(57)【要約】【課題】耐久性に優れた圧電アクチュエータ、その製造方法及びその圧電アクチュエータを適用した燃料噴射用のインジェクタを提供すること。【解決手段】圧電アクチュエータ１は、軸方向に弾性的に伸縮可能な伸縮部２１を有する収納ケース２０に、積層型圧電素子１０を収容してなる圧電アクチュエータである。圧電アクチュエータ１においては、収納ケース２０の伸縮部２１の弾性力に基いて積層型圧電素子１０に対して、その軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重がゼロ又は積層型圧電素子１０の発生する駆動力の１／１０未満又は１００Ｎ未満の荷重にしてある。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に弾性的に伸縮可能な伸縮部を有する収納ケースに、積層型圧電素子を収容してなる圧電アクチュエータにおいて、
上記収納ケースの上記伸縮部の弾性力に基いて、上記積層型圧電素子に対してその軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、上記ケース荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記伸縮部は伸長変形を生じておらず、上記ケース荷重は、ゼロであることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
軸方向に伸縮する伸縮部を有する収納ケースに、積層型圧電素子を収容してなる圧電アクチュエータを内蔵した燃料噴射用のインジェクタにおいて、
上記インジェクタは、上記圧電アクチュエータの駆動力が作用する動作面に対して、軸方向の荷重を作用する弾性部材を設けてなり、
上記圧電アクチュエータは、該圧電アクチュエータ単体時において、上記収納ケースの上記伸縮部の弾性力に基いて、上記積層型圧電素子に対してその軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重であることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタ。
【請求項５】
請求項４において、上記ケース荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重であることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタ。
【請求項６】
請求項４又は５において、上記圧電アクチュエータ単体時において上記伸縮部は伸長変形を生じておらず、上記ケース荷重は、ゼロであることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタ。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１項において、上記インジェクタに内蔵され、上記弾性部材による付勢力を受けた状態において、上記積層型圧電素子を軸方向に圧縮する方向に作用する予荷重は、積層型圧電素子の発生する駆動力の１／４以上であることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタ。
【請求項８】
軸方向に弾性的に伸縮する伸縮部を少なくとも一部に形成した筒状の胴部と、該胴部の一方の端部に配設されて上記積層型圧電素子の駆動力が作用する駆動板とを有してなる収納ケースに積層型圧電素子を収容した上、上記胴部の他方の端部に基台を接合してなる圧電アクチュエータを製造する製造方法において、
上記積層型圧電素子を作製する素子形成工程と、
上記収納ケースの上記開口端部から上記積層型圧電素子を挿入し、該積層型圧電素子を上記収納ケースの軸方向の所定の位置に配置する収容工程と、
上記収納ケースに収容した上記積層型圧電素子の後端面に上記基台の軸方向の端面を当接させた状態で、上記収納ケースの開口端部に上記基台を接合する接合工程とを含み、
上記収容工程では、上記圧電アクチュエータの上記収納ケースにおいて、上記積層型圧電素子を軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重となるように、上記積層型圧電素子を収容することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項９】
請求項８において、上記収容工程における上記ケース荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重であることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１０】
請求項８又は９において、上記収容工程においては、上記所定のケース荷重に略一致する弾性力を生じる際の上記伸縮部の伸長変形長さを実現するための上記積層型圧電素子の上記収納ケース内での基準挿入位置を基にして、上記接合工程で発生する上記収納ケースの軸方向の収縮長さ分だけ上記積層型圧電素子を挿入逆方向に後退させた位置である組み付け位置に、上記積層型圧電素子を配置することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１１】
請求項１０において、上記組み付け位置は、上記所定のケース荷重に略一致する弾性力を生じる際の上記伸縮部の伸長変形長さを、上記収縮長さから差し引いた長さ分だけ、上記伸縮部を圧縮させた上記収納ケースにおける上記駆動板に上記積層型圧電素子の端部が当接する位置であることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１２】
請求項１０において、上記所定のケース荷重はゼロであり、上記基準挿入位置は、上記積層型圧電素子の軸方向の端部と、上記収納ケースの上記作用端面との間に、上記収縮長さ以上の隙間が形成される位置であることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１３】
請求項８〜１２のいずれか１項において、上記接合工程は、上記開口端部に上記基台を溶接する工程であることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型圧電素子を利用してなる圧電アクチュエータ及び、圧電アクチュエータを内蔵した燃料噴射用のインジェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、無負荷状態で積層型圧電素子を動作させると、該積層型圧電素子の圧電効果による駆動力により、積層したセラミック層あるいは電極層の層間剥離を生じるおそれがある。
そのため、積層型圧電素子を使用するに当たっては、積層型圧電素子を軸方向に圧縮する所定の大きさ以上の予荷重（セット荷重）を作用させておく必要がある。
【０００３】
そこで、金属ベローズ等よりなる伸縮部を有するケース内に積層型圧電素子を収容してなる圧電アクチュエータでは、該圧電アクチュエータ単体時において伸縮部の伸長変形が生じるように、上記ケース内に積層型圧電素子を収容する場合がある。すなわち、上記ケースの伸縮部の伸長変形に伴う弾性力によって上記予荷重を発生させている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２６４１０（明細書の段落番号「０００８」、第１図）
【０００５】
しかしながら、上記の従来の圧電アクチュエータでは、次のような問題がある。すなわち、弾性力を生じさせるべく伸長変形させた上記伸縮部には、定常的に引っ張り応力が作用し、疲労破壊が生じ易いという問題がある。
上記伸縮部に、定常的に引っ張り応力を作用させると疲労寿命が短くなる傾向にあり、上記圧電アクチュエータ全体として製品寿命を十分に確保することが難しい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、耐久性に優れた圧電アクチュエータ、その製造方法及び、その圧電アクチュエータを内蔵した燃料噴射用のインジェクタを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、軸方向に弾性的に伸縮可能な伸縮部を有する収納ケースに、積層型圧電素子を収容してなる圧電アクチュエータにおいて、
上記収納ケースの上記伸縮部の弾性力に基いて、上記積層型圧電素子に対してその軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重であることを特徴とする圧電アクチュエータにある（請求項１）。
【０００８】
上記第１の発明の上記圧電アクチュエータでは、上記伸縮部の上記弾性力に基づいて、上記収納ケースから上記積層型圧電素子に対して、その軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重を、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重となるように設定してある。
【０００９】
すなわち、上記伸縮部の伸長変形を一定の範囲に制限して、上記ケース荷重の値が上記荷重範囲に収まるようにしてある。
【００１０】
そのため、上記圧電アクチュエータでは、過大な引っ張り応力が上記伸縮部に定常的に作用するおそれが少ない。
つまり、一般的な積層型圧電素子の伸縮変位である０．１％歪みを収納ケースの伸縮部に作用させた場合において、積層型圧電素子のセット時における上記伸縮部の引っ張り荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重であれば、伸縮部の積層型圧電素子の繰り返し作動による疲労に対し、破損するおそれが極めて少なくなる。
したがって、上記伸縮部は疲労破壊するおそれが少なく、上記圧電アクチュエータにあっては、長年に渡って優れた性能を発揮し得る。
なお、上記積層型圧電素子としては、圧電効果を発揮するセラミック積層体単体としての素子であっても良く、或いは、セラミック積層体に、さらに端面を保護する保持部材や、圧電効果による駆動力を外部に伝達するための駆動力伝達部材等を含む素子であっても良い。
【００１１】
第２の発明は、軸方向に伸縮する伸縮部を有する収納ケースに、積層型圧電素子を収容してなる圧電アクチュエータを内蔵した燃料噴射用のインジェクタにおいて、
上記インジェクタは、上記圧電アクチュエータの駆動力が作用する動作面に対して、軸方向の荷重を作用する弾性部材を設けてなり、
上記圧電アクチュエータは、該圧電アクチュエータ単体時において、上記収納ケースの上記伸縮部の弾性力に基いて、上記積層型圧電素子に対してその軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重であることを特徴とする燃料噴射用のインジェクタにある（請求項４）。
【００１２】
上記第２の発明の燃料噴射用のインジェクタは、インジェクタ駆動用の上記圧電アクチュエータの上記動作面に軸方向の荷重を作用する上記弾性部材を備えている。
そのため、上記インジェクタでは、上記伸縮部の弾性力に基づいて上記収納ケースから上記積層型圧電素子の軸方向に作用するケース荷重と、上記弾性部材による荷重とを合わせた予荷重を上記積層型圧電素子に作用させることができる。
それ故、上記インジェクタにおいては、上記伸縮部で発生させるべき弾性力及び、その伸長変形量を抑制し、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力を低減することができる。
なお、上記圧電アクチュエータ単体時とは、上記インジェクタに未だ内蔵していない部品としての圧電アクチュエータの状態をいうものである。
【００１３】
したがって、上記第２の発明のインジェクタは、上記積層型圧電素子に十分な予荷重を作用させてあるため層間剥離等のトラブルが少なく、かつ、上記伸縮部に疲労破壊が発生するおそれが少ない耐久性、信頼性に優れたものである。
なお、上記のごとく圧電アクチュエータの外部に配置した上記弾性部材は、交換等のメンテナンス作業を容易に実施でき、上記インジェクタの優れた性能をさらに長期間に渡って発揮させることができる。
【００１４】
第３の発明は、軸方向に弾性的に伸縮する伸縮部を少なくとも一部に形成した筒状の胴部と、該胴部の一方の端部に配設されて上記積層型圧電素子の駆動力が作用する駆動板とを有してなる収納ケースに積層型圧電素子を収容した上、上記胴部の他方の端部に基台を接合してなる圧電アクチュエータを製造する製造方法において、
上記積層型圧電素子を作製する素子形成工程と、
上記収納ケースの上記開口端部から上記積層型圧電素子を挿入し、該積層型圧電素子を上記収納ケースの軸方向の所定の位置に配置する収容工程と、
上記収納ケースに収容した上記積層型圧電素子の後端面に上記基台の軸方向の端面を当接させた状態で、上記収納ケースの開口端部に上記基台を接合する接合工程とを含み、
上記収容工程では、上記圧電アクチュエータの上記収納ケースにおいて、上記積層型圧電素子を軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重となるように、上記積層型圧電素子を収容することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法にある（請求項８）。
【００１５】
上記第３の発明の製造方法における上記収容工程は、上記圧電アクチュエータにおける上記積層型圧電素子に作用する上記ケース荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の荷重となるように実施する。
そのため、上記製造方法により得られる上記圧電アクチュエータは、上記収納ケースの上記伸縮部に生じる伸長変形を所定の範囲に抑えたものとなる。
【００１６】
そして、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力を抑制することにより、該伸縮部に疲労破壊を生じるおそれを抑制することができる。
したがって、上記圧電アクチュエータの製造方法によれば、耐久性に優れ、信頼性の高い圧電アクチュエータを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
上記第１の発明においては、上記ケース荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重であることが好ましい（請求項２）
積層型圧電素子のセット時における組付け精度として、一般的に調整可能な程度の荷重、即ち、積層型圧電素子のセット時における上記伸縮部の引っ張り荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重である場合には、上記伸縮部の積層型圧電素子の繰り返し作動による疲労に対し、十分余裕のあるものとなる。
また、上記伸縮部は伸長変形を生じておらず、上記ケース荷重は、ゼロであることが好ましい（請求項３）。
この場合には、上記収納ケースの上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力をゼロとして、該伸縮部に疲労破壊が生じるおそれを抑制でき、上記圧電アクチュエータの製品寿命をさらに向上することができる。
ここで、上記ケース荷重をゼロとする方法としては、例えば、上記伸縮部の伸長変形が生じないように上記収納ケースに上記積層型圧電素子を収容する等の方法がある。
【００１８】
上記第２の発明においては、上記ケース荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重であることが好ましい（請求項５）。
積層型圧電素子のセット時における組付け精度として、一般的に調整可能な程度の荷重、即ち、積層型圧電素子のセット時における上記伸縮部の引っ張り荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重である場合には、上記伸縮部の積層型圧電素子の繰り返し作動による疲労に対し、十分余裕のあるものとなる。
また、上記圧電アクチュエータ単体時において上記伸縮部は伸長変形を生じておらず、上記ケース荷重は、ゼロであることが好ましい（請求項６）。
この場合には、上記インジェクタに内蔵した上記圧電アクチュエータについて、該圧電アクチュエータ単体時における上記伸縮部の変形長さをゼロとして、該伸縮部に疲労破壊を生じるおそれを抑制できる。
そのため、上記インジェクタは、上記圧電アクチュエータの上記伸縮部に疲労破壊が発生するおそれが少なく、さらに長期間に渡って優れた性能を維持することができる。
【００１９】
また、上記インジェクタに内蔵され、上記弾性部材による付勢力を受けた状態において、上記積層型圧電素子を軸方向に圧縮する方向に作用する予荷重は、積層型圧電素子の発生する駆動力の１／４以上であることが好ましい（請求項７）。
この場合には、上記インジェクタの作動するための駆動力を発生する上記積層型圧電素子の軸方向に十分な予荷重を作用させることができる。
そのため、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力を抑制して疲労寿命を延ばしつつ、該積層型圧電素子の層間剥離等のトラブルを生じるおそれを抑制することができる。
【００２０】
上記第３の発明においては、上記収容工程における上記ケース荷重は、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重であることが好ましい（請求項９）。
積層型圧電素子のセット時における組付け精度として、一般的に調整可能な程度の荷重、即ち、積層型圧電素子のセット時における上記伸縮部の引っ張り荷重が、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１００未満或いは１０Ｎ未満の荷重である場合には、上記伸縮部の積層型圧電素子の繰り返し作動による疲労に対し、十分余裕のあるものとなる。
また、上記収容工程においては、上記所定のケース荷重に略一致する弾性力を生じる際の上記伸縮部の伸長変形長さを実現するための上記積層型圧電素子の上記収納ケース内での基準挿入位置を基にして、上記接合工程で発生する上記収納ケースの軸方向の収縮長さ分だけ上記積層型圧電素子を挿入逆方向に後退させた位置である組み付け位置に、上記積層型圧電素子を配置することが好ましい（請求項１０）。
【００２１】
この場合には、上記収容工程において、上記収納ケースに生じ得る収縮を考慮して定めた上記組み付け位置に上記積層型圧電素子を配置する。
そのため、上記圧電アクチュエータでは、上記伸縮部の伸長変形量を設計値に略一致させて設定することができる。
したがって、上記製造方法により製造した上記圧電アクチュエータでは、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力が過大となるおそれが少なく、疲労破壊を生じるおそれが少ない。
【００２２】
なお、上記積層型圧電素子の発生する駆動力の１／１０未満又は１００Ｎ未満の所定のケース荷重はゼロを含むものである。
そして、該所定のケース荷重がゼロである場合には、上記基準挿入位置は、上記収納ケースの上記作用端面と上記積層型圧電素子の先端面とが無荷重の状態で当接している状態から隙間を空けた状態までの範囲のうちの任意の位置にある。
【００２３】
また、上記組み付け位置は、上記所定のケース荷重に略一致する弾性力を生じる際の上記伸縮部の伸長変形長さを、上記収縮長さから差し引いた長さ分だけ、上記伸縮部を圧縮させた上記収納ケースにおける上記駆動板に上記積層型圧電素子の端部が当接する位置であることが好ましい（請求項１１）。
【００２４】
この場合には、予め、上記伸縮部を圧縮した上記収納ケースの奥まで、上記積層型圧電素子を挿入することにより、上記収容工程を容易かつ確実に実施することができる。
そして、上記圧電アクチュエータにおいては、接合工程で生じるおそれがある収縮長さの少なくとも一部を、上記伸縮部の自由伸長により相殺して、上記積層型圧電素子の端部と上記作用端面との間に上記所定のケース荷重を作用させることができる。
【００２５】
また、上記所定のケース荷重はゼロであり、上記基準挿入位置は、上記積層型圧電素子の軸方向の端部と、上記収納ケースの上記作用端面との間に、上記収縮長さ以上の隙間が形成される位置であることが好ましい（請求項１２）。
この場合には、上記圧電アクチュエータにおいて、上記積層型圧電素子と上記作用端面との間に隙間を形成することができる。そのため、上記収納ケースの上記伸縮部で生じる伸長変形を確実にゼロにできる。
したがって、上記伸縮部に定常的に作用する引っ張り応力をゼロとして、疲労破壊が生じるおそれをさらに抑制することができる。
【００２６】
また、上記接合工程は、上記開口端部に上記基台を溶接する工程であることが好ましい（請求項１３）。
この場合には、上記接合工程において、上記収納ケースの軸方向の収縮を生じるおそれが高く、上記第３の発明による製造方法が特に有効になる。
なお、溶接方法としては、レーザ溶接、電子ビーム溶接、Ｔｉｇ溶接等の方法がある。
【実施例】
【００２７】
（実施例１）
本例の圧電アクチュエータ１及びその製造方法について、図１〜図８を用いて説明する。
本例の圧電アクチュエータ１は、図１に示すごとく、軸方向に弾性的に伸縮可能な伸縮部２１を有する収納ケース２０に、積層型圧電素子１０を収容してなる圧電アクチュエータである。
該圧電アクチュエータ１においては、収納ケース２０の伸縮部２１の弾性力に基いて積層型圧電素子１０に対して、その軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重がゼロである。
以下に、この内容について詳しく説明する。
【００２８】
上記積層型圧電素子１０は、図１に示すごとく、セラミック層１１１と電極層１１２とを交互に積層してなるセラミック積層体１１の積層方向の両端面に、保持部材１２と、伝達部材１３とを接合してなる素子である。
上記セラミック積層体１１は、５０〜２００μｍ厚のセラミック層１１１と０．５〜５μｍ厚の電極層１１２とを、５０〜７００層交互に積層してなるものである。
【００２９】
本例のセラミック積層体１１は、図３に示すごとく、電極部５０３と控え部５０４とを形成したセラミックよりなるシート片５２１を積層した部分電極構造を呈する積層体である。
そして、セラミック積層体１１の外周面には、図４に示すごとく、軸方向に平行であって、相互に対向する一対の側面１１５を配置してあり、セラミック積層体１１の積層方向に略直交する断面は、略樽形状を呈している。
【００３０】
そして、各側面１１５には、図１に示すごとく、それぞれ側面電極１１６を接合してある。各側面電極１１６は、各側面１１５に一層おきに露出する電極部５０３を含む電極層１１２と電気的に接続されており、かつ、一方の側面電極１１６と電気的に接続した電極層１１２は、他方の側面電極１１６と電気的に絶縁した状態にしてある。
【００３１】
側面電極１１６の端部は、図１に示すごとく、セラミック積層体１１の端面に接合した上記保持部材１２に配設した電極端子１１７と電気的に接続してある。
そして、積層形圧電素子１に後述する基台３０を組み付けたとき、該基台３０に貫通配置した一対の外部電極３１と上記側面電極１１６とが、電極端子１１７を介して電気的に接続するように構成してある。
なお、本例の積層型圧電素子１０は、外部電極３１から電力を供給して駆動力を発生するように構成してある。
【００３２】
また、セラミック積層体１１の他方の端面の上記伝達部材１３は、図１に示すごとく、セラミック積層体１１と略同一径の接合部１３１と、該接合部１３１よりも小径のロッド部１３２とよりなる略２重円柱形状を呈する部材である。
そして、圧電アクチュエータ１の使用時においては、該ロッド部１３２の先端面が、上記収納ケース２０の後述する作用端面２２１と当接するように構成してある。
【００３３】
上記収納ケース２０は、図１に示すごとく、筒状を呈する胴部２４と、上記圧電アクチュエータ１の駆動力を伝達する動作面１００をなす駆動板２２とを有する略コップ状を呈する部材である。
そして、駆動板２２の裏面には、上記伝達部材１３の先端面と当接する作用端面２２１を形成してある。
【００３４】
上記胴部２４は、図１に示すごとく、上記作用端面２２に近い端部付近に金属ベローズよりなる伸縮部２１を形成してなる。そして、この伸縮部２１は、上記積層形圧電素子１０の伝達部材１３のロッド部１３２の外周側に、該ロッド部１３２の外周面と所定の隙間を設けた状態で配置されるように構成してある。
【００３５】
そして、本例では、上記駆動板２２は、収納ケース２０における伸縮部２１側の端部にレーザ溶接してある。
なお、収納ケース２０における駆動板２２に当たる部分は、油圧プレスによる絞り加工等により、胴部２４と一体的に形成することもできる。
【００３６】
上記基台３０は、図１に示すごとく、ＳＵＳ３０４よりなる略円柱状の部材に、一対の外部電極３１を貫通配置したものである。そして、貫通した上記外部電極３１と基台３０との隙間は、ガラスよりなるハーメチックシール３３によりシールしてある。
さらに、基台３０の上記収納ケース２０側の端部には、該収納ケース２０の胴部２４に挿入する挿入部３２を形成してある。
【００３７】
そして、本例の圧電アクチュエータ１は、図１に示すごとく、胴部２４に挿入した挿入部３２をレーザ溶接することにより、収納ケース２０と基台３０とを接合してなるものである。
圧電アクチュエータ１では、基台３０の挿入部３２側の端部と、積層型圧電素子１０の保持部材１２の端部とを当接させることにより、収納ケース２０内における積層型圧電素子１０の収容位置を規制してある。
【００３８】
次に、本例の圧電アクチュエータ１を製造する方法について説明する。
該圧電アクチュエータ１を製造する工程は、積層型圧電素子１０を作製する素子形成工程と、収納ケース２０の開口端部から積層型圧電素子１０を挿入し、該積層型圧電素子１０を収納ケース２０の軸方向の所定の位置に配置する収容工程と、所定の位置に配置した積層型圧電素子１０の後端面に基台３０の軸方向の端面を当接させた状態で、収納ケース２０の開口端部に基台３０を接合する接合工程とを含む工程である。
【００３９】
まず、積層型圧電素子１０を作製する上記素子形成工程について説明する。
積層型圧電素子１０を構成する上記セラミック積層体１１を作製するに当たっては、予め、圧電素子材料であるグリーンシート用のスラリーからグリーンシート５００（図２参照）を作製する。
このスラリーは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電セラミックスになるセラミック原料にバインダーと微量の可塑剤及び消泡剤を添加した後、有機溶媒中に分散させたものである。
【００４０】
本例では、ドクターブレード法によって図示しないキャリアフィルム上に、上記スラリーを塗布し、厚さ４０〜２５０μｍのグリーンシート５００を生成した。なお、スラリーからグリーンシート５００を生成する方法としてはドクターブレード法の他、押出成形法その他種々の方法を採ることができる。
【００４１】
次に、図２に示すごとく、グリーンシート５００における積層面５０１となる領域に、導電材料であるＡｇ−Ｐｄペーストをスクリーン印刷により塗布する。ここで、積層面５０１の外周部に当たる１箇所を残してＡｇ−Ｐｄペーストを塗布することにより、積層面５０１上に電極部５０３と控え部５０４とからなる電極印刷パターン５０２を形成する。
そしてその後、導電材料を塗布した積層面５０１全面に、接着材としての上記スラリーを塗布する。
【００４２】
また、本例では、図２及び図３に示すごとく、グリーンシート５００を打ち抜くごとに、シート片５２１における控え部５０４の配置が交互に入れ替わるように、図２に示すごとく、グリーンシート５００表面に鏡像関係にある２種類の電極用印刷パターン５０２を形成した。
【００４３】
その後、図３に示すごとく、グリーンシート５００から電極用シートパターン５０２を有するシート片５２１を打ち抜き、打ち抜いたシート片５２１を順次、積層する。
ここでは、同図に示すごとく、鏡像関係にある２種類の電極用印刷パターン５０２を有するシート片５２１を交互に積層して中間積層体（図示略）を作製すると共に、これを焼成してセラミック積層体１１を作製する。
なお、本例では、１２００℃雰囲気中に２時間保持して中間積層体を焼成した後、炉冷を実施した。
【００４４】
そうすると、上記積層面５０１（図１）に塗布した電極部５０３は、図４に示すごとく、上記セラミック積層体１１において層状をなす各電極層１１２を形成することになる。
そして、上記セラミック積層体１１は、対向する側面において１層おきの電極層１１２の電極部５０３を露出しており、かつ、一方の側面で電極部５０３を露出する電極層１１２は、他方の側面では控え部５０４を露出するように構成される。
【００４５】
なお、本例のセラミック積層体１１は、図４に示すごとく、積層方向の一層おきに電極部５０３及び控え部５０４が現れる側面を平面加工してなり、一対の略平面状の側面１１５を形成したものである。
そして、本例の積層型圧電素子１０は、図１に示すごとく、上記セラミック積層体１１の各側面１１５に、導電性接着剤により側面電極１１６を接合すると共に、セラミック積層体１１の積層方向の両端面に上記保持部材１２と上記伝達部材１３とを接合したものである。
なお、上記導電性接着剤としては、Ａｇ−Ｐｄペースト、Ａｇペースト、Ａｕペースト、Ｃｕペースト等を利用することができる。
【００４６】
次に、上記収納ケース２０に積層型圧電素子１０を収容する上記収容工程について説明する。
この工程では、図５に示すごとく、予め、積層型圧電素子１０の保持部材１２側の端部に、基台３０を組み付ける。
本例では、保持部材１２に配設した電極端子１１７と、基台３０の外部電極３１とを、レーザ照射によるスポット溶接により接合することにより、保持部材１２と基台３０とを当接させた状態で両者を組み付けた。
【００４７】
図５に示すごとく、収納ケース２０に積層型圧電素子１０を収容するに当たっては、予め、該積層型圧電素子１０の伝達部材１３の先端面が、収納ケース２０の作用端面２２１と接触する一方、伸縮部２１に伸長変形を生じない積層型圧電素子１０の基準挿入位置を計算的に算出すると共に、接合工程で発生し得る収納ケース２０の軸方向の収縮長さを実験的に算出してある。
そして、上記基準挿入位置から、上記収縮長さ分だけ積層型圧電素子１０を挿入逆方向に後退させた位置を組み付け位置とし、該組み付け位置に積層型圧電素子１０を挿入、配置した。
【００４８】
なお、後述する本例のレーザ溶接による接合工程では、収納ケース２０について、およそ７０μｍの軸方向の収縮が生じることを実験的に求めている。
したがって、本例では、図６に示すごとく、収納ケース２０の作用端面２２１と、積層型圧電素子１０の伝達部材１３の端部との間に、７０μｍの隙間Ｇが形成される位置が上記組み付け位置となる。
そこで、本例の収容工程では、図６に示すごとく、積層型圧電素子１０を上記組み付け位置に収容、配置した。
【００４９】
次に、上記接合工程は、収納ケース２０に対する積層型圧電素子１０の上記組み付け位置を保持した状態で、該積層型圧電素子１０の軸方向位置を規制する基台３０を収納ケース２０に接合する工程である。本例では、レーザ溶接により基台３０を収納ケース２０に接合した。
【００５０】
上記接合工程では、上記のごとく、溶接の熱により上記収納ケース２０には７０μｍ程度の軸方向の収縮を生じる。
このとき、収納ケース２０の内部では、図７に示すごとく、上記収容工程において上記作用端面２２と伝達部材１３の端部との間に設けた隙間Ｇ（図６参照。）が狭められ、その隙間がなくなる。
ここで、上記接合工程において設計通りの収縮が生じた場合には、作用端面２２と伝達部材１３の端部とはゼロ荷重で接触するようになり、収納ケース２０の伸縮部２１に伸長変形を生じることはない。
【００５１】
このように、本例では、上記接合工程で生じる上記収納ケースの収縮を考慮して定めた上記組み付け位置に上記積層型圧電素子を配置する。
そのため、圧電アクチュエータ１における伸縮部２１の伸長変形長さを適正に設定することができ、該伸縮部２１に定常的に作用する引っ張り応力を抑制することができる。
したがって、本例の圧電アクチュエータ１は、伸縮部２１が疲労破壊するおそれが少なく、長期間の仕様に渡って優れた性能を発揮することができる。
【００５２】
なお、上記基準挿入位置としては、上記作用端面２２と伝達部材１３との間に隙間が形成される位置とすることもできる。この場合には、図７に示すごとく、製造された圧電アクチュエータ１において、上記作用端面２２と上記積層型圧電素子１０との間に隙間を形成することができる。
そのため、上記接合工程における収納ケース２０の軸方向の収縮量に多少の誤差を生じた場合であっても、伸縮部２１に伸長変形を確実に防止することができる。
【００５３】
さらに、圧電アクチュエータ１に内蔵した積層型圧電素子１０を軸方向に圧縮する所定のケース荷重を、積層型圧電素子１０の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の範囲でゼロより大きく設定することもできる。
この場合には、上記基準挿入位置は、上記伸縮部２１の伸長変形による弾性力が、上記所定のケース荷重と略一致する際の積層型圧電素子１０の挿入位置となる。そして、この基準挿入位置から上記接合工程での収縮長さ分、挿入逆方向に後退させた位置が上記組み付け位置になる。
【００５４】
なお、図８に示すごとく、上記収納ケース２０の胴部２４の軸方向の全域に渡って伸縮部２１を形成して、該伸縮部２１の内周側に積層型圧電素子１を配設することもできる。
この場合には、伸縮部２１の単位長さ当たりに作用する応力を分散して、疲労寿命を延ばすことができる。
【００５５】
（実施例２）
本例は、実施例１を基にして、上記収容工程の実施の方法を変更した例である。
また、本例の圧電アクチュエータ１では、積層型圧電素子１０の軸方向に圧縮する方向に作用する上記ケース荷重として、ゼロよりも大きく積層型圧電素子１０の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の範囲にある所定のケース荷重を設定した。
【００５６】
そして、本例の収容工程は、図９に示すごとく、予め、軸方向に圧縮した収納ケース２０の作用端面２２１に、積層型圧電素子１０の挿入方向の端部を当接させることにより組み付ける工程である。
本例の収容工程を実施するに当たっては、予め、上記接合工程において生じ得る収納ケース２０の軸方向の収縮長さＬ１と、所定のケース荷重により積層型圧電素子１０を軸方向に圧縮するために必要な伸縮部２１の伸長変形長さＬ２とを求めておく。
なお、本例では、上記所定のケース荷重を、積層型圧電素子１０の発生する駆動力の１／１０未満或いは１００Ｎ未満の範囲でゼロより大きく設定した。
【００５７】
そして、上記収縮長さから上記伸長変形長さを差し引いた長さ分を、伸縮部２１を圧縮すべき上記所定の長さＰとする。すなわち、Ｐ＝Ｌ１−Ｌ２とする。
そこで、本例の収容工程を実施するに当たって、まず、収納ケース２０を軸方向に上記所定の長さＰだけ縮めておく。
【００５８】
そして、上記収容工程では、圧縮した収納ケース２０の作用端面２２１に積層型圧電素子１０の伝達部材１３が接触する位置に、積層型圧電素子を挿入配置する。その後、上記接合工程を実施すると、上記収縮長さに略一致して上記収納ケース２０が軸方向に長さＬ１分だけ収縮する。
その後、収納ケース２０を圧縮していた力を解放すると、該収納ケース２０は、上記所定の長さＰだけ伸長復帰することになる。
【００５９】
ここで、収納ケース２０のもとの全長（内側）をＬとすると、接合工程実施後の全長（内側）は、Ｌ−Ｌ１である。
接合工程前の、圧縮した状態の収納ケース２０の全長（内側）は、Ｌ−Ｐ＝Ｌ−（Ｌ１−Ｌ２）である。そして、接合工程前では、収納ケース２０の作用端面２２１と積層型圧電素子１０の端部とを接触させてあるので、収納ケース２０の内容物すなわち積層型圧電素子１０の全長は、Ｌ−Ｐ＝Ｌ−（Ｌ１−Ｌ２）となっているはずである。
【００６０】
収納ケース２０の接合工程後の全長Ｌ−Ｌ１と、積層型圧電素子１０の全長Ｌ−Ｌ１＋Ｌ２とを比較すると、収納ケース２０の全長がＬ２だけ短い。
それ故、接合工程後では、収納ケース２０の伸縮部２１は、Ｌ２分だけ伸長変形することになる。
そして、Ｌ２分だけ伸長変形を生じた伸縮部２１は、上記当初の設計の通りの所定のケース荷重を、積層型圧電素子１０を圧縮する方向に作用することになる。
【００６１】
ここで、本例で、収納ケース２０における積層型圧電素子１０の組み付け位置は、実施例１に示した方法で算出する上記組み付け位置と全く等しい位置である。
つまり、本例は、予め所定の長さに圧縮した収納ケース２０の作用端面２２１に、積層型圧電素子１０の端部を当接させるという上記収容工程により、上記組み付け位置への積層型圧電素子１０の挿入配置を容易にした例である。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例１と同様である。
【００６２】
（実施例３）
本例は、実施例１の積層型圧電素子を内蔵したインジェクタについての例である。
本例のインジェクタ６は、図１０に示すごとく、図示しないコモンレール内に蓄えたおよそ１８０ＭＰａの高圧の燃料を、エンジンシリンダ内に噴射する装置である。
【００６３】
このインジェクタ６は、図１０に示すごとく、実施例１の圧電アクチュエータ１が収容されるハウジング５０と、インジェクションノズル６５を含む噴射ノズル部６１を形成したノズルハウジング６０とを組み付けてなるものである。
【００６４】
略円柱状の外形を呈するハウジング５０は、図１０に示すごとく、中心軸から偏芯してコネクタ７０側の端面から穿孔された断面略円形状を呈する凹部５１と、該凹部５１と略同軸上に、ノズルハウジング６０側の端面から穿孔された断面略円形状を呈する第１シリンダ５３と、該第１シリンダ５３及び凹部５１に隣接して同端面から穿孔された燃料供給通路５２とを有している。
【００６５】
凹部５１と第１シリンダ５３とは、図１０に示すごとく、凹部５１の底部から略同軸上に穿孔された連通穴５４により連通している。本例では、この連通穴５４は、凹部５１及び第１シリンダ５３よりも小径に形成してある。また、燃料供給通路５２は、ハウジング５０におけるコネクタ７０側の端部に配設されたジョイント部５２０に開口し、該ジョイント部５２０に収容した燃料導入管５２５を介して、図示しないコモンレールと接続してある。
さらに、ハウジング５０の後端側に形成されたジョイント部５８０は、後述する三方弁６２に連通するドレイン通路５８を穿設してあり、該ドレイン通路５８には燃料を排出する燃料導出管５８５を連接してある。
【００６６】
ハウジング５０は、図１０に示すごとく、凹部５１内に圧電アクチュエータ１を有している。また、第１シリンダ５３内には、第１プランジャ５３０を収容してある。この第１プランジャ５３０は、第１シリンダ５３内を摺動する胴部５３１と、上記連通穴５４に貫通する軸部５３２とを有している。
そして、軸部５３２の端面において、駆動伝達ユニット５５を介して、圧電アクチュエータ１の動作面としての駆動板２２に当接している。
【００６７】
駆動伝達ユニット５５は、軸方向の両端部で第１プランジャ５３０と圧電アクチュエータ１に当接する付勢ロッド５５３と、該付勢ロッド５５３を圧電アクチュエータ１に向けて付勢するコイルスプリング５５２と、スプリングシート５５１とを有してなる。
【００６８】
付勢ロッド５５３は、圧電アクチュエータ１側の端部付近にコイルスプリング５５２よりも大径のシート部５５４を形成してある。そして、付勢ロッド５５３は、コイルスプリング５５２がシート部５５４に作用する付勢力により、圧電アクチュエータ１に向けて押圧されている。
【００６９】
スプリングシート５５１は、凹部５１から連通穴５４に至る棚部に係合してコイルスプリング５５２の一方の端部の軸方向の位置を規制するように構成してある。そして、該スプリングシート５５１の中央部には、上記付勢ロッド５５３を挿通させる貫通穴を穿孔してある。
【００７０】
なお、本例の駆動伝達ユニット５５では、付勢ロッド５５３から圧電アクチュエータ１の動作面１００に作用する静的な圧縮荷重を、積層型圧電素子１０の発生する駆動力の１／４以上に設定してある。
一方、圧電アクチュエータ１単体時において、積層型圧電素子１に作用する上記ケース荷重はゼロにしてある。
そのため、インジェクタ６に内蔵した圧電アクチュエータ１の積層型圧電素子１０に対しては、その軸方向に積層型圧電素子１０の発生する駆動力の１／４以上の予荷重が作用することになる。
【００７１】
また、インジェクタ６は、該コネクタ７０に収容した一対の電極（図示略）に所定の電圧を印加することにより、上記基台３０に貫通配置した外部電極３１（図１参照。）を介して積層型圧電素子１の各セラミック層１１１に電圧を印加できるように構成してある。
【００７２】
ノズルハウジング６０は、図１０に示すごとく、ハウジング５０側の端面から同軸上に穿孔された第２シリンダ６３と、燃料供給通路５２又はドレイン通路５８に連通する三方弁６２と、噴射ノズル部６１とを有している。
ノズルハウジング６０をハウジング５０に組み付けたとき、上記第１シリンダ５３と連通するように第２シリンダ６３を形成してある。そして、上記第２シリンダ６３には、第２プランジャ６３０を摺動自在に収容してある。
したがって、第１プランジャ５３０と第２プランジャ６３０との間には、第１シリンダ５３から第２シリンダ６３にかけて１つの圧力室５０６が形成されている。
【００７３】
本例では、図１０に示すごとく、この圧力室５０６内に作動流体を充填し、第１プランジャ５３０に従動して第２プランジャ６３０をストロークさせることができるように構成してある。
ここで、第２シリンダ６３は、第１シリンダ５３よりも小径に形成してある。そのため、このインジェクタ６では、第１プランジャ５３０のストロークを増幅して、第２プランジャ６３０をストロークさせることができるように構成してある。
【００７４】
上記三方弁６２は、図１０に示すごとく、燃料供給通路５２又はドレイン通路５８と、後述する背圧室６１０とを選択的に連通させる弁体（図示略）を有している。この弁体は、第２プランジャ６３０のノズルハウジング６０側方向のストロークによって作用して、ドレイン通路５８と背圧室６１０とを連通させるように構成されている。
【００７５】
また、第２プランジャ６３０がハウジング５０側に位置するときには、弁体は、燃料供給通路５２と背圧室６１０とを連通させるよう構成されている。
すなわち、本例のインジェクタ６の背圧室６１０は、通常、高圧の燃料が導入されて高圧に保持されており、第２プランジャ６３０のノズルハウジング６０側に向かうストロークにより、背圧室６１０とドレイン通路５８との連通により、背圧室６１０内が減圧されるように構成してある。
【００７６】
上記噴射ノズル部６１は、図１０に示すごとく、ノズルハウジング６０の先端側に配設されたインジェクションノズル６５と、該インジェクションノズル６５を開閉するノズルニードル６１５と、噴射する燃料を蓄える燃料溜まり６１２とを有している。
【００７７】
インジェクションノズル６５は、図１０に示すごとく、軸芯と同軸上に穿孔されたニードル穴６５０を有している。そして、このニードル穴６５０は、燃料を噴出する噴孔として、インジェクションノズル６５の先端に開口している。
上記ノズルニードル６１５は、先端方向が小径である２段の略円柱形状を呈しており、直径が変化する段部６１６が上記燃料溜まり６１２に位置するよう上記ニードル穴６５０内に収容されている。また、ノズルニードル６１５は、その球状を呈する先端部６１３により、インジェクションノズル６５先端の噴孔を開閉できるように構成してある。
【００７８】
また、ノズルニードル６１５の他方の端部側には、図１０に示すごとく、三方弁６２と連通する背圧室６１０を形成してある。この背圧室６１０に配置されたスプリング６１８は、インジェクションノズル６５先端の噴孔を閉じる方向にノズルニードル６１５を付勢するように構成してある。
【００７９】
さらに、ノズルニードル６１５の段部６１６の外周に形成された、略断面円形状を呈する燃料溜まり６１２には、図１０に示すごとく、高圧の燃料を供給する燃料供給通路５２を連通させてある。燃料溜まり６１２の高圧の燃料は、該ノズルニードル６１５をハウジング５０側に後退させる方向の圧力を、ノズルニードル６１５の段部６１６に作用するように構成してある。
【００８０】
以下に、図示しないディーゼルエンジンのコモンレール噴射システムに適用した本例のインジェクタ６の動作について説明する。
上記のインジェクタ６を動作させて、インジェクションノズル６５からエンジンシリンダ内へ、１８０ＭＰａという高圧の燃料を噴射するには、図１０に示すごとく、圧電アクチュエータ１に所定の電圧を印加する。
電圧の印加による圧電アクチュエータ１の伸長により、該圧電アクチュエータ１の動作面１００に当接した駆動伝達ユニット５５の付勢ロッド５５３は、上記第１プランジャ５３０に向けてストロークさせる。
【００８１】
そして、付勢ロッド５５３に当接してストロークした第１プランジャ５３０は、第１シリンダ５３内をノズルハウジング６０側に移動する。第１プランジャ５３０の移動により第１シリンダ５３内の容積が減少されることにより、圧力室５０６の作動流体は、第２シリンダ６３内に流入し、第２シリンダ６３内の容積を増大させるよう第２プランジャ６３０をインジェクションノズル６５側に向けて移動させる。
【００８２】
第２プランジャ６３０のストロークにより、三方弁６２の弁体は、図１０に示すごとく、インジェクションノズル６５側に向けて押し下げられる。この弁体の押し下げにより、燃料供給通路５２から背圧室６１０に至る通路が遮断されて、代わりに、ドレイン通路５８から背圧室６１０に至る通路が連通される。そして、背圧室６１０内に充填されていた燃料は、ドレイン通路５８を介して燃料導出管５８５より外部へ排出され、背圧室６１０内が減圧される。
【００８３】
背圧室６１０の圧力低下に伴って該背圧室６１０と燃料溜まり６１２との間に生じた圧力差は、図１０に示すごとく、ノズルニードル６１５をハウジング５０側に押し上げる力を発生する。そして、ノズルニードル６１５のハウジング５０側への移動により、ノズルニードル６１５の先端部６１３により閉じられていたインジェクションノズル６１５先端の噴孔が開口する。そして、噴孔が開口すると、燃料溜まり６１２内の高圧の燃料がエンジンシリンダ内へ噴射される。
なお、本例では、エンジンを制御するエンジンＥＣＵ（図示略）により、各エンジンシリンダに取り付けたインジェクタ６を制御して、的確なタイミングにより、上記のごとく燃料の噴射を繰り返し実施した。
【００８４】
以上のごとく、内蔵した圧電アクチュエータ１を軸方向に圧縮するコイルスプリング５５２を備えたインジェクタ６は、圧電アクチュエータ１内部の積層型圧電素子１０に適切な予荷重を作用させることができる。
そのため、本例のインジェクタ６では、圧電アクチュエータ１の内部で積層型圧電素子１０の層間剥離等のトラブルを生じるおそれが少ない。
【００８５】
そして相対的には、本例のインジェクタ６では、収納ケース２０の伸縮部２１で発生させる必要がある上記ケース荷重を抑制することができる。本例ではケース荷重をゼロとしてある。
したがって、本例の圧電アクチュエータ１では、上記伸縮部２１に定常的に作用する引っ張り応力をゼロとすることができ、伸縮部２１に疲労破壊が発生するおそれが少ない。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例１と同様である。
【００８６】
（実施例４）
本例は、実施例３のインジェクタの圧電アクチュエータについて、収納ケースの伸縮部の疲労寿命を調べた例である。
本例では、圧電アクチュエータ単体時における伸縮部の伸長変形による弾性力の大きさと、疲労寿命との関係を調べた。ここで、伸縮部の伸長変形による弾性力は、圧電アクチュエータに内蔵した積層型圧電素子を軸方向に圧縮する方向に作用するケース荷重と略一致している。
【００８７】
そこで、図１１に示すごとく、圧電アクチュエータの積層型圧電素子に作用するケース荷重（圧電アクチュエータ単体時においての予荷重（セット荷重））と、２×１０９回作動させた際に故障確率５０％以下を維持するための圧電アクチュエータの動作振幅（μｍ）との関係を求めた。
なお、同図には、横軸に積層型圧電素子に作用するケース荷重比（積層型圧電素子の発生する駆動力１０００Ｎに対するケース荷重の比率。）を、縦軸に圧電アクチュエータの動作振幅を規定している。
そして、設計目標である２×１０９回作動時の故障確率５０％以下を実現し得る領域をハッチング領域として図示してある。
ここで、２×１０９回作動時の故障確率とは、十分な母集合の圧電アクチュエータについて、それぞれ２×１０９回作動させたとき、母集合に対して故障を生じた個体の割合である。
【００８８】
ここで、横軸の左端部のマイナス部分の領域は、圧電アクチュエータ単体時において、積層型圧電素子の端部と収納ケースの作用端面との間に隙間が形成された状態を示している。すなわち、本来的には、積層型圧電素子のケース荷重が、ゼロとなる領域を示している。
そこで、本例では、便宜的に上記隙間の大きさを定量化して表現するべく、作用端面と積層型圧電素子の端部とを当接させるまで圧縮するのに必要な荷重を、マイナス荷重として表現している。
【００８９】
同図によれば、積層型圧電素子の一般的な動作振幅である全長比０．１％と、２×１０９回作動時の故障確率５０％とを両立するためには、積層型圧電素子のケース荷重比を、１／１０以下にすれば良いことが判る。この理由については以下のように考えることができる。
すなわち、上記ケース荷重を小さくすれば、伸縮部の伸長変形長さを短く設定することができ、該伸縮部に作用する引っ張り力を抑制することができる。そして、引っ張り力を抑制した伸縮部では、疲労破壊が生じるおそれを抑制することが可能である。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例３と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】実施例１における、圧電アクチュエータの構造を示す断面図。
【図２】実施例１における、電極用印刷パターンの印刷手順を示す説明図。
【図３】実施例１における、セラミック積層体の積層手順を示す説明図。
【図４】実施例１における、セラミック積層体の積層構造を示す断面図。
【図５】実施例１における、収容工程を示す説明図。
【図６】実施例１における、収容工程による組み付け構造を示す説明図。
【図７】実施例１における、その他の圧電アクチュエータの構造を示す断面図。
【図８】実施例１における、その他の圧電アクチュエータの構造を示す断面図。
【図９】実施例２における、収容工程における組み付け手順を示す説明図。
【図１０】実施例３における、圧電アクチュエータを内蔵したインジェクタの構造を示す断面図。
【図１１】実施例４における、積層型圧電素子のケース荷重と振幅との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
【００９１】
１  圧電アクチュエータ
１０  積層型圧電素子
１１  セラミック積層体
１２  保持部材
１３  伝達部材
２０  収納ケース
２１  伸縮部
２４  胴部
３０  基台
３１  外部電極
６  インジェクタ
【図１】
2004297042.tif 000003
【図２】
2004297042.tif 000004
【図３】
2004297042.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004297042.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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