(57)【要約】【課題】コイル層及び上部コア層から発生するジュール熱を効率よく放出することのできる磁気ヘッドを提供する。【解決手段】上部コア層５０の上面及び側部に、金属材料層６０が接続されており、この金属材料層６０の前端面６０ａ，６０ａが、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。金属材料層６０の前端面６０ａ，６０ａが磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出しているため、コイル層４３及び上部コア層５９から発生するジュール熱を磁気ヘッドの外に効率よく放出することができ、下部磁極層４７、ギャップ層４８、上部磁極層４９、上部コア層５０の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１磁性層及び前記第１磁性層よりも上に形成された第２磁性層と、両磁性層に記録磁界を与えるコイル層とを有する磁気ヘッドにおいて、前記第２磁性層の上面及び／又は側面に、金属材料層が接続されており、この金属材料層が、前記磁気ヘッドの記録媒体との対向面に露出していることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
第１磁性層及び前記第１磁性層よりも上に形成された第２磁性層と、両磁性層に記録磁界を与えるコイル層とを有する磁気ヘッドにおいて、
前記第１磁性層の下面及び／又は側面に、金属材料層が接続されており、この金属材料層が、前記磁気ヘッドの記録媒体との対向面に露出していることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項３】
前記金属材料層は、非磁性金属材料によって形成されている請求項１または２記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
前記金属材料層は、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌ、，から選ばれる１種、または２種以上の金属材料からなる請求項１ないし３のいずれかに記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
前記金属材料層の後端面は前記第２磁性層の後端面よりも、ハイト方向後方に位置している請求項１ないし４のいずれかに記載の磁気ヘッド。
【請求項６】
前記第１磁性層よりもハイト方向の後方には、前記第１磁性層と一体化された、あるいは前記第１磁性層と分離形成された第１金属層が形成され、前記金属材料層が前記第１金属層に接続されている請求項１ないし５のいずれかに記載の磁気ヘッド。
【請求項７】
上部シールド層と、下部シールド層間に磁気抵抗効果素子が設けられた再生ヘッド部が設けられ、前記上部シールド層よりもハイト方向の後方には、前記上部シールド層と一体化された、あるいは前記上部シールド層と分離形成された第２金属層が形成され、前記金属材料層が前記第２金属層に接続されている請求項１ないし６のいずれかに記載の磁気ヘッド。
【請求項８】
前記第２金属層は前記第１金属層に接続されており、前記金属材料層は前記第１金属層を介して前記第２金属層に接続されている請求項７に記載の磁気ヘッド。
【請求項９】
前記下部シールド層よりもハイト方向の後方には、前記下部シールド層と一体化された、あるいは前記下部シールド層と分離形成された第３金属層が形成され、前記金属材料層が前記第３金属層に接続されている請求項１ないし８のいずれかに記載の磁気ヘッド。
【請求項１０】
前記第３金属層は前記第２金属層に接続されており、前記金属材料層は前記第２金属層を介して前記第３金属層に接続されている請求項９記載の磁気ヘッド。
【請求項１１】
前記磁気ヘッド上には、絶縁性材料からなる保護層が設けられており、前記金属材料層と接続された他の金属材料層の上面が前記保護層の表面に露出している請求項１ないし１０のいずれかに記載の磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば浮上式磁気ヘッドなどに使用される磁気ヘッドに係り、特に、放熱性に優れた磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２５は従来の磁気ヘッドの縦断面図である。図２５に示す記録ヘッド部Ｈｗは、いわゆるインダクティブヘッドＨｗである。このインダクティブヘッドＨｗは、例えば磁気抵抗効果を利用した再生ヘッド部Ｈｒの上に積層される。
【０００３】
図２５に示される磁気ヘッドは、浮上式ヘッドを構成するセラミック材のスライダ１のトレーリング端面１ａに形成されたものである。
【０００４】
スライダ１のトレーリング側端面１ａ上にＡｌ２Ｏ３膜２を介して再生ヘッド部Ｈｒが形成されている。再生ヘッド部Ｈｒは、磁気抵抗効果を利用してハードディスクなどの記録媒体からの磁界を検出し、記録信号を読み取るものである。
【０００５】
再生ヘッド部Ｈｒは、下部シールド層３、下部ギャップ層４の上に設けられた磁界読み取り部Ｍ、上部ギャップ層５、上部シールド層６を有している。磁界読み取り部Ｍは、例えばスピンバルブ膜に代表される巨大磁気抵抗効果を利用したＧＭＲ素子やトンネル磁気抵抗効果を利用したＴＭＲ素子、異方性磁気抵抗効果を利用したＡＭＲ素子で形成される磁気抵抗効果素子である。
【０００６】
下部ギャップ層４及び上部ギャップ層５は、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などの絶縁性材料からなり、下部シールド層３及び上部シールド層６は、ＮｉＦｅ系合金（パーマロイ）などの高透磁率の軟磁性材料で形成されている。
【０００７】
上部シールド層６の上には、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２        などの絶縁性材料からなる分離層７が積層されており、分離層７の上にインダクティブヘッドＨｗが積層されている。
【０００８】
分離層７の上には、下部コア層１０が積層されている。下部コア層１０上には、Ｇｄ決め層１１が形成されている。記録媒体との対向面ＦからＧｄ決め層１１の前端面１１ａまでの長さ寸法でギャップデプス（Ｇｄ）が規制される。
【０００９】
また、記録媒体との対向面ＦからＧｄ決め層１１上にかけて磁極部１２が形成されている。
【００１０】
磁極部１２は下から下部磁極層１３、非磁性のギャップ層１４、及び上部磁極層１５が積層されて形成されている。上部磁極層１５は、その上に形成される上部コア層１６と磁気的に接続される。
【００１１】
上部磁極層１５及び下部磁極層１３は、ＮｉＦｅなどの軟磁性材料を用いて形成される。
【００１２】
下部コア層１０の上であって、Ｇｄ決め層１１のハイト方向（図示Ｙ方向）後方には絶縁層１７が形成されており、絶縁層１７上には、Ｃｕなどの導電性材料によってコイル層１８が螺旋状にパターン形成されている。またコイル層１８は２層構造になっており、無機絶縁材料製の絶縁層１９及び有機絶縁材料製のコイル絶縁層２０によって覆われている。
【００１３】
磁極部１２上からコイル絶縁層２０上にかけて上部コア層１６が例えばフレームメッキ法によりパターン形成されている。上部コア層１６の基端部１６ａは、下部コア層１０上に形成された磁性材料製の接続層（バックギャップ層）２１上に接続されている。
【００１４】
上部コア層１６と下部コア層１０は、ＮｉＦｅなどによってメッキ形成されている。
【００１５】
コイル層１８に記録電流が与えられると、下部コア層１０及び上部コア層１６に記録磁界が誘導され、ギャップ層１４を介して対向する下部磁極層１３及び上部磁極層１５間に漏れ磁界が発生し、この漏れ磁界により、ハードディスクなどの記録媒体に磁気信号が記録される。
【００１６】
コイル層１８に電流が流されると、ジュール熱が発生し磁極部１２が膨張する。近年、磁気ヘッドの高記録密度化が進み、磁極部１２のわずかな膨張も記録特性に大きな影響を及ぼすようになっている。
【００１７】
そこで、特許文献１及び特許文献２に示される磁気ヘッドでは、上部シールド層６よりもハイト方向の後方及び下部シールド層３よりもハイト方向の後方に金属層２２を設けて、コイル層１８から発生する熱をセラミック材のスライダ１側に逃がすことが試みられている。
【００１８】
また、上部コア層１６に導電部を設けて、接地接続を容易にする構造の磁気ヘッドが特許文献３に記載されており、このような構造であれば上部コア層１６からも発生した熱を放出できるものと考えられる。
【００１９】
【特許文献１】
特開２００１−２０９９０９号公報（第９頁、第１図）
【特許文献２】
特開２００１−２３６６１４号公報（第３頁、第１図）
【特許文献３】
特開平５−４６９３９号公報（第３頁、第４頁、第３図）
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献３に記載されている導電部は、上部コア層１６からも発生した熱を放出できるものと考えられる。しかし、特許文献３の導電部は、接地接続を容易にするためのものであり、上部コア層から熱を効率よく放出させるものとしては不十分なものであった。
【００２１】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、上部コア層から熱を効率よく放出させることのできる磁気ヘッドを提供することを目的としている。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第１磁性層及び前記第１磁性層よりも上に形成された第２磁性層と、両磁性層に記録磁界を与えるコイル層とを有する磁気ヘッドにおいて、
前記第２磁性層の上面及び／又は側面に、金属材料層が接続されており、この金属材料層が、前記磁気ヘッドの記録媒体との対向面に露出していることを特徴とするものである。
【００２３】
本発明では、コイル層から発生するジュール熱及び渦電流によって第２磁性層に発生するジュール熱を金属材料層に伝達する。また、本発明では、前記金属材料層が前記磁気ヘッドの記録媒体との対向面に露出しているため、特に磁気ヘッドが浮上しているとき、前記記録媒体との対向面近くを流れる空気流によって、前記金属材料層の前端面からジュール熱か効率よく奪われる。
【００２４】
従って、前記ジュール熱を磁気ヘッドの外に効率よく放出することができ、記録特性を向上させることができる。
【００２５】
または、本発明は、第１磁性層及び前記第１磁性層よりも上に形成された第２磁性層と、両磁性層に記録磁界を与えるコイル層とを有する磁気ヘッドにおいて、
前記第１磁性層の下面及び／又は側面に、金属材料層が接続されており、この金属材料層が、前記磁気ヘッドの記録媒体との対向面に露出していることを特徴とするものである。
【００２６】
本発明でも、前記金属材料層が前記磁気ヘッドの記録媒体との対向面に露出しているため、特に磁気ヘッドが浮上しているとき、前記記録媒体との対向面近くを流れる空気流によって、前記金属材料層の前端面からジュール熱か効率よく奪われるので、前記ジュール熱を磁気ヘッドの外に効率よく放出することができる。
【００２７】
前記金属材料層は、非磁性金属材料によって形成されていることが好ましい。特に、前記金属材料層が、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料によって形成されることが好ましい。特に、耐蝕性の強い材料であるＡｕやＮｉＰを用いることがより好ましい。
【００２８】
本発明では、前記金属材料層の後端面は前記第２磁性層の後端面よりも、ハイト方向後方に位置していることが好ましい。
【００２９】
また、本発明では、前記コイル層及び第２磁性層から発生するジュール熱を磁気ヘッドの外により効率よく放出するために、以下に示す構成を有していることが好ましい。
【００３０】
前記第１磁性層よりもハイト方向の後方に、前記第１磁性層と一体化された、あるいは前記第１磁性層と分離形成された第１金属層が形成され、前記金属材料層が前記第１金属層に接続されていること。
【００３１】
上部シールド層と、下部シールド層間に磁気抵抗効果素子が設けられた再生ヘッド部が設けられ、前記上部シールド層よりもハイト方向の後方には、前記上部シールド層と一体化された、あるいは前記上部シールド層と分離形成された第２金属層が形成され、前記金属材料層が前記第２金属層に接続されていること。
【００３２】
前記第２金属層は前記第１金属層に接続されており、前記金属材料層は前記第１金属層を介して前記第２金属層に接続されていること。
【００３３】
前記下部シールド層よりもハイト方向の後方には、前記下部シールド層と一体化された、あるいは前記下部シールド層と分離形成された第３金属層が形成され、前記金属材料層が前記第３金属層に接続されていること。
【００３４】
前記第３金属層は前記第２金属層に接続されており、前記金属材料層は前記第２金属層を介して前記第３金属層に接続されていること。
【００３５】
前記磁気ヘッド上に、絶縁性材料からなる保護層が設けられており、前記金属材料層と接続された他の金属材料層の上面が前記保護層の表面に露出していること。
【００３６】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、図２は図１に示す磁気ヘッドを２−２線から切断し矢印方向から見た縦断面図である。
【００３７】
図２に示す磁気ヘッドＨｗは記録用の磁気ヘッドであり、いわゆるインダクティブヘッドＨｗである。このインダクティブヘッドＨｗは、例えば磁気抵抗効果を利用した再生用磁気ヘッドＨｒの上に積層される。
【００３８】
図１及び図２に示される磁気ヘッドは、浮上式ヘッドを構成するセラミック材のスライダ３１のトレーリング端面３１ａに形成されたものであり、再生用磁気ヘッドＨｒと、書込み用のインダクティブヘッドとが積層された、複合型薄膜磁気ヘッドとなっている。
【００３９】
図１及び図２に示すように、スライダ３１のトレーリング側端面３１ａ上にＡｌ２Ｏ３膜３２を介して再生用磁気ヘッドＨｒが形成されている。再生用磁気ヘッドＨｒは、磁気抵抗効果を利用してハードディスクなどの記録媒体からの洩れ磁界を検出し、記録信号を読み取るものである。
【００４０】
再生ヘッド部Ｈｒは、下部シールド層３３、下部ギャップ層３４の上に設けられた磁界読み取り部Ｍ、上部ギャップ層３５、上部シールド層３６を有している。磁界読み取り部Ｍは、例えばスピンバルブ膜に代表される巨大磁気抵抗効果を利用したＧＭＲ素子やトンネル磁気抵抗効果を利用したＴＭＲ素子、異方性磁気抵抗効果を利用したＡＭＲ素子で形成される磁気抵抗効果素子である。
【００４１】
磁界読み取り部Ｍのトラック幅方向（Ｘ方向）の長さが、再生用磁気ヘッドＨｒのトラック幅Ｔｒである。
【００４２】
下部ギャップ層３４及び上部ギャップ層３５は、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などの絶縁性材料からなり、下部シールド層３３及び上部シールド層３６は、ＮｉＦｅ系合金（パーマロイ）などの高透磁率の軟磁性材料で形成されている。
【００４３】
上部シールド層３６の上には、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などの絶縁性材料からなる分離層３７が積層されており、分離層３７の上にインダクティブヘッドＨｗが積層されている。
【００４４】
分離層３７の上には、下部コア層（第１磁性層）４０が形成されている。下部コア層４０はＮｉＦｅ系合金などの磁性材料で形成される。下部コア層４０は記録媒体との対向面Ｆからハイト方向（図示Ｙ方向）に所定の長さ寸法で形成される。
【００４５】
下部コア層４０には記録媒体との対向面Ｆからハイト方向（図示Ｙ方向）にかけて所定の長さ寸法で形成された隆起部４０ａが形成されている。隆起部４０ａは下部コア層４０の一部をなすものであるが、下部コア層４０の下層部４０ｂと一体に形成されていてもよいし、別体に形成されていてもよい。
【００４６】
隆起部４０ａのハイト方向後端面４０ａ１からハイト方向（図示Ｙ方向）に所定距離離れた位置にバックギャップ層４１が下部コア層４０上に形成されている。
【００４７】
隆起部４０ａ及びバックギャップ層４１は磁性材料で形成され、下部コア層４０の下層部４０ｂと同じ材質で形成されてもよいし、別の材質で形成されていてもよい。また隆起部４０ａ及びバックギャップ層４１は単層であってもよいし多層の積層構造で形成されていてもよい。隆起部４０ａ及びバックギャップ層４１は下部コア層４０の下層部４０ｂに接続されている。
【００４８】
下部コア層４０及びバックギャップ層４１に囲まれて形成された空間内にＡｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などの絶縁材料で形成されたコイル絶縁下地層４２が形成され、コイル絶縁下地層４２上に、バックギャップ層４１の周囲をらせん状に巻回するコイル層４３が形成されている。コイル層４３はＣｕなどによって形成されている。コイル層４３の上にはコイル絶縁層４４が，無機材料によって形成されている。
【００４９】
隆起部４０ａの上には、記録媒体との対向面Ｆからハイト方向（図示Ｙ方向）に所定距離だけ離れた位置からハイト方向に向けてＧｄ決め層４５が形成されている。
【００５０】
また、記録媒体との対向面ＦからＧｄ決め層４５までの隆起部４０ａ上、またＧｄ決め層４５よりハイト方向のコイル絶縁層４４上、及びバックギャップ層４１上に、下からメッキ下地層４６、下部磁極層４７及びギャップ層４８が形成されている。この実施形態ではメッキ下地層４６はスパッタ法、下部磁極層４７及びギャップ層４８はメッキ形成されている。
【００５１】
ギャップ層４８上及びＧｄ決め層４５上には、上部磁極層４９がメッキ形成され、さらに上部磁極層４９上には上部コア層（第２磁性層）５０がメッキ形成されている。上部磁極層４９は、Ｇｄ決め層４５上を経てバックギャップ層４１上まで延びている。
【００５２】
図１に示すように、下部磁極層４７、ギャップ層４８、上部磁極層４９及び上部コア層５０の４層５１上には、例えばＡｌ２Ｏ３などの絶縁材料で形成された保護層５２が形成されている。
【００５３】
図１及び図２に示される磁気ヘッドでは、記録媒体との対向面ＦからＧｄ決め層４５の前端面４５ａまでの長さ寸法でギャップデプス（Ｇｄ）が規制される。
【００５４】
下部磁極層４７は、下部コア層４０上にメッキ形成されている。また下部磁極層４７の上に形成されたギャップ層４８は、メッキ形成可能な非磁性金属材料で形成されていることが好ましい。具体的には、ＮｉＰ、ＮｉＰｄ、ＮｉＰｔ、ＮｉＲｈ、ＮｉＷ、ＮｉＭｏ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｃｒ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｔｉのうち１種または２種以上を選択できる。また、ギャップ層４８は単層膜で形成されていても多層膜で形成されていてもどちらであってもよい。
【００５５】
なお本発明における具体的な実施形態としてギャップ層４８にはＮｉＰが使用される。ＮｉＰでギャップ層４８を形成することで前記ギャップ層４８を適切に非磁性状態にできるからである。またギャップ層４８がＮｉＰ合金で形成されると、製造上の連続メッキ容易性に加えて、耐熱性に優れ、下部磁極層４７及び上部磁極層４９との密着性も良い。また下部磁極層４７及び上部磁極層４９との硬さも同等とすることができるので、例えばイオンミリング等により、下部磁極層４７、ギャップ層４８及び上部磁極層４９を加工する際の加工量も同等とすることができ加工性を向上させることができる。
【００５６】
なお、ギャップ層４８はＮｉＰ合金であって元素Ｐの濃度は８質量％以上で１５質量％以下であることが好ましい。これにより例えば発熱等の外的要因に対しても安定して非磁性であることが可能である。また、ＮｉＰ合金等のギャップ層４８の合金組成の測定は、ＳＥＭやＴＥＭ等の組合わされたＸ線分析装置や波形分散形線分析装置等で特定可能である。
【００５７】
なおギャップ層４８は例えばＡｌ２Ｏ３などの絶縁物であっても良いが、かかる場合、ギャップ層４８上に上部磁極層４９をメッキ形成するためのメッキ下地を形成する必要があり、煩雑化になるため、ギャップ層４８はメッキ形成されることが好ましい。
【００５８】
上記のようにギャップ層４８がメッキ形成可能な非磁性金属材料で形成されると、下部磁極層４７、ギャップ層４８及び上部磁極層４９を連続メッキ形成することが可能である。  上部磁極層４９及び下部磁極層４７は、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅ、ＦｅＣｏＮｉ、或いはＣｏＦｅＸ又はＦｅＮｉＸ（ただしＸは、Ｐｄ，Ｉｒ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｐｔのいずれか１種または２種以上の元素である）の組成式で示される軟磁性材料のうちいずれか１種或いは２種以上を用いて形成される。
【００５９】
ただし、上部磁極層４９及び下部磁極層４７は、下部コア層４０や上部コア層５０よりも高い飽和磁束密度を有する軟磁性材料によって形成されることが好ましい。
【００６０】
このようにギャップ層４８に近い上部磁極層４９及び下部磁極層４７を飽和磁束密度の大きい磁性材料で形成することで上部コア層５０や下部コア層４０から流れてきた磁束をギャップ近傍に集約することが容易になり、記録密度を向上させることが可能になる。
【００６１】
なお磁極部は、ギャップ層４８及び上部磁極層４９のみで構成されていてもよコイル層４３に記録電流が与えられると、下部コア層４０及び上部コア層５０に記録磁界が誘導され、ギャップ層４８を介して対向する下部磁極層４７及び上部磁極層４９間に漏れ磁界が発生し、この漏れ磁界により、ハードディスクなどの記録媒体に磁気信号が記録される。
【００６２】
図１及び図２に示された磁気ヘッドは、隆起部４０ａ上とバックギャップ層４１上間を直線状の４層５１で結んで磁路長を形成するため、上部コア層５０下の層が盛り上がって形成される磁気ヘッドに比べて磁路長を短くできる。
【００６３】
このため磁気ヘッドを構成するコイル層４３のターン数を少なくしても一定の記録特性を維持することができ、ターン数を減らせることでコイル抵抗を低減できるから磁気ヘッドの駆動時においても磁気ヘッドの発熱を抑え、この結果、ギャップ層４８が記録媒体との対向面Ｆから突き出す等の問題を抑制することができる。
【００６４】
さらにコイル層４３を覆うコイル絶縁層４４に無機絶縁材料を用いることによって磁気ヘッドの熱膨張係数を低減させることができる。
【００６５】
次に、Ｇｄ決め層４５よりも記録媒体との対向面Ｆ側に位置する下部磁極層４７、ギャップ層４８及び上部磁極層４９は磁極層として機能し、Ｇｄ決め層４５よりもハイト側に位置する下部磁極層４７、ギャップ層４８及び上部磁極層４９はヨーク層として機能している。
【００６６】
すなわち下部磁極層４７、ギャップ層４８、および上部磁極層４９は、隆起部４０ａ上からバックギャップ層４１上まで延びて形成されているが、Ｇｄ決め層４５の前後で機能が分離されており、この機能の分離によって磁気ヘッドの記録特性の性能を向上させることが可能になっている。
【００６７】
また下部磁極層４７、ギャップ層４８、上部磁極層４９及び上部コア層５０の４層をすべてメッキ形成しており、これら４層を同じフレームでメッキ形成することができ、形成が非常に容易である。また４層メッキ構造とすることで、特に上部磁極層４９の対向面の幅寸法で決まるトラック幅Ｔｗを所定寸法に高精度に規制でき、従来のようにトリミング処理などを施してトラック幅Ｔｗを小さくする必要性が無い。またこれら４層を同じフレームでメッキ形成しているから、これら４層の平面形状はすべて同じ形状になる。
【００６８】
トラック幅Ｔｗは、例えば０．１μｍ〜１．０μｍである。または０．１μｍ〜０．５μｍである。
【００６９】
また、下部コア層４０よりもハイト方向の後方に、下部コア層４０と分離形成された第１金属層６１が形成され、上部シールド層３６よりもハイト方向の後方には、上部シールド層３６と分離形成された第２金属層６２が形成され、下部シールド層３３よりもハイト方向の後方には、下部シールド層３３と分離形成された第３金属層６３が形成されている。
【００７０】
第１金属層６１、第２金属層６２、第３金属層６３は図示Ｚ方向に互いに重なりあう位置に形成されている。従って、コイル層４３から発生したジュール熱をスライダ３１に伝達させやすくして、前記ジュール熱を効率よく磁気ヘッドの外部に放出することができる。
【００７１】
また、第１金属層６１、第２金属層６２、第３金属層６３の材料は、それぞれ下部コア層４０、上部シールド層３６、下部シールド層３３の材料とおなじであってもよいし、異なっていてもよい。
【００７２】
なお、第１金属層６１は下部コア層４０と一体化されていてもよく、第２金属層６２は上部シールド層３６と一体化されていてもよく、第３金属層６３は下部シールド層３３と一体化されていてもよい。
【００７３】
本実施の形態の磁気ヘッドの特徴部分についてのべる。
図１及び図２に記載されている磁気ヘッドでは、上部コア層５０の上面及び側部に、金属材料層６０が接続されており、この金属材料層６０の前端面６０ａ，６０ａが、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。
【００７４】
本発明では、コイル層４３から発生するジュール熱を上部コア層５０を介して金属材料層６０に伝達する。さらに、渦電流によって上部コア層５０に発生するジュール熱も金属材料層６０に伝達する。金属材料層６０の前端面６０ａ，６０ａが磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出しているため、特に磁気ヘッドが浮上しているとき、記録媒体との対向面Ｆ近くを流れる空気流によって、金属材料層６０の前端面６０ａ，６０ａからジュール熱が効率よく奪われる。
【００７５】
従って、コイル層４３及び上部コア層５０から発生するジュール熱を磁気ヘッドの外に効率よく放出することができるので、下部磁極層４７、ギャップ層４８、上部磁極層４９、上部コア層５０の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。また、再生ヘッド部の熱ノイズも低減できる。
【００７６】
なお、図３に記録ヘッド部を記録媒体との対向面から見た正面図を示す。
金属材料層６０は、記録磁界に影響を及ぼさないように、また、渦電流損失を低減するために、非磁性金属材料によって形成されていることが好ましい。金属材料層６０は、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料によって形成されることが好ましい。特に、耐蝕性の強い材料であるＡｕやＮｉＰを用いることがより好ましい。
【００７７】
ただし、金属材料層６０が、上部コア層５０などと同様に、磁性金属材料によって形成されてもよい。
【００７８】
金属材料層６０は上部コア層５０を形成したのち、上部コア層５０の側部及び上部に、フレームメッキ法やスパッタ法を用いて、金属材料を金属材料層６０の平面形状にパターン形成したものである。
【００７９】
なお、金属材料層６０をフレームメッキ法によって形成するときには、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。また、金属材料層６０をスパッタ法を用いて形成するときには、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｃｒ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。
【００８０】
特に説明がない限り、以下に示す本発明の他の実施の形態の磁気ヘッドを構成する金属材料層も同様の方法で形成される。
【００８１】
図４は、本発明の第２の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、図５は図４に示す磁気ヘッドを５−５線から切断し矢印方向から見た縦断面図である。
【００８２】
図４及び図５に記載されている磁気ヘッドでも、上部コア層５０の上面及び側部に、金属材料層７０が接続されており、この金属材料層７０の前端面７０ａ，７０ａが、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。
【００８３】
本発明でも、コイル層４３から発生するジュール熱を上部コア層５０を介して金属材料層７０に伝達する。さらに、渦電流によって上部コア層５０に発生するジュール熱も金属材料層６０に伝達する。本発明では、金属材料層７０の前端面７０ａ，７０ａが磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出しているため、特に磁気ヘッドが浮上しているとき、記録媒体との対向面Ｆ近くを流れる空気流によって、金属材料層７０の前端面７０ａ，７０ａからジュール熱か効率よく奪われ、下部磁極層４７、ギャップ層４８、上部磁極層４９、上部コア層５０の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。また、再生ヘッド部の熱ノイズも低減できる。
【００８４】
金属材料層７０も、記録磁界に影響を及ぼさないように、また、渦電流損失を低減するために、非磁性金属材料によって形成されていることが好ましい。特に、金属材料層７０は、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料によって形成されることが好ましい。耐蝕性の強い材料であるＡｕやＮｉＰを用いることがより好ましい。ただし、金属材料層７０が、上部コア層５０などと同様に、磁性金属材料によって形成されてもよい。
【００８５】
なお、金属材料層７０をフレームメッキ法によって形成するときには、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。また、金属材料層７０をスパッタ法を用いて形成するときには、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｃｒ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。
【００８６】
さらに、本実施の形態ては、コイル層４３及び上部コア層５０から発生するジュール熱を磁気ヘッドの外により効率よく放出するために、以下に示す構成を有している。
【００８７】
図４及び図５に示されるように、下部コア層４０よりもハイト方向の後方に、絶縁層７４を介して下部コア層４０と分離形成された、第１金属層７１が設けられている。
【００８８】
さらに、図４に示されるように、金属材料層７０の後端部７０ｂがハイト方向後方に延びて、第１金属層７１に重ねられている。そして、金属材料層７０の後端部７０ｂと第１金属層７１が、接続部７０ｃを介して接続されている。接続部７０ｃは金属などの熱伝導性の大きな材料によって形成されている。なお、図５では、金属材料層７０の後端部７０ｂと接続部７０ｃを、点線によって投影図的に示している。
【００８９】
上部シールド層３６よりもハイト方向の後方には、上部シールド層３６と絶縁層７５を介して分離形成された第２金属層７２が形成されている。第２金属層７２の上面７２ａは、分離層３７に設けられた開口部を通じて、第１金属層７１の接続部７１ａと接続されている。
【００９０】
また、下部シールド層３３よりもハイト方向の後方には、下部シールド層３３と絶縁層７６を介して分離形成された第３金属層７３が形成されている。
【００９１】
第３金属層７３の上面７３ａは、上部ギャップ層３５及び下部ギャップ層３４に設けられた開口部を通じて、第２金属層７２の接続部７２ｂと接続されている。
【００９２】
従って、金属材料層７０は、第１金属層７１及び第２金属層７２を介して第３金属層６３に接続されている。
【００９３】
このため、コイル層４３及び上部コア層５０から発生したジュール熱をスライダ３１に伝達させやすくなり、前記ジュール熱を効率よく磁気ヘッドの外部に放出することができる。コイル層４３及び上部コア層５０から発生したジュール熱をスライダ３１に逃がす方が、保護層５２側に逃がすより放熱効率がよい。
【００９４】
なお、第１金属層７１、第２金属層７２、第３金属層７３の材料は、それぞれ下部コア層４０、上部シールド層３６、下部シールド層３３の材料とおなじであってもよいし、異なっていてもよい。
【００９５】
また、第１金属層７１は下部コア層４０と一体化されていてもよく、第２金属層７２は上部シールド層３６と一体化されていてもよく、第３金属層７３は下部シールド層３３と一体化されていてもよい。
【００９６】
図６は、本発明の第３の実施の形態の磁気ヘッドの平面図である。
図６に示される磁気ヘッドは、図１ないし図３に示される磁気ヘッドに類似している。以下図６に示される磁気ヘッドの特徴点を述べる。
【００９７】
図６に示される磁気ヘッドでは金属材料層６０に延長部６０ｂか設けられ、延長部６０ｂは矢印Ａの方向（磁気ヘッドのハイト方向後方）に延びている。図７に示されるように、矢印Ａの方向から延びた延長部６０ｂは後端部６０ｂ１において、他の金属材料層８１に接続されている。
【００９８】
図８は、図７の延長部６０ｂの後端部６０ｂ１付近を８−８線に沿って切断し、矢印方向から見た断面図である。
【００９９】
他の金属材料層８１は、図８に示されるようにバンプ構造を有しており、磁気ヘッド上に設けられた保護層５２に埋設されている。他の金属材料層８１の上面８１ａは保護層５２の表面５２ａに露出している。図７及び図８では、放熱効果を高めるために、他の金属材料層８１の上面８１ａにＣｕやＡｕなどの金属材料からなる金属パッド８２が接続されている。
【０１００】
図６ないし図８に示されるように、金属材料層６０に接続された他の金属材料層８１を有すると、コイル層４３及び上部コア層５０から発生したジュール熱を効率よく磁気ヘッドの外部に放出することができる。
【０１０１】
図９は、金属材料層６０に接続された他の金属材料層８１を有する磁気ヘッドを搭載するスライダ３１のトレーリング側端面３１ａの構造を示す部分平面図である。なおスライダ３１の図示上面が記録媒体との対向面である。
【０１０２】
図９に示すように、スライダ３１のトレーリング側端面３１ａ上には、４つのリード層８３，８４，８５，８６がメッキ形成されている。このうちリード層８３及び８４は、インダクティブヘッドを構成するコイル層と導通接続されたコイルリード層である。図９に示すように第２のコイルリード層８４は、その終端部（外部接続端部）において、第２のコイルリード層８４上に直接あるいは間接的にメッキ形成されたバンプ８７を介して外部接続用端子８８に導通接続されている。なお第１のコイルリード層８３の終端部（外部接続端部）の構造については図示されていないが、第２のコイルリード層８４と同様に外部接続用端子にバンプを介して導通接続されている。
【０１０３】
図９に示すリード層８５及び８６は、ＭＲヘッドの磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電極リード層であり、電極リード層８６の終端部（外部接続端部）は、その上に直接にあるいは間接的にメッキ形成されたバンプ８９を介して外部接続用端子９０に導通接続されている。なお電極リード層８５の終端部（外部接続端部）の構造については図示されていないが、電極リード層８６と同様に外部接続用端子にバンプを介して導通接続されている。
【０１０４】
本発明においては、上部コア層５０に接続される金属材料層６０を、リード層８３，８４，８５，８６を形成するときに、同時に形成することができる。また、図６ないし図８に示される他の金属材料層８１を、バンプ８７，８９を形成するときに、同時に形成することができる。さらに、金属パッド８２を外部接続用端子８８，９０を形成するときに、同時に形成することができる。
【０１０５】
図１０は、本発明の第４の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、図１１は図１０に示す磁気ヘッドを１１−１１線から切断し矢印方向から見た縦断面図、図１２は、図１０に示される磁気ヘッドを記録媒体との対向面から見た正面図である。ただし、図１０では下部コア層４０の隆起部４０ａの図示を省略している。
【０１０６】
図１０ないし図１２に示される磁気ヘッドは、上部磁極層４９の周囲をトロイダル状に巻回するコイル層が設けられている点で図１ないし図３に示される磁気ヘッドと異なっている。
【０１０７】
図１１に示すように、下部コア層４０、隆起部４０ａ及びバックギャップ層４１に囲まれて形成された空間内にＡｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などの絶縁材料で形成されたコイル絶縁下地層４２が形成され、前記コイル絶縁下地層４２上に、前記ハイト方向と交叉する方向に伸長する複数本の第１コイル片１０１が形成されている。
【０１０８】
前記第１コイル片１０１上はＡｌ２Ｏ３などのコイル絶縁層４４で埋められている。
【０１０９】
なお、それぞれの前記第１コイル片１０１は前記ハイト方向と交叉する方向に伸長していればよく、それぞれの前記第１コイル片１０１が互いに平行に並んでいなくてもよい。また、前記第１コイル片１０１が必ずしも直線状に形成されていなくてもよく、湾曲または屈曲していてもよい。
【０１１０】
図１１に示すように隆起部４０ａの上面、コイル絶縁層４４の上面、及びバックギャップ層４１の上面は図１に示す基準面Ｃに沿った連続した平坦化面となっている。
【０１１１】
図１１に示すように、前記平坦化面上には、前記記録媒体との対向面からハイト方向（図示Ｙ方向）に距離Ｌ１離れた位置からハイト方向に向けてＧｄ決め層４５が形成されている。Ｇｄ決め層４５は、例えば、ＳｉＯ２、ＳｉＮ、Ｔａ２Ｏ５、Ｓｉ３Ｎ４、またはレジストから選ばれる材料によって形成される。
【０１１２】
また、記録媒体との対向面からＧｄ決め層４５の前端面までの隆起部４０ａ上にメッキ下地層４６を介して、またＧｄ決め層４５の後端面よりハイト方向のコイル絶縁層４４上、及びバックギャップ層４１上にメッキ下地層４６を介して、下から下部磁極層４７及びギャップ層４８が形成されている。この実施形態では前記下部磁極層４７及びギャップ層４８はメッキ形成されている。
【０１１３】
また図１１に示すように前記ギャップ層４８上及びＧｄ決め層４５上には、上部磁極層４９がメッキ形成され、さらに上部磁極層４９上には上部コア層１０３がメッキ形成されている。上部磁極層４９は、Ｇｄ決め層４５上を経て前記バックギャップ層４１に接続されている。
【０１１４】
図１０及び図１２に示すように、下部磁極層４７、ギャップ層４８、上部磁極層４９及び上部コア層１０３の４層１０４の側部に、金属材料層１０５が接続されており、この金属材料層１０５の前端面１０５ａ，１０５ａが、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。
【０１１５】
金属材料層１０５も、記録磁界に影響を及ぼさないように、また、渦電流損失を低減するために、非磁性金属材料によって形成されていることが好ましい。金属材料層１０５は、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料によって形成されることが好ましい。特に、耐蝕性の強い材料であるＡｕやＮｉＰを用いることがより好ましい。ただし、金属材料層１０５が、上部コア層１０３などと同様に、磁性金属材料によって形成されてもよい。
【０１１６】
なお、図１１では、金属材料層１０５を、点線によって投影図的に示している。
【０１１７】
４層１０４の側部及び上部に、金属材料をフレームメッキ法やスパッタ法で金属材料層１０５の平面形状にパターン形成したのち、４層１０４と金属材料層１０５の間をアルミナなとの絶縁性材料からなる絶縁層１０６によって埋める。
【０１１８】
なお、金属材料層１０５をフレームメッキ法によって形成するときには、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。また、金属材料層１０５をスパッタ法を用いて形成するときには、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｃｒ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。
【０１１９】
その後、ＣＭＰ研磨工程を経て４層１０４の上面１０４ａと金属材料層１０５の上面１０５ｂと絶縁層１０６の上面１０６ａは平坦化された同一面Ｄになる。
【０１２０】
４層１０４の上面１０４ａと金属材料層１０５の上面１０５ｃと絶縁層１０６の上面１０６ａの上には、例えばＡｌ２Ｏ３やレジストなどの絶縁材料で形成された絶縁層１０７が形成されている。絶縁層１０７の上には、ハイト方向に交叉する方向に伸長する第２コイル片１０８が複数本形成されている。
【０１２１】
第２コイル片１０８は、真上から見ると図１０のように例えばトラック幅方向（図示Ｘ方向）から斜めに傾いた方向に並んで形成されている。
【０１２２】
なお、それぞれの第２コイル片１０８はハイト方向と交叉する方向に伸長していればよく、それぞれの第２コイル片１０８が互いに平行に並んでいなくてもよい。また、前記第２コイル片１０８が必ずしも直線状に形成されていなくてもよく、湾曲または屈曲していてもよい。
【０１２３】
このように前記第１コイル片１０１と第２コイル片１０８とは互いに非平行の関係にあり、図１０及び図１２に示すように、４層１０４の膜厚方向（図示Ｚ方向）で対向する第１コイル片１０１の一端部と第２コイル片１０８の一端部とが接続部１０９を介して接続されている。なお図１２の図示右側に示した点線の接続部１０９は、図面上見えている第１コイル片１０１の一つ後ろ側（図示Ｙ方向）に位置する第１コイル片１０１の一端部と、図面上見えている第２コイル片１０８の一端部とを接続している。
【０１２４】
このように４層１０４の膜厚方向で対向する第１コイル片１０１の一端部と第２コイル片１０８の一端部とが接続部１０９を介して接続されてトロイダル状のコイル層１１０が形成されている。なお図１１に示す符号１１１の層はＡｌ２Ｏ３などで形成された保護層であり、符号１１２の層は引出し層である。前記引出し層１１２は第２コイル片１０８と同じ工程時に形成される。
【０１２５】
上述のごとく、４層１０４の上面１０４ａと金属材料層１０５の上面１０５ｃと絶縁層１０６の上面１０６ａは平坦化された同一面Ｄとなり、この平坦化面上に第２コイル片１０８を所定形状に簡単に且つ精度良く形成することが可能になっている。
【０１２６】
本発明でも、コイル層１１０から発生するジュール熱及び渦電流によって上部コア層１０３に発生するジュール熱を金属材料層１０５を介して効率よく放出できる。従って、下部磁極層４７、ギャップ層４８、上部磁極層４９、上部コア層１０３の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。また、再生ヘッド部の熱ノイズも低減できる。
【０１２７】
図１３は、本発明の第５の実施の形態の磁気ヘッドの縦断面図、図１４は、図１３に示される磁気ヘッドを記録媒体との対向面から見た正面図である。
【０１２８】
スライダ３１のトレーリング側端面３１ａ上にＡｌ２Ｏ３膜３２を介して再生ヘッド部Ｈｒが形成されている。再生ヘッド部Ｈｒは、磁気抵抗効果を利用してハードディスクなどの記録媒体からの磁界を検出し、記録信号を読み取るものである。
【０１２９】
再生ヘッド部Ｈｒの上には、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などの絶縁性材料からなる分離層３７が積層されており、分離層２７の上にインダクティブヘッドＨｗが積層されている。
【０１３０】
分離層３７の上には、下部コア層１２０が積層されている。下部コア層１２０上には、Ｇｄ決め層１２１が形成されている。記録媒体との対向面ＦからＧｄ決め層１２１の前端面１２１ａまでの長さ寸法でギャップデプス（Ｇｄ）が規制される。
【０１３１】
また、記録媒体との対向面ＦからＧｄ決め層１２１上にかけて磁極部１２２が形成されている。
【０１３２】
磁極部１２２は下から下部磁極層１２３、非磁性のギャップ層１２４、及び上部磁極層１２５が積層されて形成されている。
【０１３３】
上部磁極層１２５及び下部磁極層１２３は、ＮｉＦｅなどの軟磁性材料を用いて形成される。
【０１３４】
下部コア層１２０の上であって、Ｇｄ決め層１２１のハイト方向（図示Ｙ方向）後方には絶縁層１２６が形成されており、絶縁層１２６上には、Ｃｕなどの導電性材料によってコイル層１２７が螺旋状にパターン形成されている。またコイル層１２７は２層構造になっており、無機絶縁材料製の絶縁層１２８及び有機絶縁材料製のコイル絶縁層１２９によって覆われている。
【０１３５】
磁極部１２２上からコイル絶縁層１２９上にかけて上部コア層１３０が例えばフレームメッキ法によりパターン形成されている。上部コア層１３０の基端部１３０ａは、下部コア層１２０上に形成された磁性材料製の接続層（バックギャップ層）１３１上に接続されている。上部コア層１３０の前端面１３０ｂは記録媒体との対向面Ｆよりもハイト方向後方に位置している。
【０１３６】
上部コア層１３０と下部コア層１２０は、ＮｉＦｅなどによってメッキ形成されている。
【０１３７】
図１３及び図１４に示される磁気ヘッドの上部コア層１３０の上部及び側部には、金属材料層１３２が接続されており、この金属材料層１３２の前端面１３２ａ，１３２ａが、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。
【０１３８】
金属材料層１３２も、記録磁界に影響を及ぼさないように、また、渦電流損失を低減するために、非磁性金属材料によって形成されていることが好ましい。特に、金属材料層１３２が、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料によって形成されることが好ましい。耐蝕性の強い材料であるＡｕやＮｉＰを用いることがより好ましい。ただし、金属材料層１３２が、上部コア層１３０などと同様に、磁性金属材料によって形成されてもよい。
【０１３９】
なお、金属材料層１０５をフレームメッキ法によって形成するときには、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。また、金属材料層１０５をスパッタ法を用いて形成するときには、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｃｒ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。
【０１４０】
なお、図１３では、上部コア層１３０の側部と金属材料層１３２を、点線によって投影図的に示している。
【０１４１】
本発明でも、コイル層１２７から発生するジュール熱及び渦電流によって上部コア層１３０に発生するジュール熱を金属材料層１３２を介して効率よく放出できる。従って、下部磁極層１２３、ギャップ層１２４、上部磁極層１２５、上部コア層１３０の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。また、再生ヘッド部の熱ノイズも低減できる。
【０１４２】
図１５は、本発明の第６の実施の形態の磁気ヘッドの平面図である。
図１５に示される磁気ヘッドは、下部コア層４０の両方の側面に、金属材料層１４０が接続されており、この金属材料層１４０が、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。
【０１４３】
本発明でも、金属材料層１４０が磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出しているため、特に磁気ヘッドが浮上しているとき、記録媒体との対向面Ｆ近くを流れる空気流によって、金属材料層１４０の前端面１４０ａからジュール熱か効率よく奪われるので、コイル層４３から発生するジュール熱及び渦電流によって下部コア層４０に発生するジュール熱を金属材料層１３２を介して磁気ヘッドの外に効率よく放出することができる。
【０１４４】
なお、金属材料層１４０が下部コア層４０よりもハイト方向の後方に形成された第１金属層６１に接続されていてもよい。
【０１４５】
図１６は、本発明の第７の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、図１７は図１６に示す磁気ヘッドを１７−１７線から切断し矢印方向から見た縦断面図、図１８は記録ヘッド部を記録媒体との対向面から見た正面図である。
【０１４６】
図１６及び図１７に示す磁気ヘッドＨは記録用の磁気ヘッドであり、いわゆる垂直磁気記録式の記録ヘッドＨである。この記録ヘッドＨは、例えば図１７に示されるように、磁気抵抗効果を利用した再生用磁気ヘッドＨｒの上に積層される。再生用磁気ヘッドＨｒは図１ないし図１５に示した磁気ヘッドの再生用磁気ヘッドＨｒと同じものである。
【０１４７】
図１７に示す垂直磁気記録ヘッドＨは記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード面Ｍａを垂直方向に磁化させる。記録媒体Ｍはディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード面Ｍａが、内方に磁気透過率の高いソフト面Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転軸中心となって回転させられる。図１７においてスライダ３１に対する記録媒体Ｍの移動方向は図示Ｚ方向である。垂直磁気記録ヘッドＨはスライダ３１のトレーリング側端面に設けられている。
【０１４８】
再生用磁気ヘッドＨｒの上部シールド層３６の上には、Ａｌ２Ｏ３またはＳｉＯ２などの無機材料による非磁性絶縁層２００が形成されて、非磁性絶縁層２００の上に本発明の記録用の垂直磁気記録ヘッドＨが設けられている。そして垂直磁気記録ヘッドＨは無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層２１３により被覆されている。そして垂直磁気記録ヘッドＨの記録媒体との対向面Ｆは、スライダ３１の対向面３１ａとほぼ同一面である。
【０１４９】
垂直磁気記録ヘッドＨでは、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）などの強磁性材料がメッキされて補助磁極層（第１磁性層）２２１が形成されている。非磁性絶縁層２００は、補助磁極層２２１の下および補助磁極層２２１の周囲に形成されている。そして図１７に示すように、補助磁極層２２１の表面（上面）２２１ａと非磁性絶縁層２００の表面（上面）２００ａとは同一の平面上に位置している。
【０１５０】
図１７に示すように、対向面Ｆよりも奥側（ハイト方向、図示Ｙ方向）では、補助磁極層２２１の表面２２１ａ上にＮｉ−Ｆｅなどの接続層２２５が形成されている。
【０１５１】
接続層２２５の周囲において、補助磁極層２２１の表面２２１ａおよび非磁性絶縁層２００の表面２００ａ上に、Ａｌ２Ｏ３などの非磁性絶縁層２２６が形成されて、この非磁性絶縁層２２６の上にＣｕなどの導電性材料によりコイル層２２７が形成されている。このコイル層２２７はフレームメッキ法などで形成されたものであり、接続層２２５の周囲に所定の巻き数となるように螺旋状にパターン形成されている。コイル層２２７の巻き中心側の接続端２２７ａ上には同じくＣｕなどの導電性材料で形成された底上げ層２３１が形成されている。
【０１５２】
コイル層２２７および底上げ層２３１は、レジスト材料などの有機材料の絶縁層２３２で被覆されており、さらに絶縁層２３３で覆われている。絶縁層２３３は無機絶縁材料で形成される。
【０１５３】
そして接続層２２５の表面（上面）２２５ａ、底上げ層２３１の表面（上面）２３１ａ、および絶縁層２３３の表面（上面）２３３ａは、同一面となるように加工されている。このような平坦化加工は後述の製造方法で説明するように、ＣＭＰ（ケミカル・メカニカル・ポリッシング）技術などを用いて行なわれる。
【０１５４】
この実施形態では、絶縁層２３３の上に、主磁極層２２４が形成されており、主磁極層２２４の前端面２２４ａは、対向面Ｆと同一面とされている。また主磁極層２２４の基端部２２４ｂは接続層２２５の上面２２５ａ上に形成されて磁気的に接続された状態になっている。
【０１５５】
図１７に示すように、主磁極層２２４の上には、ＮｉＦｅ合金などのヨーク層２３５が重ねられて形成されている。またヨーク層２３５の前端面２３５ａは、対向面Ｆよりもハイト方向奥側に位置して保護層２１３内に埋没しており、対向面Ｆには現れていない。
【０１５６】
またヨーク層２３５の前端面２３５ａは、下面から上面に向けてハイト方向（図示Ｙ方向）に傾く傾斜面あるいは湾曲面で形成されている。ヨーク層２３５の上に形成される主磁極層２２４の下面とヨーク層２３５の前端面２３５ａ間の外角θは９０°以上であることが好ましい。これによって主磁極層２２４からヨーク層２３５に向けて漏れる磁界を少なくでき主磁極層２２４により磁界を集中させることができるからである。
【０１５７】
また図１７に示すように、底上げ層２３１の表面２３１ａにはリード層２３６が形成され、リード層２３６から底上げ層２３１およびコイル層２２７に記録電流の供給が可能となっている。なお、リード層２３６は、主磁極層２２４およびヨーク層２３５と同じ材料で形成でき、および主磁極層２２４およびヨーク層２３５とリード層２３６を、同時にメッキで形成することが可能である。そして、ヨーク層２３５およびリード層２３６が保護層２１３に覆われている。
【０１５８】
図１６の平面図に示すように、主磁極層２２４は、前端面２２４ａの上面（主磁極層２２４のトレーリング側の面）が微小なトラック幅Ｔｗで形成され、この幅寸法を保って、基端部２２４ｂまで延びている。
【０１５９】
図１６に示すようにヨーク層２３５は、主磁極層２２４上に重ねられて形成されている。ヨーク層２３５は、ハイト方向後方に向けてトラック幅方向への幅寸法が漸次的に広がる形状で形成されている。
【０１６０】
なお、対向面Ｆに露出する主磁極層２２４の前端面２２４ａは、補助磁極層
２１の前端面２１ｂの面積よりも小さいことが必要で、例えば図１８の正面図に示すように、補助磁極層２２１のトラック幅方向の幅寸法Ｗｒは、トラック幅Ｔｗよりも十分に大きい幅寸法で形成される。
【０１６１】
本実施の形態の磁気ヘッドの特徴部分についてのべる。
図１６ないし図１８に記載されている磁気ヘッドでは、主磁極層（第２磁性層）２２４の側部に、金属材料層２４０が接続されており、この金属材料層２４０の前端面２４０ａ，２４０ａが、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。
【０１６２】
本発明では、コイル層２２７から発生するジュール熱を主磁極層２２４を介して金属材料層２４０に伝達する。さらに、渦電流によって主磁極層２２４及びヨーク層２３５に発生するジュール熱も金属材料層２４０に伝達する。金属材料層２４０の前端面２４０ａ，２４０ａが磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出しているため、特に磁気ヘッドが浮上しているとき、記録媒体との対向面Ｆ近くを流れる空気流によって、金属材料層２４０の前端面２４０ａ，２４０ａからジュール熱が効率よく奪われる。
【０１６３】
従って、コイル層２２７、ヨーク層２３５及び主磁極層２２４から発生するジュール熱を磁気ヘッドの外に効率よく放出することができるので、主磁極層２２４の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。また、再生ヘッド部の熱ノイズも低減できる。
【０１６４】
金属材料層２４０は、記録磁界に影響を及ぼさないように、また、渦電流損失を低減するために、非磁性金属材料によって形成されていることが好ましい。金属材料層２４０は、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料によって形成されることが好ましい。特に、耐蝕性の強い材料であるＡｕやＮｉＰを用いることがより好ましい。
【０１６５】
ただし、金属材料層２４０が、主磁極層２２４などと同様に、磁性金属材料によって形成されてもよい。
【０１６６】
なお、図１７では、金属材料層２４０を、点線によって投影図的に示している。
【０１６７】
主磁極層２２４の側部及び上部に、金属材料をフレームメッキ法やスパッタ法で金属材料層２４０の平面形状にパターン形成したのち、主磁極層２２４と金属材料層２４０の間をアルミナなとの絶縁性材料からなる絶縁層２４１によって埋める。
【０１６８】
なお、金属材料層２４０をフレームメッキ法によって形成するときには、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。また、金属材料層２４０をスパッタ法を用いて形成するときには、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｃｒ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。
【０１６９】
その後、ＣＭＰ研磨工程を経て主磁極層２２４の上面２２４ｂと金属材料層２４０の上面２４０ｃと絶縁層２４１の上面２４１ａは平坦化された同一面Ｅなる。
【０１７０】
この平坦化面上にヨーク層２３５を所定形状に簡単に且つ精度良く形成することができる。
【０１７１】
なお図１６に示す形状は一例に過ぎず、本発明はこの形状に限定されるものではない。すなわち本発明では、ヨーク層２３５を対向面Ｆと平行な方向から切断したときのある断面の面積が、主磁極層２２４の前端面２２４ａの面積よりも大きくなればよい。
【０１７２】
例えば、主磁極層２２４の形状が、幅狭の前方領域とこの前方領域の基端からトラック幅方向の寸法が漸次的に広がって形成されている後端領域を有するものであってもよい。
【０１７３】
また図１６に示す実施形態では、主磁極層２２４が対向面Ｆから接続層２２５上にまで延ばされて形成されているが、例えば主磁極層２２４が短く形成され、接続層２２５よりも対向面Ｆ側に基端部が位置するように形成してもよい。
【０１７４】
かかる場合、主磁極層２２４の上に形成されるヨーク層２３５と接続層２２５とを磁気的に接続させる。
【０１７５】
また、金属材料層２４０がヨーク層２３５に接続されてもよい。
図１９は、本発明の第８の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、図２０は図１９に示す磁気ヘッドを２０−２０線から切断し矢印方向から見た縦断面図、図２１は記録ヘッド部を記録媒体との対向面から見た正面図である。
【０１７６】
図１９ないし図２１に示された磁気ヘッドは、補助磁極層（第１磁性層）２２１の前方上に、メッキ下地膜２５０がスパッタ成膜され、メッキ下地膜２５０の上に磁性材料によって隆起層２５１がメッキ形成され、隆起層２５１の上に絶縁層２５２を介して主磁極層２２４が形成されている点で、図１６ないし図１８に示された磁気ヘッドと異なっている。
【０１７７】
隆起層２５１は強磁性材料でメッキされたものであり、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｏなどの飽和磁束密度の高い材料で形成されている。なお、メッキ下地膜２５０を形成せず、補助磁極層２２１そのものをメッキ下地として使用して、隆起層２５１をメッキで形成してもよい。
【０１７８】
図１９ないし図２１に記載されている磁気ヘッドでも、主磁極層（第２磁性層）２２４の側部に、金属材料層２４０が接続されており、この金属材料層２４０の前端面２４０ａ，２４０ａが、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。
【０１７９】
本発明では、コイル層２２７から発生するジュール熱を主磁極層２２４を介して金属材料層２４０に伝達する。さらに、渦電流によって主磁極層２２４及びヨーク層２３５に発生するジュール熱も金属材料層２４０に伝達する。金属材料層２４０の前端面２４０ａ，２４０ａが磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出しているため、特に磁気ヘッドが浮上しているとき、記録媒体との対向面Ｆ近くを流れる空気流によって、金属材料層２４０の前端面２４０ａ，２４０ａからジュール熱が効率よく奪われる。
【０１８０】
従って、コイル層２２７、ヨーク層２３５及び主磁極層２２４から発生するジュール熱を磁気ヘッドの外に効率よく放出することができるので、主磁極層２２４の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。また、再生ヘッド部の熱ノイズも低減できる。
【０１８１】
金属材料層２４０は、記録磁界に影響を及ぼさないように、また、渦電流損失を低減するために、非磁性金属材料によって形成されていることが好ましい。金属材料層２４０は、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料によって形成されることが好ましい。特に、耐蝕性の強い材料であるＡｕやＮｉＰを用いることがより好ましい。
【０１８２】
ただし、金属材料層２４０が、主磁極層２２４などと同様に、磁性金属材料によって形成されてもよい。
【０１８３】
なお、図２０では、金属材料層２４０を、点線によって投影図的に示している。
【０１８４】
図２２は、本発明の第９の実施の形態の磁気ヘッドの主磁極層付近の平面図、図２３は図２２に示す磁気ヘッドの縦断面図、図２４は記録ヘッド部を記録媒体との対向面から見た正面図である。
【０１８５】
図２２ないし図２４に示された磁気ヘッドは、記録磁界を発生する主磁極層が補助磁極層の下にある点が、図１６ないし図２１に示された磁気ヘッドと異なっている。
【０１８６】
図２３に示されるように、垂直磁気記録式の記録用磁気ヘッドＨ１では、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）などの強磁性材料がメッキされてヨーク層２６８が形成されている。ヨーク層２６８は、分離層２６７内に埋設されており、記録媒体との対向面Ｆには露出していない。
【０１８７】
ヨーク層２６８の上面にはＮｉＦｅなどの導電性金属膜によるメッキ下地膜２６９がスパッタにより成膜されている。
【０１８８】
メッキ下地膜２６９の上に、主磁極層（第１磁性層）２７０がメッキで形成されている。主磁極層２７０は強磁性材料でメッキされたものであり、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｏなどの飽和磁束密度の高い材料で形成されている。主磁極層２７０はヨーク層２６８よりも飽和磁束密度Ｂｓが高い磁性材料で形成されていることが好ましい。
【０１８９】
図２４は図２３の磁気ヘッドの正面図である。
図２４に示すように、対向面Ｆに現れているメッキ下地膜２６９、および主磁極層２７０は、トラック幅方向（Ｘ方向）への幅寸法がＷｔとなるように形成されている。なお、図示はしないが、ヨーク層２６８のトラック幅方向寸法は、主磁極層２７０のトラック幅方向寸法Ｗｔより大きくなっている。
【０１９０】
主磁極層２７０の上には、アルミナまたはＳｉＯ２などの無機材料によって、絶縁層２７３が設けられている。絶縁層２７３上には、パーマロイなどの強磁性材料によって、補助磁極層（第２磁性層）２７４が形成されている。
【０１９１】
補助磁極層２７４の前端面２７４ａは、記録媒体との対向面Ｆに露出している。また、対向面Ｆよりも奥側で、補助磁極層２７４の接続部２７４ｂと主磁極層２７０及びヨーク層２６８とが接続されている。これにより、補助磁極層２７４、主磁極層２７０及びヨーク層２６８を結ぶ磁路が形成されている。
【０１９２】
接続部２７４ｂの周囲において、コイル絶縁下地層２７５が形成されている。このコイル絶縁下地層２７５の上にＣｕなどの導電性材料によりコイル層２７６が形成されている。このコイル層２７６はフレームメッキ法などで形成されたものであり、接続部２７４ｂの周囲に所定の巻き数となるようにスパイラル（螺旋）状にパターン形成されている。コイル層２７６の巻き中心側の接続端２７６ａ上には同じくＣｕなどの導電性材料で形成された底上げ層２７７が形成されている。
【０１９３】
コイル層２７６および底上げ層２７７は、レジスト材料などの有機材料のコイル絶縁層２７８で被覆されている。図示はしないが、コイル絶縁層２７８が、さらにＡｌ２Ｏ３などの無機絶縁層で覆われていてもよい。
【０１９４】
また、底上げ層２７７の上面は、コイル絶縁層２７８の表面に露出しており、リード層２７９に接続されている。リード層２７９から底上げ層２７７およびコイル層２７６に記録電流の供給が可能となっている。
【０１９５】
そして、補助磁極層２７４およびリード層２７９が、無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層２８１に覆われている。
【０１９６】
なお、絶縁層２７３上であって、記録媒体との対向面Ｆから所定距離離れた位置に、無機または有機材料によってＧｄ決め層２８２が形成されている。記録媒体との対向面ＦからＧｄ決め層２８２の前端縁までの距離で、磁気ヘッドＨ１のギャップデプス長が規定される。
【０１９７】
図２３及び図２４に示す磁気ヘッドＨ１では、リード層２７９を介してコイル層２７６に記録電流が与えられると、コイル層２７６を流れる電流の電流磁界によって補助磁極層２７４とヨーク層２６８に記録磁界が誘導される。図２３に示すように、対向面Ｆでは、主磁極層２７０の前端面２７０ａと補助磁極層２７４の前端面２７４ａからの漏れ記録磁界が、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを貫通しソフト膜Ｍｂを通過する。
【０１９８】
図２４に示すように、主磁極層２７０の前端面２７０ａの厚みＨｔは、補助磁極層２７４の前端面２７４ａの厚みＨｒよりも小さく、主磁極層２７０の前端面２７０ａのトラック幅方向（図示Ｘ方向）の幅寸法Ｗｔは、補助磁極層２７４の前端面２７４ａの同方向での幅寸法Ｗｒよりも十分に短くなっている。その結果、対向面Ｆでは、主磁極層２７０の前端面２７０ａの面積が、補助磁極層２７４の前端面２７４ａでの面積よりも十分に小さい。
【０１９９】
従って、主磁極層２７０の前端面２７０ａに洩れ記録磁界の磁束φが集中し、この集中している磁束φにより前記ハード膜Ｍａが垂直方向へ磁化されて、磁気データが記録される。
【０２００】
本実施の形態の磁気ヘッドの特徴部分についてのべる。
図２２ないし図２４に記載されている磁気ヘッドでは、主磁極層（第１磁性層）２７０の側部に、金属材料層２８３が接続されており、この金属材料層２８３の前端面２８３ａ，２８３ａが、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出している。
【０２０１】
本発明では、コイル層２７６から発生するジュール熱を主磁極層２７０を介して金属材料層２８３に伝達する。さらに、渦電流によって主磁極層２７０及びヨーク層２６８に発生するジュール熱も金属材料層２８３に伝達する。金属材料層２８３の前端面２８３ａ，２８３ａが磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出しているため、特に磁気ヘッドが浮上しているとき、記録媒体との対向面Ｆ近くを流れる空気流によって、金属材料層２８３の前端面２８３ａ，２８３ａからジュール熱が効率よく奪われる。
【０２０２】
従って、コイル層２７６、ヨーク層２６８及び主磁極層２７０から発生するジュール熱を磁気ヘッドの外に効率よく放出することができるので、主磁極層２７０の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。また、再生ヘッド部の熱ノイズも低減できる。
【０２０３】
金属材料層２８３は、記録磁界に影響を及ぼさないように、また、渦電流損失を低減するために、非磁性金属材料によって形成されていることが好ましい。金属材料層２８３は、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料によって形成されることが好ましい。特に、耐蝕性の強い材料であるＡｕやＮｉＰを用いることがより好ましい。
【０２０４】
ただし、金属材料層２８３が、主磁極層２７０などと同様に、磁性金属材料によって形成されてもよい。
【０２０５】
なお、図２３では、金属材料層２８３を、点線によって投影図的に示している。
【０２０６】
主磁極層２７０の側部及び上部に、金属材料をフレームメッキ法やスパッタ法で金属材料層２８３の平面形状にパターン形成したのち、主磁極層２７０と金属材料層２８３の間をアルミナなとの絶縁性材料からなる絶縁層２７１によって埋める。
【０２０７】
なお、金属材料層２８３をフレームメッキ法によって形成するときには、ＮｉＰ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｃｒ、ＮｉＣｕ、ＮｉＰｄ、ＮｉＣｒから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。また、金属材料層２８３をスパッタ法を用いて形成するときには、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｃｒ、Ａｌから選ばれる１種、または２種以上の金属材料を用いることが好ましい。
【０２０８】
その後、ＣＭＰ研磨工程を経て主磁極層２７０の上面２７０ｂと金属材料層２８３の上面２８３ｂと絶縁層２７１の上面２７１ａは平坦化された同一面なる。
【０２０９】
この平坦化面上に絶縁層２７３を所定形状に簡単に且つ精度良く形成することができる。
【０２１０】
なお図２２に示す形状は一例に過ぎず、本発明はこの形状に限定されるものではない。すなわち本発明では、ヨーク層２６８を対向面Ｆと平行な方向から切断したときのある断面の面積が、主磁極層２７０の前端面２７０ａの面積よりも大きくなればよい。
【０２１１】
例えば、主磁極層２７０の形状が、幅狭の前方領域とこの前方領域の基端からトラック幅方向の寸法が漸次的に広がって形成されている後端領域を有するものであってもよい。
【０２１２】
また、金属材料層２８３がヨーク層２６８に接続されてもよい。
なお、上述した第７から第９の実施の形態の磁気ヘッドにも、第２から第４の実施の形態の磁気ヘッドと同様の変形を加えることができる。
【０２１３】
上述した本発明の第１ないし第９の実施の形態の磁気ヘッドでは、磁気ヘッドの記録媒体との対向面は、上部磁極層及び下部磁極層の前端面と同一面である。なお、記録媒体との対向面上に、膜厚１５Å〜７０ÅのＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）製の保護膜が形成されていてもよい。
【０２１４】
また、本発明において、金属材料層の形状は第１ないし第９の実施の形態として図示したものに限られるものではない。すなわち、上部コア層の上面及び／または側部に、金属材料層が接続され、この金属材料層の前端面が、磁気ヘッドの記録媒体との対向面Ｆに露出しているものであれば、金属材料層はどのような形になっていてもよい。
【０２１５】
以上本発明をその好ましい実施例に関して述べたが、本発明の範囲から逸脱しない範囲で様々な変更を加えることができる。
【０２１６】
なお、上述した実施例はあくまでも例示であり、本発明の特許請求の範囲を限定するものではない。
【０２１７】
【発明の効果】
以上詳細に説明した本発明では、前記第１磁性層または第２磁性層の上面及び／又は側面に、金属材料層が接続されており、この金属材料層が、前記磁気ヘッドの記録媒体との対向面に露出している。
【０２１８】
このため、コイル層から発生するジュール熱及び渦電流によって第１磁性層または第２磁性層に発生するジュール熱を金属材料層を介して効率よく放出でき、これらの磁性層周辺の膨張を低減でき、磁気ヘッドの記録特性を向上させることができる。また、再生ヘッド部の熱ノイズも低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、
【図２】図１に示す磁気ヘッドを２−２線から切断し矢印方向から見た縦断面図、
【図３】記録ヘッド部を記録媒体との対向面から見た正面図、
【図４】本発明の第２の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、
【図５】図４に示す磁気ヘッドを５−５線から切断し矢印方向から見た縦断面図、
【図６】本発明の第３の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、
【図７】図６に示される磁気ヘッドの金属材料層６０の延長部６０ｂの平面図、
【図８】図７の延長部６０ｂの後端部６０ｂ１付近を一点鎖線に沿って切断し、矢印方向から見た断面図、
【図９】金属材料層６０に接続された他の金属材料層８１を有する磁気ヘッドを搭載するスライダ３１のトレーリング側端面３１ａの構造を示す部分平面図、
【図１０】本発明の第４の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、
【図１１】図１０に示す磁気ヘッドを１１−１１線から切断し矢印方向から見た縦断面図、
【図１２】図１０に示される磁気ヘッドを記録媒体との対向面から見た正面図、
【図１３】本発明の第５の実施の形態の磁気ヘッドの縦断面図、
【図１４】図１３に示される磁気ヘッドを記録媒体との対向面から見た正面図、
【図１５】本発明の第６の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、
【図１６】本発明の第７の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、
【図１７】図１６に示す磁気ヘッドの縦断面図、
【図１８】図１６に示される磁気ヘッドを記録媒体との対向面から見た正面図、
【図１９】本発明の第８の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、
【図２０】図１９に示す磁気ヘッドの縦断面図、
【図２１】図１９に示される磁気ヘッドを記録媒体との対向面から見た正面図、
【図２２】本発明の第９の実施の形態の磁気ヘッドの平面図、
【図２３】図２２に示す磁気ヘッドの縦断面図、
【図２４】図２２に示される磁気ヘッドを記録媒体との対向面から見た正面図、
【図２５】従来の磁気ヘッドの縦断面図、
【符号の説明】
４０  下部コア層
４１  バックギャップ層
４３  コイル層
４７  下部磁極層
４８  ギャップ層
４９  上部磁極層
５０  上部コア層
５１  ４層
６０，７０，１０５，１３２，１４０  金属材料層
６１  第１金属層
６２  第２金属層
６３  第３金属層
Ｈｒ  再生ヘッド部
Ｈｗ  記録ヘッド部
【図１】
2004362660.tif 000003
【図２】
2004362660.tif 000004
【図３】
2004362660.tif 000005
【図４】
2004362660.tif 000006
【図５】
2004362660.tif 000007
【図６】
2004362660.tif 000008
【図７】
2004362660.tif 000009
【図８】
2004362660.tif 000010
【図９】
2004362660.tif 000011
【図１０】
2004362660.tif 000012
【図１１】
2004362660.tif 000013
【図１２】
2004362660.tif 000014
【図１３】
2004362660.tif 000015
【図１４】
2004362660.tif 000016
【図１５】
2004362660.tif 000017
【図１６】
2004362660.tif 000018
【図１７】
2004362660.tif 000019
【図１８】
2004362660.tif 000020
【図１９】
2004362660.tif 000021
【図２０】
2004362660.tif 000022
【図２１】
2004362660.tif 000023
【図２２】
2004362660.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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