(57)【要約】【課題】フィルタ検査における検査対象部の位置特定を容易に行う。【解決手段】設置フィルタ４の矩形の検査対象部１１の位置を特定するための情報の入力手段と、入力情報に基づき検査対象部１１の位置を特定し走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段１２とを備え、入力手段として、人為操作により走査検査具を矩形の対角２頂点１１ａ，１１ｃの夫々に対し順次に対応位置させて入力するトレース入力手段ｘ１と、矩形の大きさと形の特定に用いる形状情報を、走査検査具の移動操作が不要な所定走査形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ１とを設け、制御手段１２を、トレース入力手段ｘ１により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃ夫々の位置情報と、対角２頂点１１ａ，１１ｃ夫々の位置情報の入力の順序と、補助入力手段ｙ１により入力した形状情報とに基づいて、検査対象部１２の位置を特定する構成にしてある。【選択図】        図４
2004212155.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、それら対角２頂点それぞれの位置情報の入力の順序と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項２】
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、前記矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報と、同じく前記補助入力手段により入力した前記姿勢情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項３】
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記フィルタ開口部に対して直交する軸芯周りで回転させて走査検査具を前記検査対象部の矩形形状に対し所定の相対姿勢にする人為操作により、その矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を入力するとともに、前記走査検査具を前記矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記姿勢情報と、同じく前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて，前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項４】
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、その１辺の両端それぞれの位置情報の入力の順序と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項５】
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、前記１辺に対して前記矩形形状がいずれの側に存在するかの特定に用いる姿勢情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報と、同じく前記補助入力手段により入力した前記姿勢情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項６】
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を入力するとともに、その１辺に対していずれか一方側に前記走査検査具を対応位置させる人為操作により、前記１辺に対して前記矩形形状がいずれの側に存在するかの特定に用いる姿勢情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、同じく前記トレース入力手段により入力した前記姿勢情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項７】
前記トレース入力手段は、前記走査検査具の移動又は回転を伴う前記位置情報又は前記姿勢情報の人為入力操作を携帯式の遠隔操作器により行う構成にしてある請求項１〜６のいずれか１項に記載のフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項８】
前記トレース入力手段は、前記フィルタの矩形開口部における４コーナー部のうち前記対角２頂点のそれぞれ又は前記１辺の両端それぞれに対応するコーナー部に対し、矩形の前記走査検査具を、前記矩形開口部に対する直交方向視において開口部側コーナー部のＬ字形状と検査具側コーナー部のＬ字形状とが同姿勢で合致する状態に対応位置させる人為操作により、前記対角２頂点のそれぞれ又は前記１辺の両端それぞれの位置情報を入力する構成にしてある請求項１〜７のいずれか１項に記載のフィルタ検査用スキャン装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルタ検査用スキャン装置に関し、詳しくは、設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来における上記形式のフィルタ検査用スキャン装置では、入力手段として、検査対象部の矩形形状における４頂点のうちの少なくとも３頂点のそれぞれに対し、走査検査具を移動させて対応位置させる人為操作により、それら頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段を設け、そして、制御手段を、このトレース入力手段により入力した各頂点それぞれの位置情報に基づいて検査対象部の位置を特定（具体的には、検査対象部の大きさ、形、姿勢の特定を含む位置の特定）を行なわせる構成にしていた。
【０００３】
【特許文献１】
意匠登録第１０２８４９６号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この種の装置を用いたフィルタ検査における作業のうち、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対し対応位置させる上記の人為入力操作は特に手間がかかり、従来装置では、検査対象部の矩形形状における４頂点のうち少なくとも３頂点のそれぞれに対し走査検査具を対応位置させなければならないため、作業能率が悪い問題があった。
【０００５】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、上記問題を合理的な改良をもって効果的に解消する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
〔１〕請求項１に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、それら対角２頂点それぞれの位置情報の入力の順序と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【０００７】
つまり、検査対象部の矩形形状における対角２頂点それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補、すなわち、検査対象部の矩形形状について言えば、位置特定した対角２頂点を結ぶ対角線に対して線対称となる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補を特定することができる。
また、上記対角２頂点の位置情報をトレース入力手段により人為的に入力するのに、例えば、それら対角２頂点のうち先行して走査検査具を対応位置させる側の頂点から所定の周り向きで上記矩形形状の２辺を辿って他方の頂点に向かう場合に長辺と短辺とを所定の順序に辿ることになる順序で、対角２頂点のそれぞれに対し走査検査具を順次に対応位置させてそれら対角２頂点の位置情報を順次に入力するといった操作条件を予め規定しておくようにすれば、対角２頂点それぞれの位置情報の入力の順序に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、互いに姿勢が異なる上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した対角２頂点それぞれの位置情報と、それら対角２頂点それぞれの位置情報の入力の順序と、補助入力手段により入力した形状情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項１に係る発明の上記構成によれば、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における対角２頂点の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、その手間のかかる人為入力操作を検査対象部の矩形形状における４頂点のうちの少なくとも３頂点について実施する先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【０００８】
〔２〕請求項２に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、前記矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報と、同じく前記補助入力手段により入力した前記姿勢情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【０００９】
つまり、前述のように、検査対象部の矩形形状における対角２頂点それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補（検査対象部の矩形形状について言えば、位置特定した対角２頂点を結ぶ対角線に対して線対称になる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補）を特定することができる。
また、検査対象部の矩形形状がどのような姿勢かを特定するための姿勢情報を制御手段に与えてやれば、その姿勢情報に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、互いに姿勢が異なる上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した対角２頂点それぞれの位置情報と、補助入力手段により入力した形状情報と、同じく補助入力手段により入力した姿勢情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定の基づき走査検査具による検査対象部における検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項２に係る発明の上記構成によれば、請求項１に係る発明と同様、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における対角２頂点の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１０】
〔３〕請求項３に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置でおいて、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記フィルタ開口部に対して直交する軸芯周りで回転させて走査検査具を前記検査対象部の矩形形状に対し所定の相対姿勢にする人為操作により、その矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を入力するとともに、前記走査検査具を前記矩形形状における対角２頂点のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記姿勢情報と、同じく前記トレース入力手段により入力した前記対角２頂点それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて，前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【００１１】
つまり、前述のように、検査対象部の矩形形状における対角２頂点それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補（検査対象部の矩形形状について言えば、位置特定した対角２頂点を結ぶ対角線に対して線対称になる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補）を特定することができ、また、検査対象部の矩形形状がどのような姿勢かを特定するための姿勢情報を制御手段に与えてやれば、その姿勢情報に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、互いに姿勢が異なる上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、走査検査具の回転走査を伴う形態でトレース入力手段により入力した姿勢情報と、同じくトレース入力手段により入力した対角２頂点それぞれの位置情報と，補助入力手段により入力した形状譲渡に基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項３に係る発明の上記構成によれば、請求項１，２に係る発明と同様、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における対角２頂点の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１２】
〔４〕請求項４に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、その１辺の両端それぞれの位置情報の入力の順序と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【００１３】
つまり、検査対象部の矩形形状における１辺の両端それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補、すなわち、検査対象部の矩形形状について言えば、両端の位置特定した上記１辺の両側にできる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補を特定することができる。
また、上記１辺の両端の位置情報をトレース入力手段により人為的に入力するのに、例えば、その１辺の両端のうち先行して走査検査具を対応位置させる側の端部から他方の端部を臨む場合に検査対象部の矩形形状が上記１辺に対し所定の側に位置することになる順序で、１辺の両端のそれぞれに対し走査検査具を順次に対応位置させてその１辺の両端の位置情報を順次に入力するといった操作条件を予め規定しておくよういすれば、１辺の両端それぞれの位置情報の入力の順序に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、上記１辺に対して一方側と他方側とに位置する上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した１辺の両端それぞれの位置情報と、その１辺の両端それぞれの位置情報の入力の順序と、補助入力手段により入力した形状情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき、走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項４に係る発明の上記構成によれば、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における１辺の両端の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、その手間のかかる人為入力操作を検査対象部の矩形形状における４頂点のうち少なくとも３頂点について実施する先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１４】
〔５〕請求項５に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、前記１辺に対して前記矩形形状がいずれの側に存在するかの特定に用いる姿勢情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報と、同じく前記補助入力手段により入力した前記姿勢情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【００１５】
つまり、前述のように、検査対象部の矩形形状における１辺の両端それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補（検査対象部の矩形形状について言えば、両端の位置特定した上記１辺の両側にできる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補）を特定することができる。
また、検査対象部の矩形形状が上記１辺に対していずれの側に存在するかを特定するための姿勢情報を制御手段に与えてやれば、その姿勢情報に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、上記１辺に対して一方側と他方側とに位置する上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した１辺の両端それぞれの位置情報と、補助入力手段により入力した形状情報と、同じく補助入力手段により入力した姿勢情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項５に係る発明の上記構成によれば、請求項４に係る発明と同様、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における１辺の両端の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１６】
〔６〕請求項６に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
設置フィルタの開口部における矩形の検査対象部の位置を特定するのに用いる情報の入力手段と、
この入力手段により入力した情報に基づき前記検査対象部の位置を特定して、走査検査具を前記検査対象部に対し走査動作させる制御手段とを備えるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記入力手段として、前記走査検査具を前記検査対象部の矩形形状における１辺の両端のそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、その１辺の両端それぞれの位置情報を入力するとともに、その１辺に対していずれか一方側に前記走査検査具を対応位置させる人為操作により、前記１辺に対して前記矩形形状がいずれの側に存在するかの特定に用いる姿勢情報を入力するトレース入力手段と、
前記矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、前記走査検査具の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段とを設け、
前記制御手段を、前記トレース入力手段により入力した前記１辺の両端それぞれの位置情報と、同じく前記トレース入力手段により入力した前記姿勢情報と、前記補助入力手段により入力した前記形状情報とに基づいて、前記検査対象部の位置を特定する構成にしてある点にある。
【００１７】
つまり、前述のように、検査対象部の矩形形状における１辺の両端それぞれの位置、及び、その矩形形状の大きさと形を特定すれば、検査対象部の位置の候補として２つの候補（検査対象部の矩形形状について言えば、両端の位置特定した上記１辺の両側にできる２つの矩形形状により各別に特定される２つの位置候補）を特定することができ、また、検査対象部の矩形形状が上記１辺に対していずれの側に存在するかを特定するための姿勢情報を制御手段に与えてやれば、その姿勢情報に基づき、上記２つの位置候補のうち実際の検査対象部の位置を制御手段に特定させる（すなわち、上記１辺に対して一方側と他方側とに位置する上記２つの矩形形状のうち実際の検査対象部に即した１つの矩形形状を制御手段に特定させる）ことができる。
これらのことから、上記構成を採れば、トレース入力手段により入力した１辺の両端それぞれの位置情報と、その１辺に対していずれか一方側に走査検査具を対応位置させる形態で同じくトレース入力手段により入力した姿勢情報と、補助入力手段により入力した形状情報とに基づき、検査対象部の位置を的確に制御手段に特定させることができて、その位置特定に基づき走査検査具による検査対象部の検査において走査検査具を制御手段により適切に走査動作させることができる。
そして、請求項６に係る発明の上記構成によれば、請求項４，５に係る発明と同様、走査検査具を移動させて検査対象部の矩形形状における各頂点に対応位置させることで各頂点の位置情報を入力するという手間のかかる人為入力操作を、検査対象部の矩形形状における１辺の両端の２点について行うだけで済ませることができ、これにより、先述の従来装置に比べ、作業能率を効果的に向上させることができる。
【００１８】
〔７〕請求項７に係る発明は、請求項１〜６のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり，その特徴は、
前記トレース入力手段は、前記走査検査具の移動又は回転を伴う前記位置情報又は前記姿勢情報の人為入力操作を携帯式の遠隔操作器により行う構成にしてある点にある。
【００１９】
つまり、この構成によれば、作業者は携帯式の遠隔操作器を携えて、走査検査具の移動位置や回転状態を極力正確に目視確認できる位置に位置した状態で、走査検査具の移動又は回転を伴う位置情報や姿勢情報の人為入力操作を、その遠隔操作器により行うことができ、これにより、例えば、それらの人為入力操作を固定の操作器により行うのに比べ、入力操作を容易にして、作業能率を一層向上させることができる。
また、走査検査具の移動位置や回転状態を一層正確に目視確認できることにより、入力する位置情報や姿勢情報の正確さも高めることができ、そのことにより、それらの入力情報に基づき検査対象部の位置を制御手段に特定させて実施するフィルタ検査の正確さも効果的に向上させることができる。
【００２０】
〔８〕請求項８に係る発明は、請求項１〜７のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり，その特徴は、
前記トレース入力手段は、前記フィルタの矩形開口部における４コーナー部のうち前記対角２頂点のそれぞれ又は前記１辺の両端それぞれに対応するコーナー部に対し、矩形の前記走査検査具を、前記矩形開口部に対する直交方向視において開口部側コーナー部のＬ字形状と検査具側コーナー部のＬ字形状とが同姿勢で合致する状態に対応位置させる人為操作により、前記対角２頂点のそれぞれ又は前記１辺の両端それぞれの位置情報を入力する構成にしてある点にある。
【００２１】
つまり、この構成によれば、走査検査具を検査対象部の矩形形状における対角２頂点のそれぞれや１辺の両端それぞれに対応位置させてそれら対角２頂点それぞれの位置情報や１辺の両端それぞれの位置情報を入力するのに、フィルタの矩形開口部における４コーナー部のうち上記対角２頂点のそれぞれや上記１辺の両端それぞれに対応するコーナー部において、その矩形開口部に対する直交方向視で矩形開口部の側のコーナー部のＬ字形状と走査検査具の側のコーナー部のＬ字形状とが同姿勢で合致する状態に走査検査具を位置させればよいから、例えば、フィルタの矩形開口部に対する直交方向視で矩形開口部の側のコーナー部の頂点と走査検査具の中央とが合致する状態に走査検査具を位置させて上記対角２頂点それぞれの位置情報や上記１辺の両端それぞれの位置情報を入力するのに比べ、矩形開口部の側のコーナー部のＬ字形状、及び、走査検査具の側のコーナー部のＬ字形状を位置合わせのための指標に利用した形態で、走査検査具を上記対角２頂点のそれぞれや１辺の両端それぞれに対し対応位置させる際の走査検査具の位置合わせ操作を容易にすることができ、これにより、作業能率を一層向上させることができ、また、入力する位置情報の正確さも高めることができて、フィルタ検査の正確さも向上させることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
〔第１実施形態〕
本発明の第１実施形態は、請求項１に係る発明の実施に好適な実施形態であり、図１は内部室用の空気浄化フィルタに対する検査機能を備えさせたクリーンブースを示し、ブース１内に形成する浄化対象室２の天井部に釣り掛け型のフィルタ支持部３を設け、このフィルタ支持部３に対し、図２に示すように、フィルタ掛止部４ａで掛止して、多数の矩形形状のフィルタ４（例えば、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ）を天井部に並列に配置することにより、浄化対象室２の天井面の全面を並置フィルタ群Ｇの出口面からなる清浄空気吹出口（フィルタ開口部）にしてある。
【００２３】
ブース１内において、並置フィルタ群Ｇの上方空間（換言すれば天井裏空間）は、並置フィルタ群Ｇを介して空気を浄化対象室２へ供給する給気チャンバ５にし、また、浄化対象室２の隣には、室壁６を仕切りとして、その室壁６の下部に設けた排気口７と給気チャンバ５とを連通させる還気路８を形成し、この還気路８に、給気チャンバ５−浄化対象室２−還気路８の順で空気循環させる循環ファン９を内装してある。つまり、この空気循環においてフィルタ４により浄化した清浄空気を並置フィルタ群Ｇの出口面の全面（すなわち、天井面の全面）から下向き層流状に室内に吹き出させることで、浄化対象室２の室内を、例えば薬品の製造や半導体部品の製造などに適した高清浄度空間にする。
【００２４】
排気口７は、一連の長尺開口構造ないし複数口の列状配置により浄化対象室２の長辺方向（図１における紙面奥行き方向）の全長に亘って設けられ、また、還気路８も浄化対象室２の長辺方向の全長に亘る風路幅にし、更に、循環ファン９は浄化対象室２の長辺方向に並べて複数台を還気路８に内装し、これにより、浄化対象室２の室内における気流状態を浄化対象室２の長辺方向で均一化して、室内の高清浄度化を促進する。
【００２５】
室内清浄度の保証のためフィルタ４に対しては適時検査を実施するが、このフィルタ検査には、図１に示すように、可搬式のフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いる。
【００２６】
検査対象のフィルタ４の出口面を図２に基づき詳しく説明すると、１０はフィルタ支持部３に対しフィルタ４を掛止するフィルタ掛止部４ａと、隣接フィルタ４間における給気チャンバ５からの空気漏出を封止しているシリコンコーキングＣとからなるデッド部、１１は検査対象の各フィルタ４における矩形形状の検査対象部であり、フィルタ検査は各フィルタ４についてこの検査対象部１１に対して実施される。
【００２７】
フィルタ検査用スキャン装置Ｍは、中央制御器１２、走査検査具１３、走査検査具１３を支持するフレーム部１５、携帯式の遠隔操作器であるコントローラ１６、モニター１７、キーボード１８及びマウス１９とから構成され、走査検査具１３は、中央制御器１２と接続してある微粒子計数器２０に繋がってある吸引チューブ２１の先端に対し矩形に開口したロート状のプローブ１４を取り付けたものであり、プローブ１４は人為操作により清浄空気吹出口に対し直交する軸芯周りで相対回転自在に構成されている。
【００２８】
図３に示すように、本実施形態において、コントローラ１６は、方向操作キー２２、スタートボタン２３、及び、４つのアクションボタン２４ａ〜２４ｄから構成された一般的に市販されているコントローラを採用し、これらのアクションボタン２４ａ〜２４ｄは、矩形形状である検査対象部１１の各頂点１１ａ〜１１ｄに対応するように設定されている。
【００２９】
そして、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における対角２頂点１１ａ，１１ｃのそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段ｘ１と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ１と、トレース入力手段ｘ１により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報、同じくトレース入力手段ｘ１によるそれら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報の入力の順序、及び、補助入力手段ｙ１により入力した形状情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ１は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ１は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００３０】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させることを条件とした姿勢条件と、位置入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃのうち先行して位置入力した第１頂点１１ａを基点として、矩形形状において時計回りに短辺１１Ｂから長辺１１Ａの順で第３頂点１１ｃに向かうことを検査対象部１１の位置特定の特定要素とすることとを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００３１】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させるものであってもよい。
そして、この特定要素として先行入力した頂点から後行入力した頂点に向かうのに、矩形形状において反時計回りに短辺１１Ｂ（１１Ｄ）から長辺１１Ａ（１１Ｃ）、時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）、反時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）のいずれの順に辿って向かうように定めてもよい。
また、この特定要素は、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置を特定しその位置情報を入力した後に中央制御器１２に設定する構成にしてもよい。
【００３２】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００３３】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００３４】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の頂点のＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の対角２頂点の第１頂点１１ａに対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【００３５】
続いて、人為操作にてコントローラ１６を用いてプローブ１４の第３コーナー部１４ｃを移動操作し検査対象部１１の第３頂点１１ｃに対応位置させた状態で、コントローラ１６の第３アクションボタン２４ｃを押すことで、第３頂点１１ｃの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報の入力を完了する。
【００３６】
なお、検査対象部１１の対角２頂点として、第２頂点１１ｂと第４頂点１１ｄとの組み合わせであってもよく、その場合、第２頂点１１ｂに対し第２アクションボタン２４ｂ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｂ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
【００３７】
図４に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報から、中央制御器１２によりそれら対角２頂点１１ａ，１１ｃを結ぶ対角線Ｄに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【００３８】
そして、初期設定してあった特定要素（すなわち、位置入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃのうち先行して位置入力した第１頂点１１ａを基点として、矩形形状において時計回りに短辺１１Ｂから長辺１１Ａの順で第３頂点１１ｃに向かうことを検査対象部１１の位置を特定すること）に基づいて、２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【００３９】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００４０】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００４１】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【００４２】
２６はリーク検査時において、還気路８の通過空気にフィルタリーク検査用の粉状体Ｐを混入する粉状体混入装置、２７はリーク検査時に給気チャンバ５内の各部の空気を選択的に吸引捕集するように並置フィルタ群Ｇのフィルタ並置方向で給気チャンバ内部の全域にわたらせて分散配置した複数の吸引具、２８はリーク検査時に吸引具２７で吸引捕集した給気チャンバ５内の空気を中央制御器１２に取り入れる取入口である。
【００４３】
〔第２実施形態〕
本発明における第２実施形態は、請求項２に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における対角２頂点１１ａ，１１ｃのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ２と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ２と、トレース入力手段ｘ２により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報、補助入力手段ｙ２により入力した形状情報、及び、同じく補助入力手段ｙ２により入力した姿勢情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ２は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ２は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００４４】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させることを条件とした姿勢条件と、コントローラ１６で位置入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃのうちいずれか一方の頂点を基点として、時計回りに短辺１１Ｂから長辺１１Ａの順で他方の頂点に向かうことを検査対象部１１の位置の特定要素とすることを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００４５】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させるものであってもよい。
そして、この特定要素として基点とした一方の頂点から他方の頂点に向かうのに、矩形形状において反時計回りに短辺１１Ｂ（１１Ｄ）から長辺１１Ａ（１１Ｃ）、時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）、反時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）のいずれの順に辿って向かうように定めてもよい。
また、この特定要素は、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置を特定しその位置情報を入力した後に中央制御器１２に設定する構成にしてもよい。
【００４６】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００４７】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００４８】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の頂点のＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の対角２頂点の第１頂点１１ａに対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【００４９】
続いて、人為操作にてコントローラ１６を用いてプローブ１４の第３コーナー部１４ｃを移動操作し検査対象部１１の第３頂点１１ｃに対応位置させた状態で、コントローラ１６の第３アクションボタン２４ｃを押すことで、第３頂点の位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報の入力を完了する。
【００５０】
なお、検査対象部１１の対角２頂点として、第２頂点１１ｂと第４頂点１１ｄとの組み合わせであってもよく、その場合、第２頂点１１ｂに対し第２アクションボタン２４ｂ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｂ，１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、対角２頂点の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【００５１】
図４に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報から、中央制御器１２によりそれら対角２頂点１１ａ，１１ｃを結ぶ対角線Ｄに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【００５２】
そして、人為操作によりキーボード１８を用いて、コントローラ１６で位置入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃのうち第１頂点１１ａを基点と選択することで、初期設定してあった特定要素（すなわち、基点とする一方の頂点から時計回りに短辺１１Ｂから長辺１１Ａの順で他方の頂点に向かうことを検査対象部１１の位置の特定要素）に基づいて、２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【００５３】
なお、この特定要素として一方の頂点から他方の頂点に向かうのに、反時計回りに短辺１１Ｂ（１１Ｄ）から長辺１１Ａ（１１Ｃ）、時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）、反時計回りに長辺１１Ａ（１１Ｃ）から短辺１１Ｂ（１１Ｄ）のいずれの順に辿って向かうように定めてもよい。
また、この特定要素の入力は、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報を入力する前に行なってもよい（すなわち、検査対象部１１の形状情報、及び、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報の入力と同時に行なってもよい。）。
【００５４】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００５５】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００５６】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【００５７】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【００５８】
〔第３実施形態〕
本発明における第３実施形態は、請求項２に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における対角２頂点１１ａ，１１ｃのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ３と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ３と、トレース入力手段ｘ３により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報、補助入力手段ｙ３により入力した形状情報、及び、同じく補助入力手段ｙ３により入力した姿勢情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ３は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ３は、中央制御器１２、モニター１７、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００５９】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させることを条件とした姿勢条件とを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００６０】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させるものであってもよい。
【００６１】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００６２】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００６３】
次に、上述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の頂点のＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作し、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の対角２頂点の第１頂点１１ａに対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【００６４】
続いて、人為操作にてコントローラ１６を用いてプローブ１４の第３コーナー部１４ｃを移動操作し検査対象部１１の第３頂点１１ｃに対応位置させた状態で、コントローラ１６の第３アクションボタン２４ｃを押すことで、第３頂点１１ｃの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報の入力を完了する。
【００６５】
なお、検査対象部１１の対角２頂点として、第２頂点１１ｂと第４頂点１１ｄとの組み合わせであってもよく、その場合、第２頂点１１ｂに対し第２アクションボタン２４ｂ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｂ，１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、対角２頂点の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【００６６】
図４に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報から、中央制御器１２によりそれら対角２頂点１１ａ，１１ｃを結ぶ対角線Ｄに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２が検査対象部１１の位置候補として特定され、それら２つの矩形形状ａ１，ａ２がモニター１７に表示される。
【００６７】
そして、人為操作にて、モニター１７に表示された２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１をキーボード１８又はマウス１９を操作して選択し、矩形形状ａ１を検査対象部１１の実際の位置として特定する。
【００６８】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００６９】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００７０】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【００７１】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【００７２】
〔第４実施形態〕
本発明における第４実施形態は、請求項３に係る発明の実施に好適な実施形態であり、図６に示すように、走査検査具１３のプローブ１４に対しフレーム部１５に、人為操作によるプローブ１４の相対回転角度を検出するセンサｓを設けてある構成にする。
【００７３】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、人為操作による走査検査具１３の回転操作におけるプローブ１４の相対回転角度に基づいた検査対象部１１の矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報、及び、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における対角２頂点１１ａ，１１ｃのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ４と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ４と、トレース入力手段ｘ４により入力した対角２頂点１１ａ，１１ｃそれぞれの位置情報、同じくトレース入力手段ｘ４により入力した姿勢情報、及び、補助入力手段ｙ４により入力した形状情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ４は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５、コントローラ１６及びセンサｓで構成され、補助入力手段ｙ４は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００７４】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させることを条件とした姿勢条件とを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００７５】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃに対応位置させるものであってもよい。
【００７６】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００７７】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００７８】
次に、上述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の頂点のＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させる。
この時、人為操作によって相対回転させられたプローブ１４のフレーム部１５に対する相対回転角度がセンサｓによって検出される。
【００７９】
そして、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の対角２頂点の第１頂点１１ａに対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、センサｓによって検出されてあるプローブ１４の相対回転角度情報が中央制御器１２に送信され、中央制御器１２がその相対回転角度情報に基づいて矩形形状の姿勢を特定する。
【００８０】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第３コーナー部１４ｃを移動操作し検査対象部１１の第３頂点１１ｃに対応位置させた状態で、コントローラ１６の第３アクションボタン２４ｃを押すことで、第３頂点１１ｃの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報の入力及び検査対象部１１の姿勢の特定を完了する。
【００８１】
なお、検査対象部１１の対角２頂点として、第２頂点１１ｂと第４頂点１１ｄとの組み合わせであってもよく、その場合、第２頂点１１ｂに対し第２アクションボタン２４ｂ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｂ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、対角２頂点の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【００８２】
そして、これら検査対象部１１の形状情報、検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃの位置情報、及び、センサｓにより検出されたプローブ１４の相対回転角度情報に基づく検査対象部１１の姿勢情報から、図４に示す矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【００８３】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００８４】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００８５】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【００８６】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【００８７】
〔第５実施形態〕
本発明における第５実施形態は、請求項４に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのそれぞれに対し順次に対応位置させる人為操作により、それら１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報を順次に入力するトレース入力手段ｘ５と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ５と、トレース入力手段ｘ５により入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、同じくトレース入力手段によるそれら両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報の入力の順序、及び、補助入力手段ｙ５により入力した形状情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ５は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ５は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【００８８】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させることを条件とした姿勢条件と、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうち先行して位置入力した第１頂点１１ａを基準として後行して位置入力した第２頂点１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状の大部分がその１辺ｆに対し左側にあることを検査対象部１１の位置特定の特定要素とすることとを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【００８９】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させるものであってもよい。
そして、この特定要素として、第１頂点１１ａから第２頂点１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状の大部分が位置特定した１辺ｆに対し右側にあるように定めてもよい。
また、この特定要素は、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置を特定しその位置情報を入力した後に中央制御器１２に設定する構成にしてもよい。
【００９０】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【００９１】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【００９２】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の１辺ｆの端部におけるＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の第１頂点１１ａ（検査対象部１１の１辺ｆの一方の端部）に対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【００９３】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第２コーナー部１４ｂを移動操作し検査対象部１１の第２頂点１１ｂ（検査対象部１１の１辺ｆの他方の端部）に対応位置させた状態で、コントローラ１６の第２アクションボタン２４ｂを押すことで、第２頂点１１ｂの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報の入力を完了する。
【００９４】
なお、検査対象部１１の１辺ｆとして、第１頂点１１ａと第４頂点１１ｄとの間の辺、第２頂点１１ｂと第３頂点１１ｃとの間の辺、第３頂点１１ｃと第４頂点１１ｄとの間の辺のいずれであってもよく、その場合、第３頂点１１ｃに対し第３アクションボタン２４ｃ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｃ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
【００９５】
図５に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報から、中央制御器１２によりプローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つの矩形形状ａ１、ａ２（すなわち、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれに対応位置させたプローブ１４の中心を結ぶ軸芯ｚに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２）が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【００９６】
そして、初期設定してあった特定要素（すなわち、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうち先行して位置入力した第１頂点１１ａを基準として後行して位置入力した第２頂点１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状の大部分がその１辺ｆに対し左側にあること）に基づいて、２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【００９７】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【００９８】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【００９９】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【０１００】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【０１０１】
〔第６実施形態〕
本発明における第６実施形態は、請求項５に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ６と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ６と、トレース入力手段ｘ６により入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、補助入力手段ｙ６により入力した形状情報、及び、同じく補助入力手段ｙ６により入力した姿勢情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対して走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ６は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ６は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【０１０２】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させることを条件とした姿勢条件と、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうちいずれか一方の端部（第１頂点）１１ａを基準として他方の端部（第２頂点）１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状がその１辺ｆに対し左側にあることを検査対象部１１の位置特定の特定要素とすることとを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【０１０３】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させるものであってもよい。
そして、この特定要素として、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの一方の端部（第１頂点）１１ａから他方の端部（第２頂点）１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状の大部分が位置特定した１辺ｆに対し右側にあるように定めてもよい。
また、この特定要素は、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置を特定しその位置情報を入力した後に中央制御器１２に設定する構成にしてもよい。
【０１０４】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【０１０５】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【０１０６】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の１辺ｆの端部におけるＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の第１頂点１１ａ（検査対象部１１の１辺ｆの一方の端部）に対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【０１０７】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第２コーナー部１４ｂを移動操作し検査対象部１１の第２頂点１１ｂ（検査対象部１１の１辺ｆの他方の端部）に対応位置させた状態で、コントローラ１６の第２アクションボタン２４ｂを押すことで、第２頂点１１ｂの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報の入力を完了する。
【０１０８】
なお、検査対象部１１の１辺ｆとして、第１頂点１１ａと第４頂点１１ｄとの間の辺、第２頂点１１ｂと第３頂点１１ｃとの間の辺、第３頂点１１ｃと第４頂点１１ｄとの間の辺のいずれであってもよく、その場合、第３頂点１１ｃに対し第３アクションボタン２４ｃ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｃ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、１辺ｆの両端の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【０１０９】
図５に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報から、中央制御器１２によりプローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つの矩形形状ａ１、ａ２（すなわち、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれに対応位置させた時のプローブ１４の中心を結ぶ軸芯ｚに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２）が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【０１１０】
そして、人為操作によりキーボード１８を用いて、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうち第１頂点１１ａを基準と選択することで、初期設定してあった特定要素（すなわち、コントローラ１６で位置入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのうちいずれか一方の端部（第１頂点）１１ａを基準として他方の端部（第２頂点）１１ｂを臨んだとき、検査対象部１１の矩形形状がその１辺ｆに対し左側にあることを検査対象部１１の位置特定の特定要素）に基づいて、２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の実際の位置として中央制御器１２により特定される。
【０１１１】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【０１１２】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【０１１３】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【０１１４】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【０１１５】
〔第７実施形態〕
本発明における第７実施形態は、請求項５に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのそれぞれに対し対応位置させる人為操作により、それら１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報を入力するトレース入力手段ｘ７と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報、及び、矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ７と、トレース入力手段ｘ７により入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、補助入力手段ｙ７により入力した形状情報、及び、同じく補助入力手段ｙ７により入力した姿勢情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ７は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ６は、中央制御器１２、モニター１７、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【０１１６】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させることを条件とした姿勢条件とを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【０１１７】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させるものであってもよい。
【０１１８】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【０１１９】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【０１２０】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の１辺ｆの端部におけるＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の第１頂点１１ａ（検査対象部１１の１辺ｆの一方の端部）に対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【０１２１】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第２コーナー部１４ｂを移動操作し検査対象部１１の第２頂点１１ｂ（検査対象部１１の１辺ｆの他方の端部）に対応位置させた状態で、コントローラ１６の第２アクションボタン２４ｂを押すことで、第２頂点１１ｂの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報の入力を完了する。
【０１２２】
なお、検査対象部１１の１辺ｆとして、第１頂点１１ａと第４頂点１１ｄとの間の辺、第２頂点１１ｂと第３頂点１１ｃとの間の辺、第３頂点１１ｃと第４頂点１１ｄとの間の辺のいずれであってもよく、その場合、第３頂点１１ｃに対し第３アクションボタン２４ｃ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｃ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、１辺ｆの両端の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【０１２３】
図５に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報から、中央制御器１２によりプローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つの矩形形状ａ１、ａ２（すなわち、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれに対応位置させた時のプローブ１４の中心を結ぶ軸芯ｚに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２）が検査対象部１１の位置候補として特定され、それら２つの矩形形状ａ１，ａ２がモニター１７に表示される。
【０１２４】
そして、人為操作にて、モニター１７に表示された２つの矩形形状ａ１、ａ２から矩形形状ａ１をキーボード１８又はマウス１９を操作して選択し、矩形形状ａ１を検査対象部１１の実際の位置として特定する。
【０１２５】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【０１２６】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【０１２７】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【０１２８】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【０１２９】
〔第８実施形態〕
本発明における第８実施形態は、請求項６に係る発明の実施に好適な実施形態であり、このフィルタ検査用スキャン装置Ｍには、走査検査具１３を検査対象部１１の矩形形状における１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂのそれぞれに対し対応位置させる人為操作によるそれら１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、及び、その１辺ｆに対していずれか一方側に走査検査具１３を対応位置させる人為操作による検査対象部１１の矩形形状の姿勢の特定に用いる姿勢情報を入力するトレース入力手段ｘ８と、矩形形状の大きさと形の特定に用いる形状情報を、走査検査具１３の移動操作が不要な所定操作形態の人為操作により入力する補助入力手段ｙ６と、トレース入力手段ｘ８により入力した１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれの位置情報、同じくトレース入力手段ｘ８により入力した姿勢情報、及び、補助入力手段ｙ８により入力した形状情報に基づき、検査対象部１１の位置を特定して走査検査具１３を検査対象部１１に対し走査動作させる制御手段とを設けてあり、本実施形態においてトレース入力手段ｘ８は、中央制御器１２、走査検査具１３、フレーム部１５及びコントローラ１６で構成され、補助入力手段ｙ８は、中央制御器１２、キーボード１８及びマウス１９で構成され、制御手段は中央制御器１２で構成されている。
【０１３０】
このフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いてフィルタ検査を行うための初期設定として、走査検査具１３のプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについてのプローブ形状情報と、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が矩形形状の検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させることを条件とした姿勢条件とを、中央制御器１２に予め設定しておく。
【０１３１】
なお、プローブ１４の姿勢条件は、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）が検査対象部１１の長辺１１Ａ（１１Ｃ）に沿う姿勢（すなわち、プローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）が検査対象部１１の短辺１１Ｂ（１１Ｄ）に沿う姿勢）になるようにプローブ１４を回転させて検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂに対応位置させるものであってもよい。
【０１３２】
フィルタ検査を実行するのに、中央制御器１２に検査対象部１１の位置を特定させる。
【０１３３】
先ず、中央制御器１２に、矩形形状である検査対象部１１の大きさと形の形状情報を、人為入力操作によりキーボード１８及びマウス１９を用いて入力する。
【０１３４】
次に、前述のプローブ１４の姿勢条件に従って、プローブ１４のコーナー部１４ａ〜１４ｄのＬ字形状が検査対象部１１の１辺ｆの端部におけるＬ字形状と同姿勢で合致するように人為操作にてプローブ１４を相対回転させ、検査対象部１１とプローブ１４とを見上げた姿勢で目視確認しながらコントローラ１６を用いてプローブ１４を移動操作して、プローブ１４の第１コーナー部１４ａを検査対象部１１の第１頂点１１ａ（検査対象部１１の１辺ｆの一方の端部）に対応位置させた状態でコントローラ１６の第１アクションボタン２４ａを押すことで、第１頂点１１ａの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
【０１３５】
続いて、コントローラ１６を用いてプローブ１４の第２コーナー部１４ｂを移動操作し検査対象部１１の第２頂点１１ｂ（検査対象部１１の１辺ｆの他方の端部）に対応位置させた状態で、コントローラ１６の第２アクションボタン２４ｂを押すことで、第２頂点１１ｂの位置を特定しその位置情報を中央制御器１２に入力する。
そして、その後スタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報の入力を完了する。
【０１３６】
なお、検査対象部１１の１辺ｆとして、第１頂点１１ａと第４頂点１１ｄとの間の辺、第２頂点１１ｂと第３頂点１１ｃとの間の辺、第３頂点１１ｃと第４頂点１１ｄとの間の辺のいずれであってもよく、その場合、第３頂点１１ｃに対し第３アクションボタン２４ｃ、第４頂点１１ｄに対しては第４アクションボタン２４ｄを押して、それら頂点１１ｃ、１１ｄの位置を特定しそれらの位置情報を入力する。
また、１辺ｆの両端の位置情報の入力順序は任意の順序でよい。
【０１３７】
図５に示すように、これら検査対象部１１の形状情報、及び、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂの位置情報から、中央制御器１２によりプローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つの矩形形状ａ１、ａ２（すなわち、検査対象部１１の１辺ｆの両端１１ａ，１１ｂそれぞれに対応位置させた時のプローブ１４の中心を結ぶ軸芯ｚに対して線対称となる２つの矩形形状ａ１、ａ２）が検査対象部１１の位置候補として特定される。
【０１３８】
そして、人為操作によりコントローラ１６を用いてプローブ１４を、検査対象部１１が位置する方向の側へ適当に移動させて第１アクションボタン２４ａを押し、その後再びスタートボタン２３を押すことで、検査対象部１１の姿勢情報が入力され、これによって、プローブ１４の各短辺１４Ｂ，１４Ｄに沿う辺を有する２つ矩形形状ａ１，ａ２から矩形形状ａ１が検査対象部１１の位置として中央制御器１２により特定される。
なお、検査対象部１１の姿勢情報を入力するアクションボタンは、第１アクションボタン２４ａに限らず、第２アクションボタン２４ｂ、第３アクションボタン２４ｃ又は第４アクションボタン２４ｄのいずれのアクションボタンであってもよい。
【０１３９】
更に、検査対象部１１の位置が特定されたことと、プローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、中央制御器１２が走査検査具１３の検査移動域２５を算出して特定する。
【０１４０】
検査移動域２５の算出方法は、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶことで算出する。
【０１４１】
そして、中央制御器１２は、フィルタ検査において、プローブ１４をこの検査移動域２５に沿って走査移動させ、フィルタ掛止部４ａとシリコンコーキングＣとの間における空気漏洩に対する検査を実行する。
【０１４２】
なお、その他の構成は、第１実施形態で説明した構成と同一であるから、同一の構成箇所には、第１実施形態と同一の番号を付記してそれの説明は省略する。
【０１４３】
〔別の実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
【０１４４】
上述の実施形態では、浄化対象室２の天井面に並列配置した複数のフィルタ４を検査対象とする場合を示したが、検査対象のフィルタ４は複数のものでなくてもよく、単数のフィルタ４であってもよい。
【０１４５】
走査検査具１３のプローブ１４を検査対象部１１の対角２頂点、又は、１辺ｆの両端に対応位置させるのに、プローブ１４又はフレーム部１５のプローブ１４の近傍箇所にレーザーポインターを設け、そのレーザーポインターが示す点を見ながらをコントローラ１６、キーボード１８又はマウス１９トレース入力手段として、プローブ１４の位置操作及びその位置入力を行う構成にしてもよい。
また、プローブ１４又はフレーム部１５のプローブ１４の近傍箇所にＣＣＤカメラ等の小型カメラを配置し、その小型カメラによる映像をモニター１７に映し出して、その映像を見ながらコントローラ１６、キーボード１８又はマウス１９をトレース入力手段として、プローブ１４の位置操作及びその位置入力を行う構成にしてもよい。
【０１４６】
コントローラ１６の構成は、上述の実施形態に記載の構成に限るものではなく、操作方向キー２２、スタートボタン２３、及び、少なくとも一つのアクションボタン２４ａから構成されるものであれば、種々のコントローラを採用することができる。
【０１４７】
中央制御器１２による走査検査具１３の検査移動域２５の算出方法は、上述の実施形態のように初期設定として予め設定されてあるプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）と短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さについての形状情報とに基づいて、位置特定された検査対象部１１の対角２頂点１１ａ，１１ｃ（１１ｂ，１１ｄ）それぞれから外方に、検査対象部１１の短辺方向に対するプローブ１４の長辺１４Ａ（１４Ｃ）の長さの１／２の長さ分と、検査対象部１１の長辺方向に対するプローブ１４の短辺１４Ｂ（１４Ｄ）の長さの１／２の長さ分とを移動させた点を結ぶ方法に限るものではなく、任意の検査対象部１１の短辺方向への移動距離情報及び検査対象部１１の長辺方向への移動距離情報を入力し、それら移動距離情報に基づいて検査移動域２５を算出する方法やその他の種々の算出方法を採用してもよい。
【０１４８】
給気チャンバ５に対する空気供給風路は、還気路８のような風路構造に限定されるものではなく、どのような風路構造のものであってもよい。
【０１４９】
フィルタリーク検査用の粉状体Ｐは、エアロゾル化したフタル酸ジオプチル（ＤＯＰ）に限定されるものではなく、その他にも種々のものを適用できる。
【０１５０】
浄化対象室２の用途は、薬品や食品の製造室、あるいは、半導体部品の製造室に限られるものではなく、どのような用途であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンブースの全体構造を示す正面視断面図
【図２】並置フィルタ群の出口面を示す図
【図３】遠隔操作器の図
【図４】本発明の第１〜第４実施形態における検査対象部を示す図
【図５】本発明の第５〜第８実施形態における検査対象部を示す図
【図６】本発明の第４実施形態における走査検査具を示す斜視図
【符号の説明】
４              フィルタ
１１              検査対象部
１２              制御手段
１３              走査検査具
１６              携帯式の遠隔操作器
１１ａ，１１ｃ    対角２頂点
１１ａ，１１ｂ    １辺の両端
１１ａ〜１１ｄ    フィルタの開口部におけるコーナー部
１３ａ〜１３ｄ    走査検査具のコーナー部
ｆ                １辺
ｘ１〜ｘ８        トレース入力手段
ｙ１〜ｙ８        補助入力手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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