(57)【要約】【課題】生産スケジュールをより計算量を小さく抑え、計算時間をより短くして作成する。【解決手段】スケジュールすべき期間を複数のスケジュール区間に時分割し、第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データを記憶手段に記憶し、この第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データを、第２スケジュール区間の生産スケジュールデータを算出に利用する。複数のスケジュール区間の時間幅は、互いに等しく設定される場合と、互いに異なって設定される場合とがある。第２スケジュール区間のおいて、その開始時点で仕掛中のすべてのロットの処理が完了するまでのスケジュールデータを算出することもできる。【選択図】　　　　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎ（Ｎは整数）個のロットを、Ｍ（Ｍは整数）台の処理装置で順次処理する生産工程に関する生産スケジュールを作成する生産スケジュール作成装置であって、スケジュールすべき期間を複数のスケジュール区間に時分割して、その第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データを記憶する記憶手段を備え、前記第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データが、前記第１スケジュール区間に続く第２スケジュール区間の最初の仕掛状態データとして利用されるようになされた生産スケジュール作成装置。
【請求項２】
請求項１記載の生産スケジュール作成装置であって、前記Ｍ台の処理装置が少なくとも２種類の処理装置を含み、前記生産工程が前記Ｎ個のロットのそれぞれをこれらの処理装置で順次処理するようになっていることを特徴とする生産スケジュール作成装置。
【請求項３】
請求項２記載の生産スケジュール作成装置であって、前記第１および第２のスケジュール区間が、互いに等しい時間幅をもって設定されることを特徴とする生産スケジュール作成装置。
【請求項４】
請求項２記載の生産スケジュール作成装置であって、前記第１または第２のスケジュール区間が、互いに時間幅の異なる区間として設定されることを特徴とする生産スケジュール作成装置。
【請求項５】
複数のロットを、複数台の処理装置で順次処理する生産工程に関する生産スケジュールを作成する生産スケジュール作成装置であって、基準時点から所定時間幅の第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データを記憶する記憶手段を備え、前記第１スケジュール区間に続く第２スケジュール区間のスケジュールデータの算出において、前記第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データが利用され、前記第２スケジュール区間の開始時点で仕掛中のすべてのロットの処理が完了するまでのスケジュールデータが算出されることを特徴とする生産スケジュール作成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば半導体装置を生産する生産工程の生産スケジュール作成装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に半導体装置などの量産品は、ロット毎に、一連の複数の処理装置による処理を行って生産され、その生産工程では、各ロットの仕掛状態データが把握され、その仕掛状態データに基づいて生産スケジュールデータが算出され、この生産スケジュールデータに基づく生産スケジュールにより生産の管理が行なわれる。この生産スケジュールの作成には、通常仕掛状態データ収集する実績データ収集システムおよび生産スケジュール算出処理システムが用いられる。生産スケジュール算出処理システムは、実績データ収集システムからの仕掛状態データを処理して、生産スケジュールデータを作成し、生産スケジュールを表示する。
【０００３】
図８は、ある工場、例えば半導体装置を製造する工場の生産工程に関して算出された生産スケジュールを示す従来のガントチャートの例を示す。左欄は装置名を示し、テスタｔｓ−１、バーンイン装置ｂｉ−ａ、テスタｔｓ−２が上から順に並べられている。ロット１７、１８、１９は、それぞれテスタｔｓ−１からバーンイン装置ｂｉ−ａを経由してテスタｔｓ−２で処理される。図８において、ロット１７は最初の状態で、テスタｔｓ−１の処理を終え、バーンイン装置ｂｉ−ａの待ち行列にあったロットであり、ロット１８は最初の状態でテスタｔｓ−１の待ち行列にあったロットである。ロット１９はロット１８の後に工場の生産工程に到着したロットである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来、このようなスケジュール作成を作成するには、図８に示すように、最初に図７の工場の仕掛状態データに基づき、期間２０についてスケジュールデータを作成する。このスケジュールデータはロット１７、１８を対象にしたスケジュールデータである。次に時間が経過し、新しいロット１９が到着すると、このロット１９を追加したスケジュールが作成される。この新たに到着したロット１９を追加したスケジュールデータを作成する場合、新たに到着したロット１９だけではなく、以前のロット１７、１８のスケジュールデータをも再度トレースする必要があるため、最初に、ロット１７、１８のスケジュールを作成した時点まで遡り、結局期間２０を含む期間２１についてロット１７、１８、１９を対象に、スケジュールを計算し直している。このスケジュールの計算では、時間経過とともにスケジュール期間が長くなって、計算量が増大し、スケジュールデータの算出に時間がかかるという問題がある。
【０００５】
また、半導体装置の後工程のように、オフラインの処理装置が多い工場では、処理装置と実績データ収集システムが接続されない場合がある。このような工場において、仕掛状態データを正確に作成するには、各処理装置における各ロットの仕掛状態を人手によって実績データ収集システムに入力し、その仕掛状態データに基づいて生産スケジュール算出処理システムによってスケジュールデータを算出する。このような工場において、期間２０を含むさらに長い期間２１についてスケジュールを作成する場合には、より多くの人手がかかり、スケジュールにかかる時間がさらに増大する結果になる。実際上は、高い頻度で仕掛状態データを入力するのは困難となるので、多数のロットが順次到着するような状況に対応して、順次正確なスケジュールを行うことができない事態も発生する。
【０００６】
この発明は、このような問題を改善するためになされたものであり、計算量を小さく抑えながら、より高い頻度で、正確な生産スケジュールを行うことができる生産スケジュール作成装置を提案するものである。
【０００７】
【課題を解決する手段】
この発明による生産スケジュール作成装置は、Ｎ（Ｎは整数）個のロットを、Ｍ（Ｍは整数）台の処理装置で順次処理する生産工程に関する生産スケジュールを作成する生産スケジュール作成装置であって、スケジュールすべき期間を複数のスケジュール区間に時分割して、その第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データを記憶する記憶手段を備え、前記第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データが、前記第１スケジュール区間に続く第２スケジュール区間の最初の仕掛状態データとして利用されるようになされたものである。
【０００８】
また、この発明による生産スケジュール作成装置は、好ましくは、前記Ｍ台の処理装置が少なくとも２種類の処理装置を含み、前記生産工程が前記Ｎ個のロットのそれぞれをこれらの処理装置で順次処理するようになっていることを特徴とする。
また、この発明による生産スケジュール作成装置は、好ましくは、前記第１および第２のスケジュール区間が、互いに等しい時間幅をもって設定されることを特徴とする。
また、この発明による生産スケジュール作成装置は、好ましくは、前記第１または第２のスケジュール区間が、互いに時間幅の異なる区間として設定されることを特徴とする。
【０００９】
さらに、この発明による生産スケジュール作成装置は、複数のロットを、複数台の処理装置で順次処理する生産工程に関する生産スケジュールを作成する生産スケジュール作成装置であって、基準時点から所定時間幅の第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データを記憶する記憶手段を備え、前記第１スケジュール区間に続く第２スケジュール区間のスケジュールデータの算出において、前記第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データが利用され、前記第２スケジュール区間の開始時点で仕掛中のすべてのロットの処理が完了するまでのスケジュールデータが算出されることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
この発明による生産スケジュール作成装置の実施の形態１について説明する。この実施の形態１は、Ｎ（Ｎは整数）個のロットを、Ｍ（Ｍは整数）台の処理装置によって順次処理する生産工程に関する生産スケジュール作成装置であり、スケジュールすべき期間を複数のスケジュール区間に時分割することを特徴とする。
【００１１】
図１は、この実施の形態１が対象とする工場、例えば半導体装置を生産する工場における生産設備とその生産スケジュールを作成する生産スケジュール作成装置の一例を示す。この工場の生産設備は、複数の、例えば３台の処理装置１２、１３、１４を用いて、複数の、例えば３個のロット９、１０、１１を処理するように構成されている。処理装置１２、１４は例えばテスタであり、ｔｓ―１およびｔｓ―２と略称される。処理装置１３は例えばバーンイン装置であり、ｂｉ―ａと略称される。
【００１２】
生産スケジュール作成装置は、実績データ収集システム１５と、生産スケジュール算出処理システム１６を有する。これらの実績データ収集システム１５および生産スケジュール算出処理システム１６はともにコンピュータを用いて構成され、それぞれＣＰＵ、データ入出力ポート、記憶手段、操作手段、表示手段を備えている。記憶手段は半導体メモリ、ディスクなど各種記憶手段を含み、操作装置はキーボードなどの操作手段を含み、また表示手段は各種ディスプレイを含む。
【００１３】
生産スケジュールデータは、生産スケジュール算出処理システム１６によって作成される。実績データ収集システム１５は、各ロット９、１０、１１がどの工程で待ち行列中にあるか、また各ロット９、１０、１１がどの処理装置１２、１３、１４で処理作業中であるか、処理作業中であれば何パーセントの処理が残っているか、または何パーセントの処理が完了しているかなどの実績データを収集する。処理装置１２、１３、１４のいずれかがオフラインの処理装置であれば、その処理装置と実績データ収集システム１５が図１にＸ印で示すように接続されないので、人手によってそれらの実績データを収集し、実績データ収集システム１５にその操作手段を用いて手入力する。生産スケジュール算出処理システム１６は、そのＣＰＵによって、実績データ収集システム１５からの実績データに基づき仕掛状態データを算出し、これに基づいて生産スケジュールデータを算出し、その表示手段などに生産スケジュールを表示する。
【００１４】
この発明の実施の形態１では、スケジュールすべき期間が複数のスケジュール区間に時分割されるが、この複数のスケジュール区間は互いに等しい時間幅をもって設定される。すなわち、生産スケジュール算出処理システム１６は、そのプログラムによって、互いに等しい複数のスケジュール区間は、スケジュール区間一般にＴｉ（ｉは整数）で表され、具体的にはＴ１、Ｔ２、Ｔ３、・・・で表わされる。図２、図３、図４は、この実施の形態１によって図１に示す工場の生産スケジュールを作成した場合におけるガントチャートを示し、図２は最初のスケジュール区間Ｔ１についてのガントチャート１１を、また図３はスケジュール区間Ｔ１に続く次のスケジュール区間Ｔ２についてのガントチャート１２を、さらに図４はスケジュール区間Ｔ２に続く次のスケジュール区間Ｔ３についてのガントチャート１３をそれぞれ示す。
【００１５】
図２、図３、図４において、左欄には、図１の工場に設置された処理装置１２、１３、１４の装置名が記載される。この装置名は、テスタｔｓ−１と、バーンイン装置ｂｉ−ａと、テスタｔｓ−２を含む。複数のロット２、３、４は、それぞれこれらのテスタｔｓ−１，バーンイン装置ｂｉ−ａ、テスタｔｓ−２で、順次処理されるものとする。また、図２、図３、図４において、右欄には時刻が記載される。この時刻欄には、時点ｔ０、ｔ１、ｔ２、ｔ３が記載される。また、図２、図３、図４のガントチャート１１、１２、１３の下部には、各時点ｔ０、ｔ１、ｔ２、ｔ３における仕掛状態データＤ０、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３が記載される。併せて、時点ｔ０と時点ｔ１との間の第１スケジュール区間Ｔ１、時点ｔ１と時点ｔ２との間の第２スケジュール区間Ｔ２、時点ｔ２と時点ｔ３との間の第３スケジュール区間Ｔ３が記載される。
【００１６】
実施の形態１の生産スケジュール算出処理システム１６は、時点ｔ０、ｔ１、ｔ２のそれぞれにおいて図２、図３、図４に示す生産スケジュールデータを作成し、生産スケジュールを表示画面に表示するように、プログラムされている。時点ｔ０では、図２に示す時点ｔ０から時点ｔ１までの第１スケジュール区間Ｔ１の生産スケジュールが作成される。同様に時点ｔ１では、図３に示す時点ｔ１から時点ｔ２までの第１スケジュール区間Ｔ２の生産スケジュールが作成され、時点ｔ２では、図４に示す時点ｔ２からｔ３までの第３スケジュール区間Ｔ３の生産スケジュールが作成される。言い換えれば、それぞれの時点ｔ０、ｔ１、ｔ２で、次の時点ｔ１、ｔ２、ｔ３までの生産スケジュールが予測計算され、生産スケジュールとして表示される。
【００１７】
まず、図２に示す第１スケジュール区間Ｔ１についてのガントチャート１１について説明する。ロット２、３は、工場にすでに仕掛かっているロットであり、図１のロット９、１０に相当する。ロット４は時点ｔ０ではまだ工場に未到着のロットであり、図１のロット１１に相当する。さて、スケジュールデータを作成するに当たり、最初の時点ｔ０における仕掛状態データＤ０を実績データ収集システム１５と、加えて必要があれば人手により収集し、実績データ収集システム１５に入力する。この仕掛状態データＤ０は、どのロットがどの処理装置の工程に仕掛かっているか、各処理装置で作業中のロットがあれば、何パーセントの処理が終わっているか、または何パーセントの処理が残っているか、という仕掛情報を含む。時点ｔ０ではロット２がそれぞれテスタｔｓ−１の待ち行列にあり、またロット３がテスタｔｓ−１の処理を終わって、バーンイン装置ｂｉ−ａの待ち行列にあるので、それに対応した仕掛状態データＤ０が収集され、生産スケジュール算出処理システム１６に送られる。
【００１８】
生産スケジュール算出処理システム１６は、そのＣＰＵによって、時点ｔ０から時点ｔ１までのスケジュール区間Ｔ１の生産スケジュールデータを算出し、図２のように生産スケジュールを表示する。すなわち、図２のガントチャートにおいて、白く表されたスケジュール区間Ｔ１の生産スケジュールデータが算出され、生産スケジュールが表示される。網掛けをしたその他の区間の生産スケジュールは算出されない。
【００１９】
スケジュール区間Ｔ１の最終時点ｔ１は時点ｔ０から時間Ｔ１が経過した時点である。この時点ｔ１では、その時点ｔ１における仕掛状態データＤ１が実績データ収集システム１６から生産スケジュール算出処理システム１６に取り込まれ、生産スケジュール算出処理システム１６の記憶手段に記憶される。この仕掛状態データＤ１は、次のスケジュール区間Ｔ２の生産スケジュールの作成に利用される。
【００２０】
次に図３のガントチャートについて説明する。この図３のガントチャートでは、スケジュール区間Ｔ１に続く次のスケジュール区間Ｔ２の生産スケジュールデータが時点ｔ１において算出される。このスケジュール区間Ｔ２の生産スケジュールデータは、生産スケジュール算出処理システム１６の記憶手段に記憶された時点ｔ１における仕掛状態データＤ１に基づいて算出される。時点ｔ１における仕掛状態データＤ１は、ロット２がバーンイン装置ｂｉ−ａで８０パーセントの処理を終了したデータと、ロット３がテスタｔｓ−１の処理を終わり、バーンイン装置ｂｉ−ａの作業待ちにあるデータと、新たに到着したロット４がテスタｔｓ−１の作業待ちにあるデータを含む。この仕掛状態データＤ１に基づき、時点ｔ２までのスケジュール区間Ｔ２の生産スケジュールデータが予測算出され、生産スケジュールが図３のように表示される。この図３に白く示すスケジュール区間Ｔ２の生産スケジュールデータが算出される場合には、網掛けで示す灰色のその他の区間Ｔ１などのスケジュールデータの算出は行なわれない。
【００２１】
スケジュール区間Ｔ２の最終時点ｔ２は時点ｔ１から時間Ｔ２が経過した時点である。この時点ｔ２では、その時点ｔ２における仕掛状態データＤ２が実績データ収集システム１５から生産スケジュール算出処理システム１６に取り込まれ、生産スケジュール算出処理システム１６の記憶手段に記憶される。この仕掛状態データＤ２は、次のスケジュール区間Ｔ３の生産スケジュールの作成に利用される。
【００２２】
次に図４のガントチャートについて説明する。この図４のガントチャートでは、スケジュール区間Ｔ２に続く次のスケジュール区間Ｔ３の生産スケジュールデータが時点ｔ２において算出される。このスケジュール区間Ｔ３の生産スケジュールデータは、生産スケジュール算出処理システム１６の記憶手段に記憶された時点ｔ２における仕掛状態データＤ２に基づいて算出される。時点ｔ２における仕掛状態データＤ１は、ロット２がテスタｔｓ−２で８０パーセントの処理を終了したデータと、ロット３がバーンイン装置ｂｉ−ａで６０パーセントの処理を終了したデータと、さらに新たに到着したロット４がテスタｔｓ−１での処理を終了したデータとを含む。この仕掛状態データＤ２に基づき、時点ｔ３までのスケジュール区間Ｔ３の生産スケジュールが予測算出され、図４のように表示される。この図４に白く示すスケジュール区間Ｔ３の生産スケジュールが算出される場合には、網掛けで示す灰色のその他の区間Ｔ１、Ｔ２などのスケジュールの算出は行なわれない。
【００２３】
スケジュール区間Ｔ３の最終時点ｔ３は時点ｔ２から時間Ｔ３が経過した時点である。この時点ｔ３では、その時点ｔ３における仕掛状態データＤ３が実績データ収集システム１５から生産スケジュール算出処理システム１６に取り込まれ、生産スケジュール算出処理システム１６の記憶手段に記憶される。この仕掛状態データＤ３は、次のスケジュール区間Ｔ４の生産スケジュールの作成に利用され、以降は順次スケジュールした前のスケジュール区間の最終の仕掛状態データを次の生産スケジュールデータの算出において利用しながら、順次スケジュールデータの算出が行なわれる。
【００２４】
図５は実施の形態１による生産スケジュール作成方法を示すフローチャートである。図５において、ステップＳ１は、最初に生産スケジュールを作成する時点ｔ０で仕掛状態を入力するステップであり、次のステップＳ２は生産スケジュール作成時点ｔ０、ｔ１、ｔ２、ｔ３から所定時間後のスケジュール区間Ｔｉの生産スケジュールデータを算出するステップであり、ステップＳ３はスケジュール区間Ｔｉの最終の仕掛状態データを記憶するステップである。ステップＳ４は、区間Ｔｉが経過したかどうかを判断するステップであり、その判断の結果がＹｅｓならばステップＳ２に返って、区間Ｔｉのｉに１を加える、すなわちｉ＝ｉ＋１とする。また判断の結果がＮｏならば、ステップＳ４に返る。
【００２５】
以上のように実施の形態１のように、スケジュール期間を複数のスケジュール区間に時分割し、各スケジュール区間の最終の仕掛状態データを記憶手段に記憶して、次のスケジュール区間のスケジュールデータの算出に利用することにより、スケジュール計算量を小さく抑えながら、より短い時間でスケジュールデータの算出を行うことができる。
特に実績を高い頻度で取得することが困難なオフラインの処理装置の多い工場などで、前に作成したスケジュール通り作業をしていれば、その作業の途中における次のスケジュール区間で、再度仕掛状態を収集する人手も不要のまま、次のスケジュールも正確に作成することもできる。
【００２６】
実施の形態２．
この実施の形態も、この発明による生産スケジュール作成装置の実施の形態である。実施の形態１では、各スケジュール区間Ｔｉは互いに等しい時間幅をもって設定されたが、この実施の形態２では、各スケジュール区間の時間幅は任意に設定され、互いに異なる時間幅に設定される。具体的には、生産スケジュール算出処理システム１６が、各スケジュール区間Ｔｉを互いに異なる時間幅に設定するようプログラムされる。その他の構成は、実施の形態１と同じである。
【００２７】
この実施の形態２でも、実施の形態１と同様に、前のスケジュール区間の最終の仕掛状態データが、次のスケジュール区間のスケジュールデータの作成に利用されるので、同様の効果がある。
【００２８】
また、処理装置の故障、ロットの到着に伴い、スケジュール区間Ｔｉの途中で再スケジュールする場合にも、結果として、異なる時間幅のスケジュール区間が設定されるが、この場合にも、前のスケジュールからその再スケジュールの時点における仕掛状態データを算出し、それを利用して再スケジュール時点以降のスケジュールデータの算出を行なうようにすることにより、同様の効果がある。
【００２９】
実施の形態３．
この実施の形態も、この発明による生産スケジュール作成装置の実施の形態である。実施の形態１は各スケジュール区間Ｔｉについて順次スケジュールを算出するようにするものであるが、この実施の形態３はあるスケジュール時点で、仕掛中のすべてのロットの処理が終了するまでの区間のスケジュールデータの算出を行なうものである。
【００３０】
図６は実施の形態３によるガントチャート１４を示す。この生産スケジュールでは、スケジュール区間Ｔ１が終了した時点ｔ１において、仕掛中のすべてのロットの作業が完了するまでの区間Ｔａの生産スケジュールデータを作成する。時点ｔ１では、ロット２がバーンイン装置ｂｉ−ａで８０パーセントの処理を終了し、ロット３がテスタｔｓ−１での作業を終了し、またロット４が新たにテスタｔｓ−１の作業待ちに加わった時点であり、すでにｔ０からｔ１までのスケジュール区間Ｔ１についてのスケジュールデータが作成され、またこのスケジュール区間Ｔ１の最終の仕掛状態データＤ１が生産スケジュール算出処理システム１６の記憶手段に記憶された状態にある。この実施の形態３では、時点ｔ１において、時点ｔ１における仕掛状態データＤ１を利用して、時点ｔ１で仕掛中のすべてのロット２、３、４の処理が完了するまでの期間Ｔａの生産スケジュールデータが算出され、生産スケジュールが表示される。
【００３１】
この実施の形態３でも、スケジュール区間Ｔａにおけるスケジュールデータの算出時には、前の区間Ｔ１のスケジュールデータは計算されないので、計算量が小さくでき、計算時間をより短くできる。また、この実施の形態３では、仕掛かっているすべてのロットの作業が完了する完了時刻が知ることができるという効果もある。
【００３２】
図７は、実施の形態３による生産スケジュール方法を示すフローチャートである。図７のステップＳ５は、スケジュールする時点において仕掛中のすべてのロットの作業が完了するまでのスケジュールデータを算出するステップである。次のステップＳ６は、スケジュールする時点が再スケジュールをしたい時点かどうかが判断される。これは、例えば図６の時点ｔ２で再スケジュールをするかどうかを判断する場合に相当する。この判断の結果がＹｅｓならば、ステップＳ７に進み、先に計算したスケジュール区間Ｔａのスケジュールから、時点ｔ２における仕掛状態データＤ２を求め、これがステップＳ５に返り、時点ｔ２からすべてのロットの作業完了時点ｔａまでの生産スケジュールデータが改めて算出される。ステップＳ６の判断の結果がＮｏならば、再びステップＳ６に戻される。
【００３３】
【発明の効果】
以上のように、この発明の生産スケジュール作成装置は、スケジュールすべき期間を複数のスケジュール区間に時分割し、第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データを記憶する記憶手段を備え、第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データが第２スケジュール区間の最初の仕掛状態データとして利用されるようになされたものであり、スケジュールデータの計算量を小さく抑え、スケジュールデータの算出時間を短くすることができる。
【００３４】
また、この発明の別の生産スケジュール作成装置は、第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データを記憶する記憶手段を備え、第２スケジュール区間の生産スケジュールデータの算出において、第１スケジュール区間の最終の仕掛状態データが利用され、第２スケジュール区間の開始時点で仕掛中のすべてのロットの処理が完了するまでのスケジュールデータが算出されることを特徴とするもので、スケジュールデータの計算量を小さく抑え、スケジュールデータの算出時間を短くすることができるとともに、すべてのロットの処理が完了する完了時刻を知ることができる効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による生産スケジュール作成装置が設置された工場の生産工程を示す斜視図。
【図２】この発明の生産スケジュール作成装置の実施の形態１によって作成された生産スケジュールの特に第１スケジュール区間のガントチャート。
【図３】この発明の生産スケジュール作成装置の実施の形態１によって作成された生産スケジュールの特に第２スケジュール区間のガントチャート。
【図４】この発明の生産スケジュール作成装置の実施の形態１によって作成された生産スケジュールの特に第３スケジュール区間のガントチャート。
【図５】この発明の実施の形態１による生産スケジュール方法を示すフローチャート。
【図６】この発明の生産スケジュール作成装置の実施の形態３によって作成された生産スケジュールの特に第２スケジュール区間のガントチャート。
【図７】この発明の実施の形態３による生産スケジュール方法を示すフローチャート。
【図８】従来の生産スケジュールのガントチャート。
【符号の説明】
９、１０、１１　ロット　　　　　１２、１３、１４　処理装置
１５　実績データ収集システム　　１６　生産スケジュール算出処理システム
２、３、４　ロット　　　　　　　１１、１２、１３、１４　ガントチャート
Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３　スケジュール区間
Ｄ０、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３　仕掛状態データ
【図１】
2004038405.tif 000003
【図２】
2004038405.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2004038405.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004038405.tif 000009
【図８】
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