(57)【要約】【課題】認識時間を大幅に短縮することができる認識装置及び方法を提供する。【解決手段】基板２の複数に区分けされた領域２Ａのうちの部品が装着される部品装着位置７０に対応して配置された部品装着用認識マーク７１を認識する部品装着用認識マーク認識装置において、上記複数の領域の上記認識マークであって直線状に配置された上記認識マークをそれぞれ認識する認識カメラ９０と、上記認識カメラを上記認識マークの直線状に配置された配置方向沿いに大略一定速度で走行させる走行装置５，１５とを備えて、上記走行装置で上記認識カメラを走行させながら上記認識カメラにより上記認識マークを認識させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（２）の複数に区分けされた領域（２Ａ）のうちの部品（８０）が装着される部品装着位置（７０）に対応して配置された部品装着用認識マーク（７１）を認識する部品装着用認識マーク認識装置において、
上記複数の領域の上記認識マークであって直線状に配置された上記認識マークをそれぞれ認識する認識カメラ（９０）と、
上記認識カメラを上記認識マークの直線状に配置された配置方向沿いに大略一定速度で走行させる走行装置（５，１５）とを備えて、
上記走行装置で上記認識カメラを走行させながら上記認識カメラにより上記認識マークを認識させるようにしたことを特徴とする部品装着用認識マーク認識装置。
【請求項２】
上記走行装置で上記認識カメラが走行させられる上記速度は、隣接する認識マーク間の距離を認識マークの画像取込み時間で除した速度である請求項１に記載の部品装着用認識マーク認識装置。
【請求項３】
上記複数の領域で１つのブロック（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ）を構成し、構成されたブロックの対向する一対の角部に配置されかつ異なる領域に配置された上記部品装着用認識マーク（７１Ａ）を上記認識カメラにより認識させる請求項１又は２に記載の部品装着用認識マーク認識装置。
【請求項４】
基板（２）の複数に区分けされた領域（２Ａ）のうちの部品（８０）が装着される部品装着位置（７０）に対応して配置された部品装着用認識マーク（７１）を認識する部品装着用認識マーク認識方法において、
認識カメラ（９０）を上記認識マークの直線状に配置された配置方向沿いに大略一定速度で走行させながら、上記複数の領域の上記認識マークであって直線状に配置された上記認識マークをそれぞれ上記認識カメラで認識させるようにしたことを特徴とする部品装着用認識マーク認識方法。
【請求項５】
上記走行装置で上記認識カメラが走行させられる上記速度は、隣接する認識マーク間の距離を認識マークの画像取込み時間で除した速度である請求項４に記載の部品装着用認識マーク認識方法。
【請求項６】
上記複数の領域で構成された１つのブロック（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ）の対向する一対の角部に配置されかつ異なる領域に配置された上記部品装着用認識マーク（７１Ａ）を上記認識カメラにより認識させる請求項４又は５に記載の部品装着用認識マーク認識方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板の複数の部品装着位置を認識するために各部品装着位置に対応して配置された認識マークを認識する認識装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板を多数の領域に区分けし、各領域に部品を装着する、いわゆる多数個取りの基板において、各領域の部品装着位置を認識するため、部品装着位置の近傍に配置された認識マークに対して認識カメラを移動させて逐一停止させてこれを認識し、次いで、次の認識マークに対して認識カメラを移動させて停止させ、停止時の慣性力による振動停止を待った後、認識カメラで認識させることにより、全ての認識マークを認識する。そして、認識された認識マークの位置を元に、部品装着位置に部品を装着するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構造のものでは、全ての認識マークに対して認識カメラを逐一停止させて認識するため、認識時間が長くなり、実装タクトの短縮化を図ることができないといった問題があった。
【０００４】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、認識時間を大幅に短縮することができる認識装置及び方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【０００６】
本発明の第１態様によれば、基板の複数に区分けされた領域のうちの部品が装着される部品装着位置に対応して配置された部品装着用認識マークを認識する部品装着用認識マーク認識装置において、
上記複数の領域の上記認識マークであって直線状に配置された上記認識マークをそれぞれ認識する認識カメラと、
上記認識カメラを上記認識マークの直線状に配置された配置方向沿いに大略一定速度で走行させる走行装置とを備えて、
上記走行装置で上記認識カメラを走行させながら上記認識カメラにより上記認識マークを認識させるようにしたことを特徴とする部品装着用認識マーク認識装置を提供する。
【０００７】
本発明の第２態様によれば、上記走行装置で上記認識カメラが走行させられる上記速度は、隣接する認識マーク間の距離を認識マークの画像取込み時間で除した速度である第１の態様に記載の部品装着用認識マーク認識装置を提供する。
【０００８】
本発明の第３態様によれば、上記複数の領域で１つのブロックを構成し、構成されたブロックの対向する一対の角部に配置されかつ異なる領域に配置された上記部品装着用認識マークを上記認識カメラにより認識させる第１又は２の態様に記載の部品装着用認識マーク認識装置を提供する。
【０００９】
本発明の第４態様によれば、基板の複数に区分けされた領域のうちの部品が装着される部品装着位置に対応して配置された部品装着用認識マークを認識する部品装着用認識マーク認識方法において、
認識カメラを上記認識マークの直線状に配置された配置方向沿いに大略一定速度で走行させながら、上記複数の領域の上記認識マークであって直線状に配置された上記認識マークをそれぞれ上記認識カメラで認識させるようにしたことを特徴とする部品装着用認識マーク認識方法を提供する。
【００１０】
本発明の第５態様によれば、上記走行装置で上記認識カメラが走行させられる上記速度は、隣接する認識マーク間の距離を認識マークの画像取込み時間で除した速度である第４の態様に記載の部品装着用認識マーク認識方法を提供する。
【００１１】
本発明の第６態様によれば、上記複数の領域で構成された１つのブロックの対向する一対の角部に配置されかつ異なる領域に配置された上記部品装着用認識マークを上記認識カメラにより認識させる第４又は５の態様に記載の部品装着用認識マーク認識方法を提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
本発明の第１の実施形態にかかる部品装着用認識マーク認識方法を実施可能な部品装着用認識マーク認識装置を備えた部品実装装置を図１及び図２に示す。この部品実装装置は、図１及び図２に示すように、基板２を基板保持位置に保持する基板搬送保持装置３，１３と、基板２に装着すべき部品８０を収納する部品供給部の一例としての部品供給カセット８Ａ，８Ｂ，１８Ａ，１８Ｂと、上記部品８０を保持可能な部品保持部材の一例としてのノズル１０と基板側のマーク６９，７１，７２を認識可能なＣＣＤカメラなどの認識カメラ９０を有する装着ヘッド４，１４と、ノズル１０により吸着保持された部品８０の姿勢を認識するＣＣＤカメラなどの部品認識装置９，１９と、部品供給カセット８Ａ，８Ｂ，１８Ａ，１８Ｂと部品認識装置９，１９と基板搬送保持装置３，１３との間で装着ヘッド４，１４を移動させるＸＹロボットより構成される移動装置５，１５と、上記各装置又は部材の動作を制御する制御部１０００（図８参照）とを備えている。
【００１４】
上記ＸＹロボット５，１５は、以下のように構成されている。ＸＹロボット装置６の２本のＹ軸駆動部６ａ，６ａが実装装置基台１６上の部品実装作業領域２００の基板搬送方向の前後端縁に固定配置され、これらの２本のＹ軸駆動部６ａ，６ａにまたがって２本のＸ軸駆動部６ｂ，６ｃがＹ軸方向に独立的に移動可能にかつ衝突回避可能に配置されて、さらに、Ｘ軸駆動部６ｂには第１実装領域２０１内を移動する作業ヘッド４がＸ軸方向に移動可能に配置されるとともに、Ｘ軸駆動部６ｃには第２実装領域２０２内を移動する作業ヘッド１４がＸ軸方向に移動可能に配置されている。よって、上記ＸＹロボット５は、実装装置基台１６に固定された２本のＹ軸駆動部６ａ，６ａと、Ｙ軸駆動部６ａ，６ａ上でＹ軸方向に移動可能なＸ軸駆動部６ｂと、Ｘ軸駆動部６ｂにおいてＸ軸方向に移動可能な作業ヘッド４とより構成される。また、上記ＸＹロボット１５は、実装装置基台１６に固定された２本のＹ軸駆動部６ａ，６ａと、Ｙ軸駆動部６ａ，６ａ上でＹ軸方向に移動可能なＸ軸駆動部６ｃと、Ｘ軸駆動部６ｃにおいてＸ軸方向に移動可能な作業ヘッド１４とより構成される。
【００１５】
なお、この部品実装装置では、図２に示すように、基板搬送保持装置３と、部品供給カセット８Ａ，８Ｂと、装着ヘッド４と、移動装置５と、部品認識装置９とにより図１における左下側の第１部品実装部を構成する。また、基板搬送保持装置１３と、部品供給カセット１８Ａ，１８Ｂと、装着ヘッド１４と、移動装置１５と、部品認識装置１９とにより図１における右上側の第２部品実装部を構成する。この２つの部品実装部は互いに独立して部品実装装置として機能可能なため、以下の説明では一方の部品実装部について行う。
【００１６】
ここで、図１及び図２に示すように、１台の部品実装装置において、基板２の部品実装作業領域２００を基板搬入側から基板搬出側への基板搬入路を中心として第１実装領域２０１と第２実装領域２０２とに２分割し、第１実装領域２０１において、基板２−１を第１実装領域２０１にローダー１により、中央位置に位置した基板搬送保持装置３に搬入して、基板搬入路方向沿いの第１実装領域２０１の端部に配置された部品供給部８Ａ及び第１部品認識部の一例としての認識カメラ９に最も近い部分まで、基板搬送保持装置３を中央位置から移動させて、基板２−１を実装動作のために位置決め保持する。次いで、第１実装領域２０１において、当該基板２−１の第１部品供給部８Ａに近い側の作業者から見て手前側の少なくとも半分の領域（図２の斜線領域２Ａ）に対して、部品供給部８Ａ，８Ｂから部品を吸着保持して実装を行う。その後、第１実装領域２０１での実装作業終了後、基板搬送保持装置３を中央位置まで戻したのち、基板搬送保持装置３から、中央位置に位置して基板搬送保持装置３に隣接した基板搬送保持装置１３に当該基板２−１を移動させる。次いで、基板搬送保持装置１３を中央位置から移動させて、当該基板２−１を第２実装領域２０２の部品供給部１８Ａ及び第２部品認識部の一例としての認識カメラ１９に最も近い部分まで移動させて、基板２−１を実装のため位置決め保持する。次いで、第２実装領域２０２において、当該基板２−１の部品供給部１８Ａに近い側の作業者から見て奥側の少なくとも半分の領域（図２の斜線領域２Ａ）に対して、部品供給部１８Ａ，１８Ｂから部品を吸着保持して実装を行う。その後、第２実装領域２０２での実装作業終了後、基板搬送保持装置１３を中央位置まで戻したのち、基板搬送保持装置１３からアンローダ１１に移動させて、当該基板２−１を第２実装領域２０２から搬出する。この結果、各実装領域２０１，２０２で位置決め保持された基板２と各部品供給部８Ａ，１８Ａと各認識カメラ９，１９との最短距離を、従来のように部品実装作業領域の基板搬入路上に基板を保持している場合と比較して、大幅に短くすることができ、実装時間を短縮することができて、生産性を向上させることができる。
【００１７】
上記基板２は、複数の領域２Ａに区分けされており、各領域２Ａのうちの部品８０が装着される部品装着位置７０に対応して部品装着用認識マーク７１が配置されている。通常は、個別の部品８０の部品装着位置７０の近傍の対角の位置に、部品装着用認識マーク７１が配置されている。
【００１８】
一例として、図３及び図４に示すように、基板２の１００ｍｍ×１００ｍｍの部品装着領域２Ａを、碁盤の目状に１００個に区切り、１つの領域２Ａが１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさの正方形の領域２Ａに区切る。各領域２Ａには、部品装着位置７０を挟んで対角の位置にそれぞれ部品位置認識用マーク７１が配置されている。部品位置認識用マーク７１の配置の仕方としては、１個の部品装着位置７０に対して、対角の位置にそれぞれ部品位置認識用マーク７１が配置されていたり、複数個の部品装着位置を含む部品装着領域２Ａの最も外側の対角の位置にそれぞれ部品位置認識用マーク７１Ａが配置されていたりする。
【００１９】
上記各部品実装動作では、まず、移動装置５の駆動により装着ヘッド４を移動させて、図３に示すように、基板搬送保持装置３により保持された長方形又は正方形の基板２の対角に配置された一対の基板位置決め用基板認識マーク６９を装着ヘッド４の認識カメラ９０でそれぞれ認識させる。これにより、基板搬送保持装置３又は１３により保持された基板２の一対の基板位置決め用基板認識マーク６９を認識して、一対の基板位置決め用基板認識マーク６９の認識結果に基づき、基板搬送保持装置３を駆動してＸ方向またはＹ方向に基板２を移動させて、上記部品実装装置の装置原点に基づく基板２の位置決めを行う。
【００２０】
次いで、位置決めされた基板２の予め多数の領域２Ａに区切られた各領域２Ａの部品装着位置７０に対する一対の部品装着位置用認識マーク７１を認識する。図３に示すように、部品装着位置用認識マーク７１は、各領域２Ａの部品装着位置７０を挟んで各領域２Ａの１組の対角近傍にそれぞれ配置されており、かつ、基板２の横方向言い換えればＸ方向沿いには一列状に配置されるとともに、基板２の縦方向言い換えればＹ方向沿いにも一列状に配置されている。従って、例えば、基板２の最も左下の領域２Ａの左下の角部の部品装着位置用認識マーク７１からＸ方向（図３及び図４の右方向）に一直線状に装着ヘッド４を移動装置５の駆動により移動させる。このとき、各認識マーク７１の位置で逐一停止する代わりに、認識処理可能な一定速度ｖで装着ヘッド４を走行し続けて、認識マーク７１を次々に認識して制御部１０００の記憶部１００１（図８参照）に記憶させていく。
【００２１】
次いで、基板２の最も右下の領域２Ａの左下の角部の部品装着位置用認識マーク７１を認識したのち、その領域２Ａ外に外れると、当該領域２Ａの右上の角部の部品装着位置用認識マーク７１を認識可能な距離だけＹ方向に移動したのち、その領域２Ａの右上の角部の部品装着位置用認識マーク７１から認識を開始するように、先とは逆のＸ方向（図３及び図４の左方向）に一直線状に装着ヘッド４を移動装置５の駆動により移動させて、認識処理可能な一定速度ｖで走行し続けて、認識マーク７１を次々に認識していく（矢印Ａ参照）。
【００２２】
次いで、基板２の最も左下の領域２Ａの右上の角部の部品装着位置用認識マーク７１を認識したのち、その領域２Ａ外に外れると、当該領域２Ａの上の領域２Ａの左下の角部の部品装着位置用認識マーク７１を認識可能な距離だけＹ方向に移動したのち、その領域２Ａの左下の角部の部品装着位置用認識マーク７１から認識を開始するように、Ｘ方向（図３及び図４の右方向）に一直線状に装着ヘッド４を移動装置５の駆動により移動させて、認識処理可能な一定速度ｖで走行し続けて、認識マーク７１を次々に認識していく（矢印Ｂ参照）。
【００２３】
このようにして、各領域２Ａの左下の角部の部品装着位置用認識マーク７１と右上の角部の部品装着位置用認識マーク７１を逐一停止することなく連続的に認識する。
【００２４】
次いで、各領域２Ａでの左下と右上の両方の部品装着位置用認識マーク７１をすべて認識し終わると、装着工程を行う。すなわち、各領域２Ａでの左下と右上の両方の部品装着位置用認識マーク７１をそれぞれ認識した結果に基づき、当該領域２Ａでの部品装着位置７０での位置ズレを制御部１０００の演算部１００２（図８参照）で算出する。
【００２５】
一方、上記部品供給カセット８Ａから供給された部品８０を、ノズル４により吸着保持したのち、部品認識カメラ９により部品８０の姿勢を認識する。この認識結果に基づき、部品８０の姿勢を補正したのち、当該領域２Ａの部品装着位置７０に、先に算出された位置ズレを考慮しつつ、図５に示すように部品８０を装着する。
【００２６】
また、半田の印刷不良などの要因による部品装着不要個所には、図４に「×」印で示すように、バッドマーク（不良箇所表示マーク）７２が付けられており、これを認識する必要がある。バッドマーク７２は、認識マーク７１を認識するために上記Ｘ方向へ装着ヘッド４が移動する経路上に位置するように配置されておれば、認識マーク７１を認識するときに同時的にバッドマーク７２の検出も行うことができる。
【００２７】
このような上記実施形態にかかる認識動作を、具体的な例を基に、従来と比較してみる。
【００２８】
従来は、認識マークに対して認識カメラを例えば１０ｍｍあたり５６ｍｓの速度で移動させて、認識マークの位置で一旦停止させている。そして、停止時の慣性力による振動停止のため（機構の安定のため）に７５〜１００ｍｓ待った後、認識カメラで５０ｍｓ間、認識マークを認識させる。次いで、再び、次の認識マークまで認識カメラを１０ｍｍあたり５６ｍｓの速度で移動させて、認識マークの位置で一旦停止させて、認識動作を行う。この一連の動作を全ての認識マークに対して行うことにより、全ての認識マークを認識するようにしている。よって、従来では、例えば１００点の認識マークのそれぞれに対して、５６ｍｓ＋（７５〜１００ｍｓ）＋５０ｍｓ＝１８１〜２０６ｍｓかかっており、全体として（１８１〜２０６ｍｓ）×１００点＝１８１００〜２０６００ｍｓ＝１８．１〜２０．６ｓかかっていた。さらに、バッドマーク認識のためには、１５ｓ余分に必要となっており、合計（１８．１〜２０．６ｓ）＋１５ｓ＝３３．１〜３５．６ｓかかっていた。
【００２９】
これに対して、上記実施形態では、例えば、認識マーク７１の記憶部１００１への画像取込み時間を１６ｍｓ、認識マーク位置間の距離が１０ｍｍとすると、１０ｍｍ／１６ｍｓ≒６２５ｍｍ／ｓとなる。よって、装着ヘッド４を移動装置５の駆動により、６２５ｍｍ／ｓ以下で走行すれば、認識マーク７１を走行しながら認識することができる。よって、本実施形態では、１００点の認識マークの横方向沿いの各列（１０ｍｍ間隔で合計１０個の認識マークがあり、最大認識マーク間距離は１００ｍｍの列）に対して、１００ｍｍ／（６２５ｍｍ／ｓ）＝０．１６ｓかかっており、全体として０．１６ｓ×１０列＝１．６ｓ秒かかる。さらに、バッドマーク認識のためには、各列に対してそれぞれ０．５ｓかかっており、縦方向の移動に２．５ｓかかり、全体として０．５ｓ×１０列＝５ｓかかり、合計１．６ｓ＋０．５ｓ＋２．５ｓ＝４．６ｓかかる。よって、従来の大略８分の１程度まで短縮できる。
【００３０】
上記実施形態によれば、各認識マーク７１で逐次停止して認識することなく、大略一定速度ｖで走行しながら、各認識マーク７１の認識動作を行うようにしたので、認識時間を大幅に短縮させることができて、実装タクトを短縮させることができる。
【００３１】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。
【００３２】
例えば、上記実施形態では、正方形の基板２を対象にしており、横方向に認識カメラ９０が走行するようにしたが、縦方向に走行するようにしてもよい。
【００３３】
また、上記実施形態では、各領域２Ａの認識マーク７１をすべて認識するようにしている。これは、部品装着精度が高いとき（例えば±１０μｍのとき）には必要なことである。これに対して、部品装着精度がさほど高くないとき（例えば±５０〜１００μｍ程度のとき）には、上記各領域２Ａの認識マーク７１をすべて認識することなく、上記複数の領域２Ａ毎に認識マーク７１を認識するようにしてもよい。具体的には、各領域２Ａの認識マーク７１を認識するとき、領域２Ａ毎に一対の認識マーク７１を認識する方法の他に、複数の領域２Ａをブロック化して、そのブロックの対角の一対の認識マーク７１を認識するようにしてもよい。例えば、図６に示すように、隣接する４個の領域２Ａを１つのブロック２Ｂとして取り扱うとき、当該ブロック２Ｂの左下の領域２Ａの左下の角の認識マーク７１Ａと、当該ブロックの右上の領域２Ａの右上の角の認識マーク７１Ａとを認識するようにすればよい。また、隣接する４個の領域２Ａを１つのブロック２Ｂとして取り扱う他、隣接する２個の領域２Ａを１つのブロック２Ｃとして取り扱ったり、図７に示すように隣接する９個の領域２Ａを１つのブロック２Ｄとして取り扱ったり、言い換えれば、隣接する２以上の任意の個数の領域２Ａを１つのブロックとして取り扱うこともできる。各ブロックでは、当該ブロックの左下の角の認識マーク７１Ａと、当該ブロックの右上の角の認識マーク７１Ａとを認識するようにすればよい。
【００３４】
このようにすれば、部品装着精度がさほど高くないときに実装タクトを早くすることができる。結果的には、１領域毎に飛ばして認識したり、１列飛ばして認識することができるようになる。又は、認識マークが汚れて認識できないときには、近傍の認識マークの認識結果を代用する子とも可能となる。
【００３５】
また、図４に示すように、認識マーク７１の並んでいるＸ方向の横の列上にバッドマーク７２が配置されており、認識マーク７１の認識時にバッドマーク７２も認識する場合であって、例えば、１０ｍｍ毎に認識マーク７１が配置され、その中間位置にバッドマーク７２が配置されているとき、バッドマーク７２が無い箇所では１０ｍｍ毎に認識マーク７１を認識しつつ走行するような速度である一方、バッドマーク７２が配置されている付近では５ｍｍ毎に認識マーク７１又はバッドマーク７２を認識するような速度として、バッドマーク７２の存在の有無に応じて速度を変更して認識カメラを走行させることもできる。
【００３６】
また、図６及び図７に示すように上記ブロック化して認識マークを認識するときには、バッドマーク７２は基板２の上記領域以外の部分に、どの領域にバッドマーク７２が付けられているかの情報がバーコードなどで記録されたり、又は、当該基板２の情報として別途データベース又はハシなどの記憶媒体で提供することができる。
【００３７】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、各認識マークで逐次停止して認識することなく、大略一定速度で走行しながら、各認識マークの認識動作を行うようにしたので、認識時間を大幅に短縮させることができて、実装タクトを短縮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる部品実装装置の斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態にかかる部品実装装置の平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態にかかる部品実装装置の認識対象の基板の平面図である。
【図４】（Ａ），（Ｂ）は本発明の第１実施形態にかかる部品実装装置の認識対象の基板の部分拡大平面図及び部品実装装置の認識カメラの走行速度のグラフである。
【図５】本発明の第１実施形態にかかる部品実装装置の認識対象の基板の１つの領域に部品が装着された状態の部分拡大平面図である。
【図６】本発明の他の実施形態にかかる部品実装装置の認識対象の基板の部分拡大平面図である。
【図７】本発明のさらに他の実施形態にかかる部品実装装置の認識対象の基板の部分拡大平面図である。
【図８】図１の部品実装装置のブロック図である。
【符号の説明】
１…ローダー、２…基板、２Ａ…領域、３，１３…基板搬送保持装置、４，１４…装着ヘッド、５，１５…ＸＹロボット、６ａ…Ｙ軸駆動部、６ｂ，６ｃ…Ｘ軸駆動部、７，１７…ノズル交換装置、８Ａ，８Ｂ，８Ｃ，１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ…部品供給部材、９，１９…認識カメラ、１０…ノズル、１１…アンローダー、６９…基板位置決め用基板認識マーク、７０…部品装着位置、７１，７１Ａ，７１Ｂ…部品装着用認識マーク、７２…バッドマーク、８０…部品、９０…装着ヘッド側認識カメラ、１０００…制御部、１００１…記憶部、１００２…演算部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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