(57)【要約】【課題】誤放電が生じ難く、高品位な画質が可能で低コストのプラズマ表示装置を提供すること。【解決手段】第１基板１１と、第１基板１１の内側に対向して配置され、間に密封された放電空間４を形成する第２基板２１と、第１基板１１の内側に形成され、相互間に放電ギャップを形成する少なくとも一対の放電維持電極１２と、放電維持電極１２に対して放電空間４を介して平面側から見て交差するように、第２基板２１の内側に形成される複数のアドレス電極２２と、を有するプラズマ表示装置である。対を成す放電維持電極１２のうちの一方１２ａと交差する放電空間４の平面側から見た面積が、対を成す放電維持電極１２のうちの他方１２ｂと交差する放電空間４の平面側から見た面積に比較して大きい。【選択図】　　　　図２
2004071220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
前記第１基板の内側に対向して配置され、間に密封された放電空間を形成する第２基板と、
前記第１基板の内側に形成され、相互間に放電ギャップを形成する少なくとも一対の放電維持電極と、
前記放電維持電極に対して前記放電空間を介して平面側から見て交差するように、前記第２基板の内側に形成される複数のアドレス電極と、を有するプラズマ表示装置であって、
対を成す前記放電維持電極のうちの一方と交差する前記放電空間の平面側から見た面積が、対を成す前記放電維持電極のうちの他方と交差する前記放電空間の平面側から見た面積に比較して大きいことを特徴とするプラズマ表示装置。
【請求項２】
対を成す前記放電維持電極のうちの一方が、スキャン側放電維持電極であり、対を成す前記放電維持電極のうちの他方が、コモン側放電維持電極である請求項１に記載のプラズマ表示装置。
【請求項３】
前記第１基板と第２基板との間には、前記放電空間を仕切る隔壁が形成してあり、
対を成す前記放電維持電極のうちの一方と交差する前記放電空間における前記隔壁間の幅が、対を成す前記放電維持電極のうちの他方と交差する前記放電空間における前記隔壁間の幅に比較して大きいことを特徴とする請求項２に記載のプラズマ表示装置。
【請求項４】
前記隔壁は、前記放電空間が前記放電維持電極の長手方向に沿って区切られるように、且つ、前記放電空間が前記アドレス電極の長手方向に沿って区切られるように形成してある請求項３に記載のプラズマ表示装置。
【請求項５】
前記隔壁のパターン幅が厚くなる部分には、隔壁の高さ方向段差を防止するための凹部が形成してある請求項３または４に記載のプラズマ表示装置。
【請求項６】
前記隔壁には、対を成す前記放電維持電極のうちの一方と交差する前記放電空間に向けて突出する凸部が形成してある請求項３〜５のいずれかに記載のプラズマ表示装置。
【請求項７】
前記凸部のパターン幅が、前記隔壁の主要部のパターン幅に比較して狭いことを特徴とする請求項６に記載のプラズマ表示装置。
【請求項８】
前記凸部の高さが、前記隔壁の主要部の高さに比較して低い請求項６または７に記載のプラズマ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマ表示装置に係り、さらに詳しくは、誤放電が生じ難く、高品位な画質を可能とするプラズマ表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の表示装置が種々検討されている。このような平面型の表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置（ＰＤＰ：プラズマ・ディスプレイ）を例示することができる。中でも、プラズマ表示装置は、大画面化や広視野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振動等の環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であること等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公共用の大型情報端末機器への適用が期待されている。
【０００３】
プラズマ表示装置は、希ガスから成る放電ガスを放電空間内に封入した放電セルに電圧を印加して、放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した紫外線で放電セル内の蛍光体層を励起することによって発光を得る表示装置である。つまり、個々の放電セルは蛍光灯に類似した原理で駆動され、放電セルが、通常、数十万個のオーダーで集合して１つの表示画面が構成されている。プラズマ表示装置は、放電セルへの電圧の印加方式によって直流駆動型（ＤＣ型）と交流駆動型（ＡＣ型）とに大別され、それぞれ一長一短を有する。
【０００４】
ＡＣ型プラズマ表示装置は、表示画面内で個々の放電セルを仕切る役割を果たす隔壁を、たとえばストライプ状に形成すればよいので、高精細化に適している。しかも、放電のための電極の表面が誘電体層で覆われているので、かかる電極が磨耗し難く、長寿命であるといった長所を有する。ＡＣ型プラズマ表示装置の一例として、たとえば特開平５−３０７９３５号公報、あるいは特開平９−１６０５２５号公報に示す３電極型プラズマ表示装置が例示される。
【０００５】
このような従来の３電極型プラズマ表示装置においては、一方の基板の内側に対となるスキャン側放電維持電極およびコモン側放電維持電極が形成され、他方の基板の内側に、これらの放電維持電極と略直交するようにアドレス電極（データ電極）が形成される。しかも、対となる放電維持電極の形状は、平面側から見て対称形状である。このため、アドレス電極とコモン側放電維持電極との間の容量結合と、アドレス電極とスキャン側放電維持電極との間の容量結合とは同等である。
【０００６】
３電極型プラズマ表示装置では、データの書き込み操作は、アドレス電極とスキャン側放電維持電極との間で行われる。選択消去の場合について述べると、最初にリセット操作によりスキャン側放電維持電極およびコモン側放電維持電極に壁電荷を与える。スキャン側放電維持電極およびコモン側放電維持電極では、それぞれ異なる電位が付与され、次の書き込み操作で電荷を消去するように書き込む。
しかしながら、前述のように、容量結合が同等である場合には、データの書き込み操作時に、アドレス電極とスキャン側放電維持電極とではなく、アドレス電極とコモン側放電維持電極との間で、誤放電が生じるおそれがある。誤放電が生じると、画像表示品質の低下を招くおそれがある。特に、放電ガスとして、キセノン（Ｘｅ）濃度が高いガスを用いる場合に、このような現象が生じやすい。最近では、高輝度且つ高コントラストの画質を得るために、キセノン（Ｘｅ）濃度が高いガスを用いることが検討されている。
【０００７】
なお、特開平５−１２１００６号公報には、単純ストレート形状のコモン側放電維持電極の電極幅に比較して、単純ストレート形状のスキャン側放電維持電極の電極幅を広くし、スキャン側放電維持電極とアドレス電極との容量結合を大きくしている構造が開示してある。この構造では、誤放電を防止し、書き込み操作を容易にすることが期待できる。
【０００８】
しかしながら、この公報に記載の構造では、放電ギャップに依存してスキャン側放電維持電極とコモン側放電維持電極との電極間容量が大きくなり、駆動回路の負担が増大してコストが増大すると共に、消費電流の低減に寄与しない。
【０００９】
また、特開２００１−２２２９５９号公報に示すように、アドレス電極の形状を特殊形状にして、書き込み操作を容易にすることが提案されているが、アドレス電極と放電維持電極との間の位置合わせが困難であり、結果としてプラズマ表示装置の製造が困難である。
【００１０】
さらに、特開２００１−２６６７５０号に示すように、対となる放電維持電極の一方を、特殊形状にして、他方をストレート状電極にする構造も提案されている。しかしながら、この構造では、アドレス電極との容量結合は、対となる放電維持電極相互間で、大差なく、誤放電の防止を効果的に達成することは困難である。
一方、放電維持電極とアドレス電極との間の放電空間の形状を六角形状に工夫したデルタ（Ｄｅｌｔａ）セルの構造も提案されている（ＬＣＤ／ＰＤＰ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　２０００　ＰＤＰセミナー　１−８）。しかしながら、この構造では、表示ピクセルの数を増やすためには効果があるが、データ書き込み時の誤放電防止という考えはない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、誤放電が生じ難く、高品位な画質が可能で低コストのプラズマ表示装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るプラズマ表示装置は、
第１基板と、
前記第１基板の内側に対向して配置され、間に密封された放電空間を形成する第２基板と、
前記第１基板の内側に形成され、相互間に放電ギャップを形成する少なくとも一対の放電維持電極と、
前記放電維持電極に対して前記放電空間を介して平面側から見て交差するように、前記第２基板の内側に形成される複数のアドレス電極と、を有するプラズマ表示装置であって、
対を成す前記放電維持電極のうちの一方と交差する前記放電空間の平面側から見た面積が、対を成す前記放電維持電極のうちの他方と交差する前記放電空間の平面側から見た面積に比較して大きいことを特徴とする。
【００１３】
一般的に、放電空間が狭い方が放電開始が高くなる。たとえばデルタセルにおいて、一対の略平行な放電維持電極が、隣接するセルを横切っているが、放電空間の大きい方のセルでは放電が生じ、小さい方のセルでは放電が生じない。ここで、重要なことは、一般にプラズマ表示装置においては、パッシェンの法則における放電電圧が最小になる点よりもｐｄ積（放電空間の圧力ｐと放電維持電極間の距離ｄとの積）が大きいところで、実際の動作点をおいて駆動しているので、放電空間が小さい方が放電電圧が上昇し、放電しにくくなると言うことである。
【００１４】
データ書き込み放電に関しても、放電電極であるアドレス電極とスキャン側放電維持電極との距離は約８０〜１５０μｍであり、市販されているプラズマ表示装置における放電維持電極相互間の距離は１００μｍ前後であることから、同様のことが言える。
プラズマ表示装置においては、壁電荷を制御してアドレス電極とスキャン側放電維持電極との放電が起こりやすくしているが、それでもアドレス電極とコモン側放電維持電極との間での誤放電が生じて表示品位を落とす場合がある。
【００１５】
本発明では、壁電荷制御だけでなく、誤放電が起こりにくいように、対を成す放電維持電極のうちの一方と交差する放電空間の平面側から見た面積を、対を成す放電維持電極のうちの他方と交差する放電空間の平面側から見た面積に比較して大きくしてある。すなわち、スキャン側放電維持電極とアドレス電極との間の放電空間を、コモン側放電維持電極とアドレス電極との間の放電空間の大きさよりも大きくしてある。そのため、データ書き込み時には、大きな放電空間を持つスキャン側放電維持電極とアドレス電極との間の放電空間で放電が生じ、アドレス電極とコモン側放電維持電極との間で、誤放電が生じることはなくなる。その結果、画像表示品質が向上する。
【００１６】
また、本発明では、放電維持電極のパターン形状を複雑なものとする必要がないので、アドレス電極と放電維持電極との間の位置合わせが容易であり、結果としてプラズマ表示装置の製造が容易であり、製造コストが増大することもない。
【００１７】
本発明において、好ましくは、前記第１基板と第２基板との間には、前記放電空間を仕切る隔壁が形成してあり、
対を成す前記放電維持電極のうちの一方と交差する前記放電空間における前記隔壁間の幅が、対を成す前記放電維持電極のうちの他方と交差する前記放電空間における前記隔壁間の幅に比較して大きい。このような隔壁のパターンである場合に、放電空間の大きさを変化させることが容易である。
【００１８】
好ましくは、前記隔壁は、前記放電空間が前記放電維持電極の長手方向に沿って区切られるように、且つ、前記放電空間が前記アドレス電極の長手方向に沿って区切られるように形成してある。すなわち、いわゆるワッフル形状の隔壁にすることで、放電空間の大きさを変化させることが容易である。また、ワッフル形状の隔壁にすることで、クロストークなどの防止も容易になる。
【００１９】
好ましくは、前記隔壁のパターン幅が厚くなる部分には、隔壁の高さ方向段差を防止するための凹部が形成してある。本発明では、放電空間の大きさを変化させるために、隔壁のパターン幅が異なる部分が生じやすい。一般に、隔壁のパターン幅が、他の部分に比較して厚くなると、その厚い部分の隔壁高さは、他の部分に比べて盛り上がり、隔壁の高さにばらつきが生じやすい。本発明では、その厚くなる部分には、凹部が形成してあるため、隔壁の高さのばらつきが無くなり、均一な高さにすることができる。その結果、隔壁の頂部に対して隙間無く第１基板の内側を密着させることができる。放電空間を隔壁により良好に仕切ることが可能になり、クロストークの防止を図れる。
【００２０】
好ましくは、前記隔壁には、対を成す前記放電維持電極のうちの一方と交差する前記放電空間に向けて突出する凸部が形成してある。この場合にも、放電空間の大きさを変化させることが容易である。
【００２１】
好ましくは、前記凸部のパターン幅が、前記隔壁の主要部のパターン幅に比較して狭い。凸部のパターン幅を狭くすることで、この凸部の高さは、隔壁の主要部の高さよりも低くなる。隔壁の主要部の高さは、ばらつきが無く均一であることが好ましいが、凸部は、単に放電空間の大きさを変化させるために用いられる。そのため、凸部の高さは、隔壁の主要部と必ずしも同じである必要はない。むしろ、その凸部がアドレス電極上に形成される場合には、その凸部が隔壁の主要部と同じように第１基板の内側に接触すると、アドレス電極との容量結合が増大することから好ましくない。本発明では、凸部のパターン幅を狭くすることで、この凸部の高さは、隔壁の主要部の高さよりも低くなり、アドレス電極との容量結合が増大することは無い。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るプラズマ表示装置の要部概略分解斜視図、
図２は図１に示すアドレス電極と隔壁と放電維持電極との関係を示す平面図、
図３〜図６は本発明の他の実施形態に係るアドレス電極と隔壁と放電維持電極との関係を示す平面図である。
【００２３】
第１実施形態
プラズマ表示装置の全体構成
まず、図１に基づき、交流駆動型（ＡＣ）型プラズマ表示装置（以下、単に、プラズマ表示装置と呼ぶ場合がある）の全体構成について説明する。
図１に示すＡＣ型プラズマ表示装置２は、フロントパネルに相当する第１パネル１０と、リアパネルに相当する第２パネル２０とが貼り合わされて成る。第２パネル２０上の蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂの発光は、第１パネル１０を通して観察される。すなわち、第１パネル１０が、表示面側となる。
【００２４】
第１パネル１０は、透明な第１基板１１と、第１基板１１上に相互に略平行に第１方向Ｘに沿ってストライプ状に設けられ、透明導電材料から成る複数対の放電維持電極１２と、放電維持電極１２のインピーダンスを低下させるために設けられ、放電維持電極１２よりも電気抵抗率の低い材料から成るバス電極１３と、バス電極１３および放電維持電極１２上を含む第１基板１１上に形成された誘電体層１４と、その上に形成された保護層１５とから構成されている。なお、保護層１５は、必ずしも形成されている必要はないが、形成されていることが好ましい。
【００２５】
一方、第２パネル２０は、第２基板２１と、第２基板２１上に第２方向Ｙ（第１方向Ｘと略直角）に沿ってストライプ状に且つ相互に略平行に設けられた複数のアドレス電極（データ電極とも呼ばれる）２２と、アドレス電極２２上を含む第２基板２１上に形成された絶縁体膜２３と、絶縁体膜２３上に形成された絶縁性の隔壁２４と、絶縁体膜上から隔壁２４の側壁面上に亘って設けられた蛍光体層とから構成されている。蛍光体層は、赤色蛍光体層２５Ｒ、緑色蛍光体層２５Ｇ、および青色蛍光体層２５Ｂから構成されている。
【００２６】
図１は、表示装置の一部分解斜視図であり、実際には、第２パネル２０側の隔壁２４の頂部が、第３方向Ｚ（第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに直交する方向）で第１パネル１０側の保護層１５に当接している。蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂが形成された隔壁２４と保護層１５とによって囲まれた放電空間４内には、放電ガスが封入されている。第１パネル１０と第２パネル２０とは、それらの周辺部において、フリットガラスを用いて接合されている。
【００２７】
放電空間４内に封入される放電ガスとしては、特に限定されないが、キセノン（Ｘｅ）ガス、ネオン（Ｎｅ）ガス、ヘリウム（Ｈｅ）ガス、アルゴン（Ａｒ）ガス、窒素（Ｎ２）ガス等の不活性ガス、あるいはこれらの不活性ガスの混合ガスなどが用いられる。封入されている放電ガスの全圧は、特に限定されないが、６×１０３Ｐａ〜８×１０４Ｐａ程度である。
【００２８】
放電維持電極１２（バス電極１３）の射影像が延びる方向とアドレス電極２２の射影像が延びる方向とは略直交（必ずしも直交する必要はないが）している。図２に示すように、本実施形態では、１画素Ｐ１（１ピクセル）内に、放電ギャップＧ１が、第２方向Ｙに沿って形成されるように、透明電極から成る放電維持電極１２が、第１方向Ｘに沿って形成してある。
【００２９】
なお、各画素Ｐ１毎に、放電ギャップＧ１を形成するために、透明電極から成る放電維持電極１２は、第１方向Ｘに沿って連続して形成されるが、第１方向Ｘに、各画素Ｐ１毎に完全に分離してアイランド状に形成しても良い。透明電極から成る放電維持電極１２を、第１方向Ｘに各画素Ｐ１毎に分離して形成することで、輝度を低下させずに、無効電流を減らし、消費電流の低減に寄与する。ただし、放電維持電極の一部を構成するバス電極１３は、第１方向Ｘに沿って分割することはできない。透明電極から成る放電維持電極１２に対して電圧信号を供給するためである。各放電維持電極１２は透明電極で構成され、比較的に高抵抗であることから、各放電維持電極１２には、それぞれ第１方向Ｘに沿って形成されるバス電極１３が接続される。
【００３０】
なお、グロー放電が、放電ギャップＧ１を形成する一対の放電維持電極１２間で生じることから、このタイプのプラズマ表示装置は「面放電型」と称される。このプラズマ表示装置の駆動方法については、後述する。
【００３１】
本実施形態のプラズマ表示装置２は、いわゆる反射型プラズマ表示装置であり、蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂの発光は、第１パネル１０を通して観察される。このため、アドレス電極２２を構成する導電性材料に関して透明／不透明の別は問わないが、放電維持電極１２を構成する導電性材料は透明である必要がある。なお、ここで述べる透明／不透明とは、蛍光体層材料に固有の発光波長（可視光域）における導電性材料の光透過性に基づく。即ち、蛍光体層から射出される光に対して透明であれば、放電維持電極やアドレス電極を構成する導電性材料は透明であると言える。
【００３２】
不透明な導電性材料として、Ｎｉ，Ａｌ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ／Ａｇ，Ｃｒ，Ｔａ，Ｃｕ，Ｂａ，ＬａＢ６，Ｃａ０．２Ｌａ０．８ＣｒＯ３等の材料を、単独または適宜組み合わせて用いることができる。透明な導電性材料としては、ＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）やＳｎＯ２を挙げることができる。放電維持電極１２またはアドレス電極２２は、スパッタ法、蒸着法、スクリーン印刷法、メッキ法等によって形成することができ、フォトリソグラフィ法、サンドブラスト法、リフトオフ法などによってパターン加工される。
【００３３】
放電維持電極１２の表面に形成される誘電体層１４は、たとえば単層のシリコン酸化物層で構成してあるが、多層膜であっても良い。このシリコン酸化物層から成る誘電体層１４は、たとえば、電子ビーム蒸着法やスパッタ法、蒸着法、スクリーン印刷法等に基づき、形成されている。誘電体層１４の厚みは、特に限定されないが、本実施形態では、１〜１０μｍである。
【００３４】
誘電体層１４を設けることによって、放電空間４内で発生するイオンや電子が、放電維持電極１２と直接に接触することを防止することができる。その結果、放電維持電極１２の磨耗を防ぐことができる。誘電体層１４は、アドレス期間に発生する壁電荷を蓄積して放電状態を維持するメモリ機能、過剰な放電電流を制限する抵抗体としての機能を有する。
【００３５】
誘電体層１４の放電空間側表面に形成してある保護層１５は、誘電体層１４を保護し、イオンや電子と放電維持電極との直接接触を防止する作用を奏する。その結果、放電維持電極１２および誘電体層１４の磨耗を効果的に防ぐことができる。また、保護層１５は、放電に必要な２次電子を放出する機能も有する。保護層１５を構成する材料として、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）を例示することができる。中でも酸化マグネシウムは、化学的に安定であり、スパッタリング率が低く、蛍光体層の発光波長における光透過率が高く、放電開始電圧が低い等の特色を有する好適な材料である。なお、保護層１５を、これらの材料から成る群から選択された少なくとも２種類の材料から構成された積層膜構造としてもよい。
【００３６】
第１基板１１および第２基板２１の構成材料として、高歪点ガラス、ソーダガラス（Ｎａ２Ｏ・ＣａＯ・ＳｉＯ２）、硼珪酸ガラス（Ｎａ２Ｏ・Ｂ２Ｏ３・ＳｉＯ２）、フォルステライト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ２）、鉛ガラス（Ｎａ２Ｏ・ＰｂＯ・ＳｉＯ２）を例示することができる。第１基板１１と第２基板２１の構成材料は、同じであっても異なっていてもよいが、熱膨張係数が同じであることが望ましい。
【００３７】
蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂは、たとえば、赤色を発光する蛍光体層材料、緑色を発光する蛍光体層材料および青色を発光する蛍光体層材料から成る群から選択された蛍光体層材料から構成され、アドレス電極２２の上方に設けられている。プラズマ表示装置がカラー表示の場合、具体的には、たとえば、赤色を発光する蛍光体層材料から構成された蛍光体層（赤色蛍光体層２５Ｒ）がアドレス電極２２の上方に設けられ、緑色を発光する蛍光体層材料から構成された蛍光体層（緑色蛍光体層２５Ｇ）が別のアドレス電極２２の上方に設けられ、青色を発光する蛍光体層材料から構成された蛍光体層（青色蛍光体層２５Ｂ）が更に別のアドレス電極２２の上方に設けられており、これらの３原色を発光する蛍光体層が１組となり、所定の順序に従って設けられている。
【００３８】
蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂを構成する蛍光体層材料としては、従来公知の蛍光体層材料の中から、量子効率が高く、真空紫外線に対する飽和が少ない蛍光体層材料を適宜選択して用いることができる。カラー表示を想定した場合、色純度がＮＴＳＣで規定される３原色に近く、３原色を混合した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、３原色の残光時間がほぼ等しくなる蛍光体層材料を組み合わせることが好ましい。
【００３９】
蛍光体層材料の具体的な例示を次に示す。たとえば赤色に発光する蛍光体層材料として、（Ｙ２Ｏ３：Ｅｕ），（ＹＢＯ３Ｅｕ），（ＹＶＯ４：Ｅｕ），（Ｙ０．９６Ｐ０．６０Ｖ０．４０Ｏ４：Ｅｕ０．０４），［（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ］，（ＧｄＢＯ３：Ｅｕ），（ＳｃＢＯ３：Ｅｕ），（３．５ＭｇＯ・０．５ＭｇＦ２・ＧｅＯ２：Ｍｎ）、緑色に発光する蛍光体層材料として、（ＺｎＳｉＯ２：Ｍｎ），（ＢａＡ１１２Ｏ１９：Ｍｎ），（ＢａＭｇ２Ａ１１６Ｏ２７：Ｍｎ），（ＭｇＧａ２Ｏ４：Ｍｎ），（ＹＢＯ３：Ｔｂ），（ＬｕＢＯ３：Ｔｂ），（Ｓｒ４Ｓｉ３Ｏ８Ｃｌ４：Ｅｕ）、青色に発光する蛍光体層材料として、（Ｙ２ＳｉＯ５：Ｃｅ），（ＣａＷＯ４：Ｐｂ），ＣａＷＯ４，ＹＰ０．８５Ｖ０．１５Ｏ４，（ＢａＭｇＡ１１４Ｏ２３：Ｅｕ），（Ｓｒ２Ｐ２Ｏ７：Ｅｕ），（Ｓｒ２Ｐ２Ｏ７：Ｓｎ）などが例示される。
【００４０】
蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂの形成方法として、厚膜印刷法、蛍光体層粒子をスプレーする方法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物質を付けておき、蛍光体層粒子を付着させる方法、感光性の蛍光体層ペーストを使用し、露光および現像によって蛍光体層をパターニングする方法、全面に蛍光体層を形成した後に不要部をサンドブラスト法により除去する方法を挙げることができる。
【００４１】
なお、蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂはアドレス電極２２の上に直接形成されていてもよいし、アドレス電極２２上から隔壁２４の側壁面上に亘って形成されていてもよい。あるいはまた、蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂは、アドレス電極２２上に設けられた絶縁体膜２３上に形成されていてもよいし、アドレス電極２２上に設けられた絶縁体膜２３上から隔壁２４の側壁面上に亘って形成されていてもよい。更には、蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂは、隔壁２４の側壁面上にのみ形成されていてもよい。絶縁体膜の構成材料として、たとえば低融点ガラスやＳｉＯ２　を挙げることができる。
【００４２】
本実施形態では、図２に示すように、放電ギャップＧ１を形成するための対を成す放電維持電極１２が、スキャン側放電維持電極１２ａとコモン側放電維持電極１２ｂとで構成してある。これらの放電維持電極１２ａおよび１２ｂは、同じストライプパターンである。各放電維持電極１２ａおよび１２ｂの第２方向Ｙの幅は、好ましくは８０〜２８０μｍである。
各画素Ｐ１内における放電ギャップＧ１は、特に限定されないが、好ましくは１〜１５０μｍ、さらに好ましくは、５〜５０μｍ、さらに好ましくは５〜４０μｍである。
【００４３】
各放電維持電極１２ａ，１２ｂには、図２では省略してあるが図１に示すバス電極１３が長手方向に沿って接続してある。バス電極１３は、典型的には、金属材料、たとえば、Ａｇ，Ａｕ，Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｍｏ，Ｃｒなどの単層金属膜、あるいはＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒなどの積層膜などから構成することができる。バス電極１３は、放電維持電極１２ａ，１２ｂなどと同様な方法により形成することができる。
【００４４】
また、隔壁２４は、第１方向Ｘに延びる横リブ２４ａと、第２方向Ｙに延びる縦リブ２４ｂとで構成してあり、放電空間４が、各画素Ｐ１毎に、仕切られた形状（いわゆるワッフル形状）になっている。そして、仕切られた放電空間４は、第１空間４ａと、その第１空間４ａに連続する第２空間４ｂとを有する。
【００４５】
第１空間４ａは、放電維持電極４のうちの一方のスキャン側放電維持電極４ａと交差する部分であり、第２空間４ｂは、放電維持電極４のうちの他方のコモン側放電維持電極４ｂと交差する部分である。本実施形態では、第１空間４ａの第１方向Ｘの幅が、第２空間４ｂの第１方向Ｘの幅よりも大きく、平面側から見て、面積が大きい。すなわち、第１空間４ａの方が第２空間４ｂよりも容積が大きい。具体的には、第１空間４ａの平面側面積は、第２空間４ｂの平面側面積に対して、好ましくは１．１〜３倍である。
【００４６】
本実施形態では、各放電空間４に第１空間４ａと第２空間４ｂとを形成するために、隔壁４のパターン厚みが、横リブ２４ａと縦リブ２４ｂとの交差部において、コモン側放電維持電極１２ｂ側で厚くなる。そこで、本実施形態では、隔壁４のパターン厚みが厚くなる位置に、矩形状の凹部３０を設け、隔壁４のパターン厚みを可能な限り均一にしている。凹部３０は放電空間４とは連通しない位置に、放電空間４と略同じ深さ（第３方向Ｚの深さ）で形成される。
【００４７】
凹部３０を形成することで、隔壁４の高さのばらつきが無くなり、均一な高さにすることができる。その結果、隔壁４の頂部に対して隙間無く第１基板１１の内側に形成してある保護層１５を密着させることができ、放電空間４を隔壁２４により良好に仕切ることが可能になり、クロストークの防止を図れる。
【００４８】
隔壁２４の構成材料としては、従来公知の絶縁材料を使用することができ、たとえば広く用いられている低融点ガラスにアルミナ等の金属酸化物を混合した材料を用いることができる。隔壁２４の高さは５０〜２００μｍ程度である。隔壁２４における縦リブ２４ｂ間のピッチ間隔は、たとえば５０〜４００μｍ程度であり、横リブ２４ａ間のピッチ間隔は、たとえば１５０〜１２００μｍ程度である。
【００４９】
隔壁２４によって囲まれた放電空間４の内部に、混合ガスから成る放電ガスが封入されており、蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂは、放電空間４内の放電ガス中で生じたグロー放電に基づき発生した紫外線に照射されて発光する。
【００５０】
プラズマ表示装置の製造方法
次に、本発明の実施形態に係るプラズマ表示装置の製造方法について説明する。　第１パネル１０は、以下の方法で作製することができる。先ず、高歪点ガラスやソーダガラスから成る第１基板１１の全面にたとえばスパッタリング法によりＩＴＯ層を形成し、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術によりＩＴＯ層をストライプ状にパターニングすることによって、放電維持電極１２を、複数、形成する。
【００５１】
次に、第１基板１１の内面全面に、たとえば蒸着法によりクロム膜を形成し、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術によりクロム膜をパターニングすることによって、各放電維持電極１２の内側に、バス電極１３を形成する。その後、バス電極１３が形成された第１基板１１の取り出し電極の内面全面にシリコン酸化物（ＳｉＯ２　）層から成る誘電体層１４を形成する。
【００５２】
本実施形態では、誘電体層１４の形成の形成方法は特に限定されず、電子ビーム蒸着法やスパッタ法、蒸着法、スクリーン印刷法等が例示される。
次に、誘電体層１４の上に、電子ビーム蒸着法またはスパッタリング法により厚さ０．６μｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から成る保護層１５を形成する。以上の工程により第１パネル１０を完成することができる。
【００５３】
また、第２パネル２０を以下の方法で作製する。まず、高歪点ガラスやソーダガラスから成る第２の基板２１上に、たとえば蒸着法によりアルミニウム膜を形成し、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術によりパターニングすることで、アドレス電極２２を形成する。アドレス電極２２は、第１方向Ｘと直交する第２方向Ｙに延びている。次に、スクリーン印刷法により取り出し電極の内面全面に低融点ガラスペースト層を形成し、この低融点ガラスペースト層を焼成することによって絶縁体膜２３を形成する。
【００５４】
その後、絶縁体膜２３上に、図２に示すパターンとなるように、隔壁２４を形成する。この時の形成方法は、特に限定されず、たとえばスクリーン印刷法、サンドブラスト法、ドライフィルム法、感光法などを例示することができる。ドライフィルム法とは、基板上に感光性フィルムをラミネートし、露光および現像によって隔壁形成予定部位の感光性フィルムを除去し、除去によって生じた開口部に隔壁形成用の材料を埋め込み、焼成する方法である。感光性フィルムは焼成によって燃焼、除去され、開口部に埋め込まれた隔壁形成用の材料が残り、隔壁２４となる。感光法とは、基板上に感光性を有する隔壁形成用の材料層を形成し、露光および現像によってこの材料層をパターニングした後、焼成を行う方法である。焼成（隔壁焼成工程）は、空気中で行い、焼成温度は、５６０°Ｃ程度である。焼成時間は、２時間程度である。
【００５５】
次に、第２基板２１に形成された隔壁２４の間に３原色の蛍光体層スラリーを順次印刷する。その後、この第２基板２１を、焼成炉内で焼成し、隔壁２４の間の絶縁体膜上から隔壁２４の側壁面上に亘って、蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂを形成する。その時の焼成（蛍光体焼成工程）温度は、５１０°Ｃ程度である。焼成時間は、１０分程度である。
【００５６】
次に、プラズマ表示装置の組み立てを行う。即ち、先ず、たとえばスクリーン印刷により、第２パネル２０の周縁部にシール層を形成する。次に、第１パネル１０と第２パネル２０とを貼り合わせ、焼成してシール層を硬化させる。その後、第１パネル１０と第２パネル２０との間に形成された空間を排気した後、放電ガスを封入し、かかる空間を封止し、プラズマ表示装置２を完成させる。
【００５７】
かかる構成を有するプラズマ表示装置の動作の一例を説明する。先ず、たとえば、対となる全ての一方のコモン側放電維持電極１２ｂに、放電開始電圧Ｖｂｄよりも高いパネル電圧を短時間印加する。これによってグロー放電が生じ、双方の放電維持電極１２ａ，１２ｂの近傍の誘電体層１４の表面に、壁電荷が蓄積し、放電開始電圧が低下する。その後、アドレス電極２２に電圧を印加しながら、表示をさせない放電セルに含まれる一対の放電維持電極のうちの一方のスキャン側放電維持電極１２ａに電圧を印加することによって、アドレス電極２２と当該一方のスキャン側放電維持電極１２ａとの間にグロー放電を生じさせ、蓄積された壁電荷を消去する。この消去放電を各アドレス電極２２において順次実行する。一方、表示をさせる放電セルに含まれる一対のうちの一方のスキャン側放電維持電極１２ａには電圧を印加しない。これによって、壁電荷の蓄積を維持する。その後、全ての一対の放電維持電極１２ａ，１２ｂ間に所定のパルス電圧を印加することによって、壁電荷が蓄積されていたセルにおいては一対の放電維持電極１２ａ，１２ｂの間でグロー放電が開始し、放電セルにおいては、放電空間内における放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起された蛍光体層が、蛍光体層材料の種類に応じた特有の発光色を呈する。なお、一対のうちの一方のスキャン側放電維持電極１２ａと他方のコモン側放電維持電極１２ｂに印加される放電維持電圧の位相は半周期ずれており、電極の極性は交流の周波数に応じて反転する。
【００５８】
本実施形態のプラズマ表示装置２では、対を成す放電維持電極１２のうちの一方のスキャン側放電維持電極１２ａと交差する放電空間４の平面側から見た面積を、対を成す放電維持電極１２のうちの他方のコモン側放電維持電極１２ｂと交差する放電空間４の平面側から見た面積に比較して大きくしてある。すなわち、スキャン側放電維持電極１２ａとアドレス電極２２との間の放電空間４を、コモン側放電維持電極１２ｂとアドレス電極２２との間の放電空間４の大きさよりも大きくしてある。そのため、データ書き込み時には、大きな放電空間を持つスキャン側放電維持電極１２ａとアドレス電極２２との間の第１空間４ａで放電が生じ、アドレス電極２２とコモン側放電維持電極１２ｂとの間の第２空間４ｂで、誤放電が生じることはなくなる。その結果、画像表示品質が向上する。
【００５９】
また、本実施形態に係るプラズマ表示装置２では、放電維持電極１２のパターン形状を複雑なものとする必要がないので、アドレス電極２２と放電維持電極１２との間の位置合わせが容易であり、結果としてプラズマ表示装置２の製造が容易であり、製造コストが増大することもない。
【００６０】
さらに、本実施形態では、Ｘｅの濃度が高い放電ガスを用いたとしても、誤放電を防止することができる。したがって、高輝度且つ高コントラストのプラズマ表示装置を実現することができる。
【００６１】
第２実施形態
本実施形態では、図３に示すように、隔壁２４における横リブ２４ａ１と縦リブ２４ｂ１との交差部に、正三角形を逆さまにした形状を形成し、各放電空間４における第１空間４ａ１の平面側面積を、第２空間４ｂ１の平面側面積よりも大きくしてある。また、隔壁４の交差部には、逆正三角形状の凹部３０ａが形成してある。
その他の構成は、図１および図２に示す実施形態と同様であり、図１および図２に示す実施形態と同様な作用効果を奏する。
【００６２】
第３実施形態
本実施形態では、図４に示すように、隔壁２４における横リブ２４ａ２と縦リブ２４ｂ２との交差部に、直角三角形を逆さまにした形状を形成し、各放電空間４における第１空間４ａ２の平面側面積を、第２空間４ｂ２の平面側面積よりも大きくしてある。また、隔壁４の交差部には、逆直角三角形状の凹部３０ｂが形成してある。
その他の構成は、図１および図２に示す実施形態と同様であり、図１および図２に示す実施形態と同様な作用効果を奏する。
【００６３】
第４実施形態
本実施形態では、図５に示すように、隔壁２４における縦リブ２４ｂ３の間に位置する横リブ２４ａ３の略中央部に、コモン側放電維持電極１２ｂと交差する放電空間４に向けて突出する逆正三角形状の凸部４０ａを形成し、各放電空間４における第１空間４ａ３の平面側面積を、第２空間４ｂ３の平面側面積よりも大きくしてある。また、凸部４０ａの中央部には、凹部３０ｃが形成してある。
その他の構成は、図１および図２に示す実施形態と同様であり、図１および図２に示す実施形態と同様な作用効果を奏する。
【００６４】
第５実施形態
本実施形態では、図６に示すように、隔壁２４における縦リブ２４ｂ４の間に位置する横リブ２４ａ４の略中央部に、コモン側放電維持電極１２ｂと交差する放電空間４に向けて突出する矩形状の凸部４０ｂを形成し、各放電空間４における第１空間４ａ４の平面側面積を、第２空間４ｂ４の平面側面積よりも大きくしてある。
【００６５】
凸部４０ｂの幅は、隔壁２４の主要部のパターン幅に比較して狭い。凸部４０ｂのパターン幅を狭くすることで、この凸部４０ｂの高さは、隔壁２４の主要部の高さよりも低くなる。隔壁２４の主要部の高さは、ばらつきが無く均一であることが好ましいが、凸部４０ｂは、単に放電空間４の大きさを変化させるために用いられる。そのため、凸部４０ｂの高さは、隔壁２４の主要部と必ずしも同じである必要はない。むしろ、その凸部４０ｂがアドレス電極２２上に形成される場合には、その凸部４０ｂが隔壁２４の主要部と同じように第１パネル１０の内側に接触すると、アドレス電極２２との容量結合が増大することから好ましくない。本実施形態では、凸部４０ｂのパターン幅を狭くすることで、この凸部４０ｂの高さは、隔壁２４の主要部の高さよりも低くなり、アドレス電極２２との容量結合が増大することは無い。
その他の構成および作用効果は、図１および図２に示す実施形態と同様であり、図１および図２に示す実施形態と同様な作用効果を奏する。
【００６６】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００６７】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、誤放電が生じ難く、高品位な画質を可能とすると共に、低コストのプラズマ表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係るプラズマ表示装置の要部概略分解斜視図である。
【図２】図２は図１に示すアドレス電極と隔壁と放電維持電極との関係を示す平面図である。
【図３】図３は本発明の他の実施形態に係るアドレス電極と隔壁と放電維持電極との関係を示す平面図である。
【図４】図４は本発明の他の実施形態に係るアドレス電極と隔壁と放電維持電極との関係を示す平面図である。
【図５】図５は本発明の他の実施形態に係るアドレス電極と隔壁と放電維持電極との関係を示す平面図である。
【図６】図６は本発明の他の実施形態に係るアドレス電極と隔壁と放電維持電極との関係を示す平面図である。
【符号の説明】
２…　プラズマ表示装置
４…　放電空間
４ａ，４ａ１，４ａ２，４ａ３，４ａ４…　第１空間
４ｂ，４ｂ１，４ｂ２，４ｂ３，４ｂ４…　第２空間
１０…　第１パネル
１１…　第１基板
１２…　放電維持電極
１２ａ…　スキャン側放電維持電極
１２ｂ…　コモン側放電維持電極
１３…　バス電極
１４…　誘電体層
１５…　保護層
２０…　第２パネル
２１…　第２基板
２２…　アドレス電極
２４…　隔壁
２４ａ，２４ａ１，２４ａ２，２４ａ３，２４ａ４…　横リブ
２４ｂ，２４ｂ１，２４ｂ２，２４ｂ３，２４ｂ４…　縦リブ
２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂ…　蛍光体層
３０，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ…　凹部
４０ａ，４０ｂ…　凸部
Ｇ１…　放電ギャップ
【図１】
2004071220.tif 000003
【図２】
2004071220.tif 000004
【図３】
2004071220.tif 000005
【図４】
2004071220.tif 000006
【図５】
2004071220.tif 000007
【図６】
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