(57)【要約】【課題】ガラス基板や液晶を搬送し位置決めするのに特に好適なローラコンベアに関し、高精度かつ高速運転が可能なローラコンベアを得る。【解決手段】複数のローラ軸５が１本の駆動軸３に連結されて同期駆動されるローラコンベアにおいて、駆動軸３がフィードバック制御用の回転検出器を内蔵したサーボモータ１で駆動され、駆動軸３と各ローラ軸５とは磁気結合部、好ましくは傘歯車型の磁気継手８を介して連結されており、ローラ軸５の回転を検出する外部検出器１５と、この外部検出器の信号を受けてサーボモータ１を制御するＮＣ装置１３とを備えている。駆動軸３と各ローラ軸５とが非接触の磁気連結部８を介して回転伝達されているため、カレットにより連結部が摩耗したり、円滑な回転伝達が妨げられるということがない。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のローラ軸（５）が１本の駆動軸（３）に連結されて同期駆動されるローラコンベアにおいて、駆動軸（３）がフィードバック制御用の回転検出器を内蔵したサーボモータ（１）で駆動され、駆動軸（３）と各ローラ軸（５）とは磁気結合部を介して連結されており、ローラ軸（５）の回転を検出する外部検出器（１５）と、この外部検出器の信号を受けてサーボモータ（１）を制御するＮＣ装置（１３）とを備えている、ローラコンベア。
【請求項２】
駆動軸（３）と各ローラ軸（５）とが傘歯車型の磁気継手（８）を介して連結されている、請求項１記載のローラコンベア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ローラコンベア、特にガラス基板や液晶の加工装置において当該ガラス基板や液晶を搬送し位置決めするのに好適なローラコンベアに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス基板や液晶などの硬質脆性板の割断や面取を行う装置では、搬送装置によって板材を加工位置に位置決めして、あるいは工具との正確な位置関係を保持しつつ板材を搬送して加工を行っている。従って、このときの板材の搬送や位置決めには、高い位置精度が必要である。
【０００３】
このような装置における板材の搬送には、ローラコンベアを使用することが多い。従来のローラコンベアは、図４に示すように、ステッピングモータ２１で駆動軸３を回転駆動し、傘歯車２２を介してこの駆動軸３に連結された多数のローラ軸５を一括して同期駆動するようになっている。ステッピングモータ２１は、駆動電流の１パルス毎に１ステップの回転を行うので、オープンループの制御であっても駆動軸３を正確に回転させることが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなローラコンベアは、搬送路の一側辺に沿って駆動軸３が配置され、当該駆動軸と各ローラ軸との連結部に傘歯車２２が設けられている。このようなローラコンベアをガラス基板や液晶のスクライブ装置や面取装置における板材の搬送・位置決め装置として用いた場合には、次に述べるような問題が生ずる。即ち、
▲１▼　板材の加工時に生ずるカレット（小さなガラスのかけら）が傘歯車２２の噛み合い面に侵入して、ローラ軸の滑らかな回転動作を妨げたり、傘歯車を摩耗させるため、傘歯車２２の定期的な交換を必要とする。なお、ガラス基板などの加工装置では、加工液として水を使用するので、樹脂製の傘歯車２２が用いられており、傘歯車２２が摩耗しやすい。
▲２▼　傘歯車２２のバックラッシュのために、ローラ軸５を正確に位置決めできず、ワーク２０の加工位置や加工量に誤差が生ずる。
▲３▼　ステッピングモータは、加減速時に脱調を生ずることがあり、高速搬送を行うことができず、高速搬送しようとすると、正確な位置決めができなくなる。特に、別々のモータで駆動される２台のローラコンベアを同期回転させることが難しく、コンベア間での板材の受渡しのときに位置ずれが生じやすく、高精度な搬送や位置決めが不可能である。
【０００５】
そこでこの発明は、上記問題を解決して、ガラス基板や液晶の搬送・位置決めに特に適した高精度かつ高速運転が可能なローラコンベアを得ることを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決した本願請求項１の発明に係るローラコンベアは、複数のローラ軸５が１本の駆動軸３に連結されて同期駆動されるローラコンベアにおいて、駆動軸３がフィードバック制御用の回転検出器を内蔵したサーボモータ１で駆動され、駆動軸３と各ローラ軸５とは磁気結合部を介して連結されており、ローラ軸５の回転を検出する外部検出器１５と、この外部検出器の信号を受けてサーボモータ１を制御するＮＣ装置１３とを備えているものである。
【０００７】
本願請求項２の発明に係るローラコンベアは、上記請求項１記載のローラコンベアにおいて、駆動軸３と各ローラ軸５とが傘歯車型の磁気継手８を介して連結されていることを特徴とするものである。
【０００８】
上記構造のローラコンベアでは、駆動軸３と各ローラ軸５とが非接触の磁気連結部８を介して回転伝達されているため、カレットにより連結部が摩耗したり、円滑な回転伝達が妨げられるということがない。
【０００９】
駆動軸３を駆動するサーボモータ１は、内蔵された回転検出器の検出信号によるフィードバック制御による正確で高速な回転角及び回転速度の制御が可能であり、更にこの発明では、外部検出器１５により、ローラ軸５の回転角及び回転速度を検出して、その検出値に基づいてサーボモータ１に与える指令値をＮＣ装置で補正するので、磁気連結部８で生ずる滑りが外部検出器１５とＮＣ装置１３とによる第２のフィードバック制御により補正されて、ローラ軸５の応答性及び精度の高い制御が可能になる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明に係るローラコンベアの一実施例を示した模式図である。図中、１はサーボモータ、２はサーボモータ１に内蔵された回転検出器、３はカップリング４でサーボモータ１に連結された駆動軸、５・・・は、この駆動軸の軸心を含む平面上に当該駆動軸と直交する方向に一定間隔で多数配置されたローラ軸である。駆動軸３には、ローラ軸５の配置間隔と等しい間隔で磁気駆動輪６が固定されており、各ローラ軸５の駆動軸側軸端には、磁気従動輪７が固定されている。
【００１１】
図２は、磁気駆動輪６と磁気従動輪７で構成される磁気連結部８の詳細を示した平面図である。磁気駆動輪６及び磁気従動輪７は、軸直角方向の固定ねじ９を有するボス１０ａ、１０ｂにリング状の磁石１１ａ、１１ｂを接着剤で固定した構造で、駆動側磁石と従動側磁石のＮ極とＳ極とが互いに直交する位置関係で対向している。駆動軸３が回転すると、磁気従動輪７が磁気駆動輪６の磁石の回転に引きずられて、ちょうど傘歯車で回転が伝達されるようにローラ軸５が回転する。なお、図に示した１２は、コンベアフレームで、各ローラ軸５及び駆動軸３は、このコンベアフレーム１２にそれぞれ自由回転可能に軸支されている。
【００１２】
図１において、１３はＮＣ装置、１４はサーボ制御器、１５はコンベアフレーム１２に取付けられてローラ軸５の回転を検出している外部検出器である。ＮＣ装置１３には、ローラコンベアの運転を制御するコンベア制御部１６を備えているが、この発明のローラコンベアのＮＣ装置１３は、外部検出器１５の検出信号に基づいて、コンベア制御部１６の指令値を補正する補正部１７を備えている。補正部１７には、試験運転の際の実測値に基づく補正値ないし補正演算式が登録されており、コンベア制御部１６から出力される指令値が当該時点での外部検出器１５の検出信号に基づいて補正されて、サーボ制御器１４に与えられている。即ち、この発明の装置では、サーボモータ１に内蔵された回転検出器２のフィードバック信号と共に、ローラ軸５の回転を検出している外部検出器１５の検出信号でサーボ制御器１４に与える指令値を補正することにより、ローラ軸５の正確な回転と停止位置とが保証されるようにしている。
【００１３】
図３に示すように、２台のローラコンベア１８、１９でガラス基板２０を搬送するときにも、ローラコンベア１８、１９としてこの発明のローラコンベアを用いれば、両コンベアのローラ軸の回転速度や停止位置を正確に同期させることが可能になり、上流側コンベアから下流側コンベアへのガラス基板２０などの受け渡しにローラ軸とガラス基板との間にスリップが生じて、下流側コンベア１９によるガラス基板２０の送り位置に誤差が生ずるのを防止でき、正確な搬送が可能になる。また、ローラ軸の加減速時においても、高速な回転立上げが可能で、搬送速度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態を示すブロック図
【図２】磁気連結部の詳細図
【図３】２台のローラコンベアでのガラス基板の搬送を示す模式図
【図４】従来のローラコンベアの模式的な平面図
【符号の説明】
１　サーボモータ
３　駆動軸
５　ローラ軸
８　磁気連結部
１３　ＮＣ装置
１５　外部検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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