(57)【要約】【課題】フィルムを封止キャビティの内面に確実に吸着させることができる上に、金型構造の単純化、低コスト化及び設計変更の負担軽減等が可能な樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提供する。【解決手段】リードフレーム等を金型１１８の封止キャビティ１０１内で樹脂封止する際に、該金型１１８の上型１１０又は下型１１６の封止キャビティ面１０１Ａ側と封止する樹脂との間にフィルム１０７を介在させると共に、該フィルム１０７を吸着手段によって前記封止キャビティ面１０１Ａに吸着させる樹脂封止装置１２０において、前記吸着手段の吸着孔１０６を、前記封止キャビティ１０１外に位置し、且つ該封止キャビティ１０１内に連通された部位に設けた。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレーム等を金型の封止キャビティ内で樹脂封止する際に、該金型の上型又は下型の封止キャビティ面側と封止する樹脂との間にフィルムを介在させると共に、該フィルムを吸着手段によって前記封止キャビティ面に吸着させる樹脂封止装置において、
前記吸着手段の吸着孔を、前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位に設けた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記吸着孔を、前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位であって、前記封止キャビティ内に前記樹脂を封入するためのゲートに設けた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記吸着孔を、前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位であって、前記封止キャビティ内に前記樹脂を導くためのランナに設けた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記吸着孔を、前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位であって、樹脂封止の際に余剰に樹脂を排出する樹脂溜め部に設けた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位として、樹脂封止の際に前記封止キャビティ内のエアを外部に逃がすためのエアベントを設け、該エアベントに前記吸着孔を設けた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位を、前記封止キャビティの周囲に複数設けた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項７】
リードフレーム等を金型の封止キャビティ内で樹脂封止する際に、該金型の上型又は下型の封止キャビティ面側と封止する樹脂との間にフィルムを介在させると共に、該フィルムを吸着手段によって前記封止キャビティ面に吸着させる樹脂封止方法において、
前記吸着手段の吸着孔を、前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位に設けると共に、
該吸着孔によって前記封止キャビティ内のエアを吸引することで前記フィルムを前記封止キャビティの内面に吸着させる
ことを特徴とする樹脂封止方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂封止する際に、金型の上型又は下型の封止キャビティ面側と封止する樹脂との間にフィルムを介在させると共に、該フィルムを吸着手段によって前記封止キャビティ面に吸着させる樹脂封止装置及び樹脂封止方法に関し、特に、フィルムを封止キャビティの内面に確実に吸着させることができる上に、金型構造の単純化、低コスト化及び設計変更の負担軽減等が可能な樹脂封止装置及び樹脂封止方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＩＣリードフレーム等を金型の封止キャビティ内で樹脂封止する際に、該金型の上型又は下型の封止キャビティ面側と封止する樹脂との間にフィルムを介在させるように構成した樹脂封止装置が注目されている。
【０００３】
フィルムを金型のキャビティ面と樹脂との間に介在させる理由としては、例えばフィルムを介在させることによって、１）封止後の金型と製品とを剥離させるときに、いわゆるエジェクタピン等を用いて金型から製品を強引に引き離す必要がないため、製品が損傷しにくい、２）一個一個の最終製品が樹脂封止の段階で明確に分離されておらず、一度に多数の製品を同時に樹脂封止し、封止後にカッターによって分離するような場合であって、且つ、封止部分の形状が頻繁に変更されるような場合であっても、エジェクトピンの進退動機構を必要としないため、問題なく柔軟に対応できる、３）金型の封止キャビティ面に樹脂が付着しないため、該キャビティ面のクリーニングのメンテナンス負担が軽くなる、４）剥離工程を簡略化できるため、封止のサイクルタイムを短縮できる、等のメリットが得られることが挙げられる。
【０００４】
又、このようなフィルムを用いた樹脂封止装置の中には、樹脂封止する際に、フィルムを吸着手段によって封止キャビティ面に吸着させるようにした樹脂封止装置が種々提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
図４は、従来公知の樹脂封止装置２０の側断面を模式的に示した図であり、図５は、図４中の封止キャビティ１付近を上方から見た図を示したものである。
【０００６】
この樹脂封止装置２０は、上型１０と下型１６（１２、１４）とからなる金型１８を備えている。該樹脂封止装置２０は、樹脂封止する際に、下型１６の封止キャビティ１の内面（封止キャビティ面）１Ａ、１Ｂと、封止する樹脂（図示略）との間にフィルム７を介在可能な構造となっている。
【０００７】
下型１６は、封止キャビティ１の側面１Ａを形成する第１ブロック１２と、封止キャビティ１の底面１Ｂを形成する第２ブロック１４の２つのブロックで構成されている。これら第１ブロック１２と第２ブロック１４との間には、フィルム７を封止キャビティ面１Ａ、１Ｂ側へ吸着する吸着孔として、隙間６が設けられていると共に、該吸着孔６の下方には図示しない吸着装置が備えられている。この吸着装置を作動することによって、図４中の点線で示すように、吸着孔６を介してフィルム７を封止キャビティ面１Ａ、１Ｂの形状に沿うように吸着可能である。
【０００８】
又、下型１６の上面（図中上側）には、封止する樹脂を封止キャビティ１内へ導き、封入するためのランナ３及びゲート２が形成されていると共に、該ランナ３、ゲート２の反封止キャビティ側には、樹脂封止の際に封止キャビティ１内のエアを排出するためのエアベント５が複数形成されている。
【０００９】
この樹脂封止装置２０では、下型１６に形成された封止キャビティ１と、封止する樹脂との間にフィルム７を介在させると共に、該フィルム７を吸着装置（の吸着孔６）によって封止キャビティ面１Ａ、１Ｂの形状に沿うように吸着させた後、樹脂の封止が行われる。
【００１０】
【特許文献１】
特開平８−１４２１０６号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来の樹脂封止装置２０においては、フィルム７を封止キャビティ面１Ａ、１Ｂの形状に沿うように確実に吸着させるために、吸着孔６を封止キャビティ１内に設けていたため、下型１６を第１ブロック１２と第２ブロック１４の２つに分割すると共に、該第１ブロック１２と第２ブロック１４の間にフィルム７の吸着孔６を設ける構造としていた。そのため、金型の構造が複雑で、コスト高になってしまうという問題があった。
【００１２】
又、封止キャビティ１内に吸着孔６を設けているため、封止キャビティ１の形状変更が必要な場合には、該封止キャビティ１の形状にあわせて吸着孔６を再度設計する必要があり、封止キャビティ１の形状変更による設計変更の負担が大きくなりやすいという問題もあった。
【００１３】
更に、フィルム７を封止キャビティ１に吸着する際に、吸着孔６のコーナエッジ部６Ａにおいてフィルム７に対する吸引力が集中し、フィルム７が破損しやすい上に、フィルム破損による金型清掃が必要となりメンテナンス負担が大きいという問題があった。
【００１４】
本発明は、このような問題を解消するためになされたものであって、フィルムを封止キャビティの内面に確実に吸着させることができる上に、金型構造の単純化、低コスト化及び設計変更の負担軽減等が可能な樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、リードフレーム等を金型の封止キャビティ内で樹脂封止する際に、該金型の上型又は下型の封止キャビティ面側と封止する樹脂との間にフィルムを介在させると共に、該フィルムを吸着手段によって前記封止キャビティ面に吸着させる樹脂封止装置において、前記吸着手段の吸着孔を、前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位に設けることにより、上記課題を解決したものである。
【００１６】
本発明によれば、フィルム吸着手段の吸着孔を、前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位に設けたため、フィルムをキャビティの内面形状に沿って吸着するという吸着手段の目的を実現することが可能でありながら、封止キャビティ自体には特別な加工が一切不要である。従って、従来の樹脂封止装置のように封止キャビティを分割構造としたり、封止キャビティ内に吸着孔を設ける必要が無く、金型構造の単純化や低コスト化を容易に実現可能である。又、樹脂封止する被成形品の種類に応じて封止キャビティ形状の変更が必要な場合があるが、吸着孔を封止キャビティ外に形成しているため、封止キャビティ形状の変更による設計変更の負担が比較的軽く、封止キャビティ形状の変更にも柔軟に対応可能である。
【００１７】
なお、本発明における「封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位」としては、例えば、前記封止キャビティ内に前記樹脂を封入するためのゲート、前記封止キャビティ内に前記樹脂を導くためのランナ、樹脂封止の際に余剰に樹脂を排出する樹脂溜め部等を利用すると良い。これらのゲート、ランナ及び樹脂溜め部等は、樹脂封止装置が一般的に有する部位であるため、かかる部位に吸着孔を設ければ、本来の機能の他に、これらゲート、ランナ及び樹脂溜め部等を吸着手段の一部としても機能させることが可能で、吸着手段の設計が容易となる。又、「封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位」として、樹脂封止の際に前記封止キャビティ内のエアを外部に逃がすためのエアベントを設け、該エアベントに前記吸着孔を設けてもよい。
【００１８】
更に、これらの「封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位」を、前記封止キャビティの周囲に複数設ければ、フィルムの吸着をより確実に行うことが可能となる。
【００１９】
本発明は、リードフレーム等を金型の封止キャビティ内で樹脂封止する際に、該金型の上型又は下型の封止キャビティ面側と封止する樹脂との間にフィルムを介在させると共に、該フィルムを吸着手段によって前記封止キャビティ面に吸着させる樹脂封止方法において、前記吸着手段の吸着孔を、前記封止キャビティ外に位置し、且つ該封止キャビティ内に連通された部位に設けると共に、該吸着孔によって前記封止キャビティ内のエアを吸引することで前記フィルムを前記封止キャビティの内面に吸着させる方法として、捉えることもできる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態の例を図面に基づいて説明する。
【００２１】
図１は、本発明の実施形態の例に係る樹脂封止装置１２０の側断面を模式的に示した図であり、上記図４に対応するものである。又、図２は、図１中の封止キャビティ１０１付近を上方から見た図を示したものであり、上記図５に対応するものである。
【００２２】
この樹脂封止装置１２０は、上型１１０と下型１１６からなる金型１１８を備えている。該樹脂封止装置１２０は、樹脂封止する際に、下型１１６の封止キャビティ１０１の内面（封止キャビティ面）１０１Ａと、封止する樹脂（図示略）との間にフィルム１０７を介在可能な構造となっており、そのために、下型１１６の封止キャビティ面１０１Ａに対してフィルム１０７を供給するフィルム搬送構造１０９Ａ、１０９Ｂを備えている。
【００２３】
前記下型１１６の上面（図中上側）には、ゲート１０２と、ランナ１０３と、樹脂溜め部１０４と、エアベント１０５がそれぞれ形成されている。
【００２４】
ゲート１０２は、封止キャビティ１０１外の封止キャビティ側面１０１Ｂ側（図２中左側）に、この例では３箇所形成され、それぞれ封止キャビティ１０１内に連通されている。該ゲート１０２は、前記ランナ１０３を介して流入される樹脂を封止キャビティ１０１内に封入可能である。又、該ゲート１０２には図示しない吸着装置の吸着孔１０６が、この例ではゲート１０２毎に１箇所ずつ設けられており、該吸着装置を作動することによって、フィルム１０７を該ゲート１０２側（封止キャビティ側面１０１Ｂ側）へ吸着可能である。
【００２５】
前記ランナ１０３は、前記ゲート１０２に連通するように形成され、封止する樹脂を該ゲート１０２を介してキャビティ１０１内に導くことが可能である。
【００２６】
前記樹脂溜め部１０４は、封止キャビティ１０１外のキャビティ側面１０１Ｄ側（図２中右側）に形成され、封止キャビティ１０１内に連通されている。該樹脂溜め部１０４には、樹脂封止の際に余剰に樹脂を排出する。又、該樹脂溜め部１０４にも、前記ゲート１０２と同じ吸着孔１０６が、この例では５箇所設けられており、吸着装置を作動することによって、フィルム１０７を該樹脂溜め部１０４側（封止キャビティ側面１０１Ｄ側）へ吸着可能である。
【００２７】
前記エアベント１０５は、封止キャビティ１０１外のキャビティ側面１０１Ｃ及び１０１Ｅ側（図２中上側及び下側）に、この例では３箇所ずつ形成され、それぞれ封止キャビティ１０１内に連通されている。該エアベント１０５は、樹脂封止の際に前記封止キャビティ１０１内のエアを外部に逃がすことが可能である。又、該エアベント１０５にも、前記ゲート１０２及び樹脂溜め部１０４と同じ吸着孔１０６が、この例ではエアベント１０５毎に１箇所ずつ設けられており、吸着装置を作動することによって、フィルム１０７を該エアベント１０５側（封止キャビティ側面１０１Ｃ及び１０１Ｅ側）へ吸着可能である。
【００２８】
従って、樹脂封止装置１２０の吸着装置を作動することによって、フィルム１０７を、封止キャビティ１０１を囲むように、封止キャビティ１０１の周囲（キャビティ側面１０１Ｂ、１０１Ｃ、１０１Ｄ、１０１Ｅ）へ吸着可能である。
【００２９】
次に本発明の実施形態の例に係る樹脂封止装置１２０の作用について説明する。
【００３０】
この樹脂封止装置１２０は、樹脂封止する際に、１回の封止ごとに、フィルム１０７を供給ロール１０９Ａ側から巻き取りロール１０９Ｂ側に間欠送りする。フィルム１０７は、供給ロール１０９Ａから送り出された後、図示しないガイドローラにより、下型１１６の封止キャビティ面１０１Ａの所定位置に位置決めされる。
【００３１】
次に、図３に示すように、フィルム１０７が封止キャビティ１０１の周囲（封止キャビティ側面１０１Ｂ、１０１Ｃ、１０１Ｄ、１０１Ｅ）に複数設けられた吸着孔１０６によって、キャビティ１０１が形成された下型１１６側に吸着される。又、吸着孔１０６が形成されたゲート１０２、樹脂溜め部１０４及びエアベント１０５は、それぞれ封止キャビティ１０１に連通されているため、吸着孔１０６からエアを吸引することによって、封止キャビティ１０１内のエアを該ゲート１０２、樹脂溜め部１０４及びエアベント１０５を介して吸引可能で、その結果、フィルム１０７が封止キャビティ面１０１Ａの形状に沿うように吸着される。
【００３２】
その後、金型１１８により樹脂封止が行われ、フィルム１０７は下型１１６から離され、巻き取りロール１０９Ｂに巻き取られる。このフィルム送りの際に、供給ロール１０９Ａは矢印Ｒ１方向に回転し、巻き取りロール１０９Ｂは矢印Ｒ２方向に回転し、フィルム１０７は矢印Ｈ１方向に移動する。
【００３３】
本発明の実施形態の例に係る樹脂封止装置１２０によれば、フィルム吸着手段の吸着孔１０６を、前記封止キャビティ１０１外に位置し、且つ該封止キャビティ１０１内に連通された部位に設けたため、フィルム１０７を封止キャビティ１０１の内面１０１Ａの形状に沿って吸着するという吸着手段の目的を実現することが可能でありながら、封止キャビティ１０１自体には特別な加工が一切不要である。従って、従来の樹脂封止装置のように封止キャビティ１０１を分割構造としたり、封止キャビティ１０１内に吸着孔１０６を設ける必要が無く、金型１１８の構造の単純化や低コスト化を容易に実現可能である。又、樹脂封止する被成形品の種類に応じて封止キャビティ１０１の形状の変更が必要な場合があるが、吸着孔１０６を封止キャビティ１０１外に形成しているため、封止キャビティ１０１の形状変更による設計変更の負担が比較的軽く、封止キャビティ１０１の形状変更にも柔軟に対応可能である。
【００３４】
また、樹脂封止装置が一般的に有する部位である、ゲート１０２及び樹脂溜め部１０４に吸着孔１０６を設けているため、該ゲート１０２及び樹脂溜め部１０４本来の機能の他に、これらゲート１０２及び樹脂溜め部１０４を吸着手段の一部としても機能させることが可能で、吸着手段の設計が容易となる。更に、エアベント１０５にも吸着孔１０６を設けているため、樹脂封止の際に前記封止キャビティ１０１内のエアを外部に逃がすことが可能な上に、該エアベント１０５を吸着手段の一部としても機能させることが可能である。
【００３５】
しかも、吸着孔１０６が封止キャビティ１０１の周囲（封止キャビティ１０１側面１０１Ｂ、１０１Ｃ、１０１Ｄ、１０１Ｅ）に複数設けられているため、フィルム１０７の吸着をより確実に行うことが可能である。
【００３６】
なお、上記実施形態の例においては、吸着孔１０６を、ゲート１０２、樹脂溜め部１０４及びエアベント１０５にそれぞれ設けたが、本発明はこれに限定されるものではなく、吸着孔１０６は、封止キャビティ１０１外に位置し、且つ該封止キャビティ１０１内に連通された部位に設けられていればよい。従って、例えば、封止する樹脂を封止キャビティ１０１内に導くためのランナ１０３に吸着孔１０６を設けてもよい。
【００３７】
又、上記実施形態の例では、下型１１６の封止キャビティ面１０１Ａに対してフィルム１０７を供給する場合を示したが、上型１１０に封止キャビティを形成し、該封止キャビティ面に対してフィルム１０７を供給するようにしてもよい。
【００３８】
更に、吸着孔１０６、封止キャビティ１０１、ゲート１０２、ランナ１０３、樹脂溜め部１０４、エアベント１０５等は、図中で示した形状、大きさ、数等にに限定されるものではない。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、フィルムを封止キャビティの内面に確実に吸着させることができる上に、金型構造の単純化、低コスト化及び設計変更の負担軽減等が可能な樹脂封止装置及び樹脂封止方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の例に係る樹脂封止装置の側断面を模式的に示した図
【図２】図１中の封止キャビティ付近を上方から見た図
【図３】図１における樹脂封止装置の上型と下型を密着した状態を示す模式図
【図４】従来公知の樹脂封止装置の側断面を模式的に示した図
【図５】図４中の封止キャビティ付近を上方から見た図
【符号の説明】
１、１０１…封止キャビティ
２、１０２…ゲート
３、１０３…ランナ
１０４…樹脂溜め部
５、１０５…エアベント
６、１０６…吸着孔
７、１０７…フィルム
１０、１１０…上型
１２、１４…第１、第２ブロック
１６、１１６…下型
１０９Ａ、１０９Ｂ…フィルム搬送構造
１８、１１８…金型
２０、１２０…樹脂封止装置
【図１】
2004172159.tif 000003
【図２】
2004172159.tif 000004
【図３】
2004172159.tif 000005
【図４】
2004172159.tif 000006
【図５】
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