(57)【要約】【課題】可視光全域でコレステリック液晶光学素子の光学特性を高い精度で再現性良く検査できる装置。【解決手段】少なくとも４００〜７００ｎｍの波長を発光する光源１を備え、光源１と測定対象物Ｏの間に、光源１から発する光源光を平行光とするコリメーター４を備え、その平行光の光路中に、楕円率が９５％以上の円偏光状態の測定光に変換する円偏光変換ユニット５＋６を備え、測定対象物Ｏを通過した光を無偏光状態に変換する偏光解消ユニット１１を備え、無偏光状態に変換された検出光をスペクトル分光して各波長の強度を検出する分光光度計１２を備えているコレステリック液晶光学素子検査装置。【選択図】        図１
2004279365.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも４００〜７００ｎｍの波長を発光する光源を備え、前記光源と測定対象物の間に、前記光源から発する光源光を平行光とするコリメーターを備え、その平行光の光路中に、楕円率が９５％以上の円偏光状態の測定光に変換する円偏光変換ユニットを備え、測定対象物を通過した光を無偏光状態に変換する偏光解消ユニットを備え、前記無偏光状態に変換された検出光をスペクトル分光して各波長の強度を検出する分光光度計を備えていることを特徴とするコレステリック液晶光学素子検査装置。
【請求項２】
前記光源と前記円偏光変換ユニットの間に光源光を無偏光状態に変換する別の偏光解消ユニットを備えていることを特徴とする請求項１記載のコレステリック液晶光学素子検査装置。
【請求項３】
測定対象物と前記偏光解消ユニットの間に、測定対象物を透過した楕円率が９５％以上の円偏光状態の測定光を直線偏光に変換して通過させる円偏光直線偏光変換ユニットを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のコレステリック液晶光学素子検査装置。
【請求項４】
前記円偏光変換ユニットは、少なくとも４００〜７００ｎｍの波長範囲において、入射する光を楕円率が９５％以上の円偏光状態に変換するものであること特徴とする請求項１から３の何れか１項記載のコレステリック液晶光学素子検査装置。
【請求項５】
前記円偏光直線偏光変換ユニットは、少なくとも４００〜７００ｎｍの波長範囲の楕円率が９５％以上の円偏光を直線偏光に変換して通過させるものであること特徴とする請求項３又は４記載のコレステリック液晶光学素子検査装置。
【請求項６】
前記円偏光変換ユニット及び前記円偏光直線偏光変換ユニットが、入射光と射出光の光軸が実質的に同軸であることを特徴とする請求項１から５の何れか１項記載のコレステリック液晶光学素子検査装置。
【請求項７】
前記円偏光変換ユニット及び前記円偏光直線偏光変換ユニットは、入射光と射出光の光軸が実質的に同軸とするダブル型のフレネルロムと直線偏光子とを備えているものであることを特徴とする請求項６記載のコレステリック液晶光学素子検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コレステリック液晶光学素子検査装置に関し、特に、液晶表示装置等の平面表示装置に用いられるコレステリック液晶からなる光学素子の光学特性の検査を行う基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
コレステリック液晶（ＣＬＣ）層を用いた光学素子は、液晶表示装置等において、半透過半反射板、カラーフィルター等に利用される。ＣＬＣ層は、偏光されていない光を入射させると、ＣＬＣの螺旋のピッチに適合する波長であってその螺旋の方向の円偏光成分は反射され、その波長の反対の円偏光成分、及び、他の波長の成分は透過する特性を持っている。このようなＣＬＣ層光学素子として、ＣＬＣ層で全反射による円偏光分離機能を利用して、液晶表示装置の輝度向上フィルムとして用いられる。また、ＣＬＣ層における一方の円偏光状態の反射・透過比を制御することにより、半透過型液晶表示装置に用いることもできる（特許文献１）。また、ＣＬＣ層の波長特性を利用して液晶表示装置用のカラーフィルターとしても構成できる（特許文献２、特許文献３）。
【０００３】
ところで、液晶表示装置は、高い色再現性が求められるため、可視領域全体に所望の光学特性を要求される。よって、それに用いられる光学素子も同様な性能を求められる。特に、上記のようなＣＬＣ層光学素子の場合、その光学特性に高い性能と品質管理が必要となる。
【０００４】
従来、このようなＣＬＣ層光学素子の検査するために、円偏光を測定光としてＣＬＣ層光学素子に入射させて光学特性を評価する一般的な光学測定装置が用いられており、その光学測定装置に円偏光を作る光学素子を任意に挿入して評価を行っていた。従来のこれらの装置は、主に単色のレーザー光を用い、試料の比較的微小なエリアを測定していた。また、使用するレーザーの波長だけの偏光状態を制御すればよいため、円偏光を直線偏光素子と位相子（λ／４波長板）とを組み合わせて発生させる場合、特定の波長のみに合った光学素子を用いればよかった。具体的には、偏光子としてグラントムソンプリズム、波長板として水晶等を用いていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−３１８２３４号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開平６−２８１８１４号公報
【０００７】
【特許文献３】
特開２０００−５６３３８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来技術では、可視光全体で良好な偏光状態が得られないため、ＣＬＣ層光学素子（以下、ＣＬＣ光学素子）の光学特性の評価が十分にできなかった。
【０００９】
すなわち、測定光源―ＣＬＣ光学素子間、ＣＬＣ光学素子―検出器間の偏光状態に関して考慮されていなかったため、測定光の偏光状態によって、信頼性の高いデータを得ることができなかった。
【００１０】
また、円偏光の測定光とＣＬＣ光学素子の間にレンズ系が用いられている場合には、そのレンズ系で偏光状態が変化してしまうため、ＣＬＣ光学素子の正しい評価が得られなかった。
【００１１】
本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、可視光全域でコレステリック液晶光学素子の光学特性を高い精度で再現性良く検査できる装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明のコレステリック液晶光学素子検査装置は、少なくとも４００〜７００ｎｍの波長を発光する光源を備え、前記光源と測定対象物の間に、前記光源から発する光源光を平行光とするコリメーターを備え、その平行光の光路中に、楕円率が９５％以上の円偏光状態の測定光に変換する円偏光変換ユニットを備え、測定対象物を通過した光を無偏光状態に変換する偏光解消ユニットを備え、前記無偏光状態に変換された検出光をスペクトル分光して各波長の強度を検出する分光光度計を備えていることを特徴とするものである。
【００１３】
この場合に、光源と円偏光変換ユニットの間に光源光を無偏光状態に変換する別の偏光解消ユニットを備えていることが望ましい。
【００１４】
また、測定対象物と偏光解消ユニットの間に、測定対象物を透過した楕円率が９５％以上の円偏光状態の測定光を直線偏光に変換して通過させる円偏光直線偏光変換ユニットを備えていることが望ましい。
【００１５】
また、その円偏光変換ユニットは、少なくとも４００〜７００ｎｍの波長範囲において、入射する光を楕円率が９５％以上の円偏光状態に変換するものであることが望ましい。
【００１６】
さらに、円偏光直線偏光変換ユニットは、少なくとも４００〜７００ｎｍの波長範囲の楕円率が９５％以上の円偏光を直線偏光に変換して通過させるものであることが望ましい。
【００１７】
また、円偏光変換ユニット及び円偏光直線偏光変換ユニットは、入射光と射出光の光軸が実質的に同軸であることが望ましい。
【００１８】
また、円偏光変換ユニット及び円偏光直線偏光変換ユニットは、入射光と射出光の光軸が実質的に同軸とするダブル型のフレネルロムと直線偏光子とを備えているものであることが望ましい。
【００１９】
本発明においては、少なくとも４００〜７００ｎｍの波長を発光する光源を備え、前記光源と測定対象物の間に、前記光源から発する光源光を平行光とするコリメーターを備え、その平行光の光路中に、楕円率が９５％以上の円偏光状態の測定光に変換する円偏光変換ユニットを備え、測定対象物を通過した光を無偏光状態に変換する偏光解消ユニットを備え、前記無偏光状態に変換された検出光をスペクトル分光して各波長の強度を検出する分光光度計を備えているので、可視光全域でコレステリック液晶光学素子の光学特性を高い精度で再現性良く検査することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のコレステリック液晶光学素子検査装置を実施例に基づいて説明する。
【００２１】
本発明のコレステリック液晶光学素子（ＣＬＣ光学素子）検査装置の大きな特徴は、４００〜７００ｎｍの波長範囲（可視域）において、入射する光を楕円率が９５％以上の円偏光状態を作り出すことと、その円偏光状態を作り出すための円偏光変換ユニットに入射する光及び分光測定する分光光度計に入射する光の異方性をなくすために偏光解消ユニットを配置することと、測定対象物に入射させる光を平行光とすることとである。
【００２２】
本発明のＣＬＣ光学素子検査装置は、後記の具体的な実施例から明らかなように、基本的に、４００〜７００ｎｍの波長の光を発光する光源と、その光源から発する光をその波長域で楕円率が９５％以上の円偏光状態の測定光に変換する円偏光変換ユニットと、測定対象物を通過した測定光を無偏光に変換する偏光解消ユニットと、検出器としての分光光度計とを備えているものである。
【００２３】
一般に、円偏光を作り出す円偏光素子は、直線偏光素子とは異なり、波長依存性が大きく可視光全体を円偏光に変換するようにするには高い技術が必要となる。例えば、直線偏光素子と４分の１波長位相差素子を組み合わせれば、円偏光状態を作る出すことはできるが、一般には、可視域のある特定の波長のみしか良好な円偏光状態は得られない。それを解決するために広帯域４分の１位相差フィルムと広帯域２分の１位相差フィルムを組み合わせて用いることにより、ある程度波長分散は解消されるものの、可視域全体をカバーするには至らず、通常、緑色の性能を重視して設計される。本発明に用いる円偏光変換ユニットとしては、可視光全域において一定水準以上の楕円率の円偏光状態になる必要であり、特に測定対象がコレステリック液晶層を含む場合、その測定対象に視野角依存性があるため、全波長域で同等な楕円率の円偏光状態が得られるものが必須となる。また、液晶表示装置に使われるＣＬＣ光学素子は多種多様であり、それらに対応して標準的な評価を得るには、波長依存性の少ない偏光解析が必要となる。
【００２４】
そのため、本発明のＣＬＣ光学素子検査装置においては、波長分散が少なく、かつ、高い円偏光状態の円偏光を作り出す円偏光変換ユニットが必要である。さらに、円偏光変換ユニットを調整しても光軸が安定であることも必要であり、検出器である分光光度計の偏光依存性の解消も必要とする。
【００２５】
これらを実現するためには、４００〜７００ｎｍの波長範囲において、測定光の楕円率が９５％以上の円偏光であり、円偏光変換ユニットの角度変化に対して光軸が実質的に変化しないこと、分光光度計に入射する光が無偏光であることが満たされなければならない。具体的には、４分の１波長板として、広帯域４分の１位相子を構成し、かつ、入射光と射出光の光軸が実質直線上にあるダブル型のフレネルロム（斜方体、菱面体）を用い、また、検出器の分光光度計に入射する検出光を偏光解消ユニットを通過させることにより達成される。
【００２６】
以下に、本発明のＣＬＣ光学素子検査装置の１実施例の光学系の構成を図１に示す。この実施例のＣＬＣ光学素子検査装置は、光の進む順に、ハロゲンランプ、キセノンランプ等の４００〜７００ｎｍの波長範囲の光を発光する光源１と、その光源１からの光を集光する集光レンズ２と、集光レンズ２からの集光光の光路中に配置され光源１からの光の偏光を解消するリオの白色デポラライザー等の偏光解消子３と、偏光解消子３を通った集光光を平行光にするコリメーター４と、コリメーター４を経て平行になった無偏光光を直線偏光光に変換する直線偏光子としてのグラントムソンプリズム５と、グラントムソンプリズム５を通って平行な直線偏光光を所定の方向の円偏光に変換する広帯域４分の１位相子としてのダブル型のフレネルロム６と、ダブル型のフレネルロム６を経た平行な所定の方向の円偏光光が照射されるサンプル（ＣＬＣ光学素子）Ｏを光軸に直交するＸ方向、Ｙ方向に独立に移動可能に載置するＸＹステージ７と、サンプルＯを通過した所定の方向の円偏光光を直線偏光光に戻すダブル型のフレネルロム６と同様のダブル型のフレネルロム８と、ダブル型のフレネルロム８で変換された直線偏光光を通過させる直線偏光子としてのグラントムソンプリズム９と、グラントムソンプリズム９を通って平行な直線偏光光を集光する集光レンズ１０と、集光レンズ１０で集光された検出光が一端に集光され、その中を導光されるときに偏光を解消する偏光解消ユニットとしての光ファイバー１１と、光ファイバー１１で導光された検出光をスペクトル分光して各波長の強度を検出する分光光度計１２とからなる。
【００２７】
なお、上記の光源１からダブル型のフレネルロム６までは下側素子群２１を、ダブル型のフレネルロム８から集光レンズ１０までは上側素子群２２をそれぞれ構成しており、図２にその検査装置の全体の配置を示すように、検査装置の筐体５０中の下側素子群ボックス５１中にその下側素子群２１を配置し、ＸＹステージ７の上側に配置した上側素子群ボックス５２中に上側素子群２２を配置して、本発明の上記実施例のＣＬＣ光学素子検査装置を構成する。
【００２８】
ここで、直線偏光を円偏光に、あるいは、円偏光を直線偏光に変換する広帯域４分の１位相子としてのダブル型のフレネルロム６、８について、図４を参照にして説明する。フレネルロム（フレネル斜方体、フレネル菱面体）と呼ばれるものは、図４に符号３０、３０’で示されるように、４つの平面３１、３２、３３、３４で囲まれた屈折率ｎ１  の透明体からなり、向かい合う平面３１と３２、３３と３４は相互に平行で、各面に直交する断面（図の面）内では平行四辺形を構成しており、面３１から垂直に入射した光は面３３で１回目の全反射をし、その全反射光は面３４で２回目の全反射をして面３２から垂直に射出するものであり、面３３への入射角（反射角）と面３４への入射角（反射角）とは等しくなる。そして、よく知られたことであるが、各面での全反射の際にｐ偏光とｓ偏光との間に位相差が発生する。全反射の際に起こる位相差量は各面３３、３４への入射角に依存する。通常は、１回の全反射の際に４５°（波長の８分の１）の位相差が発生するように平面３１（３２）と３３（３４）の間の角度を選択して１個のフレネルロムで９０°の位相差が発生するようにして４分の１位相子として用いられる。
【００２９】
しかし、その位相差発生の原理から、１回の全反射の際に２２．５°（波長の１６分の１）の位相差を発生するように平面３１（３２）と３３（３４）の間の角度を選択することもできる。図示の例では、透明体（ガラス）の屈折率ｎ１  としてｎ１  ＝１．５１のものを用い、空気の屈折率ｎ０  をｎ０  ＝１．００とするとき、図示のように、平面３１（３２）と３３（３４）のなす角度を７４．７２°とすることにより、８分の１位相子として用いることができる。
【００３０】
このような８分の１位相子のフレネルロムを同じ形状のものを２個３０、３０’用意して、一方のフレネルロム３０の射出光軸の周りで他方のフレネルロム３０’を相対的に１８０°回転させて、一方のフレネルロム３０の射出面３２と他方のフレネルロム３０’の入射面３１とを相互に接着させてΛ状に構成すると（ダブル型のフレネルロム６、８）、当然ながら各々の２倍の位相子、すなわち、４分の１位相子として機能する。
【００３１】
このようなダブル型のフレネルロム６、８は、全反射を利用して位相差を発生させているため、波長が変わっても位相差量が余り変化しない特長があり、そのため、広体域での４分の１位相子として用いることができる。直線偏光子として高い消光比１０−６以上が得られる例えばグラントムソンプリズム５、９と組み合わせることにより、４００〜７００ｎｍの波長範囲において楕円率が９５％以上の円偏光を得ることができ、また、サンプルＯを透過した測定対象の円偏光成分以外の成分を十分にカットすることができる。
【００３２】
さらに、ダブル型のフレネルロム６、８は、入射光４１と射出光４２が一直線になり、この直線（光軸）の周りでそのダブル型のフレネルロム６、８を回転させても、射出光４２の位置は変わらない特長がある。
【００３３】
図１の光学系の構成に戻って、直線偏光子としてのグラントムソンプリズム５と、ダブル型のフレネルロム６と、サンプルＯと、ダブル型のフレネルロム８と、直線偏光子としてのグラントムソンプリズム９との配置関係を図３に示す。図３（ａ）はこれらの光学素子の配置を示す斜視図、図３（ｂ）は光学素子５、６、８、９の光軸周りの角度関係を示す図である。直線偏光子５の透過軸（両矢符で示す。）は図中の垂直軸に対して９０°をなす水平方向に配置され、ダブル型のフレネルロム６の屈曲部の方向（入射面の方向。太い矢印で示す。）は、垂直軸に対して左側に４５°をなす方向に配置され、ダブル型のフレネルロム８の屈曲部の方向（入射面の方向。太い矢印で示す。）は、垂直軸に対して右側に４５°をなす方向に配置され、直線偏光子９の透過軸（両矢符で示す。）は垂直軸に対して９０°をなす水平方向に配置される。
【００３４】
このような配置であると、グラントムソンプリズム５とダブル型のフレネルロム６からなる円偏光に変換する円偏光変換ユニットに入射した入射光６１は、例えば右円偏光に変換されてサンプルＯに入射し、その円偏光状態を変化させずにサンプルＯを透過した成分は、ダブル型のフレネルロム８とグラントムソンプリズム９からなる円偏光直線偏光変換ユニットで円偏光からグラントムソンプリズム９で減衰されずに透過する直線偏光に変換されて射出光６２として透過する。これに対して、サンプルＯで円偏光状態が変化された成分（右円偏光から左円偏光になった成分）やノイズ光は円偏光直線偏光変換ユニットで減衰される。そのため、グラントムソンプリズム５とダブル型のフレネルロム６からなる円偏光変換ユニットに対して、ダブル型のフレネルロム８とグラントムソンプリズム９からなる円偏光直線偏光変換ユニットを配置することで、サンプルＯを透過した所定の円偏光成分をより正確に検出できることになる。
【００３５】
図１のＣＬＣ光学素子検査装置を用いて、サンプルＯのＣＬＣ光学素子の光学特性の検査のし方を説明する。まず、サンプルＯの面内の光学特性の分布を検査するには、ＸＹステージ７上にサンプルＯを載置し、グラントムソンプリズム５とダブル型のフレネルロム６からなる円偏光変換ユニットと、ダブル型のフレネルロム８とグラントムソンプリズム９からなる円偏光直線偏光変換ユニットの、図３での垂直方向を所定角度方向に固定して、光源１を点灯し、その光源１からの４００〜７００ｎｍの波長範囲の光を集光レンズ２で集光させ、その集光光の光路中に配置され偏光解消子３で偏光を解消して無偏光光とし、偏光解消子３を通った集光光をコリメーター４で平行光にし、その無偏光光（入射光）６１をグラントムソンプリズム５とダブル型のフレネルロム６からなる円偏光変換ユニットで所定方向の円偏光光に変換する。この円偏光光を測定光としてＸＹステージ７上のサンプルＯの光軸位置に入射する。そのサンプルＯを通過した所定方向の円偏光は、ダブル型のフレネルロム８とグラントムソンプリズム９からなる円偏光直線偏光変換ユニットを経て直線偏光光に戻されて検出光（射出光）６２となり、その検出光６２は集光レンズ１０で光ファイバー１１の入射端に集光され、その中を導光されて偏光が解消され、その導光された検出光を分光光度計１２に入射させてスペクトル分光され各波長毎のサンプルＯの測定点の透過特性が検出される。
【００３６】
サンプルＯの測定点は、ＸＹステージ７を光軸に直交するＸ方向、Ｙ方向に移動調節することにより変えられるので、サンプルＯの面内の所定方向の円偏光の透過波長特性の分布がこのようにして検査される。
【００３７】
また、サンプルＯのＣＬＣ光学素子は法線の周りで異方性が存在するので、その異方性を考慮した測定をするには、測定点を通る光軸周りで、グラントムソンプリズム５とダブル型のフレネルロム６からなる円偏光変換ユニットと、ダブル型のフレネルロム８とグラントムソンプリズム９からなる円偏光直線偏光変換ユニットの角度関係を相互に固定したまま、両者を１８０°の角度範囲で順に一定角度ずつ回転させながら検出光のスペクトル分光を行うことにより、所定方向の円偏光の透過波長の角度依存性が測定できる。
【００３８】
さらに、サンプルＯに入射する測定光は、楕円率が１００％であることが望ましいが、グラントムソンプリズム５とダブル型のフレネルロム６からなる円偏光変換ユニットによっても、実質楕円率が１００％の測定光は困難であり、測定光が楕円偏光である以上、異方性を有してしまう。一方、サンプルＯのＣＬＣ層にもその螺旋の回転数が整数でない場合に異方性を有してしまうため、測定光と測定対象物の角度関係によって評価結果が異なる。そこで、得たい結果やサンプルの種類によっては、サンプルＯの方位と測定光の楕円の軸との角度関係を定める必要がある。その場合にも、測定点を通る光軸周りで、グラントムソンプリズム５とダブル型のフレネルロム６からなる円偏光変換ユニットと、ダブル型のフレネルロム８とグラントムソンプリズム９からなる円偏光直線偏光変換ユニットの角度関係を相互に固定したまま、角度調節する。
【００３９】
このように、本発明のＣＬＣ光学素子検査装置においては、下側素子群２１中の円偏光変換ユニットと、上側素子群２２中の円偏光直線偏光変換ユニットとを光軸周りで回転調節して測定を行うため、回転位置の違いによる偏光状態の差を解消するために、下側素子群２１中の光源１と集光レンズ２の間にリオの白色デポラライザー等の偏光解消子３を、上側素子群２２中の集光レンズ１０と分光光度計１２の間に偏光を解消する偏光解消ユニットとしての光ファイバー１１を配置することが望ましい。
【００４０】
また、下側素子群２１中の円偏光変換ユニットを通ってサンプルＯに至る測定光を平行光にして、その偏光状態を変化させないようにしている。ＣＬＣ層をサンプルＯとすると、ＣＬＣ層の光学特性は入射角依存性があるため、斜め入射と垂直入射では測定結果が異なる。そのため、レンズ系等を用いて、測定光を集光した光とした場合、測定結果に信頼性が得られない。本発明のＣＬＣ光学素子検査装置においては、その問題を避けるために測定光をコリメーター４で平行光としており、さらに、その平行光が円偏光変換ユニットと円偏光直線偏光変換ユニットを透過するため、高い円偏光状態の円偏光を作り出すことができている。
【００４１】
ところで、本発明のＣＬＣ光学素子検査装置の測定対象であるＣＬＣ層を持つ光学部材は、ＣＬＣ層の厚さにより特定方向の円偏光の透過反射比が決まる。ＣＬＣ光学素子検査装置においては、ＣＬＣ層が選択反射する一方の円偏光のみを入射させて、その透過反射比を測定するが、ＣＬＣ層から反射される円偏光は実質的に真円円偏光であるため、入射する円偏光が真円に近いものでないと正しい評価が得られない。もし、楕円率が小さい楕円偏光を測定光として用いた場合、実際の性能よりも透過率が高くなってしまう。また、広帯域コレステリック半透過層はどの波長であっても真円反射をするので、測定光もまた、各波長で高い楕円率が必要とされる。具体的には、楕円率は９５％以上あれば、測定データとして信頼性が得られる。上記実施例のような本発明のＣＬＣ光学素子検査装置によれば、ダブル型のフレネルロム６、８からなる広体域での４分の１位相子と、１０−６以上の高い消光比が得られるグラントムソンプリズム５、９等の直線偏光子とを組み合わせて、４００〜７００ｎｍの波長範囲において楕円率が９５％以上の円偏光を得るようにしているので、高信頼性の測定データが得られる。
【００４２】
なお、４００〜７００ｎｍの波長範囲において楕円率が９５％以上の円偏光を得るための位相子としては、複数枚の位相差板を組み合わせることでも達成可能であるが、光の損失を考えると、上記実施例のようなダブル型のフレネルロムを用いることが望ましい。また、検出側の偏光解消ユニットとしては、上記実施例のようなある程度の長さ有する光ファイバー１１や、偏光解消板、積分球、拡散板等を用いることもできる。
【００４３】
以上、本発明のコレステリック液晶光学素子検査装置を実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能である。
【００４４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明のコレステリック液晶光学素子検査装置によると、少なくとも４００〜７００ｎｍの波長を発光する光源を備え、前記光源と測定対象物の間に、前記光源から発する光源光を平行光とするコリメーターを備え、その平行光の光路中に、楕円率が９５％以上の円偏光状態の測定光に変換する円偏光変換ユニットを備え、測定対象物を通過した光を無偏光状態に変換する偏光解消ユニットを備え、前記無偏光状態に変換された検出光をスペクトル分光して各波長の強度を検出する分光光度計を備えているので、可視光全域でコレステリック液晶光学素子の光学特性を高い精度で再現性良く検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＣＬＣ光学素子検査装置の１実施例の光学系の構成を示す図である。
【図２】図１のＣＬＣ光学素子検査装置の全体の配置を示す図である。
【図３】図１の光学系の主要部の配置関係を示す図である。
【図４】図１の光学系で用いられている４分の１位相子としてのダブル型のフレネルロムの構成を説明するための図である。
【符号の説明】
Ｏ…サンプル（ＣＬＣ光学素子）
１…光源
２…集光レンズ
３…リオの白色デポラライザー（偏光解消子）
４…コリメーター
５…グラントムソンプリズム（直線偏光子）
６…ダブル型のフレネルロム（広帯域４分の１位相子）
７…ＸＹステージ
８…ダブル型のフレネルロム（広帯域４分の１位相子）
９…グラントムソンプリズム（直線偏光子）
１０…集光レンズ
１１…光ファイバー（偏光解消ユニット）
１２…分光光度計
２１…下側素子群
２２…上側素子群
３０、３０’…フレネルロム（フレネル斜方体、フレネル菱面体）
３１、３２、３３、３４…平面
４１…入射光
４２…射出光
５０…筐体
５１…下側素子群ボックス
５２…上側素子群ボックス
６１…入射光（無偏光光）
６２…射出光（検出光）
【図１】
2004279365.tif 000003
【図２】
2004279365.tif 000004
【図３】
2004279365.tif 000005
【図４】
2004279365.tif 000006