(57)【要約】【課題】加工が容易で量産に適し、圧力室空部や連通口空部における深さ方向の寸法精度が向上できる構造の液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】流路形成基板７を、圧力室１１となる圧力室空部１６が形成された金属製の圧力室形成プレート１７と、ノズル連通口１２となる連通口空部１８が形成された金属製の連通口プレート１９とに分けて構成する。圧力室空部１６は、ノズル列とは略直交する方向に細長い形状に形成されると共に、打ち抜き加工によって板厚方向を貫通する貫通口として設ける。連通口空部１８は、打ち抜き加工によって板厚方向を貫通する貫通口として設ける。圧力室空部１６の長手方向一端部に連通口空部１８の少なくとも一部が臨むように、圧力室形成プレート１７と連通口プレート１９とを接着する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路形成基板の一方の面に封止板を、他方の面にノズルプレートをそれぞれ接合することで、液体供給口から圧力室及びノズル連通口を通ってノズル開口に至る一連の液体流路を設けた流路ユニットを備え、
前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで、ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成基板は、前記圧力室となる圧力室空部が形成された金属製の圧力室形成プレートと、前記ノズル連通口となる連通口空部が形成された金属製の連通口プレートと、からなり、
前記圧力室空部は、ノズル列とは略直交する方向に細長い形状に形成されると共に、打ち抜き加工によって板厚方向を貫通する貫通口として設けられ、
前記連通口空部は、打ち抜き加工によって板厚方向を貫通する貫通口として設けられ、
前記圧力室空部の長手方向一端部に前記連通口空部の少なくとも一部が臨むように、前記圧力室形成プレートと前記連通口プレートとを接着したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記連通口プレートを前記圧力室形成プレートよりも厚くしたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記連通口空部の一部を、前記圧力室空部の長手方向の一端を越えて外側に位置させたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記封止板は、前記圧力室の容積を変化させるためのダイヤフラム部を備えた弾性板からなり、
前記圧力室空部を前記連通口空部よりも幅広に設定すると共に、前記連通口空部を前記圧力室空部の幅内に位置させたことを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記液体供給口は、前記封止板の厚さ方向を貫通する貫通口として構成され、
前記圧力室空部の長手方向他端部に臨ませたことを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記流路ユニットをケースの先端面に接合すると共に、該ケースの先端面にはリザーバとなるリザーバ空部を形成し、
前記流路ユニットのケースへの接合により、前記リザーバ空部の一面を封止して前記リザーバを形成すると共に前記液体供給口を介して前記リザーバと前記圧力室とを連通したことを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記圧力室形成プレート及び連通口プレートは、少なくともニッケル製の板材によって構成されていることを特徴とする請求項１から請求項６の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れかに記載された液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の液体を吐出可能な液体噴射ヘッド、及びこの液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に関し、特に、圧力室となる圧力室空部やノズル連通口となる連通口空部等が形成された流路形成基板を、金属プレートによって作製したものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液体を液滴の状態で吐出可能な液体噴射ヘッドとしては、種々のものが提案されている。例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドが提案されている。
【０００３】
この様な液体噴射ヘッドでは、ｐｌ（ピコリットル）レベルの極く少量の液体を吐出可能であるため、圧力室やノズル連通口には極めて高い寸法精度が要求される。この観点から、圧力室となる圧力室空部やノズル連通口となる連通口空部等が設けられる流路形成基板にはシリコンウェハーが用いられ、異方性エッチングによって圧力室空部や連通口空部等が設けられている。しかしながら、１枚のシリコンウェハーから作製できる流路形成基板の数は限られ、流路形成基板を大量に生産しようとするとコストの面及び作業効率の面で不利となってしまう。また、シリコンウェハーは定型であるため、流路形成基板を大型化することが難しいという問題があった。
【０００４】
このような問題を解決すべく、流路形成基板を金属製プレートに対するプレス加工で作製する試みがなされている。例えば、板厚方向の途中までポンチを押し込んで圧力室となる空部を作製し、その後、レーザー加工等によって連通口となる空部を作製する等の方法が採られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２６３７９９号公報（第８頁，図１４）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した従来の液体噴射ヘッドでは、ポンチを板厚方向の途中まで押し込んで圧力室空部を作製するので、加工できる板材の厚さも限られてしまう。また、後加工で表面を削る必要もある。このため、流路形成基板の剛性が不足し、液滴の吐出特性に悪影響を及ぼす虞がある。また、圧力室空部に関し、深さ方向の寸法精度を高めることも困難であった。また、連通口空部を作製するにあたり、レーザー加工を用いているので、加工設備が大掛かりになり、コストが上がってしまうという問題点もあった。
【０００７】
本発明は、この様な事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工が容易で量産に適し、必要な剛性も容易に確保でき、圧力室空部等の深さ方向の寸法精度も向上できる液体噴射ヘッド、及びそれを用いた液体噴射装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、流路形成基板の一方の面に封止板を、他方の面にノズルプレートをそれぞれ接合することで、液体供給口から圧力室及びノズル連通口を通ってノズル開口に至る一連の液体流路を設けた流路ユニットを備え、
前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで、ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成基板は、前記圧力室となる圧力室空部が形成された金属製の圧力室形成プレートと、前記ノズル連通口となる連通口空部が形成された金属製の連通口プレートと、からなり、
前記圧力室空部は、ノズル列とは略直交する方向に細長い形状に形成されると共に、打ち抜き加工によって板厚方向を貫通する貫通口として設けられ、
前記連通口空部は、打ち抜き加工によって板厚方向を貫通する貫通口として設けられ、
前記圧力室空部の長手方向一端部に前記連通口空部の少なくとも一部が臨むように、前記圧力室形成プレートと前記連通口プレートとを接着したことを特徴とする。
そして、この発明において、前記連通口プレートを前記圧力室形成プレートよりも厚くする構成が好ましい。さらに、前記圧力室形成プレート及び前記連通口プレートは、少なくともニッケル製の板材から構成されることが好ましい。
【０００９】
これらの発明によれば、前記圧力室空部が前記圧力室形成プレートを貫通する貫通口として設けられ、前記連通口空部が前記連通口プレートを貫通する貫通口として設けられるので、圧力室空部や連通口空部を凹凸のない素材プレートに対する打ち抜き加工で作製できる。このため、加工が容易となって大量生産に適する。加えて、打ち抜き時においてポンチに無用な応力がかかり難くなるので、ポンチ折れ等の不具合を防止できる。そして、素材プレート毎にプレス加工しその後に接着するので、流路形成基板の厚さを従来よりも厚くすることができる。これにより、流路ユニットの剛性を高めることができ、液滴の吐出特性を安定化することができる。
【００１０】
また、前記圧力室空部及び前記連通口空部の深さは前記圧力室形成プレートの厚み及び前記連通口プレートの厚みで規定される。このため、深さ方向の寸法精度を向上させることができる。さらに、圧力室空部や連通口空部の開口形状を矩形等の単純な形状とできるので、この点でもポンチ折れ等の不具合を防止でき、一層厚い素材プレートを加工対象にすることができる。
【００１１】
上記発明において、前記連通口空部の一部を、前記圧力室空部の長手方向の一端を越えて外側に位置させる構成が好ましい。
この発明によれば、圧力室長手方向において、圧力室空部の一端が連通口空部の一端よりも内側に位置するので、圧力室空部の一端において液体の淀みが生じ難くなる。このため、万一、圧力室内に気泡が入り込んだとしても、ノズル開口側からの吸引によって気泡を液体の流れに乗せることができる。その結果、気泡を確実に排出することができる。
【００１２】
上記発明において、前記封止板を、前記圧力室の容積を変化させるためのダイヤフラム部を備えた弾性板によって構成し、前記圧力室空部を前記連通口空部よりも幅広に設定すると共に、前記連通口空部を前記圧力室空部の幅内に位置させる構成が好ましい。
この発明によれば、圧力室の幅が連通口の幅よりも広いので、液滴に関し、吐出可能な最大量を増やすことができる。このため、幅広い用途に用いることができる。また、圧力室空部と連通口空部との間やダイヤフラム部と圧力室空部との間に位置ズレが生じたとしても吐出特性の変動を小さく抑えることができる。従って、吐出特性の安定化が図れる。さらに、前記圧力室空部内に臨む前記連通口プレート表面を、余剰の接着剤を保持する接着剤保持領域として使用できる。このため、連通口プレートと圧力室形成プレートの接着時に溢れてしまった接着剤がむやみに拡がってしまう不具合を防止できる。
【００１３】
上記発明において、前記液体供給口は、前記封止板の厚さ方向を貫通する貫通口として構成し、前記液体供給口を、前記圧力室空部の長手方向他端部に臨ませる構成が好ましい。さらに、前記流路ユニットをケースの先端面に接合すると共に、該ケースの先端面にはリザーバとなるリザーバ空部を形成し、前記流路ユニットのケースへの接合により、前記リザーバ空部の一面を封止して前記リザーバを形成すると共に前記液体供給口を介して前記リザーバと前記圧力室とを連通する構成が好ましい。
これらの発明によれば、極く微細な径であっても液体供給口を寸法精度良く作製できる。このため、圧力室とリザーバとの間の流路抵抗を高い精度で規定でき、液滴の吐出特性を安定化することができる。また、リザーバ空部がケース先端面に設けられているので、部品点数の削減が図れて構成の簡素化が図れる。これにより、製造の効率化が図れ大量生産に適する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドと略記する）を例に挙げて行うこととする。
【００１５】
この記録ヘッドは、液体状のインク（本発明の液体の一種）を吐出することにより、記録紙（着弾対象物の一種）の表面に文字や画像等を記録するものである。図１及び図２に例示した記録ヘッド１は、ケース２と、このケース２内に収納される振動子ユニット３と、ケース２の先端面に接合される流路ユニット４等から概略構成されている。
【００１６】
上記のケース２は、例えば、エポキシ系樹脂等の熱硬化性樹脂で成型されたブロック状部材である。ここで、ケース２を熱硬化性樹脂で成型しているのは、この熱硬化性樹脂は、一般的な樹脂よりも高い機械的強度を有しており、線膨張係数が一般的な樹脂よりも小さく、周囲の温度変化による変形が小さいからである。そして、このケース２には、振動子ユニット３を収納可能な収納空部と、ヘッド外部から供給されるインクを案内するインク供給路（液体供給路の一種）とを、ケース２の高さ方向を貫通させた状態で設けている。また、このケース２には、先端面を部分的に凹ませることにより、リザーバとなるリザーバ空部（先端凹部）を設けている。
【００１７】
上記の振動子ユニット３は、複数の圧電振動子５によって構成される振動子群と、この振動子群が接合される固定板６と、振動子群に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル（図示せず）とから概略構成される。上記の圧電振動子５は、圧力発生素子の一種であって、電気機械変換素子の一種であり、振動子電位に応じて変形する。本実施形態における圧電振動子５は、例えば、圧電体層と電極層とを交互に積層した圧電板を櫛歯状に切り分けることで作製された積層型（縦振動モード）の圧電振動子である。そして、固定板６の縁よりも外側に突出した自由端部が、振動子電位に応じて積層方向と直交する方向に伸縮する。上記の固定板６は、厚さが１ミリ程度の板状部材であり、伸縮時において生じる圧電振動子５からの反力を受け止める部材である。本実施形態では、この固定板６を、金属材料の一種であるステンレスによって作製している。
【００１８】
次に、上記の流路ユニット４について説明する。この流路ユニット４は、流路形成基板７の一方の面にノズルプレート８を、流路形成基板７の他方の面に弾性板９を接合した構成である。そして、この流路ユニット４には、インク供給口１０と、圧力室１１と、ノズル連通口１２と、ノズル開口１３とが設けられている。そして、これらの各部により、インク供給口１０から圧力室１１及びノズル連通口１２を経てノズル開口１３に至る一連のインク流路が、ノズル開口１３に対応する複数形成されている。また、流路ユニット４がケース先端面に接合されると、リザーバ空部１４の開口面が弾性板９によって封止されてリザーバ１５が形成される。
【００１９】
流路形成基板７は、圧力室１１となる圧力室空部１６が形成された圧力室形成プレート１７と、ノズル連通口１２となる連通口空部１８が形成された連通口プレート１９からなる２枚構成である。そして、これらのプレート同士を厚さ方向に積層して接着することで、流路形成基板７が作製されている。本実施形態では、これらの圧力室形成プレート１７と連通口プレート１９を金属板の一種である純ニッケルの薄板（以下、単にニッケル板という。）によって構成している。なお、この流路形成基板７については、後で詳細に説明する。
【００２０】
上記の弾性板９は、本発明における封止板の一種であり、圧力室空部１６の開口面を封止するダイヤフラム部２２と、リザーバ空部１４の開口面を封止するコンプライアンス部２３と、圧力室１１とリザーバ１５とを連通するインク供給口１０とが設けられている。本実施形態の弾性板９は、支持板２４と弾性体膜２５の積層構造である。具体的には、支持板２４として厚さ約３０μｍのステンレス板を、弾性体膜２５として厚さ約７μｍのＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）を用いている。そして、支持板２４と弾性体膜２５との間にポリオレフィン等の接着層（ＡＤ層）を挟んで一体化して板状基板とし、この板状基板に対してエッチング処理を施す等によって支持板２４を部分的に除去して上記のダイヤフラム部２２及びコンプライアンス部２３を作製する。
【００２１】
上記のダイヤフラム部２２は、圧力室空部１６における一方の開口面を封止する部分であり、圧力室１１の一部を区画している。図２に示すように、このダイヤフラム部２２は、その幅（符号Ｗ２２で示すノズル列方向の幅）が隣り合う隔壁部（桟部）２６の形成間隔によって規定され、その長さ（符号Ｌ２２で示すノズル列方向と直交する方向の長さ）が弾性板９の厚肉部、即ち、支持板２４が残っている部分によって規定される。そして、このダイヤフラム部２２には、圧電振動子５の先端面が接合される島部２７と、この島部２７を囲うように設けられた薄肉弾性部２８とを有する。即ち、このダイヤフラム部２２は、島部２７となる部分が残るように支持板２４を部分的に除去することで作製される。島部２７は、圧力室空部１６の開口形状よりも小さいブロック状に作製されている。例えば、島部２７の幅は圧力室空部１６の幅の約半分に設定され、島部２７の長さは圧力室空部１６の長さの約１／３に設定されている。この島部２７をダイヤフラム部２２の略中央に設けることで、島部２７の周囲には弾性体膜２５からなる薄肉弾性部２８が形成される。
【００２２】
上記のコンプライアンス部２３は、リザーバ空部１４における開口面を封止し、リザーバ１５の一部を区画する。このコンプライアンス部２３もまた、支持板２４の一部をエッチング等によって除去し、弾性体膜２５だけにすることで作製される。そして、このコンプライアンス部２３は、リザーバ１５に供給されたインクの圧力変動を変形によって吸収する。
【００２３】
上記のインク供給口１０は、本発明の液体供給口の一種であり、リザーバ１５と圧力室１１との間を連通する。本実施形態では、インク供給口１０を弾性板９の板厚方向を貫通する貫通口によって構成し、ノズル開口１３とは反対側の圧力室空部１６の端部（供給側端部）に臨んでいる。また、このインク供給口１０の直径は圧力室空部１６の幅よりも十分に小さく設定され、例えば２５ミクロン前後の微細な孔によって構成される。このようにインク供給口１０を微細な貫通孔にした理由は、圧力室１１とリザーバ１５との間に流路抵抗を付与するためである。
【００２４】
即ち、この記録ヘッド１では、圧力室１１内のインクに付与した圧力変動を利用してインク滴を吐出させている。ここで、インク滴を効率よく吐出させるためには、圧力室１１内のインク圧力をできるだけリザーバ１５側に逃がさないようにすることが肝要である。この観点から本実施形態では、インク供給口１０を微細な貫通孔によって構成している。そして、インク供給口１０を弾性板９を貫通する細孔によって構成すると、加工が容易であり、高い寸法精度が得られるという利点がある。
【００２５】
次に、上記のノズルプレート８について説明する。ノズルプレート８は、複数のノズル開口１３を穿設した金属製の板状部材である。本実施形態では薄手のステンレス板を用いており、ノズル開口１３をドット形成密度に対応したピッチで列設している。そして、１列に属する複数のノズル開口１３でノズル列（図示せず）を構成し、このノズル列を横並びに複数列設けている。そして、このノズルプレート８は、弾性板９とは反対側に位置する流路形成基板７の表面に接合され、この接合状態にておいて各ノズル開口１３は対応するノズル連通口１２に臨んでいる。
【００２６】
上記構成の記録ヘッド１では、インク供給針（液体供給針の一種，図示せず。
）からリザーバ１５に至る共通インク流路（共通液体流路の一種）と、インク供給口１０から各ノズル開口１３に至るインク流路（本発明の液体流路の一種）とを有する。そして、インクカートリッジに貯留されたインクは、インク供給針から導入され、共通インク流路を通った後に共通インク室に貯留される。リザーバ１５に貯留されたインクは、インク流路を通じてノズル開口１３から液滴として吐出される。
【００２７】
例えば、圧電振動子５を素子長手方向に収縮させると、ダイヤフラム部２２が振動子ユニット３側に引っ張られて圧力室１１が膨張する。この膨張により圧力室１１内が負圧化されるので、リザーバ１５に貯留されているインクがインク供給口１０を通って圧力室１１に流入する。その後、圧電振動子５を素子長手方向に伸張させると、ダイヤフラム部２２が流路形成基板７側に押されて圧力室１１が収縮する。この収縮により、圧力室１１内のインク圧力が上昇し、対応するノズル開口１３からインク滴が吐出される。
【００２８】
次に、上記の流路形成基板７について詳細に説明する。上記したように、流路形成基板７は圧力室形成プレート１７と連通口プレート１９とを積層することで作製している。本実施形態では、圧力室形成プレート１７を厚さ８０μｍのニッケル板によって構成し、連通口プレート１９を厚さ２５０μｍのニッケル板によって構成している。
【００２９】
上記の圧力室形成プレート１７に設けられた圧力室空部１６は、ノズル列方向とは略直交する方向に細長い矩形状（つまり、長方形状）の貫通口である。本実施形態では、図４に示すように、符号Ｌ１６で示す長さが１１５０μｍであり、符号Ｗ１６で示す幅が１１０μｍの矩形状開口によって構成されている。そして、この圧力室空部１６を幅方向、即ち、ノズル列方向に並べて設けている。なお、上記の「略直交する方向」とは、完全なる直交方向でなくても良いことを意味する。従って、多少のずれは許容される。
また、上記の連通口プレート１９に設けられた連通口空部１８は、図５に示すように、ノズル列方向とは直交する方向に細長い矩形状（つまり、長方形状）の貫通口である。本実施形態では、符号Ｌ１８で示す長さが１５０μｍであり、符号Ｗ１８で示す幅が８５μｍの矩形状開口によって構成されている。
【００３０】
ここで、流路形成基板７を圧力室形成プレート１７と連通口プレート１９との２枚構成にしたのは、圧力室空部１６及び連通口空部１８を凹凸のない素材プレートに対する打ち抜き加工によって作製するためである。これにより、加工が容易となって大量生産に適する。また、打ち抜き時においてポンチに偏加重などの無用な応力がかかり難くなるので、ポンチ折れ等の不具合を防止することもできる。さらに、圧力室空部１６や連通口空部１８の開口形状を矩形等の単純な形状とできるので、この点でもポンチ折れ等の不具合を防止でき、一層厚い素材プレートを加工対象にすることができる。
【００３１】
また、上記の２枚構成にしたことにより、圧力室空部１６及び連通口空部１８の深さは圧力室形成プレート１７の厚み及び連通口プレート１９の厚みで規定される。このため、各空部に関し、深さ方向の寸法精度を向上させることができる。そして、素材プレート毎に打ち抜き加工（プレス加工）し、その後に接着するので、流路形成基板７の厚さを、従来よりも厚くすることができる。これにより、流路ユニット４の剛性を高めることができ、インク滴の吐出特性を安定化することができる。例えば、圧力室１１からの押圧力に起因する流路ユニット全体の変形を防止することができ、所謂クロストークを防止することができる。
【００３２】
また、圧力室形成プレート１７と連通口プレート１９の厚みは適宜設定することができるが、本実施形態では、図３に示すように、連通口プレート１９の厚さｔ１９を圧力室形成プレート１７の厚さｔ１７よりも大きくしている。
これは、次の理由による。即ち、連通口空部１８の面積は圧力室空部１６の面積に比して小さく、打ち抜き加工時の圧力が小さくて済むため、プレート厚が厚くても加工が容易であることによる。
そして、連通口プレート１９を圧力室形成プレート１７よりも厚く構成できることから、流路ユニット４の剛性を高めることができ、この点でも所謂クロストークを防止できる。
【００３３】
次に、各プレートの素材としてニッケル板を選定した理由について説明する。
第１の理由は、展性に富んでいるからである。これは、圧力室形成プレート１７及び連通口プレート１９を作製するにあたって打ち抜き加工を採用していることによる。即ち、これらのプレート１７，１９に形成される圧力室空部１６及び連通口空部１８は、極めて微細な形状であり、且つ、高い寸法精度が要求される。
そして、基板にニッケルを用いると、展性に富んでいることから打ち抜き加工であっても圧力室空部１６及び連通口空部１８を高い寸法精度で形成することができる。
【００３４】
第２の理由は、このニッケルの線膨張係数が、ノズルプレート８や弾性板９の主要部を構成する金属（本実施形態ではステンレス）の線膨張係数とほぼ等しいからである。即ち、流路ユニット４を構成する各プレート材の線膨張係数が揃うと、これらの各部材を加熱接着した際において、各部材は均等に膨張する。このため、膨張率の相違に起因する反り等の機械的ストレスが発生し難い。その結果、高温で接着したとしても各部材を支障なく接着できる。また、記録ヘッド１の作動時に圧電振動子５が発熱し、この熱によって流路ユニット４が加熱されたとしても各部材が均等に膨張する。このため、圧電振動子５の加熱や冷却が繰り返し行われても、流路ユニット４を構成する各部材に剥離等の不具合が生じ難くなり、信頼性を高めることができる。
【００３５】
第３の理由は、防錆性に優れているからである。即ち、この種の記録ヘッド１１では水性インクが好適に用いられているので、長期間に亘って水が接触しても錆び等の変質が生じないことが肝要である。その点、ニッケルは、ステンレスと同様に防錆性に優れており、錆び等の変質が生じ難い。
【００３６】
なお、流路形成基板７に関し、上記した各要件、即ち、線膨張係数の要件、防錆性の要件、及び、展性の要件を満たすならば、ニッケル以外の金属で構成してもよい。
【００３７】
また、本実施形態では、図３に示すように、圧力室空部１６の幅Ｗ１６を連通口空部１８の幅Ｗ１８よりも広く設定している。これは、インク滴に関し、吐出可能な最大量を増やすためである。即ち、ダイヤフラム部２２を変位させてインク滴を吐出する記録ヘッド１では、圧力室１１の膨張時容積と収縮時容積の差（インクの排除体積）に応じて吐出可能なインク滴の最大量が規定される。そして、圧力室空部１６の幅を連通口空部１８の幅よりも広く設定することで、排除体積を可及的に増やすことができる。また、圧力室形成プレート１７と連通口プレート１９とが別部材なので、圧力室空部１６の幅Ｗ１６を連通口空部１８の形状に影響されることなく、自由に設定することができる。
【００３８】
また、圧力室空部１６が連通口空部１８よりも幅広であるため、圧力室空部１６と連通口空部１８との間に位置ズレが生じたり、ダイヤフラム部２２と圧力室空部１６との間に位置ズレが生じたとしても、その位置ズレに起因する吐出特性の変動を小さく抑えることができる。従って、プレート同士の接着精度を多少ラフにしてもインク滴の吐出特性を安定化できる。これによって、生産効率の向上が図れる。
【００３９】
さらに、連通口プレート１９の圧力室形成プレート１７側の表面における圧力室空部１６内に臨む部分、即ち、図２や図３に符号Ｘで示す領域を、余剰の接着剤を保持するための接着剤保持領域としても使用できる。このため、連通口プレート１９と圧力室形成プレート１７とを接着する際において万一接着剤が溢れてしまったとしても、この溢れてしまった接着剤がむやみに拡がってしまう不具合を防止できる。
【００４０】
また、図２に符号Ｓで示すように、連通口プレート１９と圧力室形成プレート１７とを接着する際において、連通口空部１８における長手方向の吐出側端部を、圧力室空部１６の長手方向の吐出側の端部を越えて外側に位置させている。これは、圧力室１１内に入り込んだ気泡を確実に排出するためである。即ち、この構成では、圧力室空部１６の吐出側端部において液体の淀みが生じ難くなる。従って、ノズル開口１３側からの吸引によって気泡を液体の流れに乗せることができ、入り込んだ気泡を確実に排出することができる。
【００４１】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に基づいて種々の変形が可能である。
【００４２】
例えば、圧力発生素子に関し、上記実施形態では、所謂縦振動モードの圧電振動子５を用いた場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、所謂撓み振動モードの圧電振動子を用いてもよいし、静電アクチュエータを用いてもよい。
【００４３】
さらに、圧力発生素子として発熱素子を用いてもよい。そして、発熱素子を用いた場合には、発熱により生じる気泡を利用してインク滴を吐出させるので、上記の弾性板９に代えて蓋プレート（本発明の封止板の一種）を用いる。この蓋プレートは、上記のコンプライアンス部２３が設けられたプレート状部材であり、圧力室空部１６に対応する部分は厚肉部として形成されている。
【００４４】
また、連通口空部１８の配置に関し、連通口空部１８の開口全体を圧力室空部１６内に臨ませてもよい。言い換えれば、連通口空部１８の少なくとも一部が圧力室空部１６の吐出側端部に臨んでいればよい。そして、上記実施形態のように、連通口空部１８の一部分を圧力室空部１６よりも外側に配置すると、気泡が確実に排出できて好ましい。
【００４５】
なお、本発明は、プリンタに限らず、プロッタ、ファクシミリ装置、コピー機等、各種の記録装置に用いる記録ヘッドにも適用可能である。
また、本発明は、記録装置以外の液体噴射装置に用いる液体噴射ヘッドにも適用できる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置，有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレーやＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置，極く少量の試料溶液を正確な量供給するマイクロピペット用の液体噴射ヘッドにも適用できる。
そして、ディスプレー製造装置では、色材噴射ヘッドからＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を吐出する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を吐出する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を吐出する。
【図面の簡単な説明】
【図１】記録ヘッドの構造を説明する断面図である。
【図２】流路ユニットの構造を説明する部分拡大図である。
【図３】圧力室とノズル連通口の関係を説明する部分拡大断面図である。
【図４】圧力室形成プレートを説明する部分拡大図である。
【図５】連通口プレートを説明する部分拡大図である。
【符号の説明】
１…記録ヘッド，２…ケース，３…振動子ユニット，４…流路ユニット，５…圧電振動子，６…固定板，７…流路形成基板，８…ノズルプレート，９…弾性板，１０…インク供給口，１１…圧力室，１２…ノズル連通口，１３…ノズル開口，１４…リザーバ空部，１５…リザーバ，１６…圧力室空部，１７…圧力室形成プレート，１８…連通口空部，１９…連通口プレート，２２…ダイヤフラム部，２３…コンプライアンス部，２４…支持板，２５…弾性体膜，２６…隔壁部，２７…島部，２８…薄肉弾性部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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