(57)【要約】【課題】透明基板の表面における傷，凹凸等の有無といった表面欠陥を光学手段によって、確実に、しかも高精度に検査を行う。【解決手段】透明基板１の長辺と平行な方向に向けて同じ幅からなる奇数検査ゾーンＺＯと偶数検査ゾーンＺＥとが交互に設定され、透明基板１の表面欠陥検査を非接触で行うための検査光学ユニット１０の３箇所に検査光学系１１が装着されており、検査光学ユニット１０の検査光学系１１により透明基板１の奇数検査ゾーンＺＯを検査する際に、この奇数検査ゾーンＺＯの外部において、偶数検査ゾーンＺＥの裏面側で奇数検査ゾーンＺＯとの境界部近傍を支持バー２１ｂで支持させ、また偶数検査ゾーンＺＥを検査する際に、奇数検査ゾーンＺＯの裏面側で偶数検査ゾーンＺＥとの境界部を支持バー２２ｂ支持させて、検査ゾーンＺを水平状態に保持する。【選択図】      図３
2004279162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の表面を検査光学系で走査させることによって、この透明基板の表面欠陥検査を行う方法であって、
前記透明基板には、前記検査光学系が走査される所定幅を持った複数の検査ゾーンを一方向に向けて平行に設定し、
前記検査ゾーン毎に、または相隣接しない複数の同時検査ゾーン群毎に前記検査光学系により表面欠陥検査を実行するようになし、
前記検査光学系により表面欠陥検査を実行している検査実行ゾーンに隣接する検査ゾーンの裏面側に支持部材を当接させて、検査実行ゾーンの表面が変形するのを防止して、平面度を出すようになし、
前記検査光学系による検査実行ゾーンを順次シフトさせ、かつ前記支持部材の支持位置を当該の検査実行ゾーンに隣接する両側の検査ゾーンの裏面位置に移動させる
ことを特徴とする透明基板の検査方法。
【請求項２】
前記検査ゾーンは前記透明基板の一端側から他端側に向けて複数列形成されており、一方側の端部に位置する検査ゾーンから順次１つの検査ゾーンずつ表面欠陥検査を実行するように、前記検査光学系及び支持部材を移動させることを特徴とする請求項１記載の透明基板の検査方法。
【請求項３】
前記検査ゾーンは相隣接せず、しかも一定のピッチ間隔となるように同時に検査が実行される同時検査ゾーン群として設定し、前記検査光学系は、この同時検査ゾーン群毎に検査を実行するようになし、前記複数の検査光学系及び支持部材を同時検査ゾーン群毎に移動させることを特徴とする請求項１記載の透明基板の検査方法。
【請求項４】
前記検査ゾーンのうち、奇数番目の検査ゾーンと、偶数番目の検査ゾーンとをそれぞれ別の同時検査ゾーン群となし、前記検査光学系が奇数番目の検査ゾーンに対して同時検査を実行している間は、前記支持部材は偶数番目の各検査ゾーンの裏面側を支持し、前記検査光学系が偶数番目の検査ゾーンに対して同時検査を実行している間は、前記支持部材は奇数番目の検査ゾーンの裏面側を支持するように移動させることを特徴とする請求項３記載の透明基板の検査方法。
【請求項５】
前記検査光学系による検査は、前記透明基板を水平状態または垂直状態に対して所定角度傾けるようにして実行することを特徴とする請求項１記載の透明基板の検査方法。
【請求項６】
透明基板の表面に検査光学系を対面させて、この透明基板の表面欠陥検査を行うための装置であって、
前記透明基板の一方向に向けて所定幅を有する複数の検査ゾーンを設定して、これら各検査ゾーンの表面欠陥検査を実行するために、１または相隣接しない検査ゾーンと対面するように複数の検査光学系をこの検査ゾーンの幅方向に向けて移動可能に設け、
また前記透明基板の裏面側には、検査が実行されている検査実行ゾーンの表面が変形するのを防止して、平面度を出すために、検査実行ゾーンに隣接する検査ゾーンの裏面に接離する支持部材を、この検査ゾーンの幅方向に向けて移動可能に設ける
構成としたことを特徴とする透明基板の表面欠陥検査装置。
【請求項７】
前記透明基板は基板保持手段によって、その左右または前後の縁部をクランプ保持するようになし、この基板保持手段を水平または垂直に近い角度となるように設ける構成としたことを特徴とする請求項６記載の透明基板の表面欠陥検査装置。
【請求項８】
前記透明基板に設定される検査ゾーンは、奇数番目のものと、偶数番目のものとがそれぞれ同数形成されており、これら複数の奇数検査ゾーンと複数の偶数検査ゾーンとをそれぞれ同時に検査される同時検査ゾーン群となし、前記検査光学系を同時検査ゾーン群の検査ゾーンの数と同数設けて、これら各検査光学系は前記検査ゾーンの配列方向と直交する方向に前記検査ゾーンの幅寸法分だけ往復移動可能な構成としたことを特徴とする請求項６記載の透明基板の表面検査装置。
【請求項９】
前記支持手段は前記検査ゾーンの長さ方向に向けて設けた複数の支持ピン、支持バー、支持ローラのいずれかで構成し、この支持手段は前記検査実行ゾーンへの境界部近傍に当接するようにしたことを特徴とする請求項６記載の透明基板の表面検査装置。
【請求項１０】
前記支持ピンまたは前記支持バーは前記検査実行ゾーンに向けて傾斜するものであることを特徴とする構成としたことを特徴とする請求項９記載の透明基板の表面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶基板、プラズマディスプレイ用として用いられる基板等の透明基板の表面状態を検査するための透明基板の表面検査方法及び検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶ディスプレイを構成するガラス基板等の透明基板の表面に異物が付着していたり、また傷，凹凸等が生じていたりするか否かの表面欠陥検査をするために光学的な検出手段が用いられる。即ち、透明基板を水平状態に配置して、この透明基板の表面に対して光を照射して、その反射光または反射散乱光を受光して、この受光信号に基づいて透明基板の表面に異物や傷等の有無を検出する。
【０００３】
液晶ディスプレイを構成する透明基板は大面積で薄型のものとなし、特に生産効率等の観点から大判の透明基板を切り出すようにしたものもある。従って、薄型で大判の透明基板の表面検査を行う場合において、この透明基板を水平状態に保持するのは極めて困難であり、その周辺部を保持しただけでは、自重により大きな撓みが生じて表面状態が不均一になるために、そのままでは検査を行うことができない。そこで、透明基板の周辺部を保持すると共に、押し上げピンによって透明基板を水平状態に保持するようにしたものも従来から知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−５９８９４号公報（第３頁、図１，図２）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来技術のものにあっては、透明基板の裏面側に押し上げピンが当接しているので、透明基板は実質的に水平な状態に保持することは可能である。ただし、検査光学系により表面状態を検査するものであるから、押し上げピンと当接している部位とそうでない部位とでは透明基板の表面からの反射光に極めて大きな差が出ることになってノイズが発生する等、この透明基板の全表面に異物や傷等の欠陥が存在するかの検査を正確に行えないという問題点がある。
【０００６】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、透明基板の全面にわたって確実に、しかも高精度な表面検査を行えるようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明において、透明基板の表面を検査光学系で走査させることによって、この透明基板の表面欠陥検査を行う方法としては、前記透明基板には、前記検査光学系が走査される所定幅を持った複数の検査ゾーンを一方向に向けて平行に設定し、前記検査ゾーン毎に、または相隣接しない複数の同時検査ゾーン群毎に前記検査光学系により表面欠陥検査を実行するようになし、前記検査光学系により表面欠陥検査を実行している検査実行ゾーンに隣接する検査ゾーンの裏面側に支持部材を当接させて、検査実行ゾーンの表面が変形するのを防止して、平面度を出すようになし、前記検査光学系による検査実行ゾーンを順次シフトさせ、かつ前記支持部材の支持位置を当該の検査実行ゾーンに隣接する両側の検査ゾーンの裏面位置に移動させるようにしたことをその特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明において、透明基板の表面に検査光学系を対面させて、この透明基板の表面欠陥検査を行うための装置の構成としては、前記透明基板の一方向に向けて所定幅を有する複数の検査ゾーンを設定して、これら各検査ゾーンの表面欠陥検査を実行するために、１または相隣接しない検査ゾーンと対面するように複数の検査光学系をこの検査ゾーンの幅方向に向けて移動可能に設け、また前記透明基板の裏面側には、検査が実行されている検査実行ゾーンの表面が変形するのを防止して、平面度を出すために、検査実行ゾーンに隣接する検査ゾーンの裏面に接離する支持部材を、この検査ゾーンの幅方向に向けて移動可能に設ける構成としたことをその特徴とするものである。
【０００９】
検査の対象となる透明基板について、一度に全体を検査するのではなく、複数回に分けて表面欠陥検査を実行する。例えば、液晶パネル用の透明基板は、通常、長方形のものであり、この場合には、その長辺と平行な方向に向けて複数の検査ゾーンを形成する。透明基板と検査光学系とを相対移動させながら行う検査は、従って、１枚の透明基板につき複数回行われることになる。このように、複数の検査ゾーンに分けたのは、検査を実行している検査ゾーンに隣接する位置において、透明基板の裏面側から支持させることによって、透明基板における検査実行ゾーンの表面における平面度を正確に出し、歪みや撓み、さらに湾曲等の変形がが生じないようにするためである。従って、検査ゾーンの幅寸法は、支持部材により表面の平面度が確保できるかどうかにより決定される。このことから、検査ゾーンの幅は狭ければ狭いほど、より高精度に平面度を出すことができるが、そうすると検査光学系の数が増え、また検査が長時間化する。このため、検査を行う上で差し支えない程度の平面度が確保されることを条件として、検査ゾーンの幅をできるだけ広くする方が得策である。ここで、検査時には、透明基板を水平に配置するか、または所定角度傾けた状態とする。ただし、垂直状態にすると、どちらの方向に撓むかが確定しないので、角度は、その検査対象となる表面が９０°以下としなければならない。
【００１０】
検査光学系は検査ゾーンと直交する方向の全長にわたって往復移動させるようにすれば、１個の検査光学系を用いるだけで良い。ただし、支持部材は検査実行ゾーンの両側の検査ゾーンを支持することから、２組設ける必要がある。検査効率等の観点からは、同時に検査される複数の検査ゾーンを設定し、これら複数の検査実行ゾーンの数と同じ数の検査光学系を備えるようにすることもできる。検査は散乱光をサンプリングするか（異物検査）、干渉縞による検査（表面の凹凸形状検査）等、光学的手段を用いて透明基板に対して非接触で検査するものであり、その構成に格別の制限はない。また、透明基板からの反射光を検出する場合に限らず、透過光を検出するものであっても良い。透明基板と検査光学系とのいずれを移動させることもできるが、透明基板を動かすようにすると、広いスペースが必要となること等から、検査光学系を移動させるようにする方が望ましい。
【００１１】
同時に複数の検査ゾーンに対して検査を実行する場合、同時検査ゾーン群としては、２群、３群等適宜設定することができる。２組の同時検査ゾーン群を形成する場合には、奇数検査ゾーンと偶数検査ゾーンとの２組となる。一方の同時検査ゾーン群を検査している際には、この検査中の検査ゾーンと隣接する検査ゾーンの裏面側に支持部材を当接させて、検査中の検査ゾーンを平面度に保つようにする。このためには、隣接する検査ゾーンにおいて、検査実行ゾーンに近接した位置に支持部材を当接させる。その意味からは支持部材はほぼ境界部に位置させるのが最適である。ただし、透明基板の平面度が確保できれば、その位置に限定されない。支持部材の透明基板への当接部は、バー状のものとして透明基板の裏面に実質的に線接触させるが望ましいが、透明基板への接触面積が大きくなる。一方、ピン状のものとすれば、透明基板への接触面積は極めて小さくできるという利点がある。また、支持バーや支持ピンは透明基板に対して直角に設けることもできるが、検査実行ゾーンに向けて所定角度傾斜することもできる。さらに、ローラ等から支持部材を構成することもできる。
【００１２】
検査中において、支持部材による透明基板への支持位置をシフトさせなければならない。全ての支持位置の下部に支持部材を配置して、それらを昇降動作させるようにするか、または支持部材を上下方向に移動可能とすると共に、検査ゾーンの長さ方向と直交する方向に移動可能とする構成とすることもできる。支持部材は単一の駆動手段で移動させるようにするか、または各支持部材を個別に駆動するように構成しても良い。個別駆動するように構成すると、検査ゾーンの幅を変更したり、大きさの異なる透明基板の検査を行ったりする場合等に容易に対処できる。また、検査を行うに当っては、透明基板を位置決めしなければならない。このためには、例えば透明基板における検査ゾーンの長さ方向の両側端部または検査ゾーンの幅方向の両端部をクランプさせれば良い。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。まず、図１に検査の対象となる透明基板１の外観を示す。図示した透明基板１は薄い長方形状のものであり、材質としてはガラス、合成樹脂等から構成される。透明基板１の長辺と平行な方向に向けて同じ幅からなる複数の検査ゾーンに分けられる（図面において、検査ゾーンの境界部は仮想線で示されている）。同図において、ＺＯは奇数検査ゾーン、ＺＥは偶数検査ゾーンであり、これら奇数及び偶数の検査ゾーンを総称する際には、検査ゾーンＺという。これら奇数検査ゾーンＺＯと偶数検査ゾーンＺＥとは、それぞれ同時に検査が行われる同時検査ゾーン群を構成する。図示した例では、奇数検査ゾーンＺＯ及び偶数検査ゾーンＺＥの群構成数としては、それぞれ３箇所とした。なお、透明基板１の両端部には僅かな幅を有する機能上の余白部ＢＬが形成されている。
【００１４】
図２及び図３に透明基板１の表面検査装置の概略構成を示す。これらの図から明らかなように、透明基板１は基板保持手段によって水平状態となるように、着脱可能に装着される。基板保持手段は、左右両側に設けた支持ブロック２Ｒ，２Ｌの相互に対面する側の側面に装着したクランプ部材３を備える構成としたものである。クランプ部材３は、固定クランプ部片３ａと可動クランプ部片３ｂとから構成され、可動クランプ部片３ｂは固定クランプ部片３ａに対して近接・離間する方向に変位可能となっている。固定クランプ部片３ａにはシリンダ４が連結して設けられ、このシリンダ４により可動クランプ部片３ｂが固定クランプ部片３ａに対して近接・離間する方向に変位可能となっている。従って、可動クランプ部片３ｂを上昇するとクランプ解除状態となり、下降させるとクランプ作動位置となる。また、支持ブロック２Ｒ，２Ｌには可動クランプ部片３ｂをばね５に抗して固定クランプ部片３ａから離間させるためのソレノイド等からなる駆動手段（図示せず）が取り付けられている。そして、クランプ部材３は透明基板１における両側の余白部ＢＬをクランプし、検査ゾーンＺに対しては非接触状態に保持される。なお、クランプ部材はばねとソレノイド等の手段で開閉駆動するように構成することもできる。
【００１５】
基板保持手段の上部位置には、透明基板１の表面における欠陥検査を非接触で行うために、検査光学ユニット１０が配置されている。ここで、透明基板１に対して行われる検査は、その表面に異物の付着や傷の発生の有無を検査したり、表面が平滑になっているかまたは凹凸が存在しているを検査したりする、所謂表面状態の欠陥検査である。そこで、目的とする欠陥検査を行うのに適した検査光学系１１が用いられる。検査光学系１１は、同時に検査される検査ゾーンＺＯ，ＺＥの数と同じ数だけ設けられる。従って、図１の例からは、検査光学系１１は後述するＸ軸フレーム１４に所定の間隔を空けて３箇所設けられており、これらの配列ピッチ間隔は同時に検査される検査ゾーンＺの間隔と一致させている。ただし、必ずしも検査ゾーンＺと一致させる必要はなく、要は検査ゾーンＺの全体を検査できるようにすれば良い。
【００１６】
検査光学系１１の概略構成としては、表面の異物や傷等の検査を行う場合には、例えば、図４に示したように、レーザ光を照射する照明手段１２を有し、この照明手段１２からは透明基板１の表面に向けて斜め上方から照明光を照射されるようになっている。そして、透明基板１の表面に符号Ｐで示したように異物が付着している場合には、この透明基板１の表面からの反射光が散乱することになる。そこで、この散乱反射光を検出するために検出手段１３が正反射方向以外の位置に配置されている。従って、これら照明手段１２と検出手段１３とで検査光学系１１が構成される。これら照明手段１２及び検出手段１３からなる検査光学系１１は検査ゾーンＺの幅方向、つまり図３のＸ軸方向の全長にわたって往復走査するようになっている（以下、この走査方向を副走査方向という）。
【００１７】
３個設けられる検査光学系１１は、透明基板１の検査ゾーンＺの幅方向に向けて、副走査幅に相当する間隔だけ左右方向（即ち、図３のＸ軸方向）に往復移動可能となっている。このために、３個の検査光学系１１はＸ軸フレーム１４に装着されており、これらによって検査光学ユニット１０が構成される。この検査光学ユニット１０におけるＸ軸フレーム１４は、基板保持手段を構成する支持ブロック２Ｒ，２Ｌの上面に設けられ、検査ゾーンＺの長さ方向と平行に設けたガイドレール６に沿って前後方向（即ち、図３のＹ軸方向）に向けて往復移動可能なＹ軸フレーム１５上に装着されている。Ｙ軸フレーム１５にはＸ軸フレーム１４をＸ軸方向に検査ゾーンＺの幅寸法分だけ往復移動させるＸ軸アクチュエータ１６が設けられている。そして、Ｘ軸フレーム１４には、Ｘ軸アクチュエータ１６に連結される連動部材１７が設けられている。ここで、Ｘ軸アクチュエータ１６としては、このＸ軸方向には検査ゾーンＺの幅分往復移動を行わせることから、シリンダやソレノイド等で構成することもできるが、透明基板のサイズが異なる場合や、検査ゾーンＺの幅方向を変更する場合等に対処するには、ボールねじ送り手段で構成する。
【００１８】
検査光学系１１は透明基板１における検査ゾーンＺの幅方向に走査するようになっているが、さらに検査ゾーンＺの長さ方向に検査光学系１１を移動させなければならない。検査光学系１１を装着したＸ軸フレーム１４が設けられているＹ軸フレーム１５を透明基板１における検査ゾーンＺの長さ方向に移動させて、検査光学系１１をこの方向に走査させる（以下においては、この方向を主走査方向という）ためのＹ軸アクチュエータ１８を備えている。Ｙ軸アクチュエータ１８は、支持ブロック２Ｌの外側の側面に取り付けたモータ１８ａと、このモータ１８ａにより回転駆動されるねじ軸１８ｂと、ねじ軸１８ｂの先端を回転自在に支持する軸受１８ｃとから構成される。そして、このねじ軸１８ｂにはボールナット１９が螺合しており、このボールナット１９はＹ軸フレーム１５に連結して設けられている。
【００１９】
一方、基板保持手段の下部位置には透明基板１の裏面を支持する支持部材としての基板平面化保持ユニット２０が設けられている。基板平面化保持ユニット２０は支持ブロック２Ｒ，２Ｌの間に配置されており、透明基板１の奇数検査ゾーンＺＯを検査する際に、偶数検査ゾーンＺＥにおける奇数検査ゾーンＺＯへの境界部近傍に当接する偶数検査ゾーン保持部材２１と、偶数検査ゾーンＺＥを検査する際には、奇数検査ゾーンＺＯにおける偶数検査ゾーンＺＥへの境界部近傍に当接する奇数検査ゾーン保持部材２２とから構成される。
【００２０】
偶数検査ゾーン保持部材２１は、検査光学ユニット１０の検査光学系１１によって、透明基板１の奇数検査ゾーンＺＯを検査する際に、この奇数検査ゾーンＺＯの外部において、つまり偶数検査ゾーンＺＥの裏面側を支持して、複数ある奇数検査ゾーンＺＯの各々を正確に水平状態に保持するためのものである。このときには奇数検査ゾーン保持部材２２は透明基板１から十分離間した状態に、つまり奇数検査ゾーン保持部材２２からの反射光により検査光学系１１にノイズが取り込まれない位置に保持される。また、奇数検査ゾーン保持部材２２は、透明基板１の偶数検査ゾーンＺＥを検査する際に、奇数検査ゾーンＺＯの裏面側を支持して、各々の偶数検査ゾーンＺＥを正確に水平状態に保持するものであり、このときに偶数検査ゾーン保持部材２１は透明基板１から十分下方に離間して、それからの反射光が検査光学系１１に取り込まれない位置に保持される。
【００２１】
従って、各支持部材２１，２２は、図５からも明らかなように、昇降板２１ａ，２２ａと、それぞれ昇降板２１ａ，２２ａに取り付けた５本の支持バー２１ｂ，２２ｂとを備え、昇降板２１ａ，２２ａは支持ブロック２Ｒ，２Ｌに垂設したガイドロッド２３によって昇降可能となっている。また、昇降板２１ａ，２２ａには、それぞれシリンダ等からなる昇降駆動手段２４が連結して設けられており、これら昇降駆動手段２４を作動させることにより、それぞれ支持バー２１ｂ，２２ｂが透明基板１の裏面に当接する作動位置と、透明基板１から離間した退避位置とに変位できるようになっている。なお、図示した昇降駆動手段２４は全ての支持バーを同時に昇降駆動する構成としたが、各支持バーに対して個別的に昇降駆動するように構成することもでき、そうすると透明基板のサイズや検査ゾーンの幅等が変化したときには、それぞれ位置調整が可能となる。そして、支持バー２１ｂ，２２ｂの先端部の断面形状は、透明基板１と接触する際に、この透明基板１を損傷しないようにするために、円弧状になっている。
【００２２】
前述した偶数検査ゾーン保持部材２１と、奇数検査ゾーン保持部材２２とは、それらの昇降板２１ａ，２２ａがクランプ部材３にクランプされた透明基板１の前後の端部、つまり主走査方向の前後の部位において、透明基板１から所定の間隔だけ離間した位置に配置されている。そして、これら各昇降板２１ａ，２２ａに取り付けた支持バー２１ｂ，２２ｂは相手方の昇降板の方向に向けて延在されている。
【００２３】
以上のように構成される表面検査装置を用いて、透明基板１の表面における欠陥検査を行う方法について説明する。
【００２４】
まず、検査光学ユニット１０を主走査方向の端部に配置すると共に、基板保持手段に取り付けたクランプ部材３の可動クランプ部片３ｂを固定クランプ部片３ａから離間させる。さらに、基板平面化保持ユニット２０を構成する支持部材２１，２２は退避位置に配置しておく。そこで、透明基板１を、その検査対象面を上に向けた状態にして適宜のハンドリング手段によって水平搬送させて、固定クランプ部片３ａと可動クランプ部片３ｂとの間に挿入する。この状態で、画像認識等により透明基板１の位置調整を行った上で、可動クランプ部片３ｂを下降させることによって、透明基板１の左右の両側部をクランプ部材３によりクランプさせて、ハンドリング手段を退避させる。これによって、透明基板１は表面検査装置に装架される。
【００２５】
透明基板１には、それぞれ複数からなる奇数検査ゾーンＺＯと偶数検査ゾーンＺＥとが設定されており、奇数検査ゾーンＺＯの群と偶数検査ゾーンＺＥの群とが別個に検査されるようになっている。そこで、まず奇数検査ゾーンＺＯの群を検査し、次いで偶数検査ゾーンＺＥの群の検査を行うものとする。なお、検査はいずれが先であっても良い。
【００２６】
まず、奇数検査ゾーンＺＯの組、つまり図１に示した３箇所の奇数検査ゾーンＺＯの検査を行うために、偶数検査ゾーン保持部材２１を上昇させて、この偶数検査ゾーン保持部材２１を構成する５本の支持バー２１ｂを透明基板１の裏面に当接させる作動位置とする。そして、このときには奇数検査ゾーン保持部材２２は退避位置に保持する。つまり、図６（ａ）において、透明基板１の裏面側には斜線で示した部位に支持バー及びクランプ部材が当接しており、これにより透明基板１はその全面にわたって正確に水平状態に保持され、撓みや歪み等が発生しない。しかも、当該の検査時において検査されるゾーンはドットで示した領域であり、この領域の裏面には光を反射する物体が存在しないので、検査光学系１１による検査時にノイズの発生等による誤検出の発生を防止できる。
【００２７】
以上の状態で、検査ユニット１０に設けたＹ軸アクチュエータ１８を駆動することによって、検査光学系１１は透明基板１の表面に沿って主走査方向に移動させ、かつ検査光学系１１を副走査方向に作動させる。そして、検査光学系１１が主走査方向の終点位置にまで到達すると、奇数検査ゾーンＺＯの表面欠陥検査が実行されたことになる。
【００２８】
次に、検査光学ユニット１０における検査光学系１１を透明基板１の偶数検査ゾーンＺＥと対面する位置にシフトさせる。このために、Ｘ軸アクチュエータ１６を作動させて、Ｘ軸フレーム１４を移動させる。また、基板平面化保持ユニット２０を構成する偶数検査ゾーン保持部材２１を退避位置に変位させ、かつ奇数検査ゾーン保持部材２２を作動位置に変位させる。これによって、図６（ｂ）に斜線で示した部位は裏面側に支持バー及びクランプ部材が当接しており、検査される領域はドットで示した状態となる。これによって、透明基板１はやはり正確に水平状態に保持され、かつ検査対象となる偶数検査ゾーンＺＥの裏面側には何等の部材も位置していない。従って、Ｙ軸アクチュエータ１８を作動させて、主走査方向において、奇数検査ゾーンＺＯの検査時とは逆方向、つまり戻す方向に移動させることによって、偶数検査ゾーンＺＥの正確な表面欠陥検査が実行されるようになり、これにより透明基板１の表面をあますところなく検査でき、かつその検査精度は極めて高いものとなる。
【００２９】
而して、透明基板１における検査ゾーンＺの幅寸法は、この透明基板１の両端の余白部ＢＬをクランプした状態で、どの程度撓むかにより設定されるものである。透明基板１の剛性が高いものであれば、検査ゾーンＺの幅寸法を広くでき、つまり検査ゾーンＺの数を少なくすることができ、また透明基板１が柔軟なものであれば、検査ゾーンＺの幅寸法を狭くしてゾーン数を多くして、この透明基板１の裏面側における支持箇所のピッチ間隔を短くする。
【００３０】
次に、図７及び図８に本発明における第２の実施の形態を示す。この実施の形態においては、検査光学系から照射される光が支持ユニットから反射して、誤検出が発生するのをより確実に防止するようにしたものが示されている。また、透明基板１には１つの検査ゾーン毎に順次表面欠陥検査を行うようにしている。
【００３１】
而して、図７において、３０は透明基板１を副走査方向であるＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブルであり、このＸ軸テーブル３０は、ボールねじ送り手段３１によって、ガイド３２に沿ってＸ軸方向に移動させるようになっている。Ｘ軸テーブル３０上には、透明基板１の両端を保持する一対からなる保持部材３３，３３がガイド３４に沿ってＸ軸テーブル３０と直交する方向、つまり主走査方向であるＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。この保持部材３３は、図示は省略するが、透明基板１の両端をクランプ等の手段で固定的に保持できるようになっている。また、そのＹ軸方向への移動はボールねじ送り手段等で構成することができるが、その図示は省略する。
【００３２】
透明基板１の表面欠陥検査を行う際に、検査ゾーンの両側に隣接する検査ゾーンの裏面側を支持して、検査ゾーンの部位における撓みや湾曲等の変形を防止するための支持ユニット３５は、台板３６上に多数の支持ピン３７を立設したものから構成され、これらの支持ピン３７のうち、台板３６のエッジ部に位置する支持ピンは傾斜した傾斜ピン３７Ｔとなっている。つまり、台板３６上の支持ピン３７のうち、検査ゾーンの直近位置を支持する傾斜ピン３７Ｔは台板３６の端部から離間する方向に傾斜している。
【００３３】
支持ユニット３５は、透明基板１の検査ゾーンを挟むものが対として、検査ゾーンの長さ方向に複数対（図７においては２対）設けられている。そして、支持ユニット３５を構成する台板３６は搬送台３８上にシリンダ３９によって昇降可能に装着されている。従って、シリンダ３９を作動させることによって、支持ピン３７，３７Ｔが透明基板１の裏面に当接する状態と、透明基板１から下方に離間する状態とに変位可能となっている。また、搬送台３８は、ボールねじ送り手段４０によって、ガイド４１をスライドすることによりＹ軸方向に位置調整可能となっている。これによって、異なる検査ゾーンの検査を行う際に、支持ピン３７，３７Ｔによる透明基板１の支持位置を変更することができる。
【００３４】
従って、図８に示したように、透明基板１を複数の検査ゾーンに分割して、透明基板１の上部位置に配設した検査光学系１０により一方側の検査ゾーンＺ１から、検査ゾーンＺ２、検査ゾーンＺ３の順に１つの検査ゾーン毎に表面欠陥検査が行われる。この場合、検査実行ゾーンに隣接する検査ゾーンには、検査実行ゾーンの境界部に近接した位置に傾斜支持ピン３７Ｔが当接している結果、透明基板１における検査実行ゾーンの平面度が確実に確保される。しかも、この傾斜支持ピン３７Ｔが装着されている台板３６は検査実行ゾーンからかなり離れた位置に配置されているので、透明基板１の下部側からの反射光の影響で検査誤差が発生するのを防止でき、極めて高精度な検査が可能になる。
【００３５】
図８から明らかなように、透明基板１に対しては、検査ゾーンＺ１，Ｚ２，Ｚ３の順に検査が行われるので、その都度搬送台３８を移動させることになる。そして、端部に位置する検査ゾーンＺ１，Ｚ３の検査を実行している際には、図中の右側に位置する支持ユニット３５は検査ゾーンＺ２の下部位置に配置するが、左側の支持ユニット３５については、必ずしも透明基板１を支持させなくても良いが、透明基板１の端部に検査が必要でない僅かな幅の余白部が存在する場合には、この余白部に傾斜支持ピン３７Ｔを当接させるようにしても良い。
【００３６】
なお、前述した各実施の形態においては、透明基板を水平状態にして検査を行うように構成したが、この透明基板を所定の角度を持った状態、例えば透明基板の検査が行われる表面が垂直から多少傾けた状態、例えば８５°〜８０°程度の角度を持たせた状態で検査することも可能である。この場合には、透明基板の裏面を支持する支持部材も同じ角度傾けるようにして配置する。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光学手段によって透明基板に対して、その全面にわたって確実に、しかも高精度な表面検査を行えるようになる等の諸効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】検査ゾーンを設定した透明基板の平面図である。
【図２】本発明における第１の実施の形態を示す透明基板の表面検査装置の構成を示す正面図である。
【図３】図２の平面図である。
【図４】検査光学系による透明基板の表面検査を行っている状態を示す説明図である。
【図５】基板平面化保持ユニットにおける一方の支持部材の構成説明図である。
【図６】透明基板の表面検査を実行している状態を示す作用説明図である。
【図７】本発明における第２の実施の形態を示す透明基板の表面検査装置の構成説明図である。
【図８】図７の実施の形態における作用説明図である。
【符号の説明】
１  透明基板
２Ｒ，２Ｌ  支持ブロック
３  クランプ部材
１０  検査光学ユニット
１１  検査光学系
１４  Ｘ軸フレーム
１５  Ｙ軸フレーム
１６  Ｘ軸アクチュエータ
１８  Ｙ軸アクチュエータ
２０  基板平面化保持ユニット
２１  偶数検査ゾーン保持部材
２２  奇数検査ゾーン保持部材
２１ａ，２２ａ  昇降板
２１ｂ，２２ｂ  支持バー
２３，２４  昇降駆動手段
３０  Ｘ軸テーブル
３３  保持部材
３５  支持ユニット
３６  台板
３７  支持ピン
３７Ｔ  傾斜支持ピン
Ｚ，Ｚ１〜Ｚ３  検査ゾーン
ＺＯ  奇数検査ゾーン
ＺＥ  偶数検査ゾーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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