(57)【要約】【課題】バルブ本体の壁厚に影響されず容易に形成でき、装着部材との関係が明瞭で、しかも既存のバルブ装置に容易に適用できるようにする。【解決手段】バルブ装置（１）の本体（２）の外面に、本体（２）内に形成されたガス流路（３・５・９）と連通する装着穴（１１）を形成する。この装着穴（１１）に装着部材（１２）を固定し、装着部材（１２）の内端部（１７）と装着穴（１１）の内面との間にシール部（１８）を形成する。シール部（１８）よりも外方で装着穴（１１）内に位置する装着部材（１２）の外面にリークガス入口（１９）を開口する。装着部材（１２）の外端面（２０）にリークガス出口（２１）を開口する。このリークガス出口（２１）と上記のリークガス入口（１９）との間で、装着部材（１２）の肉壁内を通過する状態にガス漏れ検出孔（２２）を形成する。【選択図】  図１
2004191105.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブ装置（１）の本体（２）の外面に、本体（２）内に形成されたガス流路（３・５・９・３９・４０）と連通する装着穴（１１）を形成し、
この装着穴（１１）に装着部材（１２）を固定して、この装着部材（１２）の内端部（１７・３３）と上記の装着穴（１１）の内面との間にシール部（１８）を形成し、
上記のシール部（１８）よりも外方で上記の装着穴（１１）内に位置する装着部材（１２）の外面にリークガス入口（１９）を開口し、
上記の装着部材（１２）の外端部（２０・２４・３５）にリークガス出口（２１）を開口し、このリークガス出口（２１）と上記のリークガス入口（１９）との間で、装着部材（１２）の肉壁内を通過する状態に形成したことを特徴とする、バルブ装置の気密検査用ガス漏れ検出孔。
【請求項２】
上記の装着部材（１２）の外周面に雄ネジ部（１３）を形成して、この装着部材（１２）を上記の装着穴（１１）に螺着固定し、上記のリークガス入口（１９）を、上記の雄ネジ部（１３）の内端と前記のシール部（１８）との間で上記の装着部材（１２）の外面に開口した、請求項１に記載のバルブ装置の気密検査用ガス漏れ検出孔。
【請求項３】
上記のリークガス出口（２１）を、上記の装着部材（１２）の外端面に開口した、請求項１又は２に記載のバルブ装置の気密検査用ガス漏れ検出孔。
【請求項４】
バルブ装置（１）の本体（２）の外面に、本体（２）内に形成されたガス流路（３・５・９・３９・４０）と連通する装着穴（１１）を形成し、
この装着穴（１１）に装着部材（１２）を固定して、この装着部材（１２）の内端部（１７・３３）と上記の装着穴（１１）の内面との間にシール部（１８）を形成し、
上記のシール部（１８）よりも外方で上記の装着穴（１１）の内面に凹溝（２５）を形成して、この凹溝（２５）にリークガス入口（１９）を開口し、
上記の本体（２）の外面のうち、上記の装着穴（１１）の周囲にリークガス出口（２１）を開口し、このリークガス出口（２１）と上記のリークガス入口（１９）との間で、装着穴（１１）の内周面に沿って本体（２）の肉壁内を通過する状態に形成したことを特徴とする、バルブ装置の気密検査用ガス漏れ検出孔。
【請求項５】
上記の装着部材（１２）が、安全弁（１０）の安全部材（１５）を支持する支持部材（１４）である、請求項１から４のいずれか１項に記載のバルブ装置の気密検査用ガス漏れ検出孔。
【請求項６】
上記の装着部材（１２）が閉止弁（４）の蓋部材（３０）である、請求項１から４のいずれか１項に記載のバルブ装置の気密検査用ガス漏れ検出孔。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はバルブ装置の気密検査用ガス漏れ検出孔に関し、さらに詳しくは、バルブ本体の壁厚に影響されず容易に形成でき、装着部材との関係が明瞭で、しかも既存のバルブ装置に容易に適用できる、気密検査用ガス漏れ検出孔に関する。
【０００２】
【従来の技術】
バルブ装置の安全弁には、バルブ装置の本体の外面にノズル部を形成してこのノズル部にガス排出路と連通する装着穴を形成し、この装着穴に装着した安全部材の支持部材をノズル部に螺着した袋ナットで固定したものがある。上記の安全部材は、設定値以上に昇温したり昇圧した時など異常時に作動してガス排出路が開放されるが、平常時はこの安全部材でガス排出路が閉塞されている。
従来、上記の安全部材による閉塞状態を確認するガス漏れ検出孔は、上記の支持部材の周囲に配置された部材の肉壁内に、例えば、上記の袋ナットの肉壁内に形成される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
上記の安全弁では、バルブ装置の本体の外面にノズル部を形成してこのノズル部に螺着した袋ナットで上記の支持部材を固定したが、安全弁には、例えば図７に示すように、安全部材（５２）の支持部材（５３）をプラグ状に形成してその外周面に雄ネジ部（５４）を形成し、これを装着穴（５５）の内面に形成した雌ネジ部に螺着して固定する形式のものがある。この安全弁（６０）では、上記の支持部材（５３）と装着穴（５５）の内面との間に配置されたシール部（５６）の気密性能を検査するため、支持部材（５３）の周囲のバルブ本体（５１）の肉壁内にガス漏れ検出孔（５７）が形成してある。即ち具体的には、上記のシール部（５６）よりも外方で上記の装着穴（５５）の内面にリークガス入口（５８）を開口し、バルブ装置（５０）の本体（５１）の外面にリークガス出口（５９）を開口し、このリークガス出口（５９）と上記のリークガス入口（５８）との間に、装着穴（５５）の内面と直交する方向へバルブ本体（５１）の肉壁内を通過する状態にガス漏れ検出孔（５７）が形成してある。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１８１２９８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のガス漏れ検出孔は、安全部材の支持部材などの装着部材の周囲に配置された部材の肉壁内に形成されるため、装着部材がプラグ状やボルト状である場合には、その周囲のバルブ本体内に形成しなければならず、次のような問題点があった。
【０００６】
（１）リークガス出口は石鹸水などの検査液が皮膜を形成できるように比較的小口径に開口されるが、上記の検出孔は装着穴の内周面に対し垂直方向に透設されるため、このリークガス出口が、バルブ本体の装着穴を形成した側面ではなく、これと隣接する側面に開口される。この結果、上記の装着穴やこれに装着された装着部材を確認しただけでは、これと関連するガス漏れ検出孔の付設位置を容易に確認することができない。
（２）装着穴を形成する部位によっては、その周囲の壁厚が厚い場合があり、この場合には小径のガス漏れ検出孔を容易に透設することができない。
【０００７】
本発明は上記の問題点を解消し、バルブ本体の壁厚に影響されず容易に形成でき、装着部材との関係が明瞭で、しかも既存のバルブ装置に容易に適用できる、気密検査用ガス漏れ検出孔を提供することを技術的課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を解決するため、例えば本発明の実施の形態を示す図１から図６に基づいて説明すると、バルブ装置のガス漏れ検出孔を次のように構成したものである。
【０００９】
即ち、本発明１は、バルブ装置（１）の本体（２）の外面に、本体（２）内に形成されたガス流路（３・５・９・３９・４０）と連通する装着穴（１１）を形成し、この装着穴（１１）に装着部材（１２）を固定して、この装着部材（１２）の内端部（１７・３３）と上記の装着穴（１１）の内面との間にシール部（１８）を形成し、上記のシール部（１８）よりも外方で上記の装着穴（１１）内に位置する装着部材（１２）の外面にリークガス入口（１９）を開口し、上記の装着部材（１２）の外端部（２０・２４・３５）にリークガス出口（２１）を開口し、このリークガス出口（２１）と上記のリークガス入口（１９）との間で、装着部材（１２）の肉壁内を通過する状態に形成したことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明２は、バルブ装置（１）の本体（２）の外面に、本体（２）内に形成されたガス流路（３・５・９・３９・４０）と連通する装着穴（１１）を形成し、この装着穴（１１）に装着部材（１２）を固定して、この装着部材（１２）の内端部（１７・３３）と上記の装着穴（１１）の内面との間にシール部（１８）を形成し、上記のシール部（１８）よりも外方で上記の装着穴（１１）の内面に凹溝（２５）を形成して、この凹溝（２５）にリークガス入口（１９）を開口し、上記の本体（２）の外面のうち、上記の装着穴（１１）の周囲にリークガス出口（２１）を開口し、このリークガス出口（２１）と上記のリークガス入口（１９）との間で、装着穴（１１）の内周面に沿って本体（２）の肉壁内を通過する状態に形成したことを特徴とする。
【００１１】
【作用】
上記の装着部材の内端部と装着穴の内面との間に形成した上記のシール部が、バルブ本体内に形成された前記のガス流路と装着穴の外部との間を確実に遮断しているかは、気密検査用ガス漏れ検出孔を用いて次の手順で検査される。
上記のガス流路に高圧ガスを導入した状態で、前記のリークガス出口に石鹸水など膜形成剤が塗付され、リークガス出口がこの膜形成剤の皮膜で覆われる。なおこのとき、上記のリークガス出口は、本発明１では装着部材の外端部に開口されており、本発明２では装着穴の周囲の本体外面に開口されているので、装着部材に関する検出孔が容易に確認される。
【００１２】
上記のシール部が確実に封止されている場合は、リークガス出口を覆う膜成形剤の皮膜に変化がない。これに対し、上記のシール部からガスが漏出している場合には、リークガスが前記のリークガス入口からガス漏れ検出孔を経てリークガス出口に達し、このリークガス出口を覆う膜形成剤の皮膜を膨らませ、泡を形成する。これにより上記のシール部での封止が不十分であることが確認される。
【００１３】
上記の装着部材はその周面に雄ネジ部を形成し、装着穴の内周面に雌ネジ部を形成して螺着することにより固定してもよい。この場合、本発明１において、上記のリークガス入口は雄ネジ部の中間部に設けてもよいが、この雄ネジ部の内端と前記のシール部との間で上記の装着部材の外面に開口した場合には、装着部材をネジ嵌合で確りと装着穴に固定できるうえ、リークガスがネジ溝に沿って螺旋状に進む必要がなく、リークガス入口からガス漏れ検出孔を経てリークガス出口に容易に案内されるので、シール部からのガスの漏洩を速やかに検出することができ、より好ましい。
【００１４】
また、本発明１において、上記の装着部材の外端部を本体外面から突出させた場合は、上記のリークガス出口をこの外端部の側面に形成してもよい。しかし、このリークガス出口を装着部材の外端面に開口した場合には、バルブ装置の外方から装着部材を確認するだけで、直ちにその装着部材に関するガス漏れ検出孔を確認することができ、より好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１は本発明の第１実施形態を示し、図１（ａ）は安全弁に気密検査用ガス漏れ検出孔を形成したバルブ装置の断面図、図１（ｂ）は安全弁の断面図、図１（ｃ）は安全弁の正面図である。
【００１６】
図１（ａ）に示すように、このバルブ装置（１）はバルブ本体（２）内にガス流路である入口路（３）と出口路（５）とを形成し、この入口路（３）と出口路（５）の間に閉止弁（４）を形成してある。この閉止弁（４）は閉止部材（６）を操作ハンドル（７）で弁座（８）に対して進退させることで開閉するように構成してある。また、上記の入口路（３）の中間部には他のガス流路であるガス排出路（９）が分岐してあり、このガス排出路（９）に安全弁（１０）を設けてある。
【００１７】
上記の安全弁（１０）はバルブ本体（２）の外面に、上記のガス排出路（９）と連通する装着穴（１１）を形成し、この装着穴（１１）に装着部材（１２）として、外周面に雄ネジ部（１３）を有するプラグ状の支持部材（１４）を螺着固定し、この支持部材（１４）に可溶合金からなる安全部材（１５）を充填して、上記のガス排出路（９）を封止してある。上記の可溶合金は設定温度以上に昇温すると溶融して支持部材（１４）の排出口（１６）から排出され、上記のガス排出路（９）が開放されて前記の入口路（３）内のガスが外部へ安全に排出される。
【００１８】
上記の安全弁（１０）は平常時は上記のガス排出路（９）を封止しており、このため図１（ｂ）に示すように、上記の支持部材（１４）の内端部（１７）と前記の装着穴（１１）の内面との間にシール部（１８）が装着してある。
そして、このシール部（１８）の気密性能を検査できるように、このシール部（１８）よりも外方で、上記の雄ネジ部（１３）の内端とシール部（１８）との間の、上記の支持部材（１４）の外周面にリークガス入口（１９）を開口し、支持部材（１４）の外端面（２０）にリークガス出口（２１）を開口し、このリークガス出口（２１）と上記のリークガス入口（１９）との間で、支持部材（１４）の肉壁内を通過する状態にガス漏れ検出孔（２２）を形成してある。
【００１９】
図１（ｃ）に示すように、上記のリークガス出口（２１）は、装着部材（１２）である支持部材（１４）の外端面（２０）に開口しているため、バルブ装置（１）の外方から安全弁（１０）やその支持部材（１４）を確認するだけで、直ちにこの安全弁（１０）のガス漏れ検出孔（２２）を確認することができる。そして気密検査を実施する際には、前記の入口路（３）内を加圧した状態で、上記のリークガス出口（２１）に石鹸水など膜形成剤を塗付し、この膜形成剤の皮膜でリークガス出口（２１）を覆う。この皮膜に変化がない場合は、前記のシール部（１８）での気密が維持されており、上記の皮膜が膨らんで泡を形成した場合は、上記のシール部（１８）での封止が不十分であると判定される。なお、上記のリークガス出口（２１）は特定の形状に限定されないが、円形など閉じた形状であると上記の皮膜の形成が容易であり、好ましい。
【００２０】
上記の安全弁やガス漏れ検出孔は、例えば図２に示す変形例にすることができる。
即ち、図２（ａ）に示す第１変形例では、上記の支持部材（１４）の内端部（１７）に段差部（２３）を形成してあり、上記のリークガス入口（１９）は支持部材（１４）の外周面ではなく、この段差部（２３）に開口したものである。この場合、上記のガス漏れ検出孔（２２）は、リークガス入口（１９）とリークガス出口（２１）との間を、支持部材（１４）の外周面に沿って直線状に形成することができる。
【００２１】
図２（ｂ）に示す第２変形例では、安全部材（１５）を支持する支持部材（１４）をボルト状に形成し、このボルト状支持部材（１４）の頭部（２４）をバルブ本体（２）の外面から突出させたものである。上記のリークガス出口（２１）は、この頭部（２４）に開口されている。このように支持部材（１４）の外端部をバルブ本体（２）の外面から突出させてある場合は、例えば図２（ｃ）に示す第３変形例のように、上記の頭部（２４）の周面にリークガス出口（２１）を開口させてもよい。
【００２２】
図３は本発明の第２実施形態を示し、図３（ａ）は気密検査用ガス漏れ検出孔を形成した安全弁の断面図、図３（ｂ）は安全弁の正面図である。
この第２実施形態では、図３（ａ）に示すように、前記の第１実施形態と同様のバルブ装置の本体（２）に前記と同様の安全弁（１０）が設けられている。即ち、バルブ装置の本体（２）の外面に、本体（２）内に形成されたガス流路（３）と連通する装着穴（１１）を形成し、この装着穴（１１）に装着部材（１２）であるプラグ状支持部材（１４）を螺着固定して、この支持部材（１４）の内端部（１７）と上記の装着穴（１１）の内面との間にシール部（１８）を設けてある。
【００２３】
上記の装着穴（１１）の内面には、上記のシール部（１８）よりも外方の部位に環状の凹溝（２５）を形成してあり、この凹溝（２５）にリークガス入口（１９）を開口してある。また、バルブ本体（２）の外面には上記の装着穴（１１）の周囲にリークガス出口（２１）を開口してあり、このリークガス出口（２１）と上記のリークガス入口（１９）との間に、上記の装着穴（１１）の内周面に沿って本体（２）の肉壁内を通過する状態に、ガス漏れ検出孔（２２）が形成してある。
その他の構成は、例えば上記の支持部材（１４）に可溶合金からなる安全部材（１５）が支持されているなど、上記の第１実施形態と同様であり、同様に操作されてシール部（１８）の気密性能が検査される。
【００２４】
前記の各実施形態ではいずれも安全弁に適用した場合について説明したが、本発明のガス漏れ検出孔はバルブ装置の他の部材に適用することも可能であり、例えば図４に示す第３実施形態では、閉止弁の蓋部材にガス漏れ検出孔を形成してある。
【００２５】
即ち、このバルブ装置（１）の本体（２）には、図４における上面に装着穴（１１）を形成して、この装着穴（１１）の奥部に閉止弁（４）の閉止弁室（２６）を形成してある。この閉止弁室（２６）は、バルブ本体（２）の下面に設けたガス入口（２７）と入口路（３）を介して連通してあり、本体（２）の側面に設けたガス出口（２８）と出口路（５）を介して連通してある。上記の閉止弁室（２６）内には、閉止部材（６）が弁座（８）に対して進退可能に挿入してあり、この閉止部材（６）に伝動部材（２９）を連動連結してある。上記の装着穴（１１）には、装着部材（１２）としての蓋部材（３０）が螺着固定してあり、この蓋部材（３０）の中央に形成した挿通孔（３１）に上記の伝動部材（２９）が、Ｏリング（３２）を介して気密摺動可能に挿入してある。
【００２６】
上記の蓋部材（３０）の内端部（３３）は上記の装着穴（１１）の内面に形成した段部（３４）に圧接してあり、これにより、この内端部（３３）と装着穴（１１）の内面との間にシール部（１８）を形成してある。そして、このシール部（１８）よりも外方の、上記の蓋部材（３０）の外周面には、雄ネジ部（１３）の内端とシール部（１８）との間にリークガス入口（１９）が開口してある。また、上記の蓋部材（３０）の上端面（３５）にはリークガス出口（２１）が開口してあり、このリークガス出口（２１）と上記のリークガス入口（１９）との間に、蓋部材（３０）の外周面に沿って、この蓋部材（３０）の肉壁内を通過するガス漏れ検出孔（２２）が形成してある。
【００２７】
上記の気密検査用ガス洩れ検出孔（２２）は、前記の第１実施形態と同様に操作されて、上記のリークガス出口（２１）に膜形成剤が塗付され、上記のシール部（１８）の気密性能が検査される。
【００２８】
本発明が適用されるバルブ装置の閉止弁は、上記の第３実施形態のものに限定されず、例えば図５に示す第４実施形態ではダイヤフラムを備えるバルブ装置に適用してある。
即ち、この第４実施形態では、蓋部材（３０）に挿通して支持される伝動部材（２９）と閉止弁室（２６）に挿入した閉止部材（６）との間にダイヤフラム（３６）を配置してある。このダイヤフラム（３６）の外周縁は装着部材（１２）である蓋部材（３０）の内端部（３３）と装着穴（１１）内面の段部（３４）との間に挟着され、このダイヤフラム（３６）の外周縁でシール部（１８）が構成してある。これにより、このダイヤフラム（３６）で上記の閉止弁室（２６）と装着穴（１１）内とが気密状に区画されている。
【００２９】
上記の蓋部材（３０）にはガス洩れ検出孔（２２）が形成されるなど、その他の構成は上記の第３実施形態と同様であり、同様に操作されて上記のシール部（１８）の気密性能が検査される。
なお、この第４実施形態では、上記の蓋部材（３０）の内周面に第２のリークガス入口（４１）が開口してあり、この第２リークガス入口（４１）を上記のガス漏れ検出孔（２２）に連通してある。これにより、上記と同様に操作してガス漏れ検出孔（２２）からのリークガスの有無を検査することで、前記の閉止部材（６）と伝動部材（２９）とに挟持されたダイヤフラム（３６）が摩耗等により破損して気密性能を失っていないかを、前記のシール部（１８）の気密性能とともに確認することができる。
【００３０】
本発明が適用されるバルブ装置は容器弁に適しているが、他のバルブ装置にも適用することができる。例えば図６に示す第５実施形態では、射出成形装置などに用いられる高圧ガス流路に設けたバルブ装置に適用される。
即ちこの第５実施形態では、射出成形装置（３７）に付設されるベース（３８）に第１ガス流路（３９）と第２ガス流路（４０）が形成してあり、この両ガス流路（３９・４０）間に閉止弁（４）の閉止弁室（２６）が形成してある。上記のベース（３８）は閉止弁（４）の本体（２）を構成しており、このベース（３８）の外面に装着穴（１１）が形成してあり、この装着穴（１１）の奥部こ上記の閉止弁室（２６）が形成されている。そして前記の第３実施形態と同様、この閉止弁室（２６）には閉止部材（６）が挿入され、この閉止部材（６）に伝動部材（２９）が連動連結され、この伝動部材（２９）を案内支持する状態に、装着部材（１２）である蓋部材（３０）が装着穴（１１）に螺着固定してあり、この蓋部材（３０）にガス洩れ検出孔（２２）が形成してある。
【００３１】
この第５実施形態では、上記の装着穴（１１）とベース（３８）の側面との間隔が広く装着穴（１１）の周囲の壁厚が厚いため、前記の従来技術のように装着穴の内面と直交方向へガス洩れ検出孔を形成する場合と異なり、本発明が好適に適用される。そして上記の第３実施形態と同様に操作され、上記の蓋部材（３０）の上端面に開口されたリークガス出口（２１）に膜形成剤が塗布され、蓋部材（３０）の内端部（３３）と装着穴（１１）の内面との間に形成されたシール部（１８）の気密性能が検査される。
【００３２】
なお、本発明のバルブ装置の気密検査用ガス洩れ検出孔は、装着穴へ装着部材を気密状に装着するものであれば適用でき、上記の各実施形態のものに限定されないことは言うまでもない。
【００３３】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成され作用することから、次の効果を奏する。
【００３４】
（１）  ガス漏れ検出孔は、本発明１では装着部材の肉壁内に形成され、本発明２では装着穴の内周面に沿って形成されるので、例えばバルブ本体など周囲の部材の壁厚や構造に影響されることなく、容易に形成することができる。
【００３５】
（２）  本発明１ではリークガス出口が装着部材の外端部に形成され、本発明２では本体外面のうちの装着穴の周囲に形成されるので、装着部材を確認するだけで、これに関するガス漏れ検出孔を容易に確認することができる。
【００３６】
（３）  本発明１では、ガス漏れ検出孔は装着部材の肉壁内に形成されるので、既存のバルブ装置にこのガス漏れ検出孔を備えた装着部材に交換するだけで、容易にガス漏れ検出孔を備えたバルブ装置にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示し、図１（ａ）は安全弁に気密検査用ガス漏れ検出孔を形成したバルブ装置の断面図、図１（ｂ）は安全弁の断面図、図１（ｃ）は安全弁の正面図である。
【図２】第１実施形態の変形例を示し、図２（ａ）は第１変形例の、図２（ｂ）は第２変形例の、図２（ｃ）は第３変形例の、それぞれ気密検査用ガス漏れ検出孔を形成した安全弁の断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態を示し、図３（ａ）は気密検査用ガス漏れ検出孔を形成した安全弁の断面図、図３（ｂ）は安全弁の正面図である。
【図４】本発明の第３実施形態を示す、閉止弁の蓋部材に気密検査用ガス漏れ検出孔を形成したバルブ装置の一部破断面図である。
【図５】
本発明の第４実施形態を示す、閉止弁の蓋部材に気密検査用ガス漏れ検出孔を形成したバルブ装置の要部の断面図である。
【図６】本発明の第５実施形態を示す、閉止弁の蓋部材に気密検査用ガス漏れ検出孔を形成したバルブ装置の断面図である。
【図７】従来技術を示し、図７（ａ）は安全弁を備えたバルブ装置の断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【符号の説明】
１…バルブ装置、２…バルブ装置の本体、３…入口路（ガス流路）、４…閉止弁、５…出口路（ガス流路）、９…ガス排出路（ガス流路）、１０…安全弁、１１…装着穴、１２…装着部材、１３…雄ネジ部、１４…支持部材、１５…安全部材、１７…支持部材の内端部、１８…シール部、１９…リークガス入口、２０…支持部材の外端面（外端部）、２１…リークガス出口、２２…ガス漏れ検出孔、２４…支持部材の頭部（外端部）、２５…凹溝、３０…蓋部材、３３…蓋部材の内端部、３５…蓋部材の上端面（外端部）、３９…第１ガス流路、４０…第２ガス流路。
【図１】
2004191105.tif 000003
【図２】
2004191105.tif 000004
【図３】
2004191105.tif 000005
【図４】
2004191105.tif 000006
【図５】
2004191105.tif 000007
【図６】
2004191105.tif 000008
【図７】
2004191105.tif 000009