(57)【要約】【課題】表面研磨後のウェーハを、周辺ダレの少ない、均一な形状に仕上げる。【解決手段】ワックス２２が塗布されたウェーハ１８を研磨用保持プレート１２に仮接着した後、中空スタンプ機構１３で押圧してウェーハ１８を研磨用保持プレート１２に接着するウェーハ貼付方法である。中空スタンプ機構１３の押圧面である、内部に加圧流体を封入したスタンプ用ゴムシート２４の温度を監視して、ゴムシート２４の温度を設定範囲に維持するようにした。温度センサ１４でゴムシート２４の温度を押圧動作完了毎に監視し、その温度が設定範囲からずれたとき、ゴムシート２４内の加圧流体を放出すると共に設定温度の加圧流体を供給する動作をゴムシート２４の温度が設定温度になるまで繰り返して、ゴムシート２４の温度を設定範囲に維持する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワックスが塗布されたウェーハを研磨用保持プレートに仮接着した後、中空スタンプで押圧して上記ウェーハを上記研磨用保持プレートに接着するウェーハ貼付方法において、
上記中空スタンプの押圧面である、内部に加圧流体を封入した弾性膜の温度を監視して、当該弾性膜の温度を設定範囲に維持することを特徴とするウェーハ貼付方法。
【請求項２】
請求項１に記載のウェーハ貼付方法において、
上記弾性膜の温度を押圧動作完了毎に又は常時監視し、その温度が設定範囲からずれたとき、スタンプ内部の加圧流体を放出すると共に設定温度の加圧流体を供給する動作を上記弾性膜の温度が設定温度になるまで繰り返して、上記弾性膜の温度を設定範囲に維持することを特徴とするウェーハ貼付方法。
【請求項３】
研磨対象のウェーハを保持する研磨用保持プレートと、当該研磨用保持プレートにワックスが塗布されたウェーハを仮接着した後、当該ウェーハを押圧して上記研磨用保持プレートに接着する中空スタンプとを備えたウェーハ貼付装置において、
上記中空スタンプの押圧面に設けられ内部に加圧流体が封入される弾性膜と、
当該弾性膜の温度を監視する温度センサと、
当該温度センサによる上記弾性膜の温度の測定値が設定範囲からずれたとき設定範囲内に戻すために当該弾性膜を冷却又は加熱する温度維持手段と
を備えたことを特徴とするウェーハ貼付装置。
【請求項４】
請求項３に記載のウェーハ貼付装置において、
上記温度センサによる監視で上記弾性膜の温度を押圧動作完了毎に又は常時監視して、当該弾性膜の温度が設定温度を越えたとき、上記温度維持手段を作動させて上記弾性膜内の加圧流体を放出すると共に設定温度に維持された加圧流体を供給して上記温度センサで温度を測定し、弾性膜の温度が設定範囲内になるまで上記動作を繰り返す制御手段を備えたことを特徴とするウェーハ貼付装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載のウェーハ貼付装置において、
上記弾性膜がゴムシートで構成されたことを特徴とするウェーハ貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハを研磨用保持プレートに貼付するウェーハ貼付方法及びウェーハ貼付装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常、シリコン半導体ウェーハの片面研磨は、ウェーハをワックスにて保持プレートに貼付けて固定し、保持プレートのウェーハ貼付面を下にして、クロス定盤に押しつけて回転させることにより行われる。
【０００３】
研磨後のウェーハ形状を左右する因子の一つに、保持プレートヘのウェーハ貼付け形状が挙げられる。ウェーハの貼付けは一般に、ウェーハにワックスを薄く塗布した後、保持プーレートに仮接着し、加圧流体が満たされた中空スタンプでウェーハ全面を押圧して行われる。このとき、保持プレートにウェーハを仮接着しているワックス層は流動性を有している為、押圧後のウェーハ貼付形状は、スタンプ圧力、スタンプ表面形状の影響を受ける。
【０００４】
これを詳しく説明すると次のようになる。図２は中空スタンプで押圧中のウェーハ形状を示す要部拡大図である。図中の１は保持プレートである。この保持プレート１上にワックス層２を介してウェーハ３を仮接着し、中空スタンプのゴムシート４で押圧している。
【０００５】
ウェーハ３を中空スタンプのゴムシート４で押圧すると、ウェーハ３の周辺部では、ゴムシート４が弾性の為に変形して回り込む。この現象により、ウェーハ３の周辺部はゴムシート４によって押しこまれた状態で貼付される。このとき、ウェーハ３の周辺部がどの程度押し込まれるかが、研磨後のウェーハ形状、特に周辺ダレの形状に大きく影響する。すなわち、ウェーハ３の周辺部の押圧が弱いと押込量が小さく、保持プレート１から微少量浮き上がった状態になるため、研磨作業によりウェーハ３の表面が平坦面状に研磨された状態でも周辺部は過研磨となり、ダレたようになってしまう。図２（Ａ）はゴムシート４が軟質状態のときの変形を示す。このときのウェーハ３の周辺部の押込量は小さい。
【０００６】
また、ウェーハ３の周辺部の押圧が強すぎると、保持プレート１に押しつけられ過ぎるため、研磨作業によりウェーハ３の表面が平坦面状に研磨された状態でも周辺部は研磨不足となってしまう。図２（Ｂ）はゴムシート４が硬質状態のときの変形を示す。このときのウェーハ３の周辺部の押込量は大きい。
【０００７】
一方、ゴムシート４による押圧力を一定に保つための対策を講じたものとして特許文献１がある。特許文献１には、ワックス層の凝固点温度に合わせて１００℃程度に加熱したシリコンオイルを中空スタンプの弾性体（ゴムシート４）内に充填し、その内圧が設定圧力に維持されるようにサーボ弁で圧力調整する構成が記載されている。
【０００８】
これにより、１００℃程度に加熱された弾性体をウェーハ３に押しつけることでワックス層２を溶融状態に保つことができる。また、弾性体による押圧力を設定値に保つことができる。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−２８８９２６号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の技術では、スタンプ前のワックス層２の流動状態を保つために、シリコンオイルで中空スタンプの弾性体を１００℃程度に加熱しているが、弾性体の温度が下がることがある。中空スタンプの弾性体は内部に充填されたシリコンオイルで１００℃程度に保たれているが、キャリアプレート（保持プレート１）側は可及的に低温に維持されているため、弾性体内のシリコンオイルの熱は、ウェーハ３、ワックス層２のみならず、キャリアプレートにも奪われてしまう。このため、弾性体を常に１００℃程度に維持することは難しい。即ち、弾性体をウェーハ３に押しつけると、弾性体の表面の熱は、ウェーハ３、ワックス層２及びキャリアプレートに伝わって、ワックス層２を溶融状態に維持すると共に、弾性体自体は冷えてしまう。このスタンプ動作を連続して数回繰り返すと、熱せられたシリコンオイルによって弾性体がその内部から熱せられるよりも、ワックス層２等に熱を奪われる方が勝ってしまう。
【００１１】
一方、ウェーハ３の周辺形状に影響を与える要因の一つとして認識されているものは弾性体の内圧であって、弾性体自体の温度による影響は当業者間で認識されておらず、弾性体の温度が監視されることはなかった。このため、弾性体の温度が大きく変化することがある。そして、弾性体の温度が大きく変化すると、弾性体の機械的特性が変化し、ウェーハ周囲を押込む押圧力が異なってくる。すなわち、弾性体の温度が冷えすぎて硬くなり、ウェーハ周囲を過度に押込んでしまうことがある（図２（Ｂ）の状態）。
【００１２】
また、特許文献１の構成では可能性は少ないが、他の構造のウェーハ貼付装置には、弾性体の温度が上昇しすぎるものもある。この場合は、弾性体が軟らかくなりすぎて、十分にウェーハ周囲を押込むことができなくなる。これにより、弾性体の内圧を一定に保っても、ウェーハ周囲を押込む力を維持することは難しくなる。具体的には、弾性体が軟らかくなりすぎて、ウェーハ周囲を十分に押込むことができなくなってしまう（図２（Ａ）の状態）。
【００１３】
本発明は上述した従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、ワックスを塗布したウェーハを中空スタンプで押圧してキャリアプレートに接着する際に、押圧前の中空スタンプの温度を毎動作同じ温度に維持することでウェーハの周辺部の貼付形状を毎回均一にできるウェーハ貼付方法及びウェーハ貼付装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
以前から、ウェーハの表面研磨後にウェーハの周辺部形状にむらが発生することがあったが、この原因を探求していた本願発明者は、弾性体でウェーハを押圧する際の弾性体の温度が一定でなくなるためと推察するに至った。即ち、弾性体の温度が一定でなくなると、弾性体の機械的特性にバラつきが生じて押圧力に違いが生じ、押圧後のウェーハ周辺部形状に僅かな違いができてしまう。小径のウェーハにおいては、押圧力の違いによるウェーハ周辺部形状の変化は僅かであったため、あまり問題にならなかった。当業者間でも意識されなかった。しかし、ウェーハが大径化すると、ウェーハ周辺部を押す押圧力の僅かな違いも大きな問題になってくる。このため、弾性体の温度の変化が、ウェーハの周辺部形状にむらを引き起こす原因の一つになっていると推察するに至った。
【００１５】
本発明は、係る観点から成されたもので、第１の発明に係るウェーハ貼付方法は、ワックスが塗布されたウェーハを研磨用保持プレートに仮接着した後、中空スタンプで押圧して上記ウェーハを上記研磨用保持プレートに接着するウェーハ貼付方法において、上記中空スタンプの押圧面である、内部に加圧流体を封入した弾性膜の温度を監視して、当該弾性膜の温度を設定範囲に維持することを特徴とする。
【００１６】
これにより、中空スタンプの弾性膜の温度が設定値に維持されて、弾性膜の温度の大きな変化によるウェーハ周辺部形状の変化を極力抑える。この結果、ウェーハ周辺部の高精度の研磨が可能になる。
【００１７】
第２の発明に係るウェーハ貼付方法は、第１の発明に係るウェーハ貼付方法において、
上記弾性膜の温度を押圧動作完了毎に又は常時監視し、その温度が設定範囲からずれたとき、スタンプ内部の加圧流体を放出すると共に設定温度の加圧流体を供給する動作を上記弾性膜の温度が設定温度になるまで繰り返して、上記弾性膜の温度を設定範囲に維持することを特徴とする。
【００１８】
これにより、中空スタンプで押圧動作を繰り返しても、弾性膜が冷えて硬くなってウェーハを押す力が強くなりすぎたり、加熱されて軟らかくなってウェーハを押す力が弱くなりすぎたりすることがなくなる。これにより、ウェーハ周辺部形状を最適な状態に維持して貼り付けることができる。
【００１９】
第３の発明に係るウェーハ貼付装置は、研磨対象のウェーハを保持する研磨用保持プレートと、当該研磨用保持プレートにワックスが塗布されたウェーハを仮接着した後、当該ウェーハを押圧して上記研磨用保持プレートに接着する中空スタンプとを備えたウェーハ貼付装置において、上記中空スタンプの押圧面に設けられ内部に加圧流体が封入される弾性膜と、当該弾性膜の温度を監視する温度センサと、当該温度センサによる上記弾性膜の温度の測定値が設定範囲からずれたとき設定範囲内に戻すために当該弾性膜を冷却又は加熱する温度維持手段とを備えたことを特徴とする。
【００２０】
これにより、温度センサで弾性膜の温度をスタンプ動作毎に監視し、又は常時監視する。この監視により測定値が設定範囲からずれたとき、温度維持手段で弾性膜の温度を設定範囲内に戻す。これにより、スタンプ動作のとき常に、弾性膜の温度が設定値になり、最適な温度でウェーハを押圧することができる。
【００２１】
第４の発明に係るウェーハ貼付装置は、第３の発明に係るウェーハ貼付装置において、上記温度センサによる監視で上記弾性膜の温度を押圧動作完了毎に又は常時監視して、当該弾性膜の温度が設定温度を越えたとき、上記温度維持手段を作動させて上記弾性膜内の加圧流体を放出すると共に設定温度に維持された加圧流体を供給して上記温度センサで温度を測定し、弾性膜の温度が設定範囲内になるまで上記動作を繰り返す制御手段を備えたことを特徴とする。
【００２２】
これにより、制御手段が温度維持手段を制御して弾性膜の温度を設定範囲内に維持するため、ウェーハはその周辺部まで最適な圧力で押圧される。この結果、ウェーハを研磨用保持プレートに最適な状態で接着することができる。
【００２３】
第５の発明に係るウェーハ貼付装置は、第３又は第４の発明に係るウェーハ貼付装置において、上記弾性膜がゴムシートで構成されたことを特徴とする。
【００２４】
これにより、温度が設定範囲に制御されたゴムシートの弾性によって、ウェーハがその周辺部まで最適な圧力で押圧される。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るウェーハ貼付方法及びウェーハ貼付装置の実施形態を図面を参照しながら詳述する。図１は本実施形態に係るウェーハ貼付装置を示す概略構成図である。
【００２６】
ウェーハの貼付装置１１は主に、研磨用保持プレート１２と、スタンプ機構１３と、温度センサ１４と、加圧流体供給手段１５と、温度維持手段１６と、制御手段１７とから構成されている。
【００２７】
研磨用保持プレート１２は、研磨対象のウェーハ１８を保持するためのプレートである。研磨用保持プレート１２は円盤状に形成され、その直径は、ウェーハ１８の直径よりも少し大きく設定されている。研磨用保持プレート１２は加熱用載置ステージ２１に取り付けられている。加熱用載置ステージ２１はワックス２２を加熱するための部材である。加熱用載置ステージ２１は、発熱手段（図示せず）を内蔵し、直接的には研磨用保持プレート１２を加熱し、間接的にワックス２２を加熱する。研磨用保持プレート１２は熱を伝えやすい材料で形成され、加熱用載置ステージ２１の熱をワックス２２に効率的に伝達できるようになっている。
【００２８】
中空スタンプ機構１３は、ワックス２２が塗布されたウェーハ１８を研磨用保持プレート１２に仮接着した後、ウェーハ１８をその上側から押圧して研磨用保持プレート１２に接着するための装置である。中空スタンプ機構１３は主に、スタンプ用ゴムシート２４と、スタンプ取付台２５と、ブラケット２６と、昇降軸２７と、昇降装置（図示せず）とから構成されている。
【００２９】
スタンプ用ゴムシート２４は、スタンプ取付台２５の押圧面側に設けられ内部に加圧流体が封入される弾性膜である。スタンプ用ゴムシート２４は、スタンプ取付台２５の外周に皿ネジ等で取り付けられている。スタンプ用ゴムシート２４は、低温では硬く、高温になると軟らかくなるという一般的なゴムの性質を有している。
【００３０】
スタンプ取付台２５は、その下側でスタンプ用ゴムシート２４を支持するための部材である。スタンプ取付台２５は、研磨用保持プレート１２とほぼ同じ直径で肉厚の円盤状に形成されている。スタンプ取付台２５には、加圧流体を内部に導入する供給口２８と、加圧流体を外部に放出する排出口２９が上下に貫通して設けられている。この供給口２８及び排出口２９には、加圧流体供給手段１５が接続されている。
【００３１】
ブラケット２６は、スタンプ取付台２５を支持して昇降軸２７に連結するための部材である。昇降軸２７は、スタンプ取付台２５を支持して昇降させるための部材である。
【００３２】
昇降装置は、昇降軸２７を支持してスタンプ取付台２５を昇降させるための装置である。昇降装置は、モーターシリンダー等を備えて構成され、昇降軸２７を昇降させてスタンプ用ゴムシート２４をウェーハ１８に押圧させる。
【００３３】
温度センサ１４は、スタンプ用ゴムシート２４の温度を監視するための部材である。温度センサ１４は、加熱用載置ステージ２１の近傍にスタンプ用ゴムシート２４へ向けて設定された放射温度計で構成されている。
【００３４】
加圧流体供給手段１５は、中空スタンプ機構１３のスタンプ用ゴムシート２４内を設定圧力に維持するための装置である。この加圧流体供給手段１５は、加圧流体の供給系３１と、排出系３２とから構成されている。
【００３５】
供給系３１は、加圧流体供給源（図示せず）と、減圧弁３４と、第１圧力計３５とから構成されている。加圧流体供給源は、エアーコンプレッサー等によって構成され、加圧流体としての圧搾空気が供給される。加圧流体供給源とスタンプ取付台２５の供給口２８とは供給用配管３６で接統されている。加圧流体供給源から供給される加圧流体の圧力は、スタンプ用ゴムシート２４の厚さ、広さ等の諸条件に応じて適宜設定される。具体的には、スタンプ用ゴムシート２４がウェーハ１８を押圧する圧力よりも少し高い圧力に設定され、減圧弁３４で最終的に調整される。
【００３６】
減圧弁３４は、スタンプ用ゴムシート２４内に供給する圧搾空気をスタンプ用ゴムシート２４内の設定圧力まで減圧するための部材である。この減圧弁３４で調整された圧力の空気がスタンプ用ゴムシート２４内に供給されてスタンプ用ゴムシート２４を膨らます。第１圧力計３５は、減圧弁３４で減圧された空気の圧力を測定するための部材である。減圧弁３４で設定圧力に減圧された圧搾空気は、供給用配管３６を介して供給口２８からスタンプ用ゴムシート２４内に供給される。
【００３７】
排出系３２は、排出用配管３８にそれぞれ設けられた、ストップ弁３９と、第２圧力計４０と、リリーフ弁４１とから構成されている。ストップ弁３９は排出用配管３８を封止するための弁である。ストップ弁３９は、電磁弁で構成され、制御手段１７によって自動的に開閉されるようになっている。このストップ弁３９で排出用配管３８が封止された状態で、供給系３１の減圧弁３４で設定された圧力でスタンプ用ゴムシート２４が膨らまされる。第２圧力計４０は、リリーフ弁４１の上流側の圧力を測定するための圧力計である。第２圧力計４０によって、リリーフ弁４１で設定された圧力を測定する。リリーフ弁４１は、供給系３１の減圧弁３４の設定圧力よりも低く設定されている。このリリーフ弁４１の設定圧力は、膨らませたスタンプ用ゴムシート２４の内容積の大小、要求される冷却速度等を考慮して設定される。即ち、リリーフ弁４１の設定圧力を減圧弁３４の設定圧力よりも大幅に小さくして、減圧弁３４の設定圧力との差を大きくすれば、供給用配管３６及び排出用配管３８を介して、スタンプ用ゴムシート２４内を大量の加圧流体が短時間で流れてスタンプ用ゴムシート２４を設定温度範囲内まで急速に冷却又は加熱することができる。しかし、スタンプ用ゴムシート２４の大きさ等の諸条件によっては、過度に冷却又は加熱される場合や、温度維持手段１６の能力が対応できない場合や、作業速度等からあまり急速に冷却又は加熱する必要がない場合等もあるので、これらスタンプ用ゴムシート２４の大きさ、温度維持手段１６の能力等の諸条件を考慮して、リリーフ弁４１の設定圧力を決める。
【００３８】
温度維持手段１６は、温度センサ１４によるスタンプ用ゴムシート２４の温度の測定値が設定範囲からずれたとき設定範囲内に戻すために、スタンプ用ゴムシート２４を冷却又は加熱するための装置である。温度維持手段１６は、供給系３１の供給用配管３６に装着されて内部を流れる加圧流体と熱交換して冷却又は加熱して加圧流体を設定温度に維持する熱交換器（図示せず）と、この熱交換器に設定温度の冷媒を供給する熱源（図示せず）とから構成されている。具体的には、スタンプ用ゴムシート２４を冷却する必要があるときには、熱交換器によって加圧流体が冷却され、加熱する必要があるときには、熱交換器によって加圧流体が加熱される。
【００３９】
制御手段１７は、貼付装置１１の全体を制御して、スタンプ用ゴムシート２４の温度を設定範囲内になるように調整するための装置である。制御手段１７は、温度センサ１４、加熱用載置ステージ２１、温度維持手段１６、ストップ弁３９、昇降機構等と電気的に接続して設けられ、図３のフローチャートに示す処理機能が格納されている。
【００４０】
［動作］
次に、上記構成の貼付装置１１に動作について、図３のフローチャートを基に説明する。
【００４１】
まず、制御手段１７の制御によって各部の動作が開始される（ステップＳ１）。具体的には、加圧流体供給手段１５が作動して、供給系３１の加圧流体供給源から供給用配管３６を介して加圧流体が供給される。この加圧流体は、温度維持手段１６で設定温度に冷却又は加熱され、減圧弁３４で設定圧力まで減圧されて、供給口２８からスタンプ用ゴムシート２４内に供給される。このとき、排出系３２側のストップ弁３９は閉じられており、スタンプ用ゴムシート２４は、減圧弁３４での設定圧力で膨らまされて、湾曲した押圧面が形成される。中空スタンプ機構１３の昇降装置は、昇降軸２７をいつでも昇降できるように待機状態になる。温度センサ１４は、スタンプ用ゴムシート２４の温度を監視して測定情報を制御手段１７へ送信する。加熱用載置ステージ２１は設定温度に熱せられて、加熱用載置ステージ２１を加熱する。
【００４２】
一方、ウェーハ１８の搬入側の工程では、下側面にワックス２２が塗布されたウェーハ１８が、加熱用載置ステージ２１の上側面に搬入される。これにより、研磨用保持プレート１２に仮接着されたウェーハ１８のワックス２２は、加熱用載置ステージ２１によって、加熱用載置ステージ２１を介して加熱される。
【００４３】
次いで、温度センサ１４の測定値に基づいて、スタンプ用ゴムシート２４の温度が設定範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ２）。設定範囲内にあると判断した場合は、後述するステップＳ８に進む。設定範囲内にないと判断した場合は、スタンプ用ゴムシート２４の温度が設定範囲よりも高いのか低いのかを判断する（ステップＳ３）。設定範囲よりも高いと判断した場合は、温度維持手段１６の冷媒を冷却時の設定温度に切り替えて、加圧流体を冷却する（ステップＳ４）。次いで、排出系３２のストップ弁３９を一定時間開放する（ステップＳ５）。これにより、スタンプ用ゴムシート２４内の加圧流体は、リリーフ弁４１を開いて外部に排出される。これと同時に、供給系３１から冷却された加圧流体が供給口２８を介してスタンプ用ゴムシート２４内に流入して充満する。これにより、スタンプ用ゴムシート２４が冷却される。このスタンプ用ゴムシート２４内の加圧流体の排出と、供給系３１からの冷却された加圧流体の流入とは設定時間繰り返されて、スタンプ用ゴムシート２４を冷却し続ける。設定時間が過ぎると、ストップ弁３９を閉じ、ステップＳ２に戻って再びスタンプ用ゴムシート２４の温度が設定範囲内にあるか否かを判断する。
【００４４】
一方、ステップＳ３で、スタンプ用ゴムシート２４の温度が設定範囲よりも低いと判断した場合は、温度維持手段１６の冷媒を加熱時の設定温度に切り替えて、加圧流体を加熱する（ステップＳ６）。次いで、排出系３２のストップ弁３９を一定時間開放する（ステップＳ７）。これにより、スタンプ用ゴムシート２４内の加圧流体が、上記同様の動作によって、設定時間だけスタンプ用ゴムシート２４を加熱し続ける。設定時間が過ぎると、ストップ弁３９を閉じ、ステップＳ２に戻って再びスタンプ用ゴムシート２４の温度が設定範囲内にあるか否かを判断する。
【００４５】
ステップＳ２で、スタンプ用ゴムシート２４の温度が設定範囲内にあると判断したときは、中空スタンプ機構１３を作動させる（ステップＳ８）。具体的には、中空スタンプ機構１３の昇降装置が作動して昇降軸２７を下降させる。これにより、スタンプ用ゴムシート２４が、設定温度でかつ設定圧力で、研磨用保持プレート１２上のウェーハ１８全面を押圧する。これにより、ウェーハ１８を研磨用保持プレート１２に貼り付ける。押圧完了後、昇降軸２７を上昇させてスタンプ用ゴムシート２４を待機位置まで戻す。
【００４６】
次いで、設定された枚数だけ貼付作業が終了したか否かを判断する（ステップＳ９）。設定枚数が終了していないときは、上記ステップＳ２に戻って上記動作を繰り返す。設定枚数が終了したときは、貼付作業を終了する。
【００４７】
［効果］
以上の処理により、スタンプ用ゴムシート２４の温度を毎回一定温度にすることができるため、スタンプ用ゴムシート２４の機械的特性にバラつきがなくなって、ウェーハ１８全面を設定圧力で押圧することができるようになり、ウェーハ１８の周辺部の押込み状態を毎回均一にすることができるようになる。この結果、ウェーハ１８周辺部の貼付形状が毎回均一になり、研磨後のウェーハ１８を、周辺ダレの少ない、毎回均一な形状に仕上げることができるようになる。
【００４８】
［変形例］
上記実施形態では、加圧流体として気体を使用したが、シリコンオイル等の液体でもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００４９】
また、上記実施形態では、温度維持手段１６の冷媒の温度を、冷却時と加熱時とで異なる温度に設定したが、冷却時及び加熱時の両方で同じ温度に設定してもよい。特に設定範囲の温度差が広いときは、冷却時と加熱時とで同じ温度に設定しても、効率的に冷却又は加熱することができる。
【００５０】
さらに、上記実施形態では、冷却時、加熱時にストップ弁３９を開放するようにしたが、このストップ弁３９の開放と共に、減圧弁３４のみ又は減圧弁３４及びリリーフ弁４１を開放するようにしてもよい。減圧弁３４のみを開放することにより、加圧流体供給源からの加圧流体の圧力がリリーフ弁４１に直接に作用して、短時間に大量の加圧流体をスタンプ用ゴムシート２４内に流すことができる。減圧弁３４及びリリーフ弁４１の両方を開放すると、加圧流体供給手段１５の供給系３１にも排出系３２にも障害になる弁がなくなるので、減圧弁３４のみの場合に比べてさらに短時間に大量の加圧流体をスタンプ用ゴムシート２４内に流すことができる。これにより、スタンプ用ゴムシート２４を短時間で冷却又は加熱することができ、スタンプ用ゴムシート２４の温度調整を短時間で行うことができる。
【００５１】
【発明の効果】
以上、詳述したように、本発明のウェーハ貼付方法及びウェーハ貼付装置によれば、次のような優れた効果を奏することができる。
【００５２】
弾性膜の温度をスタンプ動作毎に一定温度にすることができるため、弾性膜の機械的特性にバラつきがなくなる。これにより、スタンプ動作毎にウェーハ全面を設定圧力で押圧することができるようになり、ウェーハの周辺部の押込み状態を毎回均一にすることができるようになる。この結果、ウェーハ周辺部の貼付形状が毎回均一になり、研磨後のウェーハを、周辺ダレの少ない、毎回均一な形状に仕上げることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハ貼付装置を示す概略構成図である。
【図２】従来の中空スタンプで押圧中のウェーハ形状を示す要部拡大図である。
【図３】本発明に係るウェーハ貼付装置の制御手段の処理機能を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１１：貼付装置、１２：研磨用保持プレート、１３：中空スタンプ機構、１４：温度センサ、１５：加圧流体供給手段、１６：温度維持手段、１７：制御手段、１８：ウェーハ、２１：加熱用載置ステージ、２２：ワックス、２４：スタンプ用ゴムシート、２５：スタンプ取付台、２６：ブラケット、２７：昇降軸、２８：供給口、２９：排出口、３１：供給系、３２：排出系、３４：減圧弁、３５：第１圧力計、３６：供給用配管、３８：排出用配管、３９：ストップ弁、４０：第２圧力計、４１：リリーフ弁。
【図１】
2004311561.tif 000003
【図２】
2004311561.tif 000004
【図３】
2004311561.tif 000005