(57)【要約】【課題】単一装置により発生する振動の固有振動数及び減衰率を可変することにより各種振動を効率的に制振することができる動吸振装置及びこれを取付けた成形品取出機を提供する。各種取出し条件の変更に応じてアームの残留振動を効率的に吸収することができ、取出し作業を効率的に行うことができる動吸振装置及びこれを取付けた成形品取出機を提供する。【解決手段】容器中に、溶媒中に固体微粒子を分散させた機能性流体を流動可能に封入して、印加される外部場により固体微粒子を配向させて機能性流体の粘度を、機能性流体の流動に伴って発生する共振振動の固有振動数及び減衰率に応じて変化させて対象物の振動を反共振振動により打ち消して制振する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器中に、溶媒中に固体微粒子を分散させた機能性流体を流動可能に封入して、印加される外部場により固体微粒子を配向させて機能性流体の粘度を、機能性流体の流動に伴って発生する共振振動の固有振動数及び減衰率に応じて変化させて対象物の振動を反共振振動により打ち消して制振する動吸振装置。
【請求項２】
請求項１の機能性流体は、溶媒中に高透磁率の鉄微粒子を含有した溶液とすると共に外部場を磁界とし、印加される磁界により機能性流体の粘度を可変可能にした動吸振装置。
【請求項３】
請求項２において、容器は導電体で構成すると共に外周にコイルを巻回して電磁石とした動吸振装置。
【請求項４】
請求項２において、機能性流体が封入された容器には発生させる共振振動の固有振動数、振幅及び減衰率に応じた磁束密度の永久磁石を装着可能にし、該永久磁石の磁界による機能性流体の粘度を可変可能にした動吸振装置。
【請求項５】
請求項１の機能性流体は、溶媒中に導電性微粒子を含有した溶液とすると共に外部場を電界とし、印加される電界により機能性流体の粘度を可変可能にした動吸振装置。
【請求項６】
請求項４において、容器内に所定の間隔をおいて相対し、電源に接続された電極板を設け、封入された機能性流体に電界を印加可能にした動吸振装置。
【請求項７】
成形品を保持するチャックを所定位置間にて移動制御して樹脂成形機から成形品を取り出す成形品取出機において、チャック及び該チャックを移動させる可動体の少なくともいずれかに、請求項１乃至６のいずれかに記載の動吸振装置を設け、可動体の移動停止時における可動体の残留振動を打ち消す振動を発生可能にした成形品取出機。
【請求項８】
請求項７の成形品取出機は、チャックを樹脂成形機の軸線方向、軸線直交方向及び上下方向へ移動制御して成形品を取り出す成形品取出機。
【請求項９】
請求項７の成形品取出機は、チャックを金型間と樹脂成形機の操作側及び反操作側にいずれか一方側へ旋回移動して成形品を取り出す成形品取出機。
【請求項１０】
請求項８において、動吸振装置は、チャックを上下方向へ移動する昇降アームに設けた成形品取出機。
【請求項１１】
請求項９において、動吸振装置は、チャックを旋回移動する旋回アームに設けた成形品取出機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、振動を吸収する動吸振装置及びこれを取付けた成形品取出機に関する。
【０００２】
【従来技術】
例えば樹脂成形機から成形品を取出す成形品取出機において、チャックが設けられる昇降アームが移動停止した際に、移動時におけるアームの撓みによる復元力により残留振動が発生している。成形品取出しの次動作へ移行する際に残留振動が発生していると、成形品の保持不良や落下等が発生する虞があるため、この残留振動が収斂してから次動作を実行する必要があり、取出し時間自体が長くなる問題を有している。このため、成形品取出機の昇降アーム等の可動部に各種の振動吸収装置を設けて残留振動を短時間に吸収して収斂させる取出し方法等が提案されている。
【０００３】
昇降アームの残留振動による振動抑制方法としては、例えば特許文献１に示すように、アームの加速開始から加速終了までの加速時間において、加速開始時刻から起算して、前記加速時間の７５％または約７５％の時間が経過した時刻に、加速度のピークが来るようにすると共に、アームの減速開始から減速終了までの減速時間において、減速開始時刻から起算して、前記減速時間の２５％または約２５％の時間が経過した時刻に、加速度の負のピークが来るように、アーム駆動手段への加減速指令を行うことにより残留振動を抑制する方法が提案されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−７９５８３号
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記した抑制方法は、必ずしも全ての条件において残留振動を有効に吸収できなかった。即ち、成形品取出機自体、多種多様の成形品、従って重量や大きさが異なる各種の成形品を取出す必要があり、また、成形品の取出態様も一様ではなく、アームの先端部に姿勢制御部材を取付けて成形品解放時にはチャックを反転させて取出し作業を行う場合もあった。
【０００６】
このため、取出される成形品や取出し態様に応じてチャックを含むアームの重量、取出しの位置、生産する数量に応じた取出しの時間等が多種多様に変化し、アームの残留振動の固有振動数も一定ではなく、各成形品取出機の仕様に応じて減速開始ポイントを設定し直す必要がある。
【０００７】
この結果、それぞれの成形品やチャック及び取出し態様に応じて残留振動の制振に必要なデータを予め取得し、成形品やチャック等の変更に応じてデータを設定し直す必要があり、この作業に多くの手間と時間がかかっていた。
【０００８】
又、上記した従来の残留振動抑制方法は、上記した加減速指令が有効な加速時間帯域と有効でない加速時間帯域とがあり、有効でない加速時間帯域では、全く残留振動を抑制することができなかった。特に、取出条件が変更されると、これに伴ってアームの固有振動数が変化することにより有効な加減速時間帯域も変化するので、取出条件変更前に有効だった加減速時間帯域が変更後も有効であるとは限らず、残留振動を効率的に抑制できなかった。
【０００９】
上記した制御方法以外に、残留振動を機械的に吸収する装置として、例えば梁部材の先端部に錘を取付け、アームの振動を打ち消すように梁部材を振動させて制振する、所謂動吸振装置が開発されている。
【００１０】
この種の動吸振装置により発生する振動は、概略、固有振動数、振幅、減衰率で、その内の固有振動数と振幅は、梁部材の材質、形状、長さと錘の重さ、取付け位置、取付け状態等との相関関係で規定され、又振動の減衰率は、梁部材の材質、長さ、幅、厚みで規定される。そして昇降アームに発生する残留振動の固有振動を打ち消すような周期の振動を、前述した梁部材と錘の組み合わせにより発生さている。
【００１１】
しかし、この種の動吸振装置にあっても、昇降アームの移動条件、具体的には取出そうとする成形品の種類や昇降アームの移動速度（取出し時間）等に変更が生じた場合には、昇降アームの残留振動の固有振動周期、振幅が変わるため、これに応じた振動数、振幅及び減衰率で調整された動吸振装置に取り換える必要があった。
【００１２】
このため、各種振動数、振幅及び減衰率に対応した多数の動吸振装置を予め用意しておき、取出し条件等に変更が生じた際には、その都度、動吸振装置を交換する必要があった。
【００１３】
本発明は、上記した従来の欠点を解決するために発明されたもので、その課題とする処は、１個の装置により発生する振動の固有振動数及び減衰率を可変することにより各種振動を効率的に制振することができる動吸振装置及びこれを取付けた成形品取出機を提供することにある。
【００１４】
本発明の他の課題は、各種取出し条件の変更に応じてアームの残留振動を効率的に吸収することができ、取出し作業を効率的に行うことができる動吸振装置及びこれを取付けた成形品取出機を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１は、容器中に、溶媒中に固体微粒子を分散させた機能性流体を流動可能に封入して、印加される外部場により固体微粒子を配向させて機能性流体の粘度を、機能性流体の流動に伴って発生する共振振動の固有振動数及び減衰率に応じて変化させて対象物の振動を反共振振動により打ち消して制振することを特徴とする。
【００１６】
請求項７は、成形品を保持するチャックを所定位置間にて移動制御して樹脂成形機から成形品を取り出す成形品取出機において、チャック及び該チャックを移動させる可動体の少なくともいずれかに動吸振装置を設け、可動体の移動停止時における可動体の残留振動を打ち消す振動を発生可能にしたことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施形態】
以下に実施形態を示す図に従って本発明を説明する。
実施形態１
先ず、成形品取出機の概略を説明すると、図１〜図３において、成形品取出機（全体は図示せず、昇降アーム部のみを図示する。）は成形品を保持するチャック１を、樹脂成形機（図示せず）の軸線方向である前後方向、軸線直交方向である左右方向、上下方向の三次元方向へ移動制御して成形品を取出すもので、その本体フレーム（図示せず）の基部を樹脂成形機の固定プラテン（図示せず）の上面に固定して樹脂成形機に取付けられる。
【００１８】
本体フレームは金型位置から樹脂成形機の操作側又は反操作側へ延出して左右方向が長尺状からなり、その上面には可動体の一部である左右走行体（図示せず）が左右方向へ往復移動するように支持されている。そして左右走行体に前後方向へ延出して設けられた前後フレーム（図示せず）には可動体の一部である前後走行体（図示せず）が前後方向へ往復移動するように支持され、該前後走行体には先端部にチャック１が取付けられた可動体の一部である昇降アーム３が上下方向へ移動するように取付けられる。
【００１９】
上記した左右走行体、前後走行体及び昇降アーム３は、各移動方向毎に設けられた、例えばそれぞれのサーボモータ（何れも図示せず）を各方向へ移動制御してチャック１を後述する所定の位置へ移動させる。尚、上記したサーボモータとしては公知のリニアサーボモータを含むものであってもよい。
【００２０】
昇降アーム３の先端部にはチャック１が、必要に応じて姿勢制御装置５を介して着脱可能に取付けられる。姿勢制御装置５としては、チャック１の姿勢を垂直位置と水平位置の間で反転させる姿勢反転制御装置、チャック１の保持面が可動金型のパーティング面に相対する垂直位置と垂直状態を保ったまま保持面を水平方向へ回動させる水平回転位置の間で回動させる姿勢水平制御装置の何れであってもよく、図はチャック１の姿勢を反転回動させる姿勢反転制御装置を示す。
【００２１】
チャック１は、姿勢制御装置５の回動軸５ａに取付けられるチャック板１ａに成形品を吸着保持する複数の吸着部材や成形品をクランプするエアーシリンダ等の保持部材（図示せず）を設けた構造からなる。
【００２２】
姿勢制御装置５及びチャック１を含む昇降アーム３の下部には動吸振装置７が取付けられる。動吸振装置７の取付け箇所としては、チャック１の移動停止時に残留振動による昇降アーム３の振動幅が最大になる昇降アーム３の下端部、具体的には取出される成形品と干渉しない姿勢制御装置５の背面（固定プラテンに相対する面）側で、チャック１及び姿勢制御装置５を含む昇降アーム３の鉛直重心に一致する箇所が望ましい。
【００２３】
動吸振装置７としては、想定される昇降アーム３の残留振動に対抗する振動を発生させて打ち消すもので、例えば金属等の導電体やフェライト等の磁性体からなり、電磁石としての鉄芯を構成する円筒容器９内に、機能性流体としてのＭＲ流体（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ  Ｆｌｕｉｄ）ＭＲ流体１１を流動可能に封入したもので、円筒容器９の外周にはコイルコイル１３が巻回されて全体として電磁石を形成している。
【００２４】
又、円筒容器９の上面又は下面には磁気検出器としてのホール素子１５が設けられ、コイル１３に電流が印加された際に発生する磁界強度を検出して対応するレベルの検出信号を出力する。そしてホール素子１５からの検出信号に基づいてコイル１３に印加される電流を制御して磁界強度を調整することによりＭＲ流体１１の粘度を、動吸振装置７が発生する振動の固有振動数及び減衰率に応じて可変させる。
【００２５】
ＭＲ流体１１は、溶媒中に高い透磁率を持つ鉄微粒子（平均粒子径：１〜数μｍ）を一様に分散させた溶液で、通常は溶媒より若干高い粘度になっている。そしてコイル１３に電流を印加して発生する磁界が作用すると、夫々の鉄微粒子を磁化させて磁界方向に鎖状になったクラスタを形成し、形成されたクラスタを溶媒の流動抵抗としてその粘度が高くなるように可変させる。
【００２６】
上記動吸振装置７が発生する振動は、概略、固有振動数、振幅、減衰率で規定され、その内の固有振動数及び減衰率はＭＲ流体１１の容量（重量）及び粘度により夫々決定され、吸収しようとする残留振動の固有振動数や振幅に応じてコイル１３に印加される電流を調整することによりＭＲ流体１１の粘度を可変させる。
【００２７】
次に、動吸振装置７による昇降アーム３に発生する残留振動の吸振作用を説明する。
【００２８】
先ず、成形品取出機は、チャック１を以下の位置にそれぞれ移動させて樹脂成形機から成形品を取出す。１．待機位置：樹脂成形機に装着された金型の上方位置、２．下降位置：型開した金型間内に進入する位置、３．前進位置：チャック１が型開した可動金型のパーティング面に相対して近接する位置、４．後退位置：型開した金型間にて可動金型内から成形品を完全に抜き出す位置で、上記した下降位置と一致する場合がある。５．上昇位置：成形品を保持したチャック１を金型間から完全に抜き出す位置で、上記した待機位置と一致する場合もある。６．成形品解放位置：樹脂成形機の操作側または反操作側で、成形品を樹脂成形機外にて解放させる位置。
【００２９】
上記した各位置間にてチャック１を高速移動させて成形品取出し動作を行う際に、特にチャック１が直接取付けられる昇降アーム３にあっては、移動時に移動方向と反対の方向へ撓み、そしてチャック１の移動停止時には、その復元力（応力）により反対方向へ弾性変形して振動することにより残留振動が発生する。
【００３０】
この残留振動による昇降アーム３の固有振動数は、昇降アーム３の長さ及び重量、具体的には昇降アーム３の支持点である前後走行体からの長さ、姿勢制御装置５を含むチャック１の重量等により決まり、その振幅は先端部に行く程大きくなる。このことからチャック１が下降位置に移動した後に前進位置と後退位置の間で移動して成形品を保持した金型に近接する際や金型から成形品を抜き出す際に顕著に発生する。
【００３１】
そしてチャック１を含む昇降アーム３が、例えば右方向へ移動すると、昇降アーム３の先端部側が移動方向と反対側の左側に撓み、これに伴って動吸振装置７の円筒容器９内にてＭＲ流体ＭＲ流体１１も同じ方向へ流動して偏った状態になる。このＭＲ流体１１は、取出される成形品の種類（特に重量）や姿勢制御装置５の有無、チャック１の重量、取出し態様等に応じて決まる昇降アーム３の残留振動に対抗して打ち消す共振振動の固有振動数及び減衰率に応じて円筒容器９内の封入量や作用する磁界強度に応じた粘度に予め設定されている。
【００３２】
ＭＲ流体１１の粘度は、発生する磁界強度に対応し、この磁界強度はコイル１３に印加される電流によって決定される。尚、ＭＲ流体１１に作用する磁界強度は、ホール素子１５により検出され、該ホール素子１５からの検出信号に基づいてコイル１３に印加する電流を制御することにより残留振動に応じて設定された動吸振装置７が発生する共振振動の固有振動数及び減衰率をほぼ一定にしている。
【００３３】
そして昇降アーム３の移動が停止した際には、昇降アーム３が撓みの復元力により左側から右側へ撓んで振動して残留振動が発生し、これに伴って動吸振装置７における円筒容器９内のＭＲ流体１１も、その質量、粘度等に応じた固有振動数及び減衰率で振動して共振振動を発生させて動吸振装置７を含む昇降アーム３全体の残留振動を打ち消して昇降アーム３の残留振動エネルギーを吸収して制振させる。
【００３４】
尚、動吸振装置７が発生する共振振動は、ＭＲ流体１１の粘度により決定される減衰率で徐々に減衰して収斂することになる。
【００３５】
図４は動吸振装置７が非装着状態の昇降アーム１５における残留振動の状態例を、図５は動吸振装置７を取付けた際の昇降アームの振動状態例を示し、これらの図から動吸振装置７を取付けることにより移動停止後における昇降アーム１５の残留振動が短時間に収斂して静止することが分かる。
【００３６】
そして取出される成形品の種類を変更した場合や、これに伴って異なる重量のチャック１に変更した場合、例えば姿勢制御装置５を非装着とした場合等のように各種取出し条件を変更すると、チャック１を含む昇降アーム３の重量や重心等が変化し、これに伴って昇降アーム３に発生する残留振動の固有振動数や振幅等も変わることになる。
【００３７】
このように取出し条件を変更した際には、動吸振装置７が発生する共振振動も残留振動に応じて変更する必要がある。これに対処するため、コイル１３に印加する電流を調整してＭＲ流体１１に作用する磁界強度を変更してその粘度を、発生させる共振振動の固有振動数及び減衰率に応じて変更することにより所望の固有振動数及び減衰率の共振振動を発生させるようにする。
【００３８】
図６は磁界強度が低い場合におけるＭＲ流体１１の鉄微粒子配列状態を示す模式図、図７は磁界強度が高い場合におけるＭＲ流体１１の鉄微粒子配列状態を示す模式図であり、磁界強度に応じて鉄微粒子の配列状態が変化して溶媒の粘度を可変させることにより残留振動に対抗する所望の固有振動数及び減衰率の共振振動を発生可能にしている。
【００３９】
実施形態２
本実施形態は、容器内に機能性流体としてＥＲ流体を封入して動吸振装置を構成したもので、図８に示すように、動吸振装置６１の容器６３における相対する内面には陽電極板６５及び陰電極板６７が対向して設けられ、該容器６３内に機能性流体としてのＥＲ流体（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ  Ｆｌｕｉｄ）６９が、内部で流動して振動するように封入されている。
【００４０】
このＥＲ流体６９は、ＭＲ流体ＭＲ流体１１と同様に溶媒中に高い透磁率を持つ鉄微粒子（平均粒子径：１〜数μｍ）を一様に分散させた溶液で、通常は溶媒より若干高い粘度になっている。そして上記した各電極板６５・６７に電流を印加してＥＲ流体６９に外部電場を与えると、溶液中の鉄微粒子が電界方向に鎖状に繋がってなったクラスタを形成し、形成されたクラスタが溶媒の流動抵抗になって高粘度に可変させる。
【００４１】
そして電極板６５・６７間に印加される電流値は、昇降アーム３が発生する残留振動に対抗して動吸振装置６１が発生する共振振動の固有振動数及び減衰率に基づいて設定される。
【００４２】
ＥＲ流体６９の粘度可変作用に付いては、外部場が磁場であるか電場であるかを除いてＭＲ流体１１の粘度可変作用と同一であるため、その説明を省略するが、図９は電界強度が低い場合におけるＥＲ流体６９の鉄微粒子配列状態を示す模式図、図１０は電界強度が高い場合におけるＥＲ流体６９の鉄微粒子配列状態を示す模式図であり、これらの図から印加される電界強度に応じてＥＲ流体６９における鉄微粒子の配列状態を変更させることにより溶媒の粘度を可変し、残留振動に対抗する所望の固有振動数及び減衰率の共振振動を発生可能にしている。
【００４３】
上記した各実施形態は、チャック１を移動させる可動体の一部である昇降アーム３の移動停止時に発生する残留振動を、該昇降アーム３に設けた動吸振装置７・６１の円筒容器９・容器６３内で流動するＭＲ流体１１／ＥＲ流体６９により共振振動を発生させて打ち消すことにより短時間に吸収して制振することができ、次動作への移行を短時間に行うことができる。
【００４４】
そして取出す成形品の種類やチャック１の重量等の各種取出し条件に変更が生じた際には、昇降アーム３の残留振動の固有振動数、振幅等も変化することになるが、その場合にあってはコイル１３に印加する電流を変更して磁界強度を変えたり、電極板６５・６７間に印加される電流を変更することによりＭＲ流体１１／ＥＲ流体６９の粘度を、所望の固有振動数及び減衰率の共振振動が発生するように調整することができ、異なる固有振動数、振幅からなる各種の残留振動を効率的に吸収して制振することができる。
【００４５】
以下に、動吸振装置及びこれが装着される成形品取出機の変更実施形態を説明する。
【００４６】
１．上記説明の成形品取出機１は、チャック１を左右方向、前後方向及び上下方向の三次元方向へ移動制御して樹脂成形機から成形品を取り出す構造のものとしたが、動吸振装置が装着される成形品取出機としては、図１１に示すように前後方向へ移動するように支持された可動台（図示せず）に設けられたサーボモータ等の電動モータ（図示せず）の回転軸に、チャック１を旋回移動させて金型間に進入させる旋回アーム８１を取付けた構造であってもよい。
【００４７】
この場合にあっては、旋回アーム８１の先端部に上記した実施形態１又は実施形態２に係る動吸振装置８３（図１１は実施形態１の動吸振装置を取付けた状態を示す）を取付け、該旋回アーム８１の旋回移動停止時に発生する残留振動を吸収すればよい。
【００４８】
また、図示はしないが、チャックを左右方向及び前後方向へ移動制御して成形品を横取出しする構造の成形品取出機であっても実施可能である。この場合も、チャックが取付けられる横可動体に動吸振装置を取付け、横可動体の移動停止時に発生する残留振動を吸収すればよい。
【００４９】
２．上記説明は、昇降アームとチャックとの間に設けられる姿勢制御装置に動吸振装置を取付けて昇降アームの残留振動を制振する構成としたが、動吸振装置が取付けられる部材としては、昇降アーム、チャックを姿勢制御しない取出し態様にあってはチャックに直接取付ける構成であっても良い。
【００５０】
また、昇降アームに取付ける場合にあっては、通常は残留振動による振幅が大きくなり易い下部が適しているが、昇降アームの剛性等による残留振動の大きさを考慮して昇降アームの中間部や上部等のいずれの箇所でも取付け可能である。
【００５１】
３．上記説明は、可動体を昇降アーム、チャック及び姿勢制御装置の少なくともいずれかとし、これに動吸振装置を取付けて昇降アームの残留振動を吸収する構成としたが、本発明において動吸振装置が取付けられる可動体としては成形品取出機においてチャックを移動させる部材、具体的には左右走行体、前後走行体を含み、少なくともいずれかに動吸振装置を取付けて昇降アームの残留振動を低減させる構成であっても良い。
【００５２】
４．上記した実施形態１においては、円筒容器９の外周にコイル１３を巻回して電磁石を構成し、コイル１３に印加される電流を制御して発生する磁界強度を可変してＭＲ流体１１の粘度を調整可能とすることにより動吸振装置７が発生する共振振動の固有振動数及び減衰率を、昇降アーム３の残留振動に応じて調整する構成としたが、図１２に示すように円筒容器１２１の上面及び下面に、動吸振装置１２３が発生する共振振動の固有振動数及び減衰率に応じた磁束密度の永久磁石１２５ａ・１２５ｂを装着可能にしてＭＲ流体１２７の粘度を可変可能にしてもよい。
【００５３】
【発明の効果】
本発明は、１個の装置により発生する振動の固有振動数及び減衰率を可変することにより各種振動を効率的に制振することができる。また、各種取出し条件の変更に応じてアームの残留振動を効率的に吸収することができ、取出し作業を効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】動吸振装置を取付けた成形品取出機の昇降アームを示す斜視図である。
【図２】動吸振装置の概略を示す全体斜視図である。
【図３】図２の中央縦断面図である。
【図４】は動吸振装置が非装着状態の昇降アームにおける残留振動による振動状態例を示す波形図である。
【図５】動吸振装置を取付けた際の昇降アームの振動状態例を示す波形図である。
【図６】磁界強度が低い場合におけるＭＲ流体の鉄微粒子配列状態を示す模式図である。
【図７】磁界強度が高い場合におけるＭＲ流体の鉄微粒子配列状態を示す模式図である。
【図８】容器内に封入される機能性流体としてＥＲ流体を使用した動吸振装置を示す縦断面図である。
【図９】電界強度が低い場合におけるＥＲ流体の鉄微粒子配列状態を示す模式図である。
【図１０】電界強度が高い場合におけるＥＲ流体の鉄微粒子配列状態を示す模式図である。
【図１１】動吸振装置が取付けられる成形品取出機の変更例を示す説明図である。
【図１２】動吸振装置の変更実施形態を示す説明図である。
【符号の説明】
１−チャック、３−昇降アーム、７−動吸振装置、９−円筒容器、１１−ＭＲ流体、１３−コイル、６１−動吸振装置、６３−容器、６５・６７−電極板、６９−ＥＲ流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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