(57)【要約】【課題】被加工物を保持する保持部の移動位置を精度良く制御できる搬送装置と搬送方法、この搬送装置を用いたＮＣ工作機械を提供することを目的とする。【解決手段】駆動原１０、１１を有し、被加工物３４を保持する保持部７を互いに直交するＸＹ方向の搬送軸３、４に沿って移動させるＮＣ工作機械１において、保持部７が移動した移動位置に対応するスケール３、４の目盛りを検知して保持部７の位置を検出する位置検出部と、スケール３、４の温度を測定する温度測定器と、スケール３、４の熱膨張量を算出し、保持部７を所定の位置に移動させるためにオペレータによって入力された指令値をスケール３、４の熱膨張量分を打ち消すように補正する内部コンピュータとを備え、補正した指令値に基づいて、駆動原１０、１１を駆動し、保持部７を搬送軸３、４方向に移動させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源を有し、被加工物を保持する保持部を互いに交差するＸＹＺ方向の少なくとも一つの搬送軸方向に沿って移動させる搬送装置であって、
前記搬送軸に沿って配設したスケールを有し、前記保持部が移動した移動位置に対応する前記スケールの目盛りを検知して前記保持部の位置を検出する位置検出手段と、
前記スケールの温度を測定するスケール温度測定手段と、
前記スケールの温度における該スケールの熱膨張量を算出し、前記保持部を所定の位置に移動させるための入力された指令値を前記スケールの熱膨張量分を打ち消すように補正する指令値補正手段と、
前記補正した指令値に基づいて、前記駆動源を駆動し、前記保持部を前記搬送軸方向に沿って移動する搬送手段と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記搬送手段は、前記搬送軸としてボールネジを備えると共に前記駆動源として回転駆動するサーボモータを備え、
前記サーボモータの回転軸を前記ボールネジに接続することにより該ボールネジを回転し、
前記ボールネジと前記保持部とをボールナットを介して接続することにより、前記ボールネジの回転動作を前記保持部がボールネジに沿って移動する動作に変換し、前記保持部を前記ボールネジに沿って移動することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記位置検出手段は、
前記スケールとして、透光部と非透光部とが所定のピッチで配列するように形成された刻線を目盛りとするガラススケールを備えると共に、
該ガラススケールを挟んで、互いに対向するように前記保持部に設置された発光素子及び受光素子とを備え、
該発光素子及び受光素子に光を投受光させることによって前記ガラススケールの目盛りを検知することにより、前記保持部の位置を検出することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
駆動源を有し、被加工物を保持する保持部を互いに交差するＸＹＺ方向の少なくとも一つの搬送軸方向に沿って移動させる搬送方法であって、
前記搬送軸に沿ってスケールを配設し、前記保持部が移動した移動位置に対応する前記スケールの目盛りを検知して前記保持部の位置を検出し、
前記スケールの温度における該スケールの熱膨張量を算出し、前記保持部を所定の位置に移動させるための入力された指令値を前記スケールの熱膨張量分を打ち消すように補正し、
前記補正した指令値に基づいて、前記駆動源を駆動し、前記保持部を前記搬送軸に沿って移動することを特徴とする搬送方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３の何れか記載の搬送装置を用いたことを特徴とする工作機械。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物を保持する保持部と、保持部を互いに交差するＸＹＺ方向の少なくとも一つの搬送軸方向に沿って移動させる搬送部と、保持部の移動位置を制御するＮＣ制御部とを備えた搬送装置と搬送方法、この搬送装置を用いた工作機械に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、工作機械において被加工物の搬送装置は、ＮＣ制御部からの指令信号を受けて回転駆動する駆動モータ（所謂、駆動源である）と、駆動モータの駆動力によって回転する搬送軸と、被加工物を保持し、搬送軸の回転によって搬送軸の延長方向に移動動作するように搬送軸に係合した保持部とを備え、前記保持部を所定の位置に移動し所定の加工を行うものが知られている。
【０００３】
そして、上述の保持部の搬送装置は、周囲の温度変化や工作機械の作動によって発生する熱量等によって前記搬送軸に熱歪みが発生し、この熱歪みによって保持部の移動量及び移動位置に誤差が生じ、被加工物の加工精度を損なう場合があるので、その対策として、保持部の移動量及び移動位置の誤差を打ち消すように補正手段を備えたものが知られている。
【０００４】
例えば、放電加工機などの工作機械において、あらかじめ工作機械を動作する前に、熱電対を機械装置の各部に取り付け、機械装置各部の単位時間当たりの温度変化と保持部の搬送軸方向の熱変形量との関係式を求めておき、工作機械の動作中に機械装置各部の温度変化量を測定し、この温度変化量を前記関係式によって保持部の移動軸方向の熱変形量に変換し、この熱変形量を打ち消すように駆動モータを駆動して保持部を移動し、保持部の移動位置を補正する補正手段を有するものがある。（例えば、特許文献１参照）
また、搬送軸としてボールネジを用い、ボールナットを介して保持部を搬送軸に係合し、駆動モータによって搬送軸を回転させて保持部をボールネジのピッチ方向に移動させる工作機械において、ボールネジのピッチが搬送軸の温度変化に伴い熱膨張し変化することにより、搬送軸を所定量回転させたときの保持部の移動量及び移動位置が変化するので、搬送軸の温度変化に関わる機械装置の部品（例えば、搬送軸を支持するベアリングなど）の温度変化量を検出し、この温度変化量とボールネジのピッチの熱膨張量との関係式を求め、この関係式によって、ボールネジのピッチの熱膨張量を打ち消すように駆動モータの駆動量を制御し、保持部の移動位置を補正する補正手段を有するものがある。（例えば、特許文献２参照）
【０００５】
【特許文献１】
特開昭６１−２９７０５７号公報（第５−９頁、第１−３図）
【特許文献２】
特開平１０−１０００４３号公報（第２−３頁、第１図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示された保持部の移動位置の補正手段によれば、工作機械を作動する前に求めた関係式を用い、工作機械作動中に機械装置各部の温度変化量を測定し、保持部の移動軸方向の熱変形量を打ち消すように保持部の位置を補正しているので、被加工物を機械加工する多種の工作条件において、工作機械を作動中に保持部の位置を精度良く補正することが困難であるという問題があった。
【０００７】
つまり、放電加工機などの工作機械では、被加工物を加工する形状や加工プロセス等の加工条件によって機械装置各部における温度分布及び温度変化の速度が変化し、温度分布及び温度変化の速度が工作機械の作動前と作動中で異なる場合が生じ、工作機械の作動前に求めた関係式によって工作機械作動中に保持部の位置を精度良く補正することが困難になる場合がある。また、保持部の位置を更に精度良く補正するために、被加工物を加工する形状及び加工プロセス等の加工条件毎に、工作機械各部の温度変化量と保持部の移動軸方向の熱変形量との関係式を求めると、加工前の段取り作業が多くなり作業性を損なうことになる。
【０００８】
一方、特許文献２に開示された保持部の移動位置の補正手段によれば、
搬送軸の温度変化に伴い送りネジのピッチの熱膨張量を打ち消すように駆動モータの回転量を制御し保持部を移動させているので、送りネジピッチ以外の装置部（例えば、搬送軸と駆動モータとの連結部や、搬送軸と保持部との係合部、保持部等）に熱歪みが生じ、保持部の移動位置に誤差が生じたときには、この誤差の補正が不十分であるという問題があった。
【０００９】
さらに、保持部の移動量及び移動位置の誤差は、工作機械の周囲の温度変化や工作機械の動作によって発生する熱量等による保持部の駆動系の熱歪みのみ生ずるもので無く、機械的磨耗や機械的応力による機械歪み等の原因によっても生ずるので、これらの原因にも対応し、保持部の移動位置の誤差を打ち消すように補正手段を備える必要がある。
【００１０】
本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、被加工物を加工する加工する形状及び加工プロセス等の多種の加工条件において、保持部を移動させる駆動系に種々の熱歪みや機械歪み等が生じても、保持部の移動位置を精度良く制御できる、搬送装置と搬送方法、この搬送装置を用いたＮＣ工作機械を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
かかる目的を達成するためになされた請求項１に記載の発明は、駆動源を有し、被加工物を保持する保持部を互いに交差するＸＹＺ方向の少なくとも一つの搬送軸方向に沿って移動させる搬送装置であって、前記搬送軸に沿って配設したスケールを有し、前記保持部が移動した移動位置に対応する前記スケールの目盛りを検知して前記保持部の位置を検出する位置検出手段と、前記スケールの温度を測定するスケール温度測定手段と、前記スケールの温度における該スケールの熱膨張量を算出し、前記保持部を所定の位置に移動させるための入力された指令値を前記スケールの熱膨張量分を打ち消すように補正する指令値補正手段と、前記補正した指令値に基づいて、前記駆動源を駆動し、前記保持部を前記搬送軸方向に沿って移動する搬送手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項１に記載の搬送装置によれば、保持部が移動した移動位置に対応するスケールの目盛りを検知して保持部の位置データを検出し、スケールの熱膨張量を打ち消すよう該熱膨張量分を加算又は減算し、保持部を移動させる位置の指令値を補正しているので、被加工物を加工する形状や加工プロセス等の種々の加工条件において、搬送装置の駆動系に種々の熱歪みや機械歪み等が生じても、保持部を所定の位置に精度良く搬送できる。
【００１３】
次に、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送装置において、前記搬送手段は、前記搬送軸としてボールネジを備えると共に前記駆動源として回転駆動するサーボモータを備え、前記サーボモータの回転軸を前記ボールネジに接続することにより該ボールネジを回転し、前記ボールネジと前記保持部とをボールナットを介して接続することにより、前記ボールネジの回転動作を前記保持部がボールネジに沿って移動する動作に変換し、前記保持部を前記ボールネジに沿って移動することを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載の搬送装置によれば、駆動源として回転駆動量をＮＣ制御部によって制御できるサーボモータを備え、このサーボモータの回転駆動量に応じてボールネジの延長方向に保持部を移動するようにに構成しているので、保持部を移動させる指令値をＮＣ制御部からサーボモータに入力し、保持部の移動位置を精度良く制御できる。
【００１５】
次に、請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の搬送装置において、前記位置検出手段は、前記スケールとして、透光部と非透光部とが所定のピッチで配列するように形成された刻線を目盛りとするガラススケールを備えると共に、該ガラススケールを挟んで、互いに対向するように前記保持部に設置された発光素子及び受光素子とを備え、該発光素子及び受光素子に光を投受光させることによって前記ガラススケールの目盛りを検知することにより、前記保持部の位置を検出することを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の搬送装置によれば、ガラススケールを通過した光量の変化を検知してガラススケールの目盛りを検知し、ガラススケールに接触すること無く保持部の位置データを検出できるので、保持部が実際に移動した移動位置を精度良く検出し、保持部を所定の位置に精度良く搬送でき、且つ、位置データの検出速度や位置データの再現精度も良好にできる。
【００１７】
次に、請求項４に記載の発明は、搬送方法において、駆動源を有し、被加工物を保持する保持部を互いに交差するＸＹＺ方向の少なくとも一つの搬送軸方向に沿って移動させる搬送方法であって、前記搬送軸に沿ってスケールを配設し、前記保持部が移動した移動位置に対応する前記スケールの目盛りを検知して前記保持部の位置を検出し、前記スケールの温度における該スケールの熱膨張量を算出し、前記保持部を所定の位置に移動させるための入力された指令値を前記スケールの熱膨張量分を打ち消すように補正し、前記補正した指令値に基づいて、前記駆動源を駆動し、前記保持部を前記搬送軸に沿って移動することを特徴とする。
【００１８】
請求項４に記載の搬送方法によれば、保持部が移動した移動位置に対応するスケールの目盛りを検知して保持部の位置データを検出し、スケールの熱膨張量を打ち消すよう該熱膨張量分を加算又は減算し、保持部を移動させる位置の指令値を補正しているので、被加工物を加工する形状や加工プロセス等の種々の加工条件において、搬送装置の駆動系に種々の熱歪みや機械機械歪み等が生じても、保持部を所定の位置に精度良く搬送できる。
【００１９】
次に、請求項５に記載の発明は、工作機械において、請求項１乃至請求項３の何れか記載の搬送装置を用いたことを特徴とする。
請求項５に記載の工作機械によれば、被加工物を加工する加工する形状や加工プロセスの加工条件によって保持部を移動させる駆動系に種々の熱歪みや機械的磨耗や機械的応力による機械歪み等が生じても保持部の移動位置を精度良く検出し、保持部の移動位置を精度良く補正できる搬送装置を用いているので、被加工物を所定の形状に精度良く機械加工できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面と共に説明する。次に、本発明の搬送装置と搬送方法、この搬送装置と搬送方法を用いた工作機械の一実施形態として、ＮＣ制御プログラムに基づいて被加工物に打ち抜き加工を行うＮＣパンチャーについて説明する。
【００２１】
図１は本発明が適用された搬送装置の構成を表す平面図、図２は同実施形態の搬送装置の構成を表す正面図、図３は同実施形態の搬送装置の構成を表す側面図、図４は同実施形態の位置検出部を表す構成図、図５は同実施形態の保持部の移動位置を制御する制御系全体の構成図である。
【００２２】
図１〜図４において、１はＮＣパンチャーであり、このＮＣパンチャー１は、加工装置２５と搬送装置２とを備え、加工装置２５における雄金型２６と雌金型２７との間に被加工物３４を搬送し、被加工物３４の所定の位置に打ち抜き加工を行うものである。そして、搬送装置２は、被加工物３４を保持する保持部７と、保持部７を互いに直交するＸ方向の搬送軸３とＹ方向の搬送軸４に沿って移動させる搬送部８と、保持部７の搬送軸３、４方向の移動位置を制御するＮＣ制御部９とを備えている。
【００２３】
保持部７は、フィンガー１４を備え、フィンガー１４の先端に被加工物３４を保持している。尚、フィンガー１４は、回転軸３５を中心として回転できるように備えられており、必要に応じて、保持部７のＸＹ方向に対する傾き量を調整できる。
【００２４】
次に、搬送部８は、保持部７をＸ方向の搬送軸３の延長方向に移動させるために、ボールネジから成る搬送軸３の両端を一対のベアリング１５、１６に回転可能な状態で支持するとともに搬送軸３の一端をサーボモータからなる駆動源１０にカップリング１９を介して接続することにより搬送軸３を回転し、搬送軸３と保持部７とをフィンガー１４、ボールナット５を介して接続することにより搬送軸３の回転動作を保持部７が搬送軸３の延長方向に移動する動作に変換している。
【００２５】
また、搬送部８は、保持部７をＹ方向の搬送軸４の延長方向に移動させるために、ボールネジから成る搬送軸４の両端を一対のベアリング１７、１８に回転可能な状態で支持するとともに搬送軸４の一端をサーボモータからなる駆動源１１にカップリング２０を介して接続することにより搬送軸４を回転し、搬送軸４と保持部７を固設したフィンガー１４とをボールナット６を介して接続することにより搬送軸４の回転動作を保持部７が搬送軸４の延長方向に移動する動作に変換している。また、保持部７は、搬送部８に形成したガイド２１、２２に係合する係合部（図示せず）を備え、Ｘ方向及びＹ方向にスライドして移動する。
【００２６】
本実施例では、サーボモータからなる駆動源１０、１１と、ボールネジから成る搬送軸３、４と、搬送軸３、４と保持部７とを連結するボールナット５、６と、ガイド２１、２２とによって本発明の搬送手段としての機能が発現される。
また、搬送部８には、保持部７のＸ方向の移動位置を検出するために、搬送軸３の延長方向に沿って保持部７に対向するように配設したスケール１２を備え、保持部７が移動するに伴いスケール１２の目盛りを位置検出部２９（図３中の符号２９）で検知し、保持部７の位置データを検出している。
【００２７】
一方、搬送装置２は、保持部７のＹ方向の移動位置を検出するために、搬送軸４の延長方向に沿って配設したスケール１３を備え、保持部７が移動するに伴いスケール１３の目盛りを位置検出部３０（図２中の符号３０）で検知し、保持部７の位置データを検出している。
【００２８】
また、位置検出部２９、３０は、スケール１２、１３を挟んで、互いに対向するように前記保持部７に設置された発光素子（図示せず）と受光素子（図示せず）を備えて構成されている。そして、スケール１２、１３は透光部と非透光部が所定のピッチで配列するように刻線（図示せず）を備え、この刻線を目盛りとしたガラススケールであって、位置検出部２９（図３中の符号２９）、３０（図２中の符号３０）は、発光素子及び受光素子に光を投受光させることによって、前記ガラススケール１２、１３を通過した光量の変化を検知して目盛りを検知し、保持部７の位置を検出している。
【００２９】
本実施例では、スケール１２、１３と、位置検出部２９、位置検出部３０とによって本発明の位置検出手段としての機能が発現される。
また、搬送部８には、スケール１２、１３の近傍の搬送部８に熱電対２３、２４を設置し、熱電対２３、２４と温度測定器２８とを接続することによって、スケール１２、１３の温度を測定し、この温度値をＮＣ制御部９内の内部コンピュータ３２に入力している。
【００３０】
本実施例では、熱電対２３、２４と温度測定器２８とによって本発明のスケール温度測定手段としての機能が発現される。
次に、ＮＣ制御部９は、図５に示すように、保持部７を移動させる指令値を補正する内部コンピュータ３２を備え、搬送部８の位置検出部２９、３０、スケール１２、１３の温度を測定する温度測定器２８、外部コンピュータ３３とに接続されている。
【００３１】
外部コンピュータ３３は、被加工物３４を加工する形状にもとづいて、保持部７を移動させる位置を示す指令値が、予めオペレータによって入力され、記憶されている。
また、内部コンピュータ３２は、温度測定器から入力された温度値における該スケール１２、１３の熱膨張量を算出し、スケール１２、１３の熱膨張量を打ち消すように、保持部７を移動させる位置の指令値を補正する。
【００３２】
Ｘ方向に向けて保持部７を移動させる指令値は、温度測定器２８からスケール１２の温度が内部コンピュータ３２に入力され、内部コンピュータ３２によって、スケール１２の熱膨張量が算出され、スケール１２の熱膨張量を打ち消すように、保持部７を移動させるための指令値に熱膨張量分が加算又は減算され、補正される。
【００３３】
一方、Ｙ方向に向けて保持部７を移動させる指令値は、温度測定器２８からスケール１３の温度が内部コンピュータ３２に入力され、内部コンピュータ３２によって、スケール１３の熱膨張量が算出され、スケール１３の熱膨張量を打ち消すように、保持部７を移動させるための指令値に熱膨張量分が加算又は減算され、補正される。
【００３４】
本実施例では、内部コンピュータ３２によって本発明の指令値補正手段としての機能が発現される。
次に、内部コンピュータ３２における、保持部７を移動させる位置の指令値を補正する手順を図７に基づいて説明する。
［内部コンピュータ３２及び外部コンピュータ３３による処理手順］
まず、オペレータが、図１に表したＮＣ制御部９の操作パネルユニット（図示せず）のキー群を操作し、ＳＴＡＲＴを示す指令を送ったときに図７のフローチャートに示す処理手順がＳＴＡＲＴする。
【００３５】
まず、スケール１２、１３の目盛りに誤差のないときの標準温度値Ｔａと、スケール１２、１３の線膨張係数αを設定する（Ｓ０１）。この標準温度値Ｔａと、線膨張係数αは、予め実験によって求められたものであって、内部コンピュータ３２に入力され設定される。
【００３６】
次いで、温度測定器２８によって、Ｘ方向のスケール１２、Ｙ方向のスケール１３の温度Ｔを測定し（Ｓ０２）、内部コンピュータ３２にスケール１２の温度Ｔとスケール１３の温度Ｔが入力される。
次いで、内部コンピュータ３２は、保持部７の移動位置を示す指令値を外部コンピュータ３３から取得する（Ｓ０３）。
【００３７】
次いで、内部コンピュータ３２は、標準温度Ｔａと温度値Ｔとの温度差ΔＴをスケール１２とスケール１３のそれぞれについて算出する（Ｓ０４）。ΔＴの算出式は、ΔＴ＝Ｔ−Ｔａである。
次いで、内部コンピュータ３２は、指令値Ｌｓ、温度差ΔＴ、スケール１２、熱膨張係数αからスケール１２、１３の熱膨張量ΔＬｓを、スケール１２とスケール１３のそれぞれについて算出する（Ｓ０５）。熱膨張量ΔＬｓの算出式は、ΔＬｓ＝Ｌｓ×ΔＴ×αである。
【００３８】
次いで、内部コンピュータ３２は、指令値Ｌｓと熱膨張量ΔＬｓから、保持部７を移動させる指令値Ｌｓを、Ｘ方向Ｙ方向のそれぞれについて補正し、補正後の指令値Ｌｔを得る（Ｓ０６）。補正後の指令値Ｌｔを得る算出式は、Ｌｔ＝Ｌｓ＋ΔＬｓである。
【００３９】
次いで、内部コンピュータ３２がＸ方向及びＹ方向における補正後の指令値をサーボモータドライバー３１に入力し、サーボモータドライバー３１が駆動源１０、１１を駆動させるためのＰＷＭ信号を形成し、駆動源１０、１１が保持部７をＸ方向及びＹ方向に移動させる（Ｓ０７）。
【００４０】
次いで、ＲＥＴＵＲＮし、内部コンピュータ３２及び外部コンピュータ３３による処理手順が終了する。
以下に、本搬送装置２において、保持部７が実際に移動する移動位置の精度を確認するために、試験を行った結果について説明する。
【００４１】
尚、試験において、スケール１２、１３には、スケール１２の測定長さが１０８０ｍｍ、スケール１３の測定長さが３０５ｍｍのガラススケールを用い、このスケール１２、１３の目盛りを読み取るための位置検出部２９、３０には、発光素子に赤外線発光ダイオード、受光素子にフォトダイオードを用い、位置検出部２９、３０の分解能を１μｍに設置した。
【００４２】
また、スケール１２、１３を搬送装置２に取り付けて、このスケール１２、１３の目盛りに誤差のないときの標準温度Ｔａを測定した結果、標準温度Ｔａは２４．５℃であった。
また、搬送装置２の電源を起動させて、搬送装置２の熱量をスケール１２、１３に伝達し、スケール１２、１３の熱膨張量を測定し熱膨張係数αを算出した。その結果、熱膨張係数αは１４／１０８００００／℃であった。
【００４３】
また、試験の際、スケール１２、１３の温度値Ｔは２５．９℃であった。
また、外部コンピュータ３３には、保持部７を搬送軸３、４の方向に沿って移動し、１０ｍｍピッチ間隔で保持部７が停止するように指令値Ｌｓを入力した。
図６において、横軸は外部コンピュータ３３に入力した指令値、縦軸は指令値と保持部７が実際に移動して停止した移動位置との誤差である。
【００４４】
尚、本実施の形態の効果を確認するために、比較例とともに比較して試験を行った。比較例の搬送装置は、本実施の形態の構成中でスケール１２、１３の熱膨張量を打ち消す補正手段を用いないものとした。
図６において、（ｚ）は本実施の形態の実施例、（ｈ）は比較例である。また、試験結果は、保持部７の位置決め精度がＸ方向とＹ方向とが同一であるので、一方向のみ（Ｘ方向のみ）を表した。
【００４５】
図６に示すように、実施例（ｈ）は保持部７を移動させた原点０から１０８０ｍｍの範囲において、指令値と保持部７が実際に移動した移動位置との誤差が３μｍ以内であり、保持部７を精度良く所定の位置に搬送できた。
一方、比較例は、スケール１２、１３の熱膨張量を打ち消す補正手段を備えていないので、保持部７の指令値が大きくなるにしたがい、スケール１２、１３の熱膨張量も大きくなり、指令値と縦軸は保持部７が実際に移動した移動位置との誤差が大きくなり、好ましい結果が得られなかった。
【００４６】
以下に、本発明の実施の形態による作用効果を記載する。
本発明の実施の形態によれば、保持部７の位置データをスケール１２、１３を用いて検出し、スケール１２、１３の熱膨張量を打ち消すように熱膨張量分を加算又は減算して指令値を補正しているので、搬送装置２の駆動系に種々の熱歪みや機械機械歪み等が生じても、保持部７の移動位置を精度良く制御でき、位置決め精度を良好にできる。
【００４７】
また、駆動源１０、１１として回転駆動量をＮＣ制御部によって制御できるサーボモータを備え、この駆動源１０、１１の回転駆動によりボールネジ３、４に沿って保持部７を移動するように構成しているので、ＮＣ制御部９からサーボモータドライバー３１を介して入力される指令値に基づいて保持部７の位置を精度良く制御できる。
【００４８】
また、ガラススケール１２、１３を通過した光量の変化を検知し、ガラススケール１２、１３に接触すること無く保持部７の位置を検出できるので、保持部７の位置データを精度良く検出でき、且つ、検出速度や位置データの再現精度も良好にできる。
【００４９】
尚、本発明の実施の形態によれば、保持部７を互いに直交するＸ方向の搬送軸３とＹ方向の搬送軸４に沿って移動させる搬送装置２の構成を示したが、本発明は、更にＸＹ方向に直交するＺ方向の搬送軸を備えた搬送装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用された実施の形態の、搬送装置の構成を表す平面図である。
【図２】同実施形態の、搬送装置の構成を表す正面図である。
【図３】同実施形態の、搬送装置の構成を表す側面図である。
【図４】同実施形態の、位置検出部を表す構成図である。
【図５】同実施形態の、同実施形態の保持部の移動位置を制御する制御系全体の構成図である。
【図６】同実施形態の、位置決め精度の試験結果を表す図である。
【図７】実施例形態の、内部コンピュータによる処理手順を表すフローチャートである。
【符号の説明】
１…ＮＣパンチャー、２…搬送装置、３，４…搬送軸（ボールネジ）、５，６…ボールナット、７…保持部、８…搬送部、９…ＮＣ制御部、１０、１１…駆動源（サーボモータ）、１２，１３…スケール（ガラススケール）、１４…フィンガー、１５，１６，１７，１８…ベアリング、１９，２０…カップリング（結合器）、２１，２２…ガイド、２３，２４…熱電対、２５…加工装置、２６…雄金型、２７…雌金型、２８…温度測定器、２９，３０…位置検出部、３１…サーボモータドライバー、３２…内部コンピュータ、３３…外部コンピュータ、３４…被加工物、３５、回転軸。
【図１】
2004181542.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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