(57)【要約】【課題】メモリーハードディスク用基板の表面の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）を実用上充分な程度に低減させうる研磨液組成物、ならびに該研磨液組成物を用いる、メモリーハードディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減方法およびメモリーハードディスク用基板の製造方法を提供すること。【解決手段】水および特定の粒径分布を有するシリカ粒子を含有してなる、メモリーハードディスク用基板用の研磨液組成物；前記研磨液組成物を用いてメモリーハードディスク用基板の研磨を行う工程を含む、メモリーハードディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減方法；ならびに前記研磨液組成物を用いてＮｉ−Ｐメッキされたメモリーハードディスク用基板の研磨を行う工程を含む、メモリーハードディスク用基板の製造方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
水およびシリカ粒子を含有してなる、メモリーハードディスク用基板用の研磨液組成物であって、前記シリカ粒子が、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察による測定で得られた該シリカ粒子の粒径（ｎｍ）に対して小粒径側からの累積体積頻度（％）をプロットして得られた該シリカ粒子の粒径対累積体積頻度グラフにおいて、粒径４０〜１００ｎｍの範囲における累積体積頻度（Ｖ）が粒径（Ｒ）に対し、以下の式（１）：
Ｖ≧０．５×Ｒ＋４０          （１）
を満たすものである、研磨液組成物。
【請求項２】
シリカ粒子がコロイダルシリカ粒子である請求項１記載の研磨液組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載の研磨液組成物を用いてメモリーハードディスク用基板の研磨を行う工程を含む、メモリーハードディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の研磨液組成物を用いてＮｉ−Ｐメッキされたメモリーハードディスク用基板の研磨を行う工程を含む、メモリーハードディスク用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メモリーハードディスク用基板用の研磨液組成物、ならびに該研磨液組成物を用いる、メモリーハードディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減方法およびメモリーハードディスク用基板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年のメモリーハードディスクドライブには、高容量・小径化が求められ記録密度を上げるために磁気ヘッドの浮上量を低下させたり、単位記録面積を小さくすることが強いられている。それに伴い、メモリーハードディスク用基板の製造工程においても研磨後に要求される表面品質は年々厳しくなってきており、ヘッドの低浮上に対応して、表面粗さ、微小うねり、ロールオフ、突起の低減や単位記録面積の減少に対応して許容されるスクラッチ、ピットの大きさと深さがますます小さくなってきている。
【０００３】
このような要求に対し、研磨粒子であるシリカ粒子の粒度分布を工夫した研磨液組成物が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
前記文献には、前記研磨液組成物によれば、異なったモノモーダル数粒径分布を有するコロイダルシリカ粒子群を含むことにより、平均うねりが小さく、表面欠陥の少ないアルミニウムディスク基板を得ることができると開示されている。
【０００５】
しかしながら、かかる研磨用組成物では、基板全体の表面粗さを評価できるＴＭＳ−Ｒａの観点からは未だ充分なメモリーハードディスク用基板の表面粗さの低減を図ることができない。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−３０２７４号公報（請求項１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、メモリーハードディスク用基板の表面の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）を実用上充分な程度に低減させうる研磨液組成物、ならびに該研磨液組成物を用いる、メモリーハードディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減方法およびメモリーハードディスク用基板の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の要旨は、
〔１〕  水およびシリカ粒子を含有してなる、メモリーハードディスク用基板用の研磨液組成物であって、前記シリカ粒子が、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察による測定で得られた該シリカ粒子の粒径（ｎｍ）に対して小粒径側からの累積体積頻度（％）をプロットして得られた該シリカ粒子の粒径対累積体積頻度グラフにおいて、粒径４０〜１００ｎｍの範囲における累積体積頻度（Ｖ）が粒径（Ｒ）に対し、以下の式（１）：
Ｖ≧０．５×Ｒ＋４０          （１）
を満たすものである、研磨液組成物、
〔２〕  前記〔１〕記載の研磨液組成物を用いてメモリーハードディスク用基板の研磨を行う工程を含む、メモリーハードディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減方法、並びに
〔３〕  前記〔１〕記載の研磨液組成物を用いてＮｉ−Ｐメッキされたメモリーハードディスク用基板の研磨を行う工程を含む、メモリーハードディスク用基板の製造方法、
に関する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の研磨液組成物は、水および研磨材として特定のシリカ粒子を含有してなる、メモリーハードディスク用基板（以下、ディスク用基板という）用の研磨液組成物である。
【００１０】
本発明に使用されるシリカ粒子は、その粒径（ｎｍ）に対して小粒径側からの累積体積頻度（％）をプロットして得られる、該シリカ粒子の粒径分布を表わす粒径対累積体積頻度グラフにおいて、粒径４０〜１００ｎｍの範囲における累積体積頻度（Ｖ）が粒径（Ｒ）に対し、前記式（１）を満たすという特定の粒径分布を有するものである。本発明の研磨液組成物は、当該シリカ粒子を研磨材として含んでなることを大きな１つの特徴としており、かかる構成を有することから、ディスク用基板の表面の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）を実用上充分な程度に低減させうる。従って、本発明の研磨液組成物により研磨されたディスク用基板の表面は優れた平滑性を有する。
【００１１】
本明細書において、「表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）」とは、光散乱式表面粗さ測定機：ＴＭＳ−２０００ＲＣ〔シュミット・メジャーメント・インコーポレイテッド（Schmitt Measurement Systems, Inc. ）製〕により測定される測定対象物（以下、対象物という）の表面粗さ〔Ｒａ（Å）〕をいう。
【００１２】
すなわち、表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）は、対象物の表面のうねりを除いた凹凸の状態を表しており、対象物の表面の平滑性の程度を示す指標となる。表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）値が小さい程、対象物の表面の平滑性は優れる。
【００１３】
一般に、対象物の表面の表面粗さは、対象物の表面からランダムに抜き取った各部分の平均として求められる。対象物の表面では、個々の位置における表面粗さは一様ではなく、相当に大きなバラツキを示すのが普通である。従って、対象物の表面の表面粗さを求めるには、その母平均が効果的に推定できるように測定位置およびその個数を定める必要がある。よって、データの信頼性は、測定位置およびその個数の選択に大きく依存する。
【００１４】
一方、本発明において表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の測定に使用する前記測定機は、対象物の測定対象表面のほぼ全面領域を均一に測定することができ、得られた全データの平均として表面粗さが求められることから、前記測定機により得られる表面粗さデータの信頼性は、従来の表面粗さの測定方法により得られるデータと比べて高い。表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の測定方法の詳細については、後述の実施例において記載する。
【００１５】
本発明に使用されるシリカ粒子としては、例えば、コロイダルシリカ粒子、ヒュームドシリカ粒子、表面修飾したシリカ粒子等が挙げられる。ディスク基板の表面のより高度な平滑性を得る観点から、コロイダルシリカ粒子が好ましい。当該コロイダルシリカ粒子は、市販のものでも、例えば、ケイ酸水溶液から生成させる公知の製造方法により得られたものであってもよい。シリカ粒子の使用形態としては、スラリー状であるのが好ましい。
【００１６】
前記シリカ粒子の粒径分布は、以下の方法により求めることができる。即ち、シリカ粒子を日本電子製透過型電子顕微鏡「ＪＥＭ−２０００ＦＸ」（８０ｋＶ、１〜５万倍）で観察した写真をパソコンにスキャナで取込み、解析ソフト「ＷｉｎＲＯＯＦ」（販売元：三谷商事）を用いて１個１個のシリカ粒子の円相当径を求め、それを直径とし、１０００個以上のシリカ粒子データを解析した後、それをもとに表計算ソフト「ＥＸＣＥＬ」（マイクロソフト社製）にて粒子直径から粒子体積に換算する。
【００１７】
このようにして得られるシリカ粒子の粒径分布データに基づき、全粒子中における、ある粒径の粒子の割合（体積基準％）を小粒径側からの累積頻度として表し、累積体積頻度（％）を得る。
【００１８】
以上のようにして得られたシリカ粒子の粒径および累積体積頻度データに基づき、粒径に対して累積体積頻度をプロットすることにより、粒径対累積体積頻度グラフが得られる。
【００１９】
本発明のシリカ粒子は、前記粒径対累積体積頻度グラフにおいて、粒径４０〜１００ｎｍの範囲における累積体積頻度（Ｖ）が粒径（Ｒ）に対し、前記式（１）を満たす粒径分布を有するものであるが、ディスク用基板の表面の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減による当該基板の表面の平滑性の向上の観点から、粒径４０〜７０ｎｍの範囲において、ＶがＲに対し、以下の式（２）：
Ｖ≧１×Ｒ＋２０          （２）
を満たす粒径分布を有するものが好ましく、粒径４０〜６０ｎｍの範囲において、ＶがＲに対し、以下の式（３）：
Ｖ≧１．５×Ｒ            （３）
を満たす粒径分布を有するものがより好ましく、粒径４０〜５０ｎｍの範囲において、ＶがＲに対し、以下の式（４）：
Ｖ≧３×Ｒ−６０          （４）
を満たす粒径分布を有するものがさらに好ましく、粒径４０〜４５ｎｍの範囲において、ＶがＲに対し、以下の式（５）：
Ｖ≧Ｒ＋５０              （５）
を満たす粒径分布を有するものが特に好ましい。また、研磨速度の観点から、粒径１〜３ｎｍの範囲において、ＶがＲに対し、以下の式（６）：
Ｖ≦８Ｒ＋５              （６）
を満たす粒径分布を有するものが好ましい。
【００２０】
本発明に使用されるシリカ粒子としては、前記するような粒径分布を有するものであれば、特定の粒径分布を有する１種類のシリカ粒子からなるものであっても、異なる粒径分布を有する２種類以上のシリカ粒子を混合してなるものであってもよい。
【００２１】
シリカ粒子の粒径分布を調整する方法としては、特に限定されないが、例えば、シリカ粒子がコロイダルシリカの場合、その製造段階における粒子の成長過程で新たな核となる粒子を加えることにより最終製品に粒径分布を持たせる方法、異なる粒径分布を有する２つ以上のシリカ粒子を混合する方法等が挙げられる。
【００２２】
また、研磨材としては、前記シリカ粒子に加えて、研磨用に一般に使用されている研磨材を使用することもできる。該研磨材として、金属；金属又は半金属の炭化物、窒化物、酸化物、ホウ化物；ダイヤモンド等が挙げられる。金属又は半金属元素は、周期律表（長周期型）の２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂ、４Ａ、４Ｂ、５Ａ、６Ａ、７Ａ又は８Ａ族由来のものである。研磨材の具体例として、酸化アルミニウム、炭化珪素、ダイヤモンド、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化セリウム、酸化ジルコニウム等が挙げられ、これらを１種以上使用することは研磨速度を向上させる観点から好ましい。中でも、酸化アルミニウム、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン等が、磁気記録媒体用基板等の精密部品用基板の研磨に適している。酸化アルミニウムについては、α、θ、γ等種々の結晶系が知られているが、用途に応じ適宜選択、使用することができる。
【００２３】
シリカ粒子以外の研磨材粒子の粒径は、表面品質の観点から、前記シリカ粒子と同様であることが好ましい。
【００２４】
研磨液組成物中におけるシリカ粒子を含む研磨材の含有量は、研磨速度を向上させる観点から、好ましくは0.5 重量％以上、より好ましくは１重量％以上、さらに好ましくは３重量％以上、特に好ましくは５重量％以上であり、また、表面品質を向上させる観点、及び経済性の観点から、好ましくは20重量％以下、より好ましくは15重量％以下、さらに好ましくは13重量％以下、特に好ましくは10重量％以下である。すなわち、該含有量は、好ましくは0.5 〜20重量% 、より好ましくは1 〜15重量% 、さらに好ましくは3 〜13重量% 、特に好ましくは5 〜10重量% である。
【００２５】
また、本発明の研磨液組成物は、研磨速度をより向上させる観点から、酸化剤を含有していてもよい。酸化剤としては、過酸化物、過マンガン酸又はその塩、クロム酸又はその塩、ペルオキソ酸又はその塩、酸素酸又はその塩、金属塩類、硫酸類等が挙げられる。
【００２６】
前記過酸化物としては、過酸化水素、過酸化ナトリウム、過酸化バリウム等；過マンガン酸又はその塩としては、過マンガン酸カリウム等；クロム酸又はその塩としては、クロム酸金属塩、重クロム酸金属塩等；ペルオキソ酸又はその塩としては、ペルオキソ二硫酸、ペルオキソ二硫酸アンモニウム、ペルオキソ二硫酸金属塩、ペルオキソリン酸、ペルオキソ硫酸、ペルオキソホウ酸ナトリウム、過ギ酸、過酢酸、過安息香酸、過フタル酸等；酸素酸又はその塩としては、次亜塩素酸、次亜臭素酸、次亜ヨウ素酸、塩素酸、臭素酸、ヨウ素酸、次亜塩素酸ナトリウム、次亜塩素酸カルシウム等；金属塩類としては、塩化鉄（III)、硫酸鉄（III)、クエン酸鉄（III)、硫酸アンモニウム鉄（III)等が挙げられる。好ましい酸化剤としては、過酸化水素、硝酸鉄（III)、過酢酸、ペルオキソ二硫酸アンモニウム、硫酸鉄（III)及び硫酸アンモニウム鉄（III)等が挙げられる。特に、表面に金属イオンが付着せず汎用に使用され安価であるという観点から過酸化水素が好ましい。これらの酸化剤は、単独で又は２種以上を混合して使用してもよい。
【００２７】
研磨速度を向上させる観点から、研磨液組成物中の酸化剤の含有量は、好ましくは0.002 重量% 以上、より好ましくは0.005 重量% 以上、さらに好ましくは0.007 重量% 以上、特に好ましくは0.01重量% 以上であり、表面粗さ、うねりを低減し、ピット、スクラッチ等の表面欠陥を減少させて表面品質を向上させる観点及び経済性の観点から、好ましくは20重量% 以下、より好ましくは15重量% 以下、さらに好ましくは10重量% 以下、特に好ましくは5 重量% 以下である。該含有量は、好ましくは0.002 〜20重量% 、より好ましくは0.005 〜15重量% 、さらに好ましくは、0.007 〜10重量% 、特に好ましくは0.01〜5 重量% である。
【００２８】
また、本発明の研磨液組成物は、酸及び／又はその塩を含有してもよい。酸及び／又はその塩としては、その酸のｐＫ１が２以下の化合物が好ましく、微小スクラッチを低減する観点から、ｐＫ１が１．５以下、より好ましくは１以下、最も好ましくはｐＫ１で表せない程の強い酸性を示す化合物が望ましい。その例としては、硝酸、硫酸、亜硫酸、過硫酸、塩酸、過塩素酸、リン酸、ホスホン酸、ホスフィン酸、ピロリン酸、トリポリリン酸、アミド硫酸等の無機酸及びその塩、２−アミノエチルホスホン酸、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、アミノトリ（メチレンホスホン酸）、エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）、ジエチレントリアミンペンタ（メチレンホスホン酸）、エタン−１，１，−ジホスホン酸、エタン−１，１，２−トリホスホン酸、エタン−１−ヒドロキシ−１，１−ジホスホン酸、エタン−１−ヒドロキシ−１，１，２−トリホスホン酸、エタン−１，２−ジカルボキシ−１，２−ジホスホン酸、メタンヒドロキシホスホン酸、２−ホスホノブタン−１，２−ジカルボン酸、１−ホスホノブタン−２，３，４−トリカルボン酸、α−メチルホスホノコハク酸等の有機ホスホン酸及びその塩、グルタミン酸、ピコリン酸、アスパラギン酸等のアミノカルボン酸及びその塩、シュウ酸、ニトロ酢酸、マレイン酸、オキサロ酢酸等のカルボン酸及びその塩等が挙げられる。中でも、微小スクラッチを低減する観点から、無機酸や有機ホスホン酸及びその塩が好ましい。また、無機酸及びその塩の中では、硝酸、硫酸、塩酸、過塩素酸及びそれらの塩がより好ましい。有機ホスホン酸及びその塩の中では、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、アミノトリ（メチレンホスホン酸）、エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）、ジエチレントリアミンペンタ（メチレンホスホン酸）及びそれらの塩がより好ましい。これらの酸及びその塩は単独で又は２種以上を混合して用いてもよい。ここで、ｐＫ１とは有機化合物または無機化合物の酸解離定数（２５℃）の逆数の対数値を通常ｐＫａと表し、そのうちの第一酸解離定数の逆数の対数値をｐＫ１としている。各化合物のｐＫ１は例えば改訂４版化学便覧（基礎編）II、ｐｐ３１６−３２５（日本化学会編）等に記載されている。なお、本発明においては、微小スクラッチの低減と研磨速度の両立の観点から、その酸のｐＫ１が２以下の酸及び／又はその塩を用いることが特に好ましい。
【００２９】
これらの酸の塩としては、特に限定はなく、具体的には、金属、アンモニウム、アルキルアンモニウム、有機アミン等との塩が挙げられる。金属の具体例としては、周期律表（長周期型）１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂ、４Ａ、６Ａ、７Ａ又は８族に属する金属が挙げられる。これらの中でも、微小スクラッチ低減の観点から１Ａ族に属する金属又はアンモニウムとの塩が好ましい。
【００３０】
前記酸及びその塩の研磨液組成物中における含有量は、充分な研磨速度を発揮する観点および表面品質を向上させる観点から、0.0001〜５重量％が好ましく、より好ましくは0.0003〜4 重量％であり、さらに好ましくは0.001 〜3 重量％、特に好ましくは0.0025〜2.5 重量％である。
【００３１】
本発明の研磨液組成物中の水は、媒体として使用されるものであり、例えば、蒸留水、イオン交換水、超純水等が使用される。その含有量は、被研磨物を効率よく研磨する観点から、好ましくは55重量% 以上であり、より好ましくは67重量% 以上であり、さらに好ましくは75重量% 以上であり、特に好ましくは84重量% 以上であり、また、好ましくは99.4979 重量% 以下、より好ましくは98.9947 重量% 以下、さらに好ましくは96.992重量% 以下、特に好ましくは、94.9875 重量% 以下である。該含有量は、好ましくは55〜99.4979 重量% 、より好ましくは67〜98.9947 重量% 、さらに好ましくは75〜96.992重量% 、特に好ましくは84〜94.9875 重量% である。
【００３２】
尚、前記研磨液組成物中の各成分の濃度は、該組成物製造時の濃度及び使用時の濃度のいずれであってもよい。通常、濃縮液として研磨液組成物は製造され、これを使用時に希釈して用いる場合が多い。
【００３３】
また、本発明の研磨液組成物には、必要に応じて他の成分を配合することができる。該他の成分としては、増粘剤、分散剤、防錆剤、塩基性物質、界面活性剤等が挙げられる。
【００３４】
本発明の研磨液組成物は、前記研磨材及び水、さらに所望により酸化剤、酸及び／又はその塩、他の成分等を公知の方法で混合することにより調製することができる。
【００３５】
本発明の研磨液組成物のｐＨは、被加工物の種類や要求性能に応じて適宜決定することが好ましい。被研磨物の材質により一概に限定はできないが、一般に金属材料では研磨速度を向上させる観点からｐＨは酸性が好ましく、7 未満が好ましく、より好ましくは6 以下、さらに好ましくは5 以下、特に好ましくは4 以下であることが望ましい。また、人体への影響や機械の腐食性の観点から、ｐＨは1 以上であることが好ましく、より好ましくは1.1 以上、さらに好ましくは1.2 以上、特に好ましくは1.3 以上である。特にニッケル−リン（Ｎｉ−Ｐ）メッキされたアルミニウム合金基板等の金属を主対象とした精密部品基板においては、研磨速度の観点から、ｐＨは酸性にすることが好ましく、研磨速度を向上させる観点からｐＨは4.5 以下が好ましく、より好ましくは4 以下、さらに好ましくは3.5 以下、特に好ましくは3 以下である。従って、重視する目的に合わせてｐＨを設定すればよいが、特にＮｉ−Ｐメッキされたアルミニウム合金基板等の金属を対象とした精密部品基板においては、前記観点を総合して、ｐＨは1 〜4.5 が好ましく、より好ましくは1.1 〜4 、さらに好ましくは1.2 〜3.5 、特に好ましくは1.3 〜3 である。ｐＨは硝酸、硫酸等の無機酸やシュウ酸等の有機酸、アンモニウム塩、アンモニア水、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、アミン等の塩基性物質を適宜、所望量で配合することにより調整することができる。
【００３６】
本発明のディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減方法としては、被研磨基板を研磨する際に、本発明の研磨液組成物を用いる方法が挙げられる。被研磨基板の研磨方法としては、本発明の研磨液組成物を用いて、あるいは本発明の研磨液組成物の組成となるように各成分を混合して研磨液組成物を調製して被研磨基板を研磨する工程を有しており、特にメモリーハードディスク用基板等の精密部品用基板を好適に製造することができる。また、本発明の研磨液組成物は、ディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）を顕著に低減して高い研磨速度を発揮することができる。
【００３７】
本発明の研磨液組成物が対象とする被研磨物の材質は、例えば、シリコン、アルミニウム、ニッケル、タングステン、銅、タンタル、チタン等の金属又は半金属およびこれらの合金、及びガラス、ガラス状カーボン、アモルファスカーボン等のガラス状物質、アルミナ、二酸化珪素、窒化珪素、窒化タンタル、炭化チタン等のセラミック材料、ポリイミド樹脂等の樹脂等が挙げられる。これらの中では、アルミニウム、ニッケル、タングステン、銅等の金属及びこれらの金属を主成分とする合金が被研磨物であるのが好ましく、例えば、Ｎｉ−Ｐメッキされたアルミニウム合金基板がより好ましく、Ｎｉ−Ｐメッキされたアルミニウム合金基板が特に好ましい。
【００３８】
本発明のディスク用基板の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の低減方法でディスク用基板の研磨を行う工程は、例えば、公知の研磨機を用いて好適に実施することができる。例えば、不織布状の有機高分子系研磨布等、好ましくはポリウレタン系研磨布を貼り付けた研磨盤でディスク用基板を挟み込み、研磨液組成物を流量として直径９５ｍｍのディスク用基板１枚当たり１〜３０ｍＬ／分、好ましくは３〜２０ｍＬ／分で研磨対象の表面に供給し、荷重として、通常、２．９〜１４．７ｋＰａ、好ましくは４．９〜１０．８ｋＰａの一定圧力を加えながら、上定盤または下定盤とディスク用基板との相対速度が定盤中央部で、通常、０．１〜２ｍ／秒、好ましくは０．３〜１ｍ／秒となるように研磨盤やディスク用基板を動かすことにより研磨することにより行われる。
【００３９】
かかるディスク用基板の表面粗さの低減方法によればディスク用基板の表面の表面粗さが効果的に低減され、実用上充分なディスク用基板の表面の平滑性が得られる。
【００４０】
また、本発明の一態様として、本発明の研磨液組成物により研磨する工程を含む、ディスク用基板の製造方法、特に、本発明の研磨液組成物を用いて、Ｎｉ−Ｐメッキされたディスク用基板の研磨を行う工程を含む、ディスク用基板の製造方法が提供される。
【００４１】
本発明のＮｉ−Ｐメッキされたディスク用基板の製造方法（以下、ディスク用基板の製造方法という）は、該基板を本発明の研磨液組成物を用いて研磨する工程を含むが、かかる工程は、複数の研磨工程の中でも第２工程目以降に行われるのが好ましく、最終研磨工程に行われるのがより好ましい。例えば、アルミナ砥粒等の公知の研磨材を含んでなる研磨液を使用する、第１研磨工程または第２研磨工程により、表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）を１５〜３０Åにした前記ディスク用基板（例えば、Ｎｉ−Ｐメッキされたアルミニウム合金基板）を、本発明の研磨液組成物を用いた研磨工程により、さらに研磨する。本発明の研磨液組成物を用いた研磨工程は、例えば、前記ディスク用基板の表面粗さの低減方法における研磨工程と同様に実施すればよい。
【００４２】
本発明のディスク用基板の製造方法においては、２工程のみからなる研磨工程により、表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）が、好ましくは０．８Å以下、より好ましくは０．７５Å以下のディスク用基板を製造することを所望する場合、第２工程目を、本発明の研磨液組成物を用いたディスク用基板の研磨工程とするのが好適である。
【００４３】
本発明のディスク用基板の製造方法によれば、表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）が、好ましくは０．８Å以下、より好ましくは０．７５Å以下の、優れた表面の平滑性を有するＮｉ−Ｐメッキされたディスク用基板を効率的に製造することができる。
【００４４】
【実施例】
（被研磨物）
アルミナ砥粒を含有する研磨液であらかじめ粗研磨して表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）を２０Åとした、厚さ１．２７ｍｍ、直径９５ｍｍのＮｉ−Ｐメッキされたアルミニウム合金基板を被研磨物として用い、以下の実施例および比較例で得られた研磨液組成物を用いて当該基板に対する研磨評価を行った。
【００４５】
実施例１〜６及び比較例１〜７
表１に記載のコロイダルシリカ（シリカＡ〜Ｇ）、過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）、ＨＥＤＰ（１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸）及び残部水（イオン交換水）を添加、混合することにより、表１に記載の組成を有する研磨液組成物を調製した。混合する順番としては、ＨＥＤＰを水に希釈した水溶液に３５重量％過酸化水素水を、次いで残りの成分を混合し、最後にコロイダルシリカスラリーをゲル化しないように攪拌しながら配合し、研磨液組成物を調製した。
【００４６】
【表１】
2004204151.tif 000002
【００４７】
前記研磨液組成物の製造に使用した前記シリカＡ〜Ｇもしくはそれらの混合物を構成するシリカ粒子について、以下の（シリカ粒子の粒径分布の測定）に記載の方法に従い、粒径を測定し、累積体積頻度を求め、粒径対累積体積頻度グラフを作成した。各実施例で使用されたシリカ粒子の粒径対累積体積頻度グラフを図１に、各比較例で使用されたシリカ粒子の粒径対累積体積頻度グラフを図２に示す。
【００４８】
〔シリカ粒子の粒径分布の測定〕
スラリー状のシリカ粒子を試料として用い、日本電子製透過型電子顕微鏡「ＪＥＭ−２０００ＦＸ」（８０ｋＶ、１〜５万倍）により、当該顕微鏡のメーカーが添付する説明書に従って試料を観察し、ＴＥＭ像を写真撮影した。当該写真をスキャナで画像データとしてパソコンに取り込み、解析ソフト「ＷｉｎＲＯＯＦ」（販売元：三谷商事）を用いて１個１個のシリカ粒子の円相当径を求め、それを直径とし、１０００個以上のシリカ粒子データを解析した後、それをもとに表計算ソフト「ＥＸＣＥＬ」（マイクロソフト社製）にて粒子直径から粒子体積に換算した。
【００４９】
このようにして得られるシリカ粒子の粒径分布データに基づき、全粒子中における、ある粒径の粒子の割合（体積基準％）を小粒径側からの累積頻度として表し、累積体積頻度（％）を得た。
【００５０】
以上のようにして得られたシリカ粒子の粒径および累積体積頻度データに基づき、粒径に対して累積体積頻度をプロットすることにより、粒径対累積体積頻度グラフを得た。
【００５１】
また、実施例１〜６および比較例１〜７の研磨液組成物を用いて、以下に示す研磨条件にて被研磨物を研磨した。次いで、被研磨物の表面の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）を以下の方法に基づいて測定し、評価を行った。各実施例および比較例につき１０枚の被研磨物を用いて評価を行い、表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）は各被研磨物を用いて得られた個々のデータの平均とした。得られた結果を表２に示す。
【００５２】
（研磨条件）
研磨試験機        ：スピードファム社製「両面９Ｂ研磨機」
研磨パッド        ：カネボウ社製「Ｂｅｌｌａｔｒｉｘ  Ｎ００５８」
研磨荷重          ：７．８ｋＰａ
スラリー供給量    ：１００ｍＬ／分
下定盤回転数      ：３０ｒｐｍ
研磨時間          ：４分
投入した基板の枚数：１０枚
【００５３】
〔表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）の測定〕
表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）は、光散乱式表面粗さ測定機：ＴＭＳ−２０００ＲＣ〔シュミット・メジャーメント・インコーポレイテッド（Schmitt Measurement Systems, Inc. ）製〕により、当該測定機のメーカーが添付する説明書に従って測定した。具体的には、当該測定機により、被研磨物の表面および裏面のほぼ全面領域を、測定空間波長領域０．８８〜７．８μｍにて測定し、表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）値（Å）を得た。
【００５４】
【表２】
2004204151.tif 000003
【００５５】
表２の結果より、実施例１〜６の研磨液組成物によれば、比較例１〜７のものに比べ、被研磨物の表面の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）がより低減されることが分かる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明の研磨液組成物によれば、表面の表面粗さ（ＴＭＳ−Ｒａ）が低減された、実用上充分な平滑性を有するディスク用基板が効率的に得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、各実施例で使用されたシリカ粒子の粒径対累積体積頻度グラフである。
【図２】図２は、各比較例で使用されたシリカ粒子の粒径対累積体積頻度グラフである。
【図１】
2004204151.tif 000004
【図２】
2004204151.tif 000005