(57)【要約】【課題】塊が発生しやすい性状の粉体でも、確実に分散して均一な散布を行えるようにする。【解決手段】下面が開放されたチャンバと、このチャンバの上部に開口する粉体供給口と、前記チャンバ内の下部で攪拌用気体を上方に向けて噴出する攪拌用ノズルと、この攪拌用ノズルより高い位置で前記粉体供給口から供給された粉体の流下経路と交差する方向に気体を噴出する分散用ノズルとを備えている。分散用ノズルの噴出端と対向するチャンバ内面部に、チャンバの中央部に対して凹入した湾曲案内面が設けられていることが望ましい。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面が開放されたチャンバと、このチャンバの上部に開口する粉体供給口と、前記チャンバ内の下部で攪拌用気体を上方に向けて噴出する攪拌用ノズルと、この攪拌用ノズルより高い位置で前記粉体供給口から供給された粉体の流下経路と交差する方向に気体を噴出する分散用ノズルとを備えていることを特徴とする粉体散布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の粉体散布装置において、
前記分散用ノズルの噴出端と対向するチャンバ内面部に、チャンバの中央部に対して凹入した形状の湾曲案内面が形成されている粉体散布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、粉体散布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の基材となるセラミック板を作成するに際しては、所要組成のセラミックスラリーからなる所定厚みのセラミックシートを打ち抜いて所定形状とした後、打ち抜かれたセラミックシート同士を互いに重ね合わした状態で焼成している。この場合、重ね合わせたセラミックシートが互いに焼き付かないように、焼成前のセラミックシートの表面に焼き付き防止用粉体として、アルミナ質などのセラミックパウダを予め散布している。
【０００３】
このような粉体散布に使用する装置としては、チャンバ内で粉体を攪拌した上で散布する装置がある（特許文献１参照）。その粉体散布装置は、下面が開放されたチャンバの上部に粉体供給口を備えるとともに、チャンバの下部に攪拌用気体を上方に向けて噴出する攪拌用ノズルを装備したものである。粉体供給口から供給された粉体は、攪拌用ノズルから噴出された気体で攪拌され、攪拌により分散された状態でチャンバ下面に流下するようになっている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−８７６６２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の従来の粉体散布装置は、供給される粉体の粒子が球状で分散性の良い場合は、好適に機能して均一な拡散散布が行われる。しかし、近年は、粒子形状がいびつで、互いに絡み合って塊が発生しやすい性状の粉体がある。このような粉体を散布する場合、従来の粉体散布装置では、必ずしも十分な拡散性能が発揮されず、塊のままで流下して不均一な散布になることがあった。
【０００６】
このような場合、攪拌用ノズルからの気体噴射圧や噴射量を増大することである程度の機能改善が図られてはいるが、必ずしも十分な成果が得られていない。
【０００７】
本発明は、このような実情に着目してなされたものであって、塊が発生しやすい粉体でも、確実に分散して均一な散布を行えるようにすることを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するために、下面が開放されたチャンバと、このチャンバの上部に開口する粉体供給口と、前記チャンバ内の下部で攪拌用気体を上方に向けて噴出する攪拌用ノズルと、この攪拌用ノズルより高い位置で前記粉体供給口から供給された粉体の流下経路と交差する方向に気体を噴出する分散用ノズルとを備えて粉体散布装置を構成している。
【０００９】
この構成によると、粉体供給口からチャンバ内に供給されて落下する粉体は、まず分散用ノズルからの噴出気体を直接に受け、粉体に含まれている塊は強い気体流によって分散し、あるいは、吹き飛ばされてチャンバ内の対向面に衝突して分散する。このように分散した粉体は、次いで、攪拌用ノズルからの噴出気体によって攪拌されている気流にのって舞い上がり、チャンバ内の全体に広く拡散する。その後、チャンバ内への気体噴き込みの停止に伴って、チャンバ内に広がった粉体は降下し、粉体散布の対象物上に均一に散布される。
【００１０】
上記構成の粉体散布装置においては、分散用ノズルの噴出端と対向するチャンバ内面部に、チャンバの中央部に対して凹入した形状の湾曲案内面が形成されていることが望ましい。この構成によると、分散用ノズルからの噴出気体を受けた粉体の塊は、噴出気体流によって対向するチャンバ内面部にまで吹き飛ばされ、湾曲した案内面に衝突して細かい粒子に分解され分散する。分散した粉体は湾曲案内面に沿って流動する気流にのって拡散される。また、分散用ノズルの噴出端と対向するチャンバ内面部では、気体が湾曲案内面に沿って流動するので、チャンバの隅部に吹き溜まりが発生しない。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の態様を図面に基づいて説明すると、図１に、本発明に係る粉体散布装置の一部を切欠いた斜視図が、また、図２に、その縦断正面図がそれぞれ示されている。
【００１２】
この粉体散布装置は、例えば、打ち抜き形成されたセラミックシートｓの表面に焼付き防止用の粉体としてのセラミックパウダを散布するものであり、下面が全面的に開放されたチャンバ１を備える。このチャンバ１の下部には、多数のセラミックシートｓを整列載置した台２が搬入される。チャンバ１の上面１ａには、粉体供給口３が下向きに開口している。図外の粉体供給装置から管路を介して送られてきたセラミックパウダは、前記粉体供給口３からチャンバ１内に投入される。
【００１３】
チャンバ１における一側面１ｂの上部には、空気をチャンバ１内に噴出する分散用ノズル４が若干斜め上方に向かうように設けられている。この分散用ノズル４のノズル軸心４Ｄは、粉体供給口３から流下する粉体の流下経路３Ｄに交差するよう設定されている。なお、粉体の流下経路３Ｄにはある程度の広がりがあるから、これに対応して、分散用ノズル４のノズル軸心４Ｄの設定角度にも幅がある。
【００１４】
分散用ノズル４に対向するチャンバ側面１ｃと上面１ａとのなす隅部には、チャンバ１の中央部に対して凹入した形状の板体により湾曲案内面５が形成されており、分散用ノズル４からの噴出気流が湾曲案内面５に衝突するように構成されている。前記湾曲案内面５を有する板体は、この実施形態では、上下縁に対して上下の中間部が凹入した板体であるが、球面状に凹入した板体でもよい。
【００１５】
また、チャンバ１における一側面１ｂの下部には２本一対の攪拌用ノズル６が水平に突入した形で装備されている。この攪拌用ノズル６には、空気を上向きに噴出する噴気口６ａが多数設けられている。これら噴気口６ａから空気が上向きに噴出されることで、チャンバ１内の気流が攪拌されるようになっている。
【００１６】
なお、チャンバ１には、集塵機につながる排気口が開設されることがあるが、この実施形態では、排気口と集塵機とは省略している。
【００１７】
本発明の粉体散布装置は以上のように構成されており、分散用ノズル４および攪拌用ノズル６からチャンバ１内に空気を噴出している状態で、所定量のセラミックパウダが粉体供給口３から投入される。投入されたセラミックパウダは、まず分散用ノズル４からの噴出気流を受けて拡散される。この場合、セラミックパウダに塊が含まれていても、その塊は噴出気流の勢いによって直接に細かい粒子に分散されるか、あるいは、噴出気流によって吹き飛ばされて湾曲案内面５に衝突して分散される。分散したセラミックパウダは、湾曲案内面５に沿って流動する気流にのって拡散する。そして、拡散したセラミックパウダは、攪拌用ノズル６からの噴出気流によってチャンバ内にさらに広く拡散して浮遊する。
【００１８】
その後、分散用ノズル３および攪拌用ノズル５からの空気噴出を停止すると、チャンバ１内に拡散浮遊していたセラミックパウダは静かに降下し、セラミックシートｓの表面に均一に散布される。
【００１９】
なお、本発明は、図示の実施形態に限定されず、（１）分散用ノズル３を複数本備えて、粉体供給口３から投入された粉体に異なった方向から噴出気流を当てるようにして実施することもできる。また、（２）チャンバ１を構成する板材の一部で、分散用ノズル３に対向する湾曲案内面５を形成してもよいし、（３）湾曲案内面５を省略して実施することもできる。
【００２０】
さらに、図示の実施形態では、箱形のチャンバ１を示したが、チャンバは、円筒形、角筒形等、他の形状であってもよい。なお、他の形状のチャンバについては、粉体の散布領域が矩形に限定される場合、そのチャンバの下部の形状を、粉体の散布領域の形状に合わせる必要がある。このほか、粉体供給口３の開口向きは、鉛直方向下向きに限らず、斜め下向きにであってもよい。
【００２１】
【発明の効果】
本発明によれば、投入され流下する粉体に交差する方向から噴出気流を当てて粉体の塊を分散するとともに、この噴出気流で吹き飛ばした粉体の塊をチャンバの対向面に衝突させて分散することができるので、塊が発生しやすい性状の粉体でも、確実に分散して均一に散布することができるようになった。
【００２２】
この場合、分散用ノズルおよび攪拌用ノズルからの空気噴出で、効果的に粉体を分散させることができるので、各ノズルでの噴射圧力を低く設定して、チャンバ内への空気の噴射量を少なくすることができる。そのため、排気口や集塵機を省略した形で実施しうる。
【００２３】
分散用ノズルに対向するチャンバ内面部に湾曲案内面が形成されていると、分散用ノズルからの噴出気流によって吹き飛ばした粉体を湾曲案内板に衝突させることで、衝突によって分散された粉体を湾曲案内面に沿って流動案内させて拡散するので、チャンバ内の隅部に吹き溜まりが発生して、粉体が集まることを防止して、一層均一性に優れた散布が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る粉体散布装置の一部を切欠いた斜視図である。
【図２】図１の装置の縦断正面図である。
【符号の説明】
１                チャンバ
３                粉体供給口
４                分散用ノズル
５                湾曲案内面
６                攪拌用ノズル
【図１】
2004223473.tif 000003
【図２】
2004223473.tif 000004