(57)【要約】【課題】積層セラミックコンデンサの内部電極形成用などの厚膜導電ペーストに用いられる結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末と、その製造方法、さらにはそれを用いた導電ペーストを提供する。【解決手段】金属粉末の分散溶液中に、金属粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で４０重量部以上、１００重量部以下の酸化硼素又は硼酸を添加し、混合した後に、該分散溶液を乾燥させて金属粉末と酸化硼素又は硼酸からなる混合物を得る工程（Ａ）、該混合物を中性雰囲気下で加熱処理して熱処理生成物を得る工程（Ｂ）、および該熱処理生成物を、水または酸で溶解処理して金属粉末を得る工程（Ｃ）を含むことを特徴とする導電粉末の製造方法などによって提供。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属粉末の分散溶液中に、金属粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で４０重量部以上、１００重量部以下の酸化硼素又は硼酸を添加し、混合した後に、該分散溶液を乾燥させて金属粉末と酸化硼素又は硼酸からなる混合物を得る工程（Ａ）、該混合物を中性雰囲気下で加熱処理して熱処理生成物を得る工程（Ｂ）、および該熱処理生成物を、水または酸で溶解処理して金属粉末を得る工程（Ｃ）を含むことを特徴とする導電粉末の製造方法。
【請求項２】
工程（Ｂ）における加熱処理が、４００℃以上、７００℃以下の温度で行われることを特徴とする請求項１に記載の導電粉末の製造方法。
【請求項３】
金属粉末が、ニッケル粉末、又はニッケルを主成分とする合金粉末であることを特徴とする請求項１又は２に記載の導電粉末の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法により得られる、結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末。
【請求項５】
請求項４に記載の導電粉末を用いてなる導電ペースト。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電粉末、その製造方法、及びそれを用いた導電ペーストに関し、さらに詳しくは、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用などの厚膜導電ペーストに用いられる結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末の製造方法、及びそれを用いた導電ペーストに関する。
【０００２】
【従来の技術】
導電粉末は、厚膜導電体の材料として積層セラミックコンデンサや多層セラミック基板等の積層セラミック部品の電極など電気回路の形成に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサは、電子部品として急速に成長している。電子部品の高性能化に伴ない、積層セラミックコンデンサは小型化、高容量化が促進され、セラミック誘電体と内部電極は薄層化、多層化されつつある。現在、誘電体層厚２μｍ以下、内部電極層厚１μｍ前後、積層数１００層以上の部品が作られている。
【０００３】
この積層セラミックコンデンサの内部電極として、従来は白金、パラジウム、銀−パラジウム合金等の貴金属が用いられていたが、近年コスト低減のためより安価なニッケル等の卑金属を用いる技術が進歩し、その使用が増えている。
積層セラミックコンデンサは、セラミック誘電体と、金属の内部電極とを交互に層状に重ねて圧着し、これを焼成して一体化したものである。内部電極の形成は、導電性粉末などを、セルロース系樹脂等の有機バインダーをテルピネオール等の溶剤に溶解させた有機ビヒクルと混合し、スリーロールミル等によって混練・分散して得た導電ペーストを用いて、セラミック誘電体グリーンシート上に印刷し、セラミック誘電体グリーンシートと導電ペースト層（内部電極層）とが交互に層状になるように積層する。その後、積層体を中性又は還元雰囲気下で焼成して得る。
【０００４】
焼成は、内部電極層に用いる金属の酸化を抑制するために還元雰囲気で行われる。しかし、還元雰囲気では電極ペースト中に含まれる有機ビヒクルの分解、燃焼が不完全となり、炭素が残留してしまう。そこで有機ビヒクルの分解、燃焼を完全にするために、焼成の最初の段階で、酸化性の雰囲気が導入される。ここで、耐酸化性の低い導電粉末を使用すると、酸化が進行し、酸化膨張によるクラックの発生や酸化による未焼結などの不具合が発生する。したがって、導電粉末に耐酸化性の付与が求められる。
【０００５】
また、酸化チタン、チタン酸バリウム、複合ペロブスカイトなどのセラミック誘電体は、ニッケル粉末などを含む導電ペーストなどの内部電極材料よりも焼結開始温度が高く、しかも熱収縮率が小さい。特に、結晶性の低い導電粉末は、焼結温度が低く、熱収縮率も大きいので、セラミック誘電体との収縮度合の不適合が大きくなり、デラミネーションやクラックなどの構造欠陥を起こし易い。
さらに、粗大粒子や分散不良による凝集粒子などを含む導電粉末を用いたペーストを使用すると、表面に凹凸、突起あるいはボイドが発生して、絶縁不良や容量不足などの特性不安定が発生する。
したがって、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用導電ペーストに好適な、即ち、結晶性が高く、耐酸化性に優れ、さらに粗大粒子や凝集粒子などを含まない分散性に優れた導電粉末が望まれていた。
【０００６】
このような微粉のニッケル粉末などの製造法として、種々の方法が知られているが、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用導電ペーストに用いるのに適したニッケル粉末、及びニッケルを主成分とする合金粉末などの製造方法として、下記の乾式法と湿式法がある。
（１）乾式法：粉末、またはガス状のニッケル化合物等を、熱分解するか、あるいは水素還元して金属（合金）粉末を得る方法。
（２）湿式法：ニッケル塩等を含有する溶液から還元析出によって金属（合金）粉末を得る方法。
【０００７】
ここで、乾式法では、結晶性の高い金属粉末を得ることが可能である。特に、金属塩溶液をミストにして熱分解する噴霧熱分解法や、金属塩蒸気を水素ガスで還元する化学気相反応法（ＣＶＤ法）は、ニッケルの場合には１０００℃以上の温度で反応を行うので、結晶性の良い、かつ単分散粒子が製造できる。しかし、高温下での還元反応では、ニッケルの場合、結晶性の向上と共に、晶壁面の生成が起こりやすくなる傾向があり、その制御が必須である。また、量産規模で大量の粉末製造を行う工程では、粒子の成長速度を厳密に制御することが難しくなるので、粒径分布が広くなる。そのため、乾式法では、反応装置のコスト高、更には分級工程などによる製造コスト高を引き起こすため、粒子形状が球状に制御された均一な粒径の金属粉末を量産規模で低コストで生産することが困難であるという問題点がある。
【０００８】
これに対して、湿式法、例えば金属塩溶液の還元法で、内部電極形成用導電ペーストに用いるのに適した、球状の粒子形状で、粒径が０．１μｍ〜１．０μｍのニッケル粉末を得ることは可能であるが、結晶子径が大きく成長せず、結晶性が劣る。そのため、酸化されやすく、かつ粉末の真密度が低いため、内部電極層の高密度化を満足することが出来ない。また、過焼結が発生しやすく、焼成時に体積変化が大きいため、デラミネーションやクラックが発生し易い。
【０００９】
このようなニッケル粉末などの結晶性を改善する手段として、中性または還元性雰囲気中で高温度に加熱処理する方法が行われている。しかし、粉末の結晶性が充分に向上するように加熱処理を行うと、粉末中の粒子の凝集や焼結などによる凝集粒子や粗大粒子が発生するという問題がある。
この解決策として、加熱処理時の凝集や焼結を防止するために様々な物質を添加する方法が提案されており、代表的な方法としては、以下のようなものが挙げられる。
【００１０】
（１）ニッケル微粉末と、アルカリ金属化合物もしくはアルカリ土類金属化合物とを混合し、介在物の共存下で加熱処理し、その後酸処理で介在物を溶解除去することで、結晶性と粒子径あるいは球形性を改良する（例えば、特許文献１、特許文献２参照）、
（２）銀粉、ニッケル粉、銅粉、パラジウム粉、又は銀−パラジウム粉の粒子表面にアルカリ土類金属の酸化物等の被膜を形成してから融点以下で熱処理し、その後、被膜を酸で浸出して、熱収縮率を改善する（例えば、特許文献３参照）、
（３）球状ニッケルにＳｉＯ２・ｎＨ２ＯまたはＡｌ２Ｏ３・ｎＨ２Ｏあるいは希土類化合物を添加し加熱処理することで、ニッケル粒子同士の融着、巨大化を防止する（例えば、特許文献４、特許文献５参照）、
（４）ニッケル粉末、銅粉末、ニッケルまたは／および銅を主成分とする合金粉末からなる群より選ばれる少なくとも１種の卑金属粉末の表面に、Ｎｉ−Ｂ合金粉末を析出させ、焼成での耐酸化性を付与する（例えば、特許文献６参照）。
【００１１】
これらの提案は、導電粉末の結晶性、あるいは耐酸化性の改良に貢献しているが、それぞれ課題がある。
すなわち、アルカリ金属化合物もしくはアルカリ土類金属化合物と混合して加熱処理する方法では、ニッケル粉末など金属粉末の焼結を充分に防止することができず分散性が悪化する。また、アルカリ金属化合物もしくはアルカリ土類金属化合物が残留すると、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用導電粉末として用いた場合、セラミック誘電体と反応して誘電率などの電気特性が劣化するという問題がある。さらに、残留したアルカリ金属化合物、もしくはアルカリ土類金属化合物は、導電粉末の耐酸化性の向上には寄与しない。
【００１２】
また、ＳｉＯ２・ｎＨ２ＯまたはＡｌ２Ｏ３・ｎＨ２Ｏを添加し加熱処理する方法では、ＳｉＯ２・ｎＨ２ＯまたはＡｌ２Ｏ３・ｎＨ２Ｏは水溶性ではないので、これを除去するには多量の酸またはアルカリの使用が必須である。また残留した、ＳｉＯ２・ｎＨ２ＯまたはＡｌ２Ｏ３・ｎＨ２Ｏは導電粉末の耐酸化性の向上には寄与しない。また、多量の高価な希土類化合物の添加には、コスト面で制約がある。
さらに、導電粉末の表面にＮｉ−Ｂ合金粉末を析出させる方法では、結晶性の向上は考慮されていない。
【００１３】
以上の状況から、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用などの厚膜導電ペーストに用いられる結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末の製造方法、及びこの製造方法で得られた導電粉末を用いた導電ペーストが求められている。
【００１４】
【特許文献１】
特開平１０−１０２１０９号公報（第１頁、第２頁）
【特許文献２】
特開平１１−１４０５１３号公報（第１頁、第２頁）
【特許文献３】
特開２００１−４０４０１号公報（第１頁、第２頁）
【特許文献４】
特開２００１−１０７１０３号公報（第１頁、第２頁）
【特許文献５】
特開２００１−９８３３７号公報（第１頁、第２頁）
【特許文献６】
特開２００２−８０９０２号公報（第１頁、第２頁）
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記の従来技術の問題点に鑑み、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用などの厚膜導電ペーストに用いられる結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末の製造方法、それにより得られる導電粉末、さらにはこの導電粉末を用いた導電ペーストを提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の課題に鑑み、鋭意研究を重ねた結果、金属粉末の分散溶液に、特定量の酸化硼素又は硼酸を添加し、得られた分散溶液を乾燥させた後に、中性雰囲気下で加熱処理し、次いで水または酸で溶解処理したところ、結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１７】
すなわち、本発明の第１の発明によれば、金属粉末の分散溶液中に、金属粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で４０重量部以上、１００重量部以下の酸化硼素又は硼酸を添加し、混合した後に、該分散溶液を乾燥させて金属粉末と酸化硼素又は硼酸からなる混合物を得る工程（Ａ）、該混合物を中性雰囲気下で加熱処理して熱処理生成物を得る工程（Ｂ）、および該熱処理生成物を、水または酸で溶解処理して金属粉末を得る工程（Ｃ）を含むことを特徴とする導電粉末の製造方法が提供される。
【００１８】
また、本発明の第２の発明によれば、第１の発明において、工程（Ｂ）における加熱処理が、４００℃以上、７００℃以下の温度で行われることを特徴とする導電粉末の製造方法が提供される。
【００１９】
また、本発明の第３の発明によれば、第１又は２の発明において、金属粉末が、ニッケル粉末、又はニッケルを主成分とする合金粉末であることを特徴とする導電粉末の製造方法が提供される。
【００２０】
また、本発明の第４の発明によれば、第１〜３何れかの製造方法により得られる結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末が提供される。
【００２１】
さらに、本発明の第５の発明によれば、第４の発明の導電粉末を用いてなる導電ペーストが提供される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の導電粉末、その製造方法、及びそれを用いた導電ペーストについて詳細に説明する。
本発明にかかる導電粉末の製造方法は、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用などの厚膜導電ペーストに用いられる結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末の製造方法であり、また導電ペーストは、この製造方法で得られた導電粉末を用いたものである。
【００２３】
１  導電粉末の製造方法
本発明の導電粉末の製造方法は、金属粉末の分散溶液中に、金属粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で４０重量部以上、１００重量部以下の酸化硼素又は硼酸を添加し、混合した後に、該分散溶液を乾燥させて金属粉末と酸化硼素又は硼酸からなる混合物を得る工程（Ａ）、該混合物を中性雰囲気下で加熱処理して熱処理生成物を得る工程（Ｂ）、および該熱処理生成物を、水または酸で溶解処理して金属粉末を得る工程（Ｃ）を含む。
【００２４】
（１）工程（Ａ）
本発明の工程（Ａ）は、金属粉末の分散溶液中に、金属粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で４０重量部以上、１００重量部以下の酸化硼素又は硼酸を添加し、混合した後に、該分散溶液を乾燥させて金属粉末と酸化硼素又は硼酸からなる混合物を得る工程である。
本発明に用いる金属粉末としては、貴金属粉末に比べて安価な卑金属粉末、特にニッケル粉末、又はニッケルを主成分とする合金粉末である。ニッケルを主成分とする合金粉末としては、ニッケルに耐酸化性等の付与のためクロム、リン、亜鉛、貴金属、希土類金属などが添加された合金粉末がある。
【００２５】
これらの金属粉末の製造方法は、特に限定されるものではなく、例えば、前記した乾式法、または湿式法のいずれの方法で製造された微粉末も用いられる。この中で特に、一般に結晶性、及び耐酸化性において問題がある湿式法による還元粉末が好適である。さらに導電ペーストに用いるのに適した形状、及び粒径分布を有する粉末、即ち粒子形状が球状で、平均粒径が０．１μｍ〜１．０μｍの粉末が特に好ましい。なお、金属粉末が凝集粒子を含むときは、分散に先立って解粒処理を行い、分散を促進することが好ましい。この解粒処理は、特に限定されないが、衝撃式、衝突式、摩砕式、高水圧式等の各種の粉砕方式で行える。
【００２６】
本発明の分散溶液は、例えば湿式法で金属粉末を得る場合には、金属粉末を析出させ水洗した後のスラリーでよく、また、例えば金属粉末と水とを混合し，撹拌等して金属粉末を懸濁させることにより得られる。これに、酸化硼素または硼酸を所定量添加して、混合する。水溶液へ溶解し易い硼酸の使用が望ましい。
ここで、酸化硼素もしくは硼酸を使用するのは、酸化硼素の溶融温度がニッケル、及びニッケルを主成分とする合金の熱処理に適切な温度であること、水溶性あるいは酸溶液に溶け、後処理が容易であること、耐酸化性がさらに一段と向上すること、などの理由による。
また、酸化硼素または硼酸の添加量は、金属粉末１００重量部に対して、Ｂ２Ｏ３換算で４０重量部以上、好ましくは６５重量部以上、１００重量部以下である。すなわち、４０重量部未満では、金属粉末の全体に酸化硼素が充分に行き渡らず、金属粉末の粒子の個々が酸化硼素で被覆されず、焼結の発生の防止が不十分となり、分散性を低下させるからである。１００重量部を超えても、さらなる効果の上昇は得られず経済性を損なうのみである。
【００２７】
金属粉末の溶液中の濃度は、特に限定されず工業的な操業に支障の無い条件で選ばれる。
また、本発明に用いる溶液は、水溶液の他に、例えばメタノール、エタノール等のアルコール、およびこれらを含む水溶液が使用できる。
また、本発明の金属粉末を含む分散溶液の他の調整法としては、前記したような湿式法で溶液中で可溶性の金属塩を還元して得られた金属粉末を湿潤状態のまま使用する。
このようにして調製された分散溶液を蒸発乾燥して、金属粉末と酸化硼素又は硼酸からなる混合物を得る。
【００２８】
（２）工程（Ｂ）
本発明の工程（Ｂ）は、工程（Ａ）で得られる金属粉末と酸化硼素又は硼酸からなる混合物を、中性雰囲気下で加熱処理して熱処理生成物を得る工程である。
前記混合物を、中性雰囲気中にて４００℃以上、７００℃以下で加熱する。すなわち、加熱温度が４００℃未満では、金属粉末の加熱処理が充分に行われないからである。７００℃を超えると金属粉末の粒成長が著しくなるので好ましくない。また、雰囲気を中性とするのは、酸化性雰囲気ではニッケル粉末等が酸化し、還元性雰囲気では酸化硼素が還元されてしまうからである。中性雰囲気としては、特に限定されないが窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気が好ましい。
【００２９】
ここで、金属粉末は、溶融した酸化硼素中に分散した状態で加熱処理されるので、各粒子の結晶子径が大きくなるとともに、凝集及び焼結は抑制されて、結晶性の良い分散した金属粉末を含む溶融体となる。加熱処理後、溶融した混合物は冷却され、熱処理生成物が得られる。
【００３０】
（３）工程（Ｃ）
本発明の工程（Ｃ）は、工程（Ｂ）から得られた熱処理生成物を、水または酸を用いて溶解処理して金属粉末を得る工程である。
本発明の熱処理生成物は、酸化硼素中に金属粉末が分散した状態になっており、水、好ましくは酢酸水溶液等の弱酸で酸化硼素を完全に溶解処理して、残物を固液分離して金属粉末を回収する。その後、純水で洗浄、乾燥することにより、結晶性、分散性、耐酸化性に優れた導電粉末を得ることができる。
【００３１】
２  導電ペースト
本発明の導電ペーストは、本発明の導電粉末と、有機ビヒクルを含む。使用される有機ビヒクルは、導電ペーストの対象部品、使用条件などで選定されるので限定されないが、積層セラミック部品で一般的であるものが使用できる。例えば、導電ペーストは、セルロース系樹脂等の有機バインダーをテルピネオール等の溶剤に溶解させた有機ビヒクルと混合し、スリーロールミル等によって混練・分散して得られる。
【００３２】
【実施例】
以下に、本発明の実施例および比較例によって、本発明をさらに詳細に説明するが、これらの実施例によってなんら限定されるものではない。なお、実施例および比較例で用いた分析方法、測定方法は以下に準じて行った。
【００３３】
（１）硼素の分析方法：硝酸溶解し、溶液中の硼素をＩＣＰ発光分析法で分析した。
（２）結晶子径の測定方法：Ｘ線回折法で測定した。
（３）耐酸化性の評価方法：試料を空気中にて４００℃１時間保持後の酸化による重量増加率を測定することで評価した。
（４）ニッケル粉末の分散性：走査型電子顕微鏡による観察で評価した。
（５）ペースト評価：試作したペーストを用いて、レイダウンを振るために印刷膜厚を３水準とってアルミナ基板に印刷し、乾燥、焼成後に以下の項目を評価し同等のレイダウンで比較する。レイダウン：印刷前後の基板の重量差と印刷面積から算出。比抵抗：印刷パターンの抵抗と膜厚、パターンの幅と長さから算出。焼成膜の被覆率：光を透過しない部分の面積の割合から算出。
【００３４】
（実施例１）
湿式法で製造された市販の平均粒子径０．４μｍのニッケル粉末（平均結晶子径１４０Å、住友金属鉱山（株）製ＳＮＰ−５５１）１０ｇを１ｌのガラス製ビーカに入れ、これに純水を５００ｍｌ入れ撹拌し分散させた。その後これに７．６ｇの硼酸を添加し、液温度２５℃で、超音波処理にて分散させた。この硼酸量は、ニッケル粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で４２．９重量部にあたる。次いで、６０℃で８時間乾燥し、水分を蒸発させニッケル粉末と硼酸の混合物を得た。さらに、この混合物をアルミナ製の坩堝に入れ、窒素雰囲気中で６００℃１時間の加熱処理を行った。次に、この溶融物を冷却後取り出し、酢酸の５０重量％水溶液１００ｍｌに溶解した。その後、デカンテ−ションによって取りだし、１０００ｍｌの純水で３回洗浄し、８０℃で乾燥してニッケル粉末を得た。
得られたニッケル粉末を用いて、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、電子顕微鏡による観察、耐酸化性の評価を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末のＸ線回折結果によれば、平均結晶子径は８２０Åで処理前の１４０Åに比べて大きくなり、結晶性が向上したことが確かめられた。またニッケル単体のピークの他に、極めて微弱なニッケルと硼素の化合物のピークも認められた。ニッケル粉末中の硼素含有率は０．０１重量％であった。電子顕微鏡による観察によれば、粒子形状は球状で、粒子が良く分散しており、凝集や焼結が起きていないことが分かった。さらに、空気中４００℃で１次間保持後の重量増加率は９．３％で、処理前に比べて小さく、耐酸化性が向上していることが分かった。
【００３５】
（実施例２）
硼酸の添加量を１７．８ｇとした以外は、実施例１と同様に行った。この硼酸量は、ニッケル粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で１００重量部にあたる。得られたニッケル粉末を用いて、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、電子顕微鏡による観察、耐酸化性の評価を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末の平均結晶子径は１０００Å以上、硼素含有率は０．０２重量％であり、また空気中４００℃で１次間保持後の重量増加率は２．７％で、処理前に比べて小さく、耐酸化性が向上していることが分かった。さらに、電子顕微鏡による観察では、粒子が良く分散しており、凝集や焼結は無いことが分かった。
【００３６】
（実施例３）
硼酸の添加量を１１．８ｇ、加熱処理温度を７００℃とした以外は、実施例１と同様に行った。この硼酸量は、ニッケル粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で６６．７重量部にあたる。得られたニッケル粉末を用いて、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、電子顕微鏡による観察、耐酸化性の評価を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末の平均結晶子径は１０００Å以上、硼素含有率は０．３６重量％であり、また空気中４００℃で１次間保持後の重量増加率は０．２％で、処理前に比べて一段と低く、硼素含有率が高いことで耐酸化性が向上していることが分かった。さらに、電子顕微鏡による観察では、粒子は良く分散しているが粒成長が認められた。
【００３７】
（実施例４）
硼酸の添加量を１７．８ｇ、加熱処理温度を７００℃とした以外は、実施例１と同様に行った。この硼酸量は、ニッケル粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で１００重量部にあたる。得られたニッケル粉末を用いて、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、電子顕微鏡による観察、耐酸化性の評価を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末の平均結晶子径は１０００Å以上、硼素含有率は０．３７重量％であり、また空気中４００℃で１次間保持後の重量増加率は０．３％で、処理前に比べて一段と低く、硼素含有率が高いことで耐酸化性が向上していることが分かった。さらに、電子顕微鏡による観察では、粒子は良く分散しているが粒成長が認められた。
【００３８】
（実施例５）
実施例２の方法と同様の方法にしたがって得たニッケル粉末を導電粉末として用いて、導電ペーストを調製しその性能を調査した。このニッケル粉末１００重量部に対して、エチルセルロース８重量部とテルピネオール５２重量部、エチルカルビトールアセテート４０重量部からなるビヒクルを添加し、混合後、スリーロールミルで混練して導電ペーストを調製した。
次いで、アルミナ基板上に印刷し、１２０℃で１５分間乾燥後、水素２容量％／窒素９８容量％の混合気流中で１３００℃１時間焼成した。そして、焼成後の基板からレイダウン、比抵抗、焼成膜の被覆率を求めペーストの評価を行った。焼成後のレイダウンが１．８ｍｇ／ｃｍ２のもので、比抵抗が１７．０Ω・ｃｍと低く、焼成膜の被覆率が８２．７％と高い結果が得られた。これより、結晶性が高いニッケル粉末を使用したので、焼結による収縮の進行が抑制されたことが分かる。ここで調製された導電ペーストは、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用などの厚膜導電ペーストに好適であり、このニッケル粉末は、導電ペースト用として好適である。
【００３９】
（比較例１）
実施例１と同様の平均結晶子径１４０Åのニッケル粉末１０ｇを３００ｍｌの純水に分散させた後、６０℃で８時間乾燥しニッケル粉末を取り出した。得られたニッケル粉末を用いて、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、電子顕微鏡による観察、耐酸化性の評価を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末の平均結晶子径は１４０Å、硼素含有率は０．０１重量％以下であり、電子顕微鏡の観察では粒子は球状で分散していることが認められた。
【００４０】
（比較例２）
硼酸の添加を行わない以外は、実施例１と同様に行った。得られたニッケル粉末を用いて、電子顕微鏡による観察を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末の電子顕微鏡による観察では焼結が認められた。そのため、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、及び耐酸化性の評価は実施しなかった。
【００４１】
（比較例３）
硼酸を添加せず、加熱処理温度を７００℃とした以外は、実施例１と同様に行った。得られたニッケル粉末を用いて、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、電子顕微鏡による観察、及び耐酸化性の評価を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末の平均結晶子径は６２０Å、硼素含有率は０．０１重量％以下であり、電子顕微鏡による観察では焼結が認められた。
【００４２】
（比較例４）
硼酸の添加量を２．０ｇ、加熱処理温度を７００℃とした以外は、実施例１と同様に行った。この硼酸量は、ニッケル粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で１１．１重量部にあたる。得られたニッケル粉末を用いて、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、及び電子顕微鏡による観察を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末の平均結晶子径は８９０Å、硼素含有率は０．３８重量％であり、電子顕微鏡による観察では焼結が認められた。
【００４３】
（比較例５）
硼酸の添加量を４．４ｇ、加熱処理温度を７００℃とした以外は、実施例１と同様に行った。この硼酸量は、ニッケル粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で２５．０重量部にあたる。得られたニッケル粉末を用いて、Ｘ線回折、硼素含有率の分析、及び電子顕微鏡による観察を行った。結果を表１に示す。
得られたニッケル粉末の平均結晶子径は７００Å、硼素含有率は０．３５重量％であり、電子顕微鏡による観察では焼結が認められた。
【００４４】
（比較例６）
導電粉末として比較例１のニッケル粉末を用いた以外は、実施例５と同様に行った。そして、焼成後の基板からレイダウン、比抵抗、焼成膜の被覆率を求めペーストの評価を行った。焼成後のレイダウンが１．８ｍｇ／ｃｍ２のもので、比抵抗が２０．７Ω・ｃｍと高く、焼成膜の被覆率が５５．４％と低い結果が得られた。これより、結晶性が劣る粉末を使用したので、焼結が過剰に進行し収縮が大きくなったことが分かる。
【００４５】
【表１】
2004176120.tif 000002
【００４６】
以上、表１より、実施例１〜４では、酸化硼素の添加量が、ニッケル粉末１００重量部に対してＢ２Ｏ３換算で４０重量部以上、１００重量部以下で本発明の方法にしたがって行われたので、結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れたニッケル粉末が得られることが分かる。これに対して、比較例１〜５では、酸化硼素の添加量がこの条件に合わないので結晶性、あるいは焼結による分散性の悪化によつて満足すべき結果が得られない。
さらに実施例５を比較例６を比べると、本発明の導電ペーストは、満足すべき結果が得られることが分かる。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、積層セラミックコンデンサの内部電極形成用などの厚膜導電ペーストに好適に用いられる、結晶性、分散性、及び耐酸化性に優れた導電粉末が、容易に得られるので、その工業的価値は極めて大きい。