(57)【要約】【課題】光ディスク再生装置に対する調整、あるいは設計のためのデータとり、例えば完成品としての良否の判断等の検査を、その検査目的に応じた内容をもって、能率的に行うことができる検査用光ディスクを、通常におけるディスクのような、煩雑な工程を採ることなく、作製することができるようにする。【解決手段】通常の光ディスクにおけるディスク基板に対応する形状とされた、内径および外径、厚さなどの選定がなされたディスク基板１上に、直接検査用データが書き込まれたカッティング層もしくは光学的特性変化による記録層４が形成された構成とするものであり、光ディスクを形成の原盤の作製、スタンパーの作製を回避することによって、目的とする検査に適したデータを有する検査用光ディスクを簡便に作製する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスク再生装置の検査用光ディスクであって、
上記再生装置が用いられる光ディスクにおけるディスク基板に対応する寸法形状とされたディスク基板上に、
直接検査用データが書き込まれたカッティング層もしくは光学特性変化による記録層を有することを特徴とする光ディスク再生装置の検査用光ディスク。
【請求項２】
光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造方法であって、
上記再生装置が用いられる光ディスクにおけるディスク基板に対応する形状とされたディスク基板上に、
直接レジスト層の塗布工程と、
上記レジスト層に対する検査用データに基くパターン露光を行う露光工程と、
該レジスト層に対する現像工程とにより、
上記検査用データの記録がなされた記録層を形成することを特徴とする光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造方法。
【請求項３】
光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造方法であって、
上記再生装置が用いられる光ディスクにおけるディスク基板に対応する形状とされたディスク基板上に、
直接相変化材料層を塗布する工程と、
該相変化材料層に対する検査用データに基くレーザ光の照射による光学特性を変化させるレーザ照射工程とにより
検査データが記録された記録層を形成することを特徴とする光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造方法。
【請求項４】
光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造装置であって、
上記検査用光ディスクのディスク基板が載置される基板ステージを有し、
該基板ステージは、上記検査用光ディスクのディスク基板の保持手段を具備し、
上記検査用光ディスクのディスク基板は、上記光ディスク再生装置が用いられる光ディスクのディスク基板の寸法形状と中心孔に対応する寸法形状と中心孔とを有し、
上記基板ステージ上に設置された上記検査用光ディスクのディスク基板上に塗布されたレジスト層、もしくは光学特性変化による記録層に対して、露光処理がなされるようにしたことを特徴とする光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造装置。
【請求項５】
上記基板ステージは、上記検査用光ディスクのディスク基板の外径に対応する直径のディスク載置面を有し、
上記保持手段は、上記検査用光ディスクのディスク基板の中心孔に嵌挿され、上記ディスク基板の位置決めがなされる位置決め用中心軸が上記ディスク載置面の中心に植立されて成ることを特徴とする請求項４に記載の光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク再生装置の検査用光ディスクとその製造方法、並びに製造装置に関わる。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスク再生装置の例えば使用態様状態での検査、具体的には、この再生装置の製造における調整、あるいは設計のためのデータとり、例えば完成品としての良否の判断等が行われる。
このような、検査においては、通常、この検査対象の再生装置によって、再生がなされる製品化された光ディスクを再生することによって行う。
すなわち、例えばＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）、更に、このＤＶＤの次世代のディスクの青紫色のレーザ光を用いる、いわゆるＢｌｕ−ｒａｙディスクのプレーヤにおいては、これら、ＣＤ、ＤＶＤ、Ｂｌｕ−ｒａｙディスク自体を、検査対象とする再生装置に装着して再生することによって目的とする検査を行う。
【０００３】
これら光ディスクにおいては、各種情報が、ディスク基板に形成された凹凸パターンとして記録されている。
これら凹凸パターンを有するディスクの作製は、通常、製品としての各ディスクを作製すると同様の手順によって、各種情報によるディスク原盤の作製を行い、この原盤からスタンパーを転写作製し、これを用いて射出成型もしくは２Ｐ（Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）法によって各光ディスクの作製を行う（例えば非特許文献１参照）。
【０００４】
上述した原盤は、最終的に得る光ディスクのディスク基板とは相違する形状をなす原盤用の基板、具体的には、中心孔が形成されていない基板が用いられ、この基板上にフォトレジスト層を塗布し、記録データに応じたパターン露光を行い、現像処理することによってレジスト層のカッティング、すなわち凹凸パターンを形成することによって作製する。
その後、この原盤の凹凸パターン上に、ニッケルメッキを施し、これを剥離することによって、原盤の凹凸パターンが反転した凹凸パターンを有する例えばマスタースタンパーを形成する。
このマスターパターンに対し、さらにニッケルメッキを施し、これを剥離することによって、スタンパーを形成する。
【０００５】
そして、このスタンパーを例えば射出成型金型内に配置して、樹脂成型を行って目的とする光ディスクを形成する。あるいは、２Ｐ法においては、光ディスクを構成するディスク基板上に、例えば紫外線硬化型の樹脂層を塗布し、これに上述したスタンパーを押圧して、スタンパーの凹凸パターンが反転した目的とする記録データ等のパターンを形成する。
このようにして形成した光ディスクを用いて、光ディスクに対する再生装置の上述した検査を行う方法がとられている。
【０００６】
【非特許文献１】
朝倉書店、応用物理学会、光学懇話会／篇、光ディスクシステム
第１０１頁〜第１２５頁
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような方法による場合に、原盤作製およびスタンパー作製の形態がとられることから、検査用光ディスクの作製が煩雑となって、検査目的に応じたデータを有するディスクを得ることが容易でなく、また、コスト高とならざるを得ない。
本発明においては、光ディスク再生装置に対する上述した検査を、検査目的に応じた内容をもって、したがって、能率的に行うことができる検査用光ディスクを、通常におけるディスクのような、煩雑な工程を採ることなく、作製することができるようにした、光ディスク再生装置の検査用光ディスクとその製造方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明による光ディスク再生装置の検査用光ディスクは、再生装置が用いられる光ディスクにおけるディスク基板に対応する寸法形状とされた、すなわち、再生装置の所定位置に装着するための中心孔を有し、また、その内径、外径、厚さなどの選定がなされたディスク基板上に、直接検査用データが書き込まれたカッティング層もしくは光学的特性変化による記録層が形成された構成とする。
【０００９】
また、本発明による光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造方法においては、再生装置が用いられる光ディスクにおけるディスク基板に対応する形状とされた光検査用光ディスク基板を用意し、この上に直接レジスト層の塗布工程と、このレジスト層に対する検査用データに基づくパターン露光を行う露光工程と、このレジスト層に対する現像工程により、検査用データの記録がなされた記録層を有する光ディスク再生装置の検査用光ディスクを得る。
【００１０】
また、本発明による光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造方法は、上述したと同様に、光検査用光ディスク基板を用意し、この基板上に直接相変化材料を塗布する工程と、この相変化材料層に対する検査用データに基くレーザ光照射により、光学的特性、すなわち結晶、非晶質による光学的変化による記録を行うレーザ光照射工程とによって光ディスク再生装置の検査用光ディスクを得る。
【００１１】
また、本発明による光ディスク再生装置の検査用光ディスクの製造装置は、検査用光ディスクのディスク基板が載置される基板ステージを有し、この基板ステージは、検査用光ディスクのディスク基板の保持手段を具備する。
検査用光ディスクのディスク基板は、上述したように、光ディスク再生装置が用いられる光ディスクのディスク基板の寸法形状と中心孔に対応する寸法形状と中心孔とを有するものであり、基板ステージ上に設置された検査用光ディスクのディスク基板上に塗布されたレジスト層、もしくは光学特性変化による記録層に対して、露光処理がなされるものである。
【００１２】
上述した、本発明による検査用光ディスクによれば、検査用データを直接的に検査用光ディスク基板上に形成したことによって目的とする検査用の光ディス基板を簡単に得ることができることによって、目的とするデータとり、調整、良否判断等の検査に応じた適切な検査用光ディスクを得ることができるものである。
【００１３】
また、本発明による検査用光ディスクの製造方法によれば、検査用光ディスク基板上に直接的にレジスト層を形成して、必要とする検査用データに基づくパターン露光と現像とを行うか、相変化材料層の形成と、同様のパターン露光すなわちレーザ光照射によって、目的とする検査データを有する検査用光ディスクを形成するので、原盤作製工程とスタンパー作製工程とが省略されることから、適切な検査用データを有する検査用光ディスクを簡便に得ることができる。
【００１４】
また、本発明による検査用光ディスクの製造装置は、いわゆるカッティング装置であるが、通常の光ディスク作製の原盤におけるカッティング装置とは相違するものである。すなわち、通常の原盤作製におけるカッティング装置においては、原盤の形状大きさが、光ディスクとは相違し、光ディスクより大径であり、かつ中心孔が形成されていない。これに対し、本発明装置においては、光ディスクに対応する形状の検査用光ディスクのディスク基板を載置保持できるステージが設けられるものであるから、このディスク基板を確実に所定位置に設定できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明による光ディスク再生装置の検査用光ディスクとその製造方法の実施形態を説明するが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。
図１Ａは、本発明による検査用光ディスクのディスク基板１の平面図を示し、図１Ｂは、このディスク基板１を用いた本発明による光検査用光ディスクの概略断面図を示す。
【００１６】
本発明による検査用光ディスクのディスク基板１は、目的とする検査対象の光ディスク再生装置が、製品化された再生装置として最終的に用いられる本来の光ディスク例えばＢｌｕ−ｒａｙディスク、ＤＶＤ、ＣＤ等における基板と同一寸法形状すなわち中心孔３の直径およびディスク基板の外径、厚さが一致する寸法形状に選定される。
このディスク基板１上に、フォトレジスト層あるいは記録材料層が形成され、このフォトレジスト層を直接的にカッティングするとか、記録材料層に直接記録することによって、目的とする検査用データが記録された記録層４が形成された検査用光ディスク２が構成される。
【００１７】
［第１の実施の形態］
この実施の形態例は、ＤＶＤの次世代の大容量記録用の青紫色レーザ光が用いられるＢｌｕ−ｒａｙディスク対応の検査用光ディスクであり、図２の工程図（その１）および図３の工程図（その２）を参照して、この検査用光ディスクと、その製造方法の実施形態例を詳細に説明する。
この場合、図２Ａに示すように、Ｂｌｕ−ｒａｙでの仕様による直径１２ｃｍ、厚さ１．１ｍｍの中心孔１５ｍｍ（図示せず）を有するディスク基板１が用意される。
この基板１上にフォトレジスト層５を、スパッタ、蒸着、スピンコート等による塗布等によって均一膜厚に成膜する。
このレジスト層としては、無機レジスト例えばＷＯ系の無機レジストによって形成する。
【００１８】
次に、図２Ｂに示すように、Ｂｌｕ−ｒａｙ対応の例えば波長４０５ｎｍの露光レーザ光Ｌｅｘにより、開口数Ｎ．Ａ．が、０．９５程度の光学系を有するカッティングマシンによって目的とする検査内容によるデータ信号や、サーボ信号等による記録情報による露光を行う。
図２Ｃに示すように、フォトレジスト層５に対する現像および乾燥処理を行って、目的とする記録情報による記録ピット７を形成する。
このようにして、ピット７が、フォトレジスト層５の厚さに相当する深さとされた記録層４が形成される。
【００１９】
図３Ａに示すように、この記録ピット７を有する記録層４上に、金属反射膜８を、蒸着、スパッタ等によって形成する。
図３Ｂに示すように、金属反射膜８上に、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクにおける例えば１００μｍの厚さを有するカバー層に相当する透過読み出し層９を、透明樹脂の塗布、透明樹脂フィルムの接合等によって形成する。
このようにして、目的とする検査用光ディスク２を得る。
そして、この光ディスク２を、検査対象の再生装置（図示せず）に装着する。この状態で、図３Ｃに示すように、透過読み出し層９側から再生レーザ光Ｌｔを照射して、目的とする検査を行う。
【００２０】
上述した実施の形態では、Ｂｌｕ−ｒａｙ対応の検査用光ディスクについて説明したが、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）対応の検査用光ディスクに適用することができる。
【００２１】
［第２の実施の形態］
この実施の形態においては、ＤＶＤ対応の検査用光ディスクであり、図４の工程図を参照して、本発明による製造方法の実施形態例と共に説明する。
この場合においては、図４Ｅに示すように、それぞれその厚さが、０．６ｍｍで図示しないがＤＶＤにおけると同様の中心孔を有する、第１および第２のディスク基板１１の貼り合わせによって全体として１．２ｍｍの厚さを有する光ディスクを構成するものである。
【００２２】
この場合、まず、図４Ａに示すように、厚さ０．６ｍｍを有する第１のディスク基板１１を用意する。
そして、この上に、図４Ａ〜Ｄに示すように、前述の第１の実施形態における、図２Ａ、Ｂ、Ｃおよび図３Ａで説明した工程に対応する工程をとって、所要の検査用データ信号、サーボ信号等の記録がなされた、記録ピット７がカッティングされたフォトレジスト層５による記録層１４を形成し、この上に、例えば金属反射膜８を形成する。
【００２３】
そして、この実施の形態においては、上述したように、第２のディスク基板１２を、記録層１４が形成された側に接合して、目的とするＤＶＤ型の検査用光ディスク２２を形成する。
そして、この光この場合においては、例えば第１のディスク基板１１側から、図４Ｅに示すように、第１の基板１１側から、あるいは図示とは反対側の第２の基板１２側から、検査再生レーザ光Ｌｔを照射して、目的とする検査を行う。
この第２の実施の形態例において、その検査再生レーザ光Ｌｔの照射側の基板１１，１２はレーザ光Ｌｔに対して透過性を有する樹脂、ガラス等の基板によって構成する。
【００２４】
［第３の実施の形態］
この実施の形態においては、第１の実施の形態におけるＢｌｕ−ｒａｙ対応において、更に、大容量化された、その記録層が多層記録層を有する光ディスクに対応する、検査用光ディスクに適用した場合である。
この場合の実施の形態例とその製造方法を、図５の工程図（その１）、および図６の工程図（その２）を参照して説明する。
この場合においても、図５Ａ〜Ｄに示すように、Ｂｌｕ−ｒａｙ対応の基板３１を用意し、図２Ａ〜Ｃおよび図３Ａで説明した工程に対応する工程をとって、第１の記録層４１を形成し、その表面に金属反射膜８を形成する。
そして、この金属反射膜８上に、光透過性スペーサ層１３を形成し、この上に、第１の記録層４１と同様の方法によって、所要の情報の記録がなされた第２の記録層４２を形成する。そして、この記録層４２上には、所要の透過率を有するいわゆる半透明反射膜１８を形成する。
【００２５】
このような作業を繰り返し行って、図６Ｃに示すように、多層記録層４１，４２、・・・４ｎが積層された検査用光ディスク３０を構成する。
そして、この検査用光ディスク３０に対する各記録層に対する再生は、それぞれの記録層に再生光をフォーカシングさせることによって、読み出すことができる。
図５および図６において図２〜図３に対応する部分には同一記号を付して重複説明を省略する。
【００２６】
そして、図６Ａに示すように、金属薄膜８上に、光透過性のスペーサ層４０を成膜する。
この場合においても、光ディスク３０は、再生装置（図示せず）に装着され、積層記録層を有する側からの再生レーザ光Ｌｔを照射によって、各記録層にフォーカシングさせることによって、検査データおよび例えばサーボ信号の再生を行う。
【００２７】
なお、上述した第１〜第３の実施の形態例において、フォトレジスト層５による凹凸パターンによる記録層とした場合であるが、フォトレジスト層に代えて、例えば追記型記録材料層、書換型記録材料層に、記録がなされた構成として、上述したフォトレジスト層の現像処理を回避できる。
【００２８】
［第４の実施の形態］
この第４実施の形態においては、上述した各実施の形態例における、フォトレジスト層を用いることなく、図７Ａに示すように、記録材層５２として、例えば相変化材料層による光学特性の変化による記録部を形成する構成とした場合である。
すなわち、この実施の形態においては、対象とする光ディスクに対応する基板６１を用意し、この上に相変化材料層６２を成膜し、これに対して記録レーザ光Ｌｗによって、結晶化および非晶質化による記録データを相変化によって直接的に、現像処理を経ることなく、書き込んだ記録部５３を形成し、これによって検査データ記録層５４を形成する。そしてこの上に例えば保護層、あるいは光透過性の透過読み出し層９を成膜して、検査用光ディスク５０を得る。
この検査用光ディスクにおいては、対象とする再生装置に装着された状態で、透過読み出し層９を通じてあるいは基板５１側からの再生レーザ光の照射によって、記録部５３の読み出し、すなわち検査を行うことができる。
【００２９】
上述したように、本発明においては、検査用光ディスクを、従来におけるように原盤の作製、スタンパーの作製を行うことなく、検査対象の再生装置が、最終的に用いられる光ディスクと同一の基板形状を有する基板を、検査用光ディスクの基板とし、これに直接的に記録層の形成を行うものである。
【００３０】
上述したように、本発明においては、原盤作製を行うことなく、直接的に検査用光ディスクを製造するものであるが、この製造過程において、例えば図２Ｂで示した工程、図４Ｂで示した工程、図５Ｂで示した工程におけるように、いわゆるカッティングマシンによる記録ピット形成のための露光処理がなされる。
しかしながら、この場合、本発明においては、目的とする検査用光ディスクを直接的に形成するものであり、このディスク形状が、光ディスクにおけるディスク形状であることから、例えば直径１２ｃｍであり、更に中心孔を有する形状である。
【００３１】
これに対し、通常の原盤作製のカッティングマシンにおいては、対象とする原盤が、目的とする光ディスクよりかなり大に選定されている。例えば直径１２ｃｍのディスクの作製においては、原盤の直径は、２０ｃｍであって、この原盤の基板を支持するステージは、２０ｃｍ対応となる。また、この原盤の基板は、中心孔を有するものではない。
したがって、本発明による検査用光ディスクを形成するための、カッティングマシンは、原盤作製のカッティングマシンとは、異なる構成とされる。
【００３２】
そこで、本発明による光検査用光ディスクの製造装置、特にそのカッティングマシンを、特殊の構成とするものである。
その実施の形態を例示する。
［製造装置（カッティングマシン）の実施の形態］
この実施の形態例においては、図８Ａに上面図を示し、図８Ｂにその断面図を示すように、検査用光ディスクのディスク基板１が載置される基板ステージ６１が設けられる。
この基板ステージ６１は、例えばディスク基板１の直径が１２ｃｍであれば、これに対応し、これを収容載置することができる内径が１２ｃｍよりわずかに大きな内径を有する例えば円形皿状とされる。
そして、この基板ステージ６１には、ディスク基板１の保持手段６２が設けられる。
【００３３】
この保持手段６２は、基板ステージ６１の中心に、接着、ネジどめ、あるいはステージ６１と一体に形成されることによって植立されたディスク基板１の位置決め用中心軸６３と、保持部材６４とを有して成る。
位置決め用中心軸６３は、ディスク基板１の中心孔３の内径に対応し、この中心孔３にできるだけ間隙を生じることなく嵌挿して、基板１を基板ステージ６１上に載置した状態で所定位置の例えば基板ステージ６１に設定することができるようになされる。
また、基板保持材６４は、位置決め用中心軸６３が挿入される中心孔が形成された円板状をなし、基板ステージ６１上に載置されたディスク基板１上に衝合配置される。
更にまた、基板ステージ６１の、ディスク基板１の載置面には、真空吸引口（図示せず）を有し、基板ステージ６１にディスク基板１が真空吸引によって保持される。
【００３４】
そして、この構成による検査用光ディスクの製造装置、すなわちカッティングマシンにおいて、ディスク基板１上に形成されたレジスト層、もしくは光学特性変化による記録層に対して、露光処理がなされる。
【００３５】
このように、本発明装置によれば、光ディスク１が保持され、その位置設定がなされる状態で、露光処理がなされる構成としたことにより、高い精度をもって露光処理がなされ、したがって、高い精度をもって目的とする検査を行う検査用光ディスクを製造することができるものである・
【００３６】
なお、上述した例では、主として直径１２ｃｍの、例えばＣＤ、ＤＶＤ等に本発明を適用した場合について説明した場合であるがいうまでもなく、各種記録媒体に適用することができるものである。
【００３７】
【発明の効果】
上述したように、本発明による検査用光ディスクによれば、検査用データを直接的に検査用光ディスク基板上に形成したことによって目的とする検査用の光ディス基板を簡単に得ることができ、目的とするデータとり、調整、良否判断等の検査に応じた適切な検査用光ディスクを得ることができる。したがって、適切な検査を行うことができるものである。
【００３８】
また、本発明による検査用光ディスクの製造方法によれば、検査用光ディスク基板上に直接的にレジスト層を形成して、必要とする検査用データに基づくパターン露光と現像とを行うか、相変化材料層等の形成を行うことにより、原盤作製工程とスタンパー作製工程とが排除されることから、適切な検査用データを有する検査用光ディスクを簡便に、したがって、廉価に作製することができるものである。
【００３９】
また、本発明による検査用光ディスクの製造装置によれば、光検査用の光ディスク、すなわち、光検査がなされる再生装置が適用される本来の光ディスクに対応するディスクを保持する構成を有することから、確実な、カッティング操作を行うことができ、高い精度をもって目的とする検査を行う検査用光ディスクを製造することができるものである・
【図面の簡単な説明】
【図１】Ａ図は、本発明による検査用光ディスクの一例における光ディスク基板の平面図である。Ｂ図は、本発明による検査用光ディスクの一例の概略断面図である。
【図２】Ａ〜Ｃは、本発明による検査用光ディスクの製造方法の一例の工程図（その１）である。
【図３】Ａ〜Ｃは、本発明による検査用光ディスクの製造方法の一例の工程図（その２）である。
【図４】Ａ〜Ｅは、本発明による検査用光ディスクの製造方法の他の例の工程図である。
【図５】Ａ〜Ｄは、本発明による検査用光ディスクの製造方法の他の例の工程図（その１）である。
【図６】Ａ〜Ｃは、本発明による検査用光ディスクの製造方法の他の例の工程図（その２）である。
【図７】Ａ〜Ｃは、本発明による検査用光ディスクの製造方法の更に他の例の工程図である。
【図８】ＡおよびＢは、本発明による検査用光ディスクの製造装置の一例の概略平面図および断面図である。
【符号の説明】
１，３１，５１・・・ディスク基板、２，２０，３０，５０・・・光検査用光ディスク、３・・・中心孔、４，１４，２４，５４・・・記録層、５・・・フォトレジスト層、６・・・露光パターン、７・・・記録ピット、８・・・金属反射膜、９・・・透過読み出し層、１１・・・第１のディスク基板、１２・・・第２のディスク基板、１３・・・スペーサ層、１８・・・半透明反射膜、４１・・・第１の記録層、４２・・・第２の記録層、５２・・・記録材層、５３・・・記録部、６１・・・基板ステージ、６２・・・基板の保持手段、６３・・・位置決め用中心軸、６４・・・基板保持部材、Ｌｅｘ・・・露光レーザ光、Ｌｔ・・・検査再生レーザ光、Ｌｗ・・・記録レーザ光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004355782.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004355782.tif 000009
【図８】
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