(57)【要約】【課題】レンズ心取加工機におけるレンズの心出しを効率よく安定して行なう。【解決手段】レンズＷのＡ面、Ｂ面をベルホルダ１、２によって低圧挟持し、高速回転させてレンズ心出しを行なう。このような心出し完了の後、回転数を下げて砥石５によりレンズＷの側周面を真円加工する。レンズＷの形状に基づく心出し係数および面粗さによって心出しの難易度やベルホルダ１、２との間の摩擦を予測して、心出し回転数、心出し時間および心出し時のレンズ挟持力等の心出し条件を制御することで、心出し作用の効率化、安定化を図る。【選択図】　　　図１
2004042220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両面にそれぞれ球面部を有するレンズの側周面を真円加工する工程において、前記レンズの前記球面部を一対のレンズ保持具によって低圧挟持し、レンズ軸まわりに回転させて心出しを行なうレンズ心出し方法であって、前記レンズの形状に応じて心出し難易度を示す心出し係数を求めて、該心出し係数および前記球面部の面粗さに基づいて、前記心出し時の心出し回転数、心出し時間およびレンズ挟持力のうちの少なくとも１つを制御することを特徴とするレンズ心出し方法。
【請求項２】
心出し係数を以下の式によって求めることを特徴とする請求項１記載のレンズ心出し方法。
【数１】
2004042220.tif 000011
ここで、Ｄ１、Ｄ２：レンズ両面を保持するレンズ保持具外径（ｍｍ）
Ｒ１、Ｒ２：レンズ両面の曲率半径（ｍｍ）
±：両凸または両凹レンズの場合は＋、メニスカスレンズの場合は−
【請求項３】
心出し係数および面粗さに基づいてレンズを複数のグループに分類することを特徴とする請求項１または２記載のレンズ心出し方法。
【請求項４】
レンズ挟持力を９．８Ｎ以上、９８Ｎ以下に制御することを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載のレンズ心出し方法。
【請求項５】
心出し回転数を２０００ｒｐｍ以下に制御することを特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載のレンズ心出し方法。
【請求項６】
心出し時間を３０秒以下に制御することを特徴とする請求項１ないし５いずれか１項記載のレンズ心出し方法。
【請求項７】
心出し係数が０．７以下であることを特徴とする請求項１ないし６いずれか１項記載のレンズ心出し方法。
【請求項８】
レンズの球面部の面粗さが１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし７いずれか１項記載のレンズ心出し方法。
【請求項９】
請求項１ないし８いずれか１項記載のレンズ心出し方法によって心出しされ、側周面を真円加工されたことを特徴とするレンズ。
【請求項１０】
請求項１ないし８いずれか１項記載のレンズ心出し方法によってレンズの心出しを行ない、前記レンズの側周面を真円加工するセンタリング工程を有するレンズ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ａ面とＢ面の２面を有するレンズの側周面を真円加工するレンズ心取加工機において、ベルクランプ方式によるレンズの心出しを効率よく安定して行ない、レンズ製造コストの低減に貢献できるレンズ心出し方法、レンズ加工方法およびレンズに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光学素子であるレンズの製造工程において、従来、両面（Ａ面、Ｂ面）にそれぞれ球面部を有するレンズの心取加工を行なう心取加工工程（センタリング工程）では、レンズを低圧でクランプし、レンズ軸を高速で回転させることで心出しを実施した後、高圧クランプに切り換えて、レンズ軸を低速で回転させながら、ばらつきのない高精度の心取加工を施すレンズ加工方法が知られている（特開昭４８−４８１４０号公報参照）。
【０００３】
上記の従来技術では、低圧でクランプしてレンズを滑らせて心出しを行なう際に、クランプのアクチュエータを低圧にしても、心出し時のクランプ力つまり、レンズ挟持力が大きくなり、心出し作用を低下させる傾向がある。
【０００４】
具体的に説明すると、レギュレータを経由して、アクチュエータ、例えば、シリンダの圧力をレンズに作用させてクランプさせる構造では、シリンダ圧力は小さくても、シリンダの内径が大きいと、レンズ心出し時のクランプ力が大きくなり、このために心出し効率が低下したり、心出しができなくなる場合がある。
【０００５】
そこで、低圧でレンズをクランプして高速回転によってレンズの心出しを行なうに当り、低圧時のクランプ力を制御するための圧力制御ユニット等が必要である。
【０００６】
また、特開昭５８−１６００５１号公報には、カップ型レンズ保持具を回転させながら、低圧かつ低速でレンズを挟持し、その後、レンズを高圧で押圧させる心出し方法が開示されているが、この場合も、低圧でのレンズ挟持では不安定になりやすく、上記と同様に、心出し時のクランプ力の制御のための制御ユニットが必要である。
【０００７】
さらに、特開昭５０−１４９２号公報には、レンズ保持具の一方もしくは、両方の内側に流体を流出させることにより、レンズ保持具と被加工レンズとの間の摩擦を小さくする方法が開示されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術によれば、前述のように、心出し用の低圧でクランプするための制御ユニットや摩擦低減のために流体を供給する配管等を追加する必要があり、装置のコストアップを招くという未解決の課題がある。
【０００９】
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、レンズ心取加工機におけるレンズの形状等に合わせて心出し条件を適正化することで、低圧クランプによる心出しを効率よく安定して行ない、レンズ製造のための装置コストや加工コストを大幅に低減できるレンズ心出し方法、レンズ加工方法およびレンズを提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のレンズ心出し方法は、両面にそれぞれ球面部を有するレンズの側周面を真円加工する工程において、前記レンズの前記球面部を一対のレンズ保持具によって低圧挟持し、レンズ軸まわりに回転させて心出しを行なうレンズ心出し方法であって、前記レンズの形状に応じて心出し難易度を示す心出し係数を求めて、該心出し係数および前記球面部の面粗さに基づいて、前記心出し時の心出し回転数、心出し時間およびレンズ挟持力のうちの少なくとも１つを制御することを特徴とする。
【００１１】
心出し係数を以下の式によって求めるとよい。
【数２】
2004042220.tif 000003
ここで、Ｄ１、Ｄ２：レンズ保持具外径（ｍｍ）
Ｒ１、Ｒ２：レンズ両面の曲率半径（ｍｍ）
±：両凸および両凹レンズの場合は＋、メニスカスレンズの場合は−
【００１２】
心出し係数および面粗さに基づいてレンズを複数のグループに分類するとよい。
【００１３】
レンズ挟持力を９．８Ｎ以上、９８Ｎ以下に制御するとよい。
【００１４】
心出し回転数を２０００ｒｐｍ以下に制御するとよい。
【００１５】
心出し時間を３０秒以下に制御するとよい。
【００１６】
心出し係数が０．７以下であるとよい。
【００１７】
レンズの球面部の面粗さが１０μｍ以下であるとよい。
【００１８】
【作用】
ベルクランプ方式のレンズ心取加工機において、レンズを低圧挟持してレンズ軸まわりに回転させるレンズ心出しを効率よく安定して行なうために、レンズ形状による心出し難易度を示す心出し係数を求める。この心出し係数によって、各レンズの心出しの難易度を予測するとともに、レンズ保持具との間の摩擦をレンズの面粗さによって推測し、被加工レンズのための適正な心出し条件を設定して心出しを行なう。
【００１９】
例えば、上記のように予測された心出しの難易度と面粗さに基づいてレンズを複数のグループに分類し、各グループごとに心出し回転数、心出し時間および心出し時のレンズ挟持力のうちの少なくとも１つの適正値を設定する。
【００２０】
レンズ形状や面粗さに合わせて適正な心出し条件で心出しを行なうことで、低圧クランプ時の安定性を高めるとともに心出し効率を向上させる。これによって、レンズ加工コストの低減に貢献できる。
【００２１】
また、低圧クランプ時の圧力制御のための制御ユニット等を省略することで、装置コストも低減できる。
【００２２】
なお、心出し回転数は、レンズ軸の軸受等の耐久性を考慮して、できる限り低速回転が望ましい。
【００２３】
また、心出し時間は、加工コストの観点から、短時間である方がよい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１は、一実施の形態に用いるレンズ心出しクランプ装置を備えたレンズ心取加工機を示すもので、これは、図示中央の固定側ベルホルダ１にレンズＷを吸着して仮保持し、第１の回転駆動部３によってレンズ保持具であるベルホルダ１、２を低速回転させながら、可動側ベルホルダ２を下方へ移動させて、固定側ベルホルダ１と可動側ベルホルダ２との間にレンズＷを挟持する過程で可動側ベルホルダ２のレンズ当接部２ａとレンズＷの接触点に作用する接線力等を利用して、各ベルホルダ１、２のレンズ当接部１ａ、２ａに対してレンズＷを滑らせることで初期の心出しを行ない、続いて、レンズＷの吸着を解除して、両ベルホルダ１、２の間にレンズＷを９．８Ｎ以上、９８Ｎ以下のレンズ挟持力（クランプ力）で挟持した状態で、第２の回転駆動部７によって、両ベルホルダ１、２を予め設定された心出し時間高速回転させることで心出しを完了するように構成されている。
【００２６】
この高速回転による心出し時間は、一定時間高速回転させた後に停止し、再び一定時間高速回転させる場合は、初期の高速回転開始から最後の高速回転完了迄とする。
【００２７】
レンズ挟持力については、上記の範囲を拡大すれば、心出しの条件は拡大するが、装置のコスト高となる。
【００２８】
固定側ベルホルダ１は、中空部１１ａを有するスピンドル１１と一体的に結合され、スピンドル１１の軸受１２によって回転自在に支持されている。スピンドル１１の中空部１１ａは、ニップル１１ｂによって図示しない真空源に接続され、固定側ベルホルダ１のレンズ当接部１ａにレンズＷを吸着するための真空吸着力を発生させる。
【００２９】
また、可動側ベルホルダ２は、スピンドル２１の一端にこれと一体的に結合され、スピンドル２１は軸受２２によって回転自在に支持されている。
【００３０】
両ベルホルダ１、２を回転させる第１の回転駆動部３は、モータ３０の駆動を電磁クラッチ３０ａの作動により、固定側ベルホルダ１のスピンドル１１に伝達する回転軸３２およびギア列３３、３４と可動側ベルホルダ２のスピンドル２１に伝達するギア列３５、３６に連結自在である。
【００３１】
第１の回転駆動部３によるベルホルダ１、２の回転数は、１００ｒｐｍ以下の低速回転で任意に制御され、砥石５によってレンズＷの外周部（側周面）等を研削するセンタリング工程（心取加工）に用いられる。
【００３２】
砥石５は、不図示の回転源より、砥石スピンドル５１に回転を伝達し、回転できる構成とする。
【００３３】
加工時の砥石周速度は、３５ｍ／秒以下で制御を可能としている。
【００３４】
また、砥石５は、スピンドル１１、２１に対し、平行に移動する機構５３を有する不図示の軸方向スライドユニットと垂直に移動する機構５２を有する不図示の送りスライドユニットに連結され、レンズＷの側周面等を研削する。
【００３５】
両ベルホルダ１、２を回転させる第２の回転駆動部７は、モータ７０の駆動を電磁クラッチ７０ａの作動により、固定側ベルホルダ１のスピンドル１１に伝達する回転軸３２およびギア列３３、３４と可動側ベルホルダ２のスピンドル２１に伝達するギア列３５、３６に連結自在である。
【００３６】
第２の回転駆動部７によるベルホルダ１、２の回転数は、２０００ｒｐｍ以下の範囲で任意に制御され、前述のように両ベルホルダ１、２を高速回転させて自動クランプによるレンズ心出しを行なう工程に用いる。
【００３７】
また、第２の回転駆動部７は、不図示のタイマーにて、３０秒以下で任意に作動時間の設定を可能とする。
【００３８】
可動側ベルホルダ２を軸方向へ移動させる軸方向駆動部４は、可動側ベルホルダ２の軸中心を加圧し、移動させるもので、可動側ベルホルダ２の回転中心と軸方向駆動部４の駆動軸を合致させたピストン４１を有するシリンダ４２と、中心押圧治具４３、４４、フレキシブルジョイント４５、シリンダ４２の移動検出用センサ４６等を有する。
【００３９】
シリンダ４２は、不図示の本体ベース上に支持され、上記のようにシリンダ４２の軸中心と可動側ベルホルダ２の軸中心は、同一直線上に配設され、中心押圧治具４３、シリンダ４２のピストン４１に連結され、中心押圧治具４３は、フレキシブルジョイント４５に連結され、可動側ベルホルダ２のスピンドル２１にも連結される。
【００４０】
シリンダ４２の移動検出センサ４６は、シリンダ４２のハウジングに配設され、レンズＷに可動側ベルホルダ２が到達したことを検出するセンサであり、レンズＷまでの移動距離が変化した場合、移動検出センサ４６は、シリンダ４２のハウジングの軸方向に移動できるように構成されている。
【００４１】
シリンダ４２は、不図示の加圧方向切り換え弁を経由して、低圧挟持のための低圧レギュレータと高圧挟持のための高圧レギュレータに接続自在である。加圧方向切り換え弁は、可動側ベルホルダ２の下方向への軸移動と上方向への軸移動に用いる。
【００４２】
高圧レギュレータとの接続は、レンズＷの側周面の研削時等であり、低圧レギュレータとの接続は、レンズＷを吸着した固定側ベルホルダ１に向かって可動側ベルホルダ２を軸方向に移動させ、自動クランプによるレンズ心出しにおいて両ベルホルダ１、２を高速回転させる工程で行なう。
【００４３】
砥石５の駆動部は、前述のように、不図示の心取加工機の支持台ベースの上面に配設された不図示の軸方向スライドユニット、送りスライドユニット、砥石スピンドル５１等を備えている。
【００４４】
砥石５によってレンズＷの側周面を研削するエリアには、不図示の研削液供給ユニットにより、研削液を供給する。
【００４５】
カバー８は、砥石５、可動側ベルホルダ２、固定側ベルホルダ１を覆うもので、軸方向スライドユニット、送りスライドユニットに研削液が飛散しない構造とする。また、研削液のカバー８は、砥石スピンドル５１と接する部位は、送りスライドユニット、軸方向スライドユニットによって砥石５が自在に作動可能な構成とする。なお、カバー８には、研削液排水口８０が配設される。
【００４６】
加えて、固定側ベルホルダ１のスピンドル１１に連結し、円錐状の固定側ベルホルダのスピンドルカバー１３を配備した構成とする。
【００４７】
また、軸受２２の外周に隣接する位置に円筒状の可動側ベルホルダ２のスピンドルカバー２３を配備した構成とする。
【００４８】
可動側ベルホルダ２のスピンドルカバー２３は、内面側に多穴を有し、前記多穴に空気を供給できる構造を有し、さらに不図示の空気の供給源より、軸受２２の円周部に空気を噴出する機能を有する。
【００４９】
砥石５としては、例えば、円盤状の円筒部等に砥粒（ダイヤモンド）を保持したダイヤモンド砥石が用いられる。
【００５０】
前述のようにベルホルダによるレンズの吸着を解除したうえで、両ベルホルダ間にレンズを低圧挟持した状態で高速回転させて心出しを行なう心出し工程の効率化と信頼性の向上のために、まずレンズ形状による心出しの難易度を表わす心出し係数と、レンズの球面部の面粗さに基づいて２次元的にレンズを分類し、各グループごとに適正な心出し条件を求めておく。
【００５１】
レンズ形状による心出し係数は、レンズのＡ面とＢ面の球面部の曲率半径およびレンズ保持具（ベルホルダ）の外径とを用いて、以下のように凸レンズ、凹レンズ、メニスカスレンズごとに求めた係数である。すなわち、レンズＡ面のレンズ保持具外径と曲率半径の比とレンズＢ面のレンズ保持具外径と曲率半径の比をレンズの形状により加算または、減算させたものの絶対値である。
【００５２】
【数３】
2004042220.tif 000004
Ｄ１、Ｄ２：ベルホルダ外径（ｍｍ）
Ｒ１、Ｒ２：レンズのＡ面、Ｂ面の曲率半径（ｍｍ）
±：両凸および両凹レンズの場合は＋、メニスカスレンズの場合は−
【００５３】
上記の係数の値が大きい程、心出しが容易であり、係数値が小さい程、心出しが難しい。
【００５４】
また、レンズのＡ面とＢ面の球面部の面粗さについては、レンズの側周面の真円加工が、大きく分けて粗研削、精研削または研磨後のいずれかであり、どの工程を完了したかでレンズ両面の面粗さが異なり、ベルホルダとの摩擦係数が異なることで心出し作用が影響を受ける。
【００５５】
そこで、レンズ形状による心出し係数とレンズの面粗さにより、レンズを２次元的に複数のグループに分類し、各グループごとに心出し回転数、心出し時間、心出し時のレンズ挟持力をそれぞれ適正化する。
【００５６】
例えば、心出し係数については、最小０より、最大０．７までを６段階に区分けし、面粗さについては、１０μｍ以下で４段階に区分けし、各グループごとに心出し条件を検討・評価し、適正値を求めた。その結果を末尾の表１ないし表６に示す。
【００５７】
表１の心出し係数０．０２以下のレンズでは、ベルクランプ方式の心出しは、機械精度の向上等を行なえば可能であるが、装置および加工コストが高くなる。一般的なレンズは、外周をほぼ均一に研削することで、光学偏心５分以内を得ることが可能であるから、機械心出しは不要とし、レンズの組み込み時の調整を実施することでトータルコストの抑制が可能である。
【００５８】
具体的には、レンズのＡ面とＢ面の面粗さに関係なく、レンズ挟持力を、９．８Ｎ〜９８Ｎに設定して、外周をほぼ均一に研削することで、光学偏心５分以内を得ることができた。
【００５９】
レンズ挟持力が、９．８Ｎ未満の場合はレンズを挟持しきれず、レンズが動くため、外周をほぼ均一に研削する位置にクランプができない。また、レンズ挟持力が、９８Ｎを超える場合は、固定側ベルホルダまたは、可動側ベルホルダにて、レンズにキズを与え、外観不良となるおそれがある。
【００６０】
表２の心出し係数０．０２を超え、０．０７以下のレンズでは、心出し時のレンズ挟持力は、９．８Ｎ以上で、上限はレンズの面粗さによって異なる。心出し時のレンズ挟持力が、９．８Ｎ未満の場合、心出し時の回転にて作用する遠心力およびレンズの自重にて、心出し位置での挟持が困難である。また、心出し時のレンズ挟持力の使用可能な上限は、面粗さが粗くなるに従って低くなる。
【００６１】
すなわち、面粗さが粗くなると、レンズとベルホルダの摩擦が大となり、心出しの再現性が悪くなり、光学偏心の品質が安定しない。
【００６２】
なお、同じ面粗さでのレンズ挟持力の許容範囲は、レンズの材質の違いによって異なっており、固定側ベルホルダまたは可動側ベルホルダによって、レンズにキズを与え、外観不良となるのを防ぐため、軟質材のレンズの挟持力は、許容範囲内で弱く、硬質材のレンズの挟持力は、許容範囲内で強く設定する。
【００６３】
心出し回転数は、５００ｒｐｍから２０００ｒｐｍの間での設定であるが、面粗さが粗くなるに従い、レンズとベルホルダの摩擦が大となり、心出し性が劣るため、面粗さが粗くなるに従って速い回転数を設定する。
【００６４】
表２の設定より遅い回転数を設定した場合、心出しの再現性が悪くなり、光学偏心の品質が安定しない。また、設定より速い回転数を設定した場合は、心出し時に作用する遠心力により、ベルホルダの磨耗および損傷を早め、ベルホルダの寿命が短くなり、レンズへのキズによる外観不良や、光学偏心劣化を招く。
【００６５】
心出し時間は、５秒から３０秒の間での設定であるが、面粗さが粗くなるに従い、レンズとベルホルダの摩擦が大となり、心出しの再現性が悪くなり、光学偏心の品質が安定しない。
【００６６】
表２の設定より短い時間を設定した場合、心出しの再現性が悪くなり、光学偏心の品質が安定しない。また、設定より長い時間を設定した場合、ベルホルダを高速で回転させている時間が長いため、ベルホルダの磨耗および損傷を早め、ベルホルダの寿命が短くなり、レンズへのキズによる外観不良や、光学偏心劣化を招く。
【００６７】
なお、表２から表６において、心出し係数が大となるに従って心出しが容易であることが解る。
【００６８】
表３から表６では、いずれも、表２の場合と同様に、心出し時のレンズ挟持力は、９．８Ｎ以上で、レンズの面粗さによって、上限が異なる。心出し時のレンズ挟持力が、９．８Ｎ未満の場合、心出し時の回転にて作用する遠心力およびレンズの自重にて、心出し位置での挟持が困難である。また、心出し時のレンズ挟持力の使用可能な上限は、面粗さが粗くなるに従い、レンズとベルホルダの摩擦が大となり、心出しの再現性が悪くなり、光学偏心の品質が安定しない。
【００６９】
同じ面粗さにてレンズ挟持力の許容範囲は、レンズの材質の違いにより異なる。すなわち、固定側ベルホルダまたは、可動側ベルホルダにて、レンズにキズを与え、外観不良となるのを防ぐため、レンズが軟質材である場合の挟持力は、許容範囲内で弱く、レンズが硬質材である場合の挟持力は、許容範囲内で強く設定する。
【００７０】
心出し回転数は、心出しが容易なレンズ程、遅い回転で心出しが可能である。面粗さが粗くなるに従い、レンズとベルホルダの摩擦が大となり、心出し性が劣るため、面粗さが粗くなるに従って速い回転数に設定する。
【００７１】
表３は、心出し係数が０．０７を超え、０．１０以下のレンズの心出し条件を示す。
【００７２】
表４は、心出し係数が０．１０を超え、０．１５以下のレンズの心出し条件を示す。
【００７３】
表５は、心出し係数が０．１５を超え、０．３０以下のレンズの心出し条件を示す。
【００７４】
表６は、心出し係数が０．３０を超え、０．７０以下のレンズの心出し条件を示す。
【００７５】
表３から表６の設定より遅い回転数を設定した場合、心出しの再現性が悪くなり、光学偏心の品質が安定しない。また、設定より速い回転数を設定した場合、心出し時に作用する遠心力により、ベルホルダの磨耗および損傷を早め、ベルホルダの寿命が短くなり、レンズへのキズによる外観不良または、光学偏心劣化となった。
【００７６】
心出し時間も同様に、心出しが容易なレンズ程、短い時間で心出しが可能である。
【００７７】
また、面粗さが粗くなるに従い、レンズとベルホルダの摩擦が大となり、心出しの再現性が悪くなり、光学偏心の品質が安定しない。
【００７８】
表３から表６の設定より短い時間を設定した場合、心出しの再現性が悪くなり、光学偏心の品質が安定しない。設定より長い時間を設定した場合、ベルホルダを高速で回転させている時間が長いため、ベルホルダの磨耗および損傷を早め、ベルホルダの寿命が短くなり、レンズへのキズによる外観不良または、光学偏心不良となった。
【００７９】
【表１】
2004042220.tif 000005
【００８０】
【表２】
2004042220.tif 000006
【００８１】
【表３】
2004042220.tif 000007
【００８２】
【表４】
2004042220.tif 000008
【００８３】
【表５】
2004042220.tif 000009
【００８４】
【表６】
2004042220.tif 000010
【００８５】
【発明の効果】
本発明は、上述のとおり構成されているので、次に記載する効果を奏する。
【００８６】
Ａ面とＢ面の２面を有するレンズの真円加工を行なうためのレンズ心出し方法において、レンズ形状による心出し難易度を示す心出し係数とレンズ両面の面粗さに基づいて、心出し回転数、心出し時間、心出し時のレンズ挟持力のうちの少なくとも１つを制御することで、レンズの心出しを効率よく安定して行なうことができる。その結果、レンズの心取加工コストを大幅に削減できる。
【００８７】
また、レンズ心出し時のレンズ挟持力を低圧で微細に制御する圧力制御ユニット等の省略により、装置コストも低減できる。
【００８８】
このようにして、レンズの製造コストの削減に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レンズ心取加工機のレンズ心出しクランプ装置を示す模式図である。
【符号の説明】
１　　固定側ベルホルダ
２　　可動側ベルホルダ
３　　第１の回転駆動部
４　　軸方向駆動部
５　　砥石
７　　第２の回転駆動部
８　　カバー
【図１】
2004042220.tif 000012