(57)【要約】【課題】クロストークに起因する各インクチャネルからのインク飛翔速度の変化を抑制して、高速で安定した駆動を可能とし、鮮明な画像形成が可能なインクジェット記録ヘッドの提供。【解決手段】少なくとも一部が圧電物質で構成された側壁により隔てられた複数のインクチャネルを有し、側壁の側面に形成された電極に印加する電圧による側壁のせん断変形によりインクチャネル内の圧力を変化させて、インクチャネル内のインクを吐出せしめるインクジェット記録ヘッドの複数のインクチャネルのうち間に１本以上のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを２つ以上の組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行ない、且つ、側壁とインクチャネル内のインクのコンプライアンス比が１．０以下となる条件を満足する。【選択図】          図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が圧電物質で構成された側壁により隔てられた複数のインクチャネルを有し、側壁の側面に形成された電極に印加する電圧による側壁のせん断変形によりインクチャネル内の圧力を変化させて、インクチャネル内のインクを吐出せしめるインクジェット記録ヘッドであって、
複数のインクチャネルのうち間に１本以上のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを２つ以上の組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行ない、且つ、側壁とインクチャネル内のインクのコンプライアンス比が１．０以下となる条件を満足することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記電極は、前記インクチャネルの流路幅をａとした場合、該インクチャネル内の底面から少なくともａ／２の高さ範囲には形成されていないことを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記電極はめっき法により形成されたことを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記インクチャネルの幅が１００μｍ以下、高さが３００μｍ以下であることを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記インクチャネルは、少なくとも一部が圧電物質で構成された側壁により隔てられた複数の溝が形成された基板と、側壁の上面に無機フィラーを含有した接着剤により接着されたカバープレートにより形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記インクチャネルの底部が非圧電物質で構成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記インクが水系インクであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記複数のインクチャネルのうち間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行なうことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記インクチャネルの密度が１５０ｄｐｉ以上であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェット記録ヘッドに関し、詳しくは、駆動時に発生するクロストークに起因する各インクチャネルからのインク飛翔速度の変化を抑制して、高速で安定した駆動が可能なインクジェット記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録ヘッドには従来から種々の方式が提案されているが、その一つにせん断モードインクジェット記録ヘッドがある（特許文献１）。
【０００３】
図１、図２は、このようなインクジェット記録ヘッドの一例を示す図であり、１はインクチューブ、２はノズル形成部材、３はノズル、４はインクチャネル、５は側壁、６はカバープレート、７はインク供給口、８は電極、９は基板である。そして、図２に示すように、インクチャネル４は側壁５とカバープレート６及び基板９によって形成されている。
【０００４】
せん断モードインクジェット記録ヘッドでは、図２の断面図に示すように、カバープレート６と基板９の間に複数の側壁５で隔てられたインクチャネル４が多数構成されている。図２では多数のインクチャネル４の一部である３本が示されている。インクチャネル４の一端はノズル形成部材２に形成されたノズル３につながり、インクチャネル４はインク供給口７を経て、インクチューブ１によって図示されていないインクタンクに接続されている。そして、側壁５の側面には、側壁の上部（カバープレート６側）から側壁高さの略半分の位置まで電極８ａ、８ｂ、８ｃが密着形成されている。電極８ａ、８ｂ、８ｃは、図示のようにインクチャネル４に臨む内側の対向する電極を共通に接続し、該対向する電極に印字パルスを印加すると、以下に述べる動作によってインク滴をノズル３から飛翔する。
【０００５】
側壁５は、図２（ａ）の矢印で示すように、図示上方向に分極された圧電材料で構成されていて、電極８ａ、８ｂ、８ｃのいずれにも印字パルスが印加されない時は、側壁５は変形しないが、図２（ｂ）に示すように電極８ａに印字パルスが印加されると共に電極８ｂ、８ｃを接地すると、圧電材料の分極方向に直角な方向の電界が生じ、側壁５がズリ変形を生じて、それによりインクの圧力が変化することによってインクチャネル４を満たしているインクの一部がノズル３から飛翔する。また、印字パルスの極性を変え、電界の向きを変えることによって、側壁の変形する向きを変えることができる。以下、インクチャネル４に臨む内側の共通に接続された対向電極にパルスを印加する動作を「チャネルに印加する」と表現する。図２ではノズルは省略してある。
【０００６】
この複数のインクチャネル４を有するせん断モードインクジェット記録ヘッドを駆動するには、通常、インクチャネル４を３分割し、これらを時分割で順次行う。以下、本明細書では、このような時分割のことを「周期」といい、ｎ分割したインクチャネルの時分割のことを「ｎ周期」と表現する場合がある。図３に示す例では、インクジェット記録ヘッドはＡ１、Ｂ１、Ｃ１、Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、Ａ３、Ｂ３、Ｃ３の９チャネルで構成されているとして説明する。また、印字パルスのタイムチャートを図４に示す。図４は、縦に各インクチャネルに加えられるパルス波形を、また、横に各周期（時間）をとってあるが、時間やパルス電圧等のスケールは正確に対応していない。
【０００７】
図３（ａ）のように、印字パルスＰａ（図４に示す）を初めの第１周期Ｔ１ａではＡ組、即ちＡ１、Ａ２、Ａ３の３チャネルに同時に印加して駆動すると、これらＡ１、Ａ２、Ａ３の３チャネルの側壁が同時に変化し、各ノズルからインク滴を飛翔する。以下、同様に図３（ｂ）、図３（ｃ）に示すように第２周期Ｔ１ｂではＢ組、即ちＢ１、Ｂ２、Ｂ３の３チャネルに同時に印字パルスＰｂ（図４に示す）を印加し、第３周期Ｔ１ｃではＣ組、即ちＣ１、Ｃ２、Ｃ３の３チャネルに同時パルスＰｃ（図４に示す）を印加して駆動すると、各側壁が逐次変形し、Ｔ１ａ、Ｔ１ｂ、Ｔ１ｃの３周期で一巡して、９チャネル全てが駆動されてノズルからインク滴を飛翔することになる。
【０００８】
図３及び図４から明らかなように、９本のインクチャネルは配列順に、Ａ組、Ｂ組、Ｃ組のそれぞれのインクチャネルを１本ずつ含む３本のインクチャネルを単位とする単位Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３に分けられ、周期Ｔ１ａ、Ｔ１ｂ、Ｔ１ｃを１駆動サイクルとする駆動サイクルで駆動される。この駆動サイクルが繰り返されることによって、画像が形成される。図３、図４の例では３本のインクチャネルをまとめて１単位として構成されているが、一般にｎ本（ｎ≧２）のインクチャネルを１単位とし、ｎ周期で１駆動サイクルを構成して駆動する駆動方法が採られる。
【０００９】
勿論、前記駆動方法において、実際に画像形成する場合には上記のように全てのインクチャネルに印字パルスが印加されるとは限らず、画像信号に応じて駆動されないインクチャネルもある。
【００１０】
【特許文献１】特開平２−１５０３５５号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、複数のインクチャネルが並んだせん断モードインクジェット記録ヘッドを３周期で駆動すると、側壁５が変形し、その圧力の一部が伝達して他のインクチャネルに影響し、駆動しているインクチャネルとインクチャネルとの間でクロストークを生じ、インク滴の飛翔速度を変化させる結果となり、画質に望ましくない影響が出ることが判明した。
【００１２】
上記のように第１周期Ｔ１ａでは、Ａ組であるＡ１、Ａ２、Ａ３の３チャネルが同時に駆動される。しかし、インクチャネルＡ１が駆動されると、その圧力変化の一部はインクチャネルＢ１を経てインクチャネルＣ１にも伝達され、更に次のインクチャネルＡ２にまでも伝わる。同様に、同時に駆動されるインクチャネルＡ３の圧力変化の一部も、逆方向からこのインクチャネルＡ２にまで伝わって、インクチャネルＡ２はインクチャネルＡ２自身が駆動されて生ずる圧力変化にインクチャネルＡ１とインクチャネルＡ３から伝達してきた圧力変化が加わって、より強力な圧力でインク滴を高速で飛翔するため、インク滴の形状も変わることになる。
【００１３】
この現象は、インクチャネルＡ１、インクチャネルＡ３についても、図では省略されているインクチャネルＡ１の左側にあるインクチャネルＡ０、インクチャネルＡ３の右側にあるインクチャネルＡ４の影響を相互に受け、所謂クロストークを生じるが、このように全てのＡ組のインクチャネルが駆動される場合には、両端のインクチャネルを除いて全てのＡ組のインクチャネルからのインク滴は速い速度で飛翔する。しかし、図５に示すように、インクチャネルＡ２のみが駆動される場合にはクロストークの影響は無く、インクチャネルＡ２からのインク滴の飛翔は前記のクロストークが生じた場合より遅い速度となり、インク滴の体積が変化したりして画像形成上問題点がある。実際には画像信号のパターンによって個々のインクチャネルが受けるクロストークの影響は異なり、ノズルから飛翔するインク滴の速度や体積も個々の状況によって異なる。
【００１４】
また、このクロストークが起こるインクチャネルの範囲は、インクチャネルを構成している材料の剛性にもよるが、通常数チャネルまでも伝達する。そこで、同時に動作するインクチャネルの間隔を大きくし、駆動する周期を増やし、例えば６周期で駆動すれば良いが、そうすると全体の画像形成時間が遅くなる等の問題がある。
【００１５】
本発明は、このような駆動時に発生するクロストークによる他チャネルへの影響の問題を解決するものであり、クロストークに起因する各インクチャネルからのインク飛翔速度の変化を抑制して、高速で安定した駆動を可能とし、鮮明な画像形成が可能なインクジェット記録ヘッドを提供することを課題とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１７】
１．少なくとも一部が圧電物質で構成された側壁により隔てられた複数のインクチャネルを有し、側壁の側面に形成された電極に印加する電圧による側壁のせん断変形によりインクチャネル内の圧力を変化させて、インクチャネル内のインクを吐出せしめるインクジェット記録ヘッドであって、複数のインクチャネルのうち間に１本以上のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを２つ以上の組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行ない、且つ、側壁とインクチャネル内のインクのコンプライアンス比が１．０以下となる条件を満足することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【００１８】
２．前記電極は、前記インクチャネルの流路幅をａとした場合、該インクチャネル内の底面から少なくともａ／２の高さ範囲には形成されていないことを特徴とする１記載のインクジェット記録ヘッド。
【００１９】
３．前記電極はめっき法により形成されたことを特徴とする１又は２記載のインクジェット記録ヘッド。
【００２０】
４．前記インクチャネルの幅が１００μｍ以下、高さが３００μｍ以下であることを特徴とする１、２又は３記載のインクジェット記録ヘッド。
【００２１】
５．前記インクチャネルは、少なくとも一部が圧電物質で構成された側壁により隔てられた複数の溝が形成された基板と、側壁の上面に無機フィラーを含有した接着剤により接着されたカバープレートにより形成されることを特徴とする１〜４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【００２２】
６．前記インクチャネルの底部が非圧電物質で構成されていることを特徴とする１〜５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【００２３】
７．前記インクチャネルの密度が１５０ｄｐｉ以上であることを特徴とする１〜６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【００２４】
８．前記複数のインクチャネルのうち間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行なうことを特徴とする１〜７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【００２５】
９．前記インクチャネルの密度が１５０ｄｐｉ以上であることを特徴とする１〜８のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本発明は、少なくとも一部が圧電物質で構成された側壁により隔てられた複数のインクチャネルを有し、側壁の側面に形成された電極に印加する電圧による側壁のせん断変形によりインクチャネル内の圧力を変化させて、インクチャネル内のインクを吐出せしめるインクジェット記録ヘッドであって、複数のインクチャネルのうち間に１本以上のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを２つ以上の組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行ない、且つ、側壁とインクチャネル内のインクのコンプライアンス比が１．０以下となる条件を満足することを特徴としている。
【００２７】
ここでコンプライアンス比とは、次によって定義される。即ち、側壁の両側の圧力差がＰのとき、側壁の平均変位量をδｐとすると、総変位量はインクチャネルの深さＨとの積δｐ・Ｈとなる。これに対し、インクチャネル内圧がＰ上昇したときのインクチャネル内のインクの変位量はＳ・Ｐ／Ｂとなる。ここでＳはインクチャネルの断面積、Ｂはインクの体積弾性率である（なお、インクチャネルの長さは単位長さとする）。従って、側壁のコンプライアンスとインクチャネル内のインクのコンプライアンスとの比ｋｃｒは、以下の式で表される。
【００２８】
ｋｃｒ＝（δｐ・Ｈ）／（Ｓ・Ｐ／Ｂ）＝（δｐ・Ｈ・Ｂ）／（Ｓ・Ｐ）
【００２９】
コンプライアンス比は、次のようにして測定することができる。インクチャネルの長さをＬ、インク中の音速をＣｏとすると、側壁に電圧を加えたときのインクチャネル内の共振周波数ｆｎは（ノズルがついていない状態で）以下の式で与えられる。
【００３０】
ｆｎ＝Ｃｏ／（２Ｌ（１＋λｋｃｒ）０．５）
【００３１】
ここで、λは振動モードの固有値で、電圧を加えるインクチャネルの選択に依存し、インクチャネル１本おきに加えたときは４、２本おきに加えたときは３、３本おきに加えたときは２、５本おきに加えたときは１となる。従って、上記のような各種駆動パターンで電圧を加え、周波数走査により共振点での電流出力変化を測定することにより共振周波数を測定する。この測定データから、横軸λ、縦軸１／ｆｎ２のグラフを描くと、傾きはｋｃｒ・（２Ｌ／Ｃｏ）２となるので、ｋｃｒを求めることができる。
【００３２】
この側壁とインクチャネル内のインクのコンプライアンス比が１．０を越えるようになると、クロストークの影響が大きく、記録された画像の画質は劣化が目立つようになる。より好ましいコンプライアンス比は０．８以下である。
【００３３】
本発明に係るインクジェット記録ヘッドにおいて、少なくとも側壁の一部を構成する圧電物質は、電圧を加えることにより変形を生じるものであれば特に限定されず、公知のものが用いられ、有機材料からなるものであっても良いが、圧電性非金属材料からなるものが好ましく、この圧電性非金属材料からなるものとして、例えば成形、焼成等の工程を経て形成されるセラミックス基板、又は成形、焼成を必要としないで形成される基板等がある。有機材料としては、有機ポリマー、有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料が挙げられる。
【００３４】
セラミックス基板としては、ＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）、第三成分添加ＰＺＴがあり、第三成分としてはＰｂ（Ｍｇ１／２Ｎｂ２／３）Ｏ３、Ｐｂ（Ｍｎ１／３Ｓｂ２／３）Ｏ３、Ｐｂ（Ｃｏ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３等があり、さらにＢａＴｉＯ３、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ３、ＬｉＴａＯ３等を用いて形成することができる。
【００３５】
また、成形、焼成を必要としないで形成される基板として、例えば、ゾルゲル法、積層基板コーティング等で形成することができる。ゾルゲル法によれば、ゾルは所定の化学組成を持つ均質な溶液に、水、酸あるいはアルカリを添加し、加水分解等の化学変化を起こさせることによって調整される。さらに、溶媒の蒸発や冷却等の処理を加えることによって、目的組成の微粒子あるいは非金属無機微粒子の前躯体を分散したゾルが作成され、基板とすることができる。異種元素の微量添加も含めて、化学組成の均一な化合物を得ることができ、出発原料には一般にケイ酸ナトリウム等の水に可溶な金属塩あるいは金属アルコキシドが用いられ、金属アルコキシドは、一般式Ｍ（ＯＲ）ｎで表される化合物で、ＯＲ基が強い塩基性を持つため容易に加水分解され、有機高分子のような縮合過程を経て、金属酸化物あるいはその水和物に変化する。
【００３６】
また、積層基板コーティングとして、気相から蒸着させる方法があり、気相からセラミックの基板を作成する方法には、物理的手段による蒸着方法と、気相あるいは基板表面の化学反応による製法の二通りに分類され、さらに、物理蒸着法（ＰＶＤ）は、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法等に細分され、また化学的方法にも気相化学反応法（ＣＶＤ）、プラズマＣＶＤ法などがある。物理蒸着法（ＰＶＤ）としての真空蒸着法は、真空中で対象とする物質を加熱して蒸発させ、その蒸気を基板上に付着させる方法で、スパッタ法は目的物質（ターゲット）に高エネルギー粒子を衝突させ、ターゲット表面の原子・分子が衝突粒子と運動量を交換して、表面からはじきだされるスパッタリング現象を利用する方法である。またイオンプレーティング法は、イオン化したガス雰囲気中で蒸着を行う方法である。また、ＣＶＤ法では、膜を構成する原子・分子あるいはイオンを含む化合物を気相状態にしたのち、適当なキャリヤーガスで反応部に導き、加熱した基板上で反応あるいは反応析出させることによって膜を形成し、プラズマＣＶＤ法はプラズマエネルギーで気相状態を発成させ、４００℃〜５００℃までの比較的低い温度範囲の気相化学反応で、膜を析出させる。
【００３７】
かかる圧電物質を用いて側壁を形成するには、分極した後、図１に示すように基板９として使用し、その上方からダイヤモンドブレード等により複数の溝を平行に切削加工することにより、図２に示す矢印の方向に分極された側壁５を形成することができる。この側壁５の上面に後述するカバープレート６を設けることによって隣接するインクチャネル４が多数形成される。
【００３８】
上述したように、側壁とインクチャネル内のインクのコンプライアンス比は、側壁５の平均変位量（δｐ）、インクチャネル４の深さ（Ｈ）、インクチャネル４の断面積（Ｓ）、インクの体積弾性率（Ｂ）の各条件によって変わるため、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、圧電物質の材質やインクチャネルの寸法を適宜選択することにより前記条件を満たすように構成されるが、特に、各インクチャネル４の幅が１００μｍ以下、高さが３００μｍ以下となるように形成されることが好ましい。各インクチャネル４がこのような幅及び高さを有することで、インクチャネル４の断面積が小さくなり、インク中の泡抜き性が向上して、高画質の画像を安定的に形成できる効果がある。
【００３９】
カバープレート６は、全インクチャネル４に亘ってその上面を覆うように側壁５の上面に接着剤を介して接着される。カバープレート６として使用できる材料は特に限定されず、有機材料からなる基板であっても良いが、非圧電性非金属材料からなる基板が好ましく、この非圧電性非金属材料からなる基板として、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英、ＰＺＴの少なくとも１つから選ばれることが好ましい。この非圧電性材料基板は、例えば成形、焼成等の工程を経て形成されるセラミックス基板、又は成形、焼成を必要としないで形成される基板等があり、焼成等の工程を経て形成されるセラミックス基板として、例えばＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、それらの混合、混融体、さらにＺｒＯ２、ＢｅＯ、ＡｌＮ、ＳｉＣ等を用いることができる。有機材料としては、有機ポリマー、有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料が挙げられる。
【００４０】
かかるカバープレート６を側壁５の上面に対して接着するための接着剤には無機フィラーを含有すると、硬化後の接着剤の硬度が高くなり、上述のコンプライアンス比を小さくできるために好ましい。このような無機フィラーには、アルミナ、シリカ等を挙げることができる。
【００４１】
また、無機フィラーの接着剤に対する含有量は、１０〜８０重量％とすることが好ましい。これよりも少なすぎると硬度が高くならず、また、多すぎると接着力が低下するため好ましくない。
【００４２】
カバープレート６が接着された基板９及び側壁５の前端面には、ノズル３が開設されたノズル形成部材２が接着剤を介して接着される。ノズル形成部材２の材料としては、ポリイミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、液晶ポリマー、アロマティックポリアミド樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリサルフォン樹脂等の合成樹脂のほか、ステンレス等の金属材料を用いることもできる。
【００４３】
各側壁５の側面に密着形成された電極８ａ、８ｂ、８ｃには、白金、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、ニッケル、タンタル、チタンを用いることができ、特に、電気的特性、加工性の点から、金、アルミニウム、銅、ニッケルが好ましい。
【００４４】
この電極８ａ、８ｂ、８ｃは、図２（ａ）において示したように、インクチャネル４の流路幅ａに対して、該インクチャネル４内の底面から少なくともａ／２の高さ範囲の側壁側面には形成されていないことが、本発明の効果をより顕著にする上で好ましい。
【００４５】
電極８ａ、８ｂ、８ｃの形成方法としては、めっき法、蒸着法、スパッタリング法等を用いることができるが、中でもめっき法により形成されることが好ましい。めっき法により形成された電極は、他の方法により形成されたものに比べて硬くなるため、上述のコンプライアンス比を小さくするのに有効である。
【００４６】
カバープレート６の上面にはインク供給口７が開設され、このインク供給口７にインクチューブ１が接続される。このインクチューブ１を介して図示しないインクタンクからインクが各インクチャネル４に供給される。
【００４７】
本発明に係るインクジェット記録ヘッドでは、このインクとして特に水系インクを使用すると、本発明の効果が顕著であるために好ましい。即ち、水系インクは一般にインクの体積弾性率が大きく、従って、上述のコンプライアンス比が大きくなる傾向があり、クロストークの影響が大きく見られるようになるためである。なお、ここで水系インクとは、インクの全重量に対する水分の割合が５０重量％以上のものと定義する。
【００４８】
本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、複数のインクチャネルのうち間に１本以上のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを２つ以上の組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行うように駆動されるが、特に、図３に示したように、間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルＡ１、Ａ２、Ａ３（インクチャネルＢ１、Ｂ２、Ｂ３又はインクチャネルＣ１、Ｃ２、Ｃ３）をまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組（Ａ組、Ｂ組、Ｃ組）に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行うようにすると、駆動されるインクチャネル間の距離が減少してクロストークの影響が大きく見られるようになる傾向があるため、この場合に本発明の効果が最も発揮され、好ましい態様である。
【００４９】
クロストークが起こるインクチャネルの範囲は通常数チャンネルまでも伝達するが、そこで同時に動作するインクチャネルの間隔を大きくし、駆動する周期を増やせばクロストークの影響は小さくなり、逆に周期を減らせばクロストークの影響は大きくなる。このため、周期を減らした方が本発明の効果が大きくなるということになるが、２周期（隣接するインクチャネル１本おきに駆動）ではクロストークが大きすぎてキャンセルが容易ではなく、３周期（隣接するインクチャネル２本おきに駆動）において本発明の効果が顕著となる。
【００５０】
また、インクチャネル４の密度は１５０ｄｐｉ以上であると、インクチャネル４間の距離が減少し、クロストークの影響が大きくなるので、この場合にも本発明の効果は顕著となる。
【００５１】
なお、以上の説明では、分極した圧電物質を基板９として使用し、この基板９の上方からダイヤモンドブレード等により複数の溝を平行に切削加工することで側壁５を形成するようにしており、インクチャネル４内の底面も圧電物質により構成されるものを示したが、図６（ａ）に示すように、非圧電物質からなる非圧電基板１０の上面に分極した圧電物質からなる圧電基板１１を積層し、図６（ｂ）に示すように、圧電基板１１側からダイヤモンドブレード等により、該圧電基板１１を縦断して非圧電基板１０の一部まで至る複数の溝を平行に切削加工することで側壁５を形成するようにしてもよい。この後、側壁５に電極を密着形成し、更にカバープレート６を接着することで上記同様のインクチャネル４を形成することができる。
【００５２】
この態様によれば、インクチャネル４の底面が非圧電物質により構成されるため、電極が形成される範囲を本発明の効果をより顕著にする目的で上述の如く考慮する必要がない。従って、この場合は図６（ｃ）に示すように、電極８０を側壁５下部（カバープレート６の接着側とは反対側）から略半分の高さまで形成するようにしてもよい。
【００５３】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明の効果を例証する。
【００５４】
まず、インクジェット記録ヘッドを次の条件で作成した。図１〜図３に示したように、ＰＺＴからなる基板に多数の溝を研削して側壁を形成し、各側壁の側面にはアルミ蒸着電極を形成した。各側壁の上面には接着剤（無機フィラー含有せず）を用いてカバープレートを接着すると共に前端に２５μｍφのノズルを開設したノズル形成部材を接着することによりインクジェット記録ヘッドを構成した。なお、インクチャネルの密度は１８０ｄｐｉ（１４１μｍピッチ）とし、各インクチャネルの幅は７０μｍ、長さは３ｍｍとし、インクには水系インク（比重：１．０６、体積弾性率：２．５ＧＰａ）を使用した。
【００５５】
インクジェット記録ヘッドは、インクチャネルの深さを表１に示すように変えてインクチャネルの断面積を変化させた計４個の記録ヘッド（実施例１〜３及び比較例）を作成した。それぞれの記録ヘッドのコンプライアンス比は表１に示す通りであった。
【００５６】
各記録ヘッドの評価は、電極にインク滴の飛翔速度が６ｍ／ｓｅｃになる電圧で、パルス幅５μｓｅｃの駆動パルスを印加して各記録ヘッドを３周期（インクチャネル２本おきに）駆動させることによりベタ画像をプリントし、ベタ部の周辺濃度の低下具合を以下の評価基準に基づいて行った。その結果を表１に示す。
【００５７】
○：ほとんど濃度ムラは見られない
△：わずかに濃度ムラがあるが、画質上問題なし
×：濃度ムラが目立つ
【００５８】
なお、クロストークの数値化は、図３に示すように、すべてのＡチャネルが駆動される場合のＡ２チャネルのインク滴の速度をＶ１、Ａ２チャネルのみが駆動される場合のＡ２チャネルのインク滴の速度をＶ２とした時、（Ｖ１−Ｖ２）／Ｖ２（単位％）で表される。この値が大きいほどクロストークの影響が大きいということになる。また、表１からわかるように、コンプライアンス比を小さくすれば、この値は小さくなる。
【００５９】
【表１】
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【００６０】
【発明の効果】
本発明によれば、駆動時に発生するクロストークによる他チャネルへの影響の問題を解決し、クロストークに起因する各インクチャネルからのインク飛翔速度の変化を抑制して、高速で安定した駆動が可能となり、鮮明な画像形成が可能なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェット記録ヘッドの構成の一例を示す断面図
【図２】（ａ）（ｂ）はインクジェット記録ヘッドの基本動作を示す図
【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）はインクジェット記録ヘッドを時分割で駆動させた状態を示す図
【図４】印字パルスのタイムチャート
【図５】インクジェット記録ヘッドにおいて一つのインクチャネルのみを駆動させた状態を示す図
【図６】（ａ）（ｂ）はインクジェット記録ヘッドの他の側壁の形成例を示す図
【符号の説明】
１：インクチューブ
２：ノズル形成部材
３：ノズル
４：インクチャネル
５：側壁
６：カバープレート
７：インク供給口
８：電極
９：基板
１０：非圧電基板
１１：圧電基板
Ｔ１ａ、Ｔ１ｂ、Ｔ１ｃ：周期
Ａ１、Ｂ１、Ｃ１・・・Ａ３、Ｂ３、Ｃ３：インクチャネル
Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ：印字パルス
Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３：単位
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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