(57)【要約】【課題】真空バルブユニットにおいて、真空の供給を停止して真空状態を保持する場合でも真空度の低下を防ぐ。【解決手段】真空供給弁１９と真空破壊弁２０をそれぞれ２ポート開閉弁で構成して設け、両方の出力を連通する出力連通路３２に真空出力ポート５を連通させた構成となっており、これら出力連通路３２と真空出力ポート５に対して真空の供給と停止の切り換えと、真空の保持と破壊の切り換えをそれぞれ独立して行える。したがって真空の供給を停止する際でも、それら出力連通路３２および真空出力ポート５は真空供給源から遮断されるだけであって他の接続配管と接続されることなく真空度を維持できる。また１つの直方体形状のユニットブロック２に２つのパイロット電磁弁３，４を併設しただけの簡易な構成であって設置スペースを省略できる。【選択図】    図２
2004322240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空供給弁収容室、真空破壊弁収容室、真空供給ポート、大気開放ポート、前記真空供給弁収容室と前記真空破壊弁収容室とを連通する出力連通路および真空出力ポートを有する真空バルブユニットであって、
前記真空供給弁収容室に組み付けられ、前記真空供給ポートと前記出力連通流路との間の連通と遮断を切り換える真空供給弁と、
前記真空破壊弁収容室に組み付けられ、前記大気開放ポートと前記出力連通流路との間の連通と遮断を切り換える真空破壊弁とを有し、
前記真空出力ポートが前記出力連通路に連通していることを特徴とする真空バルブユニット。
【請求項２】
請求項１記載の真空バルブユニットにおいて、前記真空供給弁収容室、前記真空破壊弁収容室、前記真空供給ポート、前記大気開放ポート、前記出力連通路および前記真空出力ポートは１つのユニットブロックに形成し、前記真空供給弁と前記真空破壊弁を収容したことを特徴とする真空バルブユニット。
【請求項３】
請求項１または２記載の真空バルブユニットにおいて、前記真空供給弁および前記真空破壊弁はポペットタイプの開閉弁であることを特徴とする真空バルブユニット。
【請求項４】
請求項１または２記載の真空バルブユニットにおいて、前記真空供給弁および前記真空破壊弁はスプールタイプの開閉弁であることを特徴とする真空バルブユニット。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか１項に記載の真空バルブユニットにおいて、前記真空供給弁および前記真空破壊弁は通常状態で閉弁状態となるものであり、前記ユニットブロックにパイロット圧供給ポートおよびパイロット圧排気ポートが設けられ、前記真空供給弁収容室および前記真空破壊弁収容室にそれぞれピストン収容室が設けられ、前記真空供給弁および前記真空破壊弁にそれぞれ前記ピストン収容室に進退移動自在に装着されるピストン部が設けられ、各前記ピストン収容室内で前記ピストン部により区画されたピストン押圧室に対し、前記パイロット圧供給ポートと前記パイロット圧排気ポートのいずれかを切り換えて連通させるパイロット電磁弁を前記真空供給弁収容室および前記真空破壊弁収容室にそれぞれ対応させて２つ設けられていることを特徴とする真空バルブユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空吸着装置等に対して真空の供給と停止およびその大気開放による真空状態の破壊を切り換える真空バルブユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえばガラス基板などのワークを、真空パッド等の比較的真空漏れの少ないものを用いて吸着搬送する真空吸着装置がある。一度吸着把持した後では、吸着パッドへの真空の供給を停止して吸着パッド内での真空度を保持し続けることにより把持状態が維持され、また吸着パッド内に連通する接続配管を大気開放することにより真空状態を破壊してワークを自然に脱離できるようになっている。
【０００３】
従来よりそのような吸着パッドへの真空の供給と停止および真空状態の破壊を切り換えて制御する真空バルブユニットの構成としては、２つの３ポート電磁弁を組み合わせた構成のものがある。真空破壊弁として用いる第１の３ポート電磁弁においては、２つの入力ポートのうちの通電時に接続する方の入力ポートを大気に開放し、無通電時に接続する方の入力ポートを閉塞して、出力ポートに対しそれら大気開放と閉塞を切り換えるようにする。真空供給弁として用いる第２の３ポート電磁弁においては、通電時に接続する方の入力ポートに真空ポンプなどの真空供給源を接続し、無通電時に接続する方の入力ポートに真空破壊弁の出力ポートを接続して、出力ポートに接続した吸着パッドをそれら真空破壊弁の出力ポートと真空供給源のどちらかに切り換えて接続する構成となっている。
【０００４】
これによれば、真空供給弁を切り換えることにより吸着パッドへの真空の供給と停止を切り換え制御でき、また吸着パッドへの真空供給を停止している状態でも真空破壊弁を閉塞状態としている間は、２つの３ポート電磁弁のどちらにも通電せずに吸着パッドの真空状態を保持してワークを把持しつづけることができ、それから連通状態へ切り換えることにより真空状態を破壊して吸着パッドからワークを脱離できるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の構成においては、真空供給を停止してワークの吸着把持状態を維持させる場合に、真空破壊弁を閉塞してから吸着パッドを真空供給源から真空破壊弁の出力ポートへ接続を切り換えることになるが、そのとき真空破壊弁の出力ポートと真空供給弁の入力ポートの間の接続配管中に存在していた大気空気が吸着パッドまでの出力管路内に流れ込んでしまうため、その中の真空度が急激に低下してしまいワークの吸着把持が不安定になってしまう問題がある。
【０００６】
また２つの３ポート電磁弁はそれぞれ独立したハウジングに収容されたものを利用し、各ポート間をチューブなどの配管を引き回して接続していたため、接続構成が複雑になり全体の設置スペースが大きく必要となる問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、真空の供給を停止して真空状態を保持する場合でも真空度の低下を防ぐことのできる真空バルブユニットを提供することにある。
【０００８】
また本発明の他の目的は、設置スペースを省略することのできる真空バルブユニットを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の真空バルブユニットは、真空供給弁収容室、真空破壊弁収容室、真空供給ポート、大気開放ポート、真空供給弁収容室と真空破壊弁収容室とを連通する出力連通路および真空出力ポートを有するものであって、真空供給弁収容室に組み付けられて真空供給ポートと出力連通流路との間の連通と遮断を切り換える真空供給弁と、真空破壊弁収容室に組み付けられて大気開放ポートと出力連通流路との間の連通と遮断を切り換える真空破壊弁とを有し、真空出力ポートが出力連通路に連通することを特徴とする。
【００１０】
本発明の真空バルブユニットは、真空供給弁収容室、真空破壊弁収容室、真空供給ポート、大気開放ポート、出力連通路および真空出力ポートが１つのユニットブロックに形成され、このユニットブロックが真空供給弁と真空破壊弁を収容したことを特徴とする。
【００１１】
本発明の真空バルブユニットは、真空供給弁および真空破壊弁はポペットタイプの開閉弁であることを特徴とする。
【００１２】
本発明の真空バルブユニットは、真空供給弁および真空破壊弁はスプールタイプの開閉弁であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の真空バルブユニットは、真空供給弁および真空破壊弁は通常状態で閉弁状態となるものであり、ユニットブロックにパイロット圧供給ポートおよびパイロット圧排気ポートが設けられ、真空供給弁収容室および真空破壊弁収容室にそれぞれピストン収容室が設けられ、真空供給弁および真空破壊弁にそれぞれピストン収容室に進退移動自在に装着されるピストン部が設けられ、各ピストン収容室内でピストン部により区画されたピストン押圧室に対し、パイロット圧供給ポートとパイロット圧排気ポートのいずれかを切り換えて連通させるパイロット電磁弁を真空供給弁収容室および真空破壊弁収容室にそれぞれ対応させて２つ設けられていることを特徴とする。
【００１４】
本発明にあっては、真空供給弁を備える真空供給回路と真空破壊弁を備える真空破壊回路が並列に設けられ、それらを接続する出力連通路と真空出力ポートとを合わせた流路部分が共通の出力部として機能することになり、この共通出力部全体に対して真空の供給と停止の切り換えと、真空の保持と破壊の切り換えがそれぞれ独立して行えるようになっている。したがって真空供給を停止する際でも、それら出力連通路および真空出力ポートは真空供給ポートから遮断されるだけであってその他の接続配管と接続されることがなく、出力連通路と真空出力ポートだけで構成した共通出力部のみを外部から遮断して空気が流入するのを防ぎ、真空度を維持できるようになっている。
【００１５】
本発明にあっては、１つのユニットブロックに２つのパイロット電磁弁を併設しただけの簡易な構成であり、内部に備える真空供給弁および真空破壊弁もそれぞれ短いストロークで作動可能なポペットタイプであって、お互いに同一直線上に設置したムダのない配置となっているため、非常にコンパクトとなって設置スペースを省略できる構成となっている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
図１（Ａ）は本発明の一実施の形態である真空バルブユニットを示す平面図であり、図１（Ｂ）は同図（Ａ）の正面図であり、図２は図１（Ａ）のＣ−Ｃ線に沿う一部切り欠き断面図であり、図３は図２における要部を拡大した断面図である。図１に示すように、真空バルブユニット１は全体的に直方体形状となっているユニットブロック２と、その上面に直列となる配置でねじ部材により固定された２つのパイロット電磁弁３，４とを有している。
【００１８】
ユニットブロック２は、図中下方に位置する下方ブロック２ａと、図中上方に位置してそれぞれ長手方向に並ぶ供給側ブロック２ｂと中央ブロック２ｃと破壊側ブロック２ｄとで一体に組立てられている。下方ブロック２ａには図中左側の側面にＶポートつまり真空出力ポート５が形成されて中央ブロック２ｃ内部の後述する真空供給弁収容室まで連通しており、その他にＶＳポートつまり真空供給ポート６と、Ｒポートつまり大気開放ポート７と、Ｐポートつまりパイロット圧供給ポート８と、ＰＲポートつまりパイロット圧排気ポート９とがそれぞれ下方ブロック２ａの図中正面と背面の間を貫通するように形成されている。
【００１９】
図２に示すように、ユニットブロック２の内部において、供給側ブロック２ｂと中央ブロック２ｃの両方にわたって真空供給弁収容室１０が形成されており、また破壊側ブロック２ｄと中央ブロック２ｃの両方にわたって真空破壊弁収容室１１が形成されていて、両方の収容室１０，１１はそれらの間に収容室間連通孔１２を介して連通している。これら真空供給弁収容室１０および真空破壊弁収容室１１（以下、併せて各弁収容室１０，１１という）には、それぞれ弁座ブロック１３，１４と弁組立体１５，１６と圧縮ばね１７，１８とを備えるポペットタイプの真空供給弁１９および真空破壊弁２０が組み込まれている。
【００２０】
図３に示すように、各弁収容室１０，１１は、それぞれ収容室間連通孔１２に近い位置から順に、収容室間連通孔１２より径の大きいばね収容孔１０ａ，１１ａと、このばね収容孔１０ａ，１１ａより径の大きい連通チャンバ１０ｂ，１１ｂと、この連通チャンバ１０ｂ，１１ｂより径の大きいブロック収容孔１０ｃ，１１ｃと、このブロック収容孔１０ｃ，１１ｃより径の小さいピストン収容孔１０ｄ，１１ｄと、このピストン収容孔１０ｄ，１１ｄよりわずかに径の大きいパイロット圧室１０ｅ，１１ｅとを一体に形成したものである。
【００２１】
図２に示すように。真空供給弁収容室１０において、ブロック収容孔１０ｃが下方ブロック２ａに形成されたＶＳポートつまり真空供給ポート６に連通しており、連通チャンバ１０ｂが同じく下方ブロック２ａに形成されたＶポートつまり真空出力ポート５に連通しており、パイロット圧室１０ｅが供給側ブロック２ｂの上面に形成したパイロット圧出力ポート２１に連通している。
【００２２】
真空破壊弁収容室１１において、ブロック収容孔１１ｃが下方ブロック２ａに形成されたＲポートつまり大気開放ポート７に連通しており、パイロット圧室１１ｅが破壊側ブロック２ｄの上面に形成したパイロット圧出力ポート２２に連通している。
【００２３】
また下方ブロック２ａに形成されたＰポートつまりパイロット圧供給ポート８は分岐流路を介して供給側ブロック２ｂおよび破壊側ブロック２ｄのそれぞれの上面に形成したパイロット圧入力ポート２３，２４に連通しており、下方ブロック２ａに形成されたＰＲポートつまりパイロット圧排気ポート９は同じく分岐流路を介して供給側ブロック２ｂおよび破壊側ブロック２ｄのそれぞれの上面に形成したパイロット圧回収ポート２５，２６に連通している。
【００２４】
図３に示すように、各弁収容室１０，１１のブロック収容孔１０ｃ，１１ｃにはそれぞれ円筒形状の弁座ブロック１３，１４が装着されており、これら弁座ブロック１３，１４の外周には環状連通溝１３ａ，１４ａが形成され、この環状連通溝１３ａ，１４ａの周方向２箇所に内周側へ連通する弁座連通孔１３ｂ，１４ｂが形成されている。
【００２５】
これにより真空供給ポート６は、ブロック収容孔１０ｃ内に装着された弁座ブロック１３の環状連通溝１３ａおよび弁座連通孔１３ｂを介して、弁座ブロック１３の内周側で弁組立体１５の周囲に形成される供給側チャンバ２７に連通している。また大気開放ポート７は、ブロック収容孔１１ｃ内に装着された弁座ブロック１４の環状連通溝１４ａおよび弁座連通孔１４ｂを介して、弁座ブロック１４の内周側で弁組立体１６の周囲に形成される破壊側チャンバ２８に連通している。
【００２６】
各弁座ブロック１３，１４に装着される弁組立体１５，１６は、それぞれ収容室間連通孔１２から近い位置から順に、ばね収容孔１０ａ，１１ａに嵌入可能な径のばね受け軸部１５ａ，１６ａと、弁座ブロック１３，１４の内径より径の大きい弁体部１５ｂ，１６ｂと、弁座ブロック１３，１４の内径より径の小さい弁軸部１５ｃ，１６ｃと、弁座ブロック１３，１４の内径に嵌入可能な径の支持軸部１５ｄ，１６ｄと、ピストン収容孔１０ｄ，１１ｄの内周に嵌合可能で弁座ブロック１３，１４の内径より径が大きいピストン部１５ｅ，１６ｅとを有するものである。
【００２７】
弁組立体１５，１６は、これら各部のうちばね受け軸部１５ａ，１６ａおよび弁体部１５ｂ，１６ｂが結合している側と、支持軸部１５ｄ，１６ｄとピストン部１５ｅ，１６ｅが結合している側が、先に弁座ブロック１３，１４の内径に挿入している弁軸部１５ｃ，１６ｃを介して一体に組立てられることで、弁座ブロック１３，１４に対し軸方向に隙間を有して装着されるようになっている。
【００２８】
ばね受け軸部１５ａ，１６ａの外周には、ばね収容孔１０ａ，１１ａの内周面に摺接していながら軸方向前後に自由に気体を通過させることの可能なウェアリング２９が装着されている。また弁体部１５ｂ，１６ｂとの結合位置に近いばね受け軸部１５ａ，１６ａの外周には径方向に貫通する径方向連通孔３０が形成され、さらに径方向連通孔３０からばね受け軸部１５ａ，１６ａの先端へ軸中心上に貫通する軸方向連通孔３１が形成されているため、各弁収容室１０，１１においては連通チャンバ１０ｂ，１１ｂとばね収容孔１０ａ，１１ａとの間は常に連通状態が維持されるようになっている。以上の構成において、収容室間連通孔１２と各弁収容室１０，１１のばね収容孔１０ａ，１１ａおよび連通チャンバ１０ｂ，１１ｂは、常に一体に連通する出力連通路３２を構成している。
【００２９】
各ピストン部１５ｅ，１６ｅの外周にはＯリング３３が装着されており、それぞれピストン収容室を構成するピストン収容孔１０ｄ，１１ｄの内周側面に密着して摺接可能となっている。これらＯリング３３は、それぞれのピストン収容室のうちのパイロット圧室１０ｅ，１１ｅ側をピストン押圧室３４，３５として区画している。各弁体部１５ｂ，１６ｂの外周にはシールリング３６が装着されており、各弁組立体１５，１６がパイロット圧室１０ｅへ向かって後退移動した場合にはそれぞれのシールリング３６が弁座ブロック１３，１４の内径開口部１３ｃ，１４ｃに着座し、高い気密性で塞ぐようになっている。またばね収容孔１０ａ，１１ａの内部で、その端面とばね受け軸部１５ａ，１６ａの先端の間には圧縮ばね１７，１８が挿入されており、各弁組立体１５，１６に対して常に後退方向へ向かうばね力を付勢している。
【００３０】
以上により真空供給弁１９と真空破壊弁２０は単動型の開閉弁として機能するものであって、それぞれ通常状態では弁組立体１５，１６がばね力で付勢されていることにより後退移動して弁体部１５ｂ，１６ｂのシールリング３６を弁座ブロック１３，１４に着座させ、各連通チャンバ１０ｂ，１１ｂを供給側チャンバ２７や破壊側チャンバ２８から遮断する状態となる（図２参照）。またそれぞれピストン押圧室３４，３５に圧縮空気などの流体圧をパイロット圧として供給した場合には、各ピストン部１５ｅ，１６ｅがパイロット圧を受けることにより弁組立体１５，１６がばね収容孔１０ａ，１１ａへ向かう方向に前進移動して弁体部１５ｂ，１６ｂを弁座ブロック１３，１４から離し、各連通チャンバ１０ｂ，１１ｂを供給側チャンバ２７や破壊側チャンバ２８に連通させる状態となる。
【００３１】
すなわち図２に示すように、真空供給弁１９はパイロット圧の供給と停止により真空供給ポート６と真空出力ポート５（出力連通路３２全体を含む）との間の連通と遮断を切り換えるよう作動し、真空破壊弁２０はパイロット圧の供給と停止により大気開放ポート７と真空出力ポート５（出力連通路３２全体を含む）との間の連通と遮断を切り換えるよう作動する。
【００３２】
また２つのパイロット電磁弁３，４は、全体が略直方体の形状に形成された樹脂製のハウジング３ａ，４ａの上方にコネクタ部３ｂ，４ｂが突出したカバー部３ｃ，４ｃが設置されている。それら２つのパイロット電磁弁３，４はユニットブロック２の上面に取り付けられている。
【００３３】
各パイロット電磁弁３，４は、コネクタ部３ｂ，４ｂを介して外部から通電と非通電が切り換えられることにより、ハウジング３ａ，４ａの下面に形成された２つの入力ポート（Ｐｂポート、Ｐｓポート）（ＰＲｂポート、ＰＲｓポート）のどちらかを切り換えて１つの出力ポート（Ａｂポート、Ａｓポート）に連通させる３ポート電磁弁として機能する。
【００３４】
たとえばパイロット電磁弁３，４に通電した場合には、ユニットブロック２の上面に形成されたパイロット圧入力ポート２３，２４に接続する方の入力ポート（Ｐｂポート、Ｐｓポート）を、ユニットブロック２のパイロット圧出力ポート２１，２２に接続する出力ポート（Ａｂポート、Ａｓポート）に連通させるよう作動する。これによりパイロット圧供給ポート８から供給されるパイロット圧をピストン押圧室３４，３５に導入し、各弁収容室１０，１１内の各弁組立体１５，１６をばね力に抗して突出前進移動させて開弁させるようになっている。
【００３５】
また逆にパイロット電磁弁３，４への通電を止めた場合には、ユニットブロック２のパイロット圧回収ポート２５，２６に接続する方の入力ポート（ＰＲｂポート、ＰＲｓポート）を、ユニットブロック２のパイロット圧出力ポート２１，２２に接続する出力ポート（Ａｂポート、Ａｓポート）に連通させるよう作動する。これによりピストン押圧室３４，３５内のパイロット圧をパイロット圧排気ポート９から大気に放出し、各弁収容室１０，１１内の各弁組立体１５，１６をばね力により後退移動させて閉弁させるようになっている。
【００３６】
以上のようなパイロット電磁弁３，４とユニットブロック２を組み合わせていることにより、たとえば真空供給側のパイロット電磁弁３を通電状態とし、真空破壊側のパイロット電磁弁４を無通電状態とした場合には、図４に示すように真空供給弁１９が開弁して真空破壊弁２０が閉弁するため、出力連通路３２および真空出力ポート５は真空供給ポート６にのみ連通するようになる。また真空供給側のパイロット電磁弁３を無通電状態とし、真空破壊側のパイロット電磁弁４を通電状態とした場合には、図５に示すように真空供給弁１９が閉弁して真空破壊弁２０が開弁するため、出力連通路３２および真空出力ポート５は大気開放ポート７にのみ連通するようになる。
【００３７】
そして以上のように構成された本実施の形態の真空バルブユニット１の接続構成を概略的に表すと図６に示すようになり、この図を参照して本実施の形態の真空バルブユニット１の作動を説明する。
【００３８】
図６において、真空バルブユニット１はワーク３７を吸着搬送するための吸着搬送装置に適用された場合を想定し、真空出力ポート５（Ｖポート）には吸着パッド３８が接続され、真空供給ポート６（ＶＳポート）には真空ポンプ３９が接続され、パイロット圧供給ポート８（Ｐポート）には正圧ポンプ４０が接続され、大気開放ポート７（Ｒポート）およびパイロット圧排気ポート９（ＰＲポート）は大気に開放されている。またその他の図１、図２において対応する部材、部位には同じ符号を付している。
【００３９】
まず吸着パッド３８にワーク３７を吸着把持させるよう真空出力ポート５に真空を供給する場合には、真空破壊側のパイロット電磁弁４を無通電状態として真空破壊弁２０へのパイロット圧の供給を止めて閉弁させ、出力連通路３２および真空出力ポート５を大気から遮断する。そして真空供給側のパイロット電磁弁３に通電して真空供給弁１９にパイロット圧を供給し開弁させることにより、出力連通路３２および真空出力ポート５を真空ポンプ３９に接続して真空を供給し、吸着パッド３８にワーク３７を吸着把持させることができる。
【００４０】
次に真空供給側のパイロット電磁弁３を無通電状態とすることにより、真空供給弁１９へのパイロット圧の供給を止めて閉弁させ、出力連通路３２および真空出力ポート５を外部から遮断する。これにより両方のパイロット電磁弁３，４への通電を止めていながら吸着パッド内の真空度を保持して安定した吸着把持状態を維持し続けることができる。
【００４１】
そしてワーク３７を所定位置まで搬送した後に、真空破壊側のパイロット電磁弁４に通電することにより、真空破壊弁２０にパイロット圧を供給し開弁させ、出力連通路３２および真空出力ポート５を大気に連通させて真空状態を破壊することでワーク３７を吸着パッド３８から自然に脱離させることができる。
【００４２】
また図７は比較例として個別の２つの３ポート電磁弁を組み合わせた構成の真空バルブユニット１０１に吸着パッド３８を接続した場合の接続構成図である。図７の比較例においては真空破壊弁として用いる第１の３ポート電磁弁１０２の出力ポート（Ａｂポート）を大気開放として１つの入力ポート（Ｐｂポート）との連通と遮断を切り換えるようにしており、真空供給弁として用いる３ポート電磁弁１０３においては１つの入力ポート（Ｒｓポート）に真空破壊弁１０２の入力ポート（Ｐｂポート）を接続し、もう１つの入力ポート（Ｐｓポート）に真空ポンプ３９を接続して、出力ポート（Ａｓポート）に接続した吸着パッド３８を真空破壊弁１０２の入力ポート（Ｐｂポート）と真空ポンプ３９のどちらかに切り換えて接続する構成となっている。
【００４３】
これによれば、真空供給弁１０３の切り換えにより吸着パッド３８への真空の供給と停止を切り換え制御でき、また吸着パッド３８への真空供給を停止している状態で真空破壊弁１０２を遮断状態としている間は、両方の３ポート電磁弁１０２，１０３のどちらにも通電することなく吸着パッド３８の真空状態を保持することができる。そしてその状態から真空破壊弁１０２を連通状態へ切り換えることにより、真空状態を破壊してワーク３７を脱離することができる。
【００４４】
しかしながら図７に示す比較例の構成では、真空供給弁１０３において出力ポート（Ａｓポート）を入力ポート（Ｐｂポート）から遮断して真空の供給を停止した場合には、それといっしょに出力ポート（Ａｓポート）を入力ポート（Ｒｓポート）へも接続してしまうことになる。そのためたとえ真空破壊弁１０２が遮断状態となっていても、各電磁弁１０２，１０３を接続するポート間（Ｐｂポート−Ｒｓポート）の接続配管中に存在する空気が真空出力ポート（Ｖポート）を介して吸着パッド３８までの接続配管路に流れ込み、真空度を急激に低下させてワーク３７の吸着把持力を低下させる問題がある。
【００４５】
これに対して図６に示す本実施の形態の真空バルブユニット１の接続構成では、真空供給弁１９と真空破壊弁２０をそれぞれ２ポート開閉弁で構成して設け、両方の出力ポート間を連通する出力連通路３２に真空出力ポート５（Ｖポート）を連通させた構成となっており、すなわちこれら出力連通路３２と真空出力ポート５とを合わせた流路部分は並列に設けた真空供給回路と真空破壊回路の共通出力部として機能することになり、この共通出力部全体に対して真空の供給と停止の切り換えと、真空の保持と破壊の切り換えがそれぞれ独立して行えるようになっている。
【００４６】
したがって真空の供給を停止する際でも、それら出力連通路３２および真空出力ポート５は真空ポンプから遮断されるだけであってそのほかに他の接続配管と接続されることがないため、出力連通路３２と真空出力ポート５だけで構成した共通出力部のみを外部から遮断して空気の流入を防ぎ、真空度を維持できるようになっている。
【００４７】
また上記比較例の場合は、２つの３ポート電磁弁１０２，１０３がそれぞれ独立した電磁弁で構成されるものであり、それらの各ポート間をチューブなどの配管を引き回して接続していたため、設置に必要な面積や容積が非常に大きいものとなっていた。しかし本実施の形態では、外観的にも１つの直方体形状のユニットブロック２に２つのパイロット電磁弁３，４を併設しただけの簡易な構成であり、さらにそのユニットブロック２内に備える真空供給弁１９および真空破壊弁２０がそれぞれ短いストロークで作動可能なポペットタイプであるため、非常にコンパクトとなって設置スペースを省略できる。
【００４８】
また本実施の形態では、ユニットブロック２はマニホールドの構成となっているため、複数の真空バルブユニット１をユニットブロック２どうしで連結することで真空出力ポート５以外の各ポート６，７，８，９をそれぞれ共通して一体に連通させることができ、多数個の真空バルブユニット１をそれぞれスタッキングユニットとして機能的に連設することが可能である。
【００４９】
なお図２、図４、図５に示した一実施の形態においては、真空供給弁１９と真空破壊弁２０がユニットブロック２内で同一直線上に直列する配置関係で設けられているが、本発明はそれに限られるものではなく、他にもそれぞれの中心軸が偏心したり、またはある角度を成すような配置関係で設けられることも可能である。たとえば図８は本発明の一実施の形態の変形例として真空供給弁１９と真空破壊弁２０を平行な配置関係で設けた真空バルブユニットを示す図であり、図８（Ａ）は側面からみた一部切り欠き断面図であり、図８（Ｂ）は図８（Ａ）中における７Ｂ−７Ｂ線に沿って示す一部切り欠き正面断面図であり、図８（Ｃ）は図８（Ａ）中における７Ｃ−７Ｃ線に沿って示す一部切り欠き背面断面図である。これらの図においては、図１、図２に示した真空圧バルブユニットと共通する部材や形状部分には同一の符号が付されている。
【００５０】
図８において、ユニットブロック４１は、図中上下に長いポート用ブロック４１ａと、その側面位置して図中上方に位置する上方ブロック４１ｂとその下方に位置する下方ブロック４１ｃとで一体に組立てられており、上方ブロック４１ｂの上面には２つの電磁パイロット弁３，４が取り付けられている。
【００５１】
ユニットブロック４１の内部において、上方ブロック４１ｂと下方ブロック４１ｃの両方にわたって真空供給弁収容室１０および真空破壊弁収容室１１が平行に形成され、それぞれに真空供給弁１９および真空破壊弁２０が組み込まれており、またそれらの連通チャンバ１０ｂ，１１ｂの間は収容室間連通穴１２を介して連通している。以上の構成において、収容室間連通孔１２と各弁収容室１０，１１のばね収容孔１０ａ，１１ａおよび連通チャンバ１０ｂ，１１ｂが、常に一体に連通する出力連通路３２を構成している。
【００５２】
ポート用ブロック４１ａの正面にはＲポートつまり大気開放ポート７が形成されており、真空破壊弁収容室１１のブロック収容室１１ｃにまで連通している。ポート用ブロック４１ａの背面にはＶＳポートつまり真空供給ポート６と、Ｖポートつまり真空出力ポート５が形成されており、それぞれ真空供給弁収容室１０のブロック収容室１０ｃと連通チャンバ１０ｂにまで連通している。
【００５３】
以上の構成の変形例によれば、真空供給弁１９および真空破壊弁２０が平行な配置関係で併設されていることにより、前記一実施の形態よりいっそうコンパクトとなって設置スペースを省略できる。
【００５４】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、真空供給弁１９や真空破壊弁２０はポペットタイプで構成されているが、スプールタイプで構成することもできる。その場合には、真空圧からスプールの操作力に影響を受けることがなく安定した開閉作動が可能となる。
【００５５】
また、真空供給弁１９および真空破壊弁２０は、それぞれパイロット電磁弁３，４で供給制御されたパイロット圧により作動する開閉弁に構成されているが、その他にもたとえば真空供給弁１９および真空破壊弁２０をそれぞれ電磁作動の開閉弁で構成してもよく、またパイロット電磁弁を設けずに外部からパイロットエアーを直接供給して真空供給弁と真空破壊弁を操作してもよい。その結果、より簡易かつ設置スペースを省略できる構成とすることができる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明によれば、真空供給を停止して真空状態を保持する場合でも真空出力ポートおよび出力連通路は真空供給ポートから遮断されるだけであってその他の接続配管と接続されることがないため、外部から遮断して空気が流入するのを防ぎ、真空度の低下を防ぐことができる。
【００５７】
本発明によれば、１つのユニットブロックの内部に真空供給弁収容室、真空破壊弁収容室、真空供給ポート、大気開放ポート、出力連通路および真空出力ポートが形成され、真空供給弁と真空破壊弁を収容したことにより全体的に簡易な構成となって設置スペースを省略できる。
【００５８】
本発明によれば、真空供給弁および真空破壊弁は作動ストロークの短いポペットタイプの開閉弁であるため一層設置スペースが省略できる。
【００５９】
本発明によれば、真空供給弁および真空破壊弁はスプールタイプであるため、それぞれ真空圧からスプールの操作力に影響を受けることのない安定した開閉作動が可能となる。
【００６０】
本発明によれば、真空供給弁および真空破壊弁が、通常状態で閉弁状態となりピストン部でパイロット圧を受けることにより開弁状態となる開閉弁であって、各ピストン部に対してパイロット圧の供給と排気を切り換えるパイロット電磁弁を真空供給弁収容室および真空破壊弁収容室にそれぞれ対応させて２つ設けていることにより、真空供給弁および真空破壊弁の両方を閉弁して真空供給ポートの真空状態を保持させている間は両方のパイロット電磁弁を無通電状態としておくことができる。また全体の構成を、１つの直方体形状のユニットブロックに２つのパイロット電磁弁を設置しただけの簡易なものとして設置スペースを省略できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施の形態である真空バルブユニットを示す平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の正面図である。
【図２】図１（Ａ）におけるＣ−Ｃ線に沿う一部切り欠き断面図である。
【図３】図２中の要部を拡大した断面図である。
【図４】真空供給側のパイロット電磁弁を通電状態とし、真空破壊側のパイロット電磁弁を無通電状態とした場合の各流路の連通状態を示す断面図である。
【図５】真空供給側のパイロット電磁弁を無通電状態とし、真空破壊側のパイロット電磁弁を通電状態とした場合の各流路の連通状態を示す断面図である。
【図６】本発明の一実施の形態の真空バルブユニットの接続構成を概略的に示した図である。
【図７】比較例の真空バルブユニットの接続構成を概略的に示した図である。
【図８】一実施の形態の変形例である真空バルブユニットを示す図であり、（Ａ）は側面断面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）中における７Ｂ−７Ｂ線に沿って示す正面断面図であり、（Ｃ）は同図（Ａ）中における７Ｃ−７Ｃ線に沿って示す背面断面図である。
【符号の説明】
１        真空バルブユニット
２        ユニットブロック
３，４    パイロット電磁弁
５        真空出力ポート
６        真空供給ポート
７        大気開放ポート
８        パイロット圧供給ポート
９        パイロット圧排気ポート
１０      真空供給弁収容室
１１      真空破壊弁収容室
１０ａ，１１ａ  ばね収容室
１０ｂ，１１ｂ  連通チャンバ
１０ｃ，１１ｃ  ブロック収容室
１０ｄ，１１ｄ  ピストン収容室
１０ｅ，１１ｅ  パイロット圧室
１２      収容室間連通孔
１３，１４  弁座ブロック
１３ａ，１４ａ  環状連通溝
１３ｂ，１４ｂ  弁座連通孔
１３ｃ，１４ｃ  内径開口部
１５，１６  弁組立体
１５ａ，１６ａ  ばね受け軸部
１５ｂ，１６ｂ  弁体部
１５ｅ，１６ｅ  ピストン部
１７，１８  圧縮ばね
１９      真空供給弁
２０      真空破壊弁
２１，２２  パイロット圧出力ポート
２３，２４  パイロット圧入力ポート
２５，２６  パイロット圧回収ポート
２７      供給側チャンバ
２８      破壊側チャンバ
２９      ウェアリング
３０      径方向連通孔
３１      軸方向連通孔
３２      出力連通路
３３      Ｏリング
３４，３５  ピストン押圧室
３６      シールリング
３７      ワーク
３８      吸着パッド
３９      真空ポンプ
４０      正圧ポンプ
４１      ユニットブロック
１０１    比較例の真空バルブユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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