(57)【要約】【課題】この発明は、ノズルから溶液を流出させずに供給管、ヘッド及び回収管の気泡抜きを行なうことができるようにした塗布装置を提供することにある。【解決手段】基板に溶液を噴射塗布する溶液の塗布装置において、上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズル１４を有するヘッド７と、上記溶液の溶液タンク３１と、この溶液タンクと上記ヘッドとを接続しこのヘッドに上記供給源の溶液を供給する供給管２１と、この供給管から上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管２３と、上記ヘッドに溶液を供給し上記回収管へ流して回収するときに上記ヘッドのノズルを密閉する押え部材５５とを具備する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に溶液を噴射塗布する溶液の塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液の供給源と、
この供給源と上記ヘッドとを接続しこのヘッドに上記供給源の溶液を供給する供給管と、
この供給管から上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管と、
上記ヘッドに溶液を供給し上記回収管へ流して回収するときに上記ヘッドのノズルを密閉する密閉部材と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。
【請求項２】
基板に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液の供給源と、
この供給源と上記ヘッドとを接続しこのヘッドに上記供給源の溶液を供給する供給管と、
この供給管から上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管と、
上記ヘッドに溶液を供給して上記ノズルから噴射させるときにこのノズルの開閉を繰り返す密閉部材と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。
【請求項３】
上記基板は上記ヘッドの下方を往復駆動される搬送テーブル上に載置され、この搬送テーブルの駆動方向に位置する一端面には上下動可能に上下テーブルが設けられ、上記密閉部材は上記上下テーブルに設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の塗布装置。
【請求項４】
基板に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液の供給源と、
この供給源と上記ヘッドとを接続するとともに供給開閉弁が設けられこの供給開閉弁の開閉に応じて上記ヘッドに上記供給源の溶液を供給する供給管と、
回収開閉弁が設けられこの回収開閉弁の開閉に応じて上記供給管から上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管とを具備し、
上記供給源から上記供給管を通じて上記ヘッドに供給された溶液を上記ノズルから噴射させる際、上記供給開閉弁と上記回収開閉弁のどちらか一方の開閉を繰り返すことを特徴とする溶液の塗布装置。
【請求項５】
インクジェット方式によって溶液を噴射するノズルを有するヘッドと、このヘッドに上記溶液を供給する供給管と、この供給管によって上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管とを有する塗布装置であって、使用に先立って上記供給管、上記ヘッド内部及び上記ノズルの気泡抜きを行なう気泡抜き方法において、
上記溶液を上記供給管から上記ヘッドに通して上記回収管に流すことで上記供給管及び上記ヘッド内部の気泡抜きを行なう工程と、
上記溶液を上記供給管から上記ヘッドに通しこのヘッドのノズルから吐出させることで上記ノズルの気泡抜きを行なう工程と、
上記ヘッド内部の気泡抜きを行なうときに上記ノズルを密閉する工程と
を具備することを特徴とする塗布装置の気泡抜き方法。
【請求項６】
上記ノズルの気泡抜きを行なう際、上記ヘッド内を流れる溶液を脈動させることを特徴とする請求項５記載の塗布装置の気泡抜き方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はノズルから溶液を噴射して基板に溶液を塗布する塗布装置及びこの塗布装置の気泡抜き方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パターンを形成するための成膜プロセスがある。このプロセスでは、基板の板面に例えば配向膜やレジストなどの機能性薄膜が形成される。
【０００３】
基板に機能性薄膜を形成する場合、この機能性薄膜を形成する溶液をノズルから噴射して基板の板面に塗布するインクジェット方式の塗布装置が用いられる。この塗布装置は、基板を搬送する搬送テーブルを有しており、この搬送テーブルの上方には、上記ノズルが穿設された複数のヘッドが基板の搬送方向とほぼ直交する方向に沿って並設されている。各ヘッドには供給管を介して接続された溶液タンクから溶液が供給される。
【０００４】
それによって、所定間隔で順次搬送される複数の基板の上面にノズルから溶液が噴射塗布されるようになっている。なお、ヘッドに供給された溶液は、このヘッドと上記溶液タンクとを接続した回収管を通じて回収可能となっている。
【０００５】
インクジェット方式の塗布装置を用いて基板に溶液を塗布する場合、供給管内やノズル内に気泡が溜まっていると、ノズルから溶液が適切に噴射されないことがある。そのため、上記塗布装置を使用する前に、上記溶液タンクから上記供給管に高い圧力で溶液を供給し、ヘッドを通して回収管に回収することで、供給管、ヘッド及び回収管の気泡抜きを行なう。また、供給管からヘッドに供給した溶液を回収管に戻さずに、ノズルから噴射させることで、ノズルの気泡抜きを行なうようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
配向膜などの機能性薄膜を形成する溶液は非常に高価であるため、気泡抜きを行うことで、溶液を無駄にしないようにしなければならない。しかしながら、上記供給管、ヘッド及び回収管の気泡抜きを行なう際、溶液をヘッドに流して回収管に回収する際、溶液がヘッドに形成されたノズルから流出してしまうということがあった。
【０００７】
ノズルから流出した溶液を回収して使用するということが考えられる。しかしながら、配向膜などの機能性薄膜を形成する溶液は大気と接触すると、大気に含まれる酸素や水分と反応して性能が劣化するということがある。そのため、気泡抜きの際にノズルから噴出して大気と接触した溶液は使用できないということがある。
【０００８】
一方、上記ノズルの気泡抜きを行なう場合には、ヘッドに供給された溶液を回収管に戻さないようにしてヘッド内での圧力を高めることで、上記ヘッドに形成された直径が数μｍの上記ノズルから噴射させるようにしている。
【０００９】
上記ヘッドには上述したように細径なノズルが多数形成されている。そのため、ヘッドに供給された溶液が回収管に戻るのを阻止して圧力を上昇させても、ヘッドに形成された位置などによって溶液が流れ易いノズルと、流れ難いノズルとが生じることが避けられない。
【００１０】
そのため、全てのノズルから溶液を噴射させて気泡抜きを確実に行なうということが難しいということがあるばかりか、溶液が流れ難いノズルからも溶液を噴射させるためには、長時間にわたってヘッドに溶液を供給し続けなければならない。その結果、溶液が流れ易い位置にあるノズルから噴射される溶液の量が必要以上に多くなり、ノズルの気泡抜きを行なうために使用する溶液の量が増大するということがある。
【００１１】
この発明は、供給管、ヘッド及び回収管の気泡抜きを行なうときに、ノズルから溶液を流出させずに行なえるようにした溶液の塗布装置及び塗布方法を提供することにある。
【００１２】
この発明は、ヘッドに形成されたノズルの気泡抜きを行なう際に、溶液が流れ難い位置にあるノズルからも比較的容易に溶液を噴射させることができるようにした溶液の塗布装置及び塗布方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明は、基板に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液の供給源と、
この供給源と上記ヘッドとを接続しこのヘッドに上記供給源の溶液を供給する供給管と、
この供給管から上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管と、
上記ヘッドに溶液を供給し上記回収管へ流して回収するときに上記ヘッドのノズルを密閉する密閉部材と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
【００１４】
この発明は、基板に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液の供給源と、
この供給源と上記ヘッドとを接続しこのヘッドに上記供給源の溶液を供給する供給管と、
この供給管から上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管と、
上記ヘッドに溶液を供給して上記ノズルから噴射させるときにこのノズルの開閉を繰り返す密閉部材と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
【００１５】
上記基板は上記ヘッドの下方を往復駆動される搬送テーブル上に載置され、この搬送テーブルの駆動方向に位置する一端面には上下動可能に上下テーブルが設けられ、上記密閉部材は上記上下テーブルに設けられていることが好ましい。
【００１６】
この発明は、基板に溶液を噴射塗布する塗布装置において、
上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、
上記溶液の供給源と、
この供給源と上記ヘッドとを接続するとともに供給開閉弁が設けられこの供給開閉弁の開閉に応じて上記ヘッドに上記供給源の溶液を供給する供給管と、
回収開閉弁が設けられこの回収開閉弁の開閉に応じて上記供給管から上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管とを具備し、
上記供給源から上記供給管を通じて上記ヘッドに供給された溶液を上記ノズルから噴射させる際、上記供給開閉弁と上記回収開閉弁のどちらか一方の開閉を繰り返すことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
【００１７】
この発明は、インクジェット方式によって溶液を噴射するノズルを有するヘッドと、このヘッドに上記溶液を供給する供給管と、この供給管によって上記ヘッドに供給された溶液を回収する回収管とを有する塗布装置であって、使用に先立って上記供給管、上記ヘッド内部及び上記ノズルの気泡抜きを行なう気泡抜き方法において、
上記溶液を上記供給管から上記ヘッドに通して上記回収管に流すことで上記供給管及び上記ヘッド内部の気泡抜きを行なう工程と、
上記溶液を上記供給管から上記ヘッドに通しこのヘッドのノズルから吐出させることで上記ノズルの気泡抜きを行なう工程と、
上記ヘッド内部の気泡抜きを行なうときに上記ノズルを密閉する工程と
を具備することを特徴とする塗布装置の気泡抜き方法にある。
【００１８】
上記ノズルの気泡抜きを行なう際、上記ヘッド内を流れる溶液を脈動させることが好ましい。
【００１９】
この発明によれば、供給管からヘッドに溶液を供給し回収管へ流して回収することで、供給管、ヘッド及び回収管の気泡抜きを行なう際、ヘッドのノズルを密閉することで、ノズルから溶液が流出するのが防止される。
【００２０】
この発明によれば、ノズルの気泡抜きを行なう際、ヘッド内を流れる溶液を脈動させることで、溶液が流れ難い位置にあるノズルからも溶液を比較的容易に噴射させることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながらこの発明の一実施の形態を説明する。
【００２２】
図１と図２に示すこの発明の溶液の塗布装置はベース１を有する。ベース１の上面には所定間隔で離間した一対のレール２がベース１の長手方向に沿って敷設されている。上記レール２には搬送テーブル３が走行可能に設けられ、図示しない駆動源によって走行駆動されるようになっている。搬送テーブル３の上面には多数の支持ピン４が設けられ、これら支持ピン４にはたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製の基板Ｗが供給支持される。
【００２３】
上記搬送テーブル３とともに駆動される基板Ｗの上方には、上記基板Ｗに機能性薄膜を形成するための溶液をインクジェット方式で噴射塗布する複数のヘッド、この実施の形態では３つのヘッド７が基板Ｗの走行方向と交差する方向に沿って一列に配設されている。
【００２４】
上記ヘッド７は図３に示すようにヘッド本体８を備えている。ヘッド本体８は筒状に形成され、その下面開口は可撓板９によって閉塞されている。この可撓板９はノズルプレート１１によって覆われており、このノズルプレート１１と上記可撓板９との間に液室１２が形成されている。
【００２５】
上記ヘッド本体８の長手方向一端部には上記液室１２に連通する供液孔１３が形成されている。この供液孔１３から上記液室１２にはたとえば配向膜やレジストなどの機能性薄膜を形成する溶液が供給される。それによって、上記液室１２内は溶液で満たされるようになっている。
【００２６】
図４に示すように、上記ノズルプレート１１には、基板Ｗの搬送方向に直交する方向に沿って複数のノズル１４が千鳥状に穿設されている。上記可撓板９の上面には、図３に示すように上記各ノズル１４にそれぞれ対向して複数の圧電素子１５が設けられている。
【００２７】
各圧電素子１５は上記ヘッド本体８内に設けられた駆動部１６によって駆動電圧が供給される。それによって、圧電素子１５は伸縮し、可撓板９を部分的に変形させるから、その圧電素子１５に対向位置するノズル１４から溶液が搬送される基板Ｗの上面に噴射塗布される。
【００２８】
図３に示すように、上記ヘッド本体８の長手方向他端部には上記液室１２に連通する回収孔１７が形成されている。上記給液孔１３から液室１２に供給された溶液は、上記回収孔１７から回収することができるようになっている。すなわち、上記ヘッド７は上記液室１２に供給された溶液をノズル１４から噴射させるだけでなく、上記液室１２を通じて上記回収孔１７から回収することが可能となっている。
【００２９】
図１に示すように、各ヘッド７の給液孔１３には溶液の供給管２１から分岐された供給分岐管２２が接続され、回収孔１７には回収管２３から分岐された回収分岐管２４が接続されている。上記供給分岐管２２には供給開閉弁２５が設けられ、回収分岐管２４には回収開閉弁２６が設けられている。上記供給管２１と回収管２３との先端は連通弁２７を介して接続されている。さらに、回収管２３には回収分岐管２４よりも基端側の部分に主回収弁２８が設けられている。
【００３０】
上記供給管２１の基端は上記溶液Ｌが収容された溶液タンク３１の底部に接続されている。上記回収管２３の基端は上記溶液タンク３１に供給する溶液Ｌを貯蔵した貯蔵タンク３２に接続されている。回収管２３の基端部からは供給弁３３を有する供給分岐管３４が分岐され、この供給分岐管３４は上記溶液タンク３１の底部に接続されている。
【００３１】
上記溶液タンク３１の上部には大気開放管３５が接続されている。この大気開放管３５には第１の開閉制御弁３６が設けられている。第１の開閉制御弁３６が開放されれば、上記溶液タンク３１内が大気に連通される。なお、大気開放管３５は、この大気開放管３５から大気に放散される気体に含まれる気化溶媒を処理するための図示しない処理装置を介して大気に連通する。したがって、大気開放管３５を流れる気体は抵抗を受けることになる。
【００３２】
上記溶液タンク３１の上部には第２の開閉制御弁３７が設けられたガス供給管３８が接続されている。このガス供給管３８には、図示しないガス供給源から窒素などの不活性ガスが供給されるようになっている。
【００３３】
上記ガス供給管３８には、上記第２の開閉制御弁３７よりも上流側にフィルタ３９と第３の開閉制御弁４０とが順次接続されている。第３の開閉制御弁４０には流量絞り弁４１が並列に設けられている。この流量絞り弁４１と上記第３の開閉制御弁４０とでガス流量制御手段を構成している。
【００３４】
上記貯蔵タンク３２の上部には、上記溶液タンク３１と同様、第４の開閉制御弁４３を有する大気開放管４４が接続されている。さらに、第５の開閉制御弁４５を有するガス供給管４６が接続されている。このガス供給管４６にはフィルタ４７及び第６の開閉制御弁４８が順次接続されている。第６の開閉制御弁４８には流量絞り弁４９が並列に設けられている。
【００３５】
なお、上記供給開閉弁２５、回収開閉弁２６、主回収弁２８、供給弁３３、第１乃至第６の開閉制御弁３６，３７，４０，４３，４５，４８は図示しない制御装置によって開閉が制御されるようになっている。さらに、溶液タンク３１内の溶液Ｌの液面はレベルセンサ５０によって検出される。溶液Ｌの液面が所定以下になったことがレベルセンサ５０によって検出されると、その検出に基いて貯蔵タンク３２から溶液Ｌが補給される。つまり、貯蔵タンク３２内の溶液Ｌが第５の開閉制御弁４５を通じて供給される不活性ガスによって加圧されることで、上記溶液Ｌが上記溶液タンク３１に補給される。
【００３６】
図２に示すように、上記搬送テーブル３の一端面には側面形状がＬ字状の取付部材５１が垂直な一辺を上記搬送テーブル３の端面に固定して設けられている。この取付部材５１の水平な他辺には上下シリンダ５２が軸線を垂直にして設けられている。
【００３７】
上記上下シリンダ５２のロッドには弾性部材５３を介して上下テーブル５４が取付けられている。この上下テーブル５４の上面には各ヘッド７に対応する長さのブレード状のゴムなどの弾性材からなる密封部材としての３つの押え部材５５がそれぞれ保持部材５６に上下方向に変位可能に保持されている。各押え部材５５は上記保持部材５６に設けられたばね５７によって上昇方向に弾性的に付勢されている。押え部材５５は、その上端面でヘッド７に千鳥状に形成されたノズル１４全体を閉塞することができるよう幅寸法及び厚さ寸法が設定されている。
【００３８】
上記上下テーブル５４には上記押え部材５５と並列にブレード状のゴムなどの弾性材によって形成されたワイピング部材５８設けられている。このワイピング部材５８の上端は上記押え部材５５の上端よりも所定寸法上方に位置している。
【００３９】
上記上下テーブル５４は回収槽６１の内底部に設けられている。この回収槽６１の一側にはガイド板６２が設けられ、このガイド板６２にはガイド部材６３が設けられている。このガイド部材６３は上記搬送テーブル３の端面に上下方向に沿って設けられたガイドレール６４にガイドされて上下動可能となっている。
【００４０】
それによって、上記上下シリンダ５２が駆動されれば、上記上下テーブル５４が駆動されるとともに、ガイド板６２がガイドレール６４に沿って上下動するから、上下テーブル５４が前後左右方向に振れるのが規制されて上下動する。
【００４１】
上記回収槽６１には図１に示す回収タンク６５が接続されている。この回収タンク６５は、上記ヘッド７のノズル１４の気泡抜きを行なう際、ノズル１４から回収槽６１に噴射される溶液を回収する。
【００４２】
つぎに、上記構成の塗布装置によって基板Ｗに溶液Ｌを噴射塗布する前に、供給管２１、ヘッド７、回収管２３及びノズル１４の気泡抜きを行なう手順について図５（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。
【００４３】
供給管２１、ヘッド７及び回収管２３の気泡抜きを行なう場合には、まず、図２に示すように搬送テーブル３を駆動して上下テーブル５４に設けられた押え部材５５をヘッド７のノズル孔１４の下方に位置させる。ついで、図５（ａ）に示すように上記上下テーブル５４を上昇させ、押え部材５５の上端面によって各ヘッド７のノズル１４を閉塞する。
【００４４】
各押え部材５５は上下テーブル５４にばね５７によって上下方向に弾性的に変位可能に支持されている。そのため、押え部材５５の高さ寸法やヘッド７の下面の高さ位置に多少のばらつきがあっても、各押え部材５５によってそれぞれのヘッド７のノズル１４を確実に閉塞することができる。
【００４５】
押え部材５５によってノズル１４を閉塞したならば、各ヘッド７の供給開閉弁２５と回収開閉弁２６を開き、連通弁２７を閉じて主回収弁２８を開く。そして、第１の開閉制御弁３６を閉じてガス供給管３８に設けられた第２、第３の開閉制御弁３７，４０を開くことで、溶液タンク３１内の溶液Ｌを不活性ガスによって加圧する。
【００４６】
それによって、溶液タンク３１内の溶液Ｌは供給管２１を通じてヘッド７の液室１２に流入し、この液室１２に充満してから回収管２３へ流れ、この回収管２３から貯蔵タンク３２に回収されるから、供給管２１、ヘッド７の液室１２及び回収管２３内の気泡を溶液Ｌとともに除去することができる。つまり、気泡抜きを行なうことができる。
【００４７】
供給管２１、ヘッド７の液室１２及び回収管２３内の気泡抜きを行なう際に、ヘッド７のノズル１４を図５（ａ）に示すように押え部材５５によって密閉するようにしたから、供給管２１からヘッド７の液室１２に供給された溶液Ｌが上記ノズル１４から大気中に流出するのが阻止される。
【００４８】
そのため、上記各部の気泡抜きに際し、溶液Ｌがノズル１４から流出し、大気に接触して再使用が不能となることがない。つまり、溶液Ｌに無駄が生じることなく、供給管２１、ヘッド７の液室１２及び回収管２３の気泡抜きを行なうことができる。
【００４９】
上記押え部材５５によってノズル１４を閉塞して気泡抜きを行うことで、回収管２３の抵抗が大きくても、ヘッド７の液室１２に供給された溶液Ｌを確実に回収管２３に流すことができる。つまり、回収管２３を細径化して抵抗が大きくなっても、溶液Ｌをノズル１４から流出させることなく、回収管２３に確実に回収することができる。
【００５０】
そのため、回収管２３を細径化することで、気泡抜き後に回収管２３に残留する溶液Ｌの量を少なくできるから、溶液Ｌに無駄が生じるのを低減することができる。
【００５１】
つぎに、ヘッド７のノズル１４の気泡抜きを行なう。ノズル１４の気泡抜きは、まず、各ヘッド７の供給開閉弁２５を開放させた状態にし、回収開閉弁２６を閉じる。押え部材５５は図５（ａ）に示すように上昇させ、各ヘッド７のノズル１４を閉塞する。
【００５２】
この状態で、溶液タンク３１に不活性ガスを供給し、内部の溶液Ｌを加圧する。それによって、溶液Ｌは供給管２１を通じてヘッド７の液室１２内に流入する。液室１２に流入した溶液Ｌは、ノズル１４及び回収開閉弁２６が閉塞されていることで、液室１２から流出不能である。そのため、液室１２内の溶液Ｌの圧力が上昇する。
【００５３】
液室１２内の溶液Ｌの圧力が上昇したならば、図５（ｂ）に示す上下テーブル５４の下降と、図５（ａ）に示す上昇を繰り返して行い、押え部材５５による各ヘッド７のノズル１４の開閉を繰り返して行なう。
【００５４】
それによって、液室１２内の溶液Ｌは、この液室１２内で所定の圧力に上昇した後、ノズル１４から噴射することになる。そのため、単に溶液Ｌを液室１２内に流すだけでは溶液Ｌが流れ難いような箇所であっても、溶液Ｌを確実に流すことができるから、溶液Ｌをヘッド７に形成された全てのノズル１４から均一に噴射させることができる。つまり、液室１２内での溶液Ｌの圧力を脈動させることで、液室１２内全体に溶液Ｌを行き渡らせ、全てのノズル１４から噴射させることができる。
【００５５】
したがって、ヘッド７の全てのノズル１４の気泡抜きを確実に、しかも短時間で行なうことが可能となる。そのため、溶液Ｌが流れ易い箇所にあるノズル１４から必要以上にたくさんの溶液Ｌが噴射されるのが防止されるから、ノズル１４から噴射されて廃棄される溶液Ｌの量を少なくできる。
【００５６】
このようにしてノズル１４の気泡抜きが終了したならば、図５（ｃ）に示すように上下テーブル５４を上昇させてヘッド７の下面にワイピング部材５８を接触させる。その状態で搬送テーブル３を往復動させ、上記ワイピング部材５８によってヘッド７の下面に付着残留する溶液Ｌを拭き取る。
【００５７】
それによって、気泡抜きの後で、基板Ｗに溶液Ｌを噴射塗布するとき、ノズル１４からの溶液Ｌの噴射方向がヘッド７の下面に付着残留する溶液によって妨害されるなどの悪影響を除去することができる。
【００５８】
ヘッド７のノズル１４の気泡抜きを行なう際、上下テーブル５４を上下動し、押え部材５５によってノズル１４の開閉を繰り返して行なうようにしたが、ワイピング部材５８を密閉部材として利用することで、ノズル１４の開閉を繰り返して行なうようにしてもよい。
【００５９】
つまり、図５（ｃ）に示すようにワイピング部材５８の上端がヘッド７の下面に接触した状態で、搬送テーブル３を往復動させる。それによって、ワイピング部材５８の上端部がノズル１４を開閉することになるから、液室１２内の溶液Ｌの圧力を脈動させることができる。
【００６０】
つまり、ワイピング部材５８がノズル１４を閉塞したときには液室１２内の溶液Ｌの圧力が上昇して溶液Ｌが液室１２内全体に行き渡り、開放されたときには液室１２内全体に行き渡った溶液Ｌがヘッド７の全てのノズル１４から噴射する。
【００６１】
このように、ノズル１４の開閉を繰り返して溶液Ｌに圧力の脈動を与える密閉部材としては、押え部材５５とワイピング部材５８とのどちらであっても差し支えなく、要は溶液Ｌに圧力の脈動を与えることができればよい。
【００６２】
ノズル１４の気泡抜きを行なう場合、密閉部材に代わり、供給開閉弁２５又は回収開閉弁２６を用いて溶液Ｌの圧力に脈動を与えるようにしてもよい。すなわち、そのための第１の方法としては、ヘッドの液室１２に溶液Ｌを供給する際、回収開閉弁２６を閉じた状態で、供給開閉弁２５の開閉を繰り返して行なう。それによって、供給管２１から液室１２に供給される溶液Ｌの圧力が脈動することになるから、液室１２に供給された溶液Ｌがこの液室１２内全体に分散し易くなる。そのため、溶液Ｌをヘッド７に形成された全てのノズル１４から確実かつ短時間で噴射させることができる。
【００６３】
第２の方法としては供給開閉弁２５を常開状態にして溶液Ｌをヘッド７の液室１２に供給するとともに、回収開閉弁２６の開閉を繰り返す。それによって、液室１２に供給された溶液Ｌは、回収開閉弁２６の開閉に応じて回収管２３に流れるから、その流れによって液室１２内の溶液の圧力が脈動することになる。
【００６４】
液室１２内の溶液の圧力が脈動すれば、上記各実施の形態と同様、液室１２に連通する全てのノズル１４から溶液Ｌを短時間で確実に噴射させることができる。
【００６５】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、基板に溶液を噴射塗布する塗布装置の気泡抜きを、溶液に無駄が生じることなく、確実に行なうことができる。また、回収管を細径化することができ、気泡抜き後に回収管に残留する溶液の量も少なくできるので、溶液の無駄を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態を示す塗布装置の概略的構成を示す正面図。
【図２】塗布装置の側面図。
【図３】ヘッドの横断面図。
【図４】ヘッドの下面図。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は供給管、ヘッド及び回収管の気泡抜きを行なうときの押え部材によるノズルの開閉動作の説明図。
【符号の説明】
３…搬送テーブル、７…ヘッド、１４…ノズル、２１…供給管、２３…回収管、２５…供給開閉弁、２６…回収開閉弁、３１…溶液タンク、５４…上下テーブル、５５…押え部材（密閉部材）、５８…ワイピング部材（密閉部材）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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