(57)【要約】【課題】非常に高密度なインク吐出孔配置のインク流路部においても所望の大きさの噴射液滴サイズを実現できるインク吐出孔形状を具備したインク吐出装置を提供する。【解決手段】インクを噴射するためにインクにエネルギーを与えるヘッド部２に形成された、少なくとも１つ以上のインク流路３の端部開口部に面して、インクの噴射口となるインク吐出孔４が形成されたインク吐出装置において、インク吐出孔４は、インク出口側開口部の内径が、インク入口側開口部の内径よりも小さく設定されてテーパー状に形成され、かつ、インク出口側開口部の形状が、インク流路３の端部開口部の縦方向と同一向きに設定された長軸と、該長軸に直交する短軸と、を有する閉ループ状に形成される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを噴射するためにインクにエネルギーを与えるヘッド部に形成された、少なくとも１つ以上のインク流路の端部開口部に面して、インクの噴射口となるインク吐出孔が形成されたインク吐出装置において、
前記インク吐出孔は、インク出口側開口部の内径が、インク入口側開口部の内径よりも小さく設定されてテーパー状に形成され、かつ、
前記インク出口側開口部の形状が、前記インク流路の端部開口部の縦方向と同一向きに設定された長軸と、該長軸に直交する短軸と、を有する閉ループ状に形成されることを特徴とするインク吐出装置。
【請求項２】
前記インク吐出孔の出口側開口部の形状が、前記短軸と長軸に対してそれぞれ軸対称に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインク吐出装置。
【請求項３】
前記インク吐出孔の出口側開口部の形状が、長円または楕円であることを特徴とする請求項１または２に記載のインク吐出装置。
【請求項４】
前記インク吐出孔の出口側開口部における内径の短軸長さをａ、長軸長さをｂとした場合に、
０．２５≦ａ／ｂ＜１．０・・・・・・・・・（１）式
上記（１）式が満たされることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のインク吐出装置。
【請求項５】
前記インク吐出孔の出口側開口部の短軸部のテーパー角度が長軸部のテーパー角度よりも小さいことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のインク吐出装置。
【請求項６】
前記インク吐出孔の加工にレーザ光を用いることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のインク吐出装置。
【請求項７】
前記インク吐出孔を形成するノズルプレート基材として、紫外線を吸収する有機材料を用い、その基材厚をｔとすると、
２０μｍ≦ｔ≦１００μｍ・・・・・・・・・（２）式
上記（２）式が満たされることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のインク吐出装置。
【請求項８】
輪郭が、長軸と、該長軸に直交する短軸と、を有する閉ループ状に形成され、かつ、その長軸と短軸に対して軸対称な形状をなすマスクパターンを用いて、レーザ加工装置により紫外線を吸収する有機材料からなるノズルプレート基材を加工してインク吐出孔を形成し、そのインク吐出孔の長軸方向を、インク流路開口部の縦方向と同一向きに設定して、前記インク吐出孔が形成されたノズルプレートを、ヘッド部に対して接合することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のインク吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ノズルプレートに形成したインク吐出孔よりインクを噴射して高速高密度な記録動作を行えるインク吐出装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プリンタにおいては、インパクト印字装置に代わって、カラー化、多階調化に対応し易いインクジェット方式などのノンインパクト印字装置が急速に普及している。これに用いるインク吐出装置としては、特に、印字に必要なインク滴のみを吐出するというドロップ・  オン・  デマンド型がインク吐出効率の良さ、低コスト化の容易さなどから注目されている。
【０００３】
このドロップ・  オン・  デマンド型としてはカイザー方式やサーマルジェット方式が主流となっている。しかし、カイザー方式は、小型化が困難であるために高密度化に不向きである。また、サーマルジェット方式は、インクを高温にして噴射する必要があるため、インクの耐熱性が要求され、またエネルギー効率が悪いため省エネの観点から好ましいものではなかった。
【０００４】
そこで、このような各方式における欠点を解決するものとして、例えば、圧電性基板材料からなるインク流路の両側の壁面に電極膜を形成し、その電極に電位差を与えることでインク流路壁面を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利用してインクを噴射する圧電駆動によるインク吐出方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法は、ノズルの高密度化、省エネ化に適している。
【０００５】
上記方式を含むインクジェット吐出装置は、図４の斜視図に示すように、ノズルプレート１はヘッド部２のインク流路３と面する位置に接合される。このインク吐出孔４はインク入口側が広く出口側の狭いテーパー状に形成されている。そして、出口側開口部の開口面積に応じて噴射液滴サイズが変動する。
【０００６】
より高密度、高速印字を実現するために、インク噴射の吐出密度を上げようとすれば、インク吐出孔４の間隔が狭まり、非常に細い狭インク流路３が形成されることとなる。
【０００７】
一方、インク吐出孔４の出口側開口部の大きさは、多諧調化によりその噴射液滴サイズを変更できるが、所望の液滴サイズで紙面を塗りつぶすためには適当な大きさの噴射液滴サイズを実現する必要があり、所望の面積のインク吐出孔４出口側開口部が必要となる。
【０００８】
そこで、このような細い狭インク流路３に収まるインク吐出孔４を接合するため、例えば、平凹円筒レンズに通過させたレーザ光をノズルプレート１の入口側に照射することにより、図５に示すように、インク吐出孔４の入口側開口部を楕円形状、出口側開口部（点線で示す）を真円形状とするインク吐出孔４の形成方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開昭６３−２４７０５１号公報（図９（ａ）（ｂ），明細書ｐ１１右上欄７行〜ｐ１２右上欄３行）
【特許文献２】
特許第３２８５０４１号公報（図１，図２，図５，段落「００１７」〜「００２０」，「００３０」，「００４０」）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、噴射液滴サイズは、インク吐出孔の出口開口部の開口面積に応じて変動する。そのため、液滴量不足が生じない適切な最小液滴サイズを実現する必要がある。３ｐｌから６ｐｌ程度の液滴サイズを実現するためには、インク吐出孔の出口側開口部において３００μｍ２  〜８００μｍ２  程度の開口面積が必要とされ、真円面積に直すと直径２０μｍ〜３０μｍ程度の大きさとなり、比較的大きなインク吐出孔開口部を形成する必要がある。
【００１１】
しかし、インク吐出孔の断面形状はインク吐出電圧値を低下させるため入口が広く、出口の狭いテーパー状に形成されているため、インク流路に収まるようにインク吐出孔の入口側を形成すると、例えば前記特許文献２のインク吐出孔形成方法でも出口側の形状が真円であることから、その開口面積が小さくなり、その結果、噴射液滴サイズを所望の大きさにできない場合がある。
【００１２】
言い換えれば、真円形状で所望のインク吐出孔出口開口部の表面積に合せてインク吐出孔を形成すると、インク吐出孔の入口側開口部の開口面積が大きくなり、長円や楕円形状でもインク吐出孔の入口側開口部の一部がインク流路の壁部と重なってしまうこととなる（尚、本発明における長円とは長方形または正方形の１  組の両対辺に其々半円の直径部が外接した形状とする）。
【００１３】
その結果、ノズルプレート接合時においてノズルプレート接合用に用いる接着剤によりインク吐出孔テーパー部への接着剤の進入や、更にはインク吐出孔の閉塞という問題が生じる虞がある。また、インク吐出孔と重なったインク流路壁部が障害物となり、気泡の巻き込みやインク吐出方向の曲がりなどの吐出不安定要因となる。
【００１４】
本発明は、このような実情に鑑みてなされ、インク吐出孔を高密度に配置しても、所望の大きさの噴射液滴サイズを得られるインク吐出孔形状を具備したインク吐出装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の課題を解決するための手段を以下のように構成している。
【００１６】
（１）インクを噴射するためにインクにエネルギーを与えるヘッド部に形成された、少なくとも１つ以上のインク流路の端部開口部に面して、インクの噴射口となるインク吐出孔が形成されたインク吐出装置において、
前記インク吐出孔は、インク出口側開口部の内径が、インク入口側開口部の内径よりも小さく設定されてテーパー状に形成され、かつ、前記インク出口側開口部の形状が、前記インク流路の端部開口部の縦方向と同一向きに設定された長軸と、該長軸に直交する短軸と、を有する閉ループ状に形成されることを特徴とする。
【００１７】
この構成においては、インク吐出孔の出口側開口部（及び入口側開口部）を、インク流路開口部の形状に合わせた長軸と短軸を有する閉ループ状に形成することで、より狭いインク流路間においてもインク吐出孔がインク流路開口部内に収まりやすくなるため、インク吐出孔を高密度に配列しても、充分な開口面積を有するインク流路の出口側開口部の形成が容易となる。
【００１８】
また、インク吐出孔におけるインク出口側開口部の内径を、インク入口側開口部の内径よりも小さく設定しているため、インク吐出後のインク面のメニスカスが安定化して気泡の引き込みがなく、飛翔特性が安定化する。
【００１９】
（２）前記インク吐出孔の出口側開口部の形状が、前記短軸と長軸に対してそれぞれ軸対称に形成されていることを特徴とする。
【００２０】
この構成においては、インク吐出孔列が短軸方向に形成され、かつ、各インク吐出孔が、それぞれ短軸（及び長軸）に対して軸対称に形成されため、インク吐出孔を高密度に配置した場合においても、インク流路の狭い開口部に、所望のインク吐出孔出口側開口面積を有するインク吐出孔を容易かつ適切に収めることができる。
【００２１】
（３）前記インク吐出孔の出口側開口部の形状が、長円または楕円であることを特徴とする。
【００２２】
この構成においては、インク吐出孔の出口側開口部の形状を、長円または楕円としたことで、その短軸方向に、インク吐出孔列を高密度に配列することができ、かつ、その場合においても、インク流路の狭い開口部に、所望のインク吐出孔出口側開口面積を有するインク吐出孔を収めやすくなる。
【００２３】
（４）前記インク吐出孔の出口側開口部における内径の短軸長さをａ、長軸長さをｂとした場合に、
０．２５≦ａ／ｂ＜１．０・・・・・・・・・（１）式
上記（１）式が満たされることを特徴とする。
【００２４】
この構成においては、長軸と短軸の比を、上記（１）式の範囲に設定するので、インク噴射の吐出安定化を実現できる。
【００２５】
（５）前記インク吐出孔の出口側開口部の短軸部のテーパー角度が長軸部のテーパー角度よりも小さいことを特徴とする。
【００２６】
この構成においては、インク吐出孔の入口側開口部においてインク吐出孔がインク流路開口部の壁面に重なることはなく、より大きく広いインク吐出孔出口側開口部を形成できるため、ノズルプレート接合時の貼り合わせ精度に余裕が生じ、ノズルプレートの接合工程における歩留まりが向上する。
【００２７】
（６）前記インク吐出孔の加工にレーザ光を用いることを特徴とする。
【００２８】
この構成においては、高い加工精度を必要とするインク吐出孔の微細形状を安定的に精度良く作製でき、インク噴射の吐出安定化が達成できる。尚、そのレーザ光による加工は、エキシマレーザによる加工であることが好ましい。
【００２９】
（７）前記インク吐出孔を形成するノズルプレート基材として、紫外線を吸収する有機材料を用い、その基材厚をｔとすると、
２０μｍ≦ｔ≦１００μｍ・・・・・・・・・（２）式
上記（２）式が満たされることを特徴とする。
【００３０】
この構成においては、上述の板厚のノズルプレート基材を用いれば、（レーザー加工により、）吐出状態が安定なインク吐出孔を形成することができる。
【００３１】
（８）輪郭が、長軸と、該長軸に直交する短軸と、を有する閉ループ状に形成され、かつ、その長軸と短軸に対して軸対称な形状をなすマスクパターンを用いて、レーザ加工装置により紫外線を吸収する有機材料からなるノズルプレート基材を加工してインク吐出孔を形成し、そのインク吐出孔の長軸方向を、インク流路開口部の縦方向と同一向きに設定して、前記インク吐出孔が形成されたノズルプレートを、ヘッド部に対して接合することを特徴とする。
【００３２】
この製造方法においては、マスクパターンを用いたレーザ加工により、高密度な配列が可能で、充分な開口面積を有するインク流路の出口側開口部の形成が容易なインク吐出孔を高精度に形成することができ、しかも接着剤等によりインク吐出に影響を及ぼすことのないように、ノズルプレートを接合することができ、インク吐出状態の安定したインク吐出装置を製造することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態に係るインク吐出装置及びその製造方法について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００３４】
（実施の形態１，２）
図１は楕円形状のインク吐出孔４を有す実施の形態１のインク吐出装置を示し、図２は長円形状のインク吐出孔４を有する実施の形態２のインク吐出装置を示す。以下、これらの図を参照しつつ圧電駆動で作動するインクジェットヘッドを例として説明する。
【００３５】
ヘッド部２は、圧電基板２１とカバー部材２２とを接着・一体化してなり、その圧電基板２１には、分極処理を施したチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）やチタン酸鉛（ＰＺ）などの圧電性セラミック基板にダイアモンドブレードを用いて溝加工し、溝深さ約２００μｍ、溝幅約４０μｍの互いに平行なインク流路用の溝を複数条形成する。
【００３６】
そして、溝内部に蒸着装置、スパッタリング装置またはプラズマＣＶＤ装置などを用いた真空蒸着法やメッキ法を用いて、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕといった導電性を有する金属膜を形成した後、カバー部材２２で溝上部を閉塞してインク流路３を形成する。
【００３７】
ノズルプレート１は、その表面に撥インク性を有する撥液層を形成した後、エキシマレーザなどのレーザ加工装置を用いて、インク吐出孔４を高精度に加工する。その加工では、ノズルプレート内面側にレーザ光を入射させ、内面側のインク入口側開口部の内径が、インク出口側開口部の内径より大きいテーパー状となるように、インク流路３の中心部に対応する部位にインク流路３と同数のインク吐出孔４を形成する。
【００３８】
すなわち、図１（実施の形態１）の場合、インク吐出孔４におけるインク出口側開口部における短軸ａ１  と長軸ｂ１  及びインク入口側開口部における短軸ａ２  と長軸ｂ２  の間には、ａ１  ＜ａ２  ，ｂ１  ＜ｂ２  なる関係が成立する。また、図２（実施の形態２）の場合、インク吐出孔４におけるインク出口側開口部における短軸ａ３  と長軸ｂ３  及びインク入口側開口部における長軸ａ４  と短軸ｂ４  の間には、ａ３  ＜ａ４  ，ｂ３  ＜ｂ４  なる関係が成立する。
【００３９】
さらに、インク吐出孔４の出口側開口部における内径の短軸長さａと長軸長さｂとの間には、
０．２５≦ａ／ｂ＜１．０・・・・・・・・・（１）式
上記（１）式の関係が満たされることが好ましい。長軸と短軸の長さの比を、このような範囲に設定することで、インク噴射の吐出状態が安定化する。
【００４０】
また、ノズルプレート１の基材は、レーザ加工に適した材料が好ましく、例えば、波長域が２００ｎｍから４００ｎｍの紫外線を吸収する有機材料としてポリイミドを用い、その基材厚を、例えば、５０μｍとする。その基材厚については、上述のように、インク吐出孔４をレーザ光の入射面と出射面で開口部の面積が異なるテーパー状に形成するため、基材厚をｔとすると、
２０μｍ≦ｔ≦１００μｍ・・・・・・・・・（２）式
上記（２）式が満たされるのが好ましい。
【００４１】
この板厚については、基材厚ｔが２０μｍより薄い基材では、インク吐出装置内に充填されたインクに負圧を与えた場合などにおいて、装置内部へインク吐出孔４を通して気泡を巻き込み易く、吐出が不安定となりやすい。
【００４２】
一方、１００μｍより厚い基材では、テーパー角度によりレーザ光入射部でのインク吐出孔４のインク入口側開口部を、液滴サイズに必要なインク出口開口部の面積に合せて形成すると、その開口部が大きくなりすぎ、狭ピッチに配置されたインク吐出孔配置ではインク吐出孔４のインク入口側開口部の周縁がインク流路３の壁部と重なる可能性が大きくなる。また、基材が厚いことで、レーザによる加工精度のばらつきが大きくなり、噴射液滴サイズを決める主な要素となるインク吐出孔４の出口側開口部の面積の形状精度を安定化できなくなる。
【００４３】
（比較例１）
ところで、本実施の形態におけるインク吐出孔４のピッチは、３００ｄｐｉ（ｄｏｔ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）、即ち８５μｍに設定している。そのため、前述したインク流路３の開口部において、溝深さが約２００μｍ、溝幅が約４０μｍの溝が形成される場合に、所定の噴射液滴を実現するために、インク吐出孔４を、例えば図３（ａ），（ｂ）に示すようなインク入口側開口部とインク出口開口部を共に真円形状とした比較例１では、出口側開口部の内径が２８μｍ、表面積が約６１５μｍ２  のインク吐出孔４を形成しようとすると、インク吐出孔４の入口側開口部ではテーパー角度により内径が約６０μｍの真円形状となる。従って、４０μｍの溝幅より大となる結果、入口側開口部の周縁がインク流路３の壁部と重なってしまうことになる。このような場合には、インク流路壁部が障害物となり、気泡の巻き込みやインク吐出方向の曲がりなどの吐出不安定要因となる。
【００４４】
（比較例２）
この点に関しては、同様に、特許文献２に記載されたように、インク吐出孔４の出口側開口部を真円、入口側開口部を楕円とした構成においても、ノズルプレート１の基材厚を５０μｍとした場合には、インク吐出孔のテーパー角度を考慮すると、入口側での開口部ではインク流路３の溝幅に余裕がなく、ノズルプレート接合時の接合精度を加味するとインク吐出孔４の一部がインク流路３の壁部と重なる可能性が大きくなる。
【００４５】
上述の比較例１，２におけるように、インク吐出孔４の入口側開口部の内径が溝幅よりも大となる場合には、入口側開口部が溝からはみ出して楔状部分ができ、その部分でインクの流れが乱されるため、インク吐出状態が不安定となり、飛翔特性も低下する。また、その楔状部分にインクが溜まりやすくなるため、ノズル部の清掃が面倒になる。
【００４６】
（実験例１，２，３）
これに対して、実験例１では（図２参照）、インク吐出孔４の入口側開口部の短軸長さａ４  を２９．５μｍ、長軸長さｂ４  を５８μｍとし、出口側開口部の短軸長さａ３  を１７μｍ、長軸長さｂ３  を４１μｍとして、入口側出口側共に長円形状のインク吐出孔４を形成した。
【００４７】
その際、レーザー加工では、長軸部と短軸部で其々異なるテーパー角度を有するインク吐出孔４を形成することができ、その際、短軸部のテーパー角度ｔ１  が、長軸部のテーパー角度ｔ２  よりも小さくなるため、インク吐出孔４の入口側の短軸部があまり大きくならず、インク流路３に対するインク吐出孔４の大きさについての余裕度が大となる。これにより、インク吐出孔４の位置に多少の誤差があった場合でも、その誤差を吸収することができるため、ノズルプレート１の接合工程で有利となる。すなわち、インク吐出孔４のテーパー角度については、
短軸部のテーパー角度ｔ１  ＜長軸部のテーパー角度ｔ２  ・・・（３）
上記（３）式が満たされることが好ましい。尚、この点に関しては、図１の場合（図示省略）も同様である。
【００４８】
以上のように形成したインク吐出孔４のインク吐出方向の安定性を評価するために、短軸長さａと長軸長さｂの比率の異なるインク吐出孔４を製作してそれぞれについて吐出実験を行った。
【００４９】
その実験は、前述の実験例１のインク吐出孔４と比較するため、実験例２の試験片として、インク吐出孔４の出口側長軸長さｂを６３μｍ、短軸長さａを１７μｍとして入口出口共に長円形状のインク吐出孔４を形成したものを製作した。
また、実験例３の試験片としては、インク吐出孔４の出口側長軸長さｂを６９μｍ、短軸長さａを１７μｍとし、より細長く入口出口共に長円形状のインク吐出孔４を形成したものを製作した。
【００５０】
次に、上記実験例１、実験例２、実験例３の各ノズルプレート１を其々ヘッド部２のノズルプレート接着面に約２μｍ程度の厚さでエポキシ系液状接着剤を転写した後、各インク吐出孔４がインク流路３の中心位置となるように位置合わせを行い、かつインク吐出孔４の出口側開口部の長軸方向がインク流路開口部の縦方向と一致するようにノズルプレート１とヘッド部２を加圧接着した。
【００５１】
実験では、各ノズルプレート１を接合したヘッド部２にインクを導入して電界を印加して、その飛翔状態を観察し比較した。その結果、表１に示すように、実験例３においては、短軸と長軸の比率が０．２５以下であり、吐出状態が安定しない結果（吐出状態不安定）となった。
【００５２】
【表１】
2004175038.tif 000003
【００５３】
また、出口側開口部の開口面積を同等にして、短軸長さａと長軸長さｂの比率を変化させた状態のインク吐出孔４も製作して、上記と同様の吐出実験を行った。その結果は前述と同様で、短軸長さａと長軸長さｂの比率が０．２５より小さい場合には、吐出状態が安定しなかった。
【００５４】
以上の実験を通じて、インク吐出孔４の出口側開口部の短軸長さａと長軸長さｂの比率は前記（１）式に示す範囲が良好であることを確認することができた。
【００５５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明は、以下の効果を奏する。
【００５６】
（１）インク吐出孔の出口側開口部（及び入口側開口部）を、インク流路開口部の形状に合わせた長軸と短軸を有する閉ループ状に形成することで、狭いインク流路間においてもインク吐出孔がインク流路開口部内に収まりやすくなるため、インク吐出孔を高密度に配列しても、充分な開口面積を有するインク流路の出口側開口部の形成が容易となる。
【００５７】
また、インク吐出孔におけるインク出口側開口部の内径を、インク入口側開口部の内径よりも小さく設定しているため、インク吐出後のインク面のメニスカスが安定化して気泡の引き込みがなく、飛翔特性が安定化する。
【００５８】
（２）インク吐出孔の出口側開口部の形状が、短軸と長軸に対してそれぞれ軸対称に形成されているので、インク吐出孔を高密度に配置した場合においても、インク流路の狭い開口部に、所望のインク吐出孔出口側開口面積を有するインク吐出孔を容易かつ適切に収めることができる。
【００５９】
（３）インク吐出孔の出口側開口部の形状を、長円または楕円としたので、その短軸方向に、インク吐出孔列を高密度に配列することができ、かつ、その場合においても、インク流路の狭い開口部に、所望のインク吐出孔出口側開口面積を有するインク吐出孔を収めやすくなる。
【００６０】
（４）インク吐出孔の出口側開口部における内径の短軸長さをａ、長軸長さをｂとした場合に、０．２５≦ａ／ｂ＜１．０・・・・・・・・・（１）式が満たされるので、インク噴射の吐出安定化を実現できる。
【００６１】
（５）インク吐出孔の出口側開口部の短軸部のテーパー角度が長軸部よりも小さいので、インク吐出孔の入口側開口部においてインク吐出孔がインク流路開口部の壁面と交差せず、より大きく広いインク吐出孔出口側開口部を実現でき、ノズルプレート接合時の貼り合わせ精度に余裕が生じ、ノズルプレートの接合工程における歩留まりが向上する。
【００６２】
（６）インク吐出孔の加工にレーザ光を用いるので、高い加工精度を必要とするインク吐出孔の微細形状を安定的に精度良く作製でき、インク噴射の吐出安定化が達成できる。
【００６３】
（７）インク吐出孔を形成するノズルプレート基材として、紫外線を吸収する有機材料を用い、その基材厚をｔとすると、２０μｍ≦ｔ≦１００μｍ・・・・・・・・・（２）式が満たされるので、（レーザー加工により、）吐出状態が安定なインク吐出孔を形成することができる。
【００６４】
（８）マスクパターンを用いたレーザ加工により、高密度な配列が可能で、充分な開口面積を有するインク流路の出口側開口部の形成が容易なインク吐出孔を高精度に形成することができ、しかも接着剤等によりインク吐出に影響を及ぼすことのないように、ノズルプレートを接合することができ、インク吐出状態の安定したインク吐出装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る楕円形状のインク吐出孔を有すインク吐出装置の説明図である。
【図２】同別の実施の形態に係る長円形状のインク吐出孔を有すインク吐出装置の説明図である。
【図３】同比較例としての真円形状のインク吐出孔を有すインク吐出装置の説明図である。
【図４】従来例のインク吐出装置の一例を示す一部破断斜視図である。
【図５】同インク吐出孔の一例を示すノズルプレートの斜視図である。
【符号の説明】
１−ノズルプレート
２−ヘッド部
３−インク流路
４−インク吐出孔
ａ−短軸長さ
ｂ−長軸長さ
ｔ１  −短軸部のテーパー角度
ｔ２  −長軸部のテーパー角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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