(57)【要約】【課題】複数本のエキシマランプを同一ランプ軸上に配列したエキシマランプ装置において、エキシマランプ間の接合部における照度の低下を防止し、照度分布の経時的変化を無くすること。【解決手段】外形が略円筒状の外側管２と内側管３を同軸上に配置し、外側管２と内側管３の両端が封止された中空円筒状の放電容器にエキシマ分子を生成するための放電用ガスを封入し、外側管２の外表面に外側電極４と内側管３の内表面に内側電極５を備えたエキシマランプが管軸上に複数配置されたエキシマランプ装置において、エキシマランプの管軸方向への移動を規制する規制手段７，８を設けたことを特徴とする。これによって、各放電容器はその間隔の拡がることが規制され、間隔が一定に保持されることになるので、各エキシマランプ１は、寿命末期まで同じ照度分布を保持することが可能となる。【選択図】        図１
2004192823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外形が略円筒状の外側管と内側管を同軸上に配置し、前記外側管と前記内側管の両端が封止された中空円筒状の放電容器にエキシマ分子を生成するための放電用ガスを封入し、前記外側管の外表面に外側電極と前記内側管の内表面に内側電極を備えたエキシマランプが管軸上に複数配置されたエキシマランプ装置において、
前記エキシマランプの管軸方向への移動を規制する規制手段を設けたことを特徴とするエキシマランプ装置。
【請求項２】
前記規制手段は、前記各エキシマランプの前記放電容器に設けられた係合部と、該係合部を連結する連結部材とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ装置。
【請求項３】
前記規制手段は、他のエキシマランプの端部に隣接しないエキシマランプの端部に取り付けられたランプベースと、該ランプベースを連結する連結部材とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ装置。
【請求項４】
前記規制手段は、各エキシマランプの前記内側管の内部を貫通し、他のエキシマランプの端部に隣接しないエキシマランプの端部において固定される連結部材によって構成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ装置。
【請求項５】
前記規制手段は、前記各エキシマランプの前記外側管に設けられた係合部と、前記各エキシマランプの前記外側管間に亘って形成され、前記係合部を連結する外側電極とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エキシマランプ装置に係わり、特に、管軸上に複数配列されたエキシマランプの照度分布を改善したエキシマランプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶基板の光洗浄等の紫外線処理にはエキシマ分子の発光を利用した、高効率で単一波長の紫外線を放射するエキシマランプが使用されている。
【０００３】
図１１（ａ）はエキシマランプの一例を示す正面断面図、図１１（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図１１（ａ）に示すエキシマランプの内側管に設けられる内側電極の例を示す側面断面図である。
図１１（ａ）に示すように、エキシマランプは、内側管と外側管が同軸に配置された２重円筒管で構成され、それらの両端は閉じられて内側管と外側管によって放電空間が形成されている。この放電空間には放電によってエキシマ光を放射するためのキセノンガス等の希ガス、希ガスの混合ガス、希ガスとハロゲンガスや水銀を入れた混合ガス等からなる放電ガスが封入されている。
【０００４】
外側管の外表面には外側電極（網状電極）が設けられ、内側管の内部には他方の電極となる内側電極が設けられている。外側電極（網状電極）はシームレスに構成し、伸縮性を持たせて、外側管への密着性を良くしている。内側電極は、図１１（ｂ）に示すように、２つの半円状、または図１１（ｃ）に示すように、一部に切り欠き有し、断面略Ｃ字状に形成し、内側管に密着するように構成されている。
【０００５】
ところで、近年は、液晶基板パネルの大画面化に伴い、液晶基板の紫外線処理に使用されるエキシマランプの長尺化が望まれており、全長が８００ｍｍを越えるもの、さらには、１０００ｍｍのものが使用されるようになっている。
【０００６】
しかし、このような管軸方向に長尺のエキシマランプを、段ボール等の梱包容器に概略水平に梱包してトラック等で輸送した場合、ランプに与える大きな衝撃や振動で放電容器が割れるという不具合が発生する場合がある。
【０００７】
そこで、このような問題を解決するために、エキシマランプを軸上に複数個配列し、擬似的に１本のランプとして構成することが考えられている。
【０００８】
図１２（ａ）は、エキシマランプを軸上に２本配置し、両ランプ間において外側電極と内側電極とをそれぞれ接続部材によって接続することにより、給電を１箇所から行うように構成したエキシマランプ装置の構成を示す図であり、また図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示すエキシマランプ装置における、ランプ点灯時の管軸方向における内側電極の温度分布を示す図である。
【０００９】
図１２（ａ）に示すように、２本のエキシマランプを軸上に配置すると、両ランプの接合部におけるランプ軸上の照度が低下してしまう問題が発生する。そのため、この接合部における照度低下を防止するために、ランプ間隔を狭くしたり、さらには接合部付近の内側電極や外側電極を放電容器の端まで配置するようにして、両ランプの間隔を、例えば、１０ｍｍ以下、極端な場合には、１ｍｍ以下に配置して、接合部における照度の低下を防止している。
【００１０】
【特許文献１】
特願２００２−１０５７０６号
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図１２（ａ）に示すようなエキシマランプ装置において、２本のエキシマランプの接合部における照度低下を防止するために、ランプ間隔を狭くして、ランプの点灯、消灯を繰り返すと、ランプ点灯時には温度上昇に伴い内側電極が膨張し、逆に消灯時には内側電極が収縮するため、両エキシマランプの内側電極が互いに徐々に接合部側に移動し、ついには接合部において両内側電極同士が衝突する現象が発生する。なお、この現象は、複数のエキシマランプを管軸上に配置した全てのエキシマランプ装置に起こるものである。
【００１２】
上述のごとく、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって両ランプの内側電極が膨張、伸縮を繰り返す結果、内側電極同士が衝突し、さらにこの現象が進行すると、ついには接合部における放電容器（ランプ）間の間隔が拡がり始め、接合部において照度が低下してしまう。この現象は、点灯時間が増すに連れて次第に放電容器（ランプ）の間隔が拡がるため、エキシマランプの寿命末期においては、エキシマランプ全体の照度分布が極端に悪化してしまう。
【００１３】
以下に、このようなエキシマランプ装置において、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両ランプの内側電極が互いに管軸に沿って接合部方向に移動する理由について説明する。
【００１４】
図１３（ａ）は、２本のエキシマランプを組み込んだエキシマランプ装置の構成を示す図、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＸ−Ｘにおける断面図、図１３（ｃ）は、図１３（ａ）のＹ−Ｙにおける断面図である。
【００１５】
これらの図に示すように、両エキシマランプは、ベース部分と放電容器部分で、管軸と交差するようにフック部材によって保持されている。つまり、フック部材とベース間およびフック部材と放電容器間の摩擦は小さいので、ランプは管軸方向に移動し易い構造となっている。
【００１６】
また、両エキシマランプの内側電極は、図１１（ｂ）、（ｃ）に示すように、半円状の部材を２枚合わせたもの、または断面略Ｃ字状のもので構成されているため、ランプ点灯中、内側電極は径方向に膨張するが、内側電極の管軸方向への移動は妨げられない。
【００１７】
そこで、一般に、内側管は石英ガラス管で構成され、内側電極はステンレスや、アルミ等の金属材料で構成されているため、ランプが点灯して、内側管と内側電極の温度が上昇すると、内側電極の熱膨張係数が内側管のそれより高いので、内側電極の方が内側管に比べて相対的に大きく伸びる。
【００１８】
ランプ点灯中の内側電極の温度分布は、図１２（ｂ）に示すように、他のエキシマランプの端部に隣接しないエキシマランプの端部（以下、両端部という）は熱が逃げ易いため温度は低くなるが、他のエキシマランプの端部に隣接するエキシマランプの端部（以下、接合部という）では熱が逃げにくいため温度が高くなる。
【００１９】
そのため、ランプを点灯して温度が徐々に上昇していく過程では、内側電極は、熱の逃げにくい接合部の温度が早く上昇するため、接合部に向かって伸びる。より詳細には、内側電極の接合部付近が熱膨張すると、内側電極は、接合部側および両端部側の両方に向かって伸びようとするが、両端部側は、温度の低い部位の長さが長いので、内側電極と内側管間の摩擦が大きく、相対的に温度の高い接合部側に大きく伸びる。
【００２０】
また、ランプを消灯して温度が徐々に低下していく過程では、熱の逃げ易い両端部の温度が早く下がるので、両端部側の内側電極が接合部側に向かって縮む。
【００２１】
つまり、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、その度に内側電極は伸縮するが、全体としては次第に接合部側に向かって移動することになる。
【００２２】
即ち、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両方の内側電極は接合部側に向かって移動し、ついには両者は接合部において衝突することになる。衝突後も、ランプの点灯、消灯が繰り返されるので、相対的な内側電極の内側管に対する接合部側への移動は止まらず、また両内側電極は衝突後は接合部側には移動できないために、反対に放電容器が、接合部において離反し始め、両放電容器の間隔が拡がってしまう。
【００２３】
先にも述べたように、エキシマランプは、管軸と交差する方向の力だけで保持されているので、管軸と同方向への摩擦力は弱く、両放電容器は容易に間隔を拡げるように働く。
両放電容器の間隔が拡がると、両放電容器の接合部での照度低下を来たし、さらにはランプ軸上全体の照度分布が悪化してしまう。
【００２４】
本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、複数本のエキシマランプを同一ランプ軸上に配列しても、エキシマランプ間の接合部における照度が低下しないようにして、エキシマランプの経時的な照度分布の変化を無くしたエキシマランプ装置を提供することにある。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第１の手段は、外形が略円筒状の外側管と内側管を同軸上に配置し、前記外側管と前記内側管の両端が封止された中空円筒状の放電容器にエキシマ分子を生成するための放電用ガスを封入し、前記外側管の外表面に外側電極と前記内側管の内表面に内側電極を備えたエキシマランプが管軸上に複数配置されたエキシマランプ装置において、前記エキシマランプの管軸方向への移動を規制する規制手段を設けたことを特徴とする。
【００２６】
第２の手段は、第１の手段において、前記規制手段は、前記各エキシマランプの前記放電容器に設けられた係合部と、該係合部を連結する連結部材とから構成されていることを特徴とする。
【００２７】
第３の手段は、第１の手段において、前記規制手段は、他のエキシマランプの端部に隣接しないエキシマランプの端部に取り付けられたランプベースと、該ランプベースを連結する連結部材とから構成されていることを特徴とする。
【００２８】
第４の手段は、第１の手段において、前記規制手段は、各エキシマランプの前記内側管の内部を貫通し、他のエキシマランプの端部に隣接しないエキシマランプの端部間を固定する連結部材によって構成されていることを特徴とする。
【００２９】
第５の手段は、第１の手段において、前記規制手段は、前記各エキシマランプの前記外側管に設けられた係合部と、前記各エキシマランプの前記外側管間に亘って形成され、前記係合部を連結する外側電極とから構成されていることを特徴とする。
【００３０】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施形態を図１を用いて説明する。
図１（ａ）は、本実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成を示す図、図１（ｂ）は図１（ａ）に示すエキシマランプの断面Ａ−Ａから見た断面図である。
【００３１】
同図において、１はエキシマランプ、２は石英ガラス管で構成された外側管、３は石英ガラス管で構成された内側管、４はシームレスの網状電極で構成され、伸縮性を有し、外側管２の外表面に密着性良く配置された外側電極、５はステンレス、アルミ等の金属材料で構成され、内側管３の内表面に密着性良く配置された内側電極、６は両エキシマランプ１間の接合部、７は両エキシマランプ１の管軸方向への移動を規制する規制手段の一部を構成し、外側管２の排気管の残部等を利用して形成された係合部としての突起、８は前記規制手段の一部を構成し、突起７に係合されるアルミやステンレス等の材料からなる板状の連結部材である。
【００３２】
なお、内側電極５は、内側管３の内表面に密着性良く配置しているが、必ずしも密着性良く配置する必要はなく、内側電極５は、その一部が内側管３に当接し、他の一部が部分的に離れ、わずかな隙間が空いていてもよい。このように構成しても、高周波電圧を印加して点灯する場合は、電気的なロスをほとんど生じない。そのため、内側電極５は、金属板を任意の形状に折り曲げて、一部が内側管３に当接する形状にしても良く、或いは、金網を断面Ｃ字状に曲げて内側管３の内空間に挿入しても良い。
【００３３】
さらに、外側管２と内側管３は、石英ガラス以外にサファイアやアルミナ等の誘電体であって、内側電極５と熱膨張係数が違うものであってもよい。
【００３４】
両エキシマランプ１は、外側管２と内側管３が同軸に配置された２重円筒管で構成され、それらの両端は閉じられて外側管２と内側管３とによって放電空間が形成されている。この放電空間には、放電によってエキシマ光を放射するためのキセノンガス等の希ガス、希ガスの混合ガス、希ガスとハロゲンガスや水銀を入れた混合ガス等からなる放電ガスが封入されている。
【００３５】
なお、連結部材８は、連結部材８に空けた穴に突起７を挿入して係合するが、このままでは、エキシマランプ１を軸に垂直方向に動かすと容易に外れてしまうので、図示するように、細いワイヤ等で外側管２の外表面に縛り固定する。
【００３６】
各エキシマランプ１としては、例えば、ランプ全長が８００ｍｍ、外側管２の外径が３５ｍｍ、内側管３の外径が１６ｍｍ、外側管２および内側管３の肉厚がそれぞれ１．５ｍｍ、１ｍｍのものを用いた。
【００３７】
同図に示すように、本実施形態の発明によれば、連結部材８の穴に突起７を係合したので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両方の内側電極５が接合部６側に向かって移動し、両者が衝突し、その結果、両放電容器が接合部６からランプ両端に向かって拡がろうとしても、両放電容器はその間隔の拡がることが規制され、その間隔が一定に保持されることになる。そのため、両エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることができる。
【００３８】
本発明の第２の実施形態を図２を用いて説明する。
図２（ａ）は、本実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成を示す図、図２（ｂ）は図２（ａ）に示すエキシマランプの断面Ｂ−Ｂから見た断面図、図２（ｃ）は図２（ａ）に示した規制手段の拡大図、図２（ｄ）は図２（ｃ）に示した規制手段と異なる形態を有する規制手段の拡大図である。
【００３９】
これらの図において、９は両エキシマランプ１の管軸方向への移動を規制する規制手段の一部を構成し、外側管２の外側に形成された係合部としての、図２（ｃ）に示す輪状や図２（ｄ）に示す略Ｌ字状のフック、１０は前記規制手段の一部を構成し、輪状のフック９に通され、または略Ｌ字状のフック９に係合されるニッケル、ステンレス、金、白金等の材料からなる連結部材としてのワイヤである。ここで、フック９は、略Ｌ字状形状以外でもフック機能を有する形状であれば、どのような形状のものでも良い。
なお、その他の構成は、図１に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【００４０】
同図に示すように、本実施形態の発明によれば、ワイヤ１０を輪状のフック９に通して固定、または略Ｌ字状のフック９に係合して固定したので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両方の内側電極５が接合部６側に向かって移動し、両者が衝突し、その結果、両放電容器が接合部６からランプ両端に向かって拡がろうとしても、両放電容器はその間隔の拡がることが規制され、その間隔が一定に保持されることになる。そのため、両エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることができる。
【００４１】
本発明の第３の実施形態を図３を用いて説明する。
図３は、本実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成を示す図である。
【００４２】
同図において、１１は両エキシマランプ１の管軸方向への移動を規制する規制手段の一部を構成し、内側管３の内表面に設けられた係合部としての窪み、１２は前記規制手段の一部を構成し、連結部材としての、剛性のある肉厚のステンレスや鉄鋼材またはインコネルやＳＵＳ６３１等の材料からなる耐熱性を有する略コ字状部材、１３は略コ字状部材１２が窪み１１から外れないように、略コ字状部材１２と内側電極５間に設けられる押え部材である。
なお、その他の構成は、図１に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【００４３】
同図に示すように、本実施形態の発明によれば、略コ字状部材１２の両端の係止部を窪み１１に係合し、係止部が窪み１１から抜けないように押え部材１３で押さえるようにしたので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両方の内側電極５が接合部６側に向かって移動し、両者が衝突し、その結果、両放電容器が接合部６からランプ両端に向かって拡がろうとしても、両放電容器はその間隔の拡がることが規制され、その間隔が一定に保持されることになる。そのため、両エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることができる。
【００４４】
本発明の第４の実施形態を図４および図５を用いて説明する。
図４および図５は、それぞれ本実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成を示す図である。
【００４５】
これらの図において、１４は両エキシマランプ１の管軸方向への移動を規制する規制手段の一部を構成し、両エキシマランプの内側電極５内を貫通する連結部材としてのシャフト、１５は金属製バネ等からなる伸縮可能な伸縮部材または光や熱に強いテフロン（登録商標）製のスペーサ、１６は前記規制手段の一部を構成し、シャフト１４をスペーサ１５を介して両エキシマランプ１の両端において固定する固定部材、１７はスペーサである。
【００４６】
ここで、シャフト１４は、熱膨張率の小さな材料が望ましく、アルミナ等のセラミックや低膨張合金である３１Ｎｉ−５Ｃｏ−Ｆｅ合金（商品名：スーパーインバー）、３６Ｎｉ−Ｆｅ合金（商品名：インバー）等の材料が望ましい。また、シャフト１４が熱膨張率が大きい材料の場合、シャフト１４の内部にガスや水等の冷媒を流したり、シャフト１４がヒートパイプを兼ねることによって、シャフト１４自身の温度を下げ、熱膨張を抑え、ランプ間隔の拡がることを抑えることができ、さらにはランプ自身も冷却する、ことができる。
なお、その他の構成は、図１に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【００４７】
図４および図５に示すように、本実施形態の発明によれば、シャフト１４の両端において固定部材１６によって、スペーサ１５を介して両エキシマランプ１の両端を固定したので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両方の内側電極５が接合部６側に向かって移動し、両者が衝突し、その結果、両放電容器が接合部６からランプ両端に向かって拡がろうとしても、両放電容器はその間隔の拡がることが規制され、その間隔が一定に保持されることになる。そのため、両エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることができる。
【００４８】
なお、シャフト１４は温度の高い内側管３の内部に入れるため、シャフト１４自身が伸びる問題が生じるが、スペーサ１５を入れることによってランプ間隔の拡がることを抑えることが可能となる。
【００４９】
また、図４に示すように、両エキシマランプ１間にはスペーサ１７を設けなくてもよいが、図５に示すようにスペーサ１７を設ける場合は、スペーサ１７は伸縮性の無いものの方が照度分布の変化がなく望ましい。
【００５０】
本発明の第５の実施形態を図６を用いて説明する。
図６（ａ）は、本実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成を示す図、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示すエキシマランプの断面Ｃ−Ｃから見た断面図である。
【００５１】
同図において、１８は、両エキシマランプ１の管軸方向への移動を規制する規制手段としての連結部材を兼ね、両エキシマランプの外側管２間に亘って形成される外側電極であり、シームレスの筒状に編んだ１本の網状電極で構成される。なお、その他の構成は、図１に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【００５２】
同図に示すように、本実施形態の発明によれば、網状の外側電極１８を２本の外側管２に挿入して軸方向に引っ張ることによって外側電極１８の径を小さくして、それぞれの外側管２に密着させる。その際、ランプ間隔を決めて網状の外側電極１８を引っ張り、突起７を網目に挿入するようにしたので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両方の内側電極５が接合部６側に向かって移動し、両者が衝突し、その結果、両放電容器が接合部６からランプ両端に向かって拡がろうとしても、両放電容器はその間隔の拡がることが規制され、その間隔が一定に保持されることになる。そのため、両エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることができる。
【００５３】
さらに、本実施形態の発明によれば、外側電極１８を規制手段の連結部材と兼ねるようにしたので、連結部材として別部材を設ける必要がないので、装置を安価に製作できる利点がある。
【００５４】
なお、本実施形態では、外側電極を網状電極で構成したが、必ずしも網状電極に限定されるものではなく、薄い金属製のパンチングメタル等を用いてもよく、要は、２本のエキシマランプを１つの外側電極で固定すればよい。
【００５５】
本発明の第６の実施形態を図７を用いて説明する。
図７（ａ）は、本実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成を示す図、図７（ｂ）は図７（ａ）に示すエキシマランプの断面Ｄ−Ｄから見た断面図である。
【００５６】
同図において、１９は両エキシマランプ１の管軸方向への移動を規制する規制手段としての連結部材を兼用し、放射面と反対側に出てくる光を放射面側に取り出すために設けられた反射板である。
【００５７】
ここで、反射板１９は、２本のエキシマランプに設けられた１枚のアルミニウム製反射板で構成され、反射板１９には、決められた間隔で穴が設けられ、この穴に突起７が係合されるように構成されている。
なお、その他の構成は、図１に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【００５８】
同図に示すように、本実施形態の発明によれば、連結部材を兼ねる反射板１９の穴に突起７を挿入するようにしたので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両方の内側電極５が接合部６側に向かって移動し、両者が衝突し、その結果、両放電容器が接合部６からランプ両端に向かって拡がろうとしても、両放電容器はその間隔の拡がることが規制され、その間隔が一定に保持されることになる。そのため、両エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることができる。なお、反射板１９は３分割、４分割しても良く、要は、分割された反射板のうち１つは必ず２本のエキシマランプをまたいで、それぞれのエキシマランプの係合部と連結されていればよい。
【００５９】
本発明の第７の実施形態を図８および図９を用いて説明する。
図８および図９は、それぞれ本実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成を示す図である。
【００６０】
これらの図において、２０は両エキシマランプ１の管軸方向への移動を規制する規制手段としての連結部材を兼ねる冷却ブロックであり、この冷却ブロック２０は、決められた間隔で穴２０１が設けられ、この穴２０１に規制手段としての排気管の残部を利用した突起７を係合するように構成されている。２１は冷却ブロック２０に設けられた冷却水を流す通路である。２２は両エキシマランプ１の管軸方向への移動を規制する規制手段の連結部材を兼ねる冷却ブロックであり、この冷却ブロック２２には、ランプベース２３を嵌合する規制手段としての凹部２４が設けられ、この凹部２４にランプベース２３を嵌合するように構成されている。２３は２本のエキシマランプ１の両端に設けられたランプベース、２４は冷却ブロック２２に設けた凹部である。
なお、その他の構成は、図１に示す同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【００６１】
本実施形態の発明によれば、図８に示すように連結部材を兼ねる冷却ブロック２０の穴２０１に突起７を挿入して係合するようにしたので、また、図９に示すように連結部材を兼ねる冷却ブロック２２の凹部２４にランプベース２３を嵌合するようにしたので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両方の内側電極５が接合部６側に向かって移動し、両者が衝突し、その結果、両放電容器が接合部６からランプ両端に向かって拡がろうとしても、両放電容器はその間隔の拡がることが規制され、その間隔が一定に保持されることになる。そのため、両エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることができる。
【００６２】
本発明の第８の実施形態を図１０を用いて説明する。
図１０は、本実施形態の発明に係る３本のエキシマランプを軸上に配置したエキシマランプ装置の構成を示す図である。
【００６３】
同図に示すように、本実施形態のエキシマランプ装置は、第１の実施形態のエキシマランプ装置が２本のエキシマランプを同一軸上に配置しているのに対して、３本のエキシマランプ１を同一軸上に配置している点で相違する。
【００６４】
本実施形態の発明においても、第１の実施形態のものと同様に、規制手段を構成する連結部材８の穴に突起７を係合したので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、両端のエキシマランプ１の内側電極５が接合部６側に向かって移動し、中央のエキシマランプ１の内側電極５と衝突し、その結果、両端の放電容器が接合部６から拡がろうとしても、各放電容器はその間隔の拡がることが規制され、その間隔が一定に保持されることになる。そのため、各エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることができる。
【００６５】
なお、エキシマランプ１を３本配列した場合は、両側のエキシマランプ１の内側電極５は、中央のランプ方向に移動するが、中央のエキシマランプ１の内側電極５は、どちらのランプ方向に移動するかは装置の設置状態によって異なる。
【００６６】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、外形が略円筒状の外側管と内側管を同軸上に配置し、前記外側管と前記内側管の両端が封止された中空円筒状の放電容器にエキシマ分子を生成するための放電用ガスが封入され、前記外側管の外表面に外側電極と前記内側管の内表面に内側電極を備えたエキシマランプが管軸上に複数配置されたエキシマランプ装置において、エキシマランプの管軸方向への移動を規制する規制手段を設けたので、ランプの点灯、消灯を繰り返すことによって、内側電極がエキシマランプ間に向かって移動し、両者が衝突し、その結果、両放電容器が両者間からランプ両端に向かって拡がろうとしても、両放電容器はその間隔の拡がることが規制され、間隔が一定に保持されることになるので、両エキシマランプは、寿命末期まで同じ照度分布を保ち続けることが可能となる。
【００６７】
請求項２に記載の発明によれば、規制手段は、各エキシマランプの放電容器に設けられた係合部と、該係合部を連結する連結部材とから構成したので、簡単な構成で規制手段を実現することができる。
【００６８】
請求項３に記載の発明によれば、規制手段は、他のエキシマランプの端部に隣接しないエキシマランプの端部に取り付けられたランプベースと、該ランプベースを連結する連結部材とから構成したので、ランプベースを利用して簡便に規制手段を実現することができる。
【００６９】
請求項４に記載の発明によれば、規制手段は、各エキシマランプの内側管の内部を貫通し、他のエキシマランプの端部に隣接しないエキシマランプの端部において固定された連結部材によって構成したので、エキシマランプの内側管の内部空間を利用して規制手段を実現することができる。
【００７０】
請求項５に記載の発明によれば、規制手段は、各エキシマランプの外側管に設けられた係合部と、前記各エキシマランプの前記外側管間に亘って形成され、前記係合部を連結する外側電極とから構成したので、外側電極を規制手段として兼用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図、およびエキシマランプの断面Ａ−Ａにおける断面図である。
【図２】第２の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図、エキシマランプの断面Ｂ−Ｂにおける断面図、および規制手段の拡大図である。
【図３】第３の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図である。
【図４】第４の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図である。
【図５】第４の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図である。
【図６】第５の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図、およびエキシマランプの断面Ｃ−Ｃにおける断面図である。
【図７】第６の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図、およびエキシマランプの断面Ｄ−Ｄにおける断面図である。
【図８】第７の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図である。
【図９】第７の実施形態の発明に係る２本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図である。
【図１０】第８の実施形態の発明に係る３本のエキシマランプを同一軸上に配置したエキシマランプ装置の構成図である。
【図１１】従来技術に係るエキシマランプの一例を示す正面断面図およびエキシマランプの内側管に設けられる内側電極の例を示す側面断面図である。
【図１２】２本のエキシマランプ間において外側電極と内側電極とをそれぞれ接続部材によって接続し、給電を１箇所から行うようにしたエキシマランプ装置の構成図、およびランプ点灯時の管軸方向における内側電極の温度分布を示す図である。
【図１３】２本のエキシマランプを組み込んだエキシマランプ装置の構成図、およびエキシマランプの断面Ｘ−Ｘ、断面Ｙ−Ｙにおける断面図である。
【符号の説明】
１  エキシマランプ
２  外側管
３  内側管
４  外側電極
５  内側電極
６  接合部
７  突起
８  連結部材
９  フック
１０  ワイヤ
１１  窪み
１２  略コ字状部材
１３  押え部材
１４  シャフト
１５  スペーサ
１６  固定部材
１７  スペーサ
１８  外側電極
１９  反射板
２０  冷却ブロック
２１  通路
２２  冷却ブロック
２３  ランプベース
２４  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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