(57)【要約】　　　（修正有）【課題】新たな弁機構の採用によって、開口部の大小にかかわらず、流量のリニア調整と完全閉機能の双方を兼ね備えた流量制御装置を安価、かつ、省電力化可能な構成で提供すること。【解決手段】流量制御装置１において、ステッピングモータを動作させて、その回転を出力軸４１、第１の動力伝達車４６、および第２の動力伝達車４８を介してリング状スプロケット８に伝達してリング状スプロケット８を時計周りＣＷに回転させると、転動体９は、リング状スプロケット８とともに時計周りＣＷの方向に円筒壁５０の外側の壁面５５０に沿って公転するとともに時計周りＣＷに自転する。その結果、転動体９の胴部９５に巻きつけられていたシート状弁体６は、円筒壁５０の外側の壁面５５０に沿って展開され、開口部５５を塞ぐ。【選択図】　　　図４
2004003598.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体流路の上流側と下流側とを仕切る隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、前記開口部を覆うように前記隔壁に沿って展開される一方、この展開状態から前記開口部を開放する状態に切り換えられるシート状弁体と、前記シート状弁体による前記開口部の開度を調整する弁体駆動機構とを有することを特徴とする流量制御装置。
【請求項２】
請求項１において、前記弁体駆動機構は、前記隔壁の上流側に面する壁面に沿って転動可能な転動体を備え、
前記シート状弁体は、前記転動体の閉方向への転動により前記開口部を覆うように前記隔壁に沿って展開される一方、当該転動体の開方向への転動により展開された状態から前記開口部を開放する状態に切り換えられることを特徴とする流量制御装置。
【請求項３】
請求項２において、前記シート状弁体は、前記転動体の閉方向への転動により当該転動体に巻き付けられている状態から前記開口部を覆うように前記隔壁に沿って展開される一方、当該転動体の開方向への転動により展開された状態から前記開口部を開放するように当該転動体に巻き付けられることを特徴とする流量制御装置。
【請求項４】
請求項２において、前記開口部は、前記転動体の転動方向に延びた形状を備えていることを特徴とする流量制御装置。
【請求項５】
請求項４において、前記開口部は、一方側で開口幅が狭く、他方側で開口幅が広いことを特徴とする流量制御装置。
【請求項６】
請求項２において、前記隔壁は、内側が下流側とされる円筒壁であり、前記転動体は、当該円筒壁の外側の壁面に沿って遊星運動を行うことを特徴とする流量制御装置。
【請求項７】
請求項６において、前記弁体駆動機構は、前記転動体を回転可能に支持した状態で前記円筒壁側を中心に回転可能な可動体を備え、
該可動体は、前記円筒壁を中心に回転駆動されることにより前記転動体を前記円筒壁の外側の壁面に沿って移動させることを特徴とする流量制御装置。
【請求項８】
請求項７において、前記可動体は、内歯が形成されたリング状スプロケットであり、
前記弁体駆動機構では、当該リング状スプロケットの前記内歯と、駆動源側の動力伝達歯車とが噛み合っていることを特徴とする流量制御装置。
【請求項９】
請求項８のいずれかにおいて、前記転動体には外歯が形成されている一方、前記壁面側には、当該外歯と噛み合って前記転動体を回転させる外歯が形成されていることを特徴とする流量制御装置。
【請求項１０】
請求項２において、さらに、前記転動体を前記壁面に向けて付勢する付勢部材を備えていることを特徴とする流量制御装置。
【請求項１１】
請求項１において、前記弁体駆動機構の駆動源としてのモータへの通電を停止したときに、前記シート状弁体を前記開口部が完全に開いた原点位置、あるいは前記開口部が完全に閉じた原点位置に向けて復帰させる原点位置復帰手段を有し、
前記弁体駆動機構は、前記原点位置復帰手段が前記シート状弁体に加える力に抗して前記シート状弁体を前記原点位置側から所定方向に駆動することを特徴とする流量制御装置。
【請求項１２】
請求項１１において、前記モータでは、界磁極とマグネットとの隙間が０．２ｍｍ以上であることを特徴とする流量制御装置。
【請求項１３】
請求項１１において、前記弁体駆動機構における減速比が１／１０以下であることを特徴とする流量制御装置。
【請求項１４】
請求項１において、前記シート状弁体は、弾性を備えたシートであることを特徴とする流量制御装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれかにおいて、前記流体流路を通る気体または液体の流量を制御することを特徴とする流量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種流体の流量を制御するための流量制御装置に関するものである。さらに詳しくは、流量制御装置の弁機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＰガス、都市ガス、冷蔵庫やエアコン内の冷媒、あるいは液体の流量を制御する流量制御装置に用いられている弁機構としては、ニードル方式、ディスク方式、ボール方式が代表的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ニードル方式は、流量のリニア調整機能は優れているが、完全閉状態とする場合に各部品に高い精度が要求されるので、高価となる。また、モータから出力された回転運動を直線運動に変換する機構が必要であるため、エネルギー変換効率が低く、かつ、耐久性に劣るという問題点がある。さらに、閉状態では、ニードルが楔状に入り込むので、閉状態から開状態への切り換えに大きなエネルギーが必要である。
【０００４】
また、ディスク方式は、流量のリニア調整機能に優れ、かつ、任意の流量パターンを容易に実現できるという利点があるが、完全閉状態を実現するには、相対向する面の精度として１μｍ以下の平面度、鏡面に近い面粗度が要求されるので、やはり高価となる。また、高精度な面同士では、面同士の吸着が起こりやすいため、駆動に大きなエネルギーを必要とする。さらに、一般的には、適用できる機種が開口が２φ以下と小さなものに限られるという問題点もある。
【０００５】
さらに、ボール方式は、完全閉状態を容易に実現できるが、流量のリニア調整が困難であるという問題点がある。
【０００６】
このように従来の弁機構には、流量のリニア調整と完全閉機能の双方を兼ね備えたものがなく、従来の弁機構にこのような機能を付与しようとすると、各部品にμオーダーの精度が要求されるため、高価なものとなってしまう。とりわけ、開口部が大きな弁機構において、流量のリニア調整と完全閉機能の双方を付与しようとすると、部品精度をさらに高める必要が出てくるので、かなり高価なものになってしまう。また、駆動には、回転運動を直線運動に変換する際の損失や摩擦損失などが伴うため、省電力化あるいは制御の高速化が困難である。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、新たな弁機構の採用によって、開口部の大小にかかわらず、流量のリニア調整と完全閉機能の双方を兼ね備えた流量制御装置を安価、かつ、省電力化可能な構成で提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、流体流路の上流側と下流側とを仕切る隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、前記開口部を覆うように前記隔壁に沿って展開される一方、この展開状態から前記開口部を開放する状態に切り換えられるシート状弁体と、前記シート状弁体による前記開口部の開度を調整する弁体駆動機構とを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る流量制御装置では、シート状弁体を開口部を覆うように展開する一方、シート状弁体を開口部を開放する状態に切り換えて、シート状弁体による開口部の開度調整を行う。従って、開口部の形状によって任意の流量パターンを調整できるので、流量のリニア制御を容易に行うことができる。また、シート状弁体で開口部を完全に覆って塞ぐことができ、かつ、流体圧によってシート状弁体が壁面に沿って密着状態になるため、完全閉状態を容易に実現できる。さらに、動作的には弁体を摺動させる機構を採用していないため、磨耗などのおそれがないので、部品の寸法に高い精度が求められず、かつ、信頼性も高い。
【００１０】
本発明において、前記弁体駆動機構は、例えば、前記隔壁の上流側に面する壁面に沿って転動可能な転動体を備え、前記シート状弁体は、前記転動体の閉方向への転動により前記開口部を覆うように前記隔壁に沿って展開される一方、当該転動体の開方向への転動により展開された状態から前記開口部を開放する状態に切り換えられる。例えば、前記シート状弁体は、前記転動体の閉方向への転動により当該転動体に巻き付けられている状態から前記開口部を覆うように前記隔壁に沿って展開される一方、当該転動体の開方向への転動により展開された状態から前記開口部を開放するように当該転動体に巻き付けられる。なお、本願明細書における転動とは、自転しながら移動することを意味する。
【００１１】
このように構成すると、開口部が形成された壁面に沿って転動体を閉方向に転動させてシート状弁体を開口部を覆うように展開する一方、転動体を開方向に転動させて展開された状態のシート状弁体を転動体に巻きつけて開口部を開放する。このため、転動体の位置によってシート状弁体による開口部の開度調整を行うことができる。従って、開口部の形状によって任意の流量パターンを調整できるので、流量のリニア制御を容易に行うことができる。また、転動体を完全に閉方向に転動させれば、シート状弁体で開口部を完全に覆って塞ぐことができ、かつ、流体圧によってシート状弁体が壁面に沿って密着状態になるため、完全閉状態を容易に実現できる。さらに、動作的には摺動機構を採用していないため、磨耗などのおそれがないので、部品の寸法に高い精度が求められず、かつ、信頼性も高い。さらにまた、動作的には転動体を転動させるという回転運動を採用しているため、モータから出力された回転運動を転動体に伝達すればよく、回転運動を直線運動に変換する必要がなく、摩擦損失もないので、エネルギー損失も小さい。
【００１２】
本発明において、前記開口部は、前記転動体の転動方向に延びた形状を備えていることが好ましい。このように構成すれば、開口部の開度、すなわち、流量を高い精度で制御できる。
【００１３】
本発明において、前記開口部は、一方側で開口幅が狭く、他方側で開口幅が広いことが好ましい。例えば、小流量側で開口幅が狭く、大流量側で開口幅を広くすれば、小流量側で流量を高い精度で制御できる。それとは逆に、大流量側で高い精度が必要であれば、小流量側で開口幅を広くし、大流量側で開口幅を狭くすればよい。
【００１４】
本発明において、前記隔壁は、例えば、内側が下流側とされる円筒壁であり、前記転動体は、当該円筒壁の外側の壁面に沿って遊星運動を行う構成を採用することが好ましい。このような遊星運動を利用すれば、転動体を壁面に沿って転動させる機構を簡素化できる。また、転動体の転動方向に開口部を延ばしても狭いスペース内に弁機構を構成できる。
【００１５】
このような構成を採用した場合、前記弁体駆動機構は、前記転動体を回転可能に支持した状態で前記円筒壁側を中心に回転可能な可動体を備え、該可動体は、前記円筒壁を中心に回転駆動されることにより前記転動体を前記円筒壁の外側の壁面に沿って移動させる構成を採用することができる。このように構成すれば、簡素な構成でモータから出力された回転運動を転動体に伝達して転動体を公転させることができる。この場合、前記可動体は、例えば、内歯が形成されたリング状スプロケットであり、前記弁体駆動機構では、リング状スプロケットの前記内歯と、駆動源側の動力伝達歯車とが噛み合っていることが好ましい。このように構成すると、リング状スプロケットの内側に機構部品の全体あるいは大部分を配置できるので、狭いスペースで流量制御装置を構成できる。
【００１６】
本発明において、前記転動体には外歯が形成されている一方、前記壁面側には、当該外歯と噛み合って前記転動体を回転させる外歯が形成されていることが好ましい。このように構成すると、簡素な構成で転動体を自転させることができる。
【００１７】
本発明において、さらに、前記転動体を前記壁面に向けて付勢する付勢部材を備えていることが好ましい。このように構成すると、転動体の公転と自転とを確実に連動させることができ、かつ、シート状弁体を壁面に密接させることができる。
【００１８】
本発明において、さらに、前記弁体駆動機構の駆動源としてのモータへの通電を停止したときに、前記シート状弁体を前記開口部が完全に開いた原点位置、あるいは前記開口部が完全に閉じた原点位置に向けて復帰させる原点位置復帰手段を有し、前記弁体駆動機構は、前記原点位置復帰手段が前記シート状弁体に加える力に抗して前記シート状弁体を前記原点位置側から所定方向に駆動することが好ましい。このように構成すると、弁体駆動機構の駆動源としてのモータへの通電が停止した際、シート状弁体の位置を原点位置に自動的に復帰させることができるので、例えば、下流側へのガス供給を瞬時に停止することなどができる。従って、異常時等に必要な流体の遮断を電磁弁等の高価な遮断弁を用いることなく、簡素な構成で行うことができる。
【００１９】
このように構成した場合、前記モータでは、界磁極とマグネットとの隙間が０．２ｍｍ以上であることが好ましい。また、前記弁体駆動機構における減速比が１／１０以下であることが好ましい。このように構成すると、前記原点位置復帰手段は、モータのディテントトルクなどに打ち勝って、シート状弁体を原点位置に確実に復帰させることができる。
【００２０】
本発明において、前記シート状弁体は、弾性を備えたシートであることが好ましい。このように構成すると、シート状弁体自身の弾性によってシート状部材を壁面に密接させることができる。
【００２１】
本発明に係る流量制御装置は、気体あるいは液体のいずれの流量を制御するのに用いてもよいが、特に、従来の方式では困難であった気体の流量制御に用いると効果的である。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した流量制御装置を説明する。
【００２３】
［実施の形態１］
（外観、および弁体駆動機構などの構成）
図１は、本発明を適用した流量制御装置の平面図である。図２（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置の下ケースの平面図、およびＡ−Ａ′断面図である。図３（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置の上ケースの平面図、およびＢ−Ｂ′断面図である。図４は、本発明を適用した流量制御装置に構成されている各構成要素の展開図である。
【００２４】
図１において、本発明を適用した流量制御装置１は、ＬＰガス、都市ガス、冷蔵庫やエアコン内の冷媒などの流量制御に用いられ、全体として円形の平面形状をしている。
【００２５】
この流量制御装置１には、図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、下底に円筒状の流体出口２１を備える円筒状の凹部２０、凹部２０の周壁で形成された流体入り口２２、および凹部２０の上端から外周側に拡がるフランジ部２３を備えた下ケース２が用いられている。この下ケース２には、図３（Ａ）、（Ｂ）に示す上ケース３が被せられ、上ケース３の外周側と下ケース２のフランジ部２３とがネジなどによって止められる。上ケース３には、図４に示すステッピングモータ４０のロータなどを配置する円筒部３０が突出している。
【００２６】
本形態では、流量制御装置１の弁体駆動機構４として、ステッピングモータ４０、このステッピングモータ４０の出力軸４１に固着された外歯と噛み合う第１の動力伝達歯車４６、およびこの第１の動力伝達歯車４６と噛み合う第２の動力伝達歯車４８とが用いられている。ここで、ステッピングモータ４０のロータ４２などは、上ケース３の円筒部３０内に配置されている一方、ステータ４３は、円筒部３０の外側に配置されている。
【００２７】
（弁機構の構成）
図５（Ａ）、（Ｂ）は、本発明を適用した流量制御装置における開状態を示す平面図、および閉状態を示す平面図である。図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置に用いたドラム体の平面図、このドラム体の開口部を形成した円筒壁のＣ矢視図、ドラム体のＤ−Ｄ′断面図、およびドラム体のＥ−Ｅ′断面図である。図７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置に用いたギア体の平面図、ギア体の底面図、およびギア体のＦ−Ｆ′断面図である。図８（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置に用いたリング状スプロケットの平面図、およびリング状スプロケットのＧ−Ｇ′断面図である。図９（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置に用いた転動体の平面図、転動体のＨ−Ｈ断面図、および転動体の底面図である。図１０（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置に用いたシート状弁体の側面図、および平面図である。
【００２８】
図４および図５（Ａ）に示すように、本発明を適用した流量制御装置１は、上ケース３で覆われた下ケース２の凹部２０の中央位置に、図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）に示すドラム体５が配置されている。
【００２９】
ドラム体５は円盤状を有しており、その中央に円筒壁５０が形成されている一方、実質的な流体出口となる円筒部５１が下方に突き出ている。円筒壁５０の外側の壁面５５０には、周方向に延びた開口部５５が開口し、この開口部５５は、円筒壁５０の内部を経て円筒部５１に連通している。
【００３０】
本形態において、開口部５５は、後述するシート状弁体６の閉方向（矢印Ｑで示す方向）、すなわち、小流量側で開口幅が狭く、開方向（矢印Ｒで示す方向）、すなわち、大流量側で開口幅が広い台形形状になっている。
【００３１】
円筒壁５０の側面には、後述するシート状弁体６の一方の端部が差し込み固定される溝５３が上面側から下方に向かって延びている。
【００３２】
このような構成のドラム体５は、それを下ケース２の凹部２０の底に配置した状態で、円筒部５１が下ケース２の円筒状の流体出口２１に嵌るとともに、ドラム体５の貫通孔５４に下ケース２の突起２５（図２（Ａ）、（Ｂ）を参照）が嵌ることにより下ケース２に固定された状態となる。
【００３３】
ここで、ドラム体５の上面には、円筒壁５０の周りに３つの円筒状の軸受部５７、５８、５９が周方向に形成されている。これら３つの軸受部５７、５８、５９のうち、軸受部５７は、ステッピングモータ４０の出力軸４１の先端を回転可能に支持している。また、両側の軸受部５７、５９が形成されている部分は、外側に向けて分厚く形成され、それによって形成された段差部分５７０、５９０は、図８を参照して後述するリング状スプロケット８の窓８０の内縁に当接して、このリング状スプロケット８の回転範囲を規制するストッパを構成している。
【００３４】
ドラム体５の円筒壁５０は、上部分が閉塞された構造になっており、上面部分から上方には、図７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すギア体７を取り付ける突起５２が形成されている。
【００３５】
ギア体７は、ドラム体５の円筒壁５０の上部に固定される固定部７１と、この固定部７１の外側に形成された外歯７２と、固定部７１から外周側に扇形に延びた延設部７３とを備えており、この延設部７３は、ギア体７をドラム体５の円筒壁５０の上部に固定した状態で、ドラム体５の軸受部５８、５９が形成されている部分と対向する。ここで、延設部７３の下面には、ドラム体５の軸受部５８、５９と対向する位置に２つの軸受孔７８、７９が形成されており、軸受孔７８および軸受部５８によって第１の動力伝達歯車４６の回転軸を回転可能に支持しているとともに、軸受孔７９および軸受部５９によって第２の動力伝達歯車４８の回転軸を回転可能に支持している。
【００３６】
再び図４および図５（Ａ）において、下ケース２の凹部２０内のうち、ドラム体５の上側には、図８（Ａ）、（Ｂ）に示すリング状スプロケット８（可動体）が配置され、このリング状スプロケット８は、ドラム体５の上で円筒壁５０を中心に回転可能に支持されている。リング状スプロケット８には、ステッピングモータ４０の出力軸４１、第１の動力伝達歯車４６、および第２の動力伝達歯車４８を支持する円筒状の軸受部５７、５８、５９が形成されている領域を含む領域が窓８０になっている。この窓８０において、時計周りＣＷ側の内縁８０１は、リング状スプロケット８が反時計周りＣＣＷに回転したときにドラム体５の段差部分５９０に当接して、リング状スプロケット８のこれ以上の回転を規制する一方、反時計周りＣＣＷ側の内縁８０２は、リング状スプロケット８が時計周りＣＷに回転したときにドラム体５の段差部分５７０に当接して、リング状スプロケット８のこれ以上の回転を規制するようになっている。
【００３７】
ここで、リング状スプロケット８の窓８０の外周縁には内歯８５が形成され、この内歯８５は、第２の動力伝達歯車４８と噛み合っている。
【００３８】
また、リング状スプロケット８において、ドラム体５の円筒壁５０に形成されている開口部５５の近くには回転中心軸８６が形成され、この回転中心軸８６には、図９（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示す転動体９が回転可能に取り付けられている。
【００３９】
転動体９は、リング状スプロケット８の回転中心軸８６が嵌る軸孔９０が形成された円筒体であって、その上端側の周面には外歯９１が形成されている。ここで、転動体９の外歯９１は、リング状スプロケット８とともに下ケース２の凹部２０内に配置された状態でギア体７の外歯７２と噛み合っている。また、この状態で、転動体９の上端部分と円筒壁５０の上端部分との間には、転動体９を円筒壁５０に向けて付勢するゴムリング９９が伸張した状態で掛けられている。
【００４０】
また、転動体９には、外歯９１の形成位置より下方部分が、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すシート状弁体６が巻きつく胴部９５になっており、この胴部９５の下面には、シート状弁体６の一方の端部が差し込み固定される深い溝９６が開口している。
【００４１】
図１０（Ａ）、（Ｂ）において、シート状弁体６は、ゴム製の帯状体であり、その両端部分には、円筒壁５０の側面に形成されている溝５３に差し込み固定される丸棒状の第１の連結部６１、および転動体９に形成されている溝９６に差し込み固定される丸棒状の第２の連結部６２が形成されている。
【００４２】
ここで、シート状弁体６は、図５（Ａ）に示すように、開状態で転動体９の胴部９５に巻き付けられており、後述するように、閉状態では、転動体９の時計周りＣＷの転動に伴って、図５（Ｂ）に示すように、円筒壁５０の外側の壁面５５０に沿って展開し、開口部５５を覆って塞ぐようになっている。
【００４３】
（作用および効果）
図１１（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置１に用いた開口部の説明図、およびこの開口部に対する転動体の角度位置と開口面積との関係を示すグラフである。
【００４４】
本形態の流量制御装置１では、図４および図５（Ａ）に示すように、転動体９が反時計周りＣＣＷ側に位置した状態において、シート状弁体６は、転動体９の胴部９５に巻き付けられており、円筒壁５０に形成されている開口部５５は全開放状態にある。従って、この反時計周りＣＣＷの方向が、本形態の流量制御装置１における開方向である。
【００４５】
この全開状態から、ステッピングモータ４０を動作させて、その回転を出力軸４１、第１の動力伝達車４６、および第２の動力伝達車４８を介してリング状スプロケット８に伝達してリング状スプロケット８を時計周りＣＷ（閉方向）に回転させると、図５（Ｂ）に示すように、転動体９は、リング状スプロケット８とともに時計周りＣＷの方向に円筒壁５０の外側の壁面５５０に沿って公転する。この際、転動体９の外歯９１は、円筒壁５０の側、すなわち、ギア体７の外歯７２と噛み合っているので、転動体９が時計周りＣＷに公転したとき、転動体９は、時計周りＣＷに自転する。その結果、転動体９の胴部９５に巻きつけられていたシート状弁体６は、円筒壁５０の外側の壁面５５０に沿って展開され、開口部５５を覆って塞ぐことになる。この状態が全閉状態である。
【００４６】
この全閉状態から、ステッピングモータ４０を動作させて、その回転を出力軸４１、第１の動力伝達車４６、および第２の動力伝達車４８を介してリング状スプロケット８に伝達してリング状スプロケット８を反時計周りＣＣＷに回転させると、図５（Ａ）に示すように、転動体９は、リング状スプロケット８とともに反時計周りＣＣＷの方向に円筒壁５０の外側の壁面５５０に沿って公転する。この際、転動体９の外歯９１は、ギア体７の外歯７２と噛み合っているので、転動体９が反時計周りＣＣＷに公転したとき、転動体９は、反時計周りＣＣＷに自転する。その結果、展開されていたシート状弁体６は、転動体９の胴部９５に巻きつけられるので、開口部５５が開放状態になる。
【００４７】
従って、図５（Ａ）に示すように、開口部５５を開放状態にして下ケース２の流体入口２２から流体出口２１に向かって気体を流す際、転動体９を時計周りＣＷの方向に完全に移動させれば、流体の流れを完全に止めることができる。また、転動体９の周方向における位置を制御すれば、開口部５５の開度を制御できるので、流量を制御できる。
【００４８】
例えば、図１１（Ａ）に示す開口部５５をシート状弁体６で矢印Ｐで示す方向（閉方向）に塞いでいくと、流量は、例えば、図１１（Ｂ）に示すように、開口面積が３０ｍｍ２の全開状態からリニアに減少していき、最終的には開口面積が０ｍｍ２の全閉状態となる。従って、開口部５５を通過する気体の流量は、開口面積に対応して精度よく制御されることになる。
【００４９】
以上説明したように、本形態の流量制御装置１では、転動体９に巻きつけられたシート状弁体６を用い、開口部５５が形成された壁面５５０に沿って転動体９を閉方向に転動させてシート状弁体６を開口部５５を覆うように展開する一方、転動体９を開方向に転動させて、展開された状態のシート状弁体６を転動体９に巻きつけて開口部５５を開放する。このため、転動体９の位置によってシート状弁体６による開口部５５の開度調整を行うことができる。従って、開口部５５の形状によって任意の流量パターンを調整できるので、流量のリニア制御を容易に行うことができる。
【００５０】
しかも、シート状弁体６としてゴムシートを用いているため、それ自身の弾性によってシート状弁体６を壁面５５０に密接させることができる。従って、気体の漏れが発生しない。また、転動体９を完全に閉方向に転動させれば、シート状弁体６で開口部５５を完全に覆って塞ぐことができ、かつ、流体圧によってシート状弁体６が壁面５５０に沿って密着状態になるため、完全閉状態を容易に実現できる。
【００５１】
さらに、動作的には摺動機構を採用していないため、磨耗などのおそれがないので、部品の寸法に高い精度が求められず、かつ、信頼性も高い。
【００５２】
さらにまた、動作的には転動体９を転動させるという回転運動を採用しているため、ステッピングモータ４０から出力された回転運動を転動体９に伝達すればよく、回転運動を直線運動に変換する必要がないので、簡素な機構で済み、かつ、エネルギー損失も小さい。
【００５３】
しかも、開口部５５は、転動体９の転動方向に延び、かつ、小流量側（閉方向側）で開口幅が狭く、大流量側（開方向側）で開口幅が広い。このため、開口部５５の開度、すなわち、流量を高い精度で制御でき、とりわけ、小流量側であっても流量を高い精度で制御できるという利点がある。
【００５４】
また、本形態では、円筒壁５０の外側の壁面５５０に沿って転動体９に遊星運動を行わせる構成であるため、転動体９を壁面５５０に沿って転動させる機構を簡素化できる。また、転動体９の転動方向に開口部５５を延ばしても狭いスペース内に弁機構を構成できる。
【００５５】
さらに、円筒壁５０を中心に回転可能なリング状スプロケット８に転動体９が回転可能に支持された構成を採用しているため、簡素な構成でステッピングモータ４０から出力された回転運動を転動体９に伝達して転動体９を公転させることができる。しかも、リング状スプロケット８の内歯８５と弁体駆動機構４の第２の動力伝達歯車４８とが噛み合う構成を採用しているため、リング状スプロケット８の内側に機構部品の全体あるいは大部分を配置できるので、狭いスペースで流量制御装置１を構成できる。
【００５６】
さらにまた、転動体９の外歯と円筒壁５０側に形成された外歯７２とが噛み合う構成を採用しているので、簡素な構成で転動体９を自転させることができる。しかも、転動体９は、ゴムリング９９で円筒壁５０に向けて付勢されているので、転動体９の公転と自転とを確実に連動させることができ、かつ、シート状弁体６を壁面５５０に密接させることができる。
【００５７】
［実施の形態２］
（外観、および弁体駆動機構などの構成）
図１２は、本例の流量制御装置の平面図である。図１３は、本例の流量制御装置に構成されている各構成要素の展開図である。図１４は、本例の流量制御装置を示す分解斜視図である。
【００５８】
これらの図に示すように、本例の流量制御装置１００は、ＬＰガス、都市ガス、冷蔵庫やエアコン内の冷媒などの流量制御に用いられるものであり、下底に円筒状の流体出口１２１を備える円筒状の凹部１２０、凹部１２０の周壁で形成された流体入り口１２２、および凹部１２０の上端から外周側に拡がる角型のフランジ部１２３を備えた下ケース１０２が用いられている。
【００５９】
下ケース１０２の凹部１２０には、内側ケース１０５が嵌められており、この内側ケース１０５は、流体出口１２２に対向する部分が切りかかれた周壁１５１と、周壁１５１を上端より下がった位置で塞ぐ天板１５２とを備えている。また、内側ケース１０５における下ケース１０２の流体出口１２２側は、周壁１５１および天板１５２が切りかかれた切り欠き部１５３となっている。
【００６０】
この内側ケース１０５が嵌められた状態で下ケース１０２には、オーリング１３１を挟んで上ケース１０３が被せられ、上ケース１０３の外周側と下ケース２のフランジ部１２３とがネジなどによって止められる。上ケース１０３には、ステッピングモータ１４０のロータなどを配置する円筒部１３０が突出している。
【００６１】
本形態では、流量制御装置１００の弁体駆動機構１０４として、ステッピングモータ１４０、このステッピングモータ１４０の出力軸１４１に固着されたピニオン１４２に噛み合う外歯１８１を備えた第１のレバー１０８が用いられている。ここで、ステッピングモータ１４０のロータ１４３、リーフスプリング１４４などは、上ケース１０３の円筒部１３０内に配置されている一方、ステータ１４５のモータコイル１４６、モータカバー１４７は、円筒部１３０の外側に配置されている。
【００６２】
また、ステッピングモータ１４０の出力軸１４１は、先端を内ケース１０５の天板１５２に形成された軸受孔１５４によって回転可能に支持されている。この軸受孔１５４は、天板１５２における切り欠き部分１５３側に形成されている。切り欠き部分１５３には、第１のレバー１０８の外歯１８１が配置され、外歯１８１は出力軸１４１のピニオン１４２に噛み合うようになっている。
【００６３】
第１のレバー１０８は、円筒部１８２と、円筒部１８２の下半部分から外周側に扇形に延びて外歯１８１が形成されている延設部１８３と、延設部１８３から外周側に延びる腕部１８４を備えている。腕部１８４の先端には軸孔１８５が形成されている。第１のレバー１０８の外歯１８１と出力軸１４１のピニオン１４２が噛み合った状態において、腕部１８４は、内ケース１０５の天板部分１５２の底面側に配置される。
【００６４】
（弁機構の構成）
図１５（Ａ）、（Ｂ）は、本発明を適用した流量制御装置における開状態を示す平面図、および閉状態を示す平面図である。図１６は、本発明を適用した流量制御装置におけるモータのディテントトルク、出力トルク、および復帰ばねのトルクの大小関係を示す説明図である。
【００６５】
図１３および図１４において、本発明を適用した流量制御装置１００は、上ケース１０３で覆われた下ケース１０２の凹部１２０に、流体出口１２１から上方に突き出ている円筒壁１２４が形成されている。円筒壁１２４の外側の壁面１２５には、周方向に延びた開口部１２６が開口している。この開口部１２６は、円筒壁１２４の内部を経て流体出口１２１に連通している。
【００６６】
本形態において、開口部１２６は、実施の形態１における開口部５５とは逆に、後述するシート状弁体１０６の閉方向（図１４において矢印ＣＷで示す方向）、すなわち、小流量側で開口幅が広く、開方向（図１４において矢印ＣＣＷで示す方向）、すなわち、大流量側で開口幅が狭い台形形状になっている。
【００６７】
円筒壁１２４の側面には、後述するシート状弁体６の一方の端部が差し込み固定される溝１２７が上面側から下方に向かって延びている。
【００６８】
円筒壁１２４は、上部分が閉塞された構造になっており、上面部分から上方には、ギア体１０７を取り付ける突起１２８が形成されている。
【００６９】
ギア体１０７は、下ケース１０２の円筒壁１２４の上部に固定される円筒状の固定部１７１と、この固定部１７１の下端部分の外側に形成された外歯１７２とを備えている。固定部１７１には、第１のレバー１０８の円筒部１８２が嵌り、第１のレバー１０８を回転可能に支持する。
【００７０】
本形態では、固定部１７１には、第１のレバー１０８における円筒部１８２と外歯１７２との間に、ねじりばねからなる復帰ばね２００（原点位置復帰手段）が嵌められている。この復帰ばね２００は、一方の端部２０１が第１のレバー１０８に固定され、他方の端部２０２がギア体１０７に固定され、第１のレバー１０８を時計周りＣＷに付勢している。
【００７１】
ここで、ステッピングモータ１４０のディテントトルク（通電停止時）、出力トルク（通電時）、および復帰ばね２００のトルクのレベルは、図１６にそれぞれ点線Ｌ１、実線Ｌ２、および実線Ｌ３で示すように、復帰ばね２００のトルクＬ３が、いずれの状態にあっても、ステッピングモータ１４０のディテントトルクＬ１よりも大きく、出力トルクＬ２よりも小さい。
【００７２】
また、円筒壁１２４には、その外周に沿って、円筒壁１２４を中心にして回転に可能に支持された第２のレバー１１０（可動体）が配置されている。第２のレバー１１０は、円筒壁１２４に嵌る円環部分１１１と、円環部１１１から外側に延びる腕部１１２を備えている。この腕部１１２において、時計周りＣＷ側の外縁１１２ａは、第２のレバー１１０が時計周りＣＷに回転したときに下ケース１０２の底面に形成された凸部分１０２ａに当接して、第２のレバー１１０のこれ以上の回転を規制する一方、反時計周りＣＣＷ側の外縁１１２ｂは、第２のレバー１１０が反時計周りＣＣＷに回転したときに下ケース１０２の底面に形成された凸部分１０２ｂ（図１５（Ｂ）参照）に当接して、第２のレバー１１０のこれ以上の回転を規制するようになっている。
【００７３】
また、第２のレバー１１０は、腕部１１２の先端から上方に延びる回転中心軸１１３を備えている。回転中心軸１１３の先端部分１１４は、第１のレバー１０８の腕部１８４に形成された軸孔１８５に嵌るようになっている。
【００７４】
回転中心軸１１３には、転動体１０９が回転可能に取り付けられている。転動体１０９は、回転中心軸１１３が嵌る軸孔１９０が形成された円筒体であって、その上端側の周面には外歯１９１が形成されている。ここで、転動体１０９の外歯１９１は、第２のレバー１１０とともに下ケース１０２の凹部１２０内に配置された状態でギア体１０７の外歯１７２と噛み合っている。
【００７５】
また、転動体１０９には、外歯１９１の形成位置より下方部分がシート状弁体１０６が巻きつく胴部１９２になっており、この胴部１９２の下面には、シート状弁体６の一方の端部が差し込み固定される深い溝１９３が開口している。
【００７６】
シート状弁体１０６は、ゴム製の帯状体であり、その両端部分には、円筒壁１２４の側面に形成されている溝１２７に差し込み固定される丸棒状の第１の連結部１６１、および転動体１０９に形成されている溝１９３に差し込み固定される丸棒状の第２の連結部１６２が形成されている。
【００７７】
ここで、シート状弁体１０６は、図１５（Ａ）に示すように、開状態で転動体１０９の胴部１９２に巻き付けられており、後述するように、閉状態では、転動体１０９の時計周りＣＷの転動に伴って、図５（Ｂ）に示すように、円筒壁１２４の外側の壁面１２５に沿って展開し、開口部１２６（斜線で示す部分）を覆って塞ぐようになっている。
【００７８】
（作用および効果）
図１７（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した流量制御装置１００に用いた開口部の説明図、およびこの開口部に対する転動体の角度位置と開口面積との関係を示すグラフである。
【００７９】
本形態の流量制御装置１００では、図１３および図１５（Ａ）に示すように、転動体１０９が反時計周りＣＣＷ側に位置した状態において、シート状弁体１０６は、転動体１０９の胴部１９２に巻き付けられており、円筒壁１２５に形成されている開口部１２６は全開放状態にある。従って、この反時計周りＣＣＷの方向が、本形態の流量制御装置１００における開方向である。
【００８０】
この全開状態から、ステッピングモータ１４０を動作させて、その回転を出力軸１４１のピニオン１４２、第１のレバー１０８を介して第２のレバー１１０に伝達して第２のレバー１１０を時計周りＣＷ（閉方向）に回転させると、図１５（Ｂ）に示すように、転動体１０９は、第２のレバー１１０とともに時計周りＣＷの方向に円筒壁１２４の外側の壁面１２５に沿って公転する。この際、転動体１０９の外歯１９１は、円筒壁１２４の側、すなわち、ギア体１０７の外歯１７２と噛み合っているので、転動体１０９が時計周りＣＷに公転したとき、転動体１０９は、時計周りＣＷに自転する。その結果、転動体１０９の胴部１９２に巻きつけられていたシート状弁体１０６は、円筒壁１２４の外側の壁面１２５に沿って展開され、開口部１２６を覆って塞ぐことになる。この状態が全閉状態である。
【００８１】
この全閉状態から、ステッピングモータ１４０を動作させて、その回転を出力軸１４１のピニオン１４２、第１のレバー１０８の外歯１８１を介して第２のレバー１１０に伝達して第２のレバー１１０を反時計周りＣＣＷに回転させると、図１５（Ａ）に示すように、転動体１０９は、第２のレバー１１０とともに反時計周りＣＣＷの方向に円筒壁１２４の外側の壁面１２５に沿って公転する。この際、転動体１０９の外歯１９１は、ギア体１０７の外歯１７２と噛み合っているので、転動体１０９が反時計周りＣＣＷに公転したとき、転動体１０９は、反時計周りＣＣＷに自転する。その結果、展開されていたシート状弁体６は、転動体１０９の胴部１９２に巻きつけられるので、開口部１２６が開放状態になる。
【００８２】
従って、図１５（Ａ）に示すように、開口部１２６を開放状態にして下ケース１０２の流体入り口１２２から流体出口１２１に向かって気体を流す際、図１５（Ｂ）に示すように、転動体１０９を時計周りＣＷの方向に完全に移動させれば、流体の流れを完全に止めることができる。また、転動体１０９の周方向における位置を制御すれば、開口部１２６の開度を制御できるので、流量を制御できる。
【００８３】
例えば、図１７（Ａ）に示す開口部１２６をシート状弁体１０６で塞いだ状態から矢印Ｐ１で示す方向（開方向）に開いていくと、流量は、例えば、図１７（Ｂ）に示すように、開口面積が０ｍｍ２の全閉状態からリニアに増加していき、最終的には開口面積が３０ｍｍ２の全開状態となる。従って、開口部１２６を通過する気体の流量は、開口面積に対応して精度よく制御されることになる。
【００８４】
ここで、本形態の流量制御装置１００では、第１のレバー１０８を復帰ばね２００でギア体１０７に対して時計周りＣＷに付勢している。このため、ステッピングモータ１４０に対する給電停止の状態では、復帰ばね２００の付勢力により第１のレバー１０８が時計周りＣＷに回転し、転動体１０９が第２のレバー１１０とともに時計周りＣＷの方向に転動してシート状弁体１０６が開口部１２６を塞ぐ全閉状態になる。
【００８５】
この全閉状態からシート状弁体１０６を開くときには、ステッピングモータ１４０によって第１のレバー１０８を反時計周りＣＣＷに回転させるので、復帰ばね２００が反時計周りＣＣＷにねじられている。
【００８６】
従って、シート状弁体１０６が開口部１２６から開放状態の際に、ステッピングモータ１４０に対する給電が停止した場合、ねじられていた復帰ばね２００が時計回りＣＷに戻る。そうすると、復帰ばね２００の付勢力により第１のレバー１０８が時計周りＣＷに回転し、転動体１０９が第２のレバー１１０とともに時計周りＣＷの方向に転動してシート状弁体１０６が開口部１２６を塞ぐ全閉状態になる。よって、ステッピングモータ１４０に対する給電が停止した際には、下流側への流体供給を瞬時に遮断することができる。
【００８７】
なお、復帰ばね２００によるシート状弁体１０６の原点位置への復帰をスムーズに行うようにするためには、ロータ１４３における界磁極とマグネット表面の隙間を一般のモータより大きく、例えば、２ｍｍ以上に設定し、ロータ１４３のディテントトルクを軽減することが望ましい。また、ステッピングモータ１４０と第１のレバー１０８間の減速比も、通常より小さく、例えば、１／１０以下に設定することが望ましい。
【００８８】
以上説明したように、本形態の流量制御装置１００では、転動体１０９に巻きつけられたシート状弁体１０６を用い、開口部１２６が形成された壁面１２５に沿って転動体１０９を閉方向に転動させてシート状弁体１０６を開口部１２６を覆うように展開する一方、転動体１０９を開方向に転動させて、展開された状態のシート状弁体１０６を転動体１０９に巻きつけて開口部１２６を開放する。このため、転動体１０９の位置によってシート状弁体１０６による開口部１２６の開度調整を行うことができる。従って、開口部１２６の形状によって任意の流量パターンを調整できるので、流量のリニア制御を容易に行うことができる。
【００８９】
しかも、シート状弁体１０６としてゴムシートを用いているため、それ自身の弾性によってシート状弁体１０６を壁面１２５に密接させることができる。従って、気体の漏れが発生しない。また、転動体１０９を完全に閉方向に転動させれば、シート状弁体１０６で開口部１２６を完全に覆って塞ぐことができ、かつ、流体圧によってシート状弁体１０６が壁面１２６に沿って密着状態になるため、完全閉状態を容易に実現できる。
【００９０】
さらに、動作的には摺動機構を採用していないため、磨耗などのおそれがないので、部品の寸法に高い精度が求められず、かつ、信頼性も高い。
【００９１】
さらにまた、動作的には転動体１０９を転動させるという回転運動を採用しているため、ステッピングモータ１４０から出力された回転運動を転動体１０９に伝達すればよく、回転運動を直線運動に変換する必要がないので、簡素な機構で済み、かつ、エネルギー損失も小さい。
【００９２】
しかも、本形態の開口部１２６は、実施の形態１とは異なり、小流量側（閉方向側）で開口幅が広く、大流量側（開方向側）で開口幅が狭い。このため、大流量側の流量を高い精度で制御できるという利点がある。
【００９３】
また、円筒壁１２４の外側の壁面１２５に沿って転動体１０９に遊星運動を行わせる構成であるため、転動体１０９を壁面１２５に沿って転動させる機構を簡素化できる。また、転動体１０９の転動方向に開口部１２６を延ばしても狭いスペース内に弁機構を構成できる。
【００９４】
さらに、円筒壁１２４を中心に回転可能な第２のレバー１１０に転動体１０９が回転可能に支持し、この第２のレバー１１０に第１のレバー１０８を介してステッピングモータ１４０から出力された回転運動を伝達するので、簡素な構成で転動体１０９を公転させることができる。
【００９５】
さらにまた、転動体１０９の外歯１９１と円筒壁１２４側に形成された外歯１７２とが噛み合う構成を採用しているので、簡素な構成で転動体１０９を自転させることができる。
【００９６】
さらにまた、シート状弁体１０６を開口部１２６を完全に覆う全閉位置（原点位置）に復帰させる復帰ばね２００を備えているので、弁体駆動機構１０４への通電を停止することで、瞬時に流体の下流側への供給を停止することができる。従って、異常時に電磁弁等の遮断弁を用いることなく、簡素な構成で流体の遮断を行うことができる。
【００９７】
なお、瞬時に大流量の流体供給に切り換えることが必要になる場合には、シート状弁体１０６が開口部１２６を全開放する全開位置に復帰させる方向に復帰ばねを取り付けるようにすればよい。
【００９８】
［その他の実施の形態］
上記実施の形態１、２は、実施の形態１を例にすると、以下のように構成することもできる。
【００９９】
まず、気体の流量をリニアに制御することを目的に開口部５５の形状を、図６（Ａ）および図１１（Ａ）に示すような台形形状としたが、得ようとする流量パターンに応じて開口部５５、１２６の形状を変更してもよい。
【０１００】
また、開口部５５が円筒壁５０に形成され、その外側の壁面５５０に沿って転動体９が転動する構成であったが、開口部５５が形成される壁面５５０については、平面あるいは円形以外の湾曲面であってもよい。
【０１０１】
さらに、シート状弁体６としてゴムシートを用いたが、閉状態においては、流体圧によってシート状弁体６が壁面５５０に沿って密着状態となるため、流体の種類あるいは温度などによっては、ゴムシートに代えて、樹脂シートや金属シート、さらには各種複合材料からなるシートを用いてもよい。
【０１０２】
さらにまた、上記の実施の形態１では転動体９に対して確実な転動を行わせることを目的に遊星ギアを用いて転動体９を遊星運動させるようにしたが、実施の形態２のような第１のレバー１０８および第２のレバー１１０を用いた方式の他にも、転動体９に突起を設け、これを案内するサイクロイド曲線状の溝カムなどを利用してもよい。また、ギアを省略して、摩擦転動を採用した構成であってもよい。
【０１０３】
さらにまた、流量の制御対象となる流体としては気体に限らず、液体であってもよい。
【０１０４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る流量制御装置では、シート状弁体を開口部を覆うように展開する一方、シート状弁体を開口部を開放する状態に切り換えて、シート状弁体による開口部の開度調整を行う。従って、開口部の形状によって任意の流量パターンを調整できるので、流量のリニア制御を容易に行うことができる。また、シート状弁体で開口部を完全に覆って塞ぐことができ、かつ、流体圧によってシート状弁体が壁面に沿って密着状態になるため、完全閉状態を容易に実現できる。さらに、動作的には弁体を摺動させる機構を採用していないため、磨耗などのおそれがないので、部品の寸法に高い精度が求められず、かつ、信頼性も高い。
【０１０５】
また、転動体の閉方向への転動によりシート状弁体が転動体に巻き付けられている状態から開口部を覆うように展開される一方、転動体の開方向への転動によりシート状弁体が開口部を開放するように転動体に巻き付けられる構成を採用すると、転動体の位置によってシート状弁体による開口部の開度調整を行うことができる。従って、開口部の形状によって任意の流量パターンを調整できるので、流量のリニア制御を容易に行うことができる。また、転動体を完全に閉方向に転動させれば、シート状弁体で開口部を完全に覆って塞ぐことができ、かつ、流体圧によってシート状弁体が壁面に沿って密着状態になるため、完全閉状態を容易に実現できる。さらに、動作的には摺動機構を採用していないため、磨耗などのおそれがないので、部品の寸法に高い精度が求められず、かつ、信頼性も高い。さらにまた、動作的には転動体を転動させるという回転運動を採用しているため、モータから出力された回転運動を転動体に伝達すればよく、回転運動を直線運動に変換する必要がなく、摩擦損失もないので、エネルギー損失も小さい。しかも、省電力化、および制御の高速化も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る流量制御装置の平面図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置の下ケースの平面図、およびＡ−Ａ′断面図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置の上ケースの平面図、およびＢ−Ｂ′断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る流量制御装置に構成されている各構成要素の展開図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置における開状態を示す平面図、および閉状態を示す平面図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置に用いたドラム体の平面図、このドラム体の開口部を形成した円筒壁のＣ矢視図、ドラム体のＤ−Ｄ′断面図、およびドラム体のＥ−Ｅ′断面図である。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置に用いたギア体の平面図、ギア体の底面図、およびギア体のＦ−Ｆ′断面図である。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置に用いたリング状スプロケットの平面図、およびリング状スプロケットのＧ−Ｇ′断面図である。
【図９】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置に用いた転動体の平面図、転動体のＨ−Ｈ断面図、および転動体の底面図である。
【図１０】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置に用いたシート状弁体の側面図、および平面図である。
【図１１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１に係る流量制御装置１に用いた開口部の説明図、およびこの開口部に対する転動体の角度位置と開口面積との関係を示すグラフである。
【図１２】本発明の実施の形態２に係る流量制御装置の平面図である。
【図１３】本発明の実施の形態２に係る流量制御装置に構成されている各構成要素の展開図である。
【図１４】本発明の実施の形態２に係る流量制御装置を示す分解斜視図である。
【図１５】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の実施の形態２に係る流量制御装置における開状態を示す平面図、および閉状態を示す平面図である。
【図１６】本発明の実施の形態２に係る流量制御装置におけるモータのディテントトルク、出力トルク、および復帰ばねのトルクの大小関係を示す説明図である。
【図１７】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２に係る流量制御装置に用いた開口部の説明図、およびこの開口部に対する転動体の角度位置と開口面積との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１、１００　流量制御装置
２、１０２　下ケース
３、１０３　上ケース
４、１０４　弁体駆動機構
５　ドラム体
６、１０６　シート状弁体
７、１０７　ギア体
８　リング状スプロケット（可動体）
９、１０９　転動体
２１、１２１　流体出口
２２、１２２　流体入り口
４０、１４０　ステッピングモータ
４６、４８　動力伝達歯車
５０、１２４　円筒壁
５１　流体出口となる円筒部
５３、９６、１２７、１９３　シート状弁体を保持する溝
５５、１２６　開口部
８０　リング状スプロケットの窓
７２、１７２　ギア体の外歯（円筒壁側の外歯）
８５　リング状スプロケットの内歯
９１、１９１　転動体の外歯
９５、１９５　胴部
９９　ゴムリング
１０５　内側ケース
１０８　第１のレバー
１１０　第２のレバー
２００　復帰ばね（原点位置復帰手段）
５５０、１２５　壁面
５７０、５９０、１０２ａ、１０２ｂ　ストッパとしての段差部分（凸部分）
８０１、８０２　窓の内縁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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