(57)【要約】【課題】小型化と低コスト化さらには作業時間の短縮化を図る。蓋部材と真空乾燥槽との密着度を保ちやすくする。【解決手段】ワーク８を保持して真空乾燥槽７に出し入れするワーク保持手段３５の当該ワーク保持位置よりも上方に真空乾燥槽７の蓋部材３６を設け、ワーク８を真空乾燥槽７に挿入すると同時に真空乾燥槽７の蓋が閉まる構造とする。真空乾燥槽７を傾動可能に支持する支持手段３７を設け、蓋部材３６が押し当てられたとき真空乾燥槽７がこの蓋部材３６に密着するように追従可能とする。【選択図】　　　　図３
2004011963.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄後のワークを真空乾燥槽内に移動させ密閉状態で真空引きして乾燥させる真空乾燥装置において、前記ワークを保持して前記真空乾燥槽に出し入れするワーク保持手段の当該ワーク保持位置よりも上方に前記真空乾燥槽の蓋部材を設け、前記ワークを前記真空乾燥槽に挿入すると同時に前記真空乾燥槽の蓋が閉まる構造としたことを特徴とする真空乾燥装置。
【請求項２】
前記真空乾燥槽を傾動可能に支持する支持手段を設け、前記蓋部材が押し当てられたとき前記真空乾燥槽がこの蓋部材に密着するように追従可能としていることを特徴とする請求項１記載の真空乾燥装置。
【請求項３】
前記ワーク保持手段から当該ワークを受け取り載せ替えるワーク載置台を前記真空乾燥槽内に有することを特徴とする請求項１または２に記載の真空乾燥装置。
【請求項４】
前記ワーク載置台を加熱するヒータを備えていることを特徴とする請求項３記載の真空乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空乾燥装置に関する。さらに詳述すると、本発明は、機械部品等の被洗浄物を洗浄槽、乾燥槽を経て自動洗浄する装置における最終乾燥装置等として利用される真空乾燥装置の構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
機械部品等のワークを加工、組立等する過程で自動洗浄するための装置として、アームで保持したワーク（被洗浄物）を洗浄槽から乾燥槽へと移動させて洗浄・乾燥を行うようにした洗浄装置が利用されている。また、洗浄槽と乾燥槽とが周状に配置されたいわゆるロータリー式の洗浄装置も利用されている。
【０００３】
このような洗浄装置には、洗浄後のワークをより完全に乾燥させるため真空乾燥装置が利用されるものがある。真空乾燥装置は真空乾燥槽内を真空引きすることによって液体の沸点を下げワークに付着している洗浄液等が完全に蒸発しやすくするもので、例えば真空乾燥槽内を真空引きして大気圧の８０／７６０程度（１０ｋＰａ程度）とすることにより、ワークに付着した洗浄用純水の槽内における沸点を５０℃程度にまで下げて乾燥しやすい環境を形成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような真空乾燥装置においてはワークを真空乾燥槽内に運び入れるための装置の他、真空乾燥槽に蓋をするための装置等も必要となることから複数の装置を備えることとなり、装置の小型化と低コスト化を図る上で不利である。また、このような真空乾燥装置では槽内にワークを運び入れた後に蓋を閉めなければならず、またワークを取り出すにはまず蓋を外さなければならず、作業時間の短縮を図る上で不利である。
【０００５】
また、例えば真空乾燥槽に蓋をするなどの際に発生した塵埃がワークの上に落下してしまい、最終乾燥過程まで進みながらワークが汚染されてしまうような事態となるおそれもある。
【０００６】
さらに上述のような真空乾燥装置では槽内の真空度を保つため蓋部材を真空乾燥槽に水平に押し当てて密着させる必要があるが、常に蓋部材が水平になるように保持することは困難であり、装置によっては蓋部材が僅かに傾いているような場合もある。このような装置において高い密着度を保つには蓋部材を強く押し付ける方法を採りうるが、押し付け力が偏ってしまうため好ましい方法とはいえないし、強く密着させることができなければ高い真空度を得ることも困難である。
【０００７】
そこで、本発明は、小型化と低コスト化さらには作業時間の短縮化を図ることができる真空乾燥装置を提供することを目的とする。さらに本発明は、蓋部材と真空乾燥槽との密着度を保ちやすい真空乾燥装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、請求項１記載の発明は、洗浄後のワークを真空乾燥槽内に移動させ密閉状態で真空引きして乾燥させる真空乾燥装置において、ワークを保持して真空乾燥槽に出し入れするワーク保持手段の当該ワーク保持位置よりも上方に真空乾燥槽の蓋部材を設け、ワークを真空乾燥槽に挿入すると同時に真空乾燥槽の蓋が閉まる構造としたことを特徴としている。
【０００９】
この真空乾燥装置の場合、真空乾燥槽の蓋がワーク保持手段の途中に設けられていることから、ワークを真空乾燥槽内に挿入し所定の深さまで運び入れるのと同時に真空乾燥槽に蓋をすることができる。また、蓋部材を付けたり外したりするための装置が不要となる。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の真空乾燥装置において、真空乾燥槽を傾動可能に支持する支持手段を設け、蓋部材が押し当てられたとき真空乾燥槽がこの蓋部材に密着するように追従可能としているものである。この場合、傾動可能に支持された真空乾燥槽自身が蓋部材の傾きに追従して首振り運動するようにしてその傾きを変え、傾き差を吸収する。したがって、蓋部材を密着させる前の時点で蓋部材と真空乾燥槽とが平行になっていなくても、蓋部材を真空乾燥槽に押し付けることによって真空乾燥槽に傾動させ蓋部材の傾きに合うように自動修正させることができる。
【００１１】
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の真空乾燥装置において、ワーク保持手段から当該ワークを受け取り載せ替えるワーク載置台を真空乾燥槽内に有することを特徴としている。例えばワークとワーク保持手段との接触域やその周辺にすすぎ水が付着しているような場合にもこれらすすぎ水を残らず蒸発させやすくなる。
【００１２】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の真空乾燥装置において、ワーク載置台を加熱するヒータを備えていることを特徴としている。この真空乾燥装置によると、ワーク保持手段からワーク載置台へと載せ替えられたワークを加熱することによって表面に付着しているすすぎ水などを蒸発させて乾燥させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１〜図３に、本発明の一実施形態を示す。本発明にかかる真空乾燥装置３４は、被洗浄物たる機械部品等（以下「ワーク」という）８を洗浄するための洗浄装置１０における最終乾燥作業が行われる装置として設けられているもので、洗浄後のワーク８を真空乾燥槽７内に移動させ密閉状態で真空引きして乾燥させる。
【００１５】
本実施形態における洗浄装置１０は、ワーク８を搬入する搬入装置１１と、ワーク８を洗浄する洗浄槽１〜４と、洗浄後にワーク８を乾燥させる乾燥槽５〜７と、ワーク８を乾燥槽７から取り出し搬出する搬出装置１２と、搬入装置１１により搬入されたワーク８を保持して洗浄槽１〜４及び乾燥槽５〜６内に移動させる洗浄用アーム１３とを備えてなる装置である（図１参照）。また本実施形態では搬入装置１１と搬出装置１２との間に仕切り部材１４を設置し、これにより仕切られた搬出側のエリア（本明細書ではこのエリアを「クリーンエリア」といい、図中において符号ＣＡで示す）内のクリーン度を維持するようにしている。クリーンエリアでない側のエリア（一般環境エリア）は符号ＧＡで示している。
【００１６】
また本実施形態の洗浄装置１０は、６個の槽が図１に示すように周状に等間隔配置されたロータリー式洗浄槽９を備えた装置で、その中心に配置された洗浄用アーム１３がワーク８を保持して各槽１〜６へ順に搬送するように設けられている。６個の槽をいかなる槽とするかはワーク８の種別や洗浄剤として有機溶媒を用いるかどうか等により変わってくるが、例えば本実施形態の場合は１番目の槽を洗浄槽（以下「洗浄槽１」とする）、２番目から４番目までの槽をすすぎを行う洗浄槽（以下「洗浄槽２」「洗浄槽３」「洗浄槽４」とする）、５番目と６番目の槽を水切りを行うエアー乾燥槽（以下「乾燥槽５」「乾燥槽６」とする）としている。また、ロータリー式洗浄槽９の近傍に最終乾燥槽としての真空乾燥槽７を設けている。
【００１７】
洗浄槽１は例えば超音波を利用して洗浄を行う槽であり、槽内の水及び水系洗浄剤に浸されたワーク８の付着した汚れを取り除く。水及び水系洗浄剤の代わりとして、準水系洗浄剤、非水系洗浄剤などが洗浄剤として用いられる場合もある。洗浄槽２は洗浄槽１で洗浄されたワーク８を粗すすぎする槽である。本実施形態の場合、図示するようにこれら２つの洗浄槽１，２と他の槽３〜６の間を通過するように仕切り部材１４を設け、洗浄槽１，２と他の槽３〜６とを仕切っている。また洗浄槽３は２次すすぎを行う槽、洗浄槽４は３次すすぎ（最終の仕上げすすぎ）を行う槽である。乾燥槽５，６はすすぎ後のワーク８に対しエアーを吹き付けて乾燥させる槽である。さらに真空乾燥槽７は、槽内を真空引きしてワーク８の最終乾燥を行う槽である。
【００１８】
搬入装置１１はロータリー式洗浄槽９の手前まで搬送されたワーク８を洗浄用アーム１３に受け渡す装置で、例えば旋回可能かつ直線移動可能なアームでワーク８を保持し移動させるワーク搬入ロボットによって構成されている。本実施形態では、ワーク８をワーク搬送パレット１５によってワーク搬入口１６から一般環境エリア内に運び込み、搬入装置１１でこのワーク８を洗浄槽１側に移動させるようにしている。本明細書では詳しくは説明しないが、ワーク搬送パレット１５は搬送レール１６上を自走しワーク８を搬送する台車であり、ワーク搬入口１７から一般環境エリア内に入る。
【００１９】
搬出装置１２はその下端側にワーク保持手段３５を備え、乾燥を終えたワーク８を受け取り搬出側のワーク搬送パレット１５に載せる装置であり、例えば搬入装置１１と同様、旋回可能かつ直線移動可能なアームでワーク８を保持し移動させるワーク搬入ロボットからなる。また、ワーク搬送パレット１５は搬入側の装置と同様、搬送レール１６上を自走しワーク８を搬送する台車からなり、ワーク搬出口１８を通過して洗浄装置１０の外部にワーク８を運び出す。本実施形態では、この搬出装置１２によって乾燥槽６からワーク８を受け取り、真空乾燥槽７に出し入れして最終乾燥させた後に当該ワーク８をワーク搬送パレット１５に載せるようにしている。
【００２０】
洗浄用アーム１３は搬入されたワーク８を保持して洗浄槽１〜４及び乾燥槽５〜６内を順次移動させるためのアームで、本実施形態の場合は図２に示すようにクランク形状の６本の洗浄用アーム１３がアーム支持軸１９に周状に等間隔配置されている。アーム支持軸１９は槽１〜６の中心位置で回転可能かつ昇降可能な軸で、６本の洗浄用アーム１３を各槽１〜６内で同時に上げ下げし、回転して次槽に移動させる。各洗浄用アーム１３の先端部は、例えばワーク８を直接載せて移動させることができるような形状であってもよいが本実施形態ではワーク８の底面を支えるためのワーク保持治具（図示省略）が取り付けられる二股形状の支持片２７としている。また、各洗浄用アーム１３は個別にアーム支持軸１９に取り付けられる構造であっても構わないが、本実施形態では各洗浄用アーム１３を２本１組のユニットとし、取付ねじ３１によってアーム支持軸１９に着脱可能に取り付けるようにしている（図２参照）。この場合、例えば多品種少量生産に係る製品のワーク８を洗浄する場合にユニットを適宜交換し、あるいは取り外す等の対応が可能である。各ユニットはアーム支持軸１９上の位置決めピン３２によって位置決めされている。
【００２１】
また本実施形態では、搬出装置１２のワーク保持手段３５の当該ワーク保持位置よりも上方に真空乾燥槽７の蓋部材３６を設け、ワーク８を真空乾燥槽７に挿入すると同時に真空乾燥槽７の蓋が閉まる構造としている。この蓋部材３６は、真空乾燥槽７に合わせた形状たとえば図３に示すような円板形状で、ワーク８を槽内の所定高さ（深さ）まで降ろすと同時に真空乾燥槽７の上縁に密着して真空乾燥槽７を密閉するように設けられている。また本実施形態の蓋部材３６は搬出装置１２のワーク保持手段３５に固定されて一体化しており、このワーク保持手段３５に対して相対的に昇降したり傾動したりしない。蓋部材３６の底面あるいは真空乾燥槽７の上面には、この蓋部材３６と真空乾燥槽７との密閉状態を保つため、例えばゴム製のＯリングなどからなるシーリング部材４３が設けられている。
【００２２】
また本実施形態の真空乾燥槽７は、槽自体が傾動可能となるように支持手段３７によって支持されている。したがってこの真空乾燥槽７は、その上面に上述の蓋部材３６が押し当てられた場合に蓋部材３６の傾きに追従し、この蓋部材３６と平行となるように蓋部材３６の底面に合わせてあたかも首振り運動をするように傾動する。このため、本実施形態の真空乾燥装置３４によると真空乾燥槽７に蓋部材３６を押し当てる際、強く押し付ける必要がない。
【００２３】
本実施形態の支持手段３７は、真空乾燥槽７を支持する可動支持台３８、可動支持台３８を昇降可能に支持する４本（あるいは３本）の支軸３９、これら支軸３９と可動支持台３８との間に設けられたボールブシュガイド４０、可動支持台３８の上面が当接するように支軸３９の上端に設けられたストッパ４１、可動支持台３８を上方に付勢する圧縮ばね４２等によって構成されている。可動支持台３８は例えば３本の支柱４４を介して真空乾燥槽７の底部を支持する円板形の支持台であり、ボールブシュガイド４０を介して各支軸３９に昇降可能かつ傾動可能に支持されている。各支軸３９は鉛直方向に伸びる軸で基台４５上に固定されている。ボールブシュガイド４０は各支軸３９と可動支持台３８との間に設置され軸受として機能するガイドで、鉛直な支軸３９に対して可動支持台３８が昇降するのを許容し、更に、本実施形態の場合はガイド長の短いものが採用されることによって可動支持台３８が傾動することも許容している。また、各支軸３９の周りに設けられた圧縮ばね４２がボールブシュガイド４０を介して可動支持台３８を上方に付勢している。可動支持台３８の上方ストローク端は支軸３９の上端のストッパ４１に当接する位置である。なお、ストッパ４１は例えばねじ機構によって軸方向位置の調節が可能となっており、これにより可動支持台３８の上方ストローク端の位置調節ができるようになっている。なお、図３中の符号Ｌはフローティング高さ、符号ｌ（図中では筆記体で表示）はボールブシュガイド長をそれぞれ示している。フローティング高さＬの上端はフローティングの位置となる。各高さの一例を示せば例えばｌ＝１７ｍｍ、Ｌ＝１１０ｍｍだがもちろん適宜変更できる。
【００２４】
以上のような構成の支持手段３７は、図３に示すように真空乾燥槽７が浮遊しているかのようなフローティング構造をなし、通常時は圧縮ばね４２、ストッパ４１の作用によりこの真空乾燥槽７を平行な状態となるように位置決めしている。また、真空乾燥槽７の上面に蓋部材３６が押し当てられた場合はこの蓋部材３６の傾きに追従し蓋部材３６の傾きに一致するまで傾動動作する。したがって、蓋部材３６を真空乾燥槽７の上面に軽く押し当てるだけでこの蓋部材３６と真空乾燥槽７との傾きを一致させ、両者を密着させて真空度を保つことができる。なお、蓋部材３６と真空乾燥槽７とが当初から完全に平行であれば真空乾燥槽７は全く傾動動作しないことはいうまでもない。
【００２５】
なお、搬出装置１２の下端に取り付けられるワーク保持手段３５は着脱可能であることが好ましい。こうした場合、ワーク８の形状等に応じてワーク保持手段３５を適宜変更し、ワーク８をより安定した状態で保持したりワーク８との接触領域をできるだけ狭くして洗浄と乾燥が効率良く行われるようにしたりすることができる。例えば本実施形態ではこのワーク保持手段３５の治具を図３に示すような十字形とし、ワーク８の底面の中心部付近を支持するようにしている。また、ワーク保持手段３５のアーム部分はワーク８と干渉しないような形状たとえば後方に退避したコ形とされている（図３参照）。ワーク保持手段３５の保持面にはワーク８の外周形状（例えばワーク８が円筒形であれば円形）に合わせた凹部３０を設けるようにしてもよい。
【００２６】
また、真空乾燥槽７の槽内にはワーク保持手段３５からワーク８を受け取り載せ替えるワーク載置台２９が設けられている。このワーク載置台２９はワーク保持手段３５と干渉し合わない形状、例えば上述したような十字形のワーク保持手段３５に対しては、図３に示すように対向する左右一対の平面視コ形の台であってその間をワーク保持手段３５がすり抜けて昇降できるような形状となっている。したがって、本実施形態の真空乾燥装置３４によればワーク保持手段３５で保持するワーク８を槽内でこのワーク載置台２９に載せ替えることができる。このように槽内でワーク８をワーク載置台２９へと載せ替えた場合、このワーク８とワーク保持手段３５との接触域やその周辺に付着しているすすぎ水を残らず蒸発させやすくなる。
【００２７】
さらに本実施形態では、真空乾燥槽７にこのワーク載置台２９を加熱するためのヒータ４６を設けている。これにより、本実施形態の真空乾燥装置３４によれば、ワーク保持手段３５からワーク載置台２９へと載せ替えたワーク８をこのワーク載置台２９からの伝熱によって加熱して更に蒸発が行われやすくなる状況にすることができる。この場合、ワーク載置台２９が金属製材料など伝熱性に優れる材料によって形成されていることはいうまでもない。なお、本実施形態では図３に示すように治具２９ａとこれを支持する支持台２９ｂとによってワーク載置台２９を形成している。また、支持台２９に対し治具２９ａを着脱可能とすることによってワーク８およびワーク保持手段３５の形状・大きさ等により治具２９ａを適宜変更できるようにしている。ヒータ４６の下部には支柱４４から下部が加熱されるのを防ぐ断熱板４７が設けられている。なお、特に図示していないが本実施形態ではこのような形状のワーク載置台２９を洗浄槽１〜４あるいは乾燥槽５〜６の内部にも設けてワーク保持治具上のワーク８をこれらワーク載置台２９に載せ替えるようにしている。
【００２８】
以上のような構成の真空乾燥装置３４によれば、ワーク８を真空乾燥槽７内に挿入するのと同時に蓋部材３６で真空乾燥槽７に蓋をして密閉された空間を形成することができる。このため、真空乾燥槽７に蓋をするための装置等を別途設ける必要がないから装置の小型化と低コスト化とに有利である。また、槽内へのワーク８の進入・退出時に蓋部材３６を閉じあるいは取り外す手間が不要となり、この分だけ作業に要する時間を短縮することができる。
【００２９】
しかもこの真空乾燥装置３４の場合、真空乾燥槽７に蓋部材３６を押し当てると真空乾燥槽７が傾動して蓋部材３６の傾きに自動的に追従する。したがって、蓋部材３６と真空乾燥槽７とが厳密に平行となっていない場合でも自動的に調整を行って蓋部材３６を真空乾燥槽７に密着させることができる。また、このように平行度が確保された状態で真空引きすれば蓋部材３６がさらに真空乾燥槽７に引き寄せられて密着度が高められるので槽内の真空度が保たれる。
【００３０】
加えて、本実施形態の場合は真空乾燥槽７を傾動可能とするための装置（すなわちボールブシュガイド４０、ストッパ４１、圧縮ばね４２等からなる装置）を真空乾燥槽７の下部に設けているので、真空乾燥槽７が傾動する際に塵埃が発生したとしてもこれら塵埃が槽内に侵入するおそれが極めて少ない。さらに、蓋部材３６は搬出装置１２のアームに固定されているのでこの部分が動いて塵埃が発生するようなこともない。このため、真空乾燥槽７のクリーン環境あるいはこの真空乾燥槽７にワーク８を進入させ又はここから退出させる際のワーク８に塵埃が付着するのを防止することができる。
【００３１】
なお、ロータリー式洗浄槽９を構成する各槽すなわち洗浄槽１〜４および乾燥槽５，６のそれぞれは、ロータリー式洗浄槽９に対し着脱可能な槽となっている。したがって本実施形態における各槽１〜６はそれぞれロータリー式洗浄槽９から取り外した状態で細部までクリーニングしやすい構造となっている。各槽１〜６は位置決めピン（図示省略）などによってロータリー式洗浄槽９の所定位置に再現性よく位置決めされ、例えばベース板５１上に固定された１槽あたり３本の取付部材５２及び取付部材５２にねじ込まれる３本のねじからなる取付具２２によってこの所定位置で固定される（図２参照）。取付部材５２は例えば各槽１〜６の取付孔を貫く鉛直の六角支柱からなる。このように各槽１〜６が着脱可能である場合、例えば乾燥槽５の代わりに別の洗浄槽を設けて洗浄内容を変更することが可能となる。あるいは、洗浄槽（または乾燥槽）のうちの一槽を取り外して空スペースとし、そこにワーク８をチャックして反転させるユニットを組み込み洗浄過程の途中でワーク８の向きを変えるようにすることもできる。
【００３２】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば本実施形態では真空乾燥槽７を傾動可能とし、搬出装置１２に固定した蓋部材３６をこの真空乾燥槽７の上面に押し付ける構造としたが、これとは逆に蓋部材３６の方が可動である構造としても上述の真空乾燥装置３４と同様の効果を得ることが可能である。すなわち、真空乾燥槽７を固定して傾動できないようにするとともに蓋部材３６の方を搬出装置１２に傾動可能な状態で取り付け、蓋部材３６が真空乾燥槽７の傾きに追従するようにしても本実施形態の場合と同様に両者を密着させることが可能である。ただし、蓋部材３６の可動部分を完全に覆うようにし、蓋部材３６が傾いた際に生じることのある塵埃がワーク８上に落下するのを防止する構造としてあることが望ましい。
【００３３】
また本実施形態では、真空乾燥槽７（およびこれを支持する可動支持台３８）を上方に付勢し水平に位置決めするための手段として支軸３９の周りに設けた圧縮ばね４２を例示したが特にこれに限られることはなく、例えば磁石の反発力を利用して付勢するなどしても構わない。このように磁石を利用した場合は槽内に発生することのある塵埃がこの磁石に吸い寄せられることも考えられるが、吸い寄せられた塵埃を定期的に除去するなどのメンテナンスを行えば不利な点は解消され付勢手段として何ら問題のないものとなる。
【００３４】
同様に、本実施形態では支軸３９に対し可動支持台３８を昇降可能かつ傾動可能とするのに好適な軸受手段としてボールブシュガイド４０を例示したが、これも好適な一例に過ぎずこれと同等の作用をする他の軸受等の手段を採用できることはいうまでもない。
【００３５】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、請求項１記載の真空乾燥装置によると、ワークを真空乾燥槽内に挿入し所定の深さまで運び入れるのと同時に真空乾燥槽に蓋をすることができることから、ワークを運び入れた後に改めて蓋をする必要がなく、作業時間の短縮化を図ることができる。また、蓋部材を付けたり外したりするための装置を別途設ける必要がないことから小型化と低コスト化を図ることができる。
【００３６】
また請求項２記載の真空乾燥装置によると、傾動可能に支持された真空乾燥槽自身が蓋部材の傾きに追従して首振り運動するようにしてその傾きを変え傾き差を吸収することから、蓋部材を真空乾燥槽に押し付けることによって真空乾燥槽に傾動させ蓋部材の傾きに合うように自動修正させることができる。この場合、蓋部材を軽く押さえるだけで高い密着度を確保することができることから蓋部材を真空乾燥槽に強く押し付ける必要がなく、ワーク保持手段に大きな負担をかけなくて済む。
【００３７】
請求項３記載の真空乾燥装置によると、ワーク保持手段により保持するワークをワーク載置台に載せ替えることにより、ワークとワーク保持手段との接触域やその周辺に付着しているようなすすぎ水などを残らず蒸発させやすくなる。
【００３８】
請求項４記載の真空乾燥装置によると、ワーク保持手段からワーク載置台へと載せ替えたワークを加熱することによって表面に付着しているすすぎ水などを蒸発させて乾燥させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す洗浄装置の概略平面図である。
【図２】洗浄用アームとアーム支持軸、およびロータリー式洗浄槽の構造の一例を示す斜視図である。
【図３】
本発明の一実施形態を示す真空乾燥装置の斜視図である。
【符号の説明】
１〜４　洗浄槽
５〜６　乾燥槽
７　真空乾燥槽
８　ワーク
１０　洗浄装置
１１　搬入装置
１２　搬出装置
１３　洗浄用アーム
２９　ワーク載置台
３４　真空乾燥装置
３５　ワーク保持手段
３６　蓋部材
３７　支持手段
４６　ヒータ
【図１】
2004011963.tif 000003
【図２】
2004011963.tif 000004
【図３】
2004011963.tif 000005