(57)【要約】【課題】流体流路を流通する流体が弁ボディの内部へ進入することを防止し、耐久性を向上させる。【解決手段】連結ボディ２４の内部に配設されるピストン８２の変位作用下に軸線方向に沿って変位するシャフト８６の下部に第１ダイヤフラム８８を設けるとともに、前記第１ダイヤフラム８８より所定間隔離間した上方に第２ダイヤフラム９２を略平行となるように設け、流体が第１ダイヤフラム８８を透過した際に第２ダイヤフラム９２によって遮断する。そして、第１ダイヤフラム８８の本体部１２０から半径外方向に延在するように形成される第１スカート部１２２と、第２ダイヤフラム９２の下面との間に画成される空間部１２４に緩衝ばね部材１２６を装着し、前記第１および第２ダイヤフラム８８、９２に付勢される押圧力を緩和する。【選択図】図３
2004176828.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流通する流体流路が形成されるボディと、
前記ボディの内部にパイロット圧の作用下に軸線方向に沿って変位自在に設けられるピストンと、
前記ピストンに一体的に連結されるシャフトと、
前記シャフトの一端部に連結され、前記ボディに形成される弁座に着座することにより前記流体流路を閉塞する第１ダイヤフラムと、
前記第１ダイヤフラムと同軸上に重畳するように軸着され、前記第１ダイヤフラムと一体的に変位自在に設けられる第２ダイヤフラムと、
を備え、
前記第１ダイヤフラムの半径外方向に延在する第１スカート部と前記第２ダイヤフラムの半径外方向に延在する第２スカート部との間には、空間部が形成されることを特徴とする流量調整弁。
【請求項２】
請求項１記載の流量調整弁において、
前記空間部には、前記第１スカート部と前記第２スカート部とを離間する方向に付勢する弾性部材が装着されることを特徴とする流量調整弁。
【請求項３】
請求項１記載の流量調整弁において、
前記ボディには、前記流体流路を流通する流体が漏出した際に前記流体の圧力値を検知する検出部が設けられることを特徴とする流量調整弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、パイロット圧の作用下に変位する弁体の弁開・弁閉状態を切り換えることにより流体の流量を制御する流量調整弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、パイロット圧の作用下に変位するバルブの開度を調整して流体流路の内部を流通する流体の流量を制御する流量調整弁が採用されている。
【０００３】
この種の流量調整弁１は、例えば、図７に示されるように、流体が供給・排出されるインレットポート２ａとアウトレットポート２ｂとを連通する流体通路２ｃが形成されるハウジング３と、前記ハウジング３の上部に連結され、内部に上ピストン４ａおよび下ピストン４ｂが変位自在に設けられるボンネット５と、前記ボンネット５の内部に装着されるキャップ部材６と前記上ピストン４ａとの間に介装されるスプリング７と、前記上ピストン４ａおよび下ピストン４ｂに連結されるシャフト８の下部に連結されるダイヤフラム９とを備える。
【０００４】
前記ダイヤフラム９は樹脂製材料より形成され、略中央部から半径外方向へと延在する薄肉状の膜部１０の周縁部１１が、前記ハウジング３と前記ハウジング３の内部に設けられるガイド部材１２との間に挟持されている。
【０００５】
そして、下ピストン５ｂの下方へと導入されたパイロット圧の作用下に上ピストン４ａおよび下ピストン４ｂが一体的に軸線方向に沿って上方に変位する。それに伴って、前記上ピストン４ａおよび下ピストン４ｂと一体的に連結されたシャフト８が上方に変位することにより、ダイヤフラム９がハウジング３に設けられたバルブシート１３より離間して弁開状態となる。
【０００６】
また、前記パイロット圧の供給を停止し、大気開放状態とすることによりスプリング７のスプリング力の作用下に上ピストン５ａが下方に押圧される。そして、上ピストン５ａの変位作用下にシャフト８を介してダイヤフラム９がバルブシート１３へと着座することにより、流体通路２ｃを流通する流体の流通が遮断される（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】
米国特許第５００２０８６号明細書（第５頁）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特許文献１に係る流量調整弁１においては、ハウジング３の流体通路２ｃの内部に気体若しくは液体を流通させる際、気体若しくは液体（例えば、塩酸）の種類によっては、気体若しくは液体が気化したガスが樹脂製材料からなるダイヤフラム９の薄肉状の膜部１０を透過して流量調整弁１の内部に進入する場合がある。
【０００９】
その際、前記ガスがボンネット５の内部にまで進入し、前記ボンネット５の内部に介装されるスプリング７の耐久性が前記ガスの影響下に低下することが懸念される。
【００１０】
本発明は、前記の不具合を考慮してなされたものであり、ボディの内部を流通する流体のボディの内部への進入を防止することによって、その耐久性を向上させることが可能な流量調整弁を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体が流通する流体流路が形成されるボディと、
前記ボディの内部にパイロット圧の作用下に軸線方向に沿って変位自在に設けられるピストンと、
前記ピストンに一体的に連結されるシャフトと、
前記シャフトの一端部に連結され、前記ボディに形成される弁座に着座することにより前記流体流路を閉塞する第１ダイヤフラムと、
前記第１ダイヤフラムと同軸上に重畳するように軸着され、前記第１ダイヤフラムと一体的に変位自在に設けられる第２ダイヤフラムと、
を備え、
前記第１ダイヤフラムの半径外方向に延在する第１スカート部と前記第２ダイヤフラムの半径外方向に延在する第２スカート部との間には、空間部が形成されることを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、流体が流通する流体流路を閉塞する第１ダイヤフラムと同軸上に重畳するように第２ダイヤフラムを軸着し、前記第１ダイヤフラムの半径外方向に延在する第１スカート部と、前記第２ダイヤフラムの半径外方向に延在する第２スカート部との間に空間部を設けることにより、流体流路を流通する流体が第１ダイヤフラムを介して空間部へと透過した場合、第２ダイヤフラムおよび前記空間部によって前記流体のボディの内部への進入を好適に防止することができる。従って、ボディの内部へ進入する前記流体による性能の低下が防止され、その耐久性を向上させることができる。
【００１３】
また、前記第１ダイヤフラムを透過した流体が、前記空間部に囲繞された空気によってボディの内部へと進入することを防止するとともに、前記空間部の内部の空気によって前記流体の濃度を低下させることができる。
【００１４】
さらに、前記空間部に前記第１スカート部と前記第２スカート部とを離間する方向に付勢する弾性部材を装着することにより、流体が第１スカート部を透過した場合においても前記弾性部材によって一層確実に遮断することができるとともに、前記シャフトの変位作用下に第１スカート部および第２スカート部が変位する際、前記弾性部材を介して第１および第２スカート部とを略一体的に変位させることができる。そのため、第１および第２スカート部に生じる応力を前記弾性部材によって緩和させることができ、第１ダイヤフラムおよび第２ダイヤフラムの耐久性を向上させることができる。
【００１５】
さらにまた、前記ボディに前記流体流路を流通する流体が漏出した際に前記流体の圧力値を検知する検出部を設けることにより、万が一、第１ダイヤフラムおよび第２ダイヤフラムを透過し、前記ボディの内部に漏出した流体を確実に検知することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明に係る流量調整弁について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１７】
図１〜図５において、参照符号２０は、本発明の実施の形態に係る流量調整弁を示す。
【００１８】
この流量調整弁２０は、内部を流体が流通する弁ボディ（ボディ）２２と、前記弁ボディ２２の上部に連結される連結ボディ２４と、前記連結ボディ２４の上部に連結されるハウジング２６と、前記連結ボディ２４およびハウジング２６の内部に配設される弁機構部２８とからなる。
【００１９】
弁ボディ２２には、その側面の一端部側に第１ポート３０（図２参照）が形成され、他端部側に第２ポート３２が形成されるとともに、その内部には、前記第１および第２ポート３０、３２を連通する連通路（流体流路）３４が形成されている。また、前記連通路３４には、後述する第１ダイヤフラム８８が着座する弁座３６が形成されている（図２参照）。前記第１および第２ポート３０、３２の内部には、図示しないチューブの開口部に挿入されるインナ部材３８が配設され、前記第１および第２ポート３０、３２の外周部に刻設されたねじ溝４０にロックナット４２が螺入され、前記第１および第２ポート３０、３２に接続された前記チューブの接続部位の気密性が保持される。
【００２０】
また、弁ボディ２２の側面に形成される装着穴４４には、図示しない検出部（例えば、圧力センサ）が接続されるセンサプラグ４６が螺合されている。そして、装着穴４４の内部に挿入されるセンサプラグ４６の端面と前記装着穴４４の端面との間には、樹脂製材料からなるチェック弁４８が挟持されている。前記チェック弁４８は、後述する第４ポート７０より連通路５０へと導出される流体による押圧作用下にその略中央部が変位するように設けられている（図１参照）。
【００２１】
前記センサプラグ４６の内部には、図示しないチューブの開口部に挿入されるインナ部材３８が配設され、センサプラグ４６の外周部のねじ溝４０にロックナット４２が螺合されている。
【００２２】
図５に示されるように、前記センサプラグ４６の軸線方向に沿って貫通する通路５２は、連結ボディ２４の側面に形成される連通路５０および連結ボディ２４の内部に形成される第３ポート５１を介して弁ボディ２２の内部と連通している。
【００２３】
すなわち、第３ポート５１を介して連通路５０に流体が導入されることにより、チェック弁４８がセンサプラグ４６側へと変位する。そして、チェック弁４８の変位作用下に通路５２の内部の流体がロックナット４２（図４参照）側へと押圧される。その際、例えば、前記流体が流通することによって生じる圧力変化を図示しない圧力センサによって検知する。なお、前記検出部は、センサプラグ４６の内部に設けてもよいし、図示しないチューブを介して外部に設けるようにしてもよい。
【００２４】
さらに、図２〜図４に示されるように、前記弁ボディ２２の上部には、内周部に刻設されたねじ溝４０に連結ボディ２４の外周部が螺合され、弁ボディ２２と連結ボディ２４とが一体的に連結されている。
【００２５】
前記連結ボディ２４の内部には、後述するピストン８２が軸線方向に変位自在に配設されるシリンダ室５４が形成されている。
【００２６】
また、前記シリンダ室５４の下面には、環状溝を介して緩衝部材５６が装着されている。すなわち、後述する第１および第２ばね部材１０４、１０６のばね力の作用下に前記ピストン８２が下方（矢印Ｘ２方向）に変位した際、前記ピストン８２に生じる衝撃を前記緩衝部材５６によって緩和することができる。前記シリンダ室５４の下方には、該シリンダ室５４よりも小径な挿通孔５８が前記シリンダ室５４と弁ボディ２２の連通路３４とを連通するように形成されている。
【００２７】
連結ボディ２４の側面には、図示しないチューブを介してパイロット圧が供給される第１接続プラグ６０が装着されている。
【００２８】
前記第１接続プラグ６０の内部には、図示しないチューブの開口部に挿入されるインナ部材３８が配設され、第１接続プラグ６０の外周部のねじ溝４０にはロックナット４２が螺合されている。
【００２９】
前記第１接続プラグ６０は、弁ボディ２２およびハウジング２６の側面から第１接続プラグ６０の方向に向かってそれぞれ突出した凸部６２ａ、６２ｂが周方向に沿って形成され、前記凸部６２ａ、６２ｂが第１接続プラグ６０の凹部６４に係合されることによって前記連結ボディ２４の側面に周方向に沿って回動自在となる。
【００３０】
なお、第１接続プラグ６０が装着される連結ボディ２４の側面にはシール部材６６が装着されているため、第１接続プラグ６０の内部の通路６８を介して供給されるパイロット圧が外部に漏出することがない。
【００３１】
前記第１接続プラグ６０の通路６８は、連結ボディ２４の側面に形成される第４ポート７０および連結ボディ２４の内部に形成される連通室７２を介してシリンダ室５４と連通している。
【００３２】
前記連結ボディ２４の上部の外周部には、ねじ溝４０が刻設され、ハウジング２６の内周部が螺合されることにより連結ボディ２４とハウジング２６とが一体的に連結され、前記ハウジング２６の連結ボディ２４側の内部には、室７４が形成されている。
【００３３】
また、前記ハウジング２６の上部には、第１および第２ばね部材１０４、１０６の劣化を防止する目的で、図示しないチューブを介して圧力流体（例えば、窒素ガス）が常に供給される第２接続プラグ７６が装着されている。
【００３４】
前記第２接続プラグ７６の内部には、図示しないチューブの開口部に挿入されるインナ部材３８が配設され、第２接続プラグ７６の外周部のねじ溝４０にはロックナット４２が螺合されている。
【００３５】
前記第２接続プラグ７６は、ハウジング２６の上部に一体的に螺合され、その内部に軸線方向に沿って形成される通路７８が、前記ハウジング２６の連通路８０を介して室７４と連通している。すなわち、図示しないチューブを介して第２接続プラグ７６から室７４の内部へと常に前記圧力流体を供給した状態を維持することにより、第１および第２ばね部材１０４、１０６の劣化（例えば、腐食）を防止することができる。
【００３６】
なお、第２接続プラグ７６へと供給される圧力流体は、窒素ガスに限定されるものではなく、前記室７４に設けられる第１および第２ばね部材１０４、１０６の劣化を防止する効用を有するものであればよい。
【００３７】
弁機構部２８は、前記シリンダ室５４の内部を軸線方向に沿って変位自在に設けられるピストン８２と、前記ピストン８２の略中央部に挿通され、ナット８４を介して該ピストン８２と連結されるシャフト８６と、前記シャフト８６の下端部に一体的に連結される第１ダイヤフラム８８と、前記第１ダイヤフラム８８の軸部１１８に装着され、該ピストン８２と一体的に変位する押え部材９０と、第１ダイヤフラム８８と押え部材９０との間に挟持される薄板状の第２ダイヤフラム９２とからなる。
【００３８】
ピストン８２は断面略Ｔ字状に形成され、図２〜図４に示されるように、一端部側に形成される大径部９４がシリンダ室５４に挿通されるとともに、他端部側に該大径部９４よりも小径に形成される小径部９６が前記挿通孔５８に挿通されている。前記大径部９４の外周面には、環状溝を介してピストンパッキン９８ａが装着され、シリンダ室５４の内周面に当接することによりシリンダ室５４の内部の気密を保持している。
【００３９】
また、小径部９６の外周面にも同様に環状溝を介してピストンパッキン９８ｂが装着され、図１〜図４に示されるように、挿通孔５８の内周面に当接することにより弁ボディ２２の連通路３４とシリンダ室５４との気密を保持している。
【００４０】
さらに、前記ピストン８２の上面には環状凹部１００が形成され、前記環状凹部１００とハウジング２６の室７４の上面に装着されるばね受部材１０２との間に第１ばね部材１０４が介装されている。なお、ピストン８２の上面に装着される第１ばね部材１０４の一端部は、前記環状凹部１００に係着されているため半径方向に脱抜することがない。
【００４１】
前記第１ばね部材１０４の内周側には、ピストン８２の上面と前記ばね受部材１０２との間に第２ばね部材１０６が介装されている。前記第１および第２ばね部材１０４、１０６は、ピストン８２を下方に押圧する方向（矢印Ｘ２方向）に付勢されている。
【００４２】
さらにまた、ピストン８２の略中央部に貫通して形成される貫通孔１０８にはシャフト８６が挿通され、前記シャフト８６の下方に拡径して形成されたフランジ部１１０が、ピストン８２の下面に形成された係合溝１１２に係合される。そして、シャフト８６の上部に形成されるねじ部１１４にワッシャ１１６を介してナット８４を螺合することにより、ピストン８２とシャフト８６とが一体的に連結される。
【００４３】
図５に示されるように、第１ダイヤフラム８８は樹脂製材料（例えば、ＰＴＦＥ）から形成され、シャフト８６の下端部に一体的に螺合される軸部１１８と、前記軸部１１８の下端部に突出し、かつ弁座３６に着座する本体部１２０と、前記本体部１２０の側面から半径外方向に向かって延在する薄肉状の第１スカート部１２２とからなり、前記第１スカート部１２２の周縁部１２３が前記弁ボディ２２と連結ボディ２４との間に挟持されている。
【００４４】
前記第１ダイヤフラム８８は、弁ボディ２２に形成された弁座３６に対して本体部１２０が着座し、あるいは弁座３６から離間することにより、第１ポート３０と第２ポート３２とを連通する連通路３４が開閉自在に設けられている。
【００４５】
また、第１ダイヤフラム８８の上方には、樹脂製材料（例えば、ＰＴＦＥ）からなる環状の第２ダイヤフラム９２が配設されている。前記第２ダイヤフラム９２は、第１ダイヤフラム８８の本体部１２０と押え部材９０との間に挟持される内縁部１２５と、前記内縁部１２５より半径外方向へと延在する第２スカート部１２７と、前記第２スカート部１２７の外周に設けられ、第１ダイヤフラム８８の周縁部１２３と連結ボディ２４の下面との間に挟持される外縁部１２９とからなる。なお、第２ダイヤフラム９２の内縁部１２５は、第１ダイヤフラム８８の本体部１２０の上面に軸着されている。
【００４６】
そして、第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２と第２ダイヤフラム９２の第２スカート部１２７との間には、囲繞された空間部１２４が形成され、前記空間部１２４には、第１および第２ダイヤフラム８８、９２の内周側から外周側に向かって複数箇所が波状に折曲された緩衝ばね部材（弾性部材）１３６が配設されている。
【００４７】
すなわち、前記緩衝ばね部材１２６は、第１スカート部１２２と第２スカート部１２７とを離間させる方向に付勢しているため、前記第１スカート部１２２と第２スカート部１２７とは常に所定間隔離間した状態にある。また、流体が第１ポート３０から第２ポート３２へと流通する際、薄肉状に形成される第１スカート部１２２に流体からの圧力が付勢された場合においても、前記緩衝ばね部材１２６によって前記圧力が緩衝されるため第１スカート部１２２を保護することができる。
【００４８】
押え部材９０は、図２および図３に示されるように、第１ダイヤフラム８８の軸部１１８の外周面に一体的に装着されている。前記押え部材９０は、その下方の半径外方向に拡径した押え部によって第２ダイヤフラム９２の上面を保持している。
【００４９】
本発明の実施の形態に係る流量調整弁２０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００５０】
図２は、シリンダ室５４の内部にパイロット圧が供給されていない状態にあり、第１および第２ばね部材１０４、１０６のばね力によって第１ダイヤフラム８８が弁座３６に着座して第１ポート３０と第２ポート３２との連通が遮断された状態を示している。
【００５１】
このような状態において、第１接続プラグ６０に接続された図示しないチューブを介してパイロット圧（例えば、圧縮空気）をシリンダ室５４の内部に供給する。
【００５２】
そして、図３に示されるように、前記シリンダ室５４に供給されるパイロット圧の作用下にピストン８２が第１および第２ばね部材１０４、１０６のばね力に抗して上方（矢印Ｘ１方向）に変位する。その際、ピストン８２の略中央部に連結されたシャフト８６が一体的に上方（矢印Ｘ１方向）に変位するとともに、シャフト８６の下端部に連結された第１ダイヤフラム８８の本体部１２０が弁座３６より離間して第１ポート３０と第２ポート３２とが連通路３４を介して連通した状態となり、第１ポート３０から第２ポート３２へと流体が流通する。
【００５３】
そして、第１ダイヤフラム８８の上方（矢印Ｘ１方向）への変位作用下に第２ダイヤフラム９２が緩衝ばね部材１２６と一体的に上方（矢印Ｘ１方向）へと変位する。
【００５４】
また、第１ポート３０から導入された流体が連通路３４を介して第２ポート３２へと流通する際、前記流体によって第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２が押圧され、前記第１スカート部１２２を介して緩衝ばね部材１２６が第２ダイヤフラム９２の方向に押圧される。その際、流体による押圧力を、緩衝ばね部材１２６が縮むことにより吸収している。そのため、第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２に付勢される押圧力が緩和されるため、第１ダイヤフラム８８の耐久性を向上させることができる。
【００５５】
一方、連通路３４を流体が流通する際、前記流体の種類によって第１ダイヤフラム８８の薄肉状の第１スカート部１２２を介して空間部１２４の内部に透過する場合がある。その際、前記第１スカート部１２２の上方には空間部１２４を介して第２ダイヤフラム９２が配設されているため、前記第２ダイヤフラム９２によって第１スカート部１２２を透過した流体がハウジング２６の室７４の内部にまで進入することを防止することができる。
【００５６】
また、第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２を介して空間部１２４へと進入した流体は、前記空間部１２４の内部の空気によって、その濃度が低下する。
【００５７】
そのため、室７４の内部に介装される第１および第２ばね部材１０４、１０６が前記透過した流体の影響下に劣化することがない。
【００５８】
さらに、万が一、前記透過した流体が第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２から空間部１２４、第２ダイヤフラム９２の第２スカート部１２７を介して連結ボディ２４の内部へと進入した際、進入した流体は第３ポート５１から連通路３４へと導出される。そして、前記流体によってチェック弁４８がセンサプラグ４６側へと変位し、通路５２内の流体が外部に向かって変位する。その結果、図示しない検出部によって前記流体の状態変化を検知することにより、前記透過した流体の進入を確認することができる。
【００５９】
また、上記とは反対に、第１ダイヤフラム８８が弁座３６より離間して第１ポート３０と第２ポート３２とが連通した弁開状態（図３参照）から、第１ダイヤフラム８８を弁座３６に着座させて第１ポート３０と第２ポート３２との連通を遮断する弁閉状態（図２参照）とする場合には、第１接続プラグ６０に接続された図示しないチューブからのパイロット圧の供給を停止して、大気開放状態とする。
【００６０】
そして、シリンダ室５４の内部が大気開放状態となるため、パイロット圧の作用下に上方に変位していたピストン８２が第１および第２ばね部材１０４、１０６のばね力によって下方（矢印Ｘ２方向）に変位する。その際、シリンダ室５４の下面に設けられた緩衝部材５６によってピストン８２がシリンダ室５４の下面に当接した際の衝撃が緩和される。
【００６１】
ピストン８２が下方（矢印Ｘ２方向）に変位することによりシャフト８６を介して一体的に連結された第１ダイヤフラム８８が弁座３６に着座して、第１ポート３０と第２ポート３２との連通が遮断された弁閉状態となる。
【００６２】
以上のように、本実施の形態では、第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２の上方に所定間隔離間させて第２ダイヤフラム９２を設け、ピストン８２の軸線方向に沿った変位作用下に一体的に変位させる。そして、弁ボディ２２の連通路３４を流通する流体が前記第１スカート部１２２を透過した際おいても、第２ダイヤフラム９２および空間部１２４によって前記流体の連結ボディ２４およびハウジング２６の内部への進入を防止することができる。そのため、ハウジング２６の室７４の内部に介装される第１および第２ばね部材１０４、１０６が、前記流体の影響下に劣化することが防止される。
【００６３】
また、第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２と第２ダイヤフラム９２の第２スカート部１２７との間に画成される空間部１２４に、複数箇所が折曲された緩衝ばね部材１２６を配設することにより、流体が連通路３４を流通する際、第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２に付勢される押圧力を緩衝ばね部材１２６が第２ダイヤフラム９２の方向へと縮むことにより吸収し、前記押圧力を緩和させることができる。そのため、第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２および第２ダイヤフラム９２の第２スカート部１２７に生じる負荷が軽減され、その耐久性を向上させることができる。
【００６４】
さらにまた、第１ダイヤフラム８８の第１スカート部１２２が何らかの原因により破損した場合、前記第１ダイヤフラム８８の代わりに第２ダイヤフラム９２によって第１ポート３０から第２ポート３２へと流通する流体の制御を行うことができる。
【００６５】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００６６】
すなわち、第１ダイヤフラムと同軸上に重畳するように第２ダイヤフラムを軸着し、前記第１ダイヤフラムの半径外方向に延在する第１スカート部と、前記第２ダイヤフラムの半径外方向に延在する第２スカート部との間に空間部を設けることにより、流体流路を流通する流体が第１ダイヤフラムを介して空間部へと透過した場合、前記流体がボディの内部へ進入することを第２ダイヤフラムおよび前記空間部によって好適に防止することができるため、その耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る流量調整弁を示す平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った一部省略縦断面図である。
【図４】図３における流量調整弁の弁開状態を示す一部省略縦断面図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】図２における流量調整弁の第１および第２ダイヤフラム近傍の拡大断面図である。
【図７】従来技術に係る流量調整弁の縦断面図である。
【符号の説明】
２０…流量調整弁                  ２２…弁ボディ
２４…連結ボディ                  ２６…ハウジング
２８…弁機構部                    ３０…第１ポート
３２…第２ポート                  ３４、５０、８０…連通路
３６…弁座                        ５１…第３ポート
５４…シリンダ室                  ５６…緩衝部材
６０…第１接続プラグ              ７０…第４ポート
７６…第２接続プラグ              ８２…ピストン
８６…シャフト                    ８８…第１ダイヤフラム
９０…押え部材                    ９２…第２ダイヤフラム
１０４…第１ばね部材              １０６…第２ばね部材
１１８…軸部                      １２０…本体部
１２２…第１スカート部            １２４…空間部
１２７…第２スカート部            １３６…緩衝ばね部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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