(57)【要約】      （修正有）【課題】単数／複数の個所で吸着ミスが発生しても連鎖吸着ミスを起こすことのない吸着パッドを提供する。【解決手段】スカート部１を有するパッド部６及びシリンダ部２が固着され、ピストン部４が駆動部３の回転及びネジ部により該シリンダ部２の内部を摺動する吸着パッド。【選択図】  図１
2004306165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スカート部を有するパッド部及びシリンダ部が固着され、該シリンダ部の内部でピストン部が摺動することを特徴とする吸着パッド。
【請求項２】
前記ピストン部が駆動部の回転及びネジ部により摺動することを特徴とする請求項１に記載の吸着パッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークピースを吸着搬送するための自己負圧源を有する吸着パッドに関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、吸着搬送をするための吸着パッドは、ゴム、プラスチック、等による弾力性を有するものであり、外部よりの負圧（真空）により吸引、吸着するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
外部からの負圧を吸着パッドに加えてワークピースを吸引搬送するものは、外部に負圧源を持つことが必要であり、単数の負圧源に複数の吸着パッドを接続して動作する場合において吸着パッド（単数及び／または複数）で吸着ミスが起こって負圧がリークして他の吸着パッドの負圧が不足することになり連鎖吸着ミスが起こるという問題がある。独立した負圧源を自己で持つ吸着パッドとすることにより単数／複数個所での吸着ミスが発生しても連鎖吸着ミスを起こすことがない吸着パッドを提供することができる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
スカート部を有するパッド部及びシリンダ部が固着され、該シリンダ部の内部でピストン部が摺動する吸着パッドであり独立した負圧源を自己で持ち複数個の該吸着パッドで吸着搬送するにおいて単数／複数の個所で吸着ミスが発生しても連鎖吸着ミスを起こすことがなく、問題を解決した吸着パッドを提供することができる。また、前記ピストン部が駆動部の回転及びネジ部により摺動する問題を解決した吸着パッドを提供することができる。
【０００５】
本発明に係る吸着パッドは、スカート部を有するパッド部及びシリンダ部が固着され、該シリンダ部の内部でピストン部が摺動する吸着パッド、また、前記ピストン部が駆動部の回転及びネジ部により摺動する吸着パッドである。以下において、本発明に係る吸着パッドの詳細を説明する。ただし、本発明に係る吸着パッドは、以下の説明に限定されるものでない。
【０００６】
吸着パッドのパッド部６は、先端部分にスカート部１を有するものであり材料、形状、サイズ、等を特に限定するものでない。弾性を有することが好ましく金属製でジャバラ構造、樹脂製でジャバラ構造、弾力性を有する樹脂であることである。より好まし材料としては、ニトリルゴム、シリコンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、クロロプレンゴム、天然ゴム、または、これらに導電性を持たせたものである。また、パッド部の成形後に放射線（電子線、紫外線、ガンマ線、等の高エネルギー線）を照射して前記ゴム類（特にスカート部の先端内面、吸着するときにワークピースと接する部分）の表面処理を行い低摩擦化、非粘着化、等の特性を持たせることが吸着痕を残さないために有用である。
【０００７】
前記パッド部６と固着されるシリンダ部２は、内にピストン部４を摺動させるものであり、該シリンダ部２及び該ピストン部４の材料、形状、サイズ、等を限定するものでない。例えば金属、樹脂、セラミックなどである。好ましくは、加工性のよい金属、樹脂である。内面で摺動させるために、少なくとも内部が円柱形のシリンダ部及び円盤形のピストン部であることが好ましい。また、該シリンダ部２は前記パッド部６と機械的に接合される、または、接着剤で接合される、等の方法で固着される。
【０００８】
前記シリンダ部２の前記パッド部６と反対側に駆動部３が取り付けられて該駆動部３によりピストン部４が摺動される。該駆動部３はモータ、アクチエータ、等の簡易なものでよい。例えばモータの軸にネジ部５を取り付けてモータの回転力をピストン部４の摺動運動にすること、回転を正転・逆転することによりピストン部を摺動させることができる。
【０００９】
このような簡易な構造の吸着パッドは、サイズを小さくすること、サイズを大きくすることが自在にできる。また、単体の吸着パッドのシリンダ部を摺動させることによりパッド部内を負圧にすることができる自己負圧源を有する。（スカート部にワークピースを配置して蓋をしたような状態でピストン部を摺動させることによりパッド部の内部が負圧になる。）このような自己負圧源を有する吸着パッドは、単数／複数の個所で吸着ミスが発生しても連鎖吸着ミスを起こすことがない。
【００１０】
【実施例】
本発明に係る吸着パッドの実施態様例を以下において説明する。尚、本発明に係る吸着パッドは以下の実施例及び図に限定されるものでない。
（実施例１）
シリコンゴム製でスカート部１を有する略円錐形で中央部分に穴が形成されたパッド部６を金型で成形し、スカート部の内部表面に電子線を照射して表面処理を施した。また、真鍮製のシリンダ部２を円柱状に形成した。該スカート部１の先端部分の肉厚が０．５ｍｍ外径が３０ｍｍであり、該パッド部６の中央部の穴の径が３ｍｍであり、外径が２０ｍｍである。該シリンダ部２の外径が２０ｍｍ内径が１６ｍｍである。該パッド部６及び該シリンダ部２を機械的な噛み合わせ及び接着剤で一体化した。該シリンダ部２の内面が円柱状でありナイロン製のピストン部４を摺動させる。更に、該シリンダ部２に駆動部３としてネジ部５を有するミニＤＶ型モーターを取り付けた吸着パッドを製作した。該ピストン部４は中心部分にタップがたてられていてミニＤＣ型モーターに直結したネジ部５の回転で摺動される。該ピストン部４は、安易に自己回転しない構造である。該ネジ部５の両端にはストッパーが取り付けられていて該ピストン部４が脱落することがない。
【００１１】
このように製作された吸着パッドは、ピストン部４がパッド部６側に位置した状態でスカート部にワークピースを配置して駆動部３を作動させてネジ部５を回転させてピストン部４を該駆動部側に引き寄せることによりパッド部６の内部を負圧にすることができてワークピースを吸着固定することができる。吸着固定して搬送した後に所定の位置で駆動部３を反転回転作動させてネジ部５の回転を反転させてピストン部４をパッド部６側に移動させてパッド部内部の負圧を解除してワークピースを解法放置する。
【００１２】
（実施例２）
実施例１と略同様に吸着パッドを製作して、３列３行に９個の該吸着パッドを配置する冶具に固定して、ランダムな孔が開いたＳＵＳ板を吸着搬送する複合吸着パッドを製作した。このような複合吸着パッドでモーターを駆動してＳＵＳ板を吸着したとき、３個の過半数以下である吸着パッドが孔の位置と重なり合ってしまうが、吸着パッドが独立した自己の負圧源を有するために残りの吸着パッドで吸着搬送が安全にでき、モーターを逆駆動して吸着解放することができた。
【００１３】
【発明の効果】
本発明に係る吸着パッドは、スカート部を有するパッド部、シリンダ部、該シリンダ部の内部にピストン部及びネジ部並びに駆動部から成り、自己負圧源を持つものである。複数個の該吸着パッドで吸着搬送する場合において単数／複数の個所で吸着ミスが発生しても連鎖吸着ミスを起こすことがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る吸着パッドの一実施例を示す図である。（ｂ）図は（ａ）図の中心部における断面概略図である。
【符号の説明】
１  スカート部
２  シリンダ部
３  駆動部
４  ピストン部
５  ネジ部
６  パッド部
【図１】
2004306165.tif 000003