(57)【要約】【課題】電気的なブラシの設置や特殊なグリースの封入等の手段を用いることなく、軸受内に流れる電流値を最小限に抑えて長期な使用に耐え得る高い品質の転がり軸受を提供する。【解決手段】本発明の転がり軸受１０は、内輪軌道面１２を有する内輪１１と、外輪軌道面１４を有する外輪１３とを備え、外輪１３の外径面２５及び内外輪軌道面１２，１４の少なくとも一方に、８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ１０６Ω以上の表面抵抗を持つダイヤモンドライクカーボン層の絶縁層１５を形成した。【選択図】  図１
2004251412.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内輪軌道面を有する内輪と、外輪軌道面を有する外輪と、前記内外輪軌道面間に相対回転自在に配された複数の転動体と、前記転動体を転動自在に保持する保持器と、を備えた転がり軸受であって、
前記外輪の外径面及び前記内外輪軌道面の少なくとも一方に絶縁層を形成し、前記絶縁層が、８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ１０６Ω以上の表面抵抗を持つダイヤモンドライクカーボン層で成形されていることを特徴とする転がり軸受。
【請求項２】
前記外輪の外径面に形成される絶縁層が、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有し、前記内外輪軌道面の弾性定数が、８０〜２８０ＧＰａであることを特徴とする請求項１記載の転がり軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばインバータによって速度制御されて駆動されるファンモータに使用され、電気的腐食を防止する機能を持つ転がり軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ファンモータに組込まれる転がり軸受（以下、単に軸受とも言う）は、外輪がファンモータのハウジングに、内輪がファンモータのロータ軸に、それぞれすきま嵌めまたは締まり嵌めされて取付けられる。締まり嵌めされるものは言うまでもないが、すきま嵌めされる場合も、軸受の剛性を高めて振動を防止するなどの目的で、間座等を介して押圧することにより軸受に予圧がかけられることによって、外輪とハウジングのブラケット及び、内輪とロータ軸がそれぞれ電気的に導通状態となる。
【０００３】
このようなファンモータは、風量を制御するために回転数を可変できるインバータを介して速度制御される。その際、インバータのキャリア周波数を高く設定することによってスイッチングによるモータ騒音を低減し、半導体素子の性能向上、回路技術の向上によりキャリア周波数を高く設定されるようになってきている。
【０００４】
それに伴って、インバータ駆動されるファンモータに発生する軸電圧が増加し、ロータ軸とハウジング間に電位差が生じることにより、軸受内の転動体を通じて電流が流れ、内外輪の軌道面もしくは転動体の転動面に電食（電気的腐食）を生じるおそれが増加してきている。
【０００５】
従来、インバータで駆動されるファンモータに電食のおそれがある場合には、以下のような対策がとられている。
▲１▼電気的なブラシを設置することができる場合に、ロータ軸に該ブラシを接触させて、ロータ軸とハウジングとを等電位に保ち、軸受の内外輪に電流が流れないようにする。
▲２▼軸受に、電気的導電性を有するグリースを封入することにより、軸受の内外輪間を等電位に保って電流が流れないようにする。
▲３▼軸受に、基油粘度の高いグリースを封入することにより、軸受の外輪と転動体、及び軸受の内輪と転動体の間に形成される油膜厚さを厚くして、内外輪を電気的に絶縁する。
▲４▼合成樹脂や熱可塑性エラストマ或いは合成ゴムのいずれからなる絶縁層を、外輪の外径面と内輪の内径面との少なくとも一方に形成する（下記特許文献１及び特許文献２）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−３０２３９号公報
【特許文献２】
特開２０００−２１３５４８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これら従来の電食を防止する対策には、以下のような問題点がある。
▲１▼ブラシを設置するものについては、ファンモータのロータ軸の一端はハウジング内に収納されているため、ブラシ設置用のスペースが無く、またロータ軸の他端には合成樹脂等の絶縁物で成形されたファンが取付けられているので、ロータ軸にブラシを接触させることが困難である。また、ブラシの摩耗粉がファンモータから排出されて空気中に塵埃として放出される不具合があるため、このようなファンモータをクリーンルームに使用した場合に致命的な欠陥となり、実用に供することができない。
【０００８】
▲２▼電気的導電性を有するグリースを封入するものについては、グリースはカーボン粒子のような電気良電体を含有してあるため、軸受の回転騒音が通常のグリースに比べて大きくなるとともに、グリースの劣化寿命が短いことである。
【０００９】
▲３▼基油粘度の高いグリースを封入するものについては、当該グリースの粘度に起因する軸受トルクの増大により温度上昇が引き起こされる不具合、及び軸受の内外輪間を通過する電流が、周波数の高い交流であると、油膜厚さ程度の間隙では電流が導通してしまうおそれがある不具合がある。また、封入したグリースの経時劣化もしくは異物のグリース内侵入により油膜形成状態が変動し、電気的に導通状態と絶縁状態とが交互に起きて電食が発生する可能性もあり、完全な対策になり得ない。
【００１０】
▲４▼合成樹脂や熱可塑性エラストマ或いは合成ゴム等の絶縁層を形成したものについては、軸受稼動時の発熱によりクリープ変形が軸受の回転精度を損なうという新たな問題点が発生する。
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、電気的なブラシの設置や特殊なグリースの封入等の手段を用いることなく、軸受内に流れる電流値を最小限に抑えて長期な使用に耐え得る高い品質の転がり軸受を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１記載の転がり軸受は、内輪軌道面を有する内輪と、外輪軌道面を有する外輪と、前記内外輪軌道面間に相対回転自在に配された複数の転動体と、前記転動体を転動自在に保持する保持器と、を備えた転がり軸受であって、前記外輪の外径面及び前記内外輪軌道面の少なくとも一方に絶縁層を形成し、前記絶縁層が、８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ１０６Ω以上の表面抵抗を持つダイヤモンドライクカーボン層で成形されていることを特徴とする。
【００１３】
前記構成の転がり軸受によれば、外輪の外径面及び内外輪軌道面の少なくとも一方に８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ１０６Ω以上の表面抵抗を持つダイヤモンドライクカーボン層で成形された絶縁層が形成される。
したがって、８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ１０６Ω以上の表面抵抗を持つダイヤモンドライクカーボン層で成形された絶縁層が外輪の外径面及び内外輪軌道面の少なくとも一方に形成されることにより、高い硬度特性及び高い剛性特性を持つ絶縁層によって、電気的なブラシの設置や特殊なグリースの封入等の手段を用いることなく軸受内に流れる電流値を最小限に抑えることができ、内輪軌道面及び転動体転動面の電食を防止することができる。
【００１４】
また、請求項２記載の転がり軸受は、請求項１記載の転がり軸受において、前記外輪の外径面に形成される絶縁層が、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有し、前記内外輪軌道面の弾性定数が、８０〜２８０ＧＰａであることを特徴とする。
【００１５】
前記構成の転がり軸受によれば、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有する絶縁層が外輪の外径面に形成され、内外輪軌道面が８０〜２８０ＧＰａの弾性定数を有する。
したがって、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有する絶縁層が形成された外輪の外径面と、８０〜２８０ＧＰａの弾性定数を有する内外輪軌道面とにより、電気的なブラシの設置や特殊なグリースの封入等の手段を用いることなく軸受内に流れる電流値を最小限に抑えて長期な使用に耐え得る高い品質を得ることができる。
【００１６】
外輪の外径面に形成されるダイヤモンドライクカーボン層の絶縁層が、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有し、表面抵抗が１０６Ω以上であるのは、転がり軸受を装着したハウジングからの漏れ電流をダイヤモンドライクカーボン層の絶縁層で絶縁することを目的とし、転がり軸受の外輪をハウジングに、すきま嵌めできる厚みの絶縁層を付帯することが必要である。
【００１７】
また、高周波帯域の漏れ電流を完全に絶縁できないケースも、モータやインバータの構造によって発生する。これは、転動体と内輪軌道面との接触状態で電気的スパークの発生によって内輪軌道面が溶融するため、内輪軌道面を溶融温度の高い絶縁層とすることによって高い電食防止効果を得ることが出来る。
【００１８】
インバータ駆動されるモータに軸電圧が生じ、軸受の内外輪間に最悪電位差が生じても、内外輪軌道面或いは転動体の転動面の電食を防止することができる。
【００１９】
さらに、転がり軸受の使用環境を考慮すると、一定レベルの接触応力と硬さを有し、転がり疲労に対し機械的な破壊に強い絶縁層でなければならない。それらを満足するために、外輪の外径側はハウジングとの嵌め合いがすきま嵌めであることから、軸受材質に比べ剛性の高い絶縁層が望ましく、ダイヤモンドライクカーボンの特性から体積固有抵抗も大きくすることが可能である。
【００２０】
一方、内輪軌道面に適用するダイヤモンドライクカーボンは、転動体との転がり接触によって、約２ＧＰａの応力を受ける。このような条件では、絶縁層の剛性が高過ぎると繰返し応力に対して破壊が発生し易く当該目的を達成することができない。このため、内輪軌道面にダイヤモンドライクカーボンに準拠する絶縁層を適用する場合は、あえて軸受材質とほぼ同等以下の弾性定数を有する絶縁層とすることが必要である。
【００２１】
以上により、表面層の硬さと弾性率とを制御できるダイヤモンドライクカーボンの成膜法であれば、方法は限定されない。例えば、物理的気相成長法では、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等があり、化学的気相成長法は、ＲＦプラズマＣＶＤ、ＥＣＲプラズマＣＶＤ、熱陰極プラズマＣＶＤ等がある。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の転がり軸受の実施形態を図１乃至図７に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の第１実施形態の転がり軸受の断面図、図２は本発明の第２実施形態の転がり軸受の断面図、図３は図２に示す転がり軸受を組込んだファン駆動用電動モータの断面図、図４は図１及び図２に示す転がり軸受を用いて行った電食試験装置の構成図、図５は図１及び図２に示す転がり軸受を用いて行った電食試験装置の要部説明図、図６は絶縁層における体積固有抵抗と硬さとの相関関係を調べた表、図７は絶縁層における破壊までの回転数と弾性定数との相関関係を調べた表である。なお、第２実施形態において、既に説明した部材等と同様な構成・作用を有する部材等については、図中に同一符号または相当符号を付することにより、説明を簡略化或いは省略する。
【００２３】
図１に示すように、本発明の第１実施形態の転がり軸受１０は、外周面に内輪軌道面（転動面）１２を有する内輪１１と、内周面に外輪軌道面（転動面）１４を有し外径面２５に絶縁層１５が形成された外輪１３と、内輪１１の内輪軌道面１３と外輪１３の外輪軌道面１４との間に複数配置された転動体である玉１６と、玉１６を転動自在に保持する環状の保持器１７と、一対のシール部材１８，１８と、を備えている。この場合の転がり軸受１０は深溝玉軸受である。
【００２４】
内輪１１は、内輪外径面１９の中央部に内輪軌道面１２が配されている。また、内輪外径面１９の軸方向両端部に、凹状に形成されたシール部材収容部２１，２１が配されている。内輪軌道面１２は、弾性定数が、８０〜２８０ＧＰａに設定されている。
【００２５】
外輪１３は、外輪内径面２２の中央部に外輪軌道面１４が配されている。また、外輪内径面２２の軸方向両端部に、凹状に形成されたシール部材固定部２４，２４が配されている。外輪軌道面１４は、弾性定数が、８０〜２８０ＧＰａに設定されている。
【００２６】
絶縁層１５は、外輪１３の外径面２５上に予め定められた厚さ寸法をもって環状にして外径面２５の円周方向全域に亘って形成されている。絶縁層１５は、８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ、１０６Ω以上の表面抵抗をもち、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有するダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層である。
【００２７】
絶縁層１５の皮膜は、非平衡型マグネトロンスパッタ装置を用いて、外輪１３の外径面２５を皮膜前に、アルゴンガスで供試体表面にボンバードを施し、中間層は原子オーダーのレベルで供試体構成元素とのミキシング層を形成させる。
【００２８】
非平衡型マグネトロンスパッタ装置は、スパッタに用いるターゲットを複数装着でき、クロムとカーボンとのターゲットのスパッタ電源を独立に制御させることによって、第１層を形成させるクロムのスパッタ効率を連続的に減少させながら、カーボンターゲットのスパッタ効率を増加させ、クロムとダイヤモンドライクカーボンとの複合層を形成させる。ターゲットのスパッタ電源はＤＣ電源を用い、供試体にはバイアス電圧を印加する。この複合層は、カーボンとクロムとの傾斜層であって、連続的に層の組成比を変化させたダイヤモンドライクカーボン層を作成することができる。さらに、中間層を形成させた後、中間層ターゲットの電源電力を低減させながら、同時にカーボンターゲットのＤＣスパッタ電源電力を増加させる。
【００２９】
供試体には、バイアス電圧を印加しながら、これらをコンピュータ制御で行い、カーボンとクロムとの傾斜層である複合層を形成することができる。ターゲットのスパッタ電源であるＤＣ電源を制御することにより、アルゴンイオンのスパッタ効率を連続的に変化させる。
【００３０】
このようにして、予め定められた２．５μｍの膜厚で、１０６Ω以上の表面抵抗を有するダイヤモンドライクカーボン層を外輪１３の外径面２５に形成した。なお、第１層は、クロムの代わりに、チタンやシリコンやタングステン等でも良く、第２層に他の金属元素を組み合わせて用いても良い。
【００３１】
保持器１７は、鋼板製の打ち抜き保持器であって、玉１６を挿入して転動自在に保持するために、玉１６の球形状に対応したポケット２６が円周方向に複数打ち抜かれて形成されている。
【００３２】
シール部材１８，１８は、鋼板製の薄板により、外輪内径面２２と内輪外径面１９との間を覆うように環状に形成されている。シール部材１８は、基端部に形成された取付部２７が外輪１３のシール部材固定部２４に嵌着されており、先端部が内輪１１のシール部材収容部２１内に配置されることによってラビリンスシールを形成する。
【００３３】
第１実施形態の転がり軸受１０によれば、外輪１１の外径面２５に８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ１０６Ω以上の表面抵抗を持ち、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有するダイヤモンドライクカーボン層で成形された絶縁層１５が形成され、内輪軌道面１２及び外輪軌道面１４が８０〜２８０ＧＰａの弾性定数を有する。
したがって、８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ１０６Ω以上の表面抵抗を持ち、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有するダイヤモンドライクカーボン層で成形された絶縁層１５が外輪１１の外径面２５に形成されることにより、高い硬度特性及び高い剛性特性を持つ絶縁層１５によって、電気的なブラシの設置や特殊なグリースの封入等の手段に代えて軸受内に流れる電流値を最小限に抑えることができる。
【００３４】
次に、本発明の第２実施形態の転がり軸受を図２に基づいて説明する。
図２に示すように、第２実施形態の転がり軸受３０は、内輪１１の内輪軌道面１２の円周方向全域に亘って絶縁層３１が形成されている。
【００３５】
絶縁層３１は、内輪軌道面１２において、予め定められた２．５μｍの膜厚で、８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さであり、１０６Ω以上の表面抵抗を持ち、２２０〜３５０ＧＰａの弾性定数を有するダイヤモンドライクカーボン層である。本実施形態の絶縁層３１は、第１実施形態の絶縁層１５と同様の方法によって成形される。
【００３６】
図３に示すように、第２実施形態の転がり軸受３０を２個一対で組込んだファン駆動用電動モータ４０は、モータハウジング４１の一端部にハウジング前蓋４２が固定され、モータハウジング４１の他端部にハウジング後蓋４３が固定されている。そして、一方の転がり軸受３０の外輪１３は、ハウジング前蓋４２に形成された保持段部４４の内側に間座４５を介して嵌め込まれており、他方の転がり軸受３０の外輪１３は、ハウジング後蓋４３に形成された保持凹部４６の内側に間座４７を介して嵌め込まれている。
【００３７】
両転がり軸受３０，３０の内輪１１，１１には、ロータ４８を固定したモータ軸４９が内嵌されている。ロータ４８の外周部には、モータハウジング４１の内周部に固定されたステータ５０が非接触にして配置される。
【００３８】
ファン駆動用電動モータ４０では、インバータからステータ５０に印加される高周波電流に基づいてモータ軸４９に軸電圧が惹起されることにより、内輪軌道面１２（図２参照）に形成されたダイヤモンドライクカーボン層の絶縁層３１により、内輪軌道面１２にスパークが発生しても表面が溶融しないため、転がり軸受３０，３０が損傷に至ることはない。
【００３９】
すなわち、モータ軸４９を支持する各転がり軸受３０，３０の各外輪１３，１３と、これら外輪１３，１３を保持している部材であるモータハウジング４１との取付け個所が絶縁されていなくても、またはモータ軸４９の電位がモータハウジング４１の電位よりも高くなっても、各外輪１３，１３を組込んでなる各転がり軸受３０，３０の内輪軌道面１２，１２が、各転がり軸受３０，３０に流れる電流による溶融を起こさずに電食の発生が防止される。
【００４０】
【実施例】
次に、本発明に係る転がり軸受における電食試験を以下に示す所定条件下で行った実施例を説明する。
【００４１】
電食試験には、図４及び図５に示す電食試験装置を用いた。
図４に示すように、電食試験装置６０は、インバータ６１と、第１のインダクションモータ６２と、第２のインダクションモータ６３と、電流アンプ６４と、電圧計６５と、絶縁カップリング６６と、から構成されている。
【００４２】
図５に示すように、電食試験装置６０において、一対の転がり軸受７０，７０は、図３に示したファン駆動用電動モータ４０の鉄製のモータハウジング４１内に収納されており、予圧ばね６８を通じて給電される。そして、内嵌されたモータ軸４９が、絶縁カップリング６６を介して第２のインダクションモータ６３に結合されている。
【００４３】
電食試験条件
試験軸受：６２０２（ＮＳ７グリース封入）
アキシアル荷重：３ｋｇｆ
印加電流：１４ｍＡ／２個
回転時間：５００ｈｒ，１０００ｈｒ，１５００ｈｒ（各１）
供試体：
▲１▼実施例１：図１に記載した第１実施形態の転がり軸受
絶縁層厚さ：２．５μｍ
▲２▼実施例２：図２に記載した第２実施形態の転がり軸受
絶縁層厚さ：２．５μｍ
▲３▼実施例３：外輪の外径面及び内輪軌道面の両方に絶縁層を形成した転がり軸受
絶縁層厚さ：２．５μｍ
【００４４】
【表１】
2004251412.tif 000003
【００４５】
表１により明らかなように、電食試験の結果、実施例１においては、転がり軸受内に流れる電流値が６．０ｍＡ以下と半減し、１５００ｈｒ回転後においても電食の発生がないことが判明した。
【００４６】
実施例２においては、転がり軸受内に流れる電流値が１０．０ｍＡとなって実施例１に比べて大きいが、１５００ｈｒ回転後においても内輪軌道面における電食の発生がないことが判明した。
【００４７】
実施例３においては、転がり軸受内に流れる電流値が４．０ｍＡとなって、実施例中最も小さい電流値が確認された。また、１５００ｈｒ回転後においても外輪の外径面及び内輪軌道面における電食の発生がないことが判明した。
【００４８】
本発明の転がり軸受においては、外輪の外径面及び内外輪軌道面の少なくとも一方に絶縁層を形成するものであるが、外輪の外径面に形成する絶縁層は体積固有抵抗が大きいものが望ましく、内輪の軌道面に形成する絶縁層は、弾性定数を２８０ＧＰａよりも小さくした繰返し応力に強いものが望ましい。なお、絶縁層の抵抗値を大きくする手法としては、成膜時に１５０Ｖ以上のバイアス電圧をかけてダイヤモンドライクカーボン層の結晶体をＳＰ３の混成軌道の比率を上げれば可能であり、逆に弾性率を下げるには、メタンやエタンやアセチレンなどの炭化水素系ガスを導入すれことによってコントロールすることができる。
【００４９】
図６に示すように、体積固有抵抗と硬さとの相関関係を見ると、硬さが増加すると、その結晶構造から天然ダイヤモンドの構造に近くなり、体積固有抵抗も増加する。外輪の外径面に施すのに好適な硬さは、図６中に“ａ”で示す２２ＧＰａ〜４０ＧＰａの範囲であって、この硬さの領域では抵抗値も高い。４０ＧＰａ以上であっても、抵抗値の増加は殆どない。これに反して、２２ＧＰａより小さい場合は抵抗値が増加するため、“ａ”で示す２２ＧＰａ〜４０ＧＰａの範囲が外輪の外径面に施す絶縁層とするダイヤモンドライクカーボン層として好適であることがわかる。
【００５０】
図７に示すように、絶縁層における破壊までの回転数と弾性定数との相関関係を見ると、絶縁層を内輪軌道面に施す場合には、繰返し応力に対してダイヤモンドライクカーボン層の弾性率が、図７中に“ｂ”で示す８０ＧＰａ〜２８０ＧＰａの範囲が好適であり、２８０ＧＰａよりも大きくなると破壊強度が低下するため好ましくない。また、８０ＧＰａよりも小さいと膜質が軟らかくなって摩耗が促進され易くなる。以上により、“ｂ”で示す８０ＧＰａ〜２８０ＧＰａの範囲が内輪軌道面に施すのに好適な数値範囲であることがわかる。
【００５１】
なお、本発明に係る転がり軸受は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜な変形、改良等が可能である。例えば、転がり軸受として、深溝玉軸受に代えて、アンギュラ玉軸受や各種ころ軸受に適用しても良い。
また、保持器として、打ち抜き保持器に代えて、もみ抜き保持器や冠形保持器を用いても良い。
また、シール部材として、鋼板製に代えて樹脂製としても良く、或いは金属製の芯材にゴム部材を一体的に成形したものでも良い。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の転がり軸受によれば、８〜４０ＧＰａの塑性変形硬さで、且つ１０６Ω以上の表面抵抗を持つダイヤモンドライクカーボン層で成形された絶縁層が外輪の外径面及び内外輪軌道面の少なくとも一方に形成されることにより、高い硬度特性及び高い剛性特性を持つ絶縁層によって、電気的なブラシの設置や特殊なグリースの封入等の手段を用いることなく軸受内に流れる電流値を最小限に抑えることができる。
したがって、内輪軌道面及び転動体転動面の電食を防止することにより、長期な使用に耐え得る高い品質の転がり軸受を得ることができる。また、外径面に形成される絶縁層のダイヤモンドライクカーボン層の物性をコントロールすることにより、更に電食防止機能を強化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の転がり軸受の断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態の転がり軸受の断面図である。
【図３】図２に示した転がり軸受を組込んだファン駆動用電動モータの断面図である。
【図４】図１及び図２に示した転がり軸受を用いて行なった電食試験装置の構成図である。
【図５】図１及び図２に示した転がり軸受を用いて行なった電食試験装置の要部説明図である。
【図６】絶縁層における体積固有抵抗と硬さとの相関関係を調べた表である。
【図７】絶縁層における破壊までの回転数と弾性定数との相関関係を調べた表である。
【符号の説明】
１０，３０  転がり軸受
１１        内輪
１２        内輪軌道面（転動面）
１３        外輪
１４        外輪軌道面（転動面）
１５，３１  絶縁層
１６        玉（転動体）
１７        保持器
２５        外径面
【図１】
2004251412.tif 000004
【図２】
2004251412.tif 000005
【図３】
2004251412.tif 000006
【図４】
2004251412.tif 000007
【図５】
2004251412.tif 000008
【図６】
2004251412.tif 000009
【図７】
2004251412.tif 000010