(57)【要約】【課題】放電電極の光透過性を維持しつつ、各画素部に配置された放電電極部分における放電時の実効的な電圧降下を防止することが可能なプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】基板上に設けられた複数条の隔壁９と、隔壁９間の放電空間ａを保った状態で隔壁９の上方において隔壁９と直交する方向に延設された一対の放電電極１０１ａ，１０１ｂと、これらの放電電極のそれぞれに接続させて設けられたバス電極１０３とを具備してなり、バス電極１０３が、放電電極１０１ａ，１０１ｂと放電空間ａとの交差部に構成される画素１１の周囲となる位置に放電電極１０１ａ，１０１ｂに沿って配置される本体部１０３ａと、放電電極１０１ａ，１０１ｂ間の放電ギャップｄ側に延びる延設部１０３ｂとを備えている。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられた複数条の隔壁と、当該隔壁間の放電空間を保った状態で当該隔壁の上方において当該隔壁と直交する方向に延設された一対の放電電極と、当該一対の放電電極のそれぞれに接続させて設けられたバス電極とを具備し、前記一対の放電電極間を放電ギャップとした放電によって前記放電空間内で生じた表示光を当該放電電極側から取り出すプラズマ表示装置において、
前記バス電極は、前記一対の放電電極と前記放電空間との交差部に構成される画素の周囲となる位置に当該各放電電極に沿って配置されると共に、前記放電空間上の放電ギャップ側に延びる延設部を備えている
ことを特徴とするプラズマ表示装置。
【請求項２】
請求項１記載のプラズマ表示装置において、
前記延設部は、前記隔壁上を通って前記放電空間上の放電ギャップ側に延設されている
ことを特徴とするプラズマ表示装置。
【請求項３】
請求項１記載のプラズマ表示装置において、
前記放電電極は、前記放電空間毎に分離されたパターニング部分を有し、
前記バス電極の延設部は、前記パターニング部分の周縁を囲むように配置されている
ことを特徴とするプラズマ表示装置。
【請求項４】
請求項１記載のプラズマ表示装置において、
前記放電電極が酸化スズからなる
ことを特徴とするプラズマ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマ表示装置に関し、特には放電電極に接続するバス電極を有するプラズマ表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
大画面で奥行きが短く省スペース性に優れたディスプレイとしてプラズマ表示装置が製品化され急速に普及しつつある。プラズマ表示装置の表示用デバイスとして使用されるプラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰと記載する。）は大別して直流型（ＤＣ型）と交流型（ＡＣ型）に分けられるが、現在は寿命に優れる交流型（ＡＣ型）が主流になっている。
【０００３】
図６には、ＡＣ型ＰＤＰの基本的な構成の一例を示す。この図に示すＰＤＰは、ガラス基板からなる第１基板１と第２基板２とを対向配置してなる。そして、図７の断面図（第１基板１側の断面図）を参照し、第１基板１の一主面上には、一定の放電ギャップｄ（例えば１００μｍ）を設けて平行に配置された一対の放電電極３ａ，３ｂ、これらの放電電極３ａ，３ｂの抵抗値を下げるためのバス電極４、これらを被覆する誘電体層５および保護膜層６がこの順で積層形成されている。一方、第２基板２の一主面上には、放電電極３ａ，３ｂと直交する方向に並列配置されたアドレス電極７、これを被覆する誘電体層８、アドレス電極７間に設けられた隔壁９、および隔壁９間の内壁面上に塗布された各色の（赤、青、緑）の蛍光体層１０がこの順に積層形成されている。
【０００４】
このような第１基板１と第２基板２とは、上述した各層が形成された一主面側を対向させる状態で配置され、外周部をガラスペーストによって貼り合わされ密閉容器を形成している。そして、容器内部における各隔壁９間に形成される放電空間ａには、例えばＮｅに対して５％のＸｅを混合させた混合ガスが６５ｋＰａ程度のガス圧力で満たされる。
【０００５】
このような構成のＰＤＰを備えたプラズマ表示装置においては、一対の放電電極３ａ，３ｂと放電空間ａとが交差する各部分に対応して画素１１が配置されることになり、フルカラー表示のＰＤＰにおいては、隣接して配置される赤、青、緑の各画素１１のそれぞれをサブピクセルとし、これらを１組として１つの表示画素（ピクセル）が構成されることになる。そして、第１基板１に形成された一対の放電電極３ａ，３ｂに電圧をかけて放電空間ａ内のガス中で放電させ、この放電によって発生する真空紫外線光で蛍光体層１０を励起して可視光を得る。この際、アドレス電極７によって、光らせる画素１１と光らせない画素１１とをコントロールすることで所望の画像を得ることができる。
【０００６】
ところで、このような構成のプラズマ表示装置においては、上述のようにして放電空間ａ内で得られた可視光が、第１基板１側から表示光ｈとして取り出されて発光表示が行われる。しかし、放電空間ａの第１基板１側には放電電極３ａ，３ｂが配置されており、図８に示すように、これらの放電電極３ａ，３ｂは、一定幅Ｗの帯状を有して隔壁９に対して交差するように配置され、放電空間ａ上の広い範囲を覆うように設けられる。したがって、各画素１１の放電空間ａで生じた発光光のほとんどは、これらの放電電極３ａ，３ｂを通過して第１基板１側から表示光ｈ（図７参照）として取り出されることになる。そこで、表示光ｈの取り出し効率を高めるべく、放電電極３ａ，３ｂには光透過性の高い材料、いわゆる透明導電膜が用いられることになる。しかし、このような材料は抵抗が高く電圧降下を起し易い。このため、各放電電極３ａ，３ｂに接続させて、画素１１の周縁側の位置に抵抗値の低い銀や銅などの金属材料からなるバス電極４を設け、これによってＰＤＰの中心部に位置する放電電極３ａ，３ｂ部分にも、放電のための充分な電圧が印加されるようにしている。
【０００７】
また、図９に示すように、放電電極３ａ’，３ｂ’間の駆動時の容量を低下させたり、表示光ｈの取り出し効率の向上を図るため、隔壁９間に矩形形状の放電電極３ａ’，３ｂ’を配置し、隔壁９と交差する方向に配列されたこれらの放電電極３ａ’，３ｂ’をそれぞれバス電極４によって接続した構成もある。これらの放電電極３ａ’，３ｂ’は、バス電極４と重なる位置において繋げて形成されている場合もある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、放電電極を形成する材料の表面抵抗値は、バス電極があるので高くても良いかというと、そのようなことはなく、放電電極の表面抵抗値が高いと、放電時に放電電流による実効的な電圧降下を引き起こすので、出来るだけ表面抵抗値が低いことが望ましい。実際には放電時の電圧低下を引き起こさないためには、放電電極の表面抵抗値は最大でも１００Ω／□以下、出来れば３０Ω／□以下が望ましい。
【０００９】
表面抵抗値Ｒｓ（Ω／□）は、放電電極を構成する透明導電膜の材質の比抵抗Ｒｖ（Ω・ｃｍ）及び膜厚ｔ（ｃｍ）と下記式（１）のような関係を持つ。
Ｒｓ＝Ｒｖ／ｔ…（１）
故に、放電電極の表面抵抗Ｒｓを下げるためには、比抵抗Ｒｖが出来るだけ小さい材質を使うことと膜厚を出来るだけ大きくすることが有効である。しかしながら放電電極の膜厚を大きくすることは、膜の光透過率を低下させ表示光の取り出し効率を低下させること、膜の成膜やパターニングに時間がかかりコストを押し上げること等があり望ましい方向ではない。したがって、膜の材質として比抵抗が出来るだけ小さいものを選択するのが非常に重要となる。
【００１０】
そのような条件を満たすような透明導電膜の材料として通常、ＩＴＯ（Ｉｎｄｅｕｍ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ）膜が用いられる事が多い。これは酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）に５〜１０ｗｔ％程度の酸化錫（ＳｎＯ２）を添加したものであり、成膜方法としてはマグネトロン直流スパッタ法が用いられることが多い。ＩＴＯ膜の比抵抗は成膜条件によって大きく異なるが、最適条件にすると１×１０−４Ωｃｍ程度の膜が得られる。
【００１１】
ここで、ＰＤＰの放電電極に求められる表面抵抗は１００Ω／□以下であるのでＩＴＯ膜の膜厚は最適条件下では０．０１μｍ以上あれば良いと言うことになるが、実際には必ずしもＩＴＯ膜の成膜条件が理想的でないこと、また、放電電圧を少しでも下げたいことというような理由で０．１−０．１５μｍ程度の膜厚にすることが多い。他の透明導電膜材料では現在、ＩＴＯ膜に匹敵するほど比抵抗が低いものは見いだされていない。また、ＩＴＯ膜はエッチングによって容易にパターニングする事が出来、放電電極材料としての要件を揃えている。
【００１２】
このように、性能、利便性に優れているために、近年、ＩＴＯ膜はプラズマ表示装置の放電電極のみならず、ＬＣＤ（液晶表示装置）の電極やタッチパネル、無反射膜などの材料として各方面で大量に使用されている。そのような状況においてＩＴＯ膜の主要原料であるインジウムも当然、大量に使用されており、資源の枯渇、価格の高騰の懸念が非常に高まっており、ＩＴＯ膜の代替材料が強く求められている。
【００１３】
そこで本発明は、放電電極の光透過性を維持しつつ、各画素部に配置された放電電極部分における放電時の実効的な電圧降下を防止することが可能なプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するための本発明のプラズマ表示装置は、基板上に設けられた複数条の隔壁と、これらの隔壁間に形成される放電空間を保った状態でこれらの隔壁と直交する方向に延設された一対の放電電極と、一対の放電電極のそれぞれに接続させて設けられたバス電極とを具備しており、特に、バス電極が、一対の放電電極と放電空間との交差部に構成される画素の周囲となる位置に各放電電極に沿って配置されると共に、放電空間上の放電ギャップ側に延びる延設部を備えていることを特徴としている。
【００１５】
このような構成のプラズマ表示装置によれば、バス電極が、放電空間上の放電ギャップ側に延びた延設部を備えているため、放電時の放電電流がこの延設部から逃がされる。したがって、放電時の放電電流による放電電極の電圧降下が防止され、実行的な放電電圧が維持される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のプラズマ表示装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
次の各実施形態で説明するプラズマ表示装置と、図６〜図９を用いて説明した従来のプラズマ表示装置との異なるところは、放電電極およびバス電極の構成であり、他の部分の構成は同様であることとする。すなわち、各実施形態のプラズマ表示装置は、図６を用いて説明した構成のＰＤＰを有するプラズマ表示装置において、その放電電極とバス電極の構成を変更したものである。このため、各実施形態においては、それぞれの実施形態に特徴的な構成を示す各平面図に基づき、また先の図６を参照しつつ、放電電極とバス電極の構成を中心に本発明の説明を行う。尚、各実施形態を示す平面図において、従来と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を行うこととする。
【００１８】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態のプラズマ表示装置の特徴的な構成部分を示す平面図であり、図６に示す第１基板１側から、放電電極１０１ａ，１０１ｂ、バス電極１０３、および隔壁９の積層状態を見た平面図である。尚、図１においては、第１基板１、誘電膜５、保護膜６、および蛍光体１０の図示を省略した（図６参照）。
【００１９】
図６を参照した図１に示すように、第１基板１の一主面上に設けられる一対の放電電極１０１ａ，１０１ｂは、それぞれが一定幅Ｗの帯状を有して隔壁９と直交する方向（水平方向）に延設配置されている。これらの一対の放電電極１０１ａ，１０１ｂ間には、所定の間隔の放電ギャップｄが設定されている。これらの放電電極１０１ａ，１０１ｂは、例えば酸化スズのような、光透過率の高い材料で構成されていることとする。尚、図面においては、一対の放電電極１０１ａ，１０１ｂのみを図示したが、第１基板１上には、複数対の放電電極１０１ａ，１０１ｂが並列配置されていることとする。
【００２０】
また、バス電極１０３は、第１基板１の一主面上に、放電電極１０１ａ，１０１ｂを介して形成されている。このバス電極１０３は、各放電電極１０１ａ，１０１ｂに沿って配置される帯状の本体部１０３ａと、この本体部１０３ａから延設された延設部１０３ｂとで構成される。
【００２１】
このうち、本体部１０３ａは、隔壁９間の放電空間ａと、一対の放電電極１０１ａ，１０１ｂとの交差部に対応して形成される画素１１の周囲となる位置、すなわち一対の放電電極１０１ａ，１０１ｂの両側に、放電電極１０１ａ，１０１ｂに少なくとも一部分を重ねた状態で設けられることになる。
【００２２】
また、この本体部１０３ａから延設された延設部１０３ｂは、放電空間ａ上に位置する放電ギャップｄ側に向かって延設される。この延設部１０３ｂは、各放電空間ａに対応する画素１１毎に設けられ、放電空間ａ上を通って放電ギャップｄ付近にまで延設されていることとする。
【００２３】
このような構成のバス電極１０３は、銀や銅などの導電性の高い材料を用いて構成されていることとする。このような材料は、光透過率が低いため、放電空間ａで生じた発光光の第１基板１側からの取り出し効率を妨げることのないような大きさで形成されると共に、できるだけ放電部１０１ａに近い位置にまで延設部１０３ｂの先端が延設されていることが好ましい。ただし、延設部１０３ｂの先端は、放電電極１０１ａ，１０１ｂから露出しないように配置されることとする。
【００２４】
尚、上述した放電電極１０１ａ，１０１ｂが酸化スズからなる場合には、当該放電電極１０１は、例えばリフトオフ法によって形成される。図２には、このようなリフトオフ法による放電電極１０１ａ，１０１ｂの形成手順を示す。この場合、先ず図２（１）に示すように、第１基板１の一主面上にレジスト膜２０１を形成し、このレジスト膜２０１に対して露光光ｅを照射したパターン露光を行う。次に、現像処理を行うことで図２（２）に示すようなレジストパターン２０１ａを得る。このレジストパターン２０１ａは、放電電極の形成部を開口するパターンとて形成されることとする。その後、図２（３）に示すように、レジストパターン２０１ａ上を含む第１基板１上に酸化スズ膜２０３を成膜する。この際、４８０℃程度に加熱した第１基板１に対して、ジブチルティンジアセテート（ＤＢＴＤＡ）を少量ずつスプレーし、所定膜厚（例えば０．８μｍ）の酸化スズ膜２０３を得る。尚、このような方法で形成した膜厚０．８μｍの酸化スズ膜には、可視光領域である波長範囲４００ｎｍ〜８００ｎｍの光に対して８２％の高い透過率が得られる。また、この酸化スズ膜２０３の表面抵抗値は、１ｋΩ／□となる。
【００２５】
以上の後、第１基板１上のレジストパターン２０１ａを除去すると共に、この上部の酸化スズ膜２０３をリフトオフ除去し、第１基板１上のみに酸化スズ膜２０３を残す。これにより、図２（４）に示すように、酸化スズ膜２０３をパターニングしてなる放電電極１０１ａ，１０１ｂが得られる。
【００２６】
尚、以上のようにして第１基板１上に放電電極１０１ａ，１０１ｂを形成した後に、図１に示したように、放電電極１０１ａ，１０１ｂ上に重ねて第１基板１（図６参照）上に基板バス電極１０３を形成する。このバス電極１０３の形成は、先ず金属材料膜を成膜し、この金属材料膜上にレジストパターンを形成し、次のこのレジストパターンをマスクにして金属材料膜をパターンエッチングすることによって行われる。その後は、従来と同様の製造手順によってプラズマ表示装置を完成させる。
【００２７】
以上、図１を用いて説明したこのような構成の放電電極１０１ａ，１０１ｂおよびバス電極１０３を備えたプラズマ表示装置では、バス電極１０３が、放電空間ａ上の放電ギャップｄ側に延びた延設部１０３ｂを備えている。このため、放電空間ａ上においては、放電開始直後の放電電流がこの延設部１０３ｂから逃がされる。したがって、放電電極１０１ａ，１０１ｂの膜厚を厚膜化して表面抵抗を下げることなく、放電時の放電電流による放電電極１０１ａ，１０１ｂの電圧降下が防止され、放電空間ａ上における実行的な放電電圧を維持することができる。この結果、放電電極１０１ａ，１０１ｂを薄膜化して、これらの放電電極１０１ａ，１０１ｂの光透過性の向上を図り、表示光の取り出し効率を確保することができる。また、駆動電圧の低下も可能となる。
【００２８】
またこれにより、上述した酸化スズのように、比抵抗が高めの材料を放電電極１０１ａ，１０１ｂとして用いた場合であっても、表示光の取り出し効率を確保して輝度を維持したプラズマ表示装置を得ることが可能になる。
【００２９】
＜第２実施形態＞
図３は、第１実施形態の変形例として、本発明の第２実施形態のプラズマ表示装置の特徴的な構成部分を示す平面図であり、図６に示す第１基板１側から、放電電極１０２ａ，１０２ｂ、バス電極１０３、および隔壁９の積層状態を見た平面図である。尚、図３においては、第１基板１、誘電膜５、保護膜６、および蛍光体１０の図示を省略した（図６参照）。
【００３０】
本第２実施形態と、図１を用いて説明した第１実施形態との異なるところは、放電電極１０２ａ，１０２ｂの構成にあり、バス電極１０３の構成は同様であることとする。
【００３１】
すなわち、この図に示すように、各放電電極１０２ａ，１０２ｂは、放電空間ａ毎に矩形形状にパターニングされている。そして、複数の放電電極１０２ａが隔壁９の延設方向と直交する方向に配列されており、同様に複数の放電電極１０２ｂが隔壁９の延設方向と直交する方向に配列されている。また、同一の放電空間ａに配置される一対の放電電極１０２ａ，１０２ｂ間には、所定の間隔の放電ギャップｄが設定されている。これらの放電電極１０２ａ，１０２ｂは、第１実施形態と同様に、例えば酸化スズのような、光透過率の高い材料で構成されていることとする。
【００３２】
そして、第１実施形態において説明したと同様の構成のバス電極１０３が、第１基板１上に、放電電極１０２ａ，１０２ｂを介して形成されている。このバス電極１０３は、その本体部１０３ａによって、隔壁９の延設方向と直交する方向に配列された複数の放電電極１０２ａまたは各放電電極１０２ｂを接続するように設けられており、これによって、隔壁９の上方において隔壁９と直交する方向に一対の放電電極１０２ａ，１０２ｂが延設された状態となっている。
【００３３】
また、このバス電極１０３は、第１実施形態と同様に、本体部１０３ａが画素１１の周囲となる位置に配置され、延設部１０３ｂが各放電空間ａにおいて放電空間ａ上を通って放電ギャップｄ付近にまで延設されている。
【００３４】
このような構成の放電電極１０２ａ，１０２ｂおよびバス電極１０３を備えたプラズマ表示装置であっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、放電電極１０２ａ，１０２ｂが各画素１１に対応してパターニングされているため、第１実施形態の構成と比較して、放電電極１０２ａ，１０２ｂ間に生じる駆動時の容量を低減することができる。
【００３５】
尚、上述した第２実施形態においては、放電電極１０２ａ，１０２ｂが画素１１毎にパターニングされた矩形形状である場合を説明したが、これらの放電電極１０２ａ，１０２ｂは、バス電極１０３の本体部１０３ａと重なる部分で繋げられた形状であっても良く、同様の効果を得ることができる。
【００３６】
＜第３実施形態＞
図４は、本発明の第３実施形態のプラズマ表示装置の特徴的な構成部分を示す平面図であり、図６に示す第１基板１側から、放電電極１０１ａ，１０１ｂ、バス電極１０５、および隔壁９の積層状態を見た平面図である。尚、図４においては、第１基板１、誘電膜５、保護膜６、および蛍光体１０の図示を省略した（図６参照）。
【００３７】
図４に示す第３実施形態と、図１を用いて説明した第１実施形態との異なるところは、バス電極１０５の構成にあり、放電電極１０１ａ，１０１ｂの構成は同様であることとする。
【００３８】
すなわち、このバス電極１０５は、第１基板１上に、放電電極１０１ａ，１０１ｂを介して形成されており、本体部１０５ａとこの本体部１０５ａから延設された延設部１０５ｂとで構成されている。
【００３９】
このうち、本体部１０５ａは、図１を用いて説明した第１実施形態のバス電極１０３の本体部１０３ａと同様に、画素１１の周囲となる位置に各放電電極１０１ａ，１０１ｂに沿って配置される。
【００４０】
一方、延設部１０５ｂは、隔壁９上において放電ギャップｄ側に向かって延設され、さらに放電電極１０１ａ，１０１ｂの縁部上において放電ギャップｄに沿って放電空間ａ上に延設されていることとする。
【００４１】
そして、例えば図示したように、本体部１０５ａと延設部１０５ｂとで囲まれた開口窓１０５ｃが構成されるように延設部１０５ｂが設けられていても良い。この場合、放電ギャップｄに沿った延設部１０５ｂ部分は、放電電極１０１ａ，１０１ｂから露出しないように配置されることが好ましい。ただし、放電ギャップｄが一定に保たれれば、延設部１０５ｂ部分が、放電電極１０１ａ，１０１ｂから均等に露出した状態で設けられても良い。
【００４２】
このような構成のバス電極１０５を備えたプラズマ表示装置であっても、バス電極１０５が、放電空間ａ上の放電ギャップｄ側に延びた延設部１０５ｂを備えているため、第１実施形態のプラズマ表示装置と同様に、放電電極１０１ａ，１０１ｂを薄膜化して、これらの放電電極１０１ａ，１０１ｂの光透過性の向上を図り、表示光の取り出し効率を確保することができ、酸化スズのように比抵抗が高めの材料を放電電極１０１ａ，１０１ｂとして用いた場合であっても、表示光の取り出し効率を確保して輝度を維持することがきる。
【００４３】
特に、本第３実施形態で説明した構成のバス電極１０５は、その延設部１０５ｂが、放電ギャップｄに沿って配置されているため、第１実施形態のバス電極（１０３）と比較して、さらに放電電流を逃がす効果が高く、より確実に放電空間ａ上における実行的な放電電圧を維持することが可能になる。また、バス電極１０５の延設部１０５ｂは、隔壁９上を通って放電空間ａ上の放電ギャップｄ側にまで延設されているため、光透過性の低い金属材料からなる延設部１０５ｂでの遮光による光取り出し効率の低下を小さく抑えることも可能である。
【００４４】
＜第４実施形態＞
図５は、第３実施形態の変形例として、本発明の第４実施形態のプラズマ表示装置の特徴的な構成部分を示す平面図であり、図６に示す第１基板１側から、放電電極１０２ａ，１０２ｂ、バス電極１０５、および隔壁９の積層状態を見た平面図である。尚、図５においては、第１基板１、誘電膜５、保護膜６、および蛍光体１０の図示を省略した（図６参照）。
【００４５】
本第４実施形態と、先の図４を用いて説明した第３実施形態との異なるところは、放電電極１０２ａ，１０２ｂの構成にあり、バス電極１０５の構成は同様であることとする。すなわち、この図に示すように、第４実施形態においては、第２実施形態において図３を用いて説明したと同様の構成の放電電極１０２ａ，１０２ｂを用いている。
【００４６】
そして、バス電極１０５は、その本体部１０５ａによって、隔壁９の延設方向と直交する方向に配列された複数の放電電極１０２ａまたは複数の放電電極１０２ｂを接続するように設けられており、これによって、隔壁９の上方において隔壁９と直交する方向に一対の放電電極１０２ａ，１０２ｂが延設された構成となっている。
【００４７】
また、このバス電極１０５は、第３実施形態と同様に、本体部１０５ａが画素１１の周囲となる位置に配置される一方、延設部１０５ｂが各放電電極１０２ａ，１０２ｂの周縁に沿って放電ギャップｄ付近にまで延設され、さらに放電ギャップｄに沿って放電電極１０２ａ，１０２ｂの周縁に延設されていることとする。そして、例えば図示したように、本体部１０５ａと延設部１０５ｂとで囲まれた開口窓１０５ｃが構成されるように延設部１０５ｂが設けられていても良い。
【００４８】
このような構成の放電電極１０２ａ，１０２ｂおよびバス電極１０５を備えたプラズマ表示装置であっても、第３実施形態と同様の効果を得ることができる。また、放電電極１０２ａ，１０２ｂが各画素１１に対応してパターニングされているため、第３実施形態の構成と比較して、放電電極１０２ａ，１０２ｂ間に生じる駆動時の容量を低減することができる。
【００４９】
尚、以上の各実施形態においては、第１基板１の一主面上に、放電電極を介してバス電極が形成される構成を説明したが、放電電極とバス電極との積層順は、逆であっても良い。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のプラズマ表示装置によれば、放電電極に接続させたバス電極に、放電空間上の放電ギャップ側に延びる延設部を設けた構成としてことで、放電時の放電電流による放電電極の電圧降下を防止することが可能になるた。しがたって、放電電極を薄膜化して、これらの放電電極の光透過性の向上を図り、表示光の取り出し効率を確保することができる。この結果、例えば酸化スズのように、比抵抗が高めの材料を放電電極として用いた場合であっても、表示光の取り出し効率を確保して輝度を維持したプラズマ表示装置を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態のプラズマ処理装置の特徴的な構成部を示す平面図である。
【図２】リフトオフ法による放電電極の形成を説明する断面工程図である。
【図３】第２実施形態のプラズマ処理装置の特徴的な構成部を示す平面図である。
【図４】第３実施形態のプラズマ処理装置の特徴的な構成部を示す平面図である。
【図５】第４実施形態のプラズマ処理装置の特徴的な構成部を示す平面図である。
【図６】プラズマ表示装置のパネル構成を説明するための構成図である。
【図７】プラズマ表示装置を構成する第１基板側の断面図である。
【図８】従来のプラズマ処理装置の特徴的な構成部の一例を示す平面図である。
【図９】従来のプラズマ処理装置の特徴的な構成部の他の一例を示す平面図である。
【符号の説明】
１…第１基板、９…隔壁、１１…画素、１０１ａ，１０１ｂ，１０２ａ，１０２ｂ…放電電極、１０３，１０５…バス電極、１０３ａ，１０３ｂ…本体部（バス電極）、１０３ｂ，１０５ｂ…延設部（バス電極）、ａ…放電空間、ｄ…放電ギャップ、ｈ…表示光
【図１】
2004071421.tif 000003
【図２】
2004071421.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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