(57)【要約】【課題】大型装置等であっても容易に洗浄することができ、かつ、汚染の問題を生じない優れた高純度薬剤供給装置内洗浄方法及び高純度薬剤供給装置を提供する。【解決手段】内部表面が電解研磨されたステンレス鋼製の容器本体１と、該容器本体に接合された蓋部２とを備え、容器本体１の内部に高純度薬剤を注入するための高純度薬剤注入手段３と、容器本体１から高純度薬剤を取り出すための高純度薬剤供給手段４とが設けられた高純度薬剤供給装置の内部表面を洗浄するに当たり、高純度薬剤供給装置１０に設けられた洗浄液噴射手段５により、容器本体１及び蓋部２の内部表面に対し洗浄液を噴射する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部表面が電解研磨されたステンレス鋼製の容器本体と、該容器本体に接合された蓋部とを備え、該容器本体の内部に高純度薬剤を注入するための高純度薬剤注入手段と、該容器本体から高純度薬剤を取り出すための高純度薬剤供給手段とが設けられた高純度薬剤供給装置の内部表面を洗浄するに当たり、該高純度薬剤供給装置に設けられた洗浄液噴射手段により、前記容器本体及び蓋部の内部表面に対し洗浄液を噴射することを特徴とする高純度薬剤供給装置内洗浄方法。
【請求項２】
前記洗浄液の噴射を、該洗浄液の９０％以上が前記蓋部及び前記容器本体の内部表面の略上半分に向かうよう行う請求項１記載の高純度薬剤供給装置内洗浄方法。
【請求項３】
前記洗浄液として前記高純度薬剤を用いる請求項１又は２記載の高純度薬剤供給装置内洗浄方法。
【請求項４】
前記容器本体の内部表面に噴射された洗浄液を、前記高純度薬剤供給手段か、又は別途設けた洗浄液排出手段を用いて、該容器本体から排出する請求項１〜３のうちいずれか一項記載の高純度薬剤供給装置内洗浄方法。
【請求項５】
内部表面が電解研磨されたステンレス鋼製の容器本体と、該容器本体に接合された蓋部とを備える高純度薬剤供給装置において、前記容器本体の内部に高純度薬剤を注入するための高純度薬剤注入手段と、該容器本体から高純度薬剤を取り出すための高純度薬剤供給手段と、前記容器本体及び蓋部の内部表面に対し洗浄液を噴射して洗浄を行うための洗浄液噴射手段とが設けられていることを特徴とする高純度薬剤供給装置。
【請求項６】
前記容器本体及び蓋部を収容するコンテナを備え、かつ、該容器本体とコンテナとの間に、断熱材が設けられている請求項５記載の高純度薬剤供給装置。
【請求項７】
前記容器本体内部に、充填された高純度薬剤の液量変化を計測するための液面計が設けられている請求項５又は６記載の高純度薬剤供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は高純度薬剤供給装置（以下、単に「供給装置」とも称する）内の洗浄方法（以下、単に「洗浄方法」とも称する）及び高純度薬剤供給装置に関し、特に、半導体製品等の製造に用いられる極めて高純度な薬剤の供給装置内を洗浄するに当たり、薬剤の汚染等を生ずるおそれがなく、かつ、容器が大型であっても容器内部の洗浄を容易に行うことができる高純度薬剤供給装置内洗浄方法及びこれを実施することのできる高純度薬剤供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製品製造用の薬剤、例えば、ＣＶＤ原料や洗浄剤などの高純度薬剤は、内部を電解研磨したステンレス鋼容器本体に薬剤注入部と薬剤取り出し部を備えた容器に貯蔵して、ここから供給されていた。
【０００３】
このような容器を再使用する場合、一旦使用した後に高純度薬剤を再充填するに際し、容器内部を洗浄する必要があるが、これまでは容器の蓋部を取り外して洗浄を行い、その後に蓋をして再充填を行う手法が用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、半導体製品の製造効率を向上させる要求から、このような高純度薬剤用の容器や供給装置等は年々大型化されてきている。そのため、容器や装置の蓋部を取り外して内部を洗浄するには大変な労力と手間がかかってしまい、結局のところ所期の目的である製造効率の向上は十分には達せられていなかった。
【０００５】
一方、廃液等の貯留タンクの内部を洗浄する技術は、例えば、特開平１０−２８２２９５号公報、実案登録第３０４２３８９号公報、実開平７−５４４号公報等に記載されているが、これらはいずれもタンク内に可動部を有する装置を用いるものであり、可動部から微細なパーティクルが発生して汚染を生ずる可能性があることから、高純度薬剤供給装置内の洗浄には用いることができないものであった。
【０００６】
そこで本発明の目的は、上記のような欠点を有せず、大型装置等であっても容易に洗浄することができ、かつ、汚染の問題を生じない優れた高純度薬剤供給装置内洗浄方法及び高純度薬剤供給装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明者らは鋭意検討した結果、高純度薬剤供給装置に洗浄部を固定して、汚染の原因となる可動部を有しない構造とすることにより、上記問題を解消し得ることを見出して、本発明を完成するに至った。
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の高純度薬剤供給装置内洗浄方法は、内部表面が電解研磨されたステンレス鋼製の容器本体と、該容器本体に接合された蓋部とを備え、該容器本体の内部に高純度薬剤を注入するための高純度薬剤注入手段と、該容器本体から高純度薬剤を取り出すための高純度薬剤供給手段とが設けられた高純度薬剤供給装置の内部表面を洗浄するに当たり、該高純度薬剤供給装置に設けられた洗浄液噴射手段により、前記容器本体及び蓋部の内部表面に対し洗浄液を噴射することを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の洗浄方法においては、前記洗浄液の噴射を、該洗浄液の９０％以上が前記蓋部及び前記容器本体の内部表面の略上半分に向かうよう行うことが好ましい。また、前記洗浄液として前記高純度薬剤を用いることが好ましい。さらに、前記容器本体の内部表面に噴射された洗浄液を、前記高純度薬剤供給手段か、又は別途設けた洗浄液排出手段を用いて、該容器本体から排出することが好ましい。
【００１０】
また、本発明の高純度薬剤供給装置は、内部表面が電解研磨されたステンレス鋼製の容器本体と、該容器本体に接合された蓋部とを備える高純度薬剤供給装置において、前記容器本体の内部に高純度薬剤を注入するための高純度薬剤注入手段と、該容器本体から高純度薬剤を取り出すための高純度薬剤供給手段と、前記容器本体及び蓋部の内部表面に対し洗浄液を噴射して洗浄を行うための洗浄液噴射手段とが設けられていることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の供給装置においては、前記容器本体及び蓋部を収容するコンテナを備え、かつ、該容器本体とコンテナとの間に、断熱材が設けられていることが好ましい。また、前記容器本体内部に、充填された高純度薬剤の液量変化を計測するための液面計が設けられていることが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図１に、本発明の高純度薬剤供給装置の一好適例を示す。本発明の高純度薬剤供給装置内洗浄方法は、例えば、図示するような供給装置１０において実施することができる。図示する供給装置１０は、内部表面が電解研磨されたステンレス鋼製の容器本体１と、この容器本体に接合された蓋部２とを備えており、容器本体１の内部に高純度薬剤が充填される。また、供給装置１０には、容器本体１の内部に高純度薬剤を注入するための高純度薬剤注入手段３と、容器本体１から高純度薬剤を取り出すための高純度薬剤供給手段４とが設けられている。
【００１３】
本発明においては、上記注入手段３及び供給手段４に加えて供給装置１０に洗浄液噴射手段５を設け、これにより容器本体１及び蓋部２の内部表面に対し洗浄液を噴射する点が重要である。この洗浄液噴射手段５は、図示するように、注入手段３及び供給手段４と同様に供給装置１０に固定された状態で設けられているため、従来技術における可動式の洗浄部のように供給装置１０の内部を汚染することがない。なお、これら注入手段３、供給手段４及び洗浄液噴射手段５は、図示する例では蓋部２に設けられているが、これには限られず、容器本体１に設けてもよい。
【００１４】
洗浄液噴射手段５の先端部には、複数の孔部を有するシャワーボール５ａが取付けられている。図２（イ）〜（ハ）に、シャワーボール５ａの拡大断面図を示す。洗浄液噴射手段５に導入された洗浄液は、シャワーボール５ａの孔部６から噴射されて、供給装置１０の内部表面を洗い流す（図３参照）。これにより、蓋部２を外す必要なしで供給装置１０の内部表面を清浄化することができるので、大型の容器や装置においても余計な労力や手間をかけることなく容易に洗浄を行うことが可能となる。
【００１５】
孔部６は、図２（イ）に示すように、シャワーボール５ａの全周にわたり設けてもよいが、一部にのみ設けてもよい。特には、図２（ロ）に示すように、シャワーボール５ａの略上半分にのみ孔部６を設けて、洗浄液の９０％以上が蓋部２及び容器本体１の内部表面の略上半分に向かうよう噴射を行うことが好ましい。これにより、容器本体１の内部表面の上半分に当たった洗浄液がそのまま下半分に流れ落ちるので、より効率的に供給装置１０の内部表面全体を洗浄することが可能となる。
【００１６】
また、図２（ハ）に示すように、シャワーボール５ａには、その先端部に当たる底面最下部付近に、残留洗浄液を排出するための排出口７を設けておくことが好ましい。これにより、シャワーボール５ａ内部における洗浄液の残留を防止して、効率よく、かつ、残留液の変質による高純度薬剤の汚染などを引き起こすことなく、供給装置１０を繰り返し使用することが可能となる。
【００１７】
ここで、シャワーボール５ａに設ける孔部６の大きさや個数、その配置、及び、排出口７の大きさや個数等には特に制限はなく、適用する供給装置１０の規模や形状、シャワーボール５ａの大きさや形状等により適宜決定することができる。また、洗浄液噴射手段５についても、図示する例では１個のみであるが、複数設けてもよく、特に制限されない。
【００１８】
この際の洗浄液の噴射圧としては、供給装置１０の内部表面を適切に洗浄できるものであればよく、適用する容器や装置の大きさ等にもよるが、好ましくは０．０１ＭＰａ以上、より好ましくは０．０２〜０．１ＭＰａ程度である。噴射圧が０．０１ＭＰａ未満であると噴射が弱すぎて供給装置内に行き届かず、洗浄効果が十分に得られない。なお、本発明の洗浄方法を適用する容器又は装置の規模としては、特に制限はないが、例えば、容量５０リットル以上の大型のものに適用した場合に特に効果的である。
【００１９】
シャワーボール５ａから噴射された洗浄液は、図３に示すように、高純度薬剤供給手段４を用いて容器本体１から排出することができるが、別途設けた洗浄液排出手段、例えばドレンバルブ等（図示せず）を用いて排出してもよい。また、高純度薬剤供給手段４に高純度薬剤注入手段としての役割を兼ねさせてもよく、この場合は、高純度薬剤供給手段４を介して、容器本体１の内部に高純度薬剤を注入するとともに高純度薬剤の取り出しを行う。なお、この場合には、高純度薬剤注入手段３には加圧部ないし減圧部の役割を担わせることができ、高純度薬剤の注入時にはここから空気を逃がして減圧を行う一方、取り出し時には加圧を行うことで、注入及び取り出しの作業をよりスムースに行うことができる。
【００２０】
また、洗浄に際しては、洗浄液として供給装置１０内に充填を予定する高純度薬剤を用いていわゆるとも洗いを行うことが好ましく、これにより、異種洗浄液の残留による汚染や希釈等の問題を生ずることがないので、洗浄作業後に高純度薬剤の再充填作業をスムースに行うことが可能となる。本発明を適用し得るかかる高純度薬剤としては、例えば、オクタメチルシクロテトラシロキサン（ＯＭＣＴＳ）、テトラエチルオルソシリケート（ＴＥＯＳ）等が挙げられる。
【００２１】
本発明の洗浄方法においては、内部に固定状態で設けた上記洗浄液噴射手段５を用いて上記供給装置１０内部表面の洗浄を行う点が重要であり、それ以外の点については特に制限されない。本発明の供給装置１０の構造についても、図示する例には限られず、充填する高純度薬剤の種類や供給装置１０の用途、使用環境等に応じ適宜決定することが可能であるが、好ましくは、以下のような構造とする。
【００２２】
図１に示すように、供給装置１０は通常、容器本体１及び蓋部２を収容するコンテナ２０を備え、容器本体１とコンテナ２０とを溶接等により固定した状態で使用されるが、高純度薬剤の貯蔵に際しては特に温度管理が重要であるので、容器本体１の内部の温度を一定に保持するために、容器本体１とコンテナ２０の壁面との間に、緩衝作用に加えて断熱作用をも備える断熱材１１を介在させることが好ましい。特には、図４（イ）、（ロ）に示すように、容器本体１とコンテナ２０との固定部１２についても、供給装置１０の容器本体１に設けられた固定用部材１３が直接コンテナ２０の壁面に接触しないよう、間に断熱材１４を介在させる。これにより、より良好に容器本体１の内部温度を保持することができる。なお、図４（イ）は固定用部材１３とコンテナ２０の壁面との間に断熱材１４を配した状態を示し、（ロ）は、ボルト１５を締めて断熱材１４を固定した状態を示す。
【００２３】
図１に示すように、供給装置１０には、内部の高純度薬剤の液温を検出するための温度計８と、内圧測定用の圧力計９が設けられている。また、図示はしないが、容器本体１の内部には、充填された高純度薬剤の液量変化を計測するための液面計を設けることが好ましい。液面計としては、一般に用いられるフローターを用いてもよいが、光学的な検出装置を用いることが好ましく、具体的には、例えば、図５に示す、特開平５−９９７２９号公報に記載の光検出プローブ等を好適に用いることができる。このような液面計は汚染の原因となり得る可動部を有しないので、本発明においては特に好適である。
【００２４】
なお、図示する光検出プローブは、投光用光ファイバー２１から出射された光を受光用光ファイバー２２に入射させるプリズム部２３を備え、受光用光ファイバー２３への入射光の光量低下により液面の低下を検出するものであり、夫々、図中の符号２４は投光用光ファイバー２１と受光用光ファイバー２３とからなるセンサーケーブル、符号２５及び２６は両光ファイバーを所定の配置に固定するための保持チューブ及び接着剤、符号２７及び２８は、センサーケーブルの抜けを防ぐための保護チューブ及び形状記憶樹脂チューブである。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、大型装置等であっても容易に洗浄することができ、かつ、汚染の問題を生じない優れた高純度薬剤供給装置内洗浄方法及び高純度薬剤供給装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の高純度薬剤供給装置を示す概略断面図である。
【図２】シャワーボールを示す断面図である。
【図３】シャワーボールの使用状態を示す説明図である。
【図４】高純度薬剤供給装置をコンテナに固定する状態を示す説明図である。
【図５】光検出プローブを示す概略断面図である。
【符号の説明】
１　容器本体
２　蓋部
３　高純度薬剤注入手段
４　高純度薬剤供給手段
５　洗浄液噴射手段
５ａ　シャワーボール
６　孔部
７　排出口
８　温度計
９　圧力計
１０　供給装置
１１、１４　断熱材
１２　固定部
１３　固定用部材
１５　ボルト
２０　コンテナ
２１　投光用光ファイバー
２２　受光用光ファイバー
２３　プリズム部
２４　センサーケーブル
２５　保持チューブ
２６　接着剤
２７　保護チューブ
２８　形状記憶樹脂チューブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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