(57)【要約】【課題】製造コストの高騰を回避しつつ、プロービング時におけるがたつきの発生を回避し得るプロービング機構を提供する。【解決手段】モータ２に取り付けられてモータ２によって回動させられるベース部３と、コンタクトプローブ８を取り付け可能に構成されると共に連結部４を介してベース部３に連結された取付部５，６と、プロービング対象体に対して接離する接離方向で取付部５，６を直動させるガイドレール７とを備えて、モータ２によってベース部３を回動させることによって連結部４を介して取付部５，６を引き上げまたは押し下げしてコンタクトプローブ８を接離方向に直動させるプロービング機構１であって、連結部４は、平板状の弾性部材で構成されて、ベース部３の回動に伴って弾性変形しつつ取付部５，６を引き上げまたは押し下げする。【選択図】        図１
2004257941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転機構に取り付けられて当該回転機構によって回動させられるベース部と、コンタクトプローブを取り付け可能に構成されると共に連結部を介して前記ベース部に連結された取付部と、プロービング対象体に対して接離する接離方向で前記取付部を直動させる直動案内手段とを備えて、前記回転機構によって前記ベース部を回動させることによって前記連結部を介して前記取付部を引き上げまたは押し下げして前記コンタクトプローブを前記接離方向に直動させるプロービング機構であって、
前記連結部は、平板状の弾性部材で構成されて、前記ベース部の回動に伴って弾性変形しつつ前記取付部を引き上げまたは押し下げするプロービング機構。
【請求項２】
前記連結部は、前記ベース部および前記取付部の双方とは別体に形成されて、その一端が前記ベース部に固定されると共に他端が前記取付部に固定されている請求項１記載のプロービング機構。
【請求項３】
前記ベース部は、前記連結部を固定する固定面が当該連結部に対して面的接触可能に形成されると共に、当該連結部が前記取付部側に向かうに従って当該固定面から徐々に離間するように、当該取付部側の側面と当該固定面とが交差する角部が面取りされている請求項２記載のプロービング機構。
【請求項４】
前記取付部は、前記連結部を固定する固定面が当該連結部に対して面的接触可能に形成されると共に、当該連結部が前記ベース部側に向かうに従って当該固定面から徐々に離間するように、当該ベース部側の側面と当該固定面とが交差する角部が面取りされている請求項２または３記載のプロービング機構。
【請求項５】
前記ベース部は、前記回転機構に取り付けられるベース部本体と、当該ベース部本体の回動軸線に対して平行に配設された回動軸を中心として回動可能に当該ベース部本体に軸支されると共に前記連結部が固定される固定部とを備えている請求項２から４のいずれかに記載のプロービング機構。
【請求項６】
前記取付部は、前記コンタクトプローブを取り付け可能に構成されると共に前記直動案内手段に取り付けられる取付部本体と、前記ベース部の回動軸線に対して平行に配設された回動軸を中心として回動可能に前記取付部本体に軸支されると共に前記連結部が固定される固定部とを備えている請求項２から４のいずれかに記載のプロービング機構。
【請求項７】
前記連結部は、カーボン繊維を用いた繊維強化樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂および超弾性合金のいずれかで形成されている請求項１から６のいずれかに記載のプロービング機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転機構を用いてプロービング対象体に対して接離する方向にコンタクトプローブを直動させるプロービング機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のプロービング機構として、出願人は、回路基板検査装置用のピン駆動手段（１０）を実開平３−７８２７８号公報に開示している。このピン駆動手段は、ステッピングモータ（１２）と、ステッピングモータの出力軸（１２ａ）に取り付けられたクランクアーム（１３）と、プローブピン（１９）を取り付け可能に構成されると共に連結棒（１６）を介してクランクアームに連結されたプローブホルダ（１７）と、スライダー（１７ａ）を介してプローブホルダがスライド可能に取り付けられるガイドレール（１８）とを備えて構成されている。この場合、連結棒は、ピン部材（シャフト）によってクランクアームおよびプローブホルダに対して回動自在に取り付けられている。
【０００３】
このピン駆動手段では、ステッピングモータの回転（回動）運動がクランクアーム、連結棒およびガイドレールによって直線運動に変換されて、プローブホルダが被測定基板に対して接離する接離方向で往復動（接離動）する。具体的には、ステッピングモータの出力軸が回動した際に、クランクアームにおける連結棒側の端部が円弧状の軌跡で移動する。この際に、連結棒がピン部材を中心としてクランクアームに対して回動させられつつ、プローブホルダをステッピングモータの出力軸側に引き寄せる。この結果、プローブホルダがガイドレールの案内に従って直線的にスライドさせられて（直動させられて）、プローブピンが被測定基板から離間する方向に移動させれる。一方、この状態からステッピングモータの出力軸が反対方向に回動した際には、クランクアームにおける連結棒側の端部が円弧状の軌跡で逆向きに移動させられて、連結棒がピン部材を中心としてクランクアームに対して回動させられつつ、プローブホルダを被測定基板側に押し戻す。この結果、プローブホルダがガイドレールの案内に従って直動させられて、プローブピンを被測定基板に接近する方向に移動させる。これにより、プローブピンの先端部が被測定基板に接触させられて、この状態のプローブピンを介しての電気的検査が実行される。
【０００４】
【特許文献１】
実開平３−７８２７８号公報（第５−９頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、出願人が開示しているピン駆動手段には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、出願人が開示しているピン駆動手段では、連結棒がピン部材によってクランクアームおよびプローブホルダに対して回動自在に取り付けられている。この場合、クランクアームおよびプローブホルダに対して連結棒をスムーズに回動させるためには、ピン部材の周囲に、ある程度の隙間を設ける必要がある。したがって、このピン駆動手段では、クランクアームの回動時に連結棒およびプローブホルダが上記の隙間に起因して僅かにがたつくおそれがある。このため、これを改善するのが好ましい。この場合、ピン部材の周囲にベアリングを配設することにより、連結棒をスムーズに回動可能としつつ、がたつきの発生を回避することも可能であるが、ベアリングの部品コストに起因してピン駆動手段の製造コストが高騰するおそれがある。
【０００６】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、製造コストの高騰を回避しつつ、プロービング時におけるがたつきの発生を回避し得るプロービング機構を提供することを主目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプロービング機構は、回転機構に取り付けられて当該回転機構によって回動させられるベース部と、コンタクトプローブを取り付け可能に構成されると共に連結部を介して前記ベース部に連結された取付部と、プロービング対象体に対して接離する接離方向で前記取付部を直動させる直動案内手段とを備えて、前記回転機構によって前記ベース部を回動させることによって前記連結部を介して前記取付部を引き上げまたは押し下げして前記コンタクトプローブを前記接離方向に直動させるプロービング機構であって、前記連結部は、平板状の弾性部材で構成されて、前記ベース部の回動に伴って弾性変形しつつ前記取付部を引き上げまたは押し下げする。
【０００８】
また、請求項２記載のプロービング機構は、請求項１記載のプロービング機構において、前記連結部は、前記ベース部および前記取付部の双方とは別体に形成されて、その一端が前記ベース部に固定されると共に他端が前記取付部に固定されている。
【０００９】
さらに、請求項３記載のプロービング機構は、請求項２記載のプロービング機構において、前記ベース部は、前記連結部を固定する固定面が当該連結部に対して面的接触可能に形成されると共に、当該連結部が前記取付部側に向かうに従って当該固定面から徐々に離間するように、当該取付部側の側面と当該固定面とが交差する角部が面取りされている。
【００１０】
また、請求項４記載のプロービング機構は、請求項２または３記載のプロービング機構において、前記取付部は、前記連結部を固定する固定面が当該連結部に対して面的接触可能に形成されると共に、当該連結部が前記ベース部側に向かうに従って当該固定面から徐々に離間するように、当該ベース部側の側面と当該固定面とが交差する角部が面取りされている。
【００１１】
さらに、請求項５記載のプロービング機構は、請求項２から４のいずれかに記載のプロービング機構において、前記ベース部は、前記回転機構に取り付けられるベース部本体と、当該ベース部本体の回動軸線に対して平行に配設された回動軸を中心として回動可能に当該ベース部本体に軸支されると共に前記連結部が固定される固定部とを備えている。
【００１２】
また、請求項６記載のプロービング機構は、請求項２から４のいずれかに記載のプロービング機構において、前記取付部は、前記コンタクトプローブを取り付け可能に構成されると共に前記直動案内手段に取り付けられる取付部本体と、前記ベース部の回動軸線に対して平行に配設された回動軸を中心として回動可能に前記取付部本体に軸支されると共に前記連結部が固定される固定部とを備えている。
【００１３】
さらに、請求項７記載のプロービング機構は、請求項１から６のいずれかに記載のプロービング機構において、前記連結部は、カーボン繊維を用いた繊維強化樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂および超弾性合金のいずれかで形成されている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るプロービング機構の好適な実施の形態について説明する。
【００１５】
最初に、プロービング機構の構成について、図面を参照して説明する。
【００１６】
図１，２に示すプロービング機構１は、例えば回路基板検査装置（図示せず）に搭載されて検査装置における制御部の制御下で検査対象基板（本発明におけるプロービング対象体）に対するプロービングを実行する装置であって、モータ２、ベース部３、連結部４、取付部５，６およびガイドレール７を備えて、コンタクトプローブ８を取り付け可能に構成されている。この場合、コンタクトプローブ８は、金属板を所定形状に打ち抜くことによって形成されている。具体的には、図２に示すように、このコンタクトプローブ８は、プロービング機構１に固定するためのベース部１１と、その両端部に円弧切り欠き支点１２ａ，１２ｂおよび円弧切り欠き支点１３ａ，１３ｂがそれぞれ形成されたアーム１２およびアーム１３と、アーム１２，１３を介してベース部１１に連結されたプローブ本体１４とを備えて、４節リンク機構（以下、「リンク機構」ともいう）ＲＭが構成されている。このコンタクトプローブ８は、プローブ本体１４の先端１４ａが検査対象基板に接触した状態において、例えばベース部１１に電気的に接続された信号線（図示せず）を介して検査対象基板に検査信号を出力する。
【００１７】
一方、モータ２は、本発明における回転機構に相当し、一例としてステッピングモータで構成されている。このモータ２には、検査装置における制御部の制御下でシャフト２ａを回動させることにより、シャフト２ａに固定されているベース部３を図１に示す矢印Ｂの向きに回動させる。なお、シャフト２ａの回転軸（すなわち、後述するようにベース部３が回動する際の回動中心）が本発明における回動軸に相当する。ベース部３は、図１に示すように、モータ２のシャフト２ａに取り付けられて、シャフト２ａの回動に伴って矢印Ｂの向きに回動する。また、ベース部３は、連結部４を固定する固定面３ａが連結部４に面的に接触可能な平面状に形成されると共に、その取付部５側の側面３ｂと固定面３ａとが交差する角部（矢印Ｒ１で示す部位）が断面円弧状に面取りされている。連結部４は、一例として、カーボン繊維を用いた繊維強化樹脂（以下、「Ｃ−ＦＲＰ」ともいう）で平板状に形成された板ばね（本発明における「平板状の弾性部材」の一例）であって、一端がベース部３にボルト締め（固定）されると共に他端が取付部５にボルト締め（固定）されている。この場合、Ｃ−ＦＲＰは、軽量かつ高弾性率の樹脂材料であって、その疲れ寿命が長寿命となっている（すなわち、疲れ強さが大きくなっている）。
【００１８】
取付部５は、取付部６と相俟って本発明における取付部を構成し、取付部６を介してコンタクトプローブ８が取り付け可能に構成されると共に、スライド片７ａ（図２参照）を介してガイドレール７に対してスライド可能に取り付けられている。また、図１に示すように、取付部５は、連結部４を固定する固定面５ａが平坦に形成されて、連結部４に対して面的に接触可能に構成されると共に、そのベース部３側の側面５ｂと固定面５ａとが交差する角部（矢印Ｒ２で示す部位）が断面円弧状に面取りされている。取付部６は、全体として角柱状に形成されて取付部５にボルト締めされると共に、その側面にコンタクトプローブ８を取り付け可能に構成されている。なお、本発明の実施の形態に係るプロービング機構１では、取付部５，６を別体に構成してボルト締めによって一体化しているが、取付部５，６を予め一体的に形成することもできる。ガイドレール７は、スライド片７ａと相俟って本発明における直動案内手段を構成し、図２に示すように、取付部５がボルト締めされているスライド片７ａを矢印Ａ１，Ａ２の向き（本発明における接離方向）に沿ってスライドさせることによって、コンタクトプローブ８を検査対象基板（図示せず）に対して接離する接離方向に案内する。
【００１９】
次に、プロービング機構１によるプロービング方法について、図面を参照して説明する。
【００２０】
このプロービング機構１は、図１に示すように、非稼働時には、連結部４が弾性変形していない状態（連結部４の側面視形状が直線状となっている状態）に維持されている。したがって、非稼働時においては、連結部４に加わるストレスが軽減されて、連結部４のヘタリが回避される。一方、検査対象基板に対してプロービングする際には、まず、コンタクトプローブ８を上動させて、その下方に検査対象基板をセットする。具体的には、モータ２が、制御部の制御に従い、図３に示す矢印Ｂ１の向きにベース部３を回動させる。この際に、連結部４が、ベース部３の回動に伴って弓なりに弾性変形しつつ、取付部５を引き上げる。また、取付部５は、ガイドレール７の案内に従って同図に破線で示す位置から矢印Ａ１の向きに高さＨ１だけスライドする。この場合、ベース部３と連結部４との間、および連結部４と取付部５との間に遊び（隙間）が存在しないため、取付部５は、がたつくことなく上動する。この結果、取付部５の上動に伴ってコンタクトプローブ８が矢印Ａ１の向きでスムーズに上動する。
【００２１】
この場合、プロービング機構１におけるベース部３に代えて、図４に示すように、連結部４を固定する固定面３ａと側面３ｂとが交差する角部（矢印Ｒ１ｘで示す部位）が面取りされていないベース部３ｘを使用した場合、ベース部３ｘの回動に伴って連結部４が弾性変形した際に、連結部４がベース部３ｘの角部に強く押し付けられる。したがって、角部に押し付けられた部位に応力が集中することによって連結部４の破損を招くおそれがある。これに対して、このプロービング機構１では、図５に示すように、ベース部３の角部（矢印Ｒ１で示す部位）が断面円弧状に面取りされて、連結部４が取付部５側に向かうに従ってベース部３の固定面３ａから徐々に離間する。したがって、ベース部３の回動に伴って連結部４が弾性変形した際に、連結部４がベース部３の角部に強く押し付けられることがないため、応力の集中が回避される。なお、図４，５では、本発明についての理解を容易とするために、連結部４の変形量を誇張して図示している。
【００２２】
また、取付部５に代えて、図６に示すように、連結部４を固定する固定面５ａと側面５ｂとが交差する角部（矢印Ｒ２ｘで示す部位）が面取りされていない取付部５ｘを使用した場合、連結部４が弾性変形した際に、連結部４が取付部５ｘの角部に強く押し付けられる。したがって、角部に押し付けられた部位に応力が集中することによって連結部４の破損を招くおそれがある。これに対して、このプロービング機構１では、図７に示すように、取付部５の角部（矢印Ｒ２で示す部位）が断面円弧状に面取りされて、連結部４がベース部３側に向かうに従って取付部５の固定面５ａから徐々に離間する。したがって、連結部４が弾性変形した際に、連結部４が取付部５の角部に強く押し付けられることがないため、応力の集中が回避される。なお、図６，７でも、本発明についての理解を容易とするために、連結部４の変形量を誇張して図示している。
【００２３】
次に、コンタクトプローブ８の下方に検査対象基板をセットした後に、コンタクトプローブ８を下動させてプローブ本体１４の先端１４ａを検査対象基板に当接させる。具体的には、モータ２が制御部の制御に従い、図８に示す矢印Ｂ２の向きでベース部３を回動させる。この際には、ベース部３の回動に伴って連結部４が弓なりに弾性変形しつつ、取付部５を押し下げる。また、取付部５は、ガイドレール７の案内に従って同図に一点鎖線で示す位置から矢印Ａ２の向きで高さＨ２だけスライド（下動）する。この際に、ベース部３と連結部４との間、および連結部４と取付部５との間に遊び（隙間）が存在しないため、取付部５は、がたつくことなく下動する。この結果、取付部５の下動に伴ってコンタクトプローブ８が矢印Ａ２の向きでスムーズに下動する。この際に、コンタクトプローブ８は、プローブ本体１４の先端１４ａが検査対象基板に当接した状態から、プロービング機構１によってベース部１１がさらに下動させられることにより、リンク機構ＲＭの働きによってプローブ本体１４の先端１４ａが図２に示す矢印Ｃ１の向きでベース部１１に対して相対的に上動（上方に直動）する。この結果、円弧切り欠き支点１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの弾性力によって先端１４ａが同図に示す矢印Ｃ２の向きで検査対象基板に向けて付勢される。この後、この状態のコンタクトプローブ８を介して回路基板検査装置による電気的検査が実行される。
【００２４】
このように、このプロービング機構１によれば、平板状の弾性部材（Ｃ−ＦＲＰ）で構成した連結部４によってベース部３および取付部５を連結したことにより、ピン部材によってクランクアーム（ベース部）、連結棒（連結部）およびプローブホルダが連結されている従来のピン駆動手段とは異なり、ベース部３と連結部４との間、および連結部４と取付部５との間に遊び（隙間）が存在しないため、取付部５をがたつかせることなく引き上げおよび押し下げすることができる。この結果、コンタクトプローブ８を検査対象基板に対してスムーズに接離動させることができる。また、ベアリング等が不要のため、その製造コストの高騰を回避することができる。
【００２５】
この場合、板ばねで構成された連結部４に代えて、図９に示すように、ベース部側固定部２１、アーム部２２および取付部側固定部２３が円弧切り欠き支点２２ａ，２２ｂを介して連結された連結部４ｘを採用することもできるが、この連結部４ｘは、連結部４と比較して破損し易いという課題がある。つまり、この連結部４ｘを使用した場合、前述した連結部４と同様にして、ベース部３と連結部４ｘとの間、および連結部４ｘと取付部５との間に一切の遊び（隙間）が存在しないため、取付部５をがたつかせることなく引き上げおよび押し下げすることができる。しかし、図１０に示すように、連結部４ｘに対してベース部３が傾いている状態（すなわち、シャフト２ａの軸線が連結部４ｘに対して傾いている状態）では、ベース部３の回動に伴って連結部４ｘが矢印Ｄの向きに押し下げられた際に、図１１に矢印で示すように、円弧切り欠き支点２２ａ，２２ｂを破断させようとする力が働くことがある。このため、連結部４が上記のように取り付けられた状態において繰り返してプロービングを実行した場合、円弧切り欠き支点２２ａ，２２ｂにストレスが加えられることに起因して連結部４ｘが破損するおそれがある。一方、本発明の実施の形態に係るプロービング機構１によれば、連結部４が板バネで構成されているため、ベース部３が連結部４に対して傾いている状態で回動したとしても、連結部４ｘにおける円弧切り欠き支点２２ａ，２２ｂとは異なり、ストレスが集中する部位が存在しないため、ベース部３に対して連結部４が僅かに傾いた状態で取り付けられていたとしても、その破損を回避することができる。
【００２６】
また、このプロービング機構１によれば、連結部４をベース部３および取付部５の双方とは別体に形成したことにより、連結部４にヘタリが生じたときなどに連結部４をベース部３および取付部５から取り外して新たな連結部４を取り付けることができる。したがって、ベース部３、連結部４および取付部５を一体成形した構成とは異なり、ベース部３および取付部５を長期に亘って繰り返して使用することができる。
【００２７】
さらに、このプロービング機構１によれば、固定面３ａと側面３ｂとが交差する角部を面取りしたベース部３を備えたことにより、弾性変形する際にベース部３の角部に強く押し付けられることがないため、連結部４に応力が集中する事態を回避することができる。これにより、連結部４の耐用寿命を長くすることができる。
【００２８】
また、このプロービング機構１によれば、固定面５ａと側面５ｂとが交差する角部を面取りした取付部５を備えたことにより、弾性変形する際に取付部５の角部に強く押し付けられることがないため、連結部４に応力が集中する事態を回避することができる。これにより、連結部４の耐用寿命を長くすることができる。
【００２９】
さらに、このプロービング機構１によれば、カーボン繊維を用いた繊維強化樹脂（Ｃ−ＦＲＰ）で連結部４を形成したことにより、Ｃ−ＦＲＰが軽量かつ高弾性率の樹脂材料であって、その疲れ寿命が長寿命のため、長期に亘って繰り返してプロービングを実行可能なプロービング機構を提供することができる。
【００３０】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、カーボン繊維を用いた繊維強化樹脂で連結部４を形成した例について説明したが、本発明はこれに限定されず、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂および超弾性合金などの各種弾性部材で平板状の連結部を形成することができる。また、本発明の実施の形態では、ベース部３、連結部４および取付部５を別体に形成して固定用ボルトによってボルト締め（固定）した構成を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、ベース部３、連結部４および取付部５を例えば樹脂材料によって一体成形する構成を採用することができる。この構成によれば、ベース部３および取付部５に対する連結部４の取り付け作業が不要となるため、プロービング機構１を容易に組み立てることができる。
【００３１】
さらに、本発明の実施の形態では、ベース部３および取付部５に連結部４をボルトによって直接的に固定した例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図１２に示すプロービング機構１Ａのように、プロービング機構１におけるベース部３に代えて、ベース部本体３３ａおよびヘッド部３３ｂを備えたベース部３３をモータ２に取り付ける構成を採用することができる。この場合、ヘッド部３３ｂは、本発明における固定部に相当し、連結部４を取り付け可能に構成されると共に、シャフト３３ｃを介してベース部本体３３ａに対して回動可能に取り付けられて（軸支されて）いる。なお、ベース部本体３３ａが取り付けられているシャフト２ａの回転軸が本発明における「ベース部本体の回動軸線」に相当し、シャフト３３ｃが本発明における「回動軸」に相当する。このプロービング機構１Ａでは、モータ２によってベース部本体３３ａが矢印Ｂの方向に回動した際に、ヘッド部３３ｂがシャフト３３ｃを中心として矢印Ｅの向きに回動する。この際に、連結部４が取付部５を矢印Ａ１，Ａ２の向きに引き上げまたは押し下げすることにより、コンタクトプローブ８が検査対象基板に対して接離する接離方向に直動する。このプロービング機構１Ａによれば、ベース部本体３３ａの回動時にヘッド部３３ｂがベース部本体３３ａに対して回動することで連結部４の変形量を小さく抑えることができるため、連結部４のヘタリを回避して耐用寿命を長くすることができる。
【００３２】
また、図１３に示すプロービング機構１Ｂのように、プロービング機構１における取付部５に代えて、取付部本体３５ａおよびヘッド部３５ｂを備えた取付部３５に取付部６を介してコンタクトプローブ８を取り付ける構成を採用することができる。この場合、ヘッド部３５ｂは、本発明における固定部に相当し、連結部４を取り付け可能に構成されると共に、シャフト３５ｃを介して取付部本体３５ａに対して回動可能に取り付けられて（軸支されて）いる。なお、シャフト２ａの回転軸が本発明における「ベース部本体の回動軸線」に相当し、シャフト３５ｃが本発明における「回動軸」に相当する。このプロービング機構１Ｂでは、モータ２によってベース部３が矢印Ｂの方向に回動した際に、連結部４が弾性変形しつつヘッド部３５ｂを矢印Ａ１，Ａ２の向きに引き上げまたは押し下げする。この際に、ヘッド部３５ｂがシャフト３５ｃを中心として取付部本体３５ａに対して矢印Ｆの向きに回動させられつつ、取付部本体３５ａを矢印Ａ１，Ａ２の向きに引き上げまたは押し下げする。この結果、コンタクトプローブ８が検査対象基板に対して接離する接離方向に直動する。このプロービング機構１Ｂによれば、ベース部３の回動時にヘッド部３５ｂが取付部本体３５ａに対して回動することで連結部４の変形量を小さく抑えることができるため、連結部４のヘタリを回避して耐用寿命を長くすることができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載のプロービング機構によれば、平板状の弾性部材で構成した連結部によってベース部および取付部を連結したことにより、ピン部材によってクランクアーム（ベース部）、連結棒（連結部）およびプローブホルダが連結されている従来のピン駆動手段とは異なり、ベース部と連結部との間、および連結部と取付部との間に遊び（隙間）が存在しないため、取付部をがたつかせることなく引き上げおよび押し下げすることができる。この結果、コンタクトプローブを検査対象基板に対してスムーズに接離動させることができる。また、ベアリング等が不要のため、その製造コストの高騰を回避することができる。さらに、連結部が平板状に形成されているため、ベース部が連結部に対して傾いている状態で回動したとしても、ストレスが集中する部位が存在しないため、その破損を回避することができる。
【００３４】
また、請求項２記載のプロービング機構によれば、連結部をベース部および取付部の双方とは別体に形成したことにより、連結部にヘタリが生じたときなどに連結部をベース部および取付部から取り外して新たな連結部を取り付けることができる。したがって、ベース部、連結部および取付部を一体成形した構成とは異なり、ベース部および取付部を長期に亘って繰り返して使用することができる。
【００３５】
さらに、請求項３記載のプロービング機構によれば、固定面と側面とが交差する角部を面取りしたベース部を備えたことにより、弾性変形する際にベース部の角部に強く押し付けられることがないため、連結部に応力が集中する事態を回避することができる。これにより、連結部の耐用寿命を長くすることができる。
【００３６】
また、請求項４記載のプロービング機構によれば、固定面と側面とが交差する角部を面取りした取付部を備えたことにより、弾性変形する際に取付部の角部に強く押し付けられることがないため、連結部に応力が集中する事態を回避することができる。これにより、連結部の耐用寿命を長くすることができる。
【００３７】
さらに、請求項５記載のプロービング機構によれば、ベース部本体に対して回動可能に軸支された固定部を有するベース部を備えたことにより、ベース部本体の回動時に固定部がベース部本体に対して回動することで連結部の変形量を小さく抑えることができるため、連結部のヘタリを回避して耐用寿命を長くすることができる。
【００３８】
また、請求項６記載のプロービング機構によれば、取付部本体に対して回動可能に軸支された固定部を有する取付部を備えたことにより、ベース部の回動時に固定部が取付部本体に対して回動することで連結部の変形量を小さく抑えることができるため、連結部のヘタリを回避して耐用寿命を長くすることができる。
【００３９】
さらに、請求項７記載のプロービング機構によれば、カーボン繊維を用いた繊維強化樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂および超弾性合金のいずれかで連結部を形成したことにより、これらの材料が軽量かつ高弾性率であって、その疲れ寿命が長寿命のため、長期に亘って繰り返してプロービングを実行可能なプロービング機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るプロービング機構１の正面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るプロービング機構１の側面図である。
【図３】コンタクトプローブ８を上動させた状態におけるプロービング機構１の側面図である。
【図４】ベース部３ｘと、弾性変形した状態の連結部４とを示す側面図である。
【図５】ベース部３と弾性変形した状態の連結部４とを示す側面図である。
【図６】取付部５ｘと、弾性変形した状態の連結部４とを示す側面図である。
【図７】取付部５と弾性変形した状態の連結部４とを示す側面図である。
【図８】コンタクトプローブ８を下動させた状態におけるプロービング機構１の側面図である。
【図９】ベース部３、連結部４ｘおよび取付部５の側面図である。
【図１０】ベース部３、連結部４ｘおよび取付部５の平面図である。
【図１１】図１０に示す状態のベース部３が回動した状態の平面図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態に係るプロービング機構１Ａの側面図である。
【図１３】本発明の他の実施の形態に係るプロービング機構１Ｂの側面図である。
【符号の説明】
１，１Ａ，１Ｂ  プロービング機構
２  モータ
２ａ  シャフト
３，３３  ベース部
３ａ  固定面
３ｂ  側面
４  連結部
５，６，３５  取付部
５ａ  固定面
５ｂ  側面
７  ガイドレール
７ａ  スライド片
８  コンタクトプローブ
３３ａ  ベース部本体
３３ｂ，３５ｂ  ヘッド部
３３ｃ，３５ｃ  シャフト
３５ａ  取付部本体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004257941.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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