(57)【要約】【課題】研磨材を往復運動させて研磨する研磨装置において、研磨の範囲を広げる場合に出来るだけ新たに加える部品を増やさずに問題を解決する技術手段を提供することにある。【解決手段】６節リンクにおいて、その内の一本を固定し、その両端を回転中心として二本のリンクを回転させたとき、固定したリンクから最も離れたリンクを延長した部分に取り付けた研磨材によって、研磨を行うように構成された装置。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
６節リンクと、駆動装置と、駆動伝達部品とで構成された研磨装置において、前記６節リンクは、その内の一本を固定したリンクとし、該固定したリンクの両端を回転中心として二本のリンクを回転させ、前記固定したリンクから最も離れたリンクを延長した部分に取り付けた研磨材によって、研磨を行うように構成されたことを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主として平面状の板を研磨するのに好適な研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、駆動装置において、平面を研磨するには、いくつかの方法があるが、そのひとつは、研磨材を被研磨面に接触させながら小刻みに振動させることで研磨を行うものである。
【０００３】
図４は、従来の研磨装置の原理の説明図である。以下、図４を用いて説明を行う。この研磨装置は５本のリンク、ａ−ｂ、ｂ−ｃ、ｃ−ｄ、ｄ−ｅ、ｅ−ａで構成されている。このうち、ｃ−ｄは固定されているものとする。ばねｇは、研磨材ｉを被研磨面ｊに押しつける力を発生する。また、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅの各点は、この図の平面内で、リンクを回転自由にする点とする。
【０００４】
すなわち、リンクｂ−ｃは、リンクｃ−ｄに対して点ｃを中心にして、この図面の平面内で回転自由である。この図の例では、モーターｈが点ｃでリンクｂ−ｃと連結されているものとし、モーターが回転すると、点ｃを中心としてリンクｂ−ｃが回転できるものとする。また、リンクｅ−ａは、ｅの方向に延長され研磨材ｉが取り付けられている。研磨材ｉは、被研磨面ｈに接している。
【０００５】
この図の構成でモーターｈを回転させると、リンクｂ−ｃの回転によって、点ｅを揺動支点として研磨材ｉは被研磨面ｊに押しつけられながら、小刻みに往復運動し、被研磨面ｈは研磨される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来の技術では、研磨の範囲を広げようとする場合、最も簡単な方法は、次のようにすることである。
【０００７】
図５は、従来の他の例の研磨装置の原理の説明図である。すなわち、図５のように、図４の装置をスライドガイドｎにのせ、このスライドガイドｎにのった部分をもう一つのモーターｏとリンクｐ−ｑとリンクｑ−ｒで駆動し、研磨範囲を広げる為のゆっくりした往復運動を行わせるものである。ここで、点ｐ、ｑ、ｒは回転中心であり、モーターｏによってリンクｑ−ｒが回転するものである。
【０００８】
ただし、この場合、スライドガイドやスライドガイド部分を駆動するモーターやリンクなどが新たに必要になり、大幅なコストの上昇はさけられない。また、モーターｐで駆動する部分の慣性が大きく、大きめのモーターが必要になる。
【０００９】
従って、本発明の目的は、研磨材を往復運動させて研磨する研磨装置において、研磨の範囲を広げる場合に出来るだけ新たに加える部品を増やさずに問題を解決する研磨装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明の研磨装置は、６節リンクと、駆動装置と、駆動伝達部品とで構成された研磨装置であって、前記６節リンクは、その内の一本を固定したリンクと、該固定したリンクの両端を回転中心として二本のリンクを回転させ、前記固定したリンクから最も離れたリンクを延長した部分に取り付けた研磨材により構成された研磨装置とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、より詳細な研磨装置の説明図である。図１（ａ）は、正面図であり、図１（ｂ）は、側面図である。図１の研磨装置において、回転中心１は、リンク２とリンク６を回転軸受けなどでお互いに回転自由に連結している。回転中心３は、リンク２とリンク７を同じように回転自由に連結している。リンク６は、偏心軸９にベアリング１８を介して取り付けられ、偏心軸９はプレート１０と１２にベアリング１７で回転自由に取り付けられている。これで、図２に示す１本のリンクを固定した６節リンクを構成している。
【００１２】
リンク６とプレート１０の間には、引っ張りばね８が取り付けられている。このばねは、図２の圧縮ばねｇに相当する。リンク７は、偏心軸１１にベアリング１９を介して取り付けられ、偏心軸１１は、プレート１０と１２にベアリング１６で回転自由に取り付けられている。ここで、偏心軸９と偏心軸１１の偏心量は、図２のリンクｂ−ｃとリンクｄ−ｆに相当する。プレート１０と１２は、支柱２０によって固定されている。偏心軸９は、カップリング２２でモーター１３と連結されている。偏心軸９のもう一端には、歯車１４が取り付けられている。
【００１３】
偏心軸１１には、歯車１５が取り付けられている。支柱２１でプレート１０に固定されている。なお、図１（ａ）の正面図では、歯車１４と１５を省略し、プレート１２も断面図としてある。
【００１４】
この装置において、モーター１３がカップリング２２を介して偏心軸９を回転させ、歯車１４と１５を介して偏心軸１１を回転させる。偏心軸９が回転すると、リンク６を介して回転中心１を動かす。偏心軸１１が回転すると、同様にリンク７を介して回転中心３を動かす。回転中心１と３の動きによって、研磨材４は被研磨面５を研磨する。本実施の形態では、研磨に必要な小刻みな往復運動とゆっくりした大きな往復運動との組み合わせで研磨範囲を大きくすることが、少数の部品の追加で可能となる。
【００１５】
図２は、本発明の研磨装置の原理の説明図である。図２は、図４のリンクｄ−ｅの間に回転中心ｆを設けて６本のリンクａ−ｂ、ｂ−ｃ、ｃ−ｄ、ｄ−ｆ、ｆ−ｅ、ｅ−ａで構成したものである。回転中心ｆは、この図面の平面内で回転自由とする。リンクｃ−ｄは固定されている。また、回転中心ｃとｄには、歯車ｋａとｋｂが取り付けられ、モーターｈによってリンクｂ−ｃと歯車ｋａが回転し、歯車ｋａによって歯車ｋｂが回され、これによってリンクｄ−ｆが回るものとする。
【００１６】
このように構成することで、モーターｈによってリンクｂ−ｃ、ｄ−ｆがそれぞれ回転し、リンクｂ−ｃの回転によって研磨に必要な小刻みな往復運動が生み出され、他方でリンクｄ−ｆの回転によって、点ａを回転中心として点ｅはゆっくり往復運動し研磨の範囲を広げる。このように、研磨に必要な小刻みな往復運動と研磨の範囲を広げる為のゆっくり大きな往復運動を少ない部品の追加で行うことによって課題を解決することができる。
【００１７】
図３は、図２の本発明の研磨装置の原理の一部拡大図であり、図２のリンクｅ−ａを拡大した物である。ここで、研磨材ｉの先端部をｍとする。ｅ−ａとｅ−ｍの距離の比を３：１と仮定する。図３で、点ａが点ｅの周りを回転するとき、点ａの水平方向の移動量をおよそＲとすれば、点ｍの水平方向の移動量はおよそ１／３Ｒとなる。移動した点ａを回転中心としたとき、点ｍをさらにおよそ２／３Ｒ移動させるには、点ｅをおよそ１／２Ｒ移動させればよいことを表している。
【００１８】
すなわち、この例のように、ｅ−ａとｅ−ｍの距離の比が３：１のときに、研磨範囲を１／３ＲからＲに広げるには、リンクｂ−ｃとリンクｄ−ｆの比を２：１にすればよいことになる。
【００１９】
また、研磨のための小刻みな振動の振動数と研磨範囲を広げるためのゆっくりした大きな往復運動の振動数の比は、歯車ｋａと歯車ｋｂの歯数の比であるから、歯車ｋａと歯車ｋｂの歯数比を１：３とすると、小刻みな往復運動と大きな往復運動との振動数の比は３：１となる。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、比較的少数の部品の追加で研磨装置の研磨範囲を大きくすることができ、研磨の範囲を広げる場合にできるだけ新たに加える部品を増やさない研磨装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による研磨装置の説明図。図１（ａ）は正面図、図１（ｂ）は側面図。
【図２】本発明の研磨装置の原理の説明図。
【図３】図２の本発明の研磨装置の原理の一部拡大図。
【図４】従来の研磨装置の原理の説明図。
【図５】従来の他の例の研磨装置の原理の説明図。
【符号の説明】
１，３，ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｐ，ｑ，ｒ　　回転中心
２，６，７　　リンク
４，ｉ　　研磨材
５　　被研磨面
８　　引っ張りばね
９，１１　　偏心軸
１０，１２　　プレート
１３，ｈ，ｏ　　モーター
１４，１５，ｋａ，ｋｂ　　歯車
１６，１７，１８，１９　　ベアリング
２０，２１　　支柱
２２　　カップリング
ｇ　　圧縮ばね
ｊ　　被研磨面
ｍ　　研磨材の先端部
ｎ　　スライドガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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