(57)【要約】【課題】小型の被研磨体であっても効率的に研磨できる。【解決手段】ロータリドラム３の中心軸４の周囲に、被研磨体を研磨材と共に収容するシリンダを回転軸回りに自転可能に支持する。ロータリドラム３をＶベルト１３を介して主モータ１１で一方向に回転させる。中心軸４に回転可能に設けた太陽プーリ１５と各シリンダに設けた遊星プーリ２４にＶベルト２５を巻回させる。太陽プーリ１５と一体のチェーンホイールにチェーンを介して駆動力を伝達するギヤードモータ２７を設け、遊星プーリ２４を介してシリンダをドラム３と逆方向に積極的に自転させる。変速手段でシリンダの回転数を可変制御する。ロータリドラムを一方向に回転させる際に、シリンダはドラム３と同一方向に公転することで逆方向に自転し、シリンダにはギヤードモータによって逆方向に自転させる駆動力を付加する。【選択図】  図１
2004322221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨体を研磨材と共に収容するシリンダと、該シリンダを自転可能に支持すると共に中心軸回りに回転するドラムと、該ドラムを一方向に回転させる第一駆動手段と、前記ドラムの中心軸と同軸に設けられた伝動プーリと、該伝動プーリに前記シリンダを連動させる伝動ベルトと、前記シリンダをドラムの回転方向と逆方向に自転させる第二駆動手段とを備え、
前記ドラムを一方向に回転させる際に、前記シリンダはドラムと同一方向に公転することで逆方向に自転すると共に、前記シリンダには第二駆動手段によって逆方向に自転させる駆動力を付加するようにしたことを特徴とするバレル研磨装置。
【請求項２】
前記第二駆動手段にはシリンダの回転数を変化させる変速手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のバレル研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水晶振動子等の被研磨体を研磨するためのバレル研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、水晶振動子は通信機器等に搭載して周波数制御のために電波を発信させる駆動源や時計やコンピュータのクロック源等として広く使用されている。人工水晶から結晶方向性を以て薄片状に切り出した、厚み滑りモードをもつＡＴカット水晶振動子は、周波数特性を安定させて特定の周波数特性を発揮させるためにバレル研磨装置で略凸レンズ状に研磨する必要がある。被研磨体として、通常、図４や図５に示すように短冊形、平棒形、紡錘円盤形等の形状を有する発振用水晶を用いて、バレル研磨装置で中央円形部を残して両側や周囲を傾斜曲面状に研磨することになる。例えば図４（ａ）に示す短冊形の発振用水晶５０は、横２ｍｍ×縦４ｍｍ×厚み０．１ｍｍであり、これをバレル研磨装置で研磨することで同図（ｂ）に示すように中央の円形部５０ａ、５０ａを上下面で略平坦に残し、その周辺部５０ｂ、５０ｂを凸曲面状の傾斜面として研磨している。
このようなバレル研磨装置の一例として下記特許文献１に記載の装置がある。
このバレル研磨装置は、発振用水晶等の被研磨体を研磨材と共に収容する複数のシリンダをロータリドラム内に回転自在に支持し、ロータリドラムはＶベルトを介して駆動モータに支持されている。各シリンダはロータリドラムの中心軸の周囲に等間隔で支持され、この中心軸に対して微少角度傾斜した状態で支持されている。ロータリドラムの中心軸には元プーリが配設され、ブレーキ付きギヤードモータのスプロケットと元プーリとの間をチェーンで巻回し、元プーリと各シリンダに連結されたＶプーリとがＶベルトで巻回されている。またシリンダの構成については下記特許文献２等に記載されている。
【０００３】
そして、被研磨体の研磨に際して、ギヤードモータにブレーキをかけて元プーリを固定した状態で駆動モータによってロータリドラムを一方向に回転させると、各シリンダはロータリードラムと一体に同一方向に公転する。その際、元プーリの回転が阻止されるために、シリンダ及びＶプーリは公転によってＶベルトを介して逆方向に自転することになる。通常、元プーリの外径とＶプーリの外径とは１：１に設定されているから、ロータリドラムの１回転によってシリンダが逆方向に１回転自転することになる。これによってシリンダは８の字を描くように回転する。
シリンダ内の被研磨体と研磨材はロータリドラムの回転による遠心力でシリンダの内壁面に圧接されつつ回動し、シリンダの中心線方向に次第に移動させられることで徐々に周囲を研磨される。そして図１（ｂ）に示すように中央の略円形部１ａを残して周辺部５０ｂ、５０ｂがそれぞれ凸曲面状に研磨された水晶振動子が得られる。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１−２５７５６１号公報
【特許文献２】
特許第２８９７２０２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、水晶振動子を組み込むパソコンや通信機器等の各種デバイスが小型化及び薄型化されてきているため、これに搭載される水晶振動子も一層の小型化、薄型化が要求されてきている。
しかしながら、従来のバレル研磨装置では、研磨可能な水晶振動子等の被研磨体はせいぜい横２ｍｍ×縦４ｍｍ程度の大きさのものが限界であった。これより小さい被研磨体を研磨しようとすると、小型軽量であるために遠心力が小さくなる上に、静電気が発生するために被研磨体がシリンダ内壁面に吸着してしまい、周方向及び軸方向への流動が不十分になり、十分な研磨量を得られず、正確な研磨を行えないという欠点があった。
また、元プーリの外径に対するＶプーリの外径の比を１：１から、Ｖプーリの外径がより小さいものに交換することで外径比率を調整し、シリンダの自転回転数を次第に増大させて研磨量を上げることも考えられるが、この場合には研磨途中でＶプーリをより小径のものに交換する必要があるため、交換作業が繁雑になる欠点がある。また研磨の初期段階から小径のＶプーリを取付けて高速でシリンダを回転させると角部が残っている被研磨体を損傷するという不具合があった。しかも、被研磨体が小型化すればシリンダやＶプーリも小型化するために、大きな外径比を取りにくかった。
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みて、小型、軽量の被研磨体であっても効率よく研磨できるようにしたバレル研磨装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によるバレル研磨装置は、被研磨体を研磨材と共に収容するシリンダと、該シリンダを自転可能に支持すると共に中心軸回りに回転するドラムと、該ドラムを一方向に回転させる第一駆動手段と、ドラムの中心軸に同軸に設けられた伝動プーリと、該伝動プーリに前記シリンダを連動させる伝動ベルトと、シリンダをドラムの回転方向とは逆方向に自転させる第二駆動手段とを備え、ドラムを一方向に回転させる際に、シリンダはドラムと同一方向に公転することで逆方向に自転すると共に、シリンダには第二駆動手段によって逆方向に自転させる駆動力を与えるようにしたことを特徴とする。
本発明では、第一駆動手段によってドラムを一方向に回転させる際に、シリンダがドラムと同一方向に公転することで逆方向に自転する上に、第二駆動手段の駆動力によってシリンダを逆方向に自転させる力が印加されて、ドラムよりも高い回転数でシリンダが自転するようになる。そのため、被研磨体が小型軽量であっても、シリンダの公転時に公転の回転数よりも高い回転数でシリンダを自転させることができるから、シリンダ内における被研磨体の回転による摺動と反転と流動を促進し、静電気で被研磨体がシリンダ内壁面に付着することなく、高速で効率的に研磨できることになる。
尚、本発明は小型、軽量の被研磨体に限らず、比較的大型の被研磨体であっても同様に高速で効率的に研磨できる。
【０００８】
また、第二駆動手段にはシリンダの回転数を変化させる変速手段が設けられていてもよく、研磨初期に低速の駆動力をシリンダに印加し、次第に高速の駆動力を印加するようにすれば次第にシリンダ回転数を上昇させて研磨速度を高速化でき、被研磨体の角部等を損傷するおそれがなく精度良く効率的に研磨できる。しかもシリンダの自転速度の変化に際してプーリ等の交換を必要としないので操作が容易である。
また、シリンダの中心線はドラムの中心軸と略平行なシリンダの回転軸に対して微少角度傾斜していてもよい。これによってシリンダを回転させた際に略８の字型に旋回することになるから、被研磨体と研磨材をシリンダ内で一端から他端まで往復流動できて研磨効率が一層よくなる。
また、シリンダは凹曲面からなる内壁面を複数連続させて形成してもよい。遠心力でシリンダの内壁面に押しつけられた被研磨体が、内壁面に沿って摺動して研磨される際に内壁面の凹曲面形状によって効率良く研磨される。内壁面は好ましくは球体の両端部を除いた略円筒形状にする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態によるバレル研磨装置を図１乃至図３により説明する。
図１及び図２に示すバレル研磨装置１は、筺体２内に略円筒状のロータリドラム３が配設され、このロータリドラム３の回転中心をなす中心軸４が略水平方向に配設され、その両端は筺体２の内壁面に固定された一対の軸受５ａ、５ｂに支持されている。ロータリドラム３の略円形の両端面６ａ，６ｂは中心部のベアリングユニット７ａ，７ｂを介して中心軸４に回転可能に取付けられている。ロータリドラム３の一方の端面６ａには筒状のフライホイール８が同軸に固着されている。
また筺体２上の基板１０にはブレーキ付き主モータ１１（第一駆動手段）が取付けられており、この主モータ１１の出力軸に固着したモータプーリ１２とフライホイール８には無端状のＶベルト１３が巻回され、これによってロータリドラム３を所定方向Ｒａへ回転可能としている。この主モータ１１はロータリドラム３の駆動源をなす。
【００１０】
中心軸４はロータリドラム３の一方の端面６ａと軸受５ａとの間に太陽プーリ１５を中心軸４に対して回転可能に取付けている。そして、ロータリドラム３内の中心軸４の周囲には複数のシリンダ受け１６が同心円上で略等間隔に配列され、各シリンダ受け１６は回転軸１７に固定されて回転軸１７を中心としてそれぞれ回転可能とされている。回転軸１７はロータリドラム３の両端面６ａ、６ｂにそれぞれベアリング１８ａ、１８ｂを介して回転自在に支持されている。尚、シリンダ受け１６は図１では四個、周方向に９０度間隔で配設されているが、図中１つを除いて省略されている。
各シリンダ受け１６内にはシリンダ２０が同軸に収容されて固定される。各シリンダ２０内部には、例えば短冊形の水晶振動子等の被研磨体とグリーンカーボン（緑化珪素）等の研磨材とを収容して、被研磨体を研磨するようになっている。シリンダ２０は図３に示すように略円筒体形状に形成され、その周面２１は内面が球体の水平方向両端領域をそれぞれ切除してなる略々円筒状をなす凹曲面状の内壁面２０ａを周面２１の中心線Ｏ方向に複数連結した形状を有しており、その一方の端面は底面２２ａを、他方の端面は開閉可能な蓋体２２ｂをそれぞれ構成する。
このシリンダ２０は耐摩耗性が高く滑り性のよい金属またはセラミックからなり、被研磨体が内壁面２０ａを相対的に摺動することで所要曲率の曲面に研磨されることになる。そのために、内壁面２０ａは被研磨体の目標加工曲面の曲率と同じまたは近似する曲率の球面の一部で形成されていることが好ましい。
【００１１】
そしてシリンダ２０はシリンダ受け１６と共に、回転軸１７を中心として回転し、図２に示すように中心軸４に平行な回転軸１７に対して中心線Ｏが微少角度α、例えばα＝１〜７°程度傾斜した状態で回転軸１７を介してロータリドラム３に回転可能に支持されている。そのため、シリンダ２０は回転軸１７回りに回転すると略８の字状に揺動回転するため、内部に収容された被研磨体及び研磨材は複数の内壁面２０ａに沿って摺回動しつつ中心線Ｏの方向に往復移動して研磨されることになる。尚、角度αが大きいと自転時に被研磨体を損傷するおそれがある。
また図２において、各シリンダ２０の回転軸１７の一端はベアリング１８ａから更に外部に突出して遊星プーリ２４を固着している。そして、各遊星プーリ２４と太陽プーリ１５には無端状のＶベルト２５（伝動ベルト）がそれぞれ巻回されていて、太陽プーリ１５の回転を受けて各遊星プーリ２４及びシリンダ２０が回転軸１７を中心にそれぞれ回転するようになっている。また筺体２の側面上部に設けた基台２６にはギヤードモータ２７（第二駆動手段）が固定されている。
このモータ２７の出力軸にスプロケット２８が固着され、このスプロケット２８と太陽プーリ１５に固着したチェーンホイール２９とに無端状のチェーン３０が巻回されている。これによって、各シリンダ２０はギヤードモータ２７の駆動力を受けてロータリドラム３の回転方向Ｒａと逆方向Ｒｂに積極的に回転軸１７回りに自転するようになっている。太陽プーリ１５と各遊星プーリ２４の外径比は適宜選定できるが、本実施の形態では１：１に設定されている。
尚、基台２６に固定された支持台３１にはテンションスプロケット３２が移動可能に支持され、チェーン３０に噛合してその張力を調整可能とされている。
【００１２】
また図２に示す筺体２には制御装置３４が設けられ、この制御装置３４は主モータ１１の回転と停止を切替え制御する間欠運転制御手段３５、間欠正転及び逆転手段３６、主モータ１１の停止時にシリンダ２０を回転して攪拌させるギヤードモータ２７の駆動手段３７、間欠周期設定手段３８，変速手段３９等を備えている。また筺体２の外表面には操作パネル４０が取付けられている。
特に変速手段３９は、発振周波数等を変化させることで電気的に接続されたギヤードモータ２７の回転速度を無段階で変化させるインバータを内蔵している。これによって、シリンダ２０の逆方向Ｒｂへの自転速度を任意に調整して被研磨体の研磨速度を調整できるようになっている。
本実施の形態において、太陽プーリ１５と遊星プーリ２４にＶベルト２５が掛けられているために、ギヤードモータ２７にブレーキをかけた状態でロータリドラム３を一方向Ｒａへ回転させると各遊星プーリ２４が同一方向に公転するが、太陽プーリ１５が固定状態であるためにＶベルト２５によって遊星プーリ２４は逆方向Ｒｂへ自転する。太陽プーリ１５と遊星プーリ２４の外径比が１：１に設定されていると、太陽プーリ１５の１回転で各遊星プーリ２４が逆方向へ１回転自転する。
そして、本実施の形態では、ギヤードモータ２７を逆方向Ｒｂへ積極的に回転させるためにその駆動力が太陽プーリ１５を介して各遊星プーリ２４に付加され、ロータリドラム３よりも回転数が大きくなる。
【００１３】
本実施の形態によるバレル研磨装置１は上述の構成を有しており、次に研磨方法について説明する。
先ず各シリンダ２０内に被研磨体と研磨材を投入して閉蓋し、ロータリドラム３内のシリンダ受け１６にシリンダ２０を固定する。そして主モータ１１を駆動させることでＶベルト１３を介してロータリドラム３を例えば図１における所定方向Ｒａに回転させる。回転数は例えば８０〜１３０ｍ−１とする。これによって各シリンダ２０もロータリドラム３と一体に同一方向Ｒａに公転する。
主モータ１１の駆動と同時にギヤードモータ２７を駆動させる。するとスプロケット２８からチェーン３０を介して太陽プーリ１５のチェーンホイール２９がロータリドラム３と逆方向Ｒｂに回転するため、太陽プーリ１５も一体回転する。そして各Ｖベルト２５を介して各遊星プーリ２４をＲｂ方向へ自転させる。
このとき、主モータ１１によるロータリドラム３の回転数をＡｍ−１として、太陽プーリ１５が固定状態と仮定すると、公転する遊星プーリ２４はＶベルト２５を介して逆方向にＡｍ−１の回転数だけ自転することになる。しかも本実施の形態では、ギヤードモータ２７は太陽プーリ１５をＲｂ方向に回転させる方向に駆動力を与えるから、各遊星プーリ２４にはＲｂ方向にＢｍ−１の回転数が追加される。
そのため、回転数Ａｍ−１でＲａ方向に回転するロータリドラム３に対して、各遊星プーリ２４と一体に回転するシリンダ２０は、Ｒａ方向に同一回転数で公転しつつ、逆方向Ｒｂに（Ａ＋Ｂ）ｍ−１の回転数で自転させられる。
【００１４】
そのため、各シリンダ２０内の被研磨体と研磨材は、ロータリドラム３の遠心力でシリンダ内壁面２０ａに圧接されて周方向に摺動するために徐々に研磨される。しかも、各シリンダ２０は中心線Ｏが回転軸１７に対して微少角度αだけ傾斜しているため回転軸１７回りに８の字状に揺動回転し、被研磨体と研磨材は複数配列された内壁面２０ａ上を中心線Ｏ方向に沿って一端から他端までの間を往復移動させられながら研磨される。またシリンダ２０の自転によって被研磨体は繰り返して反転させられて内壁面２０ａに圧接されるために被研磨体の両面が均等に研磨される。
しかもロータリドラム３の回転数Ａｍ−１に対して、シリンダ２０は（Ａ＋Ｂ）ｍ−１の高速回転数で自転するために、被研磨体が小型軽量であっても内壁面２０ａを高速で摺動させられて研磨され、高い研磨力を発揮して短時間で効率よく研磨される。シリンダ２０が高速回転することで被研磨体が静電気で内壁面２０ａに付着するのを抑制して摺動させつつ研磨を促進できる。
そして変速手段３９によって、研磨初期にあってはギヤードモータ２７を低い回転数Ｂｍ−１で駆動させ、次第に回転数Ｂｍ−１を増大して高速回転することでシリンダ２０の自転速度を上昇させることができ、これによって研磨速度を次第に向上できる。
【００１５】
上述のように本実施の形態によるバレル研磨装置によれば、シリンダ２０をロータリドラム３と逆方向に自転させる際にシリンダ２０の自転の回転数を積極的に増大させることで、研磨効率を向上でき、被研磨体が例えば２×４ｍｍ未満の小型軽量のものであっても迅速且つ確実に研磨できる。しかもギヤードモータ２７によって徐々にシリンダ２０の自転速度を変化させることで被研磨体の損傷を防止できる。
また、ギヤードモータ２７を積極的に駆動させることで、太陽プーリ１５と遊星プーリ２４の外径比を変化させなくても任意の回転数をシリンダ２０に与えることができ、しかも変速手段３９で自動的にシリンダ２０の自転速度を変化できるから、研磨工程の途中で遊星プーリ２４を外径の異なるものに交換する必要がなく、効率的に研磨を行える。また、被研磨体が小型化するとシリンダ２０や遊星プーリ２４も小型化する必要があるために、シリンダ２０の自転回転数を増大させるべく遊星プーリ２４の外径を更に小さくすることは困難であるが、本実施の形態ではそのような不具合は生じない。
【００１６】
【実施例】
次に本発明の実施例について従来例との比較で説明する。
（実施例）
実施例として、上述したバレル研磨装置１を用い、シリンダ２０の内壁面２０ａについて内径φ８０ｍｍの球面の一部を略円筒状に連続したもの（連球式）を用いた。
被研磨体は２．０ｍｍ×１．３ｍｍ×厚み０．１ｍｍの短冊形の人工水晶、グリーンカーボン（ＧＣ）は＃１００とし、被研磨体とＧＣの重量比は１：３に設定した。主モータ１１の回転数は１８０ｍ−１とした。間欠運転４分とし、４分運転した後で、主モータ１１を逆回転させて４分間運転する作業を繰り返した。
表１中の回転数は主モータ１１による回転数（１８０ｍ−１）を示し、ギヤードモータ２７の回転数は１１ｍ−１に設定した。
試験に当たって、被研磨体の研磨後の目標周波数を１５．８７５ＭＨｚに設定した。バレル研磨装置１の起動時（Ｎｏ．１）に回転数９０ｍ−１で１時間馴らし運転した後、回転数１８０ｍ−１で８時間運転してＧＣを交換した。Ｎｏ．２、３でも同様に８時間運転してＧＣを交換するという作業を繰り返した。そして８時間の最後のＮｏ．４は２時間のみ研磨した。ＧＣの交換の都度、被研磨体の周波数を測定し、Ｎｏ．４では２時間で所望の周波数に研磨量が達成すると予測して２時間で終了した。
（従来例）
従来例として、同一構成のバレル研磨装置を用い、ギヤードモータ２７をブレーキ状態（固定）にした以外は、実施例と同一条件とした。従来例の場合も、実施例と同様に８時間の運転毎にＧＣを交換して、その都度被研磨体の研磨量を測定して次の研磨時間を設定した。
【００１７】
試験結果は電子顕微鏡で測定した。解析条件は、ズーム係数１６．０９９μｍ、ズームＹ軸乗数１．０１４倍、厚さ乗数１０００倍とした。研磨後の水晶振動子の中央円形部５０ａのＸ，Ｙ軸方向のフラット径寸法と端部５０ｂの凸曲面の曲率半径を測定した。また周波数特性を測定して研磨精度を得た。
試験条件と試験結果は実施例を表１で、従来例を表２で示す。
【００１８】
【表１】
2004322221.tif 000003
【００１９】
【表２】
2004322221.tif 000004
【００２０】
研磨試験の結果、実施例では、総研磨時間２７時間で被研磨体に目標の周波数特性が得られるまで研磨できた。この場合、総研磨周波数（被研磨材の総削り代）は７３２Ｈｚ、１時間当たりの平均研磨周波数は２７．１１Ｈｚであった。得られた被研磨体は中央円形部５０ａがいずれも被研磨体表面の中央に位置しており、良好な研磨結果が得られた。
これに対し、従来例では、総研磨時間３９時間で研磨したが、目標研磨量を示す周波数特性は得られなかった。しかも、３９時間経過時点で被研磨体の周波数が測定不能になる不良品が多かった。総研磨周波数（被研磨材の総削り代）は６７０Ｈｚ、１時間当たりの平均研磨周波数は１７．１８Ｈｚであった。得られた被研磨体のうち周波数を測定可能なものでも、中央の円形部５０ａが中心からずれており、不良品であった。
これらの試験結果から、小型の被研磨体について実施例の方が研磨効率と研磨精度が高く精密な研磨を行えることを確認できた。
【００２１】
尚、上述の実施の形態では、シリンダ２０として凹曲面状の内壁面２０ａが連続する形状のものを用いたが、本発明はこのような構成に限定されることなく略円筒状の内壁面を有するものであってもよい。
また、シリンダ２０を回転軸１７に対して微少角度αだけ傾斜状態で保持するようにしたが、シリンダ２０の中心線Ｏが回転軸１７と一致しロータリシリンダ３の中心軸４と略平行になるように配設するようにしてもよい。
またギヤードモータ２７は変速手段３９によって無段変速可能に制御するようにしたが、一定速度で回転制御する定速制御や階段状に変速する段階的速度制御を用いるようにしてもよく、要するにロータリドラム３の回転数より高い回転数で逆方向に自転するように制御すればよい。また、太陽プーリ１５に対する遊星プーリ２４の外径の比を１以下に設定してもよく、この場合にはシリンダ２０の回転数を更に増大できる。また上記外径の比を１以上に設定してもよい。
また、被研磨体は水晶振動子に限らず、ガラス、セラミック、半導体チップ等適宜の素材であってよく、研磨材はグリーンカーボンに限らず、クルミナ粒、ガラスビーズ、クァプリコント、遊離砥粒等適宜のものを採用できる。
【００２２】
【発明の効果】
上述したように本発明によるバレル研磨装置は、被研磨体が小型軽量であっても、ドラムの回転数よりも高い回転数でシリンダを逆方向に積極的に自転させることができ、被研磨体の摺動による研磨と反転や流動を促進し、静電気で被研磨体がシリンダ内壁面に付着することなく、高速で効率的に研磨できることになる。また、第二駆動手段を積極的に駆動させることで、プーリの外径比を変化させなくても任意の回転数をシリンダに与えることができて操作が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態によるバレル研磨装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】図１に示すバレル研磨装置の側面図である。
【図３】シリンダの縦断面図である。
【図４】（ａ）は研磨前の水晶振動子、（ｂ）は研磨後の水晶振動子の図である。
【図５】（ａ）は四角形薄板状の水晶振動子、（ｂ）は円形薄板状の水晶振動子の研磨前と研磨後を示す図である。
【符号の説明】
１  バレル研磨装置
３  ロータリドラム（ドラム）
４  中心軸
１１  主モータ（第一駆動手段）
１３  Ｖベルト
２５  Ｖベルト（伝動ベルト）
１５  太陽プーリ（伝動プーリ）
１７  回転軸
２４  遊星プーリ
２７  ギヤードモータ（第二駆動手段）
３９  変速手段
５０  水晶振動子（被研磨体）
【図１】
2004322221.tif 000005
【図２】
2004322221.tif 000006
【図３】
2004322221.tif 000007
【図４】
2004322221.tif 000008
【図５】
2004322221.tif 000009