(57)【要約】      （修正有）【課題】正確にフィルムを切断することができ、切り屑の除去も可能で、基板にフィルム本体を貼り付ける時に切り屑を巻き込むことがないフィルム貼付け装置を提供する。【解決手段】フィルム本体の粘着性により各基板の所望領域にフィルム本体を貼付けるフィルム貼付け装置であって、フィルムロール１から繰り出したフィルム２のフィルム本体２ｃにおける基板間に相当する部位及び基板とフィルム本体との貼付けを望まない部分に相当する部位のフィルム本体をフィルム本体の幅方向に移動してフィルム本体をその幅方向に切断するカッタ７を備えたフィルム切断手段６と、フィルムを中央にしてカッタと反対側に位置してカッタがフィルム本体をその幅方向に切断する際にベースフィルム２ｂを吸着している保持手段５と、カッタ７のフィルム本体に対する移動の後方に位置しカッタ７と共に移動する吸引手段とを設けている。【選択図】  図１
2004175050.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路上を搬送されてくる複数の基板のそれぞれにフィルムロールから繰り出したベースフィルムとフィルム本体を有する多層構成フィルムにおける該フィルム本体の粘着性により各基板の所望領域に該フィルム本体を貼付けるフィルム貼付け装置において、
フィルムロールから繰り出した多層構成フィルムのフィルム本体における基板間に相当する部位及び基板とフィルム本体との貼付けを望まない部分に相当する部位のフィルム本体を該フィルム本体の幅方向に移動して切断するカッタを備えたフィルム切断手段と、
該多層構成フィルムを中央にして該カッタと反対側に位置して該カッタが該フィルム本体をその幅方向に切断する際に該ベースフィルムを吸着している保持手段と、
該カッタの該フィルム本体に対する移動の後方に位置し該カッタと共に移動する吸引手段と、
を設けたことを特徴とするフィルム貼付け装置。
【請求項２】
上記請求項１において、さらに、該カッタで切断されたフィルム本体における基板間に相当する部位及び基板とフィルム本体との貼付けを望まない部分に相当する部位のフィルム本体を除去する手段を設けたことを特徴とするフィルム貼付け装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフィルム貼付け装置に係わり，特にプリント配線基板や液晶あるいはＰＤＰ表示パネル用のガラス基板などの搬送路上を搬送されてくる複数の基板のそれぞれにフィルムロールから繰り出したベースフィルムとフィルム本体を有する多層構成フィルムにおけるフィルム本体の粘着性により各基板の所望領域にフィルム本体を貼付けるフィルム貼付け装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フィルム貼付け装置のフィルム貼付けは、フィルムロールと称する数百メートルにわたってロール状に巻かれたベースフィルムとフィルム本体およびカバーフィルムからなる多層構成フィルムを装置内へセットし、カバーフィルムを剥がしてカバーフィルムは巻き取りロールに回収するようにしてから、ベースフィルムとフィルム本体よりなる２層のフィルムの先頭端辺を人手により保持し幾つかのガイドロールなどを経由して装置内へフィルムを引き回し、引き回している経路における任意の位置でディスクカッタ又はカミソリ刃などでフィルム本体を幅方向に切断している。フィルム本体の切断に当たっては、フィルムは吸着プレートで保持し、吸着プレートに予め溝を設けてその溝の間をカッタが通過することによりフィルムを切断している。
【０００３】
そして、フィルムの切断において発生する切り屑がフィルム本体上や基板上に落下すると基板にフィルム本体を貼り付ける時に切り屑を巻き込み、下流の露光・現像工程で製品不良の原因となる。そこで、吸着プレートにおけるカッタが通過する溝に吸引機構を内蔵してあって、フィルムの切断において発生する切り屑は、この吸引機構で吸引排除するようにしている（下記文献参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特公平７−５１３４７号公報（全頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術においては、吸着プレートにおけるフィルムの吸着機構と切り屑の吸引機構は吸着プレートから吸引管を介して同じ真空系に連結している。そのため、吸着プレート上に吸着されたフィルムをディスクカッタなどで切断して行くに従って、吸引管は切り屑の吸引機構のところで大気に開放されていき、フィルムの吸着力と切り屑の吸引力はともに低下し、フィルムの保持ができなくなって正確にフィルム切断ができなるだけでなく、切り屑の除去も不可能になる。
【０００６】
それゆえ本発明の目的は、フィルムの切断中にフィルムの保持を確実にできて正確にフィルムを切断することができ、切り屑の除去も可能で、基板にフィルム本体を貼り付ける時に切り屑を巻き込むことがないフィルム貼付け装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、搬送路上を搬送されてくる複数の基板のそれぞれにフィルムロールから繰り出したベースフィルムとフィルム本体を有する多層構成フィルムにおける該フィルム本体の粘着性により各基板の所望領域に該フィルム本体を貼付けるフィルム貼付け装置において、フィルムロールから繰り出した多層構成フィルムのフィルム本体における基板間に相当する部位及び基板とフィルム本体との貼付けを望まない部分に相当する部位のフィルム本体を該フィルム本体の幅方向に移動して切断するカッタを備えたフィルム切断手段と、該多層構成フィルムを中央にして該カッタと反対側に位置して該カッタが該フィルム本体をその幅方向に切断する際に該ベースフィルムを吸着している保持手段と、該カッタの該フィルム本体に対する移動の後方に位置し該カッタと共に移動する吸引手段と、を設けたことにある。
【０００８】
本発明装置においては、フィルムの吸着系と切り屑の吸引系が分離しているから、吸着プレート上に吸着されたフィルムをディスクカッタなどで切断して行っても、フィルムの吸着力と切り屑の吸引力はともに低下することがない。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図１と図２に示す一実施形態に基づいて、本発明装置を説明する。
図１は本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置を示しており、基板とフィルムの搬送方向が分かるようにした要部概略（縦）断面図である。図２は図１のフィルム貼付装置におけるレジストフィルム切断ユニットを示しており、レジストフィルム切断ユニットの動作方向が分かるようにした概略（横）断面図である。
【００１０】
両図において、１はフィルム２を巻いて形成してあるフィルムロールであり、フィルム２は内側と外側にカバーフィルム２ａとベースフィルム２ｂが位置し、間にレジストフィルム２ｃが位置する。このレジストフィルム２ｃが後述する基板における所望の位置に貼り付けたいフィルム本体である。レジストフィルム２ｃは粘着性を有し、その粘着性でカバーフィルム２ａおよびベースフィルム２ｂと多層構成となっている。３はカバーフィルム２ａの剥ぎ取りロールであり、このロール３において剥ぎ取ったカバーフィルム２ａは図示を省略した巻き取りロールに回収している。
【００１１】
５はベースフィルム２ｂを吸着して保持する保持手段（以下、吸着プレートと称する）、６はディスクカッタ７を備えたフィルム切断手段であり、フィルムの切断については後で詳細に説明する。８は真空室、９は真空室８外に位置して真空室８に基板１０を適宜な間隔をもって順次搬送してくる搬送路を構成している室外搬送ローラ、１１は真空室８に基板１０を搬入する基板搬入口、１２は真空室８内にあって上下１対の圧着ローラ１４でレジストフィルム２ｃを基板１０に貼り付けてから基板１０を室外に搬送する室内搬送ローラ、１３は真空室８内におけるフィルム２の長さを調整するテンションローラ、１５は真空室８内にフィルム２を搬入するフィルム搬入口、１６はレジストフィルム２ｃを貼り付けた基板１０を真空室８外に搬出する基板搬出口である。
【００１２】
フィルム２は、カバーフィルム剥ぎ取りロール３でカバーフィルム３を剥ぎ取られたりレジストフィルム切断ユニット６においてレジストフィルム２ｃが部分的に切断され除去されて形を変えていくが、その都度名称を変えて表示すると混乱しかねないので、形を変えてもフィルム２と総称する。
【００１３】
１７はレジストフィルム切断ユニット６と一体になったレジストフィルム除去ユニットで、フィルム除去ユニットベース１８が図示していないアクチュエータによりフィルム２の幅方向（図２にあっては左右方向）に移動するようになっている。１９は粘着テープ、２０は粘着テープ１９を巻き付けて形成した粘着テープロール、２１は粘着テープ１９を巻き取る粘着テープ巻き取りロール、２２は粘着テープ押し付けローラ２３に巻き掛けた粘着テープ１９をレジストフィルム２ｃに押し付けるシリンダで、フィルム除去ユニットベース１８の移動の際には粘着テープ１９がレジストフィルム２ｃをベースフィルム２ｂから剥ぎ取るようになっている。
【００１４】
２４はレジストフィルム２ｃが剥ぎ取られて露出したベースフィルム２ｂにミシン目を形成するミシン目カッタ、２５はディスクカッタ７がレジストフィルム２ｃを切断する際に発生する切り屑を吸引除去する吸引パイプ、２６はミシン目カッタ２４がベースフィルム２ｂにミシン目を形成する際に発生する切り屑を吸引除去する吸引パイプである。
【００１５】
以下、図１に示したフィルム貼付け装置の動作について説明する。
基板１０は室外搬送ローラ９で適宜・所望の間隔で搬送され、１枚毎に開閉する基板搬入口１１を経て室内搬送ローラ１２により真空室８内の加熱式圧着ロール１４のところまで搬送される。フィルム搬入口１５から真空室８に入る前に予めカバーフィルム剥ぎ取りロール３においてカバーフィルム２を取り除いてベースフィルム２ｂとレジストフィルム２ｃの２層構造になっているフィルム２は、粘着性のあるレジストフィルム４をレジストフィルム切断ユニット６により部分的に厚さ方向に切断し、レジストフィルム除去ユニット１７により取り除く。部分的に切断し除去して露出したベースフィルム２ｂの部分をフィルム搬入口１５でシールし、真空室８の気密を保っている。
【００１６】
フィルム搬入口１５は、圧縮空気を入れることで柔軟にふくらむ袋状のシールユニットを上下に持つ構造になっていて、上下の袋状シールユニット間で露出したベースフィルム２ｂの部分を挟持してシールを行い、圧縮空気を抜くことでフィルム搬入口は開いてフィルム２が通過し搬送できるようになっている。
【００１７】
フィルム２上のレジストフィルム２ｃは基板１０の所望領域に貼り付けたい長さであり、前後基板間の間隔と基板１０の前後各端部のレジストフィルム２ｃを貼り付けたくない長さの加算分を搬送方向に配置した１対のディスクカッタ７で切断する。
【００１８】
図２に示すように、フィルム除去ユニットベース１８が右方向に移動する際、ディスクカッタ７がレジストフィルム２ｃを幅方向に切断し、続いてシリンダ２２が粘着テープ押し付けローラ２３で粘着テープ１９を前後に切断目ができたレジストフィルム２ｃ上に押し付けて移動していくことにより、粘着テープ１９は前後に切断目ができたレジストフィルム２ｃをフィルム２から剥ぎ取って、ベースフィルム２ｂを露出させる。
【００１９】
粘着テープ押し付けローラ２３の後をミシン目カッタ２４が追従して露出したベースフィルム２ｂにミシン目を形成する。ミシン目カッタ２４はディスクカッタ７と同様にフィルム２の搬送方向に１対存在し、露出しているベースフィルム２ｂの幅方向に２列のミシン目を形成する。この時、吸着プレート５はベースフィルム２ｂを吸着し保持している。ディスクカッタ７がレジストフィルム２ｃを切断しミシン目カッタ２４がベースフィルム２ｂにミシン目を形成する際に発生する切り屑はそれぞれディスクカッタ７，ミシン目カッタ２４のすぐ後方に位置した吸引パイプ２５，２６で吸引除去している。
【００２０】
吸着プレート５と吸引パイプ２５，２６は、それぞれ図示していない開閉弁を介して真空源と独立して連結しており、吸着プレート５における吸引力は低下しない。従って、ディスクカッタ７はレジストフィルム２ｃを正確に切断し、ミシン目カッタ２４はベースフィルム２ｂにミシン目を正確に形成する。
【００２１】
レジストフィルム切断ユニット６でレジストフィルムを切断しレジストフィルム除去ユニット１７で不要な基板間とその前後における基板に貼り付けたくない部分のレジストフィルムを除去し基板１０に貼り付ける所望の長さとなったレジストフィルム２ｃの各先頭位置と基板１０の貼り合せるべき位置が一致したら、真空室８内を減圧し圧着ローラ１４で上下から基板１０とフィルム２を挟んで圧着ローラ１４の回転で基板１０を下流側に送って、レジストフィルム２ｃを基板１０に貼り付ける。貼付後の基板１０は、基板搬入口１１からの新たな基板の搬入時に合わせて、順次基板搬出口１６から図示していない下流側の室外搬送ロールでさらに下流の工程に送る。
【００２２】
なお、テンションローラ１３は真空室８を減圧し室外からフィルム２を搬入できない場合に基板１０へのレジストフィルム２ｃの貼り付けで短くなっていくフィルム２の真空室８内での長さを矢印方向に移動して調整しつつフィルム２の張り具合を調整するものである。
【００２３】
吸引パイプ２５，２６は切り屑吸引効果を上げるために、ディスクカッタ７，ミシン目カッタ２４のすぐ後方に位置した吸引パイプ２５，２６は、ディスクカッタ７，ミシン目カッタ２４における歯の厚さより大きい口径を持ち、歯の厚さ中心と吸引パイプの口径中心がほぼ一致するような配置構成を採っていると良い。
【００２４】
なお、上記実施形態では真空室８内でフィルム２の貼付けを実施しているが、大気中で実施するタイプのフィルム貼付け装置に適用しても良い。
【００２５】
また、カッタ７で切断したレジストフィルム２ｃにおける基板間に相当する部位及び基板１０とレジストフィルム２ｃとの貼付けを望まない部分に相当する部位のレジストフィルムの除去は、基板１０とレジストフィルム２ｃの貼付けた後で実施しても良い。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明フィルム貼付け装置によれば、フィルムの切断中にフィルムの保持を確実にできて正確にフィルムを切断することができ、切り屑の除去も可能で、基板にフィルム本体を貼付ける時に切り屑を巻き込むことがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置を示す要部概略断面図である。
【図２】図１のフィルム貼付装置におけるレジストフィルム切断ユニットを示す概略断面図である。
【符号の説明】
１‥フィルムロール
２‥フィルム
２ａ‥カバーフィルム
２ｂ‥ベースフィルム
２ｃ‥レジストフィルム
３‥カバーフィルム剥ぎ取りロール
５‥吸着プレート
６‥レジストフィルム切断ユニット
７‥ディスクカッタ
８‥真空室
９‥室外搬送ローラ
１０‥基板
１１‥基板搬入口
１２‥室内搬送ローラ
１３‥テンションローラ
１４‥圧着ローラ
１５‥フィルム搬入口
１６‥基板搬出口
１７‥レジストフィルム除去ユニット
１８‥フィルム除去ユニットベース
１９‥粘着テープ
２０‥粘着テープロール
２１‥粘着テープ巻き取りロール
２２‥シリンダ
２３‥粘着テープ押し付けローラ
２４‥ミシン目カッタ
２５、２６‥吸引パイプ
【図１】
2004175050.tif 000003
【図２】
2004175050.tif 000004