(57)【要約】【課題】ヘッド本体部を一体化したスライダーのパッド、シールド間の電気抵抗値を測定することで、スメア発生有無を磁気ヘッド組立前に検出可能とし、ひいては歩留まり向上を図る。【解決手段】ヘッド本体部を一体化したスライダーＳＬのパッド間又は前記パッドと前記ヘッド本体部のシールドに接続した導電体部間の電気抵抗値を、前記スライダーＳＬが複数個連なったスライダー・バー１の状態にて行って、スメアの発生を検出する。前記電気抵抗測定には、前記パッドに接触するプローブ６１の組を１組又は複数組有するプローブカード６０を用いる。【選択図】        図４
2004355740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド本体部を一体化したスライダーのパッド間又は前記パッドと前記ヘッド本体部のシールドに接続した導電体部間の電気抵抗値を測定することにより、スメアの発生を検出することを特徴とする磁気ヘッドのスメア検出方法。
【請求項２】
前記スライダーが複数個連なったスライダー・バーの状態にて前記電気抵抗値の測定を行う請求項１記載の磁気ヘッドのスメア検出方法。
【請求項３】
前記パッドに接触するプローブの組を一組或いは複数組有するプローブカードを用いて、前記スライダー・バーにおける一つのスライダーに対して或いは複数のスライダーに対し一括して前記電気抵抗値の測定を行う請求項２記載の磁気ヘッドのスメア検出方法。
【請求項４】
前記パッドに接触するプローブを３本１組として用いて前記電気抵抗値の測定を行い、前記３本のプローブの配置は、５個のパッドを有するスライダーに対しては、前記５個のパッドのうちの３個にそれぞれ接触し、４個のパッドを有するスライダーに対しては、前記４個のパッドのうちの２個に２本のプローブがそれぞれ接触するようにして、５個のパッドを有するスライダーと４個のパッドを有するスライダーとに前記プローブの配置を共用する請求項２又は３記載の磁気ヘッドのスメア検出方法。
【請求項５】
前記スライダー・バーにおける各スライダーのパッド位置の基準点に対する座標データを記憶しておき、該座標データに基づきプローブを前記パッドに接触させる請求項２，３又は４記載の磁気ヘッドのスメア検出方法。
【請求項６】
前記プローブの前記パッドへの接触時及び離脱時には前記プローブはゼロ電位、ゼロ電流に制御される請求項３，４又は５記載の磁気ヘッドのスメア検出方法。
【請求項７】
前記ヘッド本体部における磁気感知素子の両端の電極にそれぞれ接続するパッドと、シールドに接続するパッド又は導電体部との３点間の電気抵抗を抵抗測定回路で測定する場合に、測定対象抵抗（Ｒ１）に電圧源より所定直流電圧値を印加するとともに、第１の非測定抵抗（Ｒ２）及び第２の非測定抵抗（Ｒ３）の接続点と前記測定対象抵抗（Ｒ１）の一端の電位差を微小値に維持し、かつ前記測定対象抵抗以外に流れる電流（ＩＥＲＲ）が少なくなるように前記電圧源の直流電圧値の極性を切り替える請求項１，２，３，４，５又は６記載の磁気ヘッドのスメア検出方法。
【請求項８】
ヘッド本体部を一体化したスライダーが複数個連なったスライダー・バーを載置するステージと、前記スライダー・バーを位置決めする位置決め手段と、前記スライダーのパッド間又は前記パッドと前記ヘッド本体部のシールドに接続した導電体部間の電気抵抗値を測定する抵抗測定回路とを備えたことを特徴とする磁気ヘッドのスメア検出装置。
【請求項９】
前記パッドに接触するプローブの組を複数組有するプローブカードを備え、前記スライダー・バーにおける複数のスライダーに対して一括して前記電気抵抗値の測定を行う請求項８記載の磁気ヘッドのスメア検出装置。
【請求項１０】
前記パッドに接触するプローブは３本１組で構成され、前記３本のプローブの配置は、５個のパッドを有するスライダーに対しては、前記５個のパッドのうちの３個にそれぞれ接触し、４個のパッドを有するスライダーに対しては、前記４個のパッドのうちの２個に２本のプローブがそれぞれ接触するようになっている請求項８又は９記載の磁気ヘッドのスメア検出装置。
【請求項１１】
前記ステージは、前記スライダー・バー側の前記シールドに接続した導電体部に接触して電気的に導通する部材を有している請求項８，９又は１０記載の磁気ヘッドのスメア検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ヘッド（ＨＤＤ用薄膜磁気ヘッド等）の生産工程における、スライダー不良の一因としてのスメアの検出に関し、とくにヘッド本体部を一体化したスライダーを個片に切断する前のバー形状の段階でスメアの存在の有無を検出可能とした磁気ヘッドのスメア検出方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のＨＤＤ用薄膜磁気ヘッドを構成するスライダーの１例（５パッドスライダーの例）を図８、他の例（４パッドスライダーの例）を図９で説明する。図８（Ａ）及び図９（Ａ）はヘッド本体部１０を一体化したスライダーＳＬを個片に切断する前のバー形状の段階を示し、ここでは便宜的にスライダー・バー１と呼ぶ。
【０００３】
図８（Ａ）はパッド（導電体面）が５個ある５パッドスライダーの概略図であり、同図（Ｂ）はヘッド本体部１０の拡大したモデル図である。各スライダーＳＬは導電体部２１（例えば、ＡｌＴｉＣ：Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ）に絶縁体部２２を貼り合わせた（一体化した）ものであり、それらの底面がＡＢＳ面（ヘッド面）を成す。ＡＢＳ面に露出するように図８（Ｂ）のヘッド本体部１０が絶縁体部２２に設けられている。つまり、ヘッド本体部１０にはインダクティブ（書き込みヘッド部）１１と磁気感知素子としてのＭＲ素子（読み込みヘッド部）１２とがＡＢＳ面に露出するように埋め込まれており、ＭＲ素子１２及びその両端に付設された電極１３ａ，１３ｂは周囲を絶縁体部２２で囲まれた上で導電体であるシールド１４ａ，１４ｂで挟まれている。
【０００４】
図８（Ａ）の５パッドスライダーでは、前記ＡＢＳ面に垂直なスライダーＳＬの背面にはＲ＋パッド、Ｒ−パッド、Ｓパッド、Ｗ＋パッド、Ｗ−パッドの５個のパッドが設けられている。そして、ＭＲ素子１２の一方の電極１３ａはＡＢＳ面に垂直なスライダー背面のＲ＋パッドに、他方の電極１３ｂはスライダー背面のＲ−パッドにそれぞれ接続されている。また、シールド１４ａ，１４ｂはＳパッドに接続されている。インダクティブ１１はＷ＋パッド、Ｗ−パッドに接続されている。
【０００５】
また、図９（Ａ）の４パッドスライダーでは前記ＡＢＳ面に垂直なスライダーＳＬの背面にはＲ＋パッド、Ｒ−パッド、Ｗ＋パッド、Ｗ−パッドの４個のパッドが設けられているが、Ｓパッドは無い。このため、シールド１４ａ，１４ｂはＡｌＴｉＣ等からなる導電体部２１に接続されている。その他の構成は図８と同様であるので、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。
【０００６】
ところで、ＨＤＤ用薄膜磁気ヘッドの製造過程において、スライダー・バー１の状態にてＡＢＳ面（ヘッド面）を研磨加工する際に、シールド部分にだれ（スメア）が発生し、シールド１４ａ，１４ｂと電極１３ａ，１３ｂとがショート若しくは絶縁不良を起こす場合がある（図８（Ｂ）にスメアを模式的に示す）。スメアにより磁気ヘッドのノイズが大きくなる等の特性上の不良が起こるため、スメアの発生したスライダーは使用しない。すなわち不良品となる。
【０００７】
以下の表１は５パッドスライダーの場合と、４パッドスライダーの場合について、Ｒ＋パッド、Ｒ−パッド、Ｓパッド間、又はＲ＋パッド、Ｒ−パッド、導電体部２１間の抵抗標準値及びスメア発生時の抵抗値を示す。
【０００８】
【表１】
2004355740.tif 000003
【０００９】
従来のＨＤＤ用薄膜磁気ヘッドに関する公知技術において、スメアに言及しているものとして、下記特許文献１，２がある。但し、いずれもスメアの発生しにくいヘッドの構造についてのものであり、スメアの検出方法についての発明ではない。
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−１８２２１９号公報
【特許文献２】特許第３２７２３２９号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
従来は、生産工程中でスメアの検出を行っていなかった。従って、スメアによる不良は製品ができて特性を検査するまで分からなかった。このため不良品を途中で除外することができず、良品組立パーツの廃棄等の余分なコストがかかっていた。
【００１２】
本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、ヘッド本体部を一体化したスライダーのパッド、シールド間の電気抵抗値を測定することで、スメア発生有無を磁気ヘッド組立前に検出可能とし、ひいては歩留まり向上を図った磁気ヘッドのスメア検出方法及び装置を提供することにある。
【００１３】
本発明の第２の目的は、スライダーがバー形状に連なったスライダー・バーの状態にて前記電気抵抗値を測定することで、スメア発生有無の検出を効率的に実行可能とした磁気ヘッドのスメア検出方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１４】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法は、ヘッド本体部を一体化したスライダーのパッド間又は前記パッドと前記ヘッド本体部のシールドに接続した導電体部間の電気抵抗値を測定することにより、スメアの発生を検出することを特徴としている。
【００１６】
本願請求項２の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法は、請求項１において、前記スライダーが複数個連なったスライダー・バーの状態にて前記電気抵抗値の測定を行うことを特徴としている。
【００１７】
本願請求項３の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法は、請求項２において、前記パッドに接触するプローブの組を一組或いは複数組有するプローブカードを用いて、前記スライダー・バーにおける一つのスライダーに対して或いは複数のスライダーに対し一括して前記電気抵抗値の測定を行うことを特徴としている。
【００１８】
本願請求項４の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法は、請求項２又は３において、前記パッドに接触するプローブを３本１組として用いて前記電気抵抗値の測定を行い、前記３本のプローブの配置は、５個のパッドを有するスライダーに対しては、前記５個のパッドのうちの３個にそれぞれ接触し、４個のパッドを有するスライダーに対しては、前記４個のパッドのうちの２個に２本のプローブがそれぞれ接触するようにして、５個のパッドを有するスライダーと４個のパッドを有するスライダーとに前記プローブの配置を共用することを特徴としている。
【００１９】
本願請求項５の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法は、請求項２，３又は４において、前記スライダー・バーにおける各スライダーのパッド位置の基準点に対する座標データを記憶しておき、該座標データに基づきプローブを前記パッドに接触させることを特徴としている。
【００２０】
本願請求項６の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法は、請求項３，４又は５において、前記プローブの前記パッドへの接触時及び離脱時には前記プローブはゼロ電位、ゼロ電流に制御されることを特徴としている。
【００２１】
本願請求項７の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法は、請求項１，２，３，４，５又は６において、前記ヘッド本体部における磁気感知素子の両端の電極にそれぞれ接続するパッドと、シールドに接続するパッド又は導電体部との３点間の電気抵抗を抵抗測定回路で測定する場合に、測定対象抵抗（Ｒ１）に電圧源より所定直流電圧値を印加するとともに、第１の非測定抵抗（Ｒ２）及び第２の非測定抵抗（Ｒ３）の接続点と前記測定対象抵抗（Ｒ１）の一端の電位差を微小値に維持し、かつ前記測定対象抵抗以外に流れる電流（ＩＥＲＲ）が少なくなるように前記電圧源の直流電圧値の極性を切り替えることを特徴としている。
【００２２】
本願請求項８の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出装置は、ヘッド本体部を一体化したスライダーが複数個連なったスライダー・バーを載置するステージと、前記スライダー・バーを位置決めする位置決め手段と、前記スライダーのパッド間又は前記パッドと前記ヘッド本体部のシールドに接続した導電体部間の電気抵抗値を測定する抵抗測定回路とを備えたことを特徴としている。
【００２３】
本願請求項９の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出装置は、請求項８において、前記パッドに接触するプローブの組を複数組有するプローブカードを備え、前記スライダー・バーにおける複数のスライダーに対して一括して前記電気抵抗値の測定を行うことを特徴としている。
【００２４】
本願請求項１０の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出装置は、請求項８又は９において、前記パッドに接触するプローブは３本１組で構成され、前記３本のプローブの配置は、５個のパッドを有するスライダーに対しては、前記５個のパッドのうちの３個にそれぞれ接触し、４個のパッドを有するスライダーに対しては、前記４個のパッドのうちの２個に２本のプローブがそれぞれ接触するようになっていることを特徴としている。
【００２５】
本願請求項１１の発明に係る磁気ヘッドのスメア検出装置は、請求項８，９又は１０において、前記ステージは前記シールドに接続した導電体部に接触して電気的に導通する部材を有していることを特徴としている。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２７】
図１は本発明の実施の形態であって検査装置構成の概略平面図、図２は測定フロー図、図３はスライダー・バー（スライダーを個片に切断する前のバー形状のもの）のキャリアに対する配置を示す平面図、図４及び図５はスライダーのパッドに対するプローブの配置を示す斜視図及び平面図、図６は５パッドスライダーの場合の抵抗測定原理を示す回路図、図７は抵抗測定回路の回路図である。
【００２８】
図１において、スライダー・バー１を複数本平行配置したキャリア４０が基台３０上に位置決め載置され、また測定対象となる１本のスライダー・バーを搬送するための搬送ステージ５０が基台３０に対して直線的に往復運動可能に設けられている。搬送ステージ５０に沿って位置決めステーションＳＴ１及び測定ステーションＳＴ２が設けられており、位置決めステーションＳＴ１には搬送ステージ５０に対するスライダー・バー１の位置を規定する位置決め爪５１が設けられている。また、測定ステーションＳＴ２にはプローブ群を４組備えるプローブカード６０がスライダーのパッドに接触可能に設けられている。図示は省略したが、ピック・アンド・プレース機構がスライダー・バー１をキャリア４０と搬送ステージ５０間で移載するために設けられている。各プローブは図７のところで後述する抵抗測定回路に接続されている。
【００２９】
ここで検査対象とするスライダーの形状は、下記表２のように、３０％スライダーと２０％スライダーの２種類である。
【００３０】
【表２】
2004355740.tif 000004
【００３１】
図３に示すように、キャリア４０はスライダー・バー１を３０個収納可能であるが、装置側のピック・アンド・プレース機構との関係で２９個収納して使用する。キャリア４０の外形は各種スライダー・バーについて共通である。また、スライダー・バー１の収納姿勢は各スライダーＳＬのパッドが上向きになるように設定する。
【００３２】
３０％スライダーでは、５パッドと４パッドの２種類のパッドパターンがある。２０％スライダーでは５パッドの形状のみであり、構成は３０％スライダーに準ずる。
【００３３】
図４（Ａ）に示す５パッドスライダーＳＬでは、図８で説明したように、Ｗ＋，Ｗ−，Ｒ＋，Ｒ−，Ｓの５種類のパッドがあるが、そのうちスメアの検出にはＲ＋，Ｒ−，Ｓの３種類のパッドを用いる。磁気感知素子としてのＭＲ素子１２の一方の電極１３ａはＲ＋パッドに、他方の電極１３ｂはＲ−パッドにそれぞれ導通し、シールド１４ａ，１４ｂはＳパッドに導通している。前記表１に示したように、スメア（シールド部分のだれ）の発生はＲ＋又はＲ−パッドとＳパッド間の電気抵抗値を１ｋΩ以下に低下させるので、その抵抗値の低下を測定検出すればよい。
【００３４】
プローブカード６０は、４個のスライダーＳＬを一括して（同時に）測定できるように、４組のプローブ群を基板６２にスライダーのピッチで配列し、取り付けてあるが、各群の３本のプローブ６１はＲ＋，Ｒ−，Ｓの３種類のパッドにそれぞれ接触自在に設けられている。なお、原理上はプローブカードは、少なくとも１個のスライダーＳＬを測定できるように、少なくとも１組のプローブ群を具備すればよい。
【００３５】
図４（Ｂ）に示す４パッドスライダーＳＬでは、図９で説明したように、Ｗ＋，Ｗ−，Ｒ＋，Ｒ−の４種類のパッドがあるが、そのうちスメアの検出にはＲ＋，Ｒ−の２種類のパッドとシールドに接続したＡｌＴｉＣ等の導電体部２１を用いる。前記表１に示したように、スメアの発生はＲ＋又はＲ−パッドと導電体部２１間の電気抵抗値を１ｋΩ以下に低下させるので、その抵抗値の低下を測定検出すればよい。この場合、図４（Ａ）で用いたプローブカード６０を兼用する。すなわち、各群の３本のプローブ６１のうちの２本はＲ＋，Ｒ−の２種類のパッドに接触し、他の１本はパッドの無い部分に接触するが、この部分は電気的に絶縁されているので問題はない。４パッドのとき、Ｓパッドは無いが、その代わりにスライダー・バー１は導電体部２１に電気的に接触するバー載せ台６５（導電体部２１に接触して電気的に導通する部材として機能）上に載置されており、バー載せ台６５から導電体部２１への導通をとる（各スライダーに対して一括）。なお、バー載せ台６５は図１の搬送ステージ５０上に固定されている。その他の構成は図８、図９と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００３６】
なお、プローブの形状は、３０％スライダー用と２０％スライダー用では、スライダーの大きさが違うので異なり、プローブカードの兼用はできない。
【００３７】
スライダーＳＬは各種類について、図５に示すように、それぞれ勝手違いのＡチャンネルタイプとＢチャンネルタイプがある。図５（Ａ）は３０％スライダーのＡチャンネルタイプ、（Ｂ）は３０％スライダーのＢチャンネルタイプ、（Ｃ）は２０％スライダーのＡチャンネルタイプ、（Ｄ）は２０％スライダーのＢチャンネルタイプである。
【００３８】
ここで、３０％スライダーの場合、Ｒ＋、Ｒ−、Ｓ各パッドの位置関係はＡ、Ｂ両チャンネルタイプで同じなので、プローブはＳパッドを中心に位置合わせすると兼用できる。また、２０％スライダーの場合、Ｒ＋、Ｒ−、Ｓ各パッドの位置関係はＡ、Ｂ両チャンネルタイプで違っているので、プローブの形状は兼用化を考慮して、両タイプのＲ＋、Ｒ−、Ｓ各パッドに接触できる形状にし、その位置に合わせる。
【００３９】
図１を用いてスライダー・バー１の測定動作を説明する。
【００４０】
キャリア４０には予め人手で測定対象物であるスライダー・バー１がセットされており、そのキャリア４０からピック・アンド・プレース機構によりスライダー・バー１を１個搬送ステージ５０に受け渡す。搬送ステージ５０はまず位置決めステーションＳＴ１へ移動し、スライダー・バー１は位置決め爪５１により位置決めされる。その後、搬送ステージ５０は測定ステーションＳＴ２へ移動する。
【００４１】
測定ステーションＳＴ２では、プローブカード６０に設けられた４組のプローブ群（各群は３本のプローブ６１からなる）を上下動作させ、４個のスライダーＳＬを１動作で（一括で）抵抗測定する。そして、搬送ステージ５０は４個のスライダー分ずつピッチ送りし、１個のスライダー・バー１の全てのスライダーについての抵抗測定を行う。
【００４２】
抵抗測定の終了したスライダー・バー１についてピック・アンド・プレース機構により搬送ステージ５０からキャリア４０に戻す。
【００４３】
前記抵抗測定において、５パッドスライダー、４パッドスライダーそれぞれ各測定点間の抵抗値は、標準的には前記表１の値となる。
【００４４】
このうちスメアの検出に用いるのは、５パッドのスライダーではＲ＋パッド〜Ｓパッド間、Ｒ−パッド〜Ｓパッド間の抵抗値で、４パッドのスライダーではＲ＋パッド〜導電体部２１間、Ｒ−パッド〜導電体部２１間の抵抗値である。スメアの発生がある場合、スメアの程度により抵抗値が数Ω〜１ｋΩ程度の値を示す。このため１ｋΩ（あるいはこれより小さい値）を閾値として、測定した抵抗値がこれより小さい場合にはスメアが発生していると判断する。また、Ｒ＋パッド〜Ｒ−パッド間の抵抗値は固定値を示す。この値が異常値を示した場合はスライダーの不良、又はプローブの接触状態の不良が考えられる。この異常が連続して発生する場合は、プローブの接触が不完全である可能性があるので、検査装置の点検の目安となる。
【００４５】
前記表１から判るように、５パッドスライダーではスメアなしとスメアありのときの抵抗値の差が大きいが、４パッドスライダーではスメアなしとスメアありのときの抵抗値の差が小さいため（表１のようにスメアなし時１．２５ｋΩ、スメアあり時１ｋΩ以下）、パッド間の抵抗測定は高精度で行う必要がある。このため、図６のように、１つのスライダーにつき３つのパッドＲ＋，Ｒ−，Ｓ間の抵抗を測定する場合、例えばＳパッド〜Ｒ＋パッド間の抵抗ｒ１を測定するときには、Ｓパッド〜Ｒ＋パッド間に電圧をかけてｒ１を流れる電流を測定し、ｒ１の抵抗値を求める。このとき電流がｒ２、ｒ３側にも流れると、正確な抵抗値が求められないので、Ｓパッド〜Ｒ−パッド間、及びＲ−パッド〜Ｒ＋パッド間の電位差が０になるようにコントロールする。このような処理を順次行い、ｒ１、ｒ２、ｒ３を測定する。
【００４６】
図６を見て判るとおり、被測定物はネットワーク抵抗測定となっており、ｒ１を４点測定（ＳパッドとＲ＋パッドの２点にプローブが接触し、ソース、電圧計の線２本が各プローブに接続されるため４点測定という）するのでは、ｒ１の測定結果はｒ２，ｒ３の合成抵抗となり、正確な値を得ることができない。そこで、図６のＲ−パッドにもプローブを接触させて（ソース、電圧計の線２本を各プローブに接続させ）６点測定とすることにより、ｒ２、ｒ３へ電流を流さない（電位差をゼロに近似する）ことで、抵抗値ｒ１の値を正確に求めることができる。
【００４７】
図７に６点測定（３箇所のプローブについてソース、電圧計の線２本が接続するので６点測定という）の具体的な抵抗測定回路の構成を示す。ここでは、測定対象抵抗Ｒ１に電圧源より所定直流電圧値１０ｍＶを印加するとともに、第１の非測定抵抗Ｒ２及び第２の非測定抵抗Ｒ３の接続点と測定対象抵抗Ｒ１の一端の電位差を高増幅度の演算増幅器ＯＰ１を用いて微小値（１５０μＶ）に維持するようにしている。
【００４８】
図７（Ａ）の回路で電源電圧ＶＳ、電源電流ＩＭ、抵抗Ｒ１に流れる電流Ｉ１、抵抗Ｒ２に流れる電流ＩＥＲＲとすると、
ＩＭ  ＝  Ｉ１＋ＩＥＲＲ
ＩＥＲＲ  ＝  １５０μＶ／Ｒ２
Ｉ１  ＝  ＶＳ／Ｒ１
測定値  ＲＭ＝ＶＳ／ＩＭ  ＝  Ｒ１／［｛１＋（１５０μＶ／ＶＳ）×（Ｒ１／Ｒ２）｝］…（１）
ここで、誤差を示す項は（１５０μＶ／ＶＳ）×（Ｒ１／Ｒ２）である。この（１）式において、Ｒ１＞＞Ｒ２ならば誤差は大きくなる。仮にＲ２がＭＲ素子（５０Ω）であるとＲ１の測定誤差は大きくなることが判る。
【００４９】
前述のように、ＭＲ素子の抵抗値（Ｒ＋パッド〜Ｒ−パッド間）は約５０Ωであるのに対し、スメアの検出に関しては前述の表１の通り、測定する抵抗値のオーダーが１０１〜１０３〜∞となる。この場合、図７（Ａ）の６点測定においても大幅な測定値の誤差が現れ、条件によっては閾値（表１よりみて１ｋΩ以下）を設けることができなくなる可能性がある。
【００５０】
このような場合、図７（Ｂ）のように、抵抗Ｒ１に対する電源電圧ＶＳの極性を反転することにより、測定誤差を低減できる。つまり、
ＩＭ  ＝  Ｉ１＋ＩＥＲＲ
ＩＥＲＲ  ＝  １５０μＶ／Ｒ３
Ｉ１  ＝  ＶＳ／Ｒ１
測定値  ＲＭ＝ＶＳ／ＩＭ  ＝  Ｒ１／［｛１＋（１５０μＶ／ＶＳ）×（Ｒ１／Ｒ３）｝］…（２）
１５０μＶ／ＶＳ  ＝（０．１５／１０）×１０−３  ＝１．５×１０−５
このとき、Ｒ１≒Ｒ３  であり、誤差は小さくなる。このように、前記測定対象抵抗以外に流れる電流ＩＥＲＲが少なくなるように前記電圧源の直流電圧値の極性を切り替えることで図７の回路の測定精度を上げることができる。
【００５１】
なお、図７において、図示の状態では測定対象抵抗はＲ１であるが、スキャンによりＲ２，Ｒ３が順次測定対象抵抗となる。
【００５２】
以下の表３において、４端子測定、６端子測定の場合の誤差計算結果を示す。
【００５３】
【表３】
2004355740.tif 000005
【００５４】
この表３中（Ａ），（Ｂ）の４端子測定の例では測定誤差が５０％程度にまで達している。また、表３の（Ｃ），（Ｄ）の６端子測定の例（但し図７（Ａ）の回路のみ使用）ではＲ２：５０Ω相当時に誤差が増大している。これを図７（Ｂ）のように電源電圧の印加方向（Ｈｉ／Ｌｏ）を切替える、すなわち測定スキャンにおいて、表３におけるＲ２がＭＲ素子の抵抗（約５０Ω）となる時（ｓｃａｎ２）に、被測定抵抗Ｒ１のプローブ極性ＩｎｐｕｔＨｉとＬｏを通常の極性と切替え、ＩＥＲＲ（ＨｉとＧｕａｒｄ間を流れる電流）が大きくなるのを防止する。これにより、表３の（Ｅ），（Ｆ）のように測定誤差は１％台にまで低減可能となる。
【００５５】
なお、スライダーは電気的に脆いので、測定に用いる電圧、電流も低く押さえる。電圧１〜１０ｍＶ程度、電流１〜１０μＡ程度に設定することが望ましい。
【００５６】
図７の６端子測定の際に、プローブの接触、開放時の過電流を防ぐために、プローブが接触してから電流を流し、電流を切ってからプローブを開放（パッドから離脱）する。測定プローブ接触、及び退避時など測定時以外に測定プローブで電位差があると、ＥＳＤ破壊（静電気、残留電荷等に起因する破壊）発生の原因となる。そこで、通常測定後にゼロＶ、ゼロＡにて測定動作を行い、測定プローブの電位をゼロの状態にして、次の測定動作へ移行するようにする。図２にこの点に配慮した場合の測定フローを示す。
【００５７】
同じ外形形状のスライダー（３０％スライダーあるいは２０％スライダー）については、キャリア毎であれば、スライダー・バーのサイズ（Ｌ、Ｍ、Ｓ）、向き（Ａチャンネル、Ｂチャンネル）が異なっていても、図１の検査装置側の搬送ステージ５０、バー載せ台６５等の基準点に対するスライダー・バーの各スライダー毎のパッド位置の座標データを予め設定（記憶）しておき、測定時にはスライダー・バーのサイズ、向きに対応する座標データを選択するだけで切換可能である。
【００５８】
測定した抵抗値はモニターに表示されるとともに、キャリアごとにＣＳＶ形式等のデータファイルが作成され、保存される。このファイルには、キャリアの識別記号、スライダー・バーの番号と各スライダーについての測定抵抗値及び結果（スメア有無、ヘッド本体部の良否）等が記録される。
【００５９】
他の工程でこのファイルのデータに基づき、スライダーの選別を行い、スメア有りと判別されたもの、あるいはヘッド本体部不良と判別されたものは不良品として除去されることになる。
【００６０】
なお、図４に示したように、前記プローブカードにはプローブ群が４組あるので、通常４個のスライダーを同時に測定していくが、何らかの原因で一部のプローブが使えなくなった場合でも、残ったプローブ群だけで測定することも可能である。
【００６１】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【００６２】
（１）  ヘッド本体部１０が一体化されたスライダーＳＬがバーの状態（スライダー・バーの状態）で、磁気感知素子としてのＭＲ素子やシールドに接続したパッド（あるいは導電体部）間の電気抵抗値を測定することでスメアの発生が検出できるため、スメア不良のスライダーを後の工程で使用しないですむ。このため、ＨＤＤ用薄膜磁気ヘッドの生産工程における製造歩留まりを向上させることが可能である。
【００６３】
（２）  スメアの程度が抵抗値で判断できるため、前工程のラッピング工程（スライダー・バーのＡＢＳ面の研磨加工）のモニターとすることができる。
【００６４】
（３）  スライダーを個片に分割する前のスライダー・バーの段階でスメア検出を行うため、スライダーが個々に分割された状態よりもハンドリングしやすく、測定作業を効率的に行うことができる。
【００６５】
（４）  プローブカード６０に取り付けるプローブ６１の配置を工夫することで、スライダーが同一シュリンク（２０％又は３０％のいずれか）である場合、その電極が４パッドおよび５パッドでも兼用して測定可能である。具体的には、スライダーＳＬのパッドに接触するプローブを３本１組として用いて電気抵抗値の測定を行い、前記３本のプローブの配置は、５個のパッドを有するスライダーに対しては、前記５個のパッドのうちの３個（ＭＲ素子の電極に接続するもの及びシールドに接続するもの）にそれぞれ接触し、４個のパッドを有するスライダーに対しては、前記４個のパッドのうちの２個（ＭＲ素子の電極に接続するもの）に２本のプローブがそれぞれ接触するように設定する。
【００６６】
（５）  スライダーＳＬ側のパッドに接触自在なプローブ群を複数組有するプローブカードを使用することで、タクトタイムの短縮を図ることができる。
【００６７】
（６）  スライダー・バー１における各スライダーＳＬのパッド位置の基準点（例えば、図１の検査装置の搬送ステージ上の基準点、あるいは搬送ステージに固定の図４のバー載せ台６５の基準点）に対する座標データを記憶しておき、該座標データに基づき前記プローブを前記パッドに接触させる測定動作により、  スライダーが同一シュリンク（２０％又は３０％のいずれか）である場合、その基準点を共用することによってバーの長さ（Ｓ，Ｍ，Ｌ）及びチャンネルの向きが異なっていても、予め設定された前記座標データを読み込むことにより兼用して測定可能である。
【００６８】
（７）  スメアを検出するための図７の測定回路において、ネットワーク抵抗値の差に起因する誤差を、スキャン過程における測定対象抵抗と非測定抵抗の組み合わせに対応させて、測定対象抵抗の測定プローブにおける電位差の向きを逆にする（非測定抵抗に流れる電流ＩＥＲＲが少なくなるように印加電圧の極性を反転する）ことにより前記誤差の発生を抑えることができる。
【００６９】
（８）  スライダーＳＬの電気抵抗測定を完了した後、プローブ６１をパッドから離脱させる前に各プローブをゼロ電位、ゼロ電流としてから離脱させ、パッドにプローブ６１を接触させる際も各プローブをゼロ電位、ゼロ電流とした状態とする。これによりＥＳＤ破壊（静電気、残留電荷等に起因する破壊）を防止する。
【００７０】
なお、上記実施の形態ではプローブカードに設けるプローブ群の組は４組としたが、４組でなくとも構わない。多ければ一度に測定できるスライダーが多くなり装置のタクトタイムが短くなるが、その分プローブカード及び測定機器の価格が高くなり、またメンテナンスが難しくなる。
【００７１】
また、前記プローブの形状は、極力各種のスライダーで兼用できることか望ましいが、兼用を考慮しなければ、各種のパッドパターンにも対応できる。
【００７２】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００７３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法及び装置によれば、以下の効果を奏することができる。
【００７４】
（１）  ヘッド本体部を一体化したスライダーのパッド間又は前記パッドと前記ヘッド本体部のシールドに接続した導電体部間の電気抵抗値を測定することにより、スメアの発生を検出でき、スメア発生有無を磁気ヘッド組立前に検出可能であり、スメア不良のスライダーを後の工程で使用しないですむため、磁気ヘッドの生産工程における歩留まり向上に寄与できる。
【００７５】
（２）  スライダーがバー状態で連なったスライダー・バーの段階で測定を行う構成とする場合、スライダーが個々に分割された状態よりもハンドリングしやすく、測定、検査を効率的に実行できる。
【００７６】
（３）  スメアの程度が抵抗値で判断できるため、前工程のラッピング工程のモニターとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドのスメア検出方法及び装置の実施の形態であって、装置構成を示す概略平面図である。
【図２】実施の形態における測定フローの１例を示すフローチャートである。
【図３】実施の形態におけるスライダー・バーのキャリアに対する配置及びスライダー・バーの向きを示す平面図である。
【図４】実施の形態におけるプローブカードを用いた測定動作であって、（Ａ）は５パッドスライダー、（Ｂ）は４パッドスライダーに対する測定動作を説明する斜視図である。
【図５】実施の形態におけるプローブ配置であって、（Ａ）は３０％スライダーのＡチャンネルタイプ、（Ｂ）は同Ｂチャンネルタイプ、（Ｃ）は２０％スライダーのＡチャンネルタイプ、（Ｄ）は同Ｂチャンネルタイプの場合を示す説明図である。
【図６】実施の形態におけるＳパッド、Ｒ＋パッド、Ｒ−パッド間の抵抗測定原理を説明する回路図である。
【図７】図６のような抵抗ネットワークの各抵抗値を高精度で測定するための６端子測定回路の回路図である。
【図８】５パッドスライダーの概略図である。
【図９】４パッドスライダーの概略図である。
【符号の説明】
１  スライダー・バー
１０  ヘッド本体部
１１  インダクティブ
１２  ＭＲ素子
１３ａ，１３ｂ  電極
１４ａ，１４ｂ  シールド
２１  導電体部
２２  絶縁体部
３０  基台
４０  キャリア
５０  搬送ステージ
５１  位置決め爪
６０  プローブカード
６１  プローブ
６２  基板
６５  バー載せ台
ＯＰ１  演算増幅器
ＳＬ  スライダー
ＳＴ１  位置決めステーション
ＳＴ２  測定ステーション
【図１】
2004355740.tif 000006
【図２】
2004355740.tif 000007
【図３】
2004355740.tif 000008
【図４】
2004355740.tif 000009
【図５】
2004355740.tif 000010
【図６】
2004355740.tif 000011
【図７】
2004355740.tif 000012
【図８】
2004355740.tif 000013
【図９】
2004355740.tif 000014