(57)【要約】【課題】運転中に発生する熱を有効に排除可能な真空ポンプを提供する。【解決手段】本発明は、容器１４に接続されている真空ポンプ装置を開示する。真空ポンプの吸込側（２）のフランジ（１３）と容器（１４）の接続フランジ（１６）との間に、独立の構造部分（１８）が設けられている。この構造部分に、温度調節装置（２０）が設けられている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸込側（２）に設けられた、接続フランジ（１６）をもつ容器（１４）を接続するためのフランジ（１３）を備えた真空ポンプにおいて、
真空ポンプのフランジ（１３）と容器（１４）の接続フランジ（１６）との間に、温度調節装置（２０）を有する独立の構造部分（１８）が設けられていることを特徴とする真空ポンプ装置。
【請求項２】
温度調節装置（２０）が、構造部分（１８）の周囲に設けられた、管状中空体（２２）を受け入れる溝（２１）により形成されることを特徴とする請求項１の真空ポンプ。
【請求項３】
温度調節装置（２０）が、構造部分（１８）の周囲に設けられた、スリーブ（２７）およびシール装置（２８）で密閉されている溝（２６）により形成されることを特徴とする請求項１の真空ポンプ。
【請求項４】
温度調節装置（２０）が、構造部分（１８）に設けられた、接線方向に伸長する内孔（３０）により形成されることを特徴とする請求項１の真空ポンプ。
【請求項５】
温度調節装置（２０）が温度調節液によって貫流されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかの真空ポンプ。
【請求項６】
温度調節装置（２０）が温度制御装置（３５）と結合されていることを特徴とする請求項５の真空ポンプ。
【請求項７】
真空ポンプのフランジ（１３）と容器（１４）の接続フランジ（１６）との間に、温度調節装置（２０）を有する複数の独立の構造部分（１８）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかの真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は請求項１の上位概念に記載の真空ポンプ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明を特に有効に使用可能な真空ポンプは、回転ポンプ特に摩擦ポンプである。これらのポンプは一般に多数の段から構成され、これらの段は異なって構成されていてもよく、且つそれぞれロータ構造部分およびそれに対応するステータ構造部分を有している。これらのポンプ作用をなす構造部分は、供給されるべきガスによって貫流される。最大ガス流量および最大圧縮のような最適ポンプ特性を達成するために、回転部分は高速で回転しなければならない。このために必要な駆動エネルギーは、一部のみが運動エネルギーとして利用されるにすぎない。その大部分は損失熱として放出される。好ましくないその他の熱量が、軸受（玉軸受内の摩擦による機械損失または磁気軸受内の電気損失）から、およびガスの圧縮および摩擦から放出される。
【０００３】
吸込フランジに接続された容器内に超高真空を発生するために、通常、容器を加熱することが行われる。これにより、加熱しないときよりも明らかにより短い時間で希望の真空が達成される。
【０００４】
即ち、ポンプの運転により、および容器の加熱によっても、多量の熱量が放出される。
真空ポンプにより供給されるガス量は特に吸引空間内の温度の関数である。単位容積当たりのガス量は、より低い温度においてよりも、より高い温度において小さくなる。即ち、吸引空間内の温度を低下させる手段をとることが有効である。ロータ温度はポンプ・ハウジングへの熱伝導により影響される。ポンプ・ハウジングが低温であり、したがってロータとハウジングとの間に比較的大きな温度差がある場合、ロータにおいて発生した熱はより良好に排除される。これにより、ポンプ移送されるべきガス量を増大させることができる。ロータ温度がより低いことは、さらに寿命にも有利に働く。
【０００５】
従来技術によれば、通常の構造の真空ポンプは容器と直接結合されている。ポンプ・ハウジング内に組み込まれている冷却装置を備えた構造が存在する。このような固定式方法は、対応する位置に冷却が必要でない適用に対して、製造コストを上昇させることにもなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
運転中に発生する熱を有効に排除可能な真空ポンプを提供することが本発明の課題である。構造が簡単であり且つ製造のためにもコスト的に有利であり、および種々の形で使用可能であるべきである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は請求項１に記載の特徴により解決される。請求項２−７は本発明の他の実施態様を示す。
本発明による装置は構造が簡単である。本発明による装置は、原則として、高真空領域内においてのみならず背圧真空領域内においてもポンプに装着することができる。必要な場合には、複数の構造部分が共に装着されてもよい。温度調節液の温度を変えることにより、必要に応じてそれぞれ、ポンプの異なる位置の温度を調節することができ、即ち温度比を適用領域および運転状態に最適に適応させることができる。特に、例えば背圧真空側における凝縮を阻止するために、背圧真空側により高い温度を発生させる可能性が存在する。
【０００８】
図１−４ａにより本発明をターボ分子ポンプの例で詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
ポンプに、吸込開口２およびガス流出開口３を有するハウジング１が設けられている。ロータ軸４は軸受５および６内に固定され且つモータ７により駆動される。ロータ軸４上にロータ・ディスク１０が固定されている。ロータ・ディスク１０はポンプ作用構造を備え、および同様にこのようなポンプ作用構造を備えているステータ・ディスク１２と共にポンプ効果を与える。
【００１０】
ポンプの吸込側２のフランジ１３と容器１４の接続フランジ１６との間に、本発明により、温度調節装置２０を有する独立の構造部分１８が設けられている。第１の実施態様（図２）においては、構造部分に、その周囲に管状中空体２２を受け入れるための溝２１が設けられている。この中空体２２内を、入口ノズル２３およびここには図示されていないそれに対応する出口ノズルを介して、温度調節液が流動する。
【００１１】
図３に断面図として示されている実施態様においては、構造部分１８の周囲に溝２６が設けられている。この溝２６はスリーブ２７およびシール装置２８で密閉される。したがって、この溝内を、温度調節液が、入口ノズル３１および図示されていない出口ノズルを介して流動可能である。
【００１２】
他の実施態様が、図４に断面図として、およびさらに詳細に図４ａにも平面断面図として示されている。ここでは、構造部分１８に、温度調節液を受け入れるための、接線方向に伸長する内孔３０が設けられている。
【００１３】
本発明の他の形態として、ポンプと容器との間に複数の構造部分１８が設けられていてもよい。それ自身既知のタイプの温度制御装置３５により、構造部分１８内を流動する液の温度を要求に適合させることができる。
【００１４】
本発明は、ポンプ・フランジからのより良好な熱伝導並びに容器からの熱遮断を可能にする。温度制御はポンプの冷却循環とは独立している。構成システムは、１つまたは複数の構造部分を付け加えることにより容易に変更することができる。本発明による装置は、冷却することを可能にするのみならず、さらに使用範囲内の一般的な温度制御をも可能にする。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による装置を備えたターボ分子ポンプの縦断面図である。
【図２】図１からの断面図である。
【図３】他の実施態様の図１からの断面図である。
【図４】図４は他の実施態様の図１からの断面図であり、および図４ａは図４の実施態様の軸に対して垂直な断面図である。
【符号の説明】
【００１６】
１    ハウジング
２    吸込側（吸込開口）
３    ガス流出開口
４    ロータ軸
５、６    軸受
７    モータ
１０    ロータ・ディスク
１２    ステータ・ディスク
１３    フランジ
１４    容器
１６    接続フランジ
１８    構造部分
２０    温度調節装置
２１、２６    溝
２２    管状中空体
２３、３１    入口ノズル
２７    スリーブ
２８    シール装置
３０    内孔
３５    温度制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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