Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】一切の文字操作の手間なしに携帯電話から情報提供サービス加入依頼の申し込みができ、即時に情報提供が受けられることを可能にする。情報提供者側が情報依頼者個々を管理する手間なしに効率よく最新の情報提供が可能な環境を構築する。【解決手段】情報依頼側では、携帯電話用の電子メール自動発信補助機器の接続だけで、情報依頼の申し込みを可能にする。受付側では情報依頼者メールアドレス管理システムにより、依頼受付および依頼者のメールアドレス管理を自動化することで受付の手間を省く。情報提供者は携帯電話を使用により自ら提供情報を更新し、その案内用の通知メールを作成し、その送信をメールアドレス管理システムへ指示することで提供情報更新の案内を通知することができる。結果、情報提供者は個々の情報依頼者を意識することなく通知情報が情報依頼者全員に届けられ、常に最新の情報を提供できる。【選択図】    図１
2004320699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
携帯電話に自動メール送信機能を付加する補助機器を使用してメール送信を行う機能と、そのメールに対する自動返信を行う機能と、その送信元のメールアドレスを保管する機能と、提供したい情報を携帯電話から編集する機能と、保管されたメールアドレスに対して通知するメールを携帯電話から編集する機能と、その通知メールを一斉に送信する機能と、を使用して、情報を依頼する側と情報を提供する側が即時に情報提供サービス加入の合意確認ができ、更に、情報を提供する側が自ら最新の情報を編集し、情報を依頼する側に提供できる情報提供サービス形態
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
携帯電話の電子メール機能を使用した情報提供環境に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子メールにて情報を得る場合、いわゆる会員として登録する方法が主となっており、その登録作業のため数個から数十個の項目を登録する必要があり、初期段階で手間がかかる。契約なしに送付される情報メールは無作為に送信されるもので、受信者側が必要としないものまで送信される。またホームページ等の提供情報を最新に保つために多くの手間と時間がかかる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
情報依頼者が複雑な処理を行うことなく目的の情報提供者に情報提供サービスへの加入依頼ができ、更に即座に情報提供開始の確認でき、かつ、情報提供側が負担なく最新の情報提供を継続できる情報サービス環境を構築すること。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
初期の情報提供サービス加入依頼時に、携帯電話と携帯電話に対してメールを送信させる補助機器を使用し依頼者の手間を軽減する。そのメールに対して即時にメールを返信し、かつ発信元メールアドレスを記憶する仕組みを準備する。更に提供者側が提供したい情報を自ら編集し、その案内用の通知メールを作成し、記憶されたメールアドレス宛てに、一斉にその通知メールを送信できる機能を準備することにより可能とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
実施の形態について図面を参照して説明する。Ａは情報依頼者の携帯電話である。Ｂは情報提供者が用意する携帯電話メール自動発信用補助機器である。Ｃは情報提供者が利用するメールアドレス管理システムである。Ｄは情報依頼者のメールアドレスが登録されるデータベースである。Ｅは情報提供者が提供する情報である。Ｆは情報提供者の携帯電話である。
【０００６】
ＢはＡに接続されると、Ａに対してＣにメールを自動送信するように指示する機能が持たされている。情報依頼者はＢの機能と、Ｂを使用することでＡから送信されるメールが、情報提供サービスへの加入申し込みであることに合意したうえで、ＢをＡに対して使用（携帯電話ＡにＢを接続）する。結果ＡからＣにメールが送信される。
【０００７】
ＣはＡからのメールを受信すると、ＡのメールアドレスをＤに記憶させる。同時にＡに対してＥの場所（ＵＲＬ）を通知したメールを返信する。
【０００８】
情報依頼者は返信メールをＡで受信することにより、情報提供サービス加入依頼が受理されたことを確認し、Ｅの場所を知ることができる。同時にその時点からＥの情報を参照することが可能になる。
【０００９】
情報提供者が提供情報を更新する場合、まず情報提供者はＦを使用してＥの情報を変更する。更に情報提供者はＦを使用して提供情報が更新された主旨の通知メールを作成する。その上でＣに指示して情報依頼者に通知用のメールを一斉送信するよう指示する。このときＣはＤを参照することで各情報依頼者の携帯電話Ａに対して、通知メールを送信する。このメールを参照することで、情報依頼者は常に最新の情報を得ることが可能になる。
【００１０】
【発明の効果】
以上により情報依頼者は自身の携帯電話に携帯電話メール自動発信用補助機器を接続するだけで、すべての処理がなされ、情報の提供を受けることができる。情報提供者は依頼受付に対してはなにも手間をかけずに依頼者の情報提供サービス加入への受付が可能になる。また、提供情報を更新し、情報依頼者にその案内通知を送付したい場合にも、メールアドレス管理システムに対して指示を出すだけでそれが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施方法を示した説明図である。
【符号の説明】
Ａ  情報依頼者の携帯電話
Ｂ  メール自動発信補助機器
Ｃ  メーアドレス管理システム
Ｄ  情報依頼者のメールアドレスが登録されたデータベース
Ｅ  情報提供者の提供する情報
Ｆ  情報提供者の携帯電話
【図１】
2004320699.tif 000003
(57)【要約】【課題】エレクトレットコンデンサーマイクを使用した入力回路を用いた音声によるリモコンの出来る照明装置の場合、マイクロフォン回路で入力信号を得るために流さなければならないバイアス電流により、音声入力待ちの時に電力を消耗し、電源を電池からとった場合は、照明器具の使用可能時間が短くなっていた。【解決手段】一チップマイクロコントローラを用いて、エレクトレットコンデンサーマイクの動作の為に流すバイアス電流を間歇的に流すことにより、通電に休止時間を設け電池の電力を節約することによって、電源を電池とした場合の照明器具の使用時間を延ばす、又商用電源を使用した場合にも電力の使用を節約し省エネルギー効果がある。【選択図】図１
2004320697.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
音声感知により動作する照明器具に使用するエレクトレットコンデンサーマイクロフォンの入力回路の待機時の電力を低減する回路であり、エレクトレットコンデンサーマイク回路に流すバイアス電流を一チップマイコンによる制御回路から、間歇的に流すことにより、入力待ちの時間に流す、バイアス電流を間歇的に止めることにより電力を節約する回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】音声によるリモコン装置を備えた機器において、音声によるリモコンを可能にする為には、受信側のマイク入力回路を生かしておかなければならず、制御回路以降が待機状態で電力消費が零に近い状態でも入力回路には電流を流し続ける必要があった。
【０００２】このため電源に電池を使用した機器においては、待機中に消耗する電力により、電池が消耗し実際に装置が作動すべき時に電池が消耗していて使用できない場面が生じていた、使用可能時間が短く頻繁な電池交換を必要とし、実用性を阻害していた。
【０００３】本考案は、待機中の電力を節約する為、エレクトレットコンデンサーマイクへのバイアス電流を断続し、通電中に音声信号が入ってきた場合にリモコン回路が作動するようにしている。
【０００４】制御回路に用いた一チップマイコンにてマイクに流すバイアス電流を断続し、電力を節約している。
【０００５】リモコン回路、バイアス電流は一チップマイコンにより制御され、この回路の待機時の電力消費はマイクの電力消費に比べ十分小さい。
【０００６】この結果、通電と休止の比率を１：１としたとき本考案の回路を使用したリモコン装置は従来のリモコン装置の２倍の時間使用可能となる。
【０００７】むろん、商用電源に用いた場合でも、節電効果はある。
本考案は、リモコンのできる照明装置（実用新案公告  昭５８−５０６３７）に応用した場合、音声入力の識別に必要な時間が０．５秒以上持続することを必要としているが、通電を２秒間毎の断続とすれば、２秒間のマイク通電時間のタイミングに音声入力があればリモコン動作し、もし休止時間にあたりでリモコン動作しない場合は再度、音声信号を発することで休止時間を外して、容易にリモコン出来る。
【発明の属する技術分野】
【０００８】本発明は音声によりリモコンの出来る照明装置に用いるマイク入力回路に関するものである
【従来の技術】
【０００９】音声によりリモコンの出来る照明装置において、機器の動作中はエレクトレットコンデンサーマイクに電源回路からバイアス電流を流していた。
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】エレクトレットコンデンサーマイクを使用した入力回路を用いた音声によるリモコンの出来る照明装置の場合、マイクロフォン回路で入力信号を得るために流さなければならないバイアス電流により、音声入力待ちの時に電力を消耗し、電源を電池からとった場合、照明器具の使用可能時間が短くなっていた。
【課題を解決するための手段】
【００１１】一チップマイクロコントローラを用いてエレクトレットコンデンサーマイクの動作の為に流すバイアス電流を間歇的に流すことにより、通電に休止時間を設け電力を節約する。
【発明の実施の形態】
【００１２】本発明のマイク入力節電回路を図面を参照して説明します。
【００１３】図１は本発明の回路を示す図面である。
一チップマイクロコントローラ１は内部に記録されたプログラムに従って、入力、出力のコントロールを行います。
【００１４】一チップマイクロコントローラの出力端子Ａ  ３は記録されたプログラムに従って、出力電流を出したり、止めたりします、通電停止により消費する電力を押える効果があります。
【００１５】エレクトレットコンデンサーマイク７へ供給される電流は抵抗８で制限され、一チップマイクロコントローラの出力端子Ａ  ３から電流が供給される時のみ流れ、このときのみエレクトレットコンデンサーマイクは受信可能となります。
【００１５】音声信号はエレクトレットコンデンサーマイク７で電気信号に変えられ、増幅器９で信号の大きさを一チップマイクロコントローラで処理できる形に処理して入力端子Ａ  ４に入力します、一チップマイクロコントローラは信号が所定の条件を満たせば出力Ｂ  ６をＯＮ／ＯＦＦし、６に接続された光源を点滅させます。
【実施例】
【００１６】図２は音声入力によりリモコン出来る照明装置に組込んだ使用例で、電池の消耗を押え電池の交換時期を延ばすことができます。
【００１７】図３は音声入力によりリモコン出来るスイッチボックスに組み込んだ使用例でスイッチの場所を確認したいときのみ、音声により点灯し位置が確認でき、省エネ効果が発揮される。
【発明の効果】
【００１８】本考案を、リモコンのできる照明装置（実用新案公告  昭５８−５０６３７）に応用した場合、音声信号の入力待ちのときにマイク入力回路の電流による電池の消耗を半分に出来、電池を使っての機器の動作時間を延ばすことが可能となる、商用電源使用の場合もそれなりの省エネ効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマイク入力節電回路
【図２】本発明のマイク入力節電回路を組み込んだ照明機器
【図３】本発明のマイク入力節電回路を組み込んだスイッチボックス
【符号の説明】
図１
１…一チップマイクロコントローラ
２…Ｖｃｃ
３…出力端子Ａ
４…入力端子Ａ
５…Ｇ
６…出力端子Ｂ
７…エレクトレットコンデンサーマイク
８…抵抗
９…マイクアンプ
図２
１０…照明器具
１１…エレクトレットコンデンサーマイク
１２…本考案を含む制御回路
図３
１３…スイッチボックス
１４…エレクトレットコンデンサーマイク
１５…本考案を含む制御回路
【図１】
2004320697.tif 000003
【図２】
2004320697.tif 000004
【図３】
2004320697.tif 000005
(57)【要約】【課題】従来、携帯電話を携帯する時は、ポケットに入れるか、鞄に入れるが、ポケットに入れるとかさばり、邪魔になる事が多い。また、鞄に入れると、マナーモードにしている時、電話が掛かってきた事に、気づきにくいし、鞄から取り出しにくいという問題点があった。【解決手段】本発明は、携帯電話を三つ折りにする事により、携帯電話の縦の長さが短くなり、腕に付けるバンドで腕時計のように、携帯電話を腕に取り付ける事を可能にする物である。携帯電話で電話を掛ける時は、腕に付けるバンドから、ボタン一つで取り外し電話を掛ける。携帯電話を持ち歩く時は、携帯電話を三つ折りにし、腕に取り付けるバンドに取り付けて携帯する。【選択図】        図１
2004320193.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
携帯電話を三つ折りにすることにより、腕時計のように腕に付ける事の出来る、腕時計式携帯電話である。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、携帯電話に関する物である。
【０００２】
【従来の技術】
従来、携帯電話は二つ折りか、折らないタイプの物で、携帯する時は、ポケットか鞄に入れて持ち歩いていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
解決しようとする問題点は、従来、携帯電話を携帯する時は、ポケットに入れるか、鞄に入れるが、ポケットに入れるとかさばり、邪魔になる事が多い。また、鞄に入れると、マナーモードにしている時、電話が掛かってきた事に、気づきにくいし、鞄から取り出しにくいという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、携帯電話を三つ折りにする事により、携帯電話の縦の長さが短くなり、腕に付けるバンドで腕時計のように、携帯電話を腕に取り付ける事を可能にする物である。携帯電話で電話を掛ける時は、腕に付けるバンドから、ボタン一つで取り外し電話を掛ける。携帯電話を持ち歩く時は、携帯電話を三つ折りにし、腕に取り付けるバンドに取り付けて携帯する。
【０００５】
【発明の実施の形態】
携帯電話のディスプレイ部（１）と、本体部（２）と、ダイヤルボタン部（３）をそれぞれ分け、携帯電話を三つ折りにできるようにする。
【０００６】
本体部（２）の背部に電池パック（４）を付け、その電池パック（４）を腕に付けるバンド（５）とワンタッチでジョイントできるようにする。
【０００７】
腕に付けるバンド（５）から携帯電話を取り外す時は、取り外しボタン（６）を押すことにより、バンドから取り外すことができる。
【０００８】
携帯電話を開く時は、ボタン一つで開くことのできるオープンスイッチ（７）を押すことにより、開くことができる。
【０００９】
ディスプレイ部（１）の背部に小窓表示部（８）を付け、日付や時刻等を表示する。
【００１０】
【発明の効果】
本発明により、携帯電話を携帯する時、ポケットに入れて、かさばる事がなくなり、また、鞄に入れていて取り出しにくい事や、マナーモードにしていて、電話が掛かった事に気付かない事もなくなる。
【００１１】
携帯電話を折りたたんで、腕に付けるバンドで腕に付けている時は、小窓表示部に、日付や時刻等が表示されるため、腕時計として使用できる。
【００１２】
携帯電話を三つ折りにする事により、従来の携帯電話よりコンパクトになるため、腕に付けず携帯しても邪魔になりにくい。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の電話取り外し時の斜視図である。
【図２】この発明の電話取り付け時の斜視図である。
【図３】この発明の側面図である。
【符号の説明】
１  ディスプレイ部
２  本体部
３  ダイヤルボタン部
４  電池パック
５  腕取り付けバンド
６  取り外しボタン
７  オープンスイッチ
８  小窓表示部
【図１】
2004320193.tif 000003
【図２】
2004320193.tif 000004
【図３】
2004320193.tif 000005
(57)【要約】【課題】コントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部の組み合わせを限定しないものとし、また個別での管理を可能とする。【解決手段】コントロール部とパワー（モータドライブ）部からなるサーボモータ制御装置において、コントロール部、パワー（モータドライブ）部各々にデータ記憶機能を有することによりコントロール部、パワー（モータドライブ）部を個別管理可能とする。また、コントロール部とパワー（モータドライブ）部とその他の機能を有する部からなるサーボモータ制御装置において、コントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部各々にデータ記憶機能を有することによりコントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部を個別管理可能とする。【選択図】    図１
2004320910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コントロール部とパワー（モータドライブ）部からなるサーボモータ制御装置において、
コントロール部、パワー（モータドライブ）部各々にデータ記憶機能を有することによりコントロール部、パワー（モータドライブ）部を個別管理可能とすることを特徴とするサーボモータ制御装置。
【請求項２】
コントロール部とパワー（モータドライブ）部とその他の機能を有する部からなるサーボモータ制御装置において、
コントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部各々にデータ記憶機能を有することによりコントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部を個別管理可能とすることを特徴とするサーボモータ制御装置。
【請求項３】
コントロール部とパワー（モータドライブ）部からなるサーボモータ制御装置において、
コントロール部、パワー（モータドライブ）部各々にデータ記憶機能を有することによりコントロール部、パワー（モータドライブ）部を個別管理可能とし、コントロール部、パワー（モータドライブ）部の組み合わせを換えることを可能とすることを特徴とするサーボモータ制御装置。
【請求項４】
コントロール部とパワー（モータドライブ）部とその他の機能を有する部からなるサーボモータ制御装置において、
コントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部各々にデータ記憶機能を有することによりコントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部を個別管理可能とし、コントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部の組み合わせを換えることを可能とすることを特徴とするサーボモータ制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はサーボモータ制御装置のデータ記憶構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、サーボモータ制御装置のデータ記憶構成としてはコントロール部でのみデータ記憶機能を有していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平０５−３０４７９５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが従来技術ではコントロール部でのみデータ記憶機能を有し、その他では記憶機能を有していないためコントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部の個別仕様としてのデータは記憶していないためコントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部の組み合わせは限定されてしまっていた。
そこで本発明はコントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部の組み合わせを限定しないものとし、また個別での管理を可能とすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明はコントロール部とパワー（モータドライブ）部とその他の機能を有する部各々にデータ記憶機能を持たせることを特徴とするサーボモータ制御装置とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。図１はサーボモータ制御装置の構成図を示す。
コントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部、各々にデータ記憶機能を有していることで、各々の仕様を各々で保有することが可能となる。
【０００７】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によればコントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部、各々にデータ記憶機能を有していることで、コントロール部、パワー（モータドライブ）部、その他の機能を有する部の組み合わせが限定されない。また各々で仕様を保有しているため各々での保守となるため管理が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】サーボモータ制御装置の構成図。
【符号の説明】
１  サーボモータ制御装置
【図１】
2004320910.tif 000003
(57)【要約】【課題】電気工事業界の電線管工事において、電線管部材を加工せずに工事でき、工事期間の短縮、コストダウン、再利用、リサイクルが可能な電線管、サポート材、保護カバー及びそれらを使った電気工事の施工方法を提供する。【解決手段】そこで本発明では図１に示す、角棒又は丸棒を、円形もしくは多角形（円形、多角形は開口部が有っても無くても良い。）に加工した、電線ケーブルを支持する為の支持部材１とその支持部材を２個以上連結させるための、角棒又は丸棒の１本又は２本以上の連結用部材２で構成される骨組構造を特徴とする電線管を使う事により、上記問題を解決する。【選択図】図１
2004320969.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
角棒又は丸棒を、円形もしくは多角形（円形、多角形は開口部が有っても無くても良い。）に加工した、電線ケーブルを支持する為の支持部材とその支持部材を２個以上連結させるための角棒又は丸棒の一本又は２本以上の連結用部材で構成される骨組構造を特徴とする電線管。
【請求項２】
請求項１記載の電線管を配管又は構造物から固定するために、配管の直径又は構造物の寸法に合わせて作られ、加工する事無く着脱可能なことを特徴とするサポート材。
【請求項３】
ノイズ防止、防塵、防護用に請求項１記載の電線管に取り付けられるフック構造を持つ着脱可能なことを特徴とする保護カバー。
【請求項４】
請求項１記載の電線管、請求項２記載のサポート材、請求項３記載のカバーを使うことにより、工事部材を加工せずに工事ができ、コストダウン、再利用、リサイクルができることを特徴とする電気工事の施工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は電気工事業界の電線管工事において、電線管部材を加工せずに工事でき、コストダウン、再利用、リサイクルが可能な電線管、サポート材、保護カバー及びそれらを使った電気工事の施工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の電気工事における電線管工事を図４で説明する。天井又は構造物からサポート２１を使って電線管２０をダクタ２２で支持している。電線管の途中から電線ケーブル２４を引き出す場合には電線管を短く切り、途中から電線ケーブルを引き出せるようにしている。その場合は新たな電線管サポートが必要となる。
【０００３】
またどうしても、電線・ケーブルを配線する場合に電線管の途中から電線ケーブルを引き出せないために、電線管の先から出して戻るように配線する事になり、戻る分だけ電線ケーブルが余分に必要となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
以上のことより従来の電気工事では電線管及びサポート材を含め電線管部材を加工して使用することになり工事現場での作業が多く、工事工期も長くかかりコスト高であった。
【０００５】
また、電線管部材を加工してしまうので、再利用、リサイクルすることもできなかった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明では図１に示す、角棒又は丸棒を、円形もしくは多角形（円形、多角形は開口部が有っても無くても良い。）に加工した、電線ケーブルを支持する為の支持部材１とその支持部材を２個以上連結させるための、角棒又は丸棒の１本又は２本以上の連結用部材２で構成される骨組構造を特徴とする電線管を使う事により、上記問題を解決する。
【０００７】
図１−ａは丸棒を円形に加工した開口部３の無い電線管、図１−ｂは丸棒を円形に加工した開口部３の有る電線管、図１−ｃは角棒を六角形に加工した開口部３の有る電線管を示す。
【０００８】
開口部３のある構造を持つ本発明の電線管はこの上部開口部から電線ケーブルを直接入れることができ、従来の電線管のように、電線管の片方の口から反対側の口まで電線ケーブルを引き込む作業をする必要が無くさらに作業効率が良くなる。
【０００９】
請求項１記載の電線管は角棒又は丸棒の線材を組み合わせて配管を構成するため、本発明の電線管は骨組構造となり、電線ケーブルを骨組の間の空間から引き出すことが可能となる。要するに電線管を加工する事無く好きな場所から電線ケーブルを引き出すことが可能となり、末端から電線ケーブルを引き出して戻すような工事をする必要も無く余分な電線ケーブルを使う事無く最短ルートで配線が可能となる。
【００１０】
本発明の電線管を固定するために図２に示すサポート材を使う。本発明のサポート材はあらかじめ既存の配管の直径、または角材の大きさに合わせて用意され、現場では加工せずに固定することができる。現場で加工する必要が無く、作業効率を良くすることができる。
【００１１】
ノイズ防止、防塵、防護用に保護が必要なときは保護カバーを取り付ける。保護カバーは図３に示すように、本発明の電線管の連結用部材２にフック１８を使って引っ掛けるため着脱が可能な構造になっている。
【００１２】
以上に述べた通り本発明の電線管部材は加工せずに使用することができ、このことより本発明品は再利用が可能なことを示している。
【００１３】
本発明の電線管等の材質は特に問わないが、再利用、リサイクルする事を考えると、ステンレス、アルミニウム等の錆びない材質が適していると考えられる。
【００１４】
【実施例】
図５に代表的な実施例を示す。図５−ａは丸棒を円形に加工した開口部の有る電線管（防護カバー無し）を使ったものであり、骨組構造の骨組みの間から電線ケーブル２４を自由に引き出すことができることが判る。また電線管のサポートも図５に示すように、配管に取り付けることができる。図５−ｂは保護カバー付きの実施例である。
【００１５】
図５からも判るように本発明は現場での電線管部材を加工せずに使う事ができ、サポートも容易な事から現場作業効率を良くし、工事期間を短縮するこができ、コストダウンにつながる。材料を加工しないで使用するため再利用、リサイクル可能となる。
【００１６】
【発明の効果】
本発明によれば電線管工事現場での作業効率アップ、工事期間の短縮、コストダウン、電線管部材の再利用、リサイクルが可能となり環境に与える影響も最小限にすることができる。
【００１７】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の代表的な電線管の斜視図
【図２】本発明のサポートの斜視図
【図３】本発明の防護カバーの斜視図
【図４】従来の電気工事の斜視図
【図５】本発明の代表的な工事例の斜視図
【符号の説明】
１    電線ケーブル支持部材
２    連結用部材
３    開口部
１０  電線管結合部上部
１１  サポート部
１２  配管結合部
１３  固定用ボルト
１４  配管結合部下部
１７  保護カバー
１８  固定用フック
２４  電線ケーブル
３０  配管
【図１】
2004320969.tif 000003
【図２】
2004320969.tif 000004
【図３】
2004320969.tif 000005
【図４】
2004320969.tif 000006
【図５】
2004320969.tif 000007
(57)【要約】      （修正有）【課題】中空軸の加工を、荒挽き加工、組研磨及び組加工に分けて段階的に行うことにより、高精度加工を行うこと。【解決手段】中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法は、中空軸１を荒挽き加工して第１孔１０を加工する第１工程と、先端１Ａと後端１Ｂのセンタ穴基準で周面１ａの研磨を行う第２工程と、外径面を基準として後端１Ｂの端面と第２孔１１の加工を行う第３工程とよりなる方法である。【選択図】        図１
2004320968.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空軸（１）の周面（１ａ）にマグネット（４）を設け、その先端（１Ａ）の第１孔（１０）にエンコーダ取付軸（６）を別体として取付け、その後端の第２孔に出力軸（１２）を別体として取付けるようにした中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法において、
前記中空軸（１）にエンコーダ取付軸（６）及び出力軸（１２）を取付けない状態で前記中空軸（１）を荒挽き加工した後に前記先端（１Ａ）の第１孔（１０）を前記荒挽き加工よりも高い精度の孔加工を行う第１工程と、
前記第１工程後、前記中空軸（１）に前記エンコーダ取付軸（６）及び出力軸（１２）を取付けた後に、前記先端（１Ａ）及び後端（１Ｂ）のセンタ穴基準で前記周面（１ａ）の研磨を行う第２工程と、
前記第２工程後、前記出力軸（１２）を除去し、前記中空軸（１）の外径面を基準として前記後端（１Ｂ）の端面（１Ｂａ）及び前記第２孔（１１）の内径の加工を行う第３工程と、
からなることを特徴とする中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法に関し、特に、荒挽き、組研磨及び組加工の順番で加工することにより、より高精度の中空軸を製作するための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種のモータエンコーダ等に用いる中空軸としては、社内製作のみであるため、その方法を示す文献名等は開示していないが、荒挽き後に内外周研磨と加工を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、荒挽き後に研磨と加工を中空軸のみ単体で行っていたため、エンコーダ取付軸及び出力軸を前後の孔に取付けた場合の全体の同芯度が出にくく、加工後の中空軸にエンコーダ軸と出力軸を取付けた場合の各軸の芯振れを所定の許容範囲に抑えることが難しく、歩留まりの向上が困難であった。
また、このような高精度加工が困難であるため、特に、エンコーダ取付軸に装着するエンコーダの特性を向上させることが困難であった。
【０００４】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、荒挽き、組研磨及び組加工の順番で加工することにより、より高精度の中空軸を製作するようにした中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明による中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法は、中空軸の周面にマグネットを設け、その先端の第１孔にエンコーダ取付軸を別体として取付け、その後端の第２孔に出力軸を別体として取付けるようにした中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法において、前記中空軸にエンコーダ取付軸及び出力軸を取付けない状態で前記中空軸を荒挽き加工した後に前記先端の第１孔を前記荒挽き加工よりも高い精度の孔加工を行う第１工程と、前記第１工程後、前記中空軸に前記エンコーダ取付軸及び出力軸を取付けた後に、前記先端及び後端のセンタ穴基準で前記周面の研磨を行う第２工程と、前記第２工程後、前記出力軸を除去し、前記中空軸の外径面を基準として前記後端の端面及び前記第２孔の内径の加工を行う第３工程と、からなる方法である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法の好適な実施の形態について説明する。
図１は、本発明による中空軸１を適用したエンコーダ２付きの中空軸を有する回転電動機３の全体構成を示している。
前記中空軸１の周面１ａにはマグネット４が設けられてロータ５が形成され、この中空軸１の先端１Ａの第１孔１０にはエンコーダ取付軸６が別体として嵌入して設けられ、その後端１Ｂの第２孔１１には図３で示される出力軸１２が別体として取付けられている。
【０００７】
前記中空軸１の両端を軸支する一対の軸受２０、２１を有する前蓋２２と後蓋２３は、ステータ２４を有するケース２５の両端に設けられている。
【０００８】
次に、前記中空軸１の加工方法について述べる。
まず、予め中空加工された前記中空軸１に対して、エンコーダ取付軸６及び出力軸１２を取付けない状態、すなわち、図２で示す状態において、全体を荒挽き加工（図２の点線で示す）した後に、先端１Ａの第１孔１０（インロー）を前述の荒挽き加工よりも高い精度で孔加工を行う（第１工程）。
【０００９】
前記第１工程後、前記中空軸１に前記エンコーダ取付軸６及び出力軸１２を取付けた後に、先端１Ａ及び後端１Ｂのセンタ穴基準で前記周面１ａの研磨（組研磨）を行う（第２工程）。尚、この周面１ａは図１に示す軸受等も含めて４箇所であり、マグネット４の接着面とエンコーダ２の取付面とが同じセンタ穴で同時研磨できるものである。
【００１０】
前記第２工程後、前記出力軸１２を中空軸１から除去し、エンコーダ取付軸６は取付けたままで、すでに研磨された中空軸１の周面１ａの外径面を基準として、前記後端１Ｂの端面１Ｂａ（図４で示す）及び前記第２孔１１の内径の加工を行う（第３工程）。
【００１１】
従って、前述のように、中空軸１の荒挽き加工（図２）、組研磨（図３）及び組加工（図４）を行うことにより、加工と研磨を段階を経て行うことにより、高精度で加工を行うことができる。
【００１２】
【発明の効果】
本発明による中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、中空軸の荒挽き加工を行った後に一方の孔の孔加工を行い、この中空軸に出力軸とエンコーダ取付軸を取付けて周面の組研磨を行い、最後に出力軸のみを除去して後端の端面及び他方の孔の孔加工を行うため、中空軸の両端面のセンタ基準で高精度の研磨と加工が行われ、出力軸とエンコーダ取付軸を取付けた場合の中空軸の芯振れが少なく、従来よりも高精度の中空軸を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による中空軸を有する回転電動機用の中空軸加工方法に用いる中空軸を有する回転電動機を示す断面図である。
【図２】本発明の中空軸の荒挽き加工を示す半断面図である。
【図３】本発明の中空軸の組研磨を示す外観図である。
【図４】本発明の中空軸の組加工を示す半断面図である。
【符号の説明】
１    中空軸
１ａ    周面
１Ａ    先端
１Ｂ    後端
６    エンコーダ取付軸
１０    第１孔
１１    第２孔
１２    出力軸
１Ｂａ    端面
【図１】
2004320968.tif 000003
【図２】
2004320968.tif 000004
【図３】
2004320968.tif 000005
【図４】
2004320968.tif 000006
(57)【要約】【課題】固定子の空転防止と簡易なアース構造を兼ね備えたモータを提供する。【解決手段】ボルト４先端を固定子鉄心２の凹部３に係合させ、このボルト４でラグ板５をフレーム１外周に固定しながら、フレーム１と固定子鉄心２の空転を防止する。【選択図】  図１
2004320935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周に凹部を有する固定子鉄心に巻線を施した固定子と、前記固定子鉄心の外周に固定する金属製のフレームと、前記フレームにネジ固定するボルトとを備え、前記ボルト先端を固定子鉄心の凹部に係合させて、固定子とフレームの空転を防止するフレーム付きモータ。
【請求項２】
ボルトでアース端子をフレーム外周に固定した請求項１に記載のフレーム付きモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固定子の空転防止とアース構造を兼ね備えたフレーム付きモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フレームを固定子鉄心に焼バメして、フレームの押圧により固定子鉄心の空転防止としたモータが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平０６−１０５４８７号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のフレームの押圧力のみでは、フレーム内径の寸法バラツキによって押圧力が不足した場合に固定子が空転する可能性があり、出力の大きなモータでは固定子鉄心にフレームを焼きバメ固定した後、共加工により穴をあけ、その穴に連結ピンを圧入して固定子の空転を防止する必要があった。
【０００５】
この連結ピンは圧入すると脱落しない反面、その後固定子に不具合が発生しても固定子とフレームに分解できず再生できなかった。また、ドリルによる穴加工は、位置決めの関係から焼きバメ固定後の工程となり、ドリル加工で発生した切削粉が固定子巻線に付着して異物混入の要因となるなど課題があった。
【０００６】
また、安全対策のためにモータ筐体を接地（フレームグランド）することが求められており、巻線を備えた固定子鉄心とブラケット（あるいはフレーム）を電気的に接続し、ブラケット（あるいはフレーム）と接続が簡易なアース構造が求められている。
【０００７】
本発明はこのような従来の課題を解決するものであり、固定子の空転防止と簡易なアース構造を兼ね備えたモータを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、外周に凹部を有する固定子鉄心に巻線を施した固定子と、前記固定子鉄心の外周に固定する金属製のフレームと、前記フレームにネジ固定するボルトとを備え、前記ボルト先端を鉄心の凹部に係合させて、固定子とフレームの空転を防止する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
上記の課題を解決するために請求項１に記載のフレーム付きモータは、ボルト先端を固定子鉄心の凹部に係合させることで、固定子とフレームの空転を防止する。
【００１０】
また、請求項２に記載のフレーム付きモータは、空転防止用のボルトでアース端子をフレームに固定するので、アース構造を簡素化できる。
【００１１】
【実施例】
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明する。
【００１２】
実施例は、フレームにコアを挿入したフレーム付きモータである。
【００１３】
図１において、アルミ製のフレーム１は、固定子鉄心２の外周に焼バメされ固定されている。この固定子鉄心２は、歯部の外周側に凹部３を設けたものを積層して構成する。固定子鉄心２に巻線（図示せず）が施されて固定子となる。
【００１４】
あらかじめフレーム１に設けたメネジ位置と固定子鉄心２の凹部３の位置とを合せて焼きバメする。焼きバメによる押圧力でフレーム１と固定子鉄心２の保持力はある程度確保できるが、出力トルクの大きなモータの場合には回転方向の保持力が不十分となるため、ボルト４の先端が固定子鉄心２の凹部３と係合するまで締め込む。このとき、アース端子用のラグ板５を一緒にネジ固定すると、フレーム１と固定子鉄心２およびラグ板５が電気的に接続される。
【００１５】
ところで、フレーム１と固定子鉄心２は焼きバメによってある程度の保持力を有しているため、ボルト４およびラグ板５とフレーム１の取付作業を組立工程の最後にすることができる。さらに、ラグ板５に最後にアース線を接続できるため、工程途中で断線する心配がなく、組立作業が容易なシンプル構成となる。
【００１６】
モータ駆動時に固定子巻線に回転トルクが作用するが、ボルト４の先端が固定子鉄心２の凹部３に当たっておりフレーム１との空転を防止できる。
【００１７】
【発明の効果】
上記の実施例から明らかなように本発明によれば、固定子の空転防止と簡易なアース構造を兼ね備えたモータが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例におけるフレーム付きモータの断面図
【符号の説明】
１  フレーム
２  固定子鉄心
３  凹部
４  ボルト
５  ラグ板（アース端子）
【図１】
2004320935.tif 000003
(57)【要約】      （修正有）【課題】信号機が故障した際の手信号員を支援する携帯性及び利便性に優れた音声を提供する。【解決手段】ホイッスル１０にトランシーバーと時報機能を持たせ、帽子、ヘルメット等、頭部の付帯物への助けにより頭部に付帯させることで時間経過の察知と補助員等の連絡を容易にした。【選択図】  図１
2004320076.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド音装置頭部に付帯する物の助けにより頭部に付帯させることのできる、音声を発する装置及び道具である
【請求項２】
セパレートタイプのヘッド音装置音響ソース部を甲とし甲に対し実際に音声を発生するスピーカー部を乙とするミニプラグにより着脱可能なセパレートタイプのヘッド音装置である
【請求項３】
手旗信号支援システム
時報付きトランシーバー付きホイッスルのヘッド音装置である
【発明の詳細な説明】
【００１】
【発明の属する技術分野】
【００２】デジタル無線技術
【００３】各種工業技術
【００４】音響技術
【００６】
【発明が解決しようとする課題】
【００７】
携帯性、利便性にすぐれた音声を提供する
【００８】
ヘッド音のスピーカー部を状況に応じて音漏れ防止型、音質重視型、多機能型などと取替えの出来るようにし、装置の汎用性及びスピーカー部のみの業者の参入など生産性を高める
【００９】
信号機が故障した際の手信号員の作業。つまりホイッスルによる音での周囲への注意を促しながらの両手信号に的確なインターバル性を持たせつつ、交代要員等との交信を可能にする
【０１０】
【課題を解決するための手段】
【０１１】
音声を発する装置もしくは付帯物に、高い摩擦性を持たせ、頭部と付帯物との間に挟み込むことにより、音声を発する装置を頭部に付帯させ、これを「ヘッド音」装置とした
【０１２】
ヘッド音装置の音声出力部分をとりはずし、ミニジャックを設け、スピーカ部にはミニプラグを設け、甲乙の関係を築きそれぞれ「ヘッド音・甲」「ヘッド音・乙」とした
【０１３】
ヘッド音のホイッスルにトランシーバーと時報の機能を持たせる
【発明の実施の形態】
以下，本発明の実施の形態について説明する
（イ）トランシーバーに時報機能を持たせる
（ロ）ホイッスルにアームを固定し、（イ）と組み合わせる
（ハ）装置と頭部付帯物に適度な摩擦力を持たせる
（ニ）本発明品を付帯物と頭部との間に挟みこむ
【０１４】
【発明の効果】
【０１５】邪魔なコードを省くことが出来る
【０１６】汎用性に優れたものを設計可能（ヘルメット、帽子、防寒具、バンド等）になる
【０１７】応用範囲が広い（ラジオ、プレーヤー、楽器、携帯電話等）
【０１８】イヤホン等の使用により、操作部を目で確認しながら初期設定等の作業が楽になった
【０１９】スピーカ部のみが破損した場合に取替えが可能
【０２０】業者の幅が広がる（乙のみの生産）ことで好みのタイプを選ぶことも可能
【０２１】参入業者の幅が広がる事が期待
【０２２】作業の効率化が期待できる
【０２３】手の離せないような危険な現場での支援システムの一部として期待が出来る
【０２４】マラソンなどのトレーニングにも応用が期待
【０２５】サイクリングやレジャーにも応用が期待できる
【図面の簡単な説明】
【図１】当発明の分離可能で日常生活防水型を示した概略図である
【図２】発明の使用状況をイメージした図である
【符号の説明】
１  発明のヘッド音・甲  本体
２  付帯のための高摩擦部分
３  時報、トランシーバー、ミックス切り替えスイッチ
４  ボリューム機能付き電源スイッチ
５  無線用アンテナ（携帯電話兼用）取り付け部分
（ゴムキャップ付き）
６  マイク付きヘッド音・乙
７  専用ヘッド音ホイッスル支持部品
８  長さ調整用ロックダイヤル
９  唇接触信号端子
１０  金属製ホイッスル
１１  専用アンテナ（携帯電話兼用）
１２  合体した状態
【図１】
2004320076.tif 000003
【図２】
2004320076.tif 000004
(57)【要約】【課題】投影レンズとウエハテーブルとの間の水満たしを速やかに行なうことができる液浸リソグラフィーシステムを提供する。【解決手段】投影レンズＰＬとウエハテーブルとの間の空間３に水ＬＱを供給するときに、その空間３の空気を除去（排気）する。【選択図】図２
2004320016.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液浸リソグラフィシステムにおいて、
投影レンズと、
ウエハテーブルとを備え、
前記投影レンズと前記ウエハテーブルとの間の空間に液体を供給するときに、その空間の空気を除去することを特徴とする液浸リソグラフィシステム。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
液浸リソグラフィシステムにおいては、液体（例えば、水）が投影レンズとウエハとの間に配置される。液体は、相対的に圧縮できないので、ウエハの垂直方向（Ｚ，θＸ，θＹ）の動きによって、液体の体積及び圧力が変化する。その液体の圧力変化は、投影レンズへの外乱として作用し、レンズの振動や変形を起こし、その結果として像質を劣化させる可能性もある。さらに、その液体の圧力変化は、液体の光学性能に影響を与え、像質の低下につながる可能性もある。
【特許文献１】国際公開第９９／４９５０４号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
上述のような問題を避け、適切な焦点合わせを維持するために、ウエハテーブルは、投影レンズに対して一定の位置及び方向が維持されるように制御する必要がある。すなわち、これはウエハテーブルをＺ方向、θ-Ｘ方向、及びθ-Ｙ方向に動かすレベリングアクチュエータによって達成される。テーブルの垂直方向の制御に何もエラーが生じれば、浸液に圧力変化が生じ得る。すなわち、レベリングコントロールエラーは、浸液や投影レンズへの外乱を引き起こす。
【０００３】
また、これまで使われてきたオートフォーカスセンサを液浸リソグラフィーシステムセンサとして適用するのが困難であるという、別の問題もある。
さらに、液浸リソグラフィシステムにおいて、投影レンズとウエハとの間に液体が供給され、たいていの場合、ウエハテーブルが投影レンズから離れるときには液体は除去され、さらに露光前に再充填されねばならない。投影レンズの歪みや投影レンズへの外乱を最小限に抑えるためには、液体の充填中に、液体の圧力変化をできるだけ小さくすることが望まし。さらに、液体の充填は、できるだけ速やかに行なうことが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、液浸リソグラフィシステムにおいて、投影レンズ（ＰＬ）と、ウエハテーブル（１）とを備え、投影レンズ（ＰＬ）とウエハテーブル（１）との間の空間（３）に液体（ＬＱ）を供給するときに、空間（３）の空気を除去することを特徴とするものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
図１は、本発明の液浸リソグラフィーシステムの一実施形態の主要部側面図である。
本発明においては、露光用の浸液ＬＱが、ウエハと投影レンズＰＬとの間の流体静力学的な、あるいは流体動力学的なベアリングとして使われている。本発明と同様に、現存のウエハテーブル１は低剛性の反重力装置２に支持されている。反重力装置２はウエハテーブル１に掛る重力をキャンセルする。本発明との併用により、反重力装置２は、ウエハテーブル１を投影レンズＰＬの下で無重力状態で浮かせることができる。その結果、ウエハテーブル１を非常に小さい力で動かすことが可能となる。
【０００６】
浸液ＬＱは、一定の体積かつ一定の圧力分布に維持され、浸液ＬＱが本質的に非圧縮性なので、ウエハと投影レンズＰＬとのギャップを維持することができるようになる。例えば、ウエハが投影レンズＰＬに近づくように動き始めたとすると、浸液ＬＱの圧力が上昇し、ウエハテーブル１が押しのけられる。
【０００７】
受動的なフォーカスシステムの性能は完全ではないので、最終的なフォーカス調整のために６自由度のレチクルステージを備えておくのが望ましい。
本発明においては、ウエハと投影レンズＰＬとの間の液体ＬＱはウエハテーブル１のレベリング及びフォーカス動作の制御に使用される。
【０００８】
本発明によれば、付加的なレベリングフォーカスアクチュエータが必要ないので、ウエハテーブルの構成を簡素化できる。
また本発明によれば、投影レンズとウエハとの間の液層を一定の厚さに維持することができるので、ウエハテーブルのレベリングアクチュエータから投影レンズへの外乱での伝達を防止することができる。
【０００９】
また本発明によれば、ウエハのフォーカス、レベリング制御は、受動的に制御されるので、オートフォーカスセンサを省略、あるいは簡素化することができる。
図２は、本発明の別の実施形態の主要部側面図である。
【００１０】
本発明では、小さな真空圧力を使って、投影レンズＰＬとウエハテーブル１との間の空間３への液体ＬＱの充填と同じ割合で、空間３から空気ＡＲを回収するようにしている。基本的なアイデアは、空間３への液体ＬＱの供給と同じ割合で、空間３から空気ＡＲを吸い出す。空気ＡＲを回収する方法の一つは、ピストンアクチュエータを使うことである。断面積が既知のピストンＰの引っ張る速度を制御することで、空気ＡＲの吸引の割合を調整することができる。
【００１１】
本発明によれば、液体を満たすときの液体の圧力変化によって生じる投影レンズへの外乱を低減することができる。
また本発明によれば、大きな圧力変化や投影レンズ及びウエハへの外乱を引き起こすことなく、液体を速やかに充填することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態の投影レンズＰＬ先端付近の主要部側面図である。
【図２】別の実施形態の投影レンズＰＬ先端付近の主要部側面図である。
【符号の説明】
【００１３】
１…ウエハテーブル
２…反重力装置
Ｗ…ウエハ
ＰＬ…投影レンズ
【図１】
2004320016.tif 000003
【図２】
2004320016.tif 000004
(57)【要約】【課題】液体の供給・回収システムを簡素化した液浸リソグラフィーシステムを提供する。【解決手段】供給口１と回収口２とを設けたリング３を投影レンズＰＬを囲むように配置し、そのリング３の回転によって所望の方向に液体ＬＱを流せるようにする。【選択図】図２
2004320017.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液浸リソグラフィシステムにおいて、
投影レンズと、
一対の液体供給口と液体回収口とが取り付けられ、前記投影レンズを囲むように配置されたリングとを備え、
ウエハの移動方向が変わったときに、前記リングが回転する液浸リソグラフィシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、投影光学系とウエハとの間の空間に液体を供給して、投影光学系と液体を介してウエハを露光する液浸リソグラフィーシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体がレンズとウエハとの間の空間に供給される液浸リソグラフィーシステムには、所望のエリアに液体を供給するための少なくとも一つの供給口と、レンズの下を通り過ぎた液体を回収するための少なくとも一つの回収口を備えており、液体をウエハの移動方向と同じ方向に流すことが望ましい場合には、レンズの周りに複数の供給口と複数の回収口が配置される。そして、ウエハステージの移動方向の変化に合わせて、ある供給口と回収口の組み合わせを、別の供給口と回収口の組み合わせに切り替えて液体の供給と回収とを行うことになる。
【特許文献１】国際公開第９９／４９５０４号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
複数の供給口と回収口の切替えは、浸液に一時的な外乱を与えることになる。また、ウエハステージ(ウエハ)がいろいろな方向に移動することができるにもかかわらず、液体の流れは、いくつか（２つ、又は４つなど）の方向に限られてしまう可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明においては、液浸リソグラフィシステムにおいて、投影レンズ（ＰＬ）と、  一対の液体供給口（１）と液体回収口（２）とが取り付けられ、投影レンズ（ＰＬ）を囲むように配置されたリング（３）とを備え、ウエハ（Ｗ）の移動方向が変わったときに、リング（３）が回転することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、シンプルな液体供給回収システムとなり、バルブの数も少なくて良い。またウエハステージ（ウエハＷ）に合わせて液体（ＬＱ）の流れる方向をいつでもスムースに変えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１は、本発明の実施形態を示し、図１は、投影レンズＰＬの先端付近を拡大した側面図であり、図２は、投影レンズＰＬとリング３との関係を示す平面図である。
液体の供給を行なう供給口１と液体の回収を行なう回収口２が一つずつリング３に取り付けられている。リング３は投影レンズＰＬを取り囲むように配置されている。ウエハステージの移動方向が変わると、リング３は光軸周りに回転して、液体の流れを所望の方向に維持する。
【０００７】
図３は典型的な露光の軌道を示すものである。図３に示すような典型的な露光の軌道においては、ウエハステージ（ウエハ）の移動方向は、３６０°にいずれの方向にもスムースに変化する。液体供給回収システムも、ウエハの軌道に合わせて、いつでも３６０°回転可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】投影レンズＰＬの先端付近を拡大した側面図である。
【図２】投影レンズＰＬとリング３との関係を示す平面図である。
【図３】典型的な露光の軌道を示す概念図である。
【符号の説明】
【０００９】
１…供給口
２…回収口
３…リング
Ｗ…ウエハ
ＰＬ…投影レンズ
【図１】
2004320017.tif 000003
【図２】
2004320017.tif 000004
【図３】
2004320017.tif 000005