(57)【要約】【課題】連続帯状の対象物にめっきを施す場合に、連続帯状の対象物に設定した長さ毎に複数のめっきを施すことが出来る電気めっき装置を提供する。【解決手段】めっき槽と、めっき槽に連続帯を搬送させる搬送手段と、搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段と、搬送距離結果からめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度を自動的に切り替える切替手段と、めっき液の電流密度及び噴流速度の条件内容を複数登録する登録手段とを備えた電気銅めっき装置において、予め連続帯の搬送距離と対するめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度の条件内容を登録し、前記搬送距離の計測結果から前記めっき槽のめっき液条件の登録内容に基づきめっき槽のめっき液が所定の電流密度及び噴流速度に自動的に切り替える電気銅めっき装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気銅めっき装置において、めっき槽と、前記めっき槽に被めっき物の連続帯を搬送させる搬送手段と、前記搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段とを有することを特徴とする電気銅めっき装置。
【請求項２】
めっき槽と、前記めっき槽に連続帯を搬送させる搬送手段と、前記搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段とを備えた電気銅めっき装置において、前記搬送距離計測結果からめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度を自動的に切り替える切替手段を有することを特徴とする電気銅めっき装置。
【請求項３】
めっき槽と、前記めっき槽に連続帯を搬送させる搬送手段と、前記搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段と、前記搬送距離計測結果からめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度を自動的に切り替える切替手段とを備えた電気銅めっき装置において、連続帯の搬送距離の長さとその長さに対するめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度の条件内容を複数登録する登録手段を有することを特徴とする電気銅めっき装置。
【請求項４】
めっき槽と、前記めっき槽に連続帯を搬送させる搬送手段と、前記搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段と、前記搬送距離計測結果からめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度を自動的に切り替える切替手段と、めっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度の条件内容を複数登録する登録手段とを備えた電気銅めっき装置において、作業前に、予め連続帯の搬送距離の長さとその長さに対するめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度の条件内容を登録し、前記搬送距離計測手段の計測結果から前記めっき槽のめっき液条件の登録内容に基づきめっき槽のめっき液が所定の電流密度及び噴流速度に自動的に切り替えることを特徴とする電気銅めっき装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、連続帯状のめっき対象物に任意の長さ毎に異なるめっき条件を用いてめっき処理を行う電気銅めっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、連続帯状の対象物にめっきを施す場合には、対象物の前端がめっき槽に入ってから対象物の後端がめっき槽を出るまでめっき処理条件は全て同じである。これにより対象物はその長さに対して同一のめっき厚にめっきされる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、めっきは処理時間が長く、なおかつ搬送方向の厚みむらを軽減するためにめっき槽を長くすると、少量の対象物にめっきを施す場合では少なくとも搬送経路分の長さが必要であり、小ロット生産には向いていないことが言える。
【０００４】
本発明は、連続帯状の対象物に設定した長さ毎に複数のめっきを施すことが出来る電気めっき装置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するためになされた本発明の請求項１に係る発明は、電気銅めっき装置において、めっき槽と、前記めっき槽に被めっき物の連続帯を搬送させる搬送手段と、前記搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段とを有することを特徴とする電気銅めっき装置である。
【０００６】
本発明の請求項２に係る発明は、めっき槽と、前記めっき槽に連続帯を搬送させる搬送手段と、前記搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段とを備えた電気銅めっき装置において、前記搬送距離計測結果からめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度を自動的に切り替える切替手段を有することを特徴とする電気銅めっき装置である。
【０００７】
本発明の請求項３に係る発明は、めっき槽と、前記めっき槽に連続帯を搬送させる搬送手段と、前記搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段と、前記搬送距離計測結果からめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度を自動的に切り替える切替手段とを備えた電気銅めっき装置において、連続帯の搬送距離の長さとその長さに対するめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度の条件内容を複数登録する登録手段を有することを特徴とする電気銅めっき装置である。
【０００８】
本発明の請求項４に係る発明は、めっき槽と、前記めっき槽に連続帯を搬送させる搬送手段と、前記搬送手段に搬送距離計を設けて連続帯の搬送距離を計測する計測手段と、前記搬送距離計測結果からめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度を自動的に切り替える切替手段と、めっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度の条件内容を複数登録する登録手段とを備えた電気銅めっき装置において、作業前に、予め連続帯の搬送距離の長さとその長さに対するめっき槽のめっき液の電流密度及び噴流速度の条件内容を登録し、前記搬送距離計測手段の計測結果から前記めっき槽のめっき液条件の登録内容に基づきめっき槽のめっき液が所定の電流密度及び噴流速度に自動的に切り替えることを特徴とする電気銅めっき装置である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１０】
本実施の形態に係るめっき装置は、図１に示すようにめっき槽を複数のセルに分割した多セル構造のめっき装置である。そして、各めっき槽４には槽の壁面にアノード５と噴流ノズル７が設けられている。アノード５には各めっき槽４ごとに整流器６がそれぞれ設けられており、それぞれ独立して電流を流すことが出来るようになっており、また噴流ノズルの配管もめっき槽ごとにポンプとインバータが設けられており、独立して噴流速度を設定することが出来るようになっている。
【００１１】
巻き出し機１にはロータリーエンコーダが設けられており、巻き出し量を計測することが出来るようになっている。また、巻き出し機１のそばにはセンサー２が設けられており、フレキシブル基板９にパンチ穴などでマークを付ける事で、センサー２がこれをめっき条件変更部の先頭であると認識することが出来るようになっている。
【００１２】
次に動作の説明を行う。まず、装置の初期設定として図２で示すようにセンサーからめっき槽間の距離を実測しておき、図３に示すようにこの距離をめっき装置に登録する（Ｓ１）。また、図４に示すようにマークがめっき槽に入ったときのめっき条件をレシピとして登録する。レシピの登録が済んだらレシピを使用する順序の登録を行う（Ｓ２）。例として図５ではレシピ１、レシピ２、レシピ３という順序で使用していくことになる。
【００１３】
レシピの設定が済んだら複数種類のフレキシブル基板９を連続して搬送を開始する。
【００１４】
搬送中にセンサー２が最初のフレキシブル基板９のマークを認識したら、このマークに対する搬送距離の計測を開始する。マークはセンサー２を通過するたびに（Ｓ４）それぞれの搬送距離を個別に計測（Ｓ５）記録する。（図６）例えば、図６に示すように、最初のフレキシブル基板のマーク（マーク１と記す）が５．５ｍ、次に２番目のフレキシブル基板のマーク（マーク２と記す）が０．１ｍと記録される。
【００１５】
最初に認識したマーク１の搬送距離１６がセンサーからめっき槽▲１▼間距離１０に達したら（Ｓ６）、最初のマーク１がめっき槽▲１▼に投入されたと判断され、レシピ１４（レシピ１）のめっき槽▲１▼の条件にめっき槽▲１▼の電流、噴流速度を自動的に変化させる（Ｓ７）。次に、搬送距離１６がセンサーからめっき槽▲２▼間距離１１に達したら、最初のマーク１がめっき槽▲２▼に投入されたと判断され、レシピ１４のめっき槽▲２▼の条件にめっき槽▲２▼の電流、噴流速度を自動的に変化させるといったように順次めっき槽の条件を切り替えていく。
【００１６】
同様に、次に認識したマーク（前記マーク２）の搬送距離１７がセンサーからめっき槽▲１▼間距離１０に達したら、最初のマーク２がめっき槽▲１▼に投入されたと判断され、レシピ使用順序（図５）に従いレシピ１５（レシピ２）のめっき槽▲１▼の条件にめっき槽▲１▼の電流、噴流速度を自動的に変化させる。また、搬送距離１７がセンサーからめっき槽▲２▼間距離１１に達したら、最初のマーク２がめっき槽▲２▼に投入されたと判断され、レシピ１５（レシピ２）のめっき槽▲２▼の条件にめっき槽▲２▼の電流、噴流速度を自動的に変化させる。
【００１７】
以上のような操作を行うことによって、マークをつけた位置以降からはマークより前に搬送された基板と違う条件でめっきを施すことが可能になる。
【００１８】
次に、図７の本発明の装置のフロー図を説明する。
（Ｓ１）では、装置の初期設定として図２で示すようにセンサーからめっき槽間の距離を実測して、図３に示すようにこの距離をめっき装置に登録する。
（Ｓ２）では、図４に示すようにマークがめっき槽に入ったときのめっき条件をレシピとして登録する。次に図５に示すようにレシピを使用する順序の登録を行う。更に、フレキシブル基板の各々先頭にパンチ穴等でマークを付与する。前記マークはめっき条件変更部の先頭であると認識する。
（Ｓ３）搬送開始する。
（Ｓ４）搬送中にセンサー２が最初のフレキシブル基板９のマークを認識する。
（Ｓ５）このマークに対する搬送距離の計測を開始する。前記搬送距離は図６のように記録する。また、次のマークがセンサー２を通過するたびに搬送距離の計測を開始する。
（Ｓ６）それぞれの搬送距離を個別に計測記録する。図６を参照する。
（Ｓ７）最初に認識したマークの搬送距離１６がセンサーからめっき槽▲１▼間距離１０に達したら最初のマークがめっき槽▲１▼に投入されたと判断され、レシピ１４（レシピ１）のめっき槽▲１▼の条件にめっき槽▲１▼の電流、噴流速度を自動的に変化させる。例えば図６の搬送距離と図３のマークからめっき槽までの距離を比較して、マークの位置を判断し、前記マーク部がめっき槽に投入と同時に、図５の順番によりレシピ番号を読みとり、図４の前記レシピ番号のめっき条件に変更し、所定の膜厚を形成する。
（Ｓ８）所定のマーク数まで繰り返しめっき加工し、終了する。
【００１９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば、連続帯状の対象物に設定した長さ毎に複数のめっきを施すことが出来る電気めっき装置が提供されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態に係るめっき装置の全体構造を示す図である。
【図２】実施の形態に係るめっき装置の側面を示す図である。
【図３】センサーからめっき槽間の距離を登録するインターフェースのイメージ図である。
【図４】レシピを登録するインターフェースのイメージ図である。
【図５】レシピ順序を登録するインターフェースのイメージ図である。
【図６】装置が記憶するマーク搬送距離のイメージ図である。
【図７】実施の形態に係る全体のフロー図である。
【符号の説明】
１…巻き出し機
２…センサー
３…給電ロール
４…めっき槽
５…アノード
６…整流器
７…噴流ノズル
８…巻き取り機
９…フレキシブル基板
１０…センサーからめっき槽▲１▼間距離
１１…センサーからめっき槽▲２▼間距離
１２…センサーからめっき槽▲３▼間距離
１３…センサーからめっき槽▲４▼間距離
１４…レシピ１の内容
１５…レシピ２の内容
１６…マーク１の搬送距離
１７…マーク２の搬送距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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