(57)【要約】【課題】高粘度の液状体を吐出するのに好適で、特に吐出直線性に優れたヘッド駆動装置を提供する。【解決手段】本発明のヘッド駆動装置は、ノズル開口１１１に連通する圧力発生室１１３と、圧力発生室１１３内の液状体を加圧することによりノズル開口１１１から液状体を吐出させる圧力発生素子ＰＺＴとを備えるヘッド１６を駆動するヘッド駆動装置であって、液状体を吐出した後において、圧力発生素子ＰＺＴを再収縮させる再収縮信号と、再収縮した圧力発生素子ＰＺＴをその収縮状態にて維持させる維持信号と、その収縮状態を連続的に解放して該圧力発生素子を定常状態に再回復させる再回復信号と、を圧力発生素子ＰＺＴに対する駆動信号として送出可能な制御手段を備えたことを特徴とする。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室と、当該圧力発生室内の液状体を加圧することにより前記ノズル開口から液状体を吐出させる圧力発生素子とを備えるヘッドを駆動するヘッド駆動装置であって、
前記圧力発生素子を定常状態から連続的に収縮させる第１収縮信号と、
収縮した圧力発生素子を第１収縮状態にて維持させる第１維持信号と、
該圧力発生素子の第１収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる第１回復信号と、
回復した圧力発生素子を再収縮させ、前記第１収縮状態よりも収縮率の小さい第２収縮状態にするための第２収縮信号と、
収縮した圧力発生素子を該第２収縮状態にて維持させる第２維持信号と、
該圧力発生素子の第２収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に再回復させる第２回復信号と、
を前記圧力発生素子に対する駆動信号として送出可能な制御手段を備えたことを特徴とするヘッド駆動装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記第２回復信号を送出した際に前記液状体が前記ノズル開口から吐出されないように、前記第２収縮信号を調整することを特徴とする請求項１に記載のヘッド駆動装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記圧力発生素子の第２収縮状態における容積が、前記第１収縮状態における容積の１０％〜４０％となるように、前記第２収縮信号を調整することを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッド駆動装置。
【請求項４】
前記圧力発生素子として圧電素子が具備され、前記制御手段は、該圧電素子に対して送出する前記第２収縮信号の電圧値を、前記第１回復信号の電圧値の１０％〜４０％となるように設定することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のヘッド駆動装置。
【請求項５】
前記圧力発生素子として圧電素子が具備され、前記制御手段は、該圧電素子に対して、前記第１収縮信号の送出前と、前記第１回復信号の送出後及び第２回復信号の送出後とにおいて、その送出する駆動信号の電圧値を略等しく設定することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のヘッド駆動装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記第１回復信号として、前記圧力発生素子の第１収縮状態を該圧力発生素子の固有振動周期と略等しい時間にて連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる信号を前記圧力発生素子に対して送出することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のヘッド駆動装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記第１収縮信号の送出時間と前記第１維持信号の送出時間との和を、前記圧力発生室の固有振動周期よりも長く設定することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載のヘッド駆動装置。
【請求項８】
前記ノズル開口から吐出される液状体の粘度が、１０ｍＰａ・ｓ〜３０ｍＰａ・ｓであることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載のヘッド駆動装置。
【請求項９】
ノズル開口に連通する圧力発生室と、当該圧力発生室内の液状体を加圧することにより前記ノズル開口から液状体を吐出させる圧力発生素子とを備えるヘッドを駆動するヘッド駆動装置であって、
前記圧力発生素子に対して、定常状態からメニスカスを引き込む第１引込信号を送出し、該第１引込信号を送出した後の信号電圧を維持した後に、前記液状体を引込状態から吐出させる吐出信号を送出する第１制御手段と、
前記圧力発生素子に対して、前記吐出信号を送出した後の信号電圧を維持した後に、メニスカスを前記圧力発生室内部に引き込む第２引込信号を送出し、該第２引込信号を送出した後の信号電圧を維持した後に、定常状態に戻す回復信号を送出する第２制御手段と、
を含む制御手段を備えたことを特徴とするヘッド駆動装置。
【請求項１０】
ノズル開口に連通する圧力発生室と、当該圧力発生室内の液状体を加圧することにより前記ノズル開口から液状体を吐出させる圧力発生素子とを備えるヘッドを駆動するヘッド駆動方法であって、
前記圧力発生素子を定常状態から連続的に収縮させる第１収縮ステップと、
収縮した圧力発生素子を第１収縮状態にて維持する第１維持ステップと、
該圧力発生素子の第１収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる第１回復ステップと、
回復した圧力発生素子を再収縮させ、前記第１収縮状態よりも収縮率の小さい第２収縮状態にする第２収縮ステップと、
収縮した圧力発生素子を該第２収縮状態にて維持する第２維持ステップと、
該圧力発生素子の第２収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に再回復させる第２回復ステップと、
を有することを特徴とするヘッド駆動方法。
【請求項１１】
前記第２回復ステップの際に前記液状体が前記ノズル開口から吐出されないように、前記第２収縮ステップにおいて、前記圧力発生素子の第２収縮状態における収縮率を調整することを特徴とする請求項１０に記載のヘッド駆動方法。
【請求項１２】
前記圧力発生素子の第２収縮状態における容積が、前記第１収縮状態における容積の１０％〜４０％となるように、前記第２収縮ステップにおいて、前記圧力発生素子の収縮率を調整することを特徴とする請求項１０又は１１に記載のヘッド駆動方法。
【請求項１３】
前記圧力発生素子として圧電素子を用い、前記第２収縮ステップにおいて前記圧電素子に送出する第２収縮信号の電圧値を、前記第１収縮ステップにおいて前記圧電素子に送出する第１収縮信号の電圧値の１０％〜４０％となるように設定したことを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載のヘッド駆動方法。
【請求項１４】
前記圧力発生素子として圧電素子を用い、前記第１収縮ステップにおける該圧電素子への第１収縮信号の送出前と、前記第１回復ステップにおける該圧電素子への第１回復信号の送出後、及び第２回復ステップにおける該圧電素子への第２回復信号の送出後とにおいて、その送出する信号電圧値を略等しく設定したことを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれか１項に記載のヘッド駆動方法。
【請求項１５】
前記第１回復ステップにおいて、前記圧力発生素子に送出する第１回復信号として、前記圧力発生素子の第１収縮状態を該圧力発生素子の固有振動周期と略等しい時間にて連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる信号を前記圧力発生素子に対して送出することを特徴とする請求項１０ないし１４のいずれか１項に記載のヘッド駆動方法。
【請求項１６】
前記第１収縮ステップの実行時間と前記第１維持ステップの実行時間との和を、前記圧力発生室の固有振動周期よりも長く設定したことを特徴とする請求項１０ないし１５のいずれか１項に記載のヘッド駆動方法。
【請求項１７】
前記ノズル開口から吐出される液状体の粘度が、１０ｍＰａ・ｓ〜３０ｍＰａ・ｓであることを特徴とする請求項１０ないし１６のいずれか１項に記載のヘッド駆動方法。
【請求項１８】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載のヘッド駆動装置を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１９】
請求項１０ないし１７のいずれか１項に記載のヘッド駆動方法を用いて前記液状体を吐出する工程を表示装置の製造工程の１つとして含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２０】
前記液状体として、有機ＥＬ表示装置に用いられる正孔輸送層の構成材料を溶媒に分散ないし溶解させたものを用いることを特徴とする請求項１９に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２１】
請求項１８に記載の液滴吐出装置、又は請求項１９，２０に記載の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヘッド駆動装置、ヘッド駆動方法、液滴吐出装置、表示装置の製造方法及び表示装置に係り、特に高粘度の液状体を吐出するのに適したヘッドを駆動するヘッド駆動装置等に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、微小なインク滴を着弾させるインクジェット方式を応用してカラーフィルタ基板を製造する方法や、微細な構造を有するデバイスを製造する方法が提案されている。このインクジェット方式を実現するインクジェット装置（液滴吐出装置）は、インク滴を吐出するインクジェットヘッドを備えている。インクジェットヘッドは外部から供給されるインクを一時的に蓄えるインク室と、インク室内のインクを加圧して所定量だけ吐出させる駆動源となる圧電素子（例えば、ピエゾ素子）と、インク室からのインク滴が吐出されるノズルが穿設されたノズル面とを備えている。これらインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、互いに等ピッチ間隔に配置されてヘッド群を構成しており、ヘッド群をスキャン方向（例えば、Ｘ方向）に沿って基板に対してスキャンさせながらインク滴を吐出させていくことで、基板上に例えばＲ，Ｇ，Ｂの各インク滴を着弾させている。一方、スキャン方向に対して直交する方向（例えば、Ｙ方向）における基板の位置調整は、基板を載置する載置台を移動させることにより行われる。
【０００３】
上記のカラーフィルタ基板或いは各種デバイスの製造工程においては、インクジェット装置が備えるインクジェットヘッドから吐出されるインク滴の吐出精度（例えば、滴下位置の誤差や位置毎の滴下量の誤差等）によって製造誤差が生じることがある。したがって、例えば高精度のカラーフィルタ基板或いはデバイスを製造するためには、インクジェットヘッドから吐出されるインク滴の吐出精度を高める必要がある。そこで、例えば特許文献１には、インクジェットヘッドの駆動周波数に拘らず、安定にインク滴を吐出させることが可能なヘッド駆動方法が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−６２１６３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようなインクジェット装置を用いて滴下するインクとして、高粘度の液状体又は溶液（分散液）が用いられる場合がある。このような高粘度のインクを用いた場合、メニスカスを引き戻すための駆動を必要としないため、通常の低粘度のインクとは異なる挙動にてインクジェット装置を駆動することが可能で、したがって、低粘度インク用とは異なる高粘度インク用に最適なインクジェットヘッドの駆動が望まれる。つまり、上記特許文献１では、ヘッドの駆動方法について開示されているものの、低粘度系のインクに適したものであることが本発明者によって確認された。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、高粘度の液状体を吐出するのに好適で、駆動周波数に拘らず精度良く安定した吐出を行うことが可能であるとともに、吐出後のメニスカス残留振動が生じた場合にも吐出直進性を確保して、精度良い吐出を行うことが可能なヘッド駆動装置及びヘッド駆動方法と、該ヘッド駆動装置を採用した液滴吐出装置を提供することを目的としている。さらに、本発明は、該液滴吐出装置を用いた表示装置の製造方法と、該製造方法により得られる表示装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のヘッド駆動装置は、ノズル開口に連通する圧力発生室と、当該圧力発生室内の液状体を加圧することにより前記ノズル開口から液状体を吐出させる圧力発生素子とを備えるヘッドを駆動するヘッド駆動装置であって、前記圧力発生素子を定常状態から連続的に収縮させる第１収縮信号と、収縮した圧力発生素子を第１収縮状態にて維持させる第１維持信号と、該圧力発生素子の第１収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる第１回復信号と、回復した圧力発生素子を再収縮させ、前記第１収縮状態よりも収縮率の小さい第２収縮状態にするための第２収縮信号と、収縮した圧力発生素子を該第２収縮状態にて維持させる第２維持信号と、該圧力発生素子の第２収縮状態を連続的に解放して、該圧力発生素子を前記定常状態に再回復させる第２回復信号と、を前記圧力発生素子に対する駆動信号として送出可能な制御手段を備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明者は、高粘度の液状体が低粘度の液状体に比して、メニスカスを引き戻すための駆動を必要としないことを見出し、本発明に至った。
すなわち、本発明のヘッド駆動装置は、高粘度の液状体を吐出するのに好適な装置（高粘度用ヘッド駆動装置）であって、圧力発生素子を定常状態から収縮状態に連続的に変化させ、収縮状態を一定期間維持した後、定常状態に連続的に回復させる簡便な制御にて、特に高粘度の液状体を、高精度にて、安定して吐出を行うことが可能となったのである。また、本発明のヘッド駆動装置によると、吐出される液状体１滴の重量や吐出速度を、吐出周波数（１滴を吐出するサイクル）によらず略同一にすることが可能となり、具体的には特許文献１に記載された技術では３ｋＨｚ以上の周波数帯域では吐出重量、吐出速度ともに大きく低下するが、本発明では１０ｋＨｚ程度の周波数帯域まで吐出重量、吐出速度ともに一定の値にて安定した吐出が可能となった。
さらに、液状体を吐出した後において、圧力発生素子を再収縮した後、これを所定時間維持し、再び定常状態に回復させるものとしているため、液状体吐出後においてメニスカスの残留振動が発生した場合にも、その残留振動に起因して吐出精度が低下する不具合を一層確実に解消することが可能となる。つまり、液状体の吐出後、メニスカスを所定時間引き戻すため、残留振動が生じている間に液状体が吐出されることを一層確実に防止することが可能となるのである。したがって、高粘度の液状体を用いた場合にも、残留振動の発生に基づき吐出性が低下する等の不具合が生じ難くなり、一層直線性に優れた吐出を行うことが可能となる。
【０００９】
ここで、圧力発生素子の状態を連続的に変化させるとは、圧力発生素子の収縮率或いは回復率（拡大率）を略一定にする、すなわち圧力発生素子の時間に対する体積変化率を略一定にすることを意味するもので、例えば圧力発生素子に付与する収縮信号或いは回復信号を一定の時間変化率で変化させるものとすればよい。
また、定常状態とは、圧力発生室内の容積が定常にある状態、つまり圧力発生室内の液状体に対して略或いは完全に圧力が付与されていない状態を意味するものであり、特に液状体がノズル開口から吐出されない状態を意味するものである。本発明では、例えば圧力発生素子において収縮信号が略或いは完全に送出されていない状態を言うものとすることができる。
さらに、収縮状態とは、圧力発生素子が収縮して、圧力発生室内の容積を膨張させた状態、つまり液状体に対して吐出前の引き込みが行われた状態を意味するものである。本発明では、圧力発生素子が破壊することのない最大の収縮状態を言うものとすることができる。
なお、本発明に言う高粘度の液状体とは、例えば１０ｍＰａ・ｓ〜３０ｍＰａ・ｓ程度のものとすることができる。
【００１０】
前記制御手段は、前記第２回復信号を送出した際に前記液状体が前記ノズル開口から吐出されないように、前記第２収縮信号を調整するものとすることができる。この場合、上記のような液状体を吐出した後に、メニスカスの残留振動が生じている間に該メニスカスを引き戻す時間が設定されている場合にも、この第２の収縮を解放したときに液状体が吐出されてしまう等の不具合を解消することができるようになる。具体的には、前記圧力発生素子の第２収縮状態における容積が、前記第１収縮状態における容積の１０％〜４０％となるように、前記第２収縮信号を調整することが望ましい。
【００１１】
ここで、前記圧力発生素子として圧電素子が具備された場合、前記制御手段が、該圧電素子に対して送出する前記第２収縮信号の電圧値を、前記第１回復信号の電圧値の１０％〜４０％となるように設定するものとすれば、第２収縮状態の収縮率を、第１収縮状態のそれに比して小さくすることが可能となる。なお、上記割合が１０％未満の場合は、メニスカスの残留振動を抑えられずに吐出製が低下するとなる場合があり、また、上記割合が４０％を超えると、第２回復信号により定常状態に再回復する際に、液状体が吐出されてしまう惧れがある。
【００１２】
さらに、圧力発生素子として圧電素子が具備された場合、前記制御手段は、該圧電素子に対して、前記第１収縮信号の送出前と、前記第１回復信号の送出後及び前記第２回復信号の送出後とにおいて、その送出する駆動信号の電圧値を略等しく設定するものとすることができる。このように、圧電素子を回復する際には、定常状態の電圧値に近い電圧値の信号に回復させるものとすれば、その駆動方式が簡便化され、安定した吐出を実現することが可能となり得る。
【００１３】
本発明において、前記制御手段は、前記第１回復信号として、前記圧力発生素子の第１収縮状態を該圧力発生素子の固有振動周期と略等しい時間にて連続的に解放し、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる信号を前記圧力発生素子に対して送出するものとすることができる。
圧力発生素子の第１収縮状態が解放されると、圧力発生室内の液状体が加圧され、ノズルから液状体が吐出されることとなるが、上記のように圧力発生素子の固有振動周期と略等しい時間にて、該圧力発生素子の第１収縮状態を解放するものとした場合、固有振動に基づいて液状体のメニスカスが振動しないので、吐出不安定になる状態が解消されることとなり、安定した吐出を確保することが可能となる。また、この場合、吐出される液状体１滴の重量や吐出速度を、吐出周波数によらず一層安定化させることが可能となる。
【００１４】
また、前記制御手段は、前記第１収縮信号の送出時間と前記第１維持信号の送出時間との和を、前記圧力発生室の固有振動周期よりも長く設定するものとすることができる。この場合、高粘度の液状体のメニスカスを圧力発生室内部に確実に引き込むことにより、圧力発生室内にある液状体を確実に加圧して吐出させることができ、液状体が高粘度であるため滴下されない等の不具合を解消することができるようになり、更に安定した吐出の実現が可能となる。
【００１５】
また、上記課題を解決するために、本発明のヘッド駆動装置は、その異なる態様として、ノズル開口に連通する圧力発生室と、当該圧力発生室内の液状体を加圧することにより前記ノズル開口から液状体を吐出させる圧力発生素子とを備えるヘッドを駆動するヘッド駆動装置であって、前記圧力発生素子に対して、定常状態からメニスカスを引き込む第１引込信号を送出し、該第１引込信号を送出した後の信号電圧を維持した後に、前記液状体を引込状態から吐出させる吐出信号を送出する第１制御手段と、前記圧力発生素子に対して、前記吐出信号を送出した後の信号電圧を維持した後に、メニスカスを前記圧力発生室内部に引き込む第２引込信号を送出し、該第２引込信号を送出した後の信号電圧を維持した後に、定常状態に戻す回復信号を送出する第２制御手段と、を含む制御手段を備えたことを特徴とする。
【００１６】
このようなヘッド駆動装置においても、高粘度の液状体を吐出するのに好適な装置（高粘度用ヘッド駆動装置）となり、該高粘度の液状体を、高精度に安定して吐出を行うことが可能となる。また、吐出される液状体１滴の重量や吐出速度を、吐出周波数によらず略同一にすることが可能となる上、液状体吐出後においてメニスカスの残留振動が発生した場合にも、該残留振動の発生に基づき吐出性が低下する等の不具合が生じ難くなり、直線性に優れた吐出を行うことが可能となる。
【００１７】
次に、上記課題を解決するために、本発明のヘッド駆動方法は、ノズル開口に連通する圧力発生室と、当該圧力発生室内の液状体を加圧することにより前記ノズル開口から液状体を吐出させる圧力発生素子とを備えるヘッドを駆動するヘッド駆動方法であって、前記圧力発生素子を定常状態から連続的に収縮させる第１収縮ステップと、収縮した圧力発生素子を第１収縮状態にて維持する第１維持ステップと、該圧力発生素子の第１収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる第１回復ステップと、回復した圧力発生素子を再収縮させ、前記第１収縮状態よりも収縮率の小さい第２収縮状態にする第２収縮ステップと、収縮した圧力発生素子を該第２収縮状態にて維持する第２維持ステップと、該圧力発生素子の第２収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に再回復させる第２回復ステップと、を有することを特徴とする。
【００１８】
このようなヘッド駆動方法は、上記ヘッド装置を用いて実現することが好適で、特に高粘度の液状体を吐出するのに好適な方法（高粘度用ヘッド駆動方法）であり、圧力発生素子を定常状態から収縮状態に連続的に変化させ、収縮状態を一定期間維持した後、定常状態に連続的に回復させるものとしているため、簡便な制御にて、特に高粘度の液状体を、高精度にて、安定して吐出を行うことを可能とするものである。また、本発明のヘッド駆動方法によると、吐出される液状体１滴の重量や吐出速度を、吐出周波数（１滴を吐出するサイクル）によらず略同一にすることが可能となる。
さらに、液状体を吐出した後において、圧力発生素子を再収縮した後、これを所定時間維持し、再び定常状態に回復させるものとしているため、液状体吐出後においてメニスカスの残留振動が発生した場合にも、その残留振動に起因して吐出精度が低下する不具合を一層確実に解消することが可能となる。つまり、液状体の吐出後、メニスカスを所定時間引き戻すため、残留振動が生じている間に液状体が吐出されることを一層確実に防止することが可能となるのである。したがって、高粘度の液状体を用いた場合にも、残留振動の発生に基づき吐出性が低下する等の不具合が生じ難くなり、一層直線性に優れた吐出を行うことが可能となる。
【００１９】
本発明のヘッド駆動方法において、前記第２回復ステップの際に前記液状体が前記ノズル開口から吐出されないように、前記第２収縮ステップでは、前記圧力発生素子の第２収縮状態における収縮率を調整するものとすることができる。この場合、上記のような液状体を吐出した後に、メニスカスの残留振動が生じている間に該メニスカスを引き戻す時間が設定されている場合にも、この第２の収縮を解放したときに液状体が吐出されてしまう等の不具合を解消することができるようになる。具体的には、前記圧力発生素子の第２収縮状態における容積が、前記第１収縮状態における容積の１０％〜４０％となるように、前記第２収縮信号を調整することが望ましい。
【００２０】
ここで、前記圧力発生素子として圧電素子を用いた場合、前記第２収縮ステップにおいて前記圧電素子に送出する第２収縮信号の電圧値を、前記第１収縮ステップにおいて前記圧電素子に送出する第１収縮信号の電圧値の１０％〜４０％となるように設定するものとすれば、第２収縮状態の収縮率を、第１収縮状態のそれに比して小さくすることが可能となる。なお、上記割合が１０％未満の場合は、メニスカスの残留振動を抑えられずに吐出製が低下するとなる場合があり、また、上記割合が４０％を超えると、定常状態に再回復する際に、液状体が吐出されてしまう惧れがある。
【００２１】
さらに、圧力発生素子として圧電素子が具備された場合、前記第１収縮ステップにおける該圧電素子への第１収縮信号の送出前と、前記第１回復ステップにおける該圧電素子への第１回復信号の送出後、及び第２回復ステップにおける該圧電素子への第２回復信号の送出後とにおいて、その送出する信号電圧値を略等しく設定することができる。このように、圧電素子を回復する際には、定常状態の電圧値に近い電圧値の信号に回復させるものとすれば、その駆動方式が簡便化され、安定した吐出を実現することが可能となり得る。
【００２２】
次に、本発明の液滴吐出装置は、上記ヘッド駆動装置を備えることを特徴とする。この場合、高粘度の液状体を、ヘッドの駆動周波数によらず、安定して吐出することが可能となり、しかも吐出後に残留振動が生じた場合にも、直進性に優れた吐出を確保することが可能となる。
【００２３】
次に、本発明の表示装置の製造方法は、上記ヘッド駆動方法を用いて前記液状体を吐出する工程を表示装置の製造工程の１つとして含むことを特徴とする。この場合、表示装置において高精度に材料（例えば画素構成材料）を振り分け塗布することが可能となり、特に高粘度の液状体を高精度にて打ち込むことが可能となり、得られる表示装置の信頼性を高めることが可能となる。また、液状体として有機ＥＬ表示装置に用いられる正孔輸送層の構成材料を溶媒に分散ないし溶解させたものを用いた場合、例えば画素毎に該正孔輸送層の構成材料（例えば高分子材料にて構成された材料）を一層高精度に振り分けて吐出することが可能となる。しかも、その溶液が高粘度のものとなる場合には、上記ヘッド駆動方法を用いることが極めて効果的なものとなる。また、本発明の表示装置は、上記表示装置の製造方法を用いて製造されたことを特徴とし、この表示装置は非常に信頼性の高いものとなる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
（インクジェット装置の全体構成）
図１は、本発明のヘッド駆動装置を搭載した液滴吐出装置たるインクジェット装置の要部を示す斜視図である。
このインクジェット装置１０では、キャリッジ１１がタイミングベルト１２を介してパルスモータ１３に接続され、ガイド部材１４に案内されて被滴下部材１５の幅方向に往復動するように構成されている。キャリッジ１１は被滴下部材１５と対向する面、この図に示す例では下面にインクジェット式のヘッド１６が取り付けられている。
【００２５】
ヘッド１６は、キャリッジ１１の上部に載置されているインクカートリッジ１７からインクの補給を受けて、キャリッジ１１の移動に合わせて被滴下部材１５にインク滴を吐出してドットを形成し、被滴下部材１５に液滴を吐出する。また、インクジェット装置１０の非滴下領域には、キャッピング装置１８が配設され、休止中にヘッド１６のノズル開口を封止する一方、滴下動作中に行われるフラッシング動作によるヘッド１６からのインク滴を受ける。さらに、キャッピング装置１８の近傍にはクリーニング装置１９が配置され、このクリーニング装置１９では、ヘッド１６の表面をブレードなどでワイピングすることにより、そこに付着したインク滓等を拭き取るように構成されている。
【００２６】
（ヘッドの構成）
図２は、ヘッド１６の構成を示す断面図である。
図２に示すように、ヘッド１６では、ノズルプレート１１０にノズル開口１１１が形成され、流路形成板１１２には、圧力発生室１１３を区画する通孔、圧力発生室１１３に両側で連通する２つのインク供給口１１４を区画する通孔または溝、およびこれらのインク供給口１１４にそれぞれ連通する２つの共通のインク室１１５を区画する通孔が形成されている。振動板１１６は、弾性変形可能な薄板から構成され、ピエゾ素子などの圧電振動子ＰＺＴ（圧力発生素子）の先端に当接し、流路形成板１１２を挟んでノズルプレート１１０と液密に一体に固定され、流路ユニット１１８を構成している。
【００２７】
基台１１９には、圧電振動子ＰＺＴを振動可能に収容する収容室１２０と、流路ユニット１１８を支持する開口１２１とが構成され、圧電振動子ＰＺＴの先端を開口１２１から露出させた状態で圧電振動子ＰＺＴを固定基板１２２で固定している。また、基台１１９は、振動板１１６のアイランド部１１６ａを圧電振動子ＰＺＴに当接させた状態で、流路ユニット１１８を開口１２１に固定してヘッド１６を纏めている。
【００２８】
このような構成により、圧電振動子ＰＺＴが収縮して圧力発生室１１３が膨張すると、共通のインク室１１５内のインクがインク供給口１１４を経由して圧力発生室１１３に流れ込む。所定時間の経過後に圧電振動子ＰＺＴが伸長して圧力発生室１１３が収縮すると、圧力発生室１１３のインクが圧縮されてノズル開口１１１からインク滴が吐出する。
【００２９】
（制御系および駆動系の構成）
図３を参照して、インクジェット装置に構成されている制御系および駆動系の構成を説明する。
図３において、インクジェット装置１０に構成されている制御手段６０は、ホストからの吐出指令信号や吐出データを受けて、駆動電圧発生回路３１およびヘッド選択回路６２を備えるヘッド駆動回路３０を制御するとともに、キャリッジ駆動回路３３なども制御して吐出動作（滴下動作）を実行させる。また、制御手段６０はタイマ手段３４の計時データにより、フラッシングを行わせたり、ヘッド１６のクリーニングを行わせる。
【００３０】
ヘッド駆動回路３０において、駆動電圧発生回路３１は、ノズル開口１１１からインク滴を吐出させるのに必要な電圧値の信号波形を発生させるように構成されている。また、ヘッド選択回路６２は、トランジスタＴのオン・オフを制御することにより、吐出データに対応する圧電振動子ＰＺＴに駆動電圧発生回路３１の駆動電圧を選択的に印加する。タイマ手段３４には、滴下タイマ３５、休止タイマ３６および電源オフタイマ３８が構成されている。滴下タイマ３５は、滴下動作の継続時間を計時するタイマであり、滴下開始より起動してフラッシング動作によりリセットされる。休止タイマ３６は、主電源ＳＰのオフ後も計時可能なように、後述する二次電源によりバックアップを受けていて、滴下動作が停止してヘッド１６がキャッピング装置１８により封止された時点で計時を開始し、滴下が開始された時点でリセットされる。電源オフタイマ３８は、電源投入検出手段３９により、電源スイッチＳＷのオフが検出された時点から計時をスタートし、キャッピング装置１８によりヘッド１６を封止するのに要する時間の経過後に出力するとともに、リレー４０を消勢して装置への主電源ＳＰの供給を遮断する。
【００３１】
（駆動回路および駆動パルスの説明）
図４及び図５を参照して、ヘッド駆動回路３０の一例、およびそこで形成される駆動パルスを説明する。図４は、ヘッド駆動回路３０の駆動電圧発生回路などの回路図、図５はヘッド駆動回路で形成される駆動パルスの波形図である。
【００３２】
図４に示すように、ヘッド駆動回路３０の駆動電圧発生回路３１では、外部装置からのタイミング信号４９を一定幅のパルス信号に変換するワンショットマルチバイブレータ５０が構成され、このワンショットマルチバイブレータ５０は、タイミング信号４９に同期して出力端子から正信号および負信号を出力する。この一方の端子には、抵抗を介してＮＰＮ型トランジスタ５１のベースが接続され、これには抵抗を介してＰＮＰ型トランジスタ５２が接続されているので、タイミング信号が入力された時点で、第１の電源ＶＭからキャパシタ５３に対してその端子電圧が第１の電源ＶＭの電圧Ｖｃに概ね到達するまで一定電流での充電が行われる。ここで、第１の電源ＶＭは主電源ＳＰ（図３参照）から生成された電源である。このときの充電電流は、トランジスタ５４のベース−エミッタ間電圧、および抵抗５６の抵抗値で規定されるので、それによりキャパシタ５３の立ち上がり勾配が規定される。
【００３３】
また、ワンショットマルチバイブレータ５０の他方の端子にはＮＰＮ型トランジスタ５８が接続されており、タイミング信号が切り換わった時点で、ＰＮＰ型トランジスタ５２がオフになる代わりに、ＮＰＮ型トランジスタ５８がオンになる。その結果、キャパシタ５３に充電されていた電荷は、その端子電圧が略０ボルトになるまで一定電流で放電される。このときの放電電流は、トランジスタ５５のベース−エミッタ間電圧、および抵抗５７の抵抗値で規定されるので、それによりキャパシタ５３の立ち下がり勾配が規定される。したがって、キャパシタ５３の端子電圧（駆動パルスＶｉｎ）は、図５に示すように、一定の勾配で上昇する領域（立ち上がり信号）と、一定値を保持する飽和領域（維持信号）と、一定の勾配で降下する領域（立ち下がり信号）とを備えた台形波状の波形となる。
【００３４】
その結果、図４に示すキャパシタ５３の端子電圧は、台形波状の駆動パルスＶｉｎとして、駆動電圧発生回路３１の電流増幅回路に構成されているＮＰＮ型のトランジスタＱ１およびＰＮＰ型のトランジスタＱ２のベースに出力され、この電流増幅回路おいて電流増幅されて、ヘッド選択回路６２により指定された圧電振動子ＰＺＴにトランジスタＱ１、Ｑ２の接続点Ｐ０を経由して出力される。この間、一方のトランジスタＱ１を介して圧電振動子ＰＺＴの充電が行われ、他方のトランジスタＱ２を介して圧電振動子ＰＺＴからの放電が行われる。
【００３５】
このように生成した台形波状の駆動パルスＶｉｎは、図５に示すように立ち上がり信号によりその電圧値が最低電位から最大電位まで一定の勾配で上昇した後、維持信号によりこの最大電位を所定時間だけ維持する。次に、立ち下がり信号により駆動パルスは最低電位まで一定の勾配で下降し、その後、この最低電位を所定時間維持する構成とされている。
したがって、図２に示すヘッド１６において、駆動パルスＶｉｎの電圧値が最低電位から最大電位まで上昇すると圧電振動子ＰＺＴが収縮し、圧力発生室１１３の容積を膨張させて圧力発生室１１３に負圧が生じ（立ち上がり時間Ｔ１）、この状態が維持されている間に圧力発生室１１３にインクが流入し（ホールド時間Ｔ２）、しかる後に、電圧値が最低電位まで下降すると、圧電振動子ＰＺＴの収縮が解放され、圧力発生室１１３の容積を収縮する方向に形状復帰して圧力発生室１１３に正圧が発生すると、ノズル開口１１１からインク滴が吐出される（立ち下がり時間Ｔ３）。
【００３６】
ここで、駆動パルスＶｉｎは、立ち上がりを開始してから最高電圧に達するまでの時間Ｔ１が４．５μ秒〜８．０μ秒（例えば７．３μ秒）、この最高電圧を保持する時間Ｔ２が１．０μ秒〜２．０μ秒（例えば１．５μ秒）、立ち下がりを開始してから最低電圧に達するまでの時間Ｔ３が１．８μ秒〜３．５μ秒（例えば３．５μ秒）に設定されている。なお、駆動パルスＶｉｎの最高電圧は、ここでは圧電振動子ＰＺＴの収縮が許容される電圧値の９０％〜１００％（例えば３０Ｖ）とする一方、駆動パルスＶｉｎの最低電圧は圧電振動子ＰＺＴの状態が安定化する状態（定常状態）の電圧値（ここでは０Ｖ〜２Ｖ）としている。また、立ち下がりを開始してから最低電圧に達するまでの立ち下がり時間Ｔ２については、圧電振動子ＰＺＴの固有振動周期Ｔａと略同程度の時間（例えば３．５μ秒）に設定されている。なお、本実施形態では、立ち上がりを開始してから最高電圧に達するまでの時間Ｔ１と、この最高電圧を保持する時間Ｔ２との和が、圧力発生室１１３の固有振動周期Ｔｃよりも長い時間（ここでは８．８μ秒）に設定されている。
【００３７】
次に、駆動パルスＶｉｎの構成について、インク滴の吐出態様と対比して説明すると、まず、本実施形態では、駆動パルスＶｉｎは中間保持状態を持たず、圧電振動子ＰＺＴを定常状態からインク滴吐出の前段階の収縮状態まで連続的に収縮させる収縮信号（立ち上がり信号）と、この収縮状態を維持する維持信号と、収縮状態からインク滴吐出が完了する状態までインク滴の吐出に適した変化率で圧力発生室１１３の容積を縮小させるべく、圧電振動子ＰＺＴの収縮状態を回復させる回復信号（立ち下がり信号）とを備えている。
【００３８】
ここで、収縮信号がヘッド駆動回路３０から圧電振動子ＰＺＴに送出されると、圧力発生室１１３の容積が膨張し、この膨張状態を維持する維持信号が送出されている間、インクが該圧力発生室１１３内に充填される。そして、回復信号が送出されると、圧力発生室１１３の容積が収縮（回復）し、圧力発生室１１３内に充填されていたインクが吐出される。
【００３９】
次に、このような駆動パルスＶｉｎによってインク滴を吐出した後、時間Ｔ４（図５参照）後、駆動パルスＶｉｎと同様、図４に示したヘッド駆動回路３０により駆動パルスＶｗａｉｔが入力される。この場合の駆動パルスＶｗａｉｔも台形波状となり、図５に示すように立ち上がり信号によりその電圧値が最低電位から最大電位の約３０％まで一定の勾配で上昇した後、維持信号によりこの電位を所定時間だけ維持する。次に、立ち下がり信号により駆動パルスは最低電位まで一定の勾配で下降し、その後、この最低電位を維持する構成とされている。
【００４０】
ここで、この駆動パルスＶｗａｉｔは、駆動パルスＶｉｎによる吐出の完了後、時間Ｔ４（１μ秒〜２．５μ秒、例えば１．５μ秒）を経過したときに立ち上がりを開始し、該立ち上がりからＶｈ＝３０％に達するまでの時間Ｔ５が１μ秒〜２．５μ秒（例えば１．５μ秒）とされている。また、このＶｈ＝３０％を保持する時間Ｔ６が２０μ〜４０μ秒（例えば２０μ秒）、立ち下がりを開始してから最低電圧に達するまでの時間Ｔ７が３．５μ秒以上（例えば７．０μ秒）に設定されている。
なお、駆動パルスＶｗａｉｔの最高到達電圧は、圧電振動子ＰＺＴの収縮が許容される最高電圧値の１０％〜４０％（例えば３０％で１０Ｖ程度）とする一方、駆動パルスＶｗａｉｔの最低電圧は圧電振動子ＰＺＴの状態が安定化する状態（定常状態）の電圧値（ここでは０Ｖ〜２Ｖ）としている。駆動パルスＶｗａｉｔの最高到達電圧を上記範囲とすることで、駆動パルスＶｗａｉｔを付与した際にノズルからインクは吐出されないようになる。
【００４１】
したがって、上記駆動パルスＶｗａｉｔを付与することにより、インク吐出後のヘッド１６においてメニスカスが一旦引き戻され、所定時間その引き戻し状態が維持されることとなる。
その結果、駆動パルスＶｉｎを送出してインクが吐出された後に、ヘッド１６においてメニスカスの残留振動が発生した場合にも、その残留振動発生中にインクが吐出することが防止ないし抑制される。つまり、インクの吐出後、駆動パルスＶｗａｉｔによりメニスカスを所定時間引き戻し、残留振動発生中のインクの吐出を防止ないし抑制しているため、残留振動の発生による吐出ズレが生じ難くなり、一層直線性に優れた吐出を行うことが可能となるのである。
【００４２】
以上のような本実施形態のインクジェット装置１０は、高粘度のインク（例えば粘度が１０ｍＰａ・ｓ〜３０ｍＰａ・ｓ程度のもの）を吐出するのに適している。つまり、高粘度インクは、メニスカスを保持するための信号が不要なため、収縮状態から中間状態（定常状態から収縮状態の間の状態）まで圧力発生室１１３を膨張させて滴下防止の信号が不要となり、本実施形態のように吐出用の駆動パルスＶｉｎの波形を単純化することができ、かつパルスの１周期を短縮できるため、駆動電圧発生回路３１の構成を簡素化できる。さらに、このような高粘度のインクを用いて、インク吐出後に残留振動が生じた場合にも、駆動パルスＶｗａｉｔにより、該残留振動に基づく吐出性の低下を防止ないし抑制することが可能である。
【００４３】
図６及び図７は、上記ヘッド駆動回路３０を具備したインクジェット装置１０を用いた場合の吐出性能を評価したグラフである。また、図８は、比較のための図であって、中間電圧として１０Ｖの引き込み電圧（引き込み信号ＶＤ）を送出するヘッド駆動回路を用いた場合の駆動パルスを示したものであって、図９及び図１０は、該ヘッド駆動回路を具備したインクジェット装置を用いた場合の吐出性能を評価したグラフである。図６及び図９において、横軸は駆動パルスＶｉｎの周波数（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）、縦軸はインクの重量（Ｉｗ）である。また、図７及び図１０において、横軸は駆動パルスＶｉｎの周波数（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）、縦軸はインクの滴下速度（Ｖｍ）である。なお、ヘッド１６としてヘッド数１６０のものを用いた。
【００４４】
このように図８に示した駆動パルスにてヘッドを駆動させた場合、３ＫＨｚ以上の高周波駆動を行うと、インク重量（Ｉｗ）及び滴下速度（Ｖｍ）共に大きく低下し、吐出の安定性が低下していることが分かる。また、１０ＫＨｚ以上まで周波数を上げると、ドット抜けが発生する場合もある。
【００４５】
一方、図５に示した駆動パルスにて駆動を行う本実施形態のインクジェット装置１０では、引き込み信号に対応する中間電圧を付与していないため、高周波駆動におけるインク重量（Ｉｗ）及び滴下速度（Ｖｍ）の低下を防止ないし抑制することができた。
【００４６】
なお、圧電振動子ＰＺＴの収縮状態が解放されると、圧力発生室１１３内のインクが加圧され、ノズルからインクが吐出されることとなるが、本実施形態のように圧電振動子ＰＺＴの固有振動周期Ｔａと略等しい時間にて、回復信号を送出するものとした場合、固有振動に基づいて液状体のメニスカスが振動しないので、吐出不安定になる状態が解消されることとなり、安定した吐出を確保することが可能となる。また、収縮信号の送出時間と維持信号の送出時間との和を、圧力発生室１１３の固有振動周期Ｔｃよりも長く設定しているため、圧力発生室１１３内にインクのメニスカスを確実に引き込むことにより、該圧力発生室内にあるインクを確実に加圧して吐出させることができ、インクが高粘度であるため滴下されない等の不具合を解消することができるようになり、ひいては安定した吐出の実現が可能となる。さらに、収縮状態を維持する維持信号ＶＢを少なくとも２μｓｅｃ以下に設定するものとすることで、圧力発生室１１３の拡張状態を保持する時間が２μｓｅｃ以下となり、インクのメニスカスが該圧力発生室１１３内に引き込まれた状態を保持できる時間内で加圧して吐出させることができ、吐出安定性が一層向上することとなる。
【００４７】
さらに、図５に示した駆動パルスＶｉｎ及び駆動パルスＶｗａｉｔを含む駆動信号を用いて吐出を行った場合について、その着弾性能を描画チェッカーを用いて確認したところ、縦方向アライメントは非常に良く、相対σ＝１．５（着弾精度２μｍ程度）となり、本実施形態のインクジェット装置による吐出が直線性に優れていることが確認された。
【００４８】
なお、吐出用の駆動パルスＶｉｎにおいて、立ち上がり信号（収縮信号）を送出した後、収縮状態を維持する時間Ｔ２は、例えば１．０μ秒程度に短縮することで、吐出速度を速めることができた。また、この場合、吐出ノズル数を変化させても、１滴の吐出重量が変化しないことも確認された。また、この場合の着弾性能を描画チェッカーを用いて確認したところ、縦方向アライメントは非常に良く、相対σ＝１．６（着弾精度２μｍ程度）となり、当該インクジェット装置による吐出が直線性に優れていることが確認された。
【００４９】
さらに、メニスカスの引き戻しのタイミングについて検討した。本実施形態のインクジェット装置において、吐出終了後から駆動パルスＶｗａｉｔが立ち上がるまでの時間Ｔ４、及び駆動パルスＶｗａｉｔの電圧保持時間Ｔ６を、それぞれ２．５μ秒としたところ、吐出にブレが生じた。これは、時間を長くすることでメニスカスの引き戻し作用が効かなくなったためと考えられる。したがって、時間Ｔ４，Ｔ６のいずれも２．５μ秒以下とするのが良く、波形の急激な変化による過電流への影響も考慮するとそれぞれ１．５μ秒程度とするのが更に好ましい。
【００５０】
（デバイス製造方法及びデバイス）
次に、上記インクジェット装置１０を用いたデバイスの製造方法ないし表示装置の製造方法、並びにこの製造方法を経て製造されるデバイス及び表示装置の一例について説明する。なお、以下の説明では、上述したインクジェット装置１０を用いてカラーフィルタ基板（デバイス）を製造する方法を例に挙げて説明する。図１１は、上記インクジェット装置１０を具備したデバイス製造装置を用いて、ＲＧＢパターンを形成する工程を含めたカラーフィルタ基板の一連の製造工程を示す図である。
【００５１】
カラーフィルタ基板の製造に用いられるウェハＷは、例えば長方形型薄板形状の透明基板であり、適度の機械的強度と共に光透過性の高い性質を兼ね備えている。なお、このウェハＷには、ＲＧＢパターン形成工程の前工程において、生産性を上げる観点から、複数のカラーフィルタ領域が予めマトリックス状に形成されており、これらカラーフィルタ領域をＲＧＢパターン形成工程の後工程で切断することにより、液晶表示装置に適合するカラーフィルタ基板として用いられるようになっている。
【００５２】
ここで、図１２は、デバイス製造装置が具備するインクジェット装置１０により形成されるＲＧＢパターン例を示す図であり、（ａ）はストライプ型のパターンを示す斜視図であり、（ｂ）はモザイク型のパターンを示す部分拡大図であり、（ｃ）はデルタ型のパターンを示す部分拡大図である。図１２に示すように、各カラーフィルタ領域には、Ｒ（赤色）のインク、Ｇ（緑色）のインク、及びＢ（青色）のインクが、図１に示したヘッド１６により所定のパターンで形成されるようになっている。この形成パターンとしては、図１２（ａ）に示すストライプ型のパターンの他に、図１２（ｂ）に示すモザイク型のパターン、又は、図１２（ｃ）に示すデルタ型のパターンなどがあるが、本発明ではその形成パターンに関し、特に限定はされない。
【００５３】
図１１に戻り、前工程であるブラックマトリックス形成工程では、図１１（ａ）に示すように、透明のウェハＷの一方の面（カラーフィルタ基板の基礎となる面）に対して、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色）を、スピンコート等の方法により、所定の厚さ（例えば、２μｍ程度）に塗布し、その後、フォトリソグラフィー法等によりマトリックス状にブラックマトリックスＢＭを形成する。これらブラックマトリックスＢＭの格子で囲まれる最小の表示要素は、所謂フィルターエレメントＦＥといわれ、ウェハＷ面内の一方向（例えばＸ軸方向）の幅寸法が３０μｍ程度、この方向に直交する方向（例えば、Ｙ軸方向）の長さ寸法が１００μｍ程度の大きさの窓である。ウェハＷ上にブラックマトリックスＢＭを形成した後は、図示しないヒータにより熱を加えることで、ウェハＷ上の樹脂が焼成される。
【００５４】
このようにしてブラックマトリックスＢＭが形成されたウェハＷに対してＲ，Ｇ，Ｂのパターン形成が行われる。該ＲＧＢパターン形成工程では、まずウェハＷを図１に示したインクジェット装置１０の被滴下部材１５として配設し、図１１（ｂ）に示すように、フィルターエレメントＦＥの所定位置内に、赤色のインク滴ＲＤを着弾させる。この時の各インク滴ＲＤの量は、加熱工程におけるインク滴ＲＤの体積減少量を考慮した充分な量となっている。
【００５５】
このようにしてフィルターエレメントＦＥの所定位置に赤色のインク滴ＲＤが充填された後のウェハＷは、所定の温度（例えば７０度程度）で乾燥処理される。この時、インク滴ＲＤの溶媒が蒸発すると、図１１（ｃ）に示すようにインク滴ＲＤの体積が減少するので、体積減少が激しい場合には、カラーフィルタ基板として充分なインク膜厚が得られるまで、インク滴ＲＤの着弾作業と乾燥作業とが繰り返される。この処理により、インク滴ＲＤの溶媒が蒸発して、最終的にインク滴ＲＤの固形分のみが残留して膜化する。
【００５６】
また、緑色のインク滴ＧＤ、青色のインク滴ＢＤについても同様の滴下工程及び膜化工程が行われ、ＲＧＢパターン形成工程が完了する。その後は引き続き、図１１（ｄ）以降に示す後工程が行われる。後工程の１つである図１１（ｄ）に示す保護膜形成工程では、インク滴ＲＤ，ＧＤ，ＢＤを完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間加熱を行う。乾燥が終了すると、インク膜が形成されたウェハＷの表面保護及び表面平坦化を目的として保護膜ＣＲが形成される。この保護膜ＣＲは、例えばスピンコート法、ロールコート法、又はリッピング法等の方法を用いて形成される。
【００５７】
保護膜形成工程に続く図１１（ｅ）に示した透明電極形成工程では、スパッタ法又は真空吸着法等の方法を用いて、保護膜ＣＲの全面を覆うように透明電極ＴＬが形成される。透明電極形成工程に続く図１１（ｆ）に示すパターニング工程では、透明電極ＴＬが、画素電極ＰＬとしてパターニングされる。以上説明した各工程を経て、図１１（ｆ）に示すカラーフィルタ基板ＣＦが製造される。
【００５８】
そして、このカラーフィルタ基板ＣＦと対向基板（図示省略）とを対向配置させ、その間に液晶を挟持させる工程を経て液晶表示装置（表示装置）が製造される。このようにして製造された液晶表示装置に加え、ＣＰＵ（中央処理装置）等を備えたマザーボード、キーボード、ハードディスク等の電子部品を筐体内に組み込むことで、例えば図１３に示すノート型のパーソナルコンピュータ２０（電子機器）が製造される。図１３は、本発明の一実施形態による表示装置の製造方法を用いて製造される表示装置の一例を示す図である。なお、図１３において２１は筐体であり、２２は液晶表示装置であり、２３はキーボードである。
【００５９】
上述のデバイス製造工程を経て形成されるカラーフィルタ基板ＣＦが装備される表示装置としては上記のノート型パソコン２０に限られず、携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ端末、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器等、様々な表示部を具備した電子機器が挙げられる。
【００６０】
また、本発明では、高粘度のインクを用いることが好適のため、例えばインクジェット装置１０を用いた有機ＥＬ装置を製造することもできる。この場合、有機ＥＬ装置を構成する正孔輸送層について、その構成材料である高分子材料（ポリチオフェン誘導体（ＰＥＤＯＴ））を所定の溶媒（水及び水に可溶の有機溶媒を含んだものが好ましい）に溶解ないし分散させて、これを上記インクジェット装置１０にて各画素毎に吐出するのが好適である。このような製造プロセスを含んで得られる有機ＥＬ装置は信頼性が高いものとなり、また製造工程も簡略化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェット装置の一実施形態について要部を示す斜視図。
【図２】図１のインクジェット装置に備えられたヘッドの構成を示す断面図。
【図３】図１のインクジェット装置に備えられたヘッド駆動装置の構成を示すブロック図。
【図４】図３のヘッド駆動装置に備えられた駆動電圧発生回路等の構成を示す回路図。
【図５】図３のヘッド駆動装置にて生成される駆動パルスの構成を示す説明図。
【図６】本実施形態のインクジェット装置の吐出性能について示す説明図。
【図７】本実施形態のインクジェット装置の吐出性能について示す説明図。
【図８】比較例のヘッド駆動装置にて生成される駆動パルスの構成を示す説明図。
【図９】比較例のインクジェット装置の吐出性能について示す説明図。
【図１０】比較例のインクジェット装置の吐出性能について示す説明図。
【図１１】本実施形態のインクジェット装置を用いたカラーフィルタ基板の一製造工程を示す説明図
【図１２】本実施形態のインクジェット装置により形成されるＲＧＢパターンの一例を示す説明図。
【図１３】本実施形態のインクジェット装置を用いて製造された表示装置の一例を示す斜視図。
【符号の説明】
１０…インクジェット装置、３０…ヘッド駆動回路（制御手段）、１１３…圧力発生室、ＰＺＴ…圧電振動子（圧力発生素子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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