(57)【要約】【課題】  金属の導電路の領域の平形リボンケーブルの絶縁体の厚さを測定する。【解決手段】  金属の導電路１２の領域における平形リボンケーブル１０の絶縁体１４の厚さ測定方法であって、平形リボンケーブル１０の一方の側がＸ線ビーム３０で照射され、平形リボンケーブル１０のその同じ側または反対側の検出器２６が各導電路１２から発射されるＸ線ルミネセンス放射４０の強度を測定し、検出器２６がＸ線放射に対して遮蔽される。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属の導電路の領域における平形リボンケーブルの絶縁体の厚さ測定方法であって、平形リボンケーブルの一方の側がＸ線ビームで照射され、平形リボンケーブルのその同じ側または反対側の検出器が各導電路から発射されるＸ線ルミネセンス放射の強度を測定し、Ｘ線ルミネセンス検出器がＸ線放射に対して遮蔽されることを特徴とする方法。
【請求項２】
平形リボンケーブルに入射するＸ線ビームのケーブル横方向エリアの広がりが導電路と導電路間の絶縁体の各幅に対して小さく、Ｘ線ビームが平形リボンケーブルの長さ方向を横切るように平形リボンケーブル上を移動させることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
横方向にＸ線ビームが移動され、その方向に平形リボンケーブルがある程度静止しているままであり、Ｘ線ルミネセンス検出器がＸ線ビームとともに移動されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
Ｘ線ビームが平形リボンケーブルに対して横方向に集束されるか、あるいはコリメータによってその広がりが制限されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
Ｘ線ルミネセンス検出器の感知エリアの大きさが平形リボンケーブル上のＸ線ビーム入射エリアの数倍であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
Ｘ線放射の強度が、Ｘ線検出器によって平形リボンケーブルの反対側で測定されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
平形リボンケーブルのエッジの位置がＸ線検出器で決定されることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
平形リボンケーブルの導電路の位置がＸ線検出器で決定されることを特徴とする請求項６または７に記載の方法。
【請求項９】
平形リボンケーブルの隣接導電路間およびエッジ領域の絶縁体の厚さがＸ線検出器によって決定されることを特徴とする請求項６から８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
平形リボンケーブルの全厚が導電路の領域で決定されることを特徴とする請求項６から９のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
平形リボンケーブルの側縁の位置が別のエッジ検出器によって決定されることを特徴とする請求項６から１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
金属の導電路の領域における平形リボンケーブルの絶縁体の厚さ測定装置であって、Ｘ線源（２２）が設けられ、そのＸ線ビーム（３０）が平形リボンケーブル（１０）の一方の側に向けられ、Ｘ線ルミネセンスを感知する検出器（２６）が平形リボンケーブル（１０）の同じ側および／または反対側に設けられ、前記検出器がルミネセンス放射の強度評価用の評価装置につながれていることを特徴とする装置。
【請求項１３】
Ｘ線ルミネセンスを感知する検出器（２６）が平形リボンケーブルの、Ｘ線源と同じ側に配置され、金属製の板またはシート（８０）が平形リボンケーブルの反対側に配置されることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
Ｘ線源（２２）と平形リボンケーブル（１０）の間に、平形リボンケーブル（１０）の横方向に小さな広がりをもつＸ線ビーム（３０）を生成する手段が設けられることを特徴とする請求項１２または１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記手段がコリメータまたはＸ線放射を集束させる装置によって形成されることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
Ｘ線ビームが平形リボンケーブルのより大きいエリアを照射するとともに、平形リボンケーブルの横方向の検出器（２６）の受信エリアが一度に平形リボンケーブルの小さな領域だけを見るようにする手段が平形リボンケーブルと検出器の間に配置されることを特徴とする請求項１２または１３に記載の装置。
【請求項１７】
搬送装置が平形リボンケーブル（１０）を第１方向に前進させ、Ｘ線源（２２）の支持体（２０）が第１方向を横切る第２方向に移動され、検出器（２６）の支持体が第１の支持体（２０）と同期して移動されることを特徴とする請求項１２から１６のいずれかに記載の装置。
【請求項１８】
Ｘ線源（２２）と検出器（２６）が共通の支持体（２０）に取り付けられるとともに、平形リボンケーブルの横方向視で平形リボンケーブルの非常に狭いエリア部分から生じるＸ線ルミネセンス放射のみを一度に検出器（２６）の感知エリアが受けるように、Ｘ線ビームと検出器（２６）が形成されることを特徴とする請求項１２から１７のいずれかに記載の装置。
【請求項１９】
平形リボンケーブル（１０）の長さ方向のＸ線ビーム（３０）の広がりが横方向の数倍になるように、コリメータまたは集束させる装置が形成されることを特徴とする請求項１５から１８のいずれかに記載の装置。
【請求項２０】
Ｘ線検出器（２４）が平形リボンケーブルのＸ線源（２２）と反対の側に配置され、前記検出器がルミネセンス放射の強度評価用の評価装置につながれていることを特徴とする請求項１２から１９のいずれかに記載の装置。
【請求項２１】
Ｘ線検出器（２４）が走査方向に点状の受信エリアを持つことを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
Ｘ線検出器がラインセンサーであることを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２３】
別のエッジ検出器が設けられていることを特徴とする請求項１２から２２のいずれかに記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電路領域の平形リボンケーブルの絶縁体厚さの測定方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
平形リボンケーブルは、特に自動車産業でその使用が増している。平形リボンケーブルは複数のストランド形の平坦な導電路を形成し、それらは狭い間隔で並置されて絶縁材内に埋め込まれる。個々の導電路の幅は用途によって異なり、例えば０．５〜２０ｍｍである。導電路の厚さはほぼ等しく、通常０．２ｍｍである。平形リボンケーブルの全厚は、平坦な導体の厚さと、両側に設けられる絶縁体の厚さの合計である。絶縁層の典型的な厚さは０．１５ｍｍである。したがって、平形リボンケーブルの全厚は約０．５ｍｍである。
【０００３】
そのような平形リボンケーブルは、自動組付け、つまり他のワイヤ、プラグ等との自動接着が可能であるという利点を持つ。これを行うために、絶縁囲い内で導電路を正確に位置づけることが不可欠である。しかしながら、ユーザーにとっては、特に導電路の上下箇所で絶縁層の厚さが所定の値を持っているかを知ることも重要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって、本発明の目的は、金属の導電路の領域の平形リボンケーブルの絶縁体の厚さの測定方法と装置を提供することにある。更に、平形リボンケーブルの絶縁体の内部の導電路の位置決定が、発明による方法の助けによって可能になるように意図される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的は特許クレーム１の特徴によって達成される。
【０００６】
発明による方法では、平形リボンケーブルの一方の側がＸ線ビームで照射され、平形リボンケーブルの同じ側および／または反対側に検出器が配置される。検出器は導電路から生じるＸ線ルミネセンス放射を感知し、Ｘ線ルミネセンス放射の強度を測定する。遮蔽によって、一次Ｘ線放射が検出器に入射することが阻止される。
【０００７】
平形リボンケーブルの導電路が例えば３５〜１００ｋｅＶの中程度エネルギーのＸ線で照射されると、より低いエネルギー帯の二次放射線が金属の導電路中に生成される。この放射線はＸ線ルミネセンス放射と呼ばれる。銅の導体の場合、それは本質的に８ｋｅＶ程度である。Ｘ線ルミネセンス放射は絶縁層を透過し、検出器に受け止められる。たとえ絶縁層が比較的薄くても、二次放射線はかなり減衰する。ルミネセンス放射に対する絶縁材の特異吸収値が分かっている場合、この減衰は絶縁体の肉厚の尺度であって、肉厚の線形の尺度に直接変換することができる。
【０００８】
上記構成の助けで、導電路と絶縁体の差を測定するも可能である。上記ルミネセンス放射が導電路で生成されて検出器によって測定される一方、そのような二次放射は隣接導電路間の単なる絶縁体の領域で検出することはできない。したがって、上記測定方法で、導電路の側面位置も決定することができる。このためには、下記のような別の評価手段もある。
【０００９】
発明による方法を達成するための種々の構成が考えられる。その１つは、平形リボンケーブルに入射するＸ線ビームのケーブル横方向エリアの広がりを、導電路と導電路間の絶縁体の各幅に対して小さく維持することである。Ｘ線ビームと平形リボンケーブルの相対移動を生じさせ、これによってＸ線ビームが平形リボンケーブルの全幅を走査する。ルミネセンス放射の比較的低い強度のために、検出器の受信エリアを比較的大きくとる。しかし、狭いＸ線ビームによって生成される放射線だけが受信エリアに入射する。実際、Ｘ線源を静止させておいて、Ｘ線ビームを横切って平形リボンケーブルを移動させることが考えられるが、平形リボンケーブルをその横方向にほぼ静止させ、Ｘ線源およびＸ線ビームを移動させる方が望ましい。同時に平形リボンケーブルをその長さ方向に移動させることができるものとする。
【００１０】
できるだけ高い空間分解能を達成するためには、平形リボンケーブルに入射するＸ線ビームのケーブル横方向エリアの広がりを導電路の幅に対して小さくする必要がある。このためには、コリメータまたはＸ線ビームを集束させる装置を設けることが望ましい。その両方ともそれ自体、Ｘ線技術において公知の手段である。
【００１１】
一方では高分解能を得て、他方では二次放射線の十分なエネルギーを検出器に得させるために、発明の１つの実施例では、平形リボンケーブルの長さ方向のＸ線ビームの広がりが、その横方向よりも大きく、好ましくは著しく大きい。
【００１２】
走査モードでの作動の場合、そのような構成の助けによって導電路のエッジ位置を判定することができると既に述べた。発明の１つの実施例では、平形リボンケーブルのＸ線源とは反対側に配置される一次放射線用のＸ線検出器の助けによってこれが達成されることが望ましい。当然、受信Ｘ線強度は、導電路の領域または絶縁体の領域で平形リボンケーブルを透過するか否かによって異なる。したがって、平形リボンケーブルの幅に対する導電路の位置を判定することは容易である。そのような構成の助けで、平形リボンケーブルの全厚を測定することも可能である。平形リボンケーブル外の領域と絶縁体の領域の測定強度の差は、平形リボンケーブルの全厚の尺度である。更に、隣接導電路間の絶縁体の厚さが減少しているか、例えば縮みによって「収縮している」か、も検出することができる。
【００１３】
導電路の位置は平形リボンケーブルの側縁に当然影響する。上記構成の助けで側縁も判定でき、これによって側縁に対する導電路および導電路間の部分の残りの位置を判定することができる。平形リボンケーブルの側縁を正確に判定することの助けとして別のエッジ検出器を設けることは有利かもしれない。このために、簡単な光学構成を使用してもよい。そのようなエッジ検出器は、測定時に測定誤差を生じるような平形リボンケーブルの横移動を補償することを可能にする。
【００１４】
点状または平形リボンケーブルの長さ方向に線状のＸ線ビームで平形リボンケーブルが照射される場合、既に述べたようにＸ線ルミネセンス用検出器の受信エリアを大きくすることができる。しかし、別案として、平形リボンケーブルに比較的大径のＸ線ビームを向け、同時に受信検出器の視野を小さくしておくことも可能である。つまり検出器が単なる点状または線状に走行方向を横切って平形リボンケーブルを走査する可能性を作り出す。そのような場合、導電路の位置測定用のＸ線検出器はライン検出器として実現することができる。
【００１５】
発明の方法を実行するための発明の装置は、適切な支持体に取り付けられるＸ線源を含む。同じ支持体にＸ線ルミネセンス用の検出器も取り付けることができるが、平形リボンケーブルを走査するために平形リボンケーブルの長さ方向つまり移動方向を横切って支持体が移動することができるような構成にすることが望ましい。Ｘ線検出器を反対側に追加配置する場合、それが特に１つまたはいくつかの点状レシーバからなる場合、それも同期して移動されることになる。しかし、Ｘ線検出器がケーブルの幅を横切って延びるライン検出器として実現される場合であって、Ｘ線源がルミネセンス検出器とともにケーブルの移動方向を横切って移動する場合、ライン検出器は静止したままでもよい。ケーブルが比較的大径のＸ線で照射される場合、Ｘ線ルミネセンス用の検出器だけがケーブルの横方向に走査移動を行なうよう、Ｘ線源も静止していてもよい。
【００１６】
Ｘ線源およびＸ線ルミネセンス検出器が平形リボンケーブル一方の側に位置し、銅などの金属製の板またはシート等のＸ線は通さないが刺激可能な構成が平形リボンケーブルの反対側に設けられる場合、絶縁体の全厚と同様に導電路上の絶縁体の肉厚をも測定することができる。Ｘ線放射は銅シート中で二次放射ないしルミネセンスを誘発し、それは導電路外の領域の絶縁体を透過して、減衰状態でルミネセンス検出器によって受けられる。
【００１７】
発明の装置用として、平形リボンケーブルの個々のパラメータを決定するために検出器の測定信号を評価する評価装置が構想に含まれることを理解されたい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、平形リボンケーブルの一方の側がＸ線ビームで照射され、平形リボンケーブルの同じ側および／または反対側に検出器が配置され、この検出器が、導電路から生じるＸ線ルミネセンス放射を感知し、Ｘ線ルミネセンス放射の強度を測定することにより、導電路の領域の絶縁体の厚さを測定することができる。また、Ｘ線ルミネセンス放射は、導電路の領域で検出され、導電路間の誘電体領域では検出されないので、Ｘ線ルミネセンス放射の強度を測定することにより、平形リボンケーブルの絶縁体の内部の導電路の位置を決定することができる。
【実施例】
【００１９】
以下、図示の実施例を参照して、発明をより詳細に説明する。
【００２０】
図１は平形リボンケーブル１０の概略横断面である。それは、幅は異なるが等しい厚さの、例えば銅製の５つの平坦な導電路１２を持ち、それらは共通面内で互に間隔をおいて配置されている。平坦な導体１２は絶縁体１４内に埋め込まれている。
【００２１】
平形リボンケーブル１０は、図示しない搬送装置によって図面に直交する方向に送られる。したがって、Ｕ字型の支持体２０の分岐部１６、１８の間を移動する。上側の分岐部１６にはＸ線源２２が設けられる。下側の分岐部１８には、Ｘ線源２２に対向するＸ線検出器２４が設けられている。上側分岐部１６には、Ｘ線源から距離をおいてＸ線ルミネセンス検出器２６が配置されている。
【００２２】
Ｘ線源２２は単に概略的に示されている。それは平形リボンケーブル１０の面にほぼ直交するＸ線ビーム３０を生成する。Ｘ線ビーム３０は平形リボンケーブル１０の横方向にごくわずかな広がりを持つが、平形リボンケーブルの長さ方向の長方形になり、その結果、平形リボンケーブル１０に線状の入射エリアが生じる。
【００２３】
Ｘ線検出器２４は非常に小さい受信エリア（線状）を備えている。いくつかの線状センサも考えられる。ルミネセンス検出器２６の受信エリアはそれより大きい。
【００２４】
測定時に、支持体２０は図示しない駆動装置によって双方向矢印３２の方向に往復移動され、これによってＸ線ビーム３０が平形リボンケーブル２０の全幅を横切って揺動する。この揺動は、平形リボンケーブル１０が定速前進するときに、連続的に往復する。
【００２５】
導電路１２は金属、例えば銅からなる。銅はＸ線の透過率が非常に低い。導電路１２間には絶縁体だけが存在し、それはＸ線透過率が高い。したがって、Ｘ線ビーム３０が平形リボンケーブル１０の幅を横切ると図２の図表となり、そこでは受信Ｘ線ビームの強度が平形リボンケーブル１０の幅Ｂに従って表されている。これにより生成されたパルス３４は、隣接した導電路１２の間隔における強度を表わす。導電路１２の領域では、図２で比較的強い遮断が生じ、その測定強度は約２５％と低い。したがって、パルスのエッジ３６は平形リボンケーブル１０の側縁に対する導電路１２の位置を正確に表わす。図表中のゼロ点が平形リボンケーブル１０の側縁に相当する場合、エッジ３６の位置と、それに伴う導電路１２の位置との基準が得られる。したがって、上記測定装置の助けで、平形リボンケーブルの生産において導電路１２が所定位置に配置されているかを判断することができる。Ｘ線検出器２４の信号の評価用に適切な評価装置を備えなければならないことが理解されるが、それはここで示されていない。
【００２６】
１００％の強度レベルからのパルス３４の距離が、導電路間の絶縁体の全厚ｗｄ１に相当する。
【００２７】
Ｘ線が例えば金属に入射すると二次放射が誘発され、それが入射箇所から発射される。これは図１中４０で示される。発射された放射線つまりＸ線ルミネセンス放射線はＸ線ビーム３０より著しく低いエネルギーレベルにある。従って、放射線４０は導電路１２上に位置する絶縁層によってある程度吸収される。検出器２６はエネルギーの弱い放射線を利用可能な信号に変換するために比較的大きな受信エリアを備えている。
【００２８】
図３は、このルミネセンス放射線の強度を平形リボンケーブル１０の幅の上に表している。導電路１２が存在する領域でパルス４２が発生し、導電路１２間の単に絶縁体がある場所ではパルス間のパルスギャップになり、もちろんルミネセンスは生成しない。絶縁体のない強度レベル４３からのパルス４２の距離は、導電路上の絶縁体の肉厚ｗｄ２に相当する。
【００２９】
導電路１２上の絶縁体の厚さに加えて、導電路の位置を判定する場合、Ｘ線検出器２４を省略して、検出器２６のみで実行することが考えられる。しかし、そのような構成の助けによって、平形リボンケーブル１０あるいはその絶縁体の厚さを測定することはできない。
【００３０】
Ｘ線ビーム３０と検出器２６の間に遮蔽を設けなければならず、それはＸ線が検出器２６に入射することを妨げる。
【００３１】
さらに、図１中に破線で示すように、検出器２６に相当する別の検出器を分岐部１８に設けることも可能である。これは、Ｘ線ビーム３０が下側の銅製導体を透過した後でも二次放射線を生成し、それが分岐部１８に向かって下方に発射されるからである。実際、それは放射線４０より弱いが測定可能である。これによって導電路１２の下の絶縁層の厚さを測定することができる。この検出器にとって上層の影響は無視できる。上層はＸ線ビーム３０がほとんど透過するからである。当然、第２のＸ線源およびルミネセンス放射線検出器からなる第２の測定構成によって、下側の絶縁層の厚さをも測定することができる。
【００３２】
平形リボンケーブル１０上でのＸ線ビーム３０の制限された入射エリアを生成するために、例えばコリメータまたはＸ線ビームを集束する装置等の適当な手段を設けることができる。そのような放射線ゾーニングが試みられない場合は、平形リボンケーブルの前に絞り等をセットすることにより、検出器２６が一度に平形リボンケーブル上の１つのエリア要素だけを見ることを可能にする、といった構成を検出器２６と平形リボンケーブルの間に設けることも考えられる。
【００３３】
図１で、検出器２６は、平形リボンケーブル１０の横方向に比較的大きく広げて示されている。しかし、この検出器２６の主要な広がりが平形リボンケーブル１０の長さ方向であることが望ましい。結局、例えば平形リボンケーブル１０の長さ方向と横方向とに配置されたいくつかのそのようなＸ線ルミネセンス検出器を使用することも考えられる。
【００３４】
さらに、線形のＸ線検出器２４に代えて、比較的小さい、密に併設されたいくつかのセンサ要素からなる検出器列を設けることも考えられる。Ｘ線源および／または検出器２６は平形リボンケーブルを横切って揺動するが、そのような検出器列は固定配置する必要があろう。
【００３５】
例えば図２の図表の助けで、導電路１２の側縁と同様に平形リボンケーブル１０の側縁を判定することができると述べた。しかしながら、絶縁体１４によるＸ線ビーム３０の減衰が非常に弱いことから、側縁に関しては不確実さがある。したがって、その代わりに、導電路１２の位置測定に対してよりよい基準を得るために、光学系と協働する付加的なエッジ検出器を設けることが有利かもしれない。
【００３６】
図４は検出器２４の位置でのＸ線の測定強度を示す図表である。原則的には、図２の図表と一致する。図１の平形リボンケーブル１０より導電路の数が多い平形リボンケーブルが走査されたことが認識されよう。さらに、単なる絶縁体の領域の受信Ｘ線の強度が１００％でなく、導電路の領域でのそれがゼロでないことも認識されよう。したがって、とにかく導電路の絶縁体の影響がある。図４の領域５０では、平形リボンケーブルはＸ線ビームの外にある。領域５２で平形リボンケーブルの第１の絶縁部が始まり、第１の導電路によって５４でその強度の２０％に減らされる。次のパルス５６は、隣接導電路間で約９５％の強度に増大したことを示す。図示されない平形リボンケーブルの更なる走査で、このような状況が繰り返される。この場合、パルス５６間の距離は隣接導電路の間隔を示し、パルスのエッジは、図４中５２で示す側縁に対する導電路の位置を示す。
【００３７】
パルスとギャップ５４の差は強度値ｄとなり、それは平形リボンケーブル中の導体の厚さの尺度である。したがって、上記構成で導体の厚さを測定することが可能である。図４中の５０で示す１００％の強度とパルス５６との間隔は絶縁体の厚さｄｉに相当する。図４で、パルス５６の推移が個々のパルスで歯状になっていることも認識される。さらに、凹形の推移もあることから、隣接導電路間の部分が材料の縮みにより収縮すると推定される。
【００３８】
図５は、図４による平形リボンケーブルの走査におけるＸ線ルミネセンス放射の推移の図表を示し、それは例えば図１の検出器２６で測定される。個々のパルスが同じレベルに正確に位置していないことを認識することができる。これはＸ線の不十分な集束によって引き起こされる。パルス６０または６１の場合には、それぞれ、導体上の絶縁体が取り除かれている。したがって、７１または７０で示されるように、受信Ｘ線ルミネセンス放射の強度が、絶縁体が存在する導体でのものよりも著しく高いことが明らかである。したがって、導電路からのルミネセンス放射の強度値は、覆う絶縁体の厚さについての情報を与える。
【００３９】
複数の走査プロセスで生成する複数の測定値を前述の図外の評価装置で確認することと、統計上の変動、ノイズおよび測定誤差を補償するために平均値を得るように測定値を処理することが適切かもしれない。
【００４０】
図６の実施例は図１のものと同様であり、同じ部分は同一の参照番号で示す。平形リボンケーブル１０の下に銅シート８０が配置される。その厚さは例えば１００μｍである。平形リボンケーブルにＸ線を照射すると、薄い銅シート８０が刺激されてルミネセンス放射線を発射し、他方では、導電路１２も既に述べたようにルミネセンス放射線を発射するよう刺激される。走査すると、図７に示すような図表が生じる。パルス４２と絶縁体のない受信入力レベルの間の距離は、導電路上の絶縁体の肉厚ｗｄ２を示す。パルスギャップと上記レベルの間の距離は導電路１２間の絶縁体の全厚を表し、それはｗｄ１で示されている。
【００４１】
図１の検出器２４と同様なＸ線検出器も設けられる。実際、シート８０はＸ線放射を減衰させるが、シート８０の下の強度は、例えば導電路の位置を判定するために検出器２４を刺激するに十分である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】発明による方法を実施するための装置の概略斜視図である。
【図２】平形リボンケーブルのＸ線透過測定の図表である。
【図３】図１の平形リボンケーブルのＸ線ルミネセンス測定の図表である。
【図４】実測値を示す図２と同様な図表である。
【図５】実測値を示す図３と同様な図表である。
【図６】測定構成の変形例を示す図１と同様な図である。
【図７】図６に示す平形リボンケーブルのＸ線ルミネセンス測定の図表である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  …  平形リボンケーブル
１２  …  導電路
１４  …  誘電体
２０  …  支持体
２２  …  X線源
２４  …  X線検出器
２６  …  X線ルミネセンス検出器
３０  …  X線ビーム
４０  …  X線ルミネセンス放射線
８０  …  銅シート
【図１】
2004251906.tif 000003
【図２】
2004251906.tif 000004
【図３】
2004251906.tif 000005
【図４】
2004251906.tif 000006
【図５】
2004251906.tif 000007
【図６】
2004251906.tif 000008
【図７】
2004251906.tif 000009