(57)【要約】【課題】本発明は、電子放出源と引出電極である金属電極との距離を均一に配置することができる平面ディスプレイの電子放出源及びその製造方法、平面ディスプレイを提供する。【解決手段】ガラス基板１は、平面ディスプレイを構成した際に映像が表示される表示領域Ａと、それ以外の非表示領域Ｂとに分けられる。ガラス基板１の表示領域Ａ上には、複数の表示部絶縁衝立２が垂設され、表示部絶縁衝立２で挟まれたガラス基板１上にカソード配線電極３が配置されている。さらに、カソード配線電極３上には、電子放出材料４が配置されている。また、ガラス基板１の非表示部Ｂ上には、非表示部絶縁衝立５が垂設されている。なお、表示部絶縁衝立２と非表示部絶縁衝立５とは、ガラス基板１からの高さが同じである。表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５上には、引出電極７が配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成されたカソード配線電極と、
前記カソード配線電極上に形成された電子放出材料と、
前記基板上の表示領域に形成され、引出電極を支持する第１衝立と、
前記基板上の非表示領域に形成され、前記引出電極の端部を前記第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立とを備える、
電子放出源。
【請求項２】
請求項１に記載の電子放出源であって、
前記第２衝立は、前記引出電極と電気的に接続するための配線を備えていることを特徴とする、
電子放出源。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の電子放出源と、
前記電子放出源と対向する位置に蛍光体が形成された発光部とを備え、
前記電子放出源が形成された第１基板と前記発光部が形成された第２基板とによって囲まれる空間が略真空であることを特徴とする、
平面ディスプレイ。
【請求項４】
（ａ）基板上にカソード配線電極を形成する工程と、
（ｂ）前記カソード配線電極上に電子放出材料を形成する工程と、
（ｃ）前記基板上の表示領域に、引出電極を支持する第１衝立を形成する工程と、
（ｄ）前記基板上の非表示領域に、前記引出電極の端部を前記第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立を形成する工程と、
（ｅ）前記引出電極を前記第１衝立上に固着材で固定して支持し、前記引出電極の端部を前記第２衝立に固着材で固定する工程とを備える、
電子放出源の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の電子放出源の製造方法であって、
前記工程（ｃ）の前記第１衝立と前記工程（ｄ）前記第２衝立とを同じ部材で同時に形成することを特徴とする、
電子放出源の製造方法。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載の電子放出源の製造方法であって、
前記工程（ｄ）後に、前記第２衝立上に配線を形成する工程と、
前記工程（ｅ）後に、前記引出電極と前記配線とを電気的に接続する工程とをさらに備えたことを特徴とする、
電子放出源の製造方法。
【請求項７】
（ａ）基板上にカソード配線電極を形成する工程と、
（ｂ）前記カソード配線電極上に電子放出材料を形成する工程と、
（ｃ）前記基板上の表示領域に、引出電極を支持する第１衝立を形成する工程と、
（ｄ）前記基板上の非表示領域に、前記引出電極の端部を前記第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立を形成する工程と、
（ｅ）前記第１衝立上に固着材を形成した後、前記引出電極を前記第１衝立上に配置して固着材で固定して支持し、前記引出電極の端部を前記第２衝立に固着材で固定する工程とを備える、
電子放出源の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子放出源及びその製造方法に係る発明であって、特に、電子が蛍光体に衝突することで発光する平面ディスプレイに使用される電界放出型の電子放出源及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子放出源から放出された電子が蛍光体に衝突することで発光する平面ディスプレイ（例えば、フィールド・エミッション・ディスプレイ（ＦＥＤ））は、当該電子放出源にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を用いたものが提案されている。ＣＮＴは、グラファイトの単層が円筒状に閉じ、かつ円筒の先端部に五員環が形成された構造をしている。ＣＮＴの代表的な直径は、１０〜５０ｎｍと微小である。そのため、ＣＮＴに１００Ｖ程度の電圧を印加することにより、ＣＮＴの先端から電子を電界放出させることができる。このような、電子放出源にＣＮＴを用いた平面ディスプレイとしては、特許文献１にその詳細が示されている。
【０００３】
また、ＣＮＴを電子放出源とした平面ディスプレイにおいて、電子を無駄なく蛍光部へ衝突させるために、電子放出源と発光部との間に金属部材を配置している平面ディスプレイが提案されている。このような、金属部材を配置した平面ディスプレイとしては、特許文献２及び特許文献３にその詳細が示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１６２３８３号公報（第２−４頁、第１図）
【特許文献２】特開２００２−２５４７７号公報（第３−６頁、第１−３図）
【特許文献３】特許第３４０２８９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＣＮＴの電子放出源では、電子をいかにして無駄なく蛍光部に衝突させるかが重要である。そのため、電子放出源上に金属電極である引出電極を配置し、電子放出源と引出電極間を均一に保って配置することが重要である。特許文献２では、表示部に存在する衝立（リブ）で引出電極を挟むことで、電子放出源と引出電極との距離を一定に保っている。しかし、特許文献２には、表示部以外で引出電極を保持する構造はなく、電子放出源と引出電極との距離を平面ディスプレイ内において均一にすることが困難である。さらに、引出電極を支持する衝立（リブ）の高さが、表示部と非表示部で不揃いであれば、引出電極がガラス基板に対して平行となりにくく、電子放出源と引出電極間との距離にばらつきが発生し易くなる。
【０００６】
一方、特許文献３には、引出電極を固着させ電子放出源との距離を均一にする工夫がされているが、引出電極の固定用の開口部にスクリーン印刷法で固着材を充填した後に固着する方法であるため、固着位置次第では、固着材が電子放出材料と融合し電子放出材料と引出電極との間に不要な電気的接続を発生させてしまう恐れがあった。また、固定用の開口部の形状によっては、固着材を充填する回数が多く必要となる場合があった。
【０００７】
そこで、本発明は、金属部材である引出電極との距離を均一に配置することができる平面ディスプレイの電子放出源及びその製造方法、平面ディスプレイを提供することを目的とする。また、本発明は、電子放出材料と引出電極との間に不要な電気的接続を形成する恐れのない、電子放出源の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る解決手段は、基板上に形成されたカソード配線電極と、カソード配線電極上に形成された電子放出材料と、基板上の表示領域に形成され、引出電極を支持する第１衝立と、基板上の非表示領域に形成され、引出電極の端部を第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立とを備える。
【０００９】
また、本発明に係る解決手段は、基板上にカソード配線電極を形成する工程（ａ）と、カソード配線電極上に電子放出材料を形成する工程（ｂ）と、基板上の表示領域に、引出電極を支持する第１衝立を形成する工程（ｃ）と、基板上の非表示領域に、引出電極の端部を第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立を形成する工程（ｄ）と、引出電極を第１衝立上に固着材で固定して支持し、引出電極の端部を第２衝立に固着材で固定する工程（ｅ）とを備える。
【００１０】
さらに、本発明に係る解決手段は、基板上にカソード配線電極を形成する工程（ａ）と、カソード配線電極上に電子放出材料を形成する工程（ｂ）と、基板上の表示領域に、引出電極を支持する第１衝立を形成する工程（ｃ）と、基板上の非表示領域に、引出電極の端部を第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立を形成する工程（ｄ）と、第１衝立上に固着材を形成した後、引出電極を第１衝立上に配置して固着材で固定して支持し、引出電極の端部を第２衝立に固着材で固定する工程（ｅ）とを備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に記載の電子放出源は、基板上に形成されたカソード配線電極と、カソード配線電極上に形成された電子放出材料と、基板上の表示領域に形成され、引出電極を支持する第１衝立と、基板上の非表示領域に形成され、引出電極の端部を第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立とを備えので、焼成後の引出電極の上面から電子放出材料までの距離を引出電極の全面にわたって均一化することができる効果がある。
【００１２】
本発明に記載の電子放出源の製造方法は、基板上にカソード配線電極を形成する工程と、カソード配線電極上に電子放出材料を形成する工程と、基板上の表示領域に、引出電極を支持する第１衝立を形成する工程と、基板上の非表示領域に、引出電極の端部を第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立を形成する工程と、引出電極を第１衝立上に固着材で固定して支持し、引出電極の端部を第２衝立に固着材で固定する工程とを備えるので、焼成後の引出電極の上面から電子放出材料までの距離を均一化するための第２衝立を有する電子放出源を容易に製造することができる効果がある。
【００１３】
本発明に記載の電子放出源の製造方法は、基板上にカソード配線電極を形成する工程と、カソード配線電極上に電子放出材料を形成する工程と、基板上の表示領域に、引出電極を支持する第１衝立を形成する工程と、基板上の非表示領域に、引出電極の端部を第１衝立と同じ高さで固定する第２衝立を形成する工程と、第１衝立上に固着材を形成した後、引出電極を第１衝立上に配置して固着材で固定して支持し、引出電極の端部を第２衝立に固着材で固定する工程とを備えるので、電子放材料と引出電極との間に不要な電気的接続を形成することなく、電子放出源を製造することができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
図１に、本実施の形態に係る電子放出源の断面図を示す。以下に、電子放出源の構成について説明する。まず、ガラス基板１は、平面ディスプレイを構成した際に映像が表示される表示領域Ａと、それ以外の非表示領域Ｂとに分けられる。ガラス基板１の表示領域Ａ上には、複数の表示部絶縁衝立（リブ）２が垂設され、表示部絶縁衝立２で挟まれたガラス基板１上にカソード配線電極３が配置されている。さらに、カソード配線電極３上には、電子放出材料４（例えば、ＣＮＴ）が配置されている。
【００１６】
また、ガラス基板１の非表示部Ｂ上には、非表示部絶縁衝立（リブ）５が垂設されている。この非表示部絶縁衝立５上には、引出配線６が配置されている。表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５上には、引出電極７が配置されている。なお、表示部絶縁衝立２と非表示部絶縁衝立５とは、同じ材質でも異なる材質でも良いが、ガラス基板１からの高さが同じになるように引出電極７を支持できることが必要である。また、非表示部絶縁衝立５は、図１に示すような単純な形状のみに限られず、引出電極７を支持する部分とそれ以外の部分とで高さが異なるような形状であっても良い。但し、非表示部絶縁衝立５の引出電極７を支持する部分は、表示部絶縁衝立２と同じ高さであることが必要である。
【００１７】
表示部絶縁衝立２上には引出電極７を固定する固着材のフリットガラスペースト８が形成されており、このフリットガラスペースト８により、引出電極７は表示部絶縁衝立２上に固定し支持されている。また、引出電極７の端部は、非表示部絶縁衝立５上で固着材であるフリットガラスペースト８により固定されている。さらに、導電性ペースト９により、引出配線６と引出電極７とが電気的接続されている。
【００１８】
次に、電子放出源及びそれを用いた平面ディスプレイの動作について説明する。まず、カソード配線電極３に所定の電圧を印加することで、電子放出材料４から電子が放出される。放出された電子は、カソード配線電極３と引出電極７との電位差により、引出電極７の方向に加速され、表示部絶縁衝立２を障壁にして引出電極７の開口部１０を通過する。開口部１０を通過した電子は、電子放出材料４の対向する位置に形成されたカラス基板上の蛍光体（図示せず）に衝突する。蛍光体に電子が衝突することにより、平面ディスプレイの画素が発光し、所望の映像を得ることができる。
【００１９】
図２に、本実施の形態に係る電子放出源の製造プロセス図を示す。以下に、本実施の形態に係る電子放出源の製造方法について説明する。まず、ガラス基板１上に、所定のパターンのカソード配線電極３を形成する。カソード配線電極３は、基本的にガラス基板１の表示領域Ａ上に形成されるが、カソード配線電極３の一部は、電圧を印加するためにガラス基板１の非表示領域Ｂ上に引き出されている。また、カソード配線電極３は、導電材料をスパッタ等で成膜し、写真製版技術でパターニングすることで形成する。なお、スクリーン印刷等で、カソード配線電極３を形成しても良い。
【００２０】
次に、カソード配線電極３上には、電子放出材料４（例えばＣＮＴ）をスクリーン印刷する。図２（ａ）に、電子放出材料４を形成後の電子放出源の断面図を示す。ここで、平面ディスプレイを構成するフロントガラス基板の蛍光体（図示せず）に対向する位置に、電子放出材料４が形成される。この蛍光体が、平面ディスプレイの画素を構成する。
【００２１】
次に、ガラス基板１の表示領域Ａ上に、表示部絶縁衝立２が形成される。この表示部絶縁衝立２は、スクリーン印刷した後に焼成を行う工程を複数回行うことで、所望の高さに形成される。また、同時にガラス基板１の非表示領域Ｂ上に、非表示部絶縁衝立５が形成される。非表示部絶縁衝立５も、スクリーン印刷した後に焼成を行う工程を複数回行うことで、表示部絶縁衝立２と同一の高さに形成される。図２（ｂ）に、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５を形成後の電子放出源の断面図を示す。なお、上記工程のように、先に電子放出材料４を形成し、後で表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５を形成するのではなく、先に表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５をスクリーン印刷により形成し、後で電子放出材料４を形成しても良い。また、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５をサンドブラスト法で形成しても良い。
【００２２】
上記工程では、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５を同一の工程で形成したが、表示部絶縁衝立２を形成した後に、非表示部絶縁衝立５を形成する工程でも良い。この場合、表示部絶縁衝立２と非表示部絶縁衝立５との材料が異なっても良いが、ガラス基板１からの高さが同じになるように引出電極７を支持できることが必要である。電子放出材料４から放出された電子が引出電極７の開口部１０を通過して蛍光体に対し均一に衝突するためには、例えば、表示部絶縁衝立２の高さを５０μｍ、幅が２００μｍ、間隔が４００μｍとし、非表示部絶縁衝立５の高さを５０μｍ、幅が８０ｍｍとすることにより可能である。なお、上記の数値は例示であり、平面ディスプレイの解像度や輝度等の設計値に応じて表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５の間隔・高さ・幅が変更される。
【００２３】
また、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５は、スクリーン印刷した後に焼成を行う工程を複数回行うことで形成している。しかし、この方法を用いると、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５の幅が、個々の印刷で大きく異なる場合がある。そのため、表示部絶縁衝立２と非表示部絶縁衝立５表示部との高さが均一に形成し難い。そこで、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５を複数のスクリーン印刷で形成した後、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５の高さを均一化するために研磨を行う。研磨により表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５の高さが均一になった後に、焼成を実施する。例えば、５０μｍの高さの表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５をスクリーン印刷で形成し、その後表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５を研磨・焼成して、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５の高さを３０μｍにする。これにより、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５は、均一な高さ（３０μｍ）を得ることができる。なお、平面ディスプレイの解像度や輝度等の設計値に応じて表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５の高さは変更される。
【００２４】
次に、ガラス基板１の非表示部絶縁衝立５上に、引出電極７と電気的に接続するための引出配線６をスクリーン印刷で形成する。なお、引出配線６は、スクリーン印刷後に焼成される。図２（ｃ）に、引出配線６を形成後の電子放出源の断面図を示す。ここで、本実施の形態では、引出配線６用の材料として銀ペーストを用いスクリーン印刷により、引出配線６を形成した。しかし、引出配線６は、引出電極７と電気的に接続可能な材料であれば良く、その他の材料を用いて形成しても良い。
【００２５】
次に、固着材のフリットガラスペースト８を表示部絶縁衝立２上にスクリーン印刷で形成した後、表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５上に引出電極７を配置する。図２（ｄ）に、引出電極７を配置後の電子放出源の断面図を示す。ここで、引出電極７は１枚の金属板であって、電子放出材料４から放出された電子を通過させるための開口部１０とフリットガラスペースト８で固定するための孔１１とが所定の位置に設けられている。また、本実施の形態では、引出電極７には厚さ３０μｍのニッケル含有合金を用いる。なお、必要に応じて引出電極７の厚さ、材質及び開口部１０の寸法等を変更しても良い。この引出電極７は、開口部１０が電子放出材料４上に、孔１１が表示部絶縁衝立２上になるように配置される。また、引出電極７の端部近傍には、引出配線６と接続するための孔１２も設けられている。
【００２６】
次に、引出電極７が表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５上に固定される。表示部絶縁衝立２上にフリットガラスペースト８をスクリーン印刷で形成した後、引出電極７を表示部絶縁衝立２上に配置し焼成することにより固着させて固定する。また、引出電極７の端部もフリットガラスペースト８を用いて、引出配線６が形成された非表示部絶縁衝立５上に固着させて固定する。図２（ｅ）に、引出電極７を固定後の電子放出源の断面図を示す。なお、フリットガラスペースト８以外の材料を用いて表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５と固着させても良い。また、表示部絶縁衝立２が引出電極７を支持した状態で、引出電極７の孔１１にフリットガラスペースト８を流し込み焼成を行い、引出電極７を表示部絶縁衝立２上に固着させて固定しても良い。
【００２７】
次に、引出電極７が表示部絶縁衝立２及び非表示部絶縁衝立５上に固定された後、引出電極７と非表示部絶縁衝立５上に形成された引出配線６とを電気的に接続する。引出電極７と引出配線６との接続には、導電性ペースト９（例えば銀ペースト）が用いられる。引出電極７の孔１２に導電性ペースト９を塗布し、その後焼成を行い引出電極７と引出配線６とを接続させる。図２（ｆ）に、引出電極７と引出配線６とを接続した後の電子放出源の断面図を示す。なお、本実施の形態では、引出配線６を形成した時に使用した銀ペーストを導電性ペースト９に使用したが、電気的な接続が可能な材料であれば他の導電性ペーストを用いても良い。また、本実施の形態では、引出電極７の端部に形成した孔１２に導電性ペースト９を塗布しているが、引出電極７の端部に形成した孔１２以外（例えば、引出電極７の端部と引出配線６との境界部分）に銀ペーストを塗布し、電気的に接続させても良い。
【００２８】
本実施の形態に係る電子放出源の構造にすると、焼成後の引出電極７の上面から電子放出材料４までの距離が均一化される。例えば、従来の電子放出源の構造では、焼成後の引出電極７の上面から電子放出材料４までの距離を多点測定すると、１０％以上の測定値のバラツキが存在した。一方、本実施の形態に係る電子放出源の構造のように非表示部絶縁衝立５を設けた構造では、焼成後の引出電極７の上面から電子放出材料４までの距離を多点測定すると、５％以内の測定値のバラツキとなる。
【００２９】
以上のように、本実施の形態に記載の電子放出源は、ガラス基板１上に形成されたカソード配線電極３と、カソード配線電極３上に形成された電子放出材料４と、ガラス基板１上の表示領域に形成され、引出電極７を支持する表示部絶縁衝立２と、ガラス基板１上の非表示領域に形成され、引出電極７の端部を表示部絶縁衝立２と同じ高さで固定する非表示部絶縁衝立５とを備えるので、焼成後の引出電極７の上面から電子放出材料４までの距離を引出電極７の全面にわたって均一化することができる。
【００３０】
また、本実施の形態に記載の電子放出源は、非表示部絶縁衝立５が、引出電極７と電気的に接続するための引出配線６を備えているので、非表示部の面積を有効に利用して引出配線６と非表示部絶縁衝立５とを形成できると共に、焼成後の引出電極７の上面から電子放出材料４までの距離の均一化を図れる。
【００３１】
本実施の形態に記載の電子放出源の製造方法は、ガラス基板１上にカソード配線電極３を形成する工程と、カソード配線電極３上に電子放出材料４を形成する工程と、ガラス基板１上の表示領域Ａに、引出電極７を支持する表示部絶縁衝立２を形成する工程と、ガラス基板１上の非表示領域Ｂに、引出電極７の端部を表示部絶縁衝立２と同じ高さで固定する非表示部絶縁衝立５を形成する工程と、引出電極を第１衝立上に固着材で固定して支持し、引出電極の端部を第２衝立に固着材で固定する工程とを備えるので、焼成後の引出電極７の上面から電子放出材料４までの距離を均一化するための非表示部絶縁衝立５を有する電子放出源を容易に製造することができる。
【００３２】
また、本実施の形態に記載の電子放出源の製造方法は、表示部絶縁衝立２上に固着材を形成した後、引出電極７を表示部絶縁衝立２上に配置して固着材で固定し支持して、引出電極７の端部を非表示部絶縁５に固着材で固定するので、表示部絶縁衝立２と引出電極７とを固定する際に位置ズレが生じても、電子放出材料４と引出電極７との間に不要な電気的接続を形成する恐れがなくなる。そして、本実施の形態では、一度の工程で表示部絶縁衝立２上に固着材を形成することが可能であり、固定用の開口部に固着材を充填する場合のように複数回の工程を繰り返す必要がない。
【００３３】
また、本実施の形態に記載の電子放出源の製造方法は、表示部絶縁衝立２と非表示部絶縁衝立５とを同じ部材で同時に形成するので、製造プロセスを簡略化することができると共に、タクトタイムも短縮することができる。
【００３４】
さらに、本実施の形態に記載の電子放出源の製造方法は、非表示部絶縁衝立５上に引出配線６を形成する工程と、引出電極７と引出配線６とを電気的に接続する工程とをさらに備えるので、非表示部の面積を有効に利用する引出配線６を形成することができる。
【００３５】
（実施の形態２）
図３に、本実施の形態に係る平面ディスプレイの断面図を示す。本実施の形態に係る平面ディスプレイは、実施の形態１で説明した電子放出源を利用した平面ディスプレイである。図３では、図１と同様の構成を有する電子放出源が形成されたガラス基板３１が、蛍光体３４が形成されたフロントパネル３２とバックパネル３３に挟まれている。電子放出材料４が形成されている面と蛍光体３４が形成されている面とが対向するように、ガラス基板３１とフロントパネル３２とが配置される。また、ガラス基板３１とフロントパネル３２との間には、電子が放出されやすいように略真空にする必要がある。そこで、フロントパネル３２とバックパネル３３とで囲まれた領域は、バックパネル３３に設けられた排気管３５から真空に引かれる。また、平面ディスプレイを駆動することにより真空度が低下するが、これを防止するためにバックパネル３３にはゲッター３６が設けられている。
【００３６】
以上のように、本実施の形態に記載の平面ディスプレイは、非表示部絶縁衝立５を有する構造の電子放出源と、電子放出源と対向する位置に蛍光体３４が形成された発光部とを備え、電子放出源が形成されたガラス基板３１と発光部が形成されたフロントパネル３２とによって囲まれる空間が略真空であるので、平面ディスプレイの全面にわたって輝度ムラの生じない、表示品位の高い平面ディスプレイを構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態１に係る電子放出源の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る電子放出源の製造プロセスを示す図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る平面ディスプレイの断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  ガラス基板、２  表示部絶縁衝立、３  カソード配線電極、４  電子放出材料、５  非表示部絶縁衝立、６  引出配線、７  引出電極、８  フリットガラスペースト、９  導電性ペースト、１０  開口部、１１，１２  孔、３１  ガラス基板、３２  フロントパネル、３３  バックパネル、３４  蛍光体、３５  排気管、３６  ゲッター。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2004311426.tif 000005