(57)【要約】【解決課題】アルキルアルミニウムハイドライドを用いて、ポリハロシランを還元し、シラン類を製造するに当たり、高収率、高選択率の製造方法を提供する。【解決手段】アルキルアルミニウムハイドライドを主成分とし、トリアルキルアルミニウム及び微粉状アルミニウムを含有する組成物からなる還元剤を用いて、ポリハロシランを還元し、シラン類を製造するにあたり、エーテル系化合物の存在下、還元反応を行う。【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルキルアルミニウムハイドライドを含有してなる還元剤を用いて、ポリハロシランを還元し、シラン類を製造するにあたり、エーテル系化合物の存在下、還元反応を行うことを特徴とするシラン類の製造方法。
【請求項２】
アルキルアルミニウムハイドライドを含有してなる還元剤がアルキルアルミニウムハイドライドを主成分とし、トリアルキルアルミニウム及び微粉状アルミニウムを含有する組成物であることを特徴とする請求項１に記載のシラン類の製造方法。
【請求項３】
微粉状アルミニウムがアルキルアルミニウムハイドライドに対し、０．０１重量％以下含有する組成物であることを特徴とする請求項２に記載のシラン類の製造方法。
【請求項４】
トリアルキルアルミニウム全量をジアルキルアルミニウムモノハイドライドに変換させるに必要な量（以下、理論必要モルという）のアルキルアルミニウムハライド（一般式（１））を予め添加した後、還元反応を行うことを特徴とする請求項２または３に記載のシラン類の製造方法。
ＡｌＲｎＸ３−ｎ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（１）
（Ｒは炭素数１〜１０のアルキル基、ｎは０、１または、１．５、Ｘはハロゲン原子を表わす）
【請求項５】
アルキルアルミニウムハイドライドがジエチルアルミニウムハイドライドであることを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載のシラン類の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、モノシラン、ジシラン、トリシラン、モノメチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン等のシラン類の製造方法に関する。
さらに詳しくは、アルキルアルミニウムハイドライドを用いて、ポリハロシランを還元し、シラン類を製造するにあたり、エーテル系化合物の存在下、反応を行うシラン類の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シラン類は有機合成原料、無機合成原料、燃料、触媒等多数の用途があり、工業的に重要な化合物である。
中でも、メチルシラン類は（（ＣＨ３）ｎＳｉＨ４−ｎ）は数年前からドライ・フォトレジスト材料または、２層レジスト材料として新規半導体材料分野で注目され始めている。
【０００３】
従来から、アルキルアルミニウムハイドライドなどを用いて、ポリハロシランを還元し、シラン類を製造する方法は公知である。
例えば、特公昭３６−５１７号、英国特許８２３，４８３号、独国特許１，０５５，５１１号、同１，１１７，０９０号公報などにおいて、テトラクロロシランをナトリウムハイドライドで還元する場合に、ジエチルアルミニウムモノクロライドを少量添加することが記載されている。
しかしながら、該ジエチルアルミニウムモノクロライドは、その使用量から明らかなように、ある種の錯体を形成することにより、溶媒に実際上、不溶解であるナトリウムハイドライドを可溶化することによって活性化を図っているに過ぎなかった。
【０００４】
また、例えば、特開平４−２２４５８８号公報では、トリメチルクロロシランなどの有機ハロシランをジイソブチルアルミニウムハイドライドのような単一の水素化アルキルアルミニウムで水素化することにより、還元生成物を得るという方法が開示されている。
また、例えば、仏国特許１，４９９，０３２号公報においては、ハロシランを純度の高いアルキルアルミで還元する方法が記載されている。
アルキルアルミニウムハイドライドは、工業的には、金属アルミニウムと水素とトリアルキルアルミニウムから合成され、必然的に未反応のトリアルキルアルミニウム及び微粉状アルミニウムを含有する組成物として得られるものであり、安価に入手し得るアルキルアルミニウムハイドライドはこの組成物の形が多い。しかし、この組成物をそのまま用いて、ポリハロシランの還元を試みると、生成するシラン類が純度の高いアルキルアルミニウムハイドライドを用いた場合より格段に低いのみならず、ポリハロシランの不十分な還元により生じたと推定されるモノクロロシラン等のハロシラン類や副反応によるエタン等が多量に副生することは特開昭５９−１２８３９３号公報に記載されている。
特開昭５９−１２８３９３号公報では、組成物中のトリアルキルアルミニウムを特定量のアルキルアルミニウムハライドを添加することにより、アルキルアルミニウムハイドライドの作用を損なうことなく、シラン類の収率を向上させる方法を記載している。
【０００５】
一方、特開平４−２２４５８８号公報にあるような、純度の高いアルキルアルミニウムハイドライドを得るためには、上記組成物を蒸留分離する必要があるが、アルキルアルミニウムハイドライドとトリアルキルアルミニウムはその沸点が非常に接近しているのみならず、一種の共沸混合物を形成する系であるため、蒸留だけで両者を完全に分離することは非常に困難であるばかりでなく、該蒸留時にかなりの量のアルキルアルミニウムハイドライドが分解するという問題点がある。
これら従来の発明においては、反応溶媒を用いることは必須ではないとされているが、通常は用いた方が反応が緩やかになり、制御しやすくなる。反応溶媒を用いる場合は、アルキルアルミニウムモノハライドを回収するために、該アルキルアルミニウムモノハライドとは反応しない非極性の溶媒が好ましいとされているが、エーテル系化合物を添加しないこれら溶媒のみを使用した場合は、目的としない反応不純物の増加が認められるという問題点があった。
また、これらアルキルアルミハイドライドを還元剤として使用した場合は、生成した粗シランガスの中に、微量の反応不純物を含み、例えば、得られたシラン類を半導体材料用途に使用する場合、要求される製品純度が高いので、さらに複雑な精製工程が必要であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記課題を解決し、有用なシラン類を高収率、高選択率で製造する方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記課題を解決するため、アルキルアルミニウムハイドライドを還元剤として使用すべく、鋭意研究を行った。本発明者らは、アルキルアルミニウムハイドライドを使ってポリハロシラン類を還元するに際し、該還元反応をエーテル系化合物の存在下で行うことにより、驚くべきことに、シラン類の収率を向上させ、かつ、副生物の抑制によって選択率が飛躍的に向上することを見出し、本発明を完成した。
すなわち、アルキルアルミニウムハイドライドを用いて、ポリハロシランを還元し、シラン類を製造するにあたり、エーテル系化合物の存在下、上記還元反応を行うことを特徴とするシラン類の製造方法を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明では、ポリハロシラン類を還元してシラン類を製造するにあたり、反応をより迅速に、かつ、好ましくない反応を抑制するために、エーテル系化合物の存在下に行う。このようなエーテル系化合物を例示すれば、テトラヒドロフラン、ジブチルエーテル、ジフェニルエーテルのようなものが挙げられる。また、これら使用するエーテル系化合物は、予めモレキュラーシームなどで十分に脱水し、さらに窒素バブリングなどにより脱酸素したものを使う必要がある。通常、溶媒中の水分は５０ｐｐｍ以下として用いるのが好ましい。また、使用するエーテル系化合物の量は、アルキルアルミニウムハイドライドに対して、０．１モル％以上含まれていればよいが、大量に使用すれば、例えば、該エーテル化合物がアルキルアルミニウムモノハライドなどと錯体を作り、系内からの分離操作が困難になるので、好ましくない。
【０００９】
本発明において、原料として使用するポリハロシランとは、一般式ＳｉｍＸ２ｍ＋２で表される化合物である。この式ではｍは１、２、３、・・の整数を示し、Ｘはハロゲン原子、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、ビニール基の中から選択される置換基を示す。通常、そのうち少なくとも一つはハロゲン原子であるが、場合によってはハロゲン原子が全く存在せず、置換基全てがアルキル基、アルコキシ基、アリール基、ビニール基等のみで構成されていても構わない。ハロゲン原子としては、弗素、塩素、臭素、沃素などがあり、アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基などがあり、アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、ｉ−プロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｉ−ブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基等があり、アリール基としては、フェニル基、ｐ−メチルフェニル基、ｍ−メチルフェニル基、ｏ−メチルフェニル基、ｐ−エチルフェニル基、ｍ−エチルフェニル基、ｏ−エチルフェニル基等があり、ビニル基としては、ビニル基、アリル基、イソプロペニル基などが挙げられる。
【００１０】
上式で示されるポリハロシランのうち、本発明の実施に特に好ましいものを例示すれば、テトラクロロシラン（四塩化珪素）、ヘキサクロロジシラン、テトラエトキシシラン、ジエチルジクロロシラン、トリクロロシラン、ジクロロシラン、モノクロロシラン、トリメチルクロロシラン、トリエチルクロロシランなどがある。
本発明においてはアルキルアルミニウムハイドライドを含有してなる還元剤を使用するが、アルキルアルミニウムハイドライドとは、一般式Ｒ２ＡｌＨで表される還元性化合物である。この式で、Ｒは炭素数１〜１０のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。二つのアルキル基は同一でも、異なっていても良い。上式で示されるアルキルアルミニウムハイドライドのうち、特に好ましいものを例示すれば、ジメチルアルミニウムハイドライド、ジエチルアルミニウムハイドライド、ジイソブチルアルミニウムハイドライドなどが挙げられる。
【００１１】
本発明における還元剤に含有されているトリアルキルアルミニウムとは、一般式Ｒ３Ａｌで示される化合物である。この式で、Ｒは炭素数１〜１０のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基などが挙げられる。三つのアルキル基は同一でも、異なっていても良い。上式で示されるトリアルキルアルミニウムのうち、特に含有される可能性の高いものを例示すれば、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムなどが挙げられる。
このようなトリアルキルアルミニウムは、通常、アルキルアルミニウムハイドライドに対し、２０〜３００モル％程度、該組成物中に含有されている。
【００１２】
本発明で還元剤に添加する一般式ＡｌＲｎＸ３−ｎで示されるアルキルアルミニウムハライドにおいて、Ｒは炭素数１〜１０のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基などが挙げられる。Ｘはハロゲン原子であり、例えば、弗素、塩素、臭素、沃素などである。また、ｎは０、１、１．５のうちの任意の数字である。特に好ましいものを例示すれば、メチルアルミニウムジクロライド、メチルアルミニウムセスキクロライド、エチルアルミニウムジクロライド、エチルアルミニウムセスキクロライド、イソブチルアルミニウムジクロライド、イソブチルアルミニウムセスキクロライド、アルミニウムトリクロライド（塩化アルミニウム）、メチルアルミニウムジブロマイド、メチルアルミニウムセスキブロマイド、エチルアルミニウムジブロマイド、エチルアルミニウムセスキブロマイド、イソブチルアルミニウムジブロマイド、イソブチルアルミニウムセスキブロマイド、アルミニウムトリブロマイド（臭化アルミニウム）などである。これらは単独でまたは、混合して用いられる。
なお、組成物中のアルキルアルミニウムハイドライド及びトリアルキルアルミニウムのアルキル基と、これに添加されるアルキルアルミニウムハライドのアルキル基は、三者共全て同一であってもよいし、また全て異なっていてもよい。
【００１３】
本発明においては、上記のようなアルキルアルミニウムハライドを、上記組成物中に存在するトリアルキルアルミニウムの全量をジアルキルアルミニウムモノハライドに変化させるのに要する量、すなわち理論必要モルを該組成物に予め添加するものである。ここで言う理論必要モルは、還元反応に使用する組成物中のトリアルキルアルミニウムの量に対し、これに添加するアルキルアルミニウムハライドに含有されているハロゲン原子の量に応じて算出されるものである。
例えば、ジアルキルアルミニウムハライドは次式のようにトリアルキルアルミニウムと反応してジアルキルアルミニウムモノハライドを生じる。
Ｒ３Ａｌ　　＋　　ＡｌＲＸ２　　　→　　　２ＡｌＲ２Ｘ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（２）
従って、アルキルアルミニウムジハライドの場合は、トリアルキルアルミニウムと当量で反応して、アルキルアルミニウムモノハライドを生じることになる。また、実際上、上記（２）式の反応は、ほぼ定量的に進行すると考えてよい。
アルキルアルミニウムハライドの添加量が、このように算定された理論必要モルを超えた場合は、還元剤であるアルキルアルミニウムハイドライドの分解が還元反応中に著しく促進され、目的物であるシラン類の収率が極端に低下する。このような現象は、微粉状アルミニウムを実質的に含有しない組成物を使用した場合は、ほとんど認められないことから、該微粉状アルミニウムの何らかの作用によるものと推定される。一方、算定された理論必要モルより少なく添加した場合は、未反応のトリアルキルアルミニウムによる作用により、目的物であるシラン類の収率が低下する場合がある。
【００１４】
上記組成物にアルキルアルミニウムハイドライドを添加する方法は任意であり、両者を直接混合してもよいし、いずれか一方、もしくは両者を、適当な溶媒で希釈した後に混合してもよい。通常、両者は液体であるが、一方が固体の場合は、溶媒に溶解させるか、懸濁させて混合すればよい。上記のような組成物とアルキルアルミニウムハイドライドを混合するために希釈、溶解、懸濁させる溶媒は、例えば、上記（２）式の反応の場合、反応原料であるアルキルアルミニウムジハライドや反応生成物であるアルキルアルミニウムモノハイドライドと反応しない非極性の溶媒が好ましい。このような溶媒として、ヘプタン、オクタン、流動パラフィン、ベンゼン、トルエン、キシレン等の脂肪族飽和炭化水素や芳香族炭化水素が挙げられる。また、これら使用する溶媒は、予め窒素バブリングなどを施して、十分に脱酸素・脱水したものを使う必要がある。通常、溶媒中の水分は５０ｐｐｍ以下として用いるのが好ましい。該混合のほとんどの場合が、強烈な発熱を伴うので、系が過熱しないように十分注意を払って操作を行う必要がある。具体的には、冷却手段及び攪拌手段を備えた容器にいずれか一方を仕込み、これを冷却・攪拌しつつ、温度制御が可能な範囲の速度で他の一方を添加し、系内温度を４０℃程度に保つよう操作するのが好ましい。上記反応自体は非常に速いので、滴下（添加）が完了した時点で、実質的に反応が完結しているとして扱ってもよいが、念のため、１０〜２０分程度の後、還元反応を行うことが望ましい。なお、懸濁した系の場合には、反応を促進するために、７０℃程度に加熱昇温することが好ましい。
【００１５】
さらに、上記のような組成物中には、粒径が１００μ以下の微粉状アルミニウムが、少なくとも０．０５重量％以上、通常、０．５〜２重量％程度含有されている。このような微粉状アルミニウムは、上記アルキルアルミニウムハイドライド合成時の原料として用いられている金属アルミニウムの一部が未反応で残留したものである。本発明においては、上記微粉状アルミニウムは、公知の方法にて除去することができる。自然沈降による分離、遠心分離など使用できるが、フィルターを使ったろ過分離が好ましい。５〜１０μ以上の微粉末を除去できるフィルターを使用するのが好適である。また、微粉状アルミニウムを除去するための温度、圧力などについては、特に制限がなく、任意に設定できる。該組成物中の含有量が０．０１重量％より多い場合は、残存する微粉状アルミニウムによる作用により、目的物であるシラン類の収率が低下する場合がある。
【００１６】
本発明において、ポリハロシランを還元する反応とは、前記定義したポリハロシランから、シラン類を製造する反応の全てをいう。
従って、例えば、
ＳｉＣｌ４　　＋　　４ＡｌＥｔ２Ｈ　　　→　　　ＳｉＨ４　　＋　　４ＡｌＥｔ２Ｃｌ　　（２）
のような反応はもちろん、例えば、
Ｓｉ（ＯＥｔ）４　　＋　　４ＡｌＥｔ２Ｈ　　　→　　　ＳｉＨ４＋　　４ＡｌＥｔ２ＯＥｔ　（３）
のようなハロゲンが実質的に関与しない反応も、本発明における還元反応に含まれるのである。
該還元反応で生成するシラン類とは、上記ポリハロシランから、１つ以上の、または全てのハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基またはビニール基を除去して得られる、少なくとも１つ以上の珪素−水素結合を有するシラン化合物全てが含まれる。
該還元反応自体は通常の液−液反応として、公知の手段により行うことができるが、該反応を遂行するに当たって注意すべきことは、反応に関与する原料、還元剤及び生成物質のほとんど全てが、酸素もしくは水分と容易に反応して分解・発火する極めて活性な危険物ばかりであるということである。従って、該反応は、酸素もしくは水分を全く遮断した完全に不活性な雰囲気下で行わなければならない。このため、十分に脱酸素・脱水したヘリウム、ネオン、アルゴンなどの不活性ガスや窒素、水素等の反応系に対し、不活性なガスで、反応系をシールする必要がある。
【００１７】
該還元反応に使用する反応装置は、除熱手段を備えた通常の液−液反応用の攪拌槽型反応器が好ましいが、上述の理由から、反応器はもちろん、配管部、生成シランガス類の凝縮部等を含めて、反応系全体が完全に密閉系として組み立てられる必要がある。
【００１８】
なお、還元反応装置は、上記したアルキルアルミニウム組成物へのアルキルアルミニウムハライドの添加装置としても使用することができるので、両者を兼ねて、該反応装置で該組成物の処理操作を行った後、引き続いてポリハロシラン類を送入して、該還元反応を行うことも可能である。
本発明における反応温度は、通常、−３０〜１００℃、好ましくは０〜８０℃、特に好ましくは３０〜６０℃の範囲に制御する必要がある。反応温度がこれより低い場合は、反応が実質的に進行せず、またこれより高すぎる場合は、アルキルアルミニウムハイドライドが自己分解するばかりでなく、望ましくない副反応が起こるからである。
【００１９】
該還元反応は強度の発熱反応であるから、通常、反応の開始時のみ反応が進行する温度に加熱すればよい。このように、いったん反応が開始すれば、反応熱のみにより自動的に反応は進行するので、冷却操作を行って反応系を所望の反応温度に保持する。なお、反応操作としては、アルキルアルミニウムハイドライドとポリハロシランの両者を反応器に同時に仕込んで反応させる回分操作によってもよいし、また、最初に反応器に一方、例えば、アルキルアルミニウムのみを仕込んでおき、これにポリハロシランを添加する半回分操作としてもよい。この方式は、ポリハロシランの添加速度（送入速度）によって反応速度、すなわち反応熱の発生量を制御できる利点がある。もちろん、両者をそれぞれ連続的に反応器に送入し、生成物を連続的に取り出す連続操作とすることもできる。
反応圧力は、通常、常圧で行うが、反応温度または装置との関係で減圧もしくは加圧としてもよい。
【００２０】
該還元反応自体は非常に速いので、反応は両者の混合が完了した時点で、実際的には終了していると思われる。従って、例えば、上記半回分操作を行う場合は、ポリハロシランの添加が完了してから、１０〜３０分程度の熟成を行えば十分である。なお、反応の終了は、シラン類の発生が止まった時点としても検地できるし、発熱が止まって系内温度が降下し始めた点としても簡単に決定できる。また、発生するシラン類によっては、同時に生成するアルキルアルミニウムモノハライドや溶媒などに溶解する場合は、例えば、上記半回分操作を行う場合は、ポリハロシランの添加が完了してから、十分に脱酸素・脱水したヘリウム、ネオン、アルゴン等の不活性ガスや窒素、水素等の反応系に対し、不活性なガスで溶解しているシラン類を追い出して回収する必要がある。この時に使用する不活性ガスの流量、追い出し時の温度、圧力などは任意であり、溶解しているシラン類の物性に応じて決定できる。
発生したシラン類のガスは、液体窒素等で冷却される凝縮器に導いて、液化または固化して補集する。
本発明における還元反応においては、反応溶媒を用いた方が反応が緩やかになり、制御しやすくなるので好ましい。本発明の方法により製造されたシラン類は、特に不純物が少ないので、簡単な精製を施した後、各種の半導体材料用の原料として使用することができる。
【００２１】
【実施例】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。
（実施例１）
酸素濃度　１０ｐｐｍ以下に制御した窒素ボックス中で、金属アルミニウムと水素とトリエチルアルミニウムから合成された組成液から常温でガラスフィルターを用いて濾過し、５μ以上の粒子径の微粉状アルミニウムを除去し、ジエチルアルミニウムハイドライド　６５重量％、トリエチルアルミニウム　３０重量％、流動パラフィンなど　５重量％、微粉状アルミニウム　０．００５重量％の組成液を得た。この組成液を予め内部を窒素置換した４つ口フラスコに、モレキュラーシーブ５Ａに接触させることにより５０ｐｐｍ以下の水分に調整したジブチルエーテル　２０ｇと上記組成液を１８．５ｇ（ジエチルアルミニウムハイドライド　１４０ｍｍｏｌ、トリエチルアルミニウム　４８．７ｍｍｏｌ）秤量し、マグネチックスターラーで攪拌した。次いで、ガラス製の滴下ロートに、流動パラフィンで希釈した５０重量％エチルアルミニウムジクロライドを１２．４ｇ（４８．７ｍｍｏｌ）秤量し、４５分間かけて供給した（この時、冷却により反応液温度は３５℃以下に調整した）。さらに、供給終了後、１５分間攪拌を継続した。
こうして得られた混合液を、予め内部を窒素置換した３００ｍｌのＳＵＳ製オートクレーブに圧送し、オートクレーブ内を１００ｒｐｍの回転速度で攪拌しながら、常圧から５５℃まで昇温した。
次いで、市販のトリメチルクロロシラン　１５．２ｇ（１４０ｍｍｏｌ）をポンプでオートクレーブに１時間で供給した。供給終了後、１５分間攪拌を継続した。
さらに、攪拌を継続しながら、オートクレーブ内を７０℃まで昇温し、次いで、Ｈｅガスを１５ｍｌ／ｍｉｎの供給速度で３．５時間、ディップで反応液に吹き込み、溶解しているメチルシラン類をストリッピングした。
オートクレ−ブ部より出た生成ガスは液体窒素で−１８０℃に制御された補集トラップにより全量を固化・回収した。
ストリッピング終了後、補集トラップを常温に戻し、採集した生成ガスの重量確認及びガスクロマトグラフィーで分析したところ、トリメチルシランが選択率９９．９モル％、収率　９２．８モル％で得られた。その他、不均化反応によって副生するジメチルシラン、テトラメチルシラン、さらにそれらの逐次反応などで副生するエチルジメチルシラン及びトリメチルエチルシランなどは未検出であった。
【００２２】
（実施例２）
供給したポリハロシランを、トリメチルクロロシランに代えて、テトラクロロロシラン　５．９５ｇ（Ｃｌ量として、１４０ｍｍｏｌ）にした以外は、実施例１と同様な方法で行った。
補集した生成ガスを分析した結果、シランが選択率　９９．４モル％、収率　９５．２モル％で得られた。
【００２３】
（実施例３）
使用する組成液中の金属アルミニウムの除去を行わなかった（組成液中に金属アルミニウム　０．５重量％含有）以外は、実施例１と同様な方法で行った。
補集した生成ガスを分析した結果、トリメチルシランが選択率　９９．３モル％、収率　７５．９モル％で得られた。
【００２４】
（実施例４）
使用する組成液にエチルアルミニウムジクロライドを添加しなかった以外は、実施例１と同様な方法で行った。
補集した生成ガスを分析した結果、トリメチルシランが選択率　９９．４モル％、収率　８３．６モル％で得られた。
【００２５】
（比較例１）
使用する溶媒をジブチルエーテルに代えて、流動パラフィン（２０ｇ）にした以外は、実施例３と同様な方法で行った。
補集した生成ガスを分析した結果、トリメチルシランが選択率　９８．８モル％、収率　７１．２モル％で得られた。その他、痕跡量のジメチルシラン、テトラメチルシラン、エチルジメチルシラン及びトリメチルエチルシランが認められた。
【００２６】
【発明の効果】
アルキルアルミニウムハイドライドを用いて、ポリハロシランを還元し、シラン類を製造するに当たり、エーテル系化合物の存在下、反応を行う。これにより、有用なシラン類を高収率、高選択率で得られ、産業上、有用である。