(57)【要約】【課題】クラッドがエアクラッド構造を有し、その細孔径／細孔間隔の比が大きな光ファイバの製造方法を提供する。【解決手段】光ファイバの製造方法は、複数のキャピラリ１により構成されるキャピラリ束を有するプリフォーム３を作製するプリフォーム作製工程と、上記プリフォーム３を加熱及び延伸して線引きする線引き工程と、を備え、上記線引き工程での上記複数のキャピラリ１のそれぞれの内圧が略大気圧となるように、該複数のキャピラリ１のそれぞれの内圧を予め調整すると共にそれぞれの両端を封止する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファイバ断面に複数の細孔を有する光ファイバの製造方法であって、
複数のキャピラリにより構成されるキャピラリ束を有するプリフォームを作製するプリフォーム作製工程と、
上記プリフォームを加熱及び延伸して線引きする線引き工程と、
を備え、
上記線引き工程での上記複数のキャピラリのそれぞれの内圧が略大気圧となるように、該複数のキャピラリのそれぞれの内圧を予め調整すると共にそれぞれの両端を封止することを特徴とする光ファイバの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載された光ファイバの製造方法において、
上記キャピラリの内圧の調整を、該キャピラリを加熱した状態で該キャピラリの両端が封止した状態になるように行うことを特徴とする光ファイバの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載された光ファイバの製造方法において、
上記キャピラリの内圧の調整を、該キャピラリ内を減圧した状態で該キャピラリの両端が封止した状態になるように行うことを特徴とする光ファイバの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバの製造方法に関し、特にキャピラリを充填することにより形成されたプリフォームを線引きしてファイバ化する製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コアと、クラッドとで構成された光ファイバは、光を伝搬する媒体として非常によく知られている。このような光ファイバでは、コアの屈折率がクラッドの屈折率よりも高くなっているため、入射した光はコアとクラッドとの界面で全反射しながら外に漏れることなく伝搬する。
【０００３】
ところで、光ファイバは、伝搬する光のモードによって、シングルモードファイバとマルチモードファイバとの２種類に大きく分類できる。
【０００４】
シングルモードファイバは、コアの直径がおおよそ１０μｍ以下と小さく、１つのモードの光のみを伝搬するファイバであり、そのため、分散を起こすことなく光パルスを高速に伝えることができることから長距離光伝搬に好適なものである。
【０００５】
一方、マルチモードファイバは、特許文献１に開示されているように、コアの直径がおおよそ５０μｍ以上と大きく、複数の異なるモードが混在した光を伝搬するファイバであり、ファイバ中を伝搬していく光の分散が起こって異なる伝送モードが生じ、そのため、光信号に歪みが生じることから、伝送距離が短く低速伝送の光伝搬に用いられるものである。
【０００６】
また、近年、ファイバレーザーに用いられる光ファイバとして、ダブルクラッドファイバがよく使用されている。このダブルクラッドファイバは、ファイバ中心となるコアと、そのコアを被覆するように設けられ相対的に屈折率の高い第１クラッドと、その第１クラッドを被覆するように設けられ相対的に屈折率の低い第２クラッドとから構成されており、第１クラッドに入射された励起光が第１クラッドと第２クラッドとの界面で反射を繰り返しながら伝搬し、励起光がコアを通過する際にコアにドープされた希土類元素を最外殻電子が励起した反転分布状態にさせ、その誘導放出によってコアを伝搬する光を増幅するものである。特許文献２では、第２クラッドに複数の細い柱が構成されたエアクラッド構造を有するダブルクラッドファイバが提案されている。この第２クラッドの屈折率はエアクラッドを有するため、中実の第１クラッドよりも屈折率が低くなる。これにより、開口数（ＮＡ）を大きくすることが可能であると記載されている。
【０００７】
ここで、ＮＡは、コアの屈折率と、クラッドの屈折率との差に比例するもので、両者の屈折率の差が大きいほど、大きくなるものであり、光ファイバ内を伝搬しうる光の最大入射角度を示す数値である。従って、このＮＡが大きいほど光ファイバへの光の入力を大きくできることから、光計測用・レーザー光伝送用光ファイバ等ではＮＡを大きくすること、すなわち屈折率差を大きくすることが好ましい。
【０００８】
さらに、非特許文献１では、フォトニッククリスタルファイバ（ＰＣＦ）を利用して高ＮＡを有するマルチモードファイバを実現し、細孔間隔を小さく、且つ、細孔径（ｄ）／細孔間隔（Λ）の比が大きくするという高ＮＡのファイバを得るための条件が示されている。
【０００９】
上述のような光ファイバを製造する方法には、コアロッドと多数のキャピラリを積み重ねてプリフォームとし、そのプリフォームを線引きする積み重ね（Ｓｔａｃｋ）＆線引き（Ｄｒａｗ）法と呼ばれる方法と、ガラスロッドに穴をあけてプリフォームとし線引きする方法との２通りがある。前者のＳｔａｃｋ＆Ｄｒａｗ法は、細孔数の多いファイバを比較的容易に作製できる汎用性のある方法である。
【００１０】
特許文献３では、Ｓｔａｃｋ＆Ｄｒａｗ法において、キャピラリをその一端で封止し、このキャピラリを封止端及び開口端がそれぞれ同じ側になるように最密充填の配置に多数束ねると共に中心のキャピラリをシリカロッドにより置換した管束バンドルによってプリフォームを形成し、このプリフォームをキャピラリの開口端側から線引き加工することが開示されている。そして、この方法によれば、キャピラリの細孔が収縮したり潰れたりすることが防止できると記載されている。
【００１１】
しかしながら、この方法では、線引き加工時の加熱によって初めてキャピラリ内圧がある程度の圧力に定まるため、さらには、充填するキャピラリの本数が多くなると、キャピラリ管束バンドルの一部しか加熱されないため、キャピラリ内圧の調整に限界があり、キャピラリの細孔が収縮したり潰れたりしてしまう。また、キャピラリが大気に開放しているため、キャピラリ内に常時新しい空気が浸入可能な状態にあり、線引き加工時に空気中の水分との反応によってキャピラリ内面に水酸基が形成されることになる。そして、ＰＣＦに多くの水酸基が形成されると、信号光の特定波長の光を吸収して伝送ロスが生じてしまう。
【００１２】
そこで、特許文献４では、キャピラリの両端を封止することにより、大気を遮断し、水酸基の形成を抑止させるＰＣＦの製造方法が開示されている。これにより、低伝送ロスのＰＣＦを実現している。また、キャピラリの内圧を線引き加工時に相似形を維持しながら細径化されるように設定すると記載されている。これによれば、確かにｄ／Λの比が小さな構造のＰＣＦを製造することは可能である。しかしながら、ｄ／Λの比が大きな構造のＰＣＦになると、キャピラリの細孔に対するキャピラリ壁の割合が少なくなってしまうため、ファイバの膨張を抑制するために線引き加工時の張力を高く調整しても、キャピラリの内壁がキャピラリの内圧に負けてファイバが膨張してしまい、クラッドのエアクラッド構造が崩れてしまう、あるいは、エアクラッド構造自体が形成されない、さらには、ファイバ断線してしまいファイバ自体の製造が困難になる恐れがある。
【００１３】
【特許文献１】
特開２００２−３３３５３１号公報
【特許文献２】
特開平１１−１４２６７２号公報
【特許文献３】
特開平１０−９５６２８号公報
【特許文献４】
特開２００２−２１１９４１号公報
【非特許文献１】
２００２年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会予稿集Ｃ−３−５１（マルチモードフォトニック結晶ファイバの開口数）
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、クラッドがエアクラッド構造を有し、その細孔径／細孔間隔の比が大きな光ファイバの製造方法を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の光ファイバの製造方法は、ファイバ断面に複数の細孔を有する光ファイバの製造方法であって、複数のキャピラリにより構成されるキャピラリ束を有するプリフォームを作製するプリフォーム作製工程と、上記プリフォームを加熱及び延伸して線引きする線引き工程と、を備え、上記線引き工程での上記複数のキャピラリのそれぞれの内圧が略大気圧となるように、該複数のキャピラリのそれぞれの内圧を予め調整すると共にそれぞれの両端を封止することを特徴とする。
【００１６】
上記の製造方法によれば、キャピラリ内圧が、線引き工程において略大気圧となるため、線引き加工中にキャピラリの内壁がキャピラリの内圧に負けることがない。そのため、クラッドとなるキャピラリが異常に膨張することがなくなり、クラッド内に細孔を形成することができる。これにより、細孔径／細孔間隔の比の大きな光ファイバにおいても、クラッドがエアクラッド構造を有する光ファイバを製造することができる。
【００１７】
本発明の光ファイバの製造方法は、上記キャピラリの内圧の調整を、該キャピラリを加熱した状態で該キャピラリの両端が封止した状態になるように行ってもよい。
【００１８】
上記の製造方法において、キャピラリを加熱した状態でキャピラリの両端が封止されることとなる。そのため、キャピラリはキャピラリ自体が熱いうちに閉じられることとなり、キャピラリの内圧は室温に戻ると負圧となる。これにより、キャピラリを加熱するという一般的な方法でキャピラリの内圧を調整することができる。
【００１９】
本発明の光ファイバの製造方法は、上記キャピラリの内圧の調整を、該キャピラリ内を減圧した状態で該キャピラリの両端が封止した状態になるように行ってもよい。
【００２０】
上記の製造方法によれば、キャピラリ内を減圧した状態でキャピラリの両端を封止されることとなり、キャピラリの内圧は室温時には負圧に保持されることとなる。これにより、一般的な方法でキャピラリの内圧を調整することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る光ファイバの製造方法について図面に基づいて詳細に説明する。以下の実施形態ではコアが中実である場合を例に説明するが、本発明の光ファイバの製造方法は、コアが中空である場合にも適用できる。
【００２２】
図３は、一般的に用いられる光ファイバ製造装置１００を示す。
【００２３】
この光ファイバ製造装置１００は、吸引用チャンバー１０、プリフォーム送り出し装置１１、溶融炉１２、線径制御部１３及び巻き取り部１４を備えている。
【００２４】
プリフォーム送り出し装置１１は、上下方向に延びる支柱部１１ａ、支柱部１１ａに上下移動可能に設けられた移動部１１ｂ、移動部１１ｂから側方に延びるように設けられたプリフォーム保持部１１ｃを有する。このプリフォーム送り出し装置１１では、プリフォーム保持部１１ｃによりプリフォーム３を鉛直状態に保持し、移動部１１ｂが支柱部１１ａ上を上から下へ移動して、プリフォーム３をその溶融炉１２に所定の速度で送るようになっている。
【００２５】
溶融炉１２は、ヒーター１２ａを備えており、プリフォーム送り出し装置１１より送られてくるプリフォーム３の下部をその内部に取り込み、プリフォーム３を加熱溶融するものである。
【００２６】
線径制御ユニット１３は、線径測定器１３ａ、線径制御部１３ｂ及びキャプスタン１３ｃを備えており、線径測定器１３ａにより非接触で溶融炉１２から排出される光ファイバ５の外径を測定し、線径制御部１３ｂを介して、プリフォーム送り出し装置１１のプリフォーム３の送り速度や、キャプスタン１３ｃの回転速度にフィードバックして、光ファイバ５の外径を所定値に合わせるものである。
【００２７】
巻き取り部１４は、ボビン１４ａ、ローラー１４ｂ及びダンサーローラー１４ｃを備えており、得られた光ファイバ５の張力を一定に保持しながら光ファイバ５をボビン１４ａに巻き取るものである。
【００２８】
吸引用チャンバー１０は、上面を有する円筒状に形成されており、後述のプリフォーム３のサポート管２の上側から外嵌めするように設けられている。吸引用チャンバー１０の側面からは排気系配管が延び、真空ポンプに接続されている。そして、真空ポンプによって吸引用チャンバー１０及びサポート管２内を減圧するようになっている。
【００２９】
次に、上述の光ファイバ製造装置１００を用いて、本発明の製造方法を工程を追って説明する。
【００３０】
（実施形態１）
以下に、本発明の実施形態１に係るダブルクラッドファイバ５の製造方法について、図１に基づいて工程を追って説明する。
【００３１】
図１は、本発明の実施形態１に係るダブルクラッドファイバ５の製造工程を示す模式図である。
【００３２】
＜準備工程＞
石英製の円筒状のサポート管２と、サポート管２より長尺で石英製の円筒状のキャピラリ１を複数本と、キャピラリ１と同尺で且つ所定の比屈折率差Δを持つ石英製の円柱状のクラッドロッドを１本と、石英製の上面を有する円筒状のサポート管キャップ２’と、を準備する。
【００３３】
なお、比屈折率差Δは、本実施形態では、コアの屈折率に対するコアとクラッドとの屈折率差の比を百分率で表したものである。
【００３４】
サポート管キャップ２’は、キャピラリ１の外圧を一定に保持するため、サポート管２の片端を閉口にするものである。
【００３５】
＜プリフォーム作製工程＞
複数本のキャピラリ１及びクラッドロッドを貫通状態にサポート管２内に充填する。このとき、サポート管２内に複数本のキャピラリ１が充填されると共に、クラッドロッドがサポート管２の中心軸の位置に配置されるようにする。これにより充填体４を作製される。
【００３６】
次いで、充填体４を横型のガラス旋盤（図示せず）に同心支持させ、図１（ａ）に示すように、充填体４のキャピラリ１の片端を加熱して、キャピラリ１の片端面を封止する。
【００３７】
次いで、図１（ｂ）に示すように、充填体４のサポート管２の表面を加熱してキャピラリ１を約３００℃にする。これにより、キャピラリ１の内部の空気は膨張した状態になる。
【００３８】
次いで、図１（ｃ）に示すように、充填体４のキャピラリ１の開口側を加熱して、キャピラリ１の端面を封止する。これにより、キャピラリ１の内部の膨張した空気はキャピラリ１内にそのまま閉じこめられ、室温に戻るとキャピラリ１の内圧は負圧になることとなる。
【００３９】
次いで、図１（ｄ）に示すように、キャピラリ１の両端を封止した充填体４の片端面に、サポート管キャップ２’を接続し、その接続部を加熱してサポート管２とサポート管キャップ２’を融着する。これにより、プリフォーム３が作製される。
【００４０】
なお、図１では、火炎を移動することによって、充填体４の表面全体を加熱している方法を例示しているが、充填体４を加熱炉内に入れることによって加熱してもよい。
【００４１】
＜線引き加工工程＞
プリフォーム作製工程で作製したプリフォーム３を、プリフォーム３のサポート管キャップ２’側が下側になるように、上述のプリフォーム送り出し装置１１のプリフォーム保持部１１ｃにセットする。さらに、図１（ｄ）に示すように、プリフォーム３のサポート管２の上端に、吸引用チャンバー１０を嵌め込み、キャピラリ１間のキャピラリ外圧を−７６ｃｍＨｇに減圧する。
【００４２】
次いで、プリフォーム送り出し装置１１を作動させ、プリフォーム３の下部を溶融炉１２によって加熱し、プリフォーム３の下側からファイバ状に線引きする。このとき、隣接するキャピラリ１同士、キャピラリ１とクラッドロッド、キャピラリ１とサポート管２は相互に融着一体化することとなる。このようにして、図４に示すような中実に形成されたコア６と、コア６を囲うように設けられ且つコア６に沿って延びる第１クラッド７と、第１クラッド７を囲うように設けられ且つコア６に沿って延びる第２クラッド部８と、これらを被覆するように設けられたサポート部９とを有するダブルクラッドファイバ５が得られる。
【００４３】
次いで、線径制御ユニット１３の線径測定器１３ａによって線引き直後のダブルクラッドファイバ５の外径を測定し、線径制御部１３ｂによってその外径測定値を基にプリフォーム送り出し装置１１のプリフォーム３の送り速度及びキャプスタン１３ｃの回転速度を制御し、ダブルクラッドファイバ５の外径を所定値に調整する。
【００４４】
次いで、外径が所定値に調整されたダブルクラッドファイバ５を巻き取り部１４のローラー１４ｂ及びダンサーローラー１４ｃを経由させ、同時にダンサーローラー１４ｃによって一定の張力をかけながら、ボビン１４ａに巻き取る。
【００４５】
次に、具体的に行った実験について説明する。
【００４６】
本発明の実施例として、上記実施形態１と同一の方法で、ダブルクラッドファイバ５を作製した。
【００４７】
具体的には、石英製のφ３０ｍｍ×φ１６ｍｍの円筒状のサポート管２と、サポート管２より長尺で石英製のφ２５０μｍ×φ３００μｍの円筒状のキャピラリ１を複数本と、キャピラリ１と同尺で且つコアとクラッドとの比屈折率差Δが０．３％のイッテルビウム（Ｙｂ）がドープされた石英製のφ１２ｍｍの円柱状のクラッドロッドを１本と、石英製のφ３０ｍｍ×φ１６ｍｍの上面を有する円筒状のサポート管キャップ２’と、を準備して、外径１２５μｍのダブルクラッドファイバ５を作製した。
【００４８】
得られたダブルクラッドファイバ５は、その第２クラッド８が蜘蛛の巣状のエアクラッド構造になっており、ｄ／Λの比が０．８以上で、ＮＡの値が波長６３０ｎｍにおいて０．７以上であり、高ＮＡのものとなった。
【００４９】
次に、本発明の比較例について説明する。
【００５０】
比較例１は、充填体４のサポート管２の表面全体の加熱を実施しない以外は上記実施形態と同様な方法でダブルクラッドファイバ５を作製した。結果としては、ファイバの膨張を抑制するために、線引き加工においてプリフォーム３の送り速度及びキャプスタン１３ｃの回転速度を制御して線引き張力を高く設定しても、ファイバが膨張し断線した。断線直後のファイバ断面を観察したところ、そのファイバ断面は、クラッドロッドの周りが中空になっており、蜘蛛の巣状のエアクラッド構造を確認できなかった。
【００５１】
比較例２は、充填体４のサポート管２の表面全体の加熱を実施せずに、且つ充填体４のキャピラリ１は線引き加工時の上側になる側のみ封止する以外は上記実施形態と同様な方法でダブルクラッドファイバ５を作製した。結果としては、線引き加工において線引き張力を高く設定してファイバは線引きできたが、線引き径が安定しなかった。ファイバ断面を観察したところ、そのファイバ断面は、クラッドロッドの周りのエアクラッド構造が崩れていた。このファイバのＮＡの値は、波長６３０ｎｍにおいて０．４であり、低ＮＡのダブルクラッドファイバ５となった。
【００５２】
以上の製造方法によれば、充填体４の全体を加熱した状態で、キャピラリ１の両端が封止されることになる。そのため、キャピラリ１はキャピラリ１自体が熱いうちに閉じられることになり、キャピラリ１の内圧は室温に戻ると負圧となる。さらに、線引き加工時には、キャピラリ１の内圧が略大気圧になるため、キャピラリ１の内壁がキャピラリ１の内圧に負けることない。そのため、第２クラッド８となるキャピラリ１が異常に膨張することがなくなり、第２クラッド８内に細孔を形成することができる。これにより、ｄ／Λの比の大きなファイバにおいても、エアクラッド構造を有するダブルクラッドファイバ５を製造することができる。
【００５３】
（実施形態２）
以下に、本発明の実施形態２に係るダブルクラッドファイバ５の製造方法について、図２に基づいて工程を追って説明する。
【００５４】
図２は、本発明の実施形態２に係るダブルクラッドファイバ５の製造工程を示す模式図である。
【００５５】
＜準備工程＞
石英製の上面を有する円筒状のサポート管２と、サポート管２より長尺で石英製の円筒状のキャピラリ１を複数本と、キャピラリ１と同尺で且つ所定の比屈折率差Δを持つ石英製の円柱状のクラッドロッドを１本と、を準備する。
【００５６】
＜プリフォーム作製工程＞
複数本のキャピラリ１及びクラッドロッドを半貫通状態にサポート管２内に充填する。このとき、サポート管２内に複数本のキャピラリ１が充填されると共に、クラッドロッドがサポート管２の中心軸の位置に配置されるようにする。これにより充填体４が作製される。
【００５７】
次いで、実施形態１と同様に、充填体４を横型のガラス旋盤（図示せず）に同心支持させ、図２（ａ）に示すように、充填体４のキャピラリ１の片端を加熱して、キャピラリ１の片端面を封止する。
【００５８】
次いで、図２（ｂ）に示すように、サポート管２の封止端側に、吸引用チャンバー１０を嵌め込み、サポート管２内圧を−３５ｃｍＨｇに減圧する。これにより、キャピラリ１の内圧は−３５ｃｍＨｇに減圧される。
【００５９】
次いで、図２（ｃ）に示すように、サポート管２の両端のうちの複数のキャピラリ１の開口端側を加熱して、サポート管２を介してキャピラリ１の端面を封止する。これにより、プリフォーム３が作製される。
【００６０】
次いで、図２（ｄ）に示すように、サポート管２内、つまり、キャピラリ１間のキャピラリ外圧を−７６ｃｍＨｇに減圧する。
【００６１】
次いで、プリフォーム３を、上述のプリフォーム送り出し装置１１のプリフォーム保持部１１ｃにセットする。
【００６２】
次いで、プリフォーム送り出し装置１１を作動させ、プリフォーム３の下部を溶融炉１２によって加熱し、プリフォーム３の下側からファイバ状に線引きする工程が続くが、実施形態１のものと実質的に同じであるため、その説明は省略する。
【００６３】
次に、具体的に行った実験について説明する。
【００６４】
本発明の実施例として、上記実施形態２と同一の方法で、ダブルクラッドファイバ５を作製した。
【００６５】
具体的には、石英製のφ３０ｍｍ×φ１６ｍｍの上面を有する円筒状のサポート管２と、サポート管２より長尺で石英製のφ２５０μｍ×φ３００μｍの円筒状のキャピラリ１を複数本と、キャピラリ１と同尺で且つコアとクラッドとの比屈折率差Δが０．３％のイッテルビウム（Ｙｂ）がドープされた石英製のφ１２ｍｍの円柱状のクラッドロッドを１本と、を準備して、外径１２５μｍのダブルクラッドファイバ５を作製した。
【００６６】
得られたダブルクラッドファイバ５は、第２クラッド８が蜘蛛の巣状のエアクラッド構造になっており、ｄ／Λの比が０．８以上で、ＮＡの値が波長６３０ｎｍにおいて０．７以上であり、高ＮＡのものとなった。
【００６７】
以上の製造方法によれば、キャピラリ１の内部を減圧した状態で、キャピラリ１の両端が封止されることになる。そのため、キャピラリ１の内圧は、室温時に負圧となる。さらに、線引き加工時には、キャピラリ１の内圧が略大気圧になるため、キャピラリ１の内壁がキャピラリ１の内圧に負けることない。そのため、第２クラッド８となるキャピラリ１が異常に膨張することがなくなり、第２クラッド８内に細孔を形成することができる。これにより、ｄ／Λの比の大きなファイバにおいても、エアクラッド構造を有するダブルクラッドファイバ５を製造することができる。
【００６８】
なお、本発明は本実施形態に限定されるものではなく、他の構成のものであってもよい。
【００６９】
【発明の効果】
本発明の製造方法によれば、クラッドがエアクラッド構造を有し、その細孔径／細孔間隔の比が大きな光ファイバを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係るダブルクラッドファイバの製造工程を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態２に係るダブルクラッドファイバの製造工程を示す模式図である。
【図３】光ファイバ製造装置の概略構成図である。
【図４】本発明の実施形態に係るダブルクラッドファイバの斜視図である。
【符号の説明】
１      キャピラリ
２      サポート管
２’    サポート管キャップ
３      プリフォーム
４      充填体
５      光ファイバ（ダブルクラッドファイバ）
６      コア
７      第１クラッド
８      第２クラッド
９      サポート部
１０    吸引用チャンバー
１１    プリフォーム送り出し装置
１１ａ  支柱部
１１ｂ  移動部
１１ｃ  プリフォーム保持部
１２        溶融炉
１２ａ  ヒーター
１３        線径制御ユニット
１３ａ  線径測定器
１３ｂ    線径制御部
１３ｃ  キャプスタン
１４    巻き取り部
１４ａ  ボビン
１４ｂ  ローラー
１４ｃ  ダンサーローラー
１００  光ファイバ製造装置
【図１】
2004256374.tif 000003
【図２】
2004256374.tif 000004
【図３】
2004256374.tif 000005
【図４】
2004256374.tif 000006