(57)【要約】【課題】処理スペースが不足した場合に、処理スペースの拡充に対応できる構成とする。【解決手段】アーム５と、アームの先端に設けられ、被処理物を保持するヘッド７と、アームが略鉛直の回転軌跡面を描くようにアームを公転させる公転機構とを有している。公転機構が、アーム５を公転させるための公転軸４と、公転軸４の軸方向を水平面（ヘッドの軌跡Ｈと同じ面）内で変えるための公転方向変更軸４２とを有している。【選択図】　図２
2004066369.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アームと、
前記アームの先端に設けられ、被処理物を保持するヘッドと、
前記アームが略鉛直の回転軌跡面を描くように前記アームを公転させる公転機構と、を有し、
前記公転機構が、
前記アームを前記公転させるための公転軸と、
前記公転軸の軸方向を水平面内で変えるための公転方向変更軸と、
を有している被処理物の回転移動装置。
【請求項２】
前記公転機構は、前記公転軸を中心とした前記アームの公転角度が基準位置に対し０度から３６０度まで変化可能に、構成されている
請求項１に記載の被処理物の回転移動装置。
【請求項３】
前記公転機構は、前記公転軸の軸方向を水平面内で９０度変化可能に、構成されている
請求項１に記載の被処理物の回転移動装置。
【請求項４】
前記アーム内に設けられ、一方端部が前記ヘッドに連結されている自転軸と、
前記ヘッドとともに前記自転軸を軸回転させる自転機構と、
をさらに有している請求項１に記載の被処理物の回転移動装置。
【請求項５】
前記公転機構は、前記ヘッドが横長の楕円軌道を描くように回転力を前記アームに伝達する部材を有している
請求項１に記載の被処理物の回転移動装置。
【請求項６】
前記アームを支える支持部を有し、
回転力を伝達する前記部材は、
前記支持部に設けられたガイドと、
前記公転軸に一端側が固定された、前記楕円軌道の偏平率に応じた長さのカムと、
前記カムの他端側を前記ガイドに沿って回転移動が可能に軸支するスライド回転軸部と、
を含む請求項５に記載の被処理物の回転移動装置。
【請求項７】
前記アームを支える支持部を有し、
回転力を伝達する前記部材は、
前記公転軸に一端側が固定された、前記楕円軌道の偏平率に応じた長さの第１カムと、
一方端側が前記第１カムの他端側と相互に回転自在に止められた第２カムと、
前記第２カムの他端側を回転可能に前記支持部に軸支する回転軸部と、
を含む請求項５に記載の被処理物の回転移動装置。
【請求項８】
前記ガイド、前記カム、前記スライド回転軸部、および、前記支持部が、前記公転軸の一方端側と他方端側のそれぞれに配置されている
請求項６に記載の被処理物の回転移動装置。
【請求項９】
前記第１カム、前記第２カム、前記回転軸部、および、前記支持部が、前記公転軸の一方端側と他方端側のそれぞれに配置されている
請求項７に記載の被処理物の回転移動装置。
【請求項１０】
被処理物を保持し回転移動させる回転移動装置と、
前記回転移動装置に保持された前記被処理物の回転軌跡に沿って配置され、前記被処理物の製造に必要な複数の処理を順次施す複数の処理装置と、を有し、
前記回転移動装置が、
アームと、
前記アームの先端に設けられ、処理対象の被処理物を保持するヘッドと、
前記アームが略鉛直の回転軌跡面を描くように前記アームを公転させる公転機構と、を有し、
前記公転機構が、
前記アームを前記公転させるための公転軸と、
前記公転軸の軸方向を水平面内で変えるための公転方向変更軸と、
を有している製造装置。
【請求項１１】
複数の前記処理装置は、前記公転方向変更軸を中心に前記公転軸の軸方向が変化する場合に、異なる向きで複数取り得る前記回転軌跡面のそれぞれに対応した位置に配置されている
請求項１０に記載の製造装置。
【請求項１２】
複数の前記処理装置の少なくとも一部が、他の処理装置と入れ替えが可能に可動式となっている
請求項１０に記載の製造装置。
【請求項１３】
アームの先端に設けられたヘッドに被処理物を保持させる工程と、
前記アームが略鉛直の回転軌跡面を描くように前記アームを公転させ、前記回転軌跡面の外周に沿って移動する前記被処理物に複数の処理を行う第１の処理工程と、
前記アームの公転軸の軸方向を水平面内で変化させる工程と、
前記アームを再び公転させ、前記第１の処理時と異なる向きの他の回転軌跡面の外周に沿って移動する前記被処理物に複数の処理を行う第２の処理工程と、
を含む製造方法。
【請求項１４】
前記アームが横長で略鉛直の楕円軌跡面を描くように前記アームを公転させ、
前記第１および第２の処理工程における複数の前記処理が、横長の前記楕円軌跡面の頂点付近、最下点付近の少なくとも一方で行う処理を含む
請求項１３に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理物に順次処理を施すために被処理物を保持して回転移動させる回転移動装置、当該回転移動装置を含む製造装置、および、製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
様々な部品または製品の製造において、順次処理を施すために被処理物を保持して移動させる装置が必要となる。以下、陰極線管の前パネルを例として、前パネルの製造時の処理、処理のために前パネルを移動させる装置について説明する。
【０００３】
テレビジョン受像機または各種画像モニタとしての陰極線管のガラス管（ブラウン管）は、漏斗形状のファンネル、ファンネルの細く絞られた後方開口部を閉じ、内部に電子銃が収容されるネック管、ファンネルの大きく拡がった前側開口部を閉じ、電子銃からの映像が映し出される前パネルから構成される。
前パネルは、一方が開放した箱型形状を有する。前パネルは、映像が映し出される略方形状の前板ガラス、前板ガラスの四方辺それぞれの一方側に側壁を有し、この側壁の端面がファンネルの縁面に突き合わされて固定される。
【０００４】
カラーブラウン管において、前板ガラスに近い管内部に色選別機構が配設される。
また、前板ガラスの内側面に、色選別機構を透過した電子ビームにより発光する蛍光面とするための、Ｒ，Ｇ，Ｂの蛍光体を含む積層体が形成される。蛍光体は、ドット状またはストライプ状に形成される。
蛍光体がストライプ状に形成される場合、蛍光体ストライプの間を埋めるように、カーボンストライプが形成される。補完関係にある２種類のストライプの全面に、プライマル中間層を介してメタルバック層が形成され、これらにより蛍光面となる積層体が構成される。
【０００５】
上記積層体を前パネルの内底面（前板ガラス内側面）に形成する製造工程では、蛍光体ストライプおよびカーボンストライプを解像度よく形成するためにフォトリソグラフィ技術が用いられる。フォトリソグラフィ技術では、洗浄を含む前処理、溶液塗布、スピン、露光、現像、洗浄、乾燥などの各種処理が繰り返し行われる。このため、前処理液、蛍光体またはカーボンのスラリー、レジストなどの液体を所定量供給する装置（液供給ヘッド）が液体ごとに必要である。また、これらの液体を均一性よく塗布するために、あるいは純水などの洗浄液を吹きつけた後に振り切る際のスピンカバー、あるいは、乾燥または冷却のための装置など、様々の装置が必要である。
【０００６】
図８（Ａ）および図８（Ｂ）は、特開平９−９２１５０号公報に記載された従来の陰極線管の製造装置における各処理装置の配置図である。図９は、前記公報に記載され、図８（Ａ）および図８（Ｂ）における乾燥装置，振り切り装置，回転ヘッド間の正面から見た位置関係を示す図である。
上記公報に記載された陰極線管の製造装置において、図９に模式的に示すように、ブラウン管パネルｂを保持した回転ヘッドｃが先端に設けられ、回転ヘッドｃを自転軸ｄを中心に高速に回転可能に支持するアームｆを複数有する。これらのアームｆは、共通の軸ｇを中心として図示しない中央テーブルに放射状に取り付けられている。中央テーブルを間欠的に回転させることで、各アーム先端のヘッドｃに取り付けられたブラウン管パネルｂに対し、図８（Ａ）に示すように円形に配置された装置群により各種の処理が所定の順序、たとえば、塗布、整膜、乾燥、振り切り、冷却、…などの順で施されるようになっている。
【０００７】
上記公報に記載された陰極線管の製造装置において、前記した各アームｆの処理ブース間の移動のために中央テーブルに設けられた公転軸（以下、処理間移動公転軸）ｇ、および各アームｆの自転軸ｄのほかに、各アームｆに、図９に示すように、もう一つの公転軸、すなわちヘッドの真上からの角度θを変化させるための公転軸（以下、傾斜公転軸）ｅが設けられている。傾斜公転軸ｅが設けられている理由は、各処理で最適な傾斜角θが存在するためである。たとえば塗布工程での最適な傾斜角度θは０度に近く、図示のように、余分な塗布液を振り切るための振り切り装置ｈにパネルを向ける際の傾斜角度θは１８０度付近から、さらに他の装置への塗布液飛散防止のため１８０度を越えた範囲に設定される。また、乾燥装置ａにパネルを向ける際の傾斜角度θは、ヘッドの先端の向きが水平よりやや下向きになるように設定される。
【０００８】
上記公報に記載された陰極線管の製造装置は、複数のアームｆを有し一度に処理できるパネル枚数は多いが、各処理装置ａ，ｈ，…がアームｆを回転させるテーブルの周りに配置されているため、配置スペースが大きい。
【０００９】
また、処理の手順や方法の変更に対しフレキシブルに対応するためには、設計段階である程度余分に処理装置の配置スペースを確保しておく必要がある。このため、製造時には余り有効に用いられない余分なスペースが必要となり、このことが装置全体の配置スペースを更に大きくする一因となっている。
【００１０】
前記公報に記載された陰極線管の製造装置では、各処理のタクトタイムが一律でないため、複数のアームに固定された全てのブラウン管パネルに対し処理が済むまで次の処理ができない待機時間を設定するか、何も処理をしない待ちブースを設けるなどによって時間調整をしていた。このため、時間的または空間的な無駄が発生していた。
【００１１】
さらに、回転ヘッドｃに取りつけられたブラウン管パネルｂは、処理ブース間の移動、傾き、自転の３軸動作を強いられるため、供給した薬液に泡不良が発生しやすいことも問題であった。
【００１２】
これらの問題を解決するために、本発明者は特願２０００−８３２５２号に、被処理物を先端に保持したアームを略鉛直の回転軌跡面を描いて公転させ、その回転軌跡面の外周に複数の処理装置を配置する製造装置を考案した。この製造装置は、アームを略鉛直の回転軌跡面を描いて公転させるため配置スペースが小さく、処理工程の変更があっても可動式に構成した処理装置を入れ替えることで対応でき、動作軸数も減るため泡不良の発生も抑制できる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この製造装置では、処理工程数が増えて処理装置の配置スペースが不足した場合に、処理装置を装置の稼動中に入れ替える手間が必要となっており、その点で、改良の余地があった。
【００１４】
本発明の目的は、処理スペースが不足した場合に、処理スペースの拡充に対応できる構成の被処理物の回転移動装置、当該回転移動装置を用いた製造装置、および、製造方法を新たに提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の観点の被処理物の回転移動装置は、アームと、前記アームの先端に設けられ、被処理物を保持するヘッドと、前記アームが略鉛直の回転軌跡面を描くように前記アームを公転させる公転機構と、を有し、前記公転機構が、前記アームを前記公転させるための公転軸と、前記公転軸の軸方向を水平面内で変えるための公転方向変更軸と、を有している。
【００１６】
第１の観点の回転移動装置において、被処理物がヘッドに保持されたアームは公転軸を中心に略鉛直の回転軌跡面を描くように公転する。回転移動装置は公転方向変更軸を有している。公転軸が公転方向変更軸を支点に軸回転することにより、公転方向が変更される。したがって、アームを再び公転させると、アームは以前と異なる軌跡を描くため、ヘッドに保持された被処理物も以前と異なる軌跡を描いて回転移動する。
【００１７】
本発明の第２の観点の製造装置は、被処理物を保持し回転移動させる回転移動装置と、前記回転移動装置に保持された前記被処理物の回転軌跡に沿って配置され、前記被処理物の製造に必要な複数の処理を順次施す複数の処理装置と、を有し、前記回転移動装置が、アームと、前記アームの先端に設けられ、処理対象の被処理物を保持するヘッドと、前記アームが略鉛直の回転軌跡面を描くように前記アームを公転させる公転機構と、を有し、前記公転機構が、前記アームを前記公転させるための公転軸と、前記公転軸の軸方向を水平面内で変えるための公転方向変更軸と、を有している。
【００１８】
第２の観点の製造装置は、第１の観点の回転移動装置と、アームの回転軌跡に沿って配置された複数の処理装置とを有している。前述したように回転移動装置が公転方向の変更機能を有しているため、その変更後にアームを公転させたときに、以前とは異なる軌跡を描いて回転移動する被処理物に対しても複数の処理装置によって順次処理が施される。
【００１９】
本発明の第３の観点の製造方法は、アームの先端に設けられたヘッドに被処理物を保持させる工程と、前記アームが略鉛直の回転軌跡面を描くように前記アームを公転させ、前記回転軌跡面の外周に沿って移動する前記被処理物に複数の処理を行う第１の処理工程と、前記アームの公転軸の軸方向を水平面内で変化させる工程と、前記アームを再び公転させ、前記第１の処理時と異なる向きの他の回転軌跡面の外周に沿って移動する前記被処理物に複数の処理を行う第２の処理工程と、を含む。
【００２０】
第３の観点の製造方法によれば、被処理物をアームのヘッドに保持させた後、第１の処理工程において、アームを適宜公転させながら予め決められた複数の処理を被処理物に施す。第１の処理工程が終了すると、アームの公転を停止させて公転軸の軸方向を水平面内で変化させる。次にアームを公転させると、ヘッドに保持された被処理物が第１の処理工程に用いた処理装置とは異なる位置に配置された処理装置に臨むようになる。第２の処理工程において、アームを適宜公転させながら予め決められた複数の処理を被処理物に施す。
【００２１】
【発明の実施の形態】
発明の実施形態を、陰極線管の前パネルの製造を例として図面を参照しながら説明する。
本実施形態における陰極線管の製造装置は、ブラウン管の前パネルの内面に蛍光体を含む積層膜を形成する工程に用いる。積層膜の形成は、薬液の注入、スピンニングによる余分な薬液の振り切り、乾燥、薬液または純水の吹き付け、スピンニングおよび乾燥などの処理を繰り返すことで達成される。
以下、積層体形成の基本となる液注入、振り切り、乾燥、液吹き付けの４つの処理を連続して行う場合を説明する。
【００２２】
図１は、本実施形態における陰極線管の製造装置の液吹き付け時の正面図である。また、図２は、当該製造装置の乾燥時の上面図である。
図解した陰極線管の製造装置は、振り子式アームを有する前パネルの回転移動装置１と、複数の処理装置とからなる。図示例には処理装置として、液吹き付け装置（スプレー）２０Ａおよび２０Ｂ、加熱装置（ヒータ）２１Ａおよび２１Ｂが設けられている。各処理装置２０Ａ，２０Ｂ，２１Ａ，２１Ｂは可動式であり、他の処理装置と入れ替えが可能である。
【００２３】
前パネルの回転移動装置１は、一対の支持部２，３と、支持部２，３により両端をほぼ水平に支えられた公転軸４と、公転軸４の周りを３６０度回転可能に軸支されたアーム５とを有する。支持部２，３が連結部４０によって連結されている。連結部４０は、その下の基部４１に対して回転自在に接続されている。基部４１と連結部の回転軸４２は、たとえば鉛直の軸であり、公転方向変更軸という。
基部４１が当該装置の据付面（床）に固定されたとすると、支持部２，３、公転軸４およびアーム５は、公転方向変更軸４２を軸中心に基部４１に対して０度から３６０度回転することができる。この公転方向の変更時の回転軌跡を、図２において符号Ｈで示す。
【００２４】
基部４１内に、公転方向の変更時に支持部２，３、公転軸４およびアーム５を基部４１に対して軸回転させる動力を供給するモータ４３と、モータ４３からの回転動力を減速させる減速機４４とが内蔵されている。
また、とくに図示しないが、支持部２，３の一方側に、公転軸４を軸回転させるモータが据えられている。公転時のアーム５の角度制御は、たとえば、シーケンサでサーボモータの回転角度を細かく制御することにより達成される。
【００２５】
アーム５は公転軸４と直交する方向に長い胴体５ａを有し、そのほぼ中央付近の胴体部分で横方向に延びる公転軸４と連結されている。また、胴体５ａ内で、その軸芯に沿って自転軸６が設けられている。
アーム５の胴体５ａから突出した自転軸６の一方端にパネルクランプヘッド７が設けられている。パネルクランプヘッド７はパネル着脱機構を備え、着脱機構に陰極線管の前パネル３０が、その内面をアーム外側に向けて保持されている。アーム胴体５ａの他端側には、自転軸６を高速で軸回転させるためのモータ８が設けられている。自転動作は、乾燥を速めるために水などを振り切ったり、供給された薬液を均一性よくのばして膜状に成形するために行う。
【００２６】
公転軸４の両端に、それぞれカム９が固定されている。カム９は、その一端が公転軸４に固定され、他端がリニアガイドと称される支持部２，３側のスライド回転軸受けに接続されている。
リニアガイドは、たとえば、支持部２，３の外側プレート２ａ，３ａに設けられた直線状のガイド穴１０と、ガイド穴１０内を回転しながらスライドでき、カム９の他端に固定されたスライド回転軸１１とを有する。
【００２７】
このようなスライド回転軸受け（リニアガイド）およびカム９を設けたのは、アーム先端に固定されている前パネル３０の回転軌跡を横長の楕円軌道にするためである。
カム９の実効長、すなわちカム９両端に位置する回転軸４，１１の軸芯間の距離は、この楕円軌道Ｅの偏平率に応じて決められる。カム９の実効長が長いほど、偏平率が高い横長の楕円軌道にすることができる。また、このカム９の実効長により必要最小値が決められた長さで、水平方向にガイド穴１０が形成されている。
なお、直線状のガイド穴１０は、力の伝達機構を多少変更すれば垂直方向に形成することも可能である。
【００２８】
前パネル３０の回転軌跡を横長の楕円軌道にしたのは、以下の理由による。
処理装置の配置スペースを確保するには、アーム５を長くして前パネル３０の回転軌跡を出来るだけ大きくする必要がある。その一方で、前パネルの蛍光面形成では、蛍光体スラリーなどの注入を、前パネル内面を上向きで行う必要から、これを人手によって行う場合、前パネル３０の回転軌跡が余り大きいと作業ポイントが高すぎて作業性が悪い。また、作業ポイントを低くするため公転軸４の位置を低くすると、振り切り用のスピンフードなどの処理装置を下に入れるスペースがなくなる。　前パネル３０の回転軌跡を横長の楕円軌道にすることによって、周辺の処理装置の配置スペースを出来るだけ大きく確保しながら作業性を改善することができる。なお、図解した例では、基部４１があるためスピンフードは配置していないが、連結部４０と回転軌跡Ｅとの距離を図解したものより大きくして、連結部４０の上にスピンフードを配置してもよい。また、連結部４０そのものをスピンフードの形状にしてもよい。
【００２９】
また、支持部２，３、公転軸４およびアーム５を、基部４１に対して軸回転可能に構成したのは、以下の理由による。
例えば異なる薬液を２回連続して塗布する処理がある場合、薬液１の専用スプレー２０Ａとヒータ２１Ａの他に、薬液２の専用スプレー２０Ｂと２１Ｂが必要となる。支持部２，３、公転軸４およびアーム５が基部４１に対して軸回転できない場合、薬液１の塗布と乾燥をスプレー２０Ａとヒータ２１Ａを用いて行った後に、アームを止めて、スプレー２０Ａと２０Ｂを入れ替え、ヒータ２１Ａと２１Ｂを入れ替える作業が必要となる。あるいは、ヒータ２１Ａで乾燥を行っている間にスプレー２０Ａと２０Ｂを入れ替え、次に、スプレー２０Ｂで薬液２の塗布を行っている間にヒータ２１Ａと２１Ｂを入れ替える作業が必要となる。このような作業は面倒であり、人が付いていなければならない不利益がある。
そこで、本実施形態においては、図２に示すように、最初から、Ａ方向にスプレー２０Ａとヒータ２１Ａを配置し、Ａ方向と直交するＢ方向にスプレー２０Ｂとヒータ２１Ｂを配置しておく。支持部２，３、公転軸４およびアーム５を、基部４１に対して回転軌跡Ｈを描いて軸回転が可能に構成する。スプレー２０Ａとヒータ２１Ａを用いた薬液１の塗布乾燥後にアームを回転軌跡Ｈに沿って９０度回転させ、その後、スプレー２０Ｂとヒータ２１Ｂを用いた薬液２の塗布乾燥を行う。これによって、処理装置の移動なしに、薬液１と薬液２の連続処理が可能となる。
なお、図２に図解した例はスプレーとヒータを２セット配置した場合を例示したが、処理装置の種類は任意である。また、処理装置は回転軌跡の外周なら任意に設置できる。いずれにしても処理装置の配置スペースが拡充され、配置の自由度が向上している。
【００３０】
図３に、前パネルの回転移動装置におけるアーム５の回転動作を示している。
図３（Ｂ）の前パネル３０が真上にある状態では、リニアガイドのスライド回転軸１１がガイド穴１０の長さ中央に位置し、それより下方に公転軸４が位置している。したがって、公転軸をガイド穴の高さで固定して軸回転させた場合より、カム９の実効長だけ前パネル３０の位置は低くなっている。
【００３１】
前パネル３０が反時計回りに９０度回転した図３（Ａ）の状態では、スライド回転軸１１がガイド穴１０の左方向移動限界まで達している。このとき、公転軸４はガイド穴１０の長さ中央付近にあるため、カム９の長さがガイド穴１０に対する前パネル３０の相対位置に影響していない。したがって、前パネル３０は、公転軸をガイド穴中央で固定して軸回転させた場合に前パネルが描く円軌道と同じ位置にある。
【００３２】
前パネル３０が更に９０度回転した図３（Ｃ）の状態では、再びスライド回転軸１１がガイド穴１０の長さ中央に位置している。しかし、この場合、図３（Ｂ）とは逆に、スライド回転軸１１より上方に公転軸４が位置している。したがって、公転軸を固定して回転させた場合より、カム９の実効長だけ前パネル３０の位置は高くなっている。
【００３３】
とくに図示しないが、前パネル３０を更に９０度回転させると、スライド回転軸１１がガイド穴１０の右方向移動限界まで達し、図３（Ａ）と左右対称になる。したがって、前パネル３０は、公転軸をガイド穴中央で固定して回転させた場合に前パネルが描く円軌道に戻る。
前パネル３０の回転をさらに進めると、図３（Ｂ）に再び移行する。
このようにして、前パネル３０は横長の楕円軌道Ｅを描きながら公転する。
【００３４】
なお、処理装置の一例として図１に示したスプレー２０Ａまたは２０Ｂは、ノズル２３、先端のノズルヘッド２４、フード２５および廃液管２６などを備える。ノズル２３から供給された薬液は、ノズルヘッド２４から回転移動装置１のヘッドに取り付けられた前パネル３０に吹き付けられる。このとき余分な薬液はフード２５、廃液管２６により集められ排出される。また、場合によっては、スプレー２０のフード２５内で前パネル３０を自転させて薬液の量を調整し塗布ムラを低減する。
【００３５】
ヒータ２１Ａまたは２１Ｂは、発熱体を備えるヒータパネル２７が前面に設けられている。ヒータ２１Ａまたは２１Ｂは、水処理（洗浄）装置と一体に形成されることもある。また、ヒータ２１Ａまたは２１Ｂは、前パネル３０の取りつけ時には、図２に破線で示す位置に移動させられる。
【００３６】
つぎに、製造装置の使用例として、陰極線管の前パネル内面にカーボンストライプ（ＣＳ）を形成する工程、蛍光体ストライプ（ＰＳ）を形成する工程、および、プライマル中間層（ＰＲＩ）を形成する工程について、図４〜図７を用いて説明する。なお、ここで用いる製造装置においては、図１における基部４１を覆うようにスピンフード２２が設けられている。スピンフード２２は昇降運動が可能に構成されている。
【００３７】
図４は、前パネル３０の内側に形成された蛍光面となる積層体の断面図である。
前パネル３０の内側主面３０ａ上に形成された積層体は、外光からの反射率を下げコントラストを向上させるカーボンストライプＣＳと、カーボンストライプ間スペースに形成された赤，緑，青の蛍光体ストライプＰＳと、この２種類のストライプＣＳ，ＰＳ上に積層されたプライマル中間層ＰＲＩおよびメタルバック層ＭＢとからなる。
この蛍光面の積層体は、プライマル中間層ＰＲＩを介して積層されているメタルバック層ＭＢの存在により、画面の明るさが増加しており、イオンスポットの発生が防止され、かつ、メタルバック層ＭＢのミラー効果により電位の安定が図られている。
【００３８】
カーボンストライプＣＳの形成では、所定の前処理を行った後、塗布したレジスト膜に、前パネル３０の内側ガラス面に色選別機構（アパチャーグリル）の光透過部と同じパターンで、フォトレジストのパターンを形成する。
【００３９】
フォトレジストのパターンが形成された前パネル３０を、図５に示すように、アーム５先端のパネルクランプヘッドに取り付ける。このとき、ヘッドが真上のときを起点としたアーム５の反時計回りの公転角θを、通常は０度、場合によっては図５（Ｂ）のように０〜９０度の範囲に設定する。
前パネル３０の内側面を上にして固定した後、図５（Ａ）に示すように公転角θを７度にして、カーボンスラリーを、たとえば人手にて前パネル３０内に注入する。
【００４０】
その後、公転角θを１８０度にして前パネル３０を真下に向け、前パネル３０が覆われるようにスピンフード２２を上昇させた後、前パネル３０を高速で自転させる。これにより、パネル内の不要なカーボンスラリーが遠心力で振り切られ、除去される。
【００４１】
余分なカーボンが十分振り切られカーボン膜が均一になったら自転を止め、スピンフード２２を元の位置まで降下させ、その後、公転角θを２５５度にして前パネル３０をヒータ２１Ａ側に向ける。
必要に応じて、水洗をして汚れを落とし、自転により軽く水切りを行う。そして、ヒータ２１Ａにより所定の条件で熱処理を行う。
【００４２】
熱処理後は、前パネル３０を取りつけた時と同じ位置に戻し、逆の手順で前パネル３０を装置から取り外す。
その後にレジスト剥離を行うと、レジスト上のカーボン部分がレジストとともに除去され、パネル面にカーボンがストライプ状に残る。後処理を行うと、当該カーボンストライプＣＳの形成工程が終了する。
【００４３】
つぎの蛍光体ストライプＰＳの形成では、まず、蛍光体スラリーの塗布を行う。
すなわち、カーボンスラリー塗布の場合と同様、スラリーを注入し、振り切った後、必要に応じて水洗した後に熱処理（乾燥）を行う。ただし、蛍光体スラリーの塗布後の振り切りでは、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に示すように、台座２２ｂに所定角度で取り付けられた横置きタイプのスピンフード２２ａを用いる。
すなわち、カーボンスラリー塗布同様に前パネル３０をセットしてスラリーを注入後、公転角θが２５０度前後の位置に前パネル３０を移動させ、台座２２ｂをベース２２ｃに対しスライドさせてスピンフード２２ａが前パネル３０を覆うようにする。この状態で前パネル３０を高速回転させて振り切りを行う。
【００４４】
スラリー注入に邪魔になるので最初は横に避けておいたヒータ２１を、この振り切りの間に所定位置に戻しておく。
振り切りが終了すると、カーボンスラリー塗布の場合と同様、必要に応じて水洗および振り切りを行った後、ヒータ２１Ａにより乾燥させると、当該蛍光体スラリーの塗布工程が終了する。
【００４５】
その後、Ｒ，ＧまたはＢに対応したマスクを介して、パネル内側から紫外線を照射して、この蛍光体スラリーをカーボンストライプＣＳの離間スペース部分で硬化させる。このとき、Ｒ，ＧまたはＢのストライプ部分のみ蛍光体スラリーが硬化する。その後、所定の薬液処理を行うと、未硬化の蛍光体スラリーが除去される。
このような、スラリー塗布、乾燥、紫外線照射および薬液処理を他の２色についても繰り返すと、図４のように、カーボンストライプＣＳの離間スペースを中心とした位置に蛍光体ストライプＰＳが形成される。
【００４６】
つぎのプライマル中間層の形成では、前パネル３０をセットした後、図７（Ａ）および図７（Ｂ）に示すように、塗布（プライマル液注入）を人手ではなくスプレー２０Ａを用いて行う。また、そのプライマル液の振り切りは、カーボンストライプ塗布時と同様な下置きタイプのスピンフード２２を用いる。
このプライマル液の注入と振り切りを行う間に、前パネル３０のセット時に横に避けておいたヒータ２１を所定位置に戻しておき、振り切り終了後直ぐに、水洗および乾燥を行う。
その後、前パネル３０をアーム５から外して、Ａｌ蒸着などの方法でメタルバク層ＭＢを形成すると、当該蛍光面となる積層体の形成が終了する。
【００４７】
なお、カーボンストランプＣＳの形成を図２のＡ方向に配置した処理装置で行った場合、蛍光ストライプＰＳの形成を図２のＢ方向に配置した処理装置で行うと、装置の入れ替えがなく、好ましい。また、本実施形態に係る陰極線管の製造装置により塗布できる薬液は、カーボンスラリー，蛍光体スラリー，プライマル液に限定されるものではなく、他の薬液、たとえばレジストなどであってもよい。
レジスト塗布工程では、まず、純水洗浄およびプリベークの後、レジスト注入、スピンニングによる膜厚調整およびポストベークなどの処理があるが、その動作は、基本的に上記した薬液塗布工程の処理（液注入，振り切り，水洗および乾燥）と共通し、その組み合せ手順が異なるだけであることから、ここでの説明は省略する。
また、本実施形態に係る製造装置は、必要な処理装置を周辺に適宜配置することで、薬液塗布工程に限らず、たとえば現像工程にも使用できる。現像工程では、パドル現像，リンス，水洗および乾燥の処理を含むが、その動作は、基本的に上記した薬液塗布工程の処理と共通することから、ここでの説明は省略する。
【００４８】
また、アーム５の公転を支え横長の楕円軌道Ｅを描かせるための動力伝達構造は、上記したカム９とリニアガイドとの組合せ以外でもよく、たとえば、一端が公転軸４に固定され、楕円軌道Ｅの偏平率を決定する実効長の第１カムと、一端が床固定物（たとえば支持部２，３）に回転可能に軸支され、他端が第１カムの他端と互いに回転可能に連結された比較的長い第２カムとの組合せによっても、上記したと同様に前パネル３０を横長の楕円軌道Ｅ上で動かすことができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明に係る被処理物の回転移動装置によれば、アームが公転するときの略垂直の軌道面以外に、水平面内でアームの公転方向を変更できるため、アームの動作の自由度が高く、様々な処理に対応できる。
本発明の製造装置によれば、上記した動作の自由度が高い回転移動装置の外周に各種処理装置を配置しているため、処理間移動に縦の空間を利用し、製造装置の据え付け面積が極めて小さい。また、処理装置数が多い場合でも、公転方向の変更が可能なことから水平面内でアームの公転方向を変えて連続した処理が可能である。
本発明の製造方法によれば、第１の処理工程と第２の処理工程を続けて行う際に、処理装置の移動を伴わないため人的手間が不要であり、製造しやすい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態における陰極線管の製造装置の構成を示す液吹き付け時の正面図である。
【図２】実施形態における陰極線管の製造装置の構成を示す乾燥時の上面図である。
【図３】実施形態における製造装置内の、前パネルの回転移動装置におけるアームの回転動作を示す図である。
【図４】前パネルの内側に形成された蛍光面となる積層体の断面図である。
【図５】実施形態における製造装置を用いてカーボンストライプを形成する際の手順を説明するための図である。
【図６】実施形態における製造装置を用いて蛍光体ストライプを形成する際の手順を説明するための図である。
【図７】実施形態における製造装置を用いてプライマル中間層を形成する際の手順を説明するための図である。
【図８】従来の陰極線管の製造装置における各処理装置の配置図である。
【図９】従来の陰極線管の製造装置において、乾燥装置，振り切り装置，回転ヘッド間の正面から見た位置関係を示す図である。
【符号の説明】
１…回転移動装置、２，３…支持部、２ａ，３ａ…外側支持プレート、４…処理間移動公転軸（公転軸）、５…アーム、５ａ…胴体、６…自転軸、７…パネルクランプヘッド（ヘッド）、８…モータ、９…カム、１０…ガイド穴、１１…スライド回転軸、２０…スプレー、２１…ヒータ、２２，２２ａ…スピンフード、３０…前パネル、４０…連結部、４１…基部、４２…公転方向変更軸、４３…モータ、４４…減速機、ＣＳ…カーボンストライプ、ＰＳ…蛍光体ストライプ、ＰＲＩ…プライマル中間層、ＭＢ…メタルバック層、Ｅ…略鉛直で横長の公転時の回転軌道、Ｈ…公転方向の変更時の回転軌道
【図１】
2004066369.tif 000003
【図２】
2004066369.tif 000004
【図３】
2004066369.tif 000005
【図４】
2004066369.tif 000006
【図５】
2004066369.tif 000007
【図６】
2004066369.tif 000008
【図７】
2004066369.tif 000009
【図８】
2004066369.tif 000010
【図９】
2004066369.tif 000011