(57)【要約】【課題】吸着体に起因して生じるパーティクルによる基板の汚染を抑制することができる吸着体収納ケース及び基板収納ケースを提供する。【解決手段】内部に基板を保持して収納する基板収納ケース１１に着脱自在に取り付けられた吸着体収納ケース１であって、基板本体と同一径を有し通気性を有するフィルター材５でカバーされた開口部７が形成された本体３と、本体に取り付けられると共に通気性を有するフィルターでカバーされた開口部が形成された蓋体４とを備える。【選択図】    図４
2004311645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に基板を保持して収納する基板収納ケースに着脱自在に取り付けられた吸着体収納ケースであって、
基板本体と略同一径を有する吸着体を収納する本体と、
該本体に取り付けられた蓋体とを備え、
前記本体及び前記蓋体の少なくとも一方に通気性を有するフィルター材でカバーされた開口部が形成された
吸着体収納ケース。
【請求項２】
前記蓋体が前記本体に着脱自在に取り付けられた
吸着体収納ケース。
【請求項３】
内部に基板を保持して収納する基板収納ケースにおいて、
基板と略同一径を有する吸着体を収納する本体と、該本体に着脱自在に取り付けられた蓋体を備えると共に、前記本体及び前記蓋体の少なくとも一方に通気性を有するフィルター材でカバーされた開口部が形成された吸着体収納ケースが着脱自在に取り付けられた
ことを特徴とする基板収納ケース。
【請求項４】
前記蓋体が前記本体に着脱自在に取り付けられた
ことを特徴とする請求項３に記載の基板収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は吸着体収納ケース及び基板収納ケースに関する。詳しくは、汚染物を除去する吸着体を収納する吸着体収納ケース及び吸着体収納ケースを備える基板収納ケースに係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体装置の製造工程において、各工程の作業待ちの半導体基板の表面に、クリーンルーム雰囲気中に浮遊するパーティクルの付着を抑制すべく半導体基板を保管できると共に搬送することができる基板収納ケースが使用されている。
以下、図面を用いて従来の基板収納ケース及び基板の収納方法について説明する。
【０００３】
図５は従来の基板収納ケースを説明するための模式的な断面図であり、ここで示す基板収納ケース１０１は、半導体基板１０２を保持可能である半導体基板キャリア１０３と、半導体基板キャリアを載置するベースプレート１０４と、半導体基板キャリアを覆う様にベースプレート上に配置されたカバーガラス１０５とを備え、１枚の半導体基板を保持可能なスロット（図示せず）を複数個有する半導体キャリアに基板を装着し、ベースプレート上に載置した後に、半導体キャリアを覆うようにカバーガラスを配置することによって半導体基板を基板収納ケース内に収納し、半導体基板を外部の雰囲気から隔絶することができる。
【０００４】
しかし、基板収納ケース内に半導体基板を収納する際に、クリーンルーム雰囲気中に浮遊している有機物、イオン等の汚染物や、半導体基板自体から発生する汚染物が基板収納ケース内に流入し、半導体基板の活性領域上に吸着することによって製造される半導体装置の歩留りや信頼性を劣化させる恐れがあった。
【０００５】
そこで、従来は、基板収納ケース内に汚染物が流入したとしても基板収納ケース内に内蔵された吸着体により汚染物を吸着除去でき、内部の空気を清澄な状態にできる様に、図６で示す様な、汚染物を吸着可能であると共に着脱自在であるシリコンウェーハの表面上に吸着剤がコーティングされた吸着体１０６を内蔵した基板収納ケースが提案されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−２８４４４３号公報  （第２−５頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の基板収納ケースでは、シリコンウェーハの表面にコーティングされた吸着剤が剥離したり、吸着剤自体が自壊することによってパーティクルが発生し得るために、基板の近傍に吸着体を配置することが懸念されていた。
【０００８】
本発明は上記の点に鑑みて創案されたものであって、吸着体に起因して生じるパーティクルによる基板の汚染を抑制することができる吸着体収納ケース及び基板収納ケースを提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る吸着体収納ケースでは、内部に基板を保持して収納する基板収納ケースに着脱自在に取り付けられた吸着体収納ケースであって、基板本体と略同一径を有する吸着体を収納する本体と、該本体に取り付けられた蓋体とを備え、
前記本体及び前記蓋体の少なくとも一方に通気性を有するフィルター材でカバーされた開口部が形成された。
【００１０】
ここで、本体及び蓋体の少なくとも一方に通気性を有するフィルター材でカバーされた開口部が形成されたことによって、吸着体収納ケース内のパーティクルが外部に漏れることを抑制することができる。また有機物等微小な汚染物はフィルターを通過して吸着体に達することが出来る。
【００１１】
また、上記の目的を達成するために、本発明に係る基板収納ケースでは、内部に基板を保持して収納する基板収納ケースにおいて、基板と略同一径を有する吸着体を収納する本体と、該本体に着脱自在に取り付けられた蓋体を備えると共に、前記本体及び前記蓋体の少なくとも一方に通気性を有するフィルター材でカバーされた開口部が形成された吸着体収納ケースが着脱自在に取り付けられた。
【００１２】
ここで、基板と略同一径を有する吸着体を収納する本体と、本体に着脱自在に取り付けられた蓋体を備えると共に、本体及び蓋体の少なくとも一方に通気性を有するフィルター材でカバーされた開口部が形成された吸着体収納ケースによって、吸着体に起因して生じるパーティクルによる基板の汚染を抑制することができる。また有機物等微小な汚染物はフィルターを通過して吸着体に達することが出来る。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明を適用した吸着体収納ケースの一例を説明するための模式的な断面図であって、ここで示す吸着体収納ケース１は、図２（ａ）で表す平面図、図２（ｂ）で表す断面図及び側面図で示す様な内部に汚染物を吸着する吸着体２を収納する吸着体収納ケース本体３と、図３（ａ）で表す平面図、図３（ｂ）で表す断面図及び側面図で示す様な吸着体収納ケース本体に着脱自在に取り付けることができる蓋体４とから構成されている。
【００１４】
上記した吸着体収納ケース本体はポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＴ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂材料やＳＵＳ等の金属材料等の耐熱性材料から成り、図２中符号ａで示す吸着体収納ケース本体の外径が吸着体収納ケースと共に基板収納ケースに収納する基板と同一径となる様に形成され、底面にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）から成るフィルター材５及びメッシュ材６でカバーされた通気性を有する開口部７を備え、側面には吸着体収納ケース本体と蓋体とを係合するための凸部８が形成されている。
【００１５】
ここで、メッシュ材は吸着体収納ケース本体を取り扱う際におけるフィルター材の破損等を防止すべく形成されたものであるので、基板収納ケース内の汚染物を除去するにあたって必ずしも形成される必要は無いが、フィルターの破損等を防止すべく形成された方が好ましい。なお、フィルター材は吸着体収納ケース内のパーティクルを外部に漏らさなければ充分であり、例えば、ガラス繊維から成るフィルターであっても良いが、ガラス繊維から成るフィルターは水分が付着することによってボロン等の汚染物を発生するために、吸着体収納ケース本体を洗浄して再利用に供することを考慮すると、ＰＴＦＥ等から成り洗浄を行ったとしても汚染物を発生しないフィルターを用いた方が好ましい。
【００１６】
また、上記した蓋体は吸着体収納ケース本体と同様に耐熱性材料から成り、天面にＰＴＦＥから成るフィルター材及びメッシュ材でカバーされた通気性を有する開口部を備え、側面には吸着体収納ケース本体に形成された凸部と係合する凹部９が形成されている。
【００１７】
ここで、メッシュ材は蓋体を取り扱う際におけるフィルター材の破損等を防止すべく形成されたものであるので、上記した吸着体収納ケース本体に形成されたメッシュ材と同様に基板収納ケース内の汚染物を除去するにあたって必ずしも形成される必要は無いが、フィルターの破損等を防止すべく形成された方が好ましい。なお、フィルター材は吸着体収納ケース内のパーティクルを外部に漏らさなければ充分であるが、蓋体を洗浄して再利用に供することを考慮すると、ＰＴＦＥ等から成り洗浄を行ったとしても汚染物を発生しないフィルターを用いた方が好ましい点は上記した吸着体収納ケース本体に形成されたフィルター材と同様である。
【００１８】
なお、上記した本発明を適用した吸着体収納ケースの一例では、吸着体収納ケース本体及び蓋体にフィルター材及びメッシュ材でカバーされた開口部が形成されているが、必ずしも吸着体収納ケース本体及び蓋体に開口部が形成される必要は無く、吸着体収納ケース本体または蓋体のいずれか一方のみに開口部が形成されていても構わない。
【００１９】
また、上記した本発明を適用した吸着体収納ケースの一例では、吸着体収納ケース本体と蓋体とを別体として形成し、吸着体収納ケース本体に形成された凸部と蓋体に形成された凹部とを係合させ、蓋体を吸着体収納ケース本体に着脱自在に取り付けることができる様に形成されているが、基板収納ケース内の汚染物を除去するにあたっては必ずしも蓋体を吸着体収納ケース本体に着脱自在に取り付けることができる様に形成されている必要は無い。但し、使用済みの吸着体の取り替えを可能とし、吸着体収納ケースの繰り返し利用を可能とすべく蓋体は吸着体収納ケース本体に着脱自在に取り付けることができる様に形成された方が好ましい。
【００２０】
上記の様に構成された吸着体収納ケースを用いて基板収納ケース内の汚染物を除去する際には、図４（ａ）で示す様に吸着体収納ケース本体に吸着体を収納した状態で蓋体を取り付け、シール材１０で貼り合わせた吸着体収納ケースを図４（ｂ）で示す様に基板収納ケース１１内に収納する。
【００２１】
上記した本発明を適用した吸着体収納ケースでは、吸着体に起因して生じるパーティクルによる基板の汚染を抑制することができる。即ち、吸着体に起因してパーティクルが生じたとしても吸着体収納ケースに設けられたフィルター材によって吸着体収納ケースの外部に漏れるパーティクルを低減することができるために基板の汚染を抑制することができる。
更に、吸着体収納ケースの外部に漏れるパーティクルを低減することができることにより、パーティクルの発生の有無や発生量を問わずに様々な吸着体を使用することが可能となる。
【００２２】
また、吸着体収納ケース本体の外径が基板と同一径となる様に形成されているために、基板を搬送・収納するシステムを用いて吸着体収納ケースの搬送・収納が可能であり、吸着体収納ケースの搬送・収納を行うにあたって新たな設備を設ける必要がないと共に、基板と同一環境下で保管・使用ができるために吸着体収納ケースの外部汚染が少ない。
【００２３】
【発明の効果】
以上述べてきた如く、本発明の吸着体収納ケース及び基板収納ケースでは、吸着体に起因して生じる基板の汚染を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した吸着体収納ケースの一例を説明するための模式的な断面図である。
【図２】図１に示す吸着体収納ケースにおける吸着体収納ケース本体を説明するための図である。
【図３】図１に示す吸着体収納ケースにおける蓋体を説明するための図である。
【図４】図１に示す吸着体収納ケースを用いて基板収納ケース内における汚染物の除去を説明するための図である。
【図５】従来の基板収納ケースの一例を説明するための模式的な断面図である。
【図６】従来の基板収納ケースの他の一例を説明するための模式的な断面図である。
【符号の説明】
１    吸着体収納ケース
２    吸着体
３    吸着体収納ケース本体
４    蓋体
５    フィルター材
６    メッシュ材
７    開口部
８    凸部
９    凹部
１０    シール材
１１    基板収納ケース
【図１】
2004311645.tif 000003
【図２】
2004311645.tif 000004
【図３】
2004311645.tif 000005
【図４】
2004311645.tif 000006
【図５】
2004311645.tif 000007
【図６】
2004311645.tif 000008