(57)【要約】【課題】振動板の破壊を防止すると共に、圧電素子の外部環境に起因する破壊を容易に且つ確実に防止し、製造工程を簡略化すると共に圧電素子の耐電圧を向上することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】流路形成基板１０上に、圧電素子３００から引き出されて当該圧電素子３００の側面に連続する側面を有する引き出し配線９０を複数並設し、圧力発生室１２に相対向しない領域まで延設され且つ引き出し配線９０の引き出し方向の少なくとも一部に交差して跨って並設された複数の引き出し配線９０に当接する接着領域を具備する接合基板３０を流路形成基板１０に接着する際に、接着領域に設けられた接着剤を引き出し配線９０に当接することにより、接着剤が引き出し配線９０の側面に伝わって少なくとも圧電体層７０の側面を接着剤で覆う。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に設けられた振動板上に接着剤を介さずに成膜及びリソグラフィ法により形成された薄膜である下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着された接合基板とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成基板上に、前記圧電素子から引き出されて当該圧電素子の側面に連続する側面を有する引き出し配線を複数並設し、前記圧力発生室に相対向しない領域まで延設され且つ前記引き出し配線の引き出し方向の少なくとも一部に交差して跨って並設された複数の前記引き出し配線に当接する接着領域を具備する前記接合基板を前記流路形成基板に接着する際に、前記接着領域に設けられた接着剤を前記引き出し配線に当接することにより、前記接着剤が前記引き出し配線の前記側面に伝わって少なくとも前記圧電体層の側面を前記接着剤で覆うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１において、前記接合基板の前記接着領域の前記圧電素子側には、当該圧電素子を密封する圧電素子保持部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記流路形成基板と前記接合基板とを接着する前記接着剤が、エポキシ系接着剤であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記接着剤の硬化前の粘度が、２５℃で２５±１０Ｐａ・ｓであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項４において、前記流路形成基板と前記接合基板とを接着する前の前記接着剤の厚さが、１．０〜５．０μｍであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項５において、前記流路形成基板と前記接合基板とを接着する前に、前記接合基板の接着面に前記接着剤をフィルム転写により形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項４又は５において、前記接合基板を前記流路形成基板に当接する際に０．１〜１．０ＭＰａの圧力で加圧することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかにおいて、前記接着剤を加熱して硬化させることにより、当該接着剤を前記引き出し配線の側面に伝わらせて前記圧電体層を覆うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項８において、前記接着剤を硬化させる加熱段階が、前記接着剤の粘度−温度特性における粘度が最小となる温度より低い温度で加熱して当該接着剤で前記圧電体層の少なくとも側面を覆う予備加熱段階と、該予備加熱段階で覆った前記接着剤を硬化させる温度で加熱する硬化加熱段階とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、前記流路形成基板に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着された接合基板とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子が前記振動板上に接着剤を介さずに成膜及びリソグラフィ法により直接形成された薄膜で構成されると共に、前記流路形成基板上には、前記圧電素子から引き出されて当該圧電素子の側面に連続する側面を有する引き出し配線が複数並設され、前記接合基板の前記流路形成基板との接着面には、前記圧力発生室に相対向しない領域まで延設され且つ並設された複数の前記引き出し配線の少なくとも一部に交差して跨って当接する接着領域を具備し、当該接着面が絶縁性の接着剤を介して接着され、且つ少なくとも前記圧電体層の前記側面が前記接合基板を接合する前記接着剤からなる接着層で覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
請求項１０において、前記接合基板の前記接着領域の前記圧電素子側には、当該圧電素子を密封する圧電素子保持部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被噴射液を吐出する液体噴射ヘッド及びその製造方法に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を介して圧電素子を設けて圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドとして、圧電素子を振動板上に接着剤を介して接着したインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００３】
特許文献１には、圧電素子と振動板とを接着剤を介して接着すると、圧電素子と接着剤との界面結合が不十分であるため、圧電素子の繰り返し変形によって圧電素子が振動板から剥離し易いという問題を解決する手段が開示されている。その解決手段とは、圧電素子が振動板から剥離し難くするために、圧電素子と振動板との接着に用いる接着剤の量を増やすと共に、接着剤を圧電素子の側面に大きくせり上げるようにした構成が開示されている。
【０００４】
そして、接着剤を圧電素子の側面に大きくせり上げるという従来の構成では、絶縁性接着剤を用いると導電性が悪くなり圧電素子に対する印加電圧を高める必要が生じて圧電素子の耐久性を阻害し、また、導電性の接着剤を用いると、導電性の接着剤は接着強度が弱く圧電素子の接着には不適当であるという問題があり、特許文献１では、この問題を解決するために振動板上にカップリング剤の薄膜を形成し、このカップリング剤と圧電素子との隙間ないしは周囲に絶縁性接着剤を注入して接着するようにしている。
【０００５】
また、特許文献２には、圧力発生室が形成された流路形成基板に高剛性の金属板からなる補強板が接合又は接着され、この補強板上に圧電素子の一方の電極（下電極）が補強板に電気的に導通するように接着剤を介して接着された構成が開示されている。そして、開示された発明は、圧電素子の一方の電極が補強板に直接接触するように、圧電素子の側面と補強板との境界に画成された角部に接着剤を塗布して両者を接着するものである。
【０００６】
さらに、特許文献３には、流路形成基板上に振動板がエポキシ系接着剤を介して接着され、この振動板上に圧電素子がエポキシ系接着剤を介して接着され、圧電素子上にＦＰＣが導電性接着剤で接着されている構成が開示されている。この圧電素子とＦＰＣとを接着する際に用いた導電性接着剤が、圧電素子の側面にはみ出して圧電素子の両電極が短絡しないように、圧電素子及び振動板の側面を、流路形成基板と振動板との接着及び、振動板と圧電素子との接着に用いられたエポキシ系接着剤をはみ出させて、その表面張力により覆うものである。
【０００７】
このような特許文献１〜３の圧電素子を振動板上に接着するという構成では、圧電素子がたわみ振動を利用する関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難であるという問題がある。
【０００８】
一方、このような圧電素子を流路形成基板上に接着剤を介して接着したインクジェット式記録ヘッドの不都合を解消すべく、振動板の表面全体に亘って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが提案されている（例えば、特許文献４参照）。
【０００９】
これによれば圧電素子を振動板に貼付ける作業が不要となって、リソグラフィ法という精密で、且つ簡便な手法で圧電素子を高密度に作り付けることができるばかりでなく、圧電素子の厚みを薄くできて高速駆動が可能になるという利点がある。
【００１０】
また、一般的に、圧力発生室が形成される流路形成基板の圧電素子側の面には、この圧電素子を封止する圧電素子保持部を有する接合基板が接合されており、この圧電素子保持部を不活性ガス等の乾燥流体で密封することによって圧電素子の外部環境に起因する破壊が防止されている（例えば、特許文献５参照）。
【００１１】
【特許文献１】
特開平５−４２６７４号公報（第２〜３頁、第２図）
【特許文献２】
特開平９−２３４８６４号公報（第２〜４頁、第１及び第８図）
【特許文献３】
特開平６−１０６７２４号公報（第２〜３頁、第３及び第５図）
【特許文献４】
特開平５−２８６１３１号公報（段落［００１３］、第３図）
【特許文献５】
特開２００２−１６０３６６号公報（第６〜７頁、第１〜３図）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、小型化及び高密度化したインクジェット式記録ヘッドでは、ヘッド面積を広く確保できないため、接合基板に設けられた圧電素子保持部と外部とを連通して圧電素子保持部内に乾燥流体を充填及び密封するための連通孔が微少となってしまい、圧電素子保持部を完全に密封するのがとても困難であるという問題がある。
【００１３】
また、高密度化したインクジェット式記録ヘッドでは、圧電素子の厚みを薄くするために上電極と下電極との間隔が狭くなり、圧電素子端面の電極露出部分の沿面放電が発生し、圧電素子の耐電圧が低下するという問題もある。
【００１４】
さらに、圧電素子を高密度配設し、ノズル開口の高密度化を図るため、振動板を流路形成基板上に接着剤を用いずに、成膜により形成して薄膜とする構成もあるが、圧電素子の側面と振動板との境界で画成された角部において、振動板にクラックが発生し易く、圧力発生室内のインクが圧電素子側にクラックを介して流出し、圧電素子が破壊されてしまうという問題がある。
【００１５】
なお、このような課題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
【００１６】
本発明は、このような事情に鑑み、振動板の破壊を防止すると共に、圧電素子の外部環境に起因する破壊を容易に且つ確実に防止し、製造工程を簡略化すると共に圧電素子の耐電圧を向上することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供することを課題とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に設けられた振動板上に接着剤を介さずに成膜及びリソグラフィ法により形成された薄膜である下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着された接合基板とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路形成基板上に、前記圧電素子から引き出されて当該圧電素子の側面に連続する側面を有する引き出し配線を複数並設し、前記圧力発生室に相対向しない領域まで延設され且つ前記引き出し配線の引き出し方向の少なくとも一部に交差して跨って並設された複数の前記引き出し配線に当接する接着領域を具備する前記接合基板を前記流路形成基板に接着する際に、前記接着領域に設けられた接着剤を前記引き出し配線に当接することにより、前記接着剤が前記引き出し配線の前記側面に伝わって少なくとも前記圧電体層の側面を前記接着剤で覆うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００１８】
かかる第１の態様では、少なくとも圧電体層の側面を接着剤で覆うことにより、圧電素子の外部環境に起因する破壊を容易に且つ確実に防止することができると共に、圧電素子の耐電圧を向上することができる。また、圧電体層の側面を覆う接着剤に接合基板を流路形成基板に接着する際に用いた接着剤を使用すると共に、接着剤を接着領域に設けられた引き出し配線の側面を伝わらせて圧電体層の側面を覆うことで、接着剤によって圧電体層の側面を容易に且つ確実に覆う事ができると共に製造工程を簡略化することができる。さらに、圧電素子の側面と振動板との境界により画成された角部に対応する振動板にクラックが生じるのを防止すると共に、クラックが生じても圧電体層を覆った接着剤によってクラックを封止することができるため、圧力発生室からの液体により圧電素子が破壊されるのを確実に防止できる。また、圧電体層の側面角度にバラツキがある場合でも、圧電体層の側面を覆う接着剤によって安定して一定の傾斜角度にすることができるため、バラツキのない圧電特性が得られる。
【００１９】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記接合基板の前記接着領域の前記圧電素子側には、当該圧電素子を密封する圧電素子保持部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００２０】
かかる第２の態様では、圧電素子をさらに圧電素子保持部で密封することで、圧電素子の外部環境に起因する破壊を確実に防止することができる。
【００２１】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記流路形成基板と前記接合基板とを接着する前記接着剤が、エポキシ系接着剤であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００２２】
かかる第３の態様では、エポキシ系接着剤を用いることにより、耐インク性などの耐液体性及び耐封止性に優れ、且つ低温接着が可能となる。
【００２３】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記接着剤の硬化前の粘度が、２５℃で２５±１０Ｐａ・ｓであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００２４】
かかる第４の態様では、所定の粘度の接着剤を用いることで、圧電体層の側面を確実に覆うことができると共に、余分な領域に流出するのを防止できる。
【００２５】
本発明の第５の態様は、第４の態様において、前記流路形成基板と前記接合基板とを接着する前の前記接着剤の厚さが、１．０〜５．０μｍであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００２６】
かかる第５の態様では、所定の厚さの接着剤を用いて接着することで、圧電体層の側面を確実に覆うことができると共に、確実な接着強度を確保することができる。
【００２７】
本発明の第６の態様は、第５の態様において、前記流路形成基板と前記接合基板とを接着する前に、前記接合基板の接着面に前記接着剤をフィルム転写により形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００２８】
かかる第６の態様では、均一な所定の膜厚の接着剤を形成することができるので、封止性及び接着強度を向上することができる。
【００２９】
本発明の第７の態様は、第４又は５の態様において、前記接合基板を前記流路形成基板に当接する際に０．１〜１．０ＭＰａの圧力で加圧することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００３０】
かかる第７の態様では、所定粘度の接着剤を所定の圧力で押圧することで、圧電体層の側面を確実に覆うことができると共に、確実な接着強度を確保することができる。
【００３１】
本発明の第８の態様は、第１〜７の何れかの態様において、前記接着剤を加熱して硬化させることにより、当該接着剤を前記引き出し配線の側面に伝わらせて前記圧電体層を覆うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００３２】
かかる第８の態様では、加熱することで接着剤の粘度を一時的に低下させて、接着剤の表面張力により、圧電体層の側面を確実に覆うことができる。
【００３３】
本発明の第９の態様は、第８の態様において、前記接着剤を硬化させる加熱段階が、前記接着剤の粘度−温度特性における粘度が最小となる温度より低い温度で加熱して当該接着剤で前記圧電体層の少なくとも側面を覆う予備加熱段階と、該予備加熱段階で覆った前記接着剤を硬化させる温度で加熱する硬化加熱段階とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００３４】
かかる第９の態様では、接着剤を予備加熱段階と硬化加熱段階とで加熱することにより、接着剤が余分な領域に流出することなく、確実に圧電体層の側面を覆うことができると共に、硬化させることができる。
【００３５】
本発明の第１０の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、前記流路形成基板に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着された接合基板とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子が前記振動板上に接着剤を介さずに成膜及びリソグラフィ法により直接形成された薄膜で構成されると共に、前記流路形成基板上には、前記圧電素子から引き出されて当該圧電素子の側面に連続する側面を有する引き出し配線が複数並設され、前記接合基板の前記流路形成基板との接着面には、前記圧力発生室に相対向しない領域まで延設され且つ並設された複数の前記引き出し配線の少なくとも一部に交差して跨って当接する接着領域を具備し、当該接着面が絶縁性の接着剤を介して接着され、且つ少なくとも前記圧電体層の前記側面が前記接合基板を接合する前記接着剤からなる接着層で覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００３６】
かかる第１０の態様では、少なくとも圧電体層の側面を接着剤で覆うことにより、圧電素子の外部環境に起因する破壊を容易に且つ確実に防止することができると共に、圧電素子の耐電圧を向上することができる。また、圧電体層の側面を覆う接着剤に接合基板を流路形成基板に接着する際に用いた接着剤を使用すると共に、接着剤を接着領域に設けられた引き出し配線の側面を伝わらせて圧電体層の側面を覆うことで、接着剤によって圧電体層の側面を容易に且つ確実に覆う事ができると共に製造工程を簡略化することができる。さらに、圧電素子の側面と振動板との境界により画成された角部に対応する振動板にクラックが生じるのを防止すると共に、クラックが生じても圧電体層を覆った接着剤によってクラックを封止することができるため、圧力発生室からの液体により圧電素子が破壊されるのを確実に防止できる。また、圧電体層の側面角度にバラツキがある場合でも、圧電体層の側面を覆う接着剤によって安定して一定の傾斜角度にすることができるため、バラツキのない圧電特性が得られる。
【００３７】
本発明の第１１の態様は、第１０の態様において、前記接合基板の前記接着領域の前記圧電素子側には、当該圧電素子を密封する圧電素子保持部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００３８】
かかる第１１の態様では、圧電素子をさらに圧電素子保持部で密封することで、圧電素子の外部環境に起因する破壊を確実に防止することができる。
【００３９】
本発明の液体噴射ヘッドは、接着剤を用いずに、成膜及びリソグラフィ法により設けられた圧電素子を有し、且つその側面を絶縁性接着剤からなる接着層で覆うことにより、圧電素子の外部環境に起因する破壊を容易に且つ確実に防止することができると共に、圧電素子の耐電圧を向上することができる。また、接合基板を流路形成基板上に接着する際に、接合基板の接着面に圧電素子の側面に連続する側面を有する引き出し配線に交差して跨って当接する接着領域を設け、接着面に設けられた接着剤を引き出し配線に当接することで、接着剤を振動板と引き出し配線の側面とで画成された角部を伝わらせて圧電素子の側面を覆うことで、製造工程を簡略化することができる。
【００４０】
さらに、薄膜の振動板及び薄膜の圧電素子を用いて圧電素子を高密度に配設しても、接着層によって振動板にクラック等の破壊が発生するのを防止すると共に、クラックが発生しても接着層によって圧力発生室内の液体が圧電素子側に流れ出るのを確実に防止して、圧電素子の液体に起因する破壊を防止することができるという特有の効果を有するものである。
【００４１】
一方、特許文献１〜３には、振動板上（補強板上）に圧電素子を接着剤を介して接着し、この接着剤を圧電素子の側面に設ける構成が開示されているが、これらの圧電素子の側面に設けられた接着剤は、圧電素子を振動板上又は補強板上に接合する際に用いた接着剤が側面まではみ出したものであり、また、圧電素子と振動板との接合強度の向上、圧電素子の電極を直接補強板に接触させるため、又はＦＰＣと圧電素子とを確実に絶縁するために設けるものであり、本発明の接着剤とは目的が相違し、構成上において明らかに相違する。また、これらの先行技術からは、圧電素子の外部環境に起因する破壊を防止するために圧電素子を封止するため、又は圧電素子の沿面放電を防止するために接着剤を圧電素子の側面に設けるという構成は示唆されない。
【００４２】
このように、圧電素子を振動板上に接着剤を介さずに形成して高密度配設した構造は開示されず、また、振動板上に成膜及びリソグラフィ法により形成した圧電素子の側面を接着剤で覆う構成も開示されていない。このような構成及び効果は、上述した従来技術の構成を組み合わせても容易に発明することができるものではない。
【００４３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２（ａ）はインクジェット式記録ヘッドの上面図、図２（ｂ）は流路形成基板の上面図であり、図３はインクジェット式記録ヘッドの圧電素子の長手方向の断面図、図４は図３のＡ−Ａ′及びＢ−Ｂ′断面図である。
図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その両面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ１〜２μｍの薄膜からなる弾性膜５０、及び後述する圧力発生室を形成する際にマスクとして用いられるマスクパターン５１が形成されている。
【００４４】
この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が形成されている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する接合基板であるリザーバ形成基板３０に設けられるリザーバ部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部１３が形成されている。また、この連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。
【００４５】
インク供給路１４は、圧力発生室１２の長手方向一端部側に連通し且つ圧力発生室１２より小さい断面積を有する。例えば、本実施形態では、インク供給路１４は、リザーバ１００と各圧力発生室１２との間の圧力発生室１２側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成されている。なお、このように、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。
【００４６】
ここで、異方性エッチングは、シリコン単結晶基板のエッチングレートの違いを利用して行われる。例えば、本実施形態では、シリコン単結晶基板をＫＯＨ等のアルカリ溶液に浸漬すると、徐々に侵食されて（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面と、この第１の（１１１）面と約７０度の角度をなし且つ上記（１１０）面と約３５度の角度をなす第２の（１１１）面とが出現し、（１１０）面のエッチングレートと比較して（１１１）面のエッチングレートが約１／１８０であるという性質を利用して行われる。かかる異方性エッチングにより、二つの第１の（１１１）面と斜めの二つの第２の（１１１）面とで形成される平行四辺形状の深さ加工を基本として精密加工を行うことができ、圧力発生室１２を高密度に配列することができる。
【００４７】
本実施形態では、各圧力発生室１２の長辺を第１の（１１１）面で、短辺を第２の（１１１）面で形成している。この圧力発生室１２は、流路形成基板１０をほぼ貫通して弾性膜５０に達するまでエッチングすることにより形成されている。ここで、弾性膜５０は、シリコン単結晶基板をエッチングするアルカリ溶液に侵される量がきわめて小さい。
【００４８】
このような流路形成基板１０の厚さは、圧力発生室１２を配列密度に合わせて最適な厚さを選択すればよく、圧力発生室１２の配列密度が、例えば、１インチ当たり１８０個（１８０ｄｐｉ）程度であれば、流路形成基板１０の厚さは、２２０μｍ程度であればよいが、例えば、２００ｄｐｉ以上と比較的高密度に配列する場合には、流路形成基板１０の厚さは１００μｍ以下と比較的薄くするのが好ましい。これは、隣接する圧力発生室１２間の隔壁の剛性を保ちつつ、配列密度を高くできるからである。
【００４９】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０５〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０−６／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又は不錆鋼などからなる。ノズルプレート２０は、一方の面で流路形成基板１０の一面を全面的に覆い、流路形成基板１０であるシリコン単結晶基板を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果たす。また、ノズルプレート２０は、流路形成基板１０と熱膨張係数が略同一の材料で形成するようにしてもよい。この場合には、流路形成基板１０とノズルプレート２０との熱による変形が略同一となるため、熱硬化性の接着剤等を用いて容易に接合することができる。
【００５０】
ここで、インク滴吐出圧力をインクに与える圧力発生室１２の大きさと、インク滴を吐出するノズル開口２１の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合、ノズル開口２１は数十μｍの直径で精度よく形成する必要がある。
【００５１】
一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、厚さが例えば、約１．０μｍの弾性膜５０の上に、厚さが例えば、０．４μｍの絶縁膜５５を介して、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０、及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。なお、上述した例では、圧電素子３００の下電極膜６０、弾性膜５０及び絶縁膜５５が振動板として作用する。
【００５２】
また、流路形成基板１０の端部近傍には、図２に示すように、圧電素子３００を駆動するための外部配線１１０が設けられており、この外部配線１１０と圧電素子３００とは、圧電素子３００から外部配線１１０まで引き出された引き出し配線を介して電気的に接続されている。本実施形態では、引き出し配線として、上電極膜８０の長手方向一端部近傍から流路形成基板１０の一端部近傍の圧力発生室１２に相対向しない領域まで延設した、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０を設けた。このリード電極９０は、圧電素子３００毎に独立して複数並設されており、圧電素子３００の側面に連続した側面を有する。
【００５３】
また、圧電素子３００の側面には、少なくとも圧電体層７０が露出しないように覆う接着層１２１が設けられている。本実施形態では、接着層１２１を上電極８０の側面も覆うように設けた。詳しくは、接着層１２１は、本実施形態では、圧電体層７０及び上電極膜８０の側面と下電極膜６０及び絶縁膜５５との境界で画成された角部、及びリード電極９０の側面と絶縁膜５５の側面との境界で画成された角部に亘って設けられており、圧電素子３００の側面は、リード電極９０の設けられた長手方向一端部を除く全周に亘って接着層１２１で覆われている。
【００５４】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、下電極膜６０上、絶縁膜５５上及びリード電極９０上には、図３に示すように、本実施形態の接合基板として、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有するリザーバ形成基板３０が接着剤によって形成された接合層１２２を介して接着されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００５５】
また、リザーバ形成基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、図４に示すように、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。このようなリザーバ形成基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００５６】
このように、リザーバ形成基板３０には、流路形成基板１０の圧電素子３００に対向する領域に圧電素子保持部３２が設けられているため、圧電素子３００に対向しない領域、すなわち、圧力発生室１２に相対向しない領域が流路形成基板１０と接着される接着面となっている。そして、接着面が当接される領域の一部には、上述のように圧電素子３００から引き出された引き出し配線としてリード電極９０が複数並設されているため、リザーバ形成基板３０の接着面には、リード電極９０に交差して跨って当接される接着領域が存在する。リード電極９０間を跨ぐように接着剤が存在することで、リード電極９０間の段差を密封することができ、また、段差を覆う接着剤の表面は均一にできるため、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０との接合を確実に行うことができる。
【００５７】
このリザーバ形成基板３０の接着面に接着剤を設けてリード電極９０に当接すると、図２に示すように、接着領域に設けられた接着剤がリード電極９０の側面、すなわち、リード電極９０と絶縁膜５５との境界で画成された角部を表面張力により伝わって圧電素子３００の側面を覆う。これにより、圧電素子３００の側面には、リザーバ形成基板３０と流路形成基板１０との接着に用いられる接着剤によって接着層１２１が設けられる。
【００５８】
なお、リザーバ形成基板３０と流路形成基板１０との接着に用いられる接着剤としては、導電性の接着剤を用いると並設されたリード電極９０同士や、リード電極９０と下電極膜６０とが短絡してしまうため、リード電極９０同士及びリード電極９０と下電極膜６０とが電気的に絶縁されるように絶縁性の接着剤を用いる必要がある。このような絶縁性の接着剤としては、耐インク性、耐封止性に優れ、且つ低温接着が可能なエポキシ系接着剤等の熱硬化性の接着剤を挙げることができる。
【００５９】
このように、例えば、熱硬化性の接着剤を用いたリザーバ形成基板３０と流路形成基板１０との接着では、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接着剤を塗布した状態で当接させて接着剤を加熱すると、接着剤の粘度が一時的に低下し、その表面張力によって流路形成基板１０上のリード電極９０の側面と絶縁膜５５との境界で画成された角部を伝わって圧電素子３００の側面を覆った後、硬化される。このように接着剤を加熱することで、圧電素子３００の側面に接着層１２１を形成すると共に流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接合層１２２を介して接合することができる。なお、このように流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接着する接合層１２２は、図４（ｂ）に示すように、リザーバ形成基板３０の接着領域、すなわち、流路形成基板１０上の絶縁膜５５及びリード電極９０とリザーバ形成基板３０との間にリード電極９０の並設方向に亘って連続して設けられている。また、リザーバ形成基板３０の接着領域以外の接着面でも接合層１２２は、連続して設けられているため、圧電素子保持部３２を密封している。
【００６０】
このように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドによれば、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０との接合に用いられる接着剤によって形成された接着層１２１により、圧電素子３００の側面の少なくとも圧電体層７０が露出しないように覆い、圧電素子３００の特に圧電体層７０の端面の沿面放電を防止して圧電素子３００の耐電圧を向上すると共に圧電素子３００の外部環境に起因する破壊を容易且つ確実に防止し、且つ製造工程を簡略化することができる。
【００６１】
また、本実施形態では、圧電素子３００を高密度配設すると共に、ノズル開口２１を高密度とするため、弾性膜５０、絶縁膜５５及び下電極膜６０からなる振動板を薄膜で構成すると共に、圧電素子３００を接着剤を介しての接着ではなく成膜により形成しているので、圧電素子３００の変形によって圧電素子３００の側面と下電極膜６０とで画成される領域の振動板にクラックが発生し易い。このようなクラックが発生しやすい圧電素子３００の側面に対向する振動板上に接着層１２１を設けることによって振動板の剛性を向上してクラックの発生を防止することができると共に、振動板にクラックが生じても、接着層１２１によりクラックを封止して、圧力発生室１２のインクがクラックを介して圧電素子３００側に流れ出るのを防止することができ、圧電素子３００のインクによる破壊を確実に防止することができる。
【００６２】
さらに、接着層１２１を形成する接着剤は、接着層１２１によって圧電素子３００の外部環境に起因する破壊を確実に防止するために、ガス透過率が１×１０−３Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃ以下の接着剤を用いるのが好ましい。また、接着層１２１は、接着剤の表面張力によって圧電素子３００の側面を覆って形成されるため、接着層１２１の表面の傾斜角度は同一となる。これにより、各圧電素子３００をパターニングにより形成した際に、各圧電素子３００の並設方向の側面に角度のばらつきが発生したとしても、接着層１２１によって全ての圧電素子３００の側面を安定して一定の傾斜角度にすることができるため、バラツキのない圧電特性が得られると共に、各圧力発生室１２から吐出されるインクの吐出量及び吐出速度等のインク吐出特性を安定させることができる。
【００６３】
なお、本実施形態では、リザーバ形成基板３０の圧電素子保持部３２は、圧電体層７０の側面を接着層１２１で覆って圧電素子３００の外部環境に起因する破壊を防止するため、圧電素子保持部３２を封止して密封する必要はないが、圧電素子保持部３２を密封することで圧電素子３００の外部環境に起因する破壊をさらに確実に防止することができる。
【００６４】
また、このようなリザーバ形成基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００６５】
また、このリザーバ１００の長手方向略中央部外側のコンプライアンス基板４０上には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口４４が形成されている。さらに、リザーバ形成基板３０には、インク導入口４４とリザーバ１００の側壁とを連通するインク導入路３６が設けられている。このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口４４からインクを取り込み、インクは封止膜４１の少なくとも一部に形成された貫通孔を介して、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００６６】
以上説明した本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法を図５〜図７を参照して説明する。図５〜図７は、圧力発生室１２の長手方向の一部を示す断面図である。まず、図５（ａ）に示すように、流路形成基板１０となるシリコン単結晶基板のウェハを約１１００℃の拡散炉で熱酸化して全面に二酸化シリコンからなる弾性膜５０を形成した後、図５（ｂ）に示すように、この弾性膜５０上に酸化ジルコニウム等からなる絶縁膜５５を形成する。
【００６７】
次に、図５（ｃ）に示すように、例えば、白金とイリジウムとからなる下電極膜６０を絶縁膜５５の全面に形成後、所定形状にパターニングする。次に、図５（ｄ）に示すように、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体層７０と、例えば、イリジウムからなる上電極膜８０とを順次積層し、これらを同時にパターニングして圧電素子３００を形成する。
【００６８】
次に、図６（ａ）に示すように、リード電極９０を形成する。具体的には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０を流路形成基板１０の全面に亘って形成すると共に、各圧電素子３００毎にパターニングする。以上が膜形成プロセスである。このようにして膜形成を行った後、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接合層１２２によって接着すると共に、圧電体層７０及び上電極膜８０の側面に接着層１２１を形成する。
【００６９】
詳しくは、まず、図６（ｂ）に示すように、予め圧電素子保持部３２及びリザーバ部３１等が形成されたリザーバ形成基板３０の接着面に接着剤１２０を塗布する。なお、接着面へ塗布される接着剤１２０としては、耐インク性、耐封止性に優れ、且つ低温接着が可能なエポキシ系の熱硬化型接着剤を挙げることができる。このようなエポキシ系接着剤の硬化前の粘度は、後の工程で接着剤１２０を加熱して接着剤１２０で圧電素子３００の側面を覆う際に、接着剤１２０が圧電素子３００の側面を完全に覆い、且つ余分な領域に流出させないようにするため、２５℃で２５±１０Ｐａ・ｓ程度とするのが好ましい。また、リザーバ形成基板３０の接着面に塗布した接着剤１２０は、均一な膜厚であるのが好ましく、粘度が２５℃で２５±１０Ｐａ・ｓの場合の接着剤１２０の厚さとしては、１．０〜５．０μｍ程度が好ましい。このような接着剤１２０の塗布方法としては、例えば、均一な膜厚を形成できるフィルム転写を挙げることができる。
【００７０】
次に、図６（ｃ）に示すように、リザーバ形成基板３０を流路形成基板１０上に接着剤１２０を介して当接させる。このとき、リザーバ形成基板３０の接着面に塗布された硬化前の接着剤１２０の粘度が２５℃で２５±１０Ｐａ・ｓの場合、例えば、リザーバ形成基板３０を流路形成基板１０に当接させる圧力を０．１〜１．０ＭＰａ程度とするのが好ましい。これは、後の工程で、接着剤１２０を加熱して接着剤１２０で圧電素子３００の側面を覆う際に、接着剤１２０が圧電素子３００の側面を完全に覆い、且つ余分な領域に流出させずに流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを確実に接着できるようにするためである。
【００７１】
次に、接着剤１２０を加熱することによって圧電素子３００の側面に接着層１２１を形成すると共に流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接合層１２２を介して接合する。本実施形態では、例えば、６５℃で５時間加熱する予備加熱を行うことで、図６（ｄ）に示すように、接着剤１２０の粘度を徐々に低下させて接着剤１２０を流動させ、接着剤１２０の表面張力によって流路形成基板１０上の絶縁膜５５とリード電極９０とによって画成された角部に接着剤１２０を廻り込ませる。これにより、廻り込んだ接着剤１２０で圧電体層７０及び上電極膜８０の側面と下電極膜６０及び絶縁膜５５との境界で画成された角部が覆われる。
【００７２】
なお、例えば、本実施形態で使用した接着剤１２０は、ガラス転移点が７９℃であるため、ガラス転移点の７９℃以上で予備加熱した場合、粘度が急激に低下して接着剤１２０の廻り込みが多くなり、上電極膜８０の上面まで覆ってしまう虞がある。また、逆に、予備加熱する温度が低すぎると接着剤１２０の廻り込みがなくなり、圧電体層７０の全ての側面を覆うことができない。このようなことから、本実施形態の接着剤１２０を予備加熱する温度は、接着剤１２０の廻り込みを考慮すると４５℃〜７８℃とするのが好ましい。
【００７３】
次に、図７（ａ）に示すように、予備加熱後に、接着剤１２０を予備加熱よりも高温、例えば、１４０℃で８時間加熱する硬化加熱を行うことにより、接着剤１２０を硬化し、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接着する接合層１２２と、圧電素子３００の外部環境に起因する破壊を防止する接着層１２１とを同一の接着剤１２０で同時に形成する。
【００７４】
なお、本実施形態の接着剤１２０の耐熱温度は１５０℃であると共に、リザーバ形成基板３０の接着された流路形成基板１０は、後の工程でエッチングにより圧力発生室１２を形成する際に他の部分を保護するために用いられるレジストを形成する際や、流路形成基板１０にノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４０を接着する際の前処理などで約１００℃に加熱されるため、硬化加熱する温度としては、１００℃〜１５０℃が好ましく、好適には１４０℃である。
【００７５】
このように、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接着剤１２０を介して接着する際に、予備加熱と硬化加熱との２段階での加熱を行うことで、接着剤１２０を圧電素子３００の側面に確実に廻り込ませて、完全な硬化を行うことができる。また、硬化加熱では、後の工程で加熱される温度以上に加熱して硬化することにより、後の工程で加熱した際の熱による歪みを緩和することができる。
【００７６】
さらに、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接着する際に用いる接着剤１２０を用いて、圧電素子３００の側面に接着層１２１を形成することにより、圧電素子３００の側面のみを容易に且つ確実に接着層１２１で覆うことができ、製造工程を簡略化すると共に製造コストを低減することができる。また、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接合する接着剤１２０を用いて圧電素子３００の外部環境に起因する破壊を防止すると共に圧電素子３００の耐電圧を向上させる接着層１２１を形成するようにしたため、圧電素子保持部３２を密封する密封工程が不要となり、製造工程を簡略化することができる。
【００７７】
次に、図７（ｂ）に示すように、前述したアルカリ溶液によるシリコン単結晶基板の異方性エッチングを行い、圧力発生室１２、連通部１３及びインク供給路１４等を形成する。その後は、図７（ｃ）に示すように、流路形成基板１０のリザーバ形成基板３０とは反対側の面にノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０を接合すると共に、リザーバ形成基板３０上にコンプライアンス基板４０を接合することにより、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドが形成される。
【００７８】
また、実際には、上述した一連の膜形成及び異方性エッチングによって一枚のウェハ上に多数のチップを同時に形成し、プロセス終了後、図１に示すような一つのチップサイズの流路形成基板１０毎に分割する。そして、分割した流路形成基板１０に、リザーバ形成基板３０及びコンプライアンス基板４０を順次接着して一体化し、インクジェット式記録ヘッドとする。
【００７９】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１を説明したが、勿論、本発明は、これらに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、圧電素子３００と外部配線１１０とを電気的に接続する引き出し配線を上電極膜８０の長手方向一端部近傍から流路形成基板１０の一端部近傍まで延設したリード電極９０とし、リザーバ形成基板３０を並設されたリード電極９０上に接合するようにしたが、外部配線１１０と圧電素子３００とを電気的に接続する引き出し配線は特にこれに限定されず、例えば、圧電素子の圧電体層及び上電極膜を流路形成基板の端部近傍まで延設して、延設した圧電素子の一部を引き出し配線としてもよい。ここで、このような例を図８に示す。なお、図８は、インクジェット式記録ヘッドの他の例を示す圧力発生室の長手方向の断面図である。
【００８０】
図８に示すように、流路形成基板１０上の弾性膜５０上には、圧電体層７０Ａ及び上電極膜８０Ａが流路形成基板１０の端部近傍まで延設されて圧電素子３００Ａを構成している。このように延設された上電極膜８０Ａには、外部配線１１０が直接電気的に接続されており、さらに、リザーバ形成基板３０は、圧電素子３００Ａの圧力発生室１２に相対向する領域の圧電体能動部と外部配線１１０に接続された延設された端部との間の並設された上電極膜８０Ａ上に接合されている。すなわち、圧電素子３００の流路形成基板１０の端部近傍まで延設された圧電体層７０Ａ及び上電極膜８０Ａが圧電素子３００の引き出し配線となっている。
【００８１】
また、圧電素子３００の側面には、少なくとも圧電体層７０Ａが露出しないように覆う接着層１２１が形成されている。この接着層１２１は、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０との接合時に、接着剤が流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０との間に狭持された、延設された圧電素子３００の側面と絶縁膜５５との境界で画成された角部を伝わらせて形成することができる。このような構成のインクジェット式記録ヘッドとしても、上述した実施形態１と同様の効果を得ることができる。
【００８２】
さらに、上述した実施形態１では、流路形成基板１０上に接合される接合基板としてリザーバ形成基板３０を例示したが、流路形成基板上の圧電素子の引き出し配線上に接着剤を介して接合される接合基板であれば特にこれに限定されない。また、例えば、上述の実施形態１では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。さらに、上述した実施形態１では、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とを接合する際に、圧電素子保持部３２を同時に密封するようにしたが、後から行ってもよい。このような構成にすることにより、より確実な密封が可能となる。
【００８３】
また、上述の実施形態１では、液体噴射ヘッドとして、印刷媒体に所定の画像や文字を印刷するインクジェット式記録ヘッドを一例として説明したが、勿論、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等、他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッド及び流路形成基板の上面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図６】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図７】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図８】他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【符号の説明】
１０  流路形成基板、１２  圧力発生室、２０  ノズルプレート、２１  ノズル開口、３０  リザーバ形成基板、３１  リザーバ部、３２  圧電素子保持部、４０  コンプライアンス基板、６０  下電極膜、７０、７０Ａ  圧電体層、８０、８０Ａ  上電極膜、９０  リード電極、１００  リザーバ、１１０  外部配線、１２０  接着剤、１２１  接着層、１２２  接合層、３００、３００Ａ  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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