(57)【要約】【課題】軌道の合流部において、優先度の高い搬送台車を優先的に走行させる。【解決手段】台車監視部１３により、各搬送台車３０の軌道２上の位置及び走行速度に基づいて競合区間を設定する（Ｓ１１０）。競合区間に存在する搬送台車３０監視し、被監視台車が搬送するロットの優先度を比較して優先台車を決定する（Ｓ１２０）。優先台車に先行する被監視台車がある場合には（Ｓ１３０：ＹＥＳ）、先行する被監視台車を優先台車に変更する（Ｓ１４０）。そして、優先台車の数が複数ある場合には（Ｓ１５０：ＹＥＳ）、各優先台車が走行している軌道２の優先度の比較に基づいて優先台車を決定する（Ｓ１６０）。そして、優先台車に対する走行命令を、優先台車以外の被監視台車に対して停止命令を送信する。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に支持されるとともに案内されて走行する複数の搬送台車の運行を制御するための運行制御装置であって、
前記搬送台車と通信を行うための通信手段と、
複数の前記軌道が合流する合流部近傍に存在する前記搬送台車の状態を監視するための台車監視手段と、
前記台車監視手段により監視される前記搬送台車の状態に基づいて、前記合流部近傍に存在する前記搬送台車のうち、優先的に走行させる前記搬送台車である優先台車を決定するための優先台車決定手段と、
前記優先台車決定手段により決定された前記優先台車を優先的に走行させるために、前記合流部近傍に存在する各前記搬送台車に対して動作命令を生成するための命令生成手段とを備えており、
前記通信手段は、前記台車監視手段により監視される一部または全部の状態に関する情報を前記搬送台車から受信し、前記命令生成手段により生成される動作命令を前記搬送台車に送信することを特徴とする運行制御装置。
【請求項２】
前記台車監視手段は、前記搬送台車の前記軌道上の位置、作業状態、及び搬送している搬送物の優先度の少なくともいずれか１つを前記搬送台車の状態として監視していることを特徴とする請求項１に記載の運行制御装置。
【請求項３】
前記台車監視手段は、前記搬送台車の前記軌道上の位置、走行速度、搬送している搬送物の優先度、経験情報、実験情報の少なくともいずれか１つに基づいて監視する軌道の範囲を決定することを特徴とする請求項１または２に記載の運行制御装置。
【請求項４】
前記優先台車決定手段は、前記搬送台車の状態に対して個別の優先度を決定し、前記優先度の比較により前記優先台車を決定することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の運行制御装置。
【請求項５】
前記優先台車決定手段は、前記搬送台車の状態に対して複数にグループ化された優先度を決定し、前記優先度の比較により前記優先台車を決定することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の運行制御装置。
【請求項６】
前記優先台車決定手段は、前記搬送台車の状態の前記優先度の比較により決定された前記優先台車に対して、他の前記搬送台車が先行している場合に、先行している前記搬送台車を前記優先台車に決定することを特徴とする請求項４または５に記載の運行制御装置。
【請求項７】
前記優先台車決定手段は、前記台車監視状態により監視されている前記搬送台車の状態から、前記優先台車を決定することができない場合には、前記搬送台車が走行している前記軌道の優先度に基づいて、前記優先台車を決定することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の運行制御装置。
【請求項８】
前記命令生成手段は、前記優先台車決定部により決定された前記優先台車に対する走行命令を生成するとともに、前記優先台車以外の前記搬送台車に対する停止命令を生成することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の運行制御装置。
【請求項９】
軌道に支持されるとともに案内されて走行する複数の搬送台車の運行を制御するためのプログラムであって、
前記搬送台車と通信を行うための通信手段、
複数の前記軌道が合流する合流部近傍に存在する前記搬送台車の状態を監視するための台車監視手段、
前記台車監視手段により監視される前記搬送台車の状態に基づいて、前記合流部近傍に存在する前記搬送台車のうち、優先的に走行させる前記搬送台車である優先台車を決定するための優先台車決定手段、及び、
前記優先台車決定手段により決定された前記優先台車を優先的に走行させるために、前記合流部近傍に存在する各前記搬送台車に対して動作命令を生成するための命令生成手段としてコンピュータを機能させ、
前記通信手段は、前記台車監視手段により監視される一部または全部の状態に関する情報を前記搬送台車から受信し、前記命令生成手段により生成される動作命令を前記搬送台車に送信することを特徴とするプログラム。
【請求項１０】
前記台車監視手段は、前記搬送台車の前記軌道上の位置、作業状態、及び搬送している搬送物の優先度の少なくともいずれか１つを前記搬送台車の状態として監視していることを特徴とする請求項９に記載のプログラム。
【請求項１１】
前記台車監視手段は、前記搬送台車の前記軌道上の位置、走行速度、搬送している搬送物の優先度、経験情報、実験情報の少なくともいずれか１つに基づいて監視する軌道の範囲を決定することを特徴とする請求項９または１０に記載のプログラム。
【請求項１２】
前記優先台車決定手段は、前記搬送台車の状態に対して個別の優先度を決定し、前記優先度の比較により前記優先台車を決定することを特徴とする請求項９から１１のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項１３】
前記優先台車決定手段は、前記搬送台車の状態に対して複数にグループ化された優先度を決定し、前記優先度の比較により前記優先台車を決定することを特徴とする請求項９から１１のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項１４】
前記優先台車決定手段は、前記搬送台車の状態の前記優先度の比較により決定された前記優先台車に対して、他の前記搬送台車が先行している場合に、先行している前記搬送台車を前記優先台車に決定することを特徴とする請求項１２または１３に記載のプログラム。
【請求項１５】
前記優先台車決定手段は、前記台車監視状態により監視されている前記搬送台車の状態から、前記優先台車を決定することができない場合には、前記搬送台車が走行している前記軌道の優先度に基づいて、前記優先台車を決定することを特徴とする請求項９から１４のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項１６】
前記命令生成手段は、前記優先台車決定部により決定された前記優先台車に対する走行命令を生成するとともに、前記優先台車以外の前記搬送台車に対する停止命令を生成することを特徴とする請求項９から１５のいずれか１項に記載のプログラム。
【請求項１７】
軌道に支持されるとともに案内されて走行する複数の搬送台車の運行を制御するための運行制御方法であって、
前記搬送台車と通信を行う通信工程と、
複数の前記軌道が合流する合流部近傍に存在する前記搬送台車の状態を監視するための台車監視工程と、
前記台車監視工程により監視される前記搬送台車の状態に基づいて、前記合流部近傍に存在する前記搬送台車のうち、優先的に走行させる前記搬送台車である優先台車を決定するための優先台車決定工程と、
前記優先台車決定工程により決定された前記優先台車を優先的に走行させるために、前記合流部近傍に存在する各前記搬送台車に対して動作命令を生成するための命令生成工程とを備えており、
前記通信工程は、前記台車監視工程により監視される一部または全部の状態に関する情報を前記搬送台車から受信し、前記命令生成工程により生成される動作命令を前記搬送台車に送信することを特徴とする運行制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軌道を走行する搬送台車の運行を制御するための運行制御装置、プログラム及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体工場などのクリーンルーム内における搬送手段として、最近はＯＨＳ（Ｏｖｅｒ  Ｈｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｌｅ）やＯＨＴ（Ｏｖｅｒ  ｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）に代表される軌道上を走行する搬送台車を用いた無人搬送システムが主流となってきている。
特に天井側に敷設された軌道を有するＯＨＳやＯＨＴは、ウェハを処理する装置などによるレイアウトの制約をあまり受けることなく軌道を敷設することができる。また、作業者が作業を行う作業領域と搬送台車が走行する搬送領域とを完全に分離することにより、作業者と搬送台車との干渉を防止することができるため、作業者の安全性を確保することができる。さらに干渉物を無くすことにより、搬送台車を高速で走行させるこができる。
【０００３】
多くの半導体工場の構成には、各作業工程が、複数の装置と１または複数ストッカ（保管棚）とから成るベイと呼ばれる基本単位で構成されるベイ方式が採用されている。標準的な工場の場合には、ベイの数は約２０となっており、従来の無人搬送システムにおいては、ベイ間を搬送する工程間搬送と、ベイ内の装置とストッカとの間を搬送する工程内搬送とが分離されていた。ところが作業効率の向上化から工程間搬送と工程内搬送とが接続され、ベイ間の各装置及びストッカに対してダイレクトに搬送を行うダイレクト搬送方式が採用されるようになっている。このダイレクト搬送方式によると、工程間搬送と工程内搬送との軌道が接続されるため、軌道が大規模化するとともに、分岐及び合流の数が増大する。
【０００４】
このため、特に合流部において搬送台車同士の衝突を防止することが重要となる。そこで、搬送台車は、自己が進入する合流部に他の搬送台車が進入してくるか否かを障害物探知センサや通信手段等により検知し、自己が進入する合流部に他の搬送台車が進入してくると検知した場合には、あらかじめ割り当てられている軌道の優先度に基づいて自己が走行する軌道の優先度を認識し、優先度が高ければ優先的に走行し、逆に優先度が低ければ停止して、優先度が高い軌道を走行する搬送台車を優先させる方法（例えば、特許文献１参照）や、合流部における各軌道の渋滞状況によって優先する軌道を決定する方法（例えば、特許文献２参照）が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−３０１６２６号公報
【特許文献２】
特開平１１−１６１３３１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した方法では軌道の状態に基づいて優先的に走行する搬送台車を決定するため、合流部において搬送台車同士が衝突することなく、且つ全搬送台車の作業効率を一定に保つように走行させることができる。しかしながら、現実には全搬送台車の優先度は同一ではなく、生産性の効率化を上げるために個々の状況に応じて搬送台車の優先度が変化している。例えば搬送物であるロット毎に決定される優先度により、これを搬送する搬送台車の優先度も特急、急行、普通と細かく決定される場合がある。上述の方法では、このような場合であっても、合流部において軌道の状態に基づいて搬送台車を走行させるため、結果的に優先度の高いロットを優先的に搬送することが困難となる。
例えば、図５（ｂ）に示すように、特急搬送台車＃１の前を普通搬送台車＃３が走行しており、普通台車＃２と競合する場合には、軌道の優先度を普通搬送台車＃２が有しているものとすると、特急搬送台車＃１及び普通搬送台車＃３は、衝突回避のために合流点直前で停止する必要がある。また、図６に示すように、特急搬送台車＃１の走行軌道に合流部が連続する場合には、軌道の優先度を普通搬送台車＃２及び普通搬送台車＃３が有しているものとすると、各合流部において、特急搬送台車＃１は、衝突回避のために夫々の合流点直前で停止する必要がある。いずれの場合も優先的に走行させるべき特急搬送台車＃１が停滞することになる。
【０００７】
そこで本発明は、軌道の合流部において、優先度の高い搬送台車を優先的に走行させることができる搬送台車運行制御装置、プログラム及び方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の運行制御装置は、軌道に支持されるとともに案内されて走行する複数の搬送台車の運行を制御するための運行制御装置であって、前記搬送台車と通信を行うための通信手段と、複数の前記軌道が合流する合流部近傍に存在する前記搬送台車の状態を監視するための台車監視手段と、前記台車監視手段により監視される前記搬送台車の状態に基づいて、前記合流部近傍に存在する前記搬送台車のうち、優先的に走行させる前記搬送台車である優先台車を決定するための優先台車決定手段と、前記優先台車決定手段により決定された前記優先台車を優先的に走行させるために、前記合流部近傍に存在する各前記搬送台車に対して動作命令を生成するための命令生成手段とを備えており、前記通信手段は、前記台車監視手段により監視される一部または全部の状態に関する情報を前記搬送台車から受信し、前記命令生成手段により生成される動作命令を前記搬送台車に送信することを特徴とする。
また、請求項９に記載のプログラムは、軌道に支持されるとともに案内されて走行する複数の搬送台車の運行を制御するためのプログラムであって、前記搬送台車と通信を行うための通信手段、複数の前記軌道が合流する合流部近傍に存在する前記搬送台車の状態を監視するための台車監視手段、前記台車監視手段により監視される前記搬送台車の状態に基づいて、前記合流部近傍に存在する前記搬送台車のうち、優先的に走行させる前記搬送台車である優先台車を決定するための優先台車決定手段、及び、前記優先台車決定手段により決定された前記優先台車を優先的に走行させるために、前記合流部近傍に存在する各前記搬送台車に対して動作命令を生成するための命令生成手段としてコンピュータを機能させ、前記通信手段は、前記台車監視手段により監視される一部または全部の状態に関する情報を前記搬送台車から受信し、前記命令生成手段により生成される動作命令を前記搬送台車に送信することを特徴とする。
また、請求項１７に記載の運行制御方法は、軌道に支持されるとともに案内されて走行する複数の搬送台車の運行を制御するための運行制御方法であって、前記搬送台車と通信を行う通信工程と、複数の前記軌道が合流する合流部近傍に存在する前記搬送台車の状態を監視するための台車監視工程と、前記台車監視工程により監視される前記搬送台車の状態に基づいて、前記合流部近傍に存在する前記搬送台車のうち、優先的に走行させる前記搬送台車である優先台車を決定するための優先台車決定工程と、前記優先台車決定工程により決定された前記優先台車を優先的に走行させるために、前記合流部近傍に存在する各前記搬送台車に対して動作命令を生成するための命令生成工程とを備えており、前記通信工程は、前記台車監視工程により監視される一部または全部の状態に関する情報を前記搬送台車から受信し、前記命令生成工程により生成される動作命令を前記搬送台車に送信することを特徴とする。
請求項１、請求項９、請求項１７によると、軌道の合流部近傍に存在する各搬送台車の状態に基づいて優先台車を決定するため、軌道の優先度のみで優先台車が決定されることなく、その時々において優先度の高い搬送台車を優先的に走行させることができ、搬送物をより効率的に搬送することができる。
【０００９】
請求項２に記載の運行制御装置は、前記台車監視手段が、前記搬送台車の前記軌道上の位置、作業状態、及び搬送している搬送物の優先度の少なくともいずれか１つを前記搬送台車の状態として監視していることを特徴とする。
請求項１０に記載のプログラムは、前記台車監視手段が、前記搬送台車の前記軌道上の位置、作業状態、及び搬送している搬送物の優先度の少なくともいずれか１つを前記搬送台車の状態として監視していることを特徴とする。
請求項２、請求項１０によると、搬送台車の軌道上の位置、作業状態、及び搬送している搬送物の優先度の少なくとも１つの条件に基づいて優先台車を決定するため、状況に応じた優先度に基づいて搬送台車を優先的に走行させることができる。
【００１０】
請求項３に記載の運行制御装置は、前記台車監視手段が、前記搬送台車の前記軌道上の位置、走行速度、搬送している搬送物の優先度、経験情報、実験情報の少なくともいずれか１つに基づいて監視する軌道の範囲を決定することを特徴とする。
請求項１１に記載のプログラムは、前記台車監視手段が、前記搬送台車の前記軌道上の位置、走行速度、搬送している搬送物の優先度、経験情報、実験情報の少なくともいずれか１つに基づいて監視する軌道の範囲を決定することを特徴とする。
請求項３、請求項１１によると、台車監視手段により監視される範囲が搬送台車の条件毎に異なるため、最小限の状態を監視しつつ、予測範囲を広くして優先台車をより優先的に走行させることができ、搬送物をより効率的に搬送することができる。
【００１１】
請求項４に記載の運行制御装置は、前記優先台車決定手段が、前記搬送台車の状態に対して個別の優先度を決定し、前記優先度の比較により前記優先台車を決定することを特徴とする。
請求項１２に記載のプログラムは、前記優先台車決定手段が、前記搬送台車の状態に対して個別の優先度を決定し、前記優先度の比較により前記優先台車を決定することを特徴とする。
請求項４、請求項１２によると、合流部における全搬送台車に優先度を決定することができるため、より木目細かい条件で優先台車を決定することができ、搬送物をより効率的に搬送することができる。
【００１２】
請求項５に記載の運行制御装置は、前記優先台車決定手段が、前記搬送台車の状態に対して複数にグループ化された優先度を決定し、前記優先度の比較により前記優先台車を決定することを特徴とする。
請求項１３に記載のプログラムは、前記優先台車決定手段が、前記搬送台車の状態に対して複数にグループ化された優先度を決定し、前記優先度の比較により前記優先台車を決定することを特徴とする。
請求項５、請求項１３によると、搬送台車の状態に対してグループ単位の優先度を割り当てればよいため、素早く優先台車を決定することができる。
【００１３】
請求項６に記載の運行制御装置は、前記優先台車決定手段が、前記搬送台車の状態の前記優先度の比較により決定された前記優先台車に対して、他の前記搬送台車が先行している場合に、先行している前記搬送台車を前記優先台車に決定することを特徴とする。
請求項１４に記載のプログラムは、前記優先台車決定手段が、前記搬送台車の状態の前記優先度の比較により決定された前記優先台車に対して、他の前記搬送台車が先行している場合に、先行している前記搬送台車を前記優先台車に決定することを特徴とする。
請求項６、請求項１４によると、優先台車に対して他の搬送台車が先行している場合に、先行している搬送台車を優先台車に変更して優先的に走行させることができるため、先行する搬送台車が優先台車の走行を遮ることがなくなり、結果的に優先台車を優先的に走行させることができる。
【００１４】
請求項７に記載の運行制御装置は、前記優先台車決定手段が、前記台車監視状態により監視されている前記搬送台車の状態から、前記優先台車を決定することができない場合には、前記搬送台車が走行している前記軌道の優先度に基づいて、前記優先台車を決定することを特徴とする。
請求項１５に記載のプログラムは、前記優先台車決定手段が、前記台車監視状態により監視されている前記搬送台車の状態から、前記優先台車を決定することができない場合には、前記搬送台車が走行している前記軌道の優先度に基づいて、前記優先台車を決定することを特徴とする。
請求項７、請求項１５によると、搬送台車の状態から優先台車を決定できない場合であっても、あらかじめ決められた搬送台車が走行している軌道の優先度に基づいて優先台車を決定することができるため、同じ優先度の搬送台車同士であっても優先台車を決定することができる。
【００１５】
請求項８に記載の運行制御装置は、前記命令生成手段が、前記優先台車決定部により決定された前記優先台車に対する走行命令を生成するとともに、前記優先台車以外の前記搬送台車に対する停止命令を生成することを特徴とする。
請求項１６に記載のプログラムは、前記命令生成手段は、前記優先台車決定部により決定された前記優先台車に対する走行命令を生成するとともに、前記優先台車以外の前記搬送台車に対する停止命令を生成することを特徴とする。
請求項８、請求項１６によると、優先台車のみに対して走行命令を送信し、他の搬送台車に対して停止命令を送信するため、合流部において搬送台車同士が衝突することを確実に防止することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、本実施の形態に係る運行制御装置１０を含むＯＨＴシステム１の外観図である。ＯＨＴシステム１は、半導体工場に備えられた天井走行型の半導体ウェハ搬送システムである。
【００１７】
図１に示すように、半導体工場は、半導体ウェハの処理工程毎に区画されているベイ３を複数備えている。ベイ３は、複数のウェハ処理装置５を備えており、いくつかのベイ３はさらにストッカ４を備えている。ＯＨＴシステム１は、軌道２と複数の搬送台車３０と運行制御装置１０とを備えている。軌道２は、全ベイ３間をループ状に結ぶ工程間軌道２１と、各ベイ３内のウェハ処理装置５及びストッカ４をループ状に結ぶ工程内軌道２２と、工程間軌道２１と工程内軌道２２とを乗り入れ可能にするための乗り入れ軌道２３とを備えている。そして軌道２には、工程間軌道２１と乗り入れ軌道２３との合流部と分岐部と、工程内軌道２２と乗り入れ軌道２３との合流部と分岐部とが夫々存在する。搬送台車３０は、ＯＨＴシステム１の搬送対象である半導体ウェハを搬送するためのものであり、軌道２に支持案内されて自立走行する。運行制御装置１０は、軌道２を走行する搬送台車３０の運行を制御するためのものである。
【００１８】
運行制御装置１０は、半導体工場の生産管理計画と連動して搬送すべき搬送物を特定し、特定した搬送物を効率よく搬送することができる搬送台車３０を決定し、決定した搬送台車３０に対して動作命令を指示する。動作命令は、荷揚げ、荷降ろし、走行開始、停止等であり、さらに必要に応じて目的地アドレス（ストッカ４、ウェハ処理装置５等を特定する番地）等の付加データを加えたものである。運行制御装置１０から動作命令を指示された搬送台車３０は、軌道２または周辺装置からの信号を確認しながら自立して動作命令を実行する。
つまり運行制御装置１０が、搬送台車３０に対して軌道２の特定の経路を走行するよう指示し、搬送台車３０は、これを受けて自己が記憶している軌道２の地図データを参照しつつ、自己が備える各種センサにより周囲の状況を把握しながら指示された経路に従って走行すべく走行制御を行う。搬送台車３０は基本的に前詰走行を行い、自己の進行方向に他の搬送台車３０または障害物が存在する場合には、障害物探知センサ等でこれを検知し、減速停止する。また、自己の進行方向に他の搬送台車３０または障害物が存在しない場合には、可能な最高速度で走行する。
【００１９】
次に軌道２及び搬送台車３０の構造について図２を参照しつつ説明する。図２は軌道２及び搬送台車３０の断面図である。
図２に示すように、軌道２は、半導体工場の天井５０に敷設されており、下部に搬送台車３０を懸垂するための隙間を有する、断面が矩形状となる押し出し成形部材であり、内側上面に２次側部材２５を、内側側面に方向制御ガイド２４ａ，２４ｂと給電線２６とを備えている。２次側部材２５は、搬送台車３０を走行させるための駆動源であるリニアモータの２次側部材であり、所定の形状に加工された多数の永久磁石を、その極性を反転させながら搬送台車３０の走行方向に沿って順に配置されたものである。方向制御ガイド２４ａ，２４ｂは、軌道２の分岐、合流部において、軌道２の内部上面に対して略並行に且つ所定の長さで敷設された部材であり、その一端部は内部側面と一体となり、他端部は下方向に折り曲げられたように成形されている折り曲げ部を有している。給電線２６は、後述する搬送台車３０の走行部３１に対して非接触給電を行うための１次側であり、図示しない高周波電源に接続され、高周波電圧が印加されるものである。また、給電線２６は、運行制御装置１０と搬送台車３０との通信を行うための通信線としても機能する。
【００２０】
搬送台車３０は、走行部３１と台車部４０とを備えている。走行部３１は、軌道２に支持案内されて走行するものであり、走行ローラ３２と、ガイドローラ３３と、分岐ローラ３４ａ，３４ｂと、分岐ローラ駆動部３５と、鉄心コイル３６と、一次側鉄心３７とを備えている。走行ローラ３２は、軌道２の内部下面に対して垂直方向に接して搬送台車３０を走行させるためのローラであり、同軸上に２つのローラが回転自在に配置されている。ガイドローラ３３は、軌道２の内部両側面に対して水平方向に接して搬送台車３０の走行を水平方向からガイドするためのローラであり、走行ローラ３２の上方において、走行部３１の幅方向両端に回転自在に配置されている。
【００２１】
分岐ローラ３４ａ，３４ｂは、走行部３１の幅方向両端に夫々配置された水平方向に回転自在なローラであり、分岐ローラ駆動部３５により、分岐ローラ３４ａが方向制御ガイド２４ａ端部の折り曲げ内部の側面に対して水平方向に、分岐ローラ３４ｂが方向制御ガイド２４ｂ端部の折り曲げ外部の側面に対して水平方向に夫々選択的に案内させられる。分岐ローラ駆動部３５は、分岐ローラ３４ａ，３４ｂを選択的に方向制御ガイド２４ａ，２４ｂに夫々案内させるためのものである。分岐ローラ駆動部３５が、分岐ローラ３４ａを方向制御ガイド２４ａに案内させると、搬送台車３０は進行方向に対して左側の軌道２に案内される。逆に、分岐ローラ駆動部３５が、分岐ローラ３４ｂを方向制御ガイド２４ｂに案内させると、搬送台車３０は進行方向に対して右側の軌道２に案内される。
鉄心コイル３６は、非接触給電のピックアップ部であり、鉄心に２次側コイルを巻きつけたものである。鉄心コイル３６には、２つの凹部が設けられており、夫々の凹部に給電線２６が嵌まり込み、且つ所定の距離をおいて接触しないように配置されている。一次側鉄心３７は、搬送台車３０の駆動源であるリニアモータの１次側部材であり、軌道２の２次側部材２５に夫々の平面部が平行且つ所定の距離を維持するように配置されている。
【００２２】
非接触給電の１次側である給電線２６に高周波電力が印加されることにより、２次側である鉄心コイル３６に巻回されたコイルに１次側の高周波電力が誘導され、非接触で給電が行われる。このような非接触給電方式は、電極同士の摺動によりダストが発生することがないため、高いクリーン度が要求される半導体工場に好適である。供給された電力の一部は全波整流により直流電流に変換し、さらに図示しない電源コントローラによりＰＷＭ方式の３相交流電流に変換され、一次側鉄心３７に供給される。一次側鉄心３７にＰＷＭ方式の３相交流電流が供給されると、一次側鉄心３７に直線状に移動する進行磁界が発生し、一次側鉄心３７に対向する２次側部材２５との間の磁気作用で一次側鉄心３７に推進力が発生する。
【００２３】
台車部４０は、ＯＨＴシステム１の搬送対象となる半導体ウェハ５５が収納されたカセット５１を収納するためのものであり、その上部において走行部３１と接続され、軌道２下に懸垂状態で保持されている。カセット５１は、カセット５１を保持するためのヘッド５２と、半導体ウェハ５５が収納されているチャンバ５３と、半導体ウェハを取り出すためのゲート５４とを備えている。尚、チャンバ５３内部は十分なクリーン度が維持されている。
台車部４０は、水平位置調整機構４１とホイスト部４２とを備えている。水平位置調整機構４１は、その上部に走行部３１が接続され、その下部にホイスト部が接続されており、ウェハ処理装置５またはストッカ４等とのカセット５１の受け渡し時において、下部に接続されているホイスト部４２の水平方向の位置を調整するためのものである。ホイスト部４２は、カセット５１のヘッド５２を保持するためのチャック４４と、チャック４４に接続されたベルト４３とを備え、ウェハ処理装置５またはストッカ４等とのカセット５１の受け渡し時において、ベルト４３を巻き上げ、または巻き降ろしすることによりチャック４４を垂直方向に移動させるためのものである。
ウェハ処理装置５は、ポート５６と、装置側ゲート５７とを備えている。ポート５６はカセット５１を着座させるための着座機構である。装置側ゲート５７は、カセット５１のゲート５４と密接させてゲート５４を開くためのものである。
【００２４】
通常、搬送台車３０は、給電線２６を介した通信により運行制御装置１０の指令を受けて目的位置（ウェハ処理装置５またはストッカ４等）まで走行する。途中分岐のある部位では軌道に敷設された左右の方向制御ガイド２４ａ，２４ｂのいずれか一方を分岐ローラ３４ａ，３４ｂに案内させる方法で、ルートを選択する。次に搬送台車３０は目的地に到達後、カセット５１の移載作業を行う。例えば搭載しているカセット５１をポート５６に降ろす場合は、搬送台車３０は目的位置である移載位置に到着停止後、位置調整機構４１により位置合わせをおこなう。その後、チャック４４でカセット５１のヘッド５２を把持したまま最上部まで巻き上げられたベルト４３を逐次巻き戻し、カセット５１をウェハ処理装置５のポート５６まで降ろす。カセット５１のチャンバ５６の底面がポート５６面に接触すると、ポート５６に取り付けられたリミットスイッチが作動する。ポート５６のリミットスイッチが作動することによりカセット５１の着座を検知した後、チャック４４はヘッド５２の把持を開放し、カセット５１をポート５６に載置する。カセット５１の積み降ろし作業終了後、搬送台車３０はベルト４３を巻上げ、チャック４４が最上部に到達した時点で、運行制御装置１０の指令に従って次ぎの目的地に向かう。ポート５６に着座したカセット５１は、ウェハ処理装置５によりゲート５４と装置側ゲート５７とが密接するように引き込まれ、クリーン度を維持した状態でゲート５４が開放されてウェハ５５が取り出される。
【００２５】
次に、運行制御装置１０の構成について図３を参照しつつ説明する。図３は運行制御装置１０の構成を示すブロック図である。図３に示すように、運行制御装置１０は、運行管理部（命令生成手段を含む）１１と、通信部１２と、台車監視部１３と、優先台車決定部１４とを備えている。運行管理部１１は、ネットワーク１６、通信部１２、台車監視部１３、及び優先台車決定部１４とに接続され、ネットワーク１６を介して受信する図示しない半導体工場の生産管理システムからの指示と、通信部１２、台車監視部１３、及び優先台車決定部１４から入力される各種情報に基づいてＯＨＴシステム１における搬送台車３０の運行を管理するものである。そして、運行管理部１１は、管理結果に基づいて生成される各搬送台車３０に対する動作命令を通信部１２に出力する。
【００２６】
通信部１２は、給電線２６を介して軌道２上にある全搬送台車３０と通信を行うものである。通信部１２は各搬送台車３０から送信される情報を受信し、運行管理部１１または台車監視部１３に出力し、運行管理部１１から入力される各搬送台車３０に対する動作命令または、台車監視部１３から入力される状態の問い合わせ命令を各搬送台車３０に対して送信する。
【００２７】
台車監視部１３は、合流部における搬送台車３０同士の衝突を防止するため、各搬送台車３０に対する状態問い合わせ命令に基づいて送信される状態に関する情報と、運行管理部１１により管理されるデータベースから取得可能な情報とに基づいて、軌道上に競合区間を設定し、競合区間に存在する全ての搬送台車３０の状態を監視するものである。台車監視部１３により監視される競合区間の範囲は、各搬送台車３０の軌道２上の位置及び走行速度に基づいてその都度決定される。尚、競合区間は実績や経験値に基づいて決定してもよいし、その他のパラメータに基づいて決定してもよい。また、競合区間は固定でもよい。台車監視部１３の監視下に入った搬送台車３０（以下、被監視台車と称す）は、台車監視部１３からのポーリングにより、所定の周期毎にその状態を監視される。台車監視部１３が監視する情報は、被監視台車の作業状態（走行、移載、及び待機等）、位置、及び速度等である。そして台車監視部１３はこれらの情報を優先台車決定部１４に出力し、また、ポーリングによりこれらの情報に変化が生じたと感知した場合に、変化した情報を優先台車決定部１４に出力する。
【００２８】
優先台車決定部１４は、台車監視部１３により監視される被監視台車のうちで、優先的に合流部を走行させる搬送台車である優先台車を決定するものである。優先台車の決定は、台車監視部１３から入力される被監視台車の状態に関する情報と、運行管理部１１により管理されるデータベースから取得可能なカセット５１に収納された半導体ウェハ５５の生産ロット（以下ロットと略す）の優先度と、被監視台車が走行している軌道２の優先度に基づいて決定される。尚、ロットの優先度は、特急、急行、普通の３レベルに区分けされており、この順に従って優先度が高くなっている。また、軌道２の優先度は、工程間軌道３、工程内軌道４、乗り入れ軌道２３の順に従って高くなっている。
【００２９】
そして、優先台車決定部１４は、次に示す３つの段階を順に検討することにより優先台車を決定する。まず、第１段階では、被監視台車が搬送するロットの優先度を比較する。ロットの優先度は特急、急行、普通の３つのレベルで定められているので、これらの比較により一番優先度の高いロットを搬送する被監視台車を優先台車に決定する。
【００３０】
次に第２段階では、第１段階で決定された優先台車に対して先行する被監視台車が存在するか否かを判断し、先行する被監視台車が存在すれば、先行する被監視台車を優先台車に変更する。そして変更された優先台車に対してもさらに、先行する被監視台車が存在するか否かを判断し、先行する被監視台車が存在すれば、先行する被監視台車を優先台車にさらに変更する。このように先行する被監視台車が存在しなくなるまで優先台車の変更を繰り返す。先行する被監視台車が存在しなくなれば、優先台車として最終決定する。
【００３１】
次に第３段階では、第１、第２段階で決定された優先台車が２台になる場合に、各優先台車が走行している軌道２の優先度に基づいて優先台車を決定する。つまり、軌道２は、工程間軌道３、工程内軌道４、乗り入れ軌道２３の順に優先度が高くなっており、これに従って優先台車を決定する。
【００３２】
次に、運行制御装置１０の動作手順について図４を参照しつつ説明する。図４は運行制御装置１０における優先台車決定時の動作手順を示したフローチャートである。まず、合流部近傍に搬送台車３０が進入してきた場合に、ステップＳ１１０に移行し、台車監視部１３により、各搬送台車３０の軌道２上の位置及び走行速度に基づいて競合区間を設定する。設定された競合区間に存在する搬送台車３０は被監視台車として所定の間隔毎にポーリングが行われ、その状態を台車監視部１３により監視される。その後ステップＳ１２０に移行し、被監視台車が搬送するロットの優先度を比較することで、一番優先度の高いロットを搬送する被監視台車を優先台車に決定する。
【００３３】
その後、ステップＳ１３０に移行し、ステップＳ１２０で決定された優先台車に先行する被監視台車があるか否かを判断する。優先台車に先行する被監視台車があると判断した場合には（Ｓ１３０：ＹＥＳ）、ステップＳ１４０に移行し、先行する被監視台車を優先台車に変更する。その後再びステップＳ１３０に移行し、さらに優先台車に先行する被監視台車があるか否かを判断する。以上の処理を優先台車に先行する被監視台車が無くなるまで繰り返す。
【００３４】
優先台車に先行する被監視台車がないと判断した場合には（Ｓ１３０：ＮＯ）、ステップＳ１５０に移行し、ステップＳ１２０またはステップＳ１４０において決定された優先台車の数が複数あるか否かを判断する。優先台車の数が複数あると判断した場合には（Ｓ１５０：ＹＥＳ）、ステップＳ１６０に移行し、各優先台車が走行している軌道２の優先度の比較に基づいて優先台車を決定する。その後、ステップＳ１７０に移行する。優先台車の数が複数でないと判断した場合には（Ｓ１５０：ＮＯ）、ステップＳ１７０に移行する。ステップＳ１７０では、運行管理部１１が、優先台車を優先して合流部を走行させるために、優先台車に対する走行命令を生成するとともに、優先台車以外の被監視台車に対して停止命令を生成する。生成された命令は、通信部１２により各搬送台車３０に送信される。尚、合流に必要な周辺機器への各種命令も必要に応じて送信する。その後、優先台車が合流部を通過し、競合区間外に走行していくことで終了する。
【００３５】
次にＯＨＴシステム１の動作について図５を参照しつつ説明する。図５は、軌道２の合流部を示した外観図である。図５（ａ）は、合流部において特急ロットを搬送する搬送台車３０と、普通ロットを搬送する搬送台車３０とが競合する場合を、図５（ｂ）は、図５（ａ）において特急ロットを搬送する搬送台車３０に普通ロットを搬送する搬送台車３０が先行する場合を、図５（ｃ）は、図５（ｂ）において特急ロットを搬送する搬送台車３０が競合する場合を夫々示している。尚、搬送台車３０の＃１〜＃３は全て合流部に向かって競合区間内を走行しており、被監視台車として台車監視部１３によりその状態を監視されているものとする。また、図中の矢印は搬送台車３０の進行方向を示している。
【００３６】
図５（ａ）に示すように、合流部において特急ロットを搬送する＃１の搬送台車３０と、普通ロットを搬送する＃２の搬送台車３０とが合流部において競合する場合には、優先台車決定部１４が、まず各搬送台車３０が搬送しているロットの優先度に基づいて優先台車を決定する。普通ロットの優先度より特急ロットの優先度が高いため＃１の搬送台車３０が優先台車に決定される。そして、優先台車に先行する他の搬送台車３０が存在しないため、そのまま優先台車である＃１の搬送台車３０を優先させるべく、運行管理部１１が通信部１２を介して＃１の搬送台車３０に対して走行命令を送信し、＃２の搬送台車３０に停止命令を送信する。停止命令を受信した＃２の搬送台車３０は、軌道２に設けられたセンサとの通信により合流部を検知すると、所定の位置に停止する。走行命令を受信した優先台車である＃１の搬送台車３０は、軌道２に設けられたセンサとの通信を行いながら分岐、合流を行った後、競合区間を通過する。＃２の搬送台車３０は、＃１が競合区間を通過した後に走行を開始し、競合区間を通過する。
【００３７】
次に、図５（ｂ）に示すように、合流部において特急ロットを搬送する＃１の搬送台車３０と、普通ロットを搬送する＃２の搬送台車３０とが合流部において競合する場合に、＃１の搬送台車３０に対して、普通ロットを搬送する＃３の搬送台車３０が先行しているときには、優先台車決定部１４が、まず各搬送台車３０が搬送しているロットの優先度に基づいて優先台車を決定する。普通ロットの優先度より特急ロットの優先度が高いため、＃１の搬送台車３０が優先台車となる。次に、優先台車に対して先行する＃３の搬送台車３０が存在するため、優先台車を＃３の搬送台車３０に変更する。そして＃３の搬送台車３０を優先させるべく運行管理部１１が通信部１２を介して＃３の搬送台車３０に対して走行命令を送信し、＃２の搬送台車３０に停止命令を送信する。停止命令を受信した＃２の搬送台車３０は、軌道２に設けられたセンサとの通信により合流部を検知すると、所定の位置に停止する。走行命令を受信した優先台車である＃３の搬送台車３０は、軌道２に設けられたセンサとの通信を行いながら分岐、合流を行った後、競合区間を通過する。
【００３８】
＃１の搬送台車は、先行する＃３の搬送台車と所定の距離を保ちつつ走行しているが、＃３の搬送台車が競合区間を通過した後に、再び搬送しているロットの優先度に基づいて＃１の搬送台車３０が優先台車となる。そして、優先台車に対して先行する他の搬送台車３０が存在しないため、そのまま優先台車である＃１の搬送台車３０を優先させるべく運行管理部１１が通信部１２を介して＃１の搬送台車３０に対して走行命令を送信し、＃２の搬送台車３０にさらに停止命令を送信する。停止命令を受信した＃２の搬送台車３０は、所定の位置で停止を継続する。走行命令を受信した優先台車である＃１の搬送台車３０は、軌道２に設けられたセンサとの通信を行いながら分岐、合流を行った後、競合区間を通過する。＃２の搬送台車３０は、＃１の搬送台車３０が競合区間を通過した後に走行を開始し、競合区間を通過する。
【００３９】
次に、図５（ｃ）に示すように、合流部において特急ロットを搬送する＃１の搬送台車３０と＃２の搬送台車３０とが、合流部において競合する場合に、＃１の搬送台車３０に普通ロットを搬送する＃３の搬送台車３０が先行しているときには、優先台車決定部１４が、まず各搬送台車３０が搬送しているロットの優先度に基づいて優先台車を決定する。普通ロットの優先度より特急ロットの優先度が高いため、＃１の搬送台車３０と＃２の搬送台車３０とが優先台車となる。次に、優先台車である＃１の搬送台車３０に対して先行する＃３の搬送台車３０が存在するため、優先台車を＃３の搬送台車３０に変更する。さらに、＃２の搬送台車３０と＃３の搬送台車３０との２台の搬送台車３０が優先台車になっているため、夫々が走行する軌道の優先度に基づいて優先台車を決定する。そして＃２の搬送台車３０が走行している軌道２の優先度が、＃３の搬送台車３０が走行している軌道２の優先度より高いとすると、＃２の搬送台車３０が優先台車に決定される。
【００４０】
そして＃２の搬送台車３０を優先させるべく運行管理部１１が通信部１２を介して＃２の搬送台車３０に対して走行命令を送信し、＃３の搬送台車３０に停止命令を送信する。停止命令を受信した＃３の搬送台車３０は、軌道２に設けられたセンサとの通信により合流部を検知すると、所定の位置に停止する。＃３の搬送台車３０が停止することにより、＃３の搬送台車３０に対して後行する＃１の搬送台車３０も、＃３の搬送台車に対して所定の距離をおいて停止する。走行命令を受信した優先台車である＃２の搬送台車３０は、軌道２に設けられたセンサとの通信を行いながら分岐、合流を行った後、競合区間を通過する。
【００４１】
＃２の搬送台車が競合区間を通過した後に、再び搬送しているロットの優先度に基づいて＃１の搬送台車３０が優先台車となる。優先台車である＃１の搬送台車３０に対して先行する＃３の搬送台車３０が存在するため、優先台車を＃３の搬送台車３０に変更する。そして優先台車である＃３の搬送台車３０を優先させるべく運行管理部１１が通信部１２を介して＃１の搬送台車３０に対して走行命令を送信する。走行命令を受信した優先台車である＃３の搬送台車３０は、軌道２に設けられたセンサとの通信を行いながら分岐、合流を行った後、競合区間を通過する。＃１の搬送台車３０は、＃３の搬送台車と所定の距離を保ちながら同様に競合区間を通過する。
尚、図５（ａ）〜図５（ｃ）は、特急ロットと普通ロットとが搬送される場合について説明したものであるが、普通ロットが全て急行ロットであっても、または、特急ロットが全て急行ロットであっても各ロットにおける優先度の関係に変化がないため、上述した内容と同じ動作を行う。
【００４２】
次に軌道２において、合流部が連続する場合のＯＨＴシステム１の動作について図６を参照しつつ説明する。図６は、合流部が連続する軌道２を示した外観図である。尚、搬送台車３０の＃１〜＃３は全て合流部に向かって競合区間内を走行しており、台車監視部１３によりその状態を監視されているものとする。また、図中の矢印は搬送台車３０の進行方向を示している。
【００４３】
図６に示すように、台車監視部１３により設定された競合区間内に合流部が複数ある場合でも、図５の場合と同様に競合区間内において優先台車を決定する。特急ロットを搬送する搬送台車３０が、１つめの合流部において、普通ロッドを搬送する＃２の搬送台車３０と競合し、２つめの合流部において、普通ロッドを搬送する＃３の搬送台車３０と競合する場合には、優先台車決定部１４が、まず各搬送台車３０が搬送しているロットの優先度に基づいて優先台車を決定する。普通ロットの優先度より特急ロットの優先度が高いため、＃１の搬送台車３０が優先台車となる。そして、優先台車に対して先行する他の搬送台車３０が存在しないため、＃１の搬送台車３０を優先させるべく運行管理部１１が通信部１２を介して＃１の搬送台車３０に対して走行命令を送信し、＃２の搬送台車３０及び＃３の搬送台車３０に停止命令を送信する。停止命令を受信した＃２の搬送台車３０は、１つめの合流部において軌道２に設けられたセンサとの通信により合流部を検知すると、所定の位置に停止する。また、同じく停止命令を受信した＃３の搬送台車３０は、２つめの合流部において軌道２に設けられたセンサとの通信により合流部を検知すると、所定の位置に停止する。走行命令を受信した優先台車である＃１の搬送台車３０は、各合流部において軌道２に設けられたセンサとの通信を行いながら各合流を順に行い、競合区間を通過する。＃２の搬送台車及び＃３の搬送台車は、＃１の搬送台車が競合区間を通過した後に走行を開始し、夫々競合区間を通過する。
【００４４】
以上、説明した好適な実施の形態では、軌道２の合流部近傍に存在する各搬送台車３０が搬送するロットの優先度に基づいて優先台車を決定するため、軌道２の優先度のみで優先台車を決定されることなく、その時々において優先度の高いロットをより効率的に搬送することができる。
【００４５】
また、台車監視手段１３により設定される競合区間が搬送台車３０の条件により異なるため、効率よく搬送台車３０の状態の監視を行い、ロットをより効率的に搬送することができる。
【００４６】
また、ロットに特急、急行、普通のというグループ単位の優先度が割り当てているため、素早く優先台車を決定することができる。
【００４７】
また、優先台車に対して他の搬送台車３０が先行している場合に、先行している搬送台車３０を優先台車に変更して優先的に走行させることができるため、先行する搬送台車３０が優先台車の走行を遮ることがなくなり、結果的に優先台車を優先的に走行させることができる。
【００４８】
また、搬送台車３０が搬送するロットの優先度から優先台車を決定できない場合であっても、搬送台車３０が走行している軌道の優先度に基づいて優先台車を決定することができるため、同じ優先度の搬送台車同士であっても優先台車を決定することができる。
【００４９】
また、運行管理部１１は優先台車のみに対して走行命令を送信し、他の搬送台車３０に対して停止命令を送信するため、合流部において搬送台車３０同士が衝突することを確実に防止することができる。
【００５０】
以上、本発明に係る好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて、様々な設計変更が可能なものである。例えば、実施の形態では、非接触給電の給電線２６を介して通信を行う構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、無線通信でもよいし、他の通信手段を用いてもよい。また、競合区間内でのみ通信を行うことが可能な構成でもよい。
【００５１】
また、実施の形態では、優先台車決定部１４が、搬送台車３０が搬送するロットの優先度に基づいて優先台車を決定する構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、搬送台車３０の位置、速度、及び作業状態のいずれかに基づいて決定する構成でもよいし、以上の条件を複合的に判断して決定する構成でもよい。また、搬送台車３０に直接割り付けられた優先度に基づいて決定する構成でもよい。
【００５２】
また、実施の形態では、ロットに対して特急、急行、普通の３つにグルーピングされた優先度を割り当てる構成であるが、優先度はロットをはじめとする搬送台車３０の各状態に基づいて搬送台車３０毎に個別に割り当てる構成でもよい。この場合、優先度の比較により確実に優先台車を決定することができるため、搬送台車３０が走行する軌道２の優先度を考慮する必要がなくなる。
【００５３】
また、実施の形態では、優先台車に先行する他の搬送台車３０が存在する場合に、優先台車を先行する搬送台車３０に変更する構成であるが、特に優先台車を変更しない構成でもよい。
【００５４】
また、実施の形態では、搬送台車３０が搬送するロットの優先度により優先台車を決定することが出来ない場合には、軌道２の優先度に基づいて優先台車を決定する構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、左方優先など予め決められた他のルールに基づいて優先台車を決定する構成でもよい。
【００５５】
また、実施の形態では、運行管理部１１が、優先台車を優先的に走行させるため、優先台車にのみ走行命令を送信し、他の搬送台車３０には停止命令を送信する構成であるが、結果的に優先台車を優先的に走行することができればよく、例えば他の搬送台車３０の走行速度を調整するような構成でもよい。
【００５６】
【発明の効果】
請求項１、請求項９、請求項１７によると、軌道の合流部近傍に存在する各搬送台車の状態に基づいて優先台車を決定するため、軌道の優先度のみで優先台車を決定されることなく、その時々において優先度の高い搬送台車を優先的に走行させることができ、搬送物をより効率的に搬送することができる。
【００５７】
請求項２、請求項１０によると、搬送台車の軌道上の位置、作業状態、及び搬送している搬送物の優先度の少なくとも１つの条件に基づいて優先台車を決定するため、状況に応じた優先度に基づいて搬送台車を優先的に走行させることができる。
【００５８】
請求項３、請求項１１によると、台車監視手段により監視される範囲が搬送台車の条件毎に異なるため、最小限の状態を監視しつつ、予測範囲を広くして優先台車をより優先的に走行させることができ、搬送物をより効率的に搬送することができる。
【００５９】
請求項４、請求項１２によると、合流部における全搬送台車に優先度を決定することができるため、より木目細かい条件で優先台車を決定することができ、搬送物をより効率的に搬送することができる。
【００６０】
請求項５、請求項１３によると、搬送台車の状態に対してグループ単位の優先度を割り当てればよいため、素早く優先台車を決定することができる。
【００６１】
請求項６、請求項１４によると、優先台車に対して他の搬送台車が先行している場合に、先行している搬送台車を優先台車に変更して優先的に走行させることができるため、先行する搬送台車が優先台車の走行を遮ることがなくなり、結果的に優先台車を優先的に走行させることができる。
【００６２】
請求項７、請求項１５によると、搬送台車の状態から優先台車を決定できない場合であっても、あらかじめ決められた搬送台車が走行している軌道の優先度に基づいて優先台車を決定することができるため、同じ優先度の搬送台車同士であっても優先台車を決定することができる。
【００６３】
請求項８、請求項１６によると、優先台車のみに対して走行命令を送信し、他の搬送台車に対して停止命令を送信するため、合流部において搬送台車同士が衝突することを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係る運行制御装置を含むＯＨＴシステムの外観図である。
【図２】図１に示す軌道及び搬送台車の断面図である。
【図３】図１に示す運行制御装置の構成を示すブロック図である。
【図４】図１に示す運行制御装置における優先台車決定時の動作手順を示したフローチャートである。
【図５】図１に示す軌道２の合流部を示した外観図である。
【図６】図１に示す合流部が連続する軌道２を示した外観図である。
【符号の説明】
１  ＯＨＴシステム
２  軌道
４  ストッカ
５  ウェハ処理装置
１０  運行制御装置
１１  運行管理部
１２  通信部
１３  台車監視部
１４  優先台車決定部
３０  搬送台車
【図１】
2004334724.tif 000003
【図２】
2004334724.tif 000004
【図３】
2004334724.tif 000005
【図４】
2004334724.tif 000006
【図５】
2004334724.tif 000007
【図６】
2004334724.tif 000008