(57)【要約】【課題】除振台の浮上時のオーバシュートを抑えた安定かつ迅速な浮上動作を実現する。【解決手段】除振台１と、除振台１を防振支持する支持機構としての除振マウント３と、除振台１に制御力を加えるために除振マウント３に設けたアクチュエータと、除振台１の基準位置に対する変位量を検出する鉛直変位検出手段４及び水平変位検出手段５と、除振台１の基準位置に対する変位量の目標値と変位検出手段４，５による検出値の出力信号との差信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする補償演算手段７と、除振台１の基準位置に対する変位量の目標値を段階的に設定する設定手段８と、除振台１の基準位置に対する変位量の目標値を切り換える切り換え手段９とを備える。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
除振台と、除振台を防振支持する支持機構と、前記除振台に制御力を加えるアクチュエータと、前記除振台の基準位置に対する変位量を検出する変位検出手段と、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値と前記変位検出手段による検出値の出力信号との差信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする補償手段と、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値を段階的に設定する設定手段と、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値を切り換える切り換え手段とを備えたことを特徴とする能動除振装置。
【請求項２】
前記切り換え手段は前記目標値を所定の値まで段階的に上昇または下降させることを特徴とする請求項１に記載の能動除振装置。
【請求項３】
前記アクチュエータは空気バネの内部圧力を空気の吸排気を調整するバルブによって制御する空気圧駆動式であることを特徴とする請求項１または２に記載の能動除振装置。
【請求項４】
前記除振台の振動を検出する振動検出手段と、該振動検出手段による検出信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする第２の補償手段とを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の能動除振装置。
【請求項５】
前記除振台の基準位置に対する変位量を制限する変位制限機構を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の能動除振装置。
【請求項６】
支持機構により防振支持されている除振台の基準位置に対する変位量を検出し、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値と前記除振台の基準位置に対する変位量の検出値との差信号を補償し、前記除振台に制御力を加えるアクチュエータに補償信号をフィードバックして前記除振台を所定の位置に制御する際に、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値を段階的に切り換えることを特徴とする能動除振装置の制御方法。
【請求項７】
請求項６に記載の能動除振装置の制御方法を用い、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値をオーバシュートが抑制されるように設定することにより、浮上時の除振台の姿勢の乱れを抑えることを特徴とする能動除振装置の制御方法。
【請求項８】
請求項７に記載の能動除振装置の制御方法において、段階的浮上動作の最終目標値の一段階前の目標値を、その目標値に浮上した際のオーバシュートの頂点が最終目標値と一致するように設定することを特徴とする能動除振装置の制御方法。
【請求項９】
請求項８に記載の能動除振装置の制御方法において、最終目標値の一段階前の目標値から最終目標値への切り換えを、最終目標値の一段階前の目標値に対応する浮上動作のオーバシュートの頂点が最終目標値と一致した位置に達し、浮上過渡応答における除振台の速度がゼロになる時点において行うことを特徴とする能動除振装置の制御方法。
【請求項１０】
前記除振台の基準位置に対する変位量が制限されていることを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載の能動除振装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属するする技術分野】
本発明は、半導体露光装置などの精密機器搭載用の除振台の所定位置への円滑な位置制御動作を実現するための能動除振装置及びその制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体露光装置等の精密機器の高精度化に伴い、これらを搭載する精密除振装置の高性能化が求められている。半導体露光装置において、適切かつ迅速な露光を行うためには、床等の装置設置基礎からの振動をはじめとする外部からの振動を極力除去した除振台が必要である。これらの振動が露光ステージに伝達する事による露光への悪影響を排除することが求められている。また、半導体露光装置では、その稼働に際しステップアンドリピートあるいはスキャン等の露光用ＸＹステージの繰り返し動作が行われる。これらの動作は除振台の振動を励起する。従って、除振台には床等の設置基礎からの振動をはじめとする外部振動に対する除振性能と、除振台に搭載された機器の動作によって発生する振動に対する制振性能とをバランス良く実現する事が求められる。
【０００３】
特に、スキャン露光装置では、露光用ステージがスキャン動作をしている状態で露光を行うため、外部振動に対する除振性能や、除振台に搭載された機器の動作によって発生する振動に対する制振性能への要求は厳しく、一段と高性能な除振装置が不可欠なものとなっている。この様な要求に対して、近年では除振台の振動やその基準位置に対する変位量をセンサで検出し、その出力信号を補償して除振台に制御力を加えるアクチュエータにフィードバックする事により、能動的に除振台の振動及び位置制御を行う除振装置が実用化されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
半導体露光装置等の精密機器には空気バネを用いた能動除振装置が広く採用されている。これらの装置は装置の起動時に非制御状態から通常の制御状態へ移行する段階にも素早くかつ周辺の機器との接触や装置への衝撃の要因となる姿勢の乱れを発生させることなく、動作する必要がある。
【０００５】
また、起動時の除振台は所定の目標位置まで、所望の経路に従って浮上することが望まれる。除振台に搭載される機器には、除振台が直上の目標位置に直線的に浮上することを前提としているものが多いため、それらの適用例において、除振台はその着地位置の直上の所定目標位置まで直線的に浮上する事が求められる。また、除振台に搭載されていない外部の機器との干渉を防ぐためにも、浮上動作時の変位量を小さく抑える必要がある。
【０００６】
しかしながら、これまでの方法では、除振装置の制御系のゲイン設定によっては、浮上動作時のオーバシュートが発生することがあった。このため、浮上動作時の定常浮上位置に安定するまでの間に、除振台に搭載された装置の姿勢が大きく乱れて、除振台に搭載されていない外部の機器との干渉が起こる可能性があった。
【０００７】
また、それら外部の機器との干渉を避けるための変位制限機構が設けられた装置の場合でも、変位制限機構への接触による衝撃等の影響が懸念される。
円滑に除振台の位置制御を行う手段として、多段階に目標値を与える浮上方法が提案されている（特開平１０−１０３４０３号公報参照）。この方法では、水平方向にテーパ状の変位制限機構を設け、段階的浮上の初期浮上位置を低く設定することで水平方向の変位制限機構により変位量を制限している。しかし、この方法でも、除振装置の制御系のゲイン設定によっては、オーバシュートが発生することがある。したがって、この方法を用いた場合にも、浮上動作時のオーバシュートの発生による、外部機器との干渉や変位制限機構への接触が考えられ、前述の懸念点は解消されない。
【０００８】
本発明の目的は、このような浮上中の装置の姿勢の乱れによる外部機器や変位制限機構等との干渉を回避するために、除振台の浮上時のオーバシュートを抑えた安定かつ迅速な浮上動作を実現できる能動除振装置及びその制御方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するための本発明に係る能動除振装置は、除振台と、除振台を防振支持する支持機構と、前記除振台に制御力を加えるアクチュエータと、前記除振台の基準位置に対する変位量を検出する変位検出手段と、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値と前記変位検出手段による検出値の出力信号との差信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする補償手段と、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値を段階的に設定する設定手段と、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値を切り換える切り換え手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る能動除振装置の制御方法は、支持機構により防振支持されている除振台の基準位置に対する変位量を検出し、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値と前記除振台の基準位置に対する変位量の検出値との差信号を補償し、前記除振台に制御力を加えるアクチュエータに補償信号をフィードバックして前記除振台を所定の位置に制御する際に、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値を段階的に切り換えて与えることを特徴とする。
【００１１】
前記切り換え手段は前記目標値を所定の値まで段階的に上昇または下降させることが望ましく、前記アクチュエータは空気バネの内部圧力を空気の吸排気を調整するバルブによって制御する空気圧駆動式とすることができる。また、本発明は、前記除振台の振動を検出する振動検出手段と、振動検出手段による検出信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする第２の補償手段とを有することが望ましく、前記除振台の基準位置に対する変位量を制限する変位制限機構を備えていてもよい。
【００１２】
本発明に係る能動除振装置の制御方法は、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値をオーバシュートが抑制されるように設定することにより、浮上時の除振台の姿勢の乱れを抑えることが望ましく、段階的浮上動作の最終目標値の一段階前の目標値を、その目標値に浮上した際のオーバシュートの頂点が最終目標値と一致するように設定することが望ましく、最終目標値の一段階前の目標値から最終目標値への切り換えを、最終目標値の一段階前の目標値に対応する浮上動作のオーバシュートの頂点が最終目標値と一致した位置に達し、浮上過渡応答における除振台の速度がゼロになる時点において行うことが望ましく、前記除振台の基準位置に対する変位量は制限されていることが好ましい。
【００１３】
本発明の目的を達成する能動除振装置は、オーバシュートを抑えた浮上動作波形を得るために、以下に説明する方法に従って、浮上目標値設定手段を用いて、浮上目標値を最適な値に設定する。従来の方法で浮上した場合のオーバシュートを打ち消すために、浮上開始位置である着座位置から定常安定動作位置の間に、一時的な浮上目標値を前目標値として設定する。この前目標値に設定される浮上位置は、その前目標値に向かって浮上動作を行った場合の浮上動作波形のオーバシュートの頂点が最終目標値すなわち定常安定動作位置に一致するように設定する。浮上動作を開始すると浮上目標値は、まず前目標値に設定される。そして、前目標値に向けた浮上動作の結果、浮上位置がオーバシュートの頂点に達した時点であって、かつ浮上速度ゼロの時点で、最終目標値への切り換えを行う。
【００１４】
上述の方法で設定した目標値を用いて浮上した場合の浮上動作波形は、前目標値への浮上動作波形と、前述の切り換えタイミングでの前目標値から最終目標値へのステップ入力を与えた場合の応答動作波形とを重ね合わせたものとなり、オーバシュートの抑えられた安定したものとなる。この様に、目標値の値と目標値の切り換えタイミングを適切に設定することにより、オーバシュートを抑えた安定な浮上動作が可能になる。
【００１５】
また、本発明の目的を達成する能動除振装置は、多段階に目標値を設定する浮上動作において、オーバシュートを抑えた浮上動作波形を得るために、以下に説明する方法に従って、浮上目標値設定手段を用いて浮上目標値を最適な値に設定する。従来の段階的浮上方法では、浮上時の姿勢の乱れを抑えるために、まず目標値をオーバシュートの少ない位置に設定し、その位置で挙動が安定した後、最終目標値へ上昇していた。安定浮上状態からの浮上で浮上中の姿勢は安定化するが、この浮上方法を用いた場合にも、制御系のゲイン設定によってはオーバシュートが発生することがある。
【００１６】
そこで、本発明では、中間位置から最終目標値への浮上の際のオーバシュートを打ち消すために、最終目標値の直前の目標値から最終目標値の間に前目標値を設定する。この前目標値に設定される浮上位置は、その前目標値に向かって浮上動作を行った場合の浮上動作波形のオーバシュートの頂点が最終目標値に一致するように設定する。浮上動作を開始すると、浮上目標値は順に目標値を切り換えられ、最終目標値の直前で前目標値に設定される。そして、前目標値に向けた浮上動作の結果、浮上位置がオーバシュートの頂点に達した時点であって、かつ浮上速度ゼロの時点で最終目標値への切り換えを行う。
【００１７】
上述の方法で設定した目標値を用いて浮上した場合の浮上動作波形は、前目標値までの浮上動作波形と、前述の切り換えタイミングでの前目標値から最終目標値へのステップ入力を与えた場合の応答動作波形とを重ね合わせたものとなり、最終目標値付近の浮上動作波形は、オーバシュートの抑えられた安定したものとなる。この様に、目標値の値と目標値の切り換えタイミングを適切に設定することにより、オーバシュートを抑えた安定な浮上動作が可能になる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態につき、図面とともに説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る能動除振装置を表わす構成図である。この能動除振装置は、除振台１、複数の除振マウント３、いずれも複数の鉛直変位検出手段４、水平変位検出手段５、及び変位制限機構６等を備えて構成され、この変位制限機構６が図２に示されている。
【００１９】
除振台１は、床等の装置設置基礎２上に、複数個の除振マウント３を介して載置されている。除振マウント３は、除振台１を防振支持する支持機構を構成するとともに除振台１に鉛直及び水平方向の制御力を加えるアクチュエータとして機能する。除振台１には、鉛直変位検出手段４及び水平変位検出手段５が取り付けられている。鉛直変位検出手段４は除振台１の基準位置に対する鉛直方向の変位量を検出して検出値を出力するものであり、水平変位検出手段５は除振台１の基準位置に対する水平方向の変位量を検出して検出値を出力する。なお、図１に示すように、変位制限機構６は、除振台１と装置設置基礎２との間に設けられ、除振台１の基準位置に対する鉛直方向及び水平方向の変位量を制限する。
【００２０】
鉛直変位検出手段４及び水平変位検出手段５の出力ポートは補償演算手段７の入力ポートに接続され、補償演算手段７の出力ポートは除振マウント３に接続されている。また、補償演算手段７には位置の浮上目標値ＰＴ１、ＰＴ２、…、…、ＰＴｎを有する浮上目標値設定手段８の出力ポートが接続され、補償演算手段７の出力の一部は浮上目標値切り換え手段９を介して浮上目標値設定手段８に入力されている。
【００２１】
除振マウント３は、除振台１に鉛直方向の制御力を加える鉛直アクチュエータ、除振台１に水平方向の制御力を加える水平アクチュエータ、除振台１を鉛直方向に防振支持する鉛直支持手段、及び除振台１を水平方向に防振支持する水平支持手段を備えて構成されている。鉛直アクチュエータ及び水平アクチュエータとしては、ボイスコイルモータなどの電磁駆動のリニアモータ、磁気浮上吸引アクチュエータ、空気バネの内部圧力をそれへの空気の給排気を調整するバルブによって制御する空気圧駆動式アクチュエータ、あるいはこれらを併用したものなどのいずれをも使用することができる。鉛直アクチュエータ及び水平アクチュエータとして、空気バネを使用した空気圧駆動式アクチュエータを用いる場合は、これを鉛直支持手段、及び水平支持手段としてそれぞれ兼用することもできる。
【００２２】
図２に示すように、変位制限機構６は、機械的制限機構により除振台１の鉛直方向及び水平方向の変位を制限するものである。変位制限機構６は、除振台１に設けられた除振台側部材６ａと、装置設置基礎２側に設けられた装置設置基礎側部材６ｂとを備えて成る。除振台側部材６ａと装置設置基礎側部材６ｂとは、一方の雄型部６ｃと他方の雌型部６ｄとが雌雄嵌合関係にて係合し、互いに干渉することにより、除振台１の鉛直方向及び水平方向の変位量を制限する。
【００２３】
本実施形態では、精密機器を搭載する除振台１を装置設置基礎２から振動絶縁すべく所定位置まで浮上させるために、除振台１の基準位置に対する鉛直方向及び水平方向の変位量は、鉛直変位検出手段４及び水平変位検出手段５によってそれぞれ検出し、除振台１の基準位置に対する変位量の目標値と、鉛直変位検出手段４及び水平変位検出手段５による検出値の出力信号との差信号が補償演算手段７により補償され、除振マウント３にあるアクチュエータにフィードバックされる。
【００２４】
この際、除振台１の基準位置に対する変位量の目標値は多段階に切り換えて設定する。つまり、本実施形態に係る能動除振装置は、浮上目標値設定手段８で多段階に設定された除振台１の基準位置に対する変位量の目標値を、浮上目標値切り換え手段９により切り換えて制御が行われる。なお、ここでは、基準位置に対する変位量の目標値は、便宜上、浮上目標値と呼ぶ。そして、この能動除振装置は、除振台１を浮上させる際には、この浮上目標値を所定の値、つまり除振台１を定常的に浮上させる位置の値まで、段階的に上昇させて制御を行う。
【００２５】
次に、本実施形態に係る能動除振装置の動作について説明する。その前に、図３は従来の浮上方法で除振台が浮上した場合の浮上動作波形を比較のために示している。ここでは、浮上開始位置である着座位置から定常浮上位置ヘ一段階での浮上を行った場合を例としている。従来のこの能動除振装置は時刻ｔ１で除振台の浮上動作を開始する。この時点で目標値は定常浮上位置である最終目標値ＰＴ１に設定される。除振台は、時刻ｔ２において最終目標値ＰＴ１に達するが、目標値を越えてオーバシュートが発生する。その後、時刻ｔ３において最終目標値ＰＴ１に収束する。
【００２６】
このように、これまでの浮上方法では、オーバシュートが発生するため、浮上中に除振台の姿勢が乱れ、外部機器などとの接触が発生してしまう可能性があった。
【００２７】
変位制限機構６は外部機器との接触による危険を避けるために設置されているが、変位制限機構６自体の干渉による除振台１及び搭載装置への悪影響（破損、変形等）が有り得るため、通常使用状態では接触等を避けるのが望ましい。
【００２８】
そこで本発明の第１の実施形態においては、オーバシュートを抑えた浮上動作波形を得るために、以下に説明する方法に従って、浮上目標値設定手段８を用いて浮上目標値を最適な値に設定し、目標値切り換え手段９によって目標値の適切なタイミングでの切り換えを行う。
【００２９】
目標値として従来の方法で除振台１が浮上した場合のオーバシュートを打ち消すために、本実施形態では、浮上開始位置である着座位置から定常安定動作位置の間における一時的な浮上目標値を設定する。ここではこれを前目標値ＰＴ２と呼ぶ事とする。また、定常安定動作位置の目標値は最終目標値ＰＴ３と呼ぶ事とする。
【００３０】
図４は本実施形態に係る浮上方法を適用した場合における除振台１の浮上動作波形を示している。時刻ｔ４で除振台１が浮上動作を開始する。浮上目標値はまず前目標値ＰＴ２に設定される。この前目標値ＰＴ２に設定される浮上位置は、その前目標値ＰＴ２に向かって浮上動作を行った場合の浮上動作波形ＰＦ２のオーバシュートの頂点Ａが最終目標値ＰＴ３すなわち定常安定動作位置に一致するように設定する。そして、前目標値ＰＴ２に向けた浮上動作の結果、浮上位置が上記オーバシュートの頂点Ａに達した時刻（浮上速度ゼロの時点）ｔ５で最終目標値ＰＴ３への切り換えを行う。
【００３１】
上述の方法で設定した目標値を用いて除振台１が浮上した場合の浮上動作波形ＰＦ１は、前目標値ＰＴ２への浮上動作波形ＰＦ２と、前述の切り換えタイミングでの前目標値ＰＴ２から最終目標値ＰＴ３へのステップ入力を与えた場合の応答動作波形ＰＦ３とを重ね合わせたものとなる。その結果、着座位置からの浮上動作波形ＰＦ１はオーバシュートの抑えられた安定したものとなる。この様に、目標値の値と目標値の切り換えタイミングを適切に設定することにより、オーバシュートを抑えた安定な浮上動作が可能になる。
【００３２】
なお、本実施形態に係る能動除振装置は、除振台１の振動を検出する振動検出手段を備え、その検出信号を補償して、除振マウント３に備えられ除振台１に制御力を加えるアクチュエータに補償信号をフィードバックする手段を有するものであってもよい。
【００３３】
（第２の実施形態）
次に本発明の第２の実施形態について説明する。図１は第１の実施形態と同じく本発明の第２の実施形態に係る能動除振装置をも表わす構成図である。除振台１は床等の装置設置基礎２上に、除振台１を防振支持するとともに除振台１に鉛直、及び水平方向の制御力を加える複数個の除振マウント３を介して載置されている。除振台１には、その基準位置に対する鉛直方向の変位量を検出して検出値を出力する鉛直変位検出手段４、除振台１の基準位置に対する水平方向の変位量を検出して検出値を出力する水平変位検出手段５が取り付けられている。なお、図１に示すように、除振台１と装置設置基礎２間には、基準位置に対する鉛直方向及び水平方向の変位量を制限する変位制限機構６が設けられている。
【００３４】
変位検出手段の出力ポートは補償演算手段７に接続され、補償演算手段７の出力ポートは除振マウント３に接続されている。また、補償演算手段７には浮上目標値設定手段８の出力ポートが接続され、補償演算手段７の出力の一部は浮上目標値切り換え手段９を介して浮上目標値設定手段８に入力される。浮上動作において、本実施形態に係る能動除振装置は、除振台１の基準位置に対する変位量の目標値を多段階に切り換えて設定する。つまり、この能動除振装置は、浮上目標値設定手段８で多段階に設定された除振台１の基準位置に対する変位量の目標値を、浮上目標値切り換え手段９により切り換えて制御を行う。この能動除振装置は、除振台１を浮上させる際には、浮上目標値を所定の値、つまり除振台１を定常的に浮上させる位置の値まで、段階的に上昇させて制御を行う。
【００３５】
これまでに多段階に目標値を切り換えて浮上することで、浮上時の挙動を安定化する方法が提案されている。図５に多段階に目標値を切り換える従来の浮上方法で除振台が浮上した場合の浮上動作波形を示す。ここでは２段階の目標値切り換えでの例を示している。この従来の浮上方法では、まず、位置の目標値ＰＴ４に対して除振台１の浮上動作を行い、それが収束した後、位置の最終目標値ＰＴ５に向けて除振台１の浮上を行っている。
【００３６】
即ち、図５に示すように、除振台が時刻ｔ６で浮上動作を開始する。この時点で目標値はＰＴ４に設定される。ＰＴ４は定常浮上位置に対して充分低く大きな姿勢の乱れが発生しない位置に設定する。次に目標値ＰＴ４の位置への浮上動作の収束が完了した時刻ｔ７において、目標値を目標値切り換え手段９により最終目標値ＰＴ５に切り換える。最終目標値ＰＴ５は定常浮上位置に設定されている。除振台は、ＰＴ４からＰＴ５への浮上動作で、時刻ｔ８においてＰＴ５に達するが、オーバシュートのため目標値を越えてゆく。その後、時刻ｔ９においてＰＴ５に収束する。このように多段階浮上を行った場合にも最終目標値への浮上でオーバシュートが発生するため、浮上中の除振台の姿勢が乱れてしまう。
【００３７】
図６に示す本実施形態に係る除振台の浮上方法では、着座位置に着座した状態から時刻ｔ１０で除振台１が浮上開始する。
【００３８】
第一段階の浮上位置は目標値ＰＴ６に設定する。この目標値ＰＴ６は最終目標値ＰＴ８に対して充分低く大きな姿勢の乱れが発生しない位置に設定する。目標値ＰＴ６に収束した時刻ｔ１１から最終目標値ＰＴ８への浮上を行うが、その間に第１の実施形態と同様、目標値ＰＴ６から最終目標値ＰＴ８に浮上した場合のオーバシュートを考慮した目標値ＰＴ７が設定される。目標値ＰＴ７は目標値ＰＴ６から目標値ＰＴ７に向かって浮上動作を行った場合の浮上動作波形ＰＦ５のオーバシュートの頂点Ｂが最終目標値ＰＴ８に一致するように設定する。
【００３９】
そして、ＰＴ６からＰＴ７に向けた浮上動作により浮上位置が上記オーバシュートの頂点Ｂに達した時刻（浮上速度ゼロの時点）ｔ１２で、目標値は最終目標値ＰＴ８へ切り換えられる。その結果、目標値ＰＴ６から最終目標値ＰＴ８への浮上動作波形ＰＦ４は、目標値ＰＴ６から目標値ＰＴ７への浮上動作波形ＰＦ５と、前述の切り換えタイミングでの目標値ＰＴ７から最終目標値ＰＴ８へのステップ入力を与えた場合の応答動作波形ＰＦ６との重ね合わせとなり、除振台の動作はオーバシュートの抑えられた安定したものとなる。以上の様に、目標値の設定及び切り換えを行い、一度十分安定した状態から最終目標値に向けてオーバシュートを抑えた浮上動作をすることで、装置は、姿勢を乱すことなく安定した除振台の浮上動作を行うことができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上において説明したように、本発明に係る能動除振装置は、除振台の基準位置に対する変位量の目標値と除振台の基準位置に対する変位量の検出値との差信号を補償し、その補償信号をアクチュエータにフィードバックして除振台を所定の位置に制御する際に、除振台の基準位置に対する変位量の目標値を段階的に切り換えることにより、除振台の所定位置への制御を行う。
【００４１】
また、除振台の基準位置に対する変位量の目標値の設定及び切り換えを上述の方法で行うことにより、除振台の安定した浮上動作を行うことが可能となり、変位制限機構を備える場合にも、該位置制限機構自体の干渉による除振台及び搭載装置への悪影響を確実に回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態及び第２の実施形態に係る能動除振装置の構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る能動除振装置の変位制限機構の構成図である。
【図３】従来の方法で除振台が浮上した場合の動作状態を時間と除振台の位置との関係にて示した図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る方法で除振台が浮上した場合の動作状態を時間と除振台の位置との関係にて示した図である。
【図５】従来の方法で除振台が浮上した場合の動作状態を時間と除振台の位置との関係にて示した図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る方法で除振台が浮上した場合の動作状態を時間と除振台の位置との関係にて示した図である。
【符号の説明】
１：除振台、２：装置設置基礎、３：除振マウント、４：鉛直変位検出手段、５：水平変位検出手段、６：変位制限機構、６ａ：除振台側部材、６ｂ：装置設置基礎側部材、６ｃ：雄型部、６ｄ：雌型部、７：補償演算手段、８：目標値設定手段、９：目標値切り換え手段、ｔ１，ｔ４，ｔ６，ｔ１０：浮上開始時刻、ｔ２，ｔ５，ｔ８，ｔ１２：最終目標位置到達時刻、ｔ３，ｔ９：最終目標位置収束時刻、ｔ７，ｔ１１：中間目標位置収束時刻、ＰＴ１，ＰＴ３，ＰＴ５，ＰＴ８：最終目標値、ＰＴ２，ＰＴ７：前目標値、ＰＴ４，ＰＴ６：初期目標値、ＰＦ１〜ＰＦ６：浮上動作波形、Ａ，Ｂ：前目標値への浮上動作のオーバシュートの頂点。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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