(57)【要約】【課題】被加工物の形状や大きさ、個数に制限されることなく、煩わしい段取り換え作業なしに容易に被加工物を吸着固定して安定した加工精度を得ることができる多孔質タイプの被加工物チャック装置及び被加工物の加工方法を提供する。【解決手段】多孔質物質で形成された少なくとも１つのチャックプレート６と、このチャックプレート６を嵌め込むための嵌合部５ａを上面に有するテーブル本体５と、このテーブル本体５の嵌合部５ａに穿設された複数の吸引孔５ｂと、少なくともチャックプレート６を、そのチャックプレート６上に載置した被加工物１１ごと覆う加工可能な材質のマスキング体４とを備える。【選択図】  図２
2004181553.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質物質で形成された少なくとも１つのチャックプレートと、
このチャックプレートを嵌め込むための嵌合部を上面に有するテーブル本体と、
このテーブル本体の前記嵌合部に穿設された複数の吸引孔と、
少なくとも前記チャックプレートを、そのチャックプレート上に載置した被加工物ごと覆う加工可能な材質のマスキング体と
を備えたことを特徴とするチャック装置。
【請求項２】
多孔質物質で形成された少なくとも１つのチャックプレートと、
このチャックプレートを嵌め込むための嵌合部を上面に有するテーブル本体と、
このテーブル本体の前記嵌合部に穿設された複数の吸引孔と、
これら吸引孔内の空気を吸引する吸引ポンプと、
少なくとも前記チャックプレートを、そのチャックプレート上に載置した被加工物ごと覆う加工可能な材質のマスキング体と
を備えたことを特徴とするチャック装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のチャック装置において、前記テーブル本体を磁性体材料で形成すると共に、このテーブル本体を固定するための磁気テーブルを更に備えたことを特徴とするチャック装置。
【請求項４】
多孔質物質で形成されたチャックプレート上に被加工物を載置し、
前記チャックプレートを、そのチャックプレート上に載置した前記被加工物ごと加工可能な材質のマスキング体で覆った後、
前記チャックプレートに負圧力を発生させ、前記チャックプレートに前記マスキング体と共に前記被加工物を吸着固定し、
前記マスキング体ごと前記被加工物を研削又は研磨する
ことを特徴とする加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物を負圧により吸着固定するチャック装置及びこれを用いた加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
研削加工や研磨加工等で用いる被加工物のチャックテーブルとしては、一般的に、いわゆる電磁式のもの、ワックス式のもの、真空式のもの等、様々な方式のものがある。
【０００３】
まず、電磁式チャックテーブルは、被加工物を磁力により磁着固定するものであるために、被加工物の材質が磁性体に限定されてしまうという憾みがある。但し、被加工物が非磁性体材料であっても、磁性体の治具を被加工物の周囲に配置すれば、治具によって被加工物を磁気チャック面上に固定することは可能である。しかしこの場合、被加工物自体が磁着される訳ではないので、被加工物と磁気チャック面との間に微小間隙が生じてしまい、要求される加工精度が得られない場合がある。また、このように治具を用いて被加工物を固定したとしても、やはり直接磁着させる場合に比べて被加工物が不安定であるため、加工中、被加工物が動いてしまうことがあり、著しい場合には、被加工物がチャック面から脱落・飛散したり、研削砥石の食い込みにより被加工物を損傷（又は破損）させてしまう可能性もある。
【０００４】
一方、ワックス式チャックテーブルの場合は、無孔性金属材料でチャック面を形成し、このチャック面又は被加工物の接触面のいずれかにワックスを塗布して被加工物をチャック面上に接着固定させるものであるため、被加工物が磁性体であるか非磁性体であるかを問わないが、被加工物を接着・脱着する際のワックス溶解作業や、脱着後のワックス洗浄作業等に手間がかかり、十分な生産性を確保することが難しい。
【０００５】
それに対し、真空式チャックテーブルの場合、磁性体は勿論、非磁性体の被加工物を対象としても、チャック面上に載置した被加工物を、負圧の作用により、直接容易にチャック面上に吸着固定することができる。
【０００６】
ここで、真空式チャックテーブルとしては、一般的に、多数の孔を穿設したチャック面を備えた多数孔タイプのもの（例えば特許文献１参照）と、チャック面自体を多孔質物質で形成した多孔質タイプのもの（例えば特許文献２参照）とが知られている。多数孔タイプのものはチャック面に穿設した各孔に、多孔質タイプのものはチャック面に存在する無数の気孔に、それぞれ負圧力を作用させて被加工物をチャック面上に吸着するようになっている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１０−５８８０２号公報
【特許文献２】
特開平１０−１０９２４１号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術には、以下のような課題が存在する。
例えば、多数孔タイプ真空式チャックテーブルは、チャック面の各孔に負圧力が集中するため、被加工物に作用する吸着力が不均一になる結果、被加工物の厚みによっては、集中的に負圧力のかかっていた部分（つまり孔に臨んでいた部分）には、被加工物の表面に窪み（ディンプル）や微小変形（突起）が発生して品質悪化を招いていまう場合もある。
それに対し、多孔質タイプ真空式チャックテーブルは、チャック部の無数で微細な気孔に負圧を作用させるので、被加工物に作用する負圧力はほぼ等分布となり、窪みや微小変形等といった品質面における不具合を抑制することができ、多数孔タイプのものに比べ、安定した加工精度を維持することができるという優位点がある。
【０００９】
しかしながら、多孔質タイプの真空式チャックテーブルにおいて、被加工物がチャック面よりも小さく、チャック面上に被加工物に接しない部分が存在する場合、その部分において無数の気孔から負圧漏れが生じてしまう。上記特許文献２においては、チャック面を被加工物よりも小さくし、チャック面全面が被加工物に接するよう構成することで、負圧漏れを防止しているが、この場合には、被加工物の形状や大きさが変化した場合、チャック面及びこれが固定されるテーブル本体も新たな被加工物に合わせて作り直さなければならない。
【００１０】
また、負圧漏れに関しては、多数孔タイプの真空式チャックテーブルにおいても同様の課題となるところで、その対応策として、多数孔タイプのものでは、従来、チャック面上の被加工物と接触しない孔をプラグ等で一つ一つ栓をしていたが、その作業は非常に煩わしく、生産性低下の要因となっていた。これに対し、特許文献１においては、チャック面上における被加工物と接しない部分にマスキングプレートを載置することで、非接触部分の孔をマスキングプレートでまとめて塞ぐことでその労力を軽減している。
【００１１】
そこで、多孔質タイプのものに、特許文献１のマスキングプレートを適用すれば、多孔質タイプの真空式チャックテーブルにおいても、被加工物の大きさや形状に応じてチャックテーブルを製作する必要はなくなる。しかしながら、この場合においても、被加工物の大きさや形状また個数が変化したら、それに合った形状や面積のマスキングプレートを新たに製作し用意しなければならず、様々な大きさや形状、個数の被加工物を加工対象とする研削（又は研磨）装置においては、その汎用性を低下させる一つの要因となっている。
【００１２】
本発明の目的は、被加工物の形状や大きさ、個数に制限されることなく、煩わしい段取り換え作業なしに容易に被加工物を吸着固定して安定した加工精度を得ることができる多孔質タイプの被加工物のチャック装置及び加工方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
（１）上記目的を達成するために、本発明の被加工物のチャック装置は、多孔質物質で形成された少なくとも１つのチャックプレートと、このチャックプレートを嵌め込むための嵌合部を上面に有するテーブル本体と、このテーブル本体の前記嵌合部に穿設された複数の吸引孔と、少なくとも前記チャックプレートを、そのチャックプレート上に載置した被加工物ごと覆う加工可能な材質のマスキング体とを備える。
【００１４】
本発明は、テーブル本体上面の嵌合部に多孔質物質のチャックプレートを嵌め込んで多孔質タイプの真空式チャックテーブルを構成しているので、吸引ポンプ等によってテーブル本体に穿設された各吸引孔内の空気を吸い出し、これら吸引孔を介してチャックプレートに無数に存在する微細な気孔に負圧力を発生させることにより、チャックプレート上に載置された被加工物がチャックプレートに吸着固定されるようになっている。従って、前述のように、被加工物に作用する負圧力作用はほぼ等分布となり、被加工物における窪みや微小変形等の発生を抑止でき、要求される加工精度及び加工面を確保することができる。
【００１５】
このとき、本発明においては、被加工物の吸着前に、チャックプレート全面を、その上に載置した被加工物ごとマスキング体により覆う。このマスキング体は、加工可能な材質で形成されているため、そのまま加工開始すれば、被加工物の加工面を覆っている部分のマスキング体は、被加工物の加工代と共に瞬時に削り落とされるが、被加工物と接しないチャック面上のマスキング体は最後まで残存するので、加工中、常に負圧漏れが生じることはない。即ち、本発明においては、被加工物の大きさや形状また個数が変化したとしても、それに合わせたマスキングプレート等をその都度用意する必要はなく、マスキング体で被加工物ごとチャックプレートを覆うという極めて簡単な作業によって、確実かつ迅速に負圧漏れを防止することができ、煩わしい段取り換え作業なしに容易に被加工物を吸着固定して安定した加工精度を得ることができる。
【００１６】
（２）上記目的を達成するために、また本発明の被加工物のチャック装置は、多孔質物質で形成された少なくとも１つのチャックプレートと、このチャックプレートを嵌め込むための嵌合部を上面に有するテーブル本体と、このテーブル本体の前記嵌合部に穿設された複数の吸引孔と、これら吸引孔内の空気を吸引する吸引ポンプと、少なくとも前記チャックプレートを、そのチャックプレート上に載置した被加工物ごと覆う加工可能な材質のマスキング体とを備える。
【００１７】
（３）上記（１）又は（２）において、好ましくは、前記テーブル本体を磁性体材料で形成すると共に、このテーブル本体を固定するための磁気テーブルを更に備える。
【００１８】
（４）上記目的を達成するために、本発明の被加工物の加工方法は、多孔質物質で形成されたチャックプレート上に被加工物を載置し、前記チャックプレートを、そのチャックプレート上に載置した前記被加工物ごと加工可能な材質のマスキング体で覆った後、前記チャックプレートに負圧力を発生させ、前記チャックプレートに前記マスキング体と共に前記被加工物を吸着固定し、前記マスキング体ごと前記被加工物を研削又は研磨する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のチャック装置の実施の形態を図面を用いて説明する。
図１は本発明の被加工物のチャック装置の一実施の形態の全体構成を表す上面図、図２はこの図１のＡ−Ａ断面図である。
これら図１及び図２において、本実施の形態のチャック装置は、チャックテーブル１と、吸引ポンプ（真空ポンプ）２と、チャックテーブル１を磁着固定した磁気テーブル３と、被加工物の吸着固定時に用いるマスキング体４とを備えている。但し、図１においては、吸引ポンプ２及び磁気テーブル３を図示省略してある。
【００２０】
チャックテーブル１は、テーブル本体５と、このテーブル本体５の上面に凹設した嵌合部５ａに嵌め込まれたチャックプレート６とを備えている。テーブル本体５の材質に特別な限定はないが、本例ではこのテーブル本体５を磁気テーブル３上に固定するので、磁性体材料を用いる。また、テーブル本体５には、上記嵌合部５ａに穿設された複数の吸引孔５ｂが設けられており、各吸引孔５ｂは、互いに合流し吸出口５ｃに連通している。
【００２１】
チャックプレート６は、例えば多孔質セラミックやステンレス系多孔体等といったこの種の材料として公知の多孔質構造の金属材料又は無機材料（多孔質物質）で、テーブル本体５の嵌合部５ａの形状に合わせて形成されており、嵌合部５ａに嵌め込まれている。このチャックプレート６の露出面が、チャックテーブル１における被加工物のチャック面となる。チャック面の高さは、本体テーブル５の上面に対してある程度上下していても運転上問題はないが、好ましくは本体テーブル５の上面とほぼ同一として、チャックテーブル１全体として、上面をほぼフラットに形成することが好ましい。
【００２２】
上記吸引ポンプ２の吸込口（図示せず）は、テーブル本体５の吸出口５ｃに配管７を介して接続しおり、吸引ポンプ２が作動すると、各吸引孔５ｂ内の空気が吸出され、チャックプレート６に存在する無数の気孔に負圧が発生するようになっている。
【００２３】
上記の磁気テーブル３は、この種のものとして公知のものであり、そのチャック面に磁力を発生させチャック面上の載置物を磁着固定するものである。本例においては、この磁気テーブル３を基礎として、チャックテーブル１を固定している。
【００２４】
上記マスキング体４は、被加工物をチャックプレート６上に吸着固定する際、セットされた被加工物ごとチャックプレート６を覆うものである。その面積は、被加工物ごと覆った状態で、少なくともチャックプレート６を完全に覆う程度あれば足り、なおかつチャックプレート６が覆えれば、マスキング体４は、必ずしも１枚構成でなくとも複数枚並べるものとしても構わない。また、このマスキング体４としては、例えば市販の工業用又は家庭用ラップ等といった薄膜フィルム状のものが好適であり、加工可能な（研削砥石や研磨機等によって容易に切削可能な）材質のものを用いる。
【００２５】
次に、以上のチャック装置を用いた被加工物の加工方法を説明する。
ここでは、被加工物の代表例として、図３に示したガスタービン発電機用ノズル部品のシール溝を放電加工する際に用いられる銅電極板の加工例を説明するが、本発明の加工方法の対象物を銅電極板に限定する意図のものではなく、他の様々な被加工物も加工対象物となり得ることは言うまでもない。
【００２６】
図４は、本例で被加工物の一例に挙げた銅電極板の製作プロセスを示す工程図であり、この図４に示すように、まず銅板１０から被加工物（素材）１１を切断し（▲１▼材料切断）、この切断した被加工物１１に対し表面加工を施し（▲２▼研削加工）、最終的に被加工物１１の取り代を機械加工により除去することによって（▲３▼外観機械加工）、銅電極板の加工が完了する（▲４▼加工完了）。なお、本例にて製作された銅電極板は、先に図３に示したノズル部品のＩ面及びＩＩ面に所定深さのシール溝を凹設するための放電加工用の部品に供される。
【００２７】
本例の被加工物の加工方法は、図４における▲２▼研削加工工程に関わるものであり、その手順を図１、図２及び図４を参照しつつ説明する。
【００２８】
まず、研削加工装置の磁気テーブル３上にチャックテーブル１を位置決めし、磁気テーブル３に磁力を発生させチャックテーブル１を磁着固定する。但し、本例では、ユーザの所有する研削加工装置が電磁式チャックテーブルを備えたものである場合に、既存設備を活用するためにチャックテーブル１を磁気テーブル３上に固定する例であって、このチャックテーブル１が基礎テーブルとなる場合は、この手順は言うまでもなく必要ない。
【００２９】
次に、被加工物１１をチャックプレート６に置き、この被加工物１１ごとチャックプレート６全面を覆うよう、適宜切断したマスキング体４を被せる。本例では、被加工物１１をチャックプレート６上に１つだけ載置した場合を図示してあるが、チャックプレート６の面積内であれば、その数に限定はない。その後、この状態で吸引ポンプ２を作動させ、チャックプレート６に負圧力を作用させることにより、被加工物１１を、これに被せられたマスキング体４ごとチャックプレート６に吸着固定する。
【００３０】
以上のように段取りした後、研削加工装置の運転を開始し、回転する研削砥石１２（図４参照）を、所定の切込み深さ及び送り速度で被加工物１１の加工面上を移動させ、被加工物１１の表面をこれに覆い被さったマスキング体４ごと加工する。そして、研削加工終了後、研削加工装置を停止させ、次いで吸引ポンプ２を停止させることにより、チャックプレート６への負圧力を解除する。これにより、被加工物１１及びマスキング体４に作用していた吸着固定力がなくなり、チャックプレート６から、被加工物１１及びマスキング体４が容易かつ瞬時に取外される。被加工物１１の裏面加工を行う場合、また次の被加工物を加工する場合、以上の手順を順次繰り返す。
【００３１】
ここで、本発明のチャック装置との比較例として、図５〜図１０を用いて幾つかのチャックテーブルの従来例を説明する。
【００３２】
図５は電磁式チャックテーブルの概観構造を表す上面図、図６はこの図５のＢ−Ｂ断面図である。この図５及び図６に示す電磁式チャックテーブル１００は、被加工物１１が非鉄金属材料や非磁性体材料の場合には、磁着作用が得られないために通常的にはあまり使用されないが、仮に磁着できない被加工物１１を固定する場合に、図５及び図６に図示したごとく、テーブル本体１０１の磁気チャック面１０２に被加工物１１の両端（又は周囲）を磁性体金属（鋼板等）からなる治具１０３を配置し、被加工物１１を抑えた治具１０３を磁着させることで実現できる。しかしながら、被加工物１１自体の磁気チャック面１０２との対向面は未磁着状態であり、被加工物１１と磁気チャック面１０２との互いの対向面間に微小間隙１０４が発生し、加工中、この微小間隙１０４にクーラントや微細異物等が入り込み加工精度を悪化させる場合がある。これは特に、被加工物１１が薄板の場合に顕著となる。更に、被加工物１１自体が磁着している訳ではないので、固定力が十分に得られない場合もあり、加工中、被加工物１１が研削砥石等からの研削力の反力を支えきれずに動いてしまい、著しい場合には、被加工物１１がチャック面１０２から離脱したり、研削砥石が被加工物１１に食込んでしまう等の不具合が生じる可能性がある。
【００３３】
図７は多数孔タイプ真空式チャックテーブルの概観構造を表す上面図、図８はこの図７のＣ−Ｃ断面図である。但し、これら図７及び図８において、図１及び図２と同様の部分には同符号を付し説明を省略する。図７及び図８に示す多数孔タイプ真空式チャックテーブル１１０は、テーブル本体１１１のチャック面１１２に穿設した多数の孔１１３に、図示しない吸引ポンプ等により負圧力を作用させることにより、多孔質タイプ真空式チャックテーブルと同様の原理で、被加工物１１をチャック面１１２に吸着固定するようになっている。しかしながら、孔１１３位置に集中的に負圧力が作用するため、多孔質タイプのものに比べて被加工物１１に作用する吸着力の分布が不均一で、被加工物１１の表面に窪み（デインプル）や微小変形（突起）が発生して品質悪化を招いていまう場合もある。この窪みや微小変形は、孔１１３の径の大きさに比例し、その影響は、被加工物１１の板厚が薄いほど顕著となる。
【００３４】
また、被加工物１１が接触しないチャック面１１２上の孔１１３には、負圧漏れを防止するためにプラグ１１４により栓をしなければならず、一つ一つの孔１１３に栓をする作業は作業者にとって大変に煩わいものであり、生産性低下につながる。同時に、被加工物１１のチャック面１１２との対向面に若干の凹凸がある場合等は、孔１１３とその凹凸との位置関係によっては未吸着部が広くなり、十分な吸着力が得られず、加工中、被加工物１１が動いてしまう可能性がある。
【００３５】
図９は多孔質タイプ真空式チャックテーブルの従来例の概観構造を表す上面図、図１０はこの図９のＤ−Ｄ断面図である。但し、これら図９及び図１０において、図１及び図２と同様の部分には同符号を付し説明を省略する。図９及び図１０に示す多孔質タイプ真空式チャックテーブル１２０は、テーブル本体１２１の複数のチャック部１２２を多孔質物質で形成したもので、図１及び図２に示した本発明の一実施の形態のものと同様、等分布負圧力作用で被加工物１１を吸着固定することができ、図７及び図８の多数孔タイプ真空チャックテーブル１１０に比べ、被加工物１１の窪みや微小変形等を抑止でき安定した加工精度の維持ができる。この従来例において、上記チャック部１２２は、被加工物１１との接触面とほぼ同様の形状及び面積に形成されているため負圧力漏れはほとんど生じない。
【００３６】
しかしながら、被加工物１１の形状や大きさが変わると、チャック部１２２は勿論のことテーブル本体１２１さえも新たな被加工物の形状に合ったものを用意しなければならず、これは取り扱う被加工物の大きさや形状が多種多様な場合には、著しく不利な点である。但し、特開平１０−５８８０２号公報に開示されているマスキングプレートを応用すれば、多孔質タイプのチャック部であっても、被加工物に接しない部分にマスキングプレートを吸着させることにより、チャック部やテーブル本体を変えることなく、負圧漏れを防止することは可能である。しかしこの場合も、被加工物の形状が変われば、その形状に合ったマスキングプレートを用意する必要があり、やはり段取りが変わる場合には、煩わしい作業を伴う。
【００３７】
それに対し、本実施の形態においては、被加工物の吸着前に、チャックプレート６の全面を、その上に載置した被加工物１１ごとマスキング体４により覆う。被加工物１１を覆っているマスキング体４は、薄いフィルム状のものであって加工可能であるため、被加工物１１を研削（或いは研磨）するに際し、そのまま加工開始すれば、被加工物１１の加工面を覆うマスキング体４は被加工物１１加工面の加工対象部と共に瞬時に削り落とされるが、被加工物１１に接しない部分のチャックプレート６上のマスキング体４が削り落とされることなく、加工中、チャックプレート６からの負圧漏れは生じない。
【００３８】
即ち、本実施の形態においては、被加工物１１の大きさや形状、個数が変化したとしても、それに合わせたマスキングプレート等をその都度用意する必要はなく、単にマスキング体４を被せるという極めて簡単な作業により、チャックプレート６からの負圧漏れを、毎回同じ要領で確実に、そして極めて迅速かつ容易に防止することができる。従って、本実施の形態によれば、被加工物１１の形状や大きさ、個数に制限されることなく、煩わしい段取り換え作業なしに容易に被加工物を吸着固定して安定した加工精度を得ることができる。
【００３９】
また、本実施の形態においては、マスキング体４によって、チャックプレート６全面をほぼ完全にシールすることができるので、加工中、研削液や研磨液（クーラント）や微細異物（例えば切り粉等）等がチャックプレート６の微細な気孔に浸入することを防止することもでき、チャックテーブル１の長寿命化を図ることもできる。また、チャックプレート６の面積内であれば、被加工物の形状や大きさ、個数に無関係に毎回同じ要領で容易に被加工物を吸着固定することができ、なおかつ、加工終了後負圧力を解除することにより、被加工物１１や削り残ったマスキング体４等は容易にチャックプレート６上から取外すことができ、次の作業に迅速に移行することもできるので、汎用性及び生産性を大きく向上させることができる。
【００４０】
なお、以上に説明した本発明の一実施の形態において、マスキング体４としては、工業用又は家庭用ラップを用いることを例に挙げたが、これに限られず、フィルム状の薄いビニールやゴム性のもの等、ラップに代替可能なものであれば構わず、上記同様の効果を得ることができる。また、形成されたフィルムの除去作業を伴うことがあるため作業性が若干低下するが、被加工物の形状や大きさ、個数によらず負圧漏れを容易に防止する限りにおいては、例えば噴霧後に固体化し、チャックプレート６表面にフィルム状の薄膜を形成する市販の液体スプレー等も、マスキング体４を形成するための１つの手段として考えられる。
【００４１】
また、図２において、吸出口５ｃをテーブル本体５の側面（図２中右側）に設けた例を示したが、これに限られない。例えばテーブル本体５を磁気テーブル上に固定せずテーブル本体５そのものが基礎となる場合等は、テーブル本体５の下部側に設けても良い。更に、図１において、方形のテーブル本体５及びチャックテーブル６を図示したが、例えば円形としても構わず、その形状に特別な限定はない。また図１等においては、テーブル本体５上にチャックプレート６を１つのみ設けた例を図示したが、これにも限られず、テーブル本体５に対し複数のチャックプレートを設けても良く、またそれらの配置も任意で構わない。これらの場合も、本発明を適用することにより同様の効果を得ることができる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、多孔質タイプ真空式チャックテーブルにあって、被加工物の大きさや形状、個数に関わらず、常に同じ要領で確実に、そして極めて迅速かつ容易にチャック面からの負圧漏れを防止することができるので、煩わしい段取り換え作業なしに容易に被加工物を吸着固定して安定した加工精度を得ることができる。従って、汎用性及び生産性を大きく向上させることができる。また、マスキング体によって、チャック面全面をほぼ完全にシールすることができるので、加工中、クーラントや微細異物等がチャック面の微細な気孔へ浸入することを防止することができ、チャックテーブルの長寿命化を図ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の被加工物のチャック装置の一実施の形態の全体構成を表す上面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の被加工物のチャック装置の一実施の形態を備えた研削加工装置により加工対象の一例として加工された銅電極板が用いられる、放電加工の対象物の一例であるガスタービン発電機用ノズル部品の外観図である。
【図４】本発明の被加工物のチャック装置の一実施の形態を備えた研削加工装置が、その過程に用いられる銅電極板の製作プロセスを示す工程図である。
【図５】本発明の被加工物のチャック装置の一実施の形態の比較例としての電磁式チャックテーブルの概観構造を表す上面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】本発明の被加工物のチャック装置の一実施の形態の比較例としての多数孔タイプ真空式チャックテーブルの概観構造を表す上面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ断面図である。
【図９】本発明の被加工物のチャック装置の一実施の形態の比較例としての多孔質タイプ真空式チャックテーブルの従来例の概観構造を表す上面図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ断面図である。
【符号の説明】
２      吸引ポンプ
３      磁気テーブル
４      マスキング体
５      テーブル本体
５ａ    嵌合部
５ｂ    吸引孔
６      チャックプレート
１１    被加工物
【図１】
2004181553.tif 000003
【図２】
2004181553.tif 000004
【図３】
2004181553.tif 000005
【図４】
2004181553.tif 000006
【図５】
2004181553.tif 000007
【図６】
2004181553.tif 000008
【図７】
2004181553.tif 000009
【図８】
2004181553.tif 000010
【図９】
2004181553.tif 000011
【図１０】
2004181553.tif 000012