(57)【要約】【課題】基板の変形、複屈折、厚みの変動及び基板端面の感光性樹脂の液だれを生じさせることなく、次世代の高密度記録に対応することができる情報記録媒体用基板の製造方法を提供する。【解決手段】スタンパ３を低速回転させながらスタンパ３の情報記録面に感光性樹脂２を塗布し、スタンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂２上に基板７を設置し、スタンパ３と基板７との間に感光性樹脂２を挟んだ状態でスタンパ３を高速回転させて感光性樹脂２を基板７の全面に展開し、基板７の全面に展開された感光性樹脂２に対して光を照射して感光性樹脂２を硬化させ、感光性樹脂２上にスタンパ３の情報記録面を転写し、感光性樹脂２上にスタンパ３の情報記録面が転写された基板７をスタンパ３から分離させる。【選択図】図４
2004006040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　スタンパの上に液状の樹脂を供給し、
　前記樹脂の上に基板を設置して前記スタンパと前記基板との間に前記樹脂を挟み、
　前記スタンパを第１の速度で回転させて前記樹脂を前記基板に展開した後に、前記スタンパを前記第１の速度よりも速い第２の速度で回転させ、
　前記樹脂を硬化させ、
　硬化させた前記樹脂と前記基板とを一体として前記スタンパから分離することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項２】
　前記スタンパを前記第２の速度で回転させることにより、前記樹脂のうち余分な樹脂を排出することを特徴とする請求項１記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項３】
　前記余分な樹脂とともに前記樹脂に混入した気泡が排出されることを特徴とする請求項２記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項４】
　スタンパの上に液状の樹脂を供給し、
　前記樹脂の上に基板を設置して前記スタンパと前記基板との間に前記樹脂を挟み、
　前記スタンパを回転させることにより、前記樹脂を前記基板に展開するとともに、前記樹脂のうち余分な樹脂および前記樹脂に混入した気泡を排出し、
　前記樹脂を硬化させ、
　硬化させた前記樹脂と前記基板とを一体として前記スタンパから分離することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項５】
　前記スタンパを回転させるときに、前記スタンパを第１の速度で回転させて前記樹脂を前記基板に展開した後に、前記スタンパを前記第１の速度よりも速い第２の速度で回転させて前記余分な樹脂および前記気泡を排出することを特徴とする請求項４記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項６】
　前記樹脂が感光性樹脂であることを特徴とする請求項１または４記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項７】
　前記スタンパを回転させながら前記樹脂に光を照射することにより前記樹脂を硬化させることを特徴とする請求項６記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項８】
　硬化前の前記樹脂の粘度が５５０ｃｐ以下であることを特徴とする請求項１または４記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項９】
　硬化後の前記樹脂の厚さが１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１または４記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１０】
　硬化後の前記樹脂と前記基板とが一体になったものの厚みの変動が±５μｍ以内であることを特徴とする請求項１または４記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１１】
　前記第１の速度が約１０００ｒｐｍであり、前記第２の速度が約４０００ｒｐｍであり、硬化前の前記樹脂の粘度が５５０ｃｐ以下であり、硬化後の前記樹脂の厚さが１０μｍ以下であり、硬化後の前記樹脂と前記基板とが一体になったものの厚みの変動が±５μｍであることを特徴とする請求項１または５記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１２】
　スタンパの上に液状の第１の樹脂を供給し、
　前記スタンパを回転させて前記第１の樹脂を前記スタンパの上に展開し、
　前記第１の樹脂を硬化させ、
　前記第１の樹脂の上に前記第１の樹脂とは特性が異なる液状の第２の樹脂を供給し、
　前記第２の樹脂の上に基板を設置して前記第１の樹脂と前記基板との間に前記第２の樹脂を挟み、
　前記スタンパを回転させて前記第２の樹脂を前記基板に展開し、
　前記第２の樹脂を硬化させ、
　前記第１の樹脂、前記第２の樹脂および前記基板を一体として前記スタンパから分離することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１３】
　前記第１の樹脂または前記第２の樹脂を展開させるときに、前記スタンパを第１の速度で回転させて前記第１の樹脂または前記第２の樹脂を展開した後に、前記スタンパを前記第１の速度よりも速い第２の速度で回転させることを特徴とする請求項１２記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１４】
　前記スタンパを前記第２の速度で回転させることにより、前記樹脂のうち余分な樹脂を排出することを特徴とする請求項１３記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１５】
　前記余分な樹脂とともに前記樹脂に混入した気泡が排出されることを特徴とする請求項１４記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１６】
　前記第１の樹脂または前記第２の樹脂が感光性樹脂であることを特徴とする請求項１２記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１７】
　前記スタンパを回転させながら前記第１の樹脂または前記第２の樹脂に光を照射することにより、前記第１の樹脂または前記第２の樹脂をそれぞれ硬化させることを特徴とする請求項１６記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１８】
　硬化前の前記第１の樹脂または硬化前の前記第２の樹脂の粘度が５５０ｃｐ以下であることを特徴とする請求項１２記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項１９】
　硬化後の前記第１の樹脂および硬化後の前記第２の樹脂が一体となったものの厚さが１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１２記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項２０】
　硬化後の前記第１の樹脂、硬化後の前記第２の樹脂および前記基板が一体となったものの厚みの変動が±５μｍ以内であることを特徴とする請求項１２記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【請求項２１】
　前記第１の速度が約１０００ｒｐｍであり、前記第２の速度が約４０００ｒｐｍであり、硬化前の前記第１の樹脂および硬化前の前記第２の樹脂の粘度が５５０ｃｐ以下であり、硬化後の前記第１の樹脂および硬化後の前記第２の樹脂が一体となったものの厚さが１０μｍ以下であり、硬化後の前記第１の樹脂、硬化後の前記第２の樹脂および前記基板が一体となったものの厚みの変動が±５μｍ以内であることを特徴とする請求項１３記載の情報記録媒体用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、情報記録媒体用基板の製造方法に関し、特に、感光性樹脂（Photo−polymer樹脂：２Ｐ樹脂）を用いた情報記録媒体用基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　従来の光デイスク基板等の情報記録媒体用基板の製造方法としては、大きく分類して射出成形法、２Ｐ（Photo−polymerization）法の２つの方法が挙げられる。
【０００３】
　射出成形法とは、表面に凹凸形状の情報記録面を有するスタンパを金型に取り付け、この金型の中にポリカーボネイト等のプラスチック材料を射出して情報記録媒体用基板を成形する方法である。
【０００４】
　一方、２Ｐ法とは、基板に光照射により硬化する感光性樹脂を塗布し、この感光性樹脂を加圧圧延により基板全面に展開し、この感光性樹脂に対して、スタンパの凹凸形状の情報記録面を接触させて光を照射し、この光照射により感光性樹脂を硬化させてスタンパの情報記録面を感光性樹脂に転写し、その後、スタンパから基板を分離させて情報記録媒体用基板を製造する方法である。
【０００５】
　しかしながら、上述したような従来の情報記録媒体用基板の製造方法においては、以下に記載するような問題点がある。
【０００６】
　まず、射出成形法においては、スタンパの情報記録面の転写性の向上と基板の平坦性の確保との両立が極めて困難である。基板の平坦性の確保を優先させるとスタンパの情報記録面の転写性が劣化し、また、スタンパの情報記録面の転写性を優先させると、反り、チルト、複屈折等が生じ、基板の平坦性が劣化してしまう。
【０００７】
　また、ガラスや金属が使用できないことから、ポリカーボネイト等のプラスチック材料を使用するため、情報記録媒体用基板の厚みに±１５μｍ程度の変動が生じてしまう。
【０００８】
　情報記録媒体用基板の厚みは、現在、ＤＶＤ−ＲＡＭで使用されているレーザ波長６５０ｎｍ、レンズ開口数ＮＡ０．６の条件下では、変動マージンが±２０μｍ以内に設定されているが、次世代の高密度記録ではレーザ波長４００ｎｍの青色レーザ、レンズの開口数ＮＡ０．８５の条件下で情報記録媒体用基板が使用されることが予想され、この条件下では、変動マージンが±５μｍ以内に設定されると推測される。
【０００９】
　このため、次世代の高密度記録用の情報記録媒体用基板を射出成形法で製造することは極めて困難である。
【００１０】
　また、２Ｐ法においては、上述した射出成形法と比較して、ガラス基板やＡｌ等の金属基板を使用できるという利点を有しているが、一方では、基板上に感光性樹脂を塗布する工程で感光性樹脂への気泡の混入が生じたり、感光性樹脂を加圧圧延により基板全面に展開する工程で感光性樹脂の膜厚の変動が生じたりする。これにより、情報記録媒体用基板全体としての厚みの変動が大きくなるとともに、基板の端面で感光性樹脂の液だれが生じてしまうおそれがある。
【００１１】
　また、感光体樹脂に粘度が比較的高いものを使用しているため、感光性樹脂の膜厚が３０μｍ程度の厚いものとなり、これに伴い、感光性樹脂の膜厚の変動は±５μｍ程度になる。これにより、感光性樹脂を塗布する基板が、厚みの変動が±３μｍ程度の平坦性に優れるものであったとしても、基板と感光性樹脂とを併せた情報記録媒体用基板全体としての厚みの変動は±８μｍ程度の大きなものになってしまう。
【００１２】
　このため、２Ｐ法における上記問題点を解決するために、情報記録媒体用基板の製造方法として種々の方法が提案されている。
【００１３】
　感光性樹脂への気泡の混入を防止する方法としては、例えば、特許文献１においては、感光性樹脂（２Ｐ樹脂）液の塗布面を下向きにする方法が開示されており、また、特許文献２〜４においては、エアーバッグや真空槽や加圧振動装置等の特殊な装置を用いる方法が開示されている。
【００１４】
　しかしながら、２Ｐ樹脂液の塗布面を下向きにするものにおいては、塗布面を下向きにした時に２Ｐ樹脂液がたれ流れ易いという問題点があり、また、エアーバツグや真空槽や加圧振動装置等の特殊な装置を用いるものにおいては、特殊な装置が必要となるだけでなく、これらの特殊な装置の操作が複雑になってしまうという問題点がある。
【００１５】
　また、情報記録媒体用基板の端面における感光性樹脂の液だれを防止する方法としては、例えば、特許文献５において、基板からはみ出した感光性樹脂を真空吸着によって取り除く方法が開示されている。
【００１６】
　しかしながら、基板からはみ出した感光性樹脂を真空吸着によって取り除くものにおいては、真空吸着を行うための特殊な装置が必要となるだけでなく、この特殊な装置の操作が複雑になってしまうという問題点がある。
【００１７】
　２Ｐ法に用いられる感光性樹脂としては、基板に対する密着性が高く、かつ、スタンパに対する離型性が良い材料を用いる必要があるが、これらを共に満足させることは困難である。このため、最近では、基板に予めプライマリー処理を施し、基板と感光性樹脂との密着性を高める方法が採用されている。
【００１８】
　しかしながら、基板と感光性樹脂との密着性を高めたとしても、依然としてスタンパと感光性樹脂との密着性は高いままであるため、スタンパの情報記録面が感光性樹脂に転写された基板をスタンパから分離させる際には、強い力で基板を分離させる必要がある。
【００１９】
　これにより、基板が変形したり、基板に対する応力の増加により複屈折が生じたりするため、薄い基板を使用できないという問題点がある。
【００２０】
　感光性樹脂とスタンパとの離型性を向上させるとともに、基板と感光性樹脂との密着性を向上させる方法としては、例えば、特許文献６において、基板上に、基板との密着性が高い第１層のフォトポリマー層及びスタンパとの離型性が良い第２層のフオトポリマー層を順次積層する方法が開示されている。
【００２１】
　しかしながら、基板上に第１層及び第２層のフオトポリマー層を順次積層したものにおいても、従来の２Ｐ法と同様に、上述した加圧圧延方式を用いて感光性樹脂を基板全面へ展開させているため、感光性樹脂への気泡の混入や基板端面の感光性樹脂の液だれを回避することができないという問題点や、光ディスク基板全体としての厚みの変動が大きなものになってしまうという問題点が依然として残存する。
【特許文献１】特開昭６３−１４０４３８号公報
【特許文献２】特開平２−１２６４３４号公報
【特許文献３】特開平３−１７３９５５号公報
【特許文献４】特開平６−１６８４８号公報
【特許文献５】特開平５−４７０５１号公報
【特許文献６】特開昭６２−３６７５６号公報
【特許文献７】特開昭６３−１０８５４２号公報
【特許文献８】特開平９−１６１３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
　本発明は上述したような従来の技術が有する問題点に鑑みてなされたものであって、基板の変形、複屈折、厚みの変動及び基板端面の感光性樹脂の液だれを生じさせることなく、次世代の高密度記録に対応することができる情報記録媒体用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
　上記目的を達成するために本発明の一態様による情報記録媒体用基板の製造方法は、スタンパの上に液状の樹脂を供給し、前記樹脂の上に基板を設置して前記スタンパと前記基板との間に前記樹脂を挟み、前記スタンパを第１の速度で回転させて前記樹脂を前記基板に展開した後に、前記スタンパを前記第１の速度よりも速い第２の速度で回転させ、前記樹脂を硬化させ、硬化させた前記樹脂と前記基板とを一体として前記スタンパから分離することを特徴とするものである。
【００２４】
　この場合、前記スタンパを前記第２の速度で回転させることにより、前記樹脂のうち余分な樹脂を排出することとしても良く、また、前記余分な樹脂とともに前記樹脂に混入した気泡が排出されることとしても良い。
【００２５】
　上記目的を達成するために本発明の他の態様による情報記録媒体用基板の製造方法は、スタンパの上に液状の樹脂を供給し、前記樹脂の上に基板を設置して前記スタンパと前記基板との間に前記樹脂を挟み、前記スタンパを回転させることにより、前記樹脂を前記基板に展開するとともに、前記樹脂のうち余分な樹脂および前記樹脂に混入した気泡を排出し、前記樹脂を硬化させ、硬化させた前記樹脂と前記基板とを一体として前記スタンパから分離することを特徴とするものである。
【００２６】
　この場合、前記スタンパを回転させるときに、前記スタンパを第１の速度で回転させて前記樹脂を前記基板に展開した後に、前記スタンパを前記第１の速度よりも速い第２の速度で回転させて前記余分な樹脂および前記気泡を排出することとしても良い。
【００２７】
　上記目的を達成するために本発明のさらに他の態様による情報記録媒体用基板の製造方法は、スタンパの上に液状の第１の樹脂を供給し、前記スタンパを回転させて前記第１の樹脂を前記スタンパの上に展開し、前記第１の樹脂を硬化させ、前記第１の樹脂の上に前記第１の樹脂とは特性が異なる液状の第２の樹脂を供給し、前記第２の樹脂の上に基板を設置して前記第１の樹脂と前記基板との間に前記第２の樹脂を挟み、前記スタンパを回転させて前記第２の樹脂を前記基板に展開し、前記第２の樹脂を硬化させ、前記第１の樹脂、前記第２の樹脂および前記基板を一体として前記スタンパから分離することを特徴とするものである。
【００２８】
　この場合、前記第１の樹脂または前記第２の樹脂を展開させるときに、前記スタンパを第１の速度で回転させて前記第１の樹脂または前記第２の樹脂を展開した後に、前記スタンパを前記第１の速度よりも速い第２の速度で回転させることとしても良い。また、前記スタンパを前記第２の速度で回転させることにより、前記樹脂のうち余分な樹脂を排出することとしても良く、また、前記余分な樹脂とともに前記樹脂に混入した気泡が排出されることとしても良い。
【発明の効果】
【００２９】
　本発明においては、展開工程において、スタンパと基板との間に感光性樹脂を挟んだ状態、あるいは、スタンパ上に感光性樹脂が塗布された状態でスタンパを高速回転させているため、感光性樹脂を、基板全面、あるいは、スタンパ全面に薄く均一に展開することができるとともに、基板設置工程時に基板とスタンパとの間の感光性樹脂に気泡が混入した場合にも、この気泡を余分な感光性樹脂と共に基板とスタンパとの間から排出することができる。
【００３０】
　これにより、感光性樹脂の膜厚の変動を低減することができ、これに伴い、情報記録媒体用基板全体としての基板厚の変動を低減することができるため、次世代の高密度記録にも対応することができる。また、基板端面への感光性樹脂の付着を低減することができるため、感光性樹脂の液だれを防止することができる。
【００３１】
　また、スタンパの情報記録面が転写される転写層と、転写層と基板との密着性を向上させる接着層とを分離して形成したものにおいては、転写層にスタンパとの離型性を向上させる材料を用いることにより、分離工程時において、スタンパから基板を分離させる時に基板にかかる応力を低減することができる。
【００３２】
　これにより、プラスチック製の柔らかい基板や、ガラス製や金属製の薄い基板を情報記録媒体用の基板として使用することができる。また、基板にかかる応力が低減されるとともに、基板の変形が生じることがないため、複屈折、反り及びチルトが少ない良好な機械特性を有し、かつ、平坦性に優れる情報記録媒体用基板を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
　以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３４】
　　（第１の実施の形態）
　図１〜図６は、本発明の情報記録媒体用基板の製造方法の第１の実施の形態における各製造工程を説明するための図である。
【００３５】
　まず、本形態に使用される製造装置の一例について図１〜図６を参照して説明する。
【００３６】
　図１〜図６に示すように本例においては、表面に凹凸形状の情報記録面を具備するスタンパ３と、スタンパ３を固定するためのスタンパ保持台４と、スタンパ保持台４を保持するとともに、スタンパ３及びスタンパ保持台４を回転させるためのターンテーブル５と、ターンテーブル５により回転しているスタンパ３の情報記録面に第１の感光性樹脂である感光性樹脂２を塗布する塗布バレル１と、基板７の芯出しを行うとともに、塗布バレル１により感光性樹脂２が塗布されたスタンパ３上に基板７を設置するための治具であるセンターピン６と、スタンパ３上への基板７の設置が完了した後、スタンパ３上に塗布された感光性樹脂２を紫外線照射により硬化させるためのＵＶランプ８と、ＵＶランプ８により感光性樹脂２が硬化した後、基板７をスタンパ３から分離させるための治具である引き離し治具１０とが設けられている。
【００３７】
　なお、感光性樹脂２に対するＵＶランプ８からの紫外線照射は、熱線カットガラス９を介して行われる。これは、ＵＶランプ８からの紫外線照射により、感光性樹脂２や基板７が熱変形することを防止するためである。
【００３８】
　スタンパ３は、熱硬化型嫌気性樹脂を用いてスピンコート法によりスタンパ保持台４上に固定されている。
【００３９】
　センターピン６は、基板７の芯出し機能及び基板７をスタンパ３から分離させるための引き離し治具としての機能も備えている。
【００４０】
　以下に、上記のように構成された製造装置を用いた各製造工程について説明する。
【００４１】
　図１は、スタンパ３の凹凸形状の情報記録面に感光性樹脂（Photo−polymer樹脂：２Ｐ樹脂）２を塗布する塗布工程を説明するための図である。
【００４２】
　図１に示すように、スタンパ３の凹凸形状の情報記録面が上を向くようにスタンパ３をスタンパ保持台４に固定し、スタンパ保持台４に固定されたスタンパ３を、ターンテーブル５により約３０ｒｐｍの低速回転で回転させる。
【００４３】
　次に、低速回転しているスタンパ３の情報記録面に対して、塗布用バレル１から約２ｇの感光性樹脂２を塗布する。
【００４４】
　このとき、スタンパ３は低速回転しているため、塗布用バレル１からスタンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂２は、スタンパ３上でドーナツ状に塗布されることになる。なお、本形態に用いる感光性樹脂２は、スリーボンド製３０Ｙ−２６６Ａ−１（粘度１８０ｃＰ）であり、光照射により硬化する光硬化性の樹脂である。
【００４５】
　図２は、スタンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂２上に基板７を設置する基板設置工程を説明するための図である。また、図３は、図２に示す基板設置工程が完了した状態を示す図である。
【００４６】
　図２及び図３に示すように、スタンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂２上に、センターピン６に接続された基板７を、センターピン６と共に設置する。
【００４７】
　このとき、スタンパ３と基板７との間にある感光性樹脂２に気泡が混入する場合があるが、この場合は、図１に示した感光性樹脂２の塗布工程において、スタンパ３の情報記録面に塗布する感光性樹脂２の量を大目に（約４ｇ）することで、この気泡を次工程の展開工程で取り除くことが可能である。
【００４８】
　図４は、スタンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂２を基板７の全面に展開する展開工程を説明するための図である。
【００４９】
　図４に示すように、基板７の設置が完了し、スタンパ３と基板７との間に感光性樹脂２を挟んだ状態で、スタンパ３をターンテーブル５により約１０００ｒｐｍの中速回転で２０秒間回転させて感光性樹脂２を基板７の全面に展開させ、その後、スタンパ３をターンテーブル５により約４０００ｒｐｍの高速回転で回転させる。
【００５０】
　スタンパ３を高速で回転させることにより、スタンパ３と基板７との間に存在していた感光性樹脂２のうち、余分な樹脂及び感光性樹脂２に混入していた気泡がスタンパ３と基板７との間から排出される。このように、感光性樹脂２のうち、余分な樹脂及び気泡が排出されるため、基板７の端面への感光性樹脂２の付着や、これに伴う感光性樹脂２の液だれも回避される。
【００５１】
　図５は、感光性樹脂２の硬化工程を説明するための図である。
【００５２】
　図５に示すように、スタンパ３をターンテーブル５により３０ｒｐｍ程度の低速回転で回転させながら、スタンパ３上で基板７の全面に展開された感光性樹脂２に対して、ＵＶランプ８から熱線カットガラス９を介して紫外線を照射する。
【００５３】
　これにより、感光性樹脂２が硬化するとともに、硬化した感光性樹脂２にスタンパ３の情報記録面が転写されることになる。
【００５４】
　スタンパ３を低速で回転させながら、基板７の全面に展開された感光体樹脂２に対して、ＵＶランプ８から紫外線照射を行うことにより、均一な紫外線照射が可能になる。
【００５５】
　また、感光性樹脂２と感光性樹脂２の硬化用の光との組み合わせは、任意な選択が可能であり、スタンパ３に石英等の透明なものを使用し、スタンパ３側から感光性樹脂２に対して光照射を行うことも可能である。
【００５６】
　図６は、スタンパ３の情報記録面が感光性樹脂２に転写された基板７をスタンパ３から分離させる分離工程を説明するための図である。
【００５７】
　図６に示すように、センターピン６に引き離し治具１０を接続し、引き離し治具１０を上方に引き上げる。
【００５８】
　これにより、基板７がスタンパ３から分離され、スタンパ３の情報記録面が感光性樹脂２に転写された情報記録媒体用基板が完成する。
【００５９】
　上述したような製造方法により製造された情報記録媒体用基板は、基板７の厚みの変動が±３．５μｍ、感光性樹脂２の膜厚が４．６±０．２５μｍであり、これらを併せた情報記録媒体用基板全体としての厚みの変動は±３．７５μｍとなった。
【００６０】
　また、感光体樹脂２に粘度が５３０ｃＰの材料を用いて上述したような製造方法により情報記録媒体用基板を製造した場合においては、完成した情報記録媒体用基板の感光性樹脂の膜厚は、９．７５±１．１５μｍであり、基板７の厚みの変動の±３．５μｍと併せて、情報記録媒体用基板全体としての厚みの変動は±４．６５μｍとなった。
【００６１】
　従って、次世代の高密度記録用の情報記録媒体用基板の条件である、厚みの変動が±５μｍ以内の条件を満足させるためには、感光性樹脂の粘度が、５５０ｃＰ以下であり、また、感光性樹脂の膜厚が、１０μｍ以下であることが望ましい。
【００６２】
　　（第２の実施の形態）
　図７〜図１５は、本発明の情報記録媒体用基板の製造方法の第２の実施の形態における各製造工程を説明するための図である。
【００６３】
　本形態は、上述した第１の実施の形態に対して、２種類の感光性樹脂１１，１３を使用し、スタンパ３との離型性を向上させるための転写層１２と、転写層１２と基板７との密着性を向上させるための接着層１４とを分離して形成するものである。
【００６４】
　なお、以下に記載する各製造工程において、第１の実施の形態と同一の符号を付したものについては、構成及び動作が同様であるため説明を省略する。
【００６５】
　まず、スタンパ３との離型性を向上させる転写層１２を形成する製造工程について、図７〜図９を参照して説明する。
【００６６】
　図７は、スタンパ３の凹凸形状の情報記録面に第１の感光性樹脂である感光性樹脂（Photo−polymer樹脂：２Ｐ樹脂）１１を塗布する第１の塗布工程を説明するための図である。
【００６７】
　図７に示すように、スタンパ３の凹凸形状の情報記録面が上を向くようにスタンパ３をスタンパ保持台４に固定し、スタンパ保持台４に固定されたスタンパ３を、ターンテーブル５により約３０ｒｐｍの低速回転で回転させ、低速回転しているスタンパ３の情報記録面に対して、塗布用バレル１から約１ｇの感光性樹脂１１を塗布する。
【００６８】
　このとき、スタンパ３は低速回転しているため、塗布用バレル１からスタンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂１１は、スタンパ３上でドーナツ状に塗布されることになる。なお、本形態に用いる感光性樹脂１１は、スリーボンド製３０Ｙ−２６６Ｂ−１（粘度１８０ｃＰ）であり、光照射により硬化する光硬化特性を有するとともに、スタンパ３に対して優れた離型性を有している。
【００６９】
　図８は、スタンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂１１を、スタンパ３の情報記録面の全面へ展開する第１の展開工程を説明するための図である。
【００７０】
　図８に示すように、スタンパ３の情報記録面に感光性樹脂１１が塗布された状態で、スタンパ３をターンテーブル５により約１０００ｒｐｍの中速回転で１０秒間回転させて感光性樹脂１１をスタンパ３の情報記録面の全面に展開させ、その後、スタンパ３をターンテーブル５により約４０００ｒｐｍの高速回転で回転させる。
【００７１】
　スタンパ３を高速で回転させることにより、感光性樹脂１１をスタンパ３の情報記録面の全面に更に薄く均一に展開させることができるとともに、スタンパ３の情報記録面に塗布された感光性樹脂１１のうち、余分な樹脂がスタンパ３の情報記録面から排出される。このように、感光性樹脂１１のうち、余分な樹脂が排出されるため、基板７の端面への感光性樹脂１１の付着や、これに伴う感光性樹脂１１の液だれも回避される。
【００７２】
　図９は、感光性樹脂１１を硬化させて転写層１２を形成する第１の硬化工程を説明するための図である。
【００７３】
　図９に示すように、スタンパ３をターンテーブル５により約３０ｒｐｍの低速回転で回転させながら、スタンパ３の情報記録面の全面へ展開された感光性樹脂１１に対して、ＵＶランプ８から熱線カットガラス９を介して紫外線を照射する。
【００７４】
　これにより、感光性樹脂１１が硬化して転写層１２が形成され、転写層１２上にスタンパ３の情報記録面が転写されることになる。
【００７５】
　上記のようにスタンパ３の情報記録面に形成された転写層１２の膜厚は、４．６±０．２５μｍであった。
【００７６】
　次に、スタンパ３の情報記録面に形成された転写層１２上に、転写層１２と基板７との密着性を向上させる接着層１４を形成する製造工程について、図１０〜図１４を参照して説明する。
【００７７】
　図１０は、スタンパ３の情報記録面に形成された転写層１２上に第２の感光性樹脂である感光性樹脂（Photo−polymer樹脂：２Ｐ樹脂）１３を塗布する第２の塗布工程を説明するための図である。
【００７８】
　図１０に示すように、転写層１２が形成されたスタンパ３をターンテーブル５により約３０ｒｐｍの低速回転で回転させ、低速回転しているスタンパ３上に形成された転写層１２に対して、塗布用バレル１から約１ｇの感光性樹脂１３をドーナツ状に塗布する。なお、本形態に用いる感光性樹脂１３は、大日本インキ化学工業ＳＤ−３１８（粘度１２８ｃＰ）であり、光照射により硬化する光硬化特性を有するとともに、転写層１２と基板７との密着性を向上させるものである。
【００７９】
　図１１は、感光性樹脂１３が塗布された転写層１２上に基板７を設置する基板設置工程を説明するための図である。また、図１２は、図１１に示す基板設置工程が完了した状態を示す図である。
【００８０】
　図１１及び図１２に示すように、転写層１２上に塗布された感光性樹脂１３上に、センターピン６に接続された基板７を、センターピン６と共に設置する。
【００８１】
　このとき、転写層１２と基板７との間にある感光性樹脂１３に気泡が混入する場合があるが、この場合には、図１０に示した感光性樹脂１３の塗布工程において、転写層１２上に塗布する感光性樹脂１３の量を大目（４ｇ程度）にすることで、この気泡を次工程の展開工程で取り除くことが可能である。
【００８２】
　図１３は、転写層１２上に塗布された感光性樹脂１３を基板７の全面に展開する第２の展開工程を説明するための図である。
【００８３】
　図１３に示すように、基板７の設置が完了し、転写層１２と基板７との間に感光性樹脂１３を挟んだ状態で、スタンパ３をターンテーブル５により約１０００ｒｐｍで１０秒間回転させて転写層１２上に塗布された感光性樹脂１３を基板７の全面に展開させ、その後、スタンパ３をターンテーブル５により約４０００ｒｐｍの高速回転で回転させる。
【００８４】
　スタンパ３を高速で回転させることにより、転写層１２上に塗布された感光性樹脂１３を基板７の全面に更に薄く均一に展開させることができるとともに、転写層１２と基板７との間に存在していた感光性樹脂１３のうち、余分な樹脂及び感光性樹脂１３に混入していた気泡が転写層１２と基板７との間から排出される。このように、感光性樹脂１３のうち、余分な樹脂及び気泡が排出されるため、基板７の端面への感光性樹脂１３の付着や、これに伴う感光性樹脂１３の液だれも回避される。
【００８５】
　図１４は、感光性樹脂１３の第２の硬化工程を説明するための図である。
【００８６】
　図１４に示すように、スタンパ３をターンテーブル５により３０ｒｐｍ程度の低速回転で回転させながら、スタンパ３に形成された転写層１２上で基板７の全面に展開された感光性樹脂１３に対して、ＵＶランプ８から熱線カットガラス９を介して紫外線を照射する。
【００８７】
　これにより、感光性樹脂１３が硬化して接着層１４が形成され、基板７と転写層１２とが接着層１４を介して密着することになる。
【００８８】
　図１５は、転写層１２及び接着層１４が形成された基板７をスタンパ３から分離させる分離工程を説明するための図である。
【００８９】
　図１５に示すように、センターピン６に引き離し治具１０を接続し、引き離し治具１０を上方に引き上げることにより、スタンパ３から基板７を分離させる。
【００９０】
　これにより、基板７上に、スタンパ３の情報記録面が転写された転写層１２と、転写層１２と基板７との密着性を向上させる接着層１４とが形成された情報記録媒体用基板が完成する。
【００９１】
　上述したような製造方法により製造された情報記録媒体用基板は、基板７の厚み変動が±３．５μｍ、転写層１２の膜厚が４．６±０．２５μｍ、接着層１４の膜厚が４．１５±０．２５μｍであり、これらを併せた情報記録媒体用基板全体としての厚み変動は±４．０μｍとなる。
【００９２】
　従って、次世代の高密度記録用の情報記録媒体用基板の条件である、厚みの変動が±５μｍ以内の条件を満足させるためには、上述した第１の実施の形態における結果に基づいて、感光性樹脂１１，１３の粘度が、５５０ｃＰ以下であり、また、転写層１２及び接着層１４を併せた膜厚が、１０μｍ以下であることが望ましい。
【００９３】
　本形態においては、転写層１２に、スタンパ３との離型性に優れる材料を用いているため、基板７をスタンパ３から分離させる時の力が小さくて済み、これにより、基板の変形が生じることがなく、基板にかかる応力が低減される。
【００９４】
　従って、基板７として、柔らかいポリカーボネイトなどのプラッスチック性の薄い基板や金属性の薄い基板を用いることができる。また、基板にかかる応力が低減されるとともに、基板の変形が生じることがないため、複屈折、反り及びチルトが少ない機械特性を有し、かつ、平坦性に優れる情報記録媒体用基板を製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】スタンパの凹凸形状の情報記録面に感光性樹脂を塗布する塗布工程を説明するための図である。
【図２】スタンパの情報記録面に塗布された感光性樹脂上に基板を設置する基板設置工程を説明するための図である。
【図３】図２に示した基板設置工程が完了した状態を示す図である。
【図４】スタンパの情報記録面に塗布された感光性樹脂を基板の全面に展開する展開工程を説明するための図である。
【図５】感光性樹脂の硬化工程を説明するための図である。
【図６】スタンパの情報記録面が感光性樹脂に転写された基板をスタンパから分離させる分離工程を説明するための図である。
【図７】スタンパの情報記録面に第１の感光性樹脂を塗布する第１の塗布工程を説明するための図である。
【図８】スタンパの情報記録面に塗布された第１の感光性樹脂を、スタンパの情報記録面の全面へ展開する第１の展開工程を説明するための図である。
【図９】第１の感光性樹脂を硬化させて転写層を形成する第１の硬化工程を説明するための図である。
【図１０】スタンパの情報記録面に形成された転写層上に第２の感光性樹脂を塗布する第２の塗布工程を説明するための図である。
【図１１】第２の感光性樹脂が塗布された転写層上に基板を設置する基板設置工程を説明するための図である。
【図１２】図１１に示した基板設置工程が完了した状態を示す図である。
【図１３】転写層上に塗布された第２の感光性樹脂を基板の全面に展開する第２の展開工程を説明するための図である。
【図１４】第２の感光性樹脂の第２の硬化工程を説明するための図である。
【図１５】転写層及び接着層が形成された基板をスタンパから分離させる分離工程を説明するための図である。
【符号の説明】
【００９６】
　１　　塗布用バレル
　２　　感光性樹脂（２Ｐ樹脂）
　３　　スタンパ
　４　　スタンパ保持台
　５　　ターンテーブル
　６　　センターピン
　７　　基板
　８　　ＵＶランプ
　９　　熱線カットガラス
　１０　　引き離し治具
　１１　　感光性樹脂
　１２　　転写層
　１３　　感光性樹脂
　１４　　接着層
【図１】
2004006040.tif 000003
【図２】
2004006040.tif 000004
【図３】
2004006040.tif 000005
【図４】
2004006040.tif 000006
【図５】
2004006040.tif 000007
【図６】
2004006040.tif 000008
【図７】
2004006040.tif 000009
【図８】
2004006040.tif 000010
【図９】
2004006040.tif 000011
【図１０】
2004006040.tif 000012
【図１１】
2004006040.tif 000013
【図１２】
2004006040.tif 000014
【図１３】
2004006040.tif 000015
【図１４】
2004006040.tif 000016
【図１５】
2004006040.tif 000017