(57)【要約】　　　（修正有）【課題】搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に効率よく排出することが可能なクリーンルーム、自動搬送装置およびその発塵防止装置を提供する。【解決手段】工程間搬送エリアの隔壁側面１ａをクリーンゾーンＣＺ側にコ字形上に変形することにより、粉塵排出エリア１０を所定の高さに沿って設ける。そして、粉塵排出エリア１０上に工程間搬送レール８が設置され、この工程間搬送レール８上を工程間搬送車９が移動する。工程間搬送車９から粉塵が発生すると、この粉塵は、粉塵排出エリア１０を介しパワーゾーンＰＺ側に直接排出される。【選択図】　　　図２
2004083243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パワーゾーンとクリーンゾーンとを仕切る隔壁と、
前記クリーンゾーン側に突き出るようにして、前記隔壁側面に設けられた粉塵排出エリアと、
前記粉塵排出エリア上に接するように設置された高架式レールと、
前記高架式レール上を移動する搬送車とを備えることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
パワーゾーンとクリーンゾーンとを仕切る隔壁と、
前記隔壁側面を介して前記クリーンゾーン側に突き出るように配置されたパワーゾーン導入エリアと、
前記パワーゾーン導入エリア上に接するように設置された高架式レールと、
前記高架式レール上を移動する搬送車とを備えることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項３】
前記パワーゾーン導入エリアは、コ字形状であることを特徴とする請求項２記載のクリーンルーム。
【請求項４】
パワーゾーンとクリーンゾーンとを仕切る隔壁と、
前記クリーンゾーンに設置された高架式レールと、
前記高架式レール下に沿って配置され、前記パワーゾーンに接続された粉塵送出手段と、
前記高架式レール上を移動する搬送車とを備えることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項５】
パワーゾーンとクリーンゾーンとを仕切る隔壁と、
前記クリーンゾーンに設置された高架式レールと、
前記高架式レール上を移動する搬送車と、
前記高架式レールの下側を囲い込むように配置され、前記搬送車から発生する粉塵を受け止める粉塵受止手段と、
前記粉塵受止手段をパワーゾーンに接続するパワーゾーン接続手段とを備えることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項６】
クリーンゾーンに設置された高架式レールと、
前記高架式レール上を移動する搬送車と、
前記高架式レール下に沿って配置され、前記搬送車から発生する粉塵をパワーゾーンに送出する粉塵送出手段とを備えることを特徴とする自動搬送装置。
【請求項７】
クリーンゾーンに設置された高架式レール下に沿って、パワーゾーンが配置されるように、クリーンルームの隔壁をクリーンゾーン側に突き出したことを特徴とする自動搬送装置の発塵防止方法。
【請求項８】
クリーンゾーンに設置された高架式レールの下側を囲い込んだ状態でパワーゾーンに接続し、前記高架式レール上の搬送車から発生する粉塵をパワーゾーンに送出することを特徴とする自動搬送装置の発塵防止方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルーム、自動搬送装置および自動搬送装置の発塵防止方法に関し、特に、クリーンルーム内での工程間搬送に用いられるＯＨＳ（Ｏｖｅｒ　Ｈｅａｄ　Ｓｈｕｔｔｌｅ）に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体装置や精密機械装置などの製造に用いられるクリーンルームでは、半導体装置や精密機械装置などの自動搬送を行うために、ＯＨＳと呼ばれる自動搬送装置が設置されることがある。
図５は、従来のクリーンルームの概略構成を示す平面図、図６は、図５のＣ方向から見た側面図である。
【０００３】
図５において、クリーンルーム４１は、例えば、エッチング工程、ＣＶＤ工程、露光工程、洗浄工程などが行われる製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄごとに区分けされ、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄには、各製造工程に対応した製造装置群４４ａ〜４４ｄがそれぞれ配置されている。
そして、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ間には、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ内での搬送を行う工程内搬送エリア４２ａ〜４２ｃがそれぞれ設けられ、各工程内搬送エリア４２ａ〜４２ｃには、ウェハをストックするストッカ４７ａ〜４７ｄが設けられるとともに、製造装置群４４ａ〜４４ｄをそれぞれ経由して、各ストッカ４７ａ〜４７ｄに接続される工程内搬送軌道４５ａ〜４５ｃがそれぞれ敷設されている。
【０００４】
そして、各工程内搬送軌道４５ａ〜４５ｃ上には、多関節ロボットが搭載された工程内搬送車４６ａ〜４６ｃがそれぞれ設置されている。
また、クリーンルーム４１には、各工程内搬送エリア４２ａ〜４２ｃにそれぞれ跨るようにして工程間搬送エリア４３が設けられ、工程間搬送エリア４３には、各工程内搬送エリア４２ａ〜４２ｃを経由する工程間搬送レール４８が架設されている。
【０００５】
そして、工程間搬送レール４８上には、多関節ロボットが搭載された工程間搬送車４９が設置されている。
また、工程間搬送レール４８下には、工程間搬送車４９から発塵する粉塵がクリーンルーム４１内に流れ込むことを低減するため、図６に示すように、ＦＦＵ（ファンフローユニット）５０ａ〜５０ｅが取り付けられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、工程間搬送車４９から発塵する粉塵を吸収するため、工程間搬送レール４８下にＦＦＵ５０ａ〜５０ｅが取り付ける方法では、多数のＦＦＵ５０ａ〜５０ｅが必要になり、ＦＦＵ５０ａ〜５０ｅのメンテナンスの負担が大きくなるとともに、ＦＦＵ５０ａ〜５０ｅの消費電力も増加するという問題があった。
【０００７】
また、工程間搬送レール４８下に多数のＦＦＵ５０ａ〜５０ｅを設けると、ＦＦＵ５０ａ〜５０ｅが１つでも故障すると、そこから粉塵がクリーンルーム４１内に流れ出し、クリーンルーム４１内のクリーン度の管理が困難になるという問題があった。
そこで、本発明の目的は、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に効率よく排出することが可能なクリーンルーム、自動搬送装置および自動搬送装置の発塵防止方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１記載のクリーンルームによれば、パワーゾーンとクリーンゾーンとを仕切る隔壁と、前記クリーンゾーン側に突き出るようにして、前記隔壁側面に設けられた粉塵排出エリアと、前記粉塵排出エリア上に接するように設置された高架式レールと、前記高架式レール上を移動する搬送車とを備えることを特徴とする。
【０００９】
これにより、クリーンルームの隔壁を介して、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出することが可能となり、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出するために、ＦＦＵなどの新規な設備が不要となる。
このため、消費電力を削減しつつ、メンテナンスフリーを実現することが可能となるとともに、故障の発生もなくなることから、クリーンルーム内のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
【００１０】
また、請求項２記載のクリーンルームによれば、パワーゾーンとクリーンゾーンとを仕切る隔壁と、前記隔壁側面を介して前記クリーンゾーン側に突き出るように配置されたパワーゾーン導入エリアと、前記パワーゾーン導入エリア上に接するように設置された高架式レールと、前記高架式レール上を移動する搬送車とを備えることを特徴とする。
【００１１】
これにより、クリーンルームの隔壁側面をクリーンゾーン側に突き出して、その突き出し部分上に高架式レールを配置するだけで、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出することが可能となる。
このため、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出するために、ＦＦＵなどの新規な設備が不要となり、消費電力を削減しつつ、メンテナンスフリーを実現することが可能となるとともに、故障の発生もなくなることから、クリーンルーム内のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
【００１２】
また、請求項３記載のクリーンルームによれば、前記パワーゾーン導入エリアは、コ字形状であることを特徴とする。
これにより、パワーゾーン導入エリア上に高架式レールを容易に設置することが可能となるとともに、クリーンルームの外観形状を維持しつつ、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出することが可能となる。
【００１３】
このため、クリーンルームにパワーゾーン導入エリアを設けた場合においても、クリーンルーム内における設備の配置状態をそのまま維持することが可能となり、クリーンルーム内の局所的な工事を行うだけで、消費電力を削減することが可能となるとともに、クリーンルーム内のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
【００１４】
また、請求項４記載のクリーンルームによれば、パワーゾーンとクリーンゾーンとを仕切る隔壁と、前記クリーンゾーンに設置された高架式レールと、前記高架式レール下に沿って配置され、前記パワーゾーンに接続された粉塵送出手段と、前記高架式レール上を移動する搬送車とを備えることを特徴とする。
これにより、高架式レールの設置位置を変更することなく、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に導いて、クリーンルーム外に排出することが可能となる。
【００１５】
このため、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出するために、多数のＦＦＵを設置する必要がなくなることから、消費電力を削減しつつ、搬送車から発塵する粉塵がクリーンルーム内に流れ出すことを抑制することが可能となる。
また、請求項５記載のクリーンルームによれば、パワーゾーンとクリーンゾーンとを仕切る隔壁と、前記クリーンゾーンに設置された高架式レールと、前記高架式レール上を移動する搬送車と、前記高架式レールの下側を囲い込むように配置され、前記搬送車から発生する粉塵を受け止める粉塵受止手段と、前記粉塵受止手段をパワーゾーンに接続するパワーゾーン接続手段とを備えることを特徴とする。
【００１６】
これにより、高架式レール全体を下から覆うことが可能となり、ＦＦＵを高架式レール下に敷き詰めることなく、搬送車から発塵する粉塵がクリーンルーム内に流出することを防止して、クリーンルーム内のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
このため、高架式レールの配置を変更することなく、故障の発生を低減させて、メンテナンスの負担を減らすことが可能となるとともに、消費電力を削減することが可能となる。
【００１７】
また、請求項６記載の自動搬送装置によれば、クリーンゾーンに設置された高架式レールと、前記高架式レール上を移動する搬送車と、前記高架式レール下に沿って配置され、前記搬送車から発生する粉塵をパワーゾーンに送出する粉塵送出手段とを備えることを特徴とする。
これにより、高架式レールの設置位置を変更することなく、搬送車から発塵する粉塵をクリーンゾーン外に導いて、パワーゾーンに排出することが可能となる。
【００１８】
このため、搬送車から発塵する粉塵をクリーンゾーン外に排出するために、多数のＦＦＵを設置する必要がなくなることから、消費電力を削減しつつ、搬送車から発塵する粉塵がクリーンゾーン内に流れ出すことを抑制することが可能となる。
また、請求項７記載の自動搬送装置の発塵防止方法によれば、クリーンゾーンに設置された高架式レール下に沿って、パワーゾーンが配置されるように、クリーンルームの隔壁をクリーンゾーン側に突き出したことを特徴とする。
【００１９】
これにより、クリーンルームの外観形状を維持しつつ、クリーンルームの隔壁を介して、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出することが可能となる。
このため、ＦＦＵなどの新規な設備を導入することなく、クリーンルームの局所的な変更のみで、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出することが可能となり、消費電力を削減しつつ、メンテナンスフリーを実現することが可能となるとともに、故障の発生もなくして、クリーンルーム内のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
【００２０】
また、請求項８記載の自動搬送装置の発塵防止方法によれば、クリーンゾーンに設置された高架式レールの下側を囲い込んだ状態でパワーゾーンに接続し、前記高架式レール上の搬送車から発生する粉塵をパワーゾーンに送出することを特徴とする。
これにより、搬送車から発塵する粉塵がクリーンルーム内に流出することを防止しつつ、パワーゾーンに送出することが可能となり、ＦＦＵを高架式レール下に敷き詰めることなく、クリーンルーム内のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
【００２１】
このため、高架式レールの配置を変更することなく、故障の発生を低減させて、メンテナンスの負担を減らすことが可能となるとともに、消費電力を削減することが可能となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係るクリーンルームについて、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るクリーンルームの概略構成を示す平面図、図２は、図１のＡ−Ａ線で切断した断面図である。
である。
【００２３】
図１において、クリーンルーム１は、例えば、エッチング工程、ＣＶＤ工程、露光工程、洗浄工程などが行われる製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄごとに区分けされ、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄには、各製造工程に対応した製造装置群４ａ〜４ｄがそれぞれ配置されている。
そして、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ間には、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ内での搬送を行う工程内搬送エリア２ａ〜２ｃがそれぞれ設けられ、各工程内搬送エリア２ａ〜２ｃには、ウェハをストックするストッカ７ａ〜７ｄが設けられるとともに、製造装置群４ａ〜４ｄをそれぞれ経由して、各ストッカ７ａ〜７ｄに接続される工程内搬送軌道５ａ〜５ｃがそれぞれ敷設されている。
【００２４】
そして、各工程内搬送軌道５ａ〜５ｃ上には、多関節ロボットが搭載された工程内搬送車６ａ〜６ｃがそれぞれ設置されている。
また、クリーンルーム１には、各工程内搬送エリア２ａ〜２ｃにそれぞれ跨るようにして工程間搬送エリア３が設けられ、工程間搬送エリア３には、各工程内搬送エリア２ａ〜２ｃを経由する工程間搬送レール８が架設されている。
【００２５】
そして、工程間搬送レール８上には、多関節ロボットが搭載された工程間搬送車９が設置されている。
ここで、クリーンルーム１は、図２に示すように、隔壁側面１ａを境界として、その内側がクリーンゾーンＣＺ、その外側がパワーゾーンＰＺに区切られ、クリーンゾーンＣＺは、パワーゾーンＰＺに比べて圧力が高くなるように設定される。
【００２６】
そして、工程間搬送エリア３には、工程間搬送エリア３の隔壁側面１ａをクリーンゾーンＣＺ側にコ字形に変形することにより、粉塵排出エリア１０が所定の高さに沿って設けられている。
そして、粉塵排出エリア１０上に工程間搬送レール８が設置され、この工程間搬送レール８上を工程間搬送車９が移動する。
【００２７】
そして、工程間搬送車９が工程間搬送レール８上を移動し、工程間搬送車９から粉塵が発生すると、この粉塵は、粉塵排出エリア１０を介し、パワーゾーンＰＺ側に直接排出される。
この結果、クリーンルーム１の外観形状を維持しつつ、クリーンルーム１の隔壁側面１ａを介して、工程間搬送車９から発塵する粉塵をクリーンルーム１外に排出することが可能となり、工程間搬送車９から発塵する粉塵をクリーンルーム１外に排出するために、図５のＦＦＵ５０ａ〜５０ｅなどの新規な設備が不要となる。
【００２８】
このため、クリーンルーム１に粉塵排出エリア１０を設けた場合においても、クリーンルーム１内における設備４ａ〜４ｄの配置状態をそのまま維持することが可能となり、クリーンルーム１内の局所的な工事を行うだけで、粉塵排出エリア１０での消費電力を削減しつつ、粉塵排出エリア１０のメンテナンスフリーを実現することが可能となる。
【００２９】
また、粉塵排出エリア１０での故障の発生もなくなることから、クリーンルーム１内のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
さらに、粉塵排出エリア１０をコ字形とすることにより、粉塵排出エリア１０の下方に配置スペースを確保することが可能となり、クリーンルーム１を効率よく利用することが可能となる。
【００３０】
図３は、本発明の第２実施形態に係るクリーンルームの概略構成を示す平面図、図４は、図１のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
である。
図３において、クリーンルーム２１は、例えば、エッチング工程、ＣＶＤ工程、露光工程、洗浄工程などが行われる製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄごとに区分けされ、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄには、各製造に対応した製造装置群２４ａ〜２４ｄがそれぞれ配置されている。
【００３１】
そして、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ間には、各製造エリアＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ内での搬送を行う工程内搬送エリア２２ａ〜２２ｃがそれぞれ設けられ、各工程内搬送エリア２２ａ〜２２ｃには、ウェハをストックするストッカ２７ａ〜２７ｄが設けられるとともに、製造装置群２４ａ〜２４ｄをそれぞれ経由して、各ストッカ２７ａ〜２７ｄに向かう工程内搬送軌道２５ａ〜２５ｃがそれぞれ敷設されている。
【００３２】
そして、各工程内搬送軌道２５ａ〜２５ｃ上には、多関節ロボットが搭載された工程内搬送車２６ａ〜２６ｃがそれぞれ設置されている。
また、クリーンルーム２１には、各工程内搬送エリア２２ａ〜２２ｃにそれぞれ跨るようにして工程間搬送エリア２３が設けられ、工程間搬送エリア２３には、各工程内搬送エリア２２ａ〜２２ｃを経由する工程間搬送レール２８が架設されている。
【００３３】
そして、工程間搬送レール２８上には、多関節ロボットが搭載された工程間搬送車２９が設置されている。
ここで、クリーンルーム２１は、図４に示すように、隔壁側面２１ａを境界として、その内側がクリーンゾーンＣＺ、その外側がパワーゾーンＰＺに区切られ、クリーンゾーンＣＺは、パワーゾーンＰＺに比べて圧力が高くなるように設定される。
【００３４】
そして、クリーンゾーンＣＺに設けられた工程間搬送レール下２８には、工程間搬送車２９から発塵した粉塵を引き込むための粉塵排出パイプ３０が、工程間搬送レール２８に沿って設けられ、この粉塵排出パイプ３０は、パワーゾーン接続パイプ３１を介してパワーゾーンＰＺに接続されている。
そして、工程間搬送車２９が工程間搬送レール２８上を移動し、工程間搬送車２９から粉塵が発生すると、この粉塵は、粉塵排出パイプ３０に引き込まれ、パワーゾーン接続パイプ３１を介してパワーゾーンＰＺに排出される。
【００３５】
この結果、工程間搬送レール２８の配置位置を変更することなく、粉塵排出パイプ３０を介して、工程間搬送車２９から発塵する粉塵をクリーンルーム２１外に排出することが可能となり、工程間搬送車２９から発塵する粉塵をクリーンルーム２１外に排出するために、図５のＦＦＵ５０ａ〜５０ｅなどの新規な設備が不要となるとともに、工程間搬送レール２８の配置状態をそのまま維持することが可能となる。
【００３６】
また、粉塵排出パイプ３０に引き込まれた粉塵は、クリーンゾーンＣＺとパワーゾーンＰＺとの差圧を利用して、パワーゾーンＰＺに排出することが可能となり、工程間搬送車２９から発塵した粉塵をクリーンルーム２１外に排出するために、ファンやポンプなどの機械的動作を伴う部品を導入する必要がなくなる。
このため、粉塵排出パイプ３０を工程間搬送レール２８下に設けた場合においても、電力消費をなくして、消費電力を削減することが可能となるとともに、粉塵排出パイプ３０のメンテナンス作業を軽減することが可能となる。
【００３７】
また、ファンやポンプなどの機械的動作を伴う部品を導入する必要がなくなることから、粉塵排出パイプ３０の故障を発生させることなく、工程間搬送車２９から発塵した粉塵をクリーンルーム２１外に排出することが可能となり、クリーンルーム２１のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
さらに、粉塵排出パイプ３０を工程間搬送レール２８下に引き回すだけで、工程間搬送レール２８下全体を覆うことが可能となり、コストアップを抑制しつつ、工程間搬送車２９から発塵した粉塵をクリーンルーム２１内に漏らすことなく、クリーンルーム２１外に排出することが可能となる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、クリーンルームの隔壁を介して、搬送車から発塵する粉塵をクリーンルーム外に排出することにより、消費電力を削減しつつ、メンテナンスフリーを実現することが可能となるとともに、故障の発生もなくして、クリーンルーム内のクリーン度を容易に維持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るクリーンルームの概略構成を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線で切断した断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るクリーンルームの概略構成を示す平面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
【図５】従来のクリーンルームの概略構成を示す平面図である。
【図６】図５のＣ方向から見た側面図である。
【符号の説明】
１、２１　クリーンルーム、１ａ、２１ａ　隔壁、Ａ、Ｂ、Ｖ、Ｄ　製造エリア、２ａ〜２ｃ、２２ａ〜２２ｃ　工程内搬送エリア、３、２３　工程間搬送エリア、４ａ〜４ｄ、２４ａ〜２４ｄ　製造装置群、５ａ〜５ｃ、２５ａ〜２５ｃ工程内搬送軌道、６ａ〜６ｃ、２６ａ〜２６ｃ　工程内搬送車、７ａ〜７ｄ、２７ａ〜２７ｄ　ストッカ、８、２８　工程間搬送レール、９、２９　工程間搬送車、１０　粉塵排出エリア、３０　粉塵排出パイプ、３１　パワーゾーン接続パイプ、ＰＺ　パワーゾーン、ＣＺ　クリーンゾーン
【図１】
2004083243.tif 000003
【図２】
2004083243.tif 000004
【図３】
2004083243.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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