(57)【要約】【課題】インクジェット方式を適用した記録装置において、アライメントによる誤差を小さくし、記録装置の記録位置精度の向上を図る。【解決手段】ヘッド１０を測定するための第１アライメントカメラ１と、被記録部材１８を測定するための第２アライメントカメラ２との間に、平面位置調整のため基準マーク２５をつけた基準ガラス２０を挿入する。平面位置の調整後は、片方のアライメントカメラの焦点を被測定物に合わせるために、対物レンズ３３と被測定物の間に調整ガラス２６を挿入する。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被記録部材に記録を行なうためのヘッドのフェイス面を下向きにしてヘッドを固定するヘッドホルダと、前記被記録部材を固定するチャックと、前記チャックを搭載した平面内を移動可能なステージと、前記ステージ上に固定された第１のアライメントカメラと、前記第１アライメントカメラの固定位置の高さを調整する第１の高さ調整機構と、記録装置上に固定された第２のアライメントカメラと、前記第２アライメントカメラの固定位置の高さを調整する第２の高さ調整機構と、アライメント動作を行なうための制御部とを備えた記録装置において、上下から測定可能な基準マークをつけた平面位置調整手段と、透過性物質からなる焦点調整手段を有することを特徴とするアライメント機構。
【請求項２】
前記平面位置調整手段および前記焦点調整手段は、鉛直方向に高さ調整が可能なスライド部と、前記第１または第２アライメントカメラに固定する固定部と、前記焦点調整手段を収納する収納部とからなることを特徴とする請求項１に記載のアライメント機構。
【請求項３】
前記ヘッドホルダに固定されたヘッドには、前記第１アライメントカメラの測定面にアライメントの基準となるアライメントマークがノズル列に対して平行または垂直に複数ついており、前記ヘッドは鉛直方向を中心軸とした回転方向に角度調整が可能である角度調整手段を有することを特徴とする請求項１に記載のアライメント機構。
【請求項４】
前記チャックまたは前記被記録部材には、第２のアライメントカメラの測定面にアライメントの基準となるアライメントマークが複数ついており、前記チャックは鉛直方向を中心軸とした回転方向に角度調整が可能である角度調整手段を有することを特徴とする請求項１に記載のアライメント機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アライメント機構に係り、さらに詳しくは液滴を吐出して被記録部材に記録を行なうインクジェット記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
被記録部材に記録を行なう１つの方法として、ヘッドに設けられたノズルから液滴を吐出させて記録を行なうインクジェット方式がある。この方式を採用したものでは、カラー画像を紙に印刷するためのプリンタが最も良く知られている。しかしながら、インクジェット方式は、微小な液滴を所定の場所に着弾させることができるという利点から、プリンタだけでなく、カラーフィルタ製造装置・ＤＮＡチップ製造装置等の製造装置にも適用されている。これらの製造装置では、所定の液滴を所定の位置に精度良く着弾させる必要があるため、図７を一例とするような構成を取る。
【０００３】
定盤５９上にはＹ軸ステージ５３およびガイドレール５７・５８が平行に固定されている。Ｙ軸ステージ５３およびガイドレール５７・５８の可動部分にはＸ軸ステージ５４が取り付けられおり、Ｘ軸ステージ５４はＹ軸方向に移動可能となっている。Ｘ軸ステージ５４の可動部分にはチャックθステージ５５が固定されており、さらにチャックθステージ５５上面にはチャック５６が固定されている。チャック５６は図示しないポンプにチューブによってつながれており、ポンプが空気を吸引することで、被記録部材６８はチャック５６に吸着される。また、定盤５９上に支柱６５・６６が固定されており、支柱６５・６６にはそれぞれブリッジ６３・６４が固定されている。ブリッジ６３と６４はステー６２で固定されており、支柱６５・６６とブリッジ６３・６４の構造物の強度を保っている。このステー６２にはＣＣＤカメラ５２が取り付けられている。さらに、ブリッジ６３と６４の間にはヘッドθステージ６１が固定されており、ヘッドθステージ６１にはヘッド６０が固定されている。
【０００４】
吐出液がなくなったり、吐出液の種類を変更したりする場合はヘッド６０を交換する必要があり、被記録部材６８は記録が終了する毎に交換する。その交換の際に、取り付ける位置に毎回誤差が生じてしまう。よって、ドットの着弾精度を保証するためには、アライメントを行なう必要がある。そこで、ＣＣＤカメラ５２によるアライメントが行なわれる。具体的な方法としては、特開２００１−２８６８１２号公報に記載されているように、まず、被記録部材６８の替わりとなるブランクに液滴を吐出して吐出データを形成し、その時のチャック５６の位置座標を記録しておく。次に、吐出データをＣＣＤカメラ５２にて撮影し、その時のチャック５６の位置座標を記録しておく。さらに、被記録部材６８のアライメントマークをＣＣＤカメラ５２にて撮影し、その時のチャック５６の位置座標を記録しておく。以上、３点の位置座標から、被記録部材６８の着弾位置に液滴が吐出されるように、チャック５６の位置を補正したり、ヘッド６０の角度をヘッドθステージ６１によって、被記録部材６８の角度をチャックθステージ５５によって調整したりする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、被記録部材に記録を行なう時のドットの着弾位置に係る最も大きな誤差要因は、ヘッド自体の吐出性能であり、１回毎の吐出でも着弾位置にバラツキが生じてしまう。よって、チャックの高精度位置決めが実現できるとしても、そのドットを基準にしては、チャックの位置やヘッドの回転を補正する際にヘッドの吐出性能による誤差が上積みされ、理想値からのズレが補正前よりも大きくなってしまう可能性がある。
【０００６】
よって、ヘッドおよび被記録部材の位置を直接アライメントカメラで測定し、相対位置を算出する方がよい。この時、ヘッドを測定するアライメントカメラと被記録部材を測定するアライメントカメラの相対位置の情報を得る必要がある。そのためには、アライメントカメラの光軸が一致した位置を基準にすればよい。具体的な方法としては、同一のマークを上下から測定することが挙げられる。しかしながら、高精度のアライメントを必要とする以上、高倍率のカメラが必要であり、高倍率になればなるほど焦点深度も浅くなる。ヘッドの下面を測定するアライメントカメラとチャックまたは被記録部材の上面を測定するアライメントカメラでは焦点位置が異なるため、同一のマークを測定するということはできない。また、同一のマークを測定した後に、それぞれヘッドの下面・チャックまたは被記録部材の上面に焦点を合わせ直したとしても、カメラを動かすことによってカメラによる測定位置がずれてしまうことが懸念される。
【０００７】
本発明の目的は、以上のような問題点に鑑み、アライメントによる誤差を小さくし、記録装置の記録位置精度の向上を図ることのできるアライメント機構を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、以下の構成を備える。
【０００９】
本発明に係る第１の発明は、被記録部材に記録を行なうためのヘッドのフェイス面を下向きにしてヘッドを固定するヘッドホルダと、被記録部材を固定するチャックと、チャックを搭載した平面内を移動可能なステージと、ステージ上に固定された第１のアライメントカメラと、第１アライメントカメラの固定位置の高さを調整する第１の高さ調整機構と、記録装置上に固定された第２のアライメントカメラと、第２アライメントカメラの固定位置の高さを調整する第２の高さ調整機構と、アライメント動作を行なうための制御部とを備えた記録装置において、第１アライメントカメラはチャックと共にステージ上に固定され、第２アライメントカメラは記録装置上に固定されており、上下から測定可能な基準マークをつけた平面位置調整手段と、透過性物質からなる焦点調整手段を有することを特徴とする。
【００１０】
上記構成において、平面位置調整手段を第１アライメントカメラと第２アライメントカメラの間に挿入すれば、同一の基準マークを双方のアライメントカメラで測定しながら光軸を一致させることができる。この位置を基準とすれば、第１アライメントカメラでヘッドの位置を、第２アライメントカメラで被記録部材の位置を測定した後に、ヘッドのノズルを着弾させたい位置に精度良く合わせることができる。また、一方のカメラの焦点までの光路中に焦点調整手段を置けば、光が焦点調整手段内部を通過するため光路長が変化する。よって、焦点調整手段の厚さによって、アライメントカメラの固定位置高さを変えることなく、被測定物に焦点を合わせることができる。
【００１１】
本出願に係る第２の発明は、第１の発明のアライメント機構において、平面位置調整手段および焦点調整手段は、鉛直方向に高さ調整が可能なスライド部と、第１または第２アライメントカメラに固定する固定部と、焦点調整手段を収納する収納部とからなることを特徴とする。
【００１２】
上記構成において、第１の発明の調整をより簡単に行なうことができる。
【００１３】
本出願に係る第３の発明は、第１の発明のアライメント機構において、ヘッドホルダに固定されたヘッドには、第１アライメントカメラの測定面にアライメントの基準となるアライメントマークがノズル列に対して平行または垂直に複数ついており、ヘッドは鉛直方向を中心軸とした回転方向に角度調整が可能である角度調整手段を有することを特徴とする。
【００１４】
上記構成において、ステージを移動させながら、ヘッドのアライメントマークを測定し、ヘッドのノズル列をステージの走行方向に対して平行または垂直になるようにヘッドの角度を調整することで、ヘッド内全てのノズルに対して位置の保証をすることができる。
【００１５】
本出願に係る第４の発明は、第１の発明のアライメント機構において、チャックまたは被記録部材には、第２のアライメントカメラの測定面にアライメントの基準となるアライメントマークが複数ついており、チャックは鉛直方向を中心軸とした回転方向に角度調整が可能である角度調整手段を有することを特徴とする。
【００１６】
上記構成において、チャックを移動させながら、チャックまたは被記録部材のアライメントマークを測定し、被記録部材をステージの走行方向に対して平行または垂直になるようにチャックの角度を調整することで、被記録部材全体に着弾される液滴の位置を保証することができる。
【００１７】
以上の構成を改めて、以下（１）〜（４）に整理して示す。
【００１８】
（１）被記録部材に記録を行なうためのヘッドのフェイス面を下向きにしてヘッドを固定するヘッドホルダと、前記被記録部材を固定するチャックと、前記チャックを搭載した平面内を移動可能なステージと、前記ステージ上に固定された第１のアライメントカメラと、前記第１アライメントカメラの固定位置の高さを調整する第１の高さ調整機構と、記録装置上に固定された第２のアライメントカメラと、前記第２アライメントカメラの固定位置の高さを調整する第２の高さ調整機構と、アライメント動作を行なうための制御部とを備えた記録装置において、上下から測定可能な基準マークをつけた平面位置調整手段と、透過性物質からなる焦点調整手段を有するアライメント機構。
【００１９】
（２）前記平面位置調整手段および前記焦点調整手段は、鉛直方向に高さ調整が可能なスライド部と、前記第１または第２アライメントカメラに固定する固定部と、前記焦点調整手段を収納する収納部とからなる上記（１）に記載のアライメント機構。
【００２０】
（３）前記ヘッドホルダに固定されたヘッドには、前記第１アライメントカメラの測定面にアライメントの基準となるアライメントマークがノズル列に対して平行または垂直に複数ついており、前記ヘッドは鉛直方向を中心軸とした回転方向に角度調整が可能である角度調整手段を有する上記（１）に記載のアライメント機構。
【００２１】
（４）前記チャックまたは前記被記録部材には、第２のアライメントカメラの測定面にアライメントの基準となるアライメントマークが複数ついており、前記チャックは鉛直方向を中心軸とした回転方向に角度調整が可能である角度調整手段を有する上記（１）に記載のアライメント機構。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。
【００２３】
【実施例】
図１は本発明の一実施例のアライメント機構を適用した記録装置の斜視図であり、図２は本発明のアライメント機構の構成を示す断面図である。
【００２４】
定盤９上にはＹ軸ステージ３およびガイドレール７・８が平行に固定されている。Ｙ軸ステージ３およびガイドレール７・８の可動部分にはＸ軸ステージ４が取り付けられており、Ｘ軸ステージ４はＹ軸方向に移動可能となっている。Ｘ軸ステージ４の可動部分には第１高さ調整機構３１を備えた第１アライメントカメラ１およびチャックθステージ５が固定されており、さらにチャックθステージ５上面にはチャック６が固定されている。チャック６は図示しないポンプにチューブによってつながれており、ポンプが空気を吸引することで、被記録部材１８はチャック６に吸着される。また、定盤９上に支柱１５・１６が固定されており、支柱１５・１６にはそれぞれブリッジ１３・１４が固定されている。ブリッジ１３と１４はステー１２で固定されており、ステー１２には第２高さ調整機構３２を備えた第２アライメントカメラ２が固定されている。さらに、ブリッジ１３・１４の間にはヘッドθステージ１１が固定されており、ヘッドθステージ１１にはヘッド１０が固定されている。第１アライメントカメラ１・第２アライメントカメラ２・Ｙ軸ステージ３・Ｘ軸ステージ４・チャックθステージ５・ヘッドθステージ１１は制御部１７と接続されており、アライメント動作時に制御される構成となっている。
【００２５】
次に、アライメント機構の詳細部分について、第２アライメントカメラ２を例に取り、図３に基づいて説明する。第２アライメントカメラ２は、対物レンズ３３・鏡筒３４・ＣＣＤカメラ３５からなる。ＣＣＤカメラ３５はカメラケーブル４３で制御部１７と接続されており、取り込んだ画像はモニター３６によって確認することができる。また、光源３８の光をファイバー３７によって鏡筒３４に取り入れ、鏡筒３４内のハーフミラー３９によって被記録部材１８に光を落射させている。対物レンズ３３から焦点までの距離は、対物レンズ３３・鏡筒３４等の構成により決定し、構成を変更しない限り焦点距離も変化しない。そこで、第２アライメントカメラ２には、固定位置の高さを調整できる第２高さ調整機構３２が備えられている。第２高さ調整機構３２は、固定部４０・スライド部４１・マイクロメータ４２からなり、固定部４０をステー１２に固定し、スライド部４１に第２アライメントカメラ２を取り付ける。マイクロメータ４２は固定部４０側に取り付けられており、マイクロメータ４２を回すとマイクロメータ４２の先端の位置が変化する。マイクロメータ４２の先端がスライド部４１の一部に突き当てられているので、マイクロメータ４２を回すことでスライド部４１の位置を調整できるようになっている。以上のような構成により、第２アライメントカメラ２の高さを調整できる。第２アライメントカメラ２の焦点を被記録部材１８の上面に合わせるように、モニター３６の画像を見ながらマイクロメータ４２で第２アライメントカメラ２の高さを調整する。第２アライメントカメラ２の焦点が被記録部材１８の上面に合ったところで、第２高さ調整機構３２に備えられた図示しないクランプねじを締め、第２アライメントカメラ２が取り付けられたスライド部４１の位置を固定する。以上が、第２アライメントカメラ２の詳細であるが、第１アライメントカメラ１についても同様の構成を取っている。
【００２６】
次に、アライメント機構を調整する原理を説明する。図２で示したように、ヘッド１０によってチャック６上の被記録部材１８に記録を行なうために、ヘッド１０下面と被記録部材１８上面には一定の空間が設けられている。第１高さ調整機構３１により第１アライメントカメラ１の焦点はヘッド１０の下面に、第２高さ調整機構３２により第２アライメントカメラ２の焦点は被記録部材１８の上面にそれぞれなるようにする必要がある。よって、第１アライメントカメラ１と第２アライメントカメラ２の焦点位置はヘッド１０・被記録部材１８間の距離だけ離れていることになり、第１アライメントカメラ１と第２アライメントカメラ２で同時に同一のものを測定することはできない。
【００２７】
そこで、図４に示すような調整部材１９を使用して、アライメント機構の調整を行なう。図４（ａ）のように、調整部材１９は固定部２２・スライド部２１・基準ガラス２０からなる。固定部２２にはおねじ２４が、スライド部２１にはめねじ２３がそれぞれ切られており、基準ガラス２０には基準マーク２５が刻印されている。固定部２２・スライド部２１・基準ガラス２０を組み合わせると図４（ｂ）のようになり、固定部２２に対してスライド部２１を回転させることで、スライド部２１に固定された基準ガラス２０の高さ位置を調整できる。ここで、基準ガラス２０は、基準マーク２５が上側になるように、スライド部２１に取り付けられている。さらに、基準ガラス２０の下側に調整ガラス２６を収納する収納部２７が設けられている。
【００２８】
具体的なアライメント機構の調整方法を以下に述べる。まず、図５（ａ）に示すように、第１アライメントカメラ１の対物レンズ部分に固定部２２を挿入する。基準ガラス２０の上面の基準マーク２５に第１アライメントカメラ１の焦点が合う位置になるように、スライド部２１を回転させて高さを調整する。次に、第２アライメントカメラ２の焦点が被記録部材１８の上面に合う位置になるように、第２アライメントカメラ２の高さを第２高さ調整機構３２で調整する。その上で、第２アライメントカメラ２で基準マーク２５を測定できる位置に、第１高さ調整機構３１で第１アライメントカメラ１と一緒に調整部材１９の高さを変える。基準マーク２５を第１アライメントカメラ１と第２アライメントカメラ２で同時に測定できる状態で、第１アライメントカメラ１と第２アライメントカメラ２の画像を図２で示した制御部１７に取り込み、２つのカメラの位置の差に換算する。その差の分だけＸ軸ステージ４およびＹ軸ステージ３を移動し、第１アライメントカメラ１での基準マーク２５の見え方と第２アライメントカメラ２での基準マーク２５の見え方を同じにする。その状態が第１アライメントカメラ１と第２アライメントカメラ２の光軸が一致する位置であり、その位置がアライメント動作の基準となる。
【００２９】
以上の調整で、第１アライメントカメラ１と第２アライメントカメラ２の光軸は一致した。しかし、第２アライメントカメラ２の焦点は被記録部材１８上面に合っているものの、第１アライメントカメラ１の焦点はヘッド１０下面には合っていない。そこで、第１アライメントカメラ１の焦点をヘッド１０下面に合わせる必要がある。図５（ｂ）に示すように、調整部材１９の収納部２７に調整ガラス２６を挿入させる。第１アライメントカメラ１とその焦点までの間に調整ガラス２６が挿入されることで焦点位置が移動する。その焦点の移動量δは、ガラスの屈折率をｎ、ガラスの厚みをｄとした場合、次のように表現される。
【００３０】
δ＝ｄ（１−１／ｎ）
第１アライメントカメラ１の焦点の移動量とは、ヘッド１０下面から基準マーク２５までの距離の差であり、つまりはヘッド１０下面と被記録部材１８上面の距離である。ここで、ヘッド１０下面と被記録部材１８上面の距離を１．２ｍｍ、調整ガラス２６の屈折率を１．５とすると、調整ガラス２６の厚さを３．６ｍｍにすれば、第１アライメントカメラ１の焦点がヘッド１０下面の位置になることが分かる。
【００３１】
次に図６に基づいて、アライメント動作の詳細を述べる。
【００３２】
まず、先に述べたように、調整部材１９によって、第１アライメントカメラ１と第２アライメントカメラ２の光軸が一致し、第１アライメントカメラ１の焦点がヘッド１０下面に、第２アライメントカメラ２の焦点が被記録部材１８上面に合っている状態を図６（ａ）に示す。この状態でのＸ軸ステージ４およびＹ軸ステージ３の位置を（ｘ０，ｙ０）とする。
【００３３】
次に、図６（ｂ）に示すように、第１アライメントカメラ１をヘッド１０の下まで移動させる。ヘッド１０には、図示しないノズル列に対して垂直にアライメントマークが複数ついている。Ｘ軸ステージ４を移動させながらアライメントマークを測定し、第１アライメントカメラ１の画像の中心を全てのアライメントマークが通過するように、ヘッドθステージ１１でヘッド１０の角度を調整する。この動作は図２で示した制御部１７によって制御される。この動作によって、ヘッド１０のノズル列の方向がＸ軸ステージ４の走行方向に対して垂直となる。その上で、第１アライメントカメラ１でヘッド１０のアライメントマークの１つを取り込む。例えば、ヘッド１０の中心にアライメントマークがあるとして、そのアライメントマークが第１アライメントカメラ１で取り込んだ画像の中心になるように、Ｘ軸ステージ４およびＹ軸ステージ３を移動させる。その時のＸ軸ステージ４およびＹ軸ステージ３の位置を（ｘｈ，ｙｈ）とする。
【００３４】
さらに、図６（ｃ）に示すように、被記録部材１８を第２アライメントカメラ２の下まで移動させる。被記録部材１８には、図示しないアライメントマークが外形に対して平行に複数ついている。このアライメントマークが被記録部材１８上に記録する際の基準位置となる。Ｘ軸ステージ４を移動させながらアライメントマークを測定し、第２アライメントカメラ２の画像の中心を全てのアライメントマークが通過するように、チャックθステージ５でチャック６および被記録部材１８の角度を調整する。この動作は図２で示した制御部１７によって制御される。この動作によって、被記録部材１８上の記録の基準であるアライメントマーク列の方向がＸ軸ステージ４の走行方向と一致する。その上で、第２アライメントカメラ２で被記録部材１８のアライメントマークの１つを取り込む。例えば、被記録部材１８の中心にアライメントマークがあるとして、そのアライメントマークが第２アライメントカメラ２で取り込んだ画像の中心になるように、Ｘ軸ステージ４およびＹ軸ステージ３を移動させる。その時のＸ軸ステージ４およびＹ軸ステージ３の位置を（ｘｒ，ｙｒ）とする。
【００３５】
以上の動作により、ヘッド１０と被記録部材１８の相対位置関係を知ることができる。例えば、ヘッド１０の中心に被記録部材１８の中心を移動させたい時には、Ｘ軸ステージ４およびＹ軸ステージ３の位置を（ｘｈ＋ｘｒ−ｘ０，ｙｈ＋ｙｒ−ｙ０）にすればよい。よって、あらかじめヘッド１０のアライメントマークとノズルの位置関係を測定しておくことで、被記録部材１８の所定の位置に所定のノズルで吐出した液滴を精度良く着弾させることができる。
【００３６】
以上説明したように、本発明に係る第１の発明によれば、上記構成において、平面位置調整手段を第１アライメントカメラと第２アライメントカメラの間に挿入すれば、同一の基準マークを双方のアライメントカメラで測定しながら光軸を一致させることができる。この位置を基準とすれば、第１アライメントカメラでヘッドの位置を、第２アライメントカメラで被記録部材の位置を測定した後に、ヘッドのノズルを着弾させたい位置に精度良く合わせることができる。また、一方のカメラの焦点までの光路中に焦点調整手段を置けば、光が焦点調整手段内部を通過するため光路長が変化する。よって、焦点調整手段の厚さによって、アライメントカメラの固定位置高さを変えることなく、被測定物に焦点を合わせることができる。さらに、本出願に係る第２の発明によれば、第１の発明の調整をより簡単に行なうことができる。さらに、本出願に係る第３の発明によれば、ステージを移動させながら、ヘッドのアライメントマークを測定し、ヘッドのノズル列をステージの走行方向に対して平行または垂直になるようにヘッドの角度を調整することで、ヘッド内全てのノズルに対して位置の保証をすることができる。さらに、本出願に係る第４の発明によれば、チャックを移動させながら、チャックまたは被記録部材のアライメントマークを測定し、被記録部材をステージの走行方向に対して平行または垂直になるようにチャックの角度を調整することで、被記録部材全体に着弾される液滴の位置を保証することができる。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、第１アライメントカメラと第２アライメントカメラの位置調整を精度良く行なうことができ、アライメントによる誤差を低減することで記録装置の記録位置精度の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係るアライメント機構を適用した記録装置の斜視図
【図２】本発明の実施例に係るアライメント機構を適用した記録装置の構成を示す断面図
【図３】本発明の実施例に係るアライメント機構の詳細を説明する斜視図
【図４】本発明の実施例に係るアライメント機構を調整するための部材を示す斜視図
【図５】本発明の実施例に係るアライメント機構を調整する原理を説明する断面説明図
【図６】本発明の実施例に係るアライメント機構の動作を説明する断面説明図
【図７】従来例のアライメント機構を適用した記録装置の斜視図
【符号の説明】
１　第１アライメントカメラ
２　第２アライメントカメラ
３　Ｙ軸ステージ
４　Ｘ軸ステージ
５　チャックθステージ
６　チャック
７，８　ガイドレール
９　定盤
１０　ヘッド
１１　ヘッドθステージ
１２　ステー
１３，１４　ブリッジ
１５，１６　支柱
１７　制御部
１８　被記録部材
１９　調整部材
２０　基準ガラス
２１　スライド部
２２　固定部
２３　めねじ
２４　おねじ
２５　基準マーク
２６　調整ガラス
２７　収納部
３１　第１高さ調整機構
３２　第２高さ調整機構
３３　対物レンズ
３４　鏡筒
３５　ＣＣＤカメラ
３６　モニター
３７　ファイバー
３８　光源
３９　ハーフミラー
４０　固定部
４１　スライド部
４２　マイクロメータ
４３　カメラケーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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