(57)【要約】【課題】主流路を流通する混合流体が各導入ポート側に逆流することを回避して上流側の雰囲気の安定化を図り、また、流体導入側の流路数や流路形状に迅速に対応可能とする機能的な複数流路統合継手を提供することを目的とする。【解決手段】ハウジング２を各導入ポート２ａの個数に応じて複数に分割し、各導入ポート２ａと主流路２ｄとの間に、該主流路２ｄを流通する混合流体の逆流を防止する逆止弁４を備える構成とした。また、ハウジング２の分割によって形成された複数のブロック３０，３１，３２に、隣り合うブロックとの連設における位置決めをなす嵌合部を形成し、全てのブロックを嵌合部で嵌め合わせつつ保持手段で嵌合状態を保持する構成とした。【選択図】      図２
2004197766.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内に、複数の流体をそれぞれ導入する各導入ポートと、これら各導入ポートに連通して各流体を合流させる主流路と、該主流路内を流通する混合流体を送出する送出ポートと、を備えた複数流路統合継手において、
前記ハウジングは、前記各導入ポートの個数に応じて複数に分割されてなり、前記各導入ポートと前記主流路との間には、該主流路を流通する混合流体の逆流を防止する逆止弁が備えられてなることを特徴とする複数流路統合継手。
【請求項２】
前記ハウジングの分割によって形成された各ブロックには、隣り合うブロックとの位置決めをなす嵌合部が形成されてなり、
これらブロックの全てを互いの前記嵌合部で嵌め合わせつつ嵌合状態を保持する保持手段が備えられてなることを特徴とする請求項１記載の複数流路統合継手。
【請求項３】
前記ハウジングの分割によって形成されたブロックは、前記導入ポートを有する第２筐体と、前記逆止弁の装着溝及び前記主流路の一部を有する第１筐体とからなり、
前記導入ポートに相対する前記第２筐体の開口部には、シール部材が備えられてなることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の複数流路統合継手。
【請求項４】
ハウジング内に、複数の流体をそれぞれ導入する各導入ポートと、これら各導入ポートに連通して各流体を合流させる主流路と、該主流路内を流通する混合流体を送出する送出ポートと、を備えた複数流路統合継手の製造方法において、
前記各導入ポートの個数に応じて前記ハウジングを分割したブロックは、前記導入ポートを有する第２筐体と、前記逆止弁の装着溝及び前記主流路の一部を有する第１筐体とからなり、
第１筐体及び第２筐体の密着面のそれぞれに段付き部を形成してこれら筐体を嵌め合わせるとともに、少なくとも一方に超音波を与えて接合することを特徴とする複数流路統合継手の製造方法。
【請求項５】
前記各筐体の少なくとも一方に形成された段付き部のへこみを形成する面と面との境界部を突出させ、これに他方の段付き部に形成されたエッジをつき合わせて接合することを特徴とする請求項４記載の複数流路統合継手の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種流体が流通する様々な流路を統合してこれら流体を混合し下流側に送出する複数流路統合継手及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、複数の流路を統合してそれぞれの流路を流通する流体を合流させる継手がある。この継手は、本発明に言う複数流路統合継手をなすものであり、上流側に位置する多数の流路と、下流側に位置する少なくとも１つの流路を接続する機能を担っており、その一般的な構成は以下に説明するものが例として挙げられる。
【０００３】
外観形状をなすハウジングには、複数の流体をそれぞれ導入するための導入ポートが複数備わり、これら導入ポートは、ハウジングの内部を貫通するように形成された主流路に接続されている。すなわち、複数の導入ポートが全て主流路に繋がっているため、各導入ポートから流入した流体は主流路内で合流し、混合された状態で主流路を流通する。そして、この主流路の端部に当たるハウジングの端面に設けられた少なくとも１つの送出ポートから混合された流体を一括して送出することを可能としている。
【０００４】
このような複数流路統合継手の用途としては、半導体の製造等に用いた様々な液体を廃液として一括して排出するために用いられたり、様々な成分の液体を混合して混合液を供給するために用いられたりしている。
【０００５】
さて、このような複数流路統合継手では、複数備わる流体の流入側である各導入ポートと、合流した流体の送出側である送出ポートとが主流路を介して全て連通しているので、流体の流れが遅かったり、流量が少なかったり、これに伴う流体の圧力低下などがあると、いずれかの導入ポートに主流路内の混合流体が逆流することがある。
【０００６】
この場合、各導入ポートに繋がる上流側の流路内に他の成分の流体が混ざり合うことが容易に予想され、最悪の場合には混ざり合った流体同士が化学反応を起こして主流路よりも上流側の雰囲気を汚染する恐れがあった。
【０００７】
勿論、主流路で各流体を合流させることになるので、主流路内での反応をある程度おさえるためにアルカリ性又は酸性の液体専用とするなどの制限は必要とされるが、各流体を一括して排出する目的でこの継手が備えられている場合であれば、主流路内での反応は許容できる。しかし、各流体が単独で流通する流路内で混合が生じると、この流路及び流体をこれ以降使用できなくなる。
【０００８】
また、各流体の混合に用いる場合であれば、予めの計画により流体同士が混ざり合っても化学反応が起こることはなく、主流路内における混合は目的とすることでもあるため特に問題とはならないが、混合流体が逆流してそれぞれの流体の流路に混ざり合うことになれば、各流体の成分が変化することになって大きな問題となりうる。
【０００９】
このように、混合された流体の逆流によって上流側の各流体の雰囲気が汚染される問題を回避するべく、図６に示すように各導入ポート１００ａに逆止弁４０を新たに取り付け、これを介して各流路を接続する方法が従来から行われている。この場合、アダプタ５０を逆止弁４０と導入ポート１００ａとの間にそれぞれ取り付ける必要がある。
【００１０】
また、各導入ポートに向かって混合流体の逆流を防ぐために、ハウジング内の各導入ポートから主流路の間に流路を塞ぐ弁を設け、この弁を外部から制御することで各導入ポートに繋がる流路を閉塞する複数流路統合継手がある（例えば、特許文献１参照。）。
【００１１】
この特許文献１に記載の構成では、モータの動力を、ギアを介して弁の動作に変換し、それぞれの弁を単独で動作させて各流路を単独で閉塞させることを可能としている。この場合、勿論、モータに供給する電力を外部で制御することで弁の動作が実行される。
また、この構成以外に、各導入ポートから主流路に繋がる流路の途中あるいは末端にバタフライを設け、このバタフライを外部から供給するエアなどで開閉動作させるものもある。
【００１２】
【特許文献１】
米国特許第５０３５２６２号（第２図）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
さて、上述した主流路内を流れる混合流体が各導入ポート側に逆流することを防ぐそれぞれの構成は、回路内への設置作業、製作性の難度、製作に関わるコスト、さらには、複数の流路との接続に対応可能とする構造、の点の少なくともいずれかの問題を有していた。
【００１４】
まず１つに、図６に示すような各導入ポート１００ａに逆止弁４０を取り付けることは、この取り付け作業を各導入ポート１００ａの全てに行い、且つ取り付け後の複数流路統合継手１００の大きさが多大に増すという問題がある。この場合、前者では設置までの時間を要し、後者では設置スペースの制約によって流体の回路内に設置不可能となる場合もある。また、接続箇所が増大するために漏れが発生しやすくなり、これを回避するためには接続箇所の入念な確認作業を必要とする。
【００１５】
また、複数流路統合継手に接続される上流側の流路は特定の本数に規定されないので、あらゆる数の導入ポートを有する複数流路統合継手を常に在庫として抱えなくてはならない。そして、これとは逆に要求されてから規定数の導入ポートを有する複数流路統合継手を製作することでは、顧客に対する納期の遅れともなりうり、顧客の信頼を失いかねない。
【００１６】
これに類する製品として、図６に示すように各導入ポート１００ａ毎にハウジングを分割可能としてものもあるが、分割された各ブロック１０２，１０３，１０４を連設した状態で固定するためには、各ブロック１０２，１０３，１０４を設置する主流路１００ｄを備えた台座１０１が必要である。この結果、必要とされる導入ポート１００ａの個数に応じて台座１０１を多様に製作する必要がある。したがって、このような構成では各導入ポート１００ａの口径等を容易に変更することは可能であっても、流入する流体の数に応じて迅速に対応可能な複数流路統合継手を得ることは困難である。
【００１７】
また１つに、上述した流路内に弁やバタフライを設けてモータやエアなどによって外部から流路の開閉を操作する構成では、複数流路統合継手の構造が複雑化し、部品点数や制御系の回路を設置する必要性も生じるためにコストを大幅に上昇させてしまう問題がある。
【００１８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、主流路を流通する混合流体が各導入ポート側に逆流することを回避して上流側の雰囲気の安定化を図り、また、流体導入側の流路数や流路形状に迅速に対応可能とする機能的な複数流路統合継手を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、以下の手段を採用することとした。
請求項１記載の発明は、ハウジング内に、複数の流体をそれぞれ導入する各導入ポートと、これら各導入ポートに連通して各流体を合流させる主流路と、該主流路内を流通する混合流体を送出する送出ポートと、を備えた複数流路統合継手において、前記ハウジングが、前記各導入ポートの個数に応じて複数に分割されてなり、前記各導入ポートと前記主流路との間には、該主流路を流通する混合流体の逆流を防止する逆止弁が備えられてなることを特徴とする。
【００２０】
このような構成により、それぞれの流体は各導入ポートからハウジング内に流入し、逆止弁を通過した後に主流路に送られて他の流体と合流して送出ポートから送出されることになる。これによって、主流路を流通する混合流体が各導入ポート側に逆流することは逆止弁の働きによって防止され、逆止弁よりも上流側の雰囲気が一定に保たれる。
なお、ハウジングの分割は各導入ポートの個数に応じることとし、各導入ポートと一対一の関係で分割してもよいし、２つ、あるいはそれ以上の導入ポート毎に分割することとしてもよい。
【００２１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の複数流路統合継手において、前記ハウジングの分割によって形成された各ブロックには、隣り合うブロックとの位置決めをなす嵌合部が形成されてなり、これらブロックの全てを互いの前記嵌合部で嵌め合わせつつ嵌合状態を保持する保持手段が備えられてなることを特徴とする。
【００２２】
このような構成により、隣り合うブロック同士は、互いの嵌合部における嵌め合いによって位置決めされた状態で連設されることになり、各ブロック内に備わる部分が他のブロックに備わる部分に関連して位置決めされる。すなわち、例えば同一軸線上に主流路の一部が配置され、ブロックの連設によって一律な断面形状の主流路が形成されることになる。また、保持手段を備えることによって各ブロックの連設状態が的確に保持されることになる。
【００２３】
請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２記載の複数流路統合継手において、前記ハウジングの分割によって形成されたブロックが、前記導入ポートを有する第２筐体と、前記逆止弁の装着溝及び前記主流路の一部を有する第１筐体とからなり、前記導入ポートに相対する前記第２筐体の開口部には、シール部材が備えられてなることを特徴とする。
【００２４】
このような構成により、逆止弁は、流体の流通方向における上流側から第１筐体の装着溝に挿入されて設置されることになり、また、シール部材は、第２筐体に備えられて第１筐体と第２筐体との密着面にける密封性を確保するとともに、逆止弁における弁座として機能し流路の閉塞機能の一端を担うことになる。
【００２５】
請求項４記載の発明は、ハウジング内に、複数の流体をそれぞれ導入する各導入ポートと、これら各導入ポートに連通して各流体を合流させる主流路と、該主流路内を流通する混合流体を送出する送出ポートと、を備えた複数流路統合継手の製造方法において、前記各導入ポートの個数に応じて前記ハウジングを分割したブロックが、前記導入ポートを有する第２筐体と、前記逆止弁の装着溝及び前記主流路の一部を有する第１筐体とからなり、第１筐体及び第２筐体の密着面のそれぞれに段付き部を形成してこれら筐体を嵌め合わせるとともに、少なくとも一方に超音波を与えて接合することを特徴とする。
【００２６】
このような製造方法により、様々な口径に応じて形成される導入ポートを有する第２筐体を、逆止弁を装着した第１筐体に取り付けて組み立てがなされることとなり、超音波による接合にて迅速且つ容易にブロックの組み立てが完了する。
換言すると、簡易に取り付けが完了する第２筐体のみを変更することで導入ポートに要求される多様な接続が対応可能となる。
また、第１筐体と第２筐体との接合において段付き部が形成されているので、これら各筐体における組み立て時の位置決めがなされるとともに密着面における密封性が確保される。
【００２７】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の複数流路統合継手の製造方法において、前記各筐体の少なくとも一方に形成された段付き部のへこみを形成する面と面との境界部を突出させ、これに他方の段付き部に形成されたエッジをつき合わせて接合することを特徴とする。
【００２８】
このような製造方法により、第１筐体と第２筐体との超音波による接合において互いの段付き部の局部が接し擦れることで部分的により密着した部分が形成されることになる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の複数流路統合継手における一実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、この複数流路統合継手１は、半導体製造用の複数の薬液を合流させて排出する役目を担うため、ハウジングにはフッ素樹脂が採用されている。しかし、以下に説明する内容が本発明の複数流路統合継手に限定解釈されるものではないことは言うまでもない。
【００３０】
図１は本実施形態の複数流路統合継手の平面図であり、図２はこの複数流路統合継手の内部構造を説明する主流路の軸線を含む側断面図である。また、図３は図２に示される複数流路統合継手を構成する１つのブロックを拡大して示した側断面図であって、（ｂ）は（ａ）の符号Ａの範囲を拡大して示している。
【００３１】
図１、図２に示すように、複数流路統合継手１（以下「本体１」と言う。）は、複数の導入ポート２ａに対して一対一の関係でハウジング２が分割された複数のブロック３０，３１，３２が連設された形態で構成されている。すなわち、導入ポート２ａが５つあることに対応して、本体１は５つのブロック３０，３１，３２に分割されている。
したがって、これら各ブロック３０，３１，３２のそれぞれには、上流側の流路が接続される導入ポート２ａが１つ備わり、さらに、導入ポート２ａの軸線に対して直交方向に形成された主流路２ｄの一部と、後述する１つの逆止弁４とがそれぞれ備えられている。
【００３２】
両端のブロック３１，３２の間に配置される中間部分のブロック３０は、この両側面に隣り合うブロックとの接続を所定の位置に規定する凹形状又は凸形状とされた嵌合部を有している。そして、凸形状とされた嵌合部の壁面には、主流路２ｄの開口部を囲むようにＯリング２ｅが設けられ、各ブロック３０，３１，３２とともに分割された主流路２ｄの漏れを防止している。
【００３３】
また、本体１の両端に位置するブロック３１，３２は、上述したこれらの間に挟まれるブロック３０の形状とは異なり、一方のブロック３１（紙面左側）は、主流路２ｄの起点となる部分を備えるためにブロック３１を貫通しない主流路２ｄの一部を備え、また、他方のブロック３２（紙面右側）は、主流路２ｄの終点となる送出ポート２ｅを備えている。
そして、これらブロック３１，３２には、本体１の中心側に面する一方の壁面にのみ、凹形状あるいは凸形状の嵌合部が形成されている。
【００３４】
さらに、各ブロック３０，３１，３２には主流路２ｄの軸線と平行となるような貫通穴２ｆが全てのブロック３０，３１，３２を貫くように形成されている。
この貫通穴２ｆの内部には、各ブロック３０，３１，３２が連設された本体１の長さと同等長さを有するとともに、この両端部の内側壁面にねじ溝が形成された中空のパイプ６が挿入されている。そして、このねじ溝にボルト５が取り付けられることで、複数のブロック３０，３１，３２の全てが本体中心側に向かって挟み込まれ、連設状態が保持されている。すなわち、貫通穴２ｆ、パイプ６、ボルト５の組み合わせによって本発明に係る保持手段が構成されている。
【００３５】
なお、パイプ６は必ずしも中空である必要はなく、中実の棒の両端部にねじ穴加工を施して形成されるものであってもよい。また、符号７に示す部材は本体１を設置場所に固定するための固定金具を示し、本体１の両端に配置されて上記ボルト５を介して本体１に固定されている。
【００３６】
次に、図３を用いて本体１の中間部分に位置するブロック３０を一例に挙げて各ブロック３０，３１，３２の構造について詳しく説明する。なお、中間部分に位置するブロック３０を例に挙げて説明するが、他のブロック３１，３２は、上述した構造の違いを除いて中間部分のブロック３０とほぼ同等な構造であるので、説明を省略する。
【００３７】
ブロック３０は、逆止弁を備える第１筐体３０ａと導入ポートを備える第２筐体３０ｂとの組み合わせによって構成されており、これらの接合には超音波が用いられている。なお、以下に説明する第２筐体３０ｂは、導入ポート２ａの口径が異なることがあっても、全ての第１筐体３０ａ，３１ａ，３２ａに共通して用いることが可能とされている。
【００３８】
第１筐体３０ａは、主流路２ｄの一部をなす流路、隣り合うブロックと連設の位置決めをなす嵌合部、主流路２ｄに繋がる流路２ｃに形成された逆止弁４の装着溝２ｂを有しており、上記装着溝２ｂには弁体４ａとスプリング４ｂとからなる逆止弁４が設置されている。そして、第２筐体３０ｂとの密着面（図２において上面）には円形状にくり抜かれた凹形状の段付き部が形成されている。
【００３９】
第２筐体３０ｂは、接続される配管（アダプタ等を含む。）の口径に合わせた導入ポート２ａを備えており、該導入ポート２ａの奥側（紙面において下方向）にはブロック３０を貫通する流路が形成されている。そして、この流路の開口部の周部にはＯリング４ｃ（シール部材）が設けられており、第１筐体３０ａと第２筐体３０ｂとの密着面における密封性を確保している。そして、第２筐体３０ｂにおける第１筐体３０ａとの密着面においても、第１筐体３０ａに形成された凹形状の段付き部と嵌め合い関係になる円形凸形状の段付き部が形成されている。
【００４０】
これら各筐体３０ａ，３０ｂの各段付き部の形状をさらに詳しく説明すると、互いを接合する前の各段付き部には、図３（ｂ）に示すように、段付き部の直角なへこみを形成する面と面との境界部に突出する部分が形成されている。そして、この部分Ｃに突き当てられる他方側の部分は、直角なエッジＥのままの形状で形成されている。
【００４１】
ここで、第１筐体３０ａと第２筐体３０ｂとの接合方法について説明する。
先に第１筐体３０ａの装着溝２ｂに逆止弁４を装着するとともに第２筐体３０ｂにＯリング４ｃを取り付ける。この後、互いの段付き部を嵌め合わせて第１筐体３０ａに第２筐体３０ｂを組み合わせる。この際、第２筐体３０ｂを超音波が発せられる音極で把持しながら第１筐体３０ａに組み付けて加圧する。
【００４２】
これによって、互いの段付き部の嵌め合いによって第１筐体３０ａに対して所定の位置に第２筐体３０ｂが配され、そして、超音波による密着面の擦れによって密着面が僅かに溶けて第１筐体３０ａと第２筐体３０ｂとの接合がなされる。
特に、図３（ｂ）の符号Ｃの部分とエッジＥの部分とが突き当てられる部分においても超音波による接合がなされるため、段付き部の局部で隙間なく密着した状態で接合がなされる。このことはＯリング４ｃによる密着面の密封性確保に加えてさらなる密封性向上を得る。
【００４３】
そして、第１筐体３０ａと第２筐体との間に位置したＯリング４ｃは、上述したように密着面におけ密封性を確保することに加えて、この内側が逆止弁４の弁体４ａに当たることで弁体４ａの弁座として機能する。すなわち、弁体４ａがスプリング４ｂのばね力によって紙面上方に持ち上げられると、弁体４ａはＯリング４ｃに接して流路を閉塞することが可能となる。
【００４４】
次に、本体１の製造過程について説明する。
まず、本体１に必要となる各ブロック３０、３１，３２を製作するため、逆止弁４が装着された第１筐体３０ａに、要求された口径の導入ポート２ａを有する第２筐体３０ｂを上述した超音波接合によって第１筐体３０ａ，３１ａ，３２ａにそれぞれ取り付ける。勿論、この段階に入る前に、各筐体３０ａ，３０ｂには主流路２ｄ、導入ポート２ａ、パイプ６を挿入する貫通穴２ｆ等が形成されているものとする。
【００４５】
次に、連設する長さに対応するパイプ６を用意し、嵌合部にて連設された各ブロック３０，３１，３２にパイプ６及び固定金具７を取り付けてボルト５をパイプ６にねじ込む。これによって、各ブロック３０，３１，３２の連設状態が保持され、顧客の要求に合った導入ポート２ａの口径、及び接続する流路数に合った導入ポート２ａの個数を有する本体１が完成する。
【００４６】
そして、流体の回路内に固定金具７を用いて設置し、各導入ポート２ａに各種流体が流通する配管を接続し、送出ポート２ｅに混合流体の排出用の配管を接続することで設置が完了する。
なお、万が一、導入ポート２ａの数が回路変更等で不足した場合、中間部分のブロック３０を追加するためにパイプ６を変更することのみで対応することが可能である。
【００４７】
次に、本体１を用いて複数の流体を合流させて排出する機能について説明する。各導入ポート２ａの上流側から各流体が到達し、これら流体の中で主流路２ｄ側の圧力状態とスプリング４ｂのばね力との合算値に勝る圧力状態を得ると、逆止弁４の弁体が下方に下がってこの状態におかれた特定の流路が開かれる。そして、逆止弁４が開いた流路から主流路２ｄ内に流体が流れ込み、同様にその他の流路から流れ込んだ流体と混ざり合って送出ポート２ｅから送出される。
【００４８】
そして、各導入ポート２ａの上流側の圧力が低下した段階、すなわち、本体１の上流側における流体の供給や排出が停止した段階で、その経路中にある逆止弁４は閉じられて主流路２ｄから各導入ポート２ａに向かって逆流することは防止される。このような逆止弁４の動作は、各導入ポート２ａに繋がる流路のそれぞれにおいて個別に行われる。したがって、本体１に流入しようとする流体の圧力状態が低下しても、その流路における雰囲気は主流路２ｄを流れる混合流体に汚染されることはない。
【００４９】
以上説明した本発明の一実施形態に係る複数流路統合継手によれば以下の効果を奏することができる。
逆止弁４を内蔵することで小型でありながら設置性のよい複数流路統合継手１を提供することができる。そして、逆止弁４により主流路２ｄから各導入ポート２ａへの逆流を防いで各導入ポート側の雰囲気を安定させ適正な状態に保つことができる。このことは、複数流路統合継手１の上流側における化学反応や流体の濃度変化などを防止しつつ各流体を的確に合流させて排出あるいは供給することを可能とする。
【００５０】
また、複数のブロック３０，３１，３２を任意に連設して複数流路統合継手１を得ることができるので、各流体を導き入れる数に適宜対応する機能性の高い複数流路統合継手１を容易に形成することができる。このことは、顧客に対する製品供給の短縮化を図ることができ、また、製造側における複数流路統合継手１の在庫を低減できる利点をもたらす。
【００５１】
また、嵌合部を備えることにより、ブロック３０，３１，３２同士を繋ぎ合わせる位置が規定され、複数流路統合継手１の組み立て性の向上や剛性向上、さらには密封性の向上を図ることができる。また、同一軸線上に分割された主流路２ｄの一部の全てを位置させることも容易となり、ここを流れる混合流体を漏らすことなく円滑に流通させることができる。
【００５２】
また、第１筐体３０ａと第２筐体３０ｂとに分けてこれらを超音波接合することによれば、逆止弁４を容易に且つ的確に組み込んで配置させることができ、迅速な組み立て作業を実現することができる。このことは、上述と同様に顧客に対する製品供給の短縮化を図ることができ、また、製造側における在庫の低減を図ることができる。
【００５３】
なお、本実施形態にて説明した各ブロック３０の第２筐体３０ｂを図４，図５に示すように変更して任意な接続形態に対応させることも可能である。
図４に示されるブロック３０’の第２筐体３０ｂ’は、上述と同様に第１筐体３０ａに超音波によって接合される。この第２筐体３０ｂ’は、中央部分に流路を備え、外周部にねじ部が形成されている。
そして、チューブＴを第２筐体３０ｂ’の開口部に挿入し、ナット３０ｃ’で締め付けて固定することでチューブＴの接続が完了する。
このように、第２筐体３０ｂ’を装着したブロック３０’を他のブロック３０と併用して連設することも容易に可能である。
【００５４】
また、図５に示されるブロック３０’’の第２筐体３０ｂ’’は、上述と同様に第１筐体３０ａに超音波によって接合される。この第２筐体３０ｂ’’も外周部にねじ部が形成されており、ナット３０ｃ’’を螺合することが可能である。
また、符号３０ｄ’’はリングを示しており、ナット３０ｃ’’の締め付けによる第２筐体３０ｂ’’とチューブＴとの抜け止めと、密着面におけるシール性を確保している。
【００５５】
このように、リング３０ｄ’’を装着したチューブＴを第２筐体３０ｂ’の開口部に挿入し、ナット３０ｃ’’で締め付けて固定できるような第２筐体３０ｂ’’を装着したブロック３０’’を他のブロック３０，３０’と併用して連設することも容易である。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る複数流路統合継手及びその製造方法によれば、以下の効果を奏することができる。
請求項１記載の発明によれば、複数の流体がそれぞれ導かれる導入ポートの個数に応じてハウジングを分割しつつ、各導入ポートと主流路との間に逆止弁を備える構成としたので、主流路から各導入ポートへの逆流を防いで導入ポート側の雰囲気を適正な状態に保つことができる。これによって、複数流路統合継手の上流側における化学反応や濃度変化などを防止しつつ各流体を的確に合流させて排出あるいは供給することができる。また、ハウジングを分割可能としているので、各流体を導き入れる数に応じた複数流路統合継手を容易に形成することができる。
【００５７】
請求項２記載の発明によれば、ハウジングの分割によって形成されたブロックに嵌合部が形成され、且つブロックが保持手段によって固定されているので、ブロック同士を繋ぎ合わせる位置が規定されて、複数流路統合継手の組み立て性の向上や剛性向上を図ることができる。また、同一軸線上に主流路を位置させることも容易となり、混合流体の円滑な流通を導くことができる。
【００５８】
請求項３記載の発明によれば、構造の簡略化を導いてコストの削減を実現することができる。また、複数の流路を主流路に統合する構成において困難とされた逆止弁の設置を容易に且つ的確に配置させることができる。
【００５９】
請求項４記載の発明によれば、ブロックが第１筐体と第２筐体とからなり、これら筐体の密着面のそれぞれに段付き部を有して超音波による接合で一体化させる製造方法であるので、逆止弁を装着した後に任意な口径の導入ポートを有する第２筐体を迅速且つ容易に取り付けることができる。このことは、複数の導入ポートを有するために多様な口径に対応せざるを得ない複数流路統合継手において有効な利点をもたらし、その主とするところは、多様な口径を有する複数流路統合継手を予め製作せずとも、要求される各口径に見合った形態で迅速に組み立てを完了させて顧客に対する納期の短縮を維持することができる。したがって、複数流路統合継手の在庫の発生を回避することも可能となる。
【００６０】
請求項５記載の発明によれば、第１筐体と第２筐体との密着面における密封性をより向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態における複数流路統合継手の平面図である。
【図２】本発明の一実施形態における複数流路統合継手の構造及び構成を説明する主流路の軸線を含む断面図である。
【図３】図２に示される複数流路統合継手を構成する１つのブロックの構造及び構成を説明する断面図であって、（ａ）はブロックの全体断面図、（ｂ）は（ａ）に符号Ａの範囲を拡大して示した断面拡大図である。
【図４】図２に示される複数流路統合継手を構成する１つのブロックの第１の変形例を説明する断面図である。
【図５】図２に示される複数流路統合継手を構成する１つのブロックの第２の変形例を説明する断面図である。
【図６】従来の複数流路統合継手の構成例を説明する断面図である。
【符号の説明】
１  複数流路統合継手
２  ハウジング
２ａ  導入ポート
２ｂ  逆止弁の装着溝
２ｄ  主流路
２ｅ  送出ポート
２ｆ  貫通穴（保持手段）
４  逆止弁
５  ボルト（保持手段）
６  パイプ（保持手段）
７  固定金具
３０，３１，３２  各ブロック
３０ａ，３１ａ，３２ａ  第１筐体
３０ｂ  第２筐体
【図１】
2004197766.tif 000003
【図２】
2004197766.tif 000004
【図３】
2004197766.tif 000005
【図４】
2004197766.tif 000006
【図５】
2004197766.tif 000007
【図６】
2004197766.tif 000008