(57)【要約】【課題】室温において作動させることができ、かつ湿度の影響を小さくすることができる二酸化炭素センサを提供する。【解決手段】検知極１０と対極２０とがそれぞれ電解質３０の反対側の面に設けられている。検知極１０は、電解質３０の側から金属炭酸塩層１２と金属酸化物層１１とを積層した構造を有している。金属炭酸塩層１２は、炭酸リチウムを含むことが好ましく、その融点よりも低い温度で形成されることが好ましい。金属酸化物層１１は、例えばインジウムとスズとを含む複合酸化物により構成されることが好ましい。これにより、湿度による出力の変化を小さくすることができると共に、二酸化炭素感知特性も向上させることができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検知極と対極とが電解質に設けられた二酸化炭素センサであって、
前記検知極は、金属酸化物を含む金属酸化物層と、この金属酸化物層と前記電解質との間に設けられた金属炭酸塩を含む金属炭酸塩層とを有する
ことを特徴とする二酸化炭素センサ。
【請求項２】
前記金属炭酸塩層は、炭酸リチウムを含むことを特徴とする請求項１記載の二酸化炭素センサ。
【請求項３】
前記金属炭酸塩層は、含有する金属炭酸塩の融点よりも低い温度で形成されたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の二酸化炭素センサ。
【請求項４】
前記金属酸化物層は、酸化スズ、酸化インジウム、酸化コバルト、酸化タングステン、酸化亜鉛、酸化鉛、酸化銅、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化クロム、酸化カドミウム、酸化ビスマス、酸化マンガン、酸化イットリウム、酸化アンチモン、酸化ランタン、酸化セリウム、酸化プラセオジム、酸化ネオジム、酸化銀、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化ルビジウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムおよび酸化バリウムからなる群のうちの少なくとも１種を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の二酸化炭素センサ。
【請求項５】
前記金属酸化物層は、スズとインジウムとを含む複合酸化物を含有することを特徴とする請求項４記載の二酸化炭素センサ。
【請求項６】
前記電解質は、金属イオン伝導体を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の二酸化炭素センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、室内外の環境測定および環境制御、施設園芸等の農工業プロセス、防災、生体表面の代謝機能の測定、あるいは医療用などに使用される二酸化炭素センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、空調の普及に伴う室内空気の汚染の検知、畜産における施設内空気の汚染の検知、園芸施設における植物の成長制御、各種工業プロセスなどを中心に、二酸化炭素センサに対するニーズが高まっており、種々の方式の二酸化炭素センサが報告されている。
【０００３】
具体的には、例えば、赤外線吸収方式の二酸化炭素センサが実用化されている。しかし、この方式のセンサは、装置が大きいこと、高価であることなどから、普及するには至っていない。また、半導体を用いたセンサもあるが、このセンサは二酸化炭素の選択性に劣るため、二酸化炭素のみの濃度を測定することが困難である。
【０００４】
これに対して、小型で安価なセンサとして、固体電解質を用いたものが提案されている。その一つに、例えば、ＮＡＳＩＣＯＮ（ナトリウムスーパーイオン導電体：Ｎａ３  Ｚｒ２  Ｓｉ２  ＰＯ１２）などのアルカリ金属イオン導電性の固体電解質に一対の電極を形成し、一方に炭酸ナトリウムなどの二酸化炭素と解離平衡を形成する金属炭酸塩層を設けて検知極とし、他方を二酸化炭素不感応性電極とした、いわゆる起電力検出型センサがある（例えば、非特許文献１参照。）。
【０００５】
このセンサによれば、優れた二酸化炭素感知特性を得ることができる。しかし、検知極に金属炭酸塩を用いているので、湿度の影響を受けやすいという問題があった。そこで、検知極にアルカリ金属炭酸塩とアルカリ土類金属炭酸塩との混合物あるいは固溶体を用いることにより、湿度の影響を小さくした二酸化炭素センサが提案されている（例えば、特許文献１，特許文献２，特許文献３あるいは特許文献４参照。）。
【０００６】
また、このセンサは作動温度が４００℃〜７００℃と高温なので、センサ全体の消費電力が大きく、しかも、材料の熱劣化が起きてしまうなどの問題もあった。更に、数百℃の熱は、たとえ小さなヒーターからであってもセンサ周辺を加温し、空気の対流を発生するなど、測定環境に微妙な影響を与えてしまうという問題もあった。
【０００７】
そこで、検知極にアンチモン（Ｓｂ）あるいはバナジウム（Ｖ）を添加した酸化スズ（ＳｎＯ２  ）半導体を用いた二酸化炭素センサが提案されている（例えば、非特許文献２参照。）。また、検知極を金属酸化物層、または金属炭酸塩あるいは炭酸水素塩を分散させた金属酸化物層により構成した二酸化炭素センサも提案されている（例えば、特許文献５あるいは特許文献６参照。）。これらのセンサによれば、室温において作動させることができる。
【０００８】
【特許文献１】
特公平７−８５０７１号公報
【特許文献２】
特許第２５９８１７２号公報
【特許文献３】
特許第２９７４０８８号公報
【特許文献４】
特許第２９７４０９０号公報
【特許文献５】
特開平１１−２７１２７０号公報
【特許文献６】
特開２０００−８８７９９号公報
【非特許文献１】
丸山他，「ソリッド  ステイト  イオニクス（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｉｏｎｉｃｓ）  」，１９８７年，第２３巻，第１／２号，ｐ．１０７−１１２
【非特許文献２】
エス．ブリークヒン（Ｓ．Ｂｒｅｉｋｈｉｎ）他，「アプライド  フィジックス（Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  ）」，１９９３年，Ａ５７号，ｐ．３７−４３
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、検知極に酸化スズ半導体を用いた二酸化炭素センサは、応答が見られるまで４分以上を必要とし、迅速な測定が難しいという問題があった。更に、この二酸化炭素センサでは検知機構に水蒸気が関与しているので、湿度によって応答時間あるいは感度が変化してしまうという問題もあった。また、金属酸化物を用いた二酸化炭素センサも湿度の影響を受けやすく、湿度による感度への影響は小さいものの起電力出力の絶対値が変化してしまい、湿度に応じた補正をしなければならないなどの問題があった。
【００１０】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、室温において作動させることができ、かつ湿度の影響を小さくすることができる二酸化炭素センサを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明による二酸化炭素センサは、検知極と対極とが電解質に設けられたものであって、検知極は、金属酸化物を含む金属酸化物層と、この金属酸化物層と前記電解質との間に設けられた金属炭酸塩を含む金属炭酸塩層とを有するものである。
【００１２】
本発明による二酸化炭素センサでは、金属酸化物層と金属炭酸塩層とが層構造を有しているので、室温で作動し、かつ湿度による影響が小さくなる。
【００１３】
なお、金属炭酸塩層は炭酸リチウムを含むことが好ましく、また、含有する金属炭酸塩の融点よりも低い温度で形成されていることが好ましい。
【００１４】
金属酸化物層は、酸化スズ、酸化インジウム、酸化コバルト、酸化タングステン、酸化亜鉛、酸化鉛、酸化銅、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化クロム、酸化カドミウム、酸化ビスマス、酸化マンガン、酸化イットリウム、酸化アンチモン、酸化ランタン、酸化セリウム、酸化プラセオジム、酸化ネオジム、酸化銀、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化ルビジウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムおよび酸化バリウムからなる群のうちの少なくとも１種を含むことが好ましく、特に、スズとインジウムとを含む複合酸化物を含有することが好ましい。電解質は、金属イオン伝導体を含むことが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して、詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明の一実施の形態に係る二酸化炭素センサの構成を表すものである。この二酸化炭素センサは、検知極１０と対極２０とがそれぞれ電解質３０を挟んで反対側に設けられ、検知極１０および対極２０からはそれぞれリード線１３，２３が引き出されて電位差計に接続されている。電解質３０の対極２０が設けられた側には、石英ガラスチューブ４０が接着層４１により取り付けられており、対極２０が測定雰囲気にさらされないようになっている。
【００１７】
検知極１０は、金属酸化物を含む金属酸化物層１１と、金属酸化物層１１と電解質３０との間に設けられた金属炭酸塩を含む金属炭酸塩層１２とを有している。このように層構造とすることにより、湿度による影響を小さくすることができると共に、二酸化炭素感知特性も向上させることができるからである。金属酸化物層１１の厚みは例えば１０ｎｍ〜５００μｍ、金属炭酸塩層１２の厚みは例えば１０ｎｍ〜５００μｍであることが好ましい。より高い効果が得られるからである。なお、金属炭酸塩というのは、本明細書においては、酸性塩、すなわち炭酸水素塩、および塩基性塩を含まないいわゆる正塩を意味している。
【００１８】
金属酸化物層１１は、例えば、酸化スズ（ＳｎＯ，ＳｎＯ２  ）、酸化インジウム（Ｉｎ２  Ｏ３  ）、酸化コバルト（Ｃｏ３  Ｏ４  ）、酸化タングステン（ＷＯ３  ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化鉛（ＰｂＯ）、酸化銅（ＣｕＯ）、酸化鉄（Ｆｅ２  Ｏ３  ，ＦｅＯ）、酸化ニッケル（ＮｉＯ）、酸化クロム（Ｃｒ２  Ｏ３  ）、酸化カドミウム（ＣｄＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ２  Ｏ３  ）、酸化マンガン（ＭｎＯ２  ，Ｍｎ２  Ｏ３  ）、酸化イットリウム（Ｙ２  Ｏ３  ）、酸化アンチモン（Ｓｂ２  Ｏ３  ）、酸化ランタン（Ｌａ２  Ｏ３  ）、酸化セリウム（ＣｅＯ２  ）、酸化プラセオジム（Ｐｒ６  Ｏ１１）、酸化ネオジム（Ｎｄ２  Ｏ３  ）、酸化銀（Ａｇ２  Ｏ）、酸化リチウム（Ｌｉ２  Ｏ）、酸化ナトリウム（Ｎａ２  Ｏ）、酸化カリウム（Ｋ２  Ｏ）、酸化ルビジウム（Ｒｂ２  Ｏ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）、および酸化バリウム（ＢａＯ）からなる群のうちの少なくとも１種を含有することが好ましい。
【００１９】
これらの金属酸化物を用いることにより、低温での迅速な測定が可能となるからである。これら金属酸化物は化学量論組成から多少偏倚していてもよい。なお、２種以上の酸化物を含有する場合には、それらの複合酸化物を含有していてもよく、それらの混合物を含有していてもよい。
【００２０】
金属酸化物としては、中でも、酸化スズ、酸化インジウム、酸化コバルト、酸化タングステン、酸化亜鉛、酸化鉛、酸化銅、酸化鉄、酸化ニッケル、酸化クロム、酸化カドミウム、および酸化ビスマスからなる群のうちの少なくとも１種、更には、酸化スズ、酸化インジウム、酸化亜鉛、および酸化タングステンからなる群のうちの少なくとも１種を含有することが好ましい。より高い効果が得られるからである。また、スズとインジウムとを含む複合酸化物を含有するようにすれば、導電性を高くすることができるので特に好ましい。
【００２１】
金属炭酸塩層１２は、例えば、炭酸リチウム（Ｌｉ２  ＣＯ３  ）、炭酸ナトリウム（Ｎａ２  ＣＯ３  ）、炭酸カリウム（Ｋ２  ＣＯ３  ）、炭酸ルビジウム（Ｒｂ２  ＣＯ３  ）、炭酸セシウム（Ｃｓ２  ＣＯ３  ）、炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ３  ）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３  ）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ３  ）、炭酸バリウム（ＢａＣＯ３  ）、炭酸マンガン（Ｍｎ（ＣＯ３  ）２  ，Ｍｎ２  （ＣＯ３  ）３  ）、炭酸鉄（Ｆｅ２  （ＣＯ３  ）３  ，ＦｅＣＯ３  ）、炭酸ニッケル（ＮｉＣＯ３  ）、炭酸銅（ＣｕＣＯ３  ）、炭酸コバルト（Ｃｏ２  （ＣＯ３  ）３  ）、炭酸クロム（Ｃｒ２  （ＣＯ３  ）３  ）、炭酸亜鉛（ＺｎＣＯ３  ）、炭酸銀（Ａｇ２  ＣＯ３  ）、炭酸カドミウム（ＣｄＣＯ３  ）、炭酸インジウム（Ｉｎ２  （ＣＯ３  ）３  ）、炭酸イットリウム（Ｙ２  （ＣＯ３  ）３  ）、炭酸鉛（ＰｂＣＯ３  ）、炭酸ビスマス（Ｂｉ２  （ＣＯ３  ）３  ）、炭酸ランタン（Ｌａ２  （ＣＯ３  ）３  ）、炭酸セリウム（Ｃｅ（ＣＯ３  ）３  ）、炭酸プラセオジウム（Ｐｒ６  （ＣＯ３  ）Ｏ１１）、および炭酸ネオジウム（Ｎｄ２  （ＣＯ３  ）３  ）からなる群のうちの少なくとも１種を含有することが好ましい。
【００２２】
これらの金属炭酸塩を用いることにより、二酸化炭素感知特性を向上させることができるからである。これら金属炭酸塩は化学量論組成から多少偏倚していてもよい。２種以上の金属炭酸塩を含有する場合には、それらの複合物を含有していてもよく、それらの混合物を含有していてもよい。また、金属炭酸塩としては、アルカリ金属炭酸塩を含有することが好ましく、特に炭酸リチウムを含有することが好ましい。湿度の影響をより小さくすることができるからである。
【００２３】
なお、金属炭酸塩層１２は、更に、金属炭酸水素塩を含有していてもよい。二酸化炭素の測定に際し、金属炭酸水素塩が生成されることもあるからである。
【００２４】
金属酸化物層１１および金属炭酸塩層１２の形成方法は特に限定されないが、例えば、金属炭酸塩粉末のペーストを電解質３０に塗布し、加熱処理して金属炭酸塩層１２を形成したのち、金属酸化物のペーストをその上に塗布し、加熱処理して金属酸化物層１１を形成するようにすることが好ましい。
【００２５】
また、金属炭酸塩粉末のペーストを電解質３０に塗布したのち、その上に金属酸化物のペーストを塗布し、用いる金属炭酸塩の融点よりも低い温度で加熱処理して金属炭酸塩層１２および金属酸化物層１１を形成するようにすればより好ましい。金属炭酸塩層１２と金属酸化物層１１とを金属炭酸塩の融点以上の温度で加熱処理すると、金属酸化物あるいは電解質３０と金属炭酸塩とが反応して反応物を形成してしまい、湿度の影響を受けやすくなってしまうからである。
【００２６】
用いる金属酸化物、金属炭酸塩の平均粒径は１０ｎｍ〜１００μｍが好ましい。ペーストの溶媒としては、金属酸化物および金属炭酸塩が反応しない溶媒で、室温蒸気圧が比較的低く、作業性がよいものであればよい。特に、α−テルピネオール、エチレングリコール、グリセリン等が好ましい。スラリーの粘度は０．０１Ｐａ・ｓ〜１０，０００Ｐａ・ｓが好ましい。
【００２７】
検知極１０は、更に、金属酸化物層１１の中または上面に、図示しない集電体を有していてもよい。金属酸化物層１１の導電性があまり高くない場合に有効である。但し、インジウムとスズとを含む複合酸化物を用いる場合などは、高い導電性を得ることができるので、集電体を設ける必要はない。集電体は金属により構成され、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、ルビジウム（Ｒｂ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、およびクロム（Ｃｒ）等のいずれか１種以上により構成されることが好ましい。なお、集電体は多孔質金属であることが好ましい。二酸化炭素を拡散させるためである。多孔質金属としては、金属メッシュ、あるいは、金属の粉末ペーストを圧着またはスクリーン印刷して構成する粉末電極が好ましく、特に、粉末電極が好ましい。
【００２８】
スクリーン印刷とは、金属粉末をペースト状にしたものをメッシュ状スクリーンを通して基板に塗布する方法であり、この場合、金属粒子が互いに連結した多孔質電極が形成される。このとき使用する金属粉末の平均粒径は１０ｎｍ〜１００μｍ、特に１０ｎｍ〜１０μｍの範囲であることが、良好な印刷ができるので、好ましい。また、ペーストの溶媒としては、用いる金属が反応しない溶媒で、室温蒸気圧が比較的低く、作業性がよいものであればよい。特にα−テルピネオール、エチレングリコール、グリセリン等が好ましい。スラリーの粘度は０．０１Ｐａ・ｓ〜１０，０００Ｐａ・ｓとすることが好ましい。
【００２９】
なお、多孔質金属としては、スパッタなどにより形成された多孔質状態のものを用いることも可能である。スパッタガスにはアルゴン（Ａｒ），ヘリウム（Ｈｅ），酸素（Ｏ２  ），あるいは窒素（Ｎ２  ）等のいずれかを用いることが好ましく、成膜中の圧力は０．０１３Ｐａ〜６６．７Ｐａの範囲が好ましい。また、抵抗加熱蒸着によっても電極表面を多孔質にすることができる。
【００３０】
対極２０は、例えば、厚みが０．１μｍ〜１００μｍ程度であり、金属または金属酸化物により構成されている。対極２０を構成する金属または金属酸化物としては、例えば、検知極１０の図示しない集電体で説明した金属あるいはそれらの酸化物、または金属酸化物層１１で説明した金属酸化物のうちのいずれか１種以上が好ましい。特に、対極２０に金属酸化物を用いるようにすれば、共存ガスの影響が軽減し、高い二酸化炭素選択性が得られると共に、耐湿性も向上し、特に低温での測定時の湿度の影響が軽減するので好ましい。
【００３１】
対極２０は、検知極１０の図示しない集電体と同じく、多孔質金属または多孔質金属酸化物により構成されることが好ましい。特に、金属酸化物の粉末ペーストを圧着またはスクリーン印刷して構成する粉末電極が好ましく、この二酸化炭素センサでは、粉末電極２１と金メッシュ２２とを共に有している。粉末電極２１を形成するためのペーストは、金属粉末、金属酸化物粉末の平均粒径は１０ｎｍ〜１００μｍ、特に０．５μｍ〜１００μｍが、好ましい。また、ペーストの溶媒としては、用いる金属または金属酸化物が反応しない溶媒で、室温蒸気圧が比較的低く、作業性がよいものであればよい。特にα−テルピネオール、エチレングリコール、グリセリン等が好ましい。スラリーの粘度は０．０１Ｐａ・ｓ〜１０，０００Ｐａ・ｓとすることが好ましい。
【００３２】
電解質３０は、厚みが例えば１μｍ〜５ｍｍ程度であり、金属イオン伝導体を含むことが好ましい。金属イオン導電体としては、例えば、Ｎａ−β”アルミナ，Ｎａ−βアルミナ，Ｎａ３  Ｚｒ２  ＰＳｉ２  Ｏ１２，Ｎａ３  Ｚｒ２  Ｓｉ２  ＰＯ１２（ＮＡＳＩＣＯＮ），Ｎａ−βＧａ２  Ｏ３  ，Ｎａ−Ｆｅ２  Ｏ３  ，Ｎａ３  Ｚｒ２  ＰＳｉ２  Ｐ２  Ｏ１２，Ｌｉ−βアルミナ，Ｌｉ１４Ｚｎ（ＧｅＯ４  ）４  ，Ｌｉ３  Ｚｎ０．５  ＧｅＯ４  ，Ｌｉ３．５  Ｚｎ０．２５ＧｅＯ４  （ＬＩＳＩＣＯＮ），リチウムイオン交換ＮＡＳＩＣＯＮ，Ｌｉ５  ＡｌＯ４  ，Ｌｉ１．４  Ｔｉ１．６  Ｉｎ０．４  Ｐ３  Ｏ１２，Ｋ−βアルミナ，Ｋ１．６  Ａｌ０．８  Ｔｉ７．２  Ｏ１６，Ｋ２  ＭｇＴｉ７  Ｏ１６，ＣａＳ等が挙げられる。中でも、ナトリウムイオン伝導体あるいはリチウムイオン伝導体が好ましく、特には、ＮＡＳＩＣＯＮまたは、ＬＩＳＩＣＯＮあるいはリチウムイオン交換ＮＡＳＩＣＯＮなどが好ましい。低温でのセンサ応答に必要なイオン伝導が確認されているからである。これらは化学量論組成から多少偏倚していてもよい。また、高分子電解質を使用することも可能である。
【００３３】
電解質３０は、金属イオン導電体以外に、イオン導電性を妨げない程度の補強剤として、酸化アルミニウム（Ａｌ２  Ｏ３  ），酸化ケイ素（ＳｉＯ２  ），酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２  ），炭化ケイ素（ＳｉＣ），窒化ケイ素（Ｓｉ３  Ｎ４  ），酸化鉄（Ｆｅ２  Ｏ３  ）などを５０質量％以下の範囲内で含有していてもよい。これらは化学量論組成から多少偏倚していてもよい。
【００３４】
電解質３０の作製法としては、通常用いられている固相法、ゾルゲル法、共沈法等のいずれでもよく、好ましくはゾルゲル法が用いられる。
【００３５】
この二酸化炭素センサでは、検知極１０を測定雰囲気に曝すと、測定雰囲気中の二酸化炭素が金属酸化物層１１を拡散して金属炭酸塩層１２に到達する。その金属炭酸塩層１２で、金属炭酸塩と二酸化炭素との解離平衡状態が変化し、それに伴って検知極１０近傍の電解質３０内の金属イオン活量が変化する。これにより検知極１０と対極２０との間に起電力が発生し、二酸化炭素の濃度が測定される。
【００３６】
特に、この二酸化炭素センサでは、金属酸化物層１１と金属炭酸塩層１２とを層構造とすることにより、湿度による影響を受けにくく、湿度３０％以上の範囲において、室温でも安定した測定結果が得られる。また、二酸化炭素感知特性も向上する。中でも、金属炭酸塩層１２に炭酸リチウムを含むようにすれば、または、金属炭酸塩層１２を含有する金属炭酸塩の融点よりも低い温度で形成するようにすれば、より安定した結果を得られる。
【００３７】
このように本実施の形態によれば、金属酸化物層１１と、金属酸化物層１１と電解質３０との間に設けられた金属炭酸塩層１２とを有するようにしたので、室温において作動させることができると共に、湿度による影響を小さくすることができ、二酸化炭素感知特性も向上させることができる。よって、より高い精度で簡単に二酸化炭素濃度を検出することができる。
【００３８】
特に、金属炭酸塩層１２に炭酸リチウムを含むようにすれば、または、金属炭酸塩層１２を含有する金属炭酸塩の融点よりも低い温度で形成するようにすれば、より湿度による影響を小さくすることができると共に、二酸化炭素感知特性もより向上させることができる。
【００３９】
【実施例】
更に、本発明の具体的な実施例について説明する。
【００４０】
（実施例１）
図１に示したような二酸化炭素センサを作製した。まず、ゾルゲル法によりＮＡＳＩＣＯＮ粉末を作製し、このＮＡＳＩＣＯＮ粉末を用いて直径９ｍｍ、厚み１．２ｍｍの円板状の電解質３０を形成した。次いで、電解質３０の一面に、金メッシュ２２およびリード線２３となる金ワイヤと一緒に金ペーストを塗布し、空気中で８００℃で２時間加熱処理して粉末電極２１を形成し、対極２０とした。続いて、電解質３０の対極２０を設けた側に、直径９ｍｍの石英ガラスチューブ４０を無機接着剤を用いた接着層４１により取り付けた。
【００４１】
そののち、炭酸リチウム粉末と、エチルセルロース５質量％とα−テルピネオール９５質量％とを含有する有機溶媒とを、ほぼ同質量づつ混合してペーストとし、電解質３０の表面に塗布した。
【００４２】
また、塩化インジウム（ＩｎＣｌ３  ）粉末と塩化スズ（ＳｎＣｌ４  ）粉末とを水を用いて混合したのち、１２００℃で２時間加熱処理し、粒子径が０．５μｍ〜１μｍ程度のインジウムとスズとの複合酸化物粉末を得た。次いで、この複合酸化物粉末と、エチルセルロース５質量％とα−テルピネオール９５質量％とを含有する有機溶媒とを、ほぼ同質量づつ混合してペーストとし、炭酸リチウムのペースト層の上に塗布した。
【００４３】
続いて、これを空気中において炭酸リチウムの融点よりも低い５００℃で３０分間加熱処理し、厚み約２０μｍの金属炭酸塩層１２と、厚み約２０μｍの金属酸化物層１１とを積層した検知極１０を形成した。これにより図１に示した二酸化炭素センサを得た。
【００４４】
また、実施例１に対する比較例１として、炭酸リチウム粉末と、インジウムとスズとの複合酸化物粉末とを、それらとほぼ同質量の有機溶媒で混合してペーストとし、電解質３０の表面に塗布したのち、空気中において５００℃で３０分間加熱処理して厚み約４０μｍの検知極を形成したことを除き、実施例１と同様にして二酸化炭素センサを作製した。
【００４５】
得られた実施例１および比較例１の二酸化炭素センサについて、室温における湿度３０％、５０％、および７０％での起電力と二酸化炭素濃度との関係を調べた。得られた実施例１の結果を図２に示すと共に、比較例１の結果を図３に示す。ｎは、二酸化炭素濃度と起電力絶対値との関係を表す傾きから算出される値であり、二酸化炭素１分子当たりの電気化学的還元に関する反応電子の数を意味している。図２および図３に示したように、湿度による二酸化炭素濃度に対する起電力絶対値の差が小さくなり、感度への影響も小さくなった。すなわち、金属炭酸塩層１２と金属酸化物層１１とを、電解質３０の側から順に積層するようにすれば、室温で作動させることができると共に、湿度による影響を小さくすることができ、また、二酸化炭素感知特性も向上させることができることが分かった。
【００４６】
また、図２と図３とを比較すれば分かるように、実施例１の方が比較例１よりも二酸化炭素濃度に対する起電力絶対値が大きかった。すなわち、金属酸化物層１１と金属炭酸塩層１２とを積層するようにすれば、二酸化炭素感知特性を向上させることができることが分かった。
【００４７】
（実施例２）
炭酸リチウムのペーストを電解質３０に塗布し、空気中において炭酸リチウムの融点以上の７５０℃で加熱処理し、溶融した時点で取り出し、金属炭酸塩層１２を融着させたのち、その上にインジウムとスズとの複合酸化物のペーストを塗布し、空気中において５００℃で３０分間加熱処理して金属酸化物層１１を形成したことを除き、実施例１と同様にして二酸化炭素センサを作製した。
【００４８】
実施例２の二酸化炭素センサについても、実施例１と同様に、室温における湿度３０％、５０％、および７０％での起電力と二酸化炭素濃度との関係を調べた。得られた実施例２の結果を図４に示す。図２と図４とを比較すれば分かるように、実施例１の方が実施例２よりも湿度による二酸化炭素濃度に対する起電力絶対値の差が小さかった。すなわち、金属炭酸塩層１２を融点よりも低い温度で形成するようにすれば、湿度の影響をより小さくすることができ、二酸化炭素感知特性をより向上させることができることが分かった。
【００４９】
以上、実施の形態および実施例を挙げて本発明を説明したが、本発明は、上記実施の形態および実施例に限定されるものではなく、種々変形することができる。例えば、上記実施の形態および実施例では、検知極１０が金属酸化物層１１と金属炭酸塩層１２とを有する場合について説明したが、更に他の構成要素を有していてもよい。また、金属酸化物層１１は上述した金属酸化物以外の物質を含有していてもよく、金属炭酸塩層１２は上述した金属炭酸塩および金属炭酸水素塩以外の物質を含有していてもよい。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明による二酸化炭素センサによれば、金属酸化物層と、この金属酸化物層と電解質との間に設けられた金属炭酸塩層とを有するようにしたので、室温において作動させることができると共に、湿度による影響を小さくすることができ、二酸化炭素感知特性も向上させることができる。よって、より高い精度で簡単に二酸化炭素濃度を検出することができる。
【００５１】
特に、金属炭酸塩層に炭酸リチウムを含有させた二酸化炭素センサ、または、金属炭酸塩層を含有する金属炭酸塩の融点よりも低い温度で形成した二酸化炭素センサによれば、湿度による影響をより小さくすることができると共に、二酸化炭素感知特性もより向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る二酸化炭素センサの構成を表す断面図である。
【図２】本発明の実施例１に係る湿度による二酸化炭素濃度と起電力との関係を表す特性図である。
【図３】本発明の実施例１に対する比較例１に係る湿度による二酸化炭素濃度と起電力との関係を表す特性図である。
【図４】本発明の実施例２に係る湿度による二酸化炭素濃度と起電力との関係を表す特性図である。
【符号の説明】
１０…検知極、１１…金属酸化物層、１２…金属炭酸塩層、２０…対極、２１…粉末電極、２２…金メッシュ、３０…電解質、４０…石英ガラスチューブ、４１…接着層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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