(57)【要約】【課題】プロセスレシピや制御テーブルをファイルに編集してデータベースに保存した後は、データベースのファイルを一覧画面で表示できると共に所望の項目のファイル検索ができるようにする。【解決手段】操作部２のデータ入力モジュール２ａから入力されたデータはデータ表示モジュール２ｂに表示されると共にデータ設定モジュール２ｃによってファイルに編集されてデータベース２ｄに保存される。また、データ表示モジュール２ｂは、ＳＥＭＩ規格で規定しているファイル名、編集日時、編集者名などの項目をファイル一覧画面に表示させることができる。ユーザがファイル一覧画面から検索項目を選択すると、ファイル検索モジュール２ｅがデータベース２ｄから対応する項目を検索してファイル一覧画面に表示させる。よって、ファイル一覧画面をスクロールすることなく所望のファイルを検索することができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レシピファイルおよび各種設定パラメータファイルが格納されたデータベースと選択された検索項目により前記データベースから対応する前記ファイルを検索する検索手段を具備した半導体製造装置において、
前記ファイル検索手段が、前記ファイルの変更履歴に関わる属性を有する所定の項目を検査項目とし表示するとともに、前記ファイルを前記データベースから検索する機能を有することを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種データを用いて反応炉を制御するコントローラを備えた半導体製造装置に関するものであり、特に、レシピファイルやパラメータファイルのファイル項目を効率的に検索して反応炉の雰囲気を制御するコントローラを備えた半導体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、縦型拡散ＣＶＤ装置などの半導体製造装置によって半導体ウェーハ（以下、単にウェーハという）に熱処理を施しながら薄膜形成、不純物ドーピング、および表面処理などの成膜処理を行う場合は、コントローラによって炉内温度やガス流量などの炉内雰囲気を精密に制御してウェーハの製品歩留りの向上を図っている。図８は、従来の半導体製造装置に搭載されたコントローラの構成図である。コントローラ１１は、データの入力操作を行う操作部１２と、半導体製造装置の制御を行う制御部１３と、操作部１２と制御部１３との間でデータの受け渡しを行うメモリ１４とを備えた構成となっている。操作部１２のデータ入力モジュール１２ａから各種のデータを入力すると、これらのデータはデータ表示モジュール１２ｂに表示される。さらに、入力されたデータは、データ設定モジュール１２ｃによってファイルに編集されてファイル保存部１２ｄへ保存されると共にメモリ１４へも格納される。また、データ表示モジュール１２ｂはファイル保存部１２ｄに保存されているファイルの一覧画面を表示することもできる。
【０００３】
上記のようにして操作部１２から入力されたデータは、メモリ１４の各種設定パラメータエリア１４ａ、共用設定パラメータ格納エリア１４ｂ、及びレシピデータ格納エリア１４ｃに格納される。従って、制御部１３の制御パラメータ展開モジュール１３ａ、共用設定パラメータ展開モジュール１３ｂ、及びレシピシーケンス制御モジュール１３ｃは、メモリ１４の対応するエリアに格納されているデータを参照しながら、ウェーハ移載機５、ヒータ（反応炉）６、ポンプ・圧力バルブ７、及びガス配管・ＭＦＣ８の制御を行うことができる。これによって、半導体製造装置は製品歩留りの高いウェーハを生産することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の縦型拡散ＣＶＤ装置などの半導体製造装置に搭載されたコントローラ１１は、操作部１２によってプロセスレシピや各種制御テーブルなどを編集してファイル保存部１２ｄにファイルとして保存した後、データ表示モジュール１２ｂのファイル一覧画面に編集者が編集しやすいようにファイルをソートすることはできるが、データ表示モジュール１２ｂのファイル一覧画面に表示されている項目（例えば、ファイル名や編集日時など）に基づいてファイルを検索することはできない。つまり、コントローラ１１の操作部１２にはファイル検索機能がないため、データ表示モジュール１２ｂでファイルを一度開いて各項目を確認してからデータ設定モジュール１２ｃによって所望の編集を行う必要がある。そのため、編集者は、ファイル生成日時、編集者名、コメントなどをキーとして所望のファイルを目視で探した後に編集を行わなければならないので、ファイルの編集を行う操作に手間がかり編集作業にかなり長い時間を要する。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、プロセスレシピや制御テーブルをファイルに編集してデータベースに保存した後は、データベースのファイルを所望の項目に基づいて検索ができるようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の半導体製造装置は、レシピファイルおよび各種設定パラメータファイルが格納されたデータベースと選択された検索項目により前記データベースから対応する前記ファイルを検索する検索手段を具備した半導体製造装置において、
前記ファイル検索手段が、半導体デバイスの製造工程に関わる属性を有する所定の項目のファイルを前記データベースから検索する機能を有することを特徴とするものである。
なお、実施の形態においては、各種データが記載されたファイルを画面に表示して反応炉を制御するコントローラを備えた半導体製造装置において、各種データに基づいて編集されたレシピファイル及び各種設定パラメータファイルを保存するデータベースと、ファイル一覧画面に表示されたファイルより選択された項目に基づいてデータベースから対応するファイルを検索するファイル検索手段とを備え、ファイル検索手段が、半導体デバイスの製造工程に関わる属性を有する項目のファイルをデータベースから検索してファイル一覧画面に表示させることを特徴とする。
【０００７】
本発明の半導体製造装置によれば、検索手段が、半導体デバイスの製造工程に関わる属性を有する項目、例えば、ファイル名、編集日時、ファイル生成日時、編集者名、及びコメントなどの項目をデータベースから検索してファイル一覧画面に表示させている。これにより、ファイル一覧画面に表示されている多数のファイルをスクロールしながら所望のファイルを検索することなく、直ちに、ファイル検索画面に切り替わってワンタッチで所望のファイルの検索を行うことができる。したがって、オペレータによるファイル編集の作業量が軽減されると共にデータの設定ミスなどが少なくなるので、半導体デバイスの生産性がさらに向上する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明は、半導体製造装置の製造工程で使用するレシピファイルやパラメータファイルの検索を行う際に、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格（つまり、ＳＥＭＩ  Ｈｕｍａｎ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  ｆｏｒ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｄｒａｆｔ  Ｄｏｃ．＃２７８３Ｂ）に規定されたファイルの項目（属性）を選択してファイル一覧画面に表示し、さらに、選択した項目を指定して所望のファイルの検索ができるようにしたことを特徴としている。
【０００９】
すなわち、本発明の半導体製造装置は、プロセスレシピや制御テーブルを編集したファイルをＨＤＤなどのデータベースに保存した後、ＳＥＭＩ規格で規定しているファイル名、編集日時、ファイル生成日時、編集者名、及びコメントなどの項目をファイル一覧画面に表示させると共に、表示させた項目に関してはファイルの検索ができるような機能を備えたコントローラを搭載したことを特徴とする。
【００１０】
以下、図面を用いて、本発明における半導体製造装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の半導体製造装置に搭載されたコントローラの構成図である。コントローラ１は、半導体製造装置の炉内雰囲気を制御するためのデータを入力して所定の操作を行う操作部２と、入力されたデータに基づいて半導体製造装置の炉内の制御を行う制御部３とが１０ＢａｓｅＴ４によってＬＡＮ接続された構成となっている。また、制御部３から、図示しない半導体製造装置のウェーハ移載機５、ヒータ（反応炉）６、ポンプ・圧力バルブ７、及びガス配管・ＭＦＣ８へ制御用の信号線が接続されている。
【００１１】
操作部２は、データを入力するデータ入力モジュール２ａと、入力されたデータを表示したりファイルの一覧画面を表示するデータ表示モジュール２ｂと、入力されたデータをファイルに編集するデータ設定モジュール２ｃと、データ設定モジュール２ｃによって編集されたファイルを保存するデータベース２ｄと、データ表示モジュール２ｂの一覧画面に表示されたファイルの選択項目に従って該当するファイルをデータベース２ｄから検索するファイル検索モジュール２ｅと、データ設定モジュール２ｃを介して入力されたデータを格納するメモリ２ｆと、制御部３との間でメモリ２ｆに格納されたデータの受け渡しを行うデータ送受信モジュール２ｊとによって構成されている。また、メモリ２ｆは、各種設定パラメータエリア２ｇと共用設定パラメータ格納エリア２ｈとレシピデータ格納エリア２ｉの各エリアを備えている。
【００１２】
制御部３は、操作部２のデータ送受信モジュール２ｊとの間でデータの受け渡しを行うデータ送受信モジュール３ｊと、操作部２のメモリ２ｆと同一のデータを格納する各種設定パラメータエリア３ｇと共用設定パラメータ格納エリア３ｈとレシピデータ格納エリア３ｉの各エリアを備えたメモリ３ｆと、メモリ３ｆの対応するエリアに格納されたデータを参照して半導体製造装置の制御を行う制御パラメータ展開モジュール３ａ、共用設定パラメータ展開モジュール３ｂ、及びレシピシーケンス制御モジュール３ｃとを備えた構成となっている。
【００１３】
すなわち、図１に示す本発明による半導体製造装置のコントローラ１は、図８に示す従来のコントローラ１１に対して、データ設定モジュール２ｃによって編集されたレシピファイルや各種設定パラメータファイルを保存するデータベース２ｄと、データ表示モジュール２ｂの一覧画面に表示されたファイルより選択された項目によってデータベース２ｄから所望のファイルを検索するファイル検索モジュール（ファイル検索手段）２ｅとが追加された構成となっている。
【００１４】
次に、図１に示すコントローラ１の動作を説明するが、一般的なウェーハの製造プロセスの動作は公知であるので簡単に説明し、本発明で実現したファイル検索モジュール２ｅによるファイル検索の手法について詳細に説明する。操作部２のデータ入力モジュール１２ａからデータを入力すると、これらのデータはデータ表示モジュール２ｂに表示される。さらに、入力されたデータは、データ設定モジュール２ｃによってファイルに編集されてデータベース２ｄへ保存されると共に、メモリ２ｆの各種設定パラメータエリア２ｇと共用設定パラメータ格納エリア２ｈとレシピデータ格納エリア２ｉの各エリアへも格納される。
【００１５】
また、データ表示モジュール２ｂはデータベース２ｄに保存されているファイルの一覧画面を表示することができるので、ファイル検索モジュール２ｅは、一覧画面に表示されたファイルより選択された項目によってデータベース２ｄから所望のファイルを検索することができる。これによって、ユーザが編集したいファイルをデータ表示モジュール２ｂの一覧画面から選択すると、データベース２ｄへ検索情報が送信されるので、ファイル検索モジュール２ｅは、データベース２ｄの中から所望のファイルを検索してデータ表示モジュール２ｂの画面に表示させることができる。
【００１６】
一方、メモリ２ｆの各種設定パラメータエリア２ｇ、共用設定パラメータ格納エリア２ｈ、及びレシピデータ格納エリア２ｉに格納されたデータは、操作部２のデータ送受信モジュール２ｊから、制御部３のデータ送受信モジュール３ｊを介して、メモリ３ｆの各種設定パラメータエリア３ｇ、共用設定パラメータ格納エリア３ｈ、及びレシピデータ格納エリア３ｉへ送信される。従って、制御部３の制御パラメータ展開モジュール３ａ、共用設定パラメータ展開モジュール３ｂ、及びレシピシーケンス制御モジュール３ｃは、メモリ３ｆの対応するエリアに格納されているデータを参照しながら、図示しない半導体製造装置のウェーハ移載機５、ヒータ（反応炉）６、ポンプ・圧力バルブ７、及びガス配管・ＭＦＣ８の制御を行うことができる。これによって、半導体製造装置は製品歩留りの高いウェーハを生産することができる。
【００１７】
次に、操作部２のデータ表示モジュール２ｂがファイルを一覧画面を表示したり、ファイル検索モジュール２ｅがデータベース２ｄから所望のファイルを検索してデータ表示モジュールに表示させる具体的な実施例を説明する。図２は、図１のデータ表示モジュール２ｂが表示するプロセスレシピ、制御テーブルファイルの一覧画面であり、図３は、図２のファイル一覧画面で表示項目のボタンをタッチしたときに切り替わるファイル一覧表示項目選択画面である。また、図４は、図３のファイル一覧表示項目選択画面で選択した項目のファイル一覧検索設定画面であり、図５は、図４のファイル一覧検索設定画面で検索項目を指定して検索ボタンをタッチしたときの検索前のファイル一覧画面であり、図６は、図５の検索前のファイル一覧画面に続く検索終了時のファイル一覧画面である。また、図７は、画面が図２から図６へ推移してファイル検索処理を行うときのフローチャートである。以下、図２から図７を用いてファイル検索処理の流れを説明する。
【００１８】
まず、図２に示すように、プロセスレシピと制御テーブルファイルの一覧画面として、編集日時が“２００２／Ｎｏｖ／１２  １５：５１”におけるファイル名“ａ”の画面を表示させる。そして、『ステップＳ１』において、図２のファイル一覧画面で「表示項目」のボタンをタッチすると、ファイル一覧画面に表示させたい全ての選択項目を表示することができる。すなわち、『ステップＳ２』において、図３に示すようなファイル一覧表示項目選択画面が表示されるので、この画面を用いてファイル一覧画面に表示させたい項目を選択する。尚、この画面では複数の項目を選択することもできる。また、図３の画面で表示される項目は、固定項目である「ファイル名」と、選択可能な項目である「編集日時」、「更新カウンタ」、「承認属性」、「実行属性」、「保護属性」、「編集者」、「属性変更日時」、「生成日時」、「トータル時間（レシピのみ）」、「バージョン」、及び「コメント」である。
【００１９】
次に、『ステップＳ３』において、図３の選択項目の中から表示させたい項目を選択することによって選択項目がファイル一覧画面に表示されるので、『ステップＳ４』において、このファイル一覧画面の「検索」ボタンをタッチすると、図４のファイル一覧検索設定画面が表示される。そして、『ステップＳ５』において、図４のファイル一覧検索設定画面で検索したい項目として、例えば「編集者」にチェックを設定し、その下の空欄に検索内容を入力してファイル一覧検索設定画面の「検索」ボタンをタッチすると、検索が開始されて検索項目に対応したファイル一覧画面が表示される。尚、検索可能な項目は、前述の表示可能な項目と同じ項目の「編集日時」、「更新カウンタ」、「承認属性」、「実行属性」、「保護属性」、「編集者」、「属性変更日時」、「生成日時」、「トータル時間（レシピのみ）」、「バージョン」、及び「コメント」である。
【００２０】
図４のファイル一覧検索設定画面で編集者“ａｂｃ”、“ｄｅｆ”のうち、編集者“ｄｅｆ”を検索するために編集者をチェックして“ｄｅｆ”を入力し、「検索」ボタンをタッチすると、『ステップＳ６』において、あらかじめデータベースに登録されているファイル一覧項目の中の検索項目として、例えば、図５に示すような検索開始前のファイル一覧画面が表示される。すなわち、全ての「編集者」として“ａｂｃ”、“ｄｅｆ”が表示されて検索が開始される。そして、『ステップＳ７』において、検索終了時の内容として図６に示すようなファイル一覧画面が表示される。すなわち、図４のファイル一覧検索設定画面で編集者“ｄｅｆ”のみを絞り込んで検索するように入力したので、図６の検索終了時のファイル一覧画面では編集者“ｄｅｆ”が編集を行ったファイルのみが表示される。
【００２１】
以上説明したように、従来の半導体製造装置におけるコントローラは、プロセスレシピや各種制御テーブルをファイルに編集してファイル保存部へ保存した後は、ファイル一覧画面に表示している項目（例えば、ファイル名称、編集日時など）でファイルの検索を行うことができないため、ファイルを一度開いて項目を確認してから編集を行う必要がある。その結果、編集者がファイル生成日時、編集者、コメントなどをキーとして編集する際には操作に手間がかかり、編集作業にかなりの時間を要していた。例えば、５００ファイル分のプロセスレシピファイルをＨＤＤなどのファイル保存部に保存することができるが、ファイル一覧画面の１ページ当には１２ファイルしか表示できないため、編集したいファイルが見つかるまでスクロールバーを用いてスクロールを継続する必要があるので、目視で検索するのには相当の時間が必要である。
【００２２】
しかし、本発明の半導体製造装置によれば、コントローラにファイル項目の選択表示と検索機能を付加したことにより、ファイル一覧画面に表示した全ての項目について検索することができ、しかも、ファイル一覧画面の表示内容を検索結果の内容に変更することができる。例えば、図３のファイル一覧表示項目選択画面で項目の選択を行ってファイル一覧画面に表示させれば、直ちに、図４のファイル一覧検索設定画面に切り替わって図６に示すように所望のファイルの検索を行うことができる。これによって、検索項目をスクロールすることもなく、ワンタッチで所望のファイルの編集を行うことができる。このような検索機能によって、オペレータによるファイル編集の作業量が軽減されると共に、データの設定ミスによる事故発生を抑制することができるので、半導体デバイスの生産性向上に大いに貢献することができる。
【００２３】
以上述べた実施の形態は本発明を説明するための一例であり、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲で種々の変形が可能である。上記の実施の形態では検索項目が編集者である場合について説明したが、ＳＥＭＩ規格で規定されているファイルであれば何れの項目でも上記の実施の形態と同様に検索を行うことができるのは云うまでもない。また、上記の実施の形態では、半導体製造装置におけるコントローラの制御に用いられるプロセスレシピと制御テーブルファイルの検索項目について説明したが、半導体製造装置に限らず、あらゆる分野におけるファイル項目の選択と検索に応用することができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明によれば、プロセスレシピや制御テーブルをファイルに編集して保存したデータベースから所望の項目に基づいて所望のファイルの自動検索を行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体製造装置に搭載されたコントローラの構成図である。
【図２】図１のデータ表示モジュール２ｂが表示するプロセスレシピ、制御テーブルファイルの一覧画面である。
【図３】図２のファイル一覧画面で表示項目のボタンをタッチしたときに切り替わるファイル一覧表示項目選択画面である。
【図４】図３のファイル一覧表示項目選択画面で選択した項目のファイル一覧検索設定画面である。
【図５】図４のファイル一覧検索設定画面で検索項目を指定して検索ボタンをタッチしたときの検索前のファイル一覧画面である。
【図６】図５の検索前のファイル一覧画面に続く検索終了時のファイル一覧画面である。
【図７】画面が図２から図６へ推移してファイル検索処理を行うときのフローチャートである。
【図８】従来の半導体製造装置に搭載されたコントローラの構成図である。
【符号の説明】
１，１１  コントローラ、２，１２  操作部、２ａ，１２ａ  データ入力モジュール、２ｂ，１２ｂ  データ表示モジュール、２ｃ，１２ｃ  データ設定モジュール、２ｄ  データベース、２ｅ  ファイル検索モジュール（ファイル検索手段）、２ｆ，３ｆ，１４  メモリ、２ｇ，３ｇ，１４ａ  各種設定パラメータエリア、２ｈ，３ｈ，１４ｂ  共用設定パラメータ格納エリア、２ｉ，３ｉ，１４ｃ  レシピデータ格納エリア、２ｊ，３ｊ  データ送受信モジュール、３，１３制御部、３ａ，１３ａ  制御パラメータ展開モジュール、３ｂ，１３ｂ  共用設定パラメータ展開モジュール、３ｃ，１３ｃ  レシピシーケンス制御モジュール、４  １０ＢａｓｅＴ、５  ウェーハ移載機、６  ヒータ（反応炉）、７  ポンプ・圧力バルブ、８  ガス配管・ＭＦＣ、１２ｄ  ファイル保存部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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