(57)【要約】【課題】高熱伝導性樹脂及びグリース用フィラーに適した、耐水性に優れた窒化アルミニウム粉末の製造方法、及びその耐水性窒化アルミニウム粉末等を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム粉末と有機化合物とを混合し、あるいは、他の手段によって、窒化アルミニウム粉末と有機化合物とを接触状態に置いて、熱処理することを特徴とする、窒化アルミニウム粉末の表面を炭素質被膜で被覆した、耐水性に優れた窒化アルミニウム粉末の製造方法、該方法で作製された耐水性窒化アルミニウム粉末、該耐水性窒化アルミニウム粉末を含む樹脂組成物、及びこの樹脂組成物を構成要素として含む半導体封止材。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
耐水性を付与した窒化アルミニウム粉末を製造する方法であって、窒化アルミニウム粉末と有機化合物、又は窒化アルミニウム粉末と有機化合物と炭素単体とを、非酸化性ガス中で熱処理し、窒化アルミニウム粉末の表面を炭素質被膜で被覆することを特徴とする耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
【請求項２】
１０００℃以上の温度で熱処理することを特徴とする請求項１記載の耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
【請求項３】
窒化アルミニウム粉末を、気体状有機化合物、又は気体状有機化合物と非酸化性ガスとの混合ガス中で熱処理することを特徴とする請求項１又は２記載の耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
【請求項４】
非酸化性ガスが、希ガスであることを特徴とする請求項１又は３記載の耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
【請求項５】
窒化アルミニウム粉末が、フラックスによる球状化処理を施した窒化アルミニウム粉末であることを特徴とする請求項１又は３記載の耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の方法で作製された、耐水性窒化アルミニウム粉末。
【請求項７】
請求項６記載の耐水性窒化アルミニウム粉末を含有することを特徴とする樹脂ないしグリース組成物。
【請求項８】
請求項７記載の樹脂組成物を構成要素として含むことを特徴とする半導体封止材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐水性を改善したフィラー用窒化アルミニウム粉末に関するものであり、更に詳しくは、例えば、樹脂、ゴム、グリースなどに混合して熱伝導率を高めるためのフィラーに適した、優れた耐水性を有する窒化アルミニウム粉末の製造方法、該方法により作製した耐水性窒化アルミニウム粉末、及びこれを含む高熱伝導性樹脂及びグリース組成物に関するものである。本発明は、高熱伝導性を維持しつつ、耐湿信頼性に優れた半導体封止用樹脂組成物等の提供するものとして有用である。
【０００２】
【従来の技術】
窒化アルミニウム粉末は、高熱伝導性を利用する種々の用途に活用が期待されている。しかし、窒化アルミニウム粉末は、耐水性が低く、空気中の水分と容易に反応して、特性が劣化したり、長期安定性に欠けるという問題がある。そこで、従来から、表面に保護被膜を設けたり、物理吸着や化学吸着、表面反応を利用して、耐水性を改善する試みがなされてきた。それらの方法を例示すると、例えば、有機物を表面に吸着させる方法（非特許文献１−３）  、表面に安定な酸化被膜を設ける方法（非特許文献４）  、表面に酸窒化物層を形成する方法（特許文献１）  、リン酸等を表面に吸着させる方法（非特許文献５、６）  などが提案されている。
【０００３】
更に、例えば、表面をアルミニウム硫酸塩で被覆する方法（特許文献２）  、アルコキシシラン分解物を使用する方法（特許文献３）  、表面を樹脂で被覆する方法（非特許文献７）  、水飽和炭酸ガスで表面を処理する方法（特許文献４、非特許文献８）  、活性酸素で表面を処理する方法（特許文献５）  、酸化珪素、炭化珪素や有機珪素化合物で被覆する方法（非特許文献５、６）  、金属の化合物の蒸気により表面に無機質皮膜を形成する方法（特許文献６）  、２層以上の被膜を形成する方法（特許文献７−１０）  などが提案されている。しかし、いずれの方法によっても、耐水性の改善効果が不十分であったり、珪素、酸素、リンなどの熱伝導性を損なう元素を多く含有したり、高価、あるいは有毒な薬品を必要とする等の問題点が残っており、当該技術分野では、それらを改善することが強く要請されていた。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−１４４８０９号公報
【特許文献２】
特開平７−３３４１３号公報
【特許文献３】
特開平９−１８３６１０号公報
【特許文献４】
特開平３−２７９２６３号公報
【特許文献５】
特開平６−１１５９１２号公報
【特許文献６】
特開平６−１４４８０８号公報
【特許文献７】
特開平８−２６７０７号公報
【特許文献８】
特開昭６２−２０７７７０号公報
【特許文献９】
特開２００２−５３７３６号公報
【特許文献１０】
特開２００２−２２６２０７号公報
【非特許文献１】
宇津木弘他，  日本化学会誌，  Ｖｏｌ．１９８５  ｎｏ．６  ｐ．１２６５−１２６９（１９８５）
【非特許文献２】
Ｍａｋｏｔｏ  Ｅｇａｓｈｉｒａ  ｅｔｃ．，  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ａｍｅｒｉｃａｎ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｓｏｃｉｅｔｙ，  Ｖｏｌ．７７，  Ｎｏ．７，  ｐ．１７９３−１７９８  （１９９４）
【非特許文献３】
Ｙ．Ｑ．ＬＩ  ｅｔｃ．，  ＪＯＵＲＮＡＬ  ＯＦ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ  ＳＣＩＥＮＣＥ  ＬＥＴＴＥＲＳ，  Ｖｏｌ．１５，  ｐ．１７５８−１７６１  （１９９６）
【非特許文献４】
Ｙｕａｎ  Ｑｉａｎｇ  Ｌｉ  ｅｔｃ．，  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｂｕｌｌｅｔｉｎ，  Ｖｏｌ．３２，  Ｎｏ．９，  ｐ．１１７３−１１７９  （１９９７）
【非特許文献５】
Ｋｒｉｓｔｏｆｆｅｒ  Ｋｒｎｅｌ  ｅｔｃ．，  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ａｍｅｒｉｃａｎ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｓｏｃｉｅｔｙ，  Ｖｏｌ．８３，  Ｎｏ．６，  ｐ．１３７５−１３７８  （２０００）
【非特許文献６】
Ｋｒｉｓｔｏｆｆｅｒ  Ｋｒｎｅｌ  ｅｔｃ．，  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ｅｕｒｏｐｅａｎ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｓｏｃｉｅｔｙ，  Ｖｏｌ．２１，  ｐ．２０７５−２０７９  （２００１）
【非特許文献７】
高田潤子，  粉体工学会誌，  Ｖｏｌ．２９，  Ｎｏ．１１，  ｐ．８３１−８３７  （１９９２）
【非特許文献８】
杉山和夫他，  粉体工学会誌，  Ｖｏｌ．２９，  Ｎｏ．９，  ｐ．６８２−６８７  （１９９２）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このような状況の中で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、上記従来技術の問題点を抜本的に解決することを目標として、鋭意研究を積み重ねた結果、窒化アルミニウム粉末と、有機化合物などを混合し、不活性ガス中で熱処理することで、窒化アルミニウム粉末の表面が炭素質被膜で被覆されて耐水性が向上することを見出すと共に、更に、研究を続けた結果、有機化合物などをあらかじめ混合しておく必要はなく、窒化アルミニウム粉末を気体状有機化合物を流しながら熱処理することでも同様の効果が得られること見出し、本発明を完成するに至った。
本発明は、熱伝導性を損なう元素の含有をできるだけ少なくし、高価、あるいは有毒な薬品を使用せずに、優れた耐水性を有する窒化アルミニウム粉末を製造する方法を提供することを目的とするものである。
更に、本発明は、窒化アルミニウムの高熱伝導性を維持しつつ、耐湿信頼性に優れた半導体封止材用樹脂組成物及び放熱用グリース組成物を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。
（１）耐水性を付与した窒化アルミニウム粉末を製造する方法であって、窒化アルミニウム粉末と有機化合物、又は窒化アルミニウム粉末と有機化合物と炭素単体とを、非酸化性ガス中で熱処理し、窒化アルミニウム粉末の表面を炭素質被膜で被覆することを特徴とする耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
（２）１０００℃以上の温度で熱処理することを特徴とする前記（１）記載の耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
（３）窒化アルミニウム粉末を、気体状有機化合物、又は気体状有機化合物と非酸化性ガスとの混合ガス中で熱処理することを特徴とする前記（１）又は（２）記載の耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
（４）非酸化性ガスが、希ガスであることを特徴とする前記（１）又は（３）記載の耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
（５）窒化アルミニウム粉末が、フラックスによる球状化処理を施した窒化アルミニウム粉末であることを特徴とする前記（１）又は（３）記載の耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法。
（６）前記（１）から（５）のいずれかに記載の方法で作製された、耐水性窒化アルミニウム粉末。
（７）前記（６）記載の耐水性窒化アルミニウム粉末を含有することを特徴とする樹脂ないしグリース組成物。
（８）前記（７）記載の樹脂組成物を構成要素として含むことを特徴とする半導体封止材。
【０００７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について更に詳細に説明する。
本発明は、上述のように、耐水性を付与した窒化アルミニウム粉末を製造する方法であって、窒化アルミニウム粉末と有機化合物、又は窒化アルミニウム粉末と有機化合物と炭素単体とを、非酸化性ガス中で熱処理し、窒化アルミニウム粉末の表面を炭素質被膜で被覆することを特徴とするものである。本発明で用いる窒化アルミニウム粉末は、例えば、直接窒化法、還元窒化法、気相反応法など、どのような方法で製造されたものであっても良い。本発明では、原料として特別なものを用意する必要はなく、一般に市販されている窒化アルミニウム粉末を使用することができる。保存状態が悪く加水分解が進みすぎた窒化アルミニウム粉末を使用すると、本発明の耐水化処理を施すことによって微量のアルミナが発生することがあるが、高熱伝導性樹脂及びグリース用フィラーとして用いるには悪影響は少なく、差し支えない。
【０００８】
また、先行文献（特開２００２−１７９４１３号公報）に示されるような方法によって、窒化アルミニウム粉末を、例えば、炭酸カルシウム、酸化カルシウム、カルシウムアルミネート等のフラックス中で加熱することによって、球に近い形状、あるいは角が丸くなった形状の窒化アルミニウム粉末（以下、球状窒化アルミニウム粉末と記載する。）が得られる。この球状窒化アルミニウム粉末は、樹脂との混練時やグリースに混合したときの流動性が高く、高熱伝導性樹脂及びグリース用フィラーとして極めて好ましい形状をしている。一方、このような用途では、高い耐水性が要求されるが、球状窒化アルミニウム粉末は耐水性が低くそのままで使用するのは好ましくない。そこで、球状窒化アルミニウム粉末を、その形状や流動性を損なうことなく高い耐水性を付与することが望まれる。本発明では、この球状窒化アルミニウム粉末を原料に使用することによって、球に近い形状、あるいは角が丸くなった形状を保ったままで優れた耐水性を持つ窒化アルミニウム粉末を製造することができる。
【０００９】
本発明で用いる熱処理中の雰囲気は、非酸化性ガスで、窒化アルミニウムや炭素と加熱温度で実質的に反応を起こさない雰囲気であればどのようなものでも良い。好適には、例えば、アルゴン、キセノン、ヘリウムなどの希ガスが用いられるが、それに限らず、水素、窒素のように窒化アルミニウムや炭素と加熱温度で実質的に反応を起こさないガスであれば何でも良い。これらのうち、希ガスが著しく効果が高く特に好ましい。窒素も有効であるが、希ガスに比べると効果は劣る。酸化性雰囲気は、窒化アルミニウムや炭素と反応するので好ましくない。しかし、重大な反応を起こさない程度の少量の酸化性ガスの混入は差し支えない。
【００１０】
本発明では、有機化合物のみを使用しても、有機化合物に炭素単体を加えて使用しても良い。本発明で用いる有機化合物は、窒化アルミニウムと好ましくない反応を起こしたり、窒化アルミニウム粉末に残留して好ましくない効果を及ぼす成分を含まないもので、熱処理温度以下で熱分解して炭素を生じるものであれば何でも良い。炭素単体とは、例えば、アモルファスカーボン、グラファイト、カーボンナノチューブ、コークスなどの炭素の種々の同素体である。使用する炭素単体の形状は、通常は、微粉末が用いられるが、微細な繊維やフレークなどの形状でも良い。以下、これらの有機化合物や炭素単体のことを炭素源と記載する。
【００１１】
本発明では、通常は、窒化アルミニウム粉末と炭素源とを混合して加熱するが、必ずしも加熱前に混合しておく必要はない。加熱中に炭素源が溶融して、あるいは、気化して窒化アルミニウム粉末と接触するような状況であっても差し支えない。例えば、室温で固体の有機化合物を窒化アルミニウム粉末の付近に置いて、加熱中に溶融した有機化合物が毛細管現象で窒化アルミニウム粉末の間隙に浸透する方法がある。このような方法では、過剰な炭素が窒化アルミニウム粉末中に大量に残留することを防いだり、過剰な炭素を窒化アルミニウム粉末から分離し易くなる場合がある。
【００１２】
必要とされる炭素源の量は、状況により異なる。本来の耐水化のために消費される炭素は比較的少量であると考えられるが、導入する不活性ガスなどの雰囲気には、通常は、酸素や水蒸気などの不純物が含まれており、これらが炭素を消費してしまう。炭素が不足すると、窒化アルミニウムが不純物と反応して酸化アルミニウムに変化する。一般的には、炭素が不足しないように、雰囲気中の不純物の量に応じた充分に過剰な炭素源を加えるのが良い。また、窒化アルミニウム粉末よりも先にガスの流れが接する部分に炭素源を多く配置し、そこで不純物の多くを反応させてしまう方法も有効である。例えば、容器に窒化アルミニウム粉末と炭素源とを混合した粉末を入れ、その上を炭素粉末で層状に薄く覆う方法がある。
【００１３】
加熱の方法は、通常の抵抗加熱式電気炉で差し支えないが、例えば、イメージ炉や高周波炉など、どのような方法で加熱しても良い。加熱時間は、数分から数時間であり、加熱温度によって異なるが、厳密な調整をする必要はない。必要以上に長時間加熱しても大きな問題はない。加熱温度は１０００℃以上の温度であることが必要である。１０００℃未満では炭素質の被膜の形成が不完全で、充分な効果は現れない。
【００１４】
また、窒化アルミニウム粉末を単独で加熱し、加熱中に気体状有機化合物を炉内に導入して窒化アルミニウム粉末と接触させる方法をとっても良い。有機化合物は、例えば、メタン、エチレン、アセチレン、ベンゼン、エチルアルコール、エチルエーテル、アセトン等の加熱温度以下で分解して炭素を発生するものであれば何でも良い。また、有機化合物のガスを単独で使用しても、非酸化性ガスで希釈して使用しても良い。エチルアルコール等の室温で液体の有機化合物中に不活性ガスを通して、不活性ガスに有機化合物の蒸気を含ませて炉内に導入する方法が、可燃性ガスのボンベを必要としないので、取扱の容易さや安全性の点で優れている。
【００１５】
大量の窒化アルミニウム粉末を気体状有機化合物と接触させる場合、単に窒化アルミニウム粉末を入れた容器を炉内に静置するだけでは、容器下部まで気体状有機化合物が到達するのに時間が掛かったり、上部と下部とで反応が不均一になる恐れがある。その場合には、容器下部からガスを導入したり、水平に近い回転軸で容器を回転させて内部の窒化アルミニウム粉末を撹拌する等の対策がある。加熱によって生成する炭素質被膜は、使用する炭素源や加熱温度などの条件によって変わるが、緻密な膜であることも、多孔質膜や、微粒子が層状に集合したものであることもある。緻密な膜ではない場合でも、水分の拡散の障害となるため、耐水性向上に効果がある。また、多孔質膜や、微粒子が層状に集合したものの方が、緻密な膜より、力が加わった時に一気に剥離しにくいので有利な場合もある。
【００１６】
以上の手順によって、耐水性に優れた窒化アルミニウム粉末を得ることができる。得られた窒化アルミニウム粉末中には、過剰の炭素粉末が混入していることがある。この炭素粉末は、窒化アルミニウム粉末と炭素粉末との粒子径や比重の違いを利用して分離しても良いが、ＩＣパッケージ用の高熱伝導性樹脂のような用途では、カーボンブラックが着色剤として添加されるので、得られた粉末中の炭素をそのまま着色剤として利用することもできる。
【００１７】
本発明の方法によって、窒化アルミニウム粉末の表面が炭素質被膜で被覆された耐水性の高い窒化アルミニウム粉末を製造することができる。また、条件によっては、炭素質被膜の下に、炭素と酸素とが１：１のモル比で共に固溶した窒化アルミニウム固溶体（（Ａｌ２  ＯＣ）１  −ｘ（ＡｌＮ）ｘ，０＜ｘ＜１）の層が形成されて、更に耐水性を高めることが可能である。
【００１８】
以上の方法で得られた窒化アルミニウム粉末は、高熱伝導性を維持しつつ、高い耐水性を有している。そこで、例えば、これを樹脂に混合することによって、長期的に安定で熱伝導率が高い半導体封止材用樹脂組成物を得ることができる。また、例えば、これをグリースに混合することによって、グリースの熱伝導率を高めて、長期的に安定で、熱伝導率が高い放熱用グリースを得ることができる。更に、球状窒化アルミニウム粉末を原料とした耐水性窒化アルミニウム粉末を使用すれば、流動性が高く、長期的に安定で熱伝導率が高い半導体封止材用樹脂組成物及び放熱用グリースを得ることができる。基剤とする樹脂及びグリースの成分としては、一般的に、半導体封止材や放熱用グリースの用途に使用されているものを使用することができる。本発明では、上記樹脂及びグリースの種類は特に制限されるものではなく、必要に応じて適宜の種類のものを使用することができる。これまで、耐水性に優れた窒化アルミニウム粉末の製造に当たって、窒化アルミニウム粉末と炭素源とを熱処理し、窒化アルミニウム粉末の表面を炭素質被膜で被覆することを検討した例は見当たらない。
【００１９】
【実施例】
次に、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
実施例１
ポリエチレングリコール（分子量４０００）１ｇを、アセトン３０ｃｃに溶解し、市販の直接窒化法による窒化アルミニウム粉末（平均粒径２ミクロン）３ｇを投入して混合し、撹拌しながら乾燥した。乾燥後、乳鉢で粗く砕いて混合粉末とした。アルミナ製反応ボートに混合粉末を入れて、平らにならした。その上に１ｍｍ程度の厚さで層状にカーボンブラックを乗せて、下の混合粉末を覆った。アルゴンガスを毎分０．５リットルの割合で流しながら、横型管状炉で１３５０℃で３時間加熱して、目的の窒化アルミニウム粉末を得た。
【００２０】
実施例２
市販の直接窒化法による窒化アルミニウム粉末（平均粒径２ミクロン）と、炭酸カルシウムとを、モル比で８：２に混合し、タングステン炉で窒素雰囲気中１８００℃で６時間加熱した。これを塩酸に入れて、フラックス成分の酸化カルシウムなどを溶解除去し、球状窒化アルミニウム粉末を得た。この球状窒化アルミニウム粉末４ｇを、フェノール樹脂１ｃｃをエチルアルコール２ｃｃで希釈した液に投入して、混合し、撹拌しながらエチルアルコールを蒸発させて、混合物の塊とした。その塊を小さく分けて、アルミナ製反応ボートに入れ、その上に１ｍｍ程度の厚さで層状にカーボンブラックを乗せて、下の混合物の小塊を覆った。アルゴンガスを毎分０．５リットルの割合で流しながら、横型管状炉で１３００℃で３時間加熱して、目的の窒化アルミニウム粉末を得た。
【００２１】
実施例３
混合粉末の作り方と加熱温度以外は、実施例１と同様にして目的の窒化アルミニウム粉末を得た。ただし、加熱温度は１０００℃とした。混合粉末は、次の手順で作製した。市販の直接窒化法による窒化アルミニウム粉末（平均粒径２ミクロン）４ｇと、アセチレンカーボンブラック０．２ｇとを、ポリエチレングリコール０．５ｇをアセトン１５ｃｃに溶解した液に投入して、混合し、撹拌しながら乾燥した。乾燥後、乳鉢で粗く砕いて、混合粉末とした。
【００２２】
実施例４
混合粉末の作り方と加熱温度以外は、実施例３と同様にして目的の窒化アルミニウム粉末を得た。ただし、加熱温度は１３００℃とした。混合粉末は、実施例２と同様にして作製した球状窒化アルミニウム粉末４ｇと、アセチレンカーボンブラック０．２ｇとを、ポリエチレングリコール０．５ｇをアセトン１５ｃｃに溶解した液に投入して、混合し、撹拌しながら乾燥した。乾燥後、乳鉢で粗く砕いて、混合粉末とした。
【００２３】
実施例５
加熱温度を１４００℃とした以外は、実施例４と同様にして、目的の窒化アルミニウム粉末を得た。
【００２４】
実施例６
アルゴンガスに替えて窒素ガスを使用した以外は、実施例４と同様にして、目的の窒化アルミニウム粉末を得た。
【００２５】
実施例７
球状窒化アルミニウム粉末４ｇと共にアセチレンカーボンブラック０．２ｇをフェノール樹脂１ｃｃをエチルアルコール２ｃｃで希釈した液に投入した以外は、実施例２と同様にして、目的の窒化アルミニウム粉末を得た。
【００２６】
実施例８
市販の直接窒化法による窒化アルミニウム粉末（平均粒径２ミクロン）を、アルミナ製反応ボートに深さ４ｍｍ程度に入れ、エチルアルコールの入ったガス洗浄瓶を通して、エチルアルコールの蒸気を含ませたアルゴンガスを毎分０．５リットルの割合で流しながら、横型管状炉で１４００℃で３時間加熱して、目的の窒化アルミニウム粉末を得た。
【００２７】
比較例１
市販の直接窒化法による窒化アルミニウム粉末（平均粒径２ミクロン）６ｇを、アルミナ製反応ボートに入れて、アルゴンガスを毎分０．５リットルの割合で流しながら、横型管状炉で１４００℃で３時間加熱して、窒化アルミニウム粉末を得た。
【００２８】
これらの実施例１〜８及び比較例１で得られた窒化アルミニウム粉末の耐水性を、以下の方法で測定した。すなわち、蒸留水５０ｃｃを４０℃に保ち、窒化アルミニウム粉末１ｇを投入して、撹拌しながらｐＨメータでｐＨの時間変化を調べた。なお、この場合、以下の点を考慮した。
（１）反応ボートの上部にカーボンブラックの層がある場合には、これを取り除いた残りを用いて測定した。
（２）反応ボートの上部の窒化アルミニウム粉末が雰囲気中の不純物と反応して酸化アルミニウムになっている場合には、その部分を取り除いた残りを用いて測定した。
（３）窒化アルミニウム粉末に炭素が混入している場合には、窒化アルミニウム１ｇ分が含まれる量の粉末を用いて測定した。
（４）窒化アルミニウム粉末が固まっている場合には、乳鉢等で軽く解砕して測定した。
【００２９】
窒化アルミニウム粉末を水中に投入すると、加水分解してアンモニアを発生し、水のｐＨが上昇する。ｐＨの上昇が遅い方が、加水分解が遅いこと、すなわち、耐水性が高いことを示す。表１に、窒化アルミニウム粉末を投入してからｐＨが８．５及び９．０に達するまでの時間を分単位で示した。表中、「∞」は、そのｐＨには永久に到達しない、すなわち、そのｐＨに達する前にｐＨが下降し始めたことを示す。ｐＨが下降するのは、窒化アルミニウムの加水分解速度が小さく、新たに発生するアンモニアが少ないので、水面から大気中に飛散するアンモニアの方が多くなった結果である。
【００３０】
比較例２として、実施例１、３、８で使用した市販の窒化アルミニウム粉末をそのままで水中に投入した場合、比較例３として、実施例２、４、５、６、７で使用した球状窒化アルミニウム粉末を耐水化処理をしないでそのまま水中に投入した場合のｐＨの時間変化を調べた結果を表１に示す。表１に示したように、実施例１、３、８では、比較例２に比べて、実施例２、４、５、６、７は比較例３に比べて、ｐＨの上昇に時間が掛かり耐水性が向上していることが分かった。比較例１で耐水性が低いのは、耐水性の向上には炭素源の存在が必要であることを示している。
実施例２、４、５、６、７では耐水化処理の前後で球状窒化アルミニウム粉末の形状に目立った変化は見られなかった。この方法では、球に近い形状、あるいは角が丸くなった形状を保ったままで耐水性を付与することができた。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
実施例９
実施例４で得られた球状の耐水性窒化アルミニウム粉末と、市販の液体状フェノール樹脂とを、重量比で３：１の割合に混合して、半導体封止材用樹脂組成物を作製した。混合後の樹脂組成物は、良好な流動性を示した。
【００３３】
実施例１０
実施例４で得られた球状の耐水性窒化アルミニウム粉末と、市販のシリコングリースとを、重量比で１：１の割合に混合して放熱用グリースを作製した。混合後のグリース組成物は、良好な流動性を示した。
【００３４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明は、耐水性窒化アルミニウム粉末の製造方法、耐水性窒化アルミニウム粉末、及び樹脂組成物等に係るものであり、本発明により、以下のような効果が奏される。
（１）優れた耐水性を有する窒化アルミニウム粉末を簡便なプロセスで製造することができる。
（２）本発明によると、珪素、酸素、リンなどの熱伝導性を損なう元素の含有が少なく、高熱伝導性樹脂及びグリース用フィラーに適した、耐水性に優れた窒化アルミニウム粉末を、高価、あるいは有毒な薬品を使用しないで製造することができる。
（３）得られた窒化アルミニウム粉末は、高熱伝導性を維持しつつ、高い耐水性を有する。
（４）上記窒化アルミニウム粉末を樹脂又はグリースに混合することにより、長期的に安定で熱伝導率が高い半導体封止材用樹脂組成物又は放熱用グリースが得られる。