(57)【要約】　　　（修正有）【課題】検出器の前に孔絞りが配置されている、少なくとも１つの検出光路を有するレーザ走査型顕微鏡であって、検出された光のさまざまな波長を検出光路内の孔絞り平面内へフォーカシングする。【解決手段】可変伝送長および固定焦点距離を有する、無限大空間から有限の断面幅を有する像平面内への結像を実現する光学系４、および／または、１つの開口数を有するファイバ出口の点光源を走査対物レンズ３の前にある無限大空間内において平行ビームに変換する、固定焦点距離および可変断面幅を有する視準器光学系５がファイバ出口の後に配備されており、その場合波長に依存する、微小対物レンズ１の縦方向色誤差の少なくとも部分的な補償が、使用される照明波長についての色曲線の回転を通じて行われるようにした。【選択図】図１
2004004743.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出器の前に孔絞りが配置されている、少なくとも１つの検出光路を有するレーザ走査型顕微鏡であって、検出された光のさまざまな波長を検出光路内の孔絞りの平面内へフォーカシングするため、無限大空間から有限の断面幅を有する像平面内へ、の結像を実現する可変伝送長および固定焦点距離を有する光学系が配備されているレーザ走査型顕微鏡。
【請求項２】
第１グループが正の屈折力を有し、第２グループが負の屈折力を有し、第３グループが正の屈折力を有する、少なくとも３つの素子からなる請求項１に記載の光学系。
【請求項３】
２つのグループが、伝送長を変更するために残りのグループに対して相対的に移動する請求項１または２に記載の光学系。
【請求項４】
第１グループおよび第３グループが、共に一体となって移動し、第２グループが、固定されたままになっている請求項１から３のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項５】
第１グループおよび第３グループの焦点距離がほぼ等しい場合、光学系の全焦点距離ｆＧが、構成長Ｌ＝Ｌ１２＋Ｌ２３であり、第２グループの焦点距離がｆ２を表わすとして、最大断面幅変化ΔＳ’ｍａｘ　が、次の式１で与えられる請求項１から４のいずれか１項に記載の光学系。
【式１】
2004004743.tif 000009
【請求項６】
次の表１の寸法および距離を有する請求項１から５のいずれか１項に記載の光学系。
【表１】
2004004743.tif 000010
【請求項７】
部品の構成が、表２の移動を伴う請求項６に記載の光学系。
【表２】
2004004743.tif 000011
【請求項８】
ピンホール光学系の縦方向色誤差ＣＨＬ（λ，ｚ１）が、式１によって近似的に表わされる請求項１から７のいずれか１項に記載の光学系。
【式２】
2004004743.tif 000012
ここで　ｃｋ（ｚ１）＝ｑｋ＋ｒｋｚ１＋ｓｋｚ１２　とする
【請求項９】
−　対物レンズの縦方向色誤差Δｚ（λ）を、ピンホール平面内への結像時における像拡大率βの使用下で　Δｚ’（λ）＝β２Δｚ（λ）　として算出する、
−　この縦方向色誤差は、ピンホール光学系の追加フォーカシングにより波長λについて補償しなければならない、すなわち　Δｚ’＋ＣＨＬ（λ，ｚ１）＝０
であり、
−　これより、移動型ピンホール光学系の調整を特徴付けている前方レンズと中間レンズとの距離ｚ１について解答を算出する、対物レンズの縦方向色誤差の補償が行われる請求項１から８のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１０】
前方レンズと中間レンズ間の空中距離によって特徴付けられるピンホール光学系の予備調整についての計算が、　ＣＨＬ０（λ）　をピンホール平面内へ理想的に結像する場合の対物レンズの縦方向色誤差とすれば、
ｚ１＝０．１６×ＣＨＬ０（λ）＋１０．５ｍｍ
により行われる請求項１から９のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１１】
レーザ走査型顕微鏡が、数本の検出光路を有し、少なくとも１本の検出光路が、無限大光路を有する顕微鏡内インターフェースへ接合可能である請求項１から１０のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１２】
１つの開口数を有するファイバ出口の点光源を、走査対物レンズの前にある無限大空間内において平行ビームへ変換する固定焦点距離および可変断面幅を有する視準器光学系が、ファイバ出口の後に配備されており、その場合波長に依存する、微小対象物の縦方向色誤差の少なくとも部分的な補償が、使用される照明波長についての色曲線の回転を通じて行われる、少なくとも１つの光ファイバを通じて結合された光源を持つ先行請求項のうちの１項に記載のレーザ走査型顕微鏡。
【請求項１３】
第１グループが正の屈折力を有し、第２グループが負の屈折力を有し、第３グループが正の屈折力を有する少なくとも３つの素子から成る請求項１２に記載の光学系。
【請求項１４】
色曲線の回転が固定焦点距離の場合には、外側の両レンズおよび中間レンズが共に移動することによって実現する請求項１２ないし１３のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１５】
光学系が、開口数値０．０７を有するファイバ出口の点光源を、走査対物レンズ前方にある無限大空間内において、直径３．２ｍｍの平行ビームへ変換する請求項１２から１４のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１６】
視準器光学系が、約２２ｍｍの焦点距離を有する請求項１２から１５のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項１７】
以下の表３の寸法および距離を有する請求項１２から１６のいずれか１項に記載の光学系。
【表３】
2004004743.tif 000013
【請求項１８】
固定焦点距離の場合に、色曲線の回転が、中間レンズを、固定結合された外側両レンズに対して、表４のように移動させることによって実現される請求項１７に記載の光学系。
【表４】
2004004743.tif 000014
【請求項１９】
第２および第３レンズの結合移動ｚ２（ｚ３）が１波長のフォーカシングのために行われ、
その場合、
ｚ２：中間レンズから最後尾レンズまでの照明方向に向かう空中距離、
ｚ３：最後のレンズからファイバ出口までの空中距離として、
ｚ２（ｚ３）＝０．５５ｚ３−４．２ｍｍ
が成立する請求項１２から１８のいずれか１項に記載の光学系。
【請求項２０】
対物レンズに起因する、両波長λ１とλ２間でのファイバ結合の平面内にある縦方向色誤差ＣＨＬ０（λ２）−ＣＨＬ０（λ１）が、以下の関係、すなわち
ｚ２＝３．７ｍｍ−０．２４μｍｘ（ＣＨＬ０（λ２）−ＣＨＬ０（λ１））／（λ２−λ１）
ｚ３＝１．８ｚ２＋７．５ｍｍ
ｚ１＝５．４ｍｍ−ｚ２
のとき、等しい焦点距離の視準器によって補償される請求項１２から１９のいずれか１項に記載の光学系。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
小さい構造を観察するための近代的な道具がレーザ走査型顕微鏡（ＬＳＭ）として公知である（ウィルソン、共焦点顕微鏡法、アカデミー・プレス）。古典的な顕微鏡の場合と同じように対象物は対物レンズ１および円筒レンズ２を通じてまず中間像平面内へ結像する。ＬＳＭの第２の結像段階において共焦点原理は励起側および検出側で実現される。励起側では点状ファイバ出口と、古典的顕微鏡配置における中間像平面内へ焦点を結ぶ走査対物レンズの前方にある無限大空間との結合が、視準器２を通じて、または直接的に行われる。検出の側では対象物から発するスペクトル変移した蛍光光線が使用されるが、これは走査対物レンズ３およびピンホール光学系４を通じて中間像平面の後方、検出用ピンホールに集束する。励起チャンネルおよび検出チャンネルへの分離は、カラースプリッタによって行われる。走査対物レンズ３と視準器光学系５／ピンホール光学系４間の無限大空間内で、対物レンズ瞳孔の像の近くに配置されている走査鏡により、各像視野点を調査し、検出する。その後像は電子的には、検出信号および走査位置を通じて得た情報から組成される。ビーム形成は対物レンズ１瞳孔内で行われる（図１）。
【０００２】
【従来の技術】
中間像まではしばしば、古典的な光学顕微鏡検査のＶＩＳ要求に対応する光学系が利用されることから、新たに開発すべきスペクトル領域（ＵＶ，ＩＲ）については、対物レンズおよび円筒レンズの補正に依存した焦点差異が現れる。系統的に現れる成分は走査対物レンズ内で補償できる。それを越えて起こる色収差については、結合光学系およびピンホール光学系をさまざまな光路長のチャンネルにスペクトル別に分割することによって調整する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、１つのチャンネルの内部でさえしばしばかなりの量の機械的調整を要する。これが惹き起こされるのは、ＵＶ領域およびＩＲ領域内において殆どの場合に現れる縦方向色誤差の強い波長依存性による。一方、横方向に高い像拡大率（〜１００）を有する系は、対象物から像空間内への軸方向の位置変化に対しては敏感に反応する。
【０００４】
その対策としては、ある程度までの焦点外れに対し十分な補助のできる、ピンホール平面と共役にある視準器グループを全体的に移動させる方法が取られる（ＤＥ　１９７０２７５３　Ａ１２）。これは、照明直径を可変光学系によって変化させることを目標とする解決法（ＤＥ　１９６５４２１１　Ａ１、　ＤＥ　１９９０１２１９　Ａ１３）とは異なっている。
しかし以下では、無限大空間から有限の断面幅を有する像平面内への結像を実現する、可変伝送長と固定焦点距離とを有する光学系について記述する。これはピンホール光学系または視準器光学系として、さまざまな波長の追加フォーカシングの場合に固定の像拡大率で使用することができる。
【０００５】
この光学系は「無限大空間」から像平面内への結像を実現し、以下の条件を満たしている：
１．固定の焦点距離ｆＧ
　　２．小さい調整距離で大きい断面幅変化
３．適用の時々に必要とされるビーム直径および波長に対応する、大きなスペクトル帯域幅確保のための幾何光学的補正ならびに色補正
【０００６】
【課題を解決するための手段】
解決法としては、第１グループが正の屈折力を、第２グループが負の屈折力を、第３グループが正の屈折力を有する、少なくとも３つの素子から成る光学系が提案される（図２，図４）。本解決法の特徴は、伝送長を変化させるために２つのグループを残りのグループに対して相対的に移動させる点である。
【０００７】
この光学素子移動は、選択すべきスペクトル領域にわたって全波長を１平面上へ結像することができるように、像断面幅の波長依存位置を補償する。像断面幅の大きな変化は、像平面内で焦点を結ぶことの可能なスペクトル領域が大きいことに対応している。本解決法は焦点距離を保持するのみならず、伝送長の大きな変化も可能とする。
【０００８】
特に有利なピンホール光学系の形成は、第１および第３グループが共に一体として移動し、第２グループが固定されたままのときに達成される。近軸近似においては、第１および第３グループの焦点距離がほぼ等しいとき、達成可能な断面幅変化ΔＳ’ｍａｘは、式１によって算定される。
【式１】
2004004743.tif 000003
式中、ｆＧは、構成長Ｌ＝Ｌ１２＋Ｌ２３である光学系の全焦点距離を、ｆ２は第２グループの焦点距離を表わしている。
【０００９】
焦点距離ｆ’＝１６０についての実施例（ピンホール光学系）
ｆ’＝１６０タイプでは、一定の焦点距離およびピンホール位置を有する、フォーカシング可能なピンホール光学系が小さな機械的調整移動により実現されねばならない。目標は検出光路毎にフォーカシングを対象波長領域について最適に調整し、この領域をＬＳＭ５に比較して広くすることである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
実施例として下記表１の例を示す。
【表１】
2004004743.tif 000004
表中の番号は次の通りである。
１：　レンズＬ１の第１面
２：　レンズＬ１の第２面
３：　レンズＬ２の第１面
４：　レンズＬ２の第２面
５：　レンズＬ３の第１面
６：　レンズＬ３の第２面
７：　ピンホール
【００１１】
移動例
縦方向色誤差に基づく調整の条件はずっと後段で採り上げる。
対物レンズの縦方向色誤差を補償する場合、前方レンズおよび後方レンズを固定中間レンズに対して共同で移動すれば、表２の調整距離が実現できる。
【表２】
2004004743.tif 000005
【００１２】
フォーカシング動作を図３ａに示す。図３ｂではピンホール光学系の機能性を評価するため、ピンホール平面内にある錯乱円、縦方向色誤差、ピンホール平面内でのデフィニション明度および追加フォーカシングにおけるその値、ならびに全波長にわたる焦点距離の変化および対応するレンズ位置が観察対象になっている。図に示された線は３９０ｎｍ、５４６ｎｍおよび７５０ｎｍについてのフォーカシングにおけるそれぞれの値を示している。前方および後方のレンズを移動させることよって、縦方向色誤差は補償することができ、ピンホール平面内の対応デフィニション明度は追加フォーカシングされたそれの最高値に達する。このとき焦点距離はほぼ一定したままである。
【００１３】
ピンホール光学系の縦方向色誤差ＣＨＬ（λ，ｚ１）は、特にλ０＝５４６ｍｍに関しては次の式１で近似的に表わされる。
【式２】
2004004743.tif 000006
ただし、
ｃｋ（ｚ１）＝ｑｋ＋ｒｋｚ１＋ｓｋｚ１２
　　　ここでｚ１座標は前方レンズと中間レンズ間の距離３を表わし、ピンホール光学系の特徴付けに利用される。その代わりに空中距離５、または以下においてｚ２もしくはｚ３と称される空中距離７が、
結合関係
ｚ１＝２０．５ｍｍ−ｚ２
　　ｚ１＝ｚ３−１４２．６ｍｍ
のもとで使用できる。
【００１４】
対物レンズの縦方向色誤差を補償するためには以下のアルゴリズムを提案する：
対物レンズの縦方向色誤差Δｚ（λ）は、結像時の像拡大率βをピンホール平面に適用して計算する。
Δｚ’（λ）＝β２Δｚ（λ）
この縦方向色誤差は、ピンホール光学系を波長λについて追加フォーカシングすることにより補償されなければならない。
すなわち、　Δｚ’＋ＣＨＬ（λ，ｚ１）＝０　から、移動型ピンホール光学系の適切な調整を特徴付けるｚ１について解が得られる。
【００１５】
前方レンズと中間レンズとの間の空中距離ｚ１によって特徴づけられる、上記ピンホール光学系の予備調整に対する計算は以下のようにして行える。
ｚ１＝０．１６ＣＨＬ０（λ）＋１０．５ｍｍ
ここでＣＨＬ０（λ）はピンホール平面内へ理想的に結像した場合の対物レンズの縦方向色誤差を表わす。これに加えて次の式が成立する：
ｚ２＝２０．５ｍｍ‐ｚ１
　　ｚ３＝ｚ１＋１４２．６ｍｍ
ピンホール光学系は２１ｍｍの自由移動範囲Δｚ１にわたって利用できるから、この配置により対物レンズの縦方向色誤差がピンホール平面内で１３０ｍｍまでも補償される。
【００１６】
焦点距離ｆ’＝２２　についての実施例（視準器光学系）
視準器光学系は、約０．０７の開口数値を持つファイバ出口の点光源を、走査対物レンズ前の無限大空間において直径３．２ｍｍの平行ビームに変換するという役目を持つ。それには焦点距離２２ｍｍの光学系が必要である。さらに対物レンズにおける縦方向色誤差の部分的補償を、色曲線の回転によって実現しなければならない。
無限遠からファイバ出口への結像は以下の表３ように実施することができる。
【表３】
2004004743.tif 000007
距離ｄ：
ｄ２：レンズ厚Ｌ１、　ｄ３：距離Ｌ１−Ｌ２、　ｄ４：厚さＬ２、　ｄ５：距離Ｌ２−Ｌ３、　ｄ６：厚さＬ３、　ｄ７：距離Ｌ３−ファイバ出口
【００１７】
この場合、固定焦点距離のとき、それぞれ固定波長の１つ、特に　λ０＝５４６ｎｍ、が焦点の合ったままで、また別な１波長が対物レンズの縦方向色誤差を補償するために役立つ１つの定義付けされた縦方向色誤差を保つように、調整がなされる。固定焦点距離における色曲線の回転は、中間レンズを外側の固定結合された両レンズに対して移動させることによって実現される。
【表４】
2004004743.tif 000008
【００１８】
図３ａはこの配置の調整範囲を示している。その特徴的傾向から、視準器グループがＵＶ領域で縦方向色誤差を０．３５ｍｍだけ回転させる可能性が読み取れる。
【００１９】
視準器移動の動作を記述するためには２つの量が必要である。それは最後のレンズからファイバ出口までの空中距離７　ｚ３および中間レンズから最後のレンズまでの空中距離５　ｚ２である。関数観察から、１つの波長（λ０＝５４６ｎｍ）をフォーカシングするためには、１つの結合された移動ｚ２（ｚ３）が前提となる。上で選択された屈折力配分のときは特別に　ｚ２（ｚ３）＝０．５５ｚ３−４．２ｍｍ　が成立する。
【００２０】
視準器光学系の縦方向色誤差はＣＨＬ（ｚ３，λ）として表現される。式１は、変更された展開係数ｃｋ（ｚ３）＝ｑｋ＋ｒｋｚ３　のときに成立する。
【００２１】
波長λ１とλ２間の縦方向色誤差が、対物レンズと共に補償されるような特定値を取る位置ｚ３を求める。
ＣＨＬ（ｚ３，λ１）−ＣＨＬ（ｚ３，λ２）＝−ＣＨＬ０（λ１，λ２）ファイバに対する最後尾レンズの位置ｚ３および中間レンズの当該位置ｚ２（ｚ３）については、対応の移動空間が十分にある限り、この条件から求められる。対物レンズによって惹き起こされた、ファイバ結合平面内における両波長λ１，λ２間の縦方向色誤差ＣＨＬ０（λ２）−ＣＨＬ０（λ１）が同じ焦点距離の視準器によって補償されるように色曲線回転のための視準器を予備調整するが、その計算は次式により行える。
ｚ２＝３．７ｍｍ−０．２４μｍｘ（ＣＨＬ０（λ２）−ＣＨＬ０（λ１））／（λ２−λ１）
ｚ３＝１．８ｚ２＋７．５ｍｍ
ｚ１＝５．４ｍｍ−ｚ２
　前方レンズと中間レンズ間の空中距離３　ｚ１は、前方レンズおよび後方レンズを共に移動させることからもたらされる。
【００２２】
ピンホール光学系並びに視準器光学系の使用下で縦方向色曲線を追加フォーカシングおよび回転させる方法は、以下の場合では特に有利である。
ａ）対物レンズの縦方向色誤差が支配的である
ｂ）系が追加フォーカシングされる（小さい球面収差、良好な伝送）
ｃ）縦方向色誤差への走査対物レンズの関与が無視できる
【図面の簡単な説明】
【図１】ＬＳＭの一般的構成
【図２】：ファイバ／ＰＨ方向のピンホール光学系・視準器の模式図
【図３】（ａ）縦方向色誤差を補償するためのピンホール光学系のグループＬ１およびＬ３の移動（中間レンズ固定）、（ｂ）ａで選択された位置設定における結像特性の評価
【図４】（ａ）固定焦点距離において色曲線を回転させるための視準器移動、（ｂ）ａで選択された設定位置における結像特性の評価
【符号の説明】
１　　対物レンズ
２　　円筒レンズ
３　　走査鏡を有する走査対物レンズ
４　　ピンホール
５　　視準器光学系
【図１】
2004004743.tif 000015
【図２】
2004004743.tif 000016
【図３】
2004004743.tif 000017
【図４】
2004004743.tif 000018