(57)【要約】【課題】安価な構成部材を用いて、これら構成部材を破損させることなく容易に可動導電部と接触する外部導電性機器を検出し、かつ、外部導電性機器に容易に取り付けられる。【解決手段】接触検出器１は、可動自在な可動導電部１１と、この可動導電部１１を支持するガイド部１２と、このガイド部１２を介して可動導電部１１を可動させる駆動部１３と、可動導電部１１および真空チャンバ３それぞれと電気的に接続され（Ａ１ライン、Ａ２ライン）、可動導電部１１および真空チャンバ３の抵抗値の変動量を測定する測定部１４と、この測定部１４で測定した結果に基づいて可動導電部１１を可動させるか否かの判断命令を駆動部１３に出力する制御部１５と、が設けられている。可動導電部１１は、他の構成部材と絶縁されている。【選択図】図１
2004223645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が導電性物質で形成され、他の構成部材および外部導電性機器と接することにより電気的特性値が変動する可動自在な可動導電部と、この可動導電部を絶縁体を介して支持するガイド部と、このガイド部を介して前記可動導電部を可動させる駆動部と、前記可動導電部の前記導電性物質部分および前記外部導電性機器それぞれと電気的に接続され、前記可動導電部および前記外部導電性機器の電気的特性値の変動量を測定する測定部と、この測定部で測定した前記可動導電部および前記外部導電性機器の電気的特性値の変動量に基づいて前記可動導電部と前記他の構成部材および前記外部導電性機器との接触の有無を検出し、この検出結果に基づいて前記可動導電部を可動させるか否かを判断して前記駆動部にその判断命令を出力する制御部と、が設けられるとともに、前記可動導電部が、前記他の構成部材である前記ガイド部、前記駆動部、前記測定部および前記制御部と絶縁されており、
前記電気的特性値の変動量から前記可動導電部と前記他の構成部材および前記外部導電性機器との接触を検出することを特徴とする接触検出器。
【請求項２】
請求項１に記載の接触検出器において、
前記絶縁体は、ベアリングであることを特徴とする接触検出器。
【請求項３】
請求項２に記載の接触検出器において、
前記ベアリングは、その転動体がセラミックからなることを特徴とする接触検出器。
【請求項４】
請求項１に記載の接触検出器において、
前記外部導電性機器は、真空チャンバであり、この真空チャンバ内に前記可動導電部が配されたことを特徴とする接触検出器。
【請求項５】
請求項１に記載の接触検出器において、
前記電気的特性値は、抵抗値であることを特徴とする接触検出器。
【請求項６】
請求項１に記載の接触検出器を用いて、前記電気的特性値の変動量から前記可動導電部と前記他の構成部材および前記外部導電性機器との接触を検出する接触検出器の制御方法において、
前記電気的特性値の変動を前記測定部により測定した際、その測定による前記電気的特性値の変動量に基づいて前記駆動部による前記可動導電部の可動動作を前記制御部により制御することを特徴とする接触検出器の制御方法。
【請求項７】
請求項６に記載の接触検出器の制御方法において、
前記駆動部の故障などに起因した前記可動導電部の異常動作によって、前記電気的特性値が変動し、この変動を前記測定部により測定した際、前記異常動作を停止させるよう前記駆動部を前記制御部により制御することを特徴とする接触検出器の制御方法。
【請求項８】
請求項６に記載の接触検出器の制御方法において、
前記接触検出器に関連付けられた前記外部導電性機器から導電性接触物が搬送された際に、この導電性接触物を前記可動導電部に接触させ、この接触による前記電気的特性値の変動量に基づいて導電性接触物の搬送の確認を行なうことを特徴する接触検出器の制御方法。
【請求項９】
請求項６に記載の接触検出器の制御方法において、
前記測定部で測定する前記電気的特性値の変動量に基づく前記駆動部による前記可動導電部の可動動作により、前記可動導電部を配する位置の調整を行なうことを特徴とする接触検出器の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路、半導体レーザーあるいは太陽電池等の製造工程において外部導電性機器との接触を検出する接触検出器およびその制御方法に関する。特に、ワークの搬送や位置決め等を行なうために導電性材質で形成された真空チャンバ内で動作する接触検出器およびその制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、外部導電性機器との接触を電気的に検出する接触検出器は、半導体集積回路、半導体レーザー、太陽電池、ワイヤソー装置等の製造工程や異常を検知する工程において用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−１７０７１７号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記した特許文献１に記載の接触検出器は、ワイヤソー装置の動作中に、ワイヤと機体との接触事故などが発生したとき、その異常を速やかに検出するものである。
【０００５】
また、別の接触検出器に、例えば、図４、図５に示すような真空チャンバ内で動作する接触検出器がある。
【０００６】
図４に示す接触検出器７は、真空チャンバ９内に、この真空チャンバ９や他の外部導電性機器（図示省略）と接することにより電気的特性値が変動する可動自在な可動導電部７１と、この可動導電部７１を支持するガイド部７２と、このガイド部７２を介して可動導電部７１を可動させる駆動部７３と、可動導電部７１の導電性物質部分に真空チャンバ９や他の外部導電性機器が接触したか否かを検知する複数個のセンサ７４と、これらセンサ７４での検知結果に基づいて可動導電部７１を可動させるか否かを判断して駆動部７３にその判断命令を出力する制御部７５と、が設けられている。
【０００７】
駆動部７３は、２体のモータ７３１、７３２からなり、それぞれ制御部７５に個別に接続されている。
【０００８】
可動導電部７１は、モータ７３１により図４に示すＹ１方向に直線的に移動され、モータ７３２により図４に示すＸ１方向に回動される。
【０００９】
この図４に示す接触検出器７によれば、可動導電部７１と真空チャンバ９や他の外部導電性機器との接触が想定される位置もしくは可動導電部７１の動作を制限したい位置や範囲をセンサ７４の検知対象エリアと設定することができ、この場合、センサ７４の検知出力を常時モニターすることができ、制御部７５によってこのセンサ７４の検知出力に対する駆動部７３の駆動制御へフィードバックすることができる。
【００１０】
また、光学式センサ等を用いた場合、非接触で異常動作の監視等を行うこともできる。
【００１１】
次に、  図５に示す接触検出器８は、真空チャンバ９内に、この真空チャンバ９や他の外部導電性機器（図示省略）と接することにより電気的特性値が変動する可動自在な可動導電部８１と、この可動導電部８１を支持するガイド部８２と、このガイド部８２を介して可動導電部８１を可動させる駆動部８３と、この駆動部８３の駆動時におけるトルクを常時測定して、トルクの可変量に基づいて可動導電部８１の導電性物質部分に真空チャンバ９や他の外部導電性機器が接触したか否かを判断して駆動部８３にその判断命令を出力する制御部８５と、が設けられている。
【００１２】
駆動部８３は、２体のモータ８３１、８３２からなり、それぞれ制御部８５に個別に接続されている。
【００１３】
可動導電部８１は、モータ８３１により図５に示すＹ１方向に直線的に移動され、モータ８３２により図５に示すＸ１方向に回動される。
【００１４】
この図５に示す接触検出器８によれば、モータ８３１、８３２の駆動時におけるトルクを常時計測することができ、制御部８５によってこの計測結果に基づく駆動部８３の駆動制御へフィードバックすることができる。
【００１５】
また、この接触検出器８には、トルクを計測するための特別な構造を別途設ける必要がなく、制御部８５におけるトルクの計測のみを設置することで実施可能である。
【００１６】
さらに、接触検出器８の構成部材それぞれの構造、配置、動作の方向を問わず、生じ得るあらゆる真空チャンバ９や他の外部導電性機器の接触や衝突を検出することができる。
【００１７】
しかし、上記した図４、図５に示す接触検出器７、８では、以下に示すような課題が生じる。
【００１８】
まず、図４に示す接触検出器７では、センサ７４の検知対象エリア外での接触に関しては、接触を検知することができない。
【００１９】
また、可動する可動導電部７１やガイド部などが複雑な形状を有している場合、センサ７４の検知対象エリアを確保するために多数個のセンサを用いる必要がある。そのため、多数個のセンサを制御部に接続するための配線や個々のセンサの調整に非常に手間がかかる。
【００２０】
また、真空チャンバ９内にセンサ７４を設ける場合、真空状態やベーキング時の高温といった特殊環境に対応させる必要があり、特殊環境に対応させたセンサは、非常に高価であり、接触検出器７の構成部材として適していない。また、真空チャンバ９の設計段階から予めセンサ用のビューポート等を設ける必要があり、真空チャンバ９にこの接触検出器７を取り付けることが容易ではない。
【００２１】
次に、図５に示す接触検出器８では、低剛性の可動導電部８１が真空チャンバ９など外部導電性機器に接触してもモータ８３１、８３２の駆動時におけるトルクに充分な変動が生じず、この場合、可動導電部８１などの構成部材を破損させる場合がある。
【００２２】
そこで、上記課題を解決するために本発明は、安価な構成部材を用いて、これら構成部材を破損させることなく容易に可動導電部と接触する外部導電性機器を検出し、かつ、真空チャンバなど外部導電性機器に容易に取り付けられる接触検出器およびその制御方法を提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明にかかる接触検出器は、少なくとも一部が導電性物質で形成され、他の構成部材および外部導電性機器と接することにより電気的特性値が変動する可動自在な可動導電部と、この可動導電部を絶縁体を介して支持するガイド部と、このガイド部を介して前記可動導電部を可動させる駆動部と、前記可動導電部の前記導電性物質部分および前記外部導電性機器それぞれと電気的に接続され、前記可動導電部および前記外部導電性機器の電気的特性値の変動量を測定する測定部と、この測定部で測定した前記可動導電部および前記外部導電性機器の電気的特性値の変動量に基づいて前記可動導電部と前記他の構成部材および前記外部導電性機器との接触の有無を検出し、この検出結果に基づいて前記可動導電部を可動させるか否かを判断して前記駆動部にその判断命令を出力する制御部と、が設けられるとともに、前記可動導電部が、前記他の構成部材である前記ガイド部、前記駆動部、前記測定部および前記制御部と絶縁されており、前記電気的特性値の変動量から前記可動導電部と前記他の構成部材および前記外部導電性機器との接触を検出することを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、可動導電部とガイド部と駆動部と測定部と制御部とが設けられているので、可動導電部が他の構成部材や外部導電性機器と接触した場合に、それがいかなる原因・  動作・  位置で生じたものであるかに関わらず、その接触により変動する可動導電部および外部導電性機器の電気的特性値を測定部により測定することが可能となる。その結果、制御部では、この測定結果に基づいて駆動部の駆動動作を制御して、可動導電部を任意に可動させることが可能となる。
【００２５】
上記構成において、上記絶縁体は、ベアリングであってもよい。
【００２６】
この場合、絶縁体がベアリングであるので、構成部材を小型化することが可能となり、さらに、本発明にかかる接触検出器を真空チャンバなど外部導電性機器に取り付ける場合、取り付ける外部導電性機器の構造に対応させて設計変更を行なう必要がなく、ベアリングの交換のみで本発明にかかる接触検出器を外部導電性機器に取り付けることが可能となる。
【００２７】
上記構成において、上記ベアリングは、その転動体がセラミックからなってもよい。
【００２８】
この場合、ベアリングの転動体がセラミックからなっているので、可動導電部と他の構成部材との絶縁状態を簡単に形成することが可能となる。また、大気圧中や真空中にかかわらず転動体としての動作可能である。また、外部導電性機器が成膜装置である場合、成膜装置においては放出ガスが少なく、成膜時の材料ガス雰囲気中においても安定な動作が可能となる。さらに、ベーキング時の高温にも対応可能である。
【００２９】
上記構成において、上記外部導電性機器は、真空チャンバであり、この真空チャンバ内に上記可動導電部が配されてもよい。
【００３０】
この場合、外部導電性機器が、例えばステンレスやアルミニウム等の材質で形成された真空チャンバであり、この真空チャンバ内に可動導電部が配されているので、真空チャンバ内を高真空にすることが可能となる。特に、蒸着装置、スパッタ装置、ＭＢＥ（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｂｅａｍ  Ｅｐｉｔａｘｙ）装置、ＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ）装置、ワーク搬送装置などの真空チャンバ内で可動導電部を動作させるのに好ましい。また、真空チャンバが複雑な形状を有しており、真空チャンバ内の可動導電部が真空チャンバの筐体面と接触する場合が起こりやすくなる場合であっても、確実に可動導電部と真空チャンバとの接触による可動導電部の電気的特性値の変動を測定部により計測することが可能となる。すなわち、可動導電部と真空チャンバとの接触による可動導電部の電気的特性値の変動を測定部により計測するので、外部から真空チャンバ内を観察する観察窓を用いて視覚的に接触を検出する方法や、センサを設けて接触を検出する方法等に比べて取り付ける真空チャンバの形状や構造に関係なく容易に接触を検出することが可能となる。
【００３１】
上記構成において、上記電気的特性値は、抵抗値であってもよい。
【００３２】
この場合、電気的特性値が抵抗値であるので、常時通電して電気的特性値を測定する必要がなく、接触した時にのみ通電させて電気的特性値を測定するため、低コストで簡単に接触を検出することが可能となる。
【００３３】
上記目的を達成するため本発明にかかる接触検出器の制御方法は、上記した接触検出器を用いて、上記電気的特性値の変動量から上記可動導電部と上記外部導電性機器との接触を検出する接触検出器の制御方法において、上記電気的特性値の変動を上記測定部により測定した際、その測定による上記電気的特性値の変動量に基づいて上記駆動部による上記可動導電部の可動動作を上記制御部により制御することを特徴とする。
【００３４】
この発明によれば、電気的特性値の変動を測定部により測定した際、その測定による電気的特性値の変動量に基づいて駆動部による可動導電部の可動動作を制御部により制御するので、可動導電部が他の構成部材や外部導電性機器と接触した場合に、それがいかなる原因・  動作・  位置で生じたものであるかに関わらず、その接触により変動する可動導電部および外部導電性機器の電気的特性値を測定部により測定することが可能となる。その結果、制御部では、この測定結果に基づいて駆動部の駆動動作を制御して、可動導電部を任意に可動させることが可能となる。
【００３５】
上記方法において、上記駆動部の故障などに起因した上記可動導電部の異常動作によって、上記電気的特性値が変動し、この変動を上記測定部により測定した際、上記異常動作を停止させるよう上記駆動部を上記制御部により制御してもよい。
【００３６】
この発明によれば、駆動部の故障などに起因した可動導電部の異常動作等により、可動導電部と構成部材や外部導電性機器との接触が生じた場合であっても、異常動作を停止させるよう駆動部を制御部により制御することで、接触した構成部材や外部導電性機器の変形や破損を防止する、あるいは軽微な変形や破損に抑えることが可能となる。
【００３７】
上記方法において、上記接触検出器に関連付けられた上記外部導電性機器から導電性接触物が搬送された際に、この導電性接触物を上記可動導電部に接触させ、この接触による上記電気的特性値の変動量に基づいて導電性接触物の搬送の確認を行なってもよい。
【００３８】
この場合、接触検出器に関連付けられた外部導電性機器から導電性接触物が搬送された際に、この導電性接触物を可動導電部に接触させ、この接触による電気的特性値の変動量に基づいて導電性接触物の搬送の確認を行なうので、導電性接触物の搬送が常に所定の条件、例えば、予め決められた位置に導電性接触物が搬送されるか否かを容易に確認することが可能となる。
【００３９】
上記方法において、上記測定部で測定する上記電気的特性値の変動量に基づく上記駆動部による上記可動導電部の可動動作により、上記可動導電部を配する位置の調整を行なってもよい。
【００４０】
この場合、測定部で測定する電気的特性値の変動量に基づく駆動部による可動導電部の可動動作により、可動導電部を配する位置の調整を行なっているので、可動導電部の導電性物質の部分を所定の位置に容易に配することが可能となる。例えば、半導体製造装置におけるワークの受渡しの座標ティーチング時に、電気的特性値の変動から正確な位置決めを行なうことが可能となる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す各実施の形態では、半導体測定装置の真空チャンバに本発明にかかる接触検出器を取り付けた場合を示すが、少なくとも一部が導電性物質で形成された機器（本発明でいう外部導電性機器）であれば、これに限定されるものではない。
＜実施の形態１＞
この接触検出器１は、図１に示すように、可動自在な可動導電部１１と、この可動導電部１１を支持するガイド部１２と、このガイド部１２を介して可動導電部１１を可動させる駆動部１３と、可動導電部１１および外部導電性機器（下記する真空チャンバ３）の電気的特性値の変動量を測定する測定部１４と、この測定部１４で測定した結果に基づいて可動導電部１１を可動させるか否かの判断命令を駆動部１３に出力する制御部１５と、が設けられている。
【００４２】
可動導電部１１は、アルミニウムで形成されているとともに、他の構成部材（ガイド部１２、駆動部１３、測定部１４、制御部１５）と絶縁され、これら他の構成部材および真空チャンバ３と接することにより電気的特性値が変動する。ここでいう電気的特性値とは可動導電部１１の抵抗値のことを示す。また、可動導電部１１とガイド部１２とは、真空チャンバ３内に配されている。この真空チャンバ３は、導電性物質であるアルミニウムで形成され、真空チャンバ３内を高い真空状態にする。
【００４３】
ガイド部１２は、図１に示すように、可動導電部１１を絶縁体であるベアリング１６を介して支持する。ベアリング１６は、その転動体（転動体球・  ころ・  ニードル・  円錐など）がセラミックからなっている。なお、転動体に、窒化珪素やアルミナ等のセラミックス製のものが用いられている。そのため、可動導電部１１とガイド部１２との絶縁を容易に実現できるととともに、１×１０−９Ｐａ以下の超高真空状態や２００℃以上の高温でも使用可能である。また、この接触検出器１をＭＢＥ装置やＭＯＣＶＤ装置などで用いる真空チャンバ３に取り付けた場合、真空チャンバ内に注入する材料ガスに対しても不活性である。さらに、３５０℃以上の高温下であっても使用可能である。
【００４４】
駆動部１３は、２体のモータ１３１、１３２からなり、それぞれ制御部１５に個別に接続されている。モータ１３１は、可動導電部１１を図１に示すＹ１方向に直線的に移動させるためのものであり、モータ１３２は、可動導電部１１を図１に示すＸ１方向に回動されるためのものである。
【００４５】
測定部１４は、可動導電部１１および真空チャンバ３それぞれと電気的に接続され（Ａ１ライン、Ａ２ライン）、可動導電部１１および真空チャンバ３の電気的特性値（抵抗値）の変動量を測定する。また、この測定部１４では、予め可動導電部１１が非接触状態であることを示すしきい値が設定され、このしきい値を基準にして可動導電部１１および真空チャンバ３の抵抗値が測定され、しきい値に対する測定値が制御部１５に出力される。すなわち、可動導電部１１は、他の構成部材および真空チャンバ３と絶縁されているため、可動導電部１１が、例えば真空チャンバ３と非接触の場合は抵抗値としきい値との差はなく、接触した場合には抵抗値としきい値とに差が生じ、この差を示すしきい値に対する抵抗値に関する測定結果が制御部１５に出力される。
【００４６】
制御部１５は、測定部１４から入力された測定結果に基づいて可動導電部１１と他の構成部材および真空チャンバ３との接触の有無を検出し、この検出結果に基づいて可動導電部１１を可動させるか否かを判断して駆動部１３にその判断命令を出力する。この制御部１５では、例えば、モータ１３１、１３２の脱調や操作ミス等に起因した異常動作による可動導電部１１の接触が検出された場合には、直ちに駆動装置３を停止させる判断命令を出力するよう設定されている。
【００４７】
この接触検出器１では、測定部１４および制御部１５において、可動導電部１１と真空チャンバ３との抵抗値の変動量から可動導電部１１と他の構成部材および真空チャンバ３との接触を検出する。この検出結果に基づいて、駆動部１３による可動導電部１１の可動動作を制御部１５により制御する。例えば、可動導電部１１が他の構成部材および真空チャンバ３と非接触の場合、測定部１４からしきい値と測定値との差が生じない測定結果が制御部１５に出力され、制御部１５では、この測定結果に基づいて可動導電部１１と他の構成部材および真空チャンバ３とが非接触であることを検出し、駆動部１３に可動導電部１１の可動動作を行なうよう判断命令を出力して、駆動部１３により可動導電部１１が可動される。また、可動導電部１１が真空チャンバ３と接触した場合、測定部１４からしきい値と測定値との差があるとの測定結果が制御部１５に出力され、制御部１５では、この測定結果に基づいて可動導電部１１と真空チャンバ３とが接触であることを検出し、駆動部１３に可動導電部１１の可動動作を行なわないよう判断命令を出力する。
【００４８】
このように、上記した接触検出器１によれば、可動導電部１１とガイド部１２と駆動部１３と測定部１４と制御部１５とが設けられているので、可動導電部１１が他の構成部材や真空チャンバ３と接触した場合に、それがいかなる原因・  動作・  位置で生じたものであるかに関わらず、その接触により変動する可動導電部１１および真空チャンバ３の抵抗値を測定部により測定することができる。その結果、制御部１５では、測定部１４の測定結果に基づいて駆動部１３の可動導電部１１を可動させる動作を制御して、可動導電部１１を任意に可動させることができる。
【００４９】
また、ガイド部１２に設けられた絶縁体がベアリング１６であるので、構成部材を小型化することができ、さらに、この接触検出器１を真空チャンバ３に取り付ける場合、真空チャンバ３の構造に対応させて設計変更を行なう必要がなく、ベアリング１６の交換のみで接触検出器１を真空チャンバ３に取り付けることができる。
【００５０】
また、ベアリング１６の転動体がセラミックからなっているので、可動導電部１１と他の構成部材との絶縁状態を簡単に形成することができる。また、大気圧中や真空中にかかわらず転動体としての動作可能である。また、真空チャンバ３が成膜装置に用いられている場合、成膜装置においては放出ガスが少なく、成膜時の材料ガス雰囲気中においても安定な動作が可能となる。さらに、ベーキング時の高温にも対応可能である。
【００５１】
また、本実施の形態では、外部導電性機器が、アルミニウムで形成された真空チャンバ３であり、この真空チャンバ３内に可動導電部１１が配されているので、真空チャンバ３内を高真空にすることができる。特に、蒸着装置、スパッタ装置、ＭＢＥ装置、ＭＯＣＶＤ装置、ワーク搬送装置などの真空チャンバ３内で可動導電部１１を動作させるのに好ましい。また、真空チャンバ３が複雑な形状を有しており、真空チャンバ３内の可動導電部１１が真空チャンバ３の筐体面と接触する場合が起こりやすくなる場合であっても、確実に可動導電部１１と真空チャンバ３との接触による可動導電部１１の抵抗値の変動を測定部１４により計測することができる。すなわち、可動導電部１１と真空チャンバ３との接触による可動導電部１１の抵抗値の変動を測定部１４により計測するので、外部から真空チャンバ３内を観察する観察窓を用いて視覚的に接触を検出する方法や、センサを設けて接触を検出する方法等に比べて取り付ける真空チャンバ３の形状や構造に関係なく容易に接触を検出することができる。
【００５２】
また、測定部１４での測定対象となる電気的特性値が抵抗値であるので、常時通電して抵抗値を測定する必要がなく、可動導電部１１が他の構成部材や真空チャンバ３と接触した時にのみ通電させて抵抗値を測定するため、低コストで簡単に接触を検出することができる。
【００５３】
また、駆動部１３の故障などに起因した可動導電部１１の異常動作等により、可動導電部１１と構成部材や真空チャンバ３との接触が生じた場合であっても、それがいかなる原因・  動作・  位置で生じたものであるかによらず測定部１４により抵抗値の変動を測定し、接触を検出することができ、その場合、異常動作を停止させるよう駆動部１３を制御部１５により制御することで、接触した構成部材や真空チャンバ３の変形や破損を防止する、あるいは軽微な変形や破損に抑えることができる。
【００５４】
なお、本実施の形態１では、可動導電部１１全体が導電性物質で形成されているが、これに限定されるものではなく、接触を検出する必要がある位置に配された可動導電部１１の一部分が導電性物質で形成されていれば、その他の部分に関しては導電性物質で形成されていなくてもよい。
【００５５】
また、可動導電部１１はアルミニウムで形成されているが、これに限定されるものではなく、例えばステンレスなど導電性物質であってもよい。また、真空チャンバ３はアルミニウムで形成され、真空チャンバ３内に高い真空状態を発生させているが、これに限定されるものではなく、例えばステンレスなど導電性物質であってもよい。なお、ステンレスを用いた場合、コストを低減することができる。
【００５６】
また、本実施の形態では、外部導電性機器が真空チャンバ３の場合を示したが、これに限定されるものではなく、例えば、図２に示すように、さらに、他の外部導電性機器に対応させたものであってもよい。
【００５７】
この場合、図２に示すように、真空チャンバ３との接触のみでなく他の機構４（モータ４１と可動自在（図２に示すＹ２方向）なワーク（図示省略）の載置台４２とから構成）との接触も同様に検出することができる。
【００５８】
次に、この実施の形態１と同様の作用効果を有する他の実施の形態にかかる接触検出器を以下に説明する。
＜実施の形態２＞
実施の形態２にかかる接触検出器は、上記した実施の形態１にかかる接触検出器１と、制御部１５の制御方法と外部導電性機器との点で異なるだけで他の構成は同じ構成からなる。そのため、この実施の形態２では、この異なる制御部の制御方法と外部導電性機器との点について説明し、同一の構成については同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５９】
接触検出器２は、図３に示すように、可動自在な可動導電部１１と、この可動導電部１１を支持するガイド部１２と、このガイド部１２を介して可動導電部１１を可動させる駆動部１３と、可動導電部１１、下記するワーク搬送装置５および真空チャンバ３の抵抗値の変動量を測定する測定部１４と、この測定部１４で測定した結果に基づいて可動導電部１１を可動させるか否かの判断命令を駆動部１３に出力する制御部２５と、が設けられている。
【００６０】
この接触検出器２では、制御部２５において、接触検出器２に関連付けられた下記するワーク搬送装置５からワーク６（本発明でいう導電性接触物）が搬送された際に、このワーク６を可動導電部１１に接触させ、この接触による抵抗値の変動量に基づいてワーク６の搬送の確認を行なっている。
【００６１】
ワーク搬送装置５は、図３に示すように、モータ５１と、可動自在（Ｙ２方向）なワークの載置台５２とが設けられてなる。
【００６２】
ワーク６は、その全体もしくは任意の部分が導電性材質で形成されている。
【００６３】
次に、ワーク搬送工程を、図３を用いて以下に説明する。
【００６４】
まず、ワーク６がワーク搬送装置５の載置台５２に配される。ワーク６が配された後に、モータ５１により載置台５２が図３に示すＹ２方向に沿って真空チャンバ内方向に可動される。なお、測定部１４では、可動導電部１１の抵抗値の変動が測定されないため、接触検出器２は、非導通状態となる。この時、導通状態であれば、制御部２５において、接触検出器２において異常が発生したと判断される。
【００６５】
載置台５２が可動導電部１１の受け取り位置まで可動され、可動導電部１１の受取部２１１にワーク６が渡される。この時、測定部１４では可動導電部１１がワーク６を介してワーク搬送装置と導通するため、可動導電部１１の抵抗値の変動が測定される。なお、このワーク６の受け渡しの時に、可動導電部１１の抵抗値の変動が測定されなかったり、抵抗値の変動が測定されてもタイミングにズレが生じたりすれば、制御部２５において、ワーク６の紛失や受渡しの失敗等と判断される。
【００６６】
そして、ワーク搬送装置５では、可動導電部１１の受取部２１１にワーク６を渡した後、載置台５２をもとの位置に配するようモータ５１により載置台５２が図３に示すＹ２方向に沿って真空チャンバ外方向に可動される。なお、測定部１４では、可動導電部１１の抵抗値の変動が測定されないため、接触検出器２は、非導通状態となる。この時、導通状態であれば、制御部２５において、接触検出器２において異常が発生したと判断される。
【００６７】
このように、上記した接触検出器２によれば、この接触検出器２に関連付けられたワーク搬送装置５からワーク６が搬送された際に、このワーク６を可動導電部１１の受取部２１１に接触させ、この接触による抵抗値の変動量に基づいてワーク６の搬送の確認を行なうので、ワーク６の搬送が常に所定の条件、例えば、予め決められた位置にワーク６が搬送されるか否かを容易に確認することができる。
【００６８】
すなわち、ワーク６をワーク搬送装置５との間で受渡しする場合、上記した実施の形態１にかかる接触検出器２と同様に抵抗値の変動からワーク６と可動導電部１１の受取部２１１との接触を検出して、ワーク６が搬送されるか否かを容易に確認することができる。また、ワーク６の受渡し時に生じる可動導電部１１の抵抗値の変動からワーク６の有無を確認することもできる。さらに、予め設定したタイミングもしくは座標位置で可動導電部１１の抵抗値の変動が生じることを測定部１４により測定することができ、その結果、制御部２５によりワーク６の受渡し時の異常を容易に検出することができる。
【００６９】
なお、本実施の形態２では、予め決められた位置にワーク６が搬送されるか否かを確認するために用いられているが、これに限定されるものではなく、例えば、測定部１４で測定する抵抗値の変動量に基づく駆動部１３による可動導電部１１の可動動作により、可動導電部１１を配する位置の調整を行なうために用いられてもよい。
【００７０】
この場合、測定部１４で測定する抵抗値の変動量に基づく駆動部１３による可動導電部１１の可動動作により、可動導電部１１を配する位置の調整を行なっているので、可動導電部１１のワーク受け渡しに用いる部分を所定の位置に容易に配することができる。
【００７１】
例えば、真空チャンバ３を設けた装置の初期立上げ時やメンテナンス後の再立上げ時にあたって、ワーク６の受渡し高さや位置決めなど、ワーク６と可動導電部１１の接触を伴う座標に関する制御部２５の座標ティーチングを実施する際に、全体もしくは任意の部分が導電性材質で形成されたワーク６を用いれば、抵抗値の変動に基づいて正確に座標を決定・入力することができる。
【００７２】
また、可動導電部１１を他の構造部材に接触させて停止させる場合には、その状態もしくはオフセット値を加減するのみで、正確に座標を決定・入力することができる。
【００７３】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明にかかる接触検出器およびその制御方法によれば、安価な構成部材を用いて、これら構成部材を破損させることなく容易に可動導電部と接触する外部導電性機器を検出し、かつ、真空チャンバなど外部導電性機器に容易に取り付けることができる。
【００７４】
すなわち、本発明にかかる接触検出器によれば、可動導電部とガイド部と駆動部と測定部と制御部とが設けられているので、可動導電部が他の構成部材や外部導電性機器と接触した場合に、それがいかなる原因・  動作・  位置で生じたものであるかに関わらず、その接触により変動する可動導電部および外部導電性機器の電気的特性値を測定部により測定することができる。その結果、制御部では、この測定結果に基づいて駆動部の駆動動作を制御して、可動導電部を任意に可動させることができる。
【００７５】
また、本発明にかかる接触検出器の制御方法によれば、電気的特性値の変動を測定部により測定した際、その測定による電気的特性値の変動量に基づいて駆動部による可動導電部の可動動作を制御部により制御するので、可動導電部が他の構成部材や外部導電性機器と接触した場合に、それがいかなる原因・  動作・  位置で生じたものであるかに関わらず、その接触により変動する可動導電部および外部導電性機器の電気的特性値を測定部により測定することができる。その結果、制御部では、この測定結果に基づいて駆動部の駆動動作を制御して、可動導電部を任意に可動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる接触検出器の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１にかかる他の接触検出器の概略構成図である。
【図３】本発明の実施の形態２にかかる接触検出器の概略構成図である。
【図４】従来の接触検出器の概略図である。
【図５】従来の他の接触検出器の概略図である。
【符号の説明】
１、２    接触検出器
１１    可動導電部
１２    ガイド部
１３    駆動部
１４    測定部
１５、２５    制御部
１６    ベアリング
３    真空チャンバ
６    導電性接触物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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