(57)【要約】【課題】メンテナンスが容易なめっき液供給用のノズルを提供すること、およびこれを備えるめっき槽を用いためっき装置を提供すること。【解決手段】めっき槽１０の開口部に設置されためっき対象物Ｗに向けて、めっき槽１０の底部１０ａに取り付けられためっき液供給用のノズル３０からめっき液を噴出させながらカソードとアノード２５との間に通電してめっき処理を行う噴流式のめっき装置で用いられるノズルの本体３１に、つば部３３を設け、つば部３３に配置されたアノード２５を覆う隔膜３４を取り付け、ノズル本体３１とつば部３３と隔膜３４とに囲まれるアノード収容室３５を備える。このように、ノズル３０にアノード収容室３５を設け、ここにアノード２５を収容する構造にすると、ノズル３０の着脱と同時にアノード収容室３５やアノード２５をめっき槽１０に対して着脱でき、メンテナンス作業性に優れる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき対象物のめっき対象面を臨ませる開口部を備えためっき槽と、当該めっき槽の底部に着脱可能に取り付けられるめっき液供給用のノズルと、めっき槽の側壁に形成されためっき液の排出口とを有すると共に、めっき対象物に接続されるカソードと、めっき槽内に配置されるアノードとを有しており、開口部に臨ませためっき対象面に向けてノズルからめっき液を噴出することによりめっき槽内にめっき液を供給しながらカソードとアノードとの間に通電してめっき対象面にめっき処理を行う噴流式のめっき装置で用いられるめっき液供給用のノズルであって、
めっき液の噴出口を備えるノズル本体に、アノードが設置される張出し部が設けられていると共に当該張出し部に配置されたアノードを覆う隔膜が取り付けられており、
前記ノズル本体と、張出し部と、隔膜とによって取り囲まれるアノード収容室を有するめっき液供給用のノズル。
【請求項２】
張出し部の形状は、ノズル本体の外周に全周に亘って設けられるつば形状である請求項１に記載のめっき液供給用のノズル。
【請求項３】
つば形状の張出し部は、ノズルをめっき槽に取り付けた状態で、めっき槽の底部として兼用されるものである請求項２に記載のめっき液供給用のノズル。
【請求項４】
ノズル本体は、噴出口にめっき液を送る液流通路を備えており、流通路内とアノード収容室内とを連通する第１通液孔を有する請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のめっき液供給用のノズル。
【請求項５】
液流通路は、噴出口に連なる液流通路下流部と、当該液流通路下流部よりも流路断面積が狭い液流通路上流部とを有するものであり、
第１通液孔の液流通路に臨む開口は、液流通路下流部に形成されており、
張出し部および／または隔膜は、アノード収容室の内外を連通させる第２通液孔を有する、請求項４に記載のめっき液供給用のノズル。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のめっき液供給用のノズルが取り付けられた噴流式のめっき装置。
【請求項７】
めっき槽の開口部に、めっき対象物が載置される載置部を有しており、当該載置部に、液漏れを防止するシールパッキンと、載置されためっき対象物に接するカソードとが設置された請求項６に記載のカップ式のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、めっき槽の開口に臨ませためっき対象物に向けてめっき液を噴出してめっき槽内にめっき液を供給しながら電解めっき処理を行う噴流式のめっき装置に関し、特にめっき装置で用いられるめっき液供給用のノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
噴流式のめっき装置としては、例えばカップ式のめっき装置と称されるものがある。このカップ式のめっき装置は、上端に開口を有するめっき槽の当該開口に、ウェハー等のめっき対象物が載置される載置部を有する。載置部には、めっき対象物に通電するカソード（陰極）として用いられる電極板が取り付けられており、また、めっき槽内にはアノード（陽極）として用いられる金属粒子などが設置されている。このめっき装置でめっき処理を行う場合は、載置部にウェハー等のめっき対象物を載せてその外周部をカソードに接触させると共に、めっき対象面をめっき槽内のめっき液に接触させた状態で両電極間に通電する。また、めっき槽は、その底部に取り付けられためっき液供給用のノズルと、側壁に形成されためっき液の流出口とを備えており、ノズルからめっき対象面に向けてめっき液を噴出することによってめっき槽内にめっき液を供給しながらめっき処理を行うことができるようになっている（特許文献１参照）。
【０００３】
このようなめっき装置でめっき処理を行う場合に、めっき槽内に塵などがあると、これがめっき対象面に付着して、めっきの品質を低下させるおそれがある。また、めっき槽内に設置されるアノードとして、めっき処理に必要な金属イオン（例えば銅めっきであれば銅イオン）を供給する金属粒子などが用いられることがある。このような溶解性のアノードを用いる場合は、アノードの補充、交換等が必要である。このように、カップ式のめっき装置では、槽内の清掃やアノードの補充等が必要であり、定期的にまたは必要に応じてめっき槽内のメンテナンスが行われる。
【０００４】
メンテナンスでは、例えば、アノードやノズルを取り外す作業、アノード、ノズルおよびめっき槽内の清掃、アノードの補充・交換、アノードやノズルをめっき槽内に取り付ける作業などが行われる。ところが、アノードやノズルは、通常、めっき槽の底部に取り付けられるものであり、これらの着脱作業は必ずしも容易でない。また、電解めっき処理では、アノードの溶解に伴ってスラッジと称される浮遊物質が発生することがあり、スラッジがめっき対象面等に付着することを防止するために、アノードとカソードとを分離する隔膜をめっき槽内に設置することがある。この場合、メンテナンスでは、上記作業に加えて、隔膜の着脱および清掃を行う必要がある。したがって、メンテナンスにより長時間を要し、またメンテナンス作業はより煩雑になる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２７３６９１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、メンテナンスが容易なめっき液供給用のノズルを提供すること、およびこれを備えるめっき槽を用いためっき装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明に係るノズルは、めっき対象物のめっき対象面を臨ませる開口部を備えるめっき槽と、当該めっき槽の底部に着脱可能に取り付けられるめっき液供給用のノズルと、めっき槽の側壁に形成されためっき液の排出口とを有すると共に、めっき対象物に接続されるカソードと、めっき槽内に配置されるアノードとを有しており、開口部に臨ませためっき対象面に向けてノズルからめっき液を噴出することによりめっき槽内にめっき液を供給しながらカソードとアノードとの間に通電してめっき対象面にめっき処理を行う噴流式のめっき装置で用いられるめっき液供給用のノズルであって、めっき液の噴出口を備えるノズル本体に、アノードが設置される張出し部が設けられていると共に、当該張出し部に配置されたアノードを覆う隔膜が取り付けられており、前記ノズル本体と、張出し部と、隔膜とによって取り囲まれるアノード収容室を有するものである。
【０００８】
このように、めっき液供給用のノズルにアノード収容室を設けてここにアノードを収容する構造にすると、ノズルの着脱と同時に、アノード収容室を構成する部材、アノードそして隔膜をめっき槽に対して着脱できる。したがって、本発明に係るノズルが用いられためっき槽はメンテナンスの作業性に優れる。
【０００９】
また、ノズルとは別にアノード容器を設置する従来の構造では、噴出口を備えるノズル本体の周りにアノード容器を設置することでアノードを配置するので、噴出口の周りに、アノード容器の外枠が配置されるなど比較的広いアノードを配置できない領域が生ずる。めっき対象面全面に均等な膜厚のめっきを施す観点では、アノードを配置できない領域は極力少ないほうが好ましい。この点、本発明のノズルのように、ノズル本体に直接設けた張出し部にアノードを設置できるようにすると、ノズル本体に極隣接する位置にアノードを配置でき、アノードを配置できない領域を最小限にすることができる。
【００１０】
ノズルに設けられる張出し部の形状としては、例えばテーブル形状等、種々のものが考えられるが、ノズル本体の外周に全周に亘って設けられるつば形状が好ましい。このような構造にすると、ノズル本体の周りを取り巻くようにアノード収容室が設けられることとなり、アノードをノズル本体の周りに均等に配置できる。これにより、めっき対象面の全面により均等にめっき処理を施すことが容易になる。なお、この場合、張出し部のめっき槽開口側の面を全面的に覆うように隔膜を設置するのが好ましい。
【００１１】
また、張出し部をノズル本体を取り巻くつば形状にすると、ノズルがその本体を中心とする軸対象の形状になり、優れた重量バランスが確保される。重量バランスに優れていれば、例えばノズルを着脱する場合にノズルをしっかりと把持できない場合でも、安定した状態でノズルを保持しやすく、ノズルの着脱、特に装着が容易である。
【００１２】
さらに、つば形状の張出し部を、ノズルをめっき槽に取り付けた状態で、めっき槽の底部として兼用してもよい。具体的には、例えば、つば形状の張出し部の外周部を、めっき槽の底部に設けた嵌合部、あるいはめっき槽の筒状部下端に設けた嵌合部に着脱可能に嵌め込む構造を挙げることができる。めっき槽内にノズルとは別体のアノード容器を設置する従来の場合、アノード容器とめっき槽の底面等との間に隙間が生じて、めっき液の流れに淀みが生じたり、めっき液の流れが不安定になったりすることがあるが、ノズルの張出し部をめっき槽の底部として兼用すれば、このような不具合が生ずることがなく、めっき槽内におけるめっき液の流れがよりスムーズになる。
【００１３】
なお、張出し部として、つばの外周部に全周に亘って形成される折り曲げ部を有するものが好ましい。折り曲げ部を設けることでアノード収容室について十分な容量を確保できるからである。また、折り曲げ部を設けると、例えばアノードとして粒状の金属を用いる場合に、アノードの補給、充填作業がより容易である。また、ノズル本体の張出し部に取り付ける通電性を有する隔膜としては、ポリプロピレン長繊維（例えばパイレン（Ｐｙｌｅｎ）と称される繊維）からなる織布、フッ素樹脂系イオン交換膜をはじめとするイオン交換膜、あるいは不織布など種々のものが用いられる。
【００１４】
ところで、電解めっき処理では、アノードの溶解に伴ってガスが発生することがある。例えば、めっき液として硫酸銅溶液を用いると共にアノードとして粒状のめっき用銅アノードを用いてウェハーに銅めっきをする場合であれば、水素ガスが発生することがある。カップ式のめっき装置で用いられる隔膜は、通常、ガスを透過しないので、発生したガスはアノード収容室内に蓄積されることになる。このガスによって隔膜表面が覆われると、隔膜を介して行われる通電および金属イオンの供給が不安定になり、電解めっき処理を良好に行うことができなくなるおそれがある。
【００１５】
そこで、ガスが発生しても確実に通電等が行われる状態を確保する手段について検討を行った。その結果、噴出口と当該噴出口にめっき液を送る液流通路を備えるノズル本体にアノード収容室が一体形成された本発明に係るノズルにあっては、流通路内とアノード収容室内とを連通する第１通液孔を形成するのが好ましいことが解った。ノズルとは別個にアノード容器を設置する従来のめっき装置では、ノズルとアノード容器との間に隙間などがあるので、ノズルの液流通路内とアノード収容室内とを連通させる第１通液孔のような通路を形成することはできない。この点、本発明に係るノズルのようにノズルにアノードを設置する構造を一体に設けておけば、上述したような第１通液孔を形成できる。そして、このような第１通液孔があれば、この第１通液孔を介してアノード収容室内のガスを液流通路に排出でき、良好なめっき処理を行うことができる。
【００１６】
第１通液孔からのガスの排出効率をより高める場合は、例えば、アノード収容室内に臨む第１通液孔の開口を、アノード収容室内の最上方位置に形成するのが好ましい。当該位置はガスが集まる場所であり、ガスを効率良く排出できるからである。また、第１通液孔のアノード収容室内に臨む開口の位置がアノード収容室内の最上方に位置するように、アノード収容室の天井面を構成する部材を傾斜する状態で設置するのがより好ましい。このようにすれば、アノード収容室内に臨む第１通液孔の開口の位置にガスがより確実に集まるようになり、ガスが確実に排出される。
【００１７】
また、ノズル本体の液流通路として、めっき液の噴出口に連なる液流通路下流部と、当該液流通路下流部よりも流路断面積が狭い液流通路上流部とを有する構造のものを用い、第１通液孔の液流通路に臨む開口を、液流通路下流部に形成し、張出し部および／または隔膜に、アノード収容室の内外を連通させる第２通液孔を形成してもよい。
【００１８】
このような構造のノズルを用いて噴出口にめっき液を供給すると、液流通路上流部から、流路断面積がより広い液流通路下流部にめっき液が流れ込むことととなり、第１通液孔を介してアノード収容室内から液流通路下流部内に流入するめっき液の流れと、第２通液孔を介してアノード収容室の外から収容室内に流入するめっき液の流れが生ずる。このような液流れが生ずると、この液流れによってアノード収容室内のガスが強制的に排出される。
【００１９】
なお、アノードの溶解に伴って発生するガスはめっき液中では浮上するが、ガスと共に発生することがあるスラッジはめっき液中では沈降する。したがって、スラッジが第１通液孔の近傍に移動して当該第１通液孔から排出されることは防止されている。ただし、第１通液孔に、ガスを通過させスラッジの通過を阻止するフィルタ手段を設置することによって、第１通液孔からスラッジが排出されることを確実に防止するようにしてもよい。フィルタの材質としては、メンブレンフィルタや隔膜の材質として挙げた織布、不織布等を用いることができるが、液の流通性確保の観点から、フィルタ手段の目の粗さは隔膜のそれより粗い方が好ましい。
【００２０】
また、本発明に係るめっき液供給用のノズルは、既に説明したように、噴流式のめっき装置において広く用いられるものであるが、カップ式のめっき装置用として好適である。カップ式めっき装置は、めっき槽の開口部にめっき対象物が載置される載置部を有しており、当該載置部に、液漏れを防止するシールパッキンと、載置されためっき対象物に接するカソードとが設置された構成になっており、めっき処理中、めっき槽の開口はめっき対象物によって塞がれた状態になる。したがって、カップ式めっき装置は、めっき対象物の周囲からめっき液を溢れさせるような構造の噴流式めっき装置に比べてめっき槽の開口が小さい。このようにめっき槽の開口面積が比較的小さいカップ式のめっき装置においても、本発明に係るめっき液供給用のノズルを用いればメンテナンスが容易になる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るノズルが用いられた噴流式のめっき装置の一例として、カップ式のめっき装置の好適な実施形態を図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
図１に示されるように、カップ式のめっき装置１は、めっき液が貯溜されるめっき槽１０を有する。めっき槽１０の上端に備わる円形の開口には、めっき対象物載置用の載置部２０が設けられている。めっき対象物としてはウェハーＷなどを挙げることができる。図２に示されるように、載置部２０は、開口縁に沿って延在する環形状の載置台２１と、載置台２１の上に設置された液漏れ防止用のシールパッキン２２と、シールパッキン２２の上に設置されたカソード（不図示）とを有する。カソードは電解めっきにおける一方の電極（陰極）であり、載置部２０に載置されためっき対象物に接触できるように載置部２０上に設置されている。そして、載置台２１の外周部上には、押えリング２３が取り付けられている。シールパッキン２２およびカソードはこの押えリング２３と載置台２１とに挟まれた状態でボルト２４により、めっき槽１０に固定されている。また、他方の電極であるアノード（陽極）２５は、粒状の金属（銅めっきであれば銅粒子）であり、めっき槽１０の底部に設置される後述のノズル３０のアノード収容室３５内に収容されている。なお、カソードおよびアノード２５に通電する銅線や電源等や、載置部２０に載置されたウェハーＷなどのめっき対象物を押えつけてめっき槽１０に固定する押さえ部材の図示は省略した。
【００２３】
めっき槽１０の底部１０ａの中央位置には、めっき槽１０内にめっき液を供給するためのノズル３０が取り付けられている。
【００２４】
図２に示されるように、ノズル３０は、上下方向に延びる円筒形状のノズル本体部分３１を有する。ノズル本体３１のうち、めっき槽１０内に配置される部分の外径は、めっき液の噴出口３１ａを有するノズル本体上部３１ｂに比べてめっき槽底部１０ａ寄りのノズル本体下部３１ｃの方が大径であり、本体上部３１ｂと本体下部３１ｃとの境界に段差３１ｄが形成されている。そして、本体上部３１ｂの外周には、雄ねじ部が形成されており、ナットなどを螺合できるようになっている。
【００２５】
ノズル本体３１の外周には、当該ノズル本体３１を取り巻くように、つば部（つば形状の張出し部）３３が設けられている。つば部３３は、ノズル本体３１の長手方向に直交する面すなわち水平に広がる略円盤形状の平面部３３ａと、平面部３３ａの外周に全周に亘って形成されている折り曲げ部３３ｂを有する。折り曲げ部３３ｂは垂直上方に延びており、平面部３３ａと折り曲げ部３３ｂとで略皿形状の凹部が形成されている。そして、ノズル３０には、この凹部を上から覆う隔膜３４が取り付けられている。このように、ノズル３０には、つば部３３と、隔膜３４と、ノズル本体３１とに囲まれた空間が一体に形成されている。そして、この空間（以下、アノード収容室３５と称する）の中に金属粒子であるアノード２５を載置し、収容できるようになっている。
【００２６】
ノズル３０の平面部３３ａのノズル本体寄りの位置には、上下方向に貫通する通電用の穴３８が３つ形成されており、各通電穴３８に通電用ピン３９が挿通されている（図１では３つのうちの２つを示した）。このうち、通電ピン３９は、棒状のピン本体を有し、ピン本体を取り巻くつば部を有する。一方、通電穴３８は、平面部３３ａに形成された座ぐり穴（３段）であり、穴の上側から通電ピン３９を差し込むとつば部が下の段に引っかかる。また、座ぐりの上の段にはピン３９を通す穴が形成された蓋体３８ａがねじ留めにより装着される。これによりピン３９がノズル３０の平面部３３ａに脱落することなく取り付けられる。なお、座ぐり穴の中段の段差部および蓋体３８ａの開口部にはそれぞれＯリング３８ｂ，３８ｃが装着されており、蓋体３８ａの外周部および開口部がシールされている。そして、各通電ピン３９の両端は先細に尖っている。このような通電ピン３９を備えるノズル３０をめっき槽１０の底部に設置しようとすると、まず、めっき槽１０側に設けられた通電用の端子（不図示）に、各通電ピン３９の下端が接触する。そして、さらにノズル３０（平面部３３ａ）が下方に移動すると、３つの通電ピン３９の上先端がアノード２５に接触しこれを支える状態になる。これにより、通電ピン３９を介してアノード２５に確実に電力を供給できる状態でノズル３０をめっき槽内に設置できる。
【００２７】
隔膜３４は、略ドーナツ形状であり、中央部にノズル本体３１が挿通される穴を有する。そして、隔膜３４は、その中央部の穴の位置から外周側に向けて放射状に広がる状態になるように、また中央部から外周側に向けて下り勾配で傾斜する状態になるように、ノズル３０に取り付けられる。なお、隔膜３４をノズル３０に装着する場合は、まず、隔膜３４の中央部の穴にノズル本体３１を通して穴の開口縁をノズル本体３１の段差３１ｄに接触させる。他方、隔膜３４の外周縁を全周に亘ってつば部３３の折り曲げ部３３ｂの先端に位置させる。この状態で、ノズル本体３１の上部３１ｂにナット３６を螺合させて、ナット３６と段差３１ｄで隔膜３４の穴の開口縁を挟みつける。また、折り曲げ部３３ｂの上端（先端）にリング３７を嵌合させて、隔膜３４の外周縁を折り曲げ部３３ｂの上端とリング３７とで挟む。これにより隔膜３４がノズル３０に固定される。
【００２８】
そして、ノズル本体３１の内部には、上端の噴出口３１ａにめっき液を送る液流通路４１が形成されている。液流通路４１はノズル本体３１の長手方向（上下方向）に延びており、ノズル本体３１の下端（液流通路４１のめっき液流れ方向上流側）に、めっき液の入口である液供給口３１ｅが形成されている。また、液流通路４１の流路断面積は、噴出口３１ａに連なる液流通路下流部４１ａに比べて液流通路上流部４１ｂの方が小径に（狭く）なっている。そして、上流部４１ａと下流部４１ｂとの境界には、液の流れ方向下流側（上方）に向けて末広がりのテーパ部４１ｃが形成されている。なお、液供給口３１ｅが形成されているノズル本体３１の下端は、めっき槽１０の底部１０ａからめっき槽１０の外側に突き出ており、めっき液を送るホース等の配管（不図示）が接続される。配管は、図示しないめっき液タンクとノズルとを接続するものであり、ポンプ（不図示）等を作動させるとめっき液タンクからノズル３０にめっき液が供給される。
【００２９】
また、ノズル本体３１には、液流通路４１内とアノード収容室３５内とを連通する第１通液孔４２が形成されている。図３に示されるように、この第１通液孔４２の、液流通路４１内に臨む開口４２ａは、液流通路４１の下流部４１ａであってテーパ部４１ｃに隣接する位置に形成されている。一方、アノード収容室３５内に臨む第１通液孔４２の開口４２ｂは、隔膜３４に隣接する位置、すなわちアノード収容室３５内の最上方位置に形成されている。当該位置は、めっき液から浮力を受けて上方に移動するガスが集まる位置であり、ガスは、第１通液孔４２および液供給路４１を通過してめっき槽内に移動することができる。
【００３０】
さらに、つば部３３の折り曲げ部３３ｂの最上方位置、すなわち隔膜３４に隣接する位置には、アノード収容室３５の内外を連通させる第２通液孔４３が形成されている。第２通液孔４３を形成すると、例えばアノード収容室３５内のガスが第１通液孔４２から液流通路４１内に流出したときに、流出ガス量に応じた量のめっき液を第２通液孔４３からアノード収容室３５内に流入させることができ、第１通液孔４２からのガスの流出がよりスムーズになる。また、アノード収容室の内外間でのめっき液の流通が可能になることから、アノード収容室内外間でめっき液間の均質化を図ることができる。アノード収容室内外間で、例えばめっき液のｐＨ値やＣｕイオン濃度（銅めっきの場合）に差が生ずると、電極間に通電してもめっきが進まないといった不具合が生ずるが、通液孔４２，４３を設けておけば、アノード収容室内外間でめっき液が流通してめっき液が均質化し、めっきが進まないといった不具合の発生が防止される。
【００３１】
また、図１に示されるように、めっき槽１０の側壁１０ｂの上端開口寄りの位置には、めっき液の流出口１１が形成されている。この流出口１１は複数めっき槽１０の側壁１０ｂの全周に亘って複数形成されており、流出口１１からなるものであり、これらの流出口１１がめっき槽１０の側壁１０ｂに全周に亘って均等に配置されるように形成されている。
【００３２】
次に、このようなカップ式のめっき装置を用いて行われるウェハーＷのめっき処理について図１を参照しつつ説明する。
【００３３】
めっき処理を行う場合は、めっき槽１０の上端の載置部２０に、ウェハーＷを載せ、これを図示しない押さえ部材で載置部２０に押えつける。これにより、ウェハーＷのめっき対象面（図中下面）をめっき槽１０内のめっき液に接触させると共にめっき対象面の外周部を載置部２０に設置されたカソード（不図示）に接触させる。この状態で両極間に通電してめっき処理を行う。また、通電と同時に、ノズル３０からめっき槽１０内へ、図１の矢印Ａで示される流れ方向にめっきを液連続供給して、めっき槽１０内のめっき液を循環させる。ノズル３０からめっき槽１０内に供給されためっき液は、上方に位置するウェハーＷのめっき対象面に向けて上昇流で流れ、その後、めっき槽１０の外周側に放射状に広がるように流れる。そして、供給されためっき液量に応じた量のめっき液がめっき槽１０の側壁１０ｂの流出口１１からめっき槽１０の外へと流出する（図１の矢印Ｂ参照）。
【００３４】
ところで、めっき液の供給に用いられるノズル３０の液流通路４１は、前述した通り、液流通路４１の上流部（下部）４１ｂよりも下流部（上部）４１ａの方が流路断面積が広くなっている。そして、アノード収容室３５に連通している第１通液孔４２は、この流路断面積が広い下流部（上部）４１ａの部分に連通している。また、アノード収容室３５は、第２通液孔４３を介してアノード収容室３５の外側のめっき槽１０内に連通している。したがって、ノズル３０を用いてめっき槽１０内にめっき液を供給すると、液流通路４１および第１通液孔４２を有するノズル本体３１がアスピレータとして機能して、図３の矢印Ｃで示されるようなめっき液の流れが生じ、アノード収容室３５から第１通液孔４２を介して液流通路４１内にめっき液が流入する流れが生ずる。そして、同時にアノード収容室３５の外側から第２通液孔４３を介して内側にアノード収容室３５内にめっき液が流入する流れが生ずる。つまり、アノード収容室３５内に、第２通液孔４３を入口とし、第１通液孔４２を出口とするめっき液の流れが生ずる（図３の矢印Ｄ参照）。図から解るように、このめっき液の流れは、アノード収容室３５の上側の仕切りである隔膜３４に沿った流れである。
【００３５】
アノード収容室３５内にこのようなめっき液の流れがあると、例えば、アノード２５の溶解に伴ってガスが発生した場合、浮力を受けてアノード収容室３５の上方に移動したガスを、めっき液の流れを利用して第１通液孔４２から液流通路４１内に確実に流出させることができる。なお、第１通液孔４２はアノード収容室３５の最上方位置に形成されているので、アノード収容室３５内にめっき液の流れを生じさせなくても、アノード収容室３５内のガスは第１通液孔４２から液流通路４１に流出するが、アノード収容室３５内にめっき液の流れがあれば、迅速かつ確実にガスをアノード収容室３５外に流出させることができる。アノード収容室３５からガスを迅速確実に流出させることができれば、隔膜３４の下面（アノード収容室３５内側の面）がガスで覆われて通電および金属イオンの移動が妨げられるということが防止され、安定した状態を確保しつつめっき処理を行うことができる。なお、めっき槽１０内に流出したガスは、めっき液と共に流出口１１からめっき槽１０の外に排出される。
【００３６】
また、電解めっき処理では、アノード２５の溶解に伴っていわゆるスラッジが発生することがあるが、めっき液よりも比重が大きいスラッジは、上方ではなく下方に移動する。したがって、スラッジがめっき液の流れに乗ってめっき槽１０内に流入することはない。なお、第１通液孔４２や第２通液孔４３に網などのフィルタを設置できるようにしてもよい。フィルタを設置することでめっき液の流量を調節できる。またアノード粒子のような比較的大きな物体のめっき槽１０内への流出が確実に防止される。
【００３７】
次に、めっき槽内のメンテナンス、特にノズルの着脱を伴うメンテナンス作業について説明する。
【００３８】
ノズル３０を取り外す場合は、まずめっき槽１０内からめっき液を抜き取って、めっき槽１０内を水などで洗浄する。その後、図１，図２に示されるノズル取扱い用のホルダ５０を用いてノズル３０を保持する。なお、ホルダ５０の長さはめっき槽１０の深さ等に応じて適宜設定すればよい。図２に示されるように、ホルダ５０は、その下端である先端部に、ノズル本体３１の上部３１ａに形成された雄ねじ部に螺合可能な雌ねじ部５１を有する。この雄ねじ部および雌ねじ部５１はいわゆる逆ねじであり、ホルダ５０を通常とは逆に回しながら雌ねじ部５１をノズル本体３１の雄ねじ部に螺合させる。他方、ノズル３０は、めっき槽１０に通常の方向に回転させながら捩じ込んで固定したものである。したがって、ホルダ５０をノズル３０にしっかりと螺合させた後、さらにホルダ５０を逆に回すと、ノズル３０のめっき槽１０への捩じ込みが緩み、ノズル３０をめっき槽１０から取り外すことができる。また、本実施形態のノズル３０は、一体的に形成されたアノード収容室３５を備えるものであり、ノズル３０をめっき槽１０から取り外すと、アノード収容室３５、アノード２５そして隔膜３４を同時にめっき槽１０から取り外すことができる。したがって、簡単に、しかもより短時間でめっき槽１０のメンテナンスを行うことができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るめっき液供給用のノズルをカップ式のめっき装置に用いれば、めっき槽のメンテナンスがきわめて容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るノズルが用いられているカップ式のめっき装置のめっき槽を示す側断面図。
【図２】本発明に係るノズルを示す拡大図。
【図３】アノード収容室内のめっき液の流れを説明するための拡大図。
【符号の説明】
１０    めっき槽
２０    載置部
２５    アノード
３０    ノズル
３１    ノズル本体
３１ａ  噴出口
３１ｂ  ノズル本体上部
３１ｃ  ノズル本体下部
３３    つば部（つば形状の張出し部）
３３ａ  平面部
３３ｂ  折り曲げ部
３４    隔膜
３５    アノード収容室
４１    液流通路
４１ａ  液流通路の下流部
４１ｂ  液流通路の上流部
４１ｃ  テーパ部
４２    第１通液孔
４３    第２通液孔
５０    ホルダ
５１    雌ねじ部
Ｗ    ウェハー
【図１】
2004176116.tif 000003
【図２】
2004176116.tif 000004
【図３】
2004176116.tif 000005