(57)【要約】【課題】移載後における作業性を向上でき、しかも移載する基板の枚数に応じた段取り替えが容易な基板の移載装置を提供する。【解決手段】受取ステーションＳ３に並列配置される複数枚の基板３をそれぞれ個別に吸着保持する複数組の吸着手段７０を有する吸着ユニット７１と、吸着ユニット７１を受取ステーションＳ３とそれに隣接する搬出ステーションＳ４とにわたって移送する移送手段７２と、吸着ユニット７１を上昇位置と下降位置とにわたって昇降する昇降手段７３と、吸着手段７０により吸着保持した複数枚の基板３が相互に一定間隔をあけて移載されるように吸着ユニット７０に設けた、複数組の吸着手段７０の間隔を基板３の並列方向に切り換える間隔切換手段とを備えた。【選択図】  図１
2004181574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ステーションに並列配置される複数枚の基板をそれぞれ個別に吸着保持する複数組の吸着手段を有する吸着ユニットと、
前記吸着ユニットを第１ステーションとそれに隣接する第２ステーションとにわたって移送する移送手段と、
前記吸着ユニットを上昇位置と下降位置とにわたって昇降する昇降手段と、
前記吸着手段により吸着保持した複数枚の基板が相互に一定間隔をあけて移載されるように吸着ユニットに設けた、複数組の吸着手段の間隔を基板の並列方向に切り換える間隔切換手段と、
を備えたことを特徴とする基板の移載装置。
【請求項２】
前記間隔切換手段が、吸着ユニットで一度に吸着保持する基板の枚数に応じて吸着手段の連動パターンを変更するパターン変更手段を備えた請求項１記載の基板の移載装置。
【請求項３】
前記間隔切換手段が、基板の並列方向に配置した１本の固定ラックと、固定ラックと略平行に配置した複数本の可動ラックと、複数本の可動ラックを基板の並列方向に個別に移動させる複数のアクチュエータと、１本の固定ラックと複数本の可動ラックに択一的に噛合する噛合部材と、噛合部材をそれに噛合するラックを切換可能に吸着手段に連結する連結手段とを備えた請求項１又は２記載の基板の移載装置。
【請求項４】
前記吸着ユニットにより一度に移載する基板の枚数に応じた複数のパレットを第２ステーションに設け、各パレットに対して基板を積層状に移載する請求項１〜３のいずれか１項記載の基板の移載装置。
【請求項５】
前記第２ステーションに基板を移載するに際して、基板を下側へ押し付けて吸着手段から基板を切り離す基板切離手段を吸着ユニットに設けた請求項１〜４のいずれか１項記載の基板の移載装置。
【請求項６】
前記移送手段により第１ステーションから第２ステーションへ基板を移送する際に、基板の移載位置が一定枚数毎に前後方向或いは左右方向に、基板相互の間隔よりも小さな一定距離だけずれるように移送する請求項１〜５のいずれか１項記載の基板の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、並列状に配置される複数枚の基板を各基板毎に積層状に移載するのに好適な基板の移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器等で用いられるプリント配線基板は、プリント配線等を施していない無垢の大判の素材基板を要求サイズに切断して製作されている。具体的には、プリント不良等が発生し易い素材基板の外縁部の耳部を除去するとともに要求サイズに切断し、その後プリント配線や部品実装用の孔を形成して製作されている。
【０００３】
本出願人は、このような素材基板の左右の耳部を切除するとともに複数の基板に切断する基板の切断処理システムを提案している（例えば、特許文献１参照。）。この基板の切断処理システムには、スリッターにより素材基板の左右の耳部を切除するとともに２枚の基板に切断する切断装置と、切断装置から受取ステーションへ送り出された２枚の基板を吸着手段でそのまま保持して、隣接する搬出ステーションのパレット上に移載する移載装置が記載されている。また、この移載装置では、基板を積層状に移載する際に、基板の移載位置を一定枚数毎に左右方向に一定距離ずらして移載することで、搬出ステーションに移載された基板の積層枚数を目視にて容易に概算することが可能となり、搬出ステーションからの基板の搬出タイミングを的確に察知することができるように構成されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−３０７３９０号公報（第４，６，７頁、第１，７図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記特許文献１に記載の基板の切断処理システムでは、耳部が除去されて２枚に切断された基板がそのままエアフロートによりフローティング支持された状態で受取ステーションへ送り出される関係上、２枚の基板はほとんど隙間なく受取ステーションに配置され、これをそのまま吸着手段で保持して隣接するパレット上に、基板の移載位置を一定枚数毎に左右方向に一定距離ずらして移載すると、特許文献１の図７に示すように、左右に積層された基板の端部が噛み合った状態となり、左右の基板を分離する作業が後工程として必要になり、その作業が煩雑であった。
【０００６】
また、受取ステーションにおける基板の左右方向に対する位置ズレや移載装置における左右方向への移送誤差により、搬出ステーションに移載される基板の左右方向位置が微妙にずれることによっても、左右に積層される基板の端部が噛み合った状態となり、左右の基板を分離する作業が後工程として必要にな、その作業が煩雑であった。
【０００７】
更に、吸着保持した２枚の基板の１つのパレットの左部及び右部上に移載していたので、後工程における基板のハンドリング性等を考慮して、別々のパレット上に載せ替える必要があり、その作業が煩雑であった。
【０００８】
本発明の目的は、移載後における作業性を向上でき、しかも移載する基板の枚数に応じた段取り替えが容易な基板の移載装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る基板の移載装置は、第１ステーションに並列配置される複数枚の基板をそれぞれ個別に吸着保持する複数組の吸着手段を有する吸着ユニットと、前記吸着ユニットを第１ステーションとそれに隣接する第２ステーションとにわたって移送する移送手段と、前記吸着ユニットを上昇位置と下降位置とにわたって昇降する昇降手段と、前記吸着手段により吸着保持した複数枚の基板が相互に一定間隔をあけて移載されるように吸着ユニットに設けた、複数組の吸着手段の間隔を基板の並列方向に切り換える間隔切換手段とを備えたものである。
【００１０】
この移載装置においては、第１ステーションにおいて、昇降手段により吸着ユニットを下降位置へ下降させて、第１ステーションに並列配置される複数枚の基板を複数組の吸着手段でそれぞれ吸着保持してから、昇降手段により吸着ユニットとともに基板を上昇させて、移送手段により第２ステーションの上方位置へ移送し、その後昇降手段により吸着ユニットとともに基板を下降させて、第２ステーションに基板を移載する。こうして基板を移載した後、昇降手段により吸着ユニットを上昇させ、移送手段により吸着ユニットを第１ステーション上へ移送し、昇降手段により吸着ユニットを下降させて、次の基板を吸着保持するという作業を繰り返し行って、第１ステーションに並列配置された基板を第２ステーションに順次移載することになる。
【００１１】
また、第１ステーションにおいて基板を吸着保持してから第２ステーションにおいて基板を移載するまでの間において、吸着保持している複数枚の基板が相互に一定間隔をあけて移載されるように、複数組の吸着手段の間隔を各組毎に基板の並列方向に切り換え、この状態で吸着保持している基板を第２ステーションに移載することになる。また、第２ステーションに基板を移載してから、次の基板を吸着保持するまでの間において、間隔切換手段により吸着手段を元の間隔に切り換え、次の基板を吸着保持するという作業を繰り返すことにより、第２ステーションに対して相互に一定間隔をあけた状態で複数枚の基板を順次移載することになる。
【００１２】
このように、相互に一定間隔をあけた状態に基板を移載するので、第２ステーションに対して積層状に基板を載置しても、隣接する基板の端部が噛み合うことを確実に防止して、移載した基板をそのまま次工程へ搬送することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。
【００１３】
ここで、前記間隔切換手段が、吸着ユニットで一度に吸着保持する基板の枚数に応じて吸着手段の連動パターンを変更するパターン変更手段を備えてもよい。このようなパターン変更手段を備えると、混流生産などにより一度に移載する基板の枚数が切り換えられても、それに応じて容易に段取り替えができるので好ましい。
【００１４】
このようなパターン変更手段を備えた間隔切換手段としては、基板の並列方向に配置した１本の固定ラックと、固定ラックと略平行に配置した複数本の可動ラックと、複数本の可動ラックを基板の並列方向に個別に移動させる複数のアクチュエータと、１本の固定ラックと複数本の可動ラックに択一的に噛合する噛合部材と、噛合部材をそれに噛合するラックを切換可能に吸着手段に連結する連結手段とを備えたものが好適である。この場合には、噛合部材が吸着手段の連動パターンに応じたラックに噛合するように、連結手段により噛合部材と吸着手段とを連結することで、移載する基板の枚数に応じて吸着手段の間隔を容易に且つ適正に切り換えることが可能となる。
【００１５】
前記吸着ユニットにより一度に移載する基板の枚数に応じた複数のパレットを第２ステーションに設け、各パレットに対して基板を積層状に移載してもよい。このよう構成することで、移載した基板をそのままパレットとともに次工程へ搬出することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。
【００１６】
前記第２ステーションに基板を移載するに際して、基板を下側へ押し付けて吸着手段から基板を切り離す基板切離手段を吸着ユニットに設けてもよい。この場合には、吸着保持した基板を確実に第２ステーションに移載することが可能となる。
【００１７】
前記移送手段により第１ステーションから第２ステーションへ基板を移送する際に、基板の移載位置が一定枚数毎に前後方向或いは左右方向に、基板相互の間隔よりも小さな一定距離だけずれるように移送してもよい。この場合には、第２ステーションに移載される基板を前後方向或いは左右方向に一定距離だけずらして移載されるので、第２ステーションに対して基板を積層状に移載したときに、基板の積層枚数を目視にて容易に概算することが可能となり、第２ステーションからの基板の搬出タイミングを的確に察知することが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。尚、本実施の形態は、本発明に係る移載装置を基板の切断処理システムに適用した場合のものである。
【００１９】
図１に示すように、切断処理システム１０は、搬入ステーションＳ１から位置決めステーションＳ２へ１枚ずつ素材基板１を吸着保持して移送する第１移載装置１１と、位置決めステーションＳ２から受取ステーションＳ３への素材基板１の水平移送時に、素材基板１の左右の耳部２を除去するとともに素材基板１を２つに切断して２枚の基板３を製作する切断装置１２と、受取ステーション（第１ステーション）Ｓ３から搬出ステーション（第２ステーション）Ｓ４へ２枚の基板３を同時に移送する第２移載装置１３とを備えている。尚、本実施例では、素材基板１から２枚の基板３を製作するように構成したが、１枚或いは３枚以上の基板を製作することも可能である。また、この第２移載装置１３が本発明の基板の移載装置に相当する。
【００２０】
切断処理システム１０に搬入される素材基板１は、前後の耳部を予め除去したもので、切断処理システム１０では素材基板１から左右両側の耳部２（図４参照）を切除するとともに、その途中部を切断することで２枚の基板３を得るように構成されている。このように素材基板１の外縁部を耳部として切除することにより、基板３の外縁部における回路パターンの形成不良を防止できることになる。
【００２１】
搬入ステーションＳ１には第１載置台１５が設けられ、第１載置台１５の上面部には複数の移送用ボール１６が回転自在に組み付けられ、素材基板１は平板状のパレット１７に複数枚積層状にセットした状態で搬入ステーションＳ１に搬入され、パレット１７とともに移送用ボール１６上に移動自在に載置される。第１載置台１５はその上面に２枚のパレット１７を前後に載置可能に構成され、前側のパレット１７には今回処理する素材基板１が積層状にセットされ、後側のパレット１７には次回処理する素材基板１が積層状にセットされている。
【００２２】
第１移載装置１１は、素材基板１を吸着保持可能な複数の吸着手段２０を備えた吸着ユニット２１と、吸着ユニット２１を搬入ステーションＳ１と位置決めステーションＳ２とにわたって左右方向に移動自在に支持する鉛直フレーム２２及び水平フレーム２３と、吸着ユニット２１を水平フレーム２３に沿って左右方向に駆動する図示外の水平駆動手段と、吸着ユニット２１を上下方向に駆動する昇降手段２４とを備えたものである。尚、水平駆動手段は、図示外のサーボモータとスクリュー軸を介して吸着ユニット２１を左右方向に駆動する一般的な構成のものである。また、昇降手段２４はエアシリンダなどのアクチュエータを介して吸着ユニット２１を昇降駆動する一般的な構成のものである。
【００２３】
そして、この第１移載装置１１では、搬入ステーションＳ１において吸着ユニット２１を下降させて、パレット１７に積層状に載置した素材基板１のうちの最上層の素材基板１を吸着手段２０の吸着パッドで吸着保持し、この状態で吸着ユニット２１とともに吸着保持した素材基板１を上昇させてから位置決めステーションＳ２へ移送し、位置決めステーションＳ２において吸着ユニット２１を下降させて位置決めステーションＳ２の第２載置台２５上に素材基板１を移載する。尚、位置決めステーションＳ２に対する素材基板１の移載時の高さは一定であるが、搬入ステーションＳ１における素材基板１の吸着保持位置は、素材基板１の積層枚数によって異なることから、素材基板１を移載する毎に搬入ステーションＳ１における吸着ユニット２１の下限位置が素材基板１の厚さ分ずつ低くなるように昇降手段２４を制御することになる。
【００２４】
搬入ステーションＳ１に積層状に載置した素材基板１を円滑に１枚ずつ吸着保持できるようにするため、第１載置台１５の上面前部にはパレット１７上に積層状にセットした素材基板１のうちの最上層を含む素材基板１の前面に、前方より空気を吹き付ける左右１対の空気吹付手段３０が設けられている。
【００２５】
空気吹付手段３０について説明すると、図１及び図２に示すように、第１載置台１５上には取付部材３１を介して前後１対の支持ロッド３２が立設され、支持ロッド３２の途中部には支持ブロック３３が上下方向に移動可能に設けられている。支持ブロック３３は、支持ロッド３２との摩擦抵抗により、自然落下しないが、比較的弱い力で上下方向に操作可能に支持ロッド３２に取り付けられている。支持ブロック３３の下側にはノズル支持部材３４が設けられ、ノズル支持部材３４には先端部にノズル３５を備えた変形可能な１対のパイプ部材３６が取り付けられ、各パイプ部材３６のノズル３５はパレット１７に積層された素材基板１の最上層の前面側へ向くように位置調整されている。尚、符号１８は、フローティング支持された素材基板１の側方への移動を規制するために、第１載置台１５の上面に着脱自在に立設固定した移動規制ロッドである。
【００２６】
ノズル支持部材３４の下側には積層した素材基板１付近まで延びるアーム部材３７が設けられ、吸着ユニット２１の吸着手段２０の支持フレーム３８には前方へ延びる左右１対の操作アーム３９が設けられ、操作アーム３９の先端部には左右方向へ延びる操作ロッド３９ａが設けられ、操作ロッド３９ａの左右両端部には下方へ延びてアーム部材３７を下方へ押圧操作可能な操作部材３９ｂが設けられ、搬入ステーションＳ１において吸着ユニット２１が下降する毎に、操作部材３９ｂがアーム部材３７の上面に当接して、アーム部材３７を介してノズル支持部材３４及び支持ブロック３３を素材基板１の厚さ分ずつ下方へ操作する。つまり、前述したように吸着ユニット２１は、搬入ステーションＳ１において最上層の素材基板１を確実に吸着手段２０にて吸着保持できるように、素材基板１の厚さ分ずつその下限位置が下側に調整されるので、これを利用してノズル支持部材３４及び支持ブロック３３を素材基板１の厚さ分ずつ下方へ移動させて、ノズル３５の高さ位置を常時適正な位置に調整できるように構成されている。
【００２７】
図１に示すように、位置決めステーションＳ２に設けられる第２載置台２５の上部には、第１移載装置１１にて移載された素材基板１を前方へ移送するためのローラコンベアからなる前後移送用コンベア４０が設けられるとともに、中央部の前後移送用コンベア４０の隣接するローラ４１間には素材基板１を左右方向に移動自在に支持するための位置調整用コンベア４２が図示外の昇降手段を介して昇降自在に設けられている。第２載置台２５の右端部には素材基板１の右側縁の位置を規制する固定規制板４３が設けられ、第２載置台２５の左端部には素材基板１の左側縁の位置を規制する可動規制板４４がシリンダ４５により左右方向に平行移動可能に設けられている。そして、素材基板１を位置決めステーションＳ２へ移載する際には、位置調整用コンベア４２を上昇させてこの位置調整用コンベア４２上に素材基板１を移載し、この状態で、可動規制板４４を右側へ移動させて、固定規制板４３と可動規制板４４間に素材基板１を挟持し、素材基板１の左右方向の位置を調整した後、位置調整用コンベア４２を下降させて、前後移送用コンベア４０上に素材基板１を移載して、この前後移送用コンベア４０により切断装置１２へ素材基板１を移送する。尚、位置決めステーションＳ２における素材基板１の位置調整は、任意の構成の位置決め装置を用いて行うことが可能である。
【００２８】
切断装置１２は、図１、図３、図４に示すように、素材基板１の基板３と耳部２との境界に沿って剪断力を作用させて切れ目４を入れる左右１対の耳取用スリッター５０と、左右の基板３の境界に剪断力を作用させて左右の基板３を切断する切断用スリッター５１と、耳取用スリッター５０にて切れ目４を入れた素材基板１の耳部２の先端部を上下１対の切離ローラ（図示略）間に挟んで、該耳部２を上下の切離ローラとともに基板３よりも下側へ移動させるとともに、基板３の移送速度と同期させて移送方向の前方斜め下側へ送り出し、基板３から耳部２を切り離す左右１対の切離手段５４と、切離手段５４内において左右の基板３を略水平に受取ステーションＳ３側へ移送する水平移送手段５５とを備えている。但し、切断用スリッター５１は複数設けてもよい。
【００２９】
左右の耳取用スリッター５０及び切断用スリッター５１は基本的に同様に構成され、図３、図４に示すように、クリアランスＨを調整可能に接近配置した上下１対の回転刃５６，５７を夫々備えている。上側３枚の回転刃５６及び下側３枚の回転刃５７は上下１対の軸５０ａにそれぞれ左右方向に位置調整可能で且つ相対回転不能に支持され、上下の軸５０ａはその軸端において歯車５０ｂを介して連結され、上下の回転刃５６，５７は軸５０ａ及び歯車５０ｂを介して電動モータ（図示略）により相互に逆方向に同期回転する。
【００３０】
回転刃５６，５７は、略円板状のカッターホルダ５８と、カッターホルダ５８に固定した略環状のカッター５９とを有しており、上下のカッター５９の周面間には素材基板１の厚さよりも小さい所定のクリアランスＨが形成され、上下のカッター５９の対向する端面の外周部には環状の逃げ溝５９ａが形成されている。
【００３１】
左右の耳取用スリッター５０における上下のカッター５９のクリアランスＨは、素材基板１の適正な厚さの５０〜８０％、好ましくは５５〜６５％に設定され、上下のカッター５９により基板３と耳部２との境界に沿って剪断力を作用させた状態で、境界には切れ目４は形成されるが、耳部２自体は銅箔や素材基板１を構成する樹脂材料や繊維材を介して基板３に若干繋がった状態となって、下流側の切離手段５４へ移送されるように構成されている。尚、クリアランスＨが、素材基板１の適正な厚さの５０％以下になると、耳部２が完全に切断され、８０％以上になると、切れ目４が十分に付かず、基板３から耳部２を容易に切離せなくなるので、５０〜８０％に設定されている。
【００３２】
一方、切断用スリッター５１における上下のカッター５９のクリアランスＨは、素材基板１の適正な厚さの５０％以下に設定され、上下のカッター５９により左右の基板３の境界に沿って剪断力を作用させて、左右の基板３に完全に切断することになる。
【００３３】
水平移送手段５５は、図１に示すように、左右の耳取用スリッター５０にて切れ目４を入れた素材基板１の耳部２を上下の切離手段５４へ供給するための上下１対の移送用ローラ６０を備えた後部移送手段６１と、耳部２を除去して切断された２枚の基板３を受取ステーションＳ３へ送り込む上下１対の移送用ローラ６２を備えた前部移送手段６３と、前後の移送用ローラ６０，６２間において基板３を下側から支持するローラコンベア６４とを備えている。前後の移送用ローラ６０，６２は同期して回転駆動され、半分に切断された基板は後部移送手段６１により前方へ移送されながら、その左右両側部の耳部２が水平移送手段５５の左右両側に配置した切離手段５４により順次除去され、耳部２を除去した左右１対の基板３の状態で、前部移送手段６３により受取ステーションＳ３に設置した第３載置台６５上へ送り出される。尚、切離手段５４は、本発明とは直接的に関係しないので、その詳細な説明は省略する。
【００３４】
図１に示すように、受取ステーションＳ３には第３載置台６５が設けられ、第３載置台６５の上面は略平坦面に構成され、上面後部には空気吹出孔６６が一定間隔おきに複数形成され、上面の左右両側部及び前端部には基板３の脱落を規制する規制バー６７が設けられている。切断装置１２にて耳取された左右１対の基板３は、空気吹出孔６６から吹き出される空気によりフローティング支持された状態で、上下１対の移送用ローラ６２により受取ステーションＳ３に送り出され、第３載置台６５上へ移送され、前部及び左右の規制バー６７により位置規制されて第３載置台６５上に左右に並列状にフローティング支持される。このように、基板３をフローティング支持するので、基板３の下面に対して傷が付いたりするという不具合を防止できるとともに、移送のための手段を格段に簡略に構成できる。
【００３５】
第２移載装置１３は、図１、図５〜図７に示すように、受取ステーション（第１ステーション）Ｓ３に並列配置される複数枚の基板３をそれぞれ個別に吸着保持する複数組の吸着手段７０を有する吸着ユニット７１と、吸着ユニット７１を受取ステーションＳ３とそれに隣接する搬出ステーション（第２ステーション）Ｓ４とにわたって移送する移送手段７２と、吸着ユニット７１を上昇位置と下降位置とにわたって昇降する昇降手段７３とを備えている。
【００３６】、
移送手段７２について説明すると、図１に示すように、受取ステーションＳ３の左後部と受取ステーションＳ３と搬出ステーションＳ４間の後部には鉛直フレーム７４が立設され、鉛直フレーム７４の上部には両ステーションＳ３，Ｓ４にわたって左右方向に延びる水平フレーム７５が固定され、水平フレーム７５の前側には昇降手段７３とともに吸着ユニット７１を支持する支持ベース７６が設けられ、吸着ユニット７１はこの支持ベース７６とともに図示外の駆動手段により両ステーションＳ３，Ｓ４にわたって左右方向に移送される。
【００３７】
昇降手段７３について説明すると、図１、図６に示すように、支持ベース７６に前側には上下方向に移動自在に左右１対のガイドロッド７７が設けられ、左右のガイドロッド７７間には左右１対のエアシリンダなどからなるアクチュエータ７８がその出力ロッド７９を下方へ向けて設けられ、ガイドロッド７７の下端部及びアクチュエータ７８の出力ロッド７９の下端部は吸着ユニット７１の左右方向の途中部に固定され、吸着ユニット７１はアクチュエータ７８を介して上昇位置と下降位置とにわたって昇降される。
【００３８】
吸着ユニット７１は、図５〜図９に示すように、５枚の上面板８０及び左右の側面板８１により前後に間隔をあけて一体的に連結固定した左右方向に延びる１対の支持フレーム８２と、支持フレーム８２に対して左右方向に移動自在に支持された６つの可動ベース８３と、各可動ベース８３の前後両端部に縦向きに固定された１対の吸着手段７０と、隣接する可動ベース８３の間隔を切り換えることで、吸着手段７０により吸着保持した複数の基板３が相互に一定間隔Ｌをあけて搬出ステーションＳ４のパレット８４上に移載されるように、複数組の吸着手段７０の間隔を基板３の並列方向に切り換える間隔切換手段８５と、搬出ステーションＳ４のパレット８４上に基板３を移載するに際して、基板３を下側へ押し付けて吸着手段７０から基板３を切り離す基板切離手段８６とを備えている。
【００３９】
吸着手段７０は、基板３に吸着する吸着パッド８７を備えた周知の構成のもので、基板３に吸着パッド８７を圧接させた状態で図示外の減圧手段により吸着パッド８７内を減圧することにより、基板３を吸着保持できるように構成されている。この吸着手段７０では、搬出ステーションＳ４における基板３の移載時に、吸着パッド８７内へ外気を導入するなどして、吸着保持している基板３が円滑に移載されるように制御することになるが、このように制御した場合においても、基板３の切り離し不良が発生することがあるので、次のような構成の基板切離手段８６を設けることが好ましい。
【００４０】
基板切離手段８６について説明すると、図６、図７に示すように、左右の側面板８１にはエアシリンダーなどからなる昇降用のアクチュエータ８８がそれぞれ設けられ、アクチュエータ８８の上下方向の出力ロッド８９の下端部には前後方向に細長い支持板９０が固定されている。支持板９０の下側には前後方向に細長い中間板９１が配置され、支持板９０の前後両側部には１対のガイドロッド９２が上下移動自在に装着され、ガイドロッド９２の上端部にはガイドロッド９２の下方への脱落を規制するストッパー部材９４が取り付けられ、中間板９１はガイドロッド９２の下端部に連結されて、ガイドロッド９２とともに支持板９０に対して上下移動自在に支持されている。両ガイドロッド９２には圧縮コイルバネからなる付勢手段９３が外装され、中間板９１は付勢手段９３の付勢力により、ストッパー部材９４が支持板９０に当接した図６に仮想線で図示の下限位置に保持されている。左右の中間板９１間には枠状フレーム９５が架設状に設けられ、枠状フレーム９５の下面には板状部材とクッション材からなる押さえ部材９６が一定間隔おきに設けられている。
【００４１】
この基板切離手段８６では、受取ステーションＳ３から搬出ステーションＳ４へ基板３を移送するときには、図６、図７に実線で示すように、アクチュエータ８８により支持板９０を上昇させて、押さえ部材９６の下端部を吸着手段７０の下端よりもやや高い位置に位置させることになるが、搬出ステーションＳ４において昇降手段７３により吸着ユニット７１を下降させて、吸着保持した基板３がパレット８４或いはパレット８４に積層状に載置した基板３に最接近又はその近傍に下降した状態で、図６に仮想線で示すように、アクチュエータ８８により支持板９０を下降させて、吸着保持している基板３を押さえ部材９６で押圧してパレット８４上或いはパレット８４に積層状に載置した基板３上に強制的に移載することになる。尚、付勢手段９３は、基板３に対して押さえ部材９６を圧接させるときの衝撃を緩和するとともに、吸着ユニット７１が上昇するときにおいても一定期間、移載した基板３をパレット８４側へ押し付けて、基板３の切り離しを確実に行えるようにするためのものであるが、押さえ部材９６のクッション材の肉厚を十分に厚く設定すれば省略することも可能である。
【００４２】
間隔切換手段８５について説明すると、図５〜図９に示すように、前後の支持フレーム８２の前後両側には左右方向に延びる１対のガイドロッド１００がその両端部において支持フレーム８２に固定支持され、両ガイドロッド１００には支持フレーム８２の下側を通って延びる側面視略凹字状の６つの可動部材１０１がガイドロッド１００に沿って左右方向に移動自在に支持されている。各可動部材１０１は正面視略Ｌ字状に形成され、可動部材１０１の水平板部１０２の下面には前方及び後方へ延びる１対の支持ロッド１０３が前後方向に長さ調整可能に設けられ、吸着手段７０は両支持ロッド１０３の先端部に縦向きに固定支持されている。尚、可動ベース８３は、可動部材１０１と支持ロッド１０３などで構成されている。また、符号１０４は支持ロッド１０３の長さを調整するための調整手段であり、符号１０５は調整手段１０４の操作レバーである。
【００４３】
前後の支持フレーム８２間の中央部には支持フレーム８２の略全長にわたって左右方向に延びる固定ラック１０６が歯を下側へ向けて設けられ、固定ラック１０６はスペーサ部材１０７を介して上面板８０の下面に固定支持されている。固定ラック１０６の左半部の後側には左右方向に延びる左可動ラック１１０が歯を下側へ向けて設けられ、左可動ラック１１０はガイド部材１１１を介して左右方向に移動自在に上面板８０の下面に支持され、上面板８０の左部上に設けたエアシリンダーからなる左アクチュエータ１１２により左右方向に駆動される。固定ラック１０６の右半部の前側には左右方向に延びる右可動ラック１１５が歯を下側へ向けて設けられ、右可動ラック１１５はガイド部材１１６を介して左右方向に移動自在に上面板８０の下側に支持され、上面板８０の右部上に設けたエアシリンダーからなる右アクチュエータ１１７により左右方向に駆動される。
【００４４】
可動部材１０１の水平板部１０２上には前後方向に延びる前後１対のガイド孔１２０を有する操作部材１２１が設けられ、操作部材１２１はガイド孔１２０を挿通するように可動部材１０１に固定した連結ピン１２２により前後方向にのみ移動自在に可動部材１０１に取付けられている。固定ラック１０６及び両可動ラック１１０，１１５の歯の高さは同じに設定され、操作部材１２１の途中部には前後方向へのスライドにより固定ラック１０６と両可動ラック１１０，１１５のうちの任意のラックに択一的に噛合する歯を有する噛合部材１２３が設けられている。水平板部１０２の左端前部の下面側には３本のラック１０６，１１０，１１５と同じ間隔をあけて３つの位置切換孔１２４を形成した位置切換部材１２５が設けられ、操作部材１２１の前端部には位置切換部材１２５の左側へ延びる略Ｌ字状の連結部材１２６が固定され、連結部材１２６には位置切換孔１２４に対応させてインデックスプランジャー１２７が取付けられている。そして、インデックスプランジャー１２７のピン１２８を位置切換孔１２４から抜き取ってから、連結部材１２６及び操作部材１２１を前後方向に操作して、ピン１２８を挿入する位置切換孔１２４を切り換えることで、噛合部材１２３を所望のラック１０６，１１０，１１５に噛合できるように構成されている。尚、パターン変更手段は、両可動ラック１１０，１１５及び固定ラック１０６と、噛合部材１２３と、操作部材１２１と、位置切換部材１２５と、インデックスプランジャー１２７と、連結部材１２６などから構成されている。また、連結手段は、操作部材１２１と、位置切換部材１２５と、インデックスプランジャー１２７と、連結部材１２６などから構成されている。
【００４５】
この第２移載装置１３においては、受取ステーションＳ３において、昇降手段７３により吸着ユニット７１を下降位置へ下降させて、受取ステーションＳ３の第３載置台６５上に左右に並列状にフローティング支持された２枚の基板３を左側に２組の吸着手段７０でそれぞれ吸着保持してから、昇降手段７３により吸着ユニット７１とともに基板３を上昇させて、移送手段７２により搬出ステーションＳ４の上方位置へ移送し、その後昇降手段７３により吸着ユニット７１とともに基板３を下降させて、搬出ステーションＳ４に設けたパレット８４上に基板３を移載する。こうして基板３を移載した後、昇降手段７３により吸着手段７０を上昇させ、移送手段７２により吸着手段７０を受取ステーションＳ３上へ移送し、昇降手段７３により吸着手段７０を下降させ次の基板３を吸着保持するという作業を繰り返して、搬出ステーションＳ４のパレット８４上に２枚の基板３を積層状に順次移載することになる。尚、受取ステーションＳ３における基板３の高さは一定であるが、搬出ステーションＳ４における基板３の最上層の高さは、パレット８４に積層されている基板３の枚数により変化するので、移載する基板３が落下等することなく、滑らかに移載されるようにするため、吸着ユニット７１は基板３を移載する毎に基板３の厚さ分ずつ高く設定することになる。また、一定枚数の基板３を移載した状態で、図１０に示すように、基板３の移載位置を左右方向に一定距離ずらして基板３をパレット８４上に載置すると、基板３の移載枚数を容易に把握することが可能となる。
【００４６】
また、移載装置１３では、受取ステーションＳ３において基板３を吸着保持してから搬出ステーションＳ４のパレット８４上に基板３を移載するまでの間において、図６に示すように、吸着ユニット７１に吸着保持した２枚の基板３が相互に一定間隔Ｌをあけて移載されるように、複数組の吸着手段７０の間隔を基板３の並列方向に切り換え、この状態で吸着保持している基板３を搬出ステーションＳ４のパレット８４上に移載することになる。また、搬出ステーションＳ４のパレット８４上に基板３を移載してから、次の基板３を吸着保持するまでの間において、間隔切換手段８５により吸着手段７０を元の間隔に切り換え、次の基板３を吸着保持するという作業を繰り返すことにより、搬出ステーションＳ４のパレット８４上に相互に間隔をあけた状態で基板３を積層状に順次移載することになる。
【００４７】
例えば図５に示すように、左側の６つの吸着手段７０と右側の６つの吸着手段７０で２枚の基板３を吸着保持して一度に移載する際には、左側３つの間隔切換手段８５のインデックスプランジャー１２７のピン１２８と、右側３つの間隔切換手段８５のインデックスプランジャー１２７のピン１２８の少なくとも一方を３つの位置切換孔１２４のうちの中央部以外の位置切換孔に装着させることで、左側３つの噛合部材１２３又は右側３つの噛合部材１２３を可動ラック１１０，１１５に噛合させてアクチュエータにより移動できるようにし、移載途中で左右の基板３の間隔が広くなるように操作することになる。具体的には、左側３つの間隔切換手段８５のインデックスプランジャー１２７のピン１２８を後側の位置切換孔１２４に装着し、右側３つの間隔切換手段８５のインデックスプランジャー１２７のピン１２８を前側の位置切換孔１２４に装着し、左側６つの吸着手段７０を左側へ移動させ、右側６つの吸着手段７０を固定した状態とすることで、左右の基板３間に一定の間隔を形成することになる。
【００４８】
また、混流生産などにより、図１０に示すように、３枚の基板３Ａを左側４つの吸着手段７０と中央４つの吸着手段７０と右側４つの吸着手段７０とで吸着保持して一度に移載する際には、左側２つの間隔切換手段８５のインデックスプランジャー１２７のピン１２８を後側の位置切換孔１２４に装着し、中央２つの間隔切換手段８５のインデックスプランジャー１２７のピン１２８を中央の位置切換孔１２４に装着し、右側２つの間隔切換手段８５のインデックスプランジャー１２７のピン１２８を前側の位置切換孔１２４に装着することで、中央４つの吸着手段７０を固定し、左側４つの吸着手段７０を左側へ、右側４つの吸着手段７０を右側へ移動させ、隣接する基板３Ａ間に一定の間隔を形成することになる。尚、１枚の基板を１２個の吸着手段７０で移載する際には、６つの間隔切換手段８５のインデックスプランジャー１２７のピン１２８を中央部の位置切換孔１２４に装着することになる。
【００４９】
このように、相互に間隔をあけた状態で基板３を移載するので、隣接する基板３の端部が噛み合うことを確実に防止して、移載した基板３をそのまま次工程へ搬送することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。また、吸着ユニット７１により移載される基板３の枚数に応じて搬出ステーションＳ４に複数のパレット８４を設けると、これら複数のパレット８４に対して個別に基板３を積層状に移載することが可能となり、後工程における作業性を一層向上することが可能となる。
【００５０】
尚、本実施の形態では、吸着ユニット７１で一度に吸着保持できる基板３の枚数を１枚〜３枚に変更できるように構成したが、吸着手段７０及び可動ラック１１０，１１５の個数を増やすことで、３枚以上の基板３を間隔切換可能に吸着保持できるように構成することも可能である。
【００５１】
搬出ステーションＳ４には、図５、図６、図１１に示すように、第４載置台１３０が設置され、第４載置台１３０の上部には前後方向の軸心回りに回転自在は複数のローラ１３１からなるローラコンベア１３２が設けられ、ローラコンベア１３２上には吸着ユニット７１により一度に吸着保持できる基板３の枚数に応じた枚数のパレット８４が移動自在に載置されている。隣接するパレット８４間の間隔Ｌ１は移載される基板３の間隔Ｌよりもやや小さく設定され、吸着ユニット７１で吸着保持した基板３がパレット８４上に確実に移載されるように構成されている。ローラコンベア１３２の下側にはゴム等の弾性部材からなる左右方向に延びるストッパー部材１３３が設けられ、このストッパー部材１３３を図示外のアクチュエータによりローラ１３１に圧接させることで、ローラ１３１の回転を規制して移載作業時にパレット８４が移送することを防止できるように構成されている。
【００５２】
尚、本実施の形態では、プリント配線基板の素材基板１を所定サイズに切断する基板３の加工システムに、本発明を適用した場合について説明したが、複数の基板３を同時に移載する移載装置を備えたものであれば基板の加工システム以外の基板の処理システムに対しても本発明を同様に適用できる。また、基板３以外の板状部材を移載する際にも本発明を同様に適用できる。
【００５３】
【発明の効果】
本発明に係る基板の移載装置によれば、相互に間隔をあけた状態に基板を移載できるので、第２ステーションに対して積層状に基板を載置しても、隣接して移載した基板の端部が噛み合うことを確実に防止して、移載した基板をそのまま次工程へ搬出することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。
【００５４】
間隔切換手段が、吸着ユニットで一度に吸着保持する基板の枚数に応じて吸着手段の連動パターンを変更するパターン変更手段を備えると、混流生産などにより一度に移載する基板の枚数が切り換えられても、それに応じて容易に段取り替えができるので好ましい。
【００５５】
また、間隔切換手段として、１本の固定ラックと複数本の可動ラックと複数のアクチュエータと噛合部材と連結手段とを備えたものを用いると、噛合部材が吸着手段の連動パターンに応じたラックに噛合するように、連結手段により噛合部材と吸着手段とを連結することで、移載する基板の枚数に応じて吸着手段の間隔を容易に且つ適正に切り換えることが可能となる。
【００５６】
吸着ユニットにより一度に移載する基板の枚数に応じた複数のパレットを第２ステーションに設け、各パレットに対して基板を積層状に移載すると、移載した基板をそのままパレットとともに次工程へ搬出することが可能となり、後工程における作業性を向上できる。
【００５７】
第２ステーションに基板を移載するに際して、基板を下側へ押し付けて吸着手段から基板を切り離す基板切離手段を吸着ユニットに設けると、吸着保持した基板を確実に第２ステーションに移載することが可能となる。
【００５８】
移送手段により第１ステーションから第２ステーションへ基板を移送する際に、基板の移載位置が一定枚数毎に前後方向或いは左右方向に、基板相互の間隔よりも小さな一定距離だけずれるように移送すると、第２ステーションに移載される基板を前後方向或いは左右方向に一定距離だけずらして移載できるので、第２ステーションに対して基板を積層状に移載したときに、基板の積層枚数を目視にて容易に概算することが可能となり、第２ステーションからの基板の搬出タイミングを的確に察知することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】切断処理システムの平面図
【図２】空気吹付装置の側面図
【図３】スリッターの正面図
【図４】スリッター要部の縦断面図
【図５】吸着ユニットの平面図
【図６】第４移載台及び吸着ユニットの正面図
【図７】吸着ユニットの右側面図
【図８】間隔切換手段の要部斜視図
【図９】図５のＡ−Ａ線断面図
【図１０】第４移載台及び３枚の基板移載時の吸着ユニットの平面図
【図１１】搬出ステーションにおける左右の基板の積層状態の説明図
【符号の説明】
１      基板              ２      耳部
３      基板              ４      切れ目
１０    切断処理システム  １１    第１移載装置
１２    切断装置          １３    第２移載装置
１５    第１載置台        １６    移送用ボール
１７    パレット          １８    移動規制ロッド
２０    吸着手段          ２１    吸着ユニット
２２    鉛直フレーム      ２３    水平フレーム
２４    昇降手段          ２５    第２載置台
３０    空気吹付手段      ３１    取付部材
３２    支持ロッド        ３３    支持ブロック
３４    ノズル支持部材    ３５    ノズル
３６    パイプ部材        ３７    アーム部材
３８    支持フレーム      ３９    操作アーム
３９ａ  操作ロッド        ３９ｂ  操作部材
４０    前後移送用コンベア  ４１    ローラ
４２    位置調整用コンベア  ４３    固定規制板
４４    可動規制板        ４５    シリンダ
５０    耳取用スリッター  ５０ａ  軸
５０ｂ  歯車              ５１    切断用スリッター
５２    切離ローラ        ５３    切離ローラ
５４    切離手段          ５５    水平移送手段
５６    回転刃            ５７    回転刃
５８    カッターホルダ    ５９    カッター
５９ａ  逃げ溝
６０    移送用ローラ      ６１    後部移送手段
６２    移送用ローラ      ６３    前部移送手段
６４    ローラコンベア    ６５    第３載置台
６６    空気吹出孔        ６７    規制バー
７０    吸着手段          ７１    吸着ユニット
７２    移送手段          ７３    昇降手段
７４    鉛直フレーム      ７５    水平フレーム
７６    支持ベース        ７７    ガイドロッド
７８    アクチュエータ    ７９    出力ロッド
８０    上面板            ８１    側面板
８２    支持フレーム      ８３    可動ベース
８４    パレット          ８５    間隔切換手段
８６    基板切離手段      ８７    吸着パッド
８８    アクチュエータ    ８９    出力ロッド
９０    支持板            ９１    中間板
９２    ガイドロッド      ９３    付勢手段
９４    ストッパー部材    ９５    枠状フレーム
９６    押さえ部材
１００  ガイドロッド      １０１  可動部材
１０２  水平板部          １０３  支持ロッド
１０４  調整手段          １０５  操作レバー
１０６  固定ラック        １０７  スペーサ部材
１１０  左可動ラック      １１１  ガイド部材
１１２  左アクチュエータ  １１５  右可動ラック
１１６  ガイド部材        １１７  右アクチュエータ
１２０  ガイド孔          １２１  操作部材
１２２  連結ピン          １２３  噛合部材
１２４  位置切換孔        １２５  位置切換部材
１２６  連結部材
１２７  インデックスプランジャー
１２８  ピン              １３０  載置台
１３１  ローラ            １３２  ローラコンベア
１３３  ストッパー部材
Ｓ１    搬入ステーション
Ｓ２    位置決めステーション
Ｓ３    受取ステーション  Ｓ４    搬出ステーション
【図１】
2004181574.tif 000003
【図２】
2004181574.tif 000004
【図３】
2004181574.tif 000005
【図４】
2004181574.tif 000006
【図５】
2004181574.tif 000007
【図６】
2004181574.tif 000008
【図７】
2004181574.tif 000009
【図８】
2004181574.tif 000010
【図９】
2004181574.tif 000011
【図１０】
2004181574.tif 000012
【図１１】
2004181574.tif 000013