(57)【要約】【課題】オフセット電流を低減し，特定ガスの濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供すること。【解決手段】被測定ガスを導入する被測定ガス室１２１，１２２と，上記被測定ガス中の特定ガスの濃度を検出するセンサセル４とを有するガスセンサ素子１。センサセル４は，固体電解質板１１と固体電解質板１１の表裏に設けた一対の電極４１，４２とよりなり，両電極間に流れる微弱電流を利用して上記特定ガスの濃度の検出を行うよう構成されている。電極４１，４２は導電性リード部４１１，４２１を介してガスセンサ素子１の外部に露出した端子４１２，４２２と電気的に導通する。一対の電極のうち被測定ガス室１２２に面した被測定ガス側電極４２に接続された上記導電性リード部４２１は，その少なくとも一部がＰｔ−Ａｕを含有する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガスを導入する被測定ガス室と，上記被測定ガス中の特定ガスの濃度を検出するセンサセルとを有するガスセンサ素子において，
上記センサセルは，固体電解質板と該固体電解質板の表裏に設けた一対の電極とよりなり，両電極間に流れる微弱電流を利用して上記特定ガスの濃度の検出を行うよう構成されており，
上記電極は導電性リード部を介してガスセンサ素子の外部に露出した端子と電気的に導通し，
上記一対の電極のうち上記被測定ガス室に面した被測定ガス側電極に接続された上記導電性リード部は，その少なくとも一部がＰｔ−Ａｕを含有することを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
請求項１において，上記Ｐｔ−ＡｕにおけるＡｕの含有量は１〜２０ｗｔ％であることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項３】
請求項１または２において，上記特定ガスはＮＯｘであることを特徴とするガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，内燃機関の排気系等に設置して，排ガス中のＮＯｘ濃度等を測定するガスセンサ素子に関する。
【０００２】
【従来技術】
自動車エンジンの排気系に設置し，排ガス中のＮＯｘ濃度，酸素濃度，またエンジン燃焼室の空燃比を測定するガスセンサに用いるガスセンサ素子として，次に示す構成の素子が知られている。
このガスセンサ素子は，被測定ガス室に対し酸素をポンピングするポンプセルと，被測定ガス室に導入されたＮＯｘ濃度を測定するセンサセルとからなる。
【０００３】
ＮＯｘ濃度を測定するセンサセルは，固体電解質板と該固体電解質板に設けた一対の電極とからなり，一方の電極は被測定ガス室に対面し，他方の電極は基準ガスとなる大気を導入した大気室と対面する。被測定ガス室と対面する電極にはＮＯｘに活性な電極が用いられる。
また，ポンプセルは，固体電解質板と該固体電解質板に設けた一対のポンプ電極からなり，一方のポンプ電極は被測定ガス室に対面する。被測定ガス側の電極にはＮＯｘに不活性な電極が用いられる。
【０００４】
センサセルにおけるＮＯｘ濃度の測定は，被測定ガス側電極上でＮＯｘを分解し，発生した酸素イオン電流に基づいて行う。従って，被測定ガス室の酸素濃度は非常に少ないか，または定常状態となっていなければならない。
そのため，ポンプセルを用いて被測定ガス室の酸素濃度を調整している。
そして，上記センサセルにおける電極は，ガスセンサ素子の外部においてセンサ回路に接続するための端子に，導電性リード部を介して接続されている。
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかしながら，該導電性リード部はＰｔにより構成されており，このＰｔリードは，Ｐｔ粒子間もしくはＰｔとＺｒＯ２との間に隙間が多く存在する。そのため，導電性リード部を通じてガスセンサ素子の外部における酸素ガスが，上記被測定ガス室側の電極に流入することがある。電極に達した酸素ガスは，該電極において分解され，酸素イオン電流を生じさせる。
【０００６】
そのため，実際に上記被測定ガス室にＮＯｘが存在しない場合にもセンサセルに発生する出力電流，即ちオフセット電流が流れてしまう。
上記ＮＯｘ濃度の検出は，上記センサセルに流れる微弱電流であるため，わずかなオフセット電流であっても，ＮＯｘ濃度の検出に影響しうる。そのため，精密なＮＯｘ濃度の検出を行うことが困難であった。
【０００７】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，オフセット電流を低減し，特定ガスの濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題の解決手段】
本発明は，被測定ガスを導入する被測定ガス室と，上記被測定ガス中の特定ガスの濃度を検出するセンサセルとを有するガスセンサ素子において，
上記センサセルは，固体電解質板と該固体電解質板の表裏に設けた一対の電極とよりなり，両電極間に流れる微弱電流を利用して上記特定ガスの濃度の検出を行うよう構成されており，
上記電極は導電性リード部を介してガスセンサ素子の外部に露出した端子と電気的に導通し，
上記一対の電極のうち上記被測定ガス室に面した被測定ガス側電極に接続された上記導電性リード部は，その少なくとも一部がＰｔ−Ａｕを含有することを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項１）。
【０００９】
次に，本発明の作用効果につき説明する。
上記センサセルにおける特定ガス濃度の検出は，被測定ガス側電極上で特定ガスを分解し，発生した酸素イオン電流に基づいて行う。それ故，外部に露出した端子から，導電性リード部を通じて上記被測定ガス側電極へ外部の酸素ガスが流入すると，これにより酸素イオン電流が発生し，上記特定ガス濃度の正確な検出を妨げるおそれがある。
【００１０】
上記のごとく，本発明のガスセンサ素子においては，上記導電性リード部の少なくとも一部はＰｔ−Ａｕを含有する。そのため，上記導電性リード部の少なくとも一部は，緻密な結晶構造により形成される。Ｐｔ−Ａｕが緻密である理由は定かではないが，Ａｕの融点は，素子焼成時の温度より低いため，Ｐｔ−Ａｕからなる導電性リード部で遊離しているわずかなＡｕが溶融し，Ｐｔの間に発生する隙間を埋める。そのため，ガスが通り難い緻密なリード部となると考えられる。
これにより，ガスセンサ素子の外部に露出した端子から，酸素ガスが上記導電性リード部を介して上記被測定ガス側電極に流入することを抑制することができる。
それ故，上記センサセルに発生するオフセット電流を低減して，特定ガスの濃度の検出を精密に行うことができる。
【００１１】
以上のごとく，本発明によれば，オフセット電流を低減し，特定ガスの濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明（請求項１）において，上記特定ガスとしては，例えば，ＮＯｘ，ＣＯ，ＨＣ等がある。
また，上記両電極間に流れる微弱電流は，例えば１０μＡ以下の電流をいう。また，上記被測定ガス側電極に接続された導電性リード部は，その全部がＰｔ−Ａｕを含有していてもよく，一部がＰｔ−Ａｕを含有していてもよい。
また，上記導電性リード部の全部又は一部は，Ｐｔ−Ａｕのみによって構成されていてもよいし，Ｐｔ−Ａｕとセラミック成分とからなるサーメット材料により構成されていてもよい。
【００１３】
また，上記Ｐｔ−ＡｕにおけるＡｕの含有量は１〜２０ｗｔ％であることが好ましい（請求項２）。
この場合には，被測定ガス側電極への酸素ガスの流入を一層抑制することができる。
上記Ａｕの含有量が１ｗｔ％未満の場合には，被測定ガス側電極への酸素ガスの流入を充分に抑制することができないおそれがある。一方，上記含有量が２０ｗｔ％を超える場合には，Ａｕの熱膨張率が大いいことにより，Ｐｔ−Ａｕリードの熱膨張が大きくなり，導電性リードと下地との間の剥離を確実に抑制することが困難となるおそれがある。
【００１４】
また，上記特定ガスはＮＯｘとすることができる（請求項３）。
この場合には，自動車の排ガス中等に含有される有害なＮＯｘの濃度を正確に検出することができるガスセンサ素子を得ることができる。
【００１５】
【実施例】
本発明の実施例にかかるガスセンサ素子につき，図１〜図３を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子１は，図１〜図３に示すごとく，被測定ガスを導入する被測定ガス室（第２被測定ガス室１２２）と，上記被測定ガス中の特定ガスの濃度を検出するセンサセル４とを有する。
【００１６】
上記センサセル４は，第１固体電解質板１１と該第１固体電解質板１１の表裏に設けた一対の電極４１，４２とよりなり，両電極間に流れる微弱電流を利用して上記特定ガスの濃度の検出を行うよう構成されている。
上記電極４１，４２は導電性リード部４１１，４２１を介してガスセンサ素子１の外部に露出した端子４１２，４２２と電気的に導通している。
【００１７】
上記一対の電極のうち上記第２被測定ガス室１２２に面した被測定ガス側電極４２に接続された上記導電性リード部４２１は，その少なくとも一部がＰｔ−Ａｕを含有する。本例においては，上記被測定ガス側電極４２に接続された導電性リード部４２１は，その全体がＰｔ−Ａｕを含有する。
また，上記Ｐｔ−ＡｕにおけるＡｕの含有量，即ち導電性リード部４２１に含有するＰｔ−Ａｕ合金に対するＡｕの含有率は１〜２０ｗｔ％である。
【００１８】
また，上記特定ガスはＮＯｘであり，上記ガスセンサ素子１は，例えば自動車の排ガス中のＮＯｘを検出するために用いられる。
また，上記両電極４１，４２間に流れる微弱電流は，例えば１０μＡ以下の電流をいう。
【００１９】
以下，詳細に説明する。
図１〜図３に示すごとく，本例のガスセンサ素子１は，積層された第１固体電解質板１１，被測定ガス室用のスペーサー１２，第２固体電解質板１３，大気室用のスペーサ１４，セラミックヒータ１９よりなる。
そして，ガスセンサ素子１は，第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２と第１及び第２の大気室１４０，１６０を備え，第１被測定ガス室１２１に対して酸素ガスをポンピングするポンプセル２，第２被測定ガス室１２２の酸素濃度を監視するモニタセル３，第２被測定ガス室１２２のＮＯｘ濃度を検知するセンサセル４を有する。
【００２０】
第１及び第２固体電解質板１１，１３，スペーサー１２との間に第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２がある。図１，図２に示すごとく，第１被測定ガス室１２１は，第１固体電解質板１１に設けた導入穴１１０で外部に連通し，第１被測定ガス室１２１と第２被測定ガス室１２２との間を連通する拡散通路１２０がある。
また，本例のガスセンサ素子１は，上記第１固体電解質板１１の導入穴１１０を覆う多孔質拡散層１７を有し，該多孔質拡散層１７と隣接して，第２大気室１６０を形成するスペーサー１６１及び絶縁板１６２を有する。
【００２１】
また，第２固体電解質板１３，スペーサー１４，セラミックヒータ１９との間に基準ガスとなる大気を導入する第１大気室１４０がある。
上記セラミックヒータ１９は，ヒータ基板１９１と該ヒータ基板１９１上に設けた発熱体１９０，該発熱体１９０を覆う被覆板１９２とよりなる。
そして，上記第１及び第２の固体電解質板１１，１３はジルコニアセラミック，その他は絶縁性のアルミナセラミックよりなる。
図２に示すごとく，発熱体１９０に対する給電は，発熱体１９０に一体的に形成されたリード部１９５，スルーホール１９３，端子部１９４を介して行われる。
【００２２】
上記ポンプセル２は，図１，図２に示すごとく，第２固体電解質板１３に設けた第１被測定ガス室１２１と対面する第１ポンプ電極２１，第１大気室１４０と対面する第２ポンプ電極２２とよりなる。両電極２１，２２は電源２５１及び電流計２５２を備えたポンプ回路２５に接続する。
【００２３】
上記モニタセル３は，図２，図３に示すごとく，第１固体電解質板１１に設けた第２被測定ガス室１２２と対面する第２モニタ電極３２，第２大気室１６０と対面する第１モニタ電極３１とよりなる。両電極３１，３２は電源３５１及び電流計３５２を備えたモニタ回路３５に接続する。
【００２４】
上記センサセル４は，図１〜図３に示すごとく，第１固体電解質板１１に設けた第２被測定ガス室１２２と対面する被測定ガス側電極４２，第２大気室１６０と対面する基準電極４１とよりなる。両電極４１，４２は電源４５１及び電流計４５２を備えたセンサ回路４５に接続する。
そして，モニタセル３でポンプセル２の動作を制御するため，電流計３５２から電源２５１にむかうフィードバック回路（図示略）がある。
【００２５】
そして，第１ポンプ電極２１，第２モニタ電極３２はＮＯｘに対して不活性なＰｔ−Ａｕ電極よりなる。Ａｕの含有率は３ｗｔ％である。上記センサセル４の被測定ガス側電極４２はＮＯｘに対して活性なＰｔ−Ｒｈ電極よりなる。その他の電極２２，３１，４１はＰｔ−Ｒｈ電極である。Ｒｈの含有率は２０ｗｔ％である。また，被測定ガス側電極４２はＡｕを０．２ｗｔ％添加する。
【００２６】
また，図１，図２に示すごとく，上記センサセル４における両電極４１，４２は，導電性リード部４１１，４２１を介して，外部の端子４１２，４２２に電気的に接続されている。また，上記導電性リード部４１１，４２１は，上記第１固体電解質板１１，スペーサ１６１，絶縁板１６２に形成したスルーホール１８１，１８２を通して，上記電極４１，４２と上記端子４１２，４２２とをそれぞれ接続している。
【００２７】
また，図２に示すごとく，上記モニタセル３における両電極３１，３２も同様に，導電性リード部３１１，３２１を介して，外部の端子３１２，３２２に電気的に接続されている。また，上記導電性リード部３１１，３２１は，上記第１固体電解質板１１，スペーサ１６１，絶縁板１６２に形成したスルーホール１８３，１８４を通して，上記電極３１，３２と上記端子３１２，３２２とをそれぞれ接続している。
【００２８】
また，上記ポンプセル２における両電極２１，２２も同様に，導電性リード部２１１，２２１を介して，外部の端子２１５，２２５に電気的に接続されている。また，上記導電性リード部２１１，２２１は，上記第２固体電解質板１３，スペーサ１４，ヒータ基板１９１，被覆板１９２に形成したスルーホール１８５，１８６を通して，上記電極２１，２２と上記端子２１５，２２５とをそれぞれ接続している。
【００２９】
次に，本例の作用効果につき説明する。
上記センサセル４における特定ガス濃度の検出は，被測定ガス側電極４２上で特定ガスを分解し，発生した酸素イオン電流に基づいて行う。それ故，外部に露出した端子４２２から，導電性リード部４２１を通じて上記被測定ガス側電極４２へ外部の酸素ガスが流入すると，これにより酸素イオン電流が発生し，上記特定ガス濃度の正確な検出を妨げるおそれがある。
【００３０】
上記のごとく，本例のガスセンサ素子１においては，上記導電性リード部４２１はＰｔ−Ａｕを含有する。そのため，上記導電性リード部４２１は，緻密な結晶構造により形成される。これにより，ガスセンサ素子１の外部に露出した端子４２２から，酸素ガスが上記導電性リード部４２１を介して上記被測定ガス側電極に流入することを抑制することができる。
それ故，上記センサセル４に発生するオフセット電流を低減して，特定ガスの濃度の検出を精密に行うことができる。
【００３１】
また，上記Ｐｔ−ＡｕにおけるＡｕの含有量は１〜２０ｗｔ％であるため，被測定ガス側電極４２への酸素ガスの流入を一層抑制することができる。
【００３２】
以上のごとく，本例によれば，オフセット電流を低減し，特定ガスの濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供することができる。
【００３３】
（実施例２）
本例においては，図４に示すごとく，本発明のガスセンサ素子に発生するオフセット電流の値を測定し，従来品と比較した。
本発明品としては，実施例１において示したものを用いた。
一方，従来品としては，導電性リード部にＡｕを含有させず，Ｐｔによって構成したものを用いた。
測定の結果，図４に示すごとく，従来品においてはオフセット電流は，約０．９５μＡであったのに対し，本発明品におけるオフセット電流は約０．２μＡと極めて小さかった。
これにより，実施例１にかかるガスセンサ素子は，オフセット電流を極めて小さくすることができることが分かった。
【００３４】
（実施例３）
本例においては，図５に示すごとく，ガスセンサ素子におけるオフセット電流の大きさの，導電性リード部のＡｕ含有量依存性を調査した。
即ち，導電性リード部におけるＰｔ−Ａｕ中のＡｕ含有量がそれぞれ，０，０．５，１，２，５，１０ｗｔ％となる６種類の試料を作製し，各試料につきオフセット電流を測定した。
【００３５】
図５に示すごとく，Ａｕ含有量が１ｗｔ％未満となると，オフセット電流が大きくなることが分かる。
また，Ａｕが２０ｗｔ％を超えると熱膨張が大きくなり，導電性リードの剥離，断線の発生を抑制することが困難となるおそれがある。
かかる観点から，Ａｕ含有量は，１〜２０ｗｔ％とすることが好ましいことが分かる。
【００３６】
（実施例４）
本例のガスセンサ素子１は，図６に示すごとく，第１と第２の被測定ガス室５２０，５４０が第１と第２の固体電解質板５１，５５等の積層方向に位置するよう構成する。なお，図６においては，導電性リード部は省略してあるが，センサセル４は，実施例１と同様にＰｔ−Ａｕを含有する導電性リード部を有する。図７〜図９（実施例５，６）においても同様である。
本例のガスセンサ素子１は，第１固体電解質板５１，スペーサー５２，第２固体電解質板５３，スペーサー５４，第３固体電解質板５５，スペーサー５６，セラミックヒータ１９を積層構成してなる。
【００３７】
第１固体電解質板５１と第２固体電解質板５３とスペーサー５２との間に第１被測定ガス室５２０が，第２固体電解質板５３と第３固体電解質板５５とスペーサー５４との間に第２被測定ガス室５４０が，第３固体電解質板５５とスペーサー５６とセラミックヒータ１９との間に大気室５５０がある。
【００３８】
第１固体電解質板５１に設けた導入穴５１０から第１被測定ガス室５２０に対し被測定ガスを導入する。多孔質拡散層１７は導入穴５１０を覆うように第１固体電解質板５１に対し積層する。第１と第２の被測定ガス室５２０，５４０との間は拡散通路５３０により連通される。
【００３９】
そして，ポンプセル２の第１ポンプ電極２１は第１被測定ガス室５２０と対面し，第２ポンプ電極２２は拡散抵抗層１７を通じて素子の外部雰囲気に曝される。第１及び第２のポンプ電極２１，２２は第１固体電解質板５１に設ける。
センサセル４の第２被測定ガス室５４０と対面する被測定ガス側電極４２と大気室５５０と対面する基準電極４１とは，第３固体電解質板５５に設ける。モニタセル３における，上記第２被測定ガス室５４０と対面する第２モニタ電極３２と，大気室５５０と対面する第１モニタ電極３１とは，第３固体電解質板５５に設ける。
【００４０】
そして，ポンプセル２のポンプ電極２１，２２は電源２５１及び電流計２５２を備えたポンプ回路２５に接続する。モニタセル３の電極３１，３２は電圧計３５６を備えたモニタ回路３５に接続する。センサセル４の電極４１，４２は電源４５１及び電流計４５２を備えたセンサ回路４５に接続する。
そして，モニタセル３でポンプセル２の動作を制御するため，電圧計３５６から電源２５１にむかうフィードバック回路２５５がある。
【００４１】
そして，第１ポンプ電極２１，第２モニタ電極３２はＮＯｘに対して不活性なＰｔ−Ａｕ電極よりなる。被測定ガス側電極４２はＮＯｘに対して活性なＰｔ−Ｒｈ電極よりなる。その他の電極２２，３１，４１はＰｔ−Ｒｈ電極である。また，被測定ガス側電極４２はＡｕを０．２ｗｔ％添加する。
その他，実施例１と同様の構成を有し，同様の作用効果を有する。
【００４２】
なお，図７に示すように，モニタセル３を第１固体電解質板５１に設けることもできる。また，ポンプセル２の第２ポンプ電極２２とモニタセル３の第１モニタ電極３１とは一体化することができる。
【００４３】
（実施例５）
本例のガスセンサ素子１は，図８に示すごとく，センサセル４とモニタセル３を直列に接続した構成を有する。
本例のガスセンサ素子１は，スペーサー６１，第１固体電解質板６２，スペーサー６３，第２固体電解質板６４，スペーサー６５，セラミックヒータ１９を積層構成してなる。
スペーサー６１と第１固体電解質板６２との間に第１大気室６１０が，第１固体電解質板６２とスペーサー６３，第２固体電解質板６４との間に第１及び第２の被測定ガス室６３１，６３２が，第２固体電解質板６４とスペーサー６５，ヒータ１９との間に第２大気室６５０がある。
【００４４】
第１固体電解質板６２に設けた導入穴６２０から第１被測定ガス室６３１に対し被測定ガスを導入する。多孔質拡散層１７は導入穴６２０を覆うように第１固体電解質板６２に対し積層する。第１と第２の被測定ガス室６３１，６３２との間は拡散通路６３０により連通される。
【００４５】
そして，ポンプセル２の第１ポンプ電極２１は第１被測定ガス室６３１と対面し，第２ポンプ電極２２は第２大気室６５０と対面する。第１及び第２のポンプ電極２１，２２は第２固体電解質板６４に設ける。
センサセル４の第２被測定ガス室６３２と対面する被測定ガス側電極４２と第１大気室６１０と対面する基準電極４１とは，第１固体電解質板６２に設ける。モニタセル３における，上記第２被測定ガス室６３２と対面する第２モニタ電極３２と，大気室６１０と対面する第１モニタ電極３１とは，第１固体電解質板６２に設ける。
【００４６】
そして，ポンプセル２のポンプ電極２１，２２は電源２５１及び電流計２５２を備えたポンプ回路２５に接続する。モニタセル３の電極３１，３２は電源３５１，電流計３５２を備えたモニタ回路３５に接続する。センサセル４の電極４１，４２は電源４５１及び電流計４５２を備えたセンサ回路４５に接続する。
そして，ポンプセル２の動作を制御するため，電流計２５２から電源２５１にむかうフィードバック回路２５５がある。
【００４７】
そして，第１ポンプ電極２１，第２モニタ電極３２はＮＯｘに対して不活性なＰｔ−Ａｕ電極よりなる。被測定ガス側電極４２はＮＯｘに対して活性なＰｔ−Ｒｈ電極よりなる。その他の電極２２，３１，４１はＰｔ−Ｒｈ電極である。また，被測定ガス側電極４２はＡｕを０．２ｗｔ％添加する。
その他，実施例１と同様の構成を有し，同様の作用効果を有する。
【００４８】
また，図示した構成のほか，ポンプセル２を第１固体電解質板６２に設け，センサセル４やモニタセル３を第２固体電解質板６４に設ける構成でもよい。
【００４９】
（実施例６）
本例は，図９に示すごとく，実施例１と同じ構成のガスセンサ素子１であるが，モニタセルを持たない２セル式の素子である。
そして，ポンプセル２はポンプ回路２５に設けた電流計２５２から電源２５１に向かうフィードバック回路２５５がある。
その他，実施例１と同様の構成を有し，同様の作用効果を有する。
【００５０】
また，図示した構成のほか，ポンプセル２を第１固体電解質板１１に設け，センサセル４やモニタセル３を第２固体電解質板１３に設ける構成でもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，ガスセンサ素子の断面説明図。
【図２】実施例１における，ガスセンサ素子の斜視展開図。
【図３】実施例１における，ガスセンサ素子の横断面説明図（図１のＡ−Ａ矢視断面図）。
【図４】実施例２における，オフセット電流の測定結果を示す線図。
【図５】実施例３における，導電性リード部におけるＡｕ含有量とオフセット電流との関係を示す線図。
【図６】実施例４における，積層方向に被測定ガス室が並んだ構成のガスセンサ素子を示す断面説明図。
【図７】実施例４における，図６とは異なる，積層方向に被測定ガス室が並んだ構成のガスセンサ素子を示す断面説明図。
【図８】実施例５における，モニタセルとセンサセルとが直列に並んだ構成のガスセンサ素子を示す断面説明図。
【図９】実施例６における，センサセルとポンプセルのみよりなるガスセンサ素子の断面説明図。
【符号の説明】
１．．．ガスセンサ素子，
１１．．．第１固体電解質板，
１２１．．．第１被測定ガス室，
１２２．．．第２被測定ガス室，
１４０．．．大気室，
２．．．ポンプセル，
３．．．モニタセル，
４．．．センサセル，
４１．．．基準電極，
４２．．．被測定ガス側電極，
４１１，４２１．．．導電性リード部，
４１２，４２２．．．端子，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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