(57)【要約】【課題】スタンパの裏面状態に起因するフォーカスエラー、トラッキングエラーのマージンへの影響を回避することが可能な光記録媒体製造用スタンパとその評価方法を提供する。【解決手段】原盤用基板に感光層を塗布した後所定のパターンに露光、現像を施した光記録媒体製造用原盤から転写して作製した光記録媒体製造用スタンパであって、その信号形成面の裏面の表面最大粗さＲｙ及びうねり量ＰＶが、０．２５μｍ≦Ｒｙ＜１μｍ５０ｎｍ≦ＰＶ＜１００ｎｍとされる構成とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
原盤用基板に感光層を塗布した後所定のパターンに露光、現像を施した光記録媒体製造用原盤から転写して作製した光記録媒体製造用スタンパであって、
信号形成面の裏面の表面最大粗さＲｙ及びうねり量ＰＶが、
０．２５μｍ≦Ｒｙ＜１μｍ
５０ｎｍ≦ＰＶ＜１００ｎｍ
とされて成ることを特徴とする光記録媒体製造用スタンパ。
【請求項２】
上記光記録媒体製造用スタンパに形成される凹凸パターンのトラックピッチが、０．３２μｍ±０．０２μｍとされて成ることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体製造用スタンパ。
【請求項３】
上記光記録媒体製造用スタンパから作製される光記録媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．８５±０．０５とされて成ることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体製造用スタンパ。
【請求項４】
上記光記録媒体製造用スタンパから作製される光記録媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．８５±０．０５とされて成ることを特徴とする請求項２記載の光記録媒体製造用スタンパ。
【請求項５】
原盤用基板に感光層を塗布した後所定のパターンに露光、現像を施した光記録媒体製造用原盤から転写して作製した光記録媒体製造用スタンパの評価方法であって、
上記光記録媒体製造用スタンパの信号形成面の裏面の表面最大粗さＲｙ及びうねり量ＰＶが、
０．２５μｍ≦Ｒｙ＜１μｍ
５０ｎｍ≦ＰＶ＜１００ｎｍ
とされて成る光記録媒体製造用スタンパを選定することを特徴とする光記録媒体製造用スタンパの評価方法。
【請求項６】
上記光記録媒体製造用スタンパに形成される凹凸パターンのトラックピッチが、０．３２μｍ±０．０２μｍとされて成ることを特徴とする請求項５記載の光記録媒体製造用スタンパの評価方法。
【請求項７】
上記光記録媒体製造用スタンパから作製される光記録媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．８５±０．０５とされて成ることを特徴とする請求項５記載の光記録媒体製造用スタンパの評価方法。
【請求項８】
上記光記録媒体製造用スタンパから作製される光記録媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．８５±０．０５とされて成ることを特徴とする請求項６記載の光記録媒体製造用スタンパの評価方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録媒体、特に高記録密度、大容量の光記録媒体の製造用に用いる光記録媒体製造用スタンパ及びその評価方法に係る。
【０００２】
【従来の技術】
光記録媒体として、例えばＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）、ＭＤ（Ｍｉｎｉ  Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）など各種の記録媒体が提案されている。これらの光記録媒体は、一般的にそのＰＣ（ポリカーボネート）等より成る光透過性の基板上に、例えば記録トラックに沿ってグルーブ（案内溝）、ピットなどが形成され、この上に例えば反射層、各種の記録層、保護層などが形成された構成とされる。
【０００３】
このようなピットやグルーブが設けられる基板は従来図１６Ａ〜Ｆに示すスタンパ製造工程、いわゆるマスタリングプロセスにより製造される。すなわち、まず図１６Ａに示すように、表面洗浄されたガラス等より成る原盤用の基板６１に、カップリング材（図示せず）等を介してフォトレジスト等の感光層６２を塗布する。この感光層６２に対して露光用光を所定のパターンで露光する光学記録装置を用いて情報に対応するピット形状、またはグルーブ形状に対応する露光を行って潜像を形成し、現像工程を経て図１６Ｂに示すように所定の情報信号に対応する凹凸パターン６３を形成し、いわゆるガラス原盤を作製する。
【０００４】
そして、このガラス原盤の凹凸パターン面、即ち信号形成面上を覆って例えば無電界メッキ法等により薄い導電化膜を形成した後電気メッキ法等によって図１６Ｃに示すようにメッキ層６４ａを形成する。その後、図１６Ｄに示すように、メッキ層を剥離してスタンパ６４（いわゆるマスタースタンパ）を形成する。このとき、スタンパ６４の凹凸パターンが転写される信号形成面６４Ｓとは反対側の裏面６４Ｒは、後述するようにメッキ工程による比較的大きい凹凸が形成されることから、研磨テープによるラッピングが行われる。
【０００５】
そしてこの後、所定の剥離材等を塗布した後、同様にスタンパ６４に無電界メッキ、電気メッキを施して図１６Ｅに示すように、凹凸パターンが転写されたいわゆるマザースタンパ６５を形成し、更にこのマザースタンパ６５から同様の工程により、図１６Ｆに示すように、サンスタンパ６６を形成することができる。
このサンスタンパ６６を複数用意することによって、射出成型法、２Ｐ（Ｐｈｏｔｏ−Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）法等により光記録媒体用の樹脂等より成る基板を生産性良く製造することができる。
【０００６】
上記工程において、電気メッキにより作製した各スタンパの裏面、即ち電析面には、メッキ液中の粒子などがメッキ途中の電析面に付着し、これが核となって異常成長した局部的な小突起と、メッキ時の結晶粒の露出によるとされるオレンジピールと呼ばれる凹凸によって表面粗度Ｒｙ（最大高さ）が約３μｍ〜１０μｍ程度の面荒れが生じる。
【０００７】
従来から、このスタンパの裏面の状態が、上述の射出成型等の工程において成型中に押圧する高圧により弾性的に信号面に伝播し、光記録媒体の基板に影響を与えて、これにより作製される光記録媒体の記録再生特性に影響を与え、フォーカスエラーやトラッキングエラーの増加を招くことが報告されており、表面の平均粗さに着目し、この平均粗さ（Ｒａ）を抑える構成も提案されている（例えば特許文献１参照。）。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−９２９８４号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現状のスタンパ製造技術、光記録媒体製造技術では今後の高密度化、高速−高転送レートに対応する光記録媒体を作製してもエラーレートが増加する場合があり、高速−高転送レート化に対応したシステム設計が難しく、光記録媒体の更なる高記録密度化、高速−高転送レート化を実現することは難しい。
【００１０】
本発明は、上述の問題を解決して、スタンパの裏面状態に起因するフォーカス特性の劣化を回避することが可能な光記録媒体製造用スタンパとその評価方法を提供する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、原盤用基板に感光層を塗布した後所定のパターンに露光、現像を施した光記録媒体製造用原盤から転写して作製した光記録媒体製造用スタンパであって、その信号形成面の裏面の表面最大粗さＲｙ及びうねり量ＰＶが、
０．２５μｍ≦Ｒｙ＜１μｍ
５０ｎｍ≦ＰＶ＜１００ｎｍ
とされる構成とする。
【００１２】
また本発明による光記録媒体製造用スタンパは、上述の構成において、信号形成面に形成される凹凸パターンのトラックピッチが、０．３２μｍ±０．０２μｍとされる構成とする。
更に本発明による光記録媒体製造用スタンパは、このスタンパから作製される光記録媒体の記録情報を再生する再生用光の波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．８５±０．０５とされる構成とする。
更に本発明による光記録媒体製造用スタンパの評価方法は、上述の各構成による光記録媒体製造用スタンパを選択するものとする。
【００１３】
上述したように、本発明による光記録媒体製造用スタンパは、信号形成面の裏面の最大表面粗さ及びうねり量を特定の範囲に選定した構成とするものである。本発明者の鋭意考察研究の結果、光記録媒体を製造するにあたって、スタンパの裏面の平均表面粗さＲａのみではなく、特に最大表面粗さＲｙとうねり量ＰＶの数値が、このスタンパから作製する光記録媒体の信号再生特性に影響を与え、フォーカスエラー量の増大を招くことがわかった。
【００１４】
例えば、現状で用いられるスタンパの厚さは０．２ｍｍから０．４ｍｍ程度とされ、その硬度ＨｖはＨｖ＝２００前後であるが、通常の製造工程では、このスタンパをガラス原盤から剥離する前に表面粗さを抑える研磨、いわゆるラッピング処理を行っている。本発明者の研究考察によれば、このラッピング処理における加圧によってスタンパ凸部とガラス原盤の表面との摩擦によりスタンパの信号形成面への影響があることがわかってきた。これにより、このスタンパから更に電気メッキ等により転写して作製するマザースタンパ、サンスタンパの信号形成面にも同様の信号以外の凹凸が発生してしまい、光記録媒体の信号再生特性に影響することが考えられる。
【００１５】
現状のスタンパ作製技術では、このように裏面状態の影響からサブミクロンオーダーの凹凸が光記録媒体基板面上に形成されることが明らかになってきている。これに対し信号面上に形成される所定フォーマットのピットやグルーブパターンの高さは約２０〜２００ｎｍ程度であり、フォーマットによって異なるがパターニング形状の高さ以上の凹凸ノイズが信号面内に発生することになる。
この状態で、光記録媒体の高密度化や高速回転−高転送レート化を図ると、スタンパ裏面状態の転写によって生じる凹凸に起因するノイズの影響で、フォーカスエラー及びトラッキングエラーのマージンを狭くしてしまい、結果的に従来の光学記録再生装置での使用が不可能となる恐れがある。
【００１６】
しかしながら本発明構成の光記録媒体製造用スタンパによれば、光記録媒体の基板信号面の信号再生特性に影響する凹凸を確実に抑制して信号再生特性への影響、特にフォーカスエラー量、トラッキングエラー量を抑制することができた。また本発明によれば、特にスタンパ裏面のうねり量ＰＶに着目し、このうねり量をも適切な範囲に選定することによって、確実にエラー量を抑制し、光記録媒体の記録再生特性の向上を図ることができた。
【００１７】
このような本発明構成による光記録媒体製造用スタンパ、もしくは光記録媒体製造用スタンパの評価方法により選択したスタンパから基板を作製して光記録媒体を構成することによって、上述したようなエラー低減の効果により高速−高転送レート化を実現し得る光記録媒体を提供することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下本発明による各実施の形態について詳細に説明するが、本発明は以下の各例に限定されることなく、その他種々の変形、変更が可能であることはいうまでもない。
【００１９】
本発明による光記録媒体製造用スタンパは、原盤用基板に感光層を塗布した後所定のパターンに露光、現像を施した光記録媒体製造用原盤から転写して作製した光記録媒体製造用スタンパであって、信号形成面の裏面の表面最大粗さＲｙ及びうねり量ＰＶを、
０．２５μｍ≦Ｒｙ＜１μｍ      ……（１）
５０ｎｍ≦ＰＶ＜１００ｎｍ      ……（２）
として構成する。
【００２０】
本発明構成の光記録媒体製造用スタンパの一例のレーザドップラーによる裏面像を図１に示す。この例では、ディスク状とされ、中央部に回転駆動用の孔部６４ｃが設けられて構成され、その裏面６４Ｒに凹凸とうねりが生じていることがわかる。
【００２１】
また本発明は、特に高記録密度の光記録媒体に適用する場合好適な記録再生特性が得られるものであるが、例えばその一例の略線的拡大断面構成を図２に示すように、例えばＰＣ等より成る基板１上に相変化材料、または希土類−遷移金属合金材料、色素材料等よりなる記録層２、必要に応じて反射層等を介して紫外線硬化樹脂等よりなる保護層３が積層されて構成される。基板１にはスタンパから転写されたピット、グルーブ等の凹凸パターン５が形成され、例えばその凹凸パターン５にフォーカス及びトラッキングを合わせて対物レンズ４により再生用光Ｌが照射されて記録情報の読み出しがなされる。本発明は、例えばトラックピッチＴｐが０．３２μｍ±０．０２μｍ、再生用光Ｌの波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズ４の開口数ＮＡが０．８５±０．０５とされるいわゆるＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃに適用することができる。
【００２２】
なお、上述のうねり量とは、所定面積当たりのうねり量を定義したものである。ここで所定面積は以下のように選定される。
現在又は近い将来実用化されている高密度光記録媒体として、ＤＶＤや、上述の図２に示す構成のＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃが上げられるが、これらの光記録媒体において、フォーカスサーボ系システムのカットオフ周波数ｆｃは、光学機器や回路系要素などの構造上、現状では１ｋＨｚ程度となっている。
【００２３】
フォーカスサーボの追従性能面から、このカットオフ周波数に対応する空間周波数前後で発生する面内凹凸による変動成分がフォーカス特性に影響を及ぼしていると考えられる。このカットオフ周波数ｆｃからかけ離れた高周波数に対応する空間周波数領域では、光記録媒体の表面における通常の凹凸量より微小な成分しかもたず、フォーカス特性への影響は低い。また極めて低い周波数に対応する空間周波数領域では、逆に広い範囲（例えばディスク直径を超える範囲）の凹凸となり、記録再生特性上影響を受けにくいと考えられる。
【００２４】
すなわち、フォーカスサーボを確実に行うためにはカットオフ周波数ｆｃに対応する空間周波数Ｅに近い領域内においてうねり量ＰＶがある程度以下となる必要があると考えられる。この空間周波数領域Ｅは、カットオフ周波数ｆｃと、光記録媒体における記録再生時の線速度ｖから
Ｅ≒ｖ／ｆｃ
として求められる。
【００２５】
例えば現状ではカットオフ周波数ｆｃが上述したように１ｋＨｚ程度、線速度が１〜１０ｍ／ｓ程度とすると、これに対応する空間周波数Ｅは
１ｍｍ＜Ｅ＜１０ｍｍ
となる。この領域に対するマージンを見込むと、ほぼ０．５ｍｍから１１ｍｍとなり、大体一辺が０．５ｍｍ×０．５ｍｍ〜１１ｍｍ×１１ｍｍ程度の領域当たりのうねり量を考慮すればフォーカスエラー量を抑制することができると思われる。すなわち、カットオフ周波数及び線速度から導かれる空間周波数に対し０．５〜１ｍｍのマージンをもった空間周波数Ｅ’を選定し、一辺がＥ’の領域当たりのうねり量を考慮すればよいといえる。
【００２６】
なお、裏面の表面粗さ及びうねり量が上記式（１）及び（２）の範囲内となるスタンパを得るためには、種々の製造方法を採りうるものであるが、例えば表面粗さＲｙを抑制するためには、本出願人の出願に係る特願平２００２−１６７３１２号出願において提案した製造方法を採ることができる。
この発明では、傾斜した陽極に対し、陰極として平行に設置された母型が回転する電鋳装置を用いて母型、すなわちこの場合ガラス原盤に鍍金する電鋳方法において、メッキ液の温度を４０℃以上４４℃以下とし、かつメッキ液の温度に対して電流密度を４０℃で１６〜２３Ａ／ｄｍ２、４２℃で１８〜２５Ａ／ｄｍ２、４４℃で２０〜２７Ａ／ｄｍ２の各下限を結ぶ下限ラインと各上限を結ぶ上限ラインで挟まれた範囲に電流密度を設定して電気メッキを行うものである。
【００２７】
このようなメッキ方法を用いることによって、上記出願においては電析面の最大表面粗度Ｒｙが１．０μｍ以下程度の電着物を得ることを実現している。
また更に、その他の製造方法、例えば前述の図１６Ａ〜Ｆにおいて説明した通常のスタンパ製造工程により作製したスタンパを、研磨テープなどを用いたラッピング処理を施して表面粗度Ｒｙ及びうねり量ＰＶを上述の式（１）及び（２）の範囲に抑えることも可能である。
【００２８】
なお、上述のガラス原盤に対する光学記録としては、図３に示す一般的な光学記録装置による方法を採ることができる。図３に示す例は、光源からの光を２つに分割して例えばウォブルグルーブとピットの凹凸パターンを形成するものであるが、本発明による光記録媒体製造用スタンパはこの凹凸パターンのフォーマットに限定されるものではない。
レーザ等の光源２０から出射された光は、電気制御手段２１を介してハーフミラー２２、２３により分割される。ハーフミラー２３の後段には受光素子２４が設けられて、この受光素子２４からの出力を電気制御手段２１にフィードバックして光源からの光の強度等の調整を行うことができる。
【００２９】
ハーフミラー２３を反射した第１の光は、集光レンズ２５を介して音響光学変調器（ＡＯＭ）２６に入射され、図示しないがドライバから入力された変調信号に対応してＯＮ／ＯＦＦ制御される。そして、このＡＯＭ２６から出射された光はレンズ２７によりコリメートされ、ミラー２８により反射されて移動光学テーブル５０に導かれる。
【００３０】
一方ハーフミラー２２により反射された第２の光は集光レンズ２９により音響光学変調器３０に入射され、同様にドライバ（図示せず）からの信号に対応してＯＮ／ＯＦＦ制御されレンズ３１によりコリメートされ、ミラー３２により反射されて同様に移動光学テーブル５０に導かれる。
【００３１】
移動光学テーブル５０には、ウェッジプリズム３３，３５とこの間に音響光学偏向器（ＡＯＤ）３４が設けられ、ミラー３２から反射された第２の光にウォブル変調を施す。ＡＯＤ３４には、これを駆動するための駆動用のドライバ（図示せず）が取り付けられており、またこのドライバには、例えば電圧制御発振器から高周波信号が供給され、所望のウォブル情報を付加した光学偏向が施される。
【００３２】
そしてこの第２の光はミラー３６により反射され、偏光ビームスプリッタＰＢＳ３７により反射される。一方第１の光は、ミラー２８により反射されて例えば偏光ビームスプリッタ３７を透過されるようになされる。
ＰＢＳ３７を反射ないしは透過した光は拡大レンズ３８により拡大され、ミラー３９で反射されて対物レンズ４０を介して原盤用基板６１上のフォトレジスト等より成る感光層６２に照射される。
ここで第１の光により例えばＴＯＣ（Ｔａｂｌｅ  ｏｆ  Ｃｏｎｔｅｎｔｓ、目次）情報などのピット、第２の光によりウォブルグルーブ、また偏向を行わない場合は通常のグルーブに対応するパターンをそれぞれ露光することができる。
【００３３】
なおこの基板６１を、図示しないが回転手段により矢印ａで示すように回転させ、移動光学テーブル５０を矢印ｂで示す基板６１の半径方向に移動させることによって、基板６１上の所定範囲に走査照射することができる。一点鎖線ｃは基板６１の回転軸を示す。このようにして、所望の凹凸パターンに対応する光学記録を行うことができる。
【００３４】
以上述べた各種の製造方法により本発明構成の光記録媒体製造用スタンパの実施例を作製し、比較例と共に評価を行った結果を以下の実施例において説明する。
【００３５】
【実施例】
以下の例においては、前述の製造工程により作製したスタンパ裏面の表面粗さＲｙ及びうねり量ＰＶを、それぞれ接触型表面粗さ測定器（（株）ミツトヨ社製、サーフィスコーダー）及びうねり量測定器（（株）菱化システム社製、表面形状測定器）により測定し、この結果上記式（１）及び（２）の範囲となるスタンパと、上記範囲外となるスタンパを選択して、それぞれ前述の図２に示すＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ型構成の光記録媒体を作製し、そのフォーカス変位量の最大値を測定してフォーカスエラー量を考察した。各例ともに、うねり量ＰＶは、カットオフ周波数ｆｃ及び再生時の線速度ｖを考慮して５ｍｍ×５ｍｍの範囲内におけるうねり量ＰＶを検出した。
【００３６】
〔１〕実施例１
この例においては、スタンパ裏面の表面粗度Ｒｙ＝０．３μｍ、うねり量ＰＶ＝５０ｎｍのスタンパから光記録媒体を作製した。スタンパ裏面の一部を拡大した模式的な顕微鏡観察図を図４に示す。図４において高低差は基準面を０として−２７．４ｎｍから＋２２．７ｎｍであった。また、図４によるスタンパから作製した光記録媒体の信号面のフォーカス変位量を図５に示す。この例では、フォーカス変位量の最大値δｍａｘ  は２５ｎｍであった。すなわちフォーカスエラー量はほぼ同程度の２５ｎｍ前後に抑制できる。
【００３７】
〔２〕実施例２
この例においては、スタンパ裏面の表面粗度Ｒｙ＝０．４μｍ、うねり量ＰＶ＝６０ｎｍのスタンパから光記録媒体を作製した。スタンパ裏面の一部を拡大した模式的な顕微鏡観察図を図６に、またこのスタンパから作製した光記録媒体の信号面のフォーカス変位量を図７に示す。図６において高低差は−２９．４ｎｍから３０．５ｎｍであった。フォーカス変位量の最大値δｍａｘ  は３０ｎｍであった。
【００３８】
〔３〕比較例１
この例においては、スタンパ裏面の表面粗度Ｒｙ＝１．５μｍ、うねり量ＰＶ＝１μｍのスタンパから光記録媒体を作製した。スタンパ裏面の一部を拡大した模式的な顕微鏡観察図を図８に、またこのスタンパから作製した光記録媒体の信号面のフォーカス変位量を図９に示す。図８において高低差は−５３９ｎｍから４８９ｎｍであった。フォーカス変位量の最大値δｍａｘ  は８０ｎｍであった。
【００３９】
〔４〕比較例２
この例においては、スタンパ裏面の表面粗度Ｒｙ＝０．３５μｍ、うねり量ＰＶが１２０ｎｍのスタンパから光記録媒体を作製した。図１０にトラック方向の位置に対するうねり量の変化を示す。この場合、作製した光記録媒体の信号面のフォーカス変位量の最大値δｍａｘ  は７０ｎｍであった。
【００４０】
〔５〕実施例３
この例においては、スタンパ裏面の表面粗度Ｒｙ＝０．４μｍ、うねり量ＰＶ＝９７ｎｍのスタンパから光記録媒体を作製した。スタンパ裏面の一部を拡大した模式的な顕微鏡観察図を図１１に示す。図１１において高低差は−５２ｎｍから４５ｎｍであった。フォーカス変位量の最大値δｍａｘ  は４２ｎｍであった。
【００４１】
〔６〕実施例４
この例においては、スタンパ裏面の表面粗度Ｒｙ＝０．６５μｍ、うねり量ＰＶ＝９０ｎｍのスタンパから光記録媒体を作製した。スタンパ裏面の一部を拡大した模式的な顕微鏡観察図を図１２に示す。図１２において高低差は−４５ｎｍから４５ｎｍであった。フォーカス変位量の最大値δｍａｘ  は４５ｎｍであった。
【００４２】
〔７〕実施例５
この例においては、スタンパ裏面の表面粗度Ｒｙ＝０．４μｍ、記録トラックに沿う方向のうねり量ＰＶ＝８９ｎｍ、記録トラックに直交する方向のうねり量をＰＶ（⊥）とすると、ＰＶ（⊥）＝１８０ｎｍのスタンパから光記録媒体を作製した。スタンパ裏面の一部を拡大した模式的な顕微鏡観察図を図１３に示す。
図１３において高低差は−７４ｎｍから７９ｎｍであった。フォーカス変位量の最大値δｍａｘ  は４０ｎｍであった。
すなわち、うねり量ＰＶは記録トラックに沿う方向の成分が重要であり、記録トラックと直交する方向の成分は１００ｎｍを越える場合でも問題がないことがわかる。
従って、本発明において規定するうねり量ＰＶは、記録トラックに沿う方向のうねり量とする。
【００４３】
〔８〕比較例３
この例においては、スタンパ裏面の表面粗度Ｒｙ＝０．４μｍ、うねり量ＰＶ＝１０３ｎｍのスタンパから光記録媒体を作製した。スタンパ裏面の一部を拡大した模式的な顕微鏡観察図を図１４に示す。また、図１４中、点Ａ−Ｂ間に対応する信号面のフォーカス変位量を図１５に示す。図１４において高低差は−６０ｎｍから８０ｎｍであった。フォーカス変位量の最大値δｍａｘ  は５５ｎｍであった。
【００４４】
〔９〕評価
上記各例において、本発明構成とする実施例１〜５においては、フォーカス変位量の最大値δｍａｘ  が５０ｎｍ程度となり、フォーカス取れ残りエラー量を５０ｎｍ以下に抑制し、良好な記録再生特性を得ることができた。また、トラッキングエラー量も良好に抑制することができた。一方比較例１〜３においては、フォーカス取れ残りエラー量が５０ｎｍを超えてしまい、良好な記録再生特性が得られなかった。トラッキングエラー量も増加する傾向が見られた。以上の結果を、各例におけるスタンパ裏面の表面最大粗さＲｙ、うねり量ＰＶ、フォーカス変位量δｍａｘ  と共に以下の表１に示す。なおフォーカス特性は、フォーカスエラー量とほぼ同程度とすることができるフォーカス変位量最大値δｍａｘが５０ｎｍ以下の場合を○、５０ｎｍを超える場合を×として示す。
【００４５】
【表１】
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【００４６】
上記表１の結果から、スタンパ裏面の表面最大粗度が０．３μｍ〜０．６５μｍのとき良好なフォーカス特性が得られることがわかる。一方表面粗度Ｒｙが１．５μｍの比較例１においては良好なフォーカス特性が得られない。すなわち、Ｒｙが０．６５μｍを超える１μｍ未満程度であればほぼ良好なフォーカス特性が得られることが推測できる。より好ましいフォーカス特性を得るには表面粗度Ｒｙを０．７μｍ以下程度に抑えることが望ましい。
【００４７】
一方、表面粗度Ｒｙの下限値としては、フォーカス特性を良好にするためには小さいほうが望ましいが、現状で実現できている表面最大粗さは０．２５μｍ程度であり、また実際フォーカス特性に影響する表面凹凸はフォーカス信号の中周波領域であり、０．２５μｍ未満の微細凹凸はフォーカス特性にほぼ影響しないと考えられる。したがって、本発明においては、光記録媒体製造用スタンパの裏面の表面最大粗さＲｙを、上記式（１）に示す０．２５μｍ≦Ｒｙ＜１μｍとするものである。
【００４８】
また、上記表１の結果から、光記録媒体製造用スタンパの裏面のうねり量としては、５０ｎｍ〜９７ｎｍの範囲で良好なフォーカス特性が得られていることがわかる。うねり量ＰＶが１０３ｎｍのとき、良好なフォーカス特性は得られない。また、このうねり量ＰＶを５０ｎｍ未満に抑えることは現状のスタンパ製造技術、研磨技術では難しく、また信号形成面に形成される凹凸パターンの高低差が２０〜５０ｎｍ程度と極めて小さいことから、信号形成面への影響を考慮してうねり量を５０ｎｍ未満に抑えることは、現状では不要な製造工程数の増加を招く恐れがある。
したがって、本発明においては、スタンパ裏面のうねり量ＰＶを、上記式（２）に示す５０ｎｍ≦ＰＶ＜１００ｎｍとするものである。
【００４９】
なお、比較例３に示すように、表面最大粗さＲｙが０．４μｍであってもうねり量ＰＶが１００ｎｍを超える場合は良好なフォーカス特性が得られないことがわかる。
つまり、上述の各例において適用されたＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ型構成の光記録媒体のように、高記録密度化され、高速−高転送レート化が望まれる光記録媒体においては、従来着目されていた表面粗度Ｒａで示される微細な凹凸のみではなく、表面最大粗度Ｒｙと、特に記録トラックに沿う方向のうねり量ＰＶが１００ｎｍ未満という極めて微小な値に抑制されることが必要であることがわかる。
【００５０】
このように、本発明構成による光記録媒体製造用スタンパ、または本発明による光記録媒体製造用スタンパの評価方法により選択したスタンパによれば、従来着目されなかった表面最大粗度及びうねり量を適切な範囲とすることによって、従来安定して得られなかったフォーカス特性、トラッキング特性を確実に良好に保持することができた。
このようなスタンパを用いて光記録媒体を製造することによって、高速−高転送レート化に対応した記録再生特性の良好な光記録媒体を提供することができ、これを用いることにより高速−高転送レートシステム設計が可能となる。
【００５１】
なお、上述の例においては、本発明をＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ型構成の光記録媒体に適用した場合を説明したが、本発明は上述の材料構成による光記録媒体製造用のスタンパに限定されるものではなく、その他種々のスタンパに本発明構成を逸脱しない範囲で適用することが可能である。
また、光記録媒体製造用スタンパの製造方法は、前述の特願２００２−１６７３１２号出願において提案した製造方法に限定されることなく、通常の製造方法により製造したスタンパの裏面を研磨テーにより研磨処理を行って上記式（１）及び式（２）の範囲とした場合にも適用可能であることはいうまでもない。
【００５２】
【発明の効果】
上述したように、本発明による光記録媒体製造用スタンパ及びその評価方法によれば、表面最大粗度及びうねり量を上記式（１）及び式（２）の範囲に選定することによって、確実にフォーカス特性を良好に保持することができて、記録再生特性の良好な光記録媒体を提供することができる。
【００５３】
特に、本発明を、信号形成面に形成される凹凸パターンのトラックピッチが、０．３２μｍ±０．０２μｍとされて成る光記録媒体製造用スタンパに適用することによって、確実に記録再生特性の良好な光記録媒体を提供することができる。
【００５４】
更にまた上述の各構成を、記録情報を再生する再生用光の波長λが４０５ｎｍ±１０ｎｍ、対物レンズの開口数ＮＡが０．８５±０．０５とされて成る光記録媒体に対する光記録媒体製造用スタンパに適用することによって、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ型構成の光記録媒体などの高記録密度光記録媒体において、確実に安定したフォーカス特性、良好な記録再生特性を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光記録媒体製造用スタンパの一例のレーザドップラーによる裏面像を示す図である。
【図２】光記録媒体の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図３】光学記録装置の一例の概略構成図である。
【図４】本発明の実施例１における光記録媒体製造用スタンパの裏面の顕微鏡観察図である。
【図５】本発明の実施例１における光記録媒体製造用スタンパから製造した光記録媒体信号面のフォーカス変位量を示す図である。
【図６】本発明の実施例２における光記録媒体製造用スタンパの裏面の顕微鏡観察図である。
【図７】本発明の実施例２における光記録媒体製造用スタンパから製造した光記録媒体信号面のフォーカス変位量を示す図である。
【図８】比較例１における光記録媒体製造用スタンパの裏面の顕微鏡観察図である。
【図９】比較例１における光記録媒体製造用スタンパから製造した光記録媒体信号面のフォーカス変位量を示す図である。
【図１０】比較例２における光記録媒体製造用スタンパの裏面のうねり量を示す図である。
【図１１】実施例３における光記録媒体製造用スタンパの裏面の顕微鏡観察図である。
【図１２】実施例４における光記録媒体製造用スタンパの裏面の顕微鏡観察図である。
【図１３】実施例５における光記録媒体製造用スタンパの裏面の顕微鏡観察図である。
【図１４】比較例３における光記録媒体製造用スタンパの裏面の顕微鏡観察図である。
【図１５】比較例３における光記録媒体製造用スタンパの裏面のうねり量を示す図である。
【図１６】Ａは光記録媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
Ｂは光記録媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
Ｃは光記録媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
Ｄは光記録媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
Ｅは光記録媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
Ｆは光記録媒体製造用スタンパの一例の製造工程図である。
【符号の説明】
１  基板、２  記録層、３  保護層、４  対物レンズ、５  凹凸パターン、２０  光源、２１  制御手段、２２  ハーフミラー、２３  ハーフミラー、２４  受光素子、２５  レンズ、２６  音響光学変調器（ＡＯＭ）、２７  レンズ、２８  ミラー、２９  レンズ、３０  音響光学変調器（ＡＯＭ）、３１  レンズ、３２  ミラー、３３  ウェッジプリズム、３４  音響光学偏向器（ＡＯＤ）、３５  ウェッジプリズム、３６  ミラー、３７  偏光ビームスプリッタ、３８  拡大レンズ、３９  ミラー、４０  対物レンズ、５０  移動光学テーブル、６１  基板、６２  感光層、６３  凹凸パターン、６４ａ  メッキ層、６４  スタンパ、６５  マザースタンパ、６６  サンスタンパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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