(57)【要約】　　　（修正有）【課題】接着性及び剥離性のいずれにも優れた接着剤組成物を提供すること。【解決手段】粘着性を有する樹脂及び活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物を含有することを特徴とする剥離性接着剤組成物。活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物が、キノンジアジドスルホン酸エステルである上記剥離性接着剤組成物。粘着性を有する樹脂と活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物との使用割合が、該樹脂１００重量部に対して、該化合物１〜１００重量部程度である上記の剥離性接着剤組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着性を有する樹脂及び活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物を含有することを特徴とする剥離性接着剤組成物。
【請求項２】
粘着性を有する樹脂が、感光性樹脂である請求項１に記載の剥離性接着剤組成物。
【請求項３】
活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物が、キノンジアジドスルホン酸エステルである請求項１又は２に記載の剥離性接着剤組成物。
【請求項４】
粘着性を有する樹脂と活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物との使用割合が、該樹脂１００重量部に対して、該化合物１〜１００重量部程度である請求項１〜３のいずれか１項に記載の剥離性接着剤組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、剥離性接着剤組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
　従来、例えばウエハ等の外部からの力により変形や破損し易い薄板材料の表面に、例えば研磨等の加工をする際、薄板材料を接着剤を介して支持基材に固定して加工し、加工が終わった材料を、接着剤及び支持基材から剥離して、加工された薄板材料を得る方法が行われている。
【０００３】
　この様な用途に使用される接着剤には、加工の作業中に薄板材料を支持基材にしっかりと固定できる接着性と、そして加工が終了した材料が、接着剤及び支持基材から容易に剥離できるという優れた剥離性とが、要求される。
【０００４】
　しかし、従来、この様な用途に使用する場合に、接着性及び剥離性のいずれにも優れる接着剤組成物は知られていない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、接着性及び剥離性のいずれにも優れた接着剤組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
　本発明者は、上記課題を達成すべく、鋭意研究した結果、粘着性を有する樹脂及び活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物を含有する接着剤組成物によれば、加工すべき材料である被着体を固定するのに必要な接着性を有した上で、加工後は活性エネルギー線照射して発生したガスにより、被着体を容易に剥離できることを見出した。
【０００７】
　本発明者は、かかる知見に基づいて、更に種々検討を重ねて、本発明を完成するに至った。
【０００８】
　即ち、本発明は、下記の剥離性接着剤組成物を提供するものである。
【０００９】
　１．粘着性を有する樹脂及び活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物を含有することを特徴とする剥離性接着剤組成物。
【００１０】
　２．粘着性を有する樹脂が、感光性樹脂である上記項１に記載の剥離性接着剤組成物。
【００１１】
　３．活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物が、キノンジアジドスルホン酸エステルである上記項１又は２に記載の剥離性接着剤組成物。
【００１２】
　４．粘着性を有する樹脂と活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物との使用割合が、該樹脂１００重量部に対して、該化合物１〜１００重量部程度である上記項１〜３のいずれか１項に記載の剥離性接着剤組成物。
【００１３】
　以下、本発明の剥離性接着剤組成物について、詳細に説明する。
【００１４】
　剥離性接着剤組成物
　本発明の剥離性接着剤組成物は、粘着性を有する樹脂及び活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物を含有するものである。従って、本組成物を用いて接着された被着体は、その接着層に紫外線等の活性エネルギー線を照射することによりガスを発生し、その発生したガスにより、接着層と被着体とを容易に剥離することができる。
【００１５】
　粘着性を有する樹脂としては、−５０〜＋１５０℃程度、特に−４０〜＋１２０℃程度の温度で粘着性を有する樹脂であるのが、好ましい。また、該粘着性は、例えば、接着力（kgf/cm2）が５〜４０程度、特に７〜３０程度の範囲が好ましい。
【００１６】
　粘着性を有する樹脂としては、熱可塑性樹脂であっても硬化性樹脂であってもどちらでも構わない。熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ノボラックフェノールとその誘導体、ポリビニルフェノールとその誘導体、シリコーンとその誘導体などが包含される。また、硬化性樹脂としては、例えば、これらのいずれかの樹脂に重合性不飽和基を導入したものが包含される。
【００１７】
　また、上記硬化性樹脂としては、後述する紫外線等の活性エネルギー線により硬化する粘着性を有する感光性樹脂組成物における、粘着性を有する感光性樹脂を使用することもできる。この場合には、必要に応じて、光重合開始剤、光増感色素等を適宜添加することができる。
【００１８】
　活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物としては、例えば、キノンジアジドスルホン酸エステルを、好適に使用することができる。
【００１９】
　キノンジアジドスルホン酸エステルは、活性エネルギー線照射により窒素ガスを発生する感光性化合物であり、その発生した窒素ガスによる気泡で接着層の剥離を可能とするものである。
【００２０】
　キノンジアジドスルホン酸エステルとしては、ポリヒドロキシベンゾフェノンと、１，２−ベンゾキノンジアジドスルホン酸、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸等の１，２−キノンジアジドスルホン酸類とのエステル化物を好適に使用できる。
【００２１】
　このエステルの形成に使用されるポリヒドロキシベンゾフェノンには、下記式（Ｉ）で表されるものが包含される。
【００２２】
【化１】
2004107650.tif 000002
　式（Ｉ）中、ｍ及びｎはそれぞれ０〜３の整数であり、ｍ＋ｎの合計は１〜６である。
【００２３】
　ポリヒドロキシベンゾフェノンの具体例としては、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン等を挙げることができる。
【００２４】
　一方、ポリヒドロキシベンゾフェノンとエステル化される、１，２−ベンゾキノンジアジドスルホン酸には下記式（ＩＩ）で表される化合物が包含され、又１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸には下記式（ＩＩＩ）で表される化合物が包含される。
【００２５】
【化２】
2004107650.tif 000003
　１，２−ベンゾキノンジアジドスルホン酸の具体例としては、１，２−ベンゾキノンジアジド−４−スルホン酸等を挙げることができる。１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸の具体例としては、１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸等を挙げることができる。
【００２６】
　上記ポリヒドロキシベンゾフェノンと１，２−キノンジアジドスルホン酸類とのエステル化反応は、それ自体既知の方法、例えばポリヒドロキシベンゾフェノンと、１，２−キノンジアジドスルホン酸類又はそのハライド（例えばクロリド）とを反応させることにより行なうことができる。その際の両者の反応比率は、特に制限されないが、一般には、ポリヒドロキシベンゾフェノン中のヒドロキシル基の数ｑに対して、１，２−キノンジアジドスルホン酸類を１〜ｑ分子の割合で反応させるのが好適である。これらのポリヒドロキシベンゾフェノンや１，２−キノンジアジドスルホン酸類又はそのハライドは、それぞれ単独で使用してもよく、又は２種類以上混合して使用してもよい。
【００２７】
　本発明の接着剤組成物において、粘着性を有する樹脂と活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物との使用割合は、通常、該樹脂１００重量部に対して、該化合物１〜１００重量部程度、好ましくは５〜５０重量部程度であるのが適当である。
【００２８】
　本発明の接着剤組成物は、粘着性を有する樹脂及び活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物を媒体に溶解又は分散せしめることによって、調製することができる。
【００２９】
　媒体としては、水、有機溶剤などの各種溶媒を、一種又は二種以上組み合わせて使用することができる。有機溶剤としては、例えば、炭化水素系溶剤、アルコール系溶剤、エーテル系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アミド系溶剤等の各種溶剤を、使用することができる。
【００３０】
　材料の加工方法
　本発明の剥離性接着剤組成物は、加工すべき材料である被着体を、支持基材に接着し、加工後、該材料を支持基材から剥離する場合に使用する接着剤として、好適に使用することができる。
【００３１】
　上記接着剤組成物を使用する材料の加工方法としては、下記方法が好ましい。
【００３２】
　即ち、(1)加工すべき材料の非加工表面を、本発明の剥離性接着剤組成物層及び粘着性を有する感光性樹脂組成物層を介して、透明性を有する支持基材に固定する工程、
(2)固定された上記材料の加工をする工程、
(3)次いで、上記支持基材の外側から、活性エネルギー線を照射してガスを発生せしめることにより、加工された材料を剥離して、取り出す工程を含む材料の加工方法により、各種材料の加工を、好適に行うことができる。
【００３３】
　工程(1)
　工程(1)は、加工すべき材料を、該材料の非加工表面上に形成された、本発明の剥離性接着剤組成物層及び粘着性を有する感光性樹脂組成物層を介して、透明性を有する支持基材に固定する工程である。
【００３４】
　上記加工すべき材料としては、例えば、研磨などの各種加工を必要とする各種材料を、特に制限されることなく、用いることができる。
【００３５】
　上記材料の材質としては、プラスチック、金属、ガラス、繊維、紙等のいずれの材質であってもよく、又形状としては、フィルム状、板状、線状、球状、円盤状、円錐状、直方体状、これらの形状が組み合わされた形状等のいずれの形状であっても構わない。特に、外部からの力により変形や破損し易い薄板状などの材料であって、研磨などの加工が必要とされる材料を、好適に用いることができる。
【００３６】
　具体的な材料としては、例えば、ウエハなどの電子材料などを挙げることができる。
【００３７】
　上記工程(1)で用いられる粘着性を有する感光性樹脂組成物としては、粘着性を有する感光性樹脂及び必要に応じて光重合開始剤、光増感色素等を含有してなり、紫外線等の活性エネルギー線照射により硬化する水性又は有機溶剤型樹脂組成物を、好適に使用できる。
【００３８】
　粘着性を有する感光性樹脂としては、−５０〜＋１５０℃程度、特に−４０〜＋１２０℃程度の温度で粘着性を有する感光性樹脂であるのが、好ましい。また、該粘着性は、例えば、接着力（kgf/cm2）が５〜４０程度、特に７〜３０程度の範囲が好ましい。
【００３９】
　上記粘着性を有する感光性樹脂の具体例を、以下に例示する。
【００４０】
　(i)感光性基として、（メタ）アクリロイル基等の重合性基を有する感光性樹脂
　上記感光性樹脂(i)は、例えば、カルボキシル基含有アクリル系樹脂にグリシジル基含有重合性不飽和化合物を付加せしめることにより製造することができる。
【００４１】
　その際使用されるカルボキシル基含有アクリル系樹脂は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のα，β−エチレン性不飽和酸を必須単量体成分とし、これに（メタ）アクリル酸のエステル類、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等；スチレン、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド等から選ばれる少なくとも１種の不飽和単量体を共重合させることにより得ることができる。
【００４２】
　また、上記カルボキシル基含有アクリル系樹脂に付加せしめられるグリシジル基含有重合性不飽和化合物としては、例えば、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル等が挙げられる。
【００４３】
　前記したカルボキシル基含有アクリル系樹脂とグリシジル基含有不飽和化合物との付加反応は、それ自体既知の方法に従い、例えば、テトラエチルアンモニウムブロマイド等の触媒の存在下に８０〜１２０℃程度で１〜５時間程度反応させることによって容易に行なうことができる。
【００４４】
　また、上記感光性樹脂(i)は、ヒドロキシル基含有重合性不飽和化合物とジイソシアネート化合物との反応物を、ヒドロキシル基含有アクリル系樹脂に付加させることによって製造することもできる。
【００４５】
　上記ヒドロキシル基含有重合性不飽和化合物としては、例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート；Ｎ−メチロールアクリルアミド等が挙げられる。
【００４６】
　また、ジイソシアネート化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート等が挙げられる。
【００４７】
　さらに、ヒドロキシル基含有アクリル系樹脂としては、上記ヒドロキシル基含有重合性不飽和化合物を必須単量体成分とし、これに（メタ）アクリル酸のエステル類、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等；スチレン、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド等から選ばれる少なくとも１種の不飽和単量体を共重合させて得られる樹脂を使用することができる。
【００４８】
　上記ヒドロキシル基含有重合性不飽和化合物とジイソシアネート化合物とは、ほぼ等モル比で反応せしめられる。得られる反応物とヒドロキシル基含有アクリル系樹脂との付加反応は、それ自体既知の方法に従い、窒素ガス雰囲気中で５０〜１００℃程度の温度にて反応させることにより行なうことができる。
【００４９】
　更に、上記感光性樹脂(i)の内、感光性基としてアリル基を含む感光性樹脂は、上記ヒドロキシル基含有アクリル系樹脂に、（メタ）アリルアルコールとジイソシアネート系化合物との反応物を付加させることにより、得ることもできる。
【００５０】
　(ii)感光性基としてシンナモイル基を含む感光性樹脂
　上記感光性樹脂(ii)は、例えば、ヒドロキシル基含有アクリル系樹脂と置換又は未置換のケイ皮酸のハライドとを、塩基の存在下、例えば、ピリジン溶液中で反応せしめることにより製造することができる。
【００５１】
　上記ヒドロキシル基含有アクリル系樹脂としては、前記(i)において述べたものを、使用することができる。
【００５２】
　また、置換又は未置換のケイ皮酸ハライドとしては、ベンゼン環上にニトロ基、低級アルコキシ基等から選ばれる置換基を１〜３個有していてもよいケイ皮酸ハライドが包含され、より具体的には、例えば、ケイ皮酸クロライド、ｐ−ニトロケイ皮酸クロライド、ｐ−メトキシケイ皮酸クロライド、ｐ−エトキシケイ皮酸クロライド等が挙げられる。
【００５３】
　置換又は未置換のケイ皮酸ハライドは、一般に、上記ヒドロキシル基含有アクリル系樹脂１００重量部あたり、６〜１８０重量部程度、好ましくは３０〜１４０重量部程度の範囲内の量で使用することができ、そして上記のヒドロキシル基含有アクリル系樹脂と置換又は未置換のケイ皮酸ハライドとの反応は、それ自体既知の方法、例えば、ピリジン溶媒のような塩基の存在下に３０〜７０℃程度の温度で反応させることにより行なうことができる。
【００５４】
　(iii)その他の感光性樹脂
　その他の感光性樹脂(iii)として、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート等のプレポリマー等も感光性樹脂として使用することができる。
【００５５】
　粘着性を有する感光性樹脂組成物に、必要に応じて、用いられる光重合開始剤としては、従来から公知のものが使用でき、例えば、２−メチル−１−[４−(メチルチオ)フェニル]−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン等を挙げることができる。市販品としては、例えば、Lucirin TPO（BASF社製、商品名）、Irg907、Irg369、Irg651、Irg819、Irg1700、Irg1800、Irg1850、DAROCURE 1173（以上チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名）、KAYACURE DMBI、KAYACURE DETX（以上日本化薬社製、商品名）、SPEED CURE ITX（日本シイベルヘグナー社製、商品名）などが挙げられる。
【００５６】
　光重合開始剤の使用割合は、感光性樹脂１００重量部に対して、１０重量部以下程度、好ましくは０．１〜５重量部程度の範囲内であるのが適当である。
【００５７】
　粘着性を有する感光性樹脂組成物に、必要に応じて、用いられる光増感色素としては、従来から公知のものを使用することができる。具体的には、例えば、フェノチアジン系色素、アントラセン系色素、コロネン系色素、ベンズアントラセン系色素、ペリレン系色素、ピレン系色素、メロシアニン系色素、ケトクマリン系色素等の光増感色素を用いることができる。これら光増感色素の使用割合は、感光性樹脂１００重量部に対して、１０重量部以下程度、好ましくは０．１〜５重量部程度の範囲内であるのが適当である。
【００５８】
　また、粘着性を有する感光性樹脂組成物には、更に、必要に応じて、エチレン性不飽和化合物、着色剤、可塑剤、平滑剤などを、適宜含有させることができる。このエチレン性不飽和化合物としては、１〜４個のエチレン性不飽和基を含有するモノマー等を使用することができる。
【００５９】
　粘着性を有する感光性樹脂組成物は、粘着性を有する感光性樹脂及び、必要に応じて、光重合開始剤、光増感色素等を、媒体に溶解又は分散せしめることによって、調製することができる。
【００６０】
　媒体としては、水、有機溶剤などの各種溶媒を、一種又は二種以上組み合わせて使用することができる。有機溶剤としては、例えば、炭化水素系溶剤、アルコール系溶剤、エーテル系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アミド系溶剤等の各種溶剤を、使用することができる。
【００６１】
　工程(1)における前記支持基材は、加工すべき材料を、剥離性接着剤組成物層及び粘着性を有する感光性樹脂組成物層を介して、固定することにより、例えば研磨等の加工時にかかる力により変形や破損しないようにするものである。この様な支持基材としては、該材料を固定化できる丈夫なものであり、紫外線などの活性エネルギー線が透過する透明性を有するものが使用される。
【００６２】
　支持基材の透明性は、工程(3)において、支持基材の外側（剥離性接着剤組成物層及び感光性樹脂組成物層に対して反対方向）から照射された活性エネルギー線が透過して、剥離性接着剤組成物層に含有される活性エネルギー線照射によりガスを発生させる化合物が分解することによりガスを発生せしめるために、必要である。但し、無色透明である必要はなく、活性エネルギー線が透過することによるガスの発生を実質的に阻害しない程度であれば、着色剤、充填剤などを含有していてもよい。
【００６３】
　上記工程(1)により、加工すべき材料／剥離性接着剤組成物層／粘着性を有する感光性樹脂組成物層／支持基材が、この順で積層された積層体が得られる。
【００６４】
　この積層体は、例えば、加工すべき材料の非加工表面に、剥離性接着剤組成物を塗布、乾燥して該接着剤組成物層を形成し、その上に粘着性を有する感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して該樹脂組成物層を形成し、次いでその上に支持基材を貼り付ける方法ａにより得ることができる。
【００６５】
　また、例えば、上記積層体は、上記材料の非加工表面に剥離性接着剤組成物層を形成させたものと、支持基材に粘着性を有する感光性樹脂組成物膜を形成させたものとを貼付ける方法ｂによっても得ることができる。
【００６６】
　上記方法ｂにおいて、剥離性接着剤組成物層の形成は、方法ａの場合と同様に行うことができる。また、粘着性を有する感光性樹脂組成物膜の形成は、方法ａの場合と同様に行ってもよいし、又予め離型性シートに該感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して、該感光性樹脂組成物膜を形成しておき、次いで支持基材表面と離型性シート上の該感光性樹脂組成物膜とが接するように貼り付け、離型性シートの表面（該感光性樹脂組成物膜に対して反対方向）から押し当て、次いで離型性シートを剥離することによっても行うことができる。
【００６７】
　上記工程(1)により得られる、加工すべき材料／剥離性接着剤組成物層／粘着性を有する感光性樹脂組成物層／支持基材が、この順で積層された積層体の作成方法としては、上記方法ａ、方法ｂ等に限定されることなく、かかる積層体が得られる限り、いかなる手順で作成してもよい。
【００６８】
　上記工程(1)において、剥離性接着剤組成物又は粘着性を有する感光性樹脂組成物の塗布は、例えば、ローラー、ロールコーター、スピンコーター、ナイフコーター、スプレー、刷毛等の公知の塗布機器を用いて、行うことができる。塗布後の乾燥条件は、用いた各組成物の成分内容に応じて、適宜設定すればよい。
【００６９】
　上記積層体において、剥離性接着剤組成物層の厚さとしては、通常、１〜５０μｍ程度、好ましくは　２〜３０μｍ程度とするのが好適である。また、上記積層体において、粘着性を有する感光性樹脂組成物層の厚さは、通常、１〜２００μｍ程度、好ましくは２〜１００μｍ程度とするのが好適である。
【００７０】
工程(2)
　工程(2)は、工程(1)で固定された加工すべき材料の加工をする工程である。この工程においては、上記材料の加工すべき面に対して、例えば、研磨などの各種加工を行う。この加工の際、材料が、剥離性接着剤組成物層及び粘着性を有する感光性樹脂組成物層を介して、支持基材にしっかりと固定されているため、必要な加工を十分に行うことができる。
【００７１】
　工程(3)
　工程(3)は、工程(2)で加工された後の上記積層体の支持基材の外側から、活性エネルギー線を照射してガスを発生せしめることにより、加工された材料を剥離して、取り出す工程である。
【００７２】
この工程においては、加工された材料／剥離性接着剤組成物層／粘着性を有する感光性樹脂組成物層／透明性を有する支持基材が、この順で積層された積層体の支持基材の外側（剥離性接着剤組成物層及び感光性樹脂組成物層に対して反対方向）から、活性エネルギー線を照射することにより、感光性樹脂組成物層が硬化して表面の粘着性が少なくなるか又は非粘着性となると共に、該硬化した感光性樹脂組成物層面と材料面との間に存在する剥離性接着剤組成物層中の活性エネルギー線照射によりガスを発生する化合物が分解してガスを発生することにより、硬化した感光性樹脂組成物層面が粗面となり、加工処理された材料を容易に剥離することができる。
【００７３】
　上記活性エネルギー線としては、例えば、超高圧、高圧、中圧、低圧の水銀灯、ケミカルランプ灯、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、タングステン灯等を光源とする紫外線や可視光線を使用することができる。また、活性エネルギー線の照射量としては、通常、５００〜１０，０００Ｊ／ｍ2程度であるのが好適である。
【発明の効果】
【００７４】
　本発明によれば、次のような顕著な効果が得られる。
【００７５】
　(a)本発明の剥離性接着剤組成物は、加工すべき材料を加工のため固定するのに必要な接着性を有しており、しかも加工後は活性エネルギー線照射により容易に剥離できるという優れた剥離性を有する。
【００７６】
　(b)本発明剥離性接着剤組成物を用いた材料の加工方法によれば、加工すべき材料を、該剥離性接着剤組成物層及び粘着性を有する感光性樹脂組成物層を介して、透明性を有する支持基材に固定してから、加工した後、該支持基材の外側（剥離性接着剤組成物層及び感光性樹脂組成物層に対して反対方向）から活性エネルギー線を照射するのみで、感光性樹脂組成物層の硬化及び剥離性接着剤組成物層からガスの発生により、加工後の材料を容易に剥離することができる。
【００７７】
　(c)従って、本発明剥離性接着剤組成物を用いた上記加工方法は、例えばウエハ等の外部からの力により変形や破損し易い薄板材料の表面に、例えば研磨等の加工をする際に、極めて好適に適用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７８】
　以下、製造例、実施例、試験例及び比較試験例を挙げて、本発明をさらに詳細に説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるものではない。尚、各例において、「部」及び「％」は「重量部」及び「重量％」を示す。
【００７９】
　製造例１　感光性基としてメタアクリロイル基を有する感光性樹脂の製造
　メチルメタクリレート４０部、ブチルアクリレート４０部、アクリル酸２０部及びアゾビスイソブチロニトリル２部からなる混合液を、窒素ガス雰囲気下において１１０℃に保持したプロピレングリコールモノメチルエーテル９０部中に３時間を要して滴下した。滴下後、１時間熟成させ、アゾビスジメチルバレロニトリル１部及びプロピレングリコールモノメチルエーテル１０部からなる混合液を１時間要して滴下し、さらに５時間熟成させてアクリル樹脂溶液を得た。
【００８０】
　次に、この溶液にグリシジルメタクリレート２４部、ハイドロキノン０．１２部及びテトラエチルアンモニウムブロマイド０．６部を加えて、空気を吹き込みながら１１０℃で５時間反応させてガラス転移温度２０℃、数平均分子量約２０，０００のメタアクリロイル基を有する感光性樹脂の溶液を得た。
【００８１】
　製造例２　感光性樹脂組成物の製造
　製造例１で得た感光性樹脂１００部（固形分）に、光重合開始剤として、２−メチル−１−[４−(メチルチオ)フェニル]−２−モルフォリノプロパン−１−オン（商品名「Ｉｒｇ９０７」、チバスペシャルティーケミカルズ社製）２部及び２，４−ジエチルチオキサントン（商品名「ｋａｙａｃｕｒｅ　ＤＥＴＸ」、日本化薬（株）製）０．５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０部に溶解した溶液を加え、メカニカルスターラーにより攪拌し、感光性樹脂組成物１を得た。
【実施例１】
【００８２】
　製造例１で得た感光性樹脂１００部（固形分）に対して、活性エネルギー線照射により窒素ガスを発生するキノンジアジド系感光性化合物として、２−ヒドロキシ−３，４−ビス（６−ジアゾ−５，６−ジヒドロ−５−オキソ−１−ナフタレンスルホニルオキシ）−ベンゾフェノン１０部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５０部に溶解した溶液を加えた。
【００８３】
　さらに、光重合開始剤として、２−メチル−１−[４−(メチルチオ)フェニル]−２−モルフォリノプロパン−１−オン（商品名「Ｉｒｇ９０７」、チバスペシャルティーケミカルズ社製）２部及び２，４−ジエチルチオキサントン（商品名「ｋａｙａｃｕｒｅ　ＤＥＴＸ」、日本化薬（株）製）０．５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０部に溶解した溶液を加え、メカニカルスターラーにより攪拌し、本発明の剥離性接着剤組成物１を得た。
【実施例２】
【００８４】
　実施例１において、２−ヒドロキシ−３，４−ビス（６−ジアゾ−５，６−ジヒドロ−５−オキソ−１−ナフタレンスルホニルオキシ）−ベンゾフェノンの使用量を３０部とした以外は実施例１と同様にして、本発明の剥離性接着剤組成物２を得た。
【実施例３】
【００８５】
　実施例１において、製造例１で得た感光性樹脂に代えて、ｐ−ビニルフェノールとスチレンとの共重合体（商品名「マルカリンカーＣＳＴ１５」、丸善石油化学社製）を同量使用した以外は、実施例１と同様の組成により、本発明の剥離性接着剤組成物３を得た。
【実施例４】
【００８６】
　実施例１において、製造例１で得た感光性樹脂に代えて、アクリル樹脂エマルション（商品名「ビニブラン７０４３」、日信化学工業社製）を同量使用した以外は、実施例１と同様の組成により、本発明の剥離性接着剤組成物４を得た。
【００８７】
　実施例１〜４で得た本発明接着剤組成物１〜４について、以下の試験例により、ウエハに対する接着性及び剥離性を調べた。
【００８８】
試験例１
　実施例１で得た剥離性接着剤組成物１を、８インチウエハ上に、スピンコーターを用いて、乾燥後の膜厚が５μｍとなるように塗布し、ホットプレート上で、６５℃で２分間加熱乾燥した。
【００８９】
　さらに、その膜上に、製造例２で得た感光性樹脂組成物１を、スピンコーターを用いて、乾燥後の膜厚が１５μｍとなるように塗布し、ホットプレート上で、６５℃で２分間加熱乾燥した。次いで、この上に、支持基材として、ガラス板を、０．４ＭＰａの圧力で、圧着した。
【００９０】
　これにより、ウエハ／剥離性接着剤組成物１の層／感光性樹脂組成物１の層／ガラス板が、この順で積層された積層体を得た。
【００９１】
　上記積層体のウエハ表面を市販の両面テープにて作業台に固定し、且つガラス板の外側を吸盤を用いてバネばかりに結合して、初期接着力（kgf/cm2）を測定した後、ガラス板の外側より、超高圧水銀灯にて、６，０００Ｊ/ｍ2のＵＶ光を照射した。照射後の接着力を、同様にして、測定した。
【００９２】
　初期接着力は、７kgf/cm2でウエハを固定して研磨するのに十分な接着力であり、接着性は良好であった。接着性が良好とは、接着力が５kgf/cm2以上であることを意味する。
【００９３】
　また、ＵＶ照射後の接着力は、１kgf/cm2であり、ウエハを接着剤層から容易に剥離できる接着力であり、剥離性は良好であった。剥離性が良好とは、接着力が２kgf/cm2以下であることを意味する。
【００９４】
　試験例２
　試験例１において、剥離性接着剤組成物１に代えて、実施例２で得た剥離性接着剤組成物２を使用した以外は試験例１と同様にして、初期接着力及びＵＶ照射後の接着力を、測定した。
【００９５】
　試験例３
　試験例１において、剥離性接着剤組成物１に代えて、実施例３で得た剥離性接着剤組成物３を使用した以外は試験例１と同様にして、初期接着力及びＵＶ照射後の接着力を、測定した。
【００９６】
　試験例４
　試験例１において、剥離性接着剤組成物１に代えて、実施例４で得た剥離性接着剤組成物４を使用した以外は試験例１と同様にして、初期接着力及びＵＶ照射後の接着力を、測定した。
【００９７】
　試験例１〜４において、初期接着力及びＵＶ照射後の接着力を測定した結果を、表１に示す。
【００９８】
【表１】
2004107650.tif 000004
【００９９】
　比較試験例１
　８インチウエハを、支持基材としてのガラス板に、市販の両面テープを使用して固定した。次いで、ウエハの研磨作業後にウエハをガラス板から剥離する作業を行ったが、剥離が困難で、無理して剥離するとウエハが破損した。