(57)【要約】【課題】タンク着脱作業の負担を軽減することができるタンク収納ユニット、かかるタンク収納ユニットを備える液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。【解決手段】本発明のタンク収納ユニット１３は、本体１３１と、本体１３１に引き出し可能に設置された可動棚１３２、１３３および１３４とを備える。可動棚１３２、１３３および１３４には、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２および第１の排液タンク１８１が着脱可能に設置されている。【選択図】図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、
前記本体に引き出し可能に設置された少なくとも１つの可動棚と、
前記可動棚に着脱可能に設置され、液体を貯留する少なくとも１つのタンクとを備えることを特徴とするタンク収納ユニット。
【請求項２】
前記可動棚が上下方向に複数段に設置されている請求項１に記載のタンク収納ユニット。
【請求項３】
前記タンクに接続された可撓性を有する長尺体を前記可動棚の移動に合わせて支持案内する長尺体支持案内装置をさらに備える請求項１または２に記載のタンク収納ユニット。
【請求項４】
前記可動棚に対し前記長尺体支持案内装置を２個備え、一方の長尺体支持案内装置は、前記液体を通す管体を支持案内し、他方の長尺体支持案内装置は、気体を通す管体および／または電線ケーブルを支持案内する請求項３に記載のタンク収納ユニット。
【請求項５】
前記可動棚に、漏れ出して前記可動棚に溜まった液体を検知する漏液センサが設置されている請求項１ないし４のいずれかに記載のタンク収納ユニット。
【請求項６】
前記可動棚を前記本体に収納された位置で保持する保持手段をさらに備える請求項１ないし５のいずれかに記載のタンク収納ユニット。
【請求項７】
前記保持手段は、ボールキャッチで構成されている請求項６に記載のタンク収納ユニット。
【請求項８】
ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
請求項１ないし７のいずれかに記載のタンク収納ユニットとを備え、
前記タンク収納ユニットのタンクから前記液滴吐出ヘッドに吐出対象液を供給するよう構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を清掃するクリーニングユニットをさらに備え、
前記タンク収納ユニットのタンクから前記クリーニングユニットに洗浄液を供給するよう構成されている請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記液滴吐出ヘッドに接触し得るキャップと、前記キャップでの吸引力を発生する吸引力発生手段とをさらに備え、前記液滴吐出ヘッドに前記キャップを接触させた状態で前記吸引力発生手段を作動し、その吸引力により前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を実行可能であり、
前記キャッピング吸引動作において前記液滴吐出ヘッドから吸引した吐出対象液を前記タンク収納ユニットのタンクに貯留するよう構成されている請求項８または９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記液滴吐出ヘッドが捨て吐出した吐出対象液を受ける液受け部を有するフラッシングユニットおよび／または前記液滴吐出ヘッドのドット抜け検査のために使用するドット抜け検出ユニットをさらに備え、
前記フラッシングユニットおよび／または前記ドット抜け検出ユニットから回収された吐出対象液を前記タンク収納ユニットのタンクに貯留するよう構成されている請求項８ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構とをさらに備える請求項８ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１３】
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成する請求項１２に記載の液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項８ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項８ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項１４に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、タンク収納ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用して、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用する産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている。
【０００３】
産業用の液滴吐出装置では、基板等のワークが大型になるとともに、大量生産を目的とするので、ヘッドから吐出するインク等の吐出対象液の消費量が非常に多くなる。このため、吐出対象液を貯留するタンクも大型のものが用いられるので、タンクに吐出対象液を補充したり、空になったタンクを一杯に入ったタンクに交換したりする際のタンクの着脱作業が重労働となる。
【０００４】
タンクの着脱作業の負担を軽減するため、例えば特許文献１に記載の液滴吐出装置では、メインタンク１２１を収納する第二筐体１１１にキャスター１１１ａ〜ｄを設けている。
しかしながら、特許文献１に記載された構成では、第二筐体１１１を収納する第一筐体１０１からメインタンク１２１を取り外したり載せたりする作業にはキャスター１１１ａ〜ｄは役に立たず、作業の負担を軽減することはできなかった。また、第二筐体１１１が第一筐体１０１内で常に動き易いので、メインタンク１２１が第一筐体１０１から落下する危険があるなど、メインタンク１２１を安定的に設置することができないという問題もあった（ここでの名称および符号は、特許文献１でのもの）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−１５０７３２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、タンク着脱作業の負担を軽減することができるタンク収納ユニット、かかるタンク収納ユニットを備える液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のタンク収納ユニットは、本体と、
前記本体に引き出し可能に設置された少なくとも１つの可動棚と、
前記可動棚に着脱可能に設置され、液体を貯留する少なくとも１つのタンクとを備えることを特徴とする。
【０００８】
これにより、タンクが比較的大型のものである場合であっても、タンクを着脱する作業の負担が少なく、タンク着脱作業を迅速かつ安全に行うことができるタンク収納ユニットを提供することができる。
【０００９】
本発明のタンク収納ユニットは、前記可動棚が上下方向に複数段に設置されていることが好ましい。
これにより、タンクを複数段に重ねて収納することができるので、スペース効率が向上し、小さい占有面積で大きな収容能力が得られる。
本発明のタンク収納ユニットは、前記タンクに接続された可撓性を有する長尺体を前記可動棚の移動に合わせて支持案内する長尺体支持案内装置をさらに備えることが好ましい。
これにより、長尺体が何かに引っ掛かったりすることがないので、可動棚が円滑かつ確実に移動することができる。また、これらの長尺体が損傷するようなことを確実に防止することができ、長尺体を保護することができる。
【００１０】
本発明のタンク収納ユニットは、前記可動棚に対し前記長尺体支持案内装置を２個備え、一方の長尺体支持案内装置は、前記液体を通す管体を支持案内し、他方の長尺体支持案内装置は、気体を通す管体および／または電線ケーブルを支持案内することが好ましい。
これにより、液体を通す管体に万一亀裂等を生じて液体が漏れ出した場合であっても、気体を通す管体や電線ケーブルを侵食したりするのを防止することができ、被害を少なくすることができる。
【００１１】
本発明のタンク収納ユニットは、前記可動棚に、漏れ出して前記可動棚に溜まった液体を検知する漏液センサが設置されていることが好ましい。
これにより、何らかのトラブル（例えばタンクに接続された液体を通す配管の亀裂、バルブ閉め忘れ、継ぎ手接続不良等）によって液体が漏れ出して可動棚内に溜まったとき、これを検知することができるので、このトラブルに迅速に対処することができ、被害の拡大を防止することができる。
【００１２】
本発明のタンク収納ユニットは、前記可動棚を前記本体に収納された位置で保持する保持手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、本体に収納された状態にある可動棚が外部からの振動等によってひとりでに本体から出てきてしまうようなことを確実に防止することができ、安全性の向上が図れる。
【００１３】
本発明のタンク収納ユニットでは、前記保持手段は、ボールキャッチで構成されていることが好ましい。
これにより、簡単な構造で可動棚を本体に収納された位置で保持することができるとともに、その保持力を可動棚を引っ張るだけで解除することができるので、操作性にも優れる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
本発明のタンク収納ユニットとを備え、
前記タンク収納ユニットのタンクから前記液滴吐出ヘッドに吐出対象液を供給するよう構成されていることを特徴とする。
これにより、吐出対象液をタンクに補充する作業を容易、迅速、円滑かつ安全に行うことができ、その作業の負担が少ない液滴吐出装置を提供することができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を清掃するクリーニングユニットをさらに備え、
前記タンク収納ユニットのタンクから前記クリーニングユニットに洗浄液を供給するよう構成されていることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドを清掃するクリーニングユニットで使用される洗浄液をタンクに補充する作業を容易、迅速、円滑かつ安全に行うことができ、その作業の負担を軽減することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドに接触し得るキャップと、前記キャップでの吸引力を発生する吸引力発生手段とをさらに備え、前記液滴吐出ヘッドに前記キャップを接触させた状態で前記吸引力発生手段を作動し、その吸引力により前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引するキャッピング吸引動作を実行可能であり、
前記キャッピング吸引動作において前記液滴吐出ヘッドから吸引した吐出対象液を前記タンク収納ユニットのタンクに貯留するよう構成されていることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドに対するキャッピング吸引動作において吸引されて回収された吐出対象液を貯留したタンクの着脱作業を容易、迅速、円滑かつ安全に行うことができ、その作業の負担を軽減することができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドが捨て吐出した吐出対象液を受ける液受け部を有するフラッシングユニットおよび／または前記液滴吐出ヘッドのドット抜け検査のために使用するドット抜け検出ユニットをさらに備え、
前記フラッシングユニットおよび／または前記ドット抜け検出ユニットから回収された吐出対象液を前記タンク収納ユニットのタンクに貯留するよう構成されていることが好ましい。
これにより、フラッシングユニットおよび／またはドット抜け検出ユニットから回収された吐出対象液を貯留したタンクの着脱作業を容易、迅速、円滑かつ安全に行うことができ、その作業の負担を軽減することができる。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構とをさらに備えることが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、前記ワーク載置部と前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
【００２０】
本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電気光学装置を提供することができる。
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、ワークに対するパターンの形成（描画）を高い精度で行うことができるとともに、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電子機器を提供することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のタンク収納ユニットおよび液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明のタンク収納ユニットを備えた液滴吐出装置の実施形態を示す平面図および側面図、図９および図１４は、それぞれ、本発明のタンク収納ユニットの実施形態を示す斜視図、図１５は、図１４に示す状態におけるタンク収納ユニットを１段目の可動棚と２段目の可動棚との間で切断して見た断面平面図、図１６は、ボールキャッチを示す斜視図である。
【００２２】
なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００２３】
図１および図２に示す液滴吐出システム（液滴吐出系）１０は、液滴吐出ヘッド１１１を有する液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１と、この液滴吐出装置１を収容するチャンバ（チャンバルーム）９１とを備えている。
液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出対象液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出して所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができるものである。液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。
【００２４】
また、本発明で対象とするワークは、板状の部材に限らず、底面が平らな部材であればいかなるものでもよい。例えば、本発明は、レンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００２５】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、ワーク載置部としての基板搬送テーブル（基板搬送ステージ）３と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、装置本体２の側方に設置された付帯装置（メンテナンス装置）１２と、タンク収納ユニット１３と、基板Ｗにガスを吹き付けるブロー装置１４と、基板搬送テーブル３の移動距離を測定するレーザー測長器１５と、ドット抜け検出ユニット１９とを備えている。
【００２６】
液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２７】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤（定盤）２２とを有している。石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板搬送テーブル３は、リニアモータ５１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板搬送テーブル３上に載置される。
【００２８】
液滴吐出装置１では、基板搬送テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板搬送テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板搬送テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板搬送テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２９】
図１に示すように、基板搬送テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出（捨て打ち、予備吐出またはフラッシングとも呼ばれる）された液滴を受ける描画前フラッシングユニット１０４が設置されている。描画前フラッシングユニット１０４には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出対象液は、この吸引チューブを通り、後述する排液装置１８により回収・貯留される。
【００３０】
基板搬送テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２側に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、ミラー１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板搬送テーブル３側に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、ミラー１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、ミラー１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板搬送テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００３１】
装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ６１が、基板搬送テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータとガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ６２の駆動により、メインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００３２】
本実施形態の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１のいわゆる主走査は、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動しつつ、レーザー測長器１５を用いて生成した吐出タイミングに基づいて、液滴吐出ヘッド１１１の駆動（液滴の選択的吐出）を行う。また、これに対応して、いわゆる副走査は、ヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）のＸ軸方向への移動により行われる。
【００３３】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を半乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板搬送テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００３４】
装置本体２および付帯装置１２の近傍には、タンク収納ユニット１３が設置されている。図９に示すように、タンク収納ユニット１３は、第１の一次タンク（吐出対象液タンク）４０１と、第２の一次タンク（吐出対象液タンク）４０２と、第１の洗浄液タンク５０１と、第２の洗浄液タンク５０２と、第１の再利用タンク１７１と、第２の再利用タンク１７２と、第１の排液タンク１８１と、第２の排液タンク１８２とを有している（第２の排液タンク１８２は、図示を省略）。
【００３５】
第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２は、液滴吐出ヘッド１１１に供給する吐出対象液を貯留する。第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２は、後述するクリーニングユニット８１に供給する洗浄液を貯留する。第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２は、後述するキャッピングユニット８３から回収された吐出対象液を貯留する。第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、描画前フラッシングユニット１０４、後述する定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より吐出された吐出対象液を貯留する。
【００３６】
これら各タンクの容量は、特に限定されないが、タンク着脱作業のさらなる容易化と、全体としての容量確保との両立を考慮する観点から、１〜１０リットル程度であるのが好ましく、３〜５リットル程度であるのがより好ましい。また、本実施形態のタンク収納ユニット１３は、上述したように、同種のタンクを２個ずつ備えているが、各タンクの設置個数は、１個ずつでも３個以上ずつでもよい。
【００３７】
図１４に示すように、タンク収納ユニット１３は、骨格を構成する本体（ラック）１３１と、該本体１３１に引き出し可能に設置された３つの可動棚（タンク載置部）１３２、１３３および１３４とを有しており、上述した各タンクは、それぞれ、この可動棚１３２、１３３または１３４に設置されている。本実施形態では、可動棚１３２、１３３および１３４は、下から上に向かってこの順で上下方向に３段に重ねて設置されている。これにより、タンク収納ユニット１３は、少ない設置スペースで大きな収容能力が得られる。なお、図９中では、見易くするため、可動棚１３２および１３３を仮想線で示す。
【００３８】
図示の構成では、可動棚１３２には、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、第１の排液タンク１８１および第２の洗浄液タンク５０２が設置されており、可動棚１３３には、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２および第１の洗浄液タンク５０１が設置されている。また、可動棚１３４には、図示の構成ではタンクが設置されていないが、同様にタンクを設置することができる。
【００３９】
図１５に示すように、これらの各タンクは、それぞれ、その下端部にフランジ７１０を有し、フランジ７１０には、複数の孔７１１が形成されている。そして、各タンクは、各孔７１１に可動棚の底板から突出形成されたボルト（またはピン）７１２が挿入し、このボルト７１２にナットを螺合・締結してフランジ７１０を固定することにより、可動棚に着脱可能に固定されている。
【００４０】
これにより、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２、第１の洗浄液タンク５０１、第２の洗浄液タンク５０２は、それぞれ、空になったときには、可動棚から取り外して、中味の液体を補充したり、一杯になっている同様のタンクと交換したりすることができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２は、それぞれ、回収した液体が一杯になったときには、可動棚から取り外して、中味の液体を抜き取ったり、同様の空のタンクと交換したりすることができる。
各タンクは、図示の構成では、ほぼ円筒状（円柱状）の形状をなしているが、他のいかなる形状であってもよい。また、各タンクには、それぞれ、取っ手７１３が設置されており、タンクを着脱する際にこの取っ手７１３を掴んでタンクを持ち上げることができるようになっている。
【００４１】
可動棚１３２、１３３および１３４は、その構造および周辺の構成等が互いに同様であるので、以下では、代表して可動棚１３２について説明するが、可動棚１３３および１３４についても同様である。
可動棚１３２は、底板と周壁部とを備えることにより、浅い凹部を有する形状をなしている。これにより、各タンクに接続された液体の配管や継ぎ手などから液体が万一漏れ出した場合や、タンク着脱作業時に液体をこぼしたりした場合、その液体を可動棚１３２の内部に溜めることができ、他の部分に液体が広がるのを防止することができる。
【００４２】
可動棚１３２は、次のような構造により、本体１３１に収納された位置（図９に示す位置）と、本体１３１から手前側に引き出された位置（図１４に示す位置）との間で円滑に移動可能に設置されている。図１４に示すように、可動棚１３２の両方の側部には、引き出し方向に沿って延びるスライドレール１３５が設けられており、各スライドレール１３５には、棒状の中間支持部材１３６が引き出し方向に円滑に移動可能に設置されている。そして、各中間支持部材１３６は、本体１３１の両方の側部付近にそれぞれ設置された各スライドレール１３７により引き出し方向に円滑に移動可能に支持されている。なお、スライドレール１３５と中間支持部材１３６とスライドレール１３７とで、いわゆる３段引のスライドレールが構成される。
【００４３】
このような構成により、可動棚１３２に設置されたタンクを着脱する際には、図１４に示すように、可動棚１３２を本体１３１から手前側に引き出して行うことができる。これにより、タンク着脱を行う作業者は、タンクを自分の方に引き寄せて近い位置で作業を行うことができ、また、本体１３１や可動棚１３２より上の段の可動棚が作業の邪魔になることがないので、タンク着脱作業を容易、円滑、迅速に行うことができる。
このように、本発明の液滴吐出装置１では、タンク着脱作業の負担が少なく、また、タンク着脱作業を迅速かつ安全に行うことができるので、作業者（オペレーター）の人員を削減することができ、ひいては、基板Ｗの製造コストの低減に寄与する。
【００４４】
また、本実施形態のタンク収納ユニット１３では、中間支持部材１３６を有する３段引のスライドレールを採用したことにより、可動棚１３２を引き出したとき、そのほぼ全体を本体１３１の手前側に突出させることができるよう構成されている。これにより、タンク着脱作業をさらに容易に行うことができる。
また、可動棚１３２の前面には、取っ手１３８が設けられており、この取っ手１３８を掴んで可動棚１３２を引き出すことができる。
【００４５】
このようなタンク収納ユニット１３は、可動棚１３２を本体１３１に収納された位置で保持する保持手段として、ボールキャッチ３０を有している。図１６に示すように、ボールキャッチ３０は、捕捉部材３０１と、被捕捉部材３０２とで構成されている。捕捉部材３０１には、一対のボール支持部３０３が形成され、各ボール支持部３０３は、それぞれ、ボール３０４を支持している。両ボール３０４は、対向するように配置されるとともに、各ボール支持部３０３に内蔵されたバネ（図示せず）により、互いに近づく方向に付勢されている。被捕捉部材３０２には、両ボール３０４の間に挿入し得る突出部３０５が形成されている。突出部３０５は、その先端部の幅が中間部より広くなっており、両ボール３０４を一旦押し広げるようにして両ボール３０４の間に挿入するので、突出部３０５が両ボール３０４の間に挿入すると、両ボール３０４を付勢する前記バネの力により、捕捉部材３０１が被捕捉部材３０２をある程度の保持力で保持する。
【００４６】
図１５に示すように、本体１３１には、このようなボールキャッチ３０の捕捉部材３０１が設置されており、可動棚１３２の後部には、被捕捉部材３０２が設置されている。そして、可動棚１３２を本体１３１に収納した位置で、両ボール３０４の間に突出部３０５が挿入するよう構成されている。このような構成により、可動棚１３２は、本体１３１に収納された位置でボールキャッチ３０の保持力により保持されるので、外部からの振動等によって可動棚１３２がひとりでに本体１３１から出てきてしまうようなことを確実に防止することができ、安全性の向上が図れる。
【００４７】
また、可動棚１３２を引き出す際には、ある程度以上の力で引っ張ればボールキャッチ３０による保持が解除されるので、可動棚１３２を容易に引き出すことができる。
なお、このような保持手段としては、上述したボールキャッチ３０に限らず、いかなるものでもよい。また、この保持手段は、可動棚１３２を本体１３１に収納した位置でロック（固定）し、取っ手１３８を操作するとそのロックが解除されるよう構成されているようなものでもよい。
【００４８】
図１５に示すように、可動棚１３２には、可動棚１３２内に溜まった液体の存在を検出し得る漏液センサ１３９が設置されている。これにより、何らかのトラブル（例えばタンクに接続された液体を通す配管の亀裂、バルブ閉め忘れ、継ぎ手接続不良等）によって液体が漏れ出して可動棚１３２内に溜まったとき、これを検知することができるので、このトラブルに迅速に対処することができ、被害の拡大を防止することができる。
【００４９】
漏液センサ１３９の検出信号は、後述する制御装置１６に入力される。制御装置１６は、漏液センサ１３９が液体を検知したときには、その旨を報知し、オペレーターに対処を促す。この報知の方法としては、操作パネル１００に文字または図形などを表示したり、音または音声を出したりする方法が挙げられる。
なお、図示の構成では、可動棚１３２には漏液センサ１３９が１個設置されているが、漏液センサ１３９を２個以上設置してもよく、特に、可動棚１３２の対角の付近にそれぞれ漏液センサ１３９を設置することが好ましい。これにより、可動棚１３２が傾いている状態でも液体の漏れ出しをより迅速に検知することができる。
【００５０】
図１４に示すように、本体１３１と、可動棚１３２との間には、可動棚１３２に設置されたタンクに接続された可撓性を有する長尺体（例えば管体（チューブ）やケーブル類）を可動棚１３２の移動に合わせて支持案内する長尺体支持案内装置としてのケーブルベア１４０および１４１が設置されている。
ケーブルベア１４０、１４１は、それぞれ、多数の単位ユニットが互いに回動可能に連結された細長いケーシングであり、その内部に、タンクに接続された可撓性を有する長尺体を収納している。そして、ケーブルベア１４０、１４１は、Ｕ字状の姿勢となってタンク収納ユニット１３に設置されており、その一端が本体１３１側に固定され、他端が可動棚１３２側に固定されている。
【００５１】
このようなケーブルベア１４０、１４１を設けたことにより、可動棚１３２を引き出す際に、タンクに接続されたチューブやケーブル等の長尺体が何かに引っ掛かったりすることがないので、可動棚１３２が円滑かつ確実に移動することができる。また、これらの長尺体が損傷するようなことを確実に防止することができ、長尺体を保護することができる。
【００５２】
また、本実施形態では、ケーブルベア１４０と、ケーブルベア１４１とで、収納して支持案内する長尺体の種類が分けられている。すなわち、一方のケーブルベア１４１は、液体を通す配管（管体）を支持案内しており、他方のケーブルベア１４０は、気体を通す配管（管体）および電線ケーブルを支持案内している。これにより、ケーブルベア１４１に収納された配管に万一亀裂等を生じて液体（吐出対象液や洗浄液）が漏れ出した場合であっても、気体を通す配管および電線ケーブルを侵食したりするのを防止することができ、被害を少なくすることができる。
【００５３】
具体的には、ケーブルベア１４１には、第１の再利用タンク１７１に接続された流入配管１７３と、第２の再利用タンク１７２に接続された流入配管１７４と、第１の排液タンク１８１に接続された流入配管１８３と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された流出配管５０４とが収納されており、ケーブルベア１４０には、第２の洗浄液タンク５０２に接続された加圧配管５０８と、漏液センサ１３９等の電装部品に接続された電線ケーブルとが収納されている（図１２参照）。
【００５４】
図１に示すように、ドット抜け検出ユニット１９は、石定盤２２上における基板搬送テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所に固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズルの目詰まりが原因となって生じるドット抜けの有無を検査（検出）するドット抜け検査（吐出確認検査）を行うものである。ドット抜け検出ユニット１９は、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部と、ドット抜け検査用液受け部とを備えている。
【００５５】
ドット抜け検査を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから液滴を吐出する。ドット抜け検出ユニット１９は、この吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしている吐出ノズルの有無および個所を光学的に検出する。このドット抜け検査の際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された液体（液滴）は、ドット抜け検査用液受け部で受けられる。
【００５６】
ドット抜け検査用液受け部の底部には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、ドット抜け検査用液受け部が受けた液体は、この吸引チューブを通って後述する排液装置１８により回収され、前記第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２内に貯留される。
なお、ドット抜け検出ユニット１９を用いたドット抜け検査は、具体的には例えば特開２００２−１９２７４０号公報に記載された方法によって行うことができるが、これに限定されず、いかなる方法で行うものでもよい。
【００５７】
図１に示すように、液滴吐出装置１の近傍には、制御装置（制御手段）１６が設けられている。制御装置１６は、液滴吐出装置１の各部の作動を制御するものであり、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部とを有している。図示の構成では、制御装置１６は、後述するチャンバ９１の外部に設置されている。
制御装置１６の近傍には、操作パネル（入力手段）１００が設置されている。液滴吐出装置１のオペレーター（操作者）は、この操作パネル１００を操作して、実行させる動作を選択したり、各種条件等のデータの入力を行ったりする。
【００５８】
このような液滴吐出装置１は、好ましくは、チャンバ装置９により、雰囲気の温度および湿度が管理された環境下で基板Ｗに対する液滴の吐出（描画）を行う。チャンバ装置９は、液滴吐出装置１を収容（収納）するチャンバ９１と、チャンバ９１の外部に設置された空調装置９２とを有している。空調装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、空気の温度および湿度を調節（調整）して、この空気を導入ダクト９３を介してチャンバ９１の天井裏９１１に送り込む。空調装置９２から天井裏９１１に送り込まれた空気は、天井に設置されたフィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。
【００５９】
チャンバ９１内には、主室９１３のほかに、隔壁９１４、９１５により副室９１６が設けられており、タンク収納ユニット１３は、この副室９１６内に設置されている。隔壁９１４には、主室９１３と副室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。
副室９１６には、チャンバ９１の外部に対する扉（開閉部）９１８が設けられている（図１参照）。なお、副室９１６の開閉部は、扉９１８のような開き戸に限らず、引き戸、シャッターなどでもよい。
また、副室９１６には、副室９１６内の気体を排出する排気口が形成され、この排気口には、外部へ伸びる排気ダクト９４が接続されている。主室９１３内の空気は、連通部９１７を通過して副室９１６に流入した後、排気ダクト９４を通過してチャンバ装置９の外部に排出される。
【００６０】
このようなチャンバ装置９によって液滴吐出装置１の周囲の温度および湿度が管理されることにより、温度変化による基板Ｗや装置各部の膨張・収縮が原因となって誤差が生じるのを防止することができ、基板Ｗ上に液滴によって描画（形成）されるパターンの精度をより高くすることができる。また、タンク収納ユニット１３も温度および湿度が管理された環境に置かれるので、吐出対象液の粘度等の特性も安定し、液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することができ、基板Ｗを清浄に維持することができる。
なお、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を空調して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
【００６１】
また、このような液滴吐出システム１０では、扉９１８を開くことにより、主室９１３を外部に開放することなく、タンク収納ユニット１３にアクセスすることができる。これにより、タンク収納ユニット１３へのアクセス時に液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、タンクの交換、液体の補充または回収を行った直後でも、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、タンクの交換、液体の補充または回収を行った後でも、主室９１３内の温度や液滴吐出装置１の各部の温度が管理された値に戻るのを待たずに済むので、スループット（生産能率）の向上が図れる。このようなことから、基板Ｗ等のワークを高い精度で量産するのに極めて有利であり、製造コスト低減が図れる。
【００６２】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図である。
図３および図４に示すように、石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３と、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５とが設置されている。図３に示すように、基板搬送テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００６３】
図４に示すように、Ｙ軸方向移動機構５は、リニアモータ５１と、エアスライダ５２とを有している。エアスライダ５２は、石定盤２２上でＹ軸方向に沿って延在するスライドガイド５２１と、このスライドガイド５２１に沿って移動するスライドブロック５２２とを有している。スライドブロック５２２は、スライドガイド５２１との間に空気を吹き出す吹き出し口を有しており、この吹き出し口から吹き出す空気をスライドガイド５２１との間に介在させることにより、円滑に移動可能になっている。
【００６４】
スライドブロック５２２上には、ベース１０８が固定され、このベース１０８の上に、基板搬送テーブル３がθ軸回転機構１０５を介して固定されている。このようにして、基板搬送テーブル３は、エアスライダ５２によってＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ５１の駆動によりＹ軸方向に移動するようになっている。また、基板搬送テーブル３は、θ軸回転機構１０５により、基板搬送テーブル３の中心を通る鉛直なθ軸を回転中心として所定範囲で回動可能になっている。
【００６５】
Ｙ軸方向移動機構５の上方には、例えばステンレス鋼等の金属材料で構成された一対の帯状の薄板１０１がＹ軸方向移動機構５を上側から覆うように張り渡されている。薄板１０１は、ベース１０８の上面に形成された凹部（溝）内を通ってベース１０８とθ軸回転機構１０５との間を挿通している。この薄板１０１が設けられていることにより、液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出対象液がＹ軸方向移動機構５に付着するのを防止することができ、Ｙ軸方向移動機構５を保護することができる。
【００６６】
石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２は、環境温度変化に対する安定性、振動に対する減衰性、経年変化（劣化）に対する安定性、吐出対象液に対する耐食性等の各種の特性に優れている。本実施形態では、このような石定盤２２によって基板搬送テーブル３、Ｙ軸方向移動機構５および後述するＸ軸方向移動機構６を支持したことにより、環境温度変化、振動、経年変化（劣化）等の影響による誤差が少なく、基板搬送テーブル３とヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）との相対的な移動に高い精度が得られるとともに、その高い精度を常に安定して維持することができる。その結果、液滴によるパターンの形成（描画）をより高い精度で、かつ常に安定して行うことができる。
石定盤２２を構成する石材は、特に限定されないが、ベルファストブラック、ラステンバーグ、クルヌールおよびインディアンブラックのいずれかであるのが好ましい。これにより、石定盤２２の上記の各特性をより優れたものとすることができる。
【００６７】
このような石定盤２２は、架台２１に支持されている。架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。架台２１は、好ましくは空気バネまたはゴムブッシュ等による防振構造を有しており、床からの振動を石定盤２２に極力伝達しないように構成されている。
また、石定盤２２は、好ましくは架台２１と非締結状態（非固定状態）で架台２１に支持（載置）されている。これにより、架台２１に生じる熱膨張等が石定盤２２に影響するのを回避することができ、その結果、液滴によるパターンの形成（描画）をさらに高い精度で行うことができる。
【００６８】
また、本実施形態では、石定盤２２は、平面視で、Ｙ軸方向に長い長方形をなすＹ軸方向移動機構支持部２２１と、このＹ軸方向移動機構支持部２２１の長手方向の途中の部分からＸ軸方向に両側にそれぞれ突出する支柱支持部２２２および２２３とで構成されており、その結果、石定盤２２の形状は、平面視で十字状をなしている。換言すれば、石定盤２２は、平面視で、長方形から４つの隅部付近を除去したような形状をなしている。支柱支持部２２２および２２３上には、後述する４本の支柱２３が設置される。すなわち、石定盤２２は、平面視で、長方形から、Ｙ軸方向移動機構５および支柱２３を設置しない部分を除去したような形状をなすものとなっている。
【００６９】
これにより、石定盤２２の重量を軽減することができ、また、石定盤２２が占める領域を少なくできるので、液滴吐出装置１の据え付け場所への輸送が容易になるとともに、工場の据え付け場所の床の耐荷重も小さくて済み、また、工場内での液滴吐出システム１０の占有面積を小さくすることができる。なお、このような本実施形態における石定盤２２は、１個の石材で構成されていても、複数個の石材を組み合わせて構成されていてもよい。
【００７０】
図５は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図、図７は、図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図である。
図６および図７に示すように、石定盤２２（支柱支持部２２２および２２３）の上には、Ｙ軸方向移動機構５を挟んで２本ずつ対峙する計４本の支柱２３と、これらの支柱２３に支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とが設置されている。基板搬送テーブル３は、この桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００７１】
液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６は、桁２４および２５を介して、４本の支柱２３に支持されている。図５に示すように、Ｘ軸方向移動機構６は、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ（ヘッドユニット支持体）６１と、桁２４上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するとともに駆動するリニアモータアクチュエータ６２と、桁２５上に設置され、メインキャリッジ６１をＸ軸方向に案内するガイド６３とを有している。メインキャリッジ６１は、リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間に架け渡されるようにして設置されている。
なお、本実施形態では、Ｙ軸方向移動機構５とＸ軸方向移動機構６とで、基板搬送テーブル３と液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）とを相対的に移動させる相対移動機構が構成される。
【００７２】
ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対し着脱可能に支持されている。ヘッドユニット１１がメインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１１１の副走査が行われる。また、ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対するヘッドユニット１１の高さを調整するヘッドユニット高さ調整機構２０を介してメインキャリッジ６１に支持されている。これにより、基板Ｗの厚さに合わせて、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面と基板Ｗとの隙間を調整することができる。
【００７３】
図５および図７に示すように、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３は、支柱２３を超えてさらに外側に延長して設けられている。これにより、ヘッドユニット１１は、後述する付帯装置１２の上方にまで移動することができるようになっている。
リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間には、さらに、カメラキャリッジ１０６が架け渡されるようにして設置されている。カメラキャリッジ１０６は、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３をメインキャリッジ６１と共用するとともに、メインキャリッジ６１と独立してＸ軸方向に移動する。
カメラキャリッジ１０６には、基板Ｗの所定の個所に設けられたアライメントマークを画像認識するための認識カメラ１０７が設置されている。認識カメラ１０７は、カメラキャリッジ１０６から下方に吊り下げられた状態で支持されている。なお、認識カメラ１０７は、他の用途に用いてもよい。
【００７４】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるパターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図である。図８に示すように、ヘッドユニット１１には、液滴吐出ヘッド１１１が複数個（本実施形態では１２個）設置されている。各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴を吐出する多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。ヘッドユニット１１において、１２個の液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並んで配置されるとともに、各液滴吐出ヘッド１１１は、そのノズル列が副走査方向に対し傾斜した姿勢になっている。
【００７５】
液滴吐出ヘッド１１１には、各吐出ノズルに対し、それぞれ、駆動素子としての図示しない圧電素子（ピエゾ素子）を有する駆動部が設けられている。前記制御装置１６は、各液滴吐出ヘッド１１１に対し、それぞれ、図示しないドライバを介して前記各駆動部の駆動を制御する。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１は、所定の液滴吐出ヘッド１１１の所定の吐出ノズルからそれぞれ液滴を吐出する。この場合、例えば、圧電素子に所定の電圧が印加されると、その圧電素子が変形（伸縮）し、これにより対応する圧力室（液室）内が加圧され、対応する吐出ノズル（当該圧力室に連通する吐出ノズル）から所定量の液滴が吐出される。
【００７６】
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１１は、上記のような構成に限らず、例えば、吐出対象液を駆動素子としてのヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたようなものであってもよい。
また、ヘッドユニット１１における各液滴吐出ヘッド１１１の上述した配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００７７】
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出ヘッド１１１で構成してもよい。また、メインキャリッジ６１に複数のヘッドユニット１１が設置されていてもよい。
【００７８】
次に、制御装置１６の制御による液滴吐出装置１の全体の作動について簡単に説明する。基板搬送テーブル３上に基板Ｗが給材され、液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）の作動により基板搬送テーブル３上で所定の位置に位置決め（プリアライメント）されると、基板搬送テーブル３の各吸引口３３２からのエアー吸引により、基板Ｗは、基板搬送テーブル３に吸着・固定される。次いで、基板搬送テーブル３およびカメラキャリッジ１０６がそれぞれ移動することにより、認識カメラ１０７が基板Ｗの所定の個所（１箇所または複数箇所）に設けられたアライメントマークの上方に移動し、このアライメントマークを認識する。この認識結果に基づいて、θ軸回転機構１０５が作動して基板Ｗのθ軸回りの角度が補正されるとともに、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われる（本アライメント）。
以上のような基板Ｗのアライメント作業が完了すると、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する動作を開始する。この動作は、液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）を基板Ｗに対し主走査および副走査することにより行われる。
【００７９】
本実施形態の液滴吐出装置１では、主走査は、ヘッドユニット１１を装置本体２に対し停止した（移動しない）状態で、基板搬送テーブル３の移動により基板ＷをＹ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対し各液滴吐出ヘッド１１１から液滴を吐出することにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸方向が主走査方向となる。
【００８０】
この主走査は、基板搬送テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板搬送テーブル３を複数回往復させて、複数回繰り返し行ってもよい。このような主走査により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って延びる領域に、液滴の吐出が終了する。
【００８１】
このような主走査の後、副走査を行う。副走査は、液滴の非吐出時に、メインキャリッジ６１の移動により、ヘッドユニット１１を前記所定の幅の分だけＸ軸方向に移動させることにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸方向が副走査方向となる。
このような副走査の後、前記と同様の主走査を行う。これにより、前回の主走査で液滴が吐出された領域に隣接する領域に対し、液滴が吐出される。
このようにして、主走査と副走査とを交互に繰り返し行うことにより、基板Ｗの全領域に対して液滴が吐出され、基板Ｗ上に、吐出された液滴（液体）による所定のパターンを形成（描画）することができる。
【００８２】
なお、本発明では、主走査方向と副走査方向とは、上述したのと逆になっていてもよい。すなわち、基板Ｗ（基板搬送テーブル３）を停止させた状態で液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させながら基板Ｗに対して液滴を吐出することによって主走査を行い、液滴の非吐出時に基板Ｗ（基板搬送テーブル３）をＹ軸方向に移動させることによって副走査を行うように構成されていてもよい。
【００８３】
図１０および図１１は、それぞれ、図１および図２に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図および側面図である。以下、これらの図に基づいて、液滴吐出装置１の付帯装置１２について説明する。
ヘッドユニット１１は、例えば基板Ｗの給材時および除材時などには、付帯装置１２の上方の位置で待機する。そして、この待機中には、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃（クリーニング）やキャッピングを行ったり、定期的な捨て吐出（定期フラッシング）を行ったりする。
【００８４】
付帯装置１２は、装置本体２の架台２１および石定盤２２の側方（装置本体２に対しＸ軸方向前方側）に設置されている。図１０に示すように、この付帯装置１２は、床上に設置された付属台８５と、付属台８５上でＹ軸方向に移動可能な移動台８６と、クリーニングユニット（液滴吐出ヘッド清掃装置）８１と、定期フラッシングユニット８２と、キャッピングユニット８３と、吐出量測定用ユニット（重量測定用ユニット）８４とを有している。
【００８５】
クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４（以下、総称して「四種の液滴吐出ヘッド保守ユニット」とも言う）は、それぞれ、液滴吐出ヘッド１１１の機能維持、機能回復、調整または検査のために使用される液滴吐出ヘッド保守ユニットの一種である。本実施形態では、これらの互いに種類の異なる４つの液滴吐出ヘッド保守ユニットが、保守ユニット設置部（保守ユニット設置領域）としての移動台８６上にまとめて（ひとまとまりに）配置されている。なお、各液滴吐出ヘッド保守ユニットについては、後に説明する。
【００８６】
付帯装置１２の付属台８５は、Ｙ軸方向に長い形状をなしており、その上部（上面）には、保守ユニット移動機構８５４が設置されている。保守ユニット移動機構８５４は、移動台８６をＹ軸方向に案内する一対のガイド（レール）８５１と、ボールねじ８５２と、このボールねじ８５２を回転駆動するモータ８５３とを有しており、移動台８６をＹ軸方向に移動（前進・後退）させることができる。
【００８７】
図１１に示すように、移動台８６は、上段８６１と、下段８６２と、ボールねじを用いた昇降機構（高さ調整機構）８６３と、昇降ハンドル８６４とを有している。上段８６１は、下段８６２に対し昇降機構８６３により昇降可能になっており、昇降ハンドル８６４を回して昇降機構８６３を作動させることにより、上段８６１の高さを調整可能になっている。なお、昇降機構８６３は、上記のように手動で作動させる構成に限らず、モータ等の駆動源を設けて自動で作動するように構成してもよい。
【００８８】
移動台８６の上段８６１上には、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４が、Ｙ軸方向に沿って一列に並んで設置されている。よって、移動台８６がＹ軸方向に移動することにより、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に位置したとき、これら四種の液滴吐出ヘッド保守ユニットのいずれかをヘッドユニット１１の下方に選択的に位置決めでき、その選択した液滴吐出ヘッド保守ユニットによる保守を行うことができるようになっている。
【００８９】
本実施形態では、ヘッドユニット高さ調整機構２０によって基板Ｗの厚さに応じて液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）の高さが変更された場合、昇降機構８６３によって上段８６１上に設置された各液滴吐出ヘッド保守ユニットの高さをこれに合わせて調整することができ、製造する基板Ｗの厚さの変更に伴う液滴吐出ヘッド１１１の高さの変更に容易に対応することができる。また、各液滴吐出ヘッド保守ユニットと液滴吐出ヘッド１１１との高さの調整（高さ合わせ）は、ヘッドユニット高さ調整機構２０によるヘッドユニット１１の上下動によって行ってもよい。
【００９０】
以下、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４について順次説明する。
図１０に示すクリーニングユニット８１は、ワイピングシート供給ユニット１５０と、ローラユニット１６０とを有している。ワイピングシート供給ユニット１５０は、ワイピングシート（図示せず）を巻き出して供給する巻き出しローラ７８と、各ノズル形成面を拭った後のワイピングシートを巻き取る巻き取りローラ７９と、該巻き取りローラ７９を回転駆動する電動モータとを備えている。ローラユニット１６０は、巻き出しローラ７８から巻き出されたワイピングシートを各ノズル形成面に押し付けるローラ７６を有している。
【００９１】
このようなクリーニングユニット８１によれば、ワイピングシートの新しい清掃面を絶えず各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に対して供給することができるようになっている。しかも、ローラ７６の押し付け力によりワイピングシートを各ノズル形成面に押し付ける構成であるため、各ノズル形成面に対して清掃面を確実に当てることもできるようになっている。
【００９２】
ローラ７６の近傍には、各ノズル形成面を拭う前のワイピングシートへ向けて洗浄液を噴射する複数の噴射口（ノズル）を備えたノズルユニット１６４が設置されている。ノズルユニット１６４は、その上（または下）を通過していくワイピングシートに対し、その裏面（または表面）側から、各噴射口より洗浄液を噴射する。これにより、各ノズル形成面を拭う直前のワイピングシートが洗浄液を吸収し、ワイピングシートを湿らせることができる。なお、洗浄液としては、特に限定されないが、例えば各種洗浄剤や有機溶剤などを使用することができる。ノズルユニット１６４の各噴射口には、後述する洗浄液供給装置５０により、洗浄液が供給される。
【００９３】
このようなクリーニングユニット８１によって、定期的または随時に、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に付着した吐出対象液を拭い去ることにより、各吐出ノズルからの液滴の吐出方向（飛ばす方向）にヨレ（乱れ）を生じるようなことが防止され、真っ直ぐに液滴を飛ばすことができるので、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を高い精度を維持して行うことができる。
【００９４】
図１０に示す定期フラッシングユニット８２は、液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した液滴を受ける液受け部８２１を有している。ヘッドユニット１１は、待機時において、定期的または随時に、各液滴吐出ヘッド１１１から液受け部８２１に対し液滴を捨て吐出する。このような動作を行う目的は、次のようなものである。
【００９５】
一般に、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を休止してから吐出を再開するまでの時間が長くなると、液滴の吐出方向が乱れる、吐出量が多くなり過ぎる、吐出量が少なくなり過ぎる等の現象が起こり易くなり、液滴吐出動作が不安定になる傾向がある。すなわち、液滴吐出ヘッド１１１は、液滴の吐出を開始した直後は、吐出状態が安定せずにまっすぐ飛びにくい、吐出量が安定しない等の傾向がある。このため、待機時にも、液受け部８２１に捨て吐出を行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１が適正に液滴を吐出することができる状態を維持する。
【００９６】
液受け部８２１には、好ましくは、例えばスポンジなどで構成された液体吸収体が設置されている。液受け部８２１に捨て吐出された液滴は、まず、この液体吸収体に吸収される。これにより、捨て吐出された液滴が周囲に飛散するのをより確実に防止することができる。また、液受け部８２１には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、液受け部８２１に溜まった吐出対象液は、この吸引チューブを通って回収され、後述する排液装置１８により、回収・貯留される。
【００９７】
図１０に示すキャッピングユニット８３は、ベースプレート上に配設された１２個のキャップと、これらのキャップをベースプレートごと上下方向に昇降させる昇降機構とを有している。１２個のキャップは、それぞれ、ヘッドユニット１１に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１１１に対応するものであり、液滴吐出ヘッド１１１と同様の配置パターンで配置されている。
【００９８】
図１１に示すように、移動台８６の下段８６２には、キャッピングユニット８３の各キャップでの（各キャップ内に）吸引力（負圧）を発生する吸引力発生手段として、３台の吸引ポンプ（吸引力発生源）６０１、６０２および６０３が設置されている。本実施形態では、吸引ポンプ６０１、６０２および６０３は、それぞれ、ピストンポンプで構成されているが、吸引力発生源としては、他の形式のポンプまたはエジェクタ（真空エジェクタ）などを用いてもよい。
【００９９】
液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面にキャッピングユニット８３の各キャップを接触（密着）させた状態で、吸引ポンプ６０１、６０２および６０３を作動させることにより、各液滴吐出ヘッド１１１の各吐出ノズルから流体（気体および液体）を吸引して排出させる（以下、「キャッピング吸引動作」と言う）ことができる。
【０１００】
キャッピング吸引動作は、例えば次のような目的で、定期的にまたは随時に行われる。
▲１▼ヘッドユニット１１の待機時（基板Ｗの給材・除材中など）に、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥するのを防止する目的。
▲２▼液滴吐出ヘッド１１１の吐出ノズルの詰まりを解消して、吐出可能状態を回復する目的。
▲３▼吐出対象液を初期充填する際、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内に吐出対象液を充満させる目的。
▲４▼吐出対象液を異種のものに交換する際などに、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内から吐出対象液を排出する目的。
▲５▼吐出対象液の交換等に先立って各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内を洗浄する際、液滴吐出ヘッド１１１内に洗浄液が供給された状態で、この洗浄液を各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内に流通させる目的。
【０１０１】
上記▲１▼〜▲４▼のキャッピング吸引動作によって吸引された吐出対象液は、後述する液体回収装置１７により回収され、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に貯留される。上記▲５▼のキャッピング吸引動作によって吸引された洗浄液は、液体回収装置１７が備える廃液タンク（図示せず）に別個に回収される。
【０１０２】
図１０に示す吐出量測定用ユニット８４は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１１は、吐出量測定用ユニット８４の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルから１回または複数回液滴を吐出量測定用ユニット８４に対し吐出する。吐出量測定用ユニット８４は、吐出された液滴を受ける液受けを備えており、この液受けを取り外して液滴吐出装置１の外部に設けられた電子天秤等の重量計でその重量を計測することにより、吐出された液滴の重量を測定することができる。または、吐出量測定用ユニット８４が重量計を有していてもよい。制御装置１６は、前記重量計測結果に基づいて、吐出ノズルにおける１回の吐出液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド１１１を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【０１０３】
図１２は、図１および図２に示す液滴吐出装置における吐出対象液供給装置、洗浄液供給装置、液体回収装置および排液装置を示す配管系統図、図１３は、液量検出手段の構成を模式的に示す図である。以下、これらの図および図６に基づいて、液滴吐出装置１における吐出対象液供給装置４、洗浄液供給装置５０、液体回収装置１７、排液装置１８について説明する。
【０１０４】
まず、各液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液を供給する吐出対象液供給装置４について説明する。
図１２に示すように、吐出対象液供給装置４は、吐出対象液を貯留する一次タンク系４０と、この一次タンク系４０と後述する二次タンク４１２とを接続する１本の一次流路４１１とを有している。一次タンク系４０は、前記タンク収納ユニット１３に設置された第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２と、第１の一次タンク４０１に接続された流出配管４０３と、第２の一次タンク４０２に接続された流出配管４０４と、三方弁（流路切り替え手段）４０５とを有している。三方弁４０５には、一次流路４１１と、流出配管４０３および４０４とがそれぞれ接続されている。吐出対象液供給装置４は、三方弁４０５の切り替えにより、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２のいずれかから選択的に吐出対象液を一次流路４１１に供給することができる。
【０１０５】
また、吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２内に加圧気体を供給する加圧手段４０６と、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２にそれぞれ接続された加圧配管４０７および４０８と、加圧手段４０６からの配管４１０と、これら３つの配管が接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）４０９とをさらに有している。加圧手段４０６としては、例えば、加圧された窒素ガス等の気体を供給する加圧気体供給源が使用される（後述する加圧手段５０６も同様）。吐出対象液供給装置４は、三方弁４０９の切り替えにより、第１の一次タンク４０１および第２の一次タンク４０２のいずれかの内部を加圧手段４０６により選択的に加圧することができる。
【０１０６】
図６に示すように、二次タンク４１２は、メインキャリッジ１０２に対し固定的に設置されている。すなわち、二次タンク４１２は、メインキャリッジ１０２とともにＸ軸方向移動する。二次タンク４１２には、三方弁４０５から伸びる一次流路４１１の他端が接続されており、一次タンク系４０の吐出対象液は、一次流路４１１を通って二次タンク４１２内に流入する。
一次流路４１１は、可撓性を有するチューブで構成されている。この一次流路４１１の途中には、メインキャリッジ１０２とともに移動する二次タンク４１２の移動に合わせて一次流路４１１の二次タンク４１２側の部分が移動可能となるように一次流路４１１を中継する中継部４１３が設けられている。
【０１０７】
二次タンク４１２とヘッドユニット１１との間は、ヘッドユニット１１が備える１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の二次流路４１４によって接続されている。すなわち、ヘッドユニット１１には、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口（接続口）１１２が設けられており、二次タンク４１２から伸びる１２本の二次流路４１４の他端は、それぞれ、各流入口１１２に接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の二次流路４１４のうちの２本のみを図示する。図示の構成では、二次流路４１４は、可撓性を有するチューブで構成されているが、これに限らず、硬質な管体で構成されていてもよい。
【０１０８】
二次タンク４１２内は、図示しない圧力制御ユニット（負圧制御ユニット）によって、圧力が制御され、負圧になっている。二次タンク４１２内で圧力制御された吐出対象液は、各二次流路４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１に供給される吐出対象液の圧力が制御され、各液滴吐出ヘッド１１１の各ノズルにおいて良好な液滴吐出状態が得られる。
【０１０９】
各二次流路４１４の途中には、流路を遮断可能な遮断弁４１５が設けられている。遮断弁４１５は、前記圧力制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、二次流路４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出対象液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【０１１０】
図１３（ａ）に示すように、吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１の内部の液量を検出する液量検出手段４１６をさらに有している。液量検出手段４１６は、第１の一次タンク４０１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の一次タンク４０１内に連通した光透過性を有するチューブ４１７と、第１の一次タンク４０１の底部付近においてチューブ４１７を挟んで対向するように設置された投光部４１８および受光部４１９とで構成されている。この液量検出手段４１６は、受光部４１９での受光光量の変化により、第１の一次タンク４０１内の液量が減少して所定の下限レベルＥ（空の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段４１６の検出結果は、制御装置１６に入力される。
また、吐出対象液供給装置４は、第２の一次タンク４０２の内部の液量を検出する同様の液量検出手段４２０を有している。液量検出手段４２０は、第２の一次タンク４０２内の液量が減少して所定の下限レベルＥになったとき、これを検出し、その検出結果を制御装置１６に入力する。
【０１１１】
このような吐出対象液供給装置４は、図１２に示す状態では、加圧手段４０６により第１の一次タンク４０１内が加圧され、この圧力により第１の一次タンク４０１内の吐出対象液は、流出配管４０３および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される。
そして、第１の一次タンク４０１内の吐出対象液が消費されていき、液量検出手段４１６が第１の一次タンク４０１が空になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替える。これにより、加圧手段４０６が第２の一次タンク４０２内を加圧するとともに、この圧力により第２の一次タンク４０２内の吐出対象液が、流出配管４０４および一次流路４１１内を通って送出され、液滴吐出ヘッド１１１に供給される状態に切り替わる。
【０１１２】
第２の一次タンク４０２から吐出対象液が供給されている間に、作業者は、空になった第１の一次タンク４０１をタンク収納ユニット１３の可動棚１３３から取り外し、吐出対象液を再充填した後、可動棚１３３に戻す。その後、液量検出手段４２０が第２の一次タンク４０２が空になったのを検出すると、制御装置１６は、三方弁４０５および三方弁４０９をそれぞれ切り替え、第１の一次タンク４０１から吐出対象液を供給する状態に切り替える。そして、第１の一次タンク４０１から吐出対象液が供給されている間に、作業者は、空になった第２の一次タンク４０２を可動棚１３３から取り外して吐出対象液を再充填する。
【０１１３】
制御装置１６は、第１の一次タンク４０１が空になったとき、および、第２の一次タンク４０２が空になったときには、それぞれ、その旨を報知し、タンクの交換（吐出対象液の補充）を作業者に促すのが好ましい。この報知の方法としては、操作パネル１００に文字または図形などを表示したり、音または音声を出したりする方法が挙げられる。また、第１の一次タンク４０１が空になったときと、第２の一次タンク４０２が空になったときとで、報知のための文字、図形、音または音声等を異ならせ、いずれの一次タンクが空になったのかが分かるようにするのが好ましい。
【０１１４】
以上説明したような本実施形態の吐出対象液供給装置４は、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴う吐出対象液消費量の増大に有効に対応することができる。また、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の各々の容量を過大にすることなく、全体の大容量化が図れるので、第１の一次タンク４０１、第２の一次タンク４０２の重量（特に充填時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。
【０１１５】
次に、クリーニングユニット８１で用いる洗浄液を供給する洗浄液供給装置５０について説明するが、前記吐出対象液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１２に示すように、洗浄液供給装置５０は、前記タンク収納ユニット１３に設置された第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された流出配管５０３と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された流出配管５０４と、流出配管５０３および５０４とクリーニングユニット８１への給液配管５１１とがそれぞれ接続された三方弁（流路切り替え手段）５０５と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の一次タンク５０２内に加圧気体を供給する加圧手段５０６と、第１の洗浄液タンク５０１に接続された加圧配管５０７と、第２の洗浄液タンク５０２に接続された加圧配管５０８と、加圧配管５０７および５０８と加圧手段５０６からの配管（経路）５１０とがそれぞれ接続された三方弁（加圧経路切り替え手段）５０９と、第１の洗浄液タンク５０１および第２の洗浄液タンク５０２の残液量を検出する液量検出手段（図示せず）とを有している。給液配管５１１の下流側は、図示しないマニホールドを介して、前記ノズルユニット１６４の各噴射口に連通する枝管に分岐している。
【０１１６】
次に、液滴吐出ヘッド１１１からキャッピングユニット８３を介して吸引した吐出対象液を回収する液体回収装置１７について説明するが、前記吐出対象液供給装置４と同様の事項については説明を省略する。図１２に示すように、液体回収装置１７は、前記タンク収納ユニット１３に設置された第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２と、第１の再利用タンク１７１に接続された流入配管１７３と、第２の再利用タンク１７２に接続された流入配管１７４と、三方弁（流路切り替え手段）１７５とを有している。三方弁１７５には、吸引ポンプ６０１、６０２および６０３の排出口から来た排液配管１７６と、流入配管１７４および１７５とがそれぞれ接続されている。三方弁１７５は、排液配管１７６と流入配管１７３とを接続する状態と、排液配管１７６と流入配管１７４とを接続する状態とを切り替え可能になっている。これにより、キャッピングユニット８３を介して吸引した吐出対象液を第１の再利用タンク１７１または第２の再利用タンク１７２内に選択的に導入することができる。三方弁１７５は、アクチュエータ（図示せず）により、自動で切り替わるようになっている。
【０１１７】
このように、液体回収装置１７は、キャッピング吸引動作において各液滴吐出ヘッド１１から排出された吐出対象液を移送し、これを他の液体（例えば、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９で受けた吐出対象液や、各液滴吐出ヘッド１１１内および流路内の洗浄に用いた洗浄液など）と混合することなく、専用の第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に貯留する。
【０１１８】
第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液は、液滴吐出ヘッド１１１より排出されてから第１の再利用タンク１７１または第２の再利用タンク１７２に移送されてくるまでの間、外部に露出しておらず、外気にも接触していないので、ゴミ等の異物の混入が無いかあっても僅かであり、溶媒が蒸発して濃度が変化しているようなこともない。また、上述したように他の液体も混入していないので、変質・劣化・異物混入などのない、良好な状態の吐出対象液である。よって、第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液は、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻して、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液として再利用することができる。これにより、吐出対象液の無駄な消費量を大幅に削減することができるので、基板Ｗの製造コストの低減が図れる。
【０１１９】
第１の再利用タンク１７１および第２の再利用タンク１７２に回収された吐出対象液に対しては、再利用する前（第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻す前）に、その中の不純物を除去する処理（例えば、フィルターによるろ過などの処理）や、その中に溶解した気体を除去する脱気処理（例えば、減圧環境下に置いて、溶解した気体を発泡させるなどの処理）を施すことが好ましい。これにより、回収した吐出対象液をより良好な状態にして再利用することができる。
【０１２０】
本実施形態の液体回収装置１７では、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の２つを切り替えながら使用するので、全体として大容量化が図れ、液滴吐出装置１の大型化に伴うキャッピング時の吸引量の増大に有効に対応することができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の各々の容量を過大にすることなく全体の大容量化が図れるので、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の重量（特に満杯時の重量）が重くなり過ぎるのを回避することができ、タンク交換作業時の作業者の負担を軽減することができる。また、第１の再利用タンク１７１、第２の再利用タンク１７２の交換（回収）を交互に行うことにより、液滴吐出装置１の稼動を停止することなく、吐出対象液を回収することができる。よって、生産効率の向上が図れ、高い生産量（スループット）が得られる。
【０１２１】
図１３（ｂ）に示すように、液体回収装置１７は、第１の再利用タンク１７１の内部の液量を検出する液量検出手段１７７ａをさらに有している。液量検出手段１７７ａは、第１の再利用タンク１７１の外部において鉛直方向に沿って設けられ、その内腔が第１の再利用タンク１７１内に連通した光透過性を有するチューブ１７８と、第１の再利用タンク１７１の頂部付近においてチューブ１７８を挟んで対向するように設置された投光部１７９および受光部１７０とで構成されている。この液量検出手段１７７ａは、受光部１７０での受光光量の変化により、第１の再利用タンク１７１内の液量が増大して所定の上限レベルＦ（満杯の状態）になったとき、これを検出することができる。液量検出手段１７７ａの検出結果は、制御装置１６に入力される。また、液体回収装置１７は、第２の再利用タンク１７２の内部の液量を検出する前記液量検出手段１７７ａと同様の液量検出手段１７７ｂをさらに有している。
【０１２２】
このような液体回収装置１７では、図１７に示す状態では、キャッピングユニット８３から吸引された吐出対象液は、第１の再利用タンク１７１内に導入される。そして、第１の再利用タンク１７１内に吐出対象液が蓄積していき、液量検出手段１７７ａが第１の再利用タンク１７１が満杯になったのを検出すると、制御装置１６は、その検出結果に基づいて、三方弁１７５を切り替え、吐出対象液が第２の再利用タンク１７２内に導入される状態に切り替える。
【０１２３】
制御装置１６は、第１の再利用タンク１７１が満杯になったとき、および、第２の再利用タンク１７２が満杯になったときには、それぞれ、その旨を例えば前記と同様の方法で報知し、タンクの交換（吐出対象液の回収）を作業者に促すのが好ましい。
【０１２４】
次に、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９において液滴吐出ヘッド１１１より捨て吐出された排液（吐出対象液）を回収する排液装置１８について説明するが、前述した液体回収装置１７と同様の事項については説明を省略する。
図１２に示すように、排液装置１８は、前記タンク収納ユニット１３に設置された第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２と、第１の排液タンク１８１に接続された流入配管１８３と、第２の排液タンク１８２に接続された流入配管１８４と、三方弁（流路切り替え手段）１８５とを有している。
【０１２５】
三方弁１８５には、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９からの吸引チューブ（図示せず）が合流した排液配管１８６と、流入配管１８３および１８４とがそれぞれ接続されている。また、第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２には、それぞれ、後述する液量検出手段１７７ａ、１７７ｂと同様の液量検出手段（図示せず）が設けられている。
【０１２６】
本実施形態では、このような排液装置１８により、描画前フラッシングユニット１０４、定期フラッシングユニット８２およびドット抜け検出ユニット１９から排出された吐出対象液を回収してこれらを共通して貯留する。これらの各ユニットから回収した吐出対象液は、各ユニットの液受け部において一旦外部に露出したものであるので、異物（ゴミ）が混入していたり、外気に触れて溶媒が蒸発して濃度が変化していたりするため、通常は廃棄される。本実施形態では、これらの廃棄すべき液体が共通に第１の排液タンク１８１および第２の排液タンク１８２に貯留されるので、液体を廃棄する作業が１回で済み、オペレーターの労力の軽減に寄与する。
【０１２７】
なお、排液装置１８によって回収した吐出対象液は、廃棄せずに、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する吐出対象液として再利用してもよい。これにより、吐出対象液の無駄な消費量をさらに削減することができるので、基板Ｗの製造コストのさらなる低減が図れる。排液装置１８によって回収された吐出対象液を再利用する場合には、第１の一次タンク４０１または第２の一次タンク４０２に戻す前に、前記不純物除去処理、脱気処理や、濃度調整などの各種の処理を施すことが好ましい。
【０１２８】
以上、本発明のタンク収納ユニットおよび液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、タンク収納ユニットおよび液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１２９】
また、本発明の液滴吐出装置は、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）を装置本体に対し固定とし、ワーク（ワーク載置部）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。また、これと逆に、基板（ワーク）を装置本体に対し固定とし、ヘッドユニット（液滴吐出ヘッド）をＹ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、主走査および副走査を行うよう構成されたものでもよい。すなわち、本発明における液滴吐出装置は、ワーク載置部と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる相対移動機構を備えるものであればよい。
【０１３０】
また、本発明の電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。本発明の電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
また、本発明の電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。本発明の電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図。
【図４】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図。
【図５】ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図。
【図６】図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】図５中の矢印Ｂ方向から見た正面図。
【図８】パターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図。
【図９】本発明のタンク収納ユニットの実施形態を示す斜視図。
【図１０】液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図。
【図１１】液滴吐出装置における付帯装置を示す側面図。
【図１２】吐出対象液供給装置、洗浄液供給装置、液体回収装置および排液装置を示す配管系統図。
【図１３】液量検出手段の構成を模式的に示す図。
【図１４】本発明のタンク収納ユニットの実施形態を示す斜視図。
【図１５】図１４に示す状態におけるタンク収納ユニットを１段目の可動棚と２段目の可動棚との間で切断して見た断面平面図。
【図１６】ボールキャッチを示す斜視図。
【符号の説明】
１……液滴吐出装置、１０……液滴吐出システム、１００……操作パネル、１０１……薄板、１０５……θ軸回転機構、１０４……描画前フラッシングユニット、１０６……カメラキャリッジ、１０７……認識カメラ、１０８……ベース、１１……ヘッドユニット、１１１……液滴吐出ヘッド、１１２……流入口、１２……付帯装置、１３……タンク収納ユニット、１３１……本体、１３２……可動棚、１３３……可動棚、１３４……可動棚、１３５……スライドレール、１３６……中間支持部材、１３７……スライドレール、１３８……取っ手、１３９……漏液センサ、１４０……ケーブルベア、１４１……ケーブルベア、１４……ブロー装置、１５……レーザー測長器、１５１……レーザー測長器センサヘッド、１５２……ミラー、１５３……レーザー測長器本体、１５４……コーナーキューブ、１６……制御装置、１７……液体回収装置、１７１……第１の再利用タンク、１７２……第２の再利用タンク、１７３……流入配管、１７４……流入配管、１７５……三方弁、１７６……排出流路、１７７ａ……液量検出手段、１７７ｂ……液量検出手段、１７８……チューブ、１７９……投光部、１７０……受光部、１８……排液装置、１８１……第１の排液タンク、１８２……第２の排液タンク、１８３……流入配管、１８４……流入配管、１８５……三方弁、１８６……排液配管、１９……ドット抜け検出ユニット、２……装置本体、２１……架台、２１１……枠体、２１２……支持脚、２２……石定盤、２２１……Ｙ軸方向移動機構支持部、２２２……支柱支持部、２２３……支柱支持部、２３……支柱、２４……桁、２５……桁、３……基板搬送テーブル、３３２……吸引口、４……吐出対象液供給装置、４０……一次タンク系、４０１……第１の一次タンク、４０２……第２の一次タンク、４０３……流出配管、４０４……流出配管、４０５……三方弁、４０６……加圧ポンプ、４０７……加圧配管、４０８……加圧配管、４０９……三方弁、４１０……配管、４１１……一次流路、４１２……二次タンク、４１３……中継部、４１４……二次流路、４１５……遮断弁、４１６……液量検出手段、４１７……チューブ、４１８……投光部、４１９……受光部、４２０……液量検出手段、５……Ｙ軸方向移動機構、５１……リニアモータ、５２……エアスライダ、５２１……スライドガイド、５２２……スライドブロック、６……Ｘ軸方向移動機構、６１……メインキャリッジ、６２……リニアモータアクチュエータ、６３……ガイド、８１……クリーニングユニット、８２……定期フラッシングユニット、８２１……液受け部、８３……キャッピングユニット、８４……吐出量測定用ユニット、８５……付属台、８５１……ガイド、８５２……ボールねじ、８５３……モータ、８５４……保守ユニット移動機構、８６……移動台、８６１……上段、８６２……下段、８６３……昇降機構、８６４……昇降ハンドル、９……チャンバ装置、９１……チャンバ、９１１……天井裏、９１２……フィルタ、９１３……主室、９１４……隔壁、９１５……隔壁、９１６……副室、９１７……連通部、９１８……扉、９２……空調装置、９３……導入ダクト、９４……排気ダクト、２０……ヘッドユニット高さ調整機構、３０……ボ���ルキャッチ、３０１……捕捉部材、３０２……被捕捉部材、３０３……ボール支持部、３０４……ボール、３０５……突出部、５０……洗浄液供給装置、５０１……第１の洗浄液タンク、５０２……第２の洗浄液タンク、５０３……流出配管、５０４……流出配管、５０５……三方弁、５０６……加圧ポンプ、５０７……加圧配管、５０８……加圧配管、５０９……三方弁、５１０……配管、５１１……給液配管、６０１……吸引ポンプ、６０２……吸引ポンプ、６０３……吸引ポンプ、７１０……フランジ、７１１……孔、７１２……ボルト、７１３……取っ手、Ｗ……基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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