(57)【要約】【課題】本発明は、モータ端でのサージ電圧を十分抑え、また高信頼性・小型・低コスト化を達成することを目的とする。【解決手段】サージ電圧の共振周波数帯域での透磁率の抵抗成分がインダクタンス成分の２倍以上の大きさを示す磁性材料からなるコアを用いたリアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗを、インバータ１の各相出力線に直列に接続したことを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インバータによりケーブルを介してモータを駆動する際にモータ端に発生するサージ電圧を抑制するマイクロサージ電圧抑制回路において、前記サージ電圧の共振周波数帯域での透磁率の抵抗成分がインダクタンス成分の２倍以上の大きさを示す磁性材料からなるコアを用いたリアクトルを、前記インバータの各相出力線に直列に接続してなることを特徴とするマイクロサージ電圧抑制回路。
【請求項２】
インバータによりケーブルを介してモータを駆動する際にモータ端に発生するサージ電圧を抑制するマイクロサージ電圧抑制回路において、前記インバータの各相出力線にリアクトルを直列接続するとともに、その各リアクトルにおけるコアにそれぞれ２次巻線を施し、当該各２次巻線の始端と終端との間に前記サージ電圧に対するダンピング用の抵抗をそれぞれ接続してなることを特徴とするマイクロサージ電圧抑制回路。
【請求項３】
前記各リアクトルにおけるコアとして、１個の多脚コアにおける各磁脚を用いてなることを特徴とする請求項１または２記載のマイクロサージ電圧抑制回路。
【請求項４】
前記抵抗がある一定温度以上に異常過熱された時、当該抵抗に流れる電流を所定値以下に制限する過熱保護手段を前記抵抗と直列に接続してなることを特徴とする請求項２または３記載のマイクロサージ電圧抑制回路。
【請求項５】
前記ダンピング用の抵抗とは別のダンピング機能補助用の補助抵抗を、前記過熱保護手段を含む回路と並列に接続してなることを特徴とする請求項４記載のマイクロサージ電圧抑制回路。
【請求項６】
前記リアクトルにおける巻線の巻数ｎ１と、前記２次巻線の巻数ｎ２とがｎ１＜ｎ２の関係を満たすとともに、前記ダンピング用の抵抗の両端を、ダイオード構成のフルブリッジ回路における入力端子間に接続し、当該フルブリッジ回路における正側整流出力端子をインバータ直流部の正側に接続し負側整流出力端子をインバータ直流部のアース側に接続してなることを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載のマイクロサージ電圧抑制回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インバータ駆動によりモータ端に発生するマイクロサージを抑制するためのマイクロサージ電圧抑制回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
給電用のケーブル長の長いモータをインバータ駆動する場合、インバータから出力される立上がりの急峻な電圧はインピーダンス不整合によってモータ・インバータ間で何度も反射を繰り返す。その結果、モータ端には、ケーブルのインダクタンスと浮遊容量とで決まる周波数の過大なサージ電圧がかかる（以下、この周波数をサージ電圧共振周波数と呼ぶ）。入力電圧が高いとこのサージ電圧はモータ巻線の絶縁耐圧を超えて、絶縁破壊を引き起こす場合がある。
【０００３】
これに対し、従来のサージ電圧抑制回路として、電圧型ＰＷＭインバータの出力端子に抵抗器とインダクタの並列回路からなるダンピング回路を直列に接続するとともに、このダンピング回路の抵抗器の抵抗値とインダクタのインダクタンス値を、ケーブルのインダクタンス値と漂遊容量からサージ電圧を吸収するように決定している。決定された数値例としては、インダクタのインダクタンス値は２ｍＨ、抵抗器の抵抗値は１３０Ωとしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、従来のサージ電圧抑制回路として、高周波領域で給電線の特性インピーダンスに等しいインピーダンスを有し、インバータと給電線の間に直列に接続した抵抗回路を備えたものがある。抵抗回路における抵抗器の抵抗値としては、４０〜４５Ω程度に設定している（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
上記各特許文献に記載の従来技術と同様に、比較的簡単な構成の回路を付加することで、サージ電圧を抑制するようにした従来技術を、図を用いてさらに説明する。
【０００６】
図８は、インダクタンスＬ１、Ｌ２、Ｌ３、コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３、及び抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３からなるＬＣＲフィルタ８をインバータ１と給電線の間に接続している。インバータ１とモータＭの各相に直列に接続されたインダクタンスＬ１、Ｌ２、Ｌ３は周波数の高いサージに対して高インピーダンスを示す。このためサージがモータＭに伝わりにくくなる。さらに抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３とコンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３とはサージに対するバイパス回路を構成している。これにより、インダクタンスＬ１、Ｌ２、Ｌ３を通過したサージはバイパス回路へと流れて抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３で消費され、その結果サージの発生を抑えるようにしている。
【０００７】
また、図９に示すモータターミネータ９は、コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３と抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３とから構成され、モータＭの端子近傍に接続されている。ＬＣＲフィルタからインダクタンスを除いた構成のモータターミネータ９は、サージを抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３で消費させることで、その発生を抑えている。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１１−２６２２４７号公報（第２−３頁、図１）
【０００９】
【特許文献２】
特開２００１−２０４１３６号公報（第２頁、第６−７頁、図１、図２）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
図８に示す従来技術でＬＣＲフィルタがその効果を十分発揮するためにはインダクタンスはｍＨオーダの定数であることが必要である。このため、ＬＣＲフィルタは大型で重量も重く、コストも高くなる。この点では、特許文献１に記載の従来技術もインダクタンス値が２ｍＨ程度のインダクタを用いているので、大型で重量も重いものとなる。
【００１１】
図９に示す従来技術でモータターミネータは、インダクタンスはないもののサージは全て抵抗で消費させる仕組みとなっていることから、損失が非常に大きく抵抗に過熱が生じ易い。このため、抵抗が過熱損傷してターミネータの信頼性が損なわれるおそれがある。過熱を防止するためには、抵抗冷却用の大型のフィンあるいはファンなどを必要とするので、ＬＣＲフィルタに対する優位性が得られない。この点では、特許文献２に記載の従来技術は、抵抗回路における抵抗器の抵抗値を４０〜４５Ω程度に設定しているが、抵抗回路はインバータと給電線の間に直列に接続されているので、それなりの抵抗損失が生じるのは免れ得ない。さらに、モータターミネータの場合、その効果を得るためにはモータ端子近傍に接続する必要があるため、モータと同様の環境仕様（例えば防水等）を満たさなければならず、その分コスト高を招いてしまう。
【００１２】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、モータ端でのサージ電圧を十分に抑えることができるとともに、高信頼性化、小型化及び低コスト化を達成しうるようにしたマイクロサージ電圧抑制回路を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、インバータによりケーブルを介してモータを駆動する際にモータ端に発生するサージ電圧を抑制するマイクロサージ電圧抑制回路において、前記サージ電圧の共振周波数帯域での透磁率の抵抗成分がインダクタンス成分の２倍以上の大きさを示す磁性材料からなるコアを用いたリアクトルを、前記インバータの各相出力線に直列に接続してなることを要旨とする。
【００１４】
サージ電圧の共振周波数帯域において透磁率の抵抗成分がインバータの各相出力線に直列に接続されているのと等価となる。このため、リアクトルのインダクタンス成分によるサージ電圧抑制作用と抵抗成分によるサージ電圧のダンピング作用との相乗効果により、小容量のリアクトルでモータ端でのサージ電圧を効果的に抑制することが可能となる。
【００１５】
請求項２記載の発明は、インバータによりケーブルを介してモータを駆動する際にモータ端に発生するサージ電圧を抑制するマイクロサージ電圧抑制回路において、前記インバータの各相出力線にリアクトルを直列接続するとともに、その各リアクトルにおけるコアにそれぞれ２次巻線を施し、当該各２次巻線の始端と終端との間に前記サージ電圧に対するダンピング用の抵抗をそれぞれ接続してなることを要旨とする。
【００１６】
コアに巻回されたリアクトルの巻線と２次巻線とのトランス作用により、高周波のサージ電圧成分はダンピング用の抵抗を流れて減衰する。このため、リアクトルによるサージ電圧抑制作用とダンピング用の抵抗によるサージ電圧の減衰作用との相乗効果により、小容量のリアクトルでモータ端でのサージ電圧が効果的に抑制される。また、サージ電圧のダンピング作用は、上述のように、ダンピング用の抵抗が担うため、コア材料として、サージ電圧に対し少ない損失を示す一般的な磁性材料を用いることが可能となる。このため、コアの発熱が抑えられるとともに、これに代わる発熱体となるダンピング用の抵抗は、ケーブルと分離して設けられているのでインバータへの伝熱を抑えることが可能となる。
【００１７】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、前記各リアクトルにおけるコアとして、１個の多脚コアにおける各磁脚を用いてなることを要旨とする。
【００１８】
複数のリアクトルにおけるコアが、１個の多脚コアにより一体化されて小型化がよりよく達成される。
【００１９】
請求項４記載の発明は、請求項２または３記載の発明において、前記抵抗がある一定温度以上に異常過熱された時、当該抵抗に流れる電流を所定値以下に制限する過熱保護手段を前記抵抗と直列に接続してなることを要旨とする。
【００２０】
サージ電圧の減衰作用を持つダンピング用抵抗の損傷が防止されて、マイクロサージ電圧抑制回路の高信頼性が得られる。
【００２１】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記ダンピング用の抵抗とは別のダンピング機能補助用の補助抵抗を、前記過熱保護手段を含む回路と並列に接続してなることを要旨とする。
【００２２】
過熱保護手段の動作時のサージ電圧のダンピング作用の低下が緩和される。
【００２３】
請求項６記載の発明は、請求項２ないし５のいずれかに記載の発明において、前記リアクトルにおける巻線の巻数ｎ１と、前記２次巻線の巻数ｎ２とがｎ１＜ｎ２の関係を満たすとともに、前記ダンピング用の抵抗の両端を、ダイオード構成のフルブリッジ回路における入力端子間に接続し、当該フルブリッジ回路における正側整流出力端子をインバータ直流部の正側に接続し負側整流出力端子をインバータ直流部のアース側に接続してなることを要旨とする。
【００２４】
リアクトル巻線からのトランス作用により２次巻線にインバータ直流電圧を超える電圧が発生したとき、フルブリッジ回路を構成するいずれかのダイオードが導通してインバータ直流部の平滑コンデンサに電流が回生される。それと同時にリアクトル巻線にかかる電圧は、インバータ直流電圧のｎ１／ｎ２以下に抑えられてリアクトルコアの磁気飽和が防止される。この結果、モータ端でのサージ電圧が十分に抑えられる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２６】
図１及び図２は、本発明の第１の実施の形態を示す図である。図１は、インバータ１により比較的長いケーブル２を介してモータＭを駆動するドライブシステムにおけるマイクロサージ電圧抑制回路３の接続関係を示している。マイクロサージ電圧抑制回路３は、３個のリアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗのみで構成され、これら３個のリアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗが、インバータ１の出力端子近傍で、そのインバータ１の各相出力線にそれぞれに直列に接続されている。
【００２７】
各リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗを構成するコアには、サージ電圧の共振周波数帯域で、そのサージ電圧に対し大きな損失を示す磁性材料が用いられている。図２は、このような磁性材料の一特性例としての、透磁率のインダクタンス成分μ’及び抵抗成分μ”の周波数依存性を示している。磁性材料の違いによって値や周波数依存性は異なるものの、いずれにおいてもインダクタンス成分μ’は、周波数が高くなるにつれて次第に減少し、これに代わって抵抗成分μ”が増大してくる。このような特性において、本実施の形態では、サージ電圧の共振周波数ｆｒにおける透磁率の抵抗成分μ”がインダクタンス成分μ’の２倍以上の大きさになるような磁性材料をコア材料に用いている。
【００２８】
次に、このような磁性材料からなるコアを用いたリアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗを持つ本実施の形態のマイクロサージ電圧抑制回路３の作用を説明する。インバータ１により比較的長いケーブル２を介してモータＭを駆動すると、ケーブル２のインダクタンスと浮遊容量との共振が原因となって、モータＭの端子にはサージ電圧が発生する。発生したサージ電圧はモータＭ・インバータ１間で反射を繰り返して主にケーブル２のインダクタンス及び浮遊容量で決まる周波数で共振現象を引き起こす。これに対し、本実施の形態では、サージ電圧の共振周波数において、各リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗのコアにおける透磁率の抵抗成分μ”がインダクタンス成分μ’の２倍以上に増大し、この抵抗成分μ”がインバータ１の各相出力線にそれぞれ直列に接続されているのと等価となる。このため、リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗのインダクタンス成分によるサージ電圧抑制作用と、増大した抵抗成分によるサージ電圧のダンピング作用との相乗効果により、サージ電圧が効果的に抑制される。なお、必要であればリアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗを放熱フィン上に設置する等の構成を採用して、発熱するコアへの冷却対策を施してもよい。
【００２９】
上述したように、本実施の形態によれば、モータＭ端でのサージ電圧を十分に抑えることができるとともに、リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗは小容量のもので済むので、小型化、低コスト化を達成することができる。
【００３０】
図３には、本発明の第２の実施の形態を示す。図３は、マイクロサージ電圧抑制回路の構成を示している。本実施の形態では、各リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗにおけるコアとして、１個の三脚コア４（多脚コア）における各磁脚４ｕ、４ｖ、４ｗが用いられている。三脚コア４の３個の磁脚４ｕ、４ｖ、４ｗには、各リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗの巻線がそれぞれ施され、各巻線における端子Ｕ、Ｖ、Ｗはインバータ１の各相出力線にそれぞれ接続され、モータＭにつながるケーブル２には端子Ｘ、Ｙ、Ｚが接続されている。
【００３１】
三脚コア４の磁性材料として、第１の実施の形態と同様のサージ電圧に対し大きな損失を示す磁性材料を用いることで、第１の実施の形態と同様のサージ電圧抑制作用が得られると同時に複数のリアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗにおけるコアが一体化されて、より一層の小型化が図れる。
【００３２】
図４には、本発明の第３の実施の形態を示す。本実施の形態では、各リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗにおけるコアとして、１個の三脚コア５における各磁脚５ｕ、５ｖ、５ｗが用いられているが、その三脚コア５の磁性材料としては、サージ電圧に対し比較的少ない損失を示す一般的な磁性材料が用いられている。そして三脚コア５の各磁脚５ｕ、５ｖ、５ｗには、各リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗの巻線がそれぞれ施されるとともに、各相に対応した３個の２次巻線６ｕ、６ｖ、６ｗがそれぞれ巻回され、各２次巻線６ｕ、６ｖ、６ｗの始端と終端との間に、サージ電圧に対するダンピング用の抵抗Ｒｕ、Ｒｖ、ＲＷがそれぞれ接続されている。サージ電圧のダンピング作用は、これらのダンピング用の抵抗Ｒｕ、Ｒｖ、ＲＷが担うため、三脚コア５の磁性材料としては、上述のように損失の少ない一般的な磁性材料を使用することが可能となる。
【００３３】
本実施の形態の作用を説明すると、三脚コア５の各磁脚５ｕ、５ｖ、５ｗに巻回されたリアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗの巻線と２次巻線６ｕ、６ｖ、６ｗとのトランス作用により、高周波のサージ電圧成分はダンピング用の抵抗Ｒｕ、Ｒｖ、ＲＷを流れて減衰する。このため、リアクトルＬｕ、Ｌｖ、Ｌｗによるサージ電圧抑制作用とダンピング用の抵抗Ｒｕ、Ｒｖ、ＲＷによるサージ電圧の減衰作用との相乗効果により、小容量のリアクトルＬｕ、Ｌｖ、ＬｗでモータＭ端でのサージ電圧が効果的に抑制される。また、三脚コア５の磁性材料として、サージ電圧に対し少ない損失を示す一般的な磁性材料を用いていることで、コアの発熱が抑えられ、これに代わる発熱体となる抵抗Ｒｕ、Ｒｖ、ＲＷは、ケーブル２と分離して設けられているのでインバータ１への伝熱を抑えることが可能となる。
【００３４】
図５には、本発明の第４の実施の形態を示す。図５は、Ｕ相分のみを示しているが、他の相についても同様である。同一のコアに巻回された１次巻線としてのリアクトルＬｕの巻線と２次巻線６ｕとでトランスＴｕが構成されている。２次巻線６ｕには、ダンピング用の抵抗Ｒｕと、この抵抗Ｒｕがある一定温度以上に異常過熱された時、抵抗Ｒｕに流れる電流を所定値以下に制限する過熱保護手段Ｐｕとが直列に接続されている。過熱保護手段Ｐｕとしては、例えば一定温度以上で抵抗値が急激に増大する正特性サーミスタや、あるいは同じくある一定以上の温度で接点がオープン状態になるバイメタル構造を利用した温度スイッチなど、温度異常時に抵抗Ｒｕに流れる電流を制限する機能を有するものが用いられている。
【００３５】
本実施の形態によれば、過熱保護手段Ｐｕにより、抵抗Ｒｕがある一定温度以上に異常過熱することが防止される。したがって、サージ電圧の減衰作用を持つダンピング用の抵抗Ｒｕの過熱損傷が防止されることから、マイクロサージ電圧抑制回路の高信頼性が得られる。
【００３６】
図６には、本発明の第５の実施の形態を示す。図６は、Ｕ相分のみを示しているが、他の相についても同様である。本実施の形態では、ダンピング用の抵抗Ｒｕ１とは別のダンピング機能補助用の補助抵抗Ｒｕ２が、過熱保護手段Ｐｕを含む回路と並列に接続されている。図６では、補助抵抗Ｒｕ２は、過熱保護手段Ｐｕとダンピング用の抵抗Ｒｕ１との直列接続回路に並列に接続されているが、補助抵抗Ｒｕ２は過熱保護手段Ｐｕの両端に接続してもよい。ただし、過熱保護手段Ｐｕの動作前に比べ、動作後は２次巻線６ｕの回路全体のインピーダンスが大きくなるように、ダンピング用の抵抗Ｒｕ１及び補助抵抗Ｒｕ２の両抵抗値を選択する。
【００３７】
過熱保護手段Ｐｕの動作時には、抵抗Ｒｕ１のダンピング作用が働かなくなるため、マイクロサージ電圧抑制性能が低下することになるが、本実施の形態のように、補助抵抗Ｒｕ２を設けることにより、サージ電圧のダンピング作用の低下が緩和されて、サージ電圧抑制効果を維持することができる。
【００３８】
図７には、本発明の第６の実施の形態を示す。図７は、Ｕ相分についてのみ示しているが、他の相についても同じである。本実施の形態では、トランスＴｕを構成するリアクトルＬｕの巻線の巻数ｎ１と、２次巻線６ｕの巻数ｎ２とがｎ１＜ｎ２の関係を満たすとともに、ダンピング用の抵抗Ｒｕの両端が、４個のダイオードＤｕ１〜Ｄｕ４で構成されたフルブリッジ回路７における入力端子７ａ、７ｂ間に接続されている。フルブリッジ回路７の正側整流出力端子Ｐはインバータ直流部のＰ側（正側）に接続され、負側整流出力端子Ｎはインバータ直流部のＮ側（アース側）に接続されている。リアクトルＬｕの巻線における端子Ｕはインバータ１のＵ相出力線に接続され、端子ＸはモータＭにつながるケーブル２に接続されている。
【００３９】
本実施の形態の作用を説明すると、ケーブル２につながるリアクトルＬｕの巻線からのトランス作用により２次巻線６ｕにインバータ直流電圧を超える電圧が発生したとき、フルブリッジ回路７を構成するいずれかのダイオードが導通してインバータ直流部の平滑コンデンサに電流が回生される。それと同時にリアクトルＬｕの巻線にかかる電圧は、インバータ直流電圧のｎ１／ｎ２以下に抑えられてリアクトルＬｕのコア（トランスＴｕのコア）の磁気飽和が防止される。この結果、モータＭ端でのサージ電圧が十分に抑えられる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の発明によれば、リアクトルのインダクタンス成分によるサージ電圧抑制作用と抵抗成分によるサージ電圧のダンピング作用との相乗効果により、モータ端でのサージ電圧を十分に抑えることができる。また、リアクトルは小容量のもので済むので、小型化、低コスト化を達成することができる。
【００４１】
請求項２記載の発明によれば、モータ端でのサージ電圧を十分に抑えることができるとともに、コア及び発熱体となる抵抗からインバータへの伝熱を抑えることができて、信頼性の向上に寄与しうる。
【００４２】
請求項３記載の発明によれば、複数のリアクトルにおけるコアが一体化されて、より一層の小型化を達成することができる。
【００４３】
請求項４記載の発明によれば、過熱によるダンピング用抵抗の損傷を防止することができて、マイクロサージ電圧抑制回路の高信頼性化を達成することができる。
【００４４】
請求項５記載の発明によれば、過熱保護手段の動作時においても、サージ電圧の減衰作用を生じさせることができる。
【００４５】
請求項６記載の発明によれば、サージ電圧の抑制効果に加えてさらに、リアクトルにおけるコアの磁気飽和を防止することができて、信頼性の向上に寄与しうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態であるマイクロサージ電圧抑制回路のインバータ、モータとの接続関係を示す回路図である。
【図２】第１の実施の形態のリアクトルコアに用いた磁性材料における透磁率の抵抗成分及びインダクタンス成分の周波数依存性を示す特性図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態において、１個の多脚コアにおける各磁脚を用いて各リアクトルを構成した態様を示す構成図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態の構成図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態をＵ相分のみについて示す回路図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態をＵ相分のみについて示す回路図である。
【図７】本発明の第６の実施の形態をＵ相分のみについて示す回路図である。
【図８】従来のマイクロサージ電圧抑制回路のインバータ、モータとの接続関係を示す回路図である。
【図９】他の従来例を示す回路図である。
【符号の説明】
１  インバータ
２  ケーブル
３  マイクロサージ電圧抑制回路
４、５  三脚コア（多脚コア）
４ｕ、４ｖ、４ｗ、５ｕ、５ｖ、５ｗ  磁脚
６ｕ、６ｖ、６ｗ  ２次巻線
７  フルブリッジ回路
７ａ、７ｂ  入力端子
Ｄｕ１〜Ｄｕ４  ダイオード
Ｌｕ、Ｌｖ、Ｌｗ  リアクトル
Ｍ  モータ
Ｎ  負側整流出力端子
Ｐ  正側整流出力端子
Ｐｕ  過熱保護手段
Ｒｕ、Ｒｖ、ＲＷ、Ｒｕ１  ダンピング用の抵抗
Ｒｕ２  補助抵抗
μ’  透磁率のインダクタンス成分
μ”  透磁率の抵抗成分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004343832.tif 000008
【図７】
2004343832.tif 000009
【図８】
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【図９】
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