(57)【要約】【課題】電気抵抗と磁束密度が高い圧粉磁芯用磁性粉末及びこれを用いた圧粉磁芯を提供する。【解決手段】金属酸化物を還元することによって得られる金属粒子を主として構成されており、前記金属粒子の表面は炭素、窒化ホウ素の少なくとも一つで被覆されており、平均粒径０．００１〜１μｍである圧粉磁芯用磁性粉末を提供する。さらに、前記圧粉磁芯用磁性粉末は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉの少なくとも一つを含む。また、前記圧粉磁芯用磁性粉末に樹脂を添加してプレス成形することによって得られる圧粉磁芯を提供することができる。【選択図】      図１
2004259807.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属酸化物を還元することによって得られる金属粒子を主として構成されており、前記金属粒子の表面は炭素、窒化ホウ素の少なくとも一つで被覆されており、平均粒径が０．００１〜１μｍであることを特徴とする圧粉磁芯用磁性粉末。
【請求項２】
請求項１に記載の圧粉磁芯用磁性粉末であって、前記金属粒子はＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの少なくとも一つを含むことを特徴とする、圧粉磁芯用磁性粉末。
【請求項３】
樹脂と、請求項１又は２に記載の圧粉磁芯用磁性粉末を備えることを特徴とする圧粉磁芯。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
磁性金属粒子を用いた圧粉磁芯に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電気・電子機器の小型化が進んでおり、それに伴い小型の圧粉磁芯が要求されている。さらに、ＣＰＵなどの電子機器における使用周波数が高周波化しているため、高周波での損失が低い圧粉磁芯が求められている。
圧粉磁芯用粉末の磁性材料としてはフェライト粉末や強磁性金属粉末が用いられている。フェライト磁性材料は飽和磁束密度が低いために磁気飽和しやすく、インダクタに用いられる場合はインダクタンスの低下が大きい。一方、強磁性金属材料はフェライトに比べて飽和磁束密度が極めて大きい点で優れている。しかし、強磁性金属材料は電気抵抗が低いため、数百ｋＨｚ〜ＭＨｚの高周波域では渦電流損失が大きい。上記渦電流損失を減少させるために、粉末間の絶縁処理が施されている。例えば、金属磁性粉末表面に無機あるいは有機絶縁層で被覆する方法が提案されている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭５６−１５５５１０号公報（第１〜３頁）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
圧粉磁芯用粉末における絶縁処理は、粉末粒子同士が接触して電気的に短絡することによる渦電流損失の増加を抑制するものである。しかし、従来の絶縁処理においては電気抵抗が数十Ω・ｃｍ程度であり、電気絶縁性が低い。電気絶縁性を高めるためには圧粉磁芯用粉末の表面を絶縁材料にて完全に被覆しなければならない。さらに、従来の圧粉磁芯用粉末の平均粒径は５〜１５０μｍと大きいため、完全に粉末間を絶縁できたとしても、個々の粒子において渦電流損失の余地が残った。渦電流損失低減のためには平均粒径をより微細化する必要がある。ところが、単に粉末の平均粒径を微細化するだけでは粉末が凝集しやすくなるとともに粉末間の摩擦が増大して圧粉体密度が向上せず、高い磁束密度が得られないという問題があった。
本発明は以上の背景を考慮して為されたものであって、電気抵抗と磁束密度が高い圧粉磁芯用磁性粉末及びこれを用いた圧粉磁芯を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明として、金属酸化物を還元することによって得られる金属粒子を主として構成されており、前記金属粒子の表面は炭素、窒化ホウ素の少なくとも一つで被覆されており、平均粒径０．００１〜１μｍである圧粉磁芯用磁性粉末を提供する。さらに、前記圧粉磁芯用磁性粉末は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉの少なくとも一つを含むことを特徴とする。また、前記圧粉磁芯用磁性粉末に樹脂を添加して成形することによって得られる圧粉磁芯を提供する。
【０００６】本発明の圧粉磁芯用磁性粉末において、被覆物質である炭素や窒化ホウ素は固体潤滑剤として公知の材料である。したがって上記磁性粉末を圧縮成形する際には、上記被覆物質によって粉末同士の凝集を防ぐとともに粉末間の摩擦を低減でき、結果として圧粉体の充填密度が向上する。さらに充填密度の向上によって高い磁束密度が得られる。すなわち上記本発明に係る圧粉磁芯は、圧粉体の密度が５．７Ｍｇ／ｍ３以上であり、磁束密度が１．５Ｔ以上であることを特徴とする。金属酸化物を還元することによって得られる被覆付きの金属粒子からなる圧粉磁芯用磁性粉末を用いることで、高密度且つ高磁束密度の圧粉磁芯を構成することができる。
【０００７】
また、本発明の圧粉磁芯用磁性粉末の平均粒径は０．００１〜１μｍの範囲にあり、微細であるため、従来の圧粉磁芯よりも渦電流損失が低減する。さらに炭素や窒化ホウ素による被覆の効果によって磁性粉末の分散性が向上しているため、圧粉磁芯においては樹脂による粉末間の絶縁が効果的に実現でき、圧粉磁芯の電気抵抗が高くなる。
他に炭素や窒化ホウ素は熱伝導性に優れているため、本発明の圧粉磁芯用磁性粉末を使用すると、圧粉磁芯の放熱性が向上する。すなわちモータなどで使用される場合に圧粉磁芯は熱減磁が少なく、安定した磁化を供給することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。すなわち、本発明者らは、遷移金属、なかでもＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む金属酸化物粉末と炭素粉末とを、非酸化性の雰囲気中で加熱することにより炭素が金属酸化物を還元し、冷却過程で金属に固溶していた余剰の炭素が表面に析出することによって、炭素で被覆されたＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む金属粒子が生成することを見出した。また、遷移金属、なかでもＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む金属酸化物粉末とホウ素粉末とを、窒素を含む不活性雰囲気中で加熱することにより、ホウ素が金属酸化物を還元し、さらには余剰のホウ素が雰囲気中の窒素と反応して窒化ホウ素（以下、ＢＮ）を生成し、ＢＮで被覆されたＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む金属粒子を合成できることを見出した。上記炭素、窒化ホウ素の少なくとも一つで被覆されたＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む金属粒子は、平均粒径が１μｍ以下と微細であるにも関わらず、被覆材料が固体潤滑剤として機能するため粉体間の潤滑性に優れ、圧縮性の良い圧粉磁芯用磁性粉末として適用できることを見出した。上記金属粒子が窒化ホウ素で被覆されている場合は特に絶縁性に優れている。さらに、金属粒子の平均粒径が通常の圧粉磁芯用磁性粉末よりも微細であるため、渦電流損失が非常に小さく、鉄損の少ない圧粉磁芯を提供することができる。
【０００９】
以下に、炭素で被覆されたＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む金属粒子の製法を説明する。金属酸化物を構成する金属元素としてはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの少なくとも一つを含んでいればよく、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉの少なくとも一つを含んだ合金の酸化物であってもよい。金属と酸素の組成比は特に限定されない。酸化物を原料とするため酸化安定性に優れており、大気中での取り扱いが容易である。金属酸化物粉末の平均粒径は還元後の金属粒子の平均粒径に影響するため、０．００１〜１μｍの範囲で選択できる。炭素粉末としては炭素単体の粉末が適しているが、炭素を含有する金属、半金属の粉末やポリビニルアルコールなどの高分子体の粉末も使用できる。炭素単体の粉末としては黒鉛、石墨、アモルファスカーボンやカーボンブラックなど、主要構成元素が炭素である粉末を使用できる。炭素粉末の平均粒径は０．００１〜１００μｍの範囲内で選択できるが、より好ましくは０．１〜５０μｍとする。平均粒径が極端に微細であると、原料コストが高くなる。炭素粉末が５０μｍを越えると前記金属酸化物粒子と混合する際、分散に不均一が生じ、未反応生成物発生の原因となる。金属酸化物と炭素粉末の混合粉において、金属酸化物の含有率は５〜８０ｍａｓｓ％が好ましい。５ｍａｓｓ％未満では金属含有率が極端に小さくなって収率が低くなる。８０ｍａｓｓ％を越えると炭素が不足して金属酸化物の還元が不十分となるとともに、金属粒子の粒成長が促進されて粗大粒発生の原因となる。金属酸化物粉末と炭素粉末との混合においては、乳鉢などで手動混合してもよいし、Ｖ字型混合機などの自動混合機を使用することもできる。
【００１０】
前記手法により得た混合粉を熱処理する際、アルミナ、黒鉛、ＢＮなどの耐熱性かつ安定性に優れた材料で構成されるルツボを使用することができる。熱処理時の雰囲気は非酸化性雰囲気であれば特に限定されず、例えばＡｒ、Ｈｅ、Ｎｅなどの不活性ガスや窒素ガスを使用する。熱処理温度は６００℃以上の温度とすることができるが、実用的には１０００〜１６００℃が好ましい。１０００℃未満の温度では熱処理時間が著しく長時間化する。１６００℃を越える温度では加熱炉に耐熱部材を使用しなければならず製造コストが高くなる。熱処理中の反応は、以下の３工程を経る。
【００１１】
第一工程：炭素が金属酸化物を還元して炭酸ガスが発生し、還元された金属粒子と余剰の炭素粉が共存する工程。
第二工程：金属中に炭素が固溶する工程。
第三工程：冷却とともに金属粒子表面へ析出してきた炭素が成長して金属粒子を被覆する工程。
【００１２】
以上の工程より、金属酸化物を還元することによって得られた金属粒子であって、前記金属粒子の表面は炭素で被覆されており、平均粒径が０．００１〜１μｍであることを特徴とする金属超微粒子が得られる。圧粉磁芯用粉末としてはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む強磁性金属超微粒子であることが好ましい。
【００１３】
以下にＢＮで被覆されたＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む金属粒子の製法を説明する。金属酸化物を構成する金属元素としてはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの少なくとも一つを含んでいればよく、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉの少なくとも一つを含んだ合金の酸化物であってもよい。金属と酸素の組成比は特に限定されない。酸化物を原料とするため酸化安定性に優れており、大気中での取り扱いが容易である。金属酸化物粉末の平均粒径は還元後の金属粒子の平均粒径に影響するため、０．００１〜１μｍの範囲で選択できる。ホウ素粉末としてはホウ素単体の粉末が適しているが、ホウ素を含有する金属あるいは半金属の粉末も使用できる。ホウ素粉末の平均粒径は０．００１〜１００μｍの範囲内で選択できるが、より好ましくは０．１〜５０μｍとする。０．１μｍ未満のホウ素粉末は作製するのが困難であり、原料コストが高くなる。ホウ素粉末が５０μｍを越えると前記金属酸化物粒子と混合する際、分散に不均一が生じ、未反応生成物発生の原因となる。金属酸化物とホウ素粉末の混合粉において、金属酸化物の含有率は５〜８０ｍａｓｓ％が好ましい。５ｍａｓｓ％未満では金属含有率が極端に小さくなって収率が低くなる。８０ｍａｓｓ％を越えるとホウ素が不足して金属酸化物の還元が不十分となるとともに、窒化ホウ素が生成しなくなる。ここで、ｍａｓｓ％は被測定物の単位質量中、所定の成分のものの質量を百分率で表わすものである。
【００１４】
金属酸化物粉末とホウ素粉末との混合には、乳鉢などで手動混合してもよいし、Ｖ字型混合機などの自動混合機を使用することもできる。前記手法により得た混合粉を熱処理する際、アルミナ、黒鉛、ＢＮなどの耐熱性かつ安定性に優れた材料で構成されるルツボを使用することができる。熱処理時の雰囲気は窒素を含む不活性雰囲気であって、窒素のみならず窒素とＡｒ、窒素とＨｅ、窒素とＮｅ、窒素とアンモニア、あるいは窒素と水素、といった混合ガスも使用できる。安全性を考慮すれば窒素または窒素と不活性ガス（Ａｒ，Ｈｅ，Ｎｅなど）との混合ガスを使用することが好ましい。熱処理温度は８００℃以上の温度とすることができるが、実用的には１０００〜１６００℃が好ましい。１０００℃未満の温度では熱処理時間が著しく長時間化する。１６００℃を越える温度では加熱炉に耐熱部材を使用しなければならず製造コストが高くなる。熱処理中の反応は、以下の３工程を経る。
【００１５】
第一工程：ホウ素が金属酸化物を還元して、金属とホウ素とホウ素酸化物の混相状態となる工程。
第二工程：還元された金属とホウ素が反応して化合物を形成し、金属と金属ホウ化物とホウ素酸化物の混相状態となる工程。
第三工程：金属ホウ化物のホウ素が表面へ拡散して雰囲気中の窒素と反応し、ＢＮが形成する工程。この工程で金属ホウ化物粒子がＢＮで被覆された金属粒子へと変化する。
【００１６】
以上の工程より、金属酸化物を還元することによって得られた金属粒子であって、前記金属粒子の表面は窒化ホウ素で被覆されており、平均粒径が０．００１〜１μｍであることを特徴とする金属超微粒子が得られる。圧粉磁芯用粉末としてはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの少なくとも一つを含む強磁性金属超微粒子であることが好ましい。
以上、被覆材料が炭素とＢＮの場合に分けて圧粉磁芯用磁性粉末の製法を記述したが、炭素粉末とホウ素粉末を同時添加することによりＢ−Ｃ−Ｎ化合物による被覆も可能である。
【００１７】
本発明によって得られる圧粉磁芯用磁性粉末は１μｍ以下であり、従来の圧粉磁芯用粉末よりも粒径が微細である。平均粒径が微細であると粉末間の摩擦力が大きい、粉末同士が凝集しやすい、などの理由から圧粉体密度が低下する恐れがあるが、本発明の金属粒子は表面が炭素若しくはＢＮで被覆されているため粉末間の潤滑性に優れており、高密度の圧粉体を作製でき、高磁束密度を得ることができる。粉末間を十分に絶縁するため、本発明の圧粉磁芯は絶縁材として樹脂を含有する。特にＢＮは絶縁材料であるため、金属粉末間を完全に絶縁させることができる。十分に絶縁された磁性粉末から得られる圧粉磁芯は、高い絶縁性を維持しながら磁性粉末が高充填されているため磁束密度が高い。また、磁性粉末が微細であるため、従来の圧粉磁芯粉末を用いた場合よりも渦電流損失が小さい。
【００１８】
樹脂としては、スチレン樹脂、アクリル樹脂、スチレン／アクリル樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、オレフィン樹脂、フェノール樹脂、カーボネート樹脂、ケトン樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂の中から少なくとも一つを含む樹脂を用いることができる。樹脂の含有量は、前記圧粉磁芯用磁性粉末に対して好ましくは１〜３０ｖｏｌ％、より好ましくは２〜２０ｖｏｌ％である。樹脂含有量が少なすぎると圧粉磁芯の機械的強度が低下したり、絶縁性が低下する。一方、樹脂含有量が多すぎる場合には非磁性部の体積率が大きくなり、圧粉磁芯の磁束密度が低下してしまう。前記圧粉磁芯用磁性粉末と樹脂との混合の際には、固体状または液体状の樹脂を溶液化して混合してもよく、液状の樹脂を直接混合してもよい。また、固体状樹脂を粉砕機で粉砕して微粒子にしてから混合することができる。以上の手法により、磁性粉末の表面に薄い絶縁性樹脂被膜を形成することができる。磁性粉末と樹脂は、加圧ニーダーやライカイ機などを用いて混合した後、プレス成形装置により所望の形状に成形する。成形条件は特に限定されず、圧力は３９０〜１９６０ＭＰａ、最大圧力の保持時間は０．１〜６０ｓ程度でよく、目的とする磁芯の寸法・形状に応じて適宜決定すればよい。
【００１９】
平均粒径は、例えば、圧粉磁芯用磁性粉末の試料を溶媒中に分散させて、レーザー光線を照射して回折を利用して平均粒径を測定する方法（第１の方法）により求めることができる。あるいは、空気透過法（例えば、フィッシャー・サブ・シーブ・サイザー（Ｆ．Ｓ．Ｓ．Ｓ）法）により求めることができる（第２の方法）。高い測定精度を得るには、第１の方法を用いた市販の測定装置を用いる方が好ましい。なお、試料の量が微量である為、第１および第２の方法では平均粒径の測定が困難な場合には、圧粉磁芯用磁性粉末の試料を電子顕微鏡で観察して平均粒径を測定する（第３の方法）。例えば、試料の電子顕微鏡写真を取る。写真内で任意の面積内にある金属超微粒子の粒径を測定して平均値を求めたり、あるいは写真内で任意の長さの線分を引いて、線分の粒子を横断する部分の長さの和Ｌと線分が横断した粒子の数Ｎとから、平均粒径＝Ｌ／Ｎとして求める。ただし、第３の方法では、少なくとも５０個以上の粒子の平均値を得るものとする。
【００２０】
【実施例】
（実施例１）
酸化鉄粉（堺化学工業（株）製、ＦＲＯ−３）とホウ素粉末（レアメタリック社製、＃３２５メッシュ）を原料として用いた。ここで平均粒径は酸化鉄粉が０．０３μｍ、ホウ素粉末が２１μｍである。酸化鉄粉とホウ素粉末を５：５の割合で秤量し、Ｖ字型ミキサーによって１０分間混合した。得られた混合粉をアルミナ製ボートに充填し、管状炉にて１１００℃で２時間熱処理した。加熱時の雰囲気は窒素ガスとした。室温まで炉冷した熱処理済の混合粉は軽く凝集していたため、匙で解砕しながら回収した。上記粉末のＸ線回折測定結果を図１の（ａ）に示す。主要ピークは六方晶窒化ホウ素（ｈ−ＢＮ）と鉄（α−Ｆｅ）である。さらに透過型電子顕微鏡により上記粉末を観察すると、図２に示すように鉄粒子を窒化ホウ素膜が被覆していた。
【００２１】
図２は、電子顕微鏡で観察した本発明に係る粒子構造の顕微鏡写真であり、ＢＮ被覆したＦｅ粒子を示している。図３は、図２の構造を模式的に説明するための概略図である。図３に示すように、Ｆｅ粒子１１の表面に被覆されたＢＮ膜には、積層された結晶格子の縞模様が認められる。格子面１３の部分は、格子面がＦｅ粒子１１の表面に沿って、複数の格子面がほぼ並行に積層されている。格子面１４や格子面１５の部分は、格子面同士が平行でない箇所を有するが、Ｆｅ粒子１１の表面を十分に被覆していることがわかる。粒子および被覆膜の組成分析にはＥＤＸおよびＥＥＬＳ分析を用いた。熱処理済混合粉から非磁性粉を除去するため、アセトン中に上記粉末を投入して３０分間超音波を印加した後、永久磁石を液面上部に近づけて磁性粒子だけを回収した。アセトンを自然乾燥させて圧粉磁芯用磁性粉末とした。
【００２２】
上記圧粉磁芯用磁性粉末にシリコーン樹脂（東レ・ダウコーニング社製、ＳＲ−２４１０）を秤量して、加圧ニーダーで３０分間混合した。シリコーン樹脂は上記磁性粉末に対して２ｖｏｌ％とした。磁性粉末と樹脂の混合粉を金型に充填して、１２０ｍｍ×１３０ｍｍ×１００ｍｍの直方体寸法となるよう、５９０ＭＰａの圧力で加圧成形した。成形後の圧粉体の密度、電気抵抗率、磁束密度を評価した結果を表１に示す。密度はアルキメデス法で測定した。電気抵抗率は四端子法で測定した。磁束密度は直流Ｂ−Ｈトレーサを用いて２０ｋＡ／ｍ印加時の値を測定した。
【００２３】
（実施例２）
酸化鉄粉（堺化学工業（株）製、ＦＲＯ−３）と炭素粉末（高純度化学社製、ｃａ．５μｍ）を原料として用いた。ここで平均粒径は酸化鉄粉が０．０３μｍ、炭素粉末が５μｍである。酸化鉄粉と炭素粉末を５：５の割合で秤量し、Ｖ字型ミキサーによって１０分間混合した。得られた混合粉をアルミナ製ボートに充填し、管状炉にて１１００℃で２時間熱処理した。加熱時の雰囲気は窒素ガスとした。室温まで炉冷した熱処理済混合粉は特に凝集は見られず、直接回収した。上記粉末のＸ線回折測定結果を図１の（ｂ）に示す。主要ピークはグラファイトと鉄（α−Ｆｅ）である。さらに透過型電子顕微鏡により上記粉末を観察すると、図４に示すように鉄粒子をグラファイト膜が被覆していた。
【００２４】
図４は、ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）で観察した実施例２に係る粒子の構造の顕微鏡写真である。ＴＥＭ観察するにあたり、必要とされる試料調整以外、粒子への損傷や変異などを与える加工は一切施していない。図５は、図４の構造を模式的に説明する概略図であり、若干拡大している。粒子１は、α−Ｆｅの粒子２の表面が全て所定の厚さのグラファイト薄膜１０で被覆された粒子である。この被覆はα−Ｆｅの粒子２の表面を保護しており、効果的に酸化防止している。グラファイト薄膜１０の外側に散在する凸部８，９は、グラファイトの異層が成長したものか、異物が付着したもののいずれかと推定される。α−Ｆｅの粒子２自体の明暗のパターン３ａ，３ｂ，３ｃは、α−Ｆｅの粒子２の形状（略球形）に起因する干渉パターン（２点鎖線で表示）である。
【００２５】
α−Ｆｅの粒子の両端では、グラファイト薄膜の境界４が若干不明瞭に撮影されているため、点線で表示した。これは略球形の形状により全てに焦点を合わせることが難しいためであり、実際の形状が不明瞭になっている訳ではない。１点鎖線で輪郭を表示した領域は、粒子１をＴＥＭ観察のサンプルホルダーに固定させるためのコロジオン膜５である。符号２０の線と符号は、その３本線の長さが２０ｎｍに相当するスケールであり、図４を撮影した際のスケールに基づいて図５に付け加えたものである。
【００２６】
粒子および被覆膜の組成分析にはＥＤＸおよびＥＥＬＳ分析を用いた。熱処理済の混合粉から非磁性粉を除去するため、アセトン中に上記粉末を投入して３０分間超音波を印加した後、永久磁石を液面上部に近づけて磁性粒子だけを回収した。アセトンを自然乾燥させて圧粉磁芯用磁性粉末とした。
【００２７】
上記圧粉磁芯用磁性粉末にシリコーン樹脂（東レ・ダウコーニング社製、ＳＲ−２４１０）を秤量して、加圧ニーダーで３０分間混合した。シリコーン樹脂は上記磁性粉末に対して２ｖｏｌ％（２体積％）とした。磁性粉末と樹脂の混合粉を金型に充填して、１２０ｍｍ×１３０ｍｍ×１００ｍｍの直方体寸法となるよう、５９０ＭＰａの圧力で加圧成形した。成形後の圧粉体の密度、電気抵抗率、磁束密度を評価した結果を表１に示す。密度はアルキメデス法で測定した。電気抵抗率は四端子法で測定した。磁束密度は直流Ｂ−Ｈトレーサを用いて２０ｋＡ／ｍ印加時の値を測定した。
【００２８】
（比較例１）
圧粉磁芯用磁性粉末として、カルボニルＦｅ粒子（レアメタリック社製、３μｍ）を使用した以外は実施例１と同様にして圧粉体を作製し、圧粉磁芯として評価した。評価結果を表１に示す。
【００２９】
【表１】
2004259807.tif 000003
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る構成を用いることにより、電気抵抗と磁束密度が高い圧粉磁芯用磁性粉末及びこれを用いた圧粉磁芯を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】熱処理後の粉末のＸ線回折パターンを示すグラフである。
【図２】電子顕微鏡で観察した粉末を構成する粒子の顕微鏡写真である。
【図３】図２の写真の構造に対応する概略図である。
【図４】電子顕微鏡で観察した粉末を構成する粒子の顕微鏡写真である。
【図５】図４の写真の構造に対応する概略図である。
【符号の説明】
１  粒子、  ２  α−Ｆｅの粒子、
３ａ，３ｂ，３ｃ  明暗のパターン、
４  グラファイト薄膜の境界、  ５  コロジオン膜、
８，９  凸部、
１０  グラファイト薄膜、  １１  Ｆｅ粒子、  １３  格子面、
１４  格子面、１５  格子面、
【図１】
2004259807.tif 000004
【図２】
2004259807.tif 000005
【図３】
2004259807.tif 000006
【図４】
2004259807.tif 000007
【図５】
2004259807.tif 000008