(57)【要約】【課題】ノズル数の増加による歩留まりの低下が生じる。【解決手段】液滴を吐出するノズル１５を設けたノズル板１３と、ノズル１５が連通する液室１６を形成する流路板１１と、液室１６の壁面を形成する変形可能な振動板１２とを積層した複数の流路ユニット１、１と、振動板１２を変形させる圧電素子２１と、圧電素子２１を固定する１つの基板２２を含むアクチュエータユニット２、２とを備え、複数の流路ユニット１、１及びアクチュエータユニット２、２を１つのフレーム部材３で一体的に固定した。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルを設けたノズル板と、前記ノズルが連通する液室を形成する流路板と、前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な振動板とを積層した複数の流路ユニットと、
前記振動板を変形させる電気機械変換素子と、この電気機械変換素子を固定する１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、
前記複数の流路ユニット及び前記アクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記複数のノズル板に対応した複数の開口を有するノズルカバーを備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルを設けたノズル板と、前記ノズルが連通する液室を形成する複数の流路板と、前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な複数の振動板とを積層した流路ユニットと、
前記振動板を変形させる電気機械変換素子と、この電気機械変換素子を固定する１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、
前記流路ユニット及び前記アクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
液滴を吐出するノズルを設けたノズル板と、前記ノズルが連通する液室を形成する複数の流路板と、前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する変形可能な１つの振動板とを積層した流路ユニットと、
前記振動板を変形させる電気機械変換素子と、この電気機械変換素子を固定する１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、
前記流路ユニット及び前記アクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記アクチュエータユニットには前記電気機械変換素子に電気的に接続された電装基板を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
インク滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置並びに液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通するインク流路（吐出室、圧力室、加圧液室、液室、インク室等とも称される。）と、このインク流路内のインクを加圧する駆動手段とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。なお、液滴吐出ヘッドとしては例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを中心に説明する。
【０００３】
このようなインクジェット記録装置において多色化、高画質化、高速化を達成するためには、ノズル数を増加することが必要になる。そこで、例えば特許第３２６１９１９号公報に開示されているように、ノズル列を複数列設けた一枚のノズル板と、シリコン基板やステンレス板等からなり、各ノズル列に対応するインク室を形成した一枚の流路板と、各インク室の壁面を形成する一枚の振動板とを積層して、一つのフレーム部材に固定したインクジェットヘッドが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のインクジェットヘッドにあっては、複数列のノズル列に対応したインク室をすべて一枚の流路板に形成しているために、流路板の大型化が避けられないという課題がある。
【０００５】
ところが、流路板はシリコンウエハやステンレス板等に複数の流路板のパタンをエッチングして形成する方法が用いられることが多く、大面積の流路板１枚と、複数の小面積の流路板とでは、総面積が同じであっても、前者の方が取り出せる流路板の総面積は少なくなり、またゴミなどで不良が出た場合の損失も大きくなるという課題がある。流路板はインクジェットヘッド内でも高価な部品に属するので、歩留まりを向上し、コストの低減は必須の課題となる。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、歩留まりが向上して低コスト化を図れる液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、ノズル板と流路板と振動板とを積層した複数の流路ユニットと、電気機械変換素子と１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、複数の流路ユニット及びアクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定した構成としたものである。
【０００８】
ここで、複数のノズル板に対応した複数の開口を有するノズルカバーを備えていることが好ましい。
【０００９】
本発明に係る他の液滴吐出ヘッドは、ノズル板と複数の流路板と複数の振動板とを積層した流路ユニットと、電気機械変換素子と１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、流路ユニット及びアクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定した構成としたものである。
【００１０】
本発明に係る更に他の液滴吐出ヘッドは、ノズル板と複数の流路板と１つの振動板とを積層した流路ユニットと、電気機械変換素子と１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、流路ユニット及びアクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定した構成としたものである。
【００１１】
これらの各本発明に係る液滴吐出ヘッドにおいて、アクチュエータユニットには電気機械変換素子に電気的に接続された電装基板を含むことができる。
【００１２】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。本発明の液滴吐出ヘッドの第１実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１及び図２を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。
【００１４】
このインクジェットヘッドは、２つの流路ユニット１と各流路ユニット１に対応する２つのアクチュエータユニット２とを１つのフレーム部材３で一体的に固定し、更にノズルカバー４を装着したものである。
【００１５】
各流路ユニット１は、流路板１１と、この流路板１１の下面に接合した振動板１２と、流路板１１の上面に接合したノズル板１３とを接合して積層し、これらによってインク滴を吐出するノズル１５が連通する流路であるノズル連通路１５ａ及び加圧液室１６、加圧液室１６にインクを供給するための共通液室１８にインク供給口１９を介して連通するインク供給路１７を形成している。
【００１６】
各アクチュエータユニット２は、流路ユニット１の振動板１２を変形させて加圧液室１６内のインクを加圧するための圧力発生手段（アクチュエータ手段）である電気機械変換素子としての２列の積層型圧電素子２１と、この圧電素子２１を接合固定する基板２２とを備えている。なお、圧電素子２１の間には支柱部２３を設けている。この支柱部２３は圧電素子部材を分割加工することで圧電素子２１と同時に形成した部分であるが、駆動電圧を印加しないので単なる支柱となる。
【００１７】
また、このアクチュエータユニット２では、圧電素子２１に図示しない駆動回路（駆動ＩＣ）に接続するためのＦＰＣなどの電装部材２４を接続して、ユニットを構成している。電装部材２４もユニット構成部材とすることで、取り扱いが容易になる。
【００１８】
フレーム部材３には、アクチュエータユニット２を収納する貫通部３１及び共通液室１８となる凹部、この共通液室１８に外部からインクを供給するためのインク供給穴３２を形成している。このフレーム部材３は、例えばエポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成している。
【００１９】
そして、これらの各流路ユニット１とアクチュエータユニット２とを接着剤で接合し、更にアクチュエータユニット２をフレーム部材３に接着剤５で接合して流路ユニット１とアクチュエータユニット２を一体的に固定している。
【００２０】
そして、これにノズルカバー４を取付けることで、ノズル板１５，１５の周縁部（ただし、他のノズル板１５と対向する側を縁部を除く、すなわち、ヘッド中央部側の縁部を除く）及びヘッド外周部を被覆して、ノズル板１５表面に付着するインクが内部に侵入しないようにしている。このノズルカバー４には１つの開口４１を形成している。
【００２１】
ここで、流路板１１は、例えば結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、ノズル連通路１５ａ、加圧液室１６、インク供給路１７となる凹部や穴部を形成したものであるが、単結晶シリコン基板に限られるものではなく、その他のステンレス基板や感光性樹脂などを用いることもできる。
【００２２】
振動板１２は、ニッケルの金属プレートから形成したもので、例えばエレクトロフォーミング法（電鋳法）で作製しているが、この他の金属板や樹脂板或いは金属と樹脂板との接合部材などを用いることもできる。この振動板１２は加圧液室１６に対応する部分に変形を容易にするための薄肉部２５及び圧電素子２１と接合するための厚肉部２６を形成するとともに、支柱部２３に対応する部分及びフレーム部材３との接合部にも厚肉部２７を形成し、平坦面側を流路板１１に接着剤接合し、厚肉部２５を圧電素子２１に接着剤接合し、更に厚肉部２６を支柱部２３に、厚肉部２７を支柱部２３（図２では図示しない）及びフレーム部材３に接着剤５で接合している。
【００２３】
ノズル板１３は各加圧液室１６に対応して直径１０〜３０μｍのノズル１５を形成し、流路板１に接着剤接合している。このノズル板１３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂との組み合せ、、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【００２４】
圧電素子１２は、圧電材料と内部電極とを交互に積層した積層型圧電素子（ここではＰＺＴ）である。この実施形態では、圧電素子２１の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて加圧液室１６内インクを加圧する構成としているが、圧電素子２１の圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて加圧液室１６内インクを加圧する構成とすることもできる。また、１つの基板２２に１列の圧電素子２１が設けられる構造とすることもできる。
【００２５】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、圧電素子２１に対して選択的に２０〜５０Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子２１が積層方向に伸長して振動板１２をノズル１５方向に変形させ、加圧液室１６の容積／体積変化によって加圧液室１６内のインクが加圧され、ノズル１５からインク滴が吐出（噴射）される。
【００２６】
そして、インク滴の吐出に伴って加圧液室１６内の液圧力が低下し、このときのインク流れの慣性によって加圧液室１６内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子２１への電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板１２が元の位置に戻って加圧液室１６が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室１８から加圧液室１６内にインクが充填される。そこで、ノズル５のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐出のために圧電素子２１にパルス電圧を印加しインク滴を吐出させる。
【００２７】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや引き−押し打ちを行うこともできる。
【００２８】
このように、このインクジェットヘッドにおいては、ノズル板１３と流路板１１と振動板１２とを積層した複数の流路ユニット１、１と、電気機械変換素子２１及び基板２２を含むアクチュエータユニット２、２とを備え、これらの複数の流路ユニット１、１及びアクチュエータユニット２、２を１つのフレーム部材３で一体的に固定したので、ノズル板、流路板、振動板の歩留まりが向上し、また、これら三枚の構成部材を積層接合するときの接合面積が大きくならず、接合不良が発生した場合の損失も少ないので、接合工程での歩留まりも向上する。
【００２９】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第２実施形態に係るインクジェットヘッドについて図３及び図４を参照して説明する。なお、図３は同ヘッドの分解斜視説明図、図４は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図であり、第１実施形態と対応する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００３０】
このインクジェットヘッドは、２つの流路ユニット１と各流路ユニット１に対応する２つのアクチュエータユニット２とを１つのフレーム部材３で一体的に固定し、更にノズルカバー４を装着し、このノズルカバー４には上記第１実施形態の開口４１のノズル配列方向中央部に流路ユニット１、１の間に生じる隙間Ａを覆う中央カバー部４３を形成することで、各流路ユニット１のノズル板１３、１３に対応する２つの開口４２、４２を形成したものである。
【００３１】
これにより、流路ユニット１、１の間に生じる隙間Ａがノズルカバー４の中央カバー部４３で覆われるので、ヘッドの維持回復動作（ワイピング等）によってノズル板１３表面のインクが隙間Ａに侵入して溜まり、更にはこの溜まったインクが記録動作時に被記録媒体上に落下して記録面を汚してしまう画像汚れをを防止できる。
【００３２】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第３実施形態に係るインクジェットヘッドについて図５及び図６を参照して説明する。なお、図５は同ヘッドの分解斜視説明図、図６は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図であり、第１実施形態と対応する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００３３】
このインクジェットヘッドは、１つのノズル板１３と、２つの流路板１１、１１及び２つの振動板１２、１２を積層した流路ユニット１と流路ユニット１の２つの流路板１１、１１に対応する２つのアクチュエータユニット２とを１つのフレーム部材３で一体的に固定し、更にノズルカバー４を装着し、このノズルカバー４は上記第１実施形態と同様に１つの開口４１を有する構成としたものである。
【００３４】
このように、２つの流路板１１、１１に対するノズル板１３を１つとすることにより、２つの流路板１１、１１間に形成される隙間Ａがノズル板１３で覆われることになり、ヘッドの維持回復動作（ワイピング等）によってノズル板１３表面のインクが隙間Ａに侵入して溜まり、更にはこの溜まったインクが記録動作時に被記録媒体上に落下して記録面を汚してしまうことを防止できる。
【００３５】
しかも、ノズル板１３が１枚であることにより、ノズル列間の位置精度が向上し、ノズル板１３が一面であるのでヘッド維持機構によるワイピング動作もし易く、ノズル面でのキャップも１つで済むようになる。
【００３６】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの第４実施形態に係るインクジェットヘッドについて図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は同ヘッドの分解斜視説明図、図８は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図であり、第１実施形態と対応する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００３７】
このインクジェットヘッドは、１つのノズル板１３と、２つの流路板１１、１１及び１の振動板１２を積層した流路ユニット１と流路ユニット１の２つの流路板１１、１１に対応する２つのアクチュエータユニット２とを１つのフレーム部材３で一体的に固定し、更にノズルカバー４を装着し、このノズルカバー４は上記第１実施形態と同様に１つの開口４１を有する構成としたものである。
【００３８】
このように、２つの流路板１１、１１に対するノズル板１３及び振動板１２を１つとすることにより、２つの流路板１１、１１間に形成される隙間Ａがノズル板１３で覆われることになり、ヘッドの維持回復動作（ワイピング等）によってノズル板１３表面のインクが隙間Ａに侵入して溜まり、更にはこの溜まったインクが記録動作時に被記録媒体上に落下して記録面を汚してしまうことを防止できる。
【００３９】
しかも、ノズル板１３が１枚であることにより、ノズル列間の位置精度が向上し、ノズル板１３が一面であるのでヘッド維持機構によるワイピング動作もし易く、ノズル面でのキャップも１つで済むようになる。
【００４０】
また、振動板１２が１枚であることにより、振動板１２にすべての流路板１１、１１を接合することができ、フレーム部材と振動板とを接合するときの接着剤ムラが生じても、ノズル板と流路板との貼り合わせ面に段差が生じることを防止できる。
【００４１】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたインクカートリッジについて図９の斜視説明図を参照して説明する。
このインクカートリッジ１００は、ノズル１０１等を有する上記各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド１０２と、このインクジェットヘッド１０２に対してインクを供給するインクタンク１０３とを一体化したものである。
【００４２】
このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの不良は直ちにインクカートリッジ全体の不良につながるので、ヘッドの歩留まりが向上することで、ヘッド一体型インクカートリッジ全体の歩留まりを向上することができる。
【００４３】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図１０及び図１１を参照して説明する。なお、図１０は同記録装置の斜視説明図、図１１は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００４４】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１１２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するための手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カセット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１１６に排紙する。
【００４５】
印字機構部１１２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２１と従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド１２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１２３にはヘッド１２４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１２５を交換可能に装着している。なお、ヘッド一体型インクカートリッジを用いることもできる。
【００４６】
インクカートリッジ１２５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【００４７】
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００４８】
ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１２１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転によりキャリッジ１２３が往復駆動される。
【００４９】
一方、給紙カセット１１４にセットした用紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ローラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００５０】
そして、キャリッジ１２３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。この印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５，１４６とを配設している。
【００５１】
記録時には、キャリッジ１２３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動することにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙１１３を排紙する。この場合、ヘッド１２４を構成する本発明に係るインクジェットヘッドはインク滴噴射の制御性が向上し、特性変動が抑制されているので、安定して高い画像品質の画像を記録することができる。
【００５２】
また、キャリッジ１２３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良を回復するための回復装置１４７を配置している。回復装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこの回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００５３】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド１２４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００５４】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明を低コストのインクジェットヘッドを搭載しているので、低コスト化を図れる。
【００５５】
なお、上記実施形態においては、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液体の滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッド、遺伝子分析試料を吐出する液滴吐出ヘッドなどにも適用することできる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液滴吐出ヘッドによれば、ノズル板と流路板と振動板とを積層した複数の流路ユニットと、電気機械変換素子と１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、複数の流路ユニット及びアクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定したので、流路ユニットの構成部品の歩留まりが向上するとともに接合歩留まりも向上して、低コスト化を図れる。
【００５７】
本発明に係る他の液滴吐出ヘッドによれば、ノズル板と複数の流路板と複数の振動板とを積層した流路ユニットと、電気機械変換素子と１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、流路ユニット及びアクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定したので、流路ユニットの構成部品の歩留まりが向上するとともに接合歩留まりも向上して、低コスト化を図れ、またヘッド維持動作が容易になり、画像汚れも防止できる。
【００５８】
本発明に係る更に他の液滴吐出ヘッドによれば、ノズル板と複数の流路板と１つの振動板とを積層した流路ユニットと、電気機械変換素子と１つの基板を含むアクチュエータユニットとを備え、流路ユニット及びアクチュエータユニットを１つのフレーム部材で一体的に固定したので、流路ユニットの構成部品の歩留まりが向上するとともに接合歩留まりも向上して、低コスト化を図れ、またヘッド維持動作が容易になり、画像汚れも防止でき、さらにノズル板と流路板の貼り付け面に段差が生じることを防止できる。
【００５９】
本発明に係るインクジェット記録装置は、インク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えたので、ヘッドの歩留まりが向上して記録装置の低コスト化を図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出ヘッドの第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図２】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図３】本発明の液滴吐出ヘッドの第２実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図４】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図５】本発明の液滴吐出ヘッドの第３実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図６】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図７】本発明の液滴吐出ヘッドの第４実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図
【図８】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図９】本発明に係る液滴吐出ヘッドを一体形成したインクカートリッジの斜視説明図
【図１０】本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を示す斜視説明図
【図１１】同記録装置の機構部の側面説明図
【符号の説明】
１…流路ユニット、２…アクチュエータユニット、３…フレーム部材、４…ノズルカバー、１１…流路板、１２…振動板、１３…ノズル板、１５…ノズル、１６…加圧液室、１７…インク供給路、１８…共通液室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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