(57)【要約】【課題】接着剤表面の微小な凹凸を最小限に抑えることで研磨性能を向上させることが可能な研磨パッド及び研磨テープ用の片面若しくは両面接着テープを与える。【解決手段】研磨パッドを研磨機に固定するかまたは研磨パッド若しくは研磨テープの裏張りをするための両面接着テープは、表面及び裏面に接着剤の塗布されたテープ基材と、テープ基材の少なくとも一方側に貼着された樹脂製の剥離シートとから成る。ここで剥離シートは剥離処理されたＰＥＴ若しくはＰＰから成る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドを研磨機に固定するかまたは研磨パッド若しくは研磨テープの裏張りをするための両面接着テープであって、
表面及び裏面に接着剤の塗布されたテープ基材と、
前記テープ基材の少なくとも一方側に貼着された樹脂製の剥離シートと、
から成る両面接着テープ。
【請求項２】
請求項１に記載の両面接着テープであって、前記剥離シートは剥離処理されたＰＥＴ若しくはＰＰから成る、ところの両面接着テープ。
【請求項３】
請求項１に記載の両面接着テープであって、前記テープ基材は、ＰＥＴ、塩化ビニル、セロハン等の樹脂類、ゴム類、紙、布、金属若しくは発泡体のいずれかから成る、ところの両面接着テープ。
【請求項４】
請求項１に記載の両面接着テープであって、前記接着剤は、セメント、ケイ酸塩、リン酸塩、石膏等の無機接着剤若しくは天然高分子系、半合成高分子系、合成高分子系の有機接着剤から成る、ところの両面接着テープ。
【請求項５】
研磨パッド若しくは研磨テープの裏張り用接着テープであって、
一方の面に接着剤の塗布された裏張り材と、
前記裏張り材の接着剤が塗布された側に貼着された樹脂製の剥離シートと、
から成る接着テープ。
【請求項６】
請求項５に記載の接着テープであって、前記樹脂製の剥離シートは、剥離処理されたＰＥＴ若しくはＰＰから成る、ところの接着テープ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、研磨パッド若しくは研磨テープ用の接着テープに関し、特に、研磨パッドを研磨機に固定するかまたは研磨パッド若しくは研磨テープの裏張りをするための片面若しくは両面接着テープに関する。
【０００２】
【従来技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、ハードディスク若しくは半導体の仕上げ研磨として研磨パッドが使用され、ハードディスクのテクスチャ加工若しくはクリーニング用として研磨テープが使用されている。研磨パッドを研磨機に固定する場合や研磨テープの伸び若しくは曲げに対する強度、クッション性及び保水性を向上させる目的で裏張りをする場合に片面若しくは両面接着テープが使用されてきた。
【０００３】
当該接着テープの性能は、粘着力、剪断接着力、初期粘着力、引張強さ、伸び等の数値表示で評価されている。従来、研磨テープの裏張りとして使用する場合、特に接着性に注目して接着テープが選択されていた。
【０００４】
例えば、研磨パッドを研磨機に固定する場合、研磨パッドの裏面に接着される両面接着テープの接着剤表面の微小な凹凸が研磨パッドの表面平滑性に影響を与える。この接着剤表面の微小な凹凸は接着テープの剥離紙の凹凸が転写されて生じるものである。これまでは接着剤表面の微小な凹凸が研磨パッド若しくは研磨テープの表面平滑性に与える影響は無視できる程度のものであった。
【０００５】
しかし、最近ではハードディスクの高容量化に伴いその研磨工程においてより平滑な面が要求されており、接着剤表面の微小な凹凸が研磨パッド若しくは研磨テープの表面平滑性に与える影響を無視できなくなってきている。
【０００６】
また、製造コストを増大させることなく接着テープの接着性をいかに向上させるかも重要な問題である。
【０００７】
したがって、本願の目的は、接着剤表面の微小な凹凸を最小限に抑えることで研磨性能を向上させることが可能な研磨パッド及び研磨テープ用の片面若しくは両面接着テープを与えることである。
【０００８】
また、本願の他の目的は、製造コストを増大させることなく接着テープの接着性を向上させる研磨パッド及び研磨テープ用の片面若しくは両面接着テープを与えることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明に係る接着テープは以下の構成から成る。
【００１０】
研磨パッドを研磨機に固定するかまたは研磨パッド若しくは研磨テープの裏張りをするための両面接着テープは、
表面及び裏面に接着剤の塗布されたテープ基材と、
テープ基材の少なくとも一方側に貼着された樹脂製の剥離シートと、
から成る。
【００１１】
好適には、剥離シートは剥離処理されたＰＥＴ若しくはＰＰから成る。
【００１２】
具体的にはテープ基材は、ＰＥＴ、塩化ビニル、セロハン等の樹脂類、ゴム類、紙、布、金属若しくは発泡体のいずれかから成る。
【００１３】
また具体的には接着剤は、セメント、ケイ酸塩、リン酸塩、石膏等の無機接着剤若しくは天然高分子系、半合成高分子系、合成高分子系の有機接着剤から成る。
【００１４】
一方、研磨パッド若しくは研磨テープの裏張り用接着テープは、
一方の面に接着剤の塗布された裏張り材と、
裏張り材の接着剤が塗布された側に貼着された樹脂製の剥離シートと、
から成る。
【００１５】
好適には、樹脂製の剥離シートは、剥離処理されたＰＥＴ若しくはＰＰから成る。
【００１６】
【発明の実施の態様】
以下、図面を参照しながら、本願発明を詳細に説明する。図１は、本発明に係る研磨パッド及び研磨テープ用接着テープの実施例を示したものである。図１（ａ）は、裏張り用片面接着テープの好適実施例を示す。裏張り材１の下面に接着剤２が塗布される。ここで、裏張り材１は、好適にはＰＥＴ等の樹脂類であり、それ以外にもゴム類、紙、布、金属若しくは発泡体が使用可能である。接着剤２は、セメント、ケイ酸塩、リン酸塩、石膏等の無機接着剤若しくは天然高分子系、半合成高分子系、合成高分子系の有機接着剤から成る。接着剤２の下面には剥離シート３が貼着されている。剥離シート３は好適にはＰＥＴから成るが、他にＰＰのような樹脂類が用いられても良い。剥離シート３の接着剤２との接触面にはシリコンが塗布され剥離処理されている。裏張りをする場合には、図１（ａ）の片面接着テープの剥離シート３を剥がし、研磨パッド若しくは研磨テープの裏面に貼着させる。
【００１７】
図１（ｂ）は、パッド固定若しくは裏張り用両面接着テープの好適実施例を示す。テープ基材６の表面及び裏面には接着剤（５，６）が塗布されている。ここで、テープ基材６は、ＰＥＴ、塩化ビニル、セロハン等の樹脂類、ゴム類、紙、布、金属若しくは発泡体のいずれかから成る。接着剤５の上面には剥離シート４が貼着されている。剥離シート４は好適にはＰＥＴから成るが、他にＰＰのような樹脂類が用いられても良い。両面接着テープは通常ロール状に巻かれており、剥離シート４の上面１３は接着剤７の下面１４と接触している。そのため、剥離シート４の表面及び裏面にはシリコンが塗布され剥離処理されている。研磨パッドを研磨機に固定する場合には、研磨パッドの裏面に接着面１４を当てて両面テープを貼着し、次に剥離シート４を剥がして接着面を研磨機表面に貼着させる。研磨パッド若しくは研磨テープの裏張りをする場合には、図１（ｂ）の両面接着テープの接着面１４を当該研磨パッド若しくは研磨テープの裏面に貼着させ、剥離シート４を剥がしてその上に裏張り材を貼着する。
【００１８】
従来の両面テープは、剥離シート４が紙製であったため、平滑性が悪く、剥がしたときに接着剤表面に微小な凹凸が生じていた。図２は、以下の測定条件の下で、剥離シートが従来の紙の場合と本発明のＰＥＴの場合とで剥がした後の接着剤表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）及び最大高さ（ＰＶ）を観測したものである。測定結果は以下の表１に示されている。従来品の測定結果において画面の黒い部分は１００μｍの測定限界を超えているか若しくは急激な凹凸により測定できなかった部分を示している。
測定条件
装置：Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ　５０００（Ｚｙｇｏ社製）
対物レンズ：１０倍
中間レンズ：０．８倍
Ｆｉｌｔｅｒ（ＣｕｔＯｆｆ）：無し
測定幅（Ｚ軸方向）：１００μｍ
両面テープ
テープ基材：ＰＥＴ
接着剤：合成高分子のアクリル系
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この測定結果から、剥離シートを紙からＰＥＴに変更することで、接着剤表面の平滑性が大幅に改善されるのがわかる。
【００１９】
図１（ｃ）は、パッド固定若しくは裏張り用両面接着テープの他の実施例を示す。テープ基材１０の表面及び裏面には接着剤（９，１１）が塗布されている。ここで、テープ基材１０は、テープ基材６と同じ材質である。接着剤９の上面には剥離シート８が貼着されている。一方接着剤１１の下面には剥離シート１２が貼着されている。剥離シート（８，１２）は好適にはＰＥＴから成るが、他にＰＰのような樹脂類が用いられても良い。剥離シート（８，１２）の接着剤との接触面にはシリコンが塗布され剥離処理されている。研磨パッドを研磨機に固定する場合には、剥離シート１２を剥がし研磨パッドの裏面に接着面を当てて両面テープを貼着し、次に剥離シート８を剥がして接着面を研磨機表面に貼着させる。研磨パッド若しくは研磨テープの裏張りをする際には、図１（ｃ）の両面接着テープの剥離シート１２を剥がし当該研磨パッド若しくは研磨テープの裏面に貼着させ、次に剥離シート８を剥がしてその上に裏張り材を貼着する。
【００２０】
【実施例】
研磨パッドを研磨機に固定するための両面テープの剥離シートとして従来の紙を使用した場合と、本発明に係るＰＥＴを使用した場合とで、研磨比較試験を行ったので説明する。研磨にはスウェード様の研磨パッド（日本ミクロコーティング社製）を使用した。両面テープのテープ基材としてＰＥＴを使用し、接着剤として有機接着剤の合成高分子のアクリル系（シアノアケリレート、エマルジョンのアクリル）を使用した。研磨液として、平均中心粒径約８０ｎｍのコロイダルシリカ約５％及び研磨促進剤を含んだもの（日本ミクロコーティング社製）を使用した。使用サンプルは、３．５インチの無電解ニッケルリンメッキされたアルミ基板をロデール社製の研磨パッド（Ｐｏｌｉｔｅｘ　ＤＧパッド）によってフジミインコーポレイテッド社製の研磨液（ＤＩＳＫＬＩＴＥ３４７１）を純水で１：３の割合に希釈したものを使って研磨したものを使用した。この時点での微小うねりは６〜８Åであった。他の実験条件は以下の通りである。
研磨機：両面研磨機　ＨＡＭＡＩ−９ＢＦ（浜井産業株式会社製）
加工圧力：９０ｇ／ｃｍ２
定盤回転数：４０ｒｐｍ
研磨液供給量：０．２リットル／ｍｉｎ
研磨時間：４ｍｉｎ
研磨量：約１μｍ
次に評価及び測定方法について説明する。研磨パッドを両面テープで研磨機に貼着した後、研磨パッド屑を除去するため１０分程度のダミーランニングを実施した。その後１０回連続（１０バッチ）で研磨を実施し、１バッチ（１０枚）毎に２枚の評価サンプルを抜き取り、表面及び裏面について各２点測定した。測定装置として、Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ　５０００（Ｚｙｇｏ社製、対物レンズ１０倍、中間レンズ０．８倍、測定波長０．０５〜２ｍｍ（０．０５ｍｍ以下及び２．０ｍｍ以上の波長をＣｕｔＯｆｆ））を使用し、各測定ポイントの中心線平均粗さを測定し、微小うねりとした。
【００２１】
図３は１０バッチ平均の微小うねりの測定結果を示したグラフである。この結果から、剥離シートとして従来の紙を使用した場合には微小うねりが約４．８Åであり、剥離シートとして本発明に係るＰＥＴを使用した場合には微小うねりが約３．６Åであることがわかった。ハードディスクの研磨において微小うねりの低減は非常に重要な課題であり、この実験結果から、研磨性能が向上していることが明らかとなった。
【００２２】
【効果】
本発明に係る片面若しくは両面接着テープにより、接着剤表面の微小な凹凸を最小限に抑えることで研磨パッド若しくは研磨テープの研磨性能を向上させることができた。
【００２３】
また、本発明に係る片面若しくは両面接着テープによれば、接着剤表面が従来に比べ平坦となるため接着面積が増し、製造コストを増大させることなく接着テープの接着性を向上させることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係る片面若しくは両面接着テープの実施例を示す。
【図２】図２は、従来の両面テープと本発明に係る両面テープの接着剤表面の拡大映像である。
【図３】図３は、従来の両面テープと本発明に係る両面テープを使ってアルミ基板を研磨し、その表面の微小うねりを測定したグラフである。
【符号の説明】
１　　　　　　裏張り材
２　　　　　　接着剤
３　　　　　　剥離シート
４　　　　　　剥離シート
５　　　　　　接着剤
６　　　　　　テープ基材
７　　　　　　接着剤
８　　　　　　剥離シート
９　　　　　　接着剤
１０　　　テープ基材
１１　　　接着剤
１２　　　剥離シート
１３　　　剥離シート上面
１４　　　接着剤下面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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