(57)【要約】【課題】熱電変換素子の上下に電極板が配置されたカスケード型の熱電変換モジュールを１回のろう付け作業で製造できる治具を提供すること。【解決手段】本発明に係る治具は、一方の電極板が位置決めされる第１親治具１０と、他方の電極板が位置決めされる第２親治具２０と、両親治具間に組み付けられる一対の櫛形治具３０，４０とからなる。一対の櫛形治具３０，４０は櫛歯を交差させて格子が形成される状態で組み付けられる。熱電変換素子９１は格子の開口部に挿入されることで、電極板に当接する状態で位置決めされる。本発明に係る治具を用いると、全素子９１および全電極板を一度に位置決めでき、１回のろう付けで熱電変換モジュールを製造できる。そして、ろう付け後、製造されたモジュールから親治具１０，２０や櫛形治具３０，４０を取り外することができる。【選択図】  図８
2004311505.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が高温側または低温側に向けられると共に他端が残る側に向けられる状態で並列配置される複数のｐ型およびｎ型の熱電変換素子と、隣接するｐ型およびｎ型の熱電変換素子の一端どうしを接続する複数の一端側電極と、隣接するｐ型およびｎ型の熱電変換素子の他端どうしを接続する複数の他端側電極とを有しており、これらの電極によって前記複数のｐ型およびｎ型の熱電変換素子が電気的に交互に直列接続される構造の熱電変換モジュールをろう付けによって製造する際に用いられる治具であって、
一端側電極または他端側電極のいずれか一方側の電極が位置決めされる盤面を有する第１親治具と、他方側の電極が位置決めされる盤面を有する第２親治具と、これらの両盤面が相対向する状態で配置される両親治具の間に挟まれる状態で組み付けられる一対の櫛形治具とを有し、
当該一対の櫛形治具は、それらの櫛歯を交差させて格子が形成されるように組み付けられた状態で用いられるものであり、
前記格子の開口部に挿入された前記熱電変換素子の一端が一端側電極に当接し、他端が他端側電極に当接する状態になるように当該熱電変換素子を位置決めする熱電変換モジュール製造用治具。
【請求項２】
いずれか一方の親治具と、当該一方の親治具に接する状態で組み付けられる櫛形治具は、両治具を相互に位置決めする係合構造を有する請求項１に記載の熱電変換モジュール製造用治具。
【請求項３】
一対の櫛形治具は、両櫛形治具を相互に位置決めする状態で組み付ける係合構造を有するものであり、
当該係合構造は、一方の櫛形治具を他方の櫛形治具に対して、当該他方の櫛形治具の櫛歯長手方向について位置決めするものである、請求項１または請求項２に記載の熱電変換モジュール製造用治具。
【請求項４】
他方の親治具の側に配置される他方の櫛形治具は、他方の親治具から離間した位置に組み付けられるものであると共に、いずれの櫛形治具の櫛歯の長手方向にも直交している着脱方向に移動可能な状態で残る一方の櫛形治具に組み付けられるものであり、
両櫛形治具を相互に組付ける前記係合構造は、熱電変換素子および電極をろう付けした状態で、他方の櫛形治具を一方の櫛形治具に対して前記着脱方向に移動させることで両櫛形治具の位置決めが解除される位置に移動可能な構造である、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の熱電変換モジュール製造用治具。
【請求項５】
櫛形治具は複数の櫛歯を有しており、当該複数の櫛歯のうちの少なくとも１つが櫛形治具本体に対して着脱自在である、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の熱電変換モジュール製造用治具。
【請求項６】
親治具は、電極の位置決めに用いられる凹部を有する請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の熱電変換モジュール製造用治具。
【請求項７】
親治具は、その凹部の底面に、親治具の裏面側に貫通する貫通孔を有するものである請求項６に記載の熱電変換モジュール製造用治具。
【請求項８】
各櫛形治具の櫛歯は、両櫛歯治具と両親治具とを組み付けた状態で、親治具の盤面に位置決めされた電極との間に隙間を形成する位置に組み付けられる請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の熱電変換モジュール製造用治具。
【請求項９】
各親治具および櫛形治具は、耐熱性材料からなるものである請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の熱電変換モジュール製造用治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱電変換モジュール製造用の治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
熱電変換モジュールとしては、例えばカスケード型のものがある（例えば、特許文献１参照）。図１３に示されるように、カスケード型の熱電変換モジュール９０は、並列状態に配置されるｐ型およびｎ型の熱電変換素子９１を有しており、下側電極板９２ａおよび上側電極板９２ｂによって２種類の素子を交互に、また電気的に直列に接続した構造になっている。そして、熱電変換モジュールは、一端側電極板が配置される一方側または他端側電極板が配置される他端側のいずれかの側（の電極板）を高温にすると共に残る側（の電極板）を低温にすると起電力を発生するものであり（ゼーベック効果）、発電機として利用できる。また、直列に配列された熱電変換素子に電流を流すと、いずれかの側（の電極板）が冷却されて吸熱すると共に残る側（の電極板）が発熱して放熱するものであり（ペルチェ効果）、熱交換器として利用できる。
【０００３】
カスケード型の熱電変換モジュールとしては、例えば、熱電変換素子間が空間になっている熱電変換モジュール（図１３参照）があり、このようなモジュールの製造方法として、ステップろう付け法を用いる製造方法が考えられる。
【０００４】
この製造方法では、図１４に示される第１下治具１１０と上治具１２０を用いる。まず、ろうペーストが塗布され乾燥された電極板９２ａ（図１３参照）を複数用意して、第１下治具１１０の各凹部１１１に配置する。次に、第１下治具１１０上に上治具１２０を組み付けて、上治具１２０の正方形の穴１２１にｐ型およびｎ型の熱電変換素子９１（図１３参照）を交互に挿入する。各熱電変換素子９１は、下端が対応する電極板９２ａに接触する状態で位置決めされる。この状態で熱電変換素子９１と電極板９２ａをろう付けする。ろう付け後、治具１１０，１２０を分解して、図１５に示されるような接合物Ｍを取り出す。次に、図１６に示される第２下治具１３０を用意して、当該治具１３０の凹部１３１に電極板９２ｂ（図１３参照）を配置する。そして、先に得られた接合物Ｍの熱電変換素子９１の電極板に接合されていない側の端部を第２下治具１３０上の電極板９２ｂに当接させる。このとき、接合物Ｍのｐ型およびｎ型の熱電変換素子９１が電極板９２ａ，９２ｂを介して電気的に直列接続されるようにする。この状態で、電極板９２ｂと熱電変換素子９１の接触部をろう付けすると、図１３に示されるような構造の熱電変換モジュール９０が得られる。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−１９９７６５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したような治具を用いてカスケード型の熱電変換モジュールを製造した場合、熱電変換素子および電極板の位置決めが難しいという問題がある。上記治具を用いる方法では、部材を位置決めしてろう付けする工程を２回行う必要があり、位置決め誤差が累積し易いといったことが原因の１つとして考えられる。また、上記従来の方法では、隣接する位置においてろう付けを２回行う必要があることからステップろう付け法が用いられているが、ステップろう付けを用いることで生ずる問題もある。例えば、ステップろう付けでは、ろう付け回数が複数回であり、その分、工程が増えてしまい、接合歩留まりが低下しやすい。また、ステップろう付けでは、２回目のろう付けの際に１回目のろう付け部が溶融しないように、ろう付け工程どうしのろう付け温度差をできるだけ大きくする必要がある。ところが、温度差を確保しようとして、１回目のろう付け温度を高くし過ぎると、ろう付けの際に熱電変換素子が劣化して熱電変換効率が低下するおそれがある。他方、２回目のろう付け温度を低くして温度差を確保すれば、素子の劣化は防止されるが、２回目のろう付け温度より低い温度範囲でしか熱電変換モジュールをしようできず、使用範囲が制限される。
【０００７】
このような問題点に鑑み、本発明は、ステップろう付けを用いることなく、１回のろう付けで、カスケード型の熱電変換モジュールを製造できる治具を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような課題を解決するものであり、一端が高温側または低温側に向けられると共に他端が残る側（高温側または低温側）に向けられる状態で並列配置される複数のｐ型およびｎ型の熱電変換素子と、隣接するｐ型およびｎ型の熱電変換素子の一端どうしを接続する複数の一端側電極と、隣接するｐ型およびｎ型の熱電変換素子の他端どうしを接続する複数の他端側電極とを有しており、これらの電極によって前記複数のｐ型およびｎ型の熱電変換素子が電気的に交互に直列接続される構造の熱電変換モジュールをろう付けによって製造する際に用いられる治具であって、一端側電極または他端側電極のいずれか一方側の電極が位置決めされる盤面を有する第１親治具と、他方側の電極が位置決めされる盤面を有する第２親治具と、これらの両盤面が相対向する状態で配置される両親治具の間に挟まれる状態で組み付けられる一対の櫛形治具とを有し、当該一対の櫛形治具は、それらの櫛歯を交差させて格子が形成されるように組み付けられた状態で用いられるものであり、前記格子の開口部に挿入された前記熱電変換素子の一端が一端側電極に当接し、他端が他端側電極に当接する状態になるように当該熱電変換素子を位置決めする熱電変換モジュール製造用治具である。
【０００９】
このように、本発明に係る治具は、概略的には、主に電極の位置決めに用いられる第１親治具および第２親治具と、主に熱電変換素子の位置決めに用いられる第１櫛形治具および第２櫛形治具とから構成される。そして、両櫛形治具はそれらの櫛歯が交差する状態、すなわち櫛歯によって格子が形成される状態に組み付けられた状態で用いられる。他方、両親治具は格子を形成する状態に組み付けられた両櫛形治具を挟むように組み付けられた状態で用いられる。また、本発明に係るモジュール製造用治具を構成する各治具は、他の構成治具に対して位置決めされた状態に組み付けられた状態で用いられる。各構成治具どうしの位置決め方法としては、隣接する構成治具どうしを位置決めすることで治具全体を位置決めする方法、位置決め用部材を用いることで治具全体を位置決めする方法、また両方法を組み合わせて治具全体を位置決めする方法など、種々の方法を用いることが可能である。
【００１０】
熱電変換モジュールを製造する場合は、例えば、次のような手順で治具を組み付ける。まず、複数の一端側電極または複数の他端側電極のどちらかの側の電極を第１親治具の盤面に位置決めする。そして、他方の電極を第２親治具の盤面に位置決めする。電極位置決め手段としては、例えば、電極の大きさに対応する凹部を各親治具の盤面に形成しておくなど、種々の手段が考えられる。次に、第１櫛形治具を、その櫛歯が第１親治具の盤面上に位置するように第１親治具に組み付ける。例えば、第１櫛形治具を第１親治具の盤面に接触させた状態に組み付ける。そして、第２櫛形治具を、第２櫛歯治具の櫛歯と第１櫛形治具の櫛歯とで格子が形成されるように第１櫛形治具に組み付ける。その後、形成された格子の開口部に熱電変換素子を挿入し、挿入した熱電変換素子の挿入側端を第１治具に位置決めされた電極に当接させる。これにより熱電変換素子が位置決めされる。そして、熱電変換素子の露出側端と第２親治具に位置決めされた電極とを当接させた状態で、第２親治具を、第１親治具等の他の治具に対して位置決めする。このようにして各構成治具どうしを組み付けると、熱電変換変換素子および電極が所定位置に位置決めされる。なお、熱電変換素子と電極との当接面にはろう材を介在させる。ろう材を介在させる方法としては、電極および／または熱電変換素子の当接面にろう材を塗布する方法や、両者の間に箔状ろう材を介在させる方法などがある。
【００１１】
このように、本発明に係る治具を用いれば、熱電変換モジュールを構成する全ての熱電変換素子および電極を一度に位置決めでき、１回のろう付け作業で簡単かつ迅速にカスケード型の熱電変換モジュールを製造できる。つまり、製造工数を減ずることができる。工数を減らすことができれば歩留まりが向上する。そして、１回のろう付けでモジュールを製造できれば、素子の劣化が防止され、あるいは最小限に抑えられる。
【００１２】
また、従来の熱電変換モジュールの製造で用いられていたステップろう付けでは、各ステップ毎に位置決め作業があり、異なるステップで位置決めされる部品相互の位置決め精度を確保することは必ずしも容易でなかった。この点、本発明に係る治具を用いれば、一度に全部品を位置決めできるので、全熱電変換素子および電極をより正確に位置決めできる。例えば、熱電変換素子をいずれの側に配置される電極に対しても正確な位置に配置できる。
【００１３】
なお、いずれか一方の親治具と、当該一方の親治具に接する状態で組み付けられる櫛形治具は、両治具を相互に位置決めする係合構造を有するものが好ましい。両治具を相互に位置決めする手段としては、例えば両治具に嵌め込まれる位置決め用部材を用いる方法など種々の方法が考えられるが、いずれか一方の治具に設けた係合部に他方の治具を係合させて位置決めする方法であれば、両治具の位置決めが容易である。
【００１４】
そして、一対の櫛形治具としては、両櫛形治具を相互に位置決めする状態で組み付ける係合構造を有するものであり、当該係合構造は、一方の櫛形治具を他方の櫛形治具に対して、当該他方の櫛形治具の櫛歯長手方向について位置決めするものが好ましい。一対の櫛形治具の各櫛形治具を、他方の櫛形治具の櫛歯長手方向について位置ずれが生じないように、当該他方の櫛形治具に組み付けると、相互に位置決めされた状態の両櫛形治具に対して熱電変換素子を容易かつ正確に位置決めできる。両櫛形治具を相互に位置決めする手段としては、例えば、両櫛形治具のうちの少なくともいずれか一方に係合部を設けるなどして両櫛形治具どうしを直接係合して位置決めできる構造を挙げることができる。
【００１５】
これまでの説明から解るように、本発明に係るモジュール製造用治具を用いる場合、治具の組み付け作業と、治具への電極や素子の位置決め作業が同時に行われる。したがって、治具の組み付けが完了した状態は、電極や素子の位置決めが完了した状態である。そして、治具の組み付けが完了すると、電極と素子の接合部に介在されたろう材を加熱溶融してろう付けを行う。すると、熱電変換モジュールが製造される。
【００１６】
ろう付けが終了すると、分解作業により治具を取り外して製造された熱電変換モジュールを取り出す。治具の分解作業では、まず、熱電変換モジュールの両外側に配置されている両親治具を電極から離すように取り外すことができる。他方、両櫛形治具は、櫛歯が熱電変換モジュールの素子間に挿し込まれた状態になっている。したがって、例えば、櫛歯を素子間から抜き取るように櫛形治具を移動させることで当該櫛形治具を熱電変換モジュールから取り外すことが考えられる。このようにして全ての治具を取り外すと、熱電変換モジュールが得られる。なお、素子間から抜き取り可能な櫛歯形状としては、根元から先端まで太さが一定の櫛歯を挙げることができる。
【００１７】
ただし、櫛歯形状が素子間から抜き取り可能な形状である場合、ろう付け作業中に櫛歯が抜け落ちやすい。したがって、治具の構造としては、抜け落ちが防止された構造、より具体的には両櫛形治具を固定する構造を有するものが好ましい。そこで、治具の構造が複雑でなく、しかも櫛歯の抜け落ちを防止できる構造について検討した。
【００１８】
まず、他方の親治具の側に配置される他方の櫛形治具としては、他方の親治具から離間した位置に組み付けられるものであると共に、いずれの櫛形治具の櫛歯の長手方向にも直交する方向（以下、着脱方向とも称する）に移動可能な状態で残る一方の櫛形治具に組み付けられるものが好ましい。このような構造にすると、全ての治具が組み付けられた状態で、他方の櫛形治具と他方の親治具（より具体的には電極）との間に離間空間が形成され、この空間が存在する分、他方の櫛形治具を着脱方向に移動可能になる。
【００１９】
そして、両櫛形治具を相互に組付ける前記係合構造としては、熱電変換素子および電極をろう付けした状態で、他方の櫛形治具を一方の櫛形治具に対して前記着脱方向に移動させることによって両櫛形治具の位置決めが解除される位置に移動可能な構造が好ましいことが解った。このような構造としては、例えば、他方の櫛形治具の櫛歯先端にＬ字形の係合部を設けたような係合構造などが考えられる。このような構造の場合、Ｌ字形等の係合部を一方の櫛形治具に係合させることで櫛歯の抜け落ちが防止される。係合を解除する場合は、まず、他方の櫛形治具を着脱方向に移動させて、Ｌ字形等の係合部と一方の櫛形治具との係合が解除される位置に移動させる。この状態は他方の櫛形治具の櫛歯を抜き取ることができる状態であり、櫛歯を抜き取るように移動させると、他方の櫛形治具が取り外される。
【００２０】
また、熱電変換モジュール製造後の治具の分解が容易であり、製造されたモジュールから容易に治具を取り外すことができる治具構造についてさらに検討した。その結果、櫛形治具は通常複数の櫛歯を有するものであるが、これら複数の櫛歯のうちの少なくとも１つだけでも櫛形治具本体に対して着脱自在である構造にすると、櫛形治具の取り外しが容易になり、熱電変換モジュールの取り出しがより容易であることが解った。
【００２１】
このような櫛形治具としては、例えば、複数の棒状の櫛歯と、当該複数の棒状の櫛歯の一端が着脱自在にとり付けられる着脱部を複数有する櫛形治具の本体部とからなるものや、複数の棒状の櫛歯と、当該複数の棒状の櫛歯の両端部を支持できる着脱部を有する櫛形治具の本体とからなるものなどを挙げることができる。着脱部の構造としては、棒状の櫛歯が挿入される穴構造や、棒状の櫛歯の両端が嵌め込まれる溝構造などが考えられる。このような櫛形治具を用いれば、櫛形治具本体を先に取り外した後、棒状の櫛歯をその長手方向に移動させて抜き取るなどの手順によって、容易に治具を分解でき、容易にモジュールから治具を取り外すことができる。
【００２２】
また、親治具上に電極を位置決めする手段として、先に、電極の大きさに対応する凹部を各親治具の盤面に形成する手段を挙げたが、この場合、親治具としては、その凹部の底面に、親治具の裏面側に貫通する貫通孔を有するものが好ましい。
【００２３】
ろう付けによる組立てが終了すると、例えばモジュールを親治具から引き離すように引っ張って電極を凹部から取り外す。ところが、モジュールとして一体的に組み付けられた電極の取り外しは必ずしも容易でない。複数の電極が一体化された状態では、どうしても１つ以上の電極の角部や縁部が凹部の周辺に引っかかりやすい。引っかかりが生ずると、熱電変換素子に引っ張り応力や曲げ応力が加わって割れや折れが生じ、モジュールの歩留まりが低下しやすい。この点、凹部の底面に貫通孔があれば、モジュールを引っ張るのではなく、親治具の裏面側から貫通孔内に挿し込んだ取外し用具で電極を押すことで凹部から電極を取り出すことができる。このようにして電極を取り外せば、熱電変換素子に引っ張り応力や曲げ応力が加わることが防止されるなど素子への負担が最小限に抑えられ、割れや折れの発生がより確実に防止される。
【００２４】
また、モジュールの複数の電極を各凹部内から容易に取り出すには、全電極を親治具に対して同時に同一方向に押す必要がある。同時でなかったり向きが正確でないと、熱電変換素子に引っ張り応力や曲げ応力が加わって割れや折れが生じやすい。検討の結果、親治具に形成された各凹部の貫通孔内に同時に挿し込み可能な複数の突起を有し、凹部内の電極に当接する各突起の先端が同一平面上に位置する構造の取外し用具を用いることが好ましいことが解った。このような治具を用いると、容易に、各凹部内の電極を親治具に対して同時にかつ正確な方向に押すことができ、治具取り外し時の熱電変換素子の割れや折れの発生が確実に防止される。
【００２５】
また、各櫛形治具の櫛歯としては、両櫛歯治具と両親治具とを組み付けた状態で、親治具の盤面に位置決めされた電極との間に隙間を形成する位置に組み付けられるものが好ましい。この構造であれば、全構成治具を組み付けて電極と熱電変換素子を位置決めしたときに、電極と熱電変換素子とのろう付け部分の周囲に空間が確保される。当該空間が確保されると、ろう付け部の周縁に良好な形状のフィレットを形成できる。フィレットが形成されればろう付け強度や耐久性などのろう付け品質が向上する。
【００２６】
なお、盤面上の電極と櫛歯との間に隙間が形成される治具構造の態様としては、例えば、櫛歯を盤面から離して位置させる構造や、電極の櫛歯側の端面（上端面）が親治具の盤面よりも櫛歯から離れる（下側になる）ように親治具に電極を位置決めする構造や、これらの構造を併せ持つ構造などが考えられる。電極の櫛歯側の端面が盤面よりも櫛歯から離れるように親治具に電極を位置決めする構造としては、例えば、親治具の盤面に凹部を形成して当該凹部を電極の位置決めに用いる構造において、当該凹部の深さ寸法を電極の厚さ寸法よりも大きくする（深さを深くする）構造が考えられる。
【００２７】
また、櫛歯と親治具の盤面との間に隙間があると、熱電変換素子の位置決め状態を目視によって直接確認できたり、ピンセットなどの道具を用いて位置ズレを修正できたりするなどの利点がある。
【００２８】
なお、各親治具および櫛形治具としては、耐熱性材料からなるものが好ましい。耐熱性材料としては、例えば、等方性黒鉛などのファインカーボン材、セラミックス酸化物を被覆したコバール等をはじめ、一般的な耐熱材料を挙げることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る熱電変換モジュール製造用治具（図１参照）および当該治具を用いた熱電変換モジュールの製造方法の好適な実施形態を説明する。
【００３０】
熱電変換モジュール製造用治具は、図１に示されるようなものであり、カスケード型の熱電変換モジュール（図１３参照）をろう付けによって製造する際に用いられる治具である。
【００３１】
まず、組立ての対象である熱電変換モジュールについて、簡単に説明する。図１３に示されるように、熱電変換モジュール９０は、概略的には、等間隔で配置される角柱形状の熱電変換素子９１と、熱電変換素子９１の上下両側に配置される電極板（電極）９２ａ，９２ｂとからなる。熱電変換素子９１はｐ型とｎ型の２種類であり、２種類の素子９１は電極板９２ａ，９２ｂを介して交互に、そして電気的に直列に接続されている。なお、この実施形態の熱電変換素子９１（半導体チップ）は、ＮａＣｏ２Ｏ４系の半導体であり、電極板９２ａ，９２ｂはニッケル（Ｎｉ）製である。
【００３２】
第１実施形態
図１に示されるように、本実施形態のモジュール製造用治具１は、下側の電極板（一方側の電極）９２ａの位置決めに用いられる厚板状の第１親治具（一方の親治具）１０と、上側の電極板９２ｂ（他方側の電極）の位置決めに用いられる厚板状の第２親治具（他方の親治具）２０と、両親治具１０，２０の間に挟まれた状態で用いられる一対の櫛形治具３０，４０とからなる。そして、これらの治具（モジュール製造用治具１の構成治具）１０，２０，３０，４０は、相互に組み付けられた状態（図７参照）で用いられる。なお、モジュール製造用治具１はカーボン製である。
【００３３】
第１親治具１０は、図１において上側に向けられた盤面１１に形成された複数の凹部１２（電極位置決め手段）を有する。この凹部１２は電極板９２ａの配置パターンに対応する位置に形成されている。したがって、各凹部１２に電極板９２ａを装着すると、電極板９２ａが第１親治具１０の所定位置に位置決めされる。凹部１２の配置パターンは図２に示されている。凹部１２は都合９つである。
【００３４】
図２に示されるように、各凹部１２の底面には、第１親治具１０の裏面側に貫通する略小判形の貫通孔１２ａが形成されている。この貫通孔１２ａは、凹部１２内から電極板９２ａを取り外す際に用いられる。モジュール組立後に行う電極板９２ａの取り外し作業については後述する。
【００３５】
第１親治具１０の盤面１１には、開口が丸形の第１係合穴１３と、開口が矩形の第２係合穴１４が形成されている。丸形の第１係合穴１３は、凹部１２の形成領域を取り囲む位置に３つある。第１係合穴１３は、両親治具１０，２０を相互に位置決めする棒材５０（図７参照）が挿し込まれる係合部として用いられる。そして、矩形の第２係合穴１４は、凹部１２の形成領域を両側から挟む位置に一対ある（図２参照）。この第２係合穴１４は、第１櫛形治具３０が直接組み付けられる係合部として用いられる。
【００３６】
第２親治具２０は、図１において下側に向けられた盤面２１に、複数の凹部２２（電極位置決め手段）を有する。凹部２２の配置パターンは図３に示されている。凹部２２は都合８つである。そして、各凹部２２に電極板９２ｂを装着すると、電極板９２ｂが第２親治具２０の所定位置に位置決めされる。各凹部２２の底面には、第２親治具２０の裏面側に貫通する略小判形の貫通孔２２ａが形成されている。この貫通孔２２ａは電極板９２ｂを取り外す際に用いられる。電極板９２ｂの取り外し作業については後述する。
【００３７】
また、第２治具２０の盤面２１には、開口が丸形の第１係合穴２３が形成されている。この第１係合穴２３は、凹部２２の形成領域を取り囲むように３つ形成されており、両親治具１０，２０を相互に位置決めする棒材５０（図７参照）が挿し込まれる係合部として用いられる。このように、第１親治具１０および第２親治具２０は、両治具１０，２０を相互に位置決めするための係合構造を有する。
【００３８】
図１に示されるように、第１櫛形治具３０は、２つある櫛形治具３０，４０のうち、第１親治具１０側に配置されるものであり、複数（５本）の櫛歯３１と、これらの櫛歯３１が一体的に設けられた櫛形治具の本体３２とからなる。当該本体３２は櫛歯３１と直交する方向に延びている。そして、この本体３２は第１親治具１０の一方の第２係合穴１４に着脱自在に嵌め込まれる断面矩形の凸部３２ａを有する。また、各櫛歯３１の先端部には、第１親治具１０の他方の第２係合穴１４に着脱自在に嵌め込まれる凸部３１ａが形成されている。全ての凸部３１ａは同じ方向（図１の下方）に向いており、同時に、第２係合穴１４に嵌め込まれる。これらの凸部３１ａ，３２ａを第２係合穴１４に挿し込むと、第１親治具１０に対する第１櫛形治具３０の盤面方向（水平方向）の位置が位置決めされる。そして、各凸部３１ａ，３２ａの根元部分にある段差３１ｂ，３２ｂを盤面１１に当接させると、第１親治具１０に対する第１櫛形治具３０の盤面直交方向の位置が位置決めされる。これにより、第１親治具１０と第１櫛形治具３０とが相互に位置決めされた状態で組み付けられる。このように、第１親治具１０および第１櫛形治具３０は、両治具１０，３０を相互に直接位置決めする係合構造を有する。
【００３９】
第１櫛形治具３０の各櫛歯３１は、第１親治具１０と第１櫛形治具３０を相互に組み付けたときに、第１親治具１０の盤面１１に沿って平行になるように本体３２に設けられている。また、各櫛歯３１は、本体凸部３２ａの段差３２ｂから離れた位置（図１では段差３２ｂより上側）に設けられている。したがって、第１親治具１０に第１櫛形治具３０を組み付けると、第２係合穴１４に嵌め込まれた櫛歯先端部以外の櫛歯３１の部分と第１親治具１０の盤面１１との間に隙間Ｅが形成される（図６参照）。
【００４０】
また、図１に示されるように、第１櫛形治具３０の本体３２および櫛歯３１の先端部の上側（凸部３１ａ，３２ａの反対側）には、突起３１ｃ，３２ｃが形成されている。そして、両突起３１ｃ，３２ｃの間には凹部３３が形成されている。この凹部３３は第１櫛形治具３０と第２櫛形治具４０との係合に用いられる。
【００４１】
第２櫛形治具４０は、第２親治具２０側に配置される板状の治具であり、複数（５本）の櫛歯４１と、これらの櫛歯４１が一体的に設けられている櫛形治具の本体４２とからなる。当該本体４２は櫛歯４１と直交する方向に延びている。また、櫛歯４１が設けられている領域（以下、櫛歯領域とも称する）の幅寸法、すなわち両外側の櫛歯４１の外側間距離Ｗ１（図１参照）は、第１櫛形治具３０の凹部３３の長さ寸法Ｗ２に対応する。したがって、第２櫛形治具４０の櫛歯領域を、第１櫛形治具３０の凹部３３に着脱自在に嵌め込むことができる。実際に嵌め込むと、第２櫛形治具４０が、矢印Ｂ方向（図７参照）の位置を位置決めされた状態で第１櫛形治具３０に組み付けられる。なお、ここでいうＢ方向とは、第１櫛形治具３０の櫛歯３１の長手方向である。
【００４２】
第２櫛歯治具４０の本体４２の両端部と、両外側の櫛歯４１の先端部には外側方向に突き出た凸部４１ａ，４２ａが形成されている。そして、両端の櫛歯４１の外側部には、両凸部４１ａ，４２ａの間に位置する凹部４３が形成されている（図１参照）。この凹部４３の長さ寸法Ｗ３は、第１櫛形治具３０の本体３２の長さ寸法や両外側の櫛歯３１の外側間距離Ｗ４に対応する。したがって、第２櫛形治具４０の櫛歯領域を、第１櫛形治具３０の凹部３３に着脱自在に嵌め込むと、第２櫛形治具４０が、矢印Ｃ方向の位置を位置決めされた状態で第１櫛形治具３０に組み付けられる（図７参照）。なお、ここでいうＣ方向とは、第２櫛形治具４０の櫛歯の長手方向である。
【００４３】
そして、図７に示されるように、第１櫛形治具３０の凹部３３に嵌め込んだ第２櫛形治具４０を、当該凹部３３の底面（櫛歯３１の上面）に当接させると、第１櫛形治具３０と第２櫛形治具４０が盤面直交方向について位置決めされ、第１櫛形治具３０と第２櫛形治具４０とが相互に位置決めされた状態で組み付けられる。両櫛形治具３０，４０が相互に組み付けられると、第２櫛形治具４０の各櫛歯４１は、第１親治具１０の盤面１１に沿って平行に延び、かつ第１櫛形治具３０の櫛歯３１と直交する状態になる。以上のように、第１櫛形治具３０および第２櫛形治具４０は、両治具３０，４０を相互に直接位置決めする係合構造を有する。
【００４４】
また、モジュール製造用治具１を用いて熱電変換モジュール９０を組立てる場合、本実施形態では、熱電変換モジュール９０を構成する電極板９２ａ，９２ｂを治具から取り外すときに取外し用具を用いる。
【００４５】
図４（ａ）に示される取外し用具６１は、第１親治具１０の凹部１２から電極板９２ａを取り外す際に用いられるものであり、複数の突起６１ａを有する。また、図４（ｂ）に示される取外し用具６２は、第２親治具２０の凹部２２から電極板９２ｂを取り外す際に用いられるものであり、複数の突起６２ａを有する。突起６１ａ，６２ａは、親治具１０，２０の凹部１２，２２の貫通孔１２ａ，２２ａに挿入可能な大きさであり、各突起６１ａの先端位置および各突起６２ａの先端位置が、それぞれ同一面上に位置する形状に形成されている。この突起６１ａ，６２ａを貫通孔１２ａ，２２ａに挿し込むことで凹部１２，２２内の電極板９２ａ，９２ｂを取り外すことができる。なお、取外し用具６１，６２の一側に沿って形成される段部６１ｂ，６２ｂは、対応する親治具１０，２０との位置決めに用いられる。
【００４６】
次に、モジュール製造用治具１を用いて、熱電変換モジュールをろう付けによって製造する手順を説明する。
【００４７】
まず、Ｎｉ製で長方形の板材であり、一方の面に銀ろうペーストが塗布された電極板９２ａ，９２ｂ（図５参照）を複数用意する。銀ろうペーストは、エタノール系溶媒と、アクリル樹脂と、銀ろう（Ａｇ：７０．５重量％、Ｃｕ：２７．５重量％、Ｔｉ：２．０重量％）とからなるものを用いた。また、銀ろうペーストを塗布する方法として、まず各電極板９２ａ，９２ｂの一方の面に塗布し、これを乾燥させる方法を用いた。なお、ろう材としては、ペースト状のろう材以外にも例えば箔状（プリフォーム状）のろう材を用いることが可能である。
【００４８】
そして、電極板９２ａを第１親治具１０の各凹部１２内に配置する。このとき、ろうペースト塗布面を露出させる（図５において上側に向ける）。これにより、電極板９２ａが第１親治具１０に位置決めされる。また同様に、第２親治具２０の凹部２２に電極板９２ｂを配置して位置決めする。
【００４９】
電極板９２ａ，９２ｂの位置決め後、第１親治具１０の第２係合穴１４に第１櫛形治具１０の凸部３１ａ，３２ａを嵌め込む。すると、第１親治具１０と第１櫛形治具３０が相互に位置決めされた状態で組み付けられる（図６参照）。続いて、第１櫛形治具３０の凹部３３に第２櫛形治具４０の櫛歯領域を嵌め込む。すると、同時に、第２櫛形治具４０の両外側の凹部４３が第１櫛形治具３０の突起３１ｃ，３２ｃに嵌め込まれる。つまり、第１櫛形治具３０および第２櫛形治具４０が相互に位置決めされた状態で組み付けられる。このように両櫛形治具３０，４０を組み付けると、両櫛形治具３０，４０の櫛歯３１，４１が直交する状態になり、櫛歯からなる格子が形成される（図７参照）。
【００５０】
第１親治具１０および両櫛形治具３０，４０を組み付けると、次に、櫛歯３１，４１によって構成される格子の各窓部（各開口部）に、断面正方形のブロック形状の熱電変換素子９１を挿入する（図７の矢印Ｄ参照）。すると、熱電変換素子９１の周囲に接する櫛歯３１，４１によって、素子の水平方向（第１親治具１０の盤面方向）の位置が位置決めされる。また、熱電変換素子９１の下端面（挿入端）に当接する第１親治具１０の電極板９２ａによって、素子の盤面直交方向の位置が位置決めされる。このようにして熱電変換素子９１が治具に位置決めされる。
【００５１】
熱電変換素子９１を格子開口部に挿入して位置決めすると、次に、電極板１２ｂが位置決めされている第２親治具２０を他の治具１０，３０，４０に組み付ける。
【００５２】
第２親治具２０の組み付けでは棒材（位置決め用部材）５０を用いる。各棒材５０は、上下端に、細径部５１ａ，５１ｂを有するものであり、まず、各棒材５０の短い方の細径部５１ａを第１係合部１３に挿し込む。その後、第２親治具２０を、その盤面２１を下側（素子９１側）に向けた状態にする。この状態で、第２親治具２０の各第１係合穴２３を棒材５０の長い方の細径部５１ｂに挿し込む。すると、第２親治具２０の凹部２２内の電極板９２ｂと熱電変換素子９１の上端面とが当接し、この状態で電極板９２ｂが治具に位置決めされる。なお、第２親治具２０の盤面２１を下側に向けると、凹部２２内の電極板９２ｂが脱落するおそれがあるが、本実施形態では、第２親治具２０の裏面側に磁石（不図示）を配置し、当該磁石の磁力によってＮｉ製の電極板９２ｂの脱落を防止している。
【００５３】
このようにして、図８に示されるように、全ての治具１０，２０，３０，４０が相互に組み付けられる。そして、組み付けられた治具によって、熱電変換モジュールを構成する全ての熱電変換素子９１および電極板９２ａ，９２ｂが相互に正確な位置に位置決めされる。
【００５４】
なお、図８に示されるように、第２親治具２０は、棒材５０を介して第１親治具１０に対して位置決めされるものであり、第２櫛形治具４０とは接触しない状態で位置決めされる。本実施形態では、第２親治具２０が第２櫛形治具４０に接触しない状態で位置決めされるように、第１親治具１０と両櫛形治具３０，４０を組み付けたときに（図７参照）、第１親治具１０の盤面１１から各櫛形治具３０，４０の上端面までの高さ寸法が熱電変換素子９１の高さ寸法より低くなるように、両櫛形治具３０，４０の高さ寸法、組付構造等を定めている。また、第１櫛形治具３０の櫛歯３１の先端部分の高さ寸法Ｈ（図１参照）は熱電変換素子９１の高さ寸法よりも短くなっており、熱電変換素子９１の上下に配置される両電極板９２ａ，９２ｂの間を通することができる構造になっている。
【００５５】
治具の組み付けが完了すると、第２親治具４０から磁石を取り去り、第２親治具２０の上に１００ｇの重りを載せてろう付けを行う。重りを載せることで第２親治具２０の上方への位置ズレが防止され、ろう付けされる面どうしが適度に密着する状態が確保される。なお、ろう付け条件は、真空（１０−３Ｐａ台）中で８００℃に１０分間保持するというものである。
【００５６】
ろう付けが終了すると、治具に取り囲まれた状態の熱電変換モジュール９０が得られる。得られた熱電変換モジュール９０を観察したところ、ろう付け部の外周縁に、フィレットＦ（図８にのみ図示）が形成されていた。本実施形態のように、盤面１１と櫛歯３１との間や盤面２１と櫛歯４１との間に隙間Ｅが確保される治具１を用いると、ろう付け部の外周縁にフィレットＦを形成できる。また、電極板９２ａ，９２ｂの幅は熱電変換素子９１の幅と同じかそれ以上であればよいが、本実施形態のように、熱電変換素子９１の幅よりも幅広の電極板９２ａ，９２ｂを用いると、ろう付け部の外周縁の全周に亘って良好な形状のフィレットＦが形成される。
【００５７】
ろう付け終了後、次に説明する手順で治具を分解し、熱電変換モジュール９０を取り出す。
【００５８】
まず、第２親治具２０を取り外す。この第２親治具２０の取り外しでは、図４に示される取外し用具６２を用いる。まず、取外し用具６２の段部６２ｂを第２親治具２０の外周縁に当てつつ、各突起６２ａの位置を各凹部２２の貫通孔２２ａの位置に合わせる。この状態で取外し用具６２を第２親治具２０に押し付けると、各凹部２２内の電極板９２ｂが突起６２ａによって凹部２２から同時に押し出される。このように、取外し用具６２を用いれば、第２親治具２０から容易に電極板９２ｂを取り外すことができる（図９参照）。そして、取外し治具６２を用いると、取り外しの際に熱電変換素子９１に力が加わることがなく、熱電変換素子９１の割れなどが確実に防止される。また、各電極板９２ｂを盤面直交方向に押すことができるので、電極板９２ｂが凹部２２の角部に当たって、第２親治具２０が欠けるようなことが防止される。
【００５９】
次に、第２櫛形治具４０を取り外す。図９から解るように、第２櫛形治具４０は電極板９２ｂから離間した位置に配置されており、離間空間の範囲で、第２櫛形治具４０を上下動できる。そして、第２櫛形治具４０を電極板９２ｂに接する位置（両櫛形治具の位置決めが解除される位置）まで上方移動させると、第２櫛形治具４０の凸部４１ａ，４２ａ（図１参照）と第１櫛形治具３０の突起３１ｃ，３２ｃ（図１参照）との係合状態が解除され、第２櫛形治具４０を当該治具４０の櫛歯４１の長手方向に移動できるようになる。そこで、当該方向に、櫛歯４１を引きぬくように第２櫛形治具４０を移動させて、当該第２櫛形治具４０熱電変換モジュール９０から抜き取る（図９参照）。
【００６０】
続いて、第１櫛形治具３０を取り外す。図１０に示されるように、第２櫛形治具４０を抜き取ると、第１櫛形治具３０を電極板９２ｂとの間の離間空間の範囲で上下動できる。そして、第１櫛形治具３０を電極板９２ｂに接する位置（両櫛形治具の位置決めが解除される位置）まで上方移動させると、第１櫛形治具３０の凸部３１ａ，３２ａと第１親治具１０の第２係合穴１４との係合が解除され、第１櫛形治具３０を、当該治具３０の櫛歯３１の長手方向に移動できるようになる。そこで、当該方向に、櫛歯３１を引きぬくように第１櫛形治具３０を移動させて、当該第１櫛形治具３０を熱電変換モジュール９０から抜き取る。
【００６１】
最後に第１親治具１０を取り外す。第１親治具１０の取り外しでは、第２親治具２０の取り外しと同様、取外し用具６１を用いる。まず、取外し用具６１の段部６１ｂを第１親治具１０の外周縁に当てつつ、各突起６１ａの位置を各凹部１２の貫通孔１２ａの位置に合わせる。この状態で取外し用具６１を第１親治具１０に押し付けると、各凹部１２内の各電極板９２ａが各突起６１ａによって凹部１２から同時に押し出される。取外し用具６１を用いれば、第１親治具１０から容易に電極板９２ａを取り外すことができ、熱電変換素子９１の割れや、第１親治具１０の欠けなどが防止される。このようにして第１親治具１０を取り外すと、全ての構成治具１０，２０，３０，４０が取り外されたこととなり、図１３に示されるような熱電変換モジュール９０が取り出される。
【００６２】
なお、本実施形態の説明では、詳細な説明を省略したが、熱電変換モジュール９０の組立てでは、リード線９３を取り付ける工程がある。リード線９３の取り付け方法としては、ろう付けや半田付け、圧着、ボルト留めなど種々の方法が考えられる。本実施形態では、熱電変換素子９１と電極板９２ａ，９２ｂとをろう付けする際に同時にリード線９３をとり付けている。
【００６３】
得られた熱電変換モジュール９０について、ろう付け精度を測定したところ、熱電変換素子９１および電極板９２ａ，９２ｂが正確な位置にズレなく接合されていた。具体的には、位置のズレ量は１．０ｍｍ以下（０．０１ｍｍ〜１．０ｍｍ）であった。そして、先に説明したように、ろう付け部の外周縁に良好な形状のフィレットＦ（図８参照）が形成されており、また実際に接合強度を測定したところ十分に高い接合強度を有しており、高品質のろう付けが行われていることが解った。そして、熱電変換モジュール９０の熱電変換効率について評価した結果、十分に高い変換効率が得られることが解り、熱電変換素子はほとんど劣化していないことが解った。このように本実施形態の熱電変換モジュール製造用治具を用いれば、高品質のろう付けによって、正確な位置に熱電変換素子および電極板を接合できることが解った。
【００６４】
第２実施形態
ところで、治具の実施形態としては、上記のもの以外にも種々の形態が考えられる。そこで、別の実施形態として、櫛形治具の本体に対して櫛歯が着脱自在になっている熱電変換モジュール製造用治具について説明する。なお、ここで説明する熱電変換モジュール製造用治具の親治具は、先に説明したものと同様の構造であるので同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００６５】
図１１に示されるように、第１櫛形治具７０は、第１親治具に組み付けられる一対の本体７１，７２と、当該本体７１，７２によって両端を支持される状態で組み付けられる複数（本実施形態では５本）の櫛歯７３とからなる。本体７１，７２は、同じ形状であり、図１１において下方に突き出した凸部７１ａ，７２ａと、櫛歯７３の端部が嵌め込まれる溝部７１ｂ，７２ｂと、後述の第２櫛形治具８０の組み付けに用いられる凹部７１ｃ，７２ｃとを有する。これらのうち、凸部７１ａ，７２ａは、第１親治具１０の第２係合穴１４に着脱自在に嵌め込まれるものであり、第１親治具１０との係合構造の一部を構成する。溝部７１ｂ，７２ｂは、その下端が凸部７１ａ，７２ａの根元の段差７１ｄ，７２ｄから上方に離れて位置するように形成されている。凹部７１ｃ，７２ｃは、第２櫛形治具４０との係合構造を構成している。また、各櫛歯７３は、断面矩形の棒状の部材であり、本体７１，７２の溝部７１ｂ，７２ｂに嵌め込み可能な寸法である。
【００６６】
また、第２櫛形治具８０は、第１櫛形治具７０の本体７１に組み付けられる一対の本体８１，８２と、当該本体８１，８２によって両端を支持される状態で組み付けられる複数（本実施形態では５本）の櫛歯８３とからなる。本体８１，８２は、いずれも断面矩形の棒状の部材である。この棒状である本体８１，８２の両端部は、第１櫛形治具３０の凹部７１ｃ，７２ｃに嵌め込まれる部分であり、第１櫛形治具３０との係合構造を構成している。そして、本体８１，８２は、櫛歯８３が挿し込まれる矩形の穴８１ａ，８２ａを有する。また、各櫛歯８３は、断面矩形の棒状の部材であり、本体８１，８２の穴８１ａ，８２ａに挿し込み可能な寸法である。
【００６７】
次に、当該別の実施形態のモジュール製造用治具を用いて熱電変換モジュールを製造する工程のうち、櫛形治具に関する工程について説明する。これ以外の工程は、先に説明した熱電変換モジュール製造用治具１を用いる場合と同様であるので説明を省略する。
【００６８】
第１櫛形治具７０の組み付けは、例えば、各親治具１０，２０の凹部１２，２２内に電極板９２ａ，９２ｂを位置決めした後（段落００４８参照）に行われる。まず、第１櫛形治具７０の本体７１，７２の凸部７１ａ，３２ａを第１親治具１０の対応する第２係合穴１４に嵌め込む。そして、櫛歯７３の両端を本体７１，７２の溝部７１ｂ，７２ｂに嵌め込んで、本体７１，７２に架け渡すように取り付ける。本体７１，７２の溝部７１ｂ，７２ｂの下端は凸部７１ａ，７２ａの段差７１ｄ，７２ｄから上方に離れた位置に形成されており、櫛歯７３と第１親治具１０の盤面１１との間に隙間Ｅが形成される。
【００６９】
そして、第２櫛形治具８０を第１櫛形治具７０に組み付ける。まず、第２櫛形治具８０の一方の本体８１の各穴８１ａに櫛歯８３を挿し込む。次に、各櫛歯８３の他方の端部を、他方の本体８２の穴８２ａに挿し込む。これにより、複数の櫛歯８３が柵状に並ぶアセンブリされた第２櫛形治具８０が形成される。この第２櫛形治具８０の本体８１，８２の両端を、第１櫛形治具７０の本体７１，７２の両端の凹部７１ｃ，７２ｃに載置する。すると、図１２に示されるように、第２櫛形治具８０が第１櫛形治具７０に組み付けられる。
【００７０】
また、熱電変換モジュール製造後の治具を取り外す工程のうち、櫛形治具に関する工程について説明する。これ以外の工程は、先に説明した熱電変換モジュール製造用治具１を用いる場合と同様であるので説明を省略する。
【００７１】
第２櫛形治具８０の取り外しは、例えば、第２親治具２０の取り外し（段落００５８参照）の後に行われる。まず、第２櫛形治具８０の本体８１，８２のいずれか一方または両方を第１櫛形治具７０から取り外す。組み付けられた状態の本体８１，８２の一部は、第１櫛形治具７０の本体７１，７２からはみ出しており（図１２参照）、このはみ出した部分を掴むことによって容易に本体８１，８２を取り外すことができる。このようにして本体８１，８２を取り外すと、櫛歯８３を容易に取り外すことができる。
【００７２】
次に、第１櫛形治具７０の取り外しであるが、本実施形態では、その前に第１親治具１０を取り外す。なお、第１親治具１０の取り外し手順は先に説明した通りであり説明を省略する。第１親治具１０を取り外すと、第１櫛形治具７０の本体７１，７２を、櫛歯７３の延びる方向に移動させることによって容易に取り外すことができる。第１櫛形治具７０の本体７１，７２を取り外すと、櫛歯７３を容易に取り外すことができる。このようにして全ての構成治具１０，２０，３０，４０を取り外すと、図１３に示されるような熱電変換モジュール９０が取り出される。
【００７３】
なお、上記の各実施形態では、第２親治具２０から電極板９２ｂが脱落することを防止する方法として磁石を用いる方法を用いるが、これ以外にも例えば、樹脂が溶かし込まれた溶剤（樹脂入り溶剤）を用いて電極板９２ｂを凹部２２内に貼り付ける方法を用いても良い。この場合は、第２親治具２０で位置決めする電極板９２ｂの治具側の面（ろうペースト塗布面の反対面）に樹脂入り溶剤を塗布し、溶剤が乾燥する前に、溶剤塗布面を底側に向けて電極板を第２親治具２０の凹部２２内に配置する。そして１００℃程度の温度で樹脂入り溶剤を乾燥させて、電極板９２ｂを第２親治具２０の凹部２２内に固定させる。その後、電極板９２ｂが固定された第２親治具２０を、上述の手順と同様の手順で第１親治具１０に組み付ける。なお、この樹脂入り溶剤は、ろう付けや半田付けによって加熱された際に完全に蒸発するものである。したがって、ろう付け後、第２親治具２０の凹部２２内から電極板９２ｂを取り外すことができないといった不具合は生じない。この方法は、Ｃｕ製の電極板など、磁石で吸引できない材質からなる電極板を用いる場合に、当該電極板を固定する方法として好適である。
【００７４】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、カスケード型の熱電変換モジュールを１回のろう付けだけで簡単かつ迅速に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の熱電変換モジュール製造用治具を示す分解斜視図。
【図２】第１親治具を示す平面図およびＡ−Ａ面を示す断面図。
【図３】第２親治具を示す平面図および側面図。
【図４】取外し用具を示す斜視図。
【図５】電極板を位置決めする第１親治具を示す斜視図。
【図６】第１親治具と第１櫛形治具を組み付けた状態を示す正面図。
【図７】第１親治具、第１櫛形治具および第２櫛形治具を組み付けた状態を示す斜視図。
【図８】全熱電変換素子および電極板を位置決めした状態の熱電変換モジュール製造用治具を示す拡大正面図。
【図９】第２親治具を取り外した状態を示す正面図。
【図１０】第２櫛形治具を抜き取った状態を示す正面図。
【図１１】別の実施形態の櫛形治具を示す分解斜視図。
【図１２】別の実施形態の櫛形治具を組み付けた状態を示す斜視図。
【図１３】製造される熱電変換モジュールを示す斜視図。
【図１４】従来の熱電変換モジュール製造用治具を示す斜視図。
【図１５】従来の製造法における中間製造物を示す斜視図。
【図１６】従来の熱電変換モジュール製造用治具を示す斜視図。
【符号の説明】
１    熱電変換モジュール製造用治具
１０    第１親治具（一方の親治具）
１１    盤面
１２    凹部（電極位置決め手段）
１２ａ  貫通孔
２０    第２親治具（他方の親治具）
２１    盤面
２２    凹部（電極位置決め手段）
２２ａ  貫通孔
３０，７０  第１櫛形治具
３１，７３  櫛歯
４０，８０  第２櫛形治具
４１，８３  櫛歯
５０    棒材（位置決め用部材）
６１，６２  取外し用具
９０    熱電変換モジュール
９１    熱電変換素子
９２ａ  電極板（一方側の電極）
９２ｂ  電極板（他方側の電極）
【図１】
2004311505.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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