(57)【要約】【課題】ノズル面に損傷を与えることなく、これを適切に清掃することができるノズル面の吸引清掃方法および吸引清掃装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】ノズル面の吸引清掃方法は、液滴吐出ヘッド８のノズル面５１に対し吸入キャップ９１を近接して対峙させ、吸入キャップ９１に接続した吸引手段９４によりノズル面５１に付着した付着物をエアーと共に吸引するものである。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのノズル面に対し吸入部材を非封止状態で接触させ、当該吸入部材に接続した吸引手段により前記ノズル面に付着した付着物をエアーと共に吸引することを特徴とするノズル面の吸引清掃方法。
【請求項２】
液滴吐出ヘッドのノズル面に対し吸入部材を近接して対峙させ、当該吸入部材に接続した吸引手段により前記ノズル面に付着した付着物をエアーと共に吸引することを特徴とするノズル面の吸引清掃方法。
【請求項３】
前記ノズル面に対し前記吸入部材を当該ノズル面の面内方向に相対的に移動させながら、前記吸引手段により前記付着物をエアーと共に吸引することを特徴とする請求項２に記載のノズル面の吸引清掃方法。
【請求項４】
液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した付着物を吸引して、当該ノズル面を清掃するノズル面の吸引清掃装置において、
前記ノズル面に非封止状態で接触し、前記付着物を吸入する吸入部材と、
前記吸入部材に接続され、当該吸入部材を介して前記付着物をエアーと共に吸引する吸引手段と、
を備えたことを特徴とするノズル面の吸引清掃装置。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した付着物を吸引して、当該ノズル面を清掃するノズル面の吸引清掃装置において、
前記ノズル面に近接して対峙し、前記付着物を吸入する吸入部材と、
前記吸入部材に接続され、当該吸入部材を介して前記付着物をエアーと共に吸引する吸引手段と、
を備えたことを特徴とするノズル面の吸引清掃装置。
【請求項６】
前記ノズル面に対し、前記吸入部材を対峙させた状態で当該ノズル面の面内方向に相対的に移動させる移動機構と、
前記移動機構および前記吸引手段の駆動を制御する制御手段と、を更に備え、
前記制御手段は、前記吸引手段の駆動に同期して、前記移動機構を駆動することを特徴とする請求項５に記載のノズル面の吸引清掃装置。
【請求項７】
前記移動機構は、前記ノズル面を通過するように前記吸入部材を移動させることを特徴とする請求項６に記載のノズル面の吸引清掃装置。
【請求項８】
前記吸入部材は、前記ノズル面に対する移動方向の先端側に、先下がりの傾斜面を有することを特徴とする請求項６または７に記載のノズル面の吸引清掃装置。
【請求項９】
前記吸入部材は、前記ノズル面に対面する表面に、複数の吸引孔を有していることを特徴とする請求項４ないし８のいずれかに記載のノズル面の吸引清掃装置。
【請求項１０】
前記複数の吸引孔は、前記ノズル面に形成したノズル列の延在方向と略平行に整列配置されていることを特徴とする請求項９に記載のノズル面の吸引清掃装置。
【請求項１１】
前記複数の吸引孔は、前記ノズル面の投影領域に包含可能に整列配置されていることを特徴とする請求項９または１０に記載のノズル面の吸引清掃装置。
【請求項１２】
請求項４ないし１１のいずれかに記載のノズル面の吸引清掃装置と、
前記液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、
前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、基板上に成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、
前記液滴吐出ヘッドから吐出した機能液により形成した成膜部を基板上に有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドのノズル面を清掃するノズル面の吸引清掃方法および吸引清掃装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタなど、従来の液滴吐出装置には、液滴吐出ヘッドのノズル面に対しゴム製のワイパーを相対的に摺動させ、これによりノズル面に付着したインクミストや塵埃等の付着物を拭き払うことでノズル面を清掃する、いわゆるワイピング装置が搭載されている（例えば、特許文献１参照。）。また、他のワイピング装置としては、洗浄剤を含浸させた布製のシートを繰り出してノズル面に強く押し付け、随時その拭取済み部分を回収する方式が知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−２５８５１６号公報（第４図）
【特許文献２】
特開２００１−１７１１３５号公報（第４−５頁、第２図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のノズル面の清掃方法では、ワイパーやシートをノズル面に直接接触させるため、使用頻度やインク（機能液）の性状によっては、メッキ等により撥液処理したノズル面を損傷するおそれがあった。また、ワイパーはインク等が付着したまま次の清掃動作を行うため、特に、機能液として樹脂液のような高粘度のものを用いている場合には、付着物の影響によりノズル面を適切に清掃しきれなかった。
【０００５】
本発明は、ノズル面に損傷を与えることなく、これを適切に清掃することができるノズル面の吸引清掃方法および吸引清掃装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のノズル面の吸引清掃方法は、液滴吐出ヘッドのノズル面に対し吸入部材を非封止状態で接触させ、当該吸入部材に接続した吸引手段によりノズル面に付着した付着物をエアーと共に吸引することを特徴とする。
本発明のノズル面の吸引清掃装置は、液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した付着物を吸引して、当該ノズル面を清掃するノズル面の吸引清掃装置において、ノズル面に非封止状態で接触し、付着物を吸入する吸入部材と、吸入部材に接続され、当該吸入部材を介して付着物をエアーと共に吸引する吸引手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、エアーと共に付着物を吸入部材に吸い込む吸引方式であるため、従来のようにノズル面に対し直接的に強い拭取りを実行することなく、ノズル面から付着物を除去してこれを清浄化することができる。特に、ノズル面と吸入部材との間を非封止状態とすることにより、これら両者と外部との間でエアーの流れが確保されるため、外部から引き込むエアーによりノズル面から付着物を適切に除去することができる。
なお、「非封止状態」は、エアーのリークが抑制されるように、吸入部材の一部をノズル面に接触させることが好ましい。これによれば、ノズル面に形成したノズル孔周りにおいてエアーの流速が高まり、エアーにより付着物を一層適切に攫うことができるようになる。また、吸入部材の接触部分の形態により、エアーの流れを制御し、付着物の吸引をより適切に行うことも可能である。
【０００８】
本発明の他のノズル面の吸引清掃方法は、液滴吐出ヘッドのノズル面に対し吸入部材を近接して対峙させ、当該吸入部材に接続した吸引手段によりノズル面に付着した付着物をエアーと共に吸引することを特徴とする。
本発明の他のノズル面の吸引清掃装置は、液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した付着物を吸引して、当該ノズル面を清掃するノズル面の吸引清掃装置において、ノズル面に近接して対峙し、付着物を吸入する吸入部材と、吸入部材に接続され、当該吸入部材を介して付着物をエアーと共に吸引する吸引手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、上記同様に、エアーと共に付着物を吸入部材に吸い込む吸引方式であるため、ノズル面に損傷を与えることなくこれを清浄化することができる。また、ノズル面と吸入部材とを非接触状態とすることにより、外部から吸入部材へと引き込むエアーの流れが確保されるため、このエアーによりノズル面から付着物を適切に除去することができる。
【００１０】
この場合、ノズル面に対し吸入部材を当該ノズル面の面内方向に相対的に移動させながら、吸引手段により前記付着物をエアーと共に吸引することが、好ましい。
同様に、ノズル面に対し、吸入部材を対峙させた状態で当該ノズル面の面内方向に相対的に移動させる移動機構と、移動機構および吸引手段の駆動を制御する制御手段と、を更に備え、制御手段は、吸引手段の駆動に同期して、移動機構を駆動することが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、吸引時に吸入部材をノズル面に対し相対移動させることで、吸入部材とノズル面との間でエアーの流れが変化しあるいはかき乱される（乱流状態）。これにより、ノズル面の付着物が攫われ易くなる。
【００１２】
この場合、移動機構は、ノズル面を通過するように吸入部材を移動させることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、ノズル面をその全域に亘って適切に清掃することができる。
【００１４】
これらの場合、吸入部材は、ノズル面に対する移動方向の先端側に、先下がりの傾斜面を有することが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、吸入部材の相対的な移動に伴い、先ずその先下がりの傾斜面がノズル面に対面するが、その際、この先下がりの傾斜面により大きく突出した付着物が吸入部材の先端面に付着してしまうのを防止することができる。また、傾斜面を流れるエアーは流速を増すため、ノズル面の付着物が除去され易くなる。
【００１６】
これらの場合、吸入部材は、ノズル面に対面する表面に、複数の吸引孔を有していることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、ノズル面と吸入部材との間でエアーの流れを確保した状態で、複数の吸引孔を介して付着物を吸引することができる。
【００１８】
この場合、複数の吸引孔は、ノズル面に形成したノズル列の延在方向と略平行に整列配置されていることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、ノズル列を構成する複数のノズル孔周りの付着物を適切に吸引することが可能となる。なお、「整列配置」には、複数の吸引孔を千鳥状に配置することなども含まれる。
【００２０】
これらの場合、複数の吸引孔は、ノズル面の投影領域に包含可能に整列配置されていることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、吸引時のエアーの無用なリークを好適に抑制でき、付着物を効率良く吸引することが可能となる。
【００２２】
本発明の液滴吐出装置は、上記した本発明のノズル面の吸引清掃装置と、液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、ノズル面に損傷を与えることなくこれを適切に清掃することができるため、液滴吐出ヘッドから機能液滴を飛行曲がりなく吐出することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズル面の劣化を十分に抑制できるため、劣化による液滴吐出ヘッドの交換頻度が減り、装置の信頼性および生産性を高めることができる。なお、液滴吐出装置は、後述するカラーフィルタなどの各種基板をワークとするものばかりでなく、記録媒体が吐出対象物のインクジェットプリンタを含む概念である。
【００２４】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、基板上に成膜部を形成することを特徴とする。
本発明の電気光学装置は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから吐出した機能液により形成した成膜部を基板上に有することを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、上記の液滴吐出装置を用いての成膜処理であるため、電気光学装置のスループットを向上することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が含まれる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記した本発明の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、高性能な電気光学装置を搭載した電子機器を提供することができる。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話機、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置およびこれに設けたノズル面の吸引清掃装置ついて説明する。この液滴吐出装置は、液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板（ワーク）に対し液滴吐出ヘッドから発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。また、ノズル面の吸引清掃装置は、一般的なワイピング装置に相当するものであり、液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した付着物を除去するものである。
【００２９】
図１は、液滴吐出装置の基本的構成を模式的に示す平面図である。同図に示すように、液滴吐出装置１は、機台２上に設置されたＸ軸テーブル４およびＹ軸テーブル５から成るＸ・Ｙ移動機構３と、Ｘ軸テーブル４に移動自在に取り付けたワークテーブル６と、Ｙ軸テーブル５に移動自在に取り付けたメインキャリッジ７と、を備えている。ワークテーブル６には、ガラスやプラスチック等から成る基板Ｗ（ワーク）が載置されている。メインキャリッジ７には、基板Ｗに対し機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッド８を１２個搭載したヘッドユニット９が保持されている。
【００３０】
また、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド８の保全処理を行うメンテナンス手段１１や、液滴吐出ヘッド８に機能液を供給する機能液供給系（図示省略）の他、これら各種構成装置を統括制御する制御装置１２を備えている。機能液としては、一般的なインクのほか、カラーフィルタのフィルタ材料や、描画後に金属配線として機能する液状金属材料など、各種基板Ｗの目的に対応した材料を含有する液体が用いられる。
【００３１】
Ｘ軸テーブル４は、パルス駆動されるリニアモータ２１と、これを内蔵すると共にワークテーブル６をＸ軸方向に移動自在に搭載したＸ軸スライダ２２と、を有している。リニアモータ２１は、制御装置１２に連なるモータドライバ２３を介して駆動され、Ｘ軸スライダ２２は、リニアモータ２１の駆動によりワークテーブル６を介して基板ＷをＸ軸方向に移動させる。
【００３２】
同様に、Ｙ軸テーブル５は、パルス駆動されるリニアモータ２５と、これを内蔵すると共にメインキャリッジ７をＹ軸方向に移動自在に搭載したＹ軸スライダ２６と、を有している。リニアモータ２５は、制御装置１２に連なるモータドライバ２７を介して駆動され、Ｙ軸スライダ２６は、リニアモータ２５の駆動によりメインキャリッジ７を介してヘッドユニット９をＹ軸方向に移動させる。
【００３３】
この場合、Ｘ軸テーブル４は機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル５は、Ｘ軸テーブル４およびメンテナンス手段１１を跨ぐようにしてＹ軸方向に延在し、その両端部を一対の支柱２８，２８に支持されている。したがって、Ｙ軸テーブル５は、液滴吐出ヘッド８の保全処理を行う場合には、ヘッドユニット９をメンテナンス手段１１の直上部に位置するメンテナンス位置に移動させ、また基板Ｗに描画を行う場合には、ヘッドユニット９をＸ軸テーブル４の直上部に位置する描画エリアに移動させる。
【００３４】
同図に示すように、Ｘ軸方向はインクジェット方式のいわゆる主走査方向に対応し、Ｙ軸方向はいわゆる副走査方向に対応している。したがって、基板Ｗへの描画処理は、Ｘ・Ｙ移動機構３により、基板Ｗに対し上方のヘッドユニット９（液滴吐出ヘッド８）が相対的に主走査および副走査する際に行われる。
【００３５】
図２に示すように、ヘッドユニット９は、６個ずつ２列に分けて主走査方向に離間して配置した１２個（複数）の液滴吐出ヘッド８と、複数の液滴吐出ヘッド８を搭載したサブキャリッジ３１と、サブキャリッジ３１に各液滴吐出ヘッド８を個々に取り付けるための１２個（複数）のヘッド保持部材３２（図３（ｂ）参照）と、を有している。各液滴吐出ヘッド８は、基板Ｗに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設され、更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド８は、副走査方向に対して相互に位置ずれして配設されている。
【００３６】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド８は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４１を有する液体導入部４２と、液体導入部４２の側方に連なり２連のコネクタ４３を有するヘッド基板４４と、液体導入部４２の下方（同図（ａ）では上方）に連なるヘッド本体４５と、で構成されている。この種のインクジェット方式の液滴吐出ヘッド８は、吐出駆動のためのエネルギー発生素子として圧電素子（ピエゾ素子）を用いたもの、あるいは電気熱変換体を用いたもので構成されている。
【００３７】
各接続針４１は、配管アダプタ４７を介して機能液供給系に接続されており、液体導入部４２は、各接続針４１から機能液の供給を受ける。ヘッド基板４４は、各コネクタ４３に接続したＦＦＣ４８（Ｆｌａｔ  Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｃａｂｌｅ）を介して、制御装置１２に連なるヘッドドライバ４９に接続されている（図１参照）。ヘッドドライバ４９は、例えば、液滴吐出のための駆動信号を圧電素子に印加し、液滴吐出ヘッド８を吐出駆動させる。
【００３８】
ヘッド本体４５は、平坦なノズル面５１を有するノズルプレート５２と、ノズルプレート５２に連なる直方体形状の２連のポンプ部５３と、で構成されている。液滴吐出ヘッド８は、ヘッド本体４５がサブキャリッジ３１の下面から突出しており、ヘッド本体４５の下面、すなわち基板Ｗに平行に対峙するノズル面５１には、２本のノズル列５４が相互に平行に形成されている。
【００３９】
各ノズル列５４は、例えば１８０個のノズル５５が等ピッチで並べられて構成されている。そして、ノズル５５の数に対応してポンプ部５３には圧電素子が設けられており、圧電素子のポンプ動作により、液滴吐出ヘッド８は、ノズル面５１に開口した各ノズル５５のノズル孔から機能液滴をドット状に吐出する。特に図示しないが、ノズル孔の周囲の部分およびノズル面５１は、撥機能液性を有するように表面処理され、例えば共析メッキ層が被膜されている。
【００４０】
なお、液滴吐出ヘッド８のノズル数やノズル列数は任意である。また、液滴吐出ヘッド８を専用部品で構成するなどして、基板Ｗに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド８をあえて傾けてセットする必要はない。
【００４１】
メンテナンス手段１１は、機台２上に設置した移動テーブル６１と、移動テーブル６１に載置したノズル孔の吸引回復ユニット６２（以下、吸引回復ユニット６２と略記する。）と、吸引回復ユニット６２に隣接して配設したノズル面５１の吸引清掃ユニット６３（以下、吸引清掃ユニット６３と略記する。）と、を備えている。移動テーブル６１により、吸引回復ユニット６２および吸引清掃ユニット６３はそれぞれ、Ｙ軸テーブル５によりメンテナンス位置に移動したヘッドユニット９に臨む。
【００４２】
移動テーブル６１は、Ｘ軸テーブル４と相互に平行に配設されていると共に、その上方をＹ軸テーブル５に跨がれている。移動テーブル６１は、例えば移動系の主体をボールねじにより構成され、モータドライバ７１を介して駆動するサーボモータ７２が正逆回転することで、吸引回復ユニット６２および吸引清掃ユニット６３を一対のガイドレール７３，７３に沿ってＸ軸方向にスライド移動させる。
【００４３】
吸引回復ユニット６２は、液滴吐出ヘッド８のノズル孔から強制的に機能液を吸引することにより、液滴吐出ヘッド８のいわゆるドット抜けを防止・解消するものである。吸引回復ユニット６２は、例えば昇降機構により各液滴吐出ヘッド８のノズル面５１にキャップをそれぞれ密着させ、この状態で各キャップに接続した吸引ポンプを駆動して、全ノズル孔（ノズル５５）から強制的に機能液を吸引する。そして吸引回復処理の後には、基本的に、吸引清掃ユニット６３によるノズル面５１の吸引清掃処理が行われる（詳細は後述する）。
【００４４】
なお、吸引回復ユニット６２は、昇降機構によりノズル面５１からキャップを僅かに離間させておくことで、液滴吐出ヘッド８の予備吐出（いわゆるフラッシング）の液滴受けとして機能させることもできる。さらに、吸引回復ユニット６２は、非稼働時などには、昇降機構によりノズル面５１にキャップを密着させてノズル孔を気密に封止し、ノズル孔からの機能液乾燥を防止する保管ユニットとして機能させることもできる。
【００４５】
制御装置１２は、ＣＰＵ８１を有して各種構成装置の動作を制御するためのものであり、液滴吐出装置１の制動動作を実行するための制御プログラムや制御データを記憶すると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。
【００４６】
例えば、制御装置１２は、描画処理を行う場合には、各モータドライバ２３，２７を介してＸ・Ｙ移動機構３による基板Ｗの往動動作（主走査）および液滴吐出ヘッド８のピッチ送り動作（副走査）を制御すると共に、これに同期して、ヘッドドライバ４９を介して各液滴吐出ヘッド８の吐出駆動を制御する。特に、制御装置１２は、モータドライバ７１を介して移動テーブル６１によるヘッドユニット９の移動に同期して、吸引清掃ユニット６３の駆動を制御する（後述する）。
【００４７】
なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド８に対し、基板Ｗを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド８を主走査方向に移動させる構成であってもよい。さらに、基板Ｗを固定とし、液滴吐出ヘッド８を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４８】
ここで、図４および図５を参照して、吸引清掃ユニット６３について詳細に説明する。吸引清掃ユニット６３は、液滴吐出ヘッド８のノズル面５１に付着した機能液ミストや塵埃等の付着物を、吸引方式により吸入キャップ９１に吸い込むことでノズル面５１から除去し、ノズル面５１を清掃する吸引清掃処理を行うものである。
【００４９】
吸引清掃ユニット６３は、１２個の吸入キャップ９１をベースプレート９２に組み込んだキャップユニット９３と、各吸入キャップ９１を介してノズル面５１に付着した付着物をエアーと共に吸引する吸引手段９４と、吸引手段９４の主要部やキャップユニット９３を支持する共通固定ベース９５とを備え、共通固定ベース９５が移動テーブル６１に固定されている。
【００５０】
キャップユニット９３は、ベースプレート９２の四隅を下側から支持すると共にベースプレート９２に対面する部分を開口した支持プレート１０１と、この開口部１０２に臨むように支持プレート１０１の下側に配設した防液パン１０３とを有し、支持プレート１０１の両端部で図外の支柱を介して共通固定ベース９５に支持されている。ベースプレート９２には、ヘッドユニット９の１２個の液滴吐出ヘッド８の配置に対応して１２個の取付け開口が形成されており、各取付け開口に吸入キャップ９１がそれぞれ位置決め固定されている。
【００５１】
吸引手段９４は、図６に示すように、１２個の吸入キャップ９１のそれぞれに吸引力を作用させる１２個のエゼクタ１１１と、各エゼクタ１１１に圧縮エアーを供給するエアー供給手段１１２と、エゼクタ１１１の排気側に設けられ、ノズル面５１に付着した付着物をエアーと共に排気回収する回収手段１１３と、で構成されている。
【００５２】
各エゼクタ１１１は、エアー供給手段１１２に接続されて圧縮エアーの供給を受ける給気ポート１２１と、吸入キャップ９１に接続された吸引ポート１２２と、回収手段１１３に接続されて圧縮エアーや吸入キャップ９１から吸引された付着物を排気（排出）するための排気ポート１２３と、を有している。吸引ポート１２２は、給気ポート１２１と排気ポート１２３との間に位置している。
【００５３】
したがって、給気ポート１２１側（の図示省略したノズル）から排気ポート１２３側（の図示省略したディフューザ）に噴出される圧縮エアーにより、吸引ポート１２２を介して吸入キャップ９１に負圧が発生する。吸入キャップ９１に負圧が発生すると、その表面に有する吸引孔１８２（図７参照）から周辺のエアーや付着物が吸い込まれ、これらは吸引ポート１２２および排気ポート１２３を介して回収手段１１３に排気される。
【００５４】
エアー供給手段１１２は、窒素等の不活性ガスを圧縮した圧縮エアーを供給する単一のコンプレッサー１３１と、各吸入キャップ９１と各エゼクタ１１１の吸引ポート１２２とを接続する１２本の第１エアー供給チューブ１３２と、各エゼクタ１１１の給気ポート１２１に接続された１２本の第２エアー供給チューブ１３３と、１２本の第２エアー供給チューブ１３３を６本ずつ区分けして接続した２組のマニホールドレギュレータ１３４と、２組のマニホールドレギュレータ１３４とコンプレッサー１３１とをマニホールド１３５を介して接続する第３エアー供給チューブ１３６と、を備えている。
【００５５】
第３エアー供給チューブ１３６には、コンプレッサー１３１側から順に、コンプレッサー１３１からの圧縮エアーを一定圧力に保つレギュレータ１３７と、第３エアー供給チューブ１３６を閉塞するための電磁弁１３８と、が介設されている。電磁弁１３８は、通常閉弁されており、ノズル面５１の吸引清掃処理を行う際に制御装置１２により開弁される。電磁弁１３８を開弁（すなわち、吸引手段９４を駆動）することにより、コンプレッサー１３１から各吸入キャップ９１へのエアー流路が連通し、各エゼクタ１１１を介して各吸入キャップ９１に負圧が発生するようになっている。
【００５６】
回収手段１１３は、各エゼクタ１１１の排気ポート１２３に接続した１２本の第１回収チューブ１５１と、１２本の第１回収チューブ１５１を４本ずつ区分けして接続した３組の中継マニホールド１５２と、各中継マニホールド１５２に接続した計３本の第２回収チューブ１５３と、各第２回収チューブ１５３に連通する単一の回収タンク１５４と、を備えている。エゼクタ１１１から排気された圧縮エアー等（吸入キャップ９１からのエアーや付着物を含む。）は、第１回収チューブ１５１および第２回収チューブ１５３を伝って、回収タンク１５４へ排気される。
【００５７】
回収タンク１５４は、吸入キャップ９１により吸い込んだ付着物を貯留可能に構成されていると共に、上面には排気チューブ１５５が繋ぎこまれている。排気チューブ１５５には、ゴミ等を除去するフィルタ１５６が介設されている。したがって、回収タンク１５４では、圧縮エアー等のエアーから付着物を分離してこれを貯留する一方、外部にはきれいなエアーを排気し、液滴吐出装置１の雰囲気の清浄度を保つようになっている。
【００５８】
図４および図５に示すように、共通固定ベース９５には、一方の端部に固定された鉛直ブラケット１６１と、鉛直ブラケット１６１とキャップユニット９３との間に位置し、共通固定ベース９５に載置されたベース側防液パン１６２と、鉛直ブラケット１６１に平行にベース側防液パン１６２に固定された取付プレート１６３と、が設けられている。そして、鉛直ブラケット１６１には上記２組のマニホールドレギュレータ１３４が上下に取り付けられ、また取付けプレート１６３には１２個のエゼクタ１１１が取り付けられ、さらにベース側防液パン１６２には３組の中継マニホールド１５２が横並びに載置されている。
【００５９】
吸入キャップ９１（吸入部材）は、図７に示すように、キャップ本体１７１と、キャップ本体１７１を固定すると共にベースプレート９２に固定されたキャップホルダ１７２と、で構成されている。キャップ本体１７１は、平坦な上面のキャップ表面１８１に形成した複数の吸引孔１８２と、内部に構成され、複数の吸引孔１８２に連通するチャンバ１８３と、を有している。
【００６０】
キャップホルダ１７２の内部には、チャンバ１８３に連通する凹部１９１が形成されており、凹部１９１には、第１エアー供給チューブ１３２に接続された管継手１９２が下側から連通している。凹部１９１は、上方に向かって拡開するように形成されており、その中心部に管継手１９２が接続されている。すなわち、吸入キャップ９１は、その中心部にて吸引力を作用され、複数の吸引孔１８２を介してその周辺のエアーと共にノズル面５１の付着物を吸い込む。
【００６１】
図８（ａ）に模式的に示すように、吸入キャップ９１は、キャップ表面１８１がノズル面５１に対し所定の間隙を存して平行に対面するようになっている。すなわち、吸引清掃処理は、吸入キャップ９１がノズル面５１に近接して対峙することで行われる。また、同図（ｂ）に示すように、キャップ表面１８１は、ノズル面５１の最外端の２つのノズル５５を包含可能に構成されると共に、複数の吸引孔１８２がノズル面５１の投影領域に包含されるように、ノズル面５１に対し小さく構成されている。
【００６２】
また、複数の吸引孔１８２は、ノズル列５４の延在方向と平行に等ピッチで整列配置されている。吸引孔１８２は付着物を吸い込むためにノズル孔（ノズル５５）よりも大きく形成され、その個数は１８０個のノズル孔５５に対し例えば８個からなっている。このような構成により、吸入キャップ９１は、吸引時のエアーの無用なリークを好適に抑制しながら、ノズル孔５５周りの付着物を複数の吸引孔１８２から効率良く吸引することが可能となっている。
【００６３】
そして同図（ｃ）に示すように、吸引清掃処理は、ノズル面５１に対し吸入キャップ９１を対峙させた状態で水平移動させることで行われる。すなわち、吸引手段９４の駆動に同期して、移動テーブル６１を駆動して、ノズル面５１を非接触で通過するように吸入キャップ９１を移動させる。上記のように、移動テーブル６１による移動方向に対し吸入キャップ９１は僅かに傾いているため、吸入キャップ９１は、ノズル面５１の長辺方向に対し略直交する方向からこれに臨み、その後、キャップ表面１８１の長辺方向とノズル面５１の長辺方向とが合致して対面、すなわちキャップ表面１８１がノズル面５１の投影領域に包含されるようになっている。
【００６４】
この場合、吸入キャップ９１のキャップ表面１８１は、ノズル面５１に対する移動方向の先端側に、面取りされた先下がりの傾斜面１９３を有している。傾斜面１９３により、吸引清掃処理において吸入キャップ９１がノズル面５１に臨んだ際に、ノズル面５１から大きく突出した付着物が吸入キャップ９１の先端面に付着してしまうのを防止することができる。また、傾斜面１９３を流れるエアーは流速を増すため、ノズル面５１の付着物を除去し易くなる。なお、本実施形態では、キャップ表面１８１を平坦面としているが、付着物のより好適な吸引を促すために、エアーの流れを考慮した微妙な凹凸を設けてもよい。
【００６５】
ここで、一連の吸引清掃処理について、図１および図８を参照して説明する。先ず、移動テーブル６１およびＸ・Ｙ移動機構３により吸引清掃ユニット６３およびヘッドユニット９を、メンテナンス位置に移動させる。ここで、電磁弁１３８を開弁して吸引手段９４を駆動すると共に、移動テーブル６１を駆動して、１２個のノズル面５１に対し１２個の吸入キャップ９１を一括して通過させる。これにより、ノズル面５１と吸入キャップ９１のキャップ表面１８１との間でエアーの流れが変化しあるいはかき乱され、吸入キャップ９１は、外部から引き込むエアーによりノズル面５１の付着物を吸い込み、ノズル面５１を清掃する。
【００６６】
吸入キャップ９１を移動させる際に、キャップ表面１８１がノズル面５１に対面したところで、移動テーブル６１のサーボモータ７２をホールド制御し、吸入キャップ９１を一時的に待機させてもよい。あるいは、キャップ表面１８１とノズル面５１との間をより激しい乱流状態にするために、両者が対面した状態で、サーボモータ７２を正逆回転させ、ノズル面５１に対し吸入キャップ９１を前後に微小移動させてもよい。
【００６７】
そして、制御装置１２によるタイマー管理により、電磁弁１３８が閉弁して吸引手段９４の駆動が停止されると共に、移動テーブル６１の駆動が停止されて、一連の吸引清掃処理が完了する。このように、吸引清掃ユニット６３と移動テーブル６１とが協働して、ノズル面５１を吸引方式により清掃する方式であるため、ノズル面５１を強い拭取り接触等により損傷することなく、ノズル面５１から付着物を適切に除去することができる。そして吸引清掃処理された液滴吐出ヘッド８は、基板Ｗへの描画処理に移行することとなる。
【００６８】
なお、本実施形態では、移動テーブル６１によりノズル面５１に対し吸入キャップ９１は僅かに傾いた状態から対面する構成であるが、ノズル面５１の長辺方向と吸入キャップ９１の長辺方向とを常に合致させながら、吸入キャップ９１を移動させるようにしてもよい。この場合、移動テーブル６１の移動方向に対し吸入キャップ９１の長辺方向が直交するように、移動テーブル６１を構成すればよい。
【００６９】
また、吸入キャップ９１をノズル面５１の長辺方向に直交する方向から移動させる構成に代えて、吸入キャップ９１をノズル面５１の短辺方向に直交する方向から移動させるようにしてもよい。さらに、吸引手段９４の駆動に同期して移動テーブル６１を駆動する構成に代えて、吸引手段９４の駆動に同期してＸ・Ｙ移動機構３のＹ軸テーブル５を駆動してもよい。すなわち、吸入キャップ９１に対し液滴吐出ヘッド８を移動させることで、吸引清掃処理を行ってもよい。
【００７０】
また、吸入キャップ９１の複数の吸引孔１８２をノズル列５４に対応するスリットで構成するようにしてもよいし、例えば、複数の吸引孔１８２を図９に示すように構成してもよい。すなわち同図に示すように、複数の吸引孔１８２は、吸入キャップ９１の長辺方向に２本の吸引孔列１８４を構成すると共に、全体として千鳥状に整列配置されている。そして各吸引孔１８２は、付着物を吸入し易いように、面取りして構成されている。また、２本の吸引孔列１８４は、２本のノズル列５４に対応して、ノズル列５４間の距離分だけ離間して構成されている。このような構成により、吸入キャップ９１は、各ノズル列５４のノズル孔５５周りに付着した付着物をより好適に吸引し得る。
【００７１】
次に、吸引清掃処理に係る第２実施形態について、特に図示せず第１実施形態との相違点を中心に説明する。第２実施形態は、ノズル面５１の面内方向に吸入キャップ９１を相対的に移動させる第１実施形態の構成に代えて、ノズル面５１に対し吸入キャップ９１を相対的に昇降させ、この昇降動作に同期して吸引手段９４を駆動することで、吸引清掃処理を行うものである。
【００７２】
すなわち、第２実施形態に係る吸引清掃ユニット６３には、液滴吐出ヘッド８（ヘッドユニット９）に対し、キャップユニット９３を単位として複数の吸入キャップ９１を一括して昇降させるキャップ側昇降機構が組み込まれている。キャップ側昇降機構は、例えば、エアーシリンダやモータなどの駆動源となるアクチュエータを有し、アクチュエータの駆動によりキャップユニット９３を昇降させる。
【００７３】
アクチュエータをエアーシリンダで構成した場合には、共通固定ベース９５にエアーシリンダを設け、そのピストンロッドをキャップユニット９３に連結させると共に、キャップユニット９３を共通固定ベース９５に対し自由状態とさせる。そして吸引清掃処理では、液滴吐出ヘッド８の直下に吸入キャップ９１を臨ませた状態で、吸引手段９４を駆動し、これに同期してエアーシリンダを駆動して、キャップユニット９３を上昇させる。
【００７４】
この上昇動作に伴い、吸入キャップ９１はノズル面５１から付着物を吸引除去する。なお、この場合に、吸引手段９４の駆動に同期して、さらにＸ・Ｙ移動機構３や移動テーブル６１を駆動して、吸入キャップ９１をＸ・Ｙ平面内において微小移動させ、キャップ表面１８１とノズル面５１との間により激しい乱流状態を構成してもよい。
【００７５】
もっとも、キャップ側昇降機構に代えて、吸入キャップ９１に対し、ヘッドユニット９を単位として複数の液滴吐出ヘッド８を一括して昇降させるヘッド側昇降機構を、メインキャリッジ７に組み込んでもよい。例えば、ヘッド側昇降機構は、アクチュエータを駆動モータで構成し、移動系の主体をボールねじで構成すればよい。
【００７６】
具体的には、ヘッド側昇降機構は、ヘッドユニット９を下部に連結したスライダと、スライダを上下方向にスライド自在に支持するスライドベースと、スライドベースに固定した駆動モータと、駆動モータにより正逆回転するボールねじと、ボールねじに螺合すると共にスライダに固定した雌ねじブロックと、を具備して構成すればよい。かかる構成により、駆動モータを正逆回転させることで、ボールねじおよび雌ねじブロックを介してスライダが昇降し、複数の液滴吐出ヘッド８が一括して昇降する。
【００７７】
この場合の吸引清掃処理は、吸入キャップ９１の直上部に液滴吐出ヘッド８を臨ませた状態から、吸引手段９４の駆動に同期して液滴吐出ヘッド８（ヘッドユニット９）を下降させればよい。そして上記同様に、Ｘ・Ｙ移動機構３等を更に駆動して、キャップ表面１８１とノズル面５１との間により激しい乱流状態を構成してもよい。なお、ヘッド側昇降機構を活用することで、ノズル面５１と基板Ｗの表面との間のワークギャップを微調整することもできる。
【００７８】
次に、第３実施形態について、図１０を参照して説明する。第１実施形態では吸入キャップ９１がノズル面５１に対し非接触状態で吸引清掃処理を行ったが、この構成に代えて第３実施形態では、吸入キャップ９１がノズル面５１に接触した状態で吸引清掃処理を行うものである。このため、第３実施形態では、吸入キャップ９１がノズル面５１に対し離接するように、第２実施形態にいうキャップ側昇降機構またはヘッド側昇降機構（以下、単に昇降機構という。）を備えている。
【００７９】
図１０に示すように、第３実施形態に係る吸入キャップ９１のキャップ表面１８１には、複数の吸引孔１８２から成る１列の吸引孔列１８４が長手方向に形成されていると共に、吸引孔列１８４を挟んで一対の密着片部２０１が離間して取り付けられている。吸引孔列１８４は、２本のノズル列５４間の中心位置に位置するように構成されていると共に、一対の密着片部２０１は、２本のノズル列５４の外側のノズル面５１に密着可能に構成されている。したがって、一対の密着片部２０１を介して吸入キャップ９１をノズル面５１に密着した状態では、吸引孔１８２がノズル面５１に僅かな間隙を存して臨むと共に、吸入キャップ９１とノズル面５１との間には、長手方向の両端部を開口した非封止空間が構成される。
【００８０】
吸引清掃処理を行う場合には、先ず、液滴吐出ヘッド８の直下に吸入キャップ９１を臨ませ、ノズル面５１にキャップ表面１８１を対面させる。この状態で昇降機構を駆動して、吸入キャップ９１をノズル面５１に非封止状態で密着させ、吸引手段９４を駆動する。これにより、吸入キャップ９１とノズル面５１との間では、長手方向の両側からエアーが引き込まれ、各吸引孔１８２にエアーと共にノズル面５１の付着物が吸い込まれてゆく。そして、制御装置１２によるタイマー管理により、電磁弁１３８が閉弁されると共に、昇降機構が駆動して吸入キャップ９１がノズル面５１から相対的に離間し、一連の吸引清掃処理が完了する。
【００８１】
本実施形態によれば、上記各実施形態と同様に、ノズル面５１を吸引方式により清掃する方式であるため、ノズル面５１を損傷することなく、ノズル面５１から付着物を適切に除去することができる。また、吸入キャップ９１をノズル面５１に非封止状態で接触させているため、第２実施形態に比べて、吸入キャップ９１とノズル面５１との間でエアーのリークを抑制した状態でエアーの流れを確保できる。さらに、吸入キャップ９１の密着片部２０１（接触部分）の形態により、エアーの流れを制御し、付着物の吸引をより適切に行うことも可能である。このため、ノズル孔５５周りにおいてエアーの流速を高めることができ、付着物をより一層適切に除去することができる。
【００８２】
なお、この場合も複数の吸引孔１８２の数や配置は任意である。また、密着片部２０１の構造もこれに限るものではない。さらに、上記いずれの実施形態においても、吸引手段９４の主要部をエゼクタ１１１とする構成に代えて、吸引手段をピストンポンプなどのメカニカルポンプで構成してもよい。
【００８３】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１は、各種の材料からなる機能液を用いることで、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【００８４】
そこで、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に説明し、他のデバイスについても簡単に説明する。
【００８５】
図１１は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００および対向基板４６６間には、配向膜４６１、４６４が構成され、対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【００８６】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク４１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１（ワークＷ）と、遮光性のバンク４１３とを備えている。バンク４１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層４２１を構成する。バンク４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【００８７】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク４１３で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド８により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層４２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド８により、オーバーコート層４２２など各種の成膜部を形成している。もちろん、吸引清掃ユニット６３により、液滴吐出ヘッド８のノズル面５１は適宜吸引清掃処理されている。
【００８８】
同様に、図１２を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１（ワークＷ）上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２上に主体を為す有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【００８９】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極５０３で覆われている。
【００９０】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、液滴吐出ヘッド８に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成する等している。もちろん、吸引清掃ユニット６３により、液滴吐出ヘッド８のノズル面５１は適宜吸引清掃処理されている。
【００９１】
そして、以下に示すデバイスの製造方法において、液滴吐出ヘッド８のノズル面５１の吸引清掃処理に、吸引清掃ユニット６３が活用されている。
【００９２】
すなわち、ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド８にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板（ワークＷ）上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【００９３】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド８に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極（ワークＷ）上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【００９４】
金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド８に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【００９５】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド８にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板（ワークＷ）上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【００９６】
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド８に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【００９７】
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド８にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【００９８】
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド８に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板（ワークＷ）上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【００９９】
【発明の効果】
本発明のノズル面の吸引清掃方法・装置によれば、ノズル面に非封止状態で接触し又は非接触状態で臨む吸入部材を介して、ノズル面に付着した機能液等の付着物をエアーと共に吸引することで、ノズル面を清掃する。したがって、ノズル面に損傷を与えることなく、これを適切に清掃でき、液滴吐出ヘッドから機能液滴が飛行曲がりなく良好に吐出される。
【０１００】
本発明の液滴吐出装置によれば、上記のノズル面の吸引清掃装置を備えているため、液滴吐出ヘッドは機能液滴を高精度に吐出することができると共に、そのノズル面の劣化を十分に抑制できる。
【０１０１】
本発明の電気光学装置の製造方法、上記の液滴吐出装置を用いての成膜処理であるため、高品質で信頼性の高い各種の電気光学装置、電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の基本的構成を模式的に示した平面図である。
【図２】実施形態に係るヘッドユニットの主要部を示す平面図である。
【図３】（ａ）実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図４】実施形態に係る吸引清掃ユニットを示す外観斜視図である。
【図５】実施形態に係る吸引清掃ユニットを示した図であり、（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。
【図６】実施形態に係る吸引清掃ユニットの配管系統図である。
【図７】実施形態に係る吸入部材を示した図であり、（ａ）平面図、（ｂ）正面断面図、（ｃ）側面断面図である。
【図８】実施形態に係る液滴吐出ヘッドと吸入部材との関係を模式的に示す説明図である。
【図９】吸引孔の他の配列を模式的に示す説明図である。
【図１０】第３実施形態に係る吸入キャップを示した図であり、（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。
【図１１】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図１２】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置
３  Ｘ・Ｙ移動機構（移動機構）
８  液滴吐出ヘッド
９  ヘッドユニット
１２  制御装置
５１  ノズル面
５５  ノズル
６１  移動テーブル（移動機構）
６３  吸引清掃ユニット
９１  吸入キャップ（吸入部材）
９４  吸引手段
１８１  キャップ表面
１８２  吸引孔
４５０  液晶表示装置
５００  有機ＥＬ装置
Ｗ  基板
【図１】
2004306546.tif 000003
【図２】
2004306546.tif 000004
【図３】
2004306546.tif 000005
【図４】
2004306546.tif 000006
【図５】
2004306546.tif 000007
【図６】
2004306546.tif 000008
【図７】
2004306546.tif 000009
【図８】
2004306546.tif 000010
【図９】
2004306546.tif 000011
【図１０】
2004306546.tif 000012
【図１１】
2004306546.tif 000013
【図１２】
2004306546.tif 000014