(57)【要約】【課題】加工槽のＸ軸方向の反転時のロストモーションの補正を適切に行って加工精度を高める【解決手段】位置決め指令があると（Ｓ１）、Ｘ軸方向に関して前回と逆方向の指令かどうかが判断され（Ｓ２）、逆方向指令でない場合には（Ｎｏ）、そのまま位置決めが実行される（Ｓ５）。これに対し、Ｘ軸方向に関する逆方向指令である場合には（Ｓ２；Ｙ）、その時点でのＹ軸座標に応じたロストモーション補正量がＲＡＭから読出される（Ｓ３）。このロストモーション量（補正量）は、予め求められ例えば曲線式（関数式）の形態で記憶され、Ｙ軸座標値が大きくなるほど大きくなる。そして、位置決め指令値にロストモーション補正量が加算され（Ｓ４）、位置決めが実行される（Ｓ５）。【選択図】  図１
2004306154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に加工液が貯留されると共にワークが保持される加工槽と、この加工槽の一壁部を貫通してＹ軸方向に延び先端部に前記ワークの下方に位置される下部ワイヤガイドを有する下部アームと、前記加工槽の上方に位置される上部ワイヤガイドと前記下部ワイヤガイドとの間に掛渡された状態で送られるワイヤと、このワイヤに対し前記加工槽をＸ軸及びＹ軸方向に相対的に移動させて前記ワークに対する加工を行わせる移動機構と、前記加工槽の一壁部の前記下部アームの貫通部分に設けられ該加工槽の移動に伴う該下部アームの相対移動を許容した状態でシールするスライドシールと、前記移動機構を制御する制御装置とを備えるワイヤ放電加工装置であって、
前記制御装置は、前記加工槽のＸ軸方向の移動の向きが逆転した反転時に発生するロストモーションを補正するロストモーション補正手段を備えると共に、
そのロストモーション補正手段は、前記反転時における前記加工槽のＹ軸方向位置に応じた補正量で補正を行うように構成されていることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
【請求項２】
前記ロストモーション補正手段は、前記ロストモーションの補正量を、更に前記加工槽内の加工液の液位に応じて変更するように構成されていることを特徴とする請求項１記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項３】
前記ロストモーション補正手段は、前記ロストモーションの補正量を、更に前記加工槽のＸ軸方向移動速度に応じて変更するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項４】
内部に加工液が貯留されると共にワークが保持される加工槽と、この加工槽の一壁部を貫通してＹ軸方向に延び先端部に前記ワークの下方に位置される下部ワイヤガイドを有する下部アームと、前記加工槽の上方に位置される上部ワイヤガイドと前記下部ワイヤガイドとの間に掛渡された状態で送られるワイヤと、このワイヤに対し前記加工槽をＸ軸及びＹ軸方向に相対的に移動させて前記ワークに対する加工を行わせる移動機構と、前記加工槽の一壁部の前記下部アームの貫通部分に設けられ該加工槽の移動に伴う該下部アームの相対移動を許容した状態でシールするスライドシールと、前記移動機構を制御する制御装置とを備えるワイヤ放電加工装置における、前記加工槽のＸ軸方向の移動の向きが逆転した反転時に発生するロストモーションを補正する方法であって、
前記反転時における前記加工槽のＹ軸方向位置に応じた補正量でロストモーションの補正を行うことを特徴とするワイヤ放電加工装置におけるロストモーション補正方法。
【請求項５】
前記ロストモーションの補正量は、更に前記加工槽内の加工液の液位に応じて変更されることを特徴とする請求項４記載のワイヤ放電加工装置におけるロストモーション補正方法。
【請求項６】
前記ロストモーションの補正量は、更に前記加工槽のＸ軸方向移動速度に応じて変更されることを特徴とする請求項４又は５記載のワイヤ放電加工装置におけるロストモーション補正方法。
【請求項７】
内部に加工液が貯留されると共にワークが保持される加工槽と、この加工槽の一壁部を貫通してＹ軸方向に延び先端部に前記ワークの下方に位置される下部ワイヤガイドを有する下部アームと、前記加工槽の上方に位置される上部ワイヤガイドと前記下部ワイヤガイドとの間に掛渡された状態で送られるワイヤと、このワイヤに対し前記加工槽をＸ軸及びＹ軸方向に相対的に移動させて前記ワークに対する加工を行わせる移動機構と、前記加工槽の一壁部の前記下部アームの貫通部分に設けられ該加工槽の移動に伴う該下部アームの相対移動を許容した状態でシールするスライドシールとを備えるワイヤ放電加工装置における、前記移動機構を制御する制御装置を、
前記加工槽のＸ軸方向の移動の向きが逆転した反転時に発生するロストモーションを、該反転時における該加工槽のＹ軸方向位置に応じた補正量で補正するロストモーション補正手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項８】
前記ロストモーション補正手段は、前記ロストモーションの補正量を、更に前記加工槽内の加工液の液位に応じて変更することを特徴とする請求項７記載のプログラム。
【請求項９】
前記ロストモーション補正手段は、前記ロストモーションの補正量を、更に前記加工槽のＸ軸方向移動速度に応じて変更することを特徴とする請求項７又は８記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを保持した加工槽をワイヤに対してＸＹ方向に相対的に移動させることにより加工を行うようにしたワイヤ放電加工装置及びワイヤ放電加工装置におけるロストモーション補正方法並びにプログラムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤ放電加工装置においては、上下部のワイヤガイド間に掛渡された状態で送られるワイヤに対し、加工液が貯留されると共に前記上下部のワイヤガイドの中間部に位置してワークを保持する加工槽を、ＸＹテーブルによりＸ軸及びＹ軸方向に自在に移動させるように構成されている。そして、マイコン等からなる制御装置により、ワイヤとワークとの間に放電を発生させながらＸＹテーブルを制御することによって、加工槽ひいてはワークがＸＹ平面上を移動され、以てワークの切断加工が行われるようになっている。
【０００３】
このとき、前記下部ワイヤガイドは、Ｙ軸方向に延びる円筒パイプ状をなして前記加工槽の側壁を貫通する下部アームの先端に設けられている。このため、加工槽の側壁には、下部アームが加工槽の側壁に対してＸ軸方向（壁面の延びる方向）及びＹ軸方向（下部アームの延びる方向）に相対移動できながらも、下部アームの外周面との間が液密にシールされるように、スライドシールが設けられるようになっている。このスライドシールは、加工槽の側壁に横長に形成された開口部に、両側部で巻取可能な可撓性を有する帯板状の遮蔽体を配すると共に、その遮蔽体の中央部分に下部アームが貫通される円形穴を有するハウジングを設け、そのハウジングの内周部に下部アームの外周面が摺動可能に密着するＯリングを設けて構成される（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、ＮＣ制御される工作機械などにおいては、例えばＸＹテーブルの移動時に正転から逆転に送り方向を切替えた際にロストモーションが発生することが知られており、これに対処すべく、指令された逆方向位置決め量に対応したロストモーション量でその補正を行うことにより、位置決め精度を高めることが考えられている（例えば特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特公平３−８８９２号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開昭６３−１２３６５０号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記したワイヤ放電加工装置においては、例えばワークを円形に切断加工するようなケースでは、図１１に切断軌跡をＴで示すように、ワーク（加工槽）のＸ軸方向における移動の向きがプラスからマイナス（或いはマイナスからプラス）に切替えられる（反転される）際に、図中Ａで示す反転位置にてロストモーションが発生するようになる（図では誇張して示す）。尚、図中Ｂで示すＹ軸方向における反転時には、ロストモーションの発生は無視できる程度に小さい。
【０００８】
ところが、そのようなロストモーションの補正を行うにあたって、上記特許文献２に示されるような指令された逆方向位置決め量（移動量）に応じてロストモーション補正量を変化させるものでは、上記したようなワイヤ放電加工装置に適用した場合に、必ずしもロストモーションの補正を十分適切に行うことができず、加工精度を高める点で不十分であることが判明したのである。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、ワークを保持した加工槽をワイヤに対してＸＹ方向に相対的に移動させることにより加工を行うようにしたものにあって、ロストモーションの補正を適切に行うことができ、加工精度を十分に高めることができるワイヤ放電加工装置及びワイヤ放電加工装置におけるロストモーション補正方法並びにプログラムを提供するにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、下部アームが加工槽の壁部を貫通し、スライドシールによって移動可能とされたワイヤ放電加工装置にあっては、加工槽のＸ軸方向における移動の向きが切替え（反転）られた際のロストモーションの発生が、Ｙ軸方向の反転時と比べて顕著となり、しかもその際のロストモーション量は、Ｙ座標の位置に応じて変動する現象が生ずることを見出した。
【００１１】
これは、下部アームがＸ軸方向つまり自らが貫通している加工槽の壁面の延びる方向に相対的に移動している際には、スライドシールの摺動抵抗によって下部アームがＯリングを変形させるようにして力を受けることに伴い、僅かではあるがたわみ変形し、反転時にそのたわみ変形が元に戻る（逆方向のたわみに切替わる）ことにより、ロストモーションの発生が比較的大きくなるものと考えられる。そして、この場合、下部アームがＯリングから同じ力を受けても、その力を受ける位置がＹ軸方向に相違することにより、そのたわみ量も変化するものであると考えられる。
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１のワイヤ放電加工装置は、移動機構を制御する制御装置に、加工槽のＸ軸方向の移動の向きが逆転した反転時に発生するロストモーションを補正するロストモーション補正手段を設けると共に、そのロストモーション補正手段を、反転時における加工槽のＹ軸方向位置に応じた補正量で補正を行うように構成したところに特徴を有する。
【００１３】
本発明の請求項４のワイヤ放電加工装置におけるロストモーション補正方法は、加工槽のＸ軸方向の移動の向きが逆転した反転時に発生するロストモーションを補正する方法にあって、反転時における加工槽のＹ軸方向位置に応じた補正量でロストモーションの補正を行うところに特徴を有する。
【００１４】
本発明の請求項７のプログラムは、移動機構を制御する制御装置を、加工槽のＸ軸方向の移動の向きが逆転した反転時に発生するロストモーションを、反転時における加工槽のＹ軸方向位置に応じた補正量で補正するロストモーション補正手段として機能させるところに特徴を有する。
【００１５】
これらによれば、加工槽のＸ軸方向の反転時に発生するロストモーションの補正が、そのときの加工槽のＹ軸方向位置に応じた補正量で行われるようになる。従って、Ｘ軸方向の反転時に発生するロストモーション量が、加工槽のＹ座標に応じて変動する事情があっても、ロストモーションの補正を適切に行うことができ、加工精度を十分に高めることができるものである。尚、この際の補正量は、例えば試験などにより予め求めておき、テーブル化して或いは関数式として記憶させておくようにすることができる。
【００１６】
このとき、加工槽内の加工液の液位（重量）によってスライドシールの摺動抵抗ひいては下部アームに作用する力が微妙に変化するため上記ロストモーションの補正量を、更に加工槽内の加工液の液位に応じて変更するように構成すれば（請求項２、５、８の発明）、ロストモーションの補正をより一層正確に行うことができる。
【００１７】
また、加工槽のＸ軸方向移動速度に応じて、下部アームがスライドシール（Ｏリング）から受ける力ひいてはたわみ量が微妙に変化するため、上記ロストモーションの補正量を、更に加工槽のＸ軸方向移動速度に応じて変更するように構成すれば（請求項３、６、９の発明）、ロストモーションの補正をより一層正確に行うことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施形態について、図１ないし図８を参照しながら説明する。まず、図４は、本実施形態に係るワイヤ放電加工装置の本体１の構成を概略的に示している。ここで、この本体１のベース２上には、移動機構たるＸＹテーブル３が設けられており、このＸＹテーブル３上に加工槽４が取付けられている。また、前記ベース２の後部側（図で左側）には、前記加工槽４の背面側を上方に延びるコラム５が設けられている。
【００１９】
前記ＸＹテーブル３は、周知のように、共にサーボモータからなるＸ軸モータ６及びＹ軸モータ７（図３にのみ図示）や図示しないボールねじ機構を備え、前記加工槽４をＸ軸方向（左右方向）及びＹ軸方向（前後方向）に自在に移動させるようになっている。
【００２０】
前記加工槽４は、上面が開口した矩形箱状をなし、内部には、ワーク支持台（ワークベース）８が設けられていると共に、加工液（例えば水）Ｌが貯留されるようになっている。前記ワーク支持台８には、ワークＷが、加工液Ｌ中に浸り、且つ、加工槽４の底面から浮上がった状態で保持されるようになっている。
【００２１】
そして、この加工槽４内には、前記コラム５から前方（Ｙ軸方向）に延びていわゆる片持ち状に設けられた下部アーム９の先端側が、該加工槽４の一壁部である後壁部４ａを貫通して配置されるようになっている。このとき、前記後壁部４ａの下部アーム９の貫通部分には、後述するように、下部アーム９の相対移動を許容しながらシール（加工液Ｌの漏れを防止）するためのスライドシール１０が設けられるようになっている。
【００２２】
前記下部アーム９は、中空の円筒パイプ状をなし、その先端部には、前記ワークＷ（ワーク支持台８）の下方に位置して下部ワイヤガイド１１が設けられている。一方、前記コラム５の加工槽４の上方には、上部ワイヤガイド１２が設けられている。そして、切断加工用のワイヤ１３が、それら上部ワイヤガイド１２と下部ワイヤガイド１１との間において所定の張力をもって掛渡されるように保持されると共に、ワイヤ送り機構によって上から下に順次送られるようになっている。
【００２３】
詳しく図示はしないが、前記ワイヤ送り機構は、コラム５内の供給リールからワイヤ１３を繰出し、上部ガイドローラ１４、前記上部ワイヤガイド１２、前記下部ワイヤガイド１１、下部ガイドローラ１５を順に介してコラム５内の巻取ローラに巻取るように構成されている。また、これも図示はしないが、この本体１には、前記ワイヤ１３とワークＷとの間に電圧を印加して放電を発生させる機構等も設けられている。
【００２４】
ここで、前記スライドシール１０部分の構成について、図５及び図６も参照して述べる。図５に示すように、前記加工槽４の後壁部４ａ下部には、横方向に長い開口部４ｂが設けられている。スライドシール１０は、前記開口部４ｂの外形に沿った形状の枠体１６、この枠体１６内に配される可撓性を有する帯板状の遮蔽体１７、この遮蔽体１７の中央部分に取付けられ前記下部アーム９に対応した（下部アーム９の外径よりも若干大きな内径の）円形穴１８ａを有するハウジング１８、このハウジング１８の内周部に設けられたＯリング１９などから構成される。
【００２５】
このとき、前記遮蔽体１７は、スチールの薄板から横長に構成され、図６に示すように、その上下端部が、前記枠体１６の上下の辺部に設けられた案内溝１６ａ内に摺動可能に差込まれていると共に、その左右の両端側が前記枠体１６の左右の辺部に設けられた巻回部１６ｂ内に巻取られるようになっている。これにて、遮蔽体１７は、一方の巻回部１６ｂに巻取られると同時に他方の巻回部１６ｂから引出されることにより、ハウジング１８の左右方向移動を許容した状態で、枠体１６内ひいては開口部４ｂを常に密に塞ぐようになっている。
【００２６】
尚、詳しく図示はしないが、前記遮蔽体１７は、加工槽４の内側に向けて凸となるように上下方向に緩やかに湾曲した形状に構成されており、加工槽４内の加工液Ｌが所定の液位を越えると、その重量を受けて湾曲が逆方向（加工槽４の外側に向けて凸）となるようになっている。
【００２７】
そして、前記下部アーム９は、前記ハウジング１８の円形穴１８ａを貫通するように配置され、その外周に前記Ｏリング１９が摺動可能に密着するようになっている。これにて、加工槽４がベース２（コラム５）に対してＸ軸、Ｙ軸方向に移動することに伴い、加工槽４に対し、下部アーム９がハウジング１８と一体的に後壁部４ａの開口部４ｂ内を左右に移動することによってＸ軸方向の相対的な移動が許容されると共に、Ｏリング１９の内面を前後方向に摺動することによってＹ軸方向の相対的な移動が許容されるようになっている。
【００２８】
さて、上記のように構成されたワイヤ放電加工装置の本体１には、該本体１を制御するための制御装置２０が例えば一体的に設けられている。図３は、本実施形態における制御装置２０の電気的構成を概略的に示しており、この制御装置２０は、ＣＰＵ２１、ＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３等を備えるマイコンを主体として構成されている。
【００２９】
前記ＣＰＵ２１は、モータ制御部２４及び２５を介して、前記Ｘ軸モータ６及びＹ軸モータ７を夫々制御（フィードバック制御）するようになっている。前記ＲＯＭ２２には、後述するロストモーションの補正用のプログラムを含む全体の制御用のプログラム等が記憶されている。前記ＲＡＭ２３には、入力された動作プログラムや必要なパラメータ（後述するロストモーション補正量など）のデータ等が記憶されるようになっている。また、図示はしていないが、制御装置２０（ＣＰＵ２１）は、上述したワイヤ１３の送り機構やワイヤ１３とワークＷとの間に電圧を印加する機構なども制御するようになっている。
【００３０】
これにて、制御装置２０は、動作プログラム等に従って、ワイヤ１３を送ると共にそのワイヤ１３とワークＷとの間に電圧を印加して放電を発生させながら、ＸＹテーブル３ひいてはワークＷを固有のＸＹ座標系に基づいてＸＹ平面上を移動させ、以てワークＷを所望の形状に切断加工するようになっている。
【００３１】
このとき、後の作用説明でも述べるように、制御装置２０は、そのソフトウエア構成（本実施形態に係るプログラムの実行）により、加工槽４のＸ軸方向の移動の向きが逆転した反転時に発生するロストモーションを、該反転時における加工槽４のＹ軸方向位置（Ｙ座標）に応じた補正量で補正するロストモーション補正手段として機能するようになっている。また、この際の補正量は、例えば試験などにより予め求めておき、テーブル化して或いは関数式として前記ＲＡＭ２３に記憶されるようになっている。尚、Ｙ軸方向における反転時にはロストモーションの発生は無視できる程度に小さいため、本実施形態では、Ｙ軸方向に関するロストモーションの補正は特に行わないものとしている。
【００３２】
次に、上記構成の作用について、図１及び図２、図７、図８も参照して述べる。上述のように、制御装置２０（ＣＰＵ２１）は、動作プログラム等に従って、ＸＹテーブル３の制御により加工槽４をＸ軸及びＹ軸方向に自在に移動させ、ワークＷに対してワイヤ１３を相対的に移動させることにより、ワークＷを所定の形状に切断加工する。このとき、加工槽４のＸ軸方向における移動の向きが切替え（反転）られた際のロストモーションの発生が、Ｙ軸方向の反転時と比べて顕著（量が大きい）となり、しかもその際のロストモーション量が、Ｙ座標の位置に応じて変動する現象が生ずる。
【００３３】
これは、図７に誇大的に示すように、加工槽４がＸ軸方向（図でＸ＋方向）に移動している際には、スライドシール１０（遮蔽体１７）の摺動抵抗によって下部アーム９がハウジング１８のＯリング１９を変形させるようにして力を受けることに伴い、僅かではあるがたわみ変形し、反転時にそのたわみ変形が元に戻る（逆方向のたわみに切替わる）ことにより、ロストモーションの発生が比較的大きくなるためであると考えられる。
【００３４】
そして、この場合、下部アーム９がＯリング１９から同じ力を受けても、その力を受ける位置がＹ軸方向に相違することにより、そのたわみ量ひいてはロストモーション量も変化するようになる。即ち、図７（ｂ）に示すように、下部アーム９の根元部にスライドシール１０が位置している（加工槽４のＹ座標が小さい（ｙ２））ときには、下部アーム９のたわみ量Ｌｘ２も小さいが、図７（ａ）に示すように、下部アーム９の先端側部にスライドシール１０が位置している（加工槽４のＹ座標が大きい（ｙ１））ときには、下部アーム９のたわみ量Ｌｘ１が大きくなるのである。
【００３５】
ちなみに、図８は実際の装置にて、Ｙ座標が異なる３種類の位置で、Ｘ軸方向の反転時に発生したＸ軸方向のロストモーション量を測定した結果を示している。図中、横軸は反転時点からのＸ軸方向移動距離、縦軸はロストモーション量（累積値）を示しており、三角は反転時の座標が（９０，２５０）、丸は反転時の座標が（９０，１５０）、四角は反転時の座標が（９０，９０）の場合を夫々示している。この結果から、反転時の加工槽４のＹ座標が大きい（下部アーム９の先端側にスライドシール１０が位置している）ほど、ロストモーション量も大きくなり、また、ロストモーションは、反転時からＸ軸方向に約０．２μｍ移動するまでに発生（完了）することが理解できる。
【００３６】
そこで、本実施形態では、制御装置２０は、そのソフトウエア及びハードウエア構成により、Ｘ軸方向の反転時に以下のようなロストモーションの補正を行うようになっている。ここで、図２は、各モータ６、７の位置制御系の構成（機能）を示す制御ブロック線図であり、また、図１は、制御装置２０が実行する位置決め制御の要点の処理手順を示すフローチャートである。
【００３７】
まず、図２に示すように、各モータ６、７の制御系は、移動指令部２６、指令パルス換算部２７、移動方向判定・記憶及びＸ位置記憶部２８、ロストモーションパルス量算出部２９、補正量加算部３０、比較部（減算部）３１、サーボ指令換算部３２、実パルス監視部３３の機能を備えて構成されている。そのうち、実パルス監視部３３は、例えばロータリエンコーダなどを含んでなり、各モータ６、７が実際に移動した位置をパルスとして読取り、前記比較部３１に出力するようになっている。
【００３８】
前記移動指令部２６は、微小時間で、例えばＸ軸を＋０．０１５ｍｍ移動する、−０．０２３ｍｍ移動するといった移動指令を出力するようになっている。指令パルス換算部２７は、その移動量を、モータ６，７のパルスに換算して出力するようになっている。例えば、指令パルス＝移動量（ｍｍ）×パルスレート（ボールねじ１周のパルス数）／ピッチレート（ボールねじのピッチ幅ｍｍ）といった計算式で指令パルスが求められる。
【００３９】
移動方向判定・記憶及びＸ位置記憶部２８は、モータ６、７の移動指令の方向が＋か−かを判定し記憶するようになっていると共に、現在の指令とは逆の軸の位置（Ｘ軸方向移動指令の場合Ｙ軸方向の位置）を記憶するようになっている。そして、ロストモーションパルス量算出部２９は、Ｘ軸方向の移動方向が反転した場合に、予め測定したデータに基づいて記憶されているＹ軸位置（Ｙ座標）とロストモーション量との対応関係（図１のステップＳ３部分に示す曲線式）から、そのときのＹ座標に応じたロストモーション補正量を求め、パルス量として補正量加算部３０に出力するようになっている。Ｘ軸方向の移動方向が前回と同じであれば補正パルス量は０となる。
【００４０】
補正量加算部３０は、指令パルス換算部２７からの指令パルスと、ロストモーションパルス量算出部２９からの補正パルス量とを加算して比較部３１に出力する。比較部３１では、補正量加算部３０からの指令パルス量と、前記実パルス監視部３３からのパルス量とを比較して位置偏差を算出ししてサーボ指令換算部３２に出力する。サーボ指令換算部３２は、その位置偏差をモータ６、７の駆動方式に応じた物理量例えば電流値に換算し、モータ６、７を駆動する。以上の流れが、微小単位時間ごとに繰返されるようになっている。
【００４１】
このような制御系の構成により、図１のフローチャートに示す手順で制御が行われる。即ち、ステップＳ１にて位置決め指令があると、ステップＳ２にて、Ｘ軸方向に関して前回と逆方向の指令かどうかが判断される。Ｘ軸方向に関する逆方向指令でない場合には（ステップＳ２にてＮｏ）、そのままステップＳ５に進み、位置決めが実行される。位置決め実行後は、ステップＳ１からの処理が繰返される。
【００４２】
これに対し、Ｘ軸方向に関する逆方向指令であると判断されたときには（ステップＳ２にてＹｅｓ）、次のステップＳ３にて、その時点でのＹ軸座標に応じたロストモーション量（補正量）がＲＡＭ２３から読出される。このロストモーション量（補正量）は、例えば曲線式（関数式）の形態で記憶されており、Ｙ軸座標値が大きくなるほど大きくなるようになっている。
【００４３】
そして、ステップＳ４にて、位置決め指令値にロストモーション補正量が加算され、ステップＳ５にて位置決めが実行されるのである。尚、上記補正量が、Ｘ軸方向に関してプラス側からマイナス側に反転した場合の値であるとすると、マイナス側からプラス側に反転した場合には、ロストモーション補正量をマイナス１倍する。これにて、加工槽４のＸ軸方向の反転時に発生するロストモーションの補正が、そのときの加工槽４のＹ軸方向位置に応じた補正量で行われるようになるのである。
【００４４】
このように本実施形態によれば、Ｘ軸方向の反転時に発生するロストモーション量が、加工槽４のＹ座標に応じて変動するというワイヤ放電加工装置の特有の事情に鑑みて、加工槽４のＸ軸方向の反転時に発生するロストモーションの補正を、そのときの加工槽４のＹ軸方向位置に応じた補正量で行うようにしたので、ロストモーションの補正を適切に行うことができ、加工精度を十分に高めることができるという優れた効果を得ることができるものである。
【００４５】
図９は、本発明の第２の実施形態を示しており、この実施形態では、図９（ａ）に切断軌跡をＴで示すように、ワークＷを、例えばＸ軸及びＹ軸方向に平行に四角形に切断加工するようなケースにおける、ロストモーションの補正方法について述べる。この場合、ワークＷに対してワイヤ１３がＸ軸プラス方向に移動して（Ｙ座標を一定（ｙ１）として）一つの角部Ｃ１（ｘ１，ｙ１）に至り、次いで、Ｙ軸方向にのみ座標ｙ１から座標ｙ２まで移動して（Ｘ座標を一定（ｘ１）として）次の角部Ｃ２（ｘ１，ｙ２）に至り、次にＸ軸マイナス方向に移動（反転）するといった手順で切断加工が行われることになる。
【００４６】
ここで、上記第１の実施形態で述べたように、Ｘ軸方向反転時のロストモーション量Ｂと、その反転時のＹ座標Ａとは、図９（ｂ）のような対応関係があり、この関係が例えば、Ｂ＝Ｆｘ（Ａ）のような関数式で表されることになる。ところが、上記のように、Ｘ軸方向に反転する際にＹ軸方向のみの移動を伴った場合には、ロストモーション補正量Ｌｘを次のようにして求めることができる。
【００４７】
即ち、今、例えばＹ座標がｙ１からｙ２に移動した際のロストモーションを、下部アーム９とスライドシール１０との結合部（Ｏリング１９部分）で吸収でき、下部アーム９の形状（たわみ量）に変化がないと仮定すると、Ｘ軸モータ６がｙ２の位置で初めて反転した場合のロストモーション補正量Ｌｘは、次の（１）式で計算できる。
Ｌｘ＝Ｆｘ（ｙ１）／２＋Ｆｘ（ｙ２）／２    ‥‥（１）
尚、この場合、前回Ｘ軸プラス方向へ移動した際のＹ軸位置と方向とを記憶しておく必要がある。
【００４８】
但し、下部アーム９とスライドシール１０との結合部でのロストモーションの吸収率は１００％とは限らない（ｙ１からｙ２にＹ軸移動があった際に下部アーム９の形状変化を伴う）ので、吸収できない部分をある定数ｋで計算して、上記計算式を次の（２）式のようにしても良い。
Ｌｘ＝Ｆｘ（ｙ１）×ｋ／２＋Ｆｘ（ｙ２）／２    ‥‥（２）
その場合、ｙ１からｙ２にＹ軸移動があった際に、
返還量＝Ｆｘ（ｙ１）×（１−ｋ）
をＸ軸モータ６に指令して出力すると良い。
【００４９】
また、原点復帰と呼ばれる、機械上のある固定点へ移動し、モータ原点を決定する動作を行う場合、Ｙ軸の機械原点を決定した際の、直前のＸ軸の移動方向とロストモーション量とを記憶し、初期化（例えば上記（２）式のＦｘ（ｙ１）×ｋ部分）を行うことができる。
【００５０】
図１０は、本発明の第３の実施形態を示している。この実施形態では、上記ロストモーションの補正量を、Ｘ軸方向の反転時のＹ座標に加えて、更に加工槽４内の加工液Ｌの液位に応じて変更するようにしている。ここで、加工槽４内の加工液Ｌの液位（重量）によってスライドシール１０（遮蔽体１７）の摺動抵抗ひいては下部アーム９に作用する力が変化し、下部アーム９のたわみ量が微妙に変化する事情がある。
【００５１】
図１０は、所定のＹ座標における、加工槽４内の加工液Ｌの液位とＸ軸方向反転時のロストモーション量との関係を調べた結果を示している。このとき、液位がワークベース（ワーク支持台８）の上面にあるときに、ロストモーション量が最も小さく、それより低くなるにつれ及び高くなるにつれ、ロストモーション量が次第に大きくなるという結果が得られた。
【００５２】
これは、上述のように、遮蔽体１７が、加工槽４の内側に向けて凸となるように上下方向に緩やかに湾曲した形状に構成されており、液位が低い（液がない）場合には湾曲度合が大きく、液位が増すに従って湾曲が小さくなっていって、液位がワークベース上面に来たところでほぼ真っ直ぐになり、更に液位が増すに従って逆方向（加工槽４の外側に向けて凸）となるように湾曲していき、次第にその湾曲度合が大きくなる現象が生ずるのに対し、その湾曲度合の大きいほど摺動抵抗が大きくなる理由によるものであると考えられる。
【００５３】
従って、ロストモーションの補正量を、加工槽４内の加工液Ｌの液位に応じて変更することにより、ロストモーションの補正をより一層正確に行うことができるものである。
【００５４】
尚、図示及び詳しい説明は省略するが、加工槽４のＸ軸方向移動速度に応じて、下部アーム９がスライドシール１０（Ｏリング１９）から受ける力ひいてはたわみ量が微妙に変化するため、上記ロストモーションの補正量を、更に加工槽４のＸ軸方向移動速度に応じて変更するように構成すれば、ロストモーションの補正をより一層正確に行うことができる。
【００５５】
その他、本発明は上記しまた図面に示した各実施形態に限定されるものではなく、例えば加工槽４（ワークＷ）側を移動させることに代えて、ワイヤ１３（下部ワイヤガイド１１及び上部ワイヤガイド１２）側をＸ軸及びＹ軸方向に移動させる構成としたり、Ｘ軸、Ｙ軸方向の一方に関してはワークＷ側を移動させ、他方に関してはワイヤ１３側を移動させるといった構成としても良い。さらには、スライドシール１０の構成や、移動機構の構成などについても様々な変形が可能であるなど、本発明は要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。
【００５６】
【発明の効果】
以上の説明にて明らかなように、本発明のワイヤ放電加工装置及びワイヤ放電加工装置におけるロストモーション補正方法並びにプログラムによれば、ワークを保持した加工槽をワイヤに対してＸＹ方向に相対的に移動させることにより加工を行うようにしたものにあって、ロストモーションの補正を適切に行うことができ、加工精度を十分に高めることができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示すもので、制御装置が実行する位置決め制御の処理手順の要部を示すフローチャート
【図２】モータの制御系の構成を示す制御ブロック線図
【図３】要部の電気的構成を概略的に示すブロック図
【図４】ワイヤ放電加工装置の本体の要部の縦断側面図
【図５】スライドシールの構成を示す分解斜視図
【図６】スライドシール部分の縦断側面図
【図７】下部アームのたわみの発生の様子を誇大的に示す図
【図８】複数のＹ座標において発生するロストモーション量の測定結果を示す図
【図９】本発明の第２の実施形態を説明するため図
【図１０】本発明の第３の施形態を示すもので、加工槽内の液位とロストモーション量との関係を示す図
【図１１】従来例を示すものでロストモーションの発生の様子を示す図
【符号の説明】
図面中、１はワイヤ放電加工装置本体、３はＸＹテーブル（移動機構）、４は加工槽、５はコラム、６はＸ軸モータ、７はＹ軸モータ、９は下部アーム、１０はスライドシール、１１は下部ワイヤガイド、１２は上部ワイヤガイド、１３はワイヤ、１７は遮蔽体、１８はハウジング、１９はＯリング、２０は制御装置（ロストモーション補正手段）、Ｌは加工液、Ｗはワークを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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