(57)【要約】【課題】本発明は表面荒れおよび４００−７８０ｎｍにおける透過率が高いために透明性の低下がなく、塗布欠陥がなく、解像度がよく、基板エッジ部分の平坦性を良好にできる感光性樹脂組成物、該組成物を使用したカラーフィルターおよび液晶表示装置を提供する。【解決手段】（Ａ）下記（ａ）〜（ｄ）の化合物を反応させて得られる反応生成物、（ａ）複数のイソシアネート基を有する化合物（ｂ）１価のアルコール（ｃ）−ＯＨ基、−ＮＨ２基および−ＮＨＲ基（Ｒは炭素数１〜４個のアルキル基を示す。）からなる群から選ばれる２〜３個の基を有し、−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基、−ＣＯＮＨ−基、−Ｓ−基および−ＳＯ２−基からなる群から選ばれる少なくとも１個の基を有していてもよい化合物（ｄ）３級アミン化合物（Ｂ）バインダーポリマー、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）溶剤を含有し、実質的に着色剤を含有しない感光性樹脂組成物。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）下記（ａ）〜（ｄ）の化合物を反応させて得られる反応生成物、
（ａ）複数のイソシアネート基を有する化合物
（ｂ）１価のアルコール
（ｃ）−ＯＨ基、−ＮＨ２基および−ＮＨＲ基（Ｒは炭素数１〜４個のアルキル基を示す。）からなる群から選ばれる２〜３個の基を有し、−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基、−ＣＯＮＨ−基、−Ｓ−基および−ＳＯ２−基からなる群から選ばれる少なくとも１個の基を有していてもよい化合物
（ｄ）３級アミン化合物
（Ｂ）バインダーポリマー、
（Ｃ）光重合性化合物、
（Ｄ）光重合開始剤および
（Ｅ）溶剤を含有し、実質的に着色剤を含有しない感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ａ）（ａ）複数のイソシアネート基を有する化合物が、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネートおよび脂環式ポリイソシアネートからなる群から選ばれる少なくとも１種である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
（Ａ）（ａ）複数のイソシアネート基を有する化合物が、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリメチレンポリフェニルポリイソシアネート、トリジンイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネートおよびジシクロヘキシルメタンジイソシアネートからなる群から選ばれる少なくとも１種を反応させて得られる化合物である請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ａ）（ａ）複数のイソシアネート基を有する化合物が、下記化合物（ａ−１）〜（ａ−８）からなる群から選択される少なくとも１種の化合物である請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【化１】
2004004531.tif 000006
【請求項５】
（Ａ）（ｂ）１価のアルコールが
Ｙ−ＯＨ
で示される化合物である請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［式中、Ｙは
（１）炭素数８〜３０個の脂肪族炭化水素基（前記脂肪族炭化水素基は、ハロゲン原子およびアリール基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基によって置換されていてもよく、酸素原子を含まない。）、
（２）炭素数６〜３０個の脂環式炭化水素基（前記脂環式炭化水素基は、ハロゲン原子およびアリール基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基によって置換されていてもよく、酸素原子を含まない。）、
（３）−Ｏ−基および−ＣＯＯ−基からなる群から選ばれる少なくとも１個を有する脂肪族炭化水素基（前記脂肪族炭化水素基は、ハロゲン原子で置換されていてもよい）、
（４）−Ｏ−基および−ＣＯＯ−基からなる群から選ばれる少なくとも１個を有する脂環式炭化水素基（前記脂環式炭化水素基は、ハロゲン原子で置換されていてもよい）
および
（５）−Ｏ−基および−ＣＯＯ−基からなる群から選ばれる少なくとも１個を有する芳香族炭化水素基（前記芳香族炭化水素基は、ハロゲン原子で置換されていてもよい）
からなる群から選ばれる基を示す。ただし、Ｙは、窒素原子を含まない。］
【請求項６】
（Ａ）（ｃ）−ＯＨ基、−ＮＨ２基および−ＮＨＲ基（Ｒは前記の定義と同じである。）からなる群から選ばれる２〜３個の基を有し、−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基、−ＣＯＮＨ−基、−Ｓ−基および−ＳＯ２−基からなる群から選ばれる少なくとも１個の基を有していてもよい化合物が、
Ｇ−（Ｅ）ｎ
で示される化合物である請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［式中、
Ｇは、脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基および芳香族炭化水素基からなる群から選ばれる基を示す。
前記したＧの各炭化水素基は、それぞれ独立に、−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基、−ＣＯＮＨ−基、−Ｓ−基および−ＳＯ２−基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を含有していてもよい。
ｎは、２または３を示す。
Ｅは、−ＯＨ基、−ＮＨ２基および−ＮＨＲ基（Ｒは前記の定義と同じである。）からなる群から選ばれる基を示し、Ｅは互いに同一でも異なってもよい。］
【請求項７】
（Ａ）（ｄ）３級アミン化合物が、
Ｚ−Ｑ
で示される化合物である請求項１〜６のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［式中、
Ｚは、３級アミンを形成しうる基を有する炭素数２〜１０個の脂肪族炭化水素基
または
窒素原子を少なくとも１個含有する複素環式炭化水素基（ただし、前記窒素原子は水素原子と結合していない。）を示す。
前記複素環式炭化水素基は、炭素数１〜１０個のアルキレン基を介してＱ基に結合していてもよい。
Ｑは、−ＯＨ基、−ＮＨ２基、−ＮＨＲ基（Ｒは前記の定義と同じである。）お
よび−ＳＨ基からなる群から選ばれる基を示す。］
【請求項８】
（Ａ）で示される反応生成物を、（Ｂ）バインダーポリマーと（Ｃ）光重合性化合物との合計量１００質量部あたりに固型分換算で０．５質量部以上５０質量部以下含有してなる請求項１〜７のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
（Ｆ）シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種の界面活性剤を含む請求項１〜８のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
（Ｆ）で示される界面活性剤の含有量が、（Ｆ）界面活性剤を除く感光性樹脂組成物を１００質量部として、０．０００１質量部以上０．６質量部以下である請求項１〜９のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
基板または基板の上に形成された固体の着色感光性樹脂組成物層の上に、請求項１〜１０のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して揮発成分が除去された層を露光し、現像するパターンの形成方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載された方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタ。
【請求項１３】
請求項１２に記載されたカラーフィルタを使用した液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性樹脂組成物に関し、特にカラーフィルタに用いられる無色透明材料、例えば、オーバーコート、フォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための無色透明コート剤などを形成するのに好適なカラーフィルタ形成のために用いられる無色透明な感光性樹脂組成物、および、それを用いて形成するカラーフィルタ、さらに、前記カラーフィルタを使用する液晶表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶素子に色分解用カラーフィルタを組み合わせたカラー液晶表示素子が種々提案されている。ここで、カラーフィルタとは、光透過性基板上に形成された赤、緑、青の３原色の画素を一絵素とした多数の絵素から構成され、各画素間には、表示コントラストを高めるために、一定の幅をもつ遮光領域（ブラックマトリクス）が設けられている場合もある。また、オーバーコートやフォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための無色透明コート剤、透明電極を配しているものもある。
【０００３】
このような画素、ブラックマトリクスを構成する樹脂組成物として、また、オーバーコートやフォトスペーサー、着色パターンの膜厚をあわせるための無色透明コート剤（以下、無色透明コート剤等ということがある。）に用いる樹脂組成物として、従来、シロキサンポリマー、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等の熱硬化性樹脂や感光性樹脂等を含んだ樹脂組成物が使用されてきた。
【０００４】
しかしながら、上記した熱硬化性樹脂を含んだ従来の組成物を無色透明コート剤等に用いた場合、画素の表面に荒れが発生するため、光散乱により透過率が低下して、無色透明コート剤等として機能しにくいという問題があった。また、前記組成物では、熱硬化性樹脂の硬化物による粒状異物等の塗布欠陥が発生しやすく、一旦粒状異物等の塗布欠陥が発生すると、これがカラーフィルタ中の異物となって、例えば、カラー液晶表示装置により表示されるカラー画像やカラー固体撮像素子により撮影されるカラー画像などの品質を低下させ、良好なカラーフィルタおよび液晶表示装置が得られにくいという問題があった。
また、上記した感光性樹脂を含んだ従来の組成物では、透明層を作成する際に、解像度が悪いという問題があった。解像度が悪いと、半透過型カラーフィルタの膜厚合わせ用部材に使用する場合、反射部と透過部の境で色が異なり、これがカラー液晶表示装置により表示されるカラー画像やカラー固体撮像素子により撮影されるカラー画像などの品質を低下させる。
また、従来の熱硬化性樹脂や感光性樹脂を含んだ組成物を用いた場合、オーバーコート材として使用すると、面内均一性が悪いだけでなく、基板エッジ部分の膜厚が厚くなったり、フォトスペーサーとして使用すると、セルギャップが不均一になることより表示ムラが発生したり、着色パターンの膜厚をあわせるための無色透明コート剤として使用すれば、膜厚変動により色視認性が異なったりするという問題点もあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、表面荒れおよび透明性の低下がなく、また塗布欠陥がなく、さらに解像度が良好で、基板エッジ部分の平坦性が良好な感光性樹脂組成物、前記組成物を使用したカラーフィルタおよび液晶表示装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明者は、鋭意検討の結果、特定の化合物を反応させて得られる反応生成物を含有した感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成すると、表面荒れおよび４００−７８０ｎｍにおける透過率が高いために透明性の低下がなく、塗布欠陥がなく、解像度がよく、基板エッジ部分の平坦性を良好にできることを見出し、本発明に至った。
【０００７】
すなわち、本発明は、
（Ａ）下記（ａ）〜（ｄ）の化合物を反応させて得られる反応生成物、
（ａ）複数のイソシアネート基を有する化合物
（ｂ）１価のアルコール
（ｃ）−ＯＨ基、−ＮＨ２基および−ＮＨＲ基（Ｒは炭素数１〜４個のアルキル基を示す。）からなる群から選ばれる２〜３個の基を有し、−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基、−ＣＯＮＨ−基、−Ｓ−基および−ＳＯ２−基からなる群から選ばれる少なくとも１個の基を有していてもよい化合物
（ｄ）３級アミン化合物
（Ｂ）バインダーポリマー、
（Ｃ）光重合性化合物、
（Ｄ）光重合開始剤および
（Ｅ）溶剤を含有し、実質的に着色剤を含有しない感光性樹脂組成物、前記の感光性樹脂組成物を基板または基板の上に形成された固体の着色感光性樹脂組成物層の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して揮発成分が除去された層を露光し、現像するパターンの形成方法、前記方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタおよび前記カラーフィルタを使用した液晶表示装置を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明において用いられる（Ａ）反応生成物は、
（ａ）複数のイソシアネート基を有する化合物、
（ｂ）１価のアルコール、
（ｃ）−ＯＨ基、−ＮＨ２基および−ＮＨＲ基（Ｒは炭素数１〜４個のアルキル基を示す。）からなる群から選ばれる２〜３個の基を有し、−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基、−ＣＯＮＨ−基、−Ｓ−基および−ＳＯ２−基からなる群から選ばれる少なくとも１個の基を有していてもよい化合物および
（ｄ）３級アミン化合物とを反応させて得られる。
【０００９】
本発明において用いられる（Ａ）（ａ）複数のイソシアネート基を有する化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネートおよび脂環式ポリイソシアネートから選ばれる少なくとも１種が挙げられる。好ましくは２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリメチレンポリフェニルポリイソシアネート、トリジンイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネートおよびジシクロヘキシルメタンジイソシアネートから選ばれる少なくとも１種を反応させて得られる化合物などが挙げられ、さらに好ましくは、例えば、下記の化合物（ａ−１）〜（ａ−８）からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましい。
【００１０】
【化２】
2004004531.tif 000002
【００１１】
本発明において用いられる（Ａ）（ｂ）１価のアルコールとしては、
Ｙ−ＯＨ
で示される化合物が挙げられる。［式中、Ｙは
（１）炭素数８〜３０個の脂肪族炭化水素基（前記脂肪族炭化水素基は、ハロゲン原子およびアリール基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基によって置換されていてもよく、酸素原子を含まない。）、
（２）炭素数６〜３０個の脂環式炭化水素基（前記脂環式炭化水素基は、ハロゲン原子およびアリール基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基によって置換されていてもよく、酸素原子を含まない。）、
（３）−Ｏ−基および−ＣＯＯ−基からなる群から選ばれる少なくとも１個を有する脂肪族炭化水素基（前記脂肪族炭化水素基はハロゲン原子で置換されていてもよい）、
（４）−Ｏ−基および−ＣＯＯ−基からなる群から選ばれる少なくとも１個を有する脂環式炭化水素基（前記脂環式炭化水素基はハロゲン原子で置換されていてもよい）および
（５）−Ｏ−基および−ＣＯＯ−基からなる群から選ばれる少なくとも１個を有する芳香族炭化水素基（前記芳香族炭化水素基はハロゲン原子で置換されていてもよい）からなる群から選ばれる基を示す。ただし、Ｙは、窒素原子を含まない。］
【００１２】
前記化合物としては、例えば、オクタノール、ノナノール、デカノール、ウンデカノール、ドデカノール、ラウリルアルコール、ステアリルアルコール、ヘプタデカフルオロデカノール、ポリエーテル、ポリエステルまたはそれらの混合物などが挙げられる。
【００１３】
前記ポリエーテルとしては、例えば、ポリエチレングリコールやポリプロピレングリコールなどが挙げられる。前記ポリエステルとしては、例えば、−ＯＨ基を１個有する化合物と、プロピオラクトン、バレロラクトン、カプロラクトンのようなラクトンまたはこれらの置換誘導体などを原料とする開環重合ポリエステルを反応させた化合物などが挙げられる。−ＯＨ基を１個有する化合物としては、例えば、ｎ−ブタノール、ｎ−ペンタノール、ｎ−ヘキサノール、ｎ−ヘプタノール、ｎ−オクタノール、ｎ−ノナノール、ｎ−デカノール、ｎ−ウンデカノール、ｎ−ドデカノール、オレイルアルコール、リネロイルアルコール、オキソアルコール、シクロヘキサノール、フェニルエタノールまたはネオペンチルアルコールなどの長鎖の飽和および不飽和アルコール、またはそれ以上のアルコールのフッ素化されたもののような炭素数４〜３０、好ましくは４〜１４の１価アルコールが挙げられる。
【００１４】
本発明において用いられる（Ａ）（ｃ）−ＯＨ基、−ＮＨ２基および−ＮＨＲ基（Ｒは前記の定義と同じである。）からなる群から選ばれる２〜３個の基を有し、−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基、−ＣＯＮＨ−基、−Ｓ−基および−ＳＯ２−基からなる群から選ばれる少なくとも１個の基を有していてもよい化合物としては、
Ｇ−（Ｅ）ｎ
で示される化合物などが挙げられる。［式中、
Ｇは脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基および芳香族炭化水素基からなる群か
ら選ばれる基を示す。
前記したＧの各炭化水素基は、それぞれ独立に、−Ｏ−基、−ＣＯＯ−基、−ＣＯＮＨ−基、−Ｓ−基および−ＳＯ２−基からなる群から選ばれる少な
くとも１種の基を有していてもよい。
ｎは２または３を示す。
Ｅは−ＯＨ基、−ＮＨ２基および−ＮＨＲ基（Ｒは前記の定義と同じである。）
からなる群から選ばれる基を示し、Ｅは互いに同一でも異なってもよい。］
【００１５】
前記化合物としては、例えば、炭素数２〜１２のジオール、炭素数２〜１２のトリオール、炭素数２〜１２のジアミン、炭素数２〜１２のジアルカノールアミンまたは炭素数２〜１２のモノアルカノールアミン；ブタンジオール、ヘキサンジオール、シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、アルキル基で置換されたジアルカノールアミン、グリセロール、トリメチロールプロパン、脂肪酸のジアルカノールアミン、チオジグリコール、ジ（４−ヒドロキシフェニル）−スルホンなどのジヒドロキシアルキルスルフィドおよびジヒドロキシアルキルスルホンなどが挙げられる。
【００１６】
本発明において用いられる（Ａ）（ｄ）３級アミン化合物としては、
Ｚ−Ｑ
で示される化合物などが挙げられる。［式中、
Ｚは３級アミンを形成しうる基を有する炭素数２〜１０個の脂肪族炭化水素基
または
窒素原子を少なくとも１個含有する複素環式炭化水素基（ただし、前記窒素原
子は水素原子と結合していない。）を示す。
前記複素環式炭化水素基は炭素数１〜１０個のアルキレン基を介してＱ基
に結合していてもよい。
Ｑは−ＯＨ基、−ＮＨ２基、−ＮＨＲ基（Ｒは前記の定義と同じである。）およ
び−ＳＨ基からなる群から選ばれる基を示す。］
【００１７】
前記化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１，３−プロパンジアミン、４−（２−アミノエチル）ピリジン、２−アミノ−６−メトキシベンゾチアゾール、４−（アミノメチル）ピリジン、Ｎ，Ｎ−ジアリルメラミン、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、１−（３−アミノプロピル）イミダゾール、４−（２−ヒドロキシエチル）ピリジン、１−（２−ヒドロキシエチル）イミダゾール、３−メルカプト−１，２，４−トリアゾール、Ｎ，Ｎ−ジエチル−１，４−ブタンジアミン、１−（２−アミノエチル）ピペラジン、２−（１−ピロリジル）エチルアミン、４−アミノ−２−メトキシピリミジン、２−ジメチルアミノエタノール、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−メルカプトピリミジン、２−メルカプトベンゾイミダゾールなどが挙げられ、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１，３−プロパンジアミン、４−（２−アミノエチル）ピリジン、２−アミノ−６−メトキシベンゾチアゾール、４−（アミノメチル）ピリジン、Ｎ，Ｎ−ジアリルメラミン、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、１−（３−アミノプロピル）イミダゾール、４−（２−ヒドロキシエチル）ピリジン、１−（２−ヒドロキシエチル）イミダゾールおよび３−メルカプト−１，２，４−トリアゾールは特に好ましい。
【００１８】
上記した（ａ）〜（ｄ）の成分を反応させる方法として、以下の方法が挙げられる。
（１）まず（ａ）と（ｂ）を反応させる。当初に供した（ａ）で示される化合物のイソシアネート基のうち、１５〜４０％、好ましくは２０〜４０％、特に好ましくは２０〜３５％と反応する量の（ｂ）で示される化合物と反応させる。
（２）次いで前記（１）の反応で得られた反応生成物を、未反応のイソシアネート基の合計が少なくとも４０％でかつ多くとも７５％、好ましくは４５〜６５％、特に好ましくは４５〜５５％となる量の（ｃ）で示される化合物と反応させる。
（３）さらに、前記（２）の反応で得られた反応生成物において、未反応で残ったイソシアネート基に対して少なくとも１個の分子が割り当てられる量の（ｄ）で示される化合物と反応させる。
【００１９】
上記した（ａ）〜（ｄ）の成分を反応させて得られた（Ａ）反応生成物としては、例えば、特開昭６２−７０４５９号公報などに例示され、具体的には、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１５、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６３、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６４、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６６、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６９、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７４、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２（いずれもＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられ、中でもＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０が好ましい。
【００２０】
前記反応生成物の含有量は、（Ｂ）バインダーポリマーと（Ｃ）光重合性化合物との合計量１００質量部あたりに対して、通常０．５質量部以上５０質量部以下、好ましくは１質量部以上４０質量部以下、とりわけ好ましくは２質量部以上３０質量部以下である。０．５質量部以上５０質量部以下であると、表面荒れがなく、未露光部の現像液への溶解性が良好で、解像度も優れる傾向があり、好ましい。
【００２１】
本発明で用いられる（Ｂ）バインダーポリマーとしては、アクリル系共重合体が使用でき、例えば、カルボキシル基含有モノマーおよびこれと共重合可能な他のモノマーとの共重合体などが挙げられる。
【００２２】
カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２−メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよく、具体的には、例えば、こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、こはく酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、具体的にはω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００２３】
前記カルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物；
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｉ−ブチルアクリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２−フェノキシエチルアクリレート、２−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類；
２−アミノエチルアクリレート、２−アミノエチルメタクリレート、２−ジメチルアミノエチルアクリレート、２−ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−アミノプロピルアクリレート、２−アミノプロピルメタクリレート、２−ジメチルアミノプロピルアクリレート、２−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、３−アミノプロピルアクリレート、３−アミノプロピルメタクリレート、３−ジメチルアミノプロピルアクリレート、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類；
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類；
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物；
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類；
マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類；
１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類；
ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−ｎ−ブチルアクリレート、ポリ−ｎ−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。これらのモノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００２４】
前記共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、質量分率で通常１０〜５０質量％、好ましくは１５〜４０質量％、とりわけ好ましくは２５〜４０質量％である。
前記した、カルボキシル基含有モノマー単位の含有量が、１０〜５０質量％であると、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパターンが正確に形成される傾向があり、好ましい。
前記アクリル系重合体としては、例えば、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／アリル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体などが挙げられる。なお、（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートであることを示す。
【００２５】
中でも（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体などが好ましい。
【００２６】
前記アクリル系重合体は、そのポリスチレン換算重量平均分子量が通常３，０００〜４００，０００、好ましくは５，０００〜１００，０００、とりわけ好ましくは２０，０００〜４０，０００である。分子量が３，０００〜４００，０００であると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。
また、酸価は通常３０〜２５０、好ましくは６０〜１８０であり、とりわけ好ましくは９０〜１６０である。
前記した酸価が、３０〜２５０であると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。
ここで酸価はアクリル系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００２７】
前記バインダー樹脂は、感光性樹脂組成物の固形分に対して、質量分率で通常５質量％以上９０質量％以下、好ましくは１０質量％以上８０質量％以下、とりわけ好ましくは２０質量％以上７０質量％以下の範囲で用いられる。
前記した、バインダー樹脂の含有量が、５質量％以上９０質量％以下であると、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【００２８】
本発明で用いられる（Ｃ）光重合性化合物は、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００２９】
前記光重合性化合物は、４官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。４官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。これらの光重合性化合物は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられ、その含有量は着色感光性樹脂組成物中の固形分に対して、質量分率で通常５質量％以上９０質量％以下、好ましくは１０質量％以上８０質量％以下、とりわけ好ましくは２０質量％以上７０質量％以下である。
前記した、光重合性化合物の含有量が、５質量％以上９０質量％以下であると、硬化が十分におこり残膜率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００３０】
本発明で用いられる（Ｄ）光重合開始剤としては、光を照射されることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、酸を発生する酸発生剤などが挙げられる。活性ラジカル発生剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
【００３１】
アセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンおよびそのオリゴマーなどが挙げられる。
【００３２】
トリアジン系化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００３３】
ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００３４】
ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００３５】
チオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００３６】
活性ラジカル発生剤として、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００３７】
酸発生剤としては、例えば、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００３８】
また、活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系化合物は、酸発生剤としても使用される。
【００３９】
これらの光重合開始剤はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。前記光重合開始剤としては、アセトフェノン系化合物、中でも２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンなどが好ましく用いられる。
【００４０】
（Ｄ）光重合開始剤の含有量は、（Ｂ）バインダーポリマーおよび（Ｃ）光重合性化合物の合計量１００質量部に対して通常０．１質量部以上２０質量部以下、好ましくは１質量部以上１５質量部以下である。光重合開始剤の含有量が０．１質量部以上２０質量部以下であると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上し、一方高感度過ぎて解像度が不良にならない傾向があり、好ましい。
【００４１】
本発明においては、光重合開始助剤を添加してもよい。光重合開始助剤は（Ｄ）光重合開始剤と組み合わせて用いられることがあり、（Ｃ）光重合性化合物の重合を促進するために含有される化合物である。光重合開始助剤としては、例えば、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物などが挙げられる。
【００４２】
アミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（「ＥＡＢ−Ｆ」、保土谷化学工業（株）製）として市販されている）、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４３】
アルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００４４】
これらの光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤１モルあたり通常１０モル以下、好ましくは０．０１モル以上５モル以下である。
【００４５】
本発明で用いられる（Ｅ）溶剤としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
【００４６】
エーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
ケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
エステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテートなどが挙げられる。アミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他上記で分類されない溶剤としては、例えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
【００４７】
これらの溶剤の中でも、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、２−ヘプタノンなどが好ましく用いられる。
【００４８】
前記溶剤は、それぞれ単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができ、感光性樹脂組成物中の前記溶剤の含有量は、質量分率で、通常５０質量％以上９０質量％以下、好ましくは６０質量％以上８５質量％以下である。溶剤の含有量が５０質量％以上９０質量％以下であると、平坦性が良好で、カラーフィルタとしたきに十分な色濃度が得られ、好ましい。
【００４９】
本発明で用いられる（Ｆ）界面活性剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも１種を用いることができる。
シリコーン系界面活性剤としては、ＤＣ３ＰＡ、ＳＨ７ＰＡ、ＤＣ１１ＰＡ、ＳＨ２１ＰＡ、ＳＨ２８ＰＡ、２９ＳＨＰＡ、ＳＨ３０ＰＡ（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）、ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（商品名：東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越シリコーン製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（ジーイー東芝シリコーン（株）製）などが挙げられる。
フッ素系界面活性剤としては、フロリナート（商品名）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（商品名）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（大日本インキ化学工業（株）社製）、エフトップ（商品名）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、サーフロン（商品名）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（ダイキンファインケミカル製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（いずれも商品名：ＢＭ　Ｃｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、メガファック（商品名）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（大日本インキ化学工業（株）製）などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００５０】
これらの界面活性剤の含有量は、（Ｆ）界面活性剤を除く感光性樹脂組成物１００質量部に対して通常０．０００１質量部以上０．６質量部以下の範囲で使用される。
界面活性剤の含有量が０．０００１質量部以上０．６質量部以下であると、ストリエーションが見られにくく、基板エッジ部分の膜厚が厚くなりすぎない傾向があり、好ましい。
【００５１】
本発明の感光性樹脂組成物は、無色の体質顔料、充填剤、（Ａ）反応生成物および（Ｂ）バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、光安定剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。
【００５２】
無色の体質顔料としては、例えば、バライト粉（ＢａＳＯ４）、沈降性硫酸バリウム（ＢａＳＯ４）、炭酸バリウム（ＢａＣＯ３）、炭酸石灰粉（ＣａＣＯ３）、シリカ粉（ＳｉＯ２）、塩基性炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ３）、アルミナホワイト（Ａｌ２Ｏ３・ＸＨ２ＯまたはＡｌ（ＯＨ）３）、グロスホワイト（Ａｌ（ＯＨ）３＋ＢａＳＯ４）、サチン白（ＢａＳＯ４＋Ａｌ（ＯＨ）３）などが挙げられる。
【００５３】
本発明の感光性樹脂組成物は、染料、顔料等の着色剤を実質的に含有しない。着色剤を含有すると、カラーフィルタを形成したとき、各色画素部分で混色が起こり、表示特性が悪くなる傾向がある。ただし、本発明の感光性樹脂組成物を構成する成分および添加しても良い成分の中で、例えば、光重合開始剤や光重合開始助剤などのように黄味や青味を帯びているものがあるが、本発明においては、これらの成分は着色剤としてみなさない。
【００５４】
充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナ、シリカなどの微粒子が挙げられる。
【００５５】
（Ａ）反応生成物および（Ｂ）バインダーポリマー以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００５６】
密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００５７】
酸化防止剤としては、例えば、４，４’−チオビス（６−ｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
【００５８】
光安定剤としては、紫外線吸収剤やヒンダードアミン系光安定剤などが挙げられる。紫外線吸収剤としては、例えば、２−（２−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチル−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系、２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系、２−（４，６−ジフェニル−１，３，５−トリアジン−２−イル）−５−ヘキシルオキシ−フェノールなどのトリアジン系などが挙げられ、これらの混合物を添加してもよい。ヒンダードアミン系光安定剤としては、例えば、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジニル）セバケート、ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）セバケート、２，２，６，６−テトラメチルピペリジニルステアレート、ポリ［［６−［（１，１，３，３−テトラメチルブチル）アミノ］−１，３，５−トリアジン−２，４−ジイル］［（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジニル）イミノ］−１，６−ヘキサンジイル［（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジニル）イミノ］］などが挙げられ、これらを混合して添加しても良い。また紫外線吸収剤とヒンダードアミン系光安定剤を併用しても差し支えない。
【００５９】
凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００６０】
有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類；
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類；
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類；
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類；
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類；
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
【００６１】
有機アミン化合物としては、例えば、ｎ―プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類；
シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類；
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類；
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類；
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類；
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類；
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類；
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類；
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類；
４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類；ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類；
ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジシクロアルカノールアミン類；
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類；トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類；
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類；
４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類；
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類；
１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類；
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類；
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類；
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類；
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類；
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
【００６２】
硬化剤としては、例えば、加熱されることによって（Ｂ）バインダーポリマー中のカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。前記化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００６３】
エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００６４】
オキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００６５】
本発明の感光性樹脂組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００６６】
多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類；
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類；
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００６７】
多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類；
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類；
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類；
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００６８】
カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカハードナーＥＨ−７００」（旭電化工業（株）製）、商品名「リカシッドＨＨ」（新日本理化（株）製）、商品名「ＭＨ−７００」（新日本理化（株）製）などが挙げられる。前記硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６９】
本発明の感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法としては、具体的には、本発明の感光性樹脂組成物を、基板または基板の上に先に形成した固体の着色感光性樹脂組成物層（以下、これを基板等ということがある。）の上に塗布し、塗布された感光性樹脂組成物層から溶剤など揮発成分を除去し、フォトマスクを介して揮発成分が除去された層を露光したのち、現像する方法が挙げられる。
【００７０】
基板としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板などの表面が平坦な基板が挙げられる。これらの基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。基板としてシリコン基板などを用いる場合、前記シリコン基板などの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などが形成されていてもよい。
【００７１】
前記基板の上に感光性樹脂組成物を塗布するには、例えば、本発明の感光性樹脂組成物を回転塗布法（スピンコート法）、流延塗布法、ロール塗布法、スリット＆スピンコート法などの通常の塗布方法で基板等の上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を加熱により揮発させればよい。このようにして、基板等の上に感光性樹脂組成物の固形分からなる層が形成される。
【００７２】
次いで、感光性樹脂組成物の固形分からなる層（以下、これを感光性樹脂組成物層ということがある。）を露光する。露光するには、例えば、フォトマスクを介して光線を照射すればよい。光線としては通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）と呼ばれる紫外線などが用いられる。光線はフォトマスクを介して照射されるが、ここでフォトマスクは、例えば、ガラス板の表面に光線を遮蔽する遮光層が設けられたものである。ガラス板のうちの遮光層が設けられていない部分は光線が透過する透光部であって、この透光部のパターンに従ったパターンで感光性樹脂組成物層が露光されて、光線が照射されなかった未照射領域と、光線が照射された照射領域とが生ずる。照射領域における光線の照射量は、（Ｂ）バインダーポリマーの重量平均分子量、単量体比、含有量、（Ｃ）光重合性化合物の種類や含有量、（Ｄ）光重合開始剤の種類や含有量、光重合開始助剤の種類や含有量などによって適宜選択される。
【００７３】
露光後、現像する。現像するには、例えば、露光後の感光性樹脂組成物層を現像液と接触させればよく、具体的にはその表面上に感光性樹脂組成物層が形成された状態の基板を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の水溶液などが挙げられる。現像によって、感光性樹脂組成物層のうちの光線が照射されなかった未照射領域は除去される。その一方で、光線照射領域はそのまま残ってパターンを構成する。
【００７４】
現像後、通常は水洗し、乾燥することにより、目的とするパターンを得ることができる。乾燥後、加熱してもよい。パターンを加熱することによって硬化して、その機械的強度が向上する傾向にあり、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有するものを用いた場合には、機械的強度をより向上することができる。加熱温度は通常１８０℃以上、好ましくは２００℃以上であり、通常２５０℃以下である。
【００７５】
このようにして得られるカラーフィルタは、パターンを含むものであり、前記カラーフィルタを使用することにより、好適な液晶表示装置が得られる。
【００７６】
【実施例】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【００７７】
実施例１
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ）溶媒中でトルエンジイソシアネート（トルエン−２，４−ジイソシアネートとトルエン−２，６−ジイソシアネートの混合物）と、カプロラクトンと１−デカノールとの反応物とを反応させ、これにポリエチレングリコールとを反応させ、次いで３級アミンを反応させて得られる反応生成物に、更にステアリン酸及びＢＨＴを混合して得られる組成物（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０〔ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製　３０質量％溶液；溶剤　メトキシプロピルアセテート／ブチルアセテート＝６／１〕）６．５０７質量部、
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０５、重量平均分子量は３０，０００〕８．７８３質量部、
（Ｃ）光重合性化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１０．７３５質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．３９０質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕１．１７１質量部、
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕７４．８４６質量部および
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業（株）製）〕１．９５２質量部
を混合して感光性樹脂組成物を得た。
【００７８】
〔パターンの形成〕
ガラス基板〔コーニング社製、「＃７０５９」〕（３）の上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて、着色感光性樹脂組成物層（４）を形成した（図２（ａ））。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層（４）にフォトマスク（５）を介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕（６）を照射して露光した（図２（ｂ））。ｉ線の光源としては、超高圧水銀ランプを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ２とした。フォトマスクとしては、線幅３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状の色画素を形成するためのフォトマスクを用いた。
【００７９】
次いで露光後のガラス基板〔表面には着色感光性樹脂組成物層が形成されている〕（３）を現像液〔質量分率で水酸化カリウムを０．０５質量％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２質量％それぞれ含む水溶液〕に浸漬して現像し、純水で洗浄した。その後、２３０℃で２０分間加熱して、透明なパターンを形成した（図２（ｃ））。
【００８０】
〔評価〕
表面の形態を反射型光学顕微鏡（観察倍率１，２５０倍）で観察したところ、表面荒れ、塗布欠陥およびムラは観察されず、面内均一性は良好で、解像度は６μｍであった。
【００８１】
実施例２
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ）Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０〔ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製　３０質量％溶液；溶剤　メトキシプロピルアセテート／ブチルアセテート＝６／１〕３．３８７質量部
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０５、重量平均分子量は３０，０００〕９．１４０質量部、
（Ｃ）光重合性化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１１．１７１質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．４０６質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕１．２１９質量部
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕７４．８４６質量部および
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業（株）製）〕２．０３１質量部
を混合して感光性樹脂組成物を得た。
【００８２】
〔パターンの形成〕
実施例１に記載したのと同じ方法でパターンを形成した。
【００８３】
〔評価〕
パターンが形成された基板の表面の形態を反射型光学顕微鏡（観察倍率１，２５０倍）で観察したところ、表面荒れ、塗布欠陥およびムラは観察されず、面内均一性は良好で、解像度は７μｍであった。
【００８４】
実施例３
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ）Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０〔ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製　３０質量％溶液；溶剤　メトキシプロピルアセテート／ブチルアセテート＝６／１）３．３８７質量部
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０５、重量平均分子量は３０，０００〕８．７８３質量部、
（Ｃ）光重合性化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１０．７３５質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．３９０質量部、
光重合開始助剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕１．１７１質量部
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕７４．８４６質量部および
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業（株）製）〕１．９５２質量部
を混合して感光性樹脂組成物を得た。
【００８５】
〔パターンの形成〕
実施例１に記載したのと同じ方法でパターンを形成した。
【００８６】
〔評価〕
パターンが形成された基板の表面の形態を反射型光学顕微鏡（観察倍率１，２５０倍）で観察したところ、表面荒れ、塗布欠陥およびムラは観察されず、面内均一性は良好で、解像度は１０μｍであった。
【００８７】
実施例４
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ）Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０〔ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製　３０質量％溶液；溶剤　メトキシプロピルアセテート／ブチルアセテート＝６／１〕３．３８７質量部
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０５、重量平均分子量は３０，０００〕９．１４０質量部、
（Ｃ）光重合性化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１１．１７１質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．４０６質量部、
光重合開始助剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕１．２１９質量部
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕７４．８４６質量部および
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業（株）製）〕２．０３１質量部
を混合して感光性樹脂組成物を得た。
【００８８】
〔パターンの形成〕
実施例１に記載したのと同じ方法でパターンを形成した。
【００８９】
〔評価〕
パターンが形成された基板の表面の形態を反射型光学顕微鏡（観察倍率１，２５０倍）で観察したところ、表面荒れ、塗布欠陥およびムラは観察されず、面内均一性は良好で、解像度は１０μｍであった。
【００９０】
比較例１
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０５、重量平均分子量は３０，０００〕９．５２７質量部、
（Ｃ）光重合性化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１１．６４４質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．４２３質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕１．２７０質量部
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕７４．８３３質量部および
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業（株）製）〕２．１１７質量部
を混合して感光性樹脂組成物を得た。
【００９１】
〔パターンの形成〕
実施例１に記載したのと同じ方法でパターンを形成した。
【００９２】
〔評価〕
パターンが形成された基板の表面の形態を反射型光学顕微鏡（観察倍率１，２５０倍）で観察したところ、表面荒れ、塗布欠陥およびムラが観察され、解像度は１０μｍであった。
【００９３】
比較例２
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０５、重量平均分子量は３０，０００〕９．５２７質量部、
（Ｃ）光重合性化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１１．６４４質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．４２３質量部、
光重合開始助剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕１．２７０質量部
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕７４．８３３質量部および
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業（株）製）〕２．１１７質量部
を混合して感光性樹脂組成物を得た。
【００９４】
〔パターンの形成〕
実施例１に記載したのと同じ方法でパターンを形成した。
【００９５】
〔評価〕
パターンが形成された基板の表面の形態を反射型光学顕微鏡（観察倍率１，２５０倍）で観察したところ、表面荒れ、塗布欠陥およびムラが観察され、解像度は１０μｍであった。
【００９６】
実施例５−１１
〔感光性樹脂組成物の製造〕
感光性樹脂組成物の各成分の比率を表１に示す通りに混合して感光性樹脂組成物を得た。なお、各成分は実施例１で用いたものと同じ成分である。
【００９７】
〔パターンの形成〕
実施例１に記載した方法でパターンを形成した。
【００９８】
〔評価〕
前記硬化物層の４００−７８０ｎｍにおける透過率は、分光光度計（オリンパス光学工業（株）製　ＯＳＰ−ＳＰ２００）を用いて測定された。なお、透過率は、塗布前の基板の透過率を感光性樹脂組成物層形成後の基板の透過率から引いたもので補正し、膜厚については膜厚４μｍで得られたものに換算され、その平均値および解像度を表２に示した。
【００９９】
比較例３
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ）反応混合物を添加せずに、感光性樹脂組成物の各成分の比率を表１に示す通りに混合して感光性樹脂組成物を得た。なお、各成分は実施例１で用いたものと同じ成分である。
【０１００】
〔パターンの形成〕
実施例１に記載したのと同じ方法でパターンを形成した。
【０１０１】
〔評価〕
得られた基板の４００−７８０ｎｍにおける平均透過率および解像度を測定し、結果を表２に示す。
【０１０２】
【表１】
2004004531.tif 000003
【０１０３】
【表２】
2004004531.tif 000004
【０１０４】
実施例１２
〔感光性樹脂組成物の製造〕
（Ｂ）バインダー樹脂〔メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体；メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０５、重量平均分子量は３０，０００〕１３．１７質量部、
（Ｃ）光重合性化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１６．１０質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．５９質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕１．７６質量部
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕１１２．５０質量部
（Ａ）ＢＹＫ−１７０〔ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製　３０質量％溶液；メトキシプロピルアセテート／ブチルアセテート＝６／１〕９．７７質量部
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業（株）製）〕２．９３質量部
を混合して混合物を得た。上記混合物１００質量部に（Ｆ）１％ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）０．０５質量部を混合して感光性樹脂組成物を得た。
【０１０５】
〔パターンの形成〕
ガラス基板〔３００ｍｍ×３００ｍｍ〕の上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて、着色感光性樹脂組成物層を形成した。得られたパターンはムラなく良好であった。
〔評価〕
この着色感光性樹脂組成物層の膜厚を基板エッジ部から中心部に向かって測定すると表３に記載した通りに、端部と中央部で膜厚は同等であり、良好であった。
【０１０６】
実施例１３
実施例１２の１％ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）の添加量を０．２０質量部に変更する以外は、実施例１と同様にしてパターンを形成した。
〔評価〕
実施例１２と同様に評価したところ、得られたパターンにはムラなく良好で、基板エッジ部からの平坦性については表３に示すように良好であった。
【０１０７】
実施例１４
実施例１２の１％ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）の添加量を１．００質量部に変更する以外は、実施例１と同様にしてパターンを形成した。
〔評価〕
実施例１２と同様に評価したところ、得られたパターンにはムラなく良好で、基板エッジ部からの平坦性については表３の結果に示すように良好であった。
【０１０８】
実施例１５
実施例１２の１％ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）添加量０．０２質量部を、１％ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）１．００質量部、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所）０．５０質量部に変更する以外は、実施例１と同様にしてパターンを形成した。
〔評価〕
実施例１２と同様に評価したところ、得られたパターンにはムラなく良好で、基板エッジ部からの平坦性については表３に示すように、良好であった。
【０１０９】
比較例４
実施例１２の１％ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）０．０２質量部を無添加に変更する以外は、実施例１と同様にしてパターンを形成した。
〔評価〕
得られた層を目視で確認したところ、得られたパターンには筋状のムラが見られた。
【０１１０】
【表３】
2004004531.tif 000005
【０１１１】
【発明の効果】
本発明の感光性樹脂組成物によれば、基板エッジ部の平坦性を改良でき、表面荒れ、塗布欠陥およびムラを生ずることなくパターンを形成することができ、４００−７８０ｎｍにおける透過率が高いので透明性が高く、これらのパターンを含んで構成されるカラーフィルタは良好なカラー画像を与える。
従って、本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルタ用透明感光性樹脂組成物として有用であり、これを用いて形成した液晶表示装置も高品質なカラー画像を表示することができる。