(57)【要約】【課題】ユーザのウェーハの取り扱いを容易にする。ユーザの作業時間（ＴＡＴ）の向上をはかる。ウェーハの取り扱いによる破損を防止する。【解決手段】半導体ウェーハを収納するための筐体が設けられ、該筐体の一側面が開口されており、該開口部に蓋部が着脱自在に設けられ、前記筐体の内側壁面の所定の部分に半導体ウェーハ収納部が設けられ、該半導体ウェーハ収納部にウェーハ保持部が高さ方向に所定の間隔で複数段設けられ、前記蓋部には前記半導体ウェーハ収納部と同様にウェーハ保持部が高さ方向に所定の間隔で複数段設けられ、前記半導体ウェーハを押えて固定するためのウェーハ押え部材が設けられ、該ウェーハ押え部材を上下動させる手段が設けられていることを特徴とする半導体ウェーハ梱包ケースである。【選択図】　　　　図１
2004131143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハを収納するための筐体が設けられ、該筐体の一側面が開口されており、該開口部に蓋部が着脱自在に設けられ、前記筐体の内側壁面の所定の部分に半導体ウェーハ収納部が設けられ、該半導体ウェーハ収納部にウェーハ保持部が高さ方向に所定の間隔で複数段設けられ、前記蓋部には前記半導体ウェーハ収納部と同様にウェーハ保持部が高さ方向に所定の間隔で複数段設けられ、前記半導体ウェーハを押えて固定するためのウェーハ押え部材が設けられ、該ウェーハ押え部材を上下動させる手段が設けられていることを特徴とする半導体ウェーハ梱包ケース。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体ウェーハ梱包ケースにおいて、前記ウェーハ保持部が前記ウェーハ収納部の内部奧側面壁部に設けられていることを特徴とする半導体ウェーハ梱包ケース。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の半導体ウェーハ梱包ケースにおいて、前記ウェーハ押え部材の上下動させる手段はネジ機構もしくはかむ機構からなることを特徴とする半導体ウェーハ梱包ケース。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体ウェーハ梱包ケースの筐体の蓋部をはずして前記筐体の開口部を開く過程と、半導体ウェーハを真空ピンセントで保持する過程と、前記保持状態の半導体ウェーハをウェーハ収納部に挿入し、前記真空ピンセントを解除して半導体ウェーハをウェーハ収納部に収納する過程と、前記半導体ウェーハの収納操作手順を繰り返して複数枚の半導体ウェーハの収納を終了すると、前記ウェーハ押え部材を下側に下げた状態で収納された半導体ウェーハ間に挿入し、前記筐体の開口部に蓋部を取り付けて開口部を閉じる過程と、前記下側に下げた状態のウェーハ押え部材を上側に上げて、半導体ウェーハの裏面を押えて固定する過程と、前記半導体ウェーハを収納した半導体ウェーハ梱包ケースを真空パックに入れ、真空梱包を行う過程とを有することを特徴とする半導体ウェーハ梱包方法。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずか１項に記載の半導体ウェーハ梱包ケースを半導体装置製造ラインにセットする過程と、そのウェーハ梱包ケースの筐体の開口部を開く過程と、半導体ウェーハを半導体装置製造ラインのロボットにより前記ウェーハ収納部から取り出し、半導体装置製造ラインの搬送ベルトにセットする過程とを有することを特徴とする半導体ウェーハ搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ梱包ケース及び梱包方法並びに半導体ウェーハ搬送方法に関し、特に、半導体装置の製造方法に適用して有効な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体ウェーハの梱包方法は、皿状の半導体ウェーハ収納ケース（以下、単にウェーハ収納ケースと呼ぶ）に半導体ウェーハ保護シートを入れ、その上に半導体ウェーハ（以下、単にウェーハと呼ぶ）を積み重ねる。例えば、２５枚収納する場合には、前記操作を２５回繰り返して前記ウェーハ収納ケースに２５枚収納し、その上に側面の高さに対し同じ高さになるように蓋する。
次に、前記蓋した状態のウェーハ収納ケースを、真空袋に入れ、乾燥材（シリカゲル）を入れた後、真空梱包を行う。この真空梱包されたウェーハ収納ケースを緩衝材が入った缶に入れ、この缶のまわりに緩衝材を入れて箱に詰める。前記ウェーハを取り出す場合には、前記手順の逆の手順で行う。
また、半導体装置の製造方法において、前工程から後工程へウェーハを搬送する際に使用するウェーハ結晶ケースは、ウェーハ収納ケースの内側にウェーハを製造工程ラインにおけるロボットのハンドが挿入できる程度の間隔で収納段が設けられている。このウェーハ結晶ケースにウェーハを梱包して持ち運ぶ場合もある。
また、ウェーハ収納ケースに半導体ウェーハを所定間隔で縦に立たせて格納する半導体ウェーハの梱包方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来の半導体ウェーハの梱包方法では、出荷時の梱包形態が複雑でウェーハの取り扱いに十分に注意しなけばならないという問題があった。
また、取り扱いに十分に注意していてもウェーハが破損する場合があった。
また、前記ウェーハ結晶ケースにウェーハを梱包して持ち運ぶ場合に、大型ウェーハの場合、破損することがあった。
また、前記ウェーハを所定間隔で縦に立たせて格納するウェーハの梱包方法では、梱包サイズが大きくかつ重くなり、非常にかさばってしまうという問題があった。
本発明の目的は、ウェーハの梱包において、ユーザのウェーハの取り扱いを容易にすることが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、半導体製造ラインにおいて、ユーザの作業時間（ＴＡＴ）の向上をはかることが可能な技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、ウェーハの取り扱いによる破損を防止することが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明の概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
第１の発明は、半導体ウェーハを収納するための筐体が設けられ、該筐体の一側面が開口されており、該開口部に蓋部が着脱自在に設けられ、前記筐体の内側壁面の所定の部分に半導体ウェーハ収納部が設けられ、該半導体ウェーハ収納部にウェーハ保持部が高さ方向に所定の間隔で複数段設けられ、前記蓋部には前記半導体ウェーハ収納部と同様にウェーハ保持部が高さ方向に所定の間隔で複数段設けられ、前記半導体ウェーハを押えて固定するためのウェーハ押え部材が設けられ、該ウェーハ押え部材を上下動させる手段が設けられているウェーハ梱包ケースである。
【０００５】
第２の発明は、前記第１の発明のウェーハ梱包ケースにおいて、前記ウェーハ保持部が前記ウェーハ収納部の内部奧側面壁部に設けられていることを特徴とする。
【０００６】
第３の発明は、前記第１又は第２の発明のウェーハ梱包ケースにおいて、前記ウェーハ押え部材の上下動させる手段はネジ機構もしくはかむ機構からなることを特徴とする。
【０００７】
第４の発明は、前記第１乃至３発明のいずれか１つのウェーハ梱包ケースの筐体の蓋部をはずして前記筐体の開口部を開く過程と、半導体ウェーハを真空ピンセントで保持する過程と、前記保持状態の半導体ウェーハをウェーハ収納部に挿入し、前記真空ピンセントを解除して半導体ウェーハをウェーハ収納部に収納する過程と、前記半導体ウェーハの収納操作手順を繰り返して複数枚の半導体ウェーハの収納を終了すると、前記ウェーハ押え部材を下側に下げた状態で収納された半導体ウェーハ間に挿入し、前記筐体の開口部に蓋部を取り付けて開口部を閉じる過程と、前記下側に下げた状態のウェーハ押え部材を上側に上げて、半導体ウェーハの裏面を押えて固定する過程と、前記半導体ウェーハを収納した半導体ウェーハ梱包ケースを真空パックに入れ、真空梱包を行う過程とを有する半導体ウェーハ梱包方法である。
【０００８】
第５の発明は、前記第１乃至３発明のいずれか１つの半導体ウェーハ梱包ケースを半導体装置製造ラインにセットする過程と、そのウェーハ梱包ケースの筐体の開口部を開く過程と、半導体ウェーハを半導体装置製造ラインのロボットにより前記ウェーハ収納部から取り出し、半導体装置製造ラインの搬送ベルトにセットする過程とを有する半導体ウェーハ搬送方法である。
【０００９】
以下、本発明について、図面を参照して実施の形態（実施例）とともに詳細に説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態のウェーハ梱包ケースの概略外観構成を示す模式図、図２はウェーハ梱包ケースのウェーハ収納用外箱（筐体）の概略構成及び各部の寸法を示した水平断面図、図３は図２のＡーＡ’線で切ったウェーハ収納用外箱（筐体）の斜視断面図及びそのウェーハ挿入部の拡大図並びに各部の寸法を示した図、図４は図２のＢ−Ｂ’線で切ったウェーハ収納用外箱（筐体）の斜視断面図及びその寸法を示した図である。
【００１１】
図１乃至図４において、１０はウェーハ梱包ケース、１はウェーハ梱包ケース１０のウェーハ収納用の外箱（筐体）、２はウェーハ収納用の外箱（筐体）のウェーハ挿入口（開口）、３はウェーハ収納用外箱１の蓋部、４はウェーハ収納用の内装箱（ウェーハ収納部）、５はウェーハ保持部材、６はウェーハ収納用の内装箱４の内側に設けられているウェーハ挿入溝、７はウェーハ押え部材上下動用のハンドルである。
【００１２】
図１乃至図４に示すように、本実施形態のウェーハ梱包ケース（以下トレイと称する）１０は、ウェーハを収納するためのウェーハ収納用の内装箱（以下ウェーハ収納部と称する）４が内装されたウェーハ収納用の外箱（以下筐体と称する）１が設けられ、該筐体１の一側面のウェーハ挿入口（開口）２にウェーハを着脱可能に嵌め込まれた蓋部３が設けられている。
【００１３】
前記ウェーハ収納部４の内部奧側面壁部には、図１及び図４に示すように、ウェーハ保持部材５が所定高さの間隔で複数段設けられている。前記ウェーハ保持部材５は、例えば、ウェーハを２７枚収納するのであれば、２７段設けられる。また、前記ウェーハ収納部４の両サイドには、図３に示すように、ウェーハを着脱可能に嵌め込むためのウェーハ挿入溝６がウェーハ保持部材５に対応した高さの間隔で複数段設けられている。このウェーハ挿入溝６も、例えば、ウェーハを２７枚収納するのであれば、２７段設けられる。
前記筐体１、ウェーハ収納部４及びウェーハ保持部材５は、それぞれ、例えば、プラステック、アクリル等の材質で形成されている。
【００１４】
前記筐体１、ウェーハ収納部４及びウェーハ保持部材５のそれぞれの大きさは、図１、図３及び図４に示すように、例えば、筐体１の大きさは１３０×１３０×１７５ｍｍの寸法の箱構造になっている。また、前記ウェーハ挿入溝６の寸法は、例えば、１ｍｍ幅であり、６ｍｍ間隔で形成されている。前記ウェーハ収納部４は、例えば、図１及び図４に示すように、前記ウェーハ収納部４の内部奧側面壁部から６０ｍｍに向けて三角状のフレームで形成されている。
【００１５】
次に前記蓋部３について説明する。
図５乃至図７は前記蓋部３の概略構成及び各部の寸法を示す図であり、図５は前記筐体１から取り外ずした状態の上から見た平面図、図６は前記蓋部３の筐体１の開口部側（蓋部３の裏面）から見た状態の図、図７は図６のＣ−Ｃ’線で切った断面図である。
【００１６】
前記蓋部３は、図５乃至図７に示すように、蓋部本体３１に前記ウェーハ収納部４の内部奧側面壁部にウェーハ保持部材５が所定高さの間隔で複数段設けられている。また、前記蓋部本体３１の中央部にウェーハを押えて保持するための支持棒（支持軸）３３が回転可能に設けられ、該支持棒（支持軸）３３には板状のウェーハ押え部材３２がウェーハ押え部材支持腕３２Ａにより取り付けられている。
【００１７】
前記蓋部３の寸法は、前記筐体１の寸法の箱構造よりかすかに大きめに構成され、前記筐体１と密着接続が可能な寸法になっている。例えば、１３０×１３０×１７５ｍｍの寸法の箱構造よりかすかに大きい（＋α）寸法である。
【００１８】
前記支持棒（支持軸）３３の上部は、図８（ａ）に示すように、ネジが施こされており、このネジ部と、前記蓋部本体３１に設けられている支持棒（支持軸）３３の上部支持ネジ部材（上ネジナット）３４とでネジ機構が構成され、前記支持棒（支持軸）３３を回転可能に支持している。同様に、前記蓋部本体３１に設けられている支持棒（支持軸）３３の下部にはネジが施こされており、このネジ部と、下部支持ネジ部材（下ネジナット）３５とでネジ機構が構成され、前記支持棒（支持軸）３３を回転可能に支持している。
【００１９】
前記ネジ機構の代りに、図８（ｂ）に示すように、カム機構３６により前記支持棒（支持軸）３３を上下動可能に支持してもよい。前記支持棒（支持軸）３３の先端はウェーハ押え部材上下動用のハンドル７が取り付けられている。
【００２０】
前記ウェーハ押え部材上下動用のハンドル７を回転させることにより、前記ウェーハ押え部材３２が上下動しウェーハを押えるようになっている。ウェーハ押え部材３２の形状は○、◎、□、△等いずれの形状であってもよく、特に本実施形態の形状にこだわる必要はない。
【００２１】
前記蓋部本体３１、ウェーハ押え部材３２、及びウェーハ押え部材上下動用のハンドル７は、それぞれ前記ウェーハ保持部材５に対応した高さの間隔で複数段設けられている。前記支持棒（支持軸）３３は、例えば、プラステック、アクリル等の材質で形成されている。
【００２２】
次に、本実施例のトレイ１０のウェーハ梱包方法を説明する。前記トレイ１０の筐体１から外ずして蓋部３をはずして開き、ウェーハを真空ピンセントで保持し、その保持した状態でウェーハをウェーハ収納部４のウェーハ挿入溝６に沿って挿入し、前記真空ピンセントを解除してウェーハをウェーハ収納部４に収納する。
【００２３】
前記ウェーハの収納操作手順を繰り返して複数枚、例えば、ウェーハを２７枚収納する場合には、２７回収納操作手順を繰り返してウェーハを収納する。
前記ウェーハの収納が終了すると、前記筐体を蓋部で閉じ、ウェーハ押え治具上下動用ハンドル７を回転させることにより、前記ウェーハ部材３１でウェーハを押える。前記ウェーハを収納したトレイ１０を真空パックに入れ、真空梱包を行う。前記トレイ１０からウェーハを取り出すには、前記収納操作手順と逆の操作手段で行えばよい。
【００２４】
次に、本実施形態のトレイ１０を半導体装置製造ラインのウェーハ結晶ケースのかわりに使用する場合を説明する。本実施例のトレイ１０を半導体装置製造ラインにセットし、前記蓋部３を筐体１のウェーハ挿入口（開口）２からはずして、ウェーハ挿入口（開口）２を開き、ウェーハを半導体装置製造ラインのロボット（図示していない）により前記ウェーハ収納部４からウェーハを取り出し、該取り出されたウェーハを半導体製造ラインの搬送ベルトにセットし、当該ウェーハを半導体装置製造ラインの制御に従って所定位置まで搬送する。
【００２５】
以上、本発明を、前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【００２６】
【発明の効果】
本願において開示される発明によって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
本発明によれば、ウェーハの梱包において、ユーザのウェーハの取り扱いを容易にすることができる。
また、半導体製造ラインにおいて、ユーザの作業時間（ＴＡＴ）の向上をはかることができる。
また、ウェーハの取り扱いによる破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の一実施の形態のウェーハ梱包ケースの概略外観構成を示す模式図である。
【図２】本実施形態のウェーハ梱包ケースの筐体の概略構成及び各部の寸法を示した水平断面図である。
【図３】図２のＡーＡ’線で切った筐体の斜視断面図及びそのウェーハ挿入部の拡大図並びに各部の寸法を示した図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ’線で切った筐体本体の斜視断面図及びその寸法を示した図である。
【図５】本実施形態の蓋部を筐体から取り外ずした状態の上から見た平面図である。
【図６】本実施形態の蓋部の筐体の開口部側（蓋部の裏面）から見た状態の図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ’線で切った断面図である。
【図８】本実施形態のウェーハ押え押え部材の上下動機構の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
１０…ウェーハ梱包ケース（トレイ）
１…ウェーハ収納用外箱（筐体）　　　　　２…ウェーハ挿入口（開口）
３…蓋部　　　　　　　　　　　　　　　　４…内装箱（ウェーハ収納部
５…ウェーハ保持部材　　　　　　　　　　６…ウェーハ挿入溝
７…ハンドル
３１…蓋部本体　　　　　　　　　　　　　３２…ウェーハ押え部材
３２Ａ…ウェーハ押え部材支持腕　　　　　３３…支持棒（支持軸）
３４…上支持ネジ部材　　　　　　　　　　３５…下支持ネジ部材
３６…カム機構
【図１】
2004131143.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004131143.tif 000008
【図７】
2004131143.tif 000009
【図８】
2004131143.tif 000010