(57)【要約】【課題】送信側と受信側とを高速で安定に光結合することのできる簡単な構成の光スイッチを含む光モニタを提供する。【解決手段】複数の光ファイバ１１は保持部１２に一定の間隔で、一列に整列されて保持されている。光ファイバ１１から出る光を検知するための検知部１１５は、移動機構によって光ファイバ１１の列に沿って移動され得る。検知部１１５は、受光部２０と、受光部２０と光ファイバ１１の間に配置された遮光部材１３０とを備えている。受光部２０は、光電変換のための受光素子２１と、受光素子２１を支持する固定部材２５と、受光素子２１を覆う外装部２３と、受光素子２１に電気的に接続されたリード線２２とを備えている。遮光部材１３０は、受光部２０と光ファイバ１１の光学的結合を許す開口１３１を有している。例えば開口制限部１３０ａの表面に黒つや完消し塗料が塗装されている。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換のための受光素子を含む受光部と、一列に整列されたＮ個の光学素子からなる光学素子アレイと、光学素子の列に沿って受光部を移動させるための移動手段と、受光部と光学素子アレイの間に配置された遮光部材であって、受光部と光学素子の光学的結合のための開口を有し、光学素子からの光で照明され得る表面が反射防止加工されている遮光部材とを備えている、光モニタ。
【請求項２】
受光部は受光素子を覆う外装部を含んでおり、遮光部材は、光学素子の整列方向に関して、受光部の外装部よりも大きい、請求項１に記載の光モニタ。
【請求項３】
遮光部材は、光学素子の整列方向に関して、受光部の外装部を覆う形状を有している、請求項２に記載の光モニタ。
【請求項４】
受光部は、受光素子を支持する固定部材と、受光素子を覆う外装部とを含んでおり、遮光部材は、光学素子からの光が当たらない部分で、受光部の外装部または固定部材に固定されている、請求項１に記載の光モニタ。
【請求項５】
遮光部材は、光学素子からの光が当たる面の裏側の面で、受光部の外装部固定部材に固定されている、請求項４に記載の光モニタ。
【請求項６】
遮光部材は、その周縁に近い部分に形成された孔または切り欠きを有しており、孔または切り欠きの部分において、受光部の外装部固定部材に固定されている、請求項４に記載の光モニタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光量の測定や光信号を監視する光モニタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信分野では、波長分割多重技術が開発されたことにより、システムやデバイスの多チャンネル化が進んでいる。このため、デバイスを評価する手段や通信システムを長期安定維持するための監視手段として、多チャンネル化された光伝送路の光量や信号を精度良く測定するための光モニタが必要となる。
【０００３】
例えば、特開平６−５８８４０号公報は、多チャンネル化された光伝送路用の光モニタを実現するシステムを開示している。このシステムでは、複数の伝送路から検査する伝送路を選択し、選択した伝送路に伝送信号とは波長の異なる検査用信号を光結合器により結合して注入し、伝送路末端から反射してくる信号光を光検出器で検知し、その出力を監視している。
【０００４】
このような多チャンネルの光モニタでは、伝送路を選択するための光スイッチが必要不可欠である。光スイッチとしては、対向する光ファイバ端面を互いに移動させて光路を切り換える方式のメカニカル光スイッチが一般的となっている。この方式の光スイッチは、これまでに多くの構成が提案されている。
【０００５】
特開平７−７２３９８号公報は、このようなメカニカル光スイッチのひとつを開示している。この光スイッチでは、複数の送信側光ファイバをＶ溝に固定しておき、これらに対向する光ファイバーを駆動機構によってＶ溝間を移動させることにより光路を切り換えている。この装置では、Ｖ溝間を移動後、損失を抑えるために光ファイバの端面を互いに押し当てている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
複数の光ファイバからの信号を分配する光スイッチを有する多チャンネル光モニタでは、送信側の光ファイバと受信側の光ファイバを低結合損失で光学的に結合する必要がある。光学的に結合させるためには、送信側光ファイバの光軸と受信側光ファイバの光軸とを精度良く一致させる必要がある。
【０００７】
光軸を高精度で一致させるため、通常は、送信側光ファイバをＶ溝構造の固定治具で固定しておき、受信側光ファイバを精度良く移動した後に、光ファイバ同士を押し当てる機械的駆動機構を利用している。このような機械的駆動機構は、これを用いた光モニタの構成と動作を複雑なものにしている。
【０００８】
また、Ｖ溝を利用する光スイッチでは、伝送路の切り換えの際に、光ファイバを一旦Ｖ溝から浮かせて移動させる必要がある。また、端面の押し当て動作が、素早い切り換えに適していない。これは、光モニタの高速動作を妨げている。
【０００９】
さらに、伝送路で一般に使用されている光ファイバのコアは１０μｍ以下の径を有しているため、送信側の光ファイバと受信側の光ファイバ同士を光学的に安定に結合するには、機械的に０．１μｍ以下の精度が要求される。このため、光路を切り換えた際の結合損失が発生し易い。これは、光モニタの測定精度を低下させている。
【００１０】
本発明の目的は、送信側と受信側とを高速で安定に光結合することのできる簡単な構成の光スイッチを含む光モニタを提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の光モニタは、光電変換のための受光素子を含む受光部と、一列に整列されたＮ個の光学素子からなる光学素子アレイと、光学素子の列に沿って受光部を移動させるための移動手段と、受光部と光学素子アレイの間に配置された遮光部材とを備えており、遮光部材は、受光部と光学素子の光学的結合のための開口を有し、光学素子からの光で照明され得る表面が反射防止加工されている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
本発明の実施形態の説明に先立ち、まず、本願出願人が本出願に先立って開発した光モニタについて図５と図６と図７を参照しながら説明する。
【００１４】
図５に示されるように、光モニタ１０は、一列に整列された複数の光学素子である光ファイバ１１と、光ファイバ１１から出る光を検知するための検知部１５と、光ファイバ１１の列に沿って検知部１５を移動させるための移動機構とを備えている。
【００１５】
複数の光ファイバ１１は、保持部１２により、一定の間隔、例えば２５０μｍ程度の間隔で、一列に整列されて保持されている。つまり、光ファイバ１１は、それらのコア中心が一直線上に並ぶように等間隔で保持されている。
【００１６】
光ファイバ１１と保持部１２は、一体化されて、光ファイバアレイを構成している。光ファイバ１１と保持部１２の端は、一体となった状態で加工・研磨することにより、端面が斜めにカットされ、磨かれた状態に仕上がっている。
【００１７】
移動機構は、光ファイバ１１の整列方向に沿って延びたガイドレール１３と、ガイドレール１３によって移動可能に支持された移動部１４とを有しており、検知部１５は移動部１４によって保持されている。移動機構は、更に、移動部１４の位置を検出するためのスケール１９を有している。
【００１８】
図６と図７に示されるように、検知部１５は、光電変換のための受光素子２１を含む受光部２０と、受光部２０と光ファイバ１１の間に配置された遮光部材３０とを備えている。
【００１９】
受光部２０は、光電変換のための受光素子２１と、受光素子２１を支持する固定部材２５と、受光素子２１を覆う外装部２３と、受光素子２１に電気的に接続されたリード線２２とを備えている。固定部材２５と外装部２３とガラス窓２４は共働して受光素子２１を気密に保っている。リード線２２は、外部との電気的接続のために、固定部材２５を通って外部に延びている。外装部２３は、受光素子２１と光ファイバ１１の光学的結合のためのガラス窓２４を有している。
【００２０】
遮光部材３０は、受光部２０と光ファイバ１１の光学的結合を許す開口３１を有している。このため、遮光部材３０は、受光部２０のガラス窓２４に入射する光を制限する開口制限部３０ａと、受光部２０の外装部２３に固定された固定部３０ｂとを有している。
【００２１】
光ファイバ１１からの射出光４０は発散光であるため、遮光部材３０の開口３１は、一つの光ファイバ１１からの射出光４０だけが入射し得る径を有している。これに伴い、受光素子２１は、一つの光ファイバ１１からの射出光４０だけが入射する有効面積を有している。
【００２２】
光モニタ１０は更に、図１０に示されるように、移動機構を制御すると共に検知部１５の受けた光量を測定するための制御回路１６を有している。制御回路１６は、移動機構からの位置検出信号に基づいて移動部の位置を制御するサーボ回路１６ａと、検知部１５内の受光素子２１の出力に基づいて光量を測定する測定回路１６ｂを有している。
【００２３】
次に、光モニタ１０の動作について説明する。
【００２４】
複数の光ファイバ１１には、例えば光フィルタなどの出力等が接続され、その射出光４０が測定の対象となる。この射出光４０をモニタする場合、光モニタ１０の外部から与えられる（どの光ファイバ１１からの射出光４０をモニタすべきかを示す）指示信号に基づいて移動部１４をサーボ回路１６ａにより駆動制御する。
【００２５】
例えば、左から三番目の光ファイバ１１からの射出光４０を測定する場合には、光モニタ１０に接続された（図示されていない）制御用のコンピュータから、左から三番目を表す指示信号が入力される。
【００２６】
サーボ回路１６ａは、スケール１９により検出される現在の移動部１４の位置と、与えられた指示値に対応するのスケール目標値との差を求め、差が概ねゼロになるように移動部１４に対して駆動信号を与える。
【００２７】
このようなフィードバック制御により、移動部１４は、目標である左から三番目の光ファイバ１１の下に位置決めされ、受光素子２１の中心は、その光ファイバ１１の光軸上に配置される。
【００２８】
測定回路１６ｂは、このときの射出光４０の光量を受光素子２１の出力から算出して、これを指示信号により指示された光ファイバ１１の光量測定値として出力する。これにより、光モニタ１０での一連の測定動作が終了となる。
【００２９】
複数の光ファイバ１１は狭ピッチで整列して並べられており、受光素子２１は整列方向に沿って移動可能であって、任意の一つの光ファイバ１１からの信号光だけを受光素子２１に入射させることができるため、この光モニタ１０は、小型で簡単な機構でありながら、複数の光ファイバ１１の光量をモニタすることができる。
【００３０】
また、複数の光ファイバ１１からの射出光４０のうち、一つの光ファイバ１１からの射出光４０だけが、開口３１を通過して受光素子２１に入射するため、高精度で任意の光ファイバ１１の光量をモニタすることができる。
【００３１】
上述した光モニタ１０では、小型化と多チャンネル化の両方を実現するため、複数の光ファイバ１１が狭ピッチで整列されている。これに応じて、光ファイバ１１と遮光部材３０は極く近接して配置されている。このため、特定の一つの光ファイバ１１からの射出光４０だけは遮光部材３０の開口３１を通過できるが、他の光ファイバ１１からの射出光４０は遮光部材３０や受光部２０の外装部２３によって遮断される。
【００３２】
外装部２３のガラス窓２４を除いた部分は、静電気や電磁波対策のため、またガラス窓２４以外からの光の入射を防ぐため、通常、金属で作られている。また、遮光部材３０も、加工の容易さを考慮すると、金属で作られるとよい。
【００３３】
しかし、これらは比較的高い反射率を有する。その結果、光ファイバ１１からの射出光４０は、遮光部材３０や受光部２０の外装部２３で遮断される際に、図６に示されるように、反射光４１が発生し易い。
【００３４】
前述の光モニタ１０では、光ファイバ１１と遮光部材３０が極く近接しているため、このように発生した反射光４１が遮光部材３０と保持部１２との間で反射を繰り返し、その一部が受光素子２１に到達し易い。この現象は、いわゆるクロストークと呼ばれ、正確な光量測定を妨げる要因である。
【００３５】
本発明は、このような光モニタ１０におけるクロストークの低減を狙ったものであり、検知部１５の改善に向けられている。言い換えれば、本発明の光モニタは図５を参照しながら説明した光モニタ１０と基本的に同じ構成要素を含んでおり、両者は検知部１５の構成においてのみ異なっている。
【００３６】
以下では、本発明の実施形態として、改善された検知部についてのみ述べ、光モニタの巨視的な構成と全体的な動作は前述の光モニタ１０と同様であるので、それらに関する説明は記載の重複を避けて省略する。これに関連して、前述の光モニタ１０の各部材と同等の部材は同一の参照符号で示し、その詳しい説明は省略する。
【００３７】
第一実施形態
本実施形態は、図５の検知部に代えて適用される検知部１１５に向けられている。図１に示されるように、検知部１１５は、受光素子２１を含む受光部２０と、受光部２０と光ファイバ１１の間に配置された凸状の遮光部材１３０とを備えている。
【００３８】
遮光部材１３０は、受光部２０と光ファイバ１１の光学的結合を許す開口１３１を有している。このため、遮光部材１３０は、受光部２０のガラス窓２４に入射する光を制限する開口を定めるための開口制限部１３０ａと、受光部２０の外装部２３への固定のための固定部１３０ｂとを有している。
【００３９】
遮光部材１３０の固定部１３０ｂは、その内径が受光部２０の外装部２３の外径よりもやや大きい大径部分１３２ａと、その内径が受光部２０の受光部２０の外装部２３の外径よりも小さい小径部分１３２ｂとを有している。従って、遮光部材１３０は、少なくとも光ファイバ１１の整列方向に関して、受光部２０の外装部２３を覆い得る形状をしている。
【００４０】
遮光部材１３０は、受光部２０の外装部２３に被せられた状態で、すなわち、受光部２０の外装部２３が遮光部材１３０の固定部１３０ｂの大径部分１３２ａの内側に挿入され、その端面が遮光部材１３０の固定部１３０ｂの小径部分１３２ｂに当たっている状態で、受光部２０に固定されている。遮光部材１３０と受光部２０の固定は、遮光部材１３０の大径部分１３２ａの端と受光部２０の外装部２３の外周の間に供給された接着剤１５０によって行なわれている。
【００４１】
受光部２０は、光ファイバ１１の端面から１．０ｍｍ程度離れた位置に配置されている。遮光部材１３０の開口制限部１３０ａは、だだ一つの光ファイバ１１からの光が好適に入射するように、光ファイバ１１の端面から０．２５ｍｍ程度離れた位置に配置されている。
【００４２】
図１から明らかなように、遮光部材１３０は、光ファイバ１１からの光が当たらない部分で、受光部２０の外装部２３に接着されている。つまり、接着剤１５０は、光ファイバ１１からの光が当たらない部分に塗布される。従って、接着剤１５０のにじみやはみ出しは光学特性に悪影響を与えない。このため、接着作業が容易に行なえる。また、接着面を大きくとれるため、良好な接着強度を得ることもできる。
【００４３】
さらに、遮光部材１３０は、光ファイバ１１からの光で照明され得る表面が反射防止加工されている。例えば、遮光部材１３０の開口制限部１３０ａの表面に、黒つや完消し塗料が塗装されている。言い換えれば、遮光部材１３０は、光ファイバ１１に対向する表面に設けられた反射防止のための皮膜を有している。
【００４４】
反射防止加工は、黒つや完消し塗料の塗装に限定されるものではなく、他の適当な加工や処理、例えば黒色クロムなどのメッキ処理などであってもよい。また、より好ましくは、加工処理される遮光部材１３０の開口制限部１３０ａの表面は、反射防止加工を更に効果的なものにするために、なし（梨）地仕上げといわれる、表面に機械的又は化学的処理によって微細な凹凸を均一に形成させた，無方向性のつや消し仕上げされているとよい。
【００４５】
複数の光ファイバ１１からの射出光４０の内、測定対象である一つの光ファイバ１１からの射出光４０だけは遮光部材３０の開口３１を通過して受光素子２１に到達する。
【００４６】
金属製の外装部２３は、表面の反射率が大きくなりがちであるが、遮光部材３０で覆われているため、不所望な複数の光ファイバ１１からの射出光４０が到達することはなく、従って、そこで反射光は発生しない。
【００４７】
また、表面に光沢がでる接着剤１５０も表面の反射率が大きくなりがちであるが、接着剤１５０は、図１から明らかなように、光ファイバ１１からの射出光４０が当たらない部分に設けられているため、不所望な複数の光ファイバ１１からの射出光４０が到達することはなく、従って、そこで反射光は発生しない。
【００４８】
結局、目標の光ファイバ１１の近くの光ファイバ１１からの射出光４０は、大抵、遮光部材３０の開口制限部３０ａの表面に照射される。開口制限部３０ａの表面は黒つや完消しによる反射防止加工が施されており、低い反射率を有しているため、そこで発生する反射光４１は極く僅かである。従って、クロストークの発生が低減されている。
【００４９】
さらに、遮光部材１３０の開口制限部１３０ａで反射した光が、いずれかの光ファイバ１１で光結合すると、光ファイバ１１の戻り光となってしまう。光ファイバ１１の戻り光は、射出経路を逆行して、光モニタに接続された（図示していない）半導体レーザやデバイスなどに伝達される。このような戻り光は、半導体レーザなどの光源に対しては波長や出力を不安定にする要因となり、フィルタなどのデバイスに対しては誤動作を引き起こす要因となる。その結果、適切な測定結果が得られなくなってしまう場合がある。
【００５０】
しかし、本実施形態に従う光モニタ１０では、遮光部材３０の開口制限部３０ａでの反射光４１の発生が極く僅かであるため、光ファイバ１１の戻り光もほとんど発生しない。
【００５１】
以上の説明から分かるように、本実施形態によれば、クロストークの発生が抑えられているので、測定精度の高い光モニタ１０が構成される。
【００５２】
また、外装部２３と遮光部材１３０の固定は、接着剤１５０のはみ出しを気にすることなく接着作業を行なえるため、各々数ｍｍで形づくられた小さな部品でも、組立て作業性がよい。これにより、光モニタ１０を低コストで製作することができる。
【００５３】
さらに、戻り光が、光モニタ１０に外部接続されたレーザやデバイスなどに影響を与ないため、戻り光防止機器などを必要とせずに、精密な光学測定回路で測定することができる。
【００５４】
第二実施形態
本実施形態は、図５の検知部に代えて適用される検知部２１５に向けられている。図２と図３に示されるように、検知部２１５は、受光素子２１を含む受光部２０と、受光部２０と光ファイバ１１の間に配置された遮光部材２３０とを備えている。
【００５５】
遮光部材２３０は、受光部２０と光ファイバ１１の光学的結合を許す開口２３１を有している。このため、遮光部材２３０は、受光部２０のガラス窓２４に入射する光を制限する開口を定めるための開口制限部２３０ａと、受光部２０の外装部２３への固定のための固定部２３０ｂとを有している。
【００５６】
遮光部材２３０は、受光部２０の外装部２３の外径よりも大きい径を有している。さらに遮光部材２３０は、図３と図４に示されるように、その周縁に近い部分に形成された貫通孔２３４を有している。貫通孔２３４は、図４に示されるように、光ファイバ１１の列から外れて位置している。例えば、貫通孔２３４は、複数の光ファイバ１１の端面中心を通る直線に直交した直線上に位置している。
【００５７】
遮光部材２３０は、受光部２０の外装部２３に載せられた状態で、すなわち、受光部２０の外装部２３の端面が遮光部材２３０に面接触した状態で、受光部２０に固定されている。遮光部材２３０と受光部２０の固定は、図３に示されるように、遮光部材２３０の貫通孔２３４の内側に供給された接着剤２５０によって行なわれている。
【００５８】
さらに、遮光部材２３０は、光ファイバ１１からの光で照明され得る表面が反射防止加工されている。例えば、遮光部材２３０は、光ファイバ１１に対向する表面に、黒つや完消し塗料が塗装されている。
【００５９】
反射防止加工は、黒つや完消し塗料の塗装に限定されるものではなく、他の適当な加工や処理、例えば黒色クロムなどのメッキ処理などであってもよい。また、より好ましくは、加工処理される遮光部材２３０の開口制限部２３０ａの表面は、反射防止加工を更に効果的なものにするために、なし（梨）地仕上げといわれる、表面に機械的又は化学的処理によって微細な凹凸を均一に形成させた，無方向性のつや消し仕上げされているとよい。
【００６０】
複数の光ファイバ１１からの射出光４０の内、測定対象である一つの光ファイバ１１からの射出光４０だけは遮光部材３０の開口３１を通過して受光素子２１に到達する。
【００６１】
金属製の外装部２３は、表面の反射率が大きくなりがちであるが、遮光部材３０で覆われているため、不所望な複数の光ファイバ１１からの射出光４０が到達することはなく、従って、そこで反射光は発生しない。
【００６２】
目標の光ファイバ１１の近くの光ファイバ１１からの射出光４０は、大抵、遮光部材３０の表面に照射される。遮光部材３０の表面は黒つや完消しによる反射防止加工が施されており、低い反射率を有しているため、そこで発生する反射光４１は極く僅かである。従って、クロストークの発生が低減されている。また、光ファイバ１１への戻り光の発生も低減されている。
【００６３】
受光部２０は、製造上の誤差から、受光素子２１の中心と外装部２３の中心は同軸上に位置していないことが多い。また、受光部２０の光学調整は、その容易さから、しばしば、外装部２３の中心を基準にして行なわれる。そのため、このように光学調整された受光部２０では、受光素子２１の中心が正確に光軸上に位置していないことが多い。
【００６４】
本実施形態では、遮光部材２３０は、開口２３１の中心を受光素子２１の中心に合わせた状態で、受光部２０の外装部２３に固定される。従って、検知部２１５の光学調整は、遮光部材２３０の開口２３１を基準にして行なうことにより、受光素子２１の中心が正確に光軸上に配置される。つまり、検知部２１５の光学調整が簡単かつ正確に行なえる。
【００６５】
遮光部材２３０の受光部２０への固定は、具体的には、次のようにして行なわれる。
【００６６】
受光部２０のガラス窓２４が上になるように、外装部２３の下面や側面を（図示していない）治具で固定する。遮光部材２３０を受光部２０の外装部２３に載せ、顕微鏡などで拡大して観察しながら、開口２３１の中心が受光素子２１の中心に来るように、遮光部材３０の位置を調整する。
【００６７】
次に、受光部２０の外装部２３を治具に固定したまま、遮光部材３０の二つの貫通孔２３４の上方から接着剤２５０を流し込み硬化させる。その結果、遮光部材３０が受光部２０の外装部２３に接着される。
【００６８】
遮光部材３０は、このような容易な作業によって、遮光部材３０受光部２０の外装部２３と遮光部材３０の接着が容易で、また、受光部２０と遮光部の取り付けを位置精度良くを取り付けることができる。
【００６９】
以上の説明から分かるように、本実施形態によれば、第一実施形態の利点に加えて、遮光部材２３０は貫通孔２３４に接着剤２５０を流し込んで受光部２０に接着されるので、位置調整と接着作業を同じ側から行なえ、従って組み立て性が良いという利点を有している。また、遮光部材２３０は、開口２３１の中心を受光素子２１の中心に合わせて受光部２０に固定されるため、検知部２５１は、開口２３１を基準にした位置調整によって正確に位置決めされ得るという利点を有している。これは光モニタの組み立てを容易にする。
【００７０】
本実施形態では、遮光部材２３０は、貫通孔２３４を有していて、貫通孔２３４に供給された接着剤２５０によって受光部２０に固定されているが、その周縁部分に形成された切り欠きを有していて、切り欠きに供給された接着剤によって受光部２０に固定されてもよい。
【００７１】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施の形態を述べたが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【００７２】
【発明の効果】
本発明によれば、送信側と受信側とを高速で安定に光結合することのできる簡単な構成の光スイッチを含む光モニタが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態に従う光モニタの検知部を光ファイバと共に示しており、光ファイバの配列方向に沿った断面を示している。
【図２】本発明の第二実施形態に従う光モニタの検知部を光ファイバと共に示しており、光ファイバの配列方向に沿った断面を示している。
【図３】図２に示された検知部の光ファイバの配列方向に垂直な断面を示している。
【図４】図２と図３に示された遮光部材の平面図である。
【図５】図１や図２に示された検知部が適用され得る光モニタの構成を示している。
【図６】図５に示された検知部を光ファイバと共に示している。
【図７】図６に示された検知部の斜視図である。
【符号の説明】
１０　光モニタ
２０　受光部
２１　受光素子
２３　外装部
２４　ガラス窓
１３０　遮光部材
１３０ａ　開口制限部
１３０ｂ　固定部
１３１　開口
１３２ａ　大径部分
１３２ｂ　小径部分
１５０　接着剤
【図１】
2004014924.tif 000003
【図２】
2004014924.tif 000004
【図３】
2004014924.tif 000005
【図４】
2004014924.tif 000006
【図５】
2004014924.tif 000007
【図６】
2004014924.tif 000008
【図７】
2004014924.tif 000009