(57)【要約】【課題】吸着パッドに対するワークの吸着状態を短時間で検出すること。【解決手段】吸着パッド２５が接続される給排ポートに、真空引き流路２７を介して真空ポンプ３２に通じる排気ポートを接続するとともに、加圧流路２８を介してコンプレッサ３５に通じる給気ポートを接続する。給排ポートに対する排気ポート及び給気ポートの連通状態を切り換えるべく真空引き流路２７及び加圧流路２８のうちいずれか一方を有効化する流路切換弁５０を設ける。真空引き流路２７及び加圧流路２８のうち有効化されている流路を流れる気体の流量を流量センサ５３によって検出する。【選択図】  図７
2004306238.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着パッドが接続される給排ポートに、第１流路を介して真空発生源に通じる排気ポートを接続するとともに、第２流路を介して圧力気体供給源に通じる給気ポートを接続し、前記給排ポートに対する排気ポート及び給気ポートの連通状態を切り換えるべく前記第１及び第２流路のうちいずれか一方を有効化する流路切換手段を備えた圧力切換装置において、
前記第１流路及び第２流路のうち少なくともいずれか一方の流路を流れる気体の流量を検出する流量検出手段を備えたことを特徴とする圧力切換装置。
【請求項２】
前記給排ポート、第１流路、第２流路、流路切換手段及び流量検出手段が設けられる複数の本体ブロックと、前記排気ポート及び給気ポートが設けられる給排ブロックとを備え、前記本体ブロックの側面には給排ブロックが並設されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力切換装置。
【請求項３】
前記本体ブロックは直線的に延びる組付レール上に複数個連設され、前記各本体ブロックには、それらを組付レール上に連設したときに前記各第１流路の一部が共通化される共通排気流路と、前記各第２流路の一部が共通化される共通給気流路とが形成され、前記共通排気流路は前記給排ブロックに設けられた排気ポートに連通されているとともに、前記共通給気流路は前記給排ブロックに設けられた給気ポートに連通されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力切換装置。
【請求項４】
前記本体ブロックは、前記給排ポート及び流路切換手段を備えたマニホールドブロックと、このマニホールドブロックの上面に配置されかつ前記流量検出手段を備えた検出ブロックとから構成され、前記検出ブロックの上面には、前記第１流路及び第２流路のうち少なくとも一方の流路を流れる気体の流量を表示する流量表示部が配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の圧力切換装置。
【請求項５】
前記第１流路と第２流路とはそれらの一部が共通化され、その共通化されている流路上に前記流量検出手段が配置されていることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の圧力切換装置。
【請求項６】
前記第１流路が有効化されているとき前記流量検出手段の上流側には、給排ポートから送られる気体を濾過する第１フィルタが設けられ、第２流路が有効化されているとき前記流量検出手段の上流側には、前記給気ポートから送られる気体を濾過する第２フィルタが設けられていることを特徴とする請求項５に記載の圧力切換装置。
【請求項７】
前記第１フィルタ及び第２フィルタはそれぞれフィルタホルダに取り付けられ、このフィルタホルダは前記検出ブロックに対して着脱可能であることを特徴とする請求項６に記載の圧力切換装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空状態を切り換える圧力切換装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、工場等でワークを搬送する搬送ロボット等には吸着パッドが設けられている。吸着パッドに負圧が付与された状態でワークが接触すると、ワークは負圧力によって吸着パッドに吸着される。そして、吸着パッドに吸着保持されたワークは、搬送ロボットによって所定の位置まで搬送され、吸着パッドへの負圧が解除されて大気圧に戻されることにより、吸着パッドからワークが離脱される。このように、吸着パッドに作用する圧力を負圧にしたり大気圧に戻したりすることを切り換える手段として、圧力切換装置（特許文献１参照）が従来から利用されている。
【０００３】
この圧力切換装置は、吸着パッドに対するワークの吸着状態を確認するために圧力センサを備えており、ワークの吸着状態は吸着パッドに作用する圧力の大きさによって検出される。すなわち、負圧作用下において吸着パッドがワークに接触すると、吸着パッドにワークが吸着されていない時よりも負圧力が基準負圧力よりも大きくなればワークが吸着されていることが検出される。又、ワークを搬送し終えた後に吸着パッドに対する圧力が負圧から大気圧になれば、吸着パッドからワークが離脱したことが検出される。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−７４０００号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来技術に示した圧力切換装置では、ワークが例えば半導体ウェハから切り出されたＩＣチップのように非常に小形である場合には、吸着パッドのエア吸込口も非常に小さく設定されている。ちなみに、ワークが約１ｍｍ角のＩＣチップであれば、吸着パッドに形成されるエア吸込口の径は約０．１〜０．３ｍｍに設定される。そのため、エア吸込口を通るエア流量が少なく、吸着パッドにワークが吸着されてから、吸着パッドにかかる負圧力が、ワークの吸着を検出する基準負圧力に到達するまでに時間がかかる。又、吸着パッドからワークが離脱するときにおいても、吸着パッドにおける負圧力が大気圧に戻るまでに時間がかかる。つまり、圧力センサによってワークの吸着状態を検出する方法では検出時間が長いという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、吸着パッドに対するワークの吸着状態を短時間で検出することができる圧力切換装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明では、吸着パッドが接続される給排ポートに、第１流路を介して真空発生源に通じる排気ポートを接続するとともに、第２流路を介して圧力気体供給源に通じる給気ポートを接続し、前記給排ポートに対する排気ポート及び給気ポートの連通状態を切り換えるべく前記第１及び第２流路のうちいずれか一方を有効化する流路切換手段を備えた圧力切換装置において、前記第１流路及び第２流路のうち少なくともいずれか一方の流路を流れる気体の流量を検出する流量検出手段を備えたことを要旨とする。
【０００８】
この構成によれば、第１流路及び第２流路のうち少なくとも一方を流れる気体の流量に基づいてワークの吸着状態を検出しているため、極めて短時間でワークの吸着状態の良否を検出することが可能になる。
【０００９】
請求項２に記載の発明では、前記給排ポート、第１流路、第２流路、流路切換手段及び流量検出手段が設けられる複数の本体ブロックと、前記排気ポート及び給気ポートが設けられる給排ブロックとを備え、前記本体ブロックの側面には給排ブロックが並設されていることを要旨とする。
【００１０】
この構成によれば、複数の本体ブロック及び給排ブロックがユニット化されることで一箇所にまとまって配置されるため、圧力切換装置のコンパクト化を図ることが可能になる。
【００１１】
請求項３に記載の発明では、前記本体ブロックは直線的に延びる組付レール上に複数個連設され、前記各本体ブロックには、それらを組付レール上に連設したときに前記各第１流路の一部が共通化される共通排気流路と、前記各第２流路の一部が共通化される共通給気流路とが形成され、前記共通排気流路は前記給排ブロックに設けられた排気ポートに連通されているとともに、前記共通給気流路は前記給排ブロックに設けられた給気ポートに連通されていることを要旨とする。
【００１２】
この構成によれば、給排ブロックに設けられた共通の排気ポートから共通排気流路を介して各第１流路から気体が外部に排気される。それとともに、給排ブロックに設けられた共通の給気ポートから共通給気流路を介して各第２流路に気体が給気される。そのため、給排ブロックの数を増減させることなく、本体ブロックを増減させることが可能になり、圧力切換装置の仕様を容易に変更することができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明では、前記本体ブロックは、前記給排ポート及び流路切換手段を備えたマニホールドブロックと、このマニホールドブロックの上面に配置されかつ前記流量検出手段を備えた検出ブロックとから構成され、前記検出ブロックの上面には、前記第１流路及び第２流路のうち少なくとも一方の流路を流れる気体の流量を表示する流量表示部が配置されていることを要旨とする。
【００１４】
この構成によれば、例えば検出ブロックが複数ある場合に、それぞれの検出ブロックに対応して流量表示部が配置されていることから、どの本体ブロックを流れる気体の流量かを容易に識別することができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明では、前記第１流路と第２流路とはそれらの一部が共通化され、その共通化されている流路上に前記流量検出手段が配置されていることを要旨とする。
【００１６】
この構成によれば、第１流路と第２流路とを流れる気体の流量を１つの流量検出手段によって検出することができるため、流量検出手段の数を少なくすることが可能になる。よって、圧力切換装置の低コスト化及び小型化を図ることができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明では、前記第１流路が有効化されているとき前記流量検出手段の上流側には、給排ポートから送られる気体を濾過する第１フィルタが設けられ、第２流路が有効化されているとき前記流量検出手段の上流側には、前記給気ポートから送られる気体を濾過する第２フィルタが設けられていることを要旨とする。
【００１８】
この構成によれば、第１流路が有効化されているとき、第１フィルタにより吸着パッドを介して給排ポートから送られる気体を濾過し、クリーンな気体を流量検出手段に通過させることができる。又、第２流路が有効化されているとき、第２フィルタにより給気ポートから送られる気体を濾過し、クリーンな気体を流量検出手段に通過させることができる。従って、流量検出手段にはつねにクリーンな気体を流すことができるため、流量検出手段の保護を図ることができる。
【００１９】
請求項７に記載の発明では、前記第１フィルタ及び第２フィルタはそれぞれフィルタホルダに取り付けられ、このフィルタホルダは前記検出ブロックに対して着脱可能であることを要旨とする。
【００２０】
この構成によれば、例えばフィルタが目詰まりしたりしたときなどには、検出ブロックごと交換するのではなく、フィルタのみを交換することができ、ランニングコストを低減することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２２】
図１〜図４に示すように、圧力切換装置１１は、一方向に連設された複数のマニホールドブロック１２を備えている。複数あるマニホールドブロック１２のうち一端部に配置されているマニホールドブロック１２には給排ブロック１３が隣接配置され、他端部に配置されているマニホールドブロック１２にはエンドブロック１４が隣接配置されている。給排ブロック１３により、各マニホールドブロック１２に連設状態で形成される共通給気流路１５及び共通排気流路１６の一端部が閉塞され、エンドブロック１４により共通給気流路１５及び共通排気流路１６の他端部が閉塞されている。以上のマニホールドブロック１２、給排ブロック１３、エンドブロック１４は、リテーナ１８によって組付レール１７上に固定されている。
【００２３】
図５に示すように、各マニホールドブロック１２には、前記共通排気流路１６に通じる排気用流路２１が形成され、この排気用流路２１は、マニホールドブロック１２の前面に形成された給排ポート２３に連通されている。給排ポート２３は、それぞれ外部配管２４を介してワークを吸着するための吸着パッド２５に接続されている。なお、図示しないが吸着パッド２５はワークを所定の位置に搬送する搬送ロボットに設けられている。
【００２４】
図６に示すように、各マニホールドブロック１２には、前記共通給気流路１５に通じる給気用流路２２が形成され、この給気用流路２２は前記排気用流路２１が連通されているのと同じ給排ポート２３に接続されている。本実施形態では、図７に示すように、共通排気流路１６と排気用流路２１とを合わせて第１流路としての真空引き流路２７が構成されている。又、共通給気流路１５と給気用流路２２とを合わせて第２流路としての加圧流路２８が構成されている。
【００２５】
図１，図２，図７に示すように、前記給排ブロック１３の前面には前記真空引き流路２７に通じる共通排気ポート３１が設けられ、この共通排気ポート３１に接続される真空発生源としての真空ポンプ３２によって、真空引き流路２７上にあるエアが吸引され、吸着パッド２５に吸着力が発生するようになっている。給排ブロック１３の上面には加圧流路２８に通じる共通給気ポート３４が設けられ、この共通給気ポート３４に接続される圧力気体供給源としてのコンプレッサ３５によって圧縮エアが加圧流路２８に圧縮エアが供給される。なお、共通排気ポート３１及び共通給気ポート３４は、前記給排ポート２３と同じ前側に向けられている。各ポート３１，３４，２３をいずれも同じ方向に向けたのは、それぞれに接続される外部配管を圧力切換装置１１の前側で全て行えるようにするためである。本実施形態では、気体としてエアを使用しているが、それ以外の気体に変更することも可能である。
【００２６】
図６，図７に示すように、加圧流路２８上には、マニホールドブロック１２の上面に搭載される吸引解除用電磁弁３７が設けられている。この吸引解除用電磁弁３７は、オンすると加圧流路２８内にコンプレッサ３５からの圧縮エアが供給され、オフすると圧縮エアの供給が停止される。
【００２７】
各マニホールドブロック１２における加圧流路２８上には、そこを流れるエア流量を調整する第１流量調整弁３８が設けられている。この第１流量調整弁３８は、マニホールドブロック１２に螺合される弁体３８ａを備えており、この弁体３８ａの端部にはマニホールドブロック１２の上面から突出された操作部３８ｂを有している。そして、操作部３８ｂを回動操作して弁体３８ａの螺合位置を変えることにより、加圧流路２８を流れるエアの流量（真空エア流量）を調整できるようになっている。
【００２８】
図５，図７に示すように、各マニホールドブロック１２における真空引き流路２７上には、そこを流れるエア流量を調整する第２流量調整弁３９が設けられている。この第２流量調整弁３９は、マニホールドブロック１２に螺合される弁体３９ａを備えており、この弁体３９ａの端部にはマニホールドブロック１２の上面から突出された操作部３９ｂを有している。そして、操作部３９ｂを回動操作して弁体３９ａの螺合位置を変えることにより、真空引き流路２７を流れるエアの流量を調整できるようになっている。
【００２９】
図５〜図７に示すように、マニホールドブロック１２内には、真空引き流路２７と加圧流路２８とにそれぞれ連通する弁収容部４１が形成され、この弁収容部４１内にはピストンホルダ４２を介してピストン４３が収容されている。このピストン４３の存在によって前記弁収容部４１内に区画されるパイロット圧作用室４４には、パイロット流路４５、前記共通給気流路１５を介して共通給気ポート３４に連通されている。コンプレッサ３５から供給される加圧エアがパイロット流路４５を介してパイロット圧作用室４４に供給されると、ピストン４３の先端部はピストンホルダ４２から突出するようになっている。なお、弁収容部４１内においてパイロット圧作用室４４と反対側には、図示しない通路を介して外部に連通される区画室４０が形成され、区画室４０内のエアは、ピストン４３の移動に伴って給排されるようになっている。
【００３０】
パイロット流路４５上には、各マニホールドブロック１２の上面に搭載される吸引用電磁弁４６が設けられている。吸引用電磁弁４６は、前記吸引解除用電磁弁３７と交互にオン・オフするようになっており、吸引用電磁弁４６がオンするとパイロット圧作用室４４内にコンプレッサ３５からの圧縮エアが供給され、オフすると圧縮エアの供給が停止される。
【００３１】
マニホールドブロック１２の弁収容部４１内においてピストン４３の先端側には、同ピストン４３と同じ方向に移動可能なバルブディスク４７が設けられている。バルブディスク４７によって弁収容部４１内に区画される空間部内には圧縮コイルバネ４８が設けられ、この圧縮コイルバネ４８の一端はバルブディスク４７に形成された係合凹部４７ａに係止され、他端は弁収容部４１に形成された係合穴４１ａに係止されている。この圧縮コイルバネ４８の弾性力により、バルブディスク４７はピストン４３の先端面に圧接するように常時付勢されている。
【００３２】
圧縮コイルバネ４８の弾性力は、前記パイロット圧作用室４４に圧縮エアが供給されたときにピストン４３に生じる推力よりも小さい値に設定されている。従って、ピストン４３に圧縮エアによる推力が生じている場合には、バルブディスク４７が圧縮コイルバネ４８の弾性力に抗してピストンホルダ４２から離間する開放位置（図５に示す位置）に移動され、ピストン４３とピストンホルダ４２との間に形成された連絡通路４９が開放される。連絡通路４９が開放されることにより、真空引き流路２７が有効化されるようになっている。
【００３３】
ピストン４３に推力が生じていない場合には、バルブディスク４７が圧縮コイルバネ４８の弾性力によりピストンホルダ４２に接する閉止位置（図６に示す位置）に移動され、ピストン４３とピストンホルダ４２との間に形成された連絡通路４９が閉止される。連絡通路４９が閉止されることにより加圧流路２８が有効化されるようになっている。本実施形態では、上述した弁収容部４１、ピストン４３、バルブディスク４７、圧縮コイルバネ４８、連絡通路４９により、真空引き流路２７と加圧流路２８とを選択的に切り換える流路切換手段としての流路切換弁５０が構成されている。
【００３４】
各マニホールドブロック１２の上面には検出ブロック５１がネジ５２によって着脱可能に設けられている。この検出ブロック５１内には、真空引き流路２７及び加圧流路２８が共通化されている流路上に配置された流量検出手段としての流量センサ５３が収容されている。流量センサ５３は、真空引き流路２７及び加圧流路２８を流れるエア流量を検出し、それを図示しないコントローラに出力する。コントローラは、流量センサ５３からの出力信号を検出すると、前記吸引解除用電磁弁３７と吸引用電磁弁４６とのオン・オフ（開閉）を制御する。又、コントローラは、流量センサ５３からの出力信号を検出すると、検出ブロック５１の上面に設けられた流量表示部５４に、真空引き流路２７或いは加圧流路２８を流れるエアの流量を表示する。なお、本実施形態においては、前記マニホールドブロック１２と検出ブロック５１とから本体ブロックが構成されている。
【００３５】
真空引き流路２７及び加圧流路２８が共通化されている流路上において、流量センサ５３を挟むように第１フィルタ５５と第２フィルタ５６とが設けられている。第１フィルタ５５は、加圧流路２８が有効化されているときに吸着パッド２５を介して外部から吸引されるエア内に含まれるゴミや水分などを取り除く役割がある。第２フィルタ５６は、真空引き流路２７が有効化されているときに共通給気ポート３４を介して外部から導入される圧縮エア内に含まれるゴミや水分などを取り除く役割がある。
【００３６】
各フィルタ５５，５６は、筒状に形成されており、マニホールドブロック１２の側面に形成されたフィルタ収容孔５７内に挿入されている。各フィルタ５５，５６の端部にはフィルタホルダ５８が挿脱可能に挿入されており、このフィルタホルダ５８はそれぞれのフィルタ収容孔５７に対して着脱可能に螺合されている。
【００３７】
次に、上記のように構成された圧力切換装置１１を用いて説明する。
共通排気ポート３１からは真空ポンプ３２によって圧縮エアが吸引されるとともに、共通給気ポート３４にはコンプレッサ３５からの圧縮エアが供給されているものとする。この状態で、図示しないコントローラによって吸引解除用電磁弁３７及び吸引用電磁弁４６のうち吸引用電磁弁４６のみがオンされると、真空引き流路２７が有効化され、共通排気ポート３１と給排ポート２３とが真空引き流路２７を介して連通される。この状態で、真空ポンプ３２によって吸着パッド２５に形成されたエア吸込口からエアが吸引されると、吸着パッド２５に負圧が付与される。
【００３８】
吸着パッド２５が設けられている図示しない搬送ロボットが移動し、吸着パッド２５がワークに接すると、ワークは圧縮エアの吸引力によって吸着パッド２５に吸着される。このとき、真空引き流路２７内を流れるエアの流量は流量センサ５３によって検出され、その流量が所定値以下になると、ワークが吸着パッド２５に良好に吸着されているとコントローラによって判別される。
【００３９】
搬送ロボットが所定の位置まで移動されると、コントローラによって吸引用電磁弁４６がオフされるとともに吸引解除用電磁弁３７がオンされる。すると、流路切換弁５０におけるバルブディスク４７がピストンホルダ４２に当接し真空引き流路２７が断絶されるとともに、加圧流路２８が有効化され、共通給気ポート３４と給排ポート２３とが真空引き流路２７を介して連通される。この状態で、コンプレッサ３５によって加圧流路２８内に圧縮エアが供給されると、吸着パッド２５の圧力が大気圧となり、吸着パッド２５による吸着が解除され、吸着パッド２５からワークが離脱する。このとき、加圧流路２８内を流れる圧縮エアの流量は、流量センサ５３によって検出され、その流量が所定値以上になると、ワークが吸着パッド２５から良好に離脱されているとコントローラによって判別される。
【００４０】
従って、本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）吸着パッド２５に対するワークの吸着状態は、真空引き流路２７或いは加圧流路２８を流れるエアの流量を流量センサ５３によって検出される。そのため、真空引き流路２７或いは加圧流路２８内にエアが流れているか否かに基づいて、ワークの吸着状態の良否を極めて短時間で検出することができる。従って、ワークの搬送サイクル時間を短縮することができ、ワークの加工効率や製造効率を飛躍的に高めることができる。ワークが例えば半導体ウェハから切り出されたＩＣチップのように非常に小形（１ｍｍ角）なものであると、吸着パッド２５に形成されるエア吸込口の径も非常に小さく設定（約０．１〜０．３ｍｍ）される。しかし、このような条件下に置いても、流量センサ５３によってワークの吸着状態を検出できる時間は、わずか５０ｍｓ以下とすることができる。
【００４１】
（２）マニホールドブロック１２と、給排ブロック１３と、エンドブロック１４と、検出ブロック５１とが一箇所に集中配置されることにより、圧力切換装置１１全体がユニット化されている。そのため、圧力切換装置１１をコンパクトにすることができる。しかも、マニホールドブロック１２にある給排ポート２３に接続される外部配管２４と、給排ブロック１３にある共通排気ポート３１及び共通給気ポート３４とに接続される図示しない外部配管とを集約することができるため、外部配管に必要なスペースを小さくすることができる。
【００４２】
（３）共通排気ポート３１、共通給気ポート３４及び給排ポート２３はいずれも同じ方向（圧力切換装置１１の前方）に向けられている。従って、各ポート３１，３４，２３に接続される複数の外部配管を圧力切換装置１１の前側で全て行うことができ、外部配管の接続作業が容易になるとともに、圧力切換装置１１の少なくとも前面側に配管スペースを確保するだけで済む。
【００４３】
（４）各マニホールドブロック１２には、それらを連設したときに通じ合う共通給気流路１５と共通排気流路１６とが形成され、これら流路１５，１６の両端部は給排ブロック１３とエンドブロック１４とによって閉止されている。そのため、吸着パッド２５の数が変動することに合わせて、マニホールドブロック１２を自在に増減することができ、圧力切換装置１１の仕様を容易に変更することができる。
【００４４】
（５）各検出ブロック５１の上面には流量表示部５４が配置されているため、エアの流量を確認するときの視認性を向上することができる。更に、検出ブロック５１ごとに１つずつ流量表示部５４が設けられているため、各マニホールドブロック１２における真空引き流路２７或いは加圧流路２８に流れているエアの流量が把握しやすくなる。
【００４５】
（６）真空引き流路２７と加圧流路２８との一部分が共通化され、その共通化されている流路上に流量センサ５３が設けられている。そのため、１つの流量センサ５３でもって、真空引き流路２７と加圧流路２８とのエアの流量を検出することができる。従って、流量センサ５３の数を少なくすることができるので、圧力切換装置１１の製造コストを低減できるとともに、大型化を防止することができる。
【００４６】
（７）真空引き流路２７及び加圧流路２８が共通化されている流路上において流量センサ５３の両側には、第１フィルタ５５と第２フィルタ５６とが設けられている。そのため、吸着パッド２５にワークを吸着するときには、第１フィルタ５５によってクリーンなエアを流量センサ５３に流すことができる。又、吸着パッド２５からワークを離脱させるときにも、第２フィルタ５６によってクリーンなエアを流量センサ５３に流すことができる。従って、流量センサ５３に常にクリーンなエアを流すことができるため、流量センサ５３を保護することができる。
【００４７】
（８）第１フィルタ５５及び第２フィルタ５６は、検出ブロック５１に着脱可能に取り付けられているため、メンテナンスや目詰まりを起こしたりしてフィルタ５５，５６を交換することができる。つまり、検出ブロック５１全体を交換することなく安価なフィルタ５５，５６のみを交換することができる。しかも、これらのフィルタ５５，５６を交換するときにはマニホールドブロック１２から検出ブロック５１を取り外した状態で交換することができるため、フィルタ５５，５６の交換作業性を向上することができる。更に、両フィルタ５５，５６は、検出ブロック５１に対してフィルタホルダ５８を挿脱するという簡単な方法で交換することができる。
【００４８】
（第２実施形態）
第２実施形態を、前記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図８，図９，図１０に示すように、真空引き流路２７と加圧流路２８とが別々に形成され、それらの流路２７，２８は給排ポート２３付近で合流されている。真空引き流路２７はマニホールドブロック１２及び検出ブロック５１とに形成され、加圧流路２８はマニホールドブロック１２のみに形成されている。つまり、真空引き流路２７のみが検出ブロック５１に通じている。これにより、真空引き流路２７が有効化されているときのみ、流量センサ５３によって吸着パッド２５に対するワークの吸着状態を検出できるようになっている。
【００４９】
真空引き流路２７上に設けられる検出ブロック５１には、前記実施形態で説明した第２フィルタ５６が省略され第１フィルタ５５のみ設けられている。第１フィルタ５５のみ設けたのは、加圧流路２８が有効化されているときには、加圧エアが流量センサ５３を通らないためである。
【００５０】
（別の実施形態）
本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。
・第２実施形態では、真空引き流路２７のみに検出ブロック５１を設けたが、加圧流路２８にも流量センサ５３を有する検出ブロック５１を設けてもよい。つまり、真空引き流路２７と加圧流路２８とにそれぞれ検出ブロック５１を設けてもよい。この場合、加圧流路２８に設ける検出ブロック５１には第１フィルタ５５を省略し、第２フィルタ５６のみを設ける。
【００５１】
・前記第２実施形態において、真空引き流路２７には検出ブロック５１を設けずに、加圧流路２８のみに検出ブロック５１を設け、加圧流路２８を流れる加圧エアの流量を流量センサ５３により検出するようにしてもよい。
【００５２】
・真空引き流路２７をマニホールドブロック１２のみに形成し、加圧流路２８をマニホールドブロック１２及び検出ブロック５１に形成してもよい。つまり、加圧流路２８のみが検出ブロック５１に通じるようにしてもよい。これにより、加圧流路２８が有効化されているときのみ、流量センサ５３によって吸着パッド２５に対するワークの吸着状態を検出することができる。
【００５３】
・圧力切換装置１１のマニホールドブロック１２を２つにする以外に、１つ或いは３つ以上に変更してもよい。
・吸着パッド２５に対するワークの吸着状態を、表示灯やブザー等の表示手段によって報知させることで、コントローラではなく作業者によって確認できるようにしてもよい。
【００５４】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に示す。
（１）吸着パッドが接続される給排ポートに、第１流路を介して真空発生源に通じる排気ポートを接続するとともに、第２流路を介して圧力気体供給源に通じる給気ポートを接続し、前記給排ポートに対する排気ポート及び給気ポートの連通状態を切り換えるべく前記第１及び第２流路のうちいずれか一方を有効化する流路切換手段を備えた圧力切換装置において、前記第１流路及び第２流路のうち、前記流路切換手段によって有効化されている流路を流れる気体の流量を検出する流量検出手段を備えた圧力切換装置。この構成によれば、有効化されている第１流路或いは第２流路を流れる気体の流量に基づいてワークの吸着状態を検出しているため、極めて短時間でワークの吸着状態の良否を検出することが可能になる。
【００５５】
【発明の効果】
本発明によれば、吸着パッドに対するワークの吸着状態を短時間で検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態における圧力切換装置の平面図。
【図２】圧力切換装置の側面図。
【図３】圧力切換装置の正面図。
【図４】圧力切換装置の平断面図。
【図５】吸引状態を示す圧力切換装置の側断面図。
【図６】吸引解除状態を示す圧力切換装置の側断面図。
【図７】圧力切換装置の回路図。
【図８】第２実施形態における圧力切換装置の回路図。
【図９】吸引状態を示す圧力切換装置の側断面図。
【図１０】吸引解除時状態を示す圧力切換装置の側断面図。
【符号の説明】
１１…圧力切換装置、１２…マニホールドブロック（本体ブロック）、１３…給排ブロック、１５…共通給気流路、１６…共通排気流路、１７…組付レール、２３…給排ポート、２５…吸着パッド、２７…真空引き流路（第１流路）、２８…加圧流路（第２流路）、３２…真空ポンプ（真空発生源）、３１…共通排気ポート（排気ポート）、３４…共通給気ポート（給気ポート）、３５…コンプレッサ（圧力気体供給源）、５０…流路切換弁（流路切換手段）、５１…検出ブロック（本体ブロック）、５３…流量センサ（流量検出手段）、５４…流量表示部、５５…第１フィルタ、５６…第２フィルタ、５８…フィルタホルダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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