(57)【要約】  【課題】磁気センサ用のトラッキングマークを設けなくても光スポット用のトラッキングマークのみで記録および再生を可能とするとともに、高記録密度化を可能とし、コスト低減が図れ、トラッキング制御が容易で、シーク動作の高速化を図った記録再生ディスクおよび記録再生ディスク装置を提供する。【解決手段】磁界の印加と近接場光スポットの照射によって記録され、磁気センサによって再生される光アシスト記録が可能な記録再生ディスク(21)に対する記録および再生の際に、記録再生ディスク(21)上の近接場光スポット用のトラッキングマークに基づいてトラッキングを行う。  【選択図】図６
2004362771.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁界の印加と近接場光スポットの照射によって記録され、磁気センサによって再生される光アシスト記録が可能な記録再生ディスクにおいて、
前記記録および前記再生の際のトラッキングマークとして前記近接場光スポット用のトラッキングマークを有することを特徴とする記録再生ディスク。
【請求項２】
記録再生ディスクに磁界を印加するとともに、近接場光スポットを照射して情報の記録を行い、磁気センサによって情報の再生を行う記録再生ヘッドを有する記録再生ディスク装置において、
前記記録および前記再生の際に、前記記録再生ディスク上の前記近接場光スポット用のトラッキングマークに基づいてトラッキングを行うトラッキング手段とを備えたことを特徴とする記録再生ディスク装置。
【請求項３】
前記トラッキング手段は、前記記録再生ディスクの中心を通る第１の線と前記近接場光スポットと前記磁気センサを結ぶ第２の線とが前記近接場光スポットと前記磁気センサの中間点において常に直交するように前記トラッキングを行うことを特徴とする請求項２記載の記録再生ディスク装置。
【請求項４】
前記トラッキング手段は、所定の中心線を有し、前記中心線と前記第２の線とのなす角度が常に所定の角度を保つように前記記録再生ヘッドを回動可能に支持する支持アームを備えたことを特徴とする請求項３記載の記録再生ディスク装置。
【請求項５】
前記トラッキング手段は、前記記録再生ヘッドを前記第１の線に沿って移動させる直線移動機構を備えたことを特徴とする請求項３記載の記録再生ディスク装置。
【請求項６】
前記直線移動機構は、前記記録再生ヘッドを直線的に移動させるヴォイスコイルあるいはリニアモータを備えたことを特徴とする請求項５記載の記録再生ディスク装置。
【請求項７】
前記トラッキング手段は、前記近接場光スポットを前記記録再生ディスクのトラッキングマークに照射して得られる前記記録再生ディスクからの反射光を用いてトラッキング誤差信号を生成する制御手段を備えたことを特徴とする請求項３記載の記録再生ディスク装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記記録時に前記磁気センサを用いて記録の検証を行うことを特徴とする請求項７記載の記録再生ディスク装置。
【請求項９】
前記トラッキング手段は、前記近接場光スポットと前記磁気センサを結ぶ線が前記記録再生ディスクのトラックの接線方向にほぼ平行となるように前記トラッキングを行うことを特徴とする請求項２記載の記録再生ディスク装置。
【請求項１０】
記録再生ディスクに磁界を印加するとともに、近接場光スポットを照射して情報の記録を行い、磁気センサによって情報の再生を行う記録再生ヘッドを有する記録再生ディスク装置において、
前記近接場光スポットを前記記録再生ディスク上の所定の記録トラック上をトラッキングさせるとともに、前記磁気センサを前記所定の記録トラック上、あるいは前記所定の記録トラックに近接した記録トラック上をトラッキングさせるトラッキング手段を備えたことを特徴とする記録再生ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録膜や光磁気記録膜に磁界と光スポットによって記録し、磁気ヘッドによって再生する光アシスト磁気（ＯＡＭ：Optically Assisted Magnetic ）記録方式を採用した記録再生ディスクおよび記録再生ディスク装置に関し、特に、高記録密度化を可能とし、コスト低減が図れ、トラッキング制御が容易で、シーク動作の高速化を図った記録再生ディスクおよび記録再生ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドにより磁気記録膜に対して記録・再生を行うハードディスク装置（ＨＤＤ）では、再生用に磁気抵抗効果を用いた磁気抵抗センサすなわちＭＲ（Magneto Resistive）センサやさらに高感度・高解像度のＧＭＲ（Giant-Magneto resistive）センサ（これらのセンサを含めて磁気センサと総称する。）が開発され、この数年、年率６０％の割合で高密度化が図られてきた。しかし、ここにきてＳｕｐｅｒ Ｐａｒａ−ｍａｇｎｅｔｉｃ効果、すなわちある磁区の磁化の方向が、熱的擾乱に基づき隣接する反対方向の磁化により反転させられる効果のため、面密度がほぼ３０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎｃｈ2 で限界であることが判明してきた。
【０００３】
これを解決する有力な手段として、ＯＡＭ（Optically Assisted Magnetic ）記録方式が提案されている。この方式は、磁気記録膜や光磁気記録膜に磁界と光スポットによって記録し、ＧＭＲセンサ等の磁気センサによって再生する光アシスト磁気記録方式であり、記録時にレーザ光の照射により磁化膜を加熱し、その膜の磁化強度を下げたところで記録する。この方式により、磁化の強い磁性膜への記録が可能となり、常温での磁化反転を防ぐことができる。このようなＯＡＭ記録方式を採用した従来の記録再生ディスク装置としては、例えば、文献「日経エレクトロニクス、No.734,(99.1.11.)、P.35」に示されるものがある（非特許文献１参照）。
【０００４】
図１５は、その記録再生ディスク装置を示す。この記録再生ディスク装置１は、レーザビーム３を出射する半導体レーザ２と、半導体レーザ２からのレーザビーム３と記録再生ディスク２１からの反射光とを分離する偏光ビームスプリッタ３３と、半導体レーザ２からのレーザビーム３を円偏光に変換する１／４波長板３４と、偏光ビームスプリッタ３３および１／４波長板３４を通過した半導体レーザ２からのレーザビーム３を集光する集光レンズ４’と、半球状の入射面５ａから入射した集光レンズ４’からのレーザビーム３をさらに集光して被集光面５ｂ上に光スポット９ａを形成する半球形のＳＩＬ（Solid Immersion Lens）５と、ＳＩＬ５を保持するスライダ３１と、スライダ３１の光スポット９ａの周辺部に設けられた磁界変調用のコイル１０と、ＧＭＲセンサを用いた磁気センサ１１とを有する。
【０００５】
このように構成された装置１において情報を記録する場合は、記録再生ディスク８上に形成された光スポット用のトラッキングマーク（本明細書においてトラッキング溝を含むものとして用いる。）に基づいてトラッキングを行い、ＳＩＬ５の被集光面５ｂ上に光スポット９ａを形成し、上記被集光面５ｂから滲み出す近接場光９ｂを記録再生ディスク８上の光磁気記録膜８ａに照射して昇温させるとともに、コイル１０で磁界を変調しながら情報の記録を行う。なお、近接場光は、ＳＩＬ５による集光の場合、被集光面５ｂ付近では透過光と近接場光が混在するので、本来の近接場光と区別するため疑似近接場光と称されることがあるが、実際には近接場光が集光に本質的な役割を果たしており、近接場光が滲み出している波長の数分の一の距離内で使われるので、ここでは両者を区別せずに一括して近接場光と称する。情報を再生する場合は、記録再生ディスク８上に形成された磁気センサ用のトラッキングマークに基づいて磁気センサを用いたトラッキングを行い、磁気センサによって情報の再生が行われる。この装置１によれば、ＳＩＬ５の屈折率に反比例して光スポット９ａを微細化できるため、幅０．３ミクロン程度の微小な記録磁区の形成ができ、高密度化が可能となる。
【非特許文献１】「日経エレクトロニクス、No.734」，1999年1月11日，P.35
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の記録再生ディスク装置によると、光スポット用のトラッキングマークと磁気センサ用のトラッキングマークを記録再生ディスク上にそれぞれ形成していたため、記録密度が低下するとともに、ディスクの作製プロセスが増え、コスト高を招くという問題がある。また、記録時には、光スポット用のトラッキングマークを用いてトラッキング制御を行い、再生時には、磁気センサ用のトラッキングマークを用いてトラッキング制御を行っていたため、制御が複雑化するという問題がある。また、磁気センサによるトラッキングでは、ヘッド側面での漏れ磁界により高精度のトラッキングマークの形成およびトラッキングが難しいという問題がある。また、光スポットでトラッキングするトラックと磁気センサでトラッキングするトラックとを近づけることが考慮されていなかったため、記録から再生（ヴェリファイ）、および再生から記録（修正、再記録）の移行に大幅なシーク動作が必要となることから、シーク動作に時間を要するという問題がある。
【０００７】
従って、本発明の目的は、磁気センサ用のトラッキングマークを設けなくても光スポット用のトラッキングマークのみで記録および再生を可能とするとともに、高記録密度化を可能とし、コスト低減が図れ、トラッキング制御が容易で、シーク動作の高速化を図った記録再生ディスクおよび記録再生ディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するため、磁界の印加と近接場光スポットの照射によって記録され、磁気センサによって再生される光アシスト記録が可能な記録再生ディスクにおいて、前記記録および前記再生の際のトラッキングマークとして前記近接場光スポット用のトラッキングマークを有することを特徴とする記録再生ディスクを提供する。
上記構成によれば、磁気センサ用のトラッキングマークを設けないことにより、記録トラックの数を増やすことができ、記録密度の向上が可能になる。
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するため、記録再生ディスクに磁界を印加するとともに、近接場光スポットを照射して情報の記録を行い、磁気センサによって情報の再生を行う記録再生ヘッドを有する記録再生ディスク装置において、前記記録および前記再生の際に、前記記録再生ディスク上の前記近接場光スポット用のトラッキングマークに基づいてトラッキングを行うトラッキング手段とを備えたことを特徴とする記録再生ディスク装置を提供する。
上記構成によれば、記録および再生の際に、近接場光スポット用のトラッキングマークに基づいてトラッキングを行うことにより、磁気センサ用のトラッキングマークが不要になる。その結果、記録トラックの数を増やすことができ、記録密度の向上が可能になる。
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するため、記録再生ディスクに磁界を印加するとともに、近接場光スポットを照射して情報の記録を行い、磁気センサによって情報の再生を行う記録再生ヘッドを有する記録再生ディスク装置において、前記近接場光スポットを前記記録再生ディスク上の所定の記録トラック上をトラッキングさせるとともに、前記磁気センサを前記所定の記録トラック上、あるいは前記所定の記録トラックに近接した記録トラック上をトラッキングさせるトラッキング手段を備えたことを特徴とする記録再生ディスク装置を提供する。
上記構成によれば、記録および再生の際に、近接場光スポット用のトラッキングマークに基づいてトラッキングを行うことにより、磁気センサ用のトラッキングマークが不要になり、その結果、記録トラックの数を増やすことができ、記録密度の向上が可能になる。
なお、本発明にあっては、レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、前記レーザ光出射手段からの前記レーザ光を集光する反射面、および前記反射面によって前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前記被集光面の端部近傍に前記レーザ光の集光によって光スポットを形成する透明集光用媒体と、前記被集光面の端部近傍に近接して配置され、入射する磁界を検出する磁気センサとを備えた記録再生ヘッドおよび記録再生ディスク装置が得られる。上記構成を備えることにより、透明集光用媒体の被集光面の端部近傍に光スポットを形成することにより、光スポットと磁気センサの距離を短くすることが可能になる。この結果、光スポット用のトラッキングマーク（トラッキング溝を含む。）のみで記録および再生の際のトラッキングが可能になり、シーク動作の高速化が可能になる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の記録再生ディスクによれば、磁気センサ用のトラッキングマークおよびアドレスマークを不要とすることができる。このため、記録再生ディスク上を合理的に使用することができるようになり、高記録密度化を達成することができる。
本発明の記録再生ディスク装置によれば、記録および再生の際に、近接場光スポット用のトラッキングマークに基づいてトラッキングを行うことにより、磁気センサ用のトラッキングマークが不要になる。その結果、高記録密度化が可能となり、製作コストの低減が図れ、トラッキング制御が容易であり、シーク動作の高速化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す。この記録再生ヘッド１は、レーザビーム（出射光）３ａを出射する半導体レーザ２と、半導体レーザ２の出力光３ａを平行ビーム３ｂに整形するコリメータレンズ４と、コリメータレンズ４から入射された平行ビーム３ｂを集光し、近接場光９ｂとして記録再生ディスク８の光磁気記録膜８ａに伝播させる透明集光用媒体６と、近接場光９ｂが伝播された記録膜８ａに交番磁界を印加してＯＡＭ記録を行うコイル１０と、記録膜８ａからの漏れ磁界を検出して情報の再生を行う磁気センサ１１とを有する。
【００１３】
透明集光用媒体６は、コリメータレンズ４からの平行ビーム３ｂが入射する入射面６ａと、表面に反射膜７が形成された集光効果を有する反射面６ｂと、反射面６ｂからの収束光３ｃが集光し、光スポット９ａが形成される被集光面６ｃとを有する。
【００１４】
図２は、透明集光用媒体６を示す。透明集光用媒体６の反射面６ｂは、透明集光用媒体６内部での収束光３ｃの収束角を大きくし、被集光面６ｃに微小の光スポット９ａを形成するため、回転放物面の一部からなる。同図に示すように、回転放物面の断面の主軸をＸ軸に、垂直軸をＺ軸に採り、焦点Ｆの座標を（ｐ，０）とすると、回転放物面の断面は、ｚ2 ＝４ｐｘと表される。また、回転放物面を用いてその焦点Ｆに集光する場合、原理的に無収差の集光が可能であり（光学：久保田、岩波書店、Ｐ．２８３）、単一の集光面により微小の光スポット９ａを形成することが可能になる。この場合の光スポット９ａの直径（光強度の半値を有する直径）Ｄ1/2 は、次式で与えられる。
Ｄ1/2 ＝ｋ・λ／（ｎ・ＮＡｉ）
ここに、ｋは比例定数でガウスビームの場合は約０．５であり、λは入射レーザビームの波長、ｎは透明集光用媒体６の屈折率、ＮＡは透明集光用媒体６内部での開口数である。なお、被集光面６ｃは、光スポット９ａが形成される部分を下方へ突出させ、その突部の周囲にコイル１０を配置してもよい。これにより、コンパクト化が図れる。また、その突部は、下方に向かって細くなるテーパ形状にしてもよい。これにより、ＮＡを２倍に向上させることができる。
【００１５】
磁気センサ１１は、ここでは、主に磁界により抵抗が変化する磁気抵抗膜１１ａと、電極１１ｂとから主に構成されたＭＲセンサを用いる。この磁気センサ１１は、透明集光用媒体６の被集光面６ｃの頂点Ｑに近接して配置され、再生時には、記録再生ディスク８の光磁気記録膜８ａの記録マークからの漏れ磁界の変化を電圧の変化として出力することにより、記録信号を再生するものである。
【００１６】
次に、上記記録再生ヘッド１の動作を説明する。半導体レーザ２からレーザビーム３ａを出射すると、そのレーザビーム３ａはコリメータレンズ４により平行ビーム３ｂに整形されて透明集光用媒体６の入射面６ａに入射する。入射面６ａに入射した平行ビーム３ｂは、反射面６ｂの表面に形成された反射膜７で反射して被集光面６ｃに集光し、被集光面６ｃ上の端部近傍に光スポット９ａを形成する。光スポット９ａに集光した光は、近接場光９ｂとして滲み出して記録再生ディスク８の光磁気記録膜８ａに伝播し、コイル１０による磁界と相俟ってＯＡＭ記録が行われる。情報の再生は、記録膜８ａからの漏れ磁界を磁気センサ１１で検出することにより行われる。
【００１７】
上記構成の記録再生ヘッド１によれば、以下の効果が得られる。
（イ）回転放物面の頂点Ｑと光スポット９ａとの距離Ｌは焦点Ｆの座標値ｐに相当し、ゼロ以上の値で作製精度に応じて望みの値に設定することができ、両者の距離を０．１ｍｍ以下に近づけることが可能となる。
（ロ）回転放物面の頂点Ｑと光スポット９ａとの距離Ｌを近づけられることから、両者を記録再生ディスク８の内周から外周のトラックにわたって、同時にトラッキングさせることが可能となる。
（ハ）回転放物面の焦点Ｆの座標値ｐを０．１ｍｍとし、回転放物面の上端Ｒの座標（ｘ，ｙ）を（０．９ｍｍ，０．６ｍｍ）とすると、この上端Ｒからの収束角αは５８度となる。また、上端Ｒ付近からの収束角αには９０度まで、製作精度以外に特に限定はなく、反射面６ｂのＮＡは、０．９以上が可能となる。
（ニ）透明集光用媒体６の屈折率ｎとＮＡの積に限定はなく、ＳｒＴｉＯ3 等の誘電体やＧａＰ等の結晶等の屈折率の大きな材料が使用でき、微小の光スポット９ａを形成することができる。
【００１８】
なお、反射面６ｂには、回転楕円面の一部を用いてもよい。また、反射膜７としては、ボリュームホログラムやバイナリーホログラム等を使用してもよい。
【００１９】
図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本発明の第２の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示し、同図（ｂ），（ｃ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ’方向から見た光スポット９ａ形成部付近の拡大図である。この記録再生ヘッド１は、透明集光用媒体６の被集光面６ｃの外表面の光スポット９ａを遮る位置に開口を有する遮光膜１２を設けたものであり、他は第１の実施の形態と同様に構成されている。
【００２０】
図３（ｂ）は、遮光膜１２に開口としてスリット１２ａを設けたものである。スリット１２ａの長手方向はディスク記録層８ａの記録トラック（図略）に直交する方向Ｙに一致し、この方向のスリット１２ａの長さは光スポット径Ｄ1/2 よりも十分大きく、トラック方向Ｘの長さは光スポット径Ｄ1/2 程度以下に形成されている。これにより、被集光面６ｃから染み出す近接場光９ｂのトラック方向Ｘのサイズを小さくでき、磁気センサ１１と近接場光９ｂの距離を短く保ったまま記録密度を上げることができる。
【００２１】
図３（ｃ）は、遮光膜１２に開口として矩形の微小孔１２ｂを設けたものである。微小孔１２ｂの各辺は光スポット径Ｄ1/2 よりも短く、かつその一辺は、記録層８ａの記録トラック（図略）に直交する方向Ｙに形成されている。このようにして、スリット１２ａの場合と同様に磁気センサ１１と近接場光９ｂの距離を短く保てるとともに、近接場光９ｂの記録トラックに直交する方向Ｙのサイズを小さくできるので、トラック幅を狭めることができ、スリットの場合に比べてさらに記録密度を上げることができる。
【００２２】
図４は、本発明の第３の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す。この記録再生ヘッド１は、レーザビーム３ａを出射する半導体レーザ２と、半導体レーザ２の出力光３ａを平行ビーム３ｂに整形するコリメータレンズ４と、コリメータレンズ４からの平行ビーム３ｂを集光する集光レンズ４’と、集光レンズ４’からレーザビーム３ｃが入射される略回転楕円体状の透明集光用媒体６と、第１の実施の形態と同様のコイル１０および磁気センサ１１とを有する。
【００２３】
透明集光用媒体６は、集光レンズ４’から収束光３ｃが入射される入射面６ａと、回転楕円体面の一部から形成された反射面６ｂと、回転楕円体面による第１および第２の焦点Ｆ1 ，Ｆ2 を有する被集光面６ｃとを有する。透明集光用媒体６の反射面６ｂの表面には、第１の反射膜７Ａが被着され、被集光面６ｃ上の表面の第１の焦点Ｆ1 の近傍には、第２の反射膜７Ｂが被着されている。入射面６ａは、焦点Ｆ1 に収束するレーザビーム３ｃに対して直交するように球面状に形成されており、レーザビーム３ｃは入射面６ａにおいて屈折されずに入射し、第１の焦点Ｆ1 の外表面に形成された第２の反射膜７Ｂにより反射された後、回転楕円体の反射面６ｂの表面に形成された第１の反射膜７Ａにより反射されて、被集光面６ｃ上の第２の焦点Ｆ2 に集光され、第１の実施の形態と同様に近接場光９ｂを生じる。回転楕円体の断面は、次式で表される。
【００２４】
【数１】
2004362771.tif 000003
２焦点Ｆ1 ，Ｆ2 の座標は、次式で表される。
【００２５】
【数２】
2004362771.tif 000004
ここに、ａ、ｂは回転楕円体面の長径、短径であり、回転楕円体面の頂点Ｑと第２の焦点Ｆ2 との距離は、第２の焦点Ｆ2 のＸ座標に等しい。回転楕円体面の場合はパラメータがａ、ｂの２つあることから、ＮＡを大きく保ったまま両者の距離を狭めることができる。例えば、ａ＝０．６ｍｍ、ｂ＝０．３ｍｍとすると、両者の距離は０．０８ｍｍとなり、ＮＡは０．９以上が可能となる。
【００２６】
なお、第１の実施の形態と同様，被集光面６ｃの第１の焦点Ｆ1 付近の外表面にスリットないし微小孔を有する遮光膜を設けることにより、近接場光９ｂのサイズをさらに微小化できることは言うまでもない。
【００２７】
図５は、本発明の第４の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す。この記録再生ヘッド１は、透明集光用媒体６の反射面６ｂを平面とし、反射膜７を反射型ホログラム７Ｃで構成したものであり、他は第１の実施の形態と同様に構成されている。反射型ホログラム７Ｃとしては、ボリュームホログラム，バイナリーホログラム等を用いることができる。バイナリーホログラムの場合には、計算機により、また、ボリュームホログラムの場合は、物体光が被集光面６ｃの所定の位置に焦点を結ぶように入射することで、光スポット９ａの位置を所定の位置に設定することが可能となる。また、反射型ホログラム７Ｃを用いることで、透明集光用媒体６の加工は簡単になり、かつ、光スポット９ａと磁気センサ１１の距離を近づけることが可能となる。
【００２８】
なお、第１の実施の形態と同様，被集光面６ｃの第２の焦点Ｆ2 付近の外表面にスリットないし微小孔を有する遮光膜を設けてもよい。これにより、近接場光９ｂのサイズをさらに微小化できる。
【００２９】
図６は、本発明の第５の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す。この記録再生ディスク装置２０は、円盤状のアルミニウム基板２１０の一方の面に記録層２１１が形成され、モータ２２の回転軸２２０を介して回転する記録再生ディスク２１と、記録再生ディスク２１の記録層２１１に対して光記録および磁気再生を行う記録再生ヘッド１と、記録再生ヘッド１を記録再生ディスク２１の内外周にわたってアクセスし、かつ、トラッキングさせるリニアモータ２３と、リニアモータ２３側から記録再生ヘッド１を支え、支点２４ａを中心に回動するスイングアーム２４と、記録再生ヘッド１を駆動するヘッド駆動系２５と、記録再生ヘッド１にレーザ駆動信号を送るとともに、記録再生ヘッド１からの信号を処理する信号処理系２６とを有する。
【００３０】
図７は、記録再生ディスク２１の詳細を示す。この記録再生ディスク２１には、アルミニウム基板２１０が使用され、磁気センサ用のトラッキングマークおよびアドレスマークが形成されておらず、その一方あるいは両方の面に（図７は片面の例を示す）、エッチングにより光スポット９ａ用のトラッキングマークおよびアドレスマークを形成するためのグルーブ部２１ａが形成される。グルーブ２１ａ上には、ＳｉＮｘからなる保護層２２１ａ、ＴｂＦｅＣｏ等のいわゆる光磁気記録膜からなる記録層２２１ｂ、漏れ磁界の大きなＴｂＤｙＦｅＣｏ層２２１ｃ、表面保護層２２１ｄが順次積層されている。本実施の形態では、ランド部２１ｂが記録トラックであり、そこに情報が記録される。トラック幅は０．２μｍ、トラックピッチは０．２５μｍ、グルーブ部２１ａの深さは、約０．１μｍとしている。記録には、磁界変調記録法を使用しており、マーク長は０．０６μｍ、記録密度は約４０Ｇｂｉｔｓ／（ｉｎｃｈ）2 であり、３．５インチディスクでは、約４０ＧＢの記録容量に相当し、従来のハードディスクの４倍以上の高密度化が実現できる。
【００３１】
なお、グルーブ２１ａは、基板２１０のエッチングにより形成したが、基板２１０にＳｉＯ2 膜やＳｉＮｘ膜等を被着した後、それらをエッチングすることにより形成してもよく、ポリカーボネイト等の有機膜等を圧着して形成してもよい。また、表面保護層２２１ｄの上に潤滑剤を塗布してもよい。また、本実施の形態では、ＴｂＦｅＣｏ等のいわゆる光磁気記録膜を記録層に使用したが、これに止まるものではなく、ハードディスクの記録膜として用いるＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ等でもよく、光加熱により残留磁化を低下させて記録できるので、常温において残留磁化の強い膜も記録に使用できる。また、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ等の垂直磁化膜を用いてもよい。また、記録再生ディスク２１の基板の材料としては、アルミニウムだけでなく、Ｓｉや表面研磨を施したポリカーボネイト等を用いてもよい。
【００３２】
図８は、第５の実施の形態の記録再生ヘッド１を示し、同図（ａ）はその側面図、（ｂ）はその平面図である。記録再生ヘッド１は、記録再生ディスク２１上を浮上する浮上スライダ３１を有し、この浮上スライダ３１上に、レーザビーム３ａを出射する端面発光型半導体レーザ２と、レーザビーム３ａを平行ビーム３ｂに整形するコリメータレンズ４と、端面発光型半導体レーザ２を固定する石英板３２と、半導体レーザ２からの平行ビーム３ｂと記録再生ディスク２１からの反射光とを分離する偏光ビームスプリッタ３３と、半導体レーザ２からの平行ビーム３ｂを円偏光に変換する１／４波長板３４と、平行光ビーム３ｂを集光する透明集光用媒体６と、透明集光用媒体６の反射面６ｂにＡｌ等の金属で蒸着形成された反射膜７と、記録再生ディスク２１からの反射光をビームスプリッタ３３を介して入力する光検出器３５と、記録再生ディスク２１の記録マークから磁気信号を再生する磁気センサ１１とを配置している。また、全体はヘッドケース３６内に収納され、ヘッドケース３６は、サスペンション３７を介して図６のスイングアーム２４に固定されている。
【００３３】
透明集光用媒体６は、例えば、屈折率ｎ＝１．９１を有する重フリントガラスからなり、高さ０．６ｍｍ、長さ０．９ｍｍ、幅１．８ｍｍを有する。この透明集光用媒体６は、図１、図３、図４、図５に示す透明集光用媒体６と同様に、入射面６ａ、反射面６ｂおよび被集光面６ｃを有するが、被集光面６ｃは浮上スライダ３１の一部を形成する。また、浮上スライダ３１は、正圧を生じる凸部３１ａと、負圧を生じる凹部３１ｂを有し、両者のバランスにより、１００ｎｍ程度ないし、それ以下の適当な浮上高を保つ。なお、浮上スライダ３１は、透明集光用媒体６の屈折率と等しい材料で構成し、浮上スライダ３１の下面の凸部３１ａが、透明集光用媒体６の被集光面６ｃを兼ねてもよい。
【００３４】
図９は、本実施の形態の磁気センサ１１を示す。この磁気センサ１１としてはスピンバルブと称される構成の多層膜からなるＧＭＲ膜を使用したＧＭＲセンサを用いる。スピンバルブ１１０は、同図に示すように、Ｆｅ−Ｍｎ等の反強磁性層１１１の上に、Ｃｕ等の非磁性層１１３を挟んでＮｉ−Ｆｅ等からなる２層の磁性層、すなわちピン層１１２およびフリー層１１４を配置して構成され、磁界により、フリー層１１４の磁化がピン層１１２の方向に揃った場合に低抵抗に、反対方向の場合に高抵抗となる。この抵抗変化は、スピンバルブ１１０の両側に接続した電極１１５ａ，１１５ｂに印加した電圧の変化として検出される。１１６ａ，１１６ｂは、再生した記録マーク以外からの磁界を遮蔽する磁気遮蔽膜である。トラック方向のセンサ長は、フリー層１１４の厚さで決まり、本実施の形態では約０．０６μｍとした。これは、近接場光のスポット径の数分の１であり、このセンサ１１を用いて再生することにより、大幅に記録密度を上げることが可能となる。また、センサ１１の幅は、電極１１５ａと電極１１５ｂの間隔で決まり、本実施の形態では、０．２４μｍとトラック幅よりも０．０４μｍ広く、かつ、トラックピッチよりも若干狭くした。これにより、隣接トラックからのクロストークを避けながら、トラッキングの必要帯域を約１桁下げることができる。
【００３５】
図１０（ａ），（ｂ）は、本実施の形態に係る半導体レーザ２を示す。この半導体レーザ２は、ビーム走査型レーザであり、基板２００を有し、その基板２００の上面に上部電極２０１、下面に下部電極２０２、中央に活性層２０３をそれぞれ形成したものである。活性層２０３の発振狭窄部の主部２０４ａと先端部２０４ｂの幅はそれぞれ３μｍ、５μｍであり、長さはそれぞれ３００μｍ、５０μｍである。上部電極２０１は、主部電極２０１ａと、左右一対の先端部電極２０１ｂ，２０１ｂとからなる。活性層２０３の発振部は発振狭窄部２０１ａ，２０１ｂにより狭窄され、さらに、先端部電極２０１ｂ，２０１ｂに分割して、あるいは交互に電流を流すことにより、出力レーザビームは左右に走査される。この走査幅は約１μｍで、走査周波数は３０ＭＨｚまで可能である。この出力レーザビームの走査は、トラッキングの高周波部分に使用した。
【００３６】
活性層２０３の材料としては、ＡｌＧａＩｎＰを使用し、発振波長は６３０ｎｍとした。透明集光用媒体６の屈折率、ＮＡはそれぞれ１．９１、０．８５であり、被集光面６ｃ上での光スポット９ａのスポットサイズは、式１から分かるように約０．２μｍとなる。この光スポット９ａから漏れ出す近接場光を記録再生ディスク２１の記録層２１１に照射し、かつ、コイル１０に情報信号に基づく電流を印加することにより、磁界変調（ＭＦＭ）記録を行い、トラック方向の最小マーク長０．０６μｍの記録を達成した。
【００３７】
信号処理系２６は、光検出器３５が検出した記録再生ディスク２１からの反射光に基づいてトラッキング制御用の誤差信号およびデータ信号を生成し、誤差信号はハイパスフィルタとロウパスフィルタによって高周波域と低周波域の誤差信号に分け、これらの誤差信号に基づいてヘッド駆動系２５に対してトラッキング制御をさせるものである。ここでは、トラッキング用の誤差信号をサンプルサーボ方式（光ディスク技術、ラジオ技術社、Ｐ．９５）によって生成するようになっており、このサンプルサーボ方式は、千鳥マーク（Ｗｏｂｂｌｅｄ Ｍａｒｋ）を間欠的にトラック上に設け、それらからの反射光の強度変化から誤差信号を生成するものである。また、トラッキング制御は、低周波の誤差信号に基づいてスイングアーム２４駆動用のリニアモータ２３を制御し、高周波の誤差信号に基づいてビーム走査型の半導体レーザ２を制御する２段制御方式となっており、低周波から高周波までの精密なトラッキングを可能としている。サンプルサーボの場合、記録信号とトラッキング誤差信号とは時分割的に分離されているので、両者の分離は再生回路におけるゲート回路により行う。上述したようにサンプルサーボの採用により記録信号と誤差信号とは時分割的に分離されているので、光検出器３５としては、分離型のものを使用する必要はなく、小型のＰＩＮフォトダイオード等が使用できる。また、光によるサンプルサーボの場合、サーボ用のマークは転写によって形成できるため、一枚ごとに書き込まねばならない磁気マークに比べて、精度がよく、かつ、生産性が高い。
【００３８】
なお、グルーブ部２１ａからの反射光との干渉を用いるプッシュプル方式で誤差信号を形成してもよい。この場合には、反射光の左右の強度差から誤差信号を形成するため、光検出器３５としては、２分割型のものを使用する必要がある。再生時には、ＧＭＲの磁気センサ１１を用いて記録マークからの漏れ磁界の方向に基づく磁気センサ１１の抵抗変化を電圧変化として読み出し、再生信号を形成する。また、再生時のトラッキング制御にも上記の光検出器３５による誤差信号を使用する。この場合、レーザ走査は使用できないが、磁気センサ１１の検出域の幅をトラック幅の２０％増としているため、トラッキングの必要サーボ帯域としては、約一桁下げられ、スイングアームの駆動制御のみでトラッキングを行う。また、ＧＭＲセンサに圧電素子等を取り付けて高周波域のトラッキングを行ってもよい。また、光検出器３５を用いて誤差信号を形成しているため、光スポット９ａと磁気センサ１１を同時にトラッキングさせることができ、従って、記録時に記録信号を記録再生ヘッド１により再生することにより、いわゆるヴェファイ（記録の検証）を記録直後に行うことができる。これにより、従来ヴェリファイには余分にディスクを回転させる必要があったが、その必要がなくなり、記録時間を半分に短縮することが可能となる。
【００３９】
図１１は、スイングアーム２４の基本構成を示す。トラック２１１ａの外周での光スポット９ａの位置Ｓｏと磁気センサ１１の位置Ｍｏの中心を結ぶ線ｊ、およびトラック内周での光スポット９ａの位置Ｓｉと磁気センサ１１の位置Ｍｉの中心を結ぶ線ｋが、それぞれの中点Ｐｏ，Ｐｉにおいて内外周のトラックの接線と平行となるように走査すると、ディスク２１の中心Ｏ1 からＰｏ、Ｐｉに下ろした垂線のなす角θ1 と直線ｊとｋのなす角θ2 は等しくなる。また、スイングアーム２４の回転中心Ｏ2 を、ＰｏとＰｉを結ぶ線の二等分線上に取り、スイングアーム２４の回転中心Ｏ2 とＰｏ，Ｐｉを結ぶ線をそれぞれｍ、ｎとすると、スイングアーム２４の走査角、すなわち、線ｍとｎのなす角θ0 は、次式のように表される。
θ0 ＝θ2 ＋φ1 −φ2 ＝θ1 ＋φ1 −φ2ここに、φ1 、φ2 は、記録再生ヘッド１が内外周においてスイングアーム２４の中心軸となす角であり、内外周において光スポット９ａと磁気センサ１１が同一トラック上にあるためには、当然、φ1 ＝φ2 でなければならない。それは、スイングアーム２４の回転中心Ｏ2 がθ1 ＝θ2 を満たす位置に置かれた場合であることが上式から分かる。以上の関係は、ただ一種類に決まるわけではなく、原理的には、θ1 の値は、ゼロより大きく、ＰｏとＰｉを結ぶ線が内周の接線をなす時の角度まで、無限に取り得るので、スイングアーム２４の走査角と装置のサイズを考慮して、適当に選択することができる。また、記録再生ヘッド１とスイングアーム２４の中心軸のなす角φ1 ＝φ2 は、θ1 が決まれば、外半径ｒ1 、内半径ｒ2 を用いて次式のように一義的に与えられる。
φ1 ＝φ2 ＝ξ＋θ2 ／２ξ＝Ａｒｃｔａｎ（ｒ2 ・ｓｉｎθ2 ／（ｒ1 −ｒ2 ・ｃｏｓθ2 ））
ここに、ξは、直線Ｐｏ−ＰｉとＰｏ−Ｏ1 がなす角である。すなわち、以上のθ0 、θ1 、φ1 、φ2 の関係を満たすように、スイングアーム２４と記録再生ヘッド１を設定することで、内外周でのトラックの曲率の変化に係らず、光スポット９ａと磁気センサ１１が常に同一トラック上にあるように、スイングアーム２４で走査することが可能となる。
【００４０】
次に、この光ディスク装置２０の動作を説明する。記録再生ディスク２１は、モータ２２によって所定の回転速度で回転し、浮上スライダ３１は、記録再生ディスク２１の回転によって生じる正・負圧とサスペンション３７のバネによって記録再生ディスク２１上を浮上走行し、ヘッド駆動系２５により所定のトラック上をトラッキングする。信号処理系２６による駆動よって半導体レーザ２からレーザビーム３ａが出射されると、それはコリメータレンズ４により平行ビーム３ｂに整形された後、偏光ビームスプリッタ３３および１／４波長板３４を通り、透明集光用媒体６の入射面６ａに入射する。平行レーザビーム３ｂは、１／４波長板３４を通る際に、１／４波長板３４によって円偏光に変わる。透明集光用媒体６の入射面６ａに入射した円偏光の平行ビーム３ｂは、反射面６ｂの外表面に被着された反射膜７により反射して、被集光面６ｃに集光され、光スポット９ａを形成する。光スポット９ａからは、被集光面６ｃの外側に近接場光９ｂが漏れ出し、この近接場光９ｂが記録再生ディスク２１の記録層２１１に伝播し、光記録が行われる。記録再生ディスク２１で反射した光は、入射光の経路を逆にたどり、反射膜７で反射された後、偏光ビームスプリッタ３３で９０度方向に反射されて光検出器３５に入射する。信号処理系２６は、記録時には光検出器３５に入射した記録再生ディスク２１からの反射光に基づいてトラッキング用の誤差信号を生成してヘッド駆動系２５を作動して、レーザビーム３ａとスイングアーム２４を走査してトラッキングを行い、さらに、磁気センサ１１からの再生信号を用いて記録の検証（ヴェリファイ）を行う。
【００４１】
また、再生時には、記録再生ディスク２１の記録層２１１に記録させない程度の低強度の近接場光９ｂを出射するように半導体レーザ２を駆動し、ディスク２１からの反射光により、誤差信号を生成するとともに、磁気センサ１１により記録層２１１の記録情報を再生する。
【００４２】
なお、本実施の形態としては、記録再生ヘッド１として第１の実施の形態の記録再生ヘッドを使用したが、これに止まるものではなく、第２、第３、第４の実施の形態に係る記録再生ヘッドを使用してもよい。しかし、第２の実施の形態の微小孔を使用する場合には、トラッキングにレーザビーム３ａの走査を用いることはできず、その場合には、記録再生ヘッド自体、あるいは透明集光用媒体を圧電素子等により駆動する必要がある。
【００４３】
上記構成の記録再生ディスク装置２０によれば、以下の効果が得られる。
（イ）記録再生ディスク２１には、磁気センサ用のトラッキングマークおよびアドレスマークが不要となるので、高記録密度化が図れる。
（ロ）再生にＧＭＲの磁気センサ１１を用いているので、再生時の解像度を大幅に上げることができ、記録再生ディスク２１の大幅な高密度化が可能となる。
（ハ）光スポット９ａと磁気センサ１１の両者を常に同一トラック上をトラッキングさせることができ、記録再生ディスク２１からの反射光のみを用いて誤差信号を生成できるため、記録再生ディスク２１上には光読み取り用の装置のみが必要であり、磁気読み取り用の装置およびアドレスマークを必要としないため、高密度化が図れる。この結果、ディスク作製時間が大幅に短縮でき、低価格化も可能となる。
（ニ）記録再生ディスク２１からの反射光のみを用いて誤差信号形成ができるため、トラッキング制御用の信号形成が簡素化できる。
（ホ）光スポット９ａと磁気センサ１１を同時に同一トラック上をトラッキングさせられるため、記録時に磁気センサ１１により再生でき、記録直後のヴェリファイが可能となる。このため、ヴェリファイのために余分に回転させることを必要とせず、記録時間の短縮が可能となる。
（ヘ）記録時・再生時共に、記録再生ディスク２１からの反射光を用いて誤差信号形成ができるため、高精度のトラッキング誤差信号が形成できる。
【００４４】
図１２（ａ）は、本発明の第６の実施の形態に係る記録再生ディスク装置２０を示し、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ方向から見た主要部図である。第５の実施の形態では、シーク動作とトラッキングにスイングアーム２４を使用したが、この第２の実施の形態は、リニアモータ５１を使用した点のみが第５の実施の形態と異なる。リニアモータ５１は、トラッキング方向５２に沿って設けられた一対の固定部５１ａと、一対の固定部５１ａ上を移動する可動部５１ｂとを備え、記録再生ヘッド１はサスペンション５３を介してリニアモータ５１の可動コイル５１ｂに固定される。
【００４５】
記録再生ヘッド１は、図１２（ｂ）に示すように、光スポット９ａと磁気センサ１１の中点５４が、常にリニアモータ５１の中心軸上５５を走査するように設定してあり、これにより、第５の実施の形態と同様に、光スポット９ａと磁気センサ１１を常に同一トラック５６上をトラッキングさせることが可能となる。
【００４６】
図１３は、本発明の第７の実施の形態に係る記録再生ディスク装置２０を示す。この記録再生ディスク装置２０は、第１の実施の形態の透明集光用媒体６を用いた記録再生ヘッド１を、５枚重ねのディスクスタック型の記録再生ディスク装置に適用したものであり、アルミニューム基板２１０の上下面に光磁気記録層２１１，２１１がそれぞれ被着された５枚の記録再生ディスク２１と各記録再生ディスク２１の記録媒体上を浮上走行する１０個の記録再生ヘッド１と、回転軸６３によって記録再生ヘッド１を回転可能に支持するサスペンション６４とサスペンション６４を駆動する回転型リニアモータ６５とを有する。回転型リニアモータ６５は、サスペンション６４が直結される可動片６５ａと、ヨーク６５ｂによって連結され、可動片６５ａを駆動する電磁石６５ｃ，６５ｃとからなる。
【００４７】
この記録再生ヘッド１およびサスペンション６４の構造は、第５の実施の形態と同様であり、各記録再生ヘッド１の光スポット９ａと磁気センサ１１が同時に同一トラックをトラッキング可能に設定されている。光スポット９ａの径も、第５の実施の形態と同様であり、ディスク径を３．５インチとした場合、記録容量は、４００ＧＢに向上させることができる。
【００４８】
図１４は、本発明の第８の実施の形態に係る記録再生ディスク装置２０を示す。この記録再生ディスク装置２０は、第５の実施の形態において、記録再生ヘッド１の光学系を半導体レーザ２からのレーザビーム３ａを集光する集光レンズ４’と、集光レンズ４’で集光されたレーザビーム３をさらに集光して光スポット９ａを形成する半球形の透明集光用媒体（ＳＩＬ）６を用いたものにし、他は第５の実施の形態と同様に構成されている。このように構成した場合、光スポットと磁気センサ１１との距離が第５の実施の形態と比較して長くなるが、光スポットと磁気センサ１１をスイングアーム２４によって同一トラック上を走査するように構成することにより、第５の実施の形態と同様に、記録密度の向上が図れ、コスト低減が図れる。なお、被集光面６ｃは、光スポット９ａが形成される部分を下方へ突出させ、その突部の周囲にコイル１０を配置してもよい。これにより、コンパクト化が図れる。また、その突部は、下方に向かって細くなるテーパ形状にしてもよい。これにより、ＮＡを２倍に向上させることができる。
【００４９】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々に変形実施が可能である。例えば、上記各実施の形態では、磁気センサ用の装置を形成していない記録再生ディスクを用い、光スポットと磁気センサを同一トラック上を走査するようにしたが、光スポット用のトラッキングマーク、および磁気センサ用のトラッキングマークを形成した記録再生ディスクを用い、光スポットと磁気センサを互いに近接したトラック上を走査するようにしてもよい。また、別途磁気センサ用のアドレスマークを設けてもよい。このマークを設けても本実施の形態の効果が損なわれるものではない。また、記録再生ヘッドは、半導体レーザからのレーザ光を拡散する凹球面状の入射面、入射面に対向する位置に設けられ、光スポットが形成される被集光面、および入射面の周囲に形成された非球面状の反射面を有する透明集光用媒体と、透明集光用媒体の反射面の表面に形成された第１の反射膜と、被集光面の光スポットが形成される位置の周囲に設けられ、入射面で拡散されたレーザ光を反射させ、さらに第１の反射膜で反射させて被集光面に光スポットを形成する第２の反射膜とを有するものを用いてもよい。
【００５０】
以上説明したように、本発明の記録再生ディスクおよび記録再生ディスク装置によれば、透明集光用媒体の被集光面の端部寄りに光スポットを形成することができるようになり、光スポットと磁気センサとの間の距離を短くすることが可能になる。これにより、光スポット用のトラッキングマーク（トラッキング溝を含む。）のみで記録および再生の際のトラッキングが可能となる。その結果、高記録密度化、製作コストの低減化、トラッキング制御の容易性、シーク動作の高速化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す図
【図２】第１の実施の形態の透明集光用媒体の説明図
【図３】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本発明の第２の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す図
【図４】本発明の第３の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す図
【図５】本発明の第４の実施の形態に係る記録再生ヘッドを示す図
【図６】本発明の第５の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す図
【図７】第５の実施の形態に係る記録再生ディスクの要部断面図
【図８】（ａ）は、第５の実施の形態に係る記録再生ヘッドの側面図、（ｂ）は、その平面図
【図９】第５の実施の形態に係る磁気センサを示す図
【図１０】（ａ），（ｂ）は、第５の実施の形態に係る半導体レーザを示す図
【図１１】本発明の第５の実施の形態に係るスイングアームを示す図
【図１２】（ａ），（ｂ）は、本発明の第６の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す図
【図１３】本発明の第７の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す図
【図１４】本発明の第８の実施の形態に係る記録再生ディスク装置を示す図
【図１５】従来の記録再生ディスク装置を示す図
【符号の説明】
【００５２】
１  記録再生ヘッド
２  半導体レーザ
３ａ，３ｂ，３ｃ  レーザビーム
４  コリメータレンズ
４’  集光レンズ
６  透明集光用媒体
６ａ  入射集光面
６ｂ  反射面
６ｃ  被集光面
７，７Ａ，７Ｂ  反射膜
７Ｃ  反射型ホログラム
８  記録再生ディスク
８ａ  光磁気記録膜
９ａ  光スポット
９ｂ  近接場光
１０  コイル
１１  磁気センサ
１１ａ  磁気抵抗膜
１１ｂ  電極
１２  遮光膜
１２ａ  スリット
１２ｂ  微小孔
２０  記録再生ディスク装置
２２  モータ
２１  記録再生ディスク
２１ａ  グルーブ部
２１ｂ  ランド部
２３  リニアモータ
２４  スイングアーム
２５  ヘッド駆動系
２６  信号処理系
３１  浮上スライダ
３２  石英板
３３  偏光ビームスプリッタ
３４  １／４波長板
３５  光検出器
３６  ヘッドケース
３７  サスペンション
５１  リニアモータ
５１ａ  固定部
５１ｂ  可動部
５２  トラッキング方向
５３  サスペンション
５４  中点
５５  中心軸
５６  トラック
６３  回転軸
６４  サスペンション
６５  回転型リニアモータ
６５ａ  可動片
６５ｂ  ヨーク
６５ｃ  電磁石
１１０  スピンバルブ
１１１  反強磁性層
１１２  ピン層
１１３  非磁性層
１１４  フリー層
１１５ａ，１１５ｂ  電極
１１６ａ，１１６ｂ  磁気遮蔽膜
２００  基板
２０１  上部電極
２０１ａ  主部電極
２０１ｂ，２０１ｂ  先端部電極
２０２  下部電極
２０３  活性層
２０４ａ  発振狭窄部の主部
２０４ｂ  発振狭窄部の先端部
２１０  アルミニウム基板
２１１  記録層
２１１ａ  トラック
２２０  回転軸
２２１ａ  保護層
２２１ｂ  記録層
２２１ｃ  ＴｂＤｙＦｅＣｏ層
２２１ｄ  表面保護層
Ｆ1 ，Ｆ2  焦点
Ｘ  トラック方向
Ｙ  記録トラックに直交する方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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