(57)【要約】【課題】エージング処理時のプラズマディスプレイパネルの発熱を抑えてエージング処理時間の短縮を図る。【解決手段】プラズマディスプレイパネル１に対してエージング工程を実施する際に、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加する駆動パルスとして、急峻な立上がり部分ａ及び立下がり部分ｂを有する波形の駆動パルスＰ１を用いる。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電空間にエージング放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスとして、
急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形の駆動パルスを用いることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
放電空間にエージング放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスとして、
矩形波の駆動パルスと、急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形の駆動パルスと、を用いることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形の駆動パルスは、前記矩形波の駆動パルスが所定数印加されるごとに印加されることを特徴とする請求項２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形の駆動パルスの最大電圧値が、前記矩形波の駆動パルスの最大電圧値よりも大きいことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
放電空間にエージング処理の放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスとして、矩形波のパルスの一部に急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形のパルスが重畳された駆動パルスを用いることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
放電空間にエージング処理の放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスとして、矩形波のパルスに当該パルスよりも幅狭の矩形波が重畳された駆動パルスを用いることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に用いられるエージング装置であって、
前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスの電圧値及び／または周期を変化させる手段を備えたことを特徴とするエージング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法及びエージング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
まず、一般的なプラズマディスプレイパネルの一例として、交流駆動方式の反射型のプラズマディスプレイパネルについて以下説明する。図１は、交流駆動方式の反射型のプラズマディスプレイパネルを示す概略断面図である。
【０００３】
図１に示すように、プラズマディスプレイパネル１は、前面基板１１の内面側には、ＩＴＯ等の透明導電膜からなる透明電極２ａと、銀などの厚膜電極からなるバス電極２ｂとからそれぞれ構成される複数の行電極対２（Ｘ，Ｙ）と、これら行電極対２（Ｘ，Ｙ）を被覆する誘電体層３と、誘電体層３を被覆するＭｇＯからなる保護層４とが設けられている。
【０００４】
一方、放電空間８を介して対向配置される背面基板５には、行電極対２（Ｘ，Ｙ）と交差する位置の放電空間８内に放電セルを構成する列電極６、列電極６を覆う列電極保護層１０、放電空間８を放電セル毎に区画する隔壁（図示せず）、隔壁間に形成された蛍光体層７がそれぞれ設けられている。この蛍光体層７は、カラー表示をするために赤色蛍光体層、緑色蛍光体層、青色蛍光体層が順に配置された構成となっている。
また、放電空間８内には、キセノン（Ｘｅ）を５〜１０％含むネオン（Ｎｅ）との混合ガスが封入されている。蛍光体層７は、放電によりキセノン（Ｘｅ）ガスから放出される真空紫外線（波長１４７ｎｍ）により励起発光する。
【０００５】
次に、上述のプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。
まず、前面基板作製工程において、前面基板１１上にフォトリソ法などにより透明電極２ａ、バス電極２ｂからなる行電極対２（Ｘ，Ｙ）を形成し、行電極対２上にスクリーン印刷法などにより誘電体層３を形成し、次いで誘電体層３上に蒸着によりＭｇＯを成膜して保護層４を形成する。
【０００６】
一方、背面基板作製工程において、背面基板５上にフォトリソ法などにより列電極６を形成し、その上に列電極保護層１０をスクリーン印刷法などにより一様に形成し、その上にサンドブラスト法などにより所定のパターンの隔壁９を形成する。次に隔壁９間に蛍光体ペーストを充填し、焼成することにより蛍光体層７を形成する。
【０００７】
次いで、封着工程において、背面基板５の周囲に封着用のガラスフリットを塗布し、４００℃程度で仮焼成して封着層を形成する。更に、前面基板１１と背面基板５とを、行電極対２と列電極６とが交差しながら対向するように重ね合わせて、その状態で４５０℃程度で焼成して封着層を加熱溶融させ周囲を封止する。
【０００８】
次いで、排気・ベーキング工程において、３５０℃程度まで加熱しながら放電空間８内を排気し、冷却後に、放電ガス導入工程において、放電ガスを所定の圧力（４００〜６００Ｔｏｒｒ）で放電空間８に導入する。
【０００９】
次いで、排気管封止工程において、排気・ガス導入に用いた排気管を封止し、エージング工程において、駆動パルスを行電極対２に印加して、所定時間放電空間８にエージング放電を生じさせ、保護層４の活性化を行うと共に、放電を安定化させる。
【００１０】
このように、プラズマディスプレイパネルの製造工程では、前面基板１１と背面基板５を封止し、その内部空間を排気し、放電ガスを導入した後に、全放電セルを放電させるエージング工程を実施している。このようなエージング処理は、数百ボルトの電圧値の駆動パルスを電極間に印加することで行われている。
このとき、印加されるエージング用の駆動パルスとして、従来では、図３に示すように、電圧値、周期とも一様な矩形波の駆動パルスが用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【００１１】
【特許文献１】
特開２００２−２３１１４１号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のプラズマディスプレイパネル製造におけるエージング処理工程では、プラズマディスプレイパネルの放電特性安定化のために、数十時間という長時間のエージング処理をせざるを得ないという問題があった。
【００１３】
本発明が解決しようとする課題としては、上述した従来技術において生じているエージング処理を行う上での処理時間の問題を解消することがそれぞれ一例として挙げられる。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、放電空間にエージング放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスとして、急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形の駆動パルスを用いることを特徴とする。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、放電空間にエージング放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスとして、矩形波の駆動パルスと、急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形の駆動パルスと、を用いることを特徴とする。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、放電空間にエージング処理の放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスとして、矩形波のパルスの一部に急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形のパルスが重畳された駆動パルスを用いることを特徴とする。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、放電空間にエージング処理の放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記エージング放電を発生させるために前記プラズマディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスとして、矩形波のパルスに当該パルスよりも幅狭の矩形波が重畳された駆動パルスを用いることを特徴とする。
【００１８】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれかに記載の製造方法に用いられるエージング装置であって、前記エージング放電を発生させるために前記ディスプレイパネルに繰り返し印加される駆動パルスの電圧値及び／または周期を変化させる手段を備えたことを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず最初に、本発明の各実施の形態の製造方法におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法に用いられるエージング装置を図３を参照して説明する。図３は、本発明の各実施の形態の製造方法におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法に用いられるエージング装置を説明する模式図である。
【００２０】
図３において、プラズマディスプレイパネル１は、前面基板１１の背面に、複数の行電極対２（共通電極Ｘ１〜Ｘｎ，走査電極Ｙ１〜Ｙｎ）が、前面基板１１の行方向（図３の左右方向）に延びるように平行に配列されている。
一方、背面基板５の内面（前面基板１１に対向する面）には、発光させるドットを選択するための列電極Ｄ１〜Ｄｍが縦方向に配列されている。
【００２１】
エージング装置２０は、エージング用パルス発生部２１と駆動パルス制御部２２とを有しており、エージング装置２０のＸ側端子は、共通電極Ｘ１〜Ｘｎに共通接続され、Ｙ側端子は走査電極Ｙ１〜Ｙｎに共通接続される。
【００２２】
このエージング装置２０は、エージング用パルス発生部２１により急峻な立上がり部分及び立下がり部分を有する波形（例えば、矩形波を微分回路に入力し、その出力として得られた微分波形等の波形）のパルスを発生させ、駆動パルス制御部２２により、電圧値及び／または周期を変化させた駆動パルスをＸ側端子とＹ側端子との間に所定時間、繰り返し印加することにより、プラズマディスプレイパネル１にエージング放電を発生させる。
【００２３】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング工程では、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加する駆動パルスとして、図４に示すような急峻な立上がり部分ａ及び立下がり部分ｂを有する駆動パルスＰ１を用いる。
【００２４】
このような、急峻な立上がり部分ａ及び立下がり部分ｂを有する波形の駆動パルスＰ１を用いることで、同じ最大電圧値を有する矩形波の駆動パルスを用いるよりもエージング処理時の電力が少なくて済むので、従来と同じ電力消費量であっても、エージング処理時間を短縮することが可能となる。
【００２５】
この場合、駆動パルスＰ１の電圧値Ｅと周期Ｔとを、駆動パルス制御部２２によって可変制御することにより、耐圧範囲内で可能な限り高電圧でエージング放電を発生させることができ、一層のエージング処理時間の短縮が可能となる。
【００２６】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態のエージング工程では、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加する駆動パルスとして、図６に示すような矩形波の駆動パルスＰ２と、急峻な立上がり部分ａ及び立下がり部分ｂを有する駆動パルスＰ１とを組み合わせたものを用いる。
【００２７】
この場合、駆動パルスＰ１は、所定数の矩形波の駆動パルスＰ２を印加する度に印加する。しかも、駆動パルスＰ１の電圧値Ｅ１を矩形波の駆動パルスＰ２の電圧値Ｅ２よりも大きく設定する。
【００２８】
このような波形の駆動パルスＰ１を基本パルス（矩形波の駆動パルスＰ２）の間に所定間隔で挿入することにより、エージング用の電力量の増大を抑えつつ、エージング処理時間を短縮することが可能となる。
【００２９】
また、この場合も駆動パルスＰ１及び駆動パルスＰ２の電圧値Ｅと周期Ｔとを、駆動パルス制御部２２によって可変制御することにより、プラズマディスプレイパネル１の耐圧範囲内で、可能な限り高電圧でエージング放電を発生させることができ、一層のエージング処理時間の短縮が可能となる。
【００３０】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態のエージング工程では、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加する駆動パルスとして、図７に示すような、基本波形である矩形波のパルスＨ１の一部（例えば、前縁部等）に、急峻な立上がり部分ａ及び立下がり部分ｂを有する波形のパルスＨ２が重畳された駆動パルスＰ３を用いる。このような駆動パルスＰ３を用いることにより、エージング用の電力量の増大を抑えつつ、エージング処理時間を短縮することが可能となる。
さらに、駆動パルスＰ３の電圧値と周期とを、駆動パルス制御部２２によって可変制御することにより、耐圧範囲内で可能な限り高電圧でエージング放電を発生させることができ、一層のエージング処理時間の短縮が可能となる。
【００３１】
（第４の実施の形態）
第４の実施の形態のエージング工程では、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加する駆動パルスとして、図８に示すような、基本波形である矩形波のパルスＨ１に、この矩形波のパルスＨ１よりも幅狭の矩形波Ｈ３が重畳（例えば、パルスＨ１の前縁部に重畳）された駆動パルスＰ４を用いる。このような駆動パルスＰ４を用いることにより、エージング用の電力量の増大を抑えつつ、エージング処理時間を短縮することが可能となる。
さらに、駆動パルスＰ４の電圧値とパルス幅とを、駆動パルス制御部２２によって制御することにより、耐圧範囲内で可能な限り高電圧でエージング放電を発生させることができ、一層のエージング処理時間の短縮が可能となる。
【００３２】
以上のように、本発明の第１の実施の形態によるプラズマディスプレイパネル１の製造方法は、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加される駆動パルスとして、急峻な立上がり部分ａ及び立下がり部分ｂを有する波形の駆動パルスＰ１を用いることにより、従来と同じ電力消費量であっても、エージング処理時間を短縮することが可能となる。
【００３３】
本発明の第２の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法は、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加される駆動パルスとして、矩形波の駆動パルスＰ２と、急峻な立上がり部分ａ及び立下がり部分ｂを有する波形の駆動パルスＰ１と、を用いることにより、エージング用の電力量の増大を抑えつつ、エージング処理時間を短縮することが可能となる。
【００３４】
本発明の第３の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法は、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加される駆動パルスとして、矩形波のパルスＨ１の前縁部に急峻な立上がり部分ａ及び立下がり部分ｂを有する波形のパルスＨ２が重畳された駆動パルスＰ３を用いることにより、エージング用の電力量の増大を抑えつつ、エージング処理時間を短縮することが可能となる。
【００３５】
本発明の第４の実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法は、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加される駆動パルスとして、矩形波のパルスＨ１に当該パルスＨ１よりも幅狭の矩形波Ｈ３が重畳された駆動パルスＰ４を用いることにより、エージング用の電力量の増大を抑えつつ、エージング処理時間を短縮することが可能となる。
【００３６】
本発明の実施の形態におけるエージング装置２０は、エージング放電を発生させるためにプラズマディスプレイパネル１に繰り返し印加される駆動パルスの電圧値及び／または周期を変化させる手段である駆動パルス制御部２２を備えたことにより、耐圧範囲内で可能な限り高電圧でエージング放電を発生させることができ、一層のエージング処理時間の短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】交流駆動方式の反射型のプラズマディスプレイパネルを示す概略断面図である。
【図２】従来のエージング工程で用いる駆動パルスの波形を示す図である。
【図３】本発明の各実施の形態の製造方法におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法に用いられるエージング装置を説明する模式図である。
【図４】本発明の第１実施の形態の製造方法におけるエージング工程において用いる駆動パルスの波形を示す図である。
【図５】本発明の第２実施の形態の製造方法におけるエージング工程において用いる駆動パルスの波形を示す図である。
【図６】本発明に係る第３の実施の形態の製造方法におけるエージング工程において用いる駆動パルスの波形を示す図である。
【図７】本発明に係る第４の実施の形態の製造方法におけるエージング工程において用いる駆動パルスの波形を示す図である。
【符号の説明】
１  プラズマディスプレイパネル
２０  エージング装置
２１  駆動パルス制御部
２２  エージング用パルス発生部
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４  駆動パルス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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