(57)【要約】【課題】多数のスリットを有する開口部１２を複数個配置した金属薄板１１を、たるみやゆがみの無い状態で枠に固定する技術を提供する。【解決手段】金属薄板１１の４つの角部を、角用クランプ２３Ａで把持し、該クランプをエアシリンダ２４Ａで対角線方向に引っ張ることで金属薄板１１を全体的に広げておき、次いで、金属薄板１１の各辺を、開口部１２に面する領域と非開口部に面する領域とに分けて配置した複数の辺用クランプ２３Ｂで把持し、該クランプをエアシリンダ２４Ｂで金属薄板の各辺に直角方向に引っ張り、各クランプによる引張力を調整することで金属薄板１１をゆがみやたるみのない平坦な状態に保持し、この状態で枠に固定する構成とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の金属薄板を枠に固定するに際し、前記金属薄板の４つの角部をそれぞれ独立した角用クランプで把持し、該角用クランプを前記金属薄板の対角線にほぼ平行な方向に引っ張ることで前記金属薄板を平坦に引っ張り、次いで、前記金属薄板の４辺をそれぞれ辺用クランプで把持し、その辺用クランプを、該辺用クランプで把持した辺に対して直角方向に引っ張ることで前記金属薄板を平坦に張った状態とし、この状態で枠に固定することを特徴とする金属薄板の枠貼り方法。
【請求項２】
前記金属薄板の４辺をクランプで把持して引っ張るに際し、各辺を複数の辺用クランプで把持して引っ張ることを特徴とする請求項１記載の金属薄板の枠貼り方法。
【請求項３】
前記金属薄板が多数のスリットを備えた矩形状の開口部を並べて形成した構成であり、金属薄板の４辺の各々を把持するための複数の辺用クランプが、開口部と非開口部に合わせて配置されていることを特徴とする請求項２記載の金属薄板の枠貼り方法。
【請求項４】
枠に固定すべき矩形状の金属薄板の４つの角部をそれぞれ把持するように配置された角用クランプと、該角用クランプを金属薄板の対角線にほぼ平行な方向に移動させて前記金属薄板にほぼ対角線方向の引張力を作用させる角用クランプ駆動手段と、前記金属薄板の４辺をそれぞれ把持するように配置された辺用クランプと、該辺用クランプを辺に対して直角方向に移動させて前記金属薄板に、辺に対して直角方向の引張力を作用させる辺用クランプ駆動手段とを備えたことを特徴とする金属薄板の枠貼り装置。
【請求項５】
前記辺用クランプが、各辺に対して複数個設けられていることを特徴とする請求項４記載の金属薄板の枠貼り装置。
【請求項６】
前記金属薄板が多数のスリットを備えた矩形状の開口部を、並べて形成した構成であり、前記金属薄板の各辺に配置された複数の辺用クランプが、前記開口部と非開口部に合わせて配置されていることを特徴とする請求項５記載の金属薄板の枠貼り装置。
【請求項７】
前記辺用クランプ駆動手段が、各辺に対して複数個設けられた各辺用クランプ毎に引張力を調整可能であることを特徴とする請求項５又は６記載の金属薄板の枠貼り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、有機ＥＬ素子製造工程で使われる蒸着マスクに使用される、多数のスリットを備えた開口部を有する金属薄板のような、極く薄い且つ剛性の異なる領域を備えた金属薄板をゆがみのない平坦な状態で枠に固定する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開２００３−６８４５３号公報
【特許文献２】特開２００３−６８４５４号公報
従来、有機ＥＬ素子製造において真空蒸着が行われており、その蒸着マスクとして、多数のスリットを備えた開口部を有する金属薄板が使用されている。そして蒸着に当たってはその蒸着マスクを、前記開口部よりも大きい開口を備えた剛性の大きい枠に磁石等によって取り付けていた。しかしながら、近年、パターニングの微細化が進み、開口部に形成しているスリットが微細になり且つ蒸着マスクの板厚自体も薄くなってくると、蒸着マスクを単に枠に磁石等を用いて固定しただけでは、開口部にゆがみやたるみが生じ、スリット精度が維持できなくなるという問題が生じた。そこで、本出願人は先に、蒸着マスクを枠に取り付けた状態で、その蒸着マスクを開口部のスリット方向に引張った状態に保持することの可能な蒸着マスクの保持治具を開発した（特許文献１参照）。この保持治具を用いると、開口部のスリットを構成する細線部分を長手方向に引っ張った状態に保持できるので、スリットを直線状に且つ一定ピッチに保持でき、高精細パターニングが可能であるという利点が得られる。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載の蒸着マスクは、１枚の蒸着マスクに１個の開口部を形成しているのみであるので、生産性が悪いという問題点があった。そこで、生産性を上げるには、図６に示すように、１枚の蒸着マスクに複数個の開口部２を形成した多面付けマスク１を用いれば良く、そのマスクの両端を固定クランプ３と可動クランプ４で把持し、可動クランプ４を矢印で示すように、開口部２のスリット方向に引っ張った状態に保持すれば良いと考えられる。ところが、多数の開口部２を備えた多面付けマスク１では、その両端をクランプ３、４で把持して引っ張ると、マスクの全幅を均等に引っ張ったにも係わらず、開口部と非開口部とで剛性が異なるため、開口部にゆがみやたるみが生じ、所望のスリットパターンが得られず、しかも、各開口部の位置精度も悪くなるということが判明した。なお、多面付けマスク１をクランプ３、４で引っ張った際に生じるゆがみやたるみを無くすため、図７に示すように、多面付けマスク１の両側縁をクランプ５、６で把持し、両方向に引っ張ることも考えられるが、このようにしてもゆがみやたるみが依然として残る場合があり、特に多面付けマスク１の角部近傍では、その角部をはさむ位置に配置されたクランプ同士が干渉して、マスクに十分な引張力を作用させることができず、角部近傍の開口部２におけるゆがみやたるみ、位置ずれ等を解消することが困難であった。例えば、有機ＥＬ素子製造に用いる蒸着用の多面付けマスクの場合、各開口部の位置に関して±１０μｍ以下のトータルピッチが求められることがあるが、そのような寸法精度を達成することは困難であった。
【０００４】
そこで、これらの問題点を解決するものとして、本出願人は先に、複数の開口部を形成した第一金属マスクと多数の微細なスリットを広い面積に形成した第二金属マスクを重ねて多面付けマスクを形成し、これらの第一金属マスクと第二金属マスクを枠に取り付けると共に第二金属マスクをスリット方向に引張った状態に保持することの可能な多面付けマスク装置を開発した（特許文献２参照）。この多面付けマスク装置では、第二金属マスクのほぼ全幅に渡ってスリットを形成しているので、全体を均一に引張ってスリットを平行に揃えることが可能であり、多面付けでありながら高精細パターニングが可能であるという利点が得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２に記載の多面付けマスク装置は、２枚の金属マスクを使用し、しかも、金属マスクを枠に取り付けた状態で、その金属マスクに張力を付与する構造としているので、構造が複雑であるという問題点がある。そこで、もし、図６に示す構造の単一の多面付けマスクを、その開口部にゆがみやたるみの無い状態で且つ所望の寸法精度を確保できる状態に保持できれば、その状態でその多面付けマスクを剛性の高い枠にスポット溶接等によって固定することで、単純な構造の枠を用いて多面付けマスクをゆがみやたるみの無い状態に保持できる。
【０００６】
本発明はかかる状況に鑑みてなされたもので、蒸着用の多面付けマスクのように多数のスリットを備えた複数の開口部を有するような、剛性の異なる領域を備えた金属薄板を、たるみやゆがみの無い状態に且つ開口部等を所望の寸法精度に保った状態で、枠に固定する方法及びその方法の実施に用いる装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の金属薄板の枠貼り方法は、矩形状の金属薄板を枠に固定するに際し、前記金属薄板の４つの角部をそれぞれ独立した角用クランプで把持し、該角用クランプを前記金属薄板の対角線にほぼ平行な方向に引っ張ることで前記金属薄板を平坦に引っ張り、次いで、前記金属薄板の４辺をそれぞれ辺用クランプで把持し、その辺用クランプを、該辺用クランプで把持した辺に対して直角方向に引っ張ることで前記金属薄板を平坦に張った状態とし、この状態で枠に固定することを特徴とするものである。このように、金属薄板の４つの角部をほぼ対角線方向に引っ張ることで、金属薄板を全体的に引き伸ばすことができ、その後、各辺を辺用クランプで把持して引っ張ることで、角部をはさむ位置に配置された辺用クランプ同士の干渉を小さくしながら、金属薄板全面に縦横方向の引張力を作用させることができ、これにより、金属薄板をゆがみやたるみの無い状態に且つ開口部を備えていた場合その開口部を所望の寸法精度に保った位置に保持することができ、金属薄板をゆがみやたるみの無い状態で且つ開口部等を所望の寸法精度に保った状態で、スポット溶接等を利用して枠に固定することができる。
【０００８】
ここで、前記金属薄板の４辺を辺用クランプで把持して引っ張るに際し、各辺を複数の辺用クランプで把持して引っ張る構成とすることが好ましい。このように各辺を複数の辺用クランプで引っ張る構成とすると、金属薄板に作用させる引張力を場所によって異ならせることができ、引張力調整により、金属薄板を一層ゆがみやたるみの無い状態に引っ張ることができ、且つ金属薄板が開口部を有する場合、その位置精度を高めることもできる。また、各辺に複数の辺用クランプを設ける場合、その辺用クランプの配置は、金属薄板の剛性の分布に応じて適宜定めれば良く、金属薄板が、有機ＥＬ素子製造に用いる多面付けマスクのように、多数のスリットを備えた矩形状の開口部を並べて形成した構成のものである場合には、複数の辺用クランプを開口部と非開口部に合わせて配置しておくことが好ましい。この構成とすると、剛性が大きく異なる開口部と非開口部をそれぞれ別個の辺用クランプで引っ張ることができるので、金属薄板をきわめてゆがみやたるみの無い状態に保持でき且つ開口部の位置精度を高めることができる。
【０００９】
本発明の枠貼り装置は、枠に固定すべき矩形状の金属薄板の４つの角部をそれぞれ把持するように配置された角用クランプと、該角用クランプを金属薄板の対角線にほぼ平行な方向に移動させて前記金属薄板にほぼ対角線方向の引張力を作用させる角用クランプ駆動手段と、前記金属薄板の４辺をそれぞれ把持するように配置された辺用クランプと、該辺用クランプを辺に対して直角方向に移動させて前記金属薄板に、辺に対して直角方向の引張力を作用させる辺用クランプ駆動手段とを備えるという構成としたものである。そしてこの構成により、まず金属薄板の４つの角部を角用クランプで把持してほぼ対角線方向に引っ張り、次いで金属薄板の各辺を辺用クランプで把持して引っ張るという動作を行うことができ、これによって、金属薄板をゆがみやたるみの無い状態に且つ開口部を備えていた場合その開口部を所望の寸法精度に保った位置に保持することができ、この状態で金属薄板を枠にスポット溶接等によって固定することで、金属薄板をゆがみやたるみの無い状態で且つ開口部等を所望の寸法精度に保った状態で枠に固定することができる。
【００１０】
ここで、前記辺用クランプを、金属薄板の各辺に対して複数個配置しておくことが、金属薄板に作用させる引張力を場所によって異ならせることができ、引張力調整により、金属薄板を一層ゆがみやたるみの無い状態に引っ張ることができ、且つ金属薄板が開口部を有する場合、その位置精度を高めることもできるので、好ましい。また、前記金属薄板が、多数のスリットを備えた矩形状の開口部を並べて形成した構成の場合には、各辺に配置した複数の辺用クランプを、その金属薄板の前記開口部と非開口部に合わせて配置しておくことが好ましく、これによって、その金属薄板をきわめてゆがみやたるみの無い状態に保持でき且つ開口部の位置精度を高めることができる。
【００１１】
各辺に対して複数個の辺用クランプを設ける場合、前記辺用クランプ駆動手段は、各辺用クランプ毎に引張力を調整可能としたものとすることが、金属薄板に対する精密な引張力の調整をできるので好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明は、ゆがみやたるみのない平坦な状態に保持する必要がある任意の金属薄板に対して適用可能であるが、特に、精密さを要求されるにもかかわらずゆがみやたるみを生じやすい有機ＥＬ素子製造用の蒸着用多面付けマスクとして使用する金属薄板に適用することが好ましい。以下、有機ＥＬ素子製造における蒸着用多面付けマスクとして使用する金属薄板を例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。図１は本発明の実施の形態に係る金属薄板の枠貼り装置の概略平面図、図２はその一部の概略断面図、図３は、この枠貼り装置を図１とは異なる作動状態で示す概略平面図、図４はこの枠貼り装置で取り扱う金属薄板及び枠を示す概略斜視図、図５は枠貼り後の金属薄板と枠とを示す概略斜視図である。図４において、１１は蒸着マスクとして使用する矩形状の金属薄板であり、その中に、多数のスリットを備えた開口部１２を複数個、縦横に並べて形成している。１３は金属薄板１１を取り付けるための剛性の大きい枠であり、金属薄板１１の多数の開口部１２を形成した領域を包含する大きさの開口部１４を備えている。金属薄板１１は、枠１３に対して縦横両方向ともに大きいサイズに作られており、枠１３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線１５を形成している。なお、易切断線１５は、金属薄板１１に加える引張力には耐え得る強度を備えたものである。金属薄板１１の厚さ、開口部１２の寸法、それに形成したスリットの寸法等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、金属薄板１１の厚さは３０〜２００μｍ、開口部の寸法は長さが５０〜７０ｍｍ、幅が３０〜５０ｍｍ、スリットの幅が５０〜１００μｍ、スリットを構成する金属細線の幅が１００〜１５０μｍ等を例示できる。
【００１３】
図１〜図３において、全体を参照符号２０で示す金属薄板の枠貼り装置は、支持台２１と、その支持台２１上の所定位置に枠１３を固定保持する固定手段（図示せず）と、枠１３の上に乗せた金属薄板１１の４つの角部をそれぞれ把持可能なように配置された角用クランプ２３Ａと、その角用クランプ２３Ａを金属薄板１１のほぼ対角線方向に移動させて金属薄板１１にほぼ対角線方向の引張力を作用させる角用クランプ駆動手段２４Ａと、金属薄板１１の４辺を把持可能なように且つ各辺に対して複数個ずつ配置された辺用クランプ２３Ｂと、各辺用クランプ２３Ｂを、その辺用クランプ２３Ｂで把持した辺に対して直角方向に移動させて金属薄板１１に引張力を作用させる辺用クランプ駆動手段２４Ｂ等を備えている。ここで、角用クランプ２３Ａ、辺用クランプ２３Ｂは同様な構造のものであり、図２に示すように、リニアガイド２６に移動可能に保持されたクランプ本体２７と、クランプ本体２７に固定された固定爪２８と、クランプ本体２７に旋回可能に設けられた可動爪２９と、可動爪２９をトグル機構（図示せず）を介して開閉させるエアシリンダ（図示せず）等を備えており、固定爪２８と可動爪２９で金属薄板１１を把持する構成となっている。なお、角用クランプ２３Ａ及び辺用クランプ２３Ｂの金属薄板を把持する機構は、図示したような固定爪２８と可動爪２９を用いたものに限らず、適宜変更可能であり、ねじ止めを用いたもの等としてもよい。図１から良く分かるように、金属薄板１１の４辺にそれぞれ設けている複数の辺用クランプ２３Ｂは、金属薄板１１の開口部１２と非開口部に合わせて配置されており、従って、金属薄板１１の、開口部１２を含んで縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域と、開口部の無い縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域とを、それぞれ別個の辺用クランプ２３Ｂで引っ張ることが可能である。
【００１４】
各角用クランプ２３Ａ及び辺用クランプ２３Ｂに連結された角用クランプ駆動手段２４Ａ及び辺用クランプ駆動手段２４Ｂは、各クランプを介して金属薄板１１に所望の引張力を加えることができるものであれば任意であり、この実施の形態ではエアシリンダを用いている。駆動手段２４Ａ、２４Ｂを構成する各エアシリンダには、それぞれ別個に引張力を調整しうるよう、レギュレータが連結されている。また、角用クランプ駆動手段２４Ａを構成するエアシリンダには、全部の角用クランプ駆動手段２４Ａを同時に作動させることができるよう、共通の開閉弁を介してエア供給配管が接続されており、且つ作動タイミングを調整することができるよう各エアシリンダへのエア供給配管にスピードコントローラも設けられている。また、辺用クランプ駆動手段２４Ｂを構成するエアシリンダにも、全部の辺用クランプ駆動手段２４Ｂを同時に作動させることができるよう、共通の開閉弁を介してエア供給配管が接続されており、且つ作動タイミングを調整することができるよう各エアシリンダへのエア供給配管にスピードコントローラも設けられている。なお、駆動手段２４Ａ、２４Ｂは、エアシリンダに限らず、油圧シリンダ、サーボモータ等を用いてもよい。
【００１５】
次に、上記構成の枠貼り装置２０を用いた金属薄板の枠への固定動作を説明する。図２に示すように、支持台２１上の所定位置に枠１３を取り付け、次いでその上に金属薄板１１を乗せ、図３に示すように、金属薄板１１の４つの角部を角用クランプ２３Ａで把持させる。次に、各角用クランプ２３Ａに連結している角用クランプ駆動手段２４Ａを構成するエアシリンダに加圧エアを送って各角用クランプ２３Ａを矢印で示すように金属薄板１１の対角線方向に移動させる。これにより、金属薄板１１が４個の角用クランプ２３Ａによって対角線方向に引っ張られ、金属薄板１１が縦横方向に拡大するように全体的に引っ張られる。次いで、図１に示すように、金属薄板１１の４辺を複数の辺用クランプ２３Ｂで把持させ、その辺用クランプ２３Ｂに連結している辺用クランプ駆動手段２４Ｂを構成するエアシリンダに加圧エアを送って各辺用クランプ２３Ｂを矢印で示すように縦横方向に移動させる。これにより、金属薄板１１が多数の辺用クランプ２３Ｂによって縦横方向に引っ張られ、金属薄板１１は比較的均等に縦横方向に引っ張られることとなる。また、辺用クランプ２３Ｂで金属薄板１１の辺を把持する前に、角用クランプ２３Ａで金属薄板１１を全体的に縦横両方向に広げているので、角部をはさむ位置に配置した辺用クランプ２３Ｂが互いに干渉することがきわめて小さく、この点からも金属薄板１１を比較的均等に縦横方向に引っ張ることができる。
【００１６】
この状態で、金属薄板１１の表面状態を目視検査し、ゆがみやたるみがあれば、その領域を引っ張っている辺用クランプ２３Ｂに連結されたエアシリンダへの供給エア圧を調整し（もし、必要なら角用クランプ２３Ａに連結されたエアシリンダへの供給エア圧も調整し）、金属薄板１１をゆがみやたるみのない平坦な状態で且つ開口部１２のスリットが平行に引き揃えられた状態に調整する。また、金属薄板１１に形成している各開口部１２の位置を検査し、各開口部が所定の寸法精度内の位置に入るように、各エアシリンダへの供給エア圧を調整する。以上により、金属薄板１１をゆがみやたるみの無い状態で且つ各開口部が所定の寸法精度範囲内に位置する状態とすることができる。その後、この状態で、金属薄板１１を枠１３にレーザ等を用いてスポット溶接（符号３３参照）し、固定する。その後、金属薄板１１からクランプ２３を外し、金属薄板１１の周縁部分を易切断線１５を利用して除去する。以上により、図５に示すように、枠１３に金属薄板１１を固定した構成の蒸着マスク装置３５を製造できる。
【００１７】
得られた蒸着マスク装置３５では、金属薄板１１がゆがみやたるみの無い状態で且つ開口部１２のスリットが正確に平行に揃った状態に保たれており、且つ各開口部の位置も所定の寸法精度内に保たれている。かくして、この蒸着マスク装置３５を用いて蒸着を行うことにより、微細なパターンの蒸着を正確に行うことができる。
【００１８】
なお、上記した実施の形態では、金属薄板１１の４辺を、辺用クランプ２３Ｂで把持し、その辺用クランプ２３Ｂによって引張力を作用させた状態でも、角用クランプ２３Ａの把持及び引張力付与を継続しているが、辺用クランプ２３Ｂによる引張力を作用させた状態では、角用クランプ２３Ａによる引張力は金属薄板１１のゆがみやたるみ解消にさほど効果を発揮しない。従って、辺用クランプ２３Ｂによる引張力を作用させた後は、角用クランプ２３Ａに作用させている引張力を解除するとか、角用クランプ２３Ａの把持を解除してもよい。また、金属薄板１１の４つの角部を把持した４つの角用クランプ２３Ａに作用させる引張力は必ずしも別個に調整可能とする必要はなく、４つの角用クランプ２３Ａに同一の引張力を作用させる構成としてもよい。
【００１９】
また、上記実施の形態では、各辺に設けた複数の辺用クランプ２３Ｂにそれぞれ別個のエアシリンダで構成される辺用クランプ駆動手段２４Ｂを連結し、各辺用クランプ２３Ｂが金属薄板１１に付与する引張力を個々に調整可能としている。この構成は、金属薄板１１に加える引張力を精密に調整できるので、ゆがみやたるみの生じやすい金属薄板１１でも、きわめて平坦な状態に引張って保持できる利点が得られるが、本発明はこの構成に限らず、例えば、比較的容易に平坦な状態に引張って保持できる金属薄板を用いる場合には、各辺に配置した複数の辺用クランプを、例えば、開口部に対応した辺用クランプを第１の組とし、非開口部に対応した辺用クランプを第二の組とするように、複数の組に分け、各組の辺用クランプに共通のエアシリンダを連結するとか、各組の辺用クランプに連結されたエアシリンダへの供給エア圧を共通に調整するようにしてもよい。また、金属薄板１１の各辺に配置する辺用クランプ２３Ｂは、必ずしも、開口部１２と非開口部のそれぞれに合わせて配置する場合に限らず、開口部と非開口部を適宜組み合わせた広い幅を把持するように変更するとか、更に細かく分割した領域を把持できるよう、更に多くの辺用クランプを用いるといった変更を加えても良い。いずれにしても、使用する金属薄板の特性に応じて、その金属薄板をゆがみやたるみの無い状態に引張って保持できるように、辺用クランプの使用個数や位置を定めれば良い。
【００２０】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明は、開口部の存在するような、剛性が異なる領域を持った金属薄板を、ゆがみやたわみの無い平坦な状態に引張って保持することができ、且つ開口部の位置を所望の寸法精度内に保つことができ、金属薄板を枠に対して、ゆがみやたるみの無い且つ開口部等を所望の寸法精度に保った状態で固定することができるという効果を有している。そして、本発明を、有機ＥＬ素子製造に用いる多面付けマスクのような、高い位置精度を求められるものに対して用いることで、所望の高精度を確保することができ、高精度の蒸着マスク装置を製造できるいった効果も有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る金属薄板の枠貼り装置の概略平面図
【図２】図１に示す枠貼り装置の一部の概略断面図
【図３】図１に示す枠貼り装置を、図１とは異なる作動状態で示す概略平面図
【図４】図１に示す枠貼り装置で取り扱う金属薄板及び枠を示す概略斜視図
【図５】枠に金属薄板を貼り付けて形成した蒸着マスク装置を示す概略斜視図
【図６】多面付け蒸着マスクの両端を、それぞれ１個のクランプで把持して引っ張る状態を示す概略平面図
【図７】多面付け蒸着マスクの４辺を、それぞれ１個のクランプで把持して引っ張る状態を示す概略平面図
【符号の説明】
１１  金属薄板
１２  開口部
１３  枠
１４  開口部
１５  易切断線
２０  金属薄板の枠貼り装置
２１  支持台
２３Ａ  角用クランプ
２３Ｂ  辺用クランプ
２４Ａ  角用クランプ駆動手段（エアシリンダ）
２４Ｂ  辺用クランプ駆動手段（エアシリンダ）
２６  リニアガイド
２７  クランプ本体
２８  固定爪
２９  可動爪
３３  スポット溶接
３５  蒸着マスク装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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