(57)【要約】【課題】小型化、省エネルギー化、ならびに低コスト化を実現しつつ、特定物質を効率よく分解すること。【解決手段】排ガス４中の除去対象である特定物質を吸着および離脱する吸脱着ユニット１と、吸脱着ユニット１の後段に配置され、グロー放電を生じさせる電極および触媒を備え、グロー放電を起こすことによって、吸脱着ユニット１から脱着された特定物質を含むガスを分解処理する放電分解処理ユニット２とを備える。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガス中の特定物質を除去する排ガス処理方法において、
前記排ガスに含まれる特定物質を吸脱着ユニットに吸着させ、当該吸脱着ユニットに離脱用キャリアガスを導入して前記吸着された特定物質の離脱を行なう吸脱着工程と、
前記離脱した特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを放電分解処理ユニットに導入して放電分解処理を行なう放電分解処理工程とからなり、
前記吸脱着工程と前記放電分解処理工程とを順次繰り返すようにしたことを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項２】
前記請求項１に記載の排ガス処理方法において、
前記吸脱着工程で吸着された特定物質を離脱するために、加熱手段により加熱を行なうようにしたことを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項３】
前記請求項１に記載の排ガス処理方法において、
前記吸脱着工程で前記吸脱着ユニットを複数個配置して、順次脱着を繰り返し行ない、前記放電分解処理工程を連続稼動させるようにしたことを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項４】
前記請求項３に記載の排ガス処理方法において、
前記特定物質を吸着する複数個の吸脱着ユニットを直列に配置するようにしたことを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項５】
前記請求項３に記載の排ガス処理方法において、
一つの前記吸脱着ユニットに互いに異なった前記特定物質を吸着する複数の吸着材料を配置するか、
もしくは、前記吸脱着ユニット毎に互いに異なった前記特定物質を吸着する吸着材料を配置するようにしたことを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項６】
前記請求項１に記載の排ガス処理方法において、
前記吸脱着工程で特定物質が吸着除去された排ガスと、前記特定物質の放電分解処理後の排ガスとを導入して処理を行なう排ガス処理工程を付加して成ることを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項７】
前記請求項６に記載の排ガス処理方法において、
前記排ガス処理工程では、排ガスを、吸着処理、もしくはオゾン処理するようにしたことを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項８】
排ガス中の特定物質を除去する排ガス処理システムにおいて、
前記排ガスに含まれる特定物質の吸着、および離脱用キャリアガスを導入して前記吸着された特定物質の離脱を行なう吸脱着ユニットと、
前記吸脱着ユニットにおいて離脱した特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを導入して放電分解処理を行なう放電分解処理ユニットと、
を備えて成ることを特徴とする排ガス処理システム。
【請求項９】
前記請求項８に記載の排ガス処理システムにおいて、
前記吸脱着ユニットで吸着された特定物質を離脱するために加熱を行なう加熱手段を付加して成ることを特徴とする排ガス処理システム。
【請求項１０】
前記請求項８に記載の排ガス処理システムにおいて、
前記吸脱着ユニットを複数個配置して、当該各吸脱着ユニットを順次繰り返し動作させ、前記放電分解処理ユニットを連続稼動させるようにしたことを特徴とする排ガス処理システム。
【請求項１１】
前記請求項１０に記載の排ガス処理システムにおいて、
前記特定物質を吸着する複数個の吸脱着ユニットを直列に配置するようにしたことを特徴とする排ガス処理システム。
【請求項１２】
前記請求項１０に記載の排ガス処理システムにおいて、
一つの前記吸脱着ユニットに互いに異なった前記特定物質を吸着する複数の吸着材料を配置するか、
もしくは、前記吸脱着ユニット毎に互いに異なった前記特定物質を吸着する吸着材料を配置するようにしたことを特徴とする排ガス処理システム。
【請求項１３】
前記請求項８に記載の排ガス処理システムにおいて、
前記吸脱着ユニットで特定物質が吸着除去された排ガスと、前記放電分解処理ユニットで特定物質が放電分解処理された後の排ガスとを導入して処理を行なう排ガス処理ユニットを付加して成ることを特徴とする排ガス処理システム。
【請求項１４】
前記請求項１３に記載の排ガス処理システムにおいて、
前記排ガス処理ユニットとしては、排ガスを、吸着処理、もしくはオゾン処理するものを用いるようにしたことを特徴とする排ガス処理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば工場や自動車、印刷機、あるいは印刷加工機から排出される排ガス中に含まれる、特定物質を除去する排ガス処理方法および排ガス処理システムに係り、特に小型化、省エネルギー化、ならびに低コスト化を実現しつつ、特定物質を効率よく分解できるようにした排ガス処理方法および排ガス処理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近の産業の発展に伴なって、種々の化学物質が鉱工業生産の中で使用されるようになり、その生産過程で生じる化学物質も多く、中には環境や人体に大きな影響を与えるものもあるため、それらを排ガスや排水に含んだまま、大気中や水域（河川、海、湖水、下水等）に排出することは許されず、厳しい排出規制に基づいた処理が要求されている。
【０００３】
近年では、ＰＲＴＲ（Ｐｏｌｌｕｔａｎｔ　Ｒｅｌｅａｓｅ　ａｎｄ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ　Ｒｅｇｉｓｔｅｒ）法として、１９９９（平成１１）年に、「特定化学物質の環境への排出量の把握等及び管理の改善の促進に関する法律」が制定され、特定化学物質は厳格な管理が必要になってきている。
【０００４】
また、自動車等の化石燃料を使用する燃焼機関から排出される排ガスに含まれる大気汚染物資（ＮＯｘ、ＳＯｘ、ＣＯ、ＣＯ２）についても、同様に厳しい規制が設けられている。
【０００５】
このような人体、環境に有害なあるいは有害の恐れのある排ガス中の規制物質は、排出前に回収、無害物質化処理や無害成分に分解処理を要求されている。
【０００６】
そこで、無害物質化処理や無害成分に分解処理することを目的とした、種々の排ガス（有害ガス）処理装置が提案されている。
【０００７】
当該分野における、現在の排ガス処理装置の主流としては、活性炭吸着回収方式や、直接燃焼方式、触媒燃焼方式等である。
【０００８】
活性炭吸着回収方式は、排ガス中の特定物質の吸着に適した、例えば活性炭やゼオライト等の吸着物質により吸着回収処理する方式である。
【０００９】
直接燃焼方式は、可燃性ガスをバーナーで燃焼させた後、熱交換器で熱交換を行なうことにより、排ガスを、十分な滞留時間の確保により燃焼させて、炭酸ガスと水蒸気に分解処理する方式である。
【００１０】
触媒燃焼方式は、排ガスを、可燃性ガスをバーナーで燃焼させて予熱した後、触媒により低温で炭酸ガスと水蒸気に分解処理し、処理後の排気熱を熱交換器で廃熱回収する方式である。
【００１１】
一方、最近では、有害物質の無害化に関する研究開発として、曝気処理、微生物による分解、紫外線分解、触媒分解等が行なわれており、プラズマによる分解処理も研究され始めてきている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの従来の技術による排ガス処理においては、次のような解決すべき課題がある。
【００１３】
すなわち、まず、活性炭吸着回収方式では、吸着量に限界があるため、大量の排ガスを処理する必要がある場合には適さない。
【００１４】
また、直接燃焼方式では、可燃性ガスの使用量が大きいため、ランニングコストが高くなるばかりでなく消費エネルギーも大きくなり、またバーナーや熱交換器が大型となるため、装置の小型化を図る上で好ましくない。
【００１５】
さらに、触媒燃焼方式では、可燃性ガスの使用量が大きいのに加えて、触媒も使用するため、ランニングコストが高くなるばかりでなく、消費エネルギーも大きくなり、またバーナーや熱交換器が大型となるため、装置の小型化を図る上で好ましくない。
【００１６】
一方、曝気処理、微生物による分解では、処理速度が遅い、高い処理能力を得るのに多量の微生物が必要である、処理工程において気体処理が難しい、ランニングコストが高いという課題がある。
【００１７】
また、紫外線分解では、高濃度処理が難しい、処理工程においてＵＶランプが必要である、ランプ交換が必要でコストが高いという課題がある。
【００１８】
さらに、触媒分解では、処理速度が遅い、高い処理能力を得られない、処理工程において触媒の交換頻度が高い、ランニングコストが高いという課題がある。
【００１９】
また、プラズマによる分解処理では、処理速度が速いが処理量が小さい、低濃度処理が難しい、処理工程において大型でかつ電力消費が大きい、コストが高いという課題がある。
【００２０】
さらに、複数の物質を対象とする場合には、各々処理手段を用意する必要がある。
【００２１】
以上のような観点から、現状の社会事情を考慮した場合、対象市場としては中小企業が多く、設備投資、ランニングコスト、省エネルギー化と共に、低コスト化を図ることが必須となってきているのが実状である。
【００２２】
本発明の目的は、小型化、省エネルギー化、ならびに低コスト化を実現しつつ、特定物質を効率よく分解することが可能な排ガス処理方法および排ガス処理システムを提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に対応する発明では、排ガス中の特定物質を除去する排ガス処理方法において、排ガスに含まれる特定物質を吸脱着ユニットに吸着させ、当該吸脱着ユニットに離脱用キャリアガスを導入して吸着された特定物質の離脱を行なう吸脱着工程と、離脱した特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを放電分解処理ユニットに導入して放電分解処理を行なう放電分解処理工程とからなり、吸脱着工程と放電分解処理工程とを順次繰り返すようにしている。
【００２４】
従って、請求項１に対応する発明の排ガス処理方法においては、排ガス中のトルエン、キシレン類等の特定物質の吸着、および当該吸着された特定物質の離脱を吸脱着工程で行ない、吸脱着工程での吸着処理中は放電分解処理工程に対する排ガスの導入を止め、吸着処理停止後に、離脱により濃縮された特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスの放電分解処理を放電分解処理工程で行なうことにより、吸脱着工程の再生・再利用が可能であると共に、特定物質の離脱時のみに放電分解処理を効率的に行なうことが可能である（不連続工程である）。
これにより、前述した従来方式のように、可燃性ガスや触媒を使用しないで済むため、省エネルギー化、ならびに低コストを実現することができ、さらにバーナーや熱交換器等も使用しないで済むため、システムの小型化を実現することができる。
【００２５】
また、請求項２に対応する発明では、上記請求項１に対応する発明の排ガス処理方法において、吸脱着工程で吸着された特定物質を離脱するために、加熱手段により加熱を行なうようにしている。
【００２６】
従って、請求項２に対応する発明の排ガス処理方法においては、吸脱着工程で吸着された特定物質を離脱する時に加熱を行なうことにより、特定物質の離脱をより行ない易くすることができる。
【００２７】
さらに、請求項３に対応する発明では、上記請求項１に対応する発明の排ガス処理方法において、吸脱着工程で吸脱着ユニットを複数個配置して、順次脱着を繰り返し行ない、放電分解処理工程を連続稼動させるようにしている。
【００２８】
従って、請求項３に対応する発明の排ガス処理方法においては、吸脱着工程で吸脱着ユニットを複数個配置して、吸着−離脱工程を順次繰り返し行ない、離脱された特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを放電分解処理工程に導入して放電分解処理を行なうことにより、放電分解処理工程の連続運転が可能となる。
これにより、全体として放電分解処理工程を連続稼動させることができるため、全体の運転効率をより一層向上させて、より一層大量の排ガスを処理することができる。
また、放電分解処理ユニット容量が、一つの吸脱着ユニット容量に見合ったもので済むため、部分的な小型化を実現することもできる。
【００２９】
さらにまた、請求項４に対応する発明では、上記請求項３に対応する発明の排ガス処理方法において、特定物質を吸着する複数個の吸脱着ユニットを直列に配置するようにしている。
【００３０】
従って、請求項４に対応する発明の排ガス処理方法においては、特定物質を吸着する吸脱着ユニットを複数個直列に配置することにより、特定物質の吸着量をコントロールすることができる。
【００３１】
一方、請求項５に対応する発明では、上記請求項３に対応する発明の排ガス処理方法において、一つの吸脱着ユニットに互いに異なった特定物質を吸着する複数の吸着材料を配置するか、もしくは、吸脱着ユニット毎に互いに異なった特定物質を吸着する吸着材料を配置するようにしている。
【００３２】
従って、請求項５に対応する発明の排ガス処理方法においては、一つの吸脱着ユニットに、互いに異なった特定物質を吸着する複数の吸着材料を配置するか、もしくは、吸脱着ユニット毎に、互いに異なった特定物質を吸着する吸着材料を配置することにより、排ガスが混合ガスであるような場合に、複数種類の特定物質を容易に吸着することができる。
【００３３】
また、請求項６に対応する発明では、上記請求項１に対応する発明の排ガス処理方法において、吸脱着工程で特定物質が吸着除去された排ガスと、特定物質の放電分解処理後の排ガスとを導入して処理を行なう排ガス処理工程を付加している。
【００３４】
従って、請求項６に対応する発明の排ガス処理方法においては、吸脱着工程で特定物質を吸着除去された排ガスと、放電分解処理工程で特定物質を放電分解処理した後の排ガスとを、排ガス処理ユニットに導入して処理を行なうことにより、大気中に放出してならないものは放電分解処理により積極的に処理を行ない、特定物質以外の大気中に放出しない方が望ましいものについても付加的に処理を行なうことが可能となるため、環境への影響をより一層低減させることができる。
【００３５】
さらに、請求項７に対応する発明では、上記請求項６に対応する発明の排ガス処理方法において、排ガス処理工程では、排ガスを、吸着処理、もしくはオゾン処理するようにしている。
【００３６】
従って、請求項７に対応する発明の排ガス処理方法においては、排ガス処理工程での排ガスの処理を、吸着処理、もしくはオゾン処理で行なうことにより、排ガスの処理をより一層簡単に行なうことができる。
【００３７】
一方、請求項８に対応する発明では、排ガス中の特定物質を除去する排ガス処理システムにおいて、排ガスに含まれる特定物質の吸着、および離脱用キャリアガスを導入して吸着された特定物質の離脱を行なう吸脱着ユニットと、吸脱着ユニットにおいて離脱した特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを導入して放電分解処理を行なう放電分解処理ユニットとを備えている。
【００３８】
従って、請求項８に対応する発明の排ガス処理システムにおいては、排ガス中のトルエン、キシレン類等の特定物質の吸着、および当該吸着された特定物質の離脱を吸脱着ユニットで行ない、吸脱着ユニットでの吸着処理中は放電分解処理ユニットに対する排ガスの導入を止め、吸着処理停止後に、離脱により濃縮された特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスの放電分解処理を放電分解処理ユニットで行なうことにより、吸脱着ユニットの再生・再利用が可能であると共に、特定物質の離脱時のみに放電分解処理を効率的に行なうことが可能である（不連続工程である）。
これにより、前述した従来方式のように、可燃性ガスや触媒を使用しないで済むため、省エネルギー化、ならびに低コストを実現することができ、さらにバーナーや熱交換器等も使用しないで済むため、システムの小型化を実現することができる。
【００３９】
また、請求項９に対応する発明では、上記請求項８に対応する発明の排ガスシステムにおいて、吸脱着ユニットで吸着された特定物質を離脱するために加熱を行なう加熱手段を付加している。
【００４０】
従って、請求項９に対応する発明の排ガス処理システムにおいては、吸脱着ユニットで吸着された特定物質を離脱する時に、加熱手段で加熱を行なうことにより、特定物質の離脱をより行ない易くすることができる。
【００４１】
さらに、請求項１０に対応する発明では、上記請求項８に対応する発明の排ガス処理システムにおいて、吸脱着ユニットを複数個配置して、当該各吸脱着ユニットを順次繰り返し動作させ、放電分解処理ユニットを連続稼動させるようにしている。
【００４２】
従って、請求項１０に対応する発明の排ガス処理システムにおいては、吸脱着ユニットを複数個配置して、吸着−離脱動作を順次繰り返し行ない、離脱された特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを放電分解処理ユニットに導入して放電分解処理を行なうことにより、放電分解処理ユニットの連続運転が可能となる。
これにより、全体として放電分解処理ユニットを連続稼動させることができるため、全体の運転効率をより一層向上させて、より一層大量の排ガスを処理することができる。
また、放電分解処理ユニット容量が、一つの吸脱着ユニット容量に見合ったもので済むため、部分的な小型化を実現することもできる。
【００４３】
さらにまた、請求項１１に対応する発明では、上記請求項１０に対応する発明の排ガス処理システムにおいて、特定物質を吸着する複数個の吸脱着ユニットを直列に配置するようにしている。
【００４４】
従って、請求項１１に対応する発明の排ガス処理システムにおいては、特定物質を吸着する吸脱着ユニットを複数個直列に配置することにより、特定物質の吸着量をコントロールすることができる。
【００４５】
一方、請求項１２に対応する発明では、上記請求項１０に対応する発明の排ガス処理システムにおいて、一つの吸脱着ユニットに互いに異なった特定物質を吸着する複数の吸着材料を配置するか、もしくは、吸脱着ユニット毎に互いに異なった特定物質を吸着する吸着材料を配置するようにしている。
【００４６】
従って、請求項１２に対応する発明の排ガス処理システムにおいては、一つの吸脱着ユニットに、互いに異なった特定物質を吸着する複数の吸着材料を配置するか、もしくは、吸脱着ユニット毎に、互いに異なった特定物質を吸着する吸着材料を配置することにより、排ガスが混合ガスであるような場合に、複数種類の特定物質を容易に吸着することができる。
【００４７】
また、請求項１３に対応する発明では、上記請求項８に対応する発明の排ガス処理システムにおいて、吸脱着ユニットで特定物質が吸着除去された排ガスと、放電分解処理ユニットで特定物質が放電分解処理された後の排ガスとを導入して処理を行なう排ガス処理ユニットを付加している。
【００４８】
従って、請求項１３に対応する発明の排ガス処理システムにおいては、吸脱着ユニットで特定物質を吸着除去された排ガスと、放電分解処理ユニットで特定物質を放電分解処理した後の排ガスとを、排ガス処理ユニットに導入して処理を行なうことにより、大気中に放出してならないものは放電分解処理により積極的に処理を行ない、特定物質以外の大気中に放出しない方が望ましいものについても付加的に処理を行なうことが可能となるため、環境への影響をより一層低減させることができる。
【００４９】
さらに、請求項１４に対応する発明では、上記請求項１３に対応する発明の排ガス処理システムにおいて、排ガス処理ユニットとしては、排ガスを吸着処理、もしくはオゾン処理するものを用いるようにしている。
【００５０】
従って、請求項１４に対応する発明の排ガス処理システムにおいては、排ガス処理ユニットでの排ガスの処理を、吸着処理、もしくはオゾン処理で行なうことにより、排ガスの処理をより一層簡単に行なうことができる。
【００５１】
【発明の実施の形態】
本発明は、例えば工場や自動車、印刷機、あるいは印刷加工機から排出される排ガス中の特定物質（例えば、トルエン、キシレン類等の有機化合物）の吸着、および当該吸着された特定物質の離脱を吸脱着工程（ユニット）で行ない、吸脱着工程（ユニット）での吸着処理中は放電分解処理工程（ユニット）に対する排ガスの導入を止め、吸着処理停止後に、離脱により濃縮された特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスの放電分解処理を放電分解処理工程（ユニット）で行なうようにすることにより、吸脱着工程の再生・再利用が可能であると共に、特定物質の離脱時のみに放電分解処理を効率的に行なうことを可能とし（不連続工程とし）、これにより、小型化、省エネルギー化、ならびに低コストを実現しつつ、特定物質を効率よく分解するものである。
【００５２】
以下、上記のような考え方に基づく本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００５３】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態による排ガス処理方法を実現するための排ガス処理システムの構成例を示す概要図である。
【００５４】
すなわち、本実施の形態による排ガス処理システムは、図１に示すように、吸脱着ユニット１と、放電分解処理ユニット２と、排ガス処理ユニットであるフィルターユニット３とから構成している。
【００５５】
吸脱着ユニット１は、図示しない排出源から排出された排ガス４中に含まれる除去対象である特定物質の吸着、および離脱用キャリアガスを導入して吸着された特定物質の離脱を行なう。
【００５６】
放電分解処理ユニット２は、詳細を後述するが、吸脱着ユニット１の後段に配置され、吸脱着ユニット１において離脱した特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを導入して放電分解処理を行なう。
【００５７】
この放電分解処理ユニット２としては、例えばグロー放電を生じさせる電極および触媒を備え、グロー放電を起こすことによって、吸脱着ユニット１から脱着された特定物質を含むガスを励起し、分解処理するユニットを用いることができる。
【００５８】
なお、対象ガス（特定物質）により、コロナ放電、またはアーク放電が良い場合もある。
【００５９】
フィルターユニット３は、放電分解処理ユニット２の後段に配置され、吸脱着ユニット１で特定物質が吸着除去された排ガスと、放電分解処理ユニット２で特定物質が放電分解処理された後の排ガスとを導入して処理を行なう。
【００６０】
このフィルターユニット３としては、例えば活性炭を主体とした排ガス中のオゾンを吸着処理するフィルターを用いることができ、またＣＯ（一酸化炭素）の場合は酸化マンガン系というように、分解後の副生成物によりフィルター成分が適宜選択される。
【００６１】
次に、これらについて、より具体的に説明する。
【００６２】
まず、吸脱着ユニット１は、入側および出側の環状の枠材１ａの間を互いに連結するように取り付けられた筒状の吸着材料１ｂと、入側の枠材１ａの前段に配置され、回転によって導入口１ｃから排ガス４を導入する誘引ファン１ｄと、吸着材料１ｂの内部に図示のように設けられた錐状の障害部材１ｅと、出側の枠材１ａに図示のように設けられ、吸着された特定物質を離脱するために加熱を行なう加熱手段としてのヒーター１ｆとから構成している。
【００６３】
ここで、導入口１ｃからは、吸脱着ユニット１における離脱用キャリアガスも導入可能としている。
【００６４】
また、ヒーター１ｆは、図示しない電源から電力が供給されて発熱するようにしている。
【００６５】
一方、放電分解処理ユニット２は、その入側を吸脱着ユニット１の排出口１ｇに、ガス導入管５、遮断弁６１を介して連結すると共に、その出側を、フィルターユニット３の入側に、ガス導入管７、遮断弁６２を介して連結している。
【００６６】
また、これらガス導入管５、遮断弁６１、放電分解処理ユニット２、ガス導入管７、遮断弁６２をバイパスするように、ガス導入管５とガス導入管７との間には、遮断弁６３、遮断弁６４を介してガスバイパス管８を連結している。
【００６７】
さらに、フィルターユニット３は、容器内部に充填された活性炭３ａと、ユニットの出側に配置され、回転によって排気口３ｂからガス９を排気する誘引ファン３ｃとから構成している。
【００６８】
なお、上記遮断弁６１、遮断弁６２、遮断弁６３、遮断弁６４は、上記吸脱着ユニット１における吸脱着工程、放電分解処理ユニット２における放電分解処理工程に応じて、弁コントローラ７０により自動的に開閉制御されるようにしている。
【００６９】
次に、上記放電分解処理ユニット２について、より詳細に説明する。
【００７０】
図２は、放電分解処理ユニット２の具体的な一構成例を示す断面図である。
【００７１】
なお、図２では、チューブ型の放電分解処理ユニット２の場合を例として示している。
【００７２】
図２において、放電分解処理ユニット２は、内部電極１１と、外部電極１２と、容器１３と、第１の触媒１４と、第２の触媒１５と、第３の触媒１６と、ガスＡを通すガス注入管２０と、ガスＣを通すガス排出管２２と、窓枠２３と、フィルター２４と、電源３０とを備えている。
【００７３】
内部電極１１および外部電極１２は、例えば銅から構成され、電源３０が内部電極１１と外部電極１２との間に交流電力を供給することで、グロー放電を生成する。
【００７４】
容器１３は、硝子等の誘電体材料からなる円形の管である。
【００７５】
図２に示すように、内部電極１１は、棒形状であり、容器１３の内部に挿入される。
【００７６】
外部電極１２は、容器２３の周囲を覆う円形状の管であり、図２に矢印で示される方向に可動自在となっている。
【００７７】
電源３０から、内部電極１１と外部電極１２との間に交流電力を供給すると、内部電極１１と外部電極１２との間で、容器１３を介してグロー放電が生成される。
【００７８】
すなわち、外部電極１２に覆われる領域で、内部電極１１と容器１３との間の空間にグロー放電が発生する。
【００７９】
この領域は、放電領域として図２に示している。
【００８０】
ガスＡは、ガス注入管２０を介して注入され、容器１３の内部に送られる。
【００８１】
ここで、ガスＡは、グロー放電にさらされる。
【００８２】
内部電極１１には、少なくとも２つの異なった金属触媒のコーティング層が設けられる。
【００８３】
一方の金属触媒は、ガスＡを励起するのに用いられ、他方の金属触媒は、ガスＡを活性化するのに用いられる。
【００８４】
一つ以上の金属触媒が、ガスＡの励起用に設けられてもよく、また一つ以上の金属触媒が、ガスＡの活性化用に設けられてもよい。
【００８５】
図２において、励起用の２つの金属触媒層、すなわち第１の触媒１４、および第２の触媒１５は、それぞれ内部電極１１の表面に設けられており、活性化用の一つの金属触媒層である第３の触媒１６が、内部電極１１の表面で棒の端に設けられる。
【００８６】
第１の触媒１４、および第２の触媒１５は、それぞれ異なったガスの励起に用いられる。
【００８７】
例えば、ガスＡは、メタンと炭酸ガス（ＣＯ２）等、異なった２つのガスが混合されたものであるとする。
【００８８】
メタンの励起のためには、例えばロジウムが適した触媒であり、炭酸ガス（ＣＯ２）を励起するためには、例えばニッケルが適切な触媒である。
【００８９】
このように、注入ガスＡが異なったガスの混合ガスである場合、各ガスを励起するのに適した触媒を別々に設ければ、これは非常に有用である。
【００９０】
ガスＡは、グロー放電と、第１の触媒１４および第２の触媒１５の補助的な働きとによって励起され、放電領域から第３の触媒１６が設けられる領域へと移動する。
【００９１】
第３の触媒１６の助けによって、励起されたガスＡは、化学反応のために活性化され、励起されて活性化されたガスＡが、ガスＣとしてガス排出管２２を介して送り出される。
【００９２】
前述のように、外部電極１２は、図２の矢印で示される方向に可動自在であり、この動きによって、図２に示される長さＬを調整する。
【００９３】
ここで、長さＬは、放電領域の最終端とガスＣが排出されるガス排出管２２との間の距離である。
【００９４】
放電領域で励起されたガスＡは、固有のライフタイムを有する。
【００９５】
従って、外部電極１２を動かして長さＬを調整することによって、どのくらいの率で、励起されたガスＡが励起されたままの状態で排出されるかを制御することができる。
【００９６】
フィルター２４は、ガスＡがガス排出管２２に排出される位置の脇に設けられ、放電領域がフィルター２４を介して観察できるようになっている。
【００９７】
フィルター２４は、グロー放電が発生する近赤外線を、外部に設けられた装置（図示せず）によって観察する。
【００９８】
近赤外線放射をスペクトル解析することによって、励起されたガスのライフタイム等の条件を測定することができる。
【００９９】
これらの測定結果は、長さＬを調整するためにフィードバックされる。
【０１００】
なお、上記において、排ガス４は、除去対象である特定物質を含むガスである。
【０１０１】
例えば、製造装置からの排気、工場内の雰囲気、車等の排気ガスである。
【０１０２】
一方、吸脱着ユニット１において、吸着材料１ｂは、除去対象である特定物質を吸着する材料を用いて構成している。
【０１０３】
例えば、図１に示すように、吸着材料１ｂ内に処理対象である特定物質を含む排ガス４が導入されると、筒状の吸着材料１ｂの内壁に、除去対象である特定物質が吸着される。
【０１０４】
この吸着材料１ｂとしては、上記化学物質の材料によって異なるが、例えばセラミック材料が挙げられる。
【０１０５】
具体的には、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）とシリカ（ＳｉＯ２）の化合物が挙げられる。
【０１０６】
また、それに酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を添加した材料が挙げられる。
【０１０７】
さらに、錐状の障害部材１ｅは、導入された排ガス４が、障害部材１ｅに衝突することによって、吸着材料１ｂの内壁に向かう方向に流れが変わり、吸着材料１ｂの内面に排ガス４が衝突して、吸着され易いようにするためのものである。
【０１０８】
一方、放電分解処理ユニット２において、触媒（第１の触媒１４、第２の触媒１５、第３の触媒１６）は、放電分解処理ユニット２における前記分解処理を促進させるためのものである。
【０１０９】
この触媒は、前記特定物質が何であるかによって選択される。
【０１１０】
また、この触媒は、前記電極上に設けられていてもよい。
【０１１１】
一方、フィルターユニット３としては、フィルター材料である活性炭３ａとして、例えばやし殻活性炭を容器内部に備えたフィルターが挙げられる。
【０１１２】
また、特定物質を吸着した後の排ガスは、多種類の物質を含んでいることもある。
【０１１３】
そのため、このような場合には、汎用性の高い、すなわち多くの種類の物質を吸着できるフィルター材料を用いることが好ましい。
【０１１４】
次に、以上のように構成した本実施の形態の排ガス処理システムにおける排ガス処理方法について、図１を用いて説明する。
【０１１５】
図１において、吸脱着ユニット１では、誘引ファン１ｄを回転させることによって、導入口１ｃから排ガス４が導入される。
【０１１６】
例えば、本実施の形態のシステムを、印刷機に取り付けたような場合には、印刷機から発生する排ガス（有機溶剤の揮発ガス）４が、誘引ファン１ｄを回転させることによって、導入口１ｃから導入される。
【０１１７】
この導入された排ガス４は、枠材１ａに取り付けた筒状の吸着材料１ｂによって、特定物質が吸着される。
【０１１８】
この場合、吸着材料１ｂは、吸着を繰り返すうちに寿命がくることや、吸着対象となる化学物質の種類によって変える必要があるため、交換可能なように構成することが好ましい。
【０１１９】
また、排ガス４が、吸脱着ユニット１を複数回通過するように、前後２段、あるいはそれ以上設けるようにしてもよい。
【０１２０】
かかる吸着工程においては、弁コントローラ７０の制御により、遮断弁６１、遮断弁６２は閉じており、遮断弁６３、遮断弁６４が開いている。
【０１２１】
これにより、吸着工程で特定物質が吸着されたガスは、放電分解処理ユニット２を通らずに、遮断弁６３、ガスバイパス管８、遮断弁６４を介して迂回し、排出される。
【０１２２】
すなわち、吸着工程で特定物質が吸着された後の排ガスは、特定物質を処理する放電分解処理ユニット２を通過しないで排出される。
【０１２３】
この場合でも、特定物質は、吸着材料１ｂで既に吸着されているため、放電分解処理ユニット２を通過しないでそのまま排出されても、大気汚染等の問題はない。
【０１２４】
しかしながら、特定物質以外でも、環境上好ましくない物質を含む場合もあり得るため、さらに環境への影響を低減させるために、何らかの処理をすることは好ましい。
【０１２５】
この点、本実施の形態では、特定物質を処理する放電分解処理ユニット２とは別に、放電分解処理ユニット２の後段にフィルターユニット３を配置していることにより、特定物質が吸着されたガスは、活性炭３ａを主体としたフィルターユニット３に導入されてから、大気中に排出されることになる。
【０１２６】
これにより、環境への影響を低減させることができる。
【０１２７】
次に、以上のようにして、所定量の排ガス４が処理されると、吸着工程が終了後、離脱工程に移行する。
【０１２８】
離脱工程においては、前記吸着工程の時とは逆に、弁コントローラ７０の制御により、遮断弁６３、遮断弁６４が閉じられて、遮断弁６１、遮断弁６２遮断弁１、３が開けられる。
【０１２９】
吸着材料１ｂに吸着された特定物質は、導入口１ｃから別途導入される離脱用キャリアガスによって脱着され、ガス導入管５を通して放電分解処理ユニット２に送られる。
【０１３０】
これにより、放電分解処理ユニット２では、図２により前述したような作用によって、吸脱着ユニット１から離脱された特定物質を含むガスが分解処理される。
【０１３１】
ここで、吸脱着ユニット１が一つの場合には、離脱工程が行なわれている間は、吸脱着ユニット１への排ガス４の導入は中断される。
【０１３２】
なお、離脱工程で用いる離脱用キャリアガスとしては、離脱される特定物質によって、放電分解処理ユニット２での処理が行ない易いかどうか、放電分解処理ユニット２で処理された後のガスとしてどのようなものが望まれるか、等によって決定される。
【０１３３】
例えば、エアーを用いるようにしてもよい。
【０１３４】
その場合には、工場の外気を取り込んで、そのまま離脱用キャリアガスとして使用することができる。
【０１３５】
あるいは、酸素ガスや窒素ガス等を、適宜選択することができる。
【０１３６】
離脱に当たっては、離脱用キャリアガスが吸着材料内に送りこまれると共に、ヒーター１ｆで吸着材料１ｂが加熱されることによって、離脱が行なわれる。
【０１３７】
ここで、離脱された特定物質は、離脱用キャリアガスと共に、放電分解処理ユニット２に送りこまれることになるため、下記のような因子によって、放電分解処理ユニット２に送る際の条件が決定される。
【０１３８】
放電分解処理ユニット２で適切な分解処理が行なわれるように、すなわちどの程度の特定物質をどの程度分解することが必要というような目的から、条件が決定される。
【０１３９】
（条件の決定因子）
１．吸着されている量（吸着工程で制御）
２．離脱用キャリアガス種類
３．補助手段条件（ヒーター１ｆ加熱条件、光照射強度等）
４．離脱用キャリアガスの流量、風速
５．離脱用キャリアガスの温度、濃度
以上のような吸脱着工程を経ることによって、特定物質を高い濃度で含むガスを放電分解処理ユニット２に送ることができ、また不純物の量も少ないために、高い効率で放電分解処理ユニット２での処理を行なうことができる。
【０１４０】
さらに、放電分解処理ユニット２の劣化も防止することができる。
【０１４１】
これにより、放電分解処理ユニット２で分解処理されたガスは、遮断弁６２、ガスバイパス管８を通して、フィルターユニット３に導入され、前述したように環境への影響を低減させた状態で、大気中に排出されることになる。
【０１４２】
上述したように、本実施の形態による排ガス処理方法および排ガス処理システムでは、排ガス４中の特定物質の吸着、および当該吸着された特定物質の離脱を吸脱着ユニット１で行ない、吸脱着ユニット１での吸着処理中は放電分解処理ユニット２に対する排ガスの導入を止め、吸着処理停止後に、離脱により濃縮された特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスの放電分解処理を放電分解処理ユニット２で行なうようにしているので、吸脱着ユニット１の再生・再利用が可能であると共に、特定物質の離脱時のみに放電分解処理を効率的に行なうことが可能である（不連続工程である）。
【０１４３】
これにより、前述した従来方式のように、可燃性ガスや触媒を使用しないで済むため、省エネルギー化、ならびに低コストを実現することができ、さらにバーナーや熱交換器等も使用しないで済むため、システムの小型化を実現することができる。
【０１４４】
また、吸脱着ユニット１で吸着された特定物質を離脱する時に、加熱手段であるヒーター１ｆで加熱を行なうようにしているので、特定物質の離脱をより行ない易くすることができる。
【０１４５】
さらに、吸脱着ユニット１で特定物質を吸着除去された排ガスと、放電分解処理ユニット２で特定物質を放電分解処理した後の排ガスとを、フィルター処理ユニット３に導入して処理を行なうようにしているので、大気中に放出してならないものは放電分解処理ユニット２において放電分解処理により積極的に処理を行ない、特定物質以外の大気中に放出しない方が望ましいものについてもフィルター処理ユニット３において付加的に処理を行なうことが可能となる。
【０１４６】
換言すれば、吸脱着ユニット１において触媒に吸着対象とされなかった化学物質、および放電分解処理ユニット２において副次的に発生する恐れのある化学物質を吸着することが可能となる。
【０１４７】
これにより、特定物質を含む排ガス４をより一層確実に処理して分解することができ、除去対象である特定物質以外の他の化学物質が大気中に排出されるのを抑制することができ、環境への影響をより一層低減させることができる。
【０１４８】
さらにまた、フィルター処理ユニット３での排ガスの処理を、吸着処理で行なうようにしているので、排ガスの処理をより一層簡単に行なうことができる。
【０１４９】
（第２の実施の形態）
図３は、本実施の形態による排ガス処理方法を実現するための排ガス処理システムの構成例を示す概要図であり、図１と同一要素には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１５０】
すなわち、本実施の形態では、図３に示すように、前述した吸脱着ユニット１を、並列に複数個配置して、当該各吸脱着ユニットを順次繰り返し動作させ、放電分解処理ユニット２を連続稼動させる構成としている。
【０１５１】
本例では、吸脱着ユニット１Ａ、および吸脱着ユニット１Ｂの２個の吸脱着ユニットを備えている。
【０１５２】
また、離脱用キャリアガス導入口１Ａｈ、離脱用キャリアガス導入口１Ｂｈと、遮断弁４１、遮断弁４２、遮断弁４３、遮断弁４４、遮断弁４５、遮断弁４６、遮断弁４７、遮断弁４８と、ガスバイパス管８Ａ、ガスバイパス管８Ｂと、これら遮断弁４１、遮断弁４２、遮断弁４３、遮断弁４４、遮断弁４５、遮断弁４６、遮断弁４７、遮断弁４８を自動的に開閉制御する弁コントローラ７０とを備えている。
【０１５３】
次に、以上のように構成した本実施の形態の排ガス処理システムにおける排ガス処理方法について説明する。
【０１５４】
前述した第１の実施の形態のように、吸脱着ユニット１を一つしか備えていない場合には、前記離脱工程が行なわれている時は、吸脱着ユニット１への排ガス４の導入が中断される。
【０１５５】
この点、本実施の形態のように、図３に示すように、吸脱着ユニットが二つからなる場合（あるいは、それ以上の個数からなる場合）には、吸排気を切替えることによって、一つの吸脱着ユニット１Ａまたは１Ｂが吸着を行なっている間に、もう一つの吸脱着ユニット１Ｂまたは１Ａは離脱を行なう、というように構成することにより、放電分解処理ユニット２においては連続的に処理を行なうことができる。
【０１５６】
すなわち、図３において、それぞれの遮断弁４１、遮断弁４２、遮断弁４３、遮断弁４４、遮断弁４５、遮断弁４６、遮断弁４７、遮断弁４８を、弁コントローラ７０の制御により、例えば図４に示すように操作することにより、吸脱着ユニット１Ａで吸着工程を行なっている時には、吸脱着ユニット１Ｂで離脱工程を行ない、吸脱着ユニット１Ａで吸着工程が終了すると、遮断弁を操作し、吸脱着ユニット１Ｂで吸着工程、吸脱着ユニット１Ａで離脱工程を行なうことができる。
【０１５７】
以上のようにすることにより、遮断弁操作等の若干の時間を除いては、放電分解処理ユニット２では連続して運転を行なうことができる。
【０１５８】
なお、図３では、２つの吸脱着ユニット１Ａ，１Ｂを備えているが、３つ以上の吸脱着ユニットを備えて構成するようにしてもよいことは勿論である。
【０１５９】
そして、３つ以上の吸脱着ユニットを備えて構成して、それぞれに時間差をつけて遮断弁の操作を行なうようにすることにより、全く吸着工程が中断されることなく、放電分解処理ユニット２では連続して運転を行なうことができる。
【０１６０】
上述したように、本実施の形態による排ガス処理方法および排ガス処理システムでは、吸脱着ユニット１を２個配置して、吸着−離脱動作を順次繰り返し行ない、離脱された特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを放電分解処理ユニット２に導入して放電分解処理を行なうようにしているので、放電分解処理ユニット１の連続運転が可能となる。
これにより、全体として放電分解処理ユニット２を連続稼動させることができるため、全体の運転効率をより一層向上させて、より一層大量の排ガス４を処理することができる。
【０１６１】
また、放電分解処理ユニット２容量が、一つの吸脱着ユニット１Ａまたは１Ｂ容量に見合ったもので済むため、部分的な小型化を実現することもできる。
【０１６２】
（第３の実施の形態）
本実施の形態では、前述した第１の実施の形態、または第２の実施の形態において、排ガス４を、印刷機、あるいは印刷加工機等の排出源から排出される排ガスとした構成としている。
【０１６３】
次に、以上のように構成した本実施の形態の排ガス処理システムにおける排ガス処理方法について説明する。
【０１６４】
印刷機から排出される排ガスは、トルエン、キシレン類を含むガスである。
【０１６５】
印刷工場を例にとると、印刷機では、揮発性有機化合物を含んだインキが用いられており、例えばトルエン等が揮発する。
【０１６６】
（インキに含まれる揮発性有機化合物の例）
トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルイソブチルケトン
この場合、印刷工場内に排出され、工場内の雰囲気のガスとなり、作業環境を悪化させる。
【０１６７】
そのため、排気装置等が印刷機の上部に設けられて、煙突等に集められ、また工場の壁や屋根等に換気装置が設けられ、ガスが工場の外に排出される。
【０１６８】
その結果、大気汚染につながることになる。
【０１６９】
そこで、本実施の形態では、前述した第１の実施の形態、または第２の実施の形態による排ガス処理システムを、例えば印刷機に直接取り付けて、あるいは印刷機の上部に設けて、印刷機から発生する揮発性有機化合物を集めて処理したり、あるいは工場の換気装置部に用いて、工場内の雰囲気のガスを処理することができる。
【０１７０】
印刷工場においては、上述のように、トルエン等の揮発性有機化合物を含んだインキからの揮発成分が多く排出される。
【０１７１】
そのため、このような排ガスを処理することは、強く望まれていることである。
【０１７２】
本実施の形態は、このように大量に発生してしまう排ガスを効率的に処理する用途には、特に適している。
【０１７３】
すなわち、印刷機あるいは印刷加工機から排出される排ガスは、印刷機の印刷速度や使用インキ等の印刷条件が、常時同一であるとは限らないため、排気ガスの濃度にばらつきが生じ易い。
【０１７４】
排ガス中の特定物質濃度がばらついた場合でも、特定物質が吸着される割合は、ばらつかないために、安定した処理を行なうことができ、そのような場合に特に有効である。
【０１７５】
なお、印刷機としては、輪転印刷機、枚葉印刷機、版式は、凸版印刷、凹版印刷、オフセット印刷の印刷機のいずれにも適用することが可能である。
【０１７６】
また、印刷加工機としては、印刷後に印刷面に保護コーティングをする場合の表面コーティング装置、印刷面に保護フィルムを接着するための接着機等が挙げられる。
【０１７７】
この場合、コーティング材料や、コーティングフィルムを接着する際の接着剤から揮発する溶剤を、効率的に回収することが可能となる。
【０１７８】
上述したように、本実施の形態による排ガス処理方法および排ガス処理システムでは、印刷機、あるいは印刷加工機から排出される排ガス４に対して、吸脱着ユニット１で吸着処理、離脱処理を行ない、さらに放電分解処理ユニット２で放電処理を行なうようにしているので、排ガス４中の特定物質濃度がばらついた場合でも、特定物質が吸着される割合はばらつかないために、安定した処理を行なうことが可能となる。
【０１７９】
これにより、印刷機、あるいは印刷加工機から排出される排ガス４を、安定して適切に処理して分解することができる。
【０１８０】
（第４の実施の形態）
図５は、前記放電分解処理ユニット２の具体的なその他の構成例を示す断面図である。
【０１８１】
なお、図５では、ファン型の放電分解処理ユニット２の場合を一例として示している。
【０１８２】
図５において、本実施の形態による放電分解処理ユニット６０は、両端部に例えば内径５ｍｍの円筒状の開口５０、５１を有し、例えば内径２５ｍｍ、長さ２００ｍｍ、壁面の厚さ０．５ｍｍの金属製の円筒形状のハウジング５２内に、先端拡開状に構成され、回転方向に対して４５度の角度で構成された１６枚の回転羽根５３を有する２個のファン５４を、例えば１００ｍｍ間隔で、内壁５５との間隔がほぼ１ｍｍになるように配置している。
【０１８３】
このファン５４の回転羽根５３の先端には、いずれも例えば５μｍ厚の白金層を電気メッキによって形成し、ハウジング５２の内壁５５面にも、例えば５μｍ厚のパラジウム層を形成している。
【０１８４】
図５におけるガス導入開口５０より、例えばＮ２＋ＮＯ（２４０ｐｐｍ）、流量３０ｃｃ／ｍｉｎ、圧力１．１気圧のガス条件で、ガスを導入している。
【０１８５】
図６は、ファン５４の構成例を示す断面図である。
【０１８６】
【実施例】
次に、本発明の一実施例について説明する。
【０１８７】
印刷機乾燥ユニットより、排ガスとして排出される混合溶剤（例えば、トノレエン、酢酸エチル、メチルエチルケトン等）を、吸脱着ユニット１の設置によって、選択的に抽出する。
【０１８８】
例えば、トルエンに最適なセラミックを主体とする吸着体（触媒担持も可）と、この吸着体よりトルエンをキャリアガス（エアー）により選択的に脱着させるヒーター温度、光等を設定する。
【０１８９】
そして、この設定されたトルエン分解に最適な可変ファクターを、吸着時間の制御により連続的に運転管理することで、放電分解処理ユニット２における効率的なトルエンの分解（酸化）反応を促進することができる。
【０１９０】
また、放電分解処理ユニット２の後段に、活性炭を主体とした無害化装置であるフィルターユニット３を設置し、吸脱着ユニット１において触媒に吸着対象とされなかった化学物質、および放電分解処理ユニット２において副次的に発生する恐れのある化学物質を吸着することにより、化学物質の大気環境中への排出抑制を図ることができる。
【０１９１】
（その他の実施の形態）
尚、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施することが可能である。
（ａ）上記各実施の形態では、吸脱着ユニット１における吸着材料１ｂの内部に、障害部材１ｅを設ける場合について説明したが、当該障害部材１ｅは必要に応じて設けるようにすればよい。
【０１９２】
（ｂ）上記各実施の形態において、離脱工程での離脱の補助手段としては、ヒーター１ｆ等の加熱手段で加熱することには限定されず、例えば光照射等の方法を用いるようにしてもよい。
【０１９３】
また、離脱される特定物質の種類等によって、補助手段、補助手段の条件（加熱温度、光照射強度等）、離脱用キャリアガスの種類を適宜選択することができる。
【０１９４】
（ｃ）上記各実施の形態では、環境への影響を低減させるために、吸脱着ユニット１において離脱した特定物質を取込んでなる離脱用キャリアガスを放電分解処理する放電分解処理ユニット２の後段に、排ガスを活性炭により吸着回収処理するフィルターユニット３を設ける場合について説明したが、これに限らず、フィルターユニット３として、排ガスをオゾン処理するフィルターユニットを設けるようにしてもよい。
【０１９５】
（ｄ）上記第２の実施の形態では、特定物質を吸着する吸脱着ユニット１を、並列に複数個配置して構成する場合について説明したが、これに限らず、特定物質を吸着する複数個の吸脱着ユニットを直列に配置する構成とするようにしてもよい。
【０１９６】
かかる構成とすることにより、特定物質の吸着量をコントロールすることができる。
【０１９７】
（ｅ）上記各実施の形態において、一つの吸脱着ユニットに、互いに異なった特定物質を吸着する複数の吸着材料を配置するか、もしくは、吸脱着ユニット毎に互いに異なった特定物質を吸着する吸着材料を配置する構成とするようにしてもよい。
【０１９８】
かかる構成とすることにより、排ガスが混合ガスであるような場合、すなわち排ガス４に含まれる特定物質が２つ以上あるような場合に、互いに異なった複数種類の特定物質を容易に吸着することができる。
【０１９９】
（ｆ）上記各実施の形態において、放電分解処理ユニット２としては、グロー放電により分解処理を行なうことには限定されず、放電分解処理対象の物質に応じて、例えばコロナ放電、あるいはアーク放電により分解処理を行なう放電分解処理ユニットを適宜用いるようにしてもよい。
【０２００】
（ｇ）上記第１の実施の形態、または第２の実施の形態において、放電分解処理ユニット２の前段に、吸脱着ユニット１または吸脱着ユニット１Ａ、１Ｂから離脱されたガス中の特定物質の濃度を制御する濃度制御手段を備えた構成とするようにしてもよい。
【０２０１】
この濃度制御手段は、特定物質に応じて濃度センサー等の濃度測定手段を吸脱着ユニット１Ａ、１Ｂの直後に配置し、その濃度測定値に応じて、前記決定因子の３乃至５のうちの少なくとも一つ以上の因子、具体的には、ヒーター温度、キャリアガス温度、キャリアガス流量、およびキャリアガス流速を制御し、キャリアガス中の特定物質の濃度を放電分解処理ユニット２の分解処理に適した濃度となるように各因子を制御するものであり、吸脱着ユニット１または吸脱着ユニット１Ａ、１Ｂから離脱されたガス中の特定物質の濃度を、所定の濃度（例えば、平均濃度６００ｐｐｍ）に適切に制御して、放電分解処理ユニット２での処理の効率化を図り、放電処理で処理しきれず排出されてしまう特定物質の量を制御することができる。特に、離脱工程では、離脱工程を行ない始めた頃が、濃度が高くなる。
【０２０２】
すなわち、濃度がばらつくと、特定物質の濃度が高くなったような場合に、放電処理しきれずに、排出されてしまう恐れがある。
【０２０３】
これにより、一定濃度の特定物質を放電分解処理ユニット２に送ることが可能となり、特定物質を含む排ガスを、効率的にかつ安定に処理して分解することが可能となる。
【０２０４】
なお、特定物質の種類によっては、直接測定することができない場合がある。例えば、トルエンは、放電分解処理ユニットによる分解後に発生するＣＯ濃度を、放電分解処理ユニットの直後に配置したＣＯ濃度センサーにより測定後較正し、トルエンに換算して濃度を把握することができ、この値に応じて上記各因子を制御し、所定の濃度となるようにする。
【０２０５】
また、上記各実施の形態は可能な限り適宜組み合わせて実施してもよく、その場合には組み合わせた作用効果を得ることができる。
さらに、上記各実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより、種々の発明を抽出することができる。
例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題（の少なくとも一つ）が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果（の少なくとも一つ）が得られる場合には、この構成要件が削除された構成を発明として抽出することができる。
【０２０６】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に対応する発明の排ガス処理方法によれば、吸脱着工程の再生・再利用が可能であると共に、特定物質の離脱時のみに放電分解処理を効率的に行なうことが可能であり（不連続工程である）、省エネルギー化、ならびに低コスト、システムの小型化を実現することが可能となる。
【０２０７】
また、請求項２に対応する発明の排ガス処理方法によれば、特定物質の離脱をより行ない易くすることが可能となる。
【０２０８】
さらに、請求項３に対応する発明の排ガス処理方法によれば、放電分解処理工程の連続運転が可能となり、全体として放電分解処理工程を連続稼動させて、全体の運転効率をより一層向上させることが可能となり、また部分的な小型化を実現することも可能となる。
【０２０９】
さらにまた、請求項４に対応する発明の排ガス処理方法によれば、特定物質の吸着量をコントロールすることが可能となる。
【０２１０】
一方、請求項５に対応する発明の排ガス処理方法によれば、排ガスが混合ガスであるような場合に、複数種類の特定物質を容易に吸着することが可能となる。
【０２１１】
また、請求項６に対応する発明の排ガス処理方法によれば、大気中に放出してならないものは放電分解処理により積極的に処理を行ない、特定物質以外の大気中に放出しない方が望ましいものについても付加的に処理を行なうことが可能となるため、環境への影響をより一層低減させることが可能となる。
【０２１２】
さらに、請求項７に対応する発明の排ガス処理方法によれば、排ガスの処理をより一層簡単に行なうことが可能となる。
【０２１３】
一方、請求項８に対応する発明の排ガス処理システムによれば、吸脱着ユニットの再生・再利用が可能であると共に、特定物質の離脱時のみに放電分解処理を効率的に行なうことが可能であり（不連続工程である）、省エネルギー化、ならびに低コスト、システムの小型化を実現することが可能となる。
【０２１４】
また、請求項９に対応する発明の排ガス処理システムによれば、特定物質の離脱をより行ない易くすることが可能となる。
【０２１５】
さらに、請求項１０に対応する発明の排ガス処理システムによれば、放電分解処理ユニットの連続運転が可能となり、全体として放電分解処理ユニットを連続稼動させて、全体の運転効率をより一層向上させることが可能となり、また部分的な小型化を実現することも可能となる。
【０２１６】
さらにまた、請求項１１に対応する発明の排ガス処理システムによれば、特定物質の吸着量をコントロールすることが可能となる。
【０２１７】
一方、請求項１２に対応する発明の排ガス処理システムによれば、排ガスが混合ガスであるような場合に、複数種類の特定物質を容易に吸着することが可能となる。
【０２１８】
また、請求項１３に対応する発明の排ガス処理システムによれば、大気中に放出してならないものは放電分解処理により積極的に処理を行ない、特定物質以外の大気中に放出しない方が望ましいものについても付加的に処理を行なうことが可能となるため、環境への影響をより一層低減させることが可能となる。
【０２１９】
さらに、請求項１４に対応する発明の排ガス処理システムによれば、排ガスの処理をより一層簡単に行なうことが可能となる。
【０２２０】
以上により、小型化、省エネルギー化、ならびに低コスト化を実現しつつ、特定物質を効率よく分解することが可能な排ガス処理方法および排ガス処理システムを実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による排ガス処理方法を実現するための排ガス処理システムの第１の実施の形態を示す概要図。
【図２】同第１の実施の形態における放電分解処理ユニットの具体的な一構成例を示す断面図。
【図３】本発明による排ガス処理方法を実現するための排ガス処理システムの第２の実施の形態を示す概要図。
【図４】同第２の実施の形態における作用を説明するための図。
【図５】本発明の第４の実施の形態による放電分解処理ユニットの具体的なその他の構成例を示す断面図。
【図６】図５におけるファンの構成例を示す断面図。
【符号の説明】
１…吸脱着ユニット
１Ａ…吸脱着ユニット
１Ｂ…吸脱着ユニット
１ａ…枠材
１ｂ…吸着材料
１ｃ…導入口
１ｄ…誘引ファン
１ｅ…障害部材
１ｆ…ヒーター
１Ａｈ…離脱用キャリアガス導入口
１Ｂｈ…離脱用キャリアガス導入口
２…放電分解処理ユニット
３…フィルターユニット
３ａ…活性炭
３ｂ…排気口
３ｃ…誘引ファン
５…ガス導入管
６１…遮断弁
６２…遮断弁
６３…遮断弁
６４…遮断弁
７…ガス導入管
８…ガスバイパス管
８Ａ…ガスバイパス管
８Ｂ…ガスバイパス管
９…ガス
１１…内部電極
１２…外部電極
１３…容器
１４…第１の触媒
１５…第２の触媒
１６…第３の触媒
２０…ガス注入管
２２…ガス排出管
２３…窓枠
２４…フィルタ
３０…電源
４１…遮断弁
４２…遮断弁
４３…遮断弁
４４…遮断弁
４５…遮断弁
４６…遮断弁
４７…遮断弁
４８…遮断弁
５０…開口
５１…開口
５２…ハウジング
５３…回転羽根
５４…ファン
５５…内壁
６０…放電分解処理ユニット
７０…弁コントローラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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