(57)【要約】【課題】基板上の隔壁により区画される塗布領域に、必要充分な量の溶液を塗布することが可能な基板の製造方法、該基板の製造方法を実現するための液滴吐出装置、および、該基板の製造方法を含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、ならびに、該有機エレクトロルミネッセンス表示装置を有する電子機器を提供する。【解決手段】隔壁により区画される３つの塗布領域２７０Ｒ、２７０Ｇ、２７０Ｂのうち、面積の大きな塗布領域２７０Ｂに対しては、液滴吐出の主走査を複数回行う。【選択図】      図５
2004209409.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する吐出ヘッドから吐出された液滴を、基板上に形成された隔壁により仕切られる塗布領域に塗布すべく、前記吐出ヘッドあるいは基板のうち一方の走査体を、他方に対して走査して基板を製造する基板の製造方法であって、
前記吐出ヘッドから液滴を吐出させると共に、前記吐出ヘッドから吐出された液滴が、基板上の塗布領域に塗布されるような経路にて、前記走査体を走査する走査過程を、
同一の塗布領域に対して複数回繰り返す
ことを特徴とする基板の製造方法。
【請求項２】
同一の塗布領域に対する走査過程において、前記走査体の走査方向は一方向であることを特徴とする請求項１に記載の基板の製造方法。
【請求項３】
同一の塗布領域に対する走査過程において、前記走査体の走査方向には、互いに逆向きの二方向が含まれることを特徴とする請求項１に記載の基板の製造方法。
【請求項４】
同一の塗布領域に対する走査過程において、前記走査体は、互いに異なる経路にて走査されることを特徴とする請求項２あるいは３に記載の基板の製造方法。
【請求項５】
同一の塗布領域に対する走査過程毎に、前記吐出ヘッドから同一の吐出領域に吐出される液滴の量が異なることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載の基板の製造方法。
【請求項６】
同一の塗布領域に対する走査過程の各々において、前記吐出ヘッドからは複数の液滴が吐出され、
同一の塗布領域に対する走査過程毎に、前記吐出ヘッドから同一の塗布領域に対して吐出される液滴の総量が異なることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１に記載の基板の製造方法。
【請求項７】
基板上における塗布領域の各々の面積を取得する面積取得過程をさらに含み、
前記面積取得過程において取得された面積が大きな塗布領域ほど、走査過程の繰り返し回数が多くなるように設定する
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１に記載の基板の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１に記載の基板の製造方法を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至７のいずれか１に記載の基板の製造方法によって、エレクトロルミネッセンス材料、あるいは、エレクトロルミネッセンス材料に正孔を注入する正孔注入材料のいずれかを含む液滴を、基板上の塗布領域に塗布する工程を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項８あるいは９に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法により製造されたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置を表示部として有することを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
液滴を吐出する吐出ヘッドから吐出された液滴を、基板上に形成された隔壁により仕切られる塗布領域に塗布する液滴吐出装置であって、
前記吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出手段と、
前記液滴吐出手段により前記吐出ヘッドから吐出された液滴が、基板上の塗布領域に塗布されるような経路にて、前記吐出ヘッドあるいは基板のうち一方の走査体を、他方に対して走査する走査手段と、
同一の塗布領域に対して、前記走査体を複数回走査するように前記走査手段を制御する走査制御手段と
を具備することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板の製造方法に関し、特に、基板上に形成された隔壁により仕切られる領域内に、有機エレクトロルミネッセンス材料などを含む液滴を塗布するための基板の製造方法、液滴吐出装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、および、電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マトリックス表示型の有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示パネルは、有機ＥＬ層や正孔注入層などの薄膜層を有する構成が一般的である。この種の薄膜層の形成方法のひとつとして、液滴吐出法が知られている。液滴吐出法により有機ＥＬ層を形成する場合においては、まず、液滴吐出装置によって、有機ＥＬ材料を含む液滴を、基板上に形成された隔壁により仕切られる領域（以下、「塗布領域」と称する。）に向けて吐出して、液滴を塗布領域に塗布する。次いで、塗布された液滴を乾燥させて、液滴に含まれる溶媒が揮発すると、塗布領域に有機ＥＬ層が形成される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２９１５８３号公報
【０００４】
ところで、カラー表示型の有機ＥＬ表示パネルの一部には、赤色発光する赤色ＥＬ層と、緑色発光する緑色ＥＬ層と、青色発光する青色ＥＬ層との各々を規則的に配列し、各ＥＬ層による発光色を加法混合してフルカラー表示を実現するものがある。しかし、赤色ＥＬ層と、緑色ＥＬ層と、青色ＥＬ層との各々は、同一条件下で発光させたとしても、常にそれらの輝度が揃うとは限らず、例えば、青色ＥＬ層の輝度が、他色のＥＬ層の輝度と比較して低い、というような場合がある。このような場合、各ＥＬ層から出射される発色光を、単純に加法混合したとしても、青色光の輝度が相対的に低くなり、カラー表示を良好に行えないという問題が生じる。これに対処する技術としては、青色ＥＬ層に対応する領域を他色に対応する領域より広くして、青色光の出射領域を相対的に大きくするという技術が知られている。これにより、有機ＥＬ材料そのものの改良を行わなくとも、パネル全体としてカラー表示を良好に行うことが可能となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、液滴吐出法を用いた場合、ひとつのＥＬ層の領域が広くなると、各塗布領域に塗布する液量が増えるため、以下のような問題が生じる。いま、液滴吐出装置として、吐出ヘッドを基板に対して一定の速度にて走査する装置を想定する。この液滴吐出装置において、吐出ヘッドから吐出される液滴の量が「１０ｎｇ」であり、液滴吐出にかかる最短周期が「Ｔ」であるとする。また、ひとつの塗布領域に対する吐出ヘッドの走査時間が、「７Ｔ」であるとする。このとき、液滴吐出装置においては、塗布領域の大きさに拘わらず、ひとつの塗布領域につき、最大で７回の液滴吐出、すなわち、最大で「７０ｎｇ」の溶液しか塗布することができない。このように、従来の液滴吐出装置においては、実質的に塗布量の上限値が規定されているため、塗布領域の大きさなどに応じて、任意に塗布量を増やすことができなかった。この結果、塗布領域に形成される薄膜層の膜厚が不充分または不均一となり、ＥＬ表示パネルの品質低下の一因となっていた。
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであり、隔壁により区画される塗布領域に、必要充分な量の溶液を塗布することが可能な基板の製造方法、該基板の製造方法を実現するための液滴吐出装置、該基板の製造方法を含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、該有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法により製造された有機エレクトロルミネッセンス表示装置、および、該有機エレクトロルミネッセンス表示装置を有する電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る基板の製造方法は、液滴を吐出する吐出ヘッドから吐出された液滴を、基板上に形成された隔壁により仕切られる塗布領域に塗布すべく、前記吐出ヘッドあるいは基板のうち一方の走査体を、他方に対して走査して基板を製造する基板の製造方法であって、前記吐出ヘッドから液滴を吐出させると共に、前記吐出ヘッドから吐出された液滴が、基板上の塗布領域に塗布されるような経路にて、前記走査体を走査する走査過程を、同一の塗布領域に対して複数回繰り返すことを特徴とする。
かかる基板の製造方法によれば、同一の塗布領域に対して、走査体が複数回走査されるため、必要充分な量の溶液を塗布領域に対して塗布することが可能となる。
【０００８】
ここで、同一の塗布領域に対する走査過程において、前記走査体の走査方向は一方向であることを特徴とする。
また、同一の塗布領域に対する走査過程において、前記走査体の走査方向には、互いに逆向きの二方向が含まれることを特徴とする。
【０００９】
さらに、同一の塗布領域に対する走査過程において、前記走査体は、互いに異なる経路にて走査されることが好ましい。このように、走査過程毎に走査経路をずらすことにより、液滴の塗布地点が分散される。これにより、塗布領域に斑なく溶液を塗布することができる。
【００１０】
上記基板の製造方法において、同一の塗布領域に対する走査過程毎に、前記吐出ヘッドから同一の吐出領域に吐出される液滴の一滴あたりの量を異ならせても良い。さらに、同一の塗布領域に対する走査過程の各々において、前記吐出ヘッドからは複数の液滴が吐出され、同一の塗布領域に対する走査過程毎に、前記吐出ヘッドから同一の塗布領域に対して吐出される液滴の総量を異ならせても良い。
これらにより、走査過程毎に、同一の塗布領域に対する液滴の塗布量を変えることができるため、塗布領域の形状などに合わせて任意に溶液を塗布することが可能となる。
【００１１】
また、上記基板の製造方法において、基板上における塗布領域の各々の面積を取得する面積取得過程をさらに含み、前記面積取得過程において取得された面積が大きな塗布領域ほど、走査過程の繰り返し回数が多くなるように設定することが好ましい。
このように、面積の大きな塗布領域ほど、走査回数を増やすことにより、塗布領域の大きさに拘わらず、塗布領域の単位面積あたりの塗布量を等しくすることができる。
【００１２】
また、本発明は、上記基板の製造方法により、例えば、有機エレクトロルミネッセンス材料や、正孔注入材料などを含む液滴を塗布する工程を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を提供し、さらに、該製造方法により製造された有機エレクトロルミネッセンス表示装置、該有機エレクトロルミネッセンス表示装置を表示部として有することを特徴とする電子機器を提供する。
【００１３】
上記基板の製造方法の他、本発明は、液滴を吐出する吐出ヘッドから吐出された液滴を、基板上に形成された隔壁により仕切られる塗布領域に塗布する液滴吐出装置であって、前記吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出手段と、前記液滴吐出手段により前記吐出ヘッドから吐出された液滴が、基板上の塗布領域に塗布されるような経路にて、前記吐出ヘッドあるいは基板のうち一方の走査体を、他方に対して走査する走査手段と、同一の塗布領域に対して、前記走査体を複数回走査するように前記走査手段を制御する走査制御手段とを具備することを特徴とする液滴吐出装置を提供する。
この液滴吐出装置によれば、基板上の隔壁により仕切られたひとつの領域につき、液滴の塗布にかかる走査が複数回なされるため、隔壁により仕切られた領域に、必要充分な量の溶液を塗布することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
＜第１実施形態＞
＜ＥＬ表示パネルの構成＞
図１は、本発明の第１実施形態にかかる液滴吐出装置により液滴が塗布される有機ＥＬ表示パネル（以下、「ＥＬ表示パネル」と表記）の部分断面図である。さらに詳述すると、この図には、カラー表示型の有機ＥＬ表示パネルの製造工程において、正孔注入層の形成直前のＥＬ表示パネルが示されている。なお、説明の便宜上、図１に示す各構成の縮尺は、実際の縮尺とは異なり、説明に適するように変更されている。
【００１６】
図１において、ガラスなどの基板（基材）２１０に、ＥＬ素子を駆動するＴＦＴ２２０が例えば低温ポリシリコンプロセスなどにより形成されている。緩衝層２３０は、基板２１０およびＴＦＴ２２０の上面を覆うように形成されているが、ＴＦＴ２２０の電極部分では開孔している。
【００１７】
画素電極２４０は、例えばＣｒ、Ｍｏ、Ｔａなどの正孔注入性に加え反射性を有する導電膜であり、緩衝層２３０の開孔部分を介して、ＴＦＴ２２０の電極（ソースまたはドレインの一方）に接続されている。この画素電極２４０は、ＥＬ素子の陽極として機能する他、反射層としての役割を果たす。
【００１８】
次に、下層膜２５０は、例えばシリコン酸化膜などの無機材料であり、主に画素電極２４０間において、画素電極２４０の端部を若干覆うように形成されている。一方、隔壁２６０は、下層膜２５０の上面に形成された高さ２μｍ程度の一種の仕切りであり、アクリルなどの有機材料がフォトリソグラフィティ技術などによりパターニングされたものである。この隔壁２６０により、後述する液滴吐出装置において液滴が塗布される塗布領域２７０Ｂが仕切られる。画素電極２４０の上面には親水処理が施される一方、隔壁２６０の側壁面には撥水加工が施される。
【００１９】
図２は、ＥＬ表示パネルにおける塗布領域の配列状況を示す図である。なお、前掲図１に示した断面図は、図２におけるＡ−Ａ’線によるＥＬ表示パネルの断面図に相当する。
図２に示すように、ＥＬ表示パネルにおいては、塗布領域２７０Ｒと、塗布領域２７０Ｇと、上述した塗布領域２７０Ｂとの各々がマトリックス状に配列されている。さらに詳述すると、塗布領域２７０Ｒは、５０×１５０μｍ程度の長方形状をしており、その長手方向が図中Ｙ方向を向いた状態で、Ｙ方向に並設されており、塗布領域２７０Ｇは、５０×１５０μｍ程度の長方形状をしており、その長手方向がＹ方向を向いた状態で、Ｙ方向に並設されている。一方、塗布領域２７０Ｂは、塗布領域２７０Ｒ，２７０Ｇと比較して面積が広く、１００×１５０μｍ程度の長方形状をしており、その長手方向がＹ方向を向いた状態で、Ｙ方向に並設されている。
【００２０】
なお、これらの塗布領域２７０Ｒ、２７０Ｇおよび２７０Ｂの各々は、ＥＬ表示パネルにおける発光の最小単位であるサブ画素に対応する位置に設けられており、塗布領域２７０Ｒは、赤色発光するサブ画素に対応し、塗布領域２７０Ｇは、緑色発光するサブ画素に対応し、塗布領域２７０Ｂは、青色発光するサブ画素に対応する。Ｘ方向に並ぶ赤色発光するサブ画素（塗布領域２７０Ｒ）と、緑色発光するサブ画素（塗布領域２７０Ｇ）と、青色発光する（塗布領域２７０Ｂ）との３つのサブ画素による組により、ＥＬ表示パネルの表示の最小単位となる画素２７０が構成される。
【００２１】
再び図１において、塗布領域２７０Ｂにおける画素電極２４０上には、膜厚「６０ｎｍ」程度の正孔注入層と、膜厚「６０ｎｍ」程度の有機ＥＬ層とがこの順で積層される。特には図示しないが、塗布領域２７０Ｒおよび塗布領域２７０Ｇの各々においても、それらの画素電極２４０上に、正孔注入層と有機ＥＬ層とがこの順で積層される。
【００２２】
＜液滴吐出装置の構成＞
図３は、正孔注入層の形成に用いられる液滴吐出装置の構成を示す図である。この図おいて、液滴吐出装置１００に含まれる制御部１１０は、記憶部１２０に記憶されるドットデータに応じて、吐出ヘッド１３０、ヘッドキャリッジ１４０および基板キャリッジ１５０の各々に駆動信号を供給し、液滴吐出装置１００全体を制御する。
【００２３】
図４は、記憶部１２０に記憶されるドットデータを模式的に示す図である。この図に示すように、ドットデータは、基板２１０上にマトリックス状に割り当てられた各ドットが、液滴を吐出させる地点であるか否かを指示するデータである。図中黒塗りのドットは、液滴を吐出させる地点である旨を指示する一方、白抜きのドットは、液滴を吐出させない地点である旨を指示する。したがって、基板２１０のうち塗布領域２７０Ｒおよび塗布領域２７０Ｇの各々においては、それらの長手方向に延在する一列のドット列に含まれる７個のドットについてのみ、液滴吐出が指示されている。一方、塗布領域２７０Ｂにおいては、その長手方向に並行して延在する２列のドット列に含まれる計１４個のドットについてのみ、液滴吐出が指示されている。
【００２４】
再び図３に説明を戻す。タンク１６０は、後述の有機ＥＬ材料に対して正孔を注入する例えばポリチオフェン系導電性高分子などの正孔注入材料を含む約１％のポリマー溶液を貯蔵する。また、吐出ヘッド１３０は、ひとつのノズルを有しており、制御部１１０から供給される駆動信号に応じて、タンク１６０から溶液の供給を受け、該溶液をノズルから「１０ｎｇ」の液滴として吐出する。なお、吐出ヘッド１３０は、連続して液滴を吐出する場合、最短で時間「Ｔ（ｓ）」の周期にて液滴を吐出することができる。また、説明の便宜上、この実施形態においては、ノズル数は１個のみであり、該ノズルから吐出される液滴は、「１０ｎｇ」の１種類の液滴のみである例を示すが、ノズル数は、複数であっても良いし、各ノズルから複数の量の液滴を選択的に吐出可能な構成としても良い。
ヘッドキャリッジ１４０は、制御部１１０の制御の下、吐出ヘッド１３０を一定の速度「１５０／７Ｔ（ｎｍ／ｓ）」にて、主走査方向（図中Ｙ方向）に主走査する。
【００２５】
一方、基板キャリッジ１５０は、基板２１０を保持するとともに、制御部１１０の制御の下、基板２１０を吐出ヘッド１３０に対して副走査する。より詳細には、基板キャリッジ１５０は、ヘッドキャリッジ１４０による吐出ヘッド１３０の主走査が終了する毎に、副走査方向（図中Ｘ方向）に基板２１０を副走査する。なお、基板２１０は、図２に示すＸ方向が、図３における副走査方向Ｘと同一方向に平行となるように基板キャリッジ１５０によって保持される。
【００２６】
＜液滴吐出装置の動作＞
次に、液滴吐出装置１００（図３参照）による正孔注入材料を含む液滴の塗布の動作について説明する。この動作説明おいては、塗布領域２７０Ｒおよび塗布領域２７０Ｇの各々に対しては「７０ｎｇ」の溶液を塗布する一方、塗布領域２７０Ｂに対しては「１４０ｎｇ」の溶液を塗布する。
【００２７】
図５は、制御部１１０による吐出ヘッド１３０の主走査の様子を示す図である。この図に示すように、まず、制御部１１０は、主走査方向Ｙに並ぶ塗布領域２７０Ｒの各々に対して、ヘッドキャリッジ１４０により、図中Ｓ１に示す経路にて吐出ヘッド１３０を主走査する。上述したように吐出ヘッド１３０の走査速度は「１５０／７Ｔ（ｎｍ／ｓ）」であり、塗布領域２７０Ｒの主走査方向Ｙの長さは「１５０ｎｍ」である。このため、ひとつの塗布領域２７０Ｒついての主走査にかかる時間は「７Ｔ（ｓ）」となる。一方で、液滴の吐出にかかる最短周期は、「Ｔ（ｓ）」である。これらから、液滴吐出装置１００においては、ひとつの塗布領域２７０Ｒにつき、液滴を最大で７回吐出することができる。なお、塗布領域２７０Ｇおよび塗布領域２７０Ｂについても、それらの主走査方向Ｙの長さが塗布領域２７０Ｒと等しいため、各々の塗布領域２７０Ｇ、２７０Ｂに対して、液滴を最大で７回吐出することができる。
【００２８】
制御部１１０は、吐出ヘッド１３０を経路Ｓ１に沿って主走査する際に、記憶部１２０に記憶されるドットデータに従って、吐出ヘッド１３０から塗布領域２７０Ｒにおける図中１、２、・・・、７により示される７つの地点の各々に１滴ずつ液滴を吐出する。これにより、塗布領域２７０Ｒには、合計約「７０ｎｇ」の液滴が塗布される。なお、塗布領域２７０Ｒの画素電極２４０上に塗布された溶液に含まれる溶媒が揮発すると、塗布領域２７０Ｒの全域に渡り必要充分な厚み（約６０ｎｍ）を有する正孔注入層が形成される。
【００２９】
このような塗布領域２７０Ｒに対する主走査が終了すると、次に制御部１１０は、吐出ヘッド１３０による主走査の経路が図中Ｓ２となるように、基板２１０を副走査方向Ｘに副走査する。続いて、制御部１１０は、主走査方向Ｙに並ぶ塗布領域２７０Ｇの各々に対して、ヘッドキャリッジ１４０により、吐出ヘッド１３０を経路Ｓ２に沿って主走査する。この際、制御部１１０は、記憶部１２０に記憶されるドットデータに従って、吐出ヘッド１３０から塗布領域２７０Ｇにおける図中１、２、・・・、７で示される各地点に、計７滴の液滴を吐出する。これにより、塗布領域２７０Ｇには、合計約「７０ｎｇ」の液滴が塗布される。なお、塗布領域２７０Ｇの画素電極２４０上に塗布された溶液に含まれる溶媒が揮発すると、塗布領域２７０Ｇの全域に渡り必要充分な厚み（約６０ｎｍ）を有する正孔注入層が形成される。
【００３０】
このような塗布領域２７０Ｇに対する主走査が終了すると、次に、制御部１１０は、塗布領域２７０Ｂに対して液滴を塗布する。
ところで、従来の液滴吐出法においては、ひとつの塗布領域につき１回の主走査により液滴の塗布を行っていた。このため、本実施形態のように、１回の主走査により塗布領域２７０Ｂに対して最大で「７０ｎｇ」の溶液しか塗布できない液滴吐出装置１００であれば、何ら策を講じないとすると、塗布領域２７０Ｂに必要とされる「１４０ｎｇ」の溶液を塗布することができない。
【００３１】
そこで、液滴吐出装置１００においては、以下のようにして塗布領域２７０Ｂに「１４０ｎｇ」の溶液を塗布する。すなわち、まず、制御部１１０は、塗布領域２７０Ｇに対する主走査が終了すると、吐出ヘッド１３０による主走査の経路が図中Ｓ３となるように、基板２１０を副走査方向Ｘに副走査する。続いて、制御部１１０は、主走査方向Ｙに並ぶ塗布領域２７０Ｂの各々に対して、吐出ヘッド１３０を経路Ｓ３に沿って主走査する。この際、制御部１１０は、記憶部１２０に記憶されるドットデータに従って、吐出ヘッド１３０から、各塗布領域２７０Ｂの図中１、２、・・・、７で示される各地点に１滴ずつ液滴を吐出する。これにより、塗布領域２７０Ｂには、まず「７０ｎｇ」の液滴が塗布される。
【００３２】
次に、制御部１１０は、吐出ヘッド１３０による主走査の経路が図中Ｓ４となるように、基板２１０を副走査方向Ｘに副走査する。続いて、制御部１１０は、塗布領域２７０Ｂの各々に対して、吐出ヘッド１３０を経路Ｓ４に沿って主走査する。この際、制御部１１０は、記憶部１２０に記憶されるドットデータに従って、吐出ヘッド１３０から、塗布領域２７０Ｂの図中８、９、・・・、１４で示される各地点に１滴ずつ液滴を吐出する。この２回目の走査において、塗布領域２７０Ｂには、さらに「７０ｎｇ」の液滴が塗布され、計２回の主走査により合計「１４０ｎｇ」の液滴が塗布領域２７０Ｂにおける画素電極２４０上に塗布される。この後、画素電極２４０上に塗布された溶液に含まれる溶媒が揮発すると、塗布領域２７０Ｂの全域に渡り必要充分な厚み（約６０ｎｍ）を有する正孔注入層が形成される。
【００３３】
このように、本実施形態にかかる液滴吐出装置１００によれば、ひとつの塗布領域２７０Ｂにつき主走査を複数回行うことにより、該塗布領域２７０Ｂに対して、１回の主走査により塗布可能な液量（この例では「７０ｎｇ」）以上の液量を塗布しなければならない場合であっても、必要とされる量の溶液を確実に塗布することが可能となる。
【００３４】
ところで、塗布領域２７０Ｂに対して必要充分な量の溶液を塗布するという観点から見れば、吐出ヘッド１３０に含まれるノズル径を大きくして、１滴あたりの液量を増大することによって、１回の主走査により必要充分な溶液を塗布することが可能である。しかし、このように１滴あたりの液量を増大させると、そのドット径が大きくなり、液滴の塗布（パターニング）の精度が低下してしまう。特に基板２１０のように、複数の大きさの塗布領域２７０Ｒ、２７０Ｇ、２７０Ｂが混在する場合、大きな塗布領域２７０Ｂに塗布すべき液量に合わせて液滴の大きさを設定すると、小さな塗布領域２７０Ｒ、２７０Ｇに対するパターニング精度が損なわれるおそれがある。これに対し、本実施形態によれば、ひとつの塗布領域２７０Ｂにつき主走査を複数回行っているため、すべての大きさの塗布領域２７０Ｒ、２７０Ｇ、２７０Ｂに対して微少液滴にてパターニングすることができる。この結果、パターニング精度を不当に損なうことなく、塗布領域２７０Ｂに塗布する溶液量を増大させることができる。
【００３５】
くわえて、本実施形態においては、塗布領域２７０Ｂに対する第１回の主走査の経路Ｓ３と、第２回の主走査の経路Ｓ４とが異なるため、１回のみの主走査により液滴を塗布する場合と比較して、液滴の塗布地点を分散することができる。これにより、塗布領域２７０Ｂの全域に渡るように、液滴を斑なく塗布することができる。
【００３６】
＜第２実施形態＞
上述した第１実施形態においては、ＥＬ表示パネルの製造工程において、正孔注入層を形成する液滴吐出装置１００について説明した。これに対し、第２実施形態においては、ＥＬ表示パネルの製造工程において、有機ＥＬ層を形成する液滴吐出装置について説明する。
【００３７】
＜液滴吐出装置の構成＞
図６は、有機ＥＬ層の形成に用いられる液滴吐出装置の構成を示す図である。なお、この図に示される液滴吐出装置１０２に含まれる各構成のうち、前掲図３に示す液滴吐出装置１００と同様の構成については同一の符号が付してある。また、基板キャリッジ１５０に保持される基板２１０上における符号２７２は、第１実施形態に係る液滴吐出装置１００により形成された正孔注入層を示す。
【００３８】
液滴吐出装置１０２が、上述した液滴吐出装置１００と比較して特徴的な点は、タンク１６０と吐出ヘッド１３０との組の替わりに、タンク１７０Ｒと吐出ヘッド１７２Ｒとの組、タンク１７０Ｇと吐出ヘッド１７２Ｇとの組、および、タンク１７０Ｂと吐出ヘッド１７２Ｂとの組の各々が設けられている点にある。さらに詳述すると、溶液タンク１７０Ｒは、赤色発光する高分子系有機ＥＬ材料を含む約１％のポリマー溶液を貯蔵し、吐出ヘッド１７２Ｒは、その溶液を１０ｎｇの液滴として吐出する。また、溶液タンク１７０Ｇは、緑色発光する高分子系有機ＥＬ材料を含む約１％のポリマー溶液Ｇを貯蔵し、吐出ヘッド１７２Ｇは、その溶液を１０ｎｇの液滴として吐出する。そして、溶液タンク１７０Ｂは、青色発光する高分子系有機ＥＬ材料を含む約１％のポリマー溶液を貯蔵し、吐出ヘッド１７２Ｂは、その溶液を１０ｎｇの液滴として吐出する。なお、吐出ヘッド１７２Ｒ、吐出ヘッド１７２Ｇおよび吐出ヘッド１７２Ｂの各々は一体化されており、３つ揃った状態でヘッドキャリッジ１４０により、主走査方向Ｙに主走査される。
【００３９】
＜液滴吐出装置の動作＞
次に、各塗布領域２７０Ｒ、２７０Ｇ、２７０Ｂにおける正孔注入層２７２に対して、液滴吐出装置１０２により液滴を塗布する動作について説明する。この動作説明においては、液滴吐出装置１０２により、塗布領域２７０Ｒに対しては赤色発光する有機ＥＬ材料を含む液滴を約「７０ｎｇ」塗布し、塗布領域２７０Ｇに対しては緑色発光する有機ＥＬ材料を含む液滴を約「７０ｎｇ」塗布し、塗布領域２７０Ｂに対しては青色発光する有機ＥＬ材料を含む液滴を約「１４０ｎｇ」塗布する。
【００４０】
以下、前掲図５および図６を参照して、制御部１１０による吐出ヘッド１７２Ｒ、１７２Ｂおよび１７２Ｇの主走査について説明する。まず、制御部１１０は、主走査方向Ｙに並ぶ塗布領域２７０Ｒの各々に対して、吐出ヘッド１７２Ｒを経路Ｓ１にて主走査する。この際、制御部１１０は、記憶部１２０に記憶されるドットデータに従って、塗布領域２７０Ｒにおける図中１、２、・・・、７の各地点に、吐出ヘッド１７２Ｒから１滴ずつ液滴を吐出する。
【００４１】
これにより、塗布領域２７０Ｒにおける正孔注入層２７２上には、赤色発光する有機ＥＬ材料を含む溶液が約「７０ｎｇ」塗布される。なお、正孔注入層２７２上に塗布された溶液に含まれる溶媒が揮発すると、該正孔注入層２７２上に約「６０ｎｍ」の膜厚を有する赤色有機ＥＬ層が形成される。
【００４２】
次いで、制御部１１０は、吐出ヘッド１７２Ｇによる主走査の経路が図中Ｓ２となるように、基板２１０を副走査方向Ｘに副走査する。続いて、制御部１１０は、主走査方向Ｙに並ぶ塗布領域２７０Ｇの各々に対して、吐出ヘッド１７２Ｇを経路Ｓ２に沿って主走査する。この際、制御部１１０は、ドットデータに従って、吐出ヘッド１７２Ｇから、塗布領域２７０Ｇの図中１、２、・・・、７で示す各地点に、液滴を１滴ずつ吐出する。これにより、塗布領域２７０Ｇにおける正孔注入層２７２上には、緑色発光する有機ＥＬ材料を含む液滴が、合計約「７０ｎｇ」塗布される。なお、正孔注入層２７２上に塗布された溶液に含まれる溶媒が揮発すると、該正孔注入層２７２上に約「６０ｎｍ」の膜厚を有する緑色有機ＥＬ層が形成される。
【００４３】
次に、制御部１１０は、塗布領域２７０Ｂに対して液滴を塗布する。ここで、塗布領域２７０Ｂには、１回の主走査により塗布可能な「７０ｎｇ」より多い「１４０ｎｇ」の液滴を塗布しなければならない。これに対処すべく、液滴吐出装置１０２においては、次に説明するように、各々の塗布領域２７０Ｂに対して主走査を複数回行うことにより、各塗布領域２７０Ｂに「１４０ｎｇ」の溶液を塗布する。
【００４４】
制御部１１０は、塗布領域２７０Ｇに対する主走査が終了すると、まず、吐出ヘッド１７２Ｂによる主走査の経路が図中Ｓ３となるように、基板２１０を副走査方向Ｘに副走査する。続いて、制御部１１０は、主走査方向Ｙに並ぶ塗布領域２７０Ｂの各々に対して、吐出ヘッド１７２Ｂを経路Ｓ３に沿って主走査する。この際、制御部１１０は、ドットデータに従って、吐出ヘッド１７２Ｂから塗布領域２７０Ｂにおける図中１、２、・・・、７で示される各地点に液滴を１滴ずつ吐出する。これにより、塗布領域２７０Ｂには、まず約「７０ｎｇ」の液滴が塗布される。
【００４５】
次に、制御部１１０は、吐出ヘッド１７２Ｂによる主走査の経路が図中Ｓ４となるように、基板２１０を副走査方向Ｘに副走査する。続いて、制御部１１０は、吐出ヘッド１７２Ｂを経路Ｓ４に沿って主走査する。この際、制御部１１０は、ドットデータに従って、吐出ヘッド１７２Ｂから塗布領域２７０Ｂに、図中８、９、・・・、１４で示される各地点に液滴を１滴ずつ吐出する。この２回目の走査において、塗布領域２７０Ｂにおける正孔注入層２７２上には、さらに約「７０ｎｇ」の液滴が塗布され、計２回の主走査により合計約「１４０ｎｇ」の液滴が塗布領域２７０Ｂに塗布される。
【００４６】
このように、塗布領域２７０Ｂに対しては、主走査を２回行うことにより、青色発光する有機ＥＬ材料を含む溶液が、必要充分な量だけ塗布領域２７０Ｂの画素電極２４０上に塗布される。この後、画素電極２４０上に塗布された溶液に含まれる溶媒が揮発すると、図７に示すように、塗布領域２７０Ｂの全域に渡り一定の厚みを有する有機ＥＬ層２７４が形成される。
【００４７】
以下、引き続き、ＥＬ表示パネルの製造工程について図７を参照して説明する。上述したように、画素電極２４０上に正孔注入層２７２と有機ＥＬ層２７４とを積層した後、さらに、有機ＥＬ層２７４の上面に、例えば真空蒸着法などにより、光透過性が充分確保できる程度の膜厚にて電子注入層２７６を成膜する。ここで、電子注入層２７６としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属のフッ化物もしくは酸化物、ＣａやＢａなどの好適な仕事関数を有する金属、または、電子注入性を有する有機材料などが好適である。次いで、電子注入層２７６の上方に、ＩＴＯなどの光透過性を有する対向電極２８０を配置し、その上方にエポキシ樹脂やガラスなどの光透過性を有する封止層２９０を配置する。
以上の工程により、ＥＬ表示パネル２００が製造される。
【００４８】
＜ＥＬ表示パネルの動作＞
ＥＬ表示パネル２００において、正孔注入層２７２、有機ＥＬ層２７４および電子注入層２７６からなる層に電圧が印加されると、有機ＥＬ層２７４から光が放出する。この出射光のうち、有機ＥＬ層２７４から封止層２９０側に出射した光は、電子注入層２７６、対向電極２８０および封止層２９０を透過した後、観察者に向けて放出される一方、有機ＥＬ層２７４から基板２１０側に出射した光は、画素電極２４０において反射され、封止層２９０などを透過した後、観察者に到達する。これにより、ＥＬ表示パネル２００において、トップエミッション型のカラー表示が実現する。
【００４９】
ここで、ＥＬ表示パネル２００において、青色発光するサブ画素に含まれる正孔注入層２７２および有機ＥＬ層２７４の各々は、複数回の主走査により液滴が塗布されて形成されたものである。したがって、それらの正孔注入層２７２および有機ＥＬ層２７４は、塗布領域２７０Ｂの全域に渡り必要充分な膜厚にて形成されており、青色発光するサブ画素からは良好な青色光を放出することができる。この青色光は、同一の画素に含まれる他のサブ画素から放出された赤色光および緑色光と加法混合され、当該画素は、観察者により特定の色の点として視認される。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態によれば、隔壁２６０により区画される塗布領域２７０Ｂに対して塗布すべき液量が多い場合であっても、溶液を必要十分な量だけ塗布することができる。これにより、正孔注入層２７２や有機ＥＬ層２７４を、必要充分な膜厚にて形成することが可能となる。
【００５１】
＜変形例・改良例＞
なお、本発明は、上述した実施形態に限られず、実施形態に種々の変形・改良などを加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態においては、主走査は、一方向Ｙ（図５参照）にて行う例を示したが、主走査は、双方向にて行うものとしても良い。図８は、双方向の主走査により液滴を塗布する様子を示す図である。この図に示すように、まず、塗布領域２７０Ｒに対しては、主走査をＹ方向で行い、続く、塗布領域２７０Ｇに対しては、Ｙ方向と逆向きのＹ’方向にて主走査する。そして、塗布領域２７０Ｂについては、第１回の主走査はＹ方向で行い、第２回の主走査はＹ’方向にて行う。このように連続した主走査の方向を互いに逆向きに設定することにより、主走査毎に、吐出ヘッド１３０をホームポジションに戻すための動作が不要となり、処理時間を短縮化することができる。
【００５２】
また、上記実施形態においては、塗布領域２７０Ｂにかかる主走査について、第１回の主走査の経路Ｓ３（図５参照）と、第２回の主走査の経路Ｓ４とが異なる例を示したが、主走査は、同一の経路にて複数回行うものとしても良い。このように主走査を同一の経路にて行う場合、液滴の塗布地点を分散させるという効果は得られないが、以下のような効果が得られる。すなわち、第２回の主走査時に吐出された液滴が、第１回の主走査により塗布された液滴に着弾する際の衝突エネルギーにより、予め塗布された液滴が塗布領域２７０Ｂにおいて拡散されるという効果を奏する。
【００５３】
くわえて、上記実施形態においては、記憶部１２０に記憶されるドットデータに従って、塗布領域２７０Ｂに２回の走査を行う例を示したが、これに限られない。例えば、全ての塗布領域に一定の膜厚の薄膜層を形成する場合であれば、液滴吐出装置１００、１０２に塗布領域の面積を検出するセンサなどを設け、そのセンサによる検出結果に応じて、面積の大きな塗布領域ほど、主走査の回数を増やしても良い。これにより、面積の大小に拘わらず各塗布領域に塗布される単位面積あたり液量を等しくして、全ての塗布領域において一定の膜厚の薄膜層を形成することができる。
【００５４】
さらに、上記実施形態においては、塗布領域２７０Ｂに対する第１回目の主走査における液滴と、第１回目の主走査における液滴とは、共に「１０ｎｇ」である例を示したが、主走査ごとに液滴量を変えても良い。例えば、図９（Ａ）に示すように、中央線Ｃに近い経路Ｓ５に沿った主走査においては、「１５ｐｌ」の液滴を７回吐出する一方、中央線Ｃから遠い経路Ｓ６に沿った主走査においては、「５ｐｌ」の液滴を７回吐出しても良い。このように走査毎に、液滴の総量に差を付けることにより、中央線Ｃに関して非対称となる２本の経路Ｓ５、Ｓ６に沿って主走査を行う場合であっても、塗布領域２７０Ｂ全域に斑なく液滴を塗布することがきる。
また、これとは別に、主走査毎に、液滴の吐出回数を変えても、同様の効果を得ることができる。例えば図９（Ｂ）に示すように、経路Ｓ５に沿った主走査においては、液滴（１４ｐｌ）の吐出回数を７回とする一方、経路Ｓ６に沿った主走査においては、液滴（１４ｐｌ）の吐出回数を３回としても良い。これにより、中央線Ｃに関して非対称となる２本の経路Ｓ５、Ｓ６に沿って主走査を行う場合であっても、塗布領域２７０Ｂ全域に斑なく液滴を塗布することがきる。
【００５５】
なお、上記実施形態においては、基板２１０に対する吐出ヘッド１３０の走査を主走査としたが、吐出ヘッド１３０に対する基板２１０の走査を主走査としても良い。
【００５６】
＜電子機器＞
最後に、以上説明した液滴吐出装置１００、１０２により形成された薄膜層（正孔注入層２７２、有機ＥＬ層２７４）を有するＥＬ表示パネル２００（図７参照）を、表示部として適用した電子機器について説明する。
例えば、図１０は、ＥＬ表示パネル２００を搭載した携帯電話機３００の外観図である。この図において、携帯電話機３００は、複数の操作ボタン３１０の他、受話口３２０、送話口３３０とともに、ＥＬ表示パネル２００を含む有機ＥＬ表示装置３４０を備えている。
また、携帯電話機３００以外にも、ＥＬ表示パネル２００を含む有機ＥＬ表示装置３４０は、コンピュータや、プロジェクタ、デジタルカメラ、ムービーカメラ、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）、車載機器、複写機、オーディオ機器などの各種電子機器の表示部として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態にかかる有機ＥＬ表示パネルの製造工程における有機ＥＬ表示パネルの部分断面図である。
【図２】同有機ＥＬ表示パネルにおける塗布領域を説明するための図である。
【図３】同実施形態において、正孔注入層を形成する液滴吐出装置の構成を示す図である。
【図４】同液滴同液滴吐出装置において用いられるドットデータを示す図である。
【図５】同液滴吐出装置による主走査の様子を示す図である。
【図６】同実施形態において、有機ＥＬ層を形成する液滴吐出装置の構成を示す図である。
【図７】同実施形態にかかる有機ＥＬ表示パネルの断面図である。
【図８】同実施形態の変形例にかかる主走査の様子を示す図である。
【図９】同実施形態の変形例にかかる主走査の様子を示す図である。
【図１０】同有機ＥＬ表示パネルを含む有機ＥＬ表示装置を備えた携帯電話機を示す図である。
【符号の説明】
１００  液滴吐出装置、１１０  制御部、１３０  吐出ヘッド、１４０  ヘッドキャリッジ、１５０  基板キャリッジ、２００  ＥＬ表示パネル、２７０Ｒ，２７０Ｇ，２７０Ｂ  塗布領域、３００  携帯電話機、３４０  有機ＥＬ表示装置。
【図１】
2004209409.tif 000003
【図２】
2004209409.tif 000004
【図３】
2004209409.tif 000005
【図４】
2004209409.tif 000006
【図５】
2004209409.tif 000007
【図６】
2004209409.tif 000008
【図７】
2004209409.tif 000009
【図８】
2004209409.tif 000010
【図９】
2004209409.tif 000011
【図１０】
2004209409.tif 000012