(57)【要約】【課題】量産性の高い加熱延伸法を応用しながらも、従来の方法とは異なる方法により、スペーサーの表層部分に帯電防止の為の電気抵抗が比較的低い部分を、より簡単に且つ良好な状態で形成することが可能となるスペーサーの製造方法及びスペーサーを提供すること。【解決手段】縦横の寸法が異なる断面形状をなすガラス母材を延伸温度に加熱し延伸して所要の長さに切断することにより製造するスペーサーの製造方法において、ガラス母材を、ガラス母材の内層に配されたコアガラス材と、ガラス母材の表層部分のうち少なくとも断面長手方向に沿った外面を含む領域に配された所定の抵抗率の表面ガラス材とからなる複合構造とすることを特徴とするスペーサーの製造方法。【選択図】　　　図１
2004071162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に帯電防止膜が形成されたスペーサーを、縦横の寸法が異なる断面形状をなすガラス母材を延伸温度に加熱し延伸して所要の長さに切断することにより製造するスペーサーの製造方法において、
ガラス母材を、ガラス母材の内層に配されたコアガラス材と、ガラス母材の表層部分のうち少なくとも断面長手方向に沿った外面を含む領域に配された所定の抵抗率の表面ガラス材とからなる複合構造とすることを特徴とするスペーサーの製造方法。
【請求項２】
コアガラス材の断面形状が長方形であり、表面ガラス材は、少なくともコアガラス材の断面長辺側の２面に宛われていることを特徴とする請求項１に記載のスペーサーの製造方法。
【請求項３】
コアガラス材の断面長辺側の２面に宛われた表面ガラス材の抵抗率が、１０８〜１０１０Ω・ｃｍであることを特徴とする請求項２に記載のスペーサーの製造方法。
【請求項４】
表面ガラス材が、更にコアガラス材の断面短辺側の２面に宛われていることを特徴とする請求項２又は３に記載のスペーサーの製造方法。
【請求項５】
コアガラス材の断面短辺側の２面に宛われた表面ガラス材の抵抗率が、１０３〜１０４Ω・ｃｍであることを特徴とする請求項４に記載のスペーサーの製造方法。
【請求項６】
ガラス母材を、コアガラス材と表面ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内でかつコアガラス材の粘性より表面ガラス材の粘性が高くなる延伸温度に加熱して延伸することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のスペーサーの製造方法。
【請求項７】
表面に帯電防止膜が形成された、縦横の寸法が異なる断面形状をなすスペーサーにおいて、
スペーサーの内層に配されたコアガラス材と、スペーサーの表層部分のうち少なくとも断面長手方向に沿った外面を含む帯電防止膜の領域に配された所定の抵抗率の表面ガラス材とが一体化された複合構造を有することを特徴とするスペーサー。
【請求項８】
コアガラス材の断面形状が長方形であり、表面ガラス材は、少なくともコアガラス材の断面長辺側の２面に一体化されていることを特徴とする請求項７に記載のスペーサー。
【請求項９】
コアガラス材の断面長辺側の２面に一体化された表面ガラス材の抵抗率が、１０８〜１０１０Ω・ｃｍであることを特徴とする請求項８に記載のスペーサー。
【請求項１０】
表面ガラス材が、更にコアガラス材の断面短辺側の２面に一体化されていることを特徴とする請求項８又は９に記載のスペーサー。
【請求項１１】
コアガラス材の断面短辺側の２面に一体化された表面ガラス材の抵抗率が、１０３〜１０４Ω・ｃｍであることを特徴とする請求項１０に記載のスペーサー。
【請求項１２】
コアガラス材と表面ガラス材とが、コアガラス材と表面ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内となる温度に加熱した時に、コアガラス材の粘性より表面ガラス材の粘性が高くなるガラス材であることを特徴とする請求項７から１１のいずれかに記載のスペーサー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子・電気機器における一対の基板間に介在されて、該基板間を支持するスペーサーの製造方法およびスペーサーに関する。更に詳しくは、例えばパネル状ディスプレイの表裏一対の基板間に配置され、表面に帯電防止膜が形成されたスペーサーの製造方法およびスペーサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、表面伝導型の電子放出素子を基板上にマトリクス状に配置し、電子放出素子を気密に封入するように対向配置された基板上に設けられた蛍光体に放出電子を照射して画像を形成するパネル状ディスプレイの開発が進んでいる。
【０００３】
このような、電子源が一対の基板間に気密に封入された電子線装置の基板間を支持するスペーサーの製造方法としては、断面長方形のガラス母材を、該ガラス母材を挟み込んだ送り出しローラーの回転により送り出す一方、送り出されたガラス母材を引き取りローラー間に挟んで、上記送り出しローラーの送り出し速度より速い引き取り速度で引き取ると共に、上記送り出しローラーと引き取りローラー間でガラス母材を加熱軟化させ、送り出しローラーの送り出し速度と引き取りローラーによる引き取り速度の速度差によって延伸し、ガラス母材と断面形状が相似形の延伸ガラス母材とし、これを切断して、所望の細さの細板状スペーサーとする加熱延伸法が知られている（特開２０００−１６４１２９等）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
一方、このような電子線装置に用いられるスペーサーについては、電子源から放出された電子の一部がスペーサーに当たったり、放出電子の作用でイオン化したイオンがスペーサーに付着したりすることで帯電を引き起こす可能性が指摘されている。スペーサーが帯電すると、電子源から放出された電子の軌道が正確に制御できなくなり、例えば表示画像が歪むといった問題につながる。
【０００５】
このような課題を解決するために、スペーサーの表面に、帯電電荷を速やかに外部に放出して帯電を防止するための電気抵抗が比較的低い部分である帯電防止膜を設けてスペーサーの帯電を防止する技術が特開昭５７−１１８３５５号公報や、特開昭６１−１２４０３１号公報などに開示されている。また、このような帯電防止膜を有するスペーサーをより少ない工程で効率的に製造するための技術として、上記加熱延伸法を応用し、加熱延伸を行いながらスペーサーの基材表面にスプレーにより導電性の材料を塗布していく方法が、特開２０００−３１１６０５に開示されている。
【０００６】
本発明の課題は、量産性の高い加熱延伸法を応用しながらも上記従来の方法とは異なる方法により、スペーサーの表面に帯電防止膜を、より簡単に且つ良好な状態で形成することが可能となるスペーサーの製造方法及びスペーサーを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の第１は、
表面に帯電防止膜が形成されたスペーサーを、縦横の寸法が異なる断面形状をなすガラス母材を延伸温度に加熱し延伸して所要の長さに切断することにより製造するスペーサーの製造方法において、
ガラス母材を、ガラス母材の内層に配されたコアガラス材と、ガラス母材の表層部分のうち少なくとも断面長手方向に沿った外面を含む領域に配された所定の抵抗率の表面ガラス材とからなる複合構造とすることを特徴とするスペーサーの製造方法である。
【０００８】
本発明は、上記第１の発明において、
「コアガラス材の断面形状が長方形であり、表面ガラス材は、少なくともコアガラス材の断面長辺側の２面に宛われていること」、
「コアガラス材の断面長辺側の２面に宛われた表面ガラス材の抵抗率が、１０８〜１０１０Ω・ｃｍであること」、
「表面ガラス材が、更にコアガラス材の断面短辺側の２面に宛われていること」、
「コアガラス材の断面短辺側の２面に宛われた表面ガラス材の抵抗率が、１０３〜１０４Ω・ｃｍであること」、
をその好ましい態様として含むものである。
【０００９】
ところで、一般にガラス材の延伸加工は、ガラス材の粘性が１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲になるように加熱して行われる。
【００１０】
上記従来の製造方法においても、ガラス母材の粘性が１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲になるように加熱して延伸が行われるが、粘性を低めに設定して延伸、つまり加熱温度を高めにして延伸すると、図８に示されるように、得られる細板状スペーサーの断面長寸方向の両端部が丸味を帯びて膨らみやすくなる。このような膨れを生じると、得られた細板状スペーサーを、基板上に横長に立てて設置する場合に、基板との接触面が湾曲しているので、安定性が悪く、組み立て性が悪いと共に、支持強度も得にくくなる問題がある。
【００１１】
また、粘性を高めに設定して延伸、つまり加熱温度を低めにして延伸すると、図９に示されるように、得られる細板状スペーサーの断面長寸方向の中間部がくびれやすくなる。このようなくびれを生じた場合、所期の強度が得られず、例えばパネル状ディスプレイの表裏一対の基板間に配置されるスペーサーとして用いた場合、一対の基板間は減圧状態となるため、必要な耐大気圧性が得られなくなる場合も生じる。
【００１２】
上記膨れやくびれの発生原因は、縦横の寸法が異なる断面形状のガラス母材を加熱するときに、断面長手方向の両端部が中間部に比して加熱されやすいことにあると考えられる。例えば断面長方形のガラス母材で、その長手方向に沿った面を長手面、短手方向に沿った面を短手面とすると、断面長手方向の中間部は長手面からの熱で加熱されるのに対し、断面長手方向両端部は、長手面からと短手面からとの両方からの熱を受けて加熱されることになり、上記中間部に比して加熱されやすい。このため、ガラス母材の断面長手方向全体を所定の延伸しやすい粘性を有する状態にまで加熱しようとすると、上記両端部の加熱が過剰となり、粘性が低下して膨れの原因になると考えられる。また、この膨れを押さえるために加熱温度を下げると、上記中間部の加熱が不足し、中間部の粘性が高くなって、延伸時に応力が集中することでくびれの原因になると考えられる。
【００１３】
これを解決するために本発明は、上記第１の発明において、
「ガラス母材を、コアガラス材と表面ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内でかつコアガラス材の粘性より表面ガラス材の粘性が高くなる延伸温度に加熱して延伸すること」、
をその好ましい態様として含むものである。
【００１４】
また、本発明の第２は、
表面に帯電防止膜が形成された、縦横の寸法が異なる断面形状をなすスペーサーにおいて、
スペーサーの内層に配されたコアガラス材と、スペーサーの表層部分のうち少なくとも断面長手方向に沿った外面を含む帯電防止膜の領域に配された所定の抵抗率の表面ガラス材とが一体化された複合構造を有することを特徴とするスペーサーである。
【００１５】
本発明は、上記第２の発明において、
「コアガラス材の断面形状が長方形であり、表面ガラス材は、少なくともコアガラス材の断面長辺側の２面に一体化されていること」、
「コアガラス材の断面長辺側の２面に一体化された表面ガラス材の抵抗率が、１０８〜１０１０Ω・ｃｍであること」、
「表面ガラス材が、更にコアガラス材の断面短辺側の２面に一体化されていること」、
「コアガラス材の断面短辺側の２面に一体化された表面ガラス材の抵抗率が、１０３〜１０４Ω・ｃｍであること」、
「コアガラス材と表面ガラス材とが、コアガラス材と表面ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内となる温度に加熱した時に、コアガラス材の粘性より表面ガラス材の粘性が高くなるガラス材であること」、
をその好ましい態様として含むものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係るスペーサーの製造方法の一例を示す説明図、図２は図１に示されるガラス母材の部分拡大図、図３は図１の方法によって得られる本発明に係るスペーサーの拡大斜視図である。
【００１７】
図１において、１はガラス母材で、このガラス母材１は、図２に拡大して示されるように、断面（ガラス母材１の延伸方向に対する直角方向の断面）長方形のコアガラス材２と、その断面長辺側の２面（断面長手方向に沿った面）に宛われてコアガラス材２を挟み込んだ板状の表面ガラス材３を、全体として断面が長方形となるように組み合わせたものとなっている。
【００１８】
本例におけるガラス母材１の断面形状は長方形であるが、本発明はこのような断面形状のガラス母材１に限らず、縦横の寸法が異なる断面形状のガラス母材１、例えば断面形状が楕円形、台形などでも構わない。また、本明細書における長方形とは、４つのコーナーが直角に交わった形状の他、コーナーに面取り加工や丸味付（Ｒ加工）が施された形状をも含むものである。しかしながら、基板間を安定に支えるスペーサーを得るためにも、好ましい形態は断面が長方形のものである。
【００１９】
上記コアガラス材２と表面ガラス材３の組み合わせは、押し付け合わせた状態、嵌め合わせた状態、接着した状態のいずれでも良い。本例においては、図１に示されるように、ガラス母材１の周囲をメカチャック４で締め付けることで、コアガラス材２と表面ガラス材３が相互に押し付け合わされた状態で組み合わされている。
【００２０】
上記コアガラス材２を構成するガラスとしては、例えば元素ガラス、酸化物ガラス、フッ化物ガラス、塩化物ガラス、硫化物ガラスなどから用途に応じて選択することができる。これらのうち、加工性の点からは、酸化物ガラス（例えばケイ酸塩ガラス、リン酸塩ガラス、ホウ酸塩ガラス、ホウケイ酸塩ガラスなど）が好ましい。
【００２１】
表面ガラス材３を構成するガラス材料には、スペーサーの表層部分がスペーサーと他の部材との接触部分から帯電電荷を適切に放電するのに十分な程度に低抵抗であり、且つ基板間においてスペーサーを通じて過剰に電流が流れない程度に高抵抗となるような抵抗率の材料を用いる。そのため、好ましくは抵抗率が、１０８〜１０１０Ω・ｃｍの材料を用いることである。このような材料を得る方法としては、ＰｂＯ等の金属酸化物の含有量を変化させる等、上記コアガラス材と組成を変えたガラス材を用いることにより抵抗率を制御する方法が好ましい方法としてあげられる。このような方法によれば、製品の設計に応じて抵抗値を制御し、スペーサーの帯電防止機能の調節も可能となる。
【００２２】
通常、スペーサー８の厚みは０．０５〜０．５ｍｍ程度で、この程度の厚みのスペーサー８としたときの表面ガラス材３の厚みは、０．５〜５μｍであることが好ましい。つまり、前記ガラス母材１の厚み、ガラス母材１におけるコアガラス材２及び表面ガラス材３の厚みは、延伸後の厚みが上記範囲内となるものであることが好ましい。ガラス母材１における表面ガラス材３の厚みが大きすぎると、延伸加工が行いにくく、表面ガラス材３の厚みが小さすぎると、上記膨れの抑制効果が得にくくなる。また、表面ガラス材を帯電防止膜として機能させるために適切なシート抵抗とするためにも、スペーサー８としたときの表面ガラス材が上記の厚みであることが好ましい。
【００２３】
図１に示される例においては、前記コアガラス材２と表面ガラス材３を組み合わせたガラス母材１を用い、このガラス母材１をメカチャック４で締め付け保持し、下部をヒーター６で加熱して延伸し、延伸した延伸ガラス母材１’の下部を引き取りローラー５間に挟み込む。この状態で、メカチャック４を徐々に下降させながら、引き取りローラー５を回転させ、メカチャック４の下降速度より速い引き取り速度で延伸ガラス母材１’を引き取ると共に、上記メカチャック４と引き取りローラー５間で、ヒーター６によりガラス母材１を延伸温度に加熱し軟化させる。すると、メカチャック４の下降速度と引き取りローラー５による引き取り速度の速度差によって、延伸温度に加熱されて軟化したガラス母材１が延伸されると共に、コアガラス材２と表面ガラス材３が一体化され、ガラス母材１と断面形状がほぼ相似形の延伸ガラス母材１’が連続して形成される。そして、冷却固化した状態で引き取りローラー５を通過した延伸ガラス母材１’をカッター７で切断することで、所望の細さの板状または柱状のスペーサー８（図３参照）とすることができる。
【００２４】
このような本発明によれば、加熱延伸段階において特別な工程を付加することなく、ガラス母材の材料の組み合わせによって帯電防止膜の形成が可能となり、工程の簡単化がなされる。更には、メカチャック４の下降速度と引き取りローラー５による引き取り速度の速度差によりガラス母材とスペーサーとの相似形の比率を調節することで、膜厚を制御し、均一性高く良好な状態で帯電防止膜を形成することができる。
【００２５】
上記ガラス母材１の延伸は、コアガラス材２と表面ガラス材３の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内でかつコアガラス材２の粘性より表面ガラス材３の粘性が高くなる延伸温度に加熱して行うのが好ましい。延伸温度におけるコアガラス材２と表面ガラス材３の粘性が１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲外である場合、ガラス母材１の延伸加工が困難となる。具体的な延伸温度は、コアガラス材２および表面ガラス材３の材質などによっても相違するが、一般的には５００〜１０００℃程度である。
【００２６】
コアガラス材２と表面ガラス材３の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内でかつコアガラス材２の粘性より表面ガラス材３の粘性が高くなる延伸温度に加熱しての延伸は、本発明におけるコアガラス材と表面ガラス材として、コアガラス材と表面ガラス材の粘性が共に１０５〜１０１０ｄＰａ・ｓの範囲内となる温度に加熱した時に、コアガラス材の粘性より表面ガラス材の粘性が高くなるガラス材をそれぞれ用いることで行うことができる。コアガラス材２と表面ガラス材３の粘性の調整は、コアガラス材２と表面ガラス材３の成分やその配合量の調整によって行うことができる。例えば、酸化物ガラスにおいては、含有されるアルカリ酸化物、酸化ホウ素、酸化鉛などの含有量を多くすること（少なくすること）で高温領域での粘性を下げる（上げる）ことができ、含有される酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムなどの含有量を多く（少なく）することで、高温領域の粘性を上げる（下げる）ことができる。また、上記成分やその配合量の調整と、コアガラス材２と表面ガラス材３の加熱温度の調整を併用することもできる。加熱温度の調整は、例えばコアガラス材２の中心部に焦点を合わせたレンズや凹面鏡を介して赤外線を照射することにより加熱を行い、コアガラス材２を表面ガラス材３に比して高温に加熱することによって行うことができる。尚、延伸温度におけるコアガラス材２と表面ガラス材３の粘性の差は、膨れの抑制効果を得やすくする上で、０．１ｄＰａ・ｓ以上であることが好ましい。
【００２７】
このような粘性を考慮した延伸方法によると、図３に示すような、膨れ及びくびれのないスペーサー８を得ることができる。これは、上記延伸温度において、コアガラス材２の粘性より、このコアガラス材２の両長手面を覆っている表面ガラス材３の粘性が高いため、ガラス母材１の断面長手方向両端部のコアガラス材２の粘性が低くなりすぎても、これを覆う表面ガラス材３で膨れを抑制することができるためと考えられる。従って、コアガラス材２のみでガラス母材１を構成した場合には断面長手方向両端部に膨れを生じてしまう延伸温度に加熱しても、この膨れを生じることがなく、膨れもくびれもないスペーサー８を得ることができる。尚、この方法は、特にガラス母材の長手方向中間部と両端部の加熱状態に差を生じやすいことから、長手方向の寸法が短手方向の寸法の５倍以上となった断面形状のガラス母材１に対して有効である。
【００２８】
また、スペーサーの形状安定性が良いことにより、さらなる別の効果も奏することとなる。この効果を、図６、図７を用いて説明する。図６はスペーサーが基板間を支持するように配置された状態を説明するための断面概念図、図７はスペーサーの基板との接合面に低抵抗膜を成膜する工程を説明するための概念図である。図６において、９は低抵抗膜、１０００は基板、１００１は基板上に配置された配線を表している。
【００２９】
スペーサーの帯電防止のためには、図６に示すように、スペーサー８の表面に帯電防止膜（表面ガラス材３）を形成するだけでなく、電荷を外部に効率的に逃がすためにスペーサー８と基板１０００や基板上に配置された配線１００１との接合面に低抵抗膜９を設けておくことが好ましい。
【００３０】
この低抵抗膜９を形成する方法はいろいろ考えられるが、多数のスペーサーに良質な低抵抗膜９を形成する方法として、図７に示すような方法が考えられている。即ち、スペーサー８を基板との接合面が露出する状態で多数束ね、この露出部分にスパッタ法等により金属等の低抵抗物質を成膜するというものである。
【００３１】
ところが、形状安定性が悪く、例えば図８、図９のように歪んだ形状のスペーサーを束ねた場合、スペーサー間に隙間が生じ、これに成膜を施すと成膜物質が接合面以外の部分にまで回り込み、所定の低抵抗膜９を形成することができなくなってしまう。
【００３２】
本発明の好ましい形態における方法で、形状安定性良くスペーサー８を形成しておけば、このような低抵抗膜９の成膜時の問題を回避することができ、良好な低抵抗膜９が得られることになる。
【００３３】
図４はガラス母材の他の例を示す部分拡大図、図５は図４のガラス母材から得られる本発明に係るスペーサーを示す斜視図で、図１〜図３と同じ符号は同じ部材を示すものである。３’は断面長方形のコアガラス材２の断面短辺側に宛われた表面ガラス材を示している。
【００３４】
本例におけるガラス母材１は、断面形状が長方形のコアガラス材２の断面短辺側にも表面ガラス材３’が宛われたものとなっている。このようにすると、得られるスペーサー８は短手面をも表面ガラス材で覆われたものとなり、短手面の平滑性が一層得やすくなる。また、本例においては、コアガラス材２の断面長辺側の表面ガラス材３と、断面短辺側の表面ガラス材３’を、含有成分の種類及び／又は配合量が異なる異種のガラス材で構成し、膨れ防止制御を緻密に行うこともできる。
【００３５】
また、この図４に示したような形態においては、コアガラス材の断面短辺側の２面に宛われた表面ガラス材３’の抵抗率が、スペーサー８から基板１０００等の他の部材への帯電電荷の放電が妨げられない程度に低抵抗であれば、該表面ガラス材３’を上記図６を用いて説明した低抵抗膜９として利用することもできる。好ましくは、表面ガラス材３’の抵抗率が１０３〜１０４Ω・ｃｍであることである。なお、表面ガラス材３’の抵抗率の制御についても、上記表面ガラス材３と同様にガラス材料の組成変化による方法が好ましい方法として挙げられる。
【００３６】
【実施例】
（実施例１）
スペーサー８を、図１に示されるようなメカチャック４と引き取りローラー５を用い、加熱したガラス母材１を延伸することで作成した。
【００３７】
ガラス母材１としては、図２に示すような形態で、断面形状が４ｍｍ×４８ｍｍの長方形をなすコアガラス材２の断面長辺側の面にそれぞれ厚さ１ｍｍで幅４８ｍｍの表面ガラス材３を宛ったもので、全体の断面積Ｓ１が２８８ｍｍ２（６ｍｍ×４８ｍｍ）のものを用いた。材料としては、コアガラス材２には延伸時の加熱温度８００℃における粘性１０６ｄＰａ・ｓを、表面ガラス材３には抵抗率１０９Ω・ｃｍ、延伸時の加熱温度８００℃における粘性１０７．６ｄＰａ・ｓを用いた。
【００３８】
上記ガラス母材１を、Ｖ１＝５ｍｍ／ｍｉｎの速度でメカチャック４を降下させることにより送り出し、ヒーター６で約８００℃に加熱し、ヒーター６付近に配置された引き取りローラー５にてＶ２＝４５００ｍｍ／ｍｉｎの速度で引き取ることで加熱延伸し、最後にカッター７にて長さが１０００ｍｍになるように切断した。得られたスペーサー８の断面積Ｓ２は０．３２（０．２×１．６ｍｍ）ｍｍ２で、前述した部分的なくびれおよび膨出は見受けられなかった。
【００３９】
また、切断後のスペーサー８の表面ガラス材３の部分のシート抵抗は１０１２Ω／□であった。
【００４０】
（実施例２）
スペーサー８を、図１に示されるようなメカチャック４と引き取りローラー５を用い、加熱したガラス母材１を延伸することで作成した。
【００４１】
ガラス母材１としては、図４に示すような形態で、断面形状が４ｍｍ×４６ｍｍの長方形をなすコアガラス材２の断面長辺側の面にそれぞれ厚さ１ｍｍで幅４６ｍｍの表面ガラス材３、コアガラス材２の断面短辺側の面にそれぞれ厚さ１ｍｍで幅６ｍｍの表面ガラス材３’を宛ったもので、全体の断面積Ｓ１が２８８ｍｍ２（６ｍｍ×４８ｍｍ）のものを用いた。材料としては、コアガラス材２には延伸時の加熱温度８００℃における粘性１０６ｄＰａ・ｓを、表面ガラス材３、３’には抵抗率１０９Ω・ｃｍ、延伸時の加熱温度８００℃における粘性１０７．６ｄＰａ・ｓを用いた。
【００４２】
上記ガラス母材１を、Ｖ１＝５ｍｍ／ｍｉｎの速度でメカチャック４を降下させることにより送り出し、ヒーター６で約８００℃に加熱し、ヒーター６付近に配置された引き取りローラー５にてＶ２＝４５００ｍｍ／ｍｉｎの速度で引き取ることで加熱延伸し、最後にカッター７にて長さが１０００ｍｍになるように切断した。得られたスペーサー８の断面積Ｓ２は０．３２（０．２×１．６ｍｎ）ｍｍ２で、前述した部分的なくびれおよび膨出は見受けられず、特に断面短辺側の平坦性は実施例１のスペーサーより優れていた。
【００４３】
また、切断後のスペーサー８の表面ガラス材３、３’の部分のシート抵抗は１０１２Ω／□であった。
【００４４】
（実施例３）（スパッタによる低抵抗膜作成）
本例は、実施例１、２において作製したスペーサーに上記図７を用いて説明したような方法により、１０ｎｍ厚のＴｉ膜、２００ｎｍ厚のＰｔ膜をこの順でどちらもスパッタにより成膜し、低抵抗膜を形成したものである。
【００４５】
その結果、スペーサー８の表面ガラス材３の側への成膜材料の回り込みは見られず、所望の低抵抗膜が得られた。
【００４６】
（実施例４）
本例は、コアガラス材２の断面短辺側の面に宛った表面ガラス材３’の材料を、抵抗率１０４Ω・ｃｍ、延伸時の加熱温度８００℃における粘性１０７．６ｄＰａ・ｓとした点以外は実施例２と同様にしてスペーサーを作成した。
【００４７】
本例において得られたスペーサーは、表面ガラス材３’の部分がシート抵抗１０３Ω／□となっており、低抵抗膜として十分機能するようになっていた。
【００４８】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したとおりのものであり、加熱延伸法を応用して、スペーサーの表面に帯電防止膜を、より簡単に且つ良好な状態で形成することが可能となる。
【００４９】
また、粘性を考慮した延伸方法により、膨れやくびれを防ぎ、形状安定性良く、強度的にも安定したスペーサーを容易に製造できる。
【００５０】
更には、形状安定性が良いことにより、良質な低抵抗膜を、不要な部分への回り込み無く、所望の状態で形成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るスペーサーの製造方法の一例を示す説明図である。
【図２】図１に示されるガラス母材の部分拡大図である。
【図３】図１の方法によって得られる本発明に係るスペーサーの拡大斜視図である。
【図４】ガラス母材の他の例を示す部分拡大図である。
【図５】図４のガラス母材から得られる本発明に係るスペーサーを示す斜視図である。
【図６】スペーサーが基板間を支持するように配置された状態を説明するための断面概念図である。
【図７】スペーサーの基板との接合面に低抵抗膜を成膜する工程を説明するための概念図である。
【図８】膨れの発生状態の説明図である。
【図９】くびれの発生状態の説明図である。
【符号の説明】
１　ガラス母材
１’　延伸ガラス母材
２　コアガラス材
３，３’　表面ガラス材
４　メカチャック
５　引き取りローラー
６　ヒーター
７　カッター
８　スペーサー
９　低抵抗膜
１０００　基板
１００１　配線
【図１】
2004071162.tif 000003
【図２】
2004071162.tif 000004
【図３】
2004071162.tif 000005
【図４】
2004071162.tif 000006
【図５】
2004071162.tif 000007
【図６】
2004071162.tif 000008
【図７】
2004071162.tif 000009
【図８】
2004071162.tif 000010
【図９】
2004071162.tif 000011