(57)【要約】【課題】成形された後の燃料電池セパレータのスキン層を短時間で取り除くことができる燃料電池セパレータの製造方法を提供する。【解決手段】導電性材料と合成樹脂とを主成分とし、片面又は両面に蛇行した溝が形成された燃料電池セパレータを研磨機にセットし、該燃料電池セパレータの前記溝と溝との間の凸面を一定の研磨圧を加えて研磨する。すなわち、研磨時の研磨圧を常時チェックして、研磨圧が上がり過ぎると研磨ヘッドをワークから若干離して研磨圧を下げる。研磨圧が下がり過ぎると、研磨ヘッドをワークに近づけて研磨圧を上げて研磨する。ワークは常に一定の研磨圧で研磨されることになり、燃料電池セパレータの溝と溝との間の凸面が非平面でも凸面を表面から一定の深さで研磨することができる。無駄な研磨をしないので、研磨時間を短縮することができる。【選択図】        図１
2004355893.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性材料と合成樹脂とを主成分とし、片面又は両面に蛇行した溝が形成された燃料電池セパレータを研磨機にセットし、該燃料電池セパレータの前記溝と溝との間の凸面を研磨圧を所定範囲内に保って研磨することを特徴とする燃料電池セパレータの研磨方法。
【請求項２】
前記研磨機がテープ研磨機で、ゴムローラによってテープをワークに圧接することを特徴とする燃料電池セパレータの研磨方法。
【請求項３】
テープ幅が燃料電池セパレータの幅と同じか又は大きいことを特徴とする請求項２記載の燃料電池セパレータの研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、導電性材料及び樹脂を主成分とする粉末状原料を成形し、片面又は両面に燃料及び空気通路として蛇行する溝を備えた燃料電池セパレータの製造方法に関し、特に、成形後の研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
燃料ガスと酸化ガスとを使用するタイプの燃料電池、その中でも固体高分子電解質形燃料電池は、イオン導電性の固体高分子電解質膜を、触媒が担持されたガス拡散電極からなるアノードとカソードとで挟み、さらにこれらの外側を燃料電池セパレータで挟んだ構造をしている。アノード側のセパレータはアノードに燃料ガスとしての水素を供給し、カソード側のセパレータはカソードに酸化剤ガスとしての酸素を供給する。
【０００３】
図４は、燃料電池セパレータの図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線の一部断面図である。同図に示すように、燃料電池セパレータ１は、板状の表面に細い溝１ａが形成されるが、ガス拡散電極とガスとの接触面積を増加させるため、溝１ａは、ほぼ燃料電池セパレータの全面に蛇行して細かいピッチで形成されている。この溝１ａは、図４（ｂ）のように燃料電池セパレータの両面に形成される場合もあるが、片面のみの場合もある。
【０００４】
上記の燃料電池セパレータは、黒鉛等の導電性材料を８０〜９５重量％と熱硬化性樹脂２０〜５％を混合した粉末状原料を圧縮成形して得られる。しかし、成形の際、粉末状原料中の黒鉛は溶融樹脂とともに金型壁に沿って燃料電池セパレータの面方向に流動するために、金型壁に接した部分、すなわち成形品の表面には樹脂分が多く絶縁性の高いスキン層が形成される。
【０００５】
そのため、燃料電池セパレータとしての重要な特性である接触抵抗は、成型品全体としての黒鉛含有量が多い割には充分に小さくならないという問題があった。従って、燃料電池セパレータとしての性能上必要な低接触抵抗を発現させるためには、樹脂分の多い表面のスキン層を研磨除去するとともに黒鉛の研磨断面を成形品表面に露出させる必要がある。
【０００６】
このため、支持集電体との接触抵抗を低くするには、成型品の表面から、できるだけ均一の深さで研磨してスキン層を除去することが必要となる。従来から用いられている方法としては、サンドペーパーで研磨したり、サンドブラスト等で表面を削る方法などが挙げられる。
【０００７】
しかし、このような方法では、通常使用される２００〜８００ｃｍ２程度の比較的大きな面積を有する燃料電池セパレータにおいては、研磨量が面内で不均一になりやすく、燃料電池セパレータ全体で充分な厚み精度を得ることができない場合が多い。このような燃料電池セパレータを用いると、支持集電体と精度良く密着することができず、接触面積が不足して接触抵抗が大きくなり燃料電池の性能を低下させる原因となる。研磨後の燃料電池セパレータの厚みを均一にするためには燃料電池セパレータの厚みを随時測定しながら少しずつ研磨する方法もあるが、研磨に要する時間が膨大になり、このような方法は実用的ではない。
【０００８】
そこで、特許文献１（特開２００２−２８９２１６号）では、回転するホイール形研磨材を用いて燃料電池セパレータを表面研磨し、燃料電池セパレータ表面のスキン層を除去することを提案している。
【０００９】
研磨材としては、２４０番から８００番の砥粒を使用し、スキン層を除去するために表面から１０〜２０μｍを研磨する。
【００１０】
図５及び図６によって、燃料電池セパレータを研磨してスキン層を除去する研磨方法を説明する。
【００１１】
図５は、燃料電池セパレータの一部を拡大した断面図で、（ａ）は研磨前、（ｂ）は研磨後を示す。この燃料電池セパレータ１０は、片面にのみ溝１０ａが形成されているタイプである。溝１０ａは、図４における溝１ａと同様で、燃料電池セパレータ１０の片面について１本の溝１０ａが蛇行形成されている。したがって、溝１０ａと溝１０ａとの間の各凸面１０ｂは、燃料電池セパレータ１０の全体にわたって１つの蛇行した連続した面を形成している。溝１０ａの深さｄは、金型により決まるので、成形後における溝１０ａの深さのムラは殆ど無いと考えてよい。
【００１２】
前述したように、燃料電池セパレータ１０の表面には、樹脂分が多く絶縁性の高いスキン層が形成されているが、電極と接触するのは、凸面１０ｂであるから、この部分のスキン層を除去することになる。
【００１３】
前記特許文献１におけるスキン層の除去は、回転するホイール形研磨材を用いて前記凸面１０ｂを研磨することによって行われる。すなわち、燃料電池セパレータ１０を研磨装置のベッドに固定し、ベッドから一定の位置（高さ）に保持されて回転するホイール形研磨材により研磨する。
【００１４】
燃料電池セパレータ１０の全体の厚さｔも一定でムラが無ければ、図５（ｂ）に示すように、溝１０ａと溝１０ａとの間の凸面１０ｂを、一定の量δだけ研磨することができる。
【００１５】
しかし、実際には、燃料電池セパレータ１０の厚さを微視的に見るとムラがある。前述したように燃料電池セパレータ１０の溝１０ａの深さは金型で決まるので一定であるが、溝１０ａ以外の部分の厚さは一定ではない。すなわち、溝１０ａの無い方の面１０ｃが曲面となったり、大きくうねった面となっている。
【００１６】
図６は、厚さにムラのある燃料電池セパレータを研磨する状態を示す図で、（ａ）は、研磨前の自然状態における燃料電池セパレータを示す図、（ｂ）は（ａ）の燃料電池セパレータを研磨機のベッドに固定した状態を示す図、（ｃ）は研磨状態を示す図である。
【００１７】
図６（ａ）に示す燃料電池セパレータ２０は、図５と同様に一方の面に多数の溝２０ａを有する。各溝と溝との間の凸面２０ｂは１つの平面を形成している。しかし、燃料電池セパレータ２０の底面２０ｃは厚さムラによって平面ではなく、たとえば、中央が厚く両側は薄い曲面となっている。
【００１８】
なお、図５の燃料電池セパレータ１０は、溝１０ａが片面にのみ形成されているが、図４のように両面に形成された燃料電池セパレータ１の場合は、一方の面の溝１ａの底面から他方の面の溝１ａの底面までの厚さにムラができることになる。
【００１９】
図６（ａ）のような燃料電池セパレータ２０を研磨機のベッドに固定すると、図６（ｂ）に示すように、底面２０ｃが平らになって凸面２０ｂの方が曲面となる。
【００２０】
この状態で回転するホイール形研磨材でベッドから一定の高さで研磨をすると、図６（ｃ）に示すように、中央の厚い部分では、凸面２０ｂを大きくδ１の厚さだけ削り、両端の薄い部分では小さくδ２しか削らないことになる。したがって、図６（ｃ）に示す最も研磨量の少なくなる両端部で、スキン層が削除できるだけ研磨する必要がある。そうすると、中央の厚い部分における研磨量が多くなり、溝２０ａが浅くなってしまう、という問題があった。
【００２１】
また、全体に研磨量が多くなる傾向があり、砥石の研磨粒の大きさを小さくすると、研磨時間が掛かり、大きくすると研磨時間は短くなるが凸面２０ｂの平均粗さＲａが大きくなり、接触が悪くなるので、電気抵抗が上昇するという問題があった。
【００２２】
【特許文献１】
特開２００２−２８９２１６号  特許請求の範囲、段落００１６
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題を解決するために考えられたもので、成形された後の燃料電池セパレータのスキン層を短時間で取り除くことができる燃料電池セパレータの製造方法を提供することを目的としている。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために本発明の燃料電池セパレータの研磨方法は、導電性材料と合成樹脂とを主成分とし、片面又は両面に蛇行した溝が形成された燃料電池セパレータを研磨機にセットし、該燃料電池セパレータの前記溝と溝との間の凸面を研磨圧を所定範囲内に保って研磨することを特徴としている。前記研磨機がテープ研磨機で、ゴムローラによってテープをワークに圧接するようにしたり、テープ幅が燃料電池セパレータの幅と同じか又は大きいものを用いることができる。
【００２５】
【作用】
ワークとしての燃料電池セパレータを研磨機のベッドに固定し、研磨ヘッドをワークに押圧して研磨する。研磨時の研磨圧を常時チェックして、研磨圧が上がり過ぎると研磨ヘッドをワークから若干離して研磨圧を下げる。研磨圧が下がり過ぎると、研磨ヘッドをワークに近づけて研磨圧を上げて研磨する。ワークは常に一定の研磨圧で研磨されることになり、燃料電池セパレータの溝と溝との間の凸面が非平面でも凸面を表面から一定の深さで研磨することができる。無駄な研磨をしないので、研磨時間を短縮することができる。
【００２６】
ゴムローラでテープをワークに圧接させ、かつ圧接力を適当に設定すると、ゴムの弾性によって、ゴムローラの長さ方向（テープの幅方向）の厚さムラをある程度吸収することができる。そのため、広い幅を一度に研磨することができるようになる。
【００２７】
ワークの幅方向の厚さムラが一定範囲内であれば、テープの幅をワークの幅と同じかそれ以上にすることで、一度にワーク全体を研磨することができ、能率が向上する。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の研磨方法を、図面を用いて説明する。図１は本発明の研磨方法を実施する研磨機の構成を示す図である。
【００２９】
研磨機１００は、ベッド１１０と、研磨ヘッドとなる接圧ローラ１２０と、この接圧ローラの両側に設けられたガイドローラ１３０，１３０と、研磨テープＡを送り出す供給リール１５０と、研磨テープＡを巻き取る巻取リール１６０と、テンションローラ１７０，１７０と、接圧ローラ１２０の接圧を調整する研磨圧調整手段１８０とを有する。
【００３０】
ワークとしての燃料電池セパレータ２０は、ベッド１１０上に固定され、図示しない駆動装置がベッド１１０を図１の矢印に示す左右方向（この方向を燃料電池セパレータ２０の長さ方向とする）に往復移動する。接圧ローラ１２０から供給リール１５０と巻取リール１６０までは、一体となって、図示しない門型のフレームに支持され、図示しない駆動手段により図１の上下方向に昇降する。
【００３１】
供給リール１５０に巻かれている研磨テープＡの端部を引き出し、左のテンションローラ１７０、左のガイドローラ１３０、接圧ローラ１２０、右のガイドローラ１３０、右のテンションローラ１７０と巻回して巻取リール１６０に巻き付ける。
【００３２】
研磨圧調整手段１８０は、サーボモータなどを用いており、研磨ヘッドとしての接圧ローラ１２０のみを独立して昇降するものである。研磨圧調整手段１８０は、接圧ローラ１２０が燃料電池セパレータ２０に圧接する力（圧力）を検知できるとともに、接圧ローラを微量に昇降させて、圧力を一定に保持できるようになっている。圧力を検知するものとして、たとえば、圧電素子を使用することができる。研磨圧が低すぎると、接圧ローラ１２０がゴムでも、燃料電池セパレータ２０における研磨テープＡの幅方向のムラを吸収することは出来ないのであるが、一定の研磨圧以上にすることで、前記のムラを吸収することが可能となる。
【００３３】
研磨作業に先立ち、研磨圧調整手段１８０で接圧ローラ１２０が研磨する圧力の上限と下限とを設定しておけば、ワークを研磨する際、研磨圧が前記上限と下限との間に入るように自動的に調整することができる。
【００３４】
次に、図１の研磨機で燃料電池セパレータを研磨する方法を説明する。
研磨作業に入る前に、予め、研磨テープＡの選定をして所望の粒度、硬度の研磨テープを供給リール１５０にセットする。また、研磨圧の上限と下限を設定する。その後、ワークとしての燃料電池セパレータ２０をベッド１１０上に固定する。
【００３５】
接圧ローラ１２０から供給リール１５０と巻取リール１６０までの全体を、図示しない駆動手段により下げ、研磨テープＡを送りながら接圧ローラ１２０をワークに接触させて研磨を開始する。
【００３６】
図６（ｂ）の左端から中央に向かって研磨する場合のように、研磨面となる凸面２０ｂが登り勾配の場合、研磨量が徐々に増加することになる。研磨量の増加は接触圧の増加になるので、接触圧が上限を越え、研磨圧調整手段１８０が研磨ヘッドとしての接圧ローラ１２０のみを上昇させ接触圧を下げる。
【００３７】
図６（ｂ）の中央から右端に向かって研磨する場合には、研磨面となる凸面２０ｂは下り勾配となる。この場合には、研磨量が徐々に減少し、やがて接触圧が低下して下限を割り込む。すると研磨圧調整手段１８０が研磨ヘッドとしての接圧ローラ１２０を下降させ、研磨圧が上がるようにする。以上によって、研磨圧は常に所定の範囲内（ほぼ一定）に保つことができる。
【００３８】
図２は、図１の研磨機１００で研磨された燃料電池セパレータ２０を示す断面図である。図６（ｂ）で説明したように、凸面２０ｂが上に凸の曲面の場合でも、研磨量は各凸面２０ｂからほぼ均等な厚さδだけ研磨することができるようになった。
【００３９】
本発明では、このように溝２０ａと溝２０ａとの間の凸面２０ｂ全体について、ほぼ均等な厚さを研磨することができるので、スキン層を研磨で削除する場合も、スキン層の厚さ分だけ研磨すれば良くなる。
【００４０】
なお、図１に示すテープ研磨機は、供給リール１５０の研磨テープＡを巻取リール１６０に巻き取るので、常に新しい研磨テープで研磨することができる。その反面、供給リール１５０の研磨テープＡが無くなると、新しい研磨テープと交換する必要が生じるので、停止時間が増える。これを解消するために、研磨テープＡをエンドレスにしてもよい。
【００４１】
また、研磨テープＡの幅についてであるが、ワークの幅の数分の１程度であると、ワークの全面を研磨するのに何回も往復させなければならず、時間が掛かる。逆に、研磨テープＡの幅を、ワークの幅と一致させるか大きくすれば、ワークを１パスさせることで、研磨を終了させることが可能となる。
【００４２】
燃料電池セパレータの厚さのばらつきが、幅方向には少なく、長さ（送り方向）方向に大きい場合は、研磨テープＡの幅を、ワークの幅と同じか又は広くするとよい。厚さのバラツキが長さ方向と幅方向の双方にあれば、テープの幅を狭くして数回に分けて研磨することになる。
【００４３】
接圧ローラ１２０を所定の硬度を有するゴムローラとすると、接圧ローラ１２０の長さ方向についての厚さムラをある程度吸収することができる。一方、ワークとしての燃料電池セパレータは、おおよそ長方形であり、短辺方向の厚さムラは、長辺方向の厚さムラに対して当然であるが、小さくなる。したがって、短辺方向の厚さムラが、接圧ローラで吸収可能な範囲内であれば、短辺方向を研磨テープＡの幅方向として、ワークの幅と一致させることができる。
【００４４】
【実施例】
以下に本発明の実施例を説明する。
本発明の燃料電池セパレータは、導電性材料と樹脂とを主成分とする粉末状原料を、金型内に投入して加圧・加熱して成型したものである。
【００４５】
導電性材料としては、燃料電池セパレータに通常用いられるものであれば、特に限定されない。たとえば、天然黒鉛、人造黒鉛、りん片状黒鉛、土塊状黒鉛、膨張黒鉛、キッシュ黒鉛、カーボンブラック、アセチレンブラック、ケッチェンブラック、非晶質炭素等より選ばれた１種又は２種以上の混合物が用いられる。導電性粉末の平均粒径は特に限定されないが、１〜３００μｍ、好ましくは３０〜１００μｍである。
【００４６】
樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれでもよい。熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂としては、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂等が挙げられる。
【００４７】
導電性材料と樹脂との配合割合は、たとえば、導電性材料５０〜９５質量％、樹脂５〜５０質量％の範囲でよい。ただし、好ましくは、導電性材料８０〜９５質量％、樹脂５〜２０質量％の範囲である。この範囲であれば、成型品の導電性、強度等の良好なものを得ることができる。
【００４８】
その他、上記以外のものとして、強度向上、親水性向上等を目的として、ガラス繊維、炭素繊維、セルロース繊維、各種無機繊維、無機フィラーを１〜１０質量％配合してもよい。
【００４９】
上記の材料を混合し、粉末状原料としたり、コンパウンド化した原料とする。この原料を圧縮成形、射出成形、押出成形、シート成形等により成形するが、成形品の導電性の向上、成形厚さ精度の向上という点からすれば、粉末状原料を金型内に投入して加熱圧縮する圧縮成形が望ましい。
【００５０】
圧縮成形における成形圧は、セパレータの厚さ精度を高めるために、０．５〜１００ＭＰａであり、より好ましくは、１〜３０ＭＰａである。
【００５１】
前記条件で成形された燃料電池セパレータは、次に、接触部となる溝と溝との凸面が研磨される。研磨方法としては、図１に示すテープ研磨機による方法を例示するが、これに限定されない。研磨する際の圧力を一定に保つことができる研磨方法であればどのような研磨方法でもよい。
【００５２】
研磨砥粒は平均粒径６μｍの砥粒を用いた。研磨圧は、接圧ローラ１２０とワークの接触が線接触になるので、ローラの長さと圧接力とで表示することにしている。研磨テープＡの幅１００ｍｍの接圧ローラを使用したとき、研磨圧（研磨力）は３００〜７００Ｎ、研磨テープＡの巻取速度は３０〜７０ｍｍ／ｓｅｃが適当である。この条件であれば、燃料電池セパレータのスキン層を除去することができ、かつ、最小限の研磨量に抑えることができるので、厚み精度の狂いが少なくなる。また、この実施例では、研磨テープＡの幅をワークとしての燃料電池セパレータの幅と同一以上にしている。
【００５３】
図３は、燃料電池セパレータについて、種々の研磨処理を行った例を表にしたものである。同図において、排水性は、水滴を滴下した燃料電池セパレータを角度９０゜に立てたとき、流れ落ちることができる最小の水滴の重量で表している。数字が小さいほど小さい水滴でも落下するので、排水性が良くなる。また、スキン層の除去の確認は、顕微鏡観察により行った。
【００５４】
実施例１は、テープ研磨機（株式会社サンシン製  ＳＳＰ−４００）で研磨した。研磨砥粒の平均粒径は６μｍ、研磨圧（研磨力）は５００Ｎ、研磨テープＡの幅は１００ｍｍで、巻取速度は５０ｍｍ／ｓであった。ワークとしての燃料電池セパレータは、長さ２００ｍｍ×幅８０ｍｍである。研磨は１往復で所要時間は７秒、研磨量は１μｍでスキン層は除去されていた。
【００５５】
実施例２は、実施例１と同じテープ研磨機を使用し、同じ幅の研磨テープＡを使用し、研磨圧は３００Ｎとし、他の条件は実施例１と同じにした。研磨圧が低いせいか研磨時間は５秒と短くなり、研磨量も測定限度である１μｍ以下と少なくなったが、スキン層はほぼ除去できていた。しかし、若干の残存があるためか、接触抵抗は実施例１にくらべ若干大きくなった。この結果から、スキン層の厚さは、１μｍ未満と考えられる。
【００５６】
比較例１は、研磨処理をしなかった例である。接触部の平均粗さは実施例１，２より小さいのに拘わらず、接触抵抗は大きくなっている。これはスキン層が除去されていないからである。
【００５７】
比較例２は、酸性溶液に浸漬することでスキン層を除去した例である。性能的には、実施例１，２と遜色はないが、所要時間は概して実施例１，２よりかなり長くなる。また、酸性溶液は、取り扱い上の危険性があり、これを回避するための設備費用や、溶液、洗浄液の廃棄費用が大きく、コストアップになる。また、洗浄不十分で酸性溶液が残存すると、燃料電池として使用する場合、残存した溶液が冷却水や反応水に溶出してイオン交換膜などを損傷するおそれがある。
【００５８】
比較例３は、ブラスト処理の例である。研磨砥粒の平均粒径は６μｍ、圧力０．６ＭＰａでブラスト処理をすると、処理時間は５秒と短縮でき、接触抵抗も低下した。しかし、処理の必要のない溝底まで処理するので、溝底の表面粗さが粗くなり、排水性が低下した。
【００５９】
比較例４は、特許文献１に記載したホイール研磨をした例である。砥粒は平均粒径２０μｍを使用した。この研磨機は、ベッドからの高さが一定の位置を研磨するもので、研磨圧を一定にすることができない。そのため、スキン層を除去するための研磨量が２０μｍと非常に大きくなった。また、研磨量が多いためか、大きな砥粒を用いたにも拘わらず、研磨時間は４０秒と非常に長時間を要した。実施例１，２に比べて、接触部の粗さ、接触抵抗、排水性等は同程度であるが、厚さ精度変化量が大きくなっている。この厚さ精度の変化は、全て溝の深さの変動となってしまう。一般に溝の深さの変動が大きくなると、排水性が悪くなる、発電効率が低下するなどの問題が発生する。
【００６０】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明の燃料電池セパレータの研磨方法は、導電性材料と合成樹脂とを主成分とし、片面又は両面に蛇行した溝が形成された燃料電池セパレータを研磨機にセットし、該燃料電池セパレータの前記溝と溝との間の凸面を一定の研磨圧を加えて研磨するので、研磨する凸面が平面ではなく、曲面である場合でも一定の研磨量とすることができ、少ない研磨量でスキン層を除去することができる。したがって、短時間でスキン層を除去することができる。また、粒径の小さい砥粒で研磨するので、仕上がり面の平均粗さも小さくなり接触抵抗も小さくすることができる。
【００６１】
前記研磨機がテープ研磨機で、ゴムローラによってテープをワークに圧接するようにすれば、ゴムローラの長さ方向の厚さムラを吸収することができ、広い幅を一度に研磨することができる。テープ幅を燃料電池セパレータの幅と同じか、又は大きい構成とすれば、１回の研磨で燃料電池セパレータの全面を研磨することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨方法を実施する研磨機の構成を示す図である。
【図２】図１の研磨機で研磨された燃料電池セパレータを示す断面図である。
【図３】燃料電池セパレータについて、種々の研磨処理を行った例を表にしたものである。
【図４】燃料電池セパレータの図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線の一部断面図である。
【図５】燃料電池セパレータの図で、（ａ）は研磨前、（ｂ）は研磨後を示す。
【図６】燃料電池セパレータの一部を拡大した断面図で、（ａ）は研磨前、（ｂ）は研磨機のベッドに固定した状態、（ｃ）は研磨後を示す。
【符号の説明】
Ａ        研磨テープ
２０      燃料電池セパレータ
２０ａ    溝
２０ｂ    凸面
１００    研磨機
１２０    接圧ローラ
１８０    研磨圧調整手段
【図１】
2004355893.tif 000003
【図２】
2004355893.tif 000004
【図３】
2004355893.tif 000005
【図４】
2004355893.tif 000006
【図５】
2004355893.tif 000007
【図６】
2004355893.tif 000008