(57)【要約】【課題】排気ガスの還流量を無段階制御可能なＥＧＲバルブを提供する。【解決手段】ＥＧＲバルブ１は弁箱２の弁棒７側のボデー１２に形成されたメインシリンダ室１９と、メインシリンダ室１９に軸心方向に摺動自在に嵌入されたメインピストン２１と、メインピストン２１の弁棒７の延長線上に形成されたサブシリンダ室２３と、サブシリンダ室２３に軸心方向に摺動自在に嵌入されて弁棒７に突合するサブピストン２４と、メインシリンダ室１９とサブシリンダ室２３とを連通させる連通孔２６と、メインシリンダ室１９に連通して流体を供給排出する給排通路２８と、メインピストン２１に突合しモータ３３の回転で軸方向に往復動される操作ロッド３５とを有する。【効果】モータの回転で弁棒を無段階に制御してエンジンの吸気に還流する排気ガスの還流量を無段階に制御できるので、排気ガスの再循環量を最適制御できる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガス再循環路に介設された弁箱と、この弁箱の弁通路に形成された弁座と、この弁座に離着座する弁体と、この弁体を着座させる方向に付勢するバルブスプリングと、この弁体を進退させる弁棒とを有するＥＧＲバルブにおいて、
前記弁箱の前記弁棒側のボデーに形成されたメインシリンダ室と、このメインシリンダ室に軸心方向に摺動自在に嵌入されたメインピストンと、このメインピストンの前記弁棒の中心線の延長線上に形成されたサブシリンダ室と、このサブシリンダ室に軸心方向に摺動自在に嵌入されて前記弁棒に突合するサブピストンと、前記メインシリンダ室と前記サブシリンダ室とを連通させる連通孔と、前記メインシリンダ室に連通して流体を供給排出する給排通路と、前記メインピストンに突合しモータの回転によって軸方向に往復動される操作ロッドとを有することを特徴とするＥＧＲバルブ。
【請求項２】
前記ボデーのストローク代室とスプリング設置室との間には第一ブリーザ孔が開設されており、前記弁箱には第二のブリーザ孔が開設されていることを特徴とする請求項１に記載のＥＧＲバルブ。
【請求項３】
前記給排通路のエア源と給排ポートとの間には減圧弁が介装されていることを特徴とする請求項１または２に記載のＥＧＲバルブ。
【請求項４】
前記メインピストンの上端部には、ピストンスプリングシートが突設されており、このピストンスプリングシートと前記ボデーとの間にはスプリングが介装されていることを特徴とする請求項１、２または３に記載のＥＧＲバルブ。
【請求項５】
前記サブシリンダ室の上端部と前記サブピストンとの間にはスプリングが介装されていることを特徴とする請求項４に記載のＥＧＲバルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＥＧＲ（Ｅｘｈａｕｓｔ  Ｇａｓ  Ｒｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ：排気ガス再循環）バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車用ディーゼルエンジンの排気ガス、特に、ＮＯｘを低減する方法の一つとしてＥＧＲ法がある。ＥＧＲ法は、エンジンの排気ガスの一部を吸気系に戻して新しい空気（吸入空気）と混ぜて燃焼室に送り込むことにより、酸素の量を減らし燃焼温度を下げてＮＯｘの生成を抑制する方法、である。ＥＧＲ法はエンジンのポンピングロス（ピストンが吸気を吸い込む仕事）を緩和するので、その分、エンジンの機械効率を向上させることができる。他面、酸素の量が減る分だけ熱効率を下げることになる。また、酸素の量が減ると不完全燃焼を起こし、ＮＯｘの低減とは相反してＰＭ（粒子状物質）は増大する。そこで、エンジンの効率を落とさずにＮＯｘを適正に減らすため、また、相反するＰＭの増大を押えるためには、エンジンに戻す排気ガスの流量をエンジンの運転条件（負荷、回転数）に応じてＥＧＲバルブによって細かく制御する必要がある。
【０００３】
エンジンに戻す排気ガスの流量を細かく制御する従来のＥＧＲバルブとしては、ＥＧＲバルブの開度を多段階位置決め用アクチュエータによって多段階に調整するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ところが、エンジンに戻す排気ガスの流量を段階的に制御するのではエンジンの効率を落とさずにＮＯｘを減らすことと、相反するＰＭの増大を押えることには限界があるので、排気ガス規制の強化に伴って、エンジンに戻す排気ガスの流量を無段階に制御するＥＧＲバルブの開発が要望されて来ている。エンジンに戻す排気ガスの流量を無段階に制御する従来のＥＧＲバルブとしては、第一弁口を開閉する第一バルブと第二弁口を開閉する第二バルブとが排気ガス還流路に接続されるバルブハウジングに進退自在に挿通されたバルブシャフトに離間して固定されており、このバルブシャフトのリフト位置がステッピングモータによって上下動されるシャフトにより無段階に調整されるように構成されているものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
実開平７−４１００８号公報
【特許文献２】
国際公開第９９／６１７７５号パンフレット
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一対のバルブが装備されたバルブシャフトの位置をステッピングモータによって無段階に調整することによって排気ガスの流量を無段階に制御するＥＧＲバルブにおいては、一対のバルブが使用されているために、次のような問題点がある。部品点数が多く、かつ、組立作業が複雑であるので、製造コストが増大する。圧力損失が大きいので、排気ガスを多く流すことができない。また、一対のバルブを同時に着座させるための調整が困難であり、バルブを付勢するスプリング力を大きくできないため、シート洩れも大きい。フェイルセーフは断線等によりモータへの電力供給がストップする故障には対応することができるが、モータの固着等の機械的故障には対応することができない。
【０００７】
本発明の目的は、部品点数を低減し、組立作業を容易にし、バルブの圧力損失を低減し、シート洩れを低減し、モータの固着等の機械的故障にも対応することができる排気ガス流量の無段階制御可能なＥＧＲバルブを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係るＥＧＲバルブは、排気ガス再循環路に介設された弁箱と、この弁箱の弁通路に形成された弁座と、この弁座に離着座する弁体と、この弁体を着座させる方向に付勢するバルブスプリングと、この弁体を進退させる弁棒とを有するＥＧＲバルブにおいて、
前記弁箱の前記弁棒側のボデーに形成されたメインシリンダ室と、このメインシリンダ室に軸心方向に摺動自在に嵌入されたメインピストンと、このメインピストンの前記弁棒の中心線の延長線上に形成されたサブシリンダ室と、このサブシリンダ室に軸心方向に摺動自在に嵌入されて前記弁棒に突合するサブピストンと、前記メインシリンダ室と前記サブシリンダ室とを連通させる連通孔と、前記メインシリンダ室に連通して流体を供給排出する給排通路と、前記メインピストンに突合しモータの回転によって軸方向に往復動される操作ロッドとを有することを特徴とする。
【０００９】
前記したＥＧＲバルブにおいては、排気ガスをエンジンに還流させない時には弁体が弁座に着座して弁口を閉じた状態になっている。エンジンの運転条件に応じた排気ガスの流量をエンジンに戻す時には、給排通路から流体がメインシリンダ室に供給されることにより、バルブスプリングの初期弾発力がメインピストン、サブピストンおよび弁棒を介して相殺される。バルブスプリングの弾発力が減少された状態で、操作ロッドがモータの回転によって所定量だけストロークされると、弁棒はメインピストンを介してバルブスプリングの弾発力に抗してストロークされる。この際、バルブスプリングの弾発力が減少されているので、モータによる操作ロッドへの小さな押し下げ力であっても弁棒をバルブスプリングの弾発力に抗してストロークさせることができる。弁体は弁棒、サブピストンおよびメインピストンを介して操作ロッドのストローク量の分だけ弁座から離間されるために、ＥＧＲバルブの開度はモータによる回転によって無段階に制御されることになる。モータが逆回転されてＥＧＲバルブの開度が減少されるときには、弁棒がバルブスプリングの弾発力によって押し戻されるので、メインピストンはメインシリンダ室をモータの逆回転に伴う操作ロッドの復帰ストロークに追従して押し戻される。この際、サブシリンダ室には流体が充填された状態になっているので、サブピストンはサブシリンダ室に固定された状態のままを維持している。
【００１０】
本発明の請求項２に係るＥＧＲバルブは、前記請求項１のＥＧＲバルブに加うるに、前記ボデーのストローク代室とスプリング設置室との間に第一ブリーザ孔を設けるとともに、弁箱に第二のブリーザ孔を設けたことを特徴とする。
【００１１】
モータの作動により前記ボデーのストローク代室とスプリング設置室との容積が変化しても、第一のブリーザ孔および第二のブリーザ孔を通して大気に連通しているので、モータ駆動に抵抗を生ずることはない。
【００１２】
本発明の請求項３に係るＥＧＲバルブは、前記請求項１若しくは請求項２に係るＥＧＲバルブに加うるに、前記給排通路のエア源と給排ポートとの間に減圧弁を介装したことを特徴とする。
【００１３】
通常、車両のエア源の圧力はブレーキの使用によるエアの消費とエアコンプレッサによるエアの充填の繰り返しにより６３７〜９３１ｋＰａの間で圧力が変動しているが、減圧弁を介装しない場合にはＥＧＲバルブにこのまま作用することになる。しかしながら、減圧弁を介装することによりＥＧＲバルブに作用する圧力の変動を小さく押えることができ、これにより、モータの駆動トルクや消費電力等の容量を小さなものにすることが可能となる。
【００１４】
本発明の請求項４に係るＥＧＲバルブは、請求項１乃至請求項３の構成を前提として、前記メインピストンの上端部には、ピストンスプリングシートが突設されており、このピストンスプリングシートと前記ボデーとの間にはスプリングが介装されていることを特徴とする。
【００１５】
電磁切換弁（３０）がオフになり、給排通路（２８）が大気に解放されると、サブピストン（２４）を介してメインピストン（２１）を弁体（６）に押し下げる力がなくなるため、メインピストン（２１）の位置決めをしている力がなくなる。したがって、メインピストン（２１）はメインシリンダ室（１９）内を自由に動くことができるようになり、振動し易い状態になる。ピストンスプリングシート（３８）とボデー（１２）との間にメインピストンスプリング（４０）を介装することによりメインピストン（２１）の振動を防止することができる。
【００１６】
本発明の請求項５に係るＥＧＲバルブは、請求項４の構成を前提として、前記サブシリンダ室の上端と前記サブピストンとの間にはスプリングが介装されていることを特徴とする。
【００１７】
電磁切換弁（３０）がオフになり、給排通路（２８）が大気に解放されると、サブシリンダ室（２３）とメインシリンダ室（１９）の圧力が大気圧となってサブピストン（２４）を弁体（６）に押し下げる力がなくなるため、サブピストン（２４）の位置決めをしている力がなくなる。したがって、サブピストン（２４）はサブシリンダ室（２３）内を自由に動くことができるようになり、振動し易い状態になる。サブシリンダ室（２３）の上端とサブピストン（２４）との間にサブピストンスプリング（４５）を介装することにより、サブピストン（２４）の振動を防止することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【００１９】
図１に示されているように、本実施の形態に係るＥＧＲバルブ１には無段階位置決め用アクチュエータ１１が一体的に組み付けられており、無段階位置決め用アクチュエータ１１はＥＧＲバルブ１の弁体６の開度を無段階に制御するように構成されている。ＥＧＲバルブ１はディーゼルエンジン（図示せず）の吸気路と排気路とを連絡する排気ガス再循環路（図示せず）の途中に介設されている。すなわち、ＥＧＲバルブ１は弁通路３が開設された弁箱２を備えており、弁通路３は排気ガス循環路の途中に介設されるようになっている。弁通路３の途中には弁口４が形成されており、弁口４の周囲には弁座５が形成されている。弁座５には弁体６が離着座するように装着されており、弁体６は弁座５の中心線に沿って進退移動することにより、弁口４の開度を増減調整し得るようになっている。弁体６には弁棒７が一体に形成されており、弁棒７は弁箱２に固定されたガイド８によって摺動自在に支承されている。弁棒７の先端部にはスプリングシート１０が装着されており、スプリングシート１０と弁箱２の天井壁との間にはバルブスプリング９が蓄力状態で介設されている。つまり、弁棒７はバルブスプリング９によって、弁体６が弁座５に着座される方向に常時付勢されている。
【００２０】
無段階位置決め用アクチュエータ１１はボデー１２を備えており、ボデー１２はＥＧＲバルブ１の弁箱２の弁棒７側に最中合わせに組み付けられており、ボデー１２および弁箱２に対向して設けられた図示しない３組のフランジのボルト挿通孔にボルトを挿通してナットで締め付けられている。ボデー１２と弁箱２との合わせ面間にはバルブスプリング９が設置されたスプリング設置室１３が形成されており、ボデー１２の上端部にはストローク代室１４が形成されている。ボデー１２のスプリング設置室１３とストローク代室１４との隔壁には、第一ブリーザ孔１５がスプリング設置室１３とストローク代室１４とを連通させるように開設されており、スプリング設置室１３の弁箱２側の側壁にはフィルタ１７を有する第二ブリーザ孔１６がスプリング設置室１３と大気とを連通させるように開設されている。第一ブリーザ孔１５および第二ブリーザ孔１６を開設することにより、モータ３３の作動によってストローク代室１４およびスプリング設置室１３の容積が変化しても、モータ３３の駆動に抵抗が発生するのを防止することができる。
【００２１】
ボデー１２のスプリング設置室１３とストローク代室１４との隔壁における中央部にはシリンダ部１８が形成されており、シリンダ部１８の弁棒７の中心線の延長線上にはメインシリンダ室１９と、メインシリンダ室１９よりも小径の挿通孔２０とが直列かつ同心円に開設されている。メインシリンダ室１９にはメインピストン２１が軸心方向に摺動自在に嵌入されており、メインピストン２１の上面に連設されたピストンロッド２２は挿通孔２０に摺動自在に挿通されている。メインピストン２１の弁棒７の中心線の延長線上には、サブシリンダ室２３が同心円に開設されており、サブシリンダ室２３にはサブピストン２４が軸心方向に摺動自在に嵌入されている。メインピストン２１の下端部外周にはストッパ２５が螺着されており、サブピストン２４はその底部の周囲がストッパ２５に当接した状態で、その底部の中心部に弁棒７の上端が突き当たるように設定されている。メインピストン２１よりも小径のピストンロッド２２のメインピストン２１との接続部には、連通孔２６がメインシリンダ室１９とサブシリンダ室２３とを連通させるように開設されており、シリンダ部１８の側壁には給排ポート２７がメインシリンダ室１９の上端部に連通するように開設されている。給排ポート２７には圧力流体としての圧縮空気（以下、エアという。）を供給し排出する給排通路２８が接続されており、給排通路２８は減圧弁２９および電磁切換弁３０を介してエア源３１に接続されている。減圧弁２９を介装したのは、エア源の圧力が６３７〜９３１ｋＰａの範囲で変動するので、この圧力変動の影響を避けて、モータを小型化するためである。モータの駆動力に余裕がある場合には、減圧弁２９を介装しなくともよい。電磁切換弁３０はコントローラ３２の指令によって給排ポート２７に対するエアの供給と排出とを切り換えるように構成されている。
【００２２】
ボデー１２の上端面にはＤＣモータ３３が据え付けられており、ＤＣモータ３３の中空回転軸の内周面に形成された雌ねじ部には、モータハウジング３４に回り止めされて軸方向に摺動自在に支承された操作ロッド３５の外周面に形成された雄ねじ部３６が螺合されている。ピストンロッド２２の上端部のねじ穴３９にはピストンスプリングシート３８が螺着されており、ピストンスプリングシート３８とシリンダ部１８との間にはメインピストンスプリング４０が蓄力状態で介設されている。また、サブシリンダ室２３の上端とサブピストン２４との間にはサブピストンスプリング４５が介装されている。メインピストンスプリング４０を介装した理由は、次の通りである。電磁切換弁３０を切り換えて、給排通路２８を排気すると、サブシリンダ室２３とメインシリンダ室１９の圧力が大気圧となってサブピストン２４を介してメインピストン２１を押し下げる力がなくなるため、メインピストン２１の位置決めをしている力がなくなる。したがって、メインピストン２１はメインシリンダ室１９内を自由に動くことができるようになり振動し易い状態になる。このメインピストン２１の振動を防止するのが、メインピストンスプリング４０である。同様に、サブピストンスプリング４５はサブシリンダ室２３内が大気圧となってサブピストン２４が自由に振動するのを防止するためである。操作ロッド３５の下端はピストンロッド２２のねじ穴３９の底面に突き当たるように設定されている。ＤＣモータ３３はコントローラ３２によって回転を制御されることにより、操作ロッド３５の上下ストロークを調節するように構成されている。なお、４１はステムシール、４２、４３、４４はＯリングである。
【００２３】
次に、作用および効果を説明する。
【００２４】
排気ガスをエンジンに還流させない時には、図１に示されているように、ＥＧＲバルブ１は弁体６が弁座５に着座して弁口４を閉じた状態になっている。この際には、バルブスプリング９が弁棒７を上方に強力に付勢することにより、弁体６を弁座５に強力に着座させているために、万一、弁通路３の弁体６の下流側（エンジン側）における圧力が上流側（排気管側）の圧力よりも高くなった場合であっても、弁体６が弁座５から離座して弁口４を開いてしまう事態は確実に防止することができる。また、弁体６が弁座５に強力に着座されているので、シート洩れも低減することができる。
【００２５】
コントローラ３２はエンジンの運転条件に応じてＥＧＲバルブ１によるエンジンに戻す排気ガスの流量に対応した弁体６の開度を求めるとともに、その開度に対応した操作ロッド３５をストロークさせるためのＤＣモータ３３の回転数を演算して、電磁切換弁３０に切換信号を送信するとともに、ＤＣモータ３３に所定の制御信号を送信する。電磁切換弁３０が切り換えられると、エア源３１のエアが電磁切換弁３０および減圧弁２９を介して給排通路２８から給排ポート２７に供給されることにより、メインシリンダ室１９にはメインピストン２１を押し下げ力が作用し、かつ、サブシリンダ室２３にはサブピストン２４をストッパ２５に押し付ける力が作用するために、弁棒７にはスプリングシート１０を介してバルブスプリング９を押し縮めようとする力が作用する。このエア圧によるバルブスプリング９を押し縮めようとする力は、実際にはバルブスプリング９を押し縮めないが、バルブスプリング９の弾発力を減少させる。例えば、３００Ｎの初期弾発力を５０Ｎに減少させる。
【００２６】
バルブスプリング９の弾発力が減少された状態で、図２に示されているように、ＤＣモータ３３の回転によって操作ロッド３５が下降されると、メインピストン２１を介して弁棒７はバルブスプリング９の弾発力に抗して押し下げられる。この際には、バルブスプリング９の弾発力が充分に減少しているために、ＤＣモータ３３による操作ロッド３５の小さな押し下げ力であっても弁棒７をバルブスプリング９の弾発力に抗して押し下げることができる。換言すると、バルブスプリング９の初期弾発力を大きく設定しても、ＤＣモータ３３による操作ロッド３５の小さな押し下げ力によって弁棒７を押し下げる作動を達成することができる。つまり、バルブスプリング９の強力な弾発力によって弁体６を弁座５に確実に着座させることができるとともに、ＤＣモータ３３による操作ロッド３５の小さな押し下げ力によって弁体６を弁座５から離座させることができる。
【００２７】
図２においては、操作ロッド３５がフルストロークした場合すなわちＥＧＲバルブ１が全開した場合が示されているが、ＥＧＲバルブ１の開度はＤＣモータ３３の回転による操作ロッド３５のストローク量の調整によって無段階に制御することができる。すなわち、弁体６は弁棒７、サブピストン２４およびメインピストン２１を介して操作ロッド３５のストローク量の分だけ弁座５から離間されるために、ＥＧＲバルブ１の開度はＤＣモータ３３による回転によって無段階に制御されることになる。そして、ＥＧＲバルブ１の開度の無段階の制御に対応してエンジンに戻される排気ガスの流量を無段階に細かく制御することができるので、エンジンを運転条件に対応して精密に制御することができ、エンジンの効率を落とさずにＮＯｘを適正に減少させることができる。
【００２８】
なお、ＤＣモータ３３が逆回転されてＥＧＲバルブ１の開度が減少されるときには、弁棒７がバルブスプリング９の弾発力によって押し上げられるので、メインピストン２１はメインシリンダ室１９をＤＣモータ３３の逆回転に伴う操作ロッド３５の上昇に追従して押し上げられることになる。この際にも、サブシリンダ室２３にはエアが充填された状態になっているので、サブピストン２４はストッパ２５に押し付けられた状態のままを維持している。
【００２９】
ところで、弁体６が弁座５から離座した状態のままでＤＣモータ３３が故障してロックすると、ＥＧＲバルブ１が開いたままの状態になってしまうことにより、排気ガスがエンジンに運転条件にかかわらず還流されてしまうために、エンジンの熱効率が低下するばかりでなく、排気管から黒煙が吹き出す不具合が発生するおそれがある。
【００３０】
本実施の形態に係るＥＧＲバルブ１においては、弁体６が弁座５から離座した状態のままでＤＣモータ３３が故障等によってロックしても、図３に示されているように、電磁切換弁３０が切換位置から通常位置に戻ると、サブシリンダ室２３のエアが連通孔２６、メインシリンダ室１９、給排ポート２７、給排通路２８、減圧弁２９および電磁切換弁３０を経由して大気に排出されるので、弁棒７はバルブスプリング９の弾発力によってサブピストン２４をサブシリンダ室２３に対して押し上げることにより、弁体６を弁座５にバルブスプリング９の弾発力によって着座させることができる。このようにして、ＤＣモータ３３のロックが発生しても、ＥＧＲバルブ１による排気ガスのエンジンへの還流を防止することができるので、エンジンの熱効率の低下や排気管からの黒煙の吹出現象の発生は防止することができる。
【００３１】
以上説明した本実施の形態によれば、ＥＧＲバルブの開度を無段階に制御することができるので、排気ガスの再循環量を運転状況に対応して細く最適制御することにより、ディーゼルエンジンのＮＯｘ量をディーゼルエンジンの性能を損なわずにきわめて効果的に低減させることができる。
【００３２】
ＥＧＲバルブの開度を単一の弁体によって無段階に制御する構成であるので、部品点数や組立工数を低減させることができ、ＥＧＲバルブひいてはディーゼルエンジンの製造コストを低減することができる。また、弁通路が単純な構成になるので、ＥＧＲバルブの圧力損失を小さく抑制することができ、エンジンに戻す排気ガスの流量を大きく設定することができる。
【００３３】
ＥＧＲバルブの弁体を弁座に着座させるバルブスプリングの初期弾発力を大きく設定することができるので、シート洩れを低減することができるとともに、弁通路のエンジン側における圧力が排気管側における圧力よりも大きくなった場合であっても弁体が弁座から離座するのを防止することができる。
【００３４】
ＤＣモータのロックが発生しても、ＥＧＲバルブによる排気ガスのエンジンへの還流を防止することができるので、エンジンの熱効率の低下や排気管からの黒煙の吹出現象の発生は防止することができる。
【００３５】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【００３６】
例えば、圧力流体としては、圧縮空気（エア）を使用するに限らず、油圧を使用してもよい。また、モータはＤＣモータを使用するに限らず、ステッピングモータやその他のモータを使用してもよい。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、エンジンの吸気系に戻す排気ガスの流量を無段階に制御することができるので、排気ガスの再循環量を運転状況に対応して細く最適制御することにより、ディーゼルエンジンのＮＯｘ量をディーゼルエンジンの性能を損なわずにきわめて効果的に低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態であるＥＧＲバルブを示す正面断面図である。
【図２】その開弁時の作動を示す正面断面図である。
【図３】そのＤＣモータの異常時の作動を示す正面断面図である。
【符号の説明】
１…ＥＧＲバルブ、２…弁箱、３…弁通路、４…弁口、５…弁座、６…弁体、７…弁棒、８…ガイド、９…バルブスプリング、１０…スプリングシート、１１…無段階位置決め用アクチュエータ、１２…ボデー、１３…スプリング設置室、１４…ストローク代室、１５…第一ブリーザ孔、１６…第二ブリーザ孔、１７…フィルタ、１８…シリンダ部、１９…メインシリンダ室、２０…挿通孔、２１…メインピストン、２２…ピストンロッド、２３…サブシリンダ室、２４…サブピストン、２５…ストッパ、２６…連通孔、２７…給排ポート、２８…給排通路、２９…減圧弁、３０…電磁切換弁、３１…エア源、３２…コントローラ、３３…ＤＣモータ、３４…モータハウジング、３５…操作ロッド、３６…雄ねじ部、３８…ピストンスプリングシート、３９…ねじ穴、４０…メインピストンスプリング、４１…ステムシール、４２、４３、４４…Ｏリング、４５…サブピストンスプリング。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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