(57)【要約】【課題】帯状ワークの保持面を多孔の焼結体で形成したワークステージを備えた、帯状ワークの搬送装置において、帯状ワークを浮上させるための乾燥エア（または窒素ガスや希ガス）をワークステージより帯状ワークに向けて送出しても、帯状ワークにパーティクルを付着させることのない、帯状ワークの搬送装置を提供すること。【解決手段】本発明の帯状ワークの搬送装置は、帯状ワークを順次搬送する、帯状ワークの搬送装置であって、上記帯状ワークの保持面を多孔の焼結体で形成したワークステージと、上記焼結体をその一側面に有する箱体と、上記焼結体または焼結体の周辺に設けられたガス送出口とを備え、上記箱体には真空のみを供給し、上記ガス送出口にはガスを供給することを特徴としている。【選択図】　　　　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状ワークを順次搬送する、帯状ワークの搬送装置であって、
上記帯状ワークの保持面を多孔の焼結体で形成したワークステージと、
上記焼結体をその一側面に有する箱体と、
上記焼結体または焼結体の周辺に設けられたガス送出口とを備え、
上記箱体には真空を供給し、上記ガス送出口にはガスのみを供給することを特徴とする帯状ワークの搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
有機化合物のフィルム、薄物金属等の長尺連続ワーク（通常長さが１００ｍほどあり、その表面には、レジストや感光性ポリイミドのような感光性樹脂が塗布されている。以下、帯状ワークという。）上に複数の各種電子的素子等を形成するため、ロール状に巻かれた帯状ワークを引き出して、所定のパターン領域（帯状ワーク上の各露光領域）毎に搬送して停止し、マスクと帯状ワーク上の各露光領域との位置合わせを行ったのちマスクパターンをワーク上に露光する露光工程が行われる。
本発明は、上記のような露光工程等において、所定のパターン領域毎に、帯状ワークの搬送と停止を繰り返す、帯状ワークの搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１は、従来の帯状ワークの搬送装置を備えた、露光装置の概略構成を示す図である（例えば特許文献１参照）。
以下に、図１を用いて、従来の帯状ワークの搬送装置について説明する。
図１に示す装置は、帯状ワークＷの長さ方向に沿ってマスクＭのマスクパターン像を順次投影して露光していくものである。
１０は、光照射部であり、超高圧水銀ランプ等のように紫外線を効率的に放射するランプ、該ランプから放射される紫外線を反射する反射鏡、レンズ、光路を遮断する、開閉自在のシャッタ等を内蔵している。
Ｍは、マスクパターンが形成されたマスクであり、照射部１０からの光が照射される位置に配置される。
２０は、投影レンズであり、照射されたマスクＭのマスクパターン像を投影するものである。
３０は、帯状ワークＷをその長さ方向に搬送する、帯状ワーク搬送装置であり、マスクＭのマスクパターン像の投影位置に帯状ワークＷの一コマをステップ送りするものである。ここで、３１ａは、送りローラ駆動部３３（後述する）の駆動力により回転する送りローラ、３１ｂは、送りローラ３１ａと共に帯状ワークＷを挟持する押えローラである。また、３２ａは、帯状ワークＷにテンションをかけて波打ちを防止するテンションローラ、３２ｂは、テンションローラ３２ａと共に帯状ワークＷを挟持する押えローラである。更に、３３は、制御部３４の制御信号により駆動する送りローラ駆動部、３４は、帯状ワークの搬送装置３０と光照射部１０を制御する、ＣＰＵを内蔵した制御部である。
【０００３】
【特許文献１】
特許第２７７７８３５号公報
【０００４】
４０は、ワークステージであり、投影位置（ワークステージ４０上）に送られた帯状ワークＷの一コマ（帯状ワークＷ上の各露光領域）を真空吸着して保持するものである。ここで、ワークステージ４０は、その表面を無電解ニッケルメッキ処理してなるアルミニウムブロックによって構成され、保持される帯状ワークＷの幅よりも少し大き目のほぼ正方形の形状を有している。
４１は、ワークステージ４０の、帯状ワークＷを保持する面に設けられた複数の開口、４２は、継ぎ手４３と開口４１を接続する通気路４３は、供給される真空や、乾燥エアや窒素ガス等のガスを通気路４２に伝達する継ぎ手である。
５１は、真空ポンプなど、真空を供給する真空供給手段、５２は、コンプレッサなど、乾燥エアや窒素ガス等のガスを供給するガス供給手段、５１ｖ，５２ｖは、制御部３４によってその開閉が制御されるバルブである。
したがって、ワークＷを吸着して保持するための真空は、真空供給手段５１よりバルブ５１ｖ、配管チューブ５０ｂ，５０ａ、継ぎ手４３、通気路４２を経て開口４１に供給され、乾燥エアや窒素ガス等のガスは、ガス供給手段５２よりバルブ５２ｖ、配管チューブ５０ｃ，５０ａ、継ぎ手４３、通気路４２を経て開口４１に供給される。
【０００５】
そして、帯状ワークの搬送及び停止と帯状ワークへの露光は、以下の手順で行われる。
▲１▼帯状ワークＷの一コマ（帯状ワークの長さ方向に、例えば３８０ｍｍ程度）分が、ワークステージ４０上に送られると、制御部３４より５１ｖにバルブ開信号が伝達される。
バルブ５１ｖが開くと、真空供給手段５１より真空が開口４１に供給され、帯状ワークＷは、ワークステージ４０上に真空吸着して保持される。
▲２▼次に、制御部３４より光照射部１０に露光開始信号が伝達される。露光光がマスクＭと投影レンズ２０を介して帯状ワークＷに所定の露光時間照射され、マスクＭに形成されているマスクパターンが露光される。
▲３▼露光完了後、制御部３４よりバルブ５１ｖにバルブ閉信号が伝達される。バルブ５２ｖが閉じ、ワークステージ４０による帯状ワークＷの保持（真空吸着による保持）が解除される。
【０００６】
▲４▼続いて、制御部３４よりバルブ５２ｖにバルブ開信号が伝達される。バルブ５２ｖが開き、ガス供給手段５２より乾燥エア（または窒素ガスや希ガス）が開口４１に供給され、ワークステージ４０より帯状ワークＷに向けて乾燥エアが送出される。
乾燥エアが送出されると、送りローラ３１ａの位置においては、送りローラ３１ａと押えローラ３１ｂとによって帯状ワークＷは固定されているが、テンションローラ３２ａと押えローラ３２ｂはいわゆる従動ローラであり、帯状ワークＷの浮上による張力によって、テンションローラ３２ａと押えローラ３２ｂとがわずかに回転して帯状ワークＷに弛みを与える。
したがって、帯状ワークＷは、開口４１より送出される乾燥エアの圧力により弛むとともに、ワークステージ４０より浮上する。
▲５▼帯状ワークＷの次の一コマをワークステージ４０上に搬送するため、制御部３４より送りローラ駆動部３３に、駆動開始信号が伝達される。
送りローラ駆動部３３は駆動を開始（送りローラ３１は回転を開始）し、帯状ワークＷがワークステージ４０より浮上した状態で搬送される。ここで、帯状ワークＷは、パーフォレーションがない場合には送りローラ３１ａとの摩擦によって搬送され、パーフォレーションがある場合には送りローラ３１ａに設けられたスプロケット（図示しない）によって搬送される。
なお、帯状ワークＷがワークステージ４０より浮上した状態で、帯状ワークＷの搬送を行うのは、帯状ワークＷの裏面がワークステージ４０と擦れて傷がつくことを防止するためである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、帯状ワークＷとして、多数の切り欠き孔を有するものや、やわらかく変形しやすいものが使用されるようになってきている。
しかしながら、図１に示した、従来の搬送装置３０のワークステージ４０により、多数の切り欠き孔を有する帯状ワークＷを真空吸着して保持しようとすると、ワークステージ４０に設けられた開口４１と上記切り欠き孔が複数一致した場合、真空吸着力が不十分となって帯状ワークＷを保持することが困難となったり、変形しやすい帯状ワークＷを真空吸着して保持しようとすると、開口４１部分で帯状ワークＷが吸引されて変形し、露光不良の原因を引き起こしたりする、という問題を有していた。
【０００８】
そこで、このような帯状ワークＷを真空吸着して保持することが可能なワークステージとして、図２に示すものがある。
図２に、帯状ワークの保持面を多孔の金属焼結体で形成したワークステージの、断面構造を示す。
図２に示すワークステージ６０は、搬送装置３０の継ぎ手４３に接続される中空部６０ａ（中空部６０ａは、金属焼結体６１と該焼結体６１をその一側面に有する箱体６２とにより形成される。）を備え、その上方に位置する帯状ワークＷの保持面を、平板状に成型された、多孔の金属焼結体６１（例えばＳＵＳ３０４相当品やＳＵＳ３１６Ｌ相当品等を粒上金属にして高温で焼き固めて得られたもの）より形成したものである。
上記ワークステージ６０は、ワークＷの保持面を多孔の金属焼結体６１より形成したことにより、その金属焼結段階で生成される内部の連続した空孔（以下、連続気孔という）を通して、中空部６０ａと金属焼結体６１の上方空間領域との連通状態を得られるようになっている。
したがって、上述のワークステージ６０を従来の搬送装置３０のワークステージ４０に換えて使用した場合、ワークＷを吸着して保持するための真空や、ワークＷを浮上させるための乾燥エアは、配管チューブ５０ａ、継ぎ手４３、中空部６０ａを経て、金属焼結体６１に形成された多数の連続気孔に供給される。
そして、上述したワークステージ６０は、金属焼結体６１表面の空孔部面積が広いため大きな真空吸着力が得られ、多数の切り欠き孔を有する帯状ワークＷであっても、位置ずれなく保持でき、また金属焼結体６１表面の多数の微細な空孔より帯状ワークＷを真空吸着するので、やわらかく変形しやすいワークであっても真空吸着により変形することがない、という利点を有する。
【０００９】
しかしながら、上述のワークステージ６０を従来の搬送装置３０のワークステージ４０に換え、帯状ワークＷを搬送するに際し、ワークステージ６０の金属焼結体６１を介して乾燥エアを帯状ワークＷに向けて送出すると、帯状ワークＷの裏面に、数μｍの大きさの微細なパーティクルが付着する、という問題が生じた。
【００１０】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、本発明の目的は、帯状ワークの保持面を多孔の焼結体で形成したワークステージを備えた、帯状ワークの搬送装置において、帯状ワークを浮上させるための乾燥エア（または窒素ガスや希ガス）をワークステージより帯状ワークに向けて送出しても、帯状ワークにパーティクルを付着させることのない、帯状ワークの搬送装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ワークステージ６０の金属焼結体６１を介して乾燥エアを帯状ワークＷに向けて送出した場合に限り、帯状ワークＷの裏面にパーティクルが付着することを確認し、以下の考察を得た。
すなわち、帯状ワークＷをワークステージ６０に保持するため、ワークステージの中空部６０ａに真空を供給すると、金属焼結体６１を介して帯状ワークＷが真空吸着して保持される。
この時、金属焼結体６１周辺や空気中にパーティクルが存在すると、それらのパーティクルは、金属焼結体６１に吸い寄せられていくが、上述したように、金属焼結体６１は微細な空孔を多数有するため、フィルタの働きをして金属焼結体６１の表面や内部にパーティクルを留めることになる。
そして、帯状ワークの搬送を開始するため、金属焼結体６１を介して乾燥エアを帯状ワークＷに向けて送出すると、金属焼結体６１の表面や内部に留まっていたパーティクルが乾燥エアと一緒に帯状ワークＷに向けて送出され、帯状ワークの裏面に付着する。
【００１２】
そして、本発明者は、上記の考察により、乾燥エアをワークステージより帯状ワークＷに向けて送出するに際し、乾燥エアを金属焼結体６１を介することなく送出することにより、帯状ワークＷ裏面へのパーティクルの付着を防止することができることを見出し、かかる知見に基づいて本発明を完成した。
【００１３】
すなわち、本発明の帯状ワークの搬送装置は、帯状ワークを順次搬送する、帯状ワークの搬送装置であって、上記帯状ワークの保持面を多孔の焼結体で形成したワークステージと、上記焼結体をその一側面に有する箱体と、上記焼結体または焼結体の周辺に設けられたガス送出口とを備え、上記箱体には真空のみを供給し、上記ガス送出口にはガスを供給することを特徴としている。
【００１４】
【作用】
本発明の帯状ワークの搬送装置によれば、上記帯状ワークの保持面を多孔の焼結体で形成したワークステージと、上記焼結体をその一側面に有する箱体と、上記焼結体または焼結体の周辺に設けられたガス送出口とを備え、上記箱体には真空のみを供給し、上記ガス送出口にはガスを供給するので、帯状ワークの真空吸着は、多孔の焼結体よりなるワークステージを介して行われ、帯状ワークに向けてのガス送出は、ガス送出口のみより行われる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図３は、本発明の実施例に係る帯状ワークの搬送装置を備えた、露光装置の概略構成を示す図、図４は、本発明の実施例に係る帯状ワークの搬送装置の、ワークステージの断面構造を示す図である。
上図において、図１，２に示したものと同一のものには同一の符号が付されている。
図３，４を用いて、本発明の実施例に係る帯状ワークの搬送装置について説明する。
３００は、帯状ワークＷをその長さ方向に搬送する、本発明の実施例に係る帯状ワーク搬送装置、３４０は、帯状ワークの搬送と露光を制御する、ＣＰＵを内蔵した制御部である。
また、７０はワークステージであり、マスクパターンの投影位置（ワークステージ７０上）に送られた帯状ワークＷの一コマ（帯状ワークＷ上の各露光領域）を真空吸着して保持するものである。
【００１６】
ここで、ワークステージ７０は、図４に示すように、搬送装置３００の継ぎ手４３１に接続される中空部７０ａ（中空部７０ａは、金属焼結体７１と該焼結体７１をその一側面に有する箱体７２とにより形成される。）を備え、その上方に位置する帯状ワークＷの保持面を、平板状に成型された、多孔の金属焼結体７１（例えば、ＳＵＳ３０４相当品やＳＵＳ３１６Ｌ相当品等を粒上金属にして高温で焼き固めて得られたものであり、ワークＷの保持面に形成される空孔は、円に換算した時の平均径がφ０．１ｍｍ〜φ０．１５ｍｍであり、上記空孔が、ワークＷの保持面に、開口率が１０％〜２０％となるように、１０００個／ｃｍ２〜１５００個／ｃｍ２の範囲で形成されている。）より形成してなる。
また、上記中空部７０ａには、配管チューブ５００ａが接続された継ぎ手４３１が設けられ、バルブ５１ｖを介して、真空供給手段５１から供給される真空を中空部７０ａに供給することができるようになっている。
更に、上記平板状の金属焼結体７１表面には、ガス送出口として、口径φ１ｍｍ程度の貫通孔７１ａが複数、略均等に設けられ、各貫通孔７１ａには、枝分かれした金属配管７３の一端がそれぞれ嵌入されている。また金属配管７３の他端には、配管チューブ５００ｂが接続された継ぎ手４３２が設けられ、バルブ５２ｖを介して、ガス供給手段５２より供給される乾燥エアを、各貫通孔７１ａに供給することができるようになっている。
【００１７】
したがって、ワークＷを吸着して保持するための真空は、真空供給手段５１より配管チューブ５００ａ、継ぎ手４３１、中空部７０ａを経て、金属焼結体７１に形成された多数の連続気孔に供給され、ワークＷを浮上させるための乾燥エアは、ガス供給手段５２より配管チューブ５００ｂ、継ぎ手４３２、金属配管７３を経て各貫通孔７１ａに供給される。
また、金属配管７３は、中空部７０ａ内部に設けられているが、各貫通孔７１ａに嵌入されているので、貫通孔７１ａに供給される乾燥エアが中空部７０ａに漏れ出すことがない。つまり、ガス供給手段５２から供給される乾燥ガスが焼結体７１に形成された多数の連続気孔を通ってワークステージ７０の外部へ吹き出すことのない構成となっている。
【００１８】
なお、上記実施例においては、ワークステージ７０の帯状ワークＷの保持面を、金属製の、多孔の焼結体（金属焼結体７１）より形成した場合について示したが、金属製の焼結体以外の、例えばポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッ素樹脂からなる焼結樹脂や、アルミナ質、炭化珪素質からなる多孔質セラミックス等より、帯状ワークＷの保持面を形成しても良い。
ただし、上記実施例の場合、加工順序の制約（金属焼結体７１の表面を研磨する前に金属配管７３を貫通孔７１ａに嵌入する。（金属焼結体７１の表面を平面度良く仕上げるため））が有り、この制約に伴い、焼結体（上記実施例の場合、金属焼結体７１）と配管（上記実施例の場合、金属配管７３）の熱膨張率がほぼ等しくなるように、それぞれの材料を選択しておく必要が生じる。（焼結体表面の研磨時、焼結体と配管は高温となるが、両者の熱膨張率が異なると、加工後の温度低下に伴う収縮に差異が生じ、それが焼結体表面の平面度を悪化させる要因となるため。）
【００１９】
次に、本発明の実施例に係る帯状ワークの搬送装置の、他のワークステージの断面構造を図５に示す。
図５に示すワークステージ８０は、図３に示すように、搬送装置３００の継ぎ手４３１に接続される中空部８０ａ（中空部８０ａは、金属焼結体８１と該焼結体８１をその一側面に有する箱体８２とにより形成される。）を備え、その上方に位置する帯状ワークＷの保持面を、平板状に成型された、多孔の金属焼結体８１より形成してなる。
また、上記中空部８０ａには、配管チューブ５００ａが接続された継ぎ手４３１が設けられ、バルブ５１ｖを介して、真空供給手段５１から供給される真空を中空部８０ａに供給することができるようになっている。
更に、上記平板状の金属焼結体８１の周辺には、ガス送出口として、内径φ１ｍｍ程度の金属配管８３が複数設けられ、各金属配管８３の一端８１ａは帯状ワークＷの裏面に向けられている。また金属配管８３の他端には、配管チューブ５００ｂが接続された継ぎ手４３２が設けられ、バルブ５２ｖを介して、ガス供給手段５２より供給される乾燥エアを、各金属配管８３の一端８１ａに供給することができるようになっている。
【００２０】
したがって、上述のワークステージ８０においても、ワークＷを吸着して保持するための真空は、真空供給手段５１より配管チューブ５００ａ、継ぎ手４３１、中空部８０ａを経て、金属焼結体８１に形成された多数の連続気孔に供給され、ワークＷを浮上させるための乾燥エアは、ガス供給手段５２より配管チューブ５００ｂ、継ぎ手４３２を経て、金属配管８３の一端８１ａに供給される。
また、金属配管８３は、金属焼結体８１の周辺に設けられているので、金属配管８３の一端８１ａに供給される乾燥エアが中空部８０ａに漏れ出すことがない。つまり、ガス供給手段５２から供給される乾燥ガスが焼結体８１に形成された多数の連続気孔を通ってワークステージ８０の外部へ吹き出すことのない構成となっている。
【００２１】
なお、上記実施例においては、ワークステージ８０の帯状ワークＷの保持面を、金属製の、多孔の焼結体（金属焼結体８１）より形成した場合について示したが、金属製の焼結体以外の、例えばポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッ素樹脂からなる焼結樹脂や、アルミナ質、炭化珪素質からなる多孔質セラミックス等より、帯状ワークＷの保持面を形成しても良い。
【００２２】
次に、帯状ワークの搬送・停止と帯状ワークへの露光手順について説明する。
▲１▼帯状ワークＷの一コマ（帯状ワークの長さ方向に、例えば３８０ｍｍ程度）分が、ワークステージ７０（８０）上に送られると、制御部３４０より５１ｖにバルブ開信号が伝達される。
バルブ５１ｖが開くと、真空供給手段５１より真空が、中空部７０ａ（８０ａ）を経て金属焼結体７１（８１）に形成された多数の連続気孔に供給され、帯状ワークＷは、ワークステージ７０（８０）上に真空吸着して保持される。
▲２▼次に、制御部３４０より光照射部１０に露光開始信号が伝達される。露光光がマスクＭと投影レンズ２０を介して帯状ワークＷに所定の露光時間照射され、マスクＭに形成されているマスクパターンが露光される。
▲３▼露光完了後、制御部３４０よりバルブ５１ｖにバルブ閉信号が伝達される。バルブ５１ｖが閉じ、ワークステージ７０（８０）による帯状ワークＷの保持（真空吸着による保持）が解除される。
【００２３】
▲４▼続いて、制御部３４０よりバルブ５２ｖにバルブ開信号が伝達される。バルブ５２ｖが開き、ガス供給手段５２より乾燥エア（または窒素ガスや希ガス）が、金属配管７３（８３）を経て各貫通孔７１ａ（金属配管８３の一端８１ａ）に供給され、ワークステージ７０（８０）より帯状ワークＷに向けて乾燥エアが送出される。
帯状ワークＷは、金属焼結体７１（８１）に形成された多数の連続気孔より送出される乾燥エアの圧力により弛むとともに、ワークステージ７０（８０）より浮上する。
▲５▼帯状ワークＷの次の一コマをワークステージ７０（８０）上に搬送するため、制御部３４０より送りローラ駆動部３３に、駆動開始信号が伝達される。
送りローラ駆動部３４０は駆動を開始（送りローラ３１は回転を開始）し、帯状ワークＷがワークステージ７０（８０）より浮上した状態で搬送される。
【００２４】
次に、本発明の実施例の作用・効果を説明する。
本発明の実施例に係る帯状ワークＷの搬送装置３００によれば、ワークＷを吸着して保持するための真空は、真空供給手段５１より配管チューブ５００ａ、継ぎ手４３１、中空部７０ａ（８０ａ）を経て、金属焼結体７１（８１）に形成された多数の連続気孔に供給され、ワークＷを浮上させるための乾燥エアは、ガス供給手段５２より配管チューブ５００ｂ、継ぎ手４３２、金属配管７３（８３）を経て各貫通孔７１ａ（金属配管８３の一端８１ａ）に供給される。
また、ガス供給手段５２から供給される乾燥ガスが焼結体７１（８１）に形成された多数の連続気孔を通ってワークステージ７０（８０）の外部へ吹き出すことのない構成となっている。
したがって、帯状ワークＷの搬送を開始するため、金属焼結体７１（８１）を介して乾燥エアを帯状ワークＷに向けて送出しても、帯状ワークＷの真空吸着時にと金属焼結体７１（８１）の表面や内部に留められたパーティクルが乾燥エアと一緒に帯状ワークＷに向けて送出され、帯状ワークの裏面に付着する、ということはない。
【００２５】
ところで、ワークステージ８０においては、金属焼結体８１の周辺にのみ金属配管８３が設けられている。したがって、帯状ワークＷの吸着面積が大きい（金属焼結体８１の面積が大きい）場合には、帯状ワークＷを浮上させるための乾燥エアを帯状ワークＷに向けて送出しても、帯状Ｗワークの中央部が垂れ下がり、ワークＷ搬送時に、ワークＷが金属焼結体８１と擦れて傷つく恐れがある。
一方、ワークステージ７０においては、帯状ワークＷを浮上させるための乾燥エアは、焼結体７１に略均等に設けられた複数の貫通孔７１ａより送出される。したがって、帯状ワークＷの吸着面積が大きい（金属焼結体８１の面積が大きい）場合であっても、ワークＷ搬送時、焼結体７１上のワークＷ全体にエアが送出されて焼結体７１より浮上した状態となるので、ワークＷが金属焼結体７１と擦れて傷つくことはない。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、帯状ワークの保持面を多孔の焼結体で形成したワークステージを備えた、帯状ワークの搬送装置において、帯状ワークを浮上させるための乾燥エア（または窒素ガスや希ガス）をワークステージより帯状ワークに向けて送出しても、帯状ワークにパーティクルを付着させることのない、帯状ワークの搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の帯状ワークの搬送装置を備えた、露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】帯状ワークの保持面を多孔の金属焼結体で形成したワークステージの、断面構造を示す図である。
【図３】本発明の実施例に係る帯状ワークの搬送装置を備えた、露光装置の概略構成を示す図である。
【図４】本発明の実施例に係る帯状ワークの搬送装置の、ワークステージの断面構造を示す図である。
【図５】本発明の実施例に係る帯状ワークの搬送装置の、他のワークステージの断面構造を示す図である。
【符号の説明】
１０　光照射部
２０　投影レンズ
３０，３００　帯状ワークの搬送装置
３１ａ　送りローラ
３１ｂ，３２ｂ　押えローラ
３２ａ　テンションローラ
３３　送りローラ駆動部
３４，３４０　制御部
４０，６０，７０，８０　ワークステージ
４１　開口
４２　通気路
４３，４３１，４３２　継ぎ手
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５００ａ，５００ｂ　配管チューブ
５１　真空供給手段
５１ｖ，５２ｖ　バルブ
５２　ガス供給手段
６０ａ，７０ａ，８０ａ　中空部
６１，７１，８１　金属焼結体
６２，７２，８２　箱体
７１ａ，８１ａ　貫通孔
７３，８３　金属配管
Ｍ　マスク
Ｗ　帯状ワーク
【図１】
2004131215.tif 000003
【図２】
2004131215.tif 000004
【図３】
2004131215.tif 000005
【図４】
2004131215.tif 000006
【図５】
2004131215.tif 000007