(57)【要約】【課題】薄型パネルへかかる負荷を軽減して搬送される薄型パネルの品質や歩留まりを良好にでき、生産性に優れた薄型パネルの起立装置を提供する。【解決手段】薄型パネルＡが載置され略矩形平板状に形成されたパネル載置部１１と、パネル載置部１１のパネル載置面１１ａ上に配置され気体又は液体をその多数の通気性細孔から面状に噴射させて薄型パネルＡをパネル載置面１１ａから浮上させる略平板状に形成された多孔質体１２と、パネル載置部１１の一端側を連接して回動自在に軸支するパネル回動部１３と、パネル載置部１１が軸支されるパネル回動部１３の逆側に伸延する延長部材１５に取り付けられたバランスウェイト１６と、パネル載置部１１のパネル回動部１３側に配置され傾斜状態に起立された薄型パネルＡの下端部に当接する傾斜搬送用ローラ１９と、で薄型パネルの起立装置１０を構成する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶ガラス基板等の薄型パネルが載置され略矩形平板状に形成されたパネル載置部と、前記パネル載置部のパネル載置面上に配置され気体又は液体をその多数の通気性細孔から面状に噴射させて前記薄型パネルを前記パネル載置面から浮上させる略平板状に形成された多孔質体と、前記パネル載置部の一端側を連接して回動自在に軸支するパネル回動部と、前記パネル載置部の前記パネル回動部側に配置され傾斜状態に起立された前記薄型パネルの下端部に当接する傾斜搬送用ローラと、を有することを特徴とする薄型パネルの起立装置。
【請求項２】
前記パネル載置部が軸支される前記パネル回動部の回動軸の逆側に固定されて伸延する延長部材と、前記延長部材に取り付けられたバランスウェイトとを有することを特徴とする請求項１に記載の薄型パネルの起立装置。
【請求項３】
薄型パネルを積層状に載置して搬送する水平搬送装置の終端が前記パネル載置部に連設され、その終端と直角方向の端部側には前記傾斜搬送搬送用ローラの回転により傾斜状態で取り出される薄型パネルの下端を支持して傾斜状態のまま搬送する傾斜搬送装置が連設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の薄型パネルの起立装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶ガラス基板等の薄型パネルを平面状に載置したまま所定角度の傾斜状態に起立させる薄型パネルの起立装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
パソコンの表示装置などに適用される液晶ガラス基板は年々大型化される傾向にあり、初期のもの（５５０ｘ６５０ｘ０．７ｍｍ）から中期（１０００ｘ１２００ｘ０．７ｍｍ）をへて、最近では（１３６０ｘ１６８０ｘ０．７ｍｍ）などのものに大型化している。
このような液晶ガラス基板はコンベア面などに水平に一枚づつ、若しくは複数積層された水平搬送状態で移送される。
比較的小型の液晶ガラス基板の搬送の際には、カセットの中に２０枚程度の液晶ガラス基板を挿人し、このカセットを自動搬送装置で搬送し、加工工程ではロポツトアームの先部に装備した真空吸着パッドで取り出して、加工が終われば、再びカセットに納入するようにしている。
しかし、液晶ガラス基板を真空吸着パッドでハンドリングする際には薄肉の液晶ガラス基板の中央部に撓み（中期の液晶ガラス基板では約８０ｍｍ）を発生して、割れたり変形したりして品質上や生産上の障害となっている。
液晶ガラス基板の大型化が進んでいるために、液晶ガラス基板をロポツトハンドの真空吸着パットで吸着して移動させるのは殆ど不可能に近くなっている。
さらに、中型や小型の液晶ガラス基板の生産においても、液晶ガラス基板を傾斜させたままその洗浄処理や焼成処理を行いたいとの要望が発生している。
【０００３】
このような薄型パネルの搬送方法やハンドリング装置などに関連して例えば以下のような技術のものが知られている。
（１）特許文献１には、圧力液体の送り込まれる本体の上部に平面部を有する多孔質体を取り付けて多孔質体を通して圧力液体が噴き出されるようにすると共に、搬送される板状部材の両側を駆動するローラを設けて板状部材を搬送しながら洗浄するようにした板状部材の搬送装置が記載されている。
（２）特許文献２には、平面部を有する多孔質体を通して圧力流体が噴き出されるようにすると共に、多孔質体の平面部が傾斜あるいは垂直になるようにし、多孔質体より噴出する圧力流体により支持される板状部材の下端部を支持搬送する搬送手段を設けた板状部材の搬送装置が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−８５４９６号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開２００１−２１３５１７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の技術のものは以下のような課題を有していた。
（１）特許文献１に記載の板状部材の搬送装置を用いたものでは、水平搬送された板状部材をその終端部で所定の傾斜角度に起立させるための有効な手段を有していないので、液晶ガラス基板の大量処理を効率的に行うとができないという課題があった。
（２）特許文献２に記載の搬送装置では、板状部材の傾斜角度が固定されて配置されるので、パネル面等に水平に置かれた板状部材をロボットアームの真空吸着パッド等を機械的に接触保持させて移動させなければならず、板状部材との接触部に傷や変形を生じやすいため品質の信頼性に欠けるという課題があった。
（３）ローラコンベアによって板状部材が水平搬送される場合、板状部材が薄いと反りを生じるために板状部材がローラから次のローラへ移る時にこの端部がローラと衝突して破損する要因となる。このため、板状部材にダメージを与えないで搬送できる速度には限界があって、生産性を一定レベル以上に向上させるのが困難であるという課題があった。
（４）液晶表示装置の精細度は年々上がっており、精細度を上げるためには液晶ガラス基板を薄くしなければならない。しかし液晶ガラス基板を薄くするのに伴って衝撃に対して弱くなって生産性が上がらなくなるという課題があった。
（５）パネル面等に載置された状態の板状部材の表裏両面を洗浄するためには、板状部材を反転させる必要があるが、最近の液晶表示装置用の液晶ガラス基板は厚さが０．７ｍｍ、縦８００ｍｍ、横１１００ｍｍのものが多用されるので、このように薄くて広い液晶ガラス基板の両端を把持して持ち上げると、中央部分の撓みが８０ｍｍ程度にもなる。このため、薄肉の液晶ガラス基板を反転させる作業は容易ではなく、反転に複雑な装置が必要となるという課題があった。
【０００７】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、薄型パネルの大量処理を効率的に行うことができ、薄型パネル面の法線方向へかかる負荷を軽減して、搬送される薄型パネルの品質や歩留まりを良好にすると共に、コンベア装置などで搬送された薄型パネルをロボットアーム等を用いて機械的に接触させることなく取り出したり、反転させたりするなどのハンドリング操作を容易かつ迅速に行うことができる薄型パネルの起立装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するためになされた本発明の内、代表的なものの概要を説明すれば以下のようになる。
（１）本発明の薄型パネルの起立装置は、液晶ガラス基板等の薄型パネルが載置され略矩形平板状に形成されたパネル載置部と、前記パネル載置部のパネル載置面上に配置され気体又は液体をその多数の通気性細孔から面状に噴射させて前記薄型パネルを前記パネル載置面から浮上させる略平板状に形成された多孔質体と、前記パネル載置部の一端側を連接して回動自在に軸支するパネル回動部と、前記パネル載置部の前記パネル回動部側に配置され傾斜状態に起立された前記薄型パネルの下端部に当接する傾斜搬送用ローラと、を有して構成されている。この構成によって、パネル回動部によりパネル載置部を水平位置から所定の傾斜角度に回動させて、パネル載置面に浮上支持された薄型パネルを傾斜状態のまま次工程に供給でき、以降の搬送作業を効率化して、薄型パネルの表裏両面の洗浄処理や加工処理等を行うことができる。
また、この傾斜角度を所定の範囲に設定して、液晶ガラス基板の重さをその下端部側で支持させることによって、薄型パネル面の法線方向にかかる負荷を軽減すると共に、薄型パネルの上端を容易に把持できハンドリングの作業性を良好にして搬送される薄型パネルの品質や歩留まり、生産性を向上できる。
パネル載置部を傾斜させた時に薄型パネルの下端部に当接する傾斜搬送用ローラが設けられているので、パネル載置面上の薄型パネルを、薄型パネルの起立装置に隣接して配置されたパネルを傾斜状態で搬送する傾斜搬送装置や加工処理装置などに効率的に供給できる。
多孔質体から噴出させた気流や液流によって薄型パネルをパネル載置面に浮上させて保持できるので、薄型パネルがパネル載置面と接触せず、また、搬送用ローラとの接触により発生するローラ痕や摺り傷が少なくなり、搬送される薄型パネルの品質保持性に優れている。
【０００９】
（２）本発明の薄型パネルの起立装置は、前記パネル載置部が軸支される前記パネル回動部の回動軸の逆側に固定されて伸延する延長部材と、前記延長部材に取り付けられたバランスウェイトとを有するようにしてもよい。これによって、多孔質体や圧力容器などからなる浮上ユニットを装備したシーソー型の薄型パネルの起立装置を構成して、パネル載置部とバランスウェイトとの重さが平衡する位置にトルクモータ等を備えたパネル回動部の回動軸を装備し、このトルクモータの動力によって、起立装置のパネル載置部が回動される。こうして、パネル載置面上に浮上させた液晶ガラス基板を水平位置から７５〜８５度程度の傾斜角度に起立させる動作をスムーズにすると共に、パネル回動部の始動時や停止時の衝撃を緩和させて薄型パネルを損傷させることなく次工程に供給できる。
【００１０】
（３）本発明の薄型パネルの起立装置は、薄型パネルを積層状に載置して搬送する水平搬送装置の終端が前記パネル載置部に連接され、その終端と直角方向の端部側には前記傾斜搬送用ローラによって傾斜して取り出される薄型パネルの下端をローラで支持して傾斜状態のまま搬送する傾斜搬送装置が連接されるように構成されている。この構成によって、液晶ガラス基板などの加工処理工程で搬送される薄型パネルを水平搬送装置から傾斜搬送装置へ載せ換える際、あるいは傾斜搬送装置から水平搬送装置に載せ換える際に、この異なるラインへの移動操作を起立装置を介して、品質信頼性を保持させたまま効率的かつ迅速に行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態の薄型パネルの起立装置を図面を参照して説明する。
図１は一実施の形態の薄型パネルの起立装置の正面図であり、図２はその平面図、図３はその側面図であり、図４はその動作を示す側面図である。
図１〜図４において、１０は本発明の一実施の形態に係る薄型パネルの起立装置、１０ａは起立装置１０本体部分を水平位置に支持するための水平支持部（水平ストッパ）、１１は薄型パネルが載置される略矩形平板状に形成されたパネル載置部、１２はパネル載置部１１のパネル載置面１１ａ上に配置され圧縮空気などをその多数の通気性細孔から面状に噴射させて薄型パネルを浮上保持させるための浮上ユニットを構成する多孔質体、１３はパネル載置部１２の一端側を連接して回動自在に軸支するパネル回動部、１４はパネル回動部１３の回動軸、１５はパネル載置部１１ａが軸支される回動軸１４の逆側に伸延する延長部材、１６は延長部材１５に取り付けられたバランスウェイト、１７は回動軸１４を回動させるパネル回動部１３のトルクモータ、１８は略矩形状のパネル載置面１１ａの両側部側に沿って配置された薄型パネルの両端部側の面に当接してパネル載置面１１ａ上を進退させるための水平搬送用ローラ、１９は回動軸１４側のパネル載置部１２の端部に配置され、起立状態の薄型パネルの下端に当接して傾斜保持されたパネル載置面１１ａの下端に沿って搬送させるための傾斜搬送用ローラである。
なお、薄型パネルの起立装置１０のパネル供給側には、薄型パネルを積層状で搬送する水平搬送用ローラ２０を備えたベルトコンベアなどの水平搬送装置２１の終端が連接して配置されている。
【００１２】
起立装置１０で取り扱われる薄型パネルとしては、厚みが０．５〜１ｍｍで、縦横の長さがそれぞれ５５０〜１８００ｍｍとなる矩形状等の液晶ガラス基板Ａが適用できる。
起立装置１０は隣接して配置された水平搬送装置２１と、図４に示す傾斜搬送装置３０との間に配置され、水平搬送装置２１から積層状に供給される液晶ガラス基板Ａを所定角度に傾斜させて起立させた後、この液晶ガラス基板Ａを傾斜状態のまま、傾斜搬送コンベア等を備えた次工程に送る機能を有している。
パネル載置部１１は略矩形平板状に形成されその一端側がパネル回動部１３の回動軸１４に固定される。このパネル載置部１１はその回動軸部１４との固定部分を回動軸１４より先に伸延させた延長部材１５を備え、パネル載置部１１の全重量により負荷される回動軸１４の回転モーメントに略平衡する重量のバランスウェイト１６が取り付けられている。
【００１３】
多孔質体１２はアルミナ、シリカ、チタニア、マグネシア、カルシア、イットリア等を含有する焼結体からなる。これらの通気性を有するセラミックス焼結体は表裏に貫通した細孔を穿設して形成することできる他、例えば、以下のようにしても作製される。すなわち、これらのセラミックスの単一成分又は複合成分を含むスラリーを作成して、立体網目状骨格を有する樹脂体等に含浸させ、骨格の空隙部分にあるスラリー過剰分を遠心分離処理等により除去して、前記骨格部分にスラリーを被覆させてなる素地を所定温度で焼成して、所定の強度と連通気孔を有するセラミック体を作製することができる。なお、多孔質体１２の材料は使用環境の温度や化学的安定性、耐用性等の面から選択され、細孔を多数貫通させるようにして形成したポリエチレンやポリプロピレン等の合成樹脂製のものやアルミやアルミ合金等の金属製のものなども適用できる。
【００１４】
平板状に形成された多孔質体１２はその四辺の側端部及び底部をケーシング等で密封され、そのケーシング底部に貫通して取り付けられた流体供給管（圧縮空気導入管）１２ａを介して圧力容器などの流体供給部１２ｂから所定圧力に調整された空気や窒素ガス、アルゴンガスなどの気体、もしくはエタノール系等の有機溶剤、純水、超純水などの液晶ガラス基板洗浄用などの液体が供給され、細孔部分から気体や液体を噴出させるようになっている。
パネル載置面１１ａ上の多孔質体１２は、例えば図２の平面図に示すようにパネル載置部１１の先部側で密となるように５枚分が並列して配置され、その中央部及び回動軸１４側では左右とその中央の３枚が並列になるように配置されている。このように多孔質体１２の配置を所定のパターンとすることにより、液晶ガラス基板Ａを傾斜させたときにかかる負荷の大きさを調整して、回動動作に伴う液晶ガラス基板Ａの破損率の減少や、多孔質体の適正配置による装置コストの低減を図ることもできる。
【００１５】
パネル回動部１３はトルクモータ１７及び、トルクモータ１７で駆動される回動軸１４、回動軸１４に連接された支持部材などを有して構成され、図示しない制御装置によりパネル載置部１１を水平位置から所定の傾斜角度に回動させることができる。
【００１６】
傾斜搬送用ローラ１９はパネル載置部１１上に配置されたモータ１９ａによってチェーンや駆動ベルト１８ｂ等を介して回転駆動され、これによって、パネル載置部１１に載置され起立状態に起立された状態のまま液晶ガラス基板Ａを隣接配置された次工程の傾斜搬送装置３０などに供給する。
【００１７】
なお、薄型パネルの起立装置１０には、液晶ガラス基板Ａの載置位置を検出する位置センサと位置センサの信号を検知してトルクモータ１７やモータ１９ａの動作を制御する制御装置を設けている。この位置センサと制御装置によって隣接して配置された水平搬送装置２１などから液晶ガラス基板Ａがパネル載置面１１ａ上の傾斜搬送用ローラ１９に当接したのを検知して、パネル載置部１１を所定角度に傾斜起立させ、起立装置１０に隣接して配置された傾斜搬送コンベアなどに移送した後、パネル載置部１１を水平位置に復帰させる一連の操作を繰り返して効率よく行わせることができる。
【００１８】
延長部材１５の先側に取り付けられるバランスウェイト１６は、鉛等の重金属からなる。これにより、回動軸１４にその一端側が固定されたパネル載置部１１の重量で付加される回転モーメントを相殺して、パネル回動部１３による回動動作を微小な力で行うことができる。また、バランスウェイト１６とパネル載置部１１の全質量による回転モーメントを大きくして外部から急激な負荷がかかった時でもこれによる動きを緩やかにして、搬送される液晶ガラス基板Ａが回動始動時やその復帰時での動作で損傷しないようにしている。
【００１９】
以上のように構成された本実施の形態の薄型パネルの起立装置１０の動作について説明する。
先ず、水平搬送装置２１の水平搬送用ローラ２０上に前工程から水平方向に保持されて枚葉搬送されてきた液晶ガラス基板Ａを配置し、水平搬送用ローラ２０をモータ１８ａの駆動力で回転させることにより起立装置１０のパネル載置部１１に搬送させて供給する。
パネル載置面１１ａに液晶ガラス基板Ａの先部が挿入されると、液晶ガラス基板Ａの両サイド側の面に当接し進行方向に沿って線上に配置された水平搬送用ローラ１８がモータ１８ａで駆動されて、液晶ガラス基板Ａの先端部が傾斜搬送用ローラ１９に当接してその位置（最終位置）で止められる。
こうして、搬送される液晶ガラス基板Ａの先端が傾斜搬送用ローラ１９に当接して、規定の位置（最終位置）に到達した信号を図示しないセンサから受信して、起立装置１０に装備されたトルクモータ１７を始動させる。
【００２０】
この間、液晶ガラス基板Ａの中央部は薄型パネルの起立装置１０に装備された複数個の多孔質体１２を有した浮上ユニットによってパネル載置面１１ａと非接触状態に維持されて浮上される。
即ち、予め多孔質体１２の通気性細孔から空気等の圧力流体を流体供給部１２ｂを備えた浮上ユニットを介して噴出させ、セラミックス質からなる多孔質体１２の表面に気体膜を発生させる。この気体膜により液晶ガラス基板Ａが多孔質体１２上に浮上させた状態を作り出す。このことは液晶ガラス基板Ａが水平状態の場合でも同様である。なお、浮上ユニットは多孔質体１２、圧縮空気導入管（流体供給管）１２ａ及び多孔質体１２の四周と底部を囲繞するケースや圧力容器などの流体供給部１２ｂを含んで構成される。こうして、液晶ガラス基板Ａを裏面側から浮上させた状態に維持させる。
【００２１】
なお、水平搬送用ローラ１８、２０は共に駆動ベルト１８ｂを介してモータ１８ａで駆動されるようになっているが、それぞれに独立した駆動部を設けて液晶ガラス基板の搬送操作を個別に行えるようにしてもよい。また、水平搬送装置２１を起立装置１０と独立した構成とせず、このような水平搬送機構を取り込んだものとして起立装置を構成することもできる。
【００２２】
次に、液晶ガラス基板Ａをパネル載置面１１ａに浮上保持させたまま、トルクモータ１７がパネル載置部１１の回動軸１４を回転させ、液晶ガラス基板Ａを非接触浮上状態で支持しながらパネル載置部１１を傾斜状態に起立させ、傾斜角度が所定の角度（約８０度）になると、回動運動は停止される。
このとき、パネル載置部１１は回動軸１４の逆側にパネル載置部１１の重量とバランスさせるバランスウェイト１６を備えると共に、所定の回転モーメントを有するので、始動時における衝撃が防止され、かつ回動動作を滑らかに行うことができ、液晶ガラス基板Ａの損傷を有効に防止できる。
このようにパネル載置部１１に傾斜した浮上状態に保持された液晶ガラス基板Ａを、その下端に当接した傾斜搬送用ローラ１９を作動させる。
これによって図４の動作説明図に示すように、起立装置１０に隣接して配置された傾斜搬送装置３０に傾斜状態のまま、液晶ガラス基板Ａが移送される。
傾斜搬送装置３０は所定の傾斜角度に保持された傾斜パネル載置部３１を備え、その傾斜パネル載置部３１の傾斜パネル載置面３２の先側に、空気等の流体を平面状に噴出させる矩形平板状に形成された起立装置１０と同様の多孔質体１２が配置されている。
また、傾斜パネル載置部３１の下部には、傾斜された液晶ガラス基板Ａの下端に当接して支持するローラ３３が備えられており、ローラ３３をモータ３４で回転させることによって液晶ガラス基板Ａが傾斜状態のまま次工程に移送されて、液晶ガラス基板Ａの両面洗浄処理や加工処理等が行えるようになっている。
【００２３】
建築用の窓ガラス等を水平状態から縦型にして移載する搬送装置では、コンベアローラに窓ガラスを騎乗させて、コンベアローラ共々直立させ、横搬送コンベアローラを使用して次工程に送っている。この場合、コンベアローラの回転方向と横搬送コンベアローラの回転方向が筋違いとなる。このため、コンベアローラの回転を停止し、横搬送コンベアローラを使用するにしても、窓ガラスを支持するコンベアローラが抵抗力となる。また、液晶ガラス基板の様に清潔度を要求される基板表面にローラ痕を残すことは生産の障害となる。
しかし、本発明の薄型パネルの起立装置を適用すれば、液晶ガラス基板Ａを浮上させて保持して、搬送用ローラとの接触部分を少なくできるのでコンベアローラの影響を最少にでき、障害（破損、汚染）を抑制して縦型の加工装置に液晶ガラス基板を挿入搬出することができる。
【００２４】
液晶ガラス基板Ａが大型化すると、液晶ガラス基板Ａの周辺部を真空吸着パットで吸着して、ロポツトアーム等の多軸機構で水平枚葉搬送されてきた液晶ガラス基板Ａを倒立させるのは、液晶ガラス基板Ａの撓みにより、破損の原因になるのでほとんど不可能である。しかし、浮上ユニットを装備した薄型パネルの起立装置（シーソー型倒立ベース）を用いれば、液晶ガラス基板Ａは浮上した状態で起立運動を行えるので、液晶ガラス基板Ａの撓みは少なくなって破損の心配はない。
このように、薄型パネルの起立装置１０は、大型の液晶ガラス基板Ａのみならず、中型や小型の液晶ガラス基板Ａに対しても適用しても、何ら不都合なく使用できる。むしろ液晶ガラス基板Ａの破損や汚れを防ぎ高価なロボット装置を使用しなくて済む利点がある。
薄型パネルの起立装置として、バランスウェイトを具備したシーソー型のものを採用しているので、パネル回動部の回動軸を中心として前後の重量が平均化される。それ故、小さな回転力で薄型パネルの起立装置を駆動することができる。
なお、この起立装置は縦型装置（洗浄、焼成等を行う縦置き型の装置）より搬送されてきた液晶ガラス基板Ａを水平方向に倒す装置としても利用できる。
【００２５】
【発明の効果】
請求項１記載の本発明によれば、パネル回動部によりパネル載置部を水平位置から所定の傾斜角度に回動させて、パネル載置面に浮上支持された薄型パネルを傾斜状態のまま次工程に供給でき、次工程での両面処理や洗浄処理等の作業を効率化して、薄型パネルの大量処理ができる。
また、薄型パネルを傾斜させ、その重さをその下端部側で支持させることによって、薄型パネル面の法線方向へかかる負荷を軽減すると共に、薄型パネルの上端を容易に把持できハンドリングの作業性を良好にできる。
パネル載置部を傾斜させた時に薄型パネルの下端部に当接する傾斜搬送用ローラが設けられているので、パネル載置面上の薄型パネルを、薄型パネルの起立装置に隣接して配置されたパネルを傾斜状態で搬送する傾斜搬送装置や加工処理装置などに効率的に供給できる。
搬送させる薄型パネルをパネル載置面に浮上させて保持できるので、薄型パネルがパネル載置面と接触せず、また、搬送用ローラとの接触によるローラ痕や摺り傷を少なくできる。
【００２６】
請求項２に記載の本発明によれば、パネル載置部とバランスウェイトとの重さが平衡する位置にパネル回動部の回動軸が装備されているので、トルクモータなどの動力によって、シーソー型の起立装置のパネル載置部を少ない動力でスムーズに回動させることができると共に、パネル回動部の回動開始時における衝撃などが薄型パネルへかかるのを軽減して薄型パネルの品質信頼性を高めることができる。
【００２７】
請求項３に記載の本発明によれば、液晶ガラス基板などの加工処理工程で搬送される薄型パネルを水平搬送装置から傾斜搬送装置へ載せ換える際、あるいは傾斜搬送装置から水平搬送装置に載せ換える際に、この異なるラインへの移動操作を起立装置を介して、効率的かつ迅速に行うことができ、薄型パネルの生産性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の薄型パネルの起立装置の正面図である。
【図２】その平面図である。
【図３】その側面図である。
【図４】その動作を示す説明図である。
【符号の説明】
１０  実施の形態に係る薄型パネルの起立装置
１０ａ  水平支持部
１１  パネル載置部
１１ａ  パネル載置面
１２  多孔質体
１２ａ  流体供給管
１２ｂ  流体供給部
１３  パネル回動部
１４  回動軸
１５  延長部材
１６  バランスウェイト
１７  トルクモータ
１８  水平搬送用ローラ
１８ａ  モータ
１８ｂ  駆動ベルト
１９  傾斜搬送用ローラ
１９ａ  モータ
２０  水平搬送用ローラ
２１  水平搬送装置
３０  傾斜搬送装置
３１  傾斜パネル載置部
３２  傾斜パネル載置面
３３  ローラ
Ａ  液晶ガラス基板
【図１】
2004175525.tif 000003
【図２】
2004175525.tif 000004
【図３】
2004175525.tif 000005
【図４】
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