(57)【要約】【課題】原材料の保証期限を綿密に管理し、原材料の管理について効率化を図る。【解決手段】原材料の製造日から起算された製造保証期限と、当該原材料を製造装置に投入するために出庫した出庫日から起算された出庫保証期限との両方で期限切れの判断を行い、出庫後の原材料の期限切れを防止する。また、発注する原材料の管理目的に応じて操作者がコンピュータ装置を操作し、在庫数非カウントフラグ２７のオン／オフを切り替えたり、入力画面を切り替えて選択したりすることにより、在庫数の管理が必要な原材料のみの在庫管理を行う。原材料の管理について効率化を図ることができる。【選択図】　　　　図６
2004038628.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置に使用される原材料についての発注及び入着の管理を行う発注管理部と、
保証期限を有する前記原材料を管理するにあたって、少なくとも、前記原材料の製造日から起算された原材料の保証期限である製造保証期限と、当該原材料を前記製造装置に投入するために出庫した出庫日から起算された出庫保証期限とのいずれか早く到達する方を保証期限として期限切れの判断を行い、当該判断結果に基づいて当該原材料の在庫を管理する在庫管理部と
を備える材料管理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の材料管理装置であって、
前記製造保証期限が、冷温での保証期間に基づいて設定され、
前記原材料は、その常温での保証期間が、前記製造保証期限より短く設定され、且つ前記製造装置に投入された後に常温状態とされるものであることを特徴とする材料管理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の材料管理装置であって、
前記製造装置が、半導体製造装置であることを特徴とする材料管理装置。
【請求項４】
製造装置に使用される原材料について設定されたデータベースとしての材料マスタ内のデータを読み出して選択することによりコンピュータ装置に入力操作を行いながら、当該原材料についての発注及び入着の管理を行う発注管理部と、
前記発注管理部において前記原材料が入着された旨が入力された場合に、前記材料マスタ内の所定のデータ項目が第１の値である場合は、当該原材料が入着された旨を受信して当該原材料の在庫管理を行う一方、前記材料マスタ内の所定のデータ項目が第２の値である場合は、当該原材料について在庫管理のデータを保有しない在庫管理部と
を備える材料管理装置。
【請求項５】
コンピュータ装置の表示手段において、製造装置に使用される原材料について設定されたデータベースとしての材料マスタ内のデータを読み出して選択することで原材料を入力するための第１の画面と、所定の入力欄に直接原材料のデータを手入力するための第２の画面とを切り替え可能とされ、前記第１の画面及び前記第２の画面のいずれかを選択して前記コンピュータ装置に入力操作を行いながら、当該原材料についての発注及び入着の管理を行う発注管理部と、
前記発注管理部において前記第１の画面で前記原材料が入着された旨が入力された場合に、当該原材料が入着された旨を受信して当該原材料の在庫管理を行う一方、前記発注管理部において前記第２の画面で前記原材料が入着された旨が入力された場合に、当該原材料について在庫管理のデータを保有しない在庫管理部と
を備える材料管理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等に投入される原材料の発注及び在庫等を管理する材料管理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体業界を取り巻く環境はめまぐるしく変化しており、市場価格の急激な変化に対応するためには、原材料の在庫を可及的に少なくしてコストダウンを図ることが重要であるが、その反面、需要量の激しい変化にも対応しなければならず、原材料の在庫管理及び保証期限管理（耐用期限管理）は、益々重要性を増してきている。
【０００３】
一般に原材料を管理する場合、在庫と発注の一元管理を行うことにより、適正量の管理を行うことができる。この場合、通常の購入では、発注を行い、入着処理をした際に、入着数として在庫数に加算することによって、在庫と発注の各々管理部でのやり取りを行うことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
化学物質等の保証期限を持つ原材料の保証期限（耐用期限）は、一般的には原材料メーカーでの製造日から起算した「製造保証期限」が適用される。
【０００５】
ところで、一般に半導体の微細化が進むにつれて、原材料の性能を向上する必要があり、かかる原材料の性能を確保する上で、性能の安定性が以前より悪くなる傾向にある。このため、例えば原材料を常時冷温で保存しておき、使用する段階になってから、常温に戻して使用することも行われている。
【０００６】
この場合、冷温での保証期限（製造保証期間）が長いものであっても、常温に戻してからの保存期間が短い原材料では、上記製造保証期間内であっても、使用中の半導体製造装置内で常温の保証期間が過ぎてしまい、性能が劣化してしまうおそれがある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑み、保証期限を有する原材料の中で、常温での保証期間と、冷温での保証期限が異なるような原材料の場合にも、その耐用特性に応じた保証期限を、より綿密に管理することが可能となる材料管理装置を提供することを第１の目的とする。
【０００８】
また、上述のように、原材料を管理する場合、在庫と発注の一元管理を行うことにより、適正量の管理を行うが、発注の中には、物品を購入するだけでなく、保修や洗浄など、物品の存在しないサービス（役務）に対する発注もある。また、物品や原材料の発注であっても、特殊事情で１回限りの発注であるため、発注−入着後の在庫管理の必要性が無い場合もある。通常の部品や原材料の購入では、繰り返し同じ発注に対応するため、各原材料のマスタデータを作成しておき、そこから選択することによって在庫管理の効率化を図ることができることが多いが、１回限りの発注の場合に、同じようにマスタデータに基づいて在庫管理を実施すると、在庫を管理する必要の無い発注まで、無理に在庫管理をしなければならず、非効率となってしまう。
【０００９】
このように、半導体ラインにおいて各種の原材料を管理する場合、各原材料の管理目的や特性によって管理方法が異なるため、適正な在庫管理を行うことが困難であり、また、在庫と発注の一元管理を行うことも困難である。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑み、在庫数の管理が必要な原材料のみの在庫管理を行うことができ、原材料の管理について効率化を図ることのできる材料管理装置を提供することを第２の目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、製造装置に使用される原材料についての発注及び入着の管理を行う発注管理部と、保証期限を有する前記原材料を管理するにあたって、少なくとも、前記原材料の製造日から起算された原材料の保証期限である製造保証期限と、当該原材料を前記製造装置に投入するために出庫した出庫日から起算された出庫保証期限とのいずれか早く到達する方を保証期限として期限切れの判断を行い、当該判断結果に基づいて当該原材料の在庫を管理する在庫管理部とを備える。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の材料管理装置であって、前記製造保証期限が、冷温での保証期間に基づいて設定され、前記原材料は、その常温での保証期間が、前記製造保証期限より短く設定され、且つ前記製造装置に投入された後に常温状態とされるものである。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の材料管理装置であって、前記製造装置が、半導体製造装置である。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、製造装置に使用される原材料について設定されたデータベースとしての材料マスタ内のデータを読み出して選択することによりコンピュータ装置に入力操作を行いながら、当該原材料についての発注及び入着の管理を行う発注管理部と、前記発注管理部において前記原材料が入着された旨が入力された場合に、前記材料マスタ内の所定のデータ項目が第１の値である場合は、当該原材料が入着された旨を受信して当該原材料の在庫管理を行う一方、前記材料マスタ内の所定のデータ項目が第２の値である場合は、当該原材料について在庫管理のデータを保有しない在庫管理部とを備える。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、コンピュータ装置の表示手段において、製造装置に使用される原材料について設定されたデータベースとしての材料マスタ内のデータを読み出して選択することで原材料を入力するための第１の画面と、所定の入力欄に直接原材料のデータを手入力するための第２の画面とを切り替え可能とされ、前記第１の画面及び前記第２の画面のいずれかを選択して前記コンピュータ装置に入力操作を行いながら、当該原材料についての発注及び入着の管理を行う発注管理部と、前記発注管理部において前記第１の画面で前記原材料が入着された旨が入力された場合に、当該原材料が入着された旨を受信して当該原材料の在庫管理を行う一方、前記発注管理部において前記第２の画面で前記原材料が入着された旨が入力された場合に、当該原材料について在庫管理のデータを保有しない在庫管理部を備える。
【００１６】
【発明の実施の形態】
｛実施の形態１｝
この発明の実施の形態１に係る材料管理装置は、半導体ラインにおいて、在庫管理システムと発注管理システムを一元管理するようにデータベースを使用して材料管理を行うものであって、保証期限を有する原材料を管理する場合に、原材料メーカーで製造した製造日から換算する保証期限日数だけでなく、出庫した（半導体製造装置に対して使った）日から換算する出庫保証期限日数を管理することで、半導体製造装置内で使用し始めてからの原材料の劣化をも考慮した材料管理を行うものである。また、この材料管理装置では、発注から入着の後に在庫管理の必要がない場合に、在庫管理のための操作を不要とすることで、操作者の操作処理を簡便化することも行っている。
【００１７】
＜保証期限の管理＞
図１はこの材料管理装置を示すブロック図である。この材料管理装置は、ハードディスクドライブ等の記憶装置やＣＰＵ及び主メモリ等を備えたコンピュータ装置を利用して、記憶装置内に予め格納された各種のデータベース及びソフトウェアプログラムを用いて原材料等の管理を行うものであり、特に、在庫／発注の一元管理を行う目的と、コンピュータ装置に種々のデータを入力する際に、手入力による文字違いなどによるデータ集計の誤りを可及的に防止する目的とから、各原材料や半導体製造装置等に関するマスタデータを予め作成しておき、このマスタデータを利用しながら原材料の発注管理及び在庫管理を実施する。即ち、この材料管理装置では、図１の如く、各原材料についての材料情報を管理する材料マスタ１を中心として、この材料マスタ１内の各データが、原材料が使用される半導体製造装置に関する情報が格納された装置マスタ２と、原材料を使用して製造される製品の品種管理に使用される品種マスタ３と、作業者による在庫管理や発注管理に使用される作業者マスタ４とに関連づけられる構成となっている。
【００１８】
材料マスタ１は、所定の記憶装置内に格納されたデータベースであり、次の表１に示すようなデータ構成が実現されている。
【００１９】
【表１】
2004038628.tif 000003
【００２０】
この材料マスタ１では、各原材料に関する材料情報を１つの材料ＩＤ（識別番号）で管理し、この材料ＩＤに関連づけて、例えば、製造番号フラグ（期限用）、在庫数非カウントフラグ（後述）、装置内期限対象フラグ（図１及び図２中の符号ＤＴ１，ＤＴ２参照）、製造保証期限フラグ（日数）及び出庫保証期限フラグ（日数）等のデータ項目が有せしめられる。
【００２１】
装置マスタ２は、各半導体製造装置毎に予め付与されているそれぞれの装置コードにつき、原材料の期限管理等を行うためのデータベースであり、例えば、各半導体製造装置を互いに識別するための装置ＩＤ毎に、材料マスタ１に登録されている材料ＩＤに関連づけて、材料マスタ１内に保有されている装置内期限対象フラグＤＴ１との対応づけがなされたデータ群が保有されている。
【００２２】
品種マスタ３は、さらに各半導体製品の種別に関するデータベースである種別マスタ５に関連づけて管理されたデータベースであり、内部に保有される各半導体製品毎のデータが、材料マスタ１に登録されている材料ＩＤに関連づけられる。
【００２３】
作業者マスタ４は、図２の如く、各原材料の保管場所を示す保管場所マスタ６ａ及び各原材料の交換理由を示す交換理由マスタ６ｂといった在庫管理系のデータベースや、原材料の発注先を示す発注先マスタ７ａ、原材料の発注単位を示す単位マスタ７ｂ及び原材料の部門毎の管理管轄等を示す部門管理マスタ７ｃといった発注管理系のデータベースを含んでいる。そして、特に交換理由マスタ６ｂが、材料マスタ１内の装置内期限対象フラグＤＴ２に対応付けられており、これにより、原材料の材料ＩＤと交換理由とに応じてデータを読み出して、各原材料の態様期限に応じた在庫管理及び発注管理を行うことが可能となっている。
【００２４】
これらの各データベース（材料マスタ１、装置マスタ２、品種マスタ３、作業者マスタ４及び種別マスタ５）は、同一のコンピュータ装置の記憶装置内に格納されてもよいし、あるいは複数のコンピュータ装置が所定のネットワークで接続されている場合に、これらの複数のコンピュータ装置同士のリンクによりデータベース１〜５の相互のデータ読み出し等が行われるようにしても良い。
【００２５】
ここで、図３は、発注から在庫を経て次の発注が行われるまでの管理サイクル示すフローチャートである。この図３に示した管理サイクルでは、図１及び図２に示した各データベース１〜５を利用して原材料の発注管理及び在庫管理が実施される。
【００２６】
図３において、まず、発注管理部１１により入出庫１２が行われ、在庫管理部１３で在庫管理が行われた後、履歴管理部１４で在庫及び発注の履歴が管理され、その使用実績１５に基づいて使用予測１６が行われる。
【００２７】
具体的に、発注管理部１１では、発注依頼、検認、買券番号処理、入着及び発注調整（修正／削除）等が行われる。この発注管理部１１においては、作業者マスタ４が材料マスタ１を参照しながら、主として発注管理系の各データベース７ａ〜７ｃに基づいて各原材料についての発注管理が実施される。
【００２８】
次の入出庫１２に際しては、作業者マスタ４が材料マスタ１を参照しながら、主として作業者マスタ４の発注管理系の各データベース７ａ〜７ｃ及び在庫管理系の各データベース６ａ，６ｂに基づいて、入庫、出庫及び在庫調整（原材料の数／保管場所／製造シリアルＮｏ等）が行われる。
【００２９】
これに続く在庫管理部１３では、作業者マスタ４が材料マスタ１を参照しながら、主として作業者マスタ４の在庫管理系の各データベース６ａ，６ｂに基づいて、保管場所管理、保証期限管理、再生管理、保証期限管理（装置内）、蔵入り（削除材料）管理、在庫数非表示管理、棚卸し管理及び発注限度数管理が行われる。
【００３０】
そして、履歴管理部１４では、発注管理部１１での発注管理、入出庫１２、及び在庫管理部１３での在庫（入出庫）管理のデータの履歴を逐一採集し蓄積する。
【００３１】
その後、使用実績１５では、例えば、原材料の材料ＩＤと、この原材料が使用される半導体製造装置を識別するために装置マスタ２内に格納された装置ＩＤと、作業者マスタ４内の在庫管理系の交換理由マスタ６ｂ内の交換理由（出庫理由）といった複数（３つ）のパラメータの組み合わせを１つのユニークデータとして、履歴管理部１４内で管理されている履歴のデータについてソート等を行いながら、各原材料の使用実績のデータを抽出する。
【００３２】
そして、かかる使用実績１５に基づいて使用予測１６が行われる。この使用予測１６については、半導体製品の製造計画に照らして原材料の必要量を考慮しながら、例えば本出願人が提案している特願２０００−３５２９２９に記載されている方法を使用するなどして使用予測１６を行う。かかる方法の詳細な説明は省略する。
【００３３】
尚、発注管理部１１、入出庫１２、在庫管理部１３、履歴管理部１４、使用実績１５及び使用予測１６において、コンピュータ装置での種々の入力作業を行いながら処理を行う場合には、図１に示した材料マスタ１、装置マスタ２、品種マスタ３、作業者マスタ４及び種別マスタ５内のデータを呼び出してこれを選択することにより入力を行うようにし、手入力による誤入力を可及的に防止するようになっている。
【００３４】
このように、発注管理部１１が入出庫１２を行って在庫管理部１３で原材料の在庫管理が行われるに際して、これらの在庫及び発注を履歴管理部１４で管理し、その使用実績１５に基づいて使用予測１６を行って、次の発注管理部１１での発注に役立てようにしているので、在庫管理及び発注管理を一元的に行って、各原材料の全体的な使用予測１６を行うことで、適正な発注量及び在庫量を計算することが可能となる。
【００３５】
ところで、在庫管理部１３で在庫管理を行うに際して、原材料の中で、例えば、レジスト等の化学物質等、保証期限を有する原材料がある。このように、保証期限が重要な原材料については、図３に示した管理サイクルにおいて、半導体製品の製造計画に照らして原材料の必要量を考慮するだけでなく、その原材料の保証期限（耐用期限）に応じた交換の頻度をも考慮して使用予測１６が行われる。具体的に、コンピュータ装置で材料管理等のためのソフトウェアプログラムを動作させ、コンピュータ装置のキーボードまたはマウス等の所定の操作入力装置を用いた操作により、材料マスタ１中の保証期限管理（製造番号とその製造保証期限日数）の指定欄に所定の入力操作を行うなどして、表１中の製造保証期限フラグ（日数）を管理し、これにより各原材料の保証期限の管理を行う。
【００３６】
ただし、製造保証期限フラグ（日数）は、原材料メーカーでの製造日から起算した「製造保証期限」を格納しているだけであるため、上述した通り、「製造保証期限」に基づいて保証期限（耐用期限）の管理を行うだけでは、各原材料について冷温での保証期限（耐用期限）が長く設定されていても、半導体製造で使用する段階で常温に戻してからの保存期間が短い原材料においては、製造保証期間内であっても、使用中の半導体製造装置内で常温の保証期間が過ぎてしまい、性能が劣化してしまうおそれがあり、正確な期限管理を行うことができない。
【００３７】
そこで、表１に示した材料マスタ１の構成においては、製造保証期限フラグ（日数）だけでなく、更に出庫保証期限フラグ（日数）の項目を加えている。そして、対象となった原材料について出庫入力が行われた場合に、次の表２中の二重枠の列に示したように、出庫された日から起算して出庫保証期限フラグ内の日数を加算した年月日を、出庫保証期限として表示する。
【００３８】
【表２】
2004038628.tif 000004
【００３９】
尚、この表２は、半導体製造装置を、装置マスタ２内の装置コードと、半導体製品の品種名と、材料ＩＤとの組合せにおいて、その材料ＩＤで示される原材料についての製造保証期限、出庫保証期限及び交換年月日等の項目内容が、コンピュータ装置のディスプレイ画面や印刷用紙等に一覧表示された状態を示すものである。
【００４０】
従来においては、発注を行い、入着した時点で、到着した物品に対し、製造メーカーで定められた製造日を設定することにより、この製造日から起算して、製造保証期限日数を加えた日を製造保証期限日としていた。
【００４１】
これに対して、表２のように、出庫保証期限の管理を加えることによって、保管時の保証期限だけでなく、保管時の冷温から常温に戻した後の常温での保証期間などのように、異なる状態での別の保証期間が原材料に存在する場合にも、製造と出庫での両方の状態を確認することによって、より正確に安全に、原材料を保証期限範囲内で使用することができる。
【００４２】
この場合、製造保証期限と出庫保証期限のうちのいずれか一方が経過した時点で、原材料の性能の維持ができないおそれが高いことになるため、表２中の材料ＩＤ毎に示された製造保証期限と出庫保証期限のうちのいずれか早い方を、その材料ＩＤに係る原材料の交換期限として管理を行う。
【００４３】
かかる保証期限の管理手順の一例を図４のフローチャートに基づいて説明する。
【００４４】
まず、ステップＳ０１において、操作者は、コンピュータ装置の画面を見ながらキーボード及びマウス等の入力装置を用いて操作し、対象となる原材料の材料ＩＤ（表１参照）を選択する。
【００４５】
次に、ステップＳ０２において、コンピュータ装置の操作を行って、出庫する製造番号（表２参照）を選択する。そして、ステップＳ０３において、コンピュータ装置は、内部のＣＰＵでの演算処理に基づいて、表１に示した材料マスタ１から、先に選択された材料ＩＤに対応する製造保証期限フラグの日数を読み出し、この日数を、その材料ＩＤに対応する原材料の製造日に加算して、製造保証期限を計算する。尚、原材料の製造日は、この時点で操作者が入力してもよく、あるいは、表１に示した材料マスタ１内の製造番号フラグ（期限用）に関連づけて材料マスタ１（表１では省略されている）内または他の管理ファイル内に予め格納しておいて製造番号フラグをキーとして読み出すようにしても良い。
【００４６】
また、ステップＳ０４において、コンピュータ装置は、内部のＣＰＵでの演算処理に基づいて、表１に示した材料マスタ１から、先に選択された材料ＩＤに対応する出庫保証期限フラグの日数を読み出し、この日数を、その材料ＩＤに対応する原材料の出庫日に加算して、出庫保証期限を計算する。尚、原材料の出庫日は、この時点で操作者が入力してもよく、あるいは、図３中の入出庫１２の処理において入力しておいたデータから、表１に示した材料マスタ１内の製造番号フラグ（期限用）をキーとして読み出すようにしても良い。
【００４７】
次に、ステップＳ０５において、操作者は、図１に示した装置マスタ２を読み出して、コンピュータ装置の画面に複数の半導体製造装置を羅列したリストを表示し、操作者はこれを見ながらキーボード及びマウス等の入力装置を用いて操作し、原材料が使用される半導体製造装置を選択する。
【００４８】
そして、ステップＳ０６において、同じくコンピュータ装置の操作により、図２に示した交換理由マスタ６ｂを読み出して、ディスプレイ装置（表示手段）の画面に複数の交換理由を羅列したリストを表示し、そのなかから、操作者はマウス等のポインティングデバイスを用いて、出庫する交換理由を選択する。
【００４９】
また、ステップＳ０７において、コンピュータ装置は、内部のＣＰＵでの演算処理に基づいて、ステップＳ０３で計算された製造保証期限と、ステップＳ０４で計算された出庫保証期限とを比較し、いずれか早く到来する方を、その原材料の保証期限とし、その保証期限から起算して数日前（例えば３日前）と、現時点での日付とを比較して、当該原材料についての期限切れが間近に到来するかどうかを判断する。
【００５０】
しかる後、ステップＳ０８において、条件に合致する材料ＩＤと製造番号の組み合わせ毎に、表２に示したように、製造保証期限と出庫保証期限とを、コンピュータ装置のディスプレイ装置に表示し、また印刷装置で印刷処理を行う。この場合、ステップＳ０７での比較結果に基づいて、期限切れが間近に迫っている原材料の行を反転表示するなどして、期限切れが間近に迫っている原材料が目立つように表示等を行う。
【００５１】
これにより、例えば保証期限を有する原材料の中でも、常温での保証期間と、冷温での保証期限が異なるような原材料の場合に有効であり、このような場合に、より綿密な期限管理を行うことができる。
【００５２】
＜在庫管理の操作省略＞
原材料の発注管理においては、通常の物品を購入するだけでなく、保修や洗浄など物品の存在しないサービス（役務）についての発注も存在している。また、物品を発注する場合であっても、特殊事情で１回限りの物品発注であるため、発注から入着後の在庫管理の必要性が無い場合もある。
【００５３】
このような場合を考慮して、この材料管理装置では、材料マスタ１の構成に、在庫数非カウントフラグを含め、この在庫数非カウントフラグがオン（値「１」：第２の値）である原材料を発注するときに、発注したときの入着数について、発注管理部１１や入出庫１２から在庫管理部１３へのデータの出力を取り止めるようにしている。
【００５４】
図５は、在庫数非カウントフラグのオン／オフの違いによって処理が異なる様子を示すブロック図である。図５において、発注管理部１１では、履歴管理部１４から得られた発注履歴２１に基づいて発注２２及び入着２３の管理が行われており、特に、入着２３が行われた際、在庫数非カウントフラグがオフ（値「０」：第１の値）であれば、発注管理部１１から在庫管理部１３に原材料の入着数等のデータが出力される。在庫管理部１３では得られた入着数等のデータや、履歴管理部１４から得られた入出庫履歴２４に基づいて、原材料の在庫２５の管理を行う。
【００５５】
一方、在庫数非カウントフラグがオン（値「１」）の場合は、発注管理部１１で入着２３が行われても、発注管理部１１から在庫管理部１３への入着数等のデータの出力を取り止める。
【００５６】
尚、在庫数非カウントフラグのオン／オフ切換は、基本的には材料マスタ１内に格納された在庫数非カウントフラグの値そのものにより判断されるが、図６のように、コンピュータ装置の画面２６を見ながら、当該画面２６内に表示されたラジオボタン等の所定の入力欄にマウス等のポインティングデバイス等を用いてポインタ２７を合わせてからクリックするなどの所定の入力操作を行って、選択的に指定することで、かかる在庫数非カウントフラグのオン／オフ切換を操作者の意図により変更できるようにすることが望ましい。かかる指定操作により、コンピュータ装置内のソフトウェアプログラムでの判断により、在庫管理部１３へのデータの出力の可否を変更することができる。
【００５７】
このようにすれば、在庫と発注の一元管理を行う場合に、特殊事情で１回限りの物品発注を行う場合のように、発注の必要があっても在庫管理の必要が無いものについては、コンピュータ装置において不要な操作を省略することができる。
【００５８】
また、洗浄や保修など、原材料としての物品の存在しないサービス（役務）の発注の場合も、これらのサービス（役務）を擬似的に原材料と同様に扱って材料マスタ１内に登録しておき、コンピュータ装置に種々のデータを入力する際に、手入力による文字違いなどによるデータ集計の誤りを可及的に防止することが可能となる。この場合、サービス（役務）についての在庫は当然ながら発生しないため、在庫数非カウントフラグをオン（値「１」）にして、発注時の発注数や入着時の入着数について、発注管理部１１や入出庫１２から在庫管理部１３へのデータの出力を取り止める。
【００５９】
かかる処理手順の一例を図７のフローチャートに基づいて説明する。
【００６０】
まず、ステップＴ０１において、各原材料やサービス（役務）に対応する材料ＩＤを、コンピュータ装置のディスプレイ装置（表示手段）の画面に一覧表示する。
【００６１】
次のステップＴ０２において、操作者は、ディスプレイ装置の画面を見ながら、キーボード及びマウス等の入力装置を操作し、いずれかの材料ＩＤを選択する。
【００６２】
この状態で、操作者は、ステップＴ０３で、原材料やサービス（役務）について発注を行い、コンピュータ装置の操作により、その発注２２（図５）の処理を反映したデータの入力を発注管理部１１において行う。
【００６３】
続いて、ステップＴ０４において、発注管理部１１は、コンピュータ装置のディスプレイ装置の画面に、各材料ＩＤ毎の発注状態を表示する。
【００６４】
次に、ステップＴ０５において、コンピュータ装置を操作し、入着２３（図５）の処理を行う。
【００６５】
このとき、ステップＴ０６において、材料マスタ１を読み出し、材料ＩＤ毎の在庫数非カウントフラグがオン（値「１」）であるか否かを判断する。
【００６６】
そして、その在庫数非カウントフラグがオフ（値「０」）であると判断したときにはステップＴ０７に進む。
【００６７】
ステップＴ０７では、発注管理部１１から在庫管理部１３に対し、各材料ＩＤ毎の入着数等のデータを出力し、在庫管理部１３においてその在庫状態を更新する。
【００６８】
一方、ステップＴ０６において、在庫数非カウントフラグがオン（値「１」）であると判断したときには、発注管理部１１から在庫管理部１３への入着数等のデータの出力は行わず、再びステップＴ０１に戻って、ステップＴ０１〜Ｔ６の処理を繰り返す。
【００６９】
このように、発注する原材料の管理目的に応じて、材料マスタ１内に格納された在庫数非カウントフラグの値により、あるいは操作者がコンピュータ装置を操作することにより、在庫数非カウントフラグのオン／オフを切り替えて、在庫数の管理が必要な原材料のみの在庫管理を行うことができるとともに、在庫管理を不要とする発注対象についても材料マスタ１に登録して繰り返し発注を可能とし、原材料等の発注及び管理について効率化を図ることができる。
【００７０】
｛実施の形態２｝
図８は本発明の実施の形態２の材料管理装置を示すブロック図、図９はマスタ選択画面３１を示す図、図１０は手入力画面３２を示す図である。なお、この実施の形態では、実施の形態１と同様の機能を有する要素については同一符号を付している。
【００７１】
この実施の形態の材料管理装置は、発注管理部１１において、発注２２ａ，２２ｂの処理や入着２３ａ，２３ｂの処理をコンピュータ装置上で実行する場合において、図９に示したように、材料マスタ１を呼び出してその呼び出したデータのリスト３０の中から対象となる原材料等の名称や材料ＩＤ等を選択するマスタ選択画面（第１の画面）３１と、図１０に示したように、入力項目を所定の入力欄３２に手入力する手入力画面（第２の画面）３３とを切り替えできるようになっている。
【００７２】
マスタ選択画面３１は、図９の如く、例えば材料ＩＤや当該材料ＩＤ毎の入着数等のデータを入力欄３２に入力する場合に、まずマウス等のポインティングデバイスを用いてポインタ３５を入力欄３２に移動させてクリックし、この入力欄３２にカーソル３４を表示させると、画面３１内の所定の位置に表示された選択リスト表示欄３６に選択枝となるデータのリスト３０が表示される。そして、マウス等のポインティングデバイスを用いて、このリスト３０内のいずれかのデータの行にポインタ３５を移動させてクリックすると、そのクリックした対象の選択枝（データ）の内容が入力欄３２内に表示されるようになっている。
【００７３】
手入力画面３２は、図１０の如く、例えば材料ＩＤや当該材料ＩＤ毎の入着数等のデータを入力欄３２に入力する場合に、まずマウス等のポインティングデバイスを用いてポインタ３５を入力欄３２に移動させてクリックし、この入力欄３２にカーソル３４を表示させた後、キーボード等の文字入力装置を用いて直接に入力欄３２内に文字を書き込むようにして入力するようになっている。
【００７４】
そして、発注管理部１１において、マスタ選択画面３１を用いて選択的にデータの入力を行った場合は、発注管理部１１から在庫管理部１３に対し、各材料ＩＤ毎の入着数等のデータを出力し、在庫管理部１３においてその在庫状態を更新する一方、手入力画面３２において手入力によりデータの入力を行った場合は、発注管理部１１や入出庫１２から在庫管理部１３へのデータの出力を取り止めるようになっている。
【００７５】
尚、マスタ選択画面３１と手入力画面３２との相互の切り替えは、どのような方法を使用してもよい。例えば、図９及び図１０に示したように、画面選択のために表示された仮想的な切り替えボタン３７ａ，３７ｂ上にポインタ３５が表示されるように、マウス等のポインティングデバイスを用いてポインタ３５を移動させ、この状態でマウスをクリックするなどの所定の操作を行うことで、マスタ選択画面３１と手入力画面３２との相互の切り替えが行われる。また図示しない所定のメニュー画面から、マスタ選択画面３１と手入力画面３２とを選択できるようにしてもよく、これらの両方を採用してもよい。
【００７６】
このように、発注管理部１１での種々のデータの入力を行う際に、発注する原材料の管理目的に応じてデータ入力のための画面をマスタ選択画面３１と手入力画面３２とのいずれかを選択するだけで、在庫管理が必要な場合とそうでない場合とを区別し、在庫管理が必要ない場合には、発注管理部１１や入出庫１２から在庫管理部１３へのデータの出力を取り止めることができる。
【００７７】
したがって、保修や洗浄など物品の存在しないサービス（役務）のように在庫が発生しないものが対象である場合や、在庫可能な物品を発注する場合であっても、特殊事情で１回限りの物品発注であるため、発注から入着後の在庫管理の必要性が無い場合に、マスタ選択画面３１と手入力画面３２とのいずれかを選択するだけで、原材料の管理について不必要な処理を省略でき、処理の効率化を図ることができる。
【００７８】
特に、サービス（役務）の発注や、めったに発注が発生せず且つ在庫の必要性が低い原材料のように、予め在庫されることがないと解っているものについては、これを材料マスタ１にいちいち登録しておく必要がなくなり、データ管理において不必要なデータの登録を省略することでデータ管理の効率化を図ることができる。
【００７９】
尚、上記各実施の形態において、半導体製造装置を例に挙げて説明したが、これに限るものではない。即ち、原材料として、例えば冷温保存等の所定の状態での保証期限（耐用期限）と、製造装置内に投入してからの状態（例えば常温状態）に戻してからの保存期間が短いために、製造保証期間内であっても、使用中の製造装置内で常温の保証期間が過ぎてしまい、性能が劣化してしまうおそれがあるような原材料を使用する製造装置であれば、どのようなものに適用しても差し支えない。
【００８０】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、保証期限を有する原材料を管理するにあたって、少なくとも、原材料の製造日から起算された原材料の保証期限である製造保証期限と、当該原材料を製造装置に投入するために出庫した出庫日から起算された出庫保証期限とのいずれか早く到達する方を当該原材料の保証期限とし、当該保証期限により期限切れの判断を行い、当該判断結果に基づいて当該原材料の在庫を管理するので、例えば請求項２のように、保証期限を有する原材料の中で、常温での保証期間と、冷温での保証期限が異なるような原材料の場合にも、その耐用特性に応じた保証期限を、より綿密に管理することが可能となる。特に請求項３のように製造装置が半導体製造装置である場合に有効である。
【００８１】
請求項４に記載の発明によれば、製造装置に使用される原材料について設定されたデータベースとしての材料マスタ内のデータを読み出して選択することによりコンピュータ装置に入力操作を行いながら、当該原材料についての発注及び入着の管理を行い、原材料が入着された旨が入力された場合に、材料マスタ内の所定のデータ項目が第１の値であるか第２の値であるかを判断し、第１の値であると判断した場合にのみ、当該原材料が入着された旨を受信して当該原材料の在庫管理を行うので、発注する原材料の管理目的に応じて、在庫数の管理が必要な原材料のみの在庫管理を行うことができる。したがって、原材料の管理について効率化を図ることができる。
【００８２】
請求項５に記載の発明によれば、コンピュータ装置の表示手段において、製造装置に使用される原材料について設定されたデータベースとしての材料マスタ内のデータを読み出して選択することで原材料を入力するための第１の画面と、所定の入力欄に直接原材料のデータを手入力するための第２の画面とを切り替えながら、第１の画面及び第２の画面のいずれかを選択してコンピュータ装置に入力操作を行いながら、当該原材料についての発注及び入着の管理を行い、発注管理部において第１の画面で原材料が入着された旨が入力された場合にのみ、当該原材料が入着された旨を受信して当該原材料の在庫管理を行うので、発注から入着後の在庫管理の必要性が無い場合に、第１の画面と第２の画面とのいずれかを選択するだけで、原材料の在庫管理について不必要な処理を省略でき、不必要なデータ登録を省略できるとともに、不要な材料管理を省略でき、全体的な処理の効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の材料管理装置のデータベースの概要的な構成の一例を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態１の材料管理装置に使用される作業者マスタを示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態１の材料管理装置において発注から在庫を経て次の発注が行われるまでの管理サイクルを示すフローチャートである。
【図４】本発明の実施の形態１の材料管理装置の保証期限の管理を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施の形態１の材料管理装置の在庫管理の操作省略機能を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施の形態１の材料管理装置において在庫数非カウントのオン／オフ切換をなすための画面を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態１の材料管理装置における在庫管理の操作省略動作を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施の形態２の材料管理装置の在庫管理の操作省略機能を示すブロック図である。
【図９】本発明の実施の形態２の材料管理装置におけるマスタ選択画面を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態２の材料管理装置における手入力画面を示す図である。
【符号の説明】
１　材料マスタ、２　装置マスタ、３　品種マスタ、４　作業者マスタ、５　種別マスタ、１１　発注管理部、１２　入出庫、１３　在庫管理部、１４　履歴管理部、１５　使用実績、１６　使用予測、２１　発注履歴、２２，２２ａ，２２ｂ　発注、２３，２３ａ，２３ｂ　入着、２４　入出庫履歴、２５　在庫、２６　画面、３１　マスタ選択画面、３２　手入力画面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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