(57)【要約】【課題】この発明は、検査資料の信頼性を上げることと、随時、装置の状態を把握し、製品の歩留まりを上げることを課題とする。【解決手段】少なくとも一つの工程装置において、少なくとも一つの検査項目と検査基準及び検査周期を記録するために使われるデータベース２１と、前記データベース２１の中で、対応する前記検査基準を選ぶことによって、前記工程装置の検査資料を追加する時に、即時に計算と比較を行い、検査結果を出力するために使われる処理ユニット２２と、前記検査結果が異常である時には、検査異常の知らせを関係者に送るために使われるメッセージサーバ２３とを含む。【選択図】  図２
2004207679.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体工程装置を検査する自動化管理システムであって、
少なくとも一つの工程装置において、少なくとも一つの検査項目と検査基準及び検査周期を記録するために使われるデータベースと、
前記データベースの中で、対応する前記検査基準を選ぶことによって、前記工程装置の検査資料を入力する時に、即時に計算と比較を行い、検査結果を出力するために使われる処理ユニットと、
前記検査結果が異常である時に、検査異常の知らせを関係者に送るために使われるメッセージサーバとを含んでなることを特徴とする自動化管理システム。
【請求項２】
前記データベースは、システム開発者が前記工程装置の前記検査項目の設定と記録をするために使われる検査項目コラムと、工程エンジニアが前記検査項目によって、対応する前記検査基準と前記検査周期とを設定および記録するために使われる検査基準コラムと、少なくとも一つの使用者のアカウント番号と暗証番号及び対応する権限などの資料を記録するために使われる使用者資料コラムと、前記工程装置の前記検査資料を記録するために使われる検査資料コラムとを含むことを特徴とする請求項１記載の自動化管理システム。
【請求項３】
前記処理ユニットは、使用者ログイン機能の選択項を含み、前記使用者ログイン機能の選択項は、使用者の入力するアカウント番号と暗証番号によって権限制御を行い、前記使用者が権限によって前記処理ユニットを使えるか、或いは前記データベースにアクセスできることを特徴とする請求項１記載の自動化管理システム。
【請求項４】
前記処理ユニットは、使用者が権限によって前記データベースの中にある資料を更新するために使われる資料入力機能の選択項と、使用者が検索条件を設定し、更に前記検索条件に対応する前記検査資料を得るために使われる資料検索機能の選択項と、使用者が検索条件を設定し、前記検索条件に対応する前記検査資料を得て、更に前記検査資料を趨勢図に描くために使われる絵画機能の選択項とを含むことを特徴とする請求項１記載の自動化管理システム。
【請求項５】
前記処理ユニットは、使用者が異常資料の検索条件を設定し、更に前記異常資料の検索条件に対応する前記検査資料を得るために使われる異常資料検索機能の選択項と、予定周期が来る時に、前記検査周期によって前記データベースの中に対応する前記検査資料があるかどうかを検査し、更に前記検査周期に対応する前記検査資料がない時に、前記メッセージサーバを利用して、未検査の知らせを関係者に送るために使われる定期検査機能の選択項を含むことを特徴とする請求項１記載の自動化管理システム。
【請求項６】
前記自動化管理システムは、オンライン管理システムであり、使用者は、インターネットを介して、前記自動化管理システムにアクセスすることができることを特徴とする請求項１記載の自動化管理システム。
【請求項７】
半導体工程装置を検査する自動化管理方法であって、
データベースの中に少なくとも一つの工程装置を定義することによって、前記工程装置における少なくとも一つの検査項目と検査基準及び検査周期を設定することと、
処理ユニットを利用して、前記データベースの中に対応する前記検査基準を選ぶことによって、前記工程装置の検査資料を入力する時に、即時に計算と比較を行い、検査結果を出力ることと、
前記検査結果が異常である時に、メッセージサーバを介して、検査異常の知らせを関係者に送ることとを含んでなることを特徴とする自動化管理方法。
【請求項８】
前記工程装置が新しく導入される装置であり、前記新しく導入される装置における前記検査項目と前記検査基準及び前記検査周期を定義する時に、システム開発者が前記データベースの検査項目コラムの中で、前記新しく導入される装置の前記検査項目の設定と記録をするステップと、工程エンジニアが前記検査項目によって、前記データベースの検査基準コラムの中で、対応する前記検査基準と前記検査周期の設定と記録をするステップとを含み、前記工程装置が再び検査を行う既存装置であり、前記既存装置を定義する時に、工程エンジニアが前記データベースの検査項目コラムの中で、前記既存装置の前記検査項目の更新と記録をするステップと、前記工程エンジニア或いは他の工程エンジニアが前記検査項目によって、前記データベースの検査基準コラムの中で、対応する前記検査基準と前記検査周期の更新と記録をするステップを含むことを特徴とする請求項７記載の自動化管理方法。
【請求項９】
前記工程装置の前記検査資料を追加する前に、前記処理ユニットが、前記データベースの中で、対応する前記検査項目と前記検査基準及び前記検査周期を選び、前記工程装置に対応する資料リストを出力ることによって、使用者が前記資料リストを利用して前記検査資料を追加できることを含むことを特徴とする請求項７記載の自動化管理方法。
【請求項１０】
使用者ログイン機能の選択項を利用して、使用者の入力するアカウント番号と暗証番号によって権限制御を行い、使用者が権限によって前記処理ユニットを使えるか、或いは前記データベースにアクセスできることを含むことを特徴とする請求項７記載の自動化管理方法。
【請求項１１】
資料入力機能の選択項を利用して、使用者が権限によって前記データベースの中で資料を更新できることと、検索機能の選択項を利用して、使用者が検索条件を設定でき、更に前記検索条件に対応する前記検査資料を得ることと、絵画機能の選択項を介して、使用者が、前記検索条件を設定でき、前記検索条件に対応する前記検査資料を得て、更に絵画システムを利用して、前記検査資料を趨勢図に描くこととを含むことを特徴とする請求項７記載の自動化管理方法。
【請求項１２】
異常検索機能の選択項を利用して、使用者が異常資料の検索条件を設定でき、更に前記異常資料の検索条件に対応する前記検査資料を得ることを含み、前記検査資料が前記データベースの検査資料コラムの中で記録され、更に定期検査機能の選択項を利用して、予定周期が来る時に、前記検査周期によって、前記データベースの中に対応する前記検査資料があるかどうかを検査し、前記検査周期に対応する前記検査資料がないことを検出した時には、前記メッセージサーバを利用して、未検査の知らせを関係者に送ることを含むことを特徴とする請求項７記載の自動化管理方法。
【請求項１３】
使用者は、インターネットを介して、前記データベースにアクセスできることによって、前記処理ユニットを使うか、或いは前記検査異常の知らせを得ることを特徴とする請求項７記載の自動化管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体工程装置を検査する管理システム及び方法に関し、特に人の作業ミスによる検査異常を避けるための半導体工程装置を検査する自動化管理システム及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
工業社会が急速に発展し、工業上の大量生産に合わせる必要から種々の機器装置が開発される。半導体デバイスの製造工程の中で、薄膜生成装置、写真製版装置、蝕刻装置、イオン注入装置、高速高温処理装置、化学機械研磨装置などの異なる工程装置を使うことによってデバイスのパターンを決め、デバイスが完成する。デバイス特性を製品規格に合わせるために、関係業者は、作業環境として、高クリーン度の標準を定め、更に、工程装置の信頼度にも厳しい規格を定め、新しい工程装置或いは運転中の工程装置に関わらず、必ず一定の検査周期で、特定の検査項目で、工程装置が検査基準に合うかを検査することによって、工程装置の使用寿命を維持し、同時に製品の歩留まりを確保する。
【０００３】
図１は、従来技術による半導体工程装置を検査する方法の流れ図である。図１に示すように、従来技術による半導体工程装置を検査する方法の流れは、以下のステップを含む。
ステップ１１：新しい装置を定義し、装置の操作条件やパラメータなどの情報に対して、設定やファイル作成を行う。
ステップ１２：工程エンジニアにより新しい装置に適用される検査リストを作成する。検査リストは検査項目と検査基準を含む。
ステップ１３：作業者は、装置の検査を行い、モニターウエハーを使って、装置の中で関連する工程を行う。
ステップ１４：作業者が装置の測定値を得て、更に手計算を行い人が判定を行う。
ステップ１５：作業者は、計算してから得た資料をデータベースに入力する。
ステップ１６：エンジニアは、データベースを介して、装置の検査資料を獲得する。
ステップ１７：エンジニアは、得た検査資料からレポートに整理し、例えば、毎週一回EXCELなどのツールソフトウェアによって検査資料を趨勢図に整理する。
ステップ１８：上司らは、レポートの内容によって装置状態を把握する。
ステップ１９：終わる。
【０００４】
従来技術は、上述したステップによって装置検査を行う時に、必ず工程エンジニアが人手によって装置の検査リストを作成してから、作業者が検査リストによって装置を検査することを行い、その後に、作業者が手計算を行い、検査資料をデータベースに入力していた。又、エンジニアが毎週レポートを作成する必要があり、上司らは、検査結果に対してエンジニアから受動的な報告をしか得られないので、エンジニアに負担をかけるだけではなく、作業者も間違いの検査リストを使ってしまったり、或いは手計算のミスによって検査資料の正確性を欠き、又、上司も即時に検査資料から装置状態を把握することができず、装置検査の効果が大幅に下がる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、検査資料の信頼性を上げることと、随時、装置の状態を把握し、製品の歩留まりを上げることを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者は従来の技術に見られる欠点に鑑み鋭意研究を重ねた結果、少なくとも一つの工程装置において、少なくとも一つの検査項目と検査基準及び検査周期を記録するために使われるデータベースと、前記データベースの中に対応する前記検査基準を選ぶことによって、前記工程装置の検査資料を入力した時に、即時に計算と比較を行い、更に検査結果を生じるために使われる処理ユニットと、  前記検査結果が異常である時に、検査異常の知らせを関係者に送るために使われるメッセージサーバとを含む構成によって課題を解決できる点に着眼し、かかる知見に基づいて本発明を完成させた。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図２は、本発明による半導体工程装置を検査する自動化管理システム２の機能ブロックを表す説明図である。自動化管理システム２は、薄膜生成装置、写真製版装置、蝕刻装置及びイオン注入装置などの従来技術によるすべての半導体工程装置の検査に適用される。図２に示すように、自動化管理システム２は、工程装置（新しく導入する装置と再び検査しようとする既存の装置とを含む）の検査項目と検査基準及び検査周期などのデータを記録するために使われるデータベース２１と、検査資料を新しく入力した時に、即時に計算と比較することを行い、検査結果を得るために使われる処理ユニット２２と、検査結果が異常である時に、関係者に検査異常の通知メッセージを送るために使われるメッセージサーバ２３とを含む。自動化管理システム２は、オンライン管理システムであるので、クライアント２４がネットワークを介して自動化管理システム２にアクセスし、更にメッセージサーバ２３から送られてくる検査情報を受けることができる。
【０００８】
データベース２１は、検査項目コラム２１１と、検査基準コラム２１２と、検査資料コラム２１３及び使用者資料コラム２１４を含む。検査項目コラム２１１は、各々の工程装置で行われる検査項目を記録するために使われ、通常は、システム開発者或いは権限をもつ工程エンジニアが検査項目の設定と更新及び維持管理を行う。検査基準コラム２１２は、各々の検査項目に対応する検査基準と検査基準の開始日付及び検査周期などの資料を記録するために使われ、通常は、工程エンジニアが工程技術の開発と製品からの要求によって、検査基準と検査基準の開始日付及び検査周期などの資料の設定と更新及び維持管理を行う。検査資料コラム２１３は、各々の工程装置の検査を行う時に、得た検査資料を記録するために使われる。使用者資料コラム２１４は、処理ユニット２２とデータベース２１を利用するすべてのクライアント２４のアカウント番号と暗証番号及び対応する権限などの資料を記録するために使われる。
【０００９】
処理ユニット２２は、「使用者ログイン」機能の選択項２２１と、「資料入力」機能の選択項２２２と、「資料検索」機能の選択項２２３と、「異常資料検索」機能の選択項２２４と、「絵図」機能の選択項２２５及び「定期検査」機能の選択項２２６となどの機能操作を含む。「使用者ログイン」機能の選択項２２１は、クライアント２４から入力したアカウント番号と暗証番号によって使用者資料コラム２１４の中で、対応する権限資料を検索し、更に、クライアント２４は、権限によって処理ユニット２２の中にある他の機能選択項を使うか或いはデータベース２１の中にある各資料コラムをアクセスする。「資料入力」機能の選択項２２２は、工程装置を検査する作業者が、装置の検査資料を入力し、更に、資料を検査資料コラム２１３の中に記録するために使われる。又この時、処理ユニット２２が自動的にデータベース２１の検査基準コラム２１２の中の対応する検査基準と、計算公式などの資料によって検査資料コラム２１３の中に記録された資料で即時に計算した結果とを比較することを行い、今回装置検査に対応した検査結果を出力する。その他、「資料入力」機能の選択項２２２は、クライアント２４が権限によってデータベース２１の中にある他の資料コラムで資料を追加、削除と修正するために使われる。「資料検索」機能の選択項２２３は、クライアント２４が検索条件を設定し、更に前記検索条件に対応する検査資料を得るために使われる。「異常資料検索」機能の選択項２２４は、クライアント２４が異常資料の検索条件を設定し、更に前記異常資料の検索条件に対応する検査資料を得るために使われる。「絵図」機能の選択項２２５は、クライアント２４が検索条件を設定し、前記検索条件に対応する検査資料を得、更に前記検査資料を趨勢図に描くために使われる。「定期検査」機能の選択項２２６は、予定された周期に達した時に、データベース２１の中に、記録された検査周期によって検査資料コラム２１３の中に対応する検査資料があるかどうかを検査し、更に前記検査周期に対応する検査資料がないときには、メッセージサーバ２３を介して、未検査のお知らせを関係者に伝える。
【００１０】
図３は、本発明による半導体工程装置を検査する方法の流れ図である。図３に示すように、本発明による半導体工程装置を検査する方法の流れは、以下のステップを含む。
ステップ３１：データベースの中に工程装置を定義し、装置の操作条件やパラメータなどの情報に対して、設定やファイル作成や確認を行う。
ステップ３２：システム開発者がデータベースの中に工程装置の検査項目を作成する。
ステップ３３：工程エンジニアがデータベースの中に各検査項目に対応する検査基準と検査周期を作成する。
ステップ３４：作業者は、装置の検査を行い、モニターウエハーを使って、装置の中で関連する工程を行う。
ステップ３５：作業者は、装置の検査値を得て、資料をデータベースに入力し、システムは、自動的に検査基準と公式を獲得し、即時に計算と結果判定を行い、更にデータベースに記録し、同時に装置検査の異常結果を検査し、異常があるときには、即時にメッセージサーバを介して、E-Mailで関係者に伝える。
ステップ３６：システムは、毎日朝４時と夕方４時にE-Mailで今日検査すべき未検査の装置の情報を知らせる。
ステップ３７：製造部門の担当者は、異常資料検索機能によって、現場の作業者が規定時間に従った装置検査を行ったかどうかと、データベースの中にある資料が資料正確性と資料完全性との原則に合っているかどうかを検査する。
ステップ３８：関連する部門のエンジニアは、資料検索機能によって、装置の検査履歴がわかり、低歩留まりに関する問題を分析しやすい。
ステップ３９：工程エンジニアと上司らは、装置検査の趨勢図を介して、各装置の長期趨勢がわかり、装置の状態を把握する。
ステップ４０：終わる。
【００１１】
図４から図１３までは、異なる機能選択項を操作する時に、本発明による半導体工程装置を検査する自動化管理システムと方法をもっと説明する流れ図である。図４に示すように、クライアント２４は自動化管理システム２で「工程装置導入」の操作を行う時に、必ず処理ユニット２２の「使用者ログイン」機能の選択項２２１を介して、権限を確認し、権限の認証が通過してから、「資料入力」機能の選択項２２２を介して、データベース２１の中で装置資料を定義できるようになる。そのステップは以下のようである。
ステップ１００：エンジニアが検査項目コラム２１１の中で工程装置の検査項目を定義する。例えば、蝕刻装置の蝕刻率の検査がある。
ステップ１０１：エンジニアは、上に述べたステップから定義される検査項目によって、検査規格コラム２１２の中に、前記検査項目に対応する検査規格と検査規格開始日付と検査周期などの資料を設定する。
ステップ１０２：資料をデータベースに書き込む。
ステップ１０３：終わる。
【００１２】
自動化管理システムの効率を上げるために、図５は、本発明による自動化管理システム２で、「工程装置導入」の操作を行う時の、第二の実施例の流れ図である。第二の実施例の中で、自動化管理システム２で、「工程装置導入」の操作を行う時に、先に導入された工程装置が新しく導入される工程装置と同様の検査項目を具えるかどうかを判断し、更に導入される工程装置の属性によって、検査項目と検査基準及び検査周期などの資料に対して、ステップを定義し、適切な操作を行う。第二の実施例は蝕刻工程装置導入の方法例としているが、本発明は特定の工程装置に限らず、他の半導体工程装置の導入にも適用することができる。図５に示すように、クライアント２４がデータベース２１の中で装置資料を定義する操作ステップは、以下のようである。
ステップ１１０：データベースの中に同様の検査項目の装置があるかどうかを検査し、データベースの中に、すでに同様の検査項目があるときには、ステップ１１１を行い、データベースの中に同様の検査項目がないときには、ステップ１１２を行う。
ステップ１１１：蝕刻工程エンジニアは、同様の検査項目を具える何れかの装置資料を選んでそれに修正を行う。
ステップ１１２：システム開発者は、新しく導入される装置の検査項目を定義する。
ステップ１１３：導入される装置の検査項目を得た後に、チップ製造部門から導入される装置の検査基準の開始日付と検査周期が提供される。
ステップ１１４：蝕刻工程エンジニアから導入される装置の検査基準が提供される。
ステップ１１５：システム開発者は、装置の検査基準と検査基準の開始日付及び装置の検査周期などの資料をデータベースに入力する。
ステップ１１６：データベースの中に一つの資料を追加する。
ステップ１１７：終わる。
【００１３】
図６に示すように、クライアント２４が自動化管理システム２で、「検査資料入力」の操作を行う時に、そのステップは以下のようである。
ステップ１２０：作業者は、「使用者ログイン」機能の選択項２２１を介して、システムにログインする。
ステップ１２１：処理ユニット２２は、作業者の入力するアカウント番号と暗証番号によって権限認証を行う。
ステップ１２２：作業者は、認証を通過した後に、「資料入力」機能の選択項２２２を介して、検査資料をデータベースに入力することができる。
ステップ１２３：システムは、自動的に検査基準と計算公式を用いて即時に計算と判定を行い、検査結果を出力する。
ステップ１２４：上述したステップから得た検査結果をデータベースに記録する。
ステップ１２５：検査結果に異常があるかどうかを検査し、異常があるときには、ステップ１２６を行い、異常がないときには、ステップ１２７を行う。
ステップ１２６：メッセージサーバ２３を介して、即時にE-Mailで関係者に知らせる。
ステップ１２７：終わる。
【００１４】
図７は、本発明による自動化管理システム２が「検査資料入力」の操作を行う時の、第二の実施例の流れ図である。第二の実施例の中で、作業者の使う検査リストが自動化管理システム２によって自動的に提供されるので、検査リストの異なるバージョンから生じる誤りを有効的に避けることができる。図７に示すように、クライアント２４が、処理ユニット２２の中で行う操作ステップは以下のようである。
ステップ１３０：作業者は、製造部門のスケジュールによって工程装置の検査を行い、更に「使用者ログイン」機能の選択項２２１を介して、システムをログインする。
ステップ１３１：処理ユニット２２は、作業者の入力するアカウント番号と暗証番号によって権限認証を行う。
ステップ１３２：作業者は、認証を通過した後に、「資料入力」機能の選択項２２２を介して、データベースの中にある検査装置と、装置のチャンバー及び装置の検査項目を選ぶ。
ステップ１３３：システムは、選ばれた検査装置と装置のチャンバー及び装置の検査項目などによって、対応するリストと装置の検査基準を特定する。
ステップ１３４：作業者は、装置検査から得られた資料を入力し、システムは、ステップ１３３から得られた装置の検査基準によって、即時に計算と判定を行い、検査結果を出力する。
ステップ１３５：作業者は、入力した資料が有効な資料であるかどうかを確認し、有効であるときには、ステップ１３６を行い、有効でないときには、ステップ１３４を行う。
ステップ１３６：システムは、中央サーバで権限認証を行う。
ステップ１３７：システムは、中央サーバで資料が有効な資料であるかどうかを確認し、有効であるときには、ステップ１３８を行い、有効でないときには、ステップ１３４を行う。
ステップ１３８：データベースの中に一つの資料を追加する。
ステップ１３９：検査結果に異常があるかどうかを検査し、異常があるときには、ステップ１４０を行い、異常がないときには、ステップ１４１を行う。
ステップ１４０： メッセージサーバ２３を介して、即時にE-Mailで関係者に知らせる。
ステップ１４１：終わる。
【００１５】
図８に示すように、クライアント２４は、本発明による自動化管理システム２の中で「検査資料検索」の操作を行う時に、処理ユニット２２の権限認証を通過した後に、「資料検索」機能の選択項２２３を介して、以下のステップを実行する。
ステップ１５０：装置の検査資料の検索範囲と条件を設定する。
ステップ１５１：設定された検索条件によって、中央サーバから関連する資料を得る。
ステップ１５２：検索結果を出力する。
ステップ１５３：終わる。
【００１６】
図９に示すように、クライアント２４は、本発明による自動化管理システム２の中で「検査資料修正/削除」の操作を行う時に、処理ユニット２２の権限認証を通過した後に、「資料検索」機能の選択項２２３を介して、以下のステップを実行する。
ステップ１６０：資料検索の機能を使い、装置の検査資料の検索範囲と条件を設定し、更に修正或いは削除しようとする資料を選ぶ。
ステップ１６１：使用者は、検査資料を修正し、システムが即時に計算と結果判定を行うか、或いは選ばれた資料を削除する。
ステップ１６２：システムは、修正した資料を記録する。
ステップ１６３：終わる。
【００１７】
図１０は、本発明による自動化管理システム２が「検査資料修正/削除」の操作を行う時の、第二の実施例の流れ図である。第二の実施例の中で、使用者が検査資料を修正或いは削除する時に、まずシステムは操作権限を確認することにより、データベースの中にある検査資料を有効に管理し、資料が勝手に修正或いは削除されることを避ける。図１０に示すように、クライアント２４は「資料検索」機能の選択項２２３を介して、以下のステップを実行する。
ステップ１７０：資料検索の機能を使い、装置の検査資料の検索範囲と条件を設定し、修正或いは削除しようとする装置の検査資料を探す。
ステップ１７１：修正或いは削除しようとする装置の検査資料を選ぶ。
ステップ１７２：システムは、権限確認を行う。
ステップ１７３：システムは、自動的に選ばれた装置の検査資料に対応したる検査基準を特定し、使用者が資料を修正しようとするときに、ステップ１７４を行い、使用者が資料を削除しようとするときに、ステップ１７５を行う。
ステップ１７４：使用者は、装置の検査資料の修正を行い、システムはステップ１７３から特定した装置の検査基準により、即時に計算と結果判定を行い、そしてステップ１７６を行う。
ステップ１７５、１７６：システムが中央サーバで権限確認を行う。
ステップ１７７：権限確認を通過した後に、データベースの中にあるこの検査資料が削除される。
ステップ１７８：権限確認を通過した後に、修正した検査資料がデータベースの中に記録される。
ステップ１７９：終わる。
【００１８】
図１１に示すように、クライアント２４は、本発明による自動化管理システム２の中で「異常資料検索」の操作を行う時に、処理ユニット２２の権限認証を通過した後に、「異常資料検索」機能の選択項２２４を介して、以下のステップを実行する。
ステップ１８０：異常資料の検索範囲と条件を設定する。
ステップ１８１：設定される検索条件によって、各装置と各チャンバーとの検査周期を特定する。
ステップ１８２：ステップ１８１で特定した各装置と各チャンバーの検査周期によって、装置の検査日付と、更に計算して得た検査日付とによって、データベースの中に対応する装置の検査資料があるかどうかを検査し、対応する資料があるときには、ステップ１８３を行い、対応する資料がないときには、ステップ１８４を行う。。
ステップ１８３：対応する装置の検査資料に対して、資料の正確性と完全性を検査する。資料が正確性と完全性に合えばステップ１８５を行う。合わなければ、ステップ１８４を行う。
ステップ１８４：検索結果を出力する。
ステップ１８５：終わる。
【００１９】
図１２に示すように、クライアント２４は、本発明による自動化管理システム２の中で「検査資料絵図」の操作を行う時に、処理ユニット２２の権限認証が通過した後に、「絵図」機能の選択項２２５を介して、以下のステップを実行する。
ステップ１９０：資料の検索範囲と条件を設定する。
ステップ１９１：設定される検索条件によって、各装置と各チャンバーとの装置の検査資料を特定する。
ステップ１９２：特定した装置の検査資料によって、中央サーバで絵図の作成を行い、更に中央サーバで一時的に記録する。
ステップ１９３：中央サーバでの絵図作成結果をクライアント２４に出力する。
ステップ１９４：終わる。
【００２０】
「定期検査」機能の選択項２２６を介して、「定期E-Mail知らせ」の操作ステップは以下のようである。
ステップ２００：システム開発者は、異常資料の検索時間の範囲を設定する。
ステップ２０１：設定される検索条件によって、各装置と各チャンバーとの検査周期を特定する。
ステップ２０２：ステップ２０１から特定された各装置と各チャンバーとの検査周期によって、装置の検査日付を得て、更に計算して得た検査日付とによって、データベースの中に対応する装置の検査資料があるかどうかを検査し、対応する資料があるときには、ステップ２０５を行い、対応する資料がないときには、ステップ２０３を行う。
ステップ２０３：検索結果を出力し、更にホームページの形に記録する。
ステップ２０４：ファイルをE-Mailで関係者に知らせる。
ステップ２０５：終わる。
【００２１】
本発明による自動化管理システムは、データベースの中にある検査基準と計算公式によって、作業者の入力する検査資料に対して、時間計算と結果判定を行うので、検査効率を有効に上げるだけではなく、人手による計算の誤りを避けることができ、大幅に検査資料の信頼性を上げる。その他、本発明による自動化管理システムは、異常資料管理機能を含む。異常資料管理機能は、検査結果が異常と判定する時、或いは装置が予定日に検査を行われていない時に、即時にE-Mailで関係者に知らせる。従って、関係者が随時に装置の状態を把握することができ、製品の歩留まりを上げる。
【００２２】
以上は、この発明の好ましい実施例であって、この発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、この発明の精神の下においてなされ、この発明に対して均等の効果を有するものは、いずれもこの発明の特許請求の範囲に属するものとする。
【００２３】
【発明の効果】
従来技術による半導体工程装置を検査する方法と比べて、本発明による自動化管理システムによる方法は、
（１）手計算による誤りから運営損失を招くことを避けられること、
（２）自動的に資料を検査し、現場で使うバージョンとシステムのバージョンとの一致を確保すること、
（３）装置の検査スケジュールと実際の実行状況とが一致していることが確認できること、
（４）IEブラウザーが使える時に、このシステムが使えること、
（５）システムは、決められた公式によって検査資料を計算するので間違いにくいこと、
（６）システムは、計算結果と検査基準との比較によって検査結果を判定するので間違いにくいこと、
（７）資料を集めるのが完全であること、
（８）資料を保存しやすいこと、
（９）資料を検索しやすいこと、
（１０）資料を分析しやすいこと、
（１１）自動的に異常を管理すること、
などの以上の長所を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来技術による半導体工程装置を検査する方法の流れ図である。
【図２】本発明による半導体工程装置を検査する自動化管理システムの機能ブロックを表す説明図である。
【図３】本発明による半導体工程装置を検査する方法の流れ図である。
【図４】本発明による自動化管理システムで、「工程装置導入」を操作する時の方法の流れ図である。
【図５】本発明による自動化管理システムで、「工程装置導入」を操作する時の第二の実施例における方法の流れ図である。
【図６】本発明による自動化管理システムで、「検査資料入力」を操作する時の方法の流れ図である。
【図７】本発明による自動化管理システムで、「検査資料入力」を操作する時の第二の実施例における方法の流れ図である。
【図８】本発明による自動化管理システムで、「検査資料検索」を操作する時の方法の流れ図である。
【図９】本発明による自動化管理システムで、「検査資料修正/削除」を操作する時の方法の流れ図である。
【図１０】本発明による自動化管理システムで、「検査資料修正/削除」を操作する時の第二の実施例における方法の流れ図である。
【図１１】本発明による自動化管理システムで、「異常資料検索」を操作する時の方法の流れ図である。
【図１２】本発明による自動化管理システムで、「検査資料絵図」を操作する時の方法の流れ図である。
【図１３】本発明による自動化管理システムで、「定期E-mailのお知らせ」を操作する時の方法の流れ図である。
【符号の説明】
１、３  半導体工程装置を検査する方法の流れ図
２  自動化管理システム
１１〜１９  従来技術による半導体工程を検査するステップ
２１  データベース
２２  処理ユニット
２３  メッセージサーバ
２４  クライアント
３１〜４０  本発明による半導体工程装置を検査するステップ
１００〜１１７  「工程装置導入」の操作ステップ
１２０〜１４１  「検査資料入力」の操作ステップ
１５０〜１５３  「検査資料検索」の操作ステップ
１６０〜１７９  「検査資料修正/削除」の操作ステップ
１８０〜１８５  「異常資料検索」の操作ステップ
１９０〜１９４  「検査資料絵図」の操作ステップ
２００〜２０５  「定期E-mailのお知らせ」の操作ステップ
２１１  検査項目のコラム
２１２  検査規格のコラム
２１３  検査資料のコラム
２１４  使用者資料のコラム
２２１  「使用者ログイン」機能の選択項
２２２  「資料入力」機能の選択項
２２３  「資料検索」機能の選択項
２２４  「異常資料検索」機能の選択項
２２５  「絵図」機能の選択項
２２６  「定期検査」機能の選択項
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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