(57)【要約】【課題】簡単な構成で超音波モータの駆動電源の単純化及び小型化を図ることのできる超音波振動子及びそれを用いた超音波モータを提供する。【解決手段】本発明の超音波振動子１は、第１，第２の積層部２，３を有し、該第１積層部２は最上端に配される第１の圧電シート１１Ａと中央に配される第１の圧電シート１１Ｂとの間に挟持されるように２種の第２の圧電シート６Ａ，６Ｂを交互に積層することで構成され、前記第２積層部３は中央に配される第１の圧電シート１１Ｂと最下端に配される第１の圧電シート１１Ｃとの間に挟持されるように２種の第２の圧電シート６Ｃ，６Ｄを交互に積層することで構成される。こうして、Ａ相，Ｂ相，Ａ１相，Ｂ１相の外部電極４が形成された４相駆動方式の超音波振動子１を構成でき、これを用いた２次元駆動可能な超音波モータ２０を構成できる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部電極と圧電素子が交互に積層され該内部電極と導通した外部電極を有する超音波振動子であって、
第１の方向である積層方向と直交する第２の方向に沿って２分割された内部電極を少なくとも有する第１積層部と、
前記第１の方向および前記第２の方向と直交する第３の方向に沿って２分割された内部電極を少なくとも有する第２積層部と、
前記第１積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第１外部電極群と、
前記第２積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第２外部電極群と、からなり、
前記第１外部電極群に交番電圧を印加することにより前記第１の方向の縦振動と前記第３の方向の屈曲振動を励起し、および／もしくは前記第２外部電極群に交番電圧を印加することにより前記第１の方向の縦振動と前記第２の方向の屈曲振動を励起することにより該前記超音波振動子に超音波楕円振動を発生することを特徴とする超音波振動子。
【請求項２】
内部電極と圧電素子が交互に積層され該内部電極と導通した外部電極を有する超音波振動子であって、
第１の方向である積層方向と直交する第２の方向に沿って、且つ該第１の方向および該第２の方向と直交する第３の方向に沿って略均等に四分割された内部電極を少なくとも有する第１積層部および第２積層部と、
前記第１積層部および前記第２積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第１外部電極群と、
前記第１積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第２外部電極群と、
前記第２積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第３外部電極群と、からなり、
前記第１外部電極群に交番電圧を印加することにより前記第２の方向の縦振動と前記第３の方向の屈曲振動を励起し、および／もしくは前記第２外部電極群および前記第３外部電極群に交番電圧を印加することにより前記第２の方向の縦振動と前記第１の方向の屈曲振動を励起することにより前記超音波振動子に超音波楕円振動を発生することを特徴とする超音波振動子。
【請求項３】
前記超音波楕円振動を発生する部位に摩擦部材を固定したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の超音波振動子。
【請求項４】
前記摩擦部材は、その一部に突起形状を有して構成したことを特徴とする請求項３に記載の超音波振動子。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の超音波振動子と、前記超音波振動子の超音波楕円振動発生部位に接触して該超音波振動子と相対的に２次元の任意の方向に駆動される被駆動体とを少なくとも有して構成されたことを特徴とする超音波モータ。
【請求項６】
前記被駆動体の相対的な移動が回転であることを特徴とする請求項５に記載の超音波モータ。
【請求項７】
前記被駆動体の相対的な移動が直進であることを特徴とする請求項５に記載の超音波モータ。
【請求項８】
前記超音波振動子は該超音波振動子の生じる縦振動及び屈曲振動の略節部の位置に設けられた複数のピンによって該超音波筐体内に保持され、前記被駆動体は前記超音波振動子の超音波楕円振動発生部位に接触するように押圧手段によって支持されることを特徴とする請求項５に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内部電極と圧電素子が積層された構造を有する超音波振動子及びそれを用いた超音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして超音波モータが注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータに比べ以下のような利点を有している。
【０００３】
（１）ギヤなしで低速高推力が得られる。
（２）保持力を有する。
（３）ストロークが長く、高分解能である。
（４）静粛性に富んでいる。
（５）磁気的ノイズを発生せず、また、ノイズの影響も受けない。
【０００４】
このような利点を有する超音波モータとしては、回転型モータ、リニア型モータ、２次元型モータ等があり、また、該二次元型超音波モータの従来の関連技術としては、本出願人によって提案がなされた、例えば、特開平５−１４６１７１号公報に開示された超音波振動子がある。
以下、図１３乃至図１５を参照しながら、前記特開平５−１４６１７１号公報の提案における従来の二次元超音波モータについて説明する。
図１３乃至図１５は従来の二次元超音波モータの構成例を説明するためのもので、図１３は該二次元超音波モータに用いられる超音波振動子の構成斜視図、図１４は図１３の超音波振動子に用いられる第１の積層体の上方からの分解斜視図、図１５は図１３の超音波振動子に用いられる第２の積層体の上方からの分解斜視図をそれぞれ示している。
【０００５】
まず、超音波振動子の構成について説明する。
従来の二次元超音波モータには、図１３に示す超音波振動子１００が用いられており、該超音波振動子１００は、第一の積層体１０６ａと第二の積層体１０６ｂとが直列に接合された積層体１０６を有して構成されたものである。
【０００６】
第一の積層体１０６ａと第二の積層体１０６ｂは、内部電極と圧電素子が交互に積層された構造を有して構成されている。
【０００７】
すなわち、第一の積層体１０６ａは、図１４に示すように全面電極、圧電素子、第一の方向に２分割された内部電極、圧電素子、全面電極、圧電素子、第一の方向と直交する方向に２分割された内部電極、圧電素子、…の順に積層されたものである。
【０００８】
また、第二の積層体１０６ｂは、図１５に示すように全面電極、圧電素子、全面電極、圧電素子、…の順に積層されたものである。
【０００９】
次に、該振動子の動作について説明する。
上記構成の超音波振動子１００において、いま、第一の積層体１０６ａに交番電圧を印加したとする。すると、この交番電圧を印加することにより、該超音波振動子１００は、下部を固定端とするＸ−Ｚ面内の屈曲共振振動、もしくはＹ−Ｚ面内の屈曲共振振動が励起されることになる。また、第二の積層体１０６ｂに交番電圧を印加すると、この交番電圧の印加によって、該超音波振動子１００はＺ方向に振動が励起されることになる。
【００１０】
ここで、図１３に示す超音波振動子１００の上端面に配された突起台１０３近傍に着目すると、前記振動を合成することにより、Ｚ軸を含む任意の振動面を有する楕円振動が形成されることになる。これにより、該突起台１０３上に設けられた突起１０４に図示しない被駆動体を押圧させることにより、該被駆動体をＸーＹ面内の任意の方向に移動させることが出来る。
【００１１】
【特許文献１】
特開平５−１４６１７１号公報（第２頁ー第４頁、第１図）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した特開平５−１４６１７１号公報の提案における従来の二次元超音波モータでは、屈曲振動は屈曲振動を励起するための部位により励起され、縦振動は縦振動を励起するための部位により励起されるために、電源側から超音波振動子を見たときの屈曲振動端子間のインピーダンスと縦振動用のインピーダンスとが異なってしまう。また、該超音波振動子を用いた２次元超音波モータを考慮した場合、該超音波振動子の積層体の下端面は適用されたユニットの固定部位上に固定されるため、この固定部位の厚みによっては屈曲振動や縦振動における共振周波数が変化してしまう虞もある。
【００１３】
このような理由から、電源側の屈曲振動用の出力回路と縦振動用の出力回路ではその設計を変えなければならず、電源回路を構成する上で複雑で大型なものになってしまうといった不都合があった。
【００１４】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、簡単な構成で超音波モータの駆動電源の単純化及び小型化を図ることのできる超音波振動子及びそれを用いた超音波モータを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の超音波振動子は、内部電極と圧電素子が交互に積層され該内部電極と導通した外部電極を有する超音波振動子であって、第１の方向である積層方向と直交する第２の方向に沿って２分割された内部電極を少なくとも有する第１積層部と、前記第１の方向および前記第２の方向と直交する第３の方向に沿って２分割された内部電極を少なくとも有する第２積層部と、前記第１積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第１外部電極群と、前記第２積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第２外部電極群と、からなり、前記第１外部電極群に交番電圧を印加することにより前記第１の方向の縦振動と前記第３の方向の屈曲振動を励起し、および／もしくは前記第２外部電極群に交番電圧を印加することにより前記第１の方向の縦振動と前記第２の方向の屈曲振動を励起することにより該前記超音波振動子に超音波楕円振動を発生することを特徴とするものである。
【００１６】
請求項１の発明によれば、  第１積層部の外部電極群（Ａ相，Ｂ相）に位相の異なる交番電圧を印加することより超音波振動子に縦振動と該縦振動の振動方向を含む第１の面内の屈曲振動を励起し該第１の面内に超音波楕円振動を発生させることができる。また、第２積層部の外部電極群（Ａ１相、Ｂ１相）に位相の異なる交番電圧を印加することにより超音波振動子に縦振動と該第１の面と直交し該縦振動の振動方向を含む第２の面内の屈曲振動を励起させ該第２の面内の超音波楕円振動を発生させることができる。さらに、第１積層部の外部電極（Ａ相、Ｂ相）および第２積層部の外部電極（Ａ１相、Ｂ１相）に同時に交番電圧を印加することにより縦振動の振動方向を含む任意の面内の超音波楕円振動を発生させることができる。例えば、駆動回路は４相駆動回路を用いる。この場合、第１積層部に印加する相をＡ相，Ｂ相、第２積層部に印加する相をＡ１相，Ｂ１相とした。本発明では第１積層部と第２積層部とで同一の構造を有しており、第１積層部のＡ相、第１積層部のＢ相、第２積層部のＡ１相、第２積層部のＢ１相の駆動回路から見たインピーダンスが略同じであるので、４相駆動回路のＡ相、Ｂ相、Ａ１相、Ｂ１相の出力回路構成（出力インピーダンス等）は全く同様の構成をとることが出来る。これにより、駆動回路の単純化及び小型化が達成できる。
【００１７】
請求項２の発明の超音波振動子は、内部電極と圧電素子が交互に積層され該内部電極と導通した外部電極を有する超音波振動子であって、第１の方向である積層方向と直交する第２の方向に沿って、且つ該第１の方向および該第２の方向と直交する第３の方向に沿って略均等に四分割された内部電極を少なくとも有する第１積層部および第２積層部と、前記第１積層部および前記第２積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第１外部電極群と、前記第１積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第２外部電極群と、前記第２積層部の所定の内部電極ごとにそれぞれ導通するごとく設けられた第３外部電極群と、からなり、前記第１外部電極群に交番電圧を印加することにより前記第２の方向の縦振動と前記第３の方向の屈曲振動を励起し、および／もしくは前記第２外部電極群および前記第３外部電極群に交番電圧を印加することにより前記第２の方向の縦振動と前記第１の方向の屈曲振動を励起することにより前記超音波振動子に超音波楕円振動を発生することを特徴とするものである。
【００１８】
請求項２の発明によれば、第１外部電極群（Ａ相，Ｂ相）に位相の異なる交番電圧を印加することより超音波振動子に縦振動と該縦振動の振動方向を含む第１の面内の屈曲振動を励起し該第１の面内に超音波楕円振動を発生させることが出来る。また、第２，第３外部電極群（Ａ１相，Ｂ１相）に位相の異なる交番電圧を印加することにより超音波振動子に縦振動と該第１の面と直交し該縦振動の振動方向を含む第２の面内の屈曲振動を励起させ該第２の面内の超音波楕円振動を発生させることができる。第１外部電極群（Ａ相，Ｂ相）および第２，第３外部電極群（Ａ１相，Ｂ１相）に同時に交番電圧を印加することにより縦振動の振動方向を含む任意の面内の超音波楕円振動を発生させることができる。この場合、第１外部電極群に印加する相をＡ相，Ｂ相、第２外部電極群および第３外部電極群に印加する相をＡ１相，Ｂ１相とした。本発明ではＡ相，Ｂ相，Ａ１相，Ｂ１相の駆動回路から見たインピーダンスが略同じであるので、４相駆動回路のＡ相、Ｂ相、Ａ１相、Ｂ１相の出力回路構成（出力インピーダンス等）は全く同様の構成をとることができる。これにより、駆動回路の単純化及び小型化が達成でき。さらに、本発明では積層方向が縦振動方向（長手方向）と直交する方向であり、積層枚数を少なくすることができる。また、内部電極パターンが一種類ですむ。
【００１９】
請求項３の発明の超音波振動子は、請求項１または請求項２に記載の超音波振動子において、前記超音波楕円振動を発生する部位に摩擦部材を固定したことを特徴とするものである。
【００２０】
請求項３の発明によれば、請求項１または請求項２に記載の超音波振動子において、摩擦部材は被駆動体と接触する部位であるので、圧電素子材料以外の耐久性のある摩擦部材や摩擦係数の大きい摩擦部材等が任意に選択できる。
【００２１】
請求項４の発明の超音波振動子は、請求項３に記載の超音波振動子において、前記摩擦部材は、その一部に突起形状を有して構成したことを特徴とするものである。
【００２２】
請求項４の発明によれば、積層振動子の摩擦部材の突起部と被駆動体とが接触するため、積層振動子側の接触位置が常に同一の位置に決まり、動作が安定することになる。
【００２３】
請求項５の発明の超音波モータは、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の超音波振動子と、前記超音波振動子の超音波楕円振動発生部位に接触して該超音波振動子と相対的に２次元の任意の方向に駆動される被駆動体とを少なくとも有して構成されたことを特徴とするものである。
【００２４】
請求項５の発明によれば、前記超音波振動子の超音波楕円振動が発生している部位に被駆動体を移動自在の状態で例えば押圧手段を用いて押圧するように構成すれば、該超音波楕円振動は積層振動子の長手方向を含む任意の向きの超音波楕円振動を発生するため、これに伴い被駆動体は２次元の任意の方向に駆動させることができる。
【００２５】
請求項６の発明の超音波モータは、請求項５に記載の超音波モータにおいて、前記被駆動体の相対的な移動が回転であることを特徴とするものである。
【００２６】
請求項６の発明によれば、請求項５の超音波モータにおいて、被駆動体を回転体とすることにより、被駆動体に回転動作をさせることが出来る。
【００２７】
請求項７の発明の超音波モータは、請求項５に記載の超音波モータにおいて、前記被駆動体の相対的な移動が直進であることを特徴とするものである。
【００２８】
請求項７の発明によれば、請求項５の超音波モータにおいて、被駆動体を平面体とすることにより、被駆動体に直進動作をさせることができる。
【００２９】
請求項８の発明の超音波モータは、請求項５に記載の超音波モータにおいて、前記超音波振動子は該超音波振動子の生じる縦振動及び屈曲振動の略節部の位置に設けられた複数のピンによって該超音波筐体内に保持され、前記被駆動体は前記超音波振動子の超音波楕円振動発生部位に接触するように押圧手段によって支持されることを特徴とするものである。
【００３０】
請求項８の発明によれば、前記請求項５の発明と同様に作用する他に、安定した出力特性を有する２次元超音波モータを構成できる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００３２】
第１の実施の形態：
（構成）
図１乃至図５は本発明に係る超音波振動子及びそれを用いた超音波モータの第１の実施の形態を示し、図１は該超音波モータに搭載された超音波振動子の概略構成を説明するもので、図１（ａ）は右斜め上方から見た超音波振動子の斜視図、図１（ｂ）は該超音波振動子の左側面から見た側面図、図１（ｃ）は該超音波振動子の裏面から見た側面図であり、図２は図１に示す超音波振動子の内部電極構造を詳しく示した要部分解斜視図、図３は本実施の形態の超音波振動子の動作状態を示す斜視図であり、図３（ａ）は１次の縦共振振動状態を示し、図３（ｂ）は二次の屈曲共振振動状態をそれぞれ示している。また、図４は上記超音波振動子を用いた超音波モータの基本構造を説明するための概念図であり、図５は他の超音波モータの基本構造を説明するための概念図である。
【００３３】
まず、本実施の形態の超音波モータに搭載された超音波振動子の構成について図１を参照しながら詳細に説明する。
【００３４】
本実施の形態の超音波振動子１は、図１（ａ）に示すように、積層型の超音波振動子であり、その断面が略正方形となる角柱形状に構成された積層体１Ａで主に構成されている。
【００３５】
この積層体１Ａは、図中に示すように、略上半分の積層体である第１積層部２と、略下半分の積層体である第２積層部３と、これら第１，第２積層部２，３の所定位置に設けられた外部電極４（７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂ）とで構成されている。
【００３６】
積層体１Ａの右側面上方には、第１積層部２の外部電極４を構成する外部電極Ａ相（Ａ＋，Ａ−）７Ｂ，８Ｂが焼き付け銀により形成されている。また、積層体１Ａの正面下方には、第２積層部の外部電極４を構成する外部電極Ａ相（Ａ１＋，Ａ１−）９Ｂ，１０Ｂが焼き付け銀により形成されている。
【００３７】
また、積層体１Ａの上下、左右の略中央部には、該超音波振動子１を保持するための例えばピン１３（図４参照）の装着用の穴５が設けられている。
【００３８】
さらに、本実施の形態の超音波振動子１では、図１（ｂ）に示すように、積層体１Ａの左側面の第１積層部２の上部には、第１積層部２の外部電極を構成する外部電極Ｂ相（Ｂ＋，Ｂ−）７Ｂ，８Ｂが焼き付け銀により形成されている。
【００３９】
また、図１（ｃ）に示すように、積層体１Ａの背面側面（裏面側面）の第２積層部３の下部には、第２積層部３の外部電極４を構成する外部電極Ｂ相（Ｂ１＋，Ｂ１−）９Ｂ，１０Ｂが焼き付け銀により形成されている。
【００４０】
すなわち、外部電極４は、積層体１Ａの各側面に露出する各内部電極面（外部電極７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂ）にそれぞれ焼き付き銀を施すことにより、該超音波振動子１を二次元的に励起させるのに必要な少なくとも４種の外部電極Ａ相（Ａ＋，Ａ−）、外部電極Ａ相（Ａ１＋，Ａ１−）、外部電極Ｂ相（Ｂ＋，Ｂ−）、外部電極Ｂ相（Ｂ１＋，Ｂ１−）を構成している。
【００４１】
なお、本実施の形態では、前記積層体１Ａは、例えば縦横が５ｍｍ，長さが約１９ｍｍとなる寸法で構成されている。
【００４２】
次に、本実施の形態の特徴となる超音波振動子１の内部電極構造について図２を参照しながら詳細に説明する。
【００４３】
超音波振動子１の積層体１Ａは、図２に示すように、絶縁体として電極が施されていない３枚の第１の圧電シート１１Ａ〜１１Ｃと、これら３枚の第１の圧電シート１１Ａ〜１１Ｃとの間に挟持されるように積層され、内部電極処理が施された薄い矩形状で複数設けられた第２の圧電体シート６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄとで、上述の第１積層部２，第２積層部３を構成する構造となっている。
【００４４】
具体的には、前記第１積層部２は、最上端に配される第１の圧電シート１１Ａと中央に配される第１の圧電シート１１Ｂとの間に挟持されるように２種の第２の圧電シート６Ａ，６Ｂを交互に積層することで構成され、前記第２積層部３は、中央に配される前記第１の圧電シート１１Ｂと最下端に配される第１の圧電シート１１Ｃとの間に挟持されるように２種の第２の圧電シート６Ｃ，６Ｄを交互に積層することで構成されている。
【００４５】
第１積層部２は、第１内部電極７Ａが形成された第２の圧電シート６Ａと第２内部電極８Ａが形成された第２の圧電シート６Ｂが交互に積層された構造になっている。
【００４６】
また、第２積層部３は、第３内部電極９Ａが形成された第２の圧電シート６Ｃと第４内部電極１０Ａが形成された第２の圧電シート６Ｄが交互に積層された構造になっている。
【００４７】
前記第１積層部２において、前記第２の圧電シート６Ａは、第１内部電極７Ａが圧電シート部１１ａの面上に略２分割されるように設けて形成されるとともに、それぞれの端部に外部電極（外部電極Ａ相（Ａ＋）用及び外部電極Ｂ相（Ｂ＋）用）に接続する部分が設けられて形成されている。
【００４８】
また、前記第２の圧電シート６Ｂは、第２内部電極８Ａが圧電シート部１１ａの面上に略２分割されるように設けて形成されるとともに、それぞれの端部に外部電極（外部電極Ａ相（Ａ−）用及び外部電極Ｂ相（Ｂ−）用）に接続する部分が設けられて形成されている。
【００４９】
一方、前記第２の積層部３において、前記第２の圧電シート６Ｃは、第３内部電極９Ａが圧電シート部１１ａの面上に略２分割されるように設けて形成されるとともに、それぞれの端部に外部電極（外部電極Ａ相（Ａ１＋）用及び外部電極Ｂ相（Ｂ１＋）用）に接続する部分が設けられて形成されている。
【００５０】
また、前記第２の圧電シート６Ｄは、第４内部電極１０Ａが圧電シート部１１ａの面上に略２分割されるように設けて形成されるとともに、それぞれの端部に外部電極（外部電極Ａ相（Ａ１−）用及び外部電極Ｂ相（Ｂ１−）用）に接続する部分が設けられて形成されている。
さらに詳細に説明すると、本実施の形態では、前記第１積層部２は、例えば厚さ数μｍの銀もしくは銀・パラジウム合金よりなる内部電極が印刷によりパターンニングされた厚さ約８０μｍの第１の圧電シート６Ａ，６Ｂが交互に複数枚積層されて構成されたものである。
【００５１】
また、第１の圧電シート６Ａ，６Ｂにおいて、前記第１内部電極７Ａ及び第２内部電極８Ａは、Ｘ方向（図１参照）に５００μｍ程度の間隙を有して略２分割されている。
【００５２】
第１内部電極７Ａの右片側は、外部電極Ａ相（Ａ＋）と接し導通する部分のみ端部まで電極が形成され、その他の部分は端部から５００μｍ程度の間隙部が設けられている。第１内部電極７Ａの左片側は、外部電極Ｂ相（Ｂ＋）と接し導通する部分のみ端部まで電極が形成されており、その他の部分は端部から５００μｍ程度の間隙部が設けられている。
【００５３】
第２内部電極８Ａの右片側は、外部電極Ａ相（Ａ−）と接し導通する部分のみ端部まで電極が形成され、その他の部分は端部から５００μｍ程度の間隙部が設けられている。第２内部電極８Ａの左片側は、外部電極Ｂ相（Ｂ−）と接し導通する部分のみ端部まで電極が形成され、その他の部分は端部から５００μｍ程度の間隙部が設けられている。
【００５４】
また、第１の圧電シート６Ｃ，６Ｄにおいて、前記第３内部電極９Ａ及び第４内部電極１０Ａは、Ｙ方向（図１参照）に５００μｍ程度の間隙を有して略２分割されている。
【００５５】
第３内部電極９Ａの手前側は、外部電極Ａ相（Ａ１＋）と接し導通する部分のみ端部まで電極が形成され、その他の部分は端部から５００μｍ程度の間隙部が設けられている。第３内部電極９Ａの奥側は、外部電極Ｂ相（Ｂ１＋）と接し導通する部分のみ端部まで電極が形成されており、その他の部分は端部から５００μｍ程度の間隙部が設けられている。
【００５６】
第４内部電極１０Ａの手前側は、外部電極Ａ相（Ａ１−）と接し導通する部分のみ端部まで電極が形成され、その他の部分は端部から５００μｍ程度の間隙部が設けられている。第４内部電極１０Ａの奥側は、外部電極Ｂ相（Ｂ１−）と接し導通する部分のみ端部まで電極が形成され、その他の部分は端部から５００μｍ程度の間隙部が設けられている。
【００５７】
このようにして、本実施の形態の特徴となる内部電極構造を備えた超音波振動子１を構成している。
【００５８】
次に、本実施の形態の超音波振動子１の製造方法について説明する。
【００５９】
本実施の形態では、前記第１及び第２の圧電シート１１Ａ〜１１Ｃ，６Ａ〜６Ｄを構成する圧電材料としては、圧電定数の大きいＰＺＴ系の圧電材料を用いた。
【００６０】
まず、ＰＺＴ仮焼粉末を溶媒と混合し、ドクターブレード法により２種の圧電シート（グリーンシートとも称す：第１の圧電シート１１Ａ〜１１Ｃ及び第２の圧電シート６Ａ〜６Ｄ用の圧電シート部１１ａ）を作製した。
【００６１】
なお、第１の圧電シート１１Ａ〜１１Ｃは前記第２の圧電シート６Ａ〜６Ｄ（圧電シート部１１ａ：図２参照）よりも厚く、逆に第２の圧電シート６Ａ〜６Ｄ（圧電シート部１１ａ）は、前記第１の圧電シート１１Ａ〜１１Ｃよりみ薄く成形されることになる。
【００６２】
この圧電シート部１１ａは複数枚用意され、４種類の内部電極パターン（図２参照）を印刷により形成することで、図２に示す第２の圧電シート６Ａ〜６Ｄを作製した。そして、第１の圧電シート１１Ａ〜１１Ｃを用意し、図２で説明したような積層形態にて、これらの第１の圧電シート１１Ａ〜１１Ｃの間に前記４種の第２の圧電シート６Ａ〜６Ｄを正確に位置決めし積層する。
【００６３】
その後、積層された積層体を加熱プレス機で加圧し、電気炉にて脱脂、焼成を行った。
【００６４】
そして、積層体の所定に位置（図１参照）に外部電極４として銀を焼き付け、分極装置により分極を行った。この場合の、分極の際の極性については図１中に（＋，−）で示した。
【００６５】
その後、積層体の側面（あるいは４側面）の略中央部に０．５ｍｍ程度の穴５を形成する。
【００６６】
最後に、図示しないが各外部電極４にはリード線、もしくはフレキシブル基板を取付けてリード電気端子を設ける。
【００６７】
こうして、本実施の形態の超音波振動子１（積層体１Ａ）と成す。
【００６８】
なお、本実施の形態では、例では１個の超音波振動子１を作製する場合を述べたが、例えば広い圧電シートに同時に同じ内部電極パターンを印刷して、電気炉にて焼成する前に裁断すれば、同時に多数個の超音波振動子１を作製することができ、製造工程の簡略化及び製造コストの低減化を図るのに有効である。また、変形例としては、第１積層部２と第２積層部３を別々に作成し、その後、これらを接着により接合して積層体１Ａを作製しても良い。
【００６９】
（作用）
次に、上記構成の超音波振動子１の動作について図１乃至図３を参照しながら詳細に説明する。
【００７０】
なお、予め、図示はしないが各外部電極４の各リード電気端子にリード線（またはフレキシブル基板）を半田にて結線し、さらに、図示はしないが該超音波振動子１の駆動電源手段として４相駆動電源を用意し、この４相駆動電源に前記各リード線（又はフレキシブル基板）を電気的に接続したものとして説明する。
【００７１】
いま、図１の超音波振動子１の上記Ａ相，Ｂ相に、同位相で周波数７０ＫＨｚの交番電圧を印加したものとする。すると、超音波振動子１は、図３（ａ）に示す振動方向ＡをＺ方向（図１参照）とする１次の縦共振振動が励起された。
【００７２】
また、上記Ａ相，Ｂ相に、位相が１８０度異なる７０ＫＨｚの交番電圧を印加したところ、超音波振動子１は、図３（ｂ）に示す振動面がＹＺ面内にある２次屈曲共振振動が励起された。
【００７３】
さらに、上記Ａ相，Ｂ相に、位相が９０度異なる７０ＫＨＺの交番電圧を印加したところ、前述した縦振動（図３（ａ）参照）と屈曲振動（図３（ｂ）参照）とが同時に励起され、超音波振動子１上面に振動面がＹＺ面内にある超音波楕円振動が励起された。
【００７４】
次に、図１の超音波振動子１の上記Ａ１相，Ｂ１相に、同位相で周波数７０ＫＨｚの交番電圧を印加したものとする。すると、超音波振動子１は、図３（ａ）に示す振動方向ＡをＺ方向（図１参照）とする１次の縦共振振動が励起された。
【００７５】
また、上記Ａ１相，Ｂ１相に、位相が１８０度異なる７０ＫＨｚの交番電圧を印加したところ、超音波振動子１は、図３（ｂ）に示す振動面がＸＺ面内にある２次屈曲共振振動が励起された。
【００７６】
さらに、上記Ａ１相，Ｂ１相に、位相が９０度異なる７０ＫＨＺの交番電圧を印加したところ、前述した縦振動（図３（ａ）参照）と屈曲振動（図３（ｂ）参照）とが同時に励起され、超音波振動子１上面に振動面がＸＺ面内にある超音波楕円振動が励起された。
最後に、本実施の形態の超音波振動子１において、上記Ａ相，Ｂ相，Ａ１相，Ｂ１相に、７０ＫＨｚの交番電圧を印加し、この場合の、Ａ相，Ｂ相間の位相差を９０度もしくはー９０度、Ａ１相，Ｂ１相間の位相差を９０度もしくはー９０度とし、印加電圧の大きさを変化させたものとする。すると、超音波振動子１は、該超音波振動子１上面において超音波楕円振動がＺ軸を含む任意の面内に励起し発生することが確認できた。
【００７７】
次に、上記超音波振動子１を用いた２次元超音波モータ２０の構成について図４を参照しながら詳細に説明する。
【００７８】
本実施の形態の超音波モータ２０は、図４に示すように上記構成の超音波振動子１と、該超音波振動子１の上端面に設けられた摩擦部材１２と、この摩擦部材１２と接触するように図示しない押圧手段により保持された球形状の被駆動体１５と、前記超音波振動子１の穴５に装着されたピン１３と、を備えて構成されている。
【００７９】
前記摩擦部材１２は、超音波楕円振動が発生する超音波振動素子１の上端面に設けられたもので、具体的には摩擦部材としてアルミナ砥粒が含有されている砥石材料を設け、これを接着したものである。
【００８０】
また、超音波振動子１の穴５は、図１に示すように略中央部の４つの側面にそれぞれ設けられており、これらの穴５にはピン１３が嵌装されている。これら４方向に嵌装されたピン１３は、超音波モータ２０の筐体内の壁部１４に固定されており、これにより、超音波振動子１を超音波モータ２０の筐体内に保持固定されるようになっている。
【００８１】
なお、本実施の形態では、前記ピン１３が挿入された穴５は、超音波振動子１の生じる縦振動及び屈曲振動の略節部の位置（積層体１Ａの略中央部）に設けられたものである。
【００８２】
また、前記被駆動体１５は、例えば、ジルコニアセラミクスの材質を用いて形成されたもので、上記の如く図示しない押圧手段により上方、あるいは上方及び側面方向からち該超押派振動子１に対し回転自在の状態で押圧されている。
【００８３】
次に、上記構成の超音波リニアモータ２０の動作について説明する。
【００８４】
上記構成の超音波モータ２０において、いま、超音波振動子１のＡ相，Ｂ，Ａ１相，Ｂ１相に、７０ＫＨｚの交番電圧を印加し、この場合の、Ａ相，Ｂ相間の位相差を９０度もしくはー９０度、Ａ１相，Ｂ１相間の位相差を９０度もしくはー９０度とし、印加電圧の大きさを変化させたものとする。
【００８５】
すると、超音波振動子１は、該超音波振動子１上面において超音波楕円振動がＺ軸を含む任意の面内に励起し、これに連動して球状の被駆動体１５は、ＸＹ面内に回転軸を有する任意の回転方向に駆動することが確認できた。
【００８６】
なお、本発明の超音波モータ２０は、図４に示す形態に限定されるものではなく、例えば図５の変形例に示すように構成しても良い。すなわち、図５に示すように、図５に示す板状の摩擦部材１２に代えて球形状の摩擦部材１２Ａを設けるとともに、図５に示す球状の被駆動体１５に代えて板状の被駆動体１５Ａを設けて構成する。このような構成の超音波モータ２０Ａの場合でも、上記同様に、超音波振動子１に電圧を印加することにより、被駆動体１５ＡをＸＹ面内の任意の方向に駆動することが出来た。
【００８７】
（効果）
したがって、本実施の形態によれば、４相駆動方式の超音波振動子１として構成することで、各相のインピーダンスを同じにすることができる。これにより、駆動電源回路を単純化及び小型化を図ることが可能となる。
【００８８】
また、従来の超音波モータは、超音波振動子の下端部を固定するものであり、その超音波振動子下部を固定する固定部材の構造（大きさ、質量、剛性等）によっては超音波振動子そのものの固有振動数が大幅に変化してしまっていたが、本実施の形態の超音波モータでは、縦振動及び屈曲振動の共通の節部にて超音波振動子１が保持されているので該超音波振動子１の固有振動数の変動が非常に少ないという効果も得られる。
【００８９】
次に、前記第１の実施の形態の変形例を図６乃至図１０を参照しながら詳細に説明する。
【００９０】
（変形例１）
図６は前記第１の実施の形態の第１の変形例の超音波振動子の概略構成を説明するもので、図６（ａ）は右斜め上方から見た超音波振動子の斜視図、図６（ｂ）は該超音波振動子の左側面から見た側面図、図６（ｃ）は該超音波振動子の裏面から見た側面図であり、図７は図６に示す超音波振動子の内部電極構造を詳しく示した要部分解斜視図である。なお、図６は前記第１の実施の形態の超音波振動子と同様な構成要素については同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
【００９１】
本例では、第１内部電極６Ａと第３内部電極９Ａが２分割されている第２の圧電シート６Ａ，６Ｃは前記第１の実施の形態と同様に用いられているが、第２内部電極１６Ａと第４内部電極１７Ａとがそれぞれ２分割されていない第２の圧電シート６Ｅ，６Ｆを用いて積層体１Ｂを構成したことが特徴である。
【００９２】
図７に示すように、前記第２の圧電シート６Ｅは、第２内部電極１６Ａが圧電シート部１１ａの端部に対して隙間を設けて略面上全体に形成されるとともに、一部は端部まで形成されている。
【００９３】
また、前記第２の圧電シート６Ｆは、第４内部電極１７Ａが圧電シート部１１ａの端部に対して隙間を設けて略面上全体に形成されるとともに、一部は端部まで形成されている。
【００９４】
したがって、前記第１の実施の形態と同様に、第１積層部２は、第１内部電極７Ａが形成された第２の圧電シート６Ａと第２内部電極１６Ａが形成された第２の圧電シート６Ｅを交互に積層して構成され、第２積層部３は、第３内部電極９Ａが形成された第２の圧電シート６Ｃと第４内部電極１７が形成された第２の圧電シート６Ｆを交互に積層して構成される。こうして、本例の積層体１Ｂと成す（図６参照）。
【００９５】
これにより、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示すように、前記内部電極の端部に配された外部電極の配置位置に対応して外部電極４を形成すれば、８箇所の外部電極数であった前記第１の実施の形態よりも少ない６箇所の外部電極数に減らすことができる。つまり、図中に示すようにＡ相とＢ相の（−）側が同一の外部電極１６Ｂとなり、またＡ１相とＢ１相の（−）側が同一の外部電極１７Ｂとなる。
【００９６】
その他の構成、及び作用は前記第１の実施の形態と同様である。
【００９７】
本例によれば、前記第１の実施の形態と同様の効果が得られる他に、製造コストの低減化及び製造工程の簡略化を図る上で有効である。
【００９８】
（変形例２）
図８は前記第１の実施の形態の第２の変形例の超音波振動子の概略構成を説明するもので、図８（ａ）は右斜め上方から見た超音波振動子の斜視図、図８（ｂ）は該超音波振動子の左側面から見た側面図、図８（ｃ）は該超音波振動子の裏面から見た側面図であり、図９は図８に示す超音波振動子の内部電極構造を詳しく示した要部分解斜視図である。なお、図８は前記第１の実施の形態の超音波振動子と同様な構成要素については同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
【００９９】
本例では、前記第１の変形例を改良したもので、前記第１積層部２の第２圧電シート６Ｅと同じ形状のものを第２積層部３の第４内部電極を有する第２の圧電シートとして用い、第２内部電極と第４内部電極の外部電極との接合位置を同じ面として配されるように構成したことが特徴である。
【０１００】
つまり、図９に示すように、第２積層部３は、第３内部電極９Ａが形成された第２の圧電シート６Ｃと第４内部電極１６Ａとして形成された第２の圧電シート６Ｅを交互に積層して構成されるが、第２の圧電シート６Ｅの端部の外部電極と接する内部電極の向きが前記第１積層部１の第２圧電シート６Ｅの外部電極と同じ向きとなるように積層されることになる。こうして、本例の積層体１Ｃと成す（図８参照）。
【０１０１】
これにより、図８（ａ）〜図８（ｃ）に示すように、外部電極の数を前記第１の変形例よりもさらに一つ減らし、５箇所にすることが出来る。
【０１０２】
その他の構成、及び作用は前記第１の実施の形態と同様である。
【０１０３】
本例によれば、外部電極の個数をさらに１箇所少なくすることが出来、また、２種類の第２の圧電シート（第２の圧電シート６Ａ，６Ｃのタイプと第２の圧電シート６Ｅのタイプ）を用意すれば良いので、前記第１の変形例よりも製造コストの低減化及び製造工程の簡略化を図る上で有効である。
【０１０４】
（変形例３）
図１０は前記第１の実施の形態の第３の変形例を示し、超音波振動子を構成する第２の圧電シートの内部電極構造を説明するもので、図１０（ａ）は第１内部電極を有する第２の圧電シートの上面図、図１０（ｂ）は第２内部電極を有する第２の圧電シートの上面図、図１０（ｃ）は第３内部電極を有する第２の圧電シートの上面図、図１０（ｄ）は第４内部電極を有する第２の圧電シートの上面図である。なお、図１０は前記第１の実施の形態の超音波振動子と同様な構成要素については同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
【０１０５】
前記第１の実施の形態においては、超音波振動子形状を角柱形状に構成した場合について説明したが、本例では、該超音波振動子形状を角柱形状ではなく円柱形状に構成したことが特徴である。この場合の、各第２の圧電シートの内部電極形状が図１０に示されている。
【０１０６】
つまり、前記第１の実施の形態の超音波振動子（図２参照）を構成する第２の圧電シート６Ａが図１０（ａ）に示す第２の圧電シート６Ａ１に対応し、第２の圧電シート６Ｂが図１０（ｂ）に示す第２の圧電シート６Ｂ１に対応し、第２の圧電シート６Ｃが図１０（ｃ）に示す第２の圧電シート６Ｃ１に対応し、第２の圧電シート６Ｄが図１０（ｄ）に示す第２の圧電シート６Ｄ１に対応する。
【０１０７】
したがって、第２の圧電シート６Ａ１の第１内部電極７Ａ１の構成についても、その形状は異なる他は前記第１の実施の形態と同様に２分割されるとともに、端部の一部に外部電極７Ｂ１が形成されたものとなる。第２の圧電シート６Ｂ１，６Ｃ１，６Ｄ１についても同様である。
【０１０８】
本例では、このような円柱形状の第１及び第２の圧電シートを積層することで、図示はしないが円柱形状の超音波振動子（積層体１Ｄ）を構成している。
【０１０９】
なお、超音波振動子の円柱形状に伴い、その外周部分はＲ状になるが、外部電極の配置については前記第１の実施の形態と同様であるので説明は省略する。
【０１１０】
また、本例のその他の構成、作用及び効果については前記第１の実施の形態と同様である。
【０１１１】
さらに、前記第１の実施の形態では、上述した変形例の超音波振動子を用いて図４又は図５に示す超音波モータを構成しても良く、この場合も同様の作用及び効果が得られる。
【０１１２】
第２の実施の形態：
（構成）
図１１及び図１２は本発明に係る超音波振動子及びそれを用いた超音波モータの第２の実施の形態を示し、図１１は該超音波モータに搭載された超音波振動子の内部電極構造を詳しく示した要部分解斜視図、図１２は該超音波振動子の概略構成を説明するもので、図１２（ａ）は左側面から見た超音波振動子の側面図、図１２（ｂ）は正面から見た超音波振動子の正面図、図１２（ｃ）は右側面から見た超音波振動子の側面図、図１２（ｄ）は裏面（背面）から見た超音波振動子の背面図である。なお、図１１及び図１２は前記第１の実施の形態の構成要素と同様な構成要素については同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
【０１１３】
本実施の形態では、超音波振動子の外観形状については前記第１の実施の形態の超音波振動子の外観形状と同様に角柱形状ではあるが、該超音波振動子の積層方向が異なるように構成したことが特徴である。なお、本実施の形態の超音波振動子の実際の寸法についても前記第１の実施の形態の超音波振動子と略同様である。
【０１１４】
図１１に示すように、本実施の形態の超音波振動子１Ｅは、第１の圧電シート２２Ａ〜２２Ｃ及び第２の圧電シート２１Ａ〜２１Ｄの積層方向が、該超音波振動子１Ｅの１次縦振動の振動方向に対し直交する方向となるように積層して構成されたものである。
【０１１５】
超音波振動子１の積層体１Ｅは、図１１に示すように、絶縁体として電極が施されていない３枚の第１の圧電シート２２Ａ〜２２Ｃと、これら３枚の第１の圧電シート２２Ａ〜２２との間に挟持されるように且つ１次縦振動の振動方向に対し直交する方向に積層され、内部電極処理が施された薄い直方体形状で複数設けられた第２の圧電体シート２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄとで、第１積層部２，第２積層部３を構成する構造となっている。
【０１１６】
具体的には、前記第１積層部２は、最前部に配される第１の圧電シート２２Ａと中央に配される第１の圧電シート２２Ｂとの間に挟持されるように２種の第２の圧電シート２１Ａ，２１Ｂを交互に積層することで構成され、前記第２積層部３は、中央に配される前記第１の圧電シート２２Ｂと最後部に配される第１の圧電シート２２Ｃとの間に挟持されるように２種の第２の圧電シート２１Ｃ，２１Ｄを交互に積層することで構成されている。
【０１１７】
第１積層部２は、第１内部電極２３Ａが形成された第２の圧電シート２１Ａと第２内部電極２４Ａが形成された第２の圧電シート２１Ｂが、上述した積層方向で交互に積層された構造になっている。
【０１１８】
また、第２積層部３は、第３内部電極２５Ａが形成された第２の圧電シート２１Ｃと第４内部電極２６Ａが形成された第２の圧電シート２１Ｄが上記同様の積層方向で交互に積層された構造になっている。
【０１１９】
なお、これらの第１〜第４の内部電極２３Ａ〜２６Ａは、各第２の圧電シートの面を５００μｍ程度の間隙をもって略均等に４分割されている。また、分割された各々の内部電極２３Ａ〜２６Ａは、超音波振動子端部とは約５００μｍ程度の間隙を有して構成されるが、外部電極と接触する部分だけは振動子端部まで延長されている。したがって、第１積層部２，第２積層部３ともに、同じ内部電極形状で構成されている。
【０１２０】
また、前記第１の圧電シート２２Ａ〜２２Ｃのの厚さ寸法は、例えば５００μｍ程度に形成されている。
【０１２１】
このような第１，第２の圧電シートで積層されて構成された超音波振動子１Ｅの外観形状が図１２に示されている。
【０１２２】
図１２に示すように、本実施の形態の超音波振動子１Ｅにおいて、該超音波振動子１Ｅの左側面には、図１２（ａ）に示すように上半分に２箇所に外部電極が設けられている。これは第１積層部２と第２積層部３に渡って設けられたＡ相用の外部電極（Ａ＋，Ａ−）２３Ｂ（２５Ｂ），２４Ｂ（２６Ｂ）となる。
【０１２３】
超音波振動子１Ｅの左側面の下半分には、第１積層部２の位置にＡ１相用の外部電極（Ａ１＋，  Ａ１−）２３Ｂ，２４Ｂが設けられ、、また第２積層部の位置には、Ｂ１相用の外部電極（Ｂ１＋，Ｂ−）２５Ｂ，２６Ｂが設けられている。
【０１２４】
超音波振動子１Ｅの右側面には、図１２（ｃ）に示すように上半分に２箇所に外部電極が設けられている。これは第１積層部２と第２積層部３に渡って設けられたＢ相用の外部電極（Ｂ＋，Ｂ−）２３Ｂ（２５Ｂ），２４Ｂ（２６Ｂ）となる。
【０１２５】
超音波振動子１Ｅの右側面の下半分には、第１積層部２の位置にＡ１相用の外部電極（Ａ１＋，Ａ−）２３Ｂ，２４Ｂが設けられ、また第２積層部３の位置にはＢ１相用の外部電極（Ｂ１＋，Ｂ１−）２５Ｂ，２６Ｂが設けられている。
【０１２６】
また、超音波振動子１Ｅの正面は、図１２（ｂ）に示すように、下半分に左側面と右側面に設けられたＡ１相用（＋，−）の外部電極同士をそれぞれ連結するための外部電極４ａ，４ａが形成されている。
【０１２７】
さらに、超音波振動子１Ｅの裏面は、図１２（ｄ）に示すように、下半分に左側面と右側面に設けられたＢ１相用（＋，−）の外部電極同士をそれぞれ連結するための外部電極４ｃ，４ｃが形成されている。
【０１２８】
なお、本実施の形態では、図示はしないが、前記第１の実施の形態と同様に内部電極の（−）側は分割しないで全面電極として構成しても良い。
【０１２９】
また、本実施の形態の超音波振動子１ＥにおけるＡ相，Ｂ相，Ａ１相，Ｂ１相は、それぞれ同様に前記第１の実施の形態の値用音波振動子１ＡにおけるＡ相，Ｂ相，Ａ１相，Ｂ１相に対応するものである。
【０１３０】
また、前記超音波振動子１Ｅの製造方法は、前記第１の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【０１３１】
さらに、上記構成の超音波振動子１Ｅを用いた超音波モータの構成についても前記第１の実施の形態と同様であり説明を省略する。
【０１３２】
（作用）
本実施の形態の超音波振動子１Ｅは、前記第１の実施の形態の超音波振動子と同様に作用し、該超音波振動子１４を用いた図４又は図５に示す超音波モータを構成した場合も前記第１の実施の形態と同様に作用することになる。
【０１３３】
（効果）
したがって、本実施の形態によれば、超音波振動子１Ｅは積層方向が５ｍｍの方向であるので、積層枚数を減少することができ、また、内部電極形状も１種類で積層体１Ｅを構成することができるため、前記第１の実施の形態よりも製造コストの低減化及び製造工程の簡略化を図ることが可能となる。その他の効果については前記第１の実施の形態と同様である。
【０１３４】
なお、本発明は、上記第１，第２の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、これらの実施の形態及び変形例の組み合わせや応用も本発明に適用される。
【０１３５】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、簡単な構成で超音波モータの駆動電源の単純化及び小型化を図ることのできる超音波振動子及びそれを用いた超音波モータを構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の超音波振動子の第１の実施の形態を示し、該超音波振動子の概略構成を説明する斜視図。
【図２】図１に示す超音波振動子の内部電極構造を詳しく示した要部分解斜視図。
【図３】本実施の形態の超音波振動子の動作状態を示す斜視図。
【図４】超音波振動子を用いた超音波モータの基本構造を説明するための概念図。
【図５】他の超音波モータの基本構造を説明するための概念図。
【図６】第１の実施の形態の第１の変形例の超音波振動子の概略構成を説明する斜視図。
【図７】図６に示す超音波振動子の内部電極構造を詳しく示した要部分解斜視図。
【図８】第１の実施の形態の第２の変形例の超音波振動子の概略構成を説明する斜視図。
【図９】図８に示す超音波振動子の内部電極構造を詳しく示した要部分解斜視図。
【図１０】第１の実施の形態の第３の変形例を示し、超音波振動子を構成する第２の圧電シートの内部電極構造を説明する説明図。
【図１１】本発明の超音波振動子の第２の実施の形態を示し、該超音波振動子の内部電極構造を詳しく示した要部分解斜視図。
【図１２】本実施の形態の超音波振動子の概略構成を説明する構成図。
【図１３】従来の２次元超音波モータに用いられる超音波振動子の構成斜視図。
【図１４】図１３の超音波振動子に用いられる第１の積層体の上方からの分解斜視図。
【図１５】図１３の超音波振動子に用いられる第２の積層体の上方からの分解斜視図。
【符号の説明】
１…超音波振動子、
１Ａ…積層体、
２…第１積層部、
３…第２積層部、
４…外部電極、
５…穴、
６Ａ〜６Ｄ…第２の圧電シート、
７Ａ…第１内部電極、
８Ａ…第２内部電極、
９Ａ…第３内部電極、
１０Ａ…第４内部電極、
１１Ａ〜１１Ｃ…第１の圧電シート、
１１ａ…圧電シート部、
１２…摩擦部材、
１３…ピン、
１４…モータ筐体壁部、
２０…超音波モータ（二次元超音波モータ）。
【図１】
2004282841.tif 000003
【図２】
2004282841.tif 000004
【図３】
2004282841.tif 000005
【図４】
2004282841.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004282841.tif 000008
【図７】
2004282841.tif 000009
【図８】
2004282841.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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