(57)【要約】【課題】微細製品の高精度な成形加工が容易に可能で、しかもランナーロスを低減できるとともに装置の小型化を達成でき、エネルギー消費を従来の１／１０以下にすることができる細密部品の製造方法および装置を提供する。【解決手段】材料を可塑化し、その可塑化材料を可塑化材料浴に静水圧を加えることで定量化し、定量化可塑材料を熱圧縮成形する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料を可塑化し、その可塑化材料を可塑化材料浴に静水圧を加えることで定量化し、定量化可塑材料を熱圧縮成形することを特徴とする細密部品の製造方法。
【請求項２】
定量化と同時にプリフォームし、それを熱圧縮成形する請求項１に記載の細密部品の製造方法。
【請求項３】
材料を可塑化する可塑化部１と、可塑化された材料を定量化する定量化部２と、定量化された材料を熱圧縮成形する圧縮成形部３とを備え、前記定量化部２が少なくとも１方がアクチュエータ９０によってストローク可能な加圧型９ａ、９ｂを備え、圧縮成形部３が、キャビティー３ｇ、３ｇ’と、キャビティー内の材料を加熱するヒータ３ｈ、３ｈ’と、キャビティーを閉止して成形力を付与する手段３ｊ、３ｊ’とを備えた対のスライドブロック３ｂ、３ｂ’を有し、それらスライドブロックが型締め時に楔作用で合体されるように構成されていることを特徴とする細密部品の製造装置。
【請求項４】
加圧型９ａ、９ｂがプリフォーム用のキャビティーを有しているものを含む請求項３に記載の細密部品の製造装置。
【請求項５】
圧縮成形部３のスライドブロック３ｂ、３ｂ’の１方３ｂ’が型開き時に他方のスライドブロック３ｂより外方の自由空間に突出されるように構成されている請求項３または４のいずれかに記載の細密部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は微細光学部品等で代表される細密製品の製造方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マイクロ光学部品たとえば数ミリ以下のサイズのマイクロパーツは、従来一般に、樹脂などの素材を可塑化することで金型に射出成形されることで製造されている。
しかし、こうした射出成形法は、次のような問題があった。
▲１▼成形時における収縮やひけにより、成形精度を高くすることが困難であり、このため１ｍｍ以下といった超微細なものを精度よく成形することができなかった。
【０００３】
▲２▼射出成形は、その方式上、金型のキャビティーまでの射出路が不可欠であるから、ランナーが生じ、そのランナーロス量は材料の約７５％にも達する。しかも、たとえば光学部品に用いる材料は再生が不可能なため、多量の産業廃棄物となり、その処理にも難渋している。
【０００４】
▲３▼射出成形は一般に、材料を溶融しそれを高圧で金型のキャビティーに封入する方式であり、射出条件は、射出圧３００〜４００ｋｇ・ｃｍ２、型締力２０〜５０ｔ、加熱４ｋＷ，冷却水３０Ｌ／ｍｉｎで行われる。このため、装置が大型化し、高圧・高エネルギーを消費し、大きなクリーンルームも必要になり、全体として高コストであった。
【０００５】
なお、▲１▼の成形精度については、リメルト法などが提案され実用化されてきたが、プリフォーム品を射出成形により作成して用意することから、ランナーロスの根本的解決には至らなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記のような問題点を解消するためになされたもので、その目的とするところは、微細製品の高精度な成形加工が容易に可能で、しかもランナーロスを低減できるとともに装置の小型化を達成でき、エネルギー消費を従来の１／１０以下にすることができる細密部品の製造方法および装置を提供することにある。
【０００７】
本発明で「細密製品」とは、寸法が小さい場合のほか、表面に細かい溝や凹凸のあるものを意味し、例としては、マイクロレンズ、ホログラム素子、導光板、回折格子光ファイバーコネクターなどで代表される各種光学機能部品、マイクロマシーン部品、バイオ関係（ＤＮＡ等）チップ部品などがあげられる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の細密部品の製造方法は、材料を可塑化し、その可塑化材料を可塑化材料浴に静水圧を加えることで定量化し、定量化可塑材料を熱圧縮成形することを特徴としている。
この方法によれば、定量化した可塑材料を熱と圧縮力で成形するので、収縮やひけが低減し精度をよいものにすることができ、また、可塑化材料浴に静水圧を加えることで定量化するので空孔に発生が防止されるととともに確実に成形型に充填でき、成形を射出圧でなく計量した材料を熱圧縮して成形するため、いわゆるランナーロスを低減できるとともに、溶融材料を高圧で封入しないので低圧力で済み、キャビティーも小さくて済むので、エネルギー消費量も節減できる。
【０００９】
本発明は、定量化と同時にプリフォームし、それを熱圧縮成形する手法を含んでいる。これによれば、定量・プリフォームされた材料を熱圧縮成形するので、ランナーロスをほとんどゼロにすることができ、かつまた成形精度を高くすることができる。
【００１０】
本発明の細密部品の製造装置は、材料を可塑化する可塑化部と、可塑化された材料を定量化する定量化部と、定量化された材料を熱圧縮成形する圧縮成形部とを備え、前記定量化部が少なくとも１方がアクチュエータによってストローク可能な加圧型を備え、圧縮成形部が、キャビティーと、キャビティー内の材料を加熱するヒータと、キャビティーを閉止して成形力を付与する手段とを備えた対のスライドブロックを有し、それらスライドブロックが型締め時に楔作用で合体されるように構成されていることを特徴としている。
この構成によれば、細密部品を省エネルギー条件下で安価に製造でき、そのうえ、型締めが外側と内側の２重で行われるので成形精度がよく、楔式にスライドして型の開閉を行うので圧縮成形部の高さが低くなり、卓上型の小型な装置とすることができる。
【００１１】
本発明装置は、加圧型がプリフォーム用のキャビティーを有しているものを含み、圧縮成形部のスライドブロックの１方が型開き時に他方のスライドブロックより外方の自由空間に突出されるように構成されているものを含んでいる。
この構成によれば、定量化された材料のキャビティーへの装填と成形後の取出しが容易になり、またランナーロスをほとんどゼロにすることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施例を添付図面を参照して説明する。
図１ないし図５は、本発明による細密部品の製造方法および装置の第１実施例を示しており、図１において、１は可塑化部、２は定量化部、３は圧縮成形部、４は後処理部である。それら可塑化部１、定量化部２、圧縮成形部３および後処理部４は、卓上のクリーンルーム５に配され、外部からの遠隔操作で関連作動されるようになっている。
【００１３】
図８は本発明により成形される細密製品の例を示しており、（ａ）は最大長が数５ｍｍ以下のマイクロレンズ（非球面のものを含む）、（ｂ）はホログラムないしは回折格子、（ｃ）はホログラムレンズ、（ｄ）は光ファイバーコネクターないし導光板、（ｅ）はマイクロマシン部品である。なお、導光板などでは携帯電話の表示板サイズからＡ５版〜Ａ４版のサイズまで及ぶが、厚さは１〜２，３ｍｍ前後で表面に凹凸や溝がある。
【００１４】
前記可塑化部１は、細密製品Ｐを製作する材料を可塑状態にして下流の定量化部２に供給するための手段であり、材料Ｗを収容する貯槽６と、これとゲート弁７を介して接続された可塑化・注入機構８を備えている。
前記可塑化・注入機構８は、外部のヒータ８０により原料Ｗを加熱して可塑状態にする筒状の可塑化室８１を有し、該可塑化室８１は先端の断面積が減少し、通路８１０によって定量化部２に接続されている。可塑化室８１には可塑化材Ｗ１を通路８１０へと押出す加圧要素８２を有している。この加圧要素８２は図示するものではピストンタイプであるが、これに代えてスクリュータイプなどであってもよい。
【００１５】
前記原料Ｗは、合成樹脂単体、あるいは金属、セラミック、ガラスなどに合成樹脂系のバインダーを添加したものなど製造する細密製品に応じた任意の可塑化可能なものが用いられる。いずれにしても、原料Ｗはペレット状、粉粒状の形態で貯槽６に装入される。貯槽６は攪拌要素を備えたものも含まれる。
【００１６】
定量化部２は、次工程の圧縮成形部３に可塑化材を定量供給するためのフィーダとして機能するだけでなく、可塑化材中に空孔が存在したり、次工程の圧縮成形部３に十分に充填できないことを防止するための手段であり、可塑化材を静水圧下で加圧する。
定量化部２は、少なくとも１方がアクチュエータ（たとえばシリンダ）９０によってストローク可能な加圧型９ａ、９ｂを備えており、この例ではプリフォーム手段も兼ねているため、加圧型９ａ、９ｂの対向面にはキャビテイ９００が設けられており、キャビテイ９００に通じる注入口９１の直近の通路８１０には、注入弁１０が設けられている。キャビテイ９００の容積は、圧縮成形部３のキャビティーの容積と略整合されている。
【００１７】
キャビテイ９００は任意の形状たとえば球状、柱状、半球状、半柱状などを成形しうる輪郭を有し、出口側の加圧型側面には接離自在な１対の取出しゲート９２が配され、これの離間によって定量化可塑化材Ｗ２を取出し可能とするようになっている。
取出しゲート９２は圧縮成形部３と搬送手段１１によって連絡される。搬送手段１１は任意であり、定置型のたとえばシーソー式通路でもよいし、真空吸引通路でもよいし、ロボットアームであってもよい。
【００１８】
圧縮成形部３は、定量化可塑化材Ｗ２（この例ではさらにプリフォームされている）を熱圧縮して所望形状に成形する手段であり、定量化された材料を受容するキャビティー部と、キャビティー内の材料を加熱するヒータと、キャビティーを閉止して成形力を付与する手段とを備えた対のスライドブロック３ｂ、３ｂ‘を有し、それらスライドブロックが型締め時に楔作用で合体されるように構成されている。また、この例では、型開き時にそれらスライドブロックの１方が他方より側方に突出されるようになっている。
【００１９】
詳しく説明すると、圧縮成形部３は、図２と図３のように、ホールディングブロック３ａと、一対のスライドブロック３ｂ、３ｂ’およびスライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’を有している。
前記ホールディングブロック３ａは、軸方向の後端に所要深さの座穴３０を有し、この座穴３０から適度に間隔をおいた底壁３００から前端に向かって漸次拡径したテーパー孔３１が形成されている。
【００２０】
ホールディングブロック３ａは下半にテーパー状の延長部３ａ’が形成されており、テーパー孔３１の天井域には、前端から所要位置に到るまで半径方向に伸びる凹溝３１０が形成され、該凹溝３１０と１８０度対称のテーパー孔下部域および延長部３ａ’には、所要位置に到るまで半径方向に伸びる凹溝３１０’が形成されている。凹溝３１０’の先端にはストッパー３１１が突設されている。凹溝３１０、３１０’はそれぞれ軸線方向ではテーパー孔３１と平行状をなしている。
【００２１】
前記スライドブロック３ｂ、３ｂ’は、合体したときに裁頭円錐状となるように中心線ＣＬに沿って上下２分された形状をなし、それらスライドブロック３ｂ、３ｂ’の外周に近い１８０度対称位置に、前記スライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’が嵌着固定されており、スライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’の凸台部３２，３２’が前記凹溝３１０、３１０’に摺動可能に嵌まっている。
【００２２】
前記ホールディングブロック３ａの前記凹溝３１０、３１０’にはテーパー孔と平行なボールねじ３ｄ、３ｄ’が伸びており、それらボールねじ３ｄ、３ｄ’はスライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’に固定したナット３３，３３’を螺通し、
前端が凹溝３１０、３１０’に固設した軸受けで支承され、後端が座穴３０に設置したモータ３ｅ、３ｅ’に連結されている。
したがって、モータ３ｅ、３ｅ’の駆動によりスライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’とこれと一体化されたスライドブロック３ｂ、３ｂ’が凹溝３１０、３１０’とテーパー孔３１に沿って移動される。
【００２３】
前記スライドブロック３ｂ、３ｂ’の合せ面３３，３３’には、背方がスライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’の下端面に達する段付き穴が形成させており、それら段付き穴に矩形枠状のホルダー３ｆ、３ｆ’が埋め込み固定され、それらに合せ面に向かって開口した型面３３０，３３０’を有するキャビティーブロック３ｇ、３ｇ’が摺動可能に内挿されている。キャビティーブロック３ｇ、３ｇ’は、前記ホルダー３ｆ、３ｆ’の隅角に当接するストッパー面が形成されている。
前記いずれかまたは双方の型面３３０，３３０’には、凹凸や溝などが刻設されている。
前記キャビティーブロック３ｇ、３ｇ’はそれぞれヒーター３ｈ、３ｈ’と温度センサーを埋め込んでおり、また、成形品冷却のための冷媒通路が設けられている。また、成形時に発生するガスを排出するために、先端がキャビティーに通ずる吸引路（図示せず）が設けられている。吸引路は真空ポンプなどの吸引機に接続されている。
【００２４】
前記スライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’の下端面には、型締め用のサーボ系のアクチュエータ３ｊ、３ｊ’が固定されており、それらアクチュエータ３ｊ、３ｊ’の出力部がキャビティーブロック３ｇ、３ｇ’に連結されている。この例では、アクチュエータ３ｊ、３ｊ’にはモータが用いられ、これで回転駆動されるねじ軸がキャビティーブロック３ｇ、３ｇ’に内嵌したナットに螺合されている。
【００２５】
圧縮成形部３には、図１のように、成形品Ｐの取出し搬送手段１２が付設されている。取出し搬送手段１２は任意であるが、この例では下部に吸着部１２ａを有し、上部のアクチュエータ１２ｂで少なくとも旋回が可能なアーム具からなっている。
【００２６】
後処理部４は洗浄、コーティング、計量等を行う手段であり、この下流にはパッケージング部が配されている。
なお、図示する態様は可塑化部１、定量化部２、圧縮成形部３および後処理部４を横配列としているが、全体を縦配列としてもよく、これも本発明に含まれる。
【００２７】
第１実施例においては、原料Ｗを貯槽６に装入しておく。成形にあたって、ゲート弁７を開けば、原料Ｗは可塑化・注入機構８の可塑化室８１に供給される。そして、ヒーター８０を作動すれば、原料Ｗは加熱により溶融して可塑化され、その後、加圧要素８２を作動することにより、注入弁１０を介して定量化部２に注入され、静水圧下で定量化される。この注入は製品形状への成形のためのものではないから、せいぜい１００ｋｇ・ｃｍ２程度の低圧で足りる。
【００２８】
図５はこのときの状態を示しており、（ａ）のように加圧型９ａ、９ｂは乖離しているため可塑化材料Ｗ１は注入弁１０を介してキャビティー９００に注入される。
注入弁１０を閉じ、加圧型９ａ、９ｂを作動させれば、図５（ｂ）のようにキャビティー９００が閉鎖されるように加圧型９ａ、９ｂの端面が接し、それにより可塑化材料Ｗ１はキャビティー９００で計量され、それと同時に、この実施例では成形形状に近似した形状にプリフォームされた定量化可塑化材Ｗ２となる。定量化可塑化材Ｗ２は少なくとも表面が固化される。
【００２９】
次いで図５（ｃ）のように加圧型９ａ、９ｂが離間し、取出しゲート９２が開くことによりキャビティー９００が開放され、定量化可塑化材Ｗ２は定量化部２から搬出手段１１を介して圧縮成形部３に装填される。
圧縮成形部３はこの段階では、図２のように下側のスライドブロック３ｂ’がホールディングブロック下半のテーパー状の延長部３ａ’の端に到るように突き出された位置にあり、キャビティーブロック３ｇ’が後退させられることで型面３３０’が下限位置にある。
【００３０】
定量化可塑化材Ｗ２は搬送手段１１を介して前記キャビティーブロック３ｇ’の型面３３０’に装填される。この装填は、前記のようにキャビティーブロック３ｇ’が上型としてのスライドブロック３ｂよりも大きく自由空間に突き出しているため容易に行える。
【００３１】
上記のように定量化可塑化材Ｗ２が装填されると、モータ３ｅ、３ｅ’の駆動によりスライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’とこれと一体化されたスライドブロック３ｂ、３ｂ’が凹溝３１０、３１０’とテーパー孔３１に沿って図面上で右方すなわち径少側に移動される。それにより楔作用が発揮され、図３と図４のようにスライドブロック３ｂ、３ｂ’は相互の合せ面３３，３３’が密接され、確実な型締めが行われる。
【００３２】
この状態でアクチュエータ３ｊ、３ｊ’を作動すれば、対のスライドブロックガイド３ｃ、３ｃ’が相互に密接するように型締めされ、型面３３０、３３０’によって閉鎖断面のキャビティーが形成されて定量化可塑化材Ｗ２が圧縮されると同時に、ヒーター３ｈ、３ｈ’により加熱され、熱圧縮成形が行われる。前記成形時に発生するガスは吸引路により吸引される。
こうしたことから、輪郭形状の高精度な成形が行われるとともに、型面の凹凸や溝などが正確に転写され、かつ、材料は予め定量化されているため、バリなども少なく、いわゆるランナーロスに相当する無駄はほとんど生じないで済む。また、型締め力は小さくて済む。
【００３３】
このように成形が終わると、アクチュエータ３ｊ’を作動してスライドブロックガイド３ｃ’を降下させ、モータ３ｅ、３ｅ’を逆方向に作動する。これによりスライドブロック３ｂ’が図２の位置に突出するので、成形品Ｐは取出しに適した位置におかれる。
取出し搬送手段１２を下せば成形品Ｐは取り出され、下流の後処理部４に搬送されて必要な処理が行われる。このときの成形品の精度の計測結果は、コントローラに送られ、これからの信号で定量化部２のアクチュエータ９０の作動量が調整される。
この第１実施例は材料を定量化しかつプリフォームして圧縮成形部３で成形するので、微小でかつ精密性が要求される細密製品に好適である。
【００３４】
図６は本発明の第２実施例を示している。
この実施例も、可塑化部１、定量化部２、圧縮成形部３、後処理部４を備えていることは第１実施例と同様であるが、定量化した材料をプリフォームすることなしに圧縮成形部３のキャビティーに注入する点つまり注入手段を兼ねている点で異なっている。
【００３５】
定量化部２はアクチュエータで動かされる１対の加圧型９ａ、９ｂを備えているが、加圧型９ａ、９ｂの対向面にはキャビテイが設けられていない。注入口９１の直近の通路８１０には注入弁１０が設けられ、また出口側の加圧型側面には抽出弁１０’が配され、抽出弁１０’は注入通路１１’によって圧縮成形部３と連絡される。
圧縮成形部３として第１実施例の構造のものを用いる場合、注入通路１１’は、図２のように前方に突出して開放状態にある下側のスライドブロック３ｂ’の下降された型面３３０’に臨むように設けられる。あるいはまた、図２から図３の状態に至る間で停止した位置のキャビティーに臨むように設けられる。
他の構成は第１実施例と同様であるから、説明は援用する。
【００３６】
第２実施例においては、図６（ａ）のように、可塑化部１で可塑化された材料Ｗ１が加圧型９ａ、９ｂ間の空隙に注入されると、加圧型９ａ、９ｂが所定ストローク接近するように移動されて可塑化材料Ｗ１に静水圧をかけて定量化する。この定量化量は、注入通路１１’に残存される余剰量を考慮して設定する。
次いで、注入弁１０と抽出弁１０’が閉じられた状態で、図６（ｂ）のように加圧型９ａ、９ｂは材料に静水圧をかけたまま全体が移動され、これで定量化材料Ｗ２は圧縮成形部３への注入に適したレベルに運ばれる。
【００３７】
その状態で、図６（ｃ）のように加圧型９ａ、９ｂの対向面同士が当接するように移動させると同時に抽出弁１０’を開放する。それにより、定量化材料Ｗ２は加圧されて注入通路１１’に圧送され、圧縮成形部３のキャビティーまたは下側のスライドブロック３ｂ’の開放された型内に注入される。
後の工程は第１実施例と同様であり、定量化材料Ｗ２は加熱圧縮されて、所望形状に成形される。熱圧縮成金型が図２〜４のような構造である場合、拘束（くさび）構造により、型締めを行うとともに、１方の型を他方の型よりも突き出すため、定量化された材料の装填、および成形後の取り出しが容易である。
かかる第２実施例は、比較的大きなものや、大幅な変形を伴う細密製品の成形に適している。
【００３８】
図７は本発明の第３実施例を示している。
この実施例は、圧縮成形部３を縦型とし、それと第２実施例の定量化部２を組み合わせもので、圧縮成形部３は、ヒータ３ｈを内蔵し上面に型面３３０”を有する固定型３ｋと、ヒータ３ｈを内蔵し下面に型面３３０を有する外面テーパー状の左右で２個のスライドブロック３ｂ、３ｂ’と、スライドブロック３ｂ、３ｂ’をホールディングブロック３ａのテーパー孔３１位沿って動かすアクチュエータ３ｅ、３ｅ’とを備えている。スライドブロックは２つ割りでなく、注入口を有する単一のものであってもよい。図７（ｂ）は定量化部２を横型とした態様を示している。
【００３９】
図７（ａ）では、加圧型９ａ、９ｂの対向面同士が当接するように移動させると同時に抽出弁１０’を開放する。それにより、定量化材料Ｗ２は加圧されて注入通路１１’に圧送され、固定型３ｋとスライドブロック３ｂ、３ｂ’の型面３３０”、３００”で構成されるキャビティーに注入される。
材料ロスが生じないようにするため、第３実施例では、好ましくは、注入通路１１’には強制注入手段１４が接続される。この強制注入手段１４は、たとえば、加圧気体の圧入部からなり、定量化材料Ｗ２は加圧されて注入通路１１’に圧送されたときに加圧流体で下流から押圧し、定量化材料Ｗ２を押出す。なお、この強制注入手段１４は、第２実施例にも適用される。
キャビティーに注入された定量化材料Ｗ２は、楔式型締めでされたスライドブロック３ｂ、３ｂ’と固定型３ｋとで加熱圧縮されて、製品となる。
かかる第３実施例は、比較的大きいか、起伏が激しいなどの複雑な形状の細密製品の成形に適している。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明した本発明の請求項１によるときには、材料を可塑化し、その可塑化材料を可塑化材料浴に静水圧を加えることで定量化し、定量化可塑材料を熱圧縮成形するので、射出成形では不可能であった微細部品等の精度のよい成形がなり、しかも、加工に要するエネルギーが１／１０以下になり、成形に関わるコストとエネルギーを大幅に削減できるというすぐれた効果が得られる。
【００４１】
請求項２によれば、定量化と同時にプリフォームし、それを熱圧縮成形するので、ほとんどランナーレスとなり、使用材料を少量化できるとともに、成形精度のよい精密で微小な製品を製造できるというすぐれた効果が得られる。
【００４２】
請求項３によれば、材料を可塑化する可塑化部１と、可塑化された材料を定量化する定量化部２と、定量化された材料を熱圧縮成形する圧縮成形部３とを備え、前記定量化部２が少なくとも１方がアクチュエータ９０によってストローク可能な加圧型９ａ、９ｂを備え、圧縮成形部３が、キャビティー３ｇ、３ｇ’と、キャビティー内の材料を加熱するヒータ３ｈ、３ｈ’と、キャビティーを閉止して成形力を付与する手段３ｊ、３ｊ’とを備えた対のスライドブロック３ｂ、３ｂ’を有し、それらスライドブロックが型締め時に楔作用で合体されるように構成されているので、低圧で定量化された可塑化材を作りそれをキャビテイ部の移動により、歪のない転写精度の高い微細成形品を生産することができ、卓上型の小型のものとなるため従来の射出成形装置に比し使用電力量が１／１０以下と大幅に低減し、更に金型の小型化に伴う金型加熱冷却の電力消費量も大幅に低下し、クリーンルームのサイズダウンによる空調電力の低下も図ることができるというすぐれた効果が得られる。
【００４３】
請求項４と５によれば、定量化された材料のキャビティーへの装填と成形後の取出しが容易になり、またランナーロスをほとんどゼロにすることができるというすぐれた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による細密部品製造方法および装置の第１実施例の概要を示す縦断側面図である。
【図２】圧縮成形部の一例を型開き状態で示す縦断側面図である。
【図３】圧縮成形部の一例を型締め状態で示す縦断側面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）は第１実施例の定量化部の動作を段階的に示す説明図である。
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）は第２実施例の定量化部と成形部の動作を段階的に示す説明図である。
【図７】（ａ）（ｂ）は第３実施例の定量化部と成形部の実施例と動作を示す説明図である。
【図８】（ａ）ないし（ｅ）は本発明で製造される細密製品の例を示す説明図である。
【符号の説明】
１　可塑化部
２　定量化部
３　圧縮成形部
３ｂ、３ｂ’　　スライドブロック
３ｇ、３ｇ’　キャビティー部
３ｊ、３ｊ’　成形力付与手段
３ｈ、３ｈ’　　ヒータ
９ａ、９ｂ　加圧型
９０　アクチュエータ
【図１】
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【図２】
2004066486.tif 000004
【図３】
2004066486.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004066486.tif 000007
【図６】
2004066486.tif 000008
【図７】
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【図８】
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