(57)【要約】【課題】ヒートスプレッダを効率良く整列させることができる低コストでコンパクトなヒートスプレッダ整列装置を提供する。【解決手段】上方に臨むパレット面１８にヒートスプレッダが嵌合可能なキャビティ２０が整列状態で複数形成されたパレット部材２２と、パレット部材２２の付近に取付けられ、ヒートスプレッダを多数貯留可能とされたストッカー部材２４と、パレット部材２２及びストッカー部材２４を揺動させる揺動手段２６と、を備えてヒートスプレッダ整列装置１０を構成し、パレット部材２２及びストッカー部材２４を揺動させることにより、ストッカー部材２４からパレット面１８上にヒートスプレッダ１００が供給され、キャビティ２０に嵌合することにより整列可能とした。【選択図】　　　図２
2004071893.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方に臨むパレット面にヒートスプレッダが嵌合可能なキャビティが整列状態で複数形成されたパレット部材と、
該パレット部材の付近に取付けられ、前記ヒートスプレッダを多数貯留可能とされたストッカー部材と、
該パレット部材及びストッカー部材を揺動させる揺動手段と、を備え、
前記パレット部材及びストッカー部材を揺動させることにより、該ストッカー部材から前記パレット面上に前記ヒートスプレッダが供給され、前記キャビティに嵌合することにより整列可能とした
ことを特徴とするヒートスプレッダ整列装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記パレット部材とストッカー部材とが連結されると共に所定の回転軸を中心に垂直面に沿って回動自在に設置されて前記パレット面が前記ストッカー部材の方向に上り傾斜及び下り傾斜自在とされ、
前記揺動手段は、該パレット部材及びストッカー部材を揺動させるために前記回動軸から離間した位置で両者を付勢するようにした
ことを特徴とするヒートスプレッダ整列装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記パレット部材を振動させる振動手段が備えられた
ことを特徴とするヒートスプレッダ整列装置。
【請求項４】
請求項３において、
可撓性支持部材を介して前記パレット部材を支持し、該パレット部材と一体で揺動する揺動ベース部材が備えられると共に、
前記振動手段は、前記パレット部材に係合された偏心軸と、前記揺動ベース部材に取付けられて該偏心軸に連結された回転モータと、を備え、前記回転モータが前記パレット部材を偏心回転させて振動させるように構成した
ことを特徴とするヒートスプレッダ整列装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記キャビティに前記ヒートスプレッダを案内するためのガイドが前記パレット面に備えられた
ことを特徴とするヒートスプレッダ整列装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかにおいて、
前記キャビティの底面に吸気孔が形成されると共に該吸気孔に負圧を供給する負圧供給手段が備えられた
ことを特徴とするヒートスプレッダ整列装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記吸気孔の真空度の大きさを検知可能である圧力検知手段が備えられた
ことを特徴とするヒートスプレッダ整列装置。
【請求項８】
請求項６又は７において、
前記パレット部材の付近に配置され、上面に排気孔が複数形成されたブロープレートと、前記排気孔に加圧空気を供給するための加圧空気供給手段と、が備えられ、前記ブロープレートの上面にヒートスプレッダを供給して該ヒートスプレッダの表裏を加圧空気で反転可能とした
ことを特徴とするヒートスプレッダ整列装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載のヒートスプレッダ整列装置を備えた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項１０】
請求項９において、
前記キャビティに嵌合状態のヒートスプレッダを上方から真空吸着すると共にヒートスプレッダを真空吸着状態で上下方向反転可能とされ、該真空吸着したヒートスプレッダを上方に向けて保持し、ローダに受渡し可能とした反転保持装置が備えられた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヒートスプレッダ整列装置及び該ヒートスプレッダ整列装置を備えた樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、リードフレーム等の被封止体と共にヒートスプレッダを樹脂封止して放熱性を高めた電子部品が存在する。ヒートスプレッダは材質が熱伝導性の良い金属等とされ、一般的に薄い板状体である。ヒートスプレッダと被封止体とが当接又は近接した状態で、且つ、ヒートスプレッダの一部が樹脂の外側に露出するように樹脂封止することで、被封止体が発生する熱がヒートスプレッダを介して樹脂の外部に効率良く放熱される。
【０００３】
図４は、ヒートスプレッダの一例を示す斜視図である。
【０００４】
ヒートスプレッダ１００は、薄い長方形板状体で片面に複数の突起１００Ａが設けられている。この突起１００Ａが樹脂の外側に露出するように樹脂封止される。尚、突起がない平板状のヒートスプレッダも存在する。
【０００５】
図５は、樹脂封止装置の概略構造の一例を示す平面図である。
【０００６】
樹脂封止装置１０１の型１０２には、複数のキャビティ１０２Ａが整列状態で形成されており、一度に多数の電子部品を樹脂封止することができる。
【０００７】
ヒートスプレッダ載置部１０４には、型１０２のキャビティ１０２Ａに対応して複数のヒートスプレッダ１００が整列状態で載置される。該ヒートスプレッダ載置部１０４へのヒートスプレッダ１００の整列は、ピックアンドプレイス機構（図示省略）により行われる。ピックアンドプレイス機構は、トレイ（図示省略）又はパーツフィーダ（図示省略）から数回に分けてヒートスプレッダ１００を１個ずつ又は数個ずつ真空吸着してピックアップし、ヒートスプレッダ載置部１０４に移動して、適宜な間隔で解放・載置してヒートスプレッダ１００を整列状態とする。整列されたヒートスプレッダ１００はローダ１０６にピックアップされて型１０２に搬送される。
【０００８】
図６は、ローダ１０６の主要部の構造を拡大して示す側面図である。
【０００９】
ローダ１０６は、バキュームパッド１０８の下端でヒートスプレッダ載置部１０４のヒートスプレッダ１００を真空吸着して型１０２に搬送する。バキュームパッド１０８は、型１０２のキャビティ１０２Ａに対応して整列状態で複数並設されており、一度に多数のヒートスプレッダを搬送することができる。
【００１０】
このように、一度に多数のヒートスプレッダ１００をヒートスプレッダ載置部１０４から型１０２に搬送し、リードフレーム等の被封止体と共に樹脂封止することで、多数の電子部品を一度に生産することができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ヒートスプレッダ載置部１０４にヒートスプレッダ１００を整列する作業はピックアンドプレイス機構により数回に分けて行われ、この作業に時間がかかるためにトータルな生産効率は低かった。即ち、ヒートスプレッダ載置部１０４にヒートスプレッダ１００を整列する作業に時間がかかるために、型１０２、ローダ１０６は、本来の生産能力が充分に活用されずに低い稼働率で使用されており、樹脂封止装置は構成がアンバランスであると共にトータルな作動効率を高めることが困難であった。
【００１２】
尚、ヒートスプレッダ１００を多数真空吸着可能なピックアンドプレイス機構として、ピックアンドプレイス機構がヒートスプレッダ１００をヒートスプレッダ載置部１０４に１回で移載すれば上記問題は解決しうる。しかしながら、このようにする場合には、前工程で何らかの手段を用いてヒートスプレッダ載置部１０４における整列状態と同じ整列状態にヒートスプレッダ１００を予め整列させておく必要がある。即ち、生産効率が低い工程が前工程に移るだけであり、従来よりも、構造が複雑で高コストとなるにも拘らずトータルな生産効率の改善を図ることはできない。
【００１３】
一方、ピックアンドプレイス機構を複数備えれば、それだけヒートスプレッダ１００をヒートスプレッダ載置部１０４に整列するための作業時間を短縮しうるが、この構成は、コスト高であると共に樹脂封止装置が大型化することとなる。
【００１４】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、ヒートスプレッダを効率良く整列させることができる低コストでコンパクトなヒートスプレッダ整列装置を提供することをその課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上方に臨むパレット面にヒートスプレッダが嵌合可能なキャビティが整列状態で複数形成されたパレット部材と、該パレット部材の付近に取付けられ、前記ヒートスプレッダを多数貯留可能とされたストッカー部材と、該パレット部材及びストッカー部材を揺動させる揺動手段と、を備え、前記パレット部材及びストッカー部材を揺動させることにより、該ストッカー部材から前記パレット面上に前記ヒートスプレッダが供給され、前記キャビティに嵌合することにより整列可能としたヒートスプレッダ整列装置により、上記課題を解決したものである。
【００１６】
パレット部材及びストッカー部材を揺動させることにより、ストッカー部材からパレット面に多数のヒートスプレッダが供給される。揺動を数回繰り返すことで総てのキャビティにヒートスプレッダが嵌合して整列状態となり、従来よりも大幅に短い時間で多数のヒートスプレッダを整列させることが可能となった。これにより、型、ローダ等が高い稼働率で作動できるようになり、樹脂封止のトータルな生産効率を高めることができた。
【００１７】
又、該ヒートスプレッダ整列装置は、パレット部材及びストッカー部材の揺動という比較的簡単な機構でヒートスプレッダを容易に整列させることができ、従来のピックアンドプレイス機構のような精密、且つ、複雑な機構を必要としないので低コストである。
【００１８】
尚、前記パレット部材とストッカー部材とを連結すると共に所定の回転軸を中心に垂直面に沿って回動自在に設置して前記パレット面が前記ストッカー部材の方向に上り傾斜及び下り傾斜自在とし、前記揺動手段は、該パレット部材及びストッカー部材を揺動させるために前記回動軸から離間した位置で両者を付勢するようにしてもよい。
【００１９】
このように、パレット部材とストッカー部材とを連結すると共に回動自在に設置することで簡単な構造の揺動機構とすることができ、一層のコンパクト化、低コスト化を図ることができる。
【００２０】
又、前記パレット部材を振動させる振動手段を備えてもよい。
【００２１】
パレット部材を振動させることでパレット面上のヒートスプレッダは振動しつつ様々な方向に姿勢が変化する。これにより、ヒートスプレッダの姿勢がキャビティと一致して嵌合する確率が高められ、更に短時間でヒートスプレッダを整列させることができる。
【００２２】
又、可撓性支持部材を介して前記パレット部材を支持し、該パレット部材と一体で揺動する揺動ベース部材を備えると共に、前記振動手段は、前記パレット部材に係合された偏心軸と、前記揺動ベース部材に取付けられて該偏心軸に連結された回転モータと、を備え、前記回転モータが前記パレット部材を偏心回転させて振動させるように構成してもよい。
【００２３】
このように、偏心軸を用いることにより、簡単な構造でコンパクト、且つ、低コストな振動手段を実現することができる。
【００２４】
又、前記キャビティに前記ヒートスプレッダを案内するためのガイドを前記パレット面に備えてもよい。
【００２５】
ガイドがヒートスプレッダをキャビティに案内すれば、同じ時間内でより多数のヒートスプレッダがキャビティの上に供給されるようになる。これにより、ヒートスプレッダがキャビティに嵌合する確率が高められ、更に短時間でヒートスプレッダを整列させることができる。
【００２６】
又、前記キャビティの底面に吸気孔を形成すると共に該吸気孔に負圧を供給する負圧供給手段を備えてもよい。
【００２７】
上記従来例のようにヒートスプレッダには突起が設けられて片面が非平面状態のものも存在する。キャビティの底面に対向する面が非平面状態の面であると負圧が漏れるため吸引力が弱くなり、キャビティに一旦嵌合したヒートスプレッダがパレット部材の揺動と共にキャビティから再離脱しやすい。一方、キャビティの底面に対向するヒートスプレッダの面が平面状態であれば、負圧が漏れにくいため吸引力が強くなり、パレット部材が揺動してもキャビティとの嵌合状態が保持される。従って、キャビティの深さ、揺動角、揺動の速度等を適宜設定すれば、平面状態の面がキャビティの底面に対向した状態、即ち裏表を揃えた状態でヒートスプレッダを整列させることも可能である。これにより、例えば、樹脂封止工程等の後工程のミスを防止でき、信頼性を高めることができる。
【００２８】
又、この場合、前記吸気孔の真空度の大きさを検知可能である圧力検知手段を備えるとよい。
【００２９】
ヒートスプレッダが嵌合していないキャビティは、吸気孔から負圧が漏れるため、それだけ真空度が小さくなり、ヒートスプレッダが嵌合していれば真空度が大きくなる。即ち、真空度の大きさを検出することでキャビティにヒートスプレッダが嵌合しているか否かを検出することができる。
【００３０】
又、上記のように、ヒートスプレッダの非平面状態の面がキャビティの底面に対向した状態である場合も負圧が漏れるため真空度が小さくなり、キャビティの底面に当接するヒートスプレッダの面が平面であれば、負圧が漏れにくいため真空度が大きくなる。従って、真空度の大きさを検出することでキャビティに嵌合しているヒートスプレッダが裏表のいずれの状態であるかを検出することができる。例えば、ヒートスプレッダの平坦な面がキャビティの底面に当接する状態を正規の整列状態とすれば、裏表が逆となった非正規の整列状態を検出することができる。
【００３１】
又、前記パレット部材の付近に配置され、上面に排気孔が複数形成されたブロープレートと、前記排気孔に加圧空気を供給するための加圧空気供給手段と、を備え、前記ブロープレートの上面にヒートスプレッダを供給して該ヒートスプレッダの表裏を加圧空気で反転可能としてもよい。
【００３２】
ヒートスプレッダに裏表があり、平坦な面がキャビティの底面に当接する状態を正規の状態とする場合、多数のヒートスプレッダのうち平坦な面が下向きであるものから順次整列されて次工程に搬出され、平坦な面が上向きである逆向きのヒートスプレッダが残されることになる。これを放置すると、次第にヒートスプレッダがキャビティに嵌合する確率が低下し、生産効率が悪化することとなる。これに対して、上記のようなブロープレートを備えることで、ヒートスプレッダは裏表が繰り返し反転し、平坦な面が下向きのヒートスプレッダが常に多数混在することになるので、作動効率の悪化を防止することができる。
【００３３】
又、以上のいずれかのヒートスプレッダ整列装置を樹脂封止装置に備えるとよい。
【００３４】
以上説明したような、ヒートスプレッダを効率良く整列させることができるヒートスプレッダ整列装置を樹脂封止装置に備えることで、作動効率が高い樹脂封止装置を実現することができる。
【００３５】
又、パレット部材は従来の樹脂封止装置におけるヒートスプレッダ載置部を兼ねる構成となるため、該ヒートスプレッダ整列装置を備えた樹脂封止装置はコンパクトである。
【００３６】
又、この場合、前記キャビティに嵌合状態のヒートスプレッダを上方から真空吸着すると共にヒートスプレッダを真空吸着状態で上下方向反転可能とされ、該真空吸着したヒートスプレッダを上方に向けて保持し、ローダに受渡し可能とした反転保持装置を備えてもよい。
【００３７】
ヒートスプレッダに裏表がある場合、後工程のローダも一般的に、平坦な面を真空吸着してピックアップすることとなる。上記のように平面状態の面がキャビティの底面に当接する状態を正規の状態とすれば、反転保持装置は該平面状態の面が上方に臨むようにヒートスプレッダを保持してローダに受け渡すこととなる。これにより、ローダが平面状態の面を真空吸着することが可能となる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３９】
図１は、本実施形態に係るヒートスプレッダ整列装置１０の構造を示す平面図である。
【００４０】
図２は、図１におけるＩＩ―ＩＩ線に沿う側断面図である。
【００４１】
ヒートスプレッダ整列装置１０は、上方に臨むパレット面１８にヒートスプレッダ１００が嵌合可能なキャビティ２０が整列状態で複数形成されたパレット部材２２と、パレット部材２２の付近に取付けられ、ヒートスプレッダ１００を多数貯留可能とされたストッカー部材２４と、パレット部材２２及びストッカー部材２４を揺動させる揺動手段２６と、を備え、パレット部材２２及びストッカー部材２４を揺動させることにより、ストッカー部材２４からパレット面１８上にヒートスプレッダ１００が供給され、キャビティ２０に嵌合することにより整列可能としたことを特徴としている。
【００４２】
尚、ヒートスプレッダ整列装置１０は、前記従来の樹脂封止装置１０１に備えられており、パレット面１８が図５におけるヒートスプレッダ載置部１０４と一致するように設置されている。
【００４３】
パレット部材２２とストッカー部材２４とは一体に連結されると共に、可撓性支持部材２８を介して揺動ベース部材３０に支持されている。可撓性支持部材２８は、具体的には材質がゴムの棒状部材である。揺動ベース部材３０は、ピン（所定の回転軸）３１を介して回動自在に設置されており、これによりパレット面１８がストッカー部材２４の方向に昇り傾斜及び下り傾斜自在とされている。
【００４４】
パレット部材２２は、長方形の板状体で、長手方向と直角な方向に傾斜自在とされている。
【００４５】
キャビティ２０は、パレット面１８に形成された四角形の浅い凹部で、底面には上下方向に貫通する吸気孔３２が形成されている。各キャビティ２０吸気孔３２は、パレット部材２２の裏面側に形成された共通の空隙部３４に連通している。この空隙部３４には、負圧供給手段３６及び真空度を検知可能である圧力検知手段３８が連結されている。
【００４６】
キャビティ２０は、パレット部材２２における長手方向と直角な方向（以下、傾斜方向という）に沿って列状に８列形成されている。８列のうち、２列ずつが隣接した１組をなし、４組のキャビティ２０が、型１０２のキャビティ１０２Ａに対応してパレット部材２２における長手方向に適宜な間隔を有して配置されている。
【００４７】
内側の２組のキャビティ２０の間には、ガイド４０が備えられている。ガイド４０は、パレット面１８よりも上方に突出した傾斜方向に長い六角形の突起で、傾斜方向の中間部が傾斜方向と平行に形成され、該中間部が隣接する２列のキャビティ２０に沿うように配設されている。又、傾斜方向の両端は角部で先細る形状とされている。
【００４８】
外側の２組のキャビティ２０は、パレット部材２２における長手方向の両端に沿って形成されている。外側の組のキャビティ２０と内側の組のキャビティ２０との間には、ガイド４２がねじ４４で締結されている。ガイド４２は、長方形の板状体で、長手方向の一対の辺がそれぞれ、外側、内側のキャビティ２０に沿うように配設されている。
【００４９】
パレット部材２２の傾斜方向の両側には、ブロープレート５４、５６が連結されている。ブロープレート５４は、傾斜方向が短い長方形の板状体で、上面がパレット面１８と一致するようにパレット部材２２とストッカー部材２４との間に配設されている。ブロープレート５４の上面には上下方向に貫通する多数の排気孔５４Ａが形成され、これら排気孔５４Ａは、ブロープレート５４の裏面側に形成された共通の空隙部５４Ｂに連通している。空隙部５４Ｂには、加圧空気供給手段５８が連結されている。
【００５０】
ブロープレート５６は、ブロープレート５４よりも若干幅が広い長方形の板状体で、上面がパレット面１８と一致するようにパレット部材２２におけるストッカー部材２４の反対側に配設されている。ブロープレート５６は、ブロープレート５４と同様に排気孔５６Ａ及び空隙部５６Ｂが形成され、空隙部５６Ｂには加圧空気供給手段５８が連結されている。
【００５１】
ストッカー部材２４は、ブロープレート５４におけるパレット部材２２の反対側に配設されている。ストッカー部材２４の底面は、ブロープレート５４の上面と滑らかに連続するように、ブロープレート５４から離反する方向に下り傾斜する形状とされている。
【００５２】
パレット部材２２、ブロープレート５４、５６及びストッカー部材２４の周りには、周壁６０が形成されている。
【００５３】
揺動手段２６は、一対のエアシリンダ６２、６４を有して構成されている。エアシリンダ６２、６４は、プッシュロッド６２Ａ、６４Ａが上方に突出し、上下動自在とされている。これらエアシリンダ６２、６４は、それぞれピン３１の両側に配置され、揺動ベース部材３０を回動中心から離間した位置で上方に突き上げて付勢することにより、揺動ベース部材３０と共にパレット部材２２、ストッカー部材２４及びブロープレート５４，５６を一体で揺動可能とされている。
【００５４】
又、揺動ベース部材３０の下方、且つ、エアシリンダ６４の近傍には、水平位置出し用のエアシリンダ６６が備えられている。エアシリンダ６６は、プッシュロッド６６Ａが上方に突出して上下動自在とされ、プッシュロッド６６Ａが上限まで突出した状態で揺動ベース部材３０に当接することにより、エアシリンダ６２と共に揺動ベース部材３０の揺動を規制してパレット面１８を水平に保持可能とされている。又、プッシュロッド６６Ａが引き込むことにより、揺動ベース部材３０から離間して該揺動ベース部材３０の揺動を許容するように配設されている。
【００５５】
又、ヒートスプレッダ整列装置１０には、パレット部材２２を振動させる振動手段６８が備えられている。振動手段６８は、パレット部材２２に軸受け６９を介して係合された偏心軸７０と、偏心軸７０に連結されると共に揺動ベース部材３０に取付けられた回転モータ７２と、を備え、回転モータ７２が偏心軸７０を回転させてパレット部材２２を振動させるように構成されている。
【００５６】
又、樹脂封止装置１０１には、ヒートスプレッダ整列装置１０のキャビティ２０に嵌合状態のヒートスプレッダ１００を上方から真空吸着すると共にヒートスプレッダ１００を真空吸着状態で上下方向反転可能とされ、該真空吸着したヒートスプレッダ１００を上方に向けて保持してローダ１０６に受け渡し可能とした反転保持装置７４が備えられている。
【００５７】
図３は、反転保持装置７４の全体構造の概要を示す側面図である。
【００５８】
反転保持装置７４は、ベースプレート７６の片面にバキュームパッド７８が型１０２のキャビティ１０２Ａと対応する整列状態で多数取り付けられた構造で、ベースプレート７６は、可動基台８０に回動自在に取付けられている。又、可動基台８０には回転アクチュエータ８２が備えられており、ベースプレート７６を垂直面に沿って回転駆動可能とされている。ベースプレート７６が回動することにより、バキュームパッド７８を選択的に下方又は上方に向けて保持することができるようにされている。回転アクチュエータ８２は、エアシリンダを備える構成であるが、回転モータを備える構成としてもよい。
【００５９】
可動基台８０は、上下方向の棒状のガイド８４に案内され、且つ、上下方向のボールねじ８６を介して回転モータ８８に駆動されて上下動自在とされている。
【００６０】
次に、樹脂封止装置１０１の作用について説明する。
【００６１】
なお、樹脂封止装置１０１における特徴的な作用は、ヒートスプレッダ整列装置１０によるヒートスプレッダ１００の整列であり、その他の作用については従来と同様であるので説明を適宜省略する。
【００６２】
まず、オペレータがストッカー部材２４に多数のヒートスプレッダ１００を手動で供給する。この段階でヒートスプレダ１００の表裏を区別する必要はなく、この作業は容易である。
【００６３】
次に、エアシリンダ６６のプッシュロッド６６Ａを引き込ませてから、２つのエアシリンダ６２、６４を作動させてプッシュロッド６２Ａ、６４Ａを交互に上方に突出させると、揺動ベース部材３０と共にパレット部材２２及びストッカー部材２４が垂直面に沿って揺動する。
【００６４】
これにより、ストッカー部材２４に貯留されたヒートスプレッダ１００は、パレット面１８、ブロープレート５４及びブロープレート５６の上面に供給される。
【００６５】
この際、ガイド４０及び４２は、パレット面１８上に供給されるヒートスプレッダ１００を案内し、ヒートスプレッダ１００はキャビティ２０の上に集中して供給される。
【００６６】
一方、加圧空気供給手段５８は、ブロープレート５４及び５６に加圧空気を供給する。
【００６７】
又、回転モータ７２は偏心軸７０を回転駆動し、パレット部材２２をパレット面１８に沿って偏心回転させて振動させる。
【００６８】
パレット部材２２がパレット面１８に沿って振動すると、パレット面１８上のヒートスプレッダ１００は振動しつつ様々な方向に容易に移動し、且つ、姿勢が様々に変化する。これにより、ヒートスプレッダ１００は姿勢がキャビティ２０に一致しやすくなり、キャビティ２０に短時間で嵌合する。
【００６９】
尚、ヒートスプレッダ１００の平坦な面がキャビティ２０の底面に当接してキャビティ２０に嵌合した場合には、パレット部材２２が揺動しても、一旦嵌合したヒートスプレッダ１００がキャビティ２０から離脱することはない。
【００７０】
一方、突起１００Ａが形成された面がキャビティ２０の底面に対向している場合には、一旦キャビティ２０内に入ったヒートスプレッダ１００であってもパレット部材２２の揺動と共にキャビティ２０から離脱しやすい。
【００７１】
これにより、ヒートスプレッダ１００は、表裏が揃った状態で、キャビティ２０に順次嵌合し、整列される。
【００７２】
一方、ブロープレート５４及び５６の上面を通過するヒートスプレッダ１００は、排気孔５４Ａ、５６Ａから排出される加圧空気により、表裏が繰り返し反転する。このため、パレット面１８に供給されるヒートスプレッダ１００は、常に、裏表が逆のものが混在した状態であり、平坦な面が下向きであるいずれかのヒートスプレッダ１００が、キャビティ２０に順次嵌合していく。
【００７３】
パレット部材２２の揺動を数回繰り返すことにより、全てのキャビティ２０にヒートスプレッダ１００が裏表も揃えた状態で整列する。通常は２〜３回の揺動でヒートスプレッダ１００の整列が完了する。
【００７４】
前記揺動を２〜３回繰り返した後、負圧供給手段３６により空隙部３４を負圧状態にして吸気孔３２を介してヒートスプレッダ１００を吸引する。キャビティ２０にヒートスプレッダ１００が正常に嵌合していれば、吸気孔３２がヒートスプレッダ１００で塞がれて真空漏れがなく、空隙部３４の真空度が上昇する。真空度が一定以上となったことを圧力検出手段３８で検出して、キャビティ２０にヒートスプレッダ１００が正常に嵌合していることを確認する。
【００７５】
一方、キャビティ２０にヒートスプレッダ１００が正常に嵌合していない場合には、真空度が上昇しないので、その上昇しないことを検知すれば、負圧供給手段３６の駆動を停止させて、再度前記パレット部材２２の揺動を繰り返すと共に、パレット部材２２を振動させる。
【００７６】
次に、負圧供給半数３６を駆動することにより空隙部３４を負圧状態にして、空隙部３４の真空度を検出する。
【００７７】
真空度が一定以上となったことを圧力検知手段３８が検出したところで、パレット面１８がストッカー部材２４側に下り傾斜するようにパレット部材２２を振動させて、パレット面１８、ブロープレート５４及び５６上の余剰のヒートスプレッダ１００をストッカー部材２４に回収する。
【００７８】
次に、エアシリンダ６６のプッシュロッド６６Ａを上限まで突出させて揺動ベース部材３０に当接させるる。更に、エアシリンダ６２のプッシュロッド６２Ａも揺動ベース部材３０に当接させて揺動ベース部材３０の動きを規制し、パレット面１８を水平状態に保持すると共に、負圧供給手段３６及び加圧空気供給手段５８の駆動を停止する。
【００７９】
尚、一定の揺動回数を経ても吸気孔３２に供給する真空度が一定以上に達しない場合には、ブザー、警告ランプ等によりオペレータに異常を知らせる。
【００８０】
次に、反転保持装置７４の回転アクチュエータ８２を駆動し、ベースプレート７６を回動させてバキュームパッド７８を下方に向けると共に回転モータ８８を駆動して可動基台８０と共にベースプレート７６を、パレット面１８の上方から下降させ、パレット面１８上に整列状態のヒートスプレッダ１００をバキュームパッド７８で真空吸着する。
【００８１】
次に、回転モータ８８を駆動して可動基台８０と共にベースプレート７６を若干上昇させた後、回転アクチュエータ８２を駆動し、ベースプレート７６を１８０°回動させて真空吸着したヒートスプレッダ１００を上方に向けて保持する。
【００８２】
この状態で、ローダ１０６が反転保持装置７４の上方に移動すると共に下降して、該反転保持装置７４に保持状態のヒートスプレッダ１００を、真空吸着し、型１０２のキャビティ１０２Ａに挿入する。
【００８３】
リードフレーム等の被封止体と共にヒートスプレッダ１００を型１０２で樹脂封止することにより、樹脂封止作業が完了する。
【００８４】
以後同様に、ヒートスプレッダ１００を整列して型１０２に投入し、樹脂封止作業を繰り返し実行する。
【００８５】
このように、パレット部材２２及びストッカー部材２４等の揺動及び振動を数回繰り返すことで全てのキャビティ２０にヒートスプレッダ１００が嵌合して整列され、従来よりも大幅に短い時間で多数のヒートスプレッダ１００を整列させることができる。これにより、型１０２、ローダ１０６の稼働率を高めることが可能となり、樹脂封止装置１０１の生産効率を高めることができた。
【００８６】
又、ヒートスプレッダ整列装置１０は、パレット部材２２及びストッカー部材２４の揺動及び振動という比較的簡単な機構で、ヒートスプレッダ１００を容易に整列させることができ、従来のピックアンドプレイス機構のような精密、且つ、複雑な機構を必要としないので、低コストである。
【００８７】
更に、パレット部材２２とストッカー部材２４とを一体に連結して回動自在としたことにより、揺動機構２６も簡単な構造とすることができ、この点でもコンパクトで低コストである。
【００８８】
更に、振動手段６８も、偏心軸７０を用いた簡単でコンパクトな構造で、低コストである。又、パレット面１８に沿って振動させるようにしてあるため、効率的であり、ヒートスプレッダ１００の損傷も少ない。
【００８９】
又、圧力検知手段３８を備えたことで、総てのキャビティ２０にヒートスプレッダ１００が裏表を揃えた状態で整列されているか否かを検出することができる。これにより、一部のヒートスプレッダ１００が型１０２に投入されなかったり、裏表が逆状態のまま型１０２に投入されて樹脂封止が実行されることを防止することができ、樹脂封止装置１０１は信頼性が高い。
【００９０】
又、真空度の大きさが一定以上となったことを検出することにより、総てのキャビティ２０にヒートスプレッダ１００が嵌合したことを検出できるので、必要以上にパレット部材２２等の揺動及び振動を繰り返す必要がなく、ヒートスプレッダ整列装置１０は、この点でも効率がよい。
【００９１】
尚、本実施形態において、反転保持装置７４が、パレット面１８上に整列されたヒートスプレッダ１００の裏表を反転させてローダ１０６に受け渡すようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ヒートスプレッダ１００に裏表がない場合には、反転保持装置７４を備えていない樹脂封止装置としてもよい。
【００９２】
又、本実施形態において、ヒートスプレッダ整列装置１０は樹脂封止装置１０１に備えられているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、樹脂封止の前工程にヒートスプレッダ整列装置を備え、前工程でヒートスプレッダを整列して整列したヒートスプレッダをトレイに移載し、トレイを樹脂封止装置に順次供給するようにしてもよい。
【００９３】
又、本実施形態において、ブロープレート５４、５６が、ヒートスプレッダ１００の裏表を反転させるようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば裏表がないヒートスプレッダを整列する場合には、ブロープレートを備えていないヒートスプレッダ整列装置としてもよい。
【００９４】
又、本実施形態において、圧力検知手段３８が備えられ、総てのキャビティ２０にヒートスプレッダ１００が表裏を揃えた状態で嵌合しているか否かを検出することができるようにされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、裏表がないヒートスプレッダを整列する場合やヒートスプレッダの種類によりヒートスプレッダがキャビティに容易に嵌合する場合には、圧力検知手段を備えていないヒートスプレッダ整列装置としてもよい。
【００９５】
同様に、本実施形態において、キャビティ２０の底面に吸気孔３２が形成されると共に、吸気孔３２に負圧を供給する負圧供給手段３６が備えられているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば裏表がないヒートスプレッダを整列する場合やヒートスプレッダの種類によりヒートスプレッダがキャビティに容易に嵌合する場合には、吸気孔、負圧供給手段を備えていないヒートスプレッダ整列装置としてもよい。
【００９６】
又、本実施形態において、キャビティ２０にヒートスプレッダ１００を案内するためのガイド４０、４２がパレット面１８に備えられているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばパレット面１８上に大量のヒートスプレッダ１００が供給される場合には、パレット面にガイドを備えていないヒートスプレッダ整列装置としてもよい。
【００９７】
又、本実施形態において、振動手段２６は、偏心軸７０を備えパレット部材２２を偏心回転させて振動させる構成であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、パレット部材２２を繰り返し叩いて振動させるビター方式の振動手段としてもよい。
【００９８】
又、パレット面１８の揺動のみでヒートスプレッダがキャビティに容易に嵌合する場合には、振動手段を備えていないヒートスプレッダ整列装置としてもよい。
【００９９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ヒートスプレッダを効率良く整列させることが可能となるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るヒートスプレッダ整列装置の全体構造の概略を示す平面図
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩに沿う側断面図
【図３】本発明の実施形態に係る反転保持装置の全体構造の概略を示す側面図
【図４】従来のヒートスプレッダの形状を示す斜視図
【図５】従来の樹脂封止装置の全体構造の概略を示す平面図
【図６】従来の樹脂封止装置におけるローダのバキュームパッド周辺の構造を示す側面図
【符号の説明】
１０…ヒートスプレッダ整列装置
１８…パレット面
２０…キャビティ
２２…パレット部材
２４…ストッカー部材
２６…振動手段
２８…可撓性支持部材
３０…揺動ベース部材
３２…吸気孔
３６…負圧供給手段
３８…圧力検知手段
４０、４２…ガイド
５４、５６…ブロープレート
５４Ａ、５６Ａ…排気孔
５８…加圧空気供給手段
６８…振動手段
７０…偏心軸
７２…回転モータ
７４…反転保持装置
１００…ヒートスプレッダ
１０１…樹脂封止装置
１０６…ローダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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