(57)【要約】【課題】アース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる静電アクチュエータを提供する。【解決手段】固定子３、４は、絶縁部材から形成されており、互いに対向する表面３ａ、４ａには、それぞれ固定子電極１０、１１が形成されている。また、表面３ａ、４ａには、凸部３ｃ、４ｃが可動子５の移動方向（図１Ａ方向）に沿ってそれぞれ２つずつ形成されている。この凸部３ｃ、４ｃにより、可動子電極５ａが固定子電極１０、１１に接触することを防止できる。ここで、凸部３ｃ、４ｃには可動子５が接触する箇所に導電性材料が被膜されており、外部の不図示の接地電極に接続されている。これにより、可動子５が凸部３ｃ、４ｃに接触した際に、凸部３ｃ、４ｃの導電性材料の被膜によって可動子５の電荷が除去できる。【選択図】      図１
2004180375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される１対の固定子と、上記１対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記１対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備え、
上記可動子には、上記固定子との対向面に接地用の導電部が形成されており、
上記固定子の上記表面には、上記導電部と接触して上記可動子電極が上記固定子電極に接触することを防止するとともに、上記可動子を接地する導電性の凸部が形成されている
ことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される１対の固定子と、上記１対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記１対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備え、
上記可動子には、上記固定子との対向面に接地用の導電部が形成されており、
上記固定子枠の内壁には、上記導電部と接触して上記可動子移動時の当該可動子と当該内壁との摩擦抵抗を低減するとともに、上記可動子を接地する導電性の凸部が形成されている
ことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項３】
各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される１対の固定子と、上記１対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記１対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備え、
上記可動子には、上記固定子と接触して上記可動子電極が上記固定子電極に接触することを防止する導電性の凸部が形成されており、
上記固定子には、上記凸部との接触部に上記可動子を接地する導電部が形成されている
ことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項４】
各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される１対の固定子と、上記１対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記１対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備え、
上記可動子には、上記固定子枠の内壁と接触して当該可動子移動時の当該可動子と当該内壁との摩擦抵抗を低減する導電性の凸部が形成されており、
上記内壁には、上記凸部との接触部に上記可動子を接地する導電部が形成されている
ことを特徴とする静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の静電アクチュエータは、各々の表面に固定子電極が形成され、この固定子電極が互いに対向するように配置された１対の固定子と、この１対の固定子の間に配置され、固定子電極に対向する面側に可動子電極が配列され固定子電極に所定の電圧が印加されることにより固定子に対し平行移動する可動子と、１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに可動子の移動を案内する固定子枠とを備えている。ここで、可動子には、この可動子から電荷を除去するためのアース線が取り付けられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１９９７４７号公報（第６頁、図３）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような静電アクチュエータでは、可動子にアース線を取り付ける特別な工程が必要となるので、製造工程が煩雑になるという問題があった。また、アース線を可動子の移動の妨げとならない程度に細く形成する必要があるので、衝撃等を受けたときにアース線が破断するという問題があった。また、アース線を固定子枠の外側に引き出すために、固定子枠に専用の開口部を設ける必要があるので、固定子枠の剛性が低下するという問題が生じていた。
【０００５】
そこで、本発明は、アース線を設けることなく可動子の電荷を除去可能な静電アクチュエータを提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の静電アクチュエータは、各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される１対の固定子と、上記１対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記１対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備えており、上記可動子には、上記固定子との対向面に接地用の導電部が形成されており、上記固定子の上記表面には、上記導電部と接触して上記可動子電極が上記固定子電極に接触することを防止するとともに、上記可動子を接地する導電性の凸部が形成されていることを特徴としている。このような構成によれば、凸部が導電部に接触することによって可動子が接地されるので、アース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる。また、これにより、固定子枠にアース線を出すための専用の開口部を設ける必要がなくなるので、固定子枠の剛性が低下することもない。
【０００７】
また、本発明の静電アクチュエータは、各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される１対の固定子と、上記１対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記１対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備えており、上記可動子には、上記固定子との対向面に接地用の導電部が形成されており、上記固定子枠の内壁には、上記導電部と接触して上記可動子移動時の当該可動子と当該内壁との摩擦抵抗を低減するとともに、上記可動子を接地する導電性の凸部が形成されていることを特徴としている。このような構成によっても、凸部が導電部に接触することによって可動子が接地されるので、アース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる。
【０００８】
また、各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される１対の固定子と、上記１対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記１対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備えており、上記可動子には、上記固定子と接触して上記可動子電極が上記固定子電極に接触することを防止する導電性の凸部が形成されており、上記固定子には、上記凸部との接触部に上記可動子を接地する導電部が形成されていることを特徴としている。このような構成によっても、凸部が導電部に接触することによって可動子が接地されるので、アース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる。
【０００９】
また、本発明の静電アクチュエータは、各々の表面に固定子電極を有し当該固定子電極が互いに平行に対向するように配置される１対の固定子と、上記１対の固定子の間に配置されるとともに上記固定子電極との対向面に可動子電極を有し上記固定子電極に所定の電圧を印加することにより上記１対の固定子に対し平行移動する可動子と、上記１対の固定子を互いに対向させて支持するとともに上記可動子の移動を案内する固定子枠とを備えており、上記可動子には、上記固定子枠の内壁と接触して当該可動子移動時の当該可動子と当該内壁との摩擦抵抗を低減する導電性の凸部が形成されており、上記内壁には、上記凸部との接触部に上記可動子を接地する導電部が形成されていることを特徴としている。このような構成によっても、凸部が導電部に接触することによって可動子が接地されるので、アース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の一形態を図面に示す実施例に基づき具体的に説明する。
【００１１】
まず、本発明の第１の実施例を説明する。図１は、本発明の静電アクチュエータの斜視図である。図１に示すように、静電アクチュエータ１は、中空の略直方体形状の固定子枠２と、平板状の１対の固定子３、４と、略直方体形状の可動子５とから構成されている。
【００１２】
固定子枠２は、合成樹脂で一体形成されている。この固定子枠２の内壁には固定子３、４を互いに対向するように支持する１対の溝６が形成されている。この溝６、６の間には、固定子３、４の間に挿置される可動子５の移動を案内する溝７が溝６、６に連通して形成されている。ここで、図１に示すように、溝６の高さ寸法は、固定子３、４の板厚寸法よりも大きくなっている。これにより、単一の部材で形成した固定子枠２で固定子３、４間の間隔が調整可能となる。また、溝６の幅寸法は溝７の幅寸法よりも幅広となっている。
【００１３】
溝７の内壁７ａ、７ｂには、凸部７ｃが可動子５の移動方向（図１Ａ方向）に沿ってそれぞれ２つずつ形成されている。この凸部７ｃに可動子５が接触することにより、可動子５と固定子枠２との接触面積が内壁７ａ、７ｂに直接接触する場合よりも低減し、可動子５の移動時の可動子５と固定子枠２との摩擦抵抗が低減されるようになっている。また、可動子５を製造した際に可動子５にバリが生じても、このバリが凸部７ｃの高さ分の可動子５と溝７の内壁７ａ、７ｂとの間の隙間に入り込むので、静電アクチュエータ１の製造工程において、バリを除去するための特別な工程を設ける必要がない。
【００１４】
固定子枠２には、固定子３、４の背面３ｂ、４ｂを露出する開口部８が形成されており、固定子３、４を固定子枠２に組付ける際に、固定子３、４の位置確認や接着を容易にするために使用される。
【００１５】
また、固定子枠２の一角部には、溝６に連通する溝９が形成してある。この溝９には、不図示の駆動回路からの可動子５の駆動電流を固定子電極１０、１１に伝送するための不図示のフレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣと呼ぶ。）が配置され、このＦＰＣの端子は固定子電極１０、１１の端子１０ｄ、１０ｈ、１１ｄ、１１ｈと接続される。
【００１６】
図１に示すように、可動子５は導電性材料で一体形成されており、固定子３、４に対向する面に可動子電極５ａが形成されている。可動子電極５ａは、固定子電極１０、１１に対応するように、可動子５の移動方向（図１Ａ方向）に直交する方向に延びて所定のピッチＰで整列している。
【００１７】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、固定子３、４は、ガラス等の絶縁部材から形成されており、互いに対向する表面３ａ、４ａには、それぞれ固定子電極１０、１１が形成されている。また、表面３ａ、４ａには、凸部３ｃ、４ｃが可動子５の移動方向（図２Ａ方向）に沿ってそれぞれ２つずつ形成されている。この凸部３ｃ、４ｃにより、可動子電極５ａが固定子電極１０、１１に接触することを防止できる。ここで、図３に示すように、凸部３ｃ、４ｃには可動子５が接触する端面に、例えば金めっき等のように導電性材料が被膜されており、外部の不図示の接地電極に接続されている。これにより、可動子５が凸部３ｃ、４ｃに接触した際に、凸部３ｃ、４ｃの導電性材料の被膜３ｄ、４ｄによって可動子５が電気的に接地される。なお、導電性材料の被膜３ｄ、４ｄは、導電性材料の薄板を接着することにより形成しても良いし、スパッタリングや蒸着等の手段を用いて凸部３ｃ、４ｃ上に導電膜を積層し、エッチングプロセス等を用いてパターニングすることによって形成しても良い。
【００１８】
図２（ａ）に示すように、固定子電極１０は、第１電極１０ａと第２電極１０ｅの２つの電極から構成される多層電極となっており、凸部３ｃ、３ｃ間に形成されている。第１電極１０ａは、可動子５の移動方向（図２（ａ）Ａ方向）に直交する方向に延びて所定のピッチＰで整列している複数の電極部１０ｂと、可動子５の移動方向（図２（ａ）Ａ方向）へ延びて複数の電極部１０ｂの一端と接続する接続部１０ｃと、ＦＰＣと接続してＦＰＣからの可動子５の駆動電流を接続部１０ｃに伝送する端子１０ｄから構成されている。また、第２電極１０ｅも第１電極１０ａと同様に、可動子５の移動方向（図２（ａ）Ａ方向）に直交する方向に延びて所定のピッチＰで整列している複数の電極部１０ｆと、可動子５の移動方向（図２（ａ）Ａ方向）へ延びて複数の電極部１０ｆの一端と接続する接続部１０ｇと、ＦＰＣと接続してＦＰＣからの可動子５の駆動電流を接続部１０ｇに伝送する端子１０ｈから構成されている。ここで、第１電極１０ａと第２電極１０ｅとは、可動子５の移動方向（図２（ａ）Ａ方向）へ１／２ピッチＰ分ずれて配置されている。
【００１９】
図２（ｂ）に示すように、固定子電極１１は、第３電極１１ａと第４電極１１ｅの２つの電極から構成される多層電極となっており、凸部４ｃ、４ｃ間に形成されている。第３電極１１ａは、可動子５の移動方向（図２（ｂ）Ａ方向）に直交する方向に延びて所定のピッチＰで整列している複数の電極部１１ｂと、可動子５の移動方向（図２（ｂ）Ａ方向）へ延びて複数の電極部１１ｂの一端と接続する接続部１１ｃと、ＦＰＣと接続してＦＰＣからの可動子５の駆動電流を接続部１１ｃに伝送する端子１１ｄから構成されている。また、第４電極１１ｅも第３電極１１ａと同様に、可動子５の移動方向（図２（ｂ）Ａ方向）に直交する方向に延びて所定のピッチＰで整列している複数の電極部１１ｆと、可動子５の移動方向（図２（ｂ）Ａ方向）へ延びて複数の電極部１１ｆの一端と接続する接続部１１ｇと、ＦＰＣと接続してＦＰＣからの可動子５の駆動電流を接続部１１ｇに伝送する端子１１ｈから構成されている。ここで、第３電極１１ａと第４電極１１ｅとは、可動子５の移動方向（図２（ｂ）Ａ方向）へ１／２ピッチＰ分ずれて配置されている。
【００２０】
なお、固定子電極１０、１１は、固定子３、４の表面３ａ、４ａに上記形状の金属薄板を接着することにより形成しても良いし、スパッタリングや蒸着等の手段を用いて各固定子上に導電膜を積層し、エッチングプロセス等を用いてパターニングすることによって形成しても良い。また、固定子電極１０、１１を形成する工程と同じ工程で凸部３ｃ、４ｃに導電性材料の被膜３ｄ、４ｄを形成すれば、静電アクチュエータ１の製造工程において、導電性の被膜３ｄ、４ｄを形成するための特別な工程を設ける必要がない。
【００２１】
次に、静電アクチュエータ１の製造方法に関して説明する。
【００２２】
まず、固定子３、４の表面３ａ、４ａに固定子電極１０、１１を形成し、この固定子電極１０、１１が互いに平行に対向するように溝６に挿置する。このとき、固定子３、４の凸部３ｃ、４ｃ間の間隔が所定の間隔となるように、また、第１電極１０ａ乃至第４電極１１ｅの電極１０ｂ乃至１１ｆが図１Ａ方向に沿って１０ａ、１１ａ、１０ｆ、１１ｆの順にそれぞれ１／４ピッチＰ分ずれて配置されるように、固定子３、４の位置を調整する。その後、不図示の接着剤を開口部８より固定子３、４の背面３ｂ、４ｂの外周部からこれに対向する溝６の内壁に至るように塗布し、固定子３、４の背面３ｂ、４ｂと溝６の内壁との間に接着剤を充填する。なお、接着剤１３は、固定子３の背面３ｂの外周部全周に亘って塗布されることが好ましい。
【００２３】
その後、溝９にそれぞれＦＰＣを挿置して、その端子を固定子電極１０、１１の端子１０ｄ、１０ｈ、１１ｃに接続する。最後に、可動子５を溝７に挿入して可動子電極５ａが各固定子電極に対向するように配置すれば、静電アクチュエータ１の製造作業が完了する。
【００２４】
次に、静電アクチュエータ１の動作について、図４を参照して説明する。
【００２５】
まず、固定子３の第１電極１０ａに高電圧を印加すると、第１電極１０ａと可動子５に形成された可動子電極５ａとの間に作用する静電力（クーロン力）により、可動子５は第１電極１０ａの電極部１０ｂと重なり合う位置に吸引される。続いて、高電圧を印加する電極を固定子４の第３電極１１ａに切り替えると、可動子５は第３電極１１ａの電極部１１ｂと重なり合う位置に吸引される。同様にして、高電圧を印加する電極を固定子３の第２電極１０ｅに切り替えると、可動子５は第２電極１０ｅの電極部１０ｆと重なり合う位置に吸引され、また、高電圧を印加する電極を固定子４の第４電極１１ｅに切り替えると、可動子５は第２電極１１ｅの電極部１１ｆと重なり合う位置に吸引される。このようにして、高電圧を印加する電極を第１電極１０ａから第３電極１１ａへ、第３電極１１ａから第２電極１０ｆへ、第２電極１０ｆから第４電極１１ｆへと順次切り替えていくと、可動子５は各電極方向へ微小に移動しながら図４Ａ方向（図４右方向）へ１／４ピッチＰずつ移動する。反対に、高電圧を印加する電極の順番を逆にして、第１電極１０ａ、第４電極１１ｆ、第２電極１０ｆ、第３電極１１ａの順番に切り替えれば、可動子５は図４Ａ方向（図４左方向）へ１／４ピッチＰずつ移動する。
【００２６】
以上のように、可動子電極５ａが固定子電極１０、１１に接触することを防止するための凸部３ｃ、４ｃに導電性材料の被膜３ｄ、４ｄが形成されているので、可動子５が凸部３ｃ、４ｃに接触した際に、凸部３ｃ、４ｃの導電性の被膜３ｄ、４ｄによって可動子５が電気的に接地され、可動子５にアース線を設けることなく可動子５の電荷を除去できる。また、外部の接地電極にアース線を接続するための専用の開口部を固定子枠２に設ける必要がなくなるので、固定子枠２の剛性が低下することもない。
【００２７】
また、固定子電極１０、１１を形成する工程と同じ工程で凸部３ｃ、４ｃに導電性材料の被膜３ｄ、４ｄを形成すれば、静電アクチュエータ１の製造工程において、凸部３ｃ、４ｃに導電性の被膜３ｄ、４ｄを形成するための特別な工程を設ける必要がない。
【００２８】
次に、本発明の第２の実施例を説明する。なお、本実施例において、上記の実施例と同一の構成には同一の符号を附し、その説明を省略する。
【００２９】
上記第１の実施例では、可動子電極５ａが固定子電極１０、１１に接触することを防止するための凸部３ｃ、４ｃに導電性材料の被膜３ｄ、４ｄを形成したが、図３に示すように、凸部７ｃの可動子５が接触する端面に導電性材料の被膜７ｄを形成し、外部の不図示の接地電極に接続しても良い。なお、凸部７ｃの導電性材料の被膜７ｄは、上記実施例と同様に、金めっきでも良いし、導電性材料の薄板を接着することにより形成しても良いし、スパッタリングや蒸着等の手段を用いて凸部７ｃ上に導電膜を積層し、エッチングプロセス等を用いてパターニングすることによって形成しても良い。
【００３０】
このような構成によれば、可動子５の移動時の可動子５と固定子枠２との摩擦抵抗を低減するための凸部７ｃに導電性の被膜７ｄが形成されているので、上記実施例と同様に、凸部７ｃの導電性の被膜７ｄによって可動子５が電気的に接地され、可動子５にアース線を設けることなく可動子５の電荷を除去できる。また、外部の接地電極にアース線を接続するための専用の開口部を固定子枠２に設ける必要がなくなるので、固定子枠２の剛性が低下することもない。
【００３１】
次に、本発明の第３の実施例を説明する。なお、本実施例において、上記の各実施例と同一の構成には同一の符号を附し、その説明を省略する。
【００３２】
上記第１の実施例では、可動子電極５ａが固定子電極１０、１１に接触することを防止するための凸部３ｃ、４ｃに導電性材料の被膜３ｄ、４ｄを形成したが、図５（ａ）に示すように、可動子５の固定子３、４と対向する面に、可動子電極５ａが固定子電極１０、１１に接触することを防止するための凸部５ｂを形成しても良い。上記第１の実施例に記載したとおり、可動子５は導電性材料で一体形成してあるので、当然凸部５ｂは導電性を有する。ここで、固定子３、４の表面３ａ、４ａには凸部５ｂが接触する箇所に導電性材料の被膜を形成して導電部とし、外部の不図示の接地電極に接続する。なお、この導電性の被膜は、金めっきでも良いし、導電性材料の薄板を接着することにより形成しても良いし、スパッタリングや蒸着等の手段を用いて凸部７ｃ上に導電膜を積層し、エッチングプロセス等を用いてパターニングすることによって形成しても良い。
【００３３】
このような構成によれば、可動子５に可動子電極５ａが固定子電極１０、１１に接触することを防止するための導電性の凸部５ｂが形成されているとともに、固定子３、４の凸部５ｂとの接触箇所に導電部が形成されているので、この導電部によって可動子５が電気的に接地され、可動子５にアース線を設けることなく可動子５の電荷を除去できる。また、外部の接地電極にアース線を接続するための専用の開口部を固定子枠２に設ける必要がなくなるので、固定子枠２の剛性が低下することもない。
【００３４】
次に、本発明の第４の実施例を説明する。なお、本実施例において、上記の各実施例と同一の構成には同一の符号を附し、その説明を省略する。
【００３５】
上記第２の実施例では、可動子５の移動時の可動子５と固定子枠２との摩擦抵抗を低減するための凸部７ｃの可動子５との接触端面に導電性材料の被膜７ｄを形成したが、図５（ｂ）に示すように、可動子５の内壁７ａ、７ｂと対向する面に、可動子５の移動時の可動子５と固定子枠２との摩擦抵抗を低減するための凸部５ｃを形成しても良い。上記第１の実施例に記載したとおり、可動子５は導電性材料で一体形成してあるので、当然凸部５ｃは導電性を有する。ここで、内壁７ａ、７ｂには凸部５ｃが接触する箇所に導電性材料の被膜を形成して導電部とし、外部の不図示の接地電極に接続する。なお、この導電性の被膜は、上記実施例と同様に、金めっきでも良いし、導電性材料の薄板を接着することにより形成しても良いし、スパッタリングや蒸着等の手段を用いて凸部７ｃ上に導電膜を積層し、エッチングプロセス等を用いてパターニングすることによって形成しても良い。
【００３６】
このような構成によれば、可動子５に可動子５と固定子枠２との摩擦抵抗を低減するための導電性の凸部５ｃが形成されているとともに、内壁７ａ、７ｂの凸部５ｃとの接触箇所に導電部が形成されているので、この導電部によって可動子５が電気的に接地され、可動子５にアース線を設けることなく可動子５の電荷を除去できる。また、外部の接地電極にアース線を接続するための専用の開口部を固定子枠２に設ける必要がなくなるので、固定子枠２の剛性が低下することもない。
【００３７】
なお、各実施例では、導電性の凸部３ｃ、４ｃ、７ｃとして、固定子３、４及び内壁７ａ、７ｂに一体に形成された凸部３ｃ、４ｃ、７ｃに導電性材料の被膜３ｄ、４ｄ、７ｄを形成したが、導電性の凸部３ｃ、４ｃ、７ｃはこれに限らず適宜変更可能である。例えば、凸部３ｃ、４ｃ、７ｃを導電性材料で形成し、これらをそれぞれ固定子３、４及び内壁７ａ、７ｂに接合固着しても良い。
【００３８】
また、各実施例では、凸部３ｃ、４ｃ、７ｃ、５ｂ、５ｃとをそれぞれ２つずつ形成したが、これらの個数はこれに限るものではない。
【００３９】
また、各実施例では、固定子電極１０、１１をそれぞれ２つの電極から構成される多層電極としたが、固定子電極１０、１１はこれに限らず適宜変更可能である。例えば、各固定子電極をそれぞれ３以上の電極から構成しても良いし、どちらか一方を単層電極としても良い。
【００４０】
また、各実施例では、２つの溝６の高さ寸法を固定子３、４の板厚寸法よりも大きく形成したが、溝６の高さ寸法はこれに限らず、少なくともどちらか一方の高さ寸法を固定子の板厚寸法よりも大きくすれば良い。
【００４１】
また、各実施例では、可動子５を導電性材料で一体形成したが、可動子５はこれに限らず適宜変更可能である。例えば、可動子５を絶縁体で一体形成し、可動子電極５ａの固定子３、４との対向面に上述したような導電性の被膜を形成しても良い。
【００４２】
【発明の効果】
本発明の静電アクチュエータによれば、可動子の固定子との対向面に接地用の導電部が形成されており、固定子の表面に、導電部と接触して可動子電極が固定子電極に接触することを防止するとともに、可動子を接地する導電性の凸部が形成されているので、凸部によってアース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる。また、固定子枠の外部にアース線を出すための開口部を設ける必要がなくなるので、固定子枠の剛性が低下することもない。
【００４３】
また、可動子の固定子との対向面に接地用の導電部が形成されており、固定子枠の内壁に、導電部と接触して可動子の移動時の可動子と内壁との摩擦抵抗を低減するとともに、可動子を接地する導電性の凸部が形成されているので、凸部によってアース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる。
【００４４】
また、可動子に固定子と接触して可動子電極が固定子電極に接触することを防止する凸部が形成されており、固定子の凸部との接触部に可動子を接地する導電部が形成されているので、導電部によってアース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる。
【００４５】
また、可動子に、固定子枠の内壁と接触して可動子の移動時の可動子と固定子枠の内壁との摩擦抵抗を低減する導電性の凸部が形成されており、内壁の凸部との接触部に可動子を接地する導電部が形成されているので、導電部によってアース線を設けることなく可動子の電荷を除去できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示した静電アクチュエータの斜視図。
【図２】図１に示す固定子の斜視図。
【図３】図１に示す固定子枠及び固定子の正面図。
【図４】図１に示す静電アクチュエータの動作を示した図。
【図５】本発明の他の実施例を示した可動子の斜視図。
【符号の説明】
１                    静電アクチュエータ
２                    固定子枠
３、４                固定子
３ａ、４ａ            表面
３ｃ、４ｃ            凸部
５                    可動子
５ａ                  可動子電極
５ｂ、５ｃ            凸部
７ａ、７ｂ            内壁
７ｃ                  凸部
１０、１１            固定子電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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