(57)【要約】【課題】所定の位相変化は入力光波長に無関係に与えられ、周波数シフト量を変えても回折角が一定な光変調器を提供する。【解決手段】刻線１１ａによる回折格子を円板１１上の円周上に構成し、モータ１２によって円板１１を回転させる。入力光を回折格子が設けられている円周上へ入射し、入力光を回折させる。光変調器の＋１次の回折光出力は、矢印Ｃの向きの光を取り出す。円板１１の移動に伴って、＋１次の回折光出力の位相を、入力波長に関係なく移動量／格子間隔に比例して変化させることができる。また、回折角は入力光の波長および格子間隔に依存するので、入力光の波長ならびに格子間隔が一義的に定まれば回折光の向きは一定になる。この状態でモータ１２を等角速度回転をさせると＋１次の回折光出力の周波数に回転角速度／格子間隔に比例した周波数シフトを発生させることができる。【選択図】図２
2004287029.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射される光を回折させ回折光を発生させる回折光発生手段と、
前記入射される光に対して前記回折光発生手段の回折光発生部を移動させる回折光発生部移動手段と、
前記入射された光に対して前記回折光発生手段で発生したｍ次回折光が所望の変調周波数シフト量もしくは変調位相量となるように前記回折光発生部移動手段による前記回折光発生部を移動制御する制御手段とを備えることを特徴とする光変調器。
【請求項２】
請求項１に記載の光変調器において、
前記制御手段は、前記変調周波数シフト量に応じて前記回折光発生部の移動速度を変えるように前記回折光発生部移動手段を制御することを特徴とする光変調器。
【請求項３】
請求項１に記載の光変調器において、
前記制御手段は、前記変調位相量に応じて前記回折光発生部の移動位置を変えるように前記回折光発生部移動手段を制御することを特徴とする光変調器。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の光変調器において、
前記回折光発生手段は、回折格子部材であり、
前記回折光発生部移動手段は、前記回折格子部材そのものを動かすことを特徴とする光変調器。
【請求項５】
請求項４に記載の光変調器において、
前記回折格子部材の動きを検出する動き検出手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記動き検出手段による検出信号と外部機器から入力される基準信号とが所定の関係を有するように移動制御することを特徴とする光変調器。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれかに記載の光変調器において、
前記回折光発生手段は、並べて配設される複数の格子因子と、前記複数の格子因子のそれぞれを所定数の格子因子ごとに駆動する格子因子駆動手段とを有し、
前記回折光発生部移動手段は、前記格子因子駆動手段が駆動する格子因子を前記格子因子の配設方向にシフトするように前記格子因子駆動手段を制御することを特徴とする光変調器。
【請求項７】
請求項６に記載の光変調器において、
前記回折光発生手段は、光導波路中に構成されることを特徴とする光変調器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光波に対して位相変調や周波数変調を行う光変調器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気光学素子（強誘電体結晶）が有する電気光学効果を利用した光位相変調器が知られている（非特許文献１、非特許文献２参照）。この位相光変調器は、電気光学素子の屈折率を外部印加電界によって変化させることにより、結晶を伝わる光の位相を変化させる。一方、音響媒質が有する音響光学効果を利用した光周波数変調器も知られている（非特許文献１参照）。この光周波数変調器は、音響媒質の屈折率を当該媒質中に励起した超音波によって変化させることにより、音響媒質を伝わる光を回折させる。
【０００３】
【非特許文献１】
會田軍太夫，外２名著，「光学機器入門」，第１刷，東海大学出版会，１９８３年９月，ｐ１３５−１４１
【非特許文献２】
大越孝敬著，「光ファイバセンサ」，第１版，オーム社，昭和６１年７月，ｐ１０９−１１４
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
電気光学素子を用いる光位相変調器では、所定の位相変化を得るために入力光波長に応じて外部印加電界の大きさを調節する必要がある。
【０００５】
音響媒質を用いる光周波数変調器では、周波数シフト量を変えるために媒質に印加する超音波の周波数を変えた場合、回折光の進行方向（回折角）も変わってしまう。
【０００６】
本発明は、所定の位相変化は入力光波長に無関係に与えられ、周波数シフト量（変調周波数）を変えても回折角が一定な光変調器を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明による光変調器は、入射される光を回折させ回折光を発生させる回折光発生手段と、入射される光に対して回折光発生手段の回折光発生部を移動させる回折光発生部移動手段と、入射された光に対して回折光発生手段で発生したｍ次回折光が所望の変調周波数シフト量もしくは変調位相量となるように回折光発生部移動手段による回折光発生部を移動制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光変調器において、制御手段は、変調周波数シフト量に応じて回折光発生部の移動速度を変えるように回折光発生部移動手段を制御することを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の光変調器において、制御手段は、変調位相量に応じて回折光発生部の移動位置を変えるように回折光発生部移動手段を制御することを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の光変調器において、回折格子部材によって回折光発生手段を構成し、回折格子部材そのものを動かすように回折光発生部移動手段を構成したものである。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の光変調器において、回折格子部材の動きを検出する動き検出手段をさらに備え、この場合の制御手段は、動き検出手段による検出信号と外部機器から入力される基準信号とが所定の関係を有するように移動制御するものである。
請求項６に記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の光変調器において、並べて配設される複数の格子因子と、複数の格子因子のそれぞれを所定数の格子因子ごとに駆動する格子因子駆動手段とを有するように回折光発生手段を構成し、この場合の回折光発生部移動手段は、格子因子駆動手段が駆動する格子因子を格子因子の配設方向に適宜シフトするように格子因子駆動手段を制御するようにしたものである。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の光変調器において、回折光発生手段を光導波路中に構成したことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
（第一の実施の形態）
図１は、本発明の第一の実施の形態によるマイケルソン干渉計を回折格子で構成した図である。一般に、マイケルソン干渉計は微弱光計測等に用いられる。第一の実施の形態では、回折格子を変調素子および光分岐・結合素子として使用する。図１において、光源（図示せず）（例えば、高コヒーレンス光源（単一モード発振レーザ））からのレーザ光は透過回折格子１００に入射し、０次光は測定物体１０１へ、＋１次光はリファレンス光学系１０２へ入射し、それぞれが元の経路を戻って再び透過回折格子１００に入射する。リファレンス光学系１０２は、入力光の波長変化を想定して反射回折格子によって構成される。測定物体１０１からの反射光は透過回折格子１００で−１次回折、リファレンス光学系１０２からの反射光は０次回折を受けて、受光素子１０３では２光束の干渉縞が観測できる。
【０００９】
透過回折格子１００を圧電素子などのアクチュエータ１０４に正弦波信号を印加し左右に動かす。移動の片振幅をｄ、正弦波信号をｓｉｎ（ωｏｔ）とすると、＋１次光は次式（１）で示される位相変化を受ける。
【数１】
２π・ｄｓｉｎ（ωｏｔ）／ｐ                    （１）
ただし、ｐは透過回折格子１００（移動格子）の格子ピッチである。−１次光は、次式（２）で示される位相変化を受ける。
【数２】
−２π・ｄｓｉｎ（ωｏｔ）／ｐ                  （２）
【００１０】
受光素子１０３上では、次式（３）に比例した受光信号が得られる。
【数３】
ｃｏｓ（θ＋４π・ｄｓｉｎ（ωｏｔ）／ｐ）          （３）
ただし、θは２光束間の位相差である。
【００１１】
以上説明した第一の実施の形態によれば、以下の作用効果が得られる。
（１）測定物体１０１からの反射光が小さい場合、受光素子１０３の受光信号はノイズに埋もれ信号判別ができないが、この受光信号を透過回折格子１００を動かした周波数で復調すると、微弱光強度に比例した信号検出が可能となる。
【００１２】
（２）入射光の波長が変化しても、受光素子１０３が十分な大きさを持っていれば、受光信号は観測可能であり、透過回折格子１００の格子変調の位相変調量は波長の関数ではないので、位相変調量を調整することなく、同じスケールファクタで微弱光検出が可能となる。
【００１３】
（第二の実施の形態）
図２は、本発明の第二の実施の形態による光変調器の要部構成を示す図である。図２において、光変調器は、円板１１と、モータ１２と、駆動回路１３と、位置センサ１４と、ＰＬＬ回路１５とを含む。円板１１は、回転中心Ｏがモータ１２の回転軸に固定されている。円板１１は、たとえば、直径５０ｍｍのガラス円板で構成される。円板１１には、円周上にクロム蒸着によって刻線１１ａが設けられている。たとえば、刻線１１ａを設ける円周の半径ｒを２０．４ｍｍに、刻線１１ａの数Ｎを１６０００にする。この場合の刻線１１ａの間隔は８μｍである。
【００１４】
モータ１２は、駆動回路１３から送出される駆動信号によって回転し、円板１１を回転駆動する。位置センサ１４は、たとえば、フォトインタラプタによって構成される。位置センサ１４は、不図示の発光素子（ＬＥＤなど）および受光素子（ＰＤなど）を有し、発光素子と受光素子との間に円板１１の刻線１１ａを挟むように設けられる。発光素子から発せられた光は円板１１の刻線１１ａに照射され、照射光が刻線間を通過した場合に受光素子で受光される。受光素子は、受光した光の強さに応じて検出信号をＰＬＬ回路１５へ出力する。モータ１２の回転により円板１１が回転すると、受光素子で受光される光は刻線間を通過する状態と、刻線で妨げられる状態とが繰り返されて強弱を繰り返す。
【００１５】
ＰＬＬ回路１５は、位置センサ１４から入力される検出信号、および外部機器から入力される基準のクロック信号の位相を比較し、位相差に応じた制御信号を生成して駆動回路１３へ出力する。駆動回路１３がＰＬＬ回路１５による制御信号に応じてモータ１２を駆動することにより、検出信号ならびにクロック信号の周波数が所定の関係を有するように、モータ１２の回転速度がフィードバック制御される。所定の関係とは、たとえば、検出信号の周波数の１／Ｎ（Ｎは整数）をクロック信号の周波数と合致させることである。この結果、円板１１に偏心などがあったとしても、モータ１２に速度むらが生じることなく安定に回転する。
【００１６】
上記光変調器において、レーザ光源などによる入力光を刻線１１ａが設けられている円周上へ矢印Ａの向きに入射する。入力光は、不図示の入力光学系から入射する。刻線１１ａは回折格子（明暗格子）を形成するので、複数の回折光が発生する。図２において、矢印Ｂは０次光（透過光）を、矢印Ｃ１は＋１次の回折光を、矢印Ｃ２は−１次の回折光をそれぞれ表す。なお、２次以上の回折光については図示を省略する。このようなｍ次の回折光の回折角度θｍは、次式（４）で表される。
【数４】
ｓｉｎθｍ＝ｍ×λ／ｐ                          （４）
ただし、ｐは格子（刻線）間隔であり、λは入力光の波長である。
【００１７】
円板１１を回転角速度ω（ｒｐｓ）で回転させると、上記円周における刻線１１ａの速度ｖは次式（５）で表される。
【数５】
ｖ＝ｒ×２πω                                （５）
ただし、ｒは刻線１１ａが設けられる円周の半径である。
【００１８】
入射光に対して回折格子が移動すると、回折光はその位相が変化する。等速移動時の時間ｔ（ｓｅｃ）における刻線１１ａ、すなわち、回折格子の変位量はｖ×ｔで表されるので、ｍ次光についてのｔ秒後の位相は次式（６）で表される。
【数６】
２π×ｍ×ｖ×ｔ／ｐ＝２π×Δｆ×ｔ        （６）
ただし、Δｆ（＝ｍ×ｖ／ｐ）はｍ次の回折光の周波数シフト量である。円板１１が角速度ωで回転を継続すると、回折光には位相変化が継続して生じることになり、結果として回折光の周波数が変化する。周波数シフト量は、変化後（回折光）の周波数と変化前（入力光）の周波数との差分である。ｍ次の回折光の周波数ｆｍは、光変調器へ入力される光の周波数ｆで表すとｆｍ＝ｆ＋Δｆとなる。
【００１９】
上述した刻線１１ａの数Ｎ（円板１１の１周分の格子数）は、次式（７）で表される。
【数７】
Ｎ＝ｒ×２π／ｐ                            （７）
上式（５）〜上式（６）により、ｍ次光の周波数シフト量Δｆは次式（８）で表される。
【数８】
Δｆ＝ｍ×Ｎ×ω                            （８）
【００２０】
図３は、以上の光変調器による＋１次の回折光の周波数シフト量Δｆを示す表である。図３で示される数値は、上式（８）に格子数Ｎおよび回転角速度ωを代入したものであり、１秒当たりの回転数＝１、１０、１００の３つの速度におけるそれぞれの周波数シフト量Δｆの数値例である。図３において、光変調器で入力光に対する周波数シフト量Δｆ（すなわち、変調周波数）を１６ｋＨｚにする場合は、駆動回路１３がモータ１２の回転数を６０ｒｐｍ（＝１ｒｐｓ）に回転制御する。
【００２１】
以上の光変調器から＋１次の回折光を取り出す場合は、図２の矢印Ｃ１の向きに回折される光を取り出すように出力光学系（不図示）を設ける。なお、−１次の回折光を光変調器から取り出す場合は、図２の矢印Ｃ２の向きに回折される光を取り出すように出力光学系（不図示）を設ければよい。
【００２２】
上述した光変調器の格子間隔ｐ、格子数Ｎ、回転角速度ωの数値例は、上述した通りでなくてもよい。たとえば、格子間隔ｐを１μｍにし、回転角速度ωを回転数が１００ｒｐｓに対応する速度以上に向上させると、周波数シフト量Δｆの上限を数十ＭＨｚにすることができる。
【００２３】
以上説明した第二の実施の形態による光変調器では、次の作用効果が得られる。
（１）刻線１１ａによる回折格子を円板１１上の円周上に構成し、モータ１２によって円板１１を回転させる。入力光を回折格子が設けられている円周上へ入射し、入力光を回折させる。光変調器の出力は、たとえば、＋１次の回折光を出力光として取り出す。上式（４）が示すように、回折角は入力光の波長および格子間隔ｐに依存するので、入力光の波長ならびに格子間隔ｐを変えなければ回折光の向きは一定である。これにより、モータ１２の回転角速度ω（すなわち、回折格子の移動速度ｖ）を変化させたとしても、出力光学系の位置調節を行うことなく、＋１次の回折光を出力光として取り出すことができる。さらに、従来技術（電気光学効果を利用した光変調器）のように、所定の位相変化を得るために外部電界を印加する必要がないので、簡単な構成で光変調器を実現できる。
【００２４】
（２）上式（６）が示すように、周波数シフト量Δｆはモータ１２の回転角速度ω（すなわち、回折格子の移動速度ｖ）および格子間隔ｐに依存する。したがって。格子間隔ｐを変えなくてもモータ１２の回転速度を変化させることによって周波数シフト量Δｆを変化させることができる。この結果、同一の回折角を保ちながら変調周波数を変化させることができる。さらに、従来技術（音響光学効果を利用した光変調器）のように超音波を励起する必要がないので、簡単な構成で光変調器を実現できる。
【００２５】
（３）モータ１２の回転速度をＰＬＬ制御したので、周波数シフト量Δｆが安定した光変調器を得ることができる。
【００２６】
以上の説明では、モータ１２を等速回転させて光変調器を光周波数シフタとして利用する例を説明したが、モータ１２を所定角度だけ回転させた場合は光変調器を光位相シフタとして利用できる。この場合には、位置センサ１４から入力される検出信号の強弱の位相をカウントし、カウント値が所定数に達したらモータ１２を停止させるようにする。これにより、モータ１２の回転角度、すなわち、回折格子の移動量を制御できるので、回折格子の移動量に応じた位相変化を得ることができる。
【００２７】
（第三の実施の形態）
図４は、第三の実施の形態による光変調器の要部構成を示す図である。図４において、光変調器は、セル基板２１と、制御回路２２とを有する。セル基板２１には、数十μｍ間隔で配設される複数の微小液晶スイッチ（セル）によって構成されるセルアレイ２１ａが設けられている。第三の実施の形態では、セルアレイ２１ａが回折格子の役目を担う。なお、セル基板２１は、セルアレイ２１ａによる透過光および回折光がセル基板２１の背面へ進行するように、微小液晶スイッチ部に対応する位置に開口が設けられている。
【００２８】
制御回路２２は、セルアレイ２１ａを構成する微小液晶スイッチのそれぞれに対し、所定のタイミングでオン／オフ信号を送る。たとえば、オン信号を送出した場合に当該液晶スイッチがオンして透過状態になり、オフ信号を送出した場合に当該液晶スイッチがオフして遮光状態になるように構成されている。
【００２９】
図４はさらに、セルアレイ２１ａの動作例を示す。セルアレイ２１ａは、たとえば、多数の微小液晶スイッチによって構成されている。１６個のセルが１ブロックを構成し、１ブロックが格子１ピッチに対応する。１ブロックのうち８つのセルがオン、８つのセルがオフされる。図４において、オン状態のセルを白で、オフ状態のセルを黒でそれぞれ表す。オン状態のセルおよびオフ状態のセルは、それぞれ８つずつのセルが見かけ上連続するようにオン／オフ制御される。
【００３０】
図４（ａ）は、時刻ｔ１におけるセルアレイ２１ａを示す図である。図４（ｂ）は、時刻ｔ２（ｔ２＝ｔ１＋Δｔ）におけるセルアレイ２１ａを示す図である。図４（ｃ）は、時刻ｔ３（ｔ３＝ｔ２＋Δｔ）におけるセルアレイ２１ａを示す図である。このように、所定時間Δｔごとにオン状態のセルおよびオフ状態のセルが１つずつシフト（図４の例では右方向）する。
【００３１】
制御回路２２は、たとえば、シフトレジスタ回路などによって構成する。制御回路２２は、セルアレイ２１ａの各セルに対応する１６本の出力信号ラインＤ０〜Ｄ１５を有する。出力信号ラインＤ０〜Ｄ１５の出力パターンは、シフトレジスタの出力となっている。制御回路２２は、回折光の位相（周波数）を変化させるとき、制御回路２２の内部で発生したクロック信号をカウントする。そして、カウント数が所定数に達する（すなわち、時間Δｔが経過する）ごとに、シフトレジスタ回路によって出力信号ラインＤ０〜Ｄ１５の出力パターンを１ビットずつシフトさせる。このように、セルアレイ２１ａが制御回路２２の制御信号によってオン／オフ制御される。
【００３２】
クロック信号は、外部機器から入力される基準クロック信号を用いてもよい。クロック周波数が安定しているクロック信号を用いることで、出力信号ラインＤ０〜Ｄ１５の出力パターンがシフトするタイムスパン、すなわち、オン／オフ制御されたセルアレイ２１ａによって形成される回折光発生部の移動速度が安定する。
【００３３】
上記光変調器において、レーザ光源などによる入力光をセルアレイ２１ａ上へ矢印Ａの向きに入射する。入力光は、不図示の入力光学系から入射する。セルアレイ２１ａは回折格子（明暗格子）を形成するので、複数の回折光が発生する。光変調器から＋１次の回折光を取り出す場合は、図４の矢印Ｃ１の向きに回折される光を取り出すように出力光学系（不図示）を設ける。なお、−１次の回折光を光変調器から取り出す場合は、図４の矢印Ｃ２の向きに回折される光を取り出すように出力光学系（不図示）を設ければよい。
【００３４】
入射光に対する回折光発生部のみかけの移動速度は、制御回路２２でカウントするクロック信号のカウント数を変えて変化させる。カウント数を大きくすれば移動速度は低下し、カウント数を小さくすれば移動速度が上昇する。
【００３５】
以上説明したように第三の実施の形態による光変調器では、第二の実施の形態と同様に、回折光発生部のみかけの移動速度を変化させたとしても、出力光学系の位置調節を行うことなく、＋１次の回折光を出力光として取り出すことができる。また、格子間隔（この場合は１ピッチを構成するセル数）を変えなくてもクロック信号のカウント数を変化させることによって周波数シフト量Δｆを変化させることができるので、同一の回折角を保ちながら変調周波数を変化させることができる。
【００３６】
上述した説明では、８つのセルをオンし、８つのセルをオフして格子１ピッチを構成したが、オン／オフするセル数は、必要な格子ピッチに応じて任意に変更してよい。格子ピッチを狭くする場合は、たとえば、３つのセルをオン、３つのセルをオフ、３つのセルをオン…のように交互に３つずつオン／オフさせればよい。反対に格子ピッチを広げる場合は、たとえば、１６個のセルをオン、１６個のセルをオフ、１６個のセルをオン…のように交互に１６個ずつオン／オフさせればよい。
【００３７】
（第四の実施の形態）
複数のセルで回折格子を構成し、入射光に対して回折光発生部を移動させる構成を導波路基板上に構成してもよい。図５は、第四の実施の形態による光変調器の要部構成を示す図である。図５の光変調器は、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）基板３１上に、数百ｎｍ間隔で配設される複数の屈折率変換部（セル）によるセルアレイ３１ａが設けられている。第四の実施の形態では、セルアレイ３１ａが回折格子（位相格子）の役目を担う。位相格子は、屈折率が異なる状態を交互に有するものである。
【００３８】
不図示の制御回路は、セルアレイ３１ａを構成する屈折率変換部のそれぞれに対し、所定のタイミングでオン／オフ信号を送る。たとえば、オン信号を送出した場合に当該屈折率変換部の屈折率が高く変化し、オン信号を送出しない場合に当該屈折率変換部の屈折率が元に戻るように構成されている。セルアレイ３１ａは、所定数のセルが１ブロックを構成し、１ブロックが格子１ピッチに対応する。１ブロックのうち半分のセルがオン、残り半分のセルがオフされる。セルアレイ３１ａのオン／オフ制御は、第三の実施の形態と同様に行う。また、オン／オフするセル数は、必要な格子ピッチに応じて任意に設定してよい。
【００３９】
上記光変調器において、レーザ光源などによる入力光をセルアレイ３１ａ上の１点へ矢印Ａの向きに入射する。導波路基板３１への入力光は、不図示の入力光学系から入射する。セルアレイ３１ａは位相格子を形成するので、複数の回折光が発生する。光変調器から＋１次の回折光を取り出す場合は、図５の矢印Ｃ１の向きに回折される光を導波路基板３１から取り出すように出力光学系１を設ける。なお、−１次の回折光を光変調器から取り出す場合は、図５の矢印Ｃ２の向きに回折される光を取り出すように出力光学系２を設ければよい。０次光（通過光）を取り出す場合は、図５の矢印Ｂの向きに回折される光を取り出すように出力光学系３を設ければよい。
【００４０】
以上説明したように第四の実施の形態による光変調器は、第三の実施の形態と同様に、回折光発生部のみかけの移動速度を変化させたとしても、出力光学系の位置調節を行うことなく、＋１次の回折光を出力光として取り出すことができる。また、格子間隔（この場合は１ピッチを構成するセル数）を変えなくても周波数シフト量Δｆを変化させることができるので、同一の回折角を保ちながら変調周波数を変化させることができる。
【００４１】
特許請求の範囲における各構成要素と、発明の実施の形態における各構成要素との対応について説明する。回折光発生手段は、たとえば、円板１１（セルアレイ２１ａ、３１ａ）によって構成される。回折光発生部は、たとえば、刻線１１ａ（セル）によって構成される。回折光発生部移動手段は、たとえば、モータ１２（制御回路２２）によって構成される。制御手段は、たとえば、駆動回路１３およびＰＬＬ回路１５（制御回路２２）によって構成される。動き検出手段は、たとえば、位置センサ１４によって構成される。格子因子は、たとえば、微小液晶スイッチ（屈折率変換部）によって構成される。格子因子駆動手段は、たとえば、制御回路２２によって構成される。なお、本発明の特徴的な機能を損なわない限り、各構成要素は上記構成に限定されるものではない。本実施の形態の応用分野としては、例えば、光ヘテロダイン干渉等のシステム、ホモダイン干渉計（その応用として光ファイバジャイロ等）のシステムが考えられる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、所定の位相変化は入力光波長に無関係に与えられ、周波数シフト量を変えても回折角が一定な光変調器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第一の実施の形態によるマイケルソン干渉計を回折格子で構成した図である。
【図２】本発明の第二の実施の形態による光変調器の要部構成を示す図である。
【図３】光変調器による＋１次の回折光の周波数シフト量Δｆを示す図である。
【図４】第三の実施の形態による光変調器の要部構成、ならびに時間経過に伴うセルアレイの動作例を説明する図である。
【図５】第四の実施の形態による光変調器の要部構成を示す図である。
【符号の説明】
１１…円板、                        １１ａ…刻線、
１２…モータ、                      １３…駆動回路、
１４…位置センサ、                  ２１…セル基板、
２１ａ、３１ａ…セルアレイ、        ２２…制御回路、
３１…導波路基板
【図１】
2004287029.tif 000003
【図２】
2004287029.tif 000004
【図３】
2004287029.tif 000005
【図４】
2004287029.tif 000006
【図５】
2004287029.tif 000007