(57)【要約】【課題】摩擦抵抗の少ないベーン式バキュームポンプを形成する。【解決手段】内周面５１が変形した状態の変形円形を有するカムシリンダ５と、カムシリンダ５に対して偏心した状態で回転運動をするロータ３と、ロータ３に設けられたスリット溝３３内にあって当該スリット溝３３内を摺動運動するとともに、その両端部が上記カムシリンダ５の内周面５１に沿うように回転運動をするベーン１と、ベーン１の先端部に形成された凹溝１９内にあって、ロータ３が回転運動を開始したときに、当該回転運動に伴なう遠心力によって突出して上記カムシリンダ５の内周面５１上を摺動運動するシール部材１７と、からなる。上記ベーン１には、長手方向に所定の長さを有するものであってベーン１の両側面部を貫くように形成された貫通孔１１が設けられるようになっている。【選択図】　　　　　　　図１
2004011421.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周面が楕円形あるいは変形円形等の曲面からなるカムシリンダと、当該カムシリンダに対して偏心した状態で回転運動をするロータと、当該ロータに設けられたスリット溝内にあって当該スリット溝内を摺動運動するとともに、その両端部が上記カムシリンダ内周面に形成された曲面に倣うように回転運動をするベーンと、からなるベーン式バキュームポンプにおいて、上記ロータの回転軸のところに、当該回転軸の中心部に設けられた中空部のところに供給された潤滑油を上記ロータのスリット底部へ間欠的にあるいは連続的に導入させるためのものであって当該スリット底部に開口部を有するように形成された導入路を設けるとともに、上記ベーンに、当該ベーンの横幅全幅を貫通するように形成されるものであって上記導入路に上記スリット底部を介して連通するように形成された貫通孔を設けるようにしたことを特徴とするベーン式バキュームポンプ。
【請求項２】
請求項１記載のベーン式バキュームポンプにおいて、上記貫通孔のベーン側面部に形成される開口部の形状を長穴状の形態からなるようにするとともに、そのベーン長手方向の長さを、カムシリンダの中心位置と上記ロータの回転中心位置との間の偏心量の２倍以上の値を有するようにしたことを特徴とするベーン式バキュームポンプ。
【請求項３】
請求項１記載のベーン式バキュームポンプにおいて、上記ベーンの両側面部に、その長手方向の長さが、上記カムシリンダの中心位置とロータの回転中心位置との間の偏心量の２倍以上の値を有する凹溝を設けるとともに、当該両凹溝間を適宜数の上記貫通孔にて連通させるようにしたことを特徴とするベーン式バキュームポンプ。
【請求項４】
請求項１または請求項２記載のベーン式バキュームポンプにおいて、上記ベーンを、その板厚方向に二分割されたものであって、これらが二枚重ね合わせ状に組付けられた状態のものからなるようにするとともに、上記二枚重ね合わせ部のところに所定の隙間を設け、この隙間をもって潤滑油の流動する貫通孔を形成させるようにしたことを特徴とするベーン式バキュームポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、所定の形態からなるカムシリンダ内にて、当該カムシリンダ内周面に沿って先端部が倣い運動をするように作動するベーンを有するベーン式バキュームポンプに関するものであり、特に、ベーンの両側面部における潤滑油の供給を十分に行わせるようにしたベーン式バキュームポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のベーン式バキュームポンプにおける作動部分への潤滑油の供給に関しては、例えば特開２００２−１０６４８６号公報記載のものの如く、ベーンを支持するロータの、その回転軸部周りへの潤滑油の供給が主に考慮されているにすぎない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記ベーン式バキュームポンプにおいては、ベーンは、ロータに設けられたスリット溝内にて摺動運動をするとともに、上記ロータの回転運動に伴って回転運動もするようになっているものである。この回転運動によって、ベーンの側面部は、ベーンの収容されるハウジングの壁面との間において滑り摩擦運動をすることとなる。従って、本バキュームポンプを形成する上記ロータが高速回転運動をするようになった場合、上記ベーンの両側面部は滑り摩擦抵抗による発熱等の問題を生ずることとなる。このような問題点を解決するために、ベーンの両側面部にも潤滑油が行きわたるようにした、潤滑性に優れたベーン式バキュームポンプを提供しようとするのが、本発明の目的（課題）である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明においては次のような手段を講ずることとした。すなわち、請求項１記載の発明においては、内周面が楕円形あるいは変形円形等の曲面からなるカムシリンダと、当該カムシリンダに対して偏心した状態で回転運動をするロータと、当該ロータに設けられたスリット溝内にあって当該スリット溝内を摺動運動するとともに、その両端部が上記カムシリンダ内周面に形成された曲面に倣うように回転運動をするベーンと、からなるベーン式バキュームポンプに関して、上記ロータの回転軸のところに、当該回転軸の中心部に設けられた中空部のところに供給された潤滑油を上記ロータのスリット底部へ間欠的にあるいは連続的に導入させるためのものであって当該スリット底部に開口部を有するように形成された導入路を設けるとともに、上記ベーンに、当該ベーンの横幅全幅を貫通するように形成されるものであって上記導入路に上記スリット底部を介して連通するように形成された貫通孔を設けるようにした構成を採ることとした。
【０００５】
このような構成を採ることにより、本発明のものにおいては、ベーンの両側面部にも潤滑油が供給されるようになり、ベーンの円滑な作動が確保されるようになる。具体的には、ロータ回転軸の中心部に設けられた中空部のところに流動して来た潤滑油は、導入路を経由して間欠的にあるいは連続的にロータのスリット底部に供給される。そして、このスリット底部に供給された潤滑油は、当該スリット底部のところにて摺動運動するベーンの、その側面部に向かって放出されるようになる。ところで、当該ベーンの側面部には、ベーンの横幅全幅を貫通するように形成された貫通孔の開口部が形成されるようになっているので、上記スリット底部に供給された潤滑油は、上記開口部から貫通孔を経由して反対側のベーン側面部へも供給されるようになる。このようにして、ベーンの両側面部には潤滑油が十分に供給されるようになる。その結果、ベーンは円滑に作動をするようになり、延いては、本ポンプ装置全体の作動効率の向上が図られるようになる。
【０００６】
次に、請求項２記載の発明について説明する。このものも、その基本的な点は上記請求項１記載のものと同じである。すなわち、本発明においては、請求項１記載のベーン式バキュームポンプに関して、上記貫通孔のベーン側面部に形成される開口部の形状を長穴状の形態からなるようにするとともに、そのベーン長手方向の長さを、カムシリンダの中心位置と上記ロータの回転中心位置との間の偏心量の２倍以上の値を有するようにした構成を採ることとした。このような構成を採ることにより、本発明のものにおいても、基本的には、上記請求項１記載のものと同様、ベーンの両側面部への潤滑油の供給が円滑に行われるようになる。特に、本発明のものにおいては、ベーンがカムシリンダ内にて一回転をする間に、上記導入路のスリット底部への開口部からはベーンの側面部に形成された貫通孔内へ潤滑油が供給されるようになるので、ベーンの両側面部、特に、スリット底部の反対側に形成されるベーン側面部へも潤滑油が十分に供給されるようになる。その結果、ロータ及びベーンの回転運動が円滑に行われるようになる。
【０００７】
次に、請求項３記載の発明について説明する。このものも、その基本的な点は上記請求項１記載のものと同じである。すなわち、本発明においては、請求項１記載のベーン式バキュームポンプに関して、上記ベーンの両側面部に、その長手方向の長さが、上記カムシリンダの中心位置とロータの回転中心位置との間の偏心量の２倍以上の値を有する凹溝を設けるとともに、当該両凹溝間に、当該両凹溝間を連結する適宜数の貫通孔を設けるようにした構成を採ることとした。このような構成を採ることにより、本発明のものにおいても、上記請求項１または請求項２記載のものと同様、ベーンの両側面部のところに潤滑油が十分に供給されるようになり、ベーンの円滑な作動が確保されるようになる。特に、本発明のものにおいては、上記導入路の開口部からは、ベーンのスリット底部側に存在する側面部に設けられた凹溝内へ潤滑油が供給されるようになる。そして、上記スリット底部側に存在する凹溝内に供給された潤滑油は、両凹溝間を連通するように形成された絞り通路状の貫通孔を経由して反対側の凹溝内へと供給されるようになる。そして、この絞り通路状の貫通孔は、適宜本数設けられるようになっているので、スリット底部と反対側の凹溝内へも、潤滑油は円滑に供給されるようになり、ベーンの両側面部は十分に潤滑油の供給を受けることとなる。
【０００８】
次に、請求項４記載の発明について説明する。このものも、その基本的な点は上記請求項１記載のものと同じである。その特徴とするところは、ベーンを二枚重ね合わせ状にしたことである。すなわち、本発明においては、請求項１または請求項２記載のベーン式バキュームポンプに関して、上記ベーンを、その板厚方向に二分割されたものであって、これらが二枚重ね合わせ状に組付けられた状態のものからなるようにするとともに、上記二枚重ね合わせ部のところに所定の隙間を設け、この隙間をもって潤滑油の流動する貫通孔を形成させるようにした構成を採ることとした。
【０００９】
このような構成を採ることにより、本発明のものにおいても、基本的には上記請求項１または請求項２記載のものと同様、ベーンの両側面部において潤滑油が十分に供給されるようになり、ベーンの円滑な作動が確保されるようになる。特に、本発明のものにおいては、上記二枚重ね合わせされたベーン部材の接合部間に形成された隙間が、請求項２記載の長穴状の貫通孔の役目を果たすようになり、スリット底部側のベーン側面部に供給された潤滑油は上記隙間を経由して反対側のベーン側面部へ円滑に供給されるようになる。その結果、本発明のものにおいては、ベーンの両側面部において潤滑油が十分に供給されるようになり、ベーンの円滑な作動が確保されるようになる。また、本発明のものにおいては、上記隙間のところに供給された潤滑油は、当該隙間内に封じ込められた状態で存在するようになるので、当該隙間を形成するように二枚重ね合わせ状に設置された各ベーン部材は、上記潤滑油の圧力によって、それぞれの先端部がカムシリンダの内周面側へ押付けられるようになる。その結果、ベーン先端部とカムシリンダ内周面との間におけるシール性能が高められるようになる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について、図１ないし図７を基に説明する。本発明の第一の実施形態に関するものの、その構成は、図１に示す如く、ハウジング７の内部に形成されるものであって内周面５１が変形した状態の変形円形を有するカムシリンダ５と、当該カムシリンダ５に対して偏心した位置で回転運動をするロータ３と、当該ロータ３に設けられたスリット溝３３内にあって当該スリット溝３３内を摺動運動するとともに、その両端部が上記カムシリンダ５の内周面５１に沿うように回転運動をするベーン１と、ベーン１の先端部に形成された凹溝１９内にあって、上記ロータ３が回転運動を開始したときに当該回転運動に伴なう遠心力の作用によって突出して、上記カムシリンダ５の内周面５１上を摺動運動するシール部材１７と、からなることを基本とするものである。そして、このような構成からなるポンプ機能部品が、図１に示す如く、ハウジング７内に収容されるとともに、その一方の端面側には、Ｏリング９を介してカバー８が取付けられ、これによって、上記各ポンプ機能部品１、３、５が気密状に保持されるようになっているものである。このような構成からなる上記カムシリンダ５のところには、吸入ポート５２及び排出ポート５３が設けられ、吸入ポート５２から吸引された空気は排出ポート５３から排出されるようになっているものである。
【００１１】
このような基本構成からなるものにおいて、上記ロータ３には、図１に示す如く、回転軸３１が同軸状に、かつ、一体的に形成されており、別途設けられた動力源からの動力にて上記回転軸３１を含むロータ３が回転駆動されるようになっているものである。また、このようなロータ３には、例えば図３に示す如く、重量軽減用の穴３２が設けられるようになっている。そして、このようなロータ３及び当該ロータ３に設けられたスリット溝３３内に収容されるベーン１の回転運動によって、ポンプ機能が発揮されるようになっているものである。また、上記ロータ３の回転軸３１はハウジング７に形成された軸受部７３内に嵌り込んで当該軸受部７３にて回転自在なように支持されるようになっているものである。そして、このような構成からなる上記ロータ３には、所定の幅を有するスリット溝３３が形成されるようになっており、このスリット溝３３のところには、図２に示す如く、板状のベーン１がスライド移動可能なように装着されるようになっているものである。従って、このようなスリット溝３３内に装着されたベーン１は、上記ロータ３の回転運動に伴って、上記スリット溝３３内をスライド移動しながら、その先端部がカムシリンダ５の内周面５１に沿うように回転運動をするようになる。なお、このような構成からなるベーン１の先端部のところには、凹溝１９が設けられるようになっており、この凹溝１９内にはプラスチック材等にて形成されたシール部材１７が装着されるようになっているものである。従って、上記ロータ３の回転運動に伴って上記ベーン１が回転運動を開始すると、ベーン１の先端部に形成された凹溝１９内に設置されたシール部材１７は、カムシリンダ内周面５１側へ突出して、当該カムシリンダ内周面５１との間のシール性を保ったうえで当該カムシリンダ内周面５１上を摺動運動するようになる。
【００１２】
次に、本実施の形態のものにおけるベーン１周りへの潤滑油の供給機構について説明する。まず、基本的な構成は、図１に示す如く、回転軸３１のところに設けられるものであって当該回転軸３１の中心部に設けられた中空部３５と、当該中空部３５のところに連結される給油ジョイント６の、その中心部に設けられるものであって上記中空部３５に潤滑油を供給する油路６３と、からなるものである。そして、このような中空部３５に供給された潤滑油をベーン１の収容されるスリット底部３３５のところに放出させる導入路３１５が上記回転軸３１の中心線上に設けられるようになっている。また、当該導入路３１５とは別に、上記中空部３５に供給された潤滑油を回転軸３１の表面側へ導入するように形成された導入路３１７が設けられ、上記回転軸３１周りの潤滑を担うようになっている（図２，図４参照）。そして、このような回転軸３１の周りには、当該回転軸３１を回転支持する軸受け部７３が設けられるようになっている。そして更に、このような軸受部７３の軸受面上には１８０°対称形の状態に油溜まり部７５、７５’が設けられるようになっている（図２，図４参照）。このような油溜まり部７５、７５’のうちのいずれか一方のもの（本実施の形態においては下側に設けられるもの７５）は、その一端が上記回転軸３１の軸線方向に延長されるようになっている。そして、その最終端は、ロータ３及びベーン１の収容されるカムシリンダ５内であって上記スリット溝３３内に収容されたベーン１の側面部が間欠的に移動して来るところに開口するとともに、ベーン１の収容されるスリット底部３３５に連通するようになっている。すなわち、カムシリンダ５内の空間部に開口する開口部７５５を有するようになっているものである。なお、上記スリット溝３３の軸方向深さは、ベーン１をスリット溝３３内に確実に収容するために、ベーン１の横幅の値よりも大きな値を有するように設定されている。従って、組付け状態によっては、ベーン１の側面部とスリット底部３３５との間には若干の隙間が形成されるようになる。その結果、上記開口部７５５のところでは、上記ロータ３の回転運動に伴ってベーン１の側面部が移動して来ると、上記油溜まり部７５に供給されて来た潤滑油は上記開口部７５５のところからベーン１の側面部及び上記スリット底部３３５へと送り出されるようになる。すなわち、本実施の形態のものにおいては、ベーン１の回転運動に伴って、各回転ごとに潤滑油が回転軸３１側の油溜まり部７５から間欠的にベーン１の側面部及びスリット底部へ供給されるようになる。
【００１３】
次に、このような構成からなる潤滑油供給経路を介してスリット底部３３５に放出された潤滑油の供給を受けるベーン１の構成、特に、その側面部の構成について、図２及び図３を基に説明する。このものは、ベーン１の板厚の中心部のところに設けられるものであって長穴状の開口形状からなる貫通孔１１を有する構成からなるものである。すなわち、この貫通孔１１は、そのベーン１の両側面部への開口部の形状が長穴状の形態からなるものである。また、このような長穴状の形態からなる開口部の長さは、図３に示す如く、カムシリンダ５の中心位置とロータ３の回転中心位置との間の距離の２倍以上の値を有するように設定されているものである。このような構成を採ることにより、上記導入路３１５を経由してスリット底部３３５のところに放出された潤滑油は、ロータ３の回転運動中、ベース１の側面部であってスリット底部３３５の存在する側に形成された長穴状の開口部から貫通孔１１内に連続的に導入されるようになる。そして、当該貫通孔１１内に導入された潤滑油は、反対側の奥の方のベーン側面部へと常に供給されるようになり、当該ベーン側面部とカバー８との間の潤滑が円滑に行われるようになる。
【００１４】
なお、ベーン１の貫通孔１１による潤滑油の供給範囲は、例えば図３の２点鎖線図示内となり、この範囲内においては両端面はともに潤滑油で濡らされることとなる。すなわち、ロータ３の端面の全域内で潤滑性が良好に確保されるようになる。その結果、ベーン１及びロータ３の両端面部において摩擦及び摩耗の低減化が図られるようになり、ロータ３の焼付き等を防止することができるようになる。そして、このようにしてカムシリンダ５内に給油された潤滑油は排出ポート５３から空気と一緒に外部へ排出されることとなる。このように導入路３１５を設けることによってスリット底部３３５を介して連続的に潤滑油を供給するようにした構成を採ることによって、ベーン１あるいはロータ３のサイドクリアランスを小さくする必要があるような場合であって潤滑油を常に十分に供給する必要がある場合等に対応することができるようになる。なお、本実施の形態においては、油溜まり部７５を軸線方向に延長させて開口部７５５を有する構成としたが連続的に潤滑油を供給する導入路３１５を有するものにおいては、上記のような油溜まり部７５を軸線方向に延長させる必要は必ずしも無い。これに対して、潤滑油の供給を連続的ではなく、間欠的に行う場合には、油溜まり部７５を軸線方向に延長させて開口部７５５を有する構成とすることが必要となる。すなわち、このような構成は、例えばポンプの要求仕様として、端面のサイドクリアランスをある程度確保できて潤滑油の消費量が少なくても良いような場合に適用できる。このような構成を採ることによって、潤滑油の消費量を低減化することができるようになる。その結果、潤滑油を供給するポンプの吐出容量を小さくすることができるようになり、省エネルギー化を図ることができるようになる。
【００１５】
次に、第二の実施形態について、図４及び図５を基に説明する。このものも、その基本的な点は、上記第一の実施形態のものと同じである。その特徴とするところは、貫通孔の形態に関する点である。すなわち、図４及び図５に示す如く、貫通孔１５は、ベーン１の両側面部間を連結する複数本の細孔からなものである。本実施の形態においては、３本のものが挙げられているが、これに限定されるものではなく、適宜本数設けられるものであれば良い。このような貫通孔１５の設けられるベーン１は、具体的には、図４に示す如く、その両側面部に、ベーン１の長手方向に所定の長さを有する凹溝１２、１２’を有する構成からなるものであって、このような両凹溝１２、１２’間にて潤滑油の流動する貫通孔１５が複数本設けられるようになっているものである。そして、このような凹溝１２、１２’は、その長さが、上記第一の実施形態における貫通孔１１の開口部長さと同様、カムシリンダ５の中心位置とロータ３の回転中心位置との間の距離の２倍以上の値を有するように設定されているものである。このような値に設定することによって、上記第一の実施形態のものと同様、ロータ３の回転運動中、すなわち、ポンプ作動中において、上記導入路３１５からスリット底部３３５に放出された潤滑油は、ベーン１のスリット底部３３５側に形成された凹溝１２内へと供給されるようになる。そして、この凹溝１２内に供給された潤滑油は貫通孔１５を経由して反対側に設けられたカバー８側の凹溝１２’へと供給されるようになる。その結果、反対側のベーン側面部、すなわち、凹溝１２’側へも潤滑油が十分に供給されるようになり、本ベーン１の両側面部には、ポンプ作動中において、円滑に潤滑油の供給が行われるようになる。
【００１６】
次に、第三の実施形態について、図６及び図７を基に説明する。このものの特徴とするところは、ベーンを、その板厚方向に２分割するとともに、この２分割されたものを２枚重ね合わせ状に接合させるようにしたことである。具体的には、図６及び図７に示す如く、板厚方向に２分割された薄板状のベーン部材２、２’を基礎に形成されるものであって、先端部に丸みを有するとともにカムシリンダ５の内周面５１との間において滑り接触をする摺動部２５、２５’を有する構成からなるものである。そして、このような構成からなる上記ベーン部材２、２’の長手方向中央部のところには、凹陥状のリセス部２２、２２’が設けられるようになっているものである。そして更に、このようなリセス部２２、２２’のところが向かい合うように二枚のベーン部材２、２’が重ね合わせ状に接合された状態でロータ３のスリット溝３３内に収容されるようになっているものである（図７参照）。これによって、二枚のベーン部材２、２’の重ね合わせ部であって上記リセス部２２、２２’の接合されるところには、図７に示す如く、貫通孔２２１が形成されることとなる。そして、この貫通孔２２１の長手方向の長さは、上記第一の実施形態のところで説明したものと同様、カムシリンダ５の中心位置とロータ３の回転中心位置との間の距離のほぼ２倍以上の値を有するように設定されているものである。
【００１７】
このような構成を採ることにより、本実施の形態のものにおいては、ロータ３の回転運動中、導入路３１５を経由してスリット底部３３５に放出された潤滑油は、上記二枚のベーン部材２、２’の接合部に形成されるものであってリセス部２２、２２’にて形成される貫通孔２２１のスリット底部３３５側の開口部から、上記貫通孔２２１内へと導入されるようになる。そして、このようにして貫通孔２２１内に導入された潤滑油は、本貫通孔２２１を経由して、反対側のカバー８側の開口部へと供給されるようになる。このようにして、本実施の形態のものにおいても、ベーンの両側面部には潤滑油が十分に供給されるようになり、二枚のベーン部材２、２’にて形成される本ベーンは、円滑に回転運動をすることとなる。また、本実施の形態のものにおいては、ポンプ回転中において、上記リセス部２２、２２’にて形成される貫通孔２２１内には、当該貫通孔２２１内に導入された潤滑油によって所定の油圧が形成されている。この油圧の作用により、二つのベーン部材２、２’は、それぞれの先端部に形成された摺動部２５、２５’がカムシリンダ内周面５１側へ押付けられるようになる。これによって、カムシリンダ内周面５１とベーン部材２、２’の両先端部との間のシール性が高められるようになる。また、これによって、所定の真空圧（真空度）達成までの時間短縮化が図られることとなる。
【００１８】
【発明の効果】
本発明によれば、内周面が楕円形あるいは変形円形等の曲面からなるカムシリンダと、当該カムシリンダに対して偏心した状態で回転運動をするロータと、当該ロータに設けられたスリット溝内にあって当該スリット溝内を摺動運動するとともに、その両端部が上記カムシリンダ内周面に形成された曲面に倣うように回転運動をするベーンと、からなるベーン式バキュームポンプに関して、上記ロータの回転軸のところに当該回転軸の中心部に設けられた中空部のところに供給された潤滑油を上記ロータのスリット底部へ間欠的にあるいは連続的に導入させるためのものであって当該スリット底部に開口部を有するように形成された導入路を設けるとともに、上記ベーンに、当該ベーンの横幅全幅を貫通するように形成されるものであって上記導入路に上記スリット底部を介して連通するように形成された貫通孔を設けるようにした構成を採ることとしたので、ベーンの両側面部にも潤滑油が供給されるようになり、ベーンの円滑な作動が確保されるようになった。
【００１９】
すなわち、本発明のものにおいては、ロータ回転軸の中心部に設けられた中空部のところに流動して来た潤滑油は、導入路を経由して間欠的にあるいは連続的にロータのスリット底部に供給され、そして、このスリット底部に供給された潤滑油は、当該スリット底部のところにて摺動運動するベーンの、その側面部に向かって放出されるようになるので、この放出された潤滑油は、上記ベーン側面部に形成された開口部から貫通孔を経由して反対側のベーン側面部へも供給されるようになった。その結果、ベーンの両側面部には潤滑油が十分に供給されるようになり、ベーンは円滑に作動をするようになるとともに、本ポンプ装置全体の作動効率の向上が図られるようになった。
【００２０】
また、本発明においては、上記貫通孔のベーン側面部に形成される開口部の形状を長穴状の形態からなるようにするとともに、そのベーン長手方向の長さを、カムシリンダの中心位置と上記ロータの回転中心位置との間の偏心量の２倍以上の値を有するようにした構成を採ることとしたので、ベーンがカムシリンダ内にて一回転をする間に、上記導入路のスリット底部への開口部からはベーンの側面部に形成された貫通孔内へ潤滑油が供給されるようになり、これによって、ベーンの両側面部、特に、スリット底部の反対側に形成されるベーン側面部へも潤滑油が十分に供給されるようになった。その結果、ロータ及びベーンの回転運動が円滑に行われるようになった。
【００２１】
また、本発明においては、上記ベーンの両側面部に、その長手方向の長さが、上記カムシリンダの中心位置とロータの回転中心位置との間の偏心量の２倍以上の値を有する凹溝を設けるとともに、当該両凹溝間に、当該両凹溝間を連結する貫通孔を適宜数設けるようにした構成を採ることとしたので、ベーンの両側面部のところに、潤滑油が十分に供給されるようになり、ベーンの円滑な作動が確保されるようになった。特に、本発明のものにおいては、上記導入路の開口部からは、ベーンのスリット底部側に存在する側面部に設けられた凹溝内へ潤滑油が供給されるようになり、当該スリット底部側に存在する凹溝内に供給された潤滑油は、両凹溝間を連通するように形成された絞り通路状の貫通孔を経由して反対側の凹溝内へと供給されるようになり、ベーンの両側面部は十分に潤滑油の供給を受けることができるようになった。
【００２２】
また、本発明においては、上記ベーンを、その板厚方向に二分割されたものであって、これらが二枚重ね合わせ状に組付けられた形態のものからなるようにするとともに、上記二枚重ね合わせ部のところに所定の隙間を設け、この隙間をもって潤滑油の流動する貫通孔を形成させるようにした構成を採ることとしたので、ベーンの両側面部において潤滑油が十分に供給されるようになり、ベーンの円滑な作動が確保されるようになった。特に、本発明のものにおいては、上記二枚重ね合わせされたベーン部材の接合部間に形成された隙間が、長穴状の貫通孔の役目を果たすようになるので、ベーンの両側面部において潤滑油が十分に供給されるようになり、ベーンの円滑な作動が確保されるようになった。また、本発明のものにおいては、上記隙間のところに供給された潤滑油は、当該隙間内に封じ込められた状態で存在するようになるので、当該隙間を形成するように二枚重ね合わせ状に設置された各ベーン部材は、上記潤滑油の圧力によって、それぞれの先端部がカムシリンダの内周面側へ押付けられるようになった。その結果、ベーン先端部とカムシリンダ内周面との間におけるシール性能が高められるようになり、所定の真空度（真空圧）を達成するまでの時間が短縮化されるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の全体構成を示す展開斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に関するものの全体構成を示す縦断面図である。
【図３】本発明の第一の実施形態に関するものの全体構成を示す横断面図である。
【図４】本発明の第二の実施形態に関するものの全体構成を示す縦断面図である。
【図５】本発明の第二の実施形態に関するものの全体構成を示す横断面図である。
【図６】本発明の第三の実施形態に関するものの、その主要部をなすベーン部材の全体構成を示す展開斜視図である。
【図７】本発明の第三の実施形態に関するものの全体構成を示す横断面図である。
【符号の説明】
１　ベーン
１１　貫通孔
１２　凹溝
１２’　凹溝
１５　貫通孔
１７　シール部材
１９　凹溝
２　ベーン部材
２’　ベーン部材
２２　リセス部
２２’　リセス部
２２１　貫通孔
２５　摺動部
２５’　摺動部
３　ロータ
３１　回転軸
３１５　導入路
３１７　導入路
３２　穴
３３　スリット溝
３３５　スリット底部
３５　中空部
５　カムシリンダ
５１　カムシリンダ内周面
５２　吸入ポート
５３　排出ポート
６　給油ジョイント
６３　油路
７　ハウジング
７３　軸受部
７５　油溜まり部
７５’　油溜まり部
７５５　開口部
８　カバー
９　Ｏリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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