(57)【要約】【課題】圧着時に積層したグリーンシートにずれが生じることを防止ししつつ、中間層に位置するグリーンシートのカットマークを目印として切断することも可能にしたグリーンシート積層品の製造方法を提供する。【解決手段】本発明のグリーンシート積層品の製造方法においては、配線パターンが印刷され切断対象となる主要なグリーンシート１２が、外枠１５に嵌合固定され、これに対して保護用のグリーンシート１４が圧着され積層される。また、積層グリーンシートにおいてグリーンシート１２よりも外層部に配置されるグリーンシート１４が、グリーンシート１２よりも幅方向に小さくなるように形成され、カットマーク１２２の外側端部を外部に露出させている。また、グリーンシート１４において、グリーンシート１２の中央のカットマーク１２３に対応した部分に予め露出穴１４２が設けられている。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリーンシートを複数枚積層して構成され、同一面上に配線パターンとカットマークが形成されたグリーンシートをその中間層に有する積層グリーンシートを、前記カットマークを目印として切断することにより、グリーンシート積層品を製造する製造方法において、
少なくとも前記配線パターン及び前記カットマークが形成されるグリーンシートの側面を、前記グリーンシートよりも熱膨張率が小さく、さらに該グリーンシートの熱膨張又は収縮時の伸縮力に耐えうる剛性を有する外枠により取り囲むことで、該グリーンシートを該外枠により固定する外枠取付工程と、
前記外枠が取り付けられたグリーンシートに対し、前記配線パターンと前記カットマークを前記グリーンシートの側面以外に印刷する印刷工程と、
前記外枠が取り付けられたグリーンシートが少なくとも前記中間層となるように他のグリーンシートを積層し、該積層方向に圧着する圧着工程と、
前記圧着工程にて圧着されて構成された積層グリーンシートを、前記カットマークを目印として切断する切断工程と、
を備え、
前記積層グリーンシートにおいて、前記中間層に配置されたグリーンシートの前記カットマークの少なくとも一部を外部に露出させるように、該グリーンシートよりも外層部にあるグリーンシートの該当部分に予め露出穴を設けておき、
前記切断工程にて、該露出穴から露出したカットマークを目印として切断することを特徴とするグリーンシート積層品の製造方法。
【請求項２】
グリーンシートを複数枚積層して構成され、同一面上に配線パターンとカットマークが形成されたグリーンシートをその中間層に有する積層グリーンシートを、前記カットマークを目印として切断することにより、グリーンシート積層品を製造する製造方法において、
少なくとも前記配線パターン及び前記カットマークが形成されるグリーンシートの側面を、該グリーンシートよりも熱膨張率が小さく、さらに該グリーンシートの熱膨張又は収縮時の伸縮力に耐えうる剛性を有する外枠により取り囲むことで、該グリーンシートを該外枠により固定する外枠取付工程と、
前記外枠が取り付けられたグリーンシートに対し、前記配線パターンと前記カットマークを前記グリーンシートの側面以外に印刷する印刷工程と、
前記外枠が取り付けられたグリーンシートが少なくとも前記中間層となるように他のグリーンシートを積層し、該積層方向に圧着する圧着工程と、
前記圧着工程にて圧着されて構成された積層グリーンシートを、前記カットマークを目印として切断する切断工程と、
を備え、
前記積層グリーンシートにおいて、前記中間層に配置されたグリーンシートの側面近傍に配置されたカットマークの外側端部を外部に露出させるように、該グリーンシートよりも外層部にあるグリーンシートの少なくとも一方向の幅を、前記中間層に配置されたグリーンシートの同方向の幅よりも小さく形成したことを特徴とするグリーンシート積層品の製造方法。
【請求項３】
前記積層グリーンシートの最外層に位置するグリーンシートが、前記配線パターン及び前記カットマークが印刷されない保護層であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のグリーンシート積層品の製造方法。
【請求項４】
前記印刷工程において、前記各外枠の積層のための位置あわせに形成した基準線を基準として前記配線パターン及び前記カットマークの位置を算出し、前記グリーンシートの該算出された位置に印刷を行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のグリーンシート積層品の製造方法。
【請求項５】
前記各グリーンシートには、積層の際の位置合わせ用の露出穴が穿孔され、
前記圧着工程において、前記グリーンシートの載置面に予め固定された前記露出穴と略同断面を有するピンに対し、前記露出穴を挿通させつつ各グリーンシートを積層することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のグリーンシート積層品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、グリーンシート積層品の製造方法に関し、詳しくは、積層グリーンシートを予め印刷したカットマークを目印として切断することによりグリーンシート積層品を得る製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、セラミックコンデンサやヒータ素子などの積層型電子部品の製造においては、配線パターンが形成されたグリーンシートを含む複数のグリーンシートを積層して圧着し、予めグリーンシートに印刷されたカットマークを目印にしてその積層グリーンシートを切断することにより、グリーンシート積層品を得ていた。
【０００３】
具体的には、グリーンシートに配線パターンを印刷にて形成するのと同時に、各グリーンシートにおける余白部の四隅表面に、最端部に位置した切断線の端部と重なるようにした線状の認識マークを印刷にて形成し、積層グリーンシートの端面を認識カメラで撮影して画像処理することによって認識マークの位置を検出し、検出された認識マークの位置を基準にして切断箇所を設定する方法が提案されたりした（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
かかる製造方法によれば、積層グリーンシートの側面に切断線の端部を連ねた認識マークが現れるため、各グリーンシートの切断位置が確認でき、この認識マークを基準とすることで、積層グリーンシートを所望の位置で切断することができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−７８２７２号公報（図２等）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、かかる製造方法では、その圧着工程において、積層されたグリーンシートが加熱下で積層方向に圧縮された際、各グリーンシートの熱膨張や収縮或いは積層間のすべり等により、積層間にずれが生じる場合がある。また、印刷工程後、グリーンシートを乾燥させるが、この乾燥にて各グリーンシートが収縮して大きさが異なり、そのまま積層するとやはりずれが生じる場合がある。このようなずれが生じると、上記認識マークが直線からずれてしまうため、結果的に、積層グリーンシートの所望の位置での切断ができなくなるといった問題がある。
【０００７】
本発明はこうした問題に鑑みてなされたものであり、乾燥を経て積層したグリーンシート又は圧着時に積層したグリーンシートにずれが生じることを防止ししつつ、中間層に位置するグリーンシートのカットマークを目印として切断することも可能にしたグリーンシート積層品の製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
上記課題に鑑み、請求項１記載の発明は、グリーンシートを複数枚積層して構成され、同一面上に配線パターンとカットマークが形成されたグリーンシートをその中間層に有する積層グリーンシートを、カットマークを目印として切断することにより、グリーンシート積層品を製造する製造方法にかかる。
【０００９】
ここでいう「カットマーク」は、グリーンシートの同一面上に印刷された配線パターンを含むグリーンシート積層品を切り出すための基準となるマークであり、所定の画像処理装置により読取可能なものである。このカットマークは、配線パターンと同一の材質からなるものでもよいし、異なる材質からなるものでもよい。
【００１０】
また、本構成では、積層された複数層のうち最外層ではない層に切断基準とするカットマークが印刷されたグリーンシートがあることを前提とするが、最外層のグリーンシートにも配線パターン及びカットマークが印刷されていてもよいし、全く印刷されていなくてもよい。
【００１１】
そして、まず外枠取付工程にて、少なくとも配線パターン及びカットマークが形成されるグリーンシートの側面を、グリーンシートよりも熱膨張率が小さく、さらにグリーンシートの熱膨張又は収縮時の伸縮力に耐えうる剛性を有する外枠により取り囲むことで、該グリーンシートを該外枠により固定する。
【００１２】
尚、ここで、「グリーンシートを外枠により取り囲む」とは、グリーンシートの角部がＲ形状であるために両者間に隙間ができるなど、外枠とグリーンシートとの間に両者の固定に影響がない程度の隙間がある場合を含むことを意味する。つまり、上記外枠へのグリーンシートの固定は、グリーンシートが熱膨張又は収縮しても、そのグリーンシートの側面を外枠に固定することで、グリーンシート自体の大きさが変化することを防止又は抑制するものであり、例えばテープ等その他の固定手段を用いて行うことができる。
【００１３】
そして、印刷工程にて、外枠が取り付けられた所定のグリーンシートに対し、配線パターンとカットマークをグリーンシートの側面以外に印刷する。外枠がある積層グリーンシートにおいては、上述した従来技術のように、積層グリーンシートの側面の認識マークを確認することができないため、グリーンシートの側面以外（表面又は裏面）にカットマークを印刷する。この印刷工程においては、配線パターンとカットマークを同時（交互）に印刷してもよいし、いずれか一方を先に印刷してもよい。
【００１４】
そして、圧着工程にて、外枠が取り付けられたグリーンシートが少なくとも中間層となるように他のグリーンシートを積層し、その積層方向に圧着し、続く切断工程にて、圧着工程にて圧着されて構成された積層グリーンシートを、カットマークを目印として切断するものである。
【００１５】
そして特に、外枠がある積層グリーンシートにおいてグリーンシートの側面以外にカットマークを印刷して積層すると、カットマークを確認することができないため、上記中間層に配置されたグリーンシートのカットマークの少なくとも一部を外部に露出させるように、グリーンシートよりも外層部にあるグリーンシートの該当部分に予め露出穴を設けておき、切断工程にて、この露出穴から露出したカットマークを目印として切断する。
【００１６】
かかる構成によれば、外枠を設けたことにより、配線パターン及びカットマークが形成されるグリーンシートが、乾燥時に収縮することやその後の圧着時に熱膨張又は収縮することが防止されるため、その圧着時に積層間のずれが生じることを防止することができる。このため、積層グリーンシートにおける配線パターン及びカットマークの本来の配置を確保することができる。その結果、カットマークを基準とした切断を行えば、各グリーンシートの正確な位置に切り込みを入れることができ、グリーンシート積層品を高精度に切り出すことができる。
【００１７】
そして、外枠がある積層グリーンシートにおいて切断基準となる主要なカットマークが中間層に配置されていても、これを露出穴から確認することができるため、各グリーンシートがどのような順序で積層されていたとしても、所望の位置で切断することができる。また、露出穴は、配線パターンの配置部分を除くグリーンシートの面内のほぼ全域にわたって穿孔することができるため、カットマークの印刷位置に自由度を持たせることができる。
【００１８】
以上のように、本発明では、切断対象となるグリーンシートを外枠に固定してその変形を防止すると共に、その外枠があっても露出穴からカットマークを認識可能にすることにより、グリーンシート積層品を所望の形状及び大きさで高精度に製造することができる。
【００１９】
次に、請求項２記載の発明も同様に、グリーンシートを複数枚積層して構成され、同一面上に配線パターンとカットマークが形成されたグリーンシートをその中間層に有する積層グリーンシートを、カットマークを目印として切断することにより、グリーンシート積層品を製造する製造方法にかかる。
【００２０】
そして、上記と同様に、まず外枠取付工程にて、少なくとも配線パターン及びカットマークが形成されるグリーンシートの側面を、グリーンシートよりも熱膨張率が小さく、さらにグリーンシートの熱膨張又は収縮時の伸縮力に耐えうる剛性を有する外枠により取り囲むことで、グリーンシートを外枠に固定する。
【００２１】
そして、印刷工程にて、外枠が取り付けられた所定のグリーンシートに対して、配線パターンとカットマークをグリーンシートの側面以外に印刷し、圧着工程にて、外枠が取り付けられたグリーンシートが少なくとも中間層となるように他のグリーンシートを積層して、その積層方向に圧着し、続く切断工程にて、圧着工程にて圧着されて構成された積層グリーンシートを、カットマークを目印として切断するものである。
【００２２】
そして特に、上記積層グリーンシートにおいて、上記中間層に配置されたグリーンシートの側面近傍に配置されたカットマークの外側端部を外部に露出させるように、このグリーンシートよりも外層部にあるグリーンシートの少なくとも一方向の幅を、中間層に配置されたグリーンシートの同方向の幅よりも小さく形成している。
【００２３】
かかる外枠を設けた構成により、配線パターン及びカットマークが形成されるグリーンシートが乾燥時に収縮することやその後の圧着時に熱膨張又は収縮することが防止されることは、上記と同様である。その結果、上記と同様の効果を得ることができる。
【００２４】
そして、切断基準となる主要なカットマークが中間層に配置されていても、グリーンシートの端縁近傍のものであれば、その外部に露出した外側端部を確認することができる。このため、主要なカットマークをグリーンシートの端縁近傍に印刷しておけば、各グリーンシートがどのような順序で積層されていたとしても、所望の位置で切断することができる。
【００２５】
以上のように、本発明においても、切断対象となるグリーンシートを外枠に固定してその変形を防止すると共に、その外枠があっても露出穴からカットマークを認識可能にすることにより、グリーンシート積層品を所望の形状及び大きさで高精度に製造することができる。
【００２６】
以上の構成は、請求項３に記載のように、積層グリーンシートの最外層に位置するグリーンシートが、配線パターン及びカットマークが印刷されない保護層である場合に、その効果を顕著に発揮する。
すなわち、このように最外層のグリーンシートに印刷がされてない積層グリーンシートは、その内層部を覆い隠してしまうため、例えば外層部のカットマークを内層部の相対的な基準（凡その基準）として切断することもできない。その結果、内層部にあるグリーンシートに印刷されたカットマークを見えるようにすることの重要性が非常に大きいからである。
【００２７】
また、特に上述した請求項２に記載の発明においては、上記中間層に配置されたグリーンシートよりも外層部にあるグリーンシートの幅を小さくしているが、その幅が小さくなった方向について外枠から離れるような場合には、当該外層部にあるグリーンシートは、その幅方向の側面が固定されない。このため、その側面とは別の側面にて固定されているとはいえ、圧着時に多少なりとも熱膨張及び収縮をする可能性がある。このため、逆に、このように幅を小さくするグリーンシートは、配線パターン及びカットマークが印刷されない保護層であることが好ましいともいえる。
【００２８】
また、上記印刷工程においては、配線パターンやカットマークの位置を特定するための基準位置が必要となるが、例えば請求項４に記載のように、各外枠の積層のための位置あわせに形成した基準線を基準として配線パターン及びカットマークの位置を算出し、上記グリーンシートのこの算出された位置に印刷を行うようにしてもよい。
【００２９】
尚、ここでいう「基準線」については、例えば外枠の外形が等しいものを積層する場合には、その外側端縁を基準線とすることができ、外枠のグリーンシートを取り囲む面（以下、「開口部」ともいう）の形状が等しい場合には、その内側端縁を基準線とすることもできる。或いは、外枠自体に外枠相互の位置合わせ用のマークが形成されている場合には、そのマークを基準線とすることができる。
【００３０】
かかる構成によれば、圧着工程の際に変形し難い外枠に設けた基準線に基づいて印刷が行われるため、グリーンシートを積層した際の各積層間におけるカットマーク位置の整合性がよくなり、切断工程にて位置精度のよい切断をすることができる。
【００３１】
また、かかる位置あわせの観点からは、請求項５に記載のように、各グリーンシートに積層の際の位置合わせ用の露出穴を穿孔し、圧着工程において、グリーンシートの載置面に予め固定された上記露出穴と略同断面を有するピンに対し、当該露出穴を挿通させつつ各グリーンシートを積層するようにしてもよい。
【００３２】
かかる構成によれば、積層するグリーンシート同士の位置精度をさらに良くすることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を一層明確にするため、本発明の好適な実施例を図面と共に説明する。尚、本実施例は本発明のグリーンシート積層品の製造方法を、ガスセンサのヒータ（グリーンシート積層品）の製造に適用したものであり、図１は当該ヒータの概略構成を示す斜視図である。
【００３４】
図１に示すように、ヒータ１は、いわゆるセラミックヒータであり、幅Ｗが４ｍｍ〜５ｍｍ，長さＬが５０ｍｍ〜６０ｍｍのグリーンシート２（セラミックシート）と、このグリーンシート２の表裏面にスクリーン印刷にて形成された導電性セラミックからなる発熱抵抗体パターン３と、その各発熱抵抗体パターン３を覆うようにグリーンシート２に圧着された保護用のグリーンシート４（セラミックシート）とから構成されている。かかるヒータ１を図示しないガスセンサの検出素子に組付けて通電することで、その検出素子を所定の活性化状態に遷移させることができる。
【００３５】
次に、図２のフローチャートに基づき、図３〜図７を参照しつつヒータ１の製造方法について説明する。尚、ヒータ１の製造は、製造ライン上で行われ、予め設定した製造プログラムに従って動作する図示しない各種製造装置によって実現されるものである。
【００３６】
まず、図３に示すように、予め用意した板状のセラミックシートを切断して、縦：１５ｃｍ〜２５ｃｍ，横：１５ｃｍ〜２５ｃｍの長方形状のグリーンシート１２を切り出し（Ｓ１１０）、金属板からなる外枠１５に嵌合して固定する（Ｓ１２０）。すなわち、外枠１５は、グリーンシート１２の側面を取り囲むようになっており、予めその中央にグリーンシート１２と同じ長方形状の開口部１５１が穿設されている。このため、グリーンシート１２をこの開口部１５１の端縁に沿って嵌合させる。そして、その嵌合部である４辺に沿った表面にテープ５１を貼着し、グリーンシート１２を外枠１５に対して固定する。
【００３７】
続いて、この外枠１５に固定されたグリーンシート１２の予め定める位置に、後述するピンを挿通するための円形の露出穴１２１を穿孔する（Ｓ１３０）。本実施例では、グリーンシート１２の四隅と中央の合計５箇所に露出穴１２１が設けられている。
【００３８】
そして、図４に示すように、外枠１５の開口部１５１の端縁（図中の印刷基準）を基準線とし、そこから予め設定された所定距離及び間隔で、複数の発熱抵抗体パターン３と、後にヒータ１を切り出すための基準とする複数のカットマーク１２２，１２３とをスクリーン印刷する（Ｓ１４０）。
【００３９】
本実施例では、同図に示すように、図中上下方向に延びる発熱抵抗体パターン３を、上下２段で複数列形成している。従って、グリーンシート１２からはその複数列の数の２倍のヒータ１が得られることになる。
そして、その発熱抵抗体パターン３を列方向に分割するために、発熱抵抗体パターン３の延設方向に平行に延びる複数のカットマーク１２２を、グリーンシート１２の上下の端縁近傍に沿って所定の間隔で印刷すると共に、その発熱抵抗体パターン３を２段に分割して切り出すために、発熱抵抗体パターン３の延設方向と直角に延びるカットマーク１２３を、グリーンシート１２の左右端縁近傍の夫々に、上下に各１箇所と中央に２箇所の合計４箇所印刷している。
【００４０】
このようにして、グリーンシート１２の表裏に発熱抵抗体パターン３が印刷されると、続いて、これを所定の乾燥雰囲気の中で乾燥させた後（Ｓ１５０）、その表裏面に保護用のグリーンシート１４を夫々重ね合わせる。各グリーンシート１４は、図５に示すように、グリーンシート１２よりも上下及び左右の幅が小さく形成されており、その四隅及び中央の４箇所の露出穴１２１に対応する位置に、同様の露出穴１４１が穿孔され、さらに、その左右端縁近傍夫々の上下方向中央の２箇所に、グリーンシート１４をグリーンシート１２に重ねたときに上記カットマーク１２３を露出させるための露出穴１４２が穿孔されている。
【００４１】
この積層は、図６に示すように、積層されたグリーンシートの載置面に予め固定された上記露出穴１２１，１４１と略同断面を有するピン（図示せず）に対し、対応するグリーンシート１２の露出穴１２１、及び各グリーンシート１４の露出穴１４１を夫々挿通させつつ各グリーンシートを積層する。
【００４２】
そして、これら積層されたグリーンシートを図示しないプレス装置にて加熱下で積層方向に圧着することによって、図７上段に示す積層グリーンシート１１０とする（Ｓ１６０）。尚、同図においては、便宜上外枠１５を省略しているが、圧着工程終了後に外枠１５から積層グリーンシート１１０を取り外して、後述する切断工程を行うことも可能であるし、積層グリーンシート１１０を外枠１５に取り付けたまま切断工程を行ってもよい。
【００４３】
そして、同図に点線で示すように、積層グリーンシート１１０を複数のカットマーク１２２，１２３に沿って切断する（Ｓ１７０）。この切断工程においては、図示しない画像処理装置のカメラにて、積層グリーンシート１１０の表面を撮影して画像処理することによって各カットマーク１２２，１２３の位置を検出する。すなわち、同図に示すように、グリーンシート１４の図中奥行方向前後の両端縁からは複数列のカットマーク１２２の端部と左右夫々の前後２箇所のカットマーク１２３とが露出しており、さらに、グリーンシート１４の図中左右端縁近傍の前後方向中央の各２箇所に配置された露出穴１４２からは、中央の２つのカットマーク１２３の一部が露出している。このため、これら露出したカットマーク１２２，１２３を検出し、このカットマーク１２２，１２３に沿って切断工具の刃で切り込みを入れることにより切断を行う。こうして、同図下段に示されるヒータ１の半製品が複数切り出される。
【００４４】
そして、これらヒータ１の複数の半製品を、所定の焼成炉に入れて高温で焼成することにより（Ｓ１８０）、図１に示したヒータ１の完成品が得られる。
以上に説明したように、本実施例のヒータ１の製造方法においては、発熱抵抗体パターン３が印刷され切断対象となるグリーンシート１２が、金属製の外枠１５に固定され、これに対して保護用のグリーンシート１４，１４が圧着され積層される。このため、乾燥工程や圧着工程においてグリーンシート１２が熱膨張又は収縮しようとしても、外枠１５によって阻止され、グリーンシート１２の大きさが変化することを防止又は抑制することができる。その結果、積層グリーンシート１１０における発熱抵抗体パターン３及び各カットマーク１２２，１２３の本来の配置を確保することができる。
【００４５】
そして、積層グリーンシート１１０においてグリーンシート１２よりも外層部に配置される印刷のないグリーンシート１４が、グリーンシート１２よりも幅方向に小さくなるように形成され、グリーンシート１２に印刷されたカットマーク１２２の外側端部を外部に露出させている。また、積層グリーンシート１１０のグリーンシート１２よりも外層部にあるグリーンシート１４において、グリーンシート１２の中央のカットマーク１２３に対応した部分に予め露出穴１４２が設けられている。このため、外枠１５が取り付けられ、かつ切断基準となるカットマークが中間層に配置されていても、これら外部に露出したカットマーク１２２，１２３を切断工程の目印として外部から確認することができる。
【００４６】
その結果、各カットマークを基準とした切断を行うことにより、各グリーンシートの正確な位置に切り込みを入れることができ、ヒータ１を高精度に切り出すことができる。
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明の実施の形態は、上記実施例に何ら限定されることなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態をとり得ることはいうまでもない。
【００４７】
例えば、上記実施例では、グリーンシート積層品の一例として、発熱抵抗体パターン３が印刷され切断対象となるグリーンシート１２が一枚あり、その表裏面に保護用のグリーンシート１４を積層したヒータ１を例に挙げた。しかし、本発明のグリーンシート積層品の製造方法は、これに限られず、例えば積層型コンデンサその他の種々の積層型電子部品の製造に適用することができ、また、配線パターンが印刷されたグリーンシートが複数積層されるグリーンシート積層品に対しても適用することができる。図８に上記実施例の変形例を示す。
【００４８】
同図に示すように、本変形例では、主要な配線パターンが印刷されたグリーンシート２１２（下から３段目）以外にも、その下部に、配線パターンが印刷されたグリーンシート３１２及び４１２が積層される。すなわち、本変形例では、配線パターンが印刷されたグリーンシート４１２，３１２，２１２が下からこの順に重ねられて積層され、さらにグリーンシート２１２の上層に保護用のグリーンシート２１４が積層される。
【００４９】
主要なグリーンシート２１２の表面には、上記実施例と同様に、複数の配線パターン２０３，カットマーク２２２及び２２３がスクリーン印刷されており、他のグリーンシート３１２及び４１２には、配線パターン２０３と対応する位置に別の配線パターンがスクリーン印刷されている。このグリーンシート２１２は、外枠２１５に対して嵌合固定されている。ただし、本変形例においては、グリーンシート２１２に形成された配線パターン２０３と比較して、グリーンシート３１２，４１２に形成された配線パターンの重要性は低いものとする。
【００５０】
また、保護用のグリーンシート２１４には、上記実施例の露出穴１４２（図７参照）と同様の円形の露出穴２４２が形成されているが、それとは別に、グリーンシート２１２の配線パターン２０３の延設方向外側端部近傍に複数列印刷されたカットマーク２２２を露出させるための長尺状の露出穴２４１，２４１が穿孔されている。
【００５１】
さらに、全てのグリーンシートが同じ形状の金属製外枠に固定されており、その外枠の外形状を合わせるようにして各グリーンシートが積層される。そして、このように積層された状態で圧着することで、積層グリーンシートを得る。
そして、この積層グリーンシートを、各露出穴２４１，２４２から露出したカットマーク２２２，２２３を目印として切断し、その後焼成することにより、グリーンシート積層品の完成品を得る。
【００５２】
以上に説明した変形例の構成によれば、保護用のグリーンシート２１４を含む各グリーンシートが外枠に固定されるため、それらの乾燥時の収縮による変形又はその後の圧着時の熱膨張及び収縮による変形を防止又は抑制することができ、これらを精度よく積層させることができる。このため、主要なグリーンシートの下層のグリーンシートにも配線パターンが形成されているが、これらが積層間のずれにより切断されてしまうこともない。また、保護用のグリーンシート２１４についても外枠を設け、上記実施例よりもその変形を抑制してずれないようにしているため、各露出穴２４１，２４２を比較的小さく形成しても、内層側のカットマーク２２２，２２３を確認することができる。
【００５３】
また、例えば上記変形例と同様の構成において、グリーンシート２１２よりも下層部に、重要な配線パターンが形成されたグリーンシートが存在する場合には、そのグリーンシートの上層部にあるグリーンシートを全て貫通する所定の露出穴を設けるようにするとよい。
【００５４】
このようにすれば、重要な層が複数層の中間のどこにあっても、最外層のグリーンシート側から該当するグリーンシート上のカットマークを確認することができ、当該カットマークを目印とした切断を行うことができる。その結果、高精度なグリーンシート積層品を製造する際のその製造の自由度が大きくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係るグリーンシート積層品の全体構成を表す斜視図である。
【図２】実施例のグリーンシート積層品の製造方法を表すフローチャートである。
【図３】実施例のグリーンシート積層品の製造工程を表す説明図である。
【図４】実施例のグリーンシート積層品の製造工程を表す説明図である。
【図５】実施例のグリーンシート積層品の製造工程を表す説明図である。
【図６】実施例のグリーンシート積層品の製造工程を表す説明図である。
【図７】実施例のグリーンシート積層品の製造工程を表す説明図である。
【図８】変形例に係るグリーンシート積層品の製造工程を表す説明図である。
【符号の説明】
１・・・ヒータ、  ２，４・・・グリーンシート、
３・・・発熱抵抗体パターン、  １２，１４・・・グリーンシート、
１５，２１５・・・外枠、  １１０・・・積層グリーンシート、
１２１，１４１，１４２・・・露出穴、  １２２，１２３・・・カットマーク、
１５１・・・開口部、  ２０３・・・配線パターン、
２１２，２１４，３１２，４１２・・・グリーンシート、
２２２，２２３・・・カットマーク、  ２４１，２４２・・・露出穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004311647.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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