(57)【要約】【課題】可動基板が円偏光板機能をもったタッチパネルにおいて、書き心地のよい入力荷重で入力可能なタッチパネルを提供すること。【解決手段】支持体上に透明導電膜が形成された２枚の透明導電性基板を有し、該２枚の透明導電性基板が互いの透明導電膜同士が対向するように配置されたタッチパネルにおいて、２枚の透明導電性基板の少なくともいずれかの透明導電膜上に、複数のドットスペーサーを有し、該ドットスペーサーは、直径が３０μｍ以上８０μｍ以下、高さが３μｍ以上１５μｍ以下、ドットスペーサー同士の配置間隔が２ｍｍ以上６ｍｍ以下であり、表示側の透明導電性基板が円偏光板機能を有し、該基板の厚みが１００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とするタッチパネル。【選択図】　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に透明導電膜が形成された２枚の透明導電性基板を有し、該２枚の透明導電性基板が互いの透明導電膜同士が対向するように配置されたタッチパネルにおいて、２枚の透明導電性基板の少なくともいずれかの透明導電膜上に複数のドットスペーサーを有し、該ドットスペーサーは、直径が３０μｍ以上８０μｍ以下、高さが３μｍ以上１５μｍ以下、ドットスペーサー同士の配置間隔が２ｍｍ以上６ｍｍ以下であり、表示側の透明導電性基板が円偏光板機能を有し、該基板の厚みが１００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とするタッチパネル。
【請求項２】
前記タッチパネルを０．８Ｒから１．０Ｒのペンで入力したときの中心部の入力荷重値が０．０５Ｎ以上０．４０Ｎ以下であることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項３】
前記タッチパネルがインナー型タッチパネルであることを特徴とする請求項１又は２に記載のタッチパネル。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のタッチパネルを搭載した表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、タッチパネル及びタッチパネルを搭載した表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種表示装置において、表示機能のみならず表示画面上において手書き入力機能を付加させたものがある。これらの手書き入力の方法の一つとして、透明導電性フィルム等によって構成したタッチパネルが用いられている。このタッチパネルは、少なくとも一方が可撓性の２枚の透明導電性基板をその間に所定の空隙を有するようにドットスペーサーを介在させて貼り合わせた構成となっている。例えば、「タッチパネルの基礎と応用」（テクノタイムズ社、監修　三谷雄二）ｐ６５に記載のように、タッチパネルの表示側の基板としてハードコート層が設けられた厚み１７５から１８８μｍ程度のＰＥＴフィルムが一般的に用いられている。
これらのタッチパネルでは、可撓性を有する表示側の基板を押圧することで、押圧した箇所の２枚の基板上の透明導電性膜からなる電極同志が接触する。このとき接した電極の位置を、電気信号変化を検出することで押圧箇所の座標として検出を行なうことができる。
【０００３】
一方、特開平５−１２７８２２号公報、および月刊ディスプレイ１９９９年１月号６９頁に偏光板と液晶セルの間に抵抗膜式タッチパネルの機能を挿入したインナータイプタッチパネルの提案がされている。この方式によれば、偏光板と位相差板とを組み合わせた円偏光板を液晶セルに対しタッチパネル部より外側（視認側）の電極基板に配置することで、タッチパネル内部の界面反射が著しく低減され、視認性が向上する。これは、表面の反射を低減させるために用いられている。このような基板を用いた場合、表示側の基板は少なくとも１枚以上の複層構成となるため剛性が大きくなる。
【０００４】
一般に、タッチパネルの入力荷重値として、ペーパーライクの書き味を求めるとタッチパネルのペン入力特性として１．００〜２．００Ｎとなる。高筆圧となるほど筆記耐久性が低下することや、携帯端末用途では、さらに軽い操作性が求められていることから、タッチパネルの入力特性としてある程度低い入力荷重が望まれるが、一方で極めて弱い入力荷重により作動した場合、書き心地が悪くなり、基板の反りによる誤作動も起こりやすくなるため最低限の入力荷重は確保する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
タッチパネルは、良好な入力特性を得るためには、押圧された個所では良好に電極が接触し、押圧されない個所は十分に２枚の電極が離れた状態を保つ必要がある。さらには、パネル全面で均一な押圧力で入力がなされなければならない。そのために、タッチパネル全面で２つの電極間の空隙を均一に保つ必要があり、具体的には、２つの電極間のドットスペーサーはタッチパネル全面で等間隔に配置すると共に、各ドットスペーサーは均一な形状にすることが必要である。
【０００６】
ところが、特開平５−１２７８２２号公報のように視認性を向上させるために表示側の基板に円偏光機能を持たせたタッチパネルにおいては、該基板が複層からなり、剛性も大きくなるために、従来のドットスペーサーの間隔や形状では入力荷重が大きくなる問題があった。このようなタッチパネルは入力荷重が大きく、ペン入力を行う場合には書き心地の悪く、携帯端末用途にも適さないものであった。
【０００７】
従って、本発明の目的は、故意でない押圧や基板の反り等による誤作動がなく、且つパネルを押圧する際に大きな力を必要とせず、ペン入力の際にも書き心地のよい、入力特性及び耐久性に優れたタッチパネル及びタッチパネルを備えた表示装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者はかかる事情に鑑み、可動基板が円偏光機能をもったタッチパネルにおいて、適正なタッチパネルのドットスペーサーの形状と配置間隔を設けることによって、書き心地のよい入力荷重にて、入力可能となることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明の目的は、下記（１）〜（３）のタッチパネル、および下記（４）の表示装置により達成された。
（１）　支持体上に透明導電膜が形成された２枚の透明導電性基板を有し、該２枚の透明導電性基板が互いの透明導電膜同士が対向するように配置されたタッチパネルにおいて、
２枚の透明導電性基板の少なくともいずれかの透明導電膜上に、複数のドットスペーサーを有し、該ドットスペーサーは、直径が３０μｍ以上８０μｍ以下、高さが３μｍ以上１５μｍ以下、ドットスペーサー同士の配置間隔が２ｍｍ以上６ｍｍ以下であり、表示側の透明導電性基板が円偏光板機能を有し、該基板の厚みが１００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とするタッチパネル。
（２）　前記タッチパネルを０．８Ｒから１．０Ｒのペンで入力したときの中心部の入力荷重値が０．０５Ｎ以上０．４０Ｎ以下であることを特徴とする上記（１）に記載のタッチパネル。
（３）　前記タッチパネルがインナー型タッチパネルであることを特徴とする上記（１）又は（２）に記載のタッチパネル。
（４）　上記（１）〜（３）のいずれかに記載のタッチパネルを搭載した表示装置。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を詳細に説明する。
尚、以下の説明において本発明の表示面側の基板を「可動基板」、表示面側の基板と対向して配置される基板を「固定基板」と称することもある。
本発明のタッチパネルに用いられる可動基板としては、特開平５−１２７８２２号公報、特開平１０―１８６１３６号公報、特開平１１―１３４１１２号公報、特開２０００―２０６５３１号公報、特開２０００―２５００１６号公報等に記載されている円偏光機能をもつものを使用することができる。また、固定基板の材料や構成に関しては特に制限されるものではないが、入力時の押圧での液晶部の歪が生じないためにガラス基板を用いることが好ましい。また、本発明のタッチパネルは、偏光板を有し、偏光板よりも表示装置側に抵抗膜が存在するタッチパネルが配置されたものであって、例えば月刊ディスプレイ１９９９年１月号６９頁記載のインナー型タッチパネルであることが好ましい。
以下に本発明のタッチパネルに用いられる各部材について詳細に説明する。
【００１０】
［可動基板］
可動基板の支持体部分として用いる円偏光板は、市販の偏光板にλ／４板を貼り合せたものでもよいし、従来の偏光板の保護フィルムの代わりにλ／４板を用いたものでもよく、少なくとも１枚以上のポリマーフィルムを貼り合せたものを用いることができる。貼り合わせ方法は特にはこだわらないが、粘着剤やケン化などのポリマーフィルム表面の親水化、粗面化処理後にＰＶＡ（ポリビニルアルコール）による接着を用いることができる。
タッチパネルの可動基板の表面には、ハードコート層や低反射膜などが、貼付けやコーティングにより付与されていてもよい。可動基板の全厚みは、１００μｍ以上４００μｍ以下であり、１５０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。
【００１１】
可動基板の支持体を構成する材料としては、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリカーボネート誘導体（帝人（株）：ＷＲＦ−５）、セルロースアシレート系樹脂（セルローストリアセテート、セルロースジアセテート）、ポリオレフィン系樹脂（日本ゼオン（株）：ゼオノア、ゼオネックス）、ポリサルホン系樹脂、ポリエーテルサルホン、ノルボルネン系樹脂（ＪＳＲ（株）：アートン）、ポリエステル系樹脂（ＰＥＴ、ＰＥＮ）、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリエーテルケトン、などが挙げられ、中でもポリカーボネート誘導体やセルロースアシレート系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ノルボルネン系樹脂が好ましい。また、少なくとも１種類以上の異なるポリマーフィルムを貼り合わせて使用しても構わない。
【００１２】
［ドットスペーサー］
タッチパネルは、良好な入力特性を得るためには、押圧された個所では良好に電極が接触し、押圧されない個所は十分に２枚の電極が離れた状態を保つ必要がある。さらには、パネル全面で均一な押圧力でＯＮ／ＯＦＦがなされなければならない。そのために、タッチパネル全面で２つの電極間の空隙を均一に保つ必要があり、具体的には、２つの電極間にドットスペーサー（ドット、スペーサーとも呼ぶ）はタッチパネル全面に配置することが必要である。
【００１３】
本発明のタッチパネルは表示装置の表示側に配置されることが多いために表示画面の表示特性を損なわない、絶縁体であるドットスペーサー上をペンが押圧したときの入力ミスを少なくする等の観点から、ドットスペーサーの直径は、３０μｍ以上８０μｍ以下であり、より好ましくは３０μｍ以上６０μｍ以下であり、更に好ましくは３０μｍ以上５０μｍ以下である。また、その形状としては、半球状でもよく、円柱状でも構わず、六角柱状や三角柱状などの形状でもよい。ドットスペーサーの高さとしては、３μｍ以上１５μｍ以下であり、より好ましくは、５μｍ以上１０μｍ以下である。
【００１４】
ドットスペーサーの高さが３μｍ未満であると非常に弱い入力荷重や、僅かな可動基板の反りなどによって入力されてしまい、誤動作の原因となることがある。一方、１５μｍ以上の高さであると、ペンでの入力時に、高い入力荷重が必要となり、筆記感が悪くなる場合がある。さらに、ペン入力時にペンが引っかかることによっても筆記感が悪くなる場合がる。
【００１５】
ドットスペーサーの配置はどのように配置されていても構わないが、隣り合うドットスペーサーの間隔が小さい場合ペン入力時に高い入力荷重が必要となり、筆記感が悪くなり、隣り合うドットスペーサーの間隔が大きい場合、故意でない弱い入力荷重で動作することや、可動基板の反りなどによって入力されてしまうことがあり、誤動作の原因となる。そのためドットスペーサーの間隔は、２ｍｍ以上６ｍｍ以下であり、好ましくは２ｍｍ以上４ｍｍ以下である。ドットスペーサーの配置は規則的に配置されていても構わないし、上記範囲内であれば、不規則に配置されていてもよい。また、タッチパネルの中心部と周辺部とでその間隔を変化させて配置させても構わない。
ドットスペーサーの直径と高さと間隔は、最適な入力感を得るためには、それぞれが上記範囲内に入ることが好ましいが、より好ましくはドットスペーサーの間隔が２ｍｍ以上３ｍｍ未満のときは、直径が３０μｍ以上５０μｍ以下で、高さが３μｍ以上１０μｍ以下であることで、ドットスペーサーの間隔が３ｍｍ以上５ｍｍ未満のときは直径が３　μｍ以上７０μｍ以下で高さが５μｍ以上１５μｍ以下であることで、ドットスペーサーの間隔が５ｍｍ以上８ｍｍ以下であるときは、直径が３０μｍ以上８０μｍ以下で高さが５μｍ以上１５μｍ以下であることである。
ドットスペーサーの間隔、形状の選択は、入力荷重値が０．０５Ｎから０．４０Ｎに入るように、製造工程や歩留まりを考慮して決定することが可能である。
【００１６】
ドットスペーサーは、固定基板の導電膜または可動基板の導電膜のいずれかの上に形成する。形成法は従来から行なわれている方法によって行なってよい。
ドットスペーサーは、たとえばメラミンアクリレート樹脂、ウレタンアクリレート樹脂、エポキシアクリレート樹脂、メタアクリルアクリレート樹脂、アクリルアクリレート樹脂などのアクリレート樹脂、ポリビニルアルコール樹脂などの透明な光硬化型樹脂をフォトプロセスで微細なドット状に形成して得ることができる。また、印刷法により微細なドットを多数形成してドットスペーサーとすることもできる。
【００１７】
［入力荷重］
タッチパネルの入力荷重は、ペンなどによって可動基板が押圧され、固定基板と接触することでタッチパネルがＯＮされたときの荷重を現す。入力させるためのペン先には、０．６から１．２Ｒのものを用いることが好ましく、特に好ましくは０．８Ｒである。ペンは筆記用のボールペンやシャーペンの形状や材質の近いものでもよく、特に材質や形状が規定されるものではない。しかしながら、最も好ましくは０．８Ｒのポリアセタールペンを用いることである。
タッチパネルの入力荷重を測定する位置としては、タッチパネル周辺部から少なくとも１０ｍｍ以上離れた、部分を押圧することが好まく、タッチパネル中心部とは、周辺部から１０ｍｍ以上離れた部分のことである。
【００１８】
入力荷重値は、ストレスなく入力するために０．４０Ｎ以下であることが好ましく、より好ましくは０．３０Ｎ以下であること、さらに好ましくは０．２５Ｎ以下であることである。また、入力荷重が低い方が、タッチパネルの耐久性が高くより好ましい。
入力荷重値が０．４０Ｎより大きくなると、重い入力感となり、円滑に入力することが困難となる。また、０．４０Ｎより大きな入力荷重にて入力を続けると、タッチパネル表面に傷が生じやすかったり、ドットスペーサーや透明導電膜の、破壊を引き起こす可能性がある。
また、入力荷重値が０．０５Ｎ以下であると、入力感が乏しく好まれず、また、故意でない弱い荷重によって動作することがあり、誤動作の原因となる。入力荷重値の下限は０．０５Ｎ以上であることが好ましく、より好ましくは０．１０Ｎ以上である。また、入力荷重値はタッチパネル面内で均一であることが好ましい。
【００１９】
入力荷重値を測定する装置としては、ソレノイドで入力ペンに加わる荷重を調整し、タッチパネルの上下基板が電気的に接することをテスターで入力を判定しながら、入力した最小荷重を電子秤で読み取るものが挙げられる。
入力荷重値は、ドットスペーサーの間隔と直径、高さを変化させることによって、書き心地の良い上記範囲内にすることが好ましい。
【００２０】
［透明導電膜］
タッチパネルとして用いる透明導電膜としては、表面抵抗率は、１０４Ω／□以下であることが好ましく、１００Ω／□以上、１０００Ω／□以下であることがさらに好ましい。
透明導電膜の表面抵抗率を上記のような値にするためには、導電性微粒子分散物、金属アルコキシドなどの塗布によって設けても構わないし、フィルム流延時に共流延することによって設けても構わない。また、スパッタリング、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法などの真空成膜法によっても、大気圧での気相成長法によって透明導電膜を形成しても構わない。フィルムの片面に透明導電膜を設けても構わないし、両面に設けても構わない。また、これらの方法を併用することも可能である。
【００２１】
真空成膜法にとしては「透明導電膜の新展開」シーエムシー、澤田　豊監修、「月刊ディスプレイ」１９９９年９月号に記載の方法を用いることができる。
成膜する金属酸化物としてはＩｎ２Ｏ３系（Ｓｎなどドープ品、ＩＴＯ含む）、ＳｎＯ２系（Ｆ、Ｓｂなどドープ品含む）、ＺｎＯ系（Ａｌ、Ｇａなどのドープ品含む）またはこれらの複合品Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ系などが挙げられる。金属窒化物としてはＴｉＮなどが挙げられる。また、銀などと共に成膜しても良い。
【００２２】
［表示装置］
本発明のタッチパネルは、様々な表示装置と組合せて用いることができる。例えば、カソードレイチューブ（ＣＲＴ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、フィールド・エミッション・ディスプレイ（ＦＥＤ）、無機ＥＬデバイス、有機ＥＬデバイス、液晶表示装置などである。この表示装置の中では、液晶表示装置と組合せて用いるのが好ましく、特に反射型液晶表示装置もしくは半透過型液晶表示装置に用いるのが好ましい。
【００２３】
【実施例】
以下に本発明の実施例を記載するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
［実施例１〜１２］
（可動基板の作製）
λ／４板は特開２００１−９１７４３号公報の実施例１に記載の一枚のセルロースエステルからなるものを用い、このλ／４板上にロールコーターにて３μｍのハードコート層を塗布した後、巻取り式スパッタ装置にてＩｎ２Ｏ３とＳｎＯ２からなる透明導電膜を１５ｎｍ形成した。この透明導電膜の表面抵抗を４端子法にて測定した結果、３５０Ω／□であり、光の透過率は８９％であった。
【００２４】
ＰＶＡフィルムをヨウ素１．０ｇ／ｌ、ヨウ化カリウム６０．０ｇ／ｌの水溶液に２５℃にて３０秒浸漬し、さらにホウ酸４０ｇ／ｌ、ヨウ化カリウム３０ｇ／ｌの水溶液に２５℃にて１２０秒浸漬後、延伸し偏光素子を作製した。
偏光素子の両側にポリビールアルコール系粘着剤（クラレ社製　ポバール）を塗工し、一方に上記のλ／４板の透明導電膜を付与していない面を、反対側にあらかじめハードコート層と反射防止層を付与したセルローストリアセテートフィルム（保護フィルム）（富士写真フイルム社製　ＴＤ８０）の反射防止層のない面をで貼り合わせた。なお、このときの偏光素子の吸収軸とλ／４板の遅層軸のなす角度は実質的に４５°であった。さらに８０℃で乾燥した。得られたフィルムの透明導電膜側にスクリーン印刷法にて、タッチパネルの電気配線が可能となるように絶縁コート及び銀電極（アサヒ化学製　ＵＶＦ−１０Ｔ−ＤＳ、約８μｍ）を印刷し硬化させた。
このようにして円偏光板としての機能を有し、透明導電膜が形成されている厚み２２０μｍのタッチパネル用可動基板を得た。
【００２５】
また、上記反射防止層及びハードコート層については以下の手順にて作製した。
（反射防止層の形成）
（１）高屈折率層塗布液の調製
二酸化チタン微粒子（ＴＴＯ−５５Ｂ、石原産業（株）製）３０．０質量部、カルボン酸基含有モノマー（アロニクスＭ−５３００東亞合成（株）製）４．５質量部およびシクロヘキサノン６５．５質量部を、サンドグラインダーミルにより分散し、質量平均径５５ｎｍの二酸化チタン分散液を調製した。前記二酸化チタン分散物にジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ、日本化薬（株）製）と、光ラジカル重合開始剤（イルガキュア１８４、チバガイギー社製、モノマーの合計量（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、アニオン性モノマーおよびカチオン性モノマーの合計量に対し５％）とを混合し、高屈折率層の屈折率が１．８５になるように調整した。
【００２６】
（２）低屈折率層塗布液の調製
ペンタエリスリトールテトラアクリレート（ＰＥＴＡ、日本化薬（株）製）６０質量部、光ラジカル重合開始剤（イルガキュア１８４、チバガイギー社製）２質量部、メガファック５３１Ａ（Ｃ８Ｆ１７ＳＯ２Ｎ（Ｃ３Ｈ７）ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２、大日本インキ化学工業（株）製）９質量ｇ、およびメチルエチルケトンを混合、攪拌して、低屈折率層の塗布液を調製した。
屈折率の調整は、二酸化ケイ素微粒子（アエロジル２００、日本アエロジル（株）製）３０．０質量部、カルボン酸基含有モノマー（アロニクスＭ−５３００東亞合成（株）製）４．５質量部およびシクロヘキサノン６５．５質量部を、サンドグラインダーミルにより分散調整した、質量平均径１２ｎｍの二酸化ケイ素微粒子分散液を添加して行った。
【００２７】
（３）反射防止層付きセルローストリアセテートフィルムの作製
上記のセルローストリアセテートフィルム上に、高屈折率層塗布液を、ワイヤーバーを用いて乾燥膜厚が７５ｎｍになるように塗布、乾燥、紫外線照射し、さらに、高屈折率層の上に、上記低屈折率層塗布液を乾燥膜厚が９０ｎｍになるように塗布、乾燥、紫外線照射し反射防止層を形成した反射防止層付きセルローストリアセテートフィルムを得た。
【００２８】
（固定基板の作製）
厚み０．７ｍｍのガラス基板（セントラル硝子社製　品番ＦＬ０．７）上にスパッタ装置にてＩｎ２Ｏ３とＳｎＯ２からなる透明導電膜を１６ｎｍ形成した。この透明導電膜の表面抵抗を４端子法にて測定した結果、３６０Ω／□であった。
【００２９】
得られたガラス基板上に、次のようにしてドットを設けた。
印刷機として市販のスクリーン印刷装置（東海精機（株）ＰＣ６０５）を用いて印刷原版のスクリーンとして、２ｍｍ、３ｍｍ、４ｍｍ、５ｍｍ、６ｍｍ、７ｍｍ、８ｍｍピッチで網目状に直径４０μｍφの孔が形成されている厚さ３０μｍのポリイミド版、直径６０μｍφ、の孔が形成されている厚さ３０μｍのクロム版、直径８０μｍφの孔が形成されている厚さ３０μｍのクロム版を用いた。インクとして光硬化型樹脂（（株）アサヒ化学研究所製　ＵＶＦ−１０Ｔ−ＤＳ）を用いて、適宜メタクリル酸２−ヒドロキシエチルにて希釈して印刷条件を変えながら印刷を行なった。印刷後にはＵＶ照射装置にて硬化を行なった。得られたドットの径は光学顕微鏡にて、高さは触針式段差計にて測定を行なった。実施例１〜１２に示すようなピッチと直径と高さのドットが得られた。
ドット印刷後、タッチパネルの電気配線が可能となるように絶縁レジスト（アサヒ化学製　ＵＶＦ−１０Ｔ、約１２μｍ）、銀電極（アサヒ化学製　ＬＳ−４１５Ｃ−Ｍ、約１０μｍ）を印刷して硬化させた。
【００３０】
（タッチパネルの作製）
可動基板をドットスペーサーの間隔、形状の異なる固定基板に透明導電膜同士が対向するように粘着剤を介して接着し、同時にフレキシブル電極（日本黒鉛製）を取り付け、入力有効領域が４０ｍｍ×５０ｍｍのタッチパネルを作製した。
【００３１】
（入力荷重の測定）
入力荷重は先端が０．８Ｒのポリアセタールペンを用いて、ＯＮ荷重測定装置（（株）タッチパネル研究所製）にて、タッチパネルの有効領域の中心部を測定した。ドットスペーサーの間隔、直径、高さと入力荷重に関して得られた結果を表１に示す。いずれのタッチパネルも誤動作なく、書き心地よく入力することができた。
【００３２】
［比較例１〜１０］
可動基板については上記実施例１〜１２と同様にして比較例１〜１０のタッチパネルを以下のように作製した。
（固定基板の作製）
厚み０．７ｍｍのガラス（セントラル硝子社製　品番ＦＬ０．７）上にスパッタ装置にてＩｎ２Ｏ３とＳｎＯ２からなる透明導電膜を１６ｎｍ形成した。この透明導電膜の表面抵抗を４端子法にて測定した結果、３６０Ω／□であった。
【００３３】
得られたガラス基板上に、次のようにしてドットを設けた。
印刷機として市販のスクリーン印刷装置（東海精機（株）ＰＣ６０５）を用いて印刷原版のスクリーンとして、１ｍｍ、３ｍｍ、５ｍｍ、６ｍｍ、８ｍｍ、１０ｍｍピッチで網目状に直径４０μｍφの孔が形成されている厚さ３０μｍのポリイミド版、直径６０μｍφ、の孔が形成されている厚さ３０μｍのクロム版、直径８０μｍφの孔が形成されている厚さ３０μｍのクロム版を用いた。インクとして光硬化型樹脂（（株）アサヒ化学研究所製　ＵＶＦ１０ＴＤＳ）を用いて、適宜メタクリル酸２−ヒドロキシエチルにて希釈して印刷条件を変えながら印刷を行なった。印刷後には、ＵＶ照射装置（日本電池が部式会社製　ＣＳ３０）にて硬化を行なった。得られたドットの径は光学顕微鏡にて、高さは触針式段差計にて測定を行なった。比較例１から１２に示すようなピッチと直径と高さのドットが得られた。
ドット印刷後、タッチパネルの電気配線が可能となるように絶縁レジスト、銀電極を印刷して硬化させた。
【００３４】
（タッチパネルの作製）
可動基板をドットスペーサーの間隔、形状の異なる固定基板に透明導電膜同士が対向するように粘着剤を介して接着し、同時にフレキシブル電極を取り付け、入力有効領域が４０ｍｍ×５０ｍｍのタッチパネルを作製した。
【００３５】
（入力荷重の測定）
入力荷重は先端が０．８Ｒのポリアセタールペンを用いて、ＯＮ荷重測定装置（（株）タッチパネル研究所製）にて、タッチパネルの有効領域の中心部を測定した。ドットスペーサーの間隔、直径、高さと入力荷重に関して得られた結果を表２に示す。比較例１から６までのタッチパネルは入力荷重が大きく、書き心地感が悪かった。また、比較例７から１０までのタッチパネルは入力荷重が小さく、誤動作のしやすいものであった。
【００３６】
【表１】
2004038868.tif 000002
【００３７】
【表２】
2004038868.tif 000003
【００３８】
【発明の効果】
本発明の構成により、故意でない押圧や基板の反り等による誤作動がなく、且つパネルを押圧する際に大きな力を必要とせず、ペン入力の際にも書き心地のよい、入力特性及び耐久性に優れたタッチパネル及びタッチパネルを備えた表示装置を提供することができる。