(57)【要約】【課題】粗動と微動とを簡単な制御回路で実現でき、高精度の位置決めを行うことができる駆動装置を提供する。【解決手段】電気機械変換素子３を用いた駆動装置２であって、当該電気機械変換素子に駆動信号を印加する駆動回路７，８は、前記電気機械変換素子３に伸びと縮みの速度の異なる急峻な伸縮変位を生じさせるようなパルス波形の駆動信号を発生させる粗動モードと、前記粗動手段により発生される駆動信号に比してパルス幅変調され、かつ前記パルス幅変調の搬送周波数が、駆動装置の共振周波数以上となるような駆動信号を発生させる微動モードとを有する。【選択図】  図１
2004282924.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された駆動摩擦部材と、
前記駆動摩擦部材に摩擦力で係合する係合部材と、
前記電気機械変換素子に駆動信号を印加する駆動回路とから構成され、
前記駆動回路は、前記電気機械変換素子に伸びと縮みの速度の異なる急峻な伸縮変位を生じさせるようなパルス波形の駆動信号を発生させる粗動モードと、
前記粗動モード時に発生される駆動信号に比してパルス幅変調され、かつ前記パルス幅変調された搬送周波数が、駆動装置の共振周波数以上となるような駆動信号を発生させる微動モードとを有することを特徴とする、駆動装置。
【請求項２】
前記微動モード時のパルス幅変調の搬送周波数は、前記粗動モード時に発生される駆動信号の周波数の整数倍であることを特徴とする、請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記微動モードのパルス幅変調の搬送周波数は、前記電気機械変換素子のインピーダンスにおける反共振周波数と等しいことを特徴とする、請求項１又は２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記粗動モード時に発生される駆動信号は矩形波状信号であり、そのデューティー比が時間と共に鋸歯状に変化することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１つに記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、粗い位置決め（粗動）と微細な位置決め（微動）とを併用して行うことができる長ストローク駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
パーソナルコンピユータに使用されるハードディスク装置（以下、ＨＤＤという）は、小型で大容量のものに対する要求が高まってきている。ＨＤＤの記憶容量を増大させるためには、記録媒体のトラック密度と線記録密度を高めることが求められる。このようなＨＤＤの高記録密度への要求に応じるために、記録媒体上の目標とするトラックに対してヘッドを高精度で位置決めする技術が必要とされる。
【０００３】
位置決めを高精度で実現するために、特開２００１−７６４４３号公報（特許文献１）に、位置決め機構としての駆動装置が開示されている。この駆動装置は、図８に示すように、情報記録再生装置４０に適用される。この情報記録再生装置４０は、回転駆動する記録ディスク４１の表面を、矢印７２の方向に記録再生ヘッドを移動させるために駆動装置３９を利用する。駆動装置３９は、圧電素子４３と、その伸縮方向の一端に固定した駆動軸４４と、駆動軸に摩擦係合したスライダ４５から構成される。記録再生ヘッドはスライダ４５の直下に機械的に弾性に係合されている。
【０００４】
この当該駆動装置では、当該圧電素子４３に粗動及び微動のための信号を印加するための制御回路が必要となる。制御回路はＣＰＵ４９を中心にして構成され、ＣＰＵ４９の入出力ポートには、復調回路４６が接続される。また、ＣＰＵ４９の出力ポートには、パルス駆動回路４７、電圧駆動回路４８が接続される。
【０００５】
パルス駆動回路４７は、ＣＰＵ４９からの制御信号に基づいて圧電素子４３に矩形波状のパルス信号を印加するための回路であり、電圧駆動回路４８は、ＣＰＵ４９からの信号に基づいて圧電素子４３に一定の電圧を印加するための回路である。
【０００６】
一方、電圧駆動回路４８は、図９に示すように、ＣＰＵ４９からのデジタル出力信号をアナログ信号に変換するＤ／Ａコンバータ５０、電流増幅器５１、スイッチ５１を備える。スイッチ５２は電流増幅器４１の出力を粗動時に切り離しておくためのものであり、ＣＰＵ４９からのオンオフの信号（ＳＷ＿ＣＮＴ信号）を受けて動作する。電圧駆動回路４８による微動では、圧電素子４３の伸縮変位を直接スライダ４５に伝達するため、スライダ４５を移動させるためには、圧電素子４３に一定の電圧を継続して印可すればよい。具体的には、ＣＰＵ４９からのデジタル信号をＤ／Ａコンバータ５０によりアナログ信号に変換し、電流増幅器５１とスイッチ５２を経て圧電素子４３に電圧が印加される。
【０００７】
この情報記録再生装置４０のトラッキング動作は、記録再生ヘッド、すなわちスライダ４５を、記録ディスク４１上の目標トラックまで移動させるシーク動作と、目標トラック上で記録再生ヘッドをトラック中心に位置決めするフォロー動作の二つの動作から成り立っている。回転駆動される記録ディスク４１上には同心円上に複数のトラックが予め記録されており、記録再生ヘッドを前記記録ディスク４１の半径方向に位置決めする（トラッキング）ことによって、それぞれのトラックに記録された情報を読み出し、また書き込みが可能となる。
【０００８】
記録ディスク４１上に予め記録されているトラック情報を記録再生ヘッドが電気信号に変換し、復調回路４で前記電気信号を位置信号に変換し、ＣＰＵ４９に伝える。ＣＰＵ４９では位置決めしたいトラックと現在トラックの差を計算し、そのトラック残差に応じ、矩形波信号のデューティ比を決定する。大きな残差がある場合は、シーク動作を行い、ＣＰＵ４９は、デューティ比３０％または７０％の矩形波信号を出力し、記録再生ヘッドを目標トラックに向けて高速移動させる（粗動）。このデューティー比は、圧電素子に印加される矩形波のデューティー比とスライダの移動速度とが、図１０に示すような関係を有することに基づいて、記録再生ヘッドを最大速度で移動させるためである。
【０００９】
トラック残差が少なくなってくると、矩形波信号のデューティ比を次第に５０％に近づけ、記録再生ヘッドを減速させる。目標トラックに記録再生ヘッドが到達した時点で、ＣＰＵ４９は、パルス駆動回路４７によるパルス駆動を停止し、電圧駆動回路４８による電圧駆動に切り替える（フォロー動作）。記録再生ヘッドは、記録ディスク４１の非同期的な半径方向の振れや外乱振動に対して、予め記録されたトラックに追従する必要がある。そのために前記非同期性振れや外乱振動に対する記録再生ヘッドの位置ずれを圧電素子４８の伸縮によりスライダ４５を直接移動させて補正する（微動）。
【００１０】
粗動の特徴は、長ストロークの移動が可能であるが、圧電素子４３の伸縮振動変位がスライダ４５に伝達されてしまうため、高精度な位置決めには適さない。一方、微動の特徴は、一定の変位幅を持った圧電素子４３の伸縮がそのままスライダの移動幅となり、高精度の位置決めに適するが、長ストロークの移動は不可能である。
【００１１】
【特許文献１】
特開２００１−７６４４３号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
このように、スライダを高精度で位置決めするためには、粗動と微動を両立することが必要である。この粗動と微動との両立のため、従来の駆動装置では、制御回路は粗動のためのパルス駆動回路４７と微動のための電圧駆動回路４８との２つを備える必要があった。よって、制御回路全体として２つの回路を必要とすることから、回路規模が大きくなり、コスト、スペース、信頼性の点で問題を有していた。
【００１３】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、簡単な制御回路で粗動と微動とを行うことができ、高精度の位置決めを行うことができる駆動装置を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の駆動装置を提供する。
【００１５】
駆動装置は、電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された駆動摩擦部材と、前記駆動摩擦部材に摩擦力で係合する係合部材と、前記電気機械変換素子に駆動信号を印加する駆動回路とから構成される。そして、前記電気機械変換素子に伸びと縮みの速度の異なる急峻な伸縮変位を生じさせるようなパルス波形の駆動信号を発生させる粗動モードと、前記粗動モード時に発生される駆動信号に比してパルス幅変調され、かつ前記パルス幅変調された搬送周波数が、駆動装置の共振周波数以上となるような駆動信号を発生させる微動モードとを備える。
【００１６】
上記構成において、駆動装置は、前記係合部材の微細な位置決めを行うための係合部材の微動を、パルス波形の駆動信号を粗動時と異ならせることにより実現する。具体的には、粗動モード時に発生するパルス波形に対して、パルス幅（デューティー比）を変調し、かつその搬送周波数を前記電気機械変換素子と前記駆動部材とから決定される装置の共振周波数以上に設定することにより実現する。
【００１７】
上記構成において、パルス幅変調の搬送周波数が共振周波数の近傍又はそれ以下の周波数である場合は、電気機械変換素子に印可された交流成分の駆動信号は、係合部材の変位として出力されてしまうため、位置決め精度を悪化させる原因となった。一方、パルス幅制御の搬送周波数が装置の共振周波数よりも高い場合は、電気機械変換素子に印可された駆動信号の交流成分は減衰し、その結果、電気機械変換素子の振動が小さくなり、係合部材が不動となるため、その位置決め精度を向上させることができる。
【００１８】
上記構成によれば、パルス波形の駆動信号で、駆動摩擦部材と前記係合部材とを相対移動させて前記係合部材の粗い位置決めを行うための粗動と、前記微動とを両立することができる。したがって、駆動回路をパルス波形を発生する回路のみで構成することができ、一定の電圧を印加するための回路を必要としないことから、簡単な制御回路で実現でき、低コスト、かつ小型で信頼性を高い駆動装置を提供することができる。
【００１９】
具体的には、粗動モード時に発生するパルス波形は、矩形波信号周波数が共振周波数以下（さらに好ましくは、共振周波数の０．６〜０．８倍）、デューティ比３０〜７０％であり、微動モード時に発生するパルス波形は、矩形波信号周波数が共振周波数以上、デューティ比０〜１００％であることが好ましい。
【００２０】
好ましくは、前記微動モード時のパルス幅変調の搬送周波数は、前記粗動モード時に発生される駆動信号の周波数の整数倍である。
【００２１】
上記構成によれば、周波数発生源を共通に使用することができる。
【００２２】
好ましくは、前記微動モードのパルス幅変調の搬送周波数は、前記電気機械変換素子のインピーダンスにおける反共振周波数と等しい。
【００２３】
上記構成によれば、反共振周波数では、電気機械変換素子のインピーダンスが高くなるため、駆動装置に流れる電流を小さくすることができる。
【００２４】
好ましくは、前記微動手段により発生される駆動信号は矩形波状信号であり、そのデューティー比が時間と共に鋸歯状に変化する。
【００２５】
上記構成において、デューティー比が鋸歯状に変化する場合としては、連続的に発生する矩形パルスのデューティー比が徐々に緩やかに高くなっていき急激に低くなるように変化する場合、又はその逆に、デューティー比が急激に高くなり徐々に緩やかに低くなるように変化する場合が上げられる。
【００２６】
上記構成によれば、デューティー比の増減に伴って、駆動摩擦部材が鋸歯状に変位し、駆動摩擦部材が緩やかに変位するときは、係合部材が駆動摩擦部材に摩擦係合して移動し、急激に変位するときは、係合部材がその位置にとどまったまま駆動摩擦部材が変位するため、両者間の相対位置が変化する。したがって、上記構成によれば、係合部材の粗動動作も可能となる。なお、このとき、矩形パルスの搬送周波数を共振周波数よりも高くしておくことが好ましい。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態に係る駆動装置について、図面を参照しながら説明する。
【００２８】
図１は、本発明にかかる駆動装置を情報記録再生装置に応用した場合の構成図である。図２は、図１における機構部分の側面図である。この情報記録再生装置１は、矢印７１の方向に記録再生ヘッド５ａをスピンドルモータ１２によって回転駆動する記録ディスク１０の表面上を移動させるために駆動装置２を利用する。駆動装置２は、圧電素子３と、その伸縮方向の一端に固定した駆動軸４と、駆動軸に摩擦係合したスライダ５とから構成される。圧電素子３の伸縮方向の他端は、固定壁１３に固定されている。記録再生ヘッド５ａは、記録ディスク１１への情報の書込み／読出しを行うものであり、スライダ５の直下に機械的に弾性に係合されている。
【００２９】
記録再生ヘッド５ａは、フライングヘッドと呼ばれる構成のものであつて、記録ディスク１０の表面に接近して配置されており、記録ディスク１０が回転すると、その回転により記録媒体の表面に発生する空気圧によって記録ディスク１０から僅かに浮上して離隔し、非接触の状態で記録ディスク１０への情報の書込み／読出しを行う。
【００３０】
本情報記憶再生装置１は、トラッキング動作及び情報の記憶及び再生のための制御回路を備える。制御回路は、ＣＰＵ８を中心にして構成され、ＣＰＵ８の入力ポートには、記録再生ヘッド５ａと接続した復調回路６が接続される。また、ＣＰＵ８の出力ポートには、パルス駆動回路７が接続され、圧電素子３に連結している。
【００３１】
図３は、図１の情報記憶再生装置に用いられているパルス駆動回路の電気回路図である。
【００３２】
パルス駆動回路７は、制御回路のＣＰＵ８に接続された４個のスイッチ素子Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４とを含み、圧電素子３の端子間に電圧を印加する。
【００３３】
スイッチ素子Ｑ１〜Ｑ４は、ＭＯＳ型ＦＥＴであり、各ゲートは、ＣＰＵ８の端子Ｓｃ１〜Ｓｃ４にそれぞれ接続され、Ｈｉ又はＬｏの信号が入力される。スイッチ素子Ｑ１，Ｑ３はＰチャンネルＦＥＴであり、ソースとドレイン間は、ゲートにＬｏ信号が入力されるとオン（導通状態）になり、Ｈｉ信号が入力されるとオフ（遮断状態）になる。スイッチ素子Ｑ２，Ｑ４はＮチャンネルＦＥＴであり、ソースとドレイン間は、ゲートにＨｉ信号が入力されるとオン（導通状態）になり、Ｌｏ信号が入力されるとオフ（遮断状態）になる。
【００３４】
スイッチ素子Ｑ１のソースとスイッチ素子Ｑ３のソースとは、それぞれ、接続点２１を介して、電源電圧Ｖｐに接続されている。スイッチ素子Ｑ１のドレインは、接続点２２を介して、スイッチ素子Ｑ２のドレインに接続されている。スイッチ素子Ｑ３のドレインは、接続点２３を介して、スイッチ素子Ｑ４のドレインに接続されている。スイッチ素子Ｑ２のソースとスイッチ素子Ｑ４のソースとは、それぞれ、接続点２４を介して、接地Ｅされている。圧電素子３の各端子は、それぞれ接続点２２，２３に接続される。
【００３５】
パルス駆動回路７において、スイッチ素子Ｑ１、Ｑ４が導通し、スイッチ素子Ｑ２，Ｑ３が非導通の場合、圧電素子３には、電圧Ｅが印加される。逆に、スイッチ素子Ｑ２，Ｑ３が導通し、スイッチ素子Ｑ１，Ｑ４が非導通の場合、圧電素子３には、電圧−Ｅが印加される。パルス駆動回路７においては、この動作を所定の周期で繰り返し行うことにより、圧電素子３に矩形波状のパルス信号を印加する。なお、パルス駆動回路７における矩形波状のパルス信号のデューティー比及び周波数は、図示しないクロック発生回路からのクロック信号を受けて、ＣＰＵ８によるタイミング制御により制御される。
【００３６】
スイッチ素子Ｑ１、Ｑ４が導通しかつスイッチ素子Ｑ２，Ｑ３が非導通の時間と、スイッチ素子Ｑ２，Ｑ３が導通しかつスイッチ素子Ｑ１，Ｑ４が非導通の時間との比率（デューティー比）を変化させることによって、圧電素子３に印加される信号の直流成分が変化する。たとえば、前記時間比率が５０％の場合、圧電素子３に印加される直流電流は０ボルトであり、デューティー比が１００％の場合は＋Ｅボルト、デューティー比が０％の場合は、−Ｅボルトとなる。圧電素子は、この直流電圧にほぼ比例して変位するので、微動動作が可能となる。
【００３７】
記録ディスク１０に記録されている情報は記録再生ヘッド５ａで読み取られ、当該読み取られた信号は信号処理された後、復調回路６にそれぞれ入力される。復調回路６は検出信号から記録データを取り出し、復調してパーソナルコンピユータ等に出力する。
【００３８】
記録再生ヘッド５ａで読み取られた信号（検出信号）は信号処理された後、トラック番号などのトラック情報が分離され、ＣＰＵ８に出力される。ＣＰＵ８はトラック情報を解析して所望のトラックが検出されたか否かを判定する。
【００３９】
判定の結果、所望のトラックが検出されていない場合は記録再生ヘッド５ａが所望のトラック位置にないことを意味するから、ＣＰＵ８はパルス駆動回路３７を作動させて圧電素子３を粗動モードで駆動するシーク動作を実行し、記録再生ヘッド５ａを所望のトラックに向けてその差分によって決定される速度で移動させる。このとき、検出信号のトラック番号等から記録再生ヘッド５ａの移動方向、即ち駆動パルスの波形（鋸歯状の駆動パルスの場合は、緩やかな立上がり部と急速な立下り部を持つ波形か、これと反対の波形か、矩形パルスの場合は、そのデューティー比と搬送周波数）が決定される。
【００４０】
シーク動作においては、記録再生ヘッド５ａで読み取られた信号（検出信号）のトラック情報の解析と判定、判定結果に基くシーク動作のフィードバック制御が、所望のトラックが検出されるまで繰り返される。なお、シーク動作（粗動モード）における駆動電圧が、矩形パルスである場合は、所望のトラックとの距離に応じてデューティー比を適宜調整してもよい。好ましくは、矩形波信号周波数が共振周波数以下（さらに好ましくは、共振周波数の０．６〜０．８倍）、デューティ比３０〜７０％である。すなわち、スライダの移動の向きと速度は、デューティー比をそのパラメータとするものであるため、これを適宜調整して、スライダの移動を調整することができる。
【００４１】
判定の結果、所望のトラックが検出された場合は、記録再生ヘッド５ａが所望のトラック位置に到達したことを意味するから、ＣＰＵ８はパルス駆動回路７を微動モードに切換え、後述するようにパルス波形をパルス幅変調及び周波数変更を行い、圧電素子３を微動モードで駆動するフォロー動作を実行する。フォロー動作では、上述のように、記録再生ヘッド５ａが検出された所望のトラックに精密に追従するようにフィードバック制御を行う。フォロー動作では、パルス駆動回路７により圧電素子３に印加される矩形パルスは、矩形波信号周波数が共振周波数以上、デューティ比０〜１００％であることが好ましい。
【００４２】
従来のヘッド位置決め機構では、ヘッドの移動と精密な位置決めを行うために、図８に示すように、一定の電圧を圧電素子に印加するための電圧駆動回路を必要としたが、本実施の形態によれば、粗動モードに利用したパルス駆動回路を以下のように制御することにより、微動モードを実行することができ、微動モードにおける精密な位置決めを容易に実現することができる。
【００４３】
図４は、圧電素子と駆動軸の結合体における圧電素子の伝達特性を示すグラフである。この伝達特性の入力は圧電素子入力電圧、出力は圧電素子変位である。図４において、ｆｓは共振周波数であり、圧電素子の形状や材料定数、駆動軸の重量などによって決定され、概ね１０ｋＨｚから１ＭＨｚの範囲となる。パルス幅変調の搬送周波数が、図４に示した共振周波数ｆｓの近傍又は、それ以下の周波数ｆｄである場合、圧電素子３に印加された交流成分は、スライダ５の変位として出力されてしまい、位置決め精度を悪化させる。一方、パルス幅制御をした搬送周波数がｆｓよりも十分高いｆａを有する場合、圧電素子３に印加された交流成分変位は減衰するので、圧電素子の振動は十分に小さくなり、その結果としてスライダの振動を防止でき、位置決め制度を悪化させることがない。
【００４４】
共振周波数ｆｓ以上の駆動装置の伝達特性は、原理的に４０ｄＢ／ｄｅｃで減衰するため、たとえば、共振周波数ｆｓが１００ｋＨｚの場合、それ以上の周波数である１ＭＨｚの駆動パルスを圧電素子に印加すると、当該周波数における変位振幅は、共振周波数よりも低い周波数の駆動パルスを印加した場合の変位振幅の１／１００程度となる。
【００４５】
なお、粗動動作における圧電素子３の伸びと縮みの速度の異なる急峻な伸縮変位を発生させるための駆動パルス周波数の整数倍を前記パルス幅変調の搬送周波数に設定することにより、周波数発生源を１つですませることができる。
【００４６】
また、圧電素子３と直列にインダクタンスや抵抗を接続することによって、パルス駆動による高周波電流の増大を低減し、発生ノイズや電源突入電流を抑制することができ、パルス駆動による高周波電流を低減し、発生ノイズや電源突入電流を抑制することが可能である。直列に接続するインダクタンス素子または抵抗素子と圧電素子３からなるカットオフ周波数は図４における共振周波数ｆｓと搬送周波数ｆａの間でなければならない。例えば、ｆｓ＝１００ｋＨｚ、ｆａ＝１ＭＨｚとした場合、前記カットオフ周波数ｆｃは例えば３００ｋＨｚになるように選択する。圧電素子３の静電容量をＣｎ、直列に接続するインダクタンスをＬｎ、抵抗をＲｎとすると、インダクタンス素子を直列接続した場合のカットオフ周波数ｆｃｌ、抵抗素子を直列接続した場合のカットオフ周波数ｆｃｒは、それぞれ以下の式（１）（２）ようになる。
【００４７】
【数１】
2004282924.tif 000003
【００４８】
【数２】
2004282924.tif 000004
【００４９】
もしｆｃがｆｓ以下であれば、粗動駆動周波数ｆｄで駆動した場合に圧電素子３に十分な電圧がかからず、粗動性能が落ちる。ｆｃがｆａ以上であれば、ｆａにおけるインピーダンスが十分高くならず、高周波電流の低減効果がなくなる。
【００５０】
さらに、駆動装置のインピーダンスの反共振周波数と、パルス幅変調の搬送周波数を一致させることにより、消費電力削減を図ることができる。図６は、駆動装置のインピーダンスを示す等価回路である。図５は、駆動装置のインピーダンスの周波数特性を示すグラフである。反共振周波数ｆｒでは、インピーダンスが高くなるため、パルス幅変調の搬送周波数を反共振周波数ｆｒに一致させることにより、駆動装置に流れる電流を小さくすることができ、消費電力を削減することができる。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態にかかる情報記録再生装置は、粗動と微動の両立をパルス波形を発生するパルス駆動回路のみにより達成することができる。したがって、粗動と微動とを簡単な制御回路で実現でき、低コスト、小型で信頼性を高くすることができる。
【００５２】
なお、本実施形態にかかる情報記録再生装置の変形例として、粗動動作を矩形波信号周波数を共振周波数以上としてパルス幅変調により行うことができる。すなわち、図７に示すようにパルス波形のデューティー比が時間と共に鋸歯状に変化するような信号を駆動装置に入力すると、矩形波信号周波数が共振周波数以上であるので、この周波数による変位は現れず、デューティー比の増減と共に駆動軸４は下のグラフのように鋸歯状に変位する。したがって、スライダ５は、駆動軸４が緩やかに変位するときは、駆動軸に摩擦係合して移動し、急激に変位するときは駆動軸との間で滑りを生じることにより、両者間の相対位置が変化する。これにより、長ストロークでスライダを移動させる必要がある粗動動作を行うことができる。
【００５３】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる駆動装置を情報記録再生装置に応用した場合の構成図である。
【図２】図１における機構部分の側面図である。
【図３】図１の情報記憶再生装置に用いられているパルス駆動回路の電気回路図である。
【図４】圧電素子と駆動軸の結合体における圧電素子の伝達特性を示すグラフである。
【図５】駆動装置のインピーダンスの周波数特性を示すグラフである。
【図６】駆動装置のインピーダンスを示す等価回路である。
【図７】粗動動作をパルス幅変調により行う場合の駆動信号と駆動軸の変位を表すグラフである。
【図８】従来の情報記録再生装置の構成を示す図である。
【図９】図８の情報記録再生装置の電圧駆動回路の電気回路図である。
【図１０】矩形波のデューティー比とスライダの移動速度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１  情報記録再生装置
２  駆動装置
３  圧電素子
４  駆動軸
５  スライダ
５ａ  記録再生ヘッド
６  復調回路
７  パルス駆動回路
８  ＣＰＵ
１０  記録ディスク
１１  ディスクキャップ
１２  スピンドルモータ
【図１】
2004282924.tif 000005
【図２】
2004282924.tif 000006
【図３】
2004282924.tif 000007
【図４】
2004282924.tif 000008
【図５】
2004282924.tif 000009
【図６】
2004282924.tif 000010
【図７】
2004282924.tif 000011
【図８】
2004282924.tif 000012
【図９】
2004282924.tif 000013
【図１０】
2004282924.tif 000014