(57)【要約】【課題】光記録媒体における観察領域の位置を容易に認識できる光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法を提供する。【解決手段】光記録媒体１のグルーブ５ａに、凸状の目印２１を複数形成する。目印２１は、光記録媒体１の熱発生層１７にレーザ光Ｌを照射して熱を発生させ、記録層１３に厚さ増加部分２２を生じさせることにより形成される。そして、グルーブ５ａの隣のグルーブ５ｂを観察領域として、このグルーブ５ｂに解析用データを記録する。光記録媒体１をＴＥＭにより観察・解析するときに、微小サンプルを取り出す際の観察領域（グルーブ５ｂ）の位置を目印２１に基づいて認識する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定層の厚さを変化させることにより目印が形成された光記録媒体を用い、前記目印に基づいて前記光記録媒体における観察領域の位置を認識することを特徴とする光記録媒体の観察方法。
【請求項２】
前記光記録媒体は、前記所定層の厚さ変化により主面上に凸状の前記目印が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項３】
前記光記録媒体は、前記所定層の厚さ変化によって表層が除去されることにより前記目印が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項４】
前記所定層が、気体を分離することができる金属化合物を含んでおり、該金属化合物から該気体が分離されることにより前記所定層の厚さが変化していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項５】
前記金属化合物が、金属酸化物または金属窒化物であることを特徴とする請求項４に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項６】
前記所定層が記録層であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項７】
前記光記録媒体が円盤状を呈しており、既記録領域が前記光記録媒体の円周方向に形成されているとともに、前記目印が前記光記録媒体の円周方向に複数並んで形成されていることを特徴とする請求項６に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項８】
前記光記録媒体が円盤状を呈しており、前記目印が前記光記録媒体の径方向に複数並んで形成されているとともに、既記録領域が前記目印の周辺に形成されていることを特徴とする請求項６に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項９】
前記光記録媒体が複数の前記既記録領域を有し、前記複数の既記録領域に応じた複数の領域に前記目印が形成されていることを特徴とする請求項７または８に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項１０】
前記光記録媒体が、前記複数の既記録領域の間に未記録領域を有することを特徴とする請求項９に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項１１】
前記既記録領域の幅と、前記未記録領域の幅とが互いに異なることを特徴とする請求項１０に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項１２】
前記目印が形成されている領域が前記既記録領域を挟んでいることを特徴とする請求項９〜１１のいずれか一項に記載の光記録媒体の観察方法。
【請求項１３】
光記録媒体の所定層にレーザ光を照射することにより前記所定層の厚さを変化させて、観察領域の位置を示す目印を形成することを特徴とする光記録媒体のマーキング方法。
【請求項１４】
前記光記録媒体の前記所定層の厚さを変化させることにより前記光記録媒体の主面上に凸状の前記目印を形成することを特徴とする請求項１３に記載の光記録媒体のマーキング方法。
【請求項１５】
前記光記録媒体の前記所定層の厚さを変化させて前記光記録媒体の表層を除去することにより前記目印を形成することを特徴とする請求項１３に記載の光記録媒体のマーキング方法。
【請求項１６】
前記光記録媒体が複数の既記録領域を有しており、前記複数の既記録領域に応じた複数の領域に前記目印を形成することを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の光記録媒体のマーキング方法。
【請求項１７】
前記光記録媒体が、前記複数の既記録領域の間に未記録領域を有することを特徴とする請求項１６に記載の光記録媒体のマーキング方法。
【請求項１８】
前記既記録領域の幅と、前記未記録領域の幅とが互いに異なることを特徴とする請求項１７に記載の光記録媒体のマーキング方法。
【請求項１９】
前記既記録領域を挟む領域に前記目印を形成することを特徴とする請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の光記録媒体のマーキング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
解析用データが記録された光記録媒体の内部状態を観察・解析する方法として、光記録媒体の微小部分をサンプルとして切り出し、このサンプルを透過型電子顕微鏡（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ、以下ＴＥＭという）などを用いて観察・解析する方法がある。この方法は、例えば非特許文献１に開示されている。この方法では、まず光記録媒体に解析用データを記録する。次に、光記録媒体において解析用データが記録された既記録領域（すなわち観察領域）が該光記録媒体の外見から判断できるのであれば、光学顕微鏡を用いて光記録媒体の既記録領域を確認する。そして、既記録領域の位置を示す目印を形成する（マーキング）。目印としては、例えば、光記録媒体の主面における既記録領域の近傍にペン等で印を付けるか、またはレーザ光を既記録領域の近傍に照射して直径１０〜数１０μｍ程度の窪みを形成する。そして、収束イオンビーム（Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ、以下ＦＩＢという）装置内でこの目印をもとに光記録媒体における既記録領域を探し当て、既記録領域の微小部分をＦＩＢ加工により微小サンプルとして切り出す。最後に、この微小サンプルをＴＥＭなどを用いて観察し、解析する。
【０００３】
【非特許文献１】
平坂雅男・朝倉健太郎共編「ＦＩＢ・イオンミリング技法Ｑ＆Ａ」アグネ承風社ｐ３２、ｐ４４、及びｐ７３
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、光記録媒体によっては既記録領域が外見から判断できない場合がある。このような場合には既記録領域の位置を認識できないので、光記録媒体の全体にわたって解析用データを記録する必要が生じる。また、既記録領域が外見から判断できる場合であっても、近年の光記録媒体は高密度化しており、多量の解析用データを記録しないと既記録領域の位置を容易に認識することができない。
【０００５】
このように、従来の方法では、ＦＩＢ加工により微小サンプルを切り出す前に光記録媒体に多量の解析用データを記録する必要がある。そして、近年の光記録媒体の大容量化もあり、解析用データを記録するのに多大な時間を要するという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような問題点を解決するために、光記録媒体における観察領域の位置を容易に認識できる光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明による光記録媒体の観察方法は、所定層の厚さを変化させることにより目印が形成された光記録媒体を用い、目印に基づいて光記録媒体における観察領域の位置を認識することを特徴とする。これによって、光記録媒体における観察領域の位置を容易に認識することができる。
【０００８】
また、光記録媒体の観察方法は、光記録媒体が、所定層の厚さ変化により主面上に凸状の目印が形成されていることを特徴としてもよい。また、光記録媒体の観察方法は、光記録媒体が、所定層の厚さ変化によって表層が除去されることにより目印が形成されていることを特徴としてもよい。これらの方法によって、光記録媒体における観察領域の位置をさらに容易に認識することができる。
【０００９】
また、光記録媒体の観察方法は、所定層が、気体を分離することができる金属化合物を含んでおり、該金属化合物から該気体が分離されることにより所定層の厚さが変化していることを特徴としてもよい。これによって、光記録媒体に目印を容易に形成することができる。
【００１０】
また、光記録媒体の観察方法は、金属化合物が、金属酸化物または金属窒化物であることを特徴としてもよい。金属化合物が金属酸化物である場合には酸素が分離され、金属化合物が金属窒化物である場合には窒素が分離されることにより、所定層の厚さを容易に変化させることができる。
【００１１】
また、光記録媒体の観察方法は、所定層が記録層であることを特徴としてもよい。これによって、光記録媒体に解析用データを記録するのと同じ方法により目印を形成することができる。
【００１２】
また、光記録媒体の観察方法は、光記録媒体が円盤状を呈しており、既記録領域が光記録媒体の円周方向に形成されているとともに、目印が光記録媒体の円周方向に複数並んで形成されていることを特徴としてもよい。また、光記録媒体の観察方法は、光記録媒体が円盤状を呈しており、目印が光記録媒体の径方向に複数並んで形成されているとともに、観察領域として既記録領域が目印の周辺に形成されていることを特徴としてもよい。
【００１３】
また、光記録媒体の観察方法は、光記録媒体が複数の既記録領域を有し、複数の既記録領域に応じた複数の領域に目印が形成されていることを特徴としてもよい。これによって、複数の既記録領域を１枚の光記録媒体を用いて観察できるので、光記録媒体を観察する作業効率を高めることができる。
【００１４】
また、光記録媒体の観察方法は、光記録媒体が、複数の既記録領域の間に未記録領域を有することを特徴としてもよい。これによって、複数の既記録領域を容易に判別することができる。
【００１５】
また、光記録媒体の観察方法は、既記録領域の幅と、未記録領域の幅とが互いに異なることを特徴としてもよい。これによって、既記録領域と未記録領域とを容易に判別することができる。
【００１６】
また、光記録媒体の観察方法は、目印が形成されている領域が既記録領域を挟んでいることを特徴としてもよい。これによって、既記録領域の範囲を容易に認識することができる。
【００１７】
本発明による光記録媒体のマーキング方法は、光記録媒体の所定層にレーザ光を照射することにより所定層の厚さを変化させて、観察領域の位置を示す目印を形成することを特徴とする。これによって、観察領域の位置を容易に認識可能な光記録媒体を提供できる。
【００１８】
また、光記録媒体のマーキング方法は、光記録媒体の所定層の厚さを変化させることにより光記録媒体の主面上に凸状の目印を形成することを特徴としてもよい。また、光記録媒体のマーキング方法は、光記録媒体の所定層の厚さを変化させて光記録媒体の表層を除去することにより目印を形成することを特徴としてもよい。これらの方法によって、観察領域の位置をさらに容易に認識可能な光記録媒体を提供できる。
【００１９】
また、光記録媒体のマーキング方法は、所定層が、気体を分離することができる金属化合物を含んでおり、該金属化合物から該気体を分離させることにより所定層の厚さを変化させることを特徴としてもよい。これによって、光記録媒体に目印を容易に形成することができる。
【００２０】
また、光記録媒体のマーキング方法は、金属化合物が、金属酸化物または金属窒化物であることを特徴としてもよい。金属化合物が金属酸化物である場合には酸素が分離され、金属化合物が金属窒化物である場合には窒素が分離されることにより、所定層の厚さを容易に変化させることができる。
【００２１】
また、光記録媒体のマーキング方法は、所定層が記録層であることを特徴としてもよい。これによって、光記録媒体に解析用データを記録するのと同じ方法により目印を形成することができる。
【００２２】
また、光記録媒体のマーキング方法は、光記録媒体が円盤状を呈しており、既記録領域を光記録媒体の円周方向に形成するとともに、目印を光記録媒体の円周方向に複数並べて形成することを特徴としてもよい。また、光記録媒体のマーキング方法は、光記録媒体が円盤状を呈しており、目印を光記録媒体の径方向に複数並べて形成するとともに、既記録領域を目印の周辺に形成することを特徴としてもよい。
【００２３】
また、光記録媒体のマーキング方法は、光記録媒体が複数の既記録領域を有しており、複数の既記録領域に応じた複数の領域に目印を形成することを特徴としてもよい。これによって、複数の既記録領域を１枚の光記録媒体に形成することができるので、光記録媒体に解析用データを記録する作業効率を高めることができる。
【００２４】
また、光記録媒体のマーキング方法は、光記録媒体が、複数の既記録領域の間に未記録領域を有することを特徴としてもよい。これによって、複数の既記録領域を容易に判別可能な光記録媒体を提供できる。
【００２５】
また、光記録媒体のマーキング方法は、既記録領域の幅と、未記録領域の幅とが互いに異なることを特徴としてもよい。これによって、既記録領域と未記録領域とを容易に判別可能な光記録媒体を提供できる。
【００２６】
また、光記録媒体のマーキング方法は、既記録領域を挟む領域に目印を形成することを特徴としてもよい。これによって、既記録領域の範囲を容易に認識可能な光記録媒体を提供できる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面とともに本発明による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００２８】
（実施の形態）
図１（ａ）〜（ｄ）は、本発明による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法の実施形態に用いられる光記録媒体の例を示す図である。なお、本実施形態においては、光記録媒体として「光散乱型スーパーレンズ（Ｓｕｐｅｒ−ＲＥＮＳ／Ｓｕｐｅｒ−Ｒｅｓｏｌｕｓｉｏｎ  Ｎｅａｒ−ｆｉｅｌｄ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ（超解像近接場構造）の略称）」と呼ばれるものを用いている。図１（ａ）は、光記録媒体１の全体を示す斜視図である。図１（ｂ）は、光記録媒体１の主面３の一部を拡大した平面図である。図１（ｃ）は、図１（ｂ）に示された光記録媒体１のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。図１（ｄ）は、図１（ｂ）に示された光記録媒体１のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。
【００２９】
図１（ａ）を参照すると、光記録媒体１は円盤状を呈しており、主面３を有している。また、光記録媒体１の中心部分には、記録装置及び再生装置において回転軸が挿通される孔４が形成されている。光記録媒体１には、この孔４を中心とする複数の同心円の円周方向にデータが書き込まれ、記録される。光記録媒体１へのデータの書き込みは、主面３の垂直上方からレーザ光が照射されることにより行われる。また、光記録媒体１からのデータの読み取りは、主面３の垂直上方または主面３に対向する面の垂直下方からレーザ光を照射し、その反射光または透過光を検出することにより行われる。
【００３０】
また、図１（ｂ）及び（ｃ）を参照すると、光記録媒体１の主面３には、グルーブ５及びランド７が交互に形成されている。本実施形態では、グルーブ５はデータが記録される領域であり、ランド７はグルーブ５を分断する領域である。グルーブ５及びランド７は、図１（ａ）に示された孔４を中心とする同心円状にそれぞれ形成されており、図１（ｂ）ではグルーブ５及びランド７の長手方向と光記録媒体１の円周方向とが一致する。また、グルーブ５はランド７に対して凹状に形成されている。グルーブ５の幅は例えば０．３μｍに形成され、ランド７の幅は例えば０．７μｍに形成されている。また、グルーブ５のランド７に対する深さは例えば７０ｎｍに形成される。
【００３１】
また、図１（ｃ）及び（ｄ）を参照すると、光記録媒体１は、基板９を有している。そして、基板９の上に、第１の保護層１１、記録層１３、第２の保護層１５、熱発生層１７、及び第３の保護層１９が順に積層されている。基板９は、第１の保護層１１、記録層１３、第２の保護層１５、熱発生層１７、及び第３の保護層１９の支持体となる層である。この基板９の構成材料としては、上記各層を支持しうる材料であれば特に限定されるものではなく、例えばガラス、セラミックス、または樹脂などを用いることができる。
【００３２】
熱発生層１７は、ＡｇＳｂＴｅまたはＧｅＳｂＴｅを含んでおり、記録層１３に熱を供給するための層である。熱発生層１７は、レーザ光を照射されると該レーザ光を吸収して熱を発生する。発生した熱は、第２の保護層１５を介して記録層１３に供給される。
【００３３】
記録層１３は、光記録媒体１に記録されるデータを保持する層である。記録層１３は、金属化合物を含んでいる。この金属化合物は、常温で気体である物質を、該金属化合物が加熱されることにより分離することができる。記録層１３は、加熱により金属化合物から当該物質が分離されることによって体積が増加する。本実施形態では、記録層１３はこのような金属化合物としてＰｔＯＸなどの金属酸化物を含んでいる。記録層１３は、熱発生層１７から熱を供給されると、金属酸化物に含まれる酸素が分離されて体積が増加する。これにより、記録層１３の厚さが変化する。すなわち、光記録媒体１に記録されるデータに応じたレーザ光を熱発生層１７に照射することにより、記録層１３は当該データに応じて厚さが変化する。記録層１３に含まれる金属化合物としては、金属酸化物以外にも例えば金属窒化物などが用いられる。この場合、記録層１３は、熱発生層１７から熱を供給されると、金属窒化物に含まれる窒素が分離されて体積が増加する。
【００３４】
第１の保護層１１及び第２の保護層１５は、記録層１３を保護するとともに、記録層１３の厚さの変化分を吸収するための層である。また、第２の保護層１５は、記録層１３と熱発生層１７とを分離するための層でもある。第３の保護層１９は、光記録媒体１を使用または保存する際に、記録層１３及び熱発生層１７が損傷を受けないようにするための層である。光記録媒体１においては、データを記録する際に主面３の垂直上方からレーザ光を記録層１３に照射する必要があるので、第２の保護層１５及び第３の保護層１９は光透過性を有する。
【００３５】
図２（ａ）〜（ｄ）及び図３（ａ）〜（ｄ）は、光記録媒体１のマーキング方法を説明するための図である。図２（ａ）〜（ｄ）では、光記録媒体１のグルーブ５ａにマーキングする方法を説明しており、図３（ａ）〜（ｄ）では、グルーブ５ａとは位置の異なるグルーブ５ｃにマーキングする方法を説明している。
【００３６】
図２（ａ）は、光記録媒体１にマーキングを行うとともに解析用データを記録するための記録装置の構成を示す図である。図２（ａ）を参照すると、光記録媒体１は記録装置５１にセットされている。記録装置５１は、レーザ光源５５、制御装置５７、及び入力装置５９を備えている。レーザ光源５５は、光記録媒体１へデータを記録するためのレーザ光Ｌを照射するための装置である。また、制御装置５７は、レーザ光源５５から照射されるレーザ光Ｌのパルスパターン及び照射エネルギーを制御するための装置である。光記録媒体１へ照射されるレーザ光Ｌに関する指示は、入力装置５９から制御装置５７へ入力される。制御装置５７は、入力装置５９から入力された指示に基づいて、レーザ光Ｌのパルスパターン及び照射エネルギーを制御する。
【００３７】
この記録装置５１を用いて、光記録媒体１のグルーブ５ａにマーキングを行うとともに、グルーブ５ｂに解析用データを記録する。解析用データとは、光記録媒体１において観察・解析したい内部状態を実現するためのデータである。光記録媒体１の様々な内部状態を観察・解析するために、この解析用データを、様々な条件下で記録する。例えば、記録の上書きを多数回繰り返した後の内部状態を観察したいのであれば、解析用データを複数回、同一のグルーブ５に記録するとよい。あるいは、レーザ光Ｌの強度と記録層１３の厚さとの関係を解析したいのであれば、様々な強度のレーザ光Ｌを異なるグルーブ５にそれぞれ照射し、データを記録するとよい。
【００３８】
図２（ｂ）は、マーキングされるとともに解析用データが記録された光記録媒体１の主面３を示す拡大図である。また、図２（ｃ）及び（ｄ）は、それぞれ図２（ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩ断面（グルーブ５ａ断面）及びＩＶ−ＩＶ断面（グルーブ５ｂ断面）を示す断面図である。図２（ｂ）に示されるように、光記録媒体１のグルーブ５ａに複数の目印２１を記録方向に沿って並べて形成する（マーキング）。ここで、図２（ｃ）を参照すると、記録層１３は記録方向に沿って厚さが変化しており、複数の厚さ増加部分２２が形成されている。この厚さ増加部分２２は、データを記録するときのレーザ光Ｌの強度よりも強い強度のレーザ光Ｌ１を熱発生層１７に照射することによって記録層１３に形成される。目印２１は、厚さ増加部分２２が第２の保護層１５、熱発生層１７、及び第３の保護層１９を押し上げることによって光記録媒体１の主面３上に凸状部分が生じることにより形成されている。目印２１は、ＴＥＭ、ＦＩＢ、ＳＥＭなどの観察装置における視認性を考慮して高さを５０〜１００ｎｍ、あるいはそれ以上とし、記録方向の長さを０．５μｍ〜１μｍに形成するとよい。
【００３９】
また、図２（ｂ）及び（ｄ）に示されるように、光記録媒体１のグルーブ５ａの近傍に位置するグルーブ５、例えば本実施形態においては隣に位置するグルーブ５ｂに解析用データを記録する。すなわち、グルーブ５ａに複数の目印２１を形成した後、レーザ光源５５の位置を移動して（トラックジャンプ）、グルーブ５ｂに解析用データを記録する。この結果、グルーブ５ｂの記録層１３には複数のデータ記録部分２３ａが記録方向に沿って並んで形成される。データ記録部分２３ａは、解析用データに応じたレーザ光Ｌ２をグルーブ５ｂの熱発生層１７に照射することにより記録層１３の厚さを変化させて形成される。なお、データ記録部分２３ａにおける記録層１３の厚さの変化分は、第２の保護層１５の厚さが薄くなることにより吸収される。
【００４０】
次に、図３（ａ）〜（ｄ）に示されるように、グルーブ５ａにマーキングされグルーブ５ｂに解析用データが記録された、光記録媒体１のグルーブ５ｃに別の解析用データをさらに記録するとともに、グルーブ５ｄにマーキングを行う。すなわち、グルーブ５ｃの記録層１３にデータ記録部分２３ｂを記録方向に沿って並べて形成する。データ記録部分２３ｂは、前述したデータ記録部分２３ａを形成するためのレーザ光Ｌ２とは例えば強度が異なるレーザ光Ｌ３が照射されることによって形成される。一方、グルーブ５ｃの近傍に位置するグルーブ５、例えば本実施形態においては隣に位置するグルーブ５ｄに、複数の目印２１を記録方向に沿って並べて形成する。グルーブ５ｄにおける目印２１の形成方法は、グルーブ５ａにおける目印２１の形成方法と同様である。
【００４１】
以上の方法により、グルーブ５ｂ及び５ｃのそれぞれに別々の解析用データを記録するとともに、グルーブ５ｂ及び５ｃのそれぞれ隣に位置するグルーブ５ａ及び５ｄに目印２１によるマーキングを行う。
【００４２】
図４は、光記録媒体１から微小サンプルを切り出して観察・解析するためのＦＩＢ装置を示す図である。図４を参照すると、ＦＩＢ装置１０１は、試料室１０３、イオン光学系１０５、イオン源１０７、ステージ１０９、真空排気系１１１、ノズル１１３、検出器１１５、及び支持台１２１を備えている。また、ＦＩＢ装置１０１は、イオン源１０７、ノズル１１３、及び検出器１１５を制御するための制御装置１１７、及び制御装置１１７に接続された表示装置１１９をさらに備えている。
【００４３】
試料室１０３は、光記録媒体１の周囲を真空状態とするための容器である。試料室１０３の内部は密閉されており、真空排気系１１１によって内部の空気が排出されて真空状態となる。また、試料室１０３には光記録媒体１を載置するステージ１０９と、微小サンプルを観察するための支持台１２１が設けられている。
【００４４】
試料室１０３の上方には、光記録媒体１にイオンビームＩを照射するためのイオン光学系１０５が設けられている。イオンビームＩは、微小サンプルを保護するデポジション膜の形成、並びに微小サンプルの切り出し（スパッタエッチング）及び観察に用いられる。図５は、イオン光学系１０５を示す図である。図５を参照すると、イオン光学系１０５は、イオン源１０７、サプレッサー１２３、引出し電極１２５、第１のレンズ１２７、絞り１２９、非点補正電極１３１、第２のレンズ１３３、及び偏向電極１３５を備えている。
【００４５】
イオン源１０７は、イオンを発生するための装置である。イオンとしては、例えばＧａイオンが用いられる。イオン源１０７には、電源１３７の正電極が接続されており、電気的ポテンシャルを付与されている。なお、電源１３７の負電極は接地されている。また、サプレッサー１２３には電源１４１の正電極が接続され、引出し電極１２５には電源１３９の負電極が接続されている。電源１４１の負電極及び電源１３９の正電極は、電源１３７の正電極に接続されている。こうしてサプレッサー１２３及び引出し電極１２５に印加された電圧によって、イオン源１０７からイオンが引き出される。
【００４６】
イオン源１０７から引き出されたイオンは、第１のレンズ１２７、絞り１２９、非点補正電極１３１、及び第２のレンズ１３３によってビーム状に収束され、イオンビームＩとなる。イオンビームＩは、偏向電極１３５によって向きを変えられて、試料室１０３にセットされた光記録媒体１の主面３に照射される。
【００４７】
再び図４を参照すると、ノズル１１３がその出射口を光記録媒体１に向けて設けられている。ノズル１１３は、光記録媒体１の観察領域をイオンビームＩから保護するためのデポジション膜を光記録媒体１の観察領域上に形成するための装置である。ノズル１１３は、出射口からデポジションガスＧを噴射する。
【００４８】
ここで、図６は、デポジション膜を形成する過程を示す図である。なお、以下に説明するデポジション膜の形成方法は、イオンビームアシステッド法、あるいはＦＩＢ−ＣＶＤ法と呼ばれる。図６を参照すると、光記録媒体１の主面３に、ノズル１１３からデポジションガスＧが噴射されている。そこへ、イオン光学系１０５によりイオンビームＩを照射する。すると、主面３上においてイオンビームＩによりデポジションガスＧが分解され、主面３上に分解された成分が到達する。ここで、イオンビームＩは、イオン光学系１０５の偏向電極１３５（図５を参照）により徐々に偏向され、光記録媒体１の主面３上を走査（スキャン）する。こうして、デポジション膜２５が形成される。なお、デポジション膜２５としては様々な材料を用いることが可能である。一例としては、Ｗ、Ｃ、Ｐｔ、Ａｕなどが挙げられる。また、例えばＣからなるデポジション膜２５を形成する場合には、デポジションガスＧとしてピレン等が用いられる。
【００４９】
再び図４を参照すると、検出器１１５がその入射口を光記録媒体１に向けて設けられている。検出器１１５は、光記録媒体１の表面にイオンビームＩを照射することにより発生する２次電子を検出するための装置である。ＦＩＢ装置１０１では、光記録媒体１の主面３をイオンビームＩにより走査し、発生した２次電子を検出器１１５により検出することによって光記録媒体１の主面３の表面形状を観察することができる（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｉｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ、ＳＩＭと呼ばれる）。検出器１１５により検出された２次電子は制御装置１１７によって解析されて、光記録媒体１の主面３の表面形状が求められ、表示装置１１９に表示される。
【００５０】
図７〜図１０は、上記したＦＩＢ装置１０１を用いて、光記録媒体１から解析用データが記録されているグルーブ５ｂの一部を微小サンプルとして切り出して観察・解析する方法を説明するための図である。
【００５１】
図７（ａ）には、光記録媒体１の主面３の一部（グルーブ５ａ及び５ｂを含む領域）が示されている。また、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示された光記録媒体１のＶＩＩ−ＶＩＩ断面を示す断面図である。ＦＩＢ装置１０１に光記録媒体１をセットした後、検出器１１５により光記録媒体１の主面３を観察しながらマーキングされたグルーブ５ａを探し当てる。すなわち、グルーブ５ａには凸状の目印２１が形成されているので外見からその存在が明らかであり、検出器１１５のＳＩＭ機能によってその位置を認識することが可能である。このようにしてグルーブ５ａの位置を探し当てることにより、グルーブ５ａの隣にあるグルーブ５ｂ、すなわち観察領域であるグルーブ５ｂを認識する。そして、グルーブ５ｂの一部の領域をサンプリング領域２０として決定する。なお、光記録媒体１におけるグルーブ５ｃを観察領域とするときにおいても、グルーブ５ｄに設けられた目印２１によってその位置を認識する。
【００５２】
次に、図７（ｃ）及び（ｄ）に示されるように、光記録媒体１のグルーブ５ｂにおけるサンプリング領域２０に、デポジションガスＧを噴射するとともにイオンビームＩを照射してデポジション膜２５を形成する。このデポジション膜２５は、微小サンプルを切り出す際に、イオンビームＩによって微小サンプルが損傷しないように微小サンプルを保護するための保護膜となる。デポジション膜２５の記録方向の長さ及び幅は、サンプリング領域２０の大きさに応じた長さ及び幅とするとよい。例えば、デポジション膜２５を記録方向の長さ１０〜２０μｍ、幅２〜４μｍに形成する。また、デポジション膜２５の厚さは、イオンビームＩによって微小サンプルを切り出す作業時間やイオンビームＩの強度に応じて所望の厚さとすることができる。例えば、デポジション膜２５を厚さ０．５〜１μｍに形成する。
【００５３】
続いて、図７（ｅ）及び（ｆ）に示されるように、サンプリング領域２０の長手方向と交差する方向の遠方からサンプリング領域２０に近づくに従って階段状に深くなるように光記録媒体１の主面３をイオンビームＩにより除去して、階段状の溝２７ａを形成する。階段状に除去するのは、後の工程においてイオンビームＩが微小サンプルの底面を斜め方向から切ることができるようにするためである。こうして、微小サンプルの前面が形成される。
【００５４】
続いて、図８（ａ）及び（ｂ）に示されるように、サンプリング領域２０の周囲をイオンビームＩにより除去して、溝２７ｂを形成する。こうして、微小サンプル２６の背面及び両側面が形成される。なお、このとき、微小サンプル２６の周囲の一部を連結部分２８として除去せずに残す。
【００５５】
続いて、図８（ｃ）及び（ｄ）に示されるように、微小サンプル２６の底部をイオンビームＩにより斜め方向から除去する。こうして、微小サンプル２６の底面が形成される。
【００５６】
続いて、図８（ｅ）及び（ｆ）に示されるように、微小サンプル２６を取り出すためのプローブ２９を微小サンプル２６に取り付ける。すなわち、プローブ２９の先端をデポジション膜２５の上面に当て、デポジション膜３１をプローブ２９の先端とデポジション膜２５上の一部とを覆うように形成する。このデポジション膜３１によって、プローブ２９と微小サンプル２６とが互いに固定される。
【００５７】
続いて、図９（ａ）〜（ｃ）に示されるように、図８（ｅ）及び（ｆ）に示された連結部分２８をイオンビームＩにより除去して、微小サンプル２６を取り出す。このとき、微小サンプル２６に固定されたプローブ２９を操作することにより、微小サンプル２６を移動させる。
【００５８】
続いて、図９（ｄ）及び（ｅ）に示されるように、微小サンプル２６を支持台１２１上に固定する。なお、図９（ｅ）は、図９（ｄ）に示された微小サンプル２６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面を示す断面図である。このとき、微小サンプル２６の底面が支持台１２１に接するように微小サンプル２６を移動し、デポジション膜３３を微小サンプル２６の一側面上から支持台１２１上にわたって形成する。加えて、デポジション膜３４を微小サンプル２６の背面上から支持台１２１上にわたって形成する。このデポジション膜３３及び３４により、微小サンプル２６が支持台１２１上に固定される。そして、プローブ２９をイオンビームＩにより切断する。
【００５９】
続いて、図９（ｆ）及び（ｇ）に示されるように、微小サンプル２６の前面及び背面の近傍部分をイオンビームＩにより除去して、微小サンプル２６を薄膜化する。こうして、グルーブ５ｂの断面をＴＥＭにより観察するための薄膜部分２６ａが形成される。なお、この薄膜化は、微小サンプル２６の前面及び背面のいずれか一方の近傍部分を除去することにより行ってもよい。
【００６０】
図１０は、微小サンプル２６の薄膜部分２６ａを観察するためのＴＥＭ２０１を示す図である。ＴＥＭ２０１は、電子発生装置２０３、及び検出装置２０５を備えている。微小サンプル２６の薄膜部分２６ａは、電子発生装置２０３と検出装置２０５との間にセットされる。電子発生装置２０３は電子銃及び集束レンズなどから構成されており、薄膜部分２６ａに電子ビームＥ１を照射する。そして、電子ビームＥ１のうち薄膜部分２６ａを透過することができた電子が、電子ビームＥ２として検出装置２０５に入射する。検出装置２０５は、対物レンズ、投影レンズ、及び蛍光スクリーンなどから構成されており、電子ビームＥ２に基づいて蛍光スクリーン上に像を形成する。こうして、薄膜部分２６ａの像が得られ、観察・解析することができる。
【００６１】
以上に説明した、本実施形態による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法は、以下の効果を有する。すなわち、本実施形態による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法では、光記録媒体１のグルーブ５ａ及び５ｄに、記録層１３の厚さを変化させることにより主面３上に凸状の目印２１を形成している。これにより、ＦＩＢ装置１０１において光記録媒体１の観察領域であるグルーブ５ｂ及び５ｃの一部を観察する際に、目印２１によってグルーブ５ｂ及び５ｃの位置を容易に認識することができる。従って、光記録媒体に多量の解析用データを記録する必要がなくなり、解析データを記録する作業時間を短縮できる。
【００６２】
なお、厚さを変化させる層は記録層１３に限らず、他の層の厚さを変化させることにより目印２１を形成してもよい。また、内部層の厚さの変化した部分を例えば光学顕微鏡などを用いることにより外部から認識することが可能であれば、光記録媒体１の主面３上に凸状の目印２１を形成することなく、厚さの変化した層の厚さ増加部分を目印として用いることもできる。
【００６３】
また、本実施形態による光記録媒体の観察方法及びマーキング方法では、光記録媒体１が、気体を分離することができる金属化合物を含む記録層１３を有している。そして、熱発生層１７にレーザ光Ｌ１を照射することにより発生する熱によって金属化合物から気体を分離して記録層１３の厚さを変化させ、この記録層１３の厚さの変化によって光記録媒体１の主面３上に凸状の目印２１を形成している。これによって、光記録媒体１に目印２１を容易に形成することができる。
【００６４】
また、本実施形態による光記録媒体の観察方法及びマーキング方法では、記録層１３に含まれる金属化合物として、金属酸化物または金属窒化物が用いられている。金属化合物が金属酸化物である場合には加熱により酸素が分離され、金属化合物が金属窒化物である場合には加熱により窒素が分離されることによって、記録層１３の厚さを容易に変化させることができる。
【００６５】
また、本実施形態による光記録媒体の観察方法及びマーキング方法では、記録層１３の厚さを変化させることにより目印２１を形成している。これによって、解析用データを記録するのと同様の方法により目印２１を形成することができるので、解析用データを記録する際に目印２１も形成することができ、光記録媒体１に目印２１を形成する作業を簡易にできる。
【００６６】
（変形例）
図１１〜図１３は、上記した実施形態による光記録媒体の観察方法及びマーキング方法の変形例を説明するための図である。
【００６７】
図１１（ａ）は、光記録媒体１の変形例を示す斜視図である。また、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示された光記録媒体１の主面３におけるＣ部分の拡大図である。図１１（ａ）及び（ｂ）を参照すると、本変形例による光記録媒体１のマーキング方法では、複数の既記録領域５３ｃ及び５３ｄを光記録媒体１に形成する。既記録領域５３ｃ及び５３ｄ以外の部分は、データが記録されていない未記録領域となっている。
【００６８】
既記録領域５３ｃは、光記録媒体１の円周方向に延びた形状に形成されており、解析用データが記録されたグルーブ５ｇ及び５ｈを含んでいる。すなわち、グルーブ５ｇ及び５ｈには、記録方向すなわち円周方向に沿ってデータ記録部分２３ｃを複数形成している。グルーブ５ｇ及び５ｈに記録された解析用データは同じものであり、記録条件も同じである。従って、グルーブ５ｇ及び５ｈのうち何処を観察領域としても同様の観察結果が得られる。また、既記録領域５３ｃに隣接する領域であるグルーブ５ｅ及び５ｆに、記録方向に沿って目印２１を複数形成することによりマーキングを行う。換言すれば、解析用データが記録された既記録領域５３ｃを挟むグルーブ５ｅ及び５ｆに目印２１を形成する。
【００６９】
また、既記録領域５３ｄを、既記録領域５３ｃとの間に未記録領域を挟んで既記録領域５３ｃの外周側に形成する。ここで、既記録領域５３ｃと５３ｄとの間に存在する未記録領域の幅Ｗ２が、既記録領域５３ｃ及び５３ｄの幅Ｗ１と異なるように既記録領域５３ｃ及び５３ｄを形成する。既記録領域５３ｄは、既記録領域５３ｃとは異なる解析用データが記録されたグルーブ５ｋ及び５ｍを含んでおり、グルーブ５ｋ及び５ｍには、データ記録部分２３ｄを複数形成している。あるいは、既記録領域５３ｄのグルーブ５ｋ及び５ｍには、既記録領域５３ｃに記録した解析用データと同じデータを異なる条件（記録回数やレーザ光強度など）で記録してもよい。そして、既記録領域５３ｄを挟むグルーブ５ｉ及び５ｊに目印２１を形成する。
【００７０】
本変形例による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法では、光記録媒体１が複数の既記録領域５３ｃ及び５３ｄを有し、この複数の既記録領域５３ｃ及び５３ｄに応じた複数のグルーブ５ｅ及び５ｆ、並びに５ｉ及び５ｊに目印２１を形成している。これによって、複数の既記録領域５３ｃ及び５３ｄを１枚の光記録媒体１に形成することができるので、光記録媒体１に解析用データを記録する作業効率を高めることができる。また、複数の既記録領域５３ｃ及び５３ｄを１枚の光記録媒体１を用いて観察できるので、光記録媒体１を観察する作業効率を高めることができる。
【００７１】
また、本変形例による光記録媒体の観察方法及びマーキング方法では、光記録媒体１が、複数の既記録領域５３ｃ及び５３ｄの間に未記録領域を有している。これによって、複数の既記録領域５３ｃ及び５３ｄを容易に判別することができる。また、既記録領域５３ｃ及び５３ｄの幅Ｗ１と、未記録領域の幅Ｗ２とが互いに異なっている。これによって、既記録領域５３ｃ及び５３ｄと未記録領域とを容易に判別することができる。
【００７２】
また、本変形例による光記録媒体の観察方法及びマーキング方法では、既記録領域５３ｃを挟むグルーブ５ｅ及び５ｆ、並びに既記録領域５３ｄを挟むグルーブ５ｉ及び５ｊに目印２１を形成している。これによって、既記録領域５３ｃ及び５３ｄの範囲を容易に認識することができる。
【００７３】
図１２（ａ）は、光記録媒体１の別の変形例を示す斜視図である。また、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示された光記録媒体１の主面３におけるＤ部分の拡大図である。図１２（ａ）及び（ｂ）を参照すると、本変形例による光記録媒体１のマーキング方法では、複数の既記録領域５３ｅ〜５３ｊを光記録媒体１に形成する。既記録領域５３ｅ〜５３ｊ以外の部分は、データが記録されていない未記録領域となっている。
【００７４】
本変形例では、目印２１を光記録媒体１の６本の径方向に並べて形成している。そして、６つの既記録領域５３ｅ〜５３ｊは、それぞれ６本の径方向に並んだ目印２１の周辺に形成されている。すなわち、目印２１を中心として、各既記録領域５３ｅ〜５３ｊそれぞれの領域内のグルーブ５に解析用データを記録しており、既記録領域５３ｅ〜５３ｊそれぞれにおけるグルーブ５の目印２１周辺には、データ記録部分２３ｅ〜２３ｊそれぞれを形成している。なお、同一の既記録領域内に記録された解析用データは同じものであり、記録条件も同じである。また、異なる既記録領域に記録された解析用データは異なるものであるか、または同じものであって記録条件の異なるものである。
【００７５】
このように、光記録媒体の観察方法及びマーキング方法では、目印２１を光記録媒体１の径方向に並べて形成するとともに、既記録領域５３ｅ〜５３ｊを目印２１の周辺に形成してもよい。
【００７６】
図１３（ａ）は、光記録媒体１の別の変形例を示す主面３の拡大図である。また、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示された光記録媒体１のＩＸ−ＩＸ断面を示す断面図である。図１３（ａ）及び（ｂ）を参照すると、本変形例による光記録媒体１のマーキング方法では、光記録媒体１のグルーブ５ａにおける記録層１３の厚さを変化させて厚さ増加部分２２を形成することにより、光記録媒体１の表層である第３の保護層１９の一部が除去されて開口１９ａが形成されている。そして、熱発生層１７が開口１９ａから露出している。
【００７７】
この熱発生層１７が露出した部分は、光記録媒体１をＦＩＢ加工する際の目印４１となりうる。すなわち、ＦＩＢ装置１０１ではイオンビームＩを照射することにより光記録媒体１の表面に発生する２次電子を検出器１１５により検出して、光記録媒体１の表面形状を得ることができる（ＳＩＭ）。そして、このとき発生する２次電子は、光記録媒体１表面の元素の種類によってもその発生量が異なる。従って、本変形例による光記録媒体１のように第３の保護層１９に形成された開口１９ａから熱発生層１７が露出しているような場合には、第３の保護層１９を構成する元素と熱発生層１７を構成する元素とのコントラストが生じ、ＳＩＭによって容易に開口１９ａの存在を認識することができる。よって、第３の保護層１９に形成した開口１９ａをＦＩＢ加工の際の目印４１とすることができ、この目印４１に基づいて観察領域（グルーブ５ｂ）を容易に認識することができる。
【００７８】
（実施例）
図１４及び図１５は、上記した実施形態による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法の実施例を示す写真である。図１４（ａ）は、光記録媒体１の主面３の拡大写真である。これらの写真は、ＳＩＭにより観察されたものである。この光記録媒体１では、グルーブ５ａ及び５ｄにそれぞれ複数の目印２１が記録方向に沿って並んで形成されている。また、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のグルーブ５ａ付近の拡大写真である。図１４（ａ）及び（ｂ）から明らかなように、グルーブ５ａに凸状に形成された目印２１は、光記録媒体１の外見から容易に識別することが可能である。また、図１４（ａ）及び（ｂ）では確認できないが、グルーブ５ａの隣のグルーブ５ｂ、及びグルーブ５ｄの隣のグルーブ５ｃには解析用データが記録されている。
【００７９】
図１５（ａ）は、グルーブ５ａ及び５ｂに形成された目印２１の記録方向の断面を示す写真である。この断面写真は、ＴＥＭにより撮影されている。図１５（ａ）により、記録層１３の厚さ増加部分２２が膨張して厚さが増加していることがわかる。そして、この厚さ増加部分２２によって第２の保護層１５、熱発生層１７、及び第３の保護層１９が押し上げられて凸状の目印２１が形成されていることがわかる。
【００８０】
図１５（ｂ）は、解析用データが記録されたグルーブ５ｂ及び５ｃの記録方向の断面を示す写真である。記録層１３において盛り上がっている部分が、データ記録部分２３である。図１５（ｂ）からわかるように、通常の記録方法では、記録層１３の厚さの変化分は第２の保護層１５により吸収されて光記録媒体１の主面３の形状は変化しない。これに対し、図１５（ａ）に示された厚さ増加部分２２は、大きく膨らむことにより主面３上に目印２１を形成している。この目印２１によって、観察領域（グルーブ５ｂ及び５ｃ）の位置を容易に認識できる。
【００８１】
本発明による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法は、上記した実施形態及び実施例に限られるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、上記した実施形態では、本発明による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法をＴＥＭによる観察・解析において用いているが、この他にも走査型電子顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ、ＳＥＭ）や、オージェ電子分光法（Ａｕｇｅｒ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＡＥＳ）、原子間力顕微鏡（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ、ＡＦＭ）などを用いた観察・解析においても、本発明により観察領域の位置を容易に認識することができる。
【００８２】
また、上記した実施形態では、本発明による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法をＦＩＢ加工により微小サンプルを切り取る際に用いているが、この他にも例えばアルゴンエッチング法などにより観察領域を加工する際においても該観察領域の位置を容易に認識することができる。
【００８３】
また、上記した実施形態では、光記録媒体としてスーパーレンズ構造の光記録媒体を用いている。光記録媒体としてはこれに限らず、厚さ変化が生じる層を有する光記録媒体であれば本発明による光記録媒体のマーキング方法を実施することが可能である。
【００８４】
また、上記した実施形態では、光記録媒体に凸状の目印を形成しているが、目印は外部から認識可能であればよいので、凸状に限らず、凹状を呈していてもよい。
【００８５】
【発明の効果】
本発明による光記録媒体の観察方法及び光記録媒体のマーキング方法によれば、光記録媒体における観察領域の位置を容易に認識できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は、光記録媒体の全体を示す斜視図である。図１（ｂ）は、光記録媒体の主面の一部を拡大した平面図である。図１（ｃ）は、図１（ｂ）に示された光記録媒体のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。図１（ｄ）は、図１（ｂ）に示された光記録媒体のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。
【図２】図２（ａ）は、光記録媒体にマーキングを行うとともに解析用データを記録するための記録装置の構成を示す図である。図２（ｂ）は、マーキングされるとともに解析用データが記録された光記録媒体の主面を示す拡大図である。図２（ｃ）は、図２（ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。図２（ｄ）は、図２（ｂ）のＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図である。
【図３】図３（ａ）は、光記録媒体にマーキングを行うとともに解析用データを記録するための記録装置の構成を示す図である。図３（ｂ）は、マーキングされるとともに解析用データが記録された光記録媒体の主面を示す拡大図である。図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。図３（ｄ）は、図３（ｂ）のＶＩ−ＶＩ断面を示す断面図である。
【図４】図４は、光記録媒体から微小サンプルを切り出して観察・解析するためのＦＩＢ装置を示す図である。
【図５】図５は、イオン光学系を示す図である。
【図６】図６は、デポジション膜を形成する過程を示す図である。
【図７】図７（ａ）〜（ｆ）は、ＦＩＢ装置を用いて、光記録媒体から解析用データが記録されているグルーブの一部を微小サンプルとして切り出して観察・解析する方法を説明するための図である。
【図８】図８（ａ）〜（ｆ）は、ＦＩＢ装置を用いて、光記録媒体から解析用データが記録されているグルーブの一部を微小サンプルとして切り出して観察・解析する方法を説明するための図である。
【図９】図９（ａ）〜（ｇ）は、ＦＩＢ装置を用いて、光記録媒体から解析用データが記録されているグルーブの一部を微小サンプルとして切り出して観察・解析する方法を説明するための図である。
【図１０】図１０は、微小サンプルを観察するためのＴＥＭを示す図である。
【図１１】図１１（ａ）は、光記録媒体の変形例を示す斜視図である。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示された光記録媒体の主面におけるＣ部分の拡大図である。
【図１２】図１２（ａ）は、光記録媒体の別の変形例を示す斜視図である。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示された光記録媒体の主面におけるＤ部分の拡大図である。
【図１３】図１３（ａ）は、光記録媒体の別の変形例を示す主面の拡大図である。また、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示された光記録媒体のＩＸ−ＩＸ断面を示す断面図である。
【図１４】図１４（ａ）は、光記録媒体の主面の拡大写真である。図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のグルーブ５ａ付近の拡大写真である。
【図１５】図１５（ａ）は、グルーブに形成された目印の記録方向の断面を示す写真である。図１５（ｂ）は、解析用データが記録されたグルーブの記録方向の断面を示す写真である。
【符号の説明】
１…光記録媒体、３…主面、４…孔、５、５ａ〜５ｉ…グルーブ、７…ランド、９…基板、１１…第１の保護層、１３…記録層、１５…第２の保護層、１７…熱発生層、１９…第３の保護層、１９ａ…開口、２０…サンプリング領域、２１…目印、２２…厚さ増加部分、２３、２３ａ〜２３ｅ…データ記録部分、２６…微小サンプル、２６ａ…薄膜部分、２７ａ、２７ｂ…溝、２８…連結部分、２９…プローブ、２５、３１、３３、３４…デポジション膜、４１…目印、５１…記録装置、５３、５３ａ〜５３ｊ…既記録領域、５５…レーザ光源、５７…制御装置、５９…入力装置、１０１…ＦＩＢ装置、１０３…試料室、１０５…イオン光学系、１０７…イオン源、１０９…ステージ、１１１…真空排気系、１１３…ノズル、１１５…検出器、１１７…制御装置、１１９…表示装置、１２１…支持台、１２３…サプレッサー、１２５…電極、１２７、１３３…レンズ、１２９…絞り、１３１…非点補正電極、１３５…偏向電極、１３７〜１４１…電源、２０３…電子発生装置、２０５…検出装置。
【図１】
2004259383.tif 000003
【図２】
2004259383.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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