(57)【要約】【課題】　印刷用スクリーンの下面に付着し、印刷ペースト供給孔内に残留している印刷ペーストを十分に安定して除去できるようにする。【解決手段】　拭き取り材５による印刷用スクリーン４の摺擦部に対し、吸引口８からの吸引領域７によるクリーニング部が先行して、印刷ペースト３を吸引するのに併せ、吸引口８に拭き取り材を５引き込み形成するポケット１１に前記吸引する印刷ペースト３を収容した後、バックアップ部材６によるバックアップが解除されたバックアップ解除部分５ａによるクリーニング部が後行して印刷ペースト３を掻き取り除去し、クリーニングすることにより、あるいは前記先後を逆にして、上記の目的を達成する。【選択図】　図１
2004066832.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンの印刷ペースト供給部を通じて被印刷体上に印刷ペーストを供給する印刷用スクリーンの下面に、拭き取り材をバックアップ部材にてバックアップして摺擦させることにより、その下面に付着している印刷ペーストを拭き取りながら、バックアップ部材に設けられた吸引口を通じて拭き取り材を介し吸引することにより、印刷用スクリーンの下面に付着し、また印刷ペースト供給部に残留している印刷ペーストを拭き取り材の側に吸引して付着保持させ印刷用スクリーンをクリーニングする印刷用スクリーンのクリーニング方法において、
　前記拭き取り材による印刷用スクリーンの摺擦部に対し、吸引口からの吸引領域によるクリーニング部が先行して、印刷ペーストを吸引するのに併せ、吸引口に拭き取り材を引き込み形成するポケットに前記吸引する印刷ペーストを収容した後、バックアップ部材によるバックアップが解除されたバックアップ解除部分によるクリーニング部が後行して印刷ペーストを掻き取り除去し、クリーニングすることを特徴とする印刷用スクリーンのクリーニング方法。
【請求項２】
所定のパターンの印刷ペースト供給部を通じて被印刷体上に印刷ペーストを供給する印刷用スクリーンの下面に、拭き取り材をバックアップ部材にてバックアップして摺擦させることにより、その下面に付着している印刷ペーストを拭き取りながら、バックアップ部材に設けられた吸引口を通じて拭き取り材を介し吸引することにより、印刷用スクリーンの下面に付着し、また印刷ペースト供給部に残留している印刷ペーストを拭き取り材の側に吸引して付着保持させ印刷用スクリーンをクリーニングする印刷用スクリーンのクリーニング方法において、
　前記拭き取り材の印刷用スクリーンへの摺擦部に対し、バックアップ部材によるバックアップが解除されたバックアップ解除部分によるクリーニング部が先行して印刷ペーストを掻き取り除去した後、吸引口からの吸引領域によるクリーニング部が後行して、印刷ペーストを吸引するのに併せ、吸引口に拭き取り材を引き込み形成するポケットに前記吸引する印刷ペーストを収容し、クリーニングすることを特徴とする印刷用スクリーンのクリーニング方法。
【請求項３】
所定のパターンの印刷ペースト供給部を通じて被印刷体上に印刷ペーストを供給する印刷用スクリーンの下面に、拭き取り材をバックアップ部材にてバックアップして摺擦させることにより、その下面に付着している印刷ペーストを拭き取りながら、バックアップ部材に設けられた吸引口を通じて拭き取り材を介し吸引することにより、印刷用スクリーンの下面に付着し、また印刷ペースト供給部に残留している印刷ペーストを拭き取り材の側に吸引して付着保持させ印刷用スクリーンをクリーニングする印刷用スクリーンのクリーニング方法において、
　前記拭き取り材の印刷用スクリーンへの摺擦部に対し、吸引口からの吸引領域によるクリーニング部が先行して、印刷ペーストを吸引するのに併せ、吸引口に拭き取り材を引き込み形成するポケットに前記吸引する印刷ペーストを収容した後、バックアップ部材によるバックアップが解除されたバックアップ解除部分によるクリーニング部が後行して印刷ペーストを掻き取り除去する工程と、
　バックアップ解除部分によるクリーニング部が先行して印刷ペーストを掻き取り除去した後、吸引領域によるクリーニング部が後行して、印刷ペーストを吸引するのに併せ、吸引口に拭き取り材を引き込み形成するポケットに前記吸引する印刷ペーストを収容する工程と、
　によりクリーニングすることを特徴とする印刷用スクリーンのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、印刷用スクリーンのクリーニング方法に関するものであり、例えば、配線パターンを持った回路基板上にクリーム半田や絶縁ペーストなどの印刷ペーストを印刷して電子部品の仮装着や実装に供し、電子回路基板を製造するような場合に利用される。
【背景技術】
【０００２】
　ところで、スクリーン印刷は上記のような電子回路基板の製造上、回路基板にクリーム半田や絶縁ペーストを印刷するのに好適であるが、電子回路基板における配線密度や部品の実装密度が高まるなか、印刷ペーストの印刷パターンも微小化し、印刷量の少しの不足でも部品の装着不良や絶縁不良を招いたり、印刷量の少しの過剰や印刷位置の少しの位置ずれでも配線パターンどうしの短絡や過剰絶縁の原因になったりするので、高精度な印刷が要求される。
【０００３】
　しかし、印刷用スクリーンに所定のパターンで形成される印刷ペースト供給孔も印刷パターンに従って微小化し、印刷ペーストの版離れが悪くなる一方であり、図１２（ａ）（ｂ）に示すように印刷用スクリーンａの印刷ペースト供給孔ｋ内に付着して残りやすいし、長孔パターンの端部などに詰まりやすい。場合によっては印刷ペースト供給孔全体に詰まることもある。このように印刷ペースト供給孔ｋに残留し、詰まる印刷ペーストｍは、印刷用スクリーンａの下面に回り込んで付着する。これらの印刷ペーストｍは次の印刷時に所定の印刷パターンから滲み出したり、所定のパターン以外の部分に印刷されたりして上記のような問題が解消し切れない原因になっている。
【０００４】
　そこで、本出願人は、図１１に示すようなクリーニング装置を先に提案し、印刷に供した後の印刷用スクリーンａを下面からクリーニングするクリーニングヘッドｂを設けている。クリーニングヘッドｂは供給部ｃから繰り出され巻取り部ｄに巻き取られるシート状の拭き取り材ｅと、この拭き取り材ｅの途中を下方からバックアップして印刷用スクリーンａに押し付け、クリーニングヘッドｂの移動により印刷用スクリーンａに摺擦させるバックアップ部材fとを備えている。バックアップ部材ｆのバックアップ面には前記摺擦させる方向に直交する吸引領域hに吸引口jが設けられている。
【０００５】
　これにより、クリーニングヘッドｂは拭き取り材ｅを印刷用スクリーンａに摺擦させることによる拭き取りに加え、図１２（ｃ）に示すような吸引口ｊを通じ拭き取り材ｅを介した吸引により残留している印刷ペーストｍを拭き取り材ｅの側に吸引し付着させることとで、印刷用スクリーンａのクリーニング効果を高めることができ、上記のような問題解消に有効である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　本発明者等は、上記先の提案の技術を実用しているが、既述したような印刷不良の解消になお不安がある。本発明者等はこれにつきさらに検討を重ね改良を試みている。上記先の提案では図１２（ｃ）に示すようにバックアップ部材fの吸引領域ｈが印刷用スクリーンａの印刷ペースト供給孔ｋの下を通り過ぎて、印刷ペースト供給孔kに残留し詰っていた印刷ペーストmを吸引して拭き取り材ｅの側に一旦付着させて吸引口ｊに引き込まれたポケット部ｎに収容して保持させても、図１２（ｄ）に示すようにバックアップ部材ｆによる拭き取り材eの摺擦部分が印刷ペースト供給孔ｋを過ぎて印刷用スクリーンａの平面に対向する位置関係になってから、印刷用スクリーンaの下面におけるバックアップ部材ｆおよび拭き取り材ｅが図１２（ｅ）に示すように通り過ぎて行く部分に、前記ポケット部ｎに一旦は収容し保持された印刷ペーストｍが、点々と残って付着する事態が生じる。
【０００７】
　印刷ペーストｍは紙などの拭き取り材ｅに対する付着力よりも、メタル製の印刷用スクリーンａに対するそれは極く小さく、拭き取り材eに一旦付着し、保持された印刷ペーストｍは印刷用スクリーンａの側に対し滑りながら持ち運ばれるはずであるが、印刷ペーストｍと印刷用スクリーンａとの間の摩擦はゼロでなく、印刷ペーストｍが拭き取り材ｅと印刷用スクリーンａとの間で擦り合わされるときに印刷用スクリーンａとの間の摩擦により拭き取り材ｅとの間で徐々に後方に移行し、終には拭き取り材ｅから外れて印刷用スクリーンａの下面に置き去られ付着したまま残ることがあり問題となる。
【０００８】
　また、上記吸引によっても、印刷用スクリーンａの印刷ペースト供給孔k内に残ることもある。これは、拭き取り材ｅが吸引口ｊへの引き込みによって作るポケットｎの容量が印刷ペースト供給孔ｋに残留し、あるいは詰っていた印刷ペーストｍを収容し切れない大きさで一部を印刷ペースト供給孔ｋ内に残してしまうことが原因していると思われる。
【０００９】
　本発明の目的は、印刷用スクリーンの下面に付着し、印刷ペースト供給孔内に残留している印刷ペーストを十分に安定して除去できる印刷用スクリーンのクリーニング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
　上記の目的を達成するために、本発明の印刷用スクリーンのクリーニング方法は、所定のパターンの印刷ペースト供給部を通じて被印刷体上に印刷ペーストを供給する印刷用スクリーンの下面に、シート状の拭き取り材をバックアップ部材にてバックアップして摺擦させることにより、その下面に付着している印刷ペーストを拭き取りながら、前記摺擦させる方向とほぼ直交する方向の吸引領域に設けられた吸引口を通じて拭き取り材を介し吸引することにより、印刷用スクリーンの下面に付着し、また印刷ペースト供給部に残留している印刷ペーストを拭き取り材の側に吸引して付着保持させ印刷用スクリーンをクリーニングすることを基本構成としている。
【００１１】
　これにより、印刷用スクリーンの下面に、拭き取り材をバックアップ部材にてバックアップして摺擦させることにより拭き取り、かつ、前記摺擦させる方向とほぼ直交する方向の吸引領域に設けられた吸引口を通じて拭き取り材を介し吸引することにより、印刷用スクリーンの下面に付着し、また印刷ペースト供給部に残留している印刷ペーストを拭き取り材の側に吸引して付着保持させる、上記先の提案の場合同様に印刷用スクリーンをクリーニングするものである。
【００１２】
　しかし、本発明の印刷用スクリーンのクリーニング方法は、特に、前記拭き取り材による印刷用スクリーンの摺擦部に対し、吸引口からの吸引領域によるクリーニング部が先行して、印刷ペーストを吸引するのに併せ、吸引口に拭き取り材を引き込み形成するポケットに前記吸引する印刷ペーストを収容した後、バックアップ部材によるバックアップが解除されたバックアップ解除部分によるクリーニング部が後行して印刷ペーストを掻き取り除去し、クリーニングすることを１つの特徴としている。
【００１３】
　このような構成では、先行する吸引領域によるクリーニング部で吸引口にクリーニングウエブを引き込んで形成するポケットに収容して保持し、保持したクリーム半田が印刷用スクリーンの下面に置き去られていっても、後行するバックアップ解除部でのクリーニングにより掻き取り除去して吸引によるクリーニングを補助する相乗効果を発揮してクリーニング効果を高めることができる。
【００１４】
　本発明の印刷用スクリーンのクリーニング方法は、また、前記拭き取り材の印刷用スクリーンへの摺擦部に対し、バックアップ部材によるバックアップが解除されたバックアップ解除部分によるクリーニング部が先行して印刷ペーストを掻き取り除去した後、吸引口からの吸引領域によるクリーニング部が後行して、印刷ペーストを吸引するのに併せ、吸引口に拭き取り材を引き込み形成するポケットに前記吸引する印刷ペーストを収容し、クリーニングすることをたの特徴としている。
【００１５】
　このような構成では、先行するバックアップ解除部でのクリーニングによりクリーム半田を掻き取り除去した分だけ、後行する吸引領域によるクリーニングで吸引口に拭き取り材を引き込んで形成するポケットに収容するクリーム半田の量を少なくして、印刷用スクリーンの孔などに残留したり、詰ったクリーム半田を吸引して収容できる量を多くしてクリーニング効果を高められる相乗効果を発揮する。
【００１６】
　本発明の印刷用スクリーンのクリーニング方法は、また、前記拭き取り材の印刷用スクリーンへの摺擦部に対し、吸引口からの吸引領域によるクリーニング部が先行して、印刷ペーストを吸引するのに併せ、吸引口に拭き取り材を引き込み形成するポケットに前記吸引する印刷ペーストを収容した後、バックアップ部材によるバックアップが解除されたバックアップ解除部分によるクリーニング部が後行して印刷ペーストを掻き取り除去する工程と、バックアップ解除部分によるクリーニング部が先行して印刷ペーストを掻き取り除去した後、吸引領域によるクリーニング部が後行して、印刷ペーストを吸引するのに併せ、吸引口に拭き取り材を引き込み形成するポケットに前記吸引する印刷ペーストを収容する工程と、によりクリーニングすることを別の特徴としている。
【００１７】
　このような構成では、本発明の前記した１つの特徴と、他の特徴との２つのクリーニング状態の双方を併用することによりクリーニング効果は倍加し、繰り返し回数に比例してさらに増大する。
【００１８】
　本発明のそれ以上の目的および特徴は、以下の詳細な説明および図面の記載によって明らかになる。本発明の各特徴は、それ単独で、あるいは種々な組み合わせで複合して用いることができる。
【発明の効果】
【００１９】
　本発明の１つの特徴によれば、先の提案によるクリーニング効果に加え、先行する吸引領域での吸引によるクリーニング対し、後行するバックアップ解除部での掻き取りにより吸引によるクリーニングを補助する相乗効果にてクリーニング効果を高め、高性能な印刷を保証することができる。
【００２０】
　また、本発明の他の特徴によれば、バックアップ解除部での掻き取りによるクリーニングが先行してクリーム半田を除去した分だけ、後行する吸引領域での吸引口に拭き取り材を引き込んだポケットへ収容して除去すべき残余クリーム半田量を少なくなり、印刷用スクリーンの孔などに残留したり、詰ったクリーム半田を吸引して収容できる量が多くなる相乗効果にてクリーニング効果を高め、高性能な印刷を保証することができる。
【００２１】
　本発明の別の特徴によれば、本発明の１つの特徴と、他の特徴との２つのクリーニング状態の双方を併用することによりクリーニング効果は倍加し、繰り返し回数に比例してさらに増大する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
　以下、本発明の実施の形態に係る印刷用スクリーンのクリーニング方法と装置、および拭き取り材のバックアップ部材につき、図１〜図５を参照しながらその実施例とともに詳細に説明し、本発明の理解に供する。
【００２３】
　本実施の形態は図１、図２、図３、図５に示すように、所定のパターンの印刷ペースト供給部としての孔１を通じて被印刷体である回路基板２上に電子部品装着用の印刷ペーストとしてのクリーム半田３を供給する印刷用のスクリーン４の下面に、拭き取り材である紙製のクリーニングウエブ５をバックアップ部材６にてバックアップして摺擦させることにより、その下面に付着しているクリーム半田３を拭き取りながら、前記摺擦させる方向とほぼ直交する方向の吸引領域７に設けられた吸引口８を通じて拭き取り材を介し吸引することにより、スクリーン４の下面に付着し、また孔１に残留しているクリーム半田３をクリーニングウエブ５の側に吸引して付着保持させスクリーン４をクリーニングする場合の一例であり、図５に示すようなスクリーン印刷装置に適用している。
【００２４】
　このスクリーン印刷装置は、印刷ステージ３１上に載置される回路基板２を位置決め機構３０により水平面上の所定位置に位置決めして保持し、その後印刷ステージ３１をエアシリンダなどを利用した昇降手段３２により所定位置まで上動されることにより回路基板２をスクリーン４による印刷位置まで持ち上げスクリーン印刷に供する。スクリーン４の上方には１つ、あるいは向きやサイズ、材質の異なる複数のスキージ３３、３４がエアシリンダ３５、３６により昇降できるように支持されており、使用対象となるものが下動されてスクリーン４の上に圧接された後、ねじ軸３７の正逆を選択した回転駆動により、スキージ３３またはスキージ３４がスクリーン４上に向け傾いている側に移動させて、スクリーン４上に供給しているクリーム半田３をスクリーン４の上面に押し付けながら進行させ、スクリーン４の各部に設けられている孔１を通じて回路基板２上に孔１のパターンの形状通りに供給し、その後スクリーン４の上動、または回路基板２の下動、あるいは双方によってスクリーン４を回路基板２から離し、回路基板２上に供給したクリーム半田３を残すことにより印刷を行う。
【００２５】
　このようなスクリーン印刷後、スクリーン４の下面や孔１内にクリーム半田３が図１（ａ）に示すように付着したり長手方向の端部に詰ったりして残留することがあっても、上記のようなクリーニングにより、スクリーン４の下面に、クリーニングウエブ５をバックアップ部材６にてバックアップして図１の矢印で示す方向やその逆方向に摺擦させることにより拭き取り、かつ、前記摺擦させる方向とほぼ直交する方向の吸引領域７に設けられた吸引口８を通じてクリーニングウエブ５を介し吸引することにより、スクリーン４の下面に付着し、また孔１に残留しているクリーム半田３をクリーニングウエブ５の側に吸引して付着保持させるので、拭き取りだけによる場合に比してより効果的なクリーニングができ、その分回路基板２へのクリーム半田３を印刷する精度が向上する。
【００２６】
　しかし、本発明は以上の説明および図示したところのものに限られることはなく、クリーム半田３以外の例えば回路基板２とそれに実装する電子部品との絶縁を図る絶縁ペーストなどを含む各種の印刷ペーストを、各種の被印刷体にスクリーン４の所定のパターンに形成された印刷ペースト供給部を通じ供給して印刷し、上記のようなクリーニングによってもスクリーン４の下面などにクリーム半田３などの印刷ペーストが残って次の印刷に悪影響するような各種のスクリーン印刷装置に適用して有効である。また、印刷ペースト供給部は印刷ペーストを所定のパターンで被印刷体上に供給できればよく、印刷ペーストを所定のパターンで通すものであればメッシュ部など孔１以外の各種のものを採用することができる。拭き取り材は印刷ペーストの粘着性や引っ掛かり性の少なくとも一方がスクリーン４の下面よりも高いなどにより、スクリーン４に対し拭き取り機能を発揮し、かつ裏面の側からの吸引が表面の側に及ぶ通気性のある材料であればよく、紙以外の不織布、織物および編物など各種のシート材を用いることができる。バックアップ部材６は耐久性や加工性などの面から金属製のものを採用するが、基本的にはバックアップ機能を発揮できればよく、合成樹脂などの非金属材料を採用することもできる。
【００２７】
　本実施の形態のクリーニング方法は特に、上記効果的なクリーニングに加え、さらに、クリーニングウエブ５におけるバックアップ部材６の前記吸引領域７に平行な溝９により部分的にバックアップを解除されているバックアップ解除部５ａが、図１（ｂ）に示すようにスクリーン４の下面に付着したクリーム半田３と対向したとき、前記バックアップ解除部５ａにおける前記溝９の摺擦させる方向での後側の開口縁９ａに支持されたクリーニングウエブ５の部分がクリーム半田３の掻き取りエッジ５ｂとして働いて、スクリーン４の下面に付着したクリーム半田３を掻き取りながら、バックアップ解除部５ａが前記溝９内に退避してポケット１１をなしながら掻き取ったクリーム半田３を収容し保持していくので、クリーニングウエブ５がスクリーン４から除去し担持するクリーム半田３の量が増加しクリーニング効果をさらに高めることができる。
【００２８】
　ここで、前記バックアップ解除部５ａでのクリーニングが吸引領域７によるクリーニングに先行する図１（ｂ）（ｃ）の状態では、バックアップ解除部５ａでのクリーニングによりクリーム半田３を除去できた分だけ、吸引領域７によるクリーニングで吸引口８にクリーニングウエブ５を引き込んで形成するポケット１１に収容すべきクリーム半田３の量を少なくして、孔１に残留し、詰ったクリーム半田３を吸引して収容できる量を多くしてクリーニング効果を高められる相乗効果を発揮する。
【００２９】
　また、前記バックアップ解除部５ａでのクリーニングが図１（ｄ）に示すように吸引領域７によるクリーニングに後行する状態では、先行する吸引領域７によるクリーニング部で吸引口８にクリーニングウエブ５を引き込んで形成するポケット１１に収容し保持したクリーム半田３が、図１（ｃ）に示すように印刷用スクリーン４の下面に置き去られて残るのを、バックアップ解除部５ａでのクリーニングにより図１（ｄ）に示すように掻き取り除去して吸引によるクリーニングを補助する相乗効果を発揮してクリーニング効果を高めることができる。
【００３０】
　これら２つのクリーニング状態のいずれか一方だけ行っても有効であるが、双方のクリーニングを併用することによりクリーニング効果は倍加する。また、吸引領域７によるクリーニング部やバックアップ解除部５ａによるクリーニング部を摺擦方向に必要回数繰り返して設けたり、必要に応じて同じクリーニング部が複数並ぶように設けたりして対応することができるし、２種のクリーニング部の配列が摺擦方向において中心を境に対称であると、正逆どの方向での摺擦によっても同じクリーニング効果が得られ、往復摺擦してクリーニング行うような場合に有利である。
【００３１】
　このようなクリーニング方法を達成するために図５に示すクリーニング装置は、スクリーン４の下面にクリーニングウエブ５をバックアップ部材６によりバックアップして摺擦させながら、このバックアップを行うバックアップ面６ａの前記摺擦する方向とほぼ直交する方向の吸引領域７に設けられた吸引口８を通じてクリーニングウエブ５を介し吸引するクリーニングヘッド２１を備え、クリーニングヘッド２１は上記した図２〜図４に示す各種のバックアップ部材６を選択して取り付け使用する。
【００３２】
　選択したバックアップ部材６は、クリーニングヘッド２１上の昇降手段２２の一例であるエアシリンダ２３の上向きとなったピストンロッド２３ａの先端に取り付けて昇降させられるように支持し、バックアップ部材６をクリーニングヘッド２１上でスクリーン４に押し付け、また押し付けを解除できるようにする。クリーニングヘッド２１は移動手段２４によりスクリーン４の側方の待機位置からスクリーン４の下に出入りさせるとともに、スクリーン４の下を往復移動させるようにする。移動手段２４は一例としてクリーニングヘッド２１上に設置したモータ２５に直結などして駆動される駆動ギヤ２６とこの駆動ギヤ２６が噛み合うラック２７とで構成し、駆動ギヤ２６を正逆選択して回転駆動することによりクリーニングヘッド２１をスクリーン４の側に往動させ、また、待機位置側に復動させる。正逆駆動のタイミングによってはクリーニングヘッド２１をスクリーン４の下を必要回数往復移動させることもできる。
【００３３】
　クリーニングヘッド２１は印刷動作中は待機位置に待機することにより、スクリーン印刷装置においてスクリーン４によるクリーム半田３の回路基板２への印刷動作を邪魔しない。印刷が１回行われる都度、あるいは所定回数行われる都度、あるいは必要の都度、クリーニングヘッド２１がバックアップ部材６を上動させてスクリーン４の下を移動されることにより、前記のようなクリーニングを行い次の印刷に備えることを繰り返し、高精度な印刷が長期に安定して行われることを保証する。
【００３４】
　クリーニングウエブ５は、供給部４１と巻取り部４２との間で展張されてバックアップ部材６のバックアップ面６ａに沿い、バックアップ部材６の上動には供給部４１からの繰り出しによって対応し、供給部４１からの繰り出しと巻取り部４２での巻取りとによって、バックアップ面６ａにバックアップされてクリーニングに供されるクリーニング領域の更新を行う。この更新はクリーニングウエブ５側に拭き取り付着したクリーム半田３のスクリーン４側への再転写を防止する意味で、クリーニングウエブ５がスクリーン４から離れた状態で行われるのが好適である。それには、バックアップ部材６を下動させてそれによるクリーニングウエブ５のスクリーン４への押し付けを解除するか、スクリーン４から外れる位置に移動させて行うのが好適である。なお、バックアップ部材６を下動させてクリーニングウエブ５のスクリーン４への押し当てを解除したときのクリーニングウエブ５の緩みは巻取り部４２での巻取りによって解消することができる。また、クリーニングウエブ５のスクリーン４への押し付け解除状態は、クリーニングヘッド２１がスクリーン４の下をクリーニング作用なしに移動できることを意味し、スクリーン４との間の接触を避けて自由に移動させられる。
【００３５】
　１回のクリーニングが終了する都度、クリーニングウエブ５を供給部４１から繰り出して供給するのに併せ巻取り部４２で巻き取ることにより、毎回のクリーニングを新しいクリーニングウエブ５にて行うことができ、前記したさらに効果的なクリーニング機能を安定に保つことができる。
【００３６】
　吸引口８は吸引領域７において、図２（ａ）、図４（ａ）に示すように前記摺擦させる方向に直交する方向に列をなして設けられている。これにより、総開口面積により必要な総吸引空気量を確保しながら、１つ１つの吸引口８を小さくすることにより吸引力を大きくして吸引効率を高め上記のクリーニング機能を保証することができる。
【００３７】
　しかも吸引口８は前記摺擦方向に対し傾斜したスリット状に形成され、摺擦方向に直交する方向において、各吸引口８が重なり合うように形成している。これによりクリーニングウエブ５を介した吸引が、スクリーン４に対しどれかの吸引口８を通じて常時及ぼし、その吸引位置が順次連続に変化することによりスクリーン４の下面の全域に連続して及ぼすことができる。
【００３８】
　ここで、列をなして形成された吸引口８の合計開口面積は、吸引口８を通過する空気の流量Qと、空気の速度Vとを乗じた値が最大となるように形成される。また、吸引力Fが吸引口８の合計開口面積Aと、吸引口８を通過する空気の速度Ｖの２乗とを乗じることにより最大値となるように形成することができる。
【００３９】
　一般に、エアーブローの力Ｆを表す式として、下記の式が知られているが、
【００４０】
【数１】
2004066832.tif 000003
吸引力Ｆを表す場合も同様にＦａ＝Ｆとして表すことができ、吸引口８の合計開口面積の形成はこれに対応して決定している。
【００４１】
　図２〜図４に示すバックアップ部材６の代表的な具体例について説明すると、図２（ａ）（ｂ）に示すバックアップ部材６は、図１に示すクリーニング方法に採用したもので、１つの吸引領域７の両側に溝９を２本ずつ設けた対称形状タイプであり、往復の摺擦において同じクリーニング作用を発揮する。この実施例において、クリーニングウエブ５の厚みを０．２５ｍｍ、溝９の深さを２ｍｍ、幅を３ｍｍ、１つの吸引口８の長さを７〜８ｍｍ、幅を３ｍｍ、クリーニングヘッド２１の移動速度を１００ｍｍ／ｓｅｃと従来の４０〜５０ｍｍ／ｓｅｃの倍に設定して、一回の摺擦によりスクリーン４の下面に付着したクリーム半田３は皆無になったし、吸引口８内に残るクリーム半田３の量が大幅に減少した。なお、溝９はクリーニングウエブ５に掻き取りエッジ５ｂを形成できるものであればよく、バックアップ面６ａに対し直角であるのが好適である。しかし、これに限られることはなく傾斜した面でもよい。バックアップ部材６による他の部分にも同様な掻き取りエッジ５ｂが図に示すようにできていて、有効に働いていることが判明した。溝９の下部の形状はクリーニングウエブ５が入り込んでクリーニングに有効なポケット１１ができるのを邪魔しないものであればよく、形状は特に問わない。
【００４２】
　図３に示す実施例のバックアップ部材６は、平行に並ぶ２つの吸引領域７を持ち、これらが並ぶ部分の両側と、これら２つの吸引領域７の間とに、それぞれ２本ずつの溝９を設けている。吸引領域７および溝９が図２の実施例よりも多い分だけクリーニング効果が向上する。この実施例も対称形で往復の摺擦において同じクリーニング効果を発揮することができる。
【００４３】
　図４（ａ）（ｂ）に示す実施例のバックアップ部材６は、平行に並ぶ２つの吸引領域７を持ち、これらが並ぶ部分の両側に、それぞれ２本ずつの溝９を設けている。吸引領域７が図２の実施例よりも多い分だけクリーニング効果が向上する。スクリーン４の下面のクリーム半田３を除去するにも好適であるが、特に、スクリーン４の孔１に残り、詰まっているクリーム半田３を除去しやすくなる。この実施例も対称形で往復の摺擦において同じクリーニング効果を発揮することができる。
【００４４】
　要するに、本発明において、吸引領域７および溝９を設ける数、および摺擦方向での配列順序は種々な組み合わせで設定して有効である。
【００４５】
　図６〜図１０に示す今１つの実施の形態は、図６に示すように、所定のパターンの印刷ペースト供給部である孔１を通じて被印刷体である回路基板などの上に印刷ペーストであるクリーム半田３を供給する印刷用スクリーン４の下面に、拭き取り材であるクリーニングウエブ５をバックアップ部材６にてバックアップして図６（ａ）〜（ｄ）に示すように摺擦させることにより、そのスクリーン４下面に付着しているクリーム半田３を拭き取りながら、バックアップ部材６に設けられた吸引口８を通じてクリーニングウエブ５を介し吸引することにより、スクリーン４の下面に付着し、また孔１に残留しているクリーム半田３をクリーニングウエブ５の側に吸引して付着保持させスクリーン４をクリーニングする先の提案のクリーニングを行なうのに、例えば、図６〜図８、図９（ａ）に示すように前記摺擦させる方向に並設された複数の吸引口８により連続して吸引しながらクリーニングする。複数の吸引口８は図２に示すような斜め配置の形態で同じ条件を満足するようにしてもよい。
【００４６】
　このようにすると、上記先の提案の場合同様なスクリーン４のクリーニングにおいて、前記吸引が複数の吸引口８によって繰り返し連続して行って繰返し分だけ多くの量の残留クリーム半田３を吸引しながら各吸引口８にクリーニングウエブ５が入りこんで作る複数のポケット１１の部分にて複数ある分より多くを収容して担持していくので、クリーニング効果が向上し、クリーニングのさらなる高速化に対応しながら高性能な印刷を保証することができる。
【００４７】
　このような方法は前記実施の形態に係る印刷用スクリーンのクリーニング装置を、バックアップ部材６を本実施の形態のものに交換して用いるだけで、この装置による上記した特徴を活かして達成することができる。この場合、バックアップ部材６のバックアップ面６ａにおいて、吸引口８は摺擦させる方向とほぼ直交する方向の吸引領域７に設けられ、前記吸引領域７に平行でかつ吸口面積が図６、図７、図９（ａ）に示すように摺擦する方向に順次に小さくなる複数の吸引口８を設けたものとすると、複数の吸引口８による残留クリーム半田３の吸引除去および収容が最初は吸口面積の大きな吸引口８にて高い除去率で達成しながら、後続の吸口面積が小さくなる吸引口８にてスペースを大きくとることなく少なくなった残留クリーム半田３につき吸引除去および収容、担持していき、吸引口１つが連続的にクリーニングしていく場合に比してより高いクリーニング効果を発揮することができる。
【００４８】
　また、図示する実施例のように複数の吸引口８が近接して配されていると、複数の吸引口８が相乗的に働きやすいし、スペースを取らない点で好適である。さらに、複数の吸引口８が図示する実施例のように前記摺擦させる方向での左右対称に設けられていることにより、往復摺擦してクリーニングを行う際に、往摺擦時と復摺擦時とで差のない安定したクリーニング作用を発揮することができ、吸口面積を順次小さくする場合において、図示するように両端の吸引口８が大きく内側が小さくなるので、吸口面積が上記大小の関係での上記効果的なクリーニングの後、吸口面積が順次大きくなるクリーニングをさらに行うことになるのでクリーニング効果がより高くなりより安定する。
【００４９】
　なお、装置全体の大きさとの関係などからバックアップ部材６の摺擦方向の寸法が制約される。１つの実施例を示すと、バックアップ部材６の摺擦方向の幅ｗが７０ｍｍ、両側の幅広な吸引口８の幅ｅが１０ｍｍ、幅狭な３つの吸引口８の幅ｆが４ｍｍ、各吸引口８の近接間隔ｇが４ｍｍである。なお、バックアップ部材６の長さｌは印刷対象物である回路基板の大きさによって異なるが、一例を示すと３９０ｍｍである。
【００５０】
　この実施例の条件にてバキューム源を定格流量１．２ｍ3／ｍｉｎ、定格静圧２０００ｍｍＡｇに設定し、１ｍｍ×２ｍｍ□程度のＱＦＰ型半導体素子のリードなどを装着するための孔１を配したスクリーン４をクリーニングしたときの各種クリーニング速度でのクリーニング効果を、孔１の全域に残留したクリーム半田３をクリーニングにより除去したときの孔１におけるクリーニング後のクリーム半田３の残留率で見て、幅が１０ｍｍの吸引口１つだけの比較例の場合と比較して示すと図１０に示すとおりであり、クリーム半田３の残留量は本実施例の場合、比較例に対し数分の１と少なく３００ｍｍ／ｓｅｃの高速クリーニングにおいてもクリーム半田３の残留量は比較例での１００ｍｍ／ｓｅｃの場合の残留量を僅かに上回る程度に抑えられた。なお、クリーム半田３の残留率は孔１の開口面積をＣ、クリーニング後のクリーム半田３の除去面積をＡ、クリーニング後のクリーム半田３の残留面積をＢとして、残留率（％）＝（Ａ／Ｃ）×１００なる式で算出した。
【００５１】
　なお、摺擦方向に３つ以上並ぶ吸引口８は幅の大きさが摺擦方向に徐々に変化するように設定されてもよく、変化の態様は種々に設定してよい。また、先行する吸引口８は幅が大きいほどより高速クリーニングに対応することができ、幅の小さな吸引口８が先行すると十分なクリーニング効果が得られず、高速クリーニングに対応しにくい。図６〜図８、図９（ａ）に示す実施の形態においても、図１〜図５に示す実施の形態に係る溝９を併用して有効であり、図９（ｂ）にその１つの例を示している。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
　本発明は、回路パターンを持った基板上に、電子部品の仮装着や実装を行なうためのクリーム半田や絶縁ペーストなどの印刷ペーストを印刷する印刷スクリーンのクリーニングに実用でき、高性能な印刷を保証することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の形態に係るクリーニング方法、装置を（ａ）〜（ｄ）の作業段階に分解して示す断面図である。
【図２】図１のバックアップ部材の実施例を示し、その（ａ）は平面図、その（ｂ）は端面図である。
【図３】バックアップ部材の別の実施例を示す端面図である。
【図４】バックアップ部材の今１つの実施例を示し、その（ａ）は平面図、その（ｂ）は端面図である。
【図５】図１のクリーニング装置およびそれを持ったスクリーン印刷装置の全体構成図である。
【図６】本発明の今１つの実施の形態に係るクリーニング方法、装置を（ａ）〜（ｄ）の作業段階に分解して示す断面図である。
【図７】図６のバックアップ部材の実施例を示す平面図である。
【図８】図７のバックアップ部材の側面図である。
【図９】（ａ）は図７の実施例のバックアップ部材の横断面図、（ｂ）は今１つの実施例のバックアップ部材を示す断面図である。
【図１０】図７の実施例のバックアップ部材を用いたときと比較例とのクリーニング効果を比較して示すグラフである。
【図１１】先の提案に係るクリーニング方法、装置を示す側面図である。
【図１２】図１１での方法を（ａ）〜（ｅ）の作業段階に分解して示す断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１　孔
２　回路基板
３　クリーム半田
４　スクリーン
５　クリーニングウエブ
５ａ　バックアップ解除部
５ｂ　掻き取りエッジ
６　バックアップ部材
６ａ　バックアップ面
７　吸引領域
８　吸引口
９　溝
９ａ　開口縁
１１　ポケット
２１　クリーニングヘッド
２２　昇降手段
２４　移動手段
【図１】
2004066832.tif 000004
【図２】
2004066832.tif 000005
【図３】
2004066832.tif 000006
【図４】
2004066832.tif 000007
【図５】
2004066832.tif 000008
【図６】
2004066832.tif 000009
【図７】
2004066832.tif 000010
【図８】
2004066832.tif 000011
【図９】
2004066832.tif 000012
【図１０】
2004066832.tif 000013
【図１１】
2004066832.tif 000014
【図１２】
2004066832.tif 000015