(57)【要約】【課題】複数の吐出ヘッドを直列に配列する場合にあって、ノズル列の配設角度の調節に伴うノズルの配列ピッチの部分的な乱れが防止される吐出装置を提供する。【解決手段】吐出装置１０は、液滴を吐出するノズルが配列したノズル列２１１，２１２，２１３を有する複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３と、複数の吐出ヘッドとワークとを相対移動させる駆動系とを備える。また、吐出装置１０は、複数の吐出ヘッドを互いに連結するリンク機構２５０と、複数の吐出ヘッドのそれぞれのノズル列がワークの走査方向に対して交差するように複数の吐出ヘッドの配列方向を、リンク機構２５０を介して同時に調節する第１調節機構２７０と、複数の吐出ヘッドのうちの隣り合う吐出ヘッドの間で、ノズル列同士が所定の位置関係になるように、リンク機構２５０の全体の配設角度を調節する第２調節機構２８０とを備える。【選択図】　　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルが配列したノズル列を有する複数の吐出ヘッドと、前記複数の吐出ヘッドとワークとを相対移動させる駆動系とを備える吐出装置であって、
前記複数の吐出ヘッドを互いに連結するリンク機構と、
前記複数の吐出ヘッドのそれぞれのノズル列が前記ワークの走査方向に対して交差するように前記複数の吐出ヘッドの配列方向を、前記リンク機構を介して同時に調節する第１調節機構と、
前記複数の吐出ヘッドのうちの隣り合う吐出ヘッドの間で、ノズル列同士が所定の位置関係になるように、前記リンク機構の全体の配設角度を調節する第２調節機構とを備えることを特徴とする吐出装置。
【請求項２】
前記所定の位置関係は、前記相対移動の方向と直交する方向に関して、前記隣り合う吐出ヘッドの間で、一方の吐出ヘッドのノズル列のうち他方の吐出ヘッドに近い側の片端のノズルと、他方の吐出ヘッドのノズル列のうち一方の吐出ヘッドに近い側の片端のノズルとが、同じ位置にある関係であることを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項３】
前記所定の位置関係は、前記相対移動の方向と直交する方向に関して、前記隣り合う吐出ヘッドの間で、一方の吐出ヘッドのノズル列のうち他方の吐出ヘッドに近い側の片端のノズルと、他方の吐出ヘッドのノズル列のうち一方の吐出ヘッドに近い側の片端のノズルとの距離が、ノズルの配列ピッチと同じになる関係であることを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項４】
前記第２調節機構は、前記リンク機構の節の一つを中心にして前記リンク機構全体の配設角度を調節することを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかに記載の吐出装置。
【請求項５】
前記第２調節機構は、前記リンク機構の節の一つを、前記相対移動の方向に案内する直動ガイドを含むことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれかに記載の吐出装置。
【請求項６】
前記リンク機構は、前記ノズル列の端のノズルの位置に配される節を有することを特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれかに記載の吐出装置。
【請求項７】
ワーク上に液体材料を配置する工程を有するデバイスの製造方法であって、
請求項１から請求項６のうちのいずれかに記載の吐出装置を用いて、前記液体材料の配置を行うことを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載のデバイスの製造方法を用いて製造されたことを特徴とするデバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体材料を液滴状に吐出する吐出装置、デバイスの製造方法、並びにデバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液体材料を液滴状に吐出するノズル列を有する吐出ヘッドと、吐出ヘッドとワークとを相対移動させる駆動系とを備える吐出装置は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置しやすいという利点がある。
【０００３】
こうした吐出装置において、相対移動の方向に対して、吐出ヘッドの配設角度を変化させることにより、ノズルの配列ピッチを変化させるものがある（例えば、特許文献１参照）。
また、吐出能力の向上等のために、複数の吐出ヘッド（ノズル列）を並列に並べたものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−３０１３５３号公報（第１図）
【特許文献２】
特開平９−３００６６４号公報（第４図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
吐出装置において、吐出ヘッドの大きさには制限があるため、ワークに対して吐出ヘッドが小さい場合が多い。この場合、ワークの塗布領域全体に液体材料を配置するには、ワークに対して相対的に吐出ヘッドを何度も往復移動させる必要がある。
【０００６】
これに対して、複数の吐出ヘッド（ノズル列）を、相対移動の方向と直交する方向に直列に並べることにより、吐出幅を広げることが可能である。ワークに対して吐出幅が広がると、上述した吐出ヘッドの往復移動の回数が減少し、スループットの向上を図ることが可能となる。
【０００７】
しかしながら、複数の吐出ヘッドを直列に並べる場合、吐出ヘッドの配設角度を変化させると、吐出ヘッド同士の間の部分でノズルの配列ピッチが部分的に乱れてしまう。ノズルの配列ピッチの部分的な乱れは液体材料の配置精度の低下を招くおそれがある。
【０００８】
本発明は、上述する事情に鑑みてなされたものであり、複数の吐出ヘッドを直列に配列する場合にあって、ノズル列の配設角度の調節に伴うノズルの配列ピッチの部分的な乱れが防止される吐出装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、スループットの向上、あるいは液体材料の配置精度の向上が図られるデバイスの製造方法を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、低コスト化及び品質の向上が図られるデバイスを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の吐出装置は、液滴を吐出するノズルが配列したノズル列を有する複数の吐出ヘッドと、前記複数の吐出ヘッドとワークとを相対移動させる駆動系とを備える吐出装置であって、前記複数の吐出ヘッドを互いに連結するリンク機構と、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれのノズル列が前記ワークの走査方向に対して交差するように前記複数の吐出ヘッドの配列方向を、前記リンク機構を介して同時に調節する第１調節機構と、前記複数の吐出ヘッドのうちの隣り合う吐出ヘッドの間で、ノズル列同士が所定の位置関係になるように、前記リンク機構の全体の配設角度を調節する第２調節機構とを備えることを特徴とする。
上記の吐出装置では、複数の吐出ヘッドの配列方向が、それぞれのノズル列がワークの走査方向に対して交差するように調節されることから、それらのノズル列が相対移動の方向と直交する方向に直列に配列される。そのため、複数の吐出ヘッドから液滴を吐出しながら、それらとワークとを相対移動させることにより、ワーク上の広い領域に液滴が一度に配置される。また、複数の吐出ヘッドは、リンク機構を介して互いに連結されており、その配列方向は、第１調節機構により、リンク機構を介して同時に調節される。吐出ヘッドの配列方向が調節されることにより、ノズルの配列ピッチが調節され、ワークに対する液滴の着弾密度、すなわち塗布密度が調節される。また、この吐出装置では、第２調節機構により、リンク機構の全体の配設角度が調節され、これにより、複数の吐出ヘッドのうちの隣り合う吐出ヘッドの間で、ノズル列同士が所定の位置関係に維持される。そのため、複数の吐出ヘッドのノズル列を直列に配列する場合にあって、ノズル列の配設角度の調節に伴うノズルの配列ピッチの部分的な乱れを防止することが可能となる。
ここで、「ノズルの配列ピッチ」とは、特に断りのない限り、吐出ヘッドの相対移動の方向と直交する方向（吐出ヘッドの走査方向）に関するノズル同士の間隔（距離）のことを言う（後述する図４参照）。
【００１０】
上記の吐出装置において、前記所定の位置関係は、前記相対移動の方向と直交する方向に関して、前記隣り合う吐出ヘッドの間で、一方の吐出ヘッドのノズル列のうち他方の吐出ヘッドに近い側の片端のノズルと、他方の吐出ヘッドのノズル列のうち一方の吐出ヘッドに近い側の片端のノズルとが、同じ位置にある関係であるとよい。
この場合、隣り合う吐出ヘッドの間で、前記相対移動の方向と直交する方向に関して、ノズル列の端のノズル同士の位置が同じ位置となる関係が維持されるので、上述した配列ピッチの部分的な乱れが防止される。
【００１１】
また、上記の吐出装置において、前記所定の位置関係は、前記相対移動の方向と直交する方向に関して、前記隣り合う吐出ヘッドの間で、一方の吐出ヘッドのノズル列のうち他方の吐出ヘッドに近い側の片端のノズルと、他方の吐出ヘッドのノズル列のうち一方の吐出ヘッドに近い側の片端のノズルとの距離が、ノズルの配列ピッチと同じになる関係であるとよい。
この場合、隣り合う吐出ヘッドの間で、一方の吐出ヘッドのノズル列の片端のノズルと、他方の吐出ヘッドのノズル列の片端のノズルとの距離が、ノズルの配列ピッチと同じである関係が維持されるので、上述した配列ピッチの部分的な乱れが防止される。
【００１２】
また、上記の吐出装置においては、前記第２調節機構は、前記リンク機構の節の一つを中心にして前記リンク機構全体の配設角度を調節するとよい。
これにより、隣り合う吐出ヘッドの間で、ノズル列同士を所定の位置関係に確実に維持できる。
【００１３】
また、上記の吐出装置においては、前記第２調節機構は、前記リンク機構の節の一つを、前記相対移動の方向に案内する直動ガイドを含んでもよい。
これにより、隣り合う吐出ヘッドの間で、前記相対移動の方向と直交する方向に関して、ノズル列同士を所定の位置関係に確実に維持できる。
【００１４】
また、上記の吐出装置において、前記リンク機構は、前記ノズル列の端のノズルの位置に配される節を有してもよい。
この場合、隣り合う吐出ヘッドの間で、ノズル列の端のノズル同士の位置が同じ位置となる関係を確実に維持できる。
【００１５】
本発明のデバイスの製造方法は、ワーク上に液体材料を配置する工程を有するデバイスの製造方法であって、上記記載の吐出装置を用いて、前記液体材料の配置を行うことを特徴とする。
上記のデバイスの製造方法によれば、ノズル列が直列に配されることにより、一度の相対移動で広い領域に液体材料を配置することが可能となる。そのため、スループットの向上が図られる。また、配列ピッチの部分的な乱れが防止されることから、液体材料の配置精度の向上が図られる。
【００１６】
本発明のデバイスは、上記記載のデバイスの製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
上記のデバイスによれば、スループットの向上が図られることから、低コスト化が図られる。また、液体材料の配置精度が向上することから、品質の向上が図られる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
液体材料を液滴状に吐出する吐出ヘッド、いわゆるインクジェットヘッドは、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出するものである。そのため、吐出する液体材料として、特殊なインク、コーティング材、発光性あるいは感光性の材料などの機能性の材料を用いることにより、各種部品の製造分野への応用が期待されている。
【００１８】
図１は、本発明の吐出装置１０の実施の形態例を示している。
図１において、吐出装置１０は、ベース１１２と、ベース１１２上に設けられ、ワークとしての基板２０を支持する基板ステージ２２と、ベース１１２と基板ステージ２２との間に介在し、基板ステージ２２を移動可能に支持する第１移動装置１１４と、基板ステージ２２に支持されている基板２０に向けて処理液体を吐出する液体吐出ヘッド２１と、液体吐出ヘッド２１を移動可能に支持する第２移動装置１１６と、液体吐出ヘッド２１の液滴の吐出動作を制御する制御装置２３とを備えている。さらに、吐出装置１０は、ベース１１２上に設けられている重量測定装置としての電子天秤（不図示）と、キャッピングユニット２５と、クリーニングユニット２４とを有している。また、第１移動装置１１４及び第２移動装置１１６を含む吐出装置１０の動作は、制御装置２３によって制御される。
【００１９】
第１移動装置１１４はベース１１２上に設置されており、Ｙ方向に沿って位置決めされている。第２移動装置１１６は、支柱１６Ａ，１６Ａを用いてベース１１２に対して立てて取り付けられており、ベース１１２の後部１２Ａにおいて取り付けられている。第２移動装置１１６のＸ方向（第２の方向）は、第１移動装置１１４のＹ方向（第１の方向）と直交する方向である。ここで、Ｙ方向はベース１１２の前部１２Ｂと後部１２Ａ方向に沿った方向である。これに対してＸ方向はベース１１２の左右方向に沿った方向であり、各々水平である。また、Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向に垂直な方向である。
【００２０】
第１移動装置１１４は、例えばリニアモータによって構成され、ガイドレール１４０，１４０と、このガイドレール１４０に沿って移動可能に設けられているスライダー１４２とを備えている。このリニアモータ形式の第１移動装置１１４のスライダー１４２は、ガイドレール１４０に沿ってＹ方向に移動して位置決め可能である。
【００２１】
また、スライダー１４２はＺ軸回り（θＺ）用のモータ１４４を備えている。このモータ１４４は、例えばダイレクトドライブモータであり、モータ１４４のロータは基板ステージ２２に固定されている。これにより、モータ１４４に通電することでロータと基板ステージ２２とは、θＺ方向に沿って回転して基板ステージ２２をインデックス（回転割り出し）することができる。すなわち、第１移動装置１１４は、基板ステージ２２をＹ方向（第１の方向）及びθＺ方向に移動可能である。
【００２２】
基板ステージ２２は基板２０を保持し、所定の位置に位置決めするものである。また、基板ステージ２２は不図示の吸着保持装置を有しており、吸着保持装置が作動することにより、基板ステージ２２の穴４６Ａを通して基板２０を基板ステージ２２の上に吸着して保持する。
【００２３】
第２移動装置１１６はリニアモータによって構成され、支柱１６Ａ，１６Ａに固定されたコラム１６Ｂと、このコラム１６Ｂに支持されているガイドレール６２Ａと、ガイドレール６２Ａに沿ってＸ方向に移動可能に支持されているスライダー１６０とを備えている。スライダー１６０はガイドレール６２Ａに沿ってＸ方向に移動して位置決め可能であり、液体吐出ヘッド２１はスライダー１６０に取り付けられている。
【００２４】
電子天秤（不図示）は、液体吐出ヘッド２１のノズルから吐出された液滴の一滴の重量を測定して管理するために、例えば、液体吐出ヘッド２１のノズルから、５０００滴分の液滴を受ける。電子天秤は、この５０００滴の液滴の重量を５０００の数字で割ることにより、一滴の液滴の重量を正確に測定することができる。この液滴の測定量に基づいて、液体吐出ヘッド２１から吐出する液滴の量を最適にコントロールすることができる。
【００２５】
クリーニングユニット２４は、液体吐出ヘッド２１のノズル等のクリーニングをデバイス製造工程中や待機時に定期的にあるいは随時に行うことができる。キャッピングユニット２５は、液体吐出ヘッド２１の液滴吐出面が乾燥しないようにするために、デバイスを製造しない待機時にこの液滴吐出面にキャップをかぶせるものである。
【００２６】
液体吐出ヘッド２１が第２移動装置１１６によりＸ方向に移動することで、液体吐出ヘッド２１を電子天秤、クリーニングユニット２４あるいはキャッピングユニット２５の上部に選択的に位置決めさせることができる。つまり、デバイス製造作業の途中であっても、液体吐出ヘッド２１をたとえば電子天秤側に移動すれば、液滴の重量を測定できる。また液体吐出ヘッド２１をクリーニングユニット２４上に移動すれば、液体吐出ヘッド２１のクリーニングを行うことができる。液体吐出ヘッド２１をキャッピングユニット２５の上に移動すれば、液体吐出ヘッド２１の液滴吐出面にキャップを取り付けて乾燥を防止する。
【００２７】
つまり、これら電子天秤、クリーニングユニット２４、およびキャッピングユニット２５は、ベース１１２上の後端側で、液体吐出ヘッド２１の移動経路直下に、基板ステージ２２と離間して配置されている。基板ステージ２２に対する基板２０の給材作業及び排材作業はベース１１２の前端側で行われるため、これら電子天秤、クリーニングユニット２４あるいはキャッピングユニット２５により作業に支障を来すことはない。
【００２８】
図１に示すように、基板ステージ２２のうち、基板２０を支持する以外の部分には、液体吐出ヘッド２１が液滴を捨打ち或いは試し打ち（予備吐出）するための予備吐出エリア（予備吐出領域）１５２が、クリーニングユニット２４と分離して設けられている。この予備吐出エリア１５２は、図１に示すように、基板ステージ２２の後端部側においてＸ方向に沿って設けられている。この予備吐出エリア１５２は、基板ステージ２２に固着され、上方に開口する断面凹字状の受け部材と、受け部材の凹部に交換自在に設置されて、吐出された液滴を吸収する吸収材とから構成されている。
【００２９】
ここで、基板２０としては、シリコン基板に限らず、ガラス基板、石英基板、セラミックス基板、金属基板、プラスチック基板、プラスチックフィルム基板等、他の材質の基板も適用される。また、基板２０上に塗布される液体材料としては、例えば、レジスト（フォトレジスト）等の放射線感光液、カラーインク、保護膜用液体材料、塗布シリコン酸化膜を形成するための液体材料であるＳＯＧ（Ｓｐｉｎ　Ｏｎ　Ｇｌａｓｓ）、低誘電率層間絶縁膜を形成するためのＬｏｗ−ｋ材料、ＰＩ膜など機能性膜用液体材料、金属微粒子を含む液状体、その他揮発性液体材料などが用いられる。なお、本発明は、液晶表示装置、ＥＬ装置、半導体装置、撮像装置（ＣＣＤなど）、磁気ヘッド等のデバイスの他、カラーフィルタやタッチパネル等の他の電子装置の製造用としても適用可能であり、プラズマディスプレイパネル製造用の大型の電子装置に対しても有効である。
【００３０】
基板２０と液体吐出ヘッド２１とを相対的に移動させながら、液体吐出ヘッド２１から液体材料を吐出することにより、その液体材料が基板２０上に配置される。また、液体吐出ヘッド２１には、上述したノズルが列状に複数配置されており、制御装置２３は、ピエゾ素子への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数のノズルのそれぞれに対して、液体材料の吐出制御を行う。具体的には、制御装置２３は、ノズルから吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数、液滴同士の距離などを変化させることができる。例えば、列状に並ぶ複数のノズルの中のうち、液滴を吐出するノズルを選択的に使用することにより、複数の液滴同士の距離を変化させることができる。
【００３１】
さて、本実施形態の吐出装置１０では、液体吐出ヘッド２１が複数（本例では３つ）の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３からなり、これら複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３は互いに直列に配列されている。以下、液体吐出ヘッド２１の構成についてさらに詳しく説明する。
【００３２】
図２（ａ）〜（ｃ）は、複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３を備える本例の液体吐出ヘッド２１の構成を示す図、図３は、液体吐出ヘッド２１を模式的に示す斜視図である。
これらの図において、複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３のそれぞれには、所定のピッチで配列された複数のノズルからなるノズル列２１１，２１２，２１３が設けられている。なお、ノズルの配列ピッチは、複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３の間で同じである。また、複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３は、リンク機構２５０を介して互いに連結されている。
【００３３】
リンク機構２５０は、複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３の各ノズル列２１１，２１２，２１３が互いに平行になるように、複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３を互いに連結したパラレルリンクからなり、複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３の各ノズル列の両端のノズルの位置には、回転中心となる節が設けられている。より具体的には、リンク機構２５０は、互いに平行に配設される２つの支持アーム２６０，２６１と、節２５１〜２５８を介して２つの支持アーム２６０，２６１のそれぞれに対して連結される複数の連結アーム２６２，２６３，２６４，２６５とを有しており、複数の連結アーム２６２〜２６５は、等ピッチ間隔でかつ互いに平行に配置されている。そして、ノズル列２１１，２１２，２１３の両端のノズル位置と節２５１〜２５６の位置とが一致するように、連結アーム２６２，２６３，２６４の上に上記吐出ヘッド２０１，２０２，２０３が配設されている。
【００３４】
リンク機構２５０において、連結アーム２６２〜２６５の配設角度は、第１調節機構２７０によって調節される。第１調節機構２７０は、リンク機構の節の一つを中心にしてアーム同士の配設角度を変化させる駆動装置２７１等を備える。駆動装置２７１は、例えば、固定部分が一方のアーム（支持アーム２６１）に固定され、駆動部分が他方のアーム（連結アーム２６５）に固定される。駆動部分の動作（例えば回転）により、一方のアームに対して他方のアームの配設角度が変化する。これにより、互いに平行に配設される複数の連結アーム２６２〜２６５の配設角度がそれぞれ同時に変化する。
【００３５】
また、本実施形態では、第２調節機構２８０によって、リンク機構２５０の全体の配設角度も調節される。第２調節機構２８０は、リンク機構２５０の全体の回転中心となる支点２８１、上記駆動装置２７１、及びリンク機構２５０の節の一つ（節２５７）を走査方向に沿って直線状に案内する直動ガイド２８２等を備える。リンク機構２５０の全体の回転中心となる支点２８１は、ノズル列の両端のノズルの位置に設けられた節の一つ（節２５６）と同じ位置にあり、その位置は、直動ガイド２８２の案内軸上にある。上述したように、直動ガイド２８２は所定の節２５７を上記案内軸上で案内し、この軸は走査方向に平行であることから、上記節２５７と上記支点２８１（節２５６）とは、常に走査方向に平行な同軸上に配されることになる。また、上記支点２８１（節２５６）を回転中心とする連結アーム２６４と、上記節２５７を回転中心とする連結アーム２６５とは、隣り合う位置関係にある。リンク機構２５０において、複数の連結アーム２６２〜２６５は、等ピッチ間隔でかつ互いに平行に配置されていることから、他の隣り合う連結アーム同士でも上述した連結アーム２６４及び２６５と同じ関係となる。つまり、複数の連結アーム２６２〜２６５のうちの隣り合う連結アームの間で、一方の連結アームの支持アーム２６１側の節と、他方の連結アームの支持アーム２６０側の節とはそれぞれ、常に走査方向と平行な同軸上に配される。
【００３６】
上記構成の本実施形態の吐出装置では、複数の吐出ヘッド２０１〜２０３が走査方向と直交する方向に並べられ、それらのノズル列２１１〜２１３が走査方向と直交する方向に直列に配列される。すなわち、走査方向と直交する方向に、複数のノズル列２１１，２１２，２１３が順に並べられる。そのため、複数の吐出ヘッド２０１〜２０３の各ノズル列２１１〜２１３から液体材料を吐出しながら、それらと基板とを相対移動させることにより、基板上の広い領域に液体材料が一度に配置される。
【００３７】
複数の吐出ヘッド２０１〜２０３は、リンク機構２５０を介して互いに連結されており、各ノズル列２１１〜２１３の配設角度は、第１調節機構２７０により、リンク機構２５０を介して同時に調節される。各ノズル列２１１〜２１３の配設角度が調節されることにより、走査方向と直交する方向に関して、ノズルの配列ピッチが調節される。
【００３８】
図４（ａ）及び（ｂ）は、ノズル列の配設角度とノズルの配列ピッチとの関係を示す図である。
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、ノズル列の配設角度を変化させることにより、走査方向と直交する方向に関して、ノズルの配列ピッチが変化する（Ｐ１→Ｐ２）。これにより、基板に対する液体材料の着弾密度、すなわち塗布密度が調節される。すなわち、図４（ａ）に示すように、ノズル列の配設角度（θ１）が小さい場合、ノズルの配列ピッチは大きくなり、塗布密度が低くなる。一方、図４（ｂ）に示すように、ノズル列の配設角度（θ２）が大きい場合、ノズルの配列ピッチは小さくなり、塗布密度が高くなる。
【００３９】
図５（ａ）〜（ｃ）は、複数のノズル列の配設角度が変化する様子を模式的に示す図である。
図５（ａ）〜（ｃ）及び先の図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、この吐出装置では、第２調節機構２８０（図２参照）により、リンク機構２５０の全体の配設角度が調節され、これにより、複数の吐出ヘッド２０１，２０２，２０３のうちの隣り合う吐出ヘッドの間で、ノズル列同士が所定の位置関係に維持される。つまり、隣り合う吐出ヘッドの間で、一方の吐出ヘッドのノズル列の片端のノズルと、他方の吐出ヘッドのノズル列の片端のノズルとが、常に走査方向と平行な同軸上に配される。そのため、複数の吐出ヘッドのノズル列を直列に配列する場合にあって、ノズル列の配設角度の調節に伴うノズルの配列ピッチの部分的な乱れが防止される。
【００４０】
上述したノズルの配列ピッチの部分的な乱れが防止されることにより、液体材料の配置精度の向上が図られる。また、ワイピング、吸引、フラッシングなどの際に、吐出ヘッドの角度をそれぞれの作業においてもっとも効果的な状態に調整することが可能となる。例えば、ワイピング時には全ての吐出ヘッドが互いに平行になるようにすることにより、作業効率の向上が図られる。
【００４１】
なお、上述した実施形態では、リンク機構２５０の全体の回転中心となる支点２８１が、ノズル列の両端のノズルの位置に設けられた節の一つ（節２５６）と同じ位置にあり、しかもその位置が直動ガイド２８２の案内軸上にあることによＴって、簡単な構成でありながら、隣り合うノズル列の間でのノズルの配列ピッチの部分的な乱れが防止される。しかしながら、隣り合うノズル列の間でのノズルの配列ピッチの部分的な乱れを防止する構成はこれに限らず他の構成であってもよい。
【００４２】
例えば、上述した実施形態では、隣り合う吐出ヘッドの間で、ノズル列の端のノズル同士の位置が走査方向と平行な同軸上に配置されているが、隣り合う吐出ヘッドの間で、一方の吐出ヘッドのノズル列の片端のノズルと、他方の吐出ヘッドのノズル列の片端のノズルとの距離が、走査方向と直交する方向に関して、前記ノズル列の配列ピッチと同じになる関係である構成としてもよい。この場合にも、隣り合う吐出ヘッドの間で、一方の吐出ヘッドのノズル列の片端のノズルと、他方の吐出ヘッドのノズル列の片端のノズルとの距離が、吐出ヘッドとワークとの相対移動の方向と直交する方向に関しての（相対移動の方向と直交する方向に一直線に投影された場合の）ノズルの配列ピッチと同じである関係が維持される。そのため、上述した配列ピッチの部分的な乱れが防止される。
【００４３】
次に、本発明の表示装置の一例として、液晶表示装置について説明する。
図６は、本実施形態に係る液晶表示装置の第１基板上の信号電極等の平面レイアウトを示すものである。本実施形態に係る液晶装置は、この第１基板と、走査電極等が設けられた第２基板（図示せず）と、第１基板と第２基板との間に封入された液晶（図示せず）とから概略構成されている。
【００４４】
図６に示すように、第１基板３００上の画素領域３０３には、複数の信号電極３１０…が多重マトリクス状に設けられている。特に各信号電極３１０…は、各画素に対応して設けられた複数の画素電極部分３１０ａ…とこれらを多重マトリクス状に接続する信号配線部分３１０ｂ…とから構成されており、Ｙ方向に伸延している。
また、符号３５０は１チップ構造の液晶駆動回路で、この液晶駆動回路３５０と信号配線部分３１０ｂ…の一端側（図中下側）とが第１引き回し配線３３１…を介して接続されている。
また、符号３４０…は上下導通端子で、この上下導通端子３４０…と、図示しない第２基板上に設けられた端子とが上下導通材３４１…によって接続されている。また、上下導通端子３４０…と液晶駆動回路３５０とが第２引き回し配線３３２…を介して接続されている。
【００４５】
本実施形態例では、上記第１基板３００上に設けられた信号配線部分３１０ｂ…、第１引き回し配線３３１…、及び第２引き回し配線３３２…がそれぞれ、上述した吐出装置を用いて形成されている。そのため、上記各配線類の断線や短絡等の不良が生じにくく、しかも、小型化、薄型化を実現しやすい。
【００４６】
図７は、液晶表示装置の断面図である。図７において、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２，４６７の間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００と対向基板４６６との間には、配向膜４６１，４６４が構成され、一方の対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【００４７】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素との境目は、仕切り（バンク）４１３によって区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのインク（フィルタ材料）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１と、遮光性の仕切り４１３とを備えている。仕切り４１３が形成されていない（除去された）部分は、上記画素を構成する。この画素に導入された各色のインクは着色層４２１を構成する。仕切り４１３及び着色層４２１の上面は、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【００４８】
そして、本実施形態では、仕切り４１３で区切られて形成された画素内に、上記Ｒ、Ｇ、Ｂの各インクを液体吐出方式により導入する。すなわち、液体吐出ヘッドにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色のインク滴を着色層形成領域ごとに選択的に吐出する。次に、塗布したインクを乾燥させることにより、着色層４２１が得られる。同様に、液体吐出方式により、オーバーコート層４２２を形成する。
【００４９】
本実施形態においては、上記の着色層４２１の形成においては、吐出ヘッド（ノズル列）の傾き角度を適宜可変して、各ノズルのピッチと画素のピッチを合致するように調整し、オーバーコート層４２２の形成においては、吐出ヘッド（ノズル列）の傾き角度を適宜可変して、その膜厚を調整するようにしている。
【００５０】
次に、図８を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２の上に主体をなす有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また、有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【００５１】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａとこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ、Ｇ、Ｂの発光層５１０ｂ及び正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層にわたって積層した対抗電極５０３で覆われている。
【００５２】
そして、本実施形態では、液体吐出方式により、Ｒ、Ｇ、Ｂの発光層５１０ｂ及び正孔注入／輸送層５１０ａを形成するようにしている。また、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、同様に、液体吐出方式により、ＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成するようにしている。なお、封止用基板５０５に代えて、この部分を気密性の高い樹脂で封止する場合には、これを液体吐出方式で行うことが好ましい。
【００５３】
本実施形態においても、発光層５１０ｂ及び正孔注入／輸送層５１０ａの形成においては、吐出ヘッドの傾き角度を適宜可変して、各ノズルのピッチと画素のピッチを合致するように調整し、対向電極５０３の形成においては、吐出ヘッドの傾き角度を適宜可変して、その膜厚を調整するようにしている。
【００５４】
図９（ａ）〜（ｃ）は、本発明の電子機器の実施の形態例を示している。
本例の電子機器は、上述した液晶表示装置等の本発明の表示装置を表示手段として備えている。
図９（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図９（ａ）において、符号６００は携帯電話本体を示し、符号６０１は前記の表示装置を用いた表示部を示している。
図９（ｂ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図９（ｂ）において、符号７００は情報処理装置、符号７０１はキーボードなどの入力部、符号７０３は情報処理装置本体、符号７０２は前記の表示装置を用いた表示部を示している。
図９（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図９（ｃ）において、符号８００は時計本体を示し、符号８０１は前記の表示装置を用いた表示部を示している。
図９（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、本発明の表示装置を表示手段として備えているので、品質の優れた表示を実現することができる。
【００５５】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の吐出装置の実施の形態例を示す図。
【図２】複数の吐出ヘッドを備える液体吐出ヘッドの構成例を示す図。
【図３】液体吐出ヘッドの構成例を模式的に示す斜視図。
【図４】ノズル列の配設角度とノズルの配列ピッチとの関係を示す図。
【図５】複数のノズル列の配設角度が変化する様子を模式的に示す図。
【図６】液晶表示装置の平面レイアウトを示す図。
【図７】液晶表示装置を示す断面図。
【図８】有機ＥＬ装置を示す断面図。
【図９】本発明の電子機器の実施の形態例を示す図。
【符号の説明】
１０…吐出装置、２０…基板（基体）、２０１，２０２，２０３…吐出ヘッド、２１１，２１２，２１３…ノズル列、２５０…リンク機構、２５１〜２５８…節、２７０…第１調節機構、２７１…駆動装置、２８０…第２調節機構、２８１…支点、２８２…直動ガイド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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