(57)【要約】【課題】  少なくとも２種類のセラミックグリーンシートを積層した積層体を能率的に製造できるセラミックグリーンシートの積層装置を安価に提供する。【解決手段】  第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３を、それぞれ、第１および第２の引き出しロール１９および２３によって共通の打ち抜きステーション６へと選択的に引き出すようにする。打ち抜きステーション６では、打ち抜きヘッド８によって、長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々の所定の領域から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体４および５を打ち抜き、これを、打ち抜きヘッド８によって保持しながら、打ち抜きステーション６に隣接する積層ステーションへと搬送し、ここで、積層および圧着工程を実施する。【選択図】  図１
2004358952.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定位置にある作業ステーションとして、長尺状のセラミックグリーンシートの所定の領域から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体を打ち抜くための１個の打ち抜きステーションと、前記打ち抜きステーションに隣接するように位置される、前記セラミックグリーンシート切断体を積層するための１個の積層ステーションとを有し、
前記長尺状のセラミックグリーンシートとして、複数種類の長尺状のセラミックグリーンシートが取り扱われるように構成されていて、
前記打ち抜きステーションにおいて、前記長尺状のセラミックグリーンシートの各々の前記所定の領域を取り囲む切断線を形成するように切断するとともに、切断された前記セラミックグリーンシート切断体を保持しながら前記打ち抜きステーションから前記積層ステーションへと搬送するように移動する１個の打ち抜きヘッドと、
前記長尺状のセラミックグリーンシートの各々をそれぞれ長手方向に送るための送り機構と、
前記長尺状のセラミックグリーンシートの各々をそれぞれ前記打ち抜きステーションへと導入するための導入機構と
を備える、セラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項２】
前記導入機構は、前記長尺状のセラミックグリーンシートの各々をその周面上に保持しながら、前記打ち抜きステーションにまで前記長尺状のセラミックグリーンシートの各々をその長手方向に引き出すように移動する引き出しロールを備える、請求項１に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項３】
前記引き出しロールの引き出し方向での後方側に位置しながら前記引き出しロールとともに移動するものであって、前記引き出しロールが前記打ち抜きステーションにまで前記長尺状のセラミックグリーンシートを引き出すように移動したとき、前記打ち抜きヘッドに対して前記長尺状のセラミックグリーンシートの各々を介して対向するように位置される複数個の打ち抜きステージをさらに備える、請求項２に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項４】
前記長尺状のセラミックグリーンシートとして、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシートが取り扱われ、前記引き出しロールは、前記第１の長尺状のセラミックグリーンシートを引き出すための第１の引き出しロールと前記第２の長尺状のセラミックグリーンシートを引き出すための第２の引き出しロールとを備え、前記打ち抜きステージは、前記第１の引き出しロールとともに移動する第１の打ち抜きステージと前記第２の引き出しロールとともに移動する第２の打ち抜きステージとを備え、前記第１および第２の引き出しロールならびに前記第１および第２の打ち抜きステージは、前記打ち抜きステーションを通るＸ軸方向に移動可能とされ、前記打ち抜きヘッドは、前記Ｘ軸方向とは直交するＹ軸方向に移動するように構成される、請求項３に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項５】
前記送り機構は、
前記第１の長尺状のセラミックグリーンシートを、前記第１の打ち抜きステージの上流側で案内するように固定位置に設けられる第１の上流側固定ロールおよび前記第１の打ち抜きステージの下流側で案内するように固定位置に設けられる第１の下流側固定ロールと、
前記第２の長尺状のセラミックグリーンシートを、前記第２の打ち抜きステージの上流側で案内するように固定位置に設けられる第２の上流側固定ロールおよび前記第２の打ち抜きステージの下流側で案内するように固定位置に設けられる第２の下流側固定ロールと
を備え、さらに、
前記第１の長尺状のセラミックグリーンシートが前記第１の上流側固定ロールおよび前記第１の下流側固定ロールに常に掛けられた状態にしておくためのものであって、前記第１の引き出しロールおよび前記第１の打ち抜きステージとの間の位置関係を一定に保ったまま、前記第１の上流側固定ロールと前記第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間から出ない範囲で移動される、第１のガイドロールと、
前記第２の長尺状のセラミックグリーンシートが前記第２の上流側固定ロールおよび前記第２の下流側固定ロールに常に掛けられた状態にしておくためのものであって、前記第２の引き出しロールおよび前記第２の打ち抜きステージとの間の位置関係を一定に保ったまま、前記第２の上流側固定ロールと前記第２の下流側固定ロールとの間に規定された空間から出ない範囲で移動される、第２のガイドロールと
を備える、請求項４に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項６】
前記第１の上流側固定ロールと前記第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間内に、前記打ち抜きステーションが位置される、請求項５に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項７】
前記第１および第２の引き出しロールは、それぞれ、前記第１および第２の打ち抜きステージによって保持され、前記第１の打ち抜きステージは、その主面方向の中心部から張り出した第１のブラケットを貫通する第１のボールねじの回転によって移動するように構成され、前記第２の打ち抜きステージは、その側方へ張り出した第２のブラケットを貫通する第２のボールねじの回転によって移動するように構成される、請求項６に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項８】
前記第１の長尺状のセラミックグリーンシートは、導体膜が形成されているものであり、前記第２の長尺状のセラミックグリーンシートは、導体膜が形成されていないものである、請求項７に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項９】
前記第１のガイドロールは、前記第１の引き出しロールと前記第１の打ち抜きステージとの間に位置され、かつ、前記第１のガイドロールおよび前記第１の引き出しロールの各々における前記第１の長尺状のセラミックグリーンシートの巻掛け角が１８０度より大きくなるように、前記第１のガイドロールと前記第１の引き出しロールとの位置関係が選ばれる、請求項６ないし８のいずれかに記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項１０】
前記第１の上流側固定ロールと前記第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間と、前記第２の上流側固定ロールと前記第２の下流側固定ロールとの間に規定された空間との間の境界部分に、前記打ち抜きステーションが位置される、請求項５に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項１１】
前記打ち抜きステーションに導入された前記長尺状のセラミックグリーンシートの切断すべき位置をセンシングするために固定的に設けられたカメラをさらに備える、請求項１ないし１０のいずれかに記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項１２】
複数種類の長尺状のセラミックグリーンシートの各々を１個の打ち抜きステーションへと導入する工程と、
前記打ち抜きステーションにおいて、前記長尺状のセラミックグリーンシートの各々の所定の領域から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体を打ち抜く工程と、
前記セラミックグリーンシート切断体を前記打ち抜きステーションから積層ステーションへと搬送する工程と、
前記積層ステーションにおいて、前記セラミックグリーンシート切断体を積層する工程と
を備える、セラミックグリーンシートの積層方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、セラミックグリーンシートの積層装置および積層方法に関するもので、特に、長尺状のセラミックグリーンシートから打ち抜かれた所定の寸法のセラミックグリーンシート切断体を積層するための積層装置および積層方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミック電子部品を製造する際、複数のセラミックグリーンシートを積層する工程が実施される。また、積層工程では、多くの場合、少なくとも２種類のセラミックグリーンシートが積層される。たとえば、積層セラミックコンデンサを製造する場合には、静電容量形成のための内部電極となる導体膜が形成されているセラミックグリーンシートと導体膜が形成されていない外層となるセラミックグリーンシートとが積層される。
【０００３】
上述のように２種類のセラミックグリーンシートを積層するのに適した積層装置として、たとえば特開２００２−１５１３５０号公報（特許文献１）に記載されたもの、あるいは特開２００３−１７３６５号公報（特許文献２）に記載されたものがある。
【０００４】
特許文献１に記載された積層装置は、２種類すなわち第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシートが取り扱われるように構成されていて、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシートの各々の所定の領域から打ち抜かれた所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体を積層するための積層ステーションを有するとともに、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシートをそれぞれ打ち抜くための第１および第２の打ち抜きステーションを有している。そして、これら第１および第２の打ち抜きステーションは、積層ステーションを挟んで対向するように配置されている。
【０００５】
また、この積層装置は、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシートの各々の所定の領域を取り囲む切断線を形成するように切断するとともに、切断されたセラミックグリーンシート切断体を保持しながら第１または第２の打ち抜きステーションから積層ステーションへと搬送するように移動する打ち抜きヘッドを備えている。
【０００６】
特許文献１では、上述の打ち抜きヘッドとして、２個の打ち抜きヘッドを備える構成が記載され、第１の打ち抜きヘッドは、第１の打ち抜きステーションと積層ステーションとの間で移動するように構成され、第２の打ち抜きヘッドは、第２の打ち抜きステーションと積層ステーションとの間を移動するように構成されている。これら第１および第２の打ち抜きヘッドは、１本のボールねじの回転によって同時に移動するようにされている。これによって、一方の打ち抜きヘッドが一方の打ち抜きステーションにおいて切断動作を行なっている間、他方の打ち抜きヘッドは積層ステーションにおいてセラミックグリーンシート切断体の積層動作を行なうことが可能となり、積層工程を進める上でのサイクルタイムの短縮を図ることができる。
【０００７】
他方、特許文献２に記載された積層装置にあっては、２種類のセラミックグリーンシートが取り扱われるように構成されているが、これら２種類のセラミックグリーンシートのうち、一方は長尺状のセラミックグリーンシートであり、他方は長尺状ではなくカード状のセラミックグリーンシートである。
【０００８】
また、特許文献２に記載された積層装置は、特許文献１に記載されたものとは異なり、単に１個の打ち抜きヘッドを備えているにすぎない。この打ち抜きヘッドは、その作業ステーションにおいて、長尺状のセラミックグリーンシートまたはカード状のセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体を打ち抜くとともに、その上で、これら打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体を積層する機能も有している。上述した打ち抜きヘッドの作業ステーションでは、長尺状のセラミックグリーンシートおよびカード状のセラミックグリーンシートが互いに対向する位置から搬送されるように構成されている。
【特許文献１】特開２００２−１５１３５０号公報
【特許文献２】特開２００３−１７３６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載された積層装置あるいは特許文献２に記載された積層装置には、以下のような解決されるべき課題がある。
【００１０】
まず、特許文献１に記載された積層装置では、第１および第２の打ち抜きステーションが積層ステーションを挟んで対向するように配置されているので、打ち抜きヘッドの移動を駆動するためのボールねじは、少なくとも第１の打ち抜きステーションから第２の打ち抜きステーションへと届く長さが必要となる。そのため、ボールねじが長くならざるを得ず、打ち抜きヘッドの移動を駆動する機構の慣性モーメントが大きくなり、打ち抜きヘッドの高速移動には適さず、その結果、サイクルタイムの短縮化には限界がある。
【００１１】
また、特許文献１に記載された積層装置において、打ち抜きヘッドが占めるコストが比較的高いため、２個の打ち抜きヘッドを備える場合には、積層装置全体のコストを比較的高いものとしてしまう。
【００１２】
また、２個の打ち抜きヘッドを備えていると、第１の長尺状のセラミックグリーンシートから打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体と第２の長尺状のセラミックグリーンシートから打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体とを、たとえば１枚ずつ交互に積層する場合には、なるほど、この積層工程を能率的に進めるのに有効である。
【００１３】
しかしながら、たとえば、第１の長尺状のセラミックグリーンシートから打ち抜かれたセラミックグリーンシート積層体のみを５０枚積層し、次いで、第２の長尺状のセラミックグリーンシートから打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体のみを５０枚積層するというように、一方の長尺状のセラミックグリーンシートから打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体のみを多数回連続して積層する場合には、この特定の期間においては一方の打ち抜きヘッドしか必要としない。そのため、２個の打ち抜きヘッドを備える構成は、このような用途に必ずしも適しているとは言えない。
【００１４】
たとえば、積層セラミックコンデンサを製造する場合には、導体膜が形成されていない長尺状のセラミックグリーンシートから打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体のみを複数回連続して積層し、次いで、導体膜が形成されている長尺状のセラミックグリーンシートから打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体のみを複数回連続して積層することが行なわれるので、２個の打ち抜きヘッドを備える構成は、必ずしも、積層工程の能率化を図るものではない。
【００１５】
他方、特許文献２に記載された積層装置では、単に１個の打ち抜きヘッドを備え、かつこの打ち抜きヘッドはセラミックグリーンシート切断体をその上で積層するようにも用いられるので、上述した特許文献１に記載された積層装置において遭遇した問題、すなわち、サイクルタイムの短縮化に限界があるという問題、および積層装置全体のコストを比較的高くしてしまうという問題を解決することができる。
【００１６】
しかしながら、特許文献２に記載された積層装置で取り扱われるセラミックグリーンシートの一方は、カード状のものでなければならない。したがって、この積層装置は、２種類の長尺状のセラミックグリーンシートを取り扱うことができない。
【００１７】
また、特許文献１に記載された積層装置のように、２種類の長尺状のセラミックグリーンシートを取り扱えるようにしながら、特許文献２に記載された積層装置のように、１個の作業ステーションにおいて１個の打ち抜きヘッドによって打ち抜き作業を行なえるようにするには、２種類の長尺状のセラミックグリーンシートを１個の作業ステーションへと互いに干渉されることなく選択的に供給するための機構が必要である。しかしながら、このような機構の実現は必ずしも容易ではない。
【００１８】
そこで、この発明の目的は、上述のような課題を解決し得るセラミックグリーンシートの積層装置および積層方法を提供しようとすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
この発明に係るセラミックグリーンシートの積層装置は、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【００２０】
この発明に係る積層装置は、固定位置にある作業ステーションとして、長尺状のセラミックグリーンシートの所定の領域から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体を打ち抜くための１個の打ち抜きステーションと、この打ち抜きステーションに隣接するように位置される、セラミックグリーンシート切断体を積層するための１個の積層ステーションとを有している。
【００２１】
また、この積層装置は、長尺状のセラミックグリーンシートとして、複数種類の長尺状のセラミックグリーンシートが取り扱われるように構成されている。
【００２２】
そして、この積層装置は、打ち抜きステーションにおいて、長尺状のセラミックグリーンシートの各々の所定の領域を取り囲む切断線を形成するように切断するとともに、切断されたセラミックグリーンシート切断体を保持しながら打ち抜きステーションから積層ステーションへと搬送するように移動する１個の打ち抜きヘッドと、長尺状のセラミックグリーンシートの各々をそれぞれ長手方向に送るための送り機構と、長尺状のセラミックグリーンシートの各々をそれぞれ打ち抜きステーションへと導入するための導入機構とを備えている。
【００２３】
この発明において、上述の導入機構は、長尺状のセラミックグリーンシートの各々をその周面上に保持しながら、打ち抜きステーションにまで長尺状のセラミックグリーンシートの各々をその長手方向に引き出すように移動する引き出しロールを備えることが好ましい。
【００２４】
また、この発明に係る積層装置は、上述の引き出しロールの引き出し方向での後方側に位置しながら引き出しロールとともに移動するものであって、引き出しロールが打ち抜きステーションにまで長尺状のセラミックグリーンシートの各々を引き出すように移動したとき、打ち抜きヘッドに対して長尺状のセラミックグリーンシートの各々を介して対向するように位置される複数個の打ち抜きステージをさらに備えることが好ましい。
【００２５】
この発明に係る積層装置において、長尺状のセラミックグリーンシートとして、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシートが取り扱われ、上述の引き出しロールが、第１の長尺状のセラミックグリーンシートを引き出すための第１の引き出しロールと第２の長尺状のセラミックグリーンシートを引き出すための第２の引き出しロールとを備え、打ち抜きステージが、第１の引き出しロールとともに移動する第１の打ち抜きステージと第２の引き出しロールとともに移動する第２の打ち抜きステージとを備える場合、第１および第２の引き出しロールならびに第１および第２の打ち抜きステージは、打ち抜きステーションを通るＸ軸方向に移動可能とされ、打ち抜きヘッドは、Ｘ軸方向とは直交するＹ軸方向に移動するように構成されることが好ましい。
【００２６】
上述の好ましい実施態様において、前述した送り機構は、第１の長尺状のセラミックグリーンシートを、第１の打ち抜きステージの上流側で案内するように固定位置に設けられる第１の上流側固定ロールおよび第１の打ち抜きステージの下流側で案内するように固定位置に設けられる第１の下流側固定ロールと、第２の長尺状のセラミックグリーンシートを、第２の打ち抜きステージの上流側で案内するように固定位置に設けられる第２の上流側固定ロールおよび第２の打ち抜きステージの下流側で案内するように固定位置に設けられる第２の下流側固定ロールとを備え、この発明に係るセラミックグリーンシートの積層装置が、第１の長尺状のセラミックグリーンシートが第１の上流側固定ロールおよび第１の下流側固定ロールに常に掛けられた状態にしておくためのものであって、第１の引き出しロールおよび第１の打ち抜きステージとの間の位置関係を一定に保ったまま、第１の上流側固定ロールと第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間から出ない範囲で移動される、第１のガイドロールと、第２の長尺状のセラミックグリーンシートが第２の上流側固定ロールおよび第２の下流側固定ロールに常に掛けられた状態にしておくためのものであって、第２の引き出しロールおよび第２の打ち抜きステージとの間の位置関係を一定に保ったまま、第２の上流側固定ロールと第２の下流側固定ロールとの間に規定された空間から出ない範囲で移動される、第２のガイドロールとをさらに備えることが好ましい。
【００２７】
上述の実施態様において、第１の上流側固定ロールと第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間内に、打ち抜きステーションが位置される場合と、第１の上流側固定ロールと第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間と、第２の上流側固定ロールと第２の下流側固定ロールとの間に規定された空間との間の境界部分に、打ち抜きステーションが位置される場合とがある。
【００２８】
前者の場合には、第１および第２の引き出しロールは、それぞれ、第１および第２の打ち抜きステージによって保持され、第１の打ち抜きステージは、その主面方向の中心部から張り出した第１のブラケットを貫通する第１のボールねじの回転によって移動するように構成され、第２の打ち抜きステージは、その側方へ張り出した第２のブラケットを貫通する第２のボールねじの回転によって移動するように構成されることが好ましい。
【００２９】
上述の場合、第１の長尺状のセラミックグリーンシートは、導体膜が形成されているものであり、第２の長尺状のセラミックグリーンシートは、導体膜が形成されていないものであることが好ましい。
【００３０】
また、第１のガイドロールは、第１の引き出しロールと第１の打ち抜きステージとの間に位置され、かつ、第１のガイドロールおよび第１の引き出しロールの各々における第１の長尺状のセラミックグリーンシートの巻掛け角が１８０度より大きくなるように、第１のガイドロールと第１の引き出しロールとの位置関係が選ばれることが好ましい。
【００３１】
この発明に係る積層装置は、打ち抜きステーションに導入された長尺状のセラミックグリーンシートの切断すべき位置をセンシングするために固定的に設けられたカメラをさらに備えることが好ましい。
【００３２】
この発明は、また、セラミックグリーンシートの積層方法にも向けられる。この発明に係るセラミックグリーンシートの積層方法は、複数種類の長尺状のセラミックグリーンシートの各々を１個の打ち抜きステーションへと導入する工程と、打ち抜きステーションにおいて、長尺状のセラミックグリーンシートの各々の所定の領域から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体を打ち抜く工程と、セラミックグリーンシート切断体を打ち抜きステーションから積層ステーションへと搬送する工程と、積層ステーションにおいて、セラミックグリーンシート切断体を積層する工程とを備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００３３】
以上のように、この発明によれば、複数種類の長尺状のセラミックグリーンシートが取り扱われるように構成されながらも、これら複数種類の長尺状のセラミックグリーンシートに対する打ち抜きを実施するため、共通の１個の打ち抜きステーションを有していれば足り、したがって、打ち抜きヘッドについても、１個備えていれば足りるので、２個の打ち抜きヘッドを備える場合に比べて、積層装置全体のコストを低減することができる。
【００３４】
また、打ち抜きステーションに隣接して積層ステーションを位置させているので、複数種類の長尺状のセラミックグリーンシートを取り扱うにも関わらず、打ち抜きヘッドの移動経路を短くすることができる。そのため、打ち抜きヘッドの移動に関して、慣性モーメントを小さくすることができ、高速移動に適し、サイクルタイムを短くすることができる。
【００３５】
この発明において、複数種類の長尺状のセラミックグリーンシートをそれぞれ打ち抜きステーションへと導入するための導入機構として、長尺状のセラミックグリーンシートの各々をその周面上に保持しながら、打ち抜きステーションにまで長尺状のセラミックグリーンシートの各々をその長手方向に引き出すように移動する引き出しロールを備える構成が採用されると、次のような利点がもたらされる。
【００３６】
まず、これら導入機構を簡単な構成で実現することができる。また、これら引き出しロールは、打ち抜きステーションから退去するとき、セラミックグリーンシートを裏打ちするキャリアフィルムの剥離手段としても機能させることができる。すなわち、引き出しロールは、その周面上にキャリアフィルムを巻き掛けした状態で、打ち抜きステーションから退去させることができるので、キャリアフィルムの剥離が、セラミックグリーンシート切断体の一方側の端から生じることになり、そのため、キャリアフィルムを円滑に剥離することができる。
【００３７】
この発明において、引き出しロールの引き出し方向での後方側に位置しながら引き出しロールとともに移動するものであって、引き出しロールが打ち抜きステーションにまで長尺状のセラミックグリーンシートの各々を引き出すように移動したとき、打ち抜きヘッドに対して長尺状のセラミックグリーンシートの各々を介して対向するように位置される複数個の打ち抜きステージをさらに備えていると、次のような利点がもたらされる。
【００３８】
打ち抜きに際してセラミックグリーンシートの支えとなる部材を、引き出しロールや長尺状のセラミックグリーンシートの引き出し動作に干渉しない状態で与えることができる。
【００３９】
また、この発明において、長尺状のセラミックグリーンシートとして、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシートが取り扱われ、引き出しロールが、第１の長尺状のセラミックグリーンシートを引き出すための第１の引き出しロールと第２の長尺状のセラミックグリーンシートを引き出すための第２の引き出しロールとを備え、打ち抜きステージが、第１の引き出しロールとともに移動する第１の打ち抜きステージと第２の引き出しロールとともに移動する第２の打ち抜きステージとを備える場合、第１および第２の引き出しロールならびに第１および第２の打ち抜きステージが、打ち抜きステーションを通るＸ軸方向に移動可能とされ、打ち抜きヘッドが、Ｘ軸方向とは直交するＹ軸方向に移動するように構成されると、次のような利点がもたらされる。
【００４０】
打ち抜き位置に関するＸ軸方向およびＹ軸方向の補正を行なうための特別な機構を設ける必要がなく、Ｘ軸方向の位置補正については、長尺状のセラミックグリーンシートの長手方向での送り量または打ち抜きステージの位置調整によって行なうことができ、Ｙ軸方向の位置補正については、打ち抜きヘッドの移動量の調整によって行なうことができる。
【００４１】
上述の実施態様において、前述した送り機構が、第１の長尺状のセラミックグリーンシートを、第１の打ち抜きステージの上流側で案内するように固定位置に設けられる第１の上流側固定ロールおよび第１の打ち抜きステージの下流側で案内するように固定位置に設けられる第１の下流側固定ロールと、第２の長尺状のセラミックグリーンシートを、第２の打ち抜きステージの上流側で案内するように固定位置に設けられる第２の上流側固定ロールおよび第２の打ち抜きステージの下流側で案内するように固定位置に設けられる第２の下流側固定ロールとを備え、この発明に係るセラミックグリーンシートの積層装置が、第１の長尺状のセラミックグリーンシートが第１の上流側固定ロールおよび第１の下流側固定ロールに常に掛けられた状態にしておくためのものであって、第１の引き出しロールおよび第１の打ち抜きステージとの間の位置関係を一定に保ったまま、第１の上流側固定ロールと第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間から出ない範囲で移動される、第１のガイドロールと、第２の長尺状のセラミックグリーンシートが第２の上流側固定ロールおよび第２の下流側固定ロールに常に掛けられた状態にしておくためのものであって、第２の引き出しロールおよび第２の打ち抜きステージとの間の位置関係を一定に保ったまま、第２の上流側固定ロールと第２の下流側固定ロールとの間に規定された空間から出ない範囲で移動される、第２のガイドロールとをさらに備えていると、次のような利点がもたらされる。
【００４２】
第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシートを、それぞれ、第１および第２の上流側固定ロールならびに第１および第２の下流側固定ロールに常に掛けた状態としておくことができるので、各長尺状のセラミックグリーンシートに付与されるテンションを安定させることができる。その結果、セラミックグリーンシートについての精度の高い打ち抜きおよび積層が可能となる。また、各長尺状のセラミックグリーンシートを打ち抜きステーションにまで導入しかつ打ち抜きステーションから退去させるための機構を互いに干渉させずに配置することができる。
【００４３】
上述の実施態様において、第１の上流側固定ロールと第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間内に、打ち抜きステーションが位置される場合であって、第１および第２の引き出しロールが、それぞれ、第１および第２の打ち抜きステージによって保持され、第１の打ち抜きステージが、その主面方向の中心部から張り出した第１のブラケットを貫通する第１のボールねじの回転によって移動するように構成され、第２の打ち抜きステージが、その側方へ張り出した第２のブラケットを貫通する第２のボールねじの回転によって移動するように構成される場合には、第１のボールねじと第２のボールねじとを互いに干渉しない状態で配置することができる。
【００４４】
また、上述の場合、第１の打ち抜きステージについては、その移動においてモーメントの影響を受けにくいので、高速移動に適し、また、停止精度を高めることができる。したがって、第１の打ち抜きステージによって取り扱われる第１の長尺状のセラミックグリーンシートの位置精度を高めることができるので、この第１の長尺状のセラミックグリーンシートに導体膜が形成されている場合には、導体膜の位置精度を高めることができる。
【００４５】
また、第１のガイドロールが、第１の引き出しロールと第１の打ち抜きステージとの間に位置され、かつ、第１のガイドロールおよび第１の引き出しロールの各々における第１の長尺状のセラミックグリーンシートの巻掛け角が１８０度より大きくなるように、第１のガイドロールと第１の引き出しロールとの位置関係が選ばれると、次のような利点がもたらされる。
【００４６】
第１の長尺状のセラミックグリーンシートと第１のガイドロールおよび第１の引き出しロールの各々との間で滑りを生じさせにくくすることができ、特に高速移動での加減速時に起きやすいロールの空転現象を生じさせにくくすることができる。この点において、高速移動に適した構成とすることができる。また、ロールの空転は、長尺状のセラミックグリーンシートの停止精度の低下やテンション変動による歪みを招き、打ち抜きや積層の精度を低下させるので、空転の抑制は、打ち抜きや積層の精度の向上につながる。
【００４７】
他方、第１の上流側固定ロールと第１の下流側固定ロールとの間に規定された空間と、第２の上流側固定ロールと第２の下流側固定ロールとの間に規定された空間との間の境界部分に、打ち抜きステーションが位置されると、第１の長尺状のセラミックグリーンシートを取り扱うための第１の機構と第２の長尺状のセラミックグリーンシートを取り扱うための第２の機構とを対称構造とすることができる。したがって、これら第１および第２の機構の設計の共通化および部品の共通化を図ることができる。
【００４８】
また、この発明において、打ち抜きステーションに導入された長尺状のセラミックグリーンシートの切断すべき位置をセンシングするために固定的に設けられたカメラを備えている場合、このカメラは、打ち抜きステーションにおいて、打ち抜きヘッドとは独立して設けることができる。そのため、打ち抜きヘッドが積層ステーションにある時点で、カメラによるセンシングが可能であるので、打ち抜きヘッドが打ち抜きステーションに戻るまでの間に位置補正または位置補正のためのデータ処理を行なうことができるので、打ち抜き工程を能率的に行なうことができる。また、カメラは、固定的に設けられるので、たとえば打ち抜きヘッドからの振動等によりカメラに振動等が加わることを防止でき、したがって、カメラによる撮像を高精度に行なうことができる。また、打ち抜きヘッドはカメラを保持しないので、打ち抜きヘッドの軽量化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
図１は、この発明の第１の実施形態によるセラミックグリーンシートの積層装置１の概略構成を示す正面図である。図１において、（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の各々には、積層装置１がとり得る動作状態の典型例が示されている。図２は、図１に示した積層装置１の概略構成を示す平面図である。
【００５０】
積層装置１は、複数種類の、この実施形態では、２種類の長尺状のセラミックグリーンシートすなわち第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３が取り扱われるように構成されている。積層装置１が積層セラミックコンデンサの製造に適用される場合、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２は、内部電極となる導体膜が形成されているものであり、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３は、外層用であり、導体膜が形成されていないものである。これらセラミックグリーンシート２および３は、誘電体セラミック材料粉末を含んでいる。また、図１および図２では図示を省略しているが、セラミックグリーンシート２および３は、キャリアフィルムによって裏打ちされた状態で積層装置１において取り扱われる。
【００５１】
積層装置１は、長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々の所定の位置から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体４および５（図１（ａ）にのみ図示される。）を打ち抜くための１個の打ち抜きステーション６と、この打ち抜きステーション６に隣接するように位置される、セラミックグリーンシート切断体４および５を積層するための１個の積層ステーション７（図２参照）とを有している。これら打ち抜きステーション６および積層ステーション７は、いずれも、固定位置にある作業ステーションである。
【００５２】
積層装置１は、また、打ち抜きステーション６において、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々の所定の領域を取り囲む切断線を形成するように切断するとともに、切断されたセラミックグリーンシート切断体４および５の各々を保持しながら打ち抜きステーション６から積層ステーション７へと搬送するように移動する１個の打ち抜きヘッド８を備えている。
【００５３】
打ち抜きヘッド８は、省略的に図示されているが、図１に示すように、セラミックグリーンシート切断体４および５の各々を真空吸引に基づき保持する保持ブロック９と、保持ブロック９を取り囲むように配置される切断刃１０とを備えている。
【００５４】
打ち抜きヘッド８は、全体として、図２に示すＹ軸方向に移動可能であるとともに、上下方向にも移動可能である。この上下方向への移動によって、打ち抜きヘッド８は、Ｙ軸方向に移動するときは上方の位置をとる。他方、打ち抜きヘッド８は、打ち抜きステーション６において切断動作ならびにセラミックグリーンシート切断体４および５の保持動作を行なうときと、積層ステーション７においてセラミックグリーンシート切断体４および５の積層および圧着動作を行なうときとは、下方の位置をとる。
【００５５】
また、切断刃１０は、保持ブロック９とは独立して上下方向に移動可能なように保持され、切断動作を行なうときには、切断刃１０の刃先が保持ブロック９の下面より下方へ突出する状態となり、他方、切断動作を終えた後では、切断刃１０は保持ブロック９に対して上方へ移動される。また、切断動作を行なうときの切断刃１０の刃先の突出度合いは、セラミックグリーンシート２および３の各々の厚み方向を貫通するように切断線を形成するが、キャリアフィルムについては、これを切断しないように調整される。
【００５６】
図２に示すように、積層ステーション７には、積層ステージ１１が、図示しない油圧シリンダ等により上下方向に移動可能に設けられる。打ち抜きヘッド８の打ち抜きステーション６と積層ステーション７との間でのＹ軸方向の移動は、たとえば、サーボモータ１２によって回転されるボールねじ１３によって駆動される。
【００５７】
積層装置１は、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３をそれぞれ長手方向に送るための第１および第２の送り機構を備えている。この実施形態では、第１の送り機構は、ロール状に巻かれた第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を巻き出すための第１の巻き出しロール１４と第１の長尺状のセラミックグリーンシート２をロール状に巻き取るための第１の巻き取りロール１５とを含む構成によって与えられる。同様に、第２の送り機構は、ロール状に巻かれた第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を巻き出すための第２の巻き出しロール１６と第２の長尺状のセラミックグリーンシート３をロール状に巻き取るための第２の巻き取りロール１７とを含む構成によって与えられる。
【００５８】
第１の巻き出しロール１４と第１の巻き取りロール１５とは、互いに同期して回転するように駆動され、各々の回転角度は、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２のテンションが一定となるように調整される。同様に、第２の巻き出しロール１６と第２の巻き取りロール１７とは、互いに同期して回転するように駆動され、各々の回転角度は、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３のテンションが一定となるように調整される。
【００５９】
第１の巻き出しロール１４から巻き出された第１の長尺状のセラミックグリーンシート２は、各々自由に回転するように保持された、第１の上流側固定ロール１８、第１の引き出しロール１９、第１のガイドロール２０および第１の下流側固定ロール２１の各々の周面上に順次巻き掛けされた後、第１の巻き取りロール１５に巻き取られる。上記第１の上流側固定ロール１８および第１の下流側固定ロール２１は、第１の送り機構の一部をなすものである。
【００６０】
他方、第２の巻き出しロール１６から巻き出された第２の長尺状のセラミックグリーンシート３は、各々自由に回転するように保持された、第２の上流側固定ロール２２、第２の引き出しロール２３、第２のガイドロール２４および第２の下流側固定ロール２５の各々の周面上に順次巻き掛けされた後、第２の巻き取りロール１７に巻き取られる。上記第２の上流側固定ロール２２および第２の下流側固定ロール２５は、第２の送り機構の一部をなすものである。
【００６１】
第１の上流側固定ロール１８と第１の引き出しロール１９との間の経路上にある第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の下方には、第１の打ち抜きステージ２６が配置される。第１の上流側固定ロール１８は、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を第１の打ち抜きステージ２６の上流側で案内するように固定位置に設けられる。第１の下流側固定ロール２１は、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を第１の打ち抜きステージ２６の下流側で案内するように固定位置に設けられる。
【００６２】
また、第２の上流側固定ロール２２と第２の引き出しロール２３との間の経路上にある第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の下方には、第２の打ち抜きステージ２７が配置される。第２の上流側固定ロール２２は、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を第２の打ち抜きステージ２７の上流側で案内するように固定位置に設けられる。第２の下流側固定ロール２５は、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を第２の打ち抜きステージ２７の下流側で案内するように固定位置に設けられる。
【００６３】
第１の打ち抜きステージ２６は、第１の引き出しロール１９の引き出し方向での後方側に位置しながら第１の引き出しロール１９および第１のガイドロール２０とともに移動するように構成され、他方、第２の打ち抜きステージ２７は、第２の引き出しロール２３の引き出し方向での後方側に位置しながら第２の引き出しロール２３および第２のガイドロール２４とともに移動するように構成される。これらの具体的構成について、図３および図４を参照して説明する。
【００６４】
図３は、第１の打ち抜きステージ２６、第１の引き出しロール１９および第１のガイドロール２０ならびにこれらに関連する構成を示すもので、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は一部を破断して示す正面図である。
【００６５】
図３を参照して、第１の引き出しロール１９および第１のガイドロール２０は、ブラケット２８および２９を介して第１の打ち抜きステージ２６によって保持されている。また、第１の打ち抜きステージ２６には、その主面方向の中心部から張り出す第１のブラケット３０が設けられている。第１のブラケット３０には、第１のボールねじ３１が貫通し、第１のボールねじ３０がサーボモータ３２によって回転されることにより、第１の打ち抜きステージ２６は、第１の引き出しロール１９および第１のガイドロール２０とともに、ガイドレール４４および４５に沿って、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に移動される。
【００６６】
図４は、第２の打ち抜きステージ２７、第２の引き出しロール２３および第２のガイドロール２４ならびにこれらに関連する構成を示す平面図である。
【００６７】
図４を参照して、第２の引き出しロール２３は、ブラケット３３および３４を介して、ならびに、第２のガイドロール２４は、ブラケット３５および３６を介して、第２の打ち抜きステージ２７によって保持されている。また、第２の打ち抜きステージ２７には、その側方へ張り出した第２のブラケット３７が設けられている。第２のブラケット３７には、第２のボールねじ３８が貫通し、サーボモータ３９によって第２のボールねじ３８が回転されることにより、第２の打ち抜きステージ２７は、第２の引き出しロール２３および第２のガイドロール２４とともに、ガイドレール４４および４５に沿って、Ｘ軸方向に移動される。
【００６８】
なお、第２のボールねじ３８が、上述のように、第２の打ち抜きステージ２７の側方へ張り出した第２のブラケット３７を貫通するように設けられるのは、図３に示した第１のボールねじ３１との干渉を避けるためである。
【００６９】
この積層装置１は、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を、図１（ｂ）に示すように、打ち抜きステーション６へと導入するための第１の導入機構と、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を、図１（ｃ）に示すように、打ち抜きステーション６へと導入するための第２の導入機構とを備えている。前述の図３および図４をそれぞれ参照して説明したように移動される第１および第２の引き出しロール１９および２３は、それぞれ、上述した第１および第２の導入機構を与えるものである。
【００７０】
すなわち、第１の引き出しロール１９は、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２をその周面上に保持しながら、図１（ｂ）に示すように、矢印４０方向へ移動したとき、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２をその長手方向に引き出し、打ち抜きステーション６に位置させる。このとき、第１の打ち抜きステージ２６は、打ち抜きヘッド８に対して第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を介して対向するように位置される。
【００７１】
他方、第２の引き出しロール２３は、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３をその周面上に保持しながら、図１（ｃ）に示すように、矢印４１方向へ移動したとき、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３をその長手方向に引き出し、打ち抜きステーション６に位置させる。このとき、第２の打ち抜きステージ２７は、打ち抜きヘッド８に対して第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を介して対向するように位置される。
【００７２】
第１および第２の引き出しロール１９および２３は、図示の実施形態では、それぞれ、１個ずつのロールで構成されているが、複数個のロール、たとえば複数個の小さいロールで構成されてもよい。
【００７３】
積層装置１は、また、図１に示すように、打ち抜きステーション６に導入された第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々の切断すべき位置をセンシングするためのカメラ４２および４３を備えている。カメラ４２および４３は、長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々上に付与された位置合わせマーク（図示せず。）を撮像するもので、この撮像によって得られた画像データを処理することによって、長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々の適正な切断位置が決定される。
【００７４】
適正な切断位置への補正を行なうにあたり、Ｘ軸方向の補正については、第１の巻き出しロール１４および第１の巻き取りロール１５の駆動または第２の巻き出しロール１６および第２の巻き取りロール１７の駆動によって達成され、Ｙ軸方向の補正については、打ち抜きヘッド８のＹ軸方向への移動量を制御するサーボモータ１２の駆動によって達成される。
【００７５】
なお、この実施形態では、２個のカメラ４２および４３が打ち抜き領域の互いに対向する位置に設けられているので、θ方向の補正も可能である。このようなθ方向の補正は、たとえば、打ち抜きヘッド８をθ方向に回転させることによって達成される。
【００７６】
また、前述したように、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３は、この実施形態では、導体膜が形成されていないものであるので、切断位置に関してそれほど高い精度が要求されない。したがって、この場合には、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の切断位置についてはカメラ４２および４３によってセンシングされなくてもよい。
【００７７】
次に、積層装置１の動作を、これを用いて積層セラミックコンデンサのための積層体を作製する場合について説明する。
【００７８】
図１（ａ）には、積層装置１の初期状態が示されている。この状態において、第１および第２の引き出しロール１９および２３は待避位置にあり、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３は、いずれも、打ち抜きステーション６には導入されていない。また、打ち抜きヘッド８にあっては、図２において想像線で示すように、積層ステーション７に位置している。
【００７９】
積層セラミックコンデンサのための積層体を作製する場合、まず、外層となる導体膜が形成されていないセラミックグリーンシートが積層される。そのため、導体膜が形成されていない第２の長尺状のセラミックグリーンシート３が、図１（ｃ）に示すように、第２の引き出しロール２３に伴われて打ち抜きステーション６へと矢印４１方向に導入される。このとき、第２のガイドロール２４および第２の打ち抜きステージ２７も、第２の引き出しロール２３とともに移動する。
【００８０】
上述の第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の導入と同時に、または導入後において、第２の巻き出しロール１６および巻き取りロール１７が駆動され、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３が１ピッチ送られる。なお、このように第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を送るため、第２の打ち抜きステージ２７にセラミックグリーンシート３を吸引保持する機能を付与しておき、第２の打ち抜きステージ２７の移動に伴われてセラミックグリーンシート３が送られるようにしてもよい。
【００８１】
次に、カメラ４２および４３によって、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の切断すべき位置がセンシングされ、必要に応じて、セラミックグリーンシート３の位置補正が行なわれる。なお、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３は、導体膜が形成されていないものであり、厳密な位置合わせを必要としないため、上述のようなカメラ４２および４３によるセンシングならびに位置補正が省略されてもよい。
【００８２】
次に、打ち抜きヘッド８が打ち抜きステーション６の上方の位置まで移動された後、下方へ移動され、それによって、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の所定の領域を取り囲む切断線が切断刃１０によって形成される。
【００８３】
次に、第２の引き出しロール２３が、第２のガイドロール２４および第２の打ち抜きステージ２７とともに、図１（ａ）に示す待避位置に戻される。これによって、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３は、打ち抜きステーション６から退去する。
【００８４】
このとき、第２の引き出しロール２３と第２のガイドロール２４とは、互いの間に一定の距離を保ちながら、一体的に移動するので、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３については、その長手方向への移動は実質的に生じず、すなわち、巻き出しロール１６と巻き取りロール１７との間にある第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の長さは実質的に変わらず、その経路の形状が変化するだけである。
【００８５】
上述の動作時においては、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３から打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体５（図１（ａ）参照）が打ち抜きヘッド８に備える保持ブロック９に保持されている状態にあるので、セラミックグリーンシート切断体５からキャリアフィルムが剥がされ、打ち抜きヘッド８側にはセラミックグリーンシート切断体５のみが残される。このとき、第２の引き出しロール２３は、その周面上にキャリアフィルムを巻き掛けした状態とするので、キャリアフィルムの剥離は、第２の引き出しロール２３の移動に従って、セラミックグリーンシート切断体５の一方側の端から生じることになり、そのため、キャリアフィルムの剥離を円滑に行なうことができる。
【００８６】
また、第２のガイドロール２４の動作に注目すると、第２のガイドロール２４は、第２の引き出しロール２３および第２の打ち抜きステージ２７との間の位置関係を一定に保ったまま、第２の上流側固定ロール２２と第２の下流側固定ロール２５との間に規定された空間から出ない範囲で移動される。これによって、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を、第２の上流側固定ロール２２および第２の下流側固定ロール２５に常に掛けた状態としておくことができるので、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３に付与されるテンションを安定させることができる。
【００８７】
次に、セラミックグリーンシート切断体５は、積層ステーション７へと搬送されるように、打ち抜きヘッド８が、上方へ移動した後、図２に想像線で示すように、積層ステージ１１の上方の位置まで移動される。そして、この積層ステーション７において、積層ステージ１１が上昇し、積層ステージ１１上で、セラミックグリーンシート切断体５が積層されかつ圧着される。
【００８８】
次に、積層ステーション７において、積層ステージ１１が下降したとき、図１（ａ）に示す初期状態に戻る。なお、このように、積層ステージ１１が下降している間に、打ち抜きヘッド８が打ち抜きステーション６の上方の位置まで移動し、次の打ち抜き動作に備えるようにすれば、サイクルタイムの短縮を図ることができる。このような利点を望まないならば、前述の積層工程において、打ち抜きヘッド８が下降することによって、積層ステージ１１上で、セラミックグリーンシート切断体５が積層されかつ圧着されるようにしてもよい。
【００８９】
その後、上述した動作が所定回数繰り返され、それによって、外層となる、導体膜が形成されていない所定枚数のセラミックグリーンシート切断体５が積層される。
【００９０】
なお、上述した第２の長尺状のセラミックグリーンシート３に対する作業を実施している間、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２に対する作業については休止状態にあるので、この時間を利用して、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２についての段取りを行なうようにしてもよい。
【００９１】
次に、導体膜が形成されているセラミックグリーンシートが積層される。そのため、導体膜が形成されている第１の長尺状のセラミックグリーンシート２が、図１（ｂ）に示すように、第１の引き出しロール１９に伴われて打ち抜きステーション６へと矢印４０方向に導入される。このとき、第１のガイドロール２０および第１の打ち抜きステージ２６も、第１の引き出しロール１９とともに移動する。
【００９２】
上述したような第１の引き出しロール１９、第１のガイドロール２０および第１の打ち抜きステージ２６の移動は、図３を参照して説明したような構造によって達成される。ここで、第１のボールねじ３１を貫通させる第１のブラケット３０が第１の打ち抜きステージ２６の主面方向の中央部に設けられていることに注目すべきである。
【００９３】
上述のような構造によれば、図４に示したように、第２のボールねじ３８が第２の打ち抜きステージ２７の側方へ張り出した第２のブラケット３７を貫通するように設けられる構造に比べて、モーメントの影響を受けにくくすることができ、そのため、高速移動に適したものとすることができるばかりでなく、停止精度を高めることができる。
【００９４】
この点において、より高い位置精度およびより多い積層枚数が要求される、導体膜が形成された第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を、図３に示した第１の引き出しロール１９等によって取り扱うようにし、他方、それほど高い位置精度が要求されずかつ積層枚数も比較的少ない、導体膜が形成されていない第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を、図４に示した第２の引き出しロール２３等によって取り扱うようにした役割分担には、大きな意義がある。
【００９５】
前述したような第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の打ち抜きステーション６への導入と同時に、または導入後において、第１の巻き出しロール１４および巻き取りロール１５が駆動され、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２が１ピッチ送られる。なお、このように第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を送るため、第１の打ち抜きステーション２６にセラミックグリーンシート２を吸引保持する機能を付与しておき、第１の打ち抜きステーション２６の移動に伴われてセラミックグリーンシート２が送られるようにしてもよい。
【００９６】
次に、カメラ４２および４３によって、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の切断すべき位置がセンシングされ、必要に応じて、前述した方法によって、セラミックグリーンシート２の位置補正が行なわれる。
【００９７】
次に、打ち抜きヘッド８が、積層ステーション７から打ち抜きステーション６の上方の位置まで移動された後、下方へ移動され、それによって、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の所定の領域を取り囲む切断線が切断刃１０によって形成される。
【００９８】
次に、第１の引き出しロール１９は、第１のガイドロール２０および第１の打ち抜きステージ２６とともに、図１（ａ) に示す待避位置に戻される。これによって、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２は、打ち抜きステーション６から退去する。このとき、第１の引き出しロール１９と第１のガイドロール２０とは、互いの間に一定の距離を保ちながら、一体的に移動するので、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２については、その長手方向の移動は実質的に生じず、すなわち、巻き出しロール１４と巻き取りロール１５との間にある第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の長さは実質的に変わらず、その経路の形状が変化するだけである。
【００９９】
上述の動作時においては、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２から打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体４（図１（ａ）参照）が打ち抜きヘッド８に備える保持ブロック９に保持されている状態にあるので、セラミックグリーンシート切断体４からキャリアフィルムが剥がされ、打ち抜きヘッド８側にはセラミックグリーンシート切断体４のみが残される。このとき、第１の引き出しロール１９は、その周面上にキャリアフィルムを巻き掛けした状態とするので、キャリアフィルムの剥離は、第１の引き出しロール１９の移動に従って、セラミックグリーンシート切断体４の一方側の端から生じることになり、そのため、キャリアフィルムの剥離を円滑に行なうことができる。
【０１００】
また、第１のガイドロール２０の動作に注目すると、第１のガイドロール２０は、第１の引き出しロール１９および第１の打ち抜きステージ２６との間の位置関係を一定に保ったまま、第１の上流側固定ロール１８と第１の下流側固定ロール２１との間に規定された空間から出ない範囲で移動される。これによって、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を、第１の上流側固定ロール１８および第１の下流側固定ロール２１に常に掛けた状態としておくことができるので、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２に付与されるテンションを安定させることができる。
【０１０１】
また、第１のガイドロール２０と第１の引き出しロール１９との位置関係に注目すると、第１のガイドロール２０が、第１の引き出しロール１９と第１の打ち抜きステージ２６との間に位置され、かつ、第１のガイドロール２０および第１の引き出しロール１９の各々における第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の巻掛け角が１８０度より大きくなるように、第１のガイドロール２０と第１の引き出しロール１９との位置関係が選ばれている。
【０１０２】
そのため、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２と第１のガイドロール２０および第１の引き出しロール１９の各々との間で滑りを生じさせにくくすることができ、特に高速移動での加減速時に起きやすいロールの空転現象を生じさせにくくすることができる。このことによっても、高速移動に適した構成とすることができ、また、停止精度を高めることができる。
【０１０３】
次に、セラミックグリーンシート切断体４は、積層ステーション７へと搬送されるように、打ち抜きヘッド８が、上方へ移動した後、図２に想像線で示すように、積層ステージ１１の上方の位置まで移動される。そして、この積層ステーション７において、積層ステージ１１が上昇し、積層ステージ１１上で、セラミックグリーンシート切断体４が積層されかつ圧着される。
【０１０４】
次に、積層ステーション４において、積層ステージ１１が下降したとき、図１（ａ）に示す初期状態に戻る。なお、このように、積層ステージ１１が下降している間に、打ち抜きヘッド８が打ち抜きステーション６の上方の位置まで移動し、次の打ち抜き動作に備えるようにしてもよい。
【０１０５】
その後、上述した動作が所定回数繰り返され、それによって、静電容量形成のための内部電極となる導体膜が形成された所定枚数のセラミックグリーンシート切断体４が積層される。
【０１０６】
なお、上述した第１の長尺状のセラミックグリーンシート２に対する作業を実施している間、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３に対する作業については休止状態にあるので、この場合にも、この時間を利用して、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３についての段取りを行なうようにしてもよい。
【０１０７】
次に、もう一方の外層となる導体膜が形成されていないセラミックグリーンシートが積層される。そのため、導体膜が形成されていない第２の長尺状のセラミックグリーンシート３が、再び、図１（ｃ）に示すように、第２の引き出しロール２３に伴われて打ち抜きステーション６へと矢印４１方向に導入される。その後、前述したような第２の長尺状のセラミックグリーンシート３に関して実施された動作が再び実施され、それによって、もう一方の外層となる、導体膜が形成されていない所定枚数のセラミックグリーンシート切断体５が積層され、その結果、積層セラミックコンデンサのための生の状態にある積層体が得られる。
【０１０８】
積層セラミックコンデンサを完成させるためには、その後、生の積層体が、必要に応じて切断され、焼成され、外部電極が形成される。
【０１０９】
以上、積層装置１が積層セラミックコンデンサの製造において適用される場合について説明したが、この積層装置１は、積層セラミックコンデンサ以外の積層セラミック電子部品の製造においても適用することができる。また、積層セラミック電子部品のための積層体が有する積層構造の一部についてのみ、積層装置１を用いて積層するようにしてもよい。このようなことから、積層装置１において取り扱われる第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々については、以下に述べるように、種々の変形例があり得る。
【０１１０】
たとえば、第１に、長尺状のセラミックグリーンシート２および３は、いずれも導体膜が形成されていて、一方が誘電体材料を含む第１の種類のセラミックグリーンシートであり、他方が同じく誘電体材料を含む第２の種類のセラミックグリーンシートである場合が考えられる。上述のセラミックグリーンシートの種類の相違としては、たとえば、組成の相違、または厚み等の性状の相違が考えられる。また、外層が必要な場合には、別工程で外層となるべきセラミックグリーンシートの積層が行なわれる。
【０１１１】
第２に、長尺状のセラミックグリーンシート２および３は、いずれも導体膜が形成されておらず、一方が誘電体材料を含む第１の種類のセラミックグリーンシートであり、他方が同じく誘電体材料を含む第２の種類のセラミックグリーンシートである場合が考えられる。この場合において、導体膜が形成されているセラミックグリーンシートについては、必要に応じて、別工程で積層される。
【０１１２】
第３に、長尺状のセラミックグリーンシート２および３は、いずれも導体膜が形成されていて、一方が誘電体材料を含むセラミックグリーンシートであり、他方が磁性体材料を含むセラミックグリーンシートである場合が考えられる。外層が必要な場合には、別工程で、誘電体材料または磁性体材料を含むセラミックグリーンシートが積層される。
【０１１３】
第４に、長尺状のセラミックグリーンシート２および３は、いずれも導体膜が形成されていて、一方が磁性体材料を含む第１の種類のセラミックグリーンシートであり、他方が同じく磁性体材料を含む第２の種類のセラミックグリーンシートである場合が考えられる。外層が必要な場合には、別工程で、第１または第２の種類のセラミックグリーンシートが積層される。
【０１１４】
また、図示した実施形態では、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３をそれぞれ長手方向に送るための第１および第２の送り機構として、巻き出しロール１４および１６ならびに巻き取りロール１５および１７を用いたが、他の送り機構を用いてもよい。
【０１１５】
また、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３をそれぞれ打ち抜きステーション６へと導入するための第１および第２の導入機構として、第１および第２の引き出しロール１９および２３を用いたが、他の導入機構を用いてもよい。また、第１および第２の引き出しロール１９および２３を駆動するため、サーボモータ３２および３９によって回転される第１および第２のボールねじ３１および３８を用いたが、たとえばシリンダ等の他の駆動手段を用いてもよい。
【０１１６】
また、前述した実施形態では、図１（ｂ）または（ｃ）に示した状態において、第１または第２の長尺状のセラミックグリーンシート２または３に対する１回の切断工程を終える毎に、セラミックグリーンシート切断体４または５からのキャリアフィルムの剥離を円滑に進めるため、図１（ａ）に示した状態に戻すようにした。しかしながら、キャリアフィルムの剥離についての円滑性を望まないならば、同じ種類のセラミックグリーンシート切断体４または５の積層工程が続く場合には、図１（ｂ）または（ｃ）に示した状態を保ったまま、長尺状のセラミックグリーンシート２または３を長手方向に送りながら、複数回の切断工程を続けて実施するようにしてもよい。
【０１１７】
また、前述した実施形態では、得ようとする積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品に備える積層体が有する積層構造のために、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３からそれぞれ打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体４および５の各々についての切断工程および積層工程が所定回数続けて実施されたが、得ようとする積層セラミック電子部品に備える積層体の積層構造によっては、たとえば、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２に対する切断工程およびセラミックグリーンシート切断体４の積層工程と、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３に対する切断工程およびセラミックグリーンシート切断体５の積層工程とが交互に実施される場合もある。
【０１１８】
また、前述した実施形態では、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３がそれぞれＸ軸方向へ引き出されることにより、打ち抜きステーションへと導入され、他方、打ち抜きヘッドは、打ち抜きステーションと積層ステーションとの間を移動するため、Ｘ軸方向とは直交するＹ軸方向に移動するように構成されたが、打ち抜きヘッドは、Ｘ軸方向とは直交しない方向に移動するように構成されてもよい。
【０１１９】
上述の変形例に関連して、この発明に係る積層装置は、３種類以上の長尺状のセラミックグリーンシートを取り扱うように構成されてもよい。この場合には、３種類以上の長尺状のセラミックグリーンシートは、打ち抜きステーションを中心として、たとえば放射状に配置されることができる。
【０１２０】
また、前述した実施形態では、図１に示すように、打ち抜きステーション６が第１の上流側固定ロール１８と第１の下流側固定ロール２１との間に規定された空間内に位置されたが、以下に説明する実施形態のように、第１の上流側固定ロール１８と第１の下流側固定ロール２１との間に規定された空間と、第２の上流側固定ロール２２と第２の下流側固定ロール２５との間に規定された空間との間の境界部分に、打ち抜きステーション６が位置されてもよい。
【０１２１】
図５は、この発明の第２の実施形態によるセラミックグリーンシートの積層装置５１の概略構成を示す正面図であり、前述した図１に対応する図である。図５において、（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の各々には、積層装置５１がとり得る動作状態の典型例が示されている。図６は、図３（ａ）および図４に対応する図である。図５および図６において、図１ないし図４に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略することもある。
【０１２２】
第２の実施形態による積層装置５１は、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３が取り扱われるように構成されている。積層装置５１は、長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々の所定の位置から所定の寸法を有するセラミックグリーンシート切断体４および５（図５（ａ）にのみ図示される。）を打ち抜くための１個の打ち抜きステーション６を備えている。この打ち抜きステーション６に隣接するように位置される積層ステーションについては図示が省略されている。積層装置１は、また、１個の打ち抜きヘッド８を備えている。
【０１２３】
上述した打ち抜きヘッド８およびそれに関連する構成ならびに打ち抜きヘッド８に与えられる動作については、前述の第１の実施形態の場合と実質的に同様である。
【０１２４】
積層装置５１は、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３をそれぞれ長手方向に送るための第１および第２の送り機構を備えている。第１の送り機構は、第１の巻き出しロール１４と第１の巻き取りロール１５と第１の上流側固定ロール１８と第１の下流側固定ロール２１とを含んでいる。第２の送り機構は、第２の巻き出しロール１６と第２の巻き取りロール１７と第２の上流側固定ロール２２と第２の下流側固定ロール２５とを含んでいる。
【０１２５】
第１の巻き出しロール１４から巻き出された第１の長尺状のセラミックグリーンシート２は、第１の上流側固定ロール１８、第１の引き出しロール１９、第１のガイドロール２０および第１の下流側固定ロール２１の各々の周面上に順次巻き掛けされた後、第１の巻き取りロール１５に巻き取られる。
【０１２６】
他方、第２の巻き出しロール１６から引き出された第２の長尺状のセラミックグリーンシート３は、第２の上流側固定ロール２２、第２の引き出しロール２３、第２のガイドロール２４および第２の下流側固定ロール２５の各々の周面上に順次巻き掛けされた後、第２の巻き取りロール１７に巻き取られる。
【０１２７】
第１の上流側固定ロール１８と第１の引き出しロール１９との間の経路上にある第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の下方には、第１の打ち抜きステージ２６が配置される。他方、第２の上流側固定ロール２２と第２の引き出しロール２３との間の経路上にある第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の下方には、第２の打ち抜きステージ２７が配置される。
【０１２８】
第１および第２の引き出しロール１９および２３に関連する構成ならびに動作について、図６を参照して説明する。なお、図６には、図５（ａ）に示した動作状態にある積層装置５１が示されている。
【０１２９】
図６を参照して、第１の引き出しロール１９は、ブラケット５２および５３を介して第１の打ち抜きステージ２６によって保持されている。また、第１のガイドロール２０は、ブラケット５４および５５を介して第１の打ち抜きステージ２６によって保持されている。また、第１の打ち抜きステージ２６には、第１のブラケット５６が側方へ張り出すように設けられている。第１のブラケット５６には、第１のボールねじ５７が貫通し、第１のボールねじ５７がサーボモータ５８によって回転されることにより、第１の打ち抜きステージ２６は、第１の引き出しロール１９および第１のガイドロール２０とともに、ガイドレール４４および４５に沿って、Ｘ軸方向に移動される。図６において、移動後の第１の打ち抜きステージ２６が想像線で示されている。
【０１３０】
他方、第２の引き出しロール２３は、ブラケット５９および６０を介して第２の打ち抜きステージ２７によって保持されている。また、第２のガイドロール２４は、ブラケット６１および６２を介して第２の打ち抜きステージ２７によって保持されている。また、第２の打ち抜きステージ２７には、第２のブラケット６３が側方へ張り出すように設けられている。第２のブラケット６３には、第２のボールねじ６４が貫通し、サーボモータ６５によって第２のボールねじ６４が回転されることにより、第２の打ち抜きステージ２７は、第２の引き出しロール２３および第２のガイドロール２４とともに、ガイドレール４４および４５に沿って、Ｘ軸方向に移動される。
【０１３１】
図５（ａ）および図６に示すように、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を取り扱うための第１の打ち抜きステージ２６を含む機構と第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を取り扱うための第２の打ち抜きステージ２７を含む機構とは実質的に対称構造となっている。したがって、これらの機構については、設計の共通化および部品の共通化を図ることができる。
【０１３２】
次に、積層装置５１の動作について説明する。
【０１３３】
図５（ａ）に示した積層装置５１の初期状態において、第１および第２の引き出しロール１９および２３は待避位置にあり、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３は、いずれも、打ち抜きステーション６には導入されていない。また、打ち抜きヘッド８にあっては、打ち抜きステーション６の側方にある積層ステーションに位置している。
【０１３４】
たとえば、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２からセラミックグリーンシート切断体４を打ち抜き、これを積層しようとする場合には、図５（ｂ）に示すように、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２が、第１の引き出しロール１９に伴われて打ち抜きステーション６へと矢印４０方向に導入される。このとき、第１のガイドロール２０および第１の打ち抜きステージ２６も、第１の引き出しロール１９とともに移動する。
【０１３５】
上述したような第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の打ち抜きステーション６への導入と同時に、または導入後において、第１の巻き出しロール１４および巻き取りロール１５が駆動され、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２が１ピッチ送られる。
【０１３６】
次に、打ち抜きヘッド８が、積層ステーションから打ち抜きステーション６の上方の位置まで移動された後、下方へ移動され、それによって、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２の所定の領域を取り囲む切断線が切断刃１０によって形成される。
【０１３７】
次に、第１の引き出しロール１９は、第１のガイドロール２０および第１の打ち抜きステージ２６とともに、図５（ａ）に示す待避位置に戻される。これによって、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２は、打ち抜きステーション６から退去する。
【０１３８】
このとき、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２から打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体４は、打ち抜きヘッド８に備える保持ブロック９に保持された状態に維持されている。他方、キャリアフィルムは、セラミックグリーンシート切断体４から剥がされる。
【０１３９】
次に、セラミックグリーンシート切断体４は、打ち抜きヘッド８によって保持されたまま、積層ステーションへと搬送され、この積層ステーションにおいて、積層されかつ圧着される。その後、打ち抜きヘッド８は、打ち抜きステーション６の上方の位置まで移動し、次の打ち抜き動作に備える。
【０１４０】
他方、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３からセラミックグリーンシート切断体５を打ち抜き、これを積層しようとする場合には、まず、図５（ｃ）に示すように、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３が、第２の引き出しロール２３に伴われて打ち抜きステーション６へと矢印４１方向に導入される。このとき、第２のガイドロール２４および第２の打ち抜きステージ２７も、第２の引き出しロール２３とともに移動する。
【０１４１】
上述の第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の導入と同時に、または導入後において、第２の巻き出しロール１６および巻き取りロール１７が駆動され、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３が１ピッチ送られる。
【０１４２】
次に、打ち抜きヘッド８が打ち抜きステーション６において下方へ移動され、それによって、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３の所定の領域を取り囲む切断線が切断刃１０によって形成される。
【０１４３】
次に、第２の引き出しロール２３が、第２のガイドロール２４および第２の打ち抜きステージ２７とともに、図５（ａ）に示す待避位置に戻される。これによって、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３は、打ち抜きステーション６から待避する。
【０１４４】
このとき、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３から打ち抜かれたセラミックグリーンシート切断体５は、打ち抜きヘッド８に備える保持ブロック９に保持された状態に維持されている。他方、キャリアフィルムは、セラミックグリーンシート切断体５から剥がされる。
【０１４５】
次に、セラミックグリーンシート切断体８は、打ち抜きヘッド８によって保持されながら積層ステーションへと搬送され、ここで積層されかつ圧着される。そして、打ち抜きヘッド８は、打ち抜きステーション６の上方の位置まで移動し、次の打ち抜き動作に備える。
【０１４６】
以上のような動作が、製造しようとする積層セラミック電子部品の設計に応じて、所定の順序で所定の回数繰り返される。
【０１４７】
以上説明した第２の実施形態では、第１の上流側固定ロール１８と第１の下流側固定ロール２１との間に規定された空間と、第２の上流側固定ロール２２と第２の下流側固定ロール２５との間に規定された空間との間の境界部分に、打ち抜きステーション６が位置されている。
【０１４８】
また、第１の実施形態の場合と同様、第２の実施形態においても、第１のガイドロール２０は、第１の上流側固定ロール１８と第１の下流側固定ロール２１との間に規定された空間から出ない範囲で移動され、他方、第２のガイドロール２４は、第２の上流側固定ロール２２と第２の下流側固定ロール２５との間に規定された空間から出ない範囲で移動される。
【０１４９】
これらの構成の結果、第１の長尺状のセラミックグリーンシート２を、第１の上流側固定ロール１８および第１の下流側固定ロール２１に常に掛けた状態としておくことができ、他方、第２の長尺状のセラミックグリーンシート３を、第２の上流側固定ロール２２および第２の下流側固定ロール２５に常に掛けた状態としておくことができる。したがって、第１および第２の長尺状のセラミックグリーンシート２および３の各々に付与されるテンションを安定させることができる。
【０１５０】
第２の実施形態では、第１の下流側固定ロール２１と第２の下流側固定ロール２５との間の空間６６の上方に打ち抜きステーション６を位置させている。図７には、この空間６６をより有効に利用し得るように変更された実施形態が示されている。
【０１５１】
図７は、この発明の第３の実施形態による積層装置５１ａの概略構成を示す正面図である。図７は、図５に対応する図であって、図７には、図５（ｂ）に示した動作状態に相当する動作状態が示されている。図７において、図５に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【０１５２】
図７に示した第３の実施形態は、図５に示した第２の実施形態の場合に比べて、空間６６がより広くされていることを特徴としている。このように、空間６６がより広くされたことにより、この空間６６を、カメラ６７および６８を設置するために利用することができる。カメラ６７および６８は、図１に示したカメラ４２および４３と同様の機能を果たすものである。
【０１５３】
上述のように、空間６６をより広くするため、図５に示した積層装置５１と比較して、図７に示した積層装置５１ａでは、次のような変更が加えられる。
【０１５４】
まず、第１の下流側固定ロール２１および第１の巻き取りロール１５ならびに第２の下流側固定ロール２５および第２の巻き取りロール１７が、打ち抜きステーション６から後退させられる。これに伴って、第１の引き出しロール１９と第１のガイドロール２０との間の間隔ならびに第２の引き出しロール２３と第２のガイドロール２４との間の間隔が広げられる。そして、必要に応じて、第１の上流側固定ロール１８および第１の巻き出しロール１４ならびに第２の上流側固定ロール２２および第２の巻き出しロール１６が、打ち抜きステーション６から後退させられる。
【０１５５】
なお、図１に示した第２の下流側固定ロール２５および第２の巻き取りロール１７等の位置は、上述した後退がより大きい場合に得られたものであると理解することもできる。このような場合において、空間６６を広げる必要がない場合には、第１の下流側固定ロール２１および第１の巻き取りロール１５等の位置に関して、図１に示すような位置を採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５６】
【図１】この発明の第１の実施形態によるセラミックグリーンシートの積層装置１の概略構成を示す正面図であり、（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、それぞれ、積層装置１がとり得る動作状態の典型例を示している。
【図２】図１に示した積層装置１の概略構成を示す平面図である。
【図３】図１に示した第１の打ち抜きステージ２６、第１の引き出しロール１９および第１のガイドロール２０ならびにこれらに関連する構成を示すもので、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は一部を破断して示す正面図である。
【図４】図１に示した第２の打ち抜きステージ２７、第２の引き出しロール２３および第２のガイドロール２４ならびにこれらに関連する構成を示す平面図である。
【図５】この発明の第２の実施形態によるセラミックグリーンシートの積層装置５１の概略構成を示す正面図であり、（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、それぞれ、積層装置５１がとり得る動作状態の典型例を示している。
【図６】図５に示した積層装置５１の概略構成を示す平面図であり、積層ステーションの図示を省略している。
【図７】この発明の第３の実施形態によるセラミックグリーンシートの積層装置５１ａの概略構成を示す正面図であり、図５（ｂ）に示す動作状態に相当する動作状態を示している。
【符号の説明】
【０１５７】
１，５１，５１ａ  セラミックグリーンシートの積層装置
２  第１の長尺状のセラミックグリーンシート
３  第２の長尺状のセラミックグリーンシート
４，５  セラミックグリーンシート切断体
６  打ち抜きステーション
７  積層ステーション
８  打ち抜きヘッド
１１  積層ステージ
１２，３２，３９，５８，６５  サーボモータ
１３  ボールねじ
１４，１６  巻き出しロール
１５，１７  巻き取りロール
１８  第１の上流側固定ロール
１９  第１の引き出しロール
２０  第１のガイドロール
２１  第１の下流側ガイドロール
２２  第２の上流側固定ロール
２３  第２の引き出しロール
２４  第２のガイドロール
２５  第２の下流側固定ロール
２６  第１の打ち抜きステージ
２７  第２の打ち抜きステージ
３０，５６  第１のブラケット
３１，５７  第１のボールねじ
３７，６３  第２のブラケット
３８，６４  第２のボールねじ
４２，４３，６７，６８  カメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004358952.tif 000008
【図７】
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