(57)【要約】【課題】加圧液室形成部材が小さく、かつ、インク滴吐出特性が良い高性能の液滴吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッドの加圧液室部３０２を形成する加圧液室形成部材１０３がシリコンからなっており、加圧液室形成部材１０３の厚さ方向に、加圧液室部３０２とノズルとを連通する貫通穴３０３と、各チャンネル共通の液溜め部３０１と加圧液室部３０２とを連通する貫通穴３０４とを備え、貫通穴３０４が貫通穴３０３よりも断面積が小さい。また、ノズル板接合面に垂直な方向から透視して、液溜め部３０１と加圧液室部３０２とが少なくとも一部重なっているか、逆に、全く重なっていない。また、液溜め部３０１への液体供給を加圧液室部３０２の並び方向と直交する辺側より行っても良く、液溜め部３０１から加圧液室部３０２を経由せずにノズルへ液体を供給する流路を形成しても良い。また、ノズルを形成するノズル板に樹脂を使用しても良い。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルが連通する加圧液室と該加圧液室の液体を加圧する圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記加圧液室を形成する加圧液室形成部材がシリコンにて形成されており、該加圧液室形成部材の厚さ方向に、前記加圧液室と前記ノズルとを連通する貫通穴と該貫通穴よりも断面積の小さい貫通穴とが形成されていることを特徴とした液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記加圧液室形成部材には、各チャンネル共通の液溜め部が形成されていることを特徴とした請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
ノズル板接合面から該ノズル板接合面に垂直な方向に透視した際に、各チャンネル共通の液溜め部と前記加圧液室とが少なくとも一部重なっていることを特徴とした請求項１あるいは請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
ノズル板接合面から該ノズル板接合面に垂直な方向に透視した際に、各チャンネル共通の液溜め部と前記加圧液室とが重なっていないことを特徴とした請求項１あるいは請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
各チャンネル共通の液溜め部への液体供給を前記加圧液室の並び方向と直交する前記加圧液室形成部材の辺側より行うことを特徴とした請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
各チャンネル共通の液溜め部から前記加圧液室を経由せずに前記ノズルへ液体を供給する液体流路を形成することを特徴とした請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
ノズル板に樹脂を使用することを特徴とした請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
少なくとも前記加圧液室の壁面には酸化膜または窒化チタン膜が成膜されており、前記加圧液室形成部材の振動板接合面とノズル板接合面との両面またはいずれかの片面に不純物導入を行うことを特徴とした請求項１乃至７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧液室形成部材を深堀（貫通含む）ドライエッチングのみで形成する、あるいは、該深堀（貫通含む）ドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成することを特徴とした液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧液室形成部材を深堀（貫通含む）ドライエッチングのみで形成する、あるいは、該深堀（貫通含む）ドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際、前記異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン酸化膜及びシリコン窒化膜の積層膜を使用することを特徴とした液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧液室形成部材を深堀（貫通含む）ドライエッチングのみで形成する、あるいは、該深堀（貫通含む）ドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際、前記異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン酸化膜を使用することを特徴とした液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧液室形成部材を深堀（貫通含む）ドライエッチングのみで形成する、あるいは、該深堀（貫通含む）ドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際、前記異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン窒化膜を使用することを特徴とした液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと該液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクとを一体化した液体カートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とした液体カートリッジ。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド又は請求項１３記載の液体カートリッジを使用することを特徴とした液滴吐出式記録装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の液滴吐出式記録装置の製造を行う際に、該液滴吐出式記録装置に使用される液滴吐出ヘッドが、請求項９乃至請求項１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法を用いて製造されることを特徴とした液滴吐出式記録装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出ヘッドおよびその製造方法、液体カートリッジ、液滴吐出式記録装置およびその製造方法に関し、結晶方位を有するシリコン単結晶基板に微細な形状を形成するための加工形状および加工技術、特に、液滴吐出式記録ヘッドに使用する加圧液室部を構成するシリコン単結晶基板の加工形状および加工技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
以下に、本発明に関連した従来技術を示す。
特許文献１：特開２０００−６４０２号公報（セイコーエプソン株式会社）
ノズル開口に連通する複数の圧力発生室と該圧力発生室に対応する領域に少なくとも下電極、圧電体層、上電極を含む圧電素子を形成したインクジェット式記録ヘッドにおいて、外部からインクが供給されるインク供給口に連通される連通部と前記圧力発生室とが当該圧力発生室の幅よりも狭い幅を有する部分を介して連通され、前記圧力発生室の前記幅の狭い部分の端部近傍にその幅が徐々に狭くなる部分を設け圧電体層の破壊等を防止することを特徴とする技術である。
【０００３】
特許文献２：特開平２００１−２７０１０３号公報（セイコーエプソン株式会社）
ノズル列方向に細長い共通インク室をインク種類に対応させて複数形成したリザーバープレートと、共通インク室と圧力室との間を連通する枝流路をノズル開口に対応させて複数形成した枝流路プレートとを少なくとも備え、枝流路プレートには、圧力室に連通される共通インク室が相違する複数種類の枝流路を形成し、この枝流路によって隣り合うノズル開口を異なる共通インク室に連通させることを特徴とする技術である。前記圧力室と枝流路との間、および、前記圧力室と共通インク室との間の少なくとも一方に加圧液室厚さ方向の流体抵抗が形成されていることも可能とされている。
【０００４】
特許文献３：特開平７−１２５１９８号公報（セイコーエプソン株式会社）
ノズル開口の各々と連通する圧力発生室と、圧力発生室にインクを供給するための共通のインク室と、圧力発生室と共通のインク室と接続するインク供給口とを形成する流路形成基板のインク供給口にインク滴吐出性能を支配する最狭部を有し、ここから複数の段差部を経由して圧力発生室に向けて拡開するよう構成して、流体抵抗を変化させることなく長さをかせいで、インク供給口近傍の接着面積を拡大することを特徴とする技術である。
【０００５】
特許文献４：特開２０００−８５１２１号公報（株式会社リコー）
吐出室および共通インク室を結晶面方位（１１０）のシリコン基板で形成し、このシリコン基板上に（−１００）方向の流体抵抗部となる溝を異方性エッチングで形成したことを特徴とした技術である。ここで、加圧液室形成部材にシリコンを使用しているが、流体抵抗部は加圧液室形成部材の厚さ方向ではなく、加圧液室と同じ面内に形成されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−６４０２号公報
【特許文献２】
特開平２００１−２７０１０３号公報
【特許文献３】
特開平７−１２５１９８号公報
【特許文献４】
特開２０００−８５１２１号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
液滴吐出ヘッドとしては、例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド、インクを液滴として吐出する液滴吐出ヘッド等がある。この中で、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いられるインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、該ノズルが連通する加圧液室（インク流路、吐出室、圧力室、流路とも称される。）と、該加圧液室内のインクを加圧するための駆動手段（圧力発生手段）とを備えたインクジェットヘッドを液滴吐出ヘッドとして搭載したものである。以下では、かくのごときインクジェットヘッドを中心に説明をする。
【０００８】
インクジェットヘッドとしては、駆動手段が圧電素子であるもの（例えば、特公平２−５１７３４号公報）や、インクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインクを吐出させる方法（例えば、特公昭６１−５９９１１号公報）、駆動手段に静電気力を利用したもの（例えば、特開平５−５０６０１号公報）などがある。
インクジェットヘッドは、記録媒体上のドットをインク滴により形成する関係上、インク滴のサイズを小さくすることにより、極めて高い解像度での記録、印刷が可能である。しかしながら、効率よく記録するためには、インク開口の数を多くする必要があり、また、圧力発生手段（圧電素子、熱、静電気）のエネルギーを効率よく使用するためには、圧力室（加圧液室）を大きくする必要がある。かくのごとき要求は、インクジェットヘッドの小型化要請とは相反することである。このような相反する問題を解消するために、通常、隣り合う圧力室を区画している壁（隔壁）を薄くすると共に、圧力室の形状を長手方向に大きくして容積を稼ぐことが行われている。
【０００９】
このような加圧液室や該加圧液室へインクを供給するための各チャンネル共通の液溜め部は、振動板とノズルプレートの間隔を所定の値に保持する部材である加圧液室形成部材により形成されているが、前述したように極めて小さく、しかも、複雑な形状を備えた加圧液室を形成する必要上、通常、エッチング技術が使用されている。このような加圧液室形成部材を形成する材料としては、例えば、特開２０００−３１８１６７号公報、特開平０６−０４７９１７号公報、特開平０７−０６８７６２号公報に示されているように、感光性樹脂膜が使用されることが多い。加圧液室形成部材として感光性樹脂膜を使用することにより、高密度の液滴吐出ヘッドを形成することが可能となり、高速高画質の画像を得ることができる。しかしながら、感光性樹脂の場合は、剛性が低く、高密度にした場合には、隣接した加圧液室との干渉（クロストーク）が生じてしまうという不具合がある。
【００１０】
かくのごとき問題から、例えば、特開２０００−２４４０３１号公報、特開平１１−２９８０６２号公報、特開平１１−３０７８３２号公報に示されているように、加圧液室の形成にＮｉ電鋳やＳＵＳ（Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｕｓｅ  Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  ｓｔｅｅｌ）のプレス加工といった金属を使用することも行われている。剛性の高い金属を使用することにより、感光性樹脂膜を使用した場合に生じた加圧液室形成部材の剛性不足によるクロストークの問題は解決することが可能となる。
【００１１】
しかしながら、金属を使用する場合、例えば、ＳＵＳのプレス加工においては、高密度に加工ができないといった問題がある。また、Ｎｉ電鋳の場合は、剛性を高めるために厚い電鋳層を形成しなければいけないが、厚い電鋳層形成のためには、高アスペクトで、レジストをパターニングする必要があり、これもまた高密度化には不利である。また、電鋳層形成時においてパターンが形成される箇所とされない箇所との電流密度が異なるために、電鋳厚さのばらつきが生じるが、膜厚を厚く形成することにより、この膜厚のばらつきが大きくなり、加圧液室形成部材とノズル、あるいは、他の部材との接合時に接合不良を起こしてしまうという問題が生じる。
【００１２】
そこで、比較的簡単な手法で微細な形状を高い精度で加工が可能なシリコン単結晶基板の異方性エッチングを用いた部品製作技術、いわゆるマイクロマシニング技術を適用してインクジェット式記録ヘッドを構成するための部材を加工することが検討され、種々の技術や手法が提案されている。特に、結晶面方位（１１０）の単結晶シリコン基板を加圧液室形成部材に用いて、異方性エッチングを行い、加圧液室や各チャンネル共通の液溜め部を形成することが提案されている。単結晶シリコン基板を使用した加圧液室形成部材は機械的剛性が高いため、圧力発生時に懸念されるインクジェット式記録ヘッド全体のたわみを小さくできるとともに、エッチングを受けた壁面が表面に対してほぼ垂直であるため、各チャンネルの加圧液室を均一に構成することが可能であるという大きな利点を備えている。
【００１３】
前述のような単結晶シリコン基板を用いる方法によって形成された加圧液室形成部材には、効率的かつ安定なインク吐出を行うために、加圧液室あるいは加圧液室とノズルとを連通する貫通穴よりも断面積の小さなインク流路が形成されている。該加圧液室あるいは加圧液室とノズルとを連通する貫通穴よりも断面積の小さなインク流路のインク流動時の流体抵抗値はインク吐出特性に大きく影響するため、前記インク流路のインク流動時の流体抵抗値のばらつきを小さく抑える必要がある。そこで、各チャンネル間のインク流動時の流体抵抗値のばらつきを小さくするために、前記インク流路の長さをある程度長く設計して相対的に流体抵抗値のばらつきを抑える必要がある。ところが、該インク流路の長さを長くした場合には、加圧液室形成部材の加圧液室の並び方向と直交する辺の長さが長くなり、加圧液室形成部材の大きさが大きくなってしまい、シリコンウェーハからの取れ数減少によるコストアップが懸念される。
【００１４】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、加圧液室形成部材には結晶面方位（１１０）の単結晶シリコンを使用しており、効率的かつ安定なインク吐出を行うために、加圧液室あるいは加圧液室とノズルとを連通する貫通穴よりも断面積の小さなインク流路を加圧液室形成部材の厚さ方向に形成し、かつ、該インク流路を加圧液室形成部材の厚さ方向に形成することにより、加圧液室形成部材の大きさを小さくすることを可能とし、もって、加圧液室形成部材更には液滴吐出ヘッドのコストダウンを行うことを目的としている。また、シリコン基板の厚さ方向へ該インク流路を形成することにより、該インク流路の壁面を（１１１）面にて規定することが可能となり、寸法制御性も優れた加圧液室形成部材を形成し、インク滴吐出特性のばらつきが少ない高性能の液滴吐出ヘッドおよびその製造方法、該液滴吐出ヘッドを搭載した液体カートリッジ、該液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出式記録装置およびその製造方法を提供することを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、液滴を吐出するノズルが連通する加圧液室と該加圧液室の液体を加圧する圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記加圧液室を形成する加圧液室形成部材がシリコンにて形成されており、該加圧液室形成部材の厚さ方向に、前記加圧液室と前記ノズルとを連通する貫通穴と該貫通穴よりも断面積の小さい貫通穴とが形成されている液滴吐出ヘッドとすることを特徴としたものである。
【００１６】
第２の発明は、前記第１の発明に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記加圧液室形成部材には、各チャンネル共通の液溜め部が形成されている液滴吐出ヘッドとすることを特徴としたものである。
【００１７】
第３の発明は、前記第１あるいは第２の発明に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル板接合面から該ノズル板接合面に垂直な方向に透視した際に、各チャンネル共通の液溜め部と前記加圧液室とが少なくとも一部重なっている液滴吐出ヘッドとすることを特徴としたものである。
【００１８】
第４の発明は、前記第１あるいは第２の発明に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル板接合面から該ノズル板接合面に垂直な方向に透視した際に、各チャンネル共通の液溜め部と前記加圧液室とが重なっていない液滴吐出ヘッドとすることを特徴としたものである。
【００１９】
第５の発明は、前記第１乃至第４の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて各チャンネル共通の液溜め部への液体供給を前記加圧液室の並び方向と直交する前記加圧液室形成部材の辺側より行う液滴吐出ヘッドとすることを特徴としたものである。
【００２０】
第６の発明は、前記第１乃至第５の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、各チャンネル共通の液溜め部から前記加圧液室を経由せずに前記ノズルへ液体を供給する液体流路を形成する液滴吐出ヘッドとすることを特徴としたものである。
【００２１】
第７の発明は、前記第１乃至第６の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル板に樹脂を使用する液滴吐出ヘッドとすることを特徴としたものである。
【００２２】
第８の発明は、前記第１乃至第７の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、少なくとも前記加圧液室の壁面には酸化膜または窒化チタン膜が成膜されており、前記加圧液室形成部材の振動板接合面とノズル板接合面との両面またはいずれかの片面に不純物導入を行う液滴吐出ヘッドとすることを特徴としたものである。
【００２３】
第９の発明は、前記第１乃至第８の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧液室形成部材を深堀（貫通含む）ドライエッチングのみで形成する、あるいは、該深堀（貫通含む）ドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する液滴吐出ヘッドの製造方法とすることを特徴としたものである。
【００２４】
第１０の発明は、前記第１乃至第８の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧液室形成部材を深堀（貫通含む）ドライエッチングのみで形成する、あるいは、該深堀（貫通含む）ドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際、前記異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン酸化膜及びシリコン窒化膜の積層膜を使用する液滴吐出ヘッドの製造方法とすることを特徴としたものである。
【００２５】
第１１の発明は、前記第１乃至第８の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧液室形成部材を深堀（貫通含む）ドライエッチングのみで形成する、あるいは、該深堀（貫通含む）ドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際、前記異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン酸化膜を使用する液滴吐出ヘッドの製造方法とすることを特徴としたものである。
【００２６】
第１２の発明は、前記第１乃至第８の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧液室形成部材を深堀（貫通含む）ドライエッチングのみで形成する、あるいは、該深堀（貫通含む）ドライエッチングと異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際、前記異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン窒化膜を使用する液滴吐出ヘッドの製造方法とすることを特徴としたものである。
【００２７】
第１３の発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと該液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクとを一体化した液体カートリッジにおいて、前記液滴吐出ヘッドが前記第１乃至第８の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドである液体カートリッジとすることを特徴としたものである。
【００２８】
第１４の発明は、前記第１乃至第８の発明のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド又は前記第１３の発明に記載の液体カートリッジを使用する液滴吐出式記録装置とすることを特徴としたものである。
【００２９】
第１５の発明は、前記第１４の発明に記載の液滴吐出式記録装置の製造を行う際に、該液滴吐出式記録装置に使用される液滴吐出ヘッドが、請求項９乃至請求項１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法を用いて製造される液滴吐出式記録装置の製造方法とすることを特徴としたものである。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る液滴吐出ヘッドおよびその製造方法、液体カートリッジ、液滴吐出式記録装置およびその製造方法の実施の形態について、本発明に係る液滴吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドを例にとって図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドの構成を分解して示した分解構成図である。
図１では、ノズル板１０１、加圧液室形成部材１０３、振動板１０８、および、アクチュエータ部１１２の各部品にそれぞれ分解して示している。ここで、図１に示す本構成では、圧力発生手段であるアクチュエータ部１１２として圧電素子から構成される例を示しているが、静電力を圧力発生手段としたもの、熱エネルギーを圧力発生手段としたものを使用してもかまわない。
【００３１】
ノズル板１０１には、インク滴を飛翔させるための微細孔である多数のノズル１０２を各加圧液室の先端部分に対応して形成されており、このノズル１０２の径は２０−３５μｍである。このノズル板１０１は例えば樹脂フィルムを用いている。樹脂フィルムの表面には撥水性のフッ素系膜を形成し、ノズル板１０１表面に付着したインクを除去するためのワイピング時に、前記フッ素系膜が剥離しないように、ＳｉＯ２粒子を表面に付着させて耐久性を向上している。ノズル１０２はレーザにてノズル板１０１の開口を行っている。ノズル板１０１として樹脂フィルムを使用することにより、各チャンネル共通の液溜め部上のノズル板１０１がダンパーとしての役目を果たす。このため、クロストークのないインクジェットヘッド即ち液滴吐出ヘッドの形成が可能となる。
ノズル板１０１としては、前述の樹脂フィルムの他に、シリコンや電鋳工法によって製造したＮｉの金属プレート、その他の金属材料を用いることもできる。
【００３２】
加圧液室形成部材１０３は、単結晶シリコン基板で形成されており、該単結晶シリコン基板の面方位は（１１０）を使用している。面方位（１１０）のシリコン基板を使用して、アルカリによるウェットエッチングを行う場合には、ノズル１０２のピッチ方向に対して垂直に加圧液室を形成することができるため、微細化、狭ピッチ化に有利となる。該加圧液室形成部材１０３により加圧液室１０４が形成されている。また、ノズル面側には、各チャンネル共通の液溜め部１０７が形成されている。また、加圧液室１０４とノズル１０２とを連通する貫通穴１０５、各チャンネル共通の液溜め部１０７から加圧液室１０４へ連通する貫通穴１０６が形成されている。
【００３３】
各ノズル１０２へ連通する貫通穴１０５、各チャンネル共通の液溜め部１０７から加圧液室１０４へ連通する貫通穴１０６は、例えばドライエッチングによる深堀と異方性エッチングとにより形成されている。異方性エッチングを行うエッチング液としてはＫＯＨ水溶液、ＴＭＡＨ液等が使用できる。加圧液室１０４、各チャンネル共通の液溜め部１０７の加工方法としては、ＩＣＰドライエッチングを利用した異方性エッチングを使用しても良い。
【００３４】
ドライエッチングにて形成する場合は、面方位（１１０）シリコン基板を使用する必要はなく、面方位（１００）シリコン基板を使用しても構わない。コスト面では、面方位（１００）シリコン基板を使用する方がメリットは高い。
また、該加圧液室形成部材１０３の表面には酸化膜が形成されている。酸化膜が形成されていることで、インクに対して溶出しにくく、また、濡れ性も向上するため、気泡の滞留が生じにくい構造となる。なお、加圧液室形成部材１０３の表面に形成される膜は、酸化膜に限らず、窒化チタン（ＴｉＮ）膜、または、ポリイミド膜でもかまわない。
【００３５】
振動板１０８は、例えばＮｉ電鋳工法で形成した金属プレートからなり、この振動板１０８の振動機能部は、アクチュエータ部１１２を形成する圧電素子内の非駆動部に接合する梁部１０９と、該圧電素子内の駆動部と接合する島状凸部１１０と、この島状凸部１１０の周囲に形成した厚み２−１０μｍ程度の最薄膜部分のダイヤフラム領域１１１とからなる。
【００３６】
アクチュエータ部１１２は、セラミックス基板例えばチタン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶縁性の基板上に電気機械変換素子である複数の積層型圧電素子を列状に２列配列して接合し、これら２列の各圧電素子をダイシングにより切断を行っている。なお、各列の複数の圧電素子はチャンネル方向で駆動波形を印加する駆動部１１３と駆動波形を印加しない非駆動部１１４とを交互に構成している。
【００３７】
ここで、圧電素子は厚さ１０−５０μｍ／層のチタン酸ジルコン酸（ＰＺＴ）と厚さ数μｍ／層の銀パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極とを交互に積層したものである。圧電素子を厚さ１０−５０μｍ／層の積層型とすることによって低電圧駆動を可能としている。なお、電気機械変換素子としてはＰＺＴに限られるものではない。そして、この圧電素子の内部電極を交互に端面に取り出して端面電極とし、一方、基板上に形成した共通電極パターンおよび個別電極パターンを駆動部１１３となる圧電素子の端面電極に導電性接着剤等を介して電気的に接続し、共通電極パターンおよび共通電極パターンに接続したＦＰＣケーブルを介してＰＣＢ基板と接続して駆動部１１３に駆動波形を印加することによって、圧電素子の積層方向に伸びの変位を発生させる。
【００３８】
図２には、図１に示すアクチュエータ部１１２の代わりに、圧力発生手段として静電気力を使用している場合のインクジェットヘッドの構成を分解して示している。図２において、ノズル板１０１、加圧液室形成部材１０３は、図１の分解構成図と同じである。静電気力を圧力発生手段として使用したアクチュエータ部２０１はシリコン基板上に形成されており、振動板２０２、下部電極（図示していない）、電極取り出し口２０３が形成されている。電極取り出し口２０３は、加圧液室１０４の並び方向に平行に形成されている。一般に、加圧液室形成部材１０３の加圧液室１０４の並び方向に垂直な方向の長さが長くなった場合には、それに併せて、アクチュエータ部２０１の面積も大きくする必要が出てくる。図２に示すような構成とすることにより、加圧液室１０４の並び方向に垂直な方向の長さを短くすることができ、インクジェットヘッド全体の面積を小さくすることが可能となる。
【００３９】
図３は、図１又は図２に示すインクジェットヘッドの加圧液室形成部材の構成例を示す構成図であり、図３（Ａ），（Ｂ）に加圧液室形成部材１０３の上面図を、また、図３（Ｃ）に加圧液室形成部材１０３の断面図を示している。ここで、図３（Ａ）は図１に示すノズル板１０１接合面、図３（Ｂ）は振動板１０８接合面を示している。図中、３０１は、各チャンネル共通の液溜め部、３０２は、加圧液室部を示している。また、加圧液室形成部材１０３には、加圧液室形成部材１０３の厚さ方向に貫通穴が各チャンネルに２箇所形成されている。一つは加圧液室部３０２（図１、図２に示す加圧液室１０４）から図１に示すノズル１０２へ連通する貫通穴３０３（図１、図２に示す貫通穴１０５）であり、もう一つは各チャンネル共通の液溜め部３０１（図１、図２に示す液溜め部１０７）から加圧液室部３０２へ連通する貫通穴３０４（図１、図２に示す貫通穴１０６）である。
【００４０】
各チャンネル共通の液溜め部３０１から加圧液室部３０２へ連通する貫通穴３０４は、加圧液室部３０２からノズル１０２へ連通する貫通穴３０３よりも断面積が小さく形成されており、この貫通穴３０４を形成することにより液滴を効率的にまた安定して吐出することが可能となっている。
従来、この貫通穴３０４の役割となる部位は、加圧液室形成部材をシリコンで形成する場合には、加圧液室部と同一面に形成されていたが、図３に示す本発明のように、貫通穴３０４とすることにより、加圧液室形成部材１０３の面積を小さくすることが可能となる。
【００４１】
また、各チャンネル共通の液溜め部３０１へのインク流入は、インク流入口３０５より行われる。各チャンネル共通の液溜め部３０１へのインク流入を加圧液室部３０２の並び方向と垂直な辺側から行うことにより、加圧液室部３０２の並び方向と垂直な辺の長さを短くすることが可能となる。特に、図２に示すような静電力を圧力発生手段として使用するアクチュエータ部２０１を使用して、加圧液室部３０２（図２に示す加圧液室１０４）の並び方向と平行な辺側に下部電極と電極取り出し口２０３とを形成することにより、インクジェットヘッド全体の大きさを小さくすることが可能となる。
【００４２】
また、図４は、図１又は図２に示すインクジェットヘッドの加圧液室形成部材の別の構成例を示す構成図であり、図４（Ａ），（Ｂ）に加圧液室形成部材１０３の上面図を、また、図４（Ｃ）に加圧液室形成部材１０３の断面図を示している。ここで、図４（Ａ）は図１に示すノズル板１０１接合面、図４（Ｂ）は振動板１０８接合面を示している。図中、４０１は、各チャンネル共通の液溜め部、４０２は、加圧液室部を示している。また、加圧液室形成部材１０３には、加圧液室形成部材１０３の厚さ方向に貫通穴が各チャンネルに２箇所形成されている。一つは加圧液室部４０２（図１、図２に示す加圧液室１０４）から図１に示すノズル１０２へ連通する貫通穴４０３（図１、図２に示す貫通穴１０５）であり、もう一つは各チャンネル共通の液溜め部４０１（図１、図２に示す液溜め部１０７）から加圧液室部４０２へ連通する貫通穴４０４（図１、図２に示す貫通穴１０６）である。
【００４３】
各チャンネル共通の液溜め部４０１から加圧液室部４０２へ連通する貫通穴４０４は、加圧液室部４０２からノズル１０２へ連通する貫通穴４０３よりも断面積が小さく形成されており、この貫通穴４０４を形成することにより液滴を効率的にまた安定して吐出することが可能となっている。
また、各チャンネル共通の液溜め部４０１は、加圧液室部４０２を経由せずに、直接ノズル１０２へ液体を供給できるような構造となっている。かかる構造とすることにより、チャンネルの高密度化、吐出周波数の高速化に伴って発生するノズル１０２へのインク供給不足の問題を解決することが可能となる。
【００４４】
また、図５は、図１又は図２に示すインクジェットヘッドの加圧液室形成部材の更に異なる構成例を示す構成図であり、図５（Ａ），（Ｂ）に加圧液室形成部材１０３の上面図を、また、図５（Ｃ）に加圧液室形成部材１０３の断面図を示している。ここで、図５（Ａ）は図１に示すノズル板１０１接合面、図５（Ｂ）は振動板１０８接合面を示している。図中、５０１は、各チャンネル共通の液溜め部、５０２は、加圧液室部を示している。また、加圧液室形成部材１０３には、加圧液室形成部材１０３の厚さ方向に貫通穴が各チャンネルに２箇所形成されている。一つは加圧液室部５０２（図１、図２に示す加圧液室１０４）から図１に示すノズル１０２へ連通する貫通穴５０３（図１、図２に示す貫通穴１０５）であり、もう一つは各チャンネル共通の液溜め部５０１（図１、図２に示す液溜め部１０７）から加圧液室部５０２へ連通する貫通穴５０４（図１、図２に示す貫通穴１０６）である。
【００４５】
各チャンネル共通の液溜め部５０１から加圧液室部５０２へ連通する貫通穴５０４は、加圧液室部５０２からノズル１０２へ連通する貫通穴５０３よりも断面積が小さく形成されており、この貫通穴５０４を形成することにより液滴を効率的にまた安定して吐出することが可能となっている。
また、ノズル板１０１接合面からの平面図（透視図）即ちノズル板１０１接合面に垂直な方向に透視した際においては、各チャンネル共通の液溜め部５０１と加圧液室部５０２とが重なっていない構成となっている。このような構成にすることにより、加圧液室形成部材１０３の強度を強く保つことが可能となる。なお、各チャンネル共通の液溜め部５０１へのインク供給は加圧液室部５０２（図１、図２に示す加圧液室１０４）の並び方向と垂直な辺側より行っても良いし、加圧液室部５０２の並び方向と平行な辺側より行っても構わない。
【００４６】
以下に、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造工程の実施例について示す。なお、以下の実施例では、本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法についても詳細に説明を行う。
図６は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの加圧液室形成部材の製造工程を示したものである。
まず、図６（Ａ）に示すように、厚さ４００μｍの面方位（１１０）のシリコン基板６０１を用意し、厚さ１．０μｍのシリコン酸化膜６０２、厚さ０．１５μｍのシリコン窒化膜６０３を形成した。使用するシリコンウェーハの種類は両面研磨ウェーハ、両面未研磨ウェーハ、片面未研磨ウェーハのどのウェーハを使用しても構わない。また、比抵抗も揃っている必要は無く、例えば、本実施例では、比抵抗０．１−１００Ωｃｍの範囲にあるウェーハを使用している。
【００４７】
次に、図６（Ｂ）に示すように、ノズル板接合面側に加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン６０４と、各チャンネル共通の液溜め部パターン６０５と、ノズル板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン６０６との形状にレジストのパターニングを行い、その後、シリコン窒化膜６０３に対してドライエッチングにてパターニングを行った。
次に、図６（Ｃ）に示すように、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン６０７と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン６０８との形状に、シリコン酸化膜６０２のパターニングを行った。
【００４８】
次に、図６（Ｄ）に示すように、振動板接合面側の加圧液室パターン６０９と振動板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン６１０との形状にレジストのパターニングおよびシリコン窒化膜６０３のみのパターニングを行った。
次に、図６（Ｅ）に示すように、振動板接合面側に加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン６１１と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン６１２との形状に、シリコン酸化膜６０２のパターニングを行った。
【００４９】
次に、図６（Ｆ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングのためのレジスト６１３のマスク形成を行った。この際のレジスト６１３の膜厚は８μｍにて行った。本実施例では、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングをノズル板接合面側より行っている。その後、ＩＣＰドライエッチャーを使用して加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン６１４と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン６１５との形状に、シリコン基板６０１のパターニングを行った。
【００５０】
その後、図６（Ｇ）に示すように、レジスト６１３を除去して、水酸化カリウム水溶液により、シリコン基板６０１の異方性エッチングを行い、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン６１６、及び、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン６１７の貫通を行った。
次に、図６（Ｈ）に示すように、加圧液室部６１８、各チャンネル共通の液溜め部６１９、および、ノズル板接合時／振動板接合時の肉抜き部６２０の形状に、ウェットエッチングにてシリコン酸化膜６０２の除去を行った。
【００５１】
その後、図６（Ｉ）に示すように、加圧液室部６２１、各チャンネル共通の液溜め部６２２、余剰接着剤吸収用の肉抜き部６２３を形成した。なお、加圧液室部６２１等の形成時におけるシリコン基板６０１の異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液濃度３０％、処理温度８５℃で行った。
【００５２】
最後に、図６（Ｊ）に示すように、シリコン窒化膜６０３／シリコン酸化膜６０２の除去を行い、その後、耐インク接液膜として、シリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成し、更に、ＰＨ３を６０ＫｅＶ，１Ｅ１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ２の条件にて不純物として注入した。このように不純物注入を実施することにより、加圧液室形成部材の酸化膜形成時の酸化膜応力起因による反りを低減することが可能となる。
【００５３】
図６に示す製造方法においては、図６（Ｇ）に示すように、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン６１６と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン６１７とを加圧液室形成部材の厚さ方向に形成している。ここで、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン６１７は、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン６１６よりも断面積が小さく、液体流動時の流体抵抗が大きくなっている。かくのごとき流体抵抗部を設けることにより、液滴吐出を、効率的に、かつ、安定して行うことが可能となる。更に、前記流体抵抗部を加圧液室形成部材の厚さ方向に形成しているため、加圧液室形成部材の面積を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。
【００５４】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドの異なる製造方法について説明する。
図７は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの加圧液室形成部材の図６とは異なる製造工程を示したものである。
まず、図７（Ａ）に示すように、厚さ４００μｍの面方位（１１０）のシリコン基板７０１を用意し、厚さ１．０μｍのシリコン酸化膜７０２を形成した。使用するシリコンウェーハの種類は両面研磨ウェーハ、両面未研磨ウェーハ、片面未研磨ウェーハのどのウェーハを使用しても構わない。また、比抵抗も揃っている必要は無く、例えば、本実施例では、比抵抗０．１−１００Ωｃｍの範囲にあるウェーハを使用している。
【００５５】
次に、図７（Ｂ）に示すように、ノズル板接合面側に加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン７０３と、各チャンネル共通の液溜め部パターン７０４と、ノズル板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン７０５との形状にレジストのパターニングを行い、その後、シリコン酸化膜７０２に対してドライエッチングにてパターニングを行った。
【００５６】
次に、図７（Ｃ）に示すように、加圧液室パターン７０６および振動板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン７０７の形状に、レジストのパターニングおよびシリコン酸化膜７０２のパターニングを行った。
次に、図７（Ｄ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングのためのレジスト７０８のマスク形成を行った。この際のレジスト７０８の膜厚は８μｍにて行った。本実施例では、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングをノズル板接合面側より行っている。
【００５７】
次に、図７（Ｅ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーを使用して加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン７０９と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン７１０との形状に、シリコン基板７０１のパターニングを行った。
【００５８】
その後、図７（Ｆ）に示すように、レジスト７０８を除去して、水酸化カリウム水溶液により、シリコン基板７０１の異方性エッチングを行い、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン７１１、および、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン７１２の貫通を行った。
更に、各チャンネル共通の液溜め部７１３、加圧液室部７１４、および、ノズル板接合時／振動板接合時の肉抜き部７１５の形状に、シリコン基板７０１のパターニングを行った。なお、加圧液室部７１４等の形成時におけるシリコン基板７０１の異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液濃度３０％、処理温度８５℃で行った。
【００５９】
最後に、図７（Ｇ）に示すように、シリコン酸化膜７０２の除去を行い、その後、耐インク接液膜として、シリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成し、更に、ＰＨ３を６０ＫｅＶ，１Ｅ１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ２の条件にて不純物として注入した。このように不純物注入を実施することにより、加圧液室形成部材の酸化膜形成時の酸化膜応力起因による反りを低減することが可能となる。
【００６０】
図７に示す製造方法においては、図７（Ｆ）に示すように、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン７１１と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン７１２とを加圧液室形成部材の厚さ方向に形成している。ここで、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン７１２は、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン７１１よりも断面積が小さく、液体流動時の流体抵抗が大きくなっている。かくのごとき流体抵抗部を設けることにより、液滴吐出を、効率的に、かつ、安定して行うことが可能となる。更に、前記流体抵抗部を加圧液室形成部材の厚さ方向に形成しているため、加圧液室形成部材の面積を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。更には、製造工程が短工程のプロセスであり、低コストの加圧液室形成部材を製造することが可能である。
【００６１】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドの更に異なる製造方法について説明する。
図８は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの加圧液室形成部材の図６、図７と更に異なる製造工程を示したものである。
まず、図８（Ａ）に示すように、厚さ４００μｍの面方位（１１０）のシリコン基板８０１を用意し、厚さ０．１５μｍのＬＰ−ＣＶＤシリコン窒化膜８０２を形成した。使用するシリコンウェーハの種類は両面研磨ウェーハ、両面未研磨ウェーハ、片面未研磨ウェーハのどのウェーハを使用しても構わない。また、比抵抗も揃っている必要は無く、例えば、本実施例では、比抵抗０．１−１００Ωｃｍの範囲にあるウェーハを使用している。
【００６２】
次に、図８（Ｂ）に示すように、ノズル板接合面側に加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン８０３と、各チャンネル共通の液溜め部パターン８０４と、ノズル板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン８０５との形状にレジストのパターニングを行い、その後、ＬＰ−ＣＶＤシリコン窒化膜８０２に対してドライエッチングにてパターニングを行った。
【００６３】
次に、図８（Ｃ）に示すように、加圧液室パターン８０６および振動板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン８０７の形状に、レジストのパターニングおよびシリコン酸化膜７０２のパターニングを行った。
次に、図８（Ｄ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングのためのレジスト８０８のマスク形成を行った。この際のレジスト８０８の膜厚は８μｍにて行った。本実施例では、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングをノズル板接合面側より行っている。
【００６４】
次に、図８（Ｅ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーを使用して加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン８０９と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン８１０との形状に、シリコン基板８０１のパターニングを行った。
【００６５】
その後、図８（Ｆ）に示すように、レジスト８０８を除去して、水酸化カリウム水溶液により、シリコン基板８０１の異方性エッチングを行い、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン８１１、および、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン８１２の貫通を行った。
更に、各チャンネル共通の液溜め部８１３、加圧液室部８１４、および、ノズル板接合時／振動板接合時の肉抜き部８１５の形状に、シリコン基板８０１のパターニングを行った。なお、加圧液室部８１４等の形成時におけるシリコン基板８０１の異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液濃度３０％、処理温度８５℃で行った。
【００６６】
最後に、図８（Ｇ）に示すように、ＬＰ−ＣＶＤシリコン窒化膜８０２の除去を行い、その後、耐インク接液膜として、シリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成し、更に、ＰＨ３を６０ＫｅＶ，１Ｅ１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ２の条件にて不純物として注入した。このように不純物注入を実施することにより、加圧液室形成部材の酸化膜形成時の酸化膜応力起因による反りを低減することが可能となる。
【００６７】
図８に示す製造方法においては、図８（Ｆ）に示すように、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン８１１と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン８１２とを加圧液室形成部材の厚さ方向に形成している。ここで、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン８１２は、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン８１１よりも断面積が小さく、液体流動時の流体抵抗が大きくなっている。かくのごとき流体抵抗部を設けることにより、液滴吐出を、効率的に、かつ、安定して行うことが可能となる。更に、前記流体抵抗部を加圧液室形成部材の厚さ方向に形成しているため、加圧液室形成部材の面積を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。更には、製造工程が短工程のプロセスであり、低コストの加圧液室形成部材を製造することが可能である。また、エッチングマスクを窒化膜とすることにより、マスク膜厚を薄くすることが可能となり、寸法制御性を向上することが可能である。
【００６８】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドの更に異なる製造方法について説明する。
図９は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの加圧液室形成部材の図６乃至図８と更に異なる製造工程を示したものである。
まず、図９（Ａ）に示すように、厚さ４００μｍの面方位（１１０）のシリコン基板９０１を用意し、厚さ１．０μｍのシリコン酸化膜９０２と厚さ０．１５μｍのシリコン窒化膜９０３とを形成した。使用するシリコンウェーハの種類は両面研磨ウェーハ、両面未研磨ウェーハ、片面未研磨ウェーハのどのウェーハを使用しても構わない。また、比抵抗も揃っている必要は無く、例えば、本実施例では、比抵抗０．１−１００Ωｃｍの範囲にあるウェーハを使用している。
【００６９】
次に、図９（Ｂ）に示すように、ノズル板接合面側に加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン９０４と、各チャンネル共通の液溜め部パターン９０５と、ノズル板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン９０６と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室を経由せずにノズルへインクを供給する流路９０７との形状にレジストのパターニングを行い、その後、シリコン窒化膜９０３に対してドライエッチングにてパターニングを行った。
次に、図９（Ｃ）に示すように、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン９０８と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン９０９との形状に、シリコン酸化膜９０２のパターニングを行った。
【００７０】
次に、図９（Ｄ）に示すように、振動板接合面側の加圧液室パターン９１０と振動板との接合時の余剰接着剤を流れ込ませる肉抜きパターン９１１との形状にレジストのパターニングおよびシリコン窒化膜９０３のみのパターニングを行った。
次に、図９（Ｅ）に示すように、振動板接合面側に加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン９１２と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン９１３との形状に、シリコン酸化膜９０２のパターニングを行った。
【００７１】
次に、図９（Ｆ）に示すように、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングのためのレジスト９１４のマスク形成を行った。この際のレジスト９１４の膜厚は８μｍにて行った。本実施例では、ＩＣＰドライエッチャーによるシリコンエッチングをノズル板接合面側より行っている。その後、ＩＣＰドライエッチャーを使用して加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン９１５と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン９１６との形状に、シリコン基板９０１のパターニングを行った。
【００７２】
その後、図９（Ｇ）に示すように、レジスト９１４を除去して、水酸化カリウム水溶液により、シリコン基板９０１の異方性エッチングを行い、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴パターン９１７、及び、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴パターン９１８の貫通を行った。
次に、図９（Ｈ）に示すように、加圧液室部９１９、各チャンネル共通の液溜め部９２０、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室を経由せずにノズルへインクを供給する流路９２１、および、ノズル板接合時／振動板接合時の肉抜き部９２２の形状に、ウェットエッチングにてシリコン酸化膜９０２の除去を行った。
【００７３】
その後、図９（Ｉ）に示すように、加圧液室部９２３、各チャンネル共通の液溜め部９２４、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室を経由せずにノズルへインクを供給する流路９２５、余剰接着剤吸収用の肉抜き部９２６を形成した。なお、加圧液室部９２３等の形成時におけるシリコン基板９０１の異方性エッチングは、水酸化カリウム水溶液濃度３０％、処理温度８５℃で行った。
【００７４】
最後に、図９（Ｊ）に示すように、シリコン窒化膜９０３／シリコン酸化膜９０２の除去を行い、その後、耐インク接液膜として、シリコン酸化膜を１μｍの厚さで形成し、更に、ＰＨ３を６０ＫｅＶ，１Ｅ１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ２の条件にて不純物として注入した。このように不純物注入を実施することにより、加圧液室形成部材の酸化膜形成時の酸化膜応力起因による反りを低減することが可能となる。
【００７５】
図９に示す製造方法においては、図９（Ｇ）に示すように、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン９１７と、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン９１８とを加圧液室形成部材の厚さ方向に形成している。ここで、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室へ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン９１８は、加圧液室からノズルへ連通する貫通穴即ち貫通穴パターン９１７よりも断面積が小さく、液体流動時の流体抵抗が大きくなっている。かくのごとき流体抵抗部を設けることにより、液滴吐出を、効率的に、かつ、安定して行うことが可能となる。更に、前記流体抵抗部を加圧液室形成部材の厚さ方向に形成しているため、加圧液室形成部材の面積を小さくすることができ、コストダウンが可能となる。
【００７６】
また、図９（Ｉ）に示すように、流路９２５を形成することにより、ノズル板接合面と振動板接合面との両面にノズルへの液体供給路が形成されているため、ノズル、加圧液室の配設密度が高くなった際に高粘度液体を吐出する場合においても、加圧液室の高さを高くする必要が無く、クロストークに強い構造の液体吐出ヘッドを実現可能としている。
【００７７】
次に、本発明に係る液体カートリッジの一例であるインクカートリッジについて図１０を参照して説明する。ここに、図１０は、本発明に係る液体カートリッジの外観の一例を示す外観図である。
図１０に示すインクカートリッジ８０は、ノズル１０２等を有する前述した各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド８１と、インクジェットヘッド８１に対してインクを供給するインクタンク８２とを一体化して構成されているものである。
【００７８】
このように、インクタンク８２を一体比したインクジェットヘッド８１の場合、インクジェットヘッド８１の歩留まり不良は、直ちにインクカートリッジ８０全体の不良につながるので、前述したように、例えば図１に示す加圧液室形成部材１０３の反りによるノズル板１０１あるいは振動板１０８との接合不良、加熱接合時の気体の膨張によるノズル板１０１あるいは振動板１０８との接合不良、などによる製造不良を低減することにより、インクカートリッジ８０の歩留まりが向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図ることができる。
【００７９】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出式記録装置の一例について、インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の構成例を、図１１及び図１２を参照しながら説明する。なお、図１１は、本発明に係る液滴吐出式記録装置の一例であるインクジェット記録装置の斜視説明図であり、図１２は、同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００８０】
図１１及び図１２に示すインクジェット記録装置は、インクジェット記録装置本体９０の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ９３、キャリッジ９３に搭載した前述のごときインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、該記録ヘッドへインクを供給するインクタンク等で構成される印字機構部８７等を収納し、装置本体９０の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）８４を抜き差し自在に装着することができる。また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８７によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００８１】
印字機構部８７は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とによりキャリッジ９３を主走査方向（図１２で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３には、例えばイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインクタンク９５からのインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッド９４として複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ９３には、インクジェットヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクタンク９５を交換可能に装着している。
【００８２】
インクタンク９５は上方に大気と連通する大気口を、下方にはインクジェットヘッド９４へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッド９４へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、インクジェットヘッド９４として、ここでは、各色毎のノズルを有するインクジェットヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００８３】
ここで、キャリッジ９３は、後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト９６を張装し、このタイミングベルト９６をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転により、キャリッジ９３が往復駆動される。
【００８４】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３をインクジェットヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ７１及びフリクションパッド７２と、用紙８３を案内するガイド部材７３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ７４と、この搬送ローラ７４の周面に押し付けられる搬送コロ７５及び搬送ローラ７４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ７６とを設けている。搬送ローラ７４は副走査モータ７７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００８５】
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ７４から送り出された用紙８３をインクジェットヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材７８を設けている。この印写受け部材７８の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために、回転駆動される搬送コロ６１及び拍車６２を設け、更に用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ６３及び拍車６４と、排紙経路を形成するガイド部材６５，６６とを配設している。
【００８６】
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じてインクジェットヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号、又は、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ、用紙８３を排紙する。
【００８７】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、インクジェットヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置６７を配置している。回復装置６７は、キャップ手段と吸引手段とクリーニング手段とを有している。キャリッジ９３は、印字待機中は、この回復装置６７側に移動されて、キャップ手段でインクジェットヘッド９４がキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００８８】
吐出不良が発生した場合等には、キャップ手段によりインクジェットヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して、吸引手段により吐出口からインクと共に、気泡等を吸い出し、更に、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され、吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、インクジェット記録装置本体９０下部に設置された廃インク溜（図示していない）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００８９】
このように、本発明に係る液滴吐出式記録装置の一例であるインクジェット記録装置においては、本発明に係る液滴吐出ヘッドとして前述したような製造方法により製造されたインクジェットヘッド９４を搭載しているので、気泡溜まりによるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。また、製作コストの低減により低価格で製品を供給することができる。
【００９０】
【発明の効果】
本発明に係る液滴吐出ヘッドおよびその製造方法、液体カートリッジ、液滴吐出式記録装置およびその製造方法によれば、以下のごとき作用効果を得ることができる。
ノズルへの液体を加圧するための加圧液室を形成する加圧液室形成部材は、シリコンにて形成されており、加圧液室形成部材の厚さ方向に加圧液室とノズルとを連通する貫通穴と該貫通穴よりも断面積の小さい貫通穴が形成されている液滴吐出ヘッドであるので、加圧液室形成部材の厚さ方向に液滴の吐出効率向上、吐出安定性向上に必要な流体抵抗部を設けることになり、貫通穴ではない流体抵抗部を使用する場合に比べて、加圧液室形成部材の面積を小さくすることが可能となり、液滴吐出ヘッドのコストダウンが可能となる。また、加圧液室形成部材を面方位（１１０）の単結晶シリコンにて形成しているので、面方位（１１１）で囲まれた貫通穴を形成することが可能となり、シリコンの貫通穴を流体抵抗部として使用することにより、液滴吐出特性に大きく影響する流体抵抗寸法を精度良く形成することが可能となる。
【００９１】
また、加圧液室形成部材には各チャンネル共通の液溜め部が形成されている液滴吐出ヘッドも提供できるので、該液溜め部からノズルへの液体供給経路の長さが等しく、チャンネル間での液体供給速度にばらつきがなく、安定した液滴吐出が可能となる。
【００９２】
また、ノズル接合面から垂直な方向に透視した際に、各チャンネル共通の液溜め部と加圧液室とが少なくとも一部重なっている液滴吐出ヘッドも提供できるので、該液溜め部からノズルへの液体供給経路の長さが等しく、チャンネル間での液体供給速度にばらつきがなく、安定した液滴吐出が可能となると共に、該液溜め部と加圧液室とが少なくとも一部重なっていることにより、加圧液室形成部材の大きさを小さく形成することが可能となり、コストダウンが可能となる。
【００９３】
逆に、ノズル接合面から垂直な方向に透視した際に、各チャンネル共通の液溜め部と加圧液室とが重なっていない液滴吐出ヘッドも提供できるので、該液溜め部からノズルへの液体供給経路の長さが等しく、チャンネル間での液体供給速度にばらつきがなく、安定した液滴吐出が可能となると共に、該液溜め部と加圧液室とが重なっていないことから、高剛性の加圧液室形成部材の形成が可能となる。
【００９４】
更に、各チャンネル共通の液溜め部への液体供給を加圧液室の並び方向と直交する加圧液室形成部材の辺側より行う液滴吐出ヘッドも提供できるので、特に圧力発生手段として静電型アクチュエータを使用して加圧液室の並び方向と平行な方向より各チャンネルへ電圧を印加するための電極を取り出す場合に、加圧液室形成部材の大きさを小さくすることが可能となり、コストダウンが可能となる。
【００９５】
また、各チャンネル共通の液溜め部から加圧液室を経由せずにノズルへ液体を供給する液体流路を形成する液滴吐出ヘッドも提供できるので、加圧液室と該液溜め部との両方からノズルへ液体供給が可能となり、特に、普通紙にて高画質画像を形成するために必要な高粘度インクを使用する場合においても、液滴の高周波吐出時におけるノズルへの液体供給不足を無くすことができ、高速で高画質画像を形成することが可能となる。
【００９６】
また、ノズル板に樹脂を使用する液滴吐出ヘッドも提供できるので、各チャンネル共通の液溜め部上のノズル板がダンパーとしての役目を果たすことにより、クロストークのない液滴吐出ヘッドの形成が可能となる。
【００９７】
また、少なくとも加圧液室の壁面には酸化膜または窒化チタン膜が成膜されており、加圧液室形成部材の振動板接合面とノズル板接合面との両面またはいずれかの片面に不純物導入を行う液滴吐出ヘッドも提供できるので、加圧液室形成部材のノズル板接合面と振動板接合面間の酸化膜または窒化チタン膜の応力差によって生じる加圧液室形成部材の反りを減少させることが可能となり、ノズル板あるいは振動板との接合信頼性が向上する。
【００９８】
また、加圧液室形成部材をドライエッチングによる深堀あるいはドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、精度良く加圧液室を形成することが可能であり、ばらつきのない液滴吐出ヘッドを形成することができる。
【００９９】
また、加圧液室形成部材をドライエッチングによる深堀あるいはドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際に、異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン酸化膜及びシリコン窒化膜の積層膜を使用する液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、シリコン窒化膜及びシリコン酸化膜を各々エッチングのマスクとして使用することが可能であるため、寸法制御に優れた液滴吐出ヘッドを形成することができる。
【０１００】
また、加圧液室形成部材をドライエッチングによる深堀あるいはドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際に、異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン酸化膜を使用する液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、マスク作成工程が非常に簡単かつ短工期であり、低価格の液滴吐出ヘッドを形成することができる。
【０１０１】
また、加圧液室形成部材をドライエッチングによる深堀あるいはドライエッチングによる深堀と異方性ウェットエッチングとを併用することにより形成する際に、異方性ウェットエッチングのマスクとしてシリコン窒化膜を使用する液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、マスク作成工程が非常に簡単かつ短工期であり、低価格の液滴吐出ヘッドを形成することができると共に、更に、シリコン窒化膜がシリコン酸化膜に比して薄膜のマスクで可能であるため、エッチング時に生じるＣＤロスを抑えることができ、寸法制御に優れた液滴吐出ヘッドを形成することができる。
【０１０２】
更に、前述のいずれかの液滴吐出ヘッドと該液滴吐出ヘッドに液体を供給する液体タンクとを一体化した液体カートリッジによれば、前述のごとく液滴吐出ヘッドの製造不良即ち液体カートリッジの製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。
【０１０３】
更には、前述のいずれかの液滴吐出ヘッド又は液体カートリッジを使用した液滴吐出式記録装置、あるいは、搭載する液滴吐出ヘッド又は液体カートリッジとして前述のいずれかの液滴吐出ヘッドの製造方法により製造する液滴吐出式記録装置の製造方法によれば、搭載する液滴吐出ヘッドにおいて、加圧液室形成部材の厚さ方向に加圧液室とノズルとを連通する貫通穴と該貫通穴よりも断面積の小さい貫通穴が形成されていることにより、前述のごとく、加圧液室形成部材の大きさを小さくすることが可能となり、コストダウンの効果がある。また、加圧液室形成部材としてシリコンを用いて、シリコンの貫通穴を流体抵抗部として使用することにより、前述のごとく、寸法ばらつきの少ない流体抵抗部を形成することが可能となる。而して、かくのごとき液滴吐出ヘッドを使用した液滴吐出式記録装置は、高速で高精度な液滴吐出が可能な記録装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドの構成を分解して示した分解構成図である。
【図２】図１に示すアクチュエータ部の代わりに、圧力発生手段として静電気力を使用している場合のインクジェットヘッドの構成を分解して示した分解構成図である。
【図３】図１又は図２に示すインクジェットヘッドの加圧液室形成部材の構成例を示す構成図である。
【図４】図１又は図２に示すインクジェットヘッドの加圧液室形成部材の別の構成例を示す構成図である。
【図５】図１又は図２に示すインクジェットヘッドの加圧液室形成部材の更に異なる構成例を示す構成図である。
【図６】本発明に係る液滴吐出ヘッドの加圧液室形成部材の製造工程を示す工程図である。
【図７】本発明に係る液滴吐出ヘッドの加圧液室形成部材の異なる製造工程を示す工程図である。
【図８】本発明に係る液滴吐出ヘッドの加圧液室形成部材の更に異なる製造工程を示す工程図である。
【図９】本発明に係る液滴吐出ヘッドの加圧液室形成部材の更に異なる製造工程を示したものである。
【図１０】本発明に係る液体カートリッジの外観の一例を示す外観図である。
【図１１】本発明に係る液滴吐出式記録装置の一例であるインクジェット記録装置の斜視説明図である。
【図１２】本発明に係る液滴吐出式記録装置の一例であるインクジェット記録装置の機構部の側面説明図である。
【符号の説明】
６１…搬送コロ、６２…拍車、６３…排紙ローラ、６４…拍車、６５，６６…ガイド部材、６７…回復装置、７１…給紙ローラ、７２…フリクションパッド、７３…ガイド部材、７４…搬送ローラ、７５…搬送コロ、７６…先端コロ、７７…副走査モータ、７８…印写受け部材、８０…インクカートリッジ、８１…インクジェットヘッド、８２…インクタンク、８３…用紙、８４…給紙カセット、８５…手差しトレイ、８６…排紙トレイ、８７…印字機構部、９０…インクジェット記録装置本体、９１…主ガイドロッド、９２…従ガイドロッド、９３…キャリッジ、９４…インクジェットヘッド、９５…インクタンク、９６…タイミングベルト、９７…主走査モータ、９８…駆動プーリ、９９…従動プーリ、１０１…ノズル板、１０２…ノズル、１０３…加圧液室形成部材、１０４…加圧液室、１０５，１０６…貫通穴、１０７…液溜め部、１０８…振動板、１０９…梁部、１１０…島状凸部、１１１…ダイヤフラム領域、１１２…アクチュエータ部、１１３…駆動部、１１４…非駆動部、２０１…アクチュエータ部、２０２…振動板、２０３…電極取り出し口、３０１…液溜め部、３０２…加圧液室部、３０３，３０４…貫通穴、３０５…インク流入口、４０１…液溜め部、４０２…加圧液室部、４０３，４０４…貫通穴、５０１…液溜め部、５０２…加圧液室部、５０３，５０４…貫通穴、６０１…シリコン基板、６０２…シリコン酸化膜、６０３…シリコン窒化膜、６０４…貫通穴パターン、６０５…液溜め部パターン、６０６…肉抜きパターン、６０７，６０８…貫通穴パターン、６０９…加圧液室パターン、６１０…肉抜きパターン、６１１，６１２…貫通穴パターン、６１３…レジスト、６１４，６１５，６１６，６１７…貫通穴パターン、６１８…加圧液室部、６１９…液溜め部、６２０…肉抜き部、６２１…加圧液室部、６２２…液溜め部、６２３…肉抜き部、７０１…シリコン基板、７０２…シリコン酸化膜、７０３…貫通穴パターン、７０４…液溜め部パターン、７０５…肉抜きパターン、７０６…加圧液室パターン、７０７…肉抜きパターン、７０８…レジスト、７０９，７１０，７１１，７１２…貫通穴パターン、７１３…液溜め部、７１４…加圧液室部、７１５…肉抜き部、８０１…シリコン基板、８０２…ＬＰ−ＣＶＤシリコン窒化膜、８０３…貫通穴パターン、８０４…液溜め部パターン、８０５…肉抜きパターン、８０６…加圧液室パターン、８０７…肉抜きパターン、８０８…レジスト、８０９，８１０，８１１，８１２…貫通穴パターン、８１３…液溜め部、８１４…加圧液室部、８１５…肉抜き部、９０１…シリコン基板、９０２…シリコン酸化膜、９０３…シリコン窒化膜、９０４…貫通穴パターン、９０５…液溜め部パターン、９０６…肉抜きパターン、９０７…流路、９０８，９０９…貫通穴パターン、９１０…加圧液室パターン、９１１…肉抜きパターン、９１２，９１３…貫通穴パターン、９１４…レジスト、９１５，９１６，９１７，９１８…貫通穴パターン、９１９…加圧液室部、９２０…液溜め部、９２１…流路、９２２…肉抜き部、９２３…加圧液室部、９２４…液溜め部、９２５…流路、９２６…肉抜き部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004299368.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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