(57)【要約】【課題】設備障害時の操作者呼び出しシステムに関し、設備に障害が発生した場合、効率良く的確に解決するのに有効な修復システムを実現しようとする。【解決手段】設備のアラーム・ランクを基礎として設備のオペレーター、メンテナー、設備製造メーカーを設備操作可能者であるメンバーとして登録する手段と、設備にアラームが発生したことを受信し、そのアラームを分類し、アラームに対処可能な登録メンバーを通信回線で呼出す手段と、呼び出された登録メンバーが設備の障害を修復処置してから結果確認を行う手段と、結果確認がＮＧであった場合、次のランクの登録メンバーを自動的に呼び出しして修復処置を引き継ぎ、その修復処置に於ける結果確認がＮＧであれば、更に次のランクの登録メンバーを自動的に呼出して修復処置を引き継いで完全修復に結び付ける手段とが含まれる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
設備のアラーム・ランクを基礎として設備のオペレーター、メンテナー、設備製造メーカーを設備操作可能者であるメンバーとして登録する手段と、
設備にアラームが発生したことを受信し、そのアラームを分類し、アラームに対処可能な登録メンバーを通信回線で呼出す手段と、
呼び出された登録メンバーが設備の障害を修復処置してから結果確認を行う手段と、
結果確認がＮＧであった場合、次のランクの登録メンバーを自動的に呼び出しして修復処置を引き継ぎ、その修復処置に於ける結果確認がＮＧであれば、更に次のランクの登録メンバーを自動的に呼出して修復処置を引き継いで完全修復に結び付ける手段と
が含まれてなることを特徴とする設備障害時の操作者呼び出しシステム。
【請求項２】
設備障害を修復処置してから結果確認がＮＧである場合を複数回許容する手段が付加されてなること
を特徴とする請求項１記載の設備障害時の操作者呼び出しシステム。
【請求項３】
設備内に組み込まれてなること
を特徴とする請求項１記載の設備障害時の操作者呼び出しシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体装置の製造設備に障害が発生した場合に効率良く解決する為に好適な設備障害時の操作者呼び出しシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体装置の製造設備は、オペレーター、製品処理を行う人とメンテナー、製造設備の障害処理や定期点検保守をする人に分かれて操作することで、製造ラインとして成り立っている。
【０００３】
製造設備を取り扱う人は、基本的には、それなりに取り扱いの手法を習得し、認定制度に依って専任化されて取り扱うのが普通であるが、実際の障害内容に依っては、オペレーター、メンテナー、更にはエンジニアまでもが操作を行って対応し、手に負えなくなるとメーカーに修復を依頼している。
【０００４】
製造設備にアラームが発生した場合、従来はオペレーターが内容を見て、判断し且つ対応していたので、人為的ミスがしばしば起こっている。
【０００５】
半導体装置の製造設備は、プロセスが複雑化すると、それ比例して製造整備も複雑化し、また、高性能化されるので、それ対応する人々の技倆向上が必要であり、実際、これらの製造設備に関する技術をマスターした人だけが操作しないと対応ミスが起こり、トラブルは解消されない。
【０００６】
本発明が対象としている、設備障害時の操作者呼び出しシステム、に係わる公知技術は殆どないと言って過言ではないが、僅かに関連をもつかと思われるものとして、半導体製造装置管理方法とそのシステム、なる発明が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００７】
特許文献１の発明では、半導体製造装置に製品（ウエハ）をセットして自動的な処理をするに際し、生産管理や半導体製造装置の故障診断を行うものであり、センサを用い、その信号をワークステーションに取り込み、常に正常値と比較して、異常が発生した場合、故障診断をして警報を出すものであって、設備障害時の操作者呼び出しシステムには結び付かない。
【０００８】
【特許文献１】特開平７−２８２１４６号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明では、製造設備に障害が発生した場合、効率良く的確に解決するのに有効な操作者呼び出しシステムを実現しようとする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に依る設備障害時の操作者呼び出しシステムに於いては、設備のアラーム・ランクを基礎として設備のオペレーター、メンテナー、設備製造メーカーを設備操作可能者であるメンバーとして登録する手段と、設備にアラームが発生したことを受信し、そのアラームを分類し、アラームに対処可能な登録メンバーを通信回線で呼出す手段と、呼び出された登録メンバーが設備の障害を修復処置してから結果確認を行う手段と、結果確認がＮＧであった場合、次のランクの登録メンバーを自動的に呼び出しして修復処置を引き継ぎ、その修復処置に於ける結果確認がＮＧであれば、更に次のランクの登録メンバーを自動的に呼出して修復処置を引き継いで完全修復に結び付ける手段とが含まれてなることが基本になっている。
【００１１】
前記手段を採ることに依り、設備障害に対応する者の知識不足に起因する判断ミスは無くなり、対応処置時間の短縮化が実現され、設備の操作を専任者化することでオペレーター、メンテナー、メーカーの熟練度が向上し、また、アラームが発生すると同時に連絡が入るので、対応処置待ち時間が無くなり、しかも、各種アラームに依り、処置が判る為、メーカー対応の段階になっても、メーカーの対応が容易になる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
一般に、製造設備、例えば半導体装置の製造設備は、今やオンライン・システムで動作することが普通になっている。
【００１３】
即ち、製造設備に原動が供給され、電源がオンとなってシステムが立ち上がり、全てが製品処理可能な状態であることが前提であるが、製品材料が仕込まれ、製造設備にセットされてから、処理条件（レシピ）が呼び出され、処理が開始される。
【００１４】
また、製品材料が製造設備にセットされた状態から、その製造設備に付与されているパスワードやＩＤなどの認証システムが作動し、製造設備に対してセキュリティシステムが導入される。
【００１５】
本発明に依る設備障害時の操作者呼び出しシステムに於いて、基本的には、予め、オペレーターとメンテナーからなる２種類の操作メンバーが登録される。
【００１６】
登録メンバーは、作業認定制度等に基づき査定選定され、製造設備は登録メンバー以外の者では動作不能にするが、緊急事態、或いは、異常事態に対処できるようにエンジニアやメーカーは別扱いにする。
【００１７】
製造設備のアラームは３段階にランク付けし、ランク１はオペレーター対応のアラーム、ランク２はメンテナー対応のアラーム、ランク３はメーカー対応のアラームとする。
【００１８】
アラームが発生した場合、ランクに適合する登録メンバーをシステム側で瞬時に選定し、インターネットなどの通信手段に依って携帯電話、ポケットベル、パソコンなどに自動的に連絡を行う。
【００１９】
製造設備に障害が起こった場合、危険を伴う障害や重要な障害を例えばオペレーターが判断すると大事になることがあるから、アラームが発生した時、ランク別に操作可能者を指定して連絡をとることは、判断誤りを回避することに結び付き、従って、複雑で危険を伴う製造ラインなどでは特に有効である。
【００２０】
実施例
図１は製造設備の操作者を認定制度に依って登録する流れを説明する為のフロー・チャートである。
【００２１】
本実施例では、製造設備への操作許可を限定する手段として、オペレーターとメンテナーとを登録する。オペレーターやメンテナーの操作習得は、製造設備メーカーに依る教育を受け、その教育後の習熟度テスト結果で認証してもらい、その結果、操作者呼出しシステムに操作者の登録を行う。尚、メーカーは、認定制度に依らず、当然、操作者として登録される。
【００２２】
製造設備で発生するアラームは３ランクに分けられ、
ランク１：オペレーターが対応できるもの、
ランク２：メンテナーが対応できるもの、
ランク３：メーカーが対応するもの、
以上、３段階とする。
【００２３】
半導体装置の製造設備の場合、前記各ランクを具体的に記述すると、
ランク１：製品材料セットミス、ウエハ搬送エラー（位置ずれ、引っ掛かり等）
ランク２：バルブや搬送駆動系動作不良エラー、電源系出力エラー、制御系エラー、原動系エラー（水洩れ、ガス洩れ、薬品洩れ等）
ランク３：製造プロセスエラー、危険エラー、原因不明の登録以外のエラーであり、これ等のアラームに沿うように操作者の登録をする。尚、オペレーターは、製造設備の最も至近にいる為、状況を把握し且つ確認できる立場にあり、また、連絡担当としても必ず登録することが必要である。
【００２４】
図２は設備障害発生時に於ける操作者呼び出しシステム作動の流れを説明する為のフロー・チャートである。
【００２５】
操作者呼び出しシステムは、以下のように動作する。
（１）  製造設備側でアラームが発生した場合、同時にその旨を適切な通信手段に依って操作者呼び出しシステム側に送信する。
（２）  操作者呼び出しシステム側では、アラームをランク１〜ランク３に分類する。基本的にはランク１が優先される。アラームと殆ど同時に予めランク別に登録されたメンバーがインターネットなどの通信手段に依って、携帯電話、ポケットベル、パソコンなどに自動的に連絡を行う。登録メンバーは、２４時間待機状態になければならないので、カレンダー・システムに依って、アラーム時の日付と時間に登録されている登録メンバーに連絡をとるようにする。これに依り、待ち時間ロスを無くし、且つ、正確に情報を伝えることができる。登録メンバーの呼出しは複数のメンバーに亙ってもよい。
（３）  アラームがオフした後、設備を操作する際、パスワードに依る許可方式で操作者を限定する。この後、適切な修復処置を実施し、設備のハード的動作がＯＫかＮＧかを確認する。
（４）  ＯＫであれば、製品材料を流す為の評価を行う。ＯＫであれば製品製造を再開する。
（５）  障害の内容に依っては、設備の状況が変化し、アラームのレベルが変わることもあり、その場合には、現に修復に携わっているメンバーでは、障害を修復できない場合も起こり得る。そこで、前記ハード的動作の確認や製品材料を流す為の評価がＮＧであれば修復処置を繰り返すことになるのであるが、製造設備の長期停止を防止する為、確認等の作業を例えば３回までに制限する。この回数は任意に設定できるものとする。
（６）  オペレーターに依る結果確認で、ＮＧが３回になった場合、障害がオペレーターの守備範囲を越えていると判断し、メンテナー呼出しに移行し、修復処置を行って、同じ事が繰り返された場合、自動的に設備メーカー呼出しに移行する。
（７）  アラームが発生した際、その分類が適切でないか、或いは、経時的に設備の状態が変化し、最終的にオペレーター、メンテナー、設備メーカーの全員が対応する場合も起こり得るが、その場合であっても、製品処理再開は、全てオペレーター評価を経るようにする。
【００２６】
前記したところでは、本発明に依る設備障害時の操作者呼び出しシステムは、別設されているように説明したが、製造ラインのコンピュータ統合生産（ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ：ＣＩＭ）構築として組み込んだり、製造設備単体中に組み込むことも可能であり、特に、高密度プラズマ化学気相堆積（ｈｉｇｈ  ｄｅｎｓｉｔｙ  ｐｌａｓｍａ  ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＨＤＰ−ＣＶＤ）装置、エキシマ・ステッパー、イオン注入装置など複雑で大型化した製造設備は組み込み対象にして良い。
【００２７】
【発明の効果】
本発明に依る設備障害発生時の操作者呼び出しシステムに於いては、設備のアラーム・ランクを基礎として設備のオペレーター、メンテナー、設備製造メーカーを設備操作可能者であるメンバーとして登録する手段、設備にアラームが発生したことを受信し、そのアラームを分類し、アラームに対処可能な登録メンバーを通信回線で呼出す手段、呼び出された登録メンバーが設備の障害を修復処置してから結果確認を行う手段、結果確認がＮＧであった場合、次のランクの登録メンバーを自動的に呼び出しして修復処置を引き継ぎ、その修復処置に於ける結果確認がＮＧであれば、更に次のランクの登録メンバーを自動的に呼出して修復処置を引き継いで完全修復に結び付ける手段が含まれることが基本になっている。
【００２８】
前記構成を採ることに依り、設備障害に対応する者の知識不足に起因する判断ミスは無くなり、対応処置時間の短縮化が実現され、設備の操作を専任者化することでオペレーター、メンテナー、メーカーの熟練度が向上し、また、アラームが発生すると同時に連絡が入るので、対応処置待ち時間が無くなり、しかも、各種アラームに依り、処置が判る為、メーカー対応の段階になっても、メーカーの対応が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】製造設備の操作者を認定制度に依って登録する流れを説明する為のフロー・チャートである。
【図２】設備障害発生時に於ける操作者呼び出しシステム作動の流れを説明する為のフロー・チャートである。
【図１】
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【図２】
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