(57)【要約】【課題】装置外部の水環境中にエッチング液を漏洩することなく被加工物の電解エッチングを行う。原子炉炉内に適用する場合は放射能を含む廃液を低減させる。【解決手段】二重の容器により装置外側の水を隔離し、外側容器と内側容器間にイオン交換樹脂槽を通過させた水を循環させ、内側容器で電解エッチングを行う。電解エッチング終了後は内側容器のみを被加工物から離し、外側容器と内側容器との間の外空間部を循環する水により、内側容器と被加工物間に残存するエッチング液を洗浄する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水中で被加工物を電解エッチングする水中エッチング装置において、
水中において被加工物に密着する外側容器と該外側容器内に配設され、被加工物に密着する内側容器との組み合わせからなり、
前記内側容器には、前記外側容器と内側容器とで形成される外空間部に接続された、イオン交換樹脂槽を備えたイオン交換系統が設けられ、前記内側容器によって形成される内空間部に接続された、エッチング液貯液槽を備えたエッチング液系統が設けられ、かつ
前記内側容器内に、電源に接続された一方の電極が設けられ、該電極に絶縁されて他方の電極が内側容器に一体に構成されること
を特徴とする水中エッチング装置。
【請求項２】
水中で被加工物を電解エッチングする水中エッチング装置において、
水中において被加工物に密着する外側容器と該外側容器内に配設され、被加工物に密着する内側容器との組み合わせからなり、
前記内側容器には、該内側容器を被加工物から離し、または近傍させる方向に移動させるようにして駆動装置が設けられ、かつ前記外側容器と内側容器とで形成される外空間部に接続された、イオン交換樹脂槽を備えたイオン交換系統が設けられ、前記内側容器によって形成される内空間部に接続された、エッチング液貯液槽を備えたエッチング液系統、および洗浄水貯液槽を備えた洗浄液系統が設けられ、かつ
前記内側容器内に、電源に接続された一方の電極が設けられ、該電極に絶縁されて他方の電極が内側容器に一体に構成されること
を特徴とする水中エッチング装置。
【請求項３】
請求項１において、前記外側容器と前記内側容器との間には弾性体が配設され、前記駆動装置はエアシリンダーを備えたエア供給系統からなり、エアを前記エアシリンダーに投入することによって前記内側容器を前記外側容器に独立に摺動させることを特徴とする水中エッチング装置。
【請求項４】
水中で被加工物を電解エッチングする水中エッチング方法において、
水中において外側容器と、該外側容器内に配設された内側容器とを被加工物に密着させて、前記外側容器と前記内側容器との間に外空間部を、そして前記内側容器内に内空間部を形成し、
被加工物に前記外側容器と前記内側容器とが密着した状態で前記内空間部にエッチング液系統からエッチング液を投入すると共に、電極に電流を流すことによって前記内側容器によって包囲された被加工物の被加工領域について電解エッチングを行い、
前記空間部にイオン交換系統からイオン交換された水を循環させ、かつ
前記空間部に洗浄液系統から洗浄液を循環させること
を特徴とする水中エッチング方法。
【請求項５】
請求項４において、前記外側容器を被加工物に密着させた状態で、駆動装置によって前記内側容器を被加工物から離した状態を形成し、この状態で前記洗浄液を循環させて、前記内側容器と被加工物との接触面を洗浄し得るようにすることを特徴とする水中エッチング方法。
【請求項６】
請求項４または５において、前記内側容器自体が陽極とされて被加工物に密着し、前記外側容器とは電気絶縁されることを特徴とする水中エッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水中におけるエッチング方法および水中エッチング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
原子炉炉内水中にて電解エッチングを行う例が、特許文献１に開示されている。この公報では、容器内に電解液を満たし、被加工物に電位を印加するためのリード線を容器外側に、容器内側に電極を設けて電解エッチングを行っている。また、電解エッチング容器外側に容器を設け、容器内の炉水を原子炉外に設置されたポンプにより吸出している。また、二重構造の容器を用い、内側容器と外側容器間に雰囲気圧よりも高いガス圧の気体を封入して、雰囲気ガスの内側容器内への流入を防ぐ方法については、ＪＩＳ  Ｚ  ２３３０ヘリウム漏れ試験方法に規定されている吸盤法（サクションカップ法）を行う際、慣例的にヘリウム漏れ検出管が接続されているサクションカップの外側に気密容器を設け、容器内に外気圧より高圧の窒素ガスを封入して雰囲気ガス中に含まれるヘリウムガスのヘリウム漏れ検出管への流入を防ぐことが行われている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１９４４８２号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１に記載されたような電解エッチング方法では、電解エッチングの際に吸出される炉水の量が多く、放射能を含む廃液処理に労力を要する。また、内側容器と外側容器の位置制御が同じ支持体により行われているため、内側容器と外側容器は被加工物から同時に離れるため、内側容器と被加工物の接触面に浸入した電解液の除去が完全に実施できない可能性がある。
【０００５】
本発明は、放射能を含む廃液量の低減と、エッチング液を装置外部の水環境中に漏洩しない電解エッチング方法を提供し、原子炉炉水など水質管理が特に厳重な水環境下での電解エッチングを可能とすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、自らも電極として機能することを１つの態様として内側容器内でエッチング液を循環させながら内側容器および容器内部の電極に電位印加を行い被加工物を電解エッチングする際に、外側容器と内側容器の間の外空間部にイオン交換樹脂槽を通過させた水を循環させることを１つの特徴とし、また外部からの圧縮空気供給により内側容器を移動させるエアシリンダー等の駆動装置を設けることにより、外側容器が被加工物に圧接すなわち密着した状態で被加工物から内側容器を圧接および離すことを可能として、外側容器内の循環水により内側容器と被加工物の接触面を洗浄することを他の特徴とする。
【０００７】
これらの特徴において外側容器と内側容器の間を循環させる水は、イオン交換樹脂槽を通過させて再び外側容器と内側容器の間に供給されるため、少量の水で内側容器内から漏洩したエッチング液の装置外部への漏洩を防止できる。また、エアシリンダーを設け、外側容器を被加工物に圧接した状態で、内側容器を外側容器から独立に位置を変更可能とすることで、電解エッチング後の内側容器と被加工物の接触面間に微量ではあるが残存するエッチング液を内側容器を外側容器から独立して被加工物から離すことで、外側容器と内側容器の間の外空間部を循環している水により洗浄することが可能であるため、装置外部の水環境中にエッチング液を漏洩することなく被加工物の電解エッチングを行うことが可能である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明に係る電解エッチング加工装置１００の実施例として、電解エッチングヘッド１の構造について図１を用いて説明する。電解エッチングヘッド１は、筒状の形状をしており、外側容器２内の側面に内側容器３が水密に接して構成されている。また、電解エッチングヘッド１は、エアシリンダー９を外側容器２上に備えている。
【０００９】
内側容器３は金属製で導電性を有しており、導線（＋）１４によりスイッチ１９を介して直流電源設備１７の陽極に接続し、スイッチ１９をＯＮ状態にすることにより自ら陽極４となり、被加工物９０表面にプラスの電位を印加する。内側容器３の内側には筒状の陰極５が絶縁体６を介して取付けられており、導線（−）１５により直流電源設備１７の陰極に接続している。陽極４は、先端部に向けて拡大する形状をしており、加工領域を拡大するようにしている。内側容器３は外側容器２に設置されたエアシリンダー９に圧縮空気源１８から空気管３０により空気を供給することにより、被加工物９０の方向へ移動し、圧接し、エアシリンダー９から空気を抜くことにより外側容器２と内側容器３の間に設置したスプリング８の反発力により被加工物９０から離れる構造となっている。外側容器２には被加工物９０との接触面にパッキング７が取付けられ、水密性すなわち密着性を強化している。電解エッチングヘッド１は、装置外部の水環境と隔離された空間を２つ作成する。まず一つは、被加工物９０と外側容器２内面と内側容器３外面により区切られる外空間部５１であり、他は内側容器３により形成される内空間部５２である。外空間部５１は、ポンプ２０の稼動により、外側容器供給管１２と外側容器排出管１３により外空間部５１内の水の供給および排出が行われる。排出された水はイオン交換樹脂槽２１で固体異物のろ過と水中に含まれるイオンを除去して貯水槽２２に蓄えられる。尚、イオン交換樹脂槽２１は固体異物除去用のろ過材６５と、イオン交換樹脂６６を封入したもので、図２に示す構造をしている。図２において、イオン交換樹脂槽２１は、本体６１が下部に貫通部を有する隔壁６２によって区画された左右の部屋にろ過材６５とイオン交換樹脂６６を封入したもので一方の部屋には外側容器排出管１３が接続され、他方の部屋には外側容器供給管１２が接続される。イオン交換樹脂槽２１を通過した液は、外側容器供給管１２内を矢印６８で示すようにして流過し、外空間部５１を矢印３８で示すように流過する。尚、内側容器供給管１０、内側容器排出管１１、外側容器排出管１３、導線１４、１５は外側容器２の背部に設けた貫通孔５５、５６を介して外側容器２外に引き出すようにしている。
【００１０】
もう一つの空間部５２は、被加工物９０と内側容器３内面により区切られる空間であり、ポンプ２９の稼動により、内側容器供給管１０と陰極５内に形成した陰極内空間部５３に連通する内側容器排出管１１により空間内の水又は水溶液の供給および排出が行われる。排出された水又は水溶液は入口弁３２ａ、３２ｂ、３２ｃおよび出口弁３３ａ、３３ｂ、３３ｃの開閉の組合せにより、蓄える貯液槽および供給する水又は水溶液を選択する。
【００１１】
次に、水中で装置外側の水を局部的に隔離しながら被加工物９０を電解エッチングする方法の実施例について、図１を用いて説明する。水中１６、例えば原子炉炉内にある被加工物９０を電解エッチングするために、まず、電解エッチングヘッド１を被加工物９０に圧接させる。次に、エアシリンダー９への空気供給により内側容器３を被加工物９０に圧接させる。その後、ポンプ２０を稼動して、外側容器排出管１３から内側容器３内の内空間部５２の水を吸引し、イオン交換樹脂槽２１を通過させた水を貯水槽２２へと排出する。水の排出に伴い外側容器２と内側容器３の間には、外側容器供給管１２から貯水槽２２の水が供給される。尚、外側容器供給管１２は、イオン交換樹脂槽２１と外空間部５１とを結ぶ系統とする。従って、この系統に貯水槽２２が設けられることになる。この水の循環は電解エッチングヘッド１を被加工物９０から離すまで継続する。外側容器２と内側容器３間の外空間部５１への水の循環開始後、ポンプ２９を稼動して、内側容器排出管１１から吸引し、イオン交換樹脂槽３１を通過させた水を貯液槽（水）２８へと排出する。このとき、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａは開の状態、入口弁３２ｂ、３２ｃおよび出口弁３３ｂ、３３ｃは閉の状態にしておく。水の排出に伴い内側容器３内の内空間部５２には、内側容器供給管１０から貯液槽（水）２８の水が供給される。この水の循環はポンプ２９上流に設置した放射線計測器３４の計測値が計測場所のバックグランド値まで下がるまで継続する。放射線計測器３４の計測値が計測場所のバックグランド値まで下がり、循環水中に放射性物質が含まれていないことを確認後、一旦ポンプ２９を止め、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを閉の状態とし、つづいて、入口弁３２ｂおよび出口弁３３ｂを開の状態としてポンプ２９を再稼動させる。これにより、内側容器３内の内空間部５２の水は陰極空間部５３を介して内側容器排出管１１から貯液槽（エッチング液）２５へと排出される。水の排出に伴い内側容器３内の内空間部５２には、内側容器供給管１０から貯液槽（エッチング液）２５のエッチング液が供給される。尚、電解エッチングに使用するエッチング液はシュウ酸水溶液などを用い、濃度は電解エッチングの強度に応じて調整する。エッチング液の循環後、スイッチ１９をＯＮ状態として直流電源設備１７から陽極４および陰極５に電位印加を行い、陽極４によって区画された被加工物１表面の電解エッチングを行う。尚、電位の印加時間は電解エッチングの強度に応じて調整する。スイッチ１９をＯＦＦ状態として被加工物１表面の電解エッチングを終了後は、一旦ポンプ２９を止め、入口弁３２ｂおよび出口弁３３ｂを閉の状態とし、つづいて、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを開の状態としてポンプ２９を再稼動させて、内側容器３の内空間５２内のエッチング液を水の循環により除去する。その後、被加工物９０表面の中和処理をする場合は、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを閉の状態とし、入口弁３２ｃおよび出口弁３３ｃを開の状態としてポンプ２９を再稼動させて、貯液槽（中和液）２６内の中和液を内側容器３内に供給し、エッチング液の中和を行い、電解エッチング終了後と同様、弁の開閉により内側容器３内に貯液槽（水）２８の水の循環により中和液を除去する。尚、中和液は水酸化ナトリウム水溶液などのアルカリ性の水溶液を用い、濃度は使用したエッチング液の酸性度に応じて調整する。その後、エアシリンダー９への空気供給を止め、スプリング８の力により内側容器３を被加工物９０から離し、内側容器３と被加工物９０の接触面に残存するエッチング液、もしくは中和液を貯水槽２２の水の循環により除去する。電解エッチングヘッド２７内の洗浄が完了後、ポンプ２０、２９を止め、電解エッチングヘッド１を被加工物９０から離し、電解エッチングを終了する。
【００１２】
以上のように、水中１６で被加工物９０を電解エッチングする水中エッチング装置１００において、水中１６において被加工物９０に密着する外側容器２と外側容器２内に配設され、被加工物９０に密着（圧接）する内側容器３とを組み合わせた電解エッチングヘッド１からなり、内側容器３には、外側容器２と内側容器３とで形成される外空間部５１に接続された、イオン交換樹脂槽２１を備えたイオン交換系統が設けられ、内側容器３によって形成される内空間部５２に接続された、エッチング液貯液槽２５を備えたエッチング液系統が設けられ、かつ内側容器３内に、直流電源設備１７である電源に接続された一方の電極である陰極５が設けられ、電極に絶縁されて他方の電極である陽極４が内側容器３に一体に構成される水中エッチング装置が構成される。
【００１３】
また、水中１６で被加工物９０を電解エッチングする水中エッチング装置１００において、水中１６において被加工物９０に密着する外側容器２と外側容器２内に配設され、被加工物９０に密着する内側容器３との組み合わせからなり、内側容器３には、内側容器３を被加工物９０から離し、または近傍させる方向に移動させるようにしてエアシリンダー９などの駆動装置が設けられ、かつ外側容器２と内側容器３とで形成される外空間部５１に接続された、イオン交換樹脂槽２１を備えたイオン交換系統が設けられ、内側容器３によって形成される内空間部５２に接続された、エッチング液貯液槽２５を備えたエッチング液系統、および洗浄水貯液槽２６を備えた洗浄液系統が設けられ、かつ内側容器３内に、電源に接続された一方の電極が設けられ、電極に絶縁されて他方の電極が内側容器３に一体に構成されて設けられる水中エッチング装置が構成される。
【００１４】
更に、外側容器２と内側容器３との間には弾性体（スプリング８）が配設され、駆動装置はエアシリンダー９およびプランジャー９Ａを備えたエア供給系統からなり、エア（空気）を内側容器３内に投入することによってプランジャー９Ａを駆動して内側容器３を被加工物９０方向に移動させ、エアを抜くことによってスプリング８の作用によって内側容器３を被加工物９０から離す方向に移動させ得る。このようにして、内側容器３を外側容器２に独立に摺動させる水中エッチング装置が構成される。
【００１５】
また、水中１６で被加工物９０を電解エッチングする水中エッチング方法において、水中１６において外側容器２と、外側容器２内に配設された内側容器３とを被加工物９０に密着させて、外側容器２と内側容器３との間に外空間部５１を、そして内側容器３内に内空間部５２を形成し、被加工物９０に外側容器２と内側容器３とが密着した状態で内空間部５２にエッチング液系統からエッチング液を投入すると共に、電極に電流を流すことによって内側容器３によって包囲された被加工物９０の被加工領域について電解エッチングを行い、外空間部５１にイオン交換系統からイオン交換された水を循環させ、かつ外空間部５１に洗浄液系統から洗浄液を循環させる水中エッチング方法が構成される。
【００１６】
更に、外側容器２を被加工物９０に密着させた状態で、駆動装置によって内側容器３を被加工物９０から離した状態を形成し、この状態で洗浄液を循環させて、内側容器３と被加工物９０との接触面を洗浄し得るようにする水中エッチング方法が構成される。
更に、内側容器３自体が陽極４とされて被加工物９０に密着し、外側容器２とは電気絶縁される水中エッチング方法が構成される。
【００１７】
つづいて、本発明に係る水中エッチング方法を原子炉炉内構造物に適用する実施例としてシュラウド内壁に対する電解エッチング作業を一例として図３（Ａ）および図３（Ｂ）のフローにより説明する。まず、初期状態として、スイッチ１９をＯＦＦの状態に、全ての弁を閉の状態としておく（Ｓ１）。この状態で電解エッチングヘッド１を移送装置に取付ける（Ｓ２）。移送装置の構造例としては、中空円筒容器両端に開口部を設け、内部に遠隔操作により回転回数および方向を操作可能なネジ切り加工を施した軸を有し、この軸に接続され、軸の回転により軸方向に移動するヘッド部に軸直角方向に伸縮可能なエアシリンダーを設け、エアシリンダーの先端に移送物が取付けられる構造が、一例として挙げられる。この移送装置を原子炉炉水中の上部格子板と炉心支持板に固定し（Ｓ３）、電解エッチングヘッド１を加工面の高さまで移送する（Ｓ４）。その後、電解エッチングヘッド１を水平方向に移動して、加工面に圧接させる（Ｓ５）。電解エッチングヘッド１が加工面に圧接したことを確認後、弁３７ａを開いて圧縮空気源１８よりエアシリンダー９に空気を供給して内側容器３を加工面に圧接させる（Ｓ６）。以上の操作により加工面に二重の水密空間を作成した後、弁２４を開きポンプ２０を稼動して外側容器２と内側容器３の間に水を循環させる（Ｓ７）。つづいて、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを開きポンプ２９を稼動して内側容器３内に水を循環させる（Ｓ８）。この時、内側容器３内循環水の放射線量を放射線計測器３４により計測し、計測値がバックグランド値以下となっているかを判定し（Ｓ９）、バックグラウンド値以下となるまで水の循環を継続する。計測値がバックグランド値以下となり、系統内の水に放射性物質が含まれていないことを確認した後、ポンプ２９を停止し、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを閉じ、入口弁３２ｂおよび出口弁３３ｂを開き、再びポンプ２９を稼動させて内側容器３内にエッチング液を循環させる（Ｓ１０）。この時、外側容器２と内側容器３の間を循環する水のｐＨをｐＨ計２３により計測し、計測値が予め設定しておいた設定値以上であることを確認する（Ｓ１１）。ここでｐＨが設定値以下である場合は、内側容器３と加工面のシール部に何らかの異常があるものと判断して、内側容器３を再度加工面に圧接し直す。加工面への内側容器３の再圧接は、まずポンプ２９を停止し、入口弁３２ｂおよび出口弁３３ｂを閉じた後、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを開きポンプ２９を再稼動して内側容器３内の水の循環によりエッチング液を排出して内部の洗浄を行う（Ｓ１２）。内部の洗浄終了後、弁３７ａを閉じて弁３７ｂを開き、エアシリンダー９から空気を抜いて、内側容器３を加工面から離した後で弁３７ｂを閉じ（Ｓ１３）、弁３７ａを開いてエアシリンダー９へ空気を供給し、内側容器３を加工面に再圧接する（Ｓ１４）。内側容器３を加工面に再圧接後は、再びポンプ２９を停止し、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを閉じ、入口弁３２ｂおよび出口弁３３ｂを開いてポンプ２９を再稼動し、内側容器３内にエッチング液を循環させｐＨ計２３の計測値を確認する。この操作は計測値が予め設定しておいた設定値以上になるまで繰返し、改善が見られない場合は装置の設置からやり直す場合もある。ｐＨ計２３の計測値が設定値以上であり、内側容器３と加工面のシール部が正常に機能していることを確認後、スイッチ１９をＯＮ状態として電解エッチングを開始する（Ｓ１５）。要求されるエッチング強度および使用するエッチング液の濃度から予め設定しておいた設定時間の経過後、スイッチ１９をＯＦＦ状態として電解エッチングを終了する（Ｓ１６）。電解エッチングの終了後、ポンプ２９を停止し、入口弁３２ｂおよび出口弁３３ｂを閉じ、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを開いて、ポンプ２９を再稼動して内側容器３内に水を一定時間循環させて、エッチング液を排出・内部洗浄を行う（Ｓ１７）。加工面の中和処理を行う場合（Ｓ１８）は、ポンプ２９を停止し、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを閉じ、入口弁３２ｃおよび出口弁３３ｃを開いて、ポンプ２９を再稼動して内側容器３内に中和液を一定時間循環させて、残存するエッチング液の中和を行う（Ｓ１９）。エッチング液の中和後はポンプ２９を停止し、入口弁３２ｃおよび出口弁３３ｃを閉じ、入口弁３２ａおよび出口弁３３ａを開いて、ポンプ２９を再稼動して内側容器３内の内空間部５２に水を一定時間循環させて、中和液を排出・内部洗浄を行う（Ｓ２０）。尚、加工面の中和処理を行わない場合、本作業は不要である。中和処理後の内部洗浄終了後、もしくは、中和処理を行わない場合は、弁３７ａを閉じ、弁３７ｂを開いて、エアシリンダー９から空気を抜き、内側容器３を加工面から離す（Ｓ２１）。一定時間経過後、内側容器３が接触していた加工面の洗浄が終了してから、ポンプ２９、２０を停止して、入口弁３２ａ、出口弁３３ａ、弁２４、３７ｂを閉じて、電解エッチングヘッド１を加工面から離し（Ｓ２２）、電解エッチングヘッド１を移送装置に回収し（Ｓ２３）、移送装置を原子炉炉水中から回収することで、一連の電解エッチング作業を終える（Ｓ２４）。尚、作業終了後の廃液および廃棄物の処理であるが、貯水槽２２および貯液槽（水）２８の水は炉水に戻し（Ｓ２５）、貯液槽（エッチング液）２５、貯液槽（中和液）２６の内容物は保管又は非放射性廃棄物として処分する（Ｓ２６）。イオン交換樹脂槽２１、３１の内容物は炉水中の放射性物質を含んでいる可能性があるため、放射性廃棄物として処分する（Ｓ２７）。
【００１８】
【発明の効果】
本発明によれば、装置外部の水環境中にエッチング液を漏洩することなく被加工物の電解エッチングを行うことが可能となる。また、原子炉炉内に適用した場合、放射能を含む廃液を大幅に低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電解エッチング方法及び装置を説明する図。
【図２】イオン交換樹脂槽の構造図。
【図３（Ａ）】原子炉炉内における電解エッチングの実施例を説明するフロー図の内、ステップＳ１〜Ｓ１７を示す。
【図３（Ｂ）】原子炉炉内における電解エッチングの実施例を説明するフロー図の内、ステップＳ１８〜Ｓ２７を示す。
【符号の説明】
１…電解エッチングヘッド、２…外側容器、３…内側容器、４…陽極、５…陰極、６…絶縁体、７…パッキン、８…スプリング、９…エアシリンダー、１０…内側容器供給管、１１…内側容器排出管、１２…外側容器供給管、１３…外側容器排出管、１４…導線（＋）、１５…導線（−）、１６…水中、１７…直流電源設備、１８…圧縮空気源、１９…スイッチ、２０…ポンプ、２１、３１…イオン交換樹脂槽、２２…貯水槽、２３…ｐＨ計、２４…弁、２５…貯液槽（エッチング液）、２６…貯液槽（中和液）、２８…貯液槽（水）、２９…ポンプ、３０…空気管、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ…入口弁、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ…出口弁、３４…放射線計測器、３７ａ…弁、３７ｂ…弁、３８…流れ方向、５１…外空間部、５２…内空間部、６５…ろ過材、６６…イオン交換樹脂、９０…被加工物、１００…電解エッチング加工装置。
【図１】
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【図２】
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【図３（Ａ）】
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【図３（Ｂ）】
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