(57)【要約】【課題】製造工程が複雑化せず、色選別電極表面の熱吸収特性に優れ、かつ輝度特性を低下させない陰極線管を製造できる陰極線管の製造方法を提供する。【解決手段】蛍光面３上に導電反射膜１０および熱吸収膜１１を形成する工程において、次の複合蒸着材１７を用いる。複合蒸着材１７は、導電反射膜１０の構成材料となる外装材１７ａ、およびこの外装材１７ａに被覆され熱吸収膜１１の構成材料となりかつ真空蒸着時の沸点が外装材１７ａよりも高い１種以上の芯材１７ｂもしくは金属粒子を含むものであり、加熱蒸発させて蛍光面３上に導電反射膜１０および熱吸収膜１１を形成する。複合蒸着材１７が加熱により融け始めてから加熱蒸発の工程が完了するまでの間に、複合蒸着材１７と蛍光面３の間を少なくとも一度遮断する。【選択図】        図３
2004311137.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極線管パネルの内面に蛍光面が形成され、その蛍光面上に導電反射膜および熱吸収膜が順次形成された陰極線管の製造方法であって、
（ａ）前記導電反射膜の構成材料となる外装材、および前記外装材に被覆され真空蒸着時の沸点が前記外装材よりも高い１種以上の材料で構成され、前記熱吸収膜の構成材料となる芯材を含む複合蒸着材を準備する工程と、
（ｂ）前記複合蒸着材を真空槽内で加熱蒸発させ、前記蛍光面上に前記導電反射膜および前記熱吸収膜を形成する成膜工程と、を備え、
前記工程（ｂ）は、
（ｂ−１）前記複合蒸着材が加熱により融け始めてから前記成膜工程が完了するまでの間に、前記複合蒸着材と前記蛍光面との間を少なくとも一度遮断する工程を含む陰極線管の製造方法。
【請求項２】
前記工程（ｂ−１）は、
前記複合蒸着材に含まれる前記芯材が融け始めるタイミングに前後して、前記複合蒸発材と前記蛍光面の間を遮断する工程を含む、請求項１記載の陰極線管の製造方法。
【請求項３】
前記工程（ｂ−１）は、
加熱温度を、前記複合蒸着材における前記外装材の加熱蒸発時と前記芯材の加熱蒸発時とで、加熱蒸発される材料の沸点に応じた値に切り換えると共に、加熱温度の切り換えタイミングと同じタイミングで、前記複合蒸着材と前記蛍光面との間を遮断する工程を含む、請求項１記載の陰極線管の製造方法。
【請求項４】
前記複合蒸着材と前記蛍光面との間の遮断は、前記複合蒸着材と前記蛍光面との間に設けたシャッターにより行う、請求項１記載の陰極線管の製造方法。
【請求項５】
前記工程（ａ）は、
前記複合蒸着材を複数準備し、それぞれに対して異なる加熱源を準備する工程と、
前記シャッターを、前記複合蒸着材のそれぞれに対応して配設する工程と、を含む、請求項１記載の陰極線管の製造方法。
【請求項６】
陰極線管パネルの内面に蛍光面が形成され、その蛍光面上に導電反射膜および熱吸収膜が順次形成された陰極線管の製造方法であって、
（ａ）前記導電反射膜の構成材料となる外装材、および前記外装材に被覆され真空蒸着時の沸点が前記外装材よりも高い１種以上の材料で構成され、前記熱吸収膜の構成材料となる芯材を含む複合蒸着材を準備する工程と、
（ｂ）純アルミニウム蒸着材を準備する工程と、
（ｃ）前記複合蒸着材および前記純アルミニウム蒸着材を真空槽内で併せて加熱蒸発させ、前記蛍光面上に前記導電反射膜および前記熱吸収膜を形成する成膜工程と、を備える、陰極線管の製造方法。
【請求項７】
前記工程（ａ）は、
前記複合蒸着材および前記純アルミニウム蒸着材に対して、それぞれ異なる加熱源を準備する工程を含み、
前記工程（ｃ）は、
（ｃ−１）前記複合蒸着材および前記純アルミニウム蒸着材を、それぞれ独立して加熱蒸発させる工程を含む、請求項６記載の陰極線管の製造方法。
【請求項８】
前記工程（ｃ−１）は、
前記純アルミニウム蒸着材の加熱蒸発開始のタイミングが、前記複合蒸着材の加熱蒸発開始のタイミングより早くなるように、前記複合蒸着材および前記純アルミニウム蒸着材を加熱蒸発させる工程を含む、請求項７記載の陰極線管の製造方法。
【請求項９】
前記芯材は円柱状のロッド材である、請求項１または請求項６記載の陰極線管の製造方法。
【請求項１０】
前記芯材は金属粒子を円柱状に集積させた集積材である、請求項１または請求項６記載の陰極線管の製造方法。
【請求項１１】
前記外装材は、ＡＬ，Ａｇ，Ｍｇから選ばれる少なくとも１つの材料で構成され、
前記芯材は、Ｃｒ，Ｃｏ，Ｍｏ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｎｉ酸化物，Ｆｅ酸化物から選ばれる少なくとも１つの材料で構成される、請求項１または請求項６記載の陰極線管の製造方法。
【請求項１２】
請求項１または請求項６に記載の陰極線管の製造方法により製造される陰極線管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、陰極線管パネルの内面に蛍光面が形成され、その蛍光面上に導電反射膜および熱吸収膜が順次形成された陰極線管の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
陰極線管のパネル内面には、先ず光吸収膜が形成され、さらにこの光吸収膜の所定位置に赤・緑・青の各色を表現する蛍光体膜が形成された後、蛍光体膜の表面を平滑にするための中間膜が形成される。前記光吸収膜、蛍光体膜および中間膜からなる層全体は蛍光体層と呼ばれる。
【０００３】
前記蛍光体層の上には、さらに１×１０−２〜１×１０−３Ｐａ（１×１０−４〜１×１０−５Ｔｏｒｒ）の圧力下でアルミニウム（以下、ＡＬと略記する）を真空蒸着して導電反射膜が形成され、さらにこの導電反射膜上に熱吸収膜が形成される。その後、前記蛍光体層に残留する有機物を焼き飛ばすことを目的の一つとして、４００℃以上の高温処理工程が行われ、陰極線管の表示部となるスクリーンが完成する。
【０００４】
前記熱吸収膜は、導電反射膜に近接して配置される色選別電極が電子ビームで加熱されることにより生じる熱放射を吸収して、導電反射膜の色選別電極対向面から色選別電極への熱輻射および熱反射を抑えるように作用する。これにより、色選別電極の熱膨張が軽減される。
【０００５】
前記熱吸収膜の形成方法としては、黒色顔料分散塗料を導電反射膜上に塗布する方法（例えば特許文献１）などがある。このように、陰極線管においては、そのパネル内面に形成された導電反射膜と色選別電極とが対向して配置されていることから、電子ビームによる熱放射がパネル内面の導電反射膜によって色選別電極に反射され、このため色選別電極が熱膨張してランディングにずれが生じるとう現象があり、このずれを軽減するための対策として上述したように導電反射膜の上に熱吸収膜が設けられている。
【０００６】
前記熱吸収膜を簡便にかつ安定して形成するための蒸着材料として複合蒸着材料を用いる方法（例えば特許文献２〜４）や、このような複合蒸着材料を用いて前記熱吸収膜を形成する方法（例えば特許文献５，６）も提案されている。
【０００７】
また、同じ真空槽内で導電反射膜と熱吸収膜とを蒸着した場合に、導電反射膜の表面で熱吸収膜を構成する膜材料が拡散（金属拡散）することがあるが、このような拡散を防止する方法として、導電反射膜と熱吸収膜の間に拡散防止膜を形成する方法（例えば特許文献７）も知られている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−３１９５８８号公報（図１）
【特許文献２】
特開２０００−８７２２０号公報（図１）
【特許文献３】
特開２０００−３３６４７１号公報（図１）
【特許文献４】
特開２００１−７３１２０号公報（図１）
【特許文献５】
特開２００２−６９５４７号公報（図１）
【特許文献６】
ＵＳ２００２／００２４２８９号公報（図１）
【特許文献７】
特開２００２−２５４４１号公報（図１）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１に開示された熱吸収膜の形成方法では、黒色顔料を分散させた塗料を導電反射膜上に塗布して熱吸収膜を形成するので、熱吸収膜が導電反射膜に対して接着した状態となり、製造ばらつきによって熱吸収膜を構成する膜材料が剥離する危険性を完全に回避することが難しい。さらに、黒色顔料の膜はガス吸着性が大きいので、高真空度を維持する必要のある陰極線管に採用するには、必ずしも十分ではない。また、導電反射膜の形成と熱吸収膜の形成にあたって、独立する２つの成膜工程を必要とするため、陰極線管の製造工程（パネル製造工程）が複雑化するという不具合もある。
【００１０】
また、複合蒸着材を用いた熱吸収膜の形成方法を開示する特許文献２〜４には、上述した黒色顔料膜のガス吸着性や製造工程の複雑化を解決する対策として、１つの蒸着工程で導電反射膜と熱吸収膜が形成可能なクラッドワイヤー型の複合蒸着材が提案されている。この場合、複合蒸着材のうち導電反射膜の構成材料であるＡＬと熱吸収膜の構成材料とで真空蒸着時の沸点が異なることから、先ず比較的に沸点の低いＡＬが蒸発、成膜され、その後にＡＬより沸点の高い熱吸収膜構成材料が蒸着・成膜されることで、導電反射膜と熱吸収膜の２層膜が一度の真空蒸着工程で得られ、製造工程の複雑化が回避される。しかし、このように、単に複合蒸着材を用いて従来公知のアルミバック蒸着と同様の成膜を行う製造方法では、導電反射膜と熱吸収膜の２層化は難しく、導電反射膜の表面付近のバルク層に熱吸収膜構成材料が混入し、また熱吸収膜の表面付近のバルク層に導電反射膜の構成材料（ＡＬ）が混入してしまうことになる。その結果、上述した蛍光面の有機物を焼き飛ばす高温処理工程において金属拡散が生じ、導電反射膜の蛍光面側表面に熱吸収膜の構成材料が析出することから、可視光の反射効率が減少して陰極線管の輝度を低下させるという問題がある。しかも、熱吸収膜の色選別電極側表面にも導電反射膜の構成材料が拡散して析出するので、所望の熱吸収特性が得られないという問題もある。
【００１１】
特許文献５、６に開示の複合蒸着材料を用いた方法の場合も、同様に前記金属拡散（熱拡散）の問題を解決することができない。
【００１２】
さらに、特許文献７に開示された方法では、導電反射膜の形成後に、導電反射膜の表面に拡散防止膜を形成し、さらに拡散防止膜上に熱吸収膜を形成するので、上述したガス吸着性および金属拡散による陰極線管の輝度低下の問題は解決できるが、導電反射膜、拡散防止膜および熱吸収膜の形成に３工程が必要で、さらにこれらの各工程の間に真空槽を暴露しなければならず、製造工程が複雑化する上に生産タクトが長くなるという問題がある。
【００１３】
この発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、製造工程が複雑化することなく、色選別電極表面の熱吸収特性に優れ、かつ輝度特性を低下させない陰極線管を製造できる陰極線管の製造方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る請求項１記載の陰極線管の製造方法は、陰極線管パネルの内面に蛍光面が形成され、その蛍光面上に導電反射膜および熱吸収膜が順次形成された陰極線管の製造方法であって、前記導電反射膜の構成材料となる外装材、および前記外装材に被覆され真空蒸着時の沸点が前記外装材よりも高い１種以上の材料で構成され、前記熱吸収膜の構成材料となる芯材を含む複合蒸着材を準備する工程（ａ）と、前記複合蒸着材を真空槽内で加熱蒸発させ、前記蛍光面上に前記導電反射膜および前記熱吸収膜を形成する成膜工程（ｂ）とを備え、前記工程（ｂ）は、前記複合蒸着材が加熱により融け始めてから前記成膜工程が完了するまでの間に、前記複合蒸着材と前記蛍光面との間を少なくとも一度遮断する工程（ｂ−１）を含んでいる。
【００１５】
本発明に係る請求項６記載の陰極線管の製造方法は、陰極線管パネルの内面に蛍光面が形成され、その蛍光面上に導電反射膜および熱吸収膜が順次形成された陰極線管の製造方法であって、前記導電反射膜の構成材料となる外装材、および前記外装材に被覆され真空蒸着時の沸点が前記外装材よりも高い１種以上の材料で構成され、前記熱吸収膜の構成材料となる芯材を含む複合蒸着材を準備する工程（ａ）と、純アルミニウム蒸着材を準備する工程（ｂ）と、前記複合蒸着材および前記純アルミニウム蒸着材を真空槽内で併せて加熱蒸発させ、前記蛍光面上に前記導電反射膜および前記熱吸収膜を形成する成膜工程（ｃ）とを備えている。
【００１６】
本発明に係る請求項１２記載の陰極線管は、請求項１または請求項６に記載の陰極線管の製造方法により製造される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
＜実施の形態１＞
図１は、この発明の実施の形態１による製造方法が適用されるカラー陰極線管の概略構成を示す断面図である。この陰極線管では、ガラス管体１におけるガラスパネル２の内面に蛍光面３が設けられると共に、ガラスパネル２の内側には、電子銃４から発せられ電磁偏向手段５で走査される電子ビーム６を選別して有効成分のみを蛍光面３に照射する色選別電極７が配置されている。
【００１８】
蛍光面３は、その一部を図２に拡大して示すように、ガラスパネル２の内面に形成した光吸収膜（図示せず）の所定位置に赤・緑・青の各色を表現する蛍光体膜８を形成し、さらにその蛍光体膜８の表面に中間膜９を形成してなる蛍光体層であり、この蛍光面３の上には導電反射膜１０および熱吸収膜１１がこれらの順に重ねて形成され、複合膜２０をなす。
【００１９】
先述したように、導電反射膜１０は色選別電極７が熱膨張して生じる電子ビーム６のランディングのずれを軽減させるための膜であり、熱吸収膜１１は色選別電極７からの熱放射を吸収して、導電反射膜１０から色選別電極７への輻射および反射を抑え、色選別電極７の熱膨張を軽減させるための膜である。
【００２０】
導電反射膜１０および熱吸収膜１１を形成するのに、この実施の形態１では、図３に示す蒸着装置１２を用いる。この蒸着装置１２は、蛍光面３を形成済みの半製品であるガラスパネル２が、その蛍光面３を内側に向けてセットされる真空蒸着槽１３内に、複数（ここでは２つ）の加熱源１４およびシャッター１５を設置して構成される。真空蒸着槽１３内は、この真空蒸着槽１３に接続された油回転ポンプおよび油拡散ポンプ（いずれも図示せず）によって排気される。同図では、真空ポンプ、リーク弁、真空計、電源なども省略している。
【００２１】
複数の加熱源１４は、それぞれ蒸着源を支持して加熱蒸発させるものであり、ここではボロンナイトライドボード（以下、ＢＮボードと呼称する）を用いている。加熱源１４を複数設置することにより、形成される蒸着膜の膜厚分布を均一化できる。なお、加熱源１４の種類や設置数については特に限定しない。加熱方式も、抵抗加熱法、電子ビーム加熱法、高周波誘導加熱法などを採用することができる。
【００２２】
シャッター１５は、各加熱源１４に個々に対応させて設けられ、加熱源１４に支持される蒸着源と、被蒸着面であるガラスパネル２の蛍光面３との間を選択的に遮断することができる。ここに用いられるシャッター１５は、真空蒸着槽１３に取り付けられた支柱１６に設けられ、支柱１６の回転により遮断と開放を行う金属板シャッターであるが、蒸着源と被蒸着面の間を選択的に遮断でき、かつ真空蒸着槽１３内に設置するのに適当なものであれば、特に限定せず他のものを使用しても良い。
【００２３】
加熱源１４で加熱蒸発させられる蒸着源として、この実施の形態１では、図４に示すように、ＡＬの外装材１７ａと、この外装材１７ａに被覆される円柱状のＦｅのロッド材である芯材１７ｂとで構成される円柱状の複合蒸着材１７が用いられ、複合蒸着材全体に対するＦｅの含有量は約１０重量％としている。真空蒸着時の沸点は、ＡＬよりもＦｅの方が高い。なお、ロッド材３を用いることで複合蒸着材１７の製造が容易となる。
【００２４】
また、複合蒸着材１７を構成する外装材１７ａおよび芯材１７ｂとしては、上記したものに限らず、以下の材料を採用しても同様の効果を得ることができる。ただし、外装材１７ａと芯材１７ｂの間の沸点の高低関係は、上記の場合と同様とする。
【００２５】
外装材：ＡＬ，Ａｇ，Ｍｇから選ばれる少なくとも１つの材料
芯材：Ｃｒ，Ｃｏ，Ｍｏ，Ｎｉ，Ｆｅ，Ｎｉ酸化物，Ｆｅ酸化物から選ばれる
少なくとも１つの材料
【００２６】
なお、複合蒸着材１７のロッド状の芯材１７ｂの代わりに、芯材１７ｂと同じ材料で構成される金属粒子を円柱状に集積させた集積材を芯材としても良い。集積材を用いることで、ロッド材３の製造が難しい材料や、ロッド材３を形成するにはコストがかかる材料の利用が可能となる。
【００２７】
次に、蒸着装置１２および複合蒸着材１７を用いて、ガラスパネル２の蛍光面３の上に導電反射膜１０および熱吸収膜１１を形成する手順および条件を説明する。
【００２８】
真空蒸着槽１３に、ガラスパネル２がその蛍光面３を槽内に向けてセットされると共に、真空蒸着槽１３内の各加熱源１４に複合蒸着材１７がそれぞれ供給され、かつ各シャッター１５が対応する複合蒸着材１７と被蒸着面（ガラスパネル２の蛍光面３）との間をそれぞれ遮断した状態で、真空蒸着槽１３の内部を１×１０−２〜１×１０−３Ｐａ（１×１０−４〜１×１０−５Ｔｏｒｒ）に排気する。この後、外部電源により各加熱源１４に通電（ここでは１０Ｖ，２５０Ａの通電）してそれぞれの複合蒸着材１７を加熱する。加熱を開始すると共にシャッター１５を駆動して、蒸着源（複合蒸着材１７）と被蒸着面（蛍光面３）との間を開放し、蛍光面３の上への導電反射膜（ＡＬ蒸着膜）１０の形成を開始する。その後、複合蒸着材１７におけるＦｅが蒸発し始めるタイミングに合わせシャッター１５を閉じて蒸着源と被蒸着面との間を遮断する。シャッター１５を閉じるタイミングは、Ｆｅが蒸発し始める直前であっても、直後であっても良い。これにより、ここまでに形成された蒸着膜（ＡＬの導電反射膜１０）の膜バルク（蛍光面３側の膜表面近傍から色選別電極７側の膜表面近傍までの膜内部）へのＦｅの混入を制限する。この後、再度シャッター１５を開放して、ガラスパネル２の蛍光面３上への熱吸収膜（Ｆｅ蒸着膜）１１の形成を完成させる。この実施の形態１では、上記シャッター１５の具体的な開閉手順として、加熱開始直後にシャッター開、加熱開始から５．５秒後にシャッター閉、このシャッター閉から約０．７秒後にシャッター開のスケジュールで蒸着を行う。しかし、このようなシャッター開閉スケジュールや、真空蒸着槽１３の真空度や、加熱源１４への通電電圧・電流等のパラメータは、特に限定されるものではなく、ガラスパネル２のサイズや形状、真空蒸着槽１３のサイズ等によって変えられるべきであり、とくに蛍光面３に形成される膜のバルク組成が好適となる条件に決定することが肝要である。
【００２９】
図５は、上記した蒸着処理によりガラスパネル２の蛍光面３上に形成された蒸着膜（導電反射膜１０と熱吸収膜１１とからなる複合膜）２０の深さ方向の組成変化を示す概略図である。同図において、横軸は膜の深さ方向の位置を、縦軸は各位置におけるＡＬとＦｅの組成比を示している。また、ここでは、簡便のために、ＡＬおよびＦｅ以外に膜中に確認された不純物を除外したＡＬおよびＦｅの比率が組成比として示されている。また、組成比の変化を明確に図示するために、深さ方向の位置は実際のスケールと同じにしていない。つまり、実際にはＡＬ膜（導電反射膜１０）に対してＦｅ膜（熱吸収膜１１）の膜厚は非常に薄く、実際のスケールでは特にＦｅ膜の膜バルクにおける組成比変化が明確に分かり辛いので、このスケールではＡＬ膜領域とＦｅ膜領域が共にほぼ半分となるように調整している。また、比較のために、図６に、シャッター１５を使用しない場合、つまり従来の製造方法による複合膜の深さ方向の組成変化の概略図を示す。
【００３０】
図５および図６に示したように、この実施の形態１により形成した複合膜２０と、従来例による複合膜とでは、膜バルクにおいてＡＬとＦｅの組成比に違いが見られるが、蛍光面側の表面および色選別電極側の表面では組成比はほぼ同じとなっている。
【００３１】
図７は、実施の形態１により形成した複合膜２０を、４２０℃・１時間で高温処理したときの複合膜２０の深さ方向の組成変化を示す概略図である。また、図８は従来例による複合膜を同じ条件の高温処理したときの深さ方向の組成変化を示す概略図である。
【００３２】
高温処理後では、実施の形態１により形成した複合膜２０は従来例の場合に比べて、蛍光面３側の表面から深い位置までＡＬの組成比が高くなり、色選別電極７側の表面から深い位置までＦｅの組成比が高くなっている。すなわち、実施の形態１による複合膜２０の場合は、従来例の場合に比べてＡＬ膜（導電反射膜１０）とＦｅ膜（熱吸収膜１１）の二層化が促進されていると言える。
【００３３】
また、図１１には、実施の形態１により形成した複合膜２０の高温処理前後の蛍光面３側反射率と色選別電極側輻射率とを、従来例による複合膜の場合と比較した結果が示されている。同図によると、高温処理後の蛍光面３側反射率および色選別電極側輻射率とも、実施の形態１の場合の方が従来例の場合よりも向上していることが分かる。これにより、製造工程が複雑化することなく、色選別電極７表面の熱吸収特性に優れ、かつ輝度特性を低下させない陰極線管を製造できる。
【００３４】
特に、この実施の形態１では、複合蒸着材１７の芯材１７ｂ（または金属粒子）が融け始めるタイミングの直前または直後に、蒸着源である複合蒸着材１７と被蒸着面であるガラスパネル２の蛍光面３との間をシャッター１５で遮断するようにしているので、複合膜２０における導電反射膜１０と熱吸収膜１１の二層化をさらに促進することができる。これにより、熱吸収膜１１の構成材料（Ｆｅ）が高温処理工程における金属拡散によって導電反射膜１０の蛍光面３側表面に析出し、陰極線管の輝度特性を劣化させるのを防止できると共に、導電反射膜１０の構成材料（ＡＬ）が熱吸収膜１１の色選別電極７側表面に析出して熱吸収特性を劣化させるのを更に防止することができる。
【００３５】
また、この実施の形態１において、加熱源１４により複合蒸着材１７を加熱するときの加熱温度は、導電反射膜１０の構成材料（ＡＬ）および熱吸収膜１１の構成材料（Ｆｅ）の沸点に応じて切り換え制御すると共に、加熱温度の切り換えタイミングに合わせて蒸着源である複合蒸着材１７と被蒸着面であるガラスパネル２の蛍光面３との間をシャッター１５で遮断するのが好ましい。加熱温度の切り換え制御とは、ＡＬの蒸発時にＡＬの沸点に合わせて設定していた加熱温度を、Ｆｅが蒸発し始めるとＦｅの沸点に合わせて高温に切り換えるものである。
【００３６】
このようにすることにより、シャッター１５による遮断効果として二層化促進が図られる。これに加えて、加熱温度の切り換え効果として、ＡＬおよびＦｅの蒸気分圧を好適な条件とすることにより導電反射膜１０と熱吸収膜１１の二層化を相乗的に促進することで、熱吸収膜１１の構成材料（Ｆｅ）が導電反射膜１０の蛍光面３側表面に析出して陰極線管の輝度特性が劣化するのを防止できると共に、導電反射膜１０の構成材料（ＡＬ）が熱吸収膜１１の色選別電極７側表面に析出して熱吸収特性を劣化させるのを更に防止することができる。
【００３７】
＜実施の形態２＞
図９は、この実施の形態２による陰極線管の製造方法に用いる蒸着装置の概略図を示す。この蒸着装置１２Ａも、ガラスパネル２の蛍光面３の上に導電反射膜１０および熱吸収膜１１（図２）を形成するのに用いるものであって、実施の形態１と異なる点は、複合蒸着材１７を加熱蒸発させる加熱源１４の他に、複合蒸着材１７とは別の蒸着源である純ＡＬ蒸着材（不可避不純物として混入する物質を含む）２７を加熱蒸発させる加熱源２４を真空蒸着槽１３内に設置し、シャッター１５は設けていない点である。純ＡＬ蒸着材２７の加熱源２４にも、ＢＮボードを用いている。その他の構成は実施の形態１の場合と同じであり、ここではそれらの説明を省略する。
【００３８】
次に、蒸着装置１２Ａ、および複合蒸着材１７，純ＡＬ蒸着材２７を用いて、ガラスパネル２の蛍光面３の上に導電反射膜１０および熱吸収膜１１を形成する手順および条件を説明する。
【００３９】
真空蒸着槽１３に、ガラスパネル２がその蛍光面３を槽内に向けてセットされると共に、真空蒸着槽１３内の各加熱源１４に複合蒸着材１７が、他の１つの加熱源２４に純ＡＬ蒸着材２７がそれぞれ供給された状態で、真空蒸着槽１３の内部を１×１０−２〜１×１０−３Ｐａ（１×１０−４〜１×１０−５Ｔｏｒｒ）に排気する。
【００４０】
この後、外部電源により先ず加熱源２４に通電して純ＡＬ蒸着材２７を加熱蒸発させることで、導電反射膜１０となるＡＬ膜形成を開始し、加熱源２４への通電後しばらくして（ここでは約１．５秒後）、他の各加熱源１４に通電してそれぞれの複合蒸着材１７を加熱する。これにより、蛍光面３の上に、ＡＬ膜の導電反射膜１０とＦｅ膜の熱吸収膜１１とからなる複合膜２０（図２）を形成する。
【００４１】
この場合、複合蒸着材１７を加熱蒸発させる加熱源１４と、純ＡＬ蒸着材２７を加熱蒸発させる加熱源２４とは互いに独立に設置されているため、これら加熱源１４，２４への通電条件・蒸着開始タイミング等は、所望の複合膜２０が得られるように任意に設定できる。
【００４２】
この実施の形態２により形成される導電反射膜１０および熱吸収膜１１からなる複合膜２０の場合も、その深さ方向の組成変化は実施の形態１の場合とほぼ同じとなるので、ここではその組成変化を図示していない。
【００４３】
図１０には、その複合膜２０を、４２０℃・１時間で高温処理したときの深さ方向の組成変化の概略図を示す。実施の形態１により形成した複合膜２０でも、高温処理後では、従来例の場合（図８）に比べて、蛍光面３側の表面から深い位置までＡＬの組成比が高くなり、色選別電極７側の表面から深い位置までＦｅの組成比が高くなっている。すなわち、実施の形態２による複合膜２０の場合は、従来例の場合に比べてＡＬ膜（導電反射膜１０）とＦｅ膜（熱吸収膜１１）の二層化が促進されていると言える。
【００４４】
また、図１１には、実施の形態２により形成した複合膜２０の高温処理前および高温処理後の蛍光面３側反射率と色選別電極側輻射率とを、従来例による複合膜の場合と比較した結果も示されている。同図によると、高温処理後の蛍光面３側反射率および色選別電極側輻射率とも、実施の形態２の場合の方が従来例の場合よりも向上していることが分かる。
【００４５】
すなわち、この実施の形態２では、実施の形態１に用いた複合蒸着材１７と併せて純ＡＬ蒸着材２７を加熱蒸発させて、ガラスパネル２の蛍光面３上に導電反射膜１０と熱吸収膜１１とからなる複合膜２０を形成するようにしているので、蒸着開始時のＡＬ蒸気分圧を熱吸収膜１１の構成材料（Ｆｅ）の蒸気分圧と比べて大きくでき、導電反射膜１０の表面付近バルク層に熱吸収膜１１の構成材料（Ｆｅ）が混入してしまう現象、および熱吸収膜１１の表面付近バルク層に導電反射膜１０の構成材料（ＡＬ）が混入してしまう現象を抑制することができ、製造工程が複雑化することなく、色選別電極７表面の熱吸収特性に優れ、かつ輝度特性を低下させない陰極線管を製造できる。
【００４６】
とくに、この実施の形態２では、純ＡＬ蒸着材２７の加熱蒸発開始タイミングを、複合蒸着材１７の加熱蒸発開始タイミングより早くしているので、蒸発初期のＡＬ蒸気圧に対する熱吸収膜１１の構成材料（Ｆｅ）の蒸気圧を減少させて、導電反射膜１０の蛍光面３側表面に熱吸収膜１１の構成材料（Ｆｅ）が混入することに起因する陰極線管の輝度特性低下を防止できる。また、純ＡＬ膜で蛍光面３をコーティングすることにより，蛍光面３から発生するガスを抑制して真空蒸着槽１３内の圧力を減少させ、純ＡＬ膜による蛍光面３のコーティング後（蒸着中期以降）の熱吸収膜１１の構成材料（Ｆｅ）の平均自由行程を大きくして、均一で安定した熱吸収膜１１を形成することができる。
【００４７】
すなわち、この実施の形態２による複合膜２０の形成では、以下のプロセスをたどると考えられる。先ず蒸着初期において純ＡＬ蒸着材２７による純ＡＬ蒸気のみが真空蒸着槽１３内に生じて、ガラスパネル２の蛍光面３上に純ＡＬ膜が導電反射膜１０として形成され、次に複合蒸着材１７の外装材であるＡＬによる蒸着がこれに加わる。
【００４８】
次に、複合蒸着材１７による蒸気がＡＬおよびＦｅの混合蒸気となるが、このとき未だ蒸発が完了していない純ＡＬ蒸着材２７による蒸気が真空蒸着槽１３内に存在するために、Ｆｅ蒸気分圧は非常に低く複合膜へのＦｅ混入比率は非常に低い。次に、純ＡＬ蒸着材２７が蒸発し切ると真空蒸発槽１３内のＦｅ蒸気分圧が大きくなるために、Ｆｅによる熱吸収膜１１が形成される。このようなプロセスを経ることについては、気体の平均自由工程および状態方程式、ラウールの法則によって以下のように説明することができる。
【００４９】
すなわち、平均自由行程λは分子数密度をｎ、分子直径をσとすると、
λ＝１／（２ｎπσ２  ）
と表され、かつ状態方程式から
Ｐ＝ｎｋＴ（Ｐ：圧力，ｋ：ボルツマン定数，Ｔ：温度）
の関係が与えられるため，平均自由行程は圧力（ここでは蒸気分圧）に反比例する。
【００５０】
また、複合蒸着材１７を用いたこの実施の形態２による蒸着方法は、蒸着プロセスをごく短い時間で区切って考えると従来公知の二元蒸着法として扱えるが、二元蒸着法では平衡蒸気分圧はラウールの法則で示されるように、各蒸気のモル分率によって制御可能である。
【００５１】
つまり、この実施の形態２による蒸着方法では、分子密度を制御することによって蒸気分圧を適当に設定すれば平均自由行程を間接的に制御でき、それによって被蒸着面である蛍光面３に形成される導電反射膜１０および熱吸収膜１１の組成を制御することが可能となることを利用している。
【００５２】
【発明の効果】
本発明に係る請求項１記載の陰極線管の製造方法によれば、工程（ｂ−１）において、前記複合蒸着材が加熱により融け始めてから前記加熱蒸発の工程が完了するまでの間に、複合蒸着材と蛍光面の間を少なくとも一度遮断することとしているので、蒸着により成膜される導電反射膜と熱吸収膜の二層化が促進され、製造工程が複雑化することなく、色選別電極表面の熱吸収特性に優れ、かつ輝度特性を低下させない陰極線管を製造できる。
【００５３】
本発明に係る請求項６記載の陰極線管の製造方法によれば、複合蒸着材および純アルミニウム蒸着材を真空槽内で併せて加熱蒸発させ、蛍光面上に導電反射膜および熱吸収膜を形成するので、蒸着開始時のＡＬ蒸気分圧を熱吸収膜の構成材料の蒸気分圧と比べて大きくでき、導電反射膜の表面付近バルク層に熱吸収膜の構成材料が混入してしまう現象、および熱吸収膜の表面付近バルク層に導電反射膜の構成材料（ＡＬ）が混入してしまう現象を抑制することができ、製造工程が複雑化することなく、色選別電極表面の熱吸収特性に優れ、かつ輝度特性を低下させない陰極線管を製造できる。
【００５４】
本発明に係る請求項１２記載の陰極線管によれば、色選別電極表面の熱吸収特性に優れ、かつ輝度特性を低下させない陰極線管を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる製造方法が適用されるカラー陰極線管の概略構成を示す断面図である。
【図２】同陰極線管におけるガラスパネル蛍光面の一部を示す拡大断面図である。
【図３】実施の形態１による蛍光面上への導電反射膜および熱吸収膜の形成に用いられる蒸着装置の概略構成を示す断面図である。
【図４】実施の形態１による成膜工程に用いられる複合蒸着材を示す斜視図である。
【図５】実施の形態１による成膜工程により得られた導電反射膜および熱吸収膜からなる複合膜の組成変化を示す図である。
【図６】従来例の成膜工程により得られた複合膜の組成変化を示す図である。
【図７】実施の形態１による成膜工程により得られた複合膜を高温処理した後の組成変化を示す図である。
【図８】従来例の成膜工程により得られた複合膜を高温処理した後の組成変化を示す図である。
【図９】この発明の実施の形態２による蛍光面上への導電反射膜および熱吸収膜の形成に用いられる蒸着装置の概略構成を示す断面図である。
【図１０】同実施の形態２による成膜工程により得られた複合膜を高温処理した後の組成変化を示す図である。
【図１１】実施の形態１，２による成膜工程により得られた高温処理後の複合膜の蛍光面側表面反射率および色識別電極側表面輻射率を、従来例と比較した結果を示す図である。
【符号の説明】
３  蛍光面、７  色選別電極、１０  導電反射膜、１１  熱吸収膜、１３  真空蒸着槽、１４，２４  加熱源、１５  シャッター、１７  複合蒸着材、２０複合膜、２７  純ＡＬ蒸着材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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