(57)【要約】【課題】テクノロジの成熟に伴う新しい設計ルールの決定に関し、自動的に最適な設計ルール決める設計ルール決定方法を提供することを目的とする。【解決手段】歩留りの予測が可能なクリティカルエリアを評価コストと定義し、所定の設計ルールで設計された複数のレイアウトデータに対して所定のダスト分布データを与え配線幅と配線間隔を定められた範囲内で変化させて評価コストを算出し、その中から最小の評価コストとなる配線幅と配線間隔を設計ルールとするように構成する。【選択図】    図１
2004172158.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレイアウトデータから求めるクリティカルエリアの総和を評価コストとするコスト定義工程と、
所定の設計ルールで設計された複数の回路のレイアウトデータに対して所定のダスト分布を与え、配線幅と配線間隔とを定められた範囲内で変化させてそれぞれの変化に対する前記評価コストを算出するコスト算出工程と、
算出した評価コストの中から最小の評価コストを求め、求めた最小の評価コストにおける配線幅と配線間隔とを設計ルールとする設計ルール決定工程と
を有することを特徴とする設計ルール決定方法。
【請求項２】
前記コスト定義工程は、複数のレイアウトデータから求めるタイミングスラック値の総和を評価コストとすること
を特徴とする請求項１記載の設計ルール決定方法。
【請求項３】
前記コスト定義工程は、複数のレイアウトデータから求めるノイズ量の総和を評価コストとすること
を特徴とする請求項１記載の設計ルール決定方法。
【請求項４】
複数のレイアウトデータから求めるクリティカルエリアの総和を第一の評価コストとし、前記複数のレイアウトデータから求めるタイミングスラック値の総和を第二の評価コストとするコスト定義工程と、
所定の設計ルールで設計された複数の回路のレイアウトデータに対して、配線幅と配線間隔とを定められた範囲内で変化させ、それぞれの変化に対する第一の評価コストと第二の評価コストとを算出するコスト算出工程と、
算出した第一の評価コストと第二の評価コストに対して指定された重み付けを行い、重み付けされた第一の評価コストと第二の評価コストの和を評価コストとして、前記評価コストの中から最小の評価コストとなる配線幅と配線間隔とを設計ルールとする設計ルール決定工程と
を有することを特徴とする設計ルール決定方法。
【請求項５】
前記第二の評価コストは、前記複数のレイアウトデータから求めるノイズ量の総和とすること
を特徴とする請求項４記載の設計ルール決定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はテクノロジの成熟に伴って生産性を上げるために行われる新しい設計ルールの決定において、自動的に最適な設計ルールを決める設計ルール決定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の半導体集積回路のプロセステクノロジ（以下、テクノロジと略記する）の進歩は著しいものがあり、テクノロジの世代交代に伴って３年にほぼ４倍のペースで集積度の向上が計られてきた。テクノロジの立ち上げ時における配線幅や配線間隔等を定めた設計ルールは、テクノロジそのものが習熟していないのでその限界がそのまま設計ルールとなっている場合が多い。しかし、ある程度テクノロジが成熟してくると同一テクノロジにおいて生産性や性能向上を意図した設計ルールの見直しが行われる。具体的には、歩留りの向上やタイミング、ノイズ、消費電力などの観点から見直しが行われる。設計ルールの見直しによりより高い競争力を維持することは、ビジネス上大きなインパクトを有するからである。
【０００３】
ここで掲げた歩留りやタイミング、ノイズあるいは消費電力は、設計されたレイアウトデータを用いてシミュレーションによりその値を求めることが可能である。例えば、歩留りに関しては、ランダム故障率を決定するクリティカルエリアを求めることで歩留りの予測ができることが知られている。クリティカルエリアは、製造環境におけるクリーンルームのダスト粒径と個数のダスト分布を求めておいて、ダストが基板上に付着したときレイアウトパターンがショートやオープンの故障を引き起こす面積である。具体的にはクリーンルームのダスト分布を計測あるいは予測し、このダスト分布データとレイアウトパターンを用いてモンテカルロシミュレーション等により求めるものである。（例えば、特許文献１参照）
また、タイミングに関しては配線遅延を表現する方法としてスラックと呼ばれる概念が一般に用いられている。スラック値は信号パスなどが持つ遅延制約に対する余裕度を示す値で、要求されるパルス到着時間から実際に到着したパルス到着時間を引いた値であり、レイアウトデータから求めることができる。（例えば、特許文献２参照）
ノイズや消費電力についてもレイアウトデータをもとに配線に付随する静電容量や抵抗値、素子の充放電電流などからシミュレーションによりそれらの値を求めることができる。（例えば、特許文献３、非特許文献２参照）
しかし上述した設計ルールの見直しにおいては、テクノロジ担当の技術者が経験や試作実験を通じて行われているのが一般的である。
【０００４】
本願発明の設計ルールの見直しの実施形態においては、従来の経験的手法でなく評価関数を定義して既存の設計データから確率的な探索により解を求めるＳｉｍｕｌａｔｅｄ  Ａｎｎｅａｌｉｎｇ（以下、ＳＡと略記する）を用いている。これは、金属を高温から徐々に温度を下げることによりエネルギー順位の低い安定な結晶構造を持つ金属が得られるという過程を模擬したもので、局所最適解につかまらず最適解が得られるアルゴリズムとして知られている（例えば、非特許文献１）。関連する技術として掲げておく。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３４４３０号公報（第３頁、図１４）
【０００６】
【特許文献２】特開平１０−５６０６７公報（第４頁）
【０００７】
【特許文献３】特開２００１−２１７３１５公報（第３頁）
【０００８】
【非特許文献１】Ｓ．  Ｋｉｒｋｐａｔｒｉｃｋ，  ＣＤ  Ｇｅｌｌａｔｔ  ａｎｄ  ＭＰ  Ｖｅｃｃｈｉ，  ”Ｏｐｔｉｍｉ−ｚａｔｉｏｎ  ｂｙ  Ｓｉｍｕｌａｔｅｄ  Ａｎｎｅａｌｉｎｇ”，  ｉｎ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ，Ｖｏｌ．２２０，  ｐｐ．６７１−６８０，  １９８３．
【０００９】
【非特許文献２】日経エレクトロニクス、１９９６、１０−１４号、第１１７〜１２０頁）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記に示したように、従来の設計ルールの見直しはプロセス技術者の経験や試作実験を通じて行われてきた。これは明確な方法論が存在しなかったためであり、結果としてシステマテックに設計ルールの変更を行うことがなされていなかった。
【００１１】
このように従来の方法は技術者の経験度に依存することから、設計ルール変更による改良度合いはその時々によって大きく異なることが考えられるとともに、改良の合理的な評価が困難であること、また経験豊富な技術者が求められるため技術者が限定されること等の問題がある。また、数回の試作実験によって確認が行われるため多くの時間を要することも考えられる。
【００１２】
本発明は上記の問題を解決するために、技術者の経験に依存することなく自動的に設計ルールを決定する方法の提供にある。また、本発明により試作実験の回数の減少も期待できる。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１の原理を図１を用いて説明する。本発明は、コスト定義工程１、コスト算出工程２および設計ルール決定工程３から構成する。
コスト定義工程１は、評価関数を定義するもので、複数のレイアウトデータに対してそれぞれクリティカルエリアを求め、求めたクリティカルエリアの総和を評価コストと定義する。
【００１４】
コスト算出工程２は、所定の設計ルールで設計された複数のレイアウトデータ４に対して、与えられた所定のダスト分布データ５の下で配線幅と配線間隔を定められた範囲内で変化させ、コスト定義工程１で定義したクリティカルエリアの総和である評価コストを算出する。ここで所定の設計ルールとは、例えば既存または仮に決定した設計ルールであり、それらは同一の設計ルールである。複数のレイアウトデータは、例えばＧＤＳＩＩフォーマットによるデータである。また、評価コストは変化させた配線幅と配線間隔のそれぞれに対して算出するので、複数（変化させた回数分）の評価コストが算出されることになる。
【００１５】
設計ルール決定工程３は、コスト算出工程２で得られた複数の評価コストの中から最小の評価コストを求め、そのときの評価コストを算出した配線幅と配線間隔とを設計ルールとするものである。
以上の構成により、クリティカルエリアが最も小さいときの配線幅と配線間隔とを設計ルールとするものである。即ち、最も歩留りが高い配線幅と配線間隔が選ばれたことになる。
【００１６】
本発明の請求項２の原理は、評価コストをタイミングスラック値の総和とするもので、所定の設計ルールで設計された複数のレイアウトデータに対して評価コストを求め、以降請求項１と同様に最小の評価コストとなる配線幅と配線間隔とを設計ルールとするものである。本発明により、最もタイミング余裕度のある配線幅と配線間隔を設計ルールとすることができる。
【００１７】
本発明の請求項３の原理は、評価コストをノイズ量の総和とするものである。本発明により、最もノイズ量の少ない配線幅と配線間隔を設計ルールとすることができる。
本発明の請求項４の原理は、クリティカルエリアの総和とタイミングスラック値の総和の２つをそれぞれ第一の評価コストおよび第二の評価コストと定義し、配線幅と配線間隔とを変化させて２つの評価コストを変化毎にそれぞれ算出し、指定された重みをそれぞれの評価コストに与えて全体の評価コストを求め、以降請求項１と同様に最小の評価コストにおける配線幅と配線間隔とを設計ルールとするものである。本発明により、歩留りとタイミングの両方の兼ね合いを図った配線幅と配線間隔とを設計ルールとすることができる。
【００１８】
本発明の請求項５の原理は、第二の評価コストをノイズ量の総和とするものである。
ここで、請求項２〜請求項５のレイアウトデータは、ＧＤＳのデータの他にネットリストや遅延セルライブラリ、ＲＣパラメータ、タイミング制約を含むものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明を用いた実施形態を説明をする。本実施形態では、既存の設計ルールで設計された複数個のレイアウトデータに対して配線幅と配線間隔を変化させる処理を、グリッドサイズの拡縮率（α）と配線幅とグリッドサイズの比率（β）とをパラメータとして変化させている（即ち、β＝配線幅／グリッドサイズ）。このとき、
グリッドサイズ（ｇ）＝配線幅（ｗ）＋配線間隔（ｒ）
である。
【００２０】
また、本実施形態では、最小のコストを求めるときＳＡ法を用いている。これは、個々のパラメータを微小量変化させたとき極めて大きな組合せでコストの評価を行う必要があり、現実的な処理時間で最小のコストを保証するためである。
具体的な実施形態の説明の前に、ＳＡ法について概略を述べる。図２はＳＡ法を説明するもので、初期状態のコスト値であるＣｏｓｔ（Ｓ）を生成し、初期温度Ｔ０および終了温度Ｔｔｅｒｍを設定する。温度が規定の終了温度Ｔｅｒｍに達するまでの間、設定された各温度Ｔにおいてコストの算出式にオペレーションを施すことでコスト値Ｃｏｓｔ（Ｓ’）を求め、状態Ｓから状態Ｓ’に変ったときＣｏｓｔ（Ｓ）を置き替えを行うかどうかを判定する値を次式により求める。
【００２１】
Ｐｒｏｖ＝ｍｉｎ（１，ｅｘｐ（−Ｄ／Ｔ））
但し、Ｄ＝Ｃｏｓｔ（Ｓ’）−Ｃｏｓｔ（Ｓ）
求めた値が０〜１の間で発生するランダム値より大きいときはＣｏｓｔ（Ｓ）をＣｏｓｔ（Ｓ’）に変形することを繰り返し行い、繰り返し回数が規定回数に到達するときに温度ＴをＴｔｅｒｍに向けてコストの最適解を求めていく方法である。
【００２２】
ＳＡ法では、「Ｃｏｓｔ（Ｓ’）＜Ｃｏｓｔ（Ｓ）」のときには、
ｅｘｐ（−Ｄ／Ｔ）＞１
となるので、
Ｐｒｏｖ＝１
となり、ＳはＳ’に必ず変形されることになる。即ち、コストが小さいとき（評価が高くなるとき）にはＣｏｓｔ（Ｓ）はＣｏｓｔ（Ｓ’）に変形されることになる。
【００２３】
これに対して、「Ｃｏｓｔ（Ｓ’）＞Ｃｏｓｔ（Ｓ）」のときには、
ｅｘｐ（−Ｄ／Ｔ）＜１
となるので、
Ｐｒｏｖ＜１
となり、０〜１の間で発生するランダム値に応じて、Ｃｏｓｔ（Ｓ）はＣｏｓｔ（Ｓ’）に変形されたり、されなかったりする。このとき、温度が高いときほど変形される確率を高くなる。
【００２４】
次に実施形態その１を図３〜図５により説明する。実施形態その１は、評価コストを歩留りが予測できるクリティカルエリアの総和とするものである。図３は本願発明の設計ルール決定方法を実施する設計ルール決定装置１０の実施例を示すもので、データ入力部１１、コスト算出部１２、最小コスト決定部１３、レイアウトデータ４およびダスト分布データ５から構成する。設計ルール決定装置１０は、パーソナルコンピュータ等の計算機本体を示し、これにレイアウトデータや初期値の入力を行う入力装置２０、新しく決定した設計ルールの値を表示するディスプレイ等の出力装置３０が接続されている。
【００２５】
データ入力部１１、コスト算出部１２および最小コスト決定部１３は本願発明の設計ルール決定方法を実行する計算機のメモリ上で動作するプログラムである。
データ入力部１１は、入力装置２０から複数回路のレイアウトデータを読み込んで記憶したり、配線幅や配線間隔の値域など指定された初期値データを読み込んで最小コスト決定部１３のプログラムに対して設定する。
【００２６】
コスト算出部１２は、レイアウトデータ４から読み込まれた複数のパターンデータに対してダスト分布データ５を与え、クリティカルエリアの算出を行う。
最小コスト決定部１３は、コスト算出部で算出された複数のコストの中から最小のコストを求めるもので、ＳＡ法による処理を実施する。
レイアウトデータ４は既存の設計ルールで設計されたＧＤＳＩＩフォーマットのパターンデータで複数回路が格納されており、これらのデータは同一の設計ルールで設計されている。
【００２７】
また、ダスト分布データ５はクリーンルームにおけるダスト粒径に対する個数を示すもので、例えば図４に示すものである。図４では、ダスト粒径が０．１μｍのものが１０，０００個、０．２μｍのものは１，２００個、０．３μｍのものは３５０個（以下図４に示す通り）あることを示している。これらの値はダストカウンター等を用いて計測した値の例である。レイアウトデータ４およびダスト分布データ５は、ハードディスク等の記憶装置に格納されている。
【００２８】
次に設計ルール決定装置１０における処理のフローを図５を用いて説明する。まず、グリッドサイズ（ｇ）、配線幅（ｗ）、配線間隔（ｒ）についてそれらの値域である最小寸法および最大寸法を指定させ、設定する。即ち、
Ｇｍｉｎ≦ｇ≦Ｇｍａｘ
Ｗｍｉｎ≦ｗ≦Ｗｍａｘ
Ｒｍｉｎ≦ｒ≦Ｒｍａｘ
次にグリッドサイズ、配線幅、配線間隔に対して初期値を設定する。ここでは初期値としてグリッドサイズを最大値（Ｇｍａｘ）、配線間隔は０〜１の乱数を発生させ、その乱数値がＲｍｉｎとＲｍａｘの間になるよう正規化したときの値、配線幅はグリッドサイズから配線間隔を差し引いた値として設定する。これらの値は、初期の設計ルールの値としてｇｓ、ｗｓ、ｒｓとして記憶しておく。
【００２９】
続いて、ＳＡ法における初期温度（Ｔ）と最終温度（Ｔｔｅｒｍ）を指定させ設定する。ここでは、Ｔ＝１００℃、Ｔｔｅｒｍ＝０．０１℃を設定する。
ここまでの初期設定は、図３のデータ入力部１１でなされる。（Ｓ１０１〜Ｓ１０３）
前ステップで与えた初期値の下で、レイアウトデータ４にダスト分布データ５を与えクリティカルエリアを算出する。クリティカルエリアの算出は複数のレイアウトデータに対して行われ、その総和を初期状態（Ｓ）のコストとする。即ち、初期状態（Ｓ）のコストは次式で表される。
【００３０】
【数１】
2004172158.tif 000003
ここで、Ｎはレイアウトデータの個数である。クリティカルエリアの算出は図３のコスト算出部１２で実施される。（Ｓ１０４）。
これ以降、温度を段階的に減少させた状態でパラメータαとβを乱数を発生して変化させ、最小のコストを求めることを行う。パラメータαはグリッドサイズの拡縮率であり０〜１の乱数を発生させ値がＧｍｉｎとＧｍａｘの間になるよう正規化されるものである。βは配線幅とグリッドサイズの比（即ち、β＝ｗ／ｇ）である。まず、温度が最終温度に達しているかどうかを確認し、達していなければ次のステップで行うαとβに対する乱数発生の回数が規定回数（ここでは規定回数を１０，０００回としている）を超えているかどうかを確認する。規定回数以下であれば、αとβに対して０〜１の乱数を発生させる。
【００３１】
発生した乱数値のαとβとからｇ、ｗ、ｒがＳ１０１で設定された値域を満足するかどうかを調べる。満足していなければαとβを棄却し、新たに乱数を発生してαとβを求める。値域を満足するようであれば、温度Ｔの状態（Ｓ’）におけるパラメータαとβについて先に初期のコストを求めたときに用いた複数のレイアウトデータ４にダスト分布データ５を与えてコストを算出する。コストの算出は次式である。
【００３２】
【数２】
2004172158.tif 000004
続いて、コスト評価の判定値を次式により求めておく。
Ｐｒｏｖ＝ｍｉｎ（１，ｅｘｐ（−Ｄ／Ｔ））
但し、Ｄ＝Ｃｏｓｔ（Ｓ’）−Ｃｏｓｔ（Ｓ）
次に、０〜１の乱数を発生させ、発生した乱数Ｒａｎｄｏｍ（０，１）がＰｒｏｖより小さいとき、Ｃｏｓｔ（Ｓ）をＣｏｓｔ（Ｓ’）に置き替える。また、初期状態で設定したｇｓ、ｗｓ、ｒｓをこのときのｇ、ｗおよびｒにそれぞれ置き替える。発生した乱数Ｒａｎｄｏｍ（０，１）がＰｒｏｖより大きいときはＣｏｓｔ（Ｓ）およびｇｓ、ｗｓ、ｒｓの値は維持されることになる。所定の規定回数を同じ温度の下でαとβに乱数を与えて変化させた後に温度を減少させ（ここでは、１０％減少させる。即ち、Ｔ＝０．９Ｔ）、この温度の下で同様に繰り返す。（Ｓ１０５〜Ｓ１１６）。
【００３３】
温度が始めに設定した最終温度に到達すると、Ｃｏｓｔ（Ｓ）は最小コストになっており、このときのｇｓ、ｗｓ、ｒｓには新しい設計ルールであるグリッドサイズ、配線幅、配線間隔が記憶されていることになる。（Ｓ１１７）。
上述した実施形態その１により、評価コストとして歩留りが予測できるクリティカルエリアを算出し、ＳＡ法により最適な（即ち、最小の）コストとなるときの設計ルールを求めることができる。
【００３４】
次に、評価するコストを歩留りとタイミングの観点から最適な設計ルールを求める実施形態その２について説明する。
図６は実施形態その２のフローを示すものであり、評価を行うコストは歩留りを予測できるクリティカルエリアの総和とタイミング余裕度を示すタイミングスラック値の総和の２つとするものである。まず、ｇ、ｗ、ｒの値域とクリティカルエリアの評価コストの重みｋ１とタイミングスラック値の評価コストの重みｋ２とを指定させ設定する。ｇ、ｗ、ｒの値域は前述と同一であり、ｋ１とｋ２は例えば６０％および４０％を指定し設定する。続いて、前述のように初期温度と最終温度を設定し、初期条件の下で複数のレイアウトデータで求めたクリティカルエリアの総和をＣｏｓｔ１（Ｓ）として算出する。ここで、レイアウトデータはタイミングスラック値も求める必要があることから、ＧＤＳのパターンデータの他にネットリスト、遅延セルライブラリ、ＲＣパラメータ、タイミング制約を含んだデータである。
【００３５】
続いて、同様にタイミングスラック値について複数のレイアウトデータに対してそれぞれ求め、その総和をＣｏｓｔ２（Ｓ）として算出する。タイミングスラック値を求めるとき、ダスト分布データ５は不要である。また、Ｃｏｓｔ１（Ｓ）およびＣｏｓｔ２（Ｓ）は初期状態のそれぞれの評価コストの値である。（Ｓ２０１〜Ｓ２０５）。
【００３６】
温度が最終温度に達していないこと、および以降のステップでαとβに対して乱数を発生する回数が規定回数以下であることを確認して、０〜１の乱数をαとβに対して発生させる。αとβの乱数値からｇ、ｗおよびｒが値域内にあることを確認し、αとβのパラメータの下でクリティカルエリアのコストＣｏｓｔ１（Ｓ’）およびＣｏｓｔ２（Ｓ’）を求め、次式のように重み係数を掛けて全体の評価コストを求める。
【００３７】
Ｃｏｓｔ（Ｓ’）＝ｋ１＊Ｃｏｓｔ１（Ｓ’）＋ｋ２＊Ｃｏｓｔ２（Ｓ’）
以降は実施形態その１と同一で、判定値を求めるＰｒｏｖを算出し、Ｐｒｏｖの値が０〜１の間で発生した乱数の値より大きければ初期コストＣｏｓｔ（Ｓ）をＣｏｓｔ（Ｓ’）に、ｇｓ、ｗｓ、ｒｓをｇ、ｗ、ｒの値に置き替える。αとβの乱数発生の回数を規定回数行い、さらに温度を減少させて最終温度になるまで繰り返す。（Ｓ２０６〜Ｓ２１９）。
【００３８】
温度が最終温度に達したときＣｏｓｔ（Ｓ）は最小の値となり、そのときのｇｓ、ｗｓ、ｒｓの値を設計ルールとする。（Ｓ２２０）
以上により、実施形態その２では歩留りとタイミングの観点から最適な設計ルール（ｇ、ｗ、ｒ）を求めることができる。
実施形態その１および実施形態その２においてＳＡ法を用いて評価コストの最適解を求めたが、例えば遺伝的アルゴリズムを用いてもよく本願発明はＳＡ法に限定されるものではない。
【００３９】
上記の実施形態では、評価コストをクリティカルエリアとタイミングスラック値とする場合を示したが、ノイズ量であっても同様である。また、評価コストを消費電力量としてもよい。また、クリティカルエリアとノイズ量、あるいはクリティカルエリアと消費電力量のように２つの評価コストをそれぞれ重み付けを行って最小コストを求めてもよい。さらに、クリティカルエリア、タイミングスラック値、ノイズ量、消費電力量の４つの評価コストに重み付けを行って最小コストを求めてもよい。
【００４０】
なお、消費電力量を評価コストとするときのレイアウトデータは、ＧＤＳデータ、ネットリスト、消費電力セルライブラリ、ＲＣパラメータ、信号遷移率を含むデータとなる。
（付記１）  複数のレイアウトデータから求めるクリティカルエリアの総和を評価コストとするコスト定義工程と、
所定の設計ルールで設計された複数の回路のレイアウトデータに対して所定のダスト分布を与え、配線幅と配線間隔とを定められた範囲内で変化させてそれぞれの変化に対する前記評価コストを算出するコスト算出工程と、
算出した評価コストの中から最小の評価コストを求め、求めた最小の評価コストにおける配線幅と配線間隔とを設計ルールとする設計ルール決定工程と
を有することを特徴とする設計ルール決定方法。
（付記２）  前記コスト定義工程は、複数のレイアウトデータから求めるタイミングスラック値の総和を評価コストとすること
を特徴とする付記１記載の設計ルール決定方法。
（付記３）  前記コスト定義工程は、複数のレイアウトデータから求めるノイズ量の総和を評価コストとすること
を特徴とする付記１記載の設計ルール決定方法。
（付記４）  複数のレイアウトデータから求めるクリティカルエリアの総和を第一の評価コストとし、前記複数のレイアウトデータから求めるタイミングスラック値の総和を第二の評価コストとするコスト定義工程と、
所定の設計ルールで設計された複数の回路のレイアウトデータに対して、配線幅と配線間隔とを定められた範囲内で変化させ、それぞれの変化に対する第一の評価コストと第二の評価コストとを算出するコスト算出工程と、
算出した第一の評価コストと第二の評価コストに対して指定された重み付けを行い、重み付けされた第一の評価コストと第二の評価コストの和を評価コストとして、前記評価コストの中から最小の評価コストとなる配線幅と配線間隔とを設計ルールとする設計ルール決定工程と
を有することを特徴とする設計ルール決定方法。
（付記５）  前記第二の評価コストは、前記複数のレイアウトデータから求めるノイズ量の総和とすること
を特徴とする付記４記載の設計ルール決定方法。
（付記６）  前記コスト定義工程は、複数のレイアウトデータから求める消費電力量の総和を評価コストとすること
を特徴とする付記１記載の設計ルール決定方法。
【００４１】
（付記７）  前記第二の評価コストは、前記複数のレイアウトデータから求める消費電力量の総和とすること
を特徴とする付記４記載の設計ルール決定方法。
（付記８）  複数のレイアウトデータから求めるクリティカルエリアの総和を第一の評価コストとし、前記複数のレイアウトデータから求めるタイミングスラック値の総和を第二の評価コストとし、前記複数のレイアウトデータから求めるノイズ量の総和を第三の評価コストとし、前記複数のレイアウトデータから求める消費電力量の総和を第四の評価コストとするコスト定義工程と、
所定の設計ルールで設計された複数の回路のレイアウトデータに対して、配線幅と配線間隔を定められた範囲内で変化させ、それぞれの変化に対応した第一の評価コスト，第二の評価コスト、第三の評価コストおよび第四の評価コストとを算出するコスト算出工程と、
算出した第一の評価コスト、第二の評価コスト、第三の評価コストおよび第四の評価コストとに対して指定された重み付けを行い、重み付けされた第一の評価コスト、第二の評価コスト、第三の評価コストおよび第四の評価コストとの和を評価コストとし、前記評価コストの中から最小の評価コストとなる配線幅と配線間隔とを設計ルールとする設計ルール決定工程と
を有することを特徴とする設計ルール決定方法。
【００４２】
【発明の効果】
本願発明の設計ルール決定方法によれば、システマテックに歩留り向上、タイミングなど改善された新しい設計ルールを求めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理図である。
【図２】Ｓｉｍｕｌａｔｅｄ  Ａｎｎｅａｌｉｎｇの説明図である。
【図３】設計ルール決定方法を実施する設計ルール決定装置の実施例である。
【図４】ダスト分布データの例である
【図５】実施形態その１のフロー例である。
【図６】実施形態その２のフロー例である。
【符号の説明】
１：コスト定義工程
２：コスト算出工程
３：設計ルール決定工程
４：レイアウトデータ
５：ダスト分布データ
１０：設計ルール決定装置
１１：データ入力部
１２：コスト算出部
１３：最小コスト決定部
２０：入力装置
３０：出力装置
【図１】
2004172158.tif 000005
【図２】
2004172158.tif 000006
【図３】
2004172158.tif 000007
【図４】
2004172158.tif 000008
【図５】
2004172158.tif 000009
【図６】
2004172158.tif 000010