(57)【要約】【課題】大量の被処理物であっても取り付、取り外しが容易で、しかも、寿命の長い取付ユニットを提供する。【解決手段】貫通孔を備える被処理物の複数個を取付板に固定できるようにした被処理物の取付ユニットであって、前記取付板にグリップ部材を複数個設けるとともに、前記グリップ部材に対して着脱自在の固定ピンを用いて、前記被処理物を前記取付板に固定自在としたことを特徴とする。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を備える被処理物の複数個を取付板に固定できるようにした被処理物の取付ユニットであって、前記取付板にグリップ部材を複数個設けるとともに、前記グリップ部材に対して着脱自在の固定ピンを用いて、前記被処理物を前記取付板に固定自在としたことを特徴とする被処理物の取付ユニット。
【請求項２】
前記固定ピンは、先端を先細形状に形成された案内部と、この案内部に連設されるグリップ部材受部と、このグリップ部材受部に連設される固定部を備えるものであることを特徴とする請求項１記載の被処理物の取付ユニット。
【請求項３】
前記取付板は表裏２枚の取付板材を積層させたものであって、これら取付板材の間に前記グリップ部材を挟持させたものであることを特徴とする請求項１または２記載の被処理物の取付ユニット。
【請求項４】
前記グリップ部材はグリップ止め輪であることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の被処理物の取付ユニット。
【請求項５】
前記被処理物は小型ドライベアリングであることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の被処理物の取付ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スパッタ装置や蒸着装置などの成膜装置によって、例えば、小型ドライベアリングのような貫通孔を備える被処理物の複数個を処理する際に、これら被処理物の複数個を取付板に固定できるようにした被処理物の取付ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、前記成膜装置内で小型ドライベアリングのような貫通孔を備える被処理物を成膜時に固定するための被処理物の取付ユニットとしては、図１３に示すように、取付板ａに雌ねじ部ｂを複数個設けるとともに、前記雌ねじ部ｂに対して螺着自在の雄ねじピンｃを用いて、被処理物Ｄを前記取付板ａに固定自在とした取付ユニットが知られている。
図１４は前記取付ユニットの要部の正面図、図１５は同平面図であって、雌ねじ部ｂは取付板ａの一側に直接ねじ切りして設けられ、この雌ねじ部ｂに、頭部にドライバ孔ｅを備えた雄ねじピンｃを、被処理物Ｄの貫通孔ｄに貫通させて螺着させることで固定するようになっている。また、成膜処理後は、雄ねじピンｃを締め戻して、被処理物Ｄを取り外すようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来法の場合は、複数個の雄ねじピンｃをねじ止めするのに、或いは、ねじ戻して外す際に、自動ねじ止め装置を用いたとしても、一つ宛、ねじ止め、或いは、ねじ戻して外す必要があり、作業に手間がかかり、また、ねじ止め、ねじ戻しを繰り返すことによって、雌ねじ部ｂ、雄ねじピンｃとも、ねじがへたってしまい、正確なねじ止めが難しいばかりでなく、ねじの破損によって取付ユニットの寿命が短いという問題がある。
そこで、本発明は、大量の被処理物であっても取り付、取り外しが容易で、しかも、寿命の長い取付ユニットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するため、本発明の取付ユニットは、請求項１記載の通り、貫通孔を備える被処理物の複数個を取付板に固定できるようにした被処理物の取付ユニットであって、前記取付板にグリップ部材を複数個設けるとともに、前記グリップ部材に対して着脱自在の固定ピンを用いて、前記被処理物を前記取付板に固定自在としたことを特徴とする。
また、請求項２記載の被処理物の取付ユニットは、請求項１記載の被処理物の取付ユニットにおいて、前記固定ピンは、先端を先細形状に形成された案内部と、この案内部に連設されるグリップ部材受部と、このグリップ部材受部に連設される固定部を備えるものであることを特徴とする。
また、請求項３記載の被処理物の取付ユニットは、請求項１または２記載の被処理物の取付ユニットにおいて、前記取付板は表裏２枚の取付板材を積層させたものであって、これら取付板材の間に前記グリップ部材を挟持させたものであることを特徴とする。
また、請求項４記載の被処理物の取付ユニットは、請求項１乃至３の何れかに記載の被処理物の取付ユニットにおいて、前記グリップ部材はグリップ止め輪であることを特徴とする。
また、請求項５記載の被処理物の取付ユニットは、請求項１乃至４の何れかに記載の被処理物の取付ユニットにおいて、前記被処理物は小型ドライベアリングであることを特徴とする。
【０００５】
【実施例】
以下、本発明の被処理物の取付ユニットの実施例について図面に基づき説明する。
図１は本発明被処理物の取付ユニットの一実施例の斜視図、図２は図１のＡ部拡大図、図３は図１の要部の拡大断面図、図４は同拡大平面図を示すもので、図中１で示される被処理物の取付ユニットは、２枚のＳＵＳ製取付板材２ａ，２ａを積層させた取付板２にグリップ部材３を複数個設けるようにしている。
本実施例では、前記グリップ部材３としてＳＵＳ製のグリップ止め輪を使用し、これらグリップ止め輪を前記取付板材２ａ，２ａの間に挟持させることにより、複数個のグリップ部材３を備えた取付板２を形成するようにした。本実施例では片方の取付板材２ａにグリップ部材３の形状に合わせた受け部２ｂを形成し、グリップ部材３の取付板材２ａに対する位置合わせを容易にすると共に、グリップ部材３の取付板材２ａに対する固定を確実にした。
図示の例では、一つの取付板２に、縦２０列×横５０列、計１０００個のグリップ部材３を備えるように構成した。
【０００６】
前記グリップ止め輪３は、図５に拡大図を示したが、直径６．５ｍｍのＳＵＳ製の円形リング状部材であって、直径０．９ｍｍの中心孔３ａに連なる幅０．４ｍｍの切り欠き部３ｂを備え、この切り欠き部３ｂによって弾性変形自在に構成されている。
【０００７】
また、前記グリップ部材３に対して着脱自在の固定ピン４は、図６に拡大図を示したが、先端を２ｍｍの先細形状に形成された最大径３ｍｍの案内部４ａと、この案内部４ａに連設される直径３．４５ｍｍのグリップ部材受部４ｂと、このグリップ部材受部４ｂに連設される直径３．７ｍｍの固定部４ｃを備えるように構成されている。
【０００８】
図８乃至１０は、図７に示した中心に直径３．５ｍｍの貫通孔１０ａを備える被処理物としての直径６ｍｍ×幅３ｍｍの小型ドライベアリング１０を固定する場合の、固定ピン４のグリップ部材３への固定の手順を示したものであるが、最初は、図８に示すように、グリップ止め輪３の切り欠き部３ｂは閉じた状態となっている。
次に、図９に示すように、固定ピン４の案内部４ａを前記グリップ止め輪３の中心孔３ａに挿入すると、前記グリップ止め輪３の切り欠き部３ｂが開き始め、更に、前記固定ピン４を押し込んで、そのグリップ部材受部４ｂを前記グリップ止め輪３の中心孔３ａにまで挿入すると、図１０に示すように、前記固定ピン４は前記前記グリップ止め輪３の弾性力によって、取付板２にしっかりと固定されることになる。
また、小型ドライベアリングを取り外す際も、固定ピン４をグリップ部材から抜き取るだけなので、その取り外し作業も非常に簡単である。
また、何より、自動取付、取り外し装置を用いる場合も、螺子式のものと異なり、固定ピン４のグリップ部材３に対する押し込み、引き抜き動作で済むため、その構成が単純なものとなる。
【０００９】
図１１、図１２は、前記本発明被処理物の取付ユニット１を真空蒸着装置３０に取り付けた例を示すもので、前記被処理物の取付ユニット１を真空蒸着装置３０の内壁３１に１７個取り付けたもので、合計１７，０００個のドライベアリングを処理できるようになっている。
尚、図中３２は、カソードを示し、スパッタ現象を利用してこのカソード３２から成膜物質を取付ユニット１に取り付けた被処理物１０に付着させるものである。
図示のものでは、被処理物１０へ均一に成膜物質を付着させる目的で、内壁３１と接続されている回転機構３３を回転駆動力源として取付ユニット１を回転させるようにした。
【００１０】
前記被処理物の取付ユニット１枚にドライベアリングを固定するのに、１，０００秒かかった。
これに対して、従来の螺子式の場合は、取付ユニット１枚に同じ数のドライベアリングを固定するのに、１０，０００かかった。
また、前記被処理物の取付ユニット１枚からドライベアリングを外すのに、１，０００秒かかった。
これに対して、従来の螺子式の場合は、取付ユニット１枚からドライベアリングを取り外すのに、１０，０００秒かかった。
【００１１】
また、従来の螺子式の場合は、１０回の繰り返し使用によって、ねじのへたりが生じて、寿命になったが、前記実施例の取付ユニットの場合は、ほぼ半永久的に使用が可能である。
【００１２】
このように、前記実施例の取付ユニットは、従来の螺子式のものに比べ、被処理物を、短時間に、且つ、簡単に取付板に固定でき、また、取り外すことができ、非常に作業製に優れ、しかも、寿命の長いものとなることが判る。
【００１３】
【発明の効果】
このように、本発明によれば、被処理物の取付ユニットの取付板にグリップ部材を複数個設けるとともに、前記グリップ部材に対して着脱自在の固定ピンを用いて、前記被処理物を前記取付板に固定自在としたため、貫通孔を備える被処理物を短時間に、且つ、簡単に取付板に固定でき、また、取り外すことができ、非常に作業性に優れ、また、螺子式のようなねじのへたりもなく、寿命の長いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】被処理物の取付ユニットの一実施例の斜視図
【図２】図１のＡ部拡大図
【図３】同要部の拡大断面図
【図４】同要部の拡大平面図
【図５】同グリップ止め輪の拡大斜視図
【図６】同固定ピンの拡大斜視図
【図７】同ドライベアリング（被処理物）の拡大斜視図
【図８】上記取付ユニットの固定方法を示す説明図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）はそのグリップ止め輪の状態を示す平面図
【図９】上記取付ユニットの固定方法を示す説明図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）はそのグリップ止め輪の状態を示す平面図
【図１０】上記取付ユニットの固定状態を示す説明図であって、（ａ）は断面図、（ｂ）はそのグリップ止め輪の状態を示す平面図
【図１１】上記取付ユニットの使用状態を示す平面図
【図１２】同断面図
【図１３】従来の被処理物の取付ユニットの斜視図
【図１４】同要部の拡大断面図
【図１５】同要部の拡大平面図
【符号の説明】
１　被処理物の取付ユニット
２　取付板
２ａ取付板材
２ｂ受け部
３　グリップ止め輪（グリップ部材）
３ａ中心孔
３ｂ切り欠き部
４　固定ピン
４ａ案内部
４ｂグリップ部材受部
４ｃ固定部
１０　被処理材（ドライベアリング）
１０ａ貫通孔
３０　真空蒸着装置
３１　内壁
３２　カソード
３３　回転機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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