(57)【要約】【課題】本発明が解決しようとする課題は、乾燥空気供給装置における排気するパージ空気量を減らすことにある。【解決手段】複数の中空糸膜式除湿装置１０，１１を使用した空気除湿装置において、一方の中空糸膜式除湿装置１０の中空糸膜フィルタ８ａで除湿した空気を空気作動の機器及び自己の中空糸膜フィルタ８ａの外側に供給し、中空糸膜フィルタ８ａの外側を通ってきたパージ空気を自己以外の中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの内側に通して再除湿し、最除湿した空気を空気供給先の機器２ａへ供給して再利用することで、排気される空気量を減らし空気供給効率を向上させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１中空糸膜式除湿装置で除湿した空気を前記第１中空糸膜式除湿装置のパージ空気として用い、前記パージ空気を前記第１中空糸膜式除湿装置とは別の第２中空糸膜式除湿装置で除湿する空気除湿方法。
【請求項２】
第１中空糸膜フィルタを内蔵する第１中空糸膜式除湿装置と、
第２中空糸膜フィルタを内蔵する第２中空糸膜式除湿装置と、
前記第１中空糸膜フィルタ内及び前記第２中空糸膜フィルタ内にそれぞれ連絡され、除湿される空気の供給先を前記第１及び前記第２のいずれか一方に切替える第１切替手段を有する空気供給手段と、
前記第１中空糸膜フィルタで除湿され前記第１中空糸膜式除湿装置から排出された前記空気、及び前記第２中空糸膜フィルタで除湿され前記第２中空糸膜式除湿装置から排出された前記空気を第１機器へ供給する第１除湿空気供給手段と、前記第２中空糸膜フィルタで除湿され前記第２中空糸膜式除湿装置から排出された前記空気を前記第１機器とは別の第２機器へ供給する第２除湿空気供給手段と、
前記第１中空糸膜フィルタの外側で前記第１中空糸膜式除湿装置内に形成される空間にパージ空気を供給する第１パージ空気供給手段と、
前記第２中空糸膜フィルタの外側で前記第２中空糸膜式除湿装置内に形成される空間にパージ空気を供給する第２パージ空気供給手段と、
前記第１中空糸膜式除湿装置内の前記空間から排出された前記パージ空気を前記第２中空糸膜フィルタ内に導く排出空気供給手段と、
前記第１除湿空気供給手段に装備された第２切替手段であって、前記第１機器に供給される除湿後の空気の供給元を前記第１及び前記第２の各中空糸膜式除湿装置の一方に切替える前記第２切替手段を有する空気除湿装置。
【請求項３】
請求項２において、第１パージ空気供給手段は、前記第１中空糸膜フィルタ内に連絡されて前記第１中空糸膜式除湿装置から排出された前記空気を前記第１中空糸膜式除湿装置内の前記空間に導く第１管路であリ、
第２パージ空気供給手段は、前記第２中空糸膜フィルタ内に連絡されて前記第２中空糸膜式除湿装置から排出された前記空気を前記第２中空糸膜式除湿装置内の前記空間に導く第２管路である空気除湿装置。
【請求項４】
請求項３において、前記空気供給手段と前記排出空気供給手段に接続されていて、前記空気供給手段からの空気の供給先を前記第１及び第２の各中空糸膜式除湿装置のいずれか一方に切替え、その切替えの如何を問わず前記排出空気供給手段を流通状態に維持する第１切替手段を備えた空気除湿装置。
【請求項５】
請求項４において、前記第１除湿空気供給手段と第２除湿空気供給手段と前記第１管路と前記第２管路とに連通して、前記第１機器への除湿した空気の供給元を前記第１及び第２の各中空糸膜式除湿装置のいずれか一方に切替え、その切替えの如何を問わず前記第１管路と前記第２管路を流通状態に維持する第２切替手段を備えた乾燥空気供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は中空糸膜式除湿装置を使用した空気除湿方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
空気圧によって作動する機器へ圧縮空気から空気を供給する際には、供給途中で空気除湿装置でその空気から湿分を除湿して乾燥空気にして供給している。その供給装置は乾燥空気供給装置といわれ、その乾燥空気供給装置は空気の湿分を除湿するための空気除湿装置として、中空糸膜フィルタを内蔵した中空糸膜式除湿装置が用いられている。
【０００３】
その乾燥空気供給装置では一般には中空糸膜式除湿装置の故障又は、点検の際に空気の供給が止らないように２台の中空糸膜式除湿装置を並列に設置して片側が故障等の場合には弁等の切替装置で切替運転が可能なようになっていることが通例であり、２機で並列運転を行う場合もある。
【０００４】
そして、その中で使用される中空糸膜式除湿装置は自己生成乾燥空気の一部をパージ空気ラインより、中空糸膜式除湿装置４の中空糸膜フィルタの外側流路に戻す構成となっている。パージ空気ラインよりの自己生成乾燥空気を中空糸膜式除湿装置内の中空糸膜フィルタの外側を通すことにより、中空糸膜フィルタの内外の水蒸気分圧差による拡散で中空糸膜フィルタ８内部の空気を除湿するものである。除湿後のパージ空気はパージ空気排気ラインより排気される（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−１４０５６０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の乾燥空気供給装置は、それぞれの中空糸膜式除湿装置から多くの自己生成乾燥空気をパージ空気として排気しており、一般に排気される空気量は空気圧縮機より送風された空気全体の約１／３にもなり、空気供給効率及び、空機圧縮機１への負担の面からも改善が求められていた。
【０００７】
従って、本発明の目的は、空気除湿装置における排気するパージ空気量を減らすことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
中空糸膜式除湿装置を複数台使用した空気除湿装置において、中空糸膜式除湿装置の中空糸膜フィルタの外側に自己の中空糸膜フィルタで除湿した空気をパージ空気として通し、中空糸膜フィルタの外側を通ってきたパージ空気を自己以外の中空糸膜式除湿装置の中空糸膜フィルタの内側に通して再除湿し、最除湿した空気を空気供給先の機器へ供給して再利用することで、排気される空気量を減らし空気供給効率を向上させる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の第１実施例を図１に基づいて以下に説明する。第１実施例による乾燥空気供給装置は、図１に示すように、メインの中空糸膜式除湿装置１０に使用されたパージ空気をバックアップの中空糸膜式除湿装置１１にて再除湿し利用する圧縮空気系の系統構成を備えている。
【００１０】
その具体的な系統構成は以下の通りである。２台の空気圧縮機１の圧縮空気吐出口は空気貯槽５と前置フィルタ３とに順次配管１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄで接続され、さらには前置フィルタ３から弁６ａを介してメインの中空糸膜式除湿装置１０の一次側流体入口１０ａへ、同じく前置フィルタ３から弁６ｂを介してバックアップの中空糸膜式除湿装置１１の一次側流体入口１１ａへ配管１ｅ，１ｆ，１ｇで接続される。これら空気圧縮機１から各中空糸膜式除湿装置１０，１１までの配管１ａ〜１ｇによる配管路が空気供給手段として除湿前の空気の通路として用いられる。また、その空気供給手段の配管路に弁６ａ，６ｂが第１切替手段として装備されている。
【００１１】
第１中空糸膜式除湿装置であるメインの中空糸膜式除湿装置１０には一次側流体出口１０ｂが、同じく第２中空糸膜式除湿装置であるバックアップの中空糸膜式除湿装置１１には一次側流体出口１１ｂが装備されている。中空糸膜式除湿装置１０には第１中空糸膜フィルタ８ａが、中空糸膜式除湿装置１１には第１中空糸膜フィルタ８ａが内蔵されている。
【００１２】
各中空糸膜式除湿装置１０，１１において、一次側流体入口と一次側流体出口が中空糸膜フィルタ８ａ，８ｂの内側と連通して接続されている。このため、各中空糸膜式除湿装置１０，１１において、一次側流体入口と一次側流体出口が中空糸膜フィルタ８ａ，８ｂの内側を通じて連通しあっている。
【００１３】
一次側流体出口１０ｂと一次側流体出口１１ｂは、除湿後の空気が通る配管１０ｅ，１１ｅと弁６ｃ，６ｄと、各弁６ｃ，６ｄから各機器２へ接続される配管１７を介して空気タンクや空気作動の機器２等（第１機器）に連通されている。これらの配管１０ｅ，１１ｅ，１７による配管路が除湿後の空気が通る第１除湿空気供給手段として、各弁６ｃ，６ｄが第２切替手段として採用されている。除湿後の空気が通る配管１７は弁６ｃ，６ｄと機器２との途中で一本の配管に纏められたり機器２の近傍で分岐したりしている。この第１除湿空気供給手段の管路には、弁６ｃ，６ｄが第２切替手段として装備されている。
【００１４】
また、一部の空気タンクや空気作動の機器２ａ（第２機器）は弁６ｃ，６ｄを介することなく一次側流体出口１１ｂから配管１１ｅの一部とその配管１１ｅから分岐した配管１８で接続される。これら配管１１ｅの一部と配管１８は各中空糸膜式除湿装置１０，１１で二度除湿（再除湿）を受けた乾燥空気が弁６ｃ，６ｄの開閉に影響を受けることなく機器２ａへ供給される配管路、即ち第２除湿空気供給手段として利用される。
【００１５】
弁６ｃと一次側流体出口１０ｂとを接続している配管の途中からは、第１パージ空気供給手段としてパージ空気供給配管７ａが、同じく弁６ｄと一次側流体出口１１ｂとを接続している配管の途中からは、第２パージ空気供給手段としてパージ空気供給配管７ｂが各々分岐している。パージ空気供給配管７ａはメインの中空糸膜式除湿装置１０の二次側流体入口１０ｃに、同じくパージ空気供給配管７ｂはバックアップの中空糸膜式除湿装置１１の二次側流体入口１１ｃにそれぞれ接続される。パージ空気供給配管７ａの途中には弁７ｃが、パージ空気供給配管７ｂの途中には弁７ｄが装備されている。
【００１６】
二次側流体とは、中空糸膜式除湿装置１０，１１内の中空糸膜フィルタ８の内側を流れる流体を一次流体というのに対して中空糸膜フィルタ８の外側であって中空糸膜式除湿装置内の空間を流れる流体をいう。各二次側流体入口１０ｃ，１１ｃは、中空糸膜フィルタ８のその外側に連通している。尚、一次側流体と二次側流体とは各中空糸膜式除湿装置１０，１１内で隔壁により直接混ざり合わないように区画されている。
【００１７】
従って、中空糸膜フィルタ８ａの外側で中空糸膜式除湿装置１０内に形成される空間に第１パージ空気供給手段がパージ空気を供給することができ、中空糸膜フィルタ８ｂの外側で中空糸膜式除湿装置１１内に形成される空間に第２パージ空気供給手段がパージ空気を供給することができる。
【００１８】
各中空糸膜式除湿装置１０，１１は、中空糸膜フィルタ８ａ，８ｂの外側、即ち二次側流体が流れる空間に連通している二次流体出口１０ｄ，１１ｄが備えられている。二次流体出口１０ｄ，１１ｄにはパージ空気排気配管９ａ，９ｂが連通して接続されている。パージ空気排気配管９ｂは各中空糸膜式除湿装置１１の二次側流体であるパージ空気を乾燥空気供給装置の外に導いて排気する流路に利用される。
【００１９】
もう一方のパージ空気排気配管９ａは、弁６ｂと一次側流体入口１１ａを接続している配管の途中に排出空気供給手段として連通接続されている。そのパージ空気排気配管９ａの途中には弁９ｃが装備されている。
【００２０】
このような構成の第１実施例においては、次のような作用が得られる。各中空糸膜式除湿装置１０，１１が点検時や故障時では無い通常時には、各弁６ａ，６ｃ，７ｃ，７ｄ，９ｃを開き、弁６ｂ，６ｄを閉じる。
【００２１】
空気圧縮機１により圧縮されて送風された空気は空気量調整のための空気貯槽５と前置フィルタ３を順次通過して送風された空気中の埃等の不純物を除去して浄化される。そして、浄化された空気は、まずメインの中空糸膜式除湿装置１０の一次側流体入口１０ａに送られて、中空糸膜フィルタ８ａの内側を通過して中空糸膜フィルタ８ａの外側に湿分を移行して除湿される。このように除湿された空気は、弁６ｃを通過して機器２に送られて使用される。
【００２２】
メインの中空糸膜式除湿装置１０で除湿された一部の空気は、弁７ｃとパージ空気供給配管７ａを通ってパージ空気として二次側流体入口１０ｃに入り、中空糸膜フィルタ８ａの外側を流れる。その流れの途中で、パージ空気は中空糸膜フィルタ８ａの内側から外側に移行してきた湿分を受けて湿潤状態が進む。
【００２３】
湿潤状態が進んで湿度が上昇したパージ空気は二次側流体出口１０ｄからパージ空気排気配管９ａと弁９ｃを通過してバックアップの中空糸膜式除湿装置１１の一次側流体入口１１ａに入る。その後、一次側流体入口１１ａに入った湿潤状態のパージ空気は、中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの内側を通過して一次側流体出口１１ｂに抜ける。
【００２４】
このように湿潤状態のパージ空気が中空糸膜フィルタ８ｂの内側を通過する間に、その湿潤状態のパージ空気の湿分は中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの内側から外側へ移行し、中空糸膜フィルタ８ｂの内側の湿潤状態のパージ空気は除湿され乾燥空気となる。
【００２５】
その乾燥空気は、機器２ａへ供給されて使用される。その乾燥空気の一部はパージ空気供給配管７ｂと弁７ｄを通過して中空糸膜式除湿装置１１の二次側流体入口１１ｃから中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの外側へパージ空気（二次流体）として入る。
【００２６】
このように中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの外側に入ったパージ空気は、中空糸膜フィルタ８ｂの内側から外側へ移行してきた湿分を受けて湿潤状態が進み、二次側流体出口１１ｄからパージ空気排気配管９ｂを通過して乾燥空気供給装置から排気される。
【００２７】
このようにして、メインの中空糸膜式除湿装置１０での除湿に使用されたパージ空気をバックアップの中空糸膜式除湿装置１１側に送り、再度除湿しその乾燥空気を排気せずに機器２ａで利用する。そして、２度に渡り使用されたパージ空気はパージ空気排気ライン９ｂより排気されるものである。これにより、従来は通常時に利用されずに予備機として待機状態とされていたバックアップの中空糸膜式除湿装置１１を利用して設備の稼動効率を上げ、さらに、従来排気されていたパージ空気を再度可能な限り使用するものである。
【００２８】
メインの中空糸膜式除湿装置１０が急な故障等又は点検等のためにバックアップの中空糸膜式除湿装置１１に切替えて乾燥空気を継続して機器２，２ａに供給するには、弁６ａ，６ｃ，９ｃを閉じ、弁６ｂ，６ｄ，７ｄを開く。この状態では、通常時と同様に浄化された空気が弁６ｂを通過して中空糸膜式除湿装置１１の一次側流体入口１１ａに入り、続いて中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの内側を通過して一次側流体出口１１ｂに抜け出る。
【００２９】
このように、一次側流体出口１１ｂに抜け出てきた空気は空気中の湿分を中空糸膜フィルタ８ｂの外側に移行することで除湿されて乾燥空気となっている。その乾燥空気は機器２ａ及び弁６ｄを通過して機器２へ供給されて使用される。その乾燥空気の一部は、弁７ｄとパージ空気供給配管７ｂを通って二次側流体入口１１ｃに入り、続いて中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの外側を通過して二次側流体出口１１ｄに抜け出る。
【００３０】
二次側流体出口１１ｄに抜け出たパージ空気は、中空糸膜フィルタ８ｂの外側を通過している最中に中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの内側から外側に移行してきた湿分を受けて湿度が高まり、湿潤状態が進む。その湿潤状態が進んだパージ空気はパージ空気排気配管９ｂと通過して乾燥空気供給装置から排気される。
【００３１】
図２に示す本発明の第２実施例は、メインの中空糸膜式除湿装置１０に使用されたパージ空気をバックアップの中空糸膜式除湿装置１１にて再除湿し利用し、尚且つ、メインとバックアップの中空糸膜式除湿装置を隣接配置することにより、それぞれの一次側流体及び二次側流体の各出口と各入口を隣接設置させ、図１に示した各弁６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの機能をより少ない弁数に集約して簡素化させて切替えを容易とするものである。具体的には以下の通りである。
【００３２】
第１の切替手段としての簡略化切替装置Ａ１２及び第２の切替手段としての簡略化切替装置Ｂ１３の各切替壁１５，１６の回転位置を黒塗りの表示位置に回転させておく。このようにすると、空気圧縮機１より送風された空気は空気量調整のための空気貯槽５を通り、前置フィルタ３で埃等の不純物を除去して浄化される。そして、その浄化された空気は、簡略化切替装置Ａ１２でメインの中空糸膜式除湿装置１０側のみに送られる。その浄化された空気は、中空糸膜式除湿装置１０で除湿されてから、各空気作動の機器等２に送られて使用される。
【００３３】
中空糸膜式除湿装置１０で除湿された一部の空気は、パージ空気供給配管７ａと簡略化切替装置Ｂ１３を通って中空糸膜式除湿装置１０の中空糸膜フィルタ８ａの内側にパージ空気として供給される。中空糸膜式除湿装置１０の中空糸膜フィルタ８ａの内側に供給されたパージ空気は中空糸膜フィルタ８ａの内側から外側に移行してきた湿分を受けて湿潤状態が進む。湿潤状態が進んだパージ空気は簡略化切替装置Ａ１２とパージ空気排気配管９ａを通過して中空糸膜式除湿装置１１の一次側流体入口１１ａから中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの内側を通過して一次側流体出口１１ｂに抜ける。このように抜けてきたパージ空気は湿分を中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの内側から外側へ移行して除湿されている。
【００３４】
このように中空糸膜式除湿装置１１で除湿されて乾燥したパージ空気は、機器２ａに供給されて使用される。中空糸膜式除湿装置１１で乾燥されたパージ空気の一部は、パージ空気供給配管７ｂを通じて中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの外側に二次側流体として入り、中空糸膜フィルタ８ｂの内側から外側へ移行してきた湿分を同伴してパージ空気排気配管９ｂから排気される。
【００３５】
このようにして、メインの中空糸膜式除湿装置１０での除湿に使用されたパージ空気をバックアップの中空糸膜式除湿装置１１側に送り、再度除湿しその乾燥空気を排気せずに機器２ａに供給して利用する。そして、２度に渡り使用されたパージ空気はパージ空気排気ライン９ｂより排気されるものである。
【００３６】
メインの中空糸膜式除湿装置１０が点検又は故障した場合には、バックアップの中空糸膜式除湿装置１１だけで乾燥空気を作って各機器２，２ａに供給することとする。そのためには、まず簡略化切替装置Ａ１２及び簡略化切替装置Ｂ１３の各切替壁１５，１６の回転位置を黒塗りの表示の位置から破線で表示の位置に回転させておく。また、簡略化切替装置Ｂ１３内部の切替壁位置を切替壁１６の回転により、黒塗りの表示の位置から破線位置に動かして変える。このようにして、メインの中空糸膜式除湿装置１０からバックアップの中空糸膜式除湿装置１１に切替える。この切替え後の状況を以下に説明する。
【００３７】
簡略化切替装置Ａ１２及び、簡略化切替装置Ｂ１３の構造は公知の技術，製品等に幾種類のものがあるが、最も簡単なタイプのものを例として説明する。通常は簡略化切替装置Ａ１２内部の切替壁１５の位置が黒塗り部の状態として、メイン中空糸膜式除湿装置１０側のみに空気を送っている。そして、その簡略化切替装置Ａ１２は通常運転時は基本的に切替えることはないが、メインの中空糸膜式除湿装置１０を点検する場合等の特別な場合には、各簡略化切替装置を上述のように切替えておく。
【００３８】
その切替え後の場合は、バックアップの中空糸膜式除湿装置１１側のみへ浄化した空気が送り込まれ、今まで連通していた空気圧縮機１と中空糸膜式除湿装置１０との連通状態は簡略化切替装置Ａ１２の切替壁１５で遮断される。従って、浄化された空気は、一次側流体入口１１ａに入って、中空糸膜フィルタ８ｂの内側を通過して一次側流体出口１１ｂに抜ける。その間に空気中の湿分が中空糸膜フィルタ８ｂの内側から外側へ移行して空気が除湿されて乾燥空気となる。その乾燥空気は、一次側流体出口１１ｂから配管を通じて機器２ａ及び配管と簡略化切替装置Ｂ１３を通じて機器２へ供給されて使用される。
【００３９】
このように、中空糸膜式除湿装置１１で除湿されて乾燥された空気は、簡略化切替装置Ｂ１３とパージ空気供給配管７ｂを通じて二次側流体入口１１ｃから中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８ｂの外側にパージ空気として入る。中空糸膜式除湿装置１１の中空糸膜フィルタ８の外側を通過したパージ空気は中空糸膜フィルタ８ｂの内側から外側へ移行してきた湿分を受けて湿度が上昇し、湿潤状態が進む。湿潤状態が進んだパージ空気は、二次側流体出口１１ｄに抜けてパージ空気排気配管９ｂを通じて乾燥空気供給装置の外に排気される。
【００４０】
このように、内部に放射状の三枚の切替壁１５を有する簡略化切替装置Ａ１２は、前置フィルタ３で浄化した空気の供給先を各中空糸膜式除湿装置１０，１１の一方に限定的に切替える機能と、その切替えの前後及び切替え中においてもパージ空気排気配管９ａを閉鎖することが無い開通状態とする機能を有する。それらの機能が達成できる簡略化切替装置Ａ１２の切替壁１５の回転位置を予め決めておくことが好ましい。
【００４１】
又、内部に放射状の四枚の切替壁１６を有する簡略化切替装置Ｂ１３は、機器２への乾燥空気の供給元を各中空糸膜式除湿装置１０，１１の一方に限定的に切替える機能と、その切替えの前後及び切替え中においてもパージ空気供給配管７ａ，７ｂを閉鎖することの無い開通状態とする機能を有する。それらの機能が達成できる簡略化切替装置Ｂ１３の切替壁１６の回転位置を予め決めておくことが好ましい。
【００４２】
このような切替えは、一度の回転操作で複数箇所の空気流路の切替えを達成できるので、その切替作業が用意且つ迅速に行える上、元から流れているパージ空気の流れを利用しその流れをそのまま本流とするものであり、切替えの際の空気の急停止等を可能な限り抑え、切替え時の脈動，衝撃等を極力抑えることができるものである。それにより、下流の各空気作動の機器等２への脈動，衝撃等の悪影響を少なくすることができるものである。第２実施例実施の他の構成や作用効果は第１実施例と同じである。
【００４３】
このように第２実施例によれば、中空糸膜式除湿装置を使用した乾燥空気供給装置において、中空糸膜式除湿装置の設備稼動率を上げ、更に排気するパージ空気量を減らし、空気供給効率を高くすることができる。そして、メイン中空糸膜式除湿装置とバックアップ中空糸膜式除湿装置の切替えを容易としかつ、切替えの際の空気の脈動を抑えスムーズに切替えることができる乾燥空気供給装置の系統を構成することができるものである。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば、中空糸膜式除湿装置を使用した乾燥空気供給装置において、中空糸膜式除湿装置の設備稼動率を上げ、更に排気するパージ空気量を減らし、空気供給効率を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例による乾燥空気供給装置の系統構成図である。
【図２】本発明の第２実施例による乾燥空気供給装置の系統構成図である。
【符号の説明】
１…空気圧縮機、２，２ａ…機器、３…前置フィルタ、４…中空糸膜式除湿装置、５…空気貯槽、６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，７ｃ，７ｄ…弁、７ａ，７ｂ…パージ空気供給配管、８ａ，８ｂ…中空糸膜フィルタ、９ａ，９ｂ…パージ空気排気配管、１０，１１…中空糸膜式除湿装置、１２…簡略化切替装置Ａ、１３…簡略化切替装置Ｂ。
【図１】
2004195405.tif 000003
【図２】
2004195405.tif 000004