(57)【要約】【課題】近接場光記録再生において、光ディスクの表面に付着したゴミを除去して光ヘッドの破損を防止すると共に、製造コスト抑える。【解決手段】光ディスク５に近接するように近接場光ヘッド３を配置して、光ディスク５にレーザー光による近接場光を集光させ、静圧浮上パッド４を用いて光ディスク５との間のギャップを制御した後に、この近接場光ヘッド３をアクチュエータ１２−１により光ディスク５の近接位置に移動し、近接場光を用いて光ディスク５に情報の記録または再生を行なう際に、エアにて、情報の記録または再生に先行して光ディスク５上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばすゴミ回収／吹き飛ばし部１４を近接場光ヘッド３の近傍に配置した。【選択図】      図１
2004348927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー照射手段からの照射光を光学系を介して回転機構およびスライド機構により回転移動およびスライド移動する光記録媒体に情報を記録可能に照射する光記録装置において、
上記光記録媒体に対して微小間隔をもって対向し、上記光記録媒体に照射光を照射するための出射孔を有し、上記出射孔に連通する照射光の通路の周囲に上記光記録媒体との対向面に開口する複数の環状吸引溝が形成され、上記吸引溝の周囲に環状気体排出軸受け部が形成される静圧浮上パッドと、
上記照射光の通路に設けられ、駆動手段により上記光記録媒体に対して対向する方向に進退可能に構成された対物レンズにより近接場光記録のための照射光を上記光記録媒体に照射する近接場光ヘッドと、
上記近接場光ヘッドの近傍に上記光記録媒体上のゴミを吸い取りおよび／または吹き飛ばすために設けられ、上記光記録媒体上に情報の記録に先行してエアを吸引して排気可能な排気手段および／または上記光記録媒体上に情報の記録に先行してエアを噴出可能な供給手段と、
上記レーザー照射手段、上記回転機構および上記スライド機構ならびに上記排気手段および上記供給手段を制御すると共に、上記静圧浮上パッドと上記光記録媒体との間のギャップの制御および上記光記録媒体に対する反射照射光の検出により上記照射光が合焦状態となるように上記対物レンズを上記駆動手段により上記光記録媒体に対して対向する方向に進退させる制御手段と
を備えたことを特徴とした光記録装置。
【請求項２】
請求項１記載の光記録装置において、
上記排気手段によりゴミを吸い取った後に、上記供給手段によりゴミを吹き飛ばすことを特徴とした光記録装置。
【請求項３】
請求項１記載の光記録装置において、
上記排気手段は上記静圧浮上パッドの上記吸引溝を排気口とし、
上記供給手段は上記静圧浮上パッドの上記気体排出軸受け部を供給口とすることを特徴とした光記録装置。
【請求項４】
レーザー照射手段からの照射光を光学系を介して回転機構およびスライド機構により回転移動およびスライド移動する光記録媒体に記録された情報を再生可能に照射する光再生装置において、
上記光記録媒体に対して微小間隔をもって対向し、上記光記録媒体に照射光を照射するための出射孔を有し、上記出射孔に連通する照射光の通路の周囲に上記光記録媒体との対向面に開口する複数の環状吸引溝が形成され、上記吸引溝の周囲に環状気体排出軸受け部が形成される静圧浮上パッドと、
上記照射光の通路に設けられ、駆動手段により上記光記録媒体に対して対向する方向に進退可能に構成された対物レンズにより近接場光再生のための照射光を上記光記録媒体に照射する近接場光ヘッドと、
上記近接場光ヘッドの近傍に上記光記録媒体上のゴミを吸い取りおよび／または吹き飛ばすために設けられ、上記光記録媒体上に記録された情報の再生に先行してエアを吸引して排気可能な排気手段および／または上記光記録媒体上に記録された情報の再生に先行してエアを噴出可能な供給手段と、
上記レーザー照射手段、上記回転機構および上記スライド機構ならびに上記排気手段および上記供給手段を制御すると共に、上記静圧浮上パッドと上記光記録媒体との間のギャップの制御および上記光記録媒体に対する反射照射光の検出により上記照射光が合焦状態となるように上記対物レンズを上記駆動手段により上記光記録媒体に対して対向する方向に進退させる制御手段と
を備えたことを特徴とした光再生装置。
【請求項５】
請求項４記載の光再生装置において、
上記排気手段によりゴミを吸い取った後に、上記供給手段によりゴミを吹き飛ばすことを特徴とした光再生装置。
【請求項６】
請求項４記載の光再生装置において、
上記排気手段は上記静圧浮上パッドの上記吸引溝を排気口とし、
上記供給手段は上記静圧浮上パッドの上記気体排出軸受け部を供給口とすることを特徴とした光再生装置。
【請求項７】
レーザー照射手段からの照射光を光学系を介して回転機構およびスライド機構により回転移動およびスライド移動する光記録媒体に情報を記録可能に照射する光記録装置における光記録方法において、
上記光記録媒体に対して微小間隔をもって対向し、上記光記録媒体に照射光を照射するための出射孔を有し、上記出射孔に連通する照射光の通路の周囲に上記光記録媒体との対向面に開口する複数の環状吸引溝が形成され、上記吸引溝の周囲に環状気体排出軸受け部が形成される静圧浮上パッドと、上記照射光の通路に設けられ、駆動手段により上記光記録媒体に対して対向する方向に進退可能に構成された対物レンズにより近接場光記録のための照射光を上記光記録媒体に照射する近接場光ヘッドとを用いて上記光記録媒体に情報を記録する際に、
上記光記録媒体上に情報の記録に先行してエアを吸引して排気可能な排気手段および／または上記光記録媒体上に情報の記録に先行してエアを噴出可能な供給手段により、上記近接場光ヘッドの近傍の上記光記録媒体上のゴミを吸い取りおよび／または吹き飛ばすためのエア排気および／またはエア供給ステップと、
上記レーザー照射手段、上記回転機構および上記スライド機構ならびに上記排気手段および上記供給手段を制御すると共に、上記静圧浮上パッドと上記光記録媒体との間のギャップの制御および上記光記録媒体に対する反射照射光の検出により上記照射光が合焦状態となるように上記対物レンズを上記駆動手段により上記光記録媒体に対して対向する方向に進退させるように制御手段を用いて制御する制御ステップと
を備えたことを特徴とした光記録方法。
【請求項８】
請求項７記載の光記録方法において、
上記排気手段によりゴミを吸い取った後に、上記供給手段によりゴミを吹き飛ばすことを特徴とした光記録方法。
【請求項９】
請求項７記載の光記録方法において、
上記排気手段は上記静圧浮上パッドの上記吸引溝を排気口とし、
上記供給手段は上記静圧浮上パッドの上記気体排出軸受け部を供給口とすることを特徴とした光記録方法。
【請求項１０】
レーザー照射手段からの照射光を光学系を介して回転機構およびスライド機構により回転移動およびスライド移動する光記録媒体に記録された情報を再生可能に照射する光再生装置における光再生方法において、
上記光記録媒体に対して微小間隔をもって対向し、上記光記録媒体に照射光を照射するための出射孔を有し、上記出射孔に連通する照射光の通路の周囲に上記光記録媒体との対向面に開口する複数の環状吸引溝が形成され、上記吸引溝の周囲に環状気体排出軸受け部が形成される静圧浮上パッドと、上記照射光の通路に設けられ、駆動手段により上記光記録媒体に対して対向する方向に進退可能に構成された対物レンズにより近接場光再生のための照射光を上記光記録媒体に照射する近接場光ヘッドとを用いて上記光記録媒体に記録された情報を再生する際に、
上記光記録媒体上に記録された情報の再生に先行してエアを吸引して排気可能な排気手段および／または上記光記録媒体上に記録された情報の再生に先行してエアを噴出可能な供給手段により、上記近接場光ヘッドの近傍の上記光記録媒体上のゴミを吸い取りおよび／または吹き飛ばすためのエア排気および／またはエア供給ステップと、
上記レーザー照射手段、上記回転機構および上記スライド機構ならびに上記排気手段および上記供給手段を制御すると共に、上記静圧浮上パッドと上記光記録媒体との間のギャップの制御および上記光記録媒体に対する反射照射光の検出により上記照射光が合焦状態となるように上記対物レンズを上記駆動手段により上記光記録媒体に対して対向する方向に進退させるように制御手段を用いて制御する制御ステップと
を備えたことを特徴とした光再生方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の光再生方法において、
上記排気手段によりゴミを吸い取った後に、上記供給手段によりゴミを吹き飛ばすことを特徴とした光再生方法。
【請求項１２】
請求項１０記載の光再生方法において、
上記排気手段は上記静圧浮上パッドの上記吸引溝を排気口とし、
上記供給手段は上記静圧浮上パッドの上記気体排出軸受け部を供給口とすることを特徴とした光再生方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、近接場光記録再生を可能とする対物レンズを有する光記録装置、光再生装置、光記録方法および光再生方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光記録装置に用いられるレンズは、原盤表面とレンズ先端の差動距離の間が大気で、屈折率は約１である。そのため、レンズの開口率（ＮＡ：Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ａｐｅｒｔｕｒｅ）が１を超えるようにすることはできない。
【０００３】
これを解決するために原盤表面とレンズ先端のワークディスタンスを短くした近接場による光記録装置があった。光ディスクを光記録媒体に用いた近接場による信号記録装置や信号再生装置として、２群レンズから構成されるＳＩＬ（Ｓｏｌｉｄ  Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ  Ｌｅｎｓ）等の固体浸レンズによる近接場光を利用したものが提案されている。このような近接場を利用することにより、光ディスクの高密度化のニーズに対応して、スポット径を一層微小化させることが可能となっている。
【０００４】
このようなＳＩＬを用いて光ディスクに対する記録または再生をおこなうには、ＳＩＬ端面と光ディスクの信号記録面または信号再生面との距離を近接場光が生じる距離（光の波長の１／２以下、代表的には２００ｎｍ以下）に接近させ、その距離を一定に保つギャップ制御を行い、光ディスク上の集光スポットを一定にしている。
【０００５】
また、特許文献１には、近接場光発生手段が記録媒体の潤滑剤層に接触した状態で近接場光を発生させるとともに、吸着手段が潤滑剤層中に含まれる塵埃を吸着することにより、データの記録時に潤滑剤層に含まれる塵埃によって近接場光が遮られることがなく、安定してデータの記録、再生または消去を行うことができる光記録装置が開示されている。
【０００６】
また、特許文献２，３，４において構成要素として説明されている静圧浮上パッドは、複数の環状溝を有し、非接触で真空度を維持する差動排気を行なう差動排気静圧浮上パッドについて開示されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−１９５７６４号公報
【特許文献２】
特開２０００−０７６７０７号公報
【特許文献３】
特開２０００−０７６７０８号公報
【特許文献４】
特開２００１−２４２３００号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来の近接場による光記録装置では、光ディスクをターンテーブル上に置くまでの間、または、置いたディスクを記録または再生する前に、空気中を浮遊しているゴミが光ディスクの表面に付着することが頻繁にあった。
【０００９】
このため、近接場状態（２００ｎｍ以下）でのギャップ制御下、光ヘッドとディスクとの間でゴミを巻き込み、ギャップ制御が破綻してしまい、その後の記録または再生が不可能となる場合があった。最悪、光ヘッドと光ディスクとの間にゴミを巻き込んだ結果、ギャップ制御動作が不安定となり、光ヘッドが光ディスクと衝突し、光ヘッドを破損させてしまうという不都合があった。
【００１０】
上述したゴミ付着防止のため、記録または再生装置をクリーンブース等で覆い、空気中に浮遊するごみの抑制管理をおこなってはいるが、それでも、除去しきれないごみがあり、このため、クリーンブースを用意すると、製造コストが上がってしまうという不都合があった。
【００１１】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、近接場光記録再生において、光ディスクの表面に付着したゴミを除去することにより光ヘッドの破損を防止すると共に、製造コスト抑えることができる光記録装置、光再生装置、光記録方法および光再生方法を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光記録媒体を保持して回転機構により回転駆動させ、光記録媒体に近接するように近接場光ヘッドを配置して、光記録媒体にレーザー光による近接場光を集光させ、静圧浮上パッドを用いて光記録媒体との間のギャップを制御した後に、この近接場光ヘッドをアクチュエータにより光記録媒体の近接位置に移動し、近接場光を用いて光記録媒体に情報の記録または再生を行なう際に、エアにて、情報の記録または再生に先行してウェハ上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす排気手段および／または供給手段を近接場光ヘッドの近傍に配置したものである。
【００１３】
従って本発明によれば、以下の作用をする。
近接場光を用いて光記録媒体に情報の記録または再生を行なう際に、排気手段および／または供給手段により、エアにて、情報の記録または再生に先行して光記録媒体上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす。
【００１４】
排気手段により光記録媒体上のゴミを吸い取った後に、供給手段により光記録媒体上のゴミを吹き飛ばすようにしても良く、また、排気手段により光記録媒体上のゴミを吸い取る動作と、供給手段により光記録媒体上のゴミを吹き飛ばす動作を同時に行っても良い。さらにその後に、一方の動作を行っても良い。
【００１５】
また、情報の記録または再生を行なう前に、排気手段および／または供給手段により、エアにて、情報の記録または再生に先行して光記録媒体上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす動作を行っても良い。
【００１６】
また、これに限らず、記録媒体の交換毎に、排気手段および／または供給手段により、エアにて、情報の記録または再生に先行して光記録媒体上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす動作を行っても良い。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について、適宜、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図１は、光ディスク記録再生装置の構成を示すブロック図である。
光ディスク記録再生装置は、レーザー光源部１からのレーザー光をビームスプリッタ２などの光学系を介してスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５に照射することにより、情報の記録または再生を可能にするものである。ここで、レーザー光源部１は信号記録再生ユニット１０からの駆動情報に基づいてレーザー光を発生する。スピンドルモータ６およびスライドモータ７は、モータ制御回路８からの駆動情報に基づいて回転する。
【００１９】
この静圧浮上パッド４は、光ディスク５に対して微小間隔（５μｍ）をもって対向し、後述するように、光ディスク５にレーザー照射光を照射するための出射孔２１を有し、出射孔２１に連通する照射光の通路の周囲に光ディスク５との対向面に開口する複数の環状吸引溝２２，２３，２４が形成され、吸引溝２２，２３，２４の周囲に多孔質２５の環状気体排出軸受け部が形成される。
【００２０】
また、静圧浮上パッド４に設けられた近接場光ヘッド３は、レーザー照射光の通路に対物レンズを設け、アクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進退可能に構成され、光ディスク５に近接することにより高屈折率で高開口率の対物レンズとして機能する。
【００２１】
また、近接場光ヘッド３の近傍に設けられたゴミ回収／吹き飛ばし部１４は、近接場光ヘッド３による情報の記録または再生の前方に配置され、エア源１４−１からの圧縮気体を用いた負圧を介して光ディスク５上のゴミ１５を吸い取るようにエア１６を排気可能な排気部１４−２と、エア源１４−１からの圧縮気体を介して光ディスク５上のゴミ１５を吹き飛ばすようにエア１６を供給可能な供給部１４−３とを有して構成される。ゴミ回収／吹き飛ばし部１４は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３からの駆動情報に基づいてエアの排気／供給の動作をする。
【００２２】
また、ギャップ制御部１２は、静圧浮上パッド４の複数の環状吸引溝２２，２３，２４からエア源１２−１からの圧縮気体を用いた負圧を介して光ディスク５を静圧浮上パッド４に向けて吸着するようにエア１６を排気可能な排気部１２−２と、エア源１２−１からの圧縮気体を介してエア１６を静圧浮上パッド４を光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる図示しない伸縮部に供給されると共に、環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５に光ディスク５に対して所定のギャップで静圧浮上パッド４が浮上するように供給可能な供給部１２−３とを有して構成される。ギャップ制御部１２は、ギャップ制御回路１１からの駆動情報に基づいてエアの排気／供給の動作をする。
【００２３】
また、光ディスク記録再生装置は、レーザー光源部１を駆動させる信号記録再生ユニット１０、スピンドルモータ６およびスライドモータ７を駆動させるモータ制御回路８ならびにギャップ制御部１２を駆動させるギャップ制御回路１１およびゴミ回収／吹き飛ばし部１４を駆動させるゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を制御すると共に、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構によりレーザー照射光が合焦状態となるように近接場光ヘッド３の対物レンズをアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進退させるコントローラ９を有して構成される。
【００２４】
図２は、静圧浮上パッドおよびゴミ回収／吹き飛ばし噴出部の下面を示す図である。
図２において、静圧浮上パッド４は、円形の中心部に光ディスク５にレーザー照射光を照射するための出射孔２１を有し、出射孔２１の外周側に光ディスク５との対向面に開口する複数の環状吸引溝２２、２３、２４形成され、吸引溝２２，２３，２４の外周に多孔質２５の環状気体排出軸受け部が形成される。
【００２５】
また、静圧浮上パッド４の近傍であって、静圧浮上パッド４に対して矢印で示す露光方向の前方にゴミ回収／吹き飛ばし部１４が配置される。ゴミ回収／吹き飛ばし部１４には、排気部１２−２に連通する排気口２６と供給部１２−３に連通する供給口２７が設けられている。排気口２６が静圧浮上パッド４に対して矢印で示す露光方向の前方であって、供給口２７の後方に設けられている。これは、近接場光ヘッド３により近いゴミは排気口２６から排気部１２−２により吸い取り、近接場光ヘッド３の前方のゴミは供給口２７から供給部１２−３によりゴミを吹き飛ばすようにするためである。
【００２６】
また、排気部１２−２は静圧浮上パッド４の複数の環状吸引溝２２，２３，２４を排気口２６とし、供給部１２−２は静圧浮上パッド４の気体排出軸受け部が形成される多孔質２５を供給口２７とするように構成しても良い。
【００２７】
このように構成された光ディスク記録再生装置の一連の動作を説明する。
図３は、一連の制御動作を示すフローチャートである。
図３において、ステップＳ１で、他のワークがあるか否かを判断する。具体的には、ターンテーブル上に真空吸着されてレーザー光源部１により記録または再生される他の光ディスク５があるか否かを判断する。
【００２８】
図４は、ワーク交換動作を示すフローチャートである。図４は、図３のステップＳ１に対応するものである。
【００２９】
ステップＳ１１で、スライド機構でターンテーブルをワーク交換位置に移動する。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御回路１１を介してギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を静圧浮上パッド４が光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる伸縮部に供給するのを停止して、静圧浮上パッド４を光ディスク５から離間する方向に収縮させる。このとき、スライドモータ７によりターンテーブルをワーク交換位置に移動する。
【００３０】
ステップＳ１２で、ワークを交換する。具体的には、記録または再生後のワークを取り除き、他のワークである新たな光ディスク５をターンテーブル上に真空吸着させる。
【００３１】
ステップＳ１３で、スライド機構によりターンテーブルを露光位置に移動する。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を静圧浮上パッド４が光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる伸縮部に供給するのを停止して、静圧浮上パッド４を光ディスク５から離間する方向に収縮させた状態で、スライドモータ７でターンテーブルを露光位置に移動する。
【００３２】
ステップＳ１４で、他のワークがあるか否かを判断し、他のワークがあるときは、ステップＳ１１へ戻って、ステップＳ１１〜ステップＳ１４の処理および判断を繰り返す。他のワークがないときは終了する。
【００３３】
図３に戻って、ステップＳ１で他のワークがないときは終了し、他のワークがあるときは、ステップＳ２へ移行して、ステップＳ２でパッドを下降させる。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を静圧浮上パッド４が光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる伸縮部に供給して、静圧浮上パッド４を光ディスク５に近接する方向に伸張させる。
【００３４】
ステップＳ３でパッドを浮上させる。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５に供給して、静圧浮上パッド４が、光ディスク５に対して対向する方向に浮上させる。
【００３５】
ステップＳ４で、パッドを下降させて、隙間を５μｍとする。具体的には、コントローラ９は、複数の環状吸引溝２２，２３，２４からギャップ制御部１２の排気部１２−３からの負圧による気体の吸引と、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５への圧縮気体の供給による浮上とがつりあう状態にして、静圧浮上パッド４が、光ディスク５に対して微小間隔（５μｍ）をもって対向するように維持させる。
【００３６】
ステップＳ５で、スピンドルを回転させる。具体的には、コントローラ９は、モータ制御回路８を介してスピンドルモータ６を回転させて、スピンドルモータ６の回転軸に固定されたターンテーブルを回転させることによりターンテーブル上に吸着された光ディスク５を回転させる。
【００３７】
ステップＳ６で、排気部による吸引状態でゴミ回収および／または供給部によるゴミ吹き飛ばしを開始させる。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の排気部１４−２によりエア源１４−１からの圧縮気体を用いた負圧を介して光ディスク５上のゴミ１５を吸い取るようにエア１６を排気し、および／または供給部１４−３によりエア源１４−１からの圧縮気体を介して光ディスク５上のゴミ１５を吹き飛ばすようにエア１６を供給する。
【００３８】
図５は、ゴミ回収／吹き飛ばし動作を示すフローチャートである。図５は、図３のステップＳ６に対応するものである。
ステップＳ２１で、排気部が排気口または内周側溝からゴミを回収する。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の排気部１４−２により排気口２６または内周側の環状吸引溝２２，２３，２４から負圧による気体の吸引によりゴミを吸引して回収する。
【００３９】
ステップＳ２２で、隙間が５μｍであるか否かを判断し、隙間が５μｍでないときは、ステップＳ２１へ戻って、ステップＳ２１〜ステップＳ２２の処理および判断を繰り返す。隙間が５μｍであるときはステップＳ２３へ移行する。
【００４０】
ステップＳ２３で、回収したゴミをタンクに貯蔵する。具体的には、コントローラ９は、排気部１２−３により内周側の環状吸引溝２２，２３，２４から負圧による気体の吸引によりゴミを吸引して回収するとき、排気部１２−３により吸引したゴミをタンクに貯蔵する。
【００４１】
ステップＳ２４で、供給部が正圧エアにより供給口または外周側溝からゴミを吹き飛ばす。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の供給部１４−３により供給口または外周側溝である環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５からの圧縮気体の噴出によりゴミを吹き飛ばす。
【００４２】
ステップＳ２５で、外周側溝の圧力がやや大気圧よりも高いか否かを判断し、やや大気圧よりも高くないときは、ステップＳ２４へ戻って、ステップＳ２４〜ステップＳ２５の処理および判断を繰り返す。やや大気圧よりも高いときはステップＳ２６へ移行する。
【００４３】
ステップＳ２６で、排気部が排気口または内周側溝からゴミを回収する。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の排気部１４−２により排気口２６または内周側の環状吸引溝２２，２３，２４から負圧による気体の吸引によりゴミを吸引して回収する。
【００４４】
図３に戻って、ステップＳ７で、対物レンズを下降させる。具体的には、コントローラ９は、近接場光ヘッド３の対物レンズをギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進出させる。
【００４５】
ステップＳ８で、合焦点であるか否かを判断する。具体的には、コントローラ９は、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構によりレーザー照射光が合焦状態となるように近接場光ヘッド３の対物レンズをギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進出させる。
【００４６】
図６は、対物レンズ下降動作を示すフローチャートである。図６は、図３のステップＳ７、Ｓ８に対応するものである。
【００４７】
ステップＳ３１で、制御部はアクチュエータに駆動信号を供給する。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御回路１１を介して圧電素子やボイスコイルモータで構成されるギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１に近接場光ヘッド３の対物レンズを下降させるための駆動信号を供給する。
【００４８】
ステップＳ３２で、アクチュエータが対物レンズを下降させる。具体的には、圧電素子やボイスコイルモータで構成されるアクチュエータ１２−１が下方に進出することにより近接場光ヘッド３の対物レンズを下降させる。
【００４９】
ステップＳ３３で、レーザー駆動部がフォーカス調整用レーザーを照射させる。具体的には、コントローラ９は、信号記録／再生ユニット１０を介してレーザー光源部１によりフォーカス調整用レーザーを照射させる。
【００５０】
ステップＳ３４で、反射検出機構により反射検出する。具体的には、コントローラ９は、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構によりレーザー照射光を検出する。
【００５１】
ステップＳ３５で、合焦点であるか否かを判断する。具体的には、コントローラ９は、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構により検出されたレーザー照射光が合焦点状態であるか否かを判断する。合焦点状態でないときは、ステップＳ３１へ戻って、ステップＳ３１〜ステップＳ３５の処理および判断を繰り返す。合焦点状態のときは終了する。
【００５２】
図３に戻って、ステップＳ８で合焦点であるときは、ステップＳ９へ移行し、ステップＳ８で合焦点でないときは、ステップＳ７へ戻って、ステップＳ７およびステップＳ８の処理および判断を繰り返す。
【００５３】
ステップＳ８で合焦点であるときは、ステップＳ９で、露光動作を行う。具体的には、コントローラ９は、静圧浮上パッド４に設けられた近接場光ヘッド３を用いて、レーザー光源部１からのレーザー光を介してスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５に情報信号の記録または再生を行う。
【００５４】
図７は、露光動作を示すフローチャートである。図７は、図３のステップＳ９に対応するものである。
【００５５】
ステップＳ４１で、レーザー駆動部が露光用レーザーを照射させる。具体的には、コントローラ９は、信号記録再生ユニット１０レーザー光源部１により記録用または再生用レーザーを照射させる。
【００５６】
ステップＳ４２で、スピンドルの回転に応じてスライド機構でターンテーブルを内周から外周へ移動する。具体的には、コントローラ９は、静圧浮上パッド４に設けられた近接場光ヘッド３を用いて、レーザー光源部１からのレーザー光をスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５にらせん状に情報信号の記録または再生をするように照射する。
【００５７】
ステップＳ４３で、露光終了か否かを判断し、露光終了までステップＳ４２へ戻って、ステップＳ４２およびステップＳ４３の処理および判断を繰り返す。
【００５８】
図３に戻って、ステップＳ１０で、ゴミ回収／吹き飛ばしを終了して、ステップＳ１へ戻る。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介して排気部１４−２による吸引状態でゴミ回収および／または供給部１４−３によるゴミ吹き飛ばしを終了する。
【００５９】
図８は、他の制御動作を示すフローチャートである。
図８において、ステップＳ５１で、他のワークがあるか否かを判断する。具体的には、ターンテーブル上に真空吸着されてレーザー光源部１により記録または再生される他の光ディスク５があるか否かを判断する。
【００６０】
ステップＳ５２で、スピンドルを回転させる。具体的には、コントローラ９は、モータ制御回路８を介してスピンドルモータ６を回転させて、スピンドルモータ６の回転軸に固定されたターンテーブルを回転させることによりターンテーブル上に吸着された光ディスク５を回転させる。
【００６１】
ステップＳ５３で、排気部による吸引状態でゴミ回収および／または供給部によるゴミ吹き飛ばしを開始させる。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の排気部１４−２によりエア源１４−１からの圧縮気体を用いた負圧を介して光ディスク５上のゴミ１５を吸い取るようにエア１６を排気し、および／または供給部１４−３によりエア源１４−１からの圧縮気体を介して光ディスク５上のゴミ１５を吹き飛ばすようにエア１６を供給する。
【００６２】
ステップＳ５４で、外周まで移動したか否かを判断する。具体的には、コントローラ９は、排気部１４−２による吸引状態でゴミ回収および／または供給部１４−３によるゴミ吹き飛ばしを行っている状態で、モータ制御回路８を介してスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５が内周から外周まで移動したことを検出する。
【００６３】
ステップＳ５５で、ゴミ回収／吹き飛ばしを終了する。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介して排気部１４−２による吸引状態でゴミ回収および／または供給部１４−３によるゴミ吹き飛ばしを終了する。
【００６４】
ステップＳ５６でパッドを下降させる。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を静圧浮上パッド４が光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる伸縮部に供給して、静圧浮上パッド４を光ディスク５に近接する方向に伸張させる。
【００６５】
ステップＳ５７パッドを浮上させる。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５に供給して、静圧浮上パッド４が、光ディスク５に対して対向する方向に浮上させる。
【００６６】
ステップＳ５８で、パッドを下降させて、隙間を５μｍとする。具体的には、コントローラ９は、複数の環状吸引溝２２，２３，２４からギャップ制御部１２の排気部１２−３からの負圧による気体の吸引と、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５への圧縮気体の供給による浮上とがつりあう状態にして、静圧浮上パッド４が、光ディスク５に対して微小間隔（５μｍ）をもって対向するように維持させる。
【００６７】
ステップＳ５９で、対物レンズを下降させる。具体的には、コントローラ９は、近接場光ヘッド３の対物レンズをギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進出させる。
【００６８】
ステップＳ６０で、合焦点であるか否かを判断する。具体的には、コントローラ９は、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構によりレーザー照射光が合焦状態となるように近接場光ヘッド３の対物レンズをギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進出させる。
【００６９】
ステップＳ６０で合焦点であるときは、ステップＳ６１へ移行し、ステップＳ６０で合焦点でないときは、ステップＳ５９へ戻って、ステップＳ５９およびステップＳ６０の処理および判断を繰り返す。
【００７０】
ステップＳ６０で合焦点であるときは、ステップＳ６１で、露光動作を行ってステップＳ５１へ戻る。具体的には、コントローラ９は、静圧浮上パッド４に設けられた近接場光ヘッド３を用いて、レーザー光源部１からのレーザー光を介してスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５に情報信号の記録または再生を行う。
【００７１】
なお、ここで、ステップＳ５８のギャップ制御と、ステップＳ５９で、対物レンズの下降の間に、ステップＳ５３と同様の排気部による吸引状態でゴミ回収および／または供給部によるゴミ吹き飛ばしを開始させる動作を再度行って、ステップＳ６１の露光動作の後に、ステップＳ５５のゴミ回収／吹き飛ばしの終了の動作を行っても良い。
【００７２】
上述したように、本発明の実施の形態は、記録媒体を保持して回転駆動する回転機構（スピンドルモータ６とモータ制御回路８）と、光ディスク５への露光または信号読み取り位置を移動させるスライド機構（スライドモータ７とモータ制御回路８）と、光ディスク５にレーザー光による近接場光を集光させる光学手段（レーザー光源１と近接場光ヘッド３）と、静圧浮上パッド４を用いて近接場光ヘッド３と光ディスク面を近接場領域で一定に保つギャップ制御回路１１と、記録用信号出力および／または光ディスクからの信号を読み取り再生する、信号記録／再生ユニット１０と、ゴミ回収および／または吹き飛ばし制御回路１３を介して、エアにて、光ディスク５上のゴミ回収および／または吹き飛ばすゴミ回収および／または吹き飛ばし部１４とそれを制御するコントローラ９より構成される。
【００７３】
これにより、制御動作としては、記録／再生手順を開始して、ディスクをターンテーブルにセットすると、ギャップ制御を開始した後に、ディスクの回転を行って、エアによる、ごみ吸着および／または吹き出し開始して、その後、記録／再生の開始をして、記録／再生の終了をすると、エアによる、ごみ吸着および／または吹き出しを停止して、記録／再生の手順を終了する。
【００７４】
本発明の実施の形態は、これに限らず、変形例として、エアによる、ゴミ回収および／または吹き出し部１４を近接場光ヘッド横以外の別の場所に設ける。例えば、近接場光ヘッド３に設けられた静圧浮上パッド４のエア吸引を行う内周側溝である吸引溝（負圧用）および／またはエア吹き出しを行う外周側溝である環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５（正圧用）にゴミ回収および／または吹き出しの機能を持たせるようにしてもよい。
【００７５】
また、上述した制御動作に限らず、ディスクをターンテーブルにセットした直後、エアによる、ごみ吸着または／及び吹き出し動作を光ディスク全面に渡って行なうようにしてもよい。この場合、上述した制御動作に次のシーケンスを挿入する。
【００７６】
具体的には、上述したディスクをターンテーブルにセットする動作の後に、最内周に近接場光ヘッド３を移動して、近接場光ヘッド３の対物レンズを光ディスク表面に近づくまで下降して、光ディスクを回転させて、エアによる、ごみ吸着または／及び吹き出しを開始して、スライドモータ７により光ディスク５を最外周に移動したら、光ディスク５の回転を停止して、エアによる、ごみ吸着または／及び吹き出しを終了して、上述したギャップ制御を開始する動作に続ける。
【００７７】
なお、本発明の実施の形態は、光ディスク記録再生装置の静圧浮上パッド４上の近接場光ヘッド３に近接して設けられたゴミ回収／吹き飛ばし部１４の工夫に関して説明したが、同様の効果のあるたとえば、レーザー光を照射して反者検出するテレビジョン受像機管面検出装置、半導体検査装置などすべての用途について利用可能である。
【００７８】
【発明の効果】
この発明によれば、情報信号記録または情報信号再生装置では、信号記録または再生時に、近接場光ヘッド横に有する、エアによる、ウェハ上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす排気手段および／または供給手段により、ウェハ上のごみを信号記録または再生に先行して除去することができる。これにより、光記録媒体上にゴミが付着していたり、ゴミが浮遊している環境下においても、近接場光を用いた安定したギャップ制御による信号記録または再生を行なうことができるという効果を奏する。
【００７９】
また、上記情報信号記録または情報信号再生装置において、エアにて、信号記録または再生に先行してウェハ上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす排気手段および／または供給手段を近接場光ヘッド横に有し、それを制御することにより、ゴミが浮遊している環境下においても、近接場光を用いた安定したギャップ制御による信号記録または再生を行なうことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に適用される光ディスク記録再生装置の構成を示すブロック図である。
【図２】静圧浮上パッドおよびゴミ回収／吹き飛ばし部の下面を示す図である。
【図３】一連の制御動作を示すフローチャートである。
【図４】ワーク交換動作を示すフローチャートである。
【図５】ゴミ回収／吹き飛ばし動作を示すフローチャートである。
【図６】液浸対物レンズ下降動作を示すフローチャートである。
【図７】露光動作を示すフローチャートである。
【図８】他の制御動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１……レーザー光源部、２……ビームスプリッタ、３……近接場光ヘッド、４……静圧浮上パッド、５……光ディスク、６……スピンドルモータ、７……スライドモータ、８……モータ制御回路、９……コントローラ、１０……信号記録／再生ユニット、１１……ギャップ制御回路、１２……ギャップ制御部、１２−１……アクチュエータ、１２−２……エア源、１２−３……排気部、１２−４……供給部、１３……ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路、１４……ゴミ回収／吹き飛ばし部、１４−１……エア源、１４−２……排気部、１４−３……供給部、１５……ゴミ、１６……エア、２１……レーザー照射孔、２２，２３，２４……溝、２５……多孔質、２６……排気口、２７……供給口
【図１】
2004348927.tif 000003
【図２】
2004348927.tif 000004
【図３】
2004348927.tif 000005
【図４】
2004348927.tif 000006
【図５】
2004348927.tif 000007
【図６】
2004348927.tif 000008
【図７】
2004348927.tif 000009
【図８】
2004348927.tif 000010