(57)【要約】【課題】本発明は、研磨布を研磨装置に貼着するための両面粘着シートであって、被研磨体の「凹凸」と「うねり」とを一連の工程で又は同時に、かつ短時間で消去し得る両面粘着シートを提供することを目的とする。【解決手段】１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（０，０．１）、（２００，０．１）、（２００，０．２）、（１００，０．３）、（１００，１．０）、（０，１．０）の６座標で囲まれた領域に、厚みレンジ及び２５％圧縮硬さが存在する発泡体シートの両面側に粘着剤層が設けられてなることを特徴とする両面粘着シート。【選択図】　　　図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（２００，０．１）、（２００，０．３）、（１００，０．４）、（１００，１．３）、（０，１．３）の６座標で囲まれた領域に、厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在することを特徴とする両面粘着シート。
【請求項２】
１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（１００，０．１）、（１００，１．３）、（０，１．３）の４座標で囲まれた領域に、厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在することを特徴とする請求項１記載の両面粘着シート。
【請求項３】
１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（２００，０．１）、（２００，０．２）、（１００，０．３）、（１００，１．０）、（０，１．０）の６座標で囲まれた領域に、厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在することを特徴とする請求項１記載の両面粘着シート。
【請求項４】
１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（１００，０．１）、（１００，１．０）、（０，１．０）の４座標で囲まれた領域に、厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在することを特徴とする請求項１記載の両面粘着シート。
【請求項５】
発泡体シートの金属イオン含有率が、５０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項２から請求項４のいずれかに記載の両面粘着シート。
【請求項６】
破断強度が４０ＭＰａ以上の補強シートが、発泡体シートと一方の粘着剤層との間に設けられていることを特徴とする請求項２から請求項５のいずれかに記載の両面粘着シート。
【請求項７】
補強シートの金属イオン含有率が、５０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項６記載の両面粘着シート。
【請求項８】
粘着剤層の金属イオン含有率が、５０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項２から請求項７のいずれかに記載の両面粘着シート。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の両面粘着シートと研磨布とが積層されてなることを特徴とする研磨布積層体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、両面粘着シートおよび研磨布積層体に関し、詳しくは研磨布を研磨装置に貼着するために使用される両面粘着シートおよび研磨布積層体に関し、さらに詳しくは精密研磨に供せられる両面粘着シートおよび研磨布積層体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から自動車、光学機器、電子材料、各種工作機機の分野では、様々な部品、部材の研磨が行われており、被研磨体に要求される精密さや均一性は益々厳しくなってきている。例えば、液晶ディスプレイ用ガラス板やハードディスク用金属板、同ガラス板の従来の研磨方法は、スエード調研磨布を用いて研磨されるが、その研磨布が研磨装置に固定される方法は、その簡便さ、使い勝手の良さ故に、多くはポリエチレンテレフタレート等の平滑なフイルムの両面に粘着剤が塗布された両面粘着テープが用いられることが多い。しかしながら、このような研磨方法では研磨布にクッション性がないために研磨時に研磨布と同時に使用される研磨砥粒材の影響でスクラッチ（引っ掻き傷）による不具合が指摘されていた。これを解消するために、研磨表面に発泡体によるクッション層を設ける方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】
特開平１１−１５１６５１号公報
【０００３】
しかしながら、このクッション層も厚さのバラツキが有るため、被研磨面と平行に圧力を掛ける研磨装置で研磨する場合、被研磨体に一様な圧力が掛けられず、被研磨体表面の形状の変化に追随することは困難となり、目的とする精度の研磨を行えなくなってきた。つまり、被研磨体表面に、図９に示すようにマクロ的な「うねり」と、その「うねり」の上のミクロ的な「凹凸」とが存在する場合である。近年の精密研磨の分野では「うねり」及び「凹凸」の両方を消し、表面が均一に研磨された一定の厚みの部材を得ることが強く要求される場合が多い。
このように、両面粘着シートを利用して研磨布を研磨装置に貼着し、精密研磨する場合に、上記した「うねり」及び「凹凸」の両方を消すためには、まず、柔軟性に富む両面粘着シートを用いて「凹凸」を消去するための研磨をし、次いで硬い両面粘着シートを用いて「うねり」を消去するための研磨をする必要があった。
【０００４】
即ち、貼着に使用される両面粘着シートが柔軟性に富む場合には、被研磨体表面に対する研磨布表面の追従性が良いので、被研磨体表面の「凹凸」を比較的短時間で削り易く、なめらかな表面を得やすいが、その反面「うねり」を消し難い。
【０００５】
一方、貼着に使用される両面粘着シートが硬い場合には、「凹凸」と「うねり」の解消が同時に進行するとはいうものの、「うねり」も「凹凸」もない面を形成するためには研磨に長時間を要する。つまり、両面粘着シートが硬い場合、被研磨体表面に対する研磨布表面の追従性が悪く、研磨布表面の一部が被研磨体表面に接触できない状態から研磨が始まる。そして、最も厚い部分、最も突出した凸の部分が削られてくるに従って、研磨布表面のうちそれまで接触できていなかった部分が徐々に被研磨体表面に接触できるようになり、被研磨体表面全体の研磨が徐々に進行する。よって、この場合、研磨に長時間を要する。
【０００６】
そこで、より短時間で「凹凸」も「うねり」も共に消すための対応策が検討され、次に例示するように研磨の初期においては柔軟性に富む両面粘着シートを利用して短時間で「凹凸」を消し、次いで硬い両面粘着シートを利用して「うねり」を消す「二工程研磨」が採用されている。
（１）研磨装置を複数用意しておき、一つの研磨装置には柔らかい両面粘着シート、他の研磨装置には硬い両面粘着シートをそれぞれ用いて研磨布を貼着しておく。そして、まず柔らかい両面粘着シートを用いた研磨装置で「凹凸」消去のための研磨をし、次いで硬い両面粘着シートを用いた研磨装置で「うねり」消去のための研磨をする。
（２）柔らかい両面粘着シートを用いて研磨布を研磨装置に貼着し、この研磨装置を用いてまず「凹凸」消去のための研磨をし、次いで、研磨装置から柔らかい両面粘着シート及び研磨布を剥がし、代わりに硬い両面粘着シート及び研磨布を貼着し、「うねり」消去のための研磨をする。
【０００７】
しかし、上記（１）（２）いずれの場合も、複数の両面粘着シートを必要とし、また研磨工程も煩雑となる。そこで、一種類の両面粘着シートを用い、貼り替え等の作業を必要とはせず、「凹凸」も「うねり」も一連の工程で又は同時に、かつ短時間で消去することが望まれてきた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、研磨布を研磨装置に貼着するための両面粘着シートであって、被研磨体の「凹凸」と「うねり」とを一連の工程で又は同時に、かつ研磨装置に不要な振動を引き起こさずに短時間で消去し得る両面粘着シートを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意研究した結果、厚さバラツキが小さく、かつ特定の圧縮硬さの両面粘着シートを用いることによって、被研磨体の「凹凸」と「うねり」とを一連の工程で又は同時に、かつ短時間で消去し得る両面粘着シートを提供することを見出し、本発明を完成した。
即ち、第１の発明は、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（２００，０．１）、（２００，０．３）、（１００，０．４）、（１００，１．３）、（０，１．３）の６座標で囲まれた領域に、厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在することを特徴とする両面粘着シートに関する。
第２の発明は、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（１００，０．１）、（１００，１．３）、（０，１．３）の４座標で囲まれた領域に、厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在することを特徴とする第１の発明に記載の両面粘着シートに関する。即ち、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が１００μｍ以内、及び２５％圧縮硬さが０．１〜１．３ＭＰａであることを特徴とする両面粘着シートに関する。
第３の発明は、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（２００，０．１）、（２００，０．２）、（１００，０．３）、（１００，１．０）、（０，１．０）の６座標で囲まれた領域に、厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在する発泡体シートの両面側に粘着剤層が設けられてなることを特徴とする第１の発明に記載の両面粘着シートに関する。
第４の発明は、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（１００，０．１）、（１００，１．０）、（０，１．０）の４座標で囲まれた領域に、厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在することを特徴とする第１の発明に記載の両面粘着シートに関する。即ち、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が１００μｍ以内、及び２５％圧縮硬さが０．１〜１．０ＭＰａである発泡体シートの両面側に粘着剤層が設けられてなることを特徴とする両面粘着シートに関する。
第５の発明は、発泡体シート（１）の金属イオン含有率が、５０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする第２の発明から第４の発明のいずれかに記載の両面粘着シートに関する。
第６の発明は、破断強度が４０ＭＰａ以上の補強シート（３）が、発泡体シート（１）と一方の粘着剤層（２’）との間に設けられていることを特徴とする第２の発明から第５の発明のいずれかに記載の両面粘着シートに関する。
第７の発明は、補強シート（３）の金属イオン含有率が、５０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする第６の発明に記載の両面粘着シートに関する。
第８の発明は、粘着剤層（２）及び（２’）の合計の金属イオン含有率が、５０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする第２の発明から第７の発明のいずれかに記載の両面粘着シートに関する。
第９の発明は、第１の発明から第８の発明のいずれかに記載の両面粘着シート研磨布とが積層されてなることを特徴とする研磨布積層体に関する。
【００１０】
また、本発明は以下の発明にも関する。
即ち、第１０の発明は、発泡体シート（１）と、補強シート（３）と、第１及び第２の粘着剤層（２）、（２’）とを有する両面粘着シートであって、
１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（ｘ、ｙ）＝（０，０．１）、（２００，０．１）、（２００，０．２）、（１００，０．３）、（１００，１．０）、（０，１．０）の６座標で囲まれた領域に、前記発泡体シート（１）の厚みレンジと２５％圧縮硬さとが存在し、
前記補強シート（３）は破断強度が４０ＭＰａ以上であり、
前記粘着剤層は前記発泡体シート（１）及び前記補強シート（３）を挟んで設けられており、
総金属イオン含有率が１５００ｐｐｍ以下であることを特徴とする両面粘着シートに関する。
第１１の発明は、前記発泡体シート（１）と前記補強シート（３）との間に、さらに粘着材層もしくは接着材層（６）を設けたことを特徴とする前記第８の発明に記載の両面粘着シートに関する。
第１２の発明は、前記第８又は前記第９の発明記載の両面粘着シートに研磨布を積層したことを特徴とする研磨布積層体に関する。
前記第１０から第１２の発明は、種々の用途に使用されうるものであるが、特に電子部品（例えば半導体ウェーハ）の研磨に好適に用いられうるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の詳細についていくつかの好ましい実施の形態を挙げて説明する。
但し、本発明が以下の実施の形態に限定されないことはいうまでもない。
第１の実施の形態としての本発明の両面粘着シートは、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差（＝厚みレンジ　単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（０，０．１）、（２００，０．１）、（２００，０．３）、（１００，０．４）、（１００，１．３）、（０，１．３）の６座標で囲まれた領域（以下特定領域Ａという）に、厚みレンジ及び２５％圧縮硬さが存在することを特徴とする両面粘着シートである。即ち、図１０において実線で囲まれる特定領域Ａに厚みレンジ及び２５％圧縮硬さが存在することを特徴とする両面粘着シートである。
ここで、両面粘着シートとは、両面粘着テープ、両面粘着フィルム等とも呼ばれるものである。また、両面粘着シートには、基材の両面に粘着剤層を設けてなる両面粘着積層タイプの他に、積層構造を呈しない、いわゆる基材レスの両面粘着シートも含まれる。本発明においては研磨作業後に研磨積層体を研磨装置から取り外す場合を考慮すると前者の両面粘着積層タイプが好ましい。
【００１２】
両面粘着シートの厚みレンジ及び２５％圧縮硬さが上記特定領域Ａ外にあると、被研磨体を一定の均一な厚みに研磨することが困難となる。
つまり、厚みレンジが広くなると、圧力を掛けて研磨する際に厚みの厚い部分と薄い部分で圧力差が生じる。従って、厚みレンジは、２００μｍ以下であることが重要であり、１００μｍ以下であることが好ましい。但し、厚みレンジが１００μｍを越えても、２５％圧縮硬さが比較的小さく両面粘着シートが比較的柔軟の場合には、研磨時の振動を吸収することができる。
２５％圧縮硬さが、０．１ＭＰａ未満だと両面粘着シートが柔軟になりすぎるので、被研磨体の「凹凸」を簡単に消去し得るが、「うねり」を消去できない。一方、２５％圧縮硬さが、１．３ＭＰａを越えると両面粘着シートが硬くなりすぎるので、「凹凸」及び「うねり」を消去するには長時間を要する。
このため、研磨精度を必要とする場合は、両面粘着シートの１ｍ２内の厚みレンジは８０μｍ以内、かつ、２５％圧縮硬さは、０．１〜１．３ＭＰａであることが好ましく、さらに、厚みレンジは６０μｍ以内、かつ、０．１５〜０．７ＭＰａであることがより好ましい。
また、両面粘着シートの１ｍ２内の平均厚さは、研磨する際に圧力を掛けたときに所望する２５％圧縮硬さを得ることと、両面粘着シートに対する水平方向の剪断力によって引き起こされるずり変形に抗するため４００μｍ〜２．５ｍｍであることが好ましい。尚、上記ずり変形は研磨特性を劣化させる。
両面粘着シートの厚さの測定は、プローブ直径１０ｍｍ、印加荷重５０ｇ／ｃｍ２において、１μｍ桁表示が可能なデジタル計測器により行われ得る。
【００１３】
本発明でいう「両面粘着シートの２５％圧縮硬さ」とは、両面粘着シートを温度２３℃、相対湿度５０％の環境に２４時間以上静置した後、該両面粘着シートを５０ｍｍ×５０ｍｍに打ち抜き、両面粘着シートを平滑な金属板と貼り合わせて水平に設置し、温度２３℃、相対湿度５０％の環境下にて該積層体の中央をφ５ｍｍ円柱状圧子で５０ｍｍ／分の速度で該積層体に対し垂直方向に圧縮し、元の厚みから２５％圧縮させた際の応力をいう。
【００１４】
第２の実施の形態としての本発明の両面粘着シートは、前記した第１の実施の形態としての両面粘着シートの構成要件に加えて、さらに前記基材の両面側に粘着剤層を設けることを特徴とする両面粘着シートである。この場合、基材として発泡体シート（１）を用い、当該発泡体シート（１）の両面側に粘着剤層（２）、（２’）が設けられてなるものが好ましい。また、破断強度が４０ＭＰａ以上の補強シート（３）を、発泡体シート（１）と一方の粘着剤層（２’）との間に設ける構成としてもよい。
用いられる発泡体シート（１）は、１ｍ２内の厚みレンジ（単位：μｍ）をｘ軸、２５％圧縮硬さ（単位：ＭＰａ）をｙ軸とした場合に、（０，０．１）、（２００，０．１）、（２００，０．２）、（１００，０．３）、（１００，１．０）、（０，１．０）の６座標で囲まれた領域（以下特定領域Ｂという）に、厚みレンジ及び２５％圧縮硬さが存在することが好ましい。
【００１５】
発泡体シートの１ｍ２内の厚みレンジ及び２５％圧縮硬さが、図１０の斜線部で示される特定領域Ｂ以外にあると、被研磨体を一定の均一な厚みに研磨することが困難となる。
つまり、厚みレンジが広くなると圧力を掛けて研磨する際に厚みの厚い部分と薄い部分で圧力差が生じる。従って、厚みレンジは、２００μｍ以下であることが重要であり、１００μｍ以下であることが好ましい。但し、厚みレンジが１００μｍを越えても、２５％圧縮硬さが比較的小さく比較的柔軟な発泡体シートを用いれば、研磨時の振動を吸収することができる。
発泡体シート（１）の２５％圧縮硬さが、０．１ＭＰａ未満だと両面粘着シートが柔軟になりすぎるので、被研磨体の「凹凸」を簡単に消去し得るが、「うねり」を消去できない。一方、発泡体シート（１）の２５％圧縮硬さが、１．０ＭＰａを越えると両面粘着シートが硬くなりすぎるので、「凹凸」及び「うねり」を消去するには長時間を要するからである。このため、研磨精度を必要とする場合は、発泡体シートの１ｍ２内の厚みレンジは８０μｍ以内、かつ、２５％圧縮硬さは、０．１〜１．０ＭＰａであることが好ましく、さらに、厚みレンジは６０μｍ以内、かつ、０．２〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。
また、発泡体シートの１ｍ２内の平均厚さは、研磨する際に圧力を掛けたときに所望する２５％圧縮硬さを得ることと、両面粘着シートに対する水平方向の剪断力によって引き起こされるずり変形に抗するため４００μｍ〜２．５ｍｍであることが好ましい。尚、上記ずり変形は研磨特性を劣化させる。
発泡体シートの厚さの測定は、両面粘着シートと同一の装置にて行い得る。
【００１６】
本発明でいう「発泡体シートの２５％圧縮硬さ」とは、発泡体シートをＪＩＳＫ　６４００に記載される試験の一般的条件、即ち温度２３℃、相対湿度５０％の環境に２４時間以上静置した後、該発泡体シートを３０ｍｍ×３０ｍｍに打ち抜き、約１０ｍｍの厚さとなるようにシートを重ね合わせ、同温湿度環境下にて前記重ね合わせたシート全面を５０ｍｍ／分の速度で平行に圧縮し、元の厚みから２５％圧縮させた際の応力をいう。
【００１７】
また、研磨工程中に両面粘着シートから金属イオンが溶出すると、被研磨体の研磨表面を汚染して、被研磨体が金属の場合は固有の電気特性を変化させたり、あるいは被研磨体が光学レンズの場合はその屈折率を変化させたりするので、本発明の両面粘着シートから金属イオンが溶出しないか、又は本発明の両面粘着シートが、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。基材として発泡体シート（１）を用いる場合には、該発泡体シート（１）から金属イオンが溶出しないか、又は発泡体シート（１）が、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
【００１８】
本発明でいう「金属イオン」とは、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、ニッケル、銅、亜鉛、タングステンの１３種の金属のイオンである。上記金属イオンの総量は、試料（両面粘着シートや発泡体シート（１））を硝酸と硫酸による酸分解法によって分解した後、高周波誘導結合プラズマ発光分析装置にて検出できる。両面粘着シートに含まれる上記金属イオンの総量は、１５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、３０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。また、発泡体シート（１）に含まれる上記金属イオンの総量は５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
【００１９】
本発明において使用される発泡体シート（１）としては、ポリウレタン、ポリエチレン、シリコーンゴム等が挙げられ、これらは種々の方法で得ることができる。これらの中でも硬さ、厚み精度が得やすいので、ポリウレタンが好ましい。
【００２０】
本発明において使用される発泡体シート（１）のうち、ポリウレタン発泡体シートについて説明する。ポリウレタンは、イソシアネート類と水酸基を有する化合物とを反応させて製造するが、この際適当な条件で水を添加すると炭酸ガスが発生する。この炭酸ガスをよく攪拌して細かく材料中に分散させ、材料が硬化するまで材料から散逸しないようにしておくと、ポリウレタンの発泡材料を得ることができる（プラスチック成形加工便覧、第４版、全日本プラスチック成形工業連合会編）。
【００２１】
ポリウレタン発泡体シートについて説明する。一般にポリウレタンの原料中に水酸化アルミニウム等の金属化合物を触媒量添加することによって、これが発泡時に発泡セルの核となり、発泡体セルを微細にかつ安定化することができる。しかし、上記した理由により、本発明に用いられる発泡体シート（１）としては、発泡体セルの均一性が多少損なわれるとしても金属化合物が添加されていないものを選ぶことが好ましい。
ただし、被研磨物内に含有される金属や研磨のために用いる活性剤に代表される添加剤もしくは酸、塩基を含有する水溶液、または、潤滑油に含まれる金属は含有していても差し支えない場合がある。
【００２２】
ポリウレタン発泡体は、従来公知の一般的な方法でシート状に成形することができる。例えば、特開昭５１−６７３９６号公報、特開昭５３−６３６５号公報には、押し出しダイから工程フィルム上に、反応することによってポリウレタンを形成し得る未発泡の組成物を展開し、発泡させつつオーブン内を通過させて硬化させる方法が提案されている。
工程フィルムに剥離処理を施した場合には、シート形成後に工程フィルムを剥離してウレタンのみの発泡体シートを得ることができる。また、工程フィルムに剥離処理を施さない場合には、ポリウレタンの発泡、硬化の過程で、ポリウレタンと工程フィルムとが強固に結合するので、この工程フィルムを後述する補強シート（３）として利用することができ、発泡体シート（１）と補強シート（３）との間には格別接着剤層もしくは粘着剤層（６）を設けなくても両シートを積層することができる。
また、剥離処理してなる工程フィルムを使用する場合、１枚の工程フィルムの剥離処理面に、上記組成物を展開して発泡、硬化させたり、２枚の工程フィルムの剥離処理面間に上記組成物を挟み込んでから発泡、硬化させたりする方法があるが、後者の方が好ましい。即ち２枚の工程フィルムを用いてポリウレタン発泡体シートを形成し、両工程フィルムを剥がすと、シート両面に滑らかなスキン層を有する発泡体シートが形成される。このスキン層は、接着剤層もしくは粘着剤層（６）を積層した場合、層間の密着性向上に効果を奏し、さらに厚み精度が制御し易いため、２枚の工程フィルムを用いることが好ましい。
【００２３】
ウレタン発泡体シートの成形に使用する工程フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の平滑性と１００℃程度の熱を数分間かけても溶融切断しないような耐熱性とを有するフィルムが用いられる。
【００２４】
上記した発泡体シート（１）の破断強度は一般に比較的小さいので（例えば、５ＭＰａ以下）、破断強度が４０ＭＰａ以上の補強シート（３）を、発泡体シート（１）と一方の粘着剤層（２’）との間に設けることによって、両面粘着シートの強度を大きくすることができる。両面粘着シートの破断強度を大きくできると、例えば研磨後、研磨布ごと両面粘着シートを研磨装置から剥がしたり、又は研磨後、両面粘着シートから研磨布を剥がす際に、両面粘着シートを破損することなく剥がし易くなる。
補強シート（３）は、種々のプラスチックシートであることが好ましく、厚さバラツキ精度の観点から好ましくはポリエチレンテレフタレートがより好ましい。厚さは１２〜２５０μｍであることが好ましく、さらに２５〜１００μｍであることがより好ましい。
また、補強シート（３）の金属イオン含有率は、発泡体シート（１）等の場合と同様の理由で、５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
【００２５】
尚、補強シート（３）を有する場合、図１〜６に示すように、両面粘着シートの積層断面構成は非対称となるが、少なくとも一方の面の２５％圧縮硬さが０．１〜１．３ＭＰａの範囲にあれば良く、補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）面の２５％圧縮硬さが上記範囲にあることがより好ましい。
【００２６】
本発明において用いる粘着剤層（２）、（２’）について説明する。
本発明の両面粘着シートは、研磨布と研磨装置との間に位置し、両者を貼着するために用いられるものであり、補強シート（３）がある場合には、図１〜６に示すように、積層断面構成が非対称となるので、
（Ａ）補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）に研磨布を貼着し、補強シート（３）に近い方の粘着剤層（２’）を研磨装置に貼着する。即ち、両面粘着シートを研磨布に付着する際に、補強シート３と研磨布の間に発泡体シート１と粘着剤層２を挟むようにして付着する。
（Ｂ）補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）を研磨装置に貼着し、補強シート（３）に近い方の粘着剤層（２’）に研磨布を貼着する。
即ち、両面粘着シートを研磨装置に付着する際に、補強シート３と研磨装置の間に発泡体シート１と粘着剤層２を挟むようにして付着する。
前記（Ａ）（Ｂ）の形態の内、研磨布積層体を研磨装置から除去する作業の観点からは（Ａ）の形態が好ましい。
（Ａ）、（Ｂ）いずれの形態で使用するかによって、粘着剤層（２）、（２’）は適宜選択することができる。
例えば、（Ａ）の形態で使用する場合には、粘着剤層（２）は、研磨布及び発泡体シート（１）に貼着し得ることが必要であり、一方粘着剤層（２’）は、補強シート（３）及び研磨装置に貼着し得ることが必要である。これらの貼着特性は、発泡体シート（１）の素材や表面状態、補強シート（３）の素材や表面状態等を考慮して選択すればよい。
【００２７】
研磨布表面がスエード調の場合や、研磨布表面に不陸部が多く十分な接着面積を確保し難い場合には、両面粘着シートに研磨布を強固に接着させ難くなる。両面粘着シートに研磨布を強固に接着させる必要があるので、上記のような研磨布を用いる場合には、研磨布を貼着する側の粘着剤層の厚みを２０〜１５０μｍとして粘着力を向上させた両面粘着シートを用いることが好ましい。
また、研磨装置に貼着する側の粘着剤層は、剥がす際に粘着剤が残り難くなるようにするためには薄膜である方が有利であるので、厚みを５〜５０μｍとして再剥離性能を向上させることが好ましい。
また、粘着剤層（２）、（２’）は、貼着時及び研磨に使用する時の温度範囲において、ゴム状領域にあることが重要であり、ＪＩＳ　Ｚ０２３７に規定する粘着テープ・粘着シート試験方法による１８０度引き剥がしの粘着力が５０ｍＮ／２５ｍｍ以上、室温における落下までの保持時間が６０分以上であることが好ましい。
さらに研磨後に、研磨布を両面粘着シートから、又は研磨布ごと両面粘着シートを研磨装置から剥がす場合には、剥離し易いことが好ましい。即ち、研磨の最中は強固に研磨布や研磨装置に付着し、その後は容易に剥離し得ることが好ましい。
【００２８】
さらに発泡体シート（１）や補強シート（３）の場合と同様に粘着剤層（２）、（２’）の場合も、金属イオンが溶出しないか、又は実質的に金属イオンを含有しないこと、具体的には含有率が多くとも５０００ｐｐｍであることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
このような粘着剤層（２）、（２’）の形成に用いられる粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等が挙げられ、中でも金属イオンが混入し難いという点からウレタン系粘着剤、アクリル系粘着剤が好ましく、粘着性能のバランスを確保し易いという点から、アクリル系粘着剤がさらに好ましい。
【００２９】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明してきたが、本発明の両面粘着シートは、所望により粘着剤層もしくは接着剤層（６）を設ける構成としていてもよい。
本発明において用い得る粘着剤層もしくは接着剤層（６）は、発泡体シート（１）と補強シート（３）との間に位置し、両層を相互に固定するための層であり、その厚みは５〜１５０μｍであることが好ましい。
ところで粘着剤は感圧性接着剤とも呼ばれ、広義の概念では接着剤に含まれるものであるが、本発明でいう「接着剤」はいわゆる感圧性接着剤（粘着剤）以外の接着剤という意味である。粘着剤としては（２）、（２’）と同様のものを使用することができ、また接着剤としては水系、溶剤系を問わず、溶媒乾燥による一般タイプからドライラミタイプまで、３００ｍｍ／分による１８０度引き剥がし強度が５０ｍＮ／２５ｍｍ以上のものを使用することができる。
両面粘着シートを研磨布及び研磨装置に貼着するためには上記したように粘着剤層（２）、（２’）を用い得るのに対し、発泡体シート（１）と補強シート（３）とを相互に固定するための層しては、粘着剤層の他、接着剤層も用いることができる。発泡体シート（１）と補強シート（３）とは、一旦相互に固定してしまえば剥離するという特別な要求はないので、接着剤層を介して固定することができるのに対し、研磨装置側、研磨布側に位置する層には貼着後剥離するという要求もあるので、接着剤ではなく粘着剤で形成することが重要である。
さらに発泡体シート（１）の場合と同様に粘着剤もしくは接着剤層（６）も、金属イオンを溶出しないことが好ましく、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
【００３０】
また、本発明の両面粘着シートは、その粘着剤層面に剥離シートを積層した状態で供することができる。用いられ得る剥離シートには、両面剥離処理してなるもの（４）と片面剥離してなるもの（５）、（５’）とがある。いずれの剥離シートも粘着剤層（２）、（２’）を被覆した後、粘着剤層（２）、（２’）と接する界面において容易に剥離シートを剥離し得ることが必要であり、かつ剥離シート上に粘着剤の残留がないことが要求される。ここでいう容易に剥離することが可能なレベルとは、一般的に１８０度引き剥がし粘着力が１Ｎ／２５ｍｍ未満のものをいう。
剥離シートとして具体的には、ポリエチレンテレフタレートや配向したポリプロピレン等の各種プラスチックフィルム、または紙の上にシリコーン系あるいは非シリコーン系の剥離剤を塗工したものを用いることができる。粘着剤層の厚み精度を確保するために、プラスチックフイルムをベースとした剥離シートを用いることが望ましい。
前記剥離シートは、両面粘着シートと剥離シートの機能が損なわなければどのように配置しても構わない。従って、例えば、図７，８に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。また、図１〜３に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）、補強シート（３）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。さらに、図４〜６に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）、補強シート（３）、粘着剤層（２）（２’）、及び粘着剤層もしくは接着剤層（６）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。
【００３１】
本発明の両面粘着シートのうち、発泡体シート（１）の両面側に粘着剤層（２）（２’）が設けられてなる両面粘着シートであって、補強シート（３）を有しない両面粘着シートは、例えば以下に示す（イ）〜（ハ）のような方法で得ることができる。
方法（イ）
発泡体シート（１）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に両面剥離シート（４）を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の発泡体シート（１）の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面と両面剥離シート（４）の他方の面（粘着剤層（２’）が接していない方の面）とが接するようにロール状に巻き取る。
【００３２】
方法（ロ）
発泡体シート（１）の両面にそれぞれ粘着剤層（２）、（２’）を同時に形成し、一方の粘着剤層（２’）側に両面剥離シート（４）を積層しつつ、該粘着剤層（２’）が接していない方の両面剥離シート（４）と他の粘着剤層（２）とが接するように巻き取る。
【００３３】
方法（ハ）
片面剥離シート（５）の剥離処理面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に発泡体シート（１）を積層し、発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥離シート（５’）の剥離処理面を積層する。
【００３４】
前記した補強シート（３）を有する両面粘着シートは、例えば以下に示す（ニ）〜（ヘ）のような方法で得ることができる。
方法（ニ）
補強シート（３）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に両面剥離シート（４）を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の補強シート（３）の面に粘着剤層（６）を形成し、該粘着剤層（６）の他方の面に発泡体シート（１）を積層する。次いで、該発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面と両面剥離シート（４）の他方の面（粘着剤層（２’）が接していない方の面）とが接するようにロール状に巻き取る。
方法（ホ）
補強シート（３）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥離シート（５’）の剥離処理面を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の補強シート（３）の面に粘着剤層（６）を形成し、該粘着剤層（６）の他方の面に発泡体シート（１）を積層する。次いで、該発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に片面剥離シート（５）の剥離処理面を積層する。
方法（ヘ）
片面剥離シート（５）の剥離処理面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に発泡体シート（１）を積層し、発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（６）を積層し、次いで該粘着剤層（６）の他方の面に補強シート（３）を積層し、該補強シート（３）の他方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥離シート（５’）の剥離処理面を積層する。
【００３５】
剥離シート（４）、（５）、（５’）、発泡体シート（１）もしくは補強シート（３）上に各粘着剤を塗工する方法としては、例えばコンマコーター、ダイコーター、リップコーター、キスコーター、グラビアコーター等を使用して行う。コンマコーターを用いる場合、粘着剤の粘度は０．１〜１００Ｐａ・ｓ程度が良好である。
【００３６】
以上、両面粘着シートについて説明してきたが、本発明の別の態様として前記の両面粘着シートに研磨布が積層された研磨布積層体が提供される。研磨布としては、特に限定されることなく従来公知の研磨布を用いることができる。好ましくは前記研磨布としては、合成皮革スエード又はベロア、硬質ウレタン発泡体等を用いることができる。
この場合、前記研磨布は両面粘着シートに予め設けるように構成しても使用時に両面粘着シートに設ける構成としても構わない。
【００３７】
【実施例】
実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが本発明が以下の実施例に限定されないことはいうまでもない。
（実施例１）
粘着性アクリル樹脂を含む粘着剤（東洋インキ製造（株）製、金属イオン含有率１１ｐｐｍ）１００部とイソシアネート誘導体系硬化剤（東洋インキ製造（株）製）３部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液をコンマコーターで乾燥膜厚３０μｍとなるように補強シート（３）となる７５μｍのポリエチレンテレフタレートフイルム（金属イオン含有率１２ｐｐｍ）全面に塗布し、粘着剤層（２’）を形成しつつ、巻き取り時に両面剥離処理してなるポリエチレンテレフタレート剥離シート（４）を該粘着剤層（２’）に０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート層（３）からなる粘着シート（Ｃ）を得た。
【００３８】
次に、粘着シート（Ｃ）の補強シート（３）側に前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（６）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（６）に１ｍ２内の平均厚さが１５０２μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が３０μｍ、２５％圧縮硬さが０．３９ＭＰａ、金属イオン含有率が１２ｐｐｍのポリウレタン発泡体シート（１−１）を０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート層／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−１）からなる粘着シート（Ｂ）を得た。
【００３９】
最後に、ポリエチレンテレフタレート剥離シートを工程フィルムとして前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（２）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２）に前記粘着シート（Ｂ）の発泡体シート（１−１）側を０．３ＭＰａの圧力でラミネートした後、工程フィルムをはがし取り、図４に示すような剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−１）／粘着剤層（２）からなる、１ｍ２内の平均厚さが１６６７μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が３２μｍ、粘着剤層（２’）側の２５％圧縮硬さが０．４３ＭＰａの粘着シート（Ａ−１）を得た。
【００４０】
（実施例２）
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ２内の平均厚さが１５６８μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が７４μｍ、２５％圧縮硬さが０．３９ＭＰａ、金属イオン含有率１４ｐｐｍのウレタン樹脂発泡体シート（１−２）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−２）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ２内の平均厚さが１７３３μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が７５μｍ、２５％圧縮硬さが０．４３ＭＰａとなる粘着シート（Ａ−２）を得た。
【００４１】
（実施例３）
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ２内の平均厚さが１４８８μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が１７０μｍ、２５％圧縮硬さが０．１３ＭＰａ、金属イオン含有率１８ｐｐｍのウレタン樹脂発泡体シート（１−５）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−３）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ２内の平均厚さが１６５４μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が１７１μｍ、２５％圧縮硬さが０．１６ＭＰａとなる粘着シート（Ａ−３）を得た。
【００４２】
（比較例１）
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ２内の平均厚さが１６９８μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が１５０μｍ、２５％圧縮硬さが０．３９ＭＰａ、金属イオン含有率１５ｐｐｍのウレタン樹脂発泡体シート（１−３）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−４）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ２内の平均厚さが１８６３μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が１５１μｍ、２５％圧縮硬さが０．４３ＭＰａの粘着シート（Ａ−４）を得た。
【００４３】
（比較例２）
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ２内の平均厚さが１０８９μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が３０μｍ、２５％圧縮硬さが１．２０ＭＰａ、金属イオン含有率２１ｐｐｍのポリウレタン発泡体シート（１−４）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−５）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ２内の平均厚さが１２５４μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が３２μｍ、２５％圧縮硬さが１．３９ＭＰａの粘着シート（Ａ−５）を得た。
【００４４】
（比較例３）
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ２内の平均厚さが１２８９μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が２３０μｍ、２５％圧縮硬さが０．１２ＭＰａ、金属イオン含有率２５ｐｐｍのポリウレタン発泡体シート（１−４）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−６）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ２内の平均厚さが１４５５μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が２３２μｍ、２５％圧縮硬さが０．１５ＭＰａの粘着シート（Ａ−６）を得た。
【００４５】
（実施例４）
粘着性アクリル樹脂を含む粘着剤（東洋インキ製造（株）製、金属イオン含有率１１ｐｐｍ）１００部とイソシアネート誘導体系硬化剤（東洋インキ製造（株）製）３部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液を、コンマコーターで乾燥膜厚３０μｍとなるように、両面剥離処理してなるポリエチレンテレフタレート剥離シート（４）全面に塗布し、粘着剤層（２’）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２’）に１ｍ２内の平均厚さが１５０２μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が３０μｍ、２５％圧縮硬さが０．３９ＭＰａ、金属イオン含有率１２ｐｐｍのポリウレタン発泡体シート（１−１）を０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−１）からなる粘着シート（Ｄ）を得た。
【００４６】
次に、ポリエチレンテレフタレート剥離シートを工程フィルムとして前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（２）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２）に前記粘着シート（Ｄ）の発泡体シート（１−１）側を０．３ＭＰａの圧力でラミネートした後、工程フィルムをはがし取り、図７に示すような剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−１）／粘着剤層（２）からなる、１ｍ２内の平均厚さが１５６５μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が３３μｍ、２５％圧縮硬さが０．４１ＭＰａの粘着シート（Ｅ−１）を得た。
【００４７】
（実施例５）
実施例３で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ２内の平均厚さが１５６２μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が７６μｍ、２５％圧縮硬さが０．３９ＭＰａ、金属イオン含有率１４ｐｐｍのウレタン樹脂発泡体シート（１−６）を用いた以外は実施例３と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−６）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ２内の平均厚さが１６２３μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が７６μｍ、２５％圧縮硬さが０．４１ＭＰａとなる粘着シート（Ｅ−２）を得た。
【００４８】
（比較例４）
実施例３で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ２内の平均厚さが１６０３μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が１６１μｍ、２５％圧縮硬さが０．３８ＭＰａ、金属イオン含有率１７ｐｐｍのウレタン樹脂発泡体シート（１−７）を用いた以外は実施例２と同様にして剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−７）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ２内の平均厚さが１７６８μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が１６２μｍ、２５％圧縮硬さが０．３９ＭＰａの粘着シート（Ｅ−３）を得た。
【００４９】
（比較例５）
実施例３で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ２内の平均厚さが１１０４μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が４６μｍ、２５％圧縮硬さが１．３ＭＰａ、金属イオン含有率２３ｐｐｍのポリウレタン発泡体シート（１−８）を用いた以外は実施例２と同様にして剥離シート（３）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−８）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ２内の平均厚さが１１６４μｍ、１ｍ２内の最大厚みと最小厚みとの差が４７μｍ、２５％圧縮硬さが１．３８ＭＰａの粘着シート（Ｅ−４）を得た。
【００５０】
［研磨試験］
実施例および比較例で得られた粘着シート（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の粘着剤層（２）側にＪＩＳＲ６２５３に規定する１０００番の耐水研摩紙を貼りあわせ、粘着剤層（２’）側を、テスター産業社製研磨装置の定盤側に貼着した。
他方、前記研磨装置に、下記凸状被研磨試料の凸状面が前記耐水研磨紙と並行な位置に対向するように凸状被研磨試料を装着し、前記耐水研磨紙と下記凸状被研磨試料とを接触せしめ、荷重２００ｇｒ／ｃｍ２の圧力が掛かるようにし、２０ｍｌ／分の流量で純水を供給しながら、２０ｍ／分の速度で、１０分間研磨作業を行った。
【００５１】
＜被研磨試料＞
６０ｍｍ×３００ｍｍ、平均厚さ２．０２ｍｍのステンレス板（ＳＵＳ３０４）に、０．０３０ｍｍ厚さの粘着剤層を介して、６０ｍｍ×３００ｍｍ、平均厚さ０．１３０ｍｍ、一方の面の６０度反射光沢度が１４．７のポリカーボネートのシート（ａ）の他の面を積層し、該ポリカーボネートのシート（ａ）のほぼ中央に、０．０３０ｍｍ厚さの粘着剤層を介して、１５ｍｍ×２５０ｍｍ、平均厚さ０．１３０ｍｍ、一方の面の６０度反射光沢度が１４．７であるポリカーボネートのシート（ｂ）の他の面を積層し、低部が（ａ）、高部が（ｂ）からなる凸状の被研磨試料とした。
【００５２】
＜評価方法１＞
被研磨試料のポリカーボネートシート（ａ）および（ｂ）の平均厚さ、及び６０度反射光沢度を研磨の前後でそれぞれ測定し、（ｂ）の平均厚さ減量（ｂ１）／（ａ）の平均厚さ減量（ａ１）、および（ｂ）の６０度反射光沢度（ｂ２）／（ａ）の６０度反射光沢度（ａ２）を求め、（ｂ１）／（ａ１）、（ｂ２）／（ａ２）の値から以下のように評価した。
◎：１．４≦（ｂ１）／（ａ１）＜１．６、
１．４≦（ｂ２）／（ａ２）＜１．６
○：１．６≦（ｂ１）／（ａ１）＜２．０、
１．６≦（ｂ２）／（ａ２）＜２．０、
又は１．２５≦（ｂ１）／（ａ１）＜１．４、
１．２５≦（ｂ２）／（ａ２）＜１．４
×：２．０≦（ｂ１）／（ａ１）、
２．０≦（ｂ２）／（ａ２）、
又は（ｂ１）／（ａ１）＜１．２５
（ｂ２）／（ａ２）＜１．２５
両面粘着シートの２５％圧縮硬さが大きく硬すぎると、ポリカーボネートシート（ｂ）が主として研磨されるが、ポリカーボネートシート（ａ）は研磨が進行しない。他方、両面粘着シートの２５％圧縮硬さが小さく柔かすぎると、ポリカーボネートシート（ａ）、（ｂ）共に同程度の研磨量および光沢度となるが、研磨自体に時間を要するので１０分間という研磨時間中にはごく僅かしか研磨が進行しない。
【００５３】
＜評価方法２＞
断面矩形状の溝加工を研磨パッドの中心から同心円状に多数本施した研磨パッドと図１記載の両面粘着シートを積層してなる研磨パッドを用いて、研磨時のスラリー流量を１００ｍｌ／ｍｉｎ、とし、シリコンのウエハ表面の熱酸化膜を加工圧が４８ｋＰａ、定盤回転速度が６０ｒｐｍ、被研磨物回転速度が４０ｒｐｍ、研磨時間が１２０ｓｅｃの条件で振動評価を行った．
０：振動しない、　１：微妙に振動する、　２：振動する、　３：やや強い振動、　４：強い振動、　５：かなり強い振動
【００５４】
＜評価方法３＞
断面矩形状の溝加工を研磨パッドの中心から同心円状に多数本施した研磨パッドと図１記載の両面粘着シートを積層してなる研磨パッドを用いて、研磨時のスラリー流量を１００ｍｌ／ｍｉｎ、とし、シリコンのウエハ表面の熱酸化膜を加工圧が４８ｋＰａ、定盤回転速度が６０ｒｐｍ、被研磨物回転速度が４０ｒｐｍ、研磨時間が１２０ｓｅｃの条件で均一性評価を行った．
均一性の評価はウェハ面内４９点の研磨レートのバラツキ度合いで評価した。バラツキ度合いの少ない物を○、バラツキ度合いの大きいものを×、○と×の中間を△のように３段階に分けた。
【００５５】
【表１】
2004002660.tif 000003
【００５６】
【発明の効果】
本発明の両面粘着シートを用いて研磨布を研磨装置に貼着し、被研磨体を研磨することによって、振動を生じることなく、被研磨体の「凹凸」と「うねり」とを一連の工程で又は同時に、かつ短時間で消去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図２】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図３】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図４】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図５】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図６】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図７】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シートのない場合）
【図８】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シートのない場合）
【図９】被研磨体の断面図
【図１０】１ｍ２内の厚さレンジ（Ｘ軸）と２５％圧縮硬さ（Ｙ軸）とで特定される両面粘着シート及び発泡体シート。
【符号の説明】
（１）…………発泡体シート
（２）（２’）…粘着剤層
（３）…………補強シート
（４）…………両面剥離シート
（５）（５’）…片面剥離シート
（６）…………粘着剤層又は接着剤層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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