(57)【要約】【課題】ＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）で使用する複数のプローブホルダを着脱可能な複数のステージ用プローブホルダ装着部材に対して、複数のプローブホルダを同時に着脱できるようにすること。【解決手段】プローブ（５５，５６）を保持するプローブ保持部（５７）とステージ用プローブホルダ装着部材（２９）により保持されるステージ用被保持部（５８）と、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）により保持される搬送用被保持部（５９）とを有するプローブホルダ（ＰＨ）が着脱可能に装着される搬送用プローブホルダ装着部材（３６）は、搬送棒連結部（３７ｈ）と、複数の搬送用保持部材（４３）と、記ホルダ搬送棒（６１）の移動に応じて前記複数の搬送用保持部材（４３）を前記離脱位置に同時に移動させる離脱位置移動部材（５２）とを有する。【選択図】    図４
2004239876.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ０１）〜（Ａ０３）を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡、
（Ａ０１）直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダが着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔を有するステージ用試料ホルダ装着部材、
（Ａ０２）プローブを保持するプローブ保持部と搬送用プローブホルダ装着部材により保持される搬送用被保持部とステージ用被保持部とを有する複数のプローブホルダが、搬送用プローブホルダ装着部材により前記試料ホルダ装着孔を＋Ｚ側に貫通して同時に搬送されたときに、前記複数の各プローブホルダのステージ用被保持部をそれぞれ同時に着脱可能に保持するステージ用ホルダ保持部を有する複数のステージ用プローブホルダ装着部材、
（Ａ０３）複数のプローブホルダが前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材の各ステージ用ホルダ保持部にそれぞれ保持された状態で前記複数の各ステージ用プローブホルダ装着部材を＋Ｚ側に同時に移動させるホルダ装着時移動部材。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ０４）を備えたことを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡、
（Ａ０４）磁性材料製の前記ステージ用被保持部を着脱可能に保持する永久磁石により構成された前記ステージ用ホルダ保持部。
【請求項３】
下記の構成要件（Ｂ０１），（Ｂ０２）を備えたことを特徴とするプローブホルダ、
（Ｂ０１）複数のステージ用プローブホルダ装着部材の各ステージ用ホルダ保持部によりそれぞれ保持されるステージ用被保持部と、複数のプローブホルダを同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材の複数の各搬送用保持部材によりそれぞれ保持される搬送用被保持部と、プローブを保持するプローブ保持部とを有するプローブホルダ、
（Ｂ０２）永久磁石を有する前記ステージ用ホルダ保持部により着脱可能に吸着される磁性材料製の前記ステージ用被保持部。
【請求項４】
下記の構成要件（Ｂ０１），（Ｂ０３）を備えたことを特徴とするプローブホルダ、
（Ｂ０１）複数のステージ用プローブホルダ装着部材の各ステージ用ホルダ保持部によりそれぞれ保持されるステージ用被保持部と、複数のプローブホルダを同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材の複数の各搬送用保持部材によりそれぞれ保持される搬送用被保持部と、プローブを保持するプローブ保持部とを有するプローブホルダ、
（Ｂ０３）保持位置と離脱位置との間で移動可能で且つ保持位置に移動した時に前記プローブホルダを保持し且つ前記離脱位置に移動した時に前記プローブホルダから離脱する回転可能なフックにより構成された搬送用保持部材により着脱可能に保持される前記搬送用被保持部。
【請求項５】
下記の構成要件（Ｂ０４）を備えたことを特徴とする請求項４記載のプローブホルダ、
（Ｂ０４）直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダが着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔を有するステージ用試料ホルダ装着部材と前記試料ホルダ装着孔の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材とを有する走査型プローブ顕微鏡の前記試料ホルダ装着孔を、前記搬送用プローブホルダ装着部材の複数の各搬送用保持部材によりそれぞれ保持された複数のプローブホルダが同時に貫通可能且つ前記ステージ用プローブホルダ装着部材との間で同時に受渡し可能に構成された前記プローブホルダ。
【請求項６】
下記の構成要件（Ｃ０１），（Ｃ０２）を備えたことを特徴とする搬送用プローブホルダ装着部材、
（Ｃ０１）プローブを保持するプローブ保持部とステージ用プローブホルダ装着部材により保持されるステージ用被保持部と、搬送用プローブホルダ装着部材により保持される搬送用被保持部とを有するプローブホルダが着脱可能に装着される搬送用プローブホルダ装着部材、
（Ｃ０２）ホルダ搬送棒の進退移動により前記ホルダ搬送棒に連結・離脱可能な搬送棒連結部と、前記搬送用被保持部を保持する保持位置および前記搬送用被保持部から離脱した離脱位置の間で移動可能な複数の搬送用保持部材と、前記搬送用保持部材を前記保持位置に移動させる保持位置移動部材と、前記ホルダ搬送棒の移動に応じて前記複数の搬送用保持部材を前記離脱位置に同時に移動させる離脱位置移動部材とを有する前記搬送用プローブホルダ装着部材。
【請求項７】
下記の構成要件（Ｃ０３）を備えたことを特徴とする請求項５記載の搬送用プローブホルダ装着部材、
（Ｃ０３）前記保持位置および離脱位置の間で回転移動可能で、前記保持位置に移動したときに前記搬送用被保持部を保持し且つ前記離脱位置に移動したときに前記搬送用被保持部から離脱するフックにより構成される前記搬送用保持部材。
【請求項８】
下記の構成要件（Ｃ０４）を備えたことを特徴とする請求項５または６記載の搬送用プローブホルダ装着部材、
（Ｃ０４）直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダが着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔を有するステージ用試料ホルダ装着部材と前記試料ホルダ装着孔の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材とを有する走査型プローブ顕微鏡に対して、搬送用プローブホルダ装着部材に装着された複数のプローブホルダが＋Ｚ方向に搬送され且つ前記試料ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に接近した状態で、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材との間で複数のプローブホルダの受渡しを同時に行う前記複数の搬送用保持部材。
【請求項９】
直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダが着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔を有するステージ用試料ホルダ装着部材と前記試料ホルダ装着孔の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材とを有する走査型プローブ顕微鏡と、前記試料ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に接近可能で且つプローブホルダを保持する保持位置とプローブホルダから離脱した離脱位置との間で移動可能な複数の搬送用保持部材および前記複数の搬送用保持部材を前記保持位置と離脱位置との間で同時に移動させる移動部材を有する搬送用プローブホルダ装着部材との間でプローブホルダの着脱を行うポローブホルダ着脱方法において、下記の構成要件（Ｄ０１）を備えたことを特徴とするプローブホルダ着脱方法、
（Ｄ０１）前記ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に接近した前記ホルダ装着部材の複数の搬送用保持部材および前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材のうちの一方の複数の部材に装着された複数のプローブホルダを同時に離脱させると同時に他方の複数の部材に同時に装着させるプローブホルダ着脱方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＳＴＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  走査型トンネル顕微鏡）およびＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  原子間力顕微鏡）等のＳＰＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  走査型プローブ顕微鏡）、前記ＳＰＭで使用可能なプローブホルダおよびプローブホルダ装着部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＳＴＭ（走査型トンネル顕微鏡）またはＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  原子間力顕微鏡）等のＳＰＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  走査型プローブ顕微鏡）は、１つのチップ（プローブ（探針））またはプローブステージに１以上の複数のカンチレバー（プローブ（探針））を試料表面に近づけることにより得られるトンネル電流またはカンチレバーの変形等を利用して表面の凹凸や試料表面の原子配列等の情報、または試料表面の摩擦力の情報等を得るために使用されている。
前記ＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）で使用するプローブホルダ搬送部材としては、次の技術が従来公知である。
（１）特許文献１（特開２０００−２５８４３９号公報）記載の技術
この公報には、プローブホルダ７を操作棒９の先端に連結したホルダ保持手段１０によりスキャナ５に装着する技術が記載されている。
この公報記載の技術では、複数のプローブホルダを同時に使用して試料表面の観察、測定等を行うことができない。
【０００３】
前記ＳＰＭにおいて、試料表面の複数箇所を同時に計測したり観察したりする場合には、ステージ用試料ホルダ装着部材に近接して配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材に、それぞれプローブホルダを装着する必要がある。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２５８４３９号公報（要約の欄）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
複数のプローブホルダの着脱が可能な前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に、複数のプローブホルダを着脱する際、プローブホルダを１個づつ着脱すると、着脱作業に時間がかかる。したがって、プローブホルダの着脱作業の時間を短縮するためには、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材の各々にプローブホルダを同時に搬送し且つ、搬送した複数のプローブホルダを複数のステージ用プローブホルダ装着部材に同時に装着したり、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に装着された複数のプローブホルダを同時に離脱させて搬送することが可能な搬送用プローブホルダ装着部材が必要となる。
【０００６】
前述のような搬送用プローブホルダ装着部材および複数のステージ用プローブホルダ装着部材が有れば、一方のホルダ装着部材に装着された前記複数のプローブホルダを同時に離脱させて他方のホルダ装着部材に同時に装着させることが可能となり、着脱作業時間が短縮されて便利である。
【０００７】
本発明は、前述の問題点に鑑み、下記の記載内容（Ｏ０１），（Ｏ０２）を課題とする。
（Ｏ０１）ＳＰＭで使用する複数のプローブホルダを着脱可能な複数のステージ用プローブホルダ装着部材に対して、複数のプローブホルダを同時に着脱できるようにすること。
（Ｏ０２）複数のプローブホルダを同時に着脱可能な搬送用プローブホルダ装着部材を提供すること。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００９】
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明の走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）は、下記の構成要件（Ａ０１），（Ａ０２）を備えたことを特徴とする。
（Ａ０１）直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダ（ＳＨ）が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔（６ａ）を有するステージ用試料ホルダ装着部材（６）、
（Ａ０２）プローブ（５５，５６）を保持するプローブ保持部（５７）と搬送用プローブホルダ装着部材（３６）により保持される搬送用被保持部（５９）とステージ用被保持部（５８）とを有する複数のプローブホルダ（ＰＨ）が、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）により前記試料ホルダ装着孔（６ａ）を＋Ｚ側に貫通して同時に搬送されたときに、前記複数の各プローブホルダ（ＰＨ）のステージ用被保持部（５８）をそれぞれ同時に着脱可能に保持するステージ用ホルダ保持部（３２）を有する複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）、
（Ａ０３）複数のプローブホルダ（ＰＨ）が前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）の各ステージ用ホルダ保持部（３２）にそれぞれ保持された状態で前記複数の各ステージ用プローブホルダ装着部材（２９）を＋Ｚ側に同時に移動させるホルダ装着時移動部材（２２）。
【００１０】
（第１発明の作用）
前記構成を備えた第１発明の走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）では、ステージ用試料ホルダ装着部材（６）の試料ホルダ装着孔（６ａ）には、直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダ（ＳＨ）が着脱可能に装着される。
プローブ（５５，５６）を保持するプローブ保持部（５７）と搬送用プローブホルダ装着部材（３６）により保持される搬送用被保持部（５９）とステージ用被保持部（５８）とを有する複数のプローブホルダ（ＰＨ）が、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）により前記試料ホルダ装着孔（６ａ）を＋Ｚ側に貫通して同時に搬送されたときに、複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）の各ステージ用ホルダ保持部（３２）は、前記複数の各プローブホルダ（ＰＨ）のステージ用被保持部（５８）をそれぞれ同時に着脱可能に保持する。
複数のプローブホルダ（ＰＨ）が前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）の各ステージ用ホルダ保持部（３２）にそれぞれ同時に保持された状態で、ホルダ装着時移動部材（２２）は、前記複数の各ステージ用プローブホルダ装着部材（２９）を＋Ｚ側に同時に移動させる。このとき、前記搬送用プローブホルダ装着部材（３６）から複数の各プローブホルダ（ＰＨ）を同時に離脱させて複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）に同時に装着することができる。
【００１１】
前記第１発明の走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）において次の構成要件（Ａ０４）を備えることが可能である。
（Ａ０４）磁性材料製の前記ステージ用被保持部（５８）を着脱可能に保持する永久磁石により構成された前記ステージ用ホルダ保持部（３２）。
前記構成要件（Ａ０４）を備えた走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）では、永久磁石により構成された前記ステージ用ホルダ保持部（３２）は、プローブホルダ（ＰＨ）の磁性材料製のステージ用被保持部（５８）を着脱可能に保持する。
【００１２】
（第２発明）
第２発明のプローブホルダ（ＰＨ）は、下記の構成要件（Ｂ０１），（Ｂ０２）を備えたことを特徴とする。
（Ｂ０１）複数のプローブホルダ（ＰＨ）を同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の各搬送用保持部材（４３）によりそれぞれ保持される搬送用被保持部（５９）と、複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）の各ステージ用ホルダ保持部（３２）によりそれぞれ保持されるステージ用被保持部（５８）と、プローブ（５５，５６）を保持するプローブ保持部（５７）とを有するプローブホルダ（ＰＨ）、
（Ｂ０２）永久磁石を有する前記ステージ用ホルダ保持部（３２）により着脱可能に吸着される磁性材料製の前記ステージ用被保持部（５８）。
【００１３】
（第２発明の作用）
前記構成要件（Ｂ０１），（Ｂ０２）を備えた第２発明のプローブホルダ（ＰＨ）は、プローブ保持部（５７）によりプローブ（５５，５６）を保持する。複数のプローブホルダ（ＰＨ）の各ステージ用被保持部（５８）は、複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）の各ステージ用ホルダ保持部（３２）によりそれぞれ保持される。また、複数のプローブホルダ（ＰＨ）の各搬送用被保持部（５９）は、複数のプローブホルダ（ＰＨ）を同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の各搬送用保持部材（４３）によりそれぞれ保持される。
前記プローブホルダ（ＰＨ）のる磁性材料製の前記ステージ用被保持部（５８）は、永久磁石を有する前記ステージ用ホルダ保持部（３２）により着脱可能に吸着されて保持される。
【００１４】
（第３発明）
第３発明のプローブホルダ（ＰＨ）は、下記の構成要件（Ｂ０１），（Ｂ０３）を備えたことを特徴とする。
（Ｂ０１）複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）の各ステージ用ホルダ保持部（３２）によりそれぞれ保持されるステージ用被保持部（５８）と、複数のプローブホルダ（ＰＨ）を同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の各搬送用保持部材（４３）によりそれぞれ保持される搬送用被保持部（５９）と、プローブ（５５，５６）を保持するプローブ保持部（５７）とを有するプローブホルダ（ＰＨ）、
（Ｂ０３）保持位置と離脱位置との間で移動可能で且つ保持位置に移動した時に前記プローブホルダ（ＰＨ）を保持し且つ前記離脱位置に移動した時に前記プローブホルダ（ＰＨ）から離脱する回転可能なフック（４３）により構成された搬送用保持部材（４３）により着脱可能に保持される前記搬送用被保持部（５９）。
【００１５】
（第３発明の作用）
前記構成要件（Ｂ０１），（Ｂ０３）を備えた第３発明のプローブホルダ（ＰＨ）は、プローブ保持部（５７）によりプローブ（５５，５６）を保持する。複数のプローブホルダ（ＰＨ）の各ステージ用被保持部（５８）は、複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）の各ステージ用ホルダ保持部（３２）によりそれぞれ保持される。また、複数のプローブホルダ（ＰＨ）の各搬送用被保持部（５９）は、複数のプローブホルダ（ＰＨ）を同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の各搬送用保持部材（４３）によりそれぞれ保持される。
複数の前記プローブホルダ（ＰＨ）の各搬送用被保持部（５９）は、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の回転可能なフック（４３）により構成された搬送用保持部材（４３）によりそれぞれ着脱可能に保持される。前記フック（４３）により構成された搬送用保持部材（４３）は、保持位置と離脱位置との間で移動可能であり、前記プローブホルダ（ＰＨ）の搬送用被保持部（５９）はフック（４３）が前記保持位置に移動した時に保持され且つ前記離脱位置に移動した時に前記フック（４３）から離脱する。
【００１６】
（第２発明または第３発明の実施態様）
前記第２発明または第３発明のプローブホルダ（ＰＨ）において、下記の構成要件（Ｂ０４）を備えることが可能である。
（Ｂ０４）直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダ（ＳＨ）が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔（６ａ）を有するステージ用試料ホルダ装着部材（６）と前記試料ホルダ装着孔（６ａ）の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）とを有する走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）の前記試料ホルダ装着孔（６ａ）を、前記搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の各搬送用保持部材（４３）によりそれぞれ保持された複数のプローブホルダ（ＰＨ）が同時に貫通可能且つ前記ステージ用プローブホルダ装着部材（２９）との間で同時に受渡し可能に構成された前記プローブホルダ（ＰＨ）。
【００１７】
（第２発明または第３発明の実施態様の作用）
前記構成要件（Ｂ０４）を備えた第２発明または第３発明のプローブホルダ（ＰＨ）では、前記搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の各搬送用保持部材（４３）によりそれぞれ保持された複数のプローブホルダ（ＰＨ）は、直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された際に、試料ホルダ（ＳＨ）が着脱可能に装着される走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）のステージ用試料ホルダ装着部材（６）の試料ホルダ装着孔（６ａ）を貫通する。そして前記試料ホルダ装着孔（６ａ）を貫通した複数のプローブホルダ（ＰＨ）は、前記試料ホルダ装着孔（６ａ）の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）と、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）との間で同時に受渡しされる。
したがって、複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）に対する複数のプローブホルダ（ＰＨ）の着脱を同時に行うことができる。
【００１８】
（第４発明）
第４発明の搬送用プローブホルダ装着部材（３６）は、下記の構成要件（Ｃ０１），（Ｃ０２）を備えたことを特徴とする。
（Ｃ０１）プローブ（５５，５６）を保持するプローブ保持部（５７）とステージ用プローブホルダ装着部材（２９）により保持されるステージ用被保持部（５８）と、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）により保持される搬送用被保持部（５９）とを有するプローブホルダ（ＰＨ）が着脱可能に装着される搬送用プローブホルダ装着部材（３６）、
（Ｃ０２）ホルダ搬送棒（６１）の進退移動により前記ホルダ搬送棒（６１）に連結・離脱可能な搬送棒連結部（３７ｈ）と、前記搬送用被保持部（５９）を保持する保持位置および前記搬送用被保持部（５９）から離脱した離脱位置の間で移動可能な複数の搬送用保持部材（４３）と、前記搬送用保持部材（４３）を前記保持位置に移動させる保持位置移動部材（４４＋４５）と、前記ホルダ搬送棒（６１）の移動に応じて前記複数の搬送用保持部材（４３）を前記離脱位置に同時に移動させる離脱位置移動部材（５２）とを有する前記搬送用プローブホルダ装着部材（３６）。
【００１９】
（第４発明の作用）
前記構成要件（Ｃ０１），（Ｃ０２）を備えた第４発明の搬送用プローブホルダ装着部材（３６）では、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）は、プローブ（５５，５６）を保持するプローブ保持部（５７）とステージ用プローブホルダ装着部材（２９）により保持されるステージ用被保持部（５８）とを有するプローブホルダ（ＰＨ）の搬送用被保持部（５９）が着脱可能に装着される。
搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の搬送棒連結部（３７ｈ）には、ホルダ搬送棒（６１）の進退移動により前記ホルダ搬送棒（６１）が連結・離脱可能に連結される。
前記搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の保持位置および離脱位置の間で移動可能な複数の搬送用保持部材（４３）は、前記保持位置に移動したときに複数のプローブホルダ（ＰＨ）の搬送用被保持部（５９）を保持し、前記離脱位置に移動したときに前記搬送用被保持部（５９）から離脱する。保持位置移動部材（４４＋４５）は前記搬送用保持部材（４３）を前記保持位置に移動させる。離脱位置移動部材（５２）は、前記ホルダ搬送棒（６１）の移動に応じて前記複数の搬送用保持部材（４３）を前記離脱位置に同時に移動させる。
【００２０】
（第４発明の実施態様）
前記第４発明の搬送用プローブホルダ装着部材（３６）は、下記の構成要件（Ｃ０３）を備えることが可能である。
（Ｃ０３）前記保持位置および離脱位置の間で回転移動可能で、前記保持位置に移動したときに前記搬送用被保持部（５９）を保持し且つ前記離脱位置に移動したときに前記搬送用被保持部（５９）から離脱するフック（４３）により構成される前記搬送用保持部材（４３）。
前記構成要件（Ｃ０３）を備えた搬送用プローブホルダ装着部材（３６）では、前記保持位置および離脱位置の間で回転移動可能なフック（４３）により構成される前記搬送用保持部材（４３）は、前記保持位置に移動したときに前記プローブホルダ（ＰＨ）の搬送用被保持部（５９）を保持し且つ前記離脱位置に移動したときに前記搬送用被保持部（５９）から離脱する。
【００２１】
また、前記第４発明の搬送用プローブホルダ装着部材（３６）または前記構成要件（Ｃ０３）を備えた搬送用プローブホルダ装着部材（３６）は、下記の構成要件（Ｃ０４）を備えることが可能である。
（Ｃ０４）直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダ（ＳＨ）が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔（６ａ）を有するステージ用試料ホルダ装着部材（６）と前記試料ホルダ装着孔（６ａ）の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）とを有する走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）に対して、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）に装着された複数のプローブホルダ（ＰＨ）が＋Ｚ方向に搬送され且つ前記試料ホルダ装着孔（６ａ）を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）に接近した状態で、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）との間で複数のプローブホルダ（ＰＨ）の受渡しを同時に行う前記複数の搬送用保持部材（４３）。
【００２２】
前記構成要件（Ｃ０４）を備えた搬送用プローブホルダ装着部材（３６）は、直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダ（ＳＨ）が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔（６ａ）を有するステージ用試料ホルダ装着部材（６）と前記試料ホルダ装着孔（６ａ）の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）とを有する走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）に対して、搬送用プローブホルダ装着部材（３６）に装着された複数のプローブホルダ（ＰＨ）を＋Ｚ方向に搬送し且つ前記試料ホルダ装着孔（６ａ）を貫通させて前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）に接近させる。そして前記接近した状態で、前記複数の搬送用保持部材（４３）は、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）との間で複数のプローブホルダ（ＰＨ）の受渡しを同時に行う。
【００２３】
（第５発明）
第５発明のプローブホルダ着脱方法は、直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダ（ＳＨ）が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔（６ａ）を有するステージ用試料ホルダ装着部材（６）と前記試料ホルダ装着孔（６ａ）の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）とを有する走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）と、前記試料ホルダ装着孔（６ａ）を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）に接近可能で且つプローブホルダ（ＰＨ）を保持する保持位置とプローブホルダ（ＰＨ）から離脱した離脱位置との間で移動可能な複数の搬送用保持部材（４３）および前記複数の搬送用保持部材（４３）を前記保持位置と離脱位置との間で同時に移動させる移動部材（４４＋４５＋５２）を有する搬送用プローブホルダ装着部材（３６）との間でプローブホルダ（ＰＨ）の着脱を行うポローブホルダ着脱方法において、下記の構成要件（Ｄ０１）を備えたことを特徴とする。
（Ｄ０１）前記ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）に接近した前記搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の搬送用保持部材（４３）および前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）のうちの一方の複数の部材に装着された複数のプローブホルダ（ＰＨ）を同時に離脱させると同時に他方の複数の部材に同時に装着させるプローブホルダ着脱方法。
【００２４】
（第５発明の作用）
第５発明のプローブホルダ着脱方法では、直線に沿って設定されたＺ軸に沿って前記Ｚ軸の一端側の−Ｚ側から他端側の＋Ｚ側に搬送された試料ホルダ（ＳＨ）は、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）のステージ用試料ホルダ装着部材（６）の試料ホルダ装着孔（６ａ）に着脱可能に装着される。搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の搬送用保持部材（４３）は、前記試料ホルダ装着孔（６ａ）を貫通して、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）の前記試料ホルダ装着孔（６ａ）の＋Ｚ側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）に接近する。前記接近した位置において、移動部材（４４＋４５＋５２）により保持位置と離脱位置との間で移動する複数の搬送用保持部材（４３）は、前記保持位置において、プローブホルダ（ＰＨ）を保持し、離脱位置においてプローブホルダ（ＰＨ）から離脱する。
したがって、前記ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）に接近した前記搬送用プローブホルダ装着部材（３６）の複数の搬送用保持部材（４３）と前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材（２９）とは、一方の複数の部材に装着された複数のプローブホルダ（ＰＨ）を同時に離脱させると同時に他方の複数の部材に同時に装着させる。すなわち複数のプローブホルダ（ＰＨ）の着脱を同時に行うことができる。
【００２５】
【実施の形態】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【００２６】
（実施の形態１）
（走査型プローブ顕微鏡）
図１は本発明の実施の形態１のＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）の正断面図である。
図２は前記図１のＳＰＭの試料ステージの要部説明図で、図２Ａは前記図１の要部を示す図、図２Ｂは前記図２Ａの矢印ＩＩＢ−ＩＩＢから見た図で下面図である。
【００２７】
図１、図２において、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）の鏡筒１の下方にはＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）が配置されている。ＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）１は、ステージ支持部材２（図１の２点鎖線参照）を有しており、ステージ支持部材２には貫通孔２ａが形成されている。
前記ステージ支持部材２の上面には試料ステージＳＴが支持されている。試料ステージＳＴは、前記ステージ支持部材２の上面に支持される環状プレート３を有しており、前記環状プレート３の内周部上面にはステージ用試料ホルダ装着部材６が支持されている。
ステージ用試料ホルダ装着部材６は円板状の試料ホルダ装着部材本体７と前記試料ホルダ装着部材本体７の上面に固定されたリング状抜止プレート８とを有している。
【００２８】
前記試料ホルダ装着部材本体７には貫通孔７ａが形成されている。貫通孔７ａの下端部には内方に突出するリング状内方突出部７ｂが形成されており、前記リング状内方突出部７ｂには円周方向に１８０°離れた位置に一対の挿入用第１切除部７ｃ，７ｃが形成されている。また、前記リング状内方突出部７ｂには、前記挿入用第１切除部７ｃ，７ｃに対して円周方向に９０°離れた位置に挿入用第２切除部７ｄ，７ｄが形成されている。
前記リング状抜止プレート８には貫通孔８ａが形成されており、前記貫通孔８ａの内径はリング状内方突出部７ｂの内径よりも小さい。前記貫通孔７ａおよび８ａにより試料ホルダ装着孔６ａが構成されている。
【００２９】
前記リング状内方突出部７ｂには円周方向に９０°離れた位置に合計４個の長孔状の電極板挿入孔７ｅが形成されている。前記４個の電極板挿入孔７ｅは、前記４個の挿入用切除部７ｃ，７ｃ，７ｄ，７ｄの丁度中間に配置されている。
前記リング状内方突出部７ｂの下面には前記４個の電極板挿入孔７ｅに隣接してそれぞれ絶縁ブロック（図示せず）が固定されており、前記絶縁ブロックの下面には板バネ状の電極板１１が支持されている。電極板１１の先端は、前記電極板挿入孔７ｅを下面側から上面側に貫通して斜めに延びている。
前記符号３〜１１で示された要素により試料ステージＳＴが構成されている。
【００３０】
図１において前記環状プレート３の上面には左右一対のＹ軸ガイド１３，１３が固定されており、前記Ｙ軸ガイド１３，１３にはＹ軸スライダ１４，１４がＹ軸方向にスライド移動可能に支持されている。前記Ｙ軸スライダ１４，１４およびそれを移動させるスライダ移動機構は従来公知の種々の技術を使用可能である。なお、本実施の形態１の前記Ｙ軸スライダ１４，１４は圧電体（図示せず）にスライダ移動用パルスが印加される度にＹ軸方向（左右方向）に移動可能に構成されており、このような、スライダ駆動機構は市販されている。
【００３１】
前記Ｙ軸スライダ１４，１４の上面にはそれぞれＸガイド１６，１６が固定されており、前記Ｘ軸ガイド１６，１６にはＸ軸スライダ１７，１７がＸ軸方向（前後方向）にスライド移動可能に支持されている。前記Ｘ軸スライダ１７，１７は前記Ｙ軸スライダ１４，１４と同様に、圧電体（図示せず）にスライダ移動用パルスが印加される度にＸ軸方向に移動可能である。
【００３２】
前記Ｘ軸スライダ１７，１７の上面にはそれぞれＬ字型ブラケット１８，１８が固定されており、前記Ｌ字型ブラケット１８，１８の水平部１８ａ，１８ａの外端部にはそれぞれバランサ部分（バランス調節用の重り部分）１８ｂ，１８ｂが形成され且つバランサ１９，１９が固定されている。
前記Ｌ字型ブラケット１８，１８の鉛直部１８ｃ，１８ｃにはそれぞれＺ軸ガイド２１，２１が固定されており、前記Ｚ軸ガイド２１，２１にはＺ軸スライダ（ホルダ装着時移動部材）２２，２２がＺ軸方向（上下方向）にスライド移動可能に支持されている。前記Ｚ軸スライダ２２，２２は前記Ｙ軸スライダ１４，１４と同様に、圧電体（図示せず）にスライダ移動用パルスが印加される度にＺ軸方向に移動可能である。
【００３３】
前記Ｚ軸スライダ２２，２２の鉛直面にはそれぞれＬ字型のスキャナ連結ブラケット２３，２３が固定されており、前記スキャナ連結ブラケット２３，２３の水平部２３ａ，２３ａの下面には下方に突出する連結ブロック２４，２４が固定されている。前記各連結ブロック２４，２４の下端部には上側絶縁体２５，２５が固定されており、前記上側絶縁体２５，２５の下端部にはチューブ状圧電体２６，２６が下方に突出するように支持されている。前記チューブ状圧電体２６，２６の下端部には下側絶縁体２７，２７が固定されている。また、前記連結ブロック２４，２４および上側絶縁体２５，２５の外周面に固定された円筒状の電場シールド部材２８，２８は、前記チューブ状圧電体２６，２６き外側を被覆するように配置されている。
【００３４】
前記下側絶縁体２７，２７にはステージ用プローブホルダ装着部材２９，２９が固定されている。ステージ用プローブホルダ装着部材２９は、装着部材本体３１とその下面に固定したマグネット（ステージ用ホルダ保持部）３２と、下方に突出するガイドピン３３とを有している。
前記マグネット３２はプローブホルダＰＨ（図３により後述する）の被保持部の磁性材（鉄）を吸着するための部材である。
【００３５】
前記図１では、左右一対のステージ用プローブホルダ装着部材２９，２９が示されておりそれについて説明したが、実際には図１の画面に垂直なＸ軸方向（前後方向）にも前後一対のステージ用プローブホルダ装着部材２９，２９が設けられている。この図示されていない前後一対のステージ用プローブホルダ装着部材２９，２９は、前記左右一対のステージ用プローブホルダ装着部材２９，２９と同様に構成されており、それらを支持するＸ軸スライダ、Ｙ軸スライダ、Ｚ軸スライダ等の構成もほぼ同様である。
【００３６】
（搬送用プローブホルダ装着部材）
図３は本発明の実施の形態１の搬送用プローブホルダ装着部材の説明図であり、図３Ａは正断面図で後述の図３ＢのＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線断面図、図３Ｂは前記図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線断面図、図３Ｃは前記図３ＡのＩＩＩＣ−ＩＩＩＣ線断面図、図３Ｄは前記３Ａの矢印ＩＩＩＤから見た図である。
図４は本発明の実施の形態１の搬送用プローブホルダ装着部材に対するプローブホルダの着脱方法の説明図で、図４Ａはプローブホルダが装着されている状態を示す図、図４Ｂはプローブホルダを離脱させる状態を示す図である。
図３、図４において、搬送用プローブホルダ装着部材３６は、搬送用装着部材本体３７を有している。搬送用装着部材本体３７は、円筒壁３７ａと、前記円筒壁３７ａの上端部に形成された上端壁３７ｂと、前記上端壁３７ｂの中心部から下方に突出する棒状の中心軸部３７ｃと、前記円筒壁の下部から半径方向外側に突出する一対の第１突出部３７ｄ，３７ｄと、一対の第２突出部３７ｅ，３７ｅとを有している。前記上端壁３７ｂは中央部上面が円形に凹んで形成されている。前記突出部３７ｄ，３７ｄ、３７ｅ，３７ｅの上端面は前記リング状抜止プレート８の下面に当接して位置決めされる当り面として形成されている。
【００３７】
前記一対の第１突出部３７ｄ，３７ｄは円周方向に１８０°離れて配置されており、一対の第２突出部３７ｅ，３７ｅは前記第１突出部３７ｄ，３７ｄと円周方向に９０°離れた位置に配置されている。
前記上端壁３７ｂには円周方向に９０°離れた位置で且つ前記第１、第２突出部３７ｄ，３７ｄ、３７ｅ，３７ｅに対応した位置に合計４個のフック貫通孔３７ｆが形成されている。また、前記円筒壁３７ａには円周方向に９０°離れた位置に合計４個の連結ネジ孔３７ｇが形成されている。
前記棒状の中心軸部３７ｃの下端部には搬送棒連結部３７ｈが形成されており、搬送棒連結部３７ｈにはピン３８が軸に垂直に貫通して固定されている。したがって、ピン３８はその両外端部が棒状の搬送棒連結部３７ｈの外側面から突出している。
【００３８】
前記円筒壁３７ａの内側且つ前記中心軸部３７ｃの外側であってさらに前記上端壁３７ｂの下方の空間には肉厚円筒状のフック保持部材４０が収容されており、フック保持部材４０には前記４個の連結ネジ孔３７ｇに対応して４個のネジ貫通孔４０ａが形成されている。そして、搬送用装着部材本体３７とフック保持部材４０とは、前記ネジ貫通孔４０ａを貫通し且つ前記連結ネジ孔３７ｇに螺合する４個の連結ネジＮ１により、連結されている。
前記肉厚円筒状のフック保持部材４０の上端には、円周方向に９０°の間隔で一対の板状上方突出部４０ｂ，４０ｂが形成されている。一対の板状上方突出部４０ｂ，４０ｂは数ｍｍ離れて配置されており、それらの間にはロッド４１およびストッパ軸４２（図３Ｃ参照）が設けられている。
【００３９】
前記ロッド４１にはフック（搬送用保持部材）４３が回転可能に支持されており、フック４３の先端部４３ａは前記搬送用装着部材本体３７の上端壁３７ｂ（図３Ｂ参照）に形成されたフック貫通孔３７ｆを貫通して上方に突出可能である。フック４３には前記ストッパ軸４２が貫通するストッパ貫通孔４３ｂ（図３Ａ参照）が形成されており、ストッパ貫通孔４３ｂの内径は前記ストッパ軸４２の外径よりも少し大きく形成されている。このため、フック４３は前記ストッパ軸４２とストッパ貫通孔４３ｂとの間の遊び（隙間）の分だけ、前記ロッド４１回りに回転可能である。
図３Ａにおいて、フック保持部材４０には上下に延びる４個の保持位置移動部材収容孔４０ｃが形成されており、各保持位置移動部材収容孔４０ｃ内部には押込み棒４４および圧縮バネ４５が収容されている。前記フック保持部材４０の下端にはリングプレート４６が４本のネジＮ２により固定されている。したがって、前記保持位置移動部材収容孔４０ｃの下端はリングプレート４６により塞がれている。
【００４０】
前記保持位置移動部材収容孔４０ｃに収容された押込み棒４４は圧縮バネ４５により上方に押圧されており、押込み棒４４の上端部は前記フック保持部材４０の上端から上方に突出している。前記押込み棒４４の上端部は前記フック４３に当接して、フック４３を押圧している。前記押込み棒４４により押圧されるフック４３は、回転力（後述のプローブホルダＰＨを保持する位置（保持位置）に移動する回転力）を受けている。
前記押込み棒４４および圧縮バネ４５により、前記フック４３を保持位置（後述のプローブホルダＰＨを保持する位置）に移動させる保持位置移動部材（４４＋４５）が構成されている。
【００４１】
図４Ａ、図４Ｂにおいて、前記搬送用装着部材本体３７の中心軸部３７ｃの外側面には円筒状スライダ５１が軸方向にスライド可能に装着されており、前記円筒状スライダ５１の外側面には円筒状の離脱位置移動部材（前記フック４３を離脱位置（後述のプローブホルダＰＨを離脱させる位置に移動させる部材）５２がビス５３により上下方向（Ｚ軸方向）に一定距離だけスライド可能に支持されている。したがって、円筒状スライダ５１および離脱位置移動部材５２は、それらの一方が他方に対して前記一定距離だけ移動した後で前記中心軸部３７ｃの軸方向に一体的にスライド可能である。
前記円筒状スライダ５１の上端と前記搬送用装着部材本体３７の上端壁３７ｂ下面との間には圧縮コイルバネ５４が配置されている。前記圧縮コイルバネ５４により、前記円筒状スライダ５１は常時下方に押圧されており、その下端は前記ピン３８に当接している。
【００４２】
（プローブホルダＰＨ）
図３Ａ、図４において、前記搬送用装着部材本体３７の上端壁３７ｂの上面に着脱可能に装着されるプローブホルダＰＨが示されている。プローブホルダＰＨとしては、カンチレバーホルダＰＨ１またはチップホルダＰＨ２等が使用される。カンチレバーホルダＰＨ１はカンチレバー（プローブ）５５を保持するホルダであり、チップホルダＰＨ２はチップ（プローブ、探針）５６を保持するホルダである。
以後の説明では、プローブとしてカンチレバー５５を使用したものについて説明する。
前記プローブホルダＰＨは前記カンチレバー（プローブ）５５（図３Ａ参照）を保持するプローブ保持部５７を有している。
【００４３】
図４Ａ、図４Ｂにおいて、前記プローブホルダＰＨの上端部には磁性材料（鉄）により構成されたステージ用被保持部５８が設けられており、下端面には傾斜した被係止孔により形成された搬送用被保持部５９が設けられている。図３Ａにおいて、フック４３の先端部は前記搬送用装着部材本体３７の上端壁３７ｂの上面に突出して、プローブホルダＰＨの搬送用被保持部５９に係合している。この状態では前記フック４３によりプローブホルダＰＨは前記搬送用装着部材本体３７の上端壁３７ｂの上面に保持される。
なお、前記プローブホルダＰＨには前記ステージ用ホルダ装着部材２９のガイドピン３３（図１参照）が挿入されるピン挿入孔（図示せず）が形成されており、プローブホルダＰＨがステージ用ホルダ装着部材２９に装着される際には、前記ピン挿入孔（図示せず）が前記ガイドピン３３に嵌合し、ガイドされる。
【００４４】
（搬送棒）
図４Ａ、図４Ｂにおいて、ホルダ搬送棒６１はその上端部に前記搬送用装着部材本体３７の搬送棒連結部３７ｈが挿入されて嵌合する嵌合孔６１ａと、Ｕ字溝６１ｂとが形成されている。Ｕ字溝６１ｂは、前記ホルダ搬送棒６１により前記搬送用装着部材本体３７の下端を支持したときに、ピン３８が嵌合する溝である。前記ホルダ搬送棒６１により前記搬送用装着部材本体３７の下端を支持すると、前記圧縮コイルバネ５４は搬送用プローブホルダ装着部材３６の重量により僅かに圧縮される。前記圧縮により前記円筒状スライダ５１と一体的に移動する前記離脱位置移動部材５２は、前記フック４３に接近するが接触しない程度に圧縮コイルバネ５４の弾性が設定されている。
【００４５】
（ステージ用プローブホルダ装着部材２９へのプローブホルダＰＨの着脱）
図５はプローブホルダを装着した搬送用プローブホルダ装着部材をＡＦＭ（走査型プローブ顕微鏡）の試料ステージに搬送してから、ステージ用プローブホルダ装着部材を着脱位置に下降させた状態を示す図である。
図６は前記図５の状態で、プローブホルダを搬送用プローブホルダ装着部材から離脱させてステージ用プローブホルダ装着部材に装着させ、その後ステージ用ホルダ装着部材を上昇させてた後、搬送用プローブホルダ装着部材を試料ステージから後退させた状態を示す図である。
【００４６】
前記図４Ａの状態では、押込み棒４４およびそれを上方に押し上げる圧縮バネ４５により構成される４個の保持位置移動部材（４４＋４５）により、フック（搬送用保持部材）４３は、プローブホルダＰＨを保持する保持位置に移動している。すなわち図４Ａの状態では、４個の（複数の）プローブホルダＰＨは、前記保持位置に移動しているフック４３により、搬送用プローブホルダ装着部材３６に保持されている。
前記図４Ａの状態でホルダ搬送棒６１を上方に移動させて、前記搬送用プローブホルダ装着部材３６を上方に搬送する。その際、前記搬送用プローブホルダ装着部材３６の前記第１、第２突出部３７ｄ，３７ｄ、３７ｅ，３７ｅは、試料ホルダ装着部材本体７の挿入用第１および第２切除部７ｃ，７ｃ、７ｄ，７ｄ（図２参照）に挿入される。このとき、図５に示すように、搬送用プローブホルダ装着部材３６の上端に保持された（装着された）プローブホルダＰＨは前記ステージ用試料ホルダ装着部材６の試料ホルダ装着孔６ａを下側から上側に貫通する。
【００４７】
その状態でホルダ搬送棒６１を反時計方向に４５°回転させると、前記電極板挿入孔７ｅを下面側から上面側に貫通して斜めに延びている前記板バネ状の４個の各電極板１１の先端の上面に、前記搬送用プローブホルダ装着部材３６の第１、第２突出部３７ｄ，３７ｄ、３７ｅ，３７ｅの下面が当接する。前記板バネ状の４個の各電極板１１の先端部により、前記搬送用プローブホルダ装着部材３６の第１、第２突出部３７ｄ，３７ｄ、３７ｅ，３７ｅの下面が持ち上げられて、上面は前記リング状抜止プレート８の下面に押圧される。その状態は、搬送用プローブホルダ装着部材３６が試料ステージＳＴのステージ用試料ホルダ装着部材６の試料ホルダ装着孔６ａに装着された状態である。
この状態になるまで、前記ステージ用ホルダ装着部材２９はプローブホルダＰＨに接触しないように、前記Ｚ軸スライダ２２により上方位置に移動している。
【００４８】
その状態で前記Ｚ軸スライダ２２を下降させると、ステージ用プローブホルダ装着部材２９の下面のマグネット（ステージ用ホルダ保持部）３２はプローブホルダＰＨの上端の磁性材料製のステージ用被保持部５８に当接する。このとき図５に示すように、マグネット３２によりプローブホルダＰＨのステージ用ホルダ保持部５８は吸着される。
図５の状態でホルダ搬送棒６１を上方に移動させると、図４Ｂに示すように、前記圧縮コイルバネ５４が収縮して、離脱位置移動部材５２の上端が前記フック４３を上方に押圧する。このとき、４個の（複数の）前記保持位置移動部材（４４＋４５）により保持位置に移動していた４個のフック４３は、保持位置から回転して離脱位置に移動し、４個のフック４３の先端部は、前記プローブホルダＰＨの搬送用被保持部５９から同時に離脱する。
前記保持位置移動部材（４４＋４５）および前記離脱位置移動部材５２により、前記フック４３を保持位置および離脱位置に自動的に移動させる移動部材（４４＋４５＋５２）が構成されている。
【００４９】
その状態でスライダ２２を上昇させると、プローブホルダＰＨは搬送用プローブホルダ装着部材３６から離脱しステージ用プローブホルダ装着部材２９に装着される。
前述の搬送用プローブホルダ装着部材３６から複数のステージ用プローブホルダ装着部材２９へプローブホルダＰＨを移動させる手順と逆の手順で着脱操作を行うことにより、前記ステージ用プローブホルダに装着された４個のプローブホルダＰＨを、同時に離脱させて搬送用プローブホルダ装着部材３６に同時に装着することができる。
【００５０】
前記試料ステージＳＴの試料ホルダ装着部材６に装着した状態でプローブホルダＰＨを搬送用プローブホルダ装着部材３６からステージ用プローブホルダ装着部材２９に移動させた後で、前記搬送用プローブホルダ装着部材３６を試料ステージＳＴの試料ホルダ装着部材６から離脱させるには、前記装着時と逆方向（時計方向）にホルダ搬送棒６１を４５°回転させてから下降させる。そのとき、４個のプローブホルダＰＨは４個のステージ用プローブホルダ装着部材２９に装着された状態で、搬送用プローブホルダ装着部材３６のみ下方に移動する。
【００５１】
（ステージ用試料ホルダ装着部材６への試料ホルダＳＨの着脱）
図７は、ステージ用試料ホルダ装着部材とそこに装着された試料ホルダとを示す図である。
図７において、前記ＳＰＭの複数のステージ用プローブホルダ装着部材２９にそれぞれプローブホルダＰＨを装着した状態で、試料Ｓを保持した試料ホルダＳＨを前記ステージ用試料ホルダ装着部材６に装着する。このステージ用試料ホルダ装着部材６に対する試料ホルダＳＨの着脱方法は、前記ステージ用ホルダ装着部材６に対するプローブホルダＰＨの着脱方法と同じである。
前記図７に示す状態で、前記Ｙ軸スライダ１４、Ｘ軸スライダ１７およびＺ軸スライダ２２によりプローブホルダＰＨおよびプローブ５５の位置を移動させて試料Ｓに対するプローブ５５の位置決めを行い、その後、ＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）により試料Ｓ表面の観察または測定を行う。
なお、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）により、試料表面の観察を行うこともできる。
【００５２】
（変更例）
以上、本発明の実施の形態を詳述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施の形態を下記に例示する。
（Ｈ０１）前記図４〜図６の説明では、プローブホルダＰＨとしてカンチレバーホルダＰＨ１を同時に搬送してステージ用プローブホルダ装着部材２９に着脱させる例について説明したが、４個のチップホルダＰＨ２（図３Ａに１個図示）を同時に搬送して４個のステージ用プローブホルダ装着部材２９に着脱することが可能である。
【００５３】
【発明の効果】
前述の本発明の長尺シート用給紙装置は、下記の効果（Ｅ０１），（Ｅ０２）を奏することができる。
（Ｅ０１）ＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）で使用する複数のプローブホルダを着脱可能な複数のステージ用プローブホルダ装着部材に対して、複数のプローブホルダを同時に着脱することができる。
（Ｅ０２）複数のプローブホルダを同時に着脱可能な搬送用プローブホルダ装着部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施の形態１のＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）の正断面図である。
【図２】図２は前記図１のＳＰＭの試料ステージの要部説明図で、図２Ａは前記図１の要部を示す図、図２Ｂは前記図２Ａの矢印ＩＩＢ−ＩＩＢから見た図で下面図である。
【図３】図３は本発明の実施の形態１の搬送用プローブホルダ装着部材の説明図であり、図３Ａは正断面図で後述の図３ＢのＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線断面図、図３Ｂは前記図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線断面図、図３Ｃは前記図３ＡのＩＩＩＣ−ＩＩＩＣ線断面図、図３Ｄは前記３Ａの矢印ＩＩＩＤから見た図である。
【図４】図４は本発明の実施の形態１の搬送用プローブホルダ装着部材に対するプローブホルダの着脱方法の説明図で、図４Ａはプローブホルダが装着されている状態を示す図、図４Ｂはプローブホルダを離脱させる状態を示す図である。
【図５】図５はプローブホルダを装着した搬送用プローブホルダ装着部材をＡＦＭ（走査型プローブ顕微鏡）の試料ステージに搬送してから、ステージ用プローブホルダ装着部材を着脱位置に下降させた状態を示す図である。
【図６】図６は前記図５の状態で、プローブホルダを搬送用プローブホルダ装着部材から離脱させてステージ用プローブホルダ装着部材に装着させ、その後ステージ用ホルダ装着部材を上昇させてた後、搬送用プローブホルダ装着部材を試料ステージから後退させた状態を示す図である。
【図７】図７は、ステージ用試料ホルダ装着部材とそこに装着された試料ホルダとを示す図である。
【符号の説明】
ＰＨ…プローブホルダ、ＳＨ…試料ホルダ、ＳＴ…試料ステージ、
６…ステージ用試料ホルダ装着部材、６ａ…試料ホルダ装着孔、２２…ホルダ装着時移動部材、２９…ステージ用プローブホルダ装着部材、３２…ステージ用ホルダ保持部、３６…搬送用プローブホルダ装着部材、３７ｈ…搬送棒連結部、
４３…搬送用保持部材、５２…離脱位置移動部材、５５，５６…プローブ、５７…プローブ保持部、５８…ステージ用被保持部、５９…搬送用被保持部、６１…ホルダ搬送棒、
（４４＋４５）…保持位置移動部材。
【図１】
2004239876.tif 000003
【図２】
2004239876.tif 000004
【図３】
2004239876.tif 000005
【図４】
2004239876.tif 000006
【図５】
2004239876.tif 000007
【図６】
2004239876.tif 000008
【図７】
2004239876.tif 000009