(57)【要約】【課題】被洗浄物が破損することを防止できる被洗浄物の洗浄装置を提供する。【解決手段】被洗浄物の洗浄装置１は被洗浄物としてのマスクを収容する洗浄槽１０と超音波振動発生部１１と一対のシールド板を備えている。洗浄槽１０は箱状に形成されかつマスクを収容しかつ洗浄液が満たされる槽本体１５を備えている。槽本体１５は底壁１７と複数の周壁１８，１８ａ，１８ｂからなる。超音波振動発生部１１は槽本体１５の周壁１８ａに取り付けられた圧電発振器２１を複数備えている。圧電発振器２１が矢印Ｓに沿って振動する。一方のシールド板は周壁１８ａとマスクとの間に配される。他方のシールド板は周壁１８ｂとマスクとの間に配される。シールド板は洗浄液の超音波振動がマスクの洗浄箇所に伝わることを許容し非洗浄箇所に伝わることを規制する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄する洗浄液を超音波振動する振動子で振動させることにより、前記被洗浄物を洗浄する被洗浄物の洗浄装置において、
前記被洗浄物が前記洗浄液により洗浄されるべき洗浄箇所と、非洗浄箇所とを有しており、
前記洗浄箇所に洗浄液の振動が伝わることを許容しかつ前記非洗浄箇所に前記洗浄液の振動が伝わることを規制するシールド手段を備えたことを特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
【請求項２】
前記被洗浄物を収容しかつ前記洗浄液で満たされる洗浄槽と、
前記振動子を複数備えかつ前記洗浄槽に取り付けられているとともに前記振動子が超音波振動することにより前記洗浄槽内の洗浄液を超音波振動させる振動源と、
を備えたことを特徴とする請求項１記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項３】
前記シールド手段を、前記洗浄槽内でかつ前記被洗浄物と前記振動源との間に配したことを特徴とする請求項２記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄槽は、互いに間隔をあけて相対しかつ互いの間に前記被洗浄物を位置付ける一対の壁を備え、これら一対の壁のうち一方の壁には前記振動源が取り付けられており、
前記シールド手段を、前記洗浄槽内でかつ前記被洗浄物と前記一方の壁の間と、前記被洗浄物と他方の壁との間との双方に設けたことを特徴とする請求項２記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄槽内の洗浄液を一旦洗浄槽外に導いた後、再度前記洗浄槽内に導く洗浄液循環手段を備え、
この洗浄液循環手段は、前記洗浄液を濾過して前記洗浄液を清浄に保つ濾過手段を備えたことを特徴とする請求項２ないし請求項４のうちいずれか一項に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項６】
前記被洗浄物は、印刷配線板上にはんだペーストをスクリーン印刷する際に用いられるマスクであり、
前記マスクは、枠状の枠部と、前記枠部の内側に配されかつ板状に形成されたマスク本体と、前記枠部とマスク本体とを互いに固定する固定部材とを備え、
更に、前記洗浄箇所は、前記マスク本体の中央部に設けられかつ前記はんだペーストを通すことのできる孔が複数形成され、
前記非洗浄箇所は、マスク本体の外縁部に設けられかつ前記固定部材に取り付けられているとともに、
前記振動子は前記振動源と前記洗浄槽とが並ぶ方向に沿って振動し、
前記シールド手段は、前記振動子の振動方向に沿って前記被洗浄物と並べられる本体部と、前記本体部を貫通しかつ前記振動子の振動方向に沿って前記洗浄箇所と並ぶ貫通孔とを備え、
前記貫通孔は、前記洗浄箇所の外縁より大きく、前記非洗浄箇所の内縁より小さいことを特徴とする請求項２ないし請求項５のうちいずれか一項に記載の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項７】
前記本体部は、その表面が前記振動子の振動方向に対し交差する状態に配される平板状に形成されており、
前記貫通孔は、前記本体部の中央部を貫通しているとともに平面形状が矩形状に形成されていることを特徴とする請求項６記載の被洗浄物の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷配線板上にはんだペーストをスクリーン印刷する際に用いられるマスクなどの被洗浄物を洗浄する被洗浄物の洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
印刷配線板に多数の電子部品を実装するために、前記印刷配線板の表面にはんだペーストを塗布し、その上に前記電子部品の電極又はリード線を位置あわせして重ねる。その後、加熱してはんだペーストをリフローさせて、前記電子部品をはんだを用いたろう付けで印刷配線板に取り付けている。
【０００３】
前述したはんだペーストを印刷配線板上に塗布する際には、スクリーン印刷を行う。スクリーン印刷では、マスクを用いる。マスクは、平板状のマスク板と、マスク板の外縁を囲む枠状の枠部と、枠部の内縁とマスク板の外縁とを連結する網状の張設部材とを備えている。マスク板には、孔が設けられている。孔は、前記印刷配線板にはんだペーストを印刷する所定のパターンと同じ形状に形成されている。張設部材は、枠部の内縁とマスク板の外縁との双方に接着剤などにより貼り付けられている。
【０００４】
前記スクリーン印刷では、マスクのマスク板を印刷配線板に重ね、該マスク板上から孔を通してはんだペーストを押し込むことにより、印刷配線板上にはんだペーストを所定のパターンで塗布する。はんだペーストの印刷作業が終了した後、マスクを放置すると、はんだペーストがマスク部及び枠部に凝固して付着する。すると、所定のパターンで印刷配線板にはんだペーストを印刷できなくなることがある。
【０００５】
このため、スクリーン印刷が終了すると、従来から種々の洗浄装置を用いて、被洗浄物としての前述したマスクを洗浄してきた。例えば、洗浄装置は、前記マスクを収容するとともに洗浄液で満たされる洗浄槽と、前記洗浄槽槽内の洗浄液を超音波振動させる振動源とを備えている。
【０００６】
振動源は、複数の圧電発振器などと、板状の振動板などを備えている。圧電発振器は、印加されると振動する（超音波振動する）。振動板は、圧電発振器により振動される。振動板は、前記圧電発振器からの振動（超音波振動）を洗浄槽内の洗浄液に伝える。則ち、振動源は、洗浄槽内の洗浄液を振動（超音波振動）させる。
【０００７】
前述した洗浄装置は、洗浄槽内に被洗浄物としてのマスクを収容する。そして、前記収容槽内を洗浄液で満たす。その後、振動源の圧電発振器に印加して、洗浄槽内の洗浄液を超音波振動させる。超音波振動する洗浄液がマスクにぶつかる事などにより、マスクからはんだペーストなどを除去できる。こうして、前述した洗浄装置は、マスクなどの被洗浄物を洗浄する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来の洗浄装置は、洗浄液で満たされた洗浄槽内にマスクを収容し、洗浄槽内の洗浄液を超音波振動して、マスクを洗浄する。このため、洗浄液の超音波振動が、張設部材とマスク板との固定箇所と、張設部材と枠部との固定箇所との双方に衝突する。
【０００９】
このため、マスクの洗浄を繰り返すと、前記接着剤が張設部材とマスク板と枠部のうち少なくとも一つから剥がれる虞があった。前記接着剤が剥がれると。勿論、マスク板と張設部材などが枠部から不意に脱落する虞が生じる。このように、従来の洗浄装置では、マスクなどの洗浄を繰り返すと、マスクなどの被洗浄物が不意に破損する虞があった。
【００１０】
さらに、前述した従来の洗浄装置は、前記マスクの洗浄を長時間行うと、前述した超音波振動により、洗浄槽の壁面などが加熱することがある。すると、前記洗浄液が加熱されて、該洗浄液の洗浄作用が強くなり、マスクからはんだペーストなどを除去することにくわえ、前記接着剤をマスク板などからより剥離させる虞があった。このように、従来の洗浄装置は、マスクなどの被洗浄物の洗浄を長時間行うと、前記マスクなどの被洗浄物を破損させる虞があった。
【００１１】
したがって、本発明の目的は、被洗浄物が破損することを防止できる被洗浄物の洗浄装置を提供することを一例とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の被洗浄物の洗浄装置は、被洗浄物を洗浄する洗浄液を超音波振動する振動子で振動させることにより、前記被洗浄物を洗浄する被洗浄物の洗浄装置において、前記被洗浄物が前記洗浄液により洗浄されるべき洗浄箇所と、非洗浄箇所とを有しており、前記洗浄箇所に洗浄液の振動が伝わることを許容しかつ前記非洗浄箇所に前記洗浄液の振動が伝わることを規制するシールド手段を備えたことを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
この発明の被洗浄物の洗浄装置は、上記のように、被洗浄物の洗浄箇所に洗浄液の超音波振動が伝わることを許容し、非洗浄箇所に洗浄液の超音波振動が伝わることを規制するシールド手段を設けている。こうすることで、振動源が発生する超音波振動を、非洗浄箇所に伝わることを防止して、被洗浄物が非洗浄箇所などから破損することを防止できる。
【００１４】
また、この発明の被洗浄物の洗浄装置において、被洗浄物を収容しかつ洗浄液で満たされる洗浄槽と、洗浄槽に取り付けられた振動子を複数備えた振動源とを設ければ良い。
【００１５】
さらに、この発明の被洗浄物の洗浄装置において、シールド手段を被洗浄物と振動源との間に配せば良い。
【００１６】
また、この発明の被洗浄物の洗浄装置において、シールド手段を被洗浄物と洗浄槽の一方の壁との間と、被洗浄物と他方の壁との間との双方に配せば良い。
【００１７】
さらに、洗浄液を洗浄槽の内外に循環する洗浄液循環手段を設ければ良い。
【００１８】
また、被洗浄物がマスクで、マスクが洗浄箇所をマスク本体の中央に設け、非洗浄箇所をマスク本体の外縁部に設けても良い。さらに、振動子の振動方向に沿ってシールド手段の貫通孔とマスクの洗浄箇所とを並べ、貫通孔を洗浄箇所の外縁より大きくし、非洗浄箇所の内縁より小さくすれば良い。
【００１９】
さらに、シールド手段の本体部を平板状に形成し、貫通孔の平面形状を矩形状にしても良い。
【００２０】
【実施例】
本発明の一実施例にかかる被洗浄物の洗浄装置（以下単に洗浄装置と呼ぶ）を図１乃至図１５を参照して説明する。図１及び図２に示す洗浄装置１は、被洗浄物としての図１３などに示すマスク４を洗浄する装置である。図１３などに示すマスク４は、印刷配線板２上にはんだペースト３（図１４に示す）を所定のパターンにしたがって印刷・供給するスクリーン印刷で用いられる。マスク４は、図１３及び図１４に示すように、枠状の枠部５と、固定部材としての網部材６と、マスク本体としてのマスク板７とを備えている。
【００２１】
枠部５は、四角筒状の梁５ａを四つ備えて、枠状に形成されている。枠部５は、平面形状が矩形状に形成されている。網部材６は、伸縮可能なシート状に形成されている。網部材６の平面形状は、矩形状に形成されている。網部材６として、ポリエステル又はステンレス鋼などからなるメッシュ状のメッシュスクリーンが用いられている。
【００２２】
網部材６は、枠部５の内側に、引っ張られた状態（所定の力で引っ張られた状態）で張られている。網部材６の外縁部は、図１５に示すように、枠部５の各梁５ａの外面にゴム形接着剤などの周知の接着剤により貼り付けられている。網部材６の中央には、開口部６ａが開口している。開口部６ａは、網部材６を貫通しているとともに、平面形状が矩形状に形成されている。
【００２３】
マスク板７は、例えばステンレス鋼などの金属からなり平板状に形成されている。マスク板７は、平面形状が矩形状に形成されている。マスク板７は、枠部５の内側に配されている。マスク板７は、図１３中に平行斜線Ｐで示す洗浄箇所１２と、図１３中に平行斜線Ｑで示す非洗浄箇所１３と、中間部１９とを一体に備えている。
【００２４】
洗浄箇所１２は、マスク板７の中央部に設けられかつ複数の孔８が形成されている。孔８は、マスク板７を貫通しており、印刷配線板２にはんだペースト３を印刷する所定のパターンに形成されている。洗浄箇所１２の平面形状は、図１３などに示すように、矩形状に形成されており、複数の孔８のうちマスク板７の最も外縁寄りの孔８同士を結んで形成される。洗浄箇所１２は、スクリーン印刷により付着したはんだペースト３が洗浄装置１により除去される箇所である。則ち、洗浄箇所１２は、洗浄液で洗浄されるべき箇所である。
【００２５】
非洗浄箇所１３は、マスク板７の外縁部則ち洗浄箇所１２の外側に設けられている。非洗浄箇所１３は、図１５に示すように、網部材６の開口部６ａの内縁部に重ねられて、周知の接着剤などにより網部材６の開口部６ａの内縁部に接着されるなどして、網部材６に取り付けられている。このように、本明細書に記した非洗浄箇所１３とは、マスク板７の外縁部に設けられ、網部材６に固定されている箇所であり、洗浄装置１による洗浄液の超音波振動が伝えない箇所である。こうして、マスク板７は、前記開口部６ａを塞ぐ格好で、網部材６に取り付けられている。
【００２６】
中間部１９は、図１３に示すように、洗浄箇所１２の外縁１２ａと非洗浄箇所１３の内縁１３ａとを連ねている。中間部１９には、洗浄装置１による洗浄液の超音波振動が伝わっても良く、洗浄液の超音波振動が伝わらなくても良い。
【００２７】
前述したマスク４を用いて、スクリーン印刷を行う際には、まず、図１４に示すように、印刷配線板２にマスク４のマスク板７を重ねる。マスク板７上にはんだペースト３を供給する。スキージ９でマスク板７を印刷配線板２に押し付けて、該スキージ９ではんだペースト３をマスク板７上を移動させる。孔８内にはんだペースト３が押し込まれ、印刷配線板２上に所定のパターンにしたがってはんだペースト３が印刷される。なお、はんだペースト３とは、はんだ粉末をフラックスなどと混練して構成されている。
【００２８】
洗浄装置１は、図７などに示すように、洗浄槽１０と、振動源としての超音波振動発生部１１と、洗浄液循環手段としての洗浄液循環部１４と、一対のシールド板２２とを備えている。
【００２９】
洗浄槽１０は、図３などに示すように、上方が開口した箱状の槽本体１５と、支持手段としての一対のマスク支持レール１６（図３中に一方のみ示す）と、一対のシールド支持部２３ａ，２３ｂとを備えている。槽本体１５は、底壁１７と、この底壁１７の外縁から立設した複数の周壁１８とを備えて、箱状に形成されている。底壁１７は、表面が水平方向に沿う状態に配される。底壁１７は、平面形状が矩形状に形成されている。
【００３０】
周壁１８は、それぞれ平板状に形成されており、図示例では四つ設けられている。複数の周壁１８のうち超音波振動発生部１１の後述する圧電発振器２１の振動方向Ｓに沿って、互いに間隔をあけて相対する一対の周壁１８（以下符号１８ａ，１８ｂで示す）は、本明細書に記した一対の壁をなしている。一対の周壁１８ａ，１８ｂのうち図３中右側に位置する一方の周壁１８ａで示すには、超音波振動発生部１１が取り付けられる。
【００３１】
一対の周壁１８ａ，１８ｂは、洗浄槽１０の槽本体１５内に収容されるマスク４のマスク板７と相対するとともに、互いの間にマスク４を位置させる。槽本体１５内則ち洗浄槽１０内には、前記マスク４からはんだペースト３などを除去する周知の洗浄液が満たされる。洗浄液として、例えば、グリコールエーテル系などの周知の有機溶剤を用いることができる。
【００３２】
マスク支持レール１６は、底壁１７から鉛直方向に沿って上方に立設している。一対のマスク支持レール１６は、底壁１７の長手方向則ち前述した振動方向Ｓに対し直交する方向に沿って互いに間隔をあけて配されている。マスク支持レール１６は、鉛直方向に沿って移動自在にマスク４を支持する。マスク支持レール１６は、互いの間にマスク４を位置付けた状態で、底壁上１７則ち槽本体１５内にマスク４を支持する。
【００３３】
シールド支持部２３のうち一方のシールド支持部２３ａは、一方の周壁１８ａとマスク支持レール１６との間に配されている。他方のシールド支持部２３ｂは、他方の周壁１８ｂとマスク支持レール１６との間に配されている。
【００３４】
それぞれのシールド支持部２３ａ，２３ｂは、一対のシールド支持レール２４（図３中には一方のみ示す）を備えている。シールド支持レール２４は、底壁１７から鉛直方向に沿って上方に立設している。シールド支持部２３ａ，２３ｂそれぞれの一対のシールド支持レール２４は、底壁１７の長手方向則ち前述した振動方向Ｓに対し直交する方向に沿って互いに間隔をあけて配されている。
【００３５】
シールド支持部２３ａ，２３ｂそれぞれのシールド支持レール２４が相対する方向と、一対のマスク支持レール１６が互いに相対する方向とは、平行である。シールド支持レール２４は、鉛直方向に沿って移動自在にシールド板２２を支持する。シールド支持レール２４は、互いの間にシールド板２２を位置付けた状態で、底壁上１７則ち槽本体１５内にシールド板２２を支持する。こうして、シールド支持部２３ａ，２３ｂは、一方の周壁１８ａとマスク４との間と、他方の周壁１８ｂとマスク４との間と、の双方にシールド板２２を支持する。
【００３６】
超音波振動発生部１１は、図３などに示すように、箱状のケース２０と、複数の圧電発振器２１と、を備えている。ケース２０は、板金などからなる。ケース２０は、圧電発振器２１を収容している。ケース２０は、洗浄槽１０の槽本体１５の一方の周壁１８ａに取り付けられている。
【００３７】
圧電発振器２１は、図示しない電源などと接続しており、前記電源などにより印加されると、図３中の矢印Ｓに沿って振動する。この振動を本明細書では、超音波振動と呼ぶ。複数の圧電発振器２１は、一方の周壁１８ａに略等間隔に取り付けられている。
【００３８】
前記矢印Ｓ則ち圧電発振器２１の超音波振動する方向（振動方向）は、マスク支持レール１６により支持されるマスク４のマスク板７の表面と周壁１８ａの表面との双方に直交している。振動方向Ｓは、超音波振動発生部１１と洗浄槽１０の槽本体１５とが並ぶ方向則ち一方のシールド板２２とマスク４と他方のシールド板２２とが並ぶ方向に沿っている。このように、前記圧電発振器２１は、洗浄槽１０内に収容されるマスク４のマスク板７の表面に対し直交する方向に沿って振動する。または、前記圧電発振器２１は、超音波振動発生部１１が洗浄槽１０内に収容されるマスク４に相対する方向に沿って、振動する。また、前記圧電発振器２１則ち超音波振動発生部１１は、中間槽１２を介して洗浄槽１０内に収容されるマスク４と相対する。圧電発振器２１は、本明細書に記した振動子をなしている。
【００３９】
洗浄液循環部１４は、配管２８と、ポンプ２９と、濾過手段としてのフィルタ３０とを備えている。配管２８は、一端が洗浄槽１０の底壁１７に連結しており、他端が洗浄槽１０の周壁１８に連結している。勿論、配管２８は、洗浄槽１０の槽本体１５内と連通している。このため、配管２８内には、前述した洗浄槽１０の槽本体１５内に満たされる洗浄液が通される。
【００４０】
ポンプ２９は、配管２８の中央部に取り付けられている。ポンプ２９は、配管２８内の洗浄液を送る。フィルタ３０は、前記配管２８の中央部に取り付けられているとともに、前記ポンプ２９より前記周壁１８寄りに配されている。フィルタ３０は、前記配管２８内に通される洗浄液をこして、該洗浄液内のはんだペースト３などの不純物を除去する。こうして、フィルタ３０は、洗浄液を濾過して清浄に保つ。
【００４１】
前述した構成の洗浄液循環部１４は、ポンプ２９が洗浄液を底壁１７側から洗浄槽１０の槽本体１５内に送り出し、前記周壁１８から前記洗浄槽１０の槽本体１５内の洗浄液を前記槽本体１５外に一旦導く。洗浄液循環部１４は、洗浄槽１０の槽本体１５内の洗浄液を一旦洗浄槽１０の槽本体１５外に導いて、フィルタ３０に通した後、再度、底壁１７側から洗浄槽１０の槽本体１５内に導く。こうして、洗浄液循環部１４は、図３中の矢印Ｊに沿って、洗浄液を洗浄槽１０の槽本体１５と配管２８内に循環させる。
【００４２】
シールド板２２は、本明細書に記したシールド手段をなしている。シールド板２２は、図４ないし図６に示すように、平板状の本体部２５と、貫通孔２６とを備えている。本体部２５は、平面形状が矩形状に形成されている。本体部２５は、シールド支持部２３ａ，２３ｂの一対のシールド支持レール２４間に鉛直方向にスライド自在に支持される。シールド板２２則ち本体部２５は、一対のシールド支持レール２４間に支持されると、振動方向Ｓに沿ってマスク４と並ぶ。一対のシールド支持レール２４間に支持されると、本体部２５の表面は、前記振動方向Ｓに対し直交するとともに、マスク４のマスク板７の表面と並行になる。本体部２５は、圧電発振器２１により振動された洗浄液の超音波振動を通さない。
【００４３】
貫通孔２６は、本体部２５の中央を貫通している。貫通孔２６の平面形状は、図示例では、矩形状に形成されている。貫通孔２６は、洗浄箇所１２より大きくかつ非洗浄箇所１３より小さく形成されている。貫通孔２６は、本体部２５則ちシールド板２２がシールド支持部２３ａ，２３ｂに支持されると、圧電発振器２１の振動方向Ｓに沿って、マスク４のマスク板７の洗浄箇所１２と並ぶ。貫通孔２６は、内側に圧電発振器２１により振動された洗浄液の超音波振動を通す。
【００４４】
本体部２５則ちシールド板２２がシールド支持部２３ａ，２３ｂに支持されると、図１１及び図１２に示すように、圧電発振器２１の振動方向Ｓからみて、貫通孔２６の内縁２６ａは、洗浄箇所１２の外縁１２ａと非洗浄箇所１３の内縁１３ａとの間に位置する。このように、圧電発振器２１の振動方向Ｓからみて、貫通孔２６の内縁２６ａが洗浄箇所１２の外縁１２ａと非洗浄箇所１３の内縁１３ａとの間に位置することを、本明細書では、貫通孔２６が洗浄箇所１２の外縁１２ａより大きく非洗浄箇所１３の内縁１３ａより小さいという。
【００４５】
前述した構成の一対のシールド板２２のうち一方のシールド板２２は、一方の周壁１８ａとマスク４との間に設けられ、他方のシールド板２２は、他方の周壁１８ｂとマスク４との間に設けられる。貫通孔２６の大きさは、内側を通る洗浄液の超音波振動が図９ないし図１２に二点鎖線Ｒ１，Ｒ２で示す線分（境界）より、外側に拡がらない大きさとなっている。また、圧電発振器２１の振動方向Ｓからみて、貫通孔２６の内縁２６ａが洗浄箇所１２の外縁１２ａと非洗浄箇所１３の内縁１３ａとの間に位置することで、貫通孔２６則ちシールド板２２は、圧電発振器２１による洗浄液の超音波振動が洗浄箇所１２に伝わることを許容し、非洗浄箇所１３に伝わることを規制する。貫通孔２６則ちシールド板２２は、圧電発振器２１による洗浄液の超音波振動が洗浄箇所１２にぶつかることを許容し、非洗浄箇所１３にぶつかることを規制する大きさとなっている。
【００４６】
前述した構成の洗浄装置１でマスク４を洗浄する際には、まず、図１及び図２中の矢印Ｋに沿って、マスク４を洗浄槽１０の槽本体１５内に挿入する。このとき、マスク４を、一対のマスク支持レール１６間に挿入して、図７に示すように、マスク板７が中間槽１２を介して超音波振動発生部１１と相対するとともに、マスク板７が他方の周壁１８ｂ寄りに位置した状態で洗浄槽１０の槽本体１５内に収容する。
【００４７】
さらに、鉛直方向に沿って、シールド板２２を洗浄槽１０の槽本体１５内に挿入する。このとき、シールド板２２を、一対のシールド支持レール２４間に挿入する。そして、図７に示すように、一方のシールド板２２を一方の周壁１８ａとマスク４との間に位置付け、他方のシールド板２２を他方の周壁１８ｂとマスク４との間に位置付ける。
【００４８】
そして、図７及び図８に示すように、洗浄槽１０の槽本体１５内と洗浄液循環部１４の配管２８内とに洗浄液を満たす。超音波振動発生部１１の圧電発振器２１を印加して、圧電発振器２１を矢印Ｓに沿って振動（超音波振動）させる。さらに、洗浄液循環部１４のポンプ２９を駆動して、洗浄液を矢印Ｊに沿って、配管２８内などを循環させる。
【００４９】
すると、前記圧電発振器２１の超音波振動が、一方の周壁１８ａを矢印Ｓに沿って振動させ、洗浄槽１０の槽本体１５内の洗浄液に伝播して、洗浄槽１０の槽本体１５内をマスク４に向かって進む。そして、前記圧電発振器２１の超音波振動が、図９及び図１０に示す波紋Ｈ１のように、洗浄槽１０の槽本体１５内で超音波振動発生部１１から離れるにしたがって徐々に拡がる。
【００５０】
そして、洗浄液の超音波振動は、一方のシールド板２２にぶつかる。すると、洗浄液の超音波振動は、一方のシールド板２２の貫通孔２６内を通ってマスク４に向かって進み、マスク４に近づくのにしたがって図９及び図１０中の波紋Ｈ２で示すように徐々に拡がる。
【００５１】
そして、貫通孔２６内を通った洗浄液の超音波振動は、図９及び図１０に二点鎖線Ｒ１で示す貫通孔２６の内縁２６ａと非洗浄箇所１３の内縁１３ａとを結ぶ線分（境界）より、外側に拡がらない。このため、洗浄液の超音波振動は、非洗浄箇所１３に伝わらない（ぶつからない）。
【００５２】
さらに、洗浄液の超音波振動は、マスク４のマスク板７の洗浄箇所１２などに伝わって、該洗浄箇所１２を振動させる。さらに、洗浄液の超音波振動は、広がりながら、他方の周壁１８ｂに向かって進み、他方の周壁１８ｂにぶつかる。すると、他方の周壁１８ｂが振動して、洗浄液の超音波振動が、図９及び図１０中の波紋Ｈ３で示すように、他方の周壁１８ｂから拡がりながらマスク４に向かって進む。
【００５３】
そして、洗浄液の超音波振動は、他方のシールド板２２にぶつかる。すると、洗浄液の超音波振動は、他方のシールド板２２の貫通孔２６内を通ってマスク４に向かって進み、さらに、マスク４に近づくのにしたがって図９及び図１０中の波紋Ｈ３で示すように徐々に拡がる。
【００５４】
そして、貫通孔２６内を通った洗浄液の超音波振動は、図９及び図１０に二点鎖線Ｒ２で示す貫通孔２６の内縁２６ａと非洗浄箇所１３の内縁１３ａとを結ぶ線分（境界）より、外側に拡がらない。このため、洗浄液の超音波振動は、非洗浄箇所１３に伝わらない（ぶつからない）。こうして、圧電発振器２１による洗浄液の超音波振動が、マスク４のマスク板７の洗浄箇所１２に伝わって、前記孔８及び該孔８の近傍に付着したはんだペースト３を確実に除去する。こうして、洗浄装置１は、マスク４を洗浄する。
【００５５】
本実施例によれば、シールド板２２によりマスク４の非洗浄箇所１３に洗浄液の超音波振動が伝わらない。このため、マスク板７と網部材６との接合箇所などが剥がれるなどして、非洗浄箇所１３でマスク４が破損することを防止できる。また、洗浄槽１０内にマスク４を収容し、洗浄槽１０の槽本体１５内を洗浄液で満たして、圧電発振器２１で洗浄液を超音波振動させてマスク４を洗浄する。このため、マスク４を確実に洗浄できる。
【００５６】
一方のシールド板２２をマスク４と超音波振動発生部１１との間に設け、他方のシールド板２２をマスク４と洗浄槽１０の他方の周壁１８ｂとの間に設けている。このため、洗浄液の超音波振動が、マスク４の超音波振動発生部１１寄りの非洗浄箇所１３に伝わることを防止できる。
【００５７】
さらに、他方の周壁１８ｂで反射して、この他方の周壁１８ｂからマスク４に向かって進む洗浄液の超音波振動が、マスク４の超音波振動発生部１１から離れた側の非洗浄箇所１３に伝わることを防止できる。したがって、マスク４が非洗浄箇所１３で破損することを防止できる。
【００５８】
洗浄液循環部１４が洗浄液を洗浄槽１０の槽本体１５の内外に循環させる。このため、洗浄槽１０の槽本体１５内の洗浄液が、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、循環する間に冷却される。したがって、洗浄槽１０の槽本体１５内の洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００５９】
マスク４の洗浄箇所１２は、マスク板７の中央に設けられかつ複数の孔８が形成され、非洗浄箇所１３は、マスク板７の外縁部に設けられかつ網部材６に取り付けられている。圧電発振器２１は、超音波振動発生部１１と洗浄槽１５とが並ぶ方向（矢印Ｓ）に沿って振動する。シールド板２２は、圧電発振器２１の振動方向Ｓに沿ってマスク４と並べられた本体部２５と、本体部２５を貫通しかつ前記振動方向Ｓに沿って洗浄箇所１２と並ぶ貫通孔２６を備えている。
【００６０】
シールド板２２の貫通孔２６は、洗浄箇所１２の外縁１２ａより大きく、非洗浄箇所１３の内縁１３ａより小さい。このため、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１により振動された洗浄液の超音波振動が、マスク４の洗浄箇所１２に確実に伝わる。したがって、洗浄箇所１２を確実に洗浄できる。また、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１により振動された洗浄液の超音波振動が、マスク４の非洗浄箇所１３に確実に伝わらない。したがって、マスク４の非洗浄箇所１３が破損することを確実に防止できる。
【００６１】
シールド板２２の本体部２５の表面が、圧電発振器２１の振動方向Ｓに対し交差している。このため、シールド板２２則ち洗浄槽１０の槽本体１５の小型化を図ることができ、マスク４の洗浄作業にかかる洗浄液の量を抑制でき、洗浄作業にかかるコストを抑制できる。また、貫通孔２６の平面形状が矩形状であるため、シールド板２２は、洗浄箇所１２に確実に洗浄液の超音波振動を伝えることができ、非洗浄箇所１３に確実に洗浄液の超音波振動が伝わることを防止できる。
【００６２】
前述した実施例では、マスク板７が超音波振動発生部１１から離れた状態で、マスク４を一対のマスク支持レール１６間に支持している。しかしながら、本発明では、図１６に示すように、マスク板７が超音波振動発生部１１寄りに位置した状態で、マスク４を一対のマスク支持レール１６間に支持しても良い。この場合も、シールド板２２が、マスク４の洗浄箇所１２に洗浄液の超音波振動が伝わることを許容し、非洗浄箇所１３に洗浄液の超音波振動が伝わることを規制する。そして、マスク４の破損を防止する。
【００６３】
また、前述した実施例では、マスク４と一方の周壁１８ａとの間と、マスク４と他方の周壁１８ｂとの間との双方にシールド板２２を設けている。しかしながら、本発明では、図１７に示すように、マスク４と一方の周壁１８ａとの間のみにシールド板２２を設けても良い。この場合も、シールド板２２が、マスク４の洗浄箇所１２に洗浄液の超音波振動が伝わることを許容し、非洗浄箇所１３に洗浄液の超音波振動が伝わることを規制する。そして、マスク４の破損を防止する。
【００６４】
前述した実施例などの洗浄装置によれば、以下の洗浄装置１が得られる。
（付記１）  マスク４を洗浄する洗浄液を超音波振動する圧電発振器２１で振動させることにより、前記マスク４を洗浄する洗浄装置１において、
前記マスク４が前記洗浄液により洗浄されるべき洗浄箇所１２と、非洗浄箇所１３とを有しており、
前記洗浄箇所１２に洗浄液の振動が伝わることを許容しかつ前記非洗浄箇所１３に前記洗浄液の振動が伝わることを規制するシールド板２２を備えたことを特徴とする洗浄装置１。
【００６５】
（付記２）  前記マスク４を収容しかつ前記洗浄液で満たされる洗浄槽１０と、前記圧電発振器２１を複数備えかつ前記洗浄槽１０に取り付けられているとともに前記圧電発振器２１が超音波振動することにより前記洗浄槽１０内の洗浄液を超音波振動させる超音波振動発生部１１と、
を備えたことを特徴とする付記１記載の洗浄装置１。
【００６６】
（付記３）  前記シールド板２２を、前記洗浄槽１０内でかつ前記マスク４と前記超音波振動発生部１１との間に配したことを特徴とする付記２記載の洗浄装置１。
【００６７】
（付記４）  前記洗浄槽１０は、互いに間隔をあけて相対しかつ互いの間に前記マスク４を位置付ける一対の周壁１８ａ，１８ｂを備え、これら一対の周壁１８ａ，１８ｂのうち一方の周壁１８ａには前記超音波振動発生部１１が取り付けられており、
前記シールド板２２を、前記洗浄槽１０内でかつ前記マスク４と前記一方の周壁１８ａの間と、前記マスク４と他方の周壁１８ｂとの間との双方に設けたことを特徴とする付記２記載の洗浄装置１。
【００６８】
（付記５）  前記洗浄槽１０内の洗浄液を一旦洗浄槽１０外に導いた後、再度前記洗浄槽１０内に導く洗浄液循環部１４を備え、
この洗浄液循環部１４は、前記洗浄液を濾過して前記洗浄液を清浄に保つフィルタ３０を備えたことを特徴とする付記２ないし付記４のうちいずれか一項に記載の洗浄装置１。
【００６９】
（付記６）  前記マスク４は、印刷配線板２上にはんだペースト３をスクリーン印刷する際に用いられ、
前記マスク４は、枠状の枠部５と、前記枠部５の内側に配されかつ板状に形成されたマスク板７と、前記枠部５とマスク板７とを互いに固定する網部材６とを備え、
更に、前記洗浄箇所１２は、前記マスク板７の中央部に設けられかつ前記はんだペースト３を通すことのできる孔８が複数形成され、
前記非洗浄箇所１３は、マスク板７の外縁部に設けられかつ前記網部材６に取り付けられているとともに、
前記圧電発振器２１は前記超音波振動発生部１１と前記洗浄槽１０とが並ぶ方向に沿って振動し、
前記シールド板２２は、前記圧電発振器２１の振動方向に沿って前記マスク４と並べられる本体部２５と、前記本体部２５を貫通しかつ前記圧電発振器２１の振動方向Ｓに沿って前記洗浄箇所１２と並ぶ貫通孔２６とを備え、
前記貫通孔２６は、前記洗浄箇所１２の外縁１２ａより大きく、前記非洗浄箇所１３の内縁１３ａより小さいことを特徴とする付記２ないし付記５のうちいずれか一項に記載の洗浄装置１。
【００７０】
（付記７）  前記本体部２５は、その表面が前記圧電発振器２１の振動方向Ｓに対し交差する状態に配される平板状に形成されており、前記貫通孔２６は、前記本体部２５の中央部を貫通しているとともに平面形状が矩形状に形成されていることを特徴とする付記６記載の洗浄装置１。
【００７１】
付記１に記載の洗浄装置１によれば、シールド板２２によりマスク４の非洗浄箇所１３に洗浄液の超音波振動が伝わらない。このため、網部材６とマスク板７との接合箇所がが剥がれるなどして、マスク４が非洗浄箇所１３で破損することを防止できる。
【００７２】
付記２に記載の洗浄装置１によれば、洗浄槽１０内にマスク４を収容し、洗浄槽１０内を洗浄液で満たして、超音波振動発生部１１で洗浄液を超音波振動させてマスク４を洗浄する。このため、マスク４を確実に洗浄できる。
【００７３】
付記３に記載の洗浄装置１によれば、シールド板２２を洗浄槽１０内に収容し、マスク４と超音波振動発生部１１との間に配している。このため、シールド板２２は、非洗浄箇所１３に洗浄液の超音波振動が伝わることを防止できる。
【００７４】
付記４に記載の洗浄装置１によれば、シールド板２２をマスク４と超音波振動発生部１１との間と、マスク４と洗浄槽１０の他方の周壁１８ｂとの間との双方に設けている。このため、洗浄液の超音波振動が、マスク４の超音波振動発生部１１寄りの非洗浄箇所１３に伝わることを防止できる。
【００７５】
さらに、他方の周壁１８ｂで反射して前記他方の周壁１８ｂからマスク４に向かって進む洗浄液の超音波振動が、マスク４の超音波振動発生部１１から離れた側の非洗浄箇所１３に伝わることを防止できる。したがって、マスク４が非洗浄箇所１３で破損することを防止できる。
【００７６】
付記５に記載の洗浄装置１によれば、洗浄液循環部１４が洗浄液を洗浄槽１０の内外に循環させる。このため、洗浄槽１０内の洗浄液が、超音波振動発生部１１の圧電発振器２１が振動することにより加熱されても、循環する間に冷却される。したがって、洗浄槽１０内の洗浄液が加熱されることをより確実に防止でき、マスク４が破損することをより確実に防止できる。
【００７７】
付記６に記載の洗浄装置１によれば、マスク４の洗浄箇所１２は、マスク板７の中央部に設けられかつ複数の孔８が形成され、非洗浄箇所１３は、マスク板７の外縁部に設けられかつ網部材６に取り付けられている。圧電発振器２１は、超音波振動発生部１１と洗浄槽１０とが並ぶ方向Ｓに沿って振動する。シールド板２２は、圧電発振器２１の振動方向Ｓに沿ってマスク４と並べられた本体部２５と、本体部２５を貫通しかつ圧電発振器２１の振動方向Ｓに沿って洗浄箇所１２と並ぶ貫通孔２６を備えている。
【００７８】
シールド板２２の貫通孔２６は、洗浄箇所１２の外縁１２ａより大きく、非洗浄箇所１３の内縁１３ａより小さい。このため、超音波振動発生部１１により振動された洗浄液の超音波振動が、マスク４の洗浄箇所１２に確実に伝わる。したがって、洗浄箇所１２を確実に洗浄できる。また、超音波振動発生部１１により振動された洗浄液の超音波振動が、マスク４の非洗浄箇所１３に確実に伝わらない。したがって、マスク４の非洗浄箇所１３が破損することを確実に防止できる。
【００７９】
付記７に記載の洗浄装置１によれば、本体部２５の表面が、圧電発振器２１の振動方向Ｓに対し交差している。このため、シールド板２２則ち洗浄槽１０の小型化を図ることができ、マスク４の洗浄作業にかかる洗浄液の量を抑制でき、洗浄作業にかかるコストを抑制できる。また、貫通孔２６の平面形状が矩形状であるため、シールド板２２は、洗浄箇所１２に確実に洗浄液の超音波振動を伝えることができ、非洗浄箇所１３に確実に洗浄液の超音波振動が伝わることを防止できる。
【００８０】
前述した実施例では、被洗浄物としてのマスク４を洗浄している。しかしながら、本発明では、マスク４の他にスキージ９などの被洗浄物として他の物品を洗浄しても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例にかかる洗浄装置の斜視図である。
【図２】図１に示された洗浄装置を他の方向からみた斜視図である。
【図３】図１中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図１に示された洗浄装置のシールド板の平面図である。
【図５】図４中のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】図４中のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】図３に示された洗浄装置の洗浄槽内にマスクを収容した状態を示す断面図である。
【図８】図７に示された洗浄装置の洗浄槽内を拡大して示す断面図である。
【図９】図７に示された洗浄装置の超音波振動発生部を駆動した状態を示す断面図である。
【図１０】図９に示された洗浄装置の洗浄槽内を拡大して示す断面図である。
【図１１】図７中の矢印ＸＩ方向からみたシールド板とマスクとの位置関係を示す説明図である。
【図１２】図７中の矢印ＸＩＩ方向からみたシールド板とマスクとの位置関係を示す説明図である。
【図１３】図１に示された洗浄装置で洗浄されるマスクなどを示す斜視図である。
【図１４】図１３に示されたマスクを用いてスクリーン印刷を行う状態を示す斜視図である。
【図１５】図１３中のＸＶ−ＸＶ線に沿う断面図である。
【図１６】図７に示された洗浄装置の変形例を示す断面図である。
【図１７】図７に示された洗浄装置の他の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
１  洗浄装置（被洗浄物の洗浄装置）
２  印刷配線板
３  はんだペースト
４  マスク（被洗浄物）
５  枠部
６  網部材（固定部材）
７  マスク板（マスク本体）
８  孔
１０  洗浄槽
１１  超音波振動発生部（振動源）
１２  洗浄箇所
１３  非洗浄箇所
１４  洗浄液循環部（洗浄液循環手段）
１８ａ  一方の周壁
１８ｂ  他方の周壁
２１  圧電発振器（振動子）
２２  シールド板（シールド手段）
３０  フィルタ（濾過手段）
Ｓ  振動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004181420.tif 000009
【図８】
2004181420.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2004181420.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2004181420.tif 000017
【図１６】
2004181420.tif 000018
【図１７】
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