(57)【要約】【課題】高密度高転送速度を実現するために、ヘッドチャンネル数を増やしても、トラックピッチを本来信号の再生に必要なトラックピッチまで低減できる磁気記録再生方式を提供することにある。【解決手段】回転ドラムには、Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の記録素子をトラック幅方向に一体化して配置したマルチトラック記録ヘッドを少なくとも１個搭載し、かつ、上記Ｎの整数倍の再生素子をトラック幅方向に一体化して配置したマルチトラック再生ヘッドを少なくとも１個搭載する。マルチトラック記録ヘッドが、回転ドラムの一回転の間に磁気テープ上にＮ本並列した信号トラック群に信号を記録し、マルチトラック再生ヘッドが、上記Ｎ本の信号トラック群を、Ｎの整数倍の再生素子のいずれかで再生する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転ドラムに磁気テープを斜めに巻き付け、複数トラックに同時に信号を記録および再生するヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置において、
上記回転ドラムには、Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の記録素子をトラック幅方向に一体化して配置したマルチトラック記録ヘッドを少なくとも１個搭載し、かつ、上記Ｎの整数倍の再生素子をトラック幅方向に一体化して配置したマルチトラック再生ヘッドを少なくとも１個搭載し、
上記マルチトラック記録ヘッドが、上記回転ドラムの一回転の間に磁気テープ上にＮ本並列した信号トラック群に信号を記録し、
上記マルチトラック再生ヘッドが、上記Ｎ本の信号トラック群を、Ｎの整数倍の再生素子のいずれかで再生することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気記録再生装置において、
信号再生時に磁気テープ送り速度を制御する制御手段を有し、
前記マルチトラック記録ヘッドは、同一アジマスの信号トラック群に属するＮ本の各信号トラックに対し、隣接する他の信号トラックのパイロット周波数が互いに異なる固有のパイロット信号を記録し、
前記マルチトラック再生ヘッドは、再生しようとする信号トラックおよび他の信号トラックからパイロット信号を再生し、
上記制御手段は、上記再生される各パイロット信号成分との比に基づきテープ送り速度を制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項３】
請求項１に記載の磁気記録再生装置において、
前記マルチトラック記録ヘッドおよび前記マルチトラック再生ヘッドの各記録素子および再生素子のアジマス角はすべて等しくし、
前記マルチトラック再生ヘッドの再生素子の読み取り幅を磁気テープ上に形成された信号トラック幅のほぼ１／２にし、かつ、該再生素子のトラック幅方向の繰り返し間隔を信号トラックのピッチの１／２に設定し、
前記マルチトラック再生ヘッドは、前記信号トラック群から、ノントラッキング方式で信号を再生することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項４】
請求項１に記載の磁気記録再生装置において、
信号再生時に前記マルチトラック再生ヘッドをトラック幅方向に移動制御する制御手段を有し、
前記マルチトラック記録ヘッドは、磁気テープの所定の位置にサーボ用の信号を記録し、
前記マルチトラック再生ヘッドは、上記サーボ用信号を再生し、
前記制御手段は、再生されるサーボ信号の再生タイミングからトラッキングのずれ量を求め、前記マルチトラック再生ヘッドの位置を制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項５】
回転ドラムに磁気テープを斜めに巻き付け、複数トラックに同時に信号を記録するヘリカルスキャン方式の磁気記録方法において、
上記回転ドラムが一回転する毎に磁気テープ上にＮ本（Ｎは２以上の整数）の並列した信号トラック群を形成し、
該Ｎ本の信号トラック群のうち、テープ進行方向に対し最下流に位置する信号トラックの幅が、他の信号トラックの幅より大に形成されていることを特徴とする磁気記録方法。
【請求項６】
請求項５に記載の磁気記録方法において、
前記Ｎ本の信号トラック群のアジマス角が同一であることを特徴とする磁気記録方法。
【請求項７】
回転ドラムに磁気テープを斜めに巻き付け、複数トラックから同時に信号を再生するヘリカルスキャン方式の磁気再生方法において、
上記磁気テープ上には所定の位置にサーボ用の信号が記録されており、
信号の再生に用いられるマルチトラック再生ヘッドのトラック幅は、磁気テープに形成されるトラック幅よりも狭く形成されており、
上記再生ヘッドによって再生されるサーボ信号のタイミングからトラッキングのずれ量を求め、上記再生ヘッドの位置をトラック幅方向に移動制御することを特徴とする磁気再生方法。
【請求項８】
同一基板上に、複数の磁気記録素子を形成したマルチトラック薄膜磁気ヘッドにおいて、
第ｎ番目（ｎは自然数）の薄膜磁気記録素子と、第ｎ＋１番目の薄膜磁気記録素子は、上記基板上でトラック幅方向に所定距離ずらした位置に形成し、両磁気記録素子の間には基板厚さ方向に保護膜層を介した構成とすることを特徴とするマルチトラック薄膜磁気ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載のマルチトラック薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記第ｎ番目の薄膜磁気記録素子と、前記第ｎ＋１番目の薄膜磁気記録素子との間に、両薄膜磁気記録素子の摺動面に露出するコア幅より広い幅で、摺動面に露出する高透磁率材料からなるシールド材を形成したことを特徴とするマルチトラック薄膜磁気ヘッド。
【請求項１０】
請求項８に記載のマルチトラック薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記第ｎ＋１番目の薄膜磁気記録素子の下部コアが、前記第ｎ番目の薄膜磁気記録素子の上部コアを少なくとも被うように摺動面の幅方向に延在して形成されていることを特徴とするマルチトラック薄膜磁気ヘッド。
【請求項１１】
同一基板上に、複数の磁気再生素子を形成したマルチトラック再生磁気ヘッドにおいて、
上記磁気再生素子は磁気抵抗効果素子であって、
第ｎ番目（ｎは自然数）の薄膜磁気再生素子と、第ｎ＋１番目の薄膜磁気再生素子は、上記基板上でトラック幅方向に所定距離ずらした位置に形成したことを特徴とするマルチトラック再生磁気ヘッド。
【請求項１２】
請求項１１に記載のマルチトラック再生磁気ヘッドにおいて、
前記第ｎ番目（ｎは自然数）の薄膜磁気再生素子と、第ｎ＋１番目の薄膜磁気再生素子を、基板厚さ方向に保護膜層を介し、異なる平面上に形成したことを特徴とするマルチトラック再生磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気テープに信号を記録再生するヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置、磁気記録再生方法に係り、特に、高密度記録用マルチトラック構造の薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気テープを用いた磁気記録装置に於いては、高密度化を図るためトラック幅の狭小化とチャンネル数の増加が進められてきた。記録媒体上に形成される記録トラックの幅は、回転ドラム上に配置される各記録ヘッドのトラック端部の位置を調整することにより、所定の記録トラック幅を形成している。しかし、記録ヘッドの取り付け高さ精度、回転ドラムのランアウト、ワウフラッタなどの影響により、精度的に困難になっている。
【０００３】
具体的な数値例として、５μｍのトラック幅を形成しようとした場合でも、有効なトラック幅の平均が３．１μｍ、最悪ケースには２．３μｍになることが報告されている（信学技報Ｖｏｌ．１０１、Ｎｏ．５６５、ｐｐ１５（２００２））。すなわち、最悪の場合、５−２．３＝２．７μｍの誤差を生じてしまう場合がある。言い換えれば、上記の磁気記録装置の場合、システムに必要なＳＮＲがトラック幅２μｍで保証できるのに対し、誤差マージンの２．７μｍを加えて、記録トラックピッチを５μｍに設定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術では、ヘッドの取り付けや回転ドラムの精度に起因する誤差マージンにより、有効な記録密度（トラックピッチ）が見かけの２／５にも低下していることになる。さらにチャンネル数を増加した場合には、ヘッド間のトラック端部の位置合わせが困難となるため、テープ上に記録形成される有効トラック幅の精度はさらに悪化し、よって記録密度の増大を阻害することになる。
【０００５】
本発明の目的は、さらなる高密度、高転送速度記録を実現するために、有効トラックピッチの誤差要因をなくし、ヘッドチャンネル数を増やした場合にも、トラックピッチをシステムに必要なＳＮＲを得るためのトラック幅まで低減できる磁気記録再生装置、磁気記録再生方法及び薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の磁気記録再生装置では、上記回転ドラムには、Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の記録素子をトラック幅方向に一体化して配置したマルチトラック記録ヘッドを少なくとも１個搭載し、かつ、上記Ｎの整数倍の再生素子をトラック幅方向に一体化して配置したマルチトラック再生ヘッドを少なくとも１個搭載する。上記マルチトラック記録ヘッドが、上記回転ドラムの一回転の間に磁気テープ上にＮ本並列した信号トラック群に信号を記録し、上記マルチトラック再生ヘッドが、上記Ｎ本の信号トラック群を、Ｎの整数倍の再生素子のいずれかで再生する構成とした。
【０００７】
ここで前記マルチトラック記録ヘッドおよび前記マルチトラック再生ヘッドの各記録素子および再生素子のアジマス角はすべて等しくし、前記マルチトラック再生ヘッドの再生素子の読み取り幅を磁気テープ上に形成された信号トラック幅のほぼ１／２にし、かつ、該再生素子のトラック幅方向の繰り返し間隔を信号トラックのピッチの１／２に設定することにより、前記マルチトラック再生ヘッドは、前記信号トラック群から、ノントラッキング方式で信号を再生することができる。
【０００８】
また本発明の薄膜磁気ヘッドは、同一基板上に、複数の磁気記録素子を形成したマルチトラック薄膜磁気ヘッドであって、第ｎ番目（ｎは自然数）の薄膜磁気記録素子と、第ｎ＋１番目の薄膜磁気記録素子は、上記基板上でトラック幅方向に所定距離ずらした位置に形成し、両磁気記録素子の間には基板厚さ方向に保護膜層を介した構成とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明による磁気記録再生装置の一実施形態を図面を用いて説明する。
図１は本発明の磁気記録再生装置における記録トラックを示す概念図である。回転ドラム３に、複数のトラック（記録素子Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４）をもつマルチトラック記録ヘッド１と、複数のトラック（再生素子Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４）をもつマルチトラック再生ヘッド２を１８０°対向位置に搭載する。回転ドラム３が１回転する間に、磁気テープ４上に同一アジマスの記録トラック群５（Ｔｋ１，Ｔｋ２，Ｔｋ３，Ｔｋ４）を形成し、さらに次の１回転時にトラック群６（Ｔｋ５，Ｔｋ６，Ｔｋ７，Ｔｋ８）を形成する。
【００１０】
図２を用いて、図１における記録ヘッド１と記録トラックパターン５，６の関係を詳細に説明する。記録ヘッド１には、後で詳述するプロセスにより作成したマルチトラック薄膜記録ヘッド１０を用いた。これは、トラック幅１．５μｍのトラック幅を持った第１の記録薄膜素子１１を形成した後、保護膜を形成し、該保護膜を平坦化した面に第２の記録薄膜素子１２をトラック幅方向に１μｍずらして形成してある。さらに該第２の記録薄膜素子１２を形成した後第２の保護膜を形成し平坦化した面に第３の記録薄膜素子１３を同様にずらして形成した。この工程を繰り返し、４層の記録薄膜素子をトラック幅方向に１μｍ間隔で形成したものである。本実施例では、上記４つの記録薄膜素子を持ったマルチトラック薄膜記録ヘッド１０を回転ドラムに１個配置した。
【００１１】
マルチトラックヘッドの第１の記録素子１１が媒体上を走査する際に形成する記録トラック幅は、略１．５μｍの記録トラックを形成する。この後に第２の記録素子１２が１μｍずれた位置に第２の記録トラックを形成する。この際、先に形成された第１の記録トラックの、一部の略０．５μｍは重ね書きされることにより、第２の記録素子１２で記録された信号が残留し、第１の信号成分を記録した第１のトラックＴｋ１１が形成される。第２の記録素子が近接して、一体化したマルチトラックヘッドが形成されているため、第１の記録素子と第２の記録素子の位置が回転ドラムのヘッド高さ調整精度、あるいはランアウト、テープのワウフラッタなどに影響されず、磁気ヘッドを形成した高い精度で第１の記録トラックＴｋ１１が形成される。
【００１２】
同様にして、第３、第４の記録素子１３，１４が先行する記録トラックを上書きする要領で、１μｍ毎ずれた同一アジマスの４本のトラック群Ｔｋ１１，Ｔｋ１２，Ｔｋ１３，Ｔｋ１４を形成する。この際、第４の記録素子１４で記録されたトラックＴｋ１４は、この時点ではまだ後続する記録素子で上書きされていないため、第４の記録素子のトラック幅と略同一の寸法を有する。
【００１３】
回転ドラムが３６０度回転する間に、磁気テープを、トラック幅方向に記録素子数（＝Ｎ）倍の量、すなわち本実施例では１μｍ×４＝４μｍ走行させる。すると、図３に示すように回転ドラム上に搭載された、第１の記録素子１１が先に記録した第４の記録トラックＴｋ１４の１部を重ね書き、以下同様にして第２の記録トラック群を形成する。この際、テープ送り量をテープピッチで決定されるテープ送り量に、テープのワウフラッタを考慮した値を加えてテープ送りを制御することにより、先に形成された第４の記録トラックが、一回転後に第１の記録素子で必要以上に重ね書かれ記録幅が減少することを防止できる。
【００１４】
なお、本実施例では、回転ドラム上に１個（１組）のマルチトラックヘッド１を搭載したが、Ｍ個（Ｍは２以上の整数）のマルチトラックヘッドを搭載してもよい。このときは、回転ドラムの１回転当たり、Ｎ本のトラックよりなるトラック群がＭ組形成されることになる。このとき各トラック群の間隔を、トラックピッチから計算される量に、各ヘッドの高さ位置調整精度、ランアウト、ワウフラッタを考慮した値を加えテープ送りを制御することにより、各トラック群の最後に形成されるトラック幅が必要以上に重ね書かれ、信号の残留する幅が細ることがなくなる。
【００１５】
この場合にも記録密度が向上することが次のように示される。従来の各ヘッドを回転ドラムにＭ＊Ｎ個配置し、記録トラック形成位置の誤差をｄ、形成されたトラック幅の必要最小量をＷと表現すると、従来例では、トラックＭ＊Ｎ本記録するのにトラック幅方向で（Ｗ＋ｄ）＊Ｍ＊Ｎの幅の量が必要となる。これに対し、本実施例では、Ｗ＊Ｍ＊Ｎ＋Ｍ＊ｄとなる。すなわちＮが２以上とすれば記録に必要な媒体量が低減できる。また、マルチトラックヘッドをＭ＝１個のみ搭載した場合には、Ｗ＊Ｍ＊Ｎとなりさらに高密度化が可能となる。
【００１６】
また、Ｍ組のトラック群についてアジマスの関係に制限は無い。図４に示すように異なるアジマスのトラック群を組み合わせても良い。この構成では、第１のトラック群のアジマス角と第２のトラック群のアジマス角を選択することによって、他のシステムで記録した信号トラックを読み取ることができる。
【００１７】
一方、すべてのトラック群のアジマス角度を同一アジマスで行うことにより、後の再生動作で説明するようにノントラッキングシステムで用いた場合に、同一の再生素子が各トラック群の信号を再生できるため、ヘッドの有効活用が図れ、転送速度を向上できるというメリットがある。
【００１８】
次に、各トラックからの信号再生方法に関していくつかの方式を説明する。まず、同一アジマスのトラック群に属する少なくとも１つ以上のトラックに、テープ下端からの距離に指定された位置に基準となるサーボ用の信号を複数記録するサーボ信号方式とする。再生ヘッドには、記録トラック幅より実効読み取り幅の小さな磁気抵抗効果型素子（ＭＲ素子）を、マルチトラック記録ヘッドの各間隔に等しい間隔でＮ個並べたマルチトラックＭＲヘッドを用いた。再生動作時には、上記のサーボ信号を読み取ると、その読み込んだヘッドの位置と時間位相からヘッドと媒体のトラック走査のずれ量を計算することが可能となる。すなわち、テープの送りが早すぎる場合には、再生される時間が早く観測され、逆にテープ送りが遅い場合には観測される時刻が遅く観測されることになる。この値を所定の値となるようにテープ送りを制御することによって再生ヘッドを記録トラック上を走査させることができる。
【００１９】
また、トラック幅が極小化された場合には、ノントラッキング方式を用いることにより、テープ媒体の送り速度を高精度に制御する必要がなくなる。図５に示すように、個々の再生素子の読み取り幅を記録されたトラック幅のほぼ１／２にし、かつ、再生素子のトラック幅方向の繰り返し間隔を記録トラックピッチの１／２に設定する。これより、すべての信号トラックはいずれかの再生素子により少なくとも１回スキャンされることが可能となる。すなわち高精度のトラッキングなしで、信号トラックを隣接トラックにかからず必ずオントラック状態で再生する動作が実現する。また、再生時のテープ送り量を記録時より低速度とすることで、オントラック状態が一方のヘッドから他方のヘッドへと移行する際の不安定な遷移点に対し確実に１回以上のスキャンを確保することができるため、安定な信号の再生が可能となる。
【００２０】
あるいは、図６に示すように各トラック群に属するＮ個の各トラックに、周波数の異なる固有のパイロット信号を記録するパイロット信号方式とする。再生素子はテープ上に形成されたトラック幅に比べわずかに狭い（７０％から９５％）幅のトラックで再生する。ヘッドがオントラックのときには検出されるパイロット信号は再生しているトラックのみからである。一方トラッキングがずれ、再生素子が隣接トラックにかかると、隣接からのパイロット信号をクロストークとして検出する。この隣接からもれこむパイロット信号の量によりテープ送り速度を制御するいわゆるＡＴＦ方式でトラッキングをかけることもできる。
【００２１】
以上の例では、テープの送り速度を制御して再生のトラッキングを行ったが、テープの送り速度を調節する以外にも、再生ヘッドにムービングヘッドを用いトラッキングをかけても良い。
【００２２】
次に、上記実施形態に用いた記録ヘッドおよび再生ヘッドの製造プロセスを説明する。図７は、本発明のマルチトラック薄膜記録ヘッド１の一実施形態を示す外観図である。４０は主基板であり、４１は主基板４０に形成された同一アジマスの記録素子を複数個有するヘッド部、４２はヘッド部４１を保護するために形成された保護膜、４３は補助基板、４４は電極端子、４５は摺動幅規制溝である。
【００２３】
図８は、マルチトラック薄膜記録ヘッドの摺動面と個々の記録素子の内部構造を示す。マルチトラック薄膜記録ヘッドは、主基板４０上に第１、第２・・・、第Ｎ番目の記録素子が積層され所定の間隔をずらして順次形成され、同一アジマスの記録トラック群を形成している。５１は下部コア、５２は上部コア、５３はコイル、５４は記録ギャップである。
【００２４】
次に上記マルチトラック薄膜記録ヘッドの製造方法を図９〜図１３を用いて説明する。まず、図９に示すように、主基板４０上に薄膜形成技術、フォトリソグラフィー技術、イオンビーム技術等を用いて第１番目の記録素子５１，５２及び保護膜４２を形成し、保護膜の表面５５をラップあるいはミリング等の手法により平坦化する。その後、図１０に示すように、第１番目の記録素子から所定量ずらした位置に第２番目の記録素子と保護膜を形成し、同様に保護膜の平坦化を行う。この工程をＮ回繰り返して行うことにより、ヘッド部４１が完成する。
【００２５】
なお、記録ヘッドのコア幅は、図１１（ａ）に示すように、下部コア５１と上部コア５２の幅（トラック幅に相当）を等しくする場合のほかに、図１１（ｂ）（ｃ）に示すように下部コア５１側の幅を広くしてもよい。又図１１（ｄ）のように、各記録素子間に高透磁率材料によるシールド膜５６が形成することにより、記録素子のコイル間の干渉を抑圧し、クロストークのない良好な記録特性を得ることができる。又、このシールド効果は、図１１（ｃ）（ｄ）の構造でも、下部コアの幅を適切に選ぶことで同様の効果が得られる。
【００２６】
次に図１２に示すように、ヘッド部４１と保護膜４２が形成されている主基板４０に、補助基板４３を樹脂等の接着剤を用いて接合し、ボンディングブロック６１を得る。次に図１３に示すように、ダイサーやワイヤソウ等の切削装置を用いて摺動幅規制溝７１を形成し、所定の摺動幅を有するボンディングブロック７２を得る。
【００２７】
続いて図１４に示すように、ボンディングブロック７２の摺動面に曲面加工を施し、仮想線８１に従って切断する。これにより、前記図７に示したマルチトラック薄膜ヘッド１得る。ここでは摺動幅規制溝を加工してからヘッドの曲面加工を行ったが、ボンディングブロック６１に曲面加工を施した後に摺動幅規制溝加工を行っても差し支えない。
【００２８】
次に、本発明に用いられるマルチトラック再生ヘッドの製造プロセスを説明する。図１５は本発明のマルチトラック磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）２の一実施形態を示す外観図である。９０は主基板であり、９１は主基板に形成された同一アジマスのＭＲヘッドを複数個有するヘッド部、９２はヘッド部９１を保護するために形成された保護膜、９３は補助基板、９４電極端子、９５は摺動幅規制溝である。
【００２９】
図１６に、マルチトラックＭＲヘッドの摺動面と個々のＭＲヘッドの内部構造を示す。マルチトラックＭＲヘッドは、主基板９０上に第１、第２・・・、第Ｎ番目のＭＲヘッドが積層構造若しくは同一平面上に所定の間隔をずらして順次形成され、同一アジマスの再生トラック群を形成している。１０１は下部シールド、１０２は上部シールド、１０３はリード、１０４はＭＲ素子を含むＭＲ素子部である。
【００３０】
次に本発明のマルチトラックＭＲヘッドの製造方法を図１７〜図２１を用いて説明する。まず、図１７に示すように、主基板９０上に薄膜形成技術、フォトリソグラフィー技術、イオンビーム技術等を用いて第１番目から第Ｎ番目までのＭＲヘッド部９１及び保護膜９２を形成し、保護膜の平坦化ラップ１１１を行う。ここに各ＭＲヘッドは、図１８（ａ）に示すように同一平面上に形成する。または図１８（ｂ）に示すように積層構造を採ってもよく、この場合はトラック幅の制限が無くなり再生に必要なトラック幅を確保しやすくなる。
【００３１】
次に図１９に示すように、ヘッド部９１と保護膜９２が形成されている主基板９０に、補助基板９３を樹脂等の接着剤を用いて接合し、ボンディングブロック１３１を得る。次に図２０に示すように、ダイサーやワイヤソウ等の切削装置を用いて摺動幅規制溝１４１を形成し、所定の摺動幅を有するボンディングブロック１４２を得る。
【００３２】
続いて図２１に示すように、ボンディングブロック１４２の摺動面に曲面加工を施し、仮想線１５１に従って切断する。これにより、前記図１５に示したマルチトラック磁気抵抗効果型ヘッド２を得る。ここでは摺動幅規制溝を加工してからヘッドの曲面加工を行ったが、ボンディングブロック１３１に曲面加工を施した後に摺動幅規制溝加工を行っても差し支えない。
【００３３】
上記した記録ヘッドおよび再生ヘッドの製造プロセスによれば、Ｎ本のトラックを同一基板上にリソグラフィ技術を用いて一体的に形成するので、各トラックの寸法とトラック間距離を極めて高精度に形成できる。また、マルチトラック記録ヘッドおよびマルチトラック再生ヘッドを同時に多数個製造することができ、極めて量産性が高い。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、多チャンネルのヘッドを回転ドラムに搭載してもトラックピッチを再生必要幅で決定される必要幅まで低減することが可能となり、高密度、高転送速度が可能な磁気記録再生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気記録再生装置における記録トラックを示す概念図。
【図２】図１における記録ヘッドと記録トラックパターンの説明図。
【図３】図１における記録ヘッドと記録トラックパターンの説明図。
【図４】図１において記録パターンの異なる例を示す図。
【図５】図１における再生ヘッドと記録トラックの説明図（ノントラッキング方式）。
【図６】パイロット信号方式によるトラッキングの説明図。
【図７】本発明のマルチトラック薄膜記録ヘッドの斜視図。
【図８】図７のマルチトラック薄膜記録ヘッドの部分拡大図。
【図９】図７のマルチトラック薄膜記録ヘッドの製造工程図。
【図１０】図７のマルチトラック薄膜記録ヘッドの製造工程図。
【図１１】図７のマルチトラック薄膜記録ヘッドの製造工程図。
【図１２】図７のマルチトラック薄膜記録ヘッドの製造工程図。
【図１３】図７のマルチトラック薄膜記録ヘッドの製造工程図。
【図１４】図７のマルチトラック薄膜記録ヘッドの製造工程図。
【図１５】本発明のマルチトラック磁気抵抗効果型（ＭＲ）ヘッドの斜視図。
【図１６】図１５のマルチトラックＭＲヘッドの部分拡大図。
【図１７】図１５のマルチトラックＭＲヘッドの製造工程図。
【図１８】図１５のマルチトラックＭＲヘッドの製造工程図。
【図１９】図１５のマルチトラックＭＲヘッドの製造工程図。
【図２０】図１５のマルチトラックＭＲヘッドの製造工程図。
【図２１】図１５のマルチトラックＭＲヘッドの製造工程図。
【符号の説明】
１，１０…マルチトラック薄膜記録ヘッド
２…マルチトラック磁気抵抗効果型（ＭＲ）ヘッド
３…回転ドラム
４…磁気テープ
５，６…テープ上に形成された信号トラック群
１１，１２，１３，１４…記録薄膜素子
４０…主基板
４１…記録素子を複数有するヘッド部
４２…保護膜
４３…補助基板
４４…電極端子
４５…摺動幅規制溝
５１…記録ヘッドの下部コア
５２…記録ヘッドの上部コア
５３…記録ヘッドのコイル
５４…記録ギャップ
５６…シールド膜
９０…主基板
９１…ＭＲ素子を複数有するヘッド部
９２…保護膜
９３…補助基板
９４…電極端子
９５…摺動幅規制溝
１０１…ＭＲヘッドの下部シールド
１０２…ＭＲヘッドの上部シールド
１０３…ＭＲヘッドのリード
１０４…ＭＲ素子部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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