(57)【要約】【課題】個々の処理チャンバの間に配置されたシール部材の交換を可能な限り簡単にかつ迅速に行うことができるようにする。【解決手段】一方の貫通路５が、シールインサート７に設けられており、該シールインサート７が、それぞれ同一の側から、第１の支持面９で一方の処理チャンバ１の壁３に支持されていて、第２の支持面１０で、隣接した処理チャンバ２の壁４に支持されており、両支持面９，１０と各壁３，４との間に、各支持面９，１０と壁３，４とに接触する全周にわたって延びるそれぞれ１つのシール部材１３，１４が設けられており、該シール部材１３，１４が、支持面９，１０と壁３，４とに支持されているようにした。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続被覆装置であって、別個の複数の処理チャンバ（１，２）が設けられており、該処理チャンバ（１，２）が連続して配置されており、それぞれ一方の処理チャンバ（１）の、貫通路（５）を有する壁（３）が、隣接した処理チャンバ（２）の、同じく貫通路（６）を有する壁（４）に接触しており、当該連続被覆装置において、両貫通路（５，６）が、壁（３，４）の間に配置されたシール部材によって外部に対してシールされている形式のものにおいて、一方の貫通路（５）が、シールインサート（７）に設けられており、該シールインサート（７）が、それぞれ同一の側から、第１の支持面（９）で一方の処理チャンバ（１）の壁（３）に支持されていて、第２の支持面（１０）で、隣接した処理チャンバ（２）の壁（４）に支持されており、両支持面（９，１０）と各壁（３，４）との間に、各支持面（９，１０）と壁（３，４）とに接触する全周にわたって延びるそれぞれ１つのシール部材（１３，１４）が設けられており、該シール部材（１３，１４）が、支持面（９，１０）と壁（３，４）とに支持されていることを特徴とする、連続被覆装置。
【請求項２】
シールインサート（７）が環状板状に形成されており、一方の支持面（１０）が、シールインサート（７）の一方の端面によって形成されており、他方の支持面（９）が、シールインサート（７）の段付け部（８）によって形成されている、請求項１記載の連続被覆装置。
【請求項３】
シールインサート（７）が、その両方の各支持面（９，１０）に、全周にわたって延びるそれぞれ１つの溝（１１，１２）を有しており、該溝（１１，１２）が、シール部材（１３，１４）としてのＯリングを備えている、請求項１または２記載の連続被覆装置。
【請求項４】
シールインサート（７）が、段付け部（８）によって形成された支持面（９）で載置面（１６）に接触しており、該載置面（１６）が、シールインサート（７）を収容した処理チャンバ（１）の壁（３）に設けられた切欠き（１５）によって形成されている、請求項１から３までのいずれか１項記載の連続被覆装置。
【請求項５】
シールインサート（７）が、ねじ（１７）によって壁（３，４）に保持されており、ねじ（１７）が、シールインサート（７）を備えた処理チャンバ（１）に隣接した処理チャンバ（２）の壁（４）から、他方の処理チャンバ（１）の、隣接した処理チャンバ（２）に接触するシール部材（１４）によって取り囲まれた領域の内側でシールインサート（７）のねじ山付き孔（１９）内に案内されている、請求項１から４までのいずれか１項記載の連続被覆装置。
【請求項６】
シールインサート（７）が、隣接した処理チャンバ（２）からシールインサート（７）内に導入されたねじ（１７）と共に、互いに隣接した両処理チャンバ（１，２）のための結合エレメントを形成している、請求項１から５までのいずれか１項記載の連続被覆装置。
【請求項７】
処理チャンバ（１）によって収容されたシールインサート（７）が、処理チャンバ（１）内に配置された、貫通路（５）を閉鎖するために設けられたフラップ弁（２０）の閉鎖部材（２１）のための、貫通路（５）を取り囲むシール面（２３）である、請求項１から６までのいずれか１項記載の連続被覆装置。
【請求項８】
シールインサート（７）が、ステンレス製の特殊鋼から成っている、請求項７記載の連続被覆装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、連続被覆装置であって、別個の複数の処理チャンバが設けられており、該処理チャンバが連続して配置されており、それぞれ一方の処理チャンバの、貫通路を有する壁が、隣接した処理チャンバの、同じく貫通路を有する壁に接触しており、当該連続被覆装置において、両貫通路が、壁の間に配置されたシール部材によって外部に対してシールされている形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
このような連続被覆装置は、たとえばスパッタリング装置として形成され、層スタックを基板に形成するために一般的に知られていて慣用である。連続被覆装置は、現在、連続して配置された３０以上の処理チャンバを有していてよく、全体的に１００ｍ以上の長さを有していてよい。処理チャンバの端面側の壁に設けられた貫通路は、基板を一方の処理チャンバから他方の処理チャンバに搬送することができるようにするために使用される。個々の処理チャンバを大気圧に対してシールするためには、現在、それぞれ個々の処理チャンバの壁の間に、貫通孔を取り囲むシール部材が配置されており、これによって、処理チャンバの個々の壁の結合後、完全な真空密な装置全体が形成される。
【０００３】
このような連続被覆装置には、隣接した処理チャンバの両壁の間の各シール部材を交換するために大きな手間が必要となるという欠点がある。たとえば、このような装置の中間の領域でシール部が不密である場合には、故障したシール部に到達することができるようにするために、一方の側から、前置された全ての処理チャンバが取り外されなければならない。このことは、装置が大きい場合には、しばしば長期にわたる生産不足を生ぜしめるので、このようにシール部が不密となることは経済的に高い損害を招く。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、冒頭で述べた形式の連続被覆装置を改良して、個々の処理チャンバの間に配置されたシール部材の交換を可能な限り簡単にかつ迅速に行うことができるようにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明の構成では、一方の貫通路が、シールインサートに設けられており、該シールインサートが、それぞれ同一の側から、第１の支持面で一方の処理チャンバの壁に支持されていて、第２の支持面で、隣接した処理チャンバの壁に支持されており、両支持面と各壁との間に、各支持面と壁とに接触する全周にわたって延びるそれぞれ１つのシール部材が設けられており、該シール部材が、支持面と壁とに支持されているようにした。
【０００６】
【発明の効果】
このようなシールインサートは、シールインサートによってシールされる処理チャンバの分離なしに取り外すことができる。なぜならば、シールインサートは処理チャンバの間に配置されておらず、処理チャンバに配置されていて、したがって、シールインサートを保持する固定手段の解離後、各壁から処理チャンバの内部の方向に運動することができるからである。したがって、シールインサートを個々の処理チャンバから取り外すことができ、その後、各シール部材を交換することができる。
【０００７】
シールインサートが環状板状に形成されており、一方の支持面が、シールインサートの一方の端面によって形成されており、他方の支持面が、シールインサートの段付け部によって形成されていると、シールインサートは特に単純に形成されている。
【０００８】
本発明の別の改良形によれば、シールインサートが、その両方の各支持面に、全周にわたって延びるそれぞれ１つの溝を有しており、該溝が、シール部材としてのＯリングを備えていると、シール部材を処理チャンバの外部で容易に取り外すことができると共に組み付けることができる。これによって、シール部材は処理チャンバの壁に挿入される必要がなく、むしろ、容易に取り扱うことができる個々のシールインサートにシール部材を設けることができる。
【０００９】
シールインサートが、段付け部によって形成された支持面で載置面に接触しており、該載置面が、シールインサートを収容した処理チャンバの壁に設けられた切欠きによって形成されていると、シールインサートを、このシールインサートを収容する処理チャンバの壁に同一平面を成して配置することができる。
【００１０】
シールインサートが、ねじによって壁に保持されており、ねじが、シールインサートを備えた処理チャンバに隣接した処理チャンバの壁から、他方の処理チャンバの、隣接した処理チャンバに接触するシール部材によって取り囲まれた領域の内側でシールインサートのねじ山付き孔内に案内されていることによって、シールインサートの固定が容易に可能となる。このような構成では、ねじを介して処理チャンバの内部が大気に接続されないことが確保されている。なぜならば、ねじが、各シール部材によって取り囲まれた領域の内側で一方の処理チャンバの壁から他方の処理チャンバの壁に到達しているからである。
【００１１】
個々の処理チャンバは、装置全体を形成するために、処理チャンバの端面側の壁で互いにねじ締結される。より小さな装置では、シールインサートが、隣接した処理チャンバからシールインサート内に導入されたねじと共に、互いに隣接した両処理チャンバのための結合エレメントを形成していると、個々の処理チャンバのための別個の結合手段を省略することができる。
【００１２】
種々異なる時点で種々異なる圧力を生ぜしめることができるように、個々の処理チャンバを互いに遮断することができるようにするためには、フラップ弁を配置することが慣用である。このフラップ弁は、それぞれ他方の処理チャンバに通じる、処理チャンバに設けられた貫通路を閉鎖することができる。フラップ弁は閉鎖状態でシール部材によって、処理チャンバの、貫通孔を取り囲む壁領域に載置している。基板搬送時の誤機能によって、実際には、弁座を形成する壁領域に掻き傷が生ぜしめられる。この掻き傷は、閉鎖されたフラップ弁のシール性を阻害している。このような事例では、これまで、このような掻き傷を除去するためにシール面を研削しかつ研磨することが必要であった。このことには極めて手間がかかった。なぜならば、処理チャンバの内部のシール面に接近しにくいからである。この手間は、本発明の別の改良形によれば、処理チャンバによって収容されたシールインサートが、処理チャンバ内に配置された、貫通路を閉鎖するために設けられたフラップ弁の閉鎖部材のための、貫通路を取り囲むシール面であることによって回避することができる。
【００１３】
シールインサートが、ステンレス製の特殊鋼から成っていると、装置全体を廉価な材料、たとえば構造用鋼から製作することができる。これによって、永続的な良好な表面性質が考慮される箇所に高価な材料が使用されさえすればよい。
【００１４】
本発明は、種々異なる構成を許容している。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面につき詳しく説明する。
【００１６】
図１には、連続被覆装置のうち、２つの処理チャンバ１，２の互いに隣接した２つの領域が示してある。両処理チャンバ１，２はそれぞれ１つの壁３，４で互いに突き合わされている。貫通路５が処理チャンバ１から、壁４に設けられた貫通路６に通じており、これによって、処理チャンバ１，２が貫通路５，６によって互いに接続されている。両貫通路５，６によって、基板（図示せず）を一方の処理チャンバ１；２から他方の処理チャンバ２；１に搬送することが可能となる。
【００１７】
両壁３，４の間で両処理チャンバ１，２が大気に接続されることを阻止するためには、処理チャンバ１に環状のシールインサート７が設けられている。段付け部８に基づきシールインサート７は、同じ側に向けられた２つの支持面９，１０を有している。両支持面９，１０はそれぞれ１つの溝１１，１２を備えている。両溝１１，１２内には、Ｏリングとして形成されたシール部材１３，１４が位置している。壁３はシールインサート７の領域に切欠き１５を有しているので、載置面１６が形成される。シールインサート７は支持面９で壁３の載置面１６に接触していて、同時に支持面１０で壁４に接触している。シールインサート７はこの位置で複数のねじ１７によって保持される。これらのねじ１７はそれぞれ壁４の孔１８を通って案内されていて、壁３のねじ山付き孔１９にねじ込まれている。この場合、シール部材１４はねじ山付き孔１９と孔１８との外側に位置しているので、処理チャンバ２は、孔１８と両壁３，４の間とを通って外部に大気接続されない。シール部材１３は、シールインサート７の外側を通過して外部への処理チャンバ１の大気接続を阻止しているのに対して、シール部材１４は、孔１８を介した接続は別として、貫通路５，６を介した外部に対する大気への接続を阻止している。
【００１８】
さらに、図１には、フラップ弁２０が示してある。このフラップ弁２０は、実線で図示した位置で閉鎖部材２１によって貫通路５を遮断している。このためには、閉鎖部材２１がシールリング２２でシールインサート７の平らなシール面２３に位置している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にとって重要となる連続被覆装置の部分領域の断面図である。
【符号の説明】
１　処理チャンバ、　２　処理チャンバ、　３　壁、　４　壁、　５　貫通路、　６　貫通路、　７　シールインサート、　８　段付け部、　９　支持面、　１０　支持面、　１１　溝、　１２　溝、　１３　シール部材、　１４　シール部材、　１５　切欠き、　１６　載置面、　１７　ねじ、　１８　孔、　１９　ねじ山付き孔、　２０　フラップ弁、　２１　閉鎖部材、　２２　シールリング、　２３　シール面
【図１】
2004131837.tif 000003