(57)【要約】【課題】面積の大きなダイも確実に粘着シートより剥離させることができる。【解決手段】ダイ３が貼り付けされた粘着シート１からダイ３を剥離させるダイピックアップ方法である。粘着シート１を吸着ステージ２０で吸着している状態で、突き上げ板３０を吸着ステージ２０の上面より上方に移動させてダイ３をコレット１０に吸着させる。その後、突き上げ板３０を下方向に移動させる。続いてコレット１０が上昇してダイ３をピックアップする。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイが貼り付けされた粘着シートからダイを剥離させるダイピックアップ方法において、前記粘着シートを吸着ステージで吸着している状態で、突き上げ板を前記吸着ステージの上面より上方に移動させてダイをコレットに吸着させた後、又はダイをコレットに吸着させて前記突き上げ板を前記吸着ステージの上面より上方向に移動させた後、前記突き上げ板を下方向に移動させ、その後に前記コレットが上昇してダイをピックアップすることを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項２】
前記突き上げ板の下方向の移動は、前記吸着ステージの上面より下方向であることを特徴とする請求項１記載のダイピックアップ方法。
【請求項３】
ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、この吸着ステージで粘着シートを吸着している状態で前記吸着ステージの上面より上方に移動及び該吸着ステージの上面より下方に移動してダイを剥離させる突き上げ板と、この突き上げ板で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたことを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項４】
前記突き上げ板の上面は、平坦であることを特徴とする請求項１又は３記載のダイピックアップ方法及び装置。
【請求項５】
前記吸着ステージには、前記突き上げ板より大きな突き上げ板配設穴が形成され、該突き上げ板配設穴に前記突き上げ板が上下動可能に配設されていることを特徴とする請求項１又は３記載のダイピックアップ方法及び装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイが貼り付けられた粘着シートからダイを剥離させてピックアップするダイピックアップ方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ダイピックアップ方法及び装置として、例えば特許文献１、特許文献２及び特許文献３が挙げられる。
【０００３】
特許文献１は、粘着シートを吸着するシート吸着コレットと、ダイ（チップ）を吸着するチップ吸着コレットとを備えている。まず、シート吸着コレットにより粘着シートの吸着が行なわれ、ダイの中心部において粘着シートの剥離が行なわれる。次にシート吸着コレットによる吸着が解除されて吸着されていた粘着シートが上方に戻ることになる。この動作によりダイの周辺部が粘着シートより剥離され、チップ吸着コレットの吸引によりダイをピックアップする。
【０００４】
特許文献２は、粘着シートを吸着する吸着受台と、ダイを突き上げる４個の突き上げピンと、ダイを吸着する吸着コレットとを備えており、前記突き上げピンは、ダイの各辺の隅からほぼ等しい距離に設けられている。そこで、吸着受台で粘着シートを吸着した状態で、突き上げピンの突き上げによってダイを突き上げ、吸着コレットの吸引によりダイをピックアップする。
【０００５】
特許文献３には、２つの実施例が開示されている。第１実施例は、待機状態において、粘着シートに対してコレットを傾斜させ、また複数の突き上げニードルの先端同士を連ねた面もコレットと同様に傾斜させている。この状態で、コレットを下降させると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイを突き上げことによってコレットでダイを吸着する。次にコレットと突き上げニードルとの両方を粘着シートの法線方向へ直線的に上昇させることによって、ダイをその一端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【０００６】
第２実施例は、待機状態において、コレットが粘着シートに対して平行であり、また１個の突き上げニードルを有している。この状態でコレットを下降させてダイを吸着すると共に、突き上げニードルを上昇させて粘着シート側からダイに接触させる。次にダイの一端部を中心としてコレットを回転させると共に、ダイの中心よりも他端側を突き上げニードルによって、ダイをその他端部から徐々に粘着シートから剥離させる。
【０００７】
【特許文献１】
特開昭６２−２０８６４８号公報参照
【特許文献２】
特開平３−２２９４４１号公報
【特許文献３】
特開平７−２４９６７４号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１は、ダイを粘着シートから剥離させるのは、シート吸着コレット及びチップ吸着コレットによる吸着力のみで行なう。このため、面積が大きいダイは剥離に時間がかかると共に、この動作のみではダイを確実に剥離させるには信頼性が乏しい。また吸着力を強くする必要があるので、ダイの厚さが例えば２０〜８０μｍと薄い薄型ダイは、吸着力を強くするとダイを破損させてしまう。
【０００９】
特許文献２は、吸着受台で粘着シートを吸着した状態で、突き上げピンの突き上げ力のみよってダイを粘着シートから剥離させるので、薄型ダイの場合は該ダイに変形が生じて破損し易い。また突き上げピンの先端は尖っているので、薄型ダイの場合は点接触の集中応力が生じ、これによってもダイに破損が生じ易い。
【００１０】
特許文献３の第１実施例は、突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面でないと、突出した突き上げニードルのみがダイをコレットに押圧することになる。また突き上げニードルの先端同士を連ねた面が同一面であっても、この突き上げニードルの同一面に対してコレットの傾斜角が同一面でないと、複数の突き上げニードルの内で左右両端の突き上げニードルの一方のみがダイをコレットに押圧することになる。このため、面積が大きいダイを確実に剥離させることができなく信頼性に乏しい。また一部の突き上げニードルのみがダイを押圧する恐れがあり、また突き上げニードルの先端は尖っているので、薄型ダイの場合は点接触の集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。
【００１１】
特許文献３の第２実施例は、１個の突き上げニードルでダイを突き上げながらコレットを回転させるので、第１実施例と同様にダイに集中応力が生じ、ダイに破損が生じ易い。
【００１２】
本発明の第１の課題は、面積の大きなダイも確実に粘着シートより剥離させることができるダイピックアップ方法及び装置を提供することにある。
【００１３】
本発明の第２の課題は、薄型ダイを破損させることなく粘着シートより剥離させることができるダイピックアップ方法及び装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項１は、ダイが貼り付けされた粘着シートからダイを剥離させるダイピックアップ方法において、前記粘着シートを吸着ステージで吸着している状態で、突き上げ板を前記吸着ステージの上面より上方に移動させてダイをコレットに吸着させた後、又はダイをコレットに吸着させて前記突き上げ板を前記吸着ステージの上面より上方向に移動させた後、前記突き上げ板を下方向に移動させ、その後に前記コレットが上昇してダイをピックアップすることを特徴とする。
【００１５】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項２は、前記突き上げ板の下方向の移動は、前記吸着ステージの上面より下方向であることを特徴とする。
【００１６】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項３は、ダイが貼り付けされた粘着シートを吸着する吸着ステージと、この吸着ステージで粘着シートを吸着している状態で前記吸着ステージの上面より上方に移動及び該吸着ステージの上面より下方に移動してダイを剥離させる突き上げ板と、この突き上げ板で突き上げられたダイを吸着して搬送するコレットとを備えたことを特徴とする。
【００１７】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の請求項４は、請求項１又は３において、前記突き上げ板の上面は、平坦であることを特徴とする。
【００１８】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項５は、請求項１又は３において、前記吸着ステージには、前記突き上げ板より大きな突き上げ板配設穴が形成され、該突き上げ板配設穴に前記突き上げ板が上下動可能に配設されていることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を図１及び図２により説明する。図１に示すように、粘着シート１に貼り付けられたウェーハは、ダイシング２されて複数のダイ３に分割されており、粘着シート１はＸＹ方向に移動する図示しない枠体に固定されている。粘着シート１の上方には、ダイ３を真空吸着する吸着穴１１が形成されたコレット１０が配設されており、コレット１０は図示しないスプリングで下方に付勢されている。コレット１０は、図示しない駆動手段で上下動及びＸＹ方向に移動させられる。
【００２０】
粘着シート１の下方には、該粘着シート１を真空吸着する吸着ステージ２０が配設されており、吸着ステージ２０には、中央部分に３個の矩形形状の突き上げ板配設穴２１が形成され、その周囲には多数の吸着穴２２が形成されている。突き上げ板配設穴２１には、該突き上げ板配設穴２１より小さい矩形形状で上面が平坦な突き上げ板３０が配設されており、突き上げ板配設穴２１と突き上げ板３０間には隙間４０が形成されている。
【００２１】
次に作用について説明する。図１（ａ）に示すように、吸着ステージ２０で粘着シート１を吸着し、コレット１０が下降してダイ３より僅か上方に位置した状態で、図２（ａ）に示すように突き上げ板３０が吸着ステージ２０の上面より上昇するか、又はダイ３をコレット１０に吸着させて突き上げ板３０を吸着ステージ２０の上面より上方向に移動させる。この突き上げ板３０が吸着ステージ２０の上面より上昇する力と、吸着穴２２及び隙間４０からの真空吸引による負圧によって粘着シート１を固定する力からにより、ダイ３の外周部分は粘着シート１から剥離される。
【００２２】
次に図２（ｂ）に示すように、突き上げ板３０が吸着ステージ２０の上面より下方に下降する。突き上げ板３０を吸着ステージ２０の上面より下方に下降させると、ダイ３は吸着ステージ２０で支えられ、また吸着ステージ２０の上面と突き上げ板３０の上面に空間４１ができる。即ち、粘着シート１を負圧により剥離させるための空間４１ができるので、前記図２（ａ）の工程で剥離できなかったダイ３の中央部分の粘着シート１を剥離することができる。
【００２３】
続いて図２（ｃ）に示すように、コレット１０がダイ３を吸着したまま上昇する。これにより、コレット１０は粘着シート１から確実にダイ３を剥離させ、ＸＹ移動させられてダイ３を所定の場所に搬送する。
【００２４】
このように、突き上げ板３０を吸着ステージ２０の上面より上方に移動させてダイ３の外周部分を粘着シート１より剥離させた後、突き上げ板３０を吸着ステージ２０の上面より下方に移動させてダイ３の中央部分を粘着シート１より剥離させるので、大きなダイ３でも確実にコレット１０でピックアップすることができる。また突き上げ板３０の上面を平坦に形成することにより、ダイ３を破損させることもない。
【００２５】
図３は本発明のダイピックアップ装置の他の実施の形態を示す。吸着ステージ２０には、十字形状の突き上げ板配設穴２３が形成され、その周囲には前記実施の形態と同様に多数の吸着穴２２が形成されている。突き上げ板配設穴２３には、該突き上げ板配設穴２３より小さい十字形状で上面が平坦な突き上げ板３１が配設されており、突き上げ板配設穴２３と突き上げ板３１間には隙間４２が形成されている。このように吸着ステージ２０及び突き上げ板３１を形成しても前記実施の形態と同様の作用及び効果が得られる。
【００２６】
なお、上記第１の実施の形態（図１）においては、３個の突き上げ板３０を設けた場合について説明したが、２個以上であってもよいことは言うまでもない。
【００２７】
【発明の効果】
本発明は、ダイが貼り付けされた粘着シートからダイを剥離させるダイピックアップ方法において、前記粘着シートを吸着ステージで吸着している状態で、突き上げ板を前記吸着ステージの上面より上方に移動させてダイをコレットに吸着させた後、又はダイをコレットに吸着させて前記突き上げ板を前記吸着ステージの上面より上方向に移動させた後、前記突き上げ板を下方向に移動させ、その後に前記コレットが上昇してダイをピックアップするので、面積の大きなダイも確実に粘着シートより剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図２】ダイピックアップの動作を示す工程図である。
【図３】本発明のダイピックアップ装置の他の実施の形態を示す平面図である。
【符号の説明】
１    粘着シート
２    ダイシング
３    ダイ
１０    コレット
２０    吸着ステージ
２１    突き上げ板配設穴
２２    吸着穴
２３    突き上げ板配設穴
３０、３１    突き上げ板
４０    隙間
４１    空間
４２    隙間
【図１】
2004259811.tif 000003
【図２】
2004259811.tif 000004
【図３】
2004259811.tif 000005