(57)【要約】【課題】本発明は、クリーンストッカ内のクレーンの移動の際に発生する気流の乱れを抑制することのできる気流制御方法および気流制御構造を提供することを課題とする。【解決手段】棚２の間を移動するクレーン４によりカセット３を移送する構成のストッカ内の気流を制御する。ストッカ内に設けられた複数の空気循環用ブロア５の吸い込み量をクレーン４の移動に追従して個別に制御することによりストッカ内の乱流の発生を抑制する。【選択図】        図２
2004299813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
棚の間を移動するクレーンにより搬送物を移送する構成のストッカ内の気流を制御する気流制御方法であって、
該ストッカ内に設けられた複数の空気循環用ブロアの吸い込み量を該クレーンの移動に追従して個別に制御することによりストッカ内の乱流の発生を抑制することを特徴とする気流制御方法。
【請求項２】
請求項１記載の気流制御方法であって、
前記複数のブロアのうち、前記クレーンが通過中の位置のブロアの送風量とその近傍に配置されたブロアの送風量が増大するように制御することを特徴とする気流制御方法。
【請求項３】
請求項１記載の気流制御方法であって、
前記複数のブロアの各々に対応してシャッターを設け、該シャッターの開度を制御することにより前記ブロアの吸い込み量を制御することを特徴とする気流制御方法。
【請求項４】
棚の間を移動するクレーンにより搬送物を移送する構成のストッカ内の気流を制御する気流制御方法であって、
前記ストッカ内のクレーンの進行方向前側及び後側の気圧の差圧を測定し、
該差圧に基づいて、前記クレーンの後側における前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることを特徴とする気流制御方法。
【請求項５】
請求項４記載の気流制御方法であって、
前記クレーンの後側の空気取り込み用ファンの送風量を増大することにより前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることを特徴とする気流制御方法。
【請求項６】
ストッカの気流制御構造であって、
該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、
該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、
該複数の棚の上下の列の各々に対して下側の棚のさらに下側に配置され、吸い込み側が前記クレーンの通路に面するように配置された空気循環用ブロアと、
該空気循環用ブロアの送風量を個別に制御する制御手段と
を有することを特徴とする気流制御構造。
【請求項７】
ストッカの気流制御構造であって、
該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、
該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、
該複数の棚の各々に対して、前記クレーンの通路とは反対側に配置され、送風方向が前記クレーン通路に向かう方向とされた空気循環用ブロアと、
該空気循環用ブロアの送風量を個別に制御する制御手段と
を有することを特徴とする気流制御構造。
【請求項８】
ストッカの気流制御構造であって、
該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、
該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、
該複数の棚の上下の列の各々に対して下側の棚のさらに下側に配置され、吸い込み側が前記クレーンの通路に面するように配置された空気循環用ブロアと、
該空気循環用ブロアの各々に対して吸い込み側に設けられたシャッターと、
該シャッターの開度を個別に制御する制御手段と
を有することを特徴とする気流制御構造。
【請求項９】
ストッカの気流制御構造であって、
該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、
前記棚が配置される床であって、前記ストッカが設置されるクリーンルームの床と実質的に同一平面に設けられたストッカ床と、
該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、
前記ストッカ床の下側に配置され、吸い込み側が前記クレーンの通路側となるように配置された空気循環用ブロアと、
前記クレーンの通路に沿って前記クレーンの通路の床下に整列して設けられ、前記クレーンの通路から前記ストッカ床の下側に流れ込む空気の流量を調整するシャッターと、
該シャッターの開度を個別に制御する制御手段と
を有することを特徴とする気流制御構造。
【請求項１０】
ストッカの気流制御構造であって、
該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、
前記棚が配置される床であって、前記ストッカが設置されるクリーンルームの床と実質的に同一平面に設けられたストッカ床と、
該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、
前記ストッカ床の下側に配置され、吸い込み側が前記クレーンの通路側となるように配置された空気循環用ブロアと、
前記クレーンの通路に沿って前記クレーンの通路の床下に整列して設けられ、前記クレーンの通路の空気を前記ストッカ床の下側へ送り込むためのファンと、
該ファンの送風量を個別に制御する制御手段と
を有することを特徴とする気流制御構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は気流制御方法に係り、特に、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤと記す）等の半導体製品の製造ラインにおいて基板を収納したカセット等を保管するクリーンストッカ内の気流制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンストッカは、主に半導体製品を製造するための基板の保管に使用されるため、その内部の空気には高い清浄度が要求される。また、基板を収容したカセットがクリーンストッカの内部空間で搬送される。
【０００３】
通常使用されるクリーンストッカでは、基板を収容したカセットの搬送はクレーンにより行われる。クレーンはクリーンストッカ内を移動しながら、搬入されたカセットをクリーンストッカ内の棚の所定の場所に移動したり、所定の場所から移動して搬出したりする。
【０００４】
一般的に、クリーンストッカでは、内部の空間の清浄度を維持するために、クリーンストッカ内の搬送部分で上部から下部へ流れる気流が形成されるように空気の循環を行っている。したがって、クリーンストッカ内部では、クレーンの動きにかかわらず一定条件でクリーンストッカ内の気流の循環を行っている。
【０００５】
図１は従来のクリーンストッカの構成を示す図であり、（ａ）側面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は正面図である。
【０００６】
図１において、クリーンストッカの外周は側壁１で覆われており、内部はほぼ密閉した空間である。クリーンストッカ内には２列の並行した棚２が設けられ、基板を収容したカッセット３が棚の所定の場所に保管される。クレーン４は２列の棚２の間で、棚２に沿って設けられた通路内で移動可能である。各棚２の下側にはブロア５が設けられ、ブロアの吹き出し方向にＨＥＰＡフィルタ６が配置されて通過する空気から塵埃を除去している。なお、一般的に、クリーンストッカはクリーンルーム内に設置され、クリーンルームの床７がクリーンストッカの床を兼ねる場合が多い。
【０００７】
図１中、クリーンストッカ内の空気の流れを矢印で示す。ブロア５の吸い込み口はクレーン通路側であり、クレーンの移動で発生した塵埃をブロア５で吸い込み、ＨＥＰＡフィルタ６を通して棚２の後ろ側から浄な空気を棚２の上部へと送っている。棚２の後ろ側から前側（すなわちクレーン通路）に戻った空気は、クレーン通路を上から下に流れて再びブロア５に吸い込まれる。
【０００８】
以上のような気流を形成することにより、クレーン４の移動や動作により生じた塵埃は、直ちにブロア５に吸い込まれてＨＥＰＡフィルタ６により取り除かれる。なお、ブロア５は各棚２に対して一台設けられているが、１台の棚に複数のブロア５が設けられることもある。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−１８８３２０号公報
【００１０】
【特許文献２】
特開２０００−２７２７１１号公報
【００１１】
【特許文献３】
特開平４−１２９２４５号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上述の図１に示すようなクリーンストッカにおいて、クリーンストッカへのカセット３の搬入・搬出のたびに、クリーンストッカ内のクレーン４はカセット搬送のためにクレーン通路に沿って移動し、且つカセット３を上下移動する。
【００１３】
近年、半導体製品用の基板の大型化に伴い、これを保管するためのクリーンストッカも大きくなり、また、基板を搬送するためクレーンも大きくなっている。さらに、処理速度を高めるために、クレーン移動速度も大きくなっている。
【００１４】
ここで、クレーン４はクリーンストッカ内を水平に移動するのに対し、クリーンストッカ内の気流は垂直方向（ダウンフロー）に維持されている。すわなち、クリーンストッカ内の気流に対してクレーン４は垂直方向に移動することとなる。
【００１５】
したがって、クレーン４の移動の際にクリーンストッカ内の気流が乱れ、この気流の乱れは時にはクリーンストッカ内の塵埃を舞い上げる原因となる。塵埃が舞い上がると、クリーンストッカの棚２に保管されたカセット３に収容されている基板に塵埃が付着するといった問題が発生する恐れがある。
【００１６】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ストッカ内のクレーンの移動の際に発生する気流の乱れを抑制することのできる気流制御方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明によれば、棚の間を移動するクレーンにより搬送物を移送する構成のストッカ内の気流を制御する気流制御方法であって、
該ストッカ内に設けられた複数の空気循環用ブロアの吸い込み量を該クレーンの移動に追従して個別に制御することによりストッカ内の乱流の発生を抑制することを特徴とする気流制御方法が提供される。
【００１８】
上述の発明によれば、クレーンの移動に追従して空気循環用ブロアの吸い込み量が個別に制御されるため、気圧が高くなる部分や乱流が発生する部分において局所的に循環空気量を大きくすることができ、これにより乱流の発生を防止したり、ストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う乱流や差圧の形成を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【００１９】
上述の気流制御方法において、前記複数のブロアのうち、前記クレーンが通過中の位置のブロアとその近傍にあるブロアの送風量を増大させるように制御することが好ましい。また、前記クレーンが通過中の位置のブロアの送風量と、前記クレーンが通過中の位置のブロアの両隣のブロアの送風量とを増大させ、且つ前記クレーンが通過中の位置のブロアの送風量が最大となるように制御することが好ましい。
【００２０】
また、前記複数のブロアの各々に対応してシャッターを設け、該シャッターの開度を制御することにより前記ブロアの吸い込み量を制御することもできる。この場合、前記クレーンの進行方向前側のシャッターの開度を増大させて対応する前記ブロアの吸い込み流量を増大させることが好ましい。さらに、前記クレーンが通過中の位置のシャッターに対して前記クレーンの進行方向直前のシャッターの開度と、該直前のシャッターより更に前側のシャッターの開度とを増大させ、且つ前記直前のシャッターの開度が最大となるように制御することが好ましい。
【００２１】
また、本発明によれば、棚の間を移動するクレーンにより搬送物を移送する構成のストッカ内の気流を制御する気流制御方法であって、前記ストッカ内のクレーンの進行方向前側及び後側の気圧の差圧を測定し、該差圧に基づいて、前記クレーンの後側における前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることを特徴とする気流制御方法が提供される。
【００２２】
上述の発明によれば、クレーンの移動に追従して空気取り込み量が制御されるため、クレーン移動に伴って気圧が低くなる部分において空気取り込み量を大きくすることができる。これにより、クレーンの移動に伴い発生するストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う差圧に起因する乱流の発生を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【００２３】
上述の発明において、前記クレーンの後側の空気取り込み用ファンの送風量を増大させることにより前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることが好ましい。また、前記クレーンの通路の床下にシャッターが設けられ、前記クレーンの前側のシャッターの開度を増大させることにより、前記クレーンの前側において循環用ブロアの吸い込み量を増大させることとしてもよい。
【００２４】
また、上述の本発明による気流制御方法を達成するために、本発明によれば、ストッカの気流制御構造であって、該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、該複数の棚の上下の列の各々に対して下側の棚のさらに下側に配置され、吸い込み側が前記クレーンの通路に面するように配置された空気循環用ブロアと、該空気循環用ブロアの送風量を個別に制御する制御手段とを有することを特徴とする気流制御構造が提供される。
【００２５】
さらに、本発明によれば、ストッカの気流制御構造であって、該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、該複数の棚の各々に対して、前記クレーンの通路とは反対側に配置され、送風方向が前記クレーン通路に向かう方向とされた空気循環用ブロアと、該空気循環用ブロアの送風量を個別に制御する制御手段とを有することを特徴とする気流制御構造が提供される。
【００２６】
また、本発明によれば、ストッカの気流制御構造であって、該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、該複数の棚の上下の列の各々に対して下側の棚のさらに下側に配置され、吸い込み側が前記クレーンの通路に面するように配置された空気循環用ブロアと、該空気循環用ブロアの各々に対して吸い込み側に設けられたシャッターと、該シャッターの開度を個別に制御する制御手段とを有することを特徴とする気流制御構造が提供される。
【００２７】
さらに、本発明によれば、ストッカの気流制御構造であって、該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、前記棚が配置される床であって、前記ストッカが設置されるクリーンルームの床と実質的に同一平面に設けられたストッカ床と、該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、前記ストッカ床の下側に配置され、吸い込み側が前記クレーンの通路側となるように配置された空気循環用ブロアと、前記クレーンの通路に沿って前記クレーンの通路の床下に整列して設けられ、前記クレーンの通路から前記ストッカ床の下側に流れ込む空気の流量を調整するシャッターと、該シャッターの開度を個別に制御する制御手段とを有することを特徴とする気流制御構造が提供される。
【００２８】
また、本発明によれば、ストッカの気流制御構造であって、該ストッカ内に整列して複数段に配置され、製造物を保管するための複数の棚と、前記棚が配置される床であって、前記ストッカが設置されるクリーンルームの床と実質的に同一平面に設けられたストッカ床と、該棚の間を移動しながら該製造物を搬送するクレーンと、前記ストッカ床の下側に配置され、吸い込み側が前記クレーンの通路側となるように配置された空気循環用ブロアと、前記クレーンの通路に沿って前記クレーンの通路の床下に整列して設けられ、前記クレーンの通路の空気を前記ストッカ床の下側へ送り込むためのファンと、該ファンの送風量を個別に制御する制御手段とを有することを特徴とする気流制御構造が提供される。
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面と共に説明する。
【００２９】
まず、本発明の第１実施例による気流制御方法について、図２を参照しながら説明する。図２は本発明の第１実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成を示す図である。
【００３０】
クリーンストッカには複数の棚２が２段２列に配置され、その間にクレーン通路が設けられている。図２では２段の棚２が８台分一列に並べられ、クレーン通路をはさんで他の８台の棚が一列に並べられている。各棚２はカセット３を上下２段に配置して保管できるように構成されており、棚２の下側に空気循環用ブロア５及びＨＥＰＡフィルタ６が配置される。ここで、本実施例では、後述するようにクリーンストッカ内の気流の制御を行なうために、ブロア５及びＨＥＰＡフィルタ６は、棚２の長手方向に沿って棚２の上下の列に対応して複数個配置されている。
【００３１】
棚２に保管されたカッセット３を搬出する場合には、クレーン４が目的のカッセト３がある場所までクレーン４をクレーン通路に沿って水平方向に移動し、クレーン４に取り付けられたフォークを上下移動させ、目的のカッセット３をフォークで保持しながらクレーン通路に沿って移動して所定の搬出位置へと搬送する。カセット３を搬入する場合は、その逆の動作を行なう。したがって、カセットの搬入・搬出の都度、クレーン４はクレーン通路を移動する。
【００３２】
ここで、クレーン４が移動すると、クレーン４の周囲に乱流が発生する場合がある。特に、クレーン４の後方に空気が引き込まれて乱流が発生することが多い。
【００３３】
また、クレーン４の移動に伴い、クリーンストッカの内部の空気圧力は僅かではあるが変化する。すなわち、クレーン通路はクレーンが通れる程度の幅の狭い空間であり、クレーン４が移動するとその前方の空気が圧縮され、クレーン４の移動方向前方では空気圧力が高くなる。一方クレーン４の移動方向方法では相対的に空気圧力は低くなる。このように、クレーン４の前方と後方の間で圧力差が生じると、前方の空気がクレーン４の後方に流れるため水平方向の気流が生じ、これがクレーン４の周囲に乱流を引き起こすことがある。
【００３４】
クレーン４には塵埃の発生源となる移動機構等が設けられており、クレーン４の周囲で乱流が発生すると、塵埃がクリーンストッカ内部で舞い上がって拡散してしまい。他のカセット３に収容された基板に付着するおそれがある。
【００３５】
そこで、本実施例では、ブロア５を棚２の下側に複数個設け、クレーン４の移動に同期してブロア５の送風量を調整することにより、クレーン４の移動による乱流が発生しても塵埃が拡散しないように、あるいはクレーンの移動に伴う圧力差が生じないようにしている。
【００３６】
具体的には、本実施例では、ブロア５とフィルタ６との対となるユニット（ファンフィルタユニット）を各棚２のカセット３を保管する上下の列に１台づつ設けている。そして、クレーン４が移動する際に、クレーン４の近傍のみブロア５の送風量を増大させ、吸い込み量を増大させている。
【００３７】
図２（ｃ）中、ブロア５の送風量（すなわち、吸い込み量）を矢印にて示しえとり、矢印の大きさにより送風量の大小が示されている。本実施例では、クレーン４の移動方向前側でクレーン４が通過している位置のブロア５−２より一つ前のブロア５−１の送風量を僅かに増大し、クレーン４が通過中のブロア５−２の送風量を増大し、クレーンが通過した後のブロア５−３の送風量の増大した分を減少している。図から分かるように、ブロア５−１の送風量の増大は僅かであり、ブロア５−２の送風量の増大量は大きい。ブロア５−３の送風量は一度ブロア５−２のように増大された後、通常の送風量に戻すべく増大分が低減されている。
【００３８】
ブロア５−１の送風量（すなわち吸い込み量）を僅かに増大することにより、クレーン４の前側の空気が押されて発生する気流の乱れを防止している。そして、クレーンが通過中のブロア５−２の送風量（すなわち吸い込み量）を増大させることにより、クレーン４の近傍、特に横側や後ろ側に発生する乱流が上方に拡散しないように、クレーン４近傍において強制的に下方への気流を形成している。すなわち、クレーン４の近傍において、上方から下方への気流を強くして、発生する塵埃を直ちにブロア５−２に吸い込ませ、ＨＥＰＡフィルタ６により除去している。
【００３９】
ブロア５−３の送風量は、例えばブロア５−２の増大した送風量と、通常の状態でのブロア５の送風量との間程度の送風量として、隣接したブロア５の間で送風量が大きく変わることによる乱流が発生しないようにしている。
【００４０】
ブロア５は、例えばインバータ制御可能なモータにより駆動され、その送風量の制御は、クリーンストッカの動作を制御する制御装置により行なわれることが好ましい。この制御装置にはクレーン４の移動情報が入力され、クレーンの移動に追従して各ブロア５の送風量が個別に制御される。
【００４１】
次に本発明の第２実施例による気流制御方法について、図３を参照しながら説明する。図３は本発明の第２実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。図３において、図２と同等な構成部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００４２】
図３に示すクリーンストッカでは、各棚２の各段に対して１台のブロアフィルタユニットが設けられている。本実施例では、クレーン４の移動に追従して上述の第１実施例と同様にクレーン４の通過する位置近傍のブロア５の送風量を増大させる。これに加えて、本実施例では、クレーン４が目的位置に停止して目的のカセットを棚２の所望の段から移動、あるいは棚２の所望の段に移動している間に、その棚の段に設けられているブロア５の風量を増大させる。
【００４３】
すなわち、クレーン４が停止していても、棚の各段とクレーン４との間でカセット３を移載する間に塵埃が発生するおそれがあり、この部分での気流を強めて発生した塵埃を強制的に下方へ移動して、フィルタ６により取り除く構成である。なお、図３（ｂ）の矢印及び図３（ｃ）の○×印の大きさは、ブロア５の送風量の大小を示している。
【００４４】
以上のように、本実施例では、クレーン４の移動時だけでなく、クレーン４が定位置で動作している場合でも、塵埃の拡散を防止することができ、クリーンストッカ内の清浄度を維持することができる。
【００４５】
次に、クレーン４の移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化に起因した乱流の発生を抑制する気流制御方法について説明する。
【００４６】
図４は、クレーン４の移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化を説明するための図である。図４に示すクリーンストッカは、外部より高い圧力に維持して塵埃が外部からはい込まないようにした構成であり、クリーンストッカの天井部分に外部から空気を取り込むための空気取り込み用ファンとしてファンフィルタユニット１０が設けられ、床部分に排気口（開口床）１１が設けられている。すなわち、ファンフィルタユニット１０からの空気取り込み量が、排気口１１からの空気排出量より大きくなるように設定することにより、クリーンストッカ内を外部より高い圧力（陽圧）に維持している。クリーンストッカ内の圧力と外部の圧力との差圧はマノメータ１２により測定して、差圧が適当な値となるようにファンフィルタユニット１０の送風量を設定する。
【００４７】
図４に示すクリーンストッカでは、クレーン４が移動すると、クレーン４の移動方向前側（すなわち、図４におけるクレーン４の右側）において空気がクレーン４の移動により圧縮され、圧力が上昇する。反対に、クレーン４の移動方向前側（すなわち、図４におけるクレーン４の左側）において、相対的に圧力が減少する。このように、クレーン４を挟んで、前側と後側の空気圧に差圧が生じると、クリーンストッカ内で水平方向の気流が発生し、乱流が発生する原因となる。
【００４８】
そこで本発明の第３実施例による気流制御方法では、上述のような差圧が発生しないようにファンフィルタユニット１０の送風量を制御する。図５は本発明の第３実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。図５において、図４に示す構成部品と同等の部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００４９】
図５に示すクリーンストッカには、複数台のファンフィルタユニット１０がクレーン通路に沿って天井部分に設けられており、各ファンフィルタユニット１０の送風量は制御装置により制御可能となっている。また、クリーンストッカの両端部付近の圧力を測定するマノメータ（気圧計）１３−１，１３−２が設けられ、さらに、両端の圧力の差圧を測定するマノメータ１４も設けられている。マノメータにより測定された差圧の情報も制御装置に送られる。
【００５０】
以上のような構成のクリーンストッカにおいて、マノメータ１３−１，１３−２の圧力が両方ともクリーンストッカの外部に対して陽圧となるように制御しながら、マノメータ１４により測定される差圧が減少して、差圧がなくなるようにファンフィルタユニット１０の送風量を制御する。すなわち、図５（ｃ）の矢印で示すように、クレーン４が移動する際に、クレーン４の後ろに位置するファンフィルタユニット１０の送風量が、前側に位置するファンフィルタユニット１０の送風量より大きくなるように制御する。
【００５１】
すなわち、ファンフィルタユニット１０の送風量を制御することにより、図４に示すようにクレーン４の前側の圧力が増大し後ろ側の圧力が減少するといった差圧の発生を防止し、結果として乱流の発生を防止して塵埃の拡散を防止することができる。
【００５２】
次に、本発明の第４実施例による気流制御構造及び気流制御方法について、図６を参照しながら説明する。図６は本発明の第４実施例によるクリーンストッカの構成図である。図６において、図２に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００５３】
図６に示すクリーンストッカは、構成部品としては図２に示すクリーンストッカとほぼ同じ部品よりなっているが、クリーンルームの床７の下側まで延在しており、床下の位置にブロア５及びＨＥＰＡフィルタ６が設けられている点と、クレーン通路の下側にシャッター２０が設けられている点が異なる。
【００５４】
すなわち、本実施例によるクリーンストッカは、側壁１がクリーンルームの床７を超えて下方に延在しており、床下でクリーンストッカの床２３が形成されている。棚２はクリーンルームの床７と同じレベルの床に設置される。クリーンルームの床７を、棚２を設置する床面としてもよい。棚２を設置する床面は開口を有しないブラインド床であるが、クレーン通路の部分だけは開口床（グレーティング床）となっている。そして、開口床の開口を開閉することのできるシャッター２０が設けられている。
【００５５】
本実施例では、棚２が設置される床の下側にブロア５が設けられているので、クレーン通路を垂直に下降してきた空気は、開口床を通じて床下に流れてブロア５に吸い込まれる。ブロア５から吹き出す空気はフィルタ６を通って塵埃が除去された後、棚２の後側から上方に向かって流れ、棚２の各段を通って再度クレーン通路に流れる。
【００５６】
以上のようなクリーンルームの構成において、シャッター２０の開度を調節することにより、クレーン４の移動による圧力差の発生に起因してクレーン４近傍での乱流の発生を抑制する。本実施例では、クレーン４が移動する際に、クレーン４の前側のシャッター２０を通常より大きく開けることでクレーン４の前側の空気をより強く床下に吸い込むことにより、クレーン４の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【００５７】
具体的には、図６（ｃ）の矢印に示すように、クレーン４の移動に伴い、クレーン４の移動方向直前のシャッター２０−１の開度を増大する。ここで、シャッター２０−２の一つ前側のシャッター２２−１についても開度を増大している。これは、クレーン４が接近してからシャッター２２−２の開度を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のシャッター２２−２から徐々に開度を増大することが好ましい。
【００５８】
以上のような送風量の制御により、クレーン４の前後で圧力差が発生せず、圧力差に起因した乱流の発生が防止され、乱流による塵埃の拡散を防止することができる。
【００５９】
なお、本実施例では、ファン５及びフィルタ６をクリーンルームの床７の下側に設ける構成であり、これまで使用されていなかった空間をクリーンストッカの一部として利用するため、クリーンルーム内の空間を有効利用することができる。また、クリーンストッカの大型化にとっても有効である。
【００６０】
次に、本発明の第５実施例による気流制御構造及び気流制御方法について図７を参照しながら説明する。図７は本発明の第５実施例によるクリーンストッカの構成図である。図７において、図６に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００６１】
図７に示すクリーンストッカは、図６に示す複数のシャター２０の代わりに複数のファン２１を設けたものである。シャッター２０と同様に、ファン２１はクレーン通路の開口床部分の真下に整列して設けられる。
【００６２】
本実施例では、クレーン４の移動に追従してファン２１の送風量を調節し、クレーン４の移動による圧力差の発生に起因してクレーン４近傍での乱流の発生を抑制する。すなわち、クレーン４が移動する際に、クレーン４の前側のファン２１の送風量を通常より増大させることでクレーン４の前側の空気をより強く床下に吸い込むことにより、クレーン４の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【００６３】
具体的には、図７（ｃ）の矢印に示すように、クレーン４の移動に伴い、クレーン４の移動方向直前のファン２１−２の送風量を増大する。ここで、ファン２１−２の一つ前側のファン２１−１についても送風量を増大している。これは、クレーン４が接近してからファン２１−１の送風量を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のファン２１−２から徐々に送風量を増大することが好ましい。
【００６４】
次に、本発明の第６実施例について、図８を参照しながら説明する。図８は本発明の第６実施例によるクリーンストッカの構成図である。図８において、図５及び図６に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は適宜省略する。
【００６５】
図４を参照しながら説明したように、クリーンストッカ内で、クレーン４が移動すると、クレーン４を挟んで、前側と後側の空気圧に差圧が生じる。これにより、クリーンストッカ内で水平方向の気流が発生し、乱流が発生する原因となる。
【００６６】
そこで本発明の第６実施例による気流制御方法では、上述のような差圧が発生しないようにファンフィルタユニット１０の送風量を調節すると共に、シャッター２０の開度も同時に調節する。
【００６７】
図８に示すクリーンストッカには、複数台のファンフィルタユニット１０がクレーン通路に沿って天井部分に設けられており、各ファンフィルタユニット１０の送風量は制御装置により制御可能となっている。また、クリーンストッカの両端部付近の圧力を測定するマノメータ（気圧計）１３−１，１３−２が設けられ、さらに、両端の圧力の差圧を測定するマノメータ１４も設けられている。マノメータにより測定された差圧の情報も制御装置に送られる。
【００６８】
以上のような構成のクリーンストッカにおいて、マノメータ１３−１，１３−２の圧力が両方ともクリーンストッカの外部に対して陽圧となるように制御しながら、マノメータ１４により測定される差圧が減少して、差圧がなくなるようにファンフィルタユニット１０の送風量及びシャター２０の開度を制御する。すなわち、図８（ｃ）の矢印で示すように、クレーン４が移動する際に、クレーン４の後に位置するファンフィルタユニット１０の送風量が、前側に位置するファンフィルタユニット１０の送風量より大きくなるように制御すると共に、クレーン４の前側に位置するシャッター２０の開度が、後側に位置するシャッター２０の開度より大きくなるように制御する。
【００６９】
すなわち、ファンフィルタユニット１０の送風量及びシャター２０の開度を制御することにより、図４に示すようにクレーン４の前側の圧力が増大し後側の圧力が減少するといった差圧の発生を防止し、結果として乱流の発生を防止して塵埃の拡散を防止することができる。
【００７０】
次に、本発明の第７実施例による気流制御方法及び気流制御構造について、図９を参照しながら説明する。図９は本発明の第７実施例によるクリーンストッカの構成図である。図９において、図１に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００７１】
図９に示すクリーンストッカは、図１に示す従来のクリーンストッカに対して、各棚２の上下の列毎にシャッター２２を設けたものである。すなわち、上下に重なった棚２の列の下側で、クレーン通路に面する部分に複数のシャッター２２をクレーン通路の両側に設け、クレーン４の移動に追従してシャッター２２の開度を調節する。シャッター２２の開度の制御は、図６に示すシャッター２０と同様であり、クレーン４が移動する際に、クレーン４の前側のシャッター２２を通常より大きく開けることでクレーン４の前側の空気をブロア５により強く吸い込むことにより、クレーン４の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【００７２】
具体的には、図９（ｂ）の矢印に示すように、クレーン４の移動に伴い、クレーン４の移動方向直前の両側のシャッター２２の開度を増大する。ここで、シャッター２２−２の一つ前側のシャッター２２−１についても開度を増大している。これは、クレーン４が接近してからシャッター２２−１２の送風量を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のシャター２２−２から徐々に開度を増大することが好ましい。
【００７３】
以上のような送風量の制御により、クレーン４の前後で圧力差が発生せず、圧力差に起因した乱流の発生が防止され、乱流による塵埃の拡散を防止することができる。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、クレーンの移動に追従して空気循環用ブロアの吸い込み量を個別に制御することにより、気圧が高くなる部分や乱流が発生する部分において局所的に循環空気の吸い込み量を大きくすることができ、これにより乱流の発生を防止したり、ストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う乱流や差圧の形成を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のクリーンストッカの構成を示す図である。
【図２】本発明の第１実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図３】本発明の第２実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図４】クレーンの移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化を説明するための図である。
【図５】本発明の第３実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図６】本発明の第４実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図７】本発明の第５実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図８】本発明の第６実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図９】本発明の第７実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【符号の説明】
１  側壁
２  棚
３  カセット
４  クレーン
５  ブロア
６  ＨＥＰＡフィルタ
７  床
１０  ファンフィルタユニット
１１  排気口（開口床）
１２、１３−１，１３−２，１４  マノメータ
２０  シャッター
２１  ファン
２２  シャター
２３  床
【図１】
2004299813.tif 000003
【図２】
2004299813.tif 000004
【図３】
2004299813.tif 000005
【図４】
2004299813.tif 000006
【図５】
2004299813.tif 000007
【図６】
2004299813.tif 000008
【図７】
2004299813.tif 000009
【図８】
2004299813.tif 000010
【図９】
2004299813.tif 000011