(57)【要約】【課題】スパッタリングターゲットのような大面積の被加工物に低融点ロウ材低融点ロウ材（インジウム等）を均一に塗布できるロウ材塗布方法を得る事。【解決手段】平面状の塗布対象物の塗布面上に所定厚さの塗膜を均一に形成する塗布方法において、低融点ロウ材をシリンジ部で溶融させ、溶融したロウ材料に超音波振動を印加させる工程と、ノズル先端開口部を塗布面上に対し相対的に近接させ、上記ノズルを前記塗布面からの所定間隔を維持しつつ所定速度で相対移動し低融点ロウ材料を塗布する工程を備えた。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状の塗布対象物の塗布面上に所定厚さの塗膜を均一に形成する塗布方法において、低融点ロウ材をシリンジ部で溶融させ、溶融したロウ材料に超音波振動を印加させる工程と、ノズル先端開口部を塗布面上に対し相対的に近接させ、上記ノズルを前記塗布面からの所定間隔を維持しつつ所定速度で相対移動し低融点ロウ材料を塗布する工程を備えた事を特徴とする低融点ロウ材料の定量塗布方法。
【請求項２】
平面状の塗布対象物の塗布面上に所定厚さの塗膜を均一に形成する塗布方法において、低融点ロウ材をシリンジ部で溶融させ、ノズル先端開口部を塗布面上に対し相対的に近接させ、上記ノズルを前記塗布面からの所定間隔を維持しつつ所定速度で相対移動し低融点ロウ材料を塗布する工程と、塗布最中に上記ノズル先端開口部に表面張力によって盛り上がり溶融している低融点ロウ材料に超音波を振動板を介して印加させる工程と備えた事を特徴とする低融点ロウ材料の定量塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はスパッタリングターゲットのような大面積の被加工物に均一に低融点ロウ材（インジウム等）を塗布するロウ材塗布方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、スパッタリングターゲットは銅等の熱伝導性の良い材料で製作されたバッキングプレートにロウ材等により接合されており、このバッキングプレートを水冷等の手段により冷却し、間接的にスパッタリングターゲットを冷却する構造となっている。また、スパッタリングターゲットは多くの場合再利用されるので、このスパッタリングターゲットとバッキングプレートはスパッタリングターゲットの交換ができるように低融点のロウ材等で接合されている。ターゲット等の被加工物が比較的小面積の場合は超音波ウエルダーを使用して手作業で塗布作業を行っている為、被加工物上のロウ材との接触が不安定で、ロウ材塗布にむらが生じる。大面積の場合、超音波ウエルダーを固定し被加工物を移動する方法を採っているが、実際は上記と同様の問題が発生している。スパッタリングターゲットような機能性材料の場合、フラックスによる汚染は許されず溶融槽にロウ材を満たして塗布する手法を適用する事ができない為、フラックスに替えて超音波ウエルダーを使用する必要があるが、溶融槽を使用する週報では装置そのものもの大型化しインジウム等の高価なロウ材では問題がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、スパッタリングターゲットのような大面積の被加工物に低融点ロウ材低融点ロウ材（インジウム等）を均一に塗布できるロウ材塗布方法を得る事を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上述した問題を解決し、目的を達成する為に平面状の塗布対象物の塗布面上に所定の厚さの低融点ロウ材を均一に形成させるために前記シリンジ部で溶融された低融点ロウ材を一定の厚さの塗布流体として吐出するノズルと前記塗布面からの一定間隔を維持しつつ所定速度で相対移動する工程と、溶融した低融点金属に超音波振動を印加する工程を特徴とする塗布方法。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にロウ材塗布方法の一実施形態について、添付の図１を参照にして説明する。スパッタリングターゲット等の塗布対象物９を移送する基板搬送装置１０が備えられ、シリンジ５には充填された低融点ロウ材（インジウム等）を溶融するシリンジ及びノズルのヒータ８と低融点ロウ材の吐出圧を配管４を介して制御する吐出制御装置３と溶融したロウ材に超音波を印加する振動子２と振動板１１と超音波を発振する超音波発振装置１が備わり、低融点ロウ材の最適融点温度を保つための機構はヒータ８及びシリンジ５の温度を検出し制御するための温度制御装置７からなる。
【０００６】
図３を参照にして説明する。ノズル６先端は表面処理として低融点ロウ材の濡れ性向上のため銀メッキ１３等がされ、形状は図２で示すように円状、スリット状、あるいは先端が複数に分岐した物等に成型されたものを使用し、そのサイズ、形状は塗布対象物９の塗布の所定範囲に合わせて選択する。
【０００７】
（実施例１）
以上の説明の形態における塗布開始時の動作概略について説明する。まず塗布対象物９が基板搬送装置１０により所定の位置に送られ、続いてノズル６は先端と塗布対象物９との位置決めされた距離に待機して塗布動作の準備を完了する。このときシリンジ５は低融点ロウ材を溶融されてほぼ満タン状態にしておき、ノズル先端の開口面からやや高めの位置に溶融された低融点ロウ材の液体の下端が位置する状態で貯留しておく。また、塗布される低融点ロウ材の液体には常に一定の圧力が加わっている。
【０００８】
続いて吐出制御装置３により配管４を介してＮ２の圧力の加わったシリンジ５内の低融点ロウ材の溶融した液体はシリンジ５より押し出るようになり、このとき、吐出される液体の先端部はノズル内からノズル外に押し出され微小の半球状の液玉をノズル先端に形成し成長する。図３で示すように塗布対象物９とノズル６との間隙を液玉がノズル先端で押しつぶされるまでの間隙になるようにノズル６を下降させる事で、ノズル先端部分と塗布対象物９との間を低融点ロウ材１２が隙間無く埋める状態にする事ができる。
【０００９】
ここで初めて、振動子２への通電を開始し、超音波を発生させる。一定の超音波を作用させることで塗布対象物９の塗布面の酸化膜除去効果、脱泡効果、拡散の効果により均一な塗布面を形成する事ができる。
【００１０】
このとき、すでに基板搬送装置１０はノズル６に対して相対移動状態で、かつ、一定速度になっている必要がある。このように制御することで所望の塗布厚みを確保する事ができる。以上の条件で所定範囲を塗布後に塗布を終了する。
【００１１】
【発明の効果】
以上説明したように、ノズルに対して基板搬送装置が一定速度で相対移動することと、ノズル先端部分と塗布対象物との間を低融点ロウ材が隙間無く埋める状態にして自動的に塗布することで、手作業による塗布むら等が発生せず、均一な塗布ができる効果を有する。また、効率的な塗布が可能であり、塗布不要の個所を汚染することもない。超音波振動を印加できるのでフラックス等の使用が必要無く安定した濡れ性を維持する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の低融点ロウ材塗布装置の説明図である。
【図２】各種ノズル先端形状示す説明図である。
【図３】塗布状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１  音波発振装置
２  振動子
３  吐出制御装置
４  配管
５  シリンジ
６  ノズル
７  温度制御装置
８  ヒータ
９  塗布対象物
１０  基板搬送装置
１１  振動板
１２  低融点ロウ材
１３  メッキ部
Ａ  円状ノズル
Ｂ  スリット状ノズル
Ｃ  分岐ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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