(57)【要約】【課題】基板吸引固定装置において、装置コストの増大を抑えてテーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類を増やす。【解決手段】バーコードリーダ４０Ａで、基板載置台２０に固定しようとする基板１Ａに印刷されたバーコード２Ａを読み取ってこの基板１Ａの大きさを示すシート選択信号を出力する。上記シート選択信号を入力したシート配置部５０Ａが、互いに異なる大きさの孔開き領域Ｑａを有するシート部分３１Ａ、３２Ａ、３３Ａから上記基板１Ａの大きさに対応する大きさの孔開き領域Ｑａを有するシート部分３２Ａを選択して多数の吸引孔を有するテーブル面２２上へ配置し、テーブル面２２上に配置されたシート部分３２Ａの孔開き領域Ｑａの範囲内に位置する吸引孔からの減圧吸引部１０による吸引を可能とし、このシート部分３２Ａの孔開き領域Ｑａ外の範囲内に位置する吸引孔からの減圧吸引部１０による吸引を禁止する。【選択図】          図１
2004322254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧吸引手段と、
該減圧吸引手段に接続された多数の吸引孔が配されたテーブル面を有する基板載置台と、
互いに異なる大きさの孔開き領域を有する、それぞれが前記テーブル面に対応する複数のシート部分を備えた吸引領域設定シートと、
前記複数のシート部分から、前記テーブル面に配置する基板の大きさに対応する大きさの前記孔開き領域を有する前記シート部分を選択する選択手段と、
前記選択手段により選択された前記所定のシート部分を前記テーブル面上に配置するシート配置手段とを備え、
前記テーブル面上への前記シート部分の配置により、前記テーブル面中の、前記シート部分の前記孔開き領域の範囲内に位置する前記吸引孔からの前記減圧吸引手段による吸引を可能とし、該シート部分の前記孔開き領域外の範囲内に位置する前記吸引孔からの前記減圧吸引手段による吸引を禁止するように構成したことを特徴とする基板吸引固定装置。
【請求項２】
減圧吸引手段と、
該減圧吸引手段に接続された多数の吸引孔が配されたテーブル面を有する基板載置台と、
前記テーブル面に配置する基板の大きさに対応した、前記テーブル面中の所定の吸引領域を指定する吸引領域指定手段と、
１つの孔無しシートを１方向に搬送するか、もしくは複数の孔無しシートを互いに異なる方向へ搬送して、前記吸引領域指定手段により指定された所定の吸引領域外の前記テーブル面に前記１つ、もしくは複数の孔無しシートを配置するシート搬送手段とを備え、
前記テーブル面上への前記１つ、もしくは複数の孔無しシートの配置により、前記テーブル面中の、前記孔無しシートが配置された範囲内に位置する前記吸引孔からの前記減圧吸引手段による吸引を禁止し、該孔無しシートが配置された範囲外に位置する前記吸引孔からの前記減圧吸引手段による吸引を可能とするように構成したことを特徴とする基板吸引固定装置。
【請求項３】
減圧吸引手段と、
該減圧吸引手段に接続された多数の吸引孔が配されたテーブル面を有する基板載置台と、
互いに異なる大きさの孔開き領域を有する、それぞれが前記テーブル面に対応する複数の吸引領域設定板と、
前記複数の吸引領域設定板から、前記テーブル面に配置する基板の大きさに対応する大きさの前記孔開き領域を有する前記吸引領域設定板を選択する選択手段と、
前記選択手段により選択された前記所定の吸引領域設定板を前記テーブル面上に配置する設定板配置手段とを備え、
前記テーブル面上への前記吸引領域設定板の配置により、前記テーブル面中の、前記吸引領域設定板の前記孔開き領域の範囲内に位置する前記吸引孔からの前記減圧吸引手段による吸引を可能とし、該吸引領域設定板の前記孔無し領域の範囲内に位置する前記吸引孔からの前記減圧吸引手段による吸引を禁止するように構成したことを特徴とする基板吸引固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板吸引固定装置に関し、詳しくは、減圧吸引して基板を固定する基板吸引固定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、電気回路の配線パターンを記録するための感光材料が塗布されたプリント配線用の基板等を、多数の吸引孔が配されたテーブル面を有する基板載置台に載置し、上記吸引孔に接続された減圧機によって減圧吸引してこの基板をテーブル面に固定する吸引固定装置が知られている。
【０００３】
このような吸引固定装置を用いてテーブル面上の多数の吸引孔が配された領域より小さなサイズの基板を固定する場合には、テーブル面の基板が配置された領域外の吸引孔からの空気の吸引による吸引漏れによってこの減圧機による吸引力が低下しないように、すなわち、減圧吸引によるテーブル面への基板の固定力が低下しないようにテーブル面上の減圧吸引を行なう吸引孔の領域を基板の大きさに応じて変更する手法も知られている。より具体的には、例えば、減圧機と、テーブル面上の互いに異なる領域に位置する吸引孔とを接続する各管路を基板載置台中に形成して上記各管路に開閉バルブを設け、テーブル面上の吸引領域を基板の大きさに応じて変更できるようにして上記吸引漏れを防止している（例えば、特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平０６−３４５２７９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板の大きさの種類が増えると、テーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類が増大し、減圧機と各吸引領域に位置する吸引孔とを接続するそれぞれの管路を基板載置台中に形成し各管路に開閉バルブを設ける構造が複雑となり、装置コストが増大するという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、装置コストの増大を抑えてテーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類を増やすことができる基板吸引固定装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の基板吸引固定装置は、減圧吸引手段と、この減圧吸引手段に接続された多数の吸引孔が配されたテーブル面を有する基板載置台と、互いに異なる大きさの孔開き領域を有する、それぞれがテーブル面に対応する複数のシート部分を備えた吸引領域設定シートと、前記複数のシート部分から、テーブル面に配置する基板の大きさに対応する大きさの孔開き領域を有するシート部分を選択する選択手段と、選択手段により選択された所定のシート部分をテーブル面上に配置するシート配置手段とを備え、テーブル面上への前記シート部分の配置により、テーブル面中の、前記シート部分の孔開き領域の範囲内に位置する前記吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を可能とし、このシート部分の孔開き領域外の範囲内に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を禁止するように構成したことを特徴とするものである。
【０００８】
前記孔開き領域は、シート部分中に１つの孔を開けて形成した領域としたり、シート部分中に複数の孔を開けて形成した領域としたりすることができ、前記基板吸引固定装置は、１つの孔を開けて形成した孔開き領域を有するシート部分をテーブル面に配置する際には、上記孔が少なくとも１つの吸引孔を含むように上記シート部分をテーブル面上に配置するものである。また、複数の孔を開けて形成した孔開き領域を有するシート部分がテーブル面に配置される際には、各孔それぞれが少なくとも１つの吸引孔を含むように上記シート部分をテーブル面上に配置することが好ましい。
【０００９】
本発明の第２の基板吸引固定装置は、減圧吸引手段と、この減圧吸引手段に接続された多数の吸引孔が配されたテーブル面を有する基板載置台と、テーブル面に配置する基板の大きさに対応した、テーブル面中の所定の吸引領域を指定する吸引領域指定手段と、１つの孔無しシートを１方向に搬送するか、もしくは複数の孔無しシートを互いに異なる方向へ搬送して、吸引領域指定手段により指定された所定の吸引領域外のテーブル面に前記１つ、もしくは複数の孔無しシートを配置するシート搬送手段とを備え、テーブル面上への前記１つ、もしくは複数の孔無しシートの配置により、テーブル面中の、孔無しシートが配置された範囲内に位置する前記吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を禁止し、この孔無しシートが配置された範囲外に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を可能とするように構成したことを特徴とするものである。
【００１０】
本発明の第３の基板吸引固定装置は、減圧吸引手段と、この減圧吸引手段に接続された多数の吸引孔が配されたテーブル面を有する基板載置台と、互いに異なる大きさの孔開き領域を有する、それぞれが前記テーブル面に対応する複数の吸引領域設定板と、前記複数の吸引領域設定板から、テーブル面に配置する基板の大きさに対応する大きさの孔開き領域を有する吸引領域設定板を選択する選択手段と、選択手段により選択された所定の吸引領域設定板をテーブル面上に配置する設定板配置手段とを備え、テーブル面上への吸引領域設定板の配置により、テーブル面中の、前記吸引領域設定板の孔開き領域の範囲内に位置する前記吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を可能とし、この吸引領域設定板の孔無し領域の範囲内に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を禁止するように構成したことを特徴とするものである。
【００１１】
前記孔開き領域は、吸引領域設定板中に１つの孔を開けて形成した領域としたり、吸引領域設定板中に複数の孔を開けて形成した領域としたりすることができ、前記基板吸引固定装置は、１つの孔を開けて形成した孔開き領域を有する吸引領域設定板をテーブル面に配置する際には、上記孔が少なくとも１つの吸引孔を含むように上記吸引領域設定板をテーブル面上に配置するものである。また、複数の孔を開けて形成した孔開き領域を有する吸引領域設定板がテーブル面に配置される際には、各孔それぞれが少なくとも１つの吸引孔を含むように上記吸引領域設定板をテーブル面上に配置することが好ましい。
【００１２】
なお、前記基板は、例えば、上記基板はプリント基板作成用の感光材料層を有する基板、あるいは液晶表示器やプラズマ表示器等のディスプレイ用基板作成用の感光材料層を有する基板等とすることができる。
【００１３】
【発明の効果】
本発明の第１の基板吸引固定装置は、選択手段により選択された所定のシート部分を基板載置台のテーブル面上に配置するシート配置手段を備え、このシート配置手段によるテーブル面上へのシート部分の配置により、テーブル面中の、上記シート部分の孔開き領域内に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を可能とし、このシート部分の孔開き領域外に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を禁止するように構成したので、基板に対して吸着力を付与できる、上記シートの孔開き領域内に位置する吸引孔にのみ負圧が与えられ、他方、基板の吸着に寄与しない上記シートの孔開き領域外に位置する吸引孔においては空気の流れ込みを防止することができる。さらに、互いに異なる大きさの孔開き領域を有するシート部分を容易に作成することができるとともに、孔開き領域を有するシート部分を容易に増やすことができるので、装置コストの増大を抑えてテーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類を増やすことができる。
【００１４】
本発明の第２の基板吸引固定装置は、吸引領域指定手段により指定された所定の吸引領域外のテーブル面に複数の孔無しシートを配置するシート搬送手段を備え、このシート搬送手段によるテーブル面上への前記複数の孔無しシートの配置により、テーブル面中の、上記孔無しシートが配置された範囲内に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を禁止し、この孔無しシートが配置された範囲外に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を可能とするように構成したので、大きさが互いに異なる吸引領域をテーブル面上に容易に作成することができ、装置コストの増大を抑えてテーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類を増やすことができる。
【００１５】
本発明の第３の基板吸引固定装置は、選択手段により選択された所定の吸引領域設定板をテーブル面上に配置する設定板配置手段を備え、この設定板配置手段によるテーブル面上への吸引領域設定板の配置により、テーブル面中の、上記吸引領域設定板の孔開き領域の範囲内に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を可能とし、この吸引領域設定板の孔開き領域の範囲外に位置する吸引孔からの減圧吸引手段による吸引を禁止するように構成したので、互いに異なる大きさの孔開き領域を有する吸引領域設定板を容易に作成することができるとともに、孔開き領域を有する吸引領域設定板を容易に増やすことができるので、装置コストの増大を抑えてテーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類を増やすことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。図１は本発明の第１の実施の形態の基板吸引固定装置の概略構成を示す斜視図、図２（ａ）は基板載置台の構造を示す拡大平面図、図２（ｂ）は基板載置台の構造を示す拡大側面図、図３は吸引領域設定シートのシート部分を示す拡大平面図である。
【００１７】
第１の実施の形態による基板吸引固定装置１００Ａは、減圧吸引部１０と、減圧吸部１０に接続された多数の吸引孔２１が配されたテーブル面２２を有する基板載置台２０と、互いに異なる大きさの孔開き領域Ｑａを有する、それぞれがテーブル面２２に対応する大きさの複数のシート部分３１Ａ、３２Ａ、３３Ａを備えた吸引領域設定シート３０Ａと、複数のシート部分３１Ａ、３２Ａ、３３Ａからテーブル面２２に配置するプリント配線用の基板１Ａの大きさに対応する大きさの孔開き領域Ｑａを有するシート部分を、この基板１Ａに印刷されたバーコード２Ａの読み取りによって選択する選択手段であるバーコードリーダ４０Ａと、バーコードリーダ４０Ａによって選択された基板１Ａの大きさに対応する所定のシート部分を、テーブル面２２上に配置するシート配置部５０Ａとを備えている。
【００１８】
バーコードリーダ４０Ａは、基板１に印刷された基板の大きさを示すバーコードを読み取ってこの基板の大きさを示すシート選択信号をシート配置部５０Ａに出力する。
【００１９】
シート配置部５０Ａは、吸引領域設定シート３０Ａの一端が接続された、この吸引領域設定シート３０Ａを筒状に巻き取った巻軸５１Ａと、吸引領域設定シート３０Ａの他端が接続され、上記巻軸５１Ａに巻き取られた吸引領域設定シート３０Ａをテーブル面２２上に引き出すための巻軸５２Ａと、吸引領域設定シート３０を巻き取る方向に巻軸５１Ａを回転付勢する付勢用モータ５３Ａと、吸引領域設定シート３０Ａを引き出す方向に巻軸５２Ａを回転させるステッピングモータ５４Ａと、バーコードリーダ４０Ａから出力された上記シート選択信号を入力し、このシート選択信号が示す基板の大きさに対応するシート部分がテーブル面２２上に引き出されるようにステッピングモータ５４Ａを制御する制御部５５Ａとを備えている。
【００２０】
なお、上記装置の全体の動作およびこの動作のタイミング等はコントローラ７０Ａによって制御される。
【００２１】
次に上記実施の形態における作用について説明する。
【００２２】
基板載置台２０に固定しようとする基板１Ａに印刷されたバーコード２Ａをバーコードリーダ４０Ａで読み取る。バーコードリーダ４０Ａで読み取られた基板１Ａの大きさを示すシート選択信号がシート配置部５０Ａの制御部５５Ａおよびコントローラ７０Ａへ出力される。
【００２３】
シート選択信号を入力したコントローラ７０Ａは減圧吸引部１０による吸引孔２１からの吸引動作を中断させる。
【００２４】
また、シート選択信号を入力した制御部５５Ａは、入力されたシート選択信号に基づいて、ステッピングモータ５４Ａを制御して巻軸５２Ａを回転させ。吸引領域設定シート３０Ａ中の基板１Ａの大きさに対応するシート部分３２Ａを引き出してこのシート部分３２Ａをテーブル面２２上に位置させる。
【００２５】
その後、基板供給回収装置７５により、テーブル面２２上に配置されたシート部分３２Ａの孔開き領域Ｑａ上に基板１Ａが載置されると、基板供給回収装置７５から基板載置完了信号が出力される。この基板載置完了信号を入力したコントローラ７０Ａからの命令により減圧吸引部１０の減圧吸引動作の中断が解除される。
【００２６】
これにより、減圧吸引部１０による、テーブル面２２のシート部分３２Ａの孔開き領域Ｑａの範囲内に位置する吸引孔２１からの吸引によって、基板１Ａがテーブル面２２上に吸引固定される。一方、このシート部分３２Ａの孔開き領域Ｑａ外の範囲内に位置する吸引孔２１からの吸引が禁止される。したがって、基板１Ａは孔開き領域Ｑａ外の範囲に位置する吸引孔２１からの吸引漏れの影響を受けることなく基板載置台２０上に固定される。
【００２７】
上記のように、基板載置台上に固定しようとする基板毎に、この基板の大きさに対応した孔開き領域を有するシート部分を自動的にテーブル面上に配置することができるので、互いに異なる大きさの孔開き領域を有するシート部分を容易に増やすことができ、装置コストの増大を抑えてテーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類を増やすことができる。
【００２８】
以下、本発明の第２の実施の形態について、図面を用いて説明する。図４（ａ）は本発明の第２の実施の形態の基板吸引固定装置の概略構成を示す平面図、図４（ｂ）は上記装置の正面図、図５は基板載置台のテーブル面上に吸引領域が設定された様子を示す平面図である。なお、第２の実施の形態における減圧吸引部、基板載置台、および基板供給回収装置は上記第１の実施の形態と同様の構成からなるので、これらの構成要素は上記第１の実施の形態と同じ符号を使用し説明を省略する。
【００２９】
第２の実施の形態の基板吸引固定装置１００Ｂは、テーブル面２２に配置する基板１Ｂに対応した、テーブル面２２中の所定の吸引領域を指定する吸引領域指定手段であるバーコードリーダ４０Ｂと、複数の孔無しシートである孔無しシート３１Ｂ、３２Ｂ、および３３Ｂを互いに異なる方向へ搬送して、バーコードリーダ４０Ｂにより指定された所定の吸引領域外のテーブル面２２に孔無しシート３１Ｂ、３２Ｂ、および３３Ｂを配置するシート搬送部５０Ｂとを備えている。
【００３０】
バーコードリーダ４０Ｂは、基板１Ｂに印刷された基板の大きさを示すバーコード２Ｂを読み取ってこの基板の大きさを示す吸引領域指定信号をシート搬送部５０Ｂに出力する。
【００３１】
シート搬送部５０Ｂは、孔無しシート３１Ｂを横方向（図中矢印Ｙ方向）に搬送してテーブル面２２に配置するシートスライドシステム５１と、孔無しシート３２Ｂを横方向（図中矢印Ｙ方向）に搬送してテーブル面２２に配置するシートスライドシステム５２と、孔無しシート３３Ｂを縦方向（図中矢印Ｘ方向）に搬送してテーブル面２２に配置するシートスライドシステム５３とを有している。
【００３２】
シートスライドシステム５１は、装置本体に固定された２つの内レール５１ｅと、これら２つの内レール５１ｅにそれぞれ組み合わされる２つの外レール５１ｆと、これら２つの外レール５１ｆにまたがって配置された孔無しシート３１Ｂと、上記２つの外レール５１ｆを移動させる駆動源５１ｇとからなる。
【００３３】
シートスライドシステム５２は、上記と同様に，２つの内レール５２ｅと、２つの外レール５２ｆと、シート３２Ｂと、駆動源５２ｇとからなる。
【００３４】
シートスライドシステム５３も上記と同様に、２つの内レール５３ｅと、２つの外レール５３ｆと、孔無しシート３３Ｂと、駆動源５３ｇとからなる。
【００３５】
このシート搬送部５０Ｂは、さらにバーコードリーダ４０Ｂから出力された上記吸引領域指定信号を入力し、この吸引領域指定信号によって指定された所定の吸引領域Ｑｂ外のテーブル面２２に孔無しシート３１Ｂ、３２Ｂ、および３３Ｂが配置されるように各シートスライドシステム５１、５２、５３を制御する制御部５５Ｂを備えている。
【００３６】
なお、上記装置の全体の動作およびこの動作のタイミング等はコントローラ７０Ｂによって制御される。
【００３７】
次に上記実施の形態における作用について説明する。
【００３８】
基板載置台２０に固定しようとする基板１Ｂに印刷されたバーコード２Ｂをバーコードリーダ４０Ｂで読み取る。バーコードリーダ４０Ｂで読み取られた基板１Ｂの大きさを示す吸引領域指定信号がシート配置部５０Ｂの制御部５５Ｂおよびコントローラ７０Ｂへ出力される。
【００３９】
吸引領域指定信号を入力したコントローラ７０Ｂは減圧吸引部１０による吸引孔２１からの吸引動作を中断させる。
【００４０】
また、吸引領域指定信号を入力した制御部５５Ｂは、入力された吸引領域指定信号に基づいて、各シートスライドシステム５１、５２、５３を制御し、孔無しシート３１Ｂをテーブル面２２中の上記所定の吸引領域Ｑｂ外の図中矢印−Ｙ方向側に配置し、孔無しシート３２Ｂをテーブル面２２中の上記所定の吸引領域Ｑｂ外の図中矢印＋Ｙ方向側に配置し、孔無しシート３３Ｂをテーブル面２２中の上記所定の吸引領域Ｑｂ外の図中矢印＋Ｘ方向側に配置する。
【００４１】
その後、基板供給回収装置７５により、テーブル面２２上の吸引領域Ｑｂに基板１Ｂが載置されると、基板供給回収装置７５から基板載置完了信号が出力される。この基板載置完了信号を入力したコントローラ７０からの命令により減圧吸引部１０の減圧吸引動作の中断が解除される。
【００４２】
これにより、テーブル面２２中の、孔無しシート３１Ｂ、３２Ｂ、および３３Ｂが配置された範囲内に位置する吸引孔２１からの減圧吸部１０による吸引が禁止され、これらの孔無しシートが配置された範囲外に位置する吸引孔２１からのみ減圧吸部１０による吸引が可能となり、テーブル面２２の吸引領域Ｑｂの範囲内に位置する吸引孔２１からの吸引によって基板１が、テーブル面２２上に吸引固定される。したがって、基板１Ｂは上記孔無しシートが配置された範囲外に位置する吸引孔２１からの吸引漏れの影響を受けることなく基板載置台２０上に固定される。
【００４３】
上記のように、基板載置台上に固定しようとする基板毎に、この基板の大きさに対応した吸引領域を自動的にテーブル面上に設定することができるので、装置コストの増大を抑えてテーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類を増やすことができる。
【００４４】
なお、上記実施の形態においては、複数の孔無しシートを互いに異なる方向へ搬送する場合を示したが、このような場合に限らず、１つの孔無しシートのみを１方向に搬送するようにしてもよい。この場合には上記実施の形態のおける３つの孔無しシートのうちのいずれか２つを固定して１つの孔無しシートのみを搬送可能とする態様となる。
【００４５】
以下、本発明の第３の実施の形態について、図面を用いて説明する。図６は本発明の第３の実施の形態の基板吸引固定装置の概略構成を示す斜視図、図７は複数の吸引領域設定板を示す図である。なお、第３の実施の形態における減圧吸引部、基板載置台、および基板供給回収装置は上記第１の実施の形態と同様の構成からなるので、これらの構成要素は上記第１の実施の形態と同じ符号を使用し説明を省略する。
【００４６】
第３の実施の形態による基板吸引固定装置１００Ｃは、減圧吸引部１０と、減圧吸部１０に接続された多数の吸引孔２１が配されたテーブル面２２を有する基板載置台２０と、互いに異なる大きさの孔開き領域Ｑｃを有する、それぞれがテーブル面２２に対応する大きさの複数の吸引領域設定板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃと、複数の吸引領域設定板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃからテーブル面２２に配置する基板１の大きさに対応する大きさの孔開き領域Ｑｃを有する吸引領域設定板を、この基板１Ｃに印刷されたバーコード２Ｃの読み取りによって選択する選択手段であるバーコードリーダ４０Ｃと、バーコードリーダ４０Ｃによって選択された基板１Ｃに対応する所定の吸引領域設定板を、テーブル面２２上に配置する設定板配置部５０Ｃとを備えている。
【００４７】
バーコードリーダ４０Ｃは、基板１に印刷された基板の大きさを示すバーコードを読み取ってこの基板の大きさを示すシート選択信号を設定板配置部５０Ｃに出力する。
【００４８】
設定板配置部５０Ｃは、吸引領域設定板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃをテーブル面２２上に供給配置するとともに、テーブル面２２上に配置された吸引領域設定板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃを回収する設定板供給回収装置５１Ｃと、バーコードリーダ４０Ｃから出力された上記シート選択信号を入力し、このシート選択信号が示す基板の大きさに対応する吸引領域設定板がテーブル面２２上に供給配置されるように設定板供給回収装置５１Ｃを制御する制御部５５Ｃとを備えている。
【００４９】
なお、上記装置の全体の動作およびこの動作のタイミング等はコントローラ７０Ｃによって制御される。
【００５０】
次に上記実施の形態における作用について説明する。
【００５１】
基板載置台２０に固定しようとする基板１Ｃに印刷されたバーコード２Ｃをバーコードリーダ４０Ｃで読み取る。バーコードリーダ４０Ｃで読み取られた基板１の大きさを示すシート選択信号が設定板配置部５０Ｃの制御部５５Ｃおよびコントローラ７０Ｃに出力される。
【００５２】
シート選択信号を入力したコントローラ７０Ｃは減圧吸引部１０による吸引孔２１からの吸引動作を中断させる。
【００５３】
また、シート選択信号を入力した設定板配置部５０Ｃの制御部５５Ｃは、入力されたシート選択信号に基づいて、設定板供給回収装置５１Ｃを制御して、吸引領域設定板３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃ中の基板１Ｃの大きさに対応する吸引領域設定板３２Ｃをテーブル面２２上に供給配置する。
【００５４】
その後、基板供給回収装置７５により、テーブル面２２上に配置された吸引領域設定板３２Ｃの孔開き領域Ｑｃ上に基板１Ｃが載置されると、基板供給回収装置７５から基板載置完了信号が出力される。この基板載置完了信号を入力したコントローラ７０Ｃからの命令により減圧吸引部１０の減圧吸引動作の中断が解除される。
【００５５】
これにより、減圧吸引部１０による、テーブル面２２の吸引領域設定板３２Ｃの孔開き領域Ｑｃの範囲内に位置する吸引孔２１からの吸引によって、基板１Ｃがテーブル面２２上に吸引固定される。一方、この吸引領域設定板３２Ｃの孔開き領域Ｑｃ外の範囲内に位置する吸引孔２１からの吸引が禁止される。したがって、基板１Ｃは吸引孔２１からの吸引漏れの影響を受けることなく基板載置台２０上に固定される。
【００５６】
上記のように、基板載置台上に固定しようとする基板毎に、この基板の大きさに対応した孔開き領域を有する吸引領域設定板を自動的にテーブル面上に配置することができるので、互いに異なる大きさの孔開き領域を有する吸引領域設定板を容易に増やすことができ、装置コストの増大を抑えてテーブル面上に設定する吸引領域の大きさの種類を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の基板吸引固定装置の概略構成を示す斜視図
【図２】基板載置台の構造を示す図
【図３】吸引領域設定シートのシート部分を示す拡大平面図
【図４】第２の実施の形態の基板吸引固定装置の概略構成を示す図
【図５】基板載置台のテーブル面上に吸引領域が設定された様子を示す平面図
【図６】第３の実施の形態の基板吸引固定装置の概略構成を示す斜視図
【図７】複数の吸引領域設定板を示す図
【符号の説明】
１Ａ    基板
２Ａ    バーコード
１０    減圧吸引部
２０    基板載置台
２１    吸引孔
２２    テーブル面
３０Ａ    吸引領域設定シート
３１Ａ、３２Ａ、３３Ａ    シート部分
４０Ａ    バーコードリーダ
５０Ａ    シート配置部
７０Ａ    コントローラ
７５    基板供給回収装置
１００Ａ    基板吸引固定装置
【図１】
2004322254.tif 000003
【図２】
2004322254.tif 000004
【図３】
2004322254.tif 000005
【図４】
2004322254.tif 000006
【図５】
2004322254.tif 000007
【図６】
2004322254.tif 000008
【図７】
2004322254.tif 000009