(57)【要約】【課題】モータの回転をローラーに伝動する伝動要素から摩擦等による微少粉末が発生しないようにすると同時に、ローラーウエイをユニット化する。【解決手段】ローラーウエイを構成する複数のローラーそれぞれの両端を流体軸受にて軸支すると共に一方の軸端それぞれに誘導電動機を直結してコンベアユニットを構成し、一方、コンベアユニットを支持する支持台側の１カ所に周波数制御電源装置を設けて、コンベアユニットを支持台及び周波数制御電源装置側に対して機械的かつ電気的に装脱自在に構成する。これにより複数のモーターを同期速度にて回転させると同時に周波数制御電源装置の周波数変換により変速可能となる。【選択図】　　　図１
2004131222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並行かつ連続的に配設された複数のローラーにて物品搬送のローラーウエイを構成するコンベアにおいて、
前記複数のローラーそれぞれにモーターを直結し、該モーターのそれぞれの回転を１制御手段により同期速度にて変速可能に構成したことを特徴とするコンベア。
【請求項２】
前記モーターが、誘導電動機から成り、前記制御手段が周波数制御電源装置から成ることを特徴とする請求項１記載のコンベア。
【請求項３】
前記モーターが、パルスモーターなどの同期電動機から成り、前記制御手段がパルス発振装置から成ることを特徴とする請求項１記載のコンベア。
【請求項４】
前記ローラーそれぞれの両端に、流体の圧力により非接触にて軸支する流体軸受を用いたことを特徴とする請求項１記載のコンベア。
【請求項５】
前記複数のローラーと該ローラーの両端を軸支する軸受とローラーの一端に直結されたモーターとによりコンベアユニットを構成し、一方、該コンベアユニットを支持する支持台側にモーターの回転を制御する前記制御手段を設けて、該コンベアユニットを該支持台に対して機械的かつ電気的に装脱自在に構成したことを特徴とする請求項１記載のコンベア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶などのフラットパネルディスプレイをプロセス処理する際に搬送するコンベアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
並行かつ連続的に配設された複数のローラーにて物品搬送のローラーウエイを構成する従来のコンベアは、例えば図６から図１０に示されるような駆動方式のものがある。
【０００３】
図６の場合は、モータ５１の駆動にて１本の伝動軸５２を回転し、この伝導軸５２の回転を傘歯車５３を介して直角方向の複数のローラー５４に伝達する構成である。
【０００４】
図７の場合は、前記伝動軸５２の回転をネジ歯車５５を介してに直角方向の複数のローラー５４に伝達する構成である。
【０００５】
図８の場合は、前記伝導軸５２の回転を丸ベルト５６を介して直角方向の複数のローラー５４に伝達する構成である。
【０００６】
図９の場合は、モーター５１の回転をプーリーあるいはチェーンホイール５７とタイミングベルトあるいはチェーン５８を介して複数のローラー５４に伝達する構成である。
【０００７】
以上の例において図６から図９の場合は、モータ５７の回転をローラー５４に伝達する際の伝動要素である歯車５３、５４あるいはベルトまたはチェーン５８に摩擦が生じて清浄な環境を汚染すという問題がり、従来はこれを防止するために伝動要素を清浄な環境から隔離した別室にして発生した微少粉末を排気にて除去するか又は伝動要素部に水を滴下して洗い流すことにより微少粉末が空中に飛散しないようにする方法が採られていた。
【０００８】
また、微少粉末が発生しない伝動手段としては、図１０に示すネジ歯車のように配置された磁石６０にて非接触の伝動要素部を構成し、伝導軸５２の回転を磁力により非接触にて直角方向の複数のローラー５４に伝達する方法が採られている。
【０００９】
一方、ローラー５４の両端を軸支する軸受（図示しない）は、内部にグリース等の潤滑用油脂が封入され、この油脂はシール部材にて漏れが防止されている。しかしシール機能が完全でないために油脂が僅かではあるが漏れてコンベアが汚染され、または軸受内部に外部の液が侵入して軸受の潤滑性能が劣化するという問題がある。この問題を解決するために無給油で液の侵入が許されるセラミックスや樹脂などからなる軸受を用いることも考えられるが、これらは高価で寿命が短いという欠点がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
よって本発明は、前記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、モータの回転をローラーに伝動する際の伝動要素から摩擦等による微少粉末を発生させないと同時に、ローラーウエイをユニット化することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のコンベアに係る請求項１は、並行かつ連続的に配設された複数のローラーにて物品搬送のローラーウエイを構成するコンベアにおいて、前記複数のローラーそれぞれにモーターを直結し、該モーターのそれぞれの回転を１制御手段により同期速度にて変速可能に構成したことを特徴とするものである。
【００１２】
請求項２は、前記モーターが誘導電動機から成り、前記制御手段が周波数制御電源装置から成ることを特徴とする請求項１記載のコンベアである。
【００１３】
請求項３は、前記モーターがパルスモーターなどの同期電動機から成り、前記制御手段がパルス発振装置から成ることを特徴とする請求項１記載のコンベアである。
【００１４】
請求項４は、前記ローラーそれぞれの両端に、流体の圧力により非接触にて軸支する流体軸受を用いたことを特徴とする請求項１記載のコンベアである。
【００１５】
請求項５は、前記複数のローラーと該ローラーの両端を軸支する軸受とローラーの一端に直結されたモーターとによりコンベアユニットを構成し、一方、該コンベアユニットを支持する支持台側にモーターの回転を制御する前記制御手段を設けて、該コンベアユニットを該支持台に対して機械的かつ電気的に装脱自在に構成したことを特徴とする請求項１記載のコンベアである。
【００１６】
請求項１，２によれば、複数のローラーそれぞれに誘導電動機を直結し、誘導電動機それぞれの回転を周波数制御電源装置から成る１カ所の制御手段にて制御することにより同期速度にて、しかも周波数の変更により変速が可能となる。これにより機械的摩擦によって微少粉末が発生する伝動要素を用いずに動力を伝達することが可能となる。
【００１７】
請求項３にあっても、前記同様にパルスモーターなどの同期電動機を直結し、前記制御手段がパルス発振装置から成ることで、機械的摩擦によって微少粉末が発生する伝動要素を用いずに動力を伝達することが可能となる。
【００１８】
請求項４によれば、ローラーそれぞれの両端に、圧縮空気、圧縮窒素あるいは圧力水等から成る流体圧力の浮上力にて軸を浮上させることにより非接触にて軸支する流体軸受が用いられているので機械的摩擦がなく、微少粉末が発生しない。また軸受内は圧力流体にて外部より高圧に保たれているので流体が軸受の両側に漏れても外部の液が軸受内に侵入することがない。しかも軸受に清浄な圧力流体を用いれば圧力流体が漏れても周囲は汚染されない。これにより従来の油脂が封入さた軸受の油脂の漏れによるローラーの汚染がなくなる。
【００１９】
請求項５によれば、モーターが直結され、両端が軸受にて軸支された複数のローラーにてコンベアユニットを構成し、このユニットを支持台に対して機械的かつ電気的に装脱自在に構成したことにより、各種ユニットを選択して組みつけることが可能となる。従ってコンベア全体の構成を変更することが容易になる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図５は本発明の実施の形態に係り、図１はコンベアの上面図、図２は図１の同側面図、図３は図１の端面図、図４はコンベアの一部断面図、図５は軸受ケースと基準プレートとの嵌合を示す図である。
【００２１】
本発明のコンベアは、図１〜３に示すように，複数のローラー１が並行かつ適切な間隔を保ってローラーウエイを構成したものである。そして図４〜５に示すように，この複数のローラー１の中央部には、搬送物（例えばガラス基板）２を載置して回転しつつ搬送するスリーブ３が３カ所等配に配設されている。そして、ローラー軸４の両端は軸受５，６にて軸支され、一方の軸端には軸受５を介してモーター７が直結されている。
【００２２】
前記軸受５，６は、圧縮空気、圧縮窒素あるいは圧力水等の圧力流体にて軸４を浮上させつつ非接触にて軸支する流体軸受である。即ちこの軸受５，６には、図４に示すように、その下方に接続された配管８，９から圧力流体が供給され、この圧力流体をローラー軸４と軸受メタル１０との間に介在させることによりローラー軸４を浮遊状態になるので、軸４が直接に軸受メタル１０に接触しなくなり、軸４と軸受メタルとの相互間に摩擦が発生しない。従って摩擦による微少粉末も発生しない。しかも軸受５，６の内部は常に圧力流体にて外部より高い圧力が保たれているので圧力流体がシール部１１から外部に漏れることがあっても、外部から液が侵入することがないものである。なお軸受ケース１８ａ，１８ｂの外周には後述のコンベア支持台２４側に嵌合着する円周溝２１ａ，２１ｂが設けられている。
【００２３】
前記モータ７には誘導電動機が用いれている。このモータ７は、図４に示すように、モーター軸１２には接続金具１３がピン１３ａにて嵌着され、接続金具１３の他端はローラー軸４の軸穴１４に係合されピン１４ａにて固定されている。これによりモーター軸１２は接続金具１３を介してローラー軸１４に直結されている。なおモーターケース１５はその端部がフランジ１６を介して軸受ケース１８ａの端部にネジ１７にて固定されている。また図１に示すように、モーター７のそれぞれには電力を供給するコード１９が連結されており、その開放端にコネクター２０が設けられている。
【００２４】
そして上記ローラー１とその両軸端を軸支する軸受５，６及びローラーを駆動するモーター７にてコンベアユニット２２が構成されている。
【００２５】
一方、コンベアユニットを支持するコンベア支持台２４は基準プレート２５，２６と基台２７とから成り、基準プレート２５，２６の上縁には図２に示す複数のＵ字形開口部２８，２９が上縁に沿って適切な間隔を保って形成されている。そしてこのＵ字形開口部２８，２９には前記軸受ケース１８ａ，１８ｂ外周に形成された円周溝２１ａ，２１ｂが嵌合することにより複数のローラー１が並行に配設され、ローラーウエイの構成が可能となる。なお前記円周溝２１ａ，２１ｂは図５に示すように、その一部に並行部３０が形成されこの並行部３０がＵ字形開口部２８，２９の内幅に嵌合することにより相互間の回転が阻止されている。また基準プレート２５，２６は下端に設けられた台座３１及びボルト穴３２を介して基台２７側に固定可能となっている。
【００２６】
更に、コンベア支持台２４側にはモーター駆動を制御する制御手段として図１に示すように、商用電源の周波数を所定の周波数に変換する周波数制御電源装置３３が設けられている。この周波数制御電源装置３３には各モーター７のコネクター２０に接続して電力を供給する複数のコネクター３４が制御電源出力ライン３５を介して設けられている。
【００２７】
以上、本発明に係わるコンベアは、コンベアユニット２２をコンベア支持台２４側に装着する際に、基準プレート２５，２６の上縁に形成されたＵ字形開口部２８，２９に軸受ケース１８ａ，１８ｂの外周に形成された円周溝２１ａ，２１ｂを嵌合着し、更にモーター７側のコネクー２０をコンベア支持台２４側の周波数制御電源装置３３に設けられたコネクター３４に連結することにより周波数制御電源装置電源３３に電気的に接続され、コンベアの組付けが完了する。これにより１カ所の周波数制御電源装置３３にて複数のモーターを同期回転させ、かつ周波数を変換することによりモーターの回転を所定の回転数に変速することが可能となる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によれば、両端が軸受にて軸支された複数のローラーそれぞれに誘導電動機が直結されたローラーユニットを構成したことにより、摩擦が発生する伝動要素を用いる必要がなくなる。従って伝動要素から摩擦にて生じる微粉末の発生を防止することが可能となる。これにより半導体や液晶などのフラットパネルディスプレイに要求される清浄度を満足することが可能となる。
【００２９】
また複数の誘導電動機それぞれを１カ所の制御手段である周波数制御電源装置にて制御することにより同期速度にて回転させることができ、しかも周波数の変更により変速が可能になる。
【００３０】
更に、ローラーそれぞれの両端が、非接触の流体軸受にて軸支されているので摩擦がなく微粉末が発生しない。また軸受内は供給された圧力流体にて外部より高圧に保たれているので流体が軸受から漏れても外部の液が軸受内に侵入することがない。これにより従来の軸受のように内部の油脂が漏れるてローラーを汚染することがなく、しかも軸受内に外部の液が侵入しないのでモーターの寿命の劣化を防止することができる。
【００３１】
また、前記コンベアユニットは、支持台に対して機械的かつ電気的に装脱自在に構成されているので、各種ユニットを選択して組みつけることが可能となり、コンベア全体の構成を変更することが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るコンベアの上面図
【図２】図１のコンベアの側面図
【図３】図１のコンベアの同端面図。
【図４】本発明の実施の形態に係るコンベアの一部断面図、
【図５】図４のコンベアの軸受ケースと基準プレートとの嵌合を示す図。
【図６】従来の駆動方式コンベアの一例を示す斜視図。
【図７】従来の駆動方式コンベアの一例を示す斜視図。
【図８】従来の駆動方式コンベアの一例を示す斜視図。
【図９】従来の駆動方式コンベアの一例を示す斜視図。
【図１０】従来の駆動方式コンベアの一例を示す斜視図。
【符号の説明】
１…ローラー　　　　　　　　　　２…搬送物
３…スリーブ　　　　　　　　　　４…ローラー軸
５，６…軸受　　　　　　　　　　７…モーター
８，９…配管　　　　　　　　　１０…軸受メタル
１１…シール部　　　　　　　　　１２…モーター軸
１３…接続金具　　　　　　　　　１４…軸穴
１５…モーターケース　　　　　　１６…フランジ
１７…ネジ　　　　　　　　　　　１８…軸受ケース
１９…コード　　　　　　　　　　２０，３４…コネクター
２１…円周溝　　　　　　　　　　２２…コンベアユニット
２４…コンベア支持台　　　　　　２５，２６…基準プレート
２７…基台　　　　　　　　　　　２８，２９…Ｕ字型開口部
３０…並行部　　　　　　　　　　３１…台座
３２…ボルト穴　　　　　　　　　３３…周波数制御電源装置
３５…制御電源出力ライン
【図１】
2004131222.tif 000003
【図２】
2004131222.tif 000004
【図３】
2004131222.tif 000005
【図４】
2004131222.tif 000006
【図５】
2004131222.tif 000007
【図６】
2004131222.tif 000008
【図７】
2004131222.tif 000009
【図８】
2004131222.tif 000010
【図９】
2004131222.tif 000011
【図１０】
2004131222.tif 000012