(57)【要約】【課題】部品点数が少なく、加工寸法精度のよいマイクロポンプを提供する。また、寿命が長く、高粘度の流体でも、また細い流路でも送液できるマイクロポンプを提供する。【解決手段】本発明のマイクロポンプは、ハウジング部とロータ部とを備え、ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有し、ロータと、可動ベーンと、バネと、が一体構造であることを特徴とする。使用するバネとしては、板バネが好ましい。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング部とロータ部とを備え、該ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有するマイクロポンプであって、ロータと、可動ベーンと、バネと、が一体構造であることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２】
前記バネは、板バネである請求項１記載のマイクロポンプ。
【請求項３】
ハウジング部とロータ部とを備え、該ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有するマイクロポンプの製造方法であって、前記ハウジング部と前記ロータ部の少なくとも一つが、リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、前記樹脂型に金属材料からなる層を電鋳により形成する工程と、を含む方法により製造されることを特徴とするマイクロポンプの製造方法。
【請求項４】
ハウジング部とロータ部とを備え、該ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有するマイクロポンプの製造方法であって、前記ハウジング部と前記ロータ部の少なくとも一つが、金型により樹脂型を形成する工程を含む方法により製造されることを特徴とするマイクロポンプの製造方法。
【請求項５】
ハウジング部とロータ部とを備え、該ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有するマイクロポンプの製造方法であって、前記ハウジング部と前記ロータ部の少なくとも一つが、金型により樹脂型を形成する工程と、前記樹脂型に金属材料からなる層を電鋳により形成する工程と、を含む方法により製造されることを特徴とするマイクロポンプの製造方法。
【請求項６】
ハウジング部とロータ部とを備え、該ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有し、前記ロ−タ部のみが磁化された磁性材料からなり、前記ロータ部がハウジング部内に密閉されているマイクロポンプの使用方法であって、磁石カップリングによりマイクロポンプ外の駆動装置で前記ロータ部を回転させることを特徴とするマイクロポンプの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微量の流体を輸送するためのマイクロポンプ、その製造方法および使用方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
気体、液体、粘性液体などの流体を輸送するために、ロータリーポンプ（ラジアルベーンポンプ）が利用されている。ロータリーポンプは、たとえば図８に示すように、ハウジング部８１とロータ部８４とを有し、ハウジング部８１は、インレット８２とアウトレット８３とを備え、またロータ部８４は、ロータ８４ａと可動ベーン８４ｂ，８４ｄとを備える（図８は、可動ベーンを２本有する場合を例示する。）。可動ベーン８４ｂと可動ベーン８４ｄとはバネ８４ｃを介して連結され、可動ベーン８４ｂの先端と可動ベーン８４ｄの先端とは、ハウジング８１の内壁に常に押し付けられている。
【０００３】
ロータ部８４の回転に伴い、可動ベーン８４ｂと可動ベーン８４ｄにより区画された各部屋の容積が増減し、各部屋の内圧も増減するため、流体はインレット８２をから吸入され、アウトレット８３から押し出される。このような機構により送液するロータリーポンプは、流体の粘度が高い場合でも送液することができ、送液力が大きいため、流路が微細であるなどにより、送液抵抗が大きい場合であっても、送液できるという長所を有する。
【０００４】
化学分析用の微細総合分析システム（　ｍｉｃｒｏ　ｔｏｔａｌ　ａｎａｌｙｓｉｓ　ｓｙｓｔｅｍｓ）、生体内埋め込み用の医療器具および微細製品製造システム（　ｍｉｃｒｏｆａｃｔｏｒｙ　）などの分野において、微量の流体を輸送するためのマイクロポンプの重要性が増している。マイクロポンプには、たとえば図９に示すようなメンブレンポンプがある。このメンブレンポンプは、インレット部９５と、ポンプ部９６と、アウトレット部９７と、を備え、インレット室９５ｂと、ポンプ部９６の下室９６ｂと、アウトレット室９７ｂと、は導通している。
【０００５】
配管９８を介して、空気を圧入すると、ポンプ部９６の上室９６ａの容積が増加し、チタニウム製のメンブレン９９（薄膜）を押し下げる結果、ポンプ部９６の下室９６ｂ内の流体は、アウトレット室９７ｂへ移行し、アウトレット弁９７ａを押し上げて、系外に流出する。その間、インレット弁９５ａは閉じている。つぎに、配管９８を介して、空気を吸引すると、ポンプ部９６の上室９６ａの容積が減少し、メンブレン９９を押し上げる結果、インレット室９５ｂ内の流体は、ポンプ部９６の下室９６ｂヘ移行し、インレット弁９５ａを引き下げて、新たな流体が系内に流入する。その間、アウトレット弁９７ａは閉じている。このような構造のメンブレンポンプとして、最大流量８０μＬ／分、最大ポンプ圧４７ｈＰａ、空気ポンプの周波数５Ｈｚのものが知られている。また、同様に空気圧を利用するメンブレンポンプであり、ポリイミド製のメンブレンを使用するマイクロポンプとして、サイズ１０ｍｍ×１０ｍｍ、最大流量２２０μＬ／分、最大ポンプ圧１３０ｈＰａのものも知られている。
【０００６】
メンブレンポンプには、このほか図１０に示すような構造を有するマイクロポンプもある。図１０（ａ）は送液時の状態を示し、図１０（ｂ）は給液時の状態を示す。このメンブレンポンプは、ガラス基板１０５とシリコン基板１０６との平行な２枚の基板を備え、シリコン基板１０６は、インレットチョーク１０６ａと、メンブレン１０６ｂと、アウトレットチョーク１０６ｃと、を有する。メンブレン１０６ｂ上にはＰＺＴ板（　ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ　ｐｌａｔｅ）１０７が形成され、通電するとメンブレン１０６ｂをガラス基板１０５に向かって押し上げる機能を発揮する（図１０（ａ））。通電を止めるとＰＺＴ板１０７は機能を停止するため、メンブレン１０６ｂは元の位置に戻る（図１０（ｂ））。
【０００７】
送液時（図１０（ａ））は、アウトレットチョーク１０６ｃを発熱させて、流体の粘度を低下させると同時に、ＰＺＴ板１０７に通電し、メンブレン１０６ｂをガラス基板１０５に向かって押し上げることにより送液する。給液時（図１０（ｂ））は、インレットチョーク１０６ａを発熱させて、流体の粘度を低下させると同時に、ＰＺＴ板１０７への通電を停止する。メンブレン１０６ｂは元の位置に戻るため、新しい流体がメンブレン１０６ｂ上に供給される。インレットチョーク１０６ａおよびアウトレットチョーク１０６ｃの各チョークとガラス基板１０５との距離は５μｍ、メンブレン１０６ｂの厚さは１５０μｍ程度であり、ＰＺＴ板への電圧が６０Ｖで、最大流量２．２μＬ／分を実現している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のロータリーポンプは、機械加工により製造されているため、加工寸法精度が悪く、小型化に限界がある。また、複数の部品を組み立てることにより製造している点でも、小型化が困難である。
【０００９】
一方、メンブレンポンプによれば微量流体の送液が可能であるが、メンブレン（薄膜）により送液する構造を有するので、送液時の応力により、メンブレンが破れやすく、ポンプの寿命が短い。また、メンブレンの破損を防止するために、高粘度の流体を送液することができない。さらに、メンブレンが破損しない程度の力でしか送液することができず、流路が細くなると送液時の抵抗が極端に増えるから、送液できる流量がわずかになってしまう。
【００１０】
本発明の課題は、部品点数が少なく、加工寸法精度のよいマイクロポンプを提供することにある。また、寿命が長く、高粘度の流体でも、また細い流路でも送液できるマイクロポンプを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のマイクロポンプは、ハウジング部とロータ部とを備え、ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有し、ロータと、可動ベーンと、バネと、が一体構造であることを特徴とする。使用するバネとしては、板バネが好ましい。
【００１２】
本発明のマイクロポンプの製造方法は、ハウジング部とロータ部とを備え、ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有するマイクロポンプの製造方法であって、ハウジング部とロータ部の少なくとも一つが、リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、樹脂型に金属材料からなる層を電鋳により形成する工程と、を含む方法により製造されることを特徴とする。
【００１３】
本発明のマイクロポンプの別の製造方法は、ハウジング部とロータ部とを備え、ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有するマイクロポンプの製造方法であって、ハウジング部とロータ部の少なくとも一つが、金型により樹脂型を形成する工程を含む方法により製造されることを特徴とする。
【００１４】
本発明のマイクロポンプの別の製造方法は、ハウジング部とロータ部とを備え、ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有するマイクロポンプの製造方法であって、ハウジング部とロータ部の少なくとも一つが、金型により樹脂型を形成する工程と、該樹脂型に金属材料からなる層を電鋳により形成する工程と、を含む方法により製造されることを特徴とする。
【００１５】
本発明のマイクロポンプの使用方法は、ハウジング部とロータ部とを備え、ロータ部が、ロータと、可動ベーンと、ロータおよび可動ベーンを連結するバネと、を有し、ロ−タ部のみが磁化された磁性材料からなり、ロータ部がハウジング部内に密閉されているマイクロポンプの使用方法であって、磁石カップリングによりマイクロポンプ外の駆動装置でロータ部を回転させることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
（マイクロポンプ）
本発明のマイクロポンプは、従来のロータリーポンプを微小化した構造を有し、典型的には図１に示すように、インレット１２とアウトレット１３とを備えるハウジング部１１と、ロータ１４ａと可動ベーン１４ｂとバネ１４ｃとを備えるロータ部１４とを有する（図１は、可動ベーンが４本である場合を例示する。）。
【００１７】
本発明のマイクロポンプは、ロータと可動ベーンとバネとが一体構造を有する点に特徴がある。ロータ部を構成するロータと可動ベーンとバネを一体構造とすることにより、部品点数を少なくし、微細なポンプを容易に製造することができる。本発明のマイクロポンプは、微小化したロータリーポンプに相当することから、粘度が高い流体を送液することができる。また、送液力が大きいため、流体抵抗が大きい場合でも送液することができる。さらに、メンブレンを使用しないため、寿命が短いなどの欠点がない。
【００１８】
（マイクロポンプの製造方法）
本発明のマイクロポンプの製造方法は、ハウジング部とロータ部の少なくとも一つが、リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、樹脂型に金属材料からなる層を電鋳により形成する工程と、を含む方法により製造されることを特徴とする。リソグラフィと電鋳とを組合せた方法で製造することにより、外径１ｍｍ〜１０ｍｍ、厚さ５０μｍ〜１ｍｍのマイクロポンプ用のハウジング部およびロータ部などを製造することができる。また、かかる方法によりロータと可動ベーンとバネとを一体形成することができるため、部品点数を減らし、組立て工程を簡略化することができる。さらに、加工寸法精度もよいため、マイクロポンプの製造が容易となる。
【００１９】
この製造方法は、図４（ａ）に示すように、導電性基板４１上にリソグラフィのための樹脂層４２を形成する。導電性基板として、たとえば、銅、ニッケル、ステンレス鋼などの金属製基板、チタン、クロムなどの金属材料をスパッタリングしたシリコン基板などを用いることができる。樹脂層を形成するための材料としては、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）などのポリメタクリル酸エステルを主成分とする樹脂材料、Ｘ線に感受性を有する化学増幅型樹脂材料などがある。樹脂層の厚さは、形成しようとするマイクロポンプの高さに応じて任意に設定することができ、たとえば５０μｍ〜１ｍｍとすることができる。
【００２０】
つぎに、樹脂材料４２上にマスク４３を配置し、マスク４３を介してＸ線４４（または紫外線）を照射する。Ｘ線としては、高いアスペクト比を実現することができる点で、シンクロトロン放射のＸ線（以下、「ＳＲ光」と略す。）が好ましい。マスク４３は、マイクロポンプの所定のパターンに応じて形成したＸ線吸収層４３ａを有する。マスク４３を構成する透光性基材４３ｂには、たとえば窒化シリコン、シリコン、ダイヤモンド、チタンなどを用いることができる。また、Ｘ線吸収層４３ａには、たとえば金、タングステン、タンタルなどの重金属あるいはその化合物を用いることができる。Ｘ線４４の照射後、現像し、Ｘ線４４により変質した部分４２ａを除去すると、図４（ｂ）に示すような樹脂型４２ｂが得られる。
【００２１】
つぎに、電鋳を行ない、図４（ｃ）に示すように、樹脂型４２ｂに金属材料４５を堆積する。電鋳とは、金属イオン溶液を用いて導電性基板上に金属材料からなる層を形成することをいう。導電性基板４１をめっき電極として電鋳を行なうことにより、樹脂型４２ｂに金属材料４５を堆積することができ、堆積した金属材料４５からなる層は、最終的にマイクロポンプ用のハウジング部およびロータ部などとなる。図４（ｃ）には、樹脂型４２ｂの空孔部が埋まる程度に金属材料を堆積している例を示すが、その場合は最終的に貫通した構造体が得られ、ロータ部を製造することができる。一方、樹脂型４２ｂの高さを超え、樹脂型４２ｂ上にも金属材料を堆積した場合には、最終的に空孔部を有する構造体が得られ、ハウジング部を製造することができる。金属材料としては、ニッケル、銅、それらの合金、またはパーマロイなどを用いることができるが、可動ベーンとハウジングの内壁との間の耐摩耗を高める点で、ニッケルまたはニッケル合金が好ましい。
【００２２】
電鋳後、研磨または研削により所定の厚さに揃えてから、図４（ｄ）に示すように、ウエットエッチングまたはプラズマエッチングにより樹脂型４２ｂを除去する。続いて、酸もしくはアルカリによりウエットエッチングし、または機械的に加工して導電性基板４１を除去すると、図４（ｅ）に示すようなマイクロポンプ用のロータ部およびハウジング部を得ることができる。
【００２３】
リソグラフィにより樹脂型を形成する工程と、樹脂型に金属材料からなる層を電鋳により形成する工程とを含む方法により、板バネを容易に得ることができる点で、ロータ部を構成するバネは板バネが好ましい。
【００２４】
本発明のマイクロポンプの別の製造方法は、ハウジング部とロータ部の少なくとも一つが、金型により樹脂型を形成する工程と、樹脂型に金属材料からなる層を電鋳により形成する工程と、を含む方法により製造されることを特徴とする。かかる方法によっても、外径１ｍｍ〜１０ｍｍ、厚さ５０μｍ〜１ｍｍのマイクロポンプ用のケーシング部およびロータ部などを製造することができる。また、ロータと可動ベーンとバネとを一体形成することができるため、部品点数を減らし、組立て工程を簡略化することができる。さらに、加工寸法精度もよいため、マイクロポンプの製造が容易である。
【００２５】
この製造方法は、図５（ａ）に示すとおり、凸部を有する金型５２を用いて、プレスまたは射出成型などのモールドにより、図５（ｂ）に示すような凹状の樹脂型５３を形成する。樹脂としては、たとえばポリメタクリル酸メチルなどのアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリオキシメチレンなどのポリアセタール樹脂などの熱可塑性樹脂を用いることができる。金型５２は、本発明のマイクロポンプ用のケーシング部およびロータ部と同様に、微小構造体であるため、リソグラフィ法などにより製造することが好ましい。
【００２６】
つぎに、樹脂型５３の上下を反転した後、図５（ｃ）に示すように、導電性基板５１に貼り付ける。続いて、図５（ｄ）に示すように、樹脂型５３を研磨し、樹脂型５３ａを形成する。その後は前述と同様に、電鋳により金属材料５５を堆積し（図５（ｅ））、厚さを調整し、樹脂型５３ａを除去し（図５（ｆ））、導電性基板５１を除去すると、図５（ｇ）に示すようなマイクロポンプ用のケーシング部およびロータ部などが得られる。
【００２７】
本発明のマイクロポンプの別の製造方法は、ハウジング部とロータ部の少なくとも一つが、金型により樹脂型を形成する工程を含む方法により製造されることを特徴とする。かかる方法によっても、外径１ｍｍ〜１０ｍｍ、厚さ５０μｍ〜１ｍｍのマイクロポンプ用のケーシング部およびロータ部などを製造することができる。また、ロータと可動ベーンとバネとを一体形成することができるため、部品点数を減らし、組立て工程を簡略化することができる。さらに、加工寸法精度もよいため、マイクロポンプの製造が容易となる。
【００２８】
この製造方法は、図６（ａ）に示すとおり、凸部を有する金型６２を用いて、プレスまたは射出成型などのモールドにより、図６（ｂ）に示すような凹状の樹脂型６３を形成する。樹脂としては、前述のアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリアセタール樹脂などの熱可塑性樹脂を用いることができる。金型６２は、本発明のマイクロポンプ用のケーシング部およびロータ部と同様に、微小構造体であるため、リソグラフィ法などにより製造することが好ましい。
【００２９】
つぎに、樹脂型６３を研磨し、不要部分を除去して、図６（ｃ）に示すような樹脂型６３ａを形成する。図６（ｃ）に示す樹脂型６３ａは空孔部を有し、マイクロポンプ用のハウジングとすることができる。ロータ部を製造するときは、さらに研磨し、貫通状態の樹脂型を形成する。
【００３０】
本発明のマイクロポンプは、図２に示すように、ハウジング部（図２（ａ），（ｃ））およびロータ部（図２（ｂ））などの部品を組み立てることにより製造することができる。この例では、ハウジング部（箱体）（図２（ａ））にロータ部（図２（ｂ））をセットし、ハウジング部（蓋体）（図２（ｃ））を載置し、固定することによりマイクロポンプを製造している。ロータ部（図２（ｂ））の軸受２４は、ハウジング（図２（ａ））の軸２１に取り付けられるが、軸２１はハウジング（図２（ａ））の中心からずれている。このズレにより、ロータ部の回転に伴い、可動ベーンにより区画される各部屋の容積が増減し、各部屋の内圧が増減するため、流体はインレットから吸入され、アウトレットから押し出される。図３に、典型的なハウジング（箱体）の斜視図を示す。
【００３１】
（マイクロポンプの使用方法）
本発明のマイクロポンプの使用方法は、ロ−タ部のみが磁化された磁性材料からなり、ロータ部がハウジング部内に密閉されているマイクロポンプの使用方法であって、磁石カップリングによりマイクロポンプ外の駆動装置でロータ部を回転させることを特徴とする。かかる使用方法により、加圧下であっても、流体のシールを確実に行なうことができる。
【００３２】
本発明の使用方法は、たとえば図７に示すようなマイクロポンプを用いて実施される。この例では、インレット７２とアウトレット７３とを有するハウジング７１内に完全に密閉されているロータ部７４は、磁性材料からなり、予め磁化してある。マイクロポンプ外に位置する駆動装置７６に連結している磁石７５を回転することにより、磁石７５と磁石カップリングしているロータ部７４も回転し、送液することができる。ロータ部は磁性材料からなり、強く磁化できる点で、強磁性材料が好ましく、たとえばニッケルまたはパーマロイなどのニッケル合金などがある。
【００３３】
【実施例】
実施例１
まず、図４（ａ）に示すように、導電性基板４１上にリソグラフィのための樹脂層４２を形成した。導電性基板としては、チタンをスパッタリングしたシリコン基板を用いた。樹脂層を形成する材料は、メタクリル酸メチルとメタクリル酸との共重合体を用い、樹脂層の厚さは１００μｍとした。
【００３４】
つぎに、樹脂層４２上にマスク４３を配置し、マスク４３を介してＸ線４４を照射した。Ｘ線としては、ＳＲ装置（ＮＩＪＩ−ＩＩＩ）によりＳＲ光を照射した。マスク４３は、マイクロポンプ用のロータ部のパターンからなるＸ線吸収層４３ａを有するものを使用した。マスク４３を構成する透光性基材４３ｂは窒化シリコンからなり、Ｘ線吸収層４３ａは窒化タングステンからなるものを用いた。
【００３５】
Ｘ線４４の照射後、メチルイソブチルケトンにより現像し、Ｘ線４４により変質した部分４２ａを除去すると、図４（ｂ）に示すような樹脂型４２ｂが得られた。つぎに、電鋳を行ない、図４（ｃ）に示すように、樹脂型４２ｂの空孔部に金属材料４５を堆積した。金属材料としては、強磁性材料であるニッケルを用いた。
【００３６】
電鋳後、研磨して表面の凹凸を除去してから、酸素プラズマにより樹脂型４２ｂを除去し（図４（ｄ））、続いてＮａＯＨ水溶液によりウエットエッチングし、導電性基板４１を除去して、図４（ｅ）に示すような、貫通状態のマイクロポンプ用ロータ部を得た。
【００３７】
得られたマイクロポンプ用ロータ部は、図１に示すように、ロータ１４ａと、可動ベーン１４ｂと、バネ１４ｃと、の一体構造を有し、ロータの外径が５ｍｍ、高さは均一に１００μｍであった。また、バネ１４ｃは板バネ構造を有していた。
【００３８】
つぎに、図６（ａ）に示すように、凸部を有する金型６２を用いて、射出成型により、図６（ｂ）に示すような凹状の樹脂型６３を形成した。樹脂としては、アクリル樹脂を用いた。続いて、樹脂型６３を研磨し、厚さを調整するとともに、不要部を除去して、マイクロポンプ用のハウジング部とした。
【００３９】
最後に、ロータ部を分極により磁化した後、ハウジング部にセットし密閉し、マイクロポンプを得た。このマイクロポンプのロータ部を、マイクロポンプ外の駆動装置に連結している磁石と磁石カップリングさせた後、駆動装置に連結している磁石を回転させると、これに呼応してロータ部も回転し、１ｍＬ／分で送液することができた。
【００４０】
本実施例では、マイクロポンプのロータの外径は５ｍｍであったが、外径５０μｍ程度のロータも本発明の方法により製造できることから、マイクロポンプのさらなる微細化にも対応できることがわかった。
【００４１】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、部品点数が少なく、加工寸法精度のよいマイクロポンプを提供することができる。このマイクロポンプは、寿命が長く、高粘度の流体でも、また細い流路でも送液できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマイクロポンプの構造を示す断面図である。
【図２】本発明のマイクロポンプの組立てに使用する部品の平面図である。
【図３】本発明のマイクロポンプのハウジング部（箱体）の斜視図である。
【図４】本発明のマイクロポンプの製造方法を示す工程図である。
【図５】本発明のマイクロポンプの製造方法を示す工程図である。
【図６】本発明のマイクロポンプの製造方法を示す工程図である。
【図７】本発明のマイクロポンプの使用方法を示す断面図である。
【図８】従来より使用されているロータリーポンプの構造を示す断面図である。
【図９】従来より使用されているメンブレンポンプの構造を示す断面図である。
【図１０】従来より使用されているメンブレンポンプの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１１，７１　ハウジング部、１２　インレット、１３　アウトレット、１４，７４　ロータ部、１４ａ　ロータ、１４ｂ　可動ベーン、１４ｃ　バネ、４１　導電性基板、４２ｂ，５３，６３　樹脂型、４５，５５　金属材料、５２，６２
金型、７６　駆動装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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