(57)【要約】【課題】基板収納容器の蓋体を取り除いて容器本体の開口端面を天側に向けても隣接する基板同士が接触することなく、安全に取り扱うことができる精密基板収納容器を提供する。【解決手段】精密基板収納容器の容器本体１の相対する側壁内面には１又は複数の精密基板を支持する支持部材６と精密基板Ｗのリア側を保持する保持溝が所定の間隔で設けられ、前記支持部材６の基板Ｗを搭載する面又は裏側の面の少なくとも一方に容器本体１の開口を上向きに基板Ｗの倒れ込みを防止する位置制御のための突起９を設けた精密基板収納容器である。【選択図】  図２
2004304122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密基板を収納する容器本体の開口端面を蓋体で覆う精密基板収納容器において、
前記容器本体の相対する両内壁面に、収納した１又は複数の精密基板を整列収納する支持部材が設けられ、該容器本体に該精密基板の不規則な倒れ込みを防止する位置制御突起を設けたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
精密基板を収納する容器本体の開口端面を蓋体で覆う精密基板収納容器において、
前記容器本体には収納された１又は複数の精密基板を支持する支持部材が設けられ、該支持部材が該容器本体の相対する側壁内面に精密基板を支持する支持リブと該支持リブに精密基板のリア側を保持する保持溝とを設け、該支持部材の精密基板を搭載する面又は裏側の面の少なくとも一方に、前記容器本体の開口端面を天側に向けたときに前記精密基板の不規則な倒れ込みを防止する位置制御突起を設けたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項３】
前記保持溝が、前記支持部材の最奥に挿入された前記精密基板の直径方向で１／４以上開口部側の位置に設けられることを特徴とする請求項１又は２に記載の精密基板収納容器。
【請求項４】
前記支持リブの周縁部が、中央に直線部を有し、該直線部が両端部と連なっていることを特徴とする請求項２又は３の何れか１項記載の精密基板収納容器。
【請求項５】
前記容器本体の両外壁部に略Ｌ字形状の把持部を設けて、ハンドリング時、収納された精密基板が略水平又は垂直に支持されるようにしたことを特徴とする請求項１から４の何れか１項記載の精密基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンやガラスなどの半導体ウェーハ又は、マスクガラス等の精密基板の収納、精密基板の輸送、保管、精密基板の加工等に使用される精密基板収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体業界では、生産量をより一層向上させるため、口径が３００ｍｍとう大口径のシリコンウェーハやガラスウェーハからなる精密基板（以下、基板とだけ記す）が使用され始めている。こうした基板は水平方向に支持しても垂直方向に支持しても自重で撓んでしまうので、破損しないよう所定の基板収納容器に収納して安全に取り扱われている。
【０００３】
従来の基板収納容器は、図１１を参照して説明すると、複数の基板を整列収納する容器本体３０と、この容器本体の開口端面を開閉する蓋体３１と、この蓋体３１の閉鎖時に容器本体と蓋体との間に介在してシールを形成するシールガスケット３２とが設けられている。容器本体３０は、その内部両側に基板Ｗを水平に支持する支持部材３３が配設され、内部背面にはリアリテーナ３４が設けられている。このリアリテーナ３４は、基板Ｗの後部周縁を支持し、基板Ｗのローディングの際に、基板Ｗの載置位置を決定する。また、蓋体３１の内面には、基板Ｗの前部周縁を個別に支持するフロントリテーナ３５が装着されている。
【０００４】
これらリアリテーナ３４とフロントリテーナ３５とは、基板Ｗに接触して保護する観点から支持部材３３に比べて、より柔軟性を有する材料を使用して形成され、基板Ｗとの接触部には複数の収納溝が所定の間隔で並併されている。各収納溝は斜面からなる断面略Ｕ字形あるいは略Ｖ字形に形成され、中心高さが支持部材３３の基板載置位置から高い位置に設定されており、蓋体３１の閉鎖時に基板Ｗが支持部材３３から僅かに持ち上げられる際、基板Ｗと支持部材３３との接触摩擦を減少させ、摩耗紛による基板の汚染を抑制防止するよう機能する（特許文献１参照）。
【０００５】
なお、基板Ｗは基板収納容器３０からの取り出しや挿入に関し、生産工程では自動機により水平に取り扱われる。しかしながら、検査等の特別な工程では容器本体の開口正面が上方に向けられ、  基板Ｗが垂直方向に起立した状態で手動あるいは自動で取り扱われる。この場合には、蓋体３１が取り外されると、基板Ｗは下方に位置するリアリテーナ３４のみで支持されることとなる。
【０００６】
また、従来の他の基板収納容器について、図１１を参照して説明すると、基板収納容器３０の内部両側壁には、複数枚の基板Ｗを整列収納する支持部材３３が設けられ、この支持部材３３の正面側には収納された基板Ｗの飛び出しを規制する脱着可能な規制具が設けられており、規制具は、支持プレートに弾性アーム３６を設けたもである（特許文献２参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開２０００−３１５７２１号公報（明細書の段落番号〔００２０〕から〔００２２〕，図１）
【特許文献２】
特開２００２−１１０７７６号公報（明細書の全文，図１）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の基板収納容器では、図１２に示したように、基板収納容器３０の蓋体３１を取り除いて容器本体の開口端面１７´を天側に向けて載置したときに、隣接する基板Ｗ同士が接触するおそれがある。この状態では、基板Ｗのほぼ最下部に位置するリアリテーナ３４の溝が基板Ｗの動きを規定しているが、リアリテーナ３４の溝が通常大きく開口するＶ字型に形成されており、基板Ｗがどちらに倒れるのかは規制することができないので、隣接する基板Ｗが互いに接近する方向に倒れ込んだ場合には基板Ｗの先端同士が接触するという問題があり、従来の基板収納容器の形状では、基板Ｗの接触を完全に防止することが困難であった。
【０００９】
こうした精密基板の接触を防止する為には、容器本体の開口端面にサポート部材を取り付け、これを利用して基板の接触を防止することが提案されていたが、別部材であるサポート部材を、容器本体に取り付けたり取り外したりする作業が必要であり、特に容器本体に別部材を取り付けると洗浄後の乾燥時間が長く掛かるなどの作業効率が悪くなる問題があった。
【００１０】
さらに、上記の基板収納容器は開口端面が正面を向いた状態と開口端面が上を向いた状態で取り扱いが行われており、両方の取り扱いに対して人手で安定的に基板収納容器をハンドリングし得る必要があった。しかしながら、従来の基板収納容器では、その側壁に容器本体の開口端面が正面を向いた状態（基板が水平に支持された状態）でのハンドリングを考慮したグリップ部しか取り付けられていただけであったので、基板収納容器のハンドリングに支障をきたすと言った問題があった。
【００１１】
本発明は、上記問題に鑑みなされたもので、容器本体の開口を上向きにして基板を垂直方向に立てて取り扱うときにも、基板同士が接触したり、破損したりするのを防止することができ、生産性が良く支持リブの寸法精度の良い基板収納容器を提供することを目的としている。また、基板収納容器が異なる２方向でハンドリングされても安定的にグリップ可能なハンドルを備えた精密基板収納容器を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解消したものであって、請求項１の発明は、精密基板を収納する容器本体の開口端面を蓋体で覆う精密基板収納容器において、前記容器本体の相対する両内壁面に、収納した１又は複数の精密基板を整列収納する支持部材が設けられ、該容器本体に該精密基板の不規則な倒れ込みを防止する位置制御突起を設けたことを特徴とする精密基板収納容器である。
【００１３】
請求項１の発明では、精密基板を整列収納する支持部材を備えた容器本体に位置制御突起を設けたものであって、支持部材に支持されて収納されている精密基板が位置制御突起によって、不規則に倒れ込むのを防止して、一方向しか倒れ込まないようにしており、精密基板の不規則な倒れ込みを規制することで、精密基板同士が接触して破損や汚染するのを解消することができる作用を有する。なお、位置制御突起は、支持部材や容器本体内又は容器本体外の何れでもいよが、容器本体内や支持部材に一体に設けるのが最も好ましい。
【００１４】
また、請求項２の発明は、精密基板を収納する容器本体の開口端面を蓋体で覆う精密基板収納容器において、前記容器本体には収納された１又は複数の精密基板を支持する支持部材が設けられ、該支持部材が該容器本体の相対する側壁内面に精密基板を支持する支持リブと該支持リブに精密基板のリア側を保持する保持溝とを設け、該支持部材の精密基板を搭載する面又は裏側の面の少なくとも一方に、前記容器本体の開口端面を天側に向けたときに前記精密基板の不規則な倒れ込みを防止する位置制御突起を設けたことを特徴とする精密基板収納容器である。
【００１５】
請求項２の発明では、精密基板を整列収納する支持部材の支持リブと支持リブに設けた保持溝とにより、精密基板の収納位置を規制するとともに、収納容器本体の開口端面を上向きにして載置した際に、支持部材の精密基板を搭載する面又は裏側の面の少なくとも一方に、位置制御突起を設けることによって、支持部材に収納されている精密基板が位置制御突起によって、一方向しか倒れ込まないようにしており、精密基板の不規則な倒れ込みを規制して精密基板同士が接触するのを解消できる作用を有する。なお、保持溝は、傾斜面を組み合わせてくの字形状の溝を形成しており、基板を水平に支持している際、基板はこのくの字形状の溝内に浮いた状態で保持されている。
【００１６】
また、請求項３の発明は、前記保持溝が、前記支持部材の最奥に挿入された前記精密基板の直径方向で１／４以上開口部側の位置に設けられることを特徴とする請求項１又は２に記載の精密基板収納容器である。
【００１７】
請求項３の発明では、支持部材の最奥に挿入された精密基板の直径方向で１／４以上開口部側の位置に保持溝を設けることにより、精密基板を安定に収納し得る作用を有する。仮に、保持溝がこの位置より支持部材の最奥側に形成されるとすると、精密基板を水平に保持した際に精密基板の重心が開口端面側に移り、不安定になり好ましくない。
【００１８】
また、請求項４の発明は、前記支持リブの周縁部が、中央に直線部を有し、該直線部が両端部と連なっていることを特徴とする請求項２又は３の何れか１項記載の精密基板収納容器である。
【００１９】
請求項４の発明では、支持リブの周縁部の中央に直線部を設けることによって、支持リブの梁としての機能を有し、構造的に強度が増し、成型時の中側への収縮が防止できるので、成型精度を高めることができる作用を有する。
【００２０】
また、請求項５の発明は、前記容器本体の両外壁部に略Ｌ字形状の把持部を設けて、ハンドリング時、収納された精密基板が略水平又は垂直に支持されるようにしたことを特徴とする請求項１から４の何れか１項記載の精密基板収納容器である。
【００２１】
請求項５の発明では、前記容器本体の両外壁部に略Ｌ字形状の把持部が設けられており、把持部がＬ字形であるので、容器本体の底面に平行なＬ字形状部分を把持することによって、容器本体の基板を水平状態に搬送できるし、また、容器本体の底面に垂直なＬ字形状部分を把持することによって、精密基板を垂直状態で搬送できる作用を有し、ハンドリングが容易になるととに、把持部の外観形状が他の精密基板収納容器とは異なるので、精密基板収納容器の取り扱い時の開口端面を上向きに載置可能な容器の区別が明確なものとなる作用を有する。
【００２２】
さらに、本発明について説明すると、精密基板が、少なくとも電気、電子、若しくは半導体等の製造分野で使用される単数複数（例えば、１３枚又は２５枚）の液晶セル、石英ガラス、半導体ウェーハ（シリコンウェーハ等）、又はマスク基板等が含まれる。精密基板が半導体ウェーハの場合、大口径（例えば、２００ｍｍ〜３００ｍｍ以上）の半導体ウェーハが当然に含まれる。また、容器本体や蓋体は、ポリカーボネート、アクリルニトリル、ポリプチレンテレフタレート、又はポリプロピレン等の樹脂を用いて成形することができる。また、必要に応じて帯電防止処理を施すこともできる。３００ｍｍウェーハキャリアとして使用される場合、容器本体の外形寸法は、ＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１−００９７、及び修正バージョンにより標準化されている。
【００２３】
また、蓋体は、上記したような容器本体の側壁又は正面に容器本体に係止可能な係止部を有していて、容器本体と係止されるものでも良いし、内部にラッチ機構を内蔵して側部から出没可能な係止爪を用いて係止しても良い。本基板収納容器はさらに、蓋体を用いず開口端面を有する容器本体単体として用いるもの（通常オープンカセットやキャリアと呼ばれる基板収納容器）であっても良い。こうした基板収納容器は、半導体製造工程に使用されるキャリア、工程間搬送キャリア（ＦＯＵＰ）、又は出荷用のフロントオープニングシッピングボックス（ＦＯＳＢ）として利用することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の基板収納容器の実施形態について図面を参照して説明する。先ず、本発明の一実施形態について、図１〜図６を参照して説明する。なお、図１は、本発明の実施形態を示す斜視図、図２は本実施形態の容器本体の開口端面側からの正面図、図３は図２のＩ−Ｉ線部の断面図、図４は本実施形態における支持部材の部分斜視図、図５は本実施形態における支持リブの背面図、図６（ａ）は図１の蓋体の横方向断面図、図６（ｂ）は図１の容器本体に横方向断面図である。
【００２５】
本実施形態は、複数枚の精密基板Ｗを整列収納する容器本体１と、この容器本体１の開口端面を着脱自在に被覆する蓋体２と、容器本体１の開口端面をシール可能に閉鎖する為に蓋体２に設けられたシール部材１６と、蓋体２の容器本体の開口端面と相対する面（内面）に設けられるフロントリテーナ１４とを有している。容器本体１の天壁外側部には、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ）と呼ばれる自動搬送機によって把持されるロボテックフランジ（以下、フランジと称する）５が設けられている。
【００２６】
容器本体１は、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリエーテルイミド等の合成樹脂を用いて透視可能な透明のフロントオープンボックスに成形されている。この容器本体１は、変形しないよう十分な強度、剛性、及び寸法安定性が確保され、ＡＧＶ（Ａｕｔｏ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）等の自動搬送装置の正常な作動を保障する。容器本体１の天井の中央部に設けられたロボティックフランジ５が締結具を介して螺着され、このロボティックフランジ５が天井搬送機に把持されることにより、容器本体１が搬送される。
【００２７】
また、容器本体１の底面には、３角形状に配置される位置決め具４（図示省略）が設けられている。位置決め具４は、開口部に拡開する逆Ｖ字溝を有し、加工装置に設けられる位置決めピンと嵌合して、基板収納容器を加工装置に位置決めする。こうして位置決めされた基板収納容器から加工装置へ基板Ｗをローディングしたり、アンローディングしたりする。なお、位置決め具４は、耐摩耗性に優れるポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルイミド樹脂等を用いて成形され、容器本体１に一体又は別体として取り付けられる。
【００２８】
因みに、加工装置とは、位置決めした基板収納容器から基板Ｗをローディングして、別の工程内容器に移し替えたりするための装置や、基板収納容器の蓋体２を自動的に取り外したり、あるいは蓋体２を取り外した基板収納容器を搭載して、ここから基板Ｗをローディングして、基板Ｗに酸化、フォトレジスト塗布、露光、エッチング、洗浄、薄膜形成等の各種処理や加工を施す加工装置に基板をローディングしたり、アンローディングしたりするものを言う。
【００２９】
容器本体１は、図１，図２に示したように、精密基板（以下、基板と称する）Ｗのローディングとアンローディングを行うための開口端面１７を有し、一対の側壁、天壁、底壁及び背側壁とで囲まれた筐体として形成される。両側壁の内側には、複数の基板Ｗを所定の間隔で水平に支持する支持ユニット（以下、支持部材と称する）６が設けられている。支持部材６には、図４〜図６に示したように、基板Ｗを支持する支持リブ７が、容器本体１の開口端面１７を上向きとした場合、最奥部に対して垂直方向に、予め決められた所定の間隔で並設され、支持リブ７は容器本体１の両側壁に相対向するように設けられている。
【００３０】
容器本体１の開口端面の周縁部は、外方向に折曲膨出成形されてリム部１ａが形成され、このリム部１ａの内部段差面がシール接触面を形成している。容器本体１の外側壁には、少なくとも１対の係止部１ｂが設けられ、蓋体２が開口端面１７を覆って蓋体２の係止部材３が係止部１ｂに掛合される。また、容器本体１の両側壁には、マニュアル運搬用のサイドハンドルが着脱自在にそれぞれ装着される。このハンドル（把持部）は、略Ｌ字型に形成され、底面に略平行なグリップ部２３と底面に垂直なグリップ部２２とが略垂直方向に交わるように、グリップ部が形成されている。こうしたハンドルのグリップ部２３を用いれば、基板収納容器を基板Ｗが水平な状態（容器本体１の開口が横向き）で搬送することができるし、グリップ部２２を用いれば、基板Ｗを垂直状態（容器本体１の開口が上向き）に立てた状態で搬送することができ、どちらの場合であっても安定的に搬送可能となる。
【００３１】
蓋体２は、容器本体１と同様の合成樹脂を用いて成形され、蓋体２の相対する１対の外側壁には係止部材３を軸支する溝部が形成されて係止部材３を軸止している。係止部材３は、中央にコの字状の切欠部を有する板状部と板状部の一端に設けられた円筒状の軸部とからなり、軸部が蓋体２の側壁に取り付けられ、コの字状切欠部に囲まれた変形可能部の先端が、容器本体側壁の係止部１ｂの係止溝に嵌め込まれる事で、容器本体１と蓋体２とが係止される。
【００３２】
蓋体２の内面には、図６（ａ），（ｂ）に示したように、フロントリテーナ１４が着脱自在に装着固定されて設けられ、フロントリテーナ１４には、収納溝（以下、Ｖ字溝と称する）１５が、基板収納用の一定間隔に複数設けられている。蓋体２の側壁には枠形のシール部材１６が設けられ、シール部材１６の突起や溝等を介して着脱自在に容器本体１の開口端面１７に覆われる。このシール部材１６は、蓋体２の嵌合被覆時、容器本体１のリム部１ａのシール面１ｃに圧接して容器本体１内はシールされる。なお、シール部材１６は、ポリオレフィン系やポリエスエル系の各種熱可塑性エラストマ、あるいはフッ素ゴムやシリコンゴム等を用いてガスケットとして成形される。また、好ましくは、ウェーハＷを汚染する有機成分の発生が少なく、ＪＩＳに定められたＫ６３０１Ａの測定方法による硬度８０°以下の成形材料を使用して成形される。
【００３３】
支持部材６は、図４，図５に示したように、容器本体１の側壁に一体的に取り付けられる略板状のベース部分に、垂直方向（容器本体１の開口端面を上向きとした場合）に一定間隔でベース部分の表面から略垂直方向に伸びる棚状の複数の支持リブ７が形成されている。支持リブ７は、基板Ｗを略水平に支持する上面部８と、上面部８の裏面に相当する下面部と、両者を連結する架橋部とから形成され、上面部８は基板Ｗをローディング、アンローディングする開口端面から奥側にかけての領域に基板を安定的に支持する細長形状に形成されている。容器本体１のフランジ５を上方とした際、基板Ｗは容器本体１の内側面のそれぞれの支持リブ７によって、略水平に支持される。この支持部材６は、容器本体１を成形する際に、金型の所定の位置にインサートされて一体成形される。
【００３４】
支持リブ７は、図４の斜視図を参照して説明すると、上面部８の中間部分に基板Ｗとの接触を可能な限り防止するための凹部２４が形成されており、基板Ｗと上面部８との接触面積を減らすことができる。基板Ｗを支持リブ７に水平に載置した際、基板Ｗは、支持リブ７の開口端面側とリア側に形成される凹部の残部２５により支持される。支持リブ７の周縁は、両端が湾曲部２１を形成し、中央部に直線部２０を設けた形状となっている。
【００３５】
支持リブ７をこのような形状とすることにより、樹脂成形後の収縮によって、半径方向に変形しようとする働きに対して、中央の直線部２０が変形方向に対して梁の役目をして変形を防止することができる。さらに、支持リブをインサート成形して容器本体に一体化するときに周端が円弧状であると、金型にセットする時や成形時に円周方向にずれてしまう可能性があったが、中央部に直線部２０を設けることで、円周方向のずれを防止でき位置決め精度を高めることができる。このように支持部材６は、容器本体１にインサート成形で精度良く取り付けることが可能となった。また、容器本体と支持部材が一体的に成形されているので、洗浄後の乾燥時間も大幅に短縮できる。
【００３６】
さらに、支持リブ７の奥側には傾斜面１１が形成されている。傾斜面１１は、基板Ｗの位置を規制し、容器本体１の開口端面１７を蓋体２で覆った際に、蓋体２内面に設けられたフロントリテーナ１４とによって、基板Ｗを保持する保持溝としての働きを有する。この保持溝の傾斜面１１は、支持部材６の壁面に略くの字形状に形成されている。また、支持リブ７の開口端面側の近傍には、基板Ｗが上方に飛び出るのを防止する突起１０が形成されている。さらに、図５に示したように、支持リブ７の下面部の先端部には、基板Ｗの不規則な倒れ込みを防止する突起９が設けられている。この基板Ｗの搭載位置を制御する突起９は、支持リブ７の上面部に形成された飛び出る突起１０や凹部２４とは反対側の面に形成されている。
【００３７】
次に、本実施形態の基板収納容器を使った基板の取り扱いについて説明する。先ず、基板収納容器１のフランジ５を上側として、開口端面を正面にして取り扱われる場合、容器本体１に収納される基板Ｗは、相対する側壁に設けられる支持リブ７によって水平に載置され、基板Ｗは水平状態でローディング、アンローディングされる。基板Ｗが水平に収納された状態で蓋体２で容器本体１の開口端面を閉鎖すると、蓋体２内面に取り付けられたフロントリテーナ１４のＶ字溝１５が、支持リブ７に載置されたそれぞれの基板Ｗと対応する位置に形成されているので、基板Ｗの一端位置を、Ｖ字溝１５の傾斜面を利用してＶ字溝１５の中心位置に導くと共に、支持リブ７の奥側と接触している基板Ｗの他端が、保持溝の傾斜面１１に乗り上げて中心位置に導かれ、基板Ｗが支持リブ７から浮いた状態となる。このようにして、基板Ｗはフロントリテーナ１４のＶ字溝１５と支持リブ奥側の傾斜面１１とによって保持される。
【００３８】
容器本体１から蓋体２が取り外されるときは、フロントリテーナ１４が基板Ｗの一端部から離れることで基板Ｗは再び支持リブ７の上面部８に接地し、他端部も傾斜面１１を滑り降りて、基板Ｗが支持リブ７の所定の位置に載置される。この状態で、基板取り出しロボットにより、基板Ｗが取り出され、基板Ｗに薄膜形成やリソグラフィ等の各種の加工が行われる工程で使われる工程内容器に移し替えられて加工される。このような状態での基板や基板収納容器の取り扱いは、自動機を使って行われることが多い。
【００３９】
一方、基板Ｗの検査工程などでは、検査員が手動により基板Ｗを取り扱う事が多い。例えば、検査員が基板収納容器の開口端面が上向くとなるように取り扱った場合、図３に示したように、基板Ｗが垂直方向に林立した状態になる。このとき基板Ｗの開口端面側の一端部は、隣接する支持リブ７の間に収納されることになり、基板Ｗの他端部は支持リブ７の最奥部に設けられた傾斜面１１に基板エッジが滑り込み、かつ容器本体１の奥壁部に形成されたリア溝１２に収納される。このように、基板Ｗは、保持溝の傾斜面１１とリア溝１２との、それぞれの異なった２つの傾斜面が交わる位置まで滑り込んで支持されることになる。このように基板Ｗが垂直方向に載置された際、本実施形態では、基板Ｗの開口端面側が比較的フリーな状態となったとしても、支持部６に形成された突起９によって、基板Ｗが不規則な倒れ込みを防止できる。
【００４０】
一方、支持リブ７に設けられた保持溝の傾斜面１１の位置は、図６（ｂ）を参照して説明すると、基板Ｗの直径Ｄに対して、基板Ｗの最奥部下端から１／４以上の高さ位置ｄ１に設けられている。すなわち、傾斜面１１を形成する保持溝は、ｄ１＞Ｄ／４の関係が成り立つ位置に形成されている。基板Ｗは、傾斜面１１で支持すると共に、開口端面側の支持リブ７の下面部には、突起９が設けられており、突起９によって、基板Ｗの倒れ込みを防いで基板Ｗ同士が接触するのを防止して、基板Ｗの搭載位置を制御している。なお、突起９の高さは、リブ間隔から基板Ｗのピックアップ量を引いた値よりも小さく形成する必要があり、概ね０．１〜３．０ｍｍの範囲とする。また、突起９を設ける位置（ｄ２）は、基板同士の接触を防止する為にはなるべく開口端面に近い位置に設けることが好ましく、基板直径Ｄに対して基板Ｗの最奥部下端から３／４以上の位置に設ける。すなわち、突起９の位置（ｄ２）は、ｄ２＞３Ｄ／４の関係を満足するようする。
【００４１】
次に、図７，図８を参照して、本発明の他の実施形態について説明する。容器本体１の開口端面１７と相対するリア側にリア溝１２を支持部材６と同じ間隔で形成し、ここに、基板収納容器の開口端面１７を上向向きに基板Ｗを支持するときに、基板Ｗの倒れ方向を一定にするための規制部１３をリア溝１２に設けたものである。規制部１３は、その詳細を、図７の要部（ａ）の拡大図である図８に示すと、リア溝１２に載置された基板Ｗの一方の面とほぼ平行に伸びる突部を、リア溝１２内の片面に部分的に設けたものである。容器本体１内で、基板Ｗが林立した状態で載置された場合、リア溝１２の規制部１３と、支持リブ７の奥側の傾斜面１１と、支持リブ７の開口端面側の下面部上部に設けた突起９と共同して、基板Ｗの倒れ込みを一定の方向に規制して、隣接する基板同士の先端が接近するのを防止して、より安定的に基板Ｗを支持することができる。
【００４２】
さらに、本発明の他の実施形態について、図９，図１０を参照して説明する。図９は容器本体の側面外観図であり、図１０は図９の縦断面図である。容器本体１の開口端面１７と相対する背面の外奥壁部外側に背面突起１８，１９を異なる高さで設けたものである。背面突起１８，１９は、容器本体１の開口端面１７を上方に向けたときに、容器本体１の背面を支え、かつ、基板Ｗが支持リブ７間において一定方向に傾斜するように、容器本体１を１°〜２０°傾斜させて支持することができる。従って、容器本体１が傾斜するのに従って、基板Ｗは一定方向に傾斜し、上記実施形態と同様に、基板Ｗの倒れ込み方向が一定となり、基板Ｗの取り扱いが容易になる。無論、本実施形態に、上記実施形態の突起を併用してもよい。
【００４３】
上述のように、本発明は、基板を基板収納容器に載置して、容器本体の開口端面を天井に向けた際に、基板が不規則に傾斜しないように、或いは一定の方向に傾斜するように、位置制御突起が設けた基板収納容器であって、位置制御突起は、支持部材やリブ溝の突起、或いは収納容器本体の外観部に設けた突起であってもよい。また、容器本体の背面の外側全域を傾斜させて、開口端面を天面に向けたときに基板の一方の片面が下側になって倒れ込むようにしても良い。無論、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではない。
【００４４】
【発明の効果】
上記記載のように、本発明によれば、基板収納容器に位置制御突起が設けられているので、容器本体の開口端面を天井に向けたとしても、基板の載置位置が規制されて収納された基板同士が接触して破損したりすることがなく、安定的に取り扱うことができる利点がある。
【００４５】
また、本発明によれば、収納容器本体の開口端面を正面と天面の異なる２方向を向くようなハンドリングがなされる場合であっても、収納された基板同士が接触して破損したりすることがなく、ハンドリングが良好な基板収納容器を提供できる利点がある。
【００４６】
また、本発明によれば、支持部材が収納容器本体に一体に成形されているので、従来の精密基板収納容器のように、隙間に洗浄液等がしみ込んだりして、乾燥効率を低下させることがなく、短時間に乾燥処理することができるので、洗浄性や作業性の良い基板収納容器を提供できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る精密基板収納容器の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本実施形態の精密基板収納容器の開口端面側からの正面図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ線部の断面図である。
【図４】本実施形態における支持部材の部分斜視図である。
【図５】本実施形態における支持リブの背面図である。
【図６】（ａ）は図１の蓋体の横方向の断面図、（ｂ）は図１の容器本体の横方向の断面図である。
【図７】本発明に係る他の実施形態の基板収納容器の断面図である。
【図８】図７の要部（ａ）拡大図である。
【図９】本発明に係る他の実施形態の基板収納容器の側面図である。
【図１０】本発明に係る他の実施形態の基板収納容器の開口端面を上向きとした状態を示す断面図である。
【図１１】従来の基板収納容器を示す斜視図である。
【図１２】従来の基板収納容器の断面図である。
【符号の説明】
１  容器本体
１ａ  リム部
１ｂ  係止部
１ｃ  シール面
２  蓋体
３  係止部材
４  ハンドル（把持部）
５  ロボティックハンドル
６  支持ユニット（支持部材）
７  支持リブ
８  上面部
９  突起
１０  飛び出し防止突起
１１  保持溝の傾斜面
１２  リア溝
１３  規制部
１４  フロントリテーナ
１５  収納溝（Ｖ字溝）
１６  シール部材
１７  開口端面
１８，１９  背面突起
２０  直線部
２１  湾曲部
２２，２３  グリップ部
２４  凹部
２５  凹部の残部
Ｗ  精密基板
【図１】
2004304122.tif 000003
【図２】
2004304122.tif 000004
【図３】
2004304122.tif 000005
【図４】
2004304122.tif 000006
【図５】
2004304122.tif 000007
【図６】
2004304122.tif 000008
【図７】
2004304122.tif 000009
【図８】
2004304122.tif 000010
【図９】
2004304122.tif 000011
【図１０】
2004304122.tif 000012
【図１１】
2004304122.tif 000013
【図１２】
2004304122.tif 000014