(57)【要約】【課題】バッファの容積効率の高く、搬送ロスが少ない生産ラインの搬送システムを提供する。【解決手段】加工処理単位であるベイａ、ｂ、ｃに、生産装置１〜１８、仕掛り品を一時的に格納するバッファ２０１〜２０３、ベイ内搬送装置１０１〜１０３が、それぞれ分かれて配置されている生産ラインにおいて、各ベイ間相互に仕掛り品を搬送するベイ間搬送装置３０１に補助バッファ４０１を兼備した生産ラインの搬送システムを構築する。【選択図】  図１
2004306174.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部より搬入された素材を加工する生産装置と、前記生産装置で加工処理された仕掛り品を搬送する搬送手段と、前記仕掛り品を一時的に格納するバッファとを有する加工処理単位であるベイが複数設けられている生産ラインの搬送システムであって、
前記バッファに一時的に格納された仕掛り品を各ベイ間で搬送するベイ間搬送装置と、
前記各ベイで加工処理された仕掛り品を、前記ベイ間搬送装置を経由して一時的に格納する補助バッファとを備えたことを特徴とする生産ラインの搬送システム。
【請求項２】
外部より搬入された素材を加工する生産装置と、前記生産装置で加工処理された仕掛り品を搬送する搬送手段と、前記仕掛り品を一時的に格納するバッファとを有する加工処理単位であるベイが複数設けられている生産ラインの搬送システムであって、
前記仕掛り品を一時的に格納する補助バッファと、
前記補助バッファと前記バッファとの間で仕掛り品を搬送するバッファ間搬送装置とを備えたことを特徴とする生産ラインの搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の加工処理単位（ベイ）から構成される生産ラインの搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体等の生産ラインにおいては、ベイ方式と言われる搬送システムが採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
従来の生産ラインの搬送システムについて図面を参照して説明する。
【０００４】
図５は、従来の搬送システムを含む半導体等における生産ラインの搬送システムの概略図を示している。
【０００５】
図５では、生産工場は、加工処理単位であるベイがベイａ、ｂ、ｃの３つに分かれている。ベイａは、生産装置１〜６、ベイ内での仕掛り品の搬送手段であるベイ内搬送装置１０１及び一時的に仕掛り品を格納する役割であるバッファ２０１から構成されている。以下同様に、ベイｂは、生産装置７〜１２と、ベイ内搬送装置１０２とバッファ２０２とで構成され、ベイｃは、生産装置１３〜１８と、ベイ内搬送装置１０３とバッファ２０３とで構成されている。
【０００６】
そして、ベイ間の搬送手段としてのベイ間搬送装置３０１がバッファ２０１、２０２、２０３と向かい合って設けられている。
【０００７】
上記構成の生産ラインにおける搬送方法の例として、ある仕掛り品が生産装置１で処理を完了し、次の工程が生産装置７〜９での処理である場合の仕掛り品の搬送方法を説明する。
【０００８】
仕掛り品が生産装置１で処理を完了したとき、バッファ２０１に空がなければ空きがあるまで待ち、ベイ内搬送装置１０１により生産装置１からバッファ２０１に仕掛り品を搬送する。更に、次工程のバッファ２０２に空きがあれば、ベイ間搬送装置３０１によりバッファ２０１からバッファ２０２に仕掛り品を搬送する。バッファ２０２に格納された仕掛り品は、生産装置７〜９により引き当てられるのを待つ。
【０００９】
バッファ２０２に空がない場合、一つの方法として、処理が完了した仕掛り品はバッファ２０１でバッファ２０２が空くのを待ち、バッファ２０２が空いた後に、バッファ２０１からバッファ２０２へ仕掛り品を搬送する。又は、別の方法として、バッファ２０２が満杯時の仕掛り品の振替え先として別のバッファ（図５の場合、バッファ２０３）をあらかじめ定義しておき、バッファ２０２に空がなければ、バッファ２０３の空を確認して、空があれば仕掛り品をバッファ２０３に搬送し一時的に保管する。バッファ２０３に格納された仕掛り品は、所定の搬送先のバッファ２０２が空くのを待ち、バッファ２０２が空けばバッファ２０３から所定の搬送先のバッファ２０２へ仕掛り品を搬送する。
【００１０】
また、次工程の生産装置に故障やトラブルが発生したり、ある能力の低い生産装置が生産の律速となったりした場合、そこで増加した仕掛り品の在庫もバッファに格納されることになる。このとき、バッファが満杯になり格納できない場合は、搬送元のベイのバッファ又は他の空きのあるバッファに搬送して一時的に格納することもある。
【００１１】
【特許文献１】
特開平６−２０６１４９号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特許文献１の生産ラインの搬送システムでは、バッファにかなり余分な容積（棚数）を確保しないと搬送時間が長くなり、生産装置の待機ロスが発生するという問題がある。
【００１３】
例えば液晶を生産する生産ラインでは、面積が１平方メートル以上の大型のガラス基板が使用されようにもなっている。それに合わせて仕掛り品を一時的に格納するバッファの容積が大きくなり、生産工場全体に占めるバッファの割合が大きくなっている。また、生産装置の故障等のトラブルにより発生する仕掛り品の在庫に備える必要性から各ベイ毎に必要以上に余分な棚を確保すると、更に大容量のバッファが必要になる。そのため、バッファの設置費及びランニングコストがかさみ、生産工場の効率化の観点から棚数を最小限度にしてバッファの容積を減らすことが重要な課題になっている。
【００１４】
また、各ベイのバッファの容量を必要最小限以下にした場合、生産装置の故障又は生産の遅延等のトラブルによって、余分な仕掛り品の在庫が発生すると、バッファに入りきれず溢れた仕掛り品の在庫を別のバッファに振替える必要があった。そのため、ベイ間搬送装置及び振替え先のバッファの搬送負荷が増加するとともに、振替え先から仕掛り品を引き当てた場合、搬送時間が長くなり、生産装置の待機ロスが発生していた。
【００１５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的はバッファの容積を減らしてバッファの設備費及び工場のランニングコストを下げ、また、仕掛り品の搬送ロスを少なくすることができる生産ラインの搬送システムを提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の生産ラインの搬送システムは、外部より搬入された素材を加工する生産装置と、前記生産装置で加工処理された仕掛り品を搬送する搬送手段と、前記仕掛り品を一時的に格納するバッファとを有する加工処理単位であるベイが複数設けられている生産ラインの搬送システムにおいて、前記バッファに一時的に格納された仕掛り品を各ベイ間で搬送するベイ間搬送装置と、前記各ベイで加工処理された仕掛り品を、前記ベイ間搬送装置を経由して一時的に格納する補助バッファとを備えたことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の生産ラインの搬送システムは、外部より搬入された素材を加工する生産装置と、前記生産装置で加工処理された仕掛り品を搬送する搬送手段と、前記仕掛り品を一時的に格納するバッファとを有する加工処理単位であるベイが複数設けられている生産ラインの搬送システムであって、前記仕掛り品を一時的に格納する補助バッファと、前記補助バッファと前記バッファとの間で仕掛り品を搬送するバッファ間搬送装置とを備えたことを特徴とする。
【００１８】
補助バッファを配置することによって、生産装置の故障又は生産の遅延等のトラブルによって発生する仕掛り品の増加分は、補助バッファに一時的に格納することができる。従って、各ベイのバッファは、必要最小限まで小さくなり、工場面積が縮小化されランニングコストの低減ができる。また、仕掛り品の搬送時間が短くなり、生産装置の待機ロスが解消され生産の高効率化が達成できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２０】
＜実施形態１＞
図１は、実施形態１に係る生産ラインの搬送システムの概略図を示している。
【００２１】
図１では、生産工場は、加工処理単位であるベイがベイａ、ｂ、ｃの３つに分かれている。ベイａは、生産装置１〜６、ベイ内での仕掛り品の搬送手段であるベイ内搬送装置１０１及び一時的に仕掛り品を格納する役割であるバッファ２０１とから構成されている。以下同様に、ベイｂは、生産装置７〜１２と、ベイ内搬送装置１０２とバッファ２０２とで構成され、ベイｃは、生産装置１３〜１８と、ベイ内搬送装置１０３とバッファ２０３とで構成されている。
【００２２】
そして、ベイ間搬送装置３０１がバッファ２０１、２０２、２０３と向かい合って設けられており、ベイ間搬送装置３０１の中には補助バッファ４０１が設けられている。ベイ間搬送装置３０１は、バッファ２０１、２０２、２０３及び補助バッファ４０１の相互間で仕掛り品を搬送する。
【００２３】
以下、補助バッファ４０１が設けられているベイ間搬送装置３０１を用いて仕掛り品を搬送する方法を説明する。
【００２４】
例えば、ある仕掛り品が生産装置１で処理を完了し、次の工程が７〜９の生産装置の場合、次工程のバッファ２０２に空があれば、まずベイ内搬送装置１０１により生産装置１からバッファ２０１に仕掛り品を搬送し、次にベイ間搬送装置３０１によりバッファ２０１からバッファ２０２に仕掛り品を搬送する。
【００２５】
バッファ２０２に格納された仕掛り品は、生産装置７〜９により引き当てられるのを待つ。また次工程のバッファ２０２に空がなければ、まずベイ内搬送装置１０１により生産装置１からバッファ２０１に仕掛り品を搬送し、次にベイ間搬送装置３０１によりバッファ２０１から一旦補助バッファ４０１に仕掛り品を搬送する。
【００２６】
そして、バッファ２０２に空ができたとき、ベイ間搬送装置３０１は補助バッファ４０１に格納されている仕掛り品をバッファ２０２に搬送する。生産装置７〜９は、仕掛り品を処理することができれば、バッファ２０２にある処理可能な仕掛り品の中から所定のディスパッチングルールにより処理すべき仕掛り品を引き当てて、ベイ内搬送装置１０２により、その仕掛り品を生産装置７〜９に搬送する。
【００２７】
その時のディスパッチングルールは、例えば、先入れ先出し（バッファ２０２への到着順）でも良いし、納期に対して最も余裕の少ない仕掛り品を選択しても良いし、特急品等の優先度の高い仕掛り品を優先して選択しても良いし、次工程の仕掛り量の少ない仕掛り品を選択しても良い。
【００２８】
なお、図１ではベイ間搬送装置を環状としているが、直線状であってもよい。
【００２９】
次に、実施形態１の生産ラインにおける仕掛り品の搬送処理動作について、図１に示す生産ラインに投入された素材ロットは、ベイａ内の生産装置１〜６のいずれかで処理され、次の工程が生産装置７〜９での処理である場合を例に、図２のフローチャートを参照して再度説明する。
【００３０】
まず、ステップＳ１０１で、投入された素材ロットはベイａ内の生産装置１〜６のいずれかで処理される。
【００３１】
ステップＳ１０２では、ベイｂ内に配置されている搬送先バッファ２０２の空状況を確認する。その結果、搬送先バッファ２０２に空があればステップＳ１０６へ進み、搬送先バッファ２０２へ仕掛り品を搬送する。一方、搬送先バッファ２０２に空がなければステップＳ１０３へ進む。
【００３２】
続いてステップＳ１０３では補助バッファ４０１の空状況を確認する。その結果、補助バッファ４０１に空があればステップＳ１０４へ進み、補助バッファ４０１へ仕掛り品を搬送する。一方、補助バッファ４０１に空がなければ、再度ステップＳ１０２、Ｓ１０３を実行し、搬送先バッファ２０１又は補助バッファ４０１に空ができるまで待つ。
【００３３】
ステップＳ１０５では、次工程の生産装置７〜９が配置されているベイｂ内の搬送先バッファ２０２の空状況を確認する。その結果、搬送先バッファ２０２に空があればステップＳ１０６へ進み、搬送先バッファ２０２に仕掛り品を搬送する。一方、搬送先バッファ２０２に空がなければ、再度ステップＳ１０５を実行し、搬送先バッファ２０２に空ができるまで待つ。
【００３４】
ステップＳ１０７では、搬送先バッファ２０２において次工程の生産装置が配置されているベイｂ内の生産装置７〜９からの仕掛り品の引き当てを待ち、引き当てがあればステップＳ１０８へ進む。
【００３５】
ステップＳ１０８では、ベイｂ内に配置されている搬送先バッファ２０２から、ベイ内搬送装置１０２によって、その仕掛り品を引き当てた生産装置７〜９へ仕掛り品を搬送する。
【００３６】
ステップＳ１０９では、ベイｂ内の生産装置７〜９で仕掛り品の処理を実行する。
【００３７】
ステップＳ１１０では、現在の工程が最終工程であるかどうかを判断し、最終工程であればステップＳ１１１へ進み、その生産ラインでの仕掛り品の処理は終了する。一方、最終工程でなければステップＳ１０２に戻って処理を実行する。
【００３８】
ステップＳ１１１では、仕掛り品の処理が終了した製品ロットの払出しのために、払出し先まで製品ロットを搬送する。
【００３９】
＜実施形態２＞
図３は、実施形態２に係る生産ラインの搬送システムの概略図を示している。
【００４０】
図３の実施形態２においても、実施形態１と同様に３つのベイａ、ｂ、ｃに分かれている。また、３つのベイａ、ｂ、ｃは、実施形態１と同じ構成になっている。
【００４１】
本実施形態では、補助バッファ４０１が、バッファ２０１、２０２、２０３と向かい合って設けられている。そして、補助バッファ４０１内には、バッファ間搬送装置５０１、５０２、５０３が設けられている。
【００４２】
以下、補助バッファ４０１及びバッファ間搬送装置５０１、５０２、５０３を用いて仕掛り品を搬送する方法を説明する。
【００４３】
例えば、ある仕掛り品が生産装置１で処理を完了し、次の工程が７〜９の生産装置の場合、次工程のバッファ２０２に空があれば、まずベイ内搬送装置１０１により生産装置１からバッファ２０１に仕掛り品を搬送し、次にバッファ間搬送装置５０１により補助バッファ４０１に仕掛り品を搬送し、次にバッファ間搬送５０２により補助バッファ４０１からバッファ２０２に仕掛り品を搬送する。
【００４４】
バッファ２０２に格納された仕掛り品は、生産装置７〜９により引き当てられるのを待つ。また、次工程のバッファ２０２に空がなければ、まず、ベイ内搬送装置１０１により生産装置１からバッファ２０１に仕掛り品を搬送し、次に、バッファ間搬送装置５０１によって、バッファ２０１から補助バッファ４０１に仕掛り品を搬送し、一時的に格納する。
【００４５】
そして、バッファ２０２に空ができたとき、バッファ間搬送装置５０２は補助バッファ４０１に格納されている仕掛り品をバッファ２０２に搬送する。生産装置７〜９は、仕掛り品を処理することができれば、バッファ２０２のなかの処理可能な仕掛り品の中から所定のディスパッチングルールにより処理すべき仕掛り品を引き当てて、ベイ内搬送装置１０２により、その仕掛り品をバッファ２０２から生産装置７〜９に搬送する。
【００４６】
次に、実施形態２の生産ラインにおける仕掛り品の搬送処理動作について、図３に示す生産ラインに投入された素材ロットは、ベイａ内の生産装置１〜６のいずれかで処理され、次の工程が生産装置７〜９での処理である場合を例に、図４のフローチャートを参照して再度説明する。
【００４７】
まず、ステップＳ２０１で、素材ロットはベイａ内の生産装置１〜６のいずれかで処理される。
【００４８】
ステップＳ２０２では、ベイｂ内に配置されている搬送先バッファ２０２の空状況を確認する。その結果、搬送先バッファ２０２に空があればステップＳ２０６へ進み、搬送先バッファ２０２へ仕掛り品を搬入する。一方、搬送先バッファ２０２に空がなければステップＳ２０３へ進む。
【００４９】
続いてステップＳ２０３では補助バッファ４０１の空状況を確認する。その結果、補助バッファ４０１に空があればステップＳ２０４に進み、補助バッファ４０１に仕掛り品を搬入する。一方、補助バッファ４０１に空がなければ再度ステップＳ２０３を実行し補助バッファ４０１に空きができるまで待つ。
【００５０】
ステップＳ２０５では、次工程の生産装置７〜９が配置されているベイｂ内の搬送先バッファ２０２の空状況を確認する。その結果、搬送先バッファ２０２に空があればステップＳ２０６へ進み、搬送先バッファ２０２に仕掛り品を搬送する。一方、空がなければ再度ステップＳ２０５を実行し、搬送先バッファ２０２に空きができるまで待つ。
【００５１】
ステップＳ２０６では、仕掛り品を搬送先バッファ２０２に搬送する。ステップＳ２０７では、搬送先バッファ２０２において次工程の生産装置７〜９からの仕掛り品の引き当てを待ち、引き当てがあればステップＳ２０８へ進む。
【００５２】
ステップＳ２０８では、搬送先バッファ２０２からベイ内搬送装置１０２によって、その仕掛り品を引き当てた生産装置７〜９へ仕掛り品を搬送する。
【００５３】
ステップＳ２０９では、ベイｂ内の生産装置７〜９の処理を実行する。
【００５４】
ステップＳ２１０では、現在の工程が最終工程であるかどうかを判断し、最終工程であればステップＳ２１１へ進み、その生産ラインでの仕掛り品の処理は終了する。一方、最終工程でなければステップＳ２０２に戻って処理を実行する。
【００５５】
ステップＳ２１１では、仕掛り品の処理が終了した製品ロットの払出しのために、払出し先まで製品ロットを搬送する。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の生産ラインの搬送システムによれば、各ベイのバッファの容積は必要最小限まで小さくなり、工場面積の縮小化によりランニングコストが低減される。また、仕掛り品の搬送時間が短くなり、生産装置の待機ロスが解消され生産の高効率化が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係る生産ラインの搬送システムを示す図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る仕掛り品の搬送処理動作のフローチャート図である。
【図３】本発明の実施形態２に係る生産ラインの搬送システムを示す図である。
【図４】本発明の実施形態２に係る仕掛り品の搬送処理動作のフローチャート図である。
【図５】従来の実施の形態に係る生産ラインの搬送システムを示す図である。
【符号の説明】
ａ、ｂ、ｃ  ベイ
１〜１８  生産装置
１０１〜１０３  ベイ内搬送装置
２０１〜２０３  バッファ
３０１  ベイ間搬送装置
４０１  補助バッファ
５０１〜５０３  バッファ間搬送装置
【図１】
2004306174.tif 000003
【図２】
2004306174.tif 000004
【図３】
2004306174.tif 000005
【図４】
2004306174.tif 000006
【図５】
2004306174.tif 000007