(57)【要約】【課題】高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具を提供する。【解決手段】高速度工具鋼の歯切工具本体からなる基体の表面に、ＡｌとＴｉの複合窒化物からなる硬質被覆層を１〜１０μｍの全体平均層厚で物理蒸着してなる表面被覆高速度工具鋼製歯切工具における前記硬質被覆層を、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ａｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、さらに、上記Ａｌ最高含有点が、組成式：（Ａｌ１−ＸＴｉＸ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．３０を示す）、上記Ａｌ最低含有点が、組成式：（Ａｌ１−ＹＴｉＹ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは０．３５〜０．６０を示す）、をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである硬質被覆層で構成する。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
高速度工具鋼で構成された歯切工具本体の表面に、ＡｌとＴｉの複合窒化物からなる硬質被覆層を１〜１０μｍの全体平均層厚で物理蒸着してなる表面被覆高速度工具鋼製歯切工具において、
上記硬質被覆層が、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ａｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、
さらに、上記Ａｌ最高含有点が、組成式：（Ａｌ１−ＸＴｉＸ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．３０を示す）、
上記Ａｌ最低含有点が、組成式：（Ａｌ１−ＹＴｉＹ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは０．３５〜０．６０を示す）、
をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍであること、
を特徴とする高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、硬質被覆層がすぐれた高温特性を有し、したがって特に各種の鋼や鋳鉄などの高熱発生を伴う高速歯切加工で、すぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具（以下、被覆歯切工具という）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一般に自動車や航空機、さらに各種駆動装置などの構造部材として各種歯車が用いられ、これら歯車の歯形の歯切加工に、ソリッドホブ（例えば図３の概略斜視図参照）やピニオンカッタ（例えば図４の概略斜視図参照）、さらにシェービングカッタなどの歯切工具が用いられている。
【０００３】
また、被覆歯切工具として、例えば図３や図４に示される形状に機械加工された高速度工具鋼で構成された歯切工具本体を基体とし、この基体の表面に、組成式：（Ａｌ１−ＹＴｉＹ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは０．３５〜０．６０を示す）を満足するＡｌとＴｉの複合窒化物［以下、（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎで示す］層からなる硬質被覆層を１〜１０μｍの平均層厚で物理蒸着してなる被覆歯切工具が提案され、前記硬質被覆層を構成する（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層が、Ａｌによる高温硬さと耐熱性、およびＴｉによる強度を有することから、かかる硬質被覆層を形成してなる被覆歯切工具はすぐれた歯切性能を発揮することも知られている（例えば特許文献１および特許文献２参照）。
【０００４】
さらに、上記の被覆歯切工具が、例えば図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に上記の基体を装入し、ヒータで装置内を、例えば雰囲気を２Ｐａの真空雰囲気として、４００℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するＡｌ−Ｔｉ合金がセットされたカソード電極（蒸発源）との間に、例えば電圧：３５Ｖ、電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記基体（歯切工具本体）には、例えば−２００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記基体の表面に、上記（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造されることも知られている。
【０００５】
【特許文献１】
特許第２７９３７７２号
【特許文献２】
特許第３１６５６５８号
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年の歯切加工装置の高性能化はめざましく、一方で歯切加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、歯切加工は高速化の傾向にあるが、上記の従来被覆歯切工具においては、これを通常の歯切加工条件で用いた場合には問題はないが、これを高い発熱を伴う高速歯切加工条件で用いた場合には、硬質被覆層の摩耗進行が促進され、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に高速歯切加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する被覆歯切工具を開発すべく、上記の従来被覆歯切工具を構成する硬質被覆層に着目し、研究を行った結果、
（ａ）上記の図２に示されるアークイオンプレーティング装置を用いて形成された従来被覆歯切工具を構成する（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層は、層厚全体に亘って均質な高温硬さと耐熱性、および強度を有するが、例えば図１（ａ）に概略平面図で、同（ｂ）に概略正面図で示される構造のアークイオンプレーティング装置、すなわち装置中央部に基体装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで、一方側に相対的にＡｌ含有量の高いＡｌ−Ｔｉ合金、他方側に相対的にＡｌ含有量の低いＡｌ−Ｔｉ合金をカソード電極（蒸発源）として対向配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置にテーブルの外周部に沿って複数の基体（歯切工具本体）をリング状に装着し、この状態で装置内雰囲気を窒素雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、蒸着形成される硬質被覆層の層厚均一化を図る目的で基体自体も自転させながら、前記の両側のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記基体の表面に（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層を形成すると、この結果の（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層においては、回転テーブル上にリング状に配置された前記基体が上記の一方側の相対的にＡｌ含有量の高いＡｌ−Ｔｉ合金のカソード電極（蒸発源）に最も接近した時点で層中にＡｌ最高含有点が形成され、また前記基体が上記の他方側の相対的にＡｌ含有量の低いＡｌ−Ｔｉ合金のカソード電極に最も接近した時点で層中にＡｌ最低含有点が形成され、上記回転テーブルの回転によって層中には層厚方向にそって前記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点が所定間隔をもって交互に繰り返し現れると共に、前記Ａｌ最高含有点から前記Ａｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造をもつようになること。
【０００８】
（ｂ）上記（ａ）の繰り返し連続変化成分濃度分布構造の（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層において、例えば対向配置のカソード電極（蒸発源）のそれぞれの組成を調製すると共に、基体が装着されている回転テーブルの回転速度を制御して、
上記Ａｌ最高含有点が、組成式：（Ａｌ１−ＸＴｉＸ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．３０を示す）、
上記Ａｌ最低含有点が、組成式：（Ａｌ１−ＹＴｉＹ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは０．３５〜０．６０を示す）、
をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の厚さ方向の間隔を０．０１〜０．１μｍとすると、
上記Ａｌ最高含有点部分では、上記の従来（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層に比してＡｌ含有量が相対的に高くなることから、より一段とすぐれた高温硬さと耐熱性（高温特性）を示し、一方上記Ａｌ最低含有点部分は、上記の従来（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層ののもつ組成に相当する組成、すなわち前記Ａｌ最高含有点部分に比してＡｌ含有量が低く、Ｔｉ含有量の高い組成をもつので、相対的に高強度を具備するようになり、かつこれらＡｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の間隔をきわめて小さくしたことから、層全体の特性として高強度を保持した状態ですぐれた高温特性を具備するようになり、したがって、硬質被覆層がかかる構成の（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層からなる被覆歯切工具は、高い発熱を伴う高速歯切加工ですぐれた耐摩耗性を発揮するようになること。
以上（ａ）および（ｂ）に示される研究結果を得たのである。
【０００９】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、高速度工具鋼で構成された歯切工具本体からなる基体の表面に、（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎからなる硬質被覆層を１〜１０μｍの全体平均層厚で物理蒸着してなる被覆歯切工具において、
上記硬質被覆層が、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ａｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、
さらに、上記Ａｌ最高含有点が、
組成式：（Ａｌ１−ＸＴｉＸ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．０５〜０．３０を示す）、
上記Ａｌ最低含有点が、
組成式：（Ａｌ１−ＹＴｉＹ  ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｙは０．３５〜０．６０を示す）、
をそれぞれ満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである、
高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆歯切工具に特徴を有するものである。
【００１０】
つぎに、この発明の被覆歯切工具において、これを構成する硬質被覆層の構成を上記の通りに限定した理由を説明する。
（ａ）Ａｌ最高含有点の組成
（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層におけるＡｌは、高温硬さおよび耐熱性（高温特性）を向上させ、かつＴｉは強度を向上させる作用を有するものであり、したがってＡｌ最高含有点でのＴｉの割合を示すＸ値がＡｌとの合量に占める割合（原子比）で０．０５未満になると、Ｔｉの割合が低くなり過ぎて、急激に強度が低下し、切刃にチッピング（微小欠け）などが発生し易くなり、一方同Ｘ値が０．３０を越えると、相対的にＡｌの割合が低下し、Ａｌによってもたらされるすぐれた高温特性に低下傾向が現れるようになり、特に高速歯切加工では摩耗促進の原因となることから、その割合を０．０５〜０．３０と定めた。
【００１１】
（ｂ）Ａｌ最低含有点の組成
上記の通りＡｌ最高含有点は高温特性のすぐれたものであるが、反面強度の劣るものであるため、このＡｌ最高含有点の強度不足を補う目的で、相対的にＴｉ含有割合が高く、これによって高強度を有するようになるＡｌ最低含有点を厚さ方向に交互に介在させるものであり、したがってＴｉの割合を示すＹ値がＡｌとの合量に占める割合（原子比）で０．３５未満では、所望のすぐれた強度を確保することができず、一方その割合を示すＹ値が０．６０を越えると、相対的にＴｉの割合が多くなり過ぎて、Ａｌ最低含有点に所望の高温特性を具備せしめることができなくなることから、その割合を０．３５〜０．６０と定めた。
【００１２】
（ｃ）Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点間の間隔
その間隔が０．０１μｍ未満ではそれぞれの点を上記の組成で明確に形成することが困難であり、この結果層に所望の高温特性と強度を確保することができなくなり、またその間隔が０．１μｍを越えるとそれぞれの点がもつ欠点、すなわちＡｌ最高含有点であれば強度不足、Ａｌ最低含有点であれば高温特性不足が層内に局部的に現れ、これが原因で切刃にチッピングが発生し易くなったり、摩耗進行が促進されるようになることから、その間隔を０．０１〜０．１μｍと定めた。
【００１３】
（ｄ）硬質被覆層の全体平均層厚
その層厚が１μｍ未満では、所望の耐摩耗性を確保することができず、一方その平均層厚が１０μｍを越えると、切刃にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を１〜１０μｍと定めた。
【００１４】
【発明の実施の形態】
つぎに、この発明の被覆歯切工具を実施例により具体的に説明する。
（実施例１）
歯切工具本体として、材質がＪＩＳ・ＳＫＨ５５および同ＳＫＨ５１の高速度工具鋼からなる直径：８５ｍｍ×長さ：１２５ｍｍの寸法をもった素材から、機械加工にて外径：８０ｍｍ×長さ：１２０ｍｍの全体寸法をもち、かつ４条右捩れ×２０溝の形状をもった図３に概略斜視図で示されるソリッドホブを製造した。
【００１５】
ついで、上記の２種の材質の歯切工具本体（ソリッドホブ）を基体とし、これらの基体のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置にテーブルの外周部にそって装着し、一方側のカソード電極（蒸発源）として、種々の成分組成をもったＡｌ最低含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ合金、他方側のカソード電極（蒸発源）として、種々の成分組成をもったＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ合金を前記回転テーブルを挟んで対向配置し、またボンバート洗浄用金属Ｔｉも装着し、まず装置内を排気して０．５Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を４００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する前記基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加して、カソード電極の前記金属Ｔｉとアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記基体表面をＴｉボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して１０Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する前記基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつそれぞれのカソード電極（前記Ａｌ最低含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ合金およびＡｌ最高含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ合金）とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記基体の表面に、層厚方向に沿って表１に示される目標組成のＡｌ最低含有点とＡｌ最高含有点とが交互に同じく表１に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ａｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表１に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆歯切工具１〜６をそれぞれ製造した。
【００１６】
また、比較の目的で、上記の２種類の材質の基体（歯切工具本体）を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図２に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として種々の成分組成をもったＡｌ−Ｔｉ合金（本願発明の上記のＡｌ最低含有点形成用Ａｌ−Ｔｉ合金に相当するＡｌ−Ｔｉ合金）を装着し、またボンバート洗浄用金属Ｔｉも装着し、まず装置内を排気して０．５Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を４００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する前記基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加して、カソード電極の前記金属Ｔｉとアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記基体表面をＴｉボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して１０Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する前記基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつそれぞれのカソード電極とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記基体の表面に、表２に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆歯切工具１〜６をそれぞれ製造した。
【００１７】
つぎに、上記の本発明被覆歯切工具１〜６および従来被覆歯切工具１〜６を用いて、材質がＪＩＳ・ＳＣｒ４２０Ｈの低合金鋼にして、モジュール：１．７５、圧力角：１７．５度、歯数：３３、ねじれ角：３６度左捩れ、歯丈：５．３６ｍｍ、歯幅：１５．５ｍｍの寸法および形状をもった歯車の加工を、
切削速度（回転速度）：２５０ｍ／ｍｉｎ、
送り：２．５ｍｍ／ｒｅｖ、
加工形態：クライム、シフトなし、ドライ（エアーブロー）、
の条件で高速歯切加工（上記の材質がＪＩＳ・ＳＣｒ４２０Ｈの低合金鋼歯車の加工の場合の切削速度は通常１５０ｍ／ｍｉｎ）で行い、逃げ面摩耗幅が０．２ｍｍに至るまでの歯車加工数を測定した。この測定結果を表１，２それぞれに示した。
【００１８】
（実施例２）
また、歯切工具本体として、同じく材質がＪＩＳ・ＳＫＨ５５および同ＳＫＨ５１の高速度工具鋼からなる外径：１５０ｍｍ×厚さ：２５ｍｍの寸法をもった素材から、機械加工にてピッチ円直径：１００ｍｍ×厚さ：２２ｍｍの全体寸法をもち、かつカッタ歯数：４０の形状をもった図４に概略斜視図で示されるディスク型ピニオンカッタ（ＪＩＳ・Ｂ・４３５６記載の１００形）を製造した。
【００１９】
ついで、上記の歯切工具本体（ピニオンカッタ）を基体とし、これらの基体の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、層厚方向に沿って表１に示される目標組成のＡｌ最低含有点とＡｌ最高含有点とが交互に同じく表１に示される目標間隔で繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ａｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、かつ同じく表１に示される目標全体層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆歯切工具７〜１２をそれぞれ製造した。
【００２０】
また、比較の目的で、上記の歯切工具本体（ピニオンカッタ）の基体を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表２に示される目標組成および目標層厚を有し、かつ層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆歯切工具７〜１２をそれぞれ製造した。
【００２１】
つぎに、上記の本発明被覆歯切工具７〜１２および従来被覆歯切工具７〜１２を用いて、材質がＪＩＳ・ＳＣｒ４２０Ｈの低合金鋼にして、モジュール：２．５、圧力角：２０度、歯数：３６、歯幅：２５ｍｍの寸法および形状をもった歯車の加工を、
ストローク数：１０００ストローク／ｍｉｎ、
円周送り：０．５ｍｍ／ストローク、
半径送り：０．０２ｍｍ／ストローク、
の条件で高速歯切加工（上記の材質がＪＩＳ・ＳＣｒ４２０Ｈの低合金鋼歯車の加工の場合のストローク数は通常６００ストローク／ｍｉｎ）で行い、逃げ面摩耗幅が０．２ｍｍに至るまでの歯車加工数を測定した。この測定結果を表１，２にそれぞれ示した。
【００２２】
【表１】
2004209608.tif 000002
【００２３】
【表２】
2004209608.tif 000003
【００２４】
この結果得られた本発明被覆歯切工具１〜１２および従来被覆歯切工具１〜１２を構成する硬質被覆層について、厚さ方向に沿ってオージェ分光分析装置を用いてＡｌおよびＴｉの含有量を測定した。これらの測定結果から、本発明被覆歯切工具１〜１２の硬質被覆層では、厚さ方向に沿って目標組成と実質的に同じ組成を有するＡｌ最高含有点とＡｌ最低含有点とが目標間隔と実質的に同じ間隔で交互に存在し、かつ硬質被覆層の全体平均層厚も目標全体層厚と実質的に同じ値を示し、さらに前記Ａｌ最高含有点から前記Ａｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造をもつことも確認された。一方従来被覆歯切工具１〜１２の硬質被覆層においては、厚さ方向に沿って組成変化が見られず、かつ目標組成と実質的に同じ組成および目標全体層厚と実質的に同じ全体平均層厚を示すことが確認された。
【００２５】
【発明の効果】
表１，２に示される結果から、硬質被覆層が層厚方向にＡｌ最低含有点とＡｌ最高含有点とが交互に所定間隔をおいて繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から前記Ａｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から前記Ａｌ最高含有点へＡｌ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有する本発明被覆歯切工具１〜１２は、いずれも鋼製歯車の歯切加工を、高い発熱を伴う高速歯切加工条件で行なった場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が層厚方向に沿って実質的に組成変化のない（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層からなる従来被覆歯切工具１〜１２においては、高温を伴う高速歯切加工では高温特性不足が原因で切刃の摩耗進行が速く、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の被覆歯切工具は、通常の条件での歯切加工は勿論のこと、特に各種の鋼製歯車などの歯切加工を、高い発熱を伴う高速条件で行なった場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮し、長期に亘ってすぐれた性能を示すものであるから、歯切加工装置の高性能化、並びに歯切加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の被覆歯切工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いたアークイオンプレーティング装置を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略正面図である。
【図２】従来被覆歯切工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いた通常のアークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
【図３】ソリッドホブの概略斜視図である。
【図４】ディスク型ピニオンカッタの概略斜視図である。
【図１】
2004209608.tif 000004
【図２】
2004209608.tif 000005
【図３】
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【図４】
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