(57)【要約】      （修正有）【課題】ローバーに効率的かつ安定した面取り加工を施すことができる磁気ヘッドの面取り加工治具および面取り加工方法を提供する。【解決手段】複数のローバー１１をその被加工端縁部１１ａのみを露出させた状態で位置決めし吸着保持する導電性樹脂製の加工ヘッド１２と、この加工ヘッド１２を必要時に回転できるように保持するベースブロック１３と、ベース１５上にゴムシート２３を介して設置された研磨シート１６に対して加工ヘッド１２を所定角度傾斜させるピボット１７とを備えた。【選択図】      図６
2004223655.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のローバーをその被加工端縁部のみを露出させた状態で位置決めし吸着保持する加工ヘッドと、
ベース上に配された研磨シート面に対して前記加工ヘッドを所定角度傾斜させる加工ヘッド傾斜手段と、
を備えたことを特徴とする磁気ヘッドの面取り加工治具。
【請求項２】
加工ヘッドを必要時に回転できるように保持するベースブロックを備えたことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【請求項３】
加工ヘッド傾斜手段は、加工ヘッドに保持されたローバーの被加工端縁部が研磨シート面に所定の傾斜角度で倣うように、ベースブロックから突出自在に設けられ、先端の球状部をベースに当接させることにより面取り加工治具の荷重を支持するピボット軸として形成されたことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【請求項４】
加工ヘッドは、保持するローバーの被加工端縁部に対応する箇所にテーパ面を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【請求項５】
被加工端縁部のみを露出させた状態で複数のローバーを吸着保持した加工ヘッドを研磨シート面に対して所定角度傾斜させ、当該被加工端縁部が当該研磨シート面に当接した状態で当該加工ヘッドを一定方向に動作させることにより当該被加工端縁部の研磨面を当該研磨シート面に馴染ませる準備加工工程と、
前記準備加工工程を経た後に前記加工ヘッドを所定量往復動作させることにより前記ローバーの被加工端縁部を面取りする面取り加工工程と、
からなることを特徴とする磁気ヘッドの面取り加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、磁気ヘッドの面取り加工治具および面取り加工方法に関し、さらに詳しくは、ローバーに効率的かつ安定した面取り加工を施すことができる磁気ヘッドの面取り加工治具および面取り加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハードディスク装置の高容量化に伴い、磁気ヘッドの小型化、狭トラック化、狭ギャップ化等が要求されており、薄膜磁気ヘッドが主流となってきていることから、磁気ヘッドのラップ工程においても高精度で生産性の高いラップ加工が要求されている。
【０００３】
従来、この磁気ヘッド加工プロセスでは、ウエハーから、複数の磁気ヘッド素子が一列に配列されて形成されたローバー（Ｒｏｗ  Ｂａｒ）を切り出し、この切り出したローバーを規定寸法にラップ加工するため、ラップ定盤に押圧（あるいは、ローバーを変形させた状態で押圧）し、ラップ加工を行うのが一般的である。
【０００４】
ウエハーから切り出されたローバーの端縁部は鋭利であるため、この鋭利な状態でラップ加工（ラージクラウンラップ加工）を開始すると、加工中にローバー端縁部がラップ定盤に食い込み、ローバーが破損したり、ラップ定盤が傷つくといった不具合が生じる。
【０００５】
そこで、このような不具合が生じるのを回避するために、従来では、このラップ加工の準備工程として、鋭利なローバー端縁部を研磨シートにて人手による面取り加工を施していた。
【０００６】
また、その際、面取り加工治具を用いて面取り加工を施す場合もあり、たとえば、可逆ねじを用いた２方向のクランプ機構によって磁気ヘッドの４側面を把持し、当該磁気ヘッドの鋭利なエッジ部を均一に面取りする手段が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平４−３１１８０４号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、面取り加工治具を用いない人手による面取り加工では、面取り量が一定でなく、削る必要のない部分、たとえば、磁気ヘッドのパターン面やＡＢＳ面（空気ベアリング面；Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）等まで削ってしまう場合があり、製品品質に悪影響を及ぼすという課題があった。また、ローバー１本毎に人手による面取り加工作業を行っているため、多大な作業時間がかかり、生産効率が悪いという課題があった。
【０００９】
また、可逆ねじを用いた２方向のクランプ機構を備えた従来の面取り加工治具にあっては、クランプ機構により把持しているので、きわめて薄いローバー（たとえば、０．３ｍｍ程度の厚さ）を傷付けることなく把持するのが困難であるとともに、ワークと治具の回転軸中心の位置合わせ作業なども必要であり、作業性が悪いという課題があった。また、この面取り加工治具は、複数のワークを取り付ける構成となっていないため、一度の作業で複数のワークを面取りすることができず、作業効率が悪いという課題もあった。
【００１０】
この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ローバーに効率的かつ安定した面取り加工を施すことができる磁気ヘッドの面取り加工治具および面取り加工方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明は、複数のローバーをその被加工端縁部のみを露出させた状態で位置決めし吸着保持する加工ヘッドと、ベース上に配された研磨シート面に対して前記加工ヘッドを所定角度傾斜させる加工ヘッド傾斜手段とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、加工ヘッドにより複数のローバーをその被加工端縁部のみを露出させた状態で位置決めし吸着保持しているので、複数のローバーの被加工端縁部を同時かつ均一に面取り加工することができる。また、被加工端縁部以外の部分（非露出部分）は面取りされず、パターン面やＡＢＳ面等を削ってしまうことがない。したがって、ローバーに効率的かつ安定した面取り加工を施すことができるので、ラップ加工工程でのローバーの破損やラップ定盤の傷発生を効果的に防止できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明に係る磁気ヘッドの面取り加工治具および面取り加工方法の実施の形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１４】
図１は、この発明の実施の形態に係る面取り加工治具を示す全体斜視図、図２は、面取り加工治具を示す分解斜視図、図３は、加工ヘッドを示す分解斜視図、図４は、面取り加工治具にローバーをセットする様子を示す斜視図、図５は、面取り加工治具の使用例を示す斜視図、図６は、ローバーの面取り加工工程を示す側面図、図７は、加工ヘッドを反転させる様子を示す側面図である。
【００１５】
これらの図に示すように、面取り加工治具１０は、複数（図示例では４本）のローバー１１を吸着保持する加工ヘッド１２と、この加工ヘッド１２を設置するベースブロック１３と、加工ヘッド１２をベースブロック１３に固定するロックナット１４と、ベースブロック１３と一体となった加工ヘッド１２をベース１５（図６参照）に対して支持するとともに、ベース１５上の研磨シート１６（図６参照）に対する傾斜配置角度を調節するピボット１７とを備えている。
【００１６】
加工ヘッド１２は、図３に示すように、載置される複数のローバー１１を吸着保持するために櫛形状に複数（図示例では４つ）突設された突条部１８ａを有したヘッドベース１８と、このヘッドベース１８の長手方向両端部にそれぞれ固定され、ローバー１１の長手方向の位置決めをする一対のガイドブロック１９と、ヘッドベース１８の上面に固定され、ローバー１１の短手方向の位置決めをする複数（図示例では５つ）のガイドブロック２０と、ヘッドベース１８の裏面に固定され、加工ヘッド１２をベースブロック１３に対して回転させる際の回転軸となるシャフト２１とから構成されている。
【００１７】
ヘッドベース１８の内部には、中空状のシャフト２１を介して外部エゼクタ（図示せず）と連通させるための連通路を備えている。また、突条部１８ａの幅は、ローバー１１の幅よりも若干小さめに形成されている。そして、突条部１８ａの上面には、載置されたローバー１１を真空吸着するために、前記連通路と連通形成された長穴１８ｂが複数（図示例では、長手方向に３つ）設けられている。
【００１８】
この長穴１８ｂは、突条部１８ａの幅よりも若干小さめの幅で形成されているとともに、吸着面積を増やすために、その開口面積が突条部１８ａ上面の面積に対してできるだけ近づくように大きく形成されている。また、長穴１８ｂは、突条部１８ａの長手方向両端部の近傍から開口してある。これは、ローバー１１の長手方向端部の面取り加工時に、当該部分にかかる荷重が大きくなるので、当該部分での真空吸着力を十分に確保するためである。
【００１９】
また、ヘッドベース１８の長手方向両端面には、ガイドブロック１９の固定用のねじ１９ａをねじ込むためのねじ穴１８ｃと、ガイドブロック１９の位置決め用のボス１９ｂを係合させるためのボス穴１８ｄとが設けられている。また、ヘッドベース１８の上面には、ガイドブロック２０の固定用のねじ２０ａをねじ込むためのねじ穴１８ｅが設けられている。
【００２０】
このガイドブロック１９は、その上面１９ｃが突条部１８ａの上面よりも若干高く、かつ、ローバー１１を突条部１８ａに載置したときに当該ローバー１１の被加工端縁部１１ａよりも若干低くなるように、ヘッドベース１８に固定される。また、加工ヘッド１２は、研磨シート１６に対して所定角度θ傾斜させた状態で面取り加工動作するため（図６参照）、このガイドブロック１９の上面１９ｃは、この傾斜角θに対応したテーパ面として形成されている。このテーパ面により、被加工端縁部１１ａの研磨し過ぎも防止できるようになっている。
【００２１】
ガイドブロック２０は、長方形の薄板状に形成され、ヘッドベース１８のねじ穴１８ｅに固定するねじ２０ａを長手方向両端部にそれぞれ備えている。そして、このガイドブロック２０は、それぞれの側面同士の間隔がローバー１１の幅よりも若干大きくなるようにヘッドベース１８に固定される。なお、このねじ２０ａは、ガイドブロック２０をヘッドベース１８に固定した際に、ねじ頭部分がガイドブロック２０上面から突出しないようになっている。
【００２２】
また、ガイドブロック２０の中央部上面の両側には、それぞれ半円状の溝２０ｂが設けられている。これは、ローバー１１をガイドブロック２０，２０間にエアピンセット（図示せず）等によって設置する際に、当該エアピンセットの先端部の作業スペースを確保し、作業性を向上させるために設けたものである。
【００２３】
これらガイドブロック１９，２０の材料は、ローバー１１設置時に当該ローバー１１に傷を付けないようにするために、さらにＥＳＤ（静電気印加）対策のために、導電性樹脂にすることが望ましい。
【００２４】
シャフト２１は、加工ヘッド１２をベースブロック１３に対して回転させる際の回転軸となるとともに、ヘッドベース１８内の前記連通路と図示しない外部エゼクタとを継ぎ手２２を介して連通させるためのものであり、ねじ軸部２１ａとフランジ部２１ｂとからなり、軸心に貫通穴２１ｃが設けられている。シャフト２１は、そのフランジ部２１ｂをヘッドベース１８の裏面にねじ２１ｄによって締結固定されるようになっている。このとき、シャフト２１の貫通穴２１ｃは、ヘッドベース１８内の前記連通路と連通することとなる。
【００２５】
加工ヘッド１２に固定されたシャフト２１は、図２に示すように、ベースブロック１３の貫通穴１３ａに挿通され、そのねじ軸部２１ａにロックナット１４のねじ穴１４ａ部分が固定される。なお、シャフト２１のフランジ部２１ｂは、ベースブロック１３の貫通穴１３ａの開口周縁部に形成されたザグリ穴１３ｂ内に配置できるようになっている。また、継ぎ手２２は、シャフト２１にロックナット１４を取り付けた後にシャフト２１先端部に装着されるものであり、ロックナット１４の抜け止め防止の役割をも担っている。
【００２６】
ベースブロック１３は、図２に示すように、加工ヘッド１２よりも長い寸法に形成され、上述した貫通穴１３ａとザグリ穴１３ｂの他に、ピボット１７のねじ部１７ａをねじ込むねじ穴１３ｃを有している。また、このベースブロック１３は、ヘッドベース１８の裏面に設けられた２つの係合穴１８ｆ（図７参照）に係合する２つの位置決めピン１３ｄを備えている。すなわち、この位置決めピン１３ｄ，１３ｄは、ベースブロック１３に固定される加工ヘッド１２のシャフト２１を中心とする回転を規制し、位置決めを行うためのものである。
【００２７】
ピボット１７は、側面周囲にねじ部１７ａを備え、先端に球状部１７ｂを備えている。このピボット１７の球状部１７ｂは、図６に示すように、ベース１５に一点で当接し、面取り加工治具１０の荷重を支持することとなる。
【００２８】
また、加工ヘッド１２に保持されたローバー１１の被加工端縁部１１ａに一定のテーパ面を形成するために、ピボット１７は、ベースブロック１３の端部のねじ穴１３ｃに進退自在に配設されており、この球状部１７ｂのベースブロック１３からの突出距離を調節することによって、加工ヘッド１２の研磨シート１６に対する傾斜角度（面取り角度）θが設定されることとなる。なお、ピボット１７は、図示しないスペーサを介してベースブロック１３に設けられている。また、上記面取り角度θは、たとえば３°程度である。
【００２９】
つぎに面取り加工治具１０を用いた面取り加工方法について図４〜図７に基づいて説明する。すなわち、ローバー１１長手方向両端部の被加工端縁部１１ａの面取り加工について説明する。ベース１５には、導電性のゴムシート２３を設置し、そのゴムシート２３の上に導電性の研磨シート１６を貼る。
【００３０】
このゴムシート２３は、面取り加工治具１０に設置された各ローバー１１の位置の微小なバラツキを吸収し、ローバー１１の被加工端縁部１１ａを押圧した際に、当該ゴムシート２３の弾性により被加工端縁部１１ａに効果的な曲面をつけるために使用するものである。このゴムシート２３としては、たとえば、ゴム硬度が６０°程度の導電性フッ素ゴム等を用いることができる。
【００３１】
先ず、面取り加工の準備として、ロックナット１４を加工ヘッド１２のシャフト２１に締結することにより、加工ヘッド１２をベースブロック１３に固定する。そして、シャフト２１の先端部に継ぎ手２２を装着する。この継ぎ手２２は、外部エゼクタ（図示せず）と連結する。
【００３２】
つぎに、図４に示すように、外部エゼクタ（図示せず）の動作スイッチがＯＦＦの状態で、エアピンセット（図示せず）を用いて各ローバー１１を加工ヘッド１２の突条部１８ａ上に設置する。このとき、ローバー１１の長手方向両端部はガイドブロック１９によって位置決めされ、ローバー１１の短手方向側面はガイドブロック２０によって位置決めされているので、精度良く設置することができる。
【００３３】
そして、この状態で外部エゼクタ（図示せず）の動作スイッチをＯＮにすると真空引きが開始され、突条部１８ａの長穴１８ｂ内が負圧になることによりローバー１１が吸着保持される。
【００３４】
つぎに、このようにローバー１１を保持した面取り加工治具１０を、図５および図６に示すように、被加工端縁部１１ａが研磨シート１６上に配置され、ピボット１７の球状部１７ｂがベース１５上に配置されるように設置する。
【００３５】
そして、ピボット１７のベース１５側への突出量を調節することにより、加工ヘッド１２を規定の傾斜角度に傾斜させる。すると、各ローバー１１の被加工端縁部１１ａが、この傾斜角度で研磨シート１６上に倣うこととなる。以上の手順が面取り加工前の準備である。
【００３６】
つぎに、面取り加工方法について図６および図７に基づいて説明する。なお、図６中の白抜き矢印は、面取り加工治具１０の動作方向を示している。面取り加工の第１ステップとして、図６に示すように、先ず、面取り加工治具１０をローバー１１長手方向のピボット１７側（図示例では右側）に１回動かす。このようにして、被加工端縁部１１ａの研磨面を研磨シート１６に馴染ませる。
【００３７】
このとき、面取り加工治具１０をこれと反対方向（図示例では左側）に動かすと、ローバー１１の被加工端縁部１１ａは鋭利であるため、研磨シート１６に食い込み、ローバー１１が加工ヘッド１２から外れたり、研磨シート１６を破る可能性があるので、注意が必要である。
【００３８】
つぎに第２ステップとして、図６に示すように、面取り加工治具１０に規定荷重を印加した状態で、ローバー１１長手方向に規定の距離と回数だけ往復運動させて、被加工端縁部１１ａの面取り加工を行う。このとき、面取り量は、面取り加工治具１０の移動距離と往復運動回数により決定されることとなる。なお、本実施の形態では、たとえば、規定荷重は面取り加工治具１０の自重（５００ｇ程度）であり、移動距離は２０ｍｍ、往復運動回数は２．５回で行っている。
【００３９】
つぎに第３ステップについて図７に基づいて説明する。第２ステップで面取り加工したのは、ローバー１１の長手方向両端部にある被加工端縁部１１ａのうちの一方であり、他端は未加工状態である。第３ステップは、この他端の被加工端縁部１１ａを面取り加工する工程である。
【００４０】
すなわち、先ず、面取り加工治具１０を取り上げ、ロックナット１４による締結を緩める。このときロックナット１４は、ベースブロック１３の位置決めピン１３ｄが、加工ヘッド１２のヘッドベース１８の係合穴１８ｆから抜け出るまで緩める。位置決めピン１３ｄがこの係合穴１８ｆから抜け出ると、加工ヘッド１２のシャフト２１回りの回転規制が解除されるので、加工ヘッド１２をシャフト２１を中心に反転させ、未加工の被加工端縁部１１ａを加工位置に位置決めする。
【００４１】
そして、ベースブロック１３の位置決めピン１３ｄを加工ヘッド１２の係合穴１８ｆに係合させ、ロックナット１４を締結すれば、未加工の被加工端縁部１１ａを容易かつ迅速に加工位置にセットできる。このように、ロックナット１４を緩めて加工ヘッド１２を反転させるだけでよいので、ローバー１１を再度加工ヘッド１２にセットし直す必要がなく、作業性がきわめて良い。
【００４２】
また、第４ステップは、図６に示すように、この未加工の被加工端縁部１１ａを上記第１ステップと同様の要領で行う。すなわち、面取り加工治具１０をローバー１１長手方向のピボット１７側（図示例では右側）に１回動かす。
【００４３】
続いて第５ステップは、図６に示すように、上記第２ステップと同様の要領で行う。すなわち、面取り加工治具１０に規定荷重を印加した状態で、ローバー１１長手方向に規定の距離と回数だけ往復運動させて、被加工端縁部１１ａの面取り加工を行う。
【００４４】
面取り加工が終了したら、ベース１５から面取り加工治具１０を取り上げ、外部エゼクタ（図示せず）の動作スイッチをＯＦＦにし、エアピンセット（図示せず）を用いて各ローバー１１を加工ヘッド１２から回収する。
【００４５】
以上のように、この実施の形態に係る面取り加工治具１０およびこれを用いた面取り加工方法によれば、複数のローバー１１の長手方向両端の被加工端縁部１１ａを同時かつ均一に面取り加工することができる。
【００４６】
また、各ローバー１１は、ガイドブロック１９，２０によって４側面を保持されているので、被加工端縁部１１ａ以外の部分は面取りされず、パターン面やＡＢＳ面等を削ってしまうことがない。
【００４７】
したがって、ローバー１１に効率的かつ安定した面取り加工を施すことができるので、ラップ加工工程でのローバー１１の破損やラップ定盤の傷発生を効果的に防止できる。
【００４８】
なお、上記実施の形態においては、ピボット１７を加工ヘッド１２から離れた位置（ベースブロック１３の端部）に設けるものとして説明したが、これに限定されず、たとえば図８に示すように、ピボット１７を加工ヘッド１２の中央部に突出自在に設け、このピボット１７を支点にして加工ヘッド１２を研磨シート１６（図示せず）に対して傾斜させる構成としてもよい。
【００４９】
ここで、図８は、ピボットを中央に配した加工ヘッドを示す斜視図であり、すでに説明した部材と同一もしくは相当する部材には、同一の符号を付して重複説明を省略または簡略化する。
【００５０】
また、加工ヘッド１２は、図示しないベースブロック１３のねじ手段等によって固定され、このベースブロック１３を介して図示しない外部エゼクタに接続される構成となっているが、必ずしもこのベースブロック１３を介在させた構成でなくてもよい。また、ピボット１７を加工ヘッド１２の中央部に設けていることから、加工ヘッド１２のベースブロック１３（図示せず）に対する回転機構（たとえば、シャフト２１）は必要なくなる。
【００５１】
また、上記実施の形態においては、ゴムシート２３としてゴム硬度が６０°程度の導電性フッ素ゴムを用いるものとして説明したが、段階的に効率よく面取り加工を行うために、面取りの各工程において硬度の異なる複数のゴムを段階的に使用し、面取り量を段階的に変化さてもよい。また、所定の弾性力を有する弾性シートであれば、材質はゴムに限定されない。
【００５２】
また、研磨シート１６についても、段階的に効率よく面取り加工を行うために、面取りの各工程において材質や粒径の異なる複数種類の研磨シート１６を使用し、面取り量を段階的に変化さてもよい。たとえば、異なる研磨粒子の材質として、シリカ、アルミナ、ダイヤ等を挙げることができる。
【００５３】
（付記１）複数のローバーをその被加工端縁部のみを露出させた状態で位置決めし吸着保持する加工ヘッドと、
ベース上に配された研磨シート面に対して前記加工ヘッドを所定角度傾斜させる加工ヘッド傾斜手段と、
を備えたことを特徴とする磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００５４】
（付記２）加工ヘッドを必要時に回転できるように保持するベースブロックを備えたことを特徴とする付記１に記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００５５】
（付記３）加工ヘッド傾斜手段は、加工ヘッドに保持されたローバーの被加工端縁部が研磨シート面に所定の傾斜角度で倣うように、ベースブロックから突出自在に設けられ、先端の球状部をベースに当接させることにより面取り加工治具の荷重を支持するピボット軸として形成されたことを特徴とする付記２に記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００５６】
（付記４）加工ヘッド傾斜手段は、加工ヘッドに保持されたローバーの被加工端縁部が研磨シート面に所定の傾斜角度で倣うように、当該加工ヘッドの中央部から突出自在に設けられ、先端の球状部をベースに当接させることにより治具の荷重を支持するピボット軸として形成されたことを特徴とする付記１に記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００５７】
（付記５）加工ヘッドまたはベースブロックの少なくとも一方には、加工ヘッドの回転位置を規制する回転位置規制手段を備えたことを特徴とする付記２または３に記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００５８】
（付記６）加工ヘッドはローバーを真空吸着するための吸着穴を備え、当該吸着穴は被加工端縁部近傍での吸着力が他の部分での吸着力よりも大きくなるように配されたことを特徴とする付記１〜５のいずれか一つに記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００５９】
（付記７）加工ヘッドは、保持するローバーの被加工端縁部に対応する箇所にテーパ面を備えたことを特徴とする付記１〜６のいずれか一つに記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００６０】
（付記８）加工ヘッドは、ローバーの設置または回収時に使用する工具の作業スペースを確保する溝を備えたことを特徴とする付記１〜７のいずれか一つに記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００６１】
（付記９）加工ヘッドの一部または全部を導電性樹脂にて形成したことを特徴とする付記１〜８のいずれか一つに記載の磁気ヘッドの面取り加工治具。
【００６２】
（付記１０）被加工端縁部のみを露出させた状態で複数のローバーを吸着保持した加工ヘッドを研磨シート面に対して所定角度傾斜させ、当該被加工端縁部が当該研磨シート面に当接した状態で当該加工ヘッドを一定方向に動作させることにより当該被加工端縁部の研磨面を当該研磨シート面に馴染ませる準備加工工程と、
前記準備加工工程を経た後に前記加工ヘッドを所定量往復動作させることにより前記ローバーの被加工端縁部を面取りする面取り加工工程と、
からなることを特徴とする磁気ヘッドの面取り加工方法。
【００６３】
（付記１１）準備加工工程および面取り加工工程で使用される研磨シートは、弾性シート上に設置されていることを特徴とする付記１０に記載の磁気ヘッドの面取り加工方法。
【００６４】
（付記１２）面取り加工工程では、弾性シートの硬度を面取り量に応じて変化させ、段階的に複数の工程に分けて面取り加工することを特徴とする付記１１に記載の磁気ヘッドの面取り加工方法。
【００６５】
（付記１３）面取り加工工程では、面取り量に応じて異なる材質または粒径の研磨シートを使用し、段階的に複数の工程に分けて面取り加工することを特徴とする付記１０〜１２のいずれか一つに記載の磁気ヘッドの面取り加工方法。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、複数のローバーをその被加工端縁部のみを露出させた状態で位置決めし吸着保持する加工ヘッドと、ベース上に配された研磨シート面に対して前記加工ヘッドを所定角度傾斜させる加工ヘッド傾斜手段とを備えたので、複数のローバーの被加工端縁部を同時かつ均一に面取り加工できる磁気ヘッドの面取り加工治具が得られるという効果を奏する。
【００６７】
また、本発明によれば、加工ヘッドを必要時に回転できるように保持するベースブロックを備えたので、ローバーの未加工の被加工端縁部を加工位置に位置決めするときには、加工ヘッドを反転させるだけでよい。したがって、ローバーを再度加工ヘッドにセットし直す必要がなく、作業性の良い磁気ヘッドの面取り加工治具が得られるという効果を奏する。
【００６８】
また、本発明によれば、加工ヘッド傾斜手段は、加工ヘッドに保持されたローバーの被加工端縁部が研磨シート面に所定の傾斜角度で倣うように、ベースブロックから突出自在に設けられ、先端の球状部をベースに当接させることにより面取り加工治具の荷重を支持するピボット軸として形成されたので、簡易な構成にて加工ヘッドの傾斜角度を設定できる磁気ヘッドの面取り加工治具が得られるという効果を奏する。
【００６９】
また、本発明によれば、加工ヘッドは、保持するローバーの被加工端縁部に対応する箇所にテーパ面を備えたので、当該被加工端縁部が必要以上に面取りされるのを防止できる磁気ヘッドの面取り加工治具が得られるという効果を奏する。
【００７０】
また、本発明によれば、被加工端縁部のみを露出させた状態で複数のローバーを吸着保持した加工ヘッドを研磨シート面に対して所定角度傾斜させ、当該被加工端縁部が当該研磨シート面に当接した状態で当該加工ヘッドを一定方向に動作させることにより当該被加工端縁部の研磨面を当該研磨シート面に馴染ませる準備加工工程と、前記準備加工工程を経た後に前記加工ヘッドを所定量往復動作させることにより前記ローバーの被加工端縁部を面取りする面取り加工工程とからなるので、被加工端縁部の研磨面を研磨シート面に馴染ませてから本格的な面取り加工が行える。したがって、被加工端縁部が研磨シートに食い込み、ローバーが加工ヘッドから外れたり、研磨シートを破るといった不具合を効果的に防止できる磁気ヘッドの面取り加工方法が得られるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係る面取り加工治具を示す全体斜視図である。
【図２】面取り加工治具を示す分解斜視図である。
【図３】加工ヘッドを示す分解斜視図である。
【図４】面取り加工治具にローバーをセットする様子を示す斜視図である。
【図５】面取り加工治具の使用例を示す斜視図である。
【図６】ローバーの面取り加工工程を示す側面図である。
【図７】加工ヘッドを反転させる様子を示す側面図である。
【図８】ピボットを中央に配した加工ヘッドを示す斜視図である。
【符号の説明】
１０  面取り加工治具
１１  ローバー
１１ａ  被加工端縁部
１２  加工ヘッド
１３  ベースブロック
１３ｄ  位置決めピン
１４  ロックナット
１５  ベース
１６  研磨シート
１７  ピボット
１７ｂ  球状部
１８  ヘッドベース
１８ａ  突条部
１８ｂ  長穴
１８ｆ  係合穴
１９  ガイドブロック
１９ｃ  上面
２０  ガイドブロック
２０ｂ  溝
２１  シャフト
２３  ゴムシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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