(57)【要約】【課題】インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のサテライト液滴の発生を防止し得るインクジェットプリンタ用記録ヘッドを提供する。【解決手段】本発明の記録ヘッド１１は、ノズル部２７、インク室２５、及び、第１の圧力発生素子３１及び第２の圧力発生素子３２を有する記録ヘッド部１２、並びに、圧力発生素子制御手段１３を備えており、主駆動信号に基づく第１の圧力発生素子３１の変位によって発生したインク室２５内の圧力変動によりインク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出し、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出した後のインク室２５の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子３２の変位によって打ち消す。【選択図】  図１
2004322315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子、
を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）第１の圧力発生素子に主駆動信号を送出し、第２の圧力発生素子に副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく第１の圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出するインクジェットプリンタ用記録ヘッドであって、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子の変位によって打ち消すことを特徴とするインクジェットプリンタ用記録ヘッド。
【請求項２】
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子、
を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）第１の圧力発生素子に主駆動信号を送出し、第２の圧力発生素子に副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく第１の圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出するインクジェットプリンタ用記録ヘッドであって、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子を変位させることを特徴とするインクジェットプリンタ用記録ヘッド。
【請求項３】
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる圧力発生素子、を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）圧力発生素子に主駆動信号及び副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出するインクジェットプリンタ用記録ヘッドであって、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって打ち消すことを特徴とするインクジェットプリンタ用記録ヘッド。
【請求項４】
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる圧力発生素子、を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）圧力発生素子に主駆動信号及び副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出するインクジェットプリンタ用記録ヘッドであって、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき圧力発生素子を変位させることを特徴とするインクジェットプリンタ用記録ヘッド。
【請求項５】
インクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えたインクジェットプリンタであって、
該インクジェットプリンタ用記録ヘッドは、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子、
を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）第１の圧力発生素子に主駆動信号を送出し、第２の圧力発生素子に副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく第１の圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子の変位によって打ち消すことを特徴とするインクジェットプリンタ。
【請求項６】
インクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えたインクジェットプリンタであって、
該インクジェットプリンタ用記録ヘッドは、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子、
を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）第１の圧力発生素子に主駆動信号を送出し、第２の圧力発生素子に副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく第１の圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子を変位させることを特徴とするインクジェットプリンタ。
【請求項７】
インクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えたインクジェットプリンタであって、
該インクジェットプリンタ用記録ヘッドは、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる圧力発生素子、を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）圧力発生素子に主駆動信号及び副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって打ち消すことを特徴とするインクジェットプリンタ。
【請求項８】
インクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えたインクジェットプリンタであって、
該インクジェットプリンタ用記録ヘッドは、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる圧力発生素子、を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）圧力発生素子に主駆動信号及び副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき圧力発生素子を変位させることを特徴とするインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタ用記録ヘッド、及び、係るインクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えたインクジェットプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、インク室に連通したノズル部からインク滴を吐出して記録用紙に記録を行うインクジェットプリンタが普及している。従来、この種のインクジェットプリンタでは、１つのノズル部に対応して、例えば１つの圧電素子が設けられている。この圧電素子は、例えば、インク流路を介してインクが供給されるインク室の外壁を構成する振動板に固定されている。そして、印加される駆動信号の電圧波形に応じた圧電素子の変位によって振動板が撓むことで、インク室の容積を変化させて吐出圧力を生じさせ、この吐出圧力によってノズル部からインク滴を吐出させる構造となっている。
【０００３】
この種のインクジェットプリンタにおいては、このようにインク室の容積を変化させて吐出圧力を発生させるようになっている。それ故、ノズル部から吐出されたインクが柱状になり、尾を引く形で飛翔し、この飛翔するインクの先頭部分と後尾部分との間に時間差や速度差が生ずる。そのため、先行する主たるインク滴に付随して、微小な衛星状の不要なインク小滴（以下、サテライト液滴と呼ぶ場合がある）が発生する。そして、サテライト液滴が記録用紙上に着弾すると、好ましくない印画結果や印字結果が生ずる。比較的大きなインク滴で記録を行う濃い画像にあっては、サテライト液滴の発生は画像品位に余り大きな影響を与えない。しかしながら、濃度の淡い画像や中間階調画像を表現する場合のように、小さいインク滴にて記録を行う場合には、サテライト液滴の発生による画像品位の低下が著しくなる。従って、特に、小さいサイズのインク滴を吐出する場合におけるサテライト液滴の発生は大きな問題となる。
【０００４】
このようなサテライト液滴の問題に対処するための方策が、例えば、特開平１１−１７０５１７号から公知である。この特開平１１−１７０５１７号に開示されたインクジェットプリンタは、（イ）インク滴を吐出するためのノズル部１１８と、（ロ）ノズル部にインクを供給するインク室１１４と、（ハ）各ノズル部ごとに設けられ、変位することによりインク室の容積を変化させてノズル部からインク滴を吐出させるための圧力を発生する吐出用圧力発生手段である第１の圧電素子１１６ａと、（ニ）各ノズル部ごとに設けられ、変位することによりインク室の容積を変化させてノズル部からのインク滴吐出時における付随的なインク小滴の発生を抑制するための圧力を発生する付随小滴防止用圧力発生手段である第２の圧電素子１１６ｂと、（ホ）吐出用圧力発生手段（第１の圧電素子１１６ａ）及び小滴防止用圧力発生手段（第２の圧電素子１１６ｂ）の各変位タイミングを適宜に制御する吐出制御手段であるヘッドコントローラ１４とを備えている。
【０００５】
そして、［第１の実施の形態］においては、第１の圧電素子１１６ａをインク室収縮方向に変位させることによりインク室１１４内に圧力を発生させ、この圧力によりノズル部１１８からインクを押し出す。この時点では、ノズル部１１８から押し出されたインクはまだ尾を引いており、インク柱の状態をなしている。一方、第１の圧電素子１１６ａが最大に変位した時点において、第２の圧電素子１１６ｂを変位させることにより、インク室１１４内に新たな圧力を発生させる。そして、この新たな圧力により、既にノズル部１１８から押し出されつつあるインク柱が後押しされる。その結果、インク柱の先頭部分に後尾部分が追いついて、両者は一体化して単一のインク滴になると同時に、インクの流れに不連続性が発生し、インク柱はその後尾部分の直後で断ち切られる。これにより、インク柱の尾が長く伸びることが抑制されて、サテライト液滴の発生が抑制される（特開平１１−１７０５１７号の段落番号［００５０］及び図４、図６参照）。
【０００６】
また、［第２の実施の形態］においては、第１の圧電素子１１６ａをインク室収縮方向に変位させてインク滴吐出動作を開始させ、その後、第１の圧電素子１１６ａをインク室膨張方向に戻すように変位させるのと並行して、第２の圧電素子１１６ｂを変位０からインク室収縮方向に変位させる。その結果、インク滴の尾を早期に断ち切ることができ、サテライト液滴の発生を抑制することが可能となる（特開平１１−１７０５１７号の段落番号［００７０］及び図８、図９参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１７０５１７号
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平１１−１７０５１７号に開示されたインクジェットプリンタにあっては、例えば、特開平１１−１７０５１７号の図９の（ｂ）及び（ｄ）に示された第１の圧電素子１１６ａ及び第２の圧電素子１１６ｂの変位状態からも明らかなように、第１の圧電素子１１６ａの変位に第２の圧電素子１１６ｂの変位が加重される。それ故、インク滴の大きさが、第１の圧電素子１１６ａの変位のみによる場合と比較して、大きくなってしまうといった問題がある。
【０００９】
また、特開平１１−１７０５１７号に開示されたインクジェットプリンタにあっては、第１の圧電素子１１６ａの動作中に第２の圧電素子１１６ｂが動作する。第１の圧電素子１１６ａの動作完了後、即ち、インク室１１４内のインクをノズル部１１８からインク滴として吐出した後のサテライト液滴の発生を防止することに関して、特開平１１−１７０５１７号には何ら言及されていない。通常、圧電素子の動作完了後においてインク室１１４には残留振動が発生するため、更なるサテライト液滴の発生がもたらされる。
【００１０】
従って、本発明の目的は、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のサテライト液滴の発生を防止し得るインクジェットプリンタ用記録ヘッド、及び、係るインクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えたインクジェットプリンタを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明の第１の態様に係るインクジェットプリンタ用記録ヘッドは、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子、
を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）第１の圧力発生素子に主駆動信号を送出し、第２の圧力発生素子に副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく第１の圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出するインクジェットプリンタ用記録ヘッドであって、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子の変位によって打ち消すことを特徴とし、あるいは又、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子を変位させることを特徴とする。
【００１２】
上記の目的を達成するための本発明の第２の態様に係るインクジェットプリンタ用記録ヘッドは、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる圧力発生素子、を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）圧力発生素子に主駆動信号及び副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出するインクジェットプリンタ用記録ヘッドであって、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって打ち消すことを特徴とし、あるいは又、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき圧力発生素子を変位させることを特徴とする。
【００１３】
上記の目的を達成するための本発明の第１の態様に係るインクジェットプリンタは、インクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えており、このインクジェットプリンタ用記録ヘッドは、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子、
を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）第１の圧力発生素子に主駆動信号を送出し、第２の圧力発生素子に副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく第１の圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子の変位によって打ち消すことを特徴とし、あるいは又、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子を変位させることを特徴とする。
【００１４】
上記の目的を達成するための本発明の第２の態様に係るインクジェットプリンタは、インクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えており、このインクジェットプリンタ用記録ヘッドは、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部、
（Ａ−２）ノズル部に連通したインク室、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室内において圧力を発生させる圧力発生素子、を有する記録ヘッド部、並びに、
（Ｂ）圧力発生素子に主駆動信号及び副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段、
を備え、
主駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって発生したインク室内の圧力変動によりインク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって打ち消すことを特徴とし、あるいは又、
インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき圧力発生素子を変位させることを特徴とする。
【００１５】
本発明の第１の態様に係るインクジェットプリンタ用記録ヘッド、あるいは、係るインクジェットプリンタ用記録ヘッドを組み込んだインクジェットプリンタにおいては、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子の変位によって打ち消し、あるいは又、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子を変位させる。また、本発明の第２の態様に係るインクジェットプリンタ用記録ヘッド、あるいは、係るインクジェットプリンタ用記録ヘッドを組み込んだインクジェットプリンタにおいては、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく圧力発生素子の変位によって打ち消し、あるいは又、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき圧力発生素子を変位させる。従って、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のサテライト液滴の発生を確実に防止することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、発明の実施の形態（以下、実施の形態と略称する）に基づき本発明を説明する。尚、以下の実施の形態においては、複数のノズルを有するマルチノズルヘッドを備えたインクジェットプリンタについて説明するが、本発明は単一のノズルを有するシングルノズルヘッドを備えたインクジェットプリンタについても適用可能である。
【００１７】
（実施の形態１）
実施の形態１は、本発明の第１の態様に係るインクジェットプリンタ用記録ヘッド、及び、係るインクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えた本発明の第１の態様に係るインクジェットプリンタに関する。
【００１８】
実施の形態１のインクジェットプリンタ１０の要部の概略構成を図１の（Ａ）に示し、記録ヘッド部の斜視断面構造を図１の（Ｂ）に示し、記録ヘッド部を図１の（Ｂ）の矢印Ｘの方向から見た断面構造を図２に示す。
【００１９】
実施の形態１のインクジェットプリンタ１０は、記録用紙１８に対してインク滴を吐出して記録を行うインクジェットプリンタ用記録ヘッド（以下、記録ヘッド１１と呼ぶ）を備えている。そして、この記録ヘッド１１は、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部２７、
（Ａ−２）ノズル部２７に連通したインク室２５、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室２５内において圧力を発生させる第１の圧力発生素子（具体的には、第１の圧電素子３１）及び第２の圧力発生素子（具体的には、第２の圧電素子３２）、
を有する記録ヘッド部１２、並びに、
（Ｂ）第１の圧力発生素子（第１の圧電素子３１）に主駆動信号を送出し、第２の圧力発生素子（第２の圧電素子３２）に副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段（具体的には、ヘッドコントローラ１３）、
を備えている。
【００２０】
実施の形態１のインクジェットプリンタ１０は、更に、この記録ヘッド部１２にインクを供給するインクカートリッジ１４と、記録ヘッド部１２の位置と記録用紙１８の紙送りとを制御するヘッド位置・紙送りコントローラ１５と、画像処理部１６と、ヘッド位置・紙送りコントローラ１５、ヘッドコントローラ１３（圧力発生素子制御手段に相当する）及び画像処理部１６のそれぞれを制御信号によって制御するシステムコントローラ１７とを備えている。尚、ヘッドコントローラ１３から送出される主駆動信号及び副駆動信号に基づき、記録ヘッド部１２のインク滴吐出動作が制御される。また、画像処理部１６において、入力された画像データに所定の画像処理が行われ、印画データとしてヘッドコントローラ１３に供給される。
【００２１】
記録ヘッド部１２は、薄いノズルプレート板２１と、ノズルプレート板２１上に積層された流路プレート板２２と、流路プレート板２２上に積層された振動プレート板２３とを備えている。これらの各プレート板は、例えば、図示しない接着剤によって貼り合わされている。
【００２２】
流路プレート板２２の上面側には複数の凹部が形成されている。そして、各凹部及び振動プレート板２３によって、インク室２５、及び、インク室２５に連通する共通流路２４が構成されている。共通流路２４とインク室２５との連通部分は挟路となっており、ここからインク室２５の方向に向かって流路幅が拡がっている。各インク室２５の真上に位置する振動プレート板２３の部分の上には、例えばピエゾ素子等から成る一対の圧電素子（第１の圧力発生素子に相当する第１の圧電素子３１、及び、第２の圧力発生素子に相当する第２の圧電素子３２）が互いに一定距離を隔てて固定されている。各圧電素子３１，３２の上下面には、図示しない電極がそれぞれ積層配置されており、これらの電極にヘッドコントローラ１３（図１の（Ａ）参照）からの主駆動信号あるいは副駆動信号が印加され、各圧電素子３１，３２、更には、振動プレート板２３を撓ませることで、インク室２５の容積を増大（膨張）させ、あるいは又、減少（収縮）させることができる。尚、第１の圧電素子３１と第２の圧電素子３２とは、材質、厚さや面積等が異なっており、これらの圧電素子３１，３２の変位能力（同じ印加電圧に対する変位量）を異ならせるように構成されていてもよいし、材質、厚さや面積等を同じとすることで、これらの圧電素子３１，３２の変位能力が同じとなるように構成されていてもよい。
【００２３】
共通流路２４に連通した側と反対側の各インク室２５の部分は、流路幅が次第に狭まっていく構造になっている。そして、その終端部の流路プレート板２２には、厚み方向に穿たれた流路孔２６が設けられている。そして、この流路孔２６は、最下層のノズルプレート板２１に形成された微小なノズル部２７に連通しており、このノズル部２７からインク滴が吐出される。実施の形態１においては、記録ヘッド部１２には、記録用紙１８（図１の（Ａ）参照）の紙送り方向（図１の（Ｂ）において矢印Ｘで示す）に沿って、複数のノズル部２７が一列に等間隔で設けられている。尚、ノズル部２７の配列を、例えば千鳥状の二列配列とすることもできる。
【００２４】
共通流路２４は、図１の（Ａ）に示したインクカートリッジ１４（図１の（Ｂ）及び図２には図示せず）に連通している。そして、このインクカートリッジ１４から共通流路２４を経て各インク室２５に、常時、一定速度でインクが供給される。このインクの供給は、例えば毛細管現象を利用して行うことができるが、その他、インクカートリッジ１４に所定の加圧機構を設けて加圧することで、各インク室２５に、常時、一定速度でインクを供給してもよい。
【００２５】
このような構成の記録ヘッド部１２を、図示しないキャリッジ駆動モータ及びこれに付随するキャリッジ機構によって記録用紙１８の紙送り方向Ｘと直交する方向Ｙ（図１の（Ｂ）参照）に往復移動させながらインク滴を吐出することにより、記録用紙１８に画像や文字等を記録する。
【００２６】
圧力発生素子制御手段に相当するヘッドコントローラ１３は、例えば、いずれも図示しないが、マイクロプロセッサと、このマイクロプロセッサが実行するプログラムが格納されたＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）と、マイクロプロセッサによる所定の演算や一時的なデータ記憶等に用いられるワークメモリとしてのＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）と、不揮発性メモリから成る駆動波形記憶部と、駆動波形記憶部から読み出されたディジタルデータをアナログに変換するためのディジタルアナログ（Ｄ／Ａ）コンバータと、Ｄ／Ａコンバータの出力を増幅するアンプから構成されている。ここで、駆動波形記憶部には、記録ヘッド部１２を構成する第１の圧電素子３１を駆動するための主駆動信号と第２の圧電素子３２を駆動するための副駆動信号の各電圧波形を示す波形データが記憶されている。これらの波形データ（主駆動信号及び副駆動信号の波形データ）、及び、波形データの送出タイミング等は、各種のパラメータ（時間パラメータ及び電圧パラメータ）を様々な値に設定して試験あるいはシミュレーションを行うことで適宜決定されており、その決定結果はヘッドコントローラ１３を構成する駆動波形記憶部に記憶させている。そして、これらの波形データはマイクロプロセッサによってそれぞれ読み出され、Ｄ／Ａコンバータでアナログ信号に変換された後、アンプで増幅され、ノズル数Ｎと同数の駆動信号の組として出力される。但し、ヘッドコントローラ１３はこのような構成に限定されるものではない。
【００２７】
従来の、ノズル部２７からのインク滴吐出過程において、第１の圧電素子３１に印加される主駆動信号（主駆動電圧信号）及びインク室２５内の圧力変動を、模式的に図８に示す。時刻ｔ１までは、第１の圧電素子３１には、電圧ＶＨが印加されている。そして、時刻ｔ１から時刻ｔ２に亙り、第１の圧電素子３１に印加される電圧をＶＨからＶＬへと低下させる。その結果、インク室２５の体積が増加し、インク室２５内の圧力がＰＨからＰＬへと減少する。時刻ｔ２において、第１の圧電素子３１に印加される電圧はＶＬとなるが、時刻ｔ２以降も、或る程度の期間、インク室２５の残留振動によってインク室２５内の圧力はＰＬの前後を変動する。
【００２８】
次に、時刻ｔ３から時刻ｔ４に亙り、第１の圧電素子３１に印加される電圧をＶＬからＶＨへと増加させる。その結果、インク室２５の体積が減少し、インク室２５内の圧力がＰＬからＰＨへと増加する。時刻ｔ４において、第１の圧電素子３１に印加される電圧はＶＨとなるが、時刻ｔ４以降も、或る程度の期間、インク室２５の残留振動によってインク室２５内の圧力はＰＨの前後を変動する。
【００２９】
ところで、従来の、ノズル部２７からのインク滴吐出過程においては、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出した後のインク室２５の残留振動に起因して、ノズル部２７におけるインク・メニスカスの形状は、凸状→凹状→凸状→凹状の変化を繰り返す。このような状態におけるインク体積速度の時間変化を模式的に図９の（Ａ）に示す。ここで、インク体積速度とは、インク流入速度にノズル部２７の断面積を乗じたものである。また、図９の（Ａ）、後述する図４の（Ａ）、（Ｂ）、図６においては、縦軸のインク体積速度を単に体積速度と表示し、横軸のインク噴射時間を単に時間と表示する。
【００３０】
一般に、ノズル部２７からのインク滴吐出時におけるインク滴の体積は、ノズル部２７の断面積と、インク流入速度のインク噴射時間に亙っての積分との積に概ね比例する。従って、図９の（Ａ）の斜線を付した部分の面積がインク滴の体積を表す。そして、インク体積速度が正の領域においてインク滴が発生する。更には、初めのインク滴（主液滴と呼ぶ場合がある）に続き、通常、サテライト液滴と呼ばれる不要な液滴が発生する。尚、サテライト液滴も、インク体積速度が正の領域において発生する。
【００３１】
図９の（Ａ）における５点（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）に対応したノズル部２７からのインク滴吐出状態を図９の（Ｂ）に模式的に示す。ここで、ノズル部２７の先端におけるインク・メニスカスの形状は、インク体積速度の正負に必ずしも一対一に対応していない。これは、インク・メニスカス形状が、インク体積速度だけでなく、インクの表面張力とのバランスによっても決まるためである。インク液滴の切断は慣性エネルギーと表面エネルギーとの関係で決まり、インク・メニスカスとインク柱との境界において、インク柱が細く、且つ、インク・メニスカスが局所的に凸状であれば、インク液滴に切断が生じる。図９の（Ｂ）において、状態（ｂ）ではインク・メニスカスは局所的に凹状なのでインク液滴に切断は生じない。結局、状態（ｅ）のように、インク・メニスカスが局所的に凸状となった時点でインク液滴に切断が生じる。そして、状態（ｂ）から状態（ｅ）に至るまでに、余分なインク柱が付加され（付随し）、サテライト液滴となるし、状態（ｅ）以後も、複数のサテライト液滴が付加される（付随する）。ここで、時刻ｔ３から時刻ｔ４までにおけるインク室２５の体積減少によって、専ら、図９の（Ａ）に示す初めのインク滴（主液滴）が形成される。そして、インク・メニスカスが常に凸状となるような記録ヘッド部１２の駆動条件を与えることができるならば、余分なインク柱が付加（付随）されないため、インク柱の減少、サテライト液滴の発生防止が実現可能となる。
【００３２】
実施の形態１にあっては、主駆動信号が第１の圧電素子３１に印加され、副駆動信号が第２の圧電素子３２に印加される。そして、主駆動信号に基づく第１の圧力発生素子（第１の圧電素子３１）の変位によって発生したインク室２５内の圧力変動によりインク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出する。そして、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出した後のインク室２５の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子（第２の圧電素子３２）の変位によって打ち消す。あるいは又、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部２７におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子（第２の圧電素子３２）を変位させる。
【００３３】
実施の形態１におけるノズル部２７からのインク滴吐出過程において、第１の圧力発生素子に相当する第１の圧電素子３１に印加される主駆動信号（主駆動電圧信号）、及び、第２の圧力発生素子に相当する第２の圧電素子３２に印加される副駆動信号（副駆動電圧信号）を、模式的に図３に示す。時刻ｔ１までは、第１の圧電素子３１には、電圧Ｖ１Ｈが印加されている。そして、時刻ｔ１から時刻ｔ２に亙り、第１の圧電素子３１に印加される電圧をＶ１ＨからＶ１Ｌへと低下させる。その結果、インク室２５の体積が増加し、インク室２５内の圧力がＰＨからＰＬへと減少する。時刻ｔ２において、第１の圧電素子３１に印加される電圧はＶ１Ｌとなるが、時刻ｔ２以降も、或る程度の期間、インク室２５の残留振動によってインク室２５内の圧力はＰＬの前後を変動する。この状態は、図８に示した時刻ｔ２以降ｔ３までのインク室２５内の圧力変動と同様である。
【００３４】
次に、時刻ｔ３から時刻ｔ４に亙り、第１の圧電素子３１に印加される電圧をＶ１ＬからＶ１Ｈへと増加させる。その結果、インク室２５の体積が減少し、インク室２５内の圧力がＰＬからＰＨへと増加する。時刻ｔ４において、第１の圧電素子３１に印加される電圧はＶ１Ｈとなる。ここで、時刻ｔ３から時刻ｔ４までにおけるインク室２５の体積減少によって、専ら、初めのインク滴（主液滴）が形成される。次いで、第２の圧電素子３２に副駆動信号を印加するが、第２の圧電素子３２に副駆動信号を印加しないと仮定した場合のインク室２５の圧力変化は、図８の時刻ｔ４以降ｔ５までに示したと同様となる。
【００３５】
一方、時刻ｔ５までは、第２の圧電素子３２には電圧Ｖ２Ｈが印加されている。そして、時刻ｔ５から時刻ｔ６に亙り、第２の圧電素子３２に印加される電圧をＶ２ＨからＶ２Ｌへと低下させる。その結果、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出した後のインク室２５の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子（第２の圧電素子３２）の変位によって打ち消すことができる。あるいは又、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出し始めてから所定時間（図４の（Ａ）における遅延時間Ｔｉを参照）が経過した後のノズル部２７におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子（第２の圧電素子３２）を変位させることができる。その後、時刻ｔ７において、第２の圧電素子３２に印加される電圧をＶ２ＬからＶ２Ｈへと増加させる。ここで、主駆動信号及び副駆動信号の波形、時刻ｔ１〜時刻ｔ７のタイミング等は、試験あるいはシミュレーションを行って適宜決定し、その決定結果をヘッドコントローラ１３を構成する駆動波形記憶部に記憶させておけばよい。
【００３６】
主液滴が形成される際の最大インク体積速度（図４の（Ｂ）の点（ａ）におけるインク体積速度）をＶＶＭＡＸとしたとき、０．１×｜ＶＶＭＡＸ｜以下、好ましくは０．０５×｜ＶＶＭＡＸ｜以下である場合、実施の形態１において、ノズル部２７におけるインク体積速度が概ね０であると規定する。
【００３７】
実施の形態１におけるインク体積速度の時間変化を模式的に図４の（Ａ）及び（Ｂ）に示す。ここで、図４の（Ａ）において、主駆動信号に基づき第１の圧力発生素子（第１の圧電素子３１）の変位によって得られるインク体積速度の時間変化を細い実線で示し、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子（第２の圧電素子３２）の変位によって得られるインク体積速度の時間変化を太い実線で示す。また、これらのインク体積速度の時間変化を重ね合わせたものを図４の（Ｂ）に示す。更には、図４の（Ｂ）における２点（ａ），（ｂ）に対応したノズル部２７からのインク滴吐出状態を図５に模式的に示す。つまり、図４の（Ａ）に示すように、これまでの主駆動信号に対して、遅延時間Ｔｉの経過後に、主駆動信号と逆位相の副駆動信号を第２の圧電素子３２に印加すれば、重ね合わせによりインク体積速度の相殺（キャンセリング）を実現することができ、例えば、図４の（Ｂ）に示すようなインク体積速度の時間変化が得られる。例えば、インク・メニスカスの体積速度の時間変化が図４の（Ｂ）に示すような場合、図４の（Ｂ）における点（ａ），（ｂ）に対応した液滴吐出の様子は図５に模式的に示すようになり、図９に示したようなインク柱の付加（付随）は存在しなくなる。その結果、サテライト液滴の発生を防止することが可能となる。
【００３８】
インク体積速度の時間変化として図４の（Ｂ）及び図９の（Ａ）に示した波形を与えて流体解析プログラムにて計算した結果、インク柱の長さは、図９の（Ａ）の場合、１３２．９９μｍであったのに対して、図４の（Ｂ）の場合、１０３．４３μｍとなった。即ち、インク柱の長さを、約２０％減少させることが可能であることが判明した。この約２０％の減少分が、本来、付加（付随）されるインク・メニスカスに相当し、あるいは又、形成されるであろうサテライト液滴に相当する。
【００３９】
尚、インク・メニスカスを凸状にするためには、主液滴がインク・メニスカスから離れる前後において、インク・メニスカスの速度が負にならなければよい。つまり、インク体積速度が０近傍であまり変動しなければよい。従って、例えば、図４の（Ｂ）に示したインク体積速度の時間変化に限定されず、例えば、図６に示すようなインク体積速度の時間変化であっても、インク柱の長さは、図９の（Ｂ）と比較して十分に短くなる。
【００４０】
（実施の形態２）
実施の形態２は、本発明の第２の態様に係るインクジェットプリンタ用記録ヘッド、及び、係るインクジェットプリンタ用記録ヘッドを備えた本発明の第２の態様に係るインクジェットプリンタに関する。
【００４１】
実施の形態２のインクジェットプリンタの要部の概略構成は、図１の（Ａ）に示した実施の形態１のインクジェットプリンタの要部の概略構成と同様とすることができる。また、実施の形態２の記録ヘッド部１１２の斜視断面構造を図７の（Ａ）に示し、記録ヘッド部１１２を図７の（Ａ）の矢印Ｘの方向から見た断面構造を図７の（Ｂ）に示すが、実施の形態２における記録ヘッド部の構造は、第２の圧電素子３２が無いことを除き、図１の（Ｂ）及び図２に示した実施の形態１における記録ヘッド部１２の構造と同様とすることができる。それ故、実施の形態２のインクジェットプリンタ及び記録ヘッドの詳細な説明は省略する。
【００４２】
実施の形態２のインクジェットプリンタ１０も、記録用紙１８に対してインク滴を吐出して記録を行う記録ヘッド１１１を備えている。そして、この記録ヘッド１１１は、
（Ａ−１）インク滴を吐出するノズル部２７、
（Ａ−２）ノズル部２７に連通したインク室２５、及び、
（Ａ−３）変位に基づきインク室２５内において圧力を発生させる圧力発生素子（具体的には、圧電素子１３０）、
を有する記録ヘッド部１１２、並びに、
（Ｂ）圧力発生素子（圧電素子１３０）に主駆動信号及び副駆動信号を送出する圧力発生素子制御手段（具体的には、ヘッドコントローラ１１３）、
を備えている。
【００４３】
尚、圧力発生素子制御手段に相当するヘッドコントローラ１１３も、実施の形態１において説明したヘッドコントローラ１３と同様の構成を有する。ここで、実施の形態２にあっては、駆動波形記憶部には、記録ヘッド部１１２を構成する圧電素子１３０を駆動するための主駆動信号及び副駆動信号の各電圧波形を示す波形データが記憶されている。これらの波形データ（主駆動信号及び副駆動信号の波形データ）、及び、波形データの送出タイミング等は、各種のパラメータ（時間パラメータ及び電圧パラメータ）を様々な値に設定して試験あるいはシミュレーションを行うことで適宜決定されており、その決定結果はヘッドコントローラ１１３を構成する駆動波形記憶部に記憶させている。
【００４４】
実施の形態２にあっては、主駆動信号に基づく圧力発生素子（具体的には、圧電素子１３０）の変位によって発生したインク室２５内の圧力変動によりインク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出する。主駆動信号が圧電素子１３０に印加され、次いで、副駆動信号が印加される。そして、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出した後のインク室２５の残留振動を、副駆動信号に基づく圧力発生素子（具体的には、圧電素子１３０）の変位によって打ち消す。あるいは又、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部２７におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき圧力発生素子（具体的には、圧電素子１３０）を変位させる。
【００４５】
より具体的には、実施の形態２におけるノズル部２７からのインク滴吐出過程において、圧電素子１３０に印加される主駆動信号（主駆動電圧信号）及び副駆動信号（副駆動電圧信号）を、図３に模式的に示したと同様とすればよい。
【００４６】
即ち、時刻ｔ１までは、圧電素子１３０には、電圧Ｖ１Ｈが印加されている。そして、時刻ｔ１から時刻ｔ２に亙り、圧電素子１３０に印加される電圧をＶ１ＨからＶ１Ｌへと低下させる。その結果、インク室２５の体積が増加し、インク室２５内の圧力がＰＨからＰＬへと減少する。時刻ｔ２において、圧電素子１３０に印加される電圧はＶ１Ｌとなるが、時刻ｔ２以降も、インク室２５の残留振動によって、インク室２５内の圧力はＰＬの前後を変動する。この状態は、図８において、時刻ｔ２以降ｔ３までのインク室２５内の圧力変動と同様である。
【００４７】
次に、時刻ｔ３から時刻ｔ４に亙り、圧電素子１３０に印加される電圧をＶ１ＬからＶ１Ｈへと増加させる。その結果、インク室２５の体積が減少し、インク室２５内の圧力がＰＬからＰＨへと増加する。時刻ｔ４において、圧電素子１３０に印加される電圧はＶ１Ｈとなる。ここで、時刻ｔ３から時刻ｔ４までにおけるインク室２５の体積減少によって、専ら、初めのインク滴（主液滴）が形成される。次いで、圧電素子１３０に副駆動信号を印加するが、圧電素子１３０に副駆動信号を印加しないと仮定した場合のインク室２５の圧力変化は、図８の時刻ｔ４以降ｔ５までに示したと同様となる。
【００４８】
そして、時刻ｔ５から時刻ｔ６に亙り、圧電素子１３０に印加される電圧をＶ２ＨからＶ２Ｌへと低下させる。その結果、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出した後のインク室２５の残留振動を、副駆動信号に基づく圧力発生素子（圧電素子１３０）の変位によって打ち消すことができる。あるいは又、インク室２５内のインクをノズル部２７からインク滴として吐出し始めてから所定時間（図４の（Ａ）における遅延時間Ｔｉを参照）が経過した後のノズル部２７におけるインク体積速度が概ね０に維持されるように、副駆動信号に基づき圧力発生素子（圧電素子１３０）を変位させることができる。その後、時刻ｔ７において、圧電素子１３０に印加される電圧をＶ２ＬからＶ２Ｈへと増加させる。ここで、主駆動信号及び副駆動信号の波形、時刻ｔ１〜時刻ｔ７のタイミング等は、試験あるいはシミュレーションを行って適宜決定し、その決定結果をヘッドコントローラ１１３を構成する駆動波形記憶部に記憶させておけばよい。
【００４９】
実施の形態２におけるインク体積速度の時間変化は、実質的に、図４の（Ｂ）に示したと同様である。更には、図４の（Ｂ）における２点（ａ），（ｂ）に対応したノズル部２７からのインク滴吐出状態は、図５に模式的に示したと同様である。
【００５０】
主液滴が形成される際の最大インク体積速度（図４の（Ｂ）の点（ａ）におけるインク体積速度）をＶＶＭＡＸとしたとき、０．１×｜ＶＶＭＡＸ｜以下、好ましくは０．０５×｜ＶＶＭＡＸ｜以下である場合、実施の形態２において、ノズル部２７におけるインク体積速度が概ね０であると規定する。
【００５１】
以上、本発明を、発明の実施の形態に基づき説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。実施の形態にて説明したインクジェットプリンタやインクジェットプリンタ用記録ヘッドの構造、構成は例示であり、適宜変更することができる。また、主駆動信号及び副駆動信号のパターンも例示であり、適宜変更することができる。尚、実施の形態１においては、各インク室２５の真上に位置する振動プレート板２３の部分の上に例えばピエゾ素子等から成る一対の圧電素子（第１の圧電素子３１及び第２の圧電素子３２）を互いに一定距離を隔てて固定したが、第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子の配置、固定状態は、このような配置、固定状態に限定されない。第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子の配置、固定状態に特段の制限はなく、要は、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を、副駆動信号に基づく第２の圧力発生素子の変位によって打ち消すことができるような位置に、第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子を配置、固定すればよく、あるいは又、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度が、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子を変位させることによって、概ね０に維持されるように、第１の圧力発生素子及び第２の圧力発生素子を配置、固定すればよい。
【００５２】
【発明の効果】
本発明にあっては、サテライト液滴の発生を抑制することが可能となるが故に、インクジェット記録において印画品質や印字品質が向上する。また、従来の技術におけるインク滴の吐出速度を補助する特別な手段が不要となるが故に、記録ヘッドやインクジェットプリンタの小型化、低価格化が可能となる。
【００５３】
しかも、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出した後のインク室の残留振動を制御し、あるいは又、インク室内のインクをノズル部からインク滴として吐出し始めてから所定時間が経過した後のノズル部におけるインク体積速度を制御するが故に、主液滴の大きさが大きくなるといった問題が生じることも無い。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１の（Ａ）は、発明の実施の形態１のインクジェットプリンタの要部の概略構成を示す図であり、図１の（Ｂ）は、発明の実施の形態１のインクジェットプリンタ用記録ヘッドを構成する記録ヘッド部の斜視断面構造を示す図である。
【図２】図２は、発明の実施の形態１のインクジェットプリンタ用記録ヘッドを構成する記録ヘッド部を図１の（Ｂ）の矢印Ｘの方向から見た断面構造を示す図である。
【図３】図３は、発明の実施の形態１におけるノズル部からのインク滴吐出過程において、第１の圧電素子に印加される主駆動信号及び第２の圧電素子に印加される副駆動信号を模式的に示す図である。
【図４】図４の（Ａ）は、主駆動信号に基づき第１の圧力発生素子の変位によって得られるインク体積速度の時間変化、及び、副駆動信号に基づき第２の圧力発生素子の変位によって得られるインク体積速度の時間変化を示す図であり、図４の（Ｂ）は、これらのインク体積速度の時間変化を重ね合わせた図である。
【図５】図５は、図４の（Ｂ）における２点（ａ），（ｂ）に対応したノズル部からのインク滴吐出状態を模式的に示す図である。
【図６】図６は、発明の実施の形態１におけるノズル部からのインク滴吐出過程において、図４の（Ｂ）に示したインク体積速度の時間変化とは別のインク体積速度の時間変化を模式的に示す図である。
【図７】図７の（Ａ）は、発明の実施の形態２のインクジェットプリンタ用記録ヘッドを構成する記録ヘッド部の斜視断面構造を示す図であり、図７の（Ｂ）は、発明の実施の形態２のインクジェットプリンタ用記録ヘッドを構成する記録ヘッド部を図７の（Ａ）の矢印Ｘの方向から見た断面構造を示す図である。
【図８】図８は、従来の、ノズル部からのインク滴吐出過程において、第１の圧電素子に印加される駆動信号を模式的に示す図である。
【図９】図９の（Ａ）は、従来の、ノズル部からのインク滴吐出過程において、インク体積速度の時間変化を模式的に示す図であり、図９の（Ｂ）は、図９の（Ａ）における５点（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）に対応したノズル部からのインク滴吐出状態を模式的に示す図である。
【符号の説明】
１０・・・インクジェットプリンタ、１１，１１１・・・記録ヘッド、１２，１１２・・・記録ヘッド部、１３・・・ヘッドコントローラ、１４・・・インクカートリッジ、１５・・・ヘッド位置・紙送りコントローラ、１６・・・画像処理部、１７・・・システムコントローラ、１８・・・記録用紙、２１・・・ノズルプレート板、２２・・・流路プレート板、２３・・・振動プレート板、２４・・・共通流路、２５・・・インク室、２６・・・流路孔、２７・・・ノズル部、３１・・・第１の圧電素子、３２・・・第２の圧電素子、１３０・・・圧電素子
【図１】
2004322315.tif 000003
【図２】
2004322315.tif 000004
【図３】
2004322315.tif 000005
【図４】
2004322315.tif 000006
【図５】
2004322315.tif 000007
【図６】
2004322315.tif 000008
【図７】
2004322315.tif 000009
【図８】
2004322315.tif 000010
【図９】
2004322315.tif 000011