(57)【要約】　　　（修正有）【課題】改善された分解能を備えた光エンコーダを提供する。【解決手段】複数の交互配置された透明エンコード素子及び不透明エンコード素子を有する可動の光エンコードユニットと、少なくとも２つの光検出素子２０１〜２０４と、複数の交互配置された透明フィルタ素子及び不透明フィルタ素子２１２を有するエンコードフィルタと、少なくとも２つの光検出素子からの検出信号が供給されるように前記光検出素子に結合された推定ユニットとを備え、エンコード素子，フィルタ素子２１２，及び少なくとも一対の光検出素子２０１〜２０４を相対配置して、前記光検出素子を光エンコードユニット及び光エンコードフィルタを介して伝送される光でもって相補的に照らすように構成し、検出信号に基づいて光エンコードユニットの動き特性である動き情報を推定する。【選択図】　　　　図２Ｄ
2004003979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）　複数の交互配置された透明エンコード素子及び不透明エンコード素子を有し、かつ、前記エンコード素子の少なくとも一部が光で照らされるように構成された可動の光エンコードユニットと、
（ｂ）　少なくとも２つの光検出素子と、
（ｃ）　複数の交互配置された透明フィルタ素子及び不透明フィルタ素子を有するエンコードフィルタと、
（ｄ）　前記少なくとも２つの光検出素子からの検出信号が推定ユニットに供給されるように前記光検出素子に結合された前記推定ユニットと、
をそれぞれ備え、
前記光エンコードユニットの前記エンコード素子，前記エンコードフィルタの前記フィルタ素子，及び少なくとも一対の前記光検出素子を互いに相対配置して、前記一対の光検出素子を前記光エンコードユニット及び前記光エンコードフィルタを介して伝送される光でもって相補的に照らすように構成し、
前記検出信号に基づいて、前記可動の光エンコードユニットの動き特性である動き情報を推定するようにしたこと、
を特徴とする光エンコーダ装置。
【請求項２】
前記エンコード素子の少なくとも一部へ光を照射するよう配置された光源をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項３】
前記光検出素子の数は偶数であることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項４】
前記光検出素子は対としてグループ分けされることを特徴とする請求項３に記載の光エンコーダ装置。
【請求項５】
前記光検出素子は前記エンコード素子の整列方向に対してほぼ垂直な方向に沿って整列配置されることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項６】
前記エンコードフィルタは多数の行を含み、各行が光検出素子の１つに対応されてこれに整列配置されており、各行がエンコード素子にほぼ平行に配置された複数の交互配置された不透明フィルタ素子及び透明フィルタ素子を含み、一対にグループ分けされた光検出素子の２つに対応して前記エンコード素子のそれぞれに整列する各２つのフィルタ素子の一方が不透明であり、その他方が透明であることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項７】
前記エンコードフィルタは前記光検出素子と前記光エンコードユニットとの間に配置されることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項８】
前記推定ユニットにおける推定は前記一対の光検出素子からの前記検出信号の相関に基づくことを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項９】
推定ユニットにおける推定は一対の光検出素子の検出信号間の電子的オフセットに基づくことを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１０】
前記推定ユニットがトランジスタ−トランジスタ論理回路を含むことを特徴とする請求項９に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１１】
前記可動の光エンコードユニットは回転運動或いは平行移動を行なうように設けられることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１２】
前記可動の光エンコードユニットはコードホイール又はコードストリップであることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの光検出素子はフォトダイオードであることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１４】
前記光源は発光ダイオード（ＬＥＤ）であることを特徴とする請求項２に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１５】
前記エンコード素子の幅は前記フィルタ素子の幅にほぼ等しいことを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１６】
第１の光検出素子の対は前記エンコードフィルタの第１の行及び第３の行に整列配置された光検出素子で構成されており、第２の光検出素子対は前記エンコードフィルタの第２の行及び第４の行に整列配置された光検出素子で構成されおり、第１の行と第２行の対応するフィルタ素子は前記フィルタ素子の幅の半分だけ互いに位相ずれされることを特徴とする請求項６に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１７】
前記エンコードフィルタの隣接する行の対応するフィルタ素子間の所定の位相ずれ角度は、前記エンコードフィルタの隣接する行の対応するフィルタ素子と該フィルタ素子の幅の横方向における重複比に基づくことを特徴とする請求項６に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１８】
互いにほぼ平行な第１の内面と第２の内面とを有する略Ｃ形状のハウジングをさらに備え、光検出素子は前記第１の面に配設され、光源は前記第２の面に配設され、前記光エンコードユニットの少なくとも一部が前記略Ｃ形状のハウジングの第１の面と第２の面との間の自由空間内に配置されることを特徴とする請求項２に記載の光エンコーダ装置。
【請求項１９】
前記エンコードフィルタは前記ハウジングの第１の面上の前記光検出素子上に配設されることを特徴とする請求項１８に記載の光エンコーダ装置。
【請求項２０】
前記透明エンコード素子は固形体のスロット形成部分であり、前記不透明エンコード素子は固形体のスロット非形成部分であることを特徴とする請求項１に記載の光エンコーダ装置。
【請求項２１】
（ａ）　複数の交互配置された透明エンコード素子及び不透明エンコード素子を有し、かつ、前記エンコード素子の少なくとも一部が光で照らされるように構成された可動の光エンコードユニットと、
（ｂ）　少なくとも一対にグループ分けされた少なくとも２つの光検出素子と、
（ｃ）　複数の交互配置された透明フィルタ素子及び不透明フィルタ素子を有するエンコードフィルタと、
（ｄ）　前記少なくとも２つの光検出素子からの検出信号が推定ユニットに供給され得るように前記光検出素子に結合された前記推定ユニットと、
（ｅ）　前記エンコード素子の少なくとも一部上に光を照射できるように配置された光源と、
をそれぞれ備え、
前記光エンコードユニットの前記エンコード素子，前記エンコードフィルタの前記フィルタ素子，及び少なくとも一対の前記光検出素子を互いに相対配置して、前記一対の光検出素子を前記光エンコードユニット及び前記光エンコードフィルタを介して伝送される光でもって相補的に照らし得るように構成し、
前記対の光検出素子からの検出信号に基づいて、前記可動の光エンコードユニットの動き特性である動き情報を推定するように構成したこと、
を特徴とする光エンコーダ機構。
【請求項２２】
（ａ）　複数の交互配置された透明エンコード素子及び不透明エンコード素子を有し、かつ、前記エンコード素子の少なくとも一部が光で照らされるように構成された可動の光エンコードユニットと、
（ｂ）　少なくとも一対にグループ分けされた少なくとも２つの光検出素子と、
（ｃ）　複数の交互配置された透明フィルタ素子及び不透明フィルタ素子を有するエンコードフィルタと、
（ｄ）　前記少なくとも２つの光検出素子からの検出信号が推定ユニットに供給され得るように前記光検出素子に結合された前記推定ユニットと、
（ｅ）　前記エンコード素子の少なくとも一部上に光を照射できるように配置された光源と、
をそれぞれ備え、
前記光エンコードユニットの前記エンコード素子，前記エンコードフィルタの前記フィルタ素子，及び少なくとも一対の前記光検出素子を互いに相対配置して、前記一対の光検出素子を前記光エンコードユニット及び前記光エンコードフィルタを介して伝送される光でもって相補的に照らし得るように構成し、
前記対の光検出素子からの検出信号に基づいて、前記可動の光エンコードユニットの動き特性である動き情報を推定するように構成した光エンコーダ装置において、前記光エンコーダ装置の可動の光エンコードユニットの動き特性である動き情報を推定する方法であって、
（ｆ）　少なくとも一対の前記エンコード素子を光で照らすステップと、
（ｇ）　少なくとも一対の前記光検出素子から前記推定ユニットへ検出信号を供給するステップと、
（ｈ）　前記一対の光検出素子の検出信号に基づいて、前記可動の光エンコードユニットの動き特性である動き情報を推定するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２３】
（ｉ）　前記少なくとも一対の光検出素子により、前記光エンコードユニットを通りさらに前記エンコードフィルタを通って前記光検出素子に入射した光により生成される信号の時間的因果関係を検出するステップと、
（ｊ）　前記少なくとも一対の光検出素子からの検出信号に基づいて、相関信号を推定するステップと、
（ｋ）　前記相関信号に基づいて、動き情報を推定するステップと、
をさらに含むことを特徴とする請求項２２記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光エンコーダ装置，光エンコーダ機構，インクジェット式プリンタ，並びに動き情報の推定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
厳密で正確なエンコーダ装置の需要（要求）は、開発中の産業用並びに民生用の製品の複雑さの増大に符合する。自動化機械類の大半の部分が複雑なフィードバック制御（帰還制御）システムを介して動作し、連続的で正確な位置及び方向についての帰還（フィードバック）を必要としている。現在、大半のエンコーダは、システムによって見られる生成エンコーダ分解能を増幅する電子コントローラ又はカウンタとインターフェースをとっている。電子工学技術を用いたエンコーダのインターフェースは、最良の対策であって目下の要求を満たすものと了解されているが、より高い分解能領域へ移行するのに伴い電子的分解能は、次のレベルの帯域幅を連続的にサポートすることはできなくなるものと思われる。
【０００３】
エンコーダは、閉ループシステムに帰還をもたらす装置である。エンコーダは、これを被駆動コードホイール又はコードストリップを用いて動作させたときに、位置情報，速度，加速度，及び／又はその他の入手などの信号解釈を可能にする。通常、コードホイールは回転運動の検出、例えばプリンタ或いは複写機内の用紙送りドラムの検出に用いられるが、コードストリップは、直線運動の検出、例えばプリンタ印刷ヘッドの検出に用いられる。
【０００４】
プリンタの中枢は、そのマイクロプロセッサであり、このマイクロプロセッサがこれに取り付けたパーソナルコンピュータと協働し、画像データを処理し、プリンタの電子的かつ機械的動作を制御する。モーション・エンコーダ及び電子制御系が、マイクロプロセッサと印刷ヘッドの位置決めや給紙などの機械的動作の間のギャップ（ｇａｐ）を橋渡しする。例えば印刷ヘッドが頁上にある状態で、動きを制御するだけでなく、動き及び位置を割り出して情報を入手するのもマイクロプロセッサの仕事である。直線運動或いは回転運動を計測する光エンコーダは、しばしば動きの電子信号への変換の機能を果たす。回転系の場合、コードホイールが小モータの軸に取り付けてあり、プリンタの場合には、このモータが用紙送り機構の印刷ヘッドキャリッジを駆動する。通常、コードホイールの外側端は精密に作られた開口を有しており、この開口が、発光ダイオードと前記開口を通過する光のパルスを読み取る光検出器との間を通過する。エンコーダは、パルス情報を動きコントローラへ送信し、これに基いてコントローラがモータ軸の速，位置，及び方向を計測して修正することができるようになっている。
【０００５】
かくして、コードホイール或いはコードストリップの動きは、発光器及び光検出器により光学的に検出される。それ故、このエンコーダは、通常、光エンコーダである。発光器は、コードホイール或いはコードストリップへ向いた照光方向へ光を照射する。コードホイール或いはコードストリップは、スロットとバーの規則的なパターンを含んでいる。光照射方向に対するスロットとバーの位置によれば、コードホイール或いはコードストリップはスロットを介する光の通過は時として許容され、時として阻止される。発光器により光照射方向に見たときに光検出器はコードホイール或いはコードストリップの背後に位置決めされ、発光器から照射されコードホイール或いはコードストリップを介して伝送された光に基づいて光信号を検出する。光信号の時間的因果関係、例えば周波数は、コードホイール或いはコードストリップの動きに関する特性及び明瞭な情報をもたらす。
【０００６】
そのような光エンコーダの発光器及び光検出器の空間的な配置のために、光エンコーダを収容する光エンコーダハウジングは略Ｃ形状をなす。光エンコーダは、Ｃ形状光エンコーダハウジングとともにＣ形状光エンコーダ装置を形成している。コードホイール又はコードストリップは、Ｃ形状光エンコーダ装置の自由空間を通して移動され、光エンコーダがコードホイール或いはコードストリップのスロット並びにバーを検出できるようにしてある。
【０００７】
従来技術から公知となっている光エンコーダ装置の分解能（解像度；ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）は、寸法に依存し、光検出器並びにコードホイール或いはコードストリップのスロットの横寸法に特に依存する。
【０００８】
しかしながら、技術歩調と肩を並べて拡大しつつあるより高いエンコーダ分解能に対する要求が存在する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
より良い分解能を達成する１つの考え方は、光検出器のサイズを減少し、小型化コードホイールのバー及びウインドサイズ（窓寸法）に適合させることである。しかしながら、この発想には困難がある。何故ならば、そのことが、電子機器の前置増幅器が補償できないレベルにまで光電流を低減するからである。さらに、ＳＮ比が光電流の減少とともに劣化することがある。さらに、光エンコーダ装置の構成要素の寸法を減少すると、システム動作が整列配置の感度に関してクリティカル（ｃｒｉｔｉｃａｌ）となる。このように、光エンコーダ装置部品の単純な小型化は、より優れた分解能を得るのには適さない。
【００１０】
光エンコーダ製品で広く実装されている技術によれば、光検出器の信号の後縁部と前縁部の検出に計数器並びにコントローラが用いられている。この考え方を用いて、基本的なエンコーダ分解能に比べて分解能を改善することができる。さらに、計数器並びにコントローラの技術に補間処理を組み込むことにより、さらに分解能レベルを押し上げることができる。しかしながら、現在の電子工学技術がより高い帯域レベルをサポートできるかどうかは判然としていない。
【００１１】
従って、本発明の１つの目的は、従来技術に比べて改善された分解能を備えた光エンコーダを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この目的は、独立請求項に従う特徴を備えた光エンコーダ装置，光エンコーダ機構，インクジェット式プリンタ，及び動き情報の推定方法を用いることで達成される。
【００１３】
本発明の第１の主要態様に係る光エンコーダ装置は、複数の交互配置された透明エンコード素子及び不透明エンコード素子を含んでおり、エンコード素子の少なくとも一部を光で照らせるようにした可動の光エンコードユニットを備えている。この光エンコーダ装置は、少なくとも一対にグループ分けされた少なくとも２つの光検出素子をさらに含んでいる。さらに、光エンコーダ装置は、複数の交互配置の透明フィルタ素子及び不透明フィルタ素子からなるエンコードフィルタを備えており、光エンコードユニットのエンコード素子と、エンコードフィルタのフィルタ素子と、少なくとも一対の光検出素子とが互いに相対配置されており、一対の光検出素子を光エンコードユニットとエンコードフィルタを介して伝送された光でもって相補的に照明できるようにしてある。これに加え、光エンコーダ装置は、光検出素子に結合した推定ユニットを備えており、少なくとも一対の光検出素子からの検出信号が推定ユニットに供給できるようにしてあり、この推定ユニットは、前記一対の光検出素子の検出信号に基づいて、可動の光エンコードユニットの動き特性である動き情報（例えば、速度や加速度など）を推定するよう設けてある。
【００１４】
本発明の第２の主要態様によれば、光エンコーダ装置の上記素子と、これに加えてエンコード素子の少なくとも一部に光を照射することができるよう配置された光源とを備える光エンコーダ機構が提供される。
【００１５】
本発明の第３の主要態様によれば、上記の特徴を有する光エンコーダ機構を備えるインクジェットプリンタが提供される。
【００１６】
本発明の第４の主要態様によれば、光エンコーダ装置の可動の光エンコードユニットの動作特性である動き情報を推定する方法が提供される。光エンコーダ装置は、本発明の第１の主要態様に係る光エンコーダ装置として配置される。本方法は、エンコード素子の少なくとも一部を照光するステップと、少なくとも一対の光検出素子からの推定ユニットへ検出信号を供給するステップと、一対の光検出素子の検出信号に基づいて可動の光エンコードユニットの動きについての特性である動き情報を推定するステップとを含む。
【００１７】
本発明の１つの基本的な考え方は、光エンコーダ装置用にエンコードフィルタを設け、光エンコードユニットのエンコード素子と、エンコードフィルタのフィルタ素子と、少なくとも一対の光検出素子とを互いに相対配置し、これにより一対の光検出素子を光エンコードユニットとエンコードフィルタを通って伝送された光でもって相補的に照明できるようにすることにある。この文脈における「相補的照明（ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ　ｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎ）」とは、好ましくは一対の光検出素子のうちの一方の光検出素子が光で照らされた第１群の部分と光で照らされていない第２の部分を有し、一方においては、一対の光検出素子の他方の光検出素子が照光とは無縁の対応する第１群の部分と光に照らされた第２群の部分を有することを意味する。この文脈における光検出素子の「一部」とは、それぞれ不透明カバーで覆ってあるか或いはそれとは無縁の光検出素子の表面領域の一部を意味する。それ故、一対の光検出素子の２つの相補的な光検出素子の光と影のパターンは、基本的には相補的、すなわち換言すれば互いに反転したものとなる。相補性の程度は、一部だけともすることができる。相補的照明は、一対の光検出素子の検出信号が少なくとも部分的に位相ずれする結果を招くことがある。かくして、一対の光検出素子の検出信号は、ある意味において相補的情報をもたらし、これを推定ユニットが用いて改善された分解能をもって動き情報を推定する。交互配置された透明エンコード素子及び不透明エンコード素子をエンコードフィルタ及び光検出素子に対して動かすことと併せて、可動の光エンコードユニットを用いることによって、一対を形成する２つの光検出素子の光と影のパターンは時間とともに変化する。この時間的因果関係は、可動の光エンコードユニットの動きに固有のものである。
【００１８】
高分解能の目的のためにパターン印刷技術を用いることにより、他の高分解能技術より優れた長所が導入される。可動の光エンコードユニット（例えばコードホイールやコードストリップ）上のパターン印刷とエンコードフィルタは、数年にわたり新たな高みに達しており、１インチ当たりより多くのエンコード素子及びフィルタ素子を圧縮している。それ故、本発明の概念は他の技法と比べてより低いコストを要求する。
【００１９】
波形を出力（例えば、ＴＴＬ出力すなわちトランジスタ−トランジスタ論理）へ処理する光エンコーダ製品上の現行の電子回路が、本発明の概念に対して最小限の改変のみを適用要求することは本発明のさらなる長所である。かくして、本発明の技法を現行の光エンコーダ製品へ一体化する簡単な方途がもたらされる。
【００２０】
市販の電子回路の軽減と進歩した印刷技法の存在が、本発明が目指すパターン印刷技法を、光エンコーダ装置を用いた高分解能の達成に現在において利用可能な技術への興味ある代替品として位置付ける。電子回路の僅かな改変、及び、少ない又は皆無の配列的課題をもって、本発明技法は、より高い分解能の光エンコーダを得るべく簡単に実現することができる。
【００２１】
本発明は、検出素子に対して可動の光エンコードユニットのエンコード素子を位置決めする新規の概念を教示するのであり、もはや技術の限界が電子部品により左右されることはなくなる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、光エンコーダ装置の好適な実施形態を説明する。光エンコーダ装置の好適な実施形態は、光エンコーダ機構用についてもまた用いることができる。
【００２３】
本発明の上記並びに他の態様や特徴や長所は、添付図面を参照して以下の説明並びに添付特許請求の範囲から明らかとなろう。
【００２４】
本発明のさらなる理解をもたらし、明細書の一部を構成するよう含めた添付図面が、本発明の実施形態を例示している。添付図面を参照して本発明の好適な実施形態を説明するが、図中の同様の部分或いは同様の素子については、同様の参照符号をもって表記することにする。
【００２５】
以下、図１Ａおよび図１Ｂを参照して、本発明の光エンコーダ機構の好適な実施形態について説明する。
【００２６】
図１Ａおよび図１Ｂには、本発明の好適な実施形態になる光エンコーダ機構１００の側断面図が図示してある。光エンコーダ機構１００は、互いにほぼ平行な第１の内面１０１ａと第２の内面１０１ｂとを有する略Ｃ形状のハウジング１０１を有しており、４つの光検出器１０８ａ〜１０８ｄが第１の面１０１ａに設けられており、発光ダイオード１０７が第２の面１０１ｂ上に配設してあり、コードホイール１０２の一部が略Ｃ形状のハウジング１０１の第１の面１０１ａと第２の面１０１ｂとの間の自由空間１０３内に配置されている。エンコードフィルタ１０９は、ハウジング１０１の第１の面１０１ａ上の光検出器１０８ａ〜１０８ｄ上に配設されている。
【００２７】
コードホイール１０２は、その軸を中心に回転させることができるように構成されている。コードホイール１０２の回転方向は、矢印１０４により示される。コードホイール１０２の円周方向に沿って交互配置された複数のスロット１０５及びバー１０６が配設されている。発光ダイオード１０７から照射された光は、回転するコードホイール１０２のスロット１０５を通過し得るようになっている。光が発光ダイオード１０７からスロット１０５を通りさらにエンコードフィルタ１０９を通って光検出器１０８ａ〜１０８ｄのうちの１つへ通過するのを阻止されない場合には、光検出器１０８ａ〜１０８ｄが、コードホイール１０２の動き特性であるパルスを検出する。
【００２８】
Ｃ形状のハウジング１０１内に位置するコードホイール１０２の一部のスロット１０５及びバー１０６の整列方向は、図２Ｃに図示した様式をなし、図２Ａに示した様式の光検出器１０８ａ〜１０８ｄの整列方向に対してほぼ垂直である。エンコードフィルタ１０９は、例えば図２Ｂに図示した様式の如く、複数の不透明部分と透明部分を備える。光エンコーダ装置１００の機能は、図２Ａ乃至図４（ｃ）を参照する説明から詳しく理解することができる。
【００２９】
コードホイール１０２の寸法が、スロット１０５及びバー１０６，光検出器１０８ａ〜１０８ｄ，エンコードフィルタ１０９，並びに発光ダイオード１０７（図１Ａ及び図１Ｂと比較されたい）の寸法よりも通常相当に大きいことに注意されたい。このように、自由空間１０３内に位置するスロット１０５及びバー１０６の配列部の曲率は、第１近似において無視することができる。換言すれば、隣接するスロットは、互いにほぼ平行である。この場合、スロット１０５及びバー１０６，光検出器１０８ａ〜１０８ｄ，エンコードフィルタ１０９，及び発光ダイオード１０７は、基本的に矩形状に形成されるときに互いに適正な整列状態にすることができる。しかしながら、スロット１０５の矩形形状からのずれ、並びに、隣接するスロット１０５に対する平行な方向からのずれは、光検出器１０８ａ〜１０８ｄ，エンコードフィルタ１０９，及び発光ダイオード１０７の形状をスロット１０５及びバー１０６の形状に合わせて適切に調整することで補償することができる。
【００３０】
光エンコーダ装置１００は、インクジェット式プリンタ（図示せず）内に配置されており、コードホイール１０２は、用紙送り機構の印刷ヘッドカートリッジ駆動モータの軸に取り付けられている。
【００３１】
次に、図１Ｃ及び図１Ｄを参照して、本発明の光エンコーダ機構の他の好適な実施形態について説明する。
【００３２】
図１Ｃ及び図１Ｄには、本発明の他の好適な実施形態になる光エンコーダ装置１１０の側断面図が例示されている。
【００３３】
光エンコーダ装置１１０には、略Ｃ形状のハウジング１１１と、その一部分がＣ形状ハウジング１１１の自由空間１１３内に位置するコードストリップ１１２が備わっている。コードストリップ１１２は、複数のスロット１１５及びバー１１６を備えており、発光ダイオード１１７から照射された光がコードストリップ１１２のスロット１１５を通過し、光検出器列１１８ａ〜１１８ｄ列上に位置しかつ複数の交互配置透明部分及び不透明部分でできたエンコードフィルタ１１９を光が通過できる場合には、４つの光検出器１１８ａ〜１１９ｄのうちの１つに入射して検出信号を生成する。コードストリップ１１２が平行移動（動きの矢印１１４と比較されたし）を行なう場合、光検出器１１８ａ〜１１８ｄは、コードストリップ１１２の動き特性、例えばその速度特性である時間パルスシーケンスをもった光パルスを検出する。
【００３４】
以下、本発明の光エンコーダ装置の好適な実施形態及びその機能を、図２Ａ〜図２Ｄ，図３（ａ）〜（ｄ），及び図４（ａ）〜（ｃ）を参照して詳述する。
【００３５】
図２Ａには、光エンコーダ装置の光検出素子としての第１のフォトダイオード２０１，第２のフォトダイオード２０２，第３のフォトダイオード２０３，及び第４のフォトダイオード２０４のアレイ（配列）２００が図示されている。図２Ａでさらに示したように、４つのフォトダイオード２０１〜２０４が互いにほぼ平行に図２Ａにおいて垂直な整列方向に沿って配向されている。さらに、４つのフォトダイオード２０１〜２０４が２つの対にグループ分けされており、第１フォトダイオード対は、第１のフォトダイオード２０１及び第３のフォトダイオード２０３から成り、第２フォトダイオード対は、第２のフォトダイオード２０２及び第４のフォトダイオード２０４から成る。以下に説明するように、図２Ａに示す光検出素子のアレイ２００，図２Ｂに示すエンコードフィルタ２１０，及び図２Ｃに示す光エンコードユニット２２０の複合機能が、第１のフォトダイオード２０１と第３のフォトダイオード２０３とを相補的態様でもって照光し、かつ、第２のフォトダイオード２０２と第４のフォトダイオード２０４とを相補的態様でもって照光できるようにしている。この相補的機能を示すために、フォトダイオード２０１，２０３をそれぞれＡとＡバーとで表記し、またフォトダイオード２０２，２０４をそれぞれＢとＢバーとで表記してある。
【００３６】
ここで、図２Ｂを参照すると、エンコードフィルタ２１０は、交互配置された複数の透明フィルタ素子２１１及び不透明フィルタ素子２１２から成ることが図示されている。透明フィルタ素子２１１は、そこを光が通過できるような構成であるのに対し、不透明フィルタ素子２１２はそこで光を通過阻止する構成になっている。図２Ｂにさらに示す如く、エンコードフィルタ２１０は４つの行２１３，２１４，２１５，２１６から成り、各行２１３〜２１６がフォトダイオード２０１〜２０４のうちの１つに対応して整列配置されている。各行２１３〜２１６は、交互配置された複数の透明フィルタ素子２１１及び不透明フィルタ素子２１２から成る。
【００３７】
図２Ｃを参照すると、コードホイールの扇状部２２０（図１Ａおよび図１ＢのＣ形状ハウジング１０１の自由空間１０３内に配置されたコードホイール１０２の一部であってよい）が、複数の交互配置された透明エンコード素子２２１及び不透明エンコード素子２２２から成ることが図示されており、扇状部２２０のエンコード素子２２１，２２２が光で照らされるように配置されている。コードホイール２２０の透明フィルタ素子２２１及び不透明フィルタ素子２２２の整列方向は、図２Ｃにおいては水平方向である。換言すれば、フォトダイオード２０１〜２０４は、エンコード素子２２１，２２２の整列方向に対してほぼ垂直な方向に沿って整列させてある。
【００３８】
図２Ａ〜図２Ｃから分かるように、交互配置された透明フィルタ素子２１１及び不透明フィルタ素子２１２は、エンコード素子２２１，２２２に対してほぼ平行に配置されている。さらに、エンコード素子２２１，２２２の幅は、図２Ｂ及び図２Ｃの横方向におけるフィルタ素子２１１，２１２の幅に等しい。さらに、第１のフォトダイオード対２０１，２０３は、第１の行２１３及び第３の行２１５に整列するエンコードフィルタ２１０のフォトダイオードからそれぞれ成り、第２のフォトダイオード対２０２，２０４は、第２の行２１４及び第４の行２１６に整列するエンコードフィルタ２１０のフォトダイオードからそれぞれ成る。第１の行２１３及び第２の行２１４の対応するフィルタ素子（例えば、第１の特定の不透明エンコード素子２１７ａ及び第２の特定の不透明エンコード素子２１７ｂ、或いは、第１の特定の透明エンコード素子２１８ａ及び第２の特定の透明エンコード素子２１８ｂ）は、フィルタ素子２１１，２１２の幅の半分だけ互いに位相ずれを有するように配置されている。同じことが、第３の行２１５及び第４の行２１６の対応するフィルタ素子２１１，２１２について当てはまる。
【００３９】
従来の整列状態とは対照的に、フォトダイオード２０１〜２０４の整列方向は、コードホイールのパターンすなわち透明エンコード素子２２１及び不透明エンコード素子２２２の整列方向に対して垂直である。エンコードフィルタ２１０の行２１３〜２１６の数は、フォトダイオード２０１〜２０４の数に等しい。目下の印刷能力をもってするならば、単位距離ごとの透明エンコード素子２２１及び不透明エンコード素子２２２（これらは固体のスロット形成部分とスロット非形成部分でも実現が可能）の数は、一段と高いレベルへ高められつつある。説明した実施形態によれば、透明エンコード素子２２１及び不透明エンコード素子２２２は、コードホイール２２０のバー及び窓（ウインドウ）としても表記できるが、エンコードフィルタ２１０の透明フィルタ素子２１１及び不透明フィルタ素子２１２と同じ幅を有する。さらに図２Ｂから分かるように、エンコードフィルタ２１０の行２１３〜２１６は、しかるべき「電気角度」、換言すれば異なる行中の透明フィルタ素子２１１と不透明フィルタ素子２１２の間に位相ずれが存在するよう変位されている。
【００４０】
図２Ｃは、コードホイールの扇条部２２０、すなわちコードホイールの比較的小角度の扇状部になる円周端部の一部だけを示すことは、付言しておかねばならない。
【００４１】
図２Ｄは、エンコードフィルタ２１０とフォトダイオード２０１〜２０４のアレイ２００との組み合わせ２３０を示す平面図であり、エンコードフィルタ２１０はアレイ２００上に配置されている。フォトダイオード２０１〜２０４とエンコードフィルタ２１０とを組み合わせることによって、図２Ｄに示したパターンが生成されている。図２Ｄから分かるように、その隣接するフォトダイオードに対して露出或いは被覆された領域の電気角度９０°オフセットは、エンコードフィルタ２１０の存在に起因して形成される。換言すれば、組み合わせ２３０の各行２１３〜２１６の光と影の空間的パターンは、４つの空間的ユニット２３１の周期を有していて、各空間的ユニット２３１の後でそれぞれ繰り返される。２つの隣接行（例えば行２１３と２１４）のそれぞれのパターンは、４つのユニット２３１の繰り返し周期が電気角度３６０°を表わすと考えた場合に、電気角度９０°に等しい１空間単位２３１だけ位相ずれしている。
【００４２】
図３（ａ）には、コードホイール（図２Ｃ示した状態にある）の扇状部２２０を図２Ｄに示した組み合わせ２３０上に配置したときに得られる組み合わせ３００が図示されている。図３（ａ）に示された組み合わせ３００は、図２Ｃに示されたコードホイール２２０の位置に関連している。以下に説明する如く、コードホイール２２０は、移動されたときに、図３（ｂ）〜（ｄ）に示す異なるパターンを生成することになる。
【００４３】
組み合わせ３００を形成するときに、コードホイール２２０のエンコード素子２２１，２２２，エンコード素子２１０のフィルタ素子２１１，２１２，並びに二対のフォトダイオード２０１，２０３及び２０３，２０４は、相対配置されており、各対のフォトダイオードがコードホイール２２０及びエンコードフィルタ２１０を介して伝送された光でもって相補的に照明されるように構成されている。図３（ａ）を参照すると、例えば、部品の現在の相対方位が原因で、紙面に入射して組み合わせ３００上を照らす光は、第１のフォトダイオード２０１の４つの領域を照らす。しかしながら、第１のフォトダイオード２０１に対して相補的フォトダイオードである第３のフォトダイオード２０３は、光による照明とは無縁である。何故ならば、第３のフォトダイオード２０３の全ての部分が不透明エンコード素子２２２或いは不透明フィルタ素子２１２の何れかによって覆われているからである。それ故、第１及び第３のフォトダイオード２０１，２０３の照明は、相補的である。また、第２のフォトダイオード対を形成する第２のフォトダイオード２０２及び第４のフォトダイオード２０４の照明も、相補的である。図３（ａ）から分かるように、第２のフォトダイオード２０２の４つの部分は照明できるが、第４番目のフォトダイオード２０４の全対応部分は不透明エンコード素子２１２によって覆われている。他方、図３（ａ）に示した構成において光が照らす第４番目のフォトダイオード２０４の４つの部分は、第２のフォトダイオード２０２にあっては照らされていない。かくして、フォトダイオード２０２，２０４は、相補的な仕方で照明を受ける。換言すれば、一対にグルーブ分けされたフォトダイオード２０１〜２０４のうちの２つにそれぞれ対応する各２つのフィルタ素子２１１，２１２のうちの一方は、エンコード素子２１１，２２２のそれぞれに整列していて不透明であり、他方は透明である。かくして、コードホイール２２０のエンコード素子２２１，２２２と、エンコード素子２１０のフィルタ素子２１１，２１２と、２つのフォトダイオード対２０１，２０３及び２０２，２０４とは、互いに相互配置され、コードホイール２２０及びエンコードフィルタ２１０を通って伝送された光によりフォトダイオード対を相補的に照らすことができるようになっている。
【００４４】
図３（ｂ）〜図３（ｄ）は、図３（ａ）に示した構成に比べて、コードホイール２２０をそれぞれ電気角度９０°（図３（ｂ）参照），電気角度１８０°（図３（ｃ）参照），及び電気角度２７０°（図３（ｄ）参照）だけ回転させた状況にある組み合わせ３００の構成を示している。図３（ａ）と対比されるコードホイールの電気角度３６０°の回転は、図３（ａ）に示した状況を取り戻す。電気角度９０°の回転は、不透明又は透明なエンコード素子２２１，２２２の横方向幅の半分（すなわち、一空間単位２３１）のコードホイールの動きに対応するものである。図３（ａ）〜図３（ｄ）に示したように、エンコードフィルタ２１０により配置されたオフセットに従いコードホイール２２０を回転させることにより、各フォトダイオード２０１〜２０４の領域は、全被覆，半被覆，又は１／４被覆とされる。コードホイールが４連続ステップごとに電気角度９０°だけ回転する際のフォトダイオード２０１〜２０４の照明状態が、図３（ａ）〜３Ｄに見て取ることができる。
【００４５】
図４（ａ）は、コードホイール２２０の回転状態の関数としてフォトダイオード２０１〜２０４により検出される強度を大まかに示す線図４００である。回転の進捗は、図４（ａ）の横座標に示してある。特に、コードホイール２２０の回転状態は、図３（ａ）〜図３（ｄ）においてｔ１　，ｔ２　，ｔ３　，ｔ４　として示してある。これらの回転状態は、図４（ａ）に示した線図の横座標にも図示してある。図４（ａ）の線図は、さらに、第１のフォトダイオード２０１乃至第４のフォトダイオード２０４までの検出信号を反映した４本の曲線４０１〜４０４を含んでいる。第１のフォトダイオード２０１の検出信号４０１，第２のフォトダイオード２０２の検出信号４０２，第３のフォトダイオード２０３の検出信号４０３，及び第４のフォトダイオード２０４の検出信号４０４が、図４（ａ）に図示してある。
【００４６】
回転状態ｔ１　にあっては、第１のフォトダイオード２０１がコードホイール２２０の不透明エンコード素子２２２により半分だけ覆われており、その結果、第１のフォトダイオード２０１の検出信号４０１は、最大値の半分となる。フォトダイオード２０２，２０４の表面領域の１／４だけは光の照射とは無縁であるので、第２のフォトダイオード２０２及び第４のフォトダイオード２０４の検出信号４０２，４０４は、それぞれ１／４のレベルとなっている。第３のフォトダイオード２０３は、不透明フィルタ素子２１２及び不透明エンコード素子２２２により完全に覆われていて、第３のフォトダイオード２０３の検出信号４０３は、回転状態ｔ１　において、取り得る最低の値にある。回転が進行するにつれて、フォトダイオードの状態すなわち検出信号４０１〜４０４は、零レベルから半分のレベルまで発展するか或いはその逆となる。その結果は、図４（ａ）に示すようにジグザク波形を有する検出信号となる。
【００４７】
しかしながら、図２Ａ〜図４に図示はしていないが、好適な実施形態に係る光エンコード装置は、さらに、フォトダイオード対２０１，２０３及び２０２，２０４からの検出信号４０１〜４０４が推定ユニットに供給され得るようにフォトダイオード２０１〜２０４に結合された推定ユニットを備えている。この場合、推定ユニットは、二対のフォトダイオード２０１，２０３及び２０２，２０４からの検出信号４０１〜４０４に基づいて回転するコードホイール２２０の動き特性である動き情報の推定に適用される。以下に説明するように、推定ユニットにおける推定は、フォトダイオード対２０１，２０３及び２０２，２０４の検出信号４０１，４０３及び４０２，４０４の相関処理に基づいて行われる。この機能を実行するため、推定ユニットは、トランジスタ−トランジスタ論理回路（ＴＴＬ回路）を備えている。
【００４８】
図４（ｂ）には、検出信号４０１，４０３の相関から得られる第１の推定信号４１１を示す線図４１０が図示されている。検出信号４０１，４０３の波形は、電子回路網を介して、第１の推定信号４１１へ変換される。電子システムは、一対のフォトダイオード４０１，４０３の検出信号を比較し、すなわち検出信号４０１を相補型検出信号４０３と比較し、これらの２つの検出信号４０１，４０３間のエレクトロニック・オフセットに基づいて、個々のＴＴＬ（トランジスタ−トランジスタ論理）出力端子へその結果を転送する。「ハイ（高レベル）」及び「ロウ（低レベル）」の遷移は、回転状態ｔ２　における検出信号４０１，４０３の交差箇所で発生する。
【００４９】
図４（ａ）及び図４（ｂ）に再び戻って調べることができるように、第１の検出信号４０１が検出信号４０３の上側にある場合には、第１の推定信号４１１は「ハイ」であり、検出信号４０１が検出信号４０３の下側にある場合には、第１の推定信号４１１は「ロウ」である。
【００５０】
従って、推定ユニットは、第２及び第４のフォトダイオード（相補型フォトダイオード）２０２，２０４の第２及び第４の検出信号４０２，４０４を相関処理することによって、図４（ｃ）の線図４２０に示される第２の推定信号４２１を推定する。
【００５１】
第１の推定信号４１１及び第２の推定信号４２１の２つの連続パルス（デューティサイクル）間の時間差は、コードホイール２２０の回転速度についての特性である。それ故、動き情報を推定することができる。ディジタル信号のような第１及び第２の推定信号４１１，４２１は、大幅に改善されたＳＮ比を有する。それ故、本発明の好適な実施形態に係る光エンコーダの分解能は、従来技術の分解能に比べて根本的に改善されたものとなる。
【００５２】
以下、本発明の光エンコーダ機構のさらなる好適な実施形態を、図５を参照して説明する。
【００５３】
図５に示した光エンコーダ機構５００は、コードホイール（コードホイールの扇状部２２０は図５に図示）を備えている。このコードホイールは、交互配置された複数の透明エンコード素子２２１及び不透明エンコード素子２２２を有しており、エンコード素子２２１，２２２の少なくとも一部（図５に示した扇状部）が光で照らされるように構成されている。光エンコーダ機構５００は、さらに、対としてグループ分けされた２つのフォトダイオード２０１，２０３を含んでいる。さらに、光エンコーダ機構５００は、エンコードフィルタ２１０を備えている。このエンコードフィルタ２１０は、交互配置された複数の透明フィルタ素子２１１及び不透明フィルタ素子２１２を含んでおり、コードホイール２２０のエンコード素子２２１，２２２，エンコードフィルタ２１０のフィルタ素子２１１，２１２，及び一対のフォトダイオード２０１，２０３が相対配置されており、フォトダイオード２０１，２０３がコードホイール２２０及びエンコードフィルタ２１０を通って伝送された光でもって相補的に照明できるように構成されている。さらに、光エンコーダ機構５００は、フォトダイオード対２０１，２０３からの検出信号４０１，４０３が供給されるようにフォトダイオード２０１，２０３に結合された推定ユニット５０１を備えており、この推定ユニット５０１がフォトダイオード対２０１，２０３の検出信号４０１，４０３に基づいてコードホイール２２０の動きについての特性である動き情報を推定するよう設けられている。これに加え、光エンコーダ機構５００は、扇状部２２０のエンコード素子２２１，２２２上に光を照射できるよう配置された光源としての発光ダイオード５０２を備えている。
【００５４】
フォトダイオード２０１，２０３の数は、２である。さらに、全てのフォトダイオード２０１，２０３は、単一の対にグループ化されている。図５から分かるように、フォトダイオード２０１，２０３は、エンコード素子２１１，２１２の整列方向にほぼ垂直な方向に沿って整列配置されている。エンコードフィルタ２１０は、第１の行５０３及び第２の行５０４を備え、各行５０３，５０４がフォトダイオード２０１，２０３の一方に対応し、かつ、その一方に対して整列配置されている。そして、各行５０３，５０４は、エンコード素子２２１，２２２に対してほぼ平行に配置された複数の交互配置の透明フィルタ素子２１１及び不透明フィルタ素子２１２を備えている。対として結合された２つのフォトダイオード２０１，２０３に対応し、かつ、エンコード素子２２１，２２２のそれぞれに対して整列配置された各２つのフィルタ素子２１１，２１２のうちの一方が、不透明であり、他方が透明となっている。エンコードフィルタ２１０は、フォトダイオードのアレイ２００とコードホイール２２０との間に配置されている。コードホイール２２０は、回転運動を遂行するように構成されている。
【００５５】
第１の光ビーム５０，第２の光ビーム５０６，及び第３の光ビーム５０７が、図５に図示されている。コードホイール２２０の現在の回転状態によれば、第１の光ビーム５０５は、コードホイール２２０の透明エンコード素子２２１の１つを通過することができ、エンコードフィルタ２１０の透明フィルタ素子２１１の１つを通過し、第１のフォトダイオード２０１に入射して対応する電気信号を生成することができる。これとは対照的に、第２の光ビーム５０６は、コードホイール２２０の不透明エンコード素子２２２に入射し、フォトダイオード２０１，２０３の一方へは到達することはできない。第３の光ビーム５０７は、コードホイール２２０の透明エンコード素子２２１の１つを通過することでコードホイール２２０を通過することができるが、第３の光ビーム５０７は、エンコードフィルタ２１０の不透明フィルタ素子２１２の１つに入射し、それ故フォトダイオード２０１，２０３の１つに到達して信号を生成することはできない。
【００５６】
以下、光エンコーダ装置の好適な実施形態のさらなる特徴を説明する。光エンコーダ装置の光検出素子数は、偶数にすることが可能であり、より好ましくは２或いは４である。透明エンコード素子を固体のスロット形成部分とし、不透明エンコード素子を固体のスロット非形成部分とすることもできる。さもなければ、不透明部分は基本的に光透過型の本体上の印刷部分とし得、透明部分は印刷された不透明部分間の部分とすることができる。可動の光エンコードユニットは、回転運動或いは平行移動の遂行に適用することができる。本発明の文脈における「光」は、例えば任意の波長の電磁放射、特に可視光や紫外光及び／又は赤外光とすることができる。本発明の光エンコーダ装置は、例えばプリンタ（例えばインクジェット式プリンタ）や複写機やファクシミリ装置やスキャナに用いることができる。
【００５７】
動き情報を推定する方法の好適な実施形態によれば、本方法は、少なくとも一対の光検出素子により、光エンコードユニットを通りさらにエンコードフィルタを通って伝送され光検出素子上に入射した光により生成された時間的因果関係信号を検出するステップと、少なくとも一対の光検出素子の検出信号に基づいて相関信号を推定するステップと、相関信号に基づいて動き情報を推定するステップをさらに含んでいる。
【００５８】
以上を要約すると、次の通りである。すなわち、本発明は、光エンコーダ機構，インクジェットプリンタ，及び動き情報を推定するための方法に関するものである。本発明の光エンコーダ装置は、複数の交互配置された透明なエンコード素子及び不透明なエンコード素子を含み、かつ、エンコード素子の少なくとも一部が光で照明され得るように配列された可動の光エンコードユニットを備えている。この光エンコーダ装置は、少なくとも一つの対にグループ分けされた少なくとも２つの光検出素子を有している。さらに、光エンコーダ装置は、複数の交互配置された透明のフィルタ素子及び不透明のフィルタ素子から成るエンコードフィルタを含んでおり、光エンコードユニットのエンコード素子，エンコードフィルタのフィルタ素子，及び少なくとも一対の光エンコード素子は、前記一対の光検出素子が光エンコードユニット及び光エンコードフィルタを介して伝送される光でもって相補的に照明されるように、互いに相対して配置されている。さらに、光エンコーダ装置は、光検出素子に結合された推定ユニットを有しており、少なくとも一対の光検出素子からの検出信号が推定ユニットに供給され得るようにしてあり、この推定ユニットは、前記一対の光検出素子からの検出信号に基づいて、可動の光エンコードユニットの動き特性である動き情報を推定するように構成されている。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】本発明の好適な実施形態に係る光エンコーダ機構の断面図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示した光エンコーダ機構の側面図である。
【図１Ｃ】本発明の別の好適な実施形態に係る光エンコーダ機構の断面図である。
【図１Ｄ】図１Ｃに示した光エンコーダ機構の側面図である。
【図２Ａ】本発明の好適な実施形態に係る光エンコーダ装置の４つの光検出素子から成る機構を示す平面図である。
【図２Ｂ】本発明の好適な実施形態の光エンコーダ装置のエンコードフィルタを示す平面図である。
【図２Ｃ】本発明の好適な実施形態に係る光エンコーダ装置の可動の光エンコードユニットの扇状部を示す平面図である。
【図２Ｄ】図２Ａの光検出素子上に図２Ｂのエンコードフィルタを積み重ねて成る組み合わせを示す平面図である。
【図３】図３（ａ）〜（ｄ）は、可動の光エンコードユニットが移動する間の異なる時間において図２Ａの光検出素子列上に積み重ねられた図２Ｂのエンコードフィルタの上に積み重ねられた図２Ｃの可動の光エンコードユニットの扇状部の組み合わせを示す平面図である。
【図４】図４（ａ）は、図２Ｃに示される可動の光エンコードユニットの運動の間、図２Ａに示される４つの個別光検出素子が検出する検出信号の波形の時間的因果関係を示す線図、図４（ｂ）は、図２Ａに図示される第１の行と第３の行における光検出素子の検出信号から推定ユニットが推定する波形信号を示す線図、図４（ｃ）は、図２Ａに図示される第２の行と第４の行における光検出素子の検出信号から推定ユニットが推定する波形信号を示す線図である。
【図５】本発明のさらなる好適な実施形態に係る光エンコーダ機構の概略図である。
【符号の説明】
１００　光エンコーダ機構
１０２　コードホイール
１０５，１１５　スロット
１０６，１１６　バー
１０７，１１７　発光ダイオード
１０８ａ〜１０８ｄ，１１８ａ〜１１８ｄ　光検出器
１０９，１１９　エンコードフィルタ
１１０　光エンコーダ装置
２００　アレイ
２０１　第１のフォトダイオード
２０２　第２のフォトダイオード
２０３　第３のフォトダイオード
２０４　第４のフォトダイオード
２１０　エンコードフィルタ
２２０　光エンコードユニット（扇状部）
２１１　透明フィルタ素子
２１２　不透明フィルタ素子
２１３，２１４，２１５，２１６　行
２２１　透明エンコード素子
２２２　不透明エンコード素子
２１７ａ　第１の特定の不透明エンコード素子
２１７ｂ　第２の特定の不透明エンコード素子
２１８ａ　第１の特定の透明エンコード素子
２１８ｂ　第２の特定の透明エンコード素子
２３０，３００　組み合わせ
４０１〜４０４　検出信号
４１１　第１の推定信号
４２１　第２の推定信号
５００　光エンコーダ機構
５０１　推定ユニット
５０２　発光ダイオード
５０３　第１の行
５０４　第２の行
５０５　第１の光ビーム
５０６　第２の光ビーム
５０７　第３の光ビーム
【図１Ａ】
2004003979.tif 000003
【図１Ｂ】
2004003979.tif 000004
【図１Ｃ】
2004003979.tif 000005
【図１Ｄ】
2004003979.tif 000006
【図２Ａ】
2004003979.tif 000007
【図２Ｂ】
2004003979.tif 000008
【図２Ｃ】
2004003979.tif 000009
【図２Ｄ】
2004003979.tif 000010
【図３】
2004003979.tif 000011
【図４】
2004003979.tif 000012
【図５】
2004003979.tif 000013
【外国語明細書】
2004003979.tif 000014
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