(57)【要約】【課題】簡単な構成で、駆動機構での発塵を抑え、長期間の使用にもクリーン度を維持しつつ動作可能なローラーコンベアを提供する。【解決手段】駆動用のモータ１４と、平ベルト２８が掛け渡された駆動プーリー１８と複数の従動プーリー２６とを有する。従動プーリー２６と搬送用ローラー３４が固定されたローラー軸２４を軸支した基台１２を有する。駆動プーリー１８及び従動プーリー２６は中央部が太い太鼓状に形成され、平ベルト２８はポリエステル等の単一素材により形成されている。基台１２は中空の押出形材により形成され、中空部３６ａを貫通してローラー軸２４が設けられている。基台１２の中空部３６ａを密閉状態にするとともに、中空部３６ａ内を負圧にする吸引手段が接続可能である。【選択図】　　　図１
2004131232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動用のモータと、このモータに接続された駆動プーリーと、この駆動プーリーに掛け渡された平ベルトと、この平ベルトが掛け渡された複数の従動プーリーと、この従動プーリーが同軸に固定されたローラー軸と、このローラー軸を保持した基台と、上記ローラー軸に固定された搬送用ローラーとを備えたローラーコンベアにおいて、上記駆動プーリー及び従動プーリーは中央部が太い太鼓状に形成され、上記平ベルトは柔軟な単一素材により形成されたものであることを特徴とするローラーコンベア。
【請求項２】
駆動用のモータと、このモータに接続された駆動プーリーと、この駆動プーリーに掛け渡された平ベルトと、この平ベルトが掛け渡された複数の従動プーリーと、この従動プーリーが同軸に固定されたローラー軸と、このローラー軸を保持した基台と、上記ローラー軸に固定された搬送用ローラーとを備えたローラーコンベアにおいて、上記基台は中空の押出形材により形成され、この中空部を貫通して上記ローラー軸が設けられ、この中空部に面して上記ローラー軸の軸受けが上記基台に設けられ、上記基台の中空部を密閉状態にするとともに、上記中空部内を負圧にする吸引手段を接続可能としたことを特徴とするローラーコンベア。
【請求項３】
上記平ベルトが掛け渡された側の上記基台側面を密閉状態で覆うカバーを備え、上記ローラー軸の軸受けを介して、上記基台の中空部の負圧が上記カバー内に及ぶようにしたことを特徴とする請求項２記載のローラーコンベア。
【請求項４】
上記平ベルトは、ポリエステルの単一素材により形成されたことを特徴とする請求項２または３記載のローラーコンベア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体やその他電子装置の製造工場等におけるクリーンルーム内で、基板等の部品を搬送するためのローラーコンベアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】実用新案登録第３０３２７３８号公報
従来、半導体やその他電子装置、光学機器等の精密機械、製薬及びバイオ産業等のクリーンな環境を必要とする分野での研究や作業は、空気中の埃をほとんど除去したクリーンルーム内で行われている。従って、クリーンルーム内で用いられる搬送装置にもクリーンルームを汚染しないように、低発塵性の機構が要求されている。
【０００３】
このクリーンルーム内での低発塵性の搬送装置として、特許文献１に開示されているようなローラーコンベアがあった。このローラーコンベアは、ローラー軸の一端部にプーリーを固定し、各ローラー軸に設けられたプーリーに平ベルトを掛け渡した駆動機構としたものである。そして、駆動系をカバーで覆って発塵を抑えたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術のローラーコンベアの場合、駆動用の平ベルトの材質がウレタン系の樹脂であり内部に心材を備えた多層構造であることから、ベルト側面等からの発塵性が高く、しかも耐薬品性が低く、劣化しやすいものであった。しかも、駆動系をカバーで覆っても、カバーの隙間やローラー軸の軸受け部からの発塵が抑えきれず、クリーンルーム内のクリーン度を落とす原因となっていた。
【０００５】
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で、駆動機構での発塵を抑え、長期間の使用にもクリーン度を維持しつつ動作可能なローラーコンベアを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、駆動用のモータと、このモータに接続された駆動プーリーと、この駆動プーリーに掛け渡された平ベルトと、この平ベルトが掛け渡された複数の従動プーリーと、この従動プーリーが同軸に固定されたローラー軸と、このローラー軸を保持した基台と、上記ローラー軸に固定された搬送用ローラーとを備えたローラーコンベアであって、上記駆動プーリー及び従動プーリーは中央部が太い太鼓状に形成され、上記平ベルトはポリエステル等の単一素材により形成されたものである。
【０００７】
また、上記基台は中空の押出形材により形成され、この中空部を貫通して上記ローラー軸が設けられ、この中空部に面して上記ローラー軸の軸受けが上記基台に設けられ、上記基台の中空部を密閉状態にするとともに上記中空部内を負圧にする吸引手段を接続可能としたものである。
【０００８】
上記平ベルトが掛け渡された側の上記基台側面を密閉状態で覆うカバーを備え、上記ローラー軸の軸受けを介して、上記基台の中空部の負圧が上記カバー内に及ぶようにしたものである。
【０００９】
この発明のローラーコンベアは、発塵性の低い平ベルトを用いて、駆動機構からの発塵を抑えたものであり、さらに、基台の中空部を利用して軸受けや平ベルト、プーリー等から生じる埃を吸引可能とし、簡素な構造としたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図面に基づいて説明する。図１〜図４はこの発明の一実施形態を示すもので、この実施形態のローラーコンベア１０は、例えば液晶ディスプレイの基板２をクリーンルーム内で搬送するためのものである。このローラーコンベア１０は、矩形状の基台１２の内側下方に取り付けられた駆動用のモータ１４と、このモータ１４の駆動軸１６に同軸に固定された駆動プーリー１８とを備えている。駆動プーリー１８は、周面の中央部が太い太鼓状に形成され、中央部には溝２０が全周に形成されて、この溝２０にＯリング２２が嵌合している。
【００１１】
基台１２には、駆動軸１６と平行に複数のローラー軸２４が所定間隔で軸支されている。ローラー軸２４の一端部の基台１２の外側面には、従動プーリー２６が固定され、ローラー軸２４とともに回転自在に設けられている。従動プーリー２６も、周面の中央部が太い太鼓状に形成されている。駆動プーリー１８と従動プーリー２６には、平ベルト２８が掛け渡されている。基台１２の平ベルト２８が設けられた一側面には、回転自在のアイドラー３０が従動プーリー２６に対応して配置され、さらに、平ベルト２８の張力を調整するテンションローラー３２が、基台１２の長手方向に位置調整可能に設けられている。平ベルト２８は、駆動プーリー１８、従動プーリー２６、アイドラー３０、及びテンションローラー３２に掛け渡され、各従動プーリー２６を等速で駆動可能に設けられている。この平ベルト２８は、柔軟なポリエステル等の単一素材により形成されたもので、例えばクリーンルーム用のベルトコンベアのベルトに利用されているものを、所定幅に切断して利用し得る。
【００１２】
従動プーリー２６が同軸に固定されたローラー軸２４には、基台１２の内側の開口位置に、ローラー軸２４に固定された複数の搬送用ローラー３４が所定間隔で設けられている。搬送用ローラー３４は、その周面の頂点位置が全て同一面上に位置し、基板２等の搬送物を滑らかに搬送する。
【００１３】
基台１２は、図３，図４に示すように、中空の押出形材により矩形に形成され、平ベルト２８が掛け渡された側の中空形材３６の中空部３６ａを貫通して、駆動軸１６やローラー軸２４が軸支されている。そして、中空形材３６には、中空部３６ａに面して、駆動軸１６の軸受け３８や、ローラー軸２４の軸受け４０が設けられている。
【００１４】
基台１２の平ベルト２８が掛け渡された側とは反対側の中空形材４２の中空部４２ａにも、ローラー軸２４が軸支されている。中空形材４２には、ローラー軸２４が貫通せずに、基台１２の枠の内側面で空部４２ａに面して、ローラー軸２４の軸受け４０が設けられている。
【００１５】
基台１２の中空形材３６，４２は、両端部を塞いで中空部３６ａ，４２ａが密閉状態に形成され、中空部３６ａ，４２ａ内を負圧にするための図示しない吸引ポンプ等の吸引手段を接続可能に設けられている。従って、中空形材３６，４２には、中空部３６ａ，４２ａ内の空気を吸引する吸引手段のパイプが接続される吸引口４４が各々取り付けられている。
【００１６】
基台１２の平ベルト２８が掛け渡された側の中空形材３６の外側面には、平ベルト２８等の駆動系を密閉状態で覆う透明なカバー４６が着脱可能に設けられている。この中空形材３６とカバー４６に囲まれる密閉空間は、駆動軸１６やローラー軸２４が貫通した軸受け部分の隙間を介して中空部３６ａ内に連通し、負圧状態にされる。また、基台１２の上面には、搬送用ローラー３４の搬送面を覆うように、図示しない箱状のカバー部材を取り付けることができる。
【００１７】
この実施形態のローラーコンベア１０は、平ベルト２８をポリエステル等の単一素材により形成されたものを用いて、発塵性の低い構成としている。さらに、基台１２の中空形材３６，４２を利用して吸引を行っているので、軸受け部等の駆動機構からの発塵も効果的に抑えることができる。さらに、基台の中空部を利用して軸受けや平ベルト、プーリー等から生じる埃を吸引しているので、吸引のための構成を必要とせず、装置の小型化にも寄与する。また、透明なカバー４６で駆動機構部分を覆ったので、平ベルト２８等の様子を外部から容易に確認することができる。
【００１８】
なお、この発明のローラーコンベアは、上記実施形態に限定されるものではなく、平ベルトの材質は、単一素材で適宜変更可能なものである。また吸引機構も、基台の構造を利用したものであれば良く、中空形材の形状は適宜設定可能であり、また、カバーを利用して吸引経路を形成しても良い。
【００１９】
【実施例】
次にこの発明のローラーコンベアの実施例による実験結果について説明する。対比のために、従来の平ベルトを用いて、駆動部における吸引のない場合と、この発明の平ベルトを用いたローラーコンベアで基台１２の中空形材を用いた吸引のない場合とある場合で、埃の大きさ別に埃の数をカウントしたものを以下の表１，表２，表３にまとめた。
【００２０】
ここで、各ローラーコンベアとも機長が２０００ｍｍで、８８０ｍｍの基板を往復動作させる駆動を行なう実験をした。駆動速度は０ｍ／ｍｉｎから１０ｍ／ｍｉｎで加速、減速を繰り返す往復運動をさせた。コンベア上部では気流はほとんど０の状態である。
【００２１】
【表１】
2004131232.tif 000003
【００２２】
【表２】
2004131232.tif 000004
【００２３】
【表３】
2004131232.tif 000005
【００２４】
以上より、吸引のない場合でも従来の平ベルトを用いたものと比較して、本願の平ベルトを用いたものの方が、表１，表２の対比からわかるように、埃の発生が極めて少ないものであった。さらに、基台の中空形材を利用した吸引を行うことにより、表３に示すように、コンベア上における発塵をほとんど無くすことができるものであった。
【００２５】
【発明の効果】
この発明のローラーコンベアは、粉塵をクリーンルーム内に発生させず、確実にクリーンルームの清浄な空気雰囲気を維持することができる。特に、ローラーコンベアの駆動機構の平ベルトを単一素材にすることにより、極めて発塵性の低い構成としている。
【００２６】
また、基台の中空部を利用して吸引を行うことにより、軸受け部等の駆動機構からの発塵を効果的に抑えることができ、しかも装置の小型化にも寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態のローラーコンベアの部分斜視図である。
【図２】この実施形態のローラーコンベアの側面図である。
【図３】この実施形態のローラーコンベアの基台の平ベルトを掛け渡した側の縦断面図である。
【図４】この実施形態のローラーコンベアの基台の他の部分の縦断面図である。
【符号の説明】
１０　ローラーコンベア
１２　基台
１４　モータ
１６　駆動軸
１８　駆動プーリー
２４　ローラー軸
２６　従動プーリー
２８　平ベルト
３４　搬送用ローラー
３６，４２　中空形材
３６ａ，４２ａ　中空部
４４　　吸引口
【図１】
2004131232.tif 000006
【図２】
2004131232.tif 000007
【図３】
2004131232.tif 000008
【図４】
2004131232.tif 000009