(57)【要約】【課題】経費及び労力を増加させることなく、バネ部品と積層体とを位置合わせ精度良く貼り合わせる。【解決手段】積層体４とバネ部品６との一方が他方に埋め込まれるようにして貼り合わせて磁気ヘッドサスペンション５を製造する。このような構成によれば、高価な装置を使用することなく、積層体４とバネ部品６とを位置合わせ精度良く貼り合わせることができ、磁気ヘッドサスペンションの製造に要する経費及び労力を削減することができる。【選択図】　　　図１
2004030834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転動作する磁気ディスクの上方に磁気ヘッドを配置する磁気ヘッドサスペンションであって、
電気絶縁層、及び当該電気絶縁層上に積層され、前記磁気ヘッドと接続する電気回路が形成された導電層を有する積層体と、
金属材料から成るバネ部品とを備え、
前記積層体と前記バネ部品とは一方が他方に埋め込まれるようにして張り合わされていること
を特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンションであって、
前記バネ部品は前記積層体と張り合わされる表面に当該積層体の少なくとも一部分の形状と対応する溝部を有し、
前記積層体の少なくとも一部分は前記溝部に挿入されて前記バネ部品と張り合わされていること
を特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
回転動作する磁気ディスクの上方に磁気ヘッドを配置する磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
電気絶縁層、及び当該電気絶縁層上に積層され、前記磁気ヘッドと接続する電気回路が形成された導電層を有する積層体と、金属材料から成るバネ部品とを貼り合わせる接合ステップを有し、
前記接合ステップにおいては、前記積層体と前記バネ部品の一方が他方に埋め込まれるようにして積層体とバネ部品を張り合わせること
を特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記積層体と張り合わされる前記バネ部品の表面に当該積層体の少なくとも一部分の形状と対応する溝部を形成するステップを有し、
前記接合ステップにおいては、前記積層体の少なくとも一部分を前記溝部に挿入して積層体とバネ部品とを張り合わせること
を特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば磁気ディスク装置等の回転式データ記憶装置に適用して好適な、磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、磁気ディスク装置においては、回転動作する磁気ディスクの所望のトラック上に磁気ヘッドを正確に位置決めするために、磁気ヘッドサスペンションが利用されており、この磁気ヘッドサスペンションは、通常、電気絶縁性基板に電気回路となる導電材を積層して形成された積層体上に金属材から成るバネ部品を接着剤で貼りあわせることにより製造されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のように、従来までの磁気ヘッドサスペンションは、バネ部品と積層体とを接着剤で貼りあわせることにより製造される構成となっているために、平面度と直線性を確保しつつ、且つ、再現性及び設置正確度を向上させて製造することが難しい。
【０００４】
このような背景から、例えば引張り装置等の装置を利用した磁気ヘッドサスペンションの製造方法も考えられているが、一般にこのような装置は構成が複雑で非常に高価であるために、磁気ヘッドサスペンションの製造に要する経費が増加してしまう。また、このような装置を利用して磁気ヘッドサスペンションを製造する場合には、バネ部品と積層体の位置合わせ精度を向上させることが難しく、さらに、厳密な条件に基づいて装置及び製造工程を制御しなければならないために磁気ヘッドサスペンションの製造には多くの労力が必要となる。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、経費及び労力を増加させることなく、バネ部品と積層体とを位置合わせ精度良く貼り合わせて磁気ヘッドサスペンションを製造することが可能な、磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法の特徴は、回転動作する磁気ディスクの上方に磁気ヘッドを配置する磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、電気絶縁層、及び電気絶縁層上に積層され、磁気ヘッドと接続する電気回路が形成された導電層を有する積層体と、金属材料から成るバネ部品とを、一方が他方に埋め込まれるようにして張り合わせることにある。
【０００７】
すなわち、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法においては、積層体とバネ部品の一方が他方に埋め込まれるようにして貼り合わせて磁気ヘッドサスペンションを製造する。このような構成によれば、高価な装置を使用することなく、積層体とバネ部品とを位置合わせ精度良く貼り合わせることができるので、磁気ヘッドサスペンションの製造に要する経費及び労力を削減することができる。
【０００８】
なお、積層体と張り合わされるバネ部品の表面に積層体の形状と対応する溝部を形成し、積層体を溝部に挿入して積層体とバネ部品とを張り合わせるようにしてもよい。このような構成によれば、溝部を参考にしてバネ部品に対する積層体の位置を正確に認識し、積層体とバネ部品とを位置合わせ精度良く貼り合わせることが可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションは、例えば図１に示すようなヘッドサスペンションアセンブリに適用することができる。
【００１０】
［ヘッドサスペンションアセンブリの概要］
図１に示すヘッドサスペンションアセンブリ１は、開口部２において磁気ヘッド３が接続される積層体４と、積層体４と貼りあわされて磁気ヘッドサスペンション５を形成するバネ部品６と、バネ部品６と接続する金属板７とを備える。そして、このヘッドサスペンションアセンブリ１は、図５（ｃ）に示す様に、金属板７と接続するアーム部１６により回転動作することにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク上に正確に位置決めする。
【００１１】
［積層体の構造及びその製造方法］
上記積層体４は表面部分に電気回路８を備え、この電気回路８は開口部２に設けられた磁気ヘッド３と接続する。このような構造の積層体４を製造する際は、始めに、図２（ａ）に示すような、２５μｍ程度の膜厚を有する電気絶縁層１１上に１８μｍ程度の膜厚を有する銅層１２が積層された基板を用意する。なお、上記電気絶縁性層１１の材質としては例えばポリイミドを用いるとよい。また、上記銅層１２は電気絶縁層１１上に形成した金属シード層に電解めっき処理を施すことにより形成するとよい。
【００１２】
次に、図２（ｂ）に示すように銅層１２表面に感光性レジスト層１３を形成した後、露光処理及びエッチング処理を施すことにより、図２（ｃ）に示すように、銅層１２から成る電気回路８を形成する。そして、電気回路８の形成が完了すると、図２（ｄ）に示すように、電気回路８上に回路保護のためのエポキシ系樹脂１４を形成、硬化させ回路部１５を形成する。
【００１３】
次に、露光処理及びエッチング処理を施すことにより、図２（ｅ）に示すように、回路部１５が形成されていない箇所の電気絶縁性層１１をエッチングして開口部９ａを形成する。なお、開口部９ａを形成するための電気絶縁層１１のエッチング処理は、例えば強アルカリ性水溶液やプラズマエッチング装置を利用して行うとよい。
【００１４】
最後に、基板洗浄後、エポキシ系樹脂が形成されていない回路部１５に金メッキ処理を施すことにより（図示せず）、積層体４の製造処理は終了する。なお、図２（ｅ）は、図１に示す直線Ａ−Ａ’において積層体４を切断した断面図を示す。
【００１５】
［バネ部品の構造及びその製造方法］
上記バネ部品６は、図１及び図３に示すように、上記積層体４の開口部９ａと対応する位置に形成された開口部９ｂと、この開口部９ｂの周部に形成された溝部１０を備える。後述するように、上記溝部１０には、積層体４と貼り合わされて磁気ヘッドサスペンション５を形成する際、積層体４の電気絶縁層１１が挿入される。
【００１６】
すなわち、より詳しく説明すると、上記溝部１０の形状は、上記積層体４の電気絶縁層１１の少なくとも一部（この実施形態の場合、図１に示す上記磁気ヘッド３を支持する部分Ｄを除くＥに示す範囲の部分）がちょうど収まる形状となっている。これは、図１に示す磁気ヘッド３を支持する部分Ｄは、バネ部品６に対して固定されないフリーな浮いた状態となっている必要があるためである。
【００１７】
なお、図３は、図１に示す直線Ｃ−Ｃ’においてバネ部品６を切断した断面図を示す。
【００１８】
このような構造のバネ部品６を製造する際は、始めに、図４（ａ）に示すような金属材料２０を用意し、塩化第二鉄又は塩化第二銅を用いたエッチング法、若しくは、プレス法によりこの金属材料２０を成形することにより、図４（ｂ）に示すような開口部９ｂを有する金属材料２０を形成する。
【００１９】
そして、図４（ｃ）に示すように積層体４が張り合わされる領域以外の金属材料２０表面に感光性レジスト層２１を形成した後、金属材料２０をハーフエッチングして溝部１０を形成することにより、バネ部品６の製造処理は終了する。なお、図４（ｄ）は、図１に示す直線Ｂ−Ｂ’においてバネ部品６を切断した断面図を示す。また、上記溝部１０の深さは金属材料２０の膜厚の１／２程度の深さを有するとよい。
【００２０】
［磁気ヘッドサスペンションの製造方法］
上記積層体４とバネ部品６とを張り合わせて磁器ヘッドサスペンションを製造する際は、始めに、印刷法又はキャスト法を利用して、図５（ａ）に示すようにバネ部品６に形成された溝部１０に接着剤２１を塗布する。そして、図５（ｂ），（ｃ）に示すように、この溝部１０に積層体４の電気絶縁層１１部分を挿入し、接着剤２１により積層体４とバネ部品とを貼り合わせることにより、磁気ヘッドサスペンション５を形成する。図５（ｂ）は、図１の直線Ａ−Ａ’又はＢ−Ｂ’に沿う断面図を示す。また、図５（ｃ）は、図１の直線Ｃ−Ｃ’に沿う断面図を示す。このように、この磁気ヘッドサスペンションの製造方法においては、積層体４を溝部１０に挿入するだけで、積層体４をバネ部品６に対して位置精度良く配置し、貼り合わせることが可能となっているので、経費及び労力を増加させることなくバネ部品と積層体とを位置合わせ精度良く貼り合わせて磁気ヘッドサスペンションを製造することができる。なお、上記製造方法においては、溝部１０に接着剤２１を塗布することとしたが、積層体４の電気絶縁層１１に接着剤２１を塗布し、バネ部品６と貼り合わせるようにしてもよい。
【００２１】
［その他の実施の形態］
以上、本発明の一実施形態の磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法について説明したが、上述した実施形態の説明はあくまで本発明の一例である。このため、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、本発明に係る技術的思想を逸脱しない範囲であれば、設計等に応じて種々の変更が可能であることはもちろんである。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、経費及び労力を増加させることなくバネ部品と積層体とを位置合わせ精度良く貼り合わせて磁気ヘッドサスペンションを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ヘッドサスペンションが適用されるヘッドサスペンションアセンブリの構成を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す積層体の製造方法を説明するための断面工程図である。
【図３】図１に示す直線Ｃ−Ｃ’におけるバネ部品の断面構造を示す模式図である。
【図４】図１に示すバネ部品の製造方法を説明するための断面工程図である。
【図５】本発明の実施の形態となる磁気ヘッドサスペンションの製造方法を説明するための断面工程図である。
【符号の説明】
１…ヘッドサスペンションアセンブリ、２，９ａ，９ｂ…開口部、３…磁気ヘッド、４…積層体、５…磁気ヘッドサスペンション、６…バネ部品、７…金属板、８…電気回路、１０…溝部、１１…電気絶縁層、１２…銅層、１３…感光性レジスト層、２０…金属材料、２１…接着剤
【図１】
2004030834.tif 000003
【図２】
2004030834.tif 000004
【図３】
2004030834.tif 000005
【図４】
2004030834.tif 000006
【図５】
2004030834.tif 000007