(57)【要約】【課題】複数のケーブル類や配管の散在配置を抑えるとともにケーブルや配管どうしの接続ミスの発生を抑えて接続作業を効率良く行うことができる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、ステージ等の複数の機構部を備えており、これら複数の機構部を用いて微細パターンを感光基板Ｐ上に転写するものであって、複数の機構部それぞれに接続される複数のケーブルからなるケーブル群２〜６と、ケーブル群２〜６を保持する第１空間部１０を備えた保持装置１とを備え、更に、保持装置１が流体を流通する第２空間部２０を第１空間部１０と一体的に備えている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の機構部を備え、前記複数の機構部を用いて微細パターンを基板上に転写する露光装置において、
前記複数の機構部それぞれに接続される複数のケーブルからなるケーブル群と、前記ケーブル群を保持する第１空間部を備えた保持装置とを備え、
更に、前記保持装置が流体を流通する第２空間部を前記第１空間部と一体的に備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記第２空間部を流通する流体は気体であって、前記第２空間部の一端が、発熱源周りの気体又は発塵源周りの気体を吸引する吸引口に連通することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記第２空間部が、その内部にファン装置を備えることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記第２空間部を流通する流体は液体であって、前記第２空間部の一端が、発熱源周りの液体循環経路に連通することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項５】
前記第１空間部が、前記複数のケーブルを、前記複数のケーブルが伝達する伝達媒体毎に、別々に収納する複数の収納部を有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項６】
前記複数の収納部のうちの少なくとも１つに、該１つの収納部に収納されるケーブルを収納部外から絶縁する絶縁材を設けることを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
前記第１空間部が、前記複数のケーブルを、前記複数のケーブルそれぞれの接続先毎に、別々に収納する複数の収納部を有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項８】
前記第１空間部が、前記複数のケーブルを、前記露光装置のメンテナンス作業に応じて別々に収納する複数の収納部を有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項９】
前記第１空間部を形成する壁部に、該第１空間部に保持されるケーブルに対して所定のケーブルを接続するための第１コネクタ部が設けられ、前記第２空間部を形成する壁部に、前記第２空間部に対して所定の空間部を接続するための第２コネクタ部が設けられることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項１０】
前記保持装置は、前記第１、第２空間部を開閉する蓋部材を有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項１１】
前記第１、第２空間部のそれぞれは断面矩形状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項１２】
請求項１〜請求項１１のいずれか一項記載の露光装置を用いて、デバイスパターンを基板上に転写する工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１３】
請求項１２記載のデバイス製造方法で製造されたことを特徴とするデバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細パターンを基板上に転写する露光装置、デバイス製造方法及びデバイスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体素子や液晶表示素子等のマイクロデバイスを製造する際にマスクを露光光で照明しマスクのパターンを感光性の基板（感光基板）上に転写する露光装置が用いられている。露光装置内には該露光装置を構成する各機構部を制御するための制御回路基板（制御回路部）や電力供給のための電力供給基板（電力供給部）が設けられているが、これら制御回路部や電力供給部（以下、これらを合わせて適宜「電気部品」と称する）は発熱するため、電気部品をハウジング部に収容しこのハウジング部内部のガスを排気することで温度調整を行っている。そのため、露光装置内には前記排気ガスを流通する配管（流路）が多数設けられている。また、露光装置内には前記電気部品からの電気信号を伝達するケーブルや、各機構部を駆動するエアシリンダや油圧シリンダ等のアクチュエータ、あるいは摺動部に設けられているエアベアリング等に対してエアや油を供給するためのケーブル（チューブ）も多数配設されている。更に、リニアモータ等の発熱する機構部を冷却するための冷媒を流通する配管（流路）も設けられている。このように、露光装置内には各種ケーブルや配管が多数設けられている。
【０００３】
下記特許文献１〜５には前記ケーブルや配管を有する露光装置に関する技術が開示されている。また、下記特許文献６〜８には空調ダクトに関する技術が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−２８３９００号公報
【特許文献２】
特開２０００−１１７６７号公報
【特許文献３】
特開平１０−２７０５３５号公報
【特許文献４】
特開平１１−３０２９４号公報
【特許文献５】
特開平１１−１７６７２３号公報
【特許文献６】
特許２５４６２４３号公報
【特許文献７】
特許２７９４５８７号公報
【特許文献８】
特開平６−３４３１８号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板の大型化や処理技術の高精度化により露光装置は大型化・大重量化しており、これに伴って上記ケーブルや配管の取り回しも複雑化する傾向にある。一方で、従来において前記ケーブルや配管は散在配置されているため、敷設作業時やメンテナンス作業時においてケーブルや配管の接続ミスを誘発していた。また、ケーブルと配管とは独立して配設されているためその占有スペースが大きく、例えばシステム組立作業時やメンテナンス作業時における作業性向上の障害となっていた。また、ケーブルや配管の占有スペースが大きくなると各機構部の作動が制約を受けるという問題も生じるとともに、散在状態のケーブルや配管により外観も低下する。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ケーブル及び配管の散在配置を抑えるとともにケーブルや配管どうしの接続ミスの発生を抑えて接続作業を効率良く行うことができる露光装置を提供することを目的とする。また、この露光装置を用いることにより作業性良くデバイスを製造できるデバイス製造方法及びこのデバイス製造方法で製造されたデバイスを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため本発明は、実施の形態に示す図１〜図１５に対応付けした以下の構成を採用している。
本発明の露光装置（ＥＸ）は、複数の機構部（ＩＬ、ＭＳＴ、ＰＬ、ＰＳＴ、１０５、１０６など）を備え、複数の機構部を用いて微細パターンを基板（Ｐ）上に転写する露光装置において、複数の機構部それぞれに接続される複数のケーブルからなるケーブル群（２〜６）と、ケーブル群（２〜６）を保持する第１空間部（１０）を備えた保持装置（１）とを備え、更に、保持装置（１）が流体を流通する第２空間部（２０）を第１空間部（１０）と一体的に備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第１空間部を有する保持装置を設けたことによりケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業や敷設作業の作業性が向上され、接続ミス等の不都合の発生を抑えることができる。更に、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので露光装置を構成する各機構部の作動の自由度を向上できる。また、この保持装置に例えば電気部品を収容するハウジング部内部からの排気ガスあるいは駆動装置を冷却するための冷媒といった流体を流通する第２空間部を第１空間部と一体的に設けたことにより、更なる省スペース化を実現できる。
【０００９】
ここで、前記機構部は、マスクを支持するマスクステージ、感光基板を支持する基板ステージ、マスクを露光光で照明する照明光学系、及び露光光で照明されたマスクのパターンを感光基板に投影する投影光学系等を含む。更には、前記ステージを駆動するリニアモータ、マスクや感光基板を搬送する搬送系に設けられる駆動モータ、光学系の光学特性（結像特性）を調整するために前記光学系を構成する光学素子を駆動する駆動機構等の駆動装置も含む。あるいは、前記ステージの摺動部に介装されるエアベアリング、及び温度センサや位置計測センサ等の露光処理に関する状態量を検出する各種検出装置も含む。
【００１０】
前記ケーブルは、前記駆動装置等の機構部に駆動力を供給する駆動力伝達ケーブル、前記駆動装置等の機構部に制御信号を伝達する制御信号伝達ケーブル、前記検出装置の信号伝達ケーブル、エアベアリングにエア（圧搾空気）を伝達する圧搾空気伝達ケーブル（チューブ）、及びマスクや基板を吸着保持するために前記ステージに接続される真空ケーブル（チューブ）等の用力ケーブルを含む。ここで、前記駆動装置が電力で駆動する場合には前記駆動力伝達ケーブルは電力伝達ケーブルであり、前記駆動装置がエアシリンダや油圧シリンダ等の作動流体で駆動する場合には前記駆動力伝達ケーブルは作動流体伝達ケーブル（チューブ）である。また、ケーブルとしては、露光装置内の発熱を伴う装置（リニアモータ等の駆動装置や制御回路基板等）に対して冷媒（冷却用流体）を供給する冷媒供給用ケーブル（チューブ）も含まれる。
【００１１】
本発明のデバイス製造方法は、上記記載の露光装置を用いて、デバイスパターンを基板上に転写する工程を含むことを特徴とする。また、本発明のデバイスは、上記記載のデバイス製造方法で製造されたことを特徴とする。
本発明によれば、良好な作業性のもとでデバイスが製造されるので高性能のデバイスを提供できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の保持装置を備えた露光装置について図面を参照しながら説明する。図１は本発明に係る保持装置の第１実施形態を示す外観斜視図であり、図２は概略構成図である。
図１及び図２において、保持装置１は複数のケーブルからなるケーブル群２〜６を保持する第１空間部１０を備えている。更に、保持装置１は流体を流通する第２空間部２０を第１空間部１０と一体的に備えている。保持装置１は略直方体の箱状部材により形成されているとともに、第１空間部１０は複数の仕切部材７により区画された複数（図１及び図２に示す例では５つ）の収納部１０Ａ〜１０Ｅを有している。収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれには複数のケーブルが所定本数ずつ収納される。
【００１３】
第１空間部１０の収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれは所定方向（図中、Ｘ軸方向）を長手方向とし、水平面内において前記所定方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に並んで設けられている。収納部１０Ａ〜１０Ｅは互いに略平行に設けられている。流体を流通する第２空間部２０は第１空間部１０（収納部１０Ａ）に隣接して設けられている。第２空間部２０もＸ軸方向を長手方向とし、第１空間部１０の収納部１０Ａ〜１０Ｅに対して平行に設けられている。また、複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれ、ひいては第１空間部１０は断面矩形状に形成されているとともに、第２空間部２０も断面矩形状に形成されている。また、図１に示す例では、第１空間部１０の収納部１０Ａ〜１０Ｅの長手方向両端部は開放されており、第２空間部２０の一端部（＋Ｘ側端部）は流路であるパイプ部材２１に接続されている。
【００１４】
図１に示すように、保持装置１はその上面に蓋部材８を備えている。蓋部材８はヒンジ部９に回動可能に支持されており、蓋部材８を持ち上げることで第１空間部１０（収納部１０Ａ〜１０Ｅ）が開けられ、蓋部材８を降ろして仕切部材７で支持することにより第１空間部１０（収納部１０Ａ〜１０Ｅ）が閉じられる。一方、第２空間部２０は断面矩形状の筒状部材により構成されている。そして、ヒンジ部９の一端は第２空間部２０を形成する筒状部材の上面に接続され、ヒンジ部９の他端は蓋部材８の一部に接続されている。すなわち、第２空間部２０を形成する筒状部材の上面と蓋部材８とがヒンジ部９で連結されており、蓋部材８はヒンジ部９により回動可能に支持されている。
【００１５】
保持装置１の形成材料としては、合成樹脂、セラミックス、及び金属等を用いることができる。ここで、金属を用いる場合には例えばステンレス鋼等の脱ガスの少ない材料を用いることが好ましい。また、保持装置１の形成材料としてゴム等の可撓性材料を用いることにより、例えば保持装置１を屈曲させて配置できるなど、敷設作業性の自由度を向上することができる。
【００１６】
本実施形態において、第１空間部１０のうち複数設けられた収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれにはケーブルが伝達する伝達媒体毎に別々に収納される。具体的には、第１の収納部１０Ａに収納されている複数のケーブル（ケーブル群）２は例えば露光装置を構成する各機構部に対して伝達媒体として駆動力（電力）を伝達する駆動力伝達ケーブルである。第２の収納部１０Ｂに収納されている複数のケーブル３は各機構部に対して伝達媒体として光を伝達する光伝達ケーブル（光ファイバケーブル）である。第３の収納部１０Ｃに収納されている複数のケーブル４は各機構部に対して制御信号を伝達する制御信号伝達ケーブルである。第４の収納部１０Ｄに収納されているケーブル５はケーブル２とは別の電力を伝達する電力伝達ケーブルである。第５の収納部１０Ｅに収納されているケーブル６は例えば機構部であるエアベアリングに対してエア（圧搾空気）を伝達するチューブである。
【００１７】
本実施形態において、複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅのうち第３の収納部１０Ｃには、この第３の収納部１０Ｃに収納されるケーブル４を収納部１０Ｃ外から絶縁する絶縁材１１が設けられている。ここでは、絶縁材１１はシート状部材により構成されており、収納部１０Ｃを囲むようにこの収納部１０Ｃを形成する壁部に取り付けられている。これにより収納部１０Ｃに収納されているケーブル４は電気的に絶縁されて電気ノイズの影響を抑制される。また、ケーブルが例えば高電圧ケーブルである場合には周囲に対して電気ノイズの影響を与える場合もあるが、この場合もこの高電圧ケーブルを収納する収納部を囲むように絶縁材１１を設けることにより周囲に対する電気的影響を抑えることができる。
【００１８】
なお、ここでは第３の収納部１０Ｃに絶縁材１１が設けられている構成であるが、もちろん第３の収納部１０Ｃ以外の収納部に絶縁材を設けることも可能である。更には、第１空間部１０全体を囲むように絶縁材１１を設けることも可能である。
【００１９】
また、ここでは絶縁材１１はシート状部材により構成されているが、絶縁材料を収納部を構成する壁部に塗布することで絶縁材１１を形成してもよい。また、ここでは絶縁材１１は電気を絶縁するものとして説明したが、熱を絶縁するものであってもよい。例えば、ケーブルが発熱を伴う装置に対して冷媒を供給するチューブである場合、このチューブを収納する収納部を囲むように熱を絶縁する絶縁材を設けることにより、チューブを流れる冷媒の温度変化を抑えることができる。あるいは、熱を絶縁する絶縁材を電力伝達ケーブルを収納する収納部に設けることもできる。例えば、電力伝達ケーブルが熱を発する場合、熱を絶縁する絶縁材を設けることにより周囲に対する熱の影響を抑えることができる。
【００２０】
本実施形態において、ケーブル２〜５のそれぞれの一端部は、露光装置を構成する各機構部を制御するための制御回路基板（制御回路部）、各機構部に対して電力を供給するための電力供給基板（電力供給部）、前記電力や制御信号を中継する中継基板（中継部）、及び電力や制御信号の増幅を行うアンプ基板（アンプ部）といった各種電力制御基板（以下、これら電力制御基板を合わせて適宜「電気部品３１」と称する）に接続されている。電気部品３１はハウジング部３０に収容され、ハウジング部３０の一部にはコネクタ部３２が設けられており、ケーブル２〜５の一端部はハウジング部３０のコネクタ部３２を介して電気部品３１に接続されている。また、図２に示すように、エアを伝達するチューブであるケーブル６の一端部は圧搾空気供給装置３３に接続されている。
【００２１】
一方、ケーブル２〜５のそれぞれの他端部は露光装置を構成する複数の機構部のそれぞれに接続される。例えば、マスクステージや基板ステージの駆動装置であるリニアモータ、マスクや基板を搬送する搬送系用駆動モータ、温度センサ、照明光学系や投影光学系を構成する光学素子を駆動する駆動機構等に接続される。また、エアを伝達するチューブであるケーブル６の他端部は、例えばマスクステージや基板ステージの摺動部に介装されるエアベアリング、エアを作動流体とするエアシリンダ等のアクチュエータに接続される。また、チューブ６で冷媒（液体）を伝達する際にはチューブ６の一端部は冷媒供給装置に接続され、他端部は発熱を伴う装置（ステージを駆動するリニアモータ等）に接続される。更に、液体（油）を作動流体とする油圧シリンダ等のアクチュエータに対して液体をチューブ６で伝達するようにしてもよい。
【００２２】
第２空間部２０の一端部はパイプ部材２１を介してハウジング部３０内部に接続されている。パイプ部材２１の一端部はハウジング部３０の一部に形成された開口部３４に配置され、他端部は第２空間部２０の一端部に接続されている。また、第２空間部２０の内部にはファン装置２２が設けられている。一方、第２空間部２０の他端部は露光装置外部に接続されている。そして、ハウジング部３０内部のガスはパイプ部材２１及び第２空間部２０を流通した後、外部に排気される。ファン装置２２を駆動することでハウジング部３０内部のガスが円滑に排気される。ここで、ハウジング部３０に収容されている電気部品３１は発熱する発熱源である。すなわち、第２空間部２０の一端部は発熱源である電気部品３１周りのガスを吸引する開口部（吸引口）３４に連通している構成であって、ハウジング部３０内部のガスを排気することにより電気部品３１を冷却することができる。そして、ファン装置２２が駆動されることにより電気部品３１は効果的に冷却される。
【００２３】
図３は本発明の保持装置１を備えた露光装置ＥＸの概略構成図である。図３において、露光装置ＥＸは、マスクＭを支持するマスクステージＭＳＴと、感光基板Ｐを支持する基板ステージＰＳＴと、光源を有し、マスクステージＭＳＴに支持されているマスクＭを露光光ＥＬで照明する照明光学系ＩＬと、露光光ＥＬで照明されたマスクＭのパターンを基板ステージＰＳＴに支持されている感光基板Ｐ上に投影する投影光学系ＰＬと、露光装置ＥＸの動作を統括制御する制御装置ＣＯＮＴとを備えている。更に、露光装置ＥＸは、マスクステージＭＳＴ及び投影光学系ＰＬを支持するメインフレーム（架台）１００と、メインフレーム１００の上面に固定され、照明光学系ＩＬを支持する支持コラム（架台）１０１とを備えている。メインフレーム１００は床面に水平に載置されたベースプレート１０２上に設置されており、このメインフレーム１００の上部側及び下部側には内側に向けて突出する段部１００Ａ及び１００Ｂがそれぞれ形成されている。
【００２４】
照明光学系ＩＬはマスクステージＭＳＴに支持されているマスクＭを露光光ＥＬで照明するものであり、照明光学系ＩＬより射出される露光光ＥＬとしては、例えば水銀ランプから射出される紫外域の輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）や、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）及びＦ２  レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光（ＶＵＶ光）などが用いられる。また、照明光学系ＩＬは、例えばマスクＭに対する露光光ＥＬの照明領域を設定するための可変開口部を有するブラインド部等といった機構部を有している。
【００２５】
マスクステージＭＳＴはマスク定盤１０３上に設けられており、マスク定盤１０３はメインフレーム１００の段部１００Ａに防振ユニット１０４を介してほぼ水平に支持されている。マスクステージＭＳＴの底面には非接触ベアリングである複数のエアベアリング１０５が設けられており、マスクステージＭＳＴはエアベアリング１０５によりマスク定盤１０３に対して所定のクリアランスを介して浮上支持されている。なお、マスクステージＭＳＴ及びマスク定盤１０３の中央部にはマスクＭのパターン像が通過する開口部が形成されている。また、露光装置ＥＸは、エアベアリング１０５によりマスク定盤１０３に対して非接触支持されているマスクステージＭＳＴを移動するリニアモータ（機構部、駆動装置）１０６と、マスクステージＭＳＴの位置を検出するレーザ干渉計（機構部、検出装置）とを備えている。また、マスクステージＭＳＴにはマスクＭを真空吸着保持するための吸着機構部が設けられている。
【００２６】
投影光学系ＰＬは複数の光学素子により構成され、これら光学素子は鏡筒で支持されている。投影光学系ＰＬの鏡筒の外周にはこの鏡筒に一体化されたフランジ部１０７が設けられている。そして、投影光学系ＰＬはメインフレーム１００の段部１００Ｂに防振ユニット１０８を介してほぼ水平に支持された鏡筒定盤１０９にフランジ部１０７を係合している。また、投影光学系ＰＬは複数の光学素子のうちの所定の光学素子を駆動することにより結像特性を調整する結像特性調整装置（機構部、駆動装置）を備えている。なお、各光学素子間の圧力を調整することで結像特性を調整することもできる。
【００２７】
基板ステージＰＳＴは基板定盤１１０上に設けられており、基板定盤１１０はベースプレート１０２の上方に防振ユニット１１１を介してほぼ水平に支持されている。基板ステージＰＳＴの底面には非接触ベアリングである複数のエアベアリング１１２が設けられており、基板ステージＰＳＴはエアベアリング１１１により基板定盤１１０に対して所定のクリアランスを介して浮上支持されている。また、露光装置ＥＸは、基板ステージＭＳＴを図中、Ｙ軸方向に案内しつつ移動自在に支持するガイドステージ１１３と、ガイドステージ１１３に設けられ、基板ステージＰＳＴをＹ軸方向に移動するリニアモータ（機構部、駆動装置）１１４と、ガイドステージ１１３をＸ軸方向に移動可能な一対のリニアモータ（機構部、駆動装置）１１５、１１５と、基板ステージＰＳＴの位置を検出するレーザ干渉計（機構部、検出装置）１１６とを備えている。また、基板ステージＰＳＴは感光基板Ｐを真空吸着保持するための吸着機構部を備えた基板ホルダＰＨを有している。
【００２８】
そして、図３において、本実施形態に係る保持装置１が、メインフレーム１００の段部１００Ａ、鏡筒定盤１０９、及びベースプレート１０２のそれぞれに設置されている。なお、保持装置１の設置位置は露光処理動作に影響を与えない位置、すなわち各機構部の作動に制約を与えない位置であれば任意の位置に設置可能であり、例えばマスクステージＭＳＴや基板ステージＰＳＴ近傍であってもよい。
【００２９】
そして、保持装置１の第１空間部１０（収納部１０Ａ〜１０Ｅ）に収納されているケーブル２〜５の他端部が、上記リニアモータ１０６、１１４、及び１１５や、結像特性調整装置等の機構部に接続されている。例えば、第３の収納部１０Ｃに収納されている制御信号伝達ケーブル群４のうち、ケーブル４Ａ（図２参照）がマスクステージＭＳＴのリニアモータ１０６に接続され、ケーブル４Ｂが基板ステージＰＳＴのリニアモータ１１４に接続され、ケーブル４Ｃが結像特性調整装置に接続される。また、第５の収納部１０Ｅに収納されている圧搾空気伝達用ケーブル群６のうち、ケーブル６ＡがマスクステージＭＳＴのエアベアリング１０５に接続され、ケーブル６Ｂが基板ステージＰＳＴのエアベアリング１１２に接続され、ケーブル６Ｃが例えばアライメント光学系の光路上に設けられたエアシリンダからなるシャッタ駆動機構に接続される。
【００３０】
次に、複数のケーブル２〜６を配設する手順について説明する。まず、メインフレーム１００の段部１００Ａやベースプレート１０２、あるいは鏡筒定盤１０９等の所定の位置に保持装置１が取り付けられる。次いで、ケーブル２〜６が伝達媒体毎に各収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれに収納される。ケーブル２〜６を各収納部１０Ａ〜１０Ｅに収納する際には、蓋部材８を持ち上げて各収納部１０Ａ〜１０Ｅの上部を開放した状態で収納する。そして、ケーブル２〜６を各収納部１０Ａ〜１０Ｅに配置して蓋部材８を降ろすことにより、ケーブル２〜６のぞれぞれは各収納部１０Ａ〜１０Ｅに保持される。
【００３１】
ここで、ケーブル２（３〜６）を収納部１０Ａ（１０Ｂ〜１０Ｅ）に収納する際には、図４（ａ）に示すように、ケーブル２を収納部１０Ａの底部に載置するだけでもよいし、図４（ｂ）に示すように、結束部材１２を用いて複数のケーブル２を結束するようにしてもよい。このとき、結束部材１２を収納部１０Ａの底部に接着固定してもよいし、固定せずに載置する構成であってもよい。また、図４（ａ）のように結束部材１２を用いない場合において、ケーブル２を収納部１０Ａの底部に接着固定してもよい。
【００３２】
そして、ケーブル２〜６が収納部１０Ａ〜１０Ｅに収納されたら、各ケーブル２〜６の一端部が電気部品３１や圧搾空気供給装置３３に接続されるとともに、他端部が露光装置ＥＸの各機構部に接続される。更に、第２空間部２０の一端部と発熱源である電機部品３１を収容したハウジング部３０の開口部３４とがパイプ部材２１を介して接続される。そして、第２空間部２０に設けられたファン装置２２が駆動することにより、ハウジング部３０内部のガスが露光装置ＥＸ外部に排気される。
【００３３】
以上説明したように、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第１空間部１０を有する保持装置１を設けたことにより、複数のケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業時等における接続ミスの発生を抑えて良好な作業性が実現されるとともに、良好なケーブル敷設作業性を得ることができる。
【００３４】
また、本実施形態では、第１空間部１０は複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅを有しており、ケーブルは伝達媒体毎に複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅに別々に収納されているので、ケーブルの接続作業時における接続ミスの発生を更に確実に抑制することができる。
【００３５】
また、ケーブルを保持する保持装置１を設けたことにより、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので、露光装置ＥＸを構成する各機構部の作動の自由度を向上することができる。
【００３６】
そして、従来では、ハウジング部３０内部からの排気ガスを流通する配管の占有スペースも大きく問題であったが、保持装置１に、電気部品３１を収容するハウジング部３０内部からの排気ガスを流通する第２空間部２０を第１空間部１０と一体的に設けたことにより、更なる省スペース化を実現できる。
【００３７】
収納部１０Ａ〜１０Ｅはケーブル２〜６を保持可能な保持空間部であるので、結束部材１２を用いなくても収納されたケーブルを良好に保持できる。したがって、ケーブルを収納部に配置するだけでケーブルを散在させずに位置決めできるので、良好な敷設作業性を得ることができる。
【００３８】
収納部（第１空間部）を囲むように絶縁材１１を設けたことにより、ケーブルに対する電気や熱の影響を抑えることができるので、ケーブルは電気や熱の影響を抑えられた状態で伝達媒体を良好に伝達できる。したがって、伝達媒体（電力や冷媒）を伝達された機構部は所望の機能を良好に発揮できる。
【００３９】
なお、本実施形態では、第２空間部２０の一端部は発熱源である電気部品３１周りの気体を吸引する吸引口である開口部３４にパイプ部材２１を介して連通されているが、発塵源周りの気体を吸引する吸引口に連通されていてもよい。この場合、第２空間部２０には発塵源周りの気体が流通する。
【００４０】
本実施形態では、図１に示すように第１空間部１０を開閉する蓋部材８が設けられている構成であるが、第２空間２０を開閉する蓋部材８が設けられていてもよい。また、図１に示す例では複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれは１つの蓋部材８により開閉される構成であるが、複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれに対応するように蓋部材８を複数設け、収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれを個別に開閉するようにしてもよい。
【００４１】
一方、蓋部材８を設けない構成とすることも可能である。この場合、ケーブル２〜６を収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれに収納する際には、図１に示したように、収納部１０Ａ〜１０Ｅの長手方向両端部に設けられた開口部よりケーブルを挿入すればよい。一方、本実施形態のように蓋部材８を設けることにより、ケーブルを収納部に収納する際の収納動作や、図４（ｂ）を参照して説明したように複数のケーブルを結束する結束動作の作業性を向上することができる。
【００４２】
なお、本実施形態では、収納部１０Ａ〜１０Ｅ（第１空間部１０）及び第２空間部２０のそれぞれは断面矩形状（４角形）に形成されているように説明したが、例えば断面円形状であってもよいし六角形や八角形等の多角形状であってもよい。一方、第１空間部１０や第２空間部２０を断面矩形状にしたことにより、保持装置１全体の占有スペースを小さくすることができる。更に、第１空間部１０や第２空間部２０を断面矩形状にして保持装置１全体を略直方体状にしたことにより、保持装置１の上面を平面にすることができるのでこの平面部分に他の装置を設置できる等、保持装置１の上面を有効活用することができる。
【００４３】
なお、本実施形態では、複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅ及び第２空間部２０はＹ軸方向に並んで設けられている構成であるが、例えばＺ軸方向に重ねるように設けてもよい。また、本実施形態では、複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅは仕切部材７により第１空間部１０を区画することで形成されているが、断面矩形状の筒状部材からなる収納部を複数形成し、これらを任意に組み合わせることで保持装置１を形成するようにしてもよい。更に、本実施形態において、第２空間部２０は保持装置１のうちＹ軸方向端部（−Ｙ側）に設けられているが、保持装置１のＹ軸方向中央部、例えば第２の収納部１０Ｂと第３の収納部１０Ｃとの間に設けられてもよい。
【００４４】
なお、本実施形態において、ハウジング部３０内部のガスは露光装置外部に排気されるように説明したが、図２の破線で示すように、ハウジング部３０内部からの排気ガスを温度調整装置２３で回収し、温度調整装置２３により温度調整したガスをハウジング部３０内部に戻すようにしてもよい。ここで、温度調整装置２３はハウジング部３０内部からの排気ガスを用いずに他の流路系統のガスを回収して温度調整し、この温度調整したガスをハウジング部３０に供給するようにしてもよい。
【００４５】
本実施形態では説明を簡単にするために複数のケーブル２〜５の全てが１つのハウジング部３０に収容されている電気部品３１に接続されているように説明したが、もちろん各ケーブル２〜５のそれぞれが互いに異なるハウジング部３０に収容されている電気部品３１のそれぞれに接続されていてもよい。更に、ケーブル２〜５の一端部の接続先は電気部品３１に限らず例えば電源装置など所定の装置（機構部）に接続されてもよい。
【００４６】
なお、本実施形態において、第１空間部１０の各収納部１０Ａ〜１０Ｅや第２空間部２０は略直線状の空間であるように説明したが屈曲部を有していてもよい。そして、第１及び第２空間部の直線部と屈曲部とを組み合わせることにより、ケーブルの敷設作業の自由度を向上することができる。ここで、屈曲部は略円弧状であることが好ましい。すなわち、収納部の屈曲部が直角状である場合には、この直角部でケーブルが折れ曲がったり応力集中を受けるおそれが生じる。あるいは第２空間部の屈曲部が直角状である場合にはこの直角部で流体が淀むおそれが生じる。しかしながら、屈曲部を略円弧状にすることにより、ケーブルの折れ曲がりや流体の淀みといった不都合の発生を抑えることができる。また、保持装置１をゴム等の可撓性材料により形成した場合、保持装置１の設置現場で設置環境に応じて保持装置１を屈曲させてから設置することも可能となる。
【００４７】
次に、本発明の第２実施形態について図５を参照しながら説明する。ここで、以下の説明において、上述した第１実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。本実施形態の特徴部分は保持装置１の第２空間部２０に液体（冷媒）が流通される点である。
【００４８】
図５において、第２空間部２０の一端部はパイプ部材２１を介して冷媒供給装置２４に接続され、一方、第２空間部２０の他端部は流路２５を介してリニアモータ（コイルユニット）１０６に接続されている。ここで、リニアモータのコイルユニット１０６は、複数のコイル１２０と、コイル１２０を収容するコイル用ハウジング部１２１と、コイル用ハウジング部１２１の一端部に設けられ、このコイル用ハウジング部１２１内部に対して冷媒を入れる入口部１２２と、コイル用ハウジング部１２１の他端部に設けられ、このコイル用ハウジング部１２１内部の冷媒を出す出口部１２３とを備えている。そして、入口部１２２は流路２５と接続しており、出口部１２３は、冷媒供給装置２４にその一端を接続している流路２６と接続している。
【００４９】
冷媒供給装置２４から供給された冷媒（液体）は流路であるパイプ部材２１を介して第２空間部２０に送られこの第２空間部２０を流通する。第２空間部２０を流通した冷媒は流路２５を流れた後、コイルユニット１０６の入口部１２２よりコイル用ハウジング部１２１内部に供給される。そして、コイル用ハウジング部１２１内部を冷媒が流通することにより、発熱するコイル１２０の熱が回収されて冷却される。熱を回収した冷媒は出口部１２３よりコイル用ハウジング部１２１外部に出され、流路２６を介して冷媒供給装置２４に戻される。
【００５０】
すなわち、本実施形態において、冷媒供給装置２４は発熱源であるコイル１２０（コイルユニット１０６）を温度調整するための温度調整装置であって、この冷媒供給装置２４、流路（パイプ部材）２１、第２空間部２０、流路２５、ハウジング部１２１、及び流路２６により、発熱源であるコイル１２０周りの冷媒循環流路（液体循環流路）１２４が構成されている。換言すれば、第２空間部２０の両端部が、コイル１２０周りの冷媒循環流路１２４の一部を構成するハウジング部１２１に連通した構成となっている。
【００５１】
以上説明したように、第２空間部２０に液体（冷媒）を流通させる構成とすることも可能であり、この第２空間部２０の端部を、発熱源であるコイル１２０周りの液体循環経路１２４の一部を構成するハウジング部１２１に連通することで、コイル１２０を効果的に冷却することができる。
【００５２】
なお、本実施形態では発熱源としてコイル１２０を例にして説明したが、もちろん、コイル以外の発熱源に対しても第２空間部２０を流通した冷媒を供給可能である。更に、第２空間部２０を流通する液体としては冷媒に限らず、例えば作動流体を液体とするアクチュエータに供給するための液体であってもよい。
【００５３】
なお、リニアモータは、図５に示したコイルユニット１０６と、不図示の磁石ユニットとを備えており、本発明は、コイルユニットを固定子とし磁石ユニットを可動子としたムービングマグネット型リニアモータに適用することもできるし、コイルユニットを可動子とし磁石ユニットを固定子としたムービングコイル型リニアモータに適用することもできる。
【００５４】
なお、第１、第２実施形態において、保持装置１は流体（排気ガスや冷媒）を流通する第２空間部２０を１つ有する構成であるが、もちろん２つ以上の複数有していてもよい。例えば第２空間部を２つ設けた際には、一方の第２空間部で気体（排気ガス等）を流通し、他方の第２空間部で液体（冷媒等）を流通するようにしてもよい。
【００５５】
次に、本発明の第３実施形態について図６を参照しながら説明する。本実施形態の特徴部分は、複数のケーブルを、ケーブルそれぞれの接続先毎に、複数の収納部に別々に収納している点である。
【００５６】
図６において、複数の収納部１０Ａ〜１０Ｄのそれぞれに収納されているケーブルは、複数の接続先毎に別々に収納されている。すなわち、第１の収納部１０Ａに収納されているケーブルは第１の接続先に接続され、第２の収納部１０Ｂに収納されているケーブルは第２の接続先に接続され、第３の収納部１０Ｃに収納されているケーブルは第３の接続先に接続され、第４の収納部１０Ｄに収納されているケーブルは第４の接続先に接続される。例えば、複数の収納部１０Ａ〜１０Ｄのうち第１の収納部１０Ａに収納されているケーブルの収納先はマスクステージＭＳＴに設けられているリニアモータ１０６であり、第２の収納部１０Ｂに収納されているケーブルの収納先はマスク搬送系用駆動モータ１３０であり、第３の収納部１０Ｃに収納されているケーブルの収納先は露光装置ＥＸの環境温度を検出する温度センサ１３１であり、第４の収納部１０Ｄに収納されているケーブルの収納先はマスクステージＭＳＴに設けられているエアベアリング１０５である。
【００５７】
そして、第１の収納部１０Ａに収納されている複数のケーブルのうち、第１のケーブル２は例えばリニアモータ１０６に駆動力（電力）を伝達するケーブルであり、第２のケーブル３はリニアモータ１０６の状態量を検出した検出信号を伝達するケーブルであり、第３のケーブル４はリニアモータ１０６に制御信号を伝達するケーブルである。このように、第１の収納部１０Ａには伝達媒体は互いに異なるが接続先が同じである複数のケーブルが収納されている。同様に、第２〜第４の収納部１０Ｂ〜１０Ｄのそれぞれにも、伝達媒体は互いに異なるが接続先が同じである複数のケーブルが収納されている。なお、第４の収納部１０Ｄには、エアベアリング１０５に圧搾空気を供給するチューブ６が収納されている。
【００５８】
以上説明したように、接続先毎にケーブルを別々に収納したことによっても、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生を抑えることができる。また、例えばリニアモータ１０６のメンテナンス作業を行いたい場合には、第１の収納部１０Ａに収納されているケーブル２、３、４のリニアモータ１０６に対する接続を解除すればよく、作業性を向上できる。
【００５９】
図７は本発明の第４実施形態を示す図である。図７に示すように、第１〜第４の収納部１０Ａ〜１０Ｄには、接続先毎に別々にケーブルが収納されている。本実施形態において、第１の収納部１０Ａに収納されているケーブルの接続先（第１の接続先）は基板ステージＰＳＴであり、第２の収納部１０Ｂに収納されているケーブルの接続先（第２の接続先）は投影光学系ＰＬであり、第３の収納部１０Ｃに収納されているケーブルの接続先（第３の接続先）はマスクステージＭＳＴであり、第４の収納部１０Ｄに収納されているケーブルの接続先（第４の接続先）は照明光学系ＩＬである。そして、本実施形態においても、第１〜第４の収納部１０Ａ〜１０Ｄのそれぞれには互いに異なる伝達媒体を伝達する複数のケーブルが収納されている。
【００６０】
本実施形態では、複数のケーブルは、露光装置ＥＸのメンテナンス作業に応じて複数の収納部１０Ａ〜１０Ｄに別々に収納されている。例えば、基板ステージＰＳＴのメンテナンス作業を行いたい場合には、第１の収納部１０Ａに収納されている複数のケーブル２、３、及び４と基板ステージＰＳＴとの接続を解除してからメンテナンス作業を行えばよい。そして、メンテナンス作業が終了したら、第１の収納部１０Ａに収納されているケーブル２、３、及び４を基板ステージＰＳＴに対して再び接続すればよい。このように、複数のケーブルをメンテナンス作業に応じて別々に収納することも可能であり、この場合においてもケーブルの接続ミスや接続解除ミスといった不都合の発生を抑えることができ、しかもケーブルの接続作業性及び接続解除作業性を向上することができる。
【００６１】
図８は本発明の第５実施形態を示す図である。図５に示すように、第１〜第４の収納部１０Ａ〜１０Ｄには、機構部である基板ステージＰＳＴに対して接続される複数のケーブルがそれぞれ収納されている。基板ステージＰＳＴは、リニアモータ、光量センサ、レーザ干渉計、及びエアベアリング等の複数の機構部により構成されており、第１の収納部１０Ａには電気部品の一部を構成する干渉計用制御回路基板３１Ａに接続されるケーブルが収納され、第２の収納部１０Ｂにはセンサ用制御回路基板３１Ｂに接続されるケーブルが収納され、第３の収納部１０Ｃにはリニアモータ用制御回路基板３１Ｃに接続されるケーブルが収納されている。また、第４の収納部１０Ｄには圧搾空気供給装置３３に接続されるケーブル（チューブ）が収納されている。そして、各制御回路基板３１Ａ、３１Ｂ、及び３１Ｃは、それぞれ独立したハウジング部３０Ａ、３０Ｂ、及び３０Ｃにそれぞれ収納されている。
【００６２】
例えば、センサ用制御回路基板３１Ｂのメンテナンス作業や交換作業を行いたい場合、ハウジング部３０Ｂの一部を開放してセンサ用制御回路基板３１Ｂにアクセスすることになるが、このとき、センサ用制御回路基板３１Ｂとケーブルとの接続解除作業が行われる。あるいは、メンテナンス作業終了後はセンサ用制御回路基板３１Ｂとケーブルとの接続作業が行われる。ここで、本実施形態のように、複数の制御回路基板（電気部品）のそれぞれに接続されるケーブル毎に収納部に収納するようにしたので、センサ用制御回路基板３１Ｂに対するケーブルの接続・接続解除作業は第２の収納部１０Ｂに収納されているケーブルについて行えばよいので、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生を抑制することができる。
【００６３】
図９は本発明の第６実施形態を示す図である。図９において、保持装置１は、第１空間部１０を形成する壁部に、第１空間部１０に保持されているケーブルに対して所定のケーブルを接続するための複数のコネクタ部（第１コネクタ部）１４、１５を備えているとともに、第２空間部２０を形成する壁部に、第２空間部２０に対して所定の空間部を接続するためのコネクタ部（第２コネクタ部）１６、１７を備えている。
【００６４】
コネクタ部（第１コネクタ部）１４、１５のうち、コネクタ部１４は第１空間部１０を形成する壁部の一部である上壁部１０Ｔ（すなわち蓋部材８）に設けられている。また、本実施形態おいて、第１空間部１０（収納部１０Ａ〜１０Ｅ）の長手方向両端部は側壁部１０Ｓにより閉塞されており、コネクタ部１５はこの側壁部１０Ｓに設けられている。一方、コネクタ部（第２コネクタ部）１６、１７のうち、コネクタ部１６は第２空間部２０を形成する壁部の一部である上壁部２０Ｔに設けられている。また、第２空間部２０の長手方向両端部は側壁部２０Ｓにより閉塞されており、コネクタ部１７はこの側壁部２０Ｓに設けられている。そして、コネクタ部１４は複数の収納部１０Ａ〜１０Ｅのそれぞれに対応した複数のコネクタ部１４Ａ〜１４Ｅにより構成されており、同様にコネクタ部１５は複数のコネクタ部１５Ａ〜１５Ｅにより構成されている。
【００６５】
第１空間部（収納部）１０に保持されているケーブルはコネクタ部１４、１５に接続されている。ここで、第１空間部１０に保持されているケーブルが電力伝達用ケーブルである場合、コネクタ部１４、１５は電力伝達用コネクタにより構成され、ケーブルが流体伝達用ケーブルである場合、コネクタ部１４、１５は流体伝達用コネクタにより構成されている。また、コネクタ部１６、１７は流体伝達用コネクタにより構成されており、第２空間部２０に接続している。
【００６６】
図１０はケーブルを別部品に置換した一例を示す模式図である。図１０において、バスバー５０は、銅等の金属シート部５Ａと絶縁シート部５Ｂとを複数積層したものであって全体として略棒状部材となっている。そして、金属シート部５Ａの長手方向の所定位置における上端面には突出部（分岐部）５Ｃが設けられている。そして、この突出部５Ｃと上壁部１０Ｔに設けられているコネクタ部１４とが導線５Ｄを介して電気的に接続されている。一方、金属シート部５Ａの長手方向端部５Ｅと側壁部１０Ｓに設けられているコネクタ部１５とが電気的に接続される。すなわち、バスバー５０は複数のコネクタ部１４、１５のそれぞれに対して接続するための突出部（分岐部）５Ｃを有する構成であって、突出部５Ｃにおいて伝達媒体である電力を分岐することができる。
【００６７】
図１１はコネクタ部１４〜１７を有する保持装置１を用いたケーブルの接続例を示す図である。図１１に示すように、第１の保持装置１の第１空間部１０に保持されているケーブルは、コネクタ部１５を介して中継用ケーブル（所定のケーブル）４０に接続され、この中継用ケーブル４０を介して第２の保持装置１’の第１空間部１０に保持されているケーブルに接続されている。一方、第１の保持装置１の第２空間部２０は、コネクタ部１７を介して中継用パイプ部材（所定の空間部）４１に接続され、この中継用パイプ部材４１を介して第２の保持装置１’の第２空間部２０に接続されている。
【００６８】
図１２は他の接続例を示す図である。図１２に示すように、第１の保持装置１の第１空間部１０のケーブルに接続しているコネクタ部１５と、第２の保持装置１’の第１空間部１０のケーブルに接続しているコネクタ部１５とを直接接続することも可能である。そして、第１の保持装置１の第１空間部１０に保持されているケーブルと第２の保持装置１’の第１空間部１０に保持されているケーブルとが第１及び第２の保持装置１、１’のコネクタ部１５、１５を介して接続される。このとき、第１の保持装置１の第２空間部２０に接続しているコネクタ部１７と、第２の保持装置１’の第２空間部２０に接続しているコネクタ部１７とも直接接続される。そして、第１の保持装置１の第２空間部２０と第２の保持装置１’の第２空間部２０とが第１及び第２の保持装置１、１’のコネクタ部１７、１７を介して接続される。
【００６９】
なお、例えば第２の保持装置１’の下面にコネクタ部１４を設け、第１の保持装置１の上面に重ねるようにして載置することで、第１の保持装置１のコネクタ部１４と第２の保持装置１’のコネクタ部１４とを直接接続することも可能である。同様に、第１、第２の保持装置１、１’それぞれのコネクタ部１６どうしを直接接続することも可能である。
【００７０】
このように、第１、第２の保持装置１、１’のコネクタ部どうしを接続することにより、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生をより一層確実に抑えることができる。そして、コネクタ部どうしを接続するだけといった簡易な手順で第１、第２の保持装置１、１’に保持されているケーブルどうしを接続することができ、ケーブル接続作業性を大幅に向上することができる。
【００７１】
図１３も他の接続例を示す図である。図１３に示す例では、ハウジング部３０内部に設けられている電気部品３１がハウジング部３０に設けられているコネクタ部３２を介して中継用ケーブル４１に接続されており、中継用ケーブル４１の下端部は保持装置の第１空間部１０に保持されているケーブルに接続するコネクタ部１４に接続している。なお、保持装置１に保持されているケーブルとしては、図１０を参照して説明したように分岐部を有するケーブル（バスバー）を用いることができる。そして、本実施形態では、保持装置１に対して複数（２つ）の電気部品３１（ハウジング部３０）が接続された構成となっている。また、ハウジング部３０の開口部３４はパイプ部材２１を介して第１保持装置１のコネクタ部１６に接続されており、ハウジング部３０内部からの排気ガスはパイプ部材２１及びコネクタ部１６を介して第２空間部２０に流通する。複数（２つ）のハウジング部３０からの排気ガスは第２空間部２０で集合し露光装置外部に排出される。
【００７２】
図１４も他の接続例を示す図である。図１４において、保持装置１は所定の構造体であるメインフレーム１００の段部１００Ａに埋設されており、ケーブルに接続するコネクタ部１４と、第２空間部２０に接続するコネクタ部１６とが構造体１００Ａより露出している。そして、ハウジング部３０の壁部に設けられたコネクタ部３２と保持装置１のコネクタ部１４とが直接接続されるとともに、ハウジング部３０の壁部に設けられたコネクタ部（開口部）３４と保持装置１のコネクタ部１６とが直接接続される。このように、中継用ケーブルや中継用パイプ部材を用いることなく、ハウジング部３０内部の電気部品３１と保持装置１に保持されたケーブルとをコネクタ部３２、１４を介して電気的に接続可能であるとともに、ハウジング部３０の内部空間と第２空間部２０とをコネクタ部３４、１６を介して空間的に接続可能である。これにより、電気部品３１を収容したハウジング部３０のコネクタ部３２、３４と保持装置１のコネクタ部３２、３４とを接続するだけで、ハウジング部３０に収容されている電気部品３１と保持装置１に保持されているケーブルと容易に接続できるとともに、ハウジング部３０内部空間と第２空間部２０とを容易に接続でき、接続ミスといった不都合の発生を確実に抑えつつ接続作業性を大幅に向上することができる。そして、本実施形態では保持装置１は構造体１００Ａに埋設された構成であって広い平面部分を確保することができるため、この構造体１００Ａ上面に他の装置を設置できる等、構造体１００Ａ上面を有効活用できる。
【００７３】
なお、上記実施形態の露光装置ＥＸとして、マスクＭと感光基板Ｐとを同期移動してマスクＭのパターンを露光する走査型露光装置にも適用することができるし、マスクＭと感光基板Ｐとを静止した状態でマスクＭのパターンを露光し、感光基板Ｐを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート型の露光装置にも適用することができる。
【００７４】
露光装置ＥＸの用途としては半導体製造用の露光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置にも広く適当できる。
【００７５】
また、露光用照明光の光源として、超高圧水銀ランプから発生する輝線（ｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０４．７ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ））、ＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）、Ｆ２  レーザ（１５７ｎｍ）のみならず、Ｘ線や電子線などの荷電粒子線を用いることができる。例えば、電子線を用いる場合には電子銃として、熱電子放射型のランタンヘキサボライト（ＬａＢ６  ）、タンタル（Ｔａ）を用いることができる。さらに、電子線を用いる場合は、マスクＭを用いる構成としてもよいし、マスクＭを用いずに直接ウエハ上にパターンを形成する構成としてもよい。また、ＹＡＧレーザや半導体レーザ等の高周波などを用いてもよい。
【００７６】
投影光学系ＰＬの倍率は縮小系のみならず等倍および拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系ＰＬとしては、エキシマレーザなどの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英や蛍石などの遠紫外線を透過する材料を用い、Ｆ２  レーザやＸ線を用いる場合は反射屈折系または屈折系の光学系にし（マスクＭも反射型タイプのものを用いる）、また電子線を用いる場合には光学系として電子レンズ及び偏向器からなる電子光学系を用いればよい。なお、電子線が通過する光路は、真空状態にすることはいうまでもない。また、投影光学系ＰＬを用いることなく、マスクＭと基板Ｐとを密接させてマスクＭのパターンを露光するプロキシミティ露光装置にも適用可能である。
【００７７】
上記実施形態のように基板ステージＰＳＴやマスクステージＭＳＴにリニアモータを用いる場合においてエアベアリングを用いたエア浮上型に限られず、ローレンツ力を用いた磁気浮上型を用いてもよい。また、各ステージＰＳＴ、ＭＳＴは、ガイドに沿って移動するタイプでもよく、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよい。
【００７８】
基板ステージＰＳＴの移動により発生する反力は、特開平８−１６６４７５号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃がしてもよい。また、マスクステージＭＳＴの移動により発生する反力は、特開平８−３３０２２４号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃がしてもよい。
【００７９】
以上のように、本願実施形態の露光装置ＥＸは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【００８０】
半導体デバイスは、図１５に示すように、デバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、前述した実施形態の露光装置ＥＸによりマスクのパターンを基板に露光する基板処理ステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造される。
【００８１】
【発明の効果】
以上説明したように、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第１空間部を有する保持装置を設けたことにより、複数のケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業時等における接続ミスの発生を抑えて良好な作業性が実現されるとともに、良好なケーブル敷設作業性を得ることができる。更に、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので、露光装置を構成する各機構部の作動の自由度を向上することができる。また、この保持装置に、流体を流通する第２空間部を第１空間部と一体的に設けたことにより更なる省スペース化が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の露光装置に係る保持装置の第１実施形態を示す外観概略斜視図である。
【図２】本発明に係る保持装置の第１実施形態を示す概略構成図である。
【図３】本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図４】第１空間部に保持されたケーブルを示す斜視図である。
【図５】本発明に係る保持装置の第２実施形態を示す概略構成図である。
【図６】本発明に係る保持装置の第３実施形態を示す概略構成図である。
【図７】本発明に係る保持装置の第４実施形態を示す概略構成図である。
【図８】本発明に係る保持装置の第５実施形態を示す概略構成図である。
【図９】本発明に係る保持装置の第６実施形態を示す概略斜視図である。
【図１０】ケーブルの一例を示す斜視図である。
【図１１】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図１２】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図１３】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図１４】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図１５】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
１…保持装置、  ２〜６…ケーブル、ケーブル群、  ８…蓋部材、
１０…第１空間部、  １０Ａ〜１０Ｅ…収納部、  １０Ｓ…側壁部（壁部）、
１０Ｔ…上壁部（壁部）、  １１…絶縁材、  １４、１５…第１コネクタ部、
１６、１７…第２コネクタ部、  ２０…第２空間部、
２０Ｓ…側壁部（壁部）、  ２０Ｔ…上壁部（壁部）、  ２２…ファン装置、
３０…ハウジング部、  ３１…電気部品（発熱源）、
３４…ハウジング部開口部（吸引口）、
１０６、１１４、１１５…リニアモータ（機構部）、
１２４…液体循環経路、  １２０…コイル（発熱源）、  ＥＸ…露光装置、
ＩＬ…照明光学系（機構部）、  Ｍ…マスク、
ＭＳＴ…マスクステージ（機構部）、  Ｐ…感光基板（基板）、
ＰＬ…投影光学系（機構部）、  ＰＳＴ…基板ステージ（機構部）
【図１】
2004343002.tif 000003
【図２】
2004343002.tif 000004
【図３】
2004343002.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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