(57)【要約】【課題】位相シフト機能を有する転写用マスクを実現することにより、生産性の低下やハードウェア変更を要さずに、加工穴径の微小化が図れるレーザ加工機を得ること。【解決手段】転写用マスクである半透過マスク１は、長さＬの円柱状に形成され、中心軸に沿ってマスク開口部２が貫通形成され、マスク開口部２の周囲は半透過部３となっている。長さＬは、半透過部３から射出されるレーザ光の強度が加工対象材料の加工閾値光強度以下となり、かつマスク開口部２の射出光（通過光１２）と半透過部３の射出光（通過光１３）との間にレーザ光１１の半波長の奇数倍の位相差を与える長さになっている。【選択図】      図１
2004337924.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写用マスクを通過したレーザ光を加工対象材料に照射して転写用マスクのマスク形状を転写し、その転写形状に沿って加工対象材料に加工を施すレーザ加工機において、
前記転写用マスクは、
マスク形状をした開口部または透過部と、レーザ光の射出強度が加工対象材料の加工閾値光強度以下に調節された半透過部とを備え、
かつ、前記開口部または透過部の射出光と前記半透過部の射出光との間にレーザ光の半波長の奇数倍の位相差を与えるように構成された半透過マスクである、
ことを特徴とするレーザ加工機。
【請求項２】
前記半透過部の射出面における前記開口部または透過部との近傍には、射出光の一部を遮光する遮光部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工機。
【請求項３】
前記半透過マスクは、
マスク形状をした開口部と、半透過部とを備え、
レーザ光の当該半透過マスク内伝搬長は、前記半透過部から射出されるレーザ光の強度が加工対象材料の加工閾値光強度以下となり、かつ前記開口部の射出光と前記半透過部の射出光との間にレーザ光の半波長の奇数倍の位相差を与える長さになっている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工機。
【請求項４】
前記半透過部の入射面は、高反射膜で被覆されていることを特徴とする請求項３に記載のレーザ加工機。
【請求項５】
前記半透過マスクは、
マスク形状をした透過部と入射面が高反射膜で被覆された半透過部とを備え、
レーザ光の前記透過部内伝搬長と前記半透過部内伝搬長との差は、前記透過部の射出光と半透過部の射出光との間にレーザ光の半波長の奇数倍の位相差を与える長さになっている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工機。
【請求項６】
前記半透過マスクは、
入射面が反射防止膜で被覆されマスク形状をした透過部と入射面が高反射膜で被覆された半透過部とを備え、
前記反射防止膜の膜厚と前記高反射膜の膜厚との差は、前記透過部の射出光と半透過部の射出光との間にレーザ光の半波長の奇数倍の位相差を与える長さになっていることを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工機。
【請求項７】
前記半透過マスクは、
光軸回りに回転可能であるとともに、前記半透過部が偏光子の構造を有し、
レーザ光の当該半透過マスク内伝搬長は、前記開口部または透過部の射出光と前記半透過部の射出光との間にレーザ光の半波長の奇数倍の位相差を与える長さになっている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、像転写方式によって加工対象材料に止まり穴や貫通穴を形成するレーザ加工機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１４は、レーザ加工機の一般的な構成を示す概念図である。図１５は、図１４に示すレーザ加工機における転写用マスクによる像転写の原理を説明する図である。
【０００３】
図１４に示すレーザ加工機は、パルスレーザ光を発生するレーザ発振器１０１と、転写用のマスク形状が施された転写用マスク１０２と、転写光学系を構成するガルバノスキャナ１０３およびｆθレンズ１０４とで構成されている。
【０００４】
転写用マスク１０２は、金属板などの板材からなり、開口部のマスク形状が加工対象材料１０５に加工を施す穴の形状に形成されている。レーザ発振器１０１が射出したレーザ光のうち転写用マスク１０２を通過したレーザ光は、ガルバノスキャナ１０３にて２次元的に走査され、ｆθレンズ１０４にて集光され、加工対象材料１０５に入射する。これによって、図１６に示すように、転写用マスク１０２のマスク形状が加工対象材料１０５に転写され、加工対象材料１０５に止まり穴もしくは貫通穴をあける加工が施される。
【０００５】
ところで、加工対象材料１０５に施す加工穴は、丸穴が多いので、転写用マスク１０２のマスク形状も概ね丸穴状となるが、近年の情報機器を中心とした電子機器の小型軽量化・高機能化の進展に対応して、この種のレーザ加工機では、加工対象材料１０５に施す穴加工において穴径０．５ｍｍ以下の小径穴加工の実現が望まれている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、加工穴径を小さくすることは、転写用マスクの穴径を縮小することによって可能であるが、図１６および図１７に示すように、得られる最小穴径には限界がある。図１６は、図１４に示す転写用マスクの穴径を微小化する場合の回折の影響を説明する図である。図１７は、レンズの集光特性を説明する図である。
【０００７】
図１６に示すように、転写用マスク１０２の通過光はガルバノミラー１３１に入射するので、転写用マスク１０２を通過してガルバノミラー１３１の受光面に到達する光のビーム径はガルバノミラー１３１の受光面以内に収まっている必要がある。
【０００８】
しかし、転写用マスク１０２の通過光に生ずる回折角度θは、レーザ光の波長λ、転写用マスク１０２の穴径ｒに対し、θ≒λ／ｒの関係があるので、転写用マスク１０２の穴径ｒを小さくしていくと、回折角度θが大きくなり、転写用マスク１０２を通過して伝搬するレーザ光のビーム径がガルバノミラー１３１の受光面の全周囲からこぼれてしまう程に拡大することが起こる。
【０００９】
したがって、転写用マスク１０２の穴径ｒを小さくして通過光のビーム径を絞り込むのには、一定の限界がある。この場合、ガルバノミラー１３１の径を拡大することが考えられるが、ガルバノミラー１３１の径を大きくすると、モーメント的負荷が増大するので、高速稼動に支障が生じ、結局生産性低下や加工位置精度の低下を引き起こす。
【００１０】
また、図１７において、一般的なレンズの場合、最小集光径（最小スポット径）ｄは、レーザ光の波長λ、レンズの焦点距離ｆ、入射するビーム径Ｄに対し、ｄ∝（ｆλ）／Ｄの関係がある。すなわち、レンズの最小集光径ｄは、入射するビーム径Ｄに反比例し、レーザ光の波長λやレンズの焦点距離ｆに比例するので、より小さなビーム径を得る方法としては、レンズに入射するビーム径Ｄを拡大する方法は、ガルバノミラー１３１の径を拡大することになるので対象外とし、ガルバノミラー１３１での反射光を受けるｆθレンズ１０４の焦点距離ｆを小さくすること、レーザ光の波長λを短くすることの２つが考えられる。
【００１１】
しかし、ｆθレンズ１０４の焦点距離ｆを小さくすると、加工対象物１０５との間隔が狭くなるので、加工後の粉塵等がｆθレンズ１０４の表面に付着しやすくなる、ｆθレンズ１０４としての加工使用エリアが狭くなる等の欠点がある。
【００１２】
また、レーザ光の波長λを短くする方法では、一般に、使用するレーザ波長が短くなるにつれて１パルス当たりの加工体積が少なくなるので、より沢山のショット数（照射パルス数）が必要となり、結局生産性が低下してしまう。また、波長が異なれば使用する光学系等も異なるので、装置自体を全く異なるものとしなければならない。すなわち、短波長化は大掛かりなハードウェアの変更を必要とし、また生産性の悪化等の問題もあり、メリットが少ない。穴開け加工機の代表として、ＣＯ２レーザ加工機とＵＶ−ＹＡＧレーザ加工機が挙げられるが、波長的に圧倒的に有利なＵＶ−ＹＡＧレーザ加工機よりもＣＯ２レーザ加工機が実質的に多く使用されている事実からも、短波長化は必ずしも最も良い結論ではないことがわかる。
【００１３】
要するに、現状の装置において簡単な改造で穴径の微小化を図ることが強く求められている。そこで、転写用マスクにのみ改良を加える方策として、例えば特許文献１，２，３に開示されているような位相シフトの効果を利用することが考えられる。以下、図１８を参照して説明する。なお、図１８は、位相シフトの効果を説明する図である。
【００１４】
図１８（Ａ）（Ｂ）の（１）に示すように、２箇所に開口部のあるマスク１４１を考える。そして、図１８（Ａ）では、マスク１４１の２つの開口部を通過したレーザ光をそのまま加工対象物に照射する一方、図１８（Ｂ）では、マスク１４１の２つの開口部のうちの１つに、通過光の位相を１８０度移相する位相シフター１４２を設け、双方のレーザ光を加工対象物に照射するとしている。
【００１５】
このような場合、２つの開口部を通過したレーザ光は回折して広がり、加工対象物上での振幅分布は、図１８（２）に示すように、裾野が重なった２つ孤立峰のようになる。このとき、図１８（Ａ）のケースでは、２つの孤立峰は互いに同位相であるが、図１８（Ｂ）のケースでは、２つ孤立峰は互いに逆位相となる。
【００１６】
そして、光強度は、振幅の２乗で表されるので、図１８（３）に示すように、図１８（Ａ）のケースでは、２つのレーザ光強度分布は頂点が繋がるように重なり境界が不明瞭になるが、図１８（Ｂ）のケースでは、光強度がゼロになるところが両者の中心に発生し、２つのレーザ光の解像度が上がることになる。
【００１７】
このような位相シフト機能を付与した転写用マスクを用いると、マスクエッジ部分のコントラストが改善でき、穴径の微小化が図れるが、加工対象物には不要なレーザ光も照射されることが起こるので、構成上の工夫が必要である。
【００１８】
なお、特許文献１では、レーザ光を所定形状に整形して通過させる開口部を有したレーザビーム整形用マスクにおいて、該レーザビーム整形用マスクの少なくとも前記レーザ光が照射される範囲に該レーザ光の波長において透過性の高い屈折媒質にて光分離部を形成し、該光分離部に入射し偏向して該光分離部から射出する射出レーザ光と前記開口部を通過する通過レーザ光とに分離可能に形成し、高強度のレーザビーム整形を可能とするレーザビーム整形用マスクが開示されている。
【００１９】
また、特許文献２では、強度分布がガウス状のレーザビームを発振するレーザ発振器と、前記レーザビームを任意の断面形状に切り出すマスクと、前記マスクの像を加工対象物に投影する投影光学系とを有し、前記マスクの前に配置して前記レーザビームを２つに分割する手段と、分割された双方のレーザビームを直線偏光に変換し且つ前記双方のレーザビームの偏光方向を垂直に変換する手段と、分割した一方のレーザビームの強度分布をマスク上で輪帯状にする手段と、前記マスクの前で分割した２つのレーザビームを合成する手段とを有し、マスクの像を加工対象物上に投影して加工する場合に、被加工物上でのレーザビームの強度分布を均一な分布となるように変換することで高品位な加工を行うことのできるレーザ加工装置が開示されている。
【００２０】
また、特許文献３では、レーザ媒質の一面に反射ミラーを配設すると共に他面に出力ミラーを配設したレーザ光源であって、前記出力ミラーは、高反射率のミラー領域と、複数のレーザ光を出力すべく実質的に透過率を上げた複数のハーフミラー領域とを有するものとし、このハーフミラー領域を通してレーザ光を放射することで、レーザビームの使用効率を向上させることのできるレーザ光源が開示されている。
【００２１】
【特許文献１】
特開平９−７６０８６号公報（００２１、図１）
【特許文献２】
特開２００２−３５９８０公報（００３３、図１）
【特許文献３】
特開平５−３１５６８４（００１８、図１）
【００２２】
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、位相シフト機能を有する転写用マスクを実現することにより、生産性の低下やハードウェア変更を要さずに、加工穴径の微小化が図れるレーザ加工機を得ることを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明にかかるレーザ加工機は、転写用マスクを通過したレーザ光を加工対象材料に照射して転写用マスクのマスク形状を転写し、その転写形状に沿って加工対象材料に加工を施すレーザ加工機において、前記転写用マスクは、マスク形状をした開口部または透過部と、レーザ光の射出強度が加工対象材料の加工閾値光強度以下に調節された半透過部とを備え、かつ、前記開口部または透過部の射出光と前記半透過部の射出光との間にレーザ光の半波長の奇数倍の位相差を与えるように構成された半透過マスクであることを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、転写用マスクは、マスク形状をした開口部または透過部と半透過部とを備え、開口部または透過部の射出光と半透過部の射出光との間に位相差を与える位相シフト機能を有する半透過マスクで置き換えることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかるレーザ加工機の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００２６】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。図１において、転写用マスクである半透過マスク１は、レーザ光１１に対して透過率の高くない半透過材料からなる。図１では、半透過マスク１は、長さＬの円柱状に形成され、中心軸に沿ってマスク開口部２が貫通形成されている。したがって、マスク開口部２の周囲は半透過部３となっている。
【００２７】
この半透過マスク１をレーザ加工用として使用する場合には、マスク開口部２を通過するレーザ光であるマスク開口部通過光１２と半透過部３を透過したレーザ光である半透過部通過光１３とが加工対象物に照射される。当然、マスク開口部通過光１２が加工に必要なレーザ光であり、半透過部通過光１３は、加工に不要なレーザ光であるが、半透過部通過光１３は、マスク開口部通過光１２に対して１８０度（半波長）の奇数倍の位相差を持つことが必要である一方、加工対象物に影響を与えない加工閾値以下の照射強度に調整する必要がある。
【００２８】
この実施の形態１では、半透過マスク１の長さＬを利用して両条件を調節設定するようにしている。以下、図２、図３を参照して説明する。なお、図２は、図１に示す半透過マスクにおける半透過部を通過するレーザ光の強度を低下させる原理を説明する図である。図３は、図１に示す半透過マスクにおける半透過部通過光とマスク開口部通過光との間に位相差を付与する原理を説明する図である。
【００２９】
図２において、半透過部３に入射するレーザ光の強度をＩ０、浸入するレーザ光の浸入長をｘ、吸収係数をＫとすると、浸入するレーザ光の強度をＩ１とすると、Ｉ１＝Ｉ０ｅｘｐ（−ｘ／Ｋ）なる関係でもって浸入するレーザ光の強度Ｉ１は、浸入深さｘが深くなるにつれて減少していく。したがって、半透過マスク１の長さＬを増減調節することにより、加工対象物での照射強度が加工閾値以下となるように半透過部３からの出射強度を調整することができる。
【００３０】
図３において、自由空間であるマスク開口部２を通過するレーザ光の波長をλとし、屈折率ｎの媒質である半透過部３を透過するレーザ光の波長をλ’とすると、マスク開口部２と半透過部３をレーザ光が同じ長さＬだけ通過しても、通過中の波長は、λ’＝λ／ｎなる関係があるので、波の位相が揃わず、位相差が発生する。したがって、半透過マスク１の長さＬを増減調節することにより、マスク開口部通過光１２と半透過部通過光１３との位相差が半波長（λ／２）の奇数倍となるように調整することができる。
【００３１】
実際の製造過程では、半透過マスク１の長さＬを、まず、加工対象物に影響を与えない加工閾値以下の照射強度が得られる長さに調整し、その後、半透過部通過光１３がマスク開口部通過光１２に対して１８０度の奇数倍の位相差を与える長さに微調整することになる。
【００３２】
次に、図４を参照して、以上のように構成される半透過マスクを転写用マスクとして用いた場合の動作について、通常の転写用マスクを用いた場合と比較して説明する。なお、図４は、図１に示す半透過マスクの動作を一般の転写用マスクと比較して説明する図である。
【００３３】
図４において、図４（Ａ）は、通常の転写用マスク２１の場合を示し、図４（Ｂ）は上記のように構成される半透過マスク１を用いた場合を示している。ここで、半透過マスク１は、１８０度の位相差を付与するように調整されている。
【００３４】
図４（Ａ）において、通常の転写用マスク２１は、図４（１）に示すように、入射レーザ光を開口部のみから射出する。開口部のみの射出光は、ある広がりをもって加工対象物に到達し、加工対象物が穴加工される。このとき、加工対象物を照射するレーザ光の振幅分布および強度分布は、図４（２）（３）に示すように、裾野が広がった孤立峰の形状になる。その結果、加工穴形状は、図４（４）に示すように、マスクエッジ部分のコントラストが良くないものになる。
【００３５】
これに対して、図４（Ｂ）において、半透過マスク１は、図４（１）に示すように、入射レーザ光をマスク開口部２のみならず半透過部３からも射出する。マスク開口部通過光１２と半透過部通過光１３は、それぞれある広がりをもって加工対象物に到達する。マスク開口部２のエッジ付近では、マスク開口部通過光１２と半透過部通過光１３は、重複して加工対象物に到達する。
【００３６】
このとき、半透過部通過光１３の照射強度は、加工対象物の加工閾値以下になっているので、加工対象物の穴加工はマスク開口部通過光１２のみによって行われる。また、マスク開口部通過光１２と半透過部通過光１３の位相差は、半波長（１８０度）である。
【００３７】
その結果、加工対象物を照射するレーザ光の振幅分布は、図４（２）に示すように、マスク開口部通過光１２によるものは裾野が広がった孤立峰の形状になるが、半透過部通過光１３によるものは反転した孤立峰形状で、かつ高さが低く、裾野付近がマスク開口部通過光１２によるものと重なった形状となる。
【００３８】
また、強度分布は、図４（３）に示すように、マスク開口部通過光１２によるものと半透過部通過光１３によるものとの重複部分ではゼロレベルとなり、境界が明瞭になる。したがって、加工穴形状は、図４（４）に示すように、マスクエッジ部分のコントラストが改善されたものになり、より小さな穴径加工が可能になる。
【００３９】
このように、実施の形態１によれば、従来のレーザ加工機において、転写用マスクを不透過マスクに置き換えるだけでよく、ハードウェアの大規模な改造を伴わないので、既存のレーザ加工機に容易に適用できる。つまり、生産性を維持しながら１レベル上の性能を少ない改造で手にすることができる。
【００４０】
具体的には、ＣＯ２レーザ加工機では、穴径φ５０μｍが限界とされていた。その穴径を、この不透過マスクを用いることにより、φ４０μｍ台に微小化できることが確認できた。
【００４１】
実施の形態２．
図５は、この発明の実施の形態２であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。実施の形態１では、半透過部通過光の強度を半透過マスクの長さを調節して適切な値を得る場合を示したが、半透過部での透過光の減衰は吸収によって行われる場合が多く、レーザ光の強度によっては温度上昇を引き起こす。通常、物質の光に対する屈折率は温度依存性を持つので、温度上昇によって屈折率が変化すると付与する位相差の値が狂うことになる。したがって、実施の形態１で示した半透過マスク１は、屈折率の温度依存性が無視できる程度の温度上昇を与える低強度のレーザ光に適した構成であると言える。
【００４２】
すなわち、この実施の形態２では、高強度のレーザ光に対応できる半透過マスクの構成例（その１）について説明する。図５に示す半透過マスク３１は、レーザ光透過材料として知られているいわゆる窓材３２の入射面に、高反射膜３３を設け、高反射膜３３の中央部分を剥離して透過部３５とし、透過部３４の周囲に入射するレーザ光１１の大部分を高反射膜３３にて反射光３７として外部に送り出し、透過部３４の全周囲に形成される半透過部３５を透過するレーザ光の強度を弱くするようにしたものである。
【００４３】
図６は、図５に示す高反射膜の構成を示す断面図である。図６に示すように、高反射膜３３は、高屈折率層ｎＨと低屈折率層ｎＬとが交互に積層される誘電体多層膜で構成されている。ここで、高屈折率層ｎＨと低屈折率層ｎＬの膜厚ｄは、膜中でのレーザ光波長λ０の１／４である。なお、膜中でのレーザ光波長λ０は、膜の屈折率をｎ、空気中でのレーザ光波長をλとすると、λ０＝λ／ｎである。
【００４４】
この高反射膜３３では、膜境界面での反射時にその境界の屈折率差で位相が反転する場合と反転しない場合とを利用して干渉させ、全ての膜間反射光が同位相になるようにし、高い反射率を得るものである。透過率の調整は、膜の層数を調整することにより行うことができる。なお、この高反射膜３３では、図示例では５層であるが、両側の誘電体層は、共に高屈折率層ｎＨとなっている。
【００４５】
透過部３４の通過光と半透過部３５の通過光との間に与える１８０度の奇数倍の位相差は、図７に示すようにして付与することができる。なお、図７は、図５に示す半透過マスクの構成例を示す図である。
【００４６】
図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、透過部３４と半透過部３５の厚さを違えて形成し、その厚さの差を調整することで位相差を付与することができる。すなわち、図７（Ａ）では、透過部３４の入射面側を凹状に形成して半透過部３５よりも薄くする場合が示されている。図７（Ｂ）では、透過部３４の出射面側を凸状を形成して半透過部３５よりも厚くする場合が示されている。図７（Ｃ）では、透過部３４の出射面側を凹状に形成して半透過部３５よりも薄くする場合が示されている。
【００４７】
また、図７（Ｄ）に示すように、透過部３４と半透過部３５の厚さを違えず、透過部３４を貫通部４１とし、窓材３２全体の厚さＬを調整することで位相差を付与することができる。
【００４８】
この構成によれば、半透過部を通過するレーザ光の強度を弱くすることができるので、高強度のレーザ光に適した転写用マスクである半透過マスクが得られる。
【００４９】
実施の形態３．
図８は、この発明の実施の形態３であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。なお、図８では、図５に示した構成と同一ないしは同等である構成要素には、同一の符号が付されている。ここでは、この実施の形態３に関わる部分を中心に説明する。
【００５０】
この実施の形態３では、高強度のレーザ光に対応できる半透過マスクの構成例（その２）が示されている。すなわち、図８に示す半透過マスク４４は、図５に示した構成において、高反射膜３３の中央部分を剥離して反射防止膜４５を設け、新たに透過部４６としたものである。
【００５１】
図９は、図８に示す反射防止膜の反射防止作用の原理を説明する図である。反射防止膜は、図９に示すように、低屈折率層ｎＬと高屈折率層ｎＨとの組み合わせによって、反射光を干渉させ、強め合うのではなく弱めるようにするものである。
【００５２】
この構成では、高反射膜３３の厚さと反射防止膜４５の厚さとの差ｄを調整することで、透過部４６の通過光と半透過部３５の通過光との間に与える１８０度の奇数倍の位相差を付与することができる。
【００５３】
すなわち、一般的には図３にて説明したように、空気中を距離ｄ進んだレーザ光と屈折率ｎの媒質中を進んだレーザ光との比較を行うと、媒質中では波長が見かけ上１／ｎになるので、レーザ光にとっては媒質の長さはｎｄに感じられることになる。つまり、両者を通過した後の差ｎｄ−ｄは（ｎ−１）ｄと表される。この距離（ｎ−１）ｄが波長の何倍になるかで、位相差が決まる。
【００５４】
今、位相差を１８０度にしたいので、これは１／２波長として、（ｎ−１）ｄ＝（１／２）λとおく。図８では、高反射膜３３が５層で構成され、反射防止膜４５は２層で構成されているので、問題の３層分の厚さｄは、
ｄ＝（１／４）（λ／ｎＨ）＋（１／４）（λ／ｎＬ）＋（１／４）（λ／ｎＨ）
となる。
【００５５】
３層部分での屈折率ｎは、ｎ＝ｎＨ＋ｎＬ＋ｎＨであるので、
（ｎ−１）ｄ＝（ｎＨ＋ｎＬ＋ｎＨ−１）
×｛（１／４）（λ／ｎＨ）＋（１／４）（λ／ｎＬ）＋（１／４）（λ／ｎＨ）｝    ＝（１／２）λ      …（１）
となる。この式（１）が満たされるように、屈折率の組み合わせを選べば良いことになる。
【００５６】
また、一般的には、高反射膜３３は５層よりも多いと考えると、次式（２）を考えればよい。ただし、式（２）において、ｍは、５層のときにはｍ＝０であり、７層のときにはｍ＝１であるとする。
【００５７】
（ｎ−１）ｄ＝｛（２＋ｍ）ｎＨ＋（１＋ｍ）ｎＬ−１｝
×（１／４）［｛（２＋ｍ）ｎＬ＋（１＋ｍ）ｎＨ｝／ｎＨｎＬ  ］
＝（１／２）（２ｍ＋１）λ    …（２）
この構成によれば、実施の形態２と同様に、半透過部を通過するレーザ光の強度を弱くすることができるので、高強度のレーザ光に適した転写用マスクである半透過マスクが得られる。
【００５８】
実施の形態４．
図１０は、この発明の実施の形態４であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。なお、図１０では、図１に示した構成と同一ないしは同等である構成要素には、同一の符号が付されている。ここでは、この実施の形態４に関わる部分を中心に説明する。
【００５９】
図１０に示す半透過マスク５１では、図１に示した構成において、半透過マスク５１のレーザ光出射側における半透過部３に、マスク開口部２との境界から始まる所定幅を覆う金属等のレーザ光不透過層からなる環状の遮光部５２を取り付け、マスク開口部２との境界付近の出射光を制限するようにしたものである。
【００６０】
次に、図１１を参照して、以上のように構成される半透過マスク５１の動作について説明する。なお、図１１は、図１０に示す半透過マスクによる穴径縮小化の原理を説明する図である。
【００６１】
図１１において、図１１（１）に示すように、遮光部５２によって、半透過部３の内側、つまりマスク開口部２に近い方向の一部が完全に不透過となる。その結果、半透過部３を通過したレーザ光の回折が大きくなる。これにより、図１１（２）に示すように、振幅反転部分がマスク開口部２の通過光による振幅分布のより内側に入り込むことが起こる。したがって、図１１（３）に示すように、光強度がゼロになる部分もマスク開口部２の通過光による強度分布のより内側にシフトすることが期待できる。
【００６２】
このように、実施の形態４によれば、実施の形態１と同様に、コントラストを上げて加工穴の径を小さくすることをできる。加えて、穴径のさらなる縮小化が図れるようになる。
【００６３】
具体的には、ＣＯ２レーザ加工機では、穴径φ５０μｍが限界とされていた。その穴径を、この不透過マスクを用いることにより、φ３０μｍ台に微小化できる可能性が確認できた。
【００６４】
なお、実施の形態４では、実施の形態１への適用例を示したが、実施の形態２，３にも同様に適用できることは言うまでもない。
【００６５】
実施の形態５．
図１２は、この発明の実施の形態５であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。図１２に示す半透過マスク６０は、所定長さＬの円柱状に形成した窓材６１の中心軸にマスク開口部６３を設けその周囲の半透過部におけるレーザ光６４の入射面に偏光フィルタ６２を取り付け、かつ、窓材６１を中心軸の回りに回転できるようにしたものである。
【００６６】
次に、図１３を参照して、以上のように構成される半透過マスク５１の動作について説明する。なお、図１３は、図１２に示す半透過マスクにおける半透過部通過光の強度を調整する原理を説明する図である。
【００６７】
図１３において、レーザ光６４は、レーザ発振器にて、もしくは伝搬光路の途中にて作られた直線偏光の光線である。半透過マスク６０に取り付けた偏光フィルタ６２の透過偏光方向が入射直線偏光の偏光方向と一致するときは、半透過部通過光６７の光強度は最大となる。
【００６８】
そして、偏光フィルタ６２の透過偏光方向と入射直線偏光の偏光方向とのなす角度θが大きくなるのに伴い半透過部通過光６７の光強度は減少し、角度θが９０度になると、半透過部通過光６７の光強度はゼロとなる。一方、マスク開口部通過光６６の光強度は、半透過マスク６０の回転とは無関係に一定である。つまり、特性図に示すように、角度θを変えることで、半透過部通過光６７の光強度を自由に制御することができる。
【００６９】
また、半透過マスク６０の長さＬを実施の形態１にて説明した方法で調整し、マスク開口部通過光６６と半透過部通過光６７との間の位相差を１８０度の奇数倍に設定することができるので、実施の形態１と同様に、微小径加工が行えることになる。
【００７０】
このとき、半透過部通過光６７の光強度は調整が自由に行えるので、加工閾値光強度の異なる加工対象材料に対して加工に至らない有効な光強度を選択できる。したがって、実施の形態５によれば、幅広い材料の加工に簡単に対応することができるようになる。
【００７１】
なお、実施の形態４にて説明した遮光部５２を同様に半透過マスク６０に取り付けるようにしてもよい。同様に回折角度が広がるので、一層の微小穴径加工が行える。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、転写用マスクは、マスク形状をした開口部または透過部と半透過部とを備え、開口部または透過部の射出光と半透過部の射出光との間に位相差を与える位相シフト機能を有する半透過マスクで置き換えることができる。したがって、生産性の低下やハードウェア変更を要さずに、加工穴径の微小化が図れるレーザ加工機を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。
【図２】図１に示す半透過マスクにおける半透過部を通過するレーザ光の強度を低下させる原理を説明する図である。
【図３】図１に示す半透過マスクにおける半透過部通過光とマスク開口部通過光との間に位相差を付与する原理を説明する図である。
【図４】図１に示す半透過マスクの動作を一般の転写用マスクと比較して説明する図である。
【図５】この発明の実施の形態２であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。
【図６】図５に示す高反射膜の構成を示す断面図である。
【図７】図５に示す半透過マスクの構成例を示す図である。
【図８】この発明の実施の形態３であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。
【図９】図８に示す反射防止膜の反射防止作用の原理を説明する図である。
【図１０】この発明の実施の形態４であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。
【図１１】図１０に示す半透過マスクによる穴径縮小化の原理を説明する図である。
【図１２】この発明の実施の形態５であるレーザ加工機における転写用マスクである半透過マスクの構成を示す外観図である。
【図１３】図１２に示す半透過マスクにおける半透過部通過光の強度を調整する原理を説明する図である。
【図１４】レーザ加工機の一般的な構成を示す概念図である。
【図１５】図１４に示すレーザ加工機における転写用マスクによる像転写の原理を説明する図である。
【図１６】図１４に示す転写用マスクの穴径を微小化する場合の回折の影響を説明する図である。
【図１７】レンズの集光特性を説明する図である。
【図１８】位相シフトの効果を説明する図である。
【符号の説明】
１，３１，４４，６０，７０  半透過マスク（転写用マスク）、２  マスク開口部、３，３５  半透過部、１１  レーザ光、１２  マスク開口部通過光、１３半透過部通過光、３２，６１  窓材、３３  高反射膜、３４，４６  透過部、３７  反射光、４１  貫通部、４５  反射防止膜、５１，７１  遮光部、６２  偏光フィルタ、６４  レーザ光（直線偏光）、１０１  レーザ発振器、１０３  ガルバノスキャナ、１０４  ｆθレンズ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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