(57)【要約】【課題】設置空間を狭くすることができ、設置時の建屋等の補強を小さくすることができ、搬入・搬出等の諸作業の効率化を図ることができ、システム自体の低コスト化を図ることができる搬送システムを提供する。【解決手段】懸垂式のレール１の一部を分割したスライドレール１１と、スライドレール１１に平行に配置されスライドレール１１と同一の長さのスライドレール１２と、スライドレール１１、１２をストッカー３ａに近接あるいは離間する方向に移動させる移動機構１３とを備え、これらスライドレール１１、１２を移動機構１３によりその配列方向に移動させて一方のスライドレール１１（１２）をレール１と接続した場合に、このスライドレール１１（１２）に台車２ａを進入させることを特徴とする。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１本の軌条に沿って設けられた設備または装置に、前記軌条に沿って走行可能かつ該軌条の所定の位置に停止可能な搬送手段により搬送物の搬入・搬出を行う搬送システムにおいて、
前記軌条の一部を分割してなる第１の可動用軌条と、該第１の可動用軌条に平行に配置された第２の可動用軌条と、これら第１及び第２の可動用軌条をその配列方向に移動させる移動機構とを備え、
前記第１及び第２の可動用軌条は、その配列方向に移動自在かつ所定の位置に固定可能とされ、これら第１及び第２の可動用軌条をその配列方向に移動させていずれか一方の可動用軌条を前記軌条と接続した場合に、この可動用軌条に前記搬送手段を進入させることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記軌条は、懸垂式または跨座式の軌条であることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記第１及び第２の可動用軌条に近接した位置に前記搬送手段を検知する検知手段を設け、
該検知手段が前記搬送手段を検知した場合に、前記移動機構により前記第１及び第２の可動用軌条をその配列方向に移動させていずれか一方の可動用軌条を前記軌条に接続させることを特徴とする請求項１または２記載の搬送システム。
【請求項４】
前記搬送物は、複数の半導体基板を収納するウエハカセットであることを特徴とする請求項１、２または３記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送システムに関し、特に、シリコンウエハ、ＧａＡｓウエハ等の半導体基板を扱う半導体製造ラインの工程間の搬送の高効率化、低コスト化を図ることが可能な搬送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＩＣ、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等の半導体装置の製造工程においては、多数の製造装置が用いられており、シリコンウエハ等の半導体基板は、これらの製造装置を順次移動することにより各工程が順次施され、所定の仕様の半導体装置が製造される。この製造工程においては、製造装置の間で半導体基板を移動させる際に、外部からの汚染を防ぐために、半導体基板を複数葉収納するウエハカセットが用いられている。これらのウエハカセットは、各工程間の搬送用として設けられた搬送システムにより各製造装置に搬送される。
【０００３】
図３は、従来の半導体装置の製造工程における搬送システムの一例を示す概略構成図であり、図において、符号１は、天井から懸垂されたループ状の１本のレール（軌条）、２ａ〜２ｆはウエハカセット等の搬送物を収納しかつ前記レール１を走行する台車（搬送手段）、３ａ〜３ｅはレール１の外側（あるいは内側）に配置されるスパッタ装置、分子線エピタキシ（ＭＢＥ）装置等の成膜装置、ドライエッチング装置、アッシング装置等、半導体装置の製造工程を担う半導体製造装置に設けられているストッカー（装置）である。
これら台車２ａ〜２ｆの走行・停止は、コントローラ及びホストコンピュータ（図示せず）により遠隔操作されるようになっている。
【０００４】
この搬送システムでは、常に複数の台車２ａ〜２ｆがレール１を走行しているので、例えば、ストッカー３ａからストッカー３ｂにウエハカセット等の搬送物を搬送する場合、ストッカー３ａの近くに待機している台車、例えば台車２ａをストッカー３ａの停止位置に停止させて搬送物を搬入し、その後、この台車２ａを走行させてストッカー３ｂの停止位置に停止させて搬送物を搬出する。
台車２ａ〜２ｆそれぞれについて上記の動作を行うことにより、ストッカー３ａ〜３ｅ各々における搬送物の搬入・搬出をスムーズに行うことができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の搬送システムにおいては、天井から懸垂された１本のレール１を複数の台車２ａ〜２ｆが走行する構成であるから、例えば、１つの台車２ａがストッカー３ａにて搬送物の搬入・搬出を行っている場合、後続の台車２ｂは上記の台車２ａの作業が完了して発進するまでストッカー３ａの手前で待機せざるを得ず、搬送効率が低下するという問題点があった。
特に、特定の搬送先または搬送元のストッカーに搬送が集中した場合、または特定のストッカーを保守点検するために大量の搬送物を搬出する場合、あるいは特定の製造工程に係るストッカーに製品が山積みになった場合、悪循環となり、搬送に長時間を要し、搬送効率が低下するという問題点があった。
【０００６】
この様な問題点を解決するために、図４に示すように、ループ状のレール１のストッカー３ａ、３ｂそれぞれの停止箇所に迂回レール５ａ、５ｂを設けた搬送システムも提案されている。しかしながら、この搬送システムにおいても、天井からレール１及び迂回レール５ａ、５ｂを懸垂するために建屋補強工事が必要となり、コストアップになるという問題点があった。
また、建屋補強工事、迂回レール５ａ、５ｂの取付工事等により工期が長くなり、半導体装置の生産計画に遅れが生じる虞があるという問題点があった。
さらに、迂回レール５ａ、５ｂを設けるための広いスペース６が必要となるという問題点もあった。このスペース６は、限られた半導体工場内では無効な空間となるために、クリーンルーム内を有効活用する際の阻害要因になる。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、設置空間を狭くすることができ、設置時の建屋等の補強を小さくすることができ、搬入・搬出等の諸作業の効率化を図ることができ、システム自体の低コスト化を図ることができる搬送システムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は次の様な搬送システムを提供した。
すなわち、本発明の請求項１記載の搬送システムは、少なくとも１本の軌条に沿って設けられた設備または装置に、前記軌条に沿って走行可能かつ該軌条の所定の位置に停止可能な搬送手段により搬送物の搬入・搬出を行う搬送システムにおいて、前記軌条の一部を分割してなる第１の可動用軌条と、該第１の可動用軌条に平行に配置された第２の可動用軌条と、これら第１及び第２の可動用軌条をその配列方向に移動させる移動機構とを備え、前記第１及び第２の可動用軌条は、その配列方向に移動自在かつ所定の位置に固定可能とされ、これら第１及び第２の可動用軌条をその配列方向に移動させていずれか一方の可動用軌条を前記軌条と接続した場合に、この可動用軌条に前記搬送手段を進入させることを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の搬送システムは、請求項１記載の搬送システムにおいて、前記軌条は、懸垂式または跨座式の軌条であることを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の搬送システムは、請求項１または２記載の搬送システムにおいて、前記第１及び第２の可動用軌条に近接した位置に前記搬送手段を検知する検知手段を設け、該検知手段が前記搬送手段を検知した場合に、前記移動機構により前記第１及び第２の可動用軌条をその配列方向に移動させていずれか一方の可動用軌条を前記軌条に接続させることを特徴とする。
【００１１】
請求項４記載の搬送システムは、請求項１、２または３記載の搬送システムにおいて、前記搬送物は、複数の半導体基板を収納するウエハカセットであることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の搬送システムの一実施の形態について図面に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態の懸垂式の搬送システムを示す平面図であり、図１において、図３及び図４と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００１３】
図１において、符号１１は、天井等から懸垂されたループ状のレール（軌条）１のうちストッカー（装置）３ａの停止位置に該当するレールの部分を分割したスライドレール（第１の可動用軌条）、１２はスライドレール１１に平行に配置された前記スライドレール１１と同一の長さのスライドレール（第２の可動用軌条）、１３はスライドレール１１、１２をその配列方向（ストッカー３ａに近接あるいは離間する方向：図中矢印方向）に移動させる移動機構、１４はレール１を走行する台車（搬送手段）２ａがストッカー（装置）３ａに近接したことを検知するセンサ（検知手段）、１５はセンサ１４からの出力に基づき移動機構１３を制御する制御装置である。
【００１４】
スライドレール１１、１２は、移動機構１３によりその配列方向（図中矢印方向）に移動自在、かつ、少なくともスライドレール１１または１２がレール１と接続した位置に固定可能とされている。これらスライドレール１１、１２では、これらスライドレール１１、１２を移動機構１３によりその配列方向に移動させて一方のスライドレール１１（１２）をレール１と接続した場合に、このスライドレール１１（１２）に台車２ａが進入するようになっている。
【００１５】
センサ１４は、台車２ａがストッカー３ａに近接した場合に、この台車２ａを検知してその検知信号を制御装置１５へ出力するもので、例えば、レーザダイオード（ＬＤ：発光素子）とホトダイオード（ＰＤ：受光素子）を組み合わせた光センサ、あるいは赤外線センサ等により構成されている。
制御装置１５は、センサ１４から検知信号が出力された場合に、移動機構１３を作動させてスライドレール１１、１２をその配列方向に移動させ、スライドレール１１（１２）をレール１と接続させる構成になっている。
【００１６】
次に、この搬送システムの動作について図１及び図２に基づき説明する。ここでは、ストッカー３ａに対してウエハカセットの搬入・搬出を行う場合を例に採り説明する。
なお、ストッカー３ａに対してウエハカセットの搬入を行う場合には、予め、搬入用のウエハカセットを台車２ａの所定位置に収納しておく。この場合、スライドレール１１、１２の位置は特に限定されないが、作業の効率を考慮すると、図１に示すように、これらスライドレール１１、１２をストッカー３ａから離間する方向へ移動させてスライドレール１１をレール１に接続させておくのが効率的である。
【００１７】
まず、レール１を走行する台車２ａに対して、コントローラ及びホストコンピュータ（図示せず）によりストッカー３ａへの移動を指示する。
台車２ａはストッカー３ａへ向けてレール１上を移動するが、この台車２ａがストッカー３ａに近づくと、センサ１４が台車２ａを検知してその検知信号を制御装置１５へ出力する。
ここで、スライドレール１１がレール１に接続されていない場合には、制御装置１５により移動機構１３を駆動させてスライドレール１１、１２をストッカー３ａから離間する方向へ移動させ、スライドレール１１をレール１に接続させる必要がある。
【００１８】
台車２ａがスライドレール１１に進入し、所定位置に停止すると、図２に示すように、移動機構１３によりスライドレール１１、１２を台車２ａごと、ストッカー３ａに近接する方向へ移動させ、台車２ａをストッカー３ａに近接させると同時にスライドレール１２をレール１に接続させる。これにより、後続の台車２ｂは先の台車２ａを追い越すことが可能になる。
【００１９】
台車２ａがストッカー３ａに対してウエハカセットの搬入・搬出を行っている間、後続の台車２ｂはスライドレール１２上を走行して台車２ａを追い越し、次の作業へ向かう。
台車２ａがウエハカセットの搬入・搬出を完了すると、移動機構１３は、これらスライドレール１１、１２をストッカー３ａから離間する方向へ移動させ、スライドレール１１をレール１に接続する。
【００２０】
レール１、１１の接続が完了すると、台車２ａはスライドレール１１からレール１に移動し、次の作業へ向かう。
以上により、後続の台車２ｂは、先の台車２ａが搬入・搬出作業を行っている間、レール１上で待機させられることなく、先の台車２ａを追い越して次の作業へ進むことができ、作業効率を向上させることができる。
【００２１】
以上詳細に説明したように、本実施形態の搬送システムによれば、スライドレール１１と、スライドレール１１に平行に配置され前記スライドレール１１と同一の長さのスライドレール１２と、スライドレール１１、１２をその配列方向に移動させる移動機構１３と、制御装置１５を備えた構成としたので、搬送システム全体の構成を簡単化、小型化することができる。したがって、従来の様に迂回レール等を設ける必要が無く、建屋の補強工事や迂回レールの取付工事等が不要になり、工期の短縮及びコストダウンを図ることができる。これにより、半導体装置の生産計画に遅れが生じる虞が無くなり、生産効率を向上させることができる。
【００２２】
また、スライドレール１１、１２を平行移動させるだけでよいので、省スペース化が可能になり、従来の様に迂回レールを設けるための広いスペースも必要が無くなる。したがって、半導体工場内における無効な空間を極力狭くすることができ、クリーンルーム内を有効活用することができる。
【００２３】
なお、本実施形態の搬送システムでは、懸垂式のレール１を例に採り説明したが、懸垂式のレール１の替わりに跨座式のレールとしてもよい。跨座式のレールとした場合、必要に応じて移動機構１３等を設計変更すればよい。
また、懸垂式のレール１をループ状としたが、ループ状ではなく、直線状等としても同様の効果を奏することができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明の搬送システムによれば、軌条の一部を分割してなる第１の可動用軌条と、該第１の可動用軌条に平行に配置された第２の可動用軌条と、これら第１及び第２の可動用軌条をその配列方向に移動させる移動機構とを備え、前記第１及び第２の可動用軌条は、その配列方向に移動自在かつ所定の位置に固定可能とされ、これら第１及び第２の可動用軌条をその配列方向に移動させていずれか一方の可動用軌条を前記軌条と接続した場合に、この可動用軌条に前記搬送手段を進入させる構成としたので、搬送システム全体の構成を簡単化、小型化することができる。したがって、従来の様に迂回レール等を設ける必要が無く、建屋の補強工事や迂回レールの取付工事等が不要になり、工期の短縮及びコストダウンを図ることができる。
【００２５】
また、これら第１及び第２の可動用軌条を平行移動させるだけでよいので、省スペース化が可能になり、従来の様に迂回レールを設けるための広いスペースも必要が無くなる。したがって、半導体工場内における無効な空間を極力狭くすることができ、クリーンルーム内を有効活用することができる。
【００２６】
以上により、設置空間を狭くすることができ、設置時の建屋等の補強を小さくすることができ、搬入・搬出等の諸作業の効率化を図ることができ、システム自体の低コスト化を図ることができる搬送システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の搬送システムの主要部を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態の搬送システムの作動状態を示す平面図である。
【図３】従来の搬送システムの一例を示す概略構成図である。
【図４】従来の迂回レールを設けた搬送システムの一例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１　ループ状のレール（軌条）
２ａ〜２ｆ　台車（搬送手段）
３ａ〜３ｅ　ストッカー（装置）
１１　スライドレール（第１の可動用軌条）
１２　スライドレール（第２の可動用軌条）
１３　移動機構
１４　センサ（検知手段）
１５　制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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