(57)【要約】【課題】潤滑膜を成膜した転がり直動装置における発塵量を従来よりも少なく抑え、耐久性の改善を図る、【解決手段】外面に軌道面を有する内方部材と、内方部材の軌道面に対向する軌道面を内面に有し内方部材の外側に配置された外方部材と、内方部材の軌道面及び外方部材の軌道面とて形成される空間に転動自在に配置された複数の転動体とを備える転がり直動装置において、内方部材の軌道面及び外方部材の軌道面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下であり、かつ、少なくとも内方部材の軌道面、外方部材の軌道面、転動体の表面の何れか１つに、金属との親和性を有する官能基を有する含ふっ素重合体を含有する潤滑膜が成膜されている転がり直動装置。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外面に軌道面を有する内方部材と、内方部材の軌道面に対向する軌道面を内面に有し内方部材の外側に配置された外方部材と、内方部材の軌道面及び外方部材の軌道面とて形成される空間に転動自在に配置された複数の転動体とを備える転がり直動装置において、
内方部材の軌道面及び外方部材の軌道面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下であり、かつ、少なくとも内方部材の軌道面、外方部材の軌道面、転動体の表面の何れか１つに、金属との親和性を有する官能基を有する含ふっ素重合体を含有する潤滑膜が成膜されていることを特徴とする転がり直動装置。
【請求項２】
内方部材及び外方部材の両軌道面の中心線山高さ（Ｒｐ）が０．６μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の転がり直動装置。
【請求項３】
外面に軌道面を有する内方部材と、内方部材の軌道面に対向する軌道面を内面に有し内方部材の外側に配置された外方部材と、内方部材の軌道面及び外方部材の軌道面との間に転動自在に配置された複数の転動体とを備える転がり直動装置の製造方法において、
転がり直動装置を組み立てた後、少なくとも内方部材及び外方部材の両軌道面に、金属との親和性を有する官能基を有する含ふっ素重合体を含有する潤滑膜用溶液を供給し、所定回数回転させて前記両軌道面を中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下となるように平坦化した後、洗浄し、摩耗粉を除去し、前記両軌道面に前記潤滑膜用溶液を供給し、乾燥後、再度転がり直動装置を組み立てることを特徴とする転がり直動装置の製造方法。
【請求項４】
両軌道面の中心線から最高部の粗さ（Ｒｐ）が０．６μｍ以下とすることを特徴とする請求項３記載の転がり直動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボールねじやリニアガイド、リニアベアリング等の転がり直動装置に関し、より詳細には半導体製造装置内の搬送系及び位置決め装置や、液晶，半導体，太陽電池製造設備のスパッタリング装置，プラズマＣＶＤ装置、イオン注入装置等において使用される転がり直動装置、特に真空環境下で好適に使用される低発塵で耐久性に優れた転がり直動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１に断面図にて示すように、転がり直動装置の一つであるボールねじ１は、ねじ軸２のねじ溝２ａとボールねじナット３のねじ溝３ａとの間に形成される螺旋状の空間（以下、「ボール転動空間」という）に複数のボール４を配し、ボール４の転動循環を介してねじ軸２とボールねじナット３との間で動力伝達を行なうものであるが、ボール４は回転方向の力と軸方向の力との合成力を受けて滑りを伴いながら転動するため、ボール４とボール転動空間を形成する両ねじ溝２ａ，３ａとの接触部では、転がり摩擦と滑り摩擦とが同時に生じる。そのため、ボールねじ１の内部にはグリースや固体潤滑剤等の潤滑剤が使用されており、この潤滑剤でねじ軸２及びボールねじナット３とボール４との間の摩擦係数を低減させて、ボールねじ１の耐久性（寿命）を向上させている。
【０００３】
ところが、真空環境下において使用されるボールねじ１では、潤滑剤としてグリースを使用すると、グリースの油分の蒸発やグリース自体の飛散等により、潤滑性能の劣化や使用環境の汚染等の不都合が生じる場合がある。そのため、図２（図１の部分Ａの拡大図）に示すように、グリースを使用する代わりに、ねじ軸２のねじ溝２ａの軌道面２ｂ及びボールねじナット３のねじ溝３ａの軌道面３ｂ、並びにボール４の表面に、金、銀、鉛等の軟質金属、カーボン、二硫化モリブデ等の固体潤滑剤からなる潤滑膜６を成膜することが行われている（例えば、特許文献１）。また、潤滑膜６として、ふっ素系樹脂を成膜することも行われている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】
特開平８−２２６５１６号公報
【特許文献２】
特開２００１−２５４８０３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前述のような潤滑膜は、ボール４の転動を円滑に行い、かつ潤滑膜が摩耗して剥離しないように、通常は数μｍ以下と非常に薄く成膜される。そのため、ねじ軸２の軌道面２ｂやボールねじナット３の軌道面３ｂが粗いと、潤滑膜がこれらの表面に均質に成膜されず、膜厚の薄い部分が容易に摩耗して剥離し、潤滑不良に陥りやすい。また、摩耗した潤滑膜が外部に飛翔して汚染することもある。
【０００５】
また、ねじ軸２の軌道面２ｂやボールねじナット３の軌道面３ｂが粗いと、使用初期の駆動時に摩耗粉が発生し、この摩耗粉がねじ軸２の軌道面２ｂやボールねじナット３の軌道面３ｂ、ボール４の表面に残存していると、その後の駆動に伴ってアブレッシブ摩耗を引き起こすことがある。
【０００６】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、潤滑膜を成膜した転がり直動装置における発塵量を従来よりも少なく抑え、耐久性の改善を図ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、外面に軌道面を有する内方部材と、内方部材の軌道面に対向する軌道面を内面に有し内方部材の外側に配置された外方部材と、内方部材の軌道面及び外方部材の軌道面とて形成される空間に転動自在に配置された複数の転動体とを備える転がり直動装置において、内方部材の軌道面及び外方部材の軌道面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下であり、かつ、少なくとも内方部材の軌道面、外方部材の軌道面、転動体の表面の何れか１つに、金属との親和性を有する官能基を有する含ふっ素重合体を含有する潤滑膜が成膜されていることを特徴とする転がり直動装置を提供する。
【０００８】
また、本発明は、外面に軌道面を有する内方部材と、内方部材の軌道面に対向する軌道面を内面に有し内方部材の外側に配置された外方部材と、内方部材の軌道面及び外方部材の軌道面との間に転動自在に配置された複数の転動体とを備える転がり直動装置の製造方法において、転がり直動装置を組み立てた後、少なくとも内方部材及び外方部材の両軌道面に、金属との親和性を有する官能基を有する含ふっ素重合体を含有する潤滑膜用溶液を供給し、所定回数回転させて前記両軌道面を中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下となるように平坦化した後、洗浄し、摩耗粉を除去し、前記両軌道面に前記潤滑膜用溶液を供給し、乾燥後、再度転がり直動装置を組み立てることを特徴とする転がり直動装置の製造方法を提供する。
【０００９】
上記本発明の転がり直動装置では、内方部材及び外方部材の両軌道面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下と平坦化されており、潤滑膜が均質に成膜され、潤滑膜の局部的な摩耗や消失が抑えられる。このような効果は、内方部材及び外方部材の両軌道面が、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下で、更に中心線山高さ（Ｒｐ）が０．６μｍ以下のときにより顕著となる。
【００１０】
また、潤滑膜が、金属との親和性を有する官能基を有する含ふっ素重合体であることから、官能基が金属材料からなる内方部材及び外方部材の両軌道面や、転動体の表面と強く結合し、潤滑膜とこれら部位との密着性も高まり、膜寿命が長くなる。更に、潤滑膜は含ふっ素重合体であることから流動性を有しており、比較的大きなアキシアル荷重が加わるような場合でも、他の固体潤滑剤等の潤滑膜に比べて転動体が転動することによる負荷により剥離や欠落が生じる可能性が低く、より低発塵となる。
【００１１】
製造方法においても、なじみ回転を行うだけでよく、特別の装置や操作を必要とせずに精度良く、上記したような平坦化を実現できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に関して、ボールねじを例示して詳細に説明する。
【００１３】
ボールねじの全体構造は、図１に示したボールねじと同様とすることができる。即ち、ボールねじ１は、外周面に螺旋状のねじ溝２ａを有するねじ軸２（内方部材）と、ねじ軸２のねじ溝２ａに対応する螺旋状のねじ溝３ａを内周面に有し、このねじ溝３ａとねじ軸２のねじ溝２ａとの間で螺旋状のボール転動空間を形成するボールねじナット３（外方部材）と、ポール転動空間に転動自在に嵌合される複数のボール４（転動体；但し、一部のみ図示してある）と、サーキュレータチューブ５とを備えている。また、サーキュレータチューブ５は、ねじ軸２またはボールねじナット３の何れか一方の回転によりボール４を転動循環させるためのもので、ボールねじナット３に取り付けられている。このように構成されるボールねじ１では、ボール転動空間を転動するボール４は、ボール転動空間内を移動してねじ溝２の回りを複数回回ってから、サーキュレータチューブ５の一方の端部ですくい上げられてサーキュレータチューブ５の中を通り、他方の端部からボール転動空間に戻る循環を繰り返す。
【００１４】
尚、両ねじ溝２ａ，３ａの断面形状はゴシックアーチ状、即ち二つの曲率中心の異なる円弧の組み合わせによる略Ｖ字形としてもよく、円弧状としてもよい。また、ねじ軸２、ボールねじナット３、ボール４、及びサーキュレータチューブ５は、耐食性材料により構成されている。ねじ軸２及びボールねじナット３の材質としては、例えば、ＪＩＳ規格のＳＵＳ４４０Ｃ、合金成分がＣ：０．６５％，Ｃｒ：１３．０％の鋼材、合金成分がＣ：０．４５％，Ｃｒ：１３．０％，Ｎ：０．１４％の鋼材等のマルテンサイト系ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施したものや、析出硬化型ステンレス鋼ＳＵＳ６３０等が挙げられる。
【００１５】
ボール４の材質は上記と同様の鋼材の他、セラミックス材や超硬合金等のサーメットとすることができる。セラミックス材としては、窒化ケイ素（Ｓｉ３  Ｎ４  ）を主体とするものの他、アルミナ（Ａｌ２  Ｏ３  ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、ジルコニア（ＺｒＯ２  ）等を主体とするものが好ましい。また、サーキュレータチューブ５の材質は、例えば、ＳＵＳ３０４等のオーステナイト系ステンレス鋼とすることができる。
【００１６】
また、ボールねじ１には、図２に部分Ａの拡大図を示すように、ねじ軸２のねじ溝２ａの軌道面２ｂ、ボールねじナット３のねじ溝３ａの軌道面３ｂ及びボール４の表面の少なくとも１つ（図では全てに成膜）に、後述される官能基を有する含ふっ素重合体を含む潤滑膜６が成膜されている。尚、潤滑膜６は、サーキュレータチューブ５の内壁に形成されてもよい。
【００１７】
本発明では、ねじ軸２のねじ溝２ａの軌道面２ｂ及びボールねじナット３のねじ溝３ａの軌道面３ｂが、それぞれ中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１ｍｍ以下となるように平坦化されており、潤滑膜６はこの平坦化された面上に成膜される。図３（ａ）に模式的に示すように、製造直後のボールねじ１では、ねじ軸２の軌道面２ｂやボールねじナット３の軌道面３ｂは微細で複雑な断面形の凹凸が多数形成されており、凹凸の高低差が大きいほどその上に潤滑膜を成膜し難く、成膜されても膜厚が不均一で局部的に成膜されない部分も出てくる。そこで、図３（ｂ）に示すように、両軌道面２ｂ，３ｂを平面加工してその中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下となるようにし、その上に潤滑膜６を成膜する。本発明は、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下のときに潤滑膜６が均質に成膜され、潤滑膜６の摩耗も少なく、長寿命で低発塵となることを見出し、この知見に基づくものである。
【００１８】
また、両軌道面２ｂ、３ｂは、上記の中心線平均粗さ（Ｒａ）に加え、中心線山高さ（Ｒｐ）が０．６μｍ以下であることが更に好ましく、それにより潤滑膜６の成膜性が更に向上し、耐久性及び低発塵性がより一層高まる。
【００１９】
中心線平均粗さ（Ｒａ）及び中心線山高さ（Ｒｐ）は共に、小さいほど好ましく、中心線平均粗さ（Ｒａ）は０．０５μｍ以下、中心線山高さ（Ｒｐ）は０．３５μｍ以下が特に好ましい。
【００２０】
両軌道面２ｂ、３ｂを上記のように平坦化するには、組み立て直後のボールねじ１の摺動箇所に、浸漬、スプレーガン噴射あるいはスポイト等により潤滑膜６の形成材料を含有する潤滑膜用溶液を少量注入し、適当回数回転（以下、「なじみ回転」という）させればよい。このなじみ回転により、図３（ｂ）に示すように、大きな凸部分が削られて平坦化される。
【００２１】
潤滑膜６を成膜するには、なじみ回転後にボールねじ１を分解し、発生した摩耗粉を除去するために洗浄した後、軌道面２ｂ、３ｂの中心線平均粗さ（Ｒａ）及び中心線山高さ（Ｒｐ）を測定し、それぞれ上記の値以下であることを確認した後、潤滑剤用溶液に浸漬したり、潤滑剤用溶液をスプレーガンで吹き付けた後、恒温槽にて真空乾燥（例えば１４０℃で３０分間）し、その後再びボールねじ１の組み立てを行う。
【００２２】
潤滑膜６は、金属との親和性を有する官能基を有する含ふっ素重合体（以下、単に「含ふっ素重合体」という）を含有する。このような含ふっ素重合体としては、フルオロポリエーテル重合体やポリフルオロアルキル重合体が好ましい。フルオロポリエーテル重合体としては、「−ＣｘＦ２ｘ−Ｏ−（ｘは１〜４の整数）」で示される繰り返し単位を有する、数平均分子量が１０００〜５００００の重合体が挙げられる。また、このフルオロポリエーテル重合体は、少なくとも一方の分子末端に、金属に対して親和性の高い官能基、例えば、エポキシ基、アミノ基、カルボキシル基、水酸基、メルカプト基、イソシアネート基、スルフォン基、エステル基等を有する。
【００２３】
また、ポリフルオロアルキル重合体としては、下記の一般式（１）で表されるものが挙げられる。尚、式中のＹは金属に対して親和性の高い官能基であり、例えば、エポキシ基、アミノ基、カルボキシル基、水酸基、メルカプト基、イソシアネート基、スルフォン基、エステル基等が好ましい。
【００２４】
【化１】
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【００２５】
また、ポリフルオロアルキル重合体としては、一般式（１）で表されるものの他に、下記に示すものも好適に使用することができる。
【００２６】
【化２】
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【００２７】
【化３】
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【００２８】
これらの含ふっ素重合体は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、その官能基同士が反応してより高分子量化するように、含ふっ素重合体の組み合わせ（官能基の組み合わせ）を選択することが好ましい。含ふっ素重合体がより高分子量化すれば、より耐摩耗性の優れた潤滑膜６を得ることができる。
【００２９】
また、このような含ふっ素重合体は市場からも入手でき、例えば、デュポン社のクライトックス１５７ＦＳＬ，１５７ＦＳＭ，１５７ＦＳＨ、ダイキン工業社製のデムナム変性品ＳＡ，ＳＨ，ＳＹ−３，ＳＰ、モンテカチーニ社のフォンブリンＺ  ＤＥＡＬ，Ｚ  ＤＩＡＣ，Ｚ  ＤＩＳＣＯ，Ｚ  ＤＯＬ，Ｚ  ＤＯＬ  ＴＸ２０００等が挙げられる。
【００３０】
潤滑膜６は、含ふっ素重合体のみで形成してもよい。
【００３１】
含ふっ素重合体を含有する潤滑膜６は、ねじ軸２及びボールねじナット３の表面に被覆された際に、官能基がねじ軸２及びボールねじナット３を構成する金属と結合するため、ねじ軸２及びボールねじナット３の表面との密着性が強くなる。尚、含ふっ素重合体が複数の官能基を有するの場合は、その中の少なくとも一つが金属と結合していればよい。
【００３２】
潤滑膜６の膜厚は、耐久性を考慮すると０．１μｍ以上が好ましい。上述のように表面粗さが規定されていても、膜厚が０．１μｍ未満では凹凸の影響を受けやすく、潤滑膜６が成膜されない箇所ができることもある。一方で潤滑膜６は厚くなりすぎてもボール４の回転に支障を来たしたり、摩耗しやすくなり発塵量も増すようになるため、２μｍ以下が適当である。
【００３３】
尚、潤滑膜６を成膜するための潤滑膜用溶液とするには、含ふっ素重合体とパーフルオロポリエーテルをふっ素系の溶剤（例えば、旭硝子社製アサヒクリンＡＫ−２２５）で５〜１０％に希釈したもの等が好適である。具体的には、含有ふっ素重合体：パーフルオロポリエーテル：溶剤＝０．５：４．５：９５あるいは０．８：７．２：９２の混合比の溶液を例示することができる。
【００３４】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明はこれにより何ら制限されるものではない。
【００３５】
（実施例１〜３及び比較例１）
試験ボールねじとして、ねじ軸、ボールねじナット及びボールがＳＵ４４０Ｃ製で、サーキュレートチューブがＳＵＳ３０４製で、軸径１５ｍｍ、リード１０ｍｍのものを用意した。そして、ふっ素系溶剤（旭硝子社製アサヒクリンＡＫ−２２５）にパーフルオロポリエーテル（ダイキン工業社製Ｓ−２００）を４．５質量％、含ふっ素重合体（デュポン社製クライトックス１５７ＦＳＨ）を０．５質量％となるように添加した潤滑膜用溶液を、組み立て直後の試験ボールねじのねじ軸の軌道面、ボールねじナットの軌道面にスポイトを用いて数滴注入し、軸方向に１００Ｎのスラスト荷重を負荷した状態で１０００ｍｉｎ−１にて回転数を変えてなじみ回転を行った。なじみ回転後、試験ボールねじを分解して洗浄し、探針計を用いてねじ軸の軌道面及びボールねじナットの軌道面の中心線平均粗さ（Ｒａ）及び中心線山高さ（Ｒｐ）を測定した。
【００３６】
次に、試験ボールねじを洗浄し、同一の潤滑膜用溶液に浸漬し、恒温槽にて１４０℃で３０分間真空乾燥した後、再び組み立てて潤滑膜を成膜した。
【００３７】
また、比較のために、上記のなじみ回転を行うことなく、潤滑膜を成膜した試験ボールねじ（比較例１）を用意した。この試験ボールねじについても、探針計を用いてねじ軸の軌道面及びボールねじナットの軌道面の中心線平均粗さ（Ｒａ）及び中心線山高さ（Ｒｐ）を測定した。
【００３８】
そして、試験ボールねじを図４に示す装置を用いて耐久性試験を行った。図示される試験装置は、真空槽４０の中に取り付けた試験ボールねじ３０をＡＣサーボモータ４１により回転させる構成となっている。また、図中の符号３１はボールねじ３０のねじ軸、３２はボールねじ３０のボールねじナット、４２はアキシャル荷重を負荷する重り、４３はボールねじナット３２の回転止め、４４は磁性流体シールユニット、４５は真空槽４０の内部の観察用窓、４６はレーザー式のパーティクルカウンター、４７は集塵ロートである。
【００３９】
耐久性は、試験ボールねじを回転速度：１０００ｒｐｍ、荷重：アキシアル荷重（Ｆａ）１２０Ｎ、ストローク：１２０ｍｍ、雰囲気：真空（１０−４Ｐａ以下）環境温度：室温の条件で連続回転させ、トルクが２倍になったときに寿命とし、それまでの回転数（寿命回転数）を測定した。
【００４０】
試験ボールねじのねじ軸の軌道面及びボールねじナットの軌道面の中心線平均粗さ（Ｒａ）及び中心線山高さ（Ｒｐ）、並びに寿命回転数を表１に示す。
【００４１】
【表１】
2004251411.tif 000006
【００４２】
表１から、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下で、中心線山高さ（Ｒｐ）が０．６μｍ以下である実施例の試験ボールねじは、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍを上回り、中心線山高さ（Ｒｐ）が０．６μｍを上回る比較例１の試験ボールねじに比べて耐久性に優れることがわかる。
【００４３】
（中心線平均粗さ（Ｒａ）の検証）
試験ボールねじとして、ねじ軸、ボールねじナット及びボールがＳＵ４４０Ｃ製で、サーキュレートチューブがＳＵＳ３０４製で、軸径１５ｍｍ、リード１０ｍｍのものを用意した。そして、ふっ素系溶剤（旭硝子社製アサヒクリンＡＫ−２２５）にパーフルオロポリエーテル（ダイキン工業社製Ｓ−２００）を４．５質量％、含ふっ素重合体（デュポン社製クライトックス１５７ＦＳＨ）を０．５質量％となるように添加した潤滑膜用溶液を、組み立て直後の試験ボールねじのねじ軸の軌道面、ボールねじナットの軌道面にスポイトを用いて数滴注入し、軸方向に１００Ｎのスラスト荷重を負荷した状態で１０００ｍｉｎ−１にて回転しなじみ回転を行った。その際、なじみ回転の回転数を調整して、ねじ軸及びナットの軌道面の中心線平均粗さ（Ｒａ）及び中心線山高さ（Ｒｐ）が異なるようした。
【００４４】
次に、試験ボールねじを洗浄して摩耗粉を除去し、同一の潤滑膜用溶液に浸漬し、恒温槽にて１４０℃で３０分間真空乾燥した後、再び組み立てて潤滑膜を成膜した。そして、図４に示す試験装置を用いて、回転数：３００ｍｉｎ−１、荷重：アキシアル荷重（Ｆａ）５０Ｎ、ストローク：２００ｍｍで２×１０６回連続して回転させ、そのときに発生する直径０．１μｍ以上のパーティクルの数（個数／１ＣＦ）を計数した。
【００４５】
軸、ナットのそれぞれの中心線平均粗さ（Ｒａ）と発塵数との関係をグラフ化して図５に、中心線山高さ（Ｒｐ）と発塵数との関係をグラフ化して図６に示すが、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍを超える範囲、並びに中心線山高さ（μｍ）が０．６μｍを超える範囲で、発塵量が極端に増加している。このことからも、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下、中心線山高さ（Ｒｐ）が０．６μｍとする必要があることがわかる。
【００４６】
但し、試験は軸について行うときは、ナットの軌道面をＲａ＝０．０２μｍ、Ｒｐ＝０．１４μｍとし、ナットについて行うときは、軸の軌道面をＲａ＝０．０２μｍ、Ｒｐ＝０．０６μｍとした。
【００４７】
以上、本発明に関してボールねじを例示して説明したが、リニアガイドやリニアベアリング等の内方部材と外方部材とが相互に摺動し合うその他の転がり直動装置についても、上記と同様の構成にすることにより、耐久性及び低発塵性を同様に向上させることができる。尚、リニアガイドでは、案内レールの外周面に形成される転動溝及びスライダの内周面に形成される転動溝、リニアベアリングではガイド軸の外周面に形成されるガイド溝及び外筒の内周面に形成される転走溝が、それぞれ中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下、中心線山高さ（Ｒｐ）が０．６μｍ以下となるようになじみ回転させ、その後に含ふっ素重合体を含む潤滑膜を成膜する。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の転がり直動装置は、耐久性に優れ、発塵量も極めて少ないことから、特に真空環境下での使用に適している。また、製造方法も、なじみ回転を行うだけでよく、特別の装置や操作を必要とせずに精度良く、規定した平坦化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】転がり直動装置の一例であるボールねじの一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１の部分Ａの拡大図である。
【図３】軌道面の表面を模式的に示す拡大図である。
【図４】実施例において耐久性試験及び発塵試験に用いた試験装置を示す概略図である。
【図５】実施例で得られた、Ｒａと発塵量との関係をグラフである。
【図６】実施例で得られた、Ｒｐと発塵量との関係をグラフである。
【符号の説明】
１  ボールねじ
２  ねじ軸
２ａ  ねじ溝
２ｂ  軌道面
３  ボールねじナット
３ａ  ねじ溝
３ｂ  軌道面
４  ボール
５  サーキュレータチューブ
６  潤滑膜
【図１】
2004251411.tif 000007
【図２】
2004251411.tif 000008
【図３】
2004251411.tif 000009
【図４】
2004251411.tif 000010
【図５】
2004251411.tif 000011
【図６】
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