(57)【要約】【目的】電子写真感光体の研磨を、研磨スジ、研磨キズの発生を抑えて、且つ、処理時間の短縮を実現する。【構成】電子写真感光体の表面に研磨テープを弾性ローラーにて加圧当接させるように配置されており、該感光体に当接しないときに該研磨テープが該弾性ローラーに接触するテープ走行方向長さをＡ、該感光体に当接した際の当接部のテープ走行方向長さをＢ、該感光体に当接した際の該感光体に接触するテープ走行方向長さをＣ、該弾性ローラーの回転方向周長をＤとすると、Ａ≦Ｂ、Ｃ≦Ｂ×１．  ２、Ａ≦Ｄ×０．  １であることを特徴とする。【選択図】        図５
2004334119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状導電性基体の上に非晶質シリコンを含む光導電層と非晶質材料から成る表面保護層を順次積層して形成される電子写真感光体の表面に研磨テープを弾性ローラーにて加圧当接させるようにして該表面を研磨する方法であって、該弾性ローラーが該感光体に当接しないときに、該研磨テープが該弾性ローラーに接触するテープの走行方向における長さをＡ、該感光体に当接したときの当接部のテープ走行方向における長さをＢ、該感光体に当接したときの該感光体に接触するテープの走行方向における長さをＣ、該弾性ローラーの回転方向周長をＤとするとき、
Ａ≦Ｂ      …（１）
Ｃ≦Ｂ×１．
２  …（２）
Ａ≦Ｄ×０．
１  …（３）
の関係式を同時に満足することを特徴とする電子写真感光体の研磨方法。
【請求項２】
前記研磨テープの走行方向と前記感光体の回転方向がその当接面において逆向きであることを特徴とする請求項１記載の電子写真感光体の研磨方法。
【請求項３】
前記感光体は、円周方向の回転と同時に、回転方向とは直交する方向に交互運動することを特徴とする請求項１又は２記載の電子写真感光体の研磨方法。
【請求項４】
前記加圧ローラーの形状は、長手方向中央部の直径が端部の直径より大きいことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の電子写真感光体の研磨方法。
【請求項５】
前記加圧ローラーの端部の直径に対し、長手方向中央部の直径が０．  ５〜３．  ０％大きいことを特徴とする請求項４記載の電子写真感光体の研磨方法。
【請求項６】
前記加圧ローラーの硬度は、ＪＩＳ  Ｋ６２５３−１９９７に準じて測定される硬度で２０〜８０度であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の電子写真感光体の研磨方法。
【請求項７】
前記研磨テープは、研磨面の標準Ｒａが０．  ４〜２．  ０μｍ、研磨粒の平均粒径が３〜１５μｍであることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の電子写真感光体の研磨方法。
【請求項８】
前記感光体の表面保護層は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１（２００１）に準じて測定される１０μｍ×１０μｍ視野における算術平均粗さ（Ｒａ）を２５ｎｍ以下とすることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の電子写真感光体の研磨方法。
【請求項９】
前記加圧ローラーは、エアシリンダーにより加圧調整され、前記感光体を当接させることにより、該加圧ローラーの圧力が所定の値になることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の電子写真感光体の研磨方法。
【請求項１０】
円筒状導電性基体の上に非晶質シリコンを含む光導電層と非晶質材料から成る表面保護層を順次積層して形成される電子写真感光体の表面に研磨テープを弾性ローラーにて加圧当接させるように配置して該表面を研磨する研磨装置であって、該弾性ローラーが該感光体に当接しないときに、該研磨テープが該弾性ローラーに接触するテープの走行方向における長さをＡ、該感光体に当接したときの当接部のテープ走行方向長さをＢ、該感光体に当接したときの該感光体に接触するテープの走行方向における長さをＣ、該弾性ローラーの回転方向周長をＤとするとき、
Ａ≦Ｂ      …（１）
Ｃ≦Ｂ×１．
２  …（２）
Ａ≦Ｄ×０．
１  …（３）
の関係式を同時に満足することを特徴とする電子写真感光体の研磨装置。
【請求項１１】
前記研磨テープの走行方向と前記感光体の回転方向がその当接面において逆向きであることを特徴とする請求項１０記載の電子写真感光体の研磨装置。
【請求項１２】
前記感光体は、円周方向の回転と同時に、回転方向とは直交する方向に交互運動可能な機構を有することを特徴とする請求項１０又は１１記載の電子写真感光体の研磨装置。
【請求項１３】
前記加圧ローラーの形状は、長手方向中央部の直径が端部の直径より大きいことを特徴とする請求項１０〜１２の何れかに記載の電子写真感光体の研磨装置。
【請求項１４】
前記加圧ローラーの端部の直径に対し、長手方向中央部の直径が０．  ５〜３．  ０％大きいことを特徴とする請求項１３記載の電子写真感光体の研磨装置。
【請求項１５】
前記加圧ローラーの硬度は、ＪＩＳ  Ｋ６２５３−１９９７  に準じて測定される硬度で２０〜８０度であることを特徴とする請求項１０〜１４の何れかに記載の電子写真感光体の研磨装置。
【請求項１６】
前記研磨テープは、研磨面の標準Ｒａが０．  ４〜２．  ０μｍ、研磨粒の平均粒径が３〜１５μｍであることを特徴とする請求項１０〜１５の何れかに記載の電子写真感光体の研磨装置。
【請求項１７】
前記加圧ローラーは、エアシリンダーにより加圧調整され、前記感光体を当接させることにより、該加圧ローラーの圧力が所定の値になるように構成されていることを特徴とする請求項１０〜１６の何れかに記載の電子写真感光体の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子写真用感光体（単に、「感光体」とも言う）の表面層の研磨処理に関し、詳しくは、表面を精密に均一に研磨処理する研磨方法と研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、アモルファスシリコン系感光体（以下、ａ−Ｓｉ感光体と略記する）が実用化され１０数年を経て、益々その優れた耐磨耗性や耐熱性、光感度特性、無公害性等が向上している。
【０００３】
しかし、プラズマＣＶＤ法によって導電性基体に作成されるａ−Ｓｉ感光体は、僅かなゴミ、欠陥、ピット、介在物を基点に成長する球状の異常成長突起（断面方向から見た場合、漏斗状又は扇状に見える）がある。このａ−Ｓｉ感光体の異常成長突起の形状を図２に断面図で示す。図２によれば、ａ−Ｓｉ感光体２００は、円筒状或は板状のアルミニウム合金等から成る導電性基板２０１の上に、グロー放電分解法等のＰＣＶＤ法により基板上に厚み２０〜８０μｍのアモルファスシリコン系光導電層２０４が形成され、その層上に例えばアモルファスシリコンカーバイド（ａ−ＳｉＣ）、アモルファスカーボン（ａ−Ｃ）等から成る厚み０．１〜１μｍの表面層２０５が積層されているものである。
【０００４】
ａ−Ｓｉ感光体はその層構成によって、アナログ複写機、デジタル複写機等の用途に応じて調整選択し決定される。更に、電子写真特性の調整を各種ドーパント元素や成膜パラメータの選択で帯電能、残留電位、光感度及び表面硬度、耐環境特性等が所望の特性に改善されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ａ−Ｓｉ感光体には、図２で示すように成膜途中で付着したゴミ等２０２を基点として異常成長突起２０３が多少なりとも発生し、それが感光体層表面に突起状となる。この異常成長欠陥が正常な感光体層部分に比べて耐電圧が低く、電子写真画像において黒点或は白点状の画像欠陥となって現れて画像品質を低下させるという問題点があった。更に、この突起状欠陥がクリーニングブレードを破損したり、そこを基点に融着が発生し成長するといった問題があり、当初は導電性基体の洗浄度の向上、生産現場のクリーン度の向上といった基体精度の向上、ゴミ対策で解決を試みてきた。
【０００６】
こうした対応は、一定の効果を上げたが、ブレードの欠け、融着の発生を完全に無くすまでには至らなかった。
【０００７】
上記のような問題の対策として、感光体表面の突起状の欠陥を研磨部材、具体的には、研磨テープにより研磨して除去する方法が従来から提案され、実施されている。
【０００８】
ａ−Ｓｉ感光体の表面層を研磨テープにより研磨する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
ａ−Ｓｉ感光体にあった突起を研磨して平坦化し、更に研磨された突起部分の表面保護層が除去されて光導電層が露出した部分を後処理することに関しての開示がある（例えば、特許文献２参照）。
【００１０】
又、突起部分の研磨に関してはａ−Ｓｉ感光体表面にあった突起を研磨して平坦化するために、感光体を回転させて研磨テープを弾性ローラーにより当接して研磨する方法や、研磨テープの送り量と弾性ローラーの侵入量を変化させて研磨する方法が開示されている（例えば、特許文献３及び４参照）。
【００１１】
これらの方法で、感光体の表面突起を研磨して平坦化することは或る程度可能であり、前述の問題に対しては一定の効果を得ることができている。
【００１２】
【特許文献１】
特公平７−７７７０２号公報
【特許文献２】
特開平７−６４３１２号公報
【特許文献３】
特開２００１−３１８４７９号公報
【特許文献４】
特開２００１−３１８４８０号公報
しかし、高硬度なａ−ＳｉＣ系表面層やａ−Ｃ系表面層が積層された感光体であっても、電子写真プロセスを繰り返し行う間に磨耗されて、突起部分だけでなく表面の微細形状も変化することになる。
【００１３】
磨耗や摩擦と表面の微細形状の関係について、そのメカニズムは解明されていないが、微細形状が変化することにより、クリーニングブレードとの摩擦が変化し、クリーニング不良やブレード破損等が生じる場合がある。
【００１４】
本発明者等は、このような問題に対して感光体表面の微細形状との相関について詳細に検討した結果、感光体使用初期の表面微細形状を一定水準以下にしておくことで、磨耗や摩擦の変化度合いが小さくなることが分かった。
【００１５】
本発明は、突起を研磨するだけでなくドラム表面の微細形状も含めて精密に均一研磨し、微細形状を一定水準以下にするための研磨方法についてなされたものである。
【００１６】
表面形状を含めて研磨する場合には、長時間に及ぶ研磨工程が必要である。又、研磨時間短縮のために、研磨テープの押し当て圧を強めることが望ましいが、研磨によるキズが生じ易くなるために、研磨屑や異物が研磨面に混入することを極力避けるようにしなければならない。又、突起部分は異常成長部分のために、研磨工程において、特に押し当て圧が強くなると突起部分が剥れ落ちることがあり、それも研磨によるキズの原因となっている。
【００１７】
更に、微細形状を一定水準以下にするためには、研磨面での押し当て圧が分布を持たないようにしなければならない。そうしないと偏摩耗の要因となり、歩留まりを低下させてしまう。押し当て圧を強くすることで、圧の分布幅が広がるために、偏摩耗も生じ易くなる等、調整が非常に難しいものであった。
【００１８】
以上のような問題に鑑み、本発明者等は均一に微細形状まで研磨できる方法を得るに至った。
【００１９】
即ち、本発明の目的は、ａ−Ｓｉ感光体表面に発生した異常成長突起を他の良好な部分を傷付けることなく、その他良好な部分とほぼ平坦にまで研磨し、更には良好な部分の表面微細形状も含めて精密に均一研磨することができる電子写真感光体の研磨方法及び研磨装置を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る電子写真感光体の研磨方法は、円筒状導電性基体の上に非晶質シリコンを含む光導電層と非晶質材料から成る表面保護層を順次積層して形成される電子写真感光体の表面に研磨テープを弾性ローラーにて加圧当接させるようにして該表面を研磨する方法であって、該弾性ローラーが該感光体に当接しないときに、該研磨テープが該弾性ローラーに接触するテープの走行方向における長さをＡ、該感光体に当接したときの当接部のテープ走行方向における長さをＢ、該感光体に当接したときの該感光体に接触するテープの走行方向における長さをＣ、該弾性ローラーの回転方向周長をＤとするとき、
Ａ≦Ｂ      …（１）
Ｃ≦Ｂ×１．
２  …（２）
Ａ≦Ｄ×０．
１  …（３）
の関係式を同時に満足することを特徴とする。
【００２１】
又、本発明に係る電子写真感光体の研磨装置は、円筒状導電性基体の上に非晶質シリコンを含む光導電層と非晶質材料から成る表面保護層を順次積層して形成される電子写真感光体の表面に研磨テープを弾性ローラーにて加圧当接させるように配置して該表面を研磨する研磨装置であって、該弾性ローラーが該感光体に当接しないときに、該研磨テープが該弾性ローラーに接触するテープの走行方向における長さをＡ、該感光体に当接したときの当接部のテープ走行方向長さをＢ、該感光体に当接したときの該感光体に接触するテープの走行方向における長さをＣ、該弾性ローラーの回転方向周長をＤとするとき、
Ａ≦Ｂ      …（１）
Ｃ≦Ｂ×１．
２  …（２）
Ａ≦Ｄ×０．
１  …（３）
の関係式を同時に満足することを特徴とする。
【００２２】
この研磨処理により、電子写真装置のクリーニングブレードからの初期トナーの摺り抜けを防止し、長期に亘って安定して高品位の画像を形成できる感光体を供給することが可能となり、更なる品質信頼性の向上が図られる。
【００２３】
具体的には、第１に成膜欠陥によるクリーニングブレード等の損傷を防止でき、第２に長期に亘る使用中においても感光体の滑りが変化しないために、クリーニング不良の発生や黒スジ状の画像欠陥（図３）の発生を抑制できる感光体を得ることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
［研磨装置］
本発明の研磨装置の例を図４及び図５を用いて説明する。
【００２５】
４００はａ−Ｓｉ感光体、４２０は支持機構であり、移動ステージ４４０上の移動範囲４４１の所定位置に固定される。
【００２６】
支持機構４２０は具体的には空気圧ホルダーであり、例えば、ブリジストン社製空気圧式ホルダー（商品名：エアーピック、型番：ＰＯ４５ＴＣＡ＊８２０）を使用することができる。
【００２７】
４３０は研磨テープをａ−Ｓｉ感光体４００に押圧させる加圧弾性ローラー、４３１は研磨テープ、４３２は送り出しロール、４３３は巻き取りロール、４３４は定量送り出しロール、４３５はキャプスタンローラ、４３６はテープガイドローラー、４３７は加圧弾性ローラー４３０を押圧する加圧機構である。
【００２８】
図５に示すように、研磨テープ４３１がａ−Ｓｉ感光体４００に当接しないときに、研磨テープ４３１が弾性ローラー４３０に接触するテープ走行方向長さをＡとし、研磨テープ４３１がａ−Ｓｉ感光体４００に当接した際の当接部のテープ走行方向長さをＢとし、研磨テープ４３１がａ−Ｓｉ感光体４００に当接した際のａ−Ｓｉ感光体４００に接触するテープ走行方向長さをＣ、該弾性ローラー４３０の回転方向周長をＤとすると、Ａ≦Ｂ、Ｃ≦Ｂ×１．  ２、Ａ≦Ｄ×０．  １であることが必要である。
【００２９】
ａ−Ｓｉ感光体４００を回転させて、その線速度と異なる速度で研磨テープ４３１を送ることで研磨処理を行う。このとき、ａ−Ｓｉ感光体の線速度が１０〜４０ｃｍ／ｓｅｃの範囲、研磨テープの送り速度が１〜２０ｃｍ／ｍｉｎの範囲で、研磨テープの消費量、研磨処理時間、研磨キズとの関係から総合的に決定される。
【００３０】
研磨テープの摩擦抵抗により、ａ−Ｓｉ感光体と連れ周りが発生し易いために、感光体の回転方向とは逆の方向に研磨テープを送って研磨処理することが望ましい。この場合、巻き取りロール４３３、定量送り出しロール４３４、キャプスタンローラ４３５が研磨テープ４３１のスピードを調整し、送り出しロール４３２がテープ張力を調整する。
【００３１】
一方、加圧とテープテンションを適正に保持することで同方向での研磨処理も有効である。
【００３２】
研磨初期には、研磨屑による研磨キズを防止するために、電子写真感光体の回転線速度よりも大きな速度で研磨テープを送って研磨することがあるが、通常は線速度よりも小さな速度で研磨テープを送って研磨処理を行う。
【００３３】
更に、電子写真感光体は円周方向の回転と同時に、回転方向とは直交する方向に交互運動するように設置される。これにより、研磨スジ（一定方向のみを研磨するために生じる研磨跡）の発生を抑えて研磨の均一性が向上する。
【００３４】
４３１の研磨テープは通常ラッピングテープと呼ばれるものが好ましく、研磨粒としてはＣ（ダイヤ）、ＳｉＯ２
ＳｉＣ、Ａｌ２  Ｏ３  、Ｆｅ２
Ｏ３  、Ｃｒ２  Ｏ３  等が用いられる。研磨粒の平均粒径が３μｍ以上１５μｍ以下、且つ、研磨面の標準Ｒａが０．４μｍ以上２．０μｍ以下の範囲から、該感光体の所望の微細表面形状を得られる範囲、研磨粒による研磨キズの発生の無い範囲で適宜選択することが好ましい。例えば、研磨テープには富士フィルム社製ラッピングテープＬＴ−Ｃ２０００等を用いることができる。
【００３５】
支持方式としては、すぼめた状態の空気圧式ホルダーに感光体を挿入し、次いで、１００ｋＰａ〜１０００ｋＰａの空気を送り込み、支持してユニット全体を回転させ、感光体を回転させる。ガイドとして、嵌め合いの緩い、潤滑性に富み、弾性を有するガイドフランジを設けても良い。材質としては、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）等の樹脂が好ましい。感光体の弾性は空気圧式ホルダーへの空気圧で制御され、ビビリ、突入ショック等の微少振動は空気圧式ホルダーのゴムにより吸収緩和される。
【００３６】
加圧するために用いられる加圧ローラーは、通常弾性体が用いられ、ネオプレンゴム、シリコンゴム等の材質から成り、ＪＩＳ  Ｋ６２５３−１９９７に準じて測定される硬度で２０〜８０の範囲、より好ましくはＪＩＳゴム硬度３０〜４０の範囲で総合的に決定される。
【００３７】
又、ローラ部形状は、長手方向において、中央部の直径が両端部の直径より若干太いものが好ましく、例えば、両端部の直径に対し、中央部の直径が０．５〜３．０％大きい範囲、より好ましくは０．７〜１．５％大きい範囲となる形状が好適である。
【００３８】
加圧は９．８〜９８０ｋＰａの範囲で、研磨すべき感光体表面の微細表面形状、研磨処理時間と研磨キズとの関係から総合的に決定される。
【００３９】
加圧を制御するために、弾性ローラーの支持部にシリンダーを設けて空圧や油圧等で制御することも有効である。
【００４０】
ａ−Ｓｉ感光体表面の微細表面形状の観察は、例えば原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）［Ｑｕｅｓａｎｔ社製Ｑ−Ｓｃｏｐｅ２５０］を用いて行うことができる。
【００４１】
更に、微細表面形状として、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１（２００１）に準じて測定される、該感光体表面の１０μｍ×１０μｍ視野における算術平均粗さ（Ｒａ）を測定して所望の微細表面形状の研磨処理条件を決定することが望ましい。図１に表面微細形状の観察像の１例を示す。
【００４２】
［実施例］
以下、実施例及び比較例により本発明を具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に制限されるものではない。
【００４３】
［実施例１］
図４の研磨装置を用いて、加圧ローラーのＪＩＳゴム硬度は４０、端部の直径に対する中央の直径の比が１０１％のものを用い、表１に示す条件で、図７のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを表２のようにＪ１−１〜Ｊ１−４の４つの条件で変化させて研磨処理した。このとき、電子写真感光体には、アモルファスシリコン系光導電層にａ−ＳｉＣ系表面層を堆積させた感光体を用いた。この感光体の初期の表面微細形状はＲａ＝６５ｎｍであった。
【００４４】
【表１】
2004334119.tif 000003
次のような基準で評価を行った結果を表２に示す。
（処理時間）
表面微細形状がほぼＲａ＝２５ｎｍになるまでの研磨処理時間を計測し、比較例２を１００％として評価した。
【００４５】
◎：９５％未満
○：９５％以上１０５％未満
△：１０５％以上１１５％未満
×：１１５％以上
（研磨スジ、キズの有無）
処理後に感光体の光学顕微鏡表面を観察し、研磨スジの有無を評価し、更に電子写真装置に装着してハーフトーン画像を出力し、研磨キズの発生があるかどうかを評価した。
【００４６】
◎：研磨スジ、研磨キズの発生が全くない
○：研磨スジが僅かに認められるが、研磨キズの発生はない
△：研磨スジが認められ、１０万枚画像出力後に僅かに研磨キズが発生している
×：研磨キズが発生している
（研磨均一性）
処理後に原子間力顕微鏡を用いて、感光体の微細表面形状としてＪＩＳ  Ｂ  ０６０１（２００１）に準じて測定される、該感光体表面の１０μｍ×１０μｍ視野における算術平均粗さ（Ｒａ）を測定した。その際、感光体母線方向１０点×周方向４点の計４０箇所を測定した。Ｒａの４０点の標準偏差を計算して均一性を評価した。
【００４７】
◎：非常に良好（標準偏差０以上２．０未満）
○：良好（標準偏差２．０以上３．５未満）
△：実用上問題なし（標準偏差３．５以上５．０未満）
×：実用上難あり（標準偏差５．０以上）
【００４８】
【表２】
2004334119.tif 000004
＜比較例１＞
図６に従来の電子写真用感光体の製造工程において、表面加工に際して利用される表面研磨装置を示す。図６に示す表面研磨装置の構成例において、加工対象物（円筒状基体上の堆積膜表面）６００は、その表面にａ−Ｓｉ光導電層又は中間層が堆積された円筒状基体であり、弾性支持機構６２０に取り付けられる。
【００４９】
図６に示す装置において、弾性支持機構６２０は、例えば、空気圧ホルダーが利用され、具体的には、ブリジストン社製空気圧式ホルダー（商品名：エアーピック、型番：ＰＯ４５ＴＣＡ＊８２０）が用いられている。加圧弾性ローラ６３０は、研磨テープ６３１を巻回して、加工対象物６００のａ−Ｓｉ光導電層又は中間層表面に押圧させる。研磨テープ６３１は、送り出しロール６３２から供給され、巻き取りロール６３３に回収される。その送り出し速度は、定量送り出しロール６３４とキャプスタンローラ６３５により調整され、又、その張力も調整されている。研磨テープ６３１は、富士フィルム社製ラッピングテープＬＴ−Ｃ２０００を用いた。
【００５０】
図６の研磨装置を用いて、加圧ローラーのＪＩＳゴム硬度は４０、端部の直径に対する中央の直径の比が１０１％のものを用い、表１に示す条件で、図８のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを表３のようにＲ１−１〜Ｒ１−３の３つの条件で変化させて研磨処理した。このとき、電子写真感光体には、実施例１と同様のアモルファスシリコン系光導電層にａ−ＳｉＣ系表面層を堆積させた感光体を用いた。この感光体の初期の表面微細形状はＲａ＝６５ｎｍであった。
【００５１】
実施例１と同様の基準で評価した結果を表３に示す。
【００５２】
【表３】
2004334119.tif 000005
＜比較例２＞
図６の研磨装置を用いて、加圧ローラーのＪＩＳゴム硬度は４０、端部の直径に対する中央の直径の比が１０１％のものを用い、表１に示す条件で、図９のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを表４の様にＲ２−１〜Ｒ２−２の２つの条件で変化させて研磨処理した。このとき、電子写真感光体には、実施例１と同様のアモルファスシリコン系光導電層にａ−ＳｉＣ系表面層を堆積させた感光体を用いた。この感光体の初期の表面微細形状はＲａ＝６５ｎｍであった。
【００５３】
実施例１と同様の基準で評価した結果を表４に示す。
【００５４】
【表４】
2004334119.tif 000006
表２〜４から分かるように、本発明の研磨装置を用いて、且つ、本発明の研磨方法で研磨処理することで、研磨スジ、研磨キズの発生を抑え、均一な研磨が可能であることが分かる。
【００５５】
Ａ≦Ｂ、Ｂ＝Ｃ、Ａ≦Ｄ×０．  １の関係を満たすことが好ましいことが分かる。
【００５６】
［実施例２］
図４の研磨装置を用いて、加圧ローラーのＪＩＳゴム硬度は６０、端部の直径に対する中央の直径の比が１０１％のものを用い、表１に示す条件で、図１０のＡ，Ｂ，Ｃを表５のようにＪ２−１〜Ｊ２−２の２つの条件で変化させて研磨処理した。このとき、電子写真感光体には、実施例１と同様のアモルファスシリコン系光導電層にａ−ＳｉＣ系表面層を堆積させた感光体を用いた。この感光体の初期の表面微細形状はＲａ＝６５ｎｍであった。
【００５７】
実施例１と同様の基準で評価した結果を表５に示す。
【００５８】
【表５】
2004334119.tif 000007
＜比較例３＞
図６の研磨装置を用いて、加圧ローラーのＪＩＳゴム硬度は４０、端部の直径に対する中央の直径の比が１０１％のものを用い、表１に示す条件で、図１１のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを表６のようにＲ３−１〜Ｒ３−２の２つの条件で変化させて研磨処理した。このとき、電子写真感光体には、実施例１と同様のアモルファスシリコン系光導電層にａ−ＳｉＣ系表面層を堆積させた感光体を用いた。この感光体の初期の表面微細形状はＲａ＝６５ｎｍであった。
【００５９】
実施例１と同様の基準で評価した結果を表６に示す。
【００６０】
【表６】
2004334119.tif 000008
表５〜６から分かるように、本発明の研磨装置を用いて、且つ、本発明の研磨方法で研磨処理することで、研磨スジ、研磨キズの発生を抑え、均一な研磨が可能であることが分かる。
【００６１】
Ａ＝０、Ａ＜Ｂ＜Ｃ、Ｃ≦Ｂ×１．  ２の関係を満たすことが好ましいことが分かる。
【００６２】
［実施例３］
図４の研磨装置に、感光体を円周方向の回転と同時に、回転方向とは直交する方向に交互運動するようにして、表１に示す条件で図７のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを表７のようにＪ３−１〜Ｊ３−２の２つの条件で変化させて研磨処理した。交互運動のストロークは１ｃｍで毎分１０往復とした。
【００６３】
このとき、電子写真感光体には、実施例１と同様のアモルファスシリコン系光導電層にａ−ＳｉＣ系表面層を堆積させた感光体を用いた。この感光体の初期の表面微細形状はＲａ＝６５ｎｍであった。
【００６４】
実施例１と同様の基準で評価した結果を表７に示す。
【００６５】
【表７】
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実施例１と比較すると、交互運動することにより均一性が向上することが分かった。
【００６６】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明に係る電子写真感光体の研磨方法によれば、感光体表面の異常成長突起を他の良好な部分を傷付けることなく、その他良好な部分とほぼ平坦にまで研磨し、更にアモルファスシリコン感光体表面を均一に精密研磨し、１０μｍ×１０μｍの視野でＪＩＳ  Ｂ  ０６０１に準拠して計測される算術平均粗さ（Ｒａ）が２５ｎｍ以下となるまで研磨処理することができる。本発明の研磨方法を採用した研磨装置を用いることで、研磨処理時間を短縮することができる。
【００６７】
この研磨方法と研磨装置を用いることにより、長期に亘って安定して高品位の画像を形成できる感光体を供給することが可能となる。
【００６８】
具体的には、第１に成膜欠陥によるクリーニングブレード等の損傷を防止でき、第２に長期に亘る使用中においても感光体の滑りが変化しないために、クリーニング不良の発生や黒スジ状の画像欠陥の発生を抑制できる感光体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＡＦＭによる感光体表面の測定結果を示す図である。
【図２】感光体の層構成の断面図と異常成長突起を説明する模式図である。
【図３】不良画像の一例を示す図である。
【図４】本発明に係る研磨装置を説明するための模式的断面図である。
【図５】本発明に係る研磨装置を説明するための模式的断面図である。
【図６】従来の研磨装置を説明するための模式的断面図である。
【図７】本発明の実施形態を説明するための模式的断面図である。
【図８】本発明の比較例を説明するための模式的断面図である。
【図９】本発明の比較例を説明するための模式的断面図である。
【図１０】本発明の実施形態を説明するための模式的断面図である。
【図１１】本発明の比較例を説明するための模式的断面図である。
【符号の説明】
２００    アモルファスシリコン感光体
２０１    導電性基板
２０２    基点
２０３    異常成長突起
２０４    光導電層
２０５    表面層
４００，５００  アモルファスシリコン感光体
４２０，５２０  弾性支持機構
４３０，５３０  加圧弾性ローラー
４３１，５３１  研磨テープ
４３２，５３１  送り出しロール
４３３，５３３  巻き取りロール
４３４，５３４  定量送りだしロール
４３５，５３５  キャプスタンローラ
４３６，５３６  ガイドローラ
４３７，５３７  加圧機構
６００    加工対象物（円筒状基体上の光導電層堆積膜表面）
６２０    弾性支持機構
６３０    加圧弾性ローラ
６３１    研磨テープ
６３２    送り出しロール
６３３    巻き取りロール
６３４    定量送りだしロール
６３５    キャプスタンローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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