(57)【要約】【目的】本発明はＨｅガスの資源を有効活用するＨｅガスを用いた密閉容器の検査システムを提供する。【構成】Ｈｅガスを貯蔵したガス供給装置と密閉容器を収容した加圧釜との間に第１及び第２開閉弁を介在させた加圧ポンプを設け、先ず、ガス供給装置から加圧釜へのＨｅガスの供給時には、第１開閉弁を開及び第２開閉弁を閉としてガス供給装置から加圧ポンプへＨｅガスを供給した後、第１開閉弁を閉及び第２開閉弁を開として加圧ポンプから加圧釜に前記Ｈｅガスを充填し、次に、回転テーブルの間欠動作による加圧釜の周回後には、第１開閉弁を閉及び第２開閉弁を開として加圧釜から加圧ポンプへＨｅガスを供給した後、第１開閉弁を開及び第２開閉弁を閉として加圧ポンプからガス供給装置にＨｅガスを送出した構成とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉容器を収容する複数の加圧釜を外周に配置して間欠動作する回転テーブルと、加圧されたＨｅガスを貯蔵して前記回転テーブルの回転とは独立して前記回転テーブルの中央領域に設置され、前記Ｈｅガスの供給口を一端側に有するガス供給装置とを備え、
前記回転テーブルの回転によって前記複数の加圧釜を前記一端側に順次に移動して前記ガス供給装置から前記加圧釜に前記Ｈｅガスを充填し、前記Ｈｅガスの充填された加圧釜を周回して前記一端側に戻して次工程のＨｅガス検出機構部に送出するＨｅガスを用いた密閉容器の検査システムにおいて、
前記ガス供給装置と前記加圧釜との間に加圧ポンプを設けるとともに、前記ガス供給装置と前記加圧ポンプとの間には第１開閉弁を、前記加圧ポンプと前記加圧釜との間には第２開閉弁を介在させ、
前記ガス供給装置から前記加圧釜への前記Ｈｅガスの供給時には、前記第１開閉弁を開及び前記第２開閉弁を閉として前記ガス供給装置から前記加圧ポンプへＨｅガスを供給した後、前記第１開閉弁を閉及び前記第２開閉弁を開として前記加圧ポンプから前記加圧釜に前記Ｈｅガスを充填し、
前記回転テーブルの間欠動作による前記Ｈｅガスの充填された加圧釜の前記一端側への周回時には、前記第１開閉弁を閉及び前記第２開閉弁を開として前記加圧釜から前記加圧ポンプへＨｅガスを供給した後、前記第１開閉弁を開及び前記第２開閉弁を閉として前記加圧ポンプから前記ガス供給装置に前記Ｈｅガスを送出したことを特徴とするＨｅガスを用いた密閉容器の検査システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば電子部品用とする密閉容器の気密漏れを検出するＨｅガスを用いた密閉容器の検査システムを産業上の技術分野とし、特にＨｅガスの回収機構を備えた検査システムに関する。
【０００２】
（発明の背景）電子部品用の密閉容器、特に水晶片を収容する水晶振動子の密閉容器は、気密漏れによる振動特性の劣化を防止するため、密閉度を確実に維持することが厳しく求められる。このことから、密閉容器の気密漏れを検出する検査システムの一つとしてＨｅガスを用いたものがある。
【０００３】
（従来技術の一例）第３図はＨｅガスを用いた密閉容器９の検査システムを概説する平面図である。検査システムはＨｅガス充填機構部１とガス検出機構部２とからなる。Ｈｅガス充填機構部１は回転テーブル３とガス供給装置４からなる。回転テーブル３は間欠動作として、加圧釜５の保持部（未図示）を外周に有する。加圧釜５は密閉構造とする本体５ａ及び開閉自在のカバー５ｂからなり、Ｈｅガスの注入口５ｃを本体に有する。
【０００４】
ガス供給装置４は回転テーブル３の回転とは独立して中央領域に設置され、一端側にＨｅガスの供給口４ａを有する。供給口４ａには開閉弁６が設けられ、便宜的に図示しないワンタッチ継手が接続する。そして、図示しないボンベから供給される加圧されたＨｅガスを一定値に維持して貯蔵する。ガス検出機構部２はＨｅガス充填機構部１に連接して設けられる。
【０００５】
このようなものでは、先ず、部品供給装置（パーツフィーダ）７ａからの搬送機構８によって密閉容器９の複数個が、ガス供給装置４の供給口４ａが位置する一端側に対応して設けられた作業部１７に搬送される。密閉容器９は図示しない水晶片を収容して所謂水晶振動子９（便宜的に同符号９とする）を形成する。
【０００６】
そして、回転テーブル３の一端側から作業部１７に取り出された加圧釜５に水晶振動子９が収容される。そして、水晶振動子９の収容後に回転テーブル３の一端側に取り込まれる。これらは図示しない取出及び取込機構によって自動的に処理される。
【０００７】
次に、第４図（断面図）に示したように回転テーブル３の一端側に取り込まれた加圧釜５の注入口５ｃにガス供給装置４の供給口４ａをワンタッチ継手によって連結する。そして、供給口４ａの開閉弁６を開いて、ガス供給装置４から加圧釜５にＨｅガスを充填する。次に、回転テーブル３を間欠動作（回転）し、Ｈｅガスの充填された加圧釜５を送ると同時に、新たな加圧釜５を一端側に移動する。そして、前回同様に水晶振動子９を加圧釜５に収容し、Ｈｅガスを充填して回転テーブル３を間欠動作する。以下、これらを繰り返す。
【０００８】
次に、予め設定された規定時間で回転テーブル３が一周してＨｅガスの充填された加圧釜５が一端側に周回して戻ると、再び作業部１７に取り出される。なお、水晶振動子（密閉容器）９の例えば容器本体とカバーとの接合不良等によって気密漏れがある場合には、加圧釜５が周回する規定時間内に、Ｈｅガスが密閉容器９内に侵入する。
【０００９】
次に、水晶振動子９が加圧釜５から作業部１７にて搬送機構８に排出され、ガス検出機構部２の部品供給装置７ｂに搬送される。そして、部品供給装置７ｂから順次に搬送される水晶振動子９を図示しない検出装置によって、水晶振動子９（密閉容器９）からのＨｅガスの漏れを検出する。そして、Ｈｅガスの漏れのあった水晶振動子９は不良品として排除される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の検査システムでは密閉容器９の密漏れの検出手段としてＨｅガスを使用し、加圧釜５に充填した規定時間後での水晶振動子９の排出時にＨｅガスを大気中に放出する。したがって、自然資源としては希少なＨｅガスを無駄にする問題があった。
【００１１】
（発明の目的）本発明はＨｅガスの資源を有効活用するＨｅガスを用いた密閉容器の検査システムを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
（発明の概要）本発明は、検査システムにおけるガス充填機構部にＨｅガスの回収機構を設けたことを基本的な解決策とし、具体的には特許請求の範囲で述べる構成とする。
【００１３】
（発明の構成要点）すなわち、Ｈｅガスを貯蔵したガス供給装置と密閉容器を収容した加圧釜との間に第１及び第２開閉弁を介在させた加圧ポンプを設ける。そして、先ず、ガス供給装置から加圧釜へのＨｅガスの供給時には、第１開閉弁を開及び第２開閉弁を閉としてガス供給装置から加圧ポンプへＨｅガスを供給した後、第１開閉弁を閉及び第２開閉弁を開として加圧ポンプから加圧釜に前記Ｈｅガスを充填する。
【００１４】
次に、回転テーブルの間欠動作による加圧釜の周回後には、第１開閉弁を閉及び第２開閉弁を開として加圧釜から加圧ポンプへＨｅガスを供給した後、第１開閉弁を開及び第２開閉弁を閉として加圧ポンプからガス供給装置にＨｅガスを送出した構成とする。
【００１５】
これらの構成によって、即ちガス供給装置と加圧釜との間に設けた加圧ポンプ及び互いに開閉動作を逆とした第１及び第２開閉弁によってＨｅガスの加圧釜への充填及び供給装置への回収を確実にする。
【００１６】
【実施例】
第１図及び第２図は本発明の一実施例を説明する図で、第１図はＨｅガスを用いた密閉容器の検査システムの特にガス供給装置の概略断面図、第２図は加圧釜との接続断面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
【００１７】
検査システムは前述したように加圧されたＨｅガスを貯蔵して加圧釜５に供給するＨｅガス充填機構部１と水晶振動子９（密閉容器９）の気密漏れを検出するガス検出機構部２とからなる。ガス充填機構部１は前述同様に間欠動作の回転テーブル３及びガス供給装置４を備え（前第３図参照）、ここではさらに加圧ポンプ１０を付加する。
【００１８】
加圧ポンプ１０はシリンダ１１とピストン１２を備え、シリンダ１１は先端に絞りを経て配管１３を有し、上部空間部と下部空間部を形成する仕切１４を中央部に有する。そして、圧縮空気の送り込まれる第１と第２の通気口１５（ａｂ）を仕切１４の上方側に有する。配管１３の一方はガス供給装置４の注入口に第１開閉弁１６ａを介在させて連結し、他方には第２開閉弁１６ｂを設ける。
【００１９】
ピストン１２は上下に押圧板を有するエ字状として垂直部が摺動自在に仕切１４を貫通する。上側の押圧板は定常時には第１と第２の通気口１５（ａｂ）の中間に位置する。そして、第１通気口１５ａからの矢印で示す圧縮空気によってピストン１２を押し下げ、第２通気口１５ｂからの圧縮空気によってピストン１２を引き上げる（押し上げる）。
【００２０】
このようなものでは、前述したように回転テーブル３の間欠動作とともに加圧釜５が回転テーブル３の一端側に順次に送られ、作業部１７に取り出された加圧釜５にワークとしての水晶振動子９が収容される。そして、作業部１７から一端側に取り込まれた加圧釜５の注入口５ｃに、加圧ポンプ１０における配管１３の他方を接続する。なお、具体的には配管１３の他方に設けた図示しないワンタッチ継手によって接続する。
【００２１】
次に、配管１３に設けられたガス供給装置４とを連通する第１開閉弁１６ａを開として加圧釜５と連通する第２開閉弁１６ｂを閉とする。そして、加圧ポンプ１０の第２通気口１５ｂに圧縮空気を送り込んでピストン１２を引き上げる。これにより、ガス供給装置４からのＨｅガスをピストン１２の下方空間部に吸い込むとともに、圧縮されたＨｅガスがピストン１２を押し上げて入り込む。
【００２２】
次に第１開閉弁１６ａを閉及び第２開閉弁１６ｂを開とし、加圧ポンプ１０の第１通気口１５ａに圧縮空気を送り込んで、ピストン１２を押し下げる。これにより、ピストン１２の下方空間に充満したＨｅガスを加圧釜５に充填する。なお、加圧釜５はＨｅガスの充填後、図示しないバルブによって注入口５ｃが閉じられる。
【００２３】
次に、加圧ポンプ１０のワンタッチ継手を加圧釜５から外して、回転テーブル３を間欠動作する。そして、Ｈｅガスの充填された加圧釜５を送るとともに新たな加圧釜５を一端側に位置させ、先と同様に加圧釜５に水晶振動子９を収容してＨｅガスを充填する。以降、この動作を繰り返す。
【００２４】
次に、Ｈｅガスの充填された加圧釜５が回転テーブル３の回転とともに一端側に周回して戻ると、加圧ポンプ１０からのワンタッチ継手を再び加圧釜５の注入口５ｃに接続する。そして、配管１３の第１開閉弁１６ａを閉及び第２開閉弁１６ｂを開として、第２通気口１５ｂに圧縮空気を送り込む。これにより、ピストン１２が引き上げられて加圧釜５内のＨｅガスがシリンダ１１の下部空間部に引き込まれるとともに、加圧釜５内の圧縮されたＨｅガスがピストン１２を押し上げて下部空間部に入り込む。
【００２５】
次に、第２開閉弁１６ｂを閉及び第１開閉弁１６ａを開として、第１通気口１５ａに圧縮空気を送り込む。これにより、ピストン１２が押し下げられて下部空間部のＨｅガスがガス供給装置４内に送出されて、Ｈｅガスが回収される。なお、これらの動作は複数回例えば２、３度繰り返され、圧力釜５内のＨｅガスをほぼ完璧に回収する。
【００２６】
最後に、加圧釜５の図示しないバルブを閉めてワンタッチ継手を取り外し、従来同様に加圧釜５を作業部１７に取り出す。そして、加圧釜５の蓋を開けて水晶振動子９を搬送機構８に排出し、ガス検出機構部２に送出する。そして、水晶振動子９の排出後の加圧釜５には新たな水晶振動子９が収容され、前述同様の動作が繰り返される。
【００２７】
このような構成であれば、加圧ポンプ１０を新たに付加して、ガス供給装置４との間には第１開閉弁１６ａを、加圧釜５との間には第２開閉弁１６ｂを介在させて連通するので、第１と第２開閉弁１６（ａｂ）を制御することによってＨｅガスの供給及び回収が可能となる。したがって、自然資源として希少なＨｅガスを有効に活用できる。
【００２８】
【他の事項】
上記実施例では加圧ポンプ１０のピストン１２の動作を複数回としてＨｅガスを供給及び回収したが、ピストン１２の容積を大きくすれば１回のピストン動作にできる。また、加圧ポンプ１０はエ字状のピストン１２を用いたが、これに限らず任意のピストン１２でよく要は加圧ガスを吸引及び排出できればよい。
【００２９】
さらには、加圧ポンプ１０と加圧釜５とは図示しないワンタッチ継手を用いて接続したが、接続手段は直接でもよく任意にできる。そして、密閉容器９は水晶振動子用としたが、これに限らず電子部品用を含むいずれの密閉容器の検査に適用できる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は、要するにガス供給装置と加圧釜との間に加圧ポンプを設け、互いに開閉動作を逆とした第１及び第２開閉弁を各両者間に設けたので、加圧釜へのＨｅガスの充填及び供給装置への回収を確実にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を説明するＨｅガスを用いた密閉容器の検査システムの特にガス供給装置の概略断面図である。
【図２】本発明の一実施例を説明するガス供給装置と加圧釜との接続断面図である。
【図３】従来例を説明するＨｅガスを用いた密閉容器の検査システムを概説する平面図である。
【図４】従来例を説明するガス供給装置と加圧釜との接続断面図である。
【符号の説明】
１  Ｈｅガス充填機構部、２  ガス検出機構部、３  回転テーブル、４  供給装置、５  加圧釜、６、１６  開閉弁、７  部品供給装置、８  搬送機構、９  水晶振動子（密閉容器）、１０  加圧ポンプ、１１  シリンダ、１２  ピストン、１３  配管、１４  仕切、１５  通気口、１７  作業部．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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