(57)【要約】【課題】簡単かつ安価な構成であるにも拘わらず、剥離後のフィルムを適切に回収する。【解決手段】一方の面に電子部品１３を装着されて樹脂封止された板状体７の他方の面から剥離するフィルム１４を保持するために、前記板状体７から剥離するフィルム１４の非貼着面を吸引する複数の吸引孔４７を形成した吸引壁４６を備えた構成とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に電子部品を装着されて樹脂封止された板状体の他方の面から剥離するフィルムを保持する剥離フィルム保持装置であって、
前記板状体から剥離するフィルムの非貼着面を吸引する複数の吸引孔を形成した吸引壁を備えたことを特徴とする剥離フィルム保持装置。
【請求項２】
前記フィルムは、前記吸引壁に対して所定角度を維持した状態で剥離されることを特徴とする請求項１に記載の剥離フィルム保持装置。
【請求項３】
前記吸引壁は、上面をカバーによって覆われ、前記フィルムの剥離方向に沿う複数の吸引領域に仕切られることにより、各吸引孔での吸引力を調整可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載の剥離フィルム保持装置。
【請求項４】
前記吸引領域の吸引孔は、前記フィルムの剥離方向側で密となるように形成されていることを特徴とする請求項３に記載の剥離フィルム保持装置。
【請求項５】
前記吸引壁に吸引・保持されたフィルムに対して相対的に接離し、フィルムを貼着して回収するフィルム回収部材を備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項６】
前記フィルム回収部材は、板状体から剥離されたフィルムが順次貼着されるフィルム回収プレートを備え、該フィルム回収プレートは、昇降台に取り外し可能に装着されていることを特徴とする請求項５に記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にＱＦＮ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｎｏｎ−Ｌｅａｄｅｄ  Ｐａｃｋａｇｅ）、ＳＯＮ（Ｓｍａｌｌ  Ｏｕｔｌｉｎｅ  Ｎｏｎ−Ｌｅａｄｅｄ  Ｐａｃｋａｇｅ）等の処理後に、リードフレームやプリント基板等の板状体から剥離したフィルムを保持するために使用される剥離フィルム保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置等の電子部品を実装されるプリント基板では、実装面とは反対側の面にフィルムを貼着することにより、前記電子部品を封止する際に、樹脂が回り込まないようにしている。このようなフィルムは、樹脂封止後に、例えば、両面粘着テープで巻き取り部材に貼り付けて巻き取るようにしている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特許第２７０００８３号公報
【特許文献２】
特許第２９９９９０４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、剥離したフィルムを両面粘着テープで巻き取っていたのでは、フィルム毎にテープが消費されることになり、ランニングコストを増大させる。
また、粘着テープを供給するための機構を別途追加して設ける必要がある。しかも、剥離テープには、使用前に異物等が付着して粘着力を低下させないように構成する必要もある。このため、装置自体の構成が複雑化し、高価なものとなる。
【０００５】
そこで、本発明は、簡単かつ安価な構成であるにも拘わらず、剥離後のフィルムを適切に回収することが可能な剥離フィルム保持装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、一方の面に電子部品を装着されて樹脂封止された板状体の他方の面から剥離するフィルムを保持する剥離フィルム保持装置であって、
前記板状体から剥離するフィルムの非貼着面を吸引する複数の吸引孔を形成した吸引壁を備えた構成としたものである。
【０００７】
この構成により、板状体から剥離中のフィルムは、複数の吸引孔によって吸引されながら、吸引壁に沿って移動し、剥離が完了することにより吸引壁に吸引した状態で保持することが可能である。吸引孔を介して空気を吸引するだけでよいため、構成が簡略化され、安価に制作することができる。そして、常に、フィルムの非貼着面を吸引することができ、貼着面全体を露出させることができるので、その後の処理を簡単に行うことが可能となる。
【０００８】
前記フィルムは、前記吸引壁に対して所定角度を維持した状態で剥離されるのが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、フィルムの剥離部分では強い吸引力を作用させることができる一方、既に剥離済みの部分には比較的弱い吸引力を作用させて吸引壁に沿ったフィルムの搬送を容易に行わせることが可能となる。
【００１０】
前記吸引壁は、上面をカバーによって覆われ、前記フィルムの剥離方向に沿う複数の吸引領域に仕切られることにより、各吸引孔での吸引力を調整可能であれば、フィルムの剥離位置に応じた吸引力を作用させることにより、フィルムの剥離及び搬送を最も適した状態で行うことが可能となる点で好ましい。
【００１１】
前記吸引領域の吸引孔は、前記フィルムの剥離方向側で密となるように形成されているのが好ましい。
【００１２】
前記吸引壁に吸引・保持されたフィルムに対して相対的に接離し、フィルムを貼着して回収するフィルム回収部材を備えると、板状体から剥離したフィルムの回収を、省スペースで、散乱することなく、しかも自動的に行うことが可能となる点で好ましい。
【００１３】
前記フィルム回収部材は、板状体から剥離されたフィルムが順次貼着されるフィルム回収プレートを備え、該フィルム回収プレートは、昇降台に取り外し可能に装着されていると、回収されたフィルムの廃棄を簡単に行うことが可能となる点で好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施形態を添付図面に従って説明する。
【００１５】
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、本実施形態に係るフィルム剥離装置を示す。このフィルム剥離装置は、大略、ベースプレート１に、リードフレーム供給部２、リードフレーム搬送部３、リードフレーム予熱部４、フィルム剥離部５、及び、リードフレーム収納部６を設けた構成である。
【００１６】
リードフレーム供給部２は、板状体の一例であるリードフレーム７が積層状態で収容される供給マガジン８で構成されている。供給マガジン８は、ベースプレート１に着脱可能で、２箇所に並設されている。
【００１７】
リードフレーム７は、図２（ａ）に示すように、導電性板材をプレス加工又はエッチング加工することにより、フレーム部９に外部リード１０を形成すると共に、フレーム部９から支持片１１を介して４隅を支持されたダイパッド１２を形成したものである。ダイパッド１２には半導体チップ１３が実装され、半導体チップ１３と外部リード１０とがワイヤ１４で電気接続（ワイヤボンディング）されている。リードフレーム７の下面には、粘着性のフィルム１５が貼着され、上面では、図２（ｂ）に示すように、半導体チップ１３、ダイパッド１２、ワイヤ１４、及び、外部リード１０の一部が樹脂封止されている。フィルム１５は、図２（ｃ）に示すように、リードフレーム７の一端部からはみ出すように貼着され、このはみ出し部分すなわち非貼着領域を、後述するフィルム剥離部５によって容易に挟持できるようになっている。但し、図２（ｄ）に示すように、リードフレーム７の一端部に切欠部７ａを形成することにより、非貼着領域を形成することも可能である。この構成によれば、図２（ｃ）に示すものに比べてフィルム１５の使用量を抑制することが可能であり、リードフレーム７からフィルム１５がはみ出すことがないので、取り扱いにも便利である。
【００１８】
供給マガジン８に収容したリードフレーム７は、図１（ｂ）に示すように、送出装置１６によって上方へと送出されるようになっている。送出装置１６は、ボールネジ１７の先端に送出プレート１８を設けたもので、図示しないパルスモータを駆動することにより、ボールネジ１７を回転させ、送出プレート１８を上下動させて所望の位置に停止させることが可能となっている。
【００１９】
リードフレーム搬送部３は、図１（ｂ）、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、ベースプレート１の上方に、その長手方向に延びる案内レール１９に沿って往復移動可能に設けた第１搬送部２０と第２搬送部２１とで構成されている。
各搬送部２０，２１は、図３（ａ）に示すように、アクチュエータ２２の駆動によりロッド２２ａを介して昇降するブロック２３の両側に開閉可能な保持アーム２４を有している。保持アーム２４の先端は、図３（ｂ）に示すように、リードフレーム７の側縁に沿って略直角に屈曲した保持部２４ａとなっており、リードフレーム７をブロック２３との間に保持して位置決めすることが可能となっている。また、ブロック２３の端部には、逃がし溝２３ｂを介して当接片２３ａが形成され、リードフレーム７を、その長手方向にガイドできるようになっている。
各搬送部２０，２１は、例えば、パルスモータ等を駆動源としたボールネジによって個別に任意の位置に移動させることが可能である。ここでは、リードフレーム７を、第１搬送部２０によってリードフレーム供給部２からリードフレーム予熱部４に搬送し、第２搬送部２１によってリードフレーム予熱部４からフィルム剥離部５、フィルム剥離部５からリードフレーム回収部６にそれぞれ搬送するようになっている。
【００２０】
リードフレーム予熱部４は、リードフレーム７が載置されるヒータレール２５を備えている。ヒーターレール２５はヒータ（図示せず）を有している。ヒータは、コントローラ（図示せず）によって温度調節される。
【００２１】
フィルム剥離部５は、図４及び図５に示すように、大略、剥離部本体２６に、ガイド部２７、フィルム挟持部２８、フィルム保持部２９、及び、フィルム回収部３０を設けたものである。
【００２２】
剥離部本体２６は箱状で、一端側に開口部３１が形成され、長手方向に並設したガイドシャフト３２を備えている。ガイドシャフト３２には、フィルム挟持部２８が往復移動可能に取り付けられている。
【００２３】
ガイド部２７は、前記リードフレーム搬送部３によって搬送されるリードフレーム７の周縁部をガイドする矩形枠体で構成されており、剥離部本体２６の上面開口部に取り外し可能に取り付けられる。ガイド部２７の長辺側対向縁には、前記リードフレーム搬送部３の保持アーム２４との干渉を回避するための逃がし部２７ａがそれぞれ形成されている。このようなガイド部２７は、リードフレーム７の形態の違いに応じて複数種用意されており、その都度取り替えて使用する。
【００２４】
フィルム挟持部２８は、図６（ａ）に示すように、チャック部材３３によって第１挟持片３４及び第２挟持片３５を接離可能としたものである。
【００２５】
チャック部材３３には、エアチャックが使用され、突出する腕部３６ａ，３６ｂを接離可能である。各腕部３６ａ，３６ｂには、ブラケット３７ａ，３７ｂがそれぞれ固定されている。ブラケット３７ａ，３７ｂは、前記エアチャックの腕部３６ａ，３６ｂが挿通される矩形孔３７ｃ，３７ｄをそれぞれ備える。ブラケット３７ａ，３７ｂは、腕部３６ａ，３６ｂにネジを螺合することにより固定される。
【００２６】
第１挟持片３４は、下方２箇所に突部３４ａを備え、前記ブラケット３７ａの矩形孔に腕部３６ａを挿通することにより形成された挿通孔３７ｃに嵌合される。一方、第２挟持片３５は、下方中央部１箇所に突部３５ａを備え、図６（ｂ）に示すように、前記ブラケット３７ｂの挿通孔３７ｅに回転自在に挿通される。
これにより、第２挟持片３５は、第１挟持片３４に対して回動自在となり、組立誤差に拘わらず、挟持面同士を常に平行な状態で接触させることが可能である。
【００２７】
第１挟持片３４と第２挟持片３５は、図７（ａ）に示すように、先端が互いに接近するように延設されており、その先端でフィルム１５を挟持することができるようになっている。第２挟持片３５の先端には図７（ｃ）に示すように凹部３８が形成され、この凹部３８と、第１挟持片３４の先端下方の角部３９とでフィルム１５を挟持可能である。第２挟持片３５は、凹部３８の上方部分に湾曲部４０を形成され、フィルム１５と接触しても切断しないように工夫されている。なお、フィルム１５を挟持する部分の形状は、図７（ｃ）に示すものに限らず、例えば、図７（ｄ）に示すように、互いの凹凸が噛み合うように構成することも可能である。
【００２８】
フィルム挟持部２８は、図４及び図５に示すように、剥離部本体２６に設けたガイドシャフト３２に往復移動可能に取り付けた移動台４１に旋回可能に支持されている。移動台４１は、正逆回転駆動可能なモータ４１ａによりガイドシャフト３２に沿って往復移動する。移動台４１の上面には図８に示すように所定間隔で支持壁４２が立設し、この支持壁４２の間に略Ｕ字形の旋回アーム４３を介してフィルム挟持部２８が支持されている。旋回アーム４３は、一方の支持壁４２に設けたアクチュエータ４３ａを駆動し、プーリ４４ａ、ベルト４５、及びプーリ４４ｂを介して動力を伝達することにより旋回する。旋回アーム４３すなわちフィルム挟持部２８の旋回位置は、図示しないストッパによって規制されている。ここでは、フィルム挟持部２８が、挟持片３４，３５によってリードフレーム７に貼着したフィルム１５を挟持可能な傾斜位置と、リードフレーム７に対して直角な垂直位置とに位置決めされるようになっている。また、挟持片３４，３５によるフィルム１５の挟持位置は、リードフレーム７に対して所定間隔、すなわち、リードフレーム７からフィルム１５を剥離する際、リードフレーム７に対して剥離中のフィルム１５が所定角度α（図１１（ｄ）参照）を形成するように決定されている。所定角度αは、小さければ小さい程、リードフレーム７からフィルム１５を剥離させやすいが、後述するように、フィルム保持部２９でフィルム１５をスライド自在に保持すると共に、フィルム１５自身の撓みを考慮して値が決定される。
【００２９】
フィルム保持部２９は、前記ガイド部２７に隣接する剥離部本体２６の上面の吸引壁４６に設けられている。すなわち、吸引壁４６には複数の吸引孔４７が形成され、吸引壁４６の上方は第１カバー４８と第２カバー４９によって覆われている。第１カバー４８により第１吸引空間５０が形成されている。第２カバー４９には仕切壁５１が形成され、この第２カバー４９により第２吸引空間５２と第３吸引空間５３が形成されている。第１吸引空間５０には第１排気管５４、第２吸引空間５２には第２排気管５５、第３吸引空間５３には第３排気管５６がそれぞれ接続されている。第１排気管５４、第２排気管５５、及び、第３排気管５６は、吸引装置（図示せず）に接続され、各排気管の途中に設けた各バルブ（図示せず）を開閉することにより、第１、第２及び第３吸引空間５０、５２及び５３から吸引し、各吸引孔４７を介して吸引壁４６下面にフィルム１５を吸引できるようになっている。なお、前記吸引壁４６の吸引孔４７は、第１吸引空間５０に連通する第１吸引領域の全体と、第２吸引空間５２に連通する第２吸引領域のガイド部２７側とが疎に形成されている。これは、フィルム１５に接近した部分で吸引力が強く作用し過ぎないようにするためのものである。また、第３吸引空間５３に連通する第３吸引領域では、挟持片３４，３５によるフィルム１５の挟持状態を解除した際、吸引壁４６にフィルム１５を確実に吸引できるように、他の吸引領域に比べて吸引孔４７が密に形成されている。
【００３０】
フィルム回収部３０は、アクチュエータ３０ａによって昇降するフィルム回収プレート５７で構成され、フィルム保持部２９の下方に配置されている。フィルム回収プレート５７は、アクチュエータ３０ａから延びるロッド３０ｂに設けた支持プレート５８にスライド可能に取り付けられ、取り外しできるように構成されている。また、フィルム回収プレート５７の上動位置は、図示しない近接センサによって検出されている。近接センサは高感度であり、回収されたフィルム１５が積層されても、最上位に位置するフィルム１５の上面位置を検出することができるようになっている。これにより、フィルム回収プレート５７を吸引壁４６の下面に対して常に同じ位置まで上昇させることが可能である。
【００３１】
リードフレーム収納部６は、フィルム１５を剥離したリードフレーム７を収納する２つの収納マガジン５９で構成されている。各収納マガジン５９の下方には、迎入装置６０が設けられている。この迎入装置６０は、前記供給マガジン８と同様な構成で、パルスモータの駆動により回転するボールネジ６１を介して昇降可能な迎入プレート６２を有している。
【００３２】
次に、前記構成のフィルム剥離装置の動作について、図１３のタイミングチャートに従って図１１及び図１２を参照しつつ説明する。
【００３３】
リードフレーム搬送部３の第１搬送部２０を駆動し、供給マガジン８に収容したリードフレーム７のうち、最上位に位置するものをリードフレーム予熱部４の一方のヒータレール２５へと搬送する。供給マガジン８では、最上位のリードフレーム７が搬送されることにより、送出装置１６を駆動して次のリードフレーム７を最上位に位置させる。また、第１搬送部２０は、次のリードフレーム７をリードフレーム予熱部４の残るヒータレール２５へと搬送する。第１搬送部２０は、両ヒータレール２５にリードフレーム７が位置している間は、供給マガジン８の上方で待機する。
【００３４】
リードフレーム７の予熱が完了すれば、第２搬送部２１を駆動し、そのリードフレーム７をフィルム剥離部５のガイド部２７へと搬送する。このとき、保持アーム２４による保持状態を維持することにより、リードフレーム７をガイドする。
【００３５】
フィルム挟持部２８では、挟持片３４，３５は開放状態とされ、図１１（ａ）に示すように、旋回アーム４３を旋回させることにより、リードフレーム７に貼着したフィルム１５に対してフィルム挟持部２８を傾斜させ、挟持片３４，３５でフィルム１５の一端部（剥離領域）を挟持しやすい状態とする。そして、移動台４１を移動させながら、両挟持片３４，３５を接近させてフィルム１５の非貼着領域を挟持し、図１１（ｂ）に示すように、旋回アーム４３を旋回させてフィルム挟持部２８を垂直位置へと移動させる。続いて、移動台４１を移動させることにより、リードフレーム７からのフィルム１５の剥離を開始する。このとき、リードフレーム７とフィルム１５の挟持位置とは所定間隔に維持される。
【００３６】
剥離中のフィルム１５は、図１１（ｃ）に示すように、フィルム保持部２９へと移動するので、吸引装置を駆動することにより、フィルム１５を剥離部本体２６の吸引壁４６に吸引する。ここでは、まず、第１排気管５４及び第２排気管５５を介してフィルム１５を吸引する。
【００３７】
挟持片３４，３５によるフィルム１５の挟持位置は、前述のように、リードフレーム７から所定寸法離れており、図１１（ｄ）に示すように、リードフレーム７上の剥離位置と挟持片３４，３５による挟持位置との間には所定角度αの傾きが形成される。つまり、剥離部本体２６の吸引壁４６からフィルム１５までの距離が場所によって相違し、各吸引孔４７からフィルム１５に作用する吸引力に差が生じることになる。また、第２吸引領域での吸引孔４７は、剥離方向側で密となるように配置されている。これにより、リードフレーム７のフィルム１５の剥離位置では、フィルム１５に対して移動を妨げない程度の強い吸引力を作用させることができ、剥離状態を安定させることができる。一方、剥離位置から離れた挟持位置側では、密に配置された吸引孔４７により、個別では弱くなった吸引力を補って、吸引壁４６から離れたフィルム１５に作用する吸引力の低下を防止することができる。したがって、吸引壁４６（リードフレーム７上の剥離位置）と挟持片３４，３５との距離を所定寸法（図７（ａ）中、Ｃで示す。）に調整すれば、場所に応じて各吸引孔４７を介してフィルム１５に対して適切な吸引力を作用させることができ、吸引壁４６に沿ってフィルム１５をスムーズに移動させることが可能となる。
【００３８】
剥離されたフィルム１５は、図１２（ａ）に示すように、第１吸引領域から離れ、第２及び第３吸引領域へと移動するので、第１排気管５４からの吸引を停止すると共に、第３排気管５６からの吸引を開始する。このとき、前述の挟持片３４，３５の近傍のフィルム１５と吸引壁４６とが密着し、フィルム１５に対して強い吸引力が作用するので、フィルム１５は吸引壁４６にしっかりと保持される。
【００３９】
リードフレーム７からフィルム１５が完全に剥離されれば、第２排気管５５及び第３排気管５６からの吸引状態を維持したままで、図１２（ｂ）に示すように、挟持片３４，３５を開放して挟持状態を解除する。これにより、フィルム１５の粘着力に拘わらず、フィルム１５から挟持片を確実に分離させることが可能となる。その後、挟持片をフィルム１５から離れた位置まで移動させた後、図１２（ｃ）に示すように、閉鎖状態としてフィルム挟持部２８を初期位置に移動させる。挟持片を閉鎖状態としておくのは、他の部分（例えば、フィルム）に引っ掛かる等の不具合を未然に防止しておくためである。
【００４０】
また、第２搬送部２１を駆動し、リードフレーム７をリードフレーム収納部６へと搬送し、収納マガジン５９に回収する。収納マガジン５９では迎入装置６０により、迎入プレート６２を昇汞させて常に最上位置にリードフレーム７を回収可能とする。
【００４１】
さらに、リードフレーム７から剥離したフィルム１５は、吸引壁４６に吸引した状態で、フィルム回収部３０に回収する。すなわち、アクチュエータ３０ａを駆動してフィルム回収プレート５７を上昇させ、フィルム１５の粘着層に接触させる。このとき、第２排気管５５及び第３排気管５６からの吸引を停止し、フィルム１５に作用させる吸引力を消滅させる。この場合、両排気管５５，５６から空気を吐出させて吸引壁４６に吸引したフィルム１５を強制的にフィルム回収プレート５７側に押し付けるようにしてもよい。そして、粘着層に残留した粘着力を利用してフィルム１５をフィルム回収プレート５７に粘着させる。続いて、アクチュエータ３０ａを駆動してフィルム回収プレート５７を降下させることによりフィルム１５を回収する。
【００４２】
以上のようにしてリードフレーム７からフィルム１５を剥離させるが、フィルム回収部３０のフィルム回収プレート５７に積層されるフィルム１５が所定量に達したことが、近接センサによって検出されれば、フィルム回収プレート５７を交換すればよい。フィルム回収プレート５７の交換は自動で行ってもよいし、その旨を図示しない報知装置（ブザー、ランプ等）により作業者に報知し、手動で行うようにしてもよい。
【００４３】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲であれば、適宜変更可能である。
【００４４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、フィルムの非貼着面を吸引する複数の吸引孔を形成した吸引壁を備えたので、簡単かつ安価な構成であるにも拘わらず、剥離中のフィルムを吸引しながら移動可能とすることができると共に、剥離完了後のフィルムを適切に吸引・保持することが可能である。また、吸引壁に吸引するのはフィルムの非貼着面であるので、貼着面全体を貼着可能な状態に維持することができ、回収を容易に行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本実施形態に係るフィルム剥離装置の概略平面図、（ｂ）はその側面図である。
【図２】（ａ）は図１のフィルム剥離装置に使用されるリードフレームの平面図、（ｂ）は（ａ）の封止成形、フィルム剥離後のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）はリードフレームからフィルムを剥離する前の状態を示す平面図、（ｄ）は他のリードフレームの平面図である。
【図３】（ａ）は第１搬送部の部分拡大断面図、（ｂ）は第１搬送部の部分拡大斜視図である。
【図４】フィルム剥離部の斜視図である。
【図５】図４の正面断面図である。
【図６】（ａ）はフィルム挟持部の分解斜視図、（ｂ）はその挟持片の斜視図である。
【図７】（ａ）は挟持片の部分拡大図、（ｂ）は挟持片の旋回状態を示す説明図、（ｃ）は挟持片の先端部分の拡大図、（ｄ）は他の挟持片の先端部分の拡大図である。
【図８】フィルム挟持部の旋回機構を示す斜視図である。
【図９】フィルム回収部の部分拡大断面図である。
【図１０】フィルム保持部の平面図である。
【図１１】リードフレームからフィルムを剥離する工程を示す概略図である。
【図１２】リードフレームからフィルムを剥離する工程を示す概略図である。
【図１３】リードフレームからフィルムを剥離手順を示すタイミングチャート図である。
【符号の説明】
１…ベースプレート
２…リードフレーム供給部
３…リードフレーム搬送部
４…リードフレーム予熱部
５…フィルム剥離部
６…リードフレーム収納部
７…リードフレーム
８…供給マガジン
９…フレーム部
１０…外部リード
１１…支持片
１２…ダイパッド
１３…半導体チップ
１４…ワイヤ
１５…フィルム
１６…送出装置
１７…ボールネジ
１８…送出プレート
１９…案内レール
２０…第１搬送部
２１…第２搬送部（位置決め手段、搬送手段）
２２…アクチュエータ
２３…ブロック
２４…保持アーム
２５…ヒータレール
２６…剥離部本体
２７…ガイド部
２８…フィルム挟持部（フィルム挟持手段）
２９…フィルム保持部
３０…フィルム回収部
３１…開口部
３２…ガイドシャフト
３３…チャック部材
３４…第１挟持片（挟持部）
３５…第２挟持片（挟持部）
３６…腕部
３７…ブラケット
３８…凹部
３９…角部
４０…湾曲部
４１…移動台（移動手段）
４２…支持壁
４３…旋回アーム
４４…プーリ
４５…ベルト
４６…吸引壁
４７…吸引孔
４８…第１カバー
４９…第２カバー
５０…第１吸引空間
５１…仕切壁
５２…第２吸引空間
５３…第３吸引空間
５４…第１排気管
５５…第２排気管
５６…第３排気管
５７…フィルム回収プレート
５８…支持プレート
５９…収納マガジン
６０…迎入装置
６１…ボールネジ
６２…迎入プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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