(57)【要約】【課題】固体撮像素子により撮像される画像の周辺部に生じる信号レベルの落ち込み、すなわちシェーディングの発生を抑えるとともに、中央部および周辺部の両方において、撮像素子の出力、感度特性、および集光量を従来技術のレベルと比較して、減少させることがない固体撮像素子を提供する。【解決手段】受光面に配置された複数の受光素子と、受光素子上に設けられたカラーフィルタ１０とを含む固体撮像素子において、固体撮像素子の周辺部におけるカラーフィルタ１０の膜厚を、固体撮像素子の中央部におけるカラーフィルタ１０の膜厚より小さくする。これにより、固体撮像素子の周辺部におけるカラーフィルタ１０の透過濃度を、固体撮像素子の中央部におけるカラーフィルタ１０の透過濃度より小さくする。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面に配置された複数の受光素子と、該受光素子上に設けられたカラーフィルタとを含む固体撮像素子において、
該固体撮像素子の周辺部における前記カラーフィルタの透過濃度は、該固体撮像素子の中央部における該カラーフィルタの透過濃度と異なることを特徴とする固体撮像素子。
【請求項２】
請求項１に記載の固体撮像素子において、前記カラーフィルタの透過濃度は、中央部から周辺部に向かうに従って小さいことを特徴とする固体撮像素子。
【請求項３】
請求項１または２に記載の固体撮像素子において、前記カラーフィルタの透過濃度を変えるために、該カラーフィルタの膜厚を変えていることを特徴とする固体撮像素子。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれかに記載の固体撮像素子において、前記カラーフィルタの透過濃度を変えるために、該カラーフィルタの吸収係数を変えていることを特徴とする固体撮像素子。
【請求項５】
請求項１または２に記載の固体撮像素子において、前記カラーフィルタの透過濃度を周辺部において小さくするために、該カラーフィルタの吸収係数を周辺部において小さくしているとともに、該カラーフィルタの膜厚は、該固体撮像素子の周辺部および中央部において実質的に同一であることを特徴とする固体撮像素子。
【請求項６】
受光面に配置された複数の受光素子と、該受光素子上に設けられたカラーフィルタとを含む固体撮像素子の製造方法において、該方法は、
該固体撮像素子の周辺部における前記カラーフィルタの透過濃度を、該固体撮像素子の中央部における該カラーフィルタの透過濃度と異ならせる工程を含むことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法において、前記カラーフィルタの透過濃度を、中央部から周辺部に向かうに従って小さくすることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載の方法において、前記カラーフィルタの膜厚を変えて、該カラーフィルタの透過濃度を変えることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法において、前記カラーフィルタの膜厚を周辺部において薄く形成する際に、該カラーフィルタの表面張力を用いて、該カラーフィルタを形成することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
【請求項１０】
請求項６から９までのいずれかに記載の方法において、前記カラーフィルタの吸収係数を変えて、該カラーフィルタの透過濃度を変えることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子カメラ等に用いられる固体撮像素子に関し、特に、シェーディング補正機能を有する固体撮像素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置には被写界の撮像用に固体撮像素子が搭載されている。固体撮像素子としては、ＣＣＤ　（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ：　電荷結合デバイス）型撮像素子やＭＯＳ　（Ｍｅｔａｌ　Ｏｘｉｄｅ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ；　金属酸化膜半導体）型撮像素子等が知られている。固体撮像素子には多数の受光素子、たとえばフォトダイオードが配置されており、撮影光学系によって固体撮像素子の受光面に結像された画像は、フォトダイオードによって光電変換される。電気信号に変換された画像信号は画像処理を施されて、ＩＣカード等の記録媒体に格納され、あるいはモニタ装置に表示される。
【０００３】
撮影対象が均一な明るさを有するとき、固体撮像素子の出力は、固体撮像素子を構成する各受光素子の位置が中央部であるか周辺部であるかにかかわらず、同一であることが望まれる。しかし撮影光学系を通って固体撮像素子の受光素子に入射する光は、固体撮像素子の周辺部では傾斜して入射する。このため、受光面の中央部と比べると、周辺部において受光素子の受光量が少なくなり、撮像素子の全体にわたって受光量が均一であるということはない。固体撮像素子から出力された画像信号のレベルは画像の周辺部において低くなり、最終的に得られる画像は、中央部よりも周辺部において暗くなる。この現象はシェーディングと呼ばれる。
【０００４】
さらに、固体撮像素子の周辺部では傾斜して光が入射するために、けられも生じ、けられによっても周辺部の受光量が減る。けられとは、斜めに入射する光が、絞りの前後にあるレンズ枠やレンズフード等によってさえぎられることをいう。従来、撮像装置では、シェーディングやけられによる周辺部での受光量の低減を補正するための処理（以下では、これをシェーディング補正と呼ぶ）が行なわれてきた。
【０００５】
従来技術に係るシェーディング補正としては、特開平５−１９９４５３号、特開平７−３３５８５３号、特開平１１−１５０２５４号に記載されたものがある。
【０００６】
特開平５−１９９４５３号には、撮像素子を構成する受光素子の感度特性とバイアス電圧との関係を利用して、シェーディング補正を行なう技術が記載されている。すなわち、撮像素子の中央部分と周辺部分とにおける受光素子の感度分布と逆の分布を有するシェーディング補正データを用いて、受光素子のバイアス電圧を制御する。シェーディング補正データとして、撮像素子各部のバイアス電圧の設定値を保持し、設定値に従って、バイアス電圧を中央部において低くし、周辺部において高くする。これにより、撮像素子の中央部における感度特性を下げ、周辺部における感度特性を上げる技術が記載されている。
【０００７】
特開平７−３３５８５３号には、フォトダイオードからなる単位画素を２次元配列した固体撮像素子において、フォトダイオードの感度特性を、固体撮像素子の中心を中心として同心円状に変化させ、周辺部ほど感度を高める技術が開示されている。フォトダイオードの感度特性を変化させる方法として、撮像素子の製造時に、中央部のフォトダイオードへの特定のイオン注入量を増やすことにより、感度特性を低下させる方法を採用している。
【０００８】
特開平１１−１５０２５４号には、受光面に配置された複数のフォトダイオード上にマイクロレンズが設けられ、マイクロレンズの直径を、受光面の中央部から周辺部に向かって、次第に大きくすることが記載されている。
【０００９】
これらの技術によれば、中央部分と周辺部分とにおいて、同等の信号出力が得られるため、シェーディング補正が可能となる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開平５−１９９４５３号に記載された技術の場合、撮像素子の周辺部において感度は向上するが、撮像素子の周辺部において、撮像素子のバイアス電圧を高くしているために、撮像素子の出力飽和レベルが従来技術に比べて低下するという問題がある。すなわち、撮像素子の出力は、従来技術に比べて周辺部で低下する。
【００１１】
また、特開平７−３３５８５３号に記載された技術の場合、中央部のフォトダイオードの感度特性を、イオン注入量を増やすことにより低下させている。この方式は、周辺部の感度特性を基準にして中央部の感度特性を相対的に低下させており、中央部の感度特性を従来技術のレベルに維持したまま、周辺部の感度特性をそれよりも高くするということはできない。すなわち、中央部の感度特性は、従来技術のレベルよりも低下している。
【００１２】
さらに、特開平１１−１５０２５４号に記載された技術の場合、マイクロレンズの直径を、受光面の中央部から周辺部に向かって、次第に大きくしている。この技術は、周辺部の集光量を基準にして、中央部の集光量を相対的に減らしている。この技術では、中央部の集光量を従来技術のレベルに維持したまま、周辺部の集光量をそれよりも大きくするということはできない。すなわち、中央部の集光量は、従来技術のレベルよりも低下している。
【００１３】
本発明は、このような従来技術の欠点を解消し、固体撮像素子により撮像される画像の周辺部に生じる信号レベルの落ち込み、すなわちシェーディングの発生を抑えるとともに、中央部および周辺部の両方において、撮像素子の出力、感度特性、および集光量を従来技術のレベルと比較して、減少させることがない固体撮像素子を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決するために、受光面に配置された複数の受光素子と、受光素子上に設けられたカラーフィルタとを含む固体撮像素子において、固体撮像素子の周辺部におけるカラーフィルタの透過濃度は、固体撮像素子の中央部におけるカラーフィルタの透過濃度と異なることを特徴とする。
【００１５】
透過濃度とは、物質を光が透過する程度を表す量であり、次式で定義される量である。
【００１６】
【数１】
Ｄ＝ｌｏｇ１０（Ｉ０／Ｉ）
ここでＤは透過濃度、Ｉ０は、物質に入射する光の強度、Ｉは、透過光の強度である。この式からわかるように、透過濃度が大きいということは、透過光が少ないということを意味する。透過光が少ない場合とは、たとえば膜厚が厚い場合や吸収係数が大きい場合である。
【００１７】
本発明によれば、撮像素子の周辺部におけるカラーフィルタの透過濃度を、中央部における透過濃度と異ならせているため、周辺部の受光量を変えることができる。たとえば、周辺部の光量を増加させることができる。すなわちシェーディングの発生を抑えることができる。さらに、本発明のように、カラーフィルタの透過濃度を中央部と周辺部で異ならせる場合、中央部の透過濃度を従来技術と同じレベルに維持した状態で、周辺部の透過濃度を変える、たとえば低下させることができる。したがって、中央部および周辺部における撮像素子の出力、感度特性、および集光量は、従来技術のレベルと比較して、減少することがない。
【００１８】
また本発明の固体撮像素子において、カラーフィルタの透過濃度は、中央部から周辺部に向かうに従って小さいことが好ましい。これによれば、シェーディング補正量を、連続的に変えることができる。
【００１９】
なお、本発明の固体撮像素子においては、カラーフィルタの透過濃度を変える１つの方法として、カラーフィルタの膜厚を変える方法がある。たとえば、周辺部の透過濃度を小さくするときは、周辺部の膜厚を薄くする。
【００２０】
さらに、カラーフィルタの透過濃度を変える別の方法として、カラーフィルタの吸収係数を変える方法がある。たとえば、周辺部の透過濃度を小さくするときは、周辺部の吸収係数を小さくすればよい。
【００２１】
吸収係数とは、次式で定義される量である。
【００２２】
【数２】
Ｉ＝Ｉ０ｅｘｐ（−αｄ）
ここで、Ｉはカラーフィルタを透過する光の強度、Ｉ０はカラーフィルタに入射する光の強度、αはカラーフィルタの吸収係数、ｄはカラーフィルタの厚さである。数２から次式の関係がわかる。
【００２３】
【数３】
Ｉ０／Ｉ＝ｅｘｐ（αｄ）
この式と数１より、透過濃度を小さくするためには、Ｉ０／Ｉを小さくすればよく、そのためには、カラーフィルタの吸収係数αおよび／またはカラーフィルタの厚さｄを小さくすればよいことがわかる。
【００２４】
また、カラーフィルタの吸収係数をたとえば周辺部で小さくする場合、カラーフィルタの膜厚は、固体撮像素子の周辺部および中央部において実質的に同一としても、透過濃度を小さくすることができる。
【００２５】
なお、本発明は上述の課題を解決するために、受光面に配置された複数の受光素子と、受光素子上に設けられたカラーフィルタとを含む固体撮像素子の製造方法において、固体撮像素子の周辺部におけるカラーフィルタの透過濃度を、固体撮像素子の中央部におけるカラーフィルタの透過濃度と異ならせる工程を含むことを特徴とするものである。
【００２６】
本発明の製造方法において、カラーフィルタの膜厚を周辺部で小さく形成する際に、カラーフィルタの表面張力を用いて、カラーフィルタを形成することが可能である。これによれば、カラーフィルタの膜厚を、中央部から周辺部に向かって連続的に薄くしていくことが可能となる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
次に添付図面を参照して本発明による固体撮像素子の実施例を詳細に説明する。なお、本発明と直接関係のない部分について図示および説明を省略する。本発明は、ＣＣＤ型撮像素子やＭＯＳ型撮像素子等の固体撮像素子一般に用いることができる。
【００２８】
本実施例では、受光面に配置された複数の受光素子と、受光素子上に設けられたカラーフィルタとを含む固体撮像素子において、固体撮像素子の周辺部におけるカラーフィルタの透過濃度を、固体撮像素子の中央部におけるカラーフィルタの透過濃度よりも小さくする。その際にカラーフィルタの透過濃度は、中央部から周辺部に向かうに従って連続的に小さくする。カラーフィルタの透過濃度を小さくする方法として、カラーフィルタの膜厚を薄くする方法を採用する。
【００２９】
図１に、本実施例のカラーフィルタの厚みが、撮像素子の中央部から周辺部に向かって、どのように変化するかを概念的に示す。図１は、本実施例の撮像素子のカラーフィルタ１０の部分のみを示し、図１（ａ）は、カラーフィルタ１０の平面図、図１（ｂ）は、側面図である。図１（ａ）においては、膜厚が同じである部分を結ぶ等高線１２を、参考として示す。
【００３０】
本図に示すように、カラーフィルタ１０の膜厚は、撮像素子の中央部から周辺部に向かって連続的に薄くなっている。カラーフィルタの種類には、原色フィルタや補色フィルタがあり、３色や４色から構成されている。本図では、色の違いは表示していない。本発明は、カラーフィルタが原色フィルタであるか、補色フィルタであるかを問わず適用できる。
【００３１】
周辺部において膜厚を薄くした理由は、シェーディングにより、たとえば図２に示すように、周辺部において、カラーフィルタ１０に入射する光量が低下するからである。図２は、図１の直線ＡＡ上における、カラーフィルタに入射する光量を示すグラフである。縦軸が光量、横軸が直線ＡＡ上の位置を示す。カラーフィルタ１０の中央部１４における光量１６は、端部２０における光量１８より大きい。
【００３２】
カラーフィルタ１０に入射する光量が低下する周辺部において、カラーフィルタ１０は薄いため、カラーフィルタ１０を通過した後の光量は、中央部と周辺部において差が少なくなっている。このため、シェーディング補正が達成されて、撮像素子の出力が周辺部において減少することを防止できる。
【００３３】
次に、このようなカラーフィルタ１０の製造方法について説明する。カラーフィルタの製造方法としては、基板上にゼラチン、カゼイン、グリューあるいはポリビニルアルコールなどの親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒染層を色素で染色して着色層を形成する染色カラーフィルタ法が知られている。
【００３４】
また、別の製造方法として、着色材料が透明樹脂中に分散されている着色樹脂を用いたカラーフィルタ製造方法が知られている。例えば、感光性樹脂に着色材料を混合した感光性着色樹脂膜を用いて、フォトリソ工程によりカラーフィルタを形成することができる。
【００３５】
本実施例では、フォトリソ工程による方法を用いる。本実施例で使用するカラーフィルタのベース材料として感光性樹脂を用いる。感光性樹脂の種類は、特に制限する必要はないが、好ましくは耐熱性、透明性に優れた感光性ポリアミド樹脂が用いられる。
【００３６】
そして、この感光性樹脂中に着色材料、例えば有機顔料を分散して感光性着色樹脂を作成する。使用される有機顔料としては、たとえば溶性アゾ系、不溶性アゾ系、縮合アゾ系等のアゾ系顔料やフタロシアニン系顔料、インジゴ系、アントラキノン系、ペリレン系、ジオキサジン系、その他金属錯体系を含む縮合多環系顔料が用いられる。
【００３７】
次に、この感光性着色樹脂材料を用いてカラーフィルタ１０を形成するプロセスを説明する。最初に製造方法の概略を述べる。図３（ａ）〜（ｇ）は、本実施例のカラーフィルタの製造方法の一例を示す説明図である。図３（ａ）〜（ｇ）は、１枚のシリコンウェーハ上に同時に形成される多数の撮像素子のうちの１個の撮像素子の部分を示す。まず、図３（ａ）に示すように、基板２２上の撮像素子の周辺部に、突起部２４をフォトリソ工程により形成する。突起部２４は、表面張力によりカラーフィルタを周辺部で薄くするためのものである。次に、基板２２上に第１色目の感光性着色樹脂膜２６を形成し、プリベーク乾燥する（図３（ｂ）参照）。成膜方法としては、スピンコーティング法、印刷法等があげられる。樹脂膜２６を塗布した後にプリベーク乾燥するときに、表面張力により中央部が盛り上がる。プリベーク乾燥後、フォトマスク２８を用いて紫外光で露光する（図３（ｃ）参照）。露光により、露光部３０は現像液に不溶となり、非露光部３２は現像液に可溶となる。（図３（ｄ）参照）。その後、現像液により非露光部３２を溶解除去した後、リンス処理を行い、ポストベークを行なって第１色目のパターン３０を形成する（図３（ｅ）参照）。以下同様にして第２色のパターン３４、第３色のパターン３６を形成する（図３（ｆ）参照）。その後、保護膜（パッシベーション）３８を設けることによりカラーフィルタ１０を得ることができる（図３（ｇ）参照）。次にこれらの各工程を詳述する。
【００３８】
先ず、図３（ａ）に示すように、基板２２上の撮像素子の周辺部に、突起部２４をフォトリソ工程により形成する。具体的には、印刷により感光性樹脂膜を基板上に塗布し、プリベークする。次に、突起部２４用パターンを形成するためのフォトマスクを用いて、突起部２４を形成する部分のみ紫外光により露光する。露光部は現像液に不溶になり、非露光部は現像液に可溶なままである。現像液に浸漬して、非露光部を除去する。最後にクリーンオーブン中で、ポストベークをして突起部２４を形成する。なお、本工程の前に受光素子５２は基板２２に形成されており、受光素子５２の表面には、カラーフィルタ１０を形成するための平坦化膜（図示せず）も形成されている。したがって、カラーフィルタ１０や突起部２４は、平坦な表面上に形成される。受光素子５２は、図３（ｂ）〜３（ｆ）では図示を省略する。
【００３９】
突起部２４は、撮像素子ごとにその周辺部に形成される。これを図４に示す。図４は、シリコンウェーハ上の複数の撮像素子（図４では３個）の断面図を示す。
【００４０】
周辺部に突起部２４があると、感光性着色樹脂膜を基板２２上に塗布してベークを行なったときに、表面張力により、突起部２４を縁にして感光性着色樹脂膜が盛り上がって形成される。すなわち周辺部が薄く形成される。厚みの制御に関しては、中央部で適正な厚みが形成されるように突起部２４の高さを決める。また、表面張力は、温度、溶質の種類や濃度に依存するため、これらを制御することにより、厚みを制御することもできる。
【００４１】
図３（ｂ）に戻ると、基板２２上にスピンナーにより感光性赤色着色樹脂２６をコーティングし、着色樹脂膜２６を形成する。そして、ホットプレート上で、プリベークを行う。突起部２４があるため、表面張力により樹脂膜２６は中央部が盛り上がった凸形状になる。
【００４２】
その後、フォトマスク２８とマスクアライナー（図示しない）を用いて露光する（図３（ｃ）参照）。この露光により、露光部の感光性着色樹脂３０は光硬化し、現像液に不溶な露光部３０となり、非露光部３２は現像液に可溶なままである（図３（ｄ）参照）。その後、現像液に浸漬したのち、キシレンや酢酸ブチルなどの現像液中で非露光部分３２を溶解除去する。
【００４３】
次に、洗浄、残渣除去のためのリンス処理として、純水などのリンス液中に浸漬した後に、乾燥を行う。その後、クリーンオーブン中で１００〜２００℃のポストベークを行なう。こうして赤色パターン状着色樹脂層３０を得る（図３（ｅ）参照）。以後同様にして、緑色パターン状着色樹脂層３４、青色パターン状着色樹脂層３６を順次形成する（図３（ｆ）参照）。
【００４４】
以上のように３色３０，　３４，　３６を形成した後に、印刷により保護層３８を設け、ホットプレートによりプリベークし、紫外光により全面露光する。そして、最後にクリーンオーブン中で、ポストベークをし、赤、緑、青の３原色カラーフィルタを得る（図３（ｇ）参照）。この後、保護膜３８上にマイクロレンズ（図示せず）が形成される。
【００４５】
本実施例によれば、カラーフィルタの周辺部の膜厚を薄く形成したため、固体撮像素子により撮像される画像の周辺部に生じる信号レベルの落ち込みを抑えることができるとともに、中央部および周辺部の両方において、撮像素子の出力、感度特性、および集光量を従来技術のレベルと比較して、減少させることがない。
【００４６】
本実施例では、カラーフィルタの周辺部の膜厚を薄く形成しているが、膜厚を変えることなく、シェーディング補正を行なうこともできる。すなわち、カラーフィルタの周辺部において、入射光の吸収係数を低下させてもよい。膜厚を変えずに、吸収係数を低下させると、入射光の吸収量が減少し、透過濃度を小さくすることができるからである。
【００４７】
吸収係数を低下させる方法は、種々ある。たとえば、吸収係数が低い材料をカラーフィルタの周辺部で用いる方法がある。吸収係数を低下させる他の方法として、感光性樹脂と混合する顔料の濃度を下げる方法もある。これらの場合、１つの撮像素子に含まれる複数の受光素子をいくつかのブロックに分けて、中央部のブロックから周辺部のブロックに向かって、カラーフィルタの材料を吸収係数の低い材料に変えていけばよい。
【００４８】
この場合の製造方法に関しては、たとえば、上述の実施例では、１色について１回のフォトリソ工程を行ったが、吸収係数を変えた複数の材料を用いる場合は、１色について複数の感光性樹脂材料を用意し、材料を変えるごとに、フォトリソ工程を繰り返して、カラーフィルタを形成することができる。
【００４９】
ところで、上述の実施例では、周辺部として、水平垂直両方向における周辺部を考慮したが、水平方向における周辺部のみ、もしくは垂直方向における周辺部のみにおいて、透過濃度を低下させることとしてもよい。
【００５０】
なお、本実施例のように、カラーフィルタを形成した撮像素子は、素子の周辺部で、カラーフィルタが薄くなる等の理由から、入射光の透過スペクトルがブロードになる、すなわち広くなる。このため、色の彩度が落ちる。これを図５に示す。
【００５１】
図５は、上記のようにして形成したカラーフィルタの周辺部の透過率の特性４０，　４２，　４４示す。さらに、比較のために、従来技術に係る膜厚が薄くない撮像素子の周辺部の透過率の特性４６，　４８，　５０も示す。横軸は波長（ｎｍ）であり、縦軸は透過率（％）を示す。特性４０，　４６は青色、特性４２，　４８は緑色、特性４４，　５０は赤色に関する透過率を表す。
【００５２】
同図から明らかなように、本発明のカラーフィルタの分光特性は透過率が高く、かつスペクトルの幅が広い。スペクトルの幅が広くなるため、色の混合が増えて彩度が低下する。しかしながら、画面の周辺部では、シェーディングのために光量が低下している。したがって彩度の補正をしなくても問題はない。
【００５３】
なお、理想的には、彩度の低下を補うために補正を行なうことが望ましい。補正の方式としては、クロマ補正方式等があり、これらの方式を用いて、彩度を上げることができる。補正に際して、彩度だけを補正してもよいし、色相等も同時に補正することとしてもよい。
【００５４】
【発明の効果】
このように本発明によれば、固体撮像素子により撮像される画像の周辺部に生じる信号レベルの落ち込み、すなわちシェーディングの発生を抑えるとともに、中央部および周辺部の両方において、撮像素子の出力、感度特性、および集光量を従来技術のレベルと比較して、減少させることがない固体撮像素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る撮像素子の一実施例の色フィルタの厚みが、撮像素子の中央部から周辺部に向かって、どのように変化するかを示す説明図である。
【図２】シェーディングによる受光量の低下の様子を示す説明図である。
【図３】本発明に係る撮像素子の製造方法の一実施例を示す説明図である。
【図４】図３の実施例におけるシリコンウェーハ上の撮像素子の断面図を示す。
【図５】本発明の一実施例における透過率のスペクトルと、従来技術のスペクトルとを比較して示すグラフである。
【符号の説明】
１０　カラーフィルタ
２２　基板
２４　突起部
２６　感光性着色樹脂膜
３０　露光部
３２　非露光部
３４　緑色パターン状着色樹脂層
３６　青色パターン状着色樹脂層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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