(57)【要約】【課題】真空容器を開閉する真空ゲート弁について、弁板３４の冷却通路と、弁板支持体１５の冷却通路とを接続するスパイラルチューブ６６からの冷却流体の漏れを早期に検知して、冷却流体による真空容器内の汚染を防止する。【解決手段】スパイラルチューブ６６から、該スパイラルチューブ６６の外周面を気密状に覆うベローズ６７の内部へ冷却流体が漏れたときに、その漏れを検出する漏れ検出手段６０を設ける。すなわち、ベローズ６７、冷却流体、弁板支持体１５及び弁板３４が導電性を有する一方、スパイラルチューブ６６を、ベローズ６７と、弁板支持体１５及び弁板３４とを絶縁した状態で各冷却通路に接続する。また、ベローズ６７を、絶縁部材７０を介して弁板支持体１５と弁板３４とにそれぞれ固定する。そして、漏れ検出手段６０を、ベローズ６７と弁板３４との間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路９５により構成する。【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器に接続される開口を有するハウジングと、
上記ハウジングの内部で開弁位置と閉弁位置との間を移動可能な弁板支持体と、
上記弁板支持体に接離可能に支持され、閉弁位置で弁板支持体に接離して上記ハウジングの開口を開閉する弁板と、
上記弁板支持体及び弁板にそれぞれ形成され、冷却流体が流通する冷却通路と、
上記弁板支持体の冷却通路と、弁板の冷却通路とを接続するための伸縮可能な接続管と、
上記弁板支持体に一端が固定されると共に弁板に他端が固定され、上記接続管の外周面を気密状に覆う伸縮可能なカバー部材とを備える真空ゲート弁であって、
上記接続管からカバー部材の内部への冷却流体の漏れを検出する漏れ検出手段を備えている
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項２】
請求項１において、
上記カバー部材、冷却流体、弁板支持体及び弁板は導電性を有する一方、該カバー部材は、弁板支持体と弁板とにそれぞれ絶縁した状態で固定され、
漏れ検出手段は、カバー部材と、弁板支持体又は弁板との間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路である
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項３】
請求項１において、
上記カバー部材及びハウジングは導電性を有する一方、該カバー部材とハウジングとは絶縁され、
カバー部材の側部と、ハウジングの内壁面とは、所定の間隔で接近しており、漏れ検出手段は、カバー部材とハウジングとの間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路である
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項４】
請求項１において、
上記漏れ検出手段は、ハウジングに設けられ、該ハウジングの内壁面と上記カバー部材との間隔の変化を検知する検知手段である
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項５】
請求項１において、
上記漏れ検出手段は、ハウジングに設けられ、該ハウジングの内壁面と上記カバー部材との接触を検知する検知手段である
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項６】
請求項１において、
上記漏れ検出手段は、ハウジングに設けられ、上記カバー部材をハウジングの外部から観察するための観察窓である
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項７】
請求項６において、
上記カバー部材には、観察窓に対応する位置に、透明な補助窓が設けられている
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項８】
請求項１において、
上記漏れ検出手段は、カバー部材の内部に設けられ、冷却流体に可溶な染料と、冷却流体の流通経路に設けられた透明配管部とにより構成されている
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか１つにおいて、
上記接続管は、スパイラルチューブであり、
カバー部材は、ベローズである
ことを特徴とする真空ゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器を開閉する真空ゲート弁に関し、特に、弁体を冷却する冷却流体の真空容器内への漏れを防止するための改良に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、開口を有するハウジング（弁箱）の内部で、該開口を閉鎖する閉弁位置と、それ以外の開弁位置との間で移動可能に設けられた弁体を備え、ハウジングの開口に接続された真空容器を開閉する真空ゲート弁は知られている。弁体には、通常、該弁体と、ハウジングの開口周りの内壁面との間をシールするシール部材等の熱劣化しやすい部材が設けられている。
【０００３】
ところが、上記真空容器の内部においてワークの成膜加工等が行われるときには、弁体が該加工に伴う熱により加熱されて非常に高温となる。その結果、シール部材等は、熱劣化することが避けられない。すなわち、弁体を、何らかの手段により冷却することが望ましい。そこで、従来、本出願人は、弁体を冷却するために、冷却流体が流れる冷却通路をハウジングの開口周りに形成すると共に、ハウジングと弁体とを伝熱可能に接続する伝熱部材を設けることを提案している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
一方、冷却通路を、ハウジングにではなく、弁体自体に形成することも考えられる。すなわち、表面図である図１８と、裏面図である図１９とに示す真空ゲート弁では、弁体は、図示しないハウジング内で閉弁位置と開弁位置との間で移動可能に設けられた弁板支持体１１５と、該弁板支持体１１５に平行リンク機構１４４を介して支持された弁板１３４とにより構成されている。図１８に示す弁板１３４には、リング状のシール部材１３５が設けられている。そして、弁板１３４には、冷却通路１３４ａが形成される一方、図１９に示す弁板支持体１１５には、冷却通路１１５ａが形成されている。これらの各冷却通路１１５ａ，１３４ａは、弁板１３４及び弁板支持体１１５のそれぞれにおいて、一方の側部から他方の側部へ向かって蛇行するように形成されている。
【０００５】
図２０に拡大して示すように、ハウジング１０６内に設けられた弁体１１５，１３４の両側部には、弁板１３４の冷却通路１３４ａと、弁板支持体１１５の冷却通路１１５ａとを接続するための接続管であるスパイラルチューブ１６６が設けられている。スパイラルチューブ１６６の外周面は、ベローズ１６７により気密状に覆われている。ベローズ１６７及びスパイラルチューブ１６６は、弁板支持体１１５の側端部に固定された上側支持部１６８と、弁板１３４の側端部に固定された下側支持部１６９との間で支持されている。そして、スパイラルチューブ１６６の一端は、上側支持部１６８を介して冷却通路１１５ａに接続される一方、スパイラルチューブ１６６の他端は、下側支持部１６９を介して冷却通路１３４ａに接続されている。
【０００６】
また、弁板支持体１１５の冷却通路１１５ａの中間部には、該冷却通路１１５ａに冷却流体を導入するための入口ポート１５１と、冷却流体を排出するための出口ポート１５２が設けられている。そして、入口ポート１５１から冷却通路１１５ａへ導入された冷却流体は、一方のスパイラルチューブ１６６を介して冷却通路１３４ａへ流れる。その後、冷却通路１３４ａを流通する冷却流体は、他方のスパイラルチューブ１６６を介して再び冷却通路１１５ａを流れ、出口ポートから排出される。こうして、弁体１１５，１３４を冷却流体の冷熱で冷却するようにしている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−３９４３５号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、スパイラルチューブ１６６は、弁板１３４と弁板支持体１１５との接離に伴って伸縮可能に構成されていて、寿命が比較的短いため、該スパイラルチューブ１６６内の冷却流体が漏れ出す虞れがある。
【０００９】
この場合、スパイラルチューブ１６６から漏れ出した冷却流体がベローズ１６７の内部に溜まることにより、図２０に二点鎖線で示すように、該ベローズ１６７が膨らんでハウジング１０６の内壁面に接触してしまう。このようにベローズ１６７がハウジング１０６に接触した状態で、弁体１１５，１３４の開閉動作がさらに繰り返されると、ベローズ１６７が摩耗し易くなる。その結果、冷却流体がベローズ１６７内から真空容器へ流出し、真空容器内を汚染する虞れがある。
【００１０】
本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、弁板の冷却通路と、弁板支持体の冷却通路とを接続する接続管からの冷却流体の漏れを早期に検知して、冷却流体による真空容器内の汚染を防止しようとすることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、この発明では、冷却流体が、弁板支持体及び弁板の各冷却通路を接続する接続管から該接続管を覆うカバー部材の内部へ漏れた段階で、該冷却流体の漏れを検出するようにした。
【００１２】
具体的に、請求項１に係る発明は、真空容器に接続される開口を有するハウジングと、上記ハウジングの内部で開弁位置と閉弁位置との間を移動可能な弁板支持体と、上記弁板支持体に接離可能に支持され、閉弁位置で弁板支持体に接離して上記ハウジングの開口を開閉する弁板と、上記弁板支持体及び弁板にそれぞれ形成され、冷却流体が流通する冷却通路と、上記弁板支持体の冷却通路と、弁板の冷却通路とを接続するための伸縮可能な接続管と、上記弁板支持体に一端が固定されると共に弁板に他端が固定され、上記接続管の外周面を気密状に覆う伸縮可能なカバー部材とを備える真空ゲート弁が対象である。そして、上記接続管からカバー部材の内部への冷却流体の漏れを検出する漏れ検出手段を備えている。
【００１３】
上記の発明によると、弁板は、弁板支持体と共に開弁位置と閉弁位置との間を移動し、閉弁位置で弁板支持体に接離してハウジングの開口を開閉する。その結果、真空容器は開閉される。そして、弁板支持体の冷却通路及び弁板の冷却通路の一方を流れる冷却流体は、接続管を介して他方の冷却通路へ流れる。弁板支持体及び弁板は、各冷却通路を流れる冷却流体の冷熱によって冷却される。
【００１４】
接続管が疲労等により劣化したときには、冷却流体は、接続管からカバー部材の内部へ漏れ出す。この冷却流体のカバー部材内への漏れは、漏れ検出手段により検出される。すなわち、冷却流体の漏れは、冷却流体がカバー部材内から真空容器へ漏れ出す前に、予め、接続管からカバー部材内へ漏れた段階で検出される。
【００１５】
請求項２に係る発明は、上記請求項１に係る発明において、
上記カバー部材、冷却流体、弁板支持体及び弁板は導電性を有する一方、該カバー部材は、弁板支持体と弁板とにそれぞれ絶縁した状態で固定され、漏れ検出手段は、カバー部材と、弁板支持体又は弁板との間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路である。
【００１６】
上記の発明によると、接続管から冷却流体が漏れ出していないときには、カバー部材は、弁板支持体及び弁板とそれぞれ絶縁されている。したがって、カバー部材と、弁板支持体又は弁板との間の電気抵抗値は、抵抗測定回路により無限大として測定される。
【００１７】
一方、冷却流体が接続管からカバー部材内へ漏れ出したときには、カバー部材と、弁板支持体及び弁板とは、カバー部材内に溜まっている冷却流体と、接続管の冷却流体と、冷却通路の冷却流体とを介して電気的に繋がる。したがって、抵抗測定回路により所定の電気抵抗値が測定される。すなわち、抵抗測定回路により測定された電気抵抗値が、無限大から所定値に変化したときには、接続管から冷却流体が漏れていることが判る。
【００１８】
請求項３に係る発明は、上記請求項１に係る発明において、上記カバー部材及びハウジングは導電性を有する一方、該カバー部材とハウジングとは絶縁され、カバー部材の側部と、ハウジングの内壁面とは、所定の間隔で接近しており、漏れ検出手段は、カバー部材とハウジングとの間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路である。
【００１９】
上記の発明によると、接続管から冷却流体が漏れ出していないときには、カバー部材とハウジングとは絶縁されている。したがって、カバー部材とハウジングとの間の電気抵抗値は、抵抗測定回路により無限大として測定される。
【００２０】
一方、冷却流体が接続管からカバー部材内へ漏れ出したときには、該カバー部材は、内部に溜まった冷却流体の圧力により膨らむ。そして、カバー部材が膨らんで、該カバー部材の側部がハウジングの内壁面に接触したときには、該ハウジングとカバー部材とがそれぞれ導電性を有しているため、抵抗測定回路により比較的小さい所定の電気抵抗値が測定される。すなわち、抵抗測定回路により測定された電気抵抗値が、無限大から所定値に変化したときには、接続管から冷却流体が漏れていることが判別される。
【００２１】
請求項４に係る発明は、上記請求項１に係る発明において、上記漏れ検出手段は、ハウジングに設けられ、該ハウジングの内壁面と上記カバー部材との間隔の変化を検知する検知手段である。
【００２２】
この発明によると、接続管から冷却流体が漏れ出していないときには、カバー部材とハウジングの内壁面との間隔は、弁板と弁板支持体との接離動作に伴って所定範囲内で変化する。
【００２３】
一方、冷却流体が接続管からカバー部材内へ漏れ出して、カバー部材が膨らんだときには、カバー部材とハウジングの内壁面との間隔は、上記所定範囲を超えて小さくなる。すなわち、上記間隔が小さくなって、検知手段により検知された間隔の変化が大きくなったときには、接続管から冷却流体が漏れていることが判る。
【００２４】
請求項５に係る発明は、上記請求項１に係る発明において、上記漏れ検出手段は、ハウジングに設けられ、該ハウジングの内壁面と上記カバー部材との接触を検知する検知手段である。
【００２５】
この発明によると、接続管から冷却流体が漏れ出していないときには、カバー部材とハウジングの内壁面とは離れているため、検知手段は、ハウジングの内壁面とカバー部材との接触を検知しない。
【００２６】
一方、冷却流体が接続管からカバー部材内へ漏れ出して、膨らんだカバー部材とハウジングの内壁面とが接触したときには、検知手段は、その接触状態を検知する。すなわち、検知手段により、ハウジングの内壁面とカバー部材との接触が検知されたときには、接続管からの冷却流体の漏れが判別される。
【００２７】
請求項６に係る発明は、上記請求項１に係る発明において、上記漏れ検出手段は、ハウジングに設けられ、上記カバー部材をハウジングの外部から観察するための観察窓である。
【００２８】
上記の発明によると、ハウジングの外部から観察窓を介して該ハウジング内のカバー部材が観察される。すなわち、膨らんだカバー部材が観察されたときには、該カバー部材の内部において接続管から冷却流体が漏れていると判別される。
【００２９】
請求項７に係る発明は、上記請求項６に係る発明において、上記カバー部材には、観察窓に対応する位置に、透明な補助窓が設けられている。
【００３０】
この発明によると、観察窓に対応する位置に補助窓が設けられているため、ハウジングの外部から、観察窓と補助窓とを介して、カバー部材内における接続管からの冷却流体の漏れが直接に観察される。
【００３１】
請求項８に係る発明は、上記請求項１に係る発明において、上記漏れ検出手段は、カバー部材の内部に設けられ、冷却流体に可溶な染料と、冷却流体の流通経路に設けられた透明配管部とにより構成されている。
【００３２】
この発明によると、接続管から冷却流体が漏れ出していないときには、透明配管部では、冷却流体の本来の色が観察される。一方、冷却流体が接続管からカバー部材の内部へ漏れ出したときには、カバー部材内に設けられている染料が冷却流体に溶ける。その結果、透明配管部では、染料により着色された冷却流体が観察される。したがって、透明配管部で着色された冷却流体が観察されたときには、カバー部材内で冷却流体が漏れていることが判別される。
【００３３】
請求項９に係る発明は、上記請求項１〜８の何れか１つに係る発明において、上記接続管は、スパイラルチューブであり、カバー部材は、ベローズである。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３５】
（実施形態１）
図１〜図１０は、本発明に係る真空ゲート弁の実施形態１を示している。図１及び図４に示すように、１は前側に位置する真空容器、２は真空容器１の後側に隣接する容器であって、真空容器１及び容器２はそれぞれ互いに対向配置された略矩形状の開口３，４を備えている。真空容器１内では、例えばワークの成膜加工等が行われる。この真空容器１と容器２との間には、両容器１，２の内部空間同士を連通又は遮断するための真空ゲート弁５が配設されている。
【００３６】
真空ゲート弁５は、真空容器１と容器２との間に設けられたハウジングである弁箱６と、該弁箱６内に設けられて真空容器１を開閉するための弁体１５，３４と、該弁体１５，３４を駆動するための駆動手段であるエアシリンダ３１と、該エアシリンダ３１の駆動力を弁体１５，３４へ伝えるためのリンク機構２０とを備えている。
【００３７】
上記弁箱６は、真空容器１と容器２との間に気密状に挟まれた薄厚矩形状に形成されている。弁箱６の前壁（図１及び図４で左側壁）の下部には、真空容器１の開口３に接続される開口である前側連通口７が形成されている。弁箱６の後壁（図１及び図４で右側壁）の下部には、容器２の開口４に接続される開口である後側連通口８が形成されている。すなわち、真空容器１と容器２とは、各連通口７，８及び弁箱６の内部空間を介して連通可能になっている。
【００３８】
前側連通口７の周りの外壁面には、該外壁面と、真空容器１の開口３周りのフランジ部との間をシールするリング状のシール部材９ａが設けられている。また、後側連通口８の周りの外壁面には、該外壁面と、容器２の開口４周りのフランジ部との間をシールするリング状のシール部材９ｂが設けられている。これらのシール部材９ａ，９ｂは、例えばフッ素ゴム等により構成されている。
【００３９】
上記弁体１５，３４は、弁箱６の内部で開弁位置と閉弁位置との間を移動可能な弁板支持体１５と、該弁板支持体１５に接離可能に支持され、閉弁位置で弁板支持体１５に接離して前側連通口７を開閉する弁板３４とにより構成されている。つまり、弁板３４により弁箱６の前側連通口７を開閉することによって、真空容器１の開口３を開閉するようになっている。
【００４０】
弁板支持体１５は、図１〜図４に示すように、弁箱６内の後側（容器２側）にオフセットして配置され、上記各連通口７，８よりも若干大きい略矩形板状に形成されている。弁板支持体の上端には、該弁板支持体１５を上記リンク機構２０に連結するための取付部１７が、左右にそれぞれ設けられている。
【００４１】
弁板支持体１５には、閉弁位置と開弁位置との間を移動する際に、該弁板支持体１５を、前側連通口７及び後側連通口８と略平行な方向に沿って案内するためのガイド機構２２，２４，２６が設けられている。該ガイド機構２２，２４，２６は、前後ガイドローラ２２と、ガイドローラ２４と、サイドローラ２６とにより構成されている。
【００４２】
前後ガイドローラ２２は、図１及び図３に示すように、弁板支持体１５の左右側端部に２つずつ設けられており、左右方向に延びるローラ軸２１に回転自在に支持されている。前後ガイドローラ２２の外径は、弁箱６の前後壁内面間の間隔よりも若干小さく形成されており、弁板支持体１５の前後の移動を規制するようになっている。
【００４３】
ガイドローラ２４は、図５に拡大して示すように、弁板支持体１５の上下端部に形成された切り欠き部８０内に設けられており、左右方向に延びるローラ軸２３に回転自在に支持されている。ガイドローラ２４は、弁箱６の後壁の内壁面上を転動するようになっている。また、サイドローラ２６は、図３に示すように、弁板支持体１５の左右側端部に設けられており、前後方向に延びるローラ軸２５に回転自在に支持されている。サイドローラ２６は、弁箱６の左右の内壁面上を転動して、弁板支持体１５の左右の移動を規制するようになっている。これらの各ローラ２２，２４，２６は、例えばＭｏＳ2等の固体潤滑材料により構成された円筒状のブッシュを介して、各ローラ軸２１，２３，２５に取り付けられている。
【００４４】
上記弁板３４は、図１〜図４に示すように、弁板支持体１５と略同じ大きさの矩形板状に形成され、弁板支持体１５の前側面に、弁板支持機構である平行リンク機構４４を介して支持されている。
【００４５】
弁板３４の前面には、該弁板３４が前側連通口７を閉じたときに、弁板３４と、前側連通口７周りの弁箱６の内壁面との間をシールするシール部材３５が設けられている。シール部材３５は、例えばフッ素ゴム等により構成されており、前側連通口７よりも大きいリング状に形成されている。
【００４６】
弁板３４の下端には、図５に示すように、ストッパローラとしての弁板前ローラ３９が左右にそれぞれ設けられている。弁板前ローラ３９は、左右方向に延びるローラ軸３８に回転自在に支持されている。このローラ軸３８と、弁板前ローラ３９との間にも、例えばＭｏＳ2等の固体潤滑材料により構成された円筒状のブッシュが介在されている。
【００４７】
一方、弁箱６内の底部には、ブロック状のストッパ４０が弁板前ローラ３９の真下位置に設けられている。ストッパ４０は、弁板支持体１５が閉弁位置近傍へ下降したときに、弁板前ローラ３９に当接して弁板３４の下降を停止させるようになっている。また、ストッパ４０は、その後の弁板支持体１５の閉弁位置へのさらなる下降に伴って、弁板支持体１５から離隔した弁板３４を、前方向に案内するようになっている。
【００４８】
上記平行リンク機構４４は、弁板３４と弁板支持体１５との間に設けられた上下一対のリンク４５を、複数組備えている。すなわち、図３、図５及び図６に示すように、弁板支持体１５には、弁板支持体１５を前後方向に貫通しかつ上下１対を１組とした例えば４組の開口部１６が左右方向に並んで形成されている。各開口部１６内には、支持部材４１が装着されており、該支持部材４１には、左右方向に延びるリンク軸４７が支持されている。そして、上記リンク４５の後端部は、リンク軸４７周りに揺動可能に支持されている。一方、弁板３４の後側面には上記各開口部１６に略対応して凹部３６が形成されている。各凹部３６内には、支持部材４２が装着されており、該支持部材４２には、左右方向に延びるリンク軸４６が支持されている。そして、上記リンク４５の前端部は、リンク軸４６周りに揺動可能に支持されている。
【００４９】
このように、平行リンク機構４４は、上下に対応する１対のリンク４５と、弁板３４と、弁板支持体１５とにより構成されている。また、平行リンク機構４４の摺動部には、例えばＭｏＳ2等の固体潤滑材料により構成されたブッシュ５７が介在されている。すなわち、上記リンク４５の前端部及び後端部は、円筒状のブッシュ５７を介して、各リンク軸４６，４７に支持されている。
【００５０】
上記エアシリンダ３１は、弁体１５，３４を駆動するアクチュエータであり、図１〜図４に示すように、弁箱６の後壁における上部に配設されている。エアシリンダ３１は、シリンダボディから下方に突出し、上下に直線運動をするピストンロッド３１ａを備えている。ピストンロッド３１ａの下端には、リンク機構２０が連結されている。
【００５１】
上記リンク機構２０は、エアシリンダ３１のピストンロッド３１ａと、弁板支持体１５の取付部１７との間に設けられ、ピストンロッド３１ａの伸縮作動に伴って、弁体１５，３４が昇降移動するように構成されている。
【００５２】
図３及び図４に示すように、弁箱６内の上部には、前後方向に延びる一対の支持軸１１が、左右方向に所定間隔をおいて回転可能に支持されている。支持軸１１は、弁箱６の前壁及び後壁を貫通しており、後端部が後方に突出している。
【００５３】
そして、上記ピストンロッド３１ａの下端部には、左右方向に延びる連結部３２が中央部で接続されている。連結部３２の両端には、レバー２９の一端が、前後方向に延びるリンク軸３０を介して揺動可能に連結されている。レバー２９の他端には、リンク２８の先端が、前後方向に延びるリンク軸３０を介して揺動可能に支持されている。リンク２８の基端は、上記支持軸１１に取付固定されている。こうして、左右の支持軸１１は、連結部３２、レバー２９及びリンク２８により、ピストンロッド３１ａの伸縮駆動に伴って、互いに逆方向に同期して回転するようになっている。
【００５４】
また、各支持軸１１には、弁箱６内に延びるアーム１２の基端が取付固定されている。アーム１２は、リンク２８の長さ方向と直交して延びるように、支持軸１１に固定されている。アーム１２の先端には、リンク１３の一端（上端）が、前後方向に延びるリンク軸１４を介して揺動可能に支持されている。このリンク１３の他端（下端）には、上記弁板支持体１５の取付部１７が、前後方向に延びるリンク軸１９を介して揺動可能に連結されている。そして、弁板支持体１５は、アーム１２及びリンク１３により、上記支持軸１１の同期回転により弁箱６内を昇降するようになっている。例えば、ピストンロッド３１ａが上方へ移動し、左側の支持軸１１が図３で反時計回り方向に回転すると共に、右側の支持軸１１が時計回り方向に回転したときに、弁板支持体１５は上昇するようになっている。
【００５５】
また、真空ゲート弁５は、弁体１５，３４及び弁箱６の開口７，８周りを冷却するための冷却機構を備えている。冷却機構は、弁体１５，３４に形成され、冷却流体が流通する冷却通路１５ａ，３４ａと、該各冷却通路１５ａ，３４ａを接続するための接続部６５と、外部から冷却通路１５ａへ冷却流体を供給するための冷却流体供給部４９と、開口７，８周りに形成された冷却通路８２，８３と、弁箱６の外部で冷却流体の流通経路を構成するチューブ９１，９２，９３，９４とにより構成されている。
【００５６】
上記冷却通路３４ａは、図２に示すように、弁板３４における一方の側部から他方の側部へ向かって蛇行して形成されている。この冷却通路３４ａは、シール部材３５及び平行リンク機構４４の各近傍を通るように形成されており、これらシール部材３５と、平行リンク機構４４の摺動部のブッシュ５７とを冷却するように構成されている。冷却通路３４ａは、弁板３４の表面に形成された蛇行する溝の内壁面と、この溝の開口を閉塞する閉塞部材とにより区画されて構成されている。そして、冷却通路３４ａの両端部には、第１ポート７１と第２ポート７２とがそれぞれ形成されている。
【００５７】
上記冷却通路１５ａは、図３に示すように、弁板支持体１５における一方の側部から他方の側部へ向かって蛇行して形成されている。冷却通路１５ａは、上記冷却通路３４ａと同様に、平行リンク機構４４の摺動部の近傍を通るように形成されており、平行リンク機構４４のブッシュ５７を冷却するように構成されている。冷却通路１５ａの両端部には、第３ポート７３と第４ポート７４とがそれぞれ形成されている。
【００５８】
冷却通路１５ａは、弁板支持体１５の左右方向の中央部で閉鎖され、２つの通路に分割されている。すなわち、図３で左側の冷却通路１５ａには、弁板支持体１５の左側端部に第４ポート７４が設けられる一方、弁板支持体１５の中央部に冷却流体を供給するための入口ポート５１が設けられている。また、同図で右側の冷却通路１５ａには、弁板支持体１５の右側端部に第３ポート７３が設けられる一方、弁板支持体１５の中央部に冷却流体を排出するための出口ポート５２が設けられている。
【００５９】
上記接続部６５は、図１〜図３に示すように、弁体１５，３４の左右両側部にそれぞれ設けられている。接続部６５は、弁板支持体１５の冷却通路１５ａと、弁板３４の冷却通路３４ａとを接続するための伸縮可能な接続管６６と、弁板支持体１５に一端が固定されると共に弁板３４に他端が固定され、接続管６６の外周面を気密状に覆う伸縮可能なカバー部材６７とを備えている。上記接続管６６は、スパイラルチューブ６６により構成されており、上記カバー部材６７は、ベローズ６７により構成されている。
【００６０】
図９は、図３における右側の接続部を右方向から見た拡大図である。スパイラルチューブ６６の両端は、継手６１を介してベローズ６７に取り付けられている。該継手６１の先端は、ベローズ６７の外部に露出している。ベローズ６７の上端は、弁板支持体１５に固定されたブラケットである上側支持部６８に支持されている。上側支持部６８には、冷却通路１５ａの第３ポート７３又は第４ポート７４と、継手６１の先端とを繋ぐ連絡通路６８ａが穿孔されている。一方、ベローズ６７の下端は、弁板３４に固定されたブラケットである下側支持部６９に支持されている。下側支持部６９には、冷却通路３４ａの第１ポート７１又は第２ポート７２と、継手６１の先端とを繋ぐ連絡通路６９ａが穿孔されている。
【００６１】
このようにして、接続部６５は、弁体１５，３４の開閉作動に拘わらず、弁板３４の冷却通路３４ａと、弁板支持体１５の冷却通路１５ａとを接続するようになっている。
【００６２】
上記冷却流体供給部４９は、図１に示すように、下端が弁板支持体１５の冷却通路１５ａに接続される一方、上端が弁箱６の外部に突出する供給管５０を備えている。
【００６３】
供給管５０は、上下方向に延びる外管５０ｂと、外管５０ｂに挿通される内管５０ａとからなる２重管構造を有している。図７に拡大して示すように、供給管５０の下端部は、弁板支持体１５の上面に設けられた台座部５３に取付固定されている。台座部５３及び弁板支持体１５には、入口ポート５１と、内管５０ａとを連通する連絡通路５３ａが形成されている。また、台座部５３及び弁板支持体１５には、出口ポート５２と、内管５０ａ外周面及び外管５０ｂ内周面との間の管路（以降、外管５０ｂの内部と略称する）とを連通する連絡通路５３ｂが形成されている。
【００６４】
一方、図１に示すように、弁箱６の上部には、供給管５０を上下に案内する円筒状のガイド部５４が設けられている。そして、供給管５０は、弁箱６及びガイド部５４を通って上方に突出しており、その上端部には、内管５０ａの内部に通ずるポート５６と、外管５０ｂの内部に通ずるポート５５とがそれぞれ設けられている。
【００６５】
供給管５０の周囲には、弁箱６の内部を気密状に区画する区画手段として、上下方向に伸縮自在なベローズ５８が設けられている。ベローズ５８の下端部は台座部５３の上面に取付固定される一方、上端部はガイド部５４に取付固定されている。このことにより、ペローズ５８の外側は、真空状態に維持されると共に、供給管５０は、弁板支持体１５と一体に上下動するように構成されている。
【００６６】
上記冷却通路８２は、図２に示すように、弁箱６の前側連通口７周りの前壁に環状に形成されている。また、冷却通路８３は、図３に示すように、弁箱６の後側連通口８周りの後壁に環状に形成されている。
【００６７】
冷却通路８２，８３は、弁箱６の前後外壁面にそれぞれ設けられているシール部材９ａ，９ｂの近傍を通るように配設されている。こうして、冷却通路８２，８３は、冷却流体が流通することによりシール部材９ａ，９ｂをそれぞれ冷却するようになっている。また、冷却通路８２は、弁体１５，３４の閉弁時に弁板３４のシール部材３５にも近接するように配設されており、シール部材９ａと共にシール部材３５をも冷却するようになっている。
【００６８】
また、図２及び図８に示すように、弁箱６の側面には、冷却通路８２に冷却流体を供給するための第５ポート８５と、冷却通路８２から冷却流体を排出するための第６ポート８６とがそれぞれ設けられている。一方、図３及び図８に示すように、弁箱６の側面には、冷却通路８３に冷却流体を供給するための第７ポート８７と、冷却通路８３から冷却流体を排出するための第８ポート８８とがそれぞれ設けられている。第６ポート８６と第７ポート８７とは、樹脂製のチューブ９３により接続されている。こうして、第５ポート８５から供給される冷却流体が連通口７周りの冷却通路８２を流通した後に、第６ポート８６から排出されて第７ポート８７へ供給され、さらに連通口８周りの冷却通路８３を流通した後、第８ポート８８から排出されるようになっている。
【００６９】
ところで、図２及び図８に示すように、弁箱６における上記第５〜８ポート８５，８６，…が配設されている側の側面には、ブロック状の突出部７５が設けられている。突出部７５には、図外の配管が接続されてゲート弁５に冷却流体を供給するための供給ポート７６と、図外の配管が接続されてゲート弁５から冷却流体を排出するための排出ポート７７とがそれぞれ設けられている。
【００７０】
そして、供給ポート７６と、内管５０ａ上端のポート５６とは、樹脂製のチューブ９１により接続されている。また、外管５０ｂ上端のポート５５と、第５ポート８５とは、同様のチューブ９２により接続されている。さらに、第８ポート８８と、排出ポート７７とは、同様のチューブ９４により接続されている。こうして、供給ポート７６から供給された冷却流体を、供給管５０を介して弁体１５，３４の冷却通路１５ａ，３４ａへ送った後に、弁箱６の連通口７，８周りの冷却通路８２，８３へ送り、排出ポート７７から外部へ排出するようにしている。
【００７１】
そして、本発明の特徴として、真空ゲート弁５は、スパイラルチューブ６６からベローズ６７の内部への冷却流体の漏れを検出する漏れ検出手段６０を備えている。
【００７２】
上記ベローズ６７、冷却流体、弁板支持体１５及び弁板３４は導電性を有している。例えば、冷却流体には、水道水等が適用されている。一方、ベローズ６７は、弁板支持体１５と弁板３４とにそれぞれ絶縁した状態で固定されている。すなわち、図９に示すように、ベローズ６７の上端と、上側支持部６８との間には、絶縁部材７０が介在されている。また、ベローズ６７の下端と、下側支持部６９との間にも、絶縁部材７０が介在されている。上記継手６１及びスパイラルチューブ６６は、絶縁材料により構成されている。上記各絶縁部材７０には、貫通孔７０ａが形成されており、該貫通孔７０ａに、ベローズ６７から突出した継手６１の先端が螺合して固定されている。この継手６１の先端は、連絡通路６８ａ，６９ａに連通している。こうして、スパイラルチューブ６６は、ベローズ６７と、弁板支持体１５及び弁板３４とが絶縁された状態で、各冷却通路１５ａ，３４ａを接続している。
【００７３】
そして、上記漏れ検出手段６０は、ベローズ６７と、弁板支持体１５又は弁板３４との間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路９５に構成されている。該抵抗測定回路９５は、２つの端子間の電気抵抗を測定する公知の回路により構成されている。そして、抵抗測定回路９５の一方の端子は、ベローズ６７の外表面に接続され、他方の端子は、例えば弁板３４に接続されている。
【００７４】
−真空ゲート弁の作動−
次に、上記真空ゲート弁５の作動について説明する。図１〜図４に示す閉弁状態にある真空ゲート弁５を開くときには、エアシリンダ３１の収縮作動によりピストンロッド３１ａを上昇移動させる。このことで、連結部３２が上昇し、レバー２９及びリンク２８を介して両支持軸１１が同期して互いに逆方向に回転する。つまり、図３において、左側の支持軸１１は反時計回り方向に、また右側の支持軸１１は時計回り方向にそれぞれ回転する。この支持軸１１の回転によってアーム１２が回動し、リンク１３を介して弁板支持体１５が上昇移動する。このとき、弁板支持体１５は、前後ガイドローラ２２、ガイドローラ２４及びサイドローラ２６により弁箱６内における水平方向の移動が規制され、上方へ案内される。
【００７５】
そして、弁板支持体１５の上昇に伴って、弁箱６と真空容器１との間の連通部、つまり前側連通口７を閉鎖していた弁板３４が、平行リンク機構４４により引き上げられる。そして、エアシリンダ３１の収縮ストロークエンド近傍で、図３に仮想線で示すように、弁板３４の下端部が各連通口７，８の上端に略一致するように移動し、真空容器１と容器２の内部空間同士が弁箱６内を介して連通状態となる。
【００７６】
これに対し、真空ゲート弁５を開弁状態から閉じるときには、エアシリンダ３１の伸長作動によりピストンロッド３１ａを下降させる。このことにより、両支持軸１１を同期して互いに逆方向に回転させ、アーム１２及びリンク１３を介して弁板支持体１５を下降させる。そして、弁板３４の弁板前ローラ３９が、閉弁位置近傍でストッパ４０に当接すると、弁板３４のそれ以上の下降移動が停止される。そして、弁板支持体１５のさらなる下降移動によって平行リンク機構４４のリンク４５が立上がる。その結果、弁板前ローラ３９がストッパ４０上を前方へ転動すると共に、弁板３４は、弁板支持体１５から離隔して前方へ移動し、前側連通口７を閉鎖する。このとき、シール部材３５は、弁板３４と、弁箱６の前側連通口７周りの壁面との間で押し付けられ、これら壁面と弁板３４との間を気密状にシールする。
【００７７】
−冷却流体の流れ−
次に、上記真空ゲート弁５における冷却流体の流れについて説明する。図３及び図８に示すように、まず、図外のポンプから送られる冷却流体が、供給ポート７６に供給される。冷却流体は、供給ポート７６からチューブ９１を上昇し、ポート５６を介して内管５０ａへ送られる。その後、冷却流体は、内管５０ａ内を下方に流通し、図１及び図７に示すように、内管５０ａの下端の連絡通路５３ａを通って入口ポート５１へ流れる。冷却流体は、弁板支持体１５の図３における左側の冷却通路１５ａを、入口ポート５１から第４ポート７４へ向かって蛇行して流通する。続いて、冷却流体は、第４ポート７４から連絡通路６８ａ、スパイラルチューブ６６及び連絡通路６９ａを介して第１ポート７１へ流れる。このとき、平行リンク機構４４のブッシュ５７は、冷却流体により冷却される。
【００７８】
そして、冷却流体は、弁板３４の冷却通路３４ａを、第１ポート７１から第２ポート７２へ向かって流通する。このとき、シール部材３５と、平行リンク機構４４のブッシュ５７は、冷却流体によりそれぞれ冷却される。その後、冷却流体は、第２ポート７２から連絡通路６９ａ、スパイラルチューブ６６及び連絡通路６８ａを介して第３ポート７３へ流れる。
【００７９】
続いて、冷却流体は、再び弁板支持体１５の冷却通路１５ａを、第３ポート７３から出口ポート５２へ向かって蛇行して流れる。出口ポート５２へ到達した冷却流体は、図７に示すように、外管５０ｂの内部を上昇し、ポート５５を介してチューブ９２へ流れる。図８に示すように、冷却流体は、チューブ９２を下方へ流れ、第５ポート８５を介して冷却通路８２へ送られる。前側連通口７周りに冷却通路８２を流通した冷却流体は、第６ポート８６、チューブ９３及び第７ポート８７を介して冷却通路８３へ流れる。後側連通口８周りに冷却通路８３を流通した冷却流体は、第８ポート８８及びチューブ９４を介して排出ポート７７へ流れる。このとき、前側連通口７周りのシール部材９ａと、後側連通口８周りのシール部材９ｂとは、それぞれ冷却流体により冷却される。そして、このように、冷却流体は、弁箱６の開口７，８周りの冷却通路８２，８３を流通した後に、排出ポート７７から図外のポンプへ吸い込まれる。
【００８０】
−冷却流体の漏れの検知−
次に、上記漏れ検知手段６０である抵抗測定回路９５による冷却流体の漏れの検知について説明する。まず、スパイラルチューブ６６から冷却流体が漏れ出していない通常時には、ベローズ６７と、弁板支持体１５及び弁板３４とは、それぞれ絶縁されている。したがって、ベローズ６７と弁板３４との間の電気抵抗値は、抵抗測定回路９５により無限大として測定される。
【００８１】
ところで、スパイラルチューブ６６が疲労等により劣化したときには、冷却流体は、スパイラルチューブ６６からベローズ６７の内部へ漏れ出す。このように、冷却流体がスパイラルチューブ６６からベローズ６７内へ漏れた異常時には、図１０に示すように、ベローズ６７と弁板３４とは、ベローズ６７内に溜まった冷却流体と、スパイラルチューブ６６内の冷却流体と、連絡通路６９ａ及び冷却通路３４ａの冷却流体とを介して電気的に繋がる。したがって、抵抗測定回路９５により所定の電気抵抗値（例えば、１〜１００ｋΩ程度の電気抵抗値）が測定される。
【００８２】
−実施形態１の効果−
以上説明したように、この実施形態１によると、漏れ検出手段６０である抵抗測定回路９５により測定された電気抵抗値が無限大であるときには、ベローズ６７と、弁板支持体１５及び弁板３４とは、それぞれ絶縁されており、スパイラルチューブ６６から冷却流体が漏れ出していないと判断することができる。一方、抵抗測定回路９５により測定された電気抵抗値が所定の値であるときには、ベローズ６７と、弁板支持体１５及び弁板３４とは、冷却流体を介して電気的に繋がっており、スパイラルチューブ６６から冷却流体が漏れ出していると判断することができる。つまり、抵抗測定回路９５により測定された電気抵抗値が、無限大から所定値に変化したときには、スパイラルチューブ６６から冷却流体が漏れ出していると判る。
【００８３】
したがって、冷却流体がベローズ６７から真空容器１へ漏れ出す前に、予め、冷却流体がスパイラルチューブ６６からベローズ６７の内部へ漏れ出した段階で、その冷却流体の漏れを抵抗測定回路９５により検出することができる。その結果、スパイラルチューブ６６からの冷却流体の漏れを早期に検知して、冷却流体による真空容器１内の汚染を未然に防止することができる。
【００８４】
（実施形態２）
図１１は、本発明の実施形態２を示している。尚、以下の各実施形態において、図１〜図１０と同じ部分については、同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。この実施形態２では、ベローズ６７と弁箱６との間の電気抵抗の変化に基づいて、ベローズ６７内の冷却流体の漏れを検知するようにしている。
【００８５】
すなわち、ベローズ６７及び弁箱６は導電性を有する一方、ベローズ６７と弁箱６とは絶縁されている。ベローズ６７と上側支持部６８及び下側支持部６９との間には、上記実施形態１と同様に、絶縁部材７０が設けられている。そして、ベローズ６７は、弁箱６や弁体１５，３４等の他の部材と絶縁された状態になっている。また、ベローズ６７の側部と、弁箱６の内壁面とは、所定の間隔で接近している。
【００８６】
そして、上記漏れ検出手段９０は、ベローズ６７と弁箱６との間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路９６に構成されている。該抵抗測定回路９６は、上記実施形態１の抵抗測定回路９５と同様のものである。抵抗測定回路９６の一方の端子は、ベローズ６７の外表面に接続され、他方の端子は、例えば弁箱６の後壁に接続されている。
【００８７】
−冷却流体の漏れの検知−
次に、抵抗測定回路９６による冷却流体の漏れの検知について説明する。まず、スパイラルチューブ６６から冷却流体が漏れ出していない通常時には、ベローズ６７と弁箱６とは、それぞれ絶縁されている。したがって、ベローズ６７と弁箱６との間の電気抵抗値は、抵抗測定回路９６により無限大として測定される。
【００８８】
冷却流体がスパイラルチューブ６６からベローズ６７内へ漏れた異常時には、ベローズ６７は、内部に溜まった冷却流体の圧力により膨らむ。このとき、図１１に実線で示すように、ベローズ６７の両端は前後にずれているため、ベローズ６７は、同図に二点鎖線で示すように、Ｓ字状に膨らむ。つまり、ベローズ６７の上部後側部分（図１１で上部左側部分）が後方に膨らむと共に、ベローズ６７の下部前側部分（同図で下部右側部分）が前方に膨らむ。
【００８９】
そして、ベローズ６７が膨らんで、該ベローズ６７の側部が弁箱６の内壁面に接触したときには、該弁箱６とベローズ６７とがそれぞれ導電性を有しているため、抵抗測定回路９６により比較的小さい所定の電気抵抗値（例えば、１００Ω以下程度の電気抵抗値）が測定される。
【００９０】
−実施形態２の効果−
したがって、この実施形態２によると、抵抗測定回路９６により測定された電気抵抗値が無限大であるときには、ベローズ６７と弁箱６とは、それぞれ絶縁されており、スパイラルチューブ６６から冷却流体が漏れ出していないと判断することができる。一方、抵抗測定回路９６により測定された電気抵抗値が所定の値であるときには、膨らんだベローズ６７の側部と、弁箱６の内壁面とが接触しており、ベローズ６７内に冷却流体が漏れ出していると判別することができる。
【００９１】
（実施形態３）
図１２は、本発明の実施形態３を示している。この実施形態３では、漏れ検出手段６０は、弁箱６に設けられ、該弁箱６の内壁面と上記ベローズ６７との間隔の変化を検知する検知手段９７である。
【００９２】
上記検知手段９７は、非接触センサである渦電流式変位センサ９７に構成されている。該変位センサ９７は、磁性体からなる検出板９７ａと、接近する検出板９７ａの磁界を感知する感知部９７ｂとにより構成されている。検出板９７ａは、ベローズ６７の外表面において、該ベローズ６７内に冷却流体が溜まったときに膨らむ部分に取り付けられている。一方、感知部９７ｂは、例えば、弁体１５，３４が閉弁位置にあるときに、弁箱６の後壁の内壁面における上記検出板９７ａに対向する位置に設けられている。こうして、感知部９７ｂが感知する磁界の変化に基づいて、弁箱６の内壁面とベローズ６７との間隔の変化を検知するようになっている。
【００９３】
−冷却流体の漏れの検知−
次に、この検知手段９７による冷却流体の漏れの検知について説明する。スパイラルチューブ６６から冷却流体が漏れ出していない通常時には、ベローズ６７と弁箱６の内壁面との間隔は、弁体１５，３４の開閉作動に伴って所定の範囲内で変化する。これに伴って、検出板９７ａと感知部９７ｂとの間隔も所定の範囲内で変化する。その結果、検知手段９７の感知部９７ｂにより検出される磁界の変化も所定の通常範囲内で変化する。
【００９４】
一方、冷却流体がスパイラルチューブ６６からベローズ６７内へ漏れ出して、ベローズ６７が膨らんだ異常時には、ベローズ６７と弁箱６の内壁面との間隔は、上記所定範囲を超えて小さくなる。すなわち、検出板９７ａと感知部９７ｂとの間隔も所定の範囲よりも小さくなるため、検知手段９７の感知部９７ｂにより感知される磁界は、上記通常範囲を超えて大きくなる。
【００９５】
−実施形態３の効果−
したがって、この実施形態３によると、検知手段９７の感知部９７ｂにより感知された磁界が、所定の通常範囲を超えて大きくなったときには、弁箱６の内壁面とベローズ６７との間隔が、所定範囲よりも小さくなっており、ベローズ６７が膨らんでいることを検出することができる。
【００９６】
その結果、検知手段９７によって、弁箱６の内壁面とベローズ６７とが接触する前に、該ベローズ６７の膨張を検知することができるため、さらに早期にベローズ６７内の冷却流体の漏れを検知することができる。
【００９７】
尚、この実施形態３では、ベローズ６７に検出板９７ａを設けるようにしたが、この検出板９７ａは必ずしも必要ではなく、ベローズ６７自体を検出板としての役割を果たすように構成することもできる。
【００９８】
また、この実施形態３では、検知手段９７を、渦電流式変位センサにより構成したが、請求項４に係る発明の他の実施形態としては、その他に、例えば、レーザ式変位センサ、超音波式変位センサ等の公知の非接触センサを適用するようにしてもよい。
【００９９】
（実施形態４）
図１３は、本発明の実施形態４を示している。この実施形態４では、漏れ検出手段６０は、弁箱６に設けられ、該弁箱６の内壁面とベローズ６７との接触を検知する検知手段９８である。
【０１００】
検知手段９８は、弁箱６の後壁を前後に貫通する貫通孔に挿通されたロッド９８ａと、弁箱６内を気密状に維持した状態で、ロッド９８ａを進退可能に保持するシール部９８ｂと、ロッド９８ａの進退により、開閉される回路を備える検知部９８ｃとにより構成されている。
【０１０１】
ロッド９８ａの先端は、弁箱６内に突出してベローズ６７の外表面の近傍に配置されている。一方、ロッド９８ａの基端は、弁箱６外に突出して検知部９８ｃの回路の２つの端子の近傍に配置されている。ロッド９８ａの基端は、導体により形成されており、該ロッド９８ａの基端と、上記検知部９８ｃの２つの端子とは、スイッチを構成している。こうして、ベローズ６７が膨らんでロッド９８ａを弁箱６の外側へ付勢し、ベローズ６７と弁箱６の内壁面とが接触したときに、検知部９８ｃのスイッチがＯＮ状態となるようにしている。
【０１０２】
−冷却流体の漏れの検知−
次に、この検知手段９８による冷却流体の漏れの検知について説明する。スパイラルチューブ６６から冷却流体が漏れ出していない通常時には、ベローズ６７と弁箱６の内壁面とが離れているため、検知部９８ｃのスイッチはＯＦＦ状態となっている。すなわち、検知手段９８は、弁箱６の内壁面とベローズ６７との接触を検知しない。
【０１０３】
一方、冷却流体がスパイラルチューブ６６からベローズ６７内へ漏れ出して、膨らんだベローズ６７と弁箱６の内壁面とが接触したときには、ベローズ６７により外側へ付勢されたロッド９８ａが、検知部９８ｃの回路のスイッチをＯＮ状態にする。
【０１０４】
−実施形態４の効果−
以上説明したように、この実施形態４によると、検知手段９７の検知部９８ｃが、該検知部９８ｃの回路におけるスイッチのＯＮ状態を検知したときには、ロッド９８ａが弁箱６の外側へ移動しており、ベローズ６７が弁箱６の内壁面に接触していることを検知することができる。すなわち、このときに、ベローズ６７が膨らんでおり、ベローズ６７内に冷却流体が漏れていると判別することができる。
【０１０５】
尚、上記検知手段９８としては、リミットスイッチ等の機械式スイッチを適用してもよい。
【０１０６】
（実施形態５）
図１４は、本発明の実施形態５を示している。この実施形態５では、漏れ検出手段６０は、弁箱６に設けられ、ベローズ６７を弁箱６の外部から観察するための観察窓８９である。
【０１０７】
上記観察窓８９は、ベローズ６７の下部に対向して設けられている。観察窓８９は、弁箱６の左右方向（図３で左右方向）の側面に形成された貫通孔に嵌挿された筒部８９ａと、該筒部８９ａの内部に設けられた透明体８９ｂとにより構成されている。弁箱６の外側に突出する筒部８９ａの一端部は、フランジ状に形成されており、該一端部において、筒部８９ａと貫通孔との間が気密状にシールされている。
【０１０８】
−実施形態５の効果−
したがって、この実施形態５によると、弁箱６内のベローズ６７を、観察窓８９を介して弁箱６の外部から観察することができる。そして、ベローズ６７の膨らみが観察されたときには、該ベローズ６７の内部に冷却流体が漏れていると判別することができる。
【０１０９】
（実施形態６）
図１５は、本発明の実施形態６を示している。この実施形態６では、上記実施形態５において、ベローズ６７における観察窓８９に対応する位置に、透明な補助窓９０が設けられている。
【０１１０】
すなわち、ベローズ６７下部の中間部分には、該ベローズ６７と略同じ径を有するリング板状の本体６７ａが設けられている。つまり、本体６７ａは、ベローズ６７に連続して形成されている。そして、この本体６７ａにおける観察窓８９に対向する部分には、ベローズの内外を貫通する貫通孔６７ｂが形成され、該貫通孔６７ｂに透明体が気密状にはめ込まれることにより補助窓９０が構成されている。
【０１１１】
−実施形態６の効果−
したがって、この実施形態６によると、観察窓８９に対応する位置に補助窓９０が設けられているため、ベローズ６７内におけるスパイラルチューブ６６からの冷却流体の漏れを、観察窓８９と補助窓９０とを介して、弁箱６の外部から直接に観察することができる。
【０１１２】
尚、上記実施形態５及び６では、観察窓８９をベローズの下部に対向して設けるようにしたが、ベローズ６７の上部に対向して設けるようにしてもよい。このとき、実施形態６では、補助窓９０をベローズ６７の上部に設ければよい。
【０１１３】
（実施形態７）
図１６及び図１７は、本発明の実施形態７を示している。この実施形態７では、漏れ検出手段６０は、ベローズ６７の内部に設けられ、冷却流体に可溶な染料９９と、冷却流体の流通経路に設けられた透明配管部９２ａとにより構成されている。
【０１１４】
上記染料９９は、図１６に示すように、ベローズ６７内の底部に載置されており、例えば、冷却流体である水に可溶な食紅や顔料等の固体により構成されている。一方、上記透明配管部９２ａは、図１７に示すように、例えば、チューブ９２の中間部に設けられ、透明な筒状に形成されている。
【０１１５】
−冷却流体の漏れの検知−
そして、スパイラルチューブ６６から冷却流体である水が漏れ出していない通常時には、透明配管部９２ａでは、水の本来の色である透明色が観察される。一方、冷却流体がスパイラルチューブ６６からベローズ６７の内部へ漏れ出した異常時には、ベローズ６７内に設けられている染料９９が水に溶ける。その結果、透明配管部９２ａでは、染料９９により着色された水の色が観察される。
【０１１６】
−実施形態７の効果−
したがって、この実施形態７によると、冷却流体がスパイラルチューブ６６からベローズ６７の内部へ漏れ出したときには、冷却流体を染料９９によって着色することができる。その結果、透明配管部９２ａにおいて着色された冷却流体が観察されたときには、ベローズ６７内で冷却流体が漏れていると判断することができる。
【０１１７】
さらに、透明配管部９２ａを弁箱６の外部に露出しているチューブ９１に設けるようにしたので、透明配管部９２ａの装着が容易になると共に、透明配管部９２ａ内を流通する冷却流体の色を簡単に観察することができる。
【０１１８】
尚、染料９９は、固体に限らず液体であってもよい。また、透明配管部９２ａをチューブ９２に設けるようにしたが、その他のチューブ９１，９３，９４や、供給ポート７６又は排出ポート７７に接続される図外の配管に設けるようにしてもよい。
【０１１９】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明によると、真空容器に接続される開口を有するハウジング内に、弁板支持体の冷却通路と弁板の冷却通路とを接続するための接続管と、接続管の外周面を気密状に覆うカバー部材とを備える真空ゲート弁について、接続管からカバー部材の内部への冷却流体の漏れを検出する漏れ検出手段を備えることにより、冷却流体がカバー部材から真空容器へ漏れ出す前に、予め、冷却流体が接続管からカバー部材の内部へ漏れ出した段階で、その冷却流体の漏れを漏れ検出手段により検出することができる。その結果、接続管からの冷却流体の漏れを早期に検知して、冷却流体による真空容器内の汚染を未然に防止することができる。
【０１２０】
請求項２に係る発明によると、導電性を有するカバー部材を、導電性を有する弁板支持体及び弁板にそれぞれ絶縁した状態で固定すると共に、漏れ検出手段を、カバー部材と、弁板支持体又は弁板との間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路とすることにより、抵抗測定回路により測定された電気抵抗値が無限大であるときには、カバー部材と、弁板支持体及び弁板とは、それぞれ絶縁されており、接続管から冷却流体が漏れ出していないと判断することができる。一方、抵抗測定回路により測定された電気抵抗値が所定の値であるときには、カバー部材と、弁板支持体及び弁板とは、カバー部材内に溜まっている冷却流体と、接続管の冷却流体と、冷却通路の冷却流体とを介して電気的に繋がっており、接続管から冷却流体が漏れ出していると判断することができる。つまり、抵抗測定回路により測定された電気抵抗値が、無限大から所定値に変化したときには、接続管から冷却流体が漏れ出していると判る。
【０１２１】
請求項３に係る発明によると、導電性を有するカバー部材と、導電性を有するハウジングとを絶縁すると共に、カバー部材の側部と、ハウジングの内壁面とを、所定の間隔で接近させ、漏れ検出手段を、カバー部材とハウジングとの間の電気抵抗を測定する抵抗測定回路とすることにより、抵抗測定回路により測定された電気抵抗値が無限大であるときには、カバー部材とハウジングとは、それぞれ絶縁されており、接続管から冷却流体が漏れ出していないと判断することができる。一方、抵抗測定回路により測定された電気抵抗値が所定の値であるときには、膨らんだカバー部材の側部と、ハウジングの内壁面とが接触しており、カバー部材内に冷却流体が漏れ出していると判別することができる。
【０１２２】
請求項４に係る発明によると、漏れ検出手段を、ハウジングに設けられ、ハウジングの内壁面とカバー部材との間隔の変化を検知する検知手段とすることにより、検知手段により検知されたハウジングの内壁面とカバー部材との間隔が、所定範囲よりも小さいときには、カバー部材が膨らんでおり、カバー部材内に冷却流体が漏れていると判断することができる。
【０１２３】
請求項５に係る発明によると、漏れ検出手段を、ハウジングに設けられ、ハウジングの内壁面と上記カバー部材との接触を検知する検知手段とすることにより、検知手段により、ハウジングの内壁面とカバー部材との接触が検知されたときには、カバー部材が膨らんでおり、カバー部材内に冷却流体が漏れていると判別することができる。
【０１２４】
請求項６に係る発明によると、漏れ検出手段を、ハウジングに設けられ、カバー部材をハウジングの外部から観察するための観察窓とすることにより、ハウジング内のカバー部材を、観察窓を介してハウジングの外部から観察することができる。したがって、膨らんだカバー部材が観察されたときには、カバー部材の内部に冷却流体が漏れていると判る。
【０１２５】
請求項７に係る発明によると、カバー部材には、観察窓に対応する位置に、透明な補助窓を設けることにより、カバー部材内における接続管からの冷却流体の漏れを、観察窓と補助窓とを介して、ハウジングの外部から直接に観察することができる。
【０１２６】
請求項８に係る発明によると、漏れ検出手段を、カバー部材の内部に設けられ、冷却流体に可溶な染料と、冷却流体の流通経路に設けられた透明配管部とにより構成することにより、冷却流体が接続管からカバー部材の内部へ漏れ出したときには、その漏れ出した冷却流体を、染料によって着色することができる。その結果、透明配管部において着色された冷却流体が観察されたときには、カバー部材内で冷却流体が漏れていると判断することができる。
【０１２７】
請求項９に係る発明によると、接続管をスパイラルチューブとし、カバー部材をベローズとすることにより、スパイラルチューブ及びベローズによって、好適な接続管及びカバー部材をそれぞれ得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る真空ゲート弁を破断して示す側面断面図である。
【図２】真空ゲート弁の閉弁状態を示す正面図である。
【図３】真空ゲート弁の閉弁状態を示す背面図である。
【図４】閉弁状態の真空ゲート弁を破断して示す側面断面図である。
【図５】開弁時における弁板支持体及び弁板間の平行リンク機構を拡大して示す側面断面図である。
【図６】平行リンク機構を上方からみた拡大断面図である。
【図７】弁板支持体と冷却流体供給部との接続状態を拡大して示す説明図である。
【図８】真空ゲート弁の外観を示す側面図である。
【図９】実施形態１の抵抗測定回路に接続された接続部を拡大して示す側面図である。
【図１０】ベローズ内に冷却流体が漏れ出した状態を示す図９相当図である。
【図１１】実施形態２の抵抗測定回路に接続された接続部を拡大して示す側面図である。
【図１２】実施形態３の検知手段と接続部とを示す側面図である。
【図１３】実施形態４の検知手段と接続部とを示す側面図である。
【図１４】実施形態５の観察窓と接続部とを示す背面図である。
【図１５】実施形態６の補助窓を示す図１４相当図である。
【図１６】実施形態７の染料と接続部とを示す側面図である。
【図１７】実施形態７の透明配管部が設けられたチューブを示す正面図である。
【図１８】従来の弁板を示す正面図である。
【図１９】従来の弁板支持体を示す背面図である。
【図２０】従来における各冷却通路の接続部分を示す側面図である。
【符号の説明】
１  真空容器
５  真空ゲート弁
６  弁箱（ハウジング）
７  前側連通口（開口）
１５  弁板支持体（弁体）
１５ａ  冷却通路
３４  弁板（弁体）
３４ａ  冷却通路
６０  漏れ検出手段
６６  スパイラルチューブ（接続管）
６７  ベローズ（カバー部材）
８９  観察窓
９０  補助窓
９２ａ  透明配管部
９５，９６  抵抗測定回路
９７，９８  検知手段
９９  染料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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