(57)【要約】【課題】検査の際に測定回路に大電流を流すことなく、短時間で精度よくＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査することができるＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】検査装置２００は、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に対して所定レベルの電圧を印加する可変電圧源２０と、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の出力端子への印加電圧のレベルを可変する可変手段３０と、可変手段３０によってＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の出力端子への印加電圧のレベルを可変したときにＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００のスイッチのオン／オフを制御するオン／オフ制御信号の特性の変化点に対応する印加電圧を測定するためのモニタ（検出手段）４０とを備えている。【選択図】図１
2004304966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＤＣ／ＤＣコンバータ内に設けられているスイッチのオン／オフを制御するオン／オフ制御信号を出力するＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査するＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法であって、
ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの出力端子に所定レベルの電圧を印加するとともに、該電圧の印加に応じて前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの入力端子から出力されるオン／オフ制御信号をモニタした状態で、前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの出力端子への印加電圧のレベルを変化させていき、モニタしている前記オン／オフ制御信号の特性の変化点に対応する前記印加電圧のレベルを測定することにより、前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査することを特徴とするＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法。
【請求項２】
前記所定レベルの電圧は、前記ＤＣ／ＤＣコンバータの設定電圧よりも大きいレベルの電圧であり、
モニタしている前記オン／オフ制御信号がＬｏｗレベルのみから構成される状態からＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルとを含む状態に変化する変化点に対応する前記印加電圧のレベルを測定する請求項１に記載のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法。
【請求項３】
前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣは、ウェーハからの切り出し前のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣである請求項１又は２に記載のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法。
【請求項４】
ＤＣ／ＤＣコンバータ内に設けられているスイッチのオン／オフを制御するオン／オフ制御信号を出力するＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査するＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査装置であって、
ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの出力端子に所定レベルの電圧を印加する印加手段と、
前記印加手段によって印加される印加電圧のレベルを可変する可変手段と、
前記可変手段によって印加電圧のレベルを変化させたとき、該印加電圧のレベルに応じて出力される前記オン／オフ制御信号の特性の変化点を検出する検出手段とを備え、
前記検出手段の検出結果に基づいて、前記オン／オフ制御信号の特性の変化点に対応する前記印加電圧のレベルを測定することにより、前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査することを特徴とするＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査装置。
【請求項５】
前記可変手段は、前記所定レベルの電圧として前記ＤＣ／ＤＣコンバータの設定電圧よりも大きいレベル、あるいは小さいレベルの電圧を前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣに印加し、
前記電圧測定手段は、前記オン／オフ制御信号がＬｏｗレベルのみから構成される場合からＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルとを含む状態に変化する変化点に対応する前記印加電圧のレベルを測定する請求項４に記載のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査装置。
【請求項６】
前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣは、ウェーハからの切り出し前のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣである請求項４又は５に記載のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、負荷に供給される予定のエネルギーに応じて、ＤＣ／ＤＣコンバータのスイッチ素子のＯＮ／ＯＦＦ時間を決め、その負荷に応じて、目標電圧を切り替えるとともに、出力電圧と設定電圧との差に応じて、スイッチ素子のＯＮ／ＯＦＦ時間を補正するような技術が開示されている（例えば、特許文献１など）。
【０００３】
ところで、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査する方法としては、ウェーハからＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを切り出して、１つずつ実際にそのＩＣを動作させることにより、検査する方法が知られている。図６は、従来のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査する方法を説明するための等価回路図である。
【０００４】
この検査方法は、まず、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの入力端子１０９と出力端子１０８にプロービングニードルを接触させ、測定装置（検査装置）の入力端子２０１と出力端子２０７との間に大電流を印加し、ＦＥＴ（スイッチ）２０４をオン／オフ動作させ、その際にコイル２０２及びショットキー・ダイオード２０３を介して出力電圧を安定させ、ＤＣ／ＤＣコンバータの設定電圧が出力端子２０７から得られるか否かを測定するというものである。
【０００５】
このように、測定装置の出力端子２０７においてＤＣ／ＤＣコンバータに設定された電圧値（設定電圧）が得られれば、そのＤＣ／ＤＣコンバータは正常であるということになる。
【０００６】
しかしながら、この検査方法は、ＤＣ／ＤＣコンバータがフィードバックループを形成している関係上、実際にＤＣ／ＤＣコンバータを作動させると、ＤＣ／ＤＣコンバータの出力電圧のレベルを測定する際に長時間を要するという問題がある。
【０００７】
また、実際にＤＣ／ＤＣコンバータを作動させると、ＦＥＴ２０４のオン／オフの際にノイズが生じるため、測定したＤＣ／ＤＣコンバータの出力電圧のレベルには、ノイズが含まれることになり、このＤＣ／ＤＣコンバータの出力電圧を高精度に測定することが困難であるという問題もあった。
【０００８】
この問題点は、プロービングニードルを用いることでさらに顕著になっていた。すなわち、測定装置（検査装置）には大電流が流れるために、プロービングニードルの各端子へのコンタクト抵抗における電圧降下により、測定されたＤＣ／ＤＣコンバータの出力電圧が、測定すべき出力電圧と異なる場合があり、特に、プロービングニードルが長期又は過度の使用によって劣化していくと、出力電圧の測定精度がさらに低下してしまう。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００３−００９５１８号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、検査の際に測定回路に大電流を流す必要がなく、短時間で精度よくＤＣ／ＤＣコンバータＩＣを検査することができるＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法及び検査装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法は、
ＤＣ／ＤＣコンバータ内に設けられているスイッチのオン／オフを制御するオン／オフ制御信号を出力するＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査するＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法であって、
ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの出力端子に所定レベルの電圧を印加するとともに、該電圧の印加に応じて前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの入力端子から出力されるオン／オフ制御信号をモニタした状態で、前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの出力端子への印加電圧のレベルを変化させていき、モニタしている前記オン／オフ制御信号の特性の変化点に対応する前記印加電圧のレベルを測定することにより、前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査することを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、実際にＤＣ／ＤＣコンバータに作動させて測定装置（検査装置）に大電流を流す必要がないので、簡単かつ短時間にＤＣ／ＤＣコンバータＩＣを検査することができる。また、このように大電流を流さないので、プロービングニードルのコンタクト抵抗による出力電圧への影響を軽減でき、それによって、精度よくＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査することができる。
【００１３】
ここで、好ましくは、前記所定レベルの電圧は、前記ＤＣ／ＤＣコンバータの設定電圧よりも大きいレベルの電圧であり、
モニタしている前記オン／オフ制御信号がＬｏｗレベルのみから構成される状態からＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルとを含む状態に変化する変化点に対応する前記印加電圧のレベルを測定してもよい。
【００１４】
このように、オン／オフ制御信号の特性（Ｌｏｗレベルの信号からＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルとが含まれる信号への変化）が変化する変化点を容易に検出することができる。
【００１５】
また、好ましくは、前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣは、ウェーハからの切り出し前のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣである。
【００１６】
これにより、最終的にＩＣチップに製品化（ウェーハから切り出してモールドパッケージにする）する前に不良なＩＣチップを見付けることができるので、可能な限り早期に製造ラインからそのような不良なＩＣを取り除くことができ、それによって、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの製造コストを低減することができる。
【００１７】
また、上記課題を解決するために、本発明のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査装置は、
ＤＣ／ＤＣコンバータ内に設けられているスイッチのオン／オフを制御するオン／オフ制御信号を出力するＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査するＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査装置であって、
ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの出力端子に所定レベルの電圧を印加する印加手段と、
前記印加手段によって印加される印加電圧のレベルを可変する可変手段と、
前記可変手段によって印加電圧のレベルを変化させたとき、該印加電圧のレベルに応じて出力される前記オン／オフ制御信号の特性の変化点を検出する検出手段とを備え、
前記検出手段の検出結果に基づいて、前記オン／オフ制御信号の特性の変化点に対応する前記印加電圧のレベルを測定することにより、前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査することを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、実際にＤＣ／ＤＣコンバータに作動させて測定装置（検査装置）に大電流を流す必要がないので、簡単かつ短時間にＤＣ／ＤＣコンバータＩＣを検査することができる。また、このように大電流を流さないので、プロービングニードルのコンタクト抵抗による出力電圧への影響を軽減でき、それによって、精度よくＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査することができる。
【００１９】
ここで、好ましくは、前記可変手段は、前記所定レベルの電圧として前記ＤＣ／ＤＣコンバータの設定電圧よりも大きいレベル、あるいは小さいレベルの電圧を前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣに印加し、
前記電圧測定手段は、前記オン／オフ制御信号がＬｏｗレベルのみから構成される場合からＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルとを含む状態に変化する変化点に対応する前記印加電圧のレベルを測定するように構成されてもよい。
【００２０】
このように、オン／オフ制御信号の特性（Ｌｏｗレベルの信号からＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルとが含まれる信号への変化）が変化する変化点を容易に検出することができる。
【００２１】
また、好ましくは、前記ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣは、ウェーハからの切り出し前のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣである。
【００２２】
これにより、最終的にＩＣチップに製品化（ウェーハから切り出してモールドパッケージにする）する前に不良なＩＣチップを見付けることができるので、可能な限り早期に製造ラインからそのような不良なＩＣを取り除くことができ、それによって、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの製造コストを低減することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図５を参照して本発明に係るＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法及び検査装置の好適な実施形態について説明する。なお、この実施形態は例示として挙げるものであり、これにより本発明の内容を限定的に解釈すべきではない。
【００２４】
図１は、本発明の一実施形態におけるＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の検査装置２００の概略的なブロック図である。
【００２５】
この図１において、検査装置２００は、ウェーハ上に形成されているＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００を検査するものである。この検査装置２００は、可変電圧源２０（印加手段）と、可変手段３０とモニタ（検出手段を含む）４０とを備えている。なお、検出手段は、後述するように、オン／オフ制御信号の特性の変化点を検出するものである。
【００２６】
ここで、可変電圧源２０は、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の出力端子に接続され、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に電圧を印加するものである。可変手段３０は、可変電圧源２０からＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に供給する電圧のレベルを可変（変更）するものである。
【００２７】
また、モニタ４０は、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の入力端子に接続されるＦＥＴ２０４の駆動端子（図２参照）に接続され、可変電圧源２０の印加電圧に応じたＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００からの応答電圧に基づく駆動信号（オン／オフ制御信号（例えば、ＰＷＭ制御信号）を観測するものである。
【００２８】
図２は、図１に示すＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００及びＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００が接続されたＤＣ／ＤＣコンバータの等価回路図である。
【００２９】
図２に示すＤＣ／ＤＣコンバータは、ＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ  Ｗｉｄｔｈ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）制御方式を採用しているものである。ここで、ＰＷＭ制御方式は、発振周波数を固定して、入力電圧、負荷電流条件に応じてパルス幅を変化させることにより、出力電圧をコントロール（制御）する方式である。
【００３０】
すなわち、出力電圧のレベルと設定電圧のレベルと比較して、出力電圧のレベルが設定電圧のレベルより大きい場合には、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００から出力する駆動信号のパルス幅を狭くして出力電圧のレベルを下げ、逆に、出力電圧のレベルが設定電圧のレベルより小さい場合には、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００から出力する駆動信号のパルス幅を広くして出力電圧のレベルを上げている。このようにして、ＰＷＭ制御方式は、出力電圧のレベルを一定にするよう制御する方式である。
【００３１】
ここで、本実施形態では、図２に示すように、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００は、２つの抵抗素子１０１、１０２と、誤差増幅器１０３と、基準電圧源１０４と、ＰＷＭコンパレータ１０５と、三角は発振器１０６と、駆動回路１０７とから構成される。
【００３２】
２つの抵抗素子１０１、１０２は、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の出力電圧をその抵抗値の比により減圧し、その電圧が誤差増幅器１０３の非反転入力端子に入力される。誤差増幅器１０３は、この電圧レベル（節点Ｄの電位）と、基準電圧源１０４の基準電圧レベルとに基づいて、ＰＷＭコンパレータ１０５の反転入力端子に所定の電圧レベルを出力するものである。
【００３３】
三角波発振器１０６は、一定振幅で発振し続けて三角波を発生し、ＰＷＭコンパレータの非反転入力端子にこの三角波を入力するものである。ＰＷＭコンパレータ１０５は、この誤差増幅器１０３の出力電圧レベルと、三角波発振器１０６から出力される三角波の電圧レベルとを比較し、２値化信号を駆動回路１０７に出力するものである。この２値化信号が、ＰＷＭ制御におけるオン／オフ制御信号である。
【００３４】
次に、本実施形態のＤＣ／ＤＣコンバータの動作を説明する。ＤＣ／ＤＣコンバータは、入力端子２０１を通じて入力電圧が印加され、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００を介してフィードバックされることにより、ＦＥＴ２０４がオンすると、コイル２０２に電流ｉ１が流れ、コイル２０２にエネルギーがチャージされる。ＦＥＴ２０４がオンしてからオフするまでは、コイル２０２に流れる電流ｉ１は増加する。
【００３５】
そして、ＦＥＴ２０４がオフすると、ショットキー・ダイオード２０３がオンして、コイル２０２からコンデンサ２０５及び負荷抵抗２０６側に電流ｉ２が流れる。電流ｉ２は徐々に減少していき、所定時間経過後にコイル２０２から流れる電流はゼロとなり、ショットキー・ダイオード２０３はオフする。このＤＣ／ＤＣコンバータは、このようなサイクルを繰り返すものである。
【００３６】
この際、ＰＷＭ制御方式では、単位時間あたりの上記サイクルの回数を一定として、ＦＥＴ２０４のオン／オフ時間を制御して、出力端子２０７で一定レベルの出力電圧が得られるようにしている。
【００３７】
ＦＥＴ２０４のオン／オフ時間の制御は、以下のようにしている。すなわち、コンデンサ２０５及び負荷抵抗２０６側に流れる電流ｉ２が大きくなると、相対的に、出力端子１０８の出力電圧レベルが大きくなり、これに付随して２つの抵抗素子１０１、１０２にパラレルに接続されている誤差増幅器１０３の非反転入力端子と同電位である節点Ｄの電圧レベルも大きくなっていく。
【００３８】
そして、誤差増幅器１０３の非反転入力端子の電圧レベルが、誤差増幅器１０３の反転入力端子に接続されている基準電圧源１０４の基準電圧レベルを越えると、誤差増幅器１０３の出力端子と同電位である中点Ｂの電圧レベルも大きくなる。したがって、誤差増幅器１０３の出力端子と接続されているＰＷＭコンパレータ１０５の反転入力端子の入力電圧レベルが大きくなる。
【００３９】
ここで、ＰＷＭコンパレータ１０５の反転入力端子への入力電圧レベルよりも三角波発振器１０６からＰＷＭコンパレータ１０５の非反転入力端子に入力される三角波の電圧レベルが大きいとき、ＰＷＭコンパレータ１０５の出力端子と同電位である節点Ａの応答電圧がＨｉｇｈレベルとなる。後述するように、コンデンサ２０５及び負荷抵抗２０６側に流れる電流ｉ２が大きい場合には、駆動回路１０７から出力される駆動信号のパルス幅は狭くなり、したがって、ＦＥＴ２０４をオンする時間は短くなる。
【００４０】
反対に、コンデンサ２０５及び負荷抵抗２０６側に流れる電流ｉ２が小さくなると、相対的に出力端子１０８の出力電圧のレベルが小さくなり、２つの抵抗素子１０１、１０２にパラレルに接続されている誤差増幅器１０３の非反転入力端子の電圧レベルも小さくなる。
【００４１】
そして、誤差増幅器１０３の非反転入力端子の電圧レベルが、誤差増幅器１０３の反転入力端子に接続されている基準電圧源１０４の基準電圧レベルを下回ると、誤差増幅器１０３の出力端子の電圧レベルも小さくなる。すなわち、誤差増幅器１０３の出力端子と接続されているＰＷＭコンパレータ１０５の反転入力端子の入力電圧レベルが小さくなる。
【００４２】
そうすると、ＰＷＭコンパレータ１０５の反転入力端子への入力電圧レベルよりも三角波発振器１０６から非反転入力端子に入力される三角波の電圧レベルが大きい時間が長くなるので、後述するように、駆動回路１０７から出力される駆動信号のパルス幅は広くなり、したがって、ＦＥＴ２０４をオンする時間は長くなる。
【００４３】
図３は、ＰＷＭ制御時における図２に示すＡ点〜Ｃ点における電圧波形図の一例である。なお、図３に示す電圧波形図では、その横軸が時間ｔを、また、縦軸が電圧レベルＶを示している。
【００４４】
例えば、負荷が軽くなる（負荷抵抗２０６が小さくなる）ことにより出力電流が徐々に減少すると、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の出力電圧Ｖｏｕｔが上昇し、それに伴って誤差増幅器１０３の非反転入力端子と同電位である節点Ｄの電位が上がる。それにより、誤差増幅器１０３の出力端子（すなわち、中点Ｂ）の出力電圧レベルは上昇する。
【００４５】
三角波発振器１０６から出力される三角波の電圧レベルが誤差増幅器１０３の出力電圧レベルよりも大きい場合には、ＰＷＭコンパレータ１０５の出力電圧は、Ｈｉｇｈレベルとなり、ＦＥＴ２０４がオンの状態となる。図３から分かるように、誤差増幅器１０３の出力電圧レベルが上昇すると節点Ａにおける電圧がＨｉｇｈレベルになる期間が短くなる。それによって、入力端子２０１から出力端子２０７への電力供給が抑制され、出力電圧は低下する。
【００４６】
一方、負荷重くなる（負荷抵抗２０６が大きくなる）ことにより出力電流が増加し、出力電圧が下がると、上述のように、誤差増幅器１０３の非反転入力端子の電圧が低下することにより、その出力電圧が下がり、ＰＷＭコンパレータ１０５の出力がＨｉｇｈレベルである期間が長くなる。その結果、入力端子２０１から出力端子２０７への電力供給量が増え、出力電圧は再び上昇する。
【００４７】
次に、本発明の動作であるＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査方法を説明する。本実施形態では、図４に示すように、中点Ｂの電圧レベルを徐々に下げて、図５に示すように、ＰＷＭコンパレータ１０５の出力信号（すなわち、オン／オフ制御信号）がＨｉｇｈレベルになる変化点をモニタ４０を用いて検出し、そのときの出力電圧値に基づいて、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の検査を行うものである。
【００４８】
まず、可変手段３０及び可変電圧源２０により決定された、設定電圧のレベルよりも大きいレベルの電圧をＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に印加し、そのときのＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００から出力されるオン／オフ制御信号をモニタ４０により観測（測定）する（図４参照）。
【００４９】
この状態において、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００への印加電圧レベルを徐々に小さくし、モニタ４０で観測しているオン／オフ制御信号の特性の変化点を検出するとともに、その変化点に対応する印加電圧のレベルを測定することにより、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００を検査する。
【００５０】
すなわち、モニタ４０で観測しているオン／オフ制御信号の特性の変化点に対応する印加電圧レベル（可変電圧源２０からＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の出力端子１０８に印加している電圧のレベル）は、実際にＤＣ／ＤＣコンバータを作動させたときの出力電圧のレベルとほぼ等しい値となるので、測定した印加電圧のレベルと設定電圧のレベルとの比較に基づいて、検査対象のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００が正常であるか否か（不良品でないか）を検査することができる。
【００５１】
図４及び図５は、図１に示す可変手段３０によって可変電圧源２０からＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に印加する可変電圧のレベルを小さくする前後におけるＡ点〜Ｃ点における電圧波形図である。なお、図４及び図５に示す電圧波形図では、その横軸が時間ｔを、縦軸が電圧レベルを示している。
【００５２】
本実施形態では、まず、可変手段３０は、ＤＣ／ＤＣコンバータの設定電圧のレベルよりもやや大きいレベルの電圧を、実際にＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に対して印加するように可変電圧源２０に対して制御信号を出力する。
【００５３】
例えば、ＤＣ／ＤＣコンバータの設定電圧のレベルを３Ｖに設定する場合には、可変手段３０は、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に対して５Ｖの電圧を印加するように可変電圧源２０に制御信号を出力する。
【００５４】
可変電圧源２０は、可変手段３０から入力された制御信号にしたがって、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に可変電圧を印加する。
【００５５】
そして、図４に示すように、誤差増幅器１０３の出力端子の出力電圧レベルは、ＰＷＭコンパレータ１０５の非反転入力端子の入力電圧レベルに比べて大きいので、モニタ４０で観測するＰＷＭコンパレータ１０５の出力端子の応答電圧に基づく駆動信号はＬｏｗレベルで一定である。
【００５６】
次いで、モニタ４０で観測するＰＷＭコンパレータ１０５の出力端子の応答電圧に基づく駆動信号を観測している状態で、可変手段３０は、印加電圧のレベルを徐々に小さくするように可変電圧源２０に対して制御信号を出力する。
【００５７】
可変電圧源２０は、可変手段３０から入力された制御信号にしたがって、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００への印加電圧のレベルを徐々に小さくしていく。
【００５８】
そして、図４に示す誤差増幅器１０３の出力端子の出力電圧レベル（Ｂで示す電圧レベル）が徐々に小さくなり、やがて、ＰＷＭコンパレータ１０５の非反転入力端子へ入力される三角波発振器１０６により生成された三角波のトップレベルと同じになる。
【００５９】
ここで、モニタ４０で観測するＰＷＭコンパレータ１０５の出力端子の応答電圧が初めてＨｉｇｈレベルとなり、モニタ４０で観測するＰＷＭコンパレータ１０５の出力端子の応答電圧に基づく駆動信号にＨｉｇｈレベルが出現する（変化点）。以後、オン／オフ制御信号は、ＨｉｇｈレベルとＬｏｗレベルとを所定の割合で含む信号となる。
【００６０】
さらに、可変手段３０は、印加電圧のレベルを小さくさせる制御信号を可変電圧源２０に対して出力し続けると、図５に示すように、応答電圧にＨｉｇｈレベルとＬｏｗレベルが交互に出現するようになる。
【００６１】
上記のように、ＰＷＭコンパレータ１０５の出力端子の応答電圧が初めてＨｉｇｈレベルとなるとき、すなわち駆動信号が初めてＨｉｇｈレベルとなるときに、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に印加している電圧レベルが、実際にＤＣ／ＤＣコンバータを作動させたときの出力電圧のレベルとなるので、印加電圧のレベルが設定電圧のレベルに比較してずれている場合には、検査対象のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００は不良品であると考えられ、ウェーハからの切り出し後に製造ラインから取り除くことができる。これにより、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の製造コストを削減することができる。
【００６２】
このように、本発明の検査方法及び検査装置では、製品化した後のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の入／出力端子にプロービングニードルを接触させて、実際に入力端子から出力端子へ大電流を流すことなく、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００を検査することができるので、プロービングニードルの劣化を抑制することができるとともに、コンタクト抵抗による出力電圧の測定値への影響を軽減できる。
【００６３】
なお、本実施形態では、可変電圧源２０に対して、ＤＣ／ＤＣコンバータに設定している出力電圧のレベルよりも、やや大きいレベルの電圧を、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に対して印加し、印加電圧のレベルを徐々に小さくさせていき、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の入力電圧にＨｉｇｈレベルが初めて出現したときの印加電圧を測定する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、出力される三角波のトップレベルよりも小さいレベルの電圧を、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に対して印加し、印加電圧のレベルを徐々に大きくしていき、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の出力電圧がＬｏｗレベルだけとなるときの印加電圧を測定するようにしてもよい。あるいは、例えば、出力される三角波のボトムレベルよりも小さいレベルの電圧を、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に対して印加し、印加電圧のレベルを徐々に大きくしていき、ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００の出力電圧にＨｉｇｈレベルとＬｏｗレベルが含まれるときの印加電圧を測定するようにしてもよい。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、実際にＤＣ／ＤＣコンバータに作動させて測定装置（検査装置）に大電流を流す必要がないので、簡単かつ短時間にＤＣ／ＤＣコンバータＩＣを検査することができる。また、このように大電流を流さないので、プロービングニードルのコンタクト抵抗による出力電圧への影響を軽減でき、それによって、精度よくＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態におけるＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣの検査装置の概略的なブロック図である。
【図２】図１に示す検査装置による検査対象のＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣを含むＤＣ／ＤＣコンバータの等価回路図である。
【図３】ＰＷＭ制御時における図２に示すＡ点〜Ｃ点における電圧波形図の一例である。
【図４】図１に示す可変手段３０によって可変電圧源２０からＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に印加する可変電圧のレベルを小さくする前後に亘るＡ点〜Ｃ点における電圧波形図である。
【図５】図１に示す可変手段３０によって可変電圧源２０からＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ１００に印加する可変電圧のレベルを小さくする前後に亘るＡ点〜Ｃ点における電圧波形図である。
【図６】従来のＤＣ／ＤＣコンバータから得られる出力電圧のレベルを測定する手法を説明するための等価回路図である。
【符号の説明】
１００      ＤＣ／ＤＣコンバータ制御用ＩＣ
１０１、１０２      抵抗素子
１０３      誤差増幅器
１０４      基準電圧源
１０５      ＰＷＭコンパレータ
１０６      三角波発振器
１０７      駆動回路
１０８      入力端子
１０９      ＦＥＴ駆動端子
２００      検査装置（測定装置）
２０        可変電圧源
３０        可変手段
４０        モニタ
２０１      入力端子
２０２      コイル
２０３      ショットキー・ダイオード
２０４      ＦＥＴ
２０５      コンデンサ
２０６      負荷抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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