(57)【要約】【課題】払拭シートに洗浄液を均一に散布することができる洗浄液散布装置、ワイピングユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】洗浄液を貯留する洗浄液タンク１７１と、払拭シート８８の幅方向に列設した複数の散布ノズル１５１とを接続する配管分岐ユニット１６２、を備え、配管分岐ユニット１６２は、上流側に洗浄液タンク１７１に接続した単一の流入ポート１９１を形成すると共に流出側に複数の流出ポート１９２を形成した基部分岐継手１８１と、それぞれが各流出ポート１９２に接続され、複数段に亘って２分岐継手２０１と接続短管路２０２とを下流に向かって樹枝状に連ね、かつ最下流端の複数本の接続短管路２０２を複数の散布ノズル１５１に接続した複数の分岐管路アッセンブリ１８２と、を有するものである。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭する払拭シートに、機能液の溶剤となる洗浄液を散布する洗浄液散布装置において、
前記払拭シートに対峙し、前記払拭シートの幅方向に列設した複数の散布ノズルと、洗浄液を貯留する洗浄液タンクと、前記洗浄液タンク内の洗浄液を前記複数の散布ノズルに送液する送液手段と、前記洗浄液タンクと前記複数の散布ノズルを接続する配管分岐ユニットと、を備え、
前記配管分岐ユニットは、上流側に前記洗浄液タンクに接続した単一の流入ポートを形成すると共に流出側に複数の流出ポートを形成した基部分岐継手と、それぞれが前記各流出ポートに接続され、複数段に亘って分岐継手と接続短管路とを下流に向かって樹枝状に連ね、かつ最下流端の複数本の前記接続短管路を前記複数の散布ノズルに接続した複数の分岐管路アッセンブリと、を有することを特徴とする洗浄液散布装置。
【請求項２】
前記配管分岐ユニットは、前記洗浄液タンクから前記複数の散布ノズルに向かって、先上がりに配管されていることを特徴とする請求項１に記載の洗浄液散布装置。
【請求項３】
前記複数の分岐管路アッセンブリは、段積み状に重ねて配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄液散布装置。
【請求項４】
前記配管分岐ユニットを支持する支持部材を、さらに備え、
前記配管分岐ユニットの各段の複数の前記分岐継手には、これらを重ねた状態に位置決めするための貫通孔がそれぞれ形成され、
前記支持部材には、前記各貫通孔に挿通する複数のピン状部材が立設されていることを特徴とする請求項３に記載の洗浄液散布装置。
【請求項５】
前記送液手段は、単位時間当たりの送液量を、散布用の小液量と前記配管分岐ユニットに洗浄液を充填するための大液量との間で切り替える送液量切替え手段を有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の洗浄液散布装置。
【請求項６】
前記送液量切替え手段は、前記洗浄液タンクと前記基部分岐継手とを接続するタンク接続管路に設けたバイパス管路と、前記タンク接続管路および前記バイパス管路のいずれか一方に介設された大液量送液用バルブと、他方に介設された小液量送液用バルブと、を有することを特徴とする請求項５に記載の洗浄液散布装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の洗浄液散布装置を備えたことを特徴とするワイピングユニット。
【請求項８】
請求項７に記載のワイピングユニットを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１０に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭する払拭シートに、機能液の溶剤となる洗浄液を散布する洗浄液散布装置、ワイピングユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の液滴吐出装置では、機能液滴吐出ヘッドの機能回復のための吸引ユニットに並設するようにワイピングユニットが設けられ、このワイピングユニットに洗浄液散布装置が設けられている。そして、洗浄液散布装置により散布された洗浄液を染み込ませた払拭シートでノズル面を払拭するようにして、ノズル面に付着した機能液を除去するようにし、機能液吐出時の飛行曲がり等を防止している。洗浄液散布装置は、払拭シートに対峙し、払拭シートの幅方向に列設した複数の散布ノズルから洗浄液を吐出して、払拭シート全体に洗浄液を染み込ませるようにしている。（例えば、特許文献１参照）。この場合、洗浄液タンクに接続された供給管路がマニホールド等のヘッダ状の管路分岐手段を介して複数の供給分岐管路に分岐され、各供給分岐管路に設けた流量調整バルブを介して各散布ノズルへ洗浄液を供給している。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１７１１３５号公報（第４頁、図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の洗浄液散布装置では、マニホールドに対する各供給分岐管路の接続位置や、各供給分岐管路の長さの相違により、洗浄液の流路の圧力損失が供給分岐管路毎に異なるため、液量調整バルブによる液量調整（実際には極めて調整し難い）を行っても、各散布ノズルへの洗浄液の供給量がまちまちとなる。その結果、各散布ノズルから異なった量の洗浄液が払拭シートに散布されるため、払拭シートに洗浄液が均一に供給されず、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の汚れを均一に払拭することができないという問題があった。
【０００５】
本発明は、払拭シートに洗浄液を均一に散布することができる洗浄液散布装置、ワイピングユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の洗浄液散布装置は、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭する払拭シートに、機能液の溶剤となる洗浄液を散布する洗浄液散布装置において、払拭シートに対峙し、払拭シートの幅方向に列設した複数の散布ノズルと、洗浄液を貯留する洗浄液タンクと、洗浄液タンク内の洗浄液を複数の散布ノズルに送液する送液手段と、洗浄液タンクと複数の散布ノズルを接続する配管分岐ユニットと、を備え、配管分岐ユニットは、上流側に洗浄液タンクに接続した単一の流入ポートを形成すると共に流出側に複数の流出ポートを形成した基部分岐継手と、それぞれが各流出ポートに接続され、複数段に亘って分岐継手と接続短管路とを下流に向かって樹枝状に連ね、かつ最下流端の複数本の接続短管路を複数の散布ノズルに接続した複数の分岐管路アッセンブリと、を有することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、樹枝状構造の各分岐管路アッセンブリにおいて、基部分岐継手から各散布ノズルまでのすべての流路では、その長さおよびその流路に設けられた分岐継手の数が等しくなる。このため、上記すべての流路において洗浄液の圧力損失（管摩擦損失）が等しくなり、各散布ノズルに供給される洗浄液の液量（単位時間当たりの散布量）をほぼ均一にすることができる。なお、すべての接続短管路は管径を同一にしてもよいし、下流側に向かって（流量に合わせて）段階的に管径を細くしてもよい。ただし、圧力損失の均一化を図るべく、分岐管路アッセンブリ各段の管径は統一する。また、基部分岐継手および分岐継手の分岐数は任意であるが、分岐管路アッセンブリ各段における分岐継手の分岐数は統一する。
【０００８】
この場合、配管分岐ユニットは、洗浄液タンクから複数の散布ノズルに向かって、先上がりに配管されていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、洗浄液を初めて配管分岐ユニットに流す場合、洗浄液が重力方向の下から上に向かって流れることから、比重の大きい洗浄液が空気に先んじて散布ノズルに向かって流れることがないため、気泡の流路内への残留を防止することができる。このため、全流路に洗浄液を充填した後は、散布ノズルから気泡が吐出されることなく、確実に洗浄液を払拭シートに散布することができる。
【００１０】
これらの場合、複数の分岐管路アッセンブリは、段積み状に重ねて配設されていることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、複数の分岐管路アッセンブリ間で同じ位置に配設された複数の分岐継手が段積みに重ねられることとなる。このため、配管分岐ユニットを幅狭なスペースに効率よく配置することができる。しかも、配管分岐ユニットの取り廻しが容易になると共に、分岐継手と接続短管路との接続作業も容易になる。
【００１２】
この場合、配管分岐ユニットを支持する支持部材を、さらに備え、配管分岐ユニットの各段の複数の分岐継手には、これらを重ねた状態に位置決めするための貫通孔がそれぞれ形成され、支持部材には、各貫通孔に挿通する複数のピン状部材が立設されていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、支持部材の各ピン状部材を複数の分岐継手の各貫通孔に挿通することで、複数の分岐継手を支持部材に対して重ねた状態に位置決め固定することができる。このため、複数の分岐継手を整列配置した状態でこれを適切に支持することができる。
【００１４】
これらの場合、送液手段は、単位時間当たりの送液量を、散布用の小液量と配管分岐ユニットに洗浄液を充填するための大液量との間で切り替える送液量切替え手段を有していることが好ましい。
【００１５】
この場合、送液量切替え手段は、洗浄液タンクと基部分岐継手とを接続するタンク接続管路に設けたバイパス管路と、タンク接続管路およびバイパス管路のいずれか一方に介設された大液量送液用バルブと、他方に介設された小液量送液用バルブと、を有することが好ましい。
【００１６】
これらの構成によれば、洗浄液を初めて散布ノズルに供給するときには、洗浄液を速い流速で配管分岐ユニットに送液することができるので、配管分岐ユニット内に気泡が残留するのを防止することができる。このため、配管分岐ユニットへの洗浄液の充填を短時間で行うことができると共に、散布ノズルから気泡が吐出されることなく、確実に洗浄液を払拭シートに散布することができる。
【００１７】
本発明のワイピングユニットは、上記した洗浄液散布装置を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、払拭シートに洗浄液を均一に散布することができる洗浄液散布装置を備えているので、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の汚れを確実に払拭することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、上記したワイピングユニットを備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、ワイピングユニットにより、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を汚れのない状態に管理することができるため、安定な機能液吐出と高い描画精度を維持することができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２３】
これらの構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面が清浄に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、液晶塗布、配向膜塗布、基板間の間隔を一定に保持するためのスペーサー（ギャップ材）散布、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２４】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２５】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置１は、図１に示すように、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、機台２上の端部に設置されたヘッド機能回復装置４と、を有し、描画装置３によりワークＷ上に機能液による描画を行うと共に、ヘッド機能回復装置４により機能液滴吐出ヘッド４１の機能回復処理（メンテナンス）を定期的に行うようにしている。さらに、図１では図示を省略したが、この液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する給液タンク等を備える機能液供給機構や、上記の描画装置３やヘッド機能回復装置４等の構成装置を統括制御する制御装置等が組み込まれている。
【００２７】
描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３からなるＸ・Ｙ軸移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１５と、を備えている。そして、ヘッドユニット１５には、サブキャリッジ４２を介して、機能液滴吐出ヘッド４１が搭載されている。この場合、基板であるワークＷは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対のワーク認識カメラ１６，１６により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。
【００２８】
Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２１を有し、これに吸着テーブル２３およびワークΘ軸テーブル２４等から成るセットテーブル２２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ２６を有し、これにヘッドΘ軸テーブル２７介して上記のメインキャリッジ１４を移動自在に搭載して、構成されている。
【００２９】
この場合、Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱２８，２８に支持されている。Ｘ軸テーブル１２とヘッド機能回復装置４とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２とヘッド機能回復装置４のメンテナンス系移動テーブル５とを跨ぐように延在している。
【００３０】
そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５（の機能液滴吐出ヘッド４１）を、メンテナンス系移動テーブル５の直上部に位置する機能回復エリア３１と、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア３２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、機能液滴吐出ヘッド４１の機能回復を行う場合には、ヘッドユニット１５を機能回復エリア３１に臨ませ、またＸ軸テーブル１２に導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア３２に臨ませる。
【００３１】
一方、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部は、ワークＷをＸ軸テーブル１２にセット（載せ代える）するための移載エリア３３となっており、移載エリア３３には、上記一対のワーク認識カメラ１６，１６が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ１６，１６により、吸着テーブル２３上に供給されたワークＷの２箇所の基準マークが同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークＷのアライメントがなされる。
【００３２】
図２に示すように、ヘッドユニット１５は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド４１と、複数の機能液滴吐出ヘッド４１を搭載するサブキャリッジ４２と、サブキャリッジ４２に各機能液滴吐出ヘッド４１を個々に取り付けるための複数（１２個）のヘッド保持部材４３（図３参照）と、を備えている。また、ヘッドユニット１５は、メインキャリッジ１４に対し着脱自在に保持されている。
【００３３】
１２個の機能液滴吐出ヘッド４１は、６個ずつ２列のヘッド列４４Ｌ，４４Ｒに分けて主走査方向（Ｘ軸方向）に離間して配置されている。また、各機能液滴吐出ヘッド４１は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために副走査方向（Ｙ軸方向）に対して所定角度傾けて配設されている。さらに、一方の列と他方の列の各機能液滴吐出ヘッド４１は、副走査方向に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各機能液滴吐出ヘッド４１のノズル６５（後述する）が連続（一部重複）するようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド４１を専用部品で構成する等して、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、機能液滴吐出ヘッド４１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００３４】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド４１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針５１を有する機能液導入部５２と、機能液導入部５２に連なる２連のヘッド基板５３と、機能液導入部５２の下方（同図（ａ）では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体５４と、を備えている。各接続針５１は、配管アダプタ５５を介して機能液を貯留する給液タンク（図示省略）に接続されており、機能液導入部５２は、各接続針５１から機能液の供給を受けるようになっている。
【００３５】
ヘッド本体５４は、２連のポンプ部６１（ピエゾ素子）と、２本のノズル列６４を相互に平行に形成したノズル面６３を有するノズル形成プレート６２と、を有している。各ノズル列６４は、多数（例えば１８０個）のノズル６５が等ピッチで並べられて構成されている。機能液滴吐出ヘッド４１は、ポンプ部６１の作用によりノズル６５から機能液滴を吐出するようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド４１におけるノズル数やノズル列数は任意である。
【００３６】
サブキャリッジ４２は、一部が切り欠かれた本体プレート７１と、本体プレート７１の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン７２と、本体プレート７１の両長辺部分に取り付けた左右一対の固定部材７３と、を備えている。一対の基準ピン７２は、画像認識を前提として、サブキャリッジ４２（ヘッドユニット１５）をＸ軸、Ｙ軸およびΘ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となるものである。固定部材７３は、ヘッドユニット１５をメインキャリッジ１４に固定する際の固定の部位となる。また、サブキャリッジ４２の一方の側方には、ヘッドユニット１５をメインキャリッジ１４に着脱する際の手持ち用の一対のハンドル７４，７４と、が設けられている。
【００３７】
ここで、図１を参照して、描画装置３の一連の動作を簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、吸着テーブル２３にセットされたワークＷの位置補正が、Ｘ軸テーブル１２によるＸ軸方向の位置補正およびワークΘ軸テーブル２４によるΘ軸方向の位置補正によりなされると共に、メインキャリッジ１４にセットされたヘッドユニット１５の位置補正が、Ｙ軸テーブル１３によるＹ軸方向の位置補正およびにヘッドΘ軸テーブル２７によるΘ軸方向の位置補正によりなされる。
【００３８】
次に、ワークＷをＸ・Ｙ軸移動機構１１（Ｘ軸テーブル１２）により主走査（Ｘ軸）方向に往復動させると共に、複数の機能液滴吐出ヘッド４１を駆動させて、ワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット１５をＸ・Ｙ軸移動機構１１（Ｙ軸テーブル１３）により副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド４１の駆動が行われる。そして、これを数回繰り返すことで、基板Ｗの端から端まで（全領域）描画が行われる。
【００３９】
なお、本実施形態では、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸方向へのワークＷの移動を主走査とし、Ｙ軸方向への機能液滴吐出ヘッド４１（ヘッドユニット１５）の移動を副走査として、描画動作が行われるが、ヘッドユニット１５をＸ軸方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット１５をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であってもよい。
【００４０】
一方、ヘッド機能回復装置４は、図１に示すように、機台２上に載置したメンテナンス系移動テーブル５と、メンテナンス系移動テーブル５上に載置した保管ユニット８１、吸引ユニット８２およびワイピングユニット８３を備えている。保管ユニット８１は、装置の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル６５の乾燥を防止すべくこれを封止する。吸引ユニット８２は、機能液滴吐出ヘッド４１から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド４１の全ノズル６５からの機能液の吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。ワイピングユニット８３は、主に、機能液吸引を行った後の機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面６３をワイピングシート８８を用いてワイピング（拭き取り）する（詳細は後述する）。
【００４１】
メンテナンス系移動テーブル５は、機台２本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを分散して載置する共通ベース９１と、共通ベース９１をＸ軸方向にスライド自在に支持する一対のガイドレール９２と、モータ駆動のＸ軸移動機構９３と、を備えており、共通ベース９１上に分散して載置されたヘッド機能回復装置４の各種ユニットをＸ軸方向に移動させる。
【００４２】
保管ユニット８１には、例えば機能液滴吐出ヘッド４１に対応する封止キャップ８６が昇降自在に設けられており、装置の稼動停止にヘッドユニット１５（の機能液滴吐出ヘッド４１）に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面６３に封止キャップ８６を密接させて、これを封止する。これにより、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面６３における機能液の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。
【００４３】
同様に、吸引ユニット８２には、例えば機能液滴吐出ヘッド４１に対応する吸引キャップ８７が、昇降自在に設けられており、ヘッドユニット１５（の機能液滴吐出ヘッド４１）に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド４１内で増粘した機能液を除去する場合に、吸引キャップ８７を機能液滴吐出ヘッド４１に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液の吐出（描画）を休止するときには、吸引キャップ８７を機能液滴吐出ヘッド４１から僅かに離間させておいて、フラッシング（捨て吐出）を行う。これにより、ノズル詰まりが防止され或いはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド４１の機能回復が図られる。
【００４４】
機能液滴吐出ヘッド４１の機能回復を行う場合には、メンテナンス系移動テーブル５により吸引ユニット８２を機能回復エリア３１に移動させると共に、Ｙ軸テーブル１３によりヘッドユニット１５を機能回復エリア３１に移動させ、機能液滴吐出ヘッド４１のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いてメンテナンス系移動テーブル５によりワイピングユニット８３を機能回復エリア３１に移動させ、機能液滴吐出ヘッド４１のワイピングを行う。同様に、作業が終了して装置の稼動を停止するときには、保管ユニット８１により、機能液滴吐出ヘッド４１にキャッピングが行われる。なお、メンテナンス系移動テーブル５には、上記ユニットの他に、機能液滴吐出ヘッド４１から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニットや、機能液滴吐出ヘッド４１から吐出された液滴を撮像する吐出検査ユニットを設けるようにしてもよい。
【００４５】
ここで、本実施形態のワイピングユニット８３について詳細に説明する。ワイピングユニット８３は、図１、図１１および図１２に示すように、別個独立に構成されたシート供給ユニット１０１と拭き取りユニット１０２と、ワイピングシート８８に洗浄液を散布する洗浄液散布装置１０３と、を備えている。これらシート供給ユニット１０１と拭き取りユニット１０２とは、共通ベース９１上に、拭き取りユニット１０２を吸引ユニット８２側に位置させた状態でＸ軸方向に並べて配置されており、メンテナンス位置に存するヘッドユニット１５に向けてメンテナンス系移動テーブル５の動きにより拭き取りユニット１０２がシート供給ユニット１０１と一体に払拭方向たるＸ軸方向の一方（図１では上方、図１２では右方）に移動し、ヘッドユニット１５の１２個すべての機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面６３を払拭する。
【００４６】
図４に示すように、シート供給ユニット１０１は、Ｙ軸方向片側に立設したフレーム１１１に片持ち状態で着脱自在に軸支した上側の繰出しリール１１２および下側の巻取りリール１１３と、巻取りリール１１３を巻取り回転させる巻取りモータ１１４と、を備えている。また、フレーム１１１の上側部にはサブフレーム１１５が固定されており、このサブフレーム１１５には、繰出しリール１１２の先方に位置するように速度検出ローラ１１６およびガイドローラ１１７が、両持ちで支持されている。さらに、これら構成部品の下側には、洗浄液を受ける洗浄液パン１１８が配設されている。
【００４７】
繰出しリール１１２には、ロール状のワイピングシート８８が挿填され、繰出しリール１１２から繰り出されたワイピングシート８８は、速度検出ローラ１１６およびガイドローラ１１７を介して拭き取りユニット１０２に送り込まれる。巻取りリール１１３と巻取りモータ１１４との間にはタイミングベルト１１９が掛け渡され、巻取りリール１１３は巻取りモータ１１４により回転してワイピングシート８８を巻き取る。
【００４８】
詳細は後述するが、拭き取りユニット１０２にもワイピングシート８８を送るモータ（送り込みモータ（図示省略））が設けられており、繰出しリール１１２は、これに設けたトルクリミッタ１２０により、送り込みモータに抗するように制動回転する。速度検出ローラ１１６は、自由回転する上下２つのローラ１１６ａ，１１６ｂから成るグリップローラであり、これに設けた速度検出器１２１により、巻取りモータ１１４を制御する。すなわち、繰出しリール１１２は、ワイピングシート８８を張った状態で送り出し、巻取りリール１１３は、ワイピングシート８８を弛みが生じないように巻き取る。
【００４９】
また、繰出しリール１１２と速度検出ローラ１１６との間のシート走行路部分の下方に光学式のシート検出器１２２を配置し、繰出しリール１１２から繰り出されるワイピングシート８８の端末が通過したことをシート検出器１２２で検出したとき、繰出しリール１１２および巻取りリール１１３の交換指令を出すようにしている。
【００５０】
図５に示すように、拭き取りユニット１０２は、Ｙ軸方向両側に立設した一対のスタンド１３１間に昇降自在に支持される昇降枠１３２と、昇降枠１３２上に両持ちで回転自在に支持される押圧ローラ１３３と、押圧ローラ１３３を回転させる送り込みモータと、を備えている。なお、拭き取りユニット１０２には、後述する洗浄液散布装置１０３の洗浄液吐出ユニット１５１が押圧ローラ１３３に対するワイピングシート８８の送り込み側に位置して押圧ローラ１３３に近接対向するように配設されており、この洗浄液吐出ユニット１５１に設けられた複数（２４個）の散布ノズル１６２からワイピングシート８８に洗浄液が散布される。
【００５１】
昇降枠１３２のＹ軸方向両側には一対の脚片１３６が垂設されており、各脚片１３６は各スタンド１３１の内側面に取り付けたガイド１３７に上下動自在に係合している。そして、各スタンド１３１のベース部にエアーシリンダ１３８を立設し、そのピストンロッド（図示省略）を各脚片１３６に連結して、エアーシリンダ１３８の作動により、昇降枠１３２およびこれに支持された押圧ローラ１３３や洗浄液吐出ユニット１５１等が昇降されるようにしている。
【００５２】
押圧ローラ１３３は、送り込みモータによりタイミングベルト（図示省略）を介して回転駆動されるようになっている。また、昇降枠１３２には、押圧ローラ１３３の下側に沿わせてピンチローラ１４０（図１２（ａ）参照）が軸支されており、押圧ローラ１３３から巻取りリール１１３に向けて送り出されるワイピングシート８８の部分をピンチローラ１４０との間に挟み込んで、ワイピングシート８８が押圧ローラ１３３に対しスリップしないようにし、押圧ローラ１３３の回転でワイピングシート８８が押圧ローラ１３３に確実に送り込まれるようにしている。
【００５３】
押圧ローラ１３３は、軸部の外周にゴム等の弾性体を装着した弾性ローラで構成されている。そして、拭き取りユニット１０２（昇降枠１３２）を上昇端位置に上昇させた状態では、押圧ローラ１３３に周回するワイピングシート８８の最上部の位置がヘッドユニット１５に搭載した機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面６３の位置より若干高くなるようにし、拭き取りユニット１０２のＸ軸方向一方への往動で押圧ローラ１３３がノズル面６３の直下部を横切るとき、ワイピングシート８８および押圧ローラ１３３が下方に圧縮されて、その弾性復元力によりワイピングシート８８がノズル面６３に押しつけられるようになっている（図１２（ｂ）参照）。
【００５４】
図６に示すように、洗浄液散布装置１０３は、ワイピングシート８８に洗浄液を供給するためのもので、押圧ローラ１３３に送り込まれるワイピングシート８８に機能液の溶剤からなる洗浄液を散布する上記の洗浄液吐出ユニット１５１と、散布ノズル１６２に洗浄液を送液する洗浄液送液ユニット１５２と、洗浄液送液ユニット１５２と散布ノズル１６２とを連結する配管分岐ユニット１５３と、配管分岐ユニット１５３を支持する配管支持部材１５４（図１０参照）と、を備えている。
【００５５】
図５に示すように、洗浄液吐出ユニット１５１は、拭き取りユニットに掛け渡したノズルホルダ１６１と、ノズルホルダ１６１に保持した複数（２４個）の散布ノズル１６２と、を有している。各散布ノズル１６２は、後部に配管接続用のコネクタ１６３を有しており、ワイピングシート８８に向かって幾分前下がりに配設されている。複数の散布ノズル１６２は、ワイピングシート８８の幅に合わせて横並びに且つ均等に配設されており、押圧ローラ１３３に向かって送られてゆくワイピングシート８８の表面に洗浄液を均一に散布できるようになっている。
【００５６】
洗浄液送液ユニット１５２は、キャビネット形式の機台２の収容室（図示省略）に配置した洗浄液タンク１７１と、上記の収容室に収容され洗浄液タンク１７１に圧縮エアー（実際には窒素ガス）を供給するエアー供給装置１７２と、一端を洗浄液タンク１７１に接続し他端を配管分岐ユニット１５３の上流端に接続したタンク接続管路１７３とを備えている。エアー供給装置１７２に連なるエアー供給管路１７４の下流端は、洗浄液タンク１７１の上部空間に開放され、タンク接続管路１７３の上流端は、洗浄液タンク１７１の底部近傍に達するように深く挿入されている。これにより、エアー供給管路１７４を介してエアー供給装置１７２から供給される圧縮エアーにより、洗浄液タンク１７１内が加圧され、タンク接続管路１７３を介して配管分岐ユニット１５３に洗浄液が供給される。
【００５７】
タンク接続管路１７３は、テフロン（登録商標）等のチューブで構成され、その途中には、主開閉弁１７５（エアーオペレイトバルブ）が介設されている。また、タンク接続管路１７３には、主開閉弁１７５を挟んでその上流側および下流側を連通するバイパス管路１７６（チューブ）が接続され、このバイパス管路１７６には副開閉弁１７７（メカニカルバルブ）が介設されている。副開閉弁１７７は、洗浄液散布装置１０３の洗浄液流路に洗浄液を充填するときにのみ手動で開弁される。すなわち、装置稼動時の通常の洗浄液供給では、流量を適度に絞った主開閉弁１７５が常時「開」に、副開閉弁１７７が常時「閉」に弁操作されており、洗浄液充填の場合にのみ多量の洗浄液を短時間で供給すべく、主開閉弁１７５が「閉」に、副開閉弁１７７が「開」に弁操作される。
【００５８】
図６に示すように、配管分岐ユニット１５３は、タンク接続管路１７３の下流側に接続された基部分岐継手１８１と、基部分岐継手１８１と複数（２４個）のコネクタ１６３とを連結する複数組（３組）の分岐管路アッセンブリ１８２と、を有している。後述するように、配管分岐ユニット１５３は、分岐管路アッセンブリ１８２が段積み状に重なって配管支持部材１５４に支持されており、シート供給ユニット１０１のＹ軸方向側面に添設されている（図１および図１１（ａ）参照）。
【００５９】
図７に示すように、基部分岐継手１８１は、流入側に形成した単一の流入ポート１９１と、流出側に形成した複数（３個）の流出ポート１９２とを有し、流入ポート１９１および各流出ポート１９２は、同一の管径に形成され、チューブ接続用のコネクタをそれぞれ有している（図１０参照）。流入ポート１９１には、タンク接続管路１７３の下流側が接続され、各流出ポート１９２には、分岐管路アッセンブリ１８２が接続されており、この基部分岐継手１８１により洗浄液の流路が複数の流路（３流路）に分岐されている。
【００６０】
図８に示すように、分岐管路アッセンブリ１８２は、複数（７個）の分岐継手２０１と、複数（１５本）の接続短管路２０２と、を有しており、下流に向かって複数段（３段）に亘った樹枝状構造を有している。分岐継手２０１は、上記の基部分岐継手と同様に、流入側に形成した単一の流入口２１１と、流出側に形成した複数（２個）の流出口２１２とを有し、流入口２１１および各流出口２１２は、同一の管径に形成され、チューブ接続用のコネクタをそれぞれ有している（図８、図１０参照）。
【００６１】
分岐管路アッセンブリ１８２の樹枝状構造の１段目では、１本の接続短管路２０２が１個の分岐継手２０１を介して複数の流路（２流路）に分岐され、同一の長さおよび同一の管径の２本の接続短管路２０２に接続されて、２段目では、これら２本の接続短管路２０２が２個の分岐継手２０１を介してそれぞれ２分岐され、同一の長さおよび同一の管径の４本の接続短管路２０２に接続されて、３段目では、これら４本の接続短管路２０２が４個の分岐継手２０１を介してそれぞれ２分岐され、同一の長さおよび同一の管径の８本の接続短管路２０２に接続されている。
そして、３組の分岐管路アッセンブリ１８２の各最上流端の８本の接続短管路２０２（計２４本）は、シート供給ユニット１０１の直上空間に配管され、２４個のコネクタ１６３（散布ノズル１６２）にそれぞれ接続されている。したがって、基部分岐継手１８１の流出ポート１９２から洗浄液吐出ユニット１５１のコネクタ１６３までのすべての流路において、その長さおよびその流路に設けられた分岐継手２０１の数が等しくなっている。このため、上記すべての流路において洗浄液の圧力損失が等しくなり、各コネクタ１６３（散布ノズル１６２）に供給される洗浄液の液量をほぼ均一にすることができる。
【００６２】
なお、すべての接続短管路２０２は管径を同一にしてもよいし、下流側に向かって段階的に管径を細くしてもよい。ただし、圧力損失の均一化を図るべく、分岐管路アッセンブリ１８２各段の管径は統一する必要がある。また、流出ポート１９２からコネクタ１６３までのすべての流路において、その長さおよびその流路に設けられた分岐継手２０１の数が等しくなる構成であって、洗浄液の流路の圧力損失が最下流端の接続短管路２０２毎に異ならないものであれば、基部分岐継手１８１の流出ポート１９２の数（分岐数）、分岐継手２０１の流出口２１２の数（分岐数）、および分岐管路アッセンブリ１８２における樹枝状構造の段数は任意であるが、分岐管路アッセンブリ１８２各段における分岐継手２０１の流出口２１２の数は統一する。
【００６３】
図９に示すように、分岐継手２０１の流入口２１１および流出口２１２を形成する継手ケーシング２１３には、接続短管路２０２を分岐接続する面に対して垂直方向に貫通する一対の固定ピン貫通孔２１４が形成されており、この一対の固定ピン貫通孔２１４により分岐継手２０１が配管支持部材１５４に対して重ねた状態に位置決めされる。
【００６４】
図１０に示すように、配管支持部材１５４は、分岐管路アッセンブリ１８２を支持する支持プレート２２１と、共通ベース９１上に固定される固定プレート２２３とで側面Ｌ字形に形成されており、支持プレート２２１には、各分岐継手２０１の一対の固定ピン貫通孔２１４に挿通する一対の固定ピン２２２が複数対立設されている。固定ピン貫通孔２１４に固定ピン２２２を挿通することにより、分岐継手２０１が配管支持部材１５４に対して段積み状に重ねて位置決め固定される。すなわち、複数の分岐管路アッセンブリ１８２を配管支持部材１５４に段積み状に重ねて支持することができるようになっている。したがって、複数の分岐継手２０１を整列配置した状態で、これを適切に支持することができると共に、配管分岐ユニット１５３を幅狭なスペースに効率よく配置することができる。しかも、配管分岐ユニット１５３の取り廻しが容易になると共に、分岐継手２０１と接続短管路２０２との接続作業も容易になる。
【００６５】
また、配管支持部材１５４は、シート供給ユニット１０１のＹ軸方向側面に隣接しており、固定プレート２２３によりメンテナンス系移動テーブル５の共通ベース９１に螺着固定されている。このため、支持プレート２２１、およびその固定ピン２２２に固定された配管分岐ユニット１５３を共通ベース９１に垂直に支持することができる。また、固定プレート２２３の中央付近には、基部分岐継手１８１を取り付ける取付孔２２４が形成されており、この取付孔２２４（基部分岐継手１８１）を介して、配管支持部材１５４に段積み支持された配管分岐ユニット１５３と、タンク接続管路１７３とが接続されている。すなわち、配管分岐ユニット１５３は、洗浄液タンク１７１から複数の散布ノズル１６２に向かって、先上がりに配管された構成となっている（図１１（ａ）参照）。このため、洗浄液を初めて配管分岐ユニット１５３に流す場合、洗浄液が重力方向の下から上に向かって流れることから、比重の大きい洗浄液が空気に先んじて散布ノズル１６２に向かって流れることがないため、気泡の流路内への残留を防止することができる。したがって、全流路に洗浄液を充填した後は、散布ノズル１６２から気泡が吐出されることなく、確実に洗浄液をワイピングシート８８に散布することができる。
【００６６】
なお、上記の実施形態では、配管分岐ユニット１５３は、配管支持部材１５４によりシート供給ユニット１０１のＹ軸方向側面に添設され、洗浄液タンク１７１から複数の散布ノズル１６２に向かって、先上がりに配管した構成であるが、他の実施形態として、図１１（ｂ）に示すように、シート供給ユニット１０１の直上空間に配設され、洗浄液タンク１７１から複数の散布ノズル１６２に向かって、Ｘ軸方向に先上がりに配管した構成であってもよい。この場合には、配管支持部材１５４を先上がりに設置することで、配管分岐ユニット１５３を先上がりとする。
【００６７】
洗浄液散布装置１０３による洗浄液タンク１７１から洗浄液吐出ユニット１５１（散布ノズル１６２）への洗浄液の供給について、説明する。まず、エアー供給装置１７２により、洗浄液タンク１７１内が加圧され、洗浄液タンク１７１に貯留する洗浄液がタンク接続管路１７３に加圧送液される。
【００６８】
散布ノズル１６２から洗浄液を吐出するときには、副開閉弁１７７を閉弁して、バイパス管路１７６に洗浄液が流れないようにし、主開閉弁１７５により、所望の液量の洗浄液が配管分岐ユニット１５３に送液されるようにする。一方、洗浄液を配管分岐ユニット１５３に充填するときには、主開閉弁１７５を閉弁し、副開閉弁１７７を開弁して、バイパス管路１７６に洗浄液が大量に流れるようにする。これにより、洗浄液を速い流速で配管分岐ユニット１５３に送液することができるので、配管分岐ユニット１５３内に気泡が残留するのを防止することができる。このため、配管分岐ユニット１５３への洗浄液の充填を短時間で行うことができると共に、散布ノズル１６２から気泡が吐出されることなく、確実に洗浄液をワイピングシート８８に散布することができる。
【００６９】
配管分岐ユニット１５３に送液された洗浄液は、配管分岐ユニット１５３により各コネクタ１６３を介して各散布ノズル１６２に均一に供給される。そのため、押圧ローラ１３３と洗浄液吐出ユニット１５１との間の隙間を通過するワイピングシート８８に向けて洗浄液吐出ユニット１５１の各散布ノズル１６２から洗浄液を均一に吐出することができる。
【００７０】
ここで、図１２の模式図を参照して、ワイピングユニット８３による一連の拭き取り動作を簡単に説明する。吸引ユニット８２によるヘッドユニット１５の機能液吸引が完了すると、メンテナンス系移動テーブル５が駆動し、ワイピングユニット８３を前進させてヘッドユニット１５に十分に接近させる。押圧ローラ１３３が機能液滴吐出ヘッド４１の近傍まで移動したら、メンテナンス系移動テーブル５を停止し、エアーシリンダ１３８を駆動して、機能液滴吐出ヘッド４１に接触（押し付ける）するように押圧ローラ１３３を上昇させる。
【００７１】
続いて、巻取りモータ１１４および送り込みモータを駆動して、ワイピングシート８８を拭き取り送りすると共に、洗浄液の散布を開始する。また、これと同時に、再度メンテナンス系移動テーブル５を駆動し、ワイピングシート８８の送りを行いながら、押圧ローラ１３３を、複数の機能液滴吐出ヘッド４１の下面を拭き取るように前進させる。拭き取り動作が完了したら、ワイピングシート８８の送りを停止し且つ押圧ローラ１３３を下降させ、さらにメンテナンス系移動テーブル５によりワイピングユニット８３を、元の位置に後退させる。
【００７２】
ところで、上記した液滴吐出装置１は、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置１は、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置（電子放出装置）、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。また、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等のカラーフィルタの製造に適用することができる。
【００７３】
ここで、上記の液滴吐出装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図１３は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置３５０は、上下の偏光板３６２，３６７間に、カラーフィルタ３００と対向基板３６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物３６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ３００および対向基板３６６間には、配向膜３６１，３６４が構成され、対向基板３６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極３６３とがマトリクス状に形成されている。
【００７４】
カラーフィルタ３００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク３１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ３００は、透光性の基板３１１（ワークＷ）と、遮光性のバンク３１３と、を備えている。バンク３１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層３２１を構成する。バンク３１３および着色層３２１の上面には、オーバーコート層３２２および電極層３２３が形成されている。
【００７５】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク３１３で区切られて形成された画素内に、機能液滴吐出ヘッド４１により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層３２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、機能液滴吐出ヘッド４１により、オーバーコート層３２２等各種の成膜部を形成している。もちろん、ワイピングユニット８３により、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面６３が汚れのない状態に管理されている。
【００７６】
同様に、図１４を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置４００は、ガラス基板４０１（ワークＷ）上に回路素子部４０２が積層され、回路素子部４０２上に主体を為す有機ＥＬ素子４０４が積層されている。また有機ＥＬ素子４０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板４０５が形成されている。
【００７７】
有機ＥＬ素子４０４には、無機物バンク層４１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層４１２ｂによりバンク４１２が形成され、このバンク４１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極４１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層４１０ｂおよび正孔注入／輸送層４１０ａが積層され、かつ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極４０３で覆われている。
【００７８】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層４１０ｂおよび正孔注入／輸送層４１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層４１０ａを形成した後に、機能液滴吐出ヘッド４１に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極４０３を形成する等している。ワイピングユニット８３により、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル面６３が汚れのない状態に管理されている。
【００７９】
また、他の電気光学装置としては、液晶塗布、配向膜塗布、基板間の間隔を一定に保持するためのスペーサー（ギャップ材）散布、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられ、本実施形態の液滴吐出装置１は、これらの各種製造方法にも、適用可能である。
【００８０】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の洗浄液散布装置およびワイピングユニットによれば、払拭シートに洗浄液を均一に散布することができ、洗浄液の無駄な消費を抑制できると共に、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の汚れを確実に払拭することができる。
【００８１】
本発明の液滴吐出装置によれば、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を汚れのない状態に管理することができるため、安定な機能液吐出と高い描画精度を維持することができる。したがって、装置の信頼性を向上させることができる。
【００８２】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、機能液滴吐出ヘッドが清浄に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い高品質の電気光学装置や電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に表した平面図である。
【図２】実施形態に係るヘッドユニットの主要部を示す平面図である。
【図３】（ａ）実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）機能液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図４】実施形態に係るシート供給ユニットの斜視図である。
【図５】実施形態に係る拭き取りユニットの斜視図である。
【図６】実施形態に係る洗浄液送液ユニットの模式図である。
【図７】実施形態に係る基部分岐継手の斜視図である。
【図８】実施形態に係る分岐管路アッセンブリの平面図である。
【図９】実施形態に係る分岐継手の斜視図である。
【図１０】実施形態に係る配管分岐ユニットおよび配管支持部材の斜視図である。
【図１１】（ａ）実施形態に係るシート供給ユニットおよび拭き取りユニットと、配管分岐ユニットとの位置関係を示す図、（ｂ）他の実施形態に係るシート供給ユニットおよび拭き取りユニットと、配管分岐ユニットとの位置関係を示す図である。
【図１２】（ａ）実施形態に係るワイピングの模式図、（ｂ）ノズル面に対する押圧ローラおよび洗浄液吐出ヘッドの位置関係を示す図である。
【図１３】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図１４】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置                    ３  描画装置
４  ヘッド機能回復装置              ５  メンテナンス系移動テーブル
１１  Ｘ・Ｙ軸移動機構              １２  Ｘ軸テーブル
１３  Ｙ軸テーブル                  １４  メインキャリッジ
１５  ヘッドユニット                ４１  機能液滴吐出ヘッド
６３  ノズル面                      ８３  ワイピングユニット
８８  ワイピングシート            １０１  シート供給ユニット
１０２  拭き取りユニット            １０３  洗浄液散布装置
１５１  洗浄液吐出ユニット          １５２  洗浄液送液ユニット
１５３  配管分岐ユニット            １５４  配管支持部材
１６２  散布ノズル                  １７１  洗浄液タンク
１７３  タンク接続管路              １７５  主開閉弁
１７６  バイパス管路                １７７  副開閉弁
１８１  基部分岐継手                １８２  分岐管路アッセンブリ
１９１  流入ポート                  １９２  流出ポート
２０１  分岐継手                    ２０２  接続短管路
２１１  流入口                      ２１２  流出口
２１４  固定ピン貫通孔              ２２２  固定ピン
３５０  液晶表示装置                ４００  有機ＥＬ装置
Ｗ  ワーク
【図１】
2004337679.tif 000003
【図２】
2004337679.tif 000004
【図３】
2004337679.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004337679.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004337679.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
2004337679.tif 000012
【図１１】
2004337679.tif 000013
【図１２】
2004337679.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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