(57)【要約】【課題】比較的小さな駆動力でディスク基板の停止位置を高精度で制御できる機構を提供すると共に、品質の高い光ディスクを得ること。【解決手段】２枚のディスク基板を円環状に供給された接着剤を介して重ね合わせ、その接着剤に回転方向にねじる力を与えた後、前記双方のディスク基板を一緒に高速回転させて前記２枚のディスク基板を貼り合せて、光ディスクを製造する光ディスク製造装置において、前記ディスク基板を吸着保持するディスク基板受台に固定されたシャフト部材を上下動させる上下動駆動機構、前記シャフト部材を回転させる回転駆動機構を固定部材に固定し、それら駆動機構によって小さな駆動力で前記シャフト部材を上下動と回転運動させるようにした光ディスク製造装置。【選択図】    図１
2004334936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方のディスク基板と他方のディスク基板とを円環状に供給された接着剤を介して重ね合わせ、前記円環状の接着剤に回転方向にねじる力を与えた後、前記双方のディスク基板を一緒に高速回転させることによって、前記接着剤を展延させて貼り合わせる光ディスク製造装置において、
シャフト部材の一方側の先端に固定されて、前記接着剤を介して重ね合わされたディスク基板を保持するディスク基板受台と、
前記シャフト部材を回転可能に軸承し、上下方向には前記シャフト部材に係合されて前記シャフト部材を上下動させる回転用軸受部材と、
固定された昇降・回転用軸受部材であって、上下動と回転とが可能なように前記シャフト部材を軸承する昇降・回転用軸受部材と、
前記回転用軸受部材の外殻に固定されて、該回転用軸受部材を上下動させることにより、一緒に前記シャフト部材を上下動させる上下方向駆動機構と、
固定された回転駆動機構であって、前記シャフト部材の上下方向には結合されず、回転方向には結合されて前記シャフト部材を回転させるための回転伝達部と、該回転伝達部を回転駆動する回転駆動部とからなる回転駆動機構と、
前記ディスク基板受台に保持された前記ディスク基板を他方側から吸着保持し得る吸着ヘッドと、
前記第１のディスク基板と前記第２のディスク基板との間に圧力を加える加圧手段と、
を備え、
前記上下方向駆動機構の作動によって、前記回転駆動機構は固定のままで、前記回転用軸受部材と前記シャフト部材と前記ディスク基板受台とを上下動させて前記ディスク基板を上下動させることを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項２】
一方のディスク基板と他方のディスク基板とを円環状に供給された接着剤を介して重ね合わせ、前記円環状の接着剤に回転方向にねじる力を与えた後、前記双方のディスク基板を一緒に高速回転させることによって、前記接着剤を展延させて貼り合わせる光ディスク製造装置において、
シャフト部材の一方側の先端に固定されて、前記一方のディスク基板を保持するディスク基板受台と、
前記シャフト部材を回転可能に軸承し、上下方向には前記シャフト部材に係合されて前記シャフト部材を上下動させる回転用軸受部材と、
固定された昇降・回転用軸受部材であって、上下動と回転とが可能なように前記シャフト部材を軸承する昇降・回転用軸受部材と、
前記回転用軸受部材の外殻に固定されて、該回転用軸受部材を上下動させることにより、一緒に前記シャフト部材を上下動させる上下方向駆動機構と、
固定された回転駆動機構であって、前記シャフト部材の上下方向には結合されず、回転方向には結合されて前記シャフト部材を回転させるための回転伝達部と、該回転伝達部を回転駆動する回転駆動部とからなる回転駆動機構と、
前記他方のディスク基板を保持する保持ヘッドであって、前記ディスク基板受台に保持された前記一方のディスク基板と前記他方のディスク基板とを前記円環状に供給された接着剤を介して重ね合わせる保持ヘッドと、
前記第１のディスク基板と前記第２のディスク基板との間に圧力を加える加圧手段と、
を備え、
前記上下方向駆動機構の作動によって、前記回転駆動機構は固定のままで、前記回転用軸受部材と前記シャフト部材と前記ディスク基板受台とを上下動させて前記ディスク基板を上下動させることを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記一方のディスク基板と前記他方のディスク基板との間の加圧力を微調整できる押付力調整機構を具備することを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかにおいて、
前記保持ヘッドの上下動作をガイドするガイド機構を具備することを特徴とする光ディスク製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスクの製造装置、特にディスク基板間の接着剤にねじり力を付与する機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクにより記録容量を増大させる技術が発展し、普及してきており、さらにその記録容量をより高密度化する傾向にある。ディジタル・バーサタイル・ディスク（ＤＶＤ）では、片側又は両側に情報記録層を有する２枚のディスク基板を貼り合わせたもの、それらをさらに貼り合わせた多層光ディスク、さらには０．１ｍｍの厚みのカバー層とディスク基板とを貼り合わせた次世代ディスクと称される記録容量の大きな光ディスクなどが知られている。そして、これらには既に情報が記録されているＲＯＭタイプのもの、情報が記録できるタイプのものがある。
【０００３】
このような光ディスクは、通常、下記のようなディスク基板の貼り合わせ工程を経て製造される。図示しないが、先ず、第１の工程として、一方のディスク基板又は双方のディスク基板の内周側に円環状に接着剤を供給する。第２の工程として、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを、前記円環状に供給された接着剤を介して重ね合わせる。第３の工程として、前記重ね合わされた双方のディスク基板を一緒に同一速度で高速回転させて、接着剤をディスク基板間に展延させると共に、余剰の接着剤を振り切っている。その後、紫外線をディスク基板の片側又は両側から照射することによって、接着剤を硬化させて貼り合わせている。
【０００４】
しかしこのような製造方法の場合、接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせたときに、図６に示すように、接着剤Ｌがディスク基板ａの面を放射内外方向に均一に延びないために、接着剤の外周、内周がきれいな円とならず、接着剤の輪郭に凹凸が生じやすいことが知られている。特に、接着剤の供給開始と供給停止とが重なる個所Ｘで輪郭の凹凸が大きくなってしまう。そしてこのような場合には、高速回転させて接着剤を展延させたとき、ディスク基板間に気泡が巻き込まれ易いという大きな問題や美観を損ねるという問題がある。また、高速回転時におけるディスク基板内周の接着剤の液止めにも影響する。この問題を解決する技術を開示したものとして、下記特許文献１と特許文献２とがある。
【０００５】
特許文献１と特許文献２は、接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせたときに、接着剤の外周、内周がきれいな円とならず、その輪郭が凹凸のかなり大きな円形状になるのを防止するために、接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせた状態で、接着剤にねじり力を与えることによって、接着剤の外周、内周をきれいな円形にするというものである。特に特許文献１には、重ね合わせたいずれか一方のディスク基板を回転させて他方を固定、又は双方のディスク基板を所定の速度差で回転、あるいは互いに逆方向に回転させて、前記ドーナツ状の接着剤に回転方向にねじる力を付与することが開示されている。
【０００６】
この技術思想は品質の高い光ディスクを得るという面からは非常に効果があるが、ディスク基板の停止位置、ディスク基板間の押付け力やその方向など高精度の制御が必要である。
【０００７】
【特許文献１】
特開平９−６３１２７号公報
【特許文献２】
特２００１−１３４９９０公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１には接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせた状態で、接着剤にねじり力を与える機構について十分に具体的に開示されておらず、下側のディスク基板は上下動させずに回転させるだけの機構になっている。このような機構の場合、実際の装置ではターンテーブルなどの水平方向の各ポジションで前述のような工程の処理を行うことが多いので、不都合が生じる。
【０００９】
また、特許文献２では、ディスク基板を保持するディスク基板受台が固定されたシャフトを回転させるモータのような回転駆動装置が前記シャフトに直結されているので、ディスク基板を上下に移動させるときには、シャフトと一緒に回転駆動装置までも上下に動かしていた。このような機構では、回転駆動装置とシャフトを一緒に上下動させているので、質量が大きくなり、慣性力も大きくなるので、大きな駆動力が必要であり、ディスク基板の停止位置を高精度で制御することは難しく、また重量により比較的短い期間で微小なずれが生じ始め、このことが更に一層ディスク基板の停止位置の高精度な制御を困難にし、寿命にも影響を与えていた。
【００１０】
したがって、本発明は、比較的小さな駆動力でディスク基板の停止位置を高精度で制御でき、信頼性の高い機構を提供すると共に、品質の高い光ディスクを得ることができる装置を提供することを主目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明に係る請求項１の発明では、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを円環状に供給された接着剤を介して重ね合わせ、前記円環状の接着剤に回転方向にねじる力を与えた後、前記双方のディスク基板を一緒に高速回転させることによって、前記接着剤を展延させて貼り合わせる光ディスク製造装置において、シャフト部材の一方側の先端に固定されて、前記接着剤を介して重ね合わされたディスク基板を保持するディスク基板受台と、前記シャフト部材を回転可能に軸承し、上下方向には前記シャフト部材に係合されて前記シャフト部材を上下動させる回転用軸受部材と、固定された昇降・回転用軸受部材であって、上下動と回転とが可能なように前記シャフト部材を軸承する昇降・回転用軸受部材と、前記回転用軸受部材の外殻に固定されて、該回転用軸受部材を上下動させることにより、一緒に前記シャフト部材を上下動させる上下方向駆動機構と、固定された回転駆動機構であって、前記シャフト部材の上下方向には結合されず、回転方向には結合されて前記シャフト部材を回転させるための回転伝達部と、該回転伝達部を回転駆動する回転駆動部とからなる回転駆動機構と、前記ディスク基板受台に保持された前記ディスク基板を他方側から吸着保持し得る吸着ヘッドと、前記第１のディスク基板と前記第２のディスク基板との間に圧力を加える加圧手段とを備え、前記上下方向駆動機構の作動によって、前記回転駆動機構は固定のままで、前記回転用軸受部材と前記シャフト部材と前記ディスク基板受台とを上下動させて前記ディスク基板を上下動させる光ディスク製造装置を提案するものである。
【００１２】
この構造の光ディスク製造装置によれば、接着剤を介して重ね合わされた２枚のディスク基板を上昇させて、適度な加圧力を与える工程において、前記回転駆動機構は固定のままで、前記回転用軸受部材と前記シャフト部材と前記ディスク基板受台とを上昇させて前記ディスク基板を上昇させるが、それら駆動される部分の質量は小さいので、上下方向駆動機構は比較的小さな駆動力を備えていればよく、慣性力が小さいのでディスク基板の停止位置を正確に制御でき、信頼性を高めることもできる。
【００１３】
また、請求項２の発明では、一方のディスク基板と他方のディスク基板とを円環状に供給された接着剤を介して重ね合わせ、前記円環状の接着剤に回転方向にねじる力を与えた後、前記双方のディスク基板を一緒に高速回転させることによって、前記接着剤を展延させて貼り合わせる光ディスクの製造装置において、シャフト部材の一方側の先端に固定されて、前記一方のディスク基板を保持するディスク基板受台と、前記シャフト部材を回転可能に軸承し、上下方向には前記シャフト部材に係合されて前記シャフト部材を上下動させる回転用軸受部材と、固定された昇降・回転用軸受部材であって、上下動と回転とが可能なように前記シャフト部材を軸承する昇降・回転用軸受部材と、前記回転用軸受部材の外殻に固定されて、該回転用軸受部材を上下動させることにより、一緒に前記シャフト部材を上下動させる上下方向駆動機構と、固定された回転駆動機構であって、前記シャフト部材の上下方向には結合されず、回転方向には結合されて前記シャフト部材を回転させるための回転伝達部と、該回転伝達部を回転駆動する回転駆動部とからなる回転駆動機構と、前記他方のディスク基板を保持する保持ヘッドであって、前記ディスク基板受台に保持された前記一方のディスク基板と前記他方のディスク基板とを前記円環状に供給された接着剤を介して重ね合わせる保持ヘッドと、前記第１のディスク基板と前記第２のディスク基板との間に圧力を加える加圧手段とを備え、前記上下方向駆動機構の作動によって、前記回転駆動機構は固定のままで、前記回転用軸受部材と前記シャフト部材と前記ディスク基板受台とを上下動させて前記ディスク基板を上下動させる光ディスク製造装置を提案するものである。
【００１４】
この構造の光ディスク製造装置によれば、２枚のディスク基板を接着剤を介して重ね合わせる工程において、前記回転駆動機構は固定のままで、前記回転用軸受部材と前記シャフト部材と前記ディスク基板受台とを上下動させて前記一方のディスク基板を上昇させるが、それら上昇される部分の質量は小さいので、上下方向駆動機構は比較的小さな駆動力を備えていればよく、慣性力が小さいのでディスク基板の停止位置を正確に制御でき、信頼性を高めることができる。
【００１５】
請求項３の装置では、請求項１又は請求項２において、前記一方のディスク基板と前記他方のディスク基板との間の加圧力を微調整できる押付力調整機構を具備することを特徴とする光ディスク製造装置を提案するものである。
【００１６】
この構造の光ディスク製造装置によれば、一方のディスク基板と他方のディスク基板との間の加圧力を微調整できるので、接着剤に最適な圧力を与えてねじる力を付与するので、接着剤をより円に近い形状にすることができる。
【００１７】
また、請求項４の装置では、請求項１ないし請求項３のいずれかにおいて、前記保持ヘッドの上下動作をガイドするガイド機構を具備することを特徴とする光ディスク製造装置を提案するものである。
【００１８】
この構造の光ディスク製造装置によれば、ディスク基板に対して垂直な加圧力を与えることができるので、接着剤をより円に近い形状にすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態及び実施例】
図１と図２により本発明の１実施例である光ディスク製造装置１００について説明する。図１は重ね合わされたディスク基板がねじり力付与ポジションに搬送されて来た状態を示し、図２はねじり力を付与する寸前の状態を示す。図１と図２で用いる参照記号は同一の部材を示す。
【００２０】
図１において、接着剤を介して重ね合わされたディスク基板Ａは、鎖線で示されているターンテーブルＴＴの間欠的な回転によって水平方向に搬送され、ねじり力付与ポジションＴＰで停止する。ねじり力付与ポジションＴＰには光ディスク製造装置１００が設置されている。
【００２１】
ターンテーブルＴＴの下方向には、重ね合わされたディスク基板Ａを受けて保持するディスク基板受台１が位置し、ディスク基板受台１はシャフト部材２の上端に固定されている。ディスク基板受台１は通常のものと同様であり、図示しない吸引機構によってディスク基板Ａを吸着保持する。
【００２２】
シャフト部材２は、後述する機構により数十回転から数百回転の間で回転し、かつ上下に移動できるように軸承されている。シャフト部材２の回転、上下動作によって、ディスク基板受台１とその上に吸着保持されるディスク基板Ａは回転、上下動作を行う。また、シャフト部材２には、図示しないが、気流通路が設けられており、不図示の外部吸引機構に接続してその気流通路を通して吸引を行うことにより、ディスク基板受台１のディスク基板の吸着保持機能を有効にする。
【００２３】
昇降・回転用軸受部材３は、その外殻が固定部材４に固定されており、シャフト部材２が回転でき、かつ上下方向に動けるようシャフト部材２を軸承する。昇降・回転用軸受部材３は、ラジアルベアリングと直線駆動ベアリングとを組み合わせた構造のものであり、通常の構造であるので詳述しない。
【００２４】
シャフト部材２の下端部には、シャフト部材２を回転自在に軸承し、上下方向にはシャフト部材２に係合された回転用軸受部材５が備えられている。回転用軸受部材５は一般的なピボットベアリングとラジアルベアリングとの組み合わせからなる。したがって、シャフト部材２は、回転用軸受部材５が上下動することにより、一緒に上下動する。ただし、シャフト部材２は、回転用軸受部材５に対して自由に回転することができる。
【００２５】
上下方向駆動機構６は、シリンダ装置のような直線駆動部６Ａと、直線駆動部６Ａにより前進・後退するシンリンダロッドのような直動部６Ｂと、一端が直動部６Ｂの先端に固定され、他端が回転用軸受部材５の外殻に固定されたアーム部６Ｃとからなる。上下方向駆動手段６が動作し、その直動部６Ｂが前進動作を行うと、アーム部６Ｃが下方向に動き、これに伴い回転用軸受部材５、シャフト部材２、ディスク基板受台１も降下する。逆に、上下方向駆動機構６が後退動作を行うと、そのアーム部６Ｃが上方向に動き、これに伴い回転用軸受部材５、シャフト部材２、ディスク基板受台１も上昇する。なお、上下方向駆動機構６の外殻は固定されており、動かない。
【００２６】
押付量調整機構７は、可動部７Ａと可動部７Ａによって高精度で微少量ずつ前進・後退できる微小直動部７Ｂとからなり、アーム部６Ｃの上限位置を微調整することにより、ディスク基板間の押し付け力を微調整する。押付力調整手段７の外殻は昇降・回転用軸受部材３の外殻に固定されている。
【００２７】
シャフト部材２を回転駆動する回転駆動機構８は、固定部材４に固定されており、モータのような回転駆動部８Ａとこの回転駆動部８Ａによって回転駆動される回転伝達部８Ｂとからなる。回転伝達部８Ｂは、回転駆動部８Ａの回転によって回転する駆動側プーリー８Ｂａと、シャフト部材２に係合された従動側プーリー８Ｂｂ、駆動側プーリー８Ｂａと従動側プーリー８Ｂｂとを結合するベルト部材８Ｂｃからなる。従動側プーリー８Ｂｂは、シャフト部材２の回転方向にはシャフト部材２と結合されており、上下方向にはフリーになっているので、従動側プーリー８Ｂｂが回転すればシャフト部材２も回転するが、シャフト部材２が上下方向に動いても従動側プーリー８Ｂｂは上下方向には動かない。
【００２８】
ディスク基板受台１が回転し、重ね合わされたディスク基板Ａが回転するとき、上側のディスク基板が自由に回転しないよう、吸着ヘッド９はディスク基板Ａの上面を吸着保持する。吸着ヘッド９は、加圧手段１０の先端に固定されており、ディスク基板受台１と同様なディスク基板吸着機能を有する。
【００２９】
加圧手段１０は支持アーム部材１１に固定されている。加圧手段１０はシリンダ装置のようなものであり、シリンダロッドのような直動部材１０Ａが前進、後退することにより、吸着ヘッド９を降下又は上昇させ、ディスク基板Ａに圧力を加えたり、開放したりする。吸着ヘッド９と加圧手段１０とは加圧機構を構成する。
【００３０】
ここで、吸着ヘッド９の一側面はガイド棒１２の一端に固定されており、ガイド棒１２の他端は加圧手段１０の外殻に形成されたガイド部１０Ｂをスライドできるように構成されている。ガイド棒１２のガイド作用により、吸着ヘッド９はその吸着全面でディスク基板Ａに一様な垂直方向の加圧力を付与することができる。このことは大切であり、後でも述べるが、重ね合わせた２枚のディスク基板に付与される加圧力がすべてディスク基板に垂直でなければならない。前記加圧力が垂直でなければ、２枚のディスク基板の平行度が悪くなり、本発明を適用したとしても本発明本来の効果が十分に得られないからである。
【００３１】
なお、ターンテーブルＴＴは、ディスク基板が位置する個所に丸窓ＴＴａを備え、丸窓ＴＴａはディスク基板Ａの外径よりも小さく、ディスク受台１の外径よりも大きい直径を有する。
【００３２】
次に、図１と図２を用いてこの実施例の動作について説明する。ディスク基板Ａは、図示しない接着剤供給ポジションで、一方又は双方のディスク基板の内周側に円環状に接着剤が供給されたディスク基板同士を、不図示の重ね合わせポジションで重ね合わせたものである。
【００３３】
ターンテーブルＴＴがねじりポジションＴＰで停止して、接着剤を介して重ね合わされたディスク基板Ａが、図示の位置に搬送されて停止すると、先ず上下方向駆動機構６が動作し、直動部６Ｂが後退してアーム部６Ｃを上昇させる。これに伴い、回転用軸受部材５が上昇し、上下方向には回転用軸受部材５に結合されているシャフト部材２、ディスク基板受台１も上昇する。ディスク基板受台１は上昇する過程で、ターンテーブルＴＴから重ね合わされたディスク基板Ａを受け取り、図２に示すように、ターンテーブルＴＴからディスク基板Ａを離す。ディスク基板受台１がターンテーブルＴＴに接触することはない。
【００３４】
このとき、加圧手段１０が動作して、その直動部材１０Ａが前進、つまり伸長することにより、吸着ヘッド９が下がり、重ね合わされているディスク基板Ａの上面を吸着し、加圧する。加圧手段１０としてエアシリンダを用い、その気圧が適当なものを選択することにより、適度な加圧力がディスク基板Ａに加えられ、都合がよい。
【００３５】
次に、固定部材４に固定された回転駆動装置８が動作し、駆動側プーリー８Ｂａを数十回転から数百回転の間の回転数で低速回転させ、その回転はベルト８Ｂｃを介して伝達されて従動側プーリー８Ｂｂを低速回転させる。これによって、ディスク基板受台１に吸着保持されたディスク基板Ａの下側のディスク基板は、数十回転から数百回転の間の回転数で低速回転し、上側のディスク基板は吸着ヘッド９によって吸着保持されているために回転せず、ディスク基板Ａには適度な加圧力が加えられているので、接着剤にねじりが与えられ、未硬化状態の接着剤は初期には輪郭に凹凸があっても、図５に示すように外周、内周ともにきれいな円形となる。また、その膜厚も一定にすることができる。
【００３６】
しかる後に、回転駆動装置８は動作を停止してディスク基板受台１を停止させ、次に吸着ヘッド９の吸着動作を停止させ、他方で、吸着ヘッド９はディスク基板Ａの上面の吸着を止める。次に、上下方向駆動機構６が動作し、直動部６Ｂが前進してアーム部６Ｃを下降させる。これに伴い、回転用軸受部材５が下降し、シャフト部材２とディスク基板受台１も下降する。ディスク基板受台１はターンテーブルＴＴの丸窓ＴＴａを通して下降する過程で、ディスク基板ＡをターンテーブルＴＴに戻す。このとき、加圧手段１０も動作して、その直動部材１０Ａが後退し、吸着ヘッド９が上昇して元の位置に戻る。
【００３７】
図示していないが、その後、ディスク基板Ａは不図示のスピンナまで搬送され、スピンナによる高速回転処理を行うことによって、外周、内周ともにきれいな円形の接着剤膜は一様に展延され、ヌレの違いなどがあってもディスク基板Ａの間には気泡が形成されず、品質の高い光ディスクを得ることができる。
【００３８】
ここで、上下方向駆動機構６によって上昇するのは、回転用軸受部材５、シャフト部材２、ディスク基板受台１、ディスク基板Ａだけであり、一般に重い回転駆動装置８を上下動させていないので、質量が小さく、したがって、慣性力が小さいために、比較的小さな駆動力でディスク基板の停止位置を高精度で制御でき、またその下降停止位置も正確になるので、より一層高品質の光ディスクを得ることができる。更にまた、慣性力が小さくなったことによって、長期間、ディスク基板の停止位置を高精度で制御することができ、光ディスクの品質を保持することが可能である。
【００３９】
次に、図３と図４により本発明の別の実施例である光ディスク製造装置２００について説明する。この実施例は、接着剤を介して２枚のディスク基板同士を重ね合わせるポジションで、ディスク基板間にねじり力を付与するものである。つまり、２枚のディスク基板を重ね合わせながらねじり力を付与する。図３と図４において、図１と図２で用いた記号と同一の記号は、同じ名称の部材を示すものとする。この実施例において、ディスク基板受台１を上下動させる機構、回転させる機構は動作についても前述の実施例と同様であるので、詳しい説明は省略する。
【００４０】
ターンテーブルＴＴの間欠的動作によって、不図示の接着剤供給ポジションで接着剤が円環状に供給された一方のディスク基板ａが、図３に示すように、２枚のディスク基板ａ、ｂを重ね合わせるポジションで停止する。他方、吸着ヘッド９にディスク基板ｂを吸着保持させた状態で、支持アーム１１は別のポジションから移動してきて、ディスク基板ｂがディスク基板ａの真上に位置するように停止する。
【００４１】
次に上下方向駆動機構６が動作して、前述のようにシャフト部材２を上昇させ、その上昇過程で、ディスク基板受台１はターンテーブルＴＴ上のディスク基板ａを受けとって吸着保持し、ディスク基板ａがターンテーブルＴＴから離れた所定位置で停止する。他方では、加圧手段１０が動作し、その直動部材１０Ａを前進させて、ディスク基板ｂを所定距離だけ下降させ、ディスク基板ｂをディスク基板ａに重ね合わせる。
【００４２】
このときのディスク基板ｂに対するディスク基板ａの押し付け力は、押付量調整機構７で上下方向駆動機構６のアーム部６Ｃの上限位置を微調整することによって、微調整される。
【００４３】
２枚のディスク基板ａ、ｂが重ね合わされ、吸着ヘッド９がディスク基板ｂを吸着保持した状態で、回転駆動装置８が動作する。回転駆動装置８の動作によって、前述したように、シャフト部材２が低速回転を行い、吸着ヘッド９の吸着保持によって回転しないディスク基板ｂに対して、ディスク基板ａを低速回転させてねじることによって、それらの間の接着剤は、初期には輪郭が凹凸の大きな円形状であっても、図５に示すように外周、内周ともにきれいな円形となり、また、その膜厚も一定になる。
【００４４】
この実施例では、２枚のディスク基板ａ、ｂの重ね合わせ動作に連続してねじり付与動作を行っているので、前述実施例に比べて製造時間の短縮と装置の小型化が可能となる。前述実施例と同様に、比較的小さな駆動力でディスク基板の停止位置を高精度で制御でき、またその下降停止位置も正確になるので、より一層高品質の光ディスクを得ることができるのは勿論である。
【００４５】
なお、以上の実施例では、重ね合わせたディスク基板Ａ、あるいは一方のディスク基板ａにねじり力を付与するポジションまで搬送する手段をターンテーブルとして説明したが、搬送方式は、現在用いられている別の方式、例えば２本の把持アーム（図示せず）でディスク基板の外形の両端部を把持して搬送する方式、又は上下動と旋回動作とが可能な一般的な移載アーム（図示せず）の先端に固定された吸着保持ヘッド（図示せず）でディスク基板を搬送する方式などであっても勿論よい。
【００４６】
また、回転駆動装置８の回転力伝達手段として、実施例ではプーリーとベルトとを用いたが、歯車を用い、駆動側歯車と従動側歯車（図示せず）とを噛み合わせて回転を伝達する方式、チェーン（図示せず）を介在させて歯車で回転力を伝達する方式などであってもよい。
【００４７】
また、ディスク基板は、一方だけに記録層が形成され、他方は記録層が形成されていないダミー基板、あるいは双方のディスク基板に記録層が形成されたもの、ディスク基板の厚みが異なるもの、２枚のディスク基板を貼り合わせたものなどであってもよい。
【００４８】
さらにまた、以上の実施例では、ディスク基板受台１だけが回転し、吸着ヘッド９は回転しなかったが、双方が同一方向に回転、又は逆方向に回転し、それらの回転数の差が数十回転から数百回転の範囲内にあればよい。
【００４９】
【発明の効果】
本発明に係る光ディスク製造装置によれば、比較的小さな駆動力でディスク基板を上下動させる機構としたので、ディスク基板の停止位置を高精度で制御できると共に、信頼性を向上させることができ、また品質の高い光ディスクを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例である光ディスク製造装置１００を説明するための図である。
【図２】本発明の１実施例である光ディスク製造装置１００を説明するための図である。
【図３】本発明の他の１実施例である光ディスク製造装置２００を説明するための図である。
【図４】本発明の他の１実施例である光ディスク製造装置２００を説明するための図である。
【図５】本発明を適用した場合の接着剤層の形状を示す図である。
【図６】従来の接着剤層の形状を示す図である。
【符号の説明】
１・・・ディスク基板受台、
２・・・シャフト部材、
３・・・昇降・回転用軸受部材、
４・・・固定部材、
５・・・回転用軸受部材、
６・・・上下方向駆動機構、
６Ａ・・・直線駆動部、
６Ｂ・・・直動部、
６Ｃ・・・アーム部、
７・・・押付量調整機構、
７Ａ・・・可動部、
７Ｂ・・・微小直動部、
８・・・回転駆動装置、
８Ａ・・・回転駆動部、
８Ｂ・・・回転伝達部、
９・・・吸着ヘッド、
１０・・・加圧手段、
１０Ａ・・・直動部材、
１１・・・支持アーム、
１２・・・ガイド棒、
１００・・・第１の実施例である光ディスク製造装置、
２００・・・第２の実施例である光ディスク製造装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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