(57)【要約】【課題】搬送制御システムにおいて、搬送指示のコマンド入力を容易にする。【解決手段】搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元の図形で表わした図形データ１０１に、各構成機器及び搬送ラインの特徴を表わす搬送制御パラメータ１０２と、搬送制御システムから送信される搬送ライン情報１１６とを紐付け部１０５により関連付け、これら関連付けられた図形データ１０１を画面処理部１０６により画面１０７に表示し、この画面１０７上において、入力部１０８から、コマンド定義ファイル１０３からコマンド種別を選択し、所望の被搬送物を特定し、搬送元の構成機器及び搬送先の構成機器を表わす図形データを選択し、入力部１０８から操作された内容に基づいてコマンド作成部１１０が搬送指示のためのコマンドを作成し、通信制御部１１５がコマンド作成部１１０で作成されたコマンドを搬送制御システムに送信する。【選択図】        図５
2004311672.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送制御システムにおいて搬送指示のコマンドを作成するためのコマンド入力装置であって、
前記搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元の図形として格納している図形データと、前記搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインの特徴を表わす搬送制御情報を格納している搬送制御パラメータと、搬送の指示を行うためのコマンドフォーマットを定義したコマンド定義ファイルのデータベースを有し、
前記図形データの各構成機器及び搬送ラインに前記搬送制御パラメータと前記搬送制御システムから送信される搬送ライン情報とを関連付けるための紐付け部と、前記紐付け部で関連付けられた前記図形データを画面上に表示するための画面処理部と、前記画面上において前記コマンド定義ファイルからコマンド種別を選択し、所望の被搬送物を特定し、搬送元の構成機器及び搬送先の構成機器を表わす図形データを選択する入力部と、前記入力部から操作された内容に基づいて搬送指示のためのコマンドを作成するコマンド作成部と、前記コマンド作成部で作成されたコマンドを前記搬送制御システムに送信する通信制御部を備えた搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項２】
搬送制御システムにおいて搬送指示のコマンドを作成するためのコマンド入力装置であって、
前記搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元の図形として格納している図形データと、前記搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインの特徴を表わす搬送制御情報を格納している搬送制御パラメータと、搬送の指示を行うためのコマンドフォーマットを定義したコマンド定義ファイルと、前記搬送制御システムに投入される被搬送物の情報を格納する被搬送物情報のデータベースを有し、
前記図形データの各構成機器及び搬送ラインに前記搬送制御パラメータと前記搬送制御システムから送信される搬送ライン情報と前記被搬送物情報とを関連付けるための紐付け部と、前記紐付け部で関連付けられた前記図形データを画面上に表示するための画面処理部と、前記画面上において前記コマンド定義ファイルからコマンド種別を選択し、所望の被搬送物を特定し、搬送元の構成機器及び搬送先の構成機器を表わす図形データを選択する入力部と、前記入力部から操作された内容に基づいて搬送指示のためのコマンドを作成するコマンド作成部と、前記コマンド作成部で作成されたコマンドを前記搬送制御システムに送信する通信制御部を備えた搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項３】
前記コマンド入力装置の画面上において、前記入力部から所望の被搬送物を特定する情報を入力すると、当該被搬送物の場所がハイライト表示されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項４】
前記コマンド入力装置の画面上において、前記入力部から搬送元の構成機器を表わす図形データと、搬送先の構成機器を表わす図形データを選択することで、それら構成機器に関連づけられている搬送制御パラメータが取り込まれ、搬送指示のコマンドが作成されることを特徴とする請求項３に記載の搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項５】
前記コマンド入力装置の画面上において、前記入力部から被搬送物の仕掛かっている構成機器を選択すると、当該構成機器に仕掛かっている被搬送物の一覧が表示され、その中から所望の被搬送物を選択することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項６】
前記所望の被搬送物を選択するとともに、搬送先の構成機器を表わす図形データを選択することで、搬送元及び搬送先の構成機器に関連づけられている搬送制御パラメータが取り込まれ、搬送指示のコマンドが作成されることを特徴とする請求項５に記載の搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項７】
前記コマンド入力装置に対して上位レベルの計算機がある場合、前記コマンド入力装置の通信制御装置は、上位レベルの計算機に対して、前記コマンド作成部で作成したコマンドを発信するように指示することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項８】
前記コマンド入力装置に対して上位レベルの計算機がある場合、前記コマンド入力装置の通信制御装置は、前記コマンド作成部で作成したコマンドを下位レベルの搬送機器のコントローラに発信するとともに、上位レベルの計算機に対して前記コマンドを発信したことを報告することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項９】
前記コマンド作成部で作成されたコマンドに基づいて搬送経路を決定する搬送経路決定部を備え、前記画面上で前記搬送経路決定部で決定された搬送経路がハイライト表示されることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の搬送制御システムのコマンド入力装置。
【請求項１０】
前記搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインを表わしている２次元又は３次元の図形データは、ベクトルデータであるＣＡＤデータであることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の搬送制御システムのコマンド入力装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、搬送制御システムにおいて、搬送指示のコマンドを作成するためのコマンド入力装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板を複数の処理ユニット間で移動させ所定の処理を行う基板処理装置を制御する基板処理装置の制御装置であって、各処理ユニットから送信される基板の情報を受信する受信手段と、各処理ユニットの配置を模式化して示すためのグラフィックデータを格納する記憶手段と、グラフィックデータと受信された基板の情報を対応づける割付手段と、割付手段により対応づけられたグラフィックデータ及び基板の情報を表示するとともに、基板が存在する部分を基板が存在しない部分と区別して表示する表示手段を備えたものがあった（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、装置制御コンピュータとして、コマンドの種別と宛先を定義するコマンド定義ファイルと、コマンドの通信フォーマットを定義するフォーマット定義ファイルを準備し、ユーザインターフェース手段は、表示装置と入力装置とを備え、コマンド定義ファイルとフォーマット定義ファイルとを参照して、コマンドの選択を促し、コマンドが選択されたらパラメータの入力を促し、選択されたコマンドと入力されたパラメータにしたがってコマンドを組み立て、コマンド定義ファイルで指定された宛先に組み立てたコマンドを送信するものがあった（例えば、特許文献２）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１７０７５６号公報（請求項１）
【特許文献２】
特開平５−５３６０７号公報（段落番号［００１１］、［００１３］）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来、自動搬送機器を備えた搬送制御システムにおいて、被搬送物の選択や何処から何処へ搬送したらよいかを、進捗管理情報・個々の製品の製品フロー情報・品質情報等から指示するための、上位に位置する計算機システムが必要となっていた。そして、これらの機能を有する搬送制御システムを導入するためには、計算機システムへの多額の投資が必要であり、大規模な製造ラインでないと、投資費用を回収できない問題があった。
【０００６】
一方、大規模な計算機システムを導入する代わりに、個々の搬送機器に搬送の指示ボタンを置く方法もあるが、構成機器が少ない簡単な製造ラインなら可能であるが、構成機器の数が増えるとボタンの数が増え、費用や操作性の点から現実的ではない問題があった。
【０００７】
更に、搬送制御システムのコマンド入力方法においては、入力コマンドをコマンド規定書に基づいて正確に入力しなければならず、搬送ＦＲＯＭ（搬送元）機器の搬送ＴＯ（搬送先）機器、搬送制御パラメータ等を仕様書で確認して入力しなければならない。このような入力作業を行うためには、大変手間がかかり、製造ラインで作業者が日常の作業として行うことは難しい問題があった。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、搬送制御システムの端末の制御画面及び操作内容を改善し、入力したコマンドが正しく機能する仕組みを構築することにより、新たな操作盤のようなものを用いなくとも、容易に人手による搬送指示のコマンド入力を可能とすることを目的とする。そして、人手搬送にて対応するしか無かった上位の計算機システムの基準情報として製造工程に記載されていない、イレギュラーな箇所の搬送機器による被搬送物の搬送指示を可能にする。更に、自動で搬送指示を出すための大規模な計算機システムが無くても稼働させることができる搬送制御システムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
第１の発明による搬送制御システムのコマンド入力装置は、搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元の図形として格納している図形データと、搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインの特徴を表わす搬送制御情報を格納している搬送制御パラメータと、搬送の指示を行うためのコマンドフォーマットを定義したコマンド定義ファイルのデータベースを有し、
図形データの各構成機器及び搬送ラインに搬送制御パラメータと搬送制御システムから送信される搬送ライン情報とを関連付けるための紐付け部と、紐付け部で関連付けられた図形データを画面上に表示するための画面処理部と、画面上においてコマンド定義ファイルからコマンド種別を選択し、所望の被搬送物を特定し、搬送元の構成機器及び搬送先の構成機器を表わす図形データを選択する入力部と、入力部から操作された内容に基づいて搬送指示のためのコマンドを作成するコマンド作成部と、コマンド作成部で作成されたコマンドを搬送制御システムに送信する通信制御部を備えたものである。
【００１０】
また、第２の発明の搬送制御システムのコマンド入力装置は、搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元の図形として格納している図形データと、搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインの特徴を表わす搬送制御情報を格納している搬送制御パラメータと、搬送の指示を行うためのコマンドフォーマットを定義したコマンド定義ファイルと、搬送制御システムに投入される被搬送物の情報を格納する被搬送物情報のデータベースを有し、
図形データの各構成機器及び搬送ラインに搬送制御パラメータと搬送制御システムから送信される搬送ライン情報と被搬送物情報とを関連付けるための紐付け部と、紐付け部で関連付けられた図形データを画面上に表示するための画面処理部と、画面上においてコマンド定義ファイルからコマンド種別を選択し、所望の被搬送物を特定し、搬送元の構成機器及び搬送先の構成機器を表わす図形データを選択する入力部と、入力部から操作された内容に基づいて搬送指示のためのコマンドを作成するコマンド作成部と、コマンド作成部で作成されたコマンドを搬送制御システムに送信する通信制御部を備えたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
（１）この発明の前提となる搬送制御システム
図１はこの発明の前提となる搬送制御システムの構成及び機能ブロックを示す図であり、例えば自動搬送システムが導入されている半導体工場のウエハプロセスの搬送機器の構成例を示している。
【００１２】
図において、モジュール２２ａ，２２ｂ，・・・は、それぞれ製造装置（半導体製造装置）又は検査装置（半導体検査装置）の一群により構成され、ほとんどのモジュール２２は、被搬送物（半導体ウエハ等のロット）の出入口となるストッカ２６を備えている。また、搬送機器として、前記モジュール２２の出入口となるストッカ２６間を結ぶ天井搬送車２４と、天井搬送車２４とストッカ２６内のカセットとの間で被搬送物を移し替える移載器２５と、被搬送物（ロット）を投入棚又は搬送棚等に分類して格納するストッカ２６と、ストッカ２６とモジュール２２内の製造装置又は検査装置との間を搬送するための搬送ロボット２７を備えている。
【００１３】
これらの搬送機器（天井搬送車２４、移載器２５、ストッカ２６、搬送ロボット２７）は、それぞれ単体としてのコントローラ３０を有している。そして、それらのコントローラ３０の上位には、各コントローラ３０をまとめて制御し、これらの搬送機器間の動き（回転、移動等）の調整を行うＭＣＳ（Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）２９というシステムが存在する。更に、ＭＣＳ２９の上位には、搬送の指示（何の被搬送物を何処から何処へ運ぶ指示）や、被搬送物の進捗管理を行うＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）２８というシステムが存在する。なお、ＭＥＳ２８に接続されている処理装置２３は、モジュール２２内の製造装置又は検査装置に配置されて、被搬送物であるロットの進捗情報を収集する役割を果す。
【００１４】
前記ＭＥＳ２８には、被搬送物の品種毎の製造工程フローが基準情報として登録されており、この製造工程フロー情報に従って、被搬送物の搬送の指示が搬送機器に出力されるようになっている。なお、前記ＭＣＳ２９とＭＥＳ２８は、図１のようにＭＣＳ２９がＭＥＳ２８の一部分となることで１つのシステムとなっている場合と、図２に示すようにＭＣＳ２９がＭＥＳ２８と分離されて別々のシステムとなっている場合と、ＭＣＳ２９がモジュール内、モジュール間等に存在して複数の機能に分割されている場合がある。
【００１５】
これらの搬送制御システムの支援端末は、製造現場に多数設置され、生産現場での搬送機器の運用を支援するための機能を備えている。通常、ＭＣＳ２９の機能部分をラインの作業者が操作することは無く、ＭＥＳ２８とこれに付属する支援システムを作業者が使用することになる。
【００１６】
被搬送物であるロットを何処から何処に向けて搬送するかは、ＭＥＳ２８の基準情報によって規定されており、現場の作業者は必ず当該基準情報に沿って、搬送を行わなければならない。製造現場で利用できる支援機能としては、被搬送物であるロットの進捗を止めるか、早めるかの指示ができるだけで、基準情報に登録されている以外の搬送を行うためには、自動系から外し、手搬送で対応するしかなかった。
【００１７】
特別な方法としてエンジニア向けの画面を使用して、搬送指示コマンドを入力する方法がある。これは、機器の立ち上げ時のテストや、不具合が発生した場合の復旧時に使用することを主に想定されている。
【００１８】
図３は、上記のような搬送制御システムにおいて作業者がマニュアルに基づいてコマンドを入力する場合の入力画面例である。入力するコマンドは、図３に示すように内容が規定されており、例えば、コマンド種別１０（ＳＥ；搬送許可、ＳＴ；搬送始動、ＥＤ；搬送終了）、搬送ロット数１１、搬送ＦＲＯＭ側モジュール名１２、搬送ＴＯ側モジュール名１３、搬送制御パラメータ１４（搬送ＦＲＯＭ側ストッカの投入用棚名、搬送ＴＯ側ストッカの搬出用棚名）、処理前カセットのタイプ１５、処理後カセットのタイプ１６、ロットのキーナンバー１７、制御コード１８（処理装置２３のコード）、半導体ウエハ枚数１９、通し番号２０から構成されている。なお、図３に示すコマンド２１は、作業開始可指示の搬送コマンドを表わしている。
【００１９】
図４は図３の搬送コマンドである文字列を入力する場合のフローチャートである。まず、Ｓ４０１において、同じ種類のコマンドを他画面よりコピー又はコマンド規定書を参照してコマンド文字列を全て入力する。次に、Ｓ４０２において、入力したコマンドが正しいかレイアウトパラメータを確認するために、別画面の各装置の表示を見るか、レイアウトパラメータの仕様書を参照する。そして、Ｓ４０３においてコマンド入力作業を終了して、Ｓ４０４においてメニュー等により送信を指示してコマンドを送信する。
【００２０】
このようにマニュアルによるコマンド入力方法では、コマンド規定書等に従って正しく文字を入力しなければならない。また、同じ搬送支援システムの他の画面（モニター用の画面等）より、同じ種類のコマンドをコピーして、搬送制御パラメータだけ書き直したり、可変長のコマンドの場合にはコマンドの長さを調節したりして必要なコマンドを作成している。ここで、元となるコマンドをコピーできない場合には、関係するコマンド規定書等をチェックしなければならない。また、搬送の場所や経路を指定する搬送制御パラメータを入力するにも、仕様書を用意して参照するか、搬送機器や製造装置・検査装置に表示されているパラメータ等をチェックして入力しなければならない。
【００２１】
上記のような自動搬送機器を備えた搬送制御システムにおいては、被搬送物の選択や何処から何処へ搬送したらよいかを、進捗管理情報・個々の製品の製品フロー情報・品質情報等から指示するための、搬送制御システムの上位に位置する計算機システム（ＭＥＳ２８）が必要となっていた。そして、これらの機能を有する搬送制御システムを導入するためには、計算機システムへの多額の投資が必要であり、大規模な製造ラインでないと、投資費用を回収できない問題があった。
【００２２】
また、被搬送物が半導体ウエハやガラス基盤の場合、その大口径化（３００ｍｍ化）により、人が手に持って運ぶということを、その大きさと重さの面から困難にしており、搬送機器が必要となって来ている。しかし、マイコンやシステムＬＳＩのように、その生産ロット数が少ない小・中規模でも良い製造ラインへの上記搬送制御システムの導入は投資効果の点から困難であった。
【００２３】
大規模な計算機システムを導入する代わりに、個々の搬送機器に搬送の指示ボタンを置く方法もあるが、構成機器が少ない簡単な製造ラインなら可能であるが、構成機器の数が増えるとボタンの数が増え、費用や操作性の点から現実的ではない。
【００２４】
また、上記のような搬送制御システムのコマンド入力方法においては、入力コマンドをコマンド規定書等に基づいて正確に入力しなければならず、その搬送機器のＦＲＯＭ（搬送元）−ＴＯ（搬送先）を仕様書等で確認しなければならない。このような入力作業を行うためには、搬送制御システムと搬送機器の制御ロジックについての充分な知識が必要であり、専門のエンジニアしか行うことができない。また、搬送の指示を行うために、人手でコマンドを入力することは、大変手間がかかり、製造ラインで作業者が日常の作業として行うことは難しい。
【００２５】
この発明は、上記のような搬送制御システムの課題を解決するためになされたものであり、搬送制御システムの端末の制御画面の内容を改善し、入力したコマンドが正しく機能する仕組みを構築することで、新たな操作盤のようなものを用いなくとも、容易に人手による搬送指示のコマンド入力を可能とすることを目的とする。そして、これにより人手搬送にて対応するしか無かった上位の計算機システムの基準情報として製造工程に記載されていない、イレギュラーな箇所の搬送機器による被搬送物の搬送指示を可能にする。更に、自動で搬送指示を出すための大規模な計算機システムが無くても稼働させることができる搬送制御システムを提供する。
【００２６】
（２）実施の形態１
図５はこの発明の実施の形態１による搬送制御システムのコマンド入力装置を示す機能ブロック図である。
【００２７】
本実施の形態のコマンド入力装置１００は、図１に示すような搬送制御システムに適用される。この搬送制御システムでは、天井搬送車２４、移載機２５、ストッカ２６、搬送ロボット２７の各搬送機器がコントローラ３０を有し、このコントローラ３０がＭＣＳ２９の指示に従って動作する。このＭＣＳ２９は各搬送機器間の動きの調整を行っており、ＭＣＳ２９はその上位のＭＥＳ２８の指示により、搬送機器に作指示を出している。また、ＭＥＳ２８は各モジュール２２内の製造装置又は検査装置に配置された処理装置２３と接続されており、ＭＥＳ２８はこの処理装置２３から被搬送物であるロットの情報を収集して、ロットの進捗管理を行っている。
【００２８】
そして、本実施の形態のコマンド入力装置１００は、前記の様に上位からＭＥＳ２８、ＭＣＳ２９、コントローラ３０、搬送機器（天井搬送車２４、移載機２５、ストッカ２６、搬送ロボット２７）により構成されている搬送制御システムにおいて、ＭＣＳ２９レベルの端末として設置されている。
【００２９】
図５のコマンド入力装置１００は、搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元のベクトルデータであるＣＡＤデータとして格納している図形データ１０１のデータベースと、搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインの特徴を表わす搬送制御情報を格納している搬送制御パラメータ１０２のデータベースと、搬送の指示を行うためのコマンドフォーマットを定義したコマンド定義ファイル１０３のデータベースを備えている。
【００３０】
また、コマンド入力装置１００の制御部１２０は、図形データ１０１の各構成機器及び搬送ラインに搬送制御パラメータ１０２と搬送ライン情報１１６とを関連付けるための紐付け部１０５と、紐付け部１０５で搬送制御パラメータ１０２等と関連付けられた図形データ１０１を画面１０７に表示するための画面処理部１０６と、画面１０７を通して入力部１０８から操作された内容及び前記コマンド定義ファイル１０３の内容に基づいて搬送指示のためのコマンドを作成するコマンド作成部１１０と、コマンド作成部１１０で作成されたコマンドに基づいて搬送経路を決定する搬送経路決定部１１２と、コマンド作成部１１０で作成されたコマンド及び搬送経路決定部１１２で決定された搬送経路を上位のＭＥＳ２８又は下位のコントローラ３０に通信路１３０を通じて通信する通信制御部１１５を備えている。
【００３１】
コマンド入力装置１００の画面１０７には、搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元のベクトルデータであるＣＡＤデータ１０１が表示される。そして、画面に表わされた搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインの図形データは、紐付け部１０５により搬送制御パラメータ１０２と関連付けられている。また、ＭＥＳ２８又はコントローラ３０から被搬送物であるロットの登録情報及び進捗情報が、通信制御部１１５を介して搬送ライン情報１１６として紐付け部１０５に入力され、紐付け部１０５で搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインの図形データ（ＣＡＤデータ）と関連付けられ、画面処理部１０６を介して画面１０７に被搬送物（ロット）として表示される。更に、コマンド入力装置１００の画面１０７には、入力部１０８の操作によりコマンド定義ファイル１０３に格納されたコマンドフォーマットが表示される。
【００３２】
図６は図５のコマンド入力装置の画面の表示例を示す図である。図において、１はコマンド入力装置１００の画面１０７であり、搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元のベクトルデータであるＣＡＤデータ１０１が表示されている。画面１に表わされた搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインは、前述のように各構成機器及び搬送ラインの特徴を表わす搬送制御パラメータ１０２と関連付けられている。ツールボックス２は搬送制御のための選択項目を表わし、プルダウンメニュー３はツールボックス２の１つを選択した場合に、より詳細な選択内容項目を示す。例えば、ツールボックス２で「搬送指示」を選択すると、プルダウンメニュー３に「ＳＥ（搬送許可）、ＳＴ（搬送始動）、ＥＤ（搬送終了）」等のコマンドが表示され、オペレータはその中のいずれかを入力部１０８のマウスやポインタ等で選択できる。ストッカ４は搬送ＦＲＯＭ側（搬送元側）機器を表わすＣＡＤ図形であり、ストッカ５は搬送ＴＯ側（搬送先側）機器を表すＣＡＤ図形である。また、６は被搬送物である搬送ロット、７は搬送ライン全体のＣＡＤ図形である。８は個別の構成機器を入力部のマウス又はポインタ等で指示した場合に表示される個別の構成機器に関連するデータである。更に、画面１の下側に一連のコマンド入力操作によって作成されるコマンドの表示欄９を示す。
【００３３】
図７は前記のように構成された搬送制御システムのコマンド入力装置において、搬送指示コマンドを作成するためのフローを示す図である。
【００３４】
まず、Ｓ７０１において搬送指示のためのコマンド種別を選択する。ここでは、図６の画面１において、ツールボックス２の搬送指示ボタンをマウス等で右クリックし、搬送指示のコマンド種別をポップアップメニュー３により表示し、所望のコマンド種別を選択する。次に、Ｓ７０２において、被搬送物であるロットを一意に特定するためのキーナンバーを入力する。例えば、ツールボックス２のキーナンバーボタンを右クリックすると、キーナンバー入力ボックスが表示され、そのボックスにキーナンバーを入力する。そうすると、Ｓ７０３において、当該ロットが存在する位置がハイライトされる。次に、Ｓ７０４において指定のロットが存在する機器（搬送ＦＲＯＭ側機器）４を示す図形データを左クリックする。そうすると、Ｓ７０５により搬送ＦＲＯＭ側機器４に関する制御関連パラメータがコマンド作成部１１０に取り込まれる。例えば、搬送ＦＲＯＭ側機器４がストッカであるとすると、当該ストッカ名、当該ストッカのロット搬出用棚等の情報が取り込まれる。次に、Ｓ７０６において搬送先の機器（搬送ＴＯ側機器）５を示す図形データを左クリックする。そうすると、Ｓ７０７により搬送ＴＯ側機器５に関する制御関連パラメータがコマンド作成部１１０に取り込まれる。例えば、搬送ＴＯ側機器５がストッカであるとすると、当該ストッカ名、当該ストッカのロット投入用棚等の情報が取り込まれる。そして、Ｓ７０８において、上記入力された情報に基づいてコマンド作成部１１０は搬送指示のためのコマンドを作成し、図６の画面１の下欄９に作成されたコマンドを表示する。また、コマンド作成部１１０がコマンドを作成すると同時に、搬送経路決定手段１１２は被搬送物の搬送経路を決定し、その経路が画面上でハイライトされる。その後、Ｓ７０９において、ツールボックスメニューよりコマンド送信ボタンを選択することにより、コマンド作成部１１０が作成したコマンドが通信制御部１１５を介してコントローラ３０又はＭＥＳ２８に送信される。
【００３５】
次に、ＭＣＳ２９の端末レベルのコマンド入力装置１００で作成されたコマンドがどのようにＭＥＳ２８又はコントローラ３０に伝送されるかについて説明する。
【００３６】
まず、搬送制御システムが、上位からＭＥＳ２８、ＭＣＳ２９、機器コントローラ３０という構成になっている場合（図１の搬送制御システムの場合）に、搬送指示のコマンドが伝送されていく基本的なパターンを図８に示す。
【００３７】
図８において、搬送指示は上位のＭＥＳ２８の（１）搬送許可コマンドの発信によって始まる。そして、このコマンドを受信したＭＣＳ２９は、（２）搬送許可コマンド受信確認の報告を送ると同時に、下位の機器コントローラ３０に（３）搬送指示コマンドを送る。それ以降は、ＭＣＳ２９とコントローラ３０の間で、（４）搬送指示コマンド受信確認報告、（５）搬送開始報告、（６）搬送開始報告の受信確認報告、（７）搬送終了報告、（８）搬送終了報告の受信確認報告が行われ、最後にＭＣＳ２９とＭＥＳ２８間で（９）搬送完了報告、（１０）搬送完了報告の受信確認報告が行われる。ここで、ＭＥＳ２８とＭＣＳ２９がオンライン状態で、例えば手動によりＭＣＳ２９の端末で、（１）搬送許可のコマンドを作成したとする。しかし、このコマンドは本来、ＭＥＳ２８がＭＣＳ２９に送るコマンドであるからこの操作は本来は行えないことになる。
【００３８】
次に、本実施の形態１の搬送指示のコマンドが伝送されていく様子を図９に示す。コマンドを入力するオペレータはコマンド入力装置１００により搬送許可コマンドを作成し、それを送信するという作業を行って、搬送機器による搬送を実現するが、この場合に作成されたコマンドの送付は、実際は上位の制御装置であるＭＥＳ２８に対する（Ａ）搬送許可信号の発信要求により開始される。そして、このコマンドを受けて、ＭＥＳ２８は（Ｂ）搬送許可信号の発信要求の受信確認報告を送信すると共に、通常の（１）搬送許可のコマンド発信をＭＣＳ２９に対して行い、以下（２）〜（１０）の手順を踏んで搬送が実行されることになる。
【００３９】
次に、本実施の形態１の搬送指示のコマンドが伝送されていく他の様子を図１１に示す。図１の搬送制御システムにおいて、コマンド入力画面１０７を有するＭＣＳレベルのコマンド入力装置１００により、搬送機器のコントローラ３０に、（１）搬送指示のコマンドを送信すると同時に、その搬送指示が本来ＭＥＳ２８からの指示によって起こされるものである場合には、ＭＥＳ２８に対しても、そのコマンドを送付したことを知らせる（（３）搬送許可信号の発信報告、（４）搬送許可信号の発信報告の受信確認報告）。その後、（５）〜（１０）のコマンドを送受信して搬送が実行される。
【００４０】
以上のように、実施の形態１によれば、図形データの各構成機器及び搬送ラインに搬送制御パラメータと搬送制御システムから送信される搬送ライン情報とを関連付け、関連付けられた図形データを画面上に表示し、画面上においてコマンド定義ファイルからコマンド種別を選択し、所望の被搬送物を特定し、搬送元の構成機器及び搬送先の構成機器を表わす図形データを選択すると、搬送指示のためのコマンドを作成するようにしたので、搬送指示のためのコマンドを作成する際に、コマンド規定書に基づいてコマンドを正確に入力する必要がなく、また、搬送制御パラメータ等を仕様書で確認して入力する必要もなく、マウス等でクリックするだけで、搬送コマンドを作成することができ、入力ミスも少なくすることができる。
【００４１】
また、人手搬送にて対応するしか無かった上位の計算機システムの基準情報として製造工程に記載されていない、イレギュラーな箇所の搬送機器による被搬送物の搬送指示を可能にすることができる。
【００４２】
更に、入力部から所望の被搬送物を特定する情報を入力すると、当該被搬送物の場所がハイライト表示されるようにしたので、オペレータにとって入力操作が容易になる。更に、搬送元の構成機器を表わす図形データと、搬送先の構成機器を表わす図形データを選択することで、それら構成機器に関連づけられている搬送制御パラメータが取り込まれ、搬送指示のコマンドが作成されるので、オペレータにとってコマンド作成が容易になる。
【００４３】
また、コマンド入力装置の通信制御装置が、上位レベルの計算機に対して、コマンド作成部で作成したコマンドを発信するように指示するようにしたので、上位レベルの計算機システムの制御系を維持しつつ搬送制御システムの搬送制御が可能となる。
【００４４】
また、別の方法として、コマンド入力装置の通信制御装置が、前記コマンド作成部で作成したコマンドを下位レベルの搬送機器のコントローラに発信するとともに、上位レベルの計算機に対して前記コマンドを発信したことを報告するようにしたので、上位レベルの計算機システムの制御系を維持しつつ搬送制御システムの搬送制御が可能となる。
【００４５】
また、コマンド作成部で作成されたコマンドに基づいて搬送経路を決定する搬送経路決定部を備え、画面上において搬送経路決定部で決定された搬送経路がハイライト表示されるようにしたので、オペレータによる確認作業が容易になる。なお、搬送経路決定部を備えず、オペレータが画面上で搬送経路をマウス等で特定することにより、搬送経路を決定しても構わない。
【００４６】
また、２次元又は３次元の図形データを、ベクトルデータであるＣＡＤデータとすることにより、図形データを拡大・縮小してもコマンド入力画面の図形の歪みが無い。また画面の視点を自由に変えることができる。因みに、製造ラインには概して非常に多くの装置・機器があり、一つの画面で賄おうとすると、拡大・縮小機能は必須となる。この機能が無いと、多くの画面を用意しなければならず、コマンド入力作業は複雑なものとなる。また、搬送ラインのレイアウト検討時や、工事のために作成したＣＡＤデータを流用できる。更に、レイアウトの変更や機器の増減にも柔軟に対応できる。
【００４７】
実施の形態２．
上記実施の形態１では、コマンド入力装置において搬送指示コマンドを作成する際、図７に示すように被搬送物であるロットを一意に特定するためのキーナンバーを入力していたが、実施の形態２では、被搬送物であるロットが存在する機器を示す図形データをクリックしてロット一覧表を表示し、その一覧表からロットを特定するようにする。
【００４８】
図１２は上記実施の形態１のように構成された搬送制御システムのコマンド入力装置において、搬送指示コマンドを作成する際の実施の形態２によるフローを示す図である。
【００４９】
まず、Ｓ１２０１において搬送指示のためのコマンド種別を選択する。ここでは、図６の画面１において、ツールボックス２の搬送指示ボタンをマウス等で右クリックし、搬送指示のコマンド種別をポップアップメニュー３により表示し、所望のコマンド種別を選択する。次に、Ｓ１２０２において、被搬送物であるロットが仕掛かっている構成機器を選択する。例えば、該当のロットがストッカ４に仕掛かっているとすると、当該ストッカ４を右クリックする。これにより、Ｓ１２０３において、選択した構成機器に関連するデータの一覧が表示され、この中から、仕掛かっているロットの一覧表を選択して表示させ、該当のロットを選択する。この時、Ｓ１２０４において、該当のロットが仕掛かっている構成機器（搬送ＦＲＯＭ側機器）４に関する制御関連パラメータがコマンド作成部１１０に取り込まれる。すなわち、搬送ＦＲＯＭ側機器４（ストッカ）のストッカ名、ストッカのロット搬出用棚等の情報が取り込まれる。次に、Ｓ１２０５において搬送先の機器（搬送ＴＯ側機器）５を示す図形データを左クリックする。そうすると、Ｓ１２０６により搬送ＴＯ側機器５に関する制御関連パラメータがコマンド作成部１１０に取り込まれる。例えば、搬送ＴＯ側機器５がストッカであるとすると、当該ストッカ名、当該ストッカのロット投入用棚等の情報が取り込まれる。そして、Ｓ１２０７において、上記入力された情報に基づいてコマンド作成部１１０は搬送指示のためのコマンドを作成し、図６の画面１の下欄９に作成されたコマンドを表示する。また、コマンド作成部１１０がコマンドを作成すると同時に、搬送経路決定手段１１２は被搬送物の搬送経路を決定し、その経路が画面上でハイライトされる。その後、Ｓ１２０８において、ツールボックスメニューよりコマンド送信ボタンを選択することにより、コマンド作成部１１０が作成したコマンドが通信制御部１１５を介してコントローラ３０又はＭＥＳ２８に送信される。
【００５０】
以上のように、実施の形態２によれば、入力部から被搬送物の仕掛かっている構成機器を選択すると、当該構成機器に仕掛かっている被搬送物の一覧が表示され、その中から所望の被搬送物を選択できるようにしたので、オペレータにとって更に入力操作が容易になる。
【００５１】
また、所望の被搬送物を選択するとともに、搬送先の構成機器を表わす図形データを選択することで、搬送元及び搬送先の構成機器に関連づけられている搬送制御パラメータが取り込まれ、搬送指示のコマンドが作成されるので、オペレータにとってコマンド作成が容易になる。
【００５２】
実施の形態３．
実施の形態３のコマンド入力装置は、図２に示すような搬送制御システムに適用される。この搬送制御システムでは、天井搬送車２４、移載機２５、ストッカ２６、搬送ロボット２７の各搬送機器がコントローラ３０を有し、このコントローラ３０は、各搬送機器間の動きの調整を行うＭＣＳ２９の指示に従って動作する。そして、ＭＣＳ２９は、上位の計算機システムであるＭＥＳ２８から動作指示を受けない構成となっているか、又は、上位の計算機システムであるＭＥＳ２８が存在しない。
【００５３】
そして、本実施の形態のコマンド入力装置は、上位からＭＣＳ２９、コントローラ３０、搬送機器（天井搬送車２４、移載機２５、ストッカ２６、搬送ロボット２７）により構成されている搬送制御システムにおいて、ＭＣＳ２９の端末として動作する。
【００５４】
図１３はこの発明の実施の形態３による搬送制御システムのコマンド入力装置を示す機能ブロック図である。
【００５５】
図１３において、コマンド入力装置１００Ａは、搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元のベクトルデータであるＣＡＤデータとして格納している図形データ１０１のデータベースと、搬送制御システムの各構成機器及び搬送ラインの特徴を表わす搬送制御情報を格納している搬送制御パラメータ１０２のデータベースと、搬送の指示を行うためのコマンドフォーマットを定義したコマンド定義ファイル１０３と、搬送制御システムの投入されるロット情報（品種、数量、番号等）を格納するロット情報１０４のデータベースを備えている。
【００５６】
また、コマンド入力装置１００の制御部１２０は、図形データ１０１の各構成機器及び搬送ラインに、搬送制御パラメータ１０２と、搬送ライン情報１１６と、ロット情報１０４を関連付けるための紐付け部１０５と、紐付け部１０５で搬送制御パラメータ１０２等と関連付けられた図形データ１０１を画面１０７に表示するための画面処理部１０６と、画面１０７を通して入力部１０８から操作された内容及び前記コマンド定義ファイル１０３の内容に基づいて搬送指示のためのコマンドを作成するコマンド作成部１１０と、コマンド作成部１１０で作成されたコマンドに基づいて搬送経路を決定する搬送経路決定部１１２と、コマンド作成部１１０で作成されたコマンド及び搬送経路決定部１１２で決定された搬送経路を下位のコントローラ３０に通信路１３０を通じて通信する通信制御部１１５を備えている。
【００５７】
コマンド入力装置１００の画面１０７には、搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインを２次元又は３次元のベクトルデータであるＣＡＤデータ１０１が表示される。そして、画面に表わされた搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインの図形データ（ＣＡＤデータ）は、紐付け部１０５により搬送制御パラメータ１０２、ロットの登録情報１０４と関連付けられている。また、コントローラ３０から被搬送物であるロットの進捗情報が、通信制御部１１５を介して搬送ライン情報１１６として紐付け部１０５に入力され、紐付け部１０５でロットの進捗情報が搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインの図形データ（ＣＡＤデータ）と関連付けられ、画面処理部１０６を介して画面１０７に被搬送物（ロット）として表示される。
【００５８】
コマンド入力装置の画面の表示例、搬送指示コマンドを作成するためのフローは、実施の形態１及び実施の形態２と同様である。
【００５９】
次に、実施の形態３のコマンド入力装置１００Ａで作成されたコマンドがどのようにコントローラ３０に伝送されるかについて説明する。
【００６０】
図１０において、搬送指示は、ＭＣＳ２８レベルのコマンド入力装置１００Ａからのコントローラ３０への（１）搬送指示コマンドの発信によって始まる。そして、このコマンドを受信したコントローラ３０は、（２）搬送指示コマンド受信確認の報告を送る。それ以降、ＭＣＳ２９とコントローラ３０の間で、（３）搬送開始報告、（４）搬送開始報告の受信確認報告、（５）搬送終了報告、（６）搬送終了報告の受信確認報告が行われる。
【００６１】
以上のように、実施の形態３によれば、上記実施の形態１及び２の効果に加え、搬送制御システムにおいて、ＭＥＳに相当する搬送指示を出す上位の計算機システムが不要になる。これにより、以下の効果を奏する。
【００６２】
（１）上位の計算機システムへの基準情報を入力する必要が無くなる。すなわち、多品種生産ラインにおいて、１品種毎の基準情報の入力は、全体としては膨大で大変な作業量になり、多くのシステム資源を使うことになるが、その心配が無くなる。
【００６３】
（２）搬送制御システムの構築において必須であったＭＥＳに相当する搬送指示を出す上位の計算機システムが不要となり、システム費用の大幅な軽減が図れる。
【００６４】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、コマンド入力装置の画面に、搬送制御システムを構成する各構成機器及び搬送ラインが２次元又は３次元の図形データとして表示され、これらの図形データは搬送制御パラメータ並びに被搬送物の登録情報及び進捗情報と関連付けられ、更に、コマンド定義ファイルに格納されたコマンドフォーマットが表示され、入力部によりそれらを選択するだけで搬送指示のコマンドが作成できるように構成したので、新たな操作盤のようなものを用いなくとも、容易に人手による搬送指示のコマンド入力を可能とする。
【００６５】
また、人手搬送にて対応するしか無かった、上位の計算機システムの基準情報として製造工程に記載されていないイレギュラーな箇所の搬送機器による被搬送物の搬送指示を可能にすることができる。
【００６６】
更に、自動で搬送指示を出すための大規模な計算機システムが無くても稼働させることができる搬送制御システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の前提となる搬送制御システムの構成及び機能ブロックを示す図である。
【図２】この発明の前提となる他の搬送システムの構成及び機能ブロックを示す図である。
【図３】マニュアルに基づいてコマンドを入力する場合の入力画面例を示す図である。
【図４】図３の搬送コマンドである文字列を入力する場合のフローチャートである。
【図５】この発明の実施の形態１による搬送制御システムのコマンド入力装置を示す機能ブロック図である。
【図６】この発明の実施の形態１による搬送制御システムのコマンド入力装置の画面を示す図である。
【図７】この発明の実施の形態１による搬送制御システムのコマンド入力装置において搬送指示コマンドを作成するためのフローチャートである。
【図８】図１の搬送制御システムにおける制御装置間で搬送指示コマンドが伝送されていく基本的なパターンを示す図である。
【図９】この発明の実施の形態１における制御装置間で搬送指示コマンドが伝送されていくパターンを示す図である。
【図１０】この発明の実施の形態２における制御装置間で搬送指示コマンドが伝送されていくパターンを示す図である。
【図１１】この発明の実施の形態１における制御装置間で搬送指示コマンドが伝送されていく他のパターンを示す図である。
【図１２】この発明の実施の形態２による搬送制御システムのコマンド入力装置において搬送指示コマンドを作成するためのフローチャートである。
【図１３】この発明の実施の形態３による搬送制御システムのコマンド入力装置を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
１  コマンド入力画面、４  搬送ＦＲＯＭ側機器、５  搬送ＴＯ側機器、６  被搬送物であるロット、７  搬送ラインのＣＡＤデータ、８  個別の機器に関連するデータ、９  コマンド表示欄、２２  モジュール、２３  処理装置、２４  天井搬送車、２５  移載機、２６  ストッカ、２７  搬送ロボット、２８  ＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）、２９  ＭＣＳ（Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）、３０  搬送機器のコントローラ、１００，１００Ａ  コマンド入力装置、１０１  図形データ、１０２  搬送制御パラメータ、１０３  コマンド定義ファイル、１２０  コマンド入力装置の制御部、１０５  紐付け部、１０６  画面処理部１０６、１０７  画面、１０８  入力部、１１０  コマンド作成部、１１２  搬送経路決定部、１１５  通信制御部、１１６  搬送ライン情報、１３０  通信路、１０４  被搬送物（ロット）情報。
【図１】
2004311672.tif 000003
【図２】
2004311672.tif 000004
【図３】
2004311672.tif 000005
【図４】
2004311672.tif 000006
【図５】
2004311672.tif 000007
【図６】
2004311672.tif 000008
【図７】
2004311672.tif 000009
【図８】
2004311672.tif 000010
【図９】
2004311672.tif 000011
【図１０】
2004311672.tif 000012
【図１１】
2004311672.tif 000013
【図１２】
2004311672.tif 000014
【図１３】
2004311672.tif 000015