(57)【要約】【課題】熱圧着された一対のマザー基板における個々の基板形成領域における位置ずれを検出するようにして、効率よく液晶表示素子を製造する。【解決手段】各マザー基板１Ａ，１Ｂの基板形成領域２Ａ，２Ｂにそれぞれ位置合わせ用のアライメントマーク５Ａ，５Ｂを形成し、一対のマザー基板１Ａ，１Ｂの接着後に各基板形成領域２Ａ，２Ｂにおける両マザー基板１Ａ，１Ｂのアライメントマーク５Ａ，５Ｂの合致状態を検出して個々の基板形成領域２Ａ，２Ｂの適否を判定する。【選択図】　　　図１
2004093921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板形成領域が整列配置されている一対のマザー基板を相互に接着したうえで各基板形成領域を相互に分離し、内部に液晶を封入し、一対の基板からなる複数の液晶表示素子を製造する液晶表示素子の製造方法において、
各マザー基板の基板形成領域にそれぞれ位置合わせ用のアライメントマークを形成し、一対のマザー基板の接着後に各基板形成領域における両マザー基板のアライメントマークの合致状態を検出して個々の基板形成領域の適否を判定し、適すると判定された基板形成領域のみについて液晶表示素子を製造することを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【請求項２】
前記アライメントマークを基板形成領域の突出部形成位置に配設することを特徴とする請求項１に記載の液晶表示素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示素子の製造方法に係り、特に、一対のマザー基板から複数の液晶表示素子を製造する液晶表示素子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示素子は、複数の基板形成領域が整列配置されている一対のマザー基板を相互に接着したうえで各基板形成領域を相互に分離し、内部に液晶を封入し、一対の基板からなる複数の液晶表示素子を製造するようになっている。
【０００３】
すなわち、まず、複数の基板形成領域が整列配置されている一対のマザー基板を用意し、このうち、一方のマザー基板の各基板形成領域にカラーフィルタを形成する。つぎに、前記一方のマザー基板の各基板形成領域におけるカラーフィルタ上に電極を形成するとともに、他方のマザー基板の各基板形成領域に電極を形成する。また、各マザー基板の各基板形成領域における電極上に配向膜を塗布したうえでラビングして液晶が整列する方向を規制する。
【０００４】
つぎに、両マザー基板を重ね合わせて熱圧着し、その後、各基板形成領域を両マザー基板ごと分離し、一対の基板間に液晶を封入して液晶表示素子を製造する。
【０００５】
ところで、従来の液晶表示素子の製造方法においては、前述した両マザー基板を重ね合わせて熱圧着する際に、両マザー基板の位置合わせを行うために、それぞれ長方形状をなす各マザー基板の一方の対角の内側にアライメントマークを形成し、両マザー基板におけるアライメントマークの合致状態を検出していた。
【０００６】
図３は、従来の液晶表示素子の製造方法におけるアライメントマークの形成状態を示す図である。
【０００７】
図３において、相互に熱圧着される同形長方形状の一対のマザー基板１１Ａ，１１Ｂには、それぞれ２行４列で合計８個の同形の基板形成領域１２Ａ，１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｂ…が両マザー基板１１Ａ，１１Ｂにおいて相互に等しい位置に形成されている。このうち前記各基板形成領域１２Ｂは、想像線にて示す部位１２ｂまでとされており、両マザー基板１１Ａ，１１Ｂにおける各基板形成領域１２Ａ，１２Ｂは、両マザー基板１１Ａ，１１Ｂを重ね合わせたときに完全に重積されるようになっている。
【０００８】
なお、前記マザー基板１１Ｂにおける想像線部位１２ｂは、各基板形成領域１２Ａ，１２Ｂを両マザー基板１１Ａ，１１Ｂごと分離する際には、使用に供されず破棄されることになる。したがって、両マザー基板１１Ａ，１１Ｂを重ね合わせて、各基板形成領域１２Ａ，１２Ｂごとに分離したときには、各基板形成領域１２Ｂの想像線部位１２ｂは使用に供されないことになるので、各基板形成領域１２Ａが各基板形成領域１２Ｂの一側に突出されるようになっている。各基板形成領域１２Ａにおける突出部１３は、電極の端子を形成する部位である。
【０００９】
そして、一方のマザー基板１１Ａの一方の対角位置には、それぞれ位置合わせ用のアライメントマーク１４Ａ，１４Ａが形成されている。また、他方のマザー基板１１Ｂには、このマザー基板１１Ｂを前記マザー基板１１Ａに重ね合わせたときにこのマザー基板１１Ａのアライメントマーク１３Ａ，１３Ａと合致する一方の対角位置に同じく位置合わせ用のアライメントマーク１３Ｂ，１３Ｂが形成されている。なお、両マザー基板１１Ａ，１１Ｂの重ね合わせは、両マザー基板１１Ａ，１１Ｂを図３に示す状態のまま行うようにする。
【００１０】
そして、両マザー基板１１Ａ，１１Ｂを熱圧着した状態において、両マザー基板１１Ａ，１１Ｂの各対角位置におけるアライメントマーク１４Ａとアライメントマーク１４Ｂの合致状態を顕微鏡により検出して、熱圧着した両マザー基板１１Ａ，１１Ｂの位置合わせの適否を判定するようになっていた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来の液晶表示素子の製造方法における両マザー基板１１Ａ，１１Ｂの位置ずれ検出においては、各マザー基板１１Ａ，１１Ｂの各対角位置に形成されている一対のアライメントマーク１４Ａ，１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｂによって位置ずれ検出をしており、両アライメントマーク１４Ａ，１４Ｂが許容量以上にずれていると、この接着した両マザー基板１１Ａ，１１Ｂの全体を破棄するようにしていた。
【００１２】
このため、相互に接着されている両マザー基板１１Ａ，１１Ｂにおける複数の基板形成領域１２Ａ，１２Ｂの一部においては、両基板形成領域１２Ａ，１２Ｂの位置ずれが許容量以内であったとしても、この許容量以内の位置ずれでしかない両基板形成領域１２Ａ，１２Ｂを発見するのが困難であった。このため、この許容量未満の位置ずれでしかない両基板形成領域１２Ａ，１２Ｂを用いて液晶表示素子を製造することができず、位置ずれのない両基板形成領域１２Ａ，１２Ｂまで破棄してしまっており、液晶表示素子の製造効率が悪かった。
【００１３】
本発明は、このような従来のものにおける問題点を克服し、マザー基板から複数の液晶表示素子を製造するに際し、熱圧着された一対のマザー基板における個々の基板形成領域における位置ずれを検出するようにして、効率よく液晶表示素子を製造するようにした液晶表示素子の製造方法を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するため請求項１に記載の本発明に係る液晶表示素子の製造方法の特徴は、各マザー基板の基板形成領域にそれぞれ位置合わせ用のアライメントマークを形成し、一対のマザー基板の接着後に各基板形成領域における両マザー基板のアライメントマークの合致状態を検出して個々の基板形成領域の適否を判定し、適すると判定された基板形成領域のみについて液晶表示素子を製造する点にある。そして、このような構成を採用したことにより、位置ずれが発見された基板形成領域のみしか破棄しないで、位置ずれが発見されない残りの基板形成領域から液晶表示素子を製造することができるので、液晶表示素子の製造効率を従来より向上することができる。
【００１５】
また、請求項２に記載の本発明に係る液晶表示素子の製造方法の特徴は、前記アライメントマークを基板形成領域の突出部形成位置に配設する点にある。そして、このような構成を採用したことにより、液晶表示素子のアクティブエリアを犠牲にすることなく、表示に関与しない非表示部を有効に活用することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る液晶表示素子の製造方法におけるアライメントマークの形成状態を示す図である。
【００１７】
本発明に係る液晶表示素子の製造方法に使用され相互に熱圧着される同形長方形状の一対のマザー基板１Ａ，１Ｂには、それぞれ２行４列で合計８個の同形の基板形成領域２Ａ，２Ａ，２Ｂ，２Ｂ…が両マザー基板１Ａ，１Ｂにおいて相互に等しい位置に形成されている。このうち前記各基板形成領域２Ｂは、想像線にて示す部位２ｂまでとされており、両マザー基板１Ａ，１Ｂにおける各基板形成領域２Ａ，２Ｂは、両マザー基板１Ａ，１Ｂを重ね合わせたときに完全に重積されるようになっている。なお、両マザー基板１Ａ，１Ｂの重ね合わせは、両マザー基板１Ａ，１Ｂを図１に示す状態のまま行うようにする。
【００１８】
なお、前記マザー基板１Ｂにおける想像線部位２ｂは、各基板形成領域２Ａ，２Ｂを両マザー基板１Ａ，１Ｂごと分離する際には、使用に供されず破棄されることになる。したがって、両マザー基板１Ａ，１Ｂを重ね合わせて、各基板形成領域２Ａ，２Ｂごとに分離したときには、各基板形成領域２Ｂの想像線部位２ｂは使用に供されないことになるので、各基板形成領域２Ａが各基板形成領域２Ｂの一側に突出されるようになっている。
【００１９】
この基板形成領域２Ａの詳細が図２に示されている。この図２より明らかなように、基板形成領域２Ａにおける突出部３には、複数の電極（図示せず）の端子４，４…が整列状態に形成されている。
【００２０】
そして、一方のマザー基板１Ａの各基板形成領域２Ａには、その突出部３における両端の端子４ａ，４ａより外側の突出部３に、それぞれアライメントマーク５Ａ，５Ａが形成されている。各基板形成領域２Ａにおける各一対のアライメントマーク５Ａ，５Ａは等しい位置に形成されている。
【００２１】
他方のマザー基板１Ｂの各基板形成領域２Ｂの外側であって、マザー基板１Ａの各基板形成領域２Ａの突出部３に対応する位置には、前記マザー基板１Ａにおける各基板形成領域２Ａの突出部３に形成されている一対のアライメントマーク５Ａ，５Ａと同一の位置にそれぞれアライメントマーク５Ｂが形成されている。
【００２２】
したがって、両マザー基板１Ａ，１Ｂを重ね合わせると、両マザー基板１Ａ，１Ｂにおいて対応する基板形成領域２Ａ，２Ｂは合致し、かつ各基板形成領域２Ａ，２Ｂにおける各一対のアライメントマーク５Ａ，５Ａ，５Ｂ，５Ｂも原則的に合致することになる。
【００２３】
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について説明する。
【００２４】
液晶表示素子の製造方法の概略を説明すると、まず、一対のマザー基板１Ａ，１Ｂを用意し、このうち、一方のマザー基板１Ｂの各基板形成領域２Ｂにカラーフィルタ（図示せず）を形成する。つぎに、前記一方のマザー基板１Ｂの各基板形成領域２Ｂにおけるカラーフィルタ上に電極（図示せず）を形成するとともに、他方のマザー基板１Ａの各基板形成領域２Ａに電極（図示せず）を各突出部３に端子４が位置するように形成する。また、各マザー基板１Ａ，１Ｂの各基板形成領域２Ａ，２Ｂにおける電極上に配向膜（図示せず）を塗布したうえでラビングして液晶が整列する方向を規制する。
【００２５】
つぎに、両マザー基板１Ａ，１Ｂを重ね合わせて熱圧着し、その後、各基板形成領域２Ａ，２Ｂを両マザー基板１Ａ，１Ｂごと分離し、一対の基板１Ａ，１Ｂ間に液晶を封入して液晶表示素子を製造する。なお、各基板形成領域２Ａ，２Ｂを両マザー基板１Ａ，１Ｂごと分離する際に、各基板形成領域２Ｂの想像線部位２ｂに形成されている両アライメントマーク５Ｂ，５Ｂは両マザー基板１Ａ，１Ｂごと分離除去されるので、液晶表示素子には両アライメントマーク５Ｂ，５Ｂが残置されることはない。
【００２６】
ところで、両マザー基板１Ａ，１Ｂを熱圧着した状態において、両マザー基板１Ａ，１Ｂの各基板形成領域２Ａ，２Ｂにおける一対のアライメントマーク５Ａ，５Ａとアライメントマーク５Ｂ，５Ｂの合致状態を顕微鏡により検出して、熱圧着した両マザー基板１１Ａ，１１Ｂにおける各基板形成領域２Ａ，２Ｂの位置合わせの適否を判定する。
【００２７】
すなわち、一対のマザー基板１Ａ，１Ｂにおいて合計８個ある各基板形成領域２Ａ，２Ｂのアライメントマーク５Ａ，５Ａとアライメントマーク５Ｂ，５Ｂの合致状態を顕微鏡により検出し、各基板形成領域２Ａ，２Ｂの位置合わせの適否を判定する。そして、アライメントマーク５Ａ，５Ａとアライメントマーク５Ｂ，５Ｂがずれていない基板形成領域２Ａ，２Ｂと、アライメントマーク５Ａ，５Ａとアライメントマーク５Ｂ，５Ｂがずれていてもそのずれが許容量以内である基板形成領域２Ａ，２Ｂのすべてを適と判定し、液晶表示素子の製造に供するようにする。また、これら以外のアライメントマーク５Ａ，５Ａとアライメントマーク５Ｂ，５Ｂのずれが許容量以上である基板形成領域２Ａ，２Ｂについては不適と判定して破棄し、液晶表示素子の製造に供しない。
【００２８】
このように本実施形態の液晶表示素子の製造方法によれば、一対のマザー基板１Ａ，１Ｂから複数の液晶表示素子を製造する際、両マザー基板１Ａ，１Ｂを熱圧着した後、各基板形成領域２Ａ，２Ｂごとに位置ずれを検出するようにしているので、位置ずれが許容量以内とされているすべての両基板形成領域２Ａ，２Ｂを液晶表示素子の製造に供することができ、液晶表示素子の製造効率を従来のものより向上させることができる。
【００２９】
また、各アライメントマーク５Ａはカラーフィルタの外側に位置しているので、カラーフィルタによりアライメントマーク５Ａの視認が妨げられるおそれもないし、液晶表示素子のアクティブエリアを犠牲にすることなく、表示に関与しない非表示部を有効に活用することができる。
【００３０】
さらに、突出部３に形成されたアライメントマーク５Ａ，５Ａを用いて、突出部３の端子４と外部駆動回路基板とを接続してもよい。すなわち、アライメントマーク５Ａ，５Ａと外部駆動回路基板に形成された位置マークとを整合させて、端子４と外部駆動回路とを電気的に接続することができる。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、熱圧着された一対のマザー基板における個々の基板形成領域における位置ずれを検出するようにして、効率よく液晶表示素子を製造することができる。
【００３２】
すなわち、各マザー基板の基板形成領域にそれぞれ位置合わせ用のアライメントマークを形成し、一対のマザー基板の接着後に各基板形成領域における両マザー基板のアライメントマークの合致状態を検出して個々の基板形成領域の適否を判定し、適すると判定された基板形成領域のみについて液晶表示素子を製造するので、位置ずれが発見された基板形成領域のみしか破棄しないようにでき、位置ずれが発見されない残りの基板形成領域から液晶表示素子を製造することができる。したがって、液晶表示素子の製造効率を向上することができ、製造コストを安価にすることができる。
【００３３】
また、アライメントマークを基板形成領域の突出部形成位置に配設すれば、液晶表示素子のアクティブエリアを犠牲にすることなく、表示に関与しない非表示部を有効に活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液晶表示素子の製造方法におけるアライメントマークの形成状態の実施形態を示す両マザー基板それぞれの平面図
【図２】図１の要部の拡大図
【図３】従来の液晶表示素子の製造方法におけるアライメントマークの形成状態を示す両マザー基板それぞれの平面図
【符号の説明】
１Ａ，１Ｂ，１１Ａ，１１Ｂ　マザー基板
２Ａ，２Ｂ，１２Ａ，１２Ｂ　基板形成領域
３，１３　突出部
４，４ａ　端子
５Ａ，５Ｂ，１４Ａ，１４Ｂ　アライメントマーク
【図１】
2004093921.tif 000003
【図２】
2004093921.tif 000004
【図３】
2004093921.tif 000005