(57)【要約】      （修正有）【課題】格子周期が短い部分の回折効率を高めた回折光学素子を提供する。【解決手段】少なくとも一部の格子周期Λが2004251957.tif 000018の範囲である格子形状を基板上に有する回折光学素子であって、当該周期部分において、１次回折効率を上げるように、格子斜面が鋸型の斜面よりも傾きが急な部分を、当該格子斜面の少なくとも一部に備えるように構成されている。本発明の１実施形態によれば、格子断面における格子斜面を表わす線が、少なくとも１つの変曲点をする。本発明の１実施形態によれば、格子断面における格子斜面を表わす線が、異なる曲率を有する２つ以上の曲線から構成される。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部の格子周期Λが
2004251957.tif 000015
の範囲である格子形状を基板上に有する回折光学素子であって、当該周期部分において、回折効率を上げるように、格子斜面が鋸型の斜面よりも傾きが急な部分を、当該格子斜面の少なくとも一部に備えるように構成された回折光学素子。
【請求項２】
前記傾きが急な部分が、入射光が全反射を起こすように構成された請求項１に記載の回折光学素子。
【請求項３】
格子断面における格子斜面を表わす線が、少なくとも１つの変曲点をする請求項１または２に記載の回折光学素子。
【請求項４】
格子断面における格子斜面を表わす線が、異なる曲率を有する２つ以上の曲線から構成される請求項１から３のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項５】
ｎは基板の屈折率，ｎ０は出射光側の媒質の屈折率として、前記周期部分における格子の高さが
2004251957.tif 000016
の範囲で、回折効率を上げるように設定された請求項１から４のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項６】
４λより大きな周期を有する中央部と、
2004251957.tif 000017
の範囲の周期を有する周縁部とを備える回折光学レンズである請求項１から５のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項７】
入射光が基板に対して透過する請求項１から６のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【請求項８】
格子部上方からの入射光に対応する請求項１から７のいずれか１項に記載の回折光学素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＤ  （Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）およびＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）などの記録媒体用の読取り光学系および読取り光学装置などに使用される回折光学レンズなどの回折光学素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＤやＤＶＤなどといった記録媒体の読取り光学系および読取り光学装置においては、記録媒体の大容量化、装置の小型化に伴って高い集光性能と微小点像を得ることが必要になってきている。たとえば、記録媒体として代表的なＤＶＤでは大容量化を達成するために、ディスク面上の記録層における微細構造を数ミクロン程度にまで細かくする必要がある。このような微細構造を読取るためには光学系の集光性能を向上させるだけでなく集光スポットを小さくする必要がある。ここで、集光スポット径ｓと開口数ＮＡとの関係は次式のように表される。
【０００３】
2004251957.tif 000002
λは波長、Ｃは入射ビーム形状に関する係数であり、Ｇａｕｓｓ分布をもつビームでは通常１．６７である。上記式から、集光スポットを小さくするためには、大きい開口数（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ａｐｅｒｔｕｒｅ、ＮＡ）を有する光学素子を用いることが必要である。一方、波長λを短くすれば集光スポットを小さくできる。このように、集光スポット径を小さくためには、開口数を大きくするか、または使用波長を短くすることが必要である。近年のＤＶＤピックアップ用光学系の開発においては、入射ビームを短波長に設定することによって開口数を大きくしている。しかしながら、波長制御を伴わない手法で開口数を大きくするには光学素子の設計において工夫することが必要である。
【０００４】
開口数ＮＡと出射光側の屈折率ｎとは、ｕを焦点の集光角度の半値として、以下の式で表現される関係を有する。
【０００５】
2004251957.tif 000003
したがって、開口数を大きくするには焦点を有する出射光側において、屈折率ｎを大きくしなければならない。このように、出射光側においては高屈折率の媒質を用いることが望ましい。
【０００６】
一方、開口数を高くする別の方法として口径及び屈折率が同一の場合、レンズの曲率を大きくすればよい。ただし、この場合、上式から集光スポットの有する媒質が空気であれば、開口数の取り得る値は常に１以下である。このため開口数の設定値に制約が加わり、１を超える値を得ることは物理的に実現できない。
【０００７】
この問題点を解決するために、レンズの曲率を大きくした上で集光スポットを含む媒質を光学基板とするなど、空気よりも大きい媒質中で結像させる光学素子が提案されている。この素子はソリッドイマージョンレンズ（Ｓｏｌｉｄ  Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ  Ｌｅｎｓ；  ＳＩＬ）と呼ばれており、開口数を１以上に高めることが可能となる（たとえば、非特許文献１参照）。しかしながら、この場合、レンズ表面の曲面の度合いが極めて大きくなり、また曲面であることに付随する球面収差も増加する。このため集光スポットは球面収差による円状の広がりが生じる結果、集光強度が低下する。また、レンズ体積も大きくなるので、光学系全体の大きさおよび重量も増加する。
【０００８】
一方、上記のレンズによる球面収差の問題点を改善するために、基板平面上に回折格子の周期を連続的に変えた回折光学素子（フレネルレンズ）を使用することも考えられる。仕様波長をλとして、フレネルレンズの焦点距離ｆ、レンズ面上で光軸からの距離ｒ、輪帯の番号ｍとすると、ｍ番目の輪帯上の点から焦点までの距離は、（ｆ＋ｍλ）となる。したがって、三平方の定理から以下の式が得られる。
【０００９】
2004251957.tif 000004
【００１０】
ここで、波長に対する焦点距離ｆは十分に大きいので、以下の式が成立する。
【００１１】
2004251957.tif 000005
【００１２】
したがって、フレネルレンズの光路差関数は以下の２次関数の式で表現される。
【００１３】
2004251957.tif 000006
【００１４】
Ｓ番目の輪帯における格子周期は、以下の式により表現される。
【００１５】
2004251957.tif 000007
【００１６】
他方、格子高さｈは、フレネルレンズの材質の屈折率をｎとして以下の式で表現される。
【００１７】
2004251957.tif 000008
【００１８】
図１に回折光学素子の平面図と断面図を示す。回折光学素子は波長に対して十分に長い周期をもつ格子構造が中心を含む領域１に配置され、波長と同等の周期をもつ格子構造が周縁部の領域２に配置されている。この場合、球面収差は平面上に回折格子が存在するのと同一であるので、格子部分における曲面のみを考慮すればよい。したがって、球面収差は通常のレンズにおけるそれよりも極めて小さくなる。また格子構造のそれぞれの高さは、使用波長の数倍程度であるので素子全体の体積も小さく、またその重量も軽くなる。
【００１９】
しかし、上述のように、回折光学素子の周縁部において格子周期が短くなる。図２は回折光学素子で所定の開口数を実現するために、必要とされる最小の格子周期を示したグラフである。周期は使用波長を基準として表現している。また、結像側の屈折率を１．５としている。図２から明らかなように開口数を大きくするためには格子構造の周期を短くする必要が生じる。しかしながら、たとえば、非特許文献２によると、周期が短くなるにつれて入射光の波長に対して素子材質および反射光の影響が優勢となり回折効率が減少する。その結果、高い集光強度を維持するための有効開口数も小さくなるといった問題点が生じる。
【００２０】
これを改善させるための方法として、周期の短い領域において−１次回折光を利用することが提案されている（たとえば、特許文献１）。しかしながら、−１次光の回折効率が依然として小さく、十分な集光強度が得られていなかった。
【００２１】
上述のように、通常のレンズで開口数を大きくしようとすると、球面収差が増加する。また、フレネルレンズなどの回折光学素子を使用すると周縁部において格子周期が短くなるため回折効率が低下し、高い集光強度を維持するための有効開口数も小さくなる。このように、従来技術では大きい開口数をもつ光学素子の設計・開発が容易ではなかった。
【００２２】
【非特許文献１】
Ｉｃｈｉｍｕｒａ他著、「Ｈｉｇｈ−ｄｅｎｓｉｔｙ  ｏｐｔｉｃａｌ  ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ  ｕｓｉｎｇ  ａ  ｓｏｌｉｄ  ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ  ｌｅｎｓ」、Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｏｐｔｉｃｓ  Ｖｏｌ．３６  Ｎｏ．１９  ４３３９−４３４８ページ
【００２３】
【非特許文献２】
Ｓｈｉｏｎｏ  他著、「Ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  ｂｌａｚｅｄ  ｄｉｆｆｒａｃｔｉｖｅ  ｏｐｔｉｃａｌ  ｅｌｅｍｅｎｔｓ  ｆｏｒ  ｔｈｅ  ｖｉｏｌｅｔ  ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  ｆａｂｒｉｃａｔｅｄ  ｂｙ  ｅｌｅｃｔｒｏｎ−ｂｅａｍ  ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ」、Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｏｐｔｉｃｓ  Ｖｏｌ．４１  Ｎｏ．１３  ２３９０−２３９３ページ
【００２４】
【特許文献１】
特開２００１−２７２５１４号公報（第１１乃至１６段落、図１および２他）
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように従来技術において、通常のレンズで開口数を大きくしようとすると、球面収差の増大による集光強度の低下、レンズ体積の増加による重量及び光学系の大型化という問題が生じる。また、回折光学素子で開口数を大きくしようとすると、周縁部の格子周期が入射光の使用波長に対して短くなり回折効率が低下し、全体の効率も周縁部の影響により低下して、高い集光強度を維持するための有効開口数も小さくなるという問題があった．
本発明はこのような状況に鑑みて行われたものである。回折光学素子において、格子周期が短い部分の回折効率を高めることによって集光強度を改善させ、その結果開口数を高めることを目的とする。また、従来よりも高性能な回折光学素子を読取り光学系などの光学装置の一部として用いることにより、装置の高性能化を図ることを目的とする。さらに、より一般的に、波長と同等の格子周期を有する回折光学素子の回折効率を向上させることを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
本発明の回折光学素子は、少なくとも一部の格子周期Λが
2004251957.tif 000009
の範囲である格子形状を基板上に有する回折光学素子であって、当該周期部分において、回折効率を上げるように、格子斜面が鋸型の斜面よりも傾きが急な部分を、当該格子斜面の少なくとも一部に備えるように構成されている。光が本発明による格子形状の斜面の傾きが急な部分に入射すると、従来技術と比較して入射角が大きくなり、透過光が発生せず全反射する。全反射された光は隣り合う格子形状に再び入射し、このとき別の入射光と位相重ね合わせによる結合が行われ、繰り返し反射されて最終的に斜面に対してきわめて小さい角度で透過光（回折光）が出射される。この結果、回折効率が向上する。
【００２７】
本発明の１実施形態によれば、前記傾きが急な部分が、入射光が全反射を起こすように構成されている。したがって、別の入射光と位相重ね合わせによる結合が確実に行われ、回折効率が向上する。
【００２８】
本発明の１実施形態によれば、格子断面における格子斜面を表わす線が、少なくとも１つの変曲点をする。したがって、格子斜面が鋸型の斜面よりも傾きが急な部分が存在する。
【００２９】
本発明の１実施形態によれば、格子断面における格子斜面を表わす線が、異なる曲率を有する２つ以上の曲線から構成される。したがって、格子斜面が鋸型の斜面よりも傾きが急な部分が存在する。
【００３０】
本発明の１実施形態によれば、ｎは基板の屈折率，ｎ０は出射光側の媒質の屈折率として、前記周期部分における格子の高さが
2004251957.tif 000010
の範囲で、回折効率を上げるように設定されている。したがって、格子構造内を進行中の位相変化を考慮して格子高さが最適化される。
【００３１】
本発明の１実施形態によれば、４λより大きな周期を有する中央部と、
2004251957.tif 000011
の範囲の周期を有する周縁部とを備える回折光学レンズである。したがって、回折光学レンズの格子周期が短い部分の回折効率を高めることによって集光強度を改善させ、その結果開口数を高めることができる。また、従来よりも高性能な回折光学素子を読取り光学系などの光学装置の一部として用いることにより、装置の高性能化を図ることができる。
【００３２】
本発明の１実施形態によれば、入射光が基板に対して透過する。すなわち、透過型の回折光学素子が得られる。
【００３３】
本発明の１実施形態によれば、格子部上方からの入射光に対応する。すなわち、格子上方からの入射光に対応する回折光学素子が得られる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下においては、回折光学素子として回折光学レンズを例として説明を行うが、本発明は回折光学レンズに限定されるものではない。
【００３５】
図３および４の流れ図にしたがって、本発明による回折光学素子の設計方法について説明する。
【００３６】
図３のステップＳ３０１０において、初期設定を行う。初期設定の対象は、波長、屈折率、素子の大きさ、目標とする開口数および回折効率などである。ステップＳ３０２０において光路差関数を計算する。ステップＳ３０３０において、素子の格子高さを計算する。ステップＳ３０４０において光路差関数から素子の格子形状を決定する。
【００３７】
ステップＳ３０５０において、それぞれの格子がどの領域に属するか判定する。回折光学素子の格子構造の周期が以下の式を満たす場合に、格子は領域２に属するとし、以下の式を満たさない場合は、格子は領域１に属するとする。
2004251957.tif 000012
領域２に属する周期の格子に対しては、ステップＳ３０６０において格子形状の最適化を行う。ここで、λは使用波長を表す。上記の式の下限を下回ると、１次の回折光が出現せず０次光のみが透過することになり、集光性を得ることができない。また上限を上回ると１次回折光が最大となる回折格子の形状は、従来技術で知られる鋸型形状となる。すなわち、格子周期が波長に対して十分に長いため格子形状を最適化する必要がない。したがって、上記の式を満たさない領域１に属する周期の格子に対しては、格子形状の最適化は行わない。ステップＳ３０７０において、それぞれの格子の判定が終了したか否かを判断する。終了していなければ、ステップＳ３０５０に戻る。
【００３８】
ステップＳ３０８０において開口数と回折効率を計算し、ステップＳ３０９０において計算結果を出力する。
【００３９】
つぎに、図４にしたがって、領域２における格子の格子形状を最適化する方法（図３のステップＳ３０６０）について説明する。
【００４０】
図４のステップＳ４０１０において、各々の格子形状を細かくＭ分割してそれぞれの高さ位置座標値をＰ（Ｉ）（Ｉ＝１，．．．，Ｍ）とおく。ステップＳ４０２０において、Ｐ（Ｉ）の領域に対して所定の最適化アルゴリズムにより、０から１までの範囲の任意数Ｒを指定する。ステップＳ４０３０において、Ｒが０．５よりも大きければＰ（Ｉ）を所定値分だけ増加させ、Ｒが０．５以下であれば所定値分だけ減少させる。最適化アルゴリズムとしては、たとえば焼き鈍し法（Ｓｉｍｕｌａｔｅｄ  Ａｎｎｅａｌｉｎｇ  Ｍｅｔｈｏｄ）や遺伝アルゴリズム（Ｇｅｎｅｔｉｃ  Ａｌｇｏｒｉｔｈｍ）などを使用する。ステップＳ４０４０において、修正後の形状を更新する。ステップＳ４０５０において、Ｉ＝Ｍであるか否か判定する。Ｉ＝ＭでなければステップＳ４０２０に戻る。Ｉ＝Ｍであれば、ステップＳ４０６０に進む。
【００４１】
領域２における格子の高さｈは以下の式の範囲となる。
【００４２】
2004251957.tif 000013
ここでｎは基板の屈折率，ｎ０は出射光側の媒質の屈折率を示す。このとき高さｈが上記の式の範囲外となると１次回折効率が減少し、回折光学素子の集光強度が低下する。領域２において、格子高さがフレネルレンズの場合の一定の高さ
2004251957.tif 000014
から変化するのは、格子周期が波長に近い領域２においては格子構造内を進行中の位相変化を考慮する必要があるからである。すなわち、最終的な位相差が格子周期が波長に対して十分に大きな場合と異なってくる。その結果、位相差に釣り合いをとらせるために格子高さに変化を与える必要が生じる。
【００４３】
ステップＳ４０６０において、電磁波の厳密解析法を使用して回折効率を計算する。ステップＳ４０７０において、評価関数を算出する。評価関数φは、回折光の次数ｉごとに回折効率ηの計算値と目標値との差を求め、重みＷｉを付けて和を求めたものである。ステップＳ４０７０において、評価関数φの値が所定値未満であるか否か判断する。所定値未満でなければステップＳ４０２０に戻り、所定値未満であれば終了する。
【００４４】
図６は各々の格子周期に対する１次回折効率の依存性を計算にて求めた結果を示している。ａ）はＴＥ偏光を、（ｂ）ではＴＭ偏光の場合を示している。ここで、計算は電磁波の振舞いを厳密に再現するための手法として、厳密結合波解析（Ｒｉｇｏｒｏｕｓ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｗａｖｅ  Ａｎａｌｙｓｉｓ，  ＲＣＷＡ）を用いた。図６は従来技術の鋸型形状での結果と、１次回折効率が最大となるように上記の手順で最適化された形状での結果を併記している。なお、光学素子基板および出射回折光側の屈折率はそれぞれ１．５、１．０である。このとき、従来技術の鋸型形状では偏光方向にかかわらず周期が波長に対してきわめて長い場合、回折効率は約９０％以上の値を得ることができるが、周期が短くなっていくにつれて回折効率は徐々に低下し、周期が約２λ前後では２０％しか得られないことがわかる。一方、１次回折効率を高めるように最適化された形状においては、周期が波長に対して長い場合では、得られる回折効率は従来技術（鋸型形状）のそれとほとんど変わらない。しかし、最適化された形状では周期が短くなっても、ほぼ８０％程度を維持していることがわかる。
【００４５】
図６（ｃ）は入射光がＴＥ波とＴＭ波のそれぞれの偏光方向に対する１次回折効率の差を表している。従来技術（鋸型形状）は点線で、本発明による効果を実線で表示している。鋸型形状では周期が短くなるにつれて偏光による回折効率の差が最大２５％程度であるのに対して、最適化された形状では最大１３％程度となり、偏光方向による回折効率の依存性は鋸型形状と比較して小さい。このことは本発明の回折光学素子により、入射光の偏光方向に対する回折効率の依存性を改善できることを示している。
【００４６】
図７は領域２の格子形状を最適化したときの回折光学素子の断面形状および各々の地点での回折効率を示している。なお比較のため、従来技術による回折効率の結果も点線で示している。
【００４７】
領域２における格子断面形状は、変曲点を含む曲線で表わされ、鋸型形状の斜面よりも傾きが急な斜面を備える。図５の（ｂ）に示すように、光が格子形状の斜面の傾きが急な部分に入射すると、従来技術と比較して入射角が大きくなり、透過光が発生せず全反射する。全反射された光は隣り合う格子形状に再び入射し、このとき別の入射光と位相重ね合わせによる結合が行われ、繰り返し反射されて最終的に斜面に対してきわめて小さい角度で透過光（回折光）が出射される。この結果、回折効率が向上する。
【００４８】
ここで、「位相重ね合わせによる結合」とは、波の重ね合わせを意味する。全反射による光と直接入射による隣の入射光は互いに光強度の差が小さいため、格子斜面部における波の重ね合わせが有効に行われる。その結果、図５の（ｂ）に示すように、波の重ね合わせによって互いに強度を強めある条件を満たす波面が再び反射光として進行する。互いに強度を強めあうには振幅の方向が一致していることが必要となる。格子構造の形状条件としては、反射波が隣り合う入射波に会うまでの進行距離が波長以下である構造が最低限必要と考えられる。
【００４９】
なお、従来技術においても格子周期が波長と同程度の領域においては、上述の効果が確認されると考えられる。しかしながら、従来技術においては反射光の強度に比較して隣の入射光の強度が大きいため、波の重ね合わせは入射光に優勢に働き、図５の（ａ）に示すように、そのまま格子内へ０次光として通過し結果的に１次回折光の増加につながらない。
【００５０】
このように、本発明の格子形状により従来技術の鋸型形状よりも高い回折効率を有する回折光を得ることが可能となる。
【００５１】
図７に戻り、波長よりも十分に長い周期の格子構造が配置される領域１においては、従来技術と本発明による回折効率の値はほぼ同一であり、本発明による特徴的な差異はほとんど現われていない。しかしながら、周期の短い格子構造が配置されている領域２では、従来技術における格子構造では回折効率が領域１よりも大きく減少するが、本発明では回折効率の減少が従来技術よりも改善されている。このことは集光強度にも大きく影響し、従来技術では領域２の影響により十分な集光強度を維持することができないが、本発明による回折光学素子では集光強度を維持することが可能となる。これを端的に表したグラフが図８である。
【００５２】
図８では回折光学素子の集光強度を決定する因子である開口数に対して得られる回折効率の平均値を表している。点線部で示された従来技術による結果と比較して、本発明による結果は開口数が大きい場合においても高い回折効率を維持していることがわかる。したがって、従来技術よりも高性能な大きい開口数をもつ回折光学素子を実現することが可能であり、これを利用することによってより高い性能をもつ光学装置を提供することができる
図９は、本発明に係る回折光学素子を用いた光学系の一例を表している。光学系は、半導体レーザー（ＬＤ）から出射された光線が偏光ビームスプリッター（ＰＢＳ）および波長板（ＲＰ）を経由し本発明の回折光学素子によりディスク面上にスポットとして集光される。さらに、ディスク面上の微細構造で表現された記録層によって反射された光は、読取られた情報を含み、波長板と偏光ビームスプリッターを経由して受光器（ＰＤ）に光強度情報として受信される。このとき、ディスク面上の微細構造を高精度に読取るためには、集光強度が高く、また開口数の大きい光学素子を用いる必要がある。本発明に係る回折光学素子を用いることによって、従来よりも高性能な光学装置を実現することが可能である。
【００５３】
前述した回折光学素子の実施例では、入射光の偏光方向をＴＥ偏光であると仮定したが任意の偏光においても成立する。
【００５４】
また本発明の実施形態に係る回折光学素子の基板材料は、使用する波長領域において十分な透過域を有する材質であれば、ガラス、プラスチック、光学結晶などについて限定するものではない。
【００５５】
また、回折光学素子は半導体製造技術によるリソグラフィー技術（光源が紫外線、Ｘ線および電子ビームなど）や切削加工を用いて製造することができる。あるいは、連続的な形状をもつ回折光学素子であることからリソグラフィー技術や切削加工で原版を作り、金型を製作することによって、プラスチックやガラスなどによる大量生産を目的とする成形もできる。
【００５６】
このように、本発明の回折光学素子は、レンズと比較して球面収差を低下させ、また、周縁部において最適化させた格子構造を配置することにより集光効率を増加させ、従来技術の問題点である回折効率の低下を防ぐことができる。周縁部の集光効率の増加に伴って素子全体の集光効率が増加し、開口数の高い光学素子を実現することが可能となる。この結果、本発明の回折光学素子を用いることによって、従来の回折光学素子よりも光学系、光学装置の高性能化を図ることができ、また回折光学素子構造を使用可能とすることによって装置の軽量化と光学系の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の回折光学素子の平面図および断面図である。
【図２】回折光学素子の最小格子周期と開口数との関係を示す図である。
【図３】本発明の回折光学素子の設計手順を示す流れ図である。
【図４】本発明の回折光学素子の設計手順を示す流れ図である。
【図５】回折光の振る舞いを示す概念図である。
【図６】本発明および従来の回折光学素子における格子周期と回折効率との関係を示す図である。
【図７】本発明の回折光学素子の断面形状と１次回折効率を示す図である。
【図８】本発明の回折光学素子における開口数と回折効率との関係を示す図である。
【図９】本発明の回折光学素子を使用したピックアップ光学系を示す図である。
【図１】
2004251957.tif 000019
【図２】
2004251957.tif 000020
【図３】
2004251957.tif 000021
【図４】
2004251957.tif 000022
【図５】
2004251957.tif 000023
【図６】
2004251957.tif 000024
【図７】
2004251957.tif 000025
【図８】
2004251957.tif 000026
【図９】
2004251957.tif 000027