(57)【要約】【課題】細管表面に気相法により膜形成を行うにあたり、経済性、量産性に優れた成膜装置およびその装置を用いた成膜方法を提供すること。【解決手段】細管表面成膜装置において、所定数の基体である細管を成膜位置に設置し、成膜中は各細管を自転させ、成膜終了後の細管を所定の場所に移動させる機能を備えたこととした。【選択図】　　　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜前の細管が保存されている第１保存箱と、
該第１保存箱から所望の個数の細管を所望の供給間隔で供給する供給手段と、
等間隔に配置され、細管を所定の位置に回動可能に保持する固定突起を有し、固定設置された固定ストッパと、該固定ストッパに対し上下に揺動可能であって、細管を所定の位置に転動可能な突起を有し、ＯＮ状態時には下方に押し下げられ、ＯＦＦ状態時には上方に押し上げられる揺動ストッパとを備えたストッパ手段と、
前記固定ストッパの固定突起の先端よりも下方であって、前記細管を固定ストッパの固定突起以外に接触することなく保持可能な搬送ベルトであって、前記揺動ストッパがＯＮ状態時であって前記搬送ベルトが駆動しているときには、供給された前記細管を前記固定ストッパにより所定の位置にとどめつつその場で自転させる搬送手段と、
原子状、分子状あるいは粉体状の成膜前前駆体を飛翔させて細管表面に成膜を行う成膜手段と、
細管表面と前記成膜手段との間に設置され、細管基板表面の所望の位置のみに成膜させる機能を有する成膜マスクと、
前記搬送手段によって所定の位置に搬送され、成膜が終了した細管を保存する第２保存箱と、
を備えたことを特徴とする細管表面成膜装置。
【請求項２】
請求項１に記載の細管表面成膜装置において、
前記搬送手段を、前記細管の両端部分を支持可能な幅に２本の搬送ベルトを備えた構成とし、該２本の搬送ベルトの駆動速度を等速に制御する手段としたことを特徴とする細管表面成膜装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の細管表面成膜装置において、
前記供給手段の供給状態を、前記ストッパ手段のＯＮ・ＯＦＦ状態に対応して制御することを特徴とする細管表面成膜装置。
【請求項４】
請求項１ないし３いずれか１つに記載の細管表面成膜装置において、
前記搬送手段を、前記ストッパ手段のＯＮ・ＯＦＦ状態に応じて前記搬送ベルトの駆動速度を制御する手段としたことを特徴とする細管表面成膜装置。
【請求項５】
請求項１ないし４いずれか１つに記載の細管表面成膜装置において、
前記細管表面が所定の搬送位置に配置されたときに、細管を加熱可能な加熱用ランプを設けたことを特徴とする細管表面成膜装置。
【請求項６】
請求項１ないし５いずれか１つに記載の細管表面成膜装置において、
前記第１保存箱、前記供給手段、前記ストッパ手段、前記搬送手段、前記成膜手段、及び前記成膜マスクのセットが複数セット連結され、成膜パターンの異なる膜を多層で成膜する機能を備えたことを特徴とする細管表面成膜装置。
【請求項７】
細管が保存されている第１保存箱から、前記供給手段により所望の数だけ所望の間隔で細管を取り出す第１工程と、
取り出された細管を、前記ストッパ手段又は前記搬送手段により前記搬送ベルト上に所定の位置に配置する第２工程と、
所望の数の細管が所望の間隔で並べられた状態で、前記ストッパ手段をＯＮ状態とし、細管を自転させる第３工程と、
前記成膜手段により、所定の位置にとどまり自転している細管表面に所望の膜圧に成膜する第４工程と、
成膜終了後、前記ストッパ手段をＯＦＦ状態とし、成膜された細管を第２保存箱５６に保存する第５工程と、
からなることを特徴とする細管表面成膜方法。
【請求項８】
請求項７に記載の細管表面成膜方法において、
前記第４工程を、細管を加熱しながら成膜する工程としたことを特徴とする細管表面成膜方法。
【請求項９】
請求項７または８に記載の細管表面成膜方法において、
前記第１工程から第５工程までを繰り返すことにより、細管表面に多層膜を成膜することを特徴とする細管表面成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被容射体に原子状または、分子状の前駆体を飛翔させて成膜する成膜装置及び成膜方法に関し、特に曲面を持つ被容射体に対する成膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】
蒸着法やスパッタ法などように原子状や分子状の前駆体を飛翔させて成膜する気相成膜法や、溶融した原料粉体を溶射する方法などは、膜厚、膜質均一性に優れている特徴がある。これらの方法は一方向からの成膜であるため、平板型基体には適する。しかし、曲面をもつ基体表面に膜厚を均質に、かつ所望のパターンに成膜するために、さまざまな工夫が必要となる。例えば、成膜時の圧力や基体温度、基体バイアスなどの成膜条件を調整することにより、前駆体の周りこみ性を向上させる方法が公知である。
【０００３】
例えば、特開平１１−２７９７６５公報は、磁気テープなどの被成膜体を巻回支持して走行させる円筒キャンの表面に絶縁層と導電層を形成することにより、被成膜体の電位やプラズマ状態を制御し、円筒形キャンの半面部分に保持されるテープ上に均質性にすぐれた膜を形成できるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術には、前駆体の入射方向からみて完全に影になる基板裏面まで、前駆体を回り込ませることはできない問題がある。
【０００５】
これを解決する方法として、例えば、特開平８−３０２４５９号公報には、基体の保持方法や回転方法を工夫することにより円筒の表面に成膜する方法が提案されている。具体的には、丸棒またはパイプを回転させながら、この表面にパターニングして成膜する方法である。磁性体で作られたマスキングリングと、マスキングリングを支持する３個の円筒を具備する装置で、マスキングリングの中を円筒形基体が回転して通すことにより、円筒形表面に溶射する方法である。この方法により、溶射プラズマ流の幅に対して直径が大きい太い円筒を１本づつ成膜する工程では、マスキングリングを繰り返し使用できるので、量産に対して効果がある。
【０００６】
しかし、例えば直径が１ｃｍ以下など、溶射プラズマ流の幅（前駆体が入射してくる幅）に対して管直径が十分小さく、多数を一度に成膜したい場合には不向きである。
【０００７】
一方、このような細管の表面に皮膜が形成された部材の適用例として、固体酸化物燃料電池がある。固体酸化物燃料電池は、固体高分子燃料電池に比較して動作温度が高いため、ガスシール部など接合部分の耐熱性、耐熱衝撃性を向上させることが重要な課題となっている。ガスシール部の高温での信頼性にすぐれた燃料電池として、円筒型のセルを束ねて形成した燃料電池構成が広く知られている。
【０００８】
例えば特開昭６１−９１８８０号公報に記載の技術では、壁厚１．５ｍｍ、管外径１．３ｃｍの多孔質基体上に、一方の電極層を形成した後、化学的蒸着法により、電解質層を成膜形成する。さらにもう一方の電極層を形成することにより燃料電池セルを形成している。これらのセルは長さ１ｍ程度あり、これらを束ねて形成した燃料電池は、数ｍ３以上の大型電池であり、発電所用途のような定置型発電装置に使用される。
【０００９】
しかし、燃料電池が大型であるため、自動車など移動体に搭載することはむずかしく、また急激に加熱をして起動させることが難しいという問題があった。
【００１０】
これを解決するため、特表平８−５０７８９６号公報に記載の技術では、直径１〜５ｍｍの細管型の燃料電池セルを提案している。電解質材料で形成された細管の外表面と内表面にそれぞれ空気極層と燃料極層材料を含むインクを塗布し、焼成して電極層を形成するものである。これにより、約１０００℃までの起動時の急加熱に対して信頼性を向上することができるので、例えば緊急用動力源用に使用可能になるとしている。
【００１１】
燃料電池を車載用に適用する場合においても、耐熱衝撃性の向上が重要課題であるが、さらに発電時の動作温度を例えば６００℃程度となるべく低温化することも重要な課題である。低温で動作させる場合は、電解質層のＩＲ抵抗損失が大きな課題となり、電解質層はなるべく薄膜としたい。電解質層で５０〜２００μｍ厚の壁厚をもつ細管を形成している構成では、より低温で動作させる発電セル構造としては、電解質層厚が厚い問題がある。
【００１２】
また、６００℃以下で動作させる燃料電池を形成する場合は、例えば細管基体に金属材料など加工性に優れ、安価な材料を使用することもできる。しかし、基体上に電極層や電解質層を膜形成した後工程で１５００℃の焼結工程を必要とする膜形成工程では、金属性基体の耐熱性が不足する問題がある。そのため高温の焼結工程を必要としない蒸着法や溶射法などの気相成膜法を用い、細管表面に膜形成することが極めて重要になる。
【００１３】
本発明は、上記問題点に着目してなされたもので、その目的とするところは、細管表面に気相法により膜形成を行うにあたり、経済性、量産性に優れた成膜装置およびその装置を用いた成膜方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、細管表面成膜装置において、所定数の基体である細管を成膜位置に設置し、成膜中は各細管を自転させ、成膜終了後の細管を所定の場所に移動させる機能を備えたことで上記課題を解決した。
【発明の効果】
本発明の成膜装置および成膜方法を用いることにより、外径数ｍｍのような細管表面に成膜する工程において、経済性、量産性に優れた方法で成膜することができる。また、一度に複数の細管の外周表面を均質に成膜することができ、細管同士の接触で成膜面が損傷したり、品質低下しないで成膜することができる。また、成膜パターンが異なる多層成膜を量産性よく、良好な品質のものを成膜することができる。
【００１５】
また、本発明の成膜装置および成膜方法を適用することにより、熱衝撃性に優れ、動作温度の低温化を可能にする、細管を束ねた構成の固体酸化物型燃料電池を、量産性にすぐれ、品質安定性に優れた方法で製造することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明における細管表面成膜装置の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
【００１７】
（実施の形態）
図１は、実施の形態における細管表面成膜装置の全体構成を表す断面図である。１は真空ポンプ、２は真空槽、３はＤＣ電源、４はターゲット、５は細管搬送装置、６は防着板、７は供給用モータ、８は搬送用モータである。
【００１８】
尚、成膜手段としては、一般的な蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法、パルスレーザーアブレーション法などのＰＶＤ法や溶射法、エアロゾルデポジッション法など気相中で膜前駆体を飛翔させて成膜する方法を使用することができる。
【００１９】
図２は細管搬送装置５を表す拡大断面図、図３は細管搬送装置５の斜視図である。５０は細管、５１は成膜前の細管を保存する第１保存箱、５２は第１保存箱５１から細管を取り出す取り出しローラ機構、５３は固定ストッパ、５４は揺動ストッパ、５５は搬送ベルト、５６は成膜後の細管を保存する第２保存箱、５７は揺動ストッパ５４を上方に付勢するスプリング、５８は細管の所望の領域にのみ成膜するための成膜マスクである。
【００２０】
また、７１は供給用モータ７によって駆動されるギヤ機構であり、供給用モータ７の回転により取り出しローラ機構５２の作動を制御する。また、７３は揺動ストッパ５４のＯＮ・ＯＦＦ状態を制御する揺動機構である。また、８１は搬送モータ８によって駆動されるギヤ機構であり、ベルト８２を介して搬送プーリ８３を駆動し、搬送ベルト５５の作動を制御する。また、９０は加熱用ランプであり、所定の位置に配置された細管を加熱することができる。
【００２１】
本発明の細管基体は、取り出しローラ機構５２によって搬送ベルト５５などに設置できるものであれば、どんな外径サイズでも使用することができる。例えば数百μｍ径〜数ｃｍ径が好適である。
【００２２】
細管が燃料電池用セルの基体である場合、後で多孔化が可能な金属管を用いることができる。また、金属性あるいはセラミックス性の多孔質性棒や多孔質性管に樹脂や低融点ガラスなどを含浸させて封孔したものを使用することができる。成膜後含浸剤を除去し、或いは、多孔化エッチング処理を施して、燃料電池セルを形成することができる。
【００２３】
第１保存箱５１は、取り出しローラ５２によって一本づつ取り出しやすくするために、細管が第１保存箱５１の中で斜めになってしまわないものが良好である。そのため第１保存箱５１の幅を細管長さ方向に合わせたサイズとしたり、底が傾斜していたり、振動させる機構を備えたものが望ましい。
【００２４】
取り出しローラ機構５２は、外部モータ７の回転により駆動するクランク機構を介して、細管径と同等の径の溝加工を施した供給ローラ５２ａを回転させ、これにより第１保存箱５１から細管を所定間隔で取り出す機能を持つ。すなわち、細管の供給角度（搬送方向に対する細管の角度）が搬送ベルト５５の移動方向に対して正しく直角でない場合は、うまく搬送できず、成膜時の膜厚分布が生じる原因となるため、取り出し時に供給ローラ５２ａの溝と細管の接触部分の長さが長い方が、細管を正しい角度で搬送ベルト５５に供給する必要がある。よって、供給ローラ５２ａの幅は、細管長と同等とすることもできるし、短いものを細管長さ方向に複数個設置することが望ましい。
【００２５】
取り出しローラ機構５２から搬送ベルト５５に供給する細管の供給間隔は、供給ローラ５２ａの溝加工間隔や、供給ローラ５２ａの回転速度、回転ＯＮ／ＯＦＦ制御によって制御することができる。
【００２６】
固定ストッパ５３は、一方、隣の細管とは接触をさせずにそれぞれ自転させることが重要である。成膜工程時に隣の細管と接触すると、成膜面同士がこすれてしまい、膜破損を起こしたり、膜厚分布が不均質になったりするので好ましくない。そのため、のこぎり歯状の凹凸である細管固定突起５３ａが設けられている。この細管固定突起５３ａが細管の間に挿入されることにより、細管一本づつをその場に留め、それぞれ自転させる。固定ストッパ５３は細管との接触面積をなるべく小さくすることが望ましいが、細管が自転中に斜めになってしまわないようにすることが重要である。そのため、細管の長さ方向２箇所以上で接触するようにするのが好適であり、２本の搬送ベルトの外側にそれぞれ設置するのがさらに好適である。
【００２７】
（固定ストッパ及び揺動ストッパによる搬送）
ここで、固定ストッパ５３及び揺動ストッパ５４の機構について説明する。図４は固定ストッパ５３及び揺動ストッパ５４の動きに応じて細管を搬送する過程を表す概略図である。まず、図４（ａ）のように固定ストッパ５３の細管固定突起５３ａ間に細管５０が配置されている。このとき、揺動ストッパ５４は揺動カム７３により下方に押し下げられたＯＮ状態であり、揺動ストッパ５４の搬送突起５４ａは細管５０よりも下部側に位置している。
【００２８】
次に、図４（ｂ）に示すように、揺動カム７３の回動により揺動ストッパ５４がＯＦＦ状態になると、スプリング５７に押し上げられて揺動ストッパ５４が上方に移動する。このとき搬送突起５４ａの斜面部分に細管５０が押し上げられ、搬送突起５４ａの間の谷間に細管５０が転動する。尚、細管５０が谷間に位置したときは、図に示すように細管５０が固定ストッパ５３の細管固定突起５３ａを乗り越えた状態である。
【００２９】
次に、図４（ｃ）に示すように、揺動カム７３の回動により揺動ストッパ５４がＯＮ状態になると、細管５０はそれぞれ隣の細管固定突起５３ａに挟まれた領域に移動し、これにより細管５０を順次搬送することができるものである。
【００３０】
（固定ストッパ及び搬送ベルトによる細管の自転）
次に、図５に示す固定ストッパ５３及び搬送ベルト５５による細管５０の自転機構について説明する。図５（ａ）のように固定ストッパ５３の細管固定突起５３ａの間に細管５０が配置され、揺動ストッパ５４はＯＮ状態で下方に押し下げられている。この状態で、搬送ベルト５５が駆動すると、細管５０は細管固定突起５３ａによって搬送ベルト５５の駆動方向に押しつけられた状態で自転し始める。
【００３１】
細管の搬送は、一本づつ等間隔に供給することもできるし、一度に成膜する複数の細管を等間隔で供給した後、大きく間を開けて、次の成膜ロット用の複数の細管を等間隔で供給することもできる。複数の細管を接触した状態で供給すると、搬送中に脱落する原因になり、揺動ストッパ５４をＯＮ状態にする（一本づつの間にストッパー凸部を挿入する）場合に、細管を搬送ベルト５５から脱落させてしまうなど起きるので好ましくない。
【００３２】
供給間隔は揺動ストッパ５４のＯＮ（基体が成膜所定位置で自転）状態の時間と連動しているように制御することもできる。例えば成膜位置の細管をストッパーＯＮとしてその場で自転させて成膜し、その後ストッパーをＯＦＦして次の所定位置に移動させると同じに次の細管を供給するものである。
【００３３】
搬送ベルト５５は、２本以上同速度で駆動するものを設置するのが好適である。搬送中に細管が斜めになってしまって搬送ベルトから脱落したり、隣の細管との間隔がずれてしまったりしないようにすることが重要である。そのため、成膜しない領域が少ない場合は、特に細管の両端近傍部など成膜しない部分を２ヶ所以上支持して搬送するのが好適である。搬送ベルトの駆動速度は、本発明の成膜工程中、常に一定の速度で駆動させることもできるし、揺動ストッパ５４のＯＮ／ＯＦＦと連動して速度を変化させることもできる。
【００３４】
例えば、第１保存箱１から成膜所定位置、成膜所定位置から第２保存箱５６まで搬送される場合（ストッパーＯＦＦ状態）、搬送ベルト速度に対し、固定ストッパ５３によって細管がその場に留まる場合（ストッパーＯＮ状態）、搬送ベルト速度が細管の自転速度を決めるので、成膜材料に依存する成膜速度と連動して変化させることができる。例えば、自転速度が速い場合はある膜厚に達するまでの積層数が多いことになるので、この自転速度を制御することにより、膜厚均質性が良好になる場合があり、また、膜応力を制御することができる場合がある。
【００３５】
成膜マスク５８は、搬送ベルト５５部分への成膜を防止するため、箱型のマスクとされている。箱の底部分には、開口部パターン５８ａが形成されており、側面部は、成膜したい細管以外の他の装置部位に不要に膜付着物がつかないように保護するものである。ここで、成膜マスク５８は、自転する細管と接触しないが、極力隙間がないように設置することが重要である。そのため、平板形状の基板の場合に使用される場合に比べて膜厚が厚いものを使用することにより、直線性よくマスク開口部を通過した前駆体のみが成膜することができるので、成膜パターン周辺部のダレや回り込みを防止することができる。また、成膜マスク５８は、細管両端部を支える搬送ベルト５５の間であって、ターゲット４側に設置される。
【００３６】
〔成膜工程〕
本実施の形態の成膜工程について説明する。
【００３７】
（工程１）
細管が保存されている第１保存箱５１から、取り出しローラ機構５２により所望の数だけ所望の間隔で細管を取り出す。
【００３８】
（工程２）
取り出された細管を、固定ストッパ５３及び揺動ストッパ５４により搬送ベルト５５上に並べる。
【００３９】
（工程３）
所望の数の細管が所望の間隔で並べられた状態で、揺動ストッパ５４をＯＮ状態とし、固定ストッパ５３と搬送ベルト５５によって細管を自転させる。
【００４０】
（工程４）
所定の位置にとどまり、自転している細管表面に所望の膜圧に成膜する。
【００４１】
（工程５）
成膜工程終了後、揺動ストッパ５４をＯＦＦ状態とし、固定ストッパ５３及び揺動ストッパ５４により成膜された細管を第２保存箱５６に保存する。
【００４２】
以上の工程により、細管表面への成膜が完了する。尚、上記一連の成膜工程（１）〜（５）を繰り返して、複数層成膜する場合、第１層目の成膜装置の第２保存箱５６を取り外し、第２層目の成膜装置の第１保存箱５１として設置する構成としても良い。
【００４３】
また、固定ストッパ５３及び揺動ストッパ５４、もしくは搬送ベルト５５によって連続的に細管を搬送し、第１層目の成膜所定位置から第２層目の成膜所定位置へ連続的に搬送ができる装置構成とすることもできる。
【００４４】
また、工程４において、細管自体を加熱しながら成膜しても良い。
加熱することにより膜質が安定して成膜でき、品質や信頼性が向上する。また結晶性が向上するなどして膜質が向上するという効果もある。
また、図８及び図９に示すように、成膜装置自体を複数連続的に並べて構成することで、細管表面に連続的に多層膜を成膜することができる。
また、例えば図６に示すような多層膜を成膜する際、成膜マスク５８を複数種類用意してもよい。具体的には図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に記載したように、第１層目は成膜マスク５８１で成膜し、第２層目は成膜マスク５８２で成膜し、第３層目は成膜マスク５８３で成膜することで、図６の成膜後の細管の断面図に示すような多層膜を成膜することができる。
【００４５】
【実施例１】
図１〜３に示す細管基体を保持する機構を備えたスパッタ装置を用いて成膜を行った。
【００４６】
直径２ｍｍ、壁厚０．５ｍｍの多孔質性Ｚｒ０．８９Ｃａ０．１１Ｏ１．８９（ＣＳＺ）細管にエポキシ系樹脂を含浸して穴を埋めるとともに、表面を研磨した基体を保存箱１に１０本投入した。
【００４７】
一方、空気極用マスク（マスク５８）を２本の搬送ベルト５５間の所定位置に設置し、スパッタターゲット４はＬａ０．８５Ｓｒ０．１５ＭｎＯ３を設置した。
【００４８】
蒸着装置を真空引きした後、取り出しローラ機構５２によりに細管１０本を供給し、成膜マスク５８の設置された所定の位置に揺動ストッパ５４のＯＮ・ＯＦＦ状態を繰り返すことで搬送した。所定位置への搬送後、揺動ストッパ５４をＯＮ状態とし、細管基体をその場で自転させた。
【００４９】
Ａｒガスを導入して圧力を２Ｐａとして、ＲＦスパッタ電源出力１５０Ｗで成膜５時間行った。
【００５０】
その後ＲＦ電源出力をＯＦＦし、揺動ストッパ５４のＯＮ・ＯＦＦ状態を繰り返し、て細管基体を第２保存箱５６へ搬送した。
【００５１】
真空チャンバーをリークし、マスク５８を電解質用に交換するとともに、スパッタターゲットをＹＳＺに交換した。基板をランプ加熱により２５０℃に加熱し、同様にして電解質膜を５時間成膜した。
【００５２】
その後細管基体を大気中において６００℃で加熱処理を行い、多孔質基体に含浸した樹脂を除去した。
【００５３】
さらに燃料極マスクとＮｉターゲットに交換したスパッタ装置において燃料極を１時間成膜した。
【００５４】
成膜した細管概略図を図６に示す。本実施例では、成膜層を形成するごとに真空チャンバーをリークしてマスクとターゲットを交換したが、搬送ベルトを長くし、スパッタ源を３本用意した真空装置を用いることにより、三層を連続成膜することは容易である。
【００５５】
以上のように本発明の成膜装置を用いることにより、細管基体表面に精度よくパターニングして成膜することができる。複数の細管を一度に、互いに接触することなく自転させながら成膜することができるので、膜厚分布を均質にして成膜することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態における細管表面成膜装置の全体構成を表す断面図である。
【図２】実施の形態の細管搬送装置５を表す拡大断面図である。
【図３】実施の形態の細管搬送装置を表す斜視図である。
【図４】実施の形態の固定ストッパ及び揺動ストッパの動きに応じて細管を搬送する過程を表す概略図である。
【図５】実施の形態の固定ストッパ及び搬送ベルトによる細管の自転機構を表す概略図である。
【図６】実施例の成膜した細管概略図を表す断面図である。
【図７】実施例の成膜マスクを表す概略図である。
【図８】他の実施の形態の細管搬送装置を表す拡大断面図である。
【図９】他の実施の形態の細管搬送装置を表す拡大断面図である。
【符号の説明】
１　　真空ポンプ
２　　真空槽
３　　ＤＣ電源
４　　ターゲット
５　　細管搬送装置
６　　防着板
７　　第１モータ
８　　第２モータ
５０　　細管
５１　　第１保存箱
５２　　取り出しローラ機構
５３　　固定ストッパ
５４　　揺動ストッパ
５５　　搬送ベルト
５６　　第２保存箱
５７　　スプリング
５８　　成膜マスク
７１　　ギア機構
７３　　揺動機構
８１　　ギア機構
８２　　駆動ベルト
８３　　搬送プーリ
【図１】
2004066084.tif 000003
【図２】
2004066084.tif 000004
【図３】
2004066084.tif 000005
【図４】
2004066084.tif 000006
【図５】
2004066084.tif 000007
【図６】
2004066084.tif 000008
【図７】
2004066084.tif 000009
【図８】
2004066084.tif 000010
【図９】
2004066084.tif 000011