(57)【要約】【課題】高周波出力電力（又は出力電流）の立ち上がり時間が高速で、かつフィードバックループに乱調が発生しない高周波加熱用電源装置を提供する。【解決手段】本発明は、サイリスタ１１ａ，１１ｂの直流出力電圧により、高周波加熱電力を出力する電源装置１であり、主回路２と電気的特性がほぼ等価で、小容量のサイリスタ２１ａ，２１ｂを含む受動回路からなるミニモデル回路２０であって、主回路２に並列に配設され、位相制御器６の出力信号により前記小容量のサイリスタの点弧位相角を制御する前記ミニモデル回路と、前記ミニモデル回路の出力電圧を、主回路２の加熱電力設定器５の設定電圧と比較し、その誤差電圧を位相制御器６に送出する誤差増幅器５とを備え、位相制御器６の出力信号により、前記ミニモデル回路の小容量のサイリスタの点弧位相角を制御する信号を基に、主回路２のサイリスタの点弧位相角を制御する装置である。【選択図】　　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電源に接続されるサイリスタと該サイリスタの直流出力電圧により高周波加熱電力を出力する発振器とからなる主回路部と、前記サイリスタの点弧位相角を制御する信号を出力する位相制御器とからなる電源装置において、
前記主回路部と電気的特性がほぼ等価で、前記サイリスタに比べて小容量のサイリスタを含むミニモデル回路部で、前記主回路部に並列に配設されるとともに、前記位相制御器の出力制御信号により前記小容量のサイリスタの点弧位相角が制御される前記ミニモデル回路部と、
前記主回路部の加熱電力の出力を設定する出力設定器と、
前記ミニモデル回路部の前記発振器の等価抵抗両端からの出力電圧を、前記出力設定器の設定電圧と比較し、その誤差電圧を前記位相制御器に送出する誤差増幅器とを備え、
前記位相制御器の出力制御信号により、前記ミニモデル回路部の前記発振器の等価抵抗両端からの出力電圧が、前記出力設定器の設定電圧に一致するような、前記小容量のサイリスタの点弧位相角を制御する信号を基に、前記主回路部の前記サイリスタの点弧位相角を制御することを特徴とする高周波加熱用電源装置。
【請求項２】
前記発振器から出力される高周波加熱電力の周波数は、１００ｋＨｚから５ＭＨｚであることを特徴とする請求項１に記載の高周波加熱用電源装置。
【請求項３】
前記ミニモデル回路部は、前記交流電源に接続される前記小容量のサイリスタと、整流回路と、前記主回路部の発振器の等価抵抗とからなる受動回路であることを特徴とする請求項１に記載の高周波加熱用電源装置。
【請求項４】
さらに、ＡＮＤゲート回路を介して、前記主回路部の加熱電力をオンオフする信号により、前記位相制御器による前記主回路部の前記サイリスタの点弧位相角を制御する信号を導通又は遮断することを特徴とする請求項１に記載の高周波加熱用電源装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加熱電力の投入時に、加熱用の高周波電力を短パルス的に、高速な立ち上がりにし、薄肉、小型の被加熱体を、短時間に有効に高周波誘導加熱できる高周波加熱用電源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の高周波加熱用電源装置として、薄肉、小型の金属材からなる部品（被加熱体）を高周波誘導加熱で焼入れを行うには、加熱時の出力電力ができるだけ高速で立ち上がる電源装置が必要であった。小さいの電力で長時間加熱すると熱が希望しない部分まで伝導し、良好な焼入れパターンが得られない。また、加熱電力が大きすぎるとオーバーヒートになり、前記部品の加熱部分を溶かしてしまうときがある。
このため、この種の被加熱体に対して、安定した焼入れを行うには、出力電力が高速に立ち上がり、しかも電力管理を十分できる高周波加熱用電源装置が、従来から要求されていた。
【０００３】
従来の高周波加熱用電源装置の回路構成を図８に示す。
金属材からなる小型の被加熱体１００の高周波焼入れを行うには、一般的に高い周波数が必要とされるので、５ＭＨｚ帯までの発振が可能な真空管発振器を例にとって説明する。
【０００４】
図８の高周波加熱用電源装置１０１の構成は、３相の商用交流電源Ｅに例えば電磁開閉器９を介して接続される、並列に互いに逆方向に接続された２個の電力用サイリスタ１１ａ，１１ｂ、昇圧トランス１２、高圧整流ダイオード１３、ＬＣ平滑回路１４、真空管自励発振回路１５及び整合トランス１６からなる主回路部２と、高周波加熱コイル３とが、それぞれ直列に接続され、前記加熱コイル３を介して、前記被加熱体１００が高周波加熱されるとともに、さらに誤差増幅器４と、出力設定器５及び位相制御器６とで構成されている。
【０００５】
そして、前記高圧整流ダイオード１３により整流後の高電圧の出力電圧を抵抗分圧用の抵抗１７ａ，１７ｂで検出し、フィードバック信号として前記誤差増幅器４に入力している。
前記フィードバック信号は、加熱電力設定用の前記出力設定器５の設定値（電圧）と比較され、その誤差がゼロになるように位相制御器６の制御により、前記整流後の出力電圧を安定させている。前記出力設定器５の設定値はスイッチ１８により入り切りされる。切りの時は前記出力電圧がゼロの値になり、入りの時は前記出力設定器５で設定した値（電圧値）となる。前記スイッチ１８は、前記電源装置の加熱ＯＮ／ＯＦＦ信号で駆動される。
前記位相制御器６は、前記商用交流電源Ｅの周波数に同期し、前記誤差増幅器４からの誤差電圧（誤差信号）により、前記主回路部２のサイリスタ１１ａ，１１ｂの点弧角を調整している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記従来の高周波加熱用電源装置１０１において、前記被加熱体１００に対し、該電源装置１０１を使用して１秒以下の短時間加熱を行おうとした場合、高周波出力電力（又は加熱コイル電流）の立ち上がり時間が極めて遅く、良好な焼入れを行うのが困難であるという問題点があった。
前記高周波出力電力（又は加熱コイル電流）の立ち上がり時間を早くするために、前記誤差増幅器４の誤差積分定数を小さくし、高速性を図る試みがなされたが安定して使用できるのは１００ｍｓ（ミリ秒）ないし２００ｍｓ程度の立ち上がり時間が限界であった。
【０００７】
さらに、前記誤差増幅器４の誤差積分定数を小さくしていくと、フィードバックに乱調が起こる。この乱調の原因は、前記主回路部２がリアクタ及びコンデンサ等で構成されており、フィードバックループが、いわゆる二次遅れになっているからである。また、前記リアクタ及びコンデンサの定数は、前記商用交流電源の周波数を前記サイリスタで１０ｍｓ毎に制御しているので小さくできないという問題点があった。
【０００８】
本発明はかかる点を鑑みなされたもので、その目的は前記問題点を解消し、高周波出力電力（又は加熱コイル電流）の立ち上がり時間が高速で、かつフィードバックループに乱調が発生しない高周波加熱用電源装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、薄肉、小型の被加熱物に対して、例えば短パルス的な１秒以下の短時間で高周波加熱ができる高周波加熱用電源装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明の構成は、交流電源に接続されるサイリスタと該サイリスタの直流出力電圧により高周波加熱電力を出力する発振器とからなる主回路部と、前記サイリスタの点弧位相角を制御する信号を出力する位相制御器とからなる電源装置において、次のとおりである。
【００１１】
前記主回路部と電気的特性がほぼ等価で、前記サイリスタに比べて小容量のサイリスタを含むミニモデル回路部で、前記主回路部に並列に配設されるとともに、前記位相制御器の出力制御信号により前記小容量のサイリスタの点弧位相角が制御される前記ミニモデル回路部と、前記主回路部の加熱電力の出力を設定する出力設定器と、前記ミニモデル回路部の前記発振器の等価抵抗両端からの出力電圧を、前記出力設定器の設定電圧と比較し、その誤差電圧を前記位相制御器に送出する誤差増幅器とを備え、前記位相制御器の出力制御信号により、前記ミニモデル回路部の前記発振器の等価抵抗両端からの出力電圧が、前記出力設定器の設定電圧に一致するような、前記小容量のサイリスタの点弧位相角を制御する信号を基に、前記主回路部の前記サイリスタの点弧位相角を制御する高周波加熱用電源装置である。
【００１２】
前記発振器から出力される高周波加熱電力の周波数は、１００ｋＨｚから５ＭＨｚである高周波加熱用電源装置である。
【００１３】
前記ミニモデル回路部は、前記交流電源に接続される前記小容量のサイリスタと、整流回路と、前記主回路部の発振器の等価抵抗とからなる受動回路である高周波加熱用電源装置である。
【００１４】
さらに、ＡＮＤゲート回路を介して、前記主回路部の加熱電力をオンオフする信号により、前記位相制御器による前記主回路部の前記サイリスタの点弧位相角を制御する信号を導通又は遮断する高周波加熱用電源装置である。
【００１５】
本発明の高周波加熱用電源装置は、以上のように構成されるので、前記主回路部に電気的特性をほぼ等価になるように近似させたミニモデル回路部を、前記交流電源に対して、前記主回路部に並列に設置し、前記ミニモデル回路部は常にフィードバックをかけた状態にし、該フィードバックの制御信号を分岐して、主回路部を制御する。そして、主回路部に分岐された制御信号を、導通又は遮断することにより前記主回路部からの高周波電力の出力を起動又は停止することができる。
【００１６】
また、本発明による作用は、高周波出力電力（又は加熱コイル電流）が高速で立ち上がり、しかも接続される交流電源の電圧変動に対しても、常に一定出力を得ることができるとともに、高速応答の高周波電源を実現することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。
図１は、本発明の高周波加熱用電源装置１の一実施の形態を示す、該電源装置１の回路図を含む構成図で、図８と同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００１８】
図１において、前記高周波加熱用電源装置１は、例えば、ほぼ棒状で示す小型の被加熱体１００を、高周波加熱コイル３を使用して、周波数が約１ＭＨｚにより高周波誘導加熱する装置である。なお、本電源装置１の高周波加熱電力の周波数は、１００ｋＨｚから５ＭＨｚが好ましい。
【００１９】
前記高周波加熱用電源装置１は、主回路部２と、ミニモデル回路部２０と、高周波加熱コイル３と、誤差増幅器４と、前記主回路部２の加熱電力の出力を設定する出力設定器５と、位相制御器６と、ＡＮＤゲート回路７とから構成される。
【００２０】
前記主回路部２は、３相の商用交流電源Ｅに例えば電磁開閉器９を介して接続される、並列にかつ互いに逆方向に接続された２個の電力用サイリスタ１１ａ，１１ｂと、該電力用サイリスタ１１ａ，１１ｂからの交流電圧を昇圧する昇圧トランス１２と、昇圧された前記交流電圧を整流する高圧整流ダイオード１３と、整流後、直流電圧を得るためのＬＣ平滑回路１４と、該直流電圧により高周波加熱電力を出力する真空管自励発振回路１５と、該自励発振回路１５から出力される高周波電力を、前記加熱コイル３に供給する整合トランス１６とが、順に直列に接続されている。なお、前記真空管自励発振回路１５は、他の半導体素子による発振回路でもよい。
そして、前記自励発振回路１５から出力される高周波電力により、前記整合トランス１６及び前記加熱コイル３を介して、前記被加熱体１００が高周波加熱される。
【００２１】
前記ミニモデル回路部２０は、前記主回路部２と電気的特性がほぼ等価な受動回路からなる。しかし、電気的な特性を等価にしているだけで同じ部品を使用しているわけではない。前記主回路部２のサイリスタ１１ａ，１１ｂに対応するのがサイリスタ２１ａ，２１ｂである。該サイリスタ２１ａ，２１ｂの電流容量は、例えば１Ａ〜０．１Ａのような小容量のサイリスタである。トランス２２は昇圧トランスではなく、数ワットの小型の降圧トランスで、その２次出力電圧は０Ｖから１０Ｖ程度である。整流ダイオード２３及び直列リアクタ２４と直列に接続される抵抗２５は、前記主回路部２の前記自励式発振回路１５に相当する部分で、等価並列抵抗器にしている。
【００２２】
すなわち、前記ミニモデル回路部２０の構成は、前記３相の商用交流電源Ｅに接続される、並列にかつ互いに逆方向に接続された２個の、前記電力用サイリスタ１１ａ，１１ｂに比べて小容量のサイリスタ２１ａ，２１ｂと、該サイリスタ２１ａ，２１ｂからの交流電圧を降圧する降圧トランス２２と、降圧された前記交流電圧を整流する低圧整流ダイオード２３と、整流後、直流電圧を得るための直列リアクタ２４と、前記直流電圧を出力するため、負荷側（前記整合トランス１６、前記被加熱体１００を加熱中の前記加熱コイル３を含む）を含む前記真空管自励発振回路１５の等価並列抵抗２５とからなり、それぞれが順に直列に接続されている。
そして、前記ミニモデル回路部２０は、前記３相の商用交流電源Ｅに対して、前記主回路部２と並列に配設、接続されている。
【００２３】
前記ミニモデル回路部２０の前記自励発振回路１５の等価並列抵抗２５の両端の出力電圧は、フィードバック信号として前記誤差増幅器４に入力される。
該誤差増幅器４において、前記ミニモデル回路部２０からフィードバックされた前記出力電圧と、前記出力設定器５の設定値としての設定電圧とを比較し、その誤差電圧を前記位相制御器６に送出する。
なお、前記位相制御器６は、前記３相の商用交流電源Ｅの周波数に同期をとっている。
【００２４】
そして、前記位相制御器６は、その出力信号により、前記ミニモデル回路部２０の前記等価並列抵抗２５の両端からの出力電圧を、前記出力設定器５の設定電圧に一致するように、前記ミニモデル回路部２０のサイリスタ２１ａ，２１ｂの点弧位相角を制御する。前記等価並列抵抗２５の両端からの出力電圧が、０Ｖで前記サイリスタ２１ａ，２１ｂが全角度で非導通状態になり、全電圧１０Ｖで全角度導通状態（完全に導通された状態）になる。
【００２５】
ここで、図２に、前記誤差増幅器４から送出される制御誤差電圧（横軸）に対する、前記ミニモデル回路部２０の前記等価並列抵抗２５の両端から出力される直流電圧（縦軸）との関係を示す。この縦軸に示す前記ミニモデル回路２０の前記出力直流電圧は、前記主回路２における平滑回路１４における整流電圧、又は前記加熱コイル３のコイル電流に相当する。
【００２６】
図２において、横軸の前記制御誤差電圧と縦軸の前記出力直流電圧との関係は、前記商用交流電源Ｅの電圧に比例してカーブの傾きが変化する。前記交流電源電圧が、例えば２００Ｖの場合カーブＩのようになり、２２０ＶになったらカーブＩＩのようになる。また、該交流電源電圧が下がり１８０ＶになったらカーブＩＩＩに示すようになる。
【００２７】
前記交流電源電圧が変化したときの前記制御誤差電圧と前記出力直流電圧の関係を図２により説明する。
今、前記交流電源電圧が２００Ｖの場合、前記制御誤差電圧をｖ１の値にし、カーブＩからの出力直流電圧Ｖを得ている。次に前記交流電源電圧が２２０Ｖに上がると前記制御誤差電圧をｖ２に下げてカーブＩＩからＶの出力直流電圧を得る。前記交流電源電圧が１８０Ｖに下がると前記制御誤差電圧をｖ３に上げて、カーブＩＩＩからＶの出力直流電圧を得ている。
【００２８】
前記交流電源電圧が２２０Ｖ→２００Ｖ→１８０Ｖに変化するとき、前記制御誤差電圧をｖ２→ｖ１→ｖ３と変化させて、常にＶの一定出力直流電圧を保持している。
このような前記交流電源電圧の変動に対応して、前記位相制御器６の出力信号により、前記主回路部２のサイリスタ１１ａ，１１ｂを制御するようにすると、該主回路部２の前記加熱コイル３のコイル電流も、該交流電源電圧が２２０Ｖ→２００Ｖ→１８０Ｖと変動しても、常に一定のコイル電流に保持できる。
【００２９】
図１において、前記位相制御器６は、その出力信号により、前記ミニモデル回路部２０のサイリスタ２１ａ，２１ｂの点弧位相角を制御すると同時に、前記ＡＮＤゲート回路７の一方の入力端子に入力し、該ＡＮＤゲート回路７を通して、前記主回路部２の前記サイリスタ１１ａ，１１ｂの点弧位相角を制御するようにしている。
そして、前記ＡＮＤゲート回路７の他方の入力端子に、前記主回路部２の加熱電力をオンオフさせる信号を入力させ、該オンオフ信号により、前記ＡＮＤゲート回路７を通して、前記位相制御器６による前記主回路部２の前記サイリスタ１１ａ，１１ｂの点弧位相角を制御する信号を導通又は遮断するようにしている。
【００３０】
すなわち、前記ＡＮＤゲート回路７において、加熱電力オフ信号のときは、ゲートが遮断され、前記主回路部２のサイリスタ１１ａ，１１ｂへの制御信号は遮断され、加熱電力オンのときは、前記ミニモデル回路部２０のサイリスタ２１ａ，２１ｂの点弧角制御信号と同じ制御信号が、前記ＡＮＤゲート回路７を通して前記主回路部２のサイリスタ１１ａ，１１ｂのゲートに導通して、前記出力設定器５に設定される設定値と同じ高周波電力が、前記主回路部２から出力される。
【００３１】
前記加熱電力オンオフの切替は、フォトカプラ等の半導体スイッチを使用しているので、切替時間は数μｓ以下の高速で行っている。したがって、前記主回路部２は、常に前記商用交流電源の電圧の変動を補正した状態でオンオフできるので、前記加熱コイル３のコイル電流の立ち上がりの早い高速応答の高周波電流を発生させることができる。
【００３２】
次いで、図１の回路図における前記加熱コイル３のコイル電流波形と加熱温度との関係について、説明する。
図１の加熱コイル３の電流の波形例を図３に示す（横軸は時間軸で、周波数は概念的に示し、縦軸は前記加熱コイル電流値）。該波形は高周波のエンベローブを示す。該加熱コイル電流の立ち上がり時に振動的になっているのは、前記主回路部２中に平滑リアクタＬと平滑コンデンサＣのＬＣ成分があるからである。
【００３３】
図４に、時間に対する被加熱体１００に投入されるエネルギ量の関係を示す。前記投入されるたエネルギは、加熱コイル電流の２乗の時間積分値を示している。瞬時の前記エネルギ強度は加熱コイル電流の２乗に比例する。また、前記被加熱体１００の温度上昇は、前記瞬時エネルギの時間累積（時間積分）になる。図４の縦軸は加熱温度に比例する。
図４から勘案すると、図３の前記コイル電流の立ち上がり時の振動成分は、焼入れ特性にさほど影響を与えていないことがわかる。
【００３４】
前記電源装置１からの前記加熱コイル電流の立ち上がりを早くしたときの、被加熱体１００の焼入れ特性への効果について説明する。
図５に、前記電源装置１からの、時間に対する前記加熱コイル電流の立ち上がりを示す（縦軸は前記コイル電流の実効値である）。
図中、従来の電源装置１０１による加熱コイル電流の立ち上がりを１０１で示し、本実施の形態における前記電源装置１による前記加熱コイル電流の立ち上がりを１で示す。
【００３５】
図６は、図５に示す従来の電源装置１０１と本実施の形態の前記電源装置１の、被加熱体１００へのそれぞれの投入エネルギ、すなわち加熱温度の変化を示し、本実施の形態の電源装置１の場合をカーブ１、従来の電源装置１０１の場合をカーブ１０１で示す。従来の電源装置１０１の場合は、コイル電流の立ち上がり時、被加熱体１００の温度が緩やかに上がっている。
前記被加熱体１００を焼き入れ温度Ｔまで上げるのに、本実施の形態の前記電源装置１はｔ１までで済むのに対し、従来の電源装置１０１では、ｔ１を超えてｔ２までかかり、時間が長くなっている。
【００３６】
前記加熱コイル３のコイル電流の立ち上がりが緩やかで加熱時間が長いとき、被加熱体１００の焼入れに及ぼす影響について、図７により説明する。
図７は、被加熱体１００のモデルとして金属材からなる円柱状の円周に加熱コイル３を配置して、該被加熱体１００の円周面を焼入れするとき、本実施の形態の前記電源装置１の前記加熱コイル電流の立ち上がりが速い場合を図７（ａ）に、従来の電源装置１０１の前記加熱コイル電流の立ち上がりの遅い場合を図７（ｂ）に示す。
【００３７】
図７（ａ）及び図７（ｂ）において、縦軸は時間軸で、時間の経過とともに、下方に移行し、時間に対する前記被加熱体１００の円周面からの深さ方向の温度パターンと加熱コイル電流との関係を示す。各時間における前記被加熱体１００の深さ方向の温度パターン３０，１３０は、本来、立体的に示すべきであるが、図上、やむを得ず平面的に示している（起点がその時間を示す）。
前記加熱コイル電流の立ち上がりの遅い従来の電源装置１０１では、前記被加熱体１００の前記深さ方向の温度パターン１３０は、前記電源装置１による前記深さ方向の温度パターン３０に比べて、緩やかに温度が上がっていくので、熱伝導により内部に熱が伝わり、表面が同一温度の場合、温度が上がっている部分の深さが深くなっていることがわかる。
【００３８】
これに対して、本実施の形態のような、前記加熱コイル電流の立ち上がりが速い電源装置１による、前記被加熱体１００の斜線で示す焼入部分１０は、前記加熱コイル電流の立ち上がりが遅い従来電源１０１による、斜線で示す焼入部分１１０に比べ、該被加熱体１００の円周面からの深さがかなり浅くなっている。
【００３９】
前記加熱コイル電流の立ち上がりが速い電源装置１による焼入部分１０と前記加熱コイル電流の立ち上がりが遅い電源装置１０１による焼入部分１１０との焼入品質上の比較においては、必要なのは円周面であるが、内部を加熱するとその温度により被加熱体１００自体を歪ませてしまう。必要な焼入部分以外への不要な加熱はないほうが好ましいので、前記焼入部分１０の方が、前記焼入部分１１０に比べて優れている。
【００４０】
以上、本発明の一実施の形態について述べたが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。
【００４１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明の高周波加熱用電源装置によれば、サイリスタの直流出力電圧により、高周波加熱電力を出力する電源装置において、主回路部と電気的特性がほぼ等価で、小容量のサイリスタを含む受動回路からなるミニモデル回路部で、前記主回路部に並列に配設され、位相制御器の出力制御信号により前記小容量のサイリスタの点弧位相角が制御される前記ミニモデル回路部と、前記主回路部の加熱電力の出力を設定する出力設定器と、前記ミニモデル回路部の前記発振器の等価抵抗端からの出力電圧を、前記出力設定器の設定電圧と比較し、その誤差電圧を前記位相制御器に送出する誤差増幅器とを備え、前記位相制御器の出力制御信号により、前記ミニモデル回路部の前記発振器の等価抵抗両端からの出力電圧が、前記出力設定器の設定電圧に一致するような、前記小容量のサイリスタの点弧位相角を制御する信号を基に、前記主回路部のサイリスタの点弧位相角を制御するので、高周波出力電力（又は加熱コイル電流）の立ち上がり時間が高速で、かつフィードバックループに乱調が発生しないという優れた効果を奏する。
【００４２】
同時に、薄肉、小型の被加熱物に対して、例えば短パルス的な１秒以下の短時間で高周波加熱ができるので、精密な加熱が可能となり、細かな焼入れの調整ができる。
【００４３】
本発明の高周波加熱用電源装置は、従来の設備を大きく変更することなく、高速で応答し短時間の加熱を可能とする高周波電源装置を可能とした。また、電源電圧の変動による製品のばらつきを抑えることができた。高速応答、短時間加熱が可能となったので従来、困難とされていた薄板、小型の部品に良好な焼入れができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の高周波加熱用電源装置の一実施の形態を示す、該装置の回路図を含む構成図である。
【図２】誤差増幅器から送出される制御誤差電圧（横軸）と、ミニモデル回路から出力される直流電圧（縦軸）との関係を示す、交流電源電圧の変動時における図である。
【図３】図１の加熱コイルに流れる電流の波形例を示す、高周波のエンベローブの図である。
【図４】被加熱体に投入される加熱用エネルギ量の時間に対する関係を示す図である。
【図５】高周波加熱用電源装置からの加熱コイル電流の、時間に対する立ち上がり変化を示し、本実施の形態における電源装置によるものと、従来の電源装置によるものとの比較を示す図である。
【図６】図５に示す、本実施の形態の電源装置と従来の電源装置との、被加熱体へのそれぞれの投入エネルギ（すなわち、加熱温度）の変化を示す図である。
【図７】加熱コイル電流の立ち上がりによる加熱時間が、被加熱体の焼入に及ぼす影響を示す図で、被加熱体のモデルとして金属材からなる円柱状のものの円周面を焼き入れするとき、図７（ａ）は、本実施の形態の電源装置の加熱コイル電流の立ち上がりが速い場合、図７（ｂ）は、従来の電源装置の加熱コイル電流の立ち上がりの遅い場合を示す図である。
【図８】従来の高周波加熱用電源装置の回路図を含む構成図である。
【符号の説明】
１，１０１　　高周波加熱用電源装置
２　主回路部
３　高周波加熱コイル
４　誤差増幅器
５　出力設定器
６　位相制御器
７　ＡＮＤゲート回路
１０，１１０　焼入部
１１ａ，１１ｂ，２１ａ，２１ｂ　サイリスタ
１５　真空管自励発振回路
２０　ミニモデル回路部
２５　抵抗器（等価並列抵抗器）
３０，１３０　温度パターン
Ｅ　商用交流電源
【図１】
2004071364.tif 000003
【図２】
2004071364.tif 000004
【図３】
2004071364.tif 000005
【図４】
2004071364.tif 000006
【図５】
2004071364.tif 000007
【図６】
2004071364.tif 000008
【図７】
2004071364.tif 000009
【図８】
2004071364.tif 000010