(57)【要約】【課題】二枚のパネル間に液晶及びスペーサ材を封入したセルをクリーニングする方法において、セルのパネル間に封入されているスペーサ材が変形し、クリーニング開始時又はヘッドの蛇行運動の折り返しの際にそのパネル表面上の個所に研磨テープのスジや傷が局所的に付き、研磨テープやコンタクトローラが損傷し、セルのエッジ部分が損傷し、トランスファ形成領域が損傷することなくセルの表面全体をクリーニングできる方法を提供することである。【解決手段】下端にコンタクトローラ３１を有し、コンタクトローラ３１の中央を通過するヘッド回転軸３４に関して回転するヘッド３０を有するロータリー式パネルクリーニング装置１０を使用するパネル７０のクリーニング方法。クリーニングの開始と、クリーニング中のヘッド３０の蛇行運動の折り返しが、ヘッド回転軸３４がセルガイド２１の表面上にあるときに行われる。【選択図】図１
2004141973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータリー式パネルクリーニング装置を使用してパネルの表面をクリーニングするための方法であって、
前記ロータリー式パネルクリーニング装置が、
パネルの平面形状にほぼ一致する形状の開口を有するセルガイドを有するパネル保持手段、
下端にコンタクトローラを配置し、このコンタクトローラを介して研磨テープを送るためのテープ供給手段を有するヘッド、
前記コンタクトローラの中央を通過するヘッド回転軸に関して前記ヘッドを回転させるためのヘッド回転手段、
前記ヘッド又はパネル保持手段を上下に移動させるためのＺ移動手段、及び
前記ヘッド又は前記パネル保持手段を前後左右に移動させるためのＸＹ移動手段、
から成り、
当該方法が、
パネルを前記セルガイドの開口内に配置して、パネルを前記パネル保持手段に保持させる工程、
前記ヘッド回転軸が前記セルガイドの表面上に位置するように、前記ヘッド又は前記パネル保持手段を位置決めし、前記ヘッド又は前記パネル保持手段を上下に移動して、前記コンタクトローラを介して前記研磨テープを前記セルガイドの表面上に押し付ける工程、及び
前記コンタクトローラを介して前記研磨テープを送りながら、前記ヘッド回転軸に関して前記ヘッドを回転させるとともに、前記ヘッドが前記パネルの表面上を蛇行するように、前記ヘッド又は前記パネル保持手段を前後左右に移動させる工程、
から成り、
パネルのクリーニングが、前記ヘッド回転軸が前記セルガイドの表面上にある状態から開始され、
前記ヘッドの蛇行運動の折り返しが、前記ヘッド回転軸が前記セルガイドの表面上にあるときに行われる、
ところの方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス、プラスチックスなどからなるパネルをクリーニングするための方法に関し、特に、コンピューター、テレビジョン、携帯電話、電卓、時計などの精密電子機器に用いられる液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程において、二枚のパネル間に液晶及びスペーサ材を封入したセルの両面を、偏光板を貼り付ける前に、清浄かつ滑らかに仕上げるためのパネルクリーニング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
コンピューター、テレビジョン、携帯電話、電卓、時計などの精密電子機器に用いられる液晶表示装置は、一般に、ＴＦＴ液晶セルとカラーフィルタを貼り合わせた後に、これらパネルの間に液晶を封入してセルを製作し、このセルの両面に偏向板を貼り付けて液晶セルを製作する。そして、この液晶セルの周囲に、ＴＣＰ及びプリント基板を実装し、ＴＦＴ液晶セル側に光源のバックライトを装着した後に、フレームを取り付けて製造される。
【０００３】
ＴＦＴ液晶セルは、ガラス基板の二辺に沿ったトランスファ形成用のＬ字形の領域を残して、ガラス基板上に電極やトランジスターを形成し、その上に配向膜を形成し、この配向膜表面をラビングしたパネルである。一方、カラーフィルタは、ガラス基板上に、顔料レジストを塗布し、露光、現像及びレジスト除去を繰り返して、三色形成を行い、その上に配向膜を形成し、この配向膜表面をラビングしたパネルである。
【０００４】
これらパネルの貼り合わせは、まず、ＴＦＴ液晶セルの配向膜の周辺に、ディスペンサーを用いて熱硬化性のシール材を約３０μｍの高さに塗布し、ガラス基板上のＬ字形の領域にトランスファ形成を行う。そして、シール材で囲われた配向膜上の領域にスペーサ材を均一に散布した後、これらパネルの配向膜の間に約５μｍの空間が形成されるまで、ＴＦＴ液晶セルの配向膜の周辺に塗布したシール材にカラーフィルタの配向膜を押し付けることによって行われる。
【０００５】
シール材は、ＴＦＴ液晶セルの配向膜の周辺の上記のＬ字形の領域以外のガラス基板の一辺に幅１０〜２０ｍｍの隙間ができるように塗布され、この隙間（これを封入口という）を通じて、上記のようにして貼り合わせたパネルの間に、液晶が封入される。
【０００６】
パネル間へ液晶を封入した後、この封入口に紫外線硬化樹脂を塗り込み、紫外線ランプを用いて封入口を封止する。このようにしてセルが製作され、このセルの両面のクリーニングを行った後に、このセルの両面に偏向板を貼り付けて液晶セルが製作される。その後、上記したＴＣＰ実装、プリント基板実装、バックライト装着などの工程を経て、液晶表示装置が製造される。
【０００７】
このようにして液晶表示装置が製造されるのであるが、セルの表面に異物が付着した状態で、セルの表面に偏光板を貼り付けると、光が表面の異物に遮蔽されたり偏光され、ゴミ不良と呼ばれる表示品質上の問題を引き起こす。そして、このようなゴミ不良が発見されると、セルの表面のクリーニングと偏光板の貼り直し作業を行う必要が生じ、この作業に手間と時間がかかる。このため、偏光板を貼り付ける前のセルの両面のクリーニングは、液晶表示装置の製造工程において重要な工程となっている。
【０００８】
このセルの両面のクリーニングは、ガラス、プラスチックスなどからなるパネルのクリーニングに使用される既知のロータリー式パネルクリーニング装置（例えば、特許文献１参照）を使用して、片面ずつ行われる。
【０００９】
このロータリー式パネルクリーニング装置は、パネルを保持するパネル保持手段、下端にほぼ円筒形のコンタクトローラを配置し、このコンタクトローラを介して研磨テープを送るための手段を有するヘッド、コンタクトローラの中央を通過し、パネルの表面に垂直な軸線に関してヘッドを回転させるための手段、ヘッド又はパネル保持手段を上下方向に移動させるための手段、及びヘッド又はパネル保持手段を前後左右に移動させるための手段から構成される（例えば、特許文献１に記載の装置を参照）。
【００１０】
このようなロータリー式パネルクリーニング装置を使用したパネル（代表的に、セル）のクリーニングは、まず、上記のロータリー式パネルクリーニング装置のパネル保持手段にセルを保持する。
【００１１】
図６に示すように、このパネル保持手段２０は、セル７０の平面形状にほぼ一致する形状の開口を有するセルガイド２１を有する。このセルガイド２１は、セル７０の周縁部（特に、図５（ａ）及び（ｂ）に示すＴＦＴ液晶セル７１側のトランスファ形成用のＬ字形の領域７１´）を保護するためのものであり、セルガイド２１の開口内に配置したセル７０の表面と、セルガイド２１の表面とは、ほぼ同一平面上にある。
【００１２】
セル７０は、吸引装置などの既知の手段を利用してセル７０の裏面を吸着することによって、パネル保持手段２０上の所定の位置に固定される。そして、セル７０は、セル７０がセルガイド２１の開口内に配置されるようにセルガイド２１を配置することによって、パネル保持手段２０に保持される。
【００１３】
図５に、セル７０をセルガイド２１で保持したときのセル７０とセルガイド２１の部分断面図を示す。図５（ａ）は、カラーフィルタ７２を上にしたときのセル７０とセルガイド２１の部分断面図であり、図５（ｂ）は、ＴＦＴ液晶セル７１を上にしたときのセル７０とセルガイド２１の部分断面図である。図示のように、セル７０は、ＴＦＴ液晶セル７１とカラーフィルタ７２との間に液晶及びスペーサ材７４が封入され、液晶及びスペーサ材７４は、シール材７３によってシールされる。トランスファ形成領域７１´は、ＴＦＴ液晶セル７１から張り出した部分に形成され、図示のように、セルガイド２１の段差部分によって保護され、セル７０とセルガイド２１との間には、クリーニング中の装置の振動などによるセル７０の微動によるセルガイド２１との摩擦を防ぐために、クリアランス２２が設けられている。
【００１４】
セルガイド２１として、一枚のプレートの中央にセル７０の平面形状にほぼ一致する形状の開口を形成したもの（図６を参照）を使用してもよいし、また四角形のセル７０の四辺に配置される四枚のプレート（図示せず）を使用してもよい（例えば、特許文献２参照）。
【００１５】
次に、ヘッド又はパネル保持手段を上下に移動させて、パネル保持手段に保持したセルの表面にコンタクトローラを介して研磨テープを押し付ける。
【００１６】
そして、コンタクトローラを介して研磨テープを送りながら、コンタクトローラの中央を通過する軸線（以下、ヘッド回転軸）に関してヘッドを回転させ、コンタクトローラを介して研磨テープをセルの表面に押し付けながら、ヘッド又はパネル保持手段を前後左右に移動させ、これにより、セルの表面のクリーニングが行われる。
【００１７】
従来のクリーニング方法では、クリーニング時間の短縮と、装置の小型化のため、図６に示すように、コンタクトローラ３１の押付圧力がセル７０の表面上に直接適用されるように、ヘッド又はパネル移動手段が上下に移動され、コンタクトローラ３１がセル７０の表面上にある状態（すなわち、ヘッド回転軸３４がセル７０の表面上にある状態）から、クリーニングが開始（研磨ヘッドの回転と、ヘッド又はパネル保持手段の前後左右の移動を開始）される。そして、クリーニング中、ヘッドがセル７０の表面上を破線３５´で示すような軌道で蛇行するように、ヘッド又はパネル保持手段が前後左右に移動され、ヘッドの蛇行運動の折り返しが、ヘッド回転軸３４がセル７０の表面上にある状態で行われる。
【００１８】
【特許文献１】
特開平１１−１９８５９号公報（段落０００２、００１０、００１１、図１、２、４、５）
【特許文献２】
特開２００１−１９８７５３号公報（段落００１７〜００２０、図２）
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来のクリーニング方法では、クリーニング開始時にコンタクトローラの押付圧力がセルの表面上に直接適用され、またヘッドの蛇行運動の折り返しがセルの表面上で行われるので、下記のような問題が生じる。
【００２０】
第一に、クリーニング開始時にセルの表面上にかかるコンタクトローラの初期的な押付圧力により、セルのパネル間に封入されているスペーサ材（図５（ａ）及び（ｂ）に符号７４で示す）が押し潰されて変形し、これにより、液晶表示装置を使用したときに、その画面が局所的に黒ずみ、画像が鮮明に表示されない、という問題が生じる。また、クリーニング開始時又はヘッドの蛇行運動の折り返しの際に、そのパネル表面上の個所に、研磨テープのスジや傷が局所的に付く、という問題も生じる。
【００２１】
第二に、クリーニング開始時にコンタクトローラの押付圧力がセルの表面上に直接適用されたとき、セルガイドとセルとの間に段差が生じ、回転するコンタクトローラがセルガイドの表面上に乗り上げる際に、コンタクトローラを介して送られている研磨テープが、セルガイドとセルとの間の段差に引っ掛かり、これにより、研磨テープが破損する、という問題が生じる。また、このときに、コンタクトローラも損傷することがある。
【００２２】
第三に、セルガイドとセルとの間にクリアランス（約２ｍｍの隙間）（図５に符号２２で示す）が設けられているので、ヘッドの蛇行運動の折り返しの際に、セルがヘッドに追従して微動し、セルのエッジがセルガイドに衝突し、セルのエッジ部分が損傷する、という問題が生じる。
【００２３】
第四に、ＴＦＴ液晶セル側のセルの表面をクリーニングするとき、クリーニング開始時又はヘッドの蛇行運動の折り返しの際に、セルのトランスファ形成領域（図５（ｂ）に符号７１´で示す）がセルガイドに押し当てられ、トランスファ形成領域が損傷する、という問題を生じる。
【００２４】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、したがって、ロータリー式パネルクリーニング装置を使用して、二枚のパネル間に液晶及びスペーサ材を封入したセルをクリーニングする方法において、セルのパネル間に封入されているスペーサ材が変形し、クリーニング開始時又はヘッドの蛇行運動の折り返しの際にそのパネル表面上の個所に研磨テープのスジや傷が局所的に付き、研磨テープやコンタクトローラが損傷し、セルのエッジ部分が損傷し、トランスファ形成領域が損傷することなく、セルの表面全体をクリーニングできる方法を提供することを目的とするものである。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ロータリー式パネルクリーニング装置を使用して、パネルの表面をクリーニングする方法である。
【００２６】
本発明の方法に使用されるロータリー式パネルクリーニング装置は、パネルを保持するための手段（パネル保持手段）、下端にコンタクトローラを配置し、このコンタクトローラを介して研磨テープを送るための手段（テープ供給手段）を有するヘッド、コンタクトローラの中央を通過するヘッド回転軸に関してヘッドを回転させるための手段（ヘッド回転手段）、ヘッド又はパネル保持手段を上下方向に移動させるための手段（Ｚ移動手段）、及びヘッド又はパネル保持手段を前後左右に移動させるための手段（ＸＹ移動手段）から構成される。
【００２７】
本発明の方法は、まず、上記のロータリー式パネルクリーニング装置のパネル保持手段にパネルを保持する。
【００２８】
このパネル保持手段は、パネルの平面形状にほぼ一致する形状の開口を有するセルガイドを有する。このセルガイドは、パネルの周縁部を保護するためのものである。パネルをセルガイドの開口内に配置すると、このパネルの表面と、セルガイドの表面とは、ほぼ同一平面上にある。
【００２９】
パネルは、好適に、パネルの裏面を既知の吸引装置で吸着することによって、パネル保持手段上の所定の位置に固定される。そして、このパネルがセルガイドの開口内に配置されるように、セルガイドが配置され、これにより、パネルがパネル保持手段に保持される。
【００３０】
セルガイドとして、パネルの厚さにほぼ一致する厚さの表面平坦な一枚のプレートの中央にパネルの平面形状にほぼ一致する形状の開口を形成したものを使用してもよいし、また四角形のパネルの四辺に配置される四枚のプレートを使用してもよい。
【００３１】
次に、ヘッド回転軸がセルガイドの表面上に位置するように、ヘッド又はパネル保持手段を位置決めし、ヘッド又はパネル保持手段を上下に移動して、コンタクトローラを介して研磨テープをセルガイドの表面上に押し付ける。
【００３２】
そして、コンタクトローラを介して研磨テープを送りながら、ヘッド回転軸に関してヘッドを回転させるとともに、ヘッドがパネルの表面上を蛇行するように、ヘッド又はパネル保持手段を前後左右に移動させる。ヘッドの蛇行運動の折り返しは、ヘッド回転軸がセルガイドの表面上にあるときに行われる。
【００３３】
すなわち、本発明では、上記問題を解決するため、パネルのクリーニングが、ヘッド回転軸がセルガイドの表面上にある状態から開始される。また、クリーニング中のヘッドの蛇行運動の折り返しが、ヘッド回転軸がセルガイドの表面上にあるときに行われる。
【００３４】
このようにして、パネルの表面全体がクリーニングされる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
本発明の方法に従って、図５に示すような二枚のパネル７１、７２の間に液晶及びスペーサ材７４を封入したセル７０などのパネルの表面をクリーニングする。本発明に従ったパネルのクリーニング方法は、図２〜４に示すような既知のロータリー式パネルクリーニング装置を使用して行われる。
【００３６】
＜ロータリー式パネルクリーニング装置＞　図２〜４に示すように、ロータリー式パネルクリーニング装置１０は、パネル７０を保持するパネル保持手段２０、下端にほぼ円筒形のコンタクトローラ３１を配置し、このコンタクトローラ３１を介して研磨テープＴを送るためのテープ供給手段を有するヘッド３０、コンタクトローラ３１の中央を通過する軸線（図１に符号３４で示すヘッド回転軸）に関してヘッド３０を回転させるためのヘッド回転手段、ヘッド３０を上下（矢印Ｚで示す方向）に移動させるためのＺ移動手段、及びヘッド３０を前後左右（矢印Ｘ及びＹで示す方向）に移動させるためのＸＹ移動手段から構成される（例えば、特開平１１−１９８５９号公報を参照）。図示の例では、ヘッド３０が上下及び前後左右に移動されるが、ヘッド３０の位置を固定したまま、パネル保持手段２０を上下及び前後左右に移動させてもよい。
【００３７】
＜パネル保持手段＞　図１〜４に示すように、パネル保持手段２０は、パネル７０の裏面を吸着するための吸着装置（図示せず）、及びパネル７０の平面形状にほぼ一致する形状の開口を有するセルガイド２１から構成される。パネル７０は、このパネル７０の裏面を吸着装置（図示せず）で吸着することによってパネル保持手段２０の所定の位置に固定される。セルガイド２１は、パネル７０がセルガイド２１の開口内に配置されるようにパネル保持手段２０上に配置される。これにより、パネル７０は、パネル保持手段２０に保持される。パネル７０の周縁部は、セルガイド２１によって保護され、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、パネル７０とセルガイド２１との間にはクリアランス２２が設けられる。セルガイド２１の開口内に配置したパネル７０の表面と、セルガイド２１の表面とはほぼ同一平面上にある。
【００３８】
セルガイド２１として、図示しないが、パネル７０の四辺に配置される四枚のプレートを使用し、通気性のあるベルトコンベヤーでパネル保持手段２０上の所定の位置に移送したパネル７０の裏面を上記の吸着装置で吸着し、所定の位置に吸着したパネル７０の前後左右を囲むように、これら四枚のプレートでパネル７０の四辺を挟み込み、これにより、パネル７０をパネル保持手段２０に保持させてもよい（例えば、特開２００１−１９８７５３公報を参照）。
【００３９】
＜ヘッド＞　ヘッド３０は、研磨テープＴを巻き付けたテープロールを着脱可能に装着するためのロール装着部３２、及びロール装着部３２のテープロールから送られた研磨テープＴを巻き取るための巻取ローラを着脱可能に装着するためのテープ巻取部３３から構成されるテープ供給手段を有する。ヘッド３０には、さらに、その下端にコンタクトローラ３１が配置され、このコンタクトローラ３１を介して、ロール装着部３２のテープロールから送り出された研磨テープＴが、パネル保持手段２０に保持したパネル７０の表面に押し付けられる。
【００４０】
＜ヘッド回転手段＞　ヘッド３０は、後述するＺ移動手段のＺ移動台４０に取り付けたスピンドル４３の直下に連結される。スピンドル４３は、Ｚ移動台４０に取り付けたモーター４４にベルトを介して連結されており、モーター４４を駆動することにより、スピンドル４３が回転し、これにより、ヘッド３０が、コンタクトローラの中央を通過する軸線（図１に示すヘッド回転軸３４）に関して回転する。ここで、Ｚ移動台４０の上方は開放されており、ヘッド３０のテープ巻取部３３の巻取ローラを回転させるためのモーター（図示せず）に、このＺ移動台４０の上方から、スピンドル４３の中空の回転軸（図示せず）を通じて電力が供給される。
【００４１】
＜Ｚ移動手段＞　Ｚ移動台４０は、上下（矢印Ｚの方向）に貫通するＸ移動台５０の中空部内にレール４１を介して上下移動可能に配置される。
【００４２】
Ｘ移動台５０の後方から張り出した棚には、外部の給気手段（図示せず）に連結されるピストンシリンダー４２が固定されており、このピストンシリンダー４２は、Ｘ移動台５０の後方に設けられた上下に長いスリット５１を通じて、Ｘ移動台５０の中空部内に配置したＺ移動台４０に連結され、ピストンシリンダー４２を駆動することにより、Ｚ移動台４０が上下（矢印Ｚの方向）に移動する。
【００４３】
＜ＸＹ移動手段＞　Ｘ移動台５０は、左右（矢印Ｘの方向）に長い開口６１を有するＹ移動台６０の開口６１内に左右（矢印Ｘの方向）に移動可能に配置される。このＹ移動台６０には、開口６１の前後側にそれぞれ左右に伸びるレール６２が取り付けられており、Ｚ移動台４０は、これらレール６２を介してＹ移動台６０上に配置される。Ｘ移動台５０は、Ｙ移動台６０上に設けられたボールネジ手段６３により左右方向に移動される。
【００４４】
Ｙ移動台６０は、ハウジングＨの左右の壁にそれぞれ設けた棚６４、６５上に前後（矢印Ｙの方向）に移動可能に配置される。これら棚６４、６５には、それぞれ、前後に伸びるレール６６が取り付けられており、Ｙ移動台６０は、これらレール６６を介して棚６４、６５上に配置される。Ｙ移動台６０は、棚６５上に設けられたボールネジ手段６７により前後に移動される。
【００４５】
＜パネルクリーニング＞　本発明に従って、ロータリー式パネルクリーニング装置１０を使用して、パネルの表面をクリーニングする。代表的に、図５に示すようなセル７０の表面をクリーニングする。
【００４６】
まず、セル７０の裏面を吸着装置（図示せず）で吸着して、セル７０を所定の位置に固定し、セル７０がセルガイド２１の開口内に配置されるようにセルガイド２１を配置することによって、セル７０をパネル保持手段２０に保持する。
【００４７】
ボールネジ手段６３、６７を駆動して、ヘッド回転軸３４がセルガイド２１の表面上に位置するように、ヘッド３０を位置決めし、ピストンシリンダー４２を駆動して、ヘッド３０を下降し、コンタクトヘッド３１を介して研磨テープＴをセルガイド２１の表面上に押し付ける。そして、研磨テープＴをテープ巻取部３３の巻取ローラに巻き取らせながら、モーター４４を駆動して、ヘッド３０を回転させながら、ボールネジ手段６３、６７を駆動して、図１に破線で示すヘッド回転軸３４の軌道３５に沿って、ヘッド３０を蛇行させ、セル７０の表面全体をクリーニングする。クリーニング中のヘッド３０の蛇行運動の折り返しは、ヘッド回転軸３４がセルガイド２１の表面上にあるときに行われる。
【００４８】
【発明の効果】
本発明のパネルクリーニング方法が以上のように構成されるので、以下のような効果を奏する。
【００４９】
ヘッド回転軸がセルガイドの表面上にある状態から開始され、クリーニング中のヘッドの蛇行運動の折り返しが、ヘッド回転軸がセルガイドの表面上にあるときに行われるので、ロータリー式パネルクリーニング装置を使用して、セルのパネル間に封入されているスペーサ材が変形し、クリーニング開始時又はヘッドの蛇行運動の折り返しの際にそのパネル表面上の個所に研磨テープのスジや傷が局所的に付き、研磨テープやコンタクトローラが損傷し、セルのエッジ部分が損傷し、トランスファ形成領域が損傷することなく、セルの表面全体をクリーニングできる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に従った、パネルのクリーニング中のコンタクトローラの軌道を示す。
【図２】図２は、本発明のパネルクリーニング方法に使用するロータリー式パネルクリーニング装置の正面図である。
【図３】図３は、図２のパネルクリーニング装置の平面図である。
【図４】図４は、図３のＢＢ線断面図である。
【図５】図５は、セルをセルガイドで保持したときのセルとセルガイドの部分断面図であり、図５（ａ）は、カラーフィルタを上にしたときのセルとセルガイドの部分断面図であり、図５（ｂ）は、ＴＦＴ液晶セルを上にしたときのセルとセルガイドの部分断面図である。
【図６】図６は、従来の、パネルのクリーニング中のコンタクトローラの軌道を示す。
【符号の説明】
１０・・・ロータリー式パネルクリーニング装置
２０・・・パネル保持手段
２１・・・セルガイド
２２・・・クリアランス
３０・・・ヘッド
３１・・・コンタクトローラ
３２・・・ロール装着部
３３・・・テープ巻取部
３４・・・ヘッド回転軸
３５、３５´・・・ヘッド回転軸の軌道
４０・・・Ｚ移動台
４１・・・レール
４２・・・ピストンシリンダー
４３・・・スピンドル
４４・・・モーター
５０・・・Ｘ移動台
５１・・・スリット
６０・・・Ｙ移動台
６１・・・開口
６２・・・レール
６３・・・ボールネジ手段
６４、６５・・・棚
６６・・・レール
６７・・・ボールネジ手段
７０・・・セル又はパネル
７１・・・ＴＦＴ液晶セル
７１´・・・トランスファ形成領域
７２・・・カラーフィルタ
７３・・・シール材
７４・・・液晶及びスペーサ材
Ｈ・・・ハウジング
Ｔ・・・研磨テープ
Ｘ・・・左右方向
Ｙ・・・前後方向
Ｚ・・・上下方向
【図１】
2004141973.tif 000003
【図２】
2004141973.tif 000004
【図３】
2004141973.tif 000005
【図４】
2004141973.tif 000006
【図５】
2004141973.tif 000007
【図６】
2004141973.tif 000008