(57)【要約】【課題】弁体の作動の際に、弁体の移動が弁体の側面が、弁箱本体の内壁面などに接触、密着して金属パーティクルが発生することなく、さらに、弁体が閉止状態の際も、差圧の影響によって、弁体が傾いて、閉止方向と垂直な方向にシール部材が引きずられて、磨耗損傷することなく、十分なシール性を確保することの可能なゲート弁を提供する。【解決手段】弁体に連結され、弁体の作動を案内するガイドシャフトと、ガイドシャフトの他端に連結されたスタビライザーと、弁箱本体に固定され、スタビライザーを案内する案内機構とを備え、弁体の作動の際に、スタビライザーが案内機構に案内されるとともに、弁体がガイドシャフトに案内されて、弁体がゲート開口部に接近または離反する方向に作動するように構成した。【選択図】  図２
2004197841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略箱形状に形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体に貫通して形成されたゲート開口部と、
前記ゲート開口部を横断する方向に移動する駆動軸と、
前記駆動軸の先端部に取り付けられた弁体とを備え、
前記駆動軸が、ゲート開口部を横断する方向に移動することによって、駆動軸の先端部に取り付けられた弁体が、ゲート開口部に接近または離反する方向に作動され、
これにより、前記弁体によって、ゲート開口部を開放または閉止するように構成されたゲート弁であって、
前記弁体に連結され、弁体の作動を案内するガイドシャフトと、
前記ガイドシャフトの他端に連結されたスタビライザーと、
前記弁箱本体に固定され、スタビライザーを案内する案内機構とを備え、
前記弁体の作動の際に、スタビライザーが案内機構に案内されるとともに、弁体がガイドシャフトに案内されて、弁体がゲート開口部に接近または離反する方向に作動するように構成したことを特徴とするゲート弁。
【請求項２】
前記案内機構が、弁箱本体に固定された案内部材と、
前記案内部材に対して、前記ゲート開口部の方向に回動自在に軸支されるように装着した案内規制部材とを備えることを特徴とする請求項１に記載のゲート弁。
【請求項３】
前記案内部材に対して、案内規制部材のゲート開口方向の回動位置を調整する調整部材を備えることを特徴とする請求項２に記載のゲート弁。
【請求項４】
前記調整部材が、前記案内規制部材に対して、ゲート開口方向の両側に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のゲート弁。
【請求項５】
前記案内規制部材が、案内溝を備え、
前記スタビライザーが、前記案内溝内を案内されるガイド部材を備えることを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載のゲート弁。
【請求項６】
前記スタビライザーのガイド部材が、ガイドローラであることを特徴とする請求項５に記載のゲート弁。
【請求項７】
前記案内部材が、駆動軸を駆動する駆動シリンダーであり、
前記駆動シリンダーの側壁に対して、前記ゲート開口方向に回動自在に軸支されるように装着した案内規制部材とを備えることを特徴とする請求項２から６のいずれかに記載のゲート弁。
【請求項８】
前記案内機構が、複数個設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ゲート弁、例えば、半導体製造装置等において、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で使用される真空用ゲート弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのワークの加工、処理などが行われている。
これらの製造装置において、例えば、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で使用されるいわゆる「ワンアクション式」と呼ばれる真空用ゲート弁は、図９に示したような構造を備えている。
【０００３】
すなわち、この真空用ゲート弁１００は、略箱体形状の弁箱本体１０２内に、弁箱本体１０２を貫通するように、ゲート開口部１０８ａ、１０８ｂが形成されている。そして、このゲート開口部１０８ａ、１０８ｂを横断する方向に、図示しない駆動機構によって、駆動軸１０４が移動するようになっている。
この駆動軸１０４の移動によって、駆動軸１０４の先端部に取り付けられた略板形状の弁体１０６が、弁箱本体１０２に形成された弁座に対して、離反、接近することによって、ゲート開口部１０８ａ、１０８ｂを開放または閉止するように構成されている。
【０００４】
なお、弁体１０６の先端部１０６ａと基端部１０６ｂには、シール部材１１０が装着されている。このシール部材１１０は、図１０に示したように、長細い環状のシール部材を、破線位置から両側に押し開いた状態で使用されるものである。
これによって、弁体１０６が駆動軸１０４を介して、ゲート開口部１０８ａ，１０８ｂを閉止する方向に移動して、弁箱本体１０２に形成された弁座に着座した際に、このシール部材１１０によって、気密的に閉止されるようになっている。なお、図中、１１２は、弁箱本体１０２の１０８ａに装着されるサイドプレートである。
【０００５】
そして、このような真空用ゲート弁１００は、例えば、半導体製造装置などに組み込まれ、ゲート開口部１０８ａが大気側に、ゲート開口部１０８ｂが減圧側にそれぞれ接続されて使用される（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特公平６−５０１４８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような真空用ゲート弁１００では、弁体１０６によって、ゲート開口部１０８ａ、１０８ｂ間が、図９に示したように閉止されている状態において、この真空用ゲート弁１００によって仕切られた空間の間で、ほとんど圧力差がない場合には、図９に示したように、弁体１０６が弁箱本体１０２に形成された弁座に、安定して着座して閉止状態が維持されることになる。
【０００８】
しかしながら、真空用ゲート弁１００によって仕切られた空間の間で、圧力差が生じた場合、例えば、ゲート開口部１０８ａが大気側に、ゲート開口部１０８ｂが減圧側になった場合には、差圧の大きさによっては、弁体１０６は、大気に連通したゲート開口部１０８ａ側からの圧力で、ゲート開口部１０８ｂ側に押圧されることになる。
【０００９】
この場合、弁体１０６に装着されたシール部材１１０は、駆動軸１０４に連結された駆動機構による一定の力で、弁箱本体１０２に形成された弁座面に押し付けられた状態である。
従って、このような差圧によって、弁体１０６がゲート開口部１０８ｂ側に押圧されて、図１１に示したように、弁体１０６がゲート開口部１０８ｂ側に傾くことになる。
【００１０】
この際には、図１１（Ｂ）に示したように、弁体１０６の側面１０６ｃが、弁箱本体１０２の内壁面１０２ａなどに密着されてしまうことがあり、この際、弁箱本体１０２および弁体１０６に傷が付き、金属パーティクルの発生原因となる。
さらに、この際には、弁体１０６に装着されたシール部材１１０が、図１１の矢印で示したように、弁体１０６を閉止する方向とは垂直な方向に引きずられて、シール部材１１０の転動や磨耗が生じることになる。
【００１１】
このため、このような弁体１０６の傾きが大きい場合には、すなわち、弁体１０６と弁箱本体１０２の内壁面１０２ａとの間の距離が大きい場合には、このようにシール部材１１０が引きずられる移動距離も大きくなるため、弁体１０６のシール部材１１０が、磨耗損傷することになり、シール部材１１０の耐久性が著しく低下して、十分なシール性が確保されないことになる。
【００１２】
このためには、弁体１０６の傾きを出来るだけ小さくして、弁体１０６の弁体１０６を閉止する方向とは垂直な方向への移動距離を、例えば、１ｍｍ以下、好ましくは、０．３〜０．７ｍｍ以下にすることが最良の方法である。
しかしながら、最近では、液晶ディスプレイなどの製造において、液晶基板が大型化するにともなって、ゲート開口部１０８の横方向の長さが６００ｍｍ以上にもなる大型の真空用ゲート弁１００が求められるようになっている。
【００１３】
このような大型の真空用ゲート弁１００では、弁体１０６も大きくその重量も重くなり、しかも、差圧によって発生する力も大きくなるので、弁体１０６を閉止状態において、弁箱本体１０２に対して固定して、前述したような差圧による弁体１０６の傾きをほとんど発生しないようにすることは、強度的にも困難である。
【００１４】
また、組み立て精度を上げたり、弁体１０６と弁箱本体１０２の内壁面１０２ａとの間の距離の微調整を行ったとしても、弁体１０６の重量が重いため、動作中には非常に不安定な状態となる。したがって、弁体１０６の位置が常に安定せず、作動中に弁体１０６と弁箱本体１０２の内壁面とが接触して、作動不良が発生するおそれがあり、また、弁体１０６に傷が付き、金属パーティクルの発生原因ともなる。
【００１５】
本発明は、このような現状に鑑み、弁体の作動の際に、弁体の側面が、弁箱本体の内壁面などに接触、密着して金属パーティクルが発生することなく、しかも、弁体が閉止状態にある際には、差圧の影響による弁体の水平移動で閉止方向と垂直な方向にシール部材が引きずられる距離を最小限に抑えることができ、シール材が磨耗損傷することなく、長期にわたって十分なシール性を確保することの可能なゲート弁を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明なされたものであって、本発明の略箱形状に形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体に貫通して形成されたゲート開口部と、
前記ゲート開口部を横断する方向に移動する駆動軸と、
前記駆動軸の先端部に取り付けられた弁体とを備え、
前記駆動軸が、ゲート開口部を横断する方向に移動することによって、駆動軸の先端部に取り付けられた弁体が、ゲート開口部に接近または離反する方向に作動され、
これにより、前記弁体によって、ゲート開口部を開放または閉止するように構成されたゲート弁であって、
前記弁体に連結され、弁体の作動を案内するガイドシャフトと、
前記ガイドシャフトの他端に連結されたスタビライザーと、
前記弁箱本体に固定され、スタビライザーを案内する案内機構とを備え、
前記弁体の作動の際に、スタビライザーが案内機構に案内されるとともに、弁体がガイドシャフトに案内されて、弁体がゲート開口部に接近または離反する方向に作動するように構成したことを特徴とする。
【００１７】
このように構成することによって、弁体が駆動軸によって、ゲート開口部に接近または離反する方向に作動する際に、スタビライザーが、弁箱本体に固定された案内機構に案内され、これに追随して、弁体がガイドシャフトに案内されることになる。
従って、弁体が弁箱本体に固定された案内機構に案内されるので、その作動の際に、弁体の移動が規制されて案内されることになり、弁体が弁箱本体の内壁などと接触、密着することがないので、金属パーティクルが発生することがない。
【００１８】
しかも、弁体が弁箱本体に固定された案内機構に案内されているので、弁体が閉止状態にある際、差圧の影響による弁体の水平移動で閉止方向と垂直な方向にシール部材が引きずられる距離を最小限に抑える位置に案内することができる。これによりシール材は、磨耗損傷することがなく、十分なシール性を長期にわたって確保することができる。
【００１９】
また、本発明のゲート弁は、前記案内機構が、弁箱本体に固定された案内部材と、
前記案内部材に対して、前記ゲート開口方向に回動自在に軸支されるように装着した案内規制部材とを備えることを特徴とする。
このように、案内機構が、弁箱本体に固定された案内部材と、この案内部材に対して、ゲート開口方向に回動自在に軸支されるように装着した案内規制部材とを備えるので、案内部材に対して、ゲート開口方向に案内規制部材を回動させて調整することによって、弁体の作動の際の弁体の位置、移動動作を調整することができる。
【００２０】
これにより、弁体の移動の際に、弁体が弁箱本体の内壁などと接触、密着することがなく、しかも弁体の閉止状態において、差圧の影響による傾きを最小限に抑えることができるように、案内規制部材の位置を調整することができ、金属パーティクルの発生、シール部材の磨耗損傷によるシール材の耐久性およびシール性能の低下を防止することができる。
【００２１】
また、本発明のゲート弁は、前記案内部材に対して、案内規制部材のゲート開口方向の回動位置を調整する調整部材を備えることを特徴とする。
これによって、調整部材によって、案内部材に対して、案内規制部材のゲート開口方向の回動位置を簡単に調整することできる。
また、本発明のゲート弁は、前記調整部材が、前記案内規制部材に対して、ゲート開口方向の両側に設けられていることを特徴とする。
【００２２】
このように構成することによって、ゲート開口方向の両側に設けられた調整部材を操作することによって、案内部材に対して、案内規制部材のゲート開口方向の回動位置を、簡単にかつ正確に調整することでき、弁体の作動の際の弁体の位置、移動動作を正確に制御することができる。
また、本発明のゲート弁は、前記案内規制部材が、案内溝を備え、
前記スタビライザーが、前記案内溝内を案内されるガイド部材を備えることを特徴とする。
【００２３】
このように構成することによって、案内規制部材の案内溝に沿って、スタビライザーのガイド部材が案内されることになるので、弁体の作動の際の弁体の位置、移動動作をさらに正確に制御することができる。
また、本発明のゲート弁は、前記スタビライザーのガイド部材が、ガイドローラであることを特徴とする。
【００２４】
これによって、案内規制部材の案内溝に沿って、スタビライザーのガイドローラが案内されることになるので、弁体の作動の際の弁体の位置、移動動作をさらに正確に制御することができる。
また、本発明のゲート弁は、前記案内部材が、駆動軸を駆動する駆動シリンダーであり、
前記駆動シリンダーの側壁に対して、前記ゲート開口方向に回動自在に軸支されるように装着した案内規制部材とを備えることを特徴とする。
【００２５】
このように案内部材として、駆動軸を駆動する駆動シリンダーを用い、この駆動シリンダーの側壁に案内規制部材を装着することによって、別途案内部材を設ける必要がなく、駆動部分の設置スペースを小さくすることができる。
また、本発明のゲート弁は、前記案内機構が、複数個設けられていることを特徴とする。
【００２６】
このように案内機構を複数個設けることによって、弁体の作動時において、弁体の移動、位置制御をより安定して行うことが可能である。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明のゲート弁の実施例の概略分解斜視図、図２は、図１の弁箱部分を省略した弁開状態の正面図、図３は、弁閉状態を示す図２と同様な正面図、図４は、図２のＡ方向矢視図、図５は、本発明のゲート弁の案内機構を模式的に示す概略斜視図、図６は、本発明のゲート弁の作動状態を示す弁開状態の断面図、図７は、本発明のゲート弁の作動状態を示す弁開状態から弁閉状態への作動途中を示す断面図、図８は、本発明のゲート弁の作動状態を示す弁閉状態の断面図である。
【００２８】
図１に示したように、ゲート弁１は、略箱体形状の弁箱本体２と、サイドプレート４と、弁箱本体２の下端開口を覆うボンネットフランジ部材６と、駆動軸８に支持された略長形の板形状の弁体１０を備えている。
なお、駆動軸８は、その上端８ａが、弁体１０の下端に堅固には固定されているのではなく、弁体１０を揺動可能に支持して、上下方向の駆動動作を伝達するだけの関係となっている。
【００２９】
また、弁箱本体２のサイドプレート４が装着される一方の長側壁１２と、他方の長側壁１４との間には、略矩形状のゲート開口部１６、１８が貫通して形成されている。
そして、弁箱本体２内には、ゲート開口部１６、１８を上下に挟むように、図１の上方側に、上方シール座面２０が、図１の下方側に、下方シール座面２２が形成されている。これらのシール座面２０、２２は、段違いで、変形したループ状になるように、連続して形成されている。
【００３０】
これにより、弁箱本体２の内部には、上方シール座面２０から下方シール座面２２に至る連続したシール座面が構成されている。なお、弁体１０の先端部１０ａが当接されるシール座面２０は、図６および図７の断面図で示したように、弁箱本体２に形成された溝２４内に構成されている。
一方、弁体１０は、図４に示したように、先端部１０ａ側の幅が細く、基端部１０ｂ側の幅が太く形成されている。これによって、弁体１０が移動したときに、先端部１０ａと基端部１０ｂが、上方シール座面２０と下方シール座面２２にそれぞれ当接するように構成されている。
【００３１】
また、弁体１０の先端部１０と基端部１０ｂには、図１０に示したシール部材１１０と同じ形状を備えたシール部材２６が装着されている。
そして、このようなシール部材２６を備えた弁体１０が、図１の下方から駆動軸８に案内されて図１の上方に移動されると、図７に示したように、シール部材２６が、上方シール座面２０と下方シール座面２２に当接するようになっている。これにより、弁箱本体２のゲート開口部１６、１８の間が閉止されて弁閉状態となるようになっている。
【００３２】
また、図２〜図３に示したように、ボンネットフランジ部材６には、中央部分に駆動シリンダー２８と、その両側に２つの駆動シリンダー２８が固定されている。そして、これらの駆動シリンダー２８の駆動軸８は、ボンネットフランジ部材６に形成された駆動用孔部３０に設けられたハウジング・ブッシュ３２を介して、シールされた状態で上下動するように構成されている。
【００３３】
さらに、ボンネットフランジ部材６には、中央の駆動シリンダー２８の両側に、２個のガイドシャフト用孔３４が設けられている。そして、このガイドシャフト用孔３４には、ハウジング・ブッシュ３６、ガイドブッシュ３８が設けられている。
そして、これらのハウジング・ブッシュ３６、ガイドブッシュ３８を介して、２本のガイドシャフト４０がそれぞれ、シールされた状態で上下動するように構成されている。
【００３４】
このガイドシャフト４０の上端４２は、弁体１０の下端部に固定されるとともに、ガイドシャフト４０の下端４４は、断面略コ字形状の板状のスタビライザー４６に固定されている。図２〜図５に示したように、スタビライザー４６には、これらのガイドシャフト４０の内側にそれぞれ、２個の柱部材５０が立設固定されており、この柱部材５０がそれぞれ、中央の駆動シリンダー２８の両側面５２に対峙するように配置されている。
【００３５】
図４および図５に示したように、この柱部材５０には、Ｌ字形状のガイドローラ支持部材５４を介して、ガイド部材として機能する２個のガイドローラ５６が回転可能に支持されている。
また、図２〜図５に示したように、案内部材として機能する中央の駆動シリンダー２８の両側面５２には、軸支ピン５８を介して、案内規制部材として機能する案内プレート６０が、図５の矢印で示したように、ゲート開口部１６、１８の方向に回動自在に軸支されている。
【００３６】
また、中央の駆動シリンダー２８のもう一方の両側面６２には、連結プレート６４、６６が固定されている。そして、こられの連結プレート６４、６６にはそれぞれ、調整部材として機能する微調整用調節ネジ６８が装着されている。
この微調整用調節ネジ６８を操作することによって、案内プレート６０が、図５の矢印で示したように、ゲート開口部１６、１８の方向の位置を微調整することができるようになっている。
【００３７】
また、図４および図５に示したように、案内プレート６０には、長手方向、すなわち、上下方向に案内溝７０が形成されている。そして、この案内溝７０内をガイドローラ５６が回転摺動するようになっている。
このように構成される本発明の真空ゲート弁１は、図６〜図８に示したように、以下のようにして作動される。
【００３８】
すなわち、図６に示したように、弁開状態では、駆動シリンダー２８の駆動軸８は、駆動シリンダー２８に没入した状態である。この状態では、案内プレート６０の案内溝７０の下端に、ガイドローラ５６が位置しており、スタビライザー４６も下端位置にある。
従って、ガイドシャフト４０も下端位置にあり、これによって、ガイドシャフト４０の上端４２に固定された弁体１０が、下方位置、すなわち、ゲート開口部１６、１８から離反した弁開位置にあるようになっている。
【００３９】
そして、この弁開状態から弁閉状態へ作動する場合には、図７〜図８に示したように、駆動シリンダー２８の駆動軸８が、駆動シリンダー２８から突出した状態となる。これによって、駆動軸８の上端８ａによって、弁体１０が上方へと押し上げられる。
この際、ガイドローラ５６が、案内プレート６０の案内溝７０内を回転摺動することによって案内されることになる。これによって、スタビライザー４６を介して、スタビライザー４６に固定されたガイドシャフト４０の移動位置が規制されながら上昇する。
【００４０】
これに伴って、ガイドシャフト４０の上端４２に固定された弁体１０が、その移動位置が規制されながら上昇する。
逆に、弁閉状態から弁開状態へ作動する場合には、駆動シリンダー２８の駆動軸８が、駆動シリンダー２８内に没入した状態となる。これによって、駆動軸８の上端８ａによって、弁体１０が下方へ引き下げられる。
【００４１】
この際、ガイドローラ５６が、案内プレート６０の案内溝７０内を回転摺動することによって案内されることになる。これによって、スタビライザー４６を介して、スタビライザー４６に固定されたガイドシャフト４０の移動位置が規制されながら下降する。
これに伴って、ガイドシャフト４０の上端４２に固定された弁体１０が、その移動位置が規制されながら下降する。
【００４２】
従って、弁体１０が駆動軸８によって、ゲート開口部１６、１８に接近または離反する方向に作動する際に、スタビライザー４６に設けたガイドローラ５６が、弁箱本体２に固定された駆動シリンダー２８に設けた案内プレート６０の案内溝７０に案内されることになる。
これによって、スタビライザー４６に固定されたガイドシャフト４０が移動位置が規制されながら移動し、これに伴って、ガイドシャフト４０の上端４２に固定された弁体１０が、その移動位置が規制されながら移動する。
【００４３】
従って、作動の際に、弁体１０の移動が規制されて案内されることになり、弁体１０が弁箱本体２の内壁などと接触、密着することがないので、金属パーティクルが発生することがない。
しかも、弁体１０が弁箱本体２に固定された駆動シリンダー２８に設けた案内プレート６０の案内溝７０に案内されているので、弁体１０が閉止状態にあり、差圧の影響による弁体１０の水平移動で閉止方向と垂直な方向にシール部材２６の引きずられる距離が最小限に抑えられるような位置に案内される。従ってシール材は、磨耗損傷することがなく、十分なシール性を長期にわたって確保することができる。
【００４４】
しかも、微調整用調節ネジ６８を操作することによって、駆動シリンダー２８に対して、ゲート開口方向に案内プレート６０を回動させて調整し、弁体１０は作動時の弁体の位置や、移動動作を調整することができ、上記の金属パーティクルの発生の防止、シール部材の磨耗損傷の防止効果がさらに向上することになる。
【００４５】
なお、上述した実施例では、案内部材として中央の駆動シリンダー２８を用いたが、両側の駆動シリンダー２８を用いることも可能であり、その数は特に限定されるものではない。また、中央の駆動シリンダー２８の両側面に案内プレート６０を設けたが、片方の側面にのみ設けることも可能である。
さらに、上記実施例では、案内部材として、案内溝７０を有する案内プレート６０とガイドローラ５６を設けたが、この代わりに、ＬＭガイドなどの公知の案内部材を用いることも可能である。
【００４６】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、弁箱本体２の形状、弁体１０の形状などは、上記実施例に何ら限定されるものではなく、さらに、本発明では、真空ゲート弁として用いた場合について説明したが、その他のゲートが必要な場合のゲート弁としても用いることができるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４７】
【発明の効果】
本発明によれば、弁体が駆動軸によって、ゲート開口部に接近または離反する方向に作動する際に、スタビライザーが、弁箱本体に固定された案内機構に案内され、これに追随して、弁体がガイドシャフトに案内されることになる。
従って、弁体が弁箱本体に固定された案内機構に案内されるので、その作動の際に、弁体の移動が規制されて案内されることになり、弁体が弁箱本体の内壁などと接触、密着することがないので、金属パーティクルが発生することがない。
【００４８】
しかも、弁体が弁箱本体に固定された案内機構に案内されているので再現性の良い位置制御が可能となり、弁体が閉止状態にあっても、差圧の影響による弁体の水平移動で閉止方向と垂直な方向にシール部材の引きずられる距離を最小限に抑えることができる。これにより、ゲートシール材は磨耗損傷することがなく、十分なシール性を長期的に確保することができる。
【００４９】
また、本発明によれば、案内機構が、弁箱本体に固定された案内部材と、この案内部材に対して、ゲート開口方向に回動自在に軸支されるように装着した案内規制部材とを備えるので、案内部材に対して、ゲート開口方向に案内規制部材を回動させて調整することによって、弁体作動時の弁体の位置、移動動作を調整することができる。
【００５０】
これにより、弁体の移動の際に、弁体が弁箱本体の内壁などと接触、密着することがなく、しかも、弁体の閉止状態において、弁体が差圧の影響によって傾いた際にもその傾きを最小限度に抑えられるよう、案内規制部材の位置を調整することができ、金属パーティクルの発生、シール部材の磨耗損傷によるシール材の耐久性能の低下を防止することができる。
【００５１】
また、本発明によれば、調整部材によって、案内部材に対して、案内規制部材のゲート開口方向の回動位置を簡単に調整することできる。
また、本発明によれば、ゲート開口方向の両側に設けられた調整部材を操作することによって、案内部材に対して、案内規制部材のゲート開口方向の回動位置を、簡単にかつ正確に調整することでき、弁体作動時の弁体の位置、移動動作を正確に制御することができる。
【００５２】
また、本発明によれば、案内規制部材の案内溝に沿って、スタビライザーのガイド部材が案内されることになるので、弁体作動時の弁体の位置、移動動作をさらに正確に制御することができる。
また、本発明によれば、案内規制部材の案内溝に沿って、スタビライザーのガイドローラが案内されることになるので、弁体作動時の弁体の位置、移動動作をさらに正確に制御することができる。
【００５３】
さらに、本発明によれば、案内部材として、駆動軸を駆動する駆動シリンダーを用い、この駆動シリンダーの側壁に案内規制部材を装着することによって、別途案内部材を設ける必要がなく、駆動部分の設置スペースを小さくすることができる。
また、本発明によれば、案内機構を複数個設けることによって、弁体の作動時において、弁体の移動、位置制御をより安定して行うことが可能であるなどの幾多の顕著で特有な作用効果を奏する極めて優れた発明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のゲート弁の実施例の概略分解斜視図である。
【図２】図２は、図１の弁箱部分を省略した弁開状態の正面図である。
【図３】図３は、弁閉状態を示す図２と同様な正面図である。
【図４】図４は、図２のＡ方向矢視図である。
【図５】図５は、本発明のゲート弁の案内機構を模式的に示す概略斜視図である。
【図６】図６は、本発明のゲート弁の作動状態を示す弁開状態の断面図である。
【図７】図７は、本発明のゲート弁の作動状態を示す弁開状態から弁閉状態への作動途中を示す断面図である。
【図８】図８は、本発明のゲート弁の作動状態を示す弁閉状態の断面図である。
【図９】図９は、従来のゲート弁の弁閉状態の断面図である。
【図１０】図１０は、従来のゲート弁のシール部材を示す斜視図である。
【図１１】図１１は、従来のゲート弁の作動状態を示す弁閉状態の断面図である。
【符号の説明】
１     ゲート弁
２     弁箱本体
４     サイドプレート
６     ボンネットフランジ部材
８     駆動軸
８ａ   上端
１０   弁体
１０ａ 先端部
１０ｂ 基端部
１２   長側壁
１４   長側壁
１６、１８    ゲート開口部
２０   上方シール座面
２２   下方シール座面
２６   シール部材
２８   駆動シリンダー
３０   駆動用孔部
３２   ハウジング・ブッシュ
３４   ガイドシャフト用孔
３６   ハウジング・ブッシュ
３８   ガイドブッシュ
４０   ガイドシャフト
４２   上端
４４   下端
４６   スタビライザー
５０   柱部材
５２   両側面
５４   ガイドローラ支持部材
５６   ガイドローラ
５８   軸支ピン
６０   案内プレート
６２   両側面
６４，６６    連結プレート
６８   微調整用調節ネジ
７０   案内溝
１００ 真空用ゲート弁
１０２ 弁箱本体
１０２ａ      内壁面
１０４ 駆動軸
１０６ 弁体
１０６ａ      先端部
１０６ｂ      基端部
１０６ｃ      側面
１０８ａ，１０８ｂ   ゲート開口部
１１０ シール部材
１１２ サイドプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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