(57)【要約】【課題】長尺の中空円筒状の二重管型のエキシマ放電ランプあるいは中空円筒状の二重管型のエキシマ放電ランプ用放電容器を輸送するに際して、内側管が撓むことを抑止し、破損を抑えた梱包方法を提供すること。【解決手段】外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該外側管と内側管の間にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入され両端が封じられた中空円筒状の放電ランプ用放電容器の梱包方法であって、少なくとも該放電容器の一方の端部より内側管を支持するように支柱部材を挿入する放電ランプ用放電容器の梱包方法とする。前記ガラス管の全長は８００ｍｍ以上である場合に特に有効である。また、前記支柱部材は放電容器に略平行配置された剛性を有する枠部材に立設された剛性を有する固定部材で固定されているとよい。【選択図】　図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該外側管と内側管の間にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入され両端が封じられた中空円筒状のエキシマ放電ランプ用放電容器の梱包方法であって、少なくとも該放電容器の一方の端部より内側管を支持するように支柱部材を挿入することを特徴とするエキシマ放電ランプ用放電容器の梱包方法。
【請求項２】
前記放電容器の全長は８００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマ放電ランプ用放電容器の梱包方法。
【請求項３】
前記支柱部材は剛性を有する枠部材に立設された剛性を有する固定部材で固定されていることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のエキシマ放電ランプ用放電容器の梱包方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のエキシマ放電ランプ用放電容器の外側管の外面に外部電極を配設し、内側管の外面に内部電極を配設し、それらの電極に給電する給電部材を配設したエキシマ放電ランプの梱包方法であって、少なくとも該エキシマ放電ランプの一方の端部より内側管を支持するように支柱部材を挿入することを特徴とするエキシマ放電ランプの梱包方法。
【請求項５】
前記支柱部材は剛性を有する枠部材に立設された剛性を有する固定部材で固定されていることを特徴とする請求項４に記載のエキシマ放電ランプの梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該外側管と該内側管の間にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入され両端が封じられた中空円筒状のエキシマ放電ランプ用放電容器及び当該放電容器を用いたエキシマ放電ランプの梱包方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶基板パネルの大画面化に伴い、液晶基板の紫外線処理に供される放電ランプの長尺化が望まれるようになってきている。近年、液晶基板の光洗浄など紫外線処理用途にはエキシマ分子の発光を利用し、高効率で単一波長の紫外線を放射するエキシマ放電ランプが使用されるようになってきている。
【０００３】
従来からエキシマ放電ランプ用放電容器（以降、適宜に放電容器と略す。）又はエキシマ放電ランプ（以降、適宜に放電ランプと略す。）を輸送するときは、図１で示すように、放電容器１５を緩衝材２、２´で保護し、ダンボール等の箱３１、３２の中に入れて輸送していた。図１の右図は放電容器（又は放電ランプ）の梱包された状態の内部を示しており、箱３１、３２や緩衝材２、２´は断面で表し、放電容器１５は断面でなくそのまま表している。図２の左図は右図のＡ−Ａ´方向の断面図を示している。
【０００４】
図１において、放電容器１５には管軸方向に破線が記してあるが、これは後述の図２で示されているように中空円筒状の二重管型の放電容器であることを示している。輸送時の衝撃、振動等によって破損するときは、緩衝材２、２´を工夫したり、図１のように箱３１を更に大きな箱３２に入れて（二重、三重に梱包）、放電容器１５の本体に掛かる衝撃や振動が小さくなるようにしていた。ここで、放電容器１５については放電容器に電極と給電部材を取り付けた完成品としての放電ランプそのものを運ぶ場合もある。
【０００５】
エキシマ分子の発光を利用するエキシマ放電ランプにおいては、全長が８００ｍｍを超えるようなもの、例えば１０００ｍｍのものもある。このような放電ランプ用の放電容器を図１で示した従来からの方法で梱包して輸送すると破損を生じやすい。二重に梱包して輸送しても破損が生じる。そこで、エキシマ放電ランプの放電容器１５として、図２に示した、外形が概略円筒状である外側管１７と内側管１６とを同軸に配置して、該外側管１７と該内側管１６の間にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入され両端が封じられた中空円筒状の二重管型の放電容器１５について、二重に梱包した状態で落下試験を行った。具体的には、高さ６０ｃｍからコンクリート製の床の上に自然落下をさせた。
【０００６】
放電容器１５のどこから割れるのか、なぜ割れるかを推測した。割れる場所は、両端部の内側管１６と外側管１７をシール（溶着）している側壁部分（図２のＡ１〜Ａ４）であった。図３に一端側の破損位置について示した。割れる原因は以下のように考えられる。輸送時に衝撃がかかっても外側管部はほぼ全体を梱包材で固定することができるので変形しないが、内側管部は両端のみで支持されており中央部が撓む。撓みは内側管の軸方向に応力を発生させる、と同時に両端側壁部にも応力を発生させる。両端の側壁部にかかる応力の方が、内側管自体にかかる応力より高いので、内側管自体より先に両端側壁部が破損するものと推測される。内側管が撓むことが割れの原因である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明の目的は、長尺の中空円筒状の二重管型のエキシマ放電ランプあるいは中空円筒状の二重管型のエキシマ放電ランプ用放電容器を輸送するに際して、内側管が撓むことを抑止し、放電容器の破損を抑えた梱包方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該外側管と内側管の間にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入され両端が封じられた中空円筒状のエキシマ放電ランプ用放電容器の梱包方法であって、少なくとも該放電容器の一方の端部より内側管を支持するように支柱部材を挿入するエキシマ放電ランプ用放電容器の梱包方法とする。
【０００９】
前記放電容器の全長は８００ｍｍ以上である場合に特に有効である。
【００１０】
また、前記支柱部材は剛性を有する枠部材に立設された剛性を有する固定部材で固定されているとよい。
【００１１】
また、請求項１または請求項２に記載のエキシマ放電ランプ用放電容器の外側管の外面に外部電極を配設し、内側管の外面に内部電極を配設し、それらの電極に給電する給電部材を配設したエキシマ放電ランプの梱包方法であって、少なくとも該エキシマ放電ランプの一方の端部より内側管を支持するように支柱部材を挿入することを特徴とするエキシマ放電ランプの梱包方法とする。
【００１２】
また、エキシマ放電ランプの梱包においても、前記支柱部材は剛性を有する枠部材に立設された剛性を有する固定部材で固定されているとよい。
【００１３】
【作用】
衝撃、振動によって内側管が撓もうとする力を、支柱に分散することで、内側管の撓み量を抑えることができ、両端側壁部に発生する応力を抑え、側壁部からの破損を抑えることができる。また、撓み量をある一定値以下に抑えることで破損を防ぐことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について図を用いて説明する。
（１）電極無しの放電容器のみを輸送する場合について説明する。
図４は支柱部材４を剛性部材で両端支持しない場合を示す。図４の右図は放電容器１５の梱包された状態の内部を示しており、箱３１、３２や緩衝材２、２´は断面で表し、放電容器１５は断面でなくそのまま表している。図４の左図は右図のＢ−Ｂ´方向の断面図を示している。
【００１５】
放電容器１５の全長は１０００ｍｍである。放電容器１５の内側管の中に支柱部材４が挿入され、支柱部材４は放電容器１５の両端に突き出している。支柱部材４が貫通した放電容器１５はウレタン等の緩衝材２で覆われ、ダンボール製の箱３１に入れられる。さらに外側をもう一重、緩衝材２´で覆い輸送用のダンボール製の箱３２で覆われている。輸送用の箱３１，３２にかかった衝撃は、二重に囲われた緩衝材２、２´によって減衰するが、完全に吸収されず放電容器１５にも衝撃がかかる。放電容器１５の外側管は緩衝材２が全体をほぼ均一押さえており、さらに緩衝材２が変形することで撓みは生じないが、内側管は両端が外側管で固定され、中央部は固定されていないため放電容器１５の中央部が撓む。
【００１６】
しかし、内側管の内部には支柱部材４が挿入されているので、支柱部材４が内側管の両端と中央部で撓みを支えることになり、それ以上には内側管は撓まなくなる。したがって、内側管の撓みはある一定量以下に抑えることになるので、放電容器１５の側壁部には一定量以下の応力しか生じず、側壁部から割れることはない。支柱の長さは放電容器と同じ長さかそれ以上であればよい。
【００１７】
実際に全長６００，８００，１０００，１２００ｍｍの放電容器１５を図１に示した梱包方法と、図４に示した梱包方法で梱包し、高さ６０ｃｍから落下させて割れるかどうかの比較を行った。各５本行った場合、従来の梱包方法では、全長８００ｍｍで割れる放電容器が２本出た。それ以上では全数割れた。図４の梱包方法では、全長１２００ｍｍの放電容器でも割れなかった。
【００１８】
図５は支柱部材４を剛性部材で両端支持する場合を示す。図５の右図は放電容器１５の梱包された状態の内部を示しており、箱３１、３２や緩衝材２、２´は断面で表し、放電容器１５は断面でなくそのまま表している。図５の左図は右図のＣ−Ｃ´方向の断面図を示している。
【００１９】
放電容器１５の内部を支柱部材４が貫通し、支柱部材４は剛性のある固定部材６に固定されている。そして固定部材６は剛性のある枠部材５に固定されている。この剛性のある枠部材５は、アルミニウム製の箱状のものであってもよいし、鉄製の板であったりアングル等を組み合わせたものでも良い。本実施例では鉄製の板の上に放電容器１５が取り出せるように固定部材６が脱着可能に取付られている。鉄製の板も剛性を持たせるために端部を曲げている。放電容器１５と剛性のある枠部材５の間は外側管が撓まないよう均一に抑えるために緩衝材２または固い充填材で埋められている。そして枠部材５の外側を緩衝材２´と輸送用のダンボール製の箱３２で覆って放電容器１５にかかる衝撃を小さくしている。
【００２０】
衝撃が加わると内側管が撓む。放電容器１５と鉄製の枠部材５の間の緩衝材２の硬さにより、多少、内側管の撓み量に差が生じる。また、内側管と共に支柱部材４自身も撓む。支柱部材４の両端を理想的に完全に固定すると、固定しない場合（図４の場合）に比べ理論上、撓み量は１／５になり、固定する方が有利である。支柱部材４を固定した枠部材５がダンボールのようなやわらかい材質ならば、支柱部材４が撓もうとする場合、枠部材５自身が容易に変形するため固定していないのと同じであるが、鉄製の枠部材５、また更に強固な枠部材５を用い、その枠部材５に固定すれば支柱部材４自身の撓み量が減り、内側管１６が支柱部材４にぶつかりやすくなり、内側管１６の撓み量は小さくなるため、側壁部は割れにくくなる。
【００２１】
図６は支柱部材４を放電ランプの両端から途中まで挿入した場合を示す。図６の右図は放電容器１５の梱包された状態の内部を示しており、箱３１、３２や緩衝材２、２´は断面で表し、放電容器１５は断面でなくそのまま表している。図６の左図は右図のＤ−Ｄ´方向の断面図を示している。
【００２２】
放電容器１５はアルミニウム製の剛性のある箱状の枠部材５に入れている。両側から支柱部材４が放電容器１５の途中まで挿入されていて、その支柱部材４は枠部材５に固定部材６で固定している。放電容器１５の端部と支柱部材４の先端で内側管１０の撓みを一定量以下に抑えることができ、放電容器１５の端部は割れなくなる。
【００２３】
（２）電極付、ベース付のランプを輸送する場合
図７に二重管型のエキシマ放電ランプの管軸方向の断面図を示す。
両端に金属製のベース２５とセラミックベース２６が取り付けている。金属製のベース２５は放電容器１５とセメント２７で固定されている。外側管１７に設けた外側電極１１の網電極と金属ベース２５は図示していないが導通している。放電ランプ１の片端には内側電極１０に給電するためのリード線２３が設けられている。セラミックベース２６はリード線２３が放電容器１５に触れるのを防止する、紫外線がリード線２３の被覆に当たるのを防ぐ、リード線２３を引っ張っても抜けないようにする、などの役割をしている。
【００２４】
図８に二重管型のエキシマ放電ランプ１に支柱部材４が挿入された図を示す。ランプの形状は図２に示されたものと同じである。割れ防止の支柱部材４は、セラミックベース２６の中央に空けた穴から挿入し、セラミックベース２６の突起２６Ａに引っ掛けるように配置する。内側電極１０の内部には、電極固定用のＣ型形状バネ２１、給電端子部２２がある。Ｃ型バネ２１は薄い板でできているので支柱部材４の邪魔はしない。しかし、給電端子部２２は図９のようにリード線２３が接続されている。したがって、支柱部材４に切込み部２４を形成し、図１０のようにしてＣ型形状バネ２１を挿入することができる。
【００２５】
このように、支柱部材４が挿入された状態の図８のエキシマ放電ランプを、図４のような梱包をして輸送すれば、衝撃がかかり内側管１０が撓んでも、支柱部材４が両端のセラミックベース２６と内側管１０の中央部を支え、撓み量を一定量以下に抑えることができるので放電ランプが破損せずに輸送できる。
【００２６】
支柱部材４の両端が支えられた場合、衝撃がかかると支柱部材４自身にも撓みが生じる。なるべく撓まない支柱部材４を選定するためには、以下の点を考慮するのがよい。支柱部材４の材質は縦弾性係数係数（ヤング率）が大きく密度の小さいものを選べばよい。支柱部材４の形状は、断面形状による断面係数の大きいものを選定すればよい。二つを考慮して内側管１０と同じ衝撃がかかったときに、内側管１０より撓まなければよい。材質はアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）やシリコンカーバイド（ＳｉＣ）などがよい。密度は大きいが鉄やステンレスなどでもよい。
【００２７】
具体的には、支柱部材４の形状は、断面円形のパイプやムク材、四角形、多角形、Ｉ型、中がハニカム構造や、支えの入ったパイプ等が考えられる。
【００２８】
【発明の効果】
内側管の内部に支柱部材を入れることによって、衝撃、振動によって内側管が撓もうとする力を、支柱部材に分散させることで、内側管の撓み量を抑えることができ、エキシマ放電ランプ用放電容器やエキシマ放電ランプの両端部に発生する応力を抑え、放電容器の端部からの破損を抑えることができる。また、撓み量をある一定値以下に抑えることで放電容器の破損を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】エキシマ放電ランプおよび同ランプ用放電容器の従来の梱包方法を示す。
【図２】二重管型のエキシマ放電ランプ用放電容器の概略断面図を示す。
【図３】放電容器の端部の破損箇所を説明する図を示す。
【図４】本発明の梱包方法を示す。
【図５】本発明の梱包方法を示す。
【図６】本発明の梱包方法を示す。
【図７】二重管型のエキシマ放電ランプの断面図を示す。
【図８】支柱部材が挿入された二重管型のエキシマ放電ランプの断面図を示す。
【図９】Ｃ型形状バネの電極給電端子部の拡大図を示す。
【図１０】Ｃ型形状バネの電極給電端子部と支柱部材との組合わせ図を示す。
【符号の説明】
１　エキシマ放電ランプ
２、２´　緩衝材
３１　箱
３２　箱
４　支柱部材
５　枠部材
６　固定部材
１０　内部電極
１１　外部電極
１５　放電容器
１６　内側管
１７　外側管
２０　放電空間
２１　Ｃ型形状バネ
２２　給電端子部
２３　リード線
２４　切り込み部
２５　金属ベース
２６　セラミックベース
２６Ａ　突起
２７　セメント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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