(57)【要約】【課題】多ピンループプローブを含む測定器具において、多ピンループプローブの交換に要するコストを低減することである。【解決手段】測定器具１０は、本体ブロック２０と、プローブ位置決めブロック２４に取り付けられた両端接触型の多ピンループプローブ３０と、中継ユニット４０とを備える。両端接触型の多ピンループプローブ３０の各前方接触部３６は液晶パネル１２の各端子パッドに接触し、各後方接触部３８は中継ユニットの前方端の中継ワイヤ４４に接触する。前方接触部３６が事故等で損傷しても、多ピンループプローブ３０のみをプローブ位置決めブロック２４から取外し交換することができる。中継ユニット４０は、ループプローブピッチをＴＡＢ基板１４の端子ピッチに変換する機能を有する。両端接触型の多ピンループプローブにピッチ変換機能を持たせることもできる。【選択図】        図１
2004212068.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性のプローブ基台と、
プローブ基台の上面及び下面に密着固定して所望のピッチで巻かれ、プローブ基台の前方端にループ状に張り出した前方接触部と、後方端にループ状に張り出した後方接触部とを有するループプローブ線材を、プローブ基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列された複数のループプローブと、
を含むことを特徴とする両端接触型の多ピンループプローブ。
【請求項２】
請求項１に記載の多ピンループプローブにおいて、
複数のループプローブは、プローブ基台の前方端において第１ピッチを有し、後方端において第２ピッチを有して配列されることを特徴とする両端接触型の多ピンループプローブ。
【請求項３】
両端接触型多ピンループプローブと、測定回路基板とを組み合わせて測定対象を測定回路基板で測定するために用いる測定器具であって、
両端接触型の多ピンループプローブは、
絶縁性のプローブ基台と、
プローブ基台の上面及び下面に密着固定して所望のピッチで巻かれ、プローブ基台の前方端にループ状に張り出した前方接触部と、後方端にループ状に張り出した後方接触部とを有するループプローブ線材を、プローブ基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列された複数のループプローブと、
を含み、
両端接触型多ピンループプローブの各前方接触部を測定対象の各端子に接触させ、各後方接触部を測定回路基板の各端子に接続することを特徴とする多ピン両端接触型を含む測定器具。
【請求項４】
両端接触型多ピンループプローブと、測定回路基板とを組み合わせ、第１ピッチの端子ピッチを有する測定対象を、第２ピッチの端子ピッチを有する測定回路基板で測定するために用いる測定器具であって、
両端接触型の多ピンループプローブは、
絶縁性のプローブ基台と、
プローブ基台の上面及び下面に密着固定して所望のピッチで巻かれ、プローブ基台の前方端において第１ピッチを有しループ状に張り出した前方接触部と、後方端において第２ピッチを有しループ状に張り出した後方接触部とを有するループプローブ線材を、プローブ基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列された複数のループプローブと、
を含み、
両端接触型多ピンループプローブの各前方接触部を測定対象の各端子に接触させ、各後方接触部を測定回路基板の各端子に接続することを特徴とする多ピン両端接触型を含む測定器具。
【請求項５】
両端接触型多ピンループプローブと、ループプローブピッチを変換する中継ユニットとを組み合わせ、第１ピッチの端子ピッチを有する測定対象を、第２ピッチの端子ピッチを有する測定回路基板で測定するために用いる測定器具であって、
両端接触型の多ピンループプローブは、
絶縁性のプローブ基台と、
プローブ基台の上面及び下面に密着固定して第１ピッチで巻かれ、プローブ基台の前方端にループ状に張り出した前方接触部と、後方端にループ状に張り出した後方接触部とを有するループプローブ線材を、プローブ基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列された複数のループプローブと、
を含み、
中継ユニットは、
中継ワイヤが巻かれる絶縁性の中継基台であって、中継基台の前方端において第１ピッチを有し、後方端において第２ピッチを有し、中継ワイヤの外径に対応する溝幅と、中継ワイヤの外径より深い溝深さを有する複数の中継ワイヤ収納溝を有する中継基台と、
各中継ワイヤ収納溝に収納されて中継基台に密着固定して巻かれ、中継基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列される複数の中継ワイヤと、
を含み、
両端接触型多ピンループプローブの各前方接触部を測定対象の各端子に接触させ、各後方接触部を中継ユニットの前方端における各中継ワイヤ収納溝に挿入して中継ユニットの各中継ワイヤに接触させ、中継ユニットの後方端の各中継ワイヤを測定回路基板の各端子に接続することを特徴とする多ピン両端接触型を含む測定器具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ループ状に張り出した測定用接触部を有する複数のループプローブを、所望のピッチで１本ずつ分けてプローブ基台に配列する多ピンループプローブ及び多ピンループプローブを含む測定器具に係り、特に両端接触型多ピンループプローブ及び両端接触型多ピンループプローブを含む測定器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
デバイスの性能を検査するために、そのデバイスの多数の電極パッドにそれぞれプローブを接触させ、プローブを通して信号の入出力が行われる。このような多ピンプローブとして、例えば特許文献１に開示されるループプローブが用いられる。ループプローブとは、所望のピッチで１本ずつ分けて母材に対し巻きつけ固定された線材で形成されたプローブで、特に母材の一部をエッチング可能な材料で構成しておき、線材を巻きつけた後にそのエッチング可能な材料をエッチングで除去すれば、各線材のその部分はループ状に張り出した形状となるので、そのループ状に張り出した部分を弾性のある測定用接触部に用いることができる。
【０００３】
多ピンループプローブは、その製造方法の特徴から、各ループプローブ間のピッチを高精度で確保でき、また、各ループプローブ間の測定圧をほぼ均一にでき、さらに、測定用接触部が一般の針状プローブと異なりループ状の張り出しとなっているので、測定対象の電極パッドを傷つけることが少ない等の利点を有する。そこで、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のパネル点灯検査のように、多数の電極パッドが所定のピッチで配列されているデバイスの性能検査等に、有用に用いることができる。
【０００４】
例えば、液晶ディスプレイのパネル点灯検査は、液晶パネルを駆動するドライバＩＣが搭載されるＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）基板を液晶パネルに取付ける前に行われ、液晶パネルが不良の場合におけるＴＡＢ基板の損失を未然に防止する。
【０００５】
点灯検査の測定器具は、多ピンループプローブと測定回路基板とを備え、多ピンループプローブの各ループプローブの端部と測定回路基板の各端子とを接続する。この測定器具を用いることで、測定対象の液晶パネルの各端子パッドに多ピンループプローブの各ループ状の張り出した部分を位置決め接触させ、測定回路により液晶パネルを駆動し、点灯状態を検査することができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平６−３４７４８３号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
例えば、液晶パネル点灯検査用測定器具に用いられる測定回路基板は、測定対象の液晶パネル用のＴＡＢ基板をそのまま転用することが可能であるし、また、そのほうが便利でもある。しかし、液晶パネルに用いられるガラスとＴＡＢ基板に用いられる材料、例えばポリイミドフィルムとはその熱膨張係数が異なるので、液晶パネルとＴＡＢ基板との接続時の加熱温度を考慮し、液晶パネルの端子ピッチと、ＴＡＢ基板の端子ピッチとは、後者のほうが狭いピッチに設定される。
【０００８】
つまり、測定回路基板にそのままＴＡＢ基板を用いるときは、液晶パネルの端子ピッチに合わせてある多ピンループプローブのプローブピッチと、ＴＡＢ基板の端子ピッチとの間のピッチ変換が必要となる。このため、点灯検査の測定器具においては、ピッチ変換用ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔｂｏａｒｄ）等を中継して、多ピンループプローブとＴＡＢ基板とを接続することが行われる。
【０００９】
そこで、何らかの事故で多ピンループプローブの先端が損傷したとき、多ピンループプローブ−ピッチ変換用ＦＰＣ−ＴＡＢ基板とを一組として交換する必要がある。この交換は、何ら性能に支障のないピッチ変換用ＦＰＣとＴＡＢ基板の無駄な消耗をきたし、また、点灯検査テスタから測定器具を外して多ピンループプローブ−ピッチ変換用ＦＰＣ−ＴＡＢ基板を入れ替える作業時間を要する。
【００１０】
このように、従来技術においては、多ピンループプローブを交換する際に、他の良品部品の交換を伴い、また、交換作業時間がかかり、コスト的に問題があった。
【００１１】
本発明の目的は、かかる従来技術の課題を解決し、交換が容易な多ピンループプローブを提供することである。本発明の他の目的は、多ピンループプローブを含む測定器具において、多ピンループプローブの交換に要するコストを低減できる測定器具を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る両端接触型の多ピンループプローブは、絶縁性のプローブ基台と、プローブ基台の上面及び下面に密着固定して所望のピッチで巻かれ、プローブ基台の前方端にループ状に張り出した前方接触部と、後方端にループ状に張り出した後方接触部とを有するループプローブ線材を、プローブ基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列された複数のループプローブと、を含むことを特徴とする。
【００１３】
上記構成により、多ピンループプローブにおいて、プローブ基台の前方端にループ状に張り出した前方接触部と、後方端にループ状に張り出した後方接触部とを備える。例えば前方接触部を測定対象の端子パッドに接触させるために用い、後方接触部を測定回路側の端子パッドに接触させるために用いる。すなわち、測定回路側においても、例えば異方性導電接着材で接着する代わりに、接触により導通を取ることができる。したがって、何らかの事故で前方接触部が損傷した場合でも、多ピンループプローブのみを容易に取外しでき、交換が容易となる。
【００１４】
また、複数のループプローブは、プローブ基台の前方端において第１ピッチを有し、後方端において第２ピッチを有して配列されることが好ましい。
【００１５】
また、本発明に係る多ピン両端接触型を含む測定器具は、両端接触型多ピンループプローブと、測定回路基板とを組み合わせて測定対象を測定回路基板で測定するために用いる測定器具であって、両端接触型の多ピンループプローブは、絶縁性のプローブ基台と、プローブ基台の上面及び下面に密着固定して所望のピッチで巻かれ、プローブ基台の前方端にループ状に張り出した前方接触部と、後方端にループ状に張り出した後方接触部とを有するループプローブ線材を、プローブ基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列された複数のループプローブと、を含み、両端接触型多ピンループプローブの各前方接触部を測定対象の各端子に接触させ、各後方接触部を測定回路基板の各端子に接続することを特徴とする。
【００１６】
上記構成により、両端接触型の多ピンループプローブを、測定回路基板と組み合わせて用いる。すなわち、測定回路側においても、接触により導通を取ることができる。したがって、何らかの事故で前方接触部が損傷した場合でも、多ピンループプローブのみを容易に取外しでき、交換が容易となる。
【００１７】
また、本発明に係る多ピン両端接触型を含む測定器具は、両端接触型多ピンループプローブと、測定回路基板とを組み合わせ、第１ピッチの端子ピッチを有する測定対象を、第２ピッチの端子ピッチを有する測定回路基板で測定するために用いる測定器具であって、両端接触型の多ピンループプローブは、絶縁性のプローブ基台と、プローブ基台の上面及び下面に密着固定して所望のピッチで巻かれ、プローブ基台の前方端において第１ピッチを有しループ状に張り出した前方接触部と、後方端において第２ピッチを有しループ状に張り出した後方接触部とを有するループプローブ線材を、プローブ基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列された複数のループプローブと、を含み、両端接触型多ピンループプローブの各前方接触部を測定対象の各端子に接触させ、各後方接触部を測定回路基板の各端子に接続することを特徴とする。
【００１８】
上記構成により、前方接触部におけるピッチと後方接触部におけるピッチを異ならせた多ピンループプローブを、測定回路基板と組み合わせて用いる。例えば測定回路基板にＴＡＢ基板を用い、その端子ピッチが測定対象の例えば液晶パネルの端子ピッチと異なる設定であっても、ピッチ変換用の他の部品を必要とせず、多ピンループプローブと測定回路基板とを直接接触させ、導通を取ることができる。したがって、多ピンループプローブの交換に要するコストを低減できる。
【００１９】
また、本発明に係る多ピン両端接触型を含む測定器具は、両端接触型多ピンループプローブと、ループプローブピッチを変換する中継ユニットとを組み合わせ、第１ピッチの端子ピッチを有する測定対象を、第２ピッチの端子ピッチを有する測定回路基板で測定するために用いる測定器具であって、両端接触型の多ピンループプローブは、絶縁性のプローブ基台と、プローブ基台の上面及び下面に密着固定して第１ピッチで巻かれ、プローブ基台の前方端にループ状に張り出した前方接触部と、後方端にループ状に張り出した後方接触部とを有するループプローブ線材を、プローブ基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列された複数のループプローブと、を含み、中継ユニットは、中継ワイヤが巻かれる絶縁性の中継基台であって、中継基台の前方端において第１ピッチを有し、後方端において第２ピッチを有し、中継ワイヤの外径に対応する溝幅と、中継ワイヤの外径より深い溝深さを有する複数の中継ワイヤ収納溝を有する中継基台と、各中継ワイヤ収納溝に収納されて中継基台に密着固定して巻かれ、中継基台上の切断溝により一本ずつに分離されて配列される複数の中継ワイヤと、を含み、両端接触型多ピンループプローブの各前方接触部を測定対象の各端子に接触させ、各後方接触部を中継ユニットの前方端における各中継ワイヤ収納溝に挿入して中継ユニットの各中継ワイヤに接触させ、中継ユニットの後方端の各中継ワイヤを測定回路基板の各端子に接続することを特徴とする。
【００２０】
上記構成により、ピッチ変換用の中継部材として、前方端において第１ピッチを有し、後方端において第２ピッチを有し、中継ワイヤの外径に対応する溝幅と、中継ワイヤの外径より深い溝深さを有する複数の中継ワイヤ収納溝を有する中継基台を用いる。そして、両端接触型多ピンループプローブの各後方接触部を中継ユニットの前方端における各中継ワイヤ収納溝に挿入して中継ユニットの各中継ワイヤに接触させる。このように中継ワイヤ収納溝をガイドとしてループプローブと中継ワイヤとを接触させるので、接触導通の確実化を図りつつ、両端接触型多ピンループプローブのみの交換を容易に行うことができる。したがって、多ピンループプローブの交換に要するコストを低減できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。以下では、測定対象を液晶パネル、測定回路基板をＴＡＢ基板として説明するが、測定対象は、例えばプラズマディスプレイのパネルや有機ＥＬディスプレイのパネル等の、多数の電極パッドが所定のピッチで配列されているデバイスあってもよく、また、ＴＡＢ基板以外のガラスエポキシ基板等の一般的な回路基板であってもよい。
【００２２】
図１は、液晶パネル点灯検査に用いる測定器具１０の一部断面図である。測定器具１０は、測定対象である液晶パネル１２の各端子パッド１３に多ピンループプローブ３０のループ状に張り出した前方接触部３６を接触させ、中継ユニット４０を介して測定回路基板であるＴＡＢ基板１４の対応する各端子パッド１５に接続することで、図示されていないテスタ１６と液晶パネル１２との間の信号のやり取りを行わせる機能を有する器具である。
【００２３】
なお、以下において、各構成要素の配置関係を明らかにするため、図１における左右関係については図に示すように、液晶パネル１２側とＴＡＢ基板１４側に注目して、より液晶パネル１２側の方を前方側または前方端、よりＴＡＢ基板１４側の方を後方側または後方端と呼ぶことにし、また、図１における上下関係については、液晶パネル１２側を向く方を下面側、その反対側を向く方を上面側と呼ぶことにする。
【００２４】
測定器具１０は、本体ブロック２０と、本体ブロック２０の前方側で下方側に伸びる測定アーム２１に設けられたガイドピン穴２２ａを介して本体ブロック２０に位置決めされるプローブ位置決めブロック２４と、測定アーム２１より後方側の本体ブロック２０の下面側に設けられたガイドピン穴２６ａを介して本体ブロック２０に位置決めされる中継ユニット位置決めブロック２８を備える。
【００２５】
また、プローブ位置決めブロック２４にはその所定の位置に接着材２５を介して両端接触型の多ピンループプローブ３０が取り付けられ、中継ユニット位置決めブロック２８にはその所定の位置に接着材２９を介して中継ユニット４０が取り付けられる。中継ユニットの後方側においてＴＡＢ基板１４が取り付けられる。中継ユニット４０は、後述するように、多ピンループプローブ３０のループプローブピッチをＴＡＢ基板１４の端子ピッチに変換する機能を有する。
【００２６】
多ピンループプローブ３０は、絶縁性のプローブ基台３２に、所定のピッチで一本ずつに分離された複数のループプローブ３４が配列されたプローブユニットで、各ループプローブ３４は、プローブ基台３２の前方端にループ状に張り出した前方接触部３６と、後方端にループ状に張り出した後方接触部３８とを有する。所定のピッチは、液晶パネル１２の端子ピッチＰ１に設定される。すなわち、ここで用いる多ピンループプローブ３０は、いわば両端接触型の多ピンループプローブである。
【００２７】
図２、図３は、両端接触型の多ピンループプローブ３０の上面側斜視図及び下面側斜視図である。多ピンループプローブ３０において、プローブ基台３２は、例えば厚み１．５ｍｍ、幅３０ｍｍ、長さ１０−２５ｍｍ程度の直方体のプラスティック材で、ガラスエポキシやポリイミドを加工して用いることができる。ループプローブ３４は、例えば線径が３０−５０ミクロンメートルの一様な太さを有するタングステン等のワイヤからなる。各ループプローブ３４は、所定のピッチでプローブ基台３２の上面及び下面に密着固定して巻かれ、プローブ基台３２の下面側に設けられた切断溝３３により、一本ずつに分離される。切断溝３３は、プローブ基台３２の下面側に代わって上面側に設けられてもよい。
【００２８】
各ループプローブ３４は、プローブ基台３２の前方端にループ状に張り出した前方接触部３６と、後方端にループ状に張り出した後方接触部３８とを有するが、かかる構造の両端型多ピンループプローブ３０は、次のようにして得ることができる。
【００２９】
最初に、ループプローブとなる線材を巻きつける巻枠を準備する。巻枠は、プローブ基台３２の前方側と後方側に、それぞれループ状張り出しの形状を有するエッチング可能なダミー基台を接合して伴わせたものである（なお、後述の図１０に示す巻枠１００を参照）。
【００３０】
次に、巻枠を回転させ１回転ごとに所定のピッチＰ１ずつスライド移動させてループプローブとなる線材を複数回巻きつけ、巻枠に接着材等で固定する。この段階で、ループプローブとなる線材は、巻枠に所定のピッチＰ１で連続して巻かれた状態で固定されている。
【００３１】
その後、エッチング液を用いてダミー基台のみを選択的に除去する。ダミー基台が除去されると、ループプローブとなる線材は、プローブ基台３２の前方端にループ状に張り出した前方接触部３６と、後方端にループ状に張り出した後方接触部３８を有する構造となる。
【００３２】
最後に、プローブ基台３２の下面側に切断溝３３を刻み、連続していたループプローブとなる線材を、一本ずつに分離する。このようにして、両端接触型の多ピンループプローブ３０を得ることができる。
【００３３】
中継ユニット４０は、絶縁性の中継基台４２に、一本ずつに分離されて複数の中継ワイヤ４４が配列されたユニットで、中継基台４２の下面において各中継ワイヤ４４は、中継基台の前方端において第１ピッチを有し、後方端において第２ピッチを有する中継ワイヤ収納溝に収納される。第１ピッチは、多ピンループプローブ３０のループプローブピッチのＰ１に、第２ピッチは、ＴＡＢ基板１４の端子ピッチＰ２に設定される。すなわち、ここで用いる中継ユニット４０は、測定に用いられる複数の線材間のピッチを、第１ピッチＰ１から第２ピッチＰ２に変換するピッチ変換型の中継ユニットである。
【００３４】
図４、図５は、中継ユニット４０の上面側斜視図及び下面側斜視図である。中継ユニット４０において、中継基台４２は、プローブ基台３２と同様の材料、例えば厚み１．５ｍｍのガラスエポキシやポリイミドを用い、所定の寸法、例えばプローブ基台３２と同様の寸法に加工して得ることができる。
【００３５】
中継基台４２の下面には、中継基台４２に巻かれる各中継ワイヤ４４を収納する複数の中継ワイヤ収納溝４６が設けられる。複数の中継ワイヤ収納溝４６は、中継基台４２の前方端において第１ピッチＰ１を有し、後方端において第２ピッチＰ２を有する。その溝幅は、中継ワイヤ４４の外径よりやや大きめに設定され、その溝深さは、中継ワイヤの外径より深く、好ましくは中継ワイヤの外径に対しその２−３倍の深さに設定される。なお、中継ワイヤ４４とループプローブ３４の線径が異なるときは、溝幅は、いずれか太い方の線径に応じて設定される。
【００３６】
中継基台４２に巻かれる中継ワイヤ４４は、ループプローブに用いられた線材と同様の材質のワイヤ、例えば一様な太さを有するタングステン等のワイヤを用いることができる。線径は、ループプローブと同じ線径を用いるのが好ましい。各中継ワイヤ４４は、中継ワイヤ収納溝４６に収納されつつ、中継基台４２の上面及び下面に密着固定して巻かれ、中継基台４２の上面側に設けられた切断溝４３により、一本ずつに分離される。
【００３７】
かかる構造の中継ユニット４０は、中継基台４２を巻枠として、中継ワイヤとなる線材を複数回巻きつけることで得ることができる。すなわち、中継ワイヤとなる線材を中継ワイヤ収納溝４６に収納するように、中継基台４２を回転させつつ、中継基台４２の前方端にワイヤが来るときは隣り合うワイヤ間のピッチが第１ピッチＰ１になるように、後方端にワイヤが来るときは隣り合うワイヤ間のピッチが第２ピッチＰ２になるように、スライド移動させて巻きつける。その後、中継基台４２に接着材等で固定し、その後切断溝４３で一本ずつに分離する。接着材による固定は、中継基台４２の上面側においては少なくとも後方端側に接着材を付着させず、中継ワイヤ収納溝４６内においては、少なくともその前方端側には接着材を付着させないように行われる。
【００３８】
プローブ位置決めブロック２４は、その上面側にガイドピン２２ｂを備え、下面側に多ピンループプローブ３０を取り付ける取り付け面を有する部材である。ガイドピン２２ｂは、本体ブロック２０に設けられたガイドピン穴２２ａと精密に位置決めできるはめあいに設定される。
【００３９】
中継ユニット位置決めブロック２８は、その上面側にガイドピン２６ｂを備え、下面側に中継ユニット４０を取り付ける取り付け面を有する部材である。ガイドピン２６ｂは、本体ブロック２０に設けられたガイドピン穴２６ａと精密に位置決めできるはめあいに設定される。
【００４０】
両端接触型の多ピンループプローブ３０のプローブ位置決めブロック２４への取り付け、及び中継ユニット４０の中継ユニット位置決めブロック２８への取り付けは、多ピンループプローブ３０と中継ユニット４０との間の位置決めを考慮して例えば以下のように行われる。相互の位置決めには、本体ブロック２０におけるガイドピン穴２２ａ，２６ａの相互位置関係をそのまま写した位置決め治具を用いる。この位置決め治具に、プローブ位置決めブロック２４と中継ユニット位置決めブロック２８を仮止めして取り付ける。仮止めには、プローブ位置決めブロック２４のガイドピン２２ｂ、中継ユニット位置決めブロック２８のガイドピン２６ｂをそれぞれガイドピン穴２２ａ，２６ａにあわせて行う。次に、例えば中継ユニット４０を接着材２９で中継ユニット位置決めブロック２８に固定する。
【００４１】
そして、多ピンループプローブ３０の各後方接触端３８の先端部を、中継ユニット４０において対応する各前方端における各中継ワイヤ収納溝４６に挿入し、中継ユニット４０において対応する各中継ワイヤ４４に接触させるように、多ピンループプローブ３０を位置決めし、その状態でプローブ位置決めブロック２４に接着材２５で固定して取り付ける。
【００４２】
このようにして、相互位置決めで定まる各所定の位置に、多ピンループプローブ３０がプローブ位置決めブロック２４に固定され、中継ユニット４０が中継ユニット位置決めブロック２８に固定される。その後位置決め治具からこれらを取外し、本体ブロック２０のガイドピン穴２２ａにプローブ位置決めブロック２４のガイドピン２２ｂ、ガイドピン穴２６ａに中継ユニット位置決めブロック２８のガイドピン２６ｂとをはめ合わせて固定する。このことで、位置決め治具で行われた多ピンループプローブ３０と中継ユニット４０との間の位置決めが、測定器具１０上で正確に再現される。
【００４３】
図６は、位置決めが行われた状態における多ピンループプローブ３０と中継ユニット４０との関係を、下面側からの斜視図で示したものである。図に示すように、多ピンループプローブ３０の各後方接触部３８の先端部３９が、中継ユニット４０の各中継ワイヤ収納溝４６の中に挿入されている。
【００４４】
図７は、図６のＡ−Ａ線における一部断面図である。各中継ワイヤ収納溝４６において、多ピンループプローブ３０の各後方接触部３８の先端部３９が、中継ユニット４０においてそれぞれ対応する各中継ワイヤ４４の前方端の接触部４５と接触している様子が示される。
【００４５】
ＴＡＢ基板１４は、測定対象の液晶パネル１２のドライバＩＣを搭載する基板である。ＴＡＢ基板１４は、本体ブロック２０に位置決めされて取り付けられた中継ユニット４０に接続される。その様子を図８に示す。図に示すように、中継ユニット４０の上面側の後方端側で、各中継ワイヤ４４の位置と、それに対応するＴＡＢ基板１４の各端子パッド１５とが位置決めされ、異方性導電接着材により固定される。
【００４６】
上記構成の測定器具１０の作用について説明する。図１において、測定対象の液晶パネル１２が、所定の測定位置にセットされる。液晶パネル１２の端子パッドのピッチはＰ１である。図示されていない上下移動機構により、測定器具１０と液晶パネル１２との間隔を狭め、多ピンループプローブ３０の各前方接触部３６を液晶パネル１２の各端子パッド１３に接触させる。
【００４７】
上記のように、測定器具１０上で多ピンループプローブ３０と中継ユニット４０とは正確に位置決めされ、中継ユニット４０により多ピンループプローブ３０のループプローブピッチＰ１はＴＡＢ基板１４の端子ピッチＰ２に変換され、中継ユニット４０はＴＡＢ基板１４に接続されている。したがって、多ピンループプローブ３０の各ループプローブ３４は、中継ユニット４０の対応する各中継ワイヤ４４を介し、対応するＴＡＢ基板１４の各端子パッドと導通することができる。
【００４８】
図９は、他の実施の形態における測定器具６０の一部断面図である。図１等と同様の要素については同一の符号を付し、説明を省略する。測定器具６０においては、両端接触型の多ピンループプローブ７０が、図１に説明した多ピンループプローブ３０と異なる構成を有し、それに対応してＴＡＢ基板８０の取り付け部分の構成が異なる。
【００４９】
多ピンループプローブ７０は、そのループプローブピッチが、その前方接触部７２において液晶パネル１２の端子ピッチＰ１に、後方接触部７４においてＴＡＢ基板８０の端子ピッチＰ２に設定される。
【００５０】
かかる構造の両端型多ピンループプローブ７０は、次のようにして得ることができる。なお、図２、図３に関連して述べた、ループプローブピッチが一定の場合における多ピンループプローブ３０の製造方法と同様の部分については、説明を簡略にしてすすめる。
【００５１】
最初に、ループプローブとなる線材を巻きつける巻枠を準備し、つぎに巻枠にループプローブとなる線材を巻枠の前方端におけるピッチと後方端におけるピッチを変えるようにして巻きつける。その様子を図１０に示す。
【００５２】
図１０において、巻枠１００は、プローブ基台３２の前方端１０２及び後方端１０４にそれぞれダミー基台１０６ａ，１０６ｂを伴わせて形成される。この巻枠は、ループプローブピッチが一定の場合に用いる巻枠と同じである。
【００５３】
次にその巻枠１００にループプローブとなる線材１０８を巻きつける。その際、巻枠１００の前方端１０２に線材１０８が来るときは隣り合う線材１０８間のピッチが第１ピッチＰ１になるように、後方端１０４に線材１０８が来るときは隣り合う線材１０８間のピッチが第２ピッチＰ２になるように、巻枠１００をスライド移動させて巻きつける。
【００５４】
その後ループプローブとなる線材１０８をプローブ基台３２に接着材等で固定し、ダミー基台１０６ａ，１０６ｂを選択的エッチング液により除去し、その後切断溝３３で一本ずつに分離する。これらの工程は、ループプローブピッチが一定の場合と同様である。
【００５５】
このようにして、ループプローブピッチが、その前方接触部７２において液晶パネル１２の端子ピッチＰ１に、後方接触部７４においてＴＡＢ基板８０の端子ピッチＰ２に設定される両端接触型の多ピンループプローブ７０を得ることができる。
【００５６】
ＴＡＢ基板８０は、図１で説明した測定器具１０におけるＴＡＢ基板と同様の機能を有するが、測定器具６０に取り付ける部分が測定器具１０における取り付けと異なる。すなわち、測定器具６０の本体ブロック２０の下面側には、ガイドピン穴６２ａが設けられ、このガイドピン穴６２ａに正確なはめあいを有するガイドピン６２ｂがＴＡＢ取付台８２の取付柱８４の上面側に設けられる。
【００５７】
ＴＡＢ取付台８２は、ガイドピン６２ｂが設けられる取付柱８４の途中から前方側に張り出すＴＡＢ支持板８６が設けられる。ＴＡＢ支持板８６における上面の所定の位置にＴＡＢ基板８０が取り付けられ、下面には図示されていないテスタ１６に接続されるプリント基板９０が取り付けられる。ＴＡＢ支持板８６には、ＴＡＢ基板８０とプリント基板９０との間を接続する複数の導通ピン８８が設けられ、ＴＡＢ基板８０とプリント基板９０との間の信号の伝達が行われる。なお、ＴＡＢ基板押し付けブロック９２により、ＴＡＢ基板８０はＴＡＢ支持板８６に向けて押し付けられる。
【００５８】
ＴＡＢ基板８０のＴＡＢ取付台８２への取り付けは、多ピンループプローブ７０とＴＡＢ基板８０との間の位置決めを考慮して行われる。この位置決めには、本体ブロック２０におけるガイドピン穴２２ａ，６２ａの相互位置関係をそのまま写した位置決め治具を用い、この位置決め治具に、プローブ位置決めブロック２４とＴＡＢ取付台８２を仮止めして取り付ける。次に、例えば多ピンループプローブ７０を接着材２５でプローブ位置決めブロック２４に固定する。
【００５９】
そして、多ピンループプローブ７０の各後方接触端７４の先端部７５を、ＴＡＢ基板８０において対応する各端子パッド８１に接触させるように、ＴＡＢ基板８０を位置決めし、その状態でＴＡＢ取付台８２に接着材等で固定して取り付ける。
【００６０】
このようにして、相互位置決めで定まる各所定の位置に、多ピンループプローブ７０がプローブ位置決めブロック２４に固定され、ＴＡＢ基板８０がＴＡＢ取付台８２に固定される。その後位置決め治具からこれらを取外し、本体ブロック２０のガイドピン穴２２ａにプローブ位置決めブロック２４のガイドピン２２ｂ、ガイドピン穴６２ａにＴＡＢ取付台８２のガイドピン６２ｂとをはめ合わせて固定する。このことで、位置決め治具で行われた多ピンループプローブ７０とＴＡＢ基板８０との間の位置決めが、測定器具６０上で正確に再現される。
【００６１】
図９に示す構成の測定器具６０においては、多ピンループプローブ７０自体がループプローブピッチの変換機能を有しているので、図１で説明した中継ユニットを要せず、多ピンループプローブ７０の各後方接触部７４の先端部をＴＡＢ基板８０の対応する各端子パッドに接触させることができる。
【００６２】
これらの構成の測定器具１０，６０において、何らかの事故で、多ピンループプローブの前方接触部が損傷した場合でも、プローブ位置決めブロックから多ピンループプローブのみを取外し、新しい多ピンループプローブをプローブ位置決めブロックに位置決めして取り付けることで容易に交換ができる。また、多ピンループプローブの交換に際し、中継ユニットやＴＡＢ基板等の他部品の交換を要しない。
【００６３】
なお、ループプローブピッチが一定の多ピンループプローブ３０の場合において、損傷した前方接触部３６が、測定対象の端子パッドにはもはや十分に接触できなくなったとしても、それを測定回路との接続に用いるのならば支障がないこともある。そのような場合には、その多ピンループプローブ３０をプローブ位置決めブロックから一旦取外し、取り付け方を前後逆にしてプローブ位置決めブロックに位置決めして再度取り付け、損傷していない後方接触部３８を測定対象の端子パッドの接触用にし、痛んだ前方接触部を測定回路の接続用にすることもできる。この場合には、同一多ピンループプローブの使用回数を延ばすことができる。
【００６４】
【発明の効果】
本発明に係る両端接触型多ピンループプローブによれば、交換を容易に行うことができる。本発明に係る両端接触型多ピンループプローブを含む測定器具によれば、多ピンループプローブの交換に要するコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る実施の形態における測定器具の一部断面図である。
【図２】本発明に係る実施の形態における両端接触型の多ピンループプローブの上面側斜視図である。
【図３】本発明に係る実施の形態における両端接触型の多ピンループプローブの下面側斜視図である。
【図４】本発明に係る実施の形態における中継ユニットの上面側斜視図である。
【図５】本発明に係る実施の形態における中継ユニットの下面側斜視図である。
【図６】本発明に係る実施の形態における多ピンループプローブと中継ユニットとの関係示す下面側からの斜視図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線における一部断面図である。
【図８】本発明に係る実施の形態におけるＴＡＢ基板１４と中継ユニットの接続関係の様子を示す図である。
【図９】他の実施の形態における測定器具の一部断面図である。
【図１０】本発明に係る実施の形態において、ループプローブ線材を巻枠の前方端におけるピッチと後方端におけるピッチを変えるようにして巻きつける様子を示す図である。
【符号の説明】
１０，６０  測定器具、１２  液晶パネル、１３，１５  端子パッド、１４，８０  ＴＡＢ基板、１６  テスタ、２０  本体ブロック、２１  測定アーム２１、２２ａ，２６ａ，６２ａ  ガイドピン穴、２２ｂ，２６ｂ，６２ｂ  ガイドピン、２４  プローブ位置決めブロック、２８  中継ユニット位置決めブロック、３０，７０  多ピンループプローブ、３２  プローブ基台、３３，４３  切断溝、３４  ループプローブ、３６，７２  前方接触部、３８，７４  後方接触部、４０  中継ユニット、４２  中継基台、４４  中継ワイヤ、４６  中継ワイヤ収納溝、８２  ＴＡＢ取付台、１００  巻枠、１０２  前方端、１０４  後方端、１０６ａ，１０６ｂ  ダミー基台。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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