(57)【要約】【課題】プリント配線板等の製造工程などで発生した廃液より成分１と成分２を効率よく取り出すことができる廃液処理方法を提供する。【解決手段】温度を上昇させても水への溶解度が一定である成分１と、成分１よりも水への溶解度が高く、温度上昇に従って水への溶解度が上昇する成分２を主成分とする廃液を濃縮槽１５内で高温に加熱して蒸発濃縮処理を行うに当り、まず濃縮槽１５を洗浄した後、濃縮槽１５へ廃液を供給して濃縮槽１５内で加熱することにより最初に飽和溶解度に到達する成分１中の飽和溶解度以上の結晶を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段１７により結晶として取り出し、次に廃液に含まれる成分２が加熱温度で飽和溶解度に達する前に冷却して、冷却温度で飽和溶解度に到達し結晶化した成分２を脱液しながら濾過手段１７により結晶として取り出すことを特徴とする。【選択図】　図１
2004066130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造工程から排出される廃液の処理方法であって、温度を上昇させても水への溶解度が一定である成分１と、前記成分１よりも水への溶解度が高く、温度上昇に従って水への溶解度が上昇する成分２を主成分とする廃液を濃縮槽内で高温に加熱して、廃液中の水分を蒸発させることにより濃縮処理を行うに当り、まず濃縮槽の内面に付着した結晶を洗浄した後、濃縮槽へ廃液を供給して濃縮槽内で加熱することにより、最初に飽和溶解度に到達する前記成分１中の飽和溶解度以上の結晶を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段により結晶として取り出し、次に廃液に含まれる前記成分２が加熱温度で飽和溶解度に達する前に冷却して、冷却温度で飽和溶解度に到達し結晶化した前記成分２を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段により結晶として取り出すことを特徴とする廃液処理方法。
【請求項２】
プリント配線板等の製造工程から排出される廃液の処理方法であって、温度を上昇させても水への溶解度が一定である硫酸ソーダと、前記硫酸ソーダよりも水への溶解度が高く、温度上昇とともに水への溶解度が上昇するギ酸ソーダを主成分とする廃液を濃縮槽内で高温に加熱して蒸発濃縮処理を行うに当り、まず濃縮槽の内面に付着した結晶を洗浄した後、濃縮槽へ廃液を供給して廃液中の水分を蒸発させることにより、まず最初に飽和溶解度に到達する硫酸ソーダ中の飽和溶解度以上の結晶を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段により硫酸ソーダ結晶として取り出し、次に廃液に含まれる前記ギ酸ソーダが加熱温度での飽和溶解度に達する前に冷却して、冷却温度で飽和溶解度に到達し結晶化したギ酸ソーダを、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段によりギ酸ソーダ結晶として取り出すことを特徴とする廃液処理方法。
【請求項３】
プリント配線板等の製造工程から排出される廃液の処理方法であって、温度を上昇させても水への溶解度が一定である硫酸ソーダと、温度の上昇と共に水への溶解度が上昇するギ酸ソーダを主成分とする化学銅めっき廃液中に含まれる銅イオン及びＥＤＴＡを回収した後の廃液、及び化学銅めっき液の電気透析処理により生じた廃液を混合して濃縮槽内で高温に加熱することにより蒸発濃縮処理を行うに当り、まず濃縮槽の内面に付着した結晶を洗浄した後、濃縮槽へ廃液を供給して廃液中の水分を蒸発させることにより、まず最初に飽和溶解度に到達する硫酸ソーダ中の飽和溶解度以上の結晶を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段により硫酸ソーダ結晶として取り出し、次に廃液に含まれる前記ギ酸ソーダが加熱温度で飽和溶解度に達する前に冷却して、冷却温度で飽和溶解度に到達し結晶化したギ酸ソーダを、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段によりギ酸ソーダ結晶として取り出すことを特徴とする廃液処理方法。
【請求項４】
前記濃縮槽内を洗浄するに当たり、まず濃縮槽内へ給水して水で洗浄し、その後蒸気を供給して、蒸気で加熱しながら蒸気洗浄することにより、濃縮槽の内面に付着固化した結晶を洗浄してなる請求項１ないし３の何れか１項に記載の廃液処理方法。
【請求項５】
途中にバイパスバルブの設けられたバイパス管を、前記濾過手段と並列に設けてなる請求項１ないし４の何れか１項に記載の廃液処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプリント配線板等の製造工程で排出される廃液の処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来電子機器等に使用されるプリント配線板は、例えば図３及び図４に示す製造工程を経て製造されている。
【０００３】
まず図４に示す材料の準備工程で、図４の（イ）に示すプリント配線板ａが準備される。
【０００４】
プリント配線ａは、基材ｂの片面または両面（図４の（イ）は両面のものを示す）に銅箔層ｃが予め形成されており、このプリント配線板ａは次のスルーホール穴明工程で、電子部品等を実装する個所に図４の（ロ）に示すようにスルーホールｄが穿設される。
【０００５】
その後触媒付与工程でスルーホールｄの内周面に、図４の（ハ）に示すように触媒ｅが付着された後、回路形成工程で、銅箔層ｃがエッチング処理されて、銅箔層ｃに回路ｆが形成される。
【０００６】
回路形成工程により回路ｆが形成されたプリント配線板ａは、化学銅メッキ工程で銅メッキ処理が施されるが、このとき析出反応により銅イオンを金属銅として析出すると同時に、メッキ液中に硫酸ソーダとキ酸ソーダが次式により析出され、廃液中蓄積される。
【０００７】
ＣｕＳＯ４＋４ＮａＯＨ＋２ＨＣＨＯ→Ｃｕ＋Ｎａ２ＳＯ４＋２ＮａＣＯＯＨ＋Ｈ２＋２Ｈ２Ｏ
また化学銅めっき処理により、図４の（ホ）に示すようにスルーホールｄの内面及び回路ｆに銅めっきｇが施されたプリント配線板ａは、次のソルダーレジスト工程で、図４の（へ）に示すように基材ｂの表裏面にソルダレジストｈが形成されて、完成されたプリント配線板ａとして製造工程より搬出される。
【０００８】
一方化学銅めっき工程で発生した廃液は、再度使用可能な状態に再生するため、電気透析装置を用いて再生処理しており、また化学銅めっき処理及び電気透析処理により生じた廃液中より銅イオンや、ＥＤＴＡ成分を回収する装置としては、例えば特開平６−１７０１１７号公報に記載された「銅回収装置」や、特開平６−２４６１５７号公報に記載された「ＥＤＴＡ回収装置」が公知である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし前記公報の銅回収装置や、ＥＤＴＡ回収装置では、銅イオンや、ＥＤＴＡ成分に付いては回収することができるが、廃液中に蓄積された硫酸ソーダやギ酸ソーダは、反応生成物であるため、回収することができない。
【００１０】
特にギ酸ソーダを未回収のまま一般排水として河川等へ排出する場合は、生物化学的処理によりＣＯＤ（化学的酸素要求量）を水質基準以下にしてから排出する必要があるが、生物化学的処理は大掛かりな処理設備や、設備を運転するのに多くの専従員を必要とするため、廃液の処理に多大な費用がかかるなどの問題がある。
【００１１】
本発明はかかる従来の問題点を解決するためになされたもので、プリント配線板等の製造工程で発生した廃液より硫酸ソーダやギ酸ソーダなどの成分を、容易かつ効率よく取り出すことができる廃液処理方法を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明の廃液の処理方法は、製造工程から排出される廃液の処理方法であって、温度を上昇させても水への溶解度が一定である成分１と、成分１よりも水への溶解度が高く、温度上昇に従って水への溶解度が上昇する成分２を主成分とする廃液を濃縮槽内で高温に加熱して、廃液中の水分を蒸発させることにより濃縮処理を行うに当り、まず濃縮槽の内面に付着した結晶を洗浄した後、濃縮槽へ廃液を供給して濃縮槽内で加熱することにより、最初に飽和溶解度に到達する成分１中の飽和溶解度以上の結晶を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段により結晶として取り出し、次に廃液に含まれる成分２が加熱温度で飽和溶解度に達する前に冷却して、冷却温度で飽和溶解度に到達し結晶化した成分２を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段により結晶として取り出すようにしたものである。
【００１３】
前記方法により、製造工程から排出された廃液中の主成分である成分１と成分２を、廃液中より容易かつ効率よく取出すことができると共に、廃液より取り出した成分１と成分２は別個に再利用することができるため、経済的である上、濃縮処理を行う前に濃縮槽内を洗浄するようにしたことから、内面に付着した結晶により廃液の加熱が妨げられることがないため、水分の蒸発が効率よく行えるようになる。
【００１４】
また濃縮液を脱液しながら濾過手段により結晶を濾過する際、蒸気により濾過手段及びその周辺の配管が加熱されて脱液による温度低下を防止するため、結晶により濾過手段や配管等が目詰まりを起こす心配もない。
【００１５】
前記目的を達成するため本発明の廃液の処理方法は、プリント配線板等の製造工程から排出される廃液の処理方法であって、温度を上昇させても水への溶解度が一定である硫酸ソーダと、硫酸ソーダよりも水への溶解度が高く、温度上昇とともに水への溶解度が上昇するギ酸ソーダを主成分とする廃液を濃縮槽内で高温に加熱して濃縮処理を行うに当り、まず濃縮槽の内面に付着した結晶を洗浄した後、濃縮槽へ廃液を供給して廃液中の水分を蒸発させることにより、まず最初に飽和溶解度に到達する硫酸ソーダ中の飽和溶解度以上の結晶を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段により硫酸ソーダ結晶として取り出し、次に廃液に含まれるギ酸ソーダが加熱温度での飽和溶解度に達する前に冷却して、冷却温度で飽和溶解度に到達し結晶化したギ酸ソーダを、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段によりギ酸ソーダ結晶として取り出すようにしたものである。
【００１６】
前記方法により、プリント配線板の製造工程から排出される廃液中の主成分である硫酸ソーダ及びギ酸ソーダを、廃液中より容易かつ効率よく取り出すことができると共に、廃液より取り出した硫酸ソーダ及びギ酸ソーダは別個に再利用できるため、経済的である上、濃縮処理を行う前に濃縮槽内を洗浄するようにしたことから、内面に付着した結晶により廃液の加熱が妨げられることがないため、水分の蒸発が効率よく行えるようになる。
【００１７】
また濃縮液を脱液しながら濾過手段により結晶を濾過する際、蒸気により濾過手段及びその周辺の配管が加熱されて脱液による温度低下を防止するため、結晶により濾過手段や配管等が目詰まりを起こす心配がない上、廃液よりギ酸ソーダを取り出すのに大掛かりな生物化学的処理装置や、これを運転するための多くの専従員を必要としないので、ローコストで廃液の処理が可能になる。
【００１８】
前記目的を達成するため本発明の廃液の処理方法は、プリント配線板等の製造工程から排出される廃液の処理方法であって、温度を上昇させても水への溶解度が一定である硫酸ソーダと、温度の上昇と共に水への溶解度が上昇するギ酸ソーダを主成分とする化学銅めっき廃液中に含まれる銅イオン及びＥＤＴＡを回収した後の廃液、及び化学銅めっき液の電気透析処理により生じた廃液を混合して濃縮槽内で高温に加熱することにより濃縮処理を行うに当り、まず濃縮槽の内面に付着した結晶を洗浄した後、濃縮槽へ廃液を供給して廃液中の水分を蒸発させることにより、まず最初に飽和溶解度に到達する硫酸ソーダ中の飽和溶解度以上の結晶を、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段により硫酸ソーダ結晶として取り出し、次に廃液に含まれるギ酸ソーダが加熱温度で飽和溶解度に達する前に冷却して、冷却温度で飽和溶解度に到達し結晶化したギ酸ソーダを、脱液用空気及び蒸気により脱液しながら濾過手段によりギ酸ソーダ結晶として取り出すようにしたものである。
【００１９】
前記方法により、プリント配線板の製造工程から排出される廃液中の主成分である硫酸ソーダ及びギ酸ソーダを廃液中より容易かつ効率よく取り出すことができると共に、廃液より取り出した硫酸ソーダ及びギ酸ソーダは別個に再利用できるため、経済的である上、濃縮処理を行う前に濃縮槽内を洗浄するようにしたことから、内面に付着した結晶により廃液の加熱が妨げられることがないため、水分の蒸発が効率よく行えるようになる。
【００２０】
また濃縮液を脱液しながら濾過手段により結晶を濾過する際、蒸気により濾過手段及びその周辺の配管が加熱されて脱液による温度低下を防止するため、結晶により濾過手段や配管等が目詰まりを起こす心配がない上、化学銅めっき処理により排出される廃液と、電気透析処理により排出される廃液を同一の処理装置で同時に処理できるため、これら廃液を別々の処理装置で処理する場合に比べて、設備の大幅な削減が図れる。
【００２１】
前記目的を達成するため本発明の廃液の処理方法は、濃縮槽内を洗浄するに当り、まず濃縮槽内へ給水して水で洗浄し、その後蒸気を供給して、蒸気で加熱しながら蒸気洗浄することにより、濃縮槽の内面に付着固化した結晶を洗浄するようにしたものである。
【００２２】
前記方法により、濃縮槽の内面に強固に付着した結晶でも、容易かつ確実に除去することができる。
【００２３】
前記目的を達成するため本発明の廃液の処理方法は、途中にバイパスバルブの設けられたバイパス管を濾過手段と並列に設けたものである。
【００２４】
前記方法により、濃縮処理終了後バイパスバルブを開放して、管路内の濃縮液中の成分（ギ酸ソーダ）が飽和溶解温度に達する前の濃縮液を、バイパス管を介して一気に最終濃縮液受け槽に排出することにより、濾過手段やその周辺の配管等が結晶により目詰まりを起こすのを未然に防止することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明の廃液処理方法を、プリント配線板を製造する製造工程で排出される廃液に実施した実施の形態について、図面を参照して詳述する。
【００２６】
図１は廃液処理装置の構成図を示すもので、化学銅めっき処理工程で発生した化学銅めっき廃液を貯留する化学銅めっき廃液タンク１と、透析廃液タンク１２を備えており、化学銅めっき廃液タンク１はポンプ２を介して銅回収槽３へ、また透析廃液タンク１２はポンプ１３を介して濾液中和槽１０に接続されている。
【００２７】
銅回収槽３には、槽内の廃液を銅回収濾過機５を介して循環させ、またＥＤＴＡ晶析槽６へ送るポンプ４が接続されており、ＥＤＴＡ晶析槽６には、槽内の廃液を攪拌する攪拌機６ａが設けられていると共に、槽内の廃液を循環させ、またＥＤＴＡ濾過機８へ送るポンプ７が接続されている。
【００２８】
なお銅回収濾過機５内には、銅イオンを析出させる触媒を付着させたフィルタ（図示せず）が設けられている。
【００２９】
ＥＤＴＡ濾過機８には、ＥＤＴＡ晶析槽６で固液分離されたＥＤＴＡ結晶Ｃを廃液中より濾過して、ＥＤＴＡ受け槽９へ排出するロール状の濾材８ａが設けられており、ＥＤＴＡ濾過機８によりＥＤＴＡ結晶Ｃが除去された中和廃液Ｄは、濾液中和槽１０へ送られて、透析廃液Ｂと混合される。
【００３０】
なお中和廃液Ｄは、必ずしも透析廃液Ｂと混合する必要はなく、各々別のタンクに単独させて貯留しても勿論よい。
【００３１】
濾液中和槽１０は、ポンプ１４及び中和廃液バルブ４０を介して濃縮槽１５に接続されており、濃縮槽１５内の廃液は、手動または自動で開閉される濃縮液排出手動弁１６を介して結晶濾過機１７に滴下されるようになっている。
【００３２】
濃縮槽１５には、途中に給水バルブ２３が設けられた給水管２４と、途中に蒸気バルブ２５が設けられた蒸気供給管２６が接続されていて、これら給水管２４及び蒸気供給管２６より供給される水と蒸気により濃縮槽１５の内面に付着固化した結晶を洗浄できるようになっている。
【００３３】
また濃縮液排出手動弁１６が設けられた管路２７の濃縮液排出手動弁１６より下側には、途中に脱液用空気バルブ２８の設けられた空気供給管２９と、途中に脱液用蒸気バルブ３０が設けられた蒸気供給管３１が接続されていて、これら空気供給管２９及び蒸気供給管３１より供給される空気と蒸気により結晶濾過機１７の脱液が行えるようになっている。
【００３４】
結晶濾過機１７には、廃液中より硫酸ソーダ（成分１）の結晶Ｆとギ酸ソーダ（成分２）の結晶Ｇを濾過するロール状の濾材１７ａが設けられていて、この濾材１７ａにより濾過された結晶Ｆ，Ｇは、結晶受け槽１８に回収され、結晶濾過機１７により成分１，２が除去された廃液は、最終濃縮液受け槽１９に回収されると共に、結晶濾過機１７には、途中にバイパスバルブ３２が設けられたバイパス管３３が並列に設けられていて、バイパスバルブ３２を開放することにより、濃縮槽１５内の廃液を結晶濾過機１７を通さずに、直接最終濃縮液受け槽１９へ一気に排出できるようにもなっている。
【００３５】
最終濃縮液受け槽１９には、ポンプ２０が接続されていて、槽内の廃液が濃縮槽１５及び循環路２２を介して循環され、かつ廃液中の水分は蒸発されて排気口２１を介して大気へ放出されることによりさらに濃縮されると共に、濃縮された廃液は最終濃縮液Ｈとして最終濃縮液受け槽１９に貯留されるように構成されている。
【００３６】
なお図１中３５は化学銅めっき処理装置を構成する化学銅めっき槽、３６は透析液受け槽、３７は電気透析装置、３８は透析廃液受け槽で、化学銅めっき槽３５で廃液となった化学銅めっき廃液が、化学銅めっき廃液タンク１へ送られ、透析廃液受け槽３８の透析廃液が透析廃液タンク１２へ送られるようになっている。
【００３７】
次に前記構成された廃液処理装置を使用してプリント配線板の製造工程で排出される廃液の処理方法を説明する。
【００３８】
プリント配線板の製造工程でされる化学銅めっき液は、使用後に硫酸ソーダ、ギ酸ソーダが蓄積した化学銅めっき廃液Ａとなるので、化学銅めっき廃液タンク１に貯留し、また硫酸ソーダ、ギ酸ソーダが蓄積した化学銅めっき廃液を再度使用可能な状態へ再生する電気透析装置３７で生じた透析廃液Ｂは、透析廃液タンク１２に貯留する。
【００３９】
次に化学銅めっき廃液Ａを化学銅めっき廃液タンク１からポンプ２により銅回収槽３に供給すると、銅回収槽３では化学銅めっき廃液Ａを、めっき析出反応に必要な５０℃から７０℃までの範囲で加熱した後、還元剤（ホルマリン）とｐｈ調整材（苛性ソーダ）を化学銅めっき析出反応に必要な量（銅１ｍｏｌに対し、ホルマリン２ｍｏｌ、苛性ソーダ４ｍｏｌ）を添加すると共に、ポンプ４により銅回収槽３の化学銅めっき廃液Ａを、銅回収濾過機５を介して再度銅回収槽３へ循環させることにより、化学銅めっき廃液中の銅イオンを、銅回収濾過機５に金属銅として析出させ、銅回収濾過機５により廃液Ａ中の銅イオンを回収する。
【００４０】
次に、銅イオンを回収した後の化学銅めっき廃液Ａを、ＥＤＴＡ晶析槽６に送ると共に、ＥＤＴＡ晶析槽６では、ＥＤＴＡ結晶Ｃを晶析するため、攪拌機６ａにより攪拌及び３０℃以下まで冷却しながらｐＨ調整剤（硫酸）を添加して、ｐＨ２以下に下げる。
【００４１】
そしてその廃液ＡをＥＤＴＡ濾過機８へ送って、固液分離したＥＤＴ結晶Ｃを濾材８ａにより濾過し、ＥＤＴＡ受け槽９に回収すると共に、濾材８ａを通過した廃液Ａ液は、濾液中和槽１０に中和廃液Ｄとして貯留し、また透析処理によって生じた透析廃液Ｂも同様に、中和廃液Ｄとして濾液中和槽１０に貯留する。
【００４２】
なお濾液中和槽１０に貯留された中和廃液Ｄの濃度は、例えばプリント基板面積５０ｍ２　に対して２５μｍの銅析出後の廃液で、前記銅イオンとＥＤＴＡ回収後の中和廃液Ｄ「１」に対して透析廃液「３」の比率で混合した廃液中には、硫酸ソーダが約４５ｇ／Ｌ、ギ酸ソーダが約３５ｇ／Ｌを含んでおり、図２に示すように硫酸ソーダの溶解度は３５℃以上ではほぼ一定なのに対して、ギ酸ソーダは温度上昇とともに上昇する性質がある。
【００４３】
本発明では、この性質を利用して廃液中より硫酸ソーダとギ酸ソーダを取り出すもので、蒸発濃縮処理に当っては、まず給水管２４の給水バルブ２３を開放して濃縮槽１５内を水で洗浄し、次に給水バルブ２３を開放したまま蒸気バルブ２５を開放して、水と蒸気を連続的に濃縮槽１５へ供給することにより、濃縮槽１５内を１００℃で３０分間蒸気洗浄して、前回の処理で濃縮槽１５の内面に付着固化した結晶を洗浄する。
【００４４】
これによって濃縮槽１５の内面に付着固化した結晶により廃液の加熱が妨げられることがなくなるため、廃液中の水分の蒸発が効率よく行えると同時に、水分蒸発量が低下するのを防止するもので、濃縮槽１５内の加熱は蒸気によらず、電気ヒータなどを使用してもよい。
【００４５】
濃縮槽１５内を一定時間蒸気洗浄したら、給水バルブ２３を閉じた後中和廃液バルブ４０を開放して、濾液中和槽１０に貯留してある中和廃液Ｄを、ポンプ１４により濃縮槽１５に連続的に供給すると共に、最終濃縮液受け槽１９内の最終濃縮液Ｈもポンプ２０により濃縮槽１５へ連続的に供給して、濃縮槽１５内を蒸気により１２０℃まで加熱し、中和廃液Ｄ中の水分を蒸発させる。
【００４６】
またこのとき最終濃縮液Ｈのギ酸ソーダ濃度が急激に上昇するために発生する結晶により、結晶濾過機１７やその周辺の配管が目詰まりを起こすのを防止するため、中和廃液Ｄの供給量より濃縮槽１５内で蒸発する水分量を引いた値から、中和廃液Ｄの供給量が１割程度増加するよう中和廃液Ｄと最終濃縮液Ｈの供給量を調整し、中和廃液Ｄの増量により余剰となった濃縮液は、オーバフロー管２２より最終濃縮液受け槽１９へオーバフローさせる。
【００４７】
図２に示すようにギ酸ソーダよりも、硫酸ソーダが水への溶解度が低いことから、濃縮槽１５を１２０℃に加熱することにより、最初に濃縮液Ｅ中に含まれる硫酸ソーダが飽和溶解度２９０ｇ／Ｌに到達して結晶化が開始される。
【００４８】
その後さらに濃縮槽１５を加熱し濃縮液Ｅ中の水分を蒸発させると、濃縮液Ｅの中に含まれるギ酸ソーダが濃縮槽１５の加熱温度１２０℃における飽和溶解度に到達するが、濃縮槽１５の過熱部分を除く周辺の配管や、結晶濾過機１７やその周辺の配管が外気温の影響を受けて、配管内を流れる濃縮液に過剰にギ酸ソーダが析出するため、結晶濾過機１７や配管に目詰まりが発生して処理の続行が困難になる。
【００４９】
これを防止するため、次の処理工程である終了作業工程の保持温度１００℃でギ酸ソーダの飽和溶解度１９１０ｇ／Ｌに到達する直前、例えばギ酸ソーダ濃度１９００ｇ／Ｌまで濃縮液Ｅの水分を蒸発させて、硫酸ソーダだけが結晶化している状態を形成する（なお中和廃液Ｄと最終濃縮液Ｈのギ酸ソーダ濃度、濃縮槽１５と最終濃縮液受け槽１９の合計容量及び、濃縮槽１５へ供給する廃液量と水分蒸発量によりギ酸ソーダの濃度を算出し管理する）。
【００５０】
そしてこの硫酸ソーダが結晶化している濃縮液Ｅを、濃縮液排出手動弁１６を一定時間（１〜２秒）開閉することにより結晶濾過機１７に滴下すると共に、その後脱液用蒸気バルブ３０及び脱液用エアバルブ２８を一定時間（１０〜３０秒）開いて、結晶濾過機１７へ蒸気と空気を供給することにより脱液しながら、結晶濾過機１７により濃縮液Ｅを濾過する。
【００５１】
濃縮液Ｅを結晶濾過機１７へ通過させることにより、濃縮液Ｅに溶解しきれない硫酸ソーダ結晶Ｆが濾材１７ａにより取り出されて結晶受け槽１８に回収され、濾材１７ａを通過した濃縮液Ｅは、最終濃縮液Ｈとして最終濃縮液受け槽１９へ排出される共に、前記濾過処理を繰り返すことにより、濃縮液Ｅに溶解しきれない硫酸ソーダ結晶Ｆの回収を繰り返し行う。
【００５２】
またこのとき脱液による温度低下の影響で、結晶濾過機１７や、その周辺の配管に結晶詰まりが発生しないように、結晶濾過機１７内と配管内に蒸気を供給して、ギ酸ソーダ結晶が過剰に析出しない温度（約１００℃以上）を維持しながら濾過作業を行う。
【００５３】
一方蒸発濃縮処理が終了したら、濃縮槽１５内の濃縮液Ｅを最終濃縮液受け槽１９へ排出するが、蒸発濃縮処理終了直後の濃縮槽１５内の濃縮液Ｅは、濃縮液Ｅと硫酸ソーダの結晶が混合している状態のため加熱温度１２０℃よりも低く、かつ温度低下によりギ酸ソーダが飽和溶解度に到達しないように１００℃に維持し、かつ一定時間（６０〜９０分）結晶濾過機１７を用いて濃縮液Ｅ中の硫酸ソーダ結晶を濾過しながら最終濃縮液受け槽１９へ排出する。
【００５４】
そして一定時間が経過したら、バイパス配管３３のバイパスバルブ３２を開放して、濃縮液Ｅがギ酸ソーダ飽和溶解度に到達する温度に冷却される前に、濃縮液Ｅを最終濃縮液受け槽１９に一気に排出する。
【００５５】
次に１５５０ｇ／Ｌのギ酸ソーダを含む最終濃縮Ｈを冷却してギ酸ソーダの回収を行うが、図２の硫酸ソーダ飽和溶解度曲線に示すように、硫酸ソーダは３５℃以下で結晶化を開始するので、３５℃から６０℃の範囲内の例えば５０℃まで濃縮液Ｅの冷却を行うが、５０℃でのギ酸ソーダの飽和溶解度は１２１０ｇ／Ｌであるため、３４０ｇ／Ｌのギ酸ソーダが最終濃縮液Ｈに溶解しきれず結晶化する。
【００５６】
このギ酸ソーダが結晶化している最終濃縮液Ｈをポンプ２０により濃縮槽１５へ循環させた後、濃縮液排出手動弁１６を一定時間（１〜２秒）開放して、濃縮槽１５内の最終濃縮液Ｈを結晶濾過機１７に滴下すると共に、その後脱液用蒸気バルブ３０及び脱液用エアバルブ２８を一定時間（１０〜３０秒）開放して、結晶濾過機１７内へ蒸気と空気を供給して、脱液しながら濾過処理を行う。
【００５７】
最終濃縮液Ｈが結晶濾過機１７の濾材１７ａを通過する際、最終濃縮液Ｈに溶解しきれないギ酸ソーダ結晶Ｇが濾材１７ａにより濾過されて結晶受け槽１８に回収され、濾材１７ａを通過した最終濃縮液Ｈは再び最終濃縮液受け槽１９へ排出される共に、前記濾過処理を繰り返すことにより、最終濃縮液Ｈに溶解しきれないギ酸ソーダ結晶Ｇを全て回収するもので、５０℃での結晶濾過は処理時の温度低下が少ない（１０℃程度）ため、過剰結晶化による詰まりは発生しないが、３５℃以下になると、温度低下の影響で結晶濾過機１７や、配管及び濃縮槽１５に硫酸ソーダが過剰結晶析出して目詰まりを起こし、濾過処理が不可能になる虞があるため、濾過処理中は温度を３５℃から６０℃の範囲に維持する。
【００５８】
なお前記実施の形態では、化学銅めっき工程で排出される化学銅めっき液Ａと、電気透析処理で排出される透析廃液Ｂを濾液中和槽１０に回収して、これら廃液Ａ，Ｂより硫酸ソーダとギ酸ソーダを取り出しているが、化学銅メッキ廃液Ａと透析廃液Ｂを混合せず、別工程で廃液処理するようにしても勿論よい。
【００５９】
またギ酸ソーダの回収をプリント配線板の製造工程終了後に行うようにしているが、最終濃縮液受け槽１９内の濃縮液Ｅの濃度が所定濃度になったところで、濃縮液Ｅを例えば５０℃に冷却して、ギ酸ソーダの回収を行うようにしても勿論よい。
【００６０】
さらに前記実施の形態では、プリント配線板の製造工程で排出される廃液より硫酸ソーダとギ酸ソーダを取り出す場合について説明したが、温度を上昇させても水への溶解度がほぼ一定である成分１と、成分１より水への溶解度が高く、、温度の上昇とともに水への溶解度が上昇する成分２とを主成分とする廃液中より、成分１及び成分２を取り出す廃液処理全般に適用できるものである。
【００６１】
【発明の効果】
本発明は以上詳述したようになるから、製造工程から排出された廃液中の主成分である成分１と成分２を、廃液中より容易かつ効率よく取出すことができると共に、廃液より取り出した成分１と成分２は別個に再利用することができるため、経済的である上、蒸発濃縮処理を行う前に濃縮槽内を洗浄するようにしたことから、内面に付着した結晶により廃液の加熱が妨げられることがないため水分の蒸発が効率よく行えると共に、濃縮液を脱液しながら濾過手段により結晶を濾過する際、蒸気により濾過手段及びその周辺の配管が加熱されて脱液による温度低下を防止するため、結晶により結晶濾過機や、その周辺の配管等が目詰まりを起こす心配がない。
【００６２】
またプリント配線板の製造工程で排出される廃液を処理する場合、廃液中の主成分である硫酸ソーダ及びギ酸ソーダを、廃液中より容易かつ効率よく取り出すことができる上、廃液より取り出した硫酸ソーダ及びギ酸ソーダは別個に再利用できるため経済的であると共に、廃液よりギ酸ソーダを取り出すのに大掛かりな生物化学的処理装置や、これを運転するための多くの専従員を必要としないので、ローコストで廃液の処理が可能である。
【００６３】
さらに化学銅めっき処理により排出される廃液と、電気透析処理により排出される廃液を同一の処理装置で同時に処理するこができるため、これら廃液を別々の処理装置で処理する場合に比べて、設備費の大幅な削減が図れる上、濃縮槽内を洗浄するに当たり、まず濃縮槽内へ給水して水で洗浄し、その後蒸気を供給して、蒸気で加熱しながら蒸気洗浄することにより、濃縮槽の内面に付着固化した結晶を洗浄するようにしたことにより、濃縮槽の内面に強固に付着した結晶でも、容易かつ確実に除去することができると共に、途中にバイパスバルブの設けられたバイパス管を濾過手段と並列に設ければ、濃縮処理終了後、バイパスバルブを開放して、管路内の濃縮液中の成分（ギ酸ソーダ）が飽和溶解温度に達する前の濃縮液を、バイパス管を介して一気に最終濃縮液受け槽に排出することができるため、濾過手段やその周辺の配管等が結晶により目詰まりを起こすのを未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の廃液処理方法を実施する廃液処理装置の構成図である。
【図２】
本発明の廃液処理方法を実施する廃液中の硫酸ソーダとギ酸ソーダの水への溶解度を示す線図である。
【図３】
プリント配線板の製造工程を示す工程図である。
【図４】
プリント配線板の製造過程を示す説明図である。
【符号の説明】
１　化学銅めっき廃液タンク
３　銅回収槽
５　銅回収濾過機
６　ＥＤＴＡ晶析槽
８　ＥＤＴＡ濾過機
９　ＥＤＴＡ受け槽
１０　濾液中和槽
１２　透析廃液タンク
１５　濃縮槽
１６　濃縮液排出手動弁
１７　結晶濾過機（濾過手段）
１８　結晶受け槽
１９　最終濃縮液受け槽
２１　排気口
２４　給水管
２６　蒸気供給管
２９　空気供給管
３１　蒸気供給管
３２　バイパスバルブ
３３　バイパス管
【図１】
2004066130.tif 000003
【図２】
2004066130.tif 000004
【図３】
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【図４】
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