(57)【要約】【課題】光源として発光ダイオードを用いながら、樹脂表面が硬化しにくい現象を効果的に改善することができる紫外線硬化型樹脂の硬化方法と紫外線照射装置を提供する。【解決手段】小物部品の接着に使用される紫外線硬化型の樹脂を硬化させるために使用されるヘッド部１２とコントローラ部とが電気ケーブルで接続された紫外線照射装置において、ヘッド部は筒状のハウジング２１と、その内部に設けられた近紫外線を発する発光ダイオード２２と、不活性ガスを導くガス流路ＦＰとを備え、コントローラ部はヘッド部１２の発光ダイオード２２を駆動するための電源及び制御回路を備え、ヘッド部１２のハウジング２１の先端面２１Ｆに、発光ダイオード２２からの近紫外線を出射させる近紫外線照射口２６ａとガス流路ＦＰからの不活性ガスを噴射させるガス噴射口２５ａとが設けられている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
小物部品の接着に使用される紫外線硬化型の樹脂を硬化させる方法であって、近紫外線を発する発光ダイオードからの近紫外線を硬化すべき樹脂に照射すると共に、不活性ガスを含む気体を前記樹脂の近紫外線照射箇所に吹き付けることを特徴とする紫外線硬化型樹脂の硬化方法。
【請求項２】
小物部品の接着に使用される紫外線硬化型の樹脂を硬化させるために使用されるヘッド部とコントローラ部とが電気ケーブルで接続された紫外線照射装置であって、
前記ヘッド部は筒状のハウジングと、その内部に設けられた近紫外線を発する発光ダイオードと、不活性ガスを導くガス流路とを備え、
前記コントローラ部は前記ヘッド部の発光ダイオードを駆動するための電源及び制御回路を備え、
前記ヘッド部のハウジングの先端面に、前記発光ダイオードからの近紫外線を出射させる近紫外線照射口と前記ガス流路からの不活性ガスを噴射させるガス噴射口とが設けられていることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項３】
前記ヘッド部は略円筒状のハウジングを備え、その内部に設けられた前記発光ダイオードの基板と前記ハウジングの内壁との間に断面円環状の前記ガス流路が形成され、前記ハウジングの円形先端面の中央部に前記近紫外線照射口が配置されると共に該近紫外線照射口の周囲を円環状に囲むように複数の前記ガス噴射口が配置されていることを特徴とする
請求項２記載の紫外線照射装置。
【請求項４】
前記ヘッド部は略円筒状のハウジングを備え、その内部において略中央部に設けられた前記ガス流路を円環状に囲むように複数の前記発光ダイオードが配置され、前記ハウジングの円形先端面の中央部に前記ガス噴射口が配置されると共に該ガス噴射口の周囲を円環状に囲むように複数の前記近紫外線照射口が配置されていることを特徴とする
請求項２記載の紫外線照射装置。
【請求項５】
前記ヘッド部は略直方体状のハウジングを備え、その長方形先端面の長辺方向に沿って複数の前記近紫外線照射口が配列していると共に、前記長辺方向に沿ってスリット状の前記ガス噴射口が設けられていることを特徴とする
請求項２記載の紫外線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、小物部品の接着に使用される紫外線硬化型の樹脂を硬化させる方法と、その方法に使用される紫外線照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
紫外線硬化型の樹脂は、レジスト皮膜の形成や印刷の分野から光ピックアップ等の組立工程における小物部品の接着固定の分野まで広く使用されている。一般に、紫外線硬化型の樹脂は波長３６５ｎｍ付近の近紫外線の照射によって硬化するように設計されている。しかし、空気と接触する樹脂の表面付近では酸素分子が樹脂分子と結びついて樹脂の硬化反応を阻害する現象（いわゆる酸素阻害）が発生するため、これに打ち勝つ大きいエネルギーを有する（短い波長の）紫外線が必要である。つまり、酸素分子と樹脂分子とを切り離すための短い波長（例えば２５４ｎｍ程度）の紫外線を波長３６５ｎｍ付近の近紫外線と共に照射すれば、樹脂の表面及び内側が均一に硬化することが分かっている。
【０００３】
従来の紫外線硬化型の樹脂を硬化させるために使用される紫外線照射装置は、光源に水銀キセノンランプを使用したものが一般的である。水銀キセノンランプから発せられる紫外線の波長は２００〜６００ｎｍの広い領域にわたっているので、その短波長成分が樹脂の表面付近の硬化に寄与し、比較的均一な硬化状態が得られる。
【０００４】
また、水銀キセノンランプを使用した紫外線照射装置を用いる場合であっても、樹脂の特に表面付近での酸素分子の悪影響を抑制して樹脂の硬化を促進するために、不活性ガスである窒素の雰囲気中で樹脂に紫外線を照射することも行われている。つまり、例えば特許文献１に記載されているように、窒素ガスを充満させたチャンバーの中で紫外線硬化型の樹脂に紫外線を照射する方法が実施されている。
【０００５】
特許文献１に記載された紫外線照射装置は、レジスト皮膜の形成や印刷の分野で使用される大掛かりな生産設備である。光ピックアップ等の組立工程における小物部品（例えばプラスチックレンズ）の接着に使用される紫外線照射装置には、もっと小型のものが使用される。例えば、水銀キセノンランプを使用した光源を内蔵する装置本体と小型のヘッド部とを光ファイバーケーブルで接続したものが使用されている。水銀キセノンランプから発した紫外線は、光ファイバーケーブルを通ってヘッド部まで導かれ、ヘッド部から樹脂が塗布された接着部に照射される。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−３０５２５９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記の水銀キセノンランプから出る紫外線には熱線も含まれるので、フィルタを用いて熱線を遮断することが行われている。それでも、例えば超小型プラスチックレンズのような精密光学部品を接着・固定するような用途では照射される紫外線に含まれる熱が部品の固定精度に悪影響を与えるおそれや精密部品が熱で歪むおそれがあった。
【０００８】
また、水銀キセノンランプから発した紫外線をヘッド部まで導く光ファイバーケーブルには石英光ファイバーをステンレスのフレキシブルケーブルで被覆したものが使用されるが、この光ファイバーケーブルが高価であり、しかも紫外線の減衰が大きいために遠くまで導くことが出来ないといった問題があった。
【０００９】
近年、高圧水銀ランプや水銀キセノンランプに代わる紫外線の光源として高出力の発光ダイオード（ＬＥＤ）が実用化されている。本発明者らは、この発光ダイオードをヘッド部に内蔵させ、発光ダイオードを駆動するための電源及び制御回路をコントローラ部に内蔵させ、ヘッド部とコントローラ部とを電気ケーブルで接続した構成の紫外線照射装置を考案した。
【００１０】
このような構成によれば、上記のような従来の紫外線照射装置の問題、つまり、光源に水銀キセノンランプを使用することの問題やヘッド部と装置本体とを光ファイバーケーブルで接続する際の問題を解決することができる。
【００１１】
しかしながら、光源として近紫外線を発する発光ダイオードを用いた場合は、その発光波長領域が例えば３８０±１０ｎｍの如く極めて狭く、水銀キセノンランプのように２００ｎｍ付近の短波長成分の紫外線を発することができない。このため、前述のように、空気と接触する樹脂の表面付近では酸素分子が樹脂分子と結びついて樹脂の硬化反応を阻害する結果、樹脂の内部は硬化しても表面が硬化しない現象（いわゆる表面タック）が発生する。
【００１２】
本発明は、上記のような課題に鑑み、光源として発光ダイオードを用いながら、樹脂表面が硬化しにくい現象を効果的に改善することができる紫外線硬化型樹脂の硬化方法と紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明による紫外線硬化型樹脂の硬化方法は、小物部品の接着に使用される紫外線硬化型の樹脂を硬化させる方法であって、近紫外線を発する発光ダイオードからの近紫外線を硬化すべき樹脂に照射すると共に、不活性ガスを含む気体を樹脂の近紫外線照射箇所に吹き付けることを特徴とする。
【００１４】
このような方法によれば、不活性ガスによって樹脂表面付近の空気が追い出されて酸素分子濃度が低下するので、酸素分子が樹脂分子と結びついて樹脂の硬化反応を阻害する現象が抑制又は緩和される。その結果、樹脂の内部と共に表面も略均一に硬化する効果が得られる。
【００１５】
なお、不活性ガスを含む気体は窒素、アルゴン等の不活性ガスをボンベから直接供給してもよいし、例えば中空分離膜によって空気中の窒素濃度を高めたガスを供給してもよい。また、発光ダイオードから発した近紫外線はレンズ系を介して直接樹脂に照射してもよいし、光ファイバー内を伝播した後にレンズ系を介して樹脂に照射するように構成してもよい。
【００１６】
上記のような紫外線硬化型樹脂の硬化方法に使用される本発明の紫外線照射装置は、ヘッド部とコントローラ部とが電気ケーブルで接続されて成り、ヘッド部は筒状のハウジングと、その内部に設けられた近紫外線を発する発光ダイオードと、不活性ガスを導くガス流路とを備え、コントローラ部はヘッド部の発光ダイオードを駆動するための電源及び制御回路を備え、ヘッド部のハウジングの先端面に、発光ダイオードからの近紫外線を出射させる近紫外線照射口とガス流路からの不活性ガスを噴射させるガス噴射口とが設けられていることを特徴とする。
【００１７】
このような構造を有する紫外線照射装置は、光源に水銀キセノンランプを使用してヘッド部と装置本体とを光ファイバーケーブルで接続した従来の紫外線照射装置に比べて、小形化できると共に安価に構成することができる。また、ヘッド部とコントローラ部とが電気ケーブルで接続されているので、ヘッド部をコントローラ部から離れた箇所まで引き回すことが可能になる。
【００１８】
ヘッド部の具体的な構造として、ヘッド部が略円筒状のハウジングを備え、その内部に設けられた発光ダイオードの基板とハウジングの内壁との間に断面円環状のガス流路が形成され、ハウジングの円形先端面の中央部に近紫外線照射口が配置されると共に該近紫外線照射口の周囲を円環状に囲むように複数のガス噴射口が配置されている構造が好ましい。
【００１９】
このような構造によれば、ヘッド部をコンパクトに構成することができると共に、発光ダイオードの発熱が不活性ガスの流れによって冷却される効果も得られる。なお、近紫外線を発する発光ダイオードは通常の可視光を発する発光ダイオードに比べて自己発熱が大きく、放熱が不十分な場合は寿命が短くなるが、上記のような冷却効果によって長寿命を担保することができる。
【００２０】
ヘッド部の別の好ましい構造では、ヘッド部が略円筒状のハウジングを備え、その内部において略中央部に設けられたガス流路を円環状に囲むように複数の発光ダイオードが配置され、ハウジングの円形先端面の中央部にガス噴射口が配置されると共に該ガス噴射口の周囲を円環状に囲むように複数の近紫外線照射口が配置されている。
【００２１】
このヘッド部の構造では、複数の発光ダイオードを使用することによって、近紫外線の照射量を必要に応じて増加することが可能となる。また、上記のような不活性ガスによる冷却効果も得られる。
【００２２】
ヘッド部の更に別の好ましい構造では、ヘッド部が略直方体状のハウジングを備え、その長方形先端面の長辺方向に沿って複数の近紫外線照射口が配列していると共に、長辺方向に沿ってスリット状のガス噴射口が設けられている。
【００２３】
このヘッド部の構造では、長手方向に並んだ複数の発光ダイオードによって、細長い領域に塗布された樹脂に一度に近紫外線を照射して硬化させることができる。また、上記のような不活性ガスによる冷却効果も得られる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
【００２５】
図１は、本発明の実施形態に係る紫外線照射装置を用いた紫外線硬化型樹脂の硬化方法を実現するための構成例を示すブロック図である。（ａ）は第１の構成例を示し、（ｂ）は第２の構成例を示している。いずれの構成例も、コントローラ部１１及びヘッド部１２からなる紫外線照射装置１０と、エア供給源１３と、窒素ガス発生器１４とを使用する。
【００２６】
エア供給源１３としては、工場内の場合はエア配管を使用することができる。コンプレッサを直接接続してもよい。窒素ガス発生器１４は、中空分離膜によって空気を窒素と酸素富化空気とに分離する方式の市販の窒素ガス発生装置を使用することができる。このような窒素ガス発生装置は、例えば半田付けや熱処理等における酸化防止のために一般に使用されている。
【００２７】
窒素ガス発生器１４からの窒素ガスは、図１（ａ）の構成例では、紫外線照射装置１０のヘッド部１２に直接供給され、その先端面に設けられたガス噴射口から噴射される。また、図１（ｂ）の構成例では、窒素ガス発生器１４からの窒素ガスが紫外線照射装置１０のコントローラ部１１に供給され、開閉弁（図示せず）を通ってヘッド部１２に供給される。ヘッド部１２の先端面に設けられたガス噴射口から窒素ガスが噴射される点は図１（ａ）の構成と同じである。
【００２８】
図２は、紫外線照射装置１０のヘッド部１２の概略構造を示す図である。（ａ）は正面図、（ｂ）は断面図である。また、図３は紫外線照射装置１０のヘッド部１２の分解斜視図である。紫外線照射装置１０のヘッド部１２は、作業者が把持できる程度の大きさの中空円筒状のハウジング２１を備え、その内部に近紫外線を発する発光ダイオード（ＬＥＤ）２２が設けられている。ＬＥＤ２２はコントローラ部１１からの電気信号によって駆動され、波長３８０ｎｍ付近の近紫外線を発する。
【００２９】
コントローラ部１１は、ヘッド部１２のＬＥＤ２２を駆動するための電源１１ａ及び制御回路１１ｂを備え（図１参照）、電気ケーブル（ワイヤーハーネス）を介してＬＥＤ２２の駆動信号（電気信号）をヘッド部１２に送信する。
【００３０】
ヘッド部１２のハウジング２１は、基端側部材２１ａと先端側部材２１ｂとからなり、両者が螺合によって一体となる。ハウジング２１（基端側部材２１ａ及び先端側部材２１ｂ）は、例えばアルミニウムブロックから切削加工によって作製される。ハウジング２１（基端側部材２１ａ）の基端部にはコントローラ部１１とヘッド部１２との電気接続のためのワイヤーハーネス２３と、窒素ガス発生器１４から直接又はコントローラ部１１を介して供給される窒素ガスのチューブ２４が接続されている（図３参照）。
【００３１】
ハウジング２１の先端部には、中空円筒部材２５が螺合によって固定され、その内側に円環状のキャップ部材２６が螺合によって固定されている。図２（ｂ）に示されているように、レンズ２７が中空円筒部材２５とキャップ部材２６との間に挟み込まれるように保持されている。また、キャップ部材２６の中央部、すなわちハウジング２１の先端面２１Ｆの中央部には丸孔（近紫外線照射口）２６ａが形成されている。ＬＥＤ２２から発した近紫外線は、図２（ｂ）に破線の矢印線ＬＢで示すように、レンズ２７を通ってキャップ部材２６の中央部の近紫外線照射口２６ａから外部に照射される。
【００３２】
ハウジング２１の先端面２１Ｆにおいて近紫外線照射口２６ａの周囲を円環状に囲むように、複数（図２（ａ）では１０個）の小孔（ガス噴射口）２５ａが配置されている。つまり、これらのガス噴射口２５ａは、ハウジング２１の先端部に螺合された中空円筒部材２５の円環状先端面に沿って形成され、ハウジング２１の内部空間と外部空間とを連通している。
【００３３】
また、ハウジング２１の内部には、ＬＥＤ２２の基板とそれを支持するアルミニウムブロックの円筒支持部材２８が設けられている。円筒支持部材２８は円筒形状のハウジング２１を構成する先端側部材２１ｂと同軸状に配置されており、先端側部材２１ｂの内周面と円筒支持部材２８の外周面との間に断面円環状のガス流路ＦＰが形成されている。
【００３４】
窒素ガスチューブ２４からハウジング２１の内部へ供給された窒素ガスは、図２（ｂ）に実線の矢印線ＧＳで示すように、断面円環状のガス流路ＦＰを通って中空円筒部材２５の円環状先端面（ハウジング２１の先端面）に形成された複数のガス噴射口２５ａから外部に噴射される。
【００３５】
このような構造によれば、ガス流路ＦＰを通過する不活性ガスによってＬＥＤ２２が冷却される効果が得られる。近紫外線を発するＬＥＤ（発光ダイオード）は通常の可視光を発するＬＥＤに比べて自己発熱が大きく、放熱が不十分な場合は寿命が短くなるが、上記のような冷却効果によって長寿命を担保することができる。
【００３６】
上記のような構造のヘッド部１２を備えた紫外線照射装置を用いることにより、紫外線硬化型の樹脂に対して近紫外線を照射すると同時に、その部分に窒素ガスを噴出することができる。窒素ガスによって樹脂表面付近の空気が追い出されて酸素分子濃度が低下するので、酸素分子が樹脂分子と結びついて樹脂の硬化反応を阻害する現象が抑制又は緩和される。その結果、樹脂の内部と共に表面も略均一に硬化する効果が得られる。
【００３７】
また、光源であるＬＥＤ２２がヘッド部１２に内蔵され、ヘッド部１２とコントローラ部１１とが電気ケーブル（ワイヤーハーネス）２３で接続されているので、ヘッド部１２をコントローラ部１１から離れた箇所まで引き回すことが可能になる。光源として水銀キセノンランプを装置本体に内蔵し、装置本体とヘッド部とを光ファイバーケーブルで接続した従来の紫外線照射装置に比べて、小形化できると共に安価に構成することができる。
【００３８】
図４は、紫外線照射装置１０のヘッド部１２の変形例に係る概略構造を示す断面図である。この例では、第２のレンズ３０が装着されたレンズホルダー３１がハウジング２１の先端側部材２１ｂに被さるように取り付けられている。レンズホルダー３１の内周面の一部と先端側部材２１ｂの外周面の一部に螺子が形成されており（図４における螺合箇所３２）、レンズホルダー３１は先端側部材２１ｂに対して着脱自在に螺合する。
【００３９】
このような構造によれば、ＬＥＤ２２から発した近紫外線は、図４に破線の矢印線ＬＢで示すように、第１のレンズ２７及び第２のレンズ３０を通って外部へ照射される。異なる焦点距離のレンズ３０が装着された複数のレンズホルダー３１を交換することにより、近紫外線の照射角（広がり角）を変更することができる。
【００４０】
また、第２のレンズ３０に代えて光ファイバの基端部をレンズホルダー３１に装着し、ＬＥＤ２２から発した近紫外線がレンズ２７を通って光ファイバに入射するように構成することも可能である。この場合、近紫外線は光ファイバ内を伝播して、その先端部から外部へ照射されることになる。
【００４１】
また、窒素ガスは、中空円筒部材２５に形成された第１のガス噴射口２５ａを通過した後、更にレンズホルダー３１に形成された第２のガス噴射口３１ａを通過して外部へ噴射される。この場合、レンズホルダー３１を回転させれば、第１のガス噴射口２５ａと第２のガス噴射口３１ａとの距離や位置関係（先端面から見た重なり具合）が変化することによって、窒素ガスの外部への噴射の広がりが変化する。つまり、レンズホルダー３１を回転させることによって窒素ガスの外部への噴射の仕方（広がり角）を調整することができる。
【００４２】
なお、図２（ｂ）及び図４に示した構造のいずれにおいても、中空円筒部材２５に螺合されたキャップ部材２６を回して中空円筒部材２５から取り外せばレンズ２７を取り外して交換することが可能である。更に、ハウジング２１の先端側部材２１ｂに螺合された中空円筒部材２５を回して端側部材２１ｂから取り外せば、ＬＥＤ２２を取り外して交換することが可能である。
【００４３】
図５は、紫外線照射装置１０のヘッド部１２の他の変形例を示す図である。図５（ａ）に示す例では、ハウジング２１の先端面２１Ｆの中央部にガス噴射口２５ａが配置され、その周囲を円環状に囲むように、複数（図示の例では６個）の近紫外線照射口２６ａが設けられている。これに対応するように、ハウジング２１の内部では中央部に窒素ガスのガス流路が設けられ、そのガス流路を円環状に囲むように複数（６個）のＬＥＤが配置されている（図示せず）。
【００４４】
この例の構造では、複数の発光ダイオードを使用することによって、近紫外線の照射量を必要に応じて増加することが可能となる。また、円環状に配置された複数のＬＥＤの中央部を通過する窒素ガスによる冷却効果も得られる。
【００４５】
図５（ｂ）に示す例では、ヘッド部が略直方体状のハウジングを備え、その長方形の先端面２１Ｆの長辺方向に沿って複数の近紫外線照射口２６ａが配列していると共に、長辺方向に沿ってスリット状のガス噴射口２５ａが設けられている。
【００４６】
図示の例では計１０個の近紫外線照射口２６ａが２列に配列し、その両側にスリット状のガス噴射口２５ａが１個ずつ計２個形成されている。もちろん、複数の近紫外線照射口２６ａは１列に並べてもよいし３列以上に並べてもよい。また、スリット状のガス噴射口２５ａは片側に１個だけ設けてもよい。ハウジング２１の内部では、複数の近紫外線照射口２６ａに対応するように複数のＬＥＤが配列されている。
【００４７】
この例の構造では、長手方向に並んだ複数のＬＥＤによって、細長い領域に塗布された樹脂に一度に近紫外線を照射して硬化させることができる。また、上記のような窒素ガスの流れによる冷却効果も得られる。スリット状のガス噴射口２５ａから噴射される窒素ガスは、硬化すべき樹脂に対していわゆるエアカーテンのように吹き付けられる。
【００４８】
図５（ｃ）に示す例は既述のヘッド部の構造例とは少し異なる。この例では、ヘッド部が近紫外線照射用ヘッド部１２Ａと窒素ガス噴射用ヘッド部１２Ｂとに分離している。このような構成であっても、硬化すべき樹脂に対してＬＥＤからの近紫外線を照射すると同時に窒素ガスを噴射する本発明の紫外線硬化型樹脂の硬化方法を実施することができる。ただし、この場合は近紫外線照射用ヘッド部１２Ａに内蔵されたＬＥＤの発熱が大きい場合は、それを冷却するための構造が別途必要になる。
【００４９】
以上、本発明の実施形態をいくつかの実施例及び変形例を用いて説明したが、本発明は上記の実施形態に限らず、種々の形態で実施することができる。例えば、硬化すべき樹脂の近紫外線照射箇所に吹き付ける窒素ガスに代えて、他の不活性ガス（アルゴン等）を用いてもよい。また、窒素ガス（不活性ガス）発生器に代えて、窒素ガス（不活性ガス）をガスボンベから供給するように構成してもよい。また、紫外線照射装置のヘッド部の具体的な構造や材料は上記の実施形態の説明における例示に限らず、種々の変更が可能である。
【００５０】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の紫外線硬化型樹脂の硬化方法によれば、硬化すべき樹脂に吹き付けられる不活性ガスによって樹脂表面付近の空気が追い出されて酸素分子濃度が低下するので、酸素分子が樹脂分子と結びついて樹脂の硬化反応を阻害する現象が抑制又は緩和される。その結果、樹脂の内部と共に表面も略均一に硬化する効果が得られる。
【００５１】
また、本発明の紫外線照射装置によれば、光源に水銀キセノンランプを使用してヘッド部と装置本体とを光ファイバーケーブルで接続した従来の紫外線照射装置に比べて、小形化できると共に安価に構成することができる。また、ヘッド部とコントローラ部とが電気ケーブルで接続されているので、ヘッド部をコントローラ部から離れた箇所まで引き回すことが可能になる。更に、ヘッド部をコンパクトに構成することができると共に、発光ダイオードの発熱がヘッド部内を流れる不活性ガスによって冷却される効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る紫外線照射装置を用いた紫外線硬化型樹脂の硬化方法を実現するための構成例を示すブロック図である。
【図２】紫外線照射装置のヘッド部の概略構造を示す図である。
【図３】紫外線照射装置のヘッド部の分解斜視図である。
【図４】紫外線照射装置のヘッド部の変形例に係る概略構造を示す断面図である。
【図５】紫外線照射装置のヘッド部の他の変形例を示す図である。
【符号の説明】
１１  コントローラ部
１１ａ  電源
１１ｂ  制御回路
１２  ヘッド部
２１  ハウジング
２１Ｆ  ハウジングの先端面
２２  発光ダイオード（ＬＥＤ）
２３  電気ケーブル（ワイヤーハーネス）
２５ａ  ガス噴射口
２６ａ  近紫外線照射口
ＦＰ  ガス流路
【図１】
2004358770.tif 000003
【図２】
2004358770.tif 000004
【図３】
2004358770.tif 000005
【図４】
2004358770.tif 000006
【図５】
2004358770.tif 000007