(57)【要約】【課題】ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間を結ぶ信号線の本数を減らすことで、そのケーブルの引き回しが容易になるとともに、ケーブルのコネクタを小さくすることが可能な真空ポンプを提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００は、シリアル−パラレル変換及びパラレル−シリアル変換を行う変換回路３６３及び変換回路４６３をそれぞれ備えており、ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００との間に存在する制御信号をシリアル通信バス３６０を用いて、交信することが可能である。よって、ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００との間の制御信号線は、往路通信バス３６０Ａと復路通信バス３６０Ｂの２本のみとなる。【選択図】　　　　図１
2004052727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被対象設備より所定のガスを吸引するターボ分子ポンプ本体と、
該ターボ分子ポンプ本体の制御を行う制御装置と、
前記ターボ分子ポンプ本体から送信され、前記制御装置に受信されるデータが伝送される第１の信号線と、
前記制御装置から送信され、前記ターボ分子ポンプ本体に受信されるデータが伝送される第２の信号線と、
前記第１の信号線に送信するデータをパラレル−シリアル変換する第１のパラレル−シリアル変換回路と、
前記第２の信号線から受信する信号をシリアル−パラレル変換する第１のシリアル−パラレル変換回路と、
前記第２の信号線に送信するデータをパラレル−シリアル変換する第２のパラレル−シリアル変換回路と、
前記第１の信号線から受信する信号をシリアル−パラレル変換する第２のシリアル−パラレル変換回路とを備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記ターボ分子ポンプ本体は、
回転体と、該回転体を磁力により支持する電磁石と、
前記回転体を回転駆動するモータとを備え、
前記データは、少なくとも前記回転体の位置及び運転状態の検出及び／又は故障状態の検出及び／又は機種特定を行う信号であることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
回転体と、
該回転体を磁力により支持する電磁石と、
前記回転体を回転駆動するモータとを備えたターボ分子ポンプ本体と、
該ターボ分子ポンプ本体の制御を行う制御装置とを備えた真空ポンプであって、前記電磁石を駆動するアンプと前記モータを駆動する駆動回路とが、前記ターボ分子ポンプ本体に配設されたことを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空ポンプに関わり、ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間を結ぶ信号線の本数を減らすことで、そのケーブルの引き回しが容易になるとともに、ケーブルのコネクタを小さくすることが可能な真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
【０００３】
そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なく、保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。
また、半導体の製造工程では、様々なプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。
【０００４】
このターボ分子ポンプは、プロセスガスを吸引排気するターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子ポンプ本体を制御する制御装置とから構成されている。
このターボ分子ポンプ本体の縦断面図を図３に示す。
【０００５】
図３において、ターボ分子ポンプ本体１００は、円筒状の外筒１２７の上端に吸気口１０１が形成されている。外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３を備える。
この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
【０００６】
上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対応されて４個の電磁石からなる上側径方向センサ１０７が備えられている。この上側径方向センサ１０７は回転体１０３の径方向変位を検出し、その信号を図示せぬ制御装置に送るように構成されている。
【０００７】
制御装置においては、上側径方向センサ１０７が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する磁気軸受制御回路を介したアンプの出力により、上側径方向電磁石１０４の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を調整する。
ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。
【０００８】
また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置が、上側の径方向位置と同様に、制御装置において調整されている。
【０００９】
さらに、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向変位信号が制御装置に送られるように構成されている。
【００１０】
そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂは、この軸方向変位信号に基づき制御装置のＰＩＤ調節機能を有する磁気軸受制御回路を介したアンプの出力により、励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石１０６Ａは、磁力により金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１０６Ｂは、金属ディスク１１１を下方に吸引する。
このように、制御装置では、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持する。
【００１１】
モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。これら各磁極は、制御装置のＰＷＭ制御機能を有するモータ制御回路を介した駆動回路から出力された動力信号により、モータ１２１を回転駆動するよう制御されている。
また、モータ１２１には、図示しない回転数センサ及びモータ温度センサが取り付けられており、これらの回転数センサ及びモータ温度センサの検出信号を受けて、制御装置においてロータ軸１１３の回転が制御されている。
【００１２】
回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・が配設されている。回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。
【００１３】
また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。
そして、固定翼１２３の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
【００１４】
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。
固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設され、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間にはネジ付きスペーサ１３１が配設されている。そして、ベース部１２９中のネジ付きスペーサ１３１の下部には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。
【００１５】
ネジ付きスペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。
ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。
【００１６】
回転体１０３の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・に続く最下部には回転翼１０２ｄが垂下されている。この回転翼１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。
【００１７】
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ本体１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。
ベース部１２９はターボ分子ポンプ本体１００を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。
また、ベース部１２９には、コネクタ１６０が配設されており、このコネクタ１６０は、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置との間の信号線の出口になっている。
【００１８】
かかる構成において、回転翼１０２がモータ１２１により駆動されてロータ軸１１３と共に回転すると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。
【００１９】
吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。そして、ベース部１２９に移送されてきた排気ガスは、ネジ付きスペーサ１３１のネジ溝１３１ａに案内されつつ排気口１３３へと送られる。
【００２０】
このとき、排気ガスは、場合により高温の状態でチャンバに導入される。そして、この排気ガスは、ターボ分子ポンプ本体１００内で低温となると固体状になる場合があり、ターボ分子ポンプ本体１００内部に付着して堆積し、その性能を低下させるおそれがあった。そこで、近年のターボ分子ポンプにおいては、Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ　Ｓｙｓｔｅｍ制御（以下、ＴＭＳ制御という。）を行っている場合が多い。
【００２１】
ＴＭＳ制御とは、ベース部１２９等に、図示しないヒータや環状の水冷管１４９、及び図示しないＴＭＳ温度センサ等を配設し、このＴＭＳ温度センサの検知信号を制御装置で処理することで、ベース部１２９の温度を一定に保ち、ターボ分子ポンプ本体１００内に堆積物が付着しないようにするものである。
【００２２】
また、ターボ分子ポンプ本体１００は、個々に調整された固有のパラメータ（例えば、機種の特定、機種に対応する諸特性）に基づいた制御を要する。この制御パラメータを格納するために、ターボ分子ポンプ本体１００は、その本体内に電子回路部１４１を備えている。
【００２３】
電子回路部１４１は、ターボ分子ポンプ本体１００の機種を特定するためのＩＤ抵抗や、その機種に対応する諸特性を保存するＥＥＰ−ＲＯＭ等の不揮発性の半導体メモリや、それらのアクセスのための半導体素子等の電子部品、それら実装用の基板１４３等から構成されている。
【００２４】
電子回路部１４１内のＥＥＰ−ＲＯＭやＩＤ抵抗が持つ各パラメータは、制御装置において処理されるとともに、その処理データは、個々のターボ分子ポンプ本体１００の動作を制御するために、再び電子回路部１４１に戻される。
この電子回路部１４１は、ターボ分子ポンプ本体１００の下部を構成するベース部１２９の中央付近の軸方向センサ１０９の下部に収容され、機密性の底蓋１４５によって閉じられている。
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようなターボ分子ポンプにおいて、上述のように、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置との間を結ぶ信号線の数は非常に多い。
すなわち、ロータ軸１１３の５軸を制御する上側径方向、下側径方向、軸方向の各回転軸位置センサ１０７、１０８、１０９からは、各軸毎の変位を検出するために制御信号が１５本出力されている。
【００２６】
また、これらセンサから制御信号を受けた制御装置は、ＰＩＤ調節機能を有する磁気軸受制御回路を介して、各電磁石１０４、１０５、１０６Ａ、１０６Ｂを励磁するために２０本の動力信号を出力する。具体的には、各軸毎に正極、負極の２本と、それらの入出力線とが、各回転軸位置センサ１０７、１０８、１０９毎に必要となっている。
【００２７】
さらに、制御装置からは、モータ１２１の駆動のため、３相モータ用に３本の動力信号が出力されている。
また、ターボ分子ポンプ本体１００の回転数センサ及びモータ温度センサやＴＭＳ温度センサと、制御装置との間には、それぞれ入出力信号が、１本ずつ存在している。
【００２８】
さらに、電子回路部１４１のＥＥＰ−ＲＯＭと制御装置との間には１０本の制御信号が、ＩＤ抵抗と制御装置との間には２本の制御信号が、それぞれ必要となっている。
なお、制御装置には、外部の商用電源から電力が供給されており、さらに、制御装置に供給された電源が、ターボ分子ポンプ本体１００にも送られている。そして、このターボ分子ポンプ本体１００に送られた電源は、電子回路部１４１等の電源となっている。
【００２９】
このように、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置との間には、制御信号が３３本と、動力信号が２３本存在し、さらに電源線が複数本存在している。特に、電源線を除く５６本の信号線は、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置との間で並列に接続されており、また、これらの信号は１本のケーブル１５０として束ねられていた。
【００３０】
そのため、ケーブル１５０は太くなり、そのケーブル１５０の引き回しが困難で、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置の配置に制約を与えるおそれがあった。
また、このケーブル１５０の太さにより、ターボ分子ポンプ本体１００のコネクタ１６０の径が大きくなってしまい、ターボ分子ポンプ本体１００の小型化が困難であった。
さらに、信号線の本数が多いために、ケーブル１５０の重量が上がり、ケーブル１５０を含めて、ターボ分子ポンプ本体１００と制御装置の取り扱いが困難であった。
【００３１】
本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間を結ぶ信号線の本数を減らすことで、そのケーブルの引き回しが容易になるとともに、ケーブルのコネクタを小さくすることが可能な真空ポンプを提供することを目的とする。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
このため本発明は、被対象設備より所定のガスを吸引するターボ分子ポンプ本体と、該ターボ分子ポンプ本体の制御を行う制御装置と、前記ターボ分子ポンプ本体から送信され、前記制御装置に受信されるデータが伝送される第１の信号線と、前記制御装置から送信され、前記ターボ分子ポンプ本体に受信されるデータが伝送される第２の信号線と、前記第１の信号線に送信するデータをパラレル−シリアル変換する第１のパラレル−シリアル変換回路と、前記第２の信号線から受信する信号をシリアル−パラレル変換する第１のシリアル−パラレル変換回路と、前記第２の信号線に送信するデータをパラレル−シリアル変換する第２のパラレル−シリアル変換回路と、前記第１の信号線から受信する信号をシリアル−パラレル変換する第２のシリアル−パラレル変換回路とを備えたことを特徴とする。
【００３３】
ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間の信号をシリアル信号を用いて交信したことから、ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間を結ぶ信号線の本数を減らし、そのケーブルの引き回しが容易になるとともに、ケーブルのコネクタを小さくすることが可能である。
【００３４】
また、本発明は、前記ターボ分子ポンプ本体は、回転体と、該回転体を磁力により支持する電磁石と、前記回転体を回転駆動するモータとを備え、前記データは、少なくとも前記回転体の位置及び運転状態の検出及び／又は故障状態の検出及び／又は機種特定を行う信号であることを特徴とする。
【００３５】
ターボ分子ポンプ本体は、回転体、回転体を支える上側径方向、下側径方向、軸方向の各電磁石と、回転体を回転させるためのモータとを備えており、これらを制御するための制御信号は非常に多いが、この制御信号をシリアルに交信したことから、ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間を結ぶ信号線の本数を減らすことができる。
具体的には、ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間には、回転体の位置検出のために上側径方向、下側径方向、軸方向の各回転軸位置センサの検出信号、その運転状態を検出するために回転数センサ、モータ温度センサやＴＭＳ温度センサ等の検出信号、回転体の故障状態を検出するための検出信号や機種特定を行うためにＥＥＰ−ＲＯＭやＩＤ抵抗とのやりとりを行うための信号が必要になるが、これらの信号を第１の信号線と第２の信号線の２本のみで交信することができる。
【００３６】
さらに、本発明は、回転体と、該回転体を磁力により支持する電磁石と、前記回転体を回転駆動するモータとを備えたターボ分子ポンプ本体と、該ターボ分子ポンプ本体の制御を行う制御装置とを備えた真空ポンプであって、前記電磁石を駆動するアンプと前記モータを駆動する駆動回路とが、前記ターボ分子ポンプ本体に配設されたことを特徴とする。
【００３７】
アンプと駆動回路が、従来の制御装置側からターボ分子ポンプ本体側に移設されたので、制御装置から出力される動力信号を減らすことができる。
なお、この場合、制御装置に供給される電源は、ターボ分子ポンプ本体側から制御装置側に供給することが望ましい。
また、この電源は、第１の信号線や第２の信号線に含めて、制御装置に供給することができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施形態について説明する。図１に、本発明の第１実施形態であるターボ分子ポンプ本体と制御装置のブロック図を示す。なお、図３と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【００３９】
図１に示すターボ分子ポンプ本体３００は、そのターボ分子ポンプ本体３００の上側径方向、下側径方向、軸方向の各回転軸位置センサ１０７、１０８、１０９、回転数センサ、モータ温度センサ、ＴＭＳ温度センサ、ＥＥＰ−ＲＯＭ及びＩＤ抵抗（以下、これらの回路を総称して制御信号系回路３８０という）と、制御装置４００との間に存在する制御信号が、シリアル通信バス３６０により接続されている。
【００４０】
このシリアル通信バス３６０は、ターボ分子ポンプ本体３００から制御装置４００への信号を送信する往路通信バス３６０Ａと、制御装置４００からターボ分子ポンプ本体３００への信号を送信する復路通信バス３６０Ｂとを有している。そして、ターボ分子ポンプ本体３００は、制御信号系回路３８０が出力する信号を往路通信バス３６０Ａに出力するためのドライバ回路３６１と、復路通信バス３６０Ｂの信号レベルが入力されるレシーバ回路３６２とを備えている。
【００４１】
また、ターボ分子ポンプ本体３００は、変換回路３６３を備えており、この変換回路３６３は、ターボ分子ポンプ本体３００の制御信号系回路３８０と、ドライバ回路３６１及びレシーバ回路３６２との間に接続されている。
【００４２】
そして、この変換回路３６３は、制御信号系回路３８０内の各回路よりセンサ検知信号等を受けてパラレル−シリアル変換するとともに、その変換後のデータをドライバ回路３６１に出力するものである。また、変換回路３６３は、これとは逆に、レシーバ回路３６２の出力データをシリアル−パラレル変換し、制御信号系回路３８０内の各回路に送信するものである。
【００４３】
さらに、制御装置４００においても同様で、往路通信バス３６０Ａにはレシーバ回路４６２が、復路通信バス３６０Ｂにはドライバ回路４６１が接続されている。そして、これらのドライバ回路４６１及びレシーバ回路４６２には、変換回路３６３とほぼ同様な機能を有する変換回路４６３が接続されている。この変換回路４６３は、制御装置４００内のアンプを制御する磁気軸受制御回路や、駆動回路を制御するモータ制御回路等を備えた制御回路２７０とパラレル−シリアル変換及びシリアル−パラレル変換を行うものである。
【００４４】
かかる構成において、ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００との間の制御信号は、シリアル通信バス３６０を介して交信される。
すなわち、ターボ分子ポンプ本体３００から制御装置４００へ制御信号を送るときは、ターボ分子ポンプ本体３００側では、その制御信号系回路３８０内の各回路それぞれから並列に出力されたセンサ検知信号等が、変換回路３６３に入力される。
【００４５】
そして、変換回路３６３では、図示しない演算装置の処理により、並列に入力されたセンサ検知信号等が、あらかじめ決められた順序に並び変えられるとともに、その変換データが、シリアルに順次ドライバ回路３６１に出力される。この変換データを受けたドライバ回路３６１は、変換回路３６３が出力する順番に、往路通信バス３６０Ａに制御信号を出力する。
【００４６】
一方、制御装置４００側では、ターボ分子ポンプ本体３００のドライバ回路３６１から出力された制御信号が、レシーバ回路４６２に入力されるとともに、レシーバ回路４６２は、その入力データを変換回路４６３に順次出力する。変換回路４６３は、その入力データを所定タイミング毎に、若しくは所定データ長毎に、その入力データを並列に並び変えるとともに、その変換データを並列に制御装置４００の制御回路２７０に出力する。
【００４７】
また、制御装置４００からターボ分子ポンプ本体３００へ制御信号を送るときも、ターボ分子ポンプ本体３００から制御装置４００へ制御信号を送るときと同様の過程により制御信号が送信される。
すなわち、制御装置４００側では、ターボ分子ポンプ本体３００のＥＥＰ−ＲＯＭ等を制御するために制御回路２７０から出力された信号が、並列に変換回路４６３に入力されるとともに、そこでパラレル−シリアル変換されて、順次シリアルにドライバ回路４６１から復路通信バス３６０Ｂに出力される。
【００４８】
一方、ターボ分子ポンプ本体３００側では、レシーバ回路３６２が、ドライバ回路４６１より出力された制御信号を受けて、そのデータを順次変換回路３６３に出力するとともに、変換回路３６３では、このデータをシリアル−パラレル変換する。そして、この変換データを制御信号系回路３８０内の各回路に並列に出力する。
【００４９】
このように、ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００との間の制御信号の交信は、往路通信バス３６０Ａと復路通信バス３６０Ｂの２本のみで達成することができる。
【００５０】
よって、ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００との間の信号線の本数は、制御信号がシリアル通信バス３６０の２本と、動力信号が、従来と同様に２３本で、合計２５本となり、これらは、１本のケーブル３５０として、又は、シリアル通信バス３６０と、動力信号とを別のケーブルとして、ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００の間との間を接続する。
【００５１】
以上により、ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００との間を結ぶ制御信号の本数を減らすことができ、ケーブル３５０を細くすることができる。
また、そのケーブル３５０の引き回しが容易になり、ターボ分子ポンプ本体３００の配置の自由度を増すことができる。
【００５２】
さらに、ターボ分子ポンプ本体３００と制御装置４００との間の信号線の本数が減ったので、ケーブル３５０が軽量化され、ターボ分子ポンプ本体３００及び制御装置４００の取り扱いを容易にすることができる。
また、ケーブル３５０が細くなったため、ターボ分子ポンプ本体３００側のコネクタ１６０の径を小さくすることができ、ターボ分子ポンプ本体３００の小型化が容易になる。
なお、シリアル通信バス３６０としては、ＲＳ−２３２Ｃ、ＲＳ−４２２、ＲＳ−４８５等で良く、また、イーサーネット等の通信線であっても良い。
【００５３】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
第１実施形態であるターボ分子ポンプ本体３００及び制御装置４００は、これらの間の制御信号の本数を減らすものであったが、第２実施形態であるターボ分子ポンプ本体５００及び制御装置６００は、これらの間の動力信号の本数を減らすものである。
【００５４】
第２実施形態であるターボ分子ポンプ本体と制御装置のブロック図を図２に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
図２に示す制御装置６００は、制御装置４００と異なり、ターボ分子ポンプ本体５００の各電磁石１０４、１０５、１０６Ａ、１０６Ｂ及びモータ１２１に動力信号を出力するアンプ及び駆動回路（以下、これらの回路を総称して動力信号系回路２８０という）を備えておらず、この動力信号系回路２８０は、ターボ分子ポンプ本体５００に配設されている。
【００５５】
そして、動力信号系回路２８０のアンプは、変換回路３６３と各電磁石１０４、１０５、１０６Ａ、１０６Ｂとの間に、また、駆動回路は、変換回路３６３とモータ１２１との間に接続されており、それぞれ変換回路３６３から出力されたデータに基づいて、各電磁石１０４、１０５、１０６Ａ、１０６Ｂ及びモータ１２１の動作を制御するようになっている。
【００５６】
かかる構成において、ターボ分子ポンプ本体５００内の動力信号系回路２８０は、制御装置６００からの制御信号を用いて制御される。
すなわち、制御装置６００は、従来の制御装置が出力していた動力信号を出力する必要はないが、その一方、従来の制御装置において動力信号系回路２８０を制御するための信号が、制御装置６００とターボ分子ポンプ本体５００との間を結ぶ制御信号に加えられる。
【００５７】
しかし、この加えられた制御信号は、第１実施形態と同様に、パラレル−シリアル変換、シリアル−パラレル変換することが可能であり、その他の制御信号とともに、シリアル通信バス３６０を介して交信することができる。
【００５８】
すなわち、制御装置６００からターボ分子ポンプ本体５００内の動力信号系回路２８０に制御信号を送信する場合、制御装置６００側では、変換回路４６３において動力信号系回路２８０に必要な信号を含んだ形でパラレル−シリアル変換されるとともに、その変換データが順次復路通信バス３６０Ｂに出力される。
【００５９】
また、ターボ分子ポンプ本体５００側では、変換回路３６３によって、動力信号系回路２８０用の信号を含んだ制御信号がシリアル−パラレル変換され、その変換データが、動力信号系回路２８０及び制御信号系回路３８０に出力される。
【００６０】
よって、ターボ分子ポンプ本体５００と制御装置６００との間の信号線の本数は、動力信号系回路２８０が制御装置６００からターボ分子ポンプ本体５００に移設されたことで、動力信号が不要になり、また、動力信号系回路２８０に必要な制御信号をシリアル通信バス３６０を介して交信することができるので、合計で、２本のみとなる。
【００６１】
なお、ターボ分子ポンプ本体５００と制御装置６００の電源は、従来のように、商用電源を制御装置に供給して、制御装置からターボ分子ポンプ本体１００に電源を供給するよりも、商用電源４５０をターボ分子ポンプ本体５００に供給して、ターボ分子ポンプ本体５００から制御装置６００に電源を供給するようにした方が望ましい。この電源線は、シリアル通信バス３６０の一本を利用して、ターボ分子ポンプ本体５００から制御装置６００に供給することが可能だからである。
【００６２】
以上により、ターボ分子ポンプ本体５００と制御装置６００との間を結ぶ制御信号の本数を減らしつつ、かつ、その電源線をシリアル通信バス３６０に含めて、制御装置６００側に送信することができる。
【００６３】
なお、ターボ分子ポンプ本体５００に移設された動力信号系回路２８０は、底蓋１４５付近に突設させても良いし、さらに、底蓋１４５の機能を備えつつ配設させても良い。
また、動力信号系回路２８０自体を新たな基板上に配設し、それをベース部１２９内のコネクタ１６０付近に埋め込んでも良い。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間の制御信号が、シリアル通信バスを介して交信されるため、ターボ分子ポンプ本体と制御装置との間を結ぶ信号線の本数が減り、そのケーブルの引き回しが容易になるとともに、ケーブルのコネクタを小さくすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態のブロック図
【図２】本発明の第２実施形態のブロック図
【図３】ターボ分子ポンプ本体の縦断面図
【符号の説明】
１００、３００、５００　ターボ分子ポンプ本体
１０３　回転体
１０４　上側径方向電磁石
１０５　下側径方向電磁石
１０７　上側径方向センサ
１０８　下側径方向センサ
１０９　軸方向センサ
１２１　モータ
１５０、３５０、５５０　ケーブル
１６０　コネクタ
２７０　制御回路
２８０　動力信号系回路
３６０　シリアル通信バス
３６０Ａ　往路通信バス
３６０Ｂ　復路通信バス
３６１、４６１　ドライバ回路
３６２、４６２　レシーバ回路
３６３、４６３　変換回路
３８０　制御信号系回路
４００、６００　制御装置
【図１】
2004052727.tif 000003
【図２】
2004052727.tif 000004
【図３】
2004052727.tif 000005