(57)【要約】【課題】構造が簡単で信頼性に優れ、製造時や維持管理に要する費用が削減でき、しかも電子部品との間で作用する反力を自在に調整することのできるワイヤープローブユニットの提供を目的としている。【解決手段】ベースプレート２の一方側にワイヤープローブ先部６が通過する前保持部３を、他方側に前保持部と相対しワイヤープローブ後部７を固定する後保持部４を備え、前保持部から前方にワイヤープローブ先端部６ａを、後保持部から後方にケーブルＣを介して計測機器Ｍに接続可能となるワイヤープローブ後端部７ａを突出し、電子部品Ｅへの接近により、先端部が電子部品の端子ｅに接触し、後部７に向けた押圧力が発生し、その押圧力に応じて前保持部と後保持部の間の自由空間１０に延在するワイヤープローブ中間部８が弾性変形して撓み部８ａを形成し、それにより先端部に反力を発生させる。【選択図】        図１
2004239667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤープローブ（５）の先端を電子部品（Ｅ）の端子（ｅ）等に接触させて使用するワイヤープローブユニット（１）において、ベースプレート（２）の一方側にワイヤープローブ先部（６）が円滑に通過する前保持部（３）を、他方側に前保持部（３）と相対しワイヤープローブ後部（７）を固定する後保持部（４）を備え、前保持部（３）から前方にワイヤープローブ先端部（６ａ）を、後保持部（４）から後方にケーブル（Ｃ）を介して計測機器（Ｍ）に接続可能となるワイヤープローブ後端部（７ａ）を突出し、電子部品（Ｅ）との接近によりワイヤープローブ先端部（６ａ）が電子部品（Ｅ）の端子（ｅ）に接触し、ワイヤープローブ後部（７）に向けた押圧力が発生し、その押圧力に応じて前保持部（３）と後保持部（４）の間の自由空間（１０）に延在するワイヤープローブ中間部（８）が弾性変形して撓み部（８ａ）を形成し、それによりワイヤープローブ先端部（６ａ）に反力を発生させることを特徴とするワイヤープローブユニット。
【請求項２】
ワイヤープローブ（５）が、否円形横断面の否真円ワイヤープローブ（５Ａ）であることを特徴とする請求項１記載のワイヤープローブユニット。
【請求項３】
ワイヤープローブ（５）が、前保持部（３）と後保持部（４）の間の自由空間（１０）に延在するワイヤープローブ中間部（８）に、押圧力によって発生する撓み部（８ａ）の代わりに、予め反力を発生する湾曲部（９）を形成した低接触ワイヤープローブ（５Ｃ）であることを特徴とする請求項１または２記載のワイヤープローブユニット。
【請求項４】
後保持部（４）がベースプレート（２）と別体に形成した可動式後保持部（１４）で、送り手段（２０）によりベースプレート（２）の長手方向に移動可能となり、ワイヤープローブ中間部（８）に設けた湾曲部（９）が前保持部（３）に当接する状態において、可動式後保持部（１４）を前保持部（３）側へ前進することにより反力を増大し得るようにしたことを特徴とする請求項３記載のワイヤープローブユニット。
【請求項５】
ワイヤープローブ（５）が、ワイヤープローブ中間部（８）の前保持部（３）側に、前保持部（３）への通過を制限する係止部（１９）を備えた挿通制限ワイヤープローブ（５Ｂ）であり、後保持部（４）がベースプレート（２）と別体に形成した可動式後保持部（１４）で、送り手段（２０）によりベースプレート（２）の長手方向に移動可能となり、係止部（１９）が前保持部（３）に当接する状態において、可動式後保持部（１４）を前保持部（３）側へ前進することにより反力を増大し得るようにしたことを特徴とする請求項１，２または３記載のワイヤープローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路や液晶パネルなどの各種電子部品の端子、あるいは基板上に構成された電子回路中の端子に、ワイヤープローブ先端部を接触させて導通や抵抗値などを性能検査するワイヤープローブユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤープローブユニットは、針状ワイヤープローブ（以下、ワイヤーと略す）を前保持部と後保持部とに跨って配列し、そのワイヤープローブ先端部（以下、ワイヤー先端部と略す）を電子回路や半導体を始めとする各種電子部品類（以下、これらを総称して電子部品とする）の端子に接触させ、電子部品の導通や性能、絶縁等の確認、電流値の測定等を性能検査するために使用されている。
電子部品は年々小形化され、これに合わせて外部と電気的に接続する端子の配列間隔も小ピッチ化する傾向にあり、現在の端子配列間隔は０．１ｍｍ程度が一般的である。これらの電子部品を性能検査するため、複数の端子を同時に通電させる必要があり、これを実現する手段として、複数のワイヤーを一括して保持するワイヤープローブユニットを電子部品に向けて前後進する移動装置に取付け、ワイヤープローブ後端部（以下、ワイヤー後端部と略す）に電気的な測定を行う計測機器に接続するケーブルを取付け、ワイヤー先端部を電子部品の端子に接触して性能検査を行っている。
【０００３】
電子部品毎に端子数や配列等の端子配列間隔が異なるので、その都度、電子部品の端子配列間隔に応じたワイヤープローブユニットを個別に製作していた。しかもワイヤー後端部に計測用のケーブルを取付け、ワイヤー先端部を電子部品の端子に接触する関係上、ワイヤーの後端部配列間隔を先端部配列間隔より広くする必要がある。その結果、複数のワイヤーは、ワイヤー先端部側を中心として後端側が広くなる扇形状に配列されている。
またワイヤーの配列は、端子との確実な接触を確保するために高精度の位置決めを必要としており、ワイヤープローブユニットの前保持部でワイヤープローブ先部（以下、ワイヤー先部と略す）を、後保持部でワイヤープローブ後部（以下、ワイヤー後部と略す）を支持している。
尚、ワイヤーは、直径が０．０５から０．３ｍｍ程度の針状の線材であり、素材は耐久性に優れた各種高速度鋼が一般に使用され、電導性を向上するため、メッキ処理が施されている場合が多い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ワイヤー先端部を電子部品に接触させる際、電子部品の表面に酸化被膜などが生成されており電気抵抗も増加することから、ワイヤー先端部と端子は、単に接触させるだけでは電気的な接続が不十分であるので、双方が十分に接触するようワイヤー先端部を端子に押し付ける必要がある。このため、従来は特開平１０−１７０５４８のようにワイヤーブローブ中間部（以下、ワイヤー中間部と略す）にコイルスプリングを組み合わせるなど、様々な手段を用いて所定の押圧力を確保していた。しかしワイヤー中間部にコイルスプリングを組み込むと、ワイヤーの先端部配列間隔の小ピッチ化にも限界があるし、部品点数が増加して構造も複雑になり、製作や組み立ての費用も増大するほか、コイルスプリングの破断や交錯などの危険があり信頼性も低下する問題点があった。
【０００５】
ワイヤー先端部と端子との間に作用する押圧力は、確実な測定を行うため一定力を確保する必要はあるが、過大だと端子やハンダを破損する恐れがあるので、何らかの調整機能を備えることが望ましい。また電子部品の端子に応じて押圧力を調整する機能を備えるならば、常に理想的な状態での計測が可能になり、信頼性を一層向上させることが期待できる。
【０００６】
本発明はこうした実状を基に開発したもので、構造が簡単で信頼性に優れ、製造時や維持管理に要する費用が削減でき、しかも端子との間で作用する反力を自在に調整することのできるワイヤープローブユニットの提供を目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のワイヤープローブユニットは、請求項１として、ベースプレートの一方側にワイヤー先部が円滑に通過する前保持部を、他方側に前保持部と相対しワイヤー後部を固定する後保持部を備え、前保持部から前方にワイヤー先端部を、後保持部から後方にケーブルを介して計測機器に接続可能となるワイヤー後端部を突出し、電子部品との接近によりワイヤー先端部が端子に接触し、ワイヤーの後方に向けた押圧力が発生し、その押圧力に応じて前保持部と後保持部の間の自由空間に延在するワイヤー中間部が、弾性変形して撓み部を形成し、それによりワイヤー先端部に反力を発生させる。
【０００８】
前保持部と後保持部は、ベースプレートに固定または固着するか、その少なくとも一方をベースプレートと一体形成されている。
本発明のワイヤープローブユニットは、電子部品に向けて前後進する移動装置に取付け、ワイヤー先端部を端子に接触して所定の性能検査を可能にする。
尚、一式のワイヤープローブユニットは、端子数に応じてワイヤーを配列し、これらを前保持部と後保持部とで支持している。
【０００９】
ワイヤーは、ワイヤー先端部を正確に端子に接触できるよう高精度に位置決めする必要があり、本発明ではワイヤー先部を前保持部で支持している。この前保持部は、ワイヤーを前後方向に通過させることのできる挿通穴を有しており、この挿通穴を電子部品の端子に合わせて配列している。ワイヤーを挿通穴に通過し、前保持部から電子部品側にワイヤー先端部を測定に必要な寸法だけ突出させると、ワイヤー先端部を高精度に位置決めすることができる。
尚、挿通穴は、ワイヤーが長手方向に円滑に移動出来るよう若干の隙間を必要とするが、これが大きすぎるとワイヤー先端部の位置精度が悪くなるため、設計や加工の際に十分な注意が必要である。
【００１０】
後保持部は、前保持部に相対するようベースプレートに取付けられ、ワイヤーを前後方向に貫通固定し、ベースプレートの後方にワイヤー後端部を突出している。このワイヤー後端部には計測機器に接続するケーブルを取付けたり、ケーブル着脱用のソケットを設けている。
【００１１】
ワイヤー先部は、前保持部の貫通穴を通過し、長手方向への移動のみが許容されており、またワイヤー後端部は、後保持部の内部に埋め込まれて拘束されている。前保持部と後保持部の間には自由空間が広がっており、この自由空間にワイヤー中間部が延在しているに過ぎない。ワイヤーは、各種高速度鋼などの金属材料を素材にして細線状に形成されているため、一端から他端に向けて押圧力を加えると、長手方向に直交する向きに湾曲し、一定の限度までは座屈することなく反力を発生する。
【００１２】
本発明では、ワイヤー先端部を後方に押圧した際に、前保持部と後保持部の間の自由空間内でワイヤー中間部が弾性変形し、撓み部を生じることで発生する反力を利用して電子部品に接触する。
ワイヤー後端部には、計測機器に接続するケーブルを取付ける必要があり、このためワイヤーの後端部配列間隔は、先端部配列間隔に対して広く確保される。従ってワイヤーの全てが平行に延在する訳ではなく、後方に向けて末広がりになるように配置される。
【００１３】
これまで記載したように、本発明では細線状のワイヤーを、長手方向への移動を許容してワイヤー先部を支持する前保持部と、ワイヤー後部を拘束する後保持部の二箇所で支持しており、電子部品にワイヤー先端部を接触させて押圧した場合、前保持部と後保持部の間の自由空間に延在するワイヤー中間部が弾性変形して撓むことで、測定に必要な接触力を確保することを特徴としており、従来のように接触力を確保するためのコイルバネなどは不要である。そのためワイヤーの先端部配列間隔を、従来の構造に対して小ピッチにすることが容易に実現でき、また構造の簡素化により信頼性も向上する。
【００１４】
請求項２記載のワイヤープローブユニットは、ワイヤーとして、否円形横断面の否真円ワイヤーを採用し、それにより弾性変形の方向を特定に誘導し、隣接するワイヤーとの交錯を防止したものである。
もしワイヤーの横断面形状が真円であれば、ワイヤー先端部を後方に向けて押圧した際、撓み部がどの方向に発生するかを予測することは困難である。しかしワイヤーの横断面形状を例えば楕円にすれば、押圧力が作用した際の撓み部の方向は、剛性が最も低くなる楕円の短軸方向に限定される。従って複数のワイヤーを一列に一定間隔で配列する場合、否真円ワイヤーの弾性変形側を配列に対して直交させることで交錯を防止できる。
尚、本発明による否真円ワイヤーの横断面形状は、楕円の外、矩形が適している。
【００１５】
請求項３記載のワイヤープローブユニットは、ワイヤーとして、前保持部と後保持部の間の自由空間に延在するワイヤー中間部に、押圧力によって発生する撓み部の代わりに、予め反力を発生する湾曲部を形成した低接触ワイヤーを用いる。このことにより、ワイヤープローブユニットの長さを増加させることなく剛性を低下させ、電子部品の端子に対する押圧力を弱くすることができる。
湾曲部の形状については特に限定されないが、円弧状（Ｕ字状）、または三角形状（山形）を単独、又は複数形成するなど多様だが、角度を有して屈曲した場合、屈曲部に応力が集中して破断しやすいので、上向き方向又は下向き方向に滑らかに湾曲することが望ましい。
【００１６】
一式のワイヤープローブユニットには、端子数に応じた数の低接触ワイヤーが使用されるが、その湾曲部の方向を全て同一にする必要はなく、隣接するものを違う方向として絡み合いを防止する場合もある。
尚、湾曲部を設けても、隣接する低接触ワイヤーと接触する場合があるので、短絡対策として表面に絶縁対策を施す必要がある。
請求項１，２記載の発明では、押圧力はワイヤーの剛性と、ワイヤー中間部の延在長さだけで決定される。従って押圧力を弱めたい場合は、材料を変更して剛性を引き下げるか、延在長さを大きくする必要がある。しかし延在長さを大きくすると、移動装置やベースプレートなどに影響を与えるため、簡単には実施できないが、請求項３記載の発明では、簡単に実施できる。
【００１７】
請求項４のワイヤープローブユニットは、後保持部として、ベースプレートと別体に形成した可動式後保持部を用い、これを送り手段によりベースプレートの長手方向に移動可能とし、ワイヤー中間部に設けた湾曲部と前保持部との当接状態において、可動式後保持部を前保持部側へ前進することにより反力を増大し得るようにした。
可動式後保持部の移動により湾曲部の撓みを変化させて、計測時の反力を電子部品に対応し得るようにしたものである。ワイヤーが端子に接触した際に生じる押圧力は、略湾曲部の撓み量に比例するため、端子との接触圧を小さくしたい場合、湾曲部の撓み量を大きくしたり、湾曲部を複数設ける必要がある。
【００１８】
請求項５のワイヤープローブユニットは、ワイヤーとして、ワイヤー中間部の前保持部側に、前保持部への通過を制限する係止部を備えた挿通制限ワイヤーを用い、後保持部がベースプレートと別体に形成した可動式後保持部で、送り手段によりベースプレートの長手方向に移動可能となり、係止部が前保持部に当接する状態において、可動式後保持部を前保持部側へ前進することにより、ワイヤー中間部が自由空間内で湾曲し始め、撓み部を形成して反力を有するようになり、ワイヤー先端部を電子部品の端子に接触させた際、押圧力を増加する。
従来、同じ電子部品に対して押圧力を変更する場合、理論上、移動装置にて調整することも可能であるが、微細な調整が必要であるため、高度の熟練者でも困難である。そのため、押圧力の異なる別のワイヤープローブユニットを製作し、交換していたが、その分、高価になるし、作業量も増大する。
【００１９】
稼動式後保持部の送り手段の一例を挙げると、ベースプレートに対して相対的な移動を許容できる前後長孔を設け、該長孔から稼動式後保持部に移動調整ボルトを螺入して双方を固定することで自在に位置調整することが可能である。また挿通制限ワイヤーの係止部としては、請求項３記載の発明の湾曲部を利用し、即ち、湾曲部を前保持部側に設け、湾曲部と前保持部との当接により、ワイヤー先部の通過を制限することも可能であるが、ワイヤー中間部の前保持部側を押し潰し、局所的に直径を増加させる手段などもある。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明によるワイヤープローブユニットの第一実施形態を図１に基づき説明すれば、ワイヤー５と、該ワイヤー５を保持するベースプレート２とから成り、ベースプレート２は一方側にワイヤー先部６を円滑に通過する前保持部３を、他方側に前保持部３と相対しワイヤー後部７を固定する後保持部４を備え、前保持部３から前方にワイヤー先端部６ａを、後保持部４から後方にケーブルＣを介して計測機器Ｍに接続可能となるワイヤー後端部７ａを突出し、電子部品Ｅとの接近によりワイヤー先端部６ａが電子部品Ｅの端子ｅに接触し、ワイヤー後部７に向けた押圧力が発生し、その押圧力に応じて前保持部３と後保持部４の間の自由空間１０に延在するワイヤー中間部８が、弾性変形して撓み部８ａを形成し、それによりワイヤー先端部６ａに反力を発生させる。
【００２１】
前保持部３はワイヤー５より一回り大きい挿通穴１３を設け、ワイヤー先部６を０．０１ｍｍ程度の隙間を有して出入り自在に保持し、後保持部４はワイヤー後部７を貫通しているが、移動不能に固着している。
挿通穴１３より前方に突出する先端部配列間隔ｐを電子部品Ｅの端子配列間隔と合致させ、端子ｅにワイヤー先端部６ａを確実に接触するようにし、後保持部４より後方に突出するワイヤー５の後端部配列間隔Ｐを、ケーブルＣの接続ソケットＳの大きさを考慮して先端部配列間隔ｐより広くし、複数のワイヤー５を前保持部３より後保持部４に向けて扇状に配列している。
【００２２】
ワイヤープローブユニットの第二実施形態を、第一実施形態と相違する点について説明すれば、ワイヤー５として図２（イ）の如く横断面形状が楕円の否真円ワイヤー５Ａを用い、図３（イ）の如く否真円ワイヤー５Ａの長軸側を同一水平面に、短軸側を上下方向にして配列したものであり、この否真円ワイヤー５Ａを挿通する前保持部３の挿通穴１３も楕円に形成している。
否真円ワイヤー５Ａの横断面が楕円形であるため、測定時に押圧力を受けた時、ワイヤー中間部８は最も剛性の弱い方向に撓み部８ａを形成することになる。即ち、最も剛性の弱い方向が上方もしくは下方になるため、ワイヤー中間部８に撓み部８ａが生じても、隣接否真円ワイヤー５Ａと接触することがなく、交錯や短絡の危険を軽減できる。
尚、否真円ワイヤー５Ａの断面形状は楕円形に限定されるものではなく、図２（ロ）と図３（ロ）の如く矩形でも略同様の効果を発揮する。
【００２３】
第一及び第二実施形態のワイヤープローブユニットを使用して、実際に計測を行う場合、予めワイヤープローブユニット１を電子部品Ｅに向けて前後進する移動装置Ｂに載せて固定し、ワイヤー後端部７ａに計測機器Ｍに接続するケーブルＣのソケットＳを取付けておき、移動装置Ｂを電子部品Ｅに向けて前進すれば、先ずワイヤー先端部６ａが図４（イ）の如く所定の位置に固定されている電子部品Ｅの端子ｅに接触する。この状態では、端子ｅとワイヤー先端部６ａとの接触が不充分で、電気的な接続が不完全であるが、移動装置Ｂを端子ｅとワイヤー先端部６ａとの接触後も微細に前進することで、図４（ロ）の如くワイヤー先端部６ａからワイヤー後部７に向けて押圧力が作用し、前保持部３と後保持部４の間の自由空間１０内のワイヤー中間部８が弾性変形して撓み部８ａを生じ、その反力により端子ｅとの接触圧を高め、端子ｅとワイヤー５，５Ａとの電気的な接続を確実にし、計測機器Ｍに必要な情報を提供する。
【００２４】
ワイヤープローブユニットの第三実施形態を、第一及び第二実施形態と相違する点について説明すれば、図５の如く電子部品Ｅの端子ｅに会わせてワイヤー５を上下二段に、又は否真円ワイヤー５Ａを上下二段に配列するものである。
ワイヤー５，５Ａのワイヤー先端部６ａは先細状に加工されており、端子ｅに点接触又は面接触し、押圧力によって弾性変形する撓み部８ａは、前後保持部３，４を基点として自由空間１０の上側、又は下側に向けて、或いは任意の方向に向けて緩く湾曲するもので、撓み部８ａの湾曲状態は、ワイヤー５，５Ａの鋼性や押圧力等により増減する。
前保持部３と後保持部４は、ベースプレート２と一体に形成することも可能であるし、前後保持部３，４の何れか一方をベースプレート２と一体に形成することも可能である。
【００２５】
ワイヤープローブユニットの第四実施形態を、第一乃至第三実施形態と相違する点について説明すれば、ワイヤー５として、図６の如く前保持部３と後保持部４の間の自由空間１０に延在するワイヤー中間部８に、押圧力によって発生する撓み部８ａの代わりに、予め反力を発生する湾曲部９を形成した低接触ワイヤー５Ｃを用いるもので、湾曲部９としては、山形や図６（イ）の如くＵ字状、或は波状や図６（ロ）の如く三角波状が好ましいが、これらの形状に限定されるものではない。
湾曲部９による反力の軽減手段として、ワイヤー中間部８に複数の湾曲部９を連続的に、或は断続的に設けるか、低接触ワイヤー５Ｃの延在線上から湾曲部頂き９ａまでの湾曲高さＴを大きくする。
【００２６】
ワイヤープローブユニットの第五実施形態を、第一乃至第三実施形態と相違する点について説明すれば、ワイヤー５として、図７の如く自由空間１０に延在するワイヤー中間部８の前保持部３側に、前保持部３への通過を制限する係止部１９を備えた挿通制限ワイヤー５Ｂを用い、後保持部４をベースプレート２と別体に形成した可動式後保持部１４（以下、可動保持部１４とする）とし、可動保持部１４を送り手段２０によりベースプレート２に沿って挿通制限ワイヤー５Ｂの長手方向に移動可能としたものであり、送り手段２０にて可動保持部１４を前保持部３側に移動すると、先ず係止部１９が前保持部３に当接し、次いでワイヤー中間部８が湾曲を開始し、撓み部８ａを生じて反力を有するようになり、ワイヤー先端部６ａと端子ｅとの接触により押圧力に対する反力が増加する。
【００２７】
第五実施形態のワイヤープローブユニット１において、図７（イ）の如く可動保持部１４が前保持部３より最も離れた位置で、挿通制限ワイヤー５Ｂが無負荷の状態にある場合を示し、図７（ロ）は係止部１９が前保持部３に当接する状態から、可動保持部１４を前保持部３に向けて移動した場合を示している。
可動保持部１４を前保持部３に向けて移動した場合、挿通制限ワイヤー５Ｂも同時に移動するが、係止部１９が前保持部３に係止した後はワイヤー中間部８が湾曲を開始し、撓み部８ａを形成して反力を有するようになり、ワイヤー先端部６ａを端子ｅに接触した際、押圧力に対する反力となる。
係止部１９は、ワイヤー５，５Ａと別体に形成し、ワイヤー５，５Ａに接着剤を用いて着設するか、係止部１９の一部を変形して強固に結合する場合と、ワイヤー中間部８の前保持部３側を押し潰し、横断面より外側に突出する係止部１９を設ける。
【００２８】
ワイヤープローブユニットの第六実施形態を、第四及び第五実施形態と相違する点について説明すれば、図８の如くワイヤー中間部８の前保持部３側に湾曲部９を設けた低接触ワイヤー５Ｃを、前保持部３と可動保持部１４とで保持し、可動保持部１４を送り手段２０により前保持部３に向けて移動するものであり、送り手段２０は可動保持部１４を前保持部３に向けて移動した場合、低接触ワイヤー５Ｃも同時に移動するが、ワイヤー中間部８に設けた湾曲部９が係止部１９の如く前保持部３に係止した後、湾曲部９の湾曲が強くなり、反力を増大することになり、ワイヤー先端部６ａを端子ｅに接触した際、押圧力に対する反力が増加する。
【００２９】
第五及び第六実施形態の送り手段２０は、ベースプレート２の後部側に上下方向に貫通し長手方向に平行する前後長孔２７を、可動保持部１４に前後長孔２７に向けて開口する雌ネジ２６を設け、ベースプレート２の下側から前後長孔２７に移動調整ボルト２８を挿入し、該ボルト２８を可動保持部１４の雌ネジ２６に螺入して固定するもので、可動保持部１４を移動調整する場合、移動調整ボルト２８を緩め、可動保持部１４を移動調整した後、再び移動調整ボルト２８を締め上げて双方を固定する。
第五実施形態において、可動保持部１４は通常、図８（ロ）の如くベースプレート２の後方に固定しており、これを前保持部３に移動した場合、先ず係止部１９が前保持部３に接触し、前保持部３に係止した後、ワイヤー中間部８が湾曲を開始し、撓み部８ａを生じて反力を有するようになり、ワイヤー先端部６ａを端子ｅとの接触により生じる押圧力の反力を増加する。
【００３０】
ワイヤープローブユニットの第七実施形態を、第六実施形態と相違する点について説明すれば、送り手段２０として図９の如く、可動保持部１４より後側のベースプレート２に起立部２１を設け、起立部２１より前保持部３側のベースプレート２に可動保持部１４の案内ガイド２５を、可動保持部１４に案内ガイド２５と嵌合するガイド溝２４を設け、起立部２１に前後方向の貫通孔２１ａを、可動保持部１４に貫通孔２１ａと連通する雌ネジ２６を設け、貫通孔２１ａより可動保持部１４に向けて推進ボルト２２を挿通し、貫通孔２１ａにボルト首部２２ｂを挿通し、可動保持部１４の雌ネジ２６にボルト雄ネジ２２ｃを螺入し、起立部２１の前後面側の推進ボルト２２に、推進ボルト２２の長手方向への移動を阻止するフランジ２３を備え、ボルト頭部２２ａの回転にて可動保持部１４を移動する。
尚、ワイヤー５，５Ａ，５Ｂ，５Ｃの剛性を低下させても、押圧力に対する反力を軽減することができる。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によるワイヤープローブユニットは上記構造のとおりであるから、次に記載する効果を奏する。
請求項１記載の発明は、ワイヤー自身が有する弾性を利用して端子との押圧力を発生するため、構造が簡単で信頼性に優れ、製造時や維持管理に要する手間や費用を削減可能であるほか、隣接するワイヤーの先端部配列間隔を、コイルバネを用いた従来形態より容易に小ピッチ化することが可能である。
【００３２】
請求項２記載の発明は、請求項１の効果に加え、横断面が否円形の否真円ワイヤーを用いているので、測定時のワイヤー中間部の撓み方向を限定することができる。その結果、隣接する否真円ワイヤーとの交錯を防止して測定の信頼性を向上することができる。
【００３３】
請求項３記載の発明は、請求項１，２の効果に加え、ワイヤー中間部に予め湾曲部を有する低接触ワイヤーを用いているので、延在長さを大きくすることなく剛性を低下し、測定時の押圧力に対する反力を軽減し得る。即ち、湾曲部の湾曲高さの大小や、湾曲部の複数形成等によって、鋼力を軽減し得る。その結果、微細な端子を持つ電子部品などにも対応可能である。
【００３４】
請求項４記載の発明は、請求項３の効果に加え、低接触ワイヤーの湾曲部を前保持部に当接した状態で、可動式後保持部を前保持部に向けて微細に移動することができるので、測定時の押圧力に対する反力を自在に調整できる。その結果、同じ端子配列に対し、測定圧が微細に変更されても、測定圧の変更に対応することができるばかりか、測定圧の加減により、多様な電子部品の測定に幅広く用いることができる。
【００３５】
請求項５記載の発明は、請求項１，２，３の効果に加え、挿通制限ワイヤーの係止部を前保持部に当接した状態で、可動式後保持部を前保持部に向けて微細に移動することができるので、測定時の押圧力に対する反力を自在に調整できる。その結果、同じ端子配列に対し、測定圧が微細に変更されても、測定圧の変更に対応することができるばかりか、測定圧の加減により、多様な電子部品の測定に幅広く用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（イ）（ロ）
本発明によるワイヤープローブユニットの第一実施形態を示す斜視図と、使用時の一部切欠平面図である。
【図２】（イ）（ロ）
第二実施形態に用いるワイヤープローブの類例端面図である。
【図３】（イ）（ロ）
その使用状態を示す正面図である。
【図４】（イ）（ロ）
第一及び第二実施形態の使用例を示すもので、端子との接触時と、接触状態から測定圧まで押圧した状態とを示す側面図である。
【図５】（イ）（ロ）
第三実施形態を示す一部切欠側面図と正面図である。
【図６】（イ）（ロ）
第四実施形態を示す一部切欠側面図と側面図である。
【図７】（イ）（ロ）
第五実施形態における挿通制限ワイヤープローブを用いた送り手段の使用例を示す一部切欠側面図である。
【図８】（イ）（ロ）
第六実施形態における低接触ワイヤープローブを用いた送り手段の使用例を示す一部切欠側面図である。
【図９】（イ）（ロ）
第七実施形態における送り手段の一部切欠側面図と背面図である。
【符号の説明】
１  ワイヤープローブユニット
２  ベースプレート
３  前保持部
４  後保持部、１４  可動式後保持部（可動保持部）
５  ワイヤープローブ（ワイヤ）
５Ａ  否真円ワイヤープローブ（否真円ワイヤー）
５Ｂ  挿通制限ワイヤープローブ（挿通制限ワイヤー）
５Ｃ  低接触ワイヤープローブ（低接触ワイヤー）
６  ワイヤープローブ先部（ワイヤー先部）、６ａ  ワイヤー先端部
７  ワイヤープローブ後部（ワイヤー後部）、７ａ  ワイヤー後端部
８  ワイヤープローブ中間部（ワイヤー中間部）、８ａ  撓み部
９  湾曲部、９ａ  頂き
１０  自由空間
１３  挿通穴、１９  係止部
２０  送り手段
２１  起立部、２１ａ  貫通孔
２２  推進ボルト、２２ａ  頭部、２２ｂ  首部、２２ｃ  雄ネジ
２３  フランジ
２４  ガイド溝、２５  案内ガイド
２６  雌ネジ、２７  前後長孔
２８  移動調整ボルト
Ｂ  移動装置
Ｓ  ソケット
Ｃ  ケーブル
Ｅ  電子部品、ｅ  端子
Ｍ  計測機器
Ｐ  ワイヤープローブの後端部配列間隔
ｐ  ワイヤープローブの先端部配列間隔
Ｔ  湾曲高さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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