(57)【要約】　　　（修正有）【課題】チップ部品を上下反転させる場合及び反転させない場合にも使用できる汎用性の高いテーピング装置を提供する。【解決手段】「上下反転する」を選択し、反転有り用のカム体２７を下降させ、切替え爪を開いた状態とする。供給テーブルを平面方向に移動させ、吸着取出ステーションにおける吸着取出ノズル２１の直下位置にチップ部品を位置させ、該ノズル２１がチップ部品を取出し上昇する。ピックアップヘッド体２３が９０度ずつ間欠回転すると、ローラＡ３６が切替え爪の内側に当接しながら、ローラＡ３６は溝内を移動する。従って、カム面に沿ってリング４４が回転しながら、装着ヘッド４３は上下移動すると共にローラＢ３７が螺旋溝内を移動したときに回転軸３９を回転させ、ヘッド取付体２５が１８０度分間欠回転すると装着ヘッド４３も１８０度分回転し、前記ノズル２１が上下反転する。【選択図】　図８
2004083093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納テープ内の各収納溝にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、チップ部品供給部からチップ部品を取出す吸着取出ノズルが所定間隔を存して複数本配設されて間欠回転すると共に上下反転が選択された場合のみ前記吸着取出ノズルをチップ部品の取出し後に上下反転させる反転装置を備えた第１の回転盤と、上下反転が選択されてない場合には前記吸着取出ノズルからチップ部品を受継いだ後１８０度回転する旋回テーブルと、前記収納溝にチップ部品を装填する吸着装填ノズルが所定間隔を存して複数本配設されて間欠回転し上下反転が選択されてない場合には１８０度回転後の前記旋回テーブルから前記吸着装填ノズルがチップ部品を受継ぐと共に上下反転が選択された場合には前記反転装置により反転した状態の吸着取出ノズルからチップ部品を受継いで前記収納溝に順次装填する第２の回転盤とを備えたことを特徴とするテーピング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、収納テープ内の各収納溝にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種テーピング装置にあっては、収納テープ内の各収納溝にチップ部品を順次装填する前に、反転装置によりチップ部品を上下反転して印字面を上面とし端子を有する面を下面とし、チップ部品上面にシリアル番号等を印字装置により印字する場合があったり、印字しない場合もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従って、これらに対応するために、吸着装填ノズルに吸着保持されたチップ部品を上下反転させるテーピング装置と、反転させないテーピング装置との２機種が必要であった。
【０００４】
そこで本発明は、上述する点に鑑み、チップ部品を上下反転させる場合にも、また上下反転させない場合にも使用できるようにした、汎用性の高いテーピング装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
このため本発明は、収納テープ内の各収納溝にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、チップ部品供給部からチップ部品を取出す吸着取出ノズルが所定間隔を存して複数本配設されて間欠回転すると共に上下反転が選択された場合のみ前記吸着取出ノズルをチップ部品の取出し後に上下反転させる反転装置を備えた第１の回転盤と、上下反転が選択されてない場合には前記吸着取出ノズルからチップ部品を受継いだ後１８０度回転する旋回テーブルと、前記収納溝にチップ部品を装填する吸着装填ノズルが所定間隔を存して複数本配設されて間欠回転し上下反転が選択されてない場合には１８０度回転後の前記旋回テーブルから前記吸着装填ノズルがチップ部品を受継ぐと共に上下反転が選択された場合には前記反転装置により反転した状態の吸着取出ノズルからチップ部品を受継いで前記収納溝に順次装填する第２の回転盤とを備えたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のテーピング装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、テーピング装置の側面図である図１及びその一部平面図である図２に基づき、テーピング装置について説明する。１はテーピング装置本体で、この本体１にテープ本体４Ａ（キャリアテープとも称される。）の搬送路を有する搬送レール２が上部に形成されたレール本体３が固定されている。そして、このレール本体３にはキャリアテープ供給リール５が回転可能に係止され、当該テープ供給リール５に巻装されたテープ本体４Ａが当該テープ本体４Ａに適度なテンションを与えるためのプーリや搬送レール２を介して巻取り収納リール６に固定されている。
【０００７】
そして、図示しない回転駆動系による当該巻取り収納リール６の回転に合わせて順次テープ本体４Ａが所定量搬送されて（巻取り収納リール６に巻取られて）いく間で、テープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内にチップ部品Ａが挿入され、更に所定位置まで搬送されて収納溝４Ｂ上面の開口部をカバーテープ供給リール（図示せず）から供給されるカバーテープ４Ｃで被覆した後、前記巻取り収納リール６に巻取られていく。尚、上述したように、所定間隔を存して収納溝４Ｂが設けられたテープ本体４Ａと、その上面に圧着されるカバーテープ（トップテープ）４Ｃとで収納テープ４が形成されるが、前記テープ本体４Ａはボトムテープと間隔子とで形成される。
【０００８】
そして、テーピング装置本体１に固定された固定板８上にはＹ軸駆動モータ９により駆動されてガイド１０に案内されてＹ方向に移動するＹテーブル１１が設けられ、このＹテーブル１１上にはＸ軸駆動モータ１２により駆動されてガイド１３に案内されてＸ方向に移動するＸテーブル１４が設けられ、このＸテーブル１４に取付板１５が固定されている。
【０００９】
また、前記Ｘテーブル１４上にはＸ軸駆動モータ１６により駆動されてＸ方向に移動するＸテーブル１７が設けられ、このＸテーブル１７上にはＹ軸駆動モータ１８により駆動されてＹ方向に移動するチップ部品供給テーブル１９が設けられている。従って、Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１８の駆動により、チップ部品供給テーブル１９がＸＹ方向に移動可能に設けられる。また、チップ供給テーブル１９上にはシートに貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイ（以下、「チップ部品Ａ」という）に分割された状態で且つ端子を有する面を上面とした状態で固定されており、このチップ部品Ａは突き上げユニット２０の突き上げピン（図示せず）により裏面を突き上げられながら、吸着取出ステーションＳ１においてθ回転可能な吸着取出ノズル２１で吸着されて取出されるものである。
【００１０】
前記取付板１５の下面には、チップ部品供給テーブル１９からチップ部品Ａを取出す吸着取出ノズル２１が所定間隔を存して周縁部に、例えば４本配設されてインデキシングユニット２２により後述するヘッド取付体２５（第１の回転盤）が９０度ずつ間欠回転する第１のピックアップヘッド体２３が設けられている。
【００１１】
次に、第１のピックアップヘッド体２３について、以下詳述する。先ず、この第１のピックアップヘッド体２３は、大きく分けて前記インデキシングユニット２２の下端に天面が固定された筒状のヘッド取付体２５と、このヘッド取付体２５の外方から覆うように配設され取付板１５に支持されている反転無し用のカム体２６と、この反転無し用のカム体２６を外方から覆うように配設され、例えば取付板１５に昇降可能に支持されている反転有り用のカム体２７とから構成され、反転有り用のカム体２７は図示しない駆動源（シリンダ等）により下降させられることにより、チップ部品供給テーブル１９からチップ部品Ａを吸着取出ノズル２１が取出した後、受渡し前にチップ部品Ａを上下反転（表裏反転）させる場合に使用するものである。
【００１２】
反転無し用のカム体２６底面には、後述するローラＡ３６が嵌合して移動する円状の溝３０及びこれより小径の円状の溝３１とが開設されており、どちらの溝を前記ローラＡ３６が移動するかは駆動源（シリンダ等）により支軸３３を支点として開閉する一対の切替え爪３２の開閉により定まる。即ち、受渡し前にチップ部品Ａを上下反転させない場合には駆動源により切替え爪３２を閉じて、バネ２９により外方に付勢された前記ローラＡ３６を当該切替え爪３２の内側に当接させながら、前記溝３１内を移動するように制御し、また上下反転させる場合には駆動源により切替え爪３２を開き、前記ローラＡ３６を第１のピックアップヘッド体２３の回転中心とは偏心している前記溝３０内を移動するように制御する。
【００１３】
そして、前述の如く、切替え爪３２を開いてチップ部品を上下反転させる場合には、前記ローラＡ３６が前記溝３０内を移動することに伴い、前記ローラＡ３６を支持する移動体３４がヘッド取付体２５の内面に９０度間隔で略中心から外方に向けて形成された４条のガイド３５に沿って移動する構成である。また、このガイド３５に沿って移動体３４が移動する際には、移動体３４に支持されたローラＢ３７がヘッド取付体２５にベアリング３８を介して回動可能に支持された回転軸３９の表面周囲に螺旋状に開設された螺旋溝４０内を移動することにより、この回転軸３９を１８０度分回転させる構成である。
【００１４】
そして、前記各回転軸３９の外端部３９Ａに設けられたガイド４１に沿ってスライダ４２を介して装着ヘッド４３が移動すると共に、前記回転軸３９の回転に伴い装着ヘッド４３は回転する構成である。詳述すると、装着ヘッド４３は図示しないバネにより上方へ付勢されており、前記インデキシングユニット２２の駆動によりヘッド取付体２５が間欠回転したときに、前記装着ヘッド４３の外周に設けたリング４４（このリング４４にはベアリング４５が固定されている）が選択された前記反転無し用のカム体２６のカム面２６Ａ又は反転有り用のカム体２７のカム面２７Ａに圧接しているので、リング４４がこのカム面２６Ａ又は２７Ａに沿って回転しながら、装着ヘッド４３は上下移動すると共に、ローラＢ３７が螺旋溝４０内を移動したときには前記回転軸３９を回転させるので装着ヘッド４３も１８０度分回転し、吸着取出ノズル２１が上下反転することとなる。前記カム面２７Ａの軌跡は受渡しステーションＳ４では、吸着装填ノズル５３の上下ストロークが大きくならずタクトアップが図れるように上下反転した状態の吸着取出ノズル２１の上端が高い位置とならないように形成されている。
【００１５】
尚、５０は吸着取出ステーションＳ１において図示しない駆動源により下降するノズル上下作動体であり、下降するとリング４４を介して前記ガイド４１に沿って装着ヘッド４３を下降させ、吸着取出ノズル２１がチップ部品供給テーブル１９からチップ部品Ａを取出すことが可能となる。
【００１６】
５１は旋回テーブルで、チップ部品を反転しない場合にあって受渡しステーションＳ４において吸着取出ノズル２１からチップ部品を受継いで載置した後、１８０度旋回するが、チップ部品を上下反転する場合にあっては旋回しない。
【００１７】
５２は第２のピックアップヘッド体（第２の回転盤）で、吸着装填ノズル５３が所定間隔を存して周縁部に、例えば４本配設されており、インデキシングユニット５４により９０度ずつ間欠回転し、受渡しステーションＳ４において上下反転された吸着取出ノズル２１からか１８０度旋回した旋回テーブル５１からチップ部品を受継いで、１８０度間欠回転して前記搬送レール２上のテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填する構成である。尚、この第２のピックアップヘッド体５２は、Ｘ軸駆動モータ及びＹ軸駆動モータによりＸ方向及びＹ方向に移動可能に設けられ、更に必要に応じて上下動可能に設けられている。
【００１８】
また、吸着装填ノズル５３は、第２のピックアップヘッド体５２に上下動可能で且つθ回転可能に設けられている。
【００１９】
以上の構成により、以下動作について説明する。先ず、第１のピックアップヘッド体２３の吸着取出ノズル２１でチップ部品を上下反転しない場合について説明するが、この場合には作業者の選択装置（図示せず）の操作により「上下反転しない」が選択されて、制御装置（図示せず）が図６に示すように反転有り用のカム体２７を駆動源（図示せず）により上昇させた状態とし、また図４に示すように駆動源により切替え爪３２を閉じた状態とする。
【００２０】
先ず、Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１８を駆動することにより、チップ部品供給テーブル１９を平面方向に移動させ、吸着取出ステーションＳ１における吸着取出ノズル２１の直下位置に取出すべきチップ部品が位置するように制御装置（図示せず）が制御する。このチップ部品Ａは突き上げユニット２０の突き上げピンにより裏面を突き上げられながら、吸着取出ステーションＳ１において吸着取出ノズル２１で吸着されて取出される。即ち、図示しない駆動源によりノズル上下作動体５０が下降すると、リング４４を介してガイド４１に沿って装着ヘッド４３も下降し、吸着取出ノズル２１がチップ部品供給テーブル１９からチップ部品Ａを取出し、その後上昇する。
【００２１】
そして、第１のピックアップヘッド体２３がインデキシングユニット２２により９０度ずつ間欠回転することとなる。このとき、駆動源により切替え爪３２が閉じられており、バネ２９により外方に付勢されたローラＡ３６を当該切替え爪３２の内側に当接させながら、第１のピックアップヘッド体２３の回転中心と同心で形成された溝３１内を移動するように制御する。また、装着ヘッド４３はバネにより上方へ付勢されており、インデキシングユニット２２の駆動によりヘッド取付体２５が間欠回転する際には、装着ヘッド４３の外周に設けたリング４４が反転無し用のカム体２６のカム面２６Ａに圧接しているので、リング４４がこのカム面２６Ａに倣って回転しながら、装着ヘッド４３は上下移動しながら間欠回転する。
【００２２】
そして、吸着取出ステーションＳ１から９０度の間欠回転を２回すると受渡しステーションＳ４に到達するが、この受渡しステーションＳ４において吸着取出ノズル２１からチップ部品を旋回テーブル５１上に受渡して載置する。このチップ部品を受継いだ旋回テーブル５１は１８０度旋回して停止し、この旋回テーブル５１上のチップ部品を第２のピックアップヘッド体５２の吸着装填ノズル５３が下降して吸着して取出す。
【００２３】
そして、第２のピックアップヘッド体５２が１８０度分間欠回転し、搬送レール２上のテープ本体４Ａに開設された収納溝４Ｂ内に吸着装填ノズル５３に保持されたチップ部品を装填する。
【００２４】
そして、この挿入装填後に、図示しない回転駆動系による巻取り収納リール６の回転に合わせて順次テープ本体４Ａが所定量搬送されて（巻取り収納リール６に巻取られて）いく間に、収納溝４Ｂ内に挿入された状態のチップ部品に対して部品検査機構（図示せず）により部品検査が行なわれ、即ちプローブ針を備えた検査部が平面方向及び上下方向に移動して、前記収納溝４Ｂ内に挿入されたチップ部品にプローブ針を接触させて、例えば電気特性などを検査する。このようにして次々にチップ部品は収納溝４Ｂ内に挿入され、部品検査機構による検査終了後にテープ圧着機構（図示せず）によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとを圧着させて、テーピングを完了させ、テープ４は巻取り収納リール６に順次巻き取られていくこととなる。
【００２５】
次に、第１のピックアップヘッド体２３の吸着取出ノズル２１でチップ部品を上下反転する場合について説明するが、この場合には作業者の選択装置（図示せず）の操作により「上下反転する」が選択されて、制御装置が図７に示すように反転有り用のカム体２７が駆動源（図示せず）により下降させた状態とし、また図５に示すように駆動源により切替え爪３２を開いた状態とする。
【００２６】
先ず、Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１８を駆動することにより、チップ部品供給テーブル１９を平面方向に移動させ、吸着取出ステーションＳ１における吸着取出ノズル２１の直下位置に取出すべきチップ部品が位置するように制御装置が制御する。このチップ部品Ａは突き上げユニット２０の突き上げピンにより裏面を突き上げられながら、吸着取出ステーションＳ１において吸着取出ノズル２１で吸着されて取出される。即ち、図示しない駆動源によりノズル上下作動体５０が下降すると、リング４４を介してガイド４１に沿って装着ヘッド４３も下降し、吸着取出ノズル２１がチップ部品供給テーブル１９からチップ部品Ａを取出し、その後上昇する。
【００２７】
そして、第１のピックアップヘッド体２３がインデキシングユニット２２により９０度ずつ間欠回転することとなる。このとき、駆動源により切替え爪３２が開かれており、バネ２９により外方に付勢されたローラＡ３６を当該切替え爪３２の内側に当接させながら、前記ローラＡ３６を第１のピックアップヘッド体２３の回転中心と偏心している溝３０内を移動するように制御する。
【００２８】
そして、ローラＡ３６が前記溝３０内を移動することに伴い、前記ローラＡ３６を支持する移動体３４がヘッド取付体２５の内面に９０度間隔で略中心から外方に向けて形成されたガイド３５に沿って移動する。また、このガイド３５に沿って移動体３４が移動する際には、移動体３４に支持されたローラＢ３７が螺旋溝４０内を移動することにより、第１のピックアップヘッド体２３がインデキシングユニット２２により１８０度分間欠回転する間に、回転軸３９は１８０度分回転する。
【００２９】
即ち、装着ヘッド４３は図示しないバネにより上方へ付勢されており、前記インデキシングユニット２２の駆動によりヘッド取付体２５が間欠回転したときに、前記装着ヘッド４３の外周に設けたリング４４が反転有り用のカム体２７のカム面２７Ａに圧接しているので、このカム面２７Ａに沿ってリング４４が回転しながら、装着ヘッド４３は上下移動すると共に、ローラＢ３７が螺旋溝４０内を移動したときには前記回転軸３９を回転させるので、ヘッド取付体２５が鉛直軸方向を支点として１８０度分間欠回転すると装着ヘッド４３も水平軸方向を支点として１８０度分回転し、吸着取出ノズル２１が上下反転することとなる（図７参照）。
【００３０】
従って、Ｘ軸駆動モータによりＸ方向、即ち第１のピックアップヘッド体２３方向に移動した状態にある第２のピックアップヘッド体５２は、インデキシングユニット５４により９０度ずつ間欠回転し、受渡しステーションＳ４において上下反転された吸着取出ノズル２１から吸着装填ノズル５３がチップ部品を受継いで、その後１８０度間欠回転して前記搬送レール２上のテープ本体４Ａの収納溝４Ｂ内に装填する。
【００３１】
そして、前述したように、この挿入装填後に、部品検査機構により部品検査が行なわれ、この検査終了後にテープ圧着機構によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとを圧着させて、テーピングを完了させ、テープ４は巻取り収納リール６に順次巻き取られていくこととなる。
【００３２】
以上のように、上下反転されて印字面を上面とし端子を有する面を下面としたチップ部品Ａ上に印字する場合や、印字しない場合の両者に対応できるテーピング装置が提供できる。
【００３３】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【００３４】
【発明の効果】
以上のように本発明は、チップ部品を上下反転させる場合にも、また上下反転させない場合にも使用できるようにした、汎用性の高いテーピング装置を提供することできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】テーピング装置を示す側面図である。
【図２】テーピング装置の一部平面図である。
【図３】第１のピックアップヘッド体の平面図である。
【図４】切替え爪を閉じてチップ部品を反転させない場合における反転無し用のカム体の底面図である。
【図５】切替え爪を開いてチップ部品を反転させる場合における反転無し用のカム体の底面図である。
【図６】第１のピックアップヘッド体の側面図である。
【図７】一部破断せる第１のピックアップヘッド体の側面図である。
【図８】第１のピックアップヘッド体の縦断面図である。
【図９】図８のＡ−Ａ断面図である。
【符号の説明】
１　　　　　　テーピング装置本体
４　　　　　　収納テープ
１９　　　　　チップ部品供給テーブル
２１　　　　　吸着取出ノズル
２３　　　　　第１のピックアップヘッド体
２５　　　　　ヘッド取付体
２６　　　　　反転無し用のカム体
２７　　　　　反転有り用のカム体
３０、３１　　溝
３２　　　　　切替え爪
３６　　　　　ローラＡ
３７　　　　　ローラＢ
３９　　　　　回転軸
４０　　　　　螺旋溝
４３　　　　　装着ヘッド
５１　　　　　旋回テーブル
５２　　　　　第２のピックアップヘッド体
５３　　　　　吸着装填ノズル
【図１】
2004083093.tif 000003
【図２】
2004083093.tif 000004
【図３】
2004083093.tif 000005
【図４】
2004083093.tif 000006
【図５】
2004083093.tif 000007
【図６】
2004083093.tif 000008
【図７】
2004083093.tif 000009
【図８】
2004083093.tif 000010
【図９】
2004083093.tif 000011