(57)【要約】【課題】本発明の目的は、炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学部品、及びそれらを搭載したマスクやトレーといった被洗浄物の炭酸ガススノー洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置を提供することである。【解決手段】上記の目的を達成するために本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスの噴射口が炭酸ガススノー噴射孔を中心に配し、前記の炭酸ガススノー噴射ノズルの外側にガスの噴出孔を配した同軸状のノズルを用いたことを特徴とし、また、ガスと炭酸ガススノーを先の被洗浄物に噴射するガス噴射ノズルが少なくとも２つ以上連結されていることを特徴として課題を解決する。【選択図】  図１
2004322007.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスの噴射口が炭酸ガススノー噴射孔を中心に配し、該炭酸ガススノー噴射ノズルの外側に該ガスの噴出孔を配した同軸状のノズルを用いたことを特徴とする炭酸ガススノー噴射装置。
【請求項２】
ガスと炭酸ガススノーを該被洗浄物に噴射するガス噴射ノズルが少なくとも２つ以上連結されていることを特徴とする請求項１に記載の炭酸ガススノー噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学部品、及びそれらを搭載したマスクやトレーといった被洗浄物の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置は、ひとつの炭酸ガススノー噴射口を具備した単ノズルとなっており、この単ノズルまたは被洗浄物を水平、及び垂直方向に移動する移動装置の上に載置して被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄することが一般的であった。
【０００３】
【特許文献１】
特願平１１−３６８４８７
【０００４】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年圧電振動子や光学部品といった部品は搭載して使用される機器の小型化に伴い、極めて急激なその容器形状の外形サイズの小型化、及び低背化の市場からの要求があり、その結果としてアルミナセラミックなどの材質から成るそれら圧電振動子、及び光学部品といった部品を搭載する基板や容器壁の厚さも極力薄くなっており、囲まれた容器のサイズも小さく、かつ薄くなっているのが現状である。
【０００６】
したがって、ひとつのマスクやトレー上に搭載される、前記の圧電振動子や光学部品の数量も増加しており、洗浄工程で扱われる被洗浄物の数量も急激に増えているのが現状である。
【０００７】
そのため、従来の被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄する炭酸ガススノー洗浄用の単ノズルの炭酸ガススノー噴射装置では、洗浄の効率が悪いという問題があった。
【０００８】
また、従来は多数の被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄するため、垂直、及び水平方向に移動する移動装置の設定が複雑になり、その結果として被洗浄物の洗浄コストが高くなるといった問題があった。
【０００９】
本発明は、このような技術的背景のもとでなされたものである。
したがって、本発明の目的は、先述の問題を解決する洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、
ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスの噴射口が炭酸ガススノー噴射孔を中心に配し、前記の炭酸ガススノー噴射ノズルの外側に先のガスの噴射孔を配した同軸状のノズルを用いたことを特徴とする。
【００１１】
また、前記ガスと炭酸ガススノーを被洗浄物に噴射するガス噴射ノズルが少なくとも２つ以上連結されていることを特徴とする。
【００１２】
【本発明の実施の形態】
以下、添付の図面に従がってこの発明の実施例を説明する。なお各図において、同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【００１３】
図１は本発明の炭酸ガススノーを用いて被洗浄物１を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置２の概略の側面から見た模式図である。ボンベなどに収容されたガス源３、及び炭酸ガス源４と本発明の炭酸ガススノー噴射装置２とはガス源３の噴射圧などを制御する制御装置を通して繋がっている。本発明は図３のガス噴射ノズル９を少なくとも二つ以上連結したものであり、本実施例では図１に図示するようにガス噴射ノズル９は横方向に４つ並列に連結されている。
【００１４】
それぞれのガス噴射ノズル９の中心には炭酸ガススノー噴射孔５が位置して、その外側にはガスの噴出孔６がある。また、互いに連結された夫々のガス噴射ノズル９の中心の間隔は２ｍｍから１５ｍｍで、この間隔がガス噴射ノズル９を横方向に４つ連結した場合、被洗浄物を効率良く、点状ではなく面状に洗浄できマスク１１上に載置された被洗浄物１を洗浄できる。
【００１５】
また、図１、及び図２の本実施例のようにガス噴射ノズル９を横方向に４つ連結すると、ひとつの噴射ノズル９で洗浄する際に生じてしまう噴射ガスの巻き込みが発生しないといった効果を奏する。
【００１６】
図３は本発明の炭酸ガススノー噴射装置２を構成するひとつのガス噴射ノズル９の概略の側面図である。中心に位置する直径１０ミリメートルほどの炭酸ガススノー噴射孔５の外側には、本実施例ではアシストガスである窒素（Ｎ２）ガスの噴出孔６がある。炭酸ガススノーよりも温度の高い窒素（Ｎ２）ガスで炭酸ガススノーを囲むように、その外側から噴射することにより炭酸ガススノーを被洗浄物１に誘導して吹き付け、また被洗浄物１に結露を起こさないといった効果を奏する。また、噴射ノズル９内での凍結、つまり、結露を防止するのにも良い。
【００１７】
本発明の炭酸ガススノー噴射装置２のガス噴射口６と被洗浄物１との距離は５０ミリメートル程度とすると、一度吹き飛ばし除去した被洗浄物１上の汚れが再び洗浄面に戻ってしまうといった噴射ガスの巻き込みの現象もなく効率的に洗浄できる。
【００１８】
図２は本発明の炭酸ガススノー噴射装置２を斜め上からみた斜視図である。炭酸ガススノー噴射装置２と制御装置のあいだは自在に動くパイプ１０で繋がっている。なお、図１、及び図２ではガス噴射ノズル９を横方向に４つ連結しているが、鉛直方向からみて横方向ではなく円弧やコの字を描くように連結した場合においても、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。また、連結したガス噴射口の被洗浄物に対する高さが全て同じではなく、横方向から見て円弧や段差をもっている場合においても、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【００１９】
図４は従来の単ノズルを用いた、マスク１１に設置された圧電部品を炭酸ガススノー噴射により洗浄する様子を示す概略の模式図である。なお、本実施例では洗浄用の噴射装置について述べたが、洗浄に限らずガスの噴射装置に使用することができ、これも本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【００２０】
【発明の効果】
本発明の炭酸ガススノー噴射装置によれば、ひとつのノズルが連結されて多孔であるためにひとつの動作で面への吹き付けが可能となり、この層流の流れの働きのために一度吹き飛ばし除去した被洗浄物上の汚れが再び洗浄面に戻ってしまうといった噴射ガスの巻き込みの現象もなく効率的に洗浄でき、洗浄のコストを大幅に削減できるといった効果を奏する。
【００２１】
ガスを用いて被洗浄物を洗浄するために、一例を挙げればチリ状の微粒子を含んだ洗浄する部分に付着する微細物をガスで弾き飛ばしながら洗浄し、ガスが液体とはならず気体であるために、洗浄しながら吸引するだけで先のチリ状の微粒子を含んだ微細物を除去できる。
【００２２】
本発明によれば５μｍよりもさらに小さな１μｍ以下のチリ状の微粒子を含んだ洗浄する部分に付着する微細物を効率的に、汚れの被洗浄物への再付着を防止しながら除去する効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置の概略の側面から見た模式図である。
【図２】本発明の炭酸ガススノー噴射装置を斜め上からみた斜視図である。
【図３】本発明の炭酸ガススノー噴射装置を構成するひとつの炭酸ガススノー噴射ノズルの概略の側面図である。
【図４】従来の単ノズルを用いて、マスクに設置された圧電部品を炭酸ガススノー噴射により洗浄する様子を示す概略の模式図である。
【符号の説明】
１  被洗浄物
２  炭酸ガススノー噴射装置
３  ガス源
４  炭酸ガス源
５  炭酸ガススノー噴射孔
６  ガス噴射孔
７  ガス
８  炭酸ガススノー
９  ガス噴射ノズル
１０  パイプ
１１  マスク
１２  ダクト
【図１】
2004322007.tif 000003
【図２】
2004322007.tif 000004
【図３】
2004322007.tif 000005
【図４】
2004322007.tif 000006