(57)【要約】【課題】本発明は、修正用ニードルを１本のみ用いた場合でも、１回の欠陥修正作業で所望量の修正用組成物を欠陥箇所に付着させることが可能なパターン修正装置の提供を主目的とする。【解決手段】尖鋭な修正用ニードルと、該修正用ニードルを相対的に移動させることができる移動手段とを備え、前記修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させ、該先端に付着した修正用組成物を有機材料または無機材料によって形成された微細パターン中の欠陥箇所に付着させることができるパターン修正装置に、前記修正用ニードルの先端近傍での前記修正用組成物の温度を制御することができる温度制御手段を付加する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
尖鋭な修正用ニードルと、該修正用ニードルを相対的に移動させることができる移動手段とを備え、前記修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させ、該先端に付着した修正用組成物を有機材料または無機材料によって形成された微細パターン中の欠陥箇所に付着させることができるパターン修正装置であって、
前記修正用ニードルの先端近傍での前記修正用組成物の温度を制御することができる温度制御手段を有することを特徴とするパターン修正装置。
【請求項２】
修正用組成物が収容されたポットを少なくとも１つ保持することができるポットホルダーを有することを特徴とする請求項１に記載のパターン修正装置。
【請求項３】
前記温度制御手段が、前記修正用ニードルの温度を制御することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のパターン修正装置。
【請求項４】
前記温度制御手段が、前記ポット内の修正用組成物の温度を制御することを特徴とする請求項２に記載のパターン修正装置。
【請求項５】
前記温度制御手段が加熱手段と冷却手段とを有することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のパターン修正装置。
【請求項６】
尖鋭な修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させる第１工程と、前記先端に付着した修正用組成物を有機材料または無機材料によって形成された微細パターン中の欠陥箇所に付着させる第２工程とを含むパターン修正方法であって、
前記第１工程および前記第２工程で、前記欠陥箇所の大きさに応じて前記修正用ニードルの先端近傍での前記修正用組成物の温度を制御することを特徴とするパターン修正方法。
【請求項７】
前記修正用ニードルの温度を制御することにより、該修正用ニードルの先端近傍での前記修正用組成物の温度を制御することを特徴とする請求項６に記載のパターン修正方法。
【請求項８】
前記修正用ニードルに付着する前の前記修正用組成物の温度を制御することにより、該修正用ニードルの先端近傍での前記修正用組成物の温度を制御することを特徴とする請求項６に記載のパターン修正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機材料または無機材料によって形成された微細パターン中の欠陥箇所に修正用ニードルで修正用組成物を付着させて修正するパターン修正装置およびパターン修正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば液晶表示装置の製造はクリーンルーム内で行われるが、たとえクリーンルーム内で製造しても、カラーフィルタや露光マスクに異物が混入するのを完全に防止することは不可能である。カラーフィルタや露光マスクに異物が付着した場合や、その他の原因で露光不良が生じた場合には、当該部は露光が不十分になり、着色層が充分に形成されず、液晶表示装置の表示品質が低下する。通常、このような液晶表示装置は不良品として扱われる。
【０００３】
液晶表示装置の歩留を向上させるため、多くの場合、カラーフィルタの作製後には異物混入の有無および着色層の未形成が光学的に検査され、異物が検出された場合には、当該異物の除去および除去した箇所の修正（補修）が行われる。異物の除去は例えばレーザ光の照射によって行われ、異物を除去した箇所の修正は、当該箇所に修正用ニードルを用いて修正用組成物を付着させ、その後に当該修正用組成物を硬化させることによって行われる。
【０００４】
同様の手法が、有機エレクトロルミネセンス表示装置用のカラーフィルタや、種々の用途のレジストパターンおよび微細電極パターン等に対しても適用されている。
【０００５】
しかしながら、異物の大きさは一定ではないので、修正用組成物によって修正すべき箇所の大きさにはバラツキがあり、修正用ニードルを用いて付着させるべき修正用組成物の量にも必然的にバラツキが生じる。このため、先端径が異なる複数本の修正用ニードルを使用する、１つの欠陥箇所に対して修正用組成物の付着を必要回数繰り返し行う等の対応策がとられているが、修正用ニードルの交換や、１つの欠陥に対して複数回の欠陥修正作業を行うことは、生産性低下の要因となる。
【０００６】
また、マルチないしフルカラー表示用のカラーフィルタを修正する際には、互いに性状が異なる複数種の修正用組成物が使用されることから、修正用ニードルへの修正用組成物の１回の付着量も修正用組成物の種類に応じて変化してしまい、所望量の修正用組成物を欠陥箇所に付着させることができずに修正品質が低下することがある。
【０００７】
さらに、修正用ニードルに修正用組成物が残留して例えばカラーフィルタの修正の際に混色を引き起こしたり、残留した修正用組成物が修正用組ニードルに固着して欠陥箇所への１回の付着量が変化したりすることがあり、これらはいずれも修正品質低下の要因となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、１回の欠陥修正作業で所望量の修正用組成物を欠陥箇所に付着させることが可能なパターン修正装置およびパターン修正方法の提供を主目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、請求項１に記載するように、尖鋭な修正用ニードルと、該修正用ニードルを相対的に移動させることができる移動手段とを備え、前記修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させ、該先端に付着した修正用組成物を有機材料または無機材料によって形成された微細パターン中の欠陥箇所に付着させることができるパターン修正装置であって、前記修正用ニードルの先端近傍での前記修正用組成物の温度を制御することができる温度制御手段を有することを特徴とするパターン修正装置を提供する。
【００１０】
修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御することにより、当該先端近傍での修正用組成物の粘度を制御することができるので、修正用ニードルへの修正用組成物の付着量、および、修正用ニードルによる欠陥箇所への修正用組成物の付着量を制御することが可能になる。
【００１１】
また、修正用ニードルに残留した修正用組成物は、修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を十分に上げて流動性を高めることにより当該修正用ニードルから除去することができるので、修正用ニードルへの修正用組成物の残留も抑制することが可能である。
【００１２】
したがって、修正用ニードルを１本のみ用いた場合でも、１回の欠陥修正作業で所望量の修正用組成物を欠陥箇所に付着させることが可能である。
【００１３】
請求項１に記載のパターン修正装置においては、請求項２に記載するように、修正用組成物が収容されたポットを少なくとも１つ保持することができるポットホルダーを有していることが好ましい。パターン修正装置がポットホルダーを有していれば、修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させてから当該修正用組成物を欠陥箇所に付着させるまでに要する時間を容易に短くすることができるので、生産性を向上させ易い。
【００１４】
請求項１または請求項２に記載したパターン修正装置においては、請求項３に記載するように、温度制御手段によって修正用ニードルの温度を制御することができる。修正用ニードルの温度を制御することによって当該修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御するようにすれば、修正用組成物を欠陥箇所に付着させる直前まで当該修正用組成物の温度を制御することができるので、欠陥箇所への修正用組成物の付着量を正確に制御し易くなる。
【００１５】
また、請求項２に記載したパターン修正装置においては、請求項４に記載するように、温度制御手段によってポット内の修正用組成物の温度を制御することができる。
【００１６】
クリーンルームの室温は、多くの場合一定に保たれているので、パターン修正装置が上記のポットホルダーを有し、かつ、修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させてから当該修正用組成物を欠陥箇所に付着させるまでの時間の制御が可能な場合には、ポットホルダーに保持されたポット内の修正用組成物の温度を制御することによっても、修正用ニードルによる欠陥箇所への修正用組成物の１回の付着量を制御することが可能である。
【００１７】
ポット内の修正用組成物の温度を充分に上げておけば、修正し終えた後の修正用ニードルの先端にたとえ修正用組成物が残留していたとしても、当該修正用ニードルの先端をポット内の修正用組成物中に漬けることによって、残留していた修正用組成物をポット内の修正用組成物に吸収させることができる。したがって、修正用ニードルへの修正用組成物の残留を抑制することが可能である。
【００１８】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のパターン修正装置においては、請求項５に記載するように、温度制御手段が加熱手段と冷却手段とを有していることが好ましい。例えば修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を上げて修正を行った後に、修正用組成物の温度を低くして修正を行う場合、修正用組成物の温度が所望温度にまで自然に冷却するのを待っていては、生産性が低下する場合もあり得る。温度制御手段が加熱手段と冷却手段とを有していれば、修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を短時間の内に所望温度に制御することが容易になるので、生産性を向上させ易くなる。
【００１９】
本発明においてはまた、上記の目的を達成するために、請求項６に記載するように、尖鋭な修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させる第１工程と、前記先端に付着した修正用組成物を有機材料または無機材料によって形成された微細パターン中の欠陥箇所に付着させる第２工程とを含むパターン修正方法であって、前記第１工程および前記第２工程で、前記欠陥箇所の大きさに応じて前記修正用ニードルの先端近傍での前記修正用組成物の温度を制御することを特徴とするパターン修正方法を提供する。
【００２０】
第１工程および第２項で、上述のように修正用ニードル先端近傍での修正用組成物の温度を制御することにより、上述した本発明によるパターン修正装置についての説明の中で述べたように、修正用ニードルを１本のみ用いた場合でも１回の欠陥修正作業で所望量の修正用組成物を欠陥箇所に付着させることが可能になる。
【００２１】
請求項６に記載のパターン修正方法においては、請求項７に記載するように、修正用ニードルの温度を制御することにより、当該修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御することができる。
【００２２】
前述したように、修正用ニードルの温度を制御することによって当該修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御するようにすれば、修正用組成物を欠陥箇所に付着させる直前まで当該修正用組成物の温度を制御することができるので、欠陥箇所への修正用組成物の付着量を正確に制御し易くなる。
【００２３】
また、請求項６に記載のパターン修正方法においては、請求項８に記載するように、修正用ニードルに付着する前の修正用組成物の温度を制御することにより、当該修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御することができる。
【００２４】
クリーンルームの室温は、多くの場合一定に保たれているので、修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させてから当該修正用組成物を欠陥箇所に付着させるまでの時間の制御が可能な場合には、修正用ニードルに付着する前の修正用組成物の温度を制御することによっても、修正用ニードルによる欠陥箇所への修正用組成物の１回の付着量を制御することが可能である。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のパターン修正装置およびパターン修正方法それぞれの実施形態について詳述する。
【００２６】
Ａ．パターン修正装置
図１は、本発明のパターン修正装置に係る一実施形態を概略的に示す。同図に示すパターン修正装置７０は、被修正パターン１が形成されている基板５を載せる精密ステージ１０と、精密ステージ１０の上方に配置される修正用ニードル２０と、修正用組成物が収容されたポットを少なくとも１つ保持することができるポットホルダー３０と、修正用ニードル２０の先端近傍での修正用組成物の温度を制御することができる温度制御手段４０とを有している。
【００２７】
被修正パターン１は例えば液晶表示装置用のカラーフィルタであり、基板５は例えば透明ガラス基板ないし透明樹脂基板である。被修正パターン１中の異物は、例えばレーザ光によって予め除去されている。
【００２８】
精密ステージ１０は、下側に配置された第１ステージ１２と、上側に配置された第２ステージ１４とを備えており、第１コントローラ１５によって動作を制御されて、第２ステージ１４を図１中に矢印Ｄ１で示す第１の方向（以下、「第１の方向Ｄ１」という。）および矢印Ｄ２で示す第２の方向（以下、「第２の方向Ｄ２」という。）へ水平移動させることができる。第１の方向Ｄ１と第２の方向Ｄ２とは、一平面内で互いに直交する方向である。
【００２９】
第１コントローラ１５は、修正用ニードル２０を被修正パターン１に対して相対的に移動させる移動手段として機能する。第１コントローラ１５による精密ステージ１０の駆動は、例えば、被修正パターン１中の異物を除去した際の異物の座標データを利用して行われる。
【００３０】
修正用ニードル２０は導電性材料によって形成された尖鋭な針状体であり、保持体２２によって図１中に矢印Ｄ３で示す第３の方向（以下、「第３の方向Ｄ３」という。）へ往復運動可能に保持されている。第３の方向Ｄ３は、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２それぞれに直交する方向であり、第２ステージ１４表面の法線方向と平行である。
【００３１】
保持体２２は移動子２４によって保持されており、当該移動子２４はアーム５０の下面に沿って第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２移動可能である。アーム５０は、２つの脚部５２ａ、５２ｂによって、精密ステージ１０の上方に支持されている。
【００３２】
保持体２２および移動子２４による修正用ニードル２０の移動は、当該修正用ニードル２０の先端に修正用組成物を付着させることを可能にするためのものであり、保持体２２および移動子２４それぞれの動作は第２コントローラ２５によって制御される。
【００３３】
修正用組成物は、所定のポットに収容されて、ポットホルダー３０に保持される。図示のポットルダー３０は、３つのポットを保持することができるものであり、３つのポット保持部３０ａ、３０ｂ、３０ｃを有している。例えば３原色系のカラーフィルタの欠箇所陥を修正する際には、赤色フィルタ、緑色フィルタ、および青色フィルタそれぞれの修正用組成物（いわゆる修正用インク）が互いに別個のポットに収容され、これらのポットがポット保持部３０ａ、３０ｂ、３０ｃに保持される。ポットホルダー３０は、一端がアーム５０の下面に固定された支持部材３２によって支持されている。
【００３４】
温度制御手段４０は、修正用ニードル２０を取り囲むようにして配置された環状の誘導加熱コイル４２と、この誘導加熱コイル４２への通電を制御する第３コントローラとを有している。誘導加熱コイル４２は、修正用ニードル２０との相対的な位置関係が第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２については常に一定となるようにして、移動子２４の下面に固定されている。図示のパターン修正装置７０では、上述した第２コントローラ２５が第３コントローラを兼ねている。
【００３５】
前述したように修正用ニードル２０は導電性材料によって形成されているので、誘導加熱コイル４２に交流電流を流すことによって当該修正用ニードル２０を加熱することができる。修正用ニードル２０が加熱されれば、当該修正用ニードル２０の先端に付着した修正用組成物、あるいは、当該修正用ニードル２０の先端が漬けられているポット内の修正用組成物も加熱される。また、誘導加熱コイル４２への通電を停止させるか、または弱めれば、修正用ニードル２０の温度が低下し、当該修正用ニードル２０の先端に付着した修正用組成物の温度、あるいは、当該修正用ニードル２０の先端が漬けられているポット内の修正用組成物の温度もまた低下する。
【００３６】
したがって、誘導加熱コイル４２への通電量を第２コントローラ２５によって制御することにより、修正用ニードル２０の先端近傍での修正用組成物の温度を制御することができる。修正用組成物の温度を制御することによって当該修正用組成物の粘度を制御することができるので、修正用ニードル２０への修正用組成物の付着量や、当該修正用ニードル２０に付着した修正用組成物の欠陥箇所への付着量を制御することが可能になる。
【００３７】
また、修正用ニードル２０の先端に修正用組成物が残留しても、当該修正用組成物の温度を上昇させてその粘度を低下させることにより、所望のポット内に滴下させるか、所望のポット内の修正用組成物に吸収させることができるので、修正用ニードル２０への修正用組成物の残留も容易に抑制することができる。
【００３８】
これらの理由から、修正用ニードル２０を１本のみ用いた場合でも、修正すべき欠陥箇所の大きさに応じて、１回の欠陥修正作業で所望量の修正用組成物を当該欠陥箇所に付着させることが可能である。その結果として、修正用ニードルの交換作業を不要にすることができると共に、１つの欠陥箇所を修正するのに要する欠陥修正作業の回数を低減させることができるので、修正品質を落とすことなく生産性を高めることが容易になる。また、複数種の修正用組成物を用いて欠陥修正することが必要なカラーフィルタを修正する場合でも、混色の発生を抑制することが容易になる。
【００３９】
本発明のパターン修正装置は、修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御することができる温度制御手段を有していることを最大の特徴とするものであり、温度制御手段以外の構成は勿論、温度制御手段自体の構成も、図示の構成に限定されるものではない。以下、各構成要素について詳述する。
【００４０】
（１）修正用ニードル
修正用ニードルの材料は、温度制御手段の構成に応じて選定することができる。修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を上述のように誘導加熱コイルを利用して制御する場合には、導電性材料によって修正用ニードルを形成することが必須の要件となるが、修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を例えば赤外線を用いて制御することも可能であり、この場合には導電性材料および電気絶縁性材料の何れによって修正用ニードルを形成してもよい。
【００４１】
使用する修正用ニードルの本数、修正用ニードルの先端形状、および修正用ニードルの先端径は、パターン修正装置によって欠陥を修正しようとする微細パターンの種類や、パターン修正装置のグレード等に応じて適宜選定可能である。必要に応じて、修正用ニードルと、当該修正用ニードルを保持する保持体とを熱的に絶縁させることができる。
【００４２】
（２）移動手段
移動手段は、被修正パターンに対する修正用ニードルの相対的な位置を所望の位置に制御することができるものであればよく、被修正用パターンの位置を固定して修正用ニードルのみを第１の方向Ｄ１、第２の方向Ｄ２、および第３の方向Ｄ３へ所望量に移動させる構成とすることも可能である。
【００４３】
（３）温度制御手段
例えば室温が一定に保たれたクリーンルーム内でパターン修正装置を使用する場合、修正用ニードルや修正用組成物の昇温速度は、加熱条件が一定であれば略一定となる。同様に、一旦加熱された修正用ニードルや修正用組成物の降温速度は、冷却条件が一定であれば略一定となる。
【００４４】
したがって、修正用ニードルや修正用組成物の昇温速度と加熱条件との関係、および自然冷却時の降温速度を予め実験的に求めておくことにより、修正用ニードル、修正用ニードルの先端に付着した修正用組成物、または、修正用組成物を収容したポットを加熱することにより、温度センサを用いなくても修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御することが可能である。勿論、温度センサを用いれば、クリーンルームの室温が一定に保たれているか否かに拘わらず、修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を更に正確に制御することが可能である。
【００４５】
修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度をできるだけ正確に制御するうえからは、修正用ニードルを直加熱する場合を除き、修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させてから当該修正用組成物を欠陥箇所に付着させるまでに要する時間もできるだけ正確に制御することが望まれる。
【００４６】
温度制御手段は、加熱手段と、当該加熱手段の動作を制御するコントローラとを用いて構成することができる。上記の加熱手段は、修正用ニードルを直接加熱するものであってもよいし、修正用ニードルの先端に付着した修正用組成物を直接加熱するものであってもよいし、修正用ニードルに付着させる前のポット内の修正用組成物を加熱するものであってもよい。修正用ニードルとポット内の修正用組成物との両方を別々の加熱装置によって加熱することも可能である。
【００４７】
加熱手段の具体例としては、誘導加熱コイルの他に、抵抗加熱装置、遠赤外線加熱装置、超音波加熱装置等が挙げられる。どのような加熱装置によって修正用ニードルおよび修正用組成物のどちらを加熱するかは、想定しているパターン修正装置の使用環境、パターン修正装置によって欠陥を修正しようとする微細パターンの種類、パターン修正装置のグレード等に応じて適宜選定可能である。
【００４８】
被修正パターン中の欠陥箇所への修正用組成物の付着量を正確に制御するうえからは、欠陥箇所に付着させる直前まで修正用組成物の粘度を調整することができるように、修正用ニードルを直接加熱することが好ましい。同様に、室温が一定に保たれていないクリーンルーム内での使用を想定したパターン修正装置でも、修正用ニードルを直接加熱する構成とすることが好ましい。
【００４９】
温度制御手段を、加熱装置、冷却装置、およびこれらの動作を制御するコントローラによって構成すれば、冷却装置によって強制的に修正用ニードルないし修正用組成物を冷却することが可能になるので、冷却装置を利用しない場合に比べて生産性を高めることが容易になる。冷却装置としては、例えばペルチェ素子を利用した冷却装置を用いることができる。
【００５０】
（４）ポットホルダー
ポットホルダーは、図１に示した第１の方向Ｄ１または第２の方向Ｄ２についての修正用ニードルとの相対的な位置関係が変化するように配置することもできるが、生産性を高めるうえからは、修正用ニードルとの相対的な位置関係が第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２の両方について常に一定となるようにして、修正用ニードルに近接配置することが好ましい。
【００５１】
図１に示したパターン修正装置７０では、修正用ニードル２０を第１の方向Ｄ１、第２の方向Ｄ２、および第３の方向Ｄ３に移動可能にして、ポット内の修正用組成物を修正用ニードル２０の先端に付着させることを可能にしているが、修正用ニードル２０は第３の方向Ｄ３にのみ移動可能にし、ポットホルダー３０を第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に移動可能にして、ポット内の修正用組成物を修正用ニードル２０の先端に付着させることを可能にしてもよい。必要に応じて、ポットホルダー３０と、当該ポットホルダー３０を支持する支持体３２とを熱的に絶縁させることができる。
【００５２】
（５）その他
被修正パターンは、カラーフィルタに限定されるものではなく、表示露光マスクや、種々の用途のレジストパターンあるいは微細電極パターン等、修正用組成物を用いて欠陥箇所の修正が可能なものであればよい。
【００５３】
また、パターン修正装置を直接構成するものではないが、本発明のパターン修正装置で使用する修正用組成物は、その温度に応じて比較的大きく粘度が変化し、かつ、欠陥箇所に付着させたときに表面張力によって表面が盛り上がらないように比較的低い粘度を有しているものが好ましい。
【００５４】
例えばカラーフィルタの修正に使用する修正用組成物としては、その粘度が５０〜１８０ｃｐｓの範囲内、その中でも、８０〜１５０ｃｐｓの範囲内であるものを用いることが好ましい。
【００５５】
同様に、カラーフィルタ以外の微細パターン、例えば表示露光マスクや、種々の用途のレジストパターンあるいは微細電極パターン等における欠陥箇所を修正するための修正用組成物も、温度に応じて比較的大きく粘度が変化し、かつ、欠陥箇所に付着させたときに表面張力によって表面が盛り上がらないように比較的低い粘度を有しているものが好ましい。
【００５６】
Ｂ．パターン修正方法
本発明のパターン修正方法は、前述したように、尖鋭な修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させる第１工程と、修正用ニードルの先端に付着した修正用組成物を有機材料または無機材料によって形成された微細パターン中の欠陥箇所に付着させる第２工程とを含み、第１工程および第２工程で、修正すべき欠陥箇所の大きさに応じて修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御するものである。以下、第１工程および第２工程それぞれについて、図面を参照しつつ詳述する。
【００５７】
（１）第１工程
図２（Ａ）および図２（Ｂ）は、それぞれ、第１工程での修正用ニードルと修正用組成物との関係を概略的に示す。これらの図に示した部材のうち、既に図１に示した部材については図１で用いた参照符号と同じ参照符号を付して、その説明を省略する。
【００５８】
図２（Ａ）に示すように、修正用ニードル２０の先端に修正用組成物を付着させるためには、例えばポット６０に収容されている修正用組成物６５内に当該修正用ニードル２０の先端を漬けることが必要である。
【００５９】
修正用組成物６５の粘度は、その温度を制御することによって調整することができる。したがって、修正用ニードル２０の先端近傍での修正用組成物６５の温度、換言すれば、修正用ニードル２０の温度、ポット６０の温度、または修正用組成物６５自体の温度を制御することにより、修正用ニードル２０の先端に付着する修正用組成物６５の量を修正すべき欠陥箇所の大きさに応じて制御することが可能である。図示の例では、図１に示したパターン修正装置７０と同様に、誘導加熱コイル４２を利用して修正用ニードル２０の先端の温度を調整している。
【００６０】
修正用ニードル２０の先端近傍での修正用組成物６５の温度を調整しつつ、当該修正用ニードル２０を修正用組成物６５から揚げれば、図２（Ｂ）に示すように、修正用ニードル２０の先端に所望量の修正用組成物６５ａを付着させることができる。
【００６１】
この後、必要に応じて、ポット上で修正用ニードル２０を静止させて修正用組成物６５ａの粘度を高める（温度を下げる）ことができる。修正用組成部６５ａの粘度を高めれば、当該修正用組成物６５ａが所望の欠陥修正箇所以外の所に落下するのを容易に防止することができる。
【００６２】
（２）第２工程
第２工程では、まず、第１工程で先端に修正用組成物６５ａが付着した修正用ニードル２０を被修正パターン１中の欠陥箇所１ａの上方まで相対的に移動させる。このとき、修正用組成物６５ａの温度低下によって所望量の修正用組成物を欠陥箇所１ａに付着させることが困難になる場合には、図３（Ａ）に示すように、修正用組成物６５ａの粘度を低めて（温度を上げて）、その流動性を高めることが好ましい。
【００６３】
次いで、修正用ニードル２０を降下させて修正用組成物６５ａを欠陥箇所１ａに接触させることにより、欠陥箇所１ａに修正用組成物６５ａを付着させる。欠陥箇所１ａへの修正用組成物６５ａの付着は、修正用ニードル２０から欠陥箇所１ａへ修正用組成物６５ａを自然落下させることでも実施可能であるが、生産性に劣る。修正用ニードル２０を加熱して、当該修正用ニードル２０から欠陥箇所１ａへの修正用組成物６５ａの自然落下を促進させることも可能である。
【００６４】
この後、欠陥箇所１ａに付着した修正用組成物６５ａを硬化させることにより、図３（Ｂ）に示すように、欠陥箇所１ａを修正することができる。
【００６５】
本発明のパターン修正方法では、第１工程および第２工程において、修正すべき欠陥箇所の大きさに応じて修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を制御するので、修正用ニードルへの修正用組成物の付着量、および、修正用ニードルによる欠陥箇所への修正用組成物の付着量を制御することが可能である。
また、修正用ニードルに残留した修正用組成物は、修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度を十分に上げて流動性を高めることによって当該修正用ニードルから除去することができるので、修正用ニードルへの修正用組成物の残留も抑制することが可能である。
【００６６】
したがって、修正用ニードルを１本のみ用いた場合でも、１回の欠陥修正作業で所望量の修正用組成物を欠陥箇所に付着させることが可能である。このような技術的効果を奏する本発明のパターン修正方法に基づく欠陥の修正は、例えば前述した本発明のパターン修正装置によって行うことができる。
【００６７】
なお、本発明のパターン修正装置およびパターン修正方法は、上述した実施形態に限定されるものではない。上述の実施形態は例示であり、本明細書の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の構成を有し、同様の効果を奏するものは、如何なるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００６８】
【発明の効果】
本発明によれば、修正用ニードルの先端近傍での修正用組成物の温度、ひいては粘度を制御することが可能になるので、修正用ニードルへの修正用組成物の付着量、および、修正用ニードルから被修正パターン中の欠陥箇所への修正用組成物の付着量を制御することが可能になり、結果として、修正用ニードルを１本のみ用いた場合でも、１回の欠陥修正作業で所望量の修正用組成物を欠陥箇所に付着させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパターン修正装置に係る一実施形態を概略的に示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は、修正用ニードルの先端に修正用組成物を付着させる際の様子を概略的に示す部分切欠き側面図であり、図２（Ｂ）は、修正用ニードルの先端に付着した修正用組成物を概略的に示す側面図である。
【図３】図３（Ａ）は、修正用ニードルの先端に付着した修正用組成物を概略的に示す他の側面図であり、図３（Ｂ）は、修正用組成物によって欠陥箇所を修正した後の被修正パターンを概略的に示す断面図である。
【符号の説明】
１  …  被修正パターン
１ａ  …  欠陥箇所
１０  …  精密ステージ
２０  …  修正用ニードル
３０  …  ポットホルダー
４０  …  温度制御手段
４２  …  誘導加熱コイル
６０  …  ポット
６５  …  修正用組成物
【図１】
2004191786.tif 000003
【図２】
2004191786.tif 000004
【図３】
2004191786.tif 000005