(57)【要約】【課題】重量の増加を最小限に抑えつつ必要な曲げ剛性を得ることができ、さらに、製造工程が複雑化することなくかつ製造コストを大幅に上昇させることなく、高い曲げ剛性を得ることができるサスペンション、このサスペンションを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたＨＤＤを提供する。【解決手段】ヘッドスライダを支持するための支持部材が、剛性を必要とする領域において、Ｍ／Ｄ≧０．０５ｍ４／ｍｍ（ただし、Ｄ（ｍｍ）はヘッドスライダが支持部材に支持された場合にヘッドスライダの中心となる位置からの距離、Ｍ（ｍ４）は距離Ｄの位置における断面２次モーメント）となるような軸断面形状を有している。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドスライダを支持するための支持部材が、剛性を必要とする領域において、Ｍ／Ｄ≧０．０５ｍ４／ｍｍ（ただし、Ｄ（ｍｍ）は前記ヘッドスライダが前記支持部材に支持された場合に該ヘッドスライダの中心となる位置からの距離、Ｍ（ｍ４）は距離Ｄの位置における断面２次モーメント）となるような軸断面形状を有していることを特徴とするサスペンション。
【請求項２】
前記支持部材による前記軸断面形状が、矩形枠の軸断面形状であることを特徴とする請求項１に記載のサスペンション。
【請求項３】
剛性を必要とする領域において、前記支持部材が、コ字状断面を有する部材と平面部材とを固着してなる箱形形状を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のサスペンション。
【請求項４】
前記コ字状断面を有する部材の厚さが、前記平面部材の厚さの２倍以上であることを特徴とする請求項３に記載のサスペンション。
【請求項５】
前記平面部材が前記ヘッドスライダの姿勢を保持するためのフレクシャ部材であり、前記コ字状断面を有する部材が該フレクシャ部材に固着されており前記ヘッドスライダに点荷重を印加するための荷重点を有するロードビーム部材であることを特徴とする請求項３又は４に記載のサスペンション。
【請求項６】
剛性を必要とする領域において、前記ロードビーム部材が少なくとも１つの面を開口した箱型形状であり、前記フレクシャ部材が平面形状であり、該フレクシャ部材が前記ロードビーム部材の前記開口した少なくとも１つの面を塞ぐように該ロードビーム部材に固着されていることを特徴とする請求項５に記載のサスペンション。
【請求項７】
前記平面部材が前記ヘッドスライダの姿勢を保持すると共に該ヘッドスライダに点荷重を印加するための荷重点を有するフレクシャ・ロードビーム部材であり、前記コ字状断面を有する部材が該フレクシャ・ロードビーム部材に固着された補強部材であることを特徴とする請求項３又は４に記載のサスペンション。
【請求項８】
剛性を必要とする領域において、前記補強部材が少なくとも１つの面を開口した箱型形状であり、前記フレクシャ・ロードビーム部材が平面形状であり、該フレクシャ・ロードビーム部材が前記補強部材の前記開口した少なくとも１つの面を塞ぐように該補強部材に固着されていることを特徴とする請求項７に記載のサスペンション。
【請求項９】
前記支持部材の、前記ヘッドスライダの支持される面とは反対側の面が突出していることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のサスペンション。
【請求項１０】
前記支持部材は、前記距離Ｄが小さくなるに従って前記断面２次モーメントＭが減少するような軸断面形状に構成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のサスペンション。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか１項に記載のサスペンションと、該サスペンション上に搭載されており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１２】
請求項１１に記載のヘッドジンバルアセンブリを少なくとも１つ備えたことを特徴とするディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド素子又は光ヘッド素子等を搭載する浮上型ヘッドスライダを支持するためのサスペンション、このサスペンションを用いたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）及びＨＧＡを備えたディスクドライブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスクドライブ装置（ＨＤＤ）では、ＨＧＡのサスペンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生を行う。
【０００３】
このようなＨＤＤに用いられている従来のサスペンションでは、ステンレススチール薄板によってロードビーム部材を構成し、このロードビーム部材の高い剛性を要求される部分については、その両側端に折り曲げ部（リブ）を形成することによって曲げ剛性を高めることが行われていた（例えば特許文献１）。
【０００４】
固定位置で使用するデスクトップ型コンピュータやサーバー型コンピュータに搭載されるＨＤＤにおいては、振動や衝撃による負荷がさほど大きくないので、このような構造であっても問題は生じなかった。しかしながら、持ち運びできる移動型コンピュータに主として搭載される２．５インチ以下のＨＤＤにおいては、ロードビーム部材の曲げ剛性が不足であり、耐衝撃性が不十分となってしまう。
【０００５】
このようなサスペンションの剛性不足を解消する対策として、ロードビーム部材に補強部材や補強板を結合又は接合する方法が提案されている（例えば特許文献２、特許文献３）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−５７０３２号公報
【特許文献２】
特開平７−９８９４９号公報
【特許文献３】
特開２００１−１４３４２２号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２及び３のように、ロードビーム部材に単に補強部材や補強板を付加する方法によると、曲げ剛性の多少の改善はみられるが重量の増加が大きく、耐衝撃性に大きく影響する面外方向の振動に対して耐性が得られない。即ち、重量の増加を最小限に抑えつつ必要な曲げ剛性を得ることが非常に難しい。しかも、部品点数が補強部材や補強板の分だけ増えるため製造工程が複雑となりまた製造コストも上昇する。
【０００８】
従って本発明の目的は、重量の増加を最小限に抑えつつ必要な曲げ剛性を得ることができるサスペンション、このサスペンションを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたＨＤＤを提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、製造工程が複雑化することなくかつ製造コストを大幅に上昇させることなく、高い曲げ剛性を得ることができるサスペンション、このサスペンションを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたＨＤＤを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、ヘッドスライダを支持するための支持部材が、剛性を必要とする領域において、Ｍ／Ｄ≧０．０５ｍ４／ｍｍ（ただし、Ｄ（ｍｍ）はヘッドスライダが支持部材に支持された場合にヘッドスライダの中心となる位置からの距離、Ｍ（ｍ４）は距離Ｄの位置における断面２次モーメント）となるような軸断面形状を有しているサスペンションが提供される。
【００１１】
さらに本発明によれば、このサスペンションと、サスペンション上に搭載されており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたＨＧＡ、及び少なくとも１つのＨＧＡを備えたＨＤＤが提供される。
【００１２】
Ｍ／Ｄ≧０．０５ｍ４／ｍｍの軸断面形状を有していれば、１次の曲げモード周波数が簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上となることがシミュレーション結果から得られている。簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上の１次の曲げモード周波数が得られれば、実際の複雑な形状の支持部材においても所望の１次の曲げモード周波数が得られることが経験上分かっているため、この条件により、重量の増加を最小限に抑えつつ必要な曲げ剛性を得ることができる。その結果、衝撃が付加されるような外乱振動に対して大きな耐性を有するサスペンションを提供することができる。
【００１３】
なお、断面２次モーメントとは、ある断面を無数の微小面積ｄＡに分割し、１つの軸Ｘからの距離をＹとするとき、微小断面積と距離の２乗との積を断面全部について加え合わせたもの、即ち、Σ（Ｙ２・ｄＡ）であり、その部品の材質に関係なく軸断面形状のみによって特定される数値である。一般に、断面２次モーメントが大きいほど、曲げに対する強さが大きくなり、たわみも少なくなる。
【００１４】
支持部材による軸断面形状が、矩形枠の軸断面形状であることが好ましい。
【００１５】
剛性を必要とする領域において、支持部材が、コ字状断面を有する部材と平面部材とを固着してなる箱形形状を有していることも好ましい。この場合、コ字状断面を有する部材の厚さが、平面部材の厚さの２倍以上であることがより好ましい。
【００１６】
平面部材がヘッドスライダの姿勢を保持するためのフレクシャ部材であり、コ字状断面を有する部材がフレクシャ部材に固着されておりヘッドスライダに点荷重を印加するための荷重点を有するロードビーム部材であることも好ましい。ロードビーム部材自体がコ字状断面を有するように構成することによって、製造工程が複雑化することなくかつ製造コストを大幅に上昇させることなく、高い曲げ剛性を得ることが可能となる。
【００１７】
剛性を必要とする領域において、ロードビーム部材が少なくとも１つの面を開口した箱型形状であり、フレクシャ部材が平面形状であり、フレクシャ部材がロードビーム部材の開口した少なくとも１つの面を塞ぐようにロードビーム部材に固着されていることが好ましい。
【００１８】
平面部材がヘッドスライダの姿勢を保持すると共にヘッドスライダに点荷重を印加するための荷重点を有するフレクシャ・ロードビーム部材であり、コ字状断面を有する部材がフレクシャ・ロードビーム部材に固着された補強部材であることも好ましい。
【００１９】
剛性を必要とする領域において、補強部材が少なくとも１つの面を開口した箱型形状であり、フレクシャ・ロードビーム部材が平面形状であり、フレクシャ・ロードビーム部材が補強部材の開口した少なくとも１つの面を塞ぐように補強部材に固着されていることも好ましい。
【００２０】
支持部材の、ヘッドスライダの支持される面とは反対側の面が突出していることが好ましい。
【００２１】
支持部材は、距離Ｄが小さくなるに従って断面２次モーメントＭが減少するような軸断面形状に構成されていることも好ましい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態として、ＨＤＤの要部の構成を概略的に示す斜視図であり、図２は本実施形態におけるＨＧＡ全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た分解斜視図であり、図３はＨＧＡ全体を図２とは反対側から見た斜視図である。
【００２３】
図１において、１０は軸１１の回りを回転する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダ１３をトラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置１２は、軸１４を中心にして角揺動可能なキャリッジ１５と、このキャリッジ１５を角揺動駆動する例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を備えたアクチュエータ１６とから主として構成されている。
【００２４】
キャリッジ１５には、軸１４に沿った方向にスタックされた複数の駆動アーム１７の基部が取り付けられており、各駆動アーム１７の先端部にはＨＧＡ１８が固着されている。各ＨＧＡ１８は、その先端部に設けられている磁気ヘッドスライダ１３が、各磁気ディスク１０の表面に対して対向するように駆動アーム１７の先端部に設けられている。
【００２５】
図２及び図３に示すように、ＨＧＡは、サスペンション２０の先端部に、磁気ヘッド素子２１ａを有する磁気ヘッドスライダ２１（１３）を固着して構成される。
【００２６】
サスペンション２０は、基本的には３ピース構造を有しており、弾性を有するフレクシャ・ロードビーム部材２２と、このフレクシャ・ロードビーム部材２２に固着されたコ字状断面を有する補強部材２３と、フレクシャ・ロードビーム部材２２の基部に固着されたベースプレート部材２４とから主として構成されている。
【００２７】
フレクシャ・ロードビーム部材２２は、本実施形態では、例えば２５μｍ程度の厚さのステンレススチール等による薄板を所定の平板形状にパターニングして形成されている。このフレクシャ・ロードビーム部材２２には、ベースプレート部材２４の近傍に、磁気ヘッドスライダ２１を磁気ディスク方向に押えつける力を与えるための荷重発生曲げ部２５が形成されており、その反対側の端部に磁気ヘッドスライダ２１を柔軟に支えるような弾性が与えられかつ磁気ヘッドスライダ２１に点荷重を印加する荷重点を有する舌部２６が形成されている。
【００２８】
補強部材２３は、少なくとも１つの面（本実施形態では２つの面）が開口した箱型形状を有しており、本実施形態では、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による薄板を中央部が凸形状となるように折り曲げ加工して形成されている。この補強部材２３は、フレクシャ・ロードビーム部材２２の剛性を必要とする領域において、平面形状のフレクシャ・ロードビーム部材２２が補強部材２３の開口した１つの面を塞ぐようにこのフレクシャ・ロードビーム部材２２に固着されている。このフレクシャ・ロードビーム部材２２と補強部材２３とを固着した支持部材の軸断面形状が、矩形枠の軸断面形状を有している。補強部材２３は、フレクシャ・ロードビーム部材２２の磁気ヘッドスライダ２１を支持している面とは反対側の面（磁気ディスクに対向する面とは反対側の面）に固着されている。
【００２９】
フレクシャ・ロードビーム部材２２と補強部材２３との固着は複数個所のスポット溶接又は接着によってなされ、フレクシャ・ロードビーム部材２２とベースプレート部材２４との固着は、複数個所のスポット溶接によってなされている。
【００３０】
ベースプレート部材２４は、本実施形態では、約１５０μｍ厚のステンレススチール薄板で構成されている。このベースプレート部材２４が駆動アーム１７（図１）に取り付けられる。
【００３１】
なお、ＨＧＡとしては、磁気ヘッド素子に接続される、積層薄膜パターンによる複数のリード導体を含む可撓性の配線部材がフレクシャ・ロードビーム部材２２上に形成又は載置されているが、図２及び図３では省略されている。配線部材は、例えば、フレクシブルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成されている。
【００３２】
本実施形態のように箱型形状の補強部材を設けた構造のサスペンションの曲げモード剛性を、従来構造のサスペンションの場合と比較するべくシミュレーション解析を行なった。図４はこの解析に使用した各構造を示す斜視図である。
【００３３】
同図（Ａ）は第１の従来構造のサスペンションであり、本実施形態の場合と同様のフレクシャ・ロードビーム部材４２ａ及びベースプレート部材４４ａからなる２ピース構造に平板状の補強部材４３ａが固着された構造を有している。同図（Ｂ）は第２の従来構造のサスペンションであり、フレクシャ部材４７ｂとリブ曲げされたロードビーム部材４２ｂとベースプレート部材４４ｂとからなる一般的な３ピース構造を有している。同図（Ｃ）は第３の従来構造のサスペンション（特許文献３に記載のもの）であり、本実施形態の場合と同様のフレクシャ・ロードビーム部材４２ｃ及びベースプレート部材４４ｃからなる２ピース構造に側縁端が曲げ加工（リブ曲げ）された平板形状の補強部材４３ｃが固着された構造を有している。同図（Ｄ）は本実施形態の構造のサスペンションである。
【００３４】
解析条件としては、各サスペンションの外形形状をほぼ同一にし、各部材の板厚もほぼ同一として、サスペンション全体の重量を一致（約７０ｍｇ）させることにより、重量の相違による特性差を排除した。
【００３５】
その結果が表１に示されている。
【００３６】
【表１】
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【００３７】
２ピース構造のサスペンションに平板形状の補強部材を固着した第１の従来構造は、１次の曲げモード周波数がかなり低く、曲げモード剛性が明らかに不足している。同様の２ピース構造のサスペンションにリブ曲げした補強部材を固着した第３の従来構造では、曲げモード剛性が若干改善されている。一般的な３ピース構造のサスペンションである第２の従来構造は、さらに高い曲げモード剛性が得られているが不充分である。これに対して、本実施形態のように、２ピース構造のサスペンションに箱型形状の補強部材を固着した場合は、１次の曲げモード周波数がかなり高くなり、充分な曲げモード剛性が得られている。
【００３８】
このような充分な曲げモード剛性を得るためには、一般に、どのような軸断面形状とすべきかについて、さらにシミュレーション解析を行なった。
【００３９】
図５に示すように、磁気ヘッドスライダの中心となる位置を原点としその原点からサスペンションの軸に沿った距離Ｄをパラメータとして、断面２次モーメントＭ及び１次の曲げモード周波数を求めた。図６は、横軸が１次の曲げモード周波数（Ｈｚ）、縦軸が距離Ｄ（ｍｍ）と断面２次モーメントＭ（ｍ４）との比Ｍ／Ｄ（ｍ４／ｍｍ）をそれぞれ表している。
【００４０】
このシミュレーション解析によれば、図６から明らかのように、サスペンションに磁気ヘッドスライダを取り付けた場合にその磁気ヘッドスライダの中心となる位置からの距離Ｄと、その距離Ｄの位置における断面２次モーメントＭとの比Ｍ／Ｄが０．０５ｍ４／ｍｍ以上となる軸断面形状を有していれば、１次の曲げモード周波数が簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上となることが分かった。
【００４１】
簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上の１次の曲げモード周波数が得られれば、実際の複雑な形状の支持部材においても所望の１次の曲げモード周波数が得られることが経験上分かっているため、この条件により、重量の増加を最小限に抑えつつ必要な曲げ剛性を得ることができる。その結果、衝撃が付加されるような外乱振動に対して大きな耐性を有するサスペンションを得ることができる。
なお、距離Ｄが小さくなるに従って断面２次モーメントＭが減少するような軸断面形状に構成することがより望ましい。
【００４２】
断面２次モーメントとは、ある断面を無数の微小面積ｄＡに分割し、１つの軸Ｘからの距離をＹとするとき、微小断面積と距離の２乗との積を断面全部について加え合わせたもの、即ち、Σ（Ｙ２・ｄＡ）であり、その部品の材質に関係なく軸断面形状のみによって特定される数値である。一般に、断面２次モーメントが大きいほど、曲げに対する強さが大きくなり、たわみも少なくなる。
【００４３】
Ｍ／Ｄ≧０．０５ｍ４／ｍｍの軸断面形状の最も一般的な例が、本実施形態のサスペンションであるが、その他にもＭ／Ｄ≧０．０５ｍ４／ｍｍを満足するの軸断面形状が存在し得る。
【００４４】
図７は本発明の他の実施形態におけるサスペンションの一部を磁気ヘッドスライダ取付け側とは反対側から見た斜視図であり、図８は図７の分解斜視図である。
【００４５】
本実施形態におけるサスペンション７０は、３ピース構造を有しており、弾性を有するフレクシャ部材７３と、このフレクシャ部材７３に固着されたコ字状断面を有するロードビーム部材７２と、ロードビーム部材７２の基部に固着された図示されていないベースプレート部材とから主として構成されている。
【００４６】
フレクシャ部材７３は、本実施形態では、例えば２５μｍ程度の厚さのステンレススチール等による薄板を所定の平板形状にパターニングして形成されている。このフレクシャ部材７３には、その先端部に、磁気ヘッドスライダを柔軟に支えるような弾性が与えられた舌部７６が形成されており、この舌部７６の図にて裏側に磁気ヘッドスライダが固着される。この舌部７６には、ロードビーム部材７２に設けられたディンプル７７から点荷重が印加され、これが磁気ヘッドスライダに印加される。
【００４７】
ロードビーム部材７２は、少なくとも１つの面（本実施形態では２つの面）が開口した箱型形状を有しており、本実施形態では、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による薄板を中央部が凸形状となるように折り曲げ加工して形成されている。このロードビーム部材７２は、その剛性を必要とする領域において、平面形状のフレクシャ部材７３がロードビーム部材７２の開口した１つの面を塞ぐようにこのフレクシャ部材７３に固着されている。このフレクシャ部材７３とロードビーム部材７２とを固着した支持部材の軸断面形状が、矩形枠の軸断面形状を有している。なお、ロードビーム部材７２は、フレクシャ部材７３の磁気ヘッドスライダを支持している面とは反対側の面（磁気ディスクに対向する面とは反対側の面）に固着されている。
【００４８】
なお、ロードビーム部材７２のベースプレート部材の近傍には、磁気ヘッドスライダを磁気ディスク方向に押えつける力を与えるための荷重発生曲げ部（図では示されていない）が形成されている。
【００４９】
フレクシャ部材７３とロードビーム部材７２との固着は複数個所のスポット溶接又は接着によってなされ、ロードビーム部材７２とベースプレート部材との固着は複数個所のスポット溶接によってなされている。
【００５０】
ベースプレート部材は、本実施形態では、約１５０μｍ厚のステンレススチール薄板で構成されている。
【００５１】
なお、ＨＧＡとしては、磁気ヘッド素子に接続される、積層薄膜パターンによる複数のリード導体を含む可撓性の配線部材がフレクシャ部材７３上に形成又は載置されているが、図７及び図８では省略されている。
【００５２】
このように本実施形態では、３ピース構造のサスペンションのロードビーム部材を箱型形状としてフレクシャ部材に固着しているため、１次の曲げモード周波数がかなり高くなり、充分な曲げモード剛性が得られる。しかも、ロードビーム部材自体を折り曲げ加工しているため、部材の追加が不要であることから、製造工程が複雑となることがなく、製造コスト上昇を防止することができる。
【００５３】
本実施形態においても、サスペンションに磁気ヘッドスライダを取り付けた場合にその磁気ヘッドスライダの中心となる位置からの距離Ｄと、その距離Ｄの位置における断面２次モーメントＭとの比Ｍ／Ｄが、０．０５ｍ４／ｍｍ以上となる軸断面形状を有していれば、１次の曲げモード周波数が簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上となる。簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上の１次の曲げモード周波数が得られれば、実際の複雑な形状の支持部材においても所望の１次の曲げモード周波数が得られることが経験上分かっているため、この条件により、重量の増加を最小限に抑えつつ必要な曲げ剛性を得ることができる。その結果、衝撃が付加されるような外乱振動に対して大きな耐性を有するサスペンションを得ることができる。なお、距離Ｄが小さくなるに従って断面２次モーメントＭが減少するような軸断面形状に構成することがより望ましい。
【００５４】
図９は本発明のさらに他の実施形態におけるサスペンションのロードビーム部材の一部を磁気ヘッドスライダ取付け側とは反対側から見た斜視図である。
【００５５】
本実施形態では、図７の実施形態の構成に対して、ロードビーム部材７２の先端部の振動を抑えるために補助支持アーム７２ａ及び７２ｂが付加されている。本実施形態におけるその他の構成及び作用効果は図７の実施形態の場合とほぼ同様である。
【００５６】
図１０は本発明のまたさらに他の実施形態におけるサスペンション全体を磁気ヘッドスライダ取付け側とは反対側から見た斜視図であり、図１１はサスペンション全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た斜視図であり、図１２はサスペンション全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た平面図である。
【００５７】
本実施形態は、耐衝撃性を向上させるために、磁気ヘッドスライダの支持機構のほぼ中心に相当する位置に支持点を有し、磁気ヘッドスライダを固着する一方の端部とこの支持機構を水平方向に回動させるアクチュエータであるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）が設けられる他端部側との質量バランスを均等に保つように構成された耐衝撃構造の支持機構に関する。このため、本実施形態におけるサスペンション１００は、ロードビーム部材１０２が荷重発生部を有しておらず全体が高い剛性を有するように構成されている。
【００５８】
図１０〜図１２に示すように、サスペンション１００は、弾性を有するフレクシャ部材１０３と、このフレクシャ部材１０３に固着されたコ字状断面を有し、かつ剛性を有するロードビーム部材１０２と、ロードビーム部材１０２の基部に部分１０５ａが固着されており、磁気ヘッドスライダに印加される荷重を発生するヒンジ部材１０５と、このヒンジ部材１０５の部分１０５ｂに固着されたベースプレート部材１０４と、ヒンジ部材１０５の水平回動軸１０９に略同心円となる部分１０５ａを補強する補強部材１０８とから主として構成されている。
【００５９】
フレクシャ部材１０３は、本実施形態では、例えば２５μｍ程度の厚さのステンレススチール等による薄板を所定の平板形状にパターニングして形成されている。このフレクシャ部材１０３には、その先端部に、磁気ヘッドスライダを柔軟に支えるような弾性が与えられた舌部１０６が形成されており、この舌部１０６の図１１にて表側に磁気ヘッドスライダが固着される。この舌部１０６には、ロードビーム部材１０２に設けられたディンプル（図示なし）から点荷重が印加され、これが磁気ヘッドスライダに印加される。
【００６０】
ロードビーム部材１０２は、少なくとも１つの面（本実施形態では２つの面）が開口した箱型形状を有しており、本実施形態では、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による薄板を中央部が凸形状となるように折り曲げ加工して形成されている。ロードビーム部材１０２は、平面形状のフレクシャ部材１０３がこのロードビーム部材１０２の開口した１つの面を塞ぐようにフレクシャ部材１０３と固着されており、さらに、ヒンジ部材１０５の部分１０５ａと固着されている。このフレクシャ部材１０３とロードビーム部材１０２とを固着した支持部材の軸断面形状が、矩形枠の軸断面形状を有している。なお、ロードビーム部材１０２は、フレクシャ部材１０３の磁気ヘッドスライダを支持している面とは反対側の面（磁気ディスクに対向する面とは反対側の面）に固着されている。
【００６１】
ヒンジ部材１０５は、水平回動軸１０９に略同心円となる部分１０５ａと、磁気ヘッドスライダを磁気ディスク方向に押えつける力を与えるための荷重を発生する部分１０５ｂとからなっており、本実施形態では、例えば２５μｍ程度の厚さのステンレススチール等による薄板を所定の形状にパターニングして形成されている。
【００６２】
補強部材１０８は、水平回動軸１０９の部分を補強するためのものであり、ウェイトをも兼用している。
【００６３】
ベースプレート部材１０４は、ヒンジ部材１０５の荷重発生部分１０５ｂの先端部に取り付けられており、本実施形態では、約１５０μｍ厚のステンレススチール薄板で構成されている。
【００６４】
フレクシャ部材１０３とロードビーム部材１０２との固着、ロードビーム部材１０２とヒンジ部材１０５の部分１０５ａとの固着、及びヒンジ部材１０５の部分１０５ｂとベースプレート部材１０４との固着は、複数個所のスポット溶接又は接着によってなされている。
【００６５】
なお、ＨＧＡとしては、磁気ヘッド素子に接続される、積層薄膜パターンによる複数のリード導体を含む可撓性の配線部材がフレクシャ部材１０３上に形成又は載置されているが、図１０〜図１２では省略されている。
【００６６】
水平回動軸１０９の後ろ側には、この支持機構を水平方向に回動させるアクチュエータであるＶＣＭが実際には取り付けられているが、図１０〜図１２では図示が省略されている。
【００６７】
このように本実施形態では、耐衝撃構造の支持機構におけるロードビーム部材を箱型形状としてフレクシャ部材に固着しているため、１次の曲げモード周波数がかなり高くなり、充分な曲げモード剛性が得られる。しかも、ロードビーム部材自体を折り曲げ加工しているため、部材の追加が不要であることから、製造工程が複雑となることがなく、製造コスト上昇を防止することができる。
【００６８】
本実施形態においても、サスペンションに磁気ヘッドスライダを取り付けた場合にその磁気ヘッドスライダの中心となる位置からの距離Ｄと、その距離Ｄの位置における断面２次モーメントＭとの比Ｍ／Ｄが、０．０５ｍ４／ｍｍ以上となる軸断面形状を有していれば、１次の曲げモード周波数が簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上となる。簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上の１次の曲げモード周波数が得られれば、実際の複雑な形状の支持部材においても所望の１次の曲げモード周波数が得られることが経験上分かっているため、この条件により、重量の増加を最小限に抑えつつ必要な曲げ剛性を得ることができる。その結果、衝撃が付加されるような外乱振動に対して大きな耐性を有するサスペンションを得ることができる。なお、距離Ｄが小さくなるに従って断面２次モーメントＭが減少するような軸断面形状に構成することがより望ましい。
【００６９】
本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの形状や構造は、以上述べた構造に限定されるものではないことは明らかである。
【００７０】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００７１】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明では、Ｍ／Ｄ≧０．０５ｍ４／ｍｍの軸断面形状を有していれば、１次の曲げモード周波数が簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上となることがシミュレーション結果から得られている。簡易形状の解析モデルで３０００Ｈｚ以上の１次の曲げモード周波数が得られれば、実際の複雑な形状の支持部材においても所望の１次の曲げモード周波数が得られることが経験上分かっているため、この条件により、重量の増加を最小限に抑えつつ必要な曲げ剛性を得ることができる。その結果、衝撃が付加されるような外乱振動に対して大きな耐性を有するサスペンションを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として、磁気ディスクドライブ装置の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡ全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た分解斜視図である。
【図３】ＨＧＡ全体を図２とは反対側から見た斜視図である。
【図４】シミュレーション解析に使用した各構造を示す斜視図である。
【図５】図６のパラメータである距離Ｄを説明する斜視図である。
【図６】１次の曲げモード周波数（Ｈｚ）に対する距離Ｄ（ｍｍ）と断面２次モーメントＭ（ｍ４）との比Ｍ／Ｄ（ｍ４／ｍｍ）を表す特性図である。
【図７】本発明の他の実施形態におけるサスペンションの一部を磁気ヘッドスライダ取付け側とは反対側から見た斜視図である。
【図８】図７の分解斜視図である。
【図９】本発明のさらに他の実施形態におけるサスペンションのロードビーム部材の一部を磁気ヘッドスライダ取付け側とは反対側から見た斜視図である。
【図１０】本発明のまたさらに他の実施形態におけるサスペンション全体を磁気ヘッドスライダ取付け側とは反対側から見た斜視図である。
【図１１】図１０の実施形態において、サスペンション全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た斜視図である。図１２はサスペンション全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た平面図である。
【図１２】図１０の実施形態において、サスペンション全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た平面図である。
【符号の説明】
１０  磁気ディスク
１１、１４  軸
１２  アセンブリキャリッジ装置
１３、２１  磁気ヘッドスライダ
１５  キャリッジ
１６  アクチュエータ
１７  駆動アーム
１８  ＨＧＡ
２０、７０、１００  サスペンション
２１ａ  磁気ヘッド素子
２２  フレクシャ・ロードビーム部材
２３、１０８  補強部材
２４、１０４  ベースプレート部材
２５  荷重発生曲げ部
２６、７６、１０６  舌部
７２、１０２  ロードビーム部材
７２ａ、７２ｂ  補助支持アーム
７３、１０３  フレクシャ部材
７７  ディンプル
１０５  ヒンジ部材
１０５ａ、１０５ｂ  部分
１０９  水平回動軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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