(57)【要約】【課題】被塗布面上に塗布剤を塗布して均一な厚みのコート層を形成する。【解決手段】ディスク基板３１の表面３１ａに形成した情報記録層３２に対向して吐出手段４のノズル部６を配設する。ノズル部６を構成する複数のノズル６ａ〜６ｈはディスク基板３１の半径方向に直線状に配列させる。吐出手段４は単一の塗布剤供給系部５から複数のノズルに分岐して液体の塗布剤を同一の圧力で供給する。各ノズルの吐出口は内周側から外周側に向けて漸次面積を増大させる。ディスク基板を低速の一定速度で回転させ、各ノズルから塗布剤を吐出することで塗布剤を相互に一部重ねて連続して塗布し、単位面積当たり均一な塗布量で置く。その後、展延処理することなく、塗布剤のレベリング作用によって平坦化させる。次に紫外線を照射することで硬化させてコート層を形成する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の被塗布物の塗布方法であって、ノズルから液状の塗布剤が被塗布面に吐出され、この被塗布面上で隣接する塗布剤は相互に一部重ねられて連続して塗布されて被塗布面内の単位面積当たりの塗布量がほぼ一定とされ、その後前記塗布剤の水平面内のレベリング作用によって平坦化されるようにした平板状の被塗布物の塗布方法。
【請求項２】
前記ノズルから吐出する液状の塗布剤は、供給タンク内で安定化された圧力を加えられ、前記ノズルから一定吐出速度で吐出するものである請求項１に記載の塗布方法。
【請求項３】
前記ノズルは複数設けられていて被塗布面を相対移動させて塗布剤が塗布面に吐出され、前記複数の各ノズルから吐出された塗布剤の量は被塗布面の単位相対移動距離あたりほぼ一定であるようにした請求項１または２に記載の塗布方法。
【請求項４】
前記被塗布面に吐出された塗布剤は、展延処理することなく平坦化されるようにした請求項１乃至３のいずれかに記載の塗布方法。
【請求項５】
前記ノズルの相対移動軌跡は互いに交わらない請求項１乃至４のいずれかに記載の塗布方法。
【請求項６】
前記ノズルの相対移動速度と単位時間あたりの吐出量とがそれぞれ一定に維持される請求項１乃至５のいずれかに記載の塗布方法。
【請求項７】
前記ノズルの相対移動速度に応じて単位時間あたりの吐出量及び／又は被塗布面内の前記ノズルの走査ピッチが制御される請求項１乃至６のいずれかに記載の塗布方法。
【請求項８】
前記被塗布面は円板状である請求項１乃至７のいずれかに記載の塗布方法。
【請求項９】
前記複数のノズルは円板状の被塗布面の半径方向に配列されている請求項８に記載の塗布方法。
【請求項１０】
前記複数のノズルは、各吐出口の面積が円板状の被塗布面の半径方向外側に向けて増大している請求項９に記載の塗布方法。
【請求項１１】
前記複数のノズルは、単位時間あたりに吐出される塗布剤の量が半径方向外側に向けて増大するように設定されている請求項９または１０に記載の塗布方法。
【請求項１２】
前記複数のノズルに供給される塗布剤は同一の供給源から供給されている請求項３乃至１１のいずれかに記載の塗布方法。
【請求項１３】
塗布剤が紫外線硬化性組成物であり、被塗布面を有する被塗布物がブルーレイ光ディスクである請求項８乃至１２のいずれかに記載の塗布方法。
【請求項１４】
前記ノズルは被塗布面全面に対向して複数配設されている請求項１または２に記載の塗布方法。
【請求項１５】
平板状の被塗布物の塗布装置であって、複数のノズルが被塗布面に対向して配設され、前記複数のノズルは被塗布面上に吐出された各塗布剤が相互に一部重なるように配列されて前記被塗布面上で該被塗布面内の単位面積当たりの塗布量がほぼ一定になるように設定してなり、前記被塗布面に塗布された各塗布剤は水平面内のレベリング作用によって平坦化されるようにした平板状の被塗布物の塗布装置。
【請求項１６】
前記塗布剤は供給タンク内で安定化された圧力を加えられて、前記複数のノズルより一定吐出速度で吐出するものである請求項１５に記載の塗布装置。
【請求項１７】
前記複数のノズルを被塗布面に対して相対移動させる手段が配設され、前記複数の各ノズルから吐出される塗布剤の量は単位相対移動距離あたりほぼ一定であるようにした請求項１５または１６に記載の塗布装置。
【請求項１８】
前記被塗布面は円板状に形成されており、前記複数のノズルは円板状の被塗布面の径方向に配列されている請求項１５乃至１７のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項１９】
前記複数のノズルの各吐出口の面積は、被塗布面の径方向外側に向けて増大するように形成されている請求項１８に記載の塗布装置。
【請求項２０】
前記複数のノズルから吐出される塗布剤の各吐出量は、被塗布面の径方向外側に向けて増大するように設定されている請求項１８に記載の塗布装置。
【請求項２１】
前記複数のノズルは、各吐出口が被塗布面の径方向外側に向けて千鳥状に配列されている請求項１８乃至２０のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項２２】
前記複数のノズルに供給される塗布剤は同一の供給源から供給されている請求項１６乃至２１のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項２３】
前記塗布剤は紫外線硬化性組成物であり、前記被塗布面を有する被塗布物はブルーレイ・ディスクである請求項１６乃至２２のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項２４】
前記複数のノズルは被塗布面全面に対向して配設されている請求項１６に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク等の平板状の各種被塗布物の被塗布面に塗布剤を塗布して均一なコート層を形成するようにした塗布方法及び塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、平板状物体の塗布面への均一なコート層の形成は、スプレー塗装や静電塗装等、噴霧化した塗布剤によるもの、カーテン塗工のような塗布剤の滴下によるもの、あるいはスクリーン印刷等各種印刷方法によるもの等が用いられている。このような塗布方法の中で使用塗布剤の特性や塗布膜厚の自由度が大きく、簡便な装置でしかもある程度の均一な塗膜が得られるものとしてスピンコート法があり、平板状物体、特に円板状物体の塗布に多用されている。
このような平板状物体へのコート層形成方法において、塗布精度の向上は重要な課題である。特に光ディスク分野に関しては、保護層や接着剤層等、種々のコート層を形成する必要があり、記録密度、記録方式の進展とともに塗布剤の種類、塗布膜厚も多岐にわたっている。またその塗布精度が直接光ディスクの特性に影響を与えることが多く、塗布精度の一層の向上が求められている。
従来、光ディスクとしてＣＤやＤＶＤ等が知られており、これらの光ディスクではＰＣ（ポリカーボネート）製のディスク基板の表面に情報記録層を形成し、その上にコート層を形成した構成を有している。この光ディスクの情報記録層に対して読み取りを行うには、ＣＤの場合は１．２ｍｍ、ＤＶＤの場合は０．６ｍｍの厚みを有するディスク基板を通して読み取り用の光を入射させ情報記録層で反射させるようになっている。この読み取り方法では、情報記録層の読み取り精度等を向上させるには読み取り用の光が透過するディスク基板の厚みを小さくする必要があるが、厚みを小さくすると光ディスクの強度が低下するという欠点があった。
これに対して、上述の光ディスクの記憶容量を大幅に上回る大容量光ディスクとしてブルーレイ・ディスク（Ｂｌｕ−ｒａｙ　Ｄｉｓｃ）が開発され、実用化されつつある。ブルーレイ・ディスクとは大容量光ディスクの規格名称である。このブルーレイ・ディスクにおいては、情報の読み取りに際して、ディスク基板と反対側すなわち情報記録層の上の面に設けた光透過層を通して読み取り用の光を情報記録面に入射させ、情報を読み取る等している。ブルーレイ・ディスクによれば、読み取り用の精度に係わる光透過層の膜厚は薄くすることができ、一方ディスク基板には読み取り用の光が入射しないのでディスク強度を確保できる厚みに設定することができる。
この場合、高密度に情報が記録された情報記録面に対して光透過層に光を入射させる入射角度や射出角度が多少ずれたとしても光透過層の膜厚が薄く均一なので光路差を小さくすることができる。このため、読み取り時の誤差を小さくすることができ、正確に大容量の情報を記録再生することができる。そのためにブルーレイ・ディスクにあっては光透過層はその厚みとその均一性について非常に厳しい精度が要求されている。
【０００３】
光ディスク等の製造方法において、ディスク基板の上に光透過層等のコート層を形成する場合、一般的にスピンコート法が採用されている。即ち、光ディスク等のディスク基板の表面の情報記録層上に紫外線硬化性組成物からなるコート層を設ける場合、紫外線硬化性組成物からなる塗布剤をディスク基板の内周部に塗布し、その後、この塗布された塗布剤をディスク基板と共に高速回転（スピン）させることによって遠心力でディスク基板の表面全体に展延させて全体にほぼ均一なコート層を形成するようにした方法が用いられる。
このような展延によるディスク基板のコート層形成方法として、例えば特開平１０−２９０９４９号公報や特開２００１−３５１２７５公報に記載された方法が開示されている。特開平１０−２９０９４９号公報による塗布方法では、ディスク基板を高速回転させることで塗布剤を均一に展延すると共に、塗布剤を吐出するノズルがディスク基板の塗布面上を出入りする時に高速回転させて余分な液ダレを塗布面の反対側に付着しないように外部へ振り切るようにしている。
また特開２００１−３５１２７５公報による塗布方法では、回転テーブルにディスク基板を載置し、その回転中心に閉塞手段を取り付けた状態でこれらを回転テーブルと共に回転させつつ閉塞手段の支持軸付近から紫外線硬化性組成物を供給して回転展延（スピンコート）することで、紫外線硬化性組成物からなる均一な厚みのコート層を塗膜としてディスク基板上に形成しようとするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなスピンによる展延方法では、ディスク基板の回転によってこの基板上に塗布された塗布剤が遠心力で外側に移動させられるために、形成された塗膜の厚さが内周部から外周部にかけてほぼ直線的に増加する傾向を示し、ディスク面全体にわたって一定の厚さでコート層を設けることが困難であった。
従来のＣＤやＭＤ等に設けるコート層では、再生用の光を透過させないためにスピン展延で生じる厚さの変化は実用上問題にならなかったが、ブルーレイ・ディスクでは、片面２０ＧＢ以上の容量を持つ高記録密度の情報記録層の上に位置するコート層を光透過層としているために、上述したようにコート層の厚さは１００μｍ必要とされ、このコート層に許容される厚みのばらつきは±１．５μｍ、即ち僅か３μｍの範囲とされている。
これに対して、スピン法で展延したコート層では、ディスク基板の外周部の厚さが内周部厚さの１．２〜１．５倍にもなるため、上述した許容範囲に抑えることは実質不可能であった。
本発明は、このような実情に鑑みて、被塗布面に塗布されたコート層の厚みのバラツキを大幅に低減し、均一な厚みのコート層を形成するようにした平板状の被塗布物の塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明による平板状の被塗布物の塗布方法は、ノズルから液状の塗布剤が平板状の被塗布物の被塗布面に吐出され、この被塗布面上で隣接する塗布剤は相互に一部重ねられて連続して塗布されて被塗布面内の単位面積当たりの塗布量がほぼ一定とされ、この塗布剤の水平面内のレベリング作用によって平坦化されるようにしたことを特徴とする。
本発明によれば、ノズルから被塗布面に塗布された塗布剤は連続して塗布されているために相互に一部重ねられ且つ塗布剤は塗布時に表面張力によって例えば液滴状または山状を呈した形状とされ、その後塗布剤自体の水平面内のレベリング作用によって相互に流動して平担化され且つ全体に均一な厚みの塗布剤層を形成することができる。
また本発明による平板状の被塗布物の塗布装置は、複数のノズルが被塗布面に対向して配設され、複数のノズルは被塗布面上に吐出された各塗布剤が相互に一部重なるように配列されて被塗布面上で単位面積当たりの塗布量がほぼ一定になるように設定してなり、被塗布面に塗布された各塗布剤は水平面内のレベリング作用によって相互に平坦化されるようにしたことを特徴とする。
本発明によれば、複数のノズルから被塗布面に塗布剤を吐出することで、各ノズルから塗布された各塗布剤は被塗布面上で単位面積当たりの塗布量がほぼ一定であると共に相互に一部重なった状態であるため、その後の水平面内のレベリング作用によって全体に平坦化されて均一な塗布量、塗布厚の塗布剤層を形成できることになる。
上述した塗布方法及び塗布装置によれば、ノズルによって被塗布面上に置かれて相互に一部重なった塗布剤とその後の水平面内のレベリング作用とによって全体に均一な厚みの塗布剤層を形成できることになり、回転展延を行わないから塗布剤層の厚みの不均一を生じることはない。
【０００６】
【発明の実施の形態】
またノズルから吐出する液状の塗布剤は、供給タンク内で安定化した圧力を加えられて、ノズルより一定吐出速度で吐出して行うことが好ましい。このような吐出方法を行うことにより吐出量の変動を極めて低く抑えることが可能となり、被塗布面内の単位面積当たりの塗布量を極めて均一で正確に調整することができる。
また、ノズルは複数設けられていて被塗布面を相対移動させて塗布剤が塗布面に吐出され、複数の各ノズルから吐出された塗布剤の量は被塗布面の単位相対移動距離あたりほぼ一定であるようにしてもよく、これによって被塗布面の単位面積当たりの塗布量はほぼ一定に設定される。特に、被塗布面に吐出された塗布剤は、展延処理することなく単位面積当たりの塗布量がほぼ一定で平坦化させることができる。
そのためには、ノズルの相対移動軌跡は互いに交わらないことが好ましく、互いに平行な相対移動軌跡を描くことが好ましい。またノズルの相対移動速度と単位時間あたりの吐出量とがそれぞれ一定に維持されるようにしてもよい。
塗布時のノズルの相対移動速度は特に被塗布物が回転運動を行う時は、遠心力によって塗布剤が回転中心外側へと向かわないように、塗布剤の粘度を考慮して回転速度を設定することが好ましい。
【０００７】
またノズルの塗布時の相対移動速度に応じて単位時間あたりの吐出量または、被塗布面内のノズルの走査ピッチが制御されるようにしてもよい。またその両方が制御されるようにしてもよい。尚、ノズルの走査ピッチとは、塗布された塗布剤の塗布軌跡方向に直交する方向における各ノズルの中心間距離をいい、走査ピッチとノズルの塗布量によって塗布された隣り合う塗布剤の重複幅が設定される。
すなわち被塗布面内の単位面積当たりの塗布量は、ノズルと被塗布物の塗布時の相対移動速度によって変化するが、同時にまたこの塗布量変化はノズルからの吐出量を調整し、あるいはノズルの走査ピッチを変化させ、隣接する塗布剤の重なり方を変化させることによっても調整することができる。
特に被塗布面が円板状であり、複数のノズルが円板状の被塗布面の半径方向に配列されている場合には各ノズルの角速度は等しいが、内周側のノズルに対して外周側のノズルの周速度はより大きくなるために、単位時間当たりの吐出量は内周側のノズルよりも大きくなる。或いは、複数のノズルは、各吐出口の面積が円板状の被塗布面の半径方向外側に向けて増大するようにしてもよい。いずれの場合も、複数のノズルは、単位時間あたりに吐出される塗布剤の量が半径方向外側に向けて増大するように設定され、これによって被塗布面では単位面積当たりの塗布量を均一に制御できることになる。
複数のノズルを円板状の被塗布面の半径方向に配列する場合、各ノズルは直線状に配列してもよく或いは各ノズルを半径方向に千鳥状に配列してもよく、その際、各ノズルの吐出口は円形、多角形等適宜の形状に形成できる。千鳥配列の場合、各ノズルから吐出される塗布剤が相互に一部重複し易くなり、確実にレベリングによる平坦化を行える。
【０００８】
また、複数のノズルに供給される塗布剤は同一の供給源から供給されていてもよい。これによって塗布剤の圧力が等しくなり、各ノズルから吐出する塗布剤の吐出量をノズルの吐出口の面積に応じて設定でき、ディスク基板等の円板状の被塗布面を半径方向に配列された複数のノズルで塗布する場合に、周速度の大きい外周側のノズルの吐出量を吐出口の面積に応じて設定できる。
尚、塗布剤は紫外線硬化性組成物であり、被塗布面を有する被塗布物はブルーレイ・ディスクであってもよい。ブルーレイ・ディスクの光透過層を本発明の方法を用いて塗布剤で均一な厚みのコート層として形成することで、高精度で均一な厚さを持つコート層を形成できる。塗布剤はノズルから目詰まりなく塗布でき、また塗布後にレベリング可能なものであれば特に制限なく各種のものが使用できる。塗布剤の粘度はノズルからの安定吐出とレベリングの容易さを考慮して適宜設定することができる。本発明の方法は特にレベリングの容易な低粘度の塗布剤を使用して、均一な塗膜を形成するときに好適に使用することができ、スクリーン印刷等による印刷適性のない低粘度の塗布剤も幅広く塗布に使用することができる。また塗布剤にはシリコン等の添加剤を添加することでレベリング性を向上させてもよい。
また、ノズルは被塗布面全面に対向して複数配設されていてもよい。
この場合、ノズルは例えば蜂の巣状に多数配列されて形成されているために、ノズルと被塗布面の両方を静止状態で対向させて塗布剤を各ノズルから吐出させてレベリングの後に均一な膜厚の塗布剤層を形成でき、ノズルと被塗布面のいずれをも移動させないために高精度なコート層を容易に形成できる。
本発明においては、被塗布面内にわたり単位面積当たりの塗布量を均一にし、しかる後塗布剤の水平面内のレベリング作用によって塗布膜厚の精密な均一化を行っている。このため被塗布物である平板状物体はレベリング時に水平面内に密着して正確に設置されることが好ましい。従って本発明の塗布方法は、被塗布物である平板状物体を水平面内の基準面に密着して保持する機能を有する保持装置を用いて使用することが好ましい。
【０００９】
【実施例】
本発明の各実施例を添付図面により説明する。
図１乃至図３は第一実施例による塗布装置を示すものであり、図１はディスク基板に塗布膜を形成するための塗布装置の要部構成を示す図、図２は塗布装置の各ノズルの吐出口を示す図、図３（ａ）はディスク基板上に塗布剤を一部重複して塗布した状態を示す図、（ｂ）は一部重複して塗布された塗布剤がレベリングされた状態を示す図、図４は製造された光ディスクの要部縦断面図である。
本実施例で製造される光情報媒体としての光ディスク３０は例えばブルーレイ・ディスクであり、図４に示すように例えばポリカーボネート基板（ＰＣ基板）からなるリング状のディスク基板３１の表面３１ａに情報記録層３２が形成されており、この情報記録層３２はスタンパ等で形成された０．１μｍ程度の凹凸の表面に金属薄膜からなる反射膜を被覆して構成されている。そしてこの情報記録層３２の表面には例えば１００μｍ±１．５μｍの膜厚のコート層３３が透明な光透過層として被覆形成されている。
この光ディスク３０において情報を読み取るためには、レーザ光をコート層３３を透過して情報記録層３２に入射させることで行う。しかも大容量化された情報記録層３２で高精度な再生を行うために屈折による光路差を小さく設定する必要があり、そのためにコート層３３は上述した範囲内の膜厚に設定することを要求されている。
図１に示す塗布装置１は、上述した光ディスク３０を製造するためにディスク基板３１の表面３１ａに形成された情報記録層３２の上に、例えば紫外線硬化性組成物からなる塗布剤を塗布して硬化させることでコート層３３を被覆形成する装置である。この塗布装置１は、ディスク基板３１を回転軸Ｏと同軸に載置する回転テーブル２を備え、回転テーブル２は図示しない制御手段によって回転速度が制御される。回転テーブル２の回転軸Ｏからずれた位置には回転軸Ｏを中心とする半径方向に塗布剤を吐出するための吐出手段４が配設されている。この塗布剤は塗布時には液体であり、塗布後に紫外線を照射して硬化させてコート層３３を形成する。
【００１０】
この吐出手段４は単一の塗布剤供給系部５（供給源、供給タンク）とこの供給系部５から複数本に分岐されたノズル６ａ、６ｂ、６ｃ…６ｈからなるノズル部６とで構成されており、塗布剤供給系部５の領域に設けた図示しないバルブの開閉によって各ノズル６ａ〜６ｈからの塗布剤の吐出と停止を制御する。各ノズル６ａ〜６ｈは例えばマイクロディスペンサノズルからなっていて、ディスク基板３１の半径方向に並んで配列されていて、少なくとも情報記録層３２の径方向の形成幅に亘って直線状に配列されている。
しかも各ノズル６ａ〜６ｈは図２に示すようにそれぞれ円形の吐出口（と断面積）を有しており、配列方向の最も内周側に位置する最内周ノズル６ａは吐出口が最小の内径寸法とされ、径方向外側に向けて複数の各ノズル６ｂ、６ｃ、６ｄ、…は内径寸法が漸次増大し、最外周ノズル６ｈは吐出口の内径寸法が最も大きく設定されている。
そのため、最内周ノズル６ａから最外周ノズル６ｈに向けて漸次単位時間当たりの吐出量が増大するように設定され、且つ単位面積当たりの各ノズル６ａ〜６ｈの塗布剤吐出量はそれぞれ一定に設定されている。これはディスク基板３１に対して径方向に並べられた各ノズル６ａ〜６ｈが同一の角速度で相対回転するためであり、各ノズル６ａ〜６ｈによるディスク基板３１の情報記録層３２での単位面積当たりの塗布量が均一になるように各ノズル６ａ〜６ｈの単位時間当たりの吐出量がそれぞれ設定されている。
【００１１】
本実施例による塗布装置は上述の構成を有しており、次に塗布方法について説明する。
ディスク基板３１の表面３１ａに情報記録層３２が形成された状態で、ディスク基板３１を回転テーブル２上に回転軸Ｏと同軸に載置し、情報記録層３２に接近させた位置に吐出手段４を対向して配置する。この状態で吐出手段４の各ノズル６ａ〜６ｈはディスク基板３１上の情報記録層３２の径方向に配列されている。そして回転テーブル２を低速の一定速度で回転軸Ｏ回りに回転させると同時に吐出手段４の塗布剤供給系部５のバルブを開弁して塗布剤を同一圧力の下で各ノズル６ａ〜６ｈにそれぞれ供給し、各ノズル６ａ〜６ｈから情報記録層３２に連続して吐出する。
各ノズル６ａ〜６ｈから吐出される塗布剤の単位時間当たりの吐出量は最内周ノズル６ａが最小で外周側のノズル６ｂ、６ｃ…に向けて漸次増大し、最外周ノズル６ｈでの吐出量が最大であるが、各ノズル６ａ〜６ｈの相対周速度が相違するためにディスク基板３１の表面３１ａにおける単位面積当たりの塗布量はほぼ均一に設定される。
【００１２】
しかも各ノズル６ａ〜６ｈで吐出される塗布剤は各ノズル６ａ〜６ｈの相対移動方向（周方向）と配列方向（径方向）とにそれぞれ相互に一部重複した状態で例えば液滴状または山状で連続して塗布される。図３（ａ）は一例として、隣接する任意の二つのノズルからディスク基板３１の表面３１ａ上に同時に吐出された塗布剤ａ１，ａ２を示すものである。図中、各ノズル６からディスク基板３１の表面３１ａ上に吐出された塗布剤ａ１，ａ２は表面張力のために縦断面視略半円状を呈し、相互に一部重複する。
尚、ノズル６ａ〜６ｈにおいて、配列方向に隣り合う各ノズル同士の中心間距離を走査ピッチといい、この走査ピッチと各ノズルの塗布量とによって液滴状の塗布剤ａ１、ａ２の径方向における重複割合が設定される。
その後、塗布剤ａ１，ａ２は同一材質であるために相互の親和性がよく、圧力差も伴って重複する部分から相互に流動して図３（ｂ）に示すように自然に平坦化される。これをレベリングという。
【００１３】
このような塗布剤の塗布とレベリング作用とが各ノズル６ａ〜６ｈの配列方向だけでなく各ノズル６ａ〜６ｈの相対移動方向にも生じる。そのため、ディスク基板３１ａの情報記録層３２の全周領域に亘って塗布剤が塗布され且つ全体的に平坦化作用がなされてレベリングされる。
その際、回転テーブル２は低速の一定速度で回転運動するためにディスク基板３１も低速で回転運動することになり、情報記録層３２に塗布された塗布剤は、遠心力による展延処理はなされない。そのため、各ノズル６ａ〜６ｈによってディスク基板３１に吐出された各塗布剤（ａ１，ａ２）はその表面３１ａの吐出位置に保持され、いわば必要量だけ吐出位置に置かれた状態でレベリング作用がなされる。
従って、径方向に配列された各ノズル６ａ〜６ｈがディスク基板３１の表面３１ａに対して１周相対回転することで、情報記録層３２全面に塗布剤が載置され、そしてレベリングされることになり塗布剤層が均一な厚みで精度良く塗布されたことになる。この場合、各ノズル６ａ〜６ｈの周方向の移動軌跡は交わることがなく、互いに平行に１回転することになるから塗布された塗布剤も同様に一部重複以上に交わったりすることはない。しかも展延処理を行わないために塗布剤層が内周部から外周部に向けて膜厚の変化を生じることはない。
次にこの平坦化された塗布剤層に紫外線を照射することで硬化処理することができ、コート層３３が被覆形成されることになる。
【００１４】
上述のように本実施例による塗布装置１を用いた塗布方法によれば、ディスク基板３１の表面３１ａに複数のノズル６ａ〜６ｈで塗布剤を吐出して膜厚を形成するための必要量を載置するように塗布して、その後に展延処理を施すことなくレベリング作用で均一な厚さのコート層３３を形成することができ、高精度なコート層３３を光透過層として製作できる。そのために、記録または再生用の光を透過させる際にコート層３３の厚みのバラツキによる不具合を生じることがなく、ブルーレイ・ディスクのような大容量の光ディスク３０であっても高精度なコート層３３を製作できる。
【００１５】
尚、上述の第一実施例では、吐出手段４の各ノズル６ａ〜６ｈの吐出口（ノズルの断面）の形状を円形としたが、吐出口の形状は円形に限定されることなく任意の形状を採用でき、例えば図５に示すように正方形等の四角形にしてもよく、その他楕円形、三角形、多角形等でもよい。
また吐出手段４について上述の第一実施例では、径方向に配列された複数のノズル６ａ〜６ｈを直線状に半径方向に配列したが、これに代えて図６に示すように複数のノズル６ａ〜６ｈを互いに接触させた状態で千鳥状に径方向に配列してもよい。このような配列構成にすれば、径方向の各ノズル６ａ〜６ｈから吐出されディスク基板３１上に置かれた断面略半円状の各塗布剤について、隣接する塗布剤同士を径方向及び周方向により確実に一部重複状態に塗布できる。
また上述の第一実施例において、複数のノズル６ａ〜６ｈについて各吐出口の面積（ノズルの断面積）を径方向外側に向けて漸次増大させる構成としたが、これに代えて各ノズル６ａ〜６ｈの各吐出口の面積を同一に設定し、各ノズル６ａ〜６ｈから吐出する塗布剤の吐出量を径方向外側に向けて漸次増大するように設定して、ディスク基板３１の表面３１ａでの単位面積当たりの塗布量が均一になるように制御してもよい。この場合、各ノズル６ａ〜６ｈ毎の塗布剤の吐出圧力を変化させることで吐出量を制御すればよい。
また第一実施例に示す塗布装置１では、ディスク基板３１を回転テーブル２で低速で定速回転させ、吐出手段４を表面３１ａの情報記録層３２に対向させた状態で静止状態で保持する構成としたが、これとは逆にディスク基板３１を静止状態に保持し、吐出手段４の複数のノズル６を回転軸Ｏ回りに定速回転させて各ノズル６ａ〜６ｈから塗布剤をそれぞれ吐出させるようにしてもよい。或いは、ディスク基板３１とノズル６を速度差を以て同一方向または逆方向に低速で回転させるようにしてもよい。いずれにしてもディスク基板３１とノズル６とが相対移動すればよい。
【００１６】
次に本発明の第二実施例について図７により説明する。
図７は第二実施例による塗布装置の説明図である。
図７に示す塗布装置１０において、ディスク基板３１は図示しないテーブル上に静止状態で載置されている。そして吐出手段１１は単一の塗布剤供給源である供給系部５とこの供給系部５から分岐された複数のノズル１２ａを有するノズル部１２とを備えている。複数のノズル１２ａは、ディスク基板３１の表面３１ａにおいて保護すべき情報記録層３２全体に対向する領域に配列されている。ノズル部１２も静止状態に保持されて塗布剤を個々のノズル１２ａから吐出することになる。
この例では、情報記録層３２がリング状に形成されているために、ノズル部１２も多数のノズル１２ａが同様にリング状に径方向及び周方向に配列されて略蜂の巣型に形成されている。しかもノズル部１２を構成する個々のノズル１２ａの吐出口は同一の面積を有している。
従ってこのような塗布装置１０を用いてディスク基板３１の情報記録層３２に塗布剤を塗布するには、吐出手段１１の複数のノズル１２ａから同一量の塗布剤を吐出して情報記録層３２上で各塗布剤の液滴が相互に一部重なる程度の量を吐出する。その後、各液滴状の塗布剤は相互に重なる部分から流動してレベリング作用が行われ、全面に亘って平坦な塗布剤層を形成することができる。そして紫外線を塗布剤層に照射して硬化処理することでコート層３３を形成できる。
特に本実施例によれば、ディスク基板３１もノズル部１２も静止状態で塗布剤の吐出を行うから塗布作業を短時間で正確に行うことができるという利点がある。
【００１７】
尚、上述の第二実施例では、ノズル部１２の各ノズル１２ａは吐出口が同一の面積を有するとしたが、これに限定されることなく複数のノズル１２ａの吐出口間で異なる面積を有していても良い。この場合でも、ディスク基板３１の情報記録層３２上で単位面積当たりの塗布剤の量が均一であればよい。そのためには、単一の供給系部５から同一圧力で各ノズル１２ａへ塗布剤を供給すればよい。
また本発明は、複数のノズル６ａ〜６ｈ、１２ａを備えている吐出手段４に限定されることなく１つのノズルで塗布剤を吐出するようにしてもよい。この場合には、ノズルをディスク基板３１に対して周方向に順次相対移動させつつ塗布剤を吐出し、その後、径方向に位置をずらして更に周方向に相対移動させればよい。或いは一筆書きの要領で略螺旋状に塗布するようにしてもよい。これらの場合、ノズルのｎ（ｎは整数）回目の周回位置と（ｎ＋１）回目の周回位置とにおけるノズル中心間距離を走査ピッチといい、走査ピッチとノズルの吐出量によって液滴状の塗布剤ａ１，ａ２の重複割合が設定される。
尚、上述の各実施例では、ブルーレイ・ディスク等の光ディスク３０の情報記録層３２を被覆保護する光透過層としてのコート層３３を形成するための塗布装置及び塗布方法について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、ノズルからの定量吐出と吐出後のレベリングとが可能な塗布剤さえ用いれば、各方面の塗布に幅広く適用が可能であって、各種の塗布剤を各種の平板状物体の被塗布面に均一な厚みで高精度に塗布することができる。また本発明はこのような全ての平板状物体の被塗布面に用いる塗布装置及び塗布方法に適用できる。
【００１８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明による平板状の被塗布物の塗布方法及び塗布装置によれば、ノズルによって相互に一部重なった状態で塗布剤を塗布することでレベリング作用によって全体に均一な厚みの接着剤層を高精度に形成でき、従来方法や装置の回転展延による塗布剤層の厚みの不均一を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例による塗布装置の要部構成図である。
【図２】図１に示す塗布装置のノズル部の配列状態における各ノズルの吐出口を示す図である。
【図３】隣り合うノズルから塗布された液滴状の塗布剤を示す図であり、（ａ）は塗布状体を示す図、（ｂ）はレベリングがなされた状態を示す図である。
【図４】第一実施例による塗布方法で得られた光ディスクの部分縦断面図である。
【図５】第一変形例によるノズル部の各ノズルの吐出口を示す図である。
【図６】第二変形例によるノズル部の各ノズルの吐出口を示す図である。
【図７】第二実施例による塗布装置の要部構成図である。
【符号の説明】
１、１０　塗布装置
４　吐出手段
５　塗布剤供給系部（供給源）
６，１２　ノズル部
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ、１２ａ　ノズル
３０　光ディスク（被塗布面）
３１　ディスク基板（被塗布面）
３２　情報記録層（被塗布面）
３３　コート層
ａ１，ａ２　塗布剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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