(57)【要約】      （修正有）【課題】不完全な相分離によるＰＤＬＣ（高分子分散液晶）膜の特性劣化を防止でき、カラーの品質を向上した、カラーＰＤＬＣ表示装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】下部基板１と、下部基板上に所定の間隔を置いて離隔配置された上部基板１０と、下部基板１と上部基板１０の間に配置され、各々、赤、緑、青の顔料を混合した高分子膜を発泡させて形成した赤、緑、青の多孔性膜の孔滴内に、真空状態で液晶を適下及び注入して形成したカラー高分子分散液晶膜８ａ、８ｂ、８ｃと、カラー高分子分散液晶膜８ａ、８ｂ、８ｃと、下部基板１及び上部基板１０との間に各々備えられた透明な液晶駆動電極２，１１と、を含み、及びこれらを形成することを特徴とする。【選択図】図１
2004302402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部基板と、
前記下部基板上に所定の間隔を置いて離隔配置された上部基板と、
前記下部基板と上部基板の間に配置され、各々、赤、緑、青の顔料を混合した高分子膜を発泡させて形成した赤、緑、青の多孔性膜の孔滴内に、真空状態で液晶を適下及び注入して形成したカラー高分子分散液晶膜と、
前記カラー高分子分散液晶膜と、下部基板及び上部基板との間に各々備えられた透明な液晶駆動電極と、
を含むことを特徴とするカラー高分子分散液晶表示装置。
【請求項２】
前記下部基板及び上部基板は、ガラス基板またはプラスティック膜からなることを特徴とする請求項１記載のカラー高分子分散液晶表示装置。
【請求項３】
前記上部基板は、有機膜からなることを特徴とする請求項１記載のカラー高分子分散液晶表示装置。
【請求項４】
前記多孔性膜は、１〜３０μｍの厚さで形成されたことを特徴とする請求項１記載のカラー高分子分散液晶表示装置。
【請求項５】
前記下部基板上にカラー区分のために形成されたストライプ状の隔壁を更に含むことを特徴とする請求項１記載のカラー高分子分散液晶表示装置。
【請求項６】
前記隔壁は、１〜３０μｍの高さで形成されたことを特徴とする請求項５記載のカラー高分子分散液晶表示装置。
【請求項７】
下部基板上に画素電極を形成するステップと、
前記画素電極が含まれた下部基板上に、各々、赤、緑、青の顔料が混合された高分子膜を形成するステップと、
前記高分子膜を発泡させて、赤、緑、青の多孔性膜を形成するステップと、
前記多孔性膜の孔滴内に、真空状態で液晶を適下及び注入してカラー高分子分散液晶膜を形成するステップと、
前記画素電極及びカラー高分子分散液晶膜を含む下部基板に、前記カラー高分子分散液晶膜に接する内側面上に共通電極を備えた上部基板を合着させるステップと、
を含むことを特徴とするカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記画素電極を形成するステップの後、そして、前記顔料が含まれた高分子膜を形成するステップの前に、さらにカラーを区分するための隔壁を形成するステップを含むことを特徴とする請求項７記載のカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記高分子膜は、スクリーンパターンプリンティングまたはインクジェット注入方法により形成することを特徴とする請求項７記載のカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記高分子膜は、アクリル、スタイレン及びカーボネートからなるグループから選択されるいずれか一つの透明な高分子材料に顔料が混合されて構成されたことを特徴とする請求項７記載のカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記高分子膜の発泡は、機械的な攪拌を用いる方法、反応生成ガスを用いる方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法及びスプレーによる方法からなるグループから選択されるいずれか一つの方法により行われることを特徴とする請求項７記載のカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記上部基板は、高分子分散液晶膜上に保護膜処理後、透明電極と有機膜とを順次に形成して製造することを特徴とする請求項７記載のカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記有機膜は、スピンコーティングまたはプリンティング方法により形成することを特徴とする請求項１２記載のカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高分子分散液晶表示装置に係り、より詳細には、不安定な相分離に伴う特性劣化を減少してカラー品質を向上したカラー高分子分散液晶表示装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高分子分散液晶表示装置（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｄｉｓｐｅｒｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ：以下、ＰＤＬＣＤという）は、液晶分子だけで構成された通常の液晶膜の代わりに、１〜２μｍ径の液晶滴（ＬＣ  ｄｒｏｐｌｅｔ）が高分子膜に分散された形態を有する高分子分散液晶（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｄｉｓｐｅｒｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ：以下、ＰＤＬＣという）膜が、１対の透明基板間に介在する構造を有し、偏光板が不要であり、柔軟性を有しているので、製造が容易で、また、輝度特性が優れて、ワイドスクリーン表示装置及び調光窓（ｌｉｇｈｔ−ｍｏｄｕｌａｔｉｎｇ  ｗｉｎｄｏｗ）プロジェクションＴＶに利用可能である。
【０００３】
ここで、１対の駆動電極間にＰＤＬＣ膜を挟んだ状態で電界を印加すると、液晶の方向子（ｄｉｒｅｃｔｏｒ）が電界方向に配向され、その際、液晶の常屈折率（ｏｒｄｉｎａｒｙ  ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ  ｉｎｄｅｘ）、ｎ０）が高分子の屈折率（ｎｐ）と一致する場合は、光透過によりＰＤＬＣ膜が透明になって、前記ＰＤＬＣＤは「白」に見える。次に、電界を除去すると、液晶の方向子は表面アンカリング（ａｎｃｈｏｒｉｎｇ）エネルギーにより当初の無秩序な状態に戻り、その際、液晶の有効屈折率が高分子の屈折率（ｎｐ）から大いに外れることになり、屈折率の不一致による界面光散乱によりＰＤＬＣＤ膜は不透明になり、これによって、前記ＰＤＬＣＤは「黒」に見えることになる。
【０００４】
さて、高分子内に液晶を分散させる方法としては、相分離法（ｐｈａｓｅ  ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ）と乳化法（ｅｍｕｌｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ）が用いられる。前記相分離法は、当初、均一相を成している高分子分散液晶（或は、前駆体）混合物が重合、冷却または溶媒蒸発により相分離を起こす原理を用いるものであり、前記乳化法は、当初、液晶と高分子が不均一相を成している水様液（ａｑｕｅｏｕｓ  ｓｏｌｕｔｉｏｎ）から水を蒸発させると、液晶が高分子によりカプセル化される原理を用いるものである。前記ＰＤＬＣ膜は、通常、相分離法により製造されている。
【０００５】
しかし、相分離法を用いてＰＤＬＣ膜を製造する場合、完全な相分離を成すことは困難で、事実上不可能である。それは、当初の均一相は、色々な方法による相分離の最中に多少とも不均一相になるからである。従って、相分離法により得られたＰＤＬＣ膜は、液晶と高分子（或は、前駆体）が多少とも入り混じって互いを汚染するので、始めとは異なる性質を表わし、特に製造時の細かい条件変化により、その特性が影響を受けることになる。
【０００６】
また、カラーＰＤＬＣ膜は、ゲストーホスト（ｇｕｅｓｔ−ｈｏｓｔ）法またはホログラフィー（ｈｏｌｏｇｒａｐｈｙ）法により実現できる。しかし、これらの方法では単色だけが可能で、フルカラーの実現は困難であるので、従来は、前記の方法により実現された単色ＰＤＬＣ膜を結合して多層構造にしてフルカラーを実現している。しかし、このような積層（ｓｔａｃｋｉｎｇ）構造は、層間の連結が難しく、また、駆動電圧及び製造コストが高くなる短所がある。
【０００７】
その他、カラーＰＤＬＣＤは、既存のカラーフィルタを用いて実現できるけれども、ＵＶ光はカラーフィルタ透過が難しい。従って、（単色の）ＰＤＬＣＤ製造に現在一番よく使用されている、ＵＶ重合を用いたＰＩＰＳ（Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｐｈａｓｅ  Ｓｅｐｅｒａｔｉｏｎ）法は、カラーＰＤＬＣＤには使えない。
【０００８】
さらに、カラーＰＤＬＣＤは、カラーシーケンシャル表示（ｃｏｌｏｒ  ｓｅｑｕｅｎｔｉａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）方式でも実現できるが、これは、高速応答特性が必要という技術的難点がある。
【０００９】
一方、大韓民国特許出願番号１０−１９９９−００１６１６２には、高分子材料に液晶と特定色を表現する２色性染料とを混合して、高分子膜を形成することにより、フルカラー表示を可能にしたＰＤＬＣＤが開示されている。公開された前記文献の開示によると、カラーＰＤＬＣＤの液晶セルは、次の２つの方法により形成される。
【００１０】
第１の方法によれば、液晶と染料の混合溶液が含まれた高分子膜をコーティングした後、これを硬化及び現像する過程を３回繰り返し遂行し、これを通じて赤、緑、青の高分子ドメインの形で液晶セルを形成する。
【００１１】
第２の方法によれば、高分子膜をコーティングした後、これらを互いに連結された多数の孔（ｐｏｒｅ）を含む形態に硬化（ｃｕｒｅ）させる。その後、染料と液晶との混合物を、硬化高分子膜の表面の露出された孔内に注入し、液晶セルを形成する。また、赤、緑、青の染料と液晶混合物とを所定の位置にインクジェット方法により噴射して液晶セルを形成することもできる。
【００１２】
しかし、前記の第１の方法は、光反応物質を硬化させることにより、微細孔及びパターンを形成することになるが、周知のように、高解像度の実現が困難であるのみならず、現像過程が液晶の特性に影響を及ぼすという問題がある。
【００１３】
また、前記の第２の方法は、孔が互いに連結されているので、各色の染料と液晶混合物とを噴射／注入する際、混色の問題が生じることになる。さらに、微細孔が互いに連結されている構造でも、単純に染料と液晶混合液を噴射するだけでは液晶を完全に注入するのは困難である。
【００１４】
併せて、前記文献によれば、カラー表現のために染料を使用しているが、染料は既存のカラーフィルタに使用される顔料に比べて、フルレンジのカラーを実現できないだけでなく、信頼性にも問題がある。特に、液晶と混合して使用すると、液晶の特性を劣化させる場合がある。
【００１５】
【特許文献１】大韓民国特許出願番号１０−１９９９−００１６１６２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
従って、本発明は、前記の問題を解決するために、不完全な相分離によるＰＤＬＣ膜の特性劣化を防止できるようにしたカラーＰＤＬＣＤ及びその製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、カラーの品質を向上したカラーＰＤＬＣＤ及びその製造方法を提供することを別の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記の目的を達成するため、本発明の請求項１に係るカラー高分子分散液晶表示装置は、下部基板と、前記下部基板上に所定の間隔を置いて離隔配置された上部基板と、前記下部基板と上部基板の間に配置され、各々、赤、緑、青の顔料（ｐｉｇｍｅｎｔ）を混合した高分子膜を発泡（ｆｏａｍｉｎｇ）させて形成した赤、緑、青の多孔性膜の孔滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）内に、真空状態で液晶を適下及び注入して形成したカラー高分子分散液晶膜と、前記カラー高分子分散液晶膜と、下部基板及び上部基板との間に各々備えられた透明な液晶駆動電極と、を含むことを特徴とする。
【００１８】
好ましくは請求項２に係り、前記下部基板及び上部基板は、ガラス基板またはプラスティック膜からなる。
【００１９】
好ましくは請求項３に係り、前記上部基板は、有機膜からなることができる。
【００２０】
好ましくは請求項４に係り、前記多孔性膜は、１〜３０μｍの厚さで形成される。
【００２１】
好ましくは請求項５に係り、本発明のＰＤＬＣＤは、下部基板上にカラーの区分のために形成されたストライプ状の隔壁を更に含む。
【００２２】
好ましくは請求項６に係り、前記隔壁は、１〜３０μｍの高さで形成されることが望ましい。
【００２３】
前記の目的を達成するため、本発明の請求項７に係るカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法は、下部基板上に画素電極を形成するステップと、前記画素電極が含まれた下部基板上に、各々、赤、緑、青の顔料が混合された高分子膜を形成するステップと、前記高分子膜を発泡させて、赤、緑、青の多孔性膜を形成するステップと、前記多孔性膜の孔滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）内に、真空状態で液晶を適下及び注入してカラー高分子分散液晶膜を形成するステップと、前記画素電極及びカラー高分子分散液晶膜を含む下部基板に、前記カラー高分子分散液晶膜に接する内側面上に共通電極を備えた上部基板を合着させるステップと、を含むことを特徴とする。
【００２４】
好ましくは請求項８に係り、前記画素電極を形成するステップの後、そして、前記顔料が含まれた高分子膜を形成するステップの前に、さらにカラーの区分のための隔壁を形成するステップを含む。
【００２５】
好ましくは請求項９に係り、前記高分子膜は、スクリーンパターンプリンティング（ｓｃｒｅｅｎ  ｐａｔｔｅｒｎ  ｐｒｉｎｔｉｎｇ）またはインクジェット注入（ｉｎｋｊｅｔ  ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ）方法により形成することを特徴とする。
【００２６】
好ましくは請求項１０に係り、前記高分子膜は、アクリル、スタイレン及びカーボネートからなるグループから選択されるいずれか一つの透明な高分子材料に顔料が混合されて構成される。
【００２７】
好ましくは、前記高分子膜は、アクリル、スタイレン及びカーボネートのような透明な高分子材料に赤、緑、青の顔料が混合されたもので、スクリーンパターンプリンティング（ｓｃｒｅｅｎ  ｐａｔｔｅｒｎ  ｐｒｉｎｔｉｎｇ）またはインクジェット注入（ｉｎｋｊｅｔ  ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ）方法により形成することができる。
【００２８】
好ましくは請求項１１に係り、前記高分子膜の発泡は、機械的な攪拌を用いる方法、反応生成ガスを用いる方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法及びスプレーによる方法からなるグループから選択されるいずれか一つの方法により行われる。
【００２９】
好ましくは請求項１２に係り、前記上部基板は、高分子分散液晶膜上に保護膜処理後、透明電極と有機膜とを順次に形成して製造することができる。
好ましくは請求項１３に係り、前記有機膜は、スピンコーティングまたはプリンティング方法により形成する。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、赤、緑、青の顔料を混合した高分子膜を発泡させて多孔性膜を形成した後、そこに真空状態で液晶を滴下及び注入してＰＤＬＣ膜を製造するので、従来の相分離方法における不安定な相分離によるＰＤＬＣ膜の特性変化を改善させることができ、さらに、顔料を使用してカラーを表現するので、より高品質のカラーの実現が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、添付の図面を参照しながら本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。
【実施例１】
【００３２】
図１は、本発明の実施の形態に係るＰＤＬＣＤを示す断面図である。
【００３３】
図示のように、本発明の実施の形態に係るＰＤＬＣＤは、透明な液晶駆動電極である、画素電極２と共通電極１１とを各々備えた下部基板１と上部基板１０とが、赤、緑、青のＰＤＬＣ膜８ａ、８ｂ、８ｃを挟んで合着された構造を有する。
【００３４】
また、赤、緑、青のＰＤＬＣ膜８ａ、８ｂ、８ｃ間の境界にはカラーの区分のために、隔壁３が形成される。その際、前記隔壁３は省略可能である。
ここで、前記ＰＤＬＣ膜８ａ、８ｂ、８ｃは、既存の相分離方法によらず、次のようにして形成される。
赤、緑、青の顔料（ｐｉｇｍｅｎｔ）の各々と混合された高分子膜を発泡（ｆｏａｍｉｎｇ）させて、各々、赤、緑、青の多孔性膜を製造した後、液晶を滴下して前記多孔性膜の孔滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）内に真空注入する。なお、前記高分子膜は、透明な高分子材料に各カラーの顔料（ｐｉｇｍｅｎｔ）が適切な比率で混合／分散されて成されたものである。
【００３５】
前記両基板１、１０は、ガラス基板またはプラスティック膜両方とも適用可能であり、特に、前記上部基板１０は、有機膜に取替えてもよい。
【００３６】
このような本発明のＰＤＬＣＤは、次のような工程順に製造される。図２〜７は、その製造方法を説明するための工程別断面図である。
【００３７】
図２を参照すると、ガラス基板またはプラスティック膜の透明基板からなる下部基板１上にＩＴＯのような透明金属膜を蒸着した後、これをパターニングして画素電極２を形成する。
【００３８】
図３を参照すると、各画素電極２間の境界にストライプ（ｓｔｒｉｐｅ）状に隔壁３を形成する。その際、前記隔壁３は、フォトリソグラフィー工程又はスクリーンパターンプリンティング（ｓｃｒｅｅｎ  ｐａｔｔｅｒｎ  ｐｒｉｎｔｉｎｇ）方法等により形成し、その材料としては、感光性材料またはプリンティング可能なポリマー材料等を用いて、その厚さは製造しようとするＰＤＬＣＤのセルギャップに対応する量にとり、例えば、１〜３０μｍ程度とする。
なお、本発明の実施に当たって、前記隔壁３の形成は省略可能である。
【００３９】
図４を参照すると、各々、赤、緑、青の顔料が含まれたカラー高分子膜４ａ、４ｂ、４ｃを、３回のスクリーンパターンプリンティング方法により、画素電極２を含む下部基板１上に形成する。その際、前記スクリーンパターンプリンティング方法の代わりに、インクジェット注入方法を用いることもできる。また、発色材料として顔料のみならず、例えば、カラー実現性は劣るが、染料を使用することもできる。
【００４０】
ここで、各カラー高分子膜４ａ、４ｂ、４ｃは、透明高分子原材料に顔料を適切な比率で混合分散させて製造し、前記透明高分子原材料としては、アクリル（ａｃｒｙｌ）、スチレン（ｓｔｙｒｅｎｅ）またはカーボネート（ｃａｒｂｏｎａｔｅ）等の一般的な透明プラスティック材料を全て含む。特に、液晶の常屈折率（ｎ０）と等しいか類似の屈折率を有する透明な高分子を使用すると、透過度のより高いＰＤＬＣＤを製造することができる。
【００４１】
図５を参照すると、赤、緑、青のカラー高分子膜４ａ、４ｂ、４ｃを発泡（ｆｏａｍｉｎｇ）させ、ストライプ状の赤、緑、青の多孔性膜５ａ、５ｂ、５ｃを形成する。ここで、前記高分子膜を発泡させる方法では、機械的な攪拌を用いる方法、反応生成ガスを用いる方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法及びスプレーによる方法等、多様な方法が利用可能である。また、前記発泡剤を使用する方法による場合、発泡剤としては揮発性発泡剤または分解性発泡剤等が利用可能である。図面中の符号６は、多孔性膜内の孔滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を示す。
【００４２】
図６を参照すると、多孔性膜５ａ、５ｂ、５ｃ内に真空状態で適切量の液晶７を滴下し、前記多孔性膜５ａ、５ｂ、５ｃの孔滴６内に液晶７を真空注入して、赤、緑、青のカラーＰＤＬＣ膜８ａ、８ｂ、８ｃを形成する。
【００４３】
図７を参照すると、赤、緑、青のカラーＰＤＬＣ膜８ａ、８ｂ、８ｃが形成された下部基板１の上部にＩＴＯのような透明金属膜からなる共通電極１１を備えた上部基板１０を合着させ、その結果として、本発明に係るカラーＰＤＬＣＤが完成される。
【００４４】
ここで、前記上部基板１０は、下部基板１と同様に、ガラス基板またはプラスティック膜のような透明基板からなり、またＰＤＬＣ膜８ａ、８ｂ、８ｃ上に保護膜処理後、透明電極と有機膜とを順次に形成してもよい。その際、前記の有機膜は、スピンコーティング（ｓｐｉｎ  ｃｏａｔｉｎｇ）またはプリンティング（ｐｒｉｎｔｉｎｇ）方法により形成する。
【００４５】
前述のような本発明のＰＤＬＣＤは、次のような長所を有する。
【００４６】
まず、ＰＤＬＣ膜は、高分子膜を発泡させて多孔性膜を製造した後、液晶を滴下及び真空注入して形成するので、既存の相分離法における液晶及び高分子の相互汚染を除去することができ、光学的特性も向上させることができる。併せて、多孔性膜の製造後に液晶を注入するため、既存の相分離法による際の微細条件変化による構造変化も防ぐことができる。
【００４７】
また、ＰＤＬＣ膜は、顔料を混合した高分子材料を用いて製造するため、液晶に染料を混合した材料に比べて、液晶に対する汚染が少ないだけでなく、液晶の本来の特性の維持が容易である。
【００４８】
なお、本発明によるＰＤＬＣ膜は、顔料が混合された高分子材料を使用してパターン形成し発泡して多孔性膜を製造した後、液晶を注入して製造しているので、従来の技術で言及した前記公開特許文献に開示された、光反応物質を硬化させて、微細孔及びパターンを形成する方法に比べて、液晶に適合する高分子材料の選定が容易である。
また、本発明によるＰＤＬＣ膜は、顔料が混合された高分子材料を使用してパターン形成し発泡して多孔性膜を製造した後、液晶を注入しているので、前記公開特許文献で難点とされた、連結された微細孔を通じた色の混合問題も解決できる。
【００４９】
加えて、前記公開特許文献による場合は、色の調節のため、液晶に混合される染料の量を調節しなければならないし、その際、液晶に混合される染料の量の調節には限界があるが、本発明の場合は、高分子材料に混合される顔料の量を容易に調節することができ、従って、容易に色の調節を行なうことができる。
【００５０】
なお、本発明によるＰＤＬＣ膜は、液晶を真空状態で滴下及び注入して製造するので、液晶注入をより効果的に行なうことができる。
【００５１】
本発明が、請求項の要旨を外れない範囲で多様に変更実施できることは当業者には自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施の形態に係るカラー高分子分散液晶表示装置を示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法を説明するための工程別断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法を説明するための工程別断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法を説明するための工程別断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法を説明するための工程別断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法を説明するための工程別断面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るカラー高分子分散液晶表示装置の製造方法を説明するための工程別断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１        下部基板
２        画素電極
３        隔壁
４ａ、４ｂ、４ｃ        高分子膜
５ａ、５ｂ、５ｃ        多孔性膜
６        孔滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）
７        液晶
８ａ、８ｂ、８ｃ        カラー高分子分散液晶膜
１０        上部基板
１１        共通電極
【図１】
2004302402.tif 000003
【図２】
2004302402.tif 000004
【図３】
2004302402.tif 000005
【図４】
2004302402.tif 000006
【図５】
2004302402.tif 000007
【図６】
2004302402.tif 000008
【図７】
2004302402.tif 000009