(57)【要約】【課題】基板検査装置において、バンププローブの交換を容易とする。【解決手段】液晶基板に形成される電極にプローブカード側が備えるプローブを接触させて検査信号を印加することにより基板検査を行う基板検査装置において、バンププローブの交換を容易とする構成を備える。バンププローブの交換を容易とする構成は、プローブカード１に対してプローブを着脱自在とするプローブブロックと、フレキシブルプリント基板間を圧接して接続すると共に、このフレキシブルプリント基板をプローブカードに固定する圧接接続部７とを備える。また、圧接接続部７で固定されるフレキシブルプリント基板５は、配線ピッチの幅が異なる少なくとも２つの導電部と、この異なるピッチ幅の導電部間の配線ピッチを切り換えるピッチ変換部とを備える。【選択図】  図４
2004302092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶基板に形成される電極にプローブカード側が備えるプローブを接触させて検査信号を印加することにより基板検査を行う基板検査装置であって、
前記プローブカードに対して前記プローブを着脱自在とするプローブブロックと、
フレキシブルプリント基板間を圧接して接続すると共に、当該フレキシブルプリント基板をプローブカードに固定する圧接接続部とを備えることを特徴とする、基板検査装置。
【請求項２】
前記圧接接続部で固定される前記フレキシブルプリント基板の少なくとも一方は、配線ピッチの幅が異なる少なくとも２つの導電部と、当該異なるピッチ幅の導電部間の配線ピッチを切り換えるピッチ変換部とを備えることを特徴とする、請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記プローブカードは、プローブカード側に設けるフレキシブルプリント基板とプローブカードの外部のフレキシブルプリント基板とを電気的に接続し、プローブカードの外部との間で信号の授受を行うスプリングピンを備えることを特徴とする、請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記プローブカードは、プローブカードの外部との間で信号の授受を行う電気−光変換素子、及び前記信号の符号変換及び／又は複合変換する信号変換回路を備えることを特徴とする、請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記フレキシブルプリント基板は、絶縁体の少なくとも一方の全面に導電箔を有した基板に絶縁体まで達する切り込みを形成してなることを特徴とする、請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載のフレキシブルプリント基板を製造する方法であって、絶縁体の少なくとも一方の全面に導電箔を備えた長尺の基板に、機械加工により絶縁体まで達する深さの切り込みを形成することを特徴とする、フレキシブルプリント基板の製造方法。
【請求項７】
前記長尺の基板を、回転ローラと回転ブレードとの間に挟んで基板の長さ方向に移動させることにより基板上の導電箔及び絶縁体に一部を切削し、回転ブレードの切削位置をずらすことにより配線ピッチを調整することを特徴とする、フレキシブルプリント基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに使われるＴＦＴアレイ基板の検査に使用する基板検査装置に関し、特に、プローブ交換に適した基板検査装置に関する。また、基板検査装置に適用されるフレキシブルプリント基板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのパネルはその製造工程において、通常ガラス基板の上にＴＦＴアレイのパターンを含む複数のパネルを形成し、このガラス基板から各パネルを切り出している。このフラットパネルディスプレイの各製造工程において、液晶基板の検査が行われる。この液晶基板の検査では、ガラス基板上のＩＴＯ等の導電性端子にプローブを接触させ、電気信号によりＴＦＴや画素の特性評価、製品の良否判定を行っている。
【０００３】
従来、導電性端子の端子数が少ない場合には、導電性端子にプローブピンを一点ずつ接触させる構成としているが、例えば、０．１ｍｍのピッチ幅で２００本程度の端子のように液晶基板の配線数が増加すると、プローブカードの配置スペースに対してプローブピンの配置幅が大きくなりすぎるため、プローブピンを設置することが困難である。
【０００４】
そこで、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）やセラミック・ガラスにバンプ（以下、バンププローブという）を形成し、このバンププローブを基板側の導電性端子に一括接触させることが行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
バンププローブを用いて導電性端子との接触を行う構成では、プローブカードの配線を外部に取り出して検査を行うために、ＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ、異方導電性接着材）を用いてフレキシブルプリント基板にバンププローブを熱圧着させる必要がある。バンプ径は、例えば２０μｍ〜５０μｍ程度と小さく、また、高さも数十μｍ程度しかないため、バンププローブが導電性端子と接触すると消耗することになる。バンププローブが消耗した場合には交換する必要がある。
【０００６】
また、一枚のガラス基板上に複数の液晶パネルを形成する多面取りの液晶基板では、液晶パネル間の寸法が１０ｍｍ程度と狭くなる。プローブカードのプローブブロックからは２００本程度の配線が出るため、この多数本の配線を液晶パネルの１０ｍｍ程度の巾に通す必要がある。そのため、配線ピッチは４０μｍから８０μｍと狭くなり、配線の接続部分を拡大鏡により拡大した場合であっても、配線間の接続を行うことは困難である。そのため、導電性端子の端子数が増加すると、配線数やバンププローブカードの構造により、多面取りの液晶基板では１面あるいは１行ずつしか検査せざるを得ず、検査時間の長時間化や検査効率の低下を招いている。
【０００７】
したがって、従来の基板検査装置では、配線間の接続が難しいため、消耗したバンププローブの交換が難しいという問題がある。
【０００８】
また、フレキシブルプリント基板は、導電パターンに合致した導電帯をエッチング加工に合わせてマスクを制作する必要があるため、制作時間と制作コストが高くなるという問題がある。
【０００９】
１００μｍ以下の極微細ピッチになると、全面導体からエッチングで不要な部分を取り除くと、導電帯部分まで取り除かれる場合がある。逆に、エッチングによる除去が不十分な場合には、隣接する導電帯部分同士が導通し短絡することになる。そのため、ベースフィルムに上に導電帯経路以外に絶縁体を盛って溝を形成し、この溝に銅等の導体を盛り上げて導電帯を制作する場合がある。また、導電帯の抵抗を下げるためには導電帯を厚くする必要があり、エッチングを複数回繰り返す必要がある。上記の事情から、極微細ピッチのフレキシブルプリント基板では、不良品の発生率が高まり、製造時間も長くなる。
【００１０】
上記のように、エッチングに用いるマスクの長さと不良品の発生頻度との間には相反する関係があるので、製作できるフレキシブルプリント基板の長さは３００ｍｍ程度である。基板検査装置において装置間で配置変更があると、フレキシブルプリント基板の長さが不足する場合があるが、このような場合にはフレキシブルプリント基板をＡＣＦにより熱圧着して接続する必要があるが、従来の基板検査装置では、配線ピッチが狭くなり配線間の接続が難しいため、長いフレキシブルプリント基板が望まれている。
【００１１】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、基板検査装置において、バンププローブの交換を容易とすることを目的とし、また、長いフレキシブルプリント基板を製作することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、液晶基板に形成される電極にプローブカード側が備えるプローブを接触させて検査信号を印加することにより基板検査を行う基板検査装置において、バンププローブの交換を容易とする構成を備え、また、基板検査装置に適用できる極微細ピッチで長尺のフレキシブルプリント基板の製作を可能とするものである。
【００１３】
バンププローブの交換を容易とする構成の第１の態様は、プローブカードに対して前記プローブを着脱自在とするプローブブロックと、フレキシブルプリント基板間を圧接して接続すると共に、このフレキシブルプリント基板をプローブカードに固定する圧接接続部とを備える構成である。
【００１４】
プローブの交換では、バンププローブ等のプローブを交換する他に、プローブと接続されているフレキシブルプリント基板間の接続も行う必要がある。第１の態様では、プローブブロックはプローブカードに対してプローブを着脱自在とし、また、プローブブロックは圧接接続部によりフレキシブルプリント基板間を圧接して接続すると共に、フレキシブルプリント基板をプローブカードに固定する。プローブを着脱自在とする機構は、例えば圧接機構を用いることができる。
【００１５】
バンププローブの交換を容易とする構成の第２の態様は、フレキシブルプリント基板の構成に関するものであり、圧接接続部で固定されるフレキシブルプリント基板の少なくとも一方は、配線ピッチの幅が異なる少なくとも２つの導電部と、この異なるピッチ幅の導電部間の配線ピッチを切り換えるピッチ変換換部とを備える構成である。
【００１６】
フレキシブルプリント基板は、配線ピッチの幅が異なる導電部を備えているため、例えば、液晶パネルの狭い隙間に応じたプローブカードの狭い部分には配線ピッチの幅が狭い導電部を用い、フレキシブルプリント基板同士を接続する部分には配線ピッチの幅が広い導電部を用いる。この配線ピッチの異なる導電部の間はピッチ変換部により電気的に接続されているため、バンププローブとプローブカードの外部との間で信号の送受信することができる。
【００１７】
また、圧接接続部は、フレキシブルプリント基板間を接続する機能に加えて、フレキシブルプリント基板をプローブカードに固定するため機能を備える。
【００１８】
バンププローブの交換を容易とする構成の第３の態様は、プローブカードに関するものであり、プローブカードの外部との間で信号の授受を行うスプリングピンを備える。スプリングピンは、プローブカード側に設けるフレキシブルプリント基板とプローブカードの外部のフレキシブルプリント基板とを電気的に接続し、プローブカードの外部との間で信号の授受を行う。
【００１９】
バンププローブの交換を容易とする構成の第４の態様は、プローブカードに関するものであり、プローブカードは、プローブカードの外部との間で信号の授受を行う電気−光変換素子、及び信号を符号変換したり複合変換する信号変換回路を備える。
【００２０】
電気−光変換素子は、双方向フォトカプラやＬＥＤとフォトダイオード・光ファイバーの組み合わせを用いることができ、信号の送受信や電力の供受給を行う。また、信号変換回路は、プローブカードの内外間の信号の送受信を符号信号で行うために、プローブカードの外部から入力される符号信号を復号化する信号変換機能と、プローブカード内の信号を符号化する信号変換機能を備える。双方向フォトカプラは、この符号信号に基づく光信号の送受信を行う。また、信号変換回路を駆動する電力を、プローブカードの外部に設けたＬＥＤ又は光ファイバーで光供給し、プローブカード側に設けたフォトダイオードで光受給する。
【００２１】
本発明の長いフレキシブルプリント基板を製作する態様は、絶縁体の少なくとも一方の全面に導電箔を備えた長尺の基板に、機械加工により絶縁体まで達する深さの切り込みを形成する。機械加工は、長尺の基板を、回転ローラと回転ブレードとの間に挟んで基板の長さ方向に移動させることにより基板上の導電箔及び絶縁体に一部を切削することで行い、回転ブレードの切削位置をずらすことにより配線ピッチを調整する。この態様によれば、機械加工により形成される切り込みの間隔を調整することにより配線ピッチを設定することができ、極微細ピッチのフレキシブルプリント基板を形成することができる。また、形成されるフレキシブルプリント基板に長さは、加工前の基板の長さにのみ依存するため、長尺のフレキシブルプリント基板を形成することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００２３】
図１は本発明の基板検査装置の概略を説明するための概略図であり、プローバと基板との位置関係を示している。
【００２４】
ステージ２２上には、パレット２０上に保持された液晶基板３０が載置され、液晶基板３０上には、基板検査装置が備えるプローブカード１が載置される。
【００２５】
ここで、ステージ２２とパレット２０との間に電気的接続はコネクタ２３により行われ、パレット２０とプローブカード１との間の電気的接続はコネクタ１５により行われる。プローブカード１は、図中の液晶基板側に複数のプローブブロック２を備え、液晶基板３０上に配置することにより、プローブブロック２が備えるバンプ（図示していない）を液晶基板３０側の接点（例えば、電極パットで形成される）に電気的に接触させ、液晶基板３０に駆動用の信号を入力する。
【００２６】
図において、図示しない制御装置から送信された駆動信号は、コネクタ２３を介してステージ２２側からパレット２０側に送られ、さらに、ステージ側配線ＦＰＣ２１及びコネクタ１５を介してパレット２０側からプローブカード１側に送られ、バンプから液晶基板３０に送られる。
【００２７】
なお、図１（ａ）では、ステージ２２とパレット２０との間に接続を行うコネクタについてはステージ２２側のコネクタ２３のみを示し、パレット２０とプローブカード１の間に接続を行うコネクタについてはパレット２０側のコネクタ１５のみを示している。また、図１（ｂ）は、パレット２０上に液晶基板３０及びプローバ６を重ねて配置した状態を示している。
【００２８】
なお、図１に示す液晶基板３０に形成されるパネルの個数や配置の構成は、説明上から簡略化して示したものであり、液晶基板の仕様に応じて任意に構成することができる。
【００２９】
図２は本発明のプローブカードの概略を示す図である。
【００３０】
図２に示すプローブカード１は９面のパネルを取り出す液晶基板を検査するものであり、各面には例えば２００本程度の配線を有するプローブブロック２が２つ設けられている。プローブブロック２は、液晶基板と接触することにより検査を行う。プローブカード１の周囲には、例えばパレット２０等のプローブカード１の外部装置と接続するためのコネクタ（図示していない）が設けられ、このコネクタとプローブブロック２との間はフレキシブルプリント基板（図示していない）により接続される。
【００３１】
本発明の基板検査装置は、液晶基板に形成される電極にプローブカード側が備えるプローブを接触させて検査信号を印加することにより基板検査を行う装置であり、プローブを備えると共にプローブカード１に対して着脱自在とする圧接部１７を有するプローブブロック２と、フレキシブルプリント基板間を圧接して接続すると共に、フレキシブルプリント基板をプローブカード１に固定する圧接接続部７とを備える。
【００３２】
以下、本発明の基板検査装置が備えるプローブブロックを図３により説明し、圧接接続部を図４を用いて説明する。
【００３３】
図３において、プローブブロック２は、プローブカード１に対してプローブを着脱自在に取り付けられる。着脱機構は、例えば、バネ機構やラッチ機構を備えた圧接部１７の他、任意の構成とすることができる。
【００３４】
プローブは、例えばバンププローブとすることができ、図３中の符号３はバンプをフレキシブルプリント基板に設けたバンプ付きフレキシブルプリント基板の例を示している。バンプ付きフレキシブルプリント基板３には配線用フレキシブルプリント基板４が接続される。図３では、バンプ付きフレキシブルプリント基板３の両端に配線用フレキシブルプリント基板４が接続される例を示している。バンプ付きフレキシブルプリント基板３は圧接部１７に対して押し当てることにより、プローブカード１に対する着脱を行うことができる。
【００３５】
なお、バンプ付きフレキシブルプリント基板３と配線用フレキシブルプリント基板４との接続は、例えば、顕微鏡を用いて高接倍に拡大して位置決めを行った後、ＡＣＦ圧着により行うことができる。なお、ＡＣＦは、粘着性のある電気絶縁物質からなるバインダ樹脂に導電粒子を分散させたものであり、ＡＣＦを間に挟んで２つのフレキシブルプリント基板を熱圧着させると、両フレキシブルプリント基板の導電部分が導電粒子を介して電気的に接続される。また、バインダ樹脂は、フレキシブルプリント基板間を接着する。
【００３６】
図４は圧接接続部の構成を示すと共に各フレキシブルプリント基板の構成を示している。図４において、バンプ付きフレキシブルプリント基板３は、配線用フレキシブルプリント基板４とＡＣＦ圧着により接続され、さらに、配線用フレキシブルプリント基板４は同じくＡＣＦ圧着によりピッチ変換用フレキシブルプリント基板５が接続される。ピッチ変換用フレキシブルプリント基板５は、配線ピッチの幅を変換し、中継用フレキシブルプリント基板６と接続を容易とするものである。配線ピッチとの幅を広くすることにより、例えば１０倍程度の低い倍率の拡大鏡によって位置合わせを行うことができ、プローブカードを移動させることなく基板検査装置に取り付けた状態で、バンプ付きフレキシブルプリント基板３を交換することができる。
【００３７】
中継用フレキシブルプリント基板６は、プローブカード１の外部との間の接続を行うためのフレキシブルプリント基板であり、プローブカード１の外周部に配置され、プローブカード１の外周部に形成された開口部を通してスプリングピン（図４には示していない）や電気−光変換素子等により外部との間で信号や電力の授受が行われる。電気−光変換素子は、光信号の授受を行う双方向フォトダイオード９，１１があり、中継用フレキシブルプリント基板６側に双方向フォトダイオード９を設け、プローブカード１側に双方向フォトダイオード１１を設け、光信号を介して信号の授受を行う。光信号は符号化信号を使用することにより、一対の双方向フォトダイオードによる複数信号の送受信を行う。中継用フレキシブルプリント基板６側には、信号の符号化及び復号化の信号処理を行う信号切換回路８を備える。
【００３８】
また、電気−光変換素子として、中継用フレキシブルプリント基板６側に電力受給用フォトダイオード１０を設けると共に、プローブカード１側に電力供給用ＬＥＤ１２を設け、電力供給用ＬＥＤ１２から発した光を電力受給用フォトダイオード１０で受け、信号切換回路８に電力供給を行う。
【００３９】
コネクタ２１，２３も電気的接続から光信号で接続することもできる。また、双方向フォトカプラ１１，電力供給用ＬＥＤ１２を光ファイバーケーブルで代用してもよい。
【００４０】
ピッチ変換用フレキシブルプリント基板５と中継用フレキシブルプリント基板６との電気的接続、及びこれらフレキシブルプリント基板のプローブカード１への固定は、圧接接続部７により行う。圧接接続部７は、圧接ブロック７ａと押え部材７ｂと取り付けネジ７ｃとを備える。
【００４１】
押え部材７ｂは、ピッチ変換用フレキシブルプリント基板５を中継用フレキシブルプリント基板６に電気的に接触させるために軽い押圧力を与える部材であり、ゴム部材等の絶縁性の弾性材を用いることができる。圧接ブロック７ａは、押え部材７ｂと共にピッチ変換用フレキシブルプリント基板５を中継用フレキシブルプリント基板６に押圧すると共に、プローブカード１に取り付けネジ７ｃにより固定する。
【００４２】
次に、ピッチ変換用フレキシブルプリント基板について、図５〜図１２を用いて説明する。
【００４３】
図５はピッチ変換用フレキシブルプリント基板の一構成例を示す図である。ピッチ変換用フレキシブルプリント基板は、配線ピッチの幅が異なる導電部５−１，５−２と、導電部５−１，５−２間の配線ピッチ幅を変換するピッチ変換部５−３とを備える。図５に示す例では、ピッチ変換部５−３は、導電部５−１の配線の幅Ｙを導電部５−２の配線の幅Ｘに変換して各配線ピッチの幅を変換している。例えば、導電部５−１の配線ピッチ３０〜６０μｍに対して、導電部５−２の配線ピッチを１００〜２００μｍに変換することにより、低倍率の拡大鏡により位置合わせを行うことができる。
【００４４】
なお、図５では、ピッチ変換部５−３は導電部の配線の方向を９０度変換しているが、導電部の配線間の角度は任意とすることができ、直線上でピッチ変換してもよい。また、図では、２つの導電部間において配線ピッチを変換しているが、３つ以上の導電部間において配線ピッチを変換する構成とすることもできる。
【００４５】
図６〜図１０は、ピッチ変換用フレキシブルプリント基板の使用形態を示す図である。
【００４６】
図６は２つのピッチ変換用フレキシブルプリント基板を２つの中継用フレキシブルプリント基板にそれぞれ接続する使用形態を示している。２つのピッチ変換用フレキシブルプリント基板５Ａ，５Ｂは、反対方向に配置された中継用フレキシブルプリント基板６Ａ，６Ｂに圧接接続ブロック７Ａ，７Ｂにより接続される。
【００４７】
図７，８は２つのピッチ変換用フレキシブルプリント基板を同一方向で中継用フレキシブルプリント基板に接続する使用形態を示している。２つのピッチ変換用フレキシブルプリント基板５Ａ，５Ｂは、同一方向に配置される中継用フレキシブルプリント基板６の６Ａ，６Ｂに圧接接続ブロック７により接続される。図７と図８は中継用フレキシブルプリント基板６の配置方向を異にしている。
【００４８】
図９は２つのピッチ変換用フレキシブルプリント基板を２つの中継用フレキシブルプリント基板に接続する使用形態を示している。２つのピッチ変換用フレキシブルプリント基板５Ａ，５Ｂは、反対方向に配置される中継用フレキシブルプリント基板６Ａ，６Ｂに圧接接続ブロック７により接続される。
【００４９】
図１０は４つのピッチ変換用フレキシブルプリント基板を４つの中継用フレキシブルプリント基板に接続する使用形態を示している。４つのピッチ変換用フレキシブルプリント基板５Ａ〜５Ｄは、中継用フレキシブルプリント基板６Ａ〜６Ｄに圧接接続ブロック７Ａ，７Ｂにより接続される。なお、中継用フレキシブルプリント基板６Ａ，６Ｂと中継用フレキシブルプリント基板６Ｃ，６Ｄは反対方向に配置される。
【００５０】
ピッチ変換用フレキシブルプリント基板５は、ベース部分に対して導電部を片側に設ける構成の他、ベース部分の両側に導電部を設ける構成とすることもできる。図１１，１２はベース部分の両側に導電部を設けた構成のピッチ変換用フレキシブルプリント基板を説明するための図である。
【００５１】
図１１において、ピッチ変換用フレキシブルプリント基板５は、ベース部となる絶縁フィルム５ａの両側に導電部５ｂ，５ｃを備える。なお、導電部５ａ，５ｂの配線ピッチは同一とすることも異なられることもできる。また、同一の配線ピッチの場合、導電部５ｂ，５ｃを絶縁フィルム５ａを挟んで同一位置に配置することも異なる位置に配置することもできる。
【００５２】
図１２は、両側に導電部を備えるピッチ変換用フレキシブルプリント基板と中継用フレキシブルプリント基板との接続例を示している。ピッチ変換用フレキシブルプリント基板５を挟んで上側に中継用フレキシブルプリント基板６と配置し下側に中継用フレキシブルプリント基板６′を配置してそれぞれの導電部を位置合わせし、押え部材７ｂを介して圧接ブロック７ａにより圧接し、取り付けネジ７ｃによりプローブカード１側に固定する。
【００５３】
次に、中継用フレキシブルプリント基板と外部との間で行う信号授受について説明する。中継用フレキシブルプリント基板と外部との間の信号授受は、電気的な接続、あるいは光を用いた接続により行うことができる。
【００５４】
図１３は電気的な接続の構成例である。図１３において、プローブカード１はパレット２０等の外部部材上に載置され、パレット２０上にはパレット配線用フレキシブルプリント基板２１が設けられる。中継用フレキシブルプリント基板６と外部のパレット側との間で信号の授受を行うために、プローブカード１はスプリングピン１３を備える。スプリングピン１３は、プローブカード１の外周部分に形成された貫通口内に設定され、一端を中継用フレキシブルプリント基板６の導電部に当接させ、他端をパレット配線用フレキシブルプリント基板２１の導電部に当接させることにより、両フレキシブルプリント基板間の電気的な接続を行う。
【００５５】
図１４は光を用いた接続の構成例である。図１４において、図１３と同様に、プローブカード１はパレット２０等の外部部材上に載置される。中継用フレキシブルプリント基板６には、電気−光変換素子として双方向フォトダイオード９と電力受給用フォトダイオード１０が設けられ、パレット２０には双方向フォトダイオード１１と電力供給用ＬＥＤ１２が設けられ、双方向フォトダイオード９と双方向フォトダイオード１１とが対向し、電力受給用フォトダイオード１０と電力供給用ＬＥＤ１２とが対向している。
【００５６】
双方向フォトダイオード９と双方向フォトダイオード１１は、光信号により符号化された信号の授受を行う。中継用フレキシブルプリント基板６は信号の符号化及び復号化の信号処理を行う信号切換回路８を備え、双方向フォトダイオード９で受けた信号の復号化処理、及び双方向フォトダイオード９に送る信号の符号化処理を行う。電力受給用フォトダイオード１０と電力供給用ＬＥＤ１２は、信号切換回路８を駆動する電力を供給するためのフォトダイオードである。この光を用いた接続によれば、電気接点の個数を低減することができる他、電気的接触による接続不良やノイズを低減することができる。
【００５７】
次に、本発明に用いるフレキシブルプリント基板、及びその製作方法について図１５〜図１９を用いて説明する。
【００５８】
図１５は本発明に用いるフレキシブルプリント基板の構成を説明するための平面図及び断面図である。長尺フレキシブルプリント基板４０は任意の長さに切り取ることができる長尺のフレキシブルプリント基板であり、ベースフィルム４０ａとベースフィルム４０ａ上に設けられた導電部４０ｂ及び切り込み部４０ｃを備える。切り込み部４０ｃは導電部４０ｃからベースフィルム４０ａまで深さ方向に形成され、導電部４０ｂはこの切り込み部４０ｃによって電気的に分離される。導電部４０ｂの配線ピッチの幅は切り込み部４０ｃの幅により定まる。
【００５９】
図１６は、本発明に用いるフレキシブルプリント基板の製作する装置の一構成例である。製作装置は、ベースローラ４２の外周部分に沿って、複数のブレード４３（４３ａ〜４３ｄ）と導電物質除去用のブラシ４４と圧縮空気吹き付け用のノズル４５が配置される。ベースローラ４２と複数のブレード４３（４３ａ〜４３ｄ）を回転させ、両者の間に全面導電箔フレキシブルプリント基板４１を通すことにより基板上に切り込みを形成する機械加工を施す。切り込みを形成した後は、導電物質除去用のブラシ４４及び圧縮空気吹き付け用のノズル４５からの圧縮空気により切削された導電箔を除去する。さらに、切り込みを形成した後の導電部上には、導電体絶縁用の絶縁テープ４６が貼り付けられる。なお、絶縁耐圧を高めるには、絶縁性の樹脂を溝間に埋め込む機構を設ける構成とすることもできる。
【００６０】
図１７はブレードの構成及びブレードによる機械加工を説明するための図である。図１７（ａ）は加工前にフレキシブルプリント基板４１であり、ベースフィルム４１ａ上の少なくとも一方の全面に導電箔４１ｂが設けられる。本発明のフレキシブルプリント基板は、この導電箔４１ｂにブレードによる機械加工により切り込みを形成して溝を設けることにより、所定の配線ピッチの導電部を形成する。ブレードは、導電箔４１ｂからベースフィルム４１ａに達するまで深さ方向に切削を行うことにより導電部を形成する。ブレードはベースフィム４１ａまで切り込んで導電部を形成するため、隣接する導電部同士の電気的接触を防ぐことができる。
【００６１】
ブレードローラ軸４８には、スペーサ４７を挟んで所定間隔に複数のブレード４３を配置する。ベースローラ４２の外周部分に沿って配置されるブレード４３ａ〜４３ｄは、図１７（ｂ）〜図１７（ｅ）に示すようにピッチ分ずらして配置する。このブレードの配置により、導電部に所定の配線ピッチを設けることができる。
【００６２】
なお、ブレードローラ軸は、図１６に示すように、２つのブレードローラ軸を１組として反対方向に回転させることにより、形成される溝の蛇行を少なくすることができる。
【００６３】
図１８はベースフィムの片面に導電部を備えるフレキシブルプリント基板の構成例を示し、図１９はベースフィムの両面に導電部を備えるフレキシブルプリント基板の構成例を示している。
【００６４】
図１８において、長尺フレキシブルプリント基板４０は、ベースフィム４０ａの片面には切り込み４０ｃ及び導電部４０ｂが形成され、上面には絶縁テープ４６が貼り付けられる。図１９において、長尺フレキシブルプリント基板４０′は、ベースフィム４０ａ′の両面には切り込み４０ｃ′及び導電部４０ｂ′が形成され、両側の上面には絶縁テープ４６が貼り付けられる。なお、両面加工を行う場合には、片面を加工した後に半ピッチ分ずらせることにより、切り込み深さを安定して加工することができ、また、長尺フレキシブルプリント基板４０の強度低下を防ぐことができる。
【００６５】
このフレキシブルプリント基板の構成によれば、ベースフィルムまで切り込み加工を行うので、絶縁が完全になり導電部間でのリーク電流の発生を防ぐことができる。また、導電部の抵抗を下げるために金等の高導電率の導電材をメッキした素材であっても、機械加工によるため加工が容易である。
【００６６】
また、絶縁フィルムの貼り付けを両面テープ等の着脱が自在な接着手段により行うことにより、適当な長さに切断した後に絶縁フィルムを剥がし、ＡＣＦによる熱圧着や圧接で容易に接続することができる。
【００６７】
なお、極微細ピッチのフレキシブルプリント基板では、フレキシブルプリント基板の長さ方向の両縁部の導電部の幅を広く設定することにより、剥がれによる導通不良を防ぐことができる。また、フレキシブルプリント基板の長さ方向の両縁部の導電部をダミーとし、使用しないことによって信頼性をより高めることもできる。
【００６８】
上記のフレキシブルプリント基板によれば、本発明の基板検査装置に適用した場合、バンプ等のプローブの交換におけるフレキシブルプリント基板の接続が容易である。また、任意の長さのフレキシブルプリント基板を得ることができため、基板検査装置に仕様に応じたフレキシブルプリント基板の長さに対応することができる。
【００６９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、基板検査装置においてバンププローブの交換を容易とすることができる。また、長いフレキシブルプリント基板を製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板検査装置の概略を説明するための概略図である。
【図２】本発明のプローブカードの概略を示す図である。
【図３】本発明の基板検査装置が備えるプローブブロックを説明する図である。
【図４】本発明の基板検査装置が備える圧接接続部を説明する図である。
【図５】本発明のピッチ変換用フレキシブルプリント基板の一構成例を示す図である。
【図６】本発明のピッチ変換用フレキシブルプリント基板の使用形態を示す図である。
【図７】本発明のピッチ変換用フレキシブルプリント基板の使用形態を示す図である。
【図８】本発明のピッチ変換用フレキシブルプリント基板の使用形態を示す図である。
【図９】本発明のピッチ変換用フレキシブルプリント基板の使用形態を示す図である。
【図１０】本発明のピッチ変換用フレキシブルプリント基板の使用形態を示す図である。
【図１１】本発明のピッチ変換用フレキシブルプリント基板の一構成を説明するための断面図である。
【図１２】本発明のピッチ変換用フレキシブルプリント基板と中継用フレキシブルプリント基板との接続を説明するための断面図である。
【図１３】本発明の中継用フレキシブルプリント基板と外部との間の電気的な接続の構成例を示す断面図である。
【図１４】本発明の中継用フレキシブルプリント基板と外部との間の光による接続の構成例を示す断面図である。
【図１５】本発明に用いるフレキシブルプリント基板の構成を説明するための平面図及び断面図である。
【図１６】本発明に用いるフレキシブルプリント基板の製作する装置の一構成例である。
【図１７】本発明のブレードの構成及びブレードによる機械加工を説明するための図である。
【図１８】ベースフィムの片面に導電部を備える本発明のフレキシブルプリント基板の構成例の断面図である。
【図１９】ベースフィムの両面に導電部を備える本発明のフレキシブルプリント基板の構成例の断面図である。
【符号の説明】
１…プローブカード、２…プローブブロック、３…バンプ付きフレキシブルプリント基板、４…配線用フレキシブルプリント基板、５…ピッチ変換用フレキシブルプリント基板、５ａ…絶縁フィルム、５ｂ，５ｃ…導電体、５−１，５−２…導電部、５−３…ピッチ変換部、６…中継用フレキシブルプリント基板、７…圧接接続部、７ａ…圧接ブロック、７ｂ…押え部材、７ｃ…取り付けネジ、８…信号切換回路、９…双方向フォトカプラ、１０…電力受給用フォトダイオード、１１…双方向フォトカプラ、１２…電力供給用ＬＥＤ、１３…スプリングピン、１４…押え板、１５…コネクタ、１６…圧接部、２０…パレット、２１…パレット配線用フレキシブルプリント基板、２２…ステージ、２３…コネクタ、３０…液晶基板、４０…長尺フレキシブルプリント基板、４１…全面導電箔フレキシブルプリント基板、４２…ベースローラ、４３…ブレード、４４…ブラシ、４５…ノズル、４６…絶縁フィルム、４７…スペーサ、４８…ブレードローラ軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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