(57)【要約】【課題】気泡を残存させることなく、半導体装置を封止材料にて封止する。【解決手段】本発明は、支持体の凹部に載置された半導体素子と、該半導体素子を被覆する封止部材とを備える半導体装置の製造方法であって、前記封止部材は、外気圧Ｐ１のもと封止材料にて前記半導体素子を被覆する第一の工程と、外気圧Ｐ２（Ｐ２＜Ｐ１）のもとで前記封止材料を前記凹部の開口方向に延材させ、前記凹部内の気泡を前記外気へ放出させる第二の工程と、該第二の工程後、外気圧Ｐ３（Ｐ３＞Ｐ２）のもとで前記封止材料を硬化させる第三の工程と、を含む工程により形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法である。【選択図】  図２
2004311601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体の凹部に載置された半導体素子と、該半導体素子を被覆する封止部材とを備える半導体装置の製造方法であって、
前記封止部材は、外気圧Ｐ１のもと封止材料にて前記半導体素子を被覆する第一の工程と、外気圧Ｐ２（Ｐ２＜Ｐ１）のもとで前記封止材料を前記凹部の開口方向に延材させ、前記凹部内の気泡を前記外気の方向へ移動させる第二の工程と、該第二の工程後、外気圧Ｐ３（Ｐ３＞Ｐ２）のもとで前記封止材料を硬化させる第三の工程と、を含む工程により形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記凹部は開口方向に向かって狭くなる形状を有する請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記封止材料は、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、から選択される少なくとも一種を含む請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記第一の工程および前記第二の工程は、周囲温度が２０℃から７０℃の恒温状態のもとで行われる請求項１乃至３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記封止材料の粘度は、２０００ｍＰａ・ｓ以下である請求項１乃至４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記外気圧Ｐ１および前記外気圧Ｐ３は、ともに大気圧である請求項１乃至５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記外気圧Ｐ１と前記外気圧Ｐ２との圧力差は、０．０５ＭＰａ以上、０．１０ＭＰａ以下である請求項１乃至６に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記外気圧Ｐ１から前記外気圧Ｐ２とする所要時間は、３０ｓ以上１８０ｓ以下である請求項１乃至７に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記第二の工程の所要時間は、３０ｓ以上６００ｓ以下である請求項１乃至８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記外気圧Ｐ２から前記外気圧Ｐ３とする所要時間は、３０ｓ以上３００ｓ以下である請求項１乃至９に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に半導体素子を封止する工程において半導体装置中に気泡を発生させることのない半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
半導体素子を利用した半導体装置は、半導体素子を外部環境から保護するために封止部材で半導体素子を封止するのが一般的である。また、支持体の凹部内に載置された発光素子と、該発光素子からの光を吸収し異なる波長を有する光を発する蛍光体を有する発光装置には、発光素子周辺の封止部材中に蛍光体が含有される。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１９６６４０号公報。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、半導体素子を封止する一般な工程において、封止材料中、あるいは封止材料と半導体素子を載置するための支持体との界面に気泡が発生する。特に、支持体の凹部によって形成される開口部が開口方向に向かって段階的に狭くなるような複雑な形状の場合には、凹部側壁の段差付近に気泡が発生したまま封止材料が硬化されてしまう。従来は、封止材料で半導体素子を被覆する工程を複数回に分けて行った後、硬化させることにより、半導体装置の封止部材付近に気泡を残存させないようにしていた。
【０００５】
また、封止部材付近に残存した気泡は、発光素子や受光素子の光学特性に悪影響を及ぼすこととなり、半導体装置の信頼性を著しく低下させる。また、封止部材中に蛍光体を含有する発光装置とした場合は、気泡の発生により各発光装置毎に蛍光体の含有量が異なることとなるため、各発光装置毎に色度のバラツキが生じ量産時において製造歩留まりが低下する。
【０００６】
そこで、本発明は、気泡を発生させることなく半導体素子を封止し、信頼性の高い半導体装置を製造歩留まり良く量産できる方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するために本発明に係る製造方法は、支持体の凹部に載置された半導体素子と、該半導体素子を被覆する封止部材とを備える半導体装置の製造方法であって、前記封止部材は、外気圧Ｐ１のもと封止材料にて前記半導体素子を被覆する第一の工程と、外気圧Ｐ２（Ｐ２＜Ｐ１）のもとで前記封止材料を前記凹部の開口方向に延材させ、前記凹部内の気泡を前記外気の方向へ移動させる第二の工程と、該第二の工程後、外気圧Ｐ３（Ｐ３＞Ｐ２）のもとで前記封止材料を硬化させる第三の工程と、を含む工程により形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【０００８】
このように構成すると、封止材料と支持体の凹部側壁との界面に気泡を残存させることなく、半導体素子を封止することができ、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。また、半導体素子を封止材料にて被覆する工程を複数回行うことなく、一回の工程で気泡の発生を抑えた半導体装置を製造することができる。
【０００９】
また、前記凹部は開口方向に向かって狭くなる形状を有する。これにより、開口方向に狭くなる形状を有する凹部に半導体素子を載置し、気泡を含まない半導体装置を製造できる。
【００１０】
また、前記封止材料は、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、から選択される少なくとも一種を含む。これにより、これらの材料は粘度を調整することが容易にできるため、気泡を含まない半導体装置を製造することが容易にできる。
【００１１】
また、前記第一の工程および前記第二の工程は、周囲温度が２０℃から７０℃の恒温状態のもとで行われる。これにより、封止材料が凹部の開口方向に延材し易いように封止材料の粘度を調整することが容易にできる。
【００１２】
また、前記封止材料の粘度は、２０００ｍＰａ・ｓ以下である。これにより、封止材料が凹部の開口方向に延材し易いようにできる。
【００１３】
また、前記外気圧Ｐ１および前記外気圧Ｐ３は、ともに大気圧である。これにより、封止材料にて半導体素子を被覆する工程を簡便に行うことができる。
【００１４】
また、前記外気圧Ｐ１と前記外気圧Ｐ２との圧力差は、０．０５ＭＰａ以上、０．１０ＭＰａ以下である。これにより、封止材料を凹部の開口部から半導体装置の外部へ溢れ出させることなく、半導体装置の側にある気泡を外気方向へ放出させることができる。
【００１５】
また、前記外気圧Ｐ１から前記外気圧Ｐ２とする所要時間は、３０ｓ以上１８０ｓ以下である。これにより、封止材料を半導体装置の外部へ溢れ出させることなく、半導体装置の側にある気泡を外気方向へ放出させることができる。
【００１６】
また、前記第二の工程の所要時間は、３０ｓ以上６００ｓ以下である。これにより、半導体装置の側にある気泡を完全に外気方向へ放出させることが容易にできる。
【００１７】
また、前記外気圧Ｐ２から前記外気圧Ｐ３とする所要時間は、３０ｓ以上３００ｓ以下である。これにより、封止部材の形状を損なうことなく、封止部材を所望の形状とするとこができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、以下に図面を参照しながら説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための半導体装置の製造方法を例示するものであって、本発明は半導体装置の製造方法を以下に限定するものではない。また、各図面に示す部材の大きさや位置関係などは説明を明確にするために誇張しているところがある。
【００１９】
図１（ａ）は、本実施の形態における製造方法によって製造された半導体装置の上面図を模式的に示し、図１（ｂ）は、図１（ａ）の半導体装置の破線ＣＣ‘における模式的な断面図を示す。また、図２（ａ）から（ｄ）は、本実施の形態における半導体装置、特に該半導体装置の封止部材の形成工程を模式的に示す断面図である。
【００２０】
図１に示されるような本実施の形態における半導体装置は、半導体素子、例えば発光素子を載置する支持体としてセラミックパッケージ１０４を有している。該セラミックパッケージ１０４は、発光観測面側に発光素子を載置する凹部を有し、セラミックパッケージの内壁面によって形成される凹部は開口方向に向かって段階的に狭くなる形状を有する。このような形状を有するセラミックパッケージ１０４は、内径の異なるセラミックグリーンシートを積層し焼成させることにより容易に形成することができる。一般にセラミックパッケージは、放熱性に優れ、高輝度高出力の発光装置の形成に適しているものの、シリコーン樹脂等封止材料との密着性が悪いため、上述したような形状を有する凹部にて、封止部材がセラミックパッケージから脱落することを防止している。
【００２１】
従来、このような半導体装置は、凹部内に半導体素子を載置し外部電極と接続させた後、凹部内に封止材料を充填し硬化させることにより、半導体素子が封止部材で被覆された半導体装置としている。しかしながら、封止材料を凹部内に充填する際、階段状とした側壁の隅々まで封止材料を充填させることは容易でなく、特に階段状とした内壁の角の部分に気泡が発生し易い。従って、封止材料とセラミックパッケージの内壁との間に気泡を含んだまま封止材料が硬化され、封止部材が形成されることとなる。このような気泡の存在により、発光素子からの光は、気泡と封止部材の界面で発光観測面方向以外にも反射・散乱するため発光装置の光の取り出し効率は低下する。また、気泡の発生場所および大きさは各発光装置毎に異なる。さらに、蛍光体を含有させた封止部材中に気泡が発生すると、気泡の体積分だけ封止部材の体積が各発光装置毎に異なり、含有される蛍光体の量が各発光装置毎に異なることとなるため、各発光装置毎に色度が異なり量産過程において製品歩留まりが低下する。
【００２２】
そこで本発明者は、発光素子を被覆する封止部材の形成工程を以下のような工程とすることにより、封止部材と凹部内壁との間に気泡を発生させることなく半導体素子を被覆することができることを見出し本発明をなすに至った。
【００２３】
即ち、本発明にかかる半導体装置の製造方法は、特に、封止部材が、外気圧Ｐ１のもと封止材料にて前記半導体素子を被覆する第一の工程と、外気圧Ｐ２（Ｐ２＜Ｐ１）のもとで前記封止材料を前記凹部の開口方向に延材させ、前記凹部内に含有される気泡を前記外気の方向へ移動させて放出させる第二の工程と、気圧Ｐ３（Ｐ３＞Ｐ２）のもと前記封止材料を硬化させる第三の工程と、を少なくとも含む工程により形成されることを特徴とする。以下、図２（ａ）から図２（ｄ）を参照しながら各工程について詳細に説明する。
【００２４】
▲１▼外気圧Ｐ１のもと封止材料にて半導体素子を被覆する第一の工程（図２（ａ））。
【００２５】
まず、開口方向に向かって段階的に狭くなる形状を有する凹部を備える支持体の該凹部内に半導体素子を載置し、外部電極との電気的接続をとる。次に、外気圧Ｐ１のもと、凹部内に粘度を調整した液状の封止材料を一度に充填する。従来は、凹部内の気泡の発生を抑えるために、複数回に分けて封止材料の充填を行っていたが、本発明にかかる形成方法によれば、充填回数を一回にしても、混入した気泡を完全に除去することができるため、気泡を含まない封止部材を有する半導体装置を形成することが容易にできる。
【００２６】
封止材料１０８の充填後、図２（ａ）に示されるように、封止材料１０８と、パッケージの内壁面、特に階段状の部分との間に気泡１０６が存在する。
【００２７】
液状の封止材料は、シリコーン樹脂や、エポキシ樹脂、フッ素樹脂等が好ましく、さらに封止材料の粘度は、１００ｍＰａ・ｓ以上２０００ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。このように封止材料を選択し、さらに粘度を調整することにより、作業性を向上させ、凹部内に気泡を残存させることなく封止部材を形成することができる。また、外気圧Ｐ１および外気圧Ｐ３は、等しいことが好ましい。さらに、外気圧Ｐ１および外気圧Ｐ３は、ともに大気圧であることがより好ましい。このような条件のもとで封止材料の充填を行うことにより、作業性よく行うことができる。
【００２８】
▲２▼外気圧Ｐ２（Ｐ２＜Ｐ１）のもとで上記封止材料を上記凹部の開口方向に延材させ、上記凹部内の気泡を外気の方へ移動させ放出させる第二の工程。
【００２９】
封止材料１０８の充填後、封止材料１０８の凹部開口部側最表面１０７は放物面あるいは平坦な面であり、凹部側壁に封止材料が這い上がった状態であるが、該最表面１０７付近の外気圧を外気圧（Ｐ１）から外気圧（Ｐ２）まで徐々に減圧すると、体積の増加した封止材料１０８が凹部の開口方向に吸引されて延材し、封止材料の最表面１０７は、図２（ｂ）に示されるように凹部の開口方向に凸形状となる。封止材料１０８と凹部側壁との界面に生じた気泡１０６は、封止材料１０８の延材に伴って凹部の開口部付近まで移動する。その後、開口部付近において、気泡の内圧は外気圧より高いため、気泡と外気とを隔てる封止材料の壁は徐々に薄くなり、ついには気泡が消滅する（図２（ｃ））。
【００３０】
ここで、第一の工程および第二の工程は、周囲温度が２０℃から７０℃の恒温状態のもとで行われることが好ましい。このような条件のもとで行うことにより、凹部内に充填しやすく、かつ開口方向へ延材しやすような封止材料の最適粘度をほぼ一定に保ち、作業性よく各工程を行うことができる。
【００３１】
また、外気圧Ｐ１と外気圧Ｐ２との圧力差は、０．０５ＭＰａ以上、０．１０ＭＰａ以下であることが好ましい。このような条件のもとで封止材料の充填を行うことにより、液状の封止材料が開口部から溢れ出ることはなく、気泡を凹部の側から外気の方へ放出させることができる。
【００３２】
また、本第二の工程において、外気圧Ｐ１から外気圧Ｐ２とする所要時間は、３０ｓ以上１８０ｓ以下であることが好ましい。このような条件のもとで外気を徐々に減圧させることにより、液状の封止材料が開口部から溢れ出ることなく延材し、気泡を凹部内から外気の方へ徐々に移動させることができる。
【００３３】
また、本第二の工程の所要時間は、３０ｓ以上６００ｓ以下であることが好ましい。このように外気圧Ｐ２の状態のもとで所定の時間保持することにより、凹部内の気泡を完全に外気方向で放出させることができる。
【００３４】
▲３▼上記第二の工程後、外気圧Ｐ３（Ｐ３＞Ｐ２）のもとで封止材料を硬化させる第三の工程（図２（ｄ））。
【００３５】
本工程では、外気圧Ｐ２から外気圧Ｐ３（Ｐ３＞Ｐ２）へ徐々に加圧し、凹部の開口方向へ凸形状であった封止材料１０８の最表面１０７が、開口方向とは反対側の方向へ凹形状、あるいは平坦となるようにする。さらに、軟化状態にあった封止材料１０８を硬化させることにより、凹部内に気泡を残存させることなく、凹部内の半導体素子を被覆する封止部材を形成することができる。
【００３６】
また、外気圧Ｐ２から外気圧Ｐ３とする所要時間は、３０ｓ以上３００ｓ以下であることが好ましい。このように、所定の時間を掛けて徐々に加圧することにより、封止材料の最表面形状が損なわれないようにすることができる。
【００３７】
以下、本発明の実施の形態における半導体装置の各構成について詳述する。
［封止部材１０５］
本実施の形態において、封止部材を形成可能な封止材料は、半導体素子の特徴や用途に応じて、有機樹脂及び透光性無機材料のいずれをも用いることができる。本発明に好適に用いられる封止材料の具体的材料としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂およびそれらを少なくとも一種以上含むハイブリッド樹脂などの耐候性に優れた透明樹脂や、金属アルコキシドからゾルゲル法により生成される無機材料、ガラスなどが好適に用いられる。また、蛍光物質と共に光を散乱させる拡散材や、顔料を含有させても良い。
［支持体］
本実施の形態における支持体とは、半導体素子を載置し、該半導体素子に電力を供給する電極が設けられ、半導体素子や電極を外部環境から保護するためのものである。支持体は、芳香族ナイロン系樹脂、ポリフタルアミド樹脂（ＰＰＡ）、サルホン系樹脂、ポリアミドイミド樹脂（ＰＡＩ）、ポリケトン樹脂（ＰＫ）、ポリカーボネート樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ＡＢＳ樹脂、ＰＢＴ樹脂等の熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、ガラスエポキシ樹脂等を材料として射出成形により形成される。特に、本実施の形態におけるセラミックパッケージ１０４とは、異なる内径の貫通孔を有するセラミックグリーンシートを積層させた後焼結させることにより形成されたものであり、放熱性に優れ高出力の発光が可能である。具体的には、原料粉末の９０〜９６重量％がアルミナであり、焼結助剤として粘度、タルク、マグネシア、カルシア及びシリカ等が４〜１０重量％添加され１５００から１７００℃の温度範囲で焼結させたセラミックスや原料粉末の４０〜６０重量％がアルミナで焼結助剤として６０〜４０重量％の硼珪酸硝子、コージュライト、フォルステライト、ムライトなどが添加され８００〜１２００℃の温度範囲で焼結させたセラミックス等が挙げられる。
【００３８】
このようなパッケージは、焼成前のグリーンシート段階で種々の形状をとることができる。パッケージ内の導体配線は、タングステンやモリブデンなど高融点金属を樹脂バインダーに含有させたペースト状の材料から形成される。スクリーン印刷などの方法により、ペースト状の材料グリーンシートに設けたスルーホールを介して所望の形状とし、セラミック焼成によって導体配線となる。貫通孔を有するグリーンシートを多層に張り合わせることなどによりＬＥＤチップを載置する凹状開口部を形成する。したがって、発光観測面側から見て円状、楕円状や孔径の異なるグリーンシートを積層することで階段状の開口部内壁などを形成することも可能である。さらに、一定の方向に内径が大きくなる貫通孔を有するグリーンシートと、種々の形状および大きさの貫通孔を有するグリーンシートを組み合わせることにより、開口方向に向かって広くなる形状や、開口方向に向かって狭くなる形状を有する凹状開口部とすることができる。ここで、一定の方向に内径が大きくなる貫通孔を有するグリーンシートは、グリーンシートの当接方向に狭くなる形状を有する切削具を使用して切削加工により形成することが可能である。あるいは、通常の貫通孔を形成する際に使用する切削具のグリーンシート表面に対する当接角度を変化させることにより形成することが可能である。さらには、内径を徐々に変化させた貫通孔を有する複数枚のグリーンシートを重ね合わせ、取り敢えず階段状の内壁面を形成し、該階段状の内壁面に成型用金型を押し当てることにより、一定の方向に内径が大きくなる貫通孔を有するグリーンシトを形成することが可能である。
【００３９】
このようなグリーンシートを積層させた後、焼結させることによってセラミックスパッケージとすることができる。また、Ｃｒ２Ｏ３、ＭｎＯ２、ＴｉＯ２、Ｆｅ２Ｏ３などをグリーンシート自体に含有させることによって暗色系にさせることもできる。
【００４０】
パッケージの凹状開口部内は、ＬＥＤチップや半導体素子と外部電極とを接続する導電性ワイヤなどを内部に配置させるものである。したがって、ＬＥＤチップをダイボンド機器などで載置すると共にＬＥＤチップとの電気的接続をワイヤーボンディングなどで採れるだけの十分な大きさがあれば良い。凹状開口部は、所望に応じて２以上の複数設けることができる。具体的には、１６×１６や２４×２４のドットマトリックスや直線状など種々選択させることもできる。凹状開口部のドットピッチが４ｍｍ以下の高細密の場合には、砲弾型ＬＥＤランプを搭載する場合と比較して大幅にドットピッチが縮小したものとすることができる。また、本構成では、このような高細密においてもＬＥＤチップからの放熱性に関連する種々の問題を解決できる。ＬＥＤチップとパッケージ底部との接着は熱硬化性樹脂などによって行うことができる。具体的には、エポキシ樹脂、アクリル樹脂やイミド樹脂などが挙げられる。また、フェースダウンＬＥＤチップなど配線と電気的に接続させるためにはＡｇペースト、ＩＴＯペースト、カーボンペースト、金属バンプ等を用いることができる。
［半導体素子］
本発明において使用される半導体素子として、発光素子、受光素子等の半導体素子が考えられるが、本実施の形態において使用される半導体素子は、発光素子として使用されるＬＥＤチップ１０１である。蛍光体と発光素子とを組み合わせ、蛍光体を励起させることによって波長変換した光を出光させる発光装置とする場合、蛍光体を励起可能な波長の光を出光するＬＥＤチップが使用される。ＬＥＤチップ１０１は、ＭＯＣＶＤ法等により基板上にＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＡｌＡｓ、ＩｎＧａＡｌＰ、ＩｎＮ、ＡｌＮ、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＡｌＮ等の半導体を発光層として形成させる。半導体の構造としては、ＭＩＳ接合、ＰＩＮ接合やＰＮ接合などを有するホモ構造、ヘテロ構造あるいはダブルへテロ構成のものが挙げられる。半導体層の材料やその混晶度によって発光波長を種々選択することができる。また、半導体活性層を量子効果が生ずる薄膜に形成させた単一量子井戸構造や多重量子井戸構造とすることもできる。好ましくは、蛍光体を効率良く励起できる比較的短波長を効率よく発光可能な窒化物系化合物半導体（一般式ＩｎｉＧａｊＡｌｋＮ、ただし、０≦ｉ、０≦ｊ、０≦ｋ、ｉ＋ｊ＋ｋ＝１）である。
【００４１】
窒化ガリウム系化合物半導体を使用した場合、半導体基板にはサファイア、スピネル、ＳｉＣ、Ｓｉ、ＺｎＯ、ＧａＮ等の材料が好適に用いられる。結晶性の良い窒化ガリウムを形成させるためにはサファイア基板を用いることがより好ましい。サファイア基板上に半導体膜を成長させる場合、ＧａＮ、ＡｌＮ等のバッファ層を形成しその上にＰＮ接合を有する窒化ガリウム半導体を形成させることが好ましい。また、サファイア基板上にＳｉＯ２をマスクとして選択成長させたＧａＮ単結晶自体を基板として利用することもできる。この場合、各半導体層の形成後ＳｉＯ２をエッチング除去させることによって発光素子とサファイア基板とを分離させることもできる。窒化ガリウム系化合物半導体は、不純物をドープしない状態でＮ型導電性を示す。発光効率を向上させるなど所望のＮ型窒化ガリウム半導体を形成させる場合は、Ｎ型ドーパントとしてＳｉ、Ｇｅ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｃ等を適宜導入することが好ましい。一方、Ｐ型窒化ガリウム半導体を形成させる場合は、Ｐ型ドーパンドであるＺｎ、Ｍｇ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ等をドープさせる。
【００４２】
窒化ガリウム系化合物半導体は、Ｐ型ドーパントをドープしただけではＰ型化しにくいためＰ型ドーパント導入後に、炉による加熱、低速電子線照射やプラズマ照射等によりアニールすることでＰ型化させることが好ましい。具体的な発光素子の層構成としては、窒化ガリウム、窒化アルミニウムなどを低温で形成させたバッファ層を有するサファイア基板や炭化珪素上に、窒化ガリウム半導体であるＮ型コンタクト層、窒化アルミニウム・ガリウム半導体であるＮ型クラッド層、Ｚｎ及びＳｉをドープさせた窒化インジュウムガリウム半導体である活性層、窒化アルミニウム・ガリウム半導体であるＰ型クラッド層、窒化ガリウム半導体であるＰ型コンタクト層が積層されたものが好適に挙げられる。ＬＥＤチップ１０１を形成させるためにはサファイア基板を有するＬＥＤチップ１０１の場合、エッチングなどによりＰ型半導体及びＮ型半導体の露出面を形成させた後、半導体層上にスパッタリング法や真空蒸着法などを用いて所望の形状の各電極を形成させる。ＳｉＣ基板の場合、基板自体の導電性を利用して一対の電極を形成させることもできる。
【００４３】
次に、形成された半導体ウエハー等をダイヤモンド製の刃先を有するブレードが回転するダイシングソーにより直接フルカットするか、又は刃先幅よりも広い幅の溝を切り込んだ後（ハーフカット）、外力によって半導体ウエハーを割る。あるいは、先端のダイヤモンド針が往復直線運動するスクライバーにより半導体ウエハーに極めて細いスクライブライン（経線）を例えば碁盤目状に引いた後、外力によってウエハーを割り半導体ウエハーからチップ状にカットする。このようにして窒化物系化合物半導体であるＬＥＤチップ１０１を形成させることができる。
【００４４】
本発明の発光装置において、蛍光体を励起させて発光させる場合は、蛍光体との補色等を考慮してＬＥＤチップ１０１の主発光波長は３５０ｎｍ以上５３０ｎｍ以下が好ましい。
［蛍光物質］
本発明では、発光素子１０１、封止部材１０５、ダイボンド材およびパッケージ等の各構成部材中および／またはその周辺に無機蛍光物質や有機蛍光物質のような種々の蛍光物質を配置させることができる。このような蛍光物質の一例として、無機蛍光物質である希土類元素を含有する蛍光物質がある。
【００４５】
希土類元素含有蛍光物質として、具体的には、Ｙ、Ｌｕ，Ｓｃ、Ｌａ，Ｇｄ、ＴｂおよびＳｍの群から選択される少なくとも１つの元素と、Ａｌ、Ｇａ、およびＩｎの群から選択される少なくとも１つの元素とを有するガーネット（ざくろ石）型蛍光物質が挙げられる。本実施の形態に用いられるアルミニウム・ガーネット系蛍光体とは、Ａｌを含み、かつＹ、Ｌｕ、Ｓｃ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｅｕ及びＳｍから選択された少なくとも一つの元素と、Ｇａ及びＩｎから選択された一つの元素とを含み、希土類元素から選択された少なくとも一つの元素で付活された蛍光体であり、発光素子から出光された可視光や紫外線で励起されて発光する蛍光体である。例えば、以下に述べるイットリウム・アルミニウム酸化物系蛍光体（ＹＡＧ系蛍光体）の他、Ｔｂ２．９５Ｃｅ０．０５Ａｌ５Ｏ１２、Ｙ２．９０Ｃｅ０．０５Ｔｂ０．０５Ａｌ５Ｏ１２、Ｙ２．９４Ｃｅ０．０５Ｐｒ０．０１Ａｌ５Ｏ１２、Ｙ２．９０Ｃｅ０．０５Ｐｒ０．０５Ａｌ５Ｏ１２等が挙げられる。これらのうち、特に本実施の形態において、Ｙを含み、かつＣｅあるいはＰｒで付活され組成の異なる２種類以上のイットリウム・アルミニウム酸化物系蛍光体が利用される。
【００４６】
また、本発明で使用される窒化物系蛍光体とは、Ｎを含み、かつＢｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、及びＺｎから選択された少なくとも一つの元素と、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、及びＨｆから選択された少なくとも一つの元素とを含み、希土類元素から選択された少なくとも一つの元素で付活された蛍光体である。さらに、本実施の形態に用いられる窒化物系蛍光体としては、発光素子から出光された可視光、紫外線、及びＹＡＧ系蛍光体からの発光を吸収することによって励起され発光する蛍光体をいう。窒化物系蛍光体として、例えば、（Ｓｒ０．９７Ｅｕ０．０３）２Ｓｉ５Ｎ８、（Ｃａ０．９８５Ｅｕ０．０１５）２Ｓｉ５Ｎ８、（Ｓｒ０．６７９Ｃａ０．２９１Ｅｕ０．０３）２Ｓｉ５Ｎ８、等が挙げられる。
【００４７】
以下、それぞれの蛍光体について詳細に説明する。
（イットリウム・アルミニウム酸化物系蛍光体）
本実施の形態の発光装置に用いた蛍光物質は、窒化物系半導体を活性層とする半導体発光素子から発光された光を、励起させて異なる波長の光を発光できるセリウムで付活されたイットリウム・アルミニウム酸化物系蛍光物質をベースとしたものである。具体的なイットリウム・アルミニウム酸化物系蛍光物質としては、ＹＡｌＯ３：Ｃｅ、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ（ＹＡＧ：Ｃｅ）やＹ４Ａｌ２Ｏ９：Ｃｅ、更にはこれらの混合物などが挙げられる。イットリウム・アルミニウム酸化物系蛍光物質にＢａ、Ｓｒ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｚｎの少なくとも一種が含有されていてもよい。また、Ｓｉを含有させることによって、結晶成長の反応を抑制し蛍光物質の粒子を揃えることができる。本明細書において、Ｃｅで付活されたイットリウム・アルミニウム酸化物系蛍光物質は特に広義に解釈するものとし、イットリウムの一部あるいは全体を、Ｌｕ、Ｓｃ、Ｌａ、Ｇｄ及びＳｍからなる群から選ばれる少なくとも１つの元素に置換され、あるいは、アルミニウムの一部あるいは全体をＢａ、Ｔｌ、Ｇａ、Ｉｎの何れが又は両方で置換され蛍光作用を有する蛍光物質を含む広い意味に使用する。
【００４８】
更に詳しくは、一般式（ＹｚＧｄ１−ｚ）３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ（但し、０＜ｚ≦１）で示されるフォトルミネッセンス蛍光物質や一般式（Ｒｅ１−ａＳｍａ）３Ｒｅ’５Ｏ１２：Ｃｅ（但し、０≦ａ＜１、０≦ｂ≦１、Ｒｅは、Ｙ、Ｇｄ、Ｌａ、Ｓｃから選択される少なくとも一種、Ｒｅ’は、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎから選択される少なくとも一種である。）で示されるフォトルミネッセンス蛍光物質である。この蛍光物質は、ガーネット（ざくろ石型）構造のため、熱、光及び水分に強く、励起スペクトルのピークを４５０ｎｍ付近にさせることができる。また、発光ピークも、５８０ｎｍ付近にあり７００ｎｍまですそを引くブロードな発光スペクトルを持つ。
【００４９】
またフォトルミネッセンス蛍光物質は、結晶中にＧｄ（ガドリニウム）を含有することにより、４６０ｎｍ以上の長波長域の励起発光効率を高くすることができる。Ｇｄの含有量の増加により、発光ピーク波長が長波長に移動し全体の発光波長も長波長側にシフトする。すなわち、赤みの強い発光色が必要な場合、Ｇｄの置換量を多くすることで達成できる。一方、Ｇｄが増加すると共に、青色光によるフォトルミネッセンスの発光輝度は低下する傾向にある。さらに、所望に応じてＣｅに加えＴｂ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｄ、Ｄｙ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｅｕ、およびＰｒ等を含有させることもできる。
【００５０】
また、ガーネット構造を持ったイットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光物質の組成のうち、Ａｌの一部をＧａで置換すると、発光波長は短波長側にシフトすることができる。一方、組成のＹの一部をＧｄで置換すると、発光波長が長波長側にシフトすることができる。Ｙの一部をＧｄで置換する場合、Ｇｄへの置換を１割未満にし、且つＣｅの含有（置換）を０．０３から１．０にすることが好ましい。Ｇｄへの置換が２割未満では緑色成分が大きく赤色成分が少なくなるが、Ｃｅの含有量を増やすことで赤色成分を補え、輝度を低下させることなく所望の色調を得ることができる。このような組成にすると蛍光物質自体の温度特性が良好となり発光ダイオードの信頼性を向上させることができる。また、赤色成分を多く有するように調整されたフォトルミネッセンス蛍光物質を使用すると、ピンク等の中間色を発光することが可能となり、演色性に優れた発光装置を形成することができる。
【００５１】
このようなフォトルミネッセンス蛍光物質は、Ｙ、Ｇｄ、Ａｌ、及びＣｅの原料として酸化物、又は高温で容易に酸化物になる化合物を使用し、それらを化学量論比で十分に混合して原料を得る。又は、Ｙ、Ｇｄ、Ｃｅの希土類元素を化学量論比で酸に溶解した溶解液を蓚酸で共沈したものを焼成して得られる共沈酸化物と、酸化アルミニウムとを混合して混合原料を得る。これにフラックスとしてフッ化バリウムやフッ化アンモニウム等のフッ化物を適量混合して坩堝に詰め、空気中１３５０〜１４５０℃の温度範囲で２〜５時間焼成して焼成品を得、つぎに焼成品を水中でボールミルして、洗浄、分離、乾燥、最後に篩を通すことで得ることができる。
【００５２】
また、上記焼成は、蛍光物質の原料を混合した混合原料とフラックスからなる混合物を、大気中又は弱還元雰囲気中にて行う第一焼成工程と、還元雰囲気中にて行う第二焼成工程とからなる、二段階で焼成することが好ましい。ここで、弱還元雰囲気とは、混合原料から所望の蛍光物質を形成する反応過程において必要な酸素量は少なくとも含むように設定された弱い還元雰囲気のことをいい、この弱還元雰囲気中において所望とする蛍光物質の構造形成が完了するまで第一焼成工程を行うことにより、蛍光物質の黒変を防止し、かつ光の吸収効率の低下を防止できる。また、第二焼成工程における還元雰囲気とは、弱還元雰囲気より強い還元雰囲気をいう。このように二段階で焼成すると、励起波長の吸収効率の高い蛍光物質が得られる。従って、このように形成された蛍光物質にて発光装置を形成した場合に、所望とする色調を得るために必要な蛍光物質量を減らすことができ、光取り出し効率の高い発光装置を形成することができる。
（窒化物系蛍光物質）
発光素子から発光される可視光、紫外線、および他の蛍光物質からの可視光を吸収することによって励起され発光する窒化物系蛍光体を上述した蛍光体に加えて、あるいは単独で用いることもできる。具体的には、Ｍｎが添加されたＳｒ−Ｃａ−Ｓｉ−Ｎ：Ｅｕ、Ｃａ−Ｓｉ−Ｎ：Ｅｕ、Ｓｒ−Ｓｉ−Ｎ：Ｅｕ、Ｓｒ−Ｃａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ：Ｅｕ、Ｃａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ：Ｅｕ、Ｓｒ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ：Ｅｕ系シリコンナイトライド系蛍光物質を挙げることができる。この蛍光物質の基本構成元素は、一般式ＬＸＳｉＹＮ（２Ｘ／３＋４Ｙ／３）：Ｅｕ若しくはＬＸＳｉＹＯＺＮ（２Ｘ／３＋４Ｙ／３−２Ｚ／３）：Ｅｕ（Ｌは、Ｓｒ、Ｃａ、ＳｒとＣａのいずれか。）で表される。一般式中、Ｘ及びＹは、Ｘ＝２、Ｙ＝５又は、Ｘ＝１、Ｙ＝７であることが好ましいが、任意のものも使用できる。
【００５３】
より具体的には、基本構成元素は、Ｍｎが添加された（ＳｒＸＣａ１−Ｘ）２Ｓｉ５Ｎ８：Ｅｕ、Ｓｒ２Ｓｉ５Ｎ８：Ｅｕ、Ｃａ２Ｓｉ５Ｎ８：Ｅｕ、ＳｒＸＣａ１−ＸＳｉ７Ｎ１０：Ｅｕ、ＳｒＳｉ７Ｎ１０：Ｅｕ、ＣａＳｉ７Ｎ１０：Ｅｕで表される蛍光物質を使用することが好ましいが、この蛍光物質の組成中には、Ｍｇ、Ｓｒ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｃｒ及びＮｉからなる群より選ばれる少なくとも１種以上が含有されていてもよい。Ｌは、Ｓｒ、Ｃａ、ＳｒとＣａのいずれかである。ＳｒとＣａは、所望により配合比を変えることができる。また、組成にＳｉを用いることにより安価で結晶性の良好な蛍光物質を提供することができる。
【００５４】
母体のアルカリ土類金属系窒化ケイ素に対して、Ｅｕ２＋を付活剤として用いる場合、Ｅｕ２Ｏ３からＯを、系外へ除去したものを使用することが好ましい。たとえば、ユウロピウム単体、窒化ユウロピウムを用いることが好ましい。但し、Ｍｎを添加した場合は、その限りではない。Ｍｎを添加すると、Ｅｕ２＋の拡散が促進され、発光輝度、エネルギー効率、量子効率等の発光効率が向上することができる。Ｍｎは原料中に含有させるか、又は、製造工程中にＭｎ単体若しくはＭｎ化合物を含有させ、原料と共に焼成する。但し、Ｍｎは、焼成後の基本構成元素中に含有されていないか、含有されていても当初含有量と比べて少量しか残存していない。これは、焼成工程において、Ｍｎが飛散したためであると思われる。
また、Ｍｇ、Ｓｒ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｏ及びＮｉからなる群より選ばれる少なくとも１種以上を有していることにより、容易に大きな粒径を有する蛍光物質を形成できる他、発光輝度を高めたりすることができる。また、Ｂ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｃｒ及びＮｉは、残光を抑えることができるという作用を有している。
【００５５】
上記窒化物系蛍光物質は、青色光の一部を吸収して黄から赤色領域の光を発光する。このような窒化物系蛍光物質と、黄色発光の蛍光物質、例えばＹＡＧ系蛍光物質と、青色の光を発光する発光素子とを組み合わせると、黄色から赤色光とが混色により暖色系の白色に発光する発光装置が得られる。この白色系の混色光を発光する発光装置は、色温度Ｔｃｐ＝４６００Ｋ付近において特殊演色評価数Ｒ９を４０付近まで高めることができる。
【００５６】
次に、本発明に係る蛍光物質（（ＳｒＸＣａ１−Ｘ）２Ｓｉ５Ｎ８：Ｅｕ）の製造方法を説明するが、本製造方法に限定されない。上記蛍光物質には、Ｍｎ、Ｏが含有されている。
【００５７】
原料のＳｒ、Ｃａを粉砕する。原料のＳｒ、Ｃａは、単体を使用することが好ましいが、イミド化合物、アミド化合物などの化合物を使用することもできる。また原料Ｓｒ、Ｃａには、Ｂ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ａｌ２Ｏ３などを含有するものでもよい。原料のＳｒ、Ｃａは、アルゴン雰囲気中、グローブボックス内で粉砕を行う。粉砕により得られたＳｒ、Ｃａは、平均粒径が約０．１μｍから１５μｍであることが好ましいが、この範囲に限定されない。Ｓｒ、Ｃａの純度は、２Ｎ以上であることが好ましいが、これに限定されない。より混合状態を良くするため、金属Ｃａ、金属Ｓｒ、金属Ｅｕのうち少なくとも１以上を合金状態としたのち、窒化し、粉砕後、原料として用いることもできる。
【００５８】
原料のＳｉを粉砕する。原料のＳｉは、単体を使用することが好ましいが、窒化物化合物、イミド化合物、アミド化合物などを使用することもできる。例えば、Ｓｉ３Ｎ４、Ｓｉ（ＮＨ２）２、Ｍｇ２Ｓｉなどである。原料のＳｉの純度は、３Ｎ以上のものが好ましいが、Ａｌ２Ｏ３、Ｍｇ、金属ホウ化物（Ｃｏ３Ｂ、Ｎｉ３Ｂ、ＣｒＢ）、酸化マンガン、Ｈ３ＢＯ３、Ｂ２Ｏ３、Ｃｕ２Ｏ、ＣｕＯなどの化合物が含有されていてもよい。Ｓｉも、原料のＳｒ、Ｃａと同様に、アルゴン雰囲気中、若しくは、窒素雰囲気中、グローブボックス内で粉砕を行う。Ｓｉ化合物の平均粒径は、約０．１μｍから１５μｍであることが好ましい。
【００５９】
次に、原料のＳｒ、Ｃａを、窒素雰囲気中で窒化する。この反応式を、以下の式１および式２にそれぞれ示す。
【００６０】
３Ｓｒ  ＋  Ｎ２  →  Ｓｒ３Ｎ２  ・・・（式１）
３Ｃａ  ＋  Ｎ２  →  Ｃａ３Ｎ２  ・・・（式２）
Ｓｒ、Ｃａを、窒素雰囲気中、６００〜９００℃、約５時間、窒化する。Ｓｒ、Ｃａは、混合して窒化しても良いし、それぞれ個々に窒化しても良い。これにより、Ｓｒ、Ｃａの窒化物を得ることができる。Ｓｒ、Ｃａの窒化物は、高純度のものが好ましいが、市販のものも使用することができる。
【００６１】
原料のＳｉを、窒素雰囲気中で窒化する。この反応式を、以下の式３に示す。
【００６２】
３Ｓｉ  ＋  ２Ｎ２  →  Ｓｉ３Ｎ４  ・・・（式３）
ケイ素Ｓｉも、窒素雰囲気中、８００〜１２００℃、約５時間、窒化する。これにより、窒化ケイ素を得る。本発明で使用する窒化ケイ素は、高純度のものが好ましいが、市販のものも使用することができる。
【００６３】
Ｓｒ、Ｃａ若しくはＳｒ−Ｃａの窒化物を粉砕する。Ｓｒ、Ｃａ、Ｓｒ−Ｃａの窒化物を、アルゴン雰囲気中、若しくは、窒素雰囲気中、グローブボックス内で粉砕を行う。
同様に、Ｓｉの窒化物を粉砕する。また、同様に、Ｅｕの化合物Ｅｕ２Ｏ３を粉砕する。Ｅｕの化合物として、酸化ユウロピウムを使用するが、金属ユウロピウム、窒化ユウロピウムなども使用可能である。このほか、原料のＺは、イミド化合物、アミド化合物を用いることもできる。酸化ユウロピウムは、高純度のものが好ましいが、市販のものも使用することができる。粉砕後のアルカリ土類金属の窒化物、窒化ケイ素及び酸化ユウロピウムの平均粒径は、約０．１μｍから１５μｍであることが好ましい。
【００６４】
上記原料中には、Ｍｇ、Ｓｒ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｏ及びＮｉからなる群より選ばれる少なくとも１種以上が含有されていてもよい。また、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｂ等の上記元素を以下の混合工程において、配合量を調節して混合することもできる。これらの化合物は、単独で原料中に添加することもできるが、通常、化合物の形態で添加される。この種の化合物には、Ｈ３ＢＯ３、Ｃｕ２Ｏ３、ＭｇＣｌ２、ＭｇＯ・ＣａＯ、Ａｌ２Ｏ３、金属ホウ化物（ＣｒＢ、Ｍｇ３Ｂ２、ＡｌＢ２、ＭｎＢ）、Ｂ２Ｏ３、Ｃｕ２Ｏ、ＣｕＯなどがある。
【００６５】
上記粉砕を行った後、Ｓｒ、Ｃａ、Ｓｒ−Ｃａの窒化物、Ｓｉの窒化物、Ｅｕの化合物Ｅｕ２Ｏ３を混合し、Ｍｎを添加する。これらの混合物は、酸化されやすいため、Ａｒ雰囲気中、又は、窒素雰囲気中、グローブボックス内で、混合を行う。
【００６６】
最後に、Ｓｒ、Ｃａ、Ｓｒ−Ｃａの窒化物、Ｓｉの窒化物、Ｅｕの化合物Ｅｕ２Ｏ３の混合物をアンモニア雰囲気中で、焼成する。焼成により、Ｍｎが添加された（ＳｒＸＣａ１−Ｘ）２Ｓｉ５Ｎ８：Ｅｕで表される蛍光物質を得ることができる。ただし、各原料の配合比率を変更することにより、目的とする蛍光物質の組成を変更することができる。
【００６７】
焼成は、管状炉、小型炉、高周波炉、メタル炉などを使用することができる。焼成温度は、１２００から１７００℃の範囲で焼成を行うことができるが、１４００から１７００℃の焼成温度が好ましい。焼成は、徐々に昇温を行い１２００から１５００℃で数時間焼成を行う一段階焼成を使用することが好ましいが、８００から１０００℃で一段階目の焼成を行い、徐々に加熱して１２００から１５００℃で二段階目の焼成を行う二段階焼成（多段階焼成）を使用することもできる。蛍光物質の原料は、窒化ホウ素（ＢＮ）材質のるつぼ、ボートを用いて焼成を行うことが好ましい。窒化ホウ素材質のるつぼの他に、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）材質のるつぼを使用することもできる。
【００６８】
以上の製造方法を使用することにより、目的とする蛍光物質を得ることが可能である。
【００６９】
また、本実施の形態に用いることが可能な赤味を帯びた光を発光する蛍光物質は特に限定されず、例えば、Ｙ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ、Ｌａ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ、ＣａＳ：Ｅｕ、ＳｒＳ：Ｅｕ、ＺｎＳ：Ｍｎ、ＺｎＣｄＳ：Ａｇ，Ａｌ、ＺｎＣｄＳ：Ｃｕ，Ａｌ等が挙げられる。
【００７０】
本発明で用いられる蛍光物質の粒径は、中心粒径が６μｍ〜５０μｍの範囲が好ましく、より好ましくは１５μｍ〜３０μｍであり、このような粒径を有する蛍光物質は光の吸収率及び変換効率が高く且つ励起波長の幅が広い。６μｍより小さく蛍光物質は、比較的凝集体を形成しやすく、液状樹脂中において密になって沈降されるため、光の透過効率を減少させてしまう他、光の吸収率及び変換効率が悪く励起波長の幅も狭い。
【００７１】
以上のようにして形成されるＹＡＧ系蛍光体、および窒化物系蛍光体に代表される赤色系の光を発光可能な蛍光体は、発光素子の側方端面において一層からなる蛍光体層中に二種類以上存在してもよいし、二層からなる蛍光体層中にそれぞれ一種類あるいは二種類以上存在してもよい。このような構成にすると、異なる種類の蛍光体からの光の混色による混色光が得られる。この場合、各蛍光物質から発光される光をより良く混色しかつ色ムラを減少させるために、各蛍光体の平均粒径及び形状は類似していることが好ましい。また、窒化物系蛍光体は、ＹＡＧ蛍光体により波長変換された光の一部を吸収してしまうことを考慮して、窒化系蛍光体がＹＡＧ系蛍光体より発光素子の側方端面に近い位置に配置されるように形成することが好ましい。このように構成することによって、ＹＡＧ蛍光体により波長変換された光の一部が窒化物系蛍光体に吸収されてしまうことがなくなり、ＹＡＧ系蛍光体と窒化物系蛍光体とを混合して含有させた場合と比較して、両蛍光体による混色光の演色性を向上させることができる。
【００７２】
ここで本発明において、蛍光物質の粒径とは、体積基準粒度分布曲線により得られる値であり、体積基準粒度分布曲線は、レーザ回折・散乱法により蛍光物質の粒度分布を測定し得られるものである。具体的には、気温２５℃、湿度７０％の環境下において、濃度が０．０５％であるヘキサメタリン酸ナトリウム水溶液に蛍光物質を分散させ、レーザ回折式粒度分布測定装置（ＳＡＬＤ−２０００Ａ）により、粒径範囲０．０３μｍ〜７００μｍにて測定し得られたものである。本発明において蛍光物質の中心粒径とは、体積基準粒度分布曲線において積算値が５０％のときの粒径値である。この中心粒径値を有する蛍光物質が頻度高く含有されていることが好ましく、頻度値は２０％〜５０％が好ましい。このように粒径のバラツキが小さい蛍光物質を用いることにより、色ムラが抑制され良好なコントラストを有する発光装置が得られる。
［フィラー］
更に、本発明において、透光性封止部材中に単独であるいは蛍光物質に加えてフィラーを含有させても良い。具体的な材料は光拡散物質と同様であるが、光拡散物質と中心粒径が異なり、本明細書においてフィラーとは中心粒径が５μｍ以上１００μｍ以下のものをいう。このような粒径のフィラーを透光性樹脂中に含有させると、光散乱作用により発光装置の色度バラツキが改善される他、透光性封止部材１０５とリード電極１０２、１０３および発光素子１０６との膨張係数の差を緩和し、透光性樹脂の耐熱衝撃性を高めることができる。また、フィラーは蛍光物質と類似の粒径及び／又は形状を有することが好ましい。ここで、本明細書において、類似の粒径とは、各粒子のそれぞれの中心粒径の差が２０％未満の場合をいい、類似の形状とは、各粒径の真円との近似程度を表す円形度（円形度＝粒子の投影面積に等しい真円の周囲長さ／粒子の投影の周囲長さ）の値の差が２０％未満の場合をいう。このようなフィラーを用いることにより、蛍光物質とフィラーが互いに作用し合い、樹脂中にて蛍光物質を良好に分散させることができ色ムラが抑制される。更に、蛍光物質及びフィラーは、共に中心粒径が１５μｍ〜５０μｍ、より好ましくは２０μｍ〜５０μｍであると好ましく、このように粒径を調整することにより、各粒子間に好ましい間隔を設けて配置させることができる。これにより光の取り出し経路が確保され、フィラー混入による光度低下を抑制しつつ指向特性を改善させることができる。また、このような粒径範囲の蛍光物質及びフィラーを透光性樹脂に含有させ孔版印刷法にて封止部材を形成すると、封止部材硬化後のダイシング工程においてダイシングブレードの目詰まりが回復されドレッサー効果をもたらすことができ量産性が向上される。また、フィラーを含有した透光性封止部材は、透光性樹脂材料中に界面活性剤とフィラーを共に含有させた混合液により形成することもできる。このように形成した透光性封止部材は、透光性封止部材中においてフィラーが均一に分散しており、光の取り出し経路が確保され、フィラー混入による光度低下を抑制しつつ指向特性を改善させることができるだけでなく、透光性樹脂の耐熱衝撃性を更に高めることができる。
［光拡散剤］
更に、本発明において、封止部材中に単独であるいは蛍光物質に加えて光拡散剤を含有させても良い。本実施の形態における粒子状の光拡散物質は、特に限定されず、チタン酸バリウム、硫酸バリウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化珪素、軽質炭酸カルシウム、重質炭酸カルシウム等、種々のものを用いることができる。光拡散物質の粒径値は、中心粒径が０．１μｍ以上１．０μｍ未満であることが好ましく、より好ましくは０．２μｍ以上０．８μｍ以下である。上記粒径値を有する光拡散物質を用いると発光素子及び蛍光物質からの光を良好に乱反射させ色ムラを抑制することができ好ましい。また、光拡散物質が破砕形の場合、透過型電子顕微鏡法により測定される長辺長は０．１μｍ以上１．０μｍ未満が好ましい。封止材料１００重量部に対して光拡散物質の含有量は、１重量部以上５０重量部以下が好ましい。これにより、発光素子及び蛍光物質からの光の取り出し効率を低下させることなく発光装置の光度及び信頼性を向上させることができる。また、指向特性の半値角を狭めることができ、色純度の高い発光装置が得られる。透光性部材の屈折率は１．４以上１．６５以下が好ましく、光拡散物質の屈折率は、透光性部材よりも高いことが好ましい。これにより光拡散物質により良好に光が反射散乱され優れた混色性を有する発光装置が得られる。
【００７３】
【実施例】
以下、本発明に係る実施例について詳述する。なお、本発明は以下に示す実施例のみに限定されないことは言うまでもない。
（実施例１）
図１に示すような表面実装型の発光装置１００を形成する。発光素子であるＬＥＤチップ１０１は、発光層として単色性発光ピークが可視光である４７５ｎｍのＩｎ０．２Ｇａ０．８Ｎ半導体を有する窒化物半導体素子を用いる。より具体的には、ＬＥＤチップ１０１は、洗浄させたサファイア基板上にＴＭＧ（トリメチルガリウム）ガス、ＴＭＩ（トリメチルインジウム）ガス、窒素ガス及びドーパントガスをキャリアガスと共に流し、ＭＯＣＶＤ法で窒化物半導体を成膜させることにより形成させることができる。ドーパントガスとしてＳｉＨ４とＣｐ２Ｍｇを切り替えることによってｎ型窒化物半導体やｐ型窒化物半導体となる層を形成させる。
【００７４】
ＬＥＤチップ１０１の素子構造としては、サファイア基板上に、アンドープの窒化物半導体であるｎ型ＧａＮ層、Ｓｉドープのｎ型電極が形成されｎ型コンタクト層となるＧａＮ層、アンドープの窒化物半導体であるｎ型ＧａＮ層、次に発光層を構成するバリア層となるＧａＮ層、井戸層を構成するＩｎＧａＮ層、バリア層となるＧａＮ層を１セットとしＧａＮ層に挟まれたＩｎＧａＮ層を５層積層させた多重量子井戸構造としてある。発光層上にはＭｇがドープされたｐ型クラッド層としてＡｌＧａＮ層、Ｍｇがドープされたｐ型コンタクト層であるＧａＮ層を順次積層させた構成としてある。（なお、サファイア基板上には低温でＧａＮ層を形成させバッファ層とさせてある。また、ｐ型半導体は、成膜後４００℃以上でアニールさせてある。）
次に、エッチングによりサファイア基板上の窒化物半導体に同一面側で、ｐｎ各コンタクト層表面を露出させる。各コンタクト層上に、スパッタリング法を用いて正負各台座電極をそれぞれ形成させた。なお、ｐ型窒化物半導体上の全面には金属薄膜を透光性電極として形成させた後に、透光性電極の一部に台座電極を形成させてある。出来上がった半導体ウエハに対してスクライブラインを引いた後、外力により分割し、半導体積層面側に正負一対の電極を有し且つ側方端面から発光の一部を発光することが可能なＬＥＤチップ１０６を形成する。
【００７５】
次に、セラミックパッケージ１０４を形成する。セラミックパッケージ１０４は、ＬＥＤチップ１０１を収納可能な凹部を有し、該凹部底面から正及び負のリード電極１０３が露出されている。尚、このセラミックパッケージ１０４において、正及び負のリード電極１０３は、セラミックパッケージ１０４の側面から凹部底面まで配された導電性パターンの一部としてなり、発光装置の実装面側の他端部にて外部の実装基板とはんだ付けされるように構成されている。
【００７６】
次に、セラミックパッケージ１０４の凹部底面から露出された各リード電極１０３と、ＬＥＤチップ１０１の各電極を導電性ワイヤ１０２により接続させる。
【００７７】
次に、蛍光物質は、Ｙ、Ｇｄ、Ａｌ、及びＣｅのそれぞれの酸化物を化学量論比により混合し混合原料を得る。これにフラックスを混合して坩堝に詰め、ボールミル混合機にて２時間混合する。ボールを取り除いた後、弱還元雰囲気中１４００℃〜１６００℃にて６時間焼成し、更に還元雰囲気中１４００℃〜１６００℃にて６時間焼成する。焼成品を水中でボールミルして、洗浄、分離、乾燥、最後に篩を通して中心粒径が８μｍである（Ｙ０．８Ｇｄ０．２）２．７５０Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ０．２５０蛍光物質を形成する。
【００７８】
シリコーン樹脂１００重量部に対して、上記蛍光物質を５重量部添加した封止材料１０８を、粘度１０００ｍＰａ・ｓに調整し、ＬＥＤチップの最上面より上のラインまでセラミックパッケージ１０４の凹部内へ充填する。このとき、セラミックパッケージ１０４の凹部周辺の外気圧は、大気圧である。
【００７９】
セラミックパッケージ１０４を収容可能な密閉空間を有し、該密閉空間の内圧及び温度を段階的に調節可能な装置内へ封止材料充填後のセラミックパッケージ１０４を投入し、温度５０℃の恒温下で、内圧を大気圧から０．０６５ＭＰａだけ低い気圧（−０．０６５ＭＰａ）まで時間７０ｓだけかけて徐々に減圧する。
【００８０】
その後、−０．０６５ＭＰａのまま、時間１２０ｓだけ保持する。さらに、−０．０６５ＭＰａから大気圧まで時間９０ｓだけかけて徐々に加圧する。最後に、封止材料１０８を硬化させ、封止部材１０５とする。
【００８１】
以上の工程により、セラミックパッケージの凹部内に気泡を残存させることなく発光装置を形成させることができる。
【００８２】
【発明の効果】
本発明にかかる半導体装置の製造方法は、半導体装置を載置する支持体の凹部内に気泡を残存させることなく、半導体装置の封止部材を形成することが容易にできる。
【００８３】
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明にかかる半導体装置の製造方法によって製造された発光装置の上面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図２】図２は、本発明にかかる半導体装置の製造方法の一実施例を示す模式図である。
【符号の説明】
１００・・・発光装置
１０１・・・発光素子
１０２・・・導電性ワイヤ
１０３・・・リード電極
１０４・・・パッケージ
１０５・・・封止部材
１０６・・・気泡
１０７・・・封止材料の最表面
１０８・・・封止材料
【図１】
2004311601.tif 000003
【図２】
2004311601.tif 000004