(57)【要約】【課題】処理装置の排気口から排出される気体と液体の混合流体を、気体と液体に分離する気体液体分離ボックスにおいて、レジスト等のかすが気体液体分離ボックスの内部で固化し付着することを防止する。【解決手段】処理装置の排気口から排出される気体と液体の混合流体を、気体と液体に分離する気液分離ボックスにおいて、ボックス内部に気体と液体の混合流体の洗浄手段を設け、分離ボックスの内壁に洗浄液を供給し、洗浄液と共に液体成分を排出することによって、気体液体分離ボックス内部で液体成分の一部が固化し付着することを防止するものである。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に処理液を塗布して前記基板に所定の処理を行なう処理装置から外部へ排出される気体と液体の混合流体を排出するための排気流路に設けられ、前記混合流体を前記気体と前記液体とに分離してそれぞれを回収するための気体液体分離ボックスであって、
前記気体液体分離ボックス内部に前記混合流体の洗浄手段を設けたことを特徴とする気体液体分離ボックス。
【請求項２】
前記洗浄手段は、前記気体液体分離ボックスの内壁に洗浄液を供給することを特徴とする請求項１の気体液体分離ボックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用のウェーハや液晶基板等の基板の表面に処理液を塗布して
前記基板に所定の処理を行なう処理装置の排気流路に接続され、前記排気流路から排気される前記混合流体の中の前記気体と前記液体の分離を行なう分離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板表面のレジスト等の処理液を塗布する塗布装置や、レジスト等を塗布され
た基板を所定のパターンに露光した後、現像液等を塗布して現像を行なう現像装置等においては、処理のために使用した塗布液や現像液は揮発性の可燃物や化学物質を含むため、処理装置から外へ排出される気体と液体の混合流体は危険防止や環境汚染防及び再利用のために回収して処理されている。
【０００３】
排出される混合流体を回収するためには、気化した気体部分とレジスト等が溶
け込んでいる液体部分を分離して回収する必要があり、従来より処理装置の排気口からつながる排気流路の途中に、分離装置を設けて分離回収するさまざまな工夫が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような分離装置を用いた場合、気体と液体の分離は可能であるが、分離装置の内部で分離した液体部分の中で、レジスト等のかすの一部が分離装置内で固化し内面に再付着するため、定期的に分解または取り外して分離装置の内面を洗浄する必要があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、基板の表面に処理液を塗布して前記基板に所定の処理を行なう処理装置から外部へ排出される気体と液体の混合流体を排出するための排気流路に設けられ、前記混合流体を前記気体と前記液体とに分離してそれぞれを回収するための気体液体分離ボックスであって、前記気体液体分離ボックス内部に前記混合流体の洗浄手段を設けたものである。
【０００６】
更に、請求項２では、前記洗浄手段として分離ボックスの内壁に洗浄液を供給することで、装置内部で固化し再付着することを防止するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面に基づき説明する。
図１ないし図３は、本発明に係る気体液体の分離ボックスの一実施形態を示すものであり、図１は分離ボックスの側面からの断面図、図２は処理装置と分離ボックスの配置図、図３従来の処理装置と分離ボックス例を示す側面からの断面図である。
【０００８】
図３は、従来の気体液体分離ボックスの例であり、処理装置１０から排出される混合流体１３を取り込み、仕切り板等を用いて気体部分と液体部分に分離するものである。
【０００９】
図１及び２を用いて本発明の内容を説明すると、基板Ｗの表面に処理液を塗布して基板に所定の処理を行なう処理装置１０において、処理装置１０の排気口１１から排出され、排気流路１２を流れる気体と液体の混合流体１３を、気体と液体に分離する気体液体分離ボックス１を設け、ボックス内部に混合流体の洗浄手段２を設けたものである。
【００１０】
洗浄手段２は、洗浄液の供給装置（図示せず）に接続される洗浄液配管６ａと気体液体分離ボックス内に設けられた洗浄ノズル６ｂとで構成され、洗浄液が常時または定期的に少量ずつ気体液体分離ボックスの底面７へ供給される。
【００１１】
洗浄ノズル６ｂは、気体液体分離ボックスの底面７の直近まで伸びており、供給された洗浄液が舞い上がって気体排出口４へ引き込まれることを防止している。
【００１２】
気体液体分離ボックス１は、密閉されたボックス構造であり、処理装置１０からの排気流路１２が接続される流入口３と、分離された気体部分を排出する気体排出口４と、残った液体を排出する液体排出口５及び、気体液体分離ボックス内面に洗浄手段２として洗浄液を供給し固着を防止する洗浄ノズル６ｂを備えると共に、気体液体分離ボックス１の底面は、液体排出口５に向かって傾斜する構造を持ち、洗浄ノズル６ｂから供給される洗浄液は気体液体分離ボックスの底面７を流れて、液体の流れ９ｂから分離した液体部分といっしょになって液体排出口５から排出される。
【００１３】
気体液体分離ボックス１の上部に設けられた流入口３から流入した混合流体８の中で、気体部分は気体排出口４の先に設けられた吸引装置（図示せず）によって吸引されて気流９ａの流れにのって気体排出口４から排出され、液体部分はその質量が比較的大きいため液体の流れ９ｂの方向に流れ、主に底面７にぶつかって液体となって液体排出口５から排出される。
【００１４】
この時、質量が大きい液体部分は、主に気体液体分離ボックスの底面７に吹き付けられるため、レジストのくず等が底面に再固着してしまい定期的な洗浄が必要になるが、このような定期洗浄のロスを無くすために、分離ボックスの底面７の近傍にある洗浄液を供給する洗浄ノズル６ｂから、常時微量の洗浄液を底面に流しておくことにより、定期的な洗浄作業を行なわなくても正常な機能を維持する事が出来る。
【００１５】
なお、洗浄ノズル６ｂは複数設けても良く、底面７だけでなく側面等にも用
いることが出来る。
【００１６】
また、気体液体分離ボックス内部の流入口と排出口の間に仕切り板等を設けた場合は、この仕切り板にも洗浄液をかけることが出来る。
【００１７】
このように、気体液体分離ボックスの内部に洗浄ノズルを設ける事によって、定期的に分解したり、ふたを開けて洗浄する必要が無くなり生産ロスを少なくすることが出来ると共に、処理装置の配置の問題で、人が入りこんで洗浄しにくい場所に分離ボックスが設けられている様な場合には特に有効である。
【００１８】
更に、本発明の効果を高めるために、処理装置１０と気体液体分離ボックス１との間をつなぐ排気流路１２は、処理装置１０から気体液体分離ボックス１に向かってわずかに下向きに傾斜して設置されており、排気流路１２の途中で、固着して排気効率が落ちることを防止している。また、排気流路１２の内面は、溌水性素材で作られており、更に、固着防止性能を向上させている。
【００１９】
なお、本発明の中で説明した流入口や排出口の数は限定されるものではなく、
複数の流入口や排出口が設けられても良い。
【００２０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の気体流体分離ボックスによれば、内部に洗浄ノズルを設ける事によって、定期的に分解したり、ふたを開けたりして洗浄する必要が無くなり生産ロスを少なくすることが出来ると共に、通常作業としては人が接近して洗浄作業をしにくい場所にでも分離ボックスを設けることが可能になり、高価なクリーンルームのスペースを有効に活用することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る気体液体分離ボックスの側面からの断面図である。
【図２】処理装置と分離ボックスの配置図である。
【図３】従来の処理装置と気体液体分離ボックスの例を示す側面からの断面図である。
【符号の説明】
Ｗ　基板
１　気体液体分離ボックス
２　洗浄手段
３　流入口
４　気体排出口
５　液体排出口
６ａ　洗浄液配管
６ｂ　洗浄ノズル
７　底面
８　流入気流体
９ａ　気体の流れ
９ｂ　液体の流れ
１０　処理装置
１１　排気口
１２　排気流路
１３　混合流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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