(57)【要約】【課題】冷却プレート上に吸着保持された基板を安全に冷却すること。【解決手段】冷却プレート１３の微小突起４５上に基板３０を載置する。真空制御部４２により冷却プレート１３の真空吸引孔４０ａを作動して基板３０の中央部３１のみを吸着し、次に真空吸引孔４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅを順次作動させて、基板３０の中間部３２，３３，３４，３５を順次吸着し、最後に真空吸引孔４０ｆを作動させて基板３０の周辺部３６を吸着する。このようにして冷却プレート１３と基板３０との間の空気を外方へ排出する。この間、冷却プレート１３により、基板３０を安全に冷却することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置される吸着プレートからなり、
吸着プレート上面に多数の真空吸引孔が設けられ、各真空吸引孔は真空制御部により駆動制御され、
真空制御部は基板の中央部に対応する真空吸引孔を作動した後で、基板の周辺部に対応する真空吸引孔を作動することを特徴とする吸着プレート装置。
【請求項２】
真空制御部は基板の中央部に対応する吸引孔を作動した後で、基板の中央部と周辺部との間の中間部に対応する吸引孔を作動し、その後基板の周辺部に対応する吸引孔を作動することを特徴とする請求項１記載の吸着プレート装置。
【請求項３】
吸着プレートに、吸着プレート上から上方に突出する多数の微小突起を設けたことを特徴とする請求項１記載の吸着プレート装置。
【請求項４】
吸着プレートは冷却プレートからなり、冷却プレートに温度制御を行う温度制御装置を接続したことを特徴とする請求項１記載の吸着プレート装置。
【請求項５】
請求項１記載の吸着プレート装置の運転方法において、
吸着プレート上に基板を載置する工程と、
真空制御部により基板の中央部に対応する真空吸引孔を作動して基板の中央部を吸着プレートに吸着する工程と、
真空制御部により基板の周辺部に対応する真空吸引孔を作動して基板の周辺部を吸着プレートに吸着する工程と、
を備えたことを特徴とする吸着プレート装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はカラーフィルタを製造するために用いられる吸着プレート装置およびその運転方法に係り、とりわけ吸着プレート装置の吸着プレートによる基板吸着時において、基板の割れを防止することができる吸着プレート装置およびその運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、基板を載置する吸着プレート（冷却プレートともいう）と、冷却プレートに接続され、冷却プレートの温度制御を行う温度制御装置とを有する吸着プレート装置（冷却プレート装置ともいう）が知られている。
【０００３】
このような冷却プレート装置はカラーフィルタの製造ラインにおいて用いられるものである。すなわち冷却プレート装置はカラーフィルタの製造ラインに組込まれた工程中に加熱された基板を冷却するものである。このような冷却プレート装置において、冷却すべき基板が冷却プレート上に載置される。その後、基板の全面が冷却プレート上に吸着され、この冷却プレートにより基板の冷却が行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、冷却プレート上において基板を全面吸着することにより、冷却プレートにより基板を冷却することができる。
【０００５】
しかしながら、基板の全面を冷却プレートにより吸着した場合、基板の下面と冷却プレートとの間に空気が残ることがあり、空気を残留したまま冷却プレートにより基板を吸着していると、基板に割れが生じてしまうことがある。
【０００６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、吸着プレートにより基板を吸着して冷却する際、基板に割れが生じることのない吸着プレート装置およびその運転方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板が載置される吸着プレートからなり、吸着プレート上面に多数の真空吸引孔が設けられ、各真空吸引孔は真空制御部により駆動制御され、真空制御部は基板の中央部に対応する真空吸引孔を作動した後で、基板の周辺部に対応する真空吸引孔を作動することを特徴とする吸着プレート装置である。
【０００８】
本発明は、真空制御部は基板の中央部に対応する吸引孔を作動した後で、基板の中央部と周辺部との間の中間部に対応する吸引孔を作動し、その後基板の周辺部に対応する吸引孔を作動することを特徴とする吸着プレート装置である。
【０００９】
本発明は、吸着プレートに、吸着プレート上から上方に突出する多数の微小突起を設けたことを特徴とする吸着プレート装置である。
【００１０】
本発明は、吸着プレートは冷却プレートからなり、冷却プレートに温度制御を行う温度制御装置を接続したことを特徴とする吸着プレート装置である。
【００１１】
本発明は、上記記載の吸着プレート装置の運転方法において、吸着プレート上に基板を載置する工程と、真空制御部により基板の中央部に対応する真空吸引孔を作動して基板の中央部を吸着プレートに吸着する工程と、真空制御部により基板の周辺部に対応する真空吸引孔を作動して基板の周辺部を吸着プレートに吸着する工程と、を備えたことを特徴とする吸着プレート装置の運転方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１および図２は、本発明による吸着プレート装置およびその運転方法の実施の形態を示す図である。
【００１３】
まず、図１により吸着プレート装置（以下、冷却プレートともいう）の概略について説明する。図１に示すように、冷却プレート装置１０は、カラーフィルタの製造ラインに組込まれており、例えば水洗浄後、基板の脱水のため、ＩＲ（遠赤外線）等で加熱された基板３０を冷却したり、感光材３０ａが塗布され乾燥のため熱処理された基板３０を冷却するものである。
【００１４】
このような冷却プレート装置１０は、基板３０が載置されるとともにこの基板３０を冷却する吸着プレート（以下、冷却プレートともいう）１３と、この冷却プレート１３に接続されるとともに冷却プレート１３の温度制御を行う温度制御装置２０とを備えている。
【００１５】
次に冷却プレート１３について詳述する。図１１に示すように、冷却プレート１３は例えば上面に感光材３０ａが塗布された基板３０を載置して固定しながら、この基板３０を冷却するようになっている。なお、冷却プレート１３上に感光材３０ａが塗布されない状態の基板３０を載置固定して、この基板３０を冷却してもよい。
【００１６】
また冷却プレート１３には冷却プレート１３の上方へ突出する多数の微小突起４５が設けられており、この微小突起４５上に基板３０が載置されるようになっている。なお冷却プレート１３上の微小突起４５は、必ずしも設けなくてもよい。
【００１７】
また冷却プレート１３の略全域に真空吸引孔４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆが設けられ、各真空吸引孔４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆは真空制御部４２に接続されている。
【００１８】
真空吸引孔４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆのうち、真空吸引孔４０ａは基板３０の中央部３１に対応して設けられている。また真空吸引孔４０ｆは基板３０の周辺部３６に対応して設けられている。さらに真空吸引孔４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅは、各々基板３０の中間部３２，３３，３４，３５に対応して設けられている。
【００１９】
基板３０の中間部３２，３３，３４，３５は、中央部３１と周辺部３６との間に位置し、中間部３２，３３，３４，３５は中央部３１から周辺部３６に向って順次外方へ配置されている。
【００２０】
また真空制御部４２は、真空吸引孔４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆを同時に作動するのではなく、基板３０の中央部３１に対応する真空吸引孔４０ａ、中間部３２に対応する真空吸引孔４０ｂ、中間部３３に対応する真空吸引孔４０ｃを順に作動させ、最後に基板３０の周辺部３６に対応する真空吸引孔４０ｆを作動させるようになっている。
【００２１】
このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
まず前工程において加熱された基板３０が冷却プレート１３の微小突起４５上に載置される。
【００２２】
この場合、基板３０はガラス基板からなり、予めその上面に感光材３０ａが塗布され、この感光材３０ａは乾燥された状態となっているが、前述のように基板３０上に感光材３０ａが塗布されていなくてもよい。
【００２３】
次に真空制御部４２により、基板３０の中央部３１に対応する冷却プレート１３の真空吸引孔４０ａが作動して、冷却プレート１３が基板３０の中央部３１のみを吸着する。その後、真空制御部４２により基板３０の中間部３２に対応する真空吸引孔４０ｂを作動させ、冷却プレート１３が中間部３２を吸着する。その後、真空吸引孔４０ｃを作動させ、冷却プレート１３が中間部３３を吸着する。このようにして基板３０を中央部３１から中間部３２，３３，３４，３５を経て周辺部３６まで順次冷却プレート１３により吸着する。この場合、基板３０の中央部３１から中間部３２，３３，３４，３５を経て周辺部３６まで、例えば１秒おきに冷却プレート１３により吸着することができる。
【００２４】
このように冷却プレート１３により基板３０を中央部３１から中間部３２，３３，３４，３５を経て周辺部３６まで順次時間をおいて吸着することにより、基板３０の全面を冷却プレート１３により確実に吸着することができる。この場合、冷却プレート１３と基板３０との間に残留する空気を、基板３０の中央部３１から周辺部３６へ向って順次排出することができる。このため冷却プレート１３と基板３０との間に空気が残留したり、この残留空気によって基板３０が破損することはない。
【００２５】
ところで、冷却プレート１３上には多数の微小突起４５が設けられているが、この微小突起４５は極めて微小であり、このため冷却プレート１３は略平坦と考えることができ、冷却プレート１３と基板３０との間に空気が残ることはない。
【００２６】
このように冷却プレート１３により全面が吸着された基板３０は、温度制御装置２０により温度調整が行なわれた冷却プレート１３により、確実に冷却される。
【００２７】
以上のように本実施の形態によれば、冷却プレート１３により基板３０をその中央部３１から中間部３２，３３，３４，３５を経て周辺部３６まで順次吸着するので、冷却プレート１３と基板３０との間に空気が残留することはなく、このような残留空気によって基板３０が破損することはない。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、冷却プレートにより基板を吸着保持する際、冷却プレートと基板との間に空気が残留することはなく、このため冷却プレートに吸着保持された基板を破損させることなく安全に基板を冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】冷却プレート装置の全体を示す側面図。
【図２】冷却プレート上に吸着保持された基板を示す図。
【符号の説明】
１０  冷却プレート装置
１３  冷却プレート
２０  温度制御装置
３０  基板
３０ａ  感光材
３１  中央部
３２，３３，３４，３５  中間部
３６  周辺部
４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆ  真空吸引孔
４２  真空制御部
４５  微小突起
【図１】
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【図２】
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