(57)【要約】【課題】半導体装置に対するテスト情報の内容を変更する際の作業者の負担を軽減したテスト情報管理方法およびシステムを提供する。【解決手段】ホストコンピュータ１にはマスタ情報ファイル１ｄを、工場側コンピュータ２にはサブマスタ情報ファイル２ｄを確保し、両ファイル１ｄ，２ｄは共に各品種ごとにテストフロー名が宣言されたテスト基準情報Ｘ１が登録されたテスト基準情報ファイル１１と、テストフロー名に応じたテスト実行手順を規定するテスト処理工程名が宣言されたテスト処理工程情報Ｘ２が登録されたテスト処理工程情報ファイル１３と、各テスト処理工程名ごとのテスト条件が規定されたテスト条件情報Ｘ３が登録されたテスト条件情報ファイル１３とが階層構造となるように関連付けられて配備されている。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の各品種ごとのテスト項目を規定するテスト情報を管理するための方法であって、半導体装置の各品種ごとにテストフロー名が宣言されたテスト基準情報と、上記テストフロー名に応じた具体的なテスト実行手順を規定するテスト処理工程名が宣言されたテスト処理工程情報と、上記各テスト処理工程名ごとのテスト条件が規定されたテスト条件情報とをそれぞれ確保し、これらの各情報を順次階層化してデータベースとし、上記テスト基準情報とテスト処理工程情報とは上記テストフロー名をキーとして互いに関連付け、また、上記テスト処理工程情報とテスト条件情報とは上記各テスト処理工程名をキーとして互いに関連付けることにより情報管理することを特徴とする半導体装置のテスト情報管理方法。
【請求項２】
上記テスト条件情報には、ファンクションテストを実施するためのテストプログラムを規定するテストプログラム名が宣言される一方、テスト条件情報とは別個にバージョンアップが宣言されたテストプログラムを含むプログラム情報を確保し、上記テスト条件情報とプログラム情報とを上記テストプログラム名をキーとして互いに関連付けることにより情報管理することを特徴とする請求項１記載の半導体装置のテスト情報管理方法。
【請求項３】
コンピュータ制御によって半導体装置の各品種ごとのテスト項目を規定するテスト情報を管理するテスト情報管理システムであって、テスト開発管理部門などに配置されたホストコンピュータには上記テスト情報がマスタ情報として格納されたマスタ情報ファイルが、また、工場テスト部門などに配置された工場側コンピュータには上記マスタ情報をコピーしたサブマスタ情報ファイルがそれぞれデータベースとして確保されており、上記マスタ情報ファイルとサブマスタ情報ファイルとは、共に、半導体装置の各品種ごとにテストフロー名が宣言されたテスト基準情報が登録されたテスト基準情報ファイルと、上記テストフロー名に応じた具体的なテスト実行手順を規定するテスト処理工程名が宣言されたテスト処理工程情報が登録されたテスト処理工程情報ファイルと、上記各テスト処理工程名ごとのテスト条件が規定されたテスト条件情報が登録されたテスト条件情報ファイルとが順次階層構造となるように互いに関連付けられて配備されていることを特徴とするテスト情報管理システム。
【請求項４】
バージョンアップが宣言されたテストプログラムを含むプログラム情報が登録されたプログラム情報ファイルを備え、上記テスト条件情報ファイルにこのプログラム情報ファイルが関連付けられて配備されていることを特徴とする請求項３記載のテスト情報管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の半導体装置に対してその特性を検査するためにテストを実施する際のテスト情報の管理を行うテスト情報管理方法、およびテスト情報管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種の半導体装置を製造する上では、その製造工程の途中、あるいは製品出荷前に、所要の特性を満たしているか否かを判断するために各種テストが実施される。そのようなテストを実施するためには、各製品の品種ごとにテスト処理工程、テスト装置、テスト条件などといったテスト項目を規定する必要がある。
【０００３】
そのため、従来は、各テスト項目を規定するためのテスト情報をデータベース化してファイル管理しているが、その場合のテスト情報は、次のようなデータ構造が採用されている。
【０００４】
すなわち、従来、各品種に対するテスト項目を規定するテスト情報は、図６に示すようなテスト基準情報Ｙ１と、図７に示すようなテスト条件付処理工程情報Ｙ２とからなる二重構造になっている。
【０００５】
上記のテスト基準情報Ｙ１は、各品種Ａ，Ｂ，…に対応してテストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…が宣言されるとともに、およびそのテストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…に対応した手順でテストを実施する際に要する全処理時間Ｔａ，Ｔｂ，…を規定している。
【０００６】
また、上記のテスト条件付処理工程情報Ｙ２は、各テストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…に対応した具体的なテスト実行手順を規定する各テスト処理工程名Ｎ１，Ｎ２，…が宣言されるとともに、各テスト処理工程名Ｎ１，Ｎ２，…の下で使用する装置名Ｍ１，Ｍ２，…、処理時間ｔ１，ｔ２，…、ファンクションテストを実施するためのテストプログラムを設定するためのテストプログラム名Ｐ１，Ｐ２，…などのテスト条件を規定している。なお、ここでは理解を促すために、各テスト条件として装置名、処理時間、およびテストプログラム名の３つの項目に限定しているが、実際上はさらに多数のテスト条件が詳細に規定される。
【０００７】
ここで、いま、たとえば品種Ａについて所定のテスト項目を設定する場合、まず、図６のテスト基準情報Ｙ１において、品種Ａを指定すると、この品種Ａに対応するテストフロー名Ｆ１、および全処理時間Ｔａが設定される。続いて、図７のテスト条件付処理工程情報Ｙ２において、テストフロー名Ｆ１をキーとして、これに対応した各テスト処理工程Ｎ１，Ｎ２，…、ならびに各テスト処理工程名Ｎ１，Ｎ２，…により規定されるテスト処理工程で使用する装置名、処理時間、テストプログラム名などのテスト条件が設定される。これは他の品種Ｂ，Ｃ，…についてテスト項目を設定する場合も同様である。
【０００８】
そして、従来は、このようして各品種Ａ，Ｂ，Ｃ，…についての詳細なテスト項目が設定されると、これらのテスト項目をプリントアウトなどして半導体製造部門のテスト作業者に知らせ、当該テスト作業者はこのテスト項目に従って各品種Ａ，Ｂ，…について適切なテストを実施している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のテスト基準情報Ｙ１およびテスト条件付処理工程情報Ｙ２は、各品種Ａ，Ｂ，Ｃ，…についてのテスト項目を規定するものであるが、これらの情報Ｙ１，Ｙ２は不変的なものではなく、製品の要求品質や特性の変化等によってしばしば改定されることがある。たとえば、テスト精度を高めるためにテスト条件を変更したり、あるいは、テストの稼働効率を高めるために不要なテスト処理工程を省略したり、追加したりすることがある。
【００１０】
一方、従来は、図７に示したテスト条件付処理工程情報Ｙ２の内容を見て分かるように、テストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…の下にテスト処理工程名のみならず、各テスト処理工程名に付随して装置名、処理時間、テストプログラム名などのテスト条件が規定されたデータ構造となっている。換言すれば、テストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…の下にテスト処理工程名とテスト条件とが一体的に組み込まれたデータ構造となっている。そのため、テスト項目の一つの事項を変更したり追加する場合にも、各テストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…ごとにテスト情報の修正を行わねばならなかった。
【００１１】
たとえば、図７の例において、テストフロー名はＦ１，Ｆ２，Ｆ３と異なっているが、その中には同じテスト処理工程名Ｎ１を含んだものがある、そのため、同じテスト条件（装置名Ｍ１，処理時間ｔ１，テストプログラム名Ｐ１）が設定されている。しかし、従来はテストフロー名の中にテスト条件が組み込まれたデータ構造となっているため、この工程名Ｎ１のテスト条件を変更（たとえば装置名をＭ１からＭ１’に変更）するためには、各々のテストフロー名Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３のテスト情報について個別に修正を行わねばならず、一括した修正ができない。
【００１２】
また、テスト条件の項目の一つであるテストプログラムは頻繁にバージョンアップされるので、そのバージョンアップの度に、各々のテストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…に付属するテストプログラム名も個別に修正する必要が生じる。
【００１３】
したがって、従来は、テスト情報の修正作業に過大な労力と時間を要し、テスト情報の管理作業者の負担が大きかった。しかも、個々にテスト情報を修正する必要があるために修正ミスが生じ易かった。
【００１４】
さらに、従来のように、テストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…の中にテスト条件が組み込まれたデータ構造になっていると、テストフロー名Ｆ１，Ｆ２，…ごとに個別にテスト条件が規定される結果、同じ内容の情報が重複し（図７の例では、テストフロー名Ｆ１，Ｆ２間で工程名Ｎ１，Ｎ３，Ｎ４が重複しており、このためテスト条件を決めるデータも重複している）、テスト情報の共有化が図れない。その結果、テスト情報をデータベース化してファイル管理する際に情報量が徒に増大してしまう。
【００１５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、テスト情報の共通化、集約化を行えるとともに、テスト情報を一括して修正できるようにして、テスト情報の変更に伴う作業者の負担を軽減し、修正ミスなども起こらないようにした半導体装置のテスト情報管理方法およびテスト情報管理システムを提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために、次のようにしている。
【００１７】
すなわち、請求項１記載の発明に係る半導体装置のテスト情報管理方法は、半導体装置の各品種ごとのテスト項目を規定するテスト情報を管理する場合において、半導体装置の各品種ごとに総括的なテストフロー名が宣言されたテスト基準情報と、上記テストフロー名に応じた具体的なテスト実行手順を規定するテスト処理工程名が個々に宣言されたテスト処理工程情報と、上記各テスト処理工程名ごとのテスト条件が規定されたテスト条件情報とをそれぞれ確保し、これらの各情報を順次階層化してデータベースとし、上記テスト基準情報とテスト処理工程情報とは上記テストフロー名をキーとして互いに関連付け、また、上記テスト処理工程情報とテスト条件情報とは上記各テスト処理工程名をキーとして互いに関連付けることにより情報管理することを特徴としている。
【００１８】
請求項２記載の発明に係る半導体装置のテスト情報管理方法は、請求項１記載の発明方法において、上記テスト条件情報には、ファンクションテストを実施するためのテストプログラムを規定するテストプログラム名が宣言される一方、テスト条件情報とは別個にバージョンアップが宣言されたテストプログラムを含むプログラム情報を確保し、上記テスト条件情報とプログラム情報とを上記テストプログラム名をキーとして互いに関連付けることにより情報管理することを特徴としている。
【００１９】
請求項３記載の発明に係るテスト情報管理システムは、コンピュータ制御によって半導体装置の各品種ごとのテスト項目を規定するテスト情報を管理するシステムであって、テスト開発管理部門などに配置されたホストコンピュータには上記テスト情報がマスタ情報として格納されたマスタ情報ファイルが、また、工場テスト部門などに配置された工場側コンピュータには上記マスタ情報をコピーしたサブマスタ情報ファイルがそれぞれデータベースとして確保されており、上記マスタ情報ファイルとサブマスタ情報ファイルとは、共に、半導体装置の各品種ごとにテストフロー名が宣言されたテスト基準情報が登録されたテスト基準情報ファイルと、上記テストフロー名に応じた具体的なテスト実行手順を規定するテスト処理工程名が個々に宣言されたテスト処理工程情報が登録されたテスト処理工程情報ファイルと、上記各テスト処理工程名ごとのテスト条件が規定されたテスト条件情報が登録されたテスト条件情報ファイルとが順次階層構造となるように互いに関連付けられて配備されていることを特徴としている。
【００２０】
請求項４記載の発明に係るテスト情報管理システムは、請求項３記載の発明の構成において、バージョンアップが宣言されたテストプログラムを含むプログラム情報が登録されたプログラム情報ファイルを備え、上記テスト条件情報ファイルにこのプログラム情報ファイルが関連付けられて配備されていることを特徴としている。
【００２１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係るテスト処理情報管理システムの全体構成を示すブロック図である。
【００２２】
この実施の形態１のテスト情報管理システムは、半導体装置の各品種ごとのテスト項目を規定するテスト情報を管理するためのもので、コンピュータ装置やワークステーション等の情報処理装置を使用して実現されるものである。
【００２３】
この場合のテスト情報管理システムのハードウェア構成としては、図１に示すように、テスト開発管理部門などに配置されたホストコンピュータ１と、各工場のテスト部門などに配置された工場側コンピュータ２とがＬＡＮなどの通信回線４を介して互いに接続されている。
【００２４】
ホストコンピュータ１は、制御本体部１ａ、ハードディスクなどの記憶装置１ｂ、および端末装置１ｃを備えている。また、工場側コンピュータ２は、制御本体部２ａ、ハードディスクなどの記憶装置２ｂ、端末装置２ｃを備えるとともに、制御本体部２ａにより制御されるテスト装置３が設けられている。そして、ホストコンピュータ１の端末装置１ｃに設けられている図示しないキーボードや表示器等を介して記憶装置１ｂに格納されているテスト情報の追加、変更、削除等の修正が行なわれる。
【００２５】
上記のホストコンピュータ１の記憶装置１ｂには、テスト情報がマスタ情報として格納されたマスタ情報ファイル１ｄが確保されている。また、工場側コンピュータ２の記憶装置２ｂにはマスタ情報をコピーしたサブマスタ情報がサブマスタ情報ファイル２ｄとして確保されている。したがって、マスタ情報ファイル１ｄとサブマスタ情報ファイル２ｄのデータ内容は基本的に同じであるから、以下では、マスタ情報ファイル１ｄの具体的な内容についてさらに説明する。
【００２６】
上記のマスタ情報ファイル１ｄは、テスト基準情報ファイル１１、テスト処理工程情報ファイル１２、テスト条件情報ファイル１３、およびプログラム情報ファイル１４からなる。
【００２７】
上記のテスト基準情報ファイル１１には、図２に示すように、半導体装置の各品種ごとに総括的なテストフロー名が宣言されたテスト基準情報Ｘ１が登録されている。また、テスト処理工程情報ファイル１２には、図３に示すように、テストフロー名に応じた具体的なテスト実行手順を規定するテスト処理工程名が宣言されたテスト処理工程情報Ｘ２が登録されている。テスト条件情報ファイル１３には、図４に示すように、各テスト処理工程名ごとのテスト条件が規定されたテスト条件情報Ｘ３が登録されている。さらに、プログラム情報ファイル１４には、図５に示すように、バージョンアップが宣言されたテストプログラムを含むプログラム情報Ｘ４が登録されている。
【００２８】
なお、この実施の形態１では、テスト条件情報Ｘ３における各テスト条件項目として装置名、処理時間、およびテストプログラム名の３つに限定しているが、実際上はさらに多数のテスト条件が詳細に規定される。
【００２９】
そして、上記テスト基準情報Ｘ１とテスト処理工程情報Ｘ２とは上記テストフロー名をキーとして互いに関連付けられ、また、上記テスト処理工程情報Ｘ２とテスト条件情報Ｘ３とは上記各テスト処理工程名をキーとして互いに関連付けられ、さらにテスト条件情報Ｘ３とプログラム情報Ｘ４とはテストプログラム名をキーとして互いに関連付けられている。したがって、テスト基準情報ファイル１１、テスト処理工程情報ファイル１２、テスト条件情報ファイル１３、プログラム情報ファイル１４の順で次第に下位となるような階層構造が採られることでテスト情報が管理されるようになっている。
【００３０】
ここで、いま、各工場のテスト部門などに配置されているテスト装置３に対して、工場側コンピュータ２を利用して、たとえば品種Ａについて所定のテスト項目を設定する場合には、端末装置２ｃからの操作により、品種Ａを指定すると、制御本体部２ａは、記憶装置２ｂに格納されているサブマスタ情報ファイル２ｄの情報の内から、まず、図２に示すテスト基準情報Ｘ１を検索して、この品種Ａに対応するテストフロー名Ｆ１を設定する。
【００３１】
次いで、このテストフロー名名Ｆ１をキーとして図３に示すテスト処理工程情報Ｘ２を検索して、このテストフロー名Ｆ１に対応した具体的なテスト実行手順を規定する各テスト処理工程名、すなわちここではテスト処理工程順にＮ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，…を設定する。
【００３２】
引き続いて、各テスト処理工程名Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，…をキーとして図４に示すテスト条件情報Ｘ３を検索して、各テスト処理工程名Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３，Ｎ４，…に対応した各テスト処理工程で使用する具体的な装置名、処理時間、テストプログラム名などのテスト条件を設定する。
【００３３】
さらに、テスト条件情報Ｘ３に含まれるテストプログラム名をキーとして、図５に示すようなプログラム情報Ｘ４を検索して、最新のバージョンのテストプログラムを設定する。たとえば、テストプログラム名がＰ１の場合は、これをキーとして、これに対応するプログラム情報に含まれる最新バージョンのテストプログラムＰ１−Ｖｋとテスト時間ｔｋを設定する。
【００３４】
このように、半導体装置の品種Ａを指定することにより、各情報Ｘ１〜Ｘ４が互いに関連付けられてこの品種Ａに適合した所定のテスト項目が設定される。なお、ここでは品種Ａについて説明したが、他の品種Ｂ，Ｃ，…についてテスト項目を設定する場合も同様である。
【００３５】
上記の説明から分かるように、各情報Ｘ１〜Ｘ４は互いに分離して存在し、特にテスト処理工程情報Ｘ２とテスト条件情報Ｘ３とは、テスト処理工程名をキーとして互いに関連付けられているだけで、従来のように、テストフロー名の下に両情報Ｘ２，Ｘ３が一体的に組み込まれている訳ではない。このため、テスト条件情報Ｘ３の内容が変化しても両情報Ｘ２，Ｘ３間のキーとなるテスト処理工程名が変化しない限り、互いの情報Ｘ２，Ｘ３の関連付けが可能である。
【００３６】
したがって、テスト開発管理部門などに配置されたホストコンピュータ１の記憶装置１ｂに格納されているマスタ情報ファイル１ｄについて、たとえば、図４に示すテスト条件情報Ｘ３の内からテスト処理工程名Ｎ１に関するテスト条件を一部変更（一例として装置名をＭ１からＭ１’に変更）するような場合、その上位のテスト処理工程情報Ｘ２において規定されている各テストフロー名Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３には同じテスト処理工程名Ｎ１が含まれているけれども、このテスト処理工程情報Ｘ２やさらにその上位のテスト基準情報Ｘ１については何ら修正を行う必要はなく、テスト条件情報Ｘ３の装置名を変更するだけでよい。
【００３７】
また、テスト条件情報Ｘ３とプログラム情報Ｘ４とはテストプログラム名をキーとして互いに関連付けられている。したがって、テストプログラムをバージョンアップする場合でも、プログラム情報Ｘ４においてテストプログラムの修正およびバージョンアップ宣言を行うだけでよく、テスト条件情報Ｘ３を修正する必要はない。
【００３８】
さらに、この実施の形態１のようなテスト情報管理システムを採用することにより、ホストコンピュータ１のマスタ情報を新規に作成した場合や既存のマスタ情報を改定した場合、その改定後のマスタ情報は通信回線４を介して工場側コンピュータ２に転送されてその記憶装置２ｂにサブマスタ情報としてコピーされる。このため、テスト開発管理部門と各工場のテスト部門との間でそれぞれ管理するテスト情報のフォーマットの共通化、テスト指示形態の共通化が可能となる。これにより、テスト開発管理部門で作成したテスト情報を工場側のテスト作業者に対して錯誤を生じることなく確実かつ迅速に伝達でき、指示を徹底させることができる。
【００３９】
【発明の効果】
（１）　請求項１記載の半導体装置のテスト情報管理方法、および請求項３記載のテスト情報管理システムによれば、従来に比べてテスト情報の共通化、集約化を行えるとともに、テスト情報を一括して修正することができるため、テスト情報の変更に伴う作業者の負担を大幅に軽減することができるだけでなく、修正ミスなども起こりにくくなる。
【００４０】
また、特に、請求項３記載のテスト情報管理システムを採用すれば、テスト開発管理部門と各工場のテスト部門との間でそれぞれ管理するテスト情報のフォーマットの共通化、テスト指示形態の共通化が可能となるので、テスト開発管理部門で作成したテスト情報を工場側のテスト作業者に対して錯誤を生じることなく確実かつ迅速に伝達でき、指示を徹底させることができる。
【００４１】
（２）　請求項２記載の半導体装置のテスト情報管理方法、および請求項４記載のテスト情報管理システムによれば、上記（１）に記載した効果に加えて、テストプログラムはバージョンアップのためにしばしば変更されるが、その場合、プログラム情報においてテストプログラムの修正およびバージョンアップ宣言を行うだけでよく、テスト条件情報まで修正する必要がなくなる。そのため、テストプログラム修正時のミスを防ぐことができ、かつ、修正時の負担を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係るテスト情報管理システムの全体構成を示すブロック図である。
【図２】本発明においてテスト情報を構成するテスト基準情報の一例を示す説明図である。
【図３】本発明においてテスト情報を構成するテスト処理工程情報の一例を示す説明図である。
【図４】本発明においてテスト情報を構成するテスト条件情報の一例を示す説明図である。
【図５】本発明においてテスト情報を構成するプログラム情報の一例を示す説明図である。
【図６】従来のテスト情報を構成するテスト基準情報の一例を示す説明図である。
【図７】従来のテスト情報を構成するテスト条件付処理工程情報の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
１　ホストコンピュータ、１ｄ　マスタ情報ファイル、２　工場側コンピュータ、２ｄ　サブマスタ情報ファイル、１１　テスト基準情報ファイル、１２　テスト処理工程情報ファイル、１３　テスト条件情報ファイル、１４　プログラム情報ファイル、Ｘ１　テスト基準情報、Ｘ２　テスト処理工程情報、Ｘ３　テスト条件情報、Ｘ４　プログラム情報。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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