(57)【要約】【課題】インクの自由液面で発生した表面波を即座に減衰させてプリンタの高速化を図ると同時に、簡便な装置構成として製作コストの低減化を図る。【解決手段】電気粘性流体を含有したインクＩｎｋを貯留しているインク貯留室４と、このインク貯留室を画成しているケース１８に設けたノズル６と、超音波エネルギを発生する超音波発生部８と、先端が前記ノズルのインク貯留室側の開口部に対向するようにインク貯留室に配置されており、超音波発生部で発生した超音波エネルギをノズル内の自由液面Ｌに集束させてインク滴を外部に吐出させる集束部１０と、ノズルのインク貯留室側の開口部近傍及び集束部の先端の間に電界を発生させる電界発生部１２と、超音波発生部が超音波エネルギを発生した後に、所定の遅れ時間を持って電界発生部が電界を発生するように制御する制御手段１４とを備えた液滴吐出ヘッド１００である。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気粘性流体を含有した液状材料を貯留している液状材料貯留室と、この液状材料貯留室を画成しているケースに設けたノズルと、超音波エネルギを発生する超音波発生部と、先端が前記ノズルの前記液状材料貯留室側の開口部に対向するように前記液状材料貯留室に配置されており、前記超音波発生部で発生した超音波エネルギを前記ノズル内の自由液面に集束させて液滴を外部に吐出させる集束部と、前記ノズルの前記液状材料貯留室側の開口部近傍及び前記集束部の先端の間に電界を発生させる電界発生部と、前記超音波発生部が超音波エネルギを発生した後に、所定の遅れ時間を持って前記電界発生部が電界を発生するように制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記電界発生部は、前記ノズルの前記液状材料貯留室側で開口している開口部の周縁に設けたノズル側電極を備えていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記ノズルを設けた前記ケースを導電体材料で形成し、当該ケースを前記電界発生部のノズル側電極としたことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記超音波発生部は、一対の電極層に交流電圧を印加することで超音波が発生する圧電素子を備えており、前記圧電素子の一方の電極層に、導電体材料からなる前記集束部を一体化することで、前記集束部を前記電界発生部の集束部側電極としたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記超音波発生部は、一対の電極層に交流電圧を印加することで超音波が発生する圧電素子を備えており、前記圧電素子の一方の電極層に、表面が導電体材料でコーティングされた前記集束部を一体化することで、前記集束部を前記電界発生部の集束部側電極としたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の液滴吐出ヘッドを備え、その液滴吐出ヘッドを用いて情報を記録媒体に印刷することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出ヘッド及びこれを備えた液滴吐出装置に係り、特に、ノズルからインク滴を吐出させる際に、ノズル内の自由液面で発生した表面波を早期に減衰させる技術の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液滴吐出ヘッドは、超音波を利用してインク貯留室と外気とを連通しているノズルからインク滴を吐出させる際に、ノズル内の自由液面に表面波が生成される。残留表面波が消失して自由液面が安定しなければ、次回のインク滴を吐出することができないので、インク滴の吐出周期を速くしてプリンタの高速化を図るためには、自由液面の表面波を即座に減衰させることが大きな課題となっている。
【０００３】
表面波を減衰させる技術として、ノズル開口の周縁からの反射波を無指向に拡散させるノズル開口の形状とする技術が提案されており、例えば、ノズル開口の横断面形状を多角形状とする技術（特許文献１）、ノズル開口の周縁を凹凸形状とする技術（特許文献２）、ノズル開口の周縁を、表面波の波長の１／４だけ周期的に変化する階段状輪郭とする技術（特許文献３）が知られている。
【０００４】
また、ノズル開口の形状を変化せずに表面波を減衰させる他の技術として、表面波を打ち消す干渉波をインク自由液面に放射する方法（例えば、特許文献４）も提案されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平５−２４６０２９号公報
【特許文献２】
特開２００１−１５０６６５号公報
【特許文献３】
特開平５−３３８１４５号公報
【特許文献４】
特開平５−２７８２１８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１、２、３のようにノズル開口の形状を変化させる技術は、数十μｍ程度と非常に小さいノズル開口を精密な形状に製作することは容易なことではなく、製作コストの面で問題がある。また、インクの成分等がノズル開口の周縁に付着するとノズル開口の形状が変化してしまうので、長期間安定して表面波を減衰させる機能を維持することが難しい。
【０００７】
また、特許文献４の技術によると、表面波の位相を検出する手段を別途設ける必要があり、装置構成が複雑になるおそれがある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、液状材料の自由液面で発生した表面波を即座に減衰させて液滴吐出の高速化を図ると同時に、簡便な装置構成として製作コストの低減化を図ることができる液滴吐出ヘッド及びこれを備えた液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、発明１の液滴吐出ヘッドは、電気粘性流体を含有した液状材料を貯留している液状材料貯留室と、この液状材料貯留室を画成しているケースに設けたノズルと、超音波エネルギを発生する超音波発生部と、先端が前記ノズルの前記液状材料貯留室側の開口部に対向するように前記液状材料貯留室に配置されており、前記超音波発生部で発生した超音波エネルギを前記ノズル内の自由液面に集束させて液滴を外部に吐出させる集束部と、前記ノズルの前記液状材料貯留室側の開口部近傍及び前記集束部の先端の間に電界を発生させる電界発生部と、前記超音波発生部が超音波エネルギを発生した後に、所定の遅れ時間を持って前記電界発生部が電界を発生するように制御する制御手段と、を備えている。
【０００９】
ここで、電気粘性流体とは、外部電界の影響をうけて見かけの粘性が変化する流体であり、流体単独で電界により粘性が増加する単一相電気粘性流体と、分散媒に微粒子粉末状の分散相を均一に分散させた二相電気粘性流体とがある。電界による粘性の増加は、後者のほうが大きいため、二相電気粘性流体が液滴吐出ヘッドの液状材料として望ましい。
【００１０】
この発明１では、ノズルから液滴が吐出した後に、電界発生部の電界発生によりノズル内の自由液面の電気粘性流体の粘性を増大して自由液面の表面波を減衰していくようにしているので、液滴の吐出周期を速くすることができる。また、従来技術のように表面波を減衰するために非常に小さな径や、複雑な形状のノズルを製作するなど精密な製作が必要なく、製作コストの低減化を図ることができる。また、発明２は、発明１の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電界発生部は、前記ノズルの前記液状材料貯留室側で開口している開口部の周縁に設けたノズル側電極を備えている。
【００１１】
また、発明３は、発明１の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズルを設けた前記ケースを導電体材料で形成し、当該ケースを前記電界発生部のノズル側電極とした。
また、発明４は、発明１乃至３の何れかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記超音波発生部は、一対の電極層に交流電圧を印加することで超音波が発生する圧電素子を備えており、前記圧電素子の一方の電極層に、導電体材料からなる前記集束部を一体化することで、前記集束部を前記電界発生部の集束部側電極とした。
【００１２】
さらに、発明５は、発明１乃至３の何れかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記超音波発生部は、一対の電極層に交流電圧を印加することで超音波が発生する圧電素子を備えており、前記圧電素子の一方の電極層に、表面が導電体材料でコーティングされた前記集束部を一体化することで、前記集束部を前記電界発生部の集束部側電極とした。
【００１３】
これら発明２から発明５では、簡便な装置構成の電界発生部となるので、製作コストの低減化をさらに促進することができる。
また、発明６の液滴吐出装置は、請求項１乃至５の何れかに記載の液滴吐出ヘッドを備え、その液滴吐出ヘッドを用いて情報を記録媒体に印刷する装置である。
【００１４】
この発明６では、上述した各作用により、液滴の吐出周期の高速化を図りながら製作コストの低減化を図ることができる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明に係る液滴吐出装置の一例としてのインクジェット式プリンタの構成例を示す斜視図である。このインクジェット式プリンタは、本体１０１内に液滴吐出ヘッド１００、ヘッド駆動機構１０２、オートシートフィーダ（自動連続給紙機構）１０３が配置され、本体１０１上部後方にトレイ１０４が配設されている。
【００１６】
液滴吐出ヘッド１００は、例えばイエロー、マゼンダ、シアン、ブラックの計４色のインクカートリッジ１０５を備えており、フルカラー印刷が可能なように構成されている。そして、液滴吐出ヘッド１００のインク吐出タイミング及びヘッド駆動機構１０２の走査が、本体１０１に内蔵されている専用コントローラボード等により制御され、高精度なインクドット制御、ハーフトーン処理等が実行されるようになっている。
【００１７】
また、トレイ１０４に給紙されている記録用紙１０６は、オートシートフィーダ１０３により自動的に送り出され、本体１０１正面に設けられている排紙口１０７から排出されるようになっている。この記録用紙１０６としては、普通紙、専用紙、ＯＨＰシート、光沢紙、光沢フィルム、ラベルシート、官製はがき等が利用できる。
【００１８】
次に、図２は、第１実施形態の液滴吐出ヘッド１００を示すものであり、電気粘性流体を含有したインク（液状材料）Ｉｎｋを貯留しているインク貯留室（液状材料貯留室）４と、インク貯留室４の一部を外気Ｇに連通しているノズル６と、超音波発生部８と、音響ホーン（集束部）１０と、ノズル６内の自由液面Ｌに電界を発生させる電界発生部１２と、超音波発生部８及び電界発生部１２を制御する制御部（制御手段）１４とを備えている。
【００１９】
本実施形態のインクＩｎｋに含有されている電気粘性流体とは、外部電界の影響をうけて見かけの粘性が変化する流体である。
インク貯留室４は、互いに離間配置した支持プレート１６及び非導電体材料からなるノズルプレート（ケース）１８と、他の部材で囲まれた空間であり、所定量のインクＩｎｋが貯留されている。
【００２０】
ノズル６は、ノズルプレート１８に穿設された孔であり、インク貯留室４側で開口している開口部の内周面形状は、インク貯留室４側から外気Ｇ側に向かうに従い徐々に縮径されたテーパ面形状となっている方が好ましい。
超音波発生部８は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの素子からなる圧電素子２０と、この圧電素子２０の厚さ方向両端部に設けた一対の電極層２０ａ、２０ｂに駆動電圧を印加するための信号発生器と増幅器とからなる超音波制御部２２とを備えている。超音波制御部２２から一対の電極層２０ａ、２０ｂに駆動電圧が印加されると、圧電素子２０が電圧の極性に合わせた方向に交互に変位して振動が発生するようになっている。
【００２１】
音響ホーン１０は、ジュラルミン等の導電体材料により形成されている。円筒形状の大径部１０ａと小径部１０ｂとを同軸上に設けた形状とされており、径変化点（段部）がホーンの振動の節部（振幅ゼロの部分）となるよう設計されている。そして、支持プレート１６を貫通した小径部１０ｂがインク貯留室４のインクＩｎｋ中に入り込んだ状態で支持プレート１６に固定されると、小径部１０ｂのフラットな先端が、ノズル６のインク貯留室４側の開口部に対向した状態となる。また、大径部１０ａの底面は、前述した圧電素子２０の一対の電極層２０ａ、２０ｂのうち、一方の電極層２０ａに電導性接着剤（図示せず）を介して固着されている。なお、本実施例ではホーン形状を径の異なる円筒形状を重ねたものとしているが、これに限定するものではなく、徐々に径が細くなるもの（所謂イクスポーネンシャルホーン）でもよい。更に、ノズル先端をフラットとしているが、凹レンズ状、フレネルレンズ状としてもよい。
【００２２】
また、電界発生部１２は、ノズル側電極２４と、ホーン電極（集束部側電極）２６と、ノズル側電極２４に駆動電圧を印加する電圧印加部２８とで構成されている。
ノズル側電極２４は、ノズルプレート１８のインクＩｎｋに接触する内面と、ノズル６のインク貯留室４側の開口部内周面との領域に層状に形成したベタ電極である。また、ホーン電極２６は、前述した音響ホーン１０である。そして、電圧印加部２８によってノズル側電極２４に駆動信号を印加すると、ノズル側電極２４とホーン電極２６の先端との間の領域に電界が発生し、すなわち、ノズル６内の自由液面Ｌに電界が発生する。なお、ノズル側電極２４とホーン電極２６の先端との間の領域に電界を発生させるときは、超音波制御部２２の信号発生器（図示せず）は直流信号を出力する。
【００２３】
ここで、前述したインクＩｎｋに含有されている電気粘性流体について、さらに詳細に説明すると、流体単独で電界により粘性が増加する単一相電気粘性流体と、分散媒に微粒子粉末状の分散相を均一に分散させた二相電気粘性流体とがある。電界による粘性の増加は、後者のほうが大きいため、二相電気粘性流体が音響インクジェット式プリンタのインクＩｎｋとして望ましい。
【００２４】
二相電気粘性流体のインクＩｎｋは、主として、分散媒、分散相、色剤、界面活性剤で構成される。分散媒としては電気的に安定な誘電体の溶媒が使用できる。望ましくは固有電気抵抗が１０ｋΩｃｍ以上の油性溶媒を用いる。具体例としてはケロシン、アイソパー等の石油系脂肪属炭化水素、ｎ−ヘキサン、ｎ−ペンタン等の脂肪属炭化水素、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、シリコン油、オリーブ油、流動パラフィン、セバシン酸ブチル等を挙げることができる。分散相としては、直径０．０１〜１０μｍの固体微粒子が用いられる。具体例として、シリカゲル、澱粉、デキストリン、カーボンブラック、石膏、ゼラチン、アルミナのほか、イオン交換樹脂等の高分子重合体が挙げられる。色剤としては、一般の染料、顔料が使用でき、前述した高分子重合体を染色して用いることも可能である。界面活性剤は、分散相の分散安定生を高めるためのもので、アニオン系、イニオン系、陰イオン系、陽イオン系、フッソ系等の界面活性剤が用いられる。
【００２５】
次に、本実施形態の液滴吐出ヘッド１００の具体的な動作を説明する。
超音波制御部２２が交流信号を印加すると、圧電素子２０が変位して振動を発生する。この振動は超音波となって音響ホーン１０の大径部１０ａに入射される。そして、音響ホーン１０内部を伝播する超音波は、小径部１０ｂの先端部と大径部１０ａとの底部との間で反射を繰り返し、これら反射波と圧電素子２０からの入射波とによって共振が起きる。この共振された超音波は、音響ホーン１０の小径部１０ｂに集束され、反射による共振も手伝って小径部１０ｂの先端に向かうほど振幅が大きくなる。この増幅されながら集束された超音波エネルギがインクＩｎｋを叩き、インクＩｎｋの一部が粒状のインク滴３０となり、ノズル６から吐出する。ノズル６からインク滴３０が吐出した直後に、ノズル６内の自由液面Ｌに表面波が発生する。
【００２６】
ここで、超音波制御部２２が圧電素子２０に印加する交流信号は、ある一定の周期分（例えば１００周期）を印加した後に停止するパターンになっており（バースト駆動と称する）、前記周期分の交流信号を印加した後に、インク滴Ｉｎｋがノズル６から吐出する。
そして、制御部１４は、超音波制御部２２が圧電素子２０に交流信号を印加した情報を検出すると、所定の遅れ時間が経ってから超音波制御部２２の信号発生器から圧電素子２０に直流信号を出力し、ノズル側電極２４とホーン電極２６の先端との間に電界を発生させる。ここで、超音波制御部２２の信号発生器から直流信号を出力する理由は、電気粘性流体の粘度が上がるまでには、時定数がやや大きいので時間がかかってしまう。そのため、音響ホーン１０に超音波を入射する際と同じ周波数の交流信号を入力しても追従できず、増粘効果が期待できないので、信号発生器から直流信号を出力するのである。
【００２７】
電圧印加部２８によってノズル側電極２４に駆動信号が印加されると、ノズル側電極２４とホーン電極２６の先端との間の領域に電界が発生し、ノズル６内の自由液面Ｌにも電界が発生する。ノズル６内の自由液面Ｌに電界が発生すると、インクＩｎｋに含有されている電気粘性流体の粘性が増大する。このように自由液面Ｌの電気粘性流体の粘性が増大すると、自由液面Ｌの表面波が即座に減衰していく。
【００２８】
したがって、本実施形態の液滴吐出ヘッド１００は、ノズル６からインク滴３０が吐出した後に、ノズル側電極２４とホーン電極２６の先端との間の領域に電界が発生させてインクＩｎｋに含有されている電気粘性流体の粘性を増大させることで自由液面Ｌの表面波を即座に減衰させているので、インク滴３０の吐出周期を速くすることができ、インクジェット式プリンタの高速化を図ることができる。
【００２９】
また、本実施形態の装置は、従来技術のように表面波を減衰するために非常に小さな径のノズルを精密に製作する必要がなく、電界発生部１２の電界発生により自由液面Ｌの電気粘性流体の粘性を増大して自由液面Ｌの表面波を減衰させているので、製作コストの低減化を図ることができる。しかも、音響ホーン１０の小径部１０ｂが、電界発生部１２のホーン電極２６を兼ねているので装置構成の簡便化が図られ、製作コストの低減化をさらに促進することができる。
【００３０】
次に、図３は、第２実施形態の液滴吐出ヘッド４０を示すものである。
本実施形態の装置は、インク貯留室４を画成しているノズルプレート（ケース）４２が導電体材料で形成されており、このノズルプレート４２を、電界発生部１２のノズル側電極としている（以下、ノズル側電極４２と称する）。また、第１実施形態においてノズルプレートの内面に設けたベタ電極は、本実施形態では使用していない。そして、他の構成は、第１実施形態と同様なので説明は省略する。
【００３１】
電圧印加部２８によってノズル側電極４２に駆動信号を印加すると、ノズル側電極４２とホーン電極２６の先端との間の領域に電界が発生し、すなわち、ノズル６内の自由液面Ｌに電界が発生する。
本実施形態の液滴吐出ヘッド４０も、超音波制御部２２が駆動信号を印加すると、圧電素子２０の振動が超音波となって音響ホーン１０の大径部１０ａに入射される。そして、音響ホーン１０で共振された超音波は、音響ホーン１０の小径部１０ｂに集束されて増幅していき、集束された超音波エネルギがインクＩｎｋを叩き、インクＩｎｋの一部が粒状のインク滴３０となってノズル６から吐出する。
【００３２】
そして、ノズル６からインク滴３０が吐出した直後に、ノズル６内の自由液面Ｌに表面波が発生するが、電圧印加部２８によってノズル側電極４２に駆動信号が印加されると、ノズル側電極４２とホーン電極２６の先端との間の領域に電界が発生し、ノズル６内の自由液面Ｌにも電界が発生し、インクＩｎｋに含有されている電気粘性流体の粘性が増大して自由液面Ｌの表面波が即座に減衰していく。
【００３３】
したがって、本実施形態の液滴吐出ヘッド４０も、ノズル６からインク滴３０が吐出した後に、ノズル側電極４２とホーン電極２６の先端との間の領域に電界が発生させてインクＩｎｋに含有されている電気粘性流体の粘性を増大させることで自由液面Ｌの表面波が即座に減衰し、インク滴３０の吐出周期を速くすることができ、プリンタの高速化を図ることができる。また、本実施形態の装置も、製作コストの低減化を促進することができる。
【００３４】
さらに、図４は、第３実施形態の液滴吐出ヘッド６０を示すものである。
本実施形態の音響ホーン５０は、非導電体材料により形成されており、円筒形状の大径部５０ａと小径部５０ｂとを同軸上に設けた形状とされているとともに、表面全域または一部に導電体材料のコーティング層５２を設けた部材である。また、他の構成は、第１実施形態と同様なので説明は省略する。
【００３５】
これにより、本実施形態の電界発生部１２を構成しているホーン電極５４は、表面に導電体材料のコーティング層５２を設けた音響ホーン５０である。
そして、電圧印加部２８によってノズル側電極２４に駆動信号を印加すると、ノズル側電極２４とホーン電極５４の先端との間の領域に電界が発生し、すなわち、ノズル６内の自由液面Ｌに電界が発生する。
【００３６】
本実施形態の液滴吐出ヘッド６０も、超音波制御部２２が駆動信号を印加すると、圧電素子２０の振動が超音波となって音響ホーン５０の大径部５０ａに入射される。そして、音響ホーン５０で共振された超音波は、音響ホーン５０の小径部５０ｂに集束されて増幅していき、集束された超音波エネルギがインクＩｎｋを叩き、インクＩｎｋの一部が粒状のインク滴３０となってノズル６から吐出する。
【００３７】
そして、ノズル６からインク滴３０が吐出した直後に、ノズル６内の自由液面Ｌに表面波が発生するが、電圧印加部２８によってノズル側電極２４に駆動信号が印加されると、ノズル側電極２４とホーン電極５４の先端との間の領域に電界が発生し、ノズル６内の自由液面Ｌにも電界が発生し、インクＩｎｋに含有されている電気粘性流体の粘性が増大して自由液面Ｌの表面波が即座に減衰していく。
【００３８】
したがって、本実施形態の液滴吐出ヘッド６０も、ノズル６からインク滴３０が吐出した後に、ノズル側電極２４とホーン電極５４の先端との間の領域に電界を発生させてインクＩｎｋに含有されている電気粘性流体の粘性を増大させることで自由液面Ｌの表面波が即座に減衰し、インク滴３０の吐出周期を速くすることができ、プリンタの高速化を図ることができる。
【００３９】
また、本実施形態の装置も、製作コストの低減化を促進することができる。
なお、第２実施形態の装置のホーン電極２６を、第３実施形態の装置のホーン電極５４に替えて使用しても、第２実施形態と同様の作用効果を奏することができる。また、第３実施形態の装置のノズル側電極２４を、第２実施形態の装置のノズル側電極４２に替えて使用しても、第３実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００４０】
また、第１実施形態〜第３実施形態において、超音波エネルギの集束手段として音響ホーンを例示した。超音波エネルギの集束手段は、凹面レンズまたはフレネルレンズを用いた集束手段でも実現可能であり、また圧電素子そのものを凹面状とし集束手段とすることでも実現可能であることは明白であるが、音響ホーンを用いた方が電極間の距離（本発明の各実施形態ではノズルと音響ホーン先端の間）を小さく出来る。そのため、低い電圧でも十分な電界を形成できるのでより効果的である。
【００４１】
また、各実施形態では、インクジェット式プリンタについて説明したが、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、インクに代えて種々の液状材料を吐出するよう構成することにより、例えば液晶装置、半導体装置、有機ＥＬ装置等の製造におけるパターンニングを伴う製膜に用いられる製膜装置や、電気・電子回路の導電配線パターンの形成に用いられる製膜装置に応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液滴吐出装置の一例であるインクジェット式プリンタを示す斜視図である。
【図２】本発明に係る第１実施形態の液滴吐出ヘッドを示す図である。
【図３】本発明に係る第２実施形態の液滴吐出ヘッドを示す図である。
【図４】本発明に係る第３実施形態の液滴吐出ヘッドを示す図である。
【符号の説明】
４…インク貯留室（液状材料貯留室）、６…ノズル、８…超音波発生部、１０，５０…音響ホーン（集束部）、１０ａ，５０ａ…大径部、１０ｂ，５０ｂ…小径部、１２…電界発生部、１４…制御部（制御手段）、１８…ノズルプレート（ケース）、２０…圧電素子、２０ａ，２０ｂ…電極層、２２…超音波制御部、２４、４２…ノズル側電極、２６、５４…ホーン電極（集束部側電極）、２８…電圧印加部、３０…インク滴（液滴）、５２…コーティング層、１００，４０，６０…液滴吐出ヘッド、Ｇ…外気、Ｉｎｋ…インク（液状材料）、Ｌ…自由液面
【図１】
2004181780.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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