(57)【要約】【課題】観察試料に関係なく片ボケを生じにくい安定した観察像を得られるとともに、光軸方向のスペースを抑えたコンパクトな形状を有し、観察試料の任意の位置を回転中心付近に簡単に移動可能にした顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡を提供すること。【解決手段】対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板３０２と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板３０７と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材３０８とを備えた。【選択図】　図１
2004004677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、
観察試料が載置され、且つ前記基板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、
前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項２】
請求項１に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記移動規制部材は、前記平面上の第１の方向と前記平面上であって、前記第１の方向とほぼ直交する第２の方向とに、前記上板の移動を規制することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項３】
請求項１に記載の顕微鏡ステージにおいて、
対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第１の駆動機構と、
前記第１の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第２の駆動機構とを更に具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項４】
請求項３に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第１の駆動機構および前記第２の駆動機構は、
固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、
前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項５】
請求項３に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第１の駆動機構および第２の駆動機構は、
固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、
前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、
前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項６】
請求項１に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板を更に具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項７】
請求項６に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記回転板は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第１の駆動機構と、
前記第１の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第２の駆動機構とを具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項８】
請求項７に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第１の駆動機構および前記第２の駆動機構は、
前記回転板に固定される固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、
前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項９】
請求項７に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第１の駆動機構および第２の駆動機構は、
前記回転板に固定される固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、
前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、
前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１０】
請求項６に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１１】
対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、
前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、
観察試料が載置され、且つ前記回転板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、
前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１２】
請求項１１に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記移動規制部材は、前記平面上の第１の方向と前記平面上であって、前記第１の方向とほぼ直交する第２の方向とに、前記上板の移動を規制することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１３】
請求項１１に記載の顕微鏡ステージにおいて、
対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第１の駆動機構と、
前記第１の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第２の駆動機構とを更に具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１４】
請求項１３に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記回転板は、前記第１の駆動機構と、前記第２の駆動機構とを具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１５】
請求項１４に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第１の駆動機構および前記第２の駆動機構は、
前記回転板に固定される固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、
前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１６】
請求項１４に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第１の駆動機構および第２の駆動機構は、
前記回転板に固定される固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、
前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、
前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１７】
請求項１１に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有することを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項１８】
対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする顕微鏡。
【請求項１９】
対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、観察試料が載置され、且つ前記回転板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、観察試料を載置する顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、偏光顕微鏡や倒立顕微鏡等の光学顕微鏡を用いて金属組織標本、鉱物標本および生物標本などの試料を観察する場合において、これらの観察試料を載置するための顕微鏡ステージとして、観察試料の向きの違いによる偏光特性を調べたり、画像記録装置に対する試料の向きを変えて好みのフレーミングを行ったりするために、いわゆる回転ステージが用いられることがある。
【０００３】
このような回転ステージには、ステージを回転したとたんに視野から観察試料が見えなくなってしまうのを防ぐために、次のような機能が要求される。まず、その回転中心を顕微鏡の対物レンズ光軸に合致させて、現在見ている視野の中心を回転中心にした状態（予め合致するように構成されているものもある）とする。そして、次に、観察試料の観察したい任意の位置を回転中心付近に移動させる。
【０００４】
特許文献１には、偏光顕微鏡の試料位置調整に用いられる顕微鏡ステージにおいて、円周部付近に角度表示目盛が付され自在に回転可能な円板状ステージの上に互いに直交するスライドグラス保持具とスライドグラス押さえを配置し、これらによって、スライドグラス上の試料を顕微鏡の視野内に入るように移動調節できることが記載されている。
【０００５】
また、特許文献２には、ＸＹ軸可動ステージの回動および傾斜を可能にした顕微鏡のステージにおいて、基台上に回動可能な回転テーブルを設け、この回転テーブルの上に、上方への突出量を調整可能な３つの支持ピン部材を介してＸＹ軸可動ステージを支持する構造とすることにより、ＸＹ軸可動ステージの回動および傾斜を調整できることが記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開昭６０−８８９１９号公報
【０００７】
【特許文献２】特開平７−５６０９３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、観察試料に関係なく片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることができるとともに、光軸方向のスペースを抑えたコンパクトな形状を有し、観察試料の任意の位置を回転中心付近に簡単に移動可能にした顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の１局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１１】
図１は本発明の第１の実施の形態が適用される倒立型金属顕微鏡の概略構成を示す図である。
【００１２】
図１において、顕微鏡本体（以後、「鏡体」と称する）１は、概略凹字状であって、その前後に鏡脚と呼ばれる上方向へ突出した前側固定部１ａと後側固定部１ｂとを有する。前側固定部１ａおよび後側固定部１ｂ上に、観察試料２を載置した顕微鏡ステージ３が設けられている。
【００１３】
ハロゲンランプや水銀等による落射照明光源４からの光束は、投光管５を介してミラーユニット部６に導かれ、その内部のハーフミラー６ａにより反射され、対物レンズ７を介して観察試料２の観察面（下面）に照射される。この場合、複数の対物レンズ７が、レボルバー８に保持され択一的に光軸９上に配置される。
【００１４】
観察試料２からの反射光は、ハーフミラー６ａを透過し、結像レンズ１０により対物レンズ７とともに観察試料２の拡大像が形成され、反射ミラー１１により斜め上方向に反射され、図示しないリレー光学系によってリレーされた後に観察鏡筒１２を介して接眼レンズ１３に入射して、観察者の目に到達し観察される。
【００１５】
複数の対物レンズ７を保持したレボルバー８は、図示しない保持部により鏡体１に保持されている。レボルバー８は、焦準ハンドル１４の操作により光軸９に沿って上下動されて、顕微鏡ステージ３上の観察試料２と対物レンズ７との相対距離を変化させることによって、観察試料２のピント合わせを可能にしている。また、観察鏡筒１２は、鏡体１の前側上部に取り付けられ、観察鏡筒１２の双眼部に接眼レンズ１３が装着されている。
【００１６】
図２は、顕微鏡ステージ３の概略構成を示す図である。図２（ａ）は顕微鏡ステージ３を上面から見た図であり、図２（ｂ）は顕微鏡ステージ３の側断面図である。
【００１７】
図２において、円板状のステージ受け３０１の中央部には、対物レンズ７の切換えに要する移動範囲に相当する開口３０１ａが形成されている。また、ステージ受け３０１の外周部には肉厚部３０１ｂが形成されている。ステージ受け３０１外周部の肉厚部３０１ｂの下面には、中心点を挟んで相対向する位置に、それぞれ取付面３０１ｃ、３０１ｄが形成され、これら取付面３０１ｃ、３０１ｄを前側固定部１ａおよび後側固定部１ｂに載せてボルト３２１で締結することで、ステージ受け３０１が前側固定部１ａおよび後側固定部１ｂの間に固定されている。また、ステージ受け３０１外周部の肉厚部３０１ｂの上面側には、開口３０１ａ周縁に沿って段部を介して平面部３０１ｇが形成されている。
【００１８】
ステージ受け３０１の開口３０１ａ周縁の平面部３０１ｇ上には、ステージ受け３０１に対して心出し自在に基板３０２が載置されている。基板３０２は、対物レンズ７の光軸９に対して直交する平面内で位置調整可能としたもので、ステージ受け３０１の開口３０１ａとほぼ同じ大きさの開口３０２ａが形成されるとともに、外周面にテーパ部３０２ｂが形成されている。
【００１９】
ステージ受け３０１の外周部には、円周方向に沿って２個の心出しネジ３０３ａ、３０３ｂと１個のプランジャー３０４がほぼ等間隔に配置されている。これら心出しネジ３０３ａ、３０３ｂおよびプランジャー３０４は、ステージ受け３０１の肉厚部３０１ｂを貫通して、それぞれの先端部が基板３０２のテーパ部３０２ｂに当て付けられており、心出しネジ３０３ａ、３０３ｂによりテーパ部３０２ｂを押圧することで基板３０２の心出しを行うとともに、これら心出しネジ３０３ａ、３０３ｂと協業してプランジャー３０４により基板３０２を所定位置で動かないようにしている。
【００２０】
基板３０２の上には、中央部に基板３０２の開口３０２ａと連通する開口３０６ａが形成された回転板３０６が配置されている。この場合、基板３０２の開口３０２ａ内面にラジアルベアリング３０５の外輪３０５ａを固定環３２２で固定するとともに、このラジアルベアリング３０５の内輪３０５ｂに回転板３０６が固定環３２３で固定されており、基板３０２の中心を回転中心として回転板３０６が回転自在に支持されている。
【００２１】
回転板３０６は、図３（ａ）に示すように上面の外周縁部に沿って突壁３０６ｂが形成され、また、突壁３０６ｂと開口３０６ａ周縁との間の平面３０６ｃおよび平面３０６ｃより一段低い平面上には、開口３０６ａを挟んで紙面縦方向に沿った平行なガイド溝３０６ｄが設けられている。
【００２２】
回転板３０６上には、移動規制部材としてのリング状部材３０８を介して上板３０７が配置されている。
【００２３】
リング状部材３０８には、図３（ｂ）に示すようにリング状部本体３０８ａの一方の面に回転板３０６の平行なガイド溝３０６ｄに対応する一対のガイド部材３０９が設けられている。一対のガイド部材３０９は、図３（ｃ）に示すように回転板３０６の平行なガイド溝３０６ｄに挿入される。ガイド溝３０６ｄに挿入された状態で、リング状部材３０８は、ガイド溝３０６ｄに沿って直線往復移動できる。また、リング状部本体３０８ａの他方の面には、一対のガイド部材３０９と直交する向きに、後述する上板３０７の平行なガイド溝３０７ｅに対応する一対のガイド部材３１０が設けられている。
【００２４】
上板３０７は、下面の外周縁部に沿って回転板３０６の平面３０６ｃ上に摺動可能な突起部３０７ａが形成され、回転板３０６上で２次元方向に移動可能になっているとともに、下面中央部に凹部３０７ｂが形成され、この凹部３０７ｂの中心に試料観察のための小さな開口３０７ｃが形成されている。また、上板３０７には、図３（ｄ）に示すように突起部３０７ａと凹部３０７ｂ周縁との間の平面３０７ｄ上に、凹部３０７ｂを挟んで紙面横方向に沿った平行なガイド溝３０７ｅが設けられている。
【００２５】
このような上板３０７は、回転板３０６上に配置された状態で、リング状部本体３０８ａの他方の面に設けられた一対のガイド部材３１０がガイド溝３０７ｅに挿入され、上板３０７全体が一対のガイド部材３１０に沿って直線往復移動可能になっている。
【００２６】
つまり、回転板３０６、リング状部材３０８および上板３０７の関係は、回転板３０６に対してリング状部材３０８がガイド溝３０６ｄに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられるとともに、リング状部材３０８に対して上板３０７が一対のガイド部材３１０に沿ってリング状部材３０８の移動方向と直交する方向に直線往復移動可能になっている。
【００２７】
また、回転板の平面３０６ｃと、この平面３０６ｃに摺動される上板３０７の突起部３０７ａとの間には、この間の動きをスムーズにするためにグリースなどの潤滑材が塗布されている。
【００２８】
従って、このようにすれば、上板３０７を対物レンズ７の光軸９に対して直交する平面内で任意の方向に押すと、上板３０７は回転板３０６に対しての相対角度を変えることなく、ＸＹ方向に移動することができる。この場合、上板３０７と回転板３０６の摺動部には、グリースなどの潤滑材が塗布されているので、適切な力量で回転板３０６に対して上板３０７が滑動するようになる。
【００２９】
また、回転板３０６の中央の開口３０６ａおよびリング状部材３０８は、いずれも開口直径が大きく構成されており、このため倍率を切り換えるためにレボルバー８を回転した際に、対物レンズ７が干渉するようなことはない。また、上板３０７の下面（観察試料２を載せる面と反対側）も観察のための小さな開口３０７ｃを中心とした広い範囲において凹部３０７ｂが形成され肉薄に構成されているため、同様にレボルバー８の回転に伴い対物レンズ７が干渉するのを防止することができる。
【００３０】
再び、図２に戻って、基板３０２には、バーニヤ目盛３１１が設けられている。このバーニヤ目盛３１１は、回転板３０６の外周に設けられた目盛と協業して基板３０２に対する回転板３０６の回転角度を読むことができるようになっている。バーニヤ目盛３１１には、回転クランプつまみ３１２が支持されている。回転クランプつまみ３１２は、締め込み操作により基板３０２に対して回転板３０６が回転しないように回転板３０６を固定する。
【００３１】
このような回転クランプつまみ３１２を含む回転クランプ機構について、図４に従い説明する。図４は、回転クランプつまみ３１２を含む面を見た断面図で、図２と同一部分には同符号を付している。
【００３２】
この場合、基板３０２には、目盛台３１３が固定されている。目盛台３１３にはピン３１３ａが植設されている。目盛台３１３上には、クランプ台３１４が配置されている。このクランプ台３１４には、回転板３０６のラジアル方向（紙面左右方向）に沿って長溝３１４ａが形成され、この長溝３１４ａにピン３１３ａ先端が挿入され、クランプ台３１４全体が紙面左右方向（回転板３０６のラジアル方向）に移動可能になっている。
【００３３】
クランプ台３１４には、クランプ台３１４の移動方向の端部に突壁３１４ｂが形成されるとともに、ラジアル方向に沿って長孔３１４ｃが形成され、この長孔３１４ｃにクランプ軸３１５が紙面左右方向（回転板３０６のラジアル方向）に移動可能に挿通されている。
【００３４】
クランプ台３１４の突壁３１４ｂとクランプ軸３１５先端には、それぞれクランプピン３１６および３１７が取付けられている。これらクランプピン３１６および３１７は、回転板３０６下面の外周縁部に沿って形成される薄肉部３０６ｅを挟み込む方向に配置されている。この場合、クランプ軸３１５の図示右側方向への移動によりクランプピン３１６と３１７により回転板３０６の薄肉部３０６ｅを挟持し、回転板３０６の回転を規制する。
【００３５】
クランプ台３１４には、ネジ部３１４ｄが形成され、このネジ部３１４ｄに上述したクランプつまみ３１２が螺合されている。この状態からクランプつまみ３１２を締め込むと、クランプ台３１４に対してクランプ軸３１５が相対的に対物レンズ７の光軸中心方向へ押し出され、結果的に２つのクランプピン３１６および３１７によって回転板３０６の薄肉部３０６ｅが挟み込まれ、回転板３０６の回転を固定することができる。
【００３６】
このように構成した回転クランプ機構によると、回転板３０６を対物レンズ７の光軸中心方向に向けて押圧することなく、２つのクランプピン３１６および３１７で挟み込むだけで回転板３０６の回転を固定することができるので、回転クランプつまみ３１２を締め込んだ時に、観察試料２の像が視野内で移動してしまうといった不具合を回避することができる。
【００３７】
第１の実施の形態によれば、観察試料２を観察する場合、まず、レボルバー８を回して、複数の対物レンズ７の中から低倍率の対物レンズ７を光軸９上にセットし、焦準ハンドル１４の操作によって観察試料２にピントを合わせる。次に、回転板３０６を回転させて接眼レンズ１３の視野内で観察試料２の像がどのように動くかを見る。この時、観察試料２の像が、視野中心付近を中心として回転するように２つの心出しネジ３０３ａ、３０３ｂを回して基板３０２の心出しを行う。
【００３８】
観察試料２の像の回転中心が視野中心と一致するよう調整できたら、次に上板３０７を回転板３０６上でＸＹ方向に滑動操作して、観察試料２の中で目的の観察位置を視野内に概略位置させ、その後に、レボルバー８を回して複数の対物レンズ７の中からより高倍率な目的の倍率を有する対物レンズ７を光軸９にセットする。続けて、焦準ハンドル１４の操作によるピントの微調整を行った後に、回転板３０６を回転させて、観察試料２の向きを好みの向きに調節し、観察試料２の向きが定まったら回転クランプつまみ３１２を締め込んで回転板３０６が回転しないように固定する。
【００３９】
最後に、再度上板３０７を回転板３０６上でＸＹ方向に滑動操作させて、最適な観察範囲となるように観察試料２の位置を微調整する。
【００４０】
このような手順で、観察試料２中の目的とする１ヶ所の観察が終了したら、再び上板３０７を回転板３０６上でＸＹ方向に滑動操作させて、観察位置を変更する。この場合、観察試料２上で変更する観察位置が最初の観察位置と比較的近い場合には、対物レンズ７の倍率を変えないまま観察位置を変えることが可能であるが、最初の観察位置から離れた位置に変更する場合には、対物レンズ７を一旦低倍率のものに変更してから、上板３０７を回転板３０６上でＸＹ方向に滑動操作させて、概略の観察位置に移動させた後に、目的の倍率を有する対物レンズ７に交換して、さらに上板３０７を微調整して目的の観察範囲を得るようにする必要がある。
【００４１】
なお、回転板３０６を回転することによって観察試料２の向きを変更したり微調整したりするのは、偏光性のある観察試料２を偏光観察法で観察する場合や、写真撮影の場合のフレーミングを変更する場合や、観察試料２が金属組織試料であれば試料作成時の研磨傷を観察像の中で目立ちにくくする場合などに用いられる。この場合、本実施の形態のように観察試料２の観察位置を変更するために行う上板３０７の滑動による微調整は、回転板３０６の回転によって設定した所定の角度を保ったまま行われ、観察試料２の向きが変わらないため非常に使い易い。また、観察試料２の向きは回転板３０６の角度で一義的に決まるので、バーニヤ目盛３１１で読み取った回転角度を記憶しておけば、その角度に戻すことで常に観察試料２を同じ向きで観察することが可能であり、操作性について著しい向上を図ることができる。
【００４２】
従って、このように構成された倒立型金属顕微鏡によれば、金属組織試料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、しかも、顕微鏡ステージとして、ステージ受け３０１に対し心出し自在に基板３０２が配置され、この基板３０２上に回転可能な回転板３０６が配置され、さらに、リング状部材３０８を介してＸＹ方向に移動可能な上板３０７が配置されるようになっていて、対物レンズ７の光軸方向のスペースを最小限に抑えたコンパクトな構成としているので、ステージの厚さ方向寸法に大きな制限を有する倒立顕微鏡に最適に組み合わせることができる。
【００４３】
また、回転板３０６の中央の開口３０６ａおよびリング状部材３０８は、いずれも開口直径が大きく構成されており、さらに上板３０７の下面にも観察のための小さな開口３０７ｃを中心とした広い範囲において凹部３０７ｂが形成され肉薄に構成されているため、倍率を切り換えるためにレボルバー８を回転した際に、対物レンズ７が干渉するような不都合を確実に除去することができる。
【００４４】
さらに、観察試料２の観察位置の調整が、回転板３０６の回転によって設定した角度を保ったまま、上板３０７をＸＹ方向に移動させることで、観察試料２の見たい場所を視野の中に移動させることができるので、観察試料２の向きが変わらない状態のままで、観察を続けることができ、ステージの操作性を著しく向上させることができる。
【００４５】
さらに、回転板３０６の回転を固定するクランプ機構を設けたことにより、観察試料２の観察位置の調整を行う際に、不意に試料の向き（回転方向）が変わってしまうようなことがなくなるので、常に、安定した状態で試料観察を行うことができる。
【００４６】
なお、第１の実施の形態において、ガイド部材３０９，３１０を２個づつ使用するようにしたが、それぞれ１個ずつでも構成可能である。
【００４７】
なお、図３に示した移動規制部材としてのリング状部材３０８、一対のガイド部材３０９及び３１０の変形例を図５、及び図６を参照して説明する。なお、図６に示した変形例の場合には、回転板３０６及び上板３０７の形状が第１の実施の形態と若干異なるので、それらも併せて説明する。
【００４８】
図５は、図３におけるリング状部材３０８と一対のガイド部材３０９及び３１０のみを変形したものを示しており、回転板３０６及び上板３０７は図３のそれと全く同一である。
【００４９】
図３のリング状部材３０８に相当する部品として、リング状部材６０８が、回転板３０６上に配置される。
【００５０】
リング状部材６０８には、リング状部材本体６０８ａの一方の面に回転板３０６の平行なガイド溝３０６ｄに対応する片側２個づつ計４個のピン６０９が設けられている。
【００５１】
これら４個のピン６０９は、図５（ｃ）に示すように、回転板３０６の平行なガイド溝３０６ｄに挿入されるもので、この状態で、リング状部材６０８は、ガイド溝３０６ｄに沿って直線往復移動できるようになっている。
【００５２】
また、リング状部材本体６０８ａの他方の面には、後述する上板３０７の平行なガイド溝３０７ｅに対応する片側２個づつ計４個のピン６１０が設けられている。
【００５３】
上板３０７は、下部の外周縁部に沿って回転板３０６の平面３０６ｃに摺動可能な突起部３０７ａが形成され、回転板３０６上で２次元方向に移動可能となっているとともに、下面中央部に凹部３０７ｂが形成され、この凹部３０７ｂの中心に試料観察のための小さな開口３０７ｃが形成されている。
【００５４】
また、上板３０７には、図５（ｄ）に示すように、突起部３０７ａと凹部３０７ｂ周縁との間の平面３０７ｄ上に、凹部３０７ｂを挟んで紙面横方向に沿った平行なガイド溝３０７ｅが設けられている。
【００５５】
このような上板３０７は、回転板３０６上に配置された状態で、リング状部材本体６０８ａの他方の面に設けられた計４個のピン６１０がガイド溝３０７ｅに挿入され、上板３０７全体がガイド溝３０７ｅに沿って直線往復移動できるようになっている。
【００５６】
つまり、回転板３０６、リング状部材６０８及び上板３０７の関係は、回転板３０６に対してリング状部材６０８がガイド溝３０６ｄに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられると共に、リング状部材６０８に対して上板３０７がガイド溝３０７ｅに沿ってリング状部材６０８の移動方向と直交する方向に直線往復可能となっている。
【００５７】
以上記した図５記載の変形例では、ガイド部材３０９，３１０の代わりに、ピン６０９、６１０を用いるようにしたので、低コストで構成することが可能である。
【００５８】
次に、図６は、図３における回転板３０６、上板３０７、リング状部材３０８及び一対のガイド部材３０９及び３１０を変形したものを示している。
【００５９】
回転板７０６は、図６（ａ）に示すように、上面の外周縁部に沿って、突壁７０６ｂが形成され、また、突壁７０６ｂと開口７０６ａ周縁との間の平面７０６ｃより１段低い平面上で、開口７０６ａの両側に紙面縦方向に沿った平行なガイド溝７０６ｄが設けられている。ガイド溝７０６ｄは、開口７０６ａから連なって形成されているため、片側が紙面上下２箇所に分断され、両側合わせて４箇所となっている。
【００６０】
回転板７０６上には、移動規制部材としてのリング状部材７０８を介して、上板７０７が配置されている。
【００６１】
リング状部本体７０８ａには、図６（ｅ）に示すように、リング状部材７０８の下面側より、段付ピン７０９が４個圧入されている。
【００６２】
４個の段付ピン７０９の下側７０９ａは、図６（ｃ）に示すように、回転板７０６の平行なガイド溝７０６ｄに挿入されるもので、この状態で、リング状部材７０８は、ガイド溝７０６ｄに沿って直線往復移動できるようになっている。
【００６３】
４個の段付ピン７０９の上側７０９ｂは、後述する上板７０７の平行なガイド溝７０７ｅに挿入可能なように構成されている。
【００６４】
上板７０７は、下部の外周縁部に沿って回転板７０６の平面７０６ｃに摺動可能な突起部７０７ａが形成され、回転板７０６上で２次元方向に移動可能になっているとともに、下面中央部に凹部７０７ｂが形成され、この凹部７０７ｂの中心に試料観察のための小さな開口７０７ｃが形成されている。
【００６５】
また、上板７０７には、図６（ｄ）に示すように、突起部７０７ａと凹部７０７ｂ周縁との間の平面７０７ｄ上に、凹部７０７ｂを挟んで、紙面横方向に沿った平行なガイド溝７０７ｅが設けられている。ガイド溝７０７ｅは片側が紙面左右２箇所に分断され、両側合わせて４箇所となっている。
【００６６】
このような上板７０７は、回転板７０６上に配置された状態で、リング状部本体７０８ａに設けられた計４個のピン７０９の上側７０９ｂがガイド溝７０７ｅに挿入され、上板７０７全体がガイド溝７０７ｅに沿って直線往復移動できるようになっている。
【００６７】
つまり、回転板７０６、リング状部材７０８及び上板７０７の関係は、回転板７０６に対してリング状部材７０８がガイド溝７０６ｄに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられると共に、リング状部材７０８に対して上板７０７がガイド溝７０７ｅに沿ってリング状部材７０８の移動方向と直交する方向に直線往復移動可能になっている。
【００６８】
以上記した図６記載の変形例では、ガイド部材３０９、３１０の代わりに４個の段付ピン７０９を用いるようにしたので、図５記載の変形例より更に、低コストで構成することが可能である。
【００６９】
その他、上板の移動を規制する方法はどのような方法を採用しても構わず、対物レンズの光軸に対して垂直な平面内におけるほぼ垂直な２軸方向（例えば、上記のようなＸＹ方向）に上板が移動するような構成であれば良い。
【００７０】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施形態を説明する。
【００７１】
図７は、本発明が適用される顕微鏡ステージ３の概略構成を示す図で、図７（ａ）は顕微鏡ステージ３を上面から見た図、図７（ｂ）は顕微鏡ステージ３の側断面図である。
【００７２】
なお、図７において、ステージ受け３０１、基板３０２、心出しネジ３０３ａ、３０３ｂ、プランジャー３０４、ラジアルベアリング３０５、リング状部材３０８、同リング状部材３０８に設けられたガイド部材３０９、３１０については、第１の実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。
【００７３】
この場合も、基板３０２に対してラジアルベアリング３０５を介して回転板４０６が設けられている。この回転板４０６は、基板３０２の中心を回転中心として回転自在に支持されている。
【００７４】
回転板４０６上には、リング状部材３０８を介して上板４０７が配置されている。上板４０７は、下面の外周縁部に沿って形成される突起部４０７ａが回転板４０６上の平面４０６ｃに摺動されることで、対物レンズ７の光軸に対して直交する平面内で２次元的に位置調整されるようになっている。また、リング状部材３０８の一方の面に互いに平行に取付けられた一対のガイド部材３０９が、回転板４０６に設けられたガイド溝４０６ｄに挿入されることによって、リング状部材３０８は紙面に垂直な方向に移動可能である。また、リング状部材３０８の他方の面に互いに平行に取付けられた一対のガイド部材３１０が、上板４０７に設けられたガイド溝４０７ｅに挿入されることによって、リング状部材３０８に対して上板４０７が紙面左右方向に移動可能になっている。
【００７５】
これにより、第１の実施の形態と同様に、上板４０７は対物レンズ７の光軸９に対して直交する平面内で、回転板４０６に対して同じ角度を保ったまま２次元的に移動可能である。この場合、回転板の平面４０６ｃと、この平面４０６ｃに摺動される上板４０７の突起部４０７ａとの間には、グリースなどの潤滑材が塗布され、上板４０７を適切な力量で滑動できるようになっているのも第１の実施の形態と同様である。
【００７６】
上板４０７には、リング状部材３０８のガイド部材３０９の移動方向（すなわち紙面に垂直な方向）と平行に伸びた長溝４０７ｂと、リング状部材３０８のガイド部材３１０の移動方向（すなわち紙面左右方向）と平行に伸びた長溝４０７ｃが形成されている。
【００７７】
回転板４０６には、対物レンズ７の光軸９に対して直交する平面内で、上板４０７を直交する２方向へ駆動するための第１および第２の駆動機構４０１、４０２が取付けられている。このうち、第１の駆動機構４０１は、上板４０７を、ガイド部材３０９の移動方向に駆動するもので、第２の駆動機構４０２は、上板４０７を、ガイド部材３１０の移動方向に駆動するものである。これら第１および第２の駆動機構４０１、４０２は、同じ構造をなすものであることから、これらを図８を用いて説明する。
【００７８】
図８において、４５１は回転板４０６上に固定される固定ブロックで、この固定ブロック４５１には、回転可能で、かつ軸方向には移動しないように送りつまみ４５２が支持されている。この送りつまみ４５２には、送りねじ部４５２ａが設けられている。
【００７９】
送りつまみ４５２の送りねじ部４５２ａには、固定ブロック４５１に対して一方向に駆動される可動ブロック４５３が設けられ、送りつまみ４５２の回転により可動ブロック４５３が直線往復駆動されるようになっている。
【００８０】
固定ブロック４５１には、送りねじ部４５２ａの両側対称な位置に配置される一対のガイドピン４５４が固定されている。これらガイドピン４５４は、送りつまみ４５２を回転させたとき、可動ブロック４５３全体が回転することなく直線移動できるようにするためのもので、可動ブロック４５３に設けられたガイド穴４５３ａに挿通されている。この場合、これらガイドピン４５４の配置方向は、送りねじ部４５２ａの軸方向と正確に合致している。また、これらガイドピン４５４には、固定ブロック４５１と可動ブロック４５３との間で突っ張る方向（伸長方向）に働く圧縮コイルバネ４５６が設けられている。これら圧縮コイルバネ４５６は送りつまみ４５２に設けられた送りねじ部４５２ａでのガタ付きを抑制する目的で用いられている。なお、本実施の形態では、伸長方向に働く圧縮コイルバネ４５６としたが、逆方向に働く引張コイルバネとしてもよい。
【００８１】
可動ブロック４５３上には、２本の係合ピン４５５が直立して設けられている。これら係合ピン４５５は、上板４０７に設けられた長溝４０７ｂ（または長溝４０７ｃ）と係合されるものである。
【００８２】
このような構成において、第１の駆動機構４０１では、可動ブロック４５３に設けられた２本の係合ピン４５５が上板４０７に設けられた長溝４０７ｃに係合され、また、第２の駆動機構４０２では、可動ブロック４５３に設けられた２本の係合ピン４５５が上板４０７に設けられた長溝４０７ｂに係合される。
【００８３】
この状態から、第２の駆動機構４０２の送りつまみ４５２を回転させると、可動ブロック４５３が紙面左右方向に駆動され、可動ブロック４５３に固定された２本の係合ピン４５５と長溝４０７ｂで係合されている上板４０７に対して紙面左右方向への駆動力が伝達される。
【００８４】
この場合、上板４０７に設けられた２つのガイド溝４０７ｅの方向と可動ブロック４５３の駆動方向とがまったく同じ方向であるため、送りつまみ４５２を回転させた場合、上板４０７のみが紙面左右方向に駆動され、リング状部材３０８は駆動されず、回転板４０６に対して静止したままの状態である。
【００８５】
この際、第１の駆動機構４０１の２本の係合ピン４５５と係合する上板４０７の長溝４０７ｃは、第２の駆動機構４０２の送りつまみ４５２の送りねじ部４５２ａとまったく同じ方向に配置されているので、第２の駆動機構４０２の送りつまみ４５２を回転操作して上板４０７を紙面左右方向に移動させる際に、第１の駆動機構４０１の２本の係合ピン４５５と上板４０７の長溝４０７ｃが、その駆動の障害となることはなく、スムーズな駆動動作が可能である。
【００８６】
次に、第１の駆動機構４０１の送りつまみ４５２を回転させると、可動ブロック４５３が図７（ｂ）で紙面垂直方向に駆動され、可動ブロック４５３に固定された２本の係合ピン４５５と長溝４０７ｃで係合されている上板４０７に対して図７（ｂ）で紙面垂直方向への駆動力が伝達される。
【００８７】
この場合、上板４０７に設けられた２つのガイド溝４０７ｅの方向と可動ブロック４５３の駆動方向とが直交する方向であるため、第１の駆動機構４０１の送りつまみ４５２を回転した場合、上板４０７のみでなく上板４０７の２つのガイド溝４０７ｅに挿入されているリング状部材３０８側のガイド部材３１０とともにリング状部材３０８が紙面垂直方向に駆動される。
【００８８】
この際、第２の駆動機構４０２の２本の係合ピン４５５と係合する上板４０７の長溝４０７ｂは、第１の駆動機構４０１の送りつまみ４５２の送りねじ部４５２ａとまったく同じ方向に配置されているので、第１の駆動機構４０１の送りつまみ４５２を回転操作して上板４０７を図７（ｂ）で紙面垂直方向に移動させる際に、第２の駆動機構４０２の２本の係合ピン４５５と上板４０７の長溝４０７ｂがその駆動の障害となることはなく、スムーズな駆動動作が可能である。
【００８９】
従って、このような構成とすれば、観察試料２の観察位置の調整を行う際に、上板４０７の移動を第１の駆動機構４０１と第２の駆動機構４０２によってそれぞれ直交する方向に独立して調整することで行うようにし、さらに、これら第１および第２の駆動機構４０１、４０２として、送りねじ部４５２ａを有する駆動機構を採用したため、送りつまみ４５２による精密かつスムーズな上板の送りが可能となり、高倍率の対物レンズを用いた観察においても、観察試料の目的とする場所を視野中心にもってくるという操作を非常に簡単に行うことができる。
【００９０】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施形態を説明する。
【００９１】
図９は、本発明が適用される顕微鏡ステージ３の概略構成を示すもので、図９（ａ）は顕微鏡ステージ３を上面から見た図、図９（ｂ）は顕微鏡ステージ３の側断面図である。
【００９２】
この場合、第３の実施の形態においては、上板４０７を駆動する第１および第２の駆動機構５０１、５０２のみが第２の実施の形態の場合と異なっており、その他の、ステージ受け３０１、基板３０２、心出しネジ３０３ａ、３０３ｂ、プランジャー３０４、ラジアルベアリング３０５、回転板４０６、上板４０７、リング状部材３０８、同リング状部材３０８に設けられたガイド部材３０９、３１０については、第２の実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。
【００９３】
この場合も、回転板４０６には、上板４０７を直交する２方向へ駆動するための第１および第２の駆動機構５０１、５０２が取付けられている。このうち、第１の駆動機構５０１は、上板４０７を、ガイド部材３０９の移動方向に駆動し、第２の駆動機構５０２は、上板４０７を、ガイド部材３１０の移動方向に駆動する。これら第１および第２の駆動機構５０１、５０２は、同じ構造を有することから、これらを図１０を用いて説明する。
【００９４】
図１０において、回転板４０６上に固定される固定ブロック５５１上には、操作ダイヤル５５２が回転自在に設けられている。操作ダイヤル５５２は、その外周縁部に沿って歯車５５２ａが設けられている。
【００９５】
また、固定ブロック５５１上には、回転部材としての駆動歯車５５３が回転自在に設けられている。この駆動歯車５５３は、操作ダイヤル５５２の歯車５５２ａと噛み合わされている。操作ダイヤル５５２を回転操作すると、この回転に従って駆動歯車５５３が回転する。また、駆動歯車５５３には、回転中心から偏心した位置に駆動ピン５５４が設けられている。この駆動ピン５５４は、上板４０７に設けられた長溝４０７ｂ（または長溝４０７ｃ）と係合される。
【００９６】
このように構成において、第１の駆動機構５０１では、駆動歯車５５３に設けられた駆動ピン５５４が上板４０７に設けられた長溝４０７ｃに係合され、また、第２の駆動機構５０２では、駆動歯車５５３に設けられた駆動ピン５５４が上板４０７に設けられた長溝４０７ｂに係合される。
【００９７】
そして、この状態から第１および第２の駆動機構５０１、５０２の操作ダイヤル５５２を回転操作すると、駆動ピン５５４によって上板４０７に設けられた長溝４０７ｃおよび４０７ｂを介して上板４０７へ駆動力が伝達される。この時、駆動ピン５５４は円弧状の軌跡を描くため、上板４０７の長溝４０７ｂおよび４０７ｃでは駆動ピン５５４との接触摩擦によって溝側縁の方向に多少の力を受けるが、その摩擦力は僅かであるので、駆動ピン５５４による上板４０７の駆動力は、必ずリング状部材３０８に設けられたガイド部材３０９、３１０の移動方向に作用する。
【００９８】
例えば、第２の駆動機構５０２の操作ダイヤル５５２を回転操作した場合、駆動ピン５５４からの駆動力は、上板４０７をガイド部材３１０の移動方向（すなわち紙面左右方向）に駆動させるように作用する。この場合、駆動ピン５５４の回転によって発生する長溝４０７ｂ側縁部との摩擦力によって上板４０７を図９（ｂ）で紙面垂直方向に移動させようとする力が作用するが、この時の力は回転板４０６に対してガイド部材３０９を図９（ｂ）で紙面垂直方向に移動させるだけの大きなものでないため、上板４０７をガイド部材３１０の移動方向へのみ駆動させるようになる。
【００９９】
同様に、第１の駆動機構５０１の操作ダイヤル５５２を回転操作した場合は、駆動ピン５５４からの駆動力は、上板４０７をガイド部材３０９の移動方向（すなわち図９（ｂ）で紙面垂直方向）に駆動させるように作用する。
【０１００】
従って、このような構成によっても、第２の実施の形態と同様な動作を得ることができ、さらに、上述した第２の実施の形態における第１および第２の駆動機構４０１、４０２よりも簡単な構成で、上板４０７をそれぞれ独立して直交する２方向へ駆動することが可能であり、トータルとしての顕微鏡ステージのコストも低減することができる。
【０１０１】
なお、上述した実施の形態では、倒立型金属顕微鏡に適用した場合について説明したが、正立型顕微鏡にも同様に適用することができる。
【０１０２】
図１１は、以上の第１〜第３の実施の形態におけるステージを正立顕微鏡に適用した場合の概略構成を示す図である。
【０１０３】
ここでは、図１の倒立型金属顕微鏡に適用した場合のステージ受け３０１の代わりに、後述のステージ受け８０６が使用される。ステージ受けを除く顕微鏡ステージ部分は、図１及び図２に示した顕微鏡ステージ３と何ら変わり無い。
【０１０４】
図１１において、参照符号８０１は顕微鏡本体（鏡体）、参照符号８０２はハロゲンランプや水銀などによる透過照明用光源である。透過照明用光源８０２からの光束は、鏡体８０１のベース部８０１ａを通って、ベース部８０１ａに内蔵された折り返しミラー８０３によって鉛直上向きに偏向される。
【０１０５】
鏡体の垂直部８０１ｂには焦準ハンドル８０４によって上下駆動される焦準ガイド８０５が設けられ、この焦準ガイド８０５にはステージ受け８０６を介して顕微鏡ステージ８０７が装着されている。顕微鏡ステージ８０７の上には、観察試料８０８が載置されている。
【０１０６】
ステージ受け８０６の下部先端には、コンデンサレンズ８０９が装着され、鉛直上向きの透過照明光束を観察試料８０８に集光照射している。
【０１０７】
一方、鏡体８０１のアーム先端８０１ｃにはレボルバー８１０が装着され、レボルバー８１０には複数の対物レンズの１つの対物レンズ８１１が択一的に光軸８１２上に配置されている。参照符号８１３は、鏡体８０１のアーム先端部８０１ｃの上に装着された偏光観察用中間鏡筒、参照符号８１４はこの偏光観察用中間鏡筒８１３の上に装着される鏡筒、参照符号８１５は鏡筒８１４に装着された接眼レンズを示している。
【０１０８】
観察試料８０８からの光束は、対物レンズ８１１に入射後に平行光束となって、鏡筒８１４に内蔵された図示しない結像レンズによって、接眼レンズ８１５の焦点面に結像され、観察者の目に到達して、観察者によって観察される。
【０１０９】
また、上述した実施の形態では、回転板上に第１の駆動機構と第２の駆動機構を装着したものと、装着しないものを別々に述べたが、第１の駆動機構と第２の駆動機構を装着したものについても、第１の駆動機構と第２の駆動機構を使用者の好みに応じて取外せば、上板に直接手を触れて操作することで上板に載置された観察試料を移動させることが可能であり、これら２通りの状態を使用者の好みにあわせて容易に選択することが可能である。また、上述した実施の形態では、移動規制部材としてリング状部材にガイド部材を設けるようにしたが、回転板と上板にそれぞれ凸状のガイド部を設けてリング状部材にはガイド溝を形成するようにしてもよい。
【０１１０】
また、上述した実施の形態では、回転板の回転のためにラジアルベアリング３０５を用いるようにしたが、基板３０２と回転板３０６，４０６，７０６との間で摺動させるようにしても良い。この場合は、間にグリースなどの潤滑材を塗布すれば、滑らかな回転が可能である。
【０１１１】
上記の各実施の形態から下記の発明が抽出できる。
【０１１２】
本発明の第１局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする。
【０１１３】
第１の局面に係る顕微鏡ステージにおいて、下記のような実施態様が好ましい。
【０１１４】
（１）　前記移動規制部材は、前記平面上の第１の方向と前記平面上であって、前記第１の方向とほぼ直交する第２の方向とに、前記上板の移動を規制すること。
【０１１５】
（２）　対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第１の駆動機構と、前記第１の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第２の駆動機構とを更に具備すること。
【０１１６】
（３）　（２）において、前記第１の駆動機構および前記第２の駆動機構は、固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【０１１７】
（４）　（２）において、前記第１の駆動機構および第２の駆動機構は、固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【０１１８】
（５）　前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板を更に具備すること。
【０１１９】
（６）　（５）において、前記回転板は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第１の駆動機構と、前記第１の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第２の駆動機構とを具備すること。
【０１２０】
（７）　（６）において、前記第１の駆動機構および前記第２の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【０１２１】
（８）　（６）において、前記第１の駆動機構および第２の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【０１２２】
（９）　（５）において、前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有すること。
【０１２３】
本発明の第２の局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、観察試料が載置され、且つ前記回転板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする。
【０１２４】
第２の局面に係る顕微鏡ステージにおいて、下記のような実施態様が好ましい。
【０１２５】
（１）　前記移動規制部材は、前記平面上の第１の方向と前記平面上であって、前記第１の方向とほぼ直交する第２の方向とに、前記上板の移動を規制すること。
【０１２６】
（２）　対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第１の駆動機構と、前記第１の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第２の駆動機構とを更に具備すること。
【０１２７】
（３）　（２）において、前記回転板は、前記第１の駆動機構と、前記第２の駆動機構とを具備すること。
【０１２８】
（４）　（３）において、前記第１の駆動機構および前記第２の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【０１２９】
（５）　（３）において、前記第１の駆動機構および第２の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【０１３０】
（６）　前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有すること。
【０１３１】
本発明の第３の局面に係る顕微鏡は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする。
【０１３２】
本発明の第４の局面に係る顕微鏡は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、観察試料が載置され、且つ前記回転板上で２次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の２つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする。
【０１３３】
本発明の１局面に係る顕微鏡ステージによれば、顕微鏡光学系に対する観察試料の角度を回転板を回転させることによって設定し、回転板で設定した角度を保ったまま上板を移動させることができるので、観察試料の見たい場所を視野の中に簡単に移動させることができる。
【０１３４】
また、本発明の１局面に係る顕微鏡ステージによれば、観察試料の観察位置の調整を行う際に、上板の移動を第１の駆動機構と第２の駆動機構によってそれぞれ直交する方向に独立して調整することができ、この場合、固定ブロックに設けられた可動体の直線移動量または回転部材の回転量に応じて精密かつスムーズな上板の送りが可能にできる。
【０１３５】
さらに、本発明の１局面に係る顕微鏡ステージによれば、基板に対して回転板が回転しないように固定するクランプ機構を設けたので、観察試料を見たい場所に位置決めする際に、観察試料の角度が不意に変わらないよう回転板を固定したうえで、回転板に対して上板を移動させることが可能である。
【０１３６】
さらに、本発明の１局面に係る顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡によれば、金属組織試料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、しかも、顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸方向のスペースを最小限に抑えたコンパクトな構成としていることで、ステージの厚さ方向寸法に大きな制限のある倒立顕微鏡に最適に組み合わせることができる。また、顕微鏡ステージは、中央に大きな開口部を設けるようにしているので、対物レンズを切り換える際にステージ中央部に大きな逃げを必要とする倒立型顕微鏡についても最適に組み合わせて用いることができる。
【０１３７】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【０１３８】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【０１３９】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の実施の形態によれば、正立型顕微鏡、倒立型顕微鏡を問わず、金属組織資料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、かつステージの下面に大きな開口スペースを必要とする倒立顕微鏡にも組み合わせることが可能なコンパクトな形状を有し、しかも観察試料の任意の位置を回転中心付近に移動可能にした顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の倒立型金属顕微鏡の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態に用いられる回転板、リング状部材および上板の構成を説明するための図。
【図４】第１の実施の形態に用いられる回転クランプ機構の概略構成を示す図。
【図５】第１の実施の形態の変形例を示す図。
【図６】第１の実施の形態の他の変形例を示す図。
【図７】本発明の第２の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図８】第２の実施の形態に用いられる第１および第２の駆動機構の概略構成を示す図。
【図９】本発明の第３の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図１０】第３の実施の形態に用いられる第１および第２の駆動機構の概略構成を示す図。
【図１１】本発明の各実施の形態における顕微鏡ステージを正立顕微鏡に適用した場合の概略構成を示す図。
【符号の説明】
１…顕微鏡本体（鏡体）、１ａ…前側固定部、１ｂ…後側固定部、２…観察試料、３…顕微鏡ステージ、４…落射照明光源、５…投光管、６…ミラーユニット部、６ａ…ハーフミラー、７…対物レンズ、８…レボルバー、９…光軸、１０…結像レンズ、１１…反射ミラー、１２…観察鏡筒、１３…接眼レンズ、１４…焦準ハンドル、３０１…ステージ受け、３０１ａ…開口、３０１ｂ…肉厚部、３０１ｃ、３０１ｄ…取付面、３０１ｇ…平面部、３０２…基板、３０２ａ…開口、３０２ｂ…テーパ部、３０３ａ、３０３ｂ…心出しネジ、３０４…プランジャー、３０５…ラジアルベアリング、３０５ａ…外輪、３０５ｂ…内輪、３０６ａ…開口、３０６…回転板、３０６ｂ…突壁、３０６ｃ…平面、３０６ｄ…ガイド溝、３０６ｅ…薄肉部、３０７…上板、３０７ｅ…ガイド溝、３０７ａ…突起部、３０７ｂ…凹部、３０７ｃ…開口、３０７ｄ…平面、３０８…リング状部材、３０８ａ…リング状部本体、３０９…ガイド部材、３１０…ガイド部材、３１１…バーニヤ目盛、３１３…目盛台、３１３ａ…ピン、３１４…クランプ台、３１４ａ…長溝、３１４ｂ…突壁、３１４ｃ…長孔、３１４ｄ…ネジ部、３１５…クランプ軸、３１６…クランプピン、３２１…ボルト、３２２…固定環、３２３…固定環、４０１…第１の駆動機構、４０２…第２の駆動機構、４０６…回転板、４０６ｃ…平面、４０６ｄ…ガイド溝、４０７…上板、４０７ａ…突起部、４０７ｅ…ガイド溝、４０７ｂ…長溝、４０７ｃ…長溝、４５１…固定ブロック、４５２…送りつまみ、４５２ａ…送りねじ部、４５３…可動ブロック、４５３ａ…ガイド穴、４５４…ガイドピン、４５５…係合ピン、４５６…圧縮コイルバネ、５０１…第１の駆動機構、５０２…第２の駆動機構、５５１…固定ブロック、５５２…操作ダイヤル、５５２ａ…歯車、５５３…駆動歯車、５５４…駆動ピン、６０８…リング状部材、６０８ａ…リング状部材本体、６０９…ピン、６１０…ピン、７０６…回転板、７０６ｂ…突壁、７０６ａ…開口、７０６ｃ…平面、７０６ｄ…ガイド溝、７０７…上板、７０７ｅ…ガイド溝、７０７ａ…突起部、７０７ｂ…凹部、７０７ｃ…開口、７０７ｄ…平面、７０８…リング状部材、７０８ａ…リング状部本体、７０９…段付ピン、７０９ａ…下側、７０９ｂ…上側、８０１…鏡体、８０１ａ…ベース部、８０１ｂ…垂直部、８０１ｃ…アーム先端部、８０２…透過照明用光源、８０３…ミラー、８０４…焦準ハンドル、８０５…焦準ガイド、８０７…顕微鏡ステージ、８０８…観察試料、８０９…コンデンサレンズ、８１０…レボルバー、８１１…対物レンズ、８１２…光軸、８１３…偏光観察用中間鏡筒、８１４…鏡筒、８１５…接眼レンズ。
【図１】
2004004677.tif 000003
【図２】
2004004677.tif 000004
【図３】
2004004677.tif 000005
【図４】
2004004677.tif 000006
【図５】
2004004677.tif 000007
【図６】
2004004677.tif 000008
【図７】
2004004677.tif 000009
【図８】
2004004677.tif 000010
【図９】
2004004677.tif 000011
【図１０】
2004004677.tif 000012
【図１１】
2004004677.tif 000013