(57)【要約】【課題】本発明はシートに多少の反りがあっても、吸引力を高めることなく、非常に簡単な構成により確実にシートを吸着して保持することができる吸着保持装置を実現することを目的とする。【解決手段】吸着手段１４が、ラッパ状に形成されシート１１の裏面と接触して吸着する吸着パッド１４ａと、吸着パッド１４ａを固定するための固定部１４ｂと、固定部１４ｂに設けられた吸引孔１４ｃとからなり、シート１１を固定部１４ｂに設けられた吸引孔１４ｃ、吸着パッド１４ａを介して吸着するとともに、吸着パッド１４ａの開口部側が基台１２表面よりも突出していることを特徴とするものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを基台上に吸着して保持するための吸着保持装置であって、基台内に複数個配設されるとともに前記シートの裏面を吸着するための吸着手段を有し、前記吸着手段は、ラッパ状に形成され、前記シートの裏面と接触して吸着する吸着パッドと、前記吸着パッドを固定するための固定部と、前記固定部に設けられた吸引孔とからなり、前記シートを前記固定部に設けられた前記吸引孔、前記吸着パッドを介して吸着するとともに、前記吸着パッドの開口部側が前記基台表面よりも突出していることを特徴とする吸着保持装置。
【請求項２】
シートがセラミックシート又は樹脂シートからなることを特徴とする請求項１記載の吸着保持装置。
【請求項３】
吸着手段が基台内に複数個、所定の間隔で規則正しく配設されていることを特徴とする請求項１記載の吸着保持装置。
【請求項４】
吸着パッドがシリコンからなることを特徴とする請求項１記載の吸着保持装置。
【請求項５】
吸着パッドの開口部側が、基台表面よりも０．１〜０．２ｍｍ突出していることを特徴とする請求項１記載の吸着保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シートを基台上に吸着して保持するための吸着保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一般にこの種の吸着保持装置は、図３に示されるような構成を有していた。
【０００３】
すなわち、図３（ａ）は従来の吸着保持装置の概略構成を示す斜視図であり、図において、１は各種チップ部品や半導体（図示せず）を実装するためのシートであり、このシート１の裏面を、基台２内に設けられた複数の吸着手段３によって吸着することにより、基台２上に保持するように構成されていた。
【０００４】
そして、このシート１が基台２上に確実に保持された後、前記各種チップ部品や半導体が実装されるように構成されていた。
【０００５】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−１０５３６８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、図３（ｂ）のように、シート１が凸状に反っていたり、あるいは図３（ｃ）のように凹状に反っていたりすると、その反った部分を吸着手段３によって確実に吸着することができないため、シート１全体を確実に基台２上に保持することが困難であった。
【０００８】
また、吸着手段３の吸引力を高めて、シート１を強引に吸着保持しようとすると、シート１を傷付けてしまう可能性があった。
【０００９】
本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、シートに多少の反りがあっても、吸引力を高めることなく、非常に簡単な構成により確実にシートを吸着して保持することができる吸着保持装置を実現することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の吸着保持装置は、シートを基台上に吸着して保持するための吸着保持装置であって、基台内に複数個配設されるとともに前記シートの裏面を吸着するための吸着手段を有し、前記吸着手段は、ラッパ状に形成され、前記シートの裏面と接触して吸着する吸着パッドと、前記吸着パッドを固定するための固定部と、前記固定部に設けられた吸引孔とからなり、前記シートを前記固定部に設けられた前記吸引孔、前記吸着パッドを介して吸着するとともに、前記吸着パッドの開口部側が前記基台表面よりも突出していることを特徴とするものである。
【００１１】
この構成により、吸着するためのシートが凸状に反っていたり凹状に反っていても吸着パッドの開口部側が基台表面よりも突出しているため、その突出部分がシートの反った部分に直接接触して、反ったシートも容易に強制的に平面状にすることができるものである。
【００１２】
また、本発明の吸着保持手段は、シートがセラミックシート又は樹脂シートからなることを特徴とするものであり、この構成により、シートそのものの特徴である反り易い材質であるにも関わらず強制的に平面を出すことができるものである。
【００１３】
また、本発明の吸着保持手段は、吸着手段が基台内に複数個、所定の間隔で規則正しく配設されていることを特徴とするものであり、この構成により、小さい吸着力でもシートの大きさに関係なくいつでも一定の力で平面にすることができるものである。
【００１４】
また、本発明の吸着保持手段は、吸着パッドがシリコンからなることを特徴とするものであり、この構成により、シートの反りが異形状態や傾斜があっても安定して強制的にシートを平面化することができるものである。
【００１５】
また、本発明の吸着保持手段は、吸着パッドの開口部側が、基台表面よりも０．１〜０．２ｍｍ突出していることを特徴とするものであり、この構成により、シートの反りが０．２ｍｍ以上あっても右側、左側から吸着されていくために中央部が最終的に強制吸着効果が作用してシートを安定かつ容易に平面吸着することができるものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の吸着保持装置の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施の形態における吸着保持装置の概略構成を示す斜視図、（ｂ）はその断面図であり、図２は同実施の形態の吸着手段による具体的な吸着状態を説明するための断面図である。
【００１７】
図において、１１は各種チップ部品や半導体を実装するためのシートであり、セラミックシートや樹脂シート等の凹凸状に反りやすい性質のシートが用いられている。１２はシート１１を吸着して保持するための基台であり、複数個の吸着手段１４が基台１２内に規則正しく配設された吸着手段保持部１３に圧入固定されて埋設されている。
【００１８】
吸着手段１４はシート１１の裏面と直接接触して吸着するためのラッパ状の吸着パッド１４ａと、吸着パッド１４ａの根元を固定保持するための固定部１４ｂとから構成されている。なお固定部１４ｂの中心には貫通する吸引口１４ｃを有している。また吸着手段保持部１３の吸着側にはシート１１を吸着した際に吸着パッド１４ａが格納されるように設けられた逃げ部１３ａが設けられている。
【００１９】
ここで吸着パッド１４ａはその開口部側が基台１２の表面よりも突出するように形成されているため図２（ａ）に示すようにシート１１が凸状に沿っていたとしてもこの突出部分で反りを吸収することが出来るため、図２（ｂ）に示すように確実にシート１１を吸着固定することができる。
【００２０】
なお、吸着するための吸着手段１４を基台１２内に複数個、所定の間隔で規則正しく配設することにより、更にシート１１を確実に基台１２上に吸着固定することが出来る。
【００２１】
また、吸着パッド１４ａをシリコンで形成することにより、シート１１の形状に関係無く、容易に平面吸着することができる。
【００２２】
また、吸着パッド１４ａの開口部側を、基台１２表面よりも０．１〜０．２ｍｍ突出するように形成することにより、シート１１が凸状に反っている場合（反りによる段差が０．２ｍｍ以上）であっても、まず反りの小さいシート１１の両側から吸着をはじめ最終的に反りの一番大きい中央部も吸着して、シート１１を基台１２上に吸着固定することができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、非常に簡単な構成により、シートに多少の反りがあっても、吸引力を高めることなく、確実にシートを吸着して保持することができる吸着保持装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）本発明の一実施の形態における吸着保持装置の概略構成を示す斜視図
（ｂ）同実施の形態の断面図
【図２】同実施の形態の吸着手段によるシートの吸着状態を説明するための断面図
【図３】（ａ）従来の吸着保持装置の概略構成を示す斜視図
（ｂ）同従来例における凸状シートの吸着状態を説明するための断面図
（ｃ）同従来例における凹状シートの吸着状態を説明するための断面図
【符号の説明】
１  シート
２  基台
３  吸着手段
１１  シート
１２  基台
１３  吸着手段保持部
１３ａ  逃げ部
１４  吸着手段
１４ａ  吸着パッド
１４ｂ  固定部
１４ｃ  吸引口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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