(57)【要約】【課題】適切な箇所に外部電極を形成し、マスク精度の公差を緩和して不良率を低減しうるとともに小型化にも有利な圧電素子形成部材を提供する。【解決手段】圧電振動板２３の表面に、個別内部電極１２に導通する個別外部電極１６と、共通内部電極１１に導通する共通外部電極１７が形成され、上記個別外部電極１６は、圧電振動板２３の先端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記共通外部電極１７は、上記圧電振動板２３の後端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記個別外部電極１６と共通外部電極１７との間には、圧電振動子１４の列方向に延びる帯状領域を少なくとも形成する電極非形成部９が形成され、上記共通外部電極１７は、両側部分が幅広部２に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部３に形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
個別内部電極と共通内部電極とが圧電材料を挟んで交互に積層された圧電振動板の表面に、上記個別内部電極に導通する個別外部電極と、共通内部電極に導通する共通外部電極がそれぞれ層状に形成される圧電素子形成部材であって、
上記個別外部電極は、圧電振動板の上記個別内部電極が露出する先端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記共通外部電極は、上記先端面と反対側の後端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記個別外部電極と上記共通外部電極との間には、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域を少なくとも形成する電極非形成部が形成され、上記共通外部電極は、圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されていることを特徴とする圧電素子形成部材。
【請求項２】
上記電極非形成部は、上記帯状領域に対して上記幅狭部に対応する部分の幅が広くなっている請求項１記載の圧電素子形成部材。
【請求項３】
上記幅狭部は、上記共通外部電極が圧電振動板の上記後端面には形成されているが表面には形成されていない領域として形成されている請求項１または２記載の圧電素子形成部材。
【請求項４】
上記幅広部同士の間隔は、圧電振動子の列方向における個別外部電極形成領域の寸法よりも大きくなるよう設定されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電素子形成部材。
【請求項５】
上記幅広部と幅狭部との段差部に対応する部分の幅寸法が徐々に変化する幅変化部が形成されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧電素子形成部材。
【請求項６】
個別内部電極と共通内部電極とが圧電材料を挟んで交互に積層された圧電振動板の表面に、上記個別内部電極に導通する個別外部電極と、共通内部電極に導通する共通外部電極がそれぞれ層状に形成される圧電素子形成部材の製造方法であって、
上記圧電振動板表面の、上記個別外部電極形成領域と上記共通外部電極形成領域との境界領域にマスク材を配置して外部電極形成材料を蒸着することにより外部電極を形成する際に、上記マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域を少なくとも形成し、上記帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いることを特徴とする圧電素子形成部材の製造方法。
【請求項７】
上記共通外部電極は、上記圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成される請求項６記載の圧電素子形成部材の製造方法。
【請求項８】
上記マスク材を配置して蒸着することにより、上記個別外部電極は、圧電振動板の上記個別内部電極が露出する先端面から表面にわたって連続的に形成され、上記共通外部電極は、上記圧電振動板の上記先端面と反対側の後端面から表面にわたって連続的に形成される請求項６または７記載の圧電素子形成部材の製造方法。
【請求項９】
上記マスク材として、上記帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端まで張り出して幅が広くなったものを用いる請求項６〜８のいずれか一項に記載の圧電素子形成部材の製造方法。
【請求項１０】
上記マスク材は圧電振動板の両側辺部を覆う側辺部を有し、上記側辺部同士の間隔は、上記帯状領域に対して後端側に張り出して幅が広くなった部分よりも小さくなるよう設定されている請求項１〜９のいずれか一項に記載の圧電素子形成部材の製造方法。
【請求項１１】
複数の圧電振動板を上記個別内部電極が露出する先端側と上記共通内部電極が露出する後端側が対向するよう並べて配置し、上記マスク材は、上記複数並べられた圧電振動板を同時に覆うものであって、個別外部電極を形成するための第１開口部および共通外部電極を形成するための第２開口部が形成され、上記第２開口部は、圧電振動板の後端側の辺部を露呈させる帯状の開口であり、その両側部に先端側に切り欠いた切欠部が形成されている請求項６〜１０のいずれか一項に記載の圧電素子形成部材の製造方法。
【請求項１２】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電素子形成部材の不活性領域を固定基板に固定し、個別電極が存在する先端から少なくとも個別電極の後端までスリットを形成することにより圧電振動子の列を形成することを特徴とする圧電素子ユニット。
【請求項１３】
個別内部電極と共通内部電極とが圧電材料を挟んで交互に積層された圧電振動板の表面に、上記個別内部電極に導通する個別外部電極と、共通内部電極に導通する共通外部電極がそれぞれ層状に形成され、不活性領域を固定基板に固定して個別電極が存在する自由端側の先端から少なくとも個別電極の後端までスリットが形成されることにより圧電振動子の列が形成された圧電素子ユニットを用いた液体噴射ヘッドであって、
上記個別外部電極は、圧電振動板の自由端側の端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記共通外部電極は、上記圧電振動板の固定端側の端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記個別外部電極と共通外部電極との間には、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域を少なくとも形成する電極非形成部が形成され、上記共通外部電極は、圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１４】
上記電極非形成部は、上記帯状領域に対して上記幅狭部に対応する部分の幅が広くなっている請求項１３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１５】
上記幅狭部は、上記共通外部電極が圧電振動板の固定端側の端面には形成されているが表面には形成されていない領域として形成されている請求項１３または１４記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１６】
上記幅広部同士の間隔は、圧電振動子の列方向における個別外部電極形成領域の寸法よりも大きくなるよう設定されている請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１７】
上記幅広部と幅狭部との段差部に対応する部分が、幅寸法が徐々に変化する幅変化部になっている請求項１３〜１６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電材料層に電圧を印加することによって変位する圧電素子が一体的に形成された圧電素子ユニットの製造方法およびそれによって得られた圧電素子ユニットならびに液体噴射ヘッドに関するものであり、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室に供給されたインクを圧電素子によって加圧することによりノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド等に好適なものである。
【従来の技術】
【０００２】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの一つとして、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものが知られている。
【０００３】
このような縦振動モードの圧電アクチュエータを構成する圧電素子（圧電振動子）ユニットとしては、図８に示すように、共通内部電極１１と個別内部電極１２とを圧電体１３を挟んで積層して形成された積層型の圧電振動子１４を複数有する振動子群１９と、この振動子群１９を支持する固定基板１５とによって構成されたものがある。また、この振動子群１９の表面には、圧電振動子１４の先端面部に露出された個別内部電極１２に導通する個別外部電極１６と、基端面部に露出された共通内部電極１１に導通する共通外部電極１７とが形成されている。
そして、各個別外部電極１６と共通外部電極１７との接点部に、フレキシブルケーブル１８の接続端部が搭載され、半田付け等によりフレキシブルケーブル１８が実装されている（例えば、下記の特許文献１）。
【０００４】
上記のような圧電素子ユニットは、一般に、つぎのようにして製造される。
【０００５】
すなわち、まず、図９に示すように、後端から先端近傍まで延びる共通内部電極１１となる導電材料２１を表面に露出させ、先端から活性領域の終端側まで延びる個別内部電極１２となる導電材料２０と、圧電材料２２とを挟みながら積層し、乾燥後に焼成して形成された圧電振動板２３を準備する。ついで、上記圧電振動板２３の表面の、個別外部電極１６と共通外部電極１７との境界となる領域にマスク材２４を固定する。上記マスク材２４は、上記境界領域に帯状に設けられるとともに、個別電極側の両端部（後述するダミー振動子になる領域）にわたって設けられ、全体として略コ字状を呈している。
【０００６】
そして、図１０に示すように、上記圧電振動板２３の下面を除く全面に外部接続用の電極形成材料を蒸着して電極層を形成することにより、個別外部電極１６と共通外部電極１７を形成する。蒸着が終了した段階で、マスク材２４を除去すると、先端面，後端面および一方の表面の３面にだけ導電層が形成され、また他方の表面に露出している導電材料２１の後端が導電層と電気的に接続された圧電振動板を得ることができる。
【０００７】
つぎに、共通内部電極１１と圧電体１３とだけが積層された領域（不活性領域）を、金属等の固定基板１５に位置決めして接着剤で固定する（図１０参照）。そののち、ダイシングソウやワイヤソウの切断具（図示せず）により、圧電材料２２の自由端側の先端から少なくとも個別内部電極１２の後端側までスリット２５を形成し、圧電振動子１４としての振動領域および個別電極となる領域を櫛歯状に切分けて、圧電素子ユニットを完成させる。このとき、個別電極側の両端部に、圧電振動子１４よりも幅広のダミー振動子を形成することが行なわれる。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１１−１０８７５号
【発明が解決しようとする課題】
上述した製造方法では、個別外部電極１６と共通外部電極１７とを、それらの境界領域にマスク材２４を設けた状態での１回の蒸着によって完成させる。上記個別外部電極１６と共通外部電極１７が導通してしまうと、圧電効果が得られなくなるため、両者は電気的に絶縁状態になければならない。
【０００９】
最近では、コストその他の面から圧電振動体の圧電振動に直接関係しない部分を小さく設計する傾向にある。その場合、上述した製造方法では、蒸着の際に個別外部電極１６と共通外部電極１７の境界領域に配置されるマスク材２４が細長い帯状であるため、圧電振動体の寸法を小さくすればするほど、上記帯状のマスク材２４が細くなり、マスク材２４の強度が低下して蒸着の際に撓みやすくなる。このようにマスク材２４に撓みが生じると、マスク材２４の撓んだ部分が圧電振動板２３の表面から浮き上がって隙間ができ、個別外部電極１６と共通外部電極１７の境界領域である上記隙間に蒸着材料が回り込んで、最悪の場合には個別外部電極１６と共通外部電極１７をショートさせてしまうという問題が生じる。
特に、上記境界領域に相当する帯状の部分は、両端部が圧電振動板２３の表面に密着して中央部に浮きが生じやすくなる。
【００１０】
また、上述した圧電素子ユニットでは、共通外部電極１７とフレキシブルケーブル１８との接点部は、個別外部電極１６への配線を避けながら列状に並んだ圧電振動子１４に対してできるだけ均一に駆動信号を印加するため、個別外部電極１６よりも両外側に設けられる。したがって、上記共通外部電極１７は、圧電振動板２３の表面において均等幅に形成されているが、フレキシブルケーブル１８との接点部を確保するという観点からは均等幅である必要はなく、機能的にはさほど必要ではない領域まで電極層が設けられていた。このように、従来は、不要な箇所にまで電極層を設けていたにもかかわらず、その電極層が存在することにより、マスク精度に厳しい公差が求められるという製造上の矛盾が問題となっていた。
【００１１】
これらのような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、インク以外の液体を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に発生する。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、機能的に必要で適切な箇所に外部電極を形成することにより、マスク精度の公差を緩和して不良率を低減しうるとともに小型化にも有利な圧電素子形成部材およびその製造方法ならびにそれを用いた圧電素子ユニットおよび液体噴射ヘッドを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の圧電素子形成部材は、個別内部電極と共通内部電極とが圧電材料を挟んで交互に積層された圧電振動板の表面に、上記個別内部電極に導通する個別外部電極と、共通内部電極に導通する共通外部電極がそれぞれ層状に形成される圧電素子形成部材であって、
上記個別外部電極は、圧電振動板の上記個別内部電極が露出する先端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記共通外部電極は、上記先端面と反対側の後端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記個別外部電極と上記共通外部電極との間には、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域を少なくとも形成する電極非形成部が形成され、上記共通外部電極は、圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されていることを要旨とする。
【００１４】
すなわち、本発明の圧電素子形成部材は、上記共通外部電極が、圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されているため、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部を蒸着によって形成する際に用いるマスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が先端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなる。したがって、上記マスク材の強度が確保され、蒸着の際に撓んでマスク材と圧電振動板の間にできた隙間に蒸着材料が回り込むというトラブルの発生を防止できる。これにより、圧電振動体の圧電振動に直接関係しない不活性領域を小さく設計したとしても、マスク材の強度が確保されるとともに、マスクの上に補強用の支え治具等を設置できるスペースを確保でき、不良率の発生を低減するとともに、コストや小型化の面で有利である。また、共通外部電極は、上記圧電振動板の後端面から表面にわたって連続的に設けられていることから、共通外部電極から共通内部電極への導通も確保される。
【００１５】
また、本発明の圧電素子形成部材は、共通外部電極は、フレキシブルケーブルとの接点である圧電振動板表面の両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されている。このように、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を幅広部に形成して確保するとともに、接点部として必要でない部分を幅狭部とすることにより、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層を少なくできる。また、上述したように、マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなるため、マスク精度に求められる公差を緩和することができるようになる。
【００１６】
本発明の圧電素子形成部材において、上記電極非形成部は、上記帯状領域に対して上記幅狭部に対応する部分の幅が広くなっている場合には、マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなるため、マスク精度に求められる公差を緩和することができるようになる。
【００１７】
本発明の圧電素子形成部材において、上記幅狭部は、上記共通外部電極が圧電振動板の上記後端面には形成されているが表面には形成されていない領域として形成されている場合には、マスク材の強度がより確保され、不良率の発生を低減するとともに、コストや小型化の面で有利である。また、圧電振動板の表面には、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を確保しながら、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層をなくすことができる。このとき、共通外部電極は、圧電振動板の後端面から表面にわたって連続的に設けられていることから、共通外部電極から共通内部電極への導通が確保される。
【００１８】
本発明の圧電素子形成部材において、上記幅広部同士の間隔は、圧電振動子の列方向における個別外部電極形成領域の寸法よりも大きくなるよう設定されている場合には、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部において、両電極間の距離が確保されてマスク材の強度を確保できる。
【００１９】
本発明の圧電素子形成部材において、上記幅広部と幅狭部との段差部に対応する部分の幅寸法が徐々に変化する幅変化部が形成されている場合には、フレキシブルケーブルと共通外部電極の接点部分の面積をより大きく確保でき、接点部分のマスク精度の公差をより緩和することができる。
【００２０】
また、本発明の圧電素子形成部材の製造方法は、個別内部電極と共通内部電極とが圧電材料を挟んで交互に積層された圧電振動板の表面に、上記個別内部電極に導通する個別外部電極と、共通内部電極に導通する共通外部電極がそれぞれ層状に形成される圧電素子形成部材の製造方法であって、
上記圧電振動板表面の、上記個別外部電極形成領域と上記共通外部電極形成領域との境界領域にマスク材を配置して外部電極形成材料を蒸着することにより外部電極を形成する際に、上記マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域を少なくとも形成し、上記帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いることを要旨とする。
【００２１】
すなわち、本発明の圧電素子形成部材の製造方法は、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部を蒸着によって形成する際に用いるマスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いるため、上記マスク材の強度が確保され、蒸着の際に撓んでマスク材と圧電振動板の間にできた隙間に蒸着材料が回り込むというトラブルの発生を防止できる。これにより、圧電振動体の圧電振動に直接関係しない不活性領域を小さく設計したとしても、マスク材の強度が確保されるとともに、マスクの上に補強用の支え治具等を設置できるスペースを確保でき、不良率の発生を低減するともに、コストや小型化の面で有利である。
【００２２】
本発明の圧電素子形成部材の製造方法において、上記共通外部電極は、上記圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成される場合には、得られる圧電素子形成部材は、共通外部電極は、フレキシブルケーブルとの接点である圧電振動板表面の両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されている。このように、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を幅広部に形成して確保するとともに、接点部として必要でない部分を幅狭部とすることにより、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層を少なくできる。また、上述したように、マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなるため、マスク精度に求められる公差を緩和することができるようになる。
【００２３】
本発明の圧電素子形成部材の製造方法において、上記マスク材を配置して蒸着することにより、上記個別外部電極は、圧電振動板の上記個別内部電極が露出する先端面から表面にわたって連続的に形成され、上記共通外部電極は、上記圧電振動板の上記先端面と反対側の後端面から表面にわたって連続的に形成される場合には、得られる圧電素子形成部材において、共通外部電極が上記圧電振動板の後端面から表面にわたって連続的に設けられることから、共通外部電極から共通内部電極への導通が確保される。
【００２４】
本発明の圧電素子形成部材の製造方法において、上記マスク材として、上記帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端まで張り出して幅が広くなったものを用いる場合には、マスク材の強度がより確保され、不良率の発生を低減するとともに、コストや小型化の面で有利である。また、圧電振動板の表面には、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を確保しながら、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層をなくすことができる。
【００２５】
本発明の圧電素子形成部材の製造方法において、上記マスク材は圧電振動板の両側辺部を覆う側辺部を有し、上記側辺部同士の間隔は、上記帯状領域に対して後端側に張り出して幅が広くなった部分よりも小さくなるよう設定されている場合には、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部において、両電極間の距離が確保されてマスク材の強度を確保できる。
【００２６】
本発明の圧電素子形成部材の製造方法において、複数の圧電振動板を上記個別内部電極が露出する先端側と上記共通内部電極が露出する後端側が対向するよう並べて配置し、上記マスク材は、上記複数並べられた圧電振動板を同時に覆うものであって、個別外部電極を形成するための第１開口部および共通外部電極を形成するための第２開口部が形成され、上記第２開口部は、圧電振動板の後端側の辺部を露呈させる帯状の開口であり、その両側部に先端側に切り欠いた切欠部が形成されている場合には、複数の圧電振動板を並べ、それらを覆うマスク材を用いて多数個の圧電振動板に対して同時に蒸着を行なう際にも蒸着精度を効果的に向上させることができる。
【００２７】
本発明の圧電素子ユニットは、請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電素子形成部材の不活性領域を固定基板に固定し、個別電極が存在する自由端側の先端から少なくとも個別電極の後端までスリットを形成することにより圧電振動子の列を形成することを要旨とする。
【００２８】
このため、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部を蒸着によって形成する際に用いるマスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が固定端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなる。したがって、上記マスク材の強度が確保され、蒸着の際に撓んでマスク材と圧電振動板の間にできた隙間に蒸着材料が回り込むというトラブルの発生を防止できる。これにより、圧電振動体の圧電振動に直接関係しない不活性領域を小さく設計したとしても、マスク材の強度が確保され、不良率の発生を低減するとともに、コストや小型化の面で有利である。また、共通外部電極は、上記圧電振動板の固定端側の端面から表面にわたって連続的に設けられていることから、共通外部電極から共通内部電極への導通も確保される。
【００２９】
また、本発明の圧電素子ユニットは、共通外部電極は、フレキシブルケーブルとの接点である圧電振動板表面の両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されている。このように、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を幅広部に形成して確保するとともに、接点部として必要でない部分を幅狭部とすることにより、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層を少なくできる。また、上述したように、マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなるため、マスク精度に求められる公差を緩和することができるようになる。
【００３０】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、個別内部電極と共通内部電極とが圧電材料を挟んで交互に積層された圧電振動板の表面に、上記個別内部電極に導通する個別外部電極と、共通内部電極に導通する共通外部電極がそれぞれ層状に形成され、不活性領域を固定基板に固定して個別電極が存在する自由端側の先端から少なくとも個別電極の後端までスリットが形成されることにより圧電振動子の列が形成された圧電素子ユニットを用いた液体噴射ヘッドであって、
上記個別外部電極は、圧電振動板の自由端側の端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記共通外部電極は、上記圧電振動板の固定端側の端面から表面にわたって連続的に設けられ、上記個別外部電極と共通外部電極との間には、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域を少なくとも形成する電極非形成部が形成され、上記共通外部電極は、圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されていることを要旨とする。
【００３１】
すなわち、本発明の液体噴射ヘッドは、上記共通外部電極が、圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されているため、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部を蒸着によって形成する際に用いるマスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が固定端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなる。したがって、上記マスク材の強度が確保され、蒸着の際に撓んでマスク材と圧電振動板の間にできた隙間に蒸着材料が回り込むというトラブルの発生を防止できる。これにより、圧電振動体の圧電振動に直接関係しない不活性領域を小さく設計したとしても、マスク材の強度が確保されるとともに、マスクの上に補強用の支え治具等を設置できるスペースを確保でき、不良率の発生を低減するとともに、コストや小型化の面で有利である。また、共通外部電極は、上記圧電振動板の固定端側の後端面から表面にわたって連続的に設けられていることから、共通外部電極から共通内部電極への導通も確保される。
【００３２】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、共通外部電極は、フレキシブルケーブルとの接点である圧電振動板表面の両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されている。このように、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を幅広部に形成して確保するとともに、接点部として必要でない部分を幅狭部とすることにより、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層を少なくできる。また、上述したように、マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が固定端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなるため、マスク精度に求められる公差を緩和することができるようになる。
【００３３】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記電極非形成部は、上記帯状領域に対して上記幅狭部に対応する部分の幅が広くなっている場合には、マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が固定端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなるため、マスク精度に求められる公差を緩和することができるようになる。
【００３４】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記幅狭部は、上記共通外部電極が圧電振動板の固定端側の後端面には形成されているが表面には形成されていない領域として形成されている場合には、マスク材の強度がより確保され、不良率の発生を低減するともに、コストや小型化の面で有利である。また、圧電振動板の表面には、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を確保しながら、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層をなくすことができる。このとき、共通外部電極は、圧電振動板の固定端側の後端面から表面にわたって連続的に設けられていることから、共通外部電極から共通内部電極への導通が確保される。
【００３５】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記幅広部同士の間隔は、圧電振動子の列方向における個別外部電極形成領域の寸法よりも大きくなるよう設定されている場合には、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部において、両電極間の距離が確保されてマスク材の強度を確保できる。
【００３６】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記幅広部と幅狭部との段差部に対応する部分が、幅寸法が徐々に変化する幅変化部になっている場合には、フレキシブルケーブルと共通外部電極の接点部分の面積をより大きく確保でき、接点部分のマスク精度の公差をより緩和することができる。
【００３７】
【発明の実施の形態】
つぎに、本発明の実施の形態を詳しく説明する。
【００３８】
図１は、本発明の圧電素子形成部材を用いた圧電素子ユニット１を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図である。
【００３９】
上記圧電素子ユニットは、複数の圧電振動子１４が列状に形成された圧電振動子形成部材としての圧電振動板２３と、上記圧電振動板２３の一端部である先端部を自由端とし、他端側である後端部を固定端として、上記固定端側の不活性領域（圧電振動子１４の変位に無関係の領域）が固定される固定基板１５とを有している。上記圧電素子ユニットは、例えば、インクジェット式記録ヘッド等に代表される液体噴射ヘッドに組み込まれ、インクジェット式記録装置等の液体噴射ヘッドに使用される。
【００４０】
上記圧電振動板２３は、圧電材料層８と、圧電振動子１４の２つの極を構成する内部電極すなわち隣接する圧電振動子１４と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極１２と、隣接する圧電振動子１４と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極１１とが、上記圧電材料層８を挟んで交互に積層されることにより形成されている。
【００４１】
上記圧電振動板２３には、ワイヤーソー等によって複数のスリット２５が形成されている、上記スリット２５は、個別内部電極１２が存在する自由端側の先端から、少なくとも個別内部電極１２の後端まで形成されている。上記スリット２５が形成されることにより、圧電振動板２３の先端部が櫛歯状に切り分けられ、複数の圧電振動子１４が列状に形成されている。上記スリット２５の固定端側の底面は、圧電振動板２３の表面側が深く裏面側が浅い傾斜面になっている。
【００４２】
ここで、上記圧電振動子１４の列の幅方向両外側部には、各圧電振動子１４よりも幅の広い位置決め部２６が形成されている。上記位置決め部２６は、圧電振動による液体吐出に寄与しないダミー振動子であり、圧電素子ユニット１を液体噴射ヘッドに組み込む際に、圧電素子ユニット１を高精度に位置決めするために設けられている。
【００４３】
上記個別内部電極１２は、圧電材料層８の先端面側にわずかに露出して後述する個別外部電極１６と導通している。上記個別内部電極１２の後端部は、固定基板１５と接合される不活性領域に至る直前まで延びている。一方、上記共通内部電極１１は、圧電材料層８の固定端面側にわずかに露出して後述する共通外部電極１７と導通している。上記共有内部電極１１の先端は、圧電材料層８の先端に至る少し前まで延びている。
【００４４】
そして、個別内部電極１２，共通内部電極１１および圧電材料層８が積層された領域が活性領域の圧電振動子１４であり、個別内部電極１２と共通内部電極１１に電圧を印加すると圧電材料層８の圧電変形により伸縮変位を呈する。一方、個別内部電極１２が存在しない領域が変位と関係のない不活性領域であり、この部分が固定基板１５に固定された状態で圧電振動子１４が伸縮することにより、圧電振動子１４の先端部が振動するのである。
【００４５】
上記圧電振動板２３の自由端側すなわち個別内部電極１２が露出した先端側には個別外部電極１６が形成され、固定端側すなわち共通内部電極１１が露出した後端側には共通外部電極１７が形成されている。上記個別外部電極１６が形成された領域と共通外部電極１７が形成された領域との境界領域には、圧電振動子１４の列方向に延びる帯状領域を形成する電極非形成部９が形成されている。また、両外側の位置決め部２６の表面には、上記電極非形成部９と連続して圧電振動板２３の両側辺に沿うように電極非形成領域５が形成されている。
【００４６】
自由端側の個別外部電極１６は、上記圧電振動板２３の表面から自由端の先端面にわたって連続した層状に設けられており、自由端の先端面に露出する個別内部電極１２と導通している。また、上記個別外部電極１６は、各圧電振動子１４の表面において固定端側まで延び、この固定端側の部分でフレキシブルケーブル１８と接続されている。
【００４７】
固定端側の共通外部電極１７は、上記圧電振動板２３の表面から固定端の後端面にわたって連続した層状に設けられており、固定端の後端面に露出する共通内部電極１１と導通している。
【００４８】
また、個別外部電極１６と共通外部電極１７の境界の領域に設けられている電極非形成部９は、圧電振動子１４の列方向において個別外部電極１６に対応する部分が、固定端側に張り出すように広がっている。これにより、上記共通外部電極１７は、圧電振動板２３の表面において、圧電振動子１４の列方向における両側部分が圧電振動子１４の長手方向寸法が大きい幅広部２に形成され、上記両側部分以外の部分が圧電振動子１４の長手方向寸法が小さい幅狭部３に形成されている。すなわち、上記電極非形成部９は、個別外部電極１６と共通外部電極１７境界の帯状領域に対して上記幅狭部３に対応する部分の幅が広くなっている。
【００４９】
また、圧電振動子１４の列方向でみて、上記幅広部２同士の間隔すなわち、電極非形成部９の固定端側に張り出した領域の圧電振動子１４の列方向の寸法は、圧電振動子１４の列方向における個別外部電極１６形成領域の寸法よりも大きくなるよう設定されている。そして、上記共通外部電極１７は、圧電振動子１４の列方向の両側部に設けられた幅広部２の部分でフレキシブルケーブル１８と接続されている。
【００５０】
したがって、上記フレキシブルケーブル１８には、その長手方向（圧電振動子１４の列方向に略沿った方向である）に沿って複数のプリント配線が並んで形成されている。これらのプリント配線のうち両端部のプリント配線がそれぞれ幅広部２と接続されて共通外部電極１７を介して共通内部電極１１に導通されている。一方、上記両端部のプリント配線に挟まれた複数のプリント配線が、それぞれ個別外部電極１６を介して個別内部電極１２に導通されている。このような構成により、上記フレキシブルケーブル１８を介して各圧電振動子１４に対して駆動電圧を印加するようになっている。
【００５１】
上記共通外部電極１７は、後述するように、圧電振動板２３表面の自由端側の個別外部電極１６が形成された領域と、固定端側の共通外部電極１７が形成された領域との境界領域（すなわち電極非形成部９）にマスク材４（図３〜図４参照）を配置した状態での外部電極形成材料の蒸着により形成される。
【００５２】
図２は、上記圧電素子ユニット１が用いられた液体噴射ヘッド１０の一例を示す図である。
【００５３】
この液体噴射ヘッド１０は、ノズル３１と圧力発生室３２が形成された流路ユニット３３と、圧電振動子１４が収容されたヘッドケース３５とが接合されて構成されている。
【００５４】
上記流路ユニット３３は、ノズル３１が穿設されたノズルプレート３６と、圧力発生室３２と共通の貯留室３７ならびにこれらを連通させる供給路３８とに対応する空間が形成された流路形成板４４と、上記圧力発生室３２の開口を塞ぐ振動板４０とが積層されて形成されている。
【００５５】
上記圧電振動子１４は、駆動信号の入力により、充電状態で長手方向に収縮し、充電状態から放電する過程で長手方向に伸長する縦振動モードの振動子である。上記圧電振動子１４は、その先端が圧力発生室３２の一部を形成する振動板４０の島部４０Ａに固着された状態で他端が固定基板１５に固定されて上述した圧電素子ユニット１を構成している。
【００５６】
また、上記ヘッドケース３５には、その貯留室３７に対応する部分に、貯留室３７にインクカートリッジ等の液体を導入するヘッド流路３４が形成されている。上記ヘッド流路３４の開口縁には、供給管４３が形成されている。
【００５７】
上記液体噴射ヘッド１０では、上記圧電振動子１４の収縮・伸長を受けて圧力発生室３２が膨張・収縮し、圧力発生室３２の圧力変動によりインク等の液体の吸引と液滴の吐出とが行われるようになっている。１８は圧電振動子１４に駆動信号を入力するフレキシブルケーブルである。
【００５８】
つぎに、上記圧電素子ユニット１の製造方法について説明する。
【００５９】
すなわち、まず、図３に示すように、個別内部電極１２と共通内部電極１１とが圧電材料層８を挟んで交互に積層された圧電振動板２３を準備する。上記圧電振動板２３は、個別内部電極１２となる電極材料シート、共通内部電極１１となる電極材料シート、圧電材料層８となるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料シートを積層し、焼成して得られたものである。この状態で、上記個別内部電極１２は圧電振動板２３の自由端となる先端面に露出し、共通内部電極１１は圧電振動板２３の固定端となる後端面に露出している。
【００６０】
ついで、上記圧電振動板２３の表面にステンレス鋼等からなる所定形状のマスク材４を配置する。上記マスク材４は、上記圧電振動板２３表面の自由端側の個別外部電極１６が形成された領域と、固定端側の共通外部電極１７が形成された領域との境界領域において圧電振動子１４の列方向に延びる帯状部７を有している。また、上記帯状部７は、圧電振動子１４の列方向における両側部分以外の部分が固定端側に張り出して幅が広くなった張り出し部６を有しており、圧電振動子１４の列方向に延びる帯状の領域をカバーしている。
【００６１】
さらに、上記マスク材４は、上記帯状部７の両端部から圧電振動板２３の両側辺に沿うように自由端側に向かって延び、圧電振動板２３の両側辺部を覆う側辺部２７を有している。上記側辺部２７同士の間隔は、上記帯状部７に形成された張り出し部６の圧電振動子１４の列方向の寸法よりも小さくなるよう設定されている。
【００６２】
つぎに、図４に示すように、圧電振動板２３に上記マスク材４を配置した状態で、圧電振動板２３の表面に、クロム，ニッケル，金，白金，銅等の外部電極形成材料としての導電性材料を蒸着することにより、上記マスク材４に覆われていない部分に、個別外部電極１６および共通外部電極１７が形成され、マスク材４によって覆われた圧電振動板２３の表面に、電極非形成部９および電極非形成領域５が形成される。
【００６３】
このようにして形成された上記共通外部電極１７は、圧電振動板２３の表面において、両側部分が幅広部２に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部３に形成される。また、上記個別外部電極１６は、圧電振動板２３の自由端側の端面から表面にわたって連続的に形成され、自由端側の端面に露出した個別内部電極１２と導通する。一方、上記共通外部電極１７は、上記圧電振動板２３の固定端側の後端面から表面にわたって連続的に形成され、固定端側の後端面に露出した共通内部電極１１と導通する。
【００６４】
そののち、固定端側の不活性領域を固定基板１５に固定したのち、圧電振動板２３の個別電極が存在する自由端側の先端から個別電極の後端までワイヤーソー等によってスリット２５を形成することにより、圧電振動子１４の列が形成された圧電素子ユニット１が得られる（図１参照）。
【００６５】
このように、本実施の形態では、上記共通外部電極１７が、圧電振動板２３の表面において、両側部分が幅広部２に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部３に形成されているため、個別外部電極１６と共通外部電極１７との間の電極非形成部９を蒸着によって形成する際に用いるマスク材４として、圧電振動子１４の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が固定端側に張り出して幅が広くなった張り出し部６を有するものを用いることとなる。
【００６６】
したがって、上記マスク材４の強度が確保され、蒸着の際に撓んでマスク材４と圧電振動板２３の間にできた隙間に蒸着材料が回り込むというトラブルの発生を防止できる。これにより、圧電振動体の圧電振動に直接関係しない不活性領域を小さく設計したとしても、マスク材４の強度が確保され、不良率の発生を低減するともに、コストや小型化の面で有利である。また、共通外部電極１７は、上記圧電振動板２３の固定端側の後端面から表面にわたって連続的に設けられていることから、共通外部電極１７から共通内部電極１１への導通も確保される。
【００６７】
また、本実施の形態は、共通外部電極１７は、フレキシブルケーブル１８との接点である圧電振動板２３の表面の両側部分が幅広部２に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部３に形成されている。このように、フレキシブルケーブル１８との接点として必要な部分を幅広部２に形成して確保するとともに、接点部として必要でない部分を幅狭部３とすることにより、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層を少なくできる。また、上述したように、マスク材４として、圧電振動子１４の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が固定端側に張り出した張り出し部６が形成されたものを用いることとなるため、マスク精度に求められる公差を緩和することができるようになる。
【００６８】
さらに、本実施の形態では、上記幅広部２同士の間隔は、圧電振動子１４の列方向における個別外部電極１６の形成領域の寸法よりも大きくなるよう設定されているため、個別外部電極１６と共通外部電極１７との間の電極非形成部９において、両電極間の距離が確保されてマスク材４の強度を確保できる。さらに、マスク材４の上に補強用の支え治具等を設置できるスペースを確保できる。それ以外は、上記実施の形態と同様であり、同様の作用効果を奏する。
【００６９】
図５は、本発明の第２の実施の形態を示す。
【００７０】
この実施の形態は、上記マスク材４として、上記帯状部７に形成された張り出し部６が、圧電振動板２３の固定端まで張り出したものを用いることにより、共通外部電極１７の幅狭部３が、上記共通外部電極１７が圧電振動板２３の固定端側の後端面には形成されているが表面には形成されていない領域として形成されたものである。
【００７１】
このようにすることにより、マスク材４の上記帯状部７を形成させる部分の強度がより確保され、不良率の発生を低減するともに、コストや小型化の面で有利である。また、圧電振動板２３の表面には、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を確保しながら、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層をなくすことができる。このとき、共通外部電極１７は、圧電振動板２３の固定端側の後端面から表面にわたって連続的に設けられていることから、共通外部電極１７から共通内部電極１１への導通が確保される。このように、本発明における幅狭部３は、圧電振動板２３の表面に全く電極層が形成されていない態様も含む趣旨である。
【００７２】
図６は、本発明の第３の実施の形態を示す。
【００７３】
この実施の形態は、上記幅広部２と幅狭部３との段差部に対応する部分が、幅寸法が徐々に変化する幅変化部４１になったものである。この例では、上記幅変化部４１は、傾斜部として形成したが、これに限定するものではなく、曲線部で共通外部電極１７の幅寸法（圧電振動子１４の長手方向における寸法である）が徐々に変化するようにしたものでもよい。
【００７４】
また、上記幅広部２の自由端側の縁と幅狭部３の自由端側の縁とを傾斜部や曲線部で繋いで幅変化部４１を形成してもよい。このとき、少なくとも幅広部２同士の最も広い間隔が、個別外部電極１６の形成領域の幅よりも狭いことが好ましく、より好ましいのは、少なくとも幅広部２同士の最も広い間隔が、個別外部電極１６の形成領域の幅よりも狭くすることである。このようにすることによりマスク材１４の当該箇所の強度が確保できる。
【００７５】
この実施の形態では、フレキシブルケーブル１８と共通外部電極１７の接点部分の面積をより大きく確保でき、接点部分のマスク精度の公差をより緩和することができる。それ以外は、上記各実施の形態と同様であり、同様の作用効果を奏する。
【００７６】
図７は、本発明の第４の実施の形態を示す。
【００７７】
この実施の形態は、圧電振動板２３を複数並べて同時に蒸着を行なうようにしたものである。すなわち、まず、上記第１の実施の形態と同様の圧電振動板２３を複数準備し、図７に示すように、複数の圧電振動板２３を自由端すなわち個別内部電極１２が露出した先端（図示の上側）と固定端すなわち共通内部電極１１が露出した後端（図示の下側）が対向するよう並べて配置する。図では３つ並べた状態を示している。
【００７８】
マスク材２８は、上記複数並べられた圧電振動板２３を同時に覆うものであって、個別外部電極１６を形成するための第１開口部２９と、共通外部電極を形成するための第２開口部３０が形成されている。
【００７９】
上記第１開口部２９と第２開口部３０とを仕切る部分が上記帯状部７に相当し、上記第１開口部２９の両側において圧電振動板２３の両側部を覆う部分が上記側辺部２７に相当する。
【００８０】
上記第２開口部３０は、圧電振動板２３の固定端側の辺部を露呈させる帯状の開口であるが、その両側部には、幅広部３を形成するように自由端側に切り欠いた切欠部４２が形成されている。
【００８１】
この状態から、圧電振動板２３に上記マスク材２８を配置した状態で、圧電振動板２３の表面に外部電極形成材料としての導電性材料を蒸着することにより、上記マスク材２８に覆われていない部分に、個別外部電極１６および共通外部電極１７を形成する。
【００８２】
そして、蒸着が終わってマスク材４を除去したのち、固定端側の不活性領域を固定基板１５に固定したのち、圧電振動板２３の個別電極が存在する自由端側の先端から個別電極の後端までワイヤーソー等によってスリット２５を形成することにより、圧電振動子１４の列が形成された圧電素子ユニット１が得られる（図１参照）。
【００８３】
このように、本実施の形態では、多数個同時に蒸着する場合にも蒸着精度を効果的に向上させることができる。それ以外は、上記各実施の形態と同様であり、同様の作用効果を奏する。
【００８４】
なお、上記各実施の形態は、本発明の圧電素子ユニットおよび液体噴射ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した例を示したが、本発明の圧電素子ユニットおよび液体噴射ヘッドは、インクジェット式記録装置用のインクだけを対象にするのではなく、グルー，マニキュア，導電性液体（液体金属）等を噴射することができる。さらに、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド，液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド，有機ＥＬディスプレー，ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド，バイオチップ製造に用いられる生体有機噴射ヘッド等の液体を吐出する液体噴射ヘッド全般に適用することも可能である。これらの場合にも同様の作用効果を奏する。
【００８５】
【発明の効果】
以上のように、本発明の圧電素子形成部材、圧電素子ユニットおよび液体噴射ヘッドによれば、上記共通外部電極が、圧電振動板の表面において、両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されているため、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部を蒸着によって形成する際に用いるマスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなる。したがって、上記マスク材の強度が確保され、蒸着の際に撓んでマスク材と圧電振動板の間にできた隙間に蒸着材料が回り込むというトラブルの発生を防止できる。これにより、圧電振動体の圧電振動に直接関係しない不活性領域を小さく設計したとしても、マスク材の強度が確保されるとともに、マスクの上に補強用の支え治具等を設置できるスペースを確保でき、不良率の発生を低減するともに、コストや小型化の面で有利である。また、共通外部電極は、上記圧電振動板の後端面から表面にわたって連続的に設けられていることから、共通外部電極から共通内部電極への導通も確保される。
【００８６】
また、本発明の圧電素子形成部材、圧電素子ユニットおよび液体噴射ヘッドは、共通外部電極は、フレキシブルケーブルとの接点である圧電振動板表面の両側部分が幅広部に形成され、上記両側部分以外の部分が幅狭部に形成されている。
このように、フレキシブルケーブルとの接点として必要な部分を幅広部に形成して確保するとともに、接点部として必要でない部分を幅狭部とすることにより、機能的にはさほど必要ではない領域の電極層を少なくできる。また、上述したように、マスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いることとなるため、マスク精度に求められる公差を緩和することができるようになる。
【００８７】
また、本発明の圧電素子形成部材の製造方法によれば、個別外部電極と共通外部電極との間の電極非形成部を蒸着によって形成する際に用いるマスク材として、圧電振動子の列方向に延びる帯状領域に対して両側部分以外の部分が後端側に張り出して幅が広くなったものを用いるため、上記マスク材の強度が確保され、蒸着の際に撓んでマスク材と圧電振動板の間にできた隙間に蒸着材料が回り込むというトラブルの発生を防止できる。これにより、圧電振動体の圧電振動に直接関係しない不活性領域を小さく設計したとしても、マスク材の強度が確保されるとともに、マスクの上に補強用の支え治具等を設置できるスペースを確保でき、不良率の発生を低減するともに、コストや小型化の面で有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電素子ユニットを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図である。
【図２】本発明の記録ヘッドを示す断面図である。
【図３】本発明の圧電素子ユニットの製造工程を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】本発明の圧電素子ユニットの製造工程を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は正面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態の圧電素子ユニットを示す斜視図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態の圧電素子ユニットを示す斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態の圧電素子ユニットの製造工程を示す平面図である。
【図８】従来の圧電素子ユニットを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図９】従来の圧電素子ユニットの製造工程を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図１０】従来の圧電素子ユニットの製造工程を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１    圧電素子ユニット
２    幅広部
３    幅狭部
４    マスク材
５    電極非形成領域
６    張り出し部
７    帯状部
８    圧電材料層
９    電極非形成部
１０    液体噴射ヘッド
１１    共通内部電極
１２    個別内部電極
１３    圧電体
１４    圧電振動子
１５    固定基板
１６    個別外部電極
１７    共通外部電極
１８    フレキシブルケーブル
１９    振動子群
２０    導電材料（個別内部）
２１    導電材料（共通内部）
２２    圧電材料
２３    圧電振動板
２４    マスク材
２５    スリット
２６    位置決め部
２７    側辺部
２８    マスク材
２９    第１開口部
３０    第２開口部
３１    ノズル
３２    圧力発生室
３３    流路ユニット
３４    ヘッド流路
３５    ヘッドケース
３６    ノズルプレート
３７    貯留室
３８    供給路
３９    仕切り部
４０    振動板
４０Ａ  島部
４１    幅変化部
４２    切欠部
４３    供給管
４４    流路形成板
【図１】
2004311643.tif 000003
【図２】
2004311643.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004311643.tif 000009
【図８】
2004311643.tif 000010
【図９】
2004311643.tif 000011
【図１０】
2004311643.tif 000012