二次元アレイ３２４を定義するジグ本体３２２から構成されている。これらの凹部は、主表面３２３からジグ本体内に延長している。又、これらの凹部は、ｘ−ｙ面においてレンズアセンブリのそれぞれの位置を正確に定義するようにレンズアセンブリ３１０を収容する形状と寸法になっている。凹部は、ジグ本体３２２内に位置しており、それらの隣接メンバは、既定の間隔に公称的に等しい間隔だけ離隔している。この凹部の間隔とは、例えば、凹部の２つの隣接メンバの中心間の距離のことである。二次元アレイ３２４の場合には、この間隔は、ｘ方向における成分Ｐｘとｙ方向における成分Ｐｙを有している。一方、一次元アレイの場合には、間隔は一次元のみである。
【００２８】
凹部３２６の隣接メンバ間の間隔は、既定の間隔に正確に等しいものにする必要はない。しかしながら、すべてのレンズアセンブリ３１０を、ウエハ３０２の領域全体にわたって、前述の公差（例：±５０μｍ）内において、個々の画像センサ３０８に対して配置しなければならないため、アレイ３２４内において間隔の誤差が蓄積することは許容されない。
【００２９】
レンズアセンブリの実施例の中には、凹部３２６の個々のメンバの内部表面３３２と本質的に正確に係合するトポロジーを有する外部表面３３０を有するものが存在する（例：図３Ｂ及び図３Ｃに示されている円柱レンズアセンブリ３１０）。このような外部表面トポロジーを本質的に欠いたレンズアセンブリの実施例の場合には、内部表面３２２と正確に係合する外部表面を含むように変更する必要がある。又、これらの外部表面３３０及び内部表面３３２を、間隔定義ジグ３２０に対するｚ方向におけるレンズアセンブリ３１０の位置を正確に定義するような形状にすることも可能である。
【００３０】
ジグ本体３２２の材料は、ＣＴＥが小さい材料である。このような材料を使用することにより、ジグ本体（従って、凹部３２６間の間隔）が周辺温度の変化の影響を受けにくいものになる。例えば、このジグ本体の材料は、シリコンとＣＴＥが一致する鉄−ニッケル−コバルト合金などの金属であってよい。このような合金の１つは、Ｋｏｖａｒ（登録商標）という商標で販売されている。
【００３１】
図２に示されているブロック２０６において、レンズアセンブリ３１０を間隔定義ジグ３２０の凹部３２６の対応するメンバ内に挿入する。図３Ｆは、個々の凹部３２６内にレンズアセンブリ３１０を挿入するベく、レンズアセンブリアレイ３１４に向かって、矢印３２８によって示されている方向に移動する間隔定義ジグを示す側面図である。レンズアセンブリ３１０の外部表面（例：外部表面３３０）が凹部の個々の内部表面（例：内部表面３３２）と係合すると、間隔定義ジグにより、矢印３３４によって示されているように、ｘ−ｙ面に平行な方向にレンズアセンブリが移動する。接続要素３１６は、個々のレンズアセンブリが相互に移動可能なように変形する。レンズアセンブリが完全に凹部内に挿入されると、凹部アレイ３２４により、凹部の隣接メンバ間の間隔に等しい隣接メンバ間の間隔がレンズアセンブリに対して強制される。この凹部アレイ内の凹部３２６の隣接メンバ間の間隔は、ウエハ３０２上の画像センサ３０８間の既定の間隔と等しい。従って、レンズアセンブリは、ウエハ上の画像センサの間隔と正確に一致する間隔を有して配列されることになる。
【００３２】
図２に示されているブロック１０８において、画像センサ３０８の対応するメンバと正確にアライメントされた状態で、レンズアセンブリ３１０をウエハ３０２に付着させる。図３Ｇは、凹部アレイ３２４の凹部３２６内に挿入されたレンズアセンブリ３１０を有する間隔定義ジグ３２０を示す側面図である。この間隔定義ジグは、レンズアセンブリをウエハと係合させるべく、ウエハ３０２に向かって、矢印３３６によって示されている方向に、レンズアセンブリと共に移動している。これに先立ち、適切な接着剤（図示されてはいない）が、既にレンズアセンブリのウエハ対向面３１９に塗布されており、且つウエハも、すべての画像センサをすべてのレンズアセンブリとアライメントさせるべく、ｘ−ｙ面において、間隔定義ジグに対して並進的且つ回転的に位置決めが完了した状態にある。間隔定義ジグにより、画像センサ間の間隔に等しい隣接メンバ間の間隔がレンズアセンブリに対して強制されているため、すべての画像センサを個々のレンズアセンブリとアライメントするのに、１回の並進的且つ回転的な位置決め操作だけで十分である。
【００３３】
一例においては、ウエハ上に適切な参照基準マークを設け、間隔定義ジグ上の参照用の特徴と一致させることにより、この画像センサのアレイに対するレンズアセンブリのフルアレイの回転的及び位置的なアライメントを１回の操作によって実現している。一例においては、このウエハ上の参照基準マークは、ウエハ上のすべての画像センサのリソグラフィにおける固有パターンの形態になっている。そして、間隔定義ジグのアライメント用の特徴は、この参照基準マークと相補的な関係にあり、ウエハ上の最大限に離隔した複数の画像センサの参照基準マークに対応する位置に存在している。これらの間隔定義ジグ上のアライメント用の特徴は、ウエハ上の参照マークと組み合わされた際に、視覚システムを使用する手動による（又は、自動化された）アライメント用のパターン認識が容易な形状になっている。このようなアライメント用の特徴の例には、クロスヘアーパターンや同心円パターンが含まれる。センサアレイがウエハの端部を過ぎて延長する部分には、不完全な画像センサが存在する。間隔定義ジグのアライメント用の特徴は、これらの不完全な画像センサ（その参照基準マークがウエハ上に存在しているもの）にアライメントされる間隔定義ジグの複数の空洞内に配置することができる。これらの空洞は、不完全な画像センサとアライメントされるため、その内部にレンズアセンブリが装填されることにはならず、この結果、所与のウエハから得られる画像センサアセンブリの歩留まりを低下させることなく、アライメント用の特徴を間隔定義ジグ内に設けることができる。
【００３４】
図３Ｈは、それぞれのレンズアセンブリ３１０が画像センサ３０８の対応するものと正確にアライメントされた状態でウエハ３０２に付着したレンズアセンブリアレイ３１４から構成されるウエハスケールアセンブリ３４０を示している。これらのレンズアセンブリは、参照符号３３８で示されている接着剤片によって付着している。この後に、このウエハは個々に切断され、接続要素３１６が切り離されて、ウエハスケールアセンブリが個々の画像センサアセンブリに分割される。
【００３５】
前述のウエハスケールアセンブリ法は、接続要素３１６によって相互接続されたアレイ３１４の形態にレンズアセンブリ３１０を成型することにより、単純化されている。しかしながら、本方法においては、従来の成型レンズアセンブリを使用することも可能である。図４Ａ〜図４Ｄは、接続要素によって相互接続されていない従来の成型レンズアセンブリを使用して実行可能な図１に示されている方法１００の実施例を示すフローチャートである。図１及び図２を参照して前述した方法の各要素に対応する図４Ａ〜図４Ｄに示されている方法の要素は、同一の参照符号を使用して示されており、ここでは再度の説明を省略する。これら図４Ａ〜図４Ｄに示されている方法では、図３Ｄ及び図３Ｅを参照して前述した間隔定義ジグ３２０を使用している。
【００３６】
この図４Ａに示されている方法４００の場合には、図１のブロック１０４の実施例であるブロック４０４において、凹部のアレイを定義する形状を有する移送トレイ内に装填された形態で、個々のレンズアセンブリを提供する。それぞらの凹部は、レンズアセンブリのウエハ対向面が凹部の端壁に対向する状態で、１つのレンズアセンブリを保持している。これらの凹部は、間隔定義ジグの凹部の間隔に近い間隔だけ離隔している。尚、移送トレイは、製造工程において一般的な物品である。
【００３７】
図１のブロック１０６の実施例であるブロック４０６において、レンズアセンブリを移送トレイの凹部から間隔定義ジグの対応する凹部に移送する。このレンズアセンブリの移送トレイの凹部から間隔定義ジグの凹部への移送により、既定の間隔に等しい隣接メンバ間の間隔がレンズアセンブリに対して強制される。模範的な実施例においては、間隔定義ジグの凹部が移送トレイの凹部に対向した状態で、間隔定義ジグを移送トレイ上に配置し、間隔定義ジグと移送トレイを一体として反転させた後に、移送トレイを除去することにより、レンズアセンブリを移送トレイから間隔定義ジグに移送する。この結果、レンズアセンブリは、ウエハ対向面が外に向いた状態で間隔定義ジグ内に装填されて残ることになる。
【００３８】
移送トレイから間隔定義ジグへのレンズアセンブリの移送を促進するべく、間隔定義ジグと移送トレイ間に圧力差を印加することも可能である。例えば、間隔定義ジグの凹部３２６（図３Ｄ）に負圧を印加するのである。圧力差を印加することにより、間隔定義ジグと移送トレイを一体として反転させる作業が不要になる。
【００３９】
ブロック１０８において、レンズアセンブリをウエハと接触させるために再度間隔定義ジグを反転させる際にレンズアセンブリを定位置に保持するベく、間隔定義ジグへのレンズアセンブリの移送の完了後にも、この間隔定義ジグの凹部に印加した負圧を維持してもよい。この代わりに、レンズアセンブリのウエハ対向面が上を向いた状態で間隔定義ジグを放置し、ブロック１０８において、画像センサが下に向いた状態のウエハをウエハ係合表面上に配置することもできる。
【００４０】
図４Ｂは、本発明によるウエハスケールアセンブリ法の別の実施例４１０のフローチャートである。前述の方法１００及び２００の各要素に対応する方法４１０の要素は、同一の参照符号によって示されており、再度の説明は省略する。
【００４１】
図１に示されているブロック１０４の実施例であるブロック４１４において、平らな粘着性の主表面を有する移送トレイに装填された状態でレンズアセンブリを提供する。これらのレンズアセンブリは、それらのウエハ対向面が粘着性の表面と接触した状態で移送トレイによって供給される。レンズアセンブリは、移送トレイの粘着性の表面上において間隔定義ジグの凹部の間隔に近い間隔だけ離隔している。尚、移送トレイは、製造工程において一般的な物品である。
【００４２】
図１に示されているブロック１０６の実施例であるブロック４１６において、移送トレイから間隔定義ジグの凹部にレンズアセンブリを移送する。この移送により、既定の間隔に公称的に等しい隣接メンバ間の間隔がレンズアセンブリに対して強制される。
【００４３】
図４Ｃは、本発明によるウエハスケールアセンブリ法の別の実施例４２０のフローチャートである。前述の方法１００及び２００の各要素に対応する方法４２０の要素は、同一の参照符号によって示されており、再度の説明は省略する。この方法４２０は、間隔定義ジグ内の凹部の間隔とは異なる移送トレイやその他のパッケージングの形態でレンズアセンブリを供給する場合に使用することができる。
【００４４】
ブロック４２５及び４２６は、図１に示されているブロック１０６の実施例を集合的に構成している。即ち、ブロック４２５において、採取／配置装置を提供する。次いで、ブロック４２６において、この採取／配置装置を使用し、間隔定義ジグの凹部内にレンズアセンブリを挿入する。採取／配置装置を使用して間隔定義ジグの凹部内にレンズアセンブリを挿入することにより、既定の間隔に公称的に等しい隣接メンバ間の間隔がレンズアセンブリに対して強制される。自動採取／配置機械、並びに供給場所からレンズアセンブリを取得し、それらのレンズアセンブリを凹部アレイの個々のアレイ内に挿入するベく、それらの機械をプログラミングする方法については、当技術分野において周知であり、ここでは、その説明を省略する。
【００４５】
図４Ｄは、本発明によるウエハスケールアセンブリ法の別の実施例４３０のフローチャートである。前述の方法１００及び２００の各要素に対応する方法４３０の要素は、同一の参照符号によって示されており、再度の説明は省略する。この方法４３０は、例えば、大量に供給されるレンズアセンブリに対して実行可能である。
【００４６】
ブロック４３５及び４３６は、図１に示されているブロック１０６の実施例を集合的に構成している。即ち、ブロック４３５において、振動台を提供する。
【００４７】
そして、ブロック４３６において、この振動台を使用し、間隔定義ジグの凹部内にレンズアセンブリが挿入されるようにする。この振動台を使用して間隔定義ジグの凹部内にレンズアセンブリが挿入されるようにすることにより、既定の間隔に公称的に等しい隣接メンバ間の間隔がレンズアセンブリに対して強制される。ウエハ対向面が外に向いた状態で間隔定義ジグの凹部内にレンズアセンブリが挿入されるべく、重心を長手方向の寸法の中間点からずらしてレンズアセンブリを設計する方法については、当技術分野においては周知であり、ここでは、その説明を省略する。
【００４８】
この振動台を使用して間接的にレンズアセンブリを間隔定義ジグ内に装填できるのは、ウエハ対向面が外に向いた状態で間隔定義ジグ内に挿入される傾向を有するこのようなレンズアセンブリを利用可能な場合のみである。前述のものと類似した移送トレイが提供される。この移送トレイは、ポケットを定義しており、これらのポケットは、レンズアセンブリに緩くフィットするものであり、その間隔は、間隔定義ジグ内の凹部の間隔に近いことのみを必要としている。振動台を使用し、移送トレイのこれらのポケット内にレンズアセンブリが挿入されるようにする。これらのレンズアセンブリは、そのウエハ対向面が内側に向いた状態で移送トレイのポケット内に挿入される。次いで、レンズアセンブリを間隔定義ジグ内の凹部と係合させるべく、間隔定義ジグを移送トレイ上に配置する。この結果、ウエハ上の画像センサ間の間隔に等しい間隔がレンズアセンブリに対して強制される。次いで、移送トレイと間隔定義ジグを反転させた後に、移送トレイを除去すれば、ウエハ対向面が外に向いた状態で、レンズアセンブリが間隔定義ジグの凹部内に装填されて残る。
【００４９】
以上で例示したもの以外の方法を使用し、レンズアセンブリを間隔定義ジグの凹部内に挿入することにより、既定の間隔に公称的に等しい隣接メンバ間の間隔をレンズアセンブリに対して強制することも可能である。
【００５０】
前述の実施例においては、既定の間隔に等しいｘ及びｙ方向における間隔（即ち、ウエハ上の画像センサの間隔）をレンズアセンブリに対して強制している。前述の単純なレンズアセンブリは焦点調節機能を有しておらず、有効焦点距離（ＥＦＬ）及び／又はレンズ３１７とスペーサチューブ３１８（図３Ｃ）のウエハ対向面３１９間の距離のシステム的又はランダムなばらつきの影響を受ける可能性がある。前述のように、レンズと個々の画像センサ間の距離が、レンズの有効焦点距離と等しいか、或いはこれよりも既定の距離だけわずかに小さくなるようにレンズアセンブリを取り付けることが望ましい。前述のレンズアセンブリにおいては、レンズと個々の画像センサ間の距離は、レンズの主面とウエハ対向面３１９間の距離であるレンズ距離ｄと実質的に等しい。ＥＦＬとレンズ距離間の比がレンズアセンブリ間で異なる場合には、レンズアセンブリをウエハに装着する際に、それらの違いを補正することが望ましい。この結果、合焦した画像センサアセンブリの歩留まりが向上することになる。本発明による方法では、接着剤がまだ流体の状態において、ｚ方向におけるウエハからのレンズアセンブリの離隔状態を変化させることにより、このＥＦＬ／レンズ距離のばらつきを補正する。このウエハからのレンズアセンブリのｚ方向の離隔状態における小さなばらつきを接着剤レイヤで吸収する。一旦硬化すれば、接着剤レイヤは、それぞれのレンズアセンブリの個々の画像センサからのｚ方向の離隔状態を維持することになる。レンズアセンブリと画像センサ間の離隔状態を変化させることにより、画像センサをレンズの焦点面内に配置するのであるが、レンズアセンブリのウエハからのｚ方向の離隔状態を数マイクロメートル調節するだけで、合焦状態の画像センサアセンブリの歩留まりは大幅に向上する。
【００５１】
図５Ａ、図５Ｂ、及び図５Ｃは、図１に示されている方法１００の実施例を示すフローチャートであり、この場合には、ｚ方向におけるウエハからの選択的な間隔をレンズアセンブリに対して提供している。これらの実施例は、個々のレンズ距離ｄが一定であるが、有効焦点距離が異なるレンズアセンブリの場合に効を奏するものである。図１及び図２を参照して前述した方法１００及び２００の各要素に対応する図５Ａ〜図５Ｃに示されている方法の要素は、それぞれ同一の参照符号を使用して示されており、ここでは再度の説明を省略する。
【００５２】
図５に示されている方法５００において、ブロック５０４は、図１に示されているブロック１０４の実施例である。このブロック５０４において提供されるそれぞれのレンズアセンブリは、有効焦点距離を有している。レンズアセンブリの有効焦点距離は、レンズアセンブリの離隔判定属性の一例である。所与のレンズアセンブリの有効焦点距離により、そのレンズアセンブリが画像センサ上に合焦した画像を形成可能なｚ方向におけるウエハからのレンズアセンブリの離隔状態が決定される。図３Ｃを簡単に参照すれば、レンズアセンブリとウエハ間の離隔状態は、拡大のみ可能であって、縮小はできないため、ブロック５０４において提供されるレンズアセンブリは、レンズ距離ｄ（即ち、レンズ３１７の主面とスペーサチューブ３１８のウエハ対向面３１９間の距離）がすべてのレンズアセンブリの有効焦点距離の範囲内の最小のものと等しくなるような構造になっている。最小のＥＦＬに等しい有効焦点距離を有するレンズアセンブリは、ウエハ対向面がウエハと接触した場合に、合焦した画像を生成する。一方、最小のＥＦＬを上回る焦点距離を有するレンズアセンブリは、ウエハ対向面がｚ方向においてウエハから離隔している場合に、合焦した画像を生成することになる。
【００５３】
ブロック５０５において、有効焦点距離データを取得するべく、レンズアセンブリの少なくとも代表的なメンバの有効焦点距離を計測する。レンズの焦点距離を計測する方法は、当技術分野においては周知である。例えば、ウエハ対向面がミラーの反射面に接触した状態でレンズアセンブリをミラー上に配置する。そして、十分に平行化された光（例：ＨｅＮｅレーザによって生成された光）を、ビームスプリッタを介して、レンズを通じてミラーに導波し、ビームスプリッタを通過した後に、反射光を光検出器で検出する。ミラーの反射表面がレンズの焦点面に位置している場合には、反射光は、十分に平行化されており、この結果、光検出器に光の鋭いビームが生成される。一方、ミラーがレンズの焦点面に位置していない場合には、反射光により、検出器に拡散又は集束ビームが生成される。このビームの鋭さから有効焦点距離を判定する。
【００５４】
ブロック５０７において、レンズアセンブリをウエハに付着させる前に、有効焦点距離データに応答し、ｚ方向におけるウエハからの選択的な間隔をレンズアセンブリに対して強制する。
【００５５】
次に、図３Ｂ及び図３Ｃを参照して前述したアレイ３１４に類似したレンズアセンブリアレイに対してｚ方向における選択的な離隔状態を強制する方法５００の実施例５１０について説明する。成型されたレンズアセンブリアレイの場合には、レンズの有効焦点距離は、通常、アレイ内のそのレンズの位置に相関している。ＥＦＬのばらつきの原因には、アレイがまだ金型内に位置する際のアレイ内の様々な位置における冷却速度のばらつきと、レンズの１つ又は複数の表面形状、レンズの厚さ、及びスペーサチューブの長さに影響を与える成型プロセスにおける不均一なフロー特性が含まれる。
【００５６】
図５Ａに示されているブロック５０４の実施例であるブロック５１４において、相互接続アレイの形態でレンズアセンブリを提供するが、これらのレンズアセンブリのそれぞれは、アレイ内のそのレンズアセンブリの位置に相関する有効焦点距離を有している。
【００５７】
図５Ａに示されているブロック５０５の実施例であるブロック５１５において、アレイ内に分散するレンズアセンブリの代表的なメンバの有効焦点距離を計測する。
【００５８】
図５Ａのブロック５０７の実施例であるブロック５１７において、ブロック５１５において生成された有効焦点距離データに応答し、ｚ方向においてレンズアセンブリのアレイを選択的に変形させることにより、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態をレンズアセンブリに対して強制する。
【００５９】
図６Ａ及び図６Ｂは、この方法５１０の実施例を実行するのに使用可能な模範的な変形装置６００を示す側面図である。この実施例においては、図３Ｄ及び図３Ｅを参照して前述した間隔定義ジグ３２２に類似した間隔定義ジグが提供されており、この間隔定義ジグ内には、図３Ｂ及び図３Ｃを参照して前述したアレイ３１４に類似したレンズアセンブリのアレイが装填されている。次いで、変形装置は、ｚ方向において間隔定義ジグを選択的に変形させることにより、方法５１０の実施例のブロック５１７を実行する。図３Ａ〜図３Ｇに示されている各要素に対応する図６Ａ及び図６Ｂに示されている要素は、同一の参照符号を使用して示されており、ここでは、その詳細な説明を省略する。
【００６０】
まず、図６Ａを参照すれば、変形装置６００は、ベースプレート６４２、アクチュエータアレイ６４４、及びコントローラ６４６から構成されている。アクチュエータアレイ６４４は、ベースプレートの主表面６５０上に位置するアクチュエータ６４８から構成されている。そして、ベースプレートから遠いアクチュエータの部分は、間隔定義ジグ３２０の主表面６５２に接続されている。この主表面６５２は、凹部３２６が位置している主表面３２３の反対側の主表面である。
【００６１】
コントローラ６４６は、間隔定義ジグ３２０内に装填されるレンズアセンブリアレイ３１４の有効焦点距離データを受信するための入力６５６を含んでいる。更に、このコントローラは、それぞれのアクチュエータに対して、電気、水圧、気圧、又はその他のタイプの制御信号を供給するべく個々のアクチュエータ６４８に接続されている少なくとも１つの出力６５８を含んでいる。模範的な実施例においては、アクチュエータ６４８は、それぞれがコントローラの個々の出力６５８に接続された圧電素子である。この代わりに、バス構成を使用し、コントローラの出力をアクチュエータに接続することも可能である。
【００６２】
コントローラ６４６から供給されるそれぞれの制御信号により、個々のアクチュエータ６４８の長さが制御される。このアクチュエータの長さとは、ｚ方向におけるアクチュエータの寸法のことである。変形装置は、アクチュエータアレイ６４４のアクチュエータの長さを様々な値に設定することにより、ｚ方向において間隔定義ジグ３２０を選択的に変形させる。変形装置６００は、主表面６５０上の様々な位置において主表面６５０と主表面６５２間のｚ方向における距離を計測する距離センサのアレイ（図示されてはいない）を更に有することができる。これらの距離センサは、個々のフィードバック信号をコントローラに供給する。この距離センサアレイからのフィードバンク信号の供給を受け、コントローラは、閉ループで動作して間隔定義ジグの変形状態を制御する。
【００６３】
図６Ａは、レンズアセンブリのアレイ３１４が挿入された間隔定義ジグ３２０に接続されている変形装置６００を示している。コントローラ６４６には、レンズアセンブリ３１０の有効焦点距離（ＥＦＬ）データが既に読み込まれている。このレンズアセンブリの有効焦点距離は、レンズアセンブリアレイを間隔定義ジグに挿入する前、又は挿入した後に計測可能である。レンズアセンブリの有効焦点距離は、通常、アレイ３１４内のレンズアセンブリの位置に相関するため、ＥＦＬデータは、アレイのレンズアセンブリ３１０の代表的ないくつかのメンバのＥＦＬの計測値からのみ構成されている。これらの代表的なレンズアセンブリは、アレイの様々な部分に位置している。この代わりに、アレイのそれぞれのレンズアセンブリ３１０のＥＦＬ計測値からＥＦＬデータを構成することも可能である。
【００６４】
図６Ａにおいては、コントローラ６４６は、アクチュエータ６４８に対して、なんの制御信号も印加していないか、或いは、等しい制御信号を印加しており、この結果、間隔定義ジグ３２０は、変形されていない状態にある。変形装置６００は、矢印３３６に示されているように、ウエハ３０２に向かってｚ方向に間隔定義ジグと共に移動し、レンズアセンブリ３１０のウエハ対向面３１９に事前に塗布されている接着剤レイヤ６５４をウエハ３０２の主表面３０６と接触させた状態にある。
【００６５】
そして、図６Ｂにおいては、ＥＦＬデータ、並びにレンズアセンブリアレイ内の位置によるＥＦＬの通常のばらつきを定義するその他のデータに応答し、コントローラ６４６は、アクチュエータ６４８のそれぞれに印加する制御信号値の観点における補正マップを算出し、それらの制御信号をアクチュエータに提供した状態になっている。これらの制御信号により、アクチュエータの長さが異なる量だけ変化し、この結果、間隔定義ジグ３２０がｚ方向において変形する。この変形により、レンズアセンブリ６５６及び６５８とウエハ間のｚ方向における離隔状態と比べて、レンズアセンブリ６５７とウエハ３０２間のｚ方向における離隔状態が変化している。そして、レンズアセンブリ６５７に塗布された接着剤レイヤ６５４の厚さが増大し、レンズアセンブリとウエハ間の空間を充填している。この後に、この接着剤レイヤを硬化させ、レンズアセンブリをウエハに付着させる。
【００６６】
安定した厚膜を形成する能力を有する接着剤は、液体接着剤と、約５μｍ〜約１０μｍの範囲の直径を有するスペーサボールを混合することにより、製造することができる。この接着剤は、例えば、紫外線硬化接着剤であってよい。ニュージャージー州クランベリーに所在するノーランドプロダクツ社（Ｎｏｒｌａｎｄ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ，  Ｉｎｃ．，  Ｃｒａｎｂｕｒｙ、  Ｎ．Ｊ．）が販売するＴｙｐｅ  ＮａＯ  ６０が好適である。そして、インディアナ州フィッシャーズに所在するバングスラボラトリ社（Ｂａｎｇｓ  Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ，  Ｉｎｃ．，  Ｆｉｓｈｅｒｓ，  ＩＮ）が販売するガラス又はプラスチックボールが好適である。又、接着剤製造者の中には、スペーサボールを混合済みの好適なＵＶ硬化接着剤のカスタム製剤を販売するものも存在している。
【００６７】
間隔定義ジグの変形とｚ方向におけるウエハからのレンズアセンブリの離隔状態は、図６Ｂにおいては、それらを明瞭に示すべく非常に誇張されたものになっている。実際的な実施例においては、わずか数マイクロメートルの離隔状態の変更により、合焦した画像センサアセンブリの歩留まりが大幅に向上する。又、図６Ｂに示されているものは、単純な凹形の変形であるが、更に複雑な変形が必要な場合には、図示されているものよりも複雑なアクチュエータアレイを使用し、図示されているものよりも複雑な変形を生成可能である。
【００６８】
図５Ｃは、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態をレンズアセンブリに対して更に強制する方法５００の別の実施例５２０を示すフローチャートであり、次に、これについて説明する。この方法５２０は、レンズアセンブリのアレイの形態で提供されないか、或いは所与のレンズアセンブリの有効焦点距離とアレイ内のそのレンズアセンブリの位置間になんらの相関も存在しない（或いは、不十分な相関しか存在しない）レンズアセンブリのアレイの形態で提供されるレンズアセンブリに対して使用することができる。
【００６９】
図５Ａに示されているブロック５０５の実施例であるブロック５２５において、ウエハ上に取り付けられるそれぞれのレンズアセンブリの有効焦点距離を計測し、個々のＥＦＬデータを生成する。
【００７０】
図５Ａに示されているブロック５０７の実施例であるブロック５２７において、個々のＥＦＬデータに応答し、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態をレンズアセンブリに対して個々に強制する。
【００７１】
図７Ａ及び図７Ｂは、前述の方法５２０を実行するのに使用可能な間隔定義ジグ７２０とコントローラ７４６の断面図である。間隔定義ジグ７２０は、円筒形の穴７６０の（通常は、二次元の）アレイを定義するジグ本体７２２から構成されている。これらの穴は、既定の間隔に等しい間隔（即ち、ウエハ３０２上の画像センサ３０８の隣接メンバ間の間隔（図３Ａ））だけ離隔している。それぞれの穴７６０内に位置しているのは、円筒形のピストン７６２であり、アクチュエータ７４８が、このピストンを穴の内部で軸方向に動作させるべく穴の端壁７６４とピストン間に結合されている。それぞれのピストンは、ｘ、ｙ、及びｚ方向においてレンズアセンブリの位置を正確に定義するようにレンズアセンブリ３１０を収容する形状及び寸法の凹部７２６を定義している。これらの凹部は、凹部の隣接メンバが既定の間隔に公称的に等しい間隔だけ離隔している凹部アレイ７２４を集合的に構成している。この凹部の間隔とは、例えば、隣接するメンバの中心間の距離のことである。
【００７２】
コントローラ７４６は、間隔定義ジグ７２０内に装填されるレンズアセンブリの有効焦点距離データを受信するための入力７５６を含んでいる。このコントローラは、それぞれのアクチュエータに対して、電気、水圧、気圧、又はその他のタイプの制御信号を供給するベく、個々のアクチュエータ７４８に接続された少なくとも１つの出力７５８を更に含んでいる。模範的な実施例においては、アクチュエータ７４８は、コントローラの個々の出力７５８にそれぞれ電気的に接続されている圧電要素を有している。この代わりに、バス構成を使用し、コントローラの出力をアクチュエータに接続することも可能である。
【００７３】
コントローラ７４６から供給されるそれぞれの制御信号により、個々のアクチュエータ７４８の長さが制御される。このアクチュエータの長さとは、ｚ方向におけるアクチュエータの寸法のことである。アクチュエータの長さを個々に異なる値に設定することにより、ｚ方向におけるウエハからの離隔状態が個々のレンズアセンブリに対して強制される。間隔定義ジグ７２０は、穴７６０のそれぞれの内部に距離センサ（図示されてはいない）を更に有することができる。この距離センサは、ピストン７６２と穴の端壁７６４間のｚ方向における距離を計測し、対応するフィードバック信号をコントローラに供給する。この穴７６０内に位置する距離センサからのフィードバック信号の供給を受け、コントローラは、閉ループで動作してウエハからの個々のレンズアセンブリのｚ方向における離隔状態を制御する。
【００７４】
図７Ａには、間隔定義ジグ７２０が示されている。ピストン７６２のそれぞれの凹部７２６内には、レンズアセンブリ３１０が既に挿入されている。そして、個々のレンズアセンブリのそれぞれに関連する有効焦点距離（ＥＦＬ）データが、既にコントローラ７４６に読み込まれている。レンズアセンブリの有効焦点距離は、レンズアセンブリアレイを間隔定義ジグ内に挿入する前、又は挿入した後に、計測可能である。この代わりに、レンズアセンブリのアレイを間隔定義ジグ内に装填する実施例においては、レンズアセンブリの代表的なメンバの有効焦点距離データをコントローラに読み込み、その代表的なＥＦＬデータから、コントローラがレンズアセンブリの残りのメンバの離隔状態を算出することも可能である。
【００７５】
図７Ａにおいては、コントローラ７４６は、アクチュエータ７４８に対して、なんらの制御信号をも印加していないか、或いは、等しい制御信号を印加しており、ピストン７６２は、穴７６０内において、その休止位置にある。間隔定義ジグ７２０は、レンズアセンブリ３１０のウエハ対向面３１９に事前に塗布された接着剤レイヤ７５４をウエハ３０２の主表面３０６と接触させるべく、矢印７３６によって示されているように、ウエハ３０２に向かってｚ方向に移動した状態になっている。
【００７６】
図７Ｂにおいては、ＥＦＬデータに応答し、コントローラ７４６は、アクチュエータ７４８のそれぞれに印加する制御信号値を算出し、この制御信号をアクチュエータに印加した状態である。これらの制御信号により、アクチュエータの長さが異なる量だけ変化している。これにより、個々の穴７６０内の個々のピストン７６２の位置が変化し、結果的に、レンズアセンブリ７５６、７５７、及び７５８とウエハ３０２間のｚ方向における離隔状態が異なる量だけ変化している。そして、レンズアセンブリに塗布された接着剤レイヤ７５４の厚さが変化し、レンズアセンブリとウエハ間の空間を充填している。この後に、接着剤レイヤを硬化させ、レンズアセンブリをウエハに付着させる。
【００７７】
図７Ｂにおいては、離隔状態を明瞭に示すべく、レンズアセンブリとウエハ間のｚ方向における離隔状態の差が非常に誇張されたものになっている。実際的な実施例においては、ｚ方向におけるわずか数マイクロメートルの離隔状態の変更により、合焦した画像センサアセンブリの歩留まりが大幅に向上する。
【００７８】
図５Ａ〜図５Ｃを参照して前述した方法の実施例においては、レンズアセンブリの少なくとも代表的なメンバのＥＦＬを離隔定義属性として計測している。そして、この計測したＥＦＬによって定義される離隔状態だけ、ｚ方向においてレンズアセンブリをウエハから離隔させている。このＥＦＬを離隔定義属性として計測する代わりに、ＥＦＬとレンズ距離間の差を離隔定義属性として計測することもできよう。又、別の選択肢として、レンズアセンブリ上の基準点と、レンズアセンブリが基準面上に合焦した画像を形成する地点においてレンズの光軸に直交する基準面間の距離を離隔定義属性として計測することも可能であろうし、更には、その他の離隔定義属性を計測することも可能であろう。
【００７９】
レンズアセンブリの少なくとも代表的なメンバの離隔定義属性を計測した後に、この計測された離隔定義属性によって定義される離隔だけｚ方向においてウエハからレンズアセンブリを離隔させる代わりに、レンズアセンブリによって形成された画像の焦点に対するウエハからのレンズアセンブリのｚ方向の離隔の効果を計測し、焦点を最適化するべくｚ方向の離隔を調節することも可能である。レンズアセンブリによって形成される画像の焦点は、レンズアセンブリの離隔依存属性の一例であり、画像の焦点は、ｚ方向におけるウエハからのレンズアセンブリの離隔状態によって左右される。
【００８０】
図８Ａ、図８Ｂ、及び図８ｃは、図１に示されている方法１００の実施例を示すフローチャートであり、この場合には、レンズアセンブリによって個々に形成される画像の焦点に対する離隔の効果を計測することにより、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態をレンズアセンブリに対して強制している。これらの実施例は、レンズ距離ｄと有効焦点距離のいずれか、又はこれらの両方が異なるレンズアセンブリにおいて効を奏するものである。それぞれ図１及び図２を参照して前述した方法１００及び２００の各要素に対応する図８Ａ〜図８Ｃに示されている方法の要素は、同一の参照符号を使用して示されており、ここでは再度の説明を省略する。
【００８１】
図８Ａは、本発明によるウエハスケールアセンブリ法の模範的な実施例８００を示している。図１に示されているブロック１０４の実施例であるブロック８０４において提供されるレンズアセンブリは、ｚ方向におけるウエハからの個々のレンズアセンブリの離隔状態に依存した焦点を有する画像を形成するべく、それぞれ動作可能である。これらのレンズアセンブリは、方法１００の第２素子の一例である。
【００８２】
ブロック８０５において、レンズアセンブリの少なくとも代表的なメンバによって形成される画像の焦点を計測する。
【００８３】
ブロック８０７において、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態をレンズアセンブリに対して強制し、計測されるレンズアセンブリの少なくとも代表的なものによって形成される画像の焦点を最適化する。
【００８４】
次に、図８Ｂを参照し、図３Ｂ及び図３Ｃを参照して前述したアレイ３１４と類似した接続要素によって相互接続されたレンズアセンブリのアレイに対してｚ方向における選択的な離隔状態を強制する方法８００の実施例８１０について説明する。
【００８５】
図８Ａに示されているブロック８０４の実施例であるブロック８１４において、準拠した相互接続アレイの形態でレンズアセンブリを提供するが、この場合に、それぞれのレンズアセンブリは、アレイ内におけるその位置に相関する有効焦点距離を有している。
【００８６】
図８Ａに示されているブロック８０５の実施例であるブロック８１５において、アレイ内に分散するレンズアセンブリの代表的なメンバによって形成された画像の焦点を計測する。
【００８７】
次いで、図８Ａに示されているブロック８０７の実施例であるブロック８１７において、ｚ方向においてレンズアセンブリのアレイを変形させ、計測されるレンズアセンブリの少なくとも代表的なメンバによって形成される画像の焦点を最適化することにより、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態をレンズアセンブリに対して強制する。
【００８８】
この方法８１０の例においては、図３Ｄ及び図３Ｅを参照して前述した間隔定義ジグ３２２に類似した間隔定義ジグ内にレンズアセンブリのアレイを装填し、図６Ａ及び図６Ｂを参照して前述した変形装置６００に類似した変形装置を使用してｚ方向において間隔定義ジグを変形させることにより、ｚ方向においてレンズアセンブリのアレイを変形させる。これらの間隔定義ジグと変形装置は、図９を参照して後述するものと類似した方法により、光がレンズアセンブリの代表的なメンバとの間で伝播できるように変更する。
【００８９】
図８Ｃは、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔状態をレンズアセンブリに対して更に強制する方法８００の別の実施例８２０を示すフローチャートである。この方法８２０は、レンズアセンブリのアレイの形態で提供されないか、或いは、所与のレンズアセンブリの有効焦点距離とアレイ内のレンズアセンブリの位置間にまったく相関が存在しない（又は、不十分な相関しか存在しない）レンズアセンブリのアレイの形態で提供されるレンズアレイに使用することができる。
【００９０】
図８Ａに示されているブロック８０５の実施例であるブロック８２５において、レンズアセンブリによって形成される画像の焦点を計測する。
【００９１】
図８Ａに示されているブロック８０７の実施例であるブロック８２７において、ｚ方向におけるウエハからの選択的な離隔をレンズアセンブリに対して個々に強制し、計測される個々の画像の焦点を最適化する。
【００９２】
図９は、間隔定義ジグ内にレンズアセンブリを装填する前述の方法８２０の実施例を実行するのに使用可能な間隔定義ジグ９２０とコントローラ９４６の断面図である。図７Ａ及び図７Ｂを参照して前述した間隔定義ジグ７２０の各要素に対応する間隔定義ジグ９２０の要素は、同一の参照符号を使用して示されており、ここでは再度の説明を省略する。この間隔定義ジグ９２０において、ジグ本体９２２は、主表面９７２と円筒形の穴７６０のそれぞれの端壁７６４間に延長する光アクセスポート９７０を更に定義している。それぞれのピストン７６２は、ピストンの端壁を貫通して凹部７２６に延長し光アクセスポート９７０と軸方向にアライメントされている光アクセスポート９７４を更に定義している。
【００９３】
間隔定義ジグ９２０は、光アクセスポート９７０のそれぞれにアライメントされたビームスプリッタ９７６と、それぞれのビームスプリッタ９７６と光アクセスポート９７０及び９７４とアライメントされた参照符号９７８によって概略的に示されている画像センサを更に含んでいる。又、この間隔定義ジグは、参照符号９８２によって概略的に示されており十分に平行化された光ビームをそれぞれのビームスプリッタ９７６に導波するべくアレンジされた光源を更に含んでいる。それぞれのビームスプリッタは、光アクセスポート９７０の１つとアライメントされており、光源からの光ビームを光アクセスポート９７０及び９７４を貫通してレンズアセンブリ内に導波するべく構成されている。光検出器９７８は、それぞれのアクセスポート９７０とアライメントされており、光がそれぞれの光アクセスポート９７０及び９７４、並びにビームスプリッタ９７６を通過した後に、それぞれの画像センサの表面によって反射される光を受光するべく構成されている。チョッパ９８０が、それぞれのビームスプリッタ９７６と、対応する光検出器９７８の間に介在している。
【００９４】
コントローラ９４６は、それぞれの光検出器９７８から検出信号を受信するための入力９５６を含んでいる。このコントローラは、電気、水圧、気圧、又はその他のタイプの制御信号をそれぞれのアクチュエータに供給するべく個々のアクチュエータ９４８に接続された少なくとも１つの出力９５８を更に含んでいる。模範的な実施例においては、それぞれのアクチュエータ９４８は、コントローラの個々の出力９５８に電気的に接続された圧電素子を有している。この代わりに、バス構成を使用し、コントローラの出力をアクチュエータに接続することも可能である。
【００９５】
それぞれの光検出器９７８に入射する光には、ビームスプリッタ９７６と光検出器間に位置するチョッパ９８０によって生成される暗から明への遷移が含まれている。光検出器によって生成される検出信号の立ち上がりエッジの立ち上がり時間は、光検出器によって検出される光の平行化の程度を示している。コントローラ９４６の一例においては、この検出信号を微分してパルスを生成する。コントローラは、このパルスの大きさを計測し、対応するアクチュエータに供給する制御信号を生成する。コントローラは、制御信号の振幅を制御し、計測されるパルスの大きさを極大化する。最大の大きさは、最小の立ち上がり時間に対応しており、従って、ウエハ表面によって反射される光の平行化とレンズアセンブリによって形成される画像の鋭さの最高のレベルに対応している。
【００９６】
代替実施例においては、ＣＣＤ又はＣＭＯＳ画像センサなどの二次元画像センサと画像化オプティクスにより、個々の光検出器とチョッパを置換している。画像化オプティクスは、ウエハ表面によって反射され、光アクセスポート９７０及び９７４とビームスプリッタ９７６を通過して画像センサ上に伝播する光を画像化する。コントローラ９４６には、この画像センサによって生成される画像信号をチェックするフレームグラバが含まれている。画像処理ソフトウェアが、１回の動作により、すべての光アクセスポート９７０から出力される光ビームの鋭さについて、このフレーム信号をチェックする。コントローラは、この鋭さに関する情報を使用し、アクチュエータ９４８に供給する制御信号の振幅を判定する。そして、コントローラは、光ビームと、代表的なレンズアセンブリによってウエハ上に形成される画像の鋭さを極大化するべく、制御信号の振幅を制御する。
【００９７】
以上、本開示においては、例示用の実施例を使用し、本発明について詳細に説明した。しかしながら、添付の特許請求の範囲によって定義される本発明は、前述の実施例そのままに限定されるものではない。
【００９８】
最後に、本発明の代表的な実施態様を示す。
（実施態様１）
ウエハスケールのアセンブリ方法において、
ウエハ上に配列され、隣接するメンバから既定の間隔だけ離隔している第１素子を提供するステップと、
第２素子を提供するステップと、
前記第２素子を隣接するメンバから既定の間隔だけ離隔する強制ステップと、
前記第１素子の対応する前記第２素子を、アライメントされた状態で、前記ウエハに付着させる付着ステップとを有することを特徴とする方法。
【００９９】
（実施態様２）
前記強制ステップは、
前記第２素子のサイズに対応する凹部を有し、隣接メンバから前記既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している間隔定義ジグを提供するステップと、
前記間隔定義ジグの前記凹部内に前記第２素子を挿入する挿入ステップとを有することを特徴とする実施態様１に記載の方法。
【０１００】
（実施態様３）
相互接続アレイの形態で、隣接メンバから前記既定の間隔に近い間隔だけ離隔している前記第２素子を提供するステップを、さらに有し、
前記挿入ステップは、前記相互接続アレイ内の前記第２素子を前記間隔定義ジグの前記凹部内に挿入するステップを有することを特徴とする実施態様２に記載の方法。
【０１０１】
（実施態様４）
採取／配置装置を提供するステップをさらに有し、
前記挿入ステップは、前記採取／配置装置を使用して前記間隔定義ジグの前記凹部内に前記第２素子を挿入するステップを有することを特徴とする実施態様２または３のいずれかに記載の方法。
【０１０２】
（実施態様５）
振動台を提供するステップを、さらに有し、
前記挿入ステップは、前記振動台を使用して前記間隔定義ジグの前記凹部の対応するメンバ内に前記第２素子が挿入されるようにするステップを有することを特徴とする実施態様２または３のいずれかに記載の方法。
【０１０３】
（実施態様６）
前記第２素子を提供するステップが、隣接メンバから前記既定の間隔に近い間隔だけ離隔する凹部のアレイを有する移送トレイを提供することによりステップであって、前記凹部は前記第２素子の中の１つをそれぞれ格納する形状になっており、かつ、
前記挿入ステップは、前記第２素子を前記移送トレイの前記凹部から前記間隔定義ジグの前記凹部の対応するメンバに移送するステップを有することを特徴とする実施態様１から５のいずれかに記載の方法。
【０１０４】
（実施態様７）
前記第２素子を提供するステップが、隣接メンバから前記既定の間隔に近い間隔だけ離隔している前記第２素子を、アレイとして配列する平らで粘着性の表面を有する移送トレイを提供するステップであって、
前記強制ステップは、前記第２素子を前記移送トレイから前記間隔定義ジグの前記凹部に移送するステップを有することを特徴とする実施態様１から５のいずれかに記載の方法。
【０１０５】
（実施態様８）
前記第２素子を提供するステップが、前記ウエハの主表面に直交するｚ方向における前記ウエハから前記第２素子までのメンバの離隔状態を判定する離隔判定属性を有する前記第２素子を提供するステップを有し、
さらに、
離隔判定属性データを取得するべく、前記第２素子の少なくとも代表的なメンバの前記離隔判定属性を計測するステップと、
前記付着ステップの前に、前記離隔判定属性データに応答し、前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップと有することを特徴とする実施態様１から７までのいずれかに記載の方法。
【０１０６】
（実施態様９）
前記離隔判定属性を計測するステップは、個々の離隔判定属性データを取得するべく、前記第２素子のそれぞれの前記離隔判定属性を計測するステップを有し、
前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップは、前記個々の離隔判定属性データに応答し、前記第２素子のそれぞれに前記選択的な離隔をを行うステップを有することを特徴とする実施態様８に記載の方法。
【０１０７】
（実施態様１０）
前記第２素子のサイズに対応し、隣接メンバが前記既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している凹部のアレイを含む間隔定義ジグを提供するステップと、
前記間隔定義ジグの前記凹部の個々のメンバ内に前記第２素子のそれぞれを挿入するステップと、を更に有し、
前記凹部は前記アレイに直交する方向において制御可能に移動でき、
前記第２素子のそれぞれに前記選択的な離隔をを行うステップは、前記個々に挿入された第２素子のメンバの離隔判定属性データに応答し、前記直交する方向において前記凹部のそれぞれを移動させるステップを有することを特徴とする実施態様９に記載の方法。
【０１０８】
（実施態様１１）
前記第２素子を提供するステップは、相互接続アレイの形態で提供され、隣接メンバが前記既定の間隔に近い間隔だけ離隔している前記第２素子を提供するステップを有し、
前記第２素子のそれぞれのメンバの前記離隔判定属性は、前記第２素子のアレイ内における前記第２素子のメンバの位置に相関しており、
前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップは、前記離隔判定属性データに応答し、前記第ｚ方向において前記第２素子のアレイを選択的に変形させるステップを有する実施態様８に記載の方法。
【０１０９】
（実施態様１２）
前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップは、
前記第２素子のサイズに対応し、隣接メンバから前記既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している凹部を含む間隔定義ジグを提供するステップと、
前記相互接続アレイ内の前記第２素子を前記間隔定義ジグの前記凹部内に挿入するステップと、
前記アレイを選択的に変形させるステップは、前記離隔判定属性データに応答し、前記ｚ方向において前記間隔定義ジグを選択的に変形させるステップを有することを特徴とする実施態様１１に記載の方法。
【０１１０】
（実施態様１３）
前記第２素子を提供するステップは、それぞれが前記ウエハの主表面に直交するｚ方向における前記ウエハからの離隔状態に依存する個々の離隔依存属性を有する前記第２素子を提供するステップを有し、
さらに、
前記第２素子の少なくとも代表的なメンバの前記離隔依存属性を計測するステップと、
前記付着段階の前に、前記第２素子の少なくとも代表的なメンバの前記計測した離隔依存属性に応答し、前記第２素子を前記ウエハから前記ｚ方向に選択的な間隔だけ離隔するステップとを有することを特徴とする実施態様１から実施態様７のいずれかに記載の方法。
【０１１１】
（実施態様１４）
前記離隔依存属性を計測する段階は、前記第２素子のそれぞれの前記離隔依存属性を計測するステップを有し、
前記第２素子を前記ｚ方向における前記ウエハから選択的な間隔に離隔するステップは、前記個々の計測した離隔依存属性に応答し、前記第２素子のそれぞれを前記選択的な離隔状態にするステップを有することを特徴とする実施態様１３に記載の方法。
【０１１２】
（実施態様１５）
前記第２素子を提供する段階は、前記第２素子のそれぞれのメンバの前記離隔依存属性が前記アレイにおける前記第２素子のメンバの位置に相関している相互接続アレイの形態で前記第２素子を提供するステップを有し、
前記第２素子の少なくとも代表的なメンバの前記離隔依存属性を計測するステップが、前記第２素子の代表的なメンバの前記離隔依存属性を計測し、
前記第２素子を前記ウエハから前記ｚ方向に選択的な間隔だけ離隔するステップは、前記第２素子の代表的なメンバの前記計測した離隔依存属性に応答し、前記ｚ方向において前記第２素子のアレイを選択的に変形させるステップとを有することを特徴とする実施態様１３または１４に記載の方法。
【０１１３】
（実施態様１６）
前記第２素子を提供する段階は、相互接続アレイの形態で前記第２素子を提供するステップを有し、
前記第２素子を離間するステップは、
前記第２素子のサイズに対応し、隣接メンバから前記既定の間隔に等しい間隔だけ離隔している凹部を含む間隔定義ジグを提供するステップと、
前記相互接続アレイ内の前記第２素子を前記間隔定義ジグの前記凹部内に挿入するステップとを有し、
前記アレイを選択的に変形させるステップは、前記第２素子の代表的なメンバの前記離隔依存属性に応答し、前記ｚ方向において前記間隔定義ジグを選択的に変形させるステップを有することを特徴とする実施態様１５に記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の模範的な実施例を示すフローチャートである。
【図２】図１に示されているウエハスケールアセンブリ法の一実施例を示すフローチャートであり、この場合には、第２素子が、接続要素により、アレイの形態で相互接続されている。
【図３Ａ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の一実施例において提供されるウエハの一例を示す平面図である。
【図３Ｂ】図２に示されているウエハスケールアセンブリ法の実施例において、第２素子として提供されるレンズアセンブリの一例を示す平面図である。
【図３Ｃ】図２に示されているウエハスケールアセンブリ法の実施例において、第２素子として提供されるレンズアセンブリの一例を示す側面図である。
【図３Ｄ】図２に示されているウエハスケールアセンブリ法の実施例において提供される間隔定義ジグの一例を示す下面図である。
【図３Ｅ】図２に示されているウエハスケールアセンブリ法の実施例において提供される間隔定義ジグの一例を示す断面図である。
【図３Ｆ】図２に示されているウエハスケールアセンブリ法の実施例において、個々の凹部内にレンズアセンブリを挿入するべくレンズアセンブリアレイに向かって移動する間隔定義ジグを示す側面図である。
【図３Ｇ】図２に示されているウエハスケールアセンブリ法の実施例において、凹部アレイの個々の凹部内に挿入されたレンズアセンブリを有する間隔定義ジグを示す側面図である。
【図３Ｈ】図２に示されているウエハスケールアセンブリ法の実施例において、それぞれのレンズアセンブリが画像センサの対応するものと正確にアライメントされた状態でウエハに付着したレンズアセンブリアレイから構成されるウエハスケールアセンブリを示す側面図である。
【図４Ａ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図４Ｂ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図４Ｃ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図４Ｄ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図５Ａ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図５Ｂ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図５Ｃ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図６Ａ】図５Ｂに示されている方法の一実施例を実行するのに使用可能な模範的な変形装置を示す側面図である。
【図６Ｂ】図５Ｂに示されている方法の一実施例を実行するのに使用可能な模範的な変形装置を示す側面図である。
【図７Ａ】図５Ｃに示されている方法の一実施例を実行するのに使用可能な間隔定義ジグ及びコントローラの断面図である。
【図７Ｂ】図５Ｃに示されている方法の一実施例を実行するのに使用可能な間隔定義ジグ及びコントローラの断面図である。
【図８Ａ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図８Ｂ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図８Ｃ】本発明によるウエハスケールアセンブリ法の実施例を示すフローチャートである。
【図９】図８Ｃに示されている方法の一実施例を実行するのに使用可能な間隔定義ジグ及びコントローラの断面図である。
【符号の説明】
【０１１５】
３０２  ウエハ
３０８  画像センサ
３１０  レンズアセンブリ
３２０  間隔定義ジグ
３２６  凹部
６００  変形装置
【図１】
2004304165.tif 000003
【図２】
2004304165.tif 000004
【図３Ａ】
2004304165.tif 000005
【図３Ｂ】
2004304165.tif 000006
【図３Ｃ】
2004304165.tif 000007
【図３Ｄ】
2004304165.tif 000008
【図３Ｅ】
2004304165.tif 000009
【図３Ｆ】
2004304165.tif 000010
【図３Ｇ】
2004304165.tif 000011
【図３Ｈ】
2004304165.tif 000012
【図４Ａ】
2004304165.tif 000013
【図４Ｂ】
2004304165.tif 000014
【図４Ｃ】
2004304165.tif 000015
【図４Ｄ】
2004304165.tif 000016
【図５Ａ】
2004304165.tif 000017
【図５Ｂ】
2004304165.tif 000018
【図５Ｃ】
2004304165.tif 000019
【図６Ａ】
2004304165.tif 000020
【図６Ｂ】
2004304165.tif 000021
【図７Ａ】
2004304165.tif 000022
【図７Ｂ】
2004304165.tif 000023
【図８Ａ】
2004304165.tif 000024
【図８Ｂ】
2004304165.tif 000025
【図８Ｃ】
2004304165.tif 000026
【図９】
2004304165.tif 000027