(57)【要約】【課題】塗布液をコーティングした後に、直ちに塗布液の塗布条件を調整できる薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】フィルム１０ａに塗布する塗布液３１を貯留する貯留部３２と、この貯留部３２に貯留されている塗布液３１をフィルム１０ａに塗布するコーティングローラ３３と、コーティングローラ３３を回転させるための駆動モータ３４とを有し、フィルム１０ａに塗布液３１をコーティングする際には、走行しているフィルムとコーティングローラ３３との間に介在塗布液３１ａが形成され、走行するフィルム１０ａがこの介在塗布液３１ａに接することにより、フィルム１０ａに塗布液３１がコーティングされる。この介在塗布液３１ａの厚さは、形成される薄膜の厚さと１対１の関係にあり、介在塗布液３１ａの厚さを測定して、コーティングローラ３３の回転速度を駆動モータ３３により調整している。【選択図】　図２
2004089889.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行フィルムに対し回転ローラ表面に供給された塗布液を接触させて、当該フィルムに前記塗布液を塗布し、薄膜を製造する薄膜の製造方法であって、
前記回転ローラ表面とその表面上を走行するフィルム部位との間に介在する介在塗布液を対象として、その性状を監視し、監視結果により塗布液のフィルムへの塗布条件を調整することを特徴とする薄膜の製造方法。
【請求項２】
前記介在塗布液における性状の監視は、介在塗布液の厚みを測定することで行われることを特徴とする請求項１に記載の薄膜の製造方法。
【請求項３】
前記介在塗布液における性状の監視は、介在塗布液おける前記フィルムの走行方向の幅を測定することで行われることを特徴とする請求項１に記載の薄膜の製造方法。
【請求項４】
前記回転ローラの回転方向と、前記フィルムの走行方向とが逆方向であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜の製造方法。
【請求項５】
前記塗布液のフィルムへの塗布条件の調整は、前記回転ローラの表面速度を調整していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の薄膜の製造方法。
【請求項６】
走行フィルムに対し回転ローラ表面に供給された塗布液を接触させて、当該フィルムに前記塗布液を塗布し、薄膜を製造する薄膜製造装置であって、
前記回転ローラ表面とその上を走行するフィルム部位との間に介在する介在塗布液を対象として、その性状を監視する監視手段と、
前記監視結果により塗布液のフィルムへの塗布条件を調整するための調整手段と
を備えることを特徴とする薄膜製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走行フィルムに対し回転ローラ表面に供給された塗布液を接触させて、当該フィルムに前記塗布液を塗布し、薄膜を製造する薄膜の製造方法及び薄膜製造装置に関し、例えば、反射防止膜、波長フィルタ等の光学薄膜の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ディスプレイ、ウィンドウ等の視認性、透明性等を向上させるものとして、反射防止膜、波長フィルタなどの光学薄膜がある。このような光学薄膜は、例えば、特開平６−９３１２０号公報に開示されているように、スパッタリング法や真空蒸着法などの所謂ドライコーティング法により形成されていた。
【０００３】
しかし、このドライコーティング法は、薄膜を真空状態にして形成するため、生産性が低く高コストになる欠点を有する。これに対して、近年、有機、無機材料を溶媒で溶かして（この液を、以下、「塗布液」という。）、塗布液をフィルムにコーティング（塗布）した後に硬化させる、所謂ウェットコーティング法でも形成されるようになった。このウェットコーティング法には、スピンコート法、ディップコート法、ロールコーティング法等があり、大気中で薄膜を形成できるので、生産性が高いという長所を有する。
【０００４】
特に、ロールコーティング法は、ロール状に巻きつけられたフィルムを繰り出して、再度フィルムをロール状に巻きつける（ロールツーロール）途中で、塗布液が表面に供給された回転ローラにより、走行するフィルムに塗布液を連続してコーティングし、その後にコーティングされた塗布液に、化学反応あるいは乾燥・硬化等の処理を施して薄膜を形成している。このため、生産性が非常に高いという特徴を有している。
【０００５】
このようなロールコーティング法を用いた薄膜製造装置としては、本願発明者らが提案した特開２０００−１８９８６８号公報に開示されているようなものがある。
この薄膜製造装置１０１は、図８に示すように、ロール状に巻き付けられたフィルム１１０を繰り出す繰り出し部１２０と、繰り出されたフィルム１１０ａに塗布液１３１をコーティングするコーティング部１３０と、コーティングされた塗布液１３１を例えば乾燥・硬化して薄膜を形成する薄膜形成部１４０と、表面に薄膜が形成されたフィルム１１０ｃを巻き取る巻き取り部１５０と、薄膜形成部１４０で形成された薄膜の厚みを測定する厚みセンサ１６０と、コーティング部１３０でフィルム１１０ａに塗布液１３１をする塗布条件を変更するための調整部１７０とを備えている。
【０００６】
なお、調整部１７０が塗布条件を変更するものとして、例えば、繰り出し部１２０におけるフィルム１１０を繰り出すための駆動モータ１２２と、巻き取り部１５０におけるフィルム１１０ｃを巻き取るための駆動モータ１５２とを調整してフィルムの走行速度を調整したり、コーティング部１３０におけるコーティングローラ１３３を回転させるための駆動モータ１３４を調整してコーティングローラ１３３の表面速度を調整したりしている。
【０００７】
薄膜の厚みの管理は、薄膜形成部１４０の下流に配された厚みセンサ１６０により薄膜の厚みを測定し、この測定結果から、例えば、コーティングローラの１３３の回転速度を調整部１７０で調整している。
ここで、薄膜の厚みを管理するために、形成された薄膜の厚みを測定している理由は、コーティング部１３０でコーティングされた塗布液１３１は液体であるため、その厚みを測定できないからである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の薄膜の製造方法では、塗布液１３１をコーティングして薄膜を形成した後にその薄膜の厚みを測定している。このため、実際に塗布液１３１をコーティングして薄膜を形成し、その厚みの測定結果に基づいて塗付条件を変更するまでにかなりの時間を要してしまう。
【０００９】
このため、例えば、形成した薄膜の厚みが規格外であった場合に、塗布条件を調整するまでに製造した製品が無駄になり、歩留まりが著しく低下すると共に、その間の時間も無駄になり生産効率も低下するなどの問題が生じる。
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであって、塗布液をコーティングした後に、直ちに、所望の厚みの薄膜が形成されるように塗布条件を調整できる薄膜の製造方法及び薄膜製造装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る薄膜の製造方法は、走行フィルムに対し回転ローラ表面に供給された塗布液を接触させて、当該フィルムに前記塗布液を塗布し、薄膜を製造する薄膜の製造方法であって、前記回転ローラ表面とその表面上を走行するフィルム部位との間に介在する介在塗布液を対象として、その性状を監視し、監視結果により塗布液のフィルムへの塗布条件を調整することを特徴としている。この方法によれば、回転ローラによりフィルムに塗布液が塗布される際に介在塗布液の性状の監視結果に基づいて、塗布液を塗布する塗布条件を調整するので、直ちに塗布条件を調整できる。
【００１１】
ここで、「前記回転ローラ表面とその上を走行するフィルム部位との間に介在する介在塗布液」とは、フィルムと回転ローラと塗布液を介して接触している範囲における回転ローラ表面とフィルムとの間に介在する塗布液をいう。
一方、本発明に係る薄膜製造装置は、走行フィルムに対し回転ローラ表面に供給された塗布液を接触させて、当該フィルムに前記塗布液を塗布し、薄膜を製造する薄膜製造装置であって、前記回転ローラ表面とその表面上を走行するフィルム部位との間に介在する介在塗布液を対象として、その性状を監視する監視手段と、前記監視結果により塗布液のフィルムへの塗布条件を調整するための調整手段とを備えることを特徴としている。この構成によれば、回転ローラによりフィルムに塗布液が塗布される際の介在塗布液の性状の監視結果に基づいて、塗布液を塗布する塗布条件を調整するので、直ちに塗布条件を調整できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る薄膜製造装置の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（第１の実施の形態）
１．構成について
図１は本発明に係る第１の実施の形態における薄膜製造装置１の全体の構成図を示す。この薄膜製造装置１は、図１に示すように、ロール状の巻かれているフィルム１０を繰り出し、繰り出したフィルム１０に薄膜を形成した後に、フィルム１０を再度ロール状に巻きつける、所謂ロールツーロール方式を採用している。
【００１３】
薄膜製造装置１は、フィルム１０を繰り出す繰り出し部２０と、繰り出されたフィルム１０に塗布液３１をコーティングするコーティング部３０と、コーティングされた塗布液３１に所定の処理を施して薄膜を形成する膜形成部４０と、薄膜が形成されたフィルム１０を巻き取る巻き取り部５０と、塗布液３１のフィルム１０へのコーティング量を測定するセンサ６０と、フィルム１０に塗布液３１をコーティングする塗布条件を変更するための調整部７０とを備えている。
【００１４】
ここで、繰り出し部２０から繰り出されたフィルムの符号を１０ａ、また、塗布液３１がコーティングされているフィルムの符号を１０ｂ、薄膜が形成されているフィルムの符号を１０ｃとして、フィルムを各状態ごとに符号を変えてフィルム状態の違いを区別する。
繰り出し部２０は、ロール状に巻きつけられたフィルム１０を回転させるための回転軸２１と、この回転軸２１を回転駆動させる駆動モータ２２とを備えている。巻き取り部５０は、繰り出し部２０から繰り出され、表面に薄膜が形成されてフィルム１０ｃを巻き取るための回転軸５１と、この回転軸５１を回転駆動させる駆動モータ５２とを備えている。
【００１５】
ここで、繰り出し部２０から繰り出されて、巻き取り部５０に巻き取られるべく移動中のフィルム１０を、以下、「走行中のフィルム１０」といい、繰り出し部２０側を上流、巻き取り部５０側を下流とする。また、両駆動モータ２２、５２は、当然、回転軸２１、５１の回転速度を調整部７０で調整できるように構成されている。
【００１６】
膜形成部４０は、コーティング部３０でコーティングされた塗布液３１に所定の処理を施して薄膜を形成するもので、例えば、コーティング部３０でフィルム１０ａにコーティングされた塗布液３１を乾燥させる乾燥部４１と、その後に塗布液３１に含まれていた固形分を硬化させる硬化部４２とを備えている。
なお、乾燥部４１における乾燥処理としては、熱風や赤外線を用いた方式を採用でき、また、硬化部４２における硬化処理としては、熱、紫外線、電子線を用いて方式を採用できる。
【００１７】
図２は、コーティング部３０の周辺の概略を示す概略図である。
コーティング部３０は、同図に示すように、フィルム１０ａにコーティングする塗布液３１を貯留する貯留部３２と、この貯留部３２に貯留されている塗布液３１をフィルム１０ａにコーティングするコーティングローラ３３と、コーティングローラ３３を回転させるための駆動モータ３４（図１参照）とを有している。
【００１８】
フィルム１０ａに塗布液３１をコーティングする際には、図２に示すように、コーティングローラ３３の表面と、このコーティングローラ３３の表面上を走行するフィルム１０ａとの間に塗布液３１ａが介在する（この介在する塗布液３１ａを、以下、「介在塗布液３１ａ」という。）。そして、下流へと走行するフィルム１０ａがこの介在塗布液３１ａに接することにより、フィルム１０ａに塗布液３１がコーティングされる。
【００１９】
なお、駆動モータ３４は、コーティングローラ３３の回転速度を調整部７０で調整できるように構成されている。これにより、コーティングローラ３３の表面の速度を変更することができる。
コーティングローラ３３は、表面に凹部を有するグラビアローラを使用し、その表面の凹部内に塗布液３１が供給されるように、その下部側が貯留部３２内の塗布液３１に漬かっている。表面の凹部への塗布液３１の供給は、コーティングローラ３３が回転することにより塗布液３１が持ち出されて行われる。
【００２０】
塗布液３１の持ち出し量の制御は、コーティングローラ３３の回転方向であって、コーティングローラ３３からフィルム１０ａに塗布液が供給される位置（この位置を、以下、「塗布位置」という。）の手前に設けられたドクターブレード３５により行われる。つまり、ドクターブレード３５のコーティングローラ３３側の端部と、コーティングローラ３３の表面とが略接触しており、表面の凹部以外の部分に塗布液３１が供給されないようになっている。
【００２１】
なお、コーティングローラ３３の上・下流の両側には、図１に示すように、タッチロール３６、３７があり、この２つのロール３６、３７は、繰り出し部２０から巻き取り部５０へと走行中のフィルム１０ａが、コーティングローラ３３に対して所定の抱き角度となるように配されている。
ここで、フィルム１０ａは、コーティングローラ３３表面の塗布液３１との接触面積を広くするために、図２に示すように接線方向の線分（破線で表示）よりコーティングローラ３３側に傾いており、この接線方向の線分とフィルム１０ａとの角度を抱き角度している。
【００２２】
これにより、表面の凹部内に塗布液３１が供給されたコーティングローラ３３は、塗布位置でフィルム１０ａに対して介在塗布液３１ａを介して接触して、フィルム１０ａのコーティングローラ３３側の面に塗布液３１をコーティングするようになっている。
センサ６０は、コーティングローラ３３とフィルム１０ａとの間に介在する介在塗布液３１ａの厚みを測定する。この介在塗布液３１ａの厚みを測定する理由は、介在塗布液３１ａの厚みと形成後の薄膜と厚みとの間には、後述の１対１の関係を有しているからである。そして、介在塗布液３１ａの厚みをセンサ６０で測定し、その結果からオペレータが塗布条件を変更して、所望の厚みの薄膜を得るようにしている。
【００２３】
センサ６０は、本実施の形態では、図２におけるＺ方向の変位ｈ０を測定する変位センサ６１を用いている。変位センサ６１は、コーティング部３０における塗布位置の上方、つまり、コーティングローラ３３の軸芯Ｏと、フィルム１０ａとコーティングローラ３３との接触している部分の周方向の略中央位置とを結ぶ線（図２における仮想線Ａ）上又はこの線の近傍の位置に設けられ、フィルム１０ａのＺ方向の変位を測定している。
【００２４】
変位センサ６１は、例えば、株式会社キーエンス製のレーザ変位センサＬＫ３１００を使用している。なお、Ｚ方向の変位の測定は、触針式、光学式センサを使用することも可能であり、その変位を測れるものであれば良い。
２．実施例
上記構成の薄膜製造装置１を用いて、薄膜を形成した場合における介在塗布液の厚みとフィルム１０に形成された膜の厚みとの関係についての１例を説明する。
【００２５】
１）形成条件について
形成に用いた、フィルム、塗布液、フィルム条件、コーティングローラの条件について以下に示す。
2004089889.tif 000003
【００２６】
【表１】
2004089889.tif 000004
また、この液の液特性を以下に示す。
2004089889.tif 000005
２）測定結果
上記の条件でフィルム１０に塗布液３１をコーティングして形成された薄膜の膜厚みと、フィルム１０のＺ方向の変位ｈ０（介在塗布液の厚み）との関係を測定した。
【００２７】
図３は、Ｚ方向の変位ｈ０と薄膜の膜厚みとの関係を示したものである。この図は、フィルム１０の走行速度Ｖｆとコーティングローラ３３の回転速度Ｖｒとを上記条件の範囲で変えて、薄膜を形成したときのＺ方向の変位ｈ０と薄膜の膜厚みとを一斉にプロットしたものである。
なお、Ｚ方向の変位ｈ０の測定位置は、図２における仮想線から下流側に３ｍｍ程度ずれた位置で行っている。すなわち、仮想線から下流側で行われている。これは、この範囲では、Ｚ方向の変位ｈ０の変化する範囲が比較的大きく測定できるからである。
【００２８】
介在塗布液の厚みと膜厚みとの関係は、図３から、１対１の関係にあることがわかる。なお、介在塗布液の厚みを示すＺ方向の変位ｈ０は、コーティングローラ３３の外周面を基準（０値）にしている。このため、変位センサ６１にて測定されるデータには、フィルム１０の厚み、介在塗布液３１ａの厚みが含まれている。従って、介在塗布液３１ａの厚みは、測定結果からフィルム１０ａの厚みを差し引いたものとなる。
【００２９】
このように、Ｚ方向の変位ｈ０と薄膜の膜厚みとは、１対１の関係を有しているので、所望の厚みの薄膜を形成する場合には、その所望の薄膜の厚みから図３に基づいてＺ方向の変位が予め得られ、実際に測定したＺ方向の変位ｈ０が予め得られたＺ方向の変位になるように、塗布条件を調整すれば良いことになる。
従って、薄膜の膜厚みの測定結果に基づいて塗布条件を変更する従来の薄膜製造装置に比べて、迅速な厚みの管理ができ、製造当初の薄膜が規格外となるのをなるべく防ぐことができる。
【００３０】
なお、Ｚ方向の変位ｈ０は、変位センサで測定され、その測定結果が、表示部（図示省略）に表示され、この表示部に表示された結果と、図３から求めた所望の厚みの薄膜を得るために、図３を参照して求めたＺ方向の変位とをオペレータが比較して、調整部７０でコーティングローラ３３を回転駆動させている駆動モータ３４を調整している。
【００３１】
３）塗布条件の変更について
塗布液３１における介在塗布液３１ａの厚み（Ｚ方向の変位ｈ０）を変更するときは、塗布条件を変更している。この塗布条件には、例えば、フィルム１０とコーティングローラ３３との抱き角度、走行中のフィルム１０のテンション及び速度、塗布液３１の液特性、コーティングローラ３３の表面における凹部の大きさや形状等の表面性、コーティングローラ３３の回転速度及び径、塗布時の温度等の雰囲気、コーティングローラ３３表面とドクタブレード３５の端部と間隔（塗布液３１の供給量）等がある。
【００３２】
本実施の形態では、塗布条件を変更する場合には、実際の装置稼動時において、容易且つ短時間に調整できることから、コーティングローラ３３の回転速度を調整している。つまり、フィルム１０にコーティングする塗布液３１の供給量をコーティングローラ３３の回転速度により変更するのである。
なお、例えば、フィルム１０の走行速度を変更すると、膜形成部４０内を通過するのに要する時間が変わり、フィルム１０にコーティングされた塗布液３１の乾燥硬化時間が変わり、乾燥温度、硬化温度も変更する必要が生じたり、フィルム１０のテンションを変更になると、介在塗布液の厚みに影響が現れたりする。
【００３３】
図４は、コーティングローラ３３の表面速度（Ｖｒ）とフィルム１０の走行速度（Ｖｆ）との比と、Ｚ方向の変位ｈ０との関係を示した図である。
同図に示すように、Ｚ方向の変位ｈ０と、コーティングローラ３３の表面速度とフィルム１０の走行速度の比との間には、１対１の関係を有していることがわかる。また、同図により、例えば、Ｚ方向の変位ｈ０を小さくする場合には、スピード比率を高める方向、つまり、Ｖｆを一定とするとＶｒの速度を遅くすれば良いこともわかる。
【００３４】
従って、塗布液３１のフィルム１０への塗布時に、Ｚ方向の変位ｈ０が設定値から外れているときに、図４を参考にして、コーティングローラ３３の回転速度を変更すればよいことになる。
（第２の実施の形態）
上記の第１の実施の形態では、センサ６０は介在塗布液３１ａの性状として、介在塗布液３１ａの厚み（実際には、Ｚ方向への変位ｈ０）を測定している。しかしながら、本発明における介在塗布液３１ａの性状は、その厚みに限定するものではなく、例えば、介在塗布液３１ａの幅、大きさ（面積）であっても良い。
【００３５】
そこで、第２の実施の形態では、介在塗布液３１ａの性状として介在塗布液３１ａの幅Ｗを測定するようにしたものである。当然、介在塗布液３１ａの幅Ｗと、薄膜の膜厚みとの間には１対１の関係がある。以下、これらについて説明する。
図５は、第２の実施の形態のコーティング部３０周辺を示す図である。
【００３６】
本実施の形態は、第１の実施の形態で説明したセンサ６０が異なるだけである。つまり、第１の実施の形態では、介在塗布液３１ａの厚みを変位センサ６１で測定していたが、本実施の形態では、介在塗布液３１ａの幅Ｗを測定するのに画像センサ６２を使用している。
この画像センサ６２は、具体的には、ＣＣＤカメラを使用している。なお、ＣＣＤカメラで撮像されたデータは、図外のデータ処理部、例えば、パーソナルコンピュータに出力される。これを受け、パーソナルコンピュータは、ＣＣＤカメラから出力された信号について、例えば、アナログ信号からデジタル信号にＡＤ変換した後、２値化処理、エッジ検出処理等の公知の画像処理を行い、フィルム１０ａの走行方向における介在塗布液３１ａの幅Ｗを、エッジ間の画素数から算出している。算出された介在塗布液３１ａの幅Ｗは、薄膜の所望の厚みに対応して予め得られている幅に対応するように、オペレータにより塗布条件（コーティングローラ３３の回転速度）が調整される。
【００３７】
次に、介在塗布液３１ａの幅Ｗと、Ｚ方向の変位ｈ０との関係を図６に示す。
同図に示すように、介在塗布液３１ａの幅Ｗと、Ｚ方向の変位ｈ０との関係は、コーティングローラ３３の表面速度が一定の場合１対１の関係にあることがわかる。また、Ｚ方向の変位ｈ０と、形成された薄膜の膜厚みとは、第１の実施の形態で示したように、１対１の関係を有しているので、介在塗布液３１ａの幅Ｗと薄膜の膜厚みとの関係も１対１で対応している。
【００３８】
従って、本実施の形態では、介在塗布液３１ａの幅Ｗと薄膜の膜厚みとの関係を、直接図で示してはいないが、この両者の関係を利用すれば、第１の実施の形態と同様に、介在塗布液３１ａの幅Ｗを測定すると、直ちに塗布条件を調整できることになる。
また、本実施の形態では、介在塗布液３１ａの幅Ｗを測定するのに、フィルム１０ａの塗布面と反対側に設置されたＣＣＤカメラを使用している。このため、塗布液３１をコーティングするフィルム１０として、透明のもの（有色、無色を問わない）を使用することができる。
【００３９】
なお、ＣＣＤカメラをコーティングローラ３３の軸方向に設置して、介在塗布液３１ａを軸方向から測定して、幅を算出することも可能であり、この場合は、フィルム１０が透明である必要性はなくなる。つまり、フィルム１０が不透明のものでも使用できる。
（変形例）
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明の内容が、上記各実施形態に示された具体例に限定されないことは勿論であり、例えば、以下のような変形例を実施することができる。
【００４０】
（１）上記の各実施の形態では、フィルム材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を使用したが、他の材料を用いても良い。他の材料としては、例えば、ポリイミド（ＰＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、２軸延伸ポリプロピレン（ＯＰＰ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等がある。
【００４１】
また、フィルム材料として、上記の合成樹脂材料以外に、アルミニウム箔等の金属材料、紙等の天然材料を使用しても良い。
（２）上記の各実施の形態では、回転ローラとして用いたグラビアローラは、＃１３０カップ型の彫刻ローラを用いたが、彫刻ローラの表面加工の形状を変えても良い。他の形状としては、例えば、斜線型、ピラミッド型、亀甲型等がある。
【００４２】
（３）介在塗布液における性状の監視について
上記の第１の実施の形態では、介在塗布液における性状の監視として、介在塗布液の厚み（Ｚ方向の変位ｈ０）を測定し、また、第２の実施の形態では、介在塗布液の幅を測定している。しかしながら、介在塗布液における性状の監視として、介在塗布液の大きさ（面積）を測定しても良い。介在塗布液の大きさを測定する方法としては、例えば、回転ローラの軸方向から、介在塗布液をＣＣＤカメラで撮像して、撮像結果を画像処理して介在塗布液の大きさを算出すれば良い。
【００４３】
また、第１及び第２の実施の形態では、介在塗布液の性状を監視する位置、あるいは、その数について、特に説明していないが、これらの測定位置及び数については、測定する介在塗布液の大きさのばらつき、フィルムの幅寸法にも依るが、フィルムの走行方向に直交する幅方向に複数、例えば、フィルムの幅方向の両端とその中間の３箇所程度が好ましい。
【００４４】
また、介在塗布液の性状を監視するセンサを移動式にしても良い。例えば、介在塗布液の厚みまたは幅を測定する場合に、フィルムの走行にあわせて、フィルムの幅方向（回転ローラの軸方向）に移動させて、フィルムの幅の全体について測定しても良い。このようにすれば介在塗布液を監視されない場所が残るようなことは無くなり、精度良く介在塗布液の性状について監視できる。
【００４５】
（４）介在塗布液の性状について
実施の形態では、１種類の塗布液について、介在塗布液の性状と、形成される薄膜の膜厚みとの関係を示した。しかしながら、これらの関係は、塗布液の液性、フォルムの材質、フィルムのテンション、フィルムの速度、回転ローラの速度、回転ローラの表面状態、塗布時の温度等の雰囲気、抱き角度等に依存すると考えられる。つまり、このような条件が変われば、介在塗布液の性状と膜厚みとの関係が変わると考えられる。
【００４６】
このため、実際の製造工程では、その製造条件の下で、介在塗布液の性状と膜厚みとの関係を求める必要があるが、それ以降の生産ではそのデータを参照して塗布条件を調整すれば良い。なお、これらの条件が変更となっても、介在塗布液の性状と、薄膜の膜厚みとの関係は、１対１の関係にある。
（５）塗布条件の調整について
上記の第１及び第２の実施の形態では、介在塗布液の性状を監視し、その結果に基づいて、オペレータが回転ローラの回転速度を調整している。しかしながら、介在塗布液の性状に基づいて、例えば、コンピュータにより回転ローラの回転速度を調整しても良い。以下、コンピュータを用いて自動調整を行う変形例について説明する。
【００４７】
図７は、介在塗布液の監視を行い、塗布条件を自動的に調整する管理部の機能ブロックである。
管理部８０は、具体的には、コンピュータを用いて行われ、例えば、同図に示すように、入力受付部８３、記憶部８４、判定部８５、調整部８６、データ処理部８７を有している。入力受付部８３は、例えば、キーボード８２を介してオペレータからの入力を受け付ける。具体的には製造する薄膜の膜厚みの他、介在塗布液の性状と薄膜の膜厚みとの関係等のデータが入力される。
【００４８】
受け付けたデータは判定部８５に出力され、記憶部８４に記憶される。なお、介在塗布液の性状と薄膜の膜厚みとの関係は、例えば、図３に示すような、Ｚ方向の変位ｈ０のデータと、この変位に対応する膜厚みのデータとを入力し、これらの隣接する点を直線的に結んで図３に示すような関係を得るようにしている。記憶部８４は、各種のデータを記憶するものであり、具体的には、入力受付部８３で受け付けたデータを、例えばテーブルに登録して記憶する。
【００４９】
データ処理部８７は、センサ６０から入力されたデータを処理する。具体的には、センサ６０から入力されたデータをＺ方向の変位ｈ０に変換している。変換された変位ｈ０は、判定部８５に出力される。なお、データ処理部８７は、例えば、センサ６０が第２の実施の形態で説明したようなＣＣＤカメラの場合では、例えば、ＡＤ変換、２値化処理、エッジ検出、画素数算出等の処理を行い、介在塗布液の幅Ｗに変換している。
【００５０】
判定部８５は、得ようとしている（オペレータから入力された）薄膜の膜厚みに対応する変位ｈ０を記憶部８４から読み出し、この読み出した変位ｈ０とデータ処理部８７から入力された変位ｈ０とを比較して、塗布条件の調整が必要か否かを判定する。なお、第１の実施の形態では、介在塗布液の厚みをＺ方向の変位ｈ０として測定しているが、前記変位ｈ０からフィルムの厚みを引いた数値を介在塗布液の厚みとして良い。
【００５１】
この判定は、具体的には、データ処理部８７から入力された変位ｈ０から、読み出した変位ｈ０を引いた差の絶対値が閾値より大きいか否かにより判定している。なお、閾値は、オペレータからキーボード８２を介して入力され、記憶部８４に記憶されている。
調整部８６は、判定部８５が塗布条件の調整が必要と判定したときに、塗布条件を調整する。具体的には、判定部８５の算出した差が「正」のときは、塗布液のコーティング量が多いことを示しており、コーティングローラ３３の速度を遅くするように駆動モータ３４の電圧を調整する。逆に判定部８５が算出した差が「負」のときは、塗布液のコーティング量が少ないことを示しており、コーティングローラ３３の速度を速くするように駆動モータ３４の電圧を調整する。
【００５２】
（６）薄膜について
上記の実施の形態では、薄膜の用途について特に限定していないが、この様な薄膜には、例えば、反射防止膜、波長フェイルー等の光学薄膜がある。しかしながら、本発明に係る薄膜の製造方法及び薄膜製造装置は、ガスバリア膜、磁気テープなどの各種保護膜、表面改質用膜（接着性やハード性の改良）、帯電防止用膜を製造する方法及び装置に適用できるのは、言うまでもない。
【００５３】
（７）抱き角度について
上記の実施の形態では、抱き角度が１．７度になっているが、この角度に限定するものではない。この抱き角度の範囲は、フィルムの剛性、フィルムと塗布液との濡れ性、フィルムの速度、フィルムのテンション、回転ローラの速度、塗布液の液特性等により左右され、実験等により所定の抱き角度が求められる。抱き角度の範囲としては、０度以上、１０度以下の範囲が好ましい。
【００５４】
（８）塗布液について
上記の実施の形態では、塗布液として、その液特性が線形性を示すものを使用しているが、液特性が非線形を示す塗布液を使用しても良い。但し、発明者らの実験によると、介在塗布液の性状と薄膜の膜厚みとの関係が１対１となる範囲が、線形性の塗布液の方が、非線形性の塗布液より広いことが判明している。このため、塗布液として線形性を示すものを使用する方が好ましいと考えられる。
【００５５】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る薄膜の製造方法は、走行フィルムに対し回転ローラ表面に供給された塗布液を接触させて、当該フィルムに前記塗布液を塗布し、薄膜を製造する薄膜の製造方法であって、前記回転ローラ表面とその表面上を走行するフィルム部位との間に介在する介在塗布液を対象として、その性状を監視し、監視結果により塗布液のフィルムへの塗布条件を調整している。この方法によれば、回転ローラによりフィルムに塗布液が塗布されるときの介在塗布液の性状に基づいて塗布液を塗布する条件を調整しているので、塗布条件を短時間で調整できる。このため、塗布条件を調整するまでの時間が短くなり、薄膜製造時の歩留まり、生産効率等を向上させることができる。
【００５６】
また、本発明に係る薄膜製造装置は、走行フィルムに対し回転ローラ表面に供給された塗布液を接触させて、当該フィルムに前記塗布液を塗布し、薄膜を製造する薄膜製造装置であって、前記回転ローラ表面とその表面上を走行するフィルム部位との間に介在する介在塗布液を対象として、その性状を監視する監視手段と、前記監視結果により塗布液のフィルムへの塗布条件を調整するための調整手段とを備えている。このため、塗布条件を短時間で調整でき、薄膜製造時の歩留まり、生産効率等を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態における薄膜製造装置の概略を示す構成図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態における塗布部周辺を示す拡大図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態におけるＺ方向の変位と薄膜の膜厚との関係を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態におけるＺ方向の変位とスピード比率との関係を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態における塗布部周辺を示す拡大図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態における介在塗布液の幅とＺ方向の変位との関係を示す図である。
【図７】実施の形態に対する変形例であって、介在塗布液の監視を自動的に行う場合の機能ブロックである。
【図８】従来の技術における薄膜製造装置の概略を示す構成図である。
【符号の説明】
１　　薄膜製造装置
１０　　フィルム
２０　　繰り出し部
２１　　駆動モータ
３０　　コーティング部
３１　　塗布液
３１ａ　介在塗布液
３３　　コーティングローラ
３４　　駆動モータ
４０　　膜形成部
６０　　センサ
７０　　調整部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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