(57)【要約】【課題】ゲル等の流動性のダンピング部材を安定に保持して硬化でき、所望のダンピング効果が確実に得られる光学素子の支持装置を提供する。【解決手段】少なくとも光学素子１を保持する保持部２１と、この保持部２１を固定部２２に対して変位可能に支持する支持部材２３を有する光学素子１の支持装置において、支持部材２３の保持部２１側近傍または固定部２２側近傍に、少なくとも支持部材２３により画成して支持部材２３に沿って隙間を形成し、該隙間を連結するようにダンピング部材３９を設けると共に、ダンピング部材３９を設ける隙間領域に、隙間の幅を狭くするように狭幅部位２３ｔを形成する。【選択図】        図９
2004348040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも光学素子を保持する保持部と、この保持部を固定部に対して変位可能に支持する支持部材を有する光学素子の支持装置において、
前記支持部材の前記保持部側近傍または前記固定部側近傍に、少なくとも前記支持部材により画成して該支持部材に沿って形成した隙間と、
前記隙間を連結するように設けたダンピング部材と、
前記ダンピング部材を設ける領域に、前記隙間の幅を狭くするように形成した狭幅部位とを有することを特徴とする光学素子の支持装置。
【請求項２】
前記隙間を、前記支持部材のみ、前記支持部材と前記保持部、または前記支持部材と前記固定部とによって形成したことを特徴とする請求項１に記載の光学素子の支持装置。
【請求項３】
前記狭幅部位を、前記支持部材、前記保持部、または前記固定部に形成したことを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子の支持装置。
【請求項４】
前記狭幅部位を複数形成したことを特徴とする請求項１，２または３に記載の光学素子の支持装置。
【請求項５】
前記狭幅部位を、前記隙間の両側に形成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学素子の支持装置。
【請求項６】
前記狭幅部位を、前記隙間の両側に互い違いに形成したことを特徴とする請求項５に記載の光学素子の支持装置。
【請求項７】
前記狭幅部位を、前記ダンピング部材を設ける領域の全長に亘って形成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学素子の支持装置。
【請求項８】
少なくとも光学素子を保持する保持部と、この保持部を固定部に対して変位可能に支持する支持部材を有する光学素子の支持装置において、
前記支持部材の前記保持部側近傍または前記固定部側近傍に、少なくとも前記支持部材により画成して該支持部材に沿って形成した隙間と、
前記隙間を連結するように設けたダンピング部材と、
前記ダンピング部材を設ける領域の前記隙間の中間に、前記支持部材に連結して設けた中間部材とを有することを特徴とする光学素子の支持装置。
【請求項９】
前記隙間を、前記支持部材のみ、前記支持部材と前記保持部、または前記支持部材と前記固定部とによって形成したことを特徴とする請求項８に記載の光学素子の支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置や、光スキャナ、光通信用の光偏向機等の光学装置に使用するガルバノミラーや対物レンズアクチュエータ等の光学素子の支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このような光学素子の支持装置として、本出願人は例えば図２６に示すようなものを既に提案している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この支持装置は、ミラー１１０を保持する絶縁性のミラーホルダ１１１を、導電性の４本のばね１１２を介して直交する回転軸Ｏｘ，Ｏｙを中心に回動自在に絶縁性のマグネットホルダ１２０に支持するようにしたものである。４本のばね１１２の一端部は、ミラーホルダ１１１の回転軸Ｏｘに近い両側のそれぞれ２箇所にインサート成形され、その固定端付近には回転軸Ｏｘに平行な第１の変形部１１２ａがそれぞれ形成されている。また、４本のばね１１２の他端部は、マグネットホルダ１２０の回転軸Ｏｙに近い両側のそれぞれ２箇所にインサート成形され、その固定端付近には回転軸Ｏｙに平行な第２の変形部１１２ｂがそれぞれ形成されており、各ばね１１２の第１の変形部１１２ａと第２の変形部１１２ｂとを連結する連結部１１２ｃは、ミラーホルダ１１１の４角を取り囲むように配置されている。
【０００４】
また、各ばね１１２の第１の変形部１１２ａの付近には、その第１の変形部１１２ａにミラーホルダ１１１の内部で接続して半田付け部ｈが形成されており、第２の変形部１１２ｂの端部は、マグネットホルダ１２０の中を通って端子ｔに至っている。
【０００５】
なお、図示しないが、ミラーホルダ１１１には矩形状の２個のコイルが巻装されており、これらコイルの両端末はそれぞれ異なる２個の半田付け部ｈに半田付けされている。また、マグネットホルダ１２０には、回転軸Ｏｘ，Ｏｙ方向に対向してそれぞれ一対のマグネットが装着されており、回転軸Ｏｘ方向に対向する一対のマグネットによって、ミラーホルダ１１１の一方のコイルの回転軸Ｏｘに対向するコイル辺に同一方向の磁界を作用させ、回転軸Ｏｙ方向に対向する一対のマグネットによって、ミラーホルダ１１１の他方のコイルの回転軸Ｏｙに対向するコイル辺に同一方向の磁界を作用させるようにしている。
【０００６】
このようにして、ミラーホルダ１１１の一方のコイルに、２個の端子ｔおよび２本のばね１１２を経て給電することにより、回転軸Ｏｘ方向に対向する一対のマグネットとの電磁作用によってミラーホルダ１１１を回転軸Ｏｙを中心に回動させ、ミラーホルダ１１１の他方のコイルに、他の２個の端子ｔおよび他の２本のばね１１２を経て給電することにより、回転軸Ｏｙ方向に対向する一対のマグネットとの電磁作用によってミラーホルダ１１１を回転軸Ｏｘを中心に回動させるようにしている。
【０００７】
図２６に示す支持装置では、ミラーホルダ１１１側において、隣接する２本のばね１１２の半田付け部ｈの間隙に、これら半田付け部ｈを連結するように紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパＤ１を設け、マグネットホルダ１２０側には、隣接する２本のばね１１２の第２の変形部１１２ｂを挟むように一対の突出部１２１を形成して、これら一対の突出部１２１を連結するように、その間隙に同様に紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパＤ２を設けて、各ばね１１２の両端部の振動に対するダンピング機能を持たせている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００３−４３３８５号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本発明者による実験検討によると、図２６に示した支持装置には、以下に説明するような改良すべき点があることが判明した。すなわち、ダンパＤ１，Ｄ２を形成する場合、紫外線硬化のシリコンゲルは初期状態では流動性のある液体状態にあるため、この液体状態にあるシリコンゲルを、隣接する半田付け部ｈの間隙および一対の突出部１２１の間隙に塗布してから紫外線硬化させることになる。しかも、塗布したシリコンゲルは、紫外線硬化するまで、表面張力によって塗布部に安定に保持する必要がある。
【００１０】
しかし、塗布するシリコンゲルの表面張力および粘度に対して、隣接する半田付け部ｈの間隙や一対の突出部１２１の間隙が広いと、塗布したシリコンゲルが安定に保持されずに流れてしまって、それらの間隙を確実に連結できず、所望のダンピング効果が得られない場合がある。
【００１１】
したがって、かかる点に鑑みてなされた本発明の目的は、ゲル等の流動性のダンピング部材を安定に保持して硬化でき、所望のダンピング効果が確実に得られる光学素子の支持装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する請求項１に係る発明は、少なくとも光学素子を保持する保持部と、この保持部を固定部に対して変位可能に支持する支持部材を有する光学素子の支持装置において、
前記支持部材の前記保持部側近傍または前記固定部側近傍に、少なくとも前記支持部材により画成して該支持部材に沿って形成した隙間と、
前記隙間を連結するように設けたダンピング部材と、
前記ダンピング部材を設ける領域に、前記隙間の幅を狭くするように形成した狭幅部位とを有することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光学素子の支持装置において、前記隙間を、前記支持部材のみ、前記支持部材と前記保持部、または前記支持部材と前記固定部とによって形成したことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項３に係る発明は、請求項１または２に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を、前記支持部材、前記保持部、または前記固定部に形成したことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項４に係る発明は、請求項１，２または３に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を複数形成したことを特徴とするものである。
【００１６】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を、前記隙間の両側に形成したことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項６に係る発明は、請求項５に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を、前記隙間の両側に互い違いに形成したことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項７に係る発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を、前記ダンピング部材を設ける領域の全長に亘って形成したことを特徴とするものである。
【００１９】
請求項８に係る発明は、少なくとも光学素子を保持する保持部と、この保持部を固定部に対して変位可能に支持する支持部材を有する光学素子の支持装置において、
前記支持部材の前記保持部側近傍または前記固定部側近傍に、少なくとも前記支持部材により画成して該支持部材に沿って形成した隙間と、
前記隙間を連結するように設けたダンピング部材と、
前記ダンピング部材を設ける領域の前記隙間の中間に、前記支持部材に連結して設けた中間部材とを有することを特徴とするものである。
【００２０】
請求項９に係る発明は、請求項８に記載の光学素子の支持装置において、前記隙間を、前記支持部材のみ、前記支持部材と前記保持部、または前記支持部材と前記固定部とによって形成したことを特徴とするものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による光学素子の支持装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２２】
（第１実施の形態）
図１〜図１３は本発明の第１実施の形態としての光偏向装置を示すもので、図１は偏向作用を説明するための図、図２は装置全体を正面側右斜め上方から見た外観斜視図、図３は図２と同一方向側から見た分解斜視図、図４は横断平面図、図５は光偏向器を正面側から見た斜視図、図６は光偏向器を裏面側から見た斜視図、図７は光偏向器の分解斜視図、図８は光偏向器の縦断面図、図９は図７に示すバネの取付態様を説明するための図、図１０は同じくバネの製造方法を説明するための図、図１１は同じくバネの構成を示す図、図１２および図１３は同じくバネの部分詳細図である。
【００２３】
本実施の形態の光偏向装置は、光通信用の光路切り替えに用いるもので、図１に示すように、光学素子である光偏向素子としてのミラー１を、Ｘ軸と平行な回転軸Ｏｘと、Ｘ軸と直交するＹ軸と平行な回転軸Ｏｙとの回りに選択的に駆動して、１本の光ファイバ３からレンズ４を経て平行光で投射される光通信用の入射光５を反射させ、その反射光６を反射光６にほぼ垂直な平面上にＸ軸方向およびＹ軸方向に３×３個並んで配設された合計９個のレンズ７−１〜７−９のうちの一つに選択的に入射させて、対応する９本の光ファイバ８−１〜８−９のうちの１本に集光して入射させるようにしたものである。すなわち、ミラー１を回転軸Ｏｙの回りに傾けることによりミラー１での反射光６を図１の左右方向であるＸ方向に偏向させ、ミラー１を回転軸Ｏｘの回りに傾けることによりミラー１での反射光６を図１の上下方向であるＹ方向に偏向させて、９つのレンズ７−１〜７−９のうちの一つに選択的に入射させて対応する光ファイバ８−１〜８−９のうちの一つに入射させるようにして、入射側の１本の光ファイバ３からの光を出力する光ファイバを、９本の光ファイバ８−１〜８−９から選択する。
【００２４】
本実施の形態の光偏向装置は、図２〜図４に示すように、ミラー１を有する光偏向器１１、ＦＰＣ１２、ハウジング１３、半導体レーザ１４、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１５、１／４波長板１６、集光レンズ１７、半導体位置検出器（ＰＳＤ）１８、スペーサ１９を有している。
【００２５】
偏光器１１は、図５〜図９に詳細に示すように、保持部であるコイルホルダ２１と固定部であるマグネットホルダ２２とを有している。コイルホルダ２１およびマグネットホルダ２２は、非導電性プラスチックである例えばチタン酸ウイスカ入りの液晶ポリマー、またはグラスファイバ入りの液晶ポリマーで成形し、その際に、支持部材である導電性の４本のバネ２３を、それらの可動部側端部をコイルホルダ２１に、固定部側端部をマグネットホルダ２２にインサート成形して両端を保持する。
【００２６】
４本のバネ２３は、例えば図１０および図１１に示すように、厚さ２０μｍのべリリウム銅箔からなるバネシート５０をエッチング加工した後、切り取り部５０ｃで切断して不要な部分を除去してから、表面に金メッキを施して形成する。なお、図１０および図１１は、一枚のバネシート５０の４ヶ所にそれぞれ４本のバネ２３を同時にエッチング加工した場合を示しており、符号５０ａはエッチング加工する際のマスクとのアライメント用開口を示している。
【００２７】
４本のバネ２３は、図９および図１１に詳細に示すように、それらの一端部が回転軸Ｏｙを挟むようにコイルホルダ２１の両側のそれぞれ２箇所に固定され、それらの他端部が回転軸Ｏｘを挟むようにマグネットホルダ２２の両側のそれぞれ２箇所に固定されるように形成する。各バネ２３には、そのコイルホルダ２１側に、回転軸Ｏｙ方向に延在する第１の変形部２３ａ、半田付け部２５、およびコイルホルダ２１の周囲のほぼ１／４の長さに亘って延在する縁取り部２３ｇを形成し、マグネットホルダ２２側には、回転軸Ｏｘ方向に延在する第２の変形部２３ｂ、マグネットホルダ２２の周囲のほぼ１／４の長さに亘って延在する縁取り部２３ｉ、およびマグネットホルダ２２から突出する端子２８を形成する。また、各バネ２３の第１の変形部２３ａと第２の変形部２３ｂとを連結する連結部２３ｃは、コイルホルダ２１の角部を取り囲むように形成する。なお、コイルホルダ２１側には、回転軸Ｏｙを挟むように隣接する２本のバネ２３の一端部を連結する連結辺２３ｅを形成する。
【００２８】
さらに、本実施の形態では、回転軸Ｏｙを挟むように隣接する２本のバネ２３の第１の変形部２３ａを、図１２に詳細に示すように、両者の連結部２３ｃ側の間隔をｌ１、コイルホルダ２１側の間隔をｌ２とするとき、ｌ１＜ｌ２となるように連結部２３ｃ側を狭幅部位として形成する。また、各バネ２３の縁取り部２３ｉには、図１３に詳細に示すように、第２の変形部２３ｂの近傍に連結部２３ｃ側に突出する狭幅部位である突起２３ｔを形成して、突起２３ｔと連結部２３ｃとの間隔ｌ３を、突起２３ｔを有しない第２の変形部２３ｂの近傍における縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの間隔ｌ４よりも小さくする。
【００２９】
上述した４本のバネ２３は、図９に示すように、それらの可動部側端部を、縁取り部２３ｇおよび半田付け部２５がコイルホルダ２１の外周から突出するようにコイルホルダ２１にインサート成形し、それらの固定部側端部を、縁取り部２３ｉがマグネットホルダ２２の内周から突出し、かつ端子２８がマグネットホルダ２２の外周から突出するようにマグネットホルダ２２にインサート成形する。なお、成形の際、コイルホルダ２１側の隣接する２本のバネは連結辺２３ｅで連結してインサート成形し、成形後に連結辺２３ｅを切り落とすことで、２本のバネを切り離す。これによりインサート成形時にバネ２３のコイルホルダ２１側の型への位置決めおよび保持が容易となり、より正確にコイルホルダ２１にインサート成形することができる。
【００３０】
コイルホルダ２１の外周から突出した合計４カ所の半田付け部２５には、後述する第１コイル２６および第２コイル２７の両端の端末を導電性接着剤にて固定し、マグネットホルダ２２の外周から突出した４つの端子２８は、ＦＰＣ１２の半田付け部１２ａに半田付けして、ＦＰＣ１２から給電することにより４本のバネ２３を介して第１，第２コイル２６，２７に給電するようにする。
【００３１】
また、コイルホルダ２１側で隣接する２本の第１の変形部２３ａにより形成される空間には、紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパ３９を塗布して硬化させることにより、該空間を連結してバネ２３のダンピングを取るようにする。同様に、マグネットホルダ２２側で各バネ２３の第２の変形部２３ｂ、連結部２３ｃおよび縁取り部２３ｉで３方を囲まれた空間にも、紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパ３９を塗布して硬化させることにより、該空間を連結してバネ２３のダンピングを取るようにする。
【００３２】
一方、ミラー１は、コイルホルダ２１の表面側中央部の取付部２１ａに外周部を位置決めして周囲を接着して取り付ける。このミラー１の表側の反射面１ａには、光通信用の光の波長、例えば波長１．３μｍ〜１．６μｍの光に対して反射率が高い金または誘電多層膜をコーティングする。
【００３３】
また、コイルホルダ２１の裏面側中央部には取付部２１ｃを形成し、この取付部２１ｃにミラー１の傾きセンサを構成するためのミラー３１を、その周囲を位置決めして接着固定する。
【００３４】
第１コイル２６および第２コイル２７は、コイルホルダ２１の表面側および裏面側において、ミラー１およびミラー３１をそれぞれ取り囲むように、それらの内側をそれぞれ取付部２１ａ，２１ｃに位置決めしてコイルホルダ２１に接着固定する。
【００３５】
図８に詳細に示すように、２枚のミラー１，３１間の空間部分には、例えば厚さ０．１ｍｍのステンレス板を屈曲して形成したアーム３２の中央部を位置させ、このアーム３２の両端部３２ａをミラー３１の外周部を取り囲むように配設してマグネットホルダ２２に接着固定する。アーム３２の中央部には、ミラー１の裏面と例えば０．２ｍｍの隙間をあけて位置するように、中央に穴を有する円錐状の突起３２ｂを形成し、この突起３２ｂとミラー１との間に、例えばセメダイン社のスーパーＸ、スリーボンド社の３１６４、１２２０Ｄなどのシリコンゴム等のダンピング剤を注入し、さらにそのダンピング剤の硬化が必要な場合には硬化させて、略円筒状または略鼓状のピボット３３を形成する。なお、ピボット３３は、その中央部に回転軸Ｏｘ，Ｏｙおよびコイルホルダ２１を有する可動部の重心Ｇが位置するように形成する。
【００３６】
また、光偏向器１１の表面側で、第１コイル２６上には４角枠状のストッパ３５を接着すると共に、４角枠状のマグネットホルダ２２の表面の４隅にはそれぞれボス２２ａを形成してこれらボス２２ａを基準に２つの略Ｔ字状のカバー３６をストッパ３５と当接可能に接着する。これにより、可動部が外部振動等でミラー１の反射面１ａに垂直方向に移動したときに、ストッパ３５とカバー３６の中央部の突起が当接して、可動部の過移動を防止するようにする。
【００３７】
マグネットホルダ２２には、例えば図７に示すように着磁した第１コイル２６用の２つのマグネット４１と第２コイル２７用の２つのマグネット４３とを、それぞれ背面にヨーク４２，４４を接着して取り付ける。
【００３８】
上記構成の光偏向器１１において、コイルホルダ２１、第１コイル２６、第２コイル２７、ミラー１およびミラー３１は可動部を構成し、その可動部の重心Ｇは図８に示すように回転軸Ｏｘ，Ｏｙ上にあり、可動部の慣性主軸Ｓは回転軸Ｏｘと回転軸Ｏｙとに一致させる。また、バネ２３は回転軸Ｏｘ，Ｏｙを含む平面上に一致するように配置すると共に、その第１の変形部２３ａは回転軸Ｏｙにほぼ一致する位置に配置し、第２の変形部２３ｂは回転軸Ｏｘにほぼ一致する位置に配置する。さらに、第１コイル２６は第２コイル２７よりもバネ２３に近い位置に配置し、これによりミラー１を含めた重心位置をバランサ無しで、回転軸Ｏｘ，Ｏｙに一致させるようにする。
【００３９】
この光偏向器１１は、４角枠状のマグネットホルダ２２の裏面側に形成した２本のボス２２ｂを、例えば亜鉛ダイキャストあるいはアルミニウムダイキャストで成形したハウジング１３の取り付け面１３ａに形成した２つの穴に嵌合させて位置決めして接着固定する。
【００４０】
図４に示すように、ハウジング１３には、ミラー３１の傾き角からミラー１の傾き角を検出するために、半導体レーザ１４、ＰＢＳ１５、１／４波長板１６、集光レンズ１７およびＰＳＤ１８を取り付ける。半導体レーザ１４は、ハウジング１３の開口部１３ｂに装着し、ＰＢＳ１５はその一面をハウジング１３の台座に接着し、１／４波長板１６はＰＢＳ１５に接合し、集光レンズ１７はハウジング１３の光偏向器１１の取り付け面１３ａに形成した開口部１３ｃに取り付け、ＰＳＤ１８はハウジング１３に接着する。
【００４１】
半導体レーザ１４はその３本の端子をＦＰＣ１２の半田付け部１２ｂに半田付けし、ＰＳＤ１８もＦＰＣ１２に半田付けする。ＰＳＤ１８は、その受光部１８ａに投射された光の２方向の光量中心位置を電流で出力する２次元位置センサで、例えば浜松ホトニクス（株）のＳ５９９０−０１、Ｓ７８４８−０１等を用いる。
【００４２】
ＦＰＣ１２には、ＰＳＤ１８の出力電流を電圧に変換する回路を搭載すると共に、第１コイル２６及び第２コイル２７のドライブ回路（図示せず）を搭載する。なお、このドライブ回路は、ハウジング１３のＰＢＳ１５の上部に固定されたアルミ製のスペーサ１９にその表面を当接して固定し、これによりスペーサ１９とハウジング１３とをドライブ回路の放熱部材としても作用させる。
【００４３】
かかる構成の光偏向装置において、４本のバネ２３のうちの２本を介して第１コイル２６に電流を流すと、マグネット４１から受ける磁界により可動部には回転軸Ｏｙの回りのトルクが発生し、４本のバネ２３は主に第１の変形部２３ａがねじり変形を受け、ピボット３３はたわみ変形を受けて、可動部は回転軸Ｏｙの回りに傾くことになる。
【００４４】
また、４本のバネ２３の他の２本を介して第２コイル２７に電流を流すと、マグネット４３から受ける磁界により可動部には回転軸Ｏｘの回りのトルクが発生し、４本のバネ２３は主に第２の変形部２３ｂがねじり変形を受け、ピボット３３はたわみ変形を受けて、可動部は回転軸Ｏｘの回りに傾くことになる。
【００４５】
一方、図４に示すように、半導体レーザ１４からの光はＰ偏光でＰＢＳ１５に入射し、その偏光面１５ａを透過して１／４波長板１６および集光レンズ１７を経てミラー３１の裏面（反射面）３１ａに入射する。このミラー３１で反射した光は、集光レンズ１７および１／４波長板１６を経てＰＢＳ１５に入射する。ここで、ミラー３１で反射されてＰＢＳ１５に入射する光は、往路および復路で１／４波長板１６を合計２回通ることにより、その偏光面は９０度回転してＳ偏光となるので、ＰＢＳ１５の偏光面１５ａで反射されてＰＳＤ１８の受光面１８ａに入射する。
【００４６】
このＰＳＤ１８の受光面１８ａに入射する光は、第１コイル２６に電流を流してミラー１つまりミラー３１を回転軸Ｏｙの回りに傾けると、受光面１８ａ上で図４のＸ′方向に移動し、第２コイル２７に電流を流してミラー１を回転軸Ｏｘの回りに傾けると、受光面１８ａ上で図４のＹ′方向に移動するので、ＰＳＤ１８の出力に基づいてミラー１の２方向の傾きを検出することができる。
【００４７】
本実施の形態の光偏向装置においては、バネ２３の両端部にダンパ３９を付着させてバネ２３の振動・共振を抑圧している。ここで、コイルホルダ２１側においては、図１２に詳細に示すように、隣接する２本の第１の変形部２３ａの間隔をＬ１，Ｌ２と変えている。したがって、狭い間隔Ｌ１の部分に液体状の紫外線硬化ゲルであるダンパ３９をディスペンサにより塗布すれば、ダンパ３９は表面張力によって狭い間隔Ｌ１の範囲Ｗに集中し、その後、紫外線によって硬化されることになる。
【００４８】
このように、ダンパ３９を塗布する空間において、ダンパ３９を付着させたい部分のみの空間の距離を短く規定すれば、ダンパ３９を所望の部位に容易かつ確実に付着させることができる。
【００４９】
なお、上記の間隔Ｌ１，Ｌ２は、用いるダンピング剤の粘度、チクソ性、欲するダンピング特性等により適宜選定でき、例えばＬ１＝０．１ｍｍ、Ｌ２＝０．１５ｍｍとすることができる。また、ダンピング剤としては、例えば、株式会社ジェルテック社のシリコンゲル、スリーボンド社のＴＢ３１６８，ＴＢ３１６９のシリコンゲル等の紫外線、熱硬化シリコンゲルや、セメダイン社のスーパーＸ、スリーボンド社の３１６４，１２２０Ｄのシリコンゴムや、それ以外のシリコンゲル、アクリルゲル等を用いることができるし、シリコンオイルなどの硬化の不要なダンピング特性を有する材質のものを用いることもできる。すなわち、２つ以上の部位で形成される空間に塗布したとき、その空間に主に表面張力により保持されるダンピング剤であれば何でも適用することができる。
【００５０】
また、マグネットホルダ２２側では、図１３に詳細に示すように、第２の変形部２３ｂ、連結部２３ｃおよび縁取り部２３ｉで３方を囲まれた空間に、紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパ３９を塗布して硬化させることにより、該空間を連結してバネ２３のダンピングを取るようにしている。ここで、本実施の形態では、ダンパ３９の塗布部において、縁取り部２３ｉに突起２３ｔを形成して、突起２３ｔと連結部２３ｃとの間隔ｌ３を、突起２３ｔを有しない第２の変形部２３ｂの近傍における縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの間隔ｌ４よりも小さくしている。したがって、塗布するダンパ３９の量を適切に設定することにより、ダンパ３９の端部Ｐの位置を突起２３ｔの位置に容易に合わせることができる。
【００５１】
すなわち、突起２３ｔが無い場合には、ダンパ３９の表面張力によってその端部Ｐが安定せず、硬化前に第２の変形部２３ｂ側に移動してしまうが、突起２３ｔを設ければ、突起２３ｔの近傍で連結部２３ｃとの間隔が極小となるので、ダンパ３９はその表面張力によって端部Ｐが突起２３ｔの位置に安定に維持されることになる。なお、上記の間隔Ｌ３，Ｌ４は、例えばＬ３＝０．１５ｍｍ，Ｌ４＝０．２ｍｍとすることができる。
【００５２】
このように、本実施の形態では、マグネットホルダ２２側においても、ダンパ３９を所望の部位に確実に付着させることができるので、安定したダンピング特性を得ることができると共に、ダンパ３９によるバネ２３の剛性変化量も安定させることができる。また、幅の小さな突起２３ｔを設けて、ダンパ３９を付着させる空間の一部の距離を短くするので、ダンパ３９を付着させる平均距離は大きくでき、ダンパ３９の塗布量を多くできる。したがって、ダンピング効果を高めることができると共に、ダンパ３９によるバネ２３の剛性アップを小さくでき、駆動感度の低下を小さくできる。また、ダンパ３９の塗布量が多少ばらついても、ダンパ３９の端部Ｐの位置は安定するので、作業ばらつきや、塗布量のばらつきの許容範囲を広くでき、作業性および歩留まりを向上することができる。
【００５３】
次に、上記第１実施の形態における変形例について、図１４〜図２１を参照して説明する。
【００５４】
（第１変形例）
図１４は、第１変形例の要部の構成を示すものである。この第１変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、縁取り部２３ｉに設けた突起２３ｔと対向して、連結部２３ｃにも突起２３ｔを設けたものである。このようにすれば、ダンパ３９の端部Ｐの位置が、縁取り部２３ｉ側も、連結部２３ｃ側も安定するので、より安定したダンピング特性を得ることができる。
【００５５】
（第２変形例）
図１５は、第２変形例の要部の構成を示すものである。この第２変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、ダンパ３９を塗布する空間の縁取り部２３ｉ側および連結部２３ｃ側のそれぞれ２箇所に突起２３ｔ−１，２３ｔ−２を対向して設けたものである。このようにすれば、ダンパ３９を保持させる長さＷが長くても、その中間に突起が存在するので、ダンパ３９を安定に保持することができる。
【００５６】
また、ダンパ３９を２度に分けて塗布することもできる。例えば、先ず第２の変形部２３ｂとこれに近い突起２３ｔ−１との間の空間にダンパ３９−１を塗布して必要であれば硬化させ、その後、突起２３ｔ−１と突起２３ｔ−２との間の空間にダンパ３９−２を塗布して必要であれば硬化させる。
【００５７】
このように、ダンパ３９を塗布する空間に突起を設けて間隔が狭くなる複数の部分を形成すれば、ダンパ３９を保持させる長さＷを長くすることができる。なお、複数の突起は縁取り部２３ｉまたは連結部２３ｃの片側でも良いし、突起の個数は空間の長さ、面積に応じて適宜設定すれば良い。
【００５８】
（第３変形例）
図１６は、第３変形例の要部の構成を示すものである。この第３変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、隣接する第２の変形部２３ｂのそれぞれ２箇所に突起２３ｔ−１，２３ｔ−２を対向して設けて、これら間にダンパ３９を充填塗布するようにしたものである。このようにすれば、ダンパ３９を、２本の第２の変形部２３ｂおよび突起２３ｔ−１，２３ｔ−２によって形成される空間に確実に保持することができる。ちなみに、例えば突起２３ｔ−１が無いと、ダンパ３９はマグネットホルダ２２の端面側に吸い取られて第２の変形部２３ｂの途中まで配置することは非常に困難となる。
【００５９】
（第４変形例）
図１７は、第４変形例の要部の構成を示すものである。この第４変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、ダンパ３９を塗布する空間の縁取り部２３ｉ側および連結部２３ｃ側のそれぞれに複数の突起２３ｔを、突出量をオーバーラップさせて互い違いに設けたものである。このようにすれば、ダンパ３９を充填する空間を形成する縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの距離Ｌ４が大きくても、双方から突出した突起２３ｔの間隔Ｌ５を小さくすることができるので、縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの間にダンパ３９を容易かつ確実に保持させることができる。
【００６０】
（第５変形例）
図１８は、第５変形例の要部の構成を示すものである。この第５変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、縁取り部２３ｉを露出させることなくマグネットホルダ２２内に完全にインサート成形すると共に、ダンパ３９を塗布する空間のマグネットホルダ２２側および連結部２３ｃ側のそれぞれに狭幅部位である突起２２ｔおよび２３ｔを設けて、これら突起２２ｔ，２３ｔ、マグネットホルダ２２、第２の変形部２３ｂおよび連結部２３ｃによって形成される空間にダンパ３９を保持するようにしたものである。なお、突起２２ｔ，２３ｔは、マグネットホルダ２２と連結部２３ｃとの距離を小さくするためのもので、そのいずれか一方を省略することができると共に、突起に代えて段差等を形成することもできる。また、コイルホルダ２１側においても、コイルホルダ２１および／またはバネ２３に突起を形成して、コイルホルダ２１とバネ２３との間にダンパ３９を充填塗布することもできる。
【００６１】
（第６変形例）
図１９は、第６変形例の要部の構成を示すものである。この第６変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、縁取り部２３ｉに連結辺２３ｕにより連結して、縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの空間の中間に中間部材２３ｖを配置し、これら縁取り部２３ｉ、連結部２３ｃ、中間部材２３ｖおよび第２の変形部２３ｂを有する空間を連結するようにダンパ３９を塗布したものである。このようにすれば、ダンパ３９を配置する空間の距離が大きくても、中間部材２３ｖにより空間の距離を小さくできるので、空間をつなぐようにダンパ３９を容易に配置することができる。なお、中間部材２３ｖは１つに限らず、空間の距離に応じて複数個設けることもでき、これにより、より広い距離の空間にダンパ３９を安定して保持させることができる。
【００６２】
（第７変形例）
図２０は、第７変形例の要部の構成を示すものである。この第７変形例は、第６変形例において、中間部材２３ｖを縁取り部２３ｉに連結する連結辺２３ｕを、第２の変形部２３ｂにより近い位置に設けたものである。このようにすれば、中間部材２３ｖのマグネットホルダ２２側の固定端と、バネ２３のマグネットホルダ２２側の固定端とが近くなって、中間部材２３ｖはバネ２３と同様に、固定端から離れるにつれて動きが大きくなるので、中間部材２３ｖによるバネ２３の剛性のアップを小さくすることができる。
【００６３】
（第８変形例）
図２１は、第８変形例の要部の構成を示すものである。この第８変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、縁取り部２３ｉに形成する突起２３ｔの幅を大きくすることにより、突起２３ｔの幅だけ連結部２３ｃとの距離を短くして、突起２３ｔと連結部２３ｃとの間の空間にダンパ３９を塗布するようにしたものである。このようにすれば、ダンパ３９の塗布幅を突起２３ｔの幅に容易に一致させることができる。
【００６４】
（第２実施の形態）
図２２および図２３は本発明の第２実施の形態を示すものである。本実施の形態は、光ディスクの記録再生用の光ピックアップに用いる対物レンズ支持装置に適用したもので、図２２は光ピックアップの分解斜視図であり、図２３はバネの構成を示す平面図である。なお、本実施の形態において、第１実施の形態と同一作用をなす素子には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００６５】
図２３に示すように、厚さ１５μｍのステンレスからなるバネシート５０は、液晶ポリマーにより保持部であるレンズホルダ２０１と固定部２０８とにインサート成形されている。バネシート５０には、レンズホルダ２０１および固定部２０８からのバリの発生を防止するため、レンズホルダ２０１および固定部２０８の外周部を取り囲むように延在して縁取り部２３ｇ，２３ｉが形成されている。
【００６６】
図２２に示すように、レンズホルダ２０１および固定部２０８は、それぞれバネシート５０がインサート成形されたほぼ同形状の上側成形体２２０および下側成形体２２１とを有しており、上側成形体２２０のコイルホルダ２０８に形成された開口部２３１に光学素子である対物レンズ２３０が保持されるようになっている。上側成形体２２０および下側成形体２２１は上下に接着固定され、これにより対物レンズ２３０を保持するレンズホルダ２０１を、４つのバネ２３を介して固定部２０８に変位可能に支持するようになっている。
【００６７】
レンズホルダ２０１の両側面には、それぞれフォーカスコイル２０２が接着されていると共に、各フォーカスコイル２０２には２つのトラッキングコイル２０３，２０４が接着されている。なお、図２２には、一方の側面のフォーカスコイル２０２およびトラッキングコイル２０３，２０４のみを示している。フォーカスコイル２０２には、図示しないベースに固定されたコ字状のヨーク２２４の一方の脚部が侵入し、このヨーク２２４の他方の脚部の内側にはマグネット２２５が接着固定されて、マグネット２２５からフォーカスコイル２０２およびトラッキングコイル２０３，２０４に磁界を作用させるようになっており、これによりフォーカスコイル２０２およびトラッキングコイル２０３，２０４に流れる電流との電磁作用によってレンズホルダ２０１を、対物レンズ２３０の光軸方向であるフォーカス方向および図示しない光ディスクのトラックを横切るトラッキング方向に駆動するようになっている。
【００６８】
本実施の形態では、レンズホルダ２０１側において、各バネ２３の連結部２３ｃと縁取り部２３ｇとによって細長い空間を形成すると共に、その細長い空間の一部の距離を短くするように、連結部２３ｃおよび縁取り部２３ｇに突起２３ｔを対向して形成して、これら突起２３ｔからレンズホルダ２０１側の空間にダンパ３９を塗布して硬化させる。
【００６９】
また、固定部２０８側においては、各バネ２３の連結部２３ｃとともに細長い空間を形成するように、縁取り部２３ｉに突起部２２７を形成すると共に、その突起部２２７の先端部およびそれと対応する連結部２３ｃに、細長い空間の距離を短くするように突起２３ｔを対向して形成して、これら突起２３ｔから固定部２０８側の空間に同様にダンパ３９を塗布して硬化させる。なお、図２２では、上側成形体２２０側のバネ２３にのみダンパ３９を示してあり、下側成形体２２１側のバネ２３のダンパは省略してある。
【００７０】
このように、本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、ダンパ３９を塗布する空間の距離を短くするように突起２３ｔを設けたので、ダンパ３９を安定して付着させることができる。
【００７１】
（第３実施の形態）
図２４は本発明の第３実施の形態に係る対物レンズ支持装置を示すもので、図２４（ａ）は斜視図であり、図２４（ｂ）は平面図である。この対物レンズ支持装置は、対物レンズ２３０を保持するレンズホルダ２０１を、板バネ状の平行な２枚のバネ２３により固定部２０８に対して一方向に変位可能に支持するものである。
【００７２】
本実施の形態では、レンズホルダ２０１、２枚のバネ２３および固定部２０８を、エラストマにより一体に成形すると共に、２枚のバネ２３の一部にそれらの間隔が狭くなるように三角錐状の突起２３ｔを対向して形成して、これら突起２３ｔから固定部２０８までの２枚のバネ２３に囲まれた空間にダンパ３９を充填して硬化させる。
【００７３】
このように、ダンパ３９を設ける空間の深さが深い場合であっても、空間の距離を短くするように突起２３ｔを設けることで、ダンパ３９を安定して付着させることができる。
【００７４】
（第４実施の形態）
図２５は本発明の第４実施の形態に係る対物レンズ支持装置を示すもので、図２５（ａ）は斜視図であり、図２５（ｂ）は平面図である。この対物レンズ支持装置は、対物レンズ２３０を保持するレンズホルダ２０１を、ワイヤ状の４本の平行なバネ２３により固定部２０８に対して直交する２方向に変位可能に支持するものである。
【００７５】
本実施の形態では、４本のバネ２３の一部に、それぞれ向かい合うように円盤状の突起２３ｔを設けて隣接するバネ２３との間隔を短くし、これら突起２３ｔから固定部２０８までの４本のバネ２３に囲まれた空間にダンパ３９を充填して硬化させる。
【００７６】
このように、４本のバネ２３および固定部２０８により形成される空間においても、４本のバネ２３の距離を短くするように突起２３ｔを設けることにより、ダンパ３９を安定して付着させることができる。
【００７７】
なお、本発明は上記実施の形態および変形例に限定されることなく、幾多の変形または変更が可能である。例えば、上記の説明では、ミラー、対物レンズを変位可能に支持したが、これ以外にプリズム、レンズ、受発光素子等あるいはこれらの複合光学素子を変位可能に支持する場合にも本発明を有効に適用することができる。また、ダンパを塗布する形状についても種々変更可能であり、例えば第２実施の形態に示した対物レンズ支持装置においては、図１９に示したような中間部材を用いる構成や、図２１に示したような幅の広い突起を用いる構成等も適用可能である。また、バネの形状、可動部側の構成、固定部側の構成も、種々変形可能である。
【００７８】
さらに、ダンパは、塗布する際に液体あるいはゲル状等の流動性を有する物質であれば、種々のものを使用でき、同様の効果を得ることができる。また、ダンパを塗布する部位は、少なくとも離間した２つの部位によって形成される空間であれば、本発明を有効に適用することができる。
【００７９】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によると、ダンピング部材を設ける隙間領域に、隙間の幅を狭くするように狭幅部位を形成したので、ゲル等の流動性のダンピング部材を安定に保持して硬化でき、所望のダンピング効果を確実に得ることができる。
【００８０】
また、請求項８に係る発明によると、ダンピング部材を設ける領域の隙間の中間に、支持部材に連結して中間部材を設けたので、隙間が広い場合でも、同様に、ゲル等の流動性のダンピング部材を安定に保持して硬化でき、所望のダンピング効果を確実に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施の形態としての光偏向装置の偏向作用を説明するための図である。
【図２】第１実施の形態の光偏向装置を正面側右斜め上方から見た外観斜視図である。
【図３】同じく、図２と同一方向側から見た分解斜視図である。
【図４】同じく、横断平面図である。
【図５】第１実施の形態の光偏向装置を構成する光偏向器を正面側から見た斜視図である。
【図６】同じく、裏面側から見た斜視図である。
【図７】同じく、分解斜視図である。
【図８】同じく、縦断面図である。
【図９】図７に示すバネの取付態様を説明するための図である。
【図１０】同じく、バネの製造方法を説明するための図である。
【図１１】同じく、バネの構成を示す図である。
【図１２】同じく、バネの部分詳細図である。
【図１３】同じく、バネの部分詳細図である。
【図１４】第１実施の形態の第１変形例の要部の構成を示す図である。
【図１５】同じく、第２変形例の要部の構成を示す図である。
【図１６】同じく、第３変形例の要部の構成を示す図である。
【図１７】同じく、第４変形例の要部の構成を示す図である。
【図１８】同じく、第５変形例の要部の構成を示す図である。
【図１９】同じく、第６変形例の要部の構成を示す図である。
【図２０】同じく、第７変形例の要部の構成を示す図である。
【図２１】同じく、第８変形例の要部の構成を示す図である。
【図２２】本発明の第２実施の形態に係る光ピックアップの分解斜視図である。
【図２３】図２２に示すバネの構成を示す平面図である。
【図２４】本発明の第３実施の形態に係る対物レンズ支持装置を示す図である。
【図２５】同じく、第４実施の形態に係る対物レンズ支持装置を示す図である。
【図２６】従来の技術を説明するための図である。
【符号の説明】
Ｏｘ，Ｏｙ  回転軸
１  ミラー
１ａ  反射面
３  光ファイバ
４  レンズ
５  入射光
６  反射光
７−１〜７−９  レンズ
８−１〜８−９  光ファイバ
１１  光偏向器
１２  フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ）
１３  ハウジング
１４  半導体レーザ
１５  偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）
１６  １／４波長板
１７  集光レンズ
１８  半導体位置検出器（ＰＳＤ）
１９  スペーサ
２１  コイルホルダ（保持部）
２２  マグネットホルダ（固定部）
２２ｔ  突起（狭幅部位）
２３  バネ
２３ａ  第１の変形部
２３ｂ  第２の変形部
２３ｃ  連結部
２３ｅ  連結辺
２３ｇ，２３ｉ  縁取り部
２３ｔ，２３ｔ−１，２３ｔ−２  突起（狭幅部位）
２３ｕ  連結辺
２３ｖ  中間部材
２５  半田付け部
２６  第１コイル
２７  第２コイル
２８  端子
３１  ミラー
３１ａ  反射面
３２  アーム
３３  ピボット
３５  ストッパ
３６  カバー
３９，３９−１，３９−２  ダンパ
４１，４３  マグネット
４２，４４  ヨーク
５０  バネシート
２０１  レンズホルダ（保持部）
２０２  フォーカスコイル
２０３，２０４  トラッキングコイル
２０８  固定部
２２０  上側成形体
２２１  下側成形体
２２４  ヨーク
２２５  マグネット
２２７  突起部
２３０  対物レンズ
２３１  開口部
【図１】
2004348040.tif 000003
【図２】
2004348040.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004348040.tif 000008
【図７】
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【図８】
2004348040.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2004348040.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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