(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドにおいて、インク滴の記録媒体に対する着弾位置精度の向上を図る。【解決手段】インク液が充填される多数の圧力室１１からなる圧力室列Ｌが複数形成された圧力室板と、圧力室１１に連通するノズル孔を備えたノズル板と、圧力室１１上に形成され、電圧印加により変位してインク液の充填された圧力室１１内の圧力を高めてインク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータ１６と、圧力室板に接着されて圧力室板とアクチュエータ１６との間に配置され、アクチュエータ１６の変位に追随して振動する振動板兼共通電極１８とを有し、圧力室１１を、当該圧力室１１と同じ列の他の圧力室１１および隣接する圧力室列Ｌの圧力室１１に対して平行に形成する。【選択図】  図２
2004322608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、
前記圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、
前記圧力室上に形成され、電圧印加により変位して前記インク液の充填された前記圧力室内の圧力を高めて前記インク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、
前記圧力室板に接着されて前記圧力室板と前記アクチュエータとの間に配置され、前記アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、
前記圧力室は、当該圧力室と同じ列の他の圧力室および隣接する圧力室列の圧力室に対して平行に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、
前記圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、
前記圧力室上に形成され、電圧印加により変位して前記インク液の充填された前記圧力室内の圧力を高めて前記インク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、
前記圧力室板に接着されて前記圧力室板と前記アクチュエータとの間に配置され、前記アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、
前記圧力室板がニッケルで構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、
前記圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、
前記圧力室上に形成され、電圧印加により変位して前記インク液の充填された前記圧力室内の圧力を高めて前記インク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、
前記圧力室板に接着されて前記圧力室板と前記アクチュエータとの間に配置され、前記アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、
前記振動板と前記圧力室板とを接着する接着剤は前記振動板の圧力室側面の全体に塗布されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記圧力室板の厚さは１１０〜１４０μｍであることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、
前記圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、
前記圧力室上に形成され、電圧印加により変位して前記インク液の充填された前記圧力室内の圧力を高めて前記インク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、
前記圧力室板に接着されて前記圧力室板と前記アクチュエータとの間に配置され、前記アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、
前記アクチュエータは、水平に配置された基板上にスパッタリングで形成されたＰＺＴ膜を備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
充填時共振周波数のばらつきが±３．３％以下、または前記アクチュエータ変位量のばらつきが±６．１％以下であることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット式記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェットヘッドおよびそれを備えたインクジェット式記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット式記録装置は、インク液を収容する圧力室の容積をアクチュエータの変位により変化させて多数のノズル孔からインク滴を吐出し、これを記録媒体に着弾させることにより印刷を行っている。
【０００３】
近年のインクジェット記録装置の高画質化に伴い、高解像度化を図るためドットの高密度化が要求されている。そして、ドットを高密度（微小）化すると画像を印字した際に着弾ずれが発生しやすくなり、印字品質が著しく低下する。特に副走査方向については、印字周波数などを制御することにより着弾ずれを目立たなくすることができる主走査方向とは異なり、着弾のずれはそのまま印字品質の劣化に直結する。
【０００４】
ここで、特開２００１−２７７５２５号公報には、共通内部電極と個別内部電極とを圧電体を挟んで交互に積層し、その表面に共通外部電極および個別外部電極を設けて駆動振動子を構成して、駆動振動子の自由端部を振動子の長手方向に伸縮可能とする技術が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２７７５２５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した技術は、個々のアクチュエータの変位量を制御してインク滴の吐出量を均一化するものであり、アクチュエータの変位で吐出されたインク滴の着弾位置に対する考察はなされていない。
【０００７】
そこで、本発明は、アクチュエータの変位により吐出されるインク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることのできるインクジェットヘッドおよびそれを備えたインクジェット式記録装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドは、インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、圧力室上に形成され、電圧印加により変位してインク液の充填された圧力室内の圧力を高めてインク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、圧力室板に接着されて圧力室板とアクチュエータとの間に配置され、アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、圧力室は、当該圧力室と同じ列の他の圧力室および隣接する圧力室列の圧力室に対して平行に形成されているものである。
【０００９】
これにより、圧力室列間でのずれ方が一様となってアライメントが行いやすくなるので、アライメントずれをなくすことができ、充填時共振周波数のばらつきが抑制されてインク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることが可能になる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、圧力室上に形成され、電圧印加により変位してインク液の充填された圧力室内の圧力を高めてインク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、圧力室板に接着されて圧力室板とアクチュエータとの間に配置され、アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、圧力室は、当該圧力室と同じ列の他の圧力室および隣接する圧力室列の圧力室に対して平行に形成されているインクジェットヘッドであり、圧力室列間でのずれ方が一様となってアライメントが行いやすくなるので、アライメントずれをなくすことができ、充填時共振周波数のばらつきが抑制されてインク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることができるという作用を有する。
【００１１】
本発明の請求項２に記載の発明は、インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、圧力室上に形成され、電圧印加により変位してインク液の充填された圧力室内の圧力を高めてインク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、圧力室板に接着されて圧力室板とアクチュエータとの間に配置され、アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、圧力室板がニッケルで構成されているインクジェットヘッドであり、圧力室板の剛性が向上して圧力室板の熱収縮によるピッチずれが改善されるので、充填時共振周波数のばらつきが抑制されてインク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることができるという作用を有する。
【００１２】
本発明の請求項３に記載の発明は、インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、圧力室上に形成され、電圧印加により変位してインク液の充填された圧力室内の圧力を高めてインク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、圧力室板に接着されて圧力室板とアクチュエータとの間に配置され、アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、振動板と圧力室板とを接着する接着剤は振動板の圧力室側面の全体に塗布されているインクジェットヘッドであり、接着剤のはみ出し量が均一になってアクチュエータの変位の支点変動が少なくなり、所望の変位特性が得られるので、アクチュエータ変位量のばらつきが抑制されてインク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることができるという作用を有する。
【００１３】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項３記載の発明において、圧力室板の厚さは１１０〜１４０μｍであるインクジェットヘッドであり、圧力室板の反りが低減されて接着剤のはみ出し量を確実に均一化することができるという作用を有する。
【００１４】
本発明の請求項５に記載の発明は、インク液が充填される多数の圧力室からなる圧力室列が複数形成された圧力室板と、圧力室に連通するノズル孔を備えたノズル板と、圧力室上に形成され、電圧印加により変位してインク液の充填された圧力室内の圧力を高めてインク液をノズル孔から吐出させるアクチュエータと、圧力室板に接着されて圧力室板とアクチュエータとの間に配置され、アクチュエータの変位に追随して振動する振動板とを有し、アクチュエータは、水平に配置された基板上にスパッタリングで形成されたＰＺＴ膜を備えているインクジェットヘッドであり、ＰＺＴ膜の水平度の精度が向上して膜厚の分布が均一になり、所望の変位特性が得られるので、アクチュエータ変位量のばらつきをが抑制されてインク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることができるという作用を有する。
【００１５】
本発明の請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載の発明において、充填時共振周波数のばらつきが±３．３％以下、またはアクチュエータ変位量のばらつきが±６．１％以下であるインクジェットヘッドであり、副走査方向の着弾ずれが３．５μｍ以下となって、粒状度、階調性、鮮鋭度ともに良好な画像が得られるという作用を有する。
【００１６】
本発明の請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置であり、アクチュエータの変位により吐出されるインク滴の記録媒体に対する着弾位置精度が向上ことから、画像の粒状度、階調性および鮮鋭度が向上するので、良好な印字品質を得ることができるという作用を有する。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図１から図１０を用いて説明する。なお、これらの図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。
【００１８】
図１は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドが用いられたインクジェット式記録装置の全体概略構成を示す斜視図、図２は本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドを示す平面図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿った断面図、図４は図２のＢ−Ｂ線に沿った要部断面図、図５は副走査方向着弾ずれによる印字品質の相違を示す説明図、図６は波形生成周波数と副走査方向着弾ずれとの関係を示すグラフ、図７は波形生成周波数と充填時共振周波数との関係を示すグラフ、図８は充填時共振周波数とアクチュエータ変位量との関係を示すグラフ、図９は波形生成周波数を説明する模式図、図１０は圧力室の形成パターンにおけるアライメントの状態を示す説明図である。
【００１９】
図１に示すインクジェット式記録装置４０は、アクチュエータである強誘電体素子の圧電効果を利用して記録を行う本発明のインクジェットヘッド４１を備え、このインクジェットヘッド４１から吐出したインク滴を紙等の記録媒体４２に着弾させて、記録媒体４２に記録を行うものである。インクジェットヘッド４１は、主走査方向Ｘに配置したキャリッジ軸４３に設けられたキャリッジ４４に搭載されていて、キャリッジ４４がキャリッジ軸４３に沿って往復動するのに応じて、主走査方向Ｘに往復動する。さらに、インクジェット式記録装置４０は、記録媒体４２をインクジェットヘッド４１の幅方向（すなわち、主走査方向Ｘ）と略垂直方向の副走査方向Ｙに移動させる複数個のローラ（移動手段）４５を備える。
【００２０】
次に、インクジェットヘッド４１の構造について、図２、図３および図４を用いて説明する。
【００２１】
これらの図面に示すように、インクジェットヘッド４１は、インク液が充填される圧力室１１が形成された圧力室板１０ａを備えており、圧力室１１上にはたとえばＰＺＴ膜を有するアクチュエータ１６が形成されている。そして、圧力室板１０ａは、たとえばニッケルを電気鋳造して形成され、その厚さはたとえば１１０〜１４０μｍとなっている。厚さをこの範囲としたのは、これ以上厚いと圧力室１１の反りが大きくなって着弾ばらつきが大きくなり、薄いと圧力室１１の体積が小さくなりすぎ、十分なインクの吐出量が確保できなくなるからである。
【００２２】
圧力室板１０ａには、インク液供給方向に並ぶ圧力室１１内へインク液を供給する共通液室１３、および共通液室１３と圧力室１１とを連通するインク流入口１４が形成された共通液室板１０ｂが接着され、共通液室板１０ｂには、圧力室１１に連通してインク滴が吐出するノズル孔１５が形成されたノズル板１０ｃが接着されている。
【００２３】
圧力室１１上には、前述したアクチュエータ１６と、このアクチュエータ１６に電圧を印加して変位（収縮・伸張）させる圧力室１１に対応した上方の個別電極（電極）１７および下方の振動板兼共通電極１８とが形成されている。そして、接着剤１９により振動板兼共通電極１８が圧力室板１０ａに接着されている。図４に示すように、接着剤１９は振動板兼共通電極１８の圧力室１１側の面の全体に塗布されている。
【００２４】
アクチュエータ１６は、振動板兼共通電極１８と圧力室１１に対応した個別電極１７とへの電圧印加による圧電効果により変位し、この変位に追随して振動する振動板兼共通電極１８が圧力室１１の容積を変化させて圧力室１１内のインク液をノズル孔１５から吐出させる。
【００２５】
なお、本実施の形態では共通電極と振動板とを一体とした構造（振動板が共通電極を兼ねている）となっているが、両者は別々に形成されていてもよい。その場合には、圧力室板１０ａの上に振動板を形成し、その上に共通電極が形成される。
【００２６】
本実施の形態において、個別電極１７は例えばＰｔ（白金）で、アクチュエータ１６を構成する圧電体膜は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で、振動板兼共通電極１８は例えばＣｕ（銅）で、それぞれ形成されている。また、個別電極１７は例えば厚さ０．２μｍに、圧電体膜は例えば厚さ３μｍに、振動板兼共通電極１８は例えば厚さ５．５μｍに、各々成膜されている。
【００２７】
また、個別電極１７、アクチュエータ１６、振動板兼共通電極１８などの形成方法は、公知の各種の膜形成法、例えばスクリーン印刷の如き厚膜法やディッピング等の塗布法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、真空蒸着法、ゾルゲル法、メッキ等の薄膜形成法等が適宜採用され得るが、それらに何等限定されるものではない。
【００２８】
なお、本実施の形態に示す振動板兼共通電極１８、アクチュエータ１６、個別電極１７のそれぞれの膜間には、例えばそれぞれの膜の接合を良くするなどの目的で、これら以外の層を介在させてもよい。
【００２９】
図２に詳しく示すように、圧力室１１はその列方向に多数形成されて圧力室列Ｌを構成しており、このような圧力室列Ｌが複数形成されている。そして、圧力室１１は、この圧力室１１と同じ列の他の圧力室１１および隣接する圧力室列Ｌの圧力室１１に対して平行に形成されている。また、個別電極１７には、波形生成器２０で生成されてアンプ２１で増幅された駆動波形が印加される。
【００３０】
さて、インクジェットヘッド４１では、同時に複数種の周波数が使用できずに各個別電極１７毎に印加周波数を制御することができないために、インクを充填した時のヘルムホルツ共振周波数（本明細書において、これを「充填時共振周波数」という。）がピン（＝アクチュエータ、電極、圧力室、ノズルなどで構成されるインク吐出ユニットの最小単位）がばらついている場合、ある一部のピンには合わせられるが、他のピンでは合わなくなるため、ドット（インク滴）の着弾位置がばらつく。つまり、着弾ずれが生じる。
【００３１】
主走査方向は１列を複数ピンで印字するために着弾ずれが分散する傾向にあるが、副走査方向については、１パスの場合には１行を同一のピンで印字するため、着弾ずれが目立ちやすくなる。よって、特に副走査方向の着弾ずれが画質への影響が大きく、これを抑制することが重要になる。
【００３２】
ここで、本発明者は副走査方向の着弾ずれが画質に与える影響について具体的に検討した。すなわち、記録媒体４２に着弾したドットに対して２値化処理によりその重心位置を測定し、基準のドットの重心位置からの理想ピッチに対する位置ずれを算出し、ずれ量の標準偏差σにより評価した。
【００３３】
図５（ａ）が副走査方向の着弾ずれσ３．５μｍ以下のベタ印字画像の写真、図５（ｂ）が副走査方向の着弾ずれσ４．５μｍのベタ印字画像の写真、図５（ｃ）が副走査方向の着弾ずれσ７．０μｍのベタ印字画像の写真である。このときの実験条件は、解像度１２００ｄｐｉ、液滴３ｐｌ、吐出速度９．０ｍ／ｓ、印字周波数２０ｋＨｚ、キャリッジ移動速度４２３．４ｍｍ／ｓ、インクの粘度３ｃｐ、インクの表面張力３８ｄｙｎ／ｃｍとした。また、記録紙（記録媒体）にはフォト光沢フィルムＨＧ−２０１（キヤノン社製）を用いた。着弾測定には画像評価装置ＩＡＳ−１０００（ＱＥＡ社製）、変位および共振測定にはレーザードップラー振動計ＡＴ３５００（ＧＲＡＰＨＴＥＣ社製）および周波数アナライザー５０９０（ＮＦ  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ  ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ社製）を用い、測定条件として変位ＳＩＮ波１０Ｖ、共振ＳＩＮ波２Ｖ、ノズル−紙間距離１．３ｍｍ、温度２５℃、湿度５０％とした。
【００３４】
図５から分かるように、副走査方向の着弾ずれσ３．５μｍ以下にすると均一なベタになって粒状度、階調性、鮮鋭度ともに良好な画像が得られているのに対し、着弾ずれσ４．５以上は濃度ムラや白スジが発生している。したがって、アクチュエータの変位により吐出されるインク滴の記録媒体４２に対する着弾位置精度を、副走査方向の着弾ずれσが３．５μｍ以下にしなければならない。
【００３５】
さて、インクジェットヘッドでは、充填時共振周波数のばらつきがないものでも着弾ずれσが２．８μｍあるものがある。よって、着弾ずれσを３．５μｍ以下にするためには、充填時共振周波数のずれによる着弾ずれσを０．７μｍ以下に抑える必要がある。
【００３６】
図６に波形生成周波数と副走査方向着弾ずれとの関係を、図７に波形生成周波数と充填時共振周波数との関係を、図８に充填時共振周波数とアクチュエータ変位量との関係を、それぞれ示す。ここで、波形生成周波数は駆動波形のパルス幅の逆数である（図９参照）。また、充填時共振周波数はＳＩＮ波２Ｖで評価し、アクチュエータ変位量はＳＩＮ波１ｋＨｚ，１０Ｖで評価した。
【００３７】
図６より、波形生成周波数と副走査方向の着弾ずれとの関係は放物線型曲線となっており、充填時共振周波数のずれによる着弾ばらつきσが前述した０．７μｍ以下になるためには波形生成周波数を±３．７％以下に抑える必要があることが分かる。
【００３８】
そして、図７より、波形生成周波数と充填時共振周波数との関係から両者には相関があり、波形生成周波数±３．７％は充填時共振周波数±３．３％に対応することが分かる。また、図８より、アクチュエータ変位量と充填時共振周波数の関係から両者には相関があり、充填時共振周波数±３．３％以下を達成するためにはアクチュエータ変位量を±６．１％以下にする必要があることが分かる。
【００３９】
このように、インクジェットヘッドとしての副走査方向の着弾ずれσ３．５μｍ以下を達成するには、充填時共振周波数のばらつきが±３．３％以下、またはアクチュエータ変位量のばらつきが±６．１％以下となればよく、これにより良好な印字品質が得られる。
【００４０】
そして、このような充填時共振周波数のばらつき±３．３％以下、アクチュエータ変位量のばらつき±６．１％以下を得るために、本実施の形態のインクジェットヘッドでは、前述のように、圧力室１１が、同じ列の他の圧力室１１および隣接する圧力室列Ｌの圧力室１１に対して平行に形成されている。このようにすれば、図１０に示すように、いわゆる圧力室のＶ字配列では相互に隣接する圧力室列間でずれ方が異なり、相互間のずれ量の差が大きくなるのに対して（図１０（ｂ））、圧力室列間でのずれ方が一様となってアライメントが行いやすくなるので（図１０（ａ））、アライメントずれをなくすことができ、充填時共振周波数のばらつき±３．３％以下にすることができ、インク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることができる。
【００４１】
また、本実施の形態のインクジェットヘッドでは、前述のように、圧力室板１０ａがニッケルで構成されている。これにより、ガラスなどを用いた場合に比べて圧力室板１０ａの剛性が向上し、圧力室板１０ａの熱収縮によるピッチずれが改善されるので、充填時共振周波数のばらつき±３．３％以下にすることができ、インク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることができる。
【００４２】
さらに、本実施の形態のインクジェットヘッドでは、前述のように、接着剤１９は、圧力室との接着部分だけではなく、振動板兼共通電極１８の圧力室１１側の面の全体に塗布されている。これにより、接着剤１９のはみ出し量が均一になってアクチュエータの変位の支点変動が少なくなり、所望の変位特性が得られるので、アクチュエータ変位量のばらつきを±６．１％以下にすることができ、インク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることができる。
【００４３】
ここで、圧力室板１０ａの厚さは、一般には１９０μｍ程度であるが、１１０〜１４０μｍにするのがよい。厚さを１４０μｍ以下にすれば、アクチュエータの反りが低減され、接着剤１９のはみ出し量を確実に均一化にできる。これは、ニッケル等の圧力室１１を形成する材料は反りやすい性質をもっており、厚くなるほど反りの傾向が大きくなるため、反りを低減するには厚さを薄くするのがよいからである。但し、厚さを１１０μｍ以下にした場合には、インク供給と吐出制御が困難になることから、１１０μｍが望ましい。
【００４４】
さらに、アクチュエータのＰＺＴ膜をスパッタリングで形成する際に、スパッタ装置において基板を水平に設置し、このように水平に設置された基板上にＰＺＴ膜を成膜するようにする。これにより、ＰＺＴ膜の水平度の精度が向上して膜厚の分布が均一になり、所望の変位特性が得られるので、アクチュエータ変位量のばらつきを±６．１％以下にすることができ、インク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることができる。なお、スパッタリング時における塵埃汚染を防止するためには、スパッタ装置の周囲を覆うようにするのがよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、充填時共振周波数のばらつきあるいはアクチュエータ変位量のばらつきが抑制され、インク滴の記録媒体に対する着弾位置精度を向上させることが可能になるという有効な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドが用いられたインクジェット式記録装置の全体概略構成を示す斜視図
【図２】本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドを示す平面図
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った断面図
【図４】図２のＢ−Ｂ線に沿った要部断面図
【図５】副走査方向着弾ずれによる印字品質の相違を示す説明図
【図６】波形生成周波数と副走査方向着弾ずれとの関係を示すグラフ
【図７】波形生成周波数と充填時共振周波数との関係を示すグラフ
【図８】充填時共振周波数とアクチュエータ変位量との関係を示すグラフ
【図９】波形生成周波数を説明する模式図
【図１０】圧力室の形成パターンにおけるアライメントの状態を示す説明図
【符号の説明】
１０ａ  圧力室板
１０ｂ  共通液室板
１０ｃ  ノズル板
１１  圧力室
１３  共通液室
１４  インク流入口
１５  ノズル孔
１６  アクチュエータ
１７  個別電極
１８  振動板兼共通電極（振動板）
１９  接着剤
４０  インクジェット式記録装置
４１  インクジェットヘッド
４２  記録媒体
Ｌ  圧力室列
【図１】
2004322608.tif 000003
【図２】
2004322608.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2004322608.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004322608.tif 000009
【図８】
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【図９】
2004322608.tif 000011
【図１０】
2004322608.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成15年5月29日(2003.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】  （ａ）副走査方向の着弾ずれσ３．５μｍ以下のベタ印字画像の写真
（ｂ）副走査方向の着弾ずれσ４．５μｍのベタ印字画像の写真
（ｃ）副走査方向の着弾ずれσ７．０μｍのベタ印字画像の写真
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2004322608.tif 000013