(57)【要約】【課題】  本発明は、温度変動によって光ファイバ位置決め孔の位置が変化することなく、また耐腐食性に優れ、安価で歩留まり良く製造できる光ファイバ位置決め板や光ファイバアレイを提供し、また光ファイバの位置決め方法を提供する。【解決手段】  本発明の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂは、少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料からなる平板に光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88が貫通されたものであり、クロムを０．５質量％〜６質量％含有する構成とする。また本発明の光ファイバアレイ１は、前記した光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを備え、光ファイバＦ11〜Ｆ88が光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88に挿通し固定された構成とする。【選択図】  図１
2004302444.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料からなる平板に光ファイバ位置決め孔が貫通され、
該光ファイバ位置決め孔に光ファイバを挿通し固定することで光ファイバを位置決めする光ファイバ位置決め板であって、
クロムを０．５質量％〜６質量％含有することを特徴とする光ファイバ位置決め板。
【請求項２】
少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料からなる平板に光ファイバ位置決め孔が貫通された光ファイバ位置決め板を備え、
光ファイバが前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔に挿通した状態で、前記光ファイバと前記光ファイバ位置決め板とが固定された光ファイバアレイであって、
前記光ファイバ位置決め板をなす金属材料が、クロムを０．５質量％〜６質量％含有することを特徴とする光ファイバアレイ。
【請求項３】
前記光ファイバと前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔との間に、少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料でありクロムを０．５質量％〜１０質量％含有する封止材が充填されたことを特徴とする請求項２に記載の光ファイバアレイ。
【請求項４】
光ファイバ位置決め孔が貫通された光ファイバ位置決め板と、光ファイバを用意する工程と、
前記光ファイバを前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔に挿通する工程と、
光ファイバが前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔に挿通した状態で、前記光ファイバと前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔との間に封止材を充填し、前記光ファイバと前記光ファイバ位置決め板とを固定する工程を含む光ファイバ位置決め方法であって、
前記封止材をメッキによって充填することを特徴とする光ファイバ位置決め方法。
【請求項５】
前記封止材として、少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料であって、
クロムを０．５質量％〜１０質量％含有するものを用いることを特徴とする請求項４に記載の光ファイバ位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバを光学素子や光導波路に接続するときに使用される光ファイバ位置決め板や光ファイバアレイと、光ファイバを位置決めする方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ位置決め板は、平板に光ファイバ位置決め孔が形成されたものであり、この光ファイバ位置決め孔に光ファイバを挿通し固定することで、光ファイバを位置決めできるようになっているものであり、主に光ファイバアレイに使用されている。
従来、光ファイバ位置決め板には、Ｆｅ１９質量％，Ｎｉ８１質量％からなるパーマロイが使用されてきた。パーマロイは、熱膨張係数が１．２×１０−６／℃と比較的大きい値であり、環境温度の変動によって膨張収縮し、光ファイバ位置決め孔の間隔などが変化する。このような光ファイバ位置決め孔に光ファイバを挿通し固定すると、環境温度の変動によって光ファイバの位置が変化してしまい、所定の位置に光ファイバを位置決めできない問題がある。
【０００３】
そこで、熱膨張係数の小さい材料として、インバー材料を使用することが考えられる。しかし、インバー材料は、一般に組成がＦｅ６３．５質量％，Ｎｉ３６．５質量％であり、鉄の含有量が多く腐食されやすく、実用レベルの耐食性が得られない。
また、熱膨張係数が小さく、耐食性に優れた材料として、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒの３元系のステンレスインバー材料が挙げられるが、このステンレスインバー材料は、高価なコバルトを５０質量％以上含有するため製造コストが高くなってしまう問題がある。
【０００４】
このような光ファイバ位置決め板や光ファイバアレイに関しては、本出願人が先に出願した特願２００１−２４１１８０号がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って本発明の目的は、上記した事情に鑑みなされたものである。すなわち環境温度の変動によって光ファイバ位置決め孔の位置がほとんど変化することなく、また耐腐食性に優れ、安価で簡便に製造できる光ファイバ位置決め板と光ファイバアレイ、及び前記光ファイバ位置決め板を用いた光ファイバの位置決め方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる課題を解決するため、請求項１にかかる発明は、少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料からなる平板に光ファイバ位置決め孔が貫通され、該光ファイバ位置決め孔に光ファイバを挿通し固定することで光ファイバを位置決めする光ファイバ位置決め板であって、クロムを０．５質量％〜６質量％含有することを特徴とする光ファイバ位置決め板である。
請求項２にかかる発明は、少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料からなる平板に光ファイバ位置決め孔が貫通された光ファイバ位置決め板を備え、光ファイバが前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔に挿通した状態で、前記光ファイバと前記光ファイバ位置決め板とが固定された光ファイバアレイであって、前記光ファイバ位置決め板をなす金属材料が、クロムを０．５質量％〜６質量％含有することを特徴とする光ファイバアレイである。
請求項３にかかる発明は、前記光ファイバと前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔との間に、少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料でありクロムを０．５質量％〜１０質量％含有する封止材が充填されたことを特徴とする請求項２に記載の光ファイバアレイである。
請求項４にかかる発明は、光ファイバ位置決め孔が貫通された光ファイバ位置決め板と、光ファイバを用意する工程と、前記光ファイバを前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔に挿通する工程と、光ファイバが前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔に挿通した状態で、前記光ファイバと前記光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔との間に封止材を充填し、前記光ファイバと前記光ファイバ位置決め板とを固定する工程を含む光ファイバ位置決め方法であって、前記封止材をメッキによって充填することを特徴とする光ファイバ位置決め方法である。
請求項５にかかる発明は、前記封止材として、少なくとも鉄，ニッケルを含有する金属材料であって、クロムを０．５質量％〜１０質量％含有するものを用いることを特徴とする請求項４に記載の光ファイバ位置決め方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によると、光ファイバ位置決め板が、少なくとも鉄，ニッケルを含有すると共にクロムを０．５質量％〜６質量％含有する金属材料から構成されたことによって、加工し易い硬度であり、優れた歩留まりで容易に製造される。
更に、前記金属材料は耐腐食性に優れるため、本発明の光ファイバ位置決め板やそれを用いた光ファイバアレイでは、優れた耐環境性が得られる。また、高価なＣｏを含有していないため、製造コストを抑えることができる。
【０００８】
これに加えて、前記金属材料は、熱膨張係数が小さいため、本発明の光ファイバ位置決め板は、温度変化による膨張収縮率が小さい。
このため、温度変化による光ファイバ位置決め孔の位置の変動量が小さく、これによりこの光ファイバ位置決め孔に挿通されて固定された光ファイバの位置が温度変化によって変動することを抑えることができる。
【０００９】
また封止材が、少なくとも鉄，ニッケルを含有すると共にクロムを０．５質量％〜１０質量％含有する金属材料から構成されたことによって、封止材の熱膨張係数を低くでき、封止材と接触する光ファイバの側面に応力が加わることがほとんどない。
更にこの封止材は、光ファイバ位置決め板を構成する金属材料とほぼ同じ組成であり、ほぼ同程度の小さな熱膨張係数を有する。
このような金属材料からなる封止材が光ファイバと光ファイバ位置決め孔との間に充填されたことによって、封止材と光ファイバ位置決め板との間で熱応力がほとんど発生しない。
以上により、封止材と接触する光ファイバの側面に応力が加わることがなく、光ファイバを伝搬する信号光に影響を与えることがない。また、光ファイバを強固に固定でき、かつ気密性を向上させることができる。
【００１０】
本発明の光ファイバ位置決め方法によれば、光ファイバと光ファイバ位置決め孔との間の隙間部分にメッキ処理によって封止材を充填することによって、封止材にて隙間部分を完全に封止できる。これにより光ファイバを強固に固定し、位置決めできる。更に気密性を向上させることができ、耐環境性を向上できる。
またメッキ処理は工程が簡便であるため、容易に封止材を充填して光ファイバを固定し、位置決めできる。
【００１１】
更に、少なくとも鉄，ニッケルを含有すると共にクロムを０．５質量％〜１０質量％含有する金属材料は加工し易い材料であるため、光ファイバと光ファイバ位置決め孔との間にメッキ処理によって封止材を充填しやすく、これにより更に容易に光ファイバを位置決めできる。
前記金属材料は、耐腐食性に優れ、光ファイバは強固に固定され、位置決めされた状態を保持できる。また、高価なＣｏを含有していないため、光ファイバの位置決めに係る製造コストを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
[光ファイバアレイ、光ファイバ位置決め板]
図１は、本実施形態の２次元光ファイバアレイの斜視図であり、図２は、図１中のＡ−Ａ’線での断面図である。この光ファイバアレイ１は、光ファイバホルダ２と、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂと、位置決め対象となる光ファイバＦ11〜Ｆ88からなる。光ファイバＦ11〜Ｆ88は、第１及び第２の光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88、Ｈ11〜Ｈ88に挿通した状態で固定されており、これにより光ファイバＦ11〜Ｆ88の端面が光ファイバアレイの接続端面１ａにて所望の位置にくるように位置決めされている。光ファイバアレイ１は、その接続端面１ａにて光学素子や他の光導波路と接続できるようになっている。
この光ファイバアレイ１では、光ファイバＦ11〜Ｆ88は直径１２５μｍのシングルモード光ファイバである。光ファイバホルダ２は、四角柱状であり、ステンレススチールなどの金属材料からなる。この光ファイバホルダ２には、正方形状の８×８個の光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88が、長手方向に並列して光ファイバホルダ２の一端から他端に貫通するように、行列状に形成されている。
【００１３】
図３は第１の光ファイバ位置決め板の一例の正面図を示し、図４は、図３中Ｃ−Ｃ’線での断面図を示す。この第１の光ファイバ位置決め板３ａは、矩形状の平板であり、Ｆｅ−Ｎｉ系インバー材料にＣｒを含有した材料（以下、Ｃｒ添加インバー材料と言う。）からなる。ここで、Ｆｅ−Ｎｉ系インバー材料とは、少なくともＦｅを５５〜６５質量％、Ｎｉを３０〜４０質量％含有する金属材料である。
第１の光ファイバ位置決め板３ａを構成するＣｒ添加インバー材料には、Ｃｒが０．５質量％〜６質量％含有されている。
第１の光ファイバ位置決め板３ａには、光ファイバホルダ２の光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88にそれぞれ対応して、８×８個の正方形状の光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88が、第１の光ファイバ位置決め板３ａの一方の主面から他方の主面に貫通するように行列状に形成されている。
【００１４】
前記光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88は、一方の主面から他方の主面に進むにつれて孔のサイズが大きくなるように形成されている。ここで、孔のサイズとは、孔の直径、孔の一辺の寸法などを言う。また、以下、光ファイバ位置決め孔のサイズが小さい方の主面を一方の主面とし、光ファイバ位置決め孔のサイズが大きい方の主面を他方の主面と言う。
図３及び図４に一例として示された第１の光ファイバ位置決め板３ａは、一辺の長さＷが５．８ｍｍ、一方の主面における光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88の一辺の長さＬが１２５．５μｍ、光ファイバ位置決め孔間のピッチＰが２５０μｍ、厚さｔが１０〜８０μｍである。
この第１の光ファイバ位置決め板３ａは、その他方の主面（孔のサイズが大きい方の主面）において、光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88が光ファイバホルダ２の光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88にそれぞれ連通するように、光ファイバホルダ２の一端に装着されている。
【００１５】
また、第２の光ファイバ位置決め板３ｂは、図３及び図４に示された第１の光ファイバ位置決め板３ａと同様の構成を有するものである。この第２の光ファイバ位置決め板３ｂは、その一方の主面（孔のサイズが小さい方の主面）において、光ファイバ位置決め孔Ｈ11〜Ｈ88が光ファイバホルダの光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88にそれぞれ連通するように、光ファイバホルダ２の他端に装着されている。
【００１６】
また、図２に示されたように光ファイバアレイ１には光ファイバ案内板４が設けられている。この光ファイバ案内板４は、矩形状の平板であり、ステンレススチールなどの金属材料からなる。光ファイバ案内板４には、第２の光ファイバ位置決め板３ｂの光ファイバ位置決め孔Ｈ11〜Ｈ88に対応して８×８個の正方形状の光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88が、光ファイバ案内板４の一方の主面から他方の主面に貫通するように行列状に形成されている。前記光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88は、第２の光ファイバ位置決め板３ｂの対応する光ファイバ位置決め孔Ｈ11〜Ｈ88より大きなサイズとなるように形成されており、光ファイバＦ11〜Ｆ88の挿通が容易に行えるようになっている。
前記光ファイバ案内板４は、その光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88が第２の光ファイバ位置決め板３ｂの対応する光ファイバ位置決め孔Ｈ11〜Ｈ88に連通するように、第２の光ファイバ位置決め板３ｂに装着されている。
【００１７】
位置決め対象となる光ファイバＦ11〜Ｆ88は、図１及び図２に示されたように各々光ファイバ案内板４の光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88から、第２の光ファイバ位置決め板３ｂの光ファイバ位置決め孔Ｈ11〜Ｈ88と、光ファイバホルダ２の対応する光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88を介して、第１の光ファイバ位置決め板３ａの対応する光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88に挿通されている。
このように、光ファイバＦ11〜Ｆ88を第２の光ファイバ位置決め板３ｂ側から挿通する際、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88は、いずれについても孔のサイズが大きい方の開口端から光ファイバＦ11〜Ｆ88が挿通されるようになっており、光ファイバＦ11〜Ｆ88を簡単かつスムーズに挿通することができる。
【００１８】
図５（ａ）は、図１中２点鎖線Ｂで囲まれた部分の光ファイバアレイ１の接続端面の拡大図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）中Ｄ−Ｄ’線断面図である。この光ファイバアレイ１では、第１の光ファイバ位置決め板３ａの一方の主面が接続端面１ａとなる。
光ファイバＦ11〜Ｆ88の先端は、研磨処理が施され、光ファイバアレイ１の接続端面１ａに揃えられている。光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88と光ファイバＦ11〜Ｆ88との間にできた隙間部分には、封止材５が充填されている。この封止材５は、光ファイバホルダ２の端面に近い側に充填されたエポキシ樹脂やアクリル樹脂などの紫外線硬化性樹脂からなる封止材５ａと、接続端面１ａ側に充填された、Ｃｒ添加インバー材料からなる封止材５ｂとから構成されている。
封止材５ｂを構成するＣｒ添加インバー材料には、Ｃｒが０．５質量％〜１０質量％含有されている。
このＣｒ添加インバー材料からなる封止材５ｂの露出面は、光ファイバＦ11〜Ｆ88の先端と同様に、研磨処理などにより光ファイバアレイの接続端面１ａに揃えられている。
【００１９】
光ファイバＦ11〜Ｆ88は、前記紫外線硬化性樹脂からなる封止材５ａとＣｒ添加インバー材料からなる封止材５ｂによって第１の光ファイバ位置決め板３ａに固定されている。
また、第２の光ファイバ位置決め板３ｂにも、紫外線硬化性樹脂からなる封止材５ａが充填され、光ファイバＦ11〜Ｆ88は第２の光ファイバ位置決め板３ｂにも固定されている。更に、光ファイバ案内板４側には接着層６が設けられ、光ファイバＦ11〜Ｆ88はこの接着層６によって光ファイバ案内板４にも固定されている。
【００２０】
本実施形態では、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂはＣｒ添加インバー材料からなり、このＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量を０．５質量％〜６質量％とすることによって、Ｃｒ添加インバー材料の熱膨張係数を低くでき、これにより第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの温度変化による体積の膨張収縮率を大幅に低減できる。
このため、使用環境における温度変動によって、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂに形成された光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88の位置が変化することがほとんどなく、ほぼ一定の位置に光ファイバＦ11〜Ｆ88を位置決めできる。
【００２１】
また、Ｃｒ添加インバー材料のＣｒ含有量を０．５質量％〜６質量％とすることによって、Ｃｒ添加インバー材料を加工し易い硬度とすることができる。このため、このＣｒ添加インバー材料からなる第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂやこれら光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを備えた光ファイバアレイ１は、優れた歩留まりで容易に製造される。
更に、Ｃｒ添加インバー材料のＣｒ含有量を０．５質量％〜６質量％とすることによって、優れた耐腐食性が得られ、耐環境性に優れた第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂや光ファイバアレイ１が実現できる。また、高価なＣｏを含有していないため、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂや光ファイバアレイ１の製造コストを抑えることができる。
【００２２】
第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％未満の場合、錆が発生し易く耐腐食性に劣るため、好ましくない。
また、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が６質量％よりも多い場合、Ｃｒ添加インバー材料の熱膨張係数が大きくなり、このようなＣｒ添加インバー材料から構成された第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂでは、使用環境における温度変動によって、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂに形成された光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88の位置が変動しやすくなり、位置決めされた光ファイバＦ11〜Ｆ88の位置が温度変化に伴なって大幅に変動してしまうため、好ましくない。
【００２３】
封止材５ｂとして、Ｃｒ添加インバー材料を用い、このＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量を０．５質量％〜１０質量％とすることによって、封止材５ｂの熱膨張係数が低く、温度変化による封止材５の体積の膨張収縮率を大幅に低減できる。
このため、封止材５ｂの膨張収縮によって、封止材５ｂと接触する光ファイバＦ11〜Ｆ88の側面に応力が加わることがほとんどない。
また、このＣｒ添加インバー材料からなる封止材５ｂは、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成する金属材料とほぼ同一の組成となるため、封止材５ｂと第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂとの間で熱応力がほとんど発生せず、この熱応力が原因となって光ファイバＦ11〜Ｆ88の側面に応力が加わることもほとんどない。
以上により、使用環境によって温度が変化しても、光ファイバＦ11〜Ｆ88にはほとんど応力が加わらず、これにより光ファイバＦ11〜Ｆ88を伝搬する信号光に影響を与えることがない。
【００２４】
また、Ｃｒ添加インバー材料のＣｒ含有量を０．５質量％〜１０質量％とすることによって、加工しやすい硬度と優れた耐腐食性が得られるため、光ファイバＦ11〜Ｆ88を強固に固定でき、かつ気密性を向上させることができる。更に封止材５ｂは不透明であるため、内部構造が露出せず、意匠性を向上させることができる。
【００２５】
[光ファイバ位置決め方法]
次に、本実施形態の光ファイバ位置決め方法について、本実施形態の光ファイバアレイを用いた場合を例示して説明する。
まず、光ファイバホルダ２と、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂと、位置決め対象としての光ファイバＦ11〜Ｆ88を用意する。光ファイバホルダ２、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂは、図１〜４に示されたものであり、構成についての説明を省略する。
【００２６】
前記光ファイバホルダ２は、例えば機械加工による切削方法などの公知の方法により形成でき、光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88の平行度が１０秒以下となるように高精度に形成できる。光ファイバホルダ２の構成材料としては、ステンレススチールなどの金属材料に限定されず、ジルコニアなどのセラミック、ガラス、石英などを用いてもよい。
【００２７】
第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂは、例えば特願２００１−２４１１８０号に記載されたように、薄膜形成プロセスなどの公知の方法により高精度かつ簡単に形成できる。このとき、各光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88の位置や孔のサイズＬ、光ファイバ位置決め孔間のピッチＰは、０．５μｍの精度で設定できる。
【００２８】
図６〜９は、第１及び第２の光ファイバ位置決め板の製造方法の一例を示す。まず図６に示されたように、ガラス又は石英からなる基板１０に、メッキ下地層としてＣｒ層にＣｕ層を重ねた積層（以下、Ｃｕ／Ｃｒ積層と言う。）１１をスパッタ法により形成し、更にホトリソグラフィ処理によりＣｕ／Ｃｒ積層１１上にレジスト層Ｒ’，Ｒ11〜Ｒ88を形成する。
次に、一例として表１に示された組成のメッキ液、メッキ条件にてＣｒ添加インバー材料の選択メッキ処理を行い、図７に示されたようにＣｒ添加インバー材料からなる光ファイバ位置決め板３を形成する。
【００２９】
【表１】
2004302444.tif 000003
【００３０】
そして、図８に示されたように、薬液処理などによりレジスト層Ｒ’，Ｒ11〜Ｒ88を除去し、更に図９に示されたように、エッチング処理によりＣｕ／Ｃｒ積層１１のうちＣｕ層を除去して基板１０から光ファイバ位置決め板３を分離する。以上により第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを形成する。
【００３１】
前記第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの主面のうち、光ファイバホルダ２と接着する主面の表面にエポキシ樹脂やアクリル樹脂などの紫外線硬化性樹脂を塗布し、図１及び図２に示されたように、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂをその光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88が光ファイバホルダの光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88にそれぞれ連通するように、光ファイバホルダ２に装着する。
このとき、エポキシ樹脂やアクリル樹脂などの紫外線硬化性樹脂は、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂと光ファイバホルダ２とを接着、固定するためのものであるが、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの主面に塗布する際、その光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88内に流れたものは、後述するように挿通された光ファイバＦ11〜Ｆ88を第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂに固定する封止材５ａとなる。
そして、前述した光ファイバ案内板４をその光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88が第２の光ファイバ位置決め板３ｂの対応する光ファイバ位置決め孔Ｈ11〜Ｈ88に連通するように、第２の光ファイバ位置決め板３ｂに装着する。
【００３２】
次に、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの主面に塗布したエポキシ樹脂やアクリル樹脂などの紫外線硬化性樹脂が固化する前に、位置決め対象の光ファイバＦ11〜Ｆ88を光ファイバ案内板４の光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88から、第２の光ファイバ位置決め板３ｂの光ファイバ位置決め孔Ｈ11〜Ｈ88と、光ファイバホルダ２の対応する光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88を介して、第１の光ファイバ位置決め板３ａの対応する光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88に挿通する。このとき、光ファイバＦ11〜Ｆ88は、その先端が第１の光ファイバ位置決め板３ａの一方の主面よりも外方に位置するように挿通する。
そして、光ファイバ案内板４側に接着層６を設け、光ファイバＦ11〜Ｆ88を光ファイバ案内板４に接着、固定する。
【００３３】
図１０は、光ファイバアレイの接続端面側にＣｒ添加インバー材料のメッキ処理を行い、このＣｒ添加インバー材料を封止材として光ファイバ位置決め孔に充填する工程を示す。ここでは、各工程での光ファイバアレイ１について、図１中Ａ−Ａ’線の断面図と、図５（ａ）中Ｄ−Ｄ’線の断面図を用いて示している。
図１０中（ａ）は、光ファイバＦ11〜Ｆ88が光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88に挿通された状態を示す。この状態の光ファイバアレイ１の側面に、図１０中（ｂ）に示されたようにメッキシール層２０を形成し、マスキング処理を行う。
次に、前述したように一例として表１に示された組成のメッキ液、メッキ条件にてメッキ処理を行う。これにより、図１０中（ｃ）に示されたように、光ファイバアレイの接続端面１ａ上と、光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88と光ファイバＦ11〜Ｆ88との隙間部分とにメッキ層（Ｃｒ添加インバー材料層）２１を形成する。
【００３４】
表２は、光ファイバアレイの接続端面上のメッキ層（Ｃｒ添加インバー材料層）と、光ファイバのうち接続端面から突出した先端部分とを研磨し、除去する際の研磨条件の一例を示す。表２に示された定盤の材質，刃送り，刃の切り込みや、定盤の回転数、研磨剤スラリーを用いて、面出し研磨，荒研磨，中研磨，最終研磨を行い、更にバフ仕上げを行う。
【００３５】
【表２】
2004302444.tif 000004
【００３６】
これにより、図１０中（ｄ）に示されたように、光ファイバＦ11〜Ｆ88の先端が光ファイバアレイの接続端面１ａに揃うようにする。またメッキ層（Ｃｒ添加インバー材料層）２１のうち、第１の光ファイバ位置決め板３ａの一方の主面上のものを除去する。前記メッキ層（Ｃｒ添加インバー材料層）２１のうち、光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88中のものは、Ｃｒ添加インバー材料からなる封止材５ｂとなる。
そして、薬液処理などによりメッキシール層２０を除去する。
以上のように、光ファイバＦ11〜Ｆ88は、光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88と光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88に挿通、固定され、これにより光ファイバＦ11〜Ｆ88の先端が所望の位置にくるように位置決めされる。
【００３７】
本実施形態では、光ファイバＦ11〜Ｆ88と光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88との間の隙間部分にメッキ処理によって封止材５ｂを充填することによって、この封止材５ｂにて隙間部分を完全に封止できる。これにより光ファイバＦ11〜Ｆ88を強固に固定し、位置決めできる。更に気密性を向上させることができ、耐環境性を向上できる。またメッキ処理は工程が簡便であり、容易に封止材５ｂを充填し、光ファイバＦ11〜Ｆ88を固定し、位置決めできる。
【００３８】
本実施形態では、メッキ処理により、光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88と光ファイバＦ11〜Ｆ88との隙間部分に封止材５ｂを充填しつつ、この封止材５ｂとなる材料からなるメッキ層（Ｃｒ添加インバー材料層）２１を光ファイバアレイの接続端面１ａ上に形成する。これにより光ファイバＦ11〜Ｆ88のうち接続端面１ａから突出した先端部分はメッキ層（Ｃｒ添加インバー材料層）２１によって被覆、固定される。
このためこの光ファイバＦ11〜Ｆ88のうち接続端面１ａから突出した先端部分を研磨によって簡便に除去でき、光ファイバの端面Ｆ11〜Ｆ88を接続端面に揃えることができる。このように、光ファイバＦ11〜Ｆ88の先端が接続端面１ａに揃った状態を簡便に実現できる。
またこのとき、研磨によって封止材５ｂの表面も接続端面１ａと揃った状態となるため、接続端面１ａを凹凸のない表面にすることができる。このため、位置決めされた光ファイバＦ11〜Ｆ88は、接続端面１ａにて光学素子や他の光導波路と接続する際、低い接続損失が実現できる。
【００３９】
また、前記封止材５ｂの構成材料としてＣｒ含有量が０．５質量％〜１０質量％のＣｒ添加インバー材料を使用した場合、このＣｒ添加インバー材料が加工し易い硬度であるため、接続端面１ａ上に形成されたメッキ層（Ｃｒ添加インバー材料層）２１を研磨し除去する際、接続端面１ａの表面にうねりが発生することがなく、優れた歩留まりで光ファイバを位置決めできる。また、このとき研磨速度が急激に低減することなく、容易に光ファイバＦ11〜Ｆ88を位置決めできる。
更に、Ｃｒ添加インバー材料は、耐腐食性に優れるため、光ファイバＦ11〜Ｆ88を位置決めした状態で強固に固定、保持できる。また、高価なＣｏを含有していないため、光ファイバＦ11〜Ｆ88の位置決めに係る製造コストを抑えることができる。
【００４０】
なお、本発明の技術範囲は、上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
光ファイバホルダ２やその光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂやその光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88、光ファイバ案内板４やその光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88などの材質、形状、寸法などは、上述したものに限定されるものではなく、種々の改変が可能であることは言うまでもない。例えば光ファイバホルダ２は、三角柱状，六角柱状などの多角柱状、円柱状などであっても構わない。また、材質は、ステンレススチールなどの金属材料に限定されず、光ファイバを保持固定できる強度を有していればジルコニアなどのセラミック、ガラス、石英などを用いてもよい。
第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの主面の形状が、三角形，平行四辺形，六角形などの多角形、円形状などであっても構わない。また第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂは、厚さ方向が長く柱状であっても構わない。更に、主面が厚さ方向に対して傾斜をもたせて形成されたものでも構わない。また、光ファイバ位置決め板３は、１つのみ又は３つ以上使用しても構わない。
【００４１】
また、光ファイバホルダの光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88、第１及び第２の光ファイバ位置決め板の光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88、光ファイバ案内板の光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88の形状、寸法、個数などは、特に限定されず、位置決めする光ファイバに応じて適宜決定される。例えば前記した孔の形状は、三角形，平行四辺形，六角形などの多角形、円形状などであっても構わない。孔の寸法は、光ファイバが挿通できる大きさであれば特に限定されない。孔の数は、８×８個に限定されず、位置決めする光ファイバの本数に対応して１個又は２個以上の複数であってもよく、また、孔は行列状に整列されていなくても構わない。
前記した光ファイバホルダ２やその光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ88、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂやその光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88、光ファイバ案内板４やその光ファイバ案内孔Ｋ11〜Ｋ88の材質、形状、寸法などを、位置決めする光ファイバの直径、長さなどの寸法にあわせて調整することによって、直径１２５μｍのシングルモード光ファイバなどのように直径、長さ、光ファイバの種類に限定されず、種々の光ファイバを位置決めできる。
【００４２】
また、封止材５には、Ｃｒ添加インバー材料に限定されず、有機材料などが使用できる。この有機材料としては、熱膨張係数が３０×１０−６／℃〜１００×１０−６／℃であり、エポキシ樹脂やアクリル樹脂などの紫外線硬化性樹脂などが挙げられる。封止材５としてＣｒ添加インバー材料の代わりに前記有機材料を用いても、Ｃｒ添加インバー材料から構成された第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを使用することによって得られる作用効果を損なうことが無い。
更に熱膨張係数が３０×１０−６／℃〜１００×１０−６／℃の有機材料から構成された封止材５を用いることによって、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂとほぼ同じ熱膨張係数であるため、封止材５と第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂとの間で熱応力がほとんど発生せず、この熱応力が原因となって光ファイバＦ11〜Ｆ88の側面に応力が加わることもほとんどない。
このため、使用環境によって温度が変化しても、光ファイバＦ11〜Ｆ88にはほとんど応力が加わらず、これにより光ファイバＦ11〜Ｆ88を伝搬する信号光に影響を与えることがない。また有機材料を用いることによって、安価で容易に光ファイバアレイ１を製造できる。
【００４３】
また封止材５として、前記したＣｒ添加インバー材料又は熱膨張係数が３０×１０−６／℃〜１００×１０−６／℃の有機材料を光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88と光ファイバＦ11〜Ｆ88との間にできた隙間部分の一部に充填して使用していれば他の材料と併用してもよく、例えば本実施形態と同様に、残りの隙間部分には、熱膨張係数が３０×１０−６／℃〜１００×１０−６／℃の範囲以外の他のエポキシ樹脂やアクリル樹脂などの紫外線硬化性樹脂を充填して使用しても構わない。
【００４４】
また光ファイバ位置決め板３は、その光ファイバ位置決め孔に光ファイバを挿通し、固定することによって、単独で使用することもできる。また、光コネクタ、変調器、光スイッチなどの光学素子や、ガラス基板に光導波路が形成された光導波路部品などのように光ファイバを接続して使用する光部品の光ファイバとの接続部分に、光ファイバ位置決め板３を設けて、この光ファイバ位置決め孔に光ファイバを挿通して固定し、使用することもできる。
【００４５】
光ファイバ案内板４は、本実施形態のように１枚の矩形状の平板に孔が形成されているもの以外に、孔が形成された矩形状の平板を複数枚組み合わせたものや、矩形状の平板に条溝が設けられたものなどであっても構わない。
図１１は、三角形状の孔が形成された案内用平板を２枚組み合わせた光ファイバ案内板の一例を示す図である。２枚の案内用平板４１，４２のうち、紙面上、左側に位置する一方の案内用平板４１は、断面が三角形状であり、その頂点が上方に向いた光ファイバ案内孔Ｌ11〜Ｌ44が、平板の２つの主面を貫通して４×４個行列状に形成されている。紙面上、右側に位置する他方の案内用平板４２は、断面が三角形状であり、その頂点が下方に向いた光ファイバ案内孔Ｍ11〜Ｍ44が、平板の２つの主面を貫通して４×４個行列状に形成されている。
前記光ファイバ案内板は、光ファイバ保持孔と光ファイバ位置決め孔がそれぞれ４×４個行列状に形成された光ファイバホルダ、第１及び第２の光ファイバ位置決め板に対応して用いるものである。
光ファイバ案内孔Ｌ11〜Ｌ44，Ｍ11〜Ｍ44の寸法は、挿通する光ファイバＦ11〜Ｆ44の断面積よりも大きいものであり、光ファイバＦ11〜Ｆ44を容易に挿通できるようになっている。また、案内用平板４１，４２を対向配置して貼り合わせたとき、案内用平板４１の光ファイバ案内孔Ｌ11〜Ｌ44の三角形状の断面の頂点付近が、案内用平板４２の光ファイバ案内孔Ｍ11〜Ｍ44の三角形状の断面の頂点付近と連通し、かつ設ける光ファイバアレイの光ファイバ保持孔と光ファイバ位置決め孔の位置に対応するように、光ファイバ案内孔Ｌ11〜Ｌ44，Ｍ11〜Ｍ44は形成されている。これにより光ファイバ案内孔Ｌ11〜Ｌ44，Ｍ11〜Ｍ44の三角形状の断面の頂点付近に光ファイバＦ11〜Ｆ44を挟み込むことで挿通固定できるようになっている。
【００４６】
次に前記案内用平板４１，４２から構成された光ファイバ案内板を用いて光ファイバを位置決めする方法を説明する。
図１１（ｂ）は、図１１（ａ）中２点鎖線Ｅに囲まれた光ファイバ案内孔に光ファイバが挿通された状態を示す図である。光ファイバＦ11〜Ｆ44を、対応する光ファイバ案内孔Ｌ11〜Ｌ44，Ｍ11〜Ｍ44にそれぞれ連通させた後、一方の案内用平板４１に対する他方の案内用平板４２の相対位置を上下方向に移動させ、図１１（ｂ）に示されたように光ファイバＦ11〜Ｆ44を光ファイバ案内孔Ｌ11〜Ｌ44，Ｍ11〜Ｍ44で挟み込み、支持固定する。この状態で光ファイバ案内板を第２の光ファイバ位置決め板の他方の主面に対向位置することによって、各光ファイバＦ11〜Ｆ44は、対応する光ファイバ位置決め孔に向かい合った状態となる。そして、各光ファイバＦ11〜Ｆ44の先端部を対応する光ファイバ位置決め孔に差し込む。
次に、一方の案内用平板４１に対する他方の案内用平板４２の相対位置を上下方向に移動させて、光ファイバＦ11〜Ｆ44と光ファイバ案内孔Ｌ11〜Ｌ44，Ｍ11〜Ｍ44との間隔を広げて固定状態を解除した後、光ファイバＦ11〜Ｆ44を光ファイバホルダに通していく。
このように、一方の案内用平板４１に対する他方の案内用平板４２の相対位置を上下方向に移動させることによって、光ファイバＦ11〜Ｆ44の固定とこの固定状態の解除が行え、容易に光ファイバＦ11〜Ｆ44を光ファイバホルダに通すことができる。
【００４７】
図１２は、条溝が形成された案内用平板を２枚組み合わせた光ファイバ案内板の一例を示す図である。２枚の案内用平板４３，４４のうち、紙面上、左側に位置する一方の案内用平板４３は、光ファイバ案内用条溝Ｎ1〜Ｎ4が紙面上、上下方向に形成されている。また、紙面上、右側に位置する一方の案内用平板４４は、光ファイバ案内用条溝Ｏ1〜Ｏ4が紙面上、横方向に形成されている。案内用平板４３，４４を対向配置したとき、光ファイバ案内用条溝Ｎ1〜Ｎ4，Ｏ1〜Ｏ4の重なった部分が、設ける光ファイバアレイの光ファイバ保持孔と光ファイバ位置決め孔の位置と一致し、図１２（ｂ）に示されたように、光ファイバＦ11〜Ｆ44が挿通固定できるように、光ファイバ案内用条溝Ｎ1〜Ｎ4，Ｏ1〜Ｏ4が形成されている。
前記光ファイバ案内板は、光ファイバ保持孔と光ファイバ位置決め孔がそれぞれ４×４個行列状に形成された光ファイバホルダ、第１及び第２の光ファイバ位置決め板に対応して用いるものである。
前記したように光ファイバ案内板として孔が形成された矩形状の平板を複数枚組み合わせたものや、矩形状の平板に条溝が設けられたものを例示したが、孔や条溝の個数、寸法、形状などは、特に限定されず、位置決めする光ファイバの寸法などに応じて適宜決定できる。
【実施例】
【００４８】
以下に、本発明に係る具体例を示すが、本発明はこれら具体例に限定されるものではない。
[具体例１]
表３は、第１及び第２の光ファイバ位置決め板及び封止材の構成材料の組成を示す。この具体例１では、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂと封止材５ｂには、同じ組成のＣｒ添加インバー材料又はパーマロイを用いる。
光ファイバホルダ２の光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ44と、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ44，Ｈ11〜Ｈ44とがそれぞれ４×４個行列状に設けられている点と、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂと封止材５ｂが、表３に示された組成のＣｒ添加インバー材料から構成されている点以外は、本実施形態と同様の構成の光ファイバアレイ１を形成することによって光ファイバＦ11〜Ｆ44の位置決めを行った。
【００４９】
【表３】
2004302444.tif 000005
【００５０】
[具体例２]
具体例２が、具体例１と異なる点は、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの構成材料のＣｒ添加インバー材料の組成がＦｅ６１質量％，Ｎｉ３５質量％，Ｃｒ４質量％（表３中、試料４の金属材料）で一定であり、封止材５ｂとして使用するＣｒ添加インバー材料が前記表３に示された種々のＣｒ含有量のもの（表３中、試料１乃至６のいずれかの金属材料）である点である。それ以外の構成は、具体例１と同一であるため詳細の説明を省略する。
【００５１】
[具体例３]
具体例３が、具体例１と異なる点は、封止材５ｂとしてＣｒ添加インバー材料の代わりに熱膨張係数が３０×１０−６／℃の紫外線硬化性エポキシ樹脂を使用する点である。第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂの構成材料のＣｒ添加インバー材料は、前記表３に示された種々のＣｒ含有量のものである。それ以外の構成は、具体例１と同一であるため詳細の説明を省略する。
【００５２】
[具体例４]
具体例４が、具体例２と異なる点は、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂが，表３中、試料１乃至３，５乃至７（試料４以外）から選択された金属材料から構成され、封止材５ｂが、表３の試料１乃至７から選択された金属材料から構成されている点である。それ以外の構成は、具体例２と同一であるため詳細の説明を省略する。
【００５３】
具体例１乃至４において、光ファイバアレイ１を形成することによって光ファイバを位置決めする際にうねりが発生するかどうか等の加工性の評価を行い、また得られた光ファイバアレイ１について、温度変化による光ファイバの位置変動量の測定と耐腐食性の評価を行った。
【００５４】
（加工性の評価）
光ファイバアレイ１を形成することによって光ファイバを位置決めする際、第１の光ファイバ位置決め板３ａの一方の主面を研磨するときに、この一方の主面にうねりが発生するかどうか、また加工しやすいかどうかを評価した。
具体例１，２，４において、封止材５ｂの構成材料となるＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％〜１０質量％の場合、第１の光ファイバ位置決め板３ａの一方の主面にはうねりが発生しなかった。また加工しやすい硬度であり、研磨にかかる時間は、パーマロイ（試料７）からなる封止材を用いた場合に比べて、最大で２〜３割増加する程度であり、優れた加工性が実現できた。
封止材５ｂの構成材料となるＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％未満の場合、うねりが発生し、歩留まりが悪化した。
また、封止材５ｂの構成材料となるＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が１０質量％よりも多い場合、硬度が高くて研磨しにくく、研磨にかかる時間が長くなり、加工性が低下してしまった。更に封止材５ｂと第１の光ファイバ位置決め板３ａとの硬度に差が生じ、研磨後の光ファイバの端面に凹凸がみられ端面の平滑性が悪いことがわかった。
【００５５】
特に、具体例２，４に比べて、具体例１のほうが、光ファイバの端面の平滑性に優れると共に、第１の光ファイバ位置決め板３ａの一方の主面の平滑性にも優れていた。
これは、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂと封止材５ｂとが、同じ組成のＣｒ添加インバー材料から構成されたことによって、封止材５ｂと第１の光ファイバ位置決め板３ａとの硬度に差が無いためであると考えられる。
以上により、具体例１のように、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂと封止材５ｂとが、同じ組成のＣｒ添加インバー材料から構成されていることが好ましく、これにより、研摩によって光ファイバの端面を平滑性に優れた状態とすることができることがわかった。
【００５６】
（光ファイバの温度変化による位置変動量（ピッチずれ））
以下に示された方法によって、位置決めされた光ファイバの温度変化による位置変動量を測定した。
図１３は、種々の温度における光ファイバアレイ１の光ファイバＦ11〜Ｆ44の端面の位置を測定する測定装置である。
この測定装置３０は、測定ステージ３１と光源３２と受光装置３３からなる。測定ステージ３１には、断熱板３４を介してヒータ３５が設けられ、このヒータ３５上に光ファイバアレイ１が設置できるようになっている。前記測定ステージ３１によって、光ファイバアレイ１がｘ，ｙ，ｚ軸方向に精密に移動できるようになっている。またヒータ３５によって、光ファイバアレイ１の温度を調整できるようになっている。
【００５７】
光ファイバアレイ１をヒータ３５上に設置し、更にこの光ファイバアレイ１上に試料押え３６を載せ、光ファイバアレイ１を固定した。光ファイバアレイ１の第２の光ファイバ位置決め板３ｂ側の光ファイバＦ11〜Ｆ44の一端に光源３２を設置し、この光源３２より光ファイバＦ11〜Ｆ44へ検出光３７を出射した。
接続端面１ａ側に受光装置３３を設置し、光ファイバＦ11〜Ｆ44の他端から出射された検出光３７を受光し、この検出光３７より光ファイバＦ11〜Ｆ44の端面の位置を検出した。このようにして、４×４個が行列状に設けられた光ファイバ保持孔Ｊ11〜Ｊ44と光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ44，Ｈ11〜Ｈ44に挿通、固定されて位置決めされた各光ファイバＦ11〜Ｆ44の端面の位置を検出した。
【００５８】
そして、検出された光ファイバＦ11〜Ｆ44の端面の位置の検出値と、光ファイバアレイ１の製造時の光ファイバ位置決め孔Ｇ11〜Ｇ44の設計位置との差を算出し、ピッチずれとした。そして４×４個が行列状に並んだ光ファイバＦ11〜Ｆ44の端面の位置のうち、四隅の４つの光ファイバＦ11，Ｆ14，Ｆ41，Ｆ44の端面のピッチずれの平均値を算出した。
所定の温度で上記したように各光ファイバＦ11〜Ｆ44の端面の位置を検出し、四隅のピッチずれの平均値を算出した。
【００５９】
図１４は、具体例１で形成された光ファイバアレイ１において、各温度におけるピッチずれの平均値と、構成材料のＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量との関係を示す。
封止材５ｂと第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％〜６質量％の場合、温度が２５℃〜７５℃においてピッチずれの平均値が、光ファイバの位置決めに要求される許容値の０．５μｍ以下を実現できた。
これに対して、試料７の従来のパーマロイから構成された第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂと封止材５ｂを用いた場合、ピッチずれの平均値が許容値の０．５μｍよりも大きく、光ファイバの位置決め精度を満たすことができない。
【００６０】
図１５は、具体例２で形成された光ファイバアレイ１において、各温度におけるピッチずれの平均値と、封止材５ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量との関係を示す図である。
封止材５ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が変化しても平均ピッチずれはほとんど変化しておらず、このＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％〜１０質量％の場合、温度が２５℃〜７５℃においてピッチずれの平均値が、光ファイバの位置決めに要求される許容値の０．５μｍ以下を実現できた。
【００６１】
図１６は、具体例３で形成された光ファイバアレイ１において、各温度におけるピッチずれの平均値と、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量との関係を示す図である。
第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％〜６質量％の場合、平均ピッチずれが許容値の０．５μｍ以下を実現できた。
【００６２】
図１７は、具体例１，２，４で形成された光ファイバアレイ１において、２５℃におけるピッチずれの平均値と、封止材５ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量との関係を示す図である。
また、具体例１，２，４において２５℃で測定した平均ピッチずれの結果を表４に示す。
【００６３】
【表４】
2004302444.tif 000006
【００６４】
封止材５ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が１０質量％以下の場合、このＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量に関わらず平均ピッチずれはほぼ一定である。
第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が６質量％以下の場合、平均ピッチずれが許容値の０．５μｍ以下となる。
第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が６質量％よりも多い場合、封止材５ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量に関わらず、平均ピッチずれが許容値の０．５μｍ以下よりも高い値となった。
【００６５】
（耐腐食性の評価）
具体例１乃至４にて得られた光ファイバアレイ１について、室温にて５％塩水中に１０日間浸漬した後、目視により錆の発生を観察した。
具体例１にて得られた光ファイバアレイ１では、第１及び第２の光ファイバ位置決め板３ａ，３ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％以上の場合、錆が発生していないことが確認でき、優れた耐腐食性が実現できた。これに対してＣｒ含有量が０．５質量％未満のとき、錆の発生が確認された。
【００６６】
具体例２にて得られた光ファイバアレイ１では、封止材５ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％以上の場合、具体例１と同様に、錆が発生していないことが確認でき、優れた耐腐食性が実現できた。これに対して封止材５ｂを構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量が０．５質量％よりも少ないとき、錆の発生が確認され、耐食性が十分でないことがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明の光ファイバ位置決め板や光ファイバアレイは、光コネクタ、光送受信装置や各種光学装置に光ファイバを接続する場合のように、光ファイバを精度良く位置決めして固定する際に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本実施形態の光ファイバアレイの一例を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【図３】光ファイバ位置決め板の一例を示す正面図である。
【図４】図３のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。
【図５】（ａ）は、図１の２点鎖線Ｂで囲まれた範囲の拡大図であり、（ｂ）は、（ａ）中Ｄ−Ｄ’線に沿う断面図である。
【図６】光ファイバ位置決め板の製造方法の一例におけるレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図７】図６の工程に続く選択メッキ工程を示す断面図である。
【図８】図７の工程に続くレジスト除去工程を示す断面図である。
【図９】図８の工程に続く基板分離工程を示す断面図である。
【図１０】光ファイバアレイの接続端面を研磨する工程を示す断面図である。
【図１１】光ファイバ案内板の他の一例を示す図である。
【図１２】光ファイバ案内板の更に他の一例を示す図である。
【図１３】光ファイバアレイの光ファイバの端面の位置を測定する測定装置である。
【図１４】具体例１で形成された光ファイバアレイにおいて、各温度における光ファイバアレイのピッチずれの平均値と、構成材料のＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量との関係を示す図である。
【図１５】具体例２で形成された光ファイバアレイにおいて、各温度における光ファイバアレイのピッチずれの平均値と、封止材を構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量との関係を示す図である。
【図１６】具体例３で形成された光ファイバアレイにおいて、各温度における光ファイバアレイのピッチずれの平均値と、第１及び第２の光ファイバ位置決め板を構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量との関係を示す図である。
【図１７】具体例１，２，４で形成された光ファイバアレイにおいて、２５℃におけるピッチずれの平均値と、封止材を構成するＣｒ添加インバー材料のＣｒ含有量との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００６９】
１‥‥光ファイバアレイ、３，３ａ，３ｂ‥‥光ファイバ位置決め板、５，５ａ，５ｂ‥‥封止材、Ｆ11〜Ｆ88‥‥光ファイバ、Ｇ11〜Ｇ88，Ｈ11〜Ｈ88‥‥光ファイバ位置決め孔。
【図１】
2004302444.tif 000007
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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