(57)【要約】【課題】密閉キャビネット庫内のクリーン化と低湿化機能を両立するクリーン・ドライ装置【解決手段】通常乾燥手段として、乾燥剤をケース内に収納し、庫内側シャッターを開き庫外シャッターを閉じ庫内の水分を乾燥剤に十分吸着させた後、一定時間加熱再生するためシャッター開閉を逆にし吸着水分を庫外へ放出させる除湿方法がある。本発明はその乾燥剤の特性を生かし、除湿作用と酸化チタン光触媒による汚染物質の分解・除去作用を同時に行うべく、乾燥剤の加熱再生時以外はＬＥＤ等の光を酸化チタン光触媒が付着したシリカゲル等の乾燥剤に照射する。この光触媒付乾燥剤の表面積が大きいこと、かつ透光性作用を利用し、乾燥剤周辺の流通空気を庫内に循環させることにより、密閉キャビネットの庫内を低湿にし、汚染物質の分解・除去を行う一石二鳥の作用効果をもつクリーン・ドライ装置。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥剤により密閉庫内を除湿（＝低湿）し、当該乾燥剤を一定時間加熱再生と吸・排湿シャッターの切替作用をタイマー等で制御する乾燥手段において、当該乾燥剤の一部又は全てに酸化チタン光触媒を付着させ、加熱再生時は加熱体により吸着した水分の排出作用を行い、吸湿時間帯（非加熱時）にはＬＥＤ等の光照射により酸化チタン光触媒によるクリーン作用を行う如く、吸湿作用と汚染物質の分解・除去作用を行う乾燥剤で構成したクリーン・ドライ装置
【請求項２】
前記ＬＥＤ等の光源は加熱再生時に熱を受け難い乾燥剤の下方、またはケース機材の反射により温度上昇を受けない位置に配置をしたクリーン・ドライ装置
【請求項３】
前記光照射側は、酸化チタンを付着したシリカゲルなど透光性多孔質吸着剤、非照明側にはゼオライトなど低湿での吸湿効果の高い多孔質吸着剤を配置することにより、汚染物質の分解・除去効果と低湿効果効果を発揮するクリーン・ドライ装置
【請求項４】
前記乾燥手段を用いた乾燥剤の入った箱の外面や除湿ユニットの内面に酸化チタン光触媒を塗布した構造で、光照射により汚染物質を分解・除去を行うクリーン・ドライ装置
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
近時技術の高度化により光学レンズや半導体ウエハ等においては気体中に含まれる分子レベルのガス状物質の除去が一層重要になってきた。例えばクリーンルーム空気中にウエハを暴露すると数から数十ｎｇ／ｃｍ２の有機性ガスがウエハ表面に付着しこれらは半導体のゲート膜破壊や酸化防止膜耐圧の劣化等生産性の低下をもたらしていた。
本発明はそれらを除湿作用と清浄作用とを同一装置にて対応するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来は乾燥装置として密閉キャビネット内を低湿度（例えば３〜１０％）に保つ装置として乾燥剤を低時間再生（通常３０分）しその後は庫内・庫外のシャッター切り替えにより吸湿作用（通常５〜６時間）を行い、これを繰り返し作用させ庫内湿度を低湿度に保つ装置があった。
【０００３】
一方光触媒としては酸化チタンを各種材料に混合し、大陽光または紫外線照射、または・一般光源により、気体（液体）中の不純物質を分解する。
【０００４】
即ち、乾燥剤による乾燥機能と酸化チタンによる清浄作用は構成、用途作用の全ての面で異なるものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述の如く、従来全く異なる装置であったが、酸化チタン光触媒による汚染物質の分解・除去効果（効力）を上げるためには出来るだけ表面積を大きくする必要があった。一方、乾燥剤としてシリカゲル等は粒状構成において分子レベルの細孔で構成され極めて大きな表面積を有していた。
【０００６】
故にこれら相互の粒状を生かすことにより、即ち乾燥剤に酸化チタンを付着させることにより、吸湿作用と空気の清浄作用の両立を兼ね備える画期的作用が達成でき、しかもその効果作用は光学レンズやウエハ−の二つの最大課題である湿度による吸湿と空気中の汚れによる不良原因を同時に除く効果を示し、構成上のメリットと作用効果上のメリットが同時達成できる画期的な装置である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前期の目的と効果を達成するための構成上の特徴は次の通りである。
【０００８】
従来、乾燥剤は自動的に加熱再生と吸湿作用を行い、密閉キャビネット内を低湿に保ち、防カビ、防錆等の効果作用を目的としていた。また、酸化チタン光触媒は、タイル・ガラスなど各種構造体及びセラミック等に混合ないし表面コーティングにより、防汚染効果を行ってきた。
【０００９】
上記作用効果を１つの要求即ち、乾燥剤に酸化チタンを含浸させることにより、乾燥（＝低湿化）作用と防汚染（＝クリーン）効果の２つの効果作用を時間差を設けて設置して複合的に達成したものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下具体的実施例により評価証明する。
この除湿・清浄装置は第１図の正面断面図・第２図の側面断面図で示す如く、密閉キャビネット１８に装着し、ケース１９内に全ての機構が内包されている。この種、乾燥装置のみは既に実用化されている通り、定時間制御タイマーにより、通常約３０分間乾燥剤２，３に熱的に接した加熱体１により、加熱される。この時同時に作用するシャッター制御タイマー１７により、上下の各シャッター９，１０は排気開孔口７と外気吸入開孔口８が開くように支点１５を中心に作動する。ネット状乾燥箱４内の乾燥剤２，３を定時間（３０分間）加熱後、制御タイマー１７により、通電を停止し上下の各シャッター９，１０は記憶合金又は電磁弁１６等の駆動源により反転し、庫外側吸排気口７，８を閉じ庫内側開孔口１３，１４を開く。
これにより、加熱再生、即ち吸着水分排湿後の乾燥剤は吸湿能力により庫内空気を順次低湿化する。乾燥剤下部のファン６により、効果は促進される。
【００１１】
即ち、吸湿状態のシャッター開孔状態かつ、乾燥剤吸湿状態になった時乾燥剤吸湿状態になった時、ネット状乾燥箱４下辺に配置したＬＥＤ照明ランプ５が乾燥剤に照射される。これらは制御タイマー１７により行われる。この吸湿及びＬＥＤ照射時間は約５〜６時間であり、これら乾燥剤加熱再生と吸湿及びＬＥＤ照明をサイクルとして（通常６時間）として繰り返し行い、低湿作用と汚染物質の分解・除去を行うものである。
【００１２】
【発明の効果】
以上で説明したこの発明の効果は次の通りである。
【００１３】
（１）低湿作用と汚染物質の分解・除去作用を１つの装置として達成した。
【００１４】
（２）従来はそれぞれ基本構造が別個として製作されていたのに対し、低湿と清浄の作用機能は相乗作用として、超精密高度化した光学レンズ、半導体ウエハにとって最高の複合的効果をもたらす。
【００１５】
（３）その作用も低湿と清浄を１つの物質として多孔質の乾燥剤（シリカゲル，ゼオライト）によって行うことによりそれぞれの作用効果を損なうことなく、用途的に極めて高い複合的相乗効果をもたらす。
【００１６】
（４）この効果は単に光学レンズ・ウエハーに止まらず、防カビ、防汚染の基本環境要素である低湿度と分子レベルのクリーンはそれぞれ単独では達成できない効果を一つの酸化チタン吸着多孔質乾燥剤で達成し得た。
【００１７】
具体的応用例としては乾燥食品の単なる低湿保管から、清浄化を加えたことにより衛生的なもので、薬品・バイオ等応用範囲は極めて多岐にわたる。
【００１８】
また当然のこととして臭いと清浄では乾燥剤の代わりに活性炭等の多孔質材料によっても達成でき、これら複合作用効果を一つの装置で成し得た効果は極めて応用範囲の広いものである。
【００１０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の低湿・清浄装置の正面断面図
【図２】本発明の低湿・清浄装置の側面断面図（吸湿時）
【図３】本発明の低湿・清浄装置の側面断面図（加熱再生時）
【符号の説明】
１．乾燥剤加熱源
２．乾燥剤（光触媒シリカゲル）
３．乾燥剤（ゼオライト）
４．ネット状乾燥剤ケース
５．ＬＥＤ照明
６．ファン
７．排湿開孔口
８．外気吸入開孔口
９．上部シャッター
１０．下部シャッター
１１．庫内
１２．庫外
１３．排気口
１４．庫内空気吸入口
１５．シャッター支点
１６．シャッター開閉駆動源（ソレノイド）
１７．制御タイマー
１８．キャビネット
１９．装置の外側ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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