(57)【要約】【課題】ウエハ等の被加工物の外周部に縁だれ生じさず、かつ、平坦度の高い加工の行える両面研磨方法と両面研磨装置を提供すること。【解決手段】研磨する際に被加工物９を、この被加工物９と径方向に離間し、かつ、この被加工物９の仕上がり厚さよりも厚い肉厚部８ａ〜８ｄが間隔Ｇを介して間歇的な円周状に形成されている環状体８Ａ〜８Ｅで取り囲み加工する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアプレートに保持された被加工物を、第一の研磨定盤に貼設された第一の研磨布と第二の研磨定盤に貼設された第二の研磨布との間に配置し、前記両研磨定盤を相対的に回転させて該被加工物の両面を研磨する両面研磨方法において、
前記被加工物を、この被加工物の仕上がり厚さよりも厚い肉厚部が間隔を介して円周状に配置された研磨布加圧手段の内周に装着する工程を有することを特徴とする両面研磨方法。
【請求項２】
被加工物を保持して回転するキャリアプレートと、前記キャリアプレートを間に対向して配置され、対向面にそれぞれ研磨布が貼付されて相対的に回転する第一の研磨定盤と第二の研磨定盤を具えた両面研磨装置において、
前記被加工物を取り囲む位置にこの被加工物の仕上がり厚さよりも厚い複数の厚肉部を間隔を介して円周状に配置した研磨布加圧手段を有することを特徴とする両面研磨装置。
【請求項３】
前記研磨布加圧手段は、複数の円弧状体であることを特徴とする請求項２記載の両面研磨装置。
【請求項４】
前記研磨布加圧手段は、複数の矩形状体であることを特徴とする請求項２記載の両面研磨装置。
【請求項５】
前記研磨布加圧手段は、前記キャリアプレートに設けられた孔に嵌入された肉厚部材により形成されていることを特徴とする請求項２記載の両面研磨装置。
【請求項６】
前記研磨布加圧手段は、前記キャリアプレートの所定個所に粘着テープを貼付して形成されていることを特徴とする請求項２記載の両面研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウエハ等を平坦度が高く縁だれが生じないように加工する両面研磨方法と両面研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ（以下、単にウエハと言う）は種々のデバイス用基板として使用されており、一般に両面研磨装置等により鏡面ウエハ加工が施されデバイスメーカーに供給される。
【０００３】
両面研磨装置の一例は、図１１に両面研磨装置の研磨部の平面図を、図１２にそのＡ−Ａ断面の断面図を示している。両面研磨装置の研磨部は、中心軸４１を中心として回転可能に、円盤状の上側研磨定盤４２と円盤状の下側研磨定盤４３とが対面して設けられている。上側研磨定盤４２には研磨布４４ａ、下側研磨定盤４３には研磨布４４ｂがそれぞれ貼付され、両研磨布４４ａ、４４ｂの間に、円盤状の複数のキャリアプレート４５が挟み込まれて配置されている。キャリアプレート４５は外周歯車で、また、それぞれのキャリアプレート４５には、それぞれに孔４６が穿孔されており、被加工物であるウエハ４８が孔４６に挿入されている。中心軸４１にはキャリアプレート４５の外周に設けられたギアと噛合するサンギア４９が設けられ、キャリアプレート４５の外側には、キャリアプレート４５の外周に設けられたギアと噛合するインターナルギア５１が設けられている。
【０００４】
これらの構成により、インターナルギア５１が不図示の駆動装置により中心軸４１を中心として回転すると、キャリアプレート４５が自転しながら中心軸４１を中心として公転する。上側研磨定盤４２と下側研磨定盤４３は、両研磨布４４ａ、４４ｂがキャリアプレート４５の孔４６に挿入されているウエハ４８と摺動するに伴い、中心軸４１を中心として回転する。その際に研磨液（不図示）が供給されてウエハ４８が研磨される。
【０００５】
なお、特開平５−ｌ６９３６５号公報には、ウエハの平坦度を向上させる目的、キャリアプレートにウエハ挿入用の孔の他に中子挿入用の孔を設けて、ウエハの仕上げ寸法の厚さのアルミナ焼結板の中子を挿入して、ウエハの厚さと平坦度を向上させる技術が開示されている。
【０００６】
また、本出願人らは、特願２００１−２０３４５０号として、図１３（ａ）に平面図を、図１３（ｂ）にＡ−Ａ断面図を示したように、ウエハ４８の外周を囲むように、ウエハ４８の仕上り後の厚さよりも厚い肉厚部として環状体等の枠体５０を配置して、両面研磨する技術を出願している。なお、図１３（ａ）および（ｂ）においては、図１１および図１２と同一部分には同一符号を付して、その個々の説明を省略している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の両面研磨方法による研磨や、特開平５−ｌ６９３６５号公報に開示されている研磨技術では、研磨の際に、ウエハ外周において研磨布は急激に押し込まれるため、粘弾性の影響によりウエハの外周部における圧力が高くなる。そのため、ウエハの外周部に高くなった圧力により、図１４に示すようにウエハ４８の外周部に縁だれが発生して、それを抑制することができない。
【０００８】
また、特願２００１−２０３４５０号の出願による技術では、ウエハの外周を囲むように、ウエハの仕上り後の厚さよりも厚いリング状等の枠体による研磨布加圧手段を用いていため、研磨布加圧手段のコストが高くなる。また、研磨加工によるウエハの縁ダレは低減するが、スラリーが研磨布加圧手段内へ自由に出入りできないため、図１５に示すようにウエハ４８の全体が両面の凹形状に変化する場合が発生する。
【０００９】
本発明はこれらの事情にもとづいてなされたもので、ウエハ等の被加工物の外周部に縁だれ生じさず、かつ、平坦度の高い加工の行える両面研磨方法と両面研磨装置を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１による発明の手段によれば、キャリアプレートに保持された被加工物を、第一の研磨定盤に貼設された第一の研磨布と第二の研磨定盤に貼設された第二の研磨布との間に配置し、前記両研磨定盤を相対的に回転させて該被加工物の両面を研磨する両面研磨方法において、
前記被加工物を、この被加工物の仕上がり厚さよりも厚い肉厚部が間隔を介して円周状に配置された研磨布加圧手段の内周に装着する工程を有することを特徴とする両面研磨方法である。
【００１１】
また請求項２による発明の手段によれば、被加工物を保持して回転するキャリアプレートと、前記キャリアプレートを間に対向して配置され、対向面にそれぞれ研磨布が貼付されて相対的に回転する第一の研磨定盤と第二の研磨定盤を具えた両面研磨装置において、
前記被加工物を取り囲む位置にこの被加工物の仕上がり厚さよりも厚い複数の厚肉部を間隔を介して円周状に配置した研磨布加圧手段を有することを特徴とする両面研磨装置である。
【００１２】
また請求項３による発明の手段によれば、前記研磨布加圧手段は、複数の円弧状体であることを特徴とする両面研磨装置である。
【００１３】
また請求項４による発明の手段によれば、前記研磨布加圧手段は、複数の矩形状体であることを特徴とする両面研磨装置である。
【００１４】
また請求項５による発明の手段によれば、前記研磨布加圧手段は、前記キャリアプレートに設けられた孔に嵌入された肉厚部材により形成されていることを特徴とする両面研磨装置である。
【００１５】
また請求項６による発明の手段によれば、前記研磨布加圧手段は、前記キャリアプレートの所定個所に粘着テープを貼付して形成されていることを特徴とする両面研磨装置である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１７】
図ｌは、本実施形態での両面研磨装置の研磨部の断面模式図、図２は、本実施形態の両面研磨装置の研磨部の構成を回転軸方向から見たときの配置状態を示す模式図である。
【００１８】
図１に示す両面研磨装置の研磨部は、中心軸１を中心として回転可能に設けられた円盤状の上側研磨定盤（第一の研磨定盤）２および下側研磨定盤（第二の研磨定盤）３とが、互いの研磨面を対向させるよう配置されている。第一の研磨定盤２および第二の研磨定盤３の各々の研磨面には、それぞれ第一の研磨布４ａおよび第二の研磨布４ｂが所定の張力を有するように張設されている。両研磨布４ａ、４ｂは、例えば多孔質のフッ素樹脂などから構成されている。両研磨布４ａ、４ｂが互いの研磨面により被加工物を挟持可能なよう、第一の研磨定盤２は中心軸ｌの軸方向に往復動可能に配置されている。
【００１９】
また、図２に示すように、中心軸１を取り囲むように、厚さ０．７ｍｍの円盤に成形されたエポキシ樹脂製のキャリアプレート５が、等間隔で５枚配置されている。キャリアプレート５の厚さは、被加工物（ウエハ）の仕上がり寸法０．７５ｍｍよりも薄い厚さに設定されている。キャリアプレート５の外周面には歯車（不図示）が形成されている。この歯単と噛合するように、中心軸１にサンギア６が設けられるとともに、インターナルギア７が第一の研磨定盤２および第二の研磨定盤３を取り囲むよう配置されている。
【００２０】
また、図３に平面図を示すように、キャリアプレート５には、開口１０が形成されている。この開口１０は、キャリアプレート５の中心から偏心した位置に配置されている。開口１０には、研磨加工の際に被加工物であるウエハ９が嵌入される。また、開口１０の８ｍｍ外側には、開口１０と同心状に円周方向に１０ｍｍ程度の間隔Ｇで、幅が５ｍｍの、例えば６個の分割した円弧状の長孔１１が間隔Ｇを介して間歇的に円周状に孔設されている。
【００２１】
なお、長孔１１は６個を設けたが、複数個であれば６個に限定されず、任意の個数を随時選択することができる。また、各長孔１１は同一の平面断面積でも、平面断面積を異ならして配置してもよい。
【００２２】
また、この長孔１１は、円弧状の長孔１１に限らず、図４に示したように、矩形状の長孔１１ａを設けることもできる。その場合は、また、開口１０の外側にはこの開口１０の接線と平行に１０ｍｍ〜２０ｍｍ離間して、円周方向に最も近接した間隔Ｇが１０ｍｍ程度の寸法で、例えば６個の矩形の長孔１１ａを間隔Ｇを介して間歇的に円周状に孔設すればよい。なお、矩形の長孔１１ａは６個を設けたが、複数個であれば６個に限定されず、任意の個数を随時選択することができる。また、各長孔１１ａは同一の平面断面積にして正多角形状に配置しても、平面断面積を異ならして、非正多角形状に配置してもよい。
【００２３】
各長孔１１、１１ａにはそれぞれ肉厚部として、フッ素樹脂製の肉厚部材である研磨布加圧手段部材８ａが嵌入されて環状体の研磨布加圧手段８を形成している。各研磨布加圧手段部材８ａの厚さはキャリアプレート５および被加工物の仕上がり寸法よりも厚くなるようにそれぞれ設定されている。従って、キャリアプレート５の各研磨布加圧手段部材８ａ間の１０ｍｍ程度の間隔Ｇは、研磨布加圧手段部材８ａよりも厚さが薄いため、研磨加工の際にこの間隔Ｇからスラリー（不図示）の流入・流出が円滑に行われる。なお、図４に示したように、矩形状の長孔１１を設けた場合は、研磨布加圧手段部材８ａの形状は直方体状のものを用い、それにより略環状体の研磨布加圧手段８を形成している。
【００２４】
図５（ａ）〜（ｄ）は、キャリアプレート５に形成された長孔１１、１１ａと研磨布加圧手段部材８ａ〜８ｄとの嵌め合いの形態を示す断面図である。図５（ａ）に示すように、側面が垂直に形成されている研磨布加圧手段部材８ａは、キャリアプレート５に孔設されている側面が垂直な長孔１１、１１ａに差し込まれて嵌め込まれている。図５（ｂ）および（ｃ）で示したものは、長孔１１、１１ａの壁面とそれに対応する研磨布加圧手段部材８ｂ、８ｃの側面に対応する凹凸形状１２ａ、１２ｂを形成し、それらを嵌合させることにより研磨布加圧手段部材８ｂ、８ｃの脱落を防止を強化している。また、図５（ｄ）に示したものは、長孔１１、１１ａの壁面とそれに対応する研磨布加圧手段部材８ｄの側面に対応する段部１２ｃを設け、かつ、互いを接着することにより脱落を防止している。
【００２５】
また、キャリアプレート５の材質は、耐摩耗性が高い樹脂で少なくとも歯車部材として機能する程度に硬質であれば、例えば、フッ素樹脂、超高分子量ポリエチレン等を用いることができる。また、樹脂材料のほかにもセラミックス材料や金属材料なども使用可能である。さらに、研磨布加圧手段８の材質は、上記キャリアプレート５の材質と同様に、フッ素樹脂、超高分子量ポリエチレンや、セラミックス材料、金属材料なども使用可能である。
【００２６】
次に、上述のように構成されている両面研磨装置による両面研磨加工について、以下に説明する。
【００２７】
まず、キャリアプレート５を、キャリアプレート５の外周面に刻設された歯車がサンギア６およびインターナルギア７に対して噛み合わされるように、各々が等間隔となるよう、第二の研磨定盤３に張設された第二の研磨布４ｂ上に配置する。配置されたキャリアプレート５の開口１０に研磨布加圧手段部材８ａおよびウエハ９を配置する。第一の研磨布４ａが張設された第一の研磨定盤２を中心軸１方向に移動させ、ウエハ９を両研磨布４ａ、４ｂによって挟持させて固定、または、所定の圧力を加えるよう保持する。
【００２８】
次に、両研磨布４ａ、４ｂ間に研磨液を供給しながら、サンギア６およびインターナルギア７を、それぞれ独立に駆動する駆動装置によって転動させる。このとき．各々の回転数は適宜設定することができる。これによって、キャリアプレート５は両研磨布４ａ、４ｂ間を自転すると共に、中心軸１を中心として相対的に公転する。ウエハ９は、キャリアプレート５の自転軸に対して偏心して回転し、かつ、両研磨布４ａ、４ｂとの摺動抵抗によってキャリアプレート５の開口１０中で回転し、かつ、中心軸１を中心として相対的に公転する。これにより、両研磨布４ａ、４ｂに対して摺動が生じて研磨が進行する。研磨液としては、メカノケミカル反応を期待する場合は、例えば炭酸バリウム（ＢａＣ０３）のアルカリ水溶液に研磨剤を混濁させて用いることが出来る。もちろん、スラリーを用いずに行ったり、純水のみを用いたりすることなども可能であり、加工に応じて適宜変更可能である。
【００２９】
さて、図６に模式説明図を示すように、両研磨布４ａ、４ｂに対して両定盤２、３から圧力が加えられると、両研磨布４ａ、４ｂはウエハ９により強制変位を受ける。研磨布加圧手段部材８ａが存在しない揚合には、ウエハ９の外周において研磨布４は急激に押し込まれるため粘弾性の影響によりウエハ９の外周での応力（Ｐｓ）が増大し、ウエハ９に当たっている間は応力（Ｐｅ）がほぼ一定になり、ウエハから開放されると応力は消滅する。つまり、ウエハ９の外周で応力が大きくなるため、ウエハ９の外周に縁だれが発生する。
【００３０】
これに対して、図５（ａ）〜（ｄ）に示したように、ウエハ９の外側に研磨布加圧手段８ａ〜８ｄを設けた場合は、両研磨布４ａ、４ｂに対して両定盤２、３から圧力が加えられると、両研磨布４ａ、４ｂはウエハ９及び研磨布加圧手段８ａ〜８ｄにより強制変位を受ける。それにより、両研磨布４ａ、４ｂはウエハ９を加圧する前に研磨布加圧手段部材８ａ〜８ｄを加圧する。その際に研磨布４は研磨布加圧手段部材８ａ〜８ｄから圧力を受けて押し込まれて粘弾性変形する。押し込まれて粘弾性変形した研磨布４は研磨布加圧手段部材８ａ〜８ｄとウエハ９との間において加圧から解放されると、弾性変形分はすぐに回復するが、粘弾性分はすぐには回復しない。この状態でウエハ９に接触し始めると、粘弾性変形が残留しているため、ウエハ９の外周での応力増大を低減することができて縁だれを低減することができる。その結果、研磨加工により、ウエハ９の仕上がり寸法が０．７５ｍｍで、縁だれが生じない両面が鏡面のウエハ９が得られる。
【００３１】
次に、キャリアプレート５と研磨布加圧手段８との組み合わせの実施例について説明する。なお、各実施例において、ウエハの厚さは０．７５ｍｍ、キャリアの厚さは０．７ｍｍ、研磨布加圧手段部材８ａ〜８ｄの厚さは０．８ｍｍとしている。
【００３２】
（実施例１）
図７（ａ）に平面図を示すように、一体型の研磨布加圧手段８Ａを用いた構成である。キャリアプレートの開口１０に、ウエハ９とその外側に一体型のフッ素樹脂製の研磨布加圧手段８Ａを配置し、ウエハ９を研磨布加圧手段８Ａの内周面によって保持し、研磨布加圧手段８Ａの外周面がキャリアプレート５に対して密着して嵌入されている。図７（ｂ）にＡ−Ａ断面図を示すように、一体型の研磨布加圧手段８Ａは、全体は同心状の段差を有したリングであり、研磨布加圧手段８Ａの内周側段部１３ａは、幅が８ｍｍで厚さはウエハ９の仕上がり寸法よりも薄く、外周側段部１３ｂの厚さは、ウエハ９の仕上がり寸法よりも厚くなるようにそれぞれ設定されている。また、外周側段部１３ｂは、円周方向に１０ｍｍ程度の間隔Ｇで、幅が５ｍｍの６個の分割した円弧状部によって形成されている。なお、外周段部１３ｂは６個に限定されず、複数個であれば任意の個数を選定することができる。また、各外周段段部１３ｂは円弧の長さを同じに形成しても、異なって形成してもよい。
【００３３】
この場合、各外周側段部１３ｂの間をスラリーが流出入できるため、ウエハ９に加工熱がこもることがなく、ウエハ９の変形を防止できる。
【００３４】
（実施例２）
図８（ａ）に平面図を示すように、分割型の研磨布加圧手段８Ｂを用いた構成である。キャリアプレートの開口１０に、ウエハ９とその外側に一体型のフッ素樹脂製の６個の分割型の研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６を配置し、ウエハ９を研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６の内周面によって保持し、研磨布加圧手段部材８ａｂの外周面がキャリアプレート５に対して密着して嵌入されている。図８（ｂ）にＡ−Ａ断面図を示すように、分割型の研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６は、それぞれが円弧状の段差を有したリングの一部分であり、研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６の内周側段部１３ａは、幅が８ｍｍで厚さはウエハ９の仕上がり寸法よりも薄く、外周側段部１３ｂの厚さはキャリアプレート５およびウエハ９の仕上がり寸法よりも厚くなるようにそれぞれ設定されている。また、各研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６は、円周方向に１０ｍｍ程度の間隔Ｇを設けて、全体がウエハ９を取り囲んでリング状になるように配置されている。なお、研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６は６個に限定されず、複数個であれば任意の個数を選定することができる。また、各研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６の円弧の長さを同じに形成しても、異なって形成してもよい。
【００３５】
この場合、研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６が分割され形成されているため、一つ一つの研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６の部材が小さくなり、研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６の加工コストを低減することが可能である。また、各研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６の間をスラリーが流出入できるため、ウエハ９に加工熱がこもることがなく、ウエハの変形を防止できる。
【００３６】
（実施例３）
図９に平面図を示すように、分割型の研磨布加圧手段８Ｃを用いた構成の変形例である。キャリアプレート５には、開口１０が形成されている。この開口１０は、キャリアプレート５の中心から偏心した位置に配置されている。開口１０には、被加工物であるウエハ９が嵌入されている。また、開口１０の外側にはこの開口１０の接線と平行に、円周方向に１０ｍｍ〜２０ｍｍ離間して１０ｍｍ程度の間隔Ｇで、６個の矩形の長孔１１ａが孔設されている。各長孔１１ａにはそれぞれフッ素樹脂製の研磨布加圧手段部材８Ｃ１〜８Ｃ６が嵌入されている。各研磨布加圧手段部材８Ｃ１〜８Ｃ６の厚さはキャリアプレート５およびウエハ９の仕上がり寸法よりも厚くなるようにそれぞれ設定されている。従って、各研磨布加圧手段部材８Ｃ１〜８Ｃ６間の１０ｍｍ程度の間隔Ｇは、研磨布加圧手段部材８Ｃ１〜８Ｃ６よりも厚さが薄いため、研磨加工の際にこの間隔Ｇからスラリーの流入・流出が円滑に行われる。
【００３７】
この場合、各研磨布加圧手段部材８Ｃ１〜８Ｃ６の形状が円弧状ではなく直線状の加工部材を用いているため、各研磨布加圧手段部材８Ｃ１〜８Ｃ６の加工コストは円弧状の研磨布加圧手段部材８Ｂ１〜８Ｂ６を用いた場合よりも抑制することが可能になる。
【００３８】
（実施例４）
図１０（ａ）および（ｂ）に断面図を示すように、キャリアプレート５の所定位置に粘着テープ１５を貼付することにより研磨布加圧手段８Ｄ、８Ｅを形成している。図１０（ａ）の場合は、キャリアプレート５の両面の平面上に粘着テープ１５を貼付して研磨布加圧手段部材８Ｄを形成しているが、図１０（ｂ）の場合は、キャリアプレート５の両面の所定位置に溝加工を施し、溝１６の中に粘着テープ１５を貼付して研磨布加圧手段部材８Ｅを形成している。この場合は、粘着テープ１５のエッジがキャリアプレート５の表面から出ないため、両研磨布４ａ、４ｂと接触したときの耐剥離性が向上する利点がある。
【００３９】
なお、粘着テープ１５の貼付位置や形状は、上述の各実施例で示した平面図と同様である。
【００４０】
以上に説明した各実施例では、研磨布加圧手段部材８ａの平面形状を矩形状や円弧状に形成したが、それ以外のどのような形状の研磨布加圧手段部材８ａでもウエハ９の周囲部に同様に配置すれば、研磨加工の際のウエハ９の縁ダレを低減する効果がある。
【００４１】
上述のように、本発明によれば、研磨加工の際のウエハ等の被加工物の縁ダレは大幅に低減される。
【００４２】
また、研磨布加圧手段にスラリーが流入・流出できる溝を形成しているので、研磨加工時に発生する被加工物の熱のこもりを防止できて、被加工物である
ウエハ全体が凹形状になることを防止することができる。それにより、高平坦度のウエハを得ることができる。
【００４３】
また、研磨布加圧手段を分割して形成した場合は、研磨布加圧手段のコストを低減することが可能である。
【００４４】
また、研磨布加圧手段部材８ａを粘着テープにより形成して場合は、簡便に研磨布加圧手段を形成することができ、それにより縁ダレがないウエハを得ることが可能である。
【００４５】
なお、上述の各実施の形態では、被加工物として半導体ウエハを対象としたが、それらに限らず、両面鏡面研磨の必要な被加工物に適用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明によれば、研磨加工による縁だれは大幅に低減され、かつ、高平坦度の被加工物を加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の両面研磨装置の研磨部の断面模式図。
【図２】本発明の両面研磨装置の研磨部の構成を回転軸方向から見たときの配置状態を示す模式図。
【図３】キャリアプレート平面図。
【図４】
キャリアプレート平面図。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、キャリアプレートと研磨布加圧手段との嵌め合いの形態を示す断面図。
【図６】研磨布の粘弾性特性の説明図。
【図７】（ａ）キャリアプレートと研磨布加圧手段との組み合わせの実施例の説明図、（ｂ）研磨布加圧手段の断面図。
【図８】キャリアプレートと研磨布加圧手段との組み合わせの実施例の説明図。
【図９】キャリアプレートと研磨布加圧手段との組み合わせの実施例の説明図。
【図１０】（ａ）および（ｂ）は、キャリアプレートと研磨布加圧手段との組み合わせの実施例の説明図。
【図１１】従来の両面研磨装置の研磨部の平面図。
【図１２】従来の両面研磨装置の研磨部のＡ−Ａ断面の断面図。
【図１３】（ａ）は、従来の両面研磨装置の研磨部の平面図、（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図。
【図１４】ウエハの外周部の縁だれの説明図。
【図１５】ウエハの凹形状に変化の説明図。
【符号の説明】
２…第一の研磨定盤、３…第二の研磨定盤、４ａ、４ｂ…研磨布、５…キャリアプレート、８、８Ａ〜８Ｅ…研磨布加圧手段、８ａ〜８ｄ…研磨布加圧手段部材、９…ウエハ（被加工物）、１０…開口、１１、１１ａ…長孔、１５…粘着テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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