(57)【要約】【課題】被処理物を有機溶剤で安全かつ簡単に洗浄処理することができる洗浄装置及びこれを使用する洗浄システムを提供する。【解決手段】基板３２と、基板３２上に設けられて耐圧性を有する洗浄容器室３３と、洗浄容器室３３の内部に設けられた洗浄槽３４と、基板３２に立設された支柱３５と、支柱３５に摺動移動可能に嵌合して洗浄容器室３３の上部を閉塞する蓋板３６と、蓋板３６の下面に対して接近離反できるように移動可能に取り付けられて、被処理物が入れられる洗浄筐４を着脱可能に保持する保持フレーム３７と、蓋板３６を支柱３５に沿ってスライド移動させる駆動シリンダ３９と、保持フレーム３７を蓋板３６に対して接近離反させるように上下動させる駆動シリンダ３８とを備えて洗浄装置を構成した。【選択図】　　　図３
2004089992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に設けられた洗浄槽と、
前記基板に立設された支柱と、
前記支柱に摺動移動可能に嵌合して前記洗浄槽の上部を閉塞する蓋板と、
前記蓋板の下面に対して接近離反できるように移動可能に取り付けられて、被処理物が入れられる洗浄筐を着脱可能に保持する保持フレームと、
前記蓋板を支柱に沿ってスライド移動させる蓋板駆動手段と、
前記保持フレームを蓋板に対して接近離反させるように上下動させる保持フレーム駆動手段と
を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記洗浄筐が円筒型をなすと共に、
前記洗浄筐を回転可能に保持し且つ前記保持フレームに着脱可能に保持される駆動台と、
前記駆動台と着脱可能に連結できるように前記洗浄槽に取り付けられて、前記洗浄筐を回転させるように前記駆動台を作動させる駆動台駆動手段と
を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記洗浄筐が網目型又は容器型であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記洗浄筐が容器型であり、容器側面周囲に洗浄液の流入口を有すると共に、容器底面に洗浄液の流出孔を有することを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一つにおいて、
有機溶剤からなる洗浄液を前記洗浄槽内に給排液する洗浄液給排手段を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記洗浄液給排手段が、前記洗浄液を前記洗浄槽の上方から噴射供給する
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一つにおいて、
前記洗浄槽内を真空吸引する真空吸引手段を備えている
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一つにおいて、
前記蓋板に設けられて前記支柱に対して着脱可能に係合するロック手段を備えている
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一つの洗浄装置を使用する洗浄システムであって、
外部と仕切られて前記洗浄筐を受け入れる受入室を有する受入エリアと、
前記受入エリアの前記受入室に隣接して外部と仕切られる洗浄室に前記洗浄装置を配設した洗浄エリアと、
前記洗浄エリアの前記洗浄室に隣接して外部と仕切られると共に前記洗浄筐を送出する送出室を有する送出エリアと、
前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する搬送手段を有する移動エリアと、
前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する搬送手段を有する移動エリアと
を具備するフレームユニットを備えている
ことを特徴とする洗浄システム。
【請求項１０】
請求項９において、
前記フレームユニットが、前記移動エリアと前記受入エリアの前記受入室との間、前記受入エリアの前記受入室と前記洗浄エリアの前記洗浄室との間、前記洗浄エリアの前記洗浄室と前記送出エリアの前記送出室との間及び前記送出エリアの前記送出室と前記移動エリアとの間に開閉可能なシャッタをそれぞれ有している
ことを特徴とする洗浄システム。
【請求項１１】
請求項９又は１０において、
前記移動エリアの前記搬送手段、前記受入エリアの前記受入室、前記洗浄エリアの前記保持フレーム及び前記送出エリアの前記送出室に、前記洗浄筐を移動させる移動手段がそれぞれ設けられている
ことを特徴とする洗浄システム。
【請求項１２】
請求項９乃至１０のいずれか一つにおいて、
前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリア同士を連絡させると共に、前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリア同士を連絡させるように、前記フレームユニットが複数配列されている
ことを特徴とする洗浄システム。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリアと、前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリアとを兼ねるように、前記フレームユニットが複数連結されている
ことを特徴とする洗浄システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄装置及びこれを使用する洗浄システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年では、ＰＣＢ（Ｐｏｌｙｃｈｌｏｒｉｎａｔｅｄ　ｂｉｐｈｅｎｙｌ，　ポリ塩化ビフェニル：ビフェニルの塩素化異性体の総称）が強い毒性を有することから、その製造および輸入が禁止されている。このＰＣＢは、１９５４年頃から国内で製造開始されたものの、カネミ油症事件をきっかけに生体・環境への悪影響が明らかになり、１９７２年に行政指導により製造中止、回収の指示（保管の義務）が出された経緯がある。
【０００３】
ＰＣＢは、ビフェニル骨格に塩素が１〜１０個置換したものであり、置換塩素の数や位置によって理論的に２０９種類の異性体が存在し、現在、市販のＰＣＢ製品において約１００種類以上の異性体が確認されている。また、この異性体間の物理・化学的性質や生体内安定性および環境動体が多様であるため、ＰＣＢの化学分析や環境汚染の様式を複雑にしているのが現状である。さらに、ＰＣＢは、残留性有機汚染物質のひとつであって、環境中で分解されにくく、脂溶性で生物濃縮率が高く、さらに半揮発性で大気経由の移動が可能であるという性質を持つ。また、水や生物など環境中に広く残留することが報告されている。
【０００４】
このＰＣＢは平成４（１９９７）年に廃ＰＣＢ、ＰＣＢを含む廃油、ＰＣＢ汚染物が廃棄物の処理及び清掃に関する法律に基づく特別管理廃棄物に指定され、さらに、平成９（１９９７）年にはＰＣＢ汚染物として木くず、繊維くずが、追加指定された。
【０００５】
ＰＣＢ処理物となる電気機器としては、高圧トランス、高圧コンデンサ、低圧トランス・コンデンサ、柱上トランスがあり、廃ＰＣＢ等としては、熱媒体に用いたものは絶縁油として用いたもの、また、これらの洗浄に用いた灯油等があり、廃感圧紙としては、ノーカーボン紙に使用されたカプセルオイルがあり、さらに、これらのＰＣＢの使用又は熱媒の交換、絶縁油の再生、漏洩の浄化、ＰＣＢ含有物の処理等の際に用いられた活性炭や、廃白土、廃ウェス類、作業衣等のＰＣＢ汚染物がある。現在これらは厳重に保管がなされているが、早急なＰＣＢの処理が望まれている。
【０００６】
近年では、このようなトランス等に使用されているＰＣＢを処理する技術が種々開発されている（特許文献１）。
図１３に、上記提案にかかるＰＣＢの処理方法のフローチャートを示す。
【０００７】
図１３に示すように、まず、ＰＣＢが封入されているトランスから油を抜き取り（Ｓ９０１）、さらに溶剤洗浄によって内部に付着しているＰＣＢを除去し（Ｓ９０２）、回収する（Ｓ９０３）。洗浄後の溶剤は、トランスから抜き出した油と共に分解処理され（Ｓ９０４）、無害化される。
【０００８】
次に、油抜きしたトランスを乾燥させてＰＣＢを無酸素下高温常圧加熱によって蒸発させ（Ｓ９０５）、ＰＣＢの飛散を防止する。そして、乾燥後のトランスを解体し（Ｓ９０６）、ケースとトランスコアを分離する。ケースは、電炉や転炉のスクラップ源に供される（Ｓ９０７）。一方、トランスコアは、モービルシャー等によってその銅コイルを切断され、コイル線と鉄心とに分離される（Ｓ９０８）。
【０００９】
分離された鉄心は溶融炉にて溶融され、回収される（Ｓ９０９）。また、分離した銅コイルおよびこれに付着した紙などの有機物は、誘導加熱炉にて溶融される（Ｓ９１０）。そして、上記溶融した銅は回収され、各溶融炉で発生したＰＣＢガスは、１２００℃で高温熱分解することにより無害化される（Ｓ９１１）。
【００１０】
【特許文献１】
特開平９−７９５３１号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
前述したような従来のＰＣＢ処理方法では、金属製の各種部材（被処理物）を溶融させてＰＣＢを分解処理しているため、設備が大規模化してしまうだけでなく、多大な熱エネルギが必要となってしまい、イニシャルコストおよびランニングコストが高くなってしまっている。
【００１２】
このため、金属製の各種部材（被処理物）に付着しているＰＣＢを有機溶剤で洗浄して被処理物を無害化処理することが検討されているものの、有機溶剤は、引火性が高く危険物であるため、洗浄液として安全かつ簡単に利用することが非常に重要である。
【００１３】
このようなことから、本発明は、被処理物を有機溶剤で安全かつ簡単に洗浄処理することができる洗浄装置及びこれを使用する洗浄システムを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前述した課題を解決するための、第一番目の発明による洗浄装置は、基板と、前記基板上に設けられた洗浄槽と、前記基板に立設された支柱と、前記支柱に摺動移動可能に嵌合して前記洗浄槽の上部を閉塞する蓋板と、前記蓋板の下面に対して接近離反できるように移動可能に取り付けられて、被処理物が入れられる洗浄筐を着脱可能に保持する保持フレームと、前記蓋板を支柱に沿ってスライド移動させる蓋板駆動手段と、前記保持フレームを蓋板に対して接近離反させるように上下動させる保持フレーム駆動手段とを備えていることを特徴とする。
【００１５】
第二番目の発明による洗浄装置は、第一番目の発明において、前記洗浄筐が円筒型をなすと共に、前記洗浄筐を回転可能に保持し且つ前記保持フレームに着脱可能に保持される駆動台と、前記駆動台と着脱可能に連結できるように前記洗浄槽に取り付けられて、前記洗浄筐を回転させるように前記駆動台を作動させる駆動台駆動手段とを備えていることを特徴とする。
【００１６】
第三番目の発明による洗浄装置は、第一番目の発明において、前記洗浄筐が網目型又は容器型であることを特徴とする。
【００１７】
第四番目の発明による洗浄装置は、第三番目の発明において、前記洗浄筐が容器型であり、容器側面周囲に洗浄液の流入口を有すると共に、容器底面に洗浄液の流出孔を有することを特徴とする。
【００１８】
第五番目の発明による洗浄装置は、第一番目または第四番目の発明において、有機溶剤からなる洗浄液を前記洗浄槽内に給排液する洗浄液給排手段を備えていることを特徴とする。
【００１９】
第六番目の発明による洗浄装置は、第五番目の発明において、前記洗浄液給排手段が、前記洗浄液を前記洗浄槽の上方から噴射供給することを特徴とする。
【００２０】
第七番目の発明による洗浄装置は、第一番目から第六番目の発明のいずれか一つにおいて、前記洗浄槽内を真空吸引する真空吸引手段を備えていることを特徴とする。
【００２１】
第八番目の発明による洗浄装置は、第一番目から第七番目の発明のいずれか一つにおいて、前記蓋板に設けられて前記支柱に対して着脱可能に係合するロック手段を備えていることを特徴とする。
【００２２】
また、前述した課題を解決するための、第九番目の発明による洗浄システムは、第一番目から第八番目の発明のいずれか一つの洗浄装置を使用する洗浄システムであって、外部と仕切られて前記洗浄筐を受け入れる受入室を有する受入エリアと、前記受入エリアの前記受入室に隣接して外部と仕切られる洗浄室に前記洗浄装置を配設した洗浄エリアと、前記洗浄エリアの前記洗浄室に隣接して外部と仕切られると共に前記洗浄筐を送出する送出室を有する送出エリアと、前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する搬送手段を有する移動エリアと、前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する搬送手段を有する移動エリアとを具備するフレームユニットを備えていることを特徴とする。
【００２３】
第十番目の発明による洗浄システムは、第九番目の発明において、前記フレームユニットが、前記移動エリアと前記受入エリアの前記受入室との間、前記受入エリアの前記受入室と前記洗浄エリアの前記洗浄室との間、前記洗浄エリアの前記洗浄室と前記送出エリアの前記送出室との間及び前記送出エリアの前記送出室と前記移動エリアとの間に開閉可能なシャッタをそれぞれ有していることを特徴とする。
【００２４】
第十一番目の発明による洗浄システムは、第九番目または第十番目の発明において、前記移動エリアの前記搬送手段、前記受入エリアの前記受入室、前記洗浄エリアの前記保持フレーム及び前記送出エリアの前記送出室に、前記洗浄筐を移動させる移動手段がそれぞれ設けられていることを特徴とする。
【００２５】
第十二番目の発明による洗浄システムは、第九番目から第十一番目の発明のいずれか一つにおいて、前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリア同士を連絡させると共に、前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリア同士を連絡させるように、前記フレームユニットが複数配列されていることを特徴とする。
【００２６】
第十三番目の発明による洗浄システムは、第十二番目の発明において、前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリアと、前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリアとを兼ねるように、前記フレームユニットが複数連結されていることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明による洗浄装置及びこれを使用する洗浄システムの実施の形態を図面を用いて以下に説明するが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではない。
【００２８】
［第一番目の実施の形態］
本発明による洗浄装置及びこれを使用する洗浄システムの第一番目の実施の形態を図１〜５を用いて説明する。図１は、洗浄システムの全体レイアウトを表す平面図、図２は、洗浄システムのレイアウトの一部抽出正面図、図３は、洗浄装置の概略構造を表す正面図、図４は、図３の一部抽出平面図、図５は、洗浄装置の背面図である。
【００２９】
［全体構成］
図１，２に示すように、設置基盤１上には、下段と上段とを有するフレームシステム１００が配設される。このフレームシステム１００は、同一構造をなすフレームユニット１１０を平面方向で複数レイアウトした構造をなしている。各フレームユニット１１０は、外部と仕切られて洗浄筐４を受け入れる受入室１１２ａを有する受入エリア１１２と、受入エリア１１２の受入室１１２ａに隣接して外部と仕切られる洗浄室１１３ａを有する洗浄エリア１１３と、洗浄エリア１１３の洗浄室１１３ａに隣接して外部と仕切られると共に洗浄筐４を送出する送出室１１４ａを有する送出エリア１１４と、受入エリア１１２の受入室１１２ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１と、送出エリア１１４の送出室１１４ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１とを具備している。
【００３０】
すなわち、受入エリア１１２の受入室１１２ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１同士を連絡させると共に、送出エリア１１４の送出室１１４ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１同士を連絡させるように上記フレームユニット１１０を複数配列し（本実施の形態では５つ）、受入エリア１１２の受入室１１２ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１と、送出エリア１１４の送出室１１４ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１とを兼ねるように上記フレームユニット１１０を複数連結する（本実施の形態では３つ）ことにより、フレームシステム１００を構成しているのである。以下、各エリア１１１〜１１４ごとに説明する。
【００３１】
［移動エリア１１１］
図１〜４に示すように、移動エリア１１１の上段には、各フレームユニット１１０の移動エリア１１１間を連絡するように、レール１１が布設されている。レール１１上には、自走可能な車輪１３を下部に有する台車１２が当該レール１１に沿って走行できるように配備されている。台車１２の上面には、上記レール１１の長手方向と交差する方向に沿って洗浄筐４を移動させる移動手段である駆動回転可能なローラコンベア１４が設けられている。このような本実施の形態では、レール１１、台車１２、車輪１３等により搬送手段を備えている。なお、図１中、２は移動エリア１１１の下段と上段とを連絡する上昇用エレベータ、３は下降用エレベータである。
【００３２】
［受入エリア１１２］
図１〜４に示すように、受入エリア１１２は、外部と仕切られた受入室１１２ａを有するように仕切板２１で覆われている。移動エリア１１１と受入エリア１１２との間及び洗浄エリア１１３と受入エリア１１２の受入室１１２ａとの間には、開閉可能なシャッタ２２，２３が設けられている。受入室１１２ａ内には、移動エリア１１１側と洗浄エリア１１３側との間で洗浄筐４を移動させる移動手段である駆動回転可能なローラコンベア２４が配設されている。
【００３３】
［洗浄エリア１１３］
図３〜５に示すように、洗浄エリア１１３は、外部と仕切られた洗浄室１１３ａを有するように仕切板３１で覆われている。洗浄エリア１１３の下段側には、耐圧性を有する厚肉の基板３２が配設されている。基板３２上には、上部を開口した円筒型の耐圧性を有する洗浄容器室３３が取り付けられており、当該洗浄容器室３３は、図示しない真空吸引手段に連結されている。洗浄容器室３３の開口周縁端面は、ゴム等からなるシール材３３ａでライニングされている。洗浄容器室３３の内部には、角筒型の洗浄槽３４が配設されており、当該洗浄槽３４は、イソプロパノール（ＩＰＡ）等のような有機溶剤からなる洗浄液５を給排液する図示しない洗浄液給排手段に連結されている。
【００３４】
前記基板３２の四隅には、支柱３５がそれぞれ立設されており、当該支柱３５は、洗浄室１１３ａの内部上方にまで延設されている。これら支柱３５には、厚肉の耐圧性を有する蓋板３６の各隅が摺動移動可能にそれぞれ嵌合しており、当該蓋板３６は、支柱３５に沿って昇降移動することができるようになっている。上記支柱３５には、前記蓋板３６の下面に上端を連結されたスリーブ３５ａが当該支柱３５に沿ってスライド移動できるようにそれぞれ嵌合している。蓋板３６の下面には、前記洗浄容器室３３の開口周縁端面の前記シール材３３ａと対面するフランジ３６ａが突設されている。
【００３５】
蓋板３６の四隅近傍には、当該蓋板３６の上面側と下面側との間を貫通してスライド移動できるガイドロッド３６ｂがそれぞれ設けられている。ガイドロッド３６ｂの上端には、抜け止め３６ｂａが設けられている。ガイドロッド３６ｂの下端には、箱型をなす金網製の洗浄筐４を着脱可能に保持する保持フレーム３７の上部が取り付けられている。保持フレーム３７の内部下面には、受入エリア１１２側と送出エリア１１４側との間で洗浄筐４を移動させる移動手段である駆動回転可能なローラコンベア３７ａが取り付けられている。蓋板３６の上部には、保持フレーム駆動手段である駆動シリンダ３８の基端側が保持されている。駆動シリンダ３８の先端側は、前記蓋板３６を摺動移動可能に貫通して上記保持フレーム３７の上部に連結されている。
【００３６】
つまり、駆動シリンダ３８を作動させると、蓋板３６に対して保持フレーム３７を接近離反させるように上下動させることができるようになっているのである。
【００３７】
また、図５に示すように、前記洗浄エリア１１３の下段には、蓋板駆動手段である駆動シリンダ３９の基端側が連結固定されている。駆動シリンダ３９の先端は、上記蓋板３６に連結されている。
【００３８】
つまり、駆動シリンダ３９を収縮させると、蓋板３６が支柱３５に沿って下降すると共に、保持フレーム３７も下降して、当該保持フレーム３７が洗浄エリア１１３の下段の前記洗浄槽３４内に挿入されると共に、前記蓋板３６が前記洗浄容器室３３の開口を閉塞し、前記フランジ３６ａ及び前記シール材３３ａにより密閉することができる一方、駆動シリンダ３９を伸長させると、蓋板３６が支柱３５に沿って上昇すると共に、保持フレーム３７も上昇して、当該保持フレーム３７のローラコンベア３７ａが受入エリア１１２側と送出エリア１１４側との間を連絡するように位置するのである。
【００３９】
［送出エリア１１４］
図１〜３に示すように、送出エリア１１４は、外部と仕切られた送出室１１４ａを有するように仕切板４１で覆われている。洗浄エリア１１３と送出エリア１１４との間及び送出エリア１１４と隣接する移動エリア１１１との間には、開閉可能なシャッタ４２，４３が設けられている。送出室１１４ａ内には、洗浄エリア１１３側と移動エリア１１１側との間で洗浄筐４を移動させる移動手段である駆動回転可能なローラコンベア４４が配設されている。
【００４０】
［洗浄方法］
次に、本実施の形態にかかる洗浄システムを使用する洗浄方法を説明する。
被処理物を入れられて前工程から搬送されてきた洗浄筐４を上昇用エレベータ２に載せてフレームシステム１００の下段から上段に上昇させた後、当該エレベータ２に隣接するように位置された、フレームユニット１１０の移動エリア１１１の台車１２上に受け渡す。続いて、目的とするフレームユニット１１０の移動エリア１１１まで台車１２をレール１１に沿って走行移動させて、目的とするフレームユニット１１０の受入エリア１１２に隣接させたら、当該受入エリア１１２の受入室１１２ａのシャッタ２２を開放すると共に、ローラコンベア１４を駆動することにより、台車１２上から上記受入室１１２ａのローラコンベア２４上に洗浄筐４を移載した後、上記シャッタ２２を閉鎖する。
【００４１】
次に、前記シャッタ２３を開放すると共に、ローラコンベア２４を駆動して、洗浄筐４を洗浄エリア１１３の洗浄室１１３ａ内の保持フレーム３７内に移載したら、上記シャッタ２３を閉鎖した後、駆動シリンダ３９を収縮し、蓋板３６及び保持フレーム３７を下降して、保持フレーム３７を洗浄槽３４内に挿入すると共に、洗浄容器室３３を蓋板３６で密閉する。
【００４２】
続いて、前記洗浄液給排手段により洗浄液５を前記洗浄槽３４内に供給して貯溜させると共に、駆動シリンダ３８を伸縮作動させると、保持フレーム３７を介して洗浄筐４が洗浄槽３４内を上下振動し、洗浄筐４内の被処理物が洗浄液５中で掻き混ぜられるので、被処理物は、洗浄液５により隅々まで洗浄されるようになる。このとき、洗浄槽３４が洗浄容器室３３及び蓋板３６により密封されているので、洗浄液５の気化物が外部に漏出してしまうことはない。
【００４３】
このようにして被処理物を洗浄液５で洗浄したら、前記洗浄液給排手段により洗浄槽３４内の洗浄液５を排出した後、前記真空吸引手段により洗浄容器室３３内を真空吸引して被処理物を減圧乾燥させる。
【００４４】
このようにして被処理物を乾燥させたら、洗浄容器室３３内を大気圧にまで戻し、前記駆動シリンダ３９を伸長して、蓋板３６及び保持フレーム３７を上昇させて当初の位置に復帰させた後、送出エリア１１４の送出室１１４ａのシャッタ４２を開放すると共に、前記ローラコンベア３７ａを駆動して、保持フレーム３７内の洗浄筐４を送出エリア１１４の送出室１１４ａ内のローラコンベア４４上に移載した後、上記シャッタ４２を閉鎖する。
【００４５】
続いて、シャッタ４３を開放すると共に、ローラコンベア４４を駆動することにより、隣接する移動エリア１１１の台車１２上に洗浄筐４を移載した後、上記シャッタ４３を閉鎖すると共に、台車１２をレール１１に沿って走行移動させて、前記下降用エレベータ３に隣接させる。続いて、ローラコンベア１４を駆動して、洗浄筐４を台車１２から下降用エレベータ３に移載してフレームシステム１００の上段から下段に下降させ、当該洗浄筐４を引き続いて次工程に搬送する。
【００４６】
したがって、本実施の形態によれば、被処理物を有機溶剤からなる洗浄液５で安全かつ簡単に洗浄処理することができる。
【００４７】
また、例えば、支柱３５に対して着脱可能に係合するロック手段を蓋板３６に設け、洗浄容器室３３の上部開口を当該蓋板３６で閉塞したときに、上記ロック部材を支柱３５に係合させるようにすれば、洗浄容器室３３内の圧力が急激に増大した場合でも、蓋板３６の開放をより確実に防止することができる。
【００４８】
なお、本実施の形態においては、洗浄容器室３３を耐圧構造とし、該洗浄容器室３３の内部に洗浄槽３４を設けるようにしたが、洗浄液が例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）等のような揮発性の高い有機溶剤（例えば界面活性剤）やアルカリ液を用いるような場合においては、耐圧性の必要が無いので、洗浄容器室３３を耐圧構造にする必要はなく、さらに、洗浄槽３４を設けることなく洗浄槽を兼用するような構造とするようにしてもよい。
また、洗浄の際、揺動操作時の液の飛び散りや、蒸気（アルカリ洗浄の場合では９０℃程度で使用する）が漏れないような気密性を有するようにすればよい。
なお、洗浄容器室と洗浄槽とを兼用とする場合には、洗浄槽内を真空吸引する真空吸引手段を備え、有機溶剤からなる洗浄液で洗浄した被処理物を迅速かつ安全に乾燥させるようにすればよい。
【００４９】
［第二番目の実施の形態］
本発明による洗浄装置及びこれを使用する洗浄システムの第二番目の実施の形態を図６〜８を用いて説明する。図６は、洗浄装置の概略構造を表す正面図、図７は、図６の駆動台の概略構造を表す正面図、図８は、図６の駆動装置の概略構成図である。ただし、前述した第一番目の実施の形態の場合と同様な部分については、前述した第一番目の実施の形態の説明で用いた符号と同一の符号を用いることにより、前述した第一番目の実施の形態での説明と重複する説明を省略する。
【００５０】
本実施の形態と前述した第一番目の実施の形態との大きな違いは、前述した第一番目の実施の形態では、箱型をなす金網製の洗浄筐４を使用したのに対し、本実施の形態では、円筒型をなす金網製の洗浄筐６を使用して当該洗浄筐２０１を回転させながら被処理物を洗浄する点にある。よって、本実施の形態では、この点を中心にして説明する。
【００５１】
図６，７に示すように、円筒型をなす金網製の洗浄筐６は、当該洗浄筐６を回転可能に保持し且つ前記保持フレーム３７に着脱可能に保持される駆動台２００に載せられて駆動回転される。この駆動台２００は、一対のガイドプレート２０１ａを下面に有する基台２０１と、基台２０１上に回転可能に支持されて軸端にスプロケット２０２ａを有する一対の駆動ローラ２０２と、基台２０１上に立設されたマスト２０３と、マスト２０３の上方に回転可能に取り付けられた駆動用スプロケット２０４と、駆動用スプロケット２０４の軸心部分に一体的に設けられて駆動装置２５０（詳細は後述する）と着脱可能に係合する係合突起２０５と、この駆動用スプロケット２０４と上記スプロケット２０２ａとの間に掛け渡されたチェーン２０６とを備えている。
【００５２】
なお、図６，７中、２０１ｂは、基台２０１の四隅近傍に形成されて駆動台２００を支持する支持スタンド２３１（詳細は後述する）が着脱可能に嵌合する差込穴、２０７は、上記スプロケット２０２ａとチェーン２０６との係合具合を調整するために設けられたスプロケットである。
【００５３】
他方、図６に示すように、洗浄エリア１１３の前記洗浄容器室３３と洗浄槽３４との間には、防振材３４ａが介在している。洗浄槽３４の内部には、上記支持スタンド２３１が立設されている。前記洗浄容器室３３の壁面の上方寄りには、前記駆動台２００の前記係合突起２０５と着脱可能に連結できる駆動台駆動手段である上記駆動装置２５０が取り付けられており、当該駆動装置２５０は、図８に示すような構造をなしている。
【００５４】
図８に示すように、洗浄容器室３３の壁面上方寄りには、支持筒２５１が貫通して取り付けられている。支持筒２５１の洗浄容器室３３の外側の端部には、支持フランジ２５２が設けられている。支持フランジ２５２と洗浄容器室３３の外側の壁面との間には、シール材２５３が介在している。支持筒２５１の内部には、移動筒２５４が軸方向に沿ってスライド移動できるように嵌合している。移動筒２５４の洗浄容器室３３の外側の端部には、移動フランジ２５５が設けられている。
【００５５】
前記支持フランジ２５２には、ガイドロッド２５６が突設されている。このガイドロッド２５６は、上記移動フランジ２５５を貫通しており、支持フランジ２５２に対する当該移動フランジ２５５の接近離反移動を可能にすると共に、当該移動フランジ２５５の周方向への回転を規制するようになっている。上記移動フランジ２５５には、駆動モータ２５７が固定支持されている。駆動モータ２５７の駆動軸２５７ａは、移動筒２５４の内部に挿入され、その先端が移動筒２５４の先端側にまで位置している。上記駆動軸２５７ａの先端には、前記駆動台２００の前記係合突起２０５と着脱可能に係合するソケット２５７ｂが取り付けられている。
【００５６】
また、移動フランジ２５５には、駆動シリンダ２５８の基端側が取り付けられている。駆動シリンダ２５８のロッド２５８ａは、移動フランジ２５５を貫通して支持フランジ２５２に固定されている。つまり、駆動シリンダ２５８のロッド２５８ａを収縮すると、移動フランジ２５５を介して移動筒２５４及び前記駆動モータ２５７の駆動軸２５７ａが洗浄容器室３３内へ向けて進出して、前記ソケット２５７ｂが駆動台２００の係合突起２０５に係合し、駆動シリンダ２５８のロッド２５８ａを伸長すると、上記ソケット２５７ｂが駆動台２００の係合突起２０５から離脱するように、移動筒２５４及び前記駆動モータ２５７の駆動軸２５７ａが退避するようになっているのである。なお、図８中、２５６ａは抜け止め、２５９ａは軸受、２５９ｂはパッキンである。
【００５７】
このような本実施の形態においては、被処理物を入れられた洗浄筐６を前記駆動台２００の一対の駆動ローラ２０２上に載せ、前述した第一番目の実施の形態の場合と同様に、当該駆動台２００を上昇用エレベータ２に載せてフレームシステム１００の下段から上段に上昇させた後、フレームユニット１１０の移動エリア１１１の台車１２上に受け渡し、台車１２を走行移動させて、目的とするフレームユニット１１０の受入エリア１１２に隣接させ、当該受入エリア１１２の受入室１１２ａのシャッタ２２を開放すると共に、ローラコンベア１４を駆動することにより、台車１２上から上記受入室１１２ａのローラコンベア２４上に駆動台２００を洗浄筐６と共に移載した後、上記シャッタ２２を閉鎖する。
【００５８】
次に、前記シャッタ２３を開放すると共に、ローラコンベア２４を駆動して、駆動台２００を洗浄エリア１１３の洗浄室１１３ａ内の保持フレーム３７内に移載したら、上記シャッタ２３を閉鎖した後、駆動シリンダ３９を収縮し、蓋板３６及び保持フレーム３７を下降して、保持フレーム３７を洗浄槽３４内に挿入すると、前記駆動台２００が基台２０１の差込穴２０１ｂ内に洗浄槽３４内の前記支持スタンド２３１を差し込まれて、保持フレーム３７から離されて支承されると共に、洗浄容器室３３が蓋板３６で密閉される。なお、このとき、支持スタンド２３１が保持フレーム３７と衝突しないように、当該支持スタンド２３１と駆動台２００の基台２０１の差込穴２０１ｂとの位置は設定されている。
【００５９】
続いて、前記洗浄液給排手段により洗浄液５を前記洗浄槽３４内に供給して貯溜すると共に、前記駆動装置２５０の駆動シリンダ２５８のロッド２５８ａを収縮し、駆動モータ２５７の駆動軸２５７ａを洗浄容器室３３内へ向けて進出させて前記ソケット２５７ｂを駆動台２００の係合突起２０５に係合させた後、駆動モータ２５７を作動させると、駆動台２００の係合突起２０５を介して駆動用スプロケット２０４が回転して、チェーン２０６、スプロケット２０２ａを介して駆動ローラ２０２が回転し、洗浄筐６が回転する。このため、洗浄筐６内の被処理物が洗浄液５中で掻き混ぜられるので、被処理物は、洗浄液５により隅々まで洗浄されるようになる。
【００６０】
このようにして被処理物を洗浄液５で洗浄したら、前述した第一番目の実施の形態の場合と同様に、前記洗浄液給排手段により洗浄槽３４内の洗浄液５を排出した後、前記真空吸引手段により洗浄容器室３３内を真空吸引して被処理物を減圧乾燥させる。
【００６１】
このようにして被処理物を乾燥させたら、洗浄容器室３３内を大気圧にまで戻し、駆動装置２５０の駆動モータ２５７の作動を停止すると共に、駆動シリンダ２５８のロッド２５８ａを伸長させて、前記ソケット２５７ｂを駆動台２００の係合突起２０５から引き離したら、前述した第一番目の実施の形態の場合と同様に、前記駆動シリンダ３９を伸長して、蓋板３６及び保持フレーム３７を上昇させると、前記支持スタンド２３１が駆動台２００の基台２０１の差込穴２０１ｂから抜けて、駆動台２００が保持フレーム３７に再び支承されると共に、当該保持フレーム３７が当初の位置に復帰する。
【００６２】
続いて、前述した第一番目の実施の形態の場合と同様に、送出エリア１１４の送出室１１４ａのシャッタ４２を開放すると共に、前記ローラコンベア３７ａを駆動して、保持フレーム３７内の駆動台２００を洗浄筐６と共に送出エリア１１４の送出室１１４ａ内のローラコンベア４４上に移載した後、上記シャッタ４２を閉鎖する。
【００６３】
そして、前述した第一番目の実施の形態の場合と同様に、シャッタ４３を開放すると共に、ローラコンベア４４を駆動することにより、移動エリア１１１の台車１２上に駆動台２００を移載した後、上記シャッタ４３を閉鎖すると共に、台車１２を走行移動させて、前記下降用エレベータ３に隣接させ、ローラコンベア１４を駆動して、駆動台２００を洗浄筐６と共に台車１２から下降用エレベータ３に移載してフレームシステム１００の上段から下段に下降させ、当該洗浄筐６を駆動台２００と共に次工程に搬送する。
【００６４】
したがって、本実施の形態によれば、前述した第一番目の実施の形態の場合と同様に、被処理物を有機溶剤からなる洗浄液５で安全かつ簡単に洗浄処理することができる。
【００６５】
また、洗浄容器室３３の外側に設けた駆動装置２５０で駆動台２００を作動させて洗浄筐６を回転させるようにしたので、洗浄液５中に駆動装置２５０を浸漬させることなく洗浄筐６を回転させることができ、駆動装置２５０の保守管理等の容易化を図ることができる。
【００６６】
［第三番目の実施の形態］
本発明による洗浄装置の第三番目の実施の形態を図１１、１２を用いて説明する。図１１は、洗浄装置の洗浄筐の概略構造を表す正面図、図１２は洗浄工程である。第一番目の実施の形態においては、洗浄筐を網目型としているが、本実施の形態では洗浄筐を容器型としたものである。ただし、前述した第一番目の実施の形態の場合と同様な部分については、前述した第一番目の実施の形態の説明で用いた符号と同一の符号を用いることにより、前述した第一番目の実施の形態での説明と重複する説明を省略する。
【００６７】
本実施の形態にかかる洗浄装置の洗浄筐４００は、上端が開放の容器型であり、容器本体４０１の周囲側面には洗浄液を流入する流入口４０２を有すると共に、容器底面に洗浄液の流出孔４０３を有するものである。
【００６８】
本実施の形態にかかる洗浄筐４００は網目型とせずに、鋼板製の容器とすると共に、容器本体４０１の上縁近くの周囲に液面に水平なスリット上の洗浄液流入口４０２を設けるので、洗浄における上下の揺動操作の際に洗浄液の流入が容易となる。また、底面に洗浄液の流出孔４０３を有するので、洗浄における上下の揺動操作の際に洗浄液の流出が容易となる。
この結果、第一番目の実施の形態のような網目型の洗浄筐４を用いた場合のような被処理物中に絶縁紙や細かなくずが発生するような場合においても、洗浄能力が低下することがない。
【００６９】
次に、図１２を参照して本実施の形態にかかる洗浄操作について説明する。
先ず、▲１▼容器の揺動装置が下限位置に停止し、容器本体の内部と外部との水位が安定している状態を示す。なお、ここでは揺動装置にかかる保持フレーム３７を図示しているが、その他の図面においてはこれを省略している。
洗浄筐４００の容器本体４０１上部には、洗浄液の流入用の流入口４０２が設けられ、この流入口４０２からはできるだけ洗浄液が勢い良く流れ込むように設計されている。一方、容器本体４０１の底面には、洗浄液の流出用の流出孔４０３が設けれ、この流出孔４０３からはゆっくりと洗浄液が流出するように設計されている。
【００７０】
次に、▲２▼揺動装置を上昇させると、容器本体の外側の水位が下がる。ここで、符号４１０は基準液面を図示する。このとき、容器底面の流出孔４０３から、洗浄液の流出が若干あるもののその量は微小である。従って、揺動装置が上昇限に到達した時には、容器本体の内部と容器本体の外部との水位とには図のような差が発生する。
【００７１】
▲３▼揺動装置を上限の位置で停止させていると、容器本体内部の洗浄液は水位差で底面の流出孔４０３から流出し始める（図中、右半分に示す。）。
【００７２】
▲４▼その後、揺動装置を下降させると、容器本体の外側の水位が上がる（図中、左半分に示す。）。この時、容器底面の流出孔４０３からの洗浄液の流入が若干程度あるもののその量は微小である。従って、揺動装置が下降限に到達した時には、容器本体内部と容器本体外部との水位との間には図示のような差が発生し、容器側面の流入口４０２から洗浄液が流入し始める（図中、右半分に示す。）。
【００７３】
▲５▼次に、揺動装置を停止させると、容器本体外部の洗浄液が水位差で流入口４０２から流入し、しばらくすると容器本体内部と外部との水位が同じとなる。
このとき、容器底面の流出孔４０３からも水圧で流入するが、その大半は側面周囲に設けた流入口４０２あら流入するものである。
【００７４】
このように、本実施の形態にかかる洗浄筐４００に被洗浄部材を入れた状態で上下に揺動させると、容器本体の下降で容器の外側の液面が上昇し、上部付近に設けた流入口４０２から液が容器本体内に流れ込むことになる。次に、容器本体を上昇させると、容器の外側よりも内側の液面が高くなって、容器内部の洗浄液が底面の流出孔４０３から排出される。このような操作を繰り返し行うことで、洗浄液の入れ替わりが確実に行うことができる。これにより効率的な洗浄処理をすることができる。
【００７５】
ここで、本実施の形態の洗浄筐４００において、さらに流出側の流出孔４０３に開放点検が可能なフィルタを設けるようにすれば、洗浄物が持ち込む破砕片の屑や粉状の部材であっても容器本体の外部への流出を防止することができる。
また、フィルタの目詰まりは流出孔からの逆流作用による逆洗が可能となる。また、洗浄槽外においても定期的な点検によりフィルタの手入れが可能となる。
このように、網目型の容器の場合における網目の間から破砕屑のこぼれ落ちが防止される。また、以下のような被洗浄部材が細かく、網目に絡まるような部材の洗浄に用いて好適なものとなる。
【００７６】
本実施の形態の洗浄筐４００で洗浄に適する部材としては、洗浄により屑が出やすい部材、部材の隙間が少ないもの、コンデンサ素子の切れ端等が混在しているもの、トランス鉄心や銅線チップのような破砕片が細かく隙間があるものの流れを阻害するような部材、アルミニウム箔のような洗浄液中で浮遊しているようなものを挙げることができる。
【００７７】
［他の実施の形態］
なお、前述した第一番目の実施の形態では、箱型の洗浄筐４で洗浄する場合の洗浄装置について説明し、第二番目の実施の形態では、円筒型の洗浄筐６で洗浄する場合の洗浄装置について説明したが、例えば、第二番目の実施の形態の洗浄装置に箱型の洗浄筐４を適用することも可能である。
【００７８】
また、例えば、受入エリア１１２の受入室１１２ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１同士を連絡させたユニットフレーム１１０における洗浄装置を同一のものにする一方、受入エリア１１２の受入室１１２ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１と、送出エリア１１４の送出室１１４ａに隣接して洗浄筐４を搬送する移動エリア１１１とを兼ねるように連結された上記フレームユニット１１０における洗浄装置を異なるものにするようにしてフレームシステム１００を構成することも可能である。
【００７９】
また、前述した第一，二番目の実施の形態では、洗浄液５による洗浄を１回行う場合について説明したが、洗浄液５による洗浄を複数回繰り返して行うことも可能である。このとき、洗浄回数に応じて、洗浄液５の種類を変えることも可能である。さらに、洗浄回数ごとに洗浄液５を個別に回収して、洗浄液５の汚れ具合に応じて、洗浄液５を順送りしながら更新することも可能である。
【００８０】
また、前述した第一，二番目の実施の形態では、洗浄槽３４内に洗浄液５を貯溜して被処理物を洗浄するようにしたが、例えば、前記洗浄液給排手段が、洗浄液５を洗浄槽３４の上方から噴射供給して被処理物にふりかけるようにして洗浄することも可能である。
【００８１】
また、洗浄液５中に浸漬する保持フレーム３７のローラコンベア３７ａとして、例えば、図９，１０に示すように、保持フレーム３７の底面に回転可能に設けられた複数の駆動ローラ３７ａａと、これら駆動ローラ３７ａａにそれぞれ同軸をなして一体的に設けられたスプロケット３７ａｂと、これらスプロケット３７ａｂを連絡するように掛け渡されたチェーン３７ａｃと、当該チェーン３７ａｃで連絡されたいずれか一つの駆動ローラ３７ａａの軸心上に一体的に設けられた係合突起３７ａｄと、保持フレーム３７の側壁に回転可能に設けられて洗浄筐４（又は駆動台２００）の移動を案内するガイドローラ３７ａｅとを備えると共に、前述した第二番目の実施の形態の駆動装置２５０と同様な構造をなして洗浄室１１３ａの仕切板３１の壁面等に取り付けられた駆動装置を設けることにより、駆動装置を洗浄液５中に浸漬させることなく洗浄筐４（又は駆動台２００）の移載を行うことが可能となる。
【００８２】
【発明の効果】
第一番目の発明による洗浄装置は、基板と、前記基板上に設けられた洗浄槽と、前記基板に立設された支柱と、前記支柱に摺動移動可能に嵌合して前記洗浄槽室の上部を閉塞する蓋板と、前記蓋板の下面に対して接近離反できるように移動可能に取り付けられて、被処理物が入れられる洗浄筐を着脱可能に保持する保持フレームと、前記蓋板を支柱に沿ってスライド移動させる蓋板駆動手段と、前記保持フレームを蓋板に対して接近離反させるように上下動させる保持フレーム駆動手段とを備えているので、被処理物を有機溶剤からなる洗浄液で安全かつ簡単に洗浄処理することができる。
【００８３】
第二番目の発明による洗浄装置は、第一番目の発明において、前記洗浄筐が円筒型をなすと共に、前記洗浄筐を回転可能に保持し且つ前記保持フレームに着脱可能に保持される駆動台と、前記駆動台と着脱可能に連結できるように前記洗浄槽に取り付けられて、前記洗浄筐を回転させるように前記駆動台を作動させる駆動台駆動手段とを備えているので、被処理物を有機溶剤からなる洗浄液で安全かつ簡単に洗浄処理することができる。
【００８４】
第三番目の発明による洗浄装置は、第一番目の発明において、前記洗浄筐が網目型又は容器型であるので、洗浄を効率的に行うことができる。
【００８５】
第四番目の発明による洗浄装置は、第三番目の発明において、前記洗浄筐が容器型であり、容器側面周囲に洗浄液の流入口を有すると共に、容器底面に洗浄液の流出孔を有するので、網目型のような網目からの被処理物の流出がなく、洗浄を確実に行うことができる。
【００８６】
第五番目の発明による洗浄装置は、第一番目または第四番目の発明において、有機溶剤からなる洗浄液を前記洗浄槽内に給排液する洗浄液給排手段を備えているので、洗浄液の取り扱いを容易に行うことができる。
【００８７】
第六番目の発明による洗浄装置は、第五番目の発明において、前記洗浄液給排手段が、前記洗浄液を前記洗浄槽の上方から噴射供給するので、洗浄効果をさらに高めることができる。
【００８８】
第七番目の発明による洗浄装置は、第一番目から第六番目の発明のいずれか一つにおいて、前記洗浄槽内を真空吸引する真空吸引手段を備えたので、有機溶剤からなる洗浄液で洗浄した被処理物を迅速かつ安全に乾燥させることができる。
【００８９】
第八番目の発明による洗浄装置は、第一番目から第七番目の発明のいずれか一つにおいて、前記蓋板に設けられて前記支柱に対して着脱可能に係合するロック手段を備えているので、洗浄槽内の圧力が急激に増大した場合でも、蓋板の開放をより確実に防止することができる。
【００９０】
第九番目の発明による洗浄システムは、第一番目から第八番目の発明のいずれか一つの洗浄装置を使用する洗浄システムであって、外部と仕切られて前記洗浄筐を受け入れる受入室を有する受入エリアと、前記受入エリアの前記受入室に隣接して外部と仕切られる洗浄室に前記洗浄装置を配設した洗浄エリアと、前記洗浄エリアの前記洗浄室に隣接して外部と仕切られると共に前記洗浄筐を送出する送出室を有する送出エリアと、前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する搬送手段を有する移動エリアと、前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する搬送手段を有する移動エリアとを具備するフレームユニットを備えているので、洗浄を効率よく行うことができる。
【００９１】
第十番目の発明による洗浄システムは、第九番目の発明において、前記フレームユニットが、前記移動エリアと前記受入エリアの前記受入室との間、前記受入エリアの前記受入室と前記洗浄エリアの前記洗浄室との間、前記洗浄エリアの前記洗浄室と前記送出エリアの前記送出室との間及び前記送出エリアの前記送出室と前記移動エリアとの間に開閉可能なシャッタをそれぞれ有しているので、安全性をさらに高めることができる。
【００９２】
第十一番目の発明による洗浄システムは、第九番目または第十番目の発明において、前記移動エリアの前記搬送手段、前記受入エリアの前記受入室、前記洗浄エリアの前記保持フレーム及び前記送出エリアの前記送出室に、前記洗浄筐を移動させる移動手段がそれぞれ設けられているので、各エリア間での移動の容易化を図ることができる。
【００９３】
第十二番目の発明による洗浄システムは、第九番目から第十一番目の発明のいずれか一つにおいて、前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリア同士を連絡させると共に、前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリア同士を連絡させるように、前記フレームユニットが複数配列されているので、洗浄効率をさらに高めることができる。
【００９４】
第十三番目の発明による洗浄システムは、第十二番目の発明において、前記受入エリアの前記受入室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリアと、前記送出エリアの前記送出室に隣接して前記洗浄筐を搬送する前記搬送手段を有する前記移動エリアとを兼ねるように、前記フレームユニットが複数連結されているので、洗浄効率をさらに高めながらもシステム構成にかかるコスト及びスペースを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による洗浄システムの第一番目の実施の形態の全体レイアウトを表す平面図である。
【図２】本発明による洗浄システムの第一番目の実施の形態のレイアウトの一部抽出正面図である。
【図３】本発明による洗浄装置の第一番目の実施の形態の概略構造を表す正面図である。
【図４】図３の一部抽出平面図である。
【図５】本発明による洗浄装置の第一番目の実施の形態の背面図である。
【図６】本発明による洗浄装置の第二番目の実施の形態の概略構造を表す正面図である。
【図７】図６の駆動台の概略構造を表す正面図である。
【図８】図６の駆動装置の概略構成図である。
【図９】保持フレームのローラコンベアの一例の概略構造を表す正面図である。
【図１０】保持フレームのローラコンベアの一例の概略構造を表す平面図である。
【図１１】本発明による洗浄装置の第三番目の実施の形態の洗浄筐の概略図である。
【図１２】本発明による洗浄装置の第三番目の実施の形態の洗浄工程図である。
【図１３】従来の有害物質処理システムの説明図である。
【符号の説明】
１　設置基盤
２　上昇用エレベータ
３　下降用エレベータ
４　洗浄筐（箱型）
５　洗浄液
６　洗浄筐（円筒型）
１１　レール
１２　台車
１３　車輪
１４　ローラコンベア
２１，４１　仕切板
２２，２３，４２，４３　シャッタ
２４，４４　ローラコンベア
３１　仕切板
３２　基板
３３　洗浄容器室
３３ａ　シール材
３４　洗浄槽
３４ａ　防振材
３５　支柱
３５ａ　スリーブ
３６　蓋板
３６ａ　フランジ
３６ｂ　ガイドロッド
３６ｂａ　抜け止め
３７　保持フレーム
３７ａ　ローラコンベア
３７ａａ　駆動ローラ
３７ａｂ　スプロケット
３７ａｃ　チェーン
３７ａｄ　係合突起
３７ａｅ　ガイドローラ
３８，３９　駆動シリンダ
１００　フレームシステム
１１０　フレームユニット
１１１　移動エリア
１１２　受入エリア
１１２ａ　受入室
１１３　洗浄エリア
１１３ａ　洗浄室
１１４　送出エリア
１１４ａ　送出室
２００　駆動台
２０１　基台
２０１ａ　ガイドプレート
２０１ｂ　差込穴
２０２　駆動ローラ
２０２ａ　スプロケット
２０４　駆動用スプロケット
２０５　係合突起
２０６　チェーン
２０７　スプロケット
２３１　支持スタンド
２５０　駆動装置
２５１　支持筒
２５２　支持フランジ
２５３　シール材
２５４　移動筒
２５５　移動筒
２５６　ガイドロッド
２５６ａ　抜け止め
２５７　駆動モータ
２５７ａ　駆動軸
２５７ｂ　ソケット
２５８　駆動シリンダ
２５８ａ　ロッド
２５９ａ　軸受
２５９ｂ　パッキン
４００　洗浄筐（容器型）
４０１　容器本体
４０２　流入口
４０３　流出孔
【図１】
2004089992.tif 000003
【図２】
2004089992.tif 000004
【図３】
2004089992.tif 000005
【図４】
2004089992.tif 000006
【図５】
2004089992.tif 000007
【図６】
2004089992.tif 000008
【図７】
2004089992.tif 000009
【図８】
2004089992.tif 000010
【図９】
2004089992.tif 000011
【図１０】
2004089992.tif 000012
【図１１】
2004089992.tif 000013
【図１２】
2004089992.tif 000014
【図１３】
2004089992.tif 000015