(57)【要約】【課題】ＬＤユニットの発光素子に出射角ずれが有る場合でも、正確なホログラム調整が可能で、ピックアップに組み付ける際に取り付け、調整が容易なホログラムＬＤユニットが調整組立できる方法及びその装置を提供する。【解決手段】ＬＤユニットの上記発光素子からの光束を上記調整組立装置内の光ピックアップと等価の基準光学系へ導き、その光束を上記調整組立装置内にもうけたディスク上に上記対物レンズにて集光させ、更にディスク面で反射された光束を上記ＬＤユニットに戻し、その戻り光が上記ホログラム素子を通過することにより回折された回折光が、上記受光素子の所定の位置に来るようにホログラム素子の位置、角度が調整されるように構成されている。【選択図】      図６
2004192745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子と、上記発光素子からの光束をディスク上に集束させる対物レンズと、上記ディスクからの反射光を検出する受光素子と、上記発光素子から上記ディスクにいたる光束中に設けたホログラム素子により上記ディスクに情報の記録、再生を行う光ピックアップ装置において、上記発光素子、受光素子を所定位置に固定したＬＤユニットに対して上記ホログラム素子を位置、角度調整して組付けてホログラムＬＤユニットを組み立てるホログラムＬＤユニットの調整組立装置であって、
上記発光素子からの光束を上記調整組立装置内の光ピックアップと等価の基準光学系へ導き、その光束を上記調整組立装置内に設けたディスク上に上記対物レンズにて集光させ、更にディスク面で反射して上記ＬＤユニットに戻る戻り光が上記ホログラム素子を通過することにより回折された回折光が、上記受光素子の所定の位置に来るようにホログラム素子の位置、角度が調整されるように、
上記発光素子からの光束の出射角を測定する出射角検出手段と、
上記出射角度検出手段による測定結果をもとに上記基準光学系の光軸に対する上記ＬＤユニットの傾き調整量を演算する演算手段と、
上記演算結果をもとに上記ＬＤユニットの傾きを調整する出射角調整手段と、上記ＬＤユニットの傾き調整しろを確保した状態で上記基準光学系の光軸に対してホログラム素子透過面を垂直に保つホログラム素子把持手段と、
上記ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材の把持基準面を基準光学系光軸に対して垂直に把持する結合部材把持手段と、を具備したことを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立装置。
【請求項２】
請求項１に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立装置において、上記ＬＤユニットと調整されるホログラム素子との間に、ホログラム素子摺動面とその面に平行な把持基準面、及び上記ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、ホログラム素子摺動面を基準光学系光軸に対して垂直に把持する結合部材把持手段を持つことを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立装置。
【請求項３】
請求項１あるいは２に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立装置において、上記発光素子からの光束の出射角検出結果をもとに上記基準光学系光軸に対して上記ＬＤユニットの傾きを調整する出射角調整手段を光軸調整手段の可動部上に構成したことを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立装置。
【請求項４】
請求項１あるいは２に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立装置において、上記出射角調整手段の回転中心が上記ＬＤユニットの発光素子発光点若しくは発光点の近傍に有るように構成することを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立装置。
【請求項５】
請求項１あるいは２に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立装置において、上記基準光学系光軸に対して垂直なホログラム素子摺動面に沿って上記ホログラム素子の位置、角度を調整する調整手段および上記ＬＤユニットと調整されるホログラム素子の間に挿入する結合部材把持手段を光軸調整手段の可動部上に全て構成すること特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立装置。
【請求項６】
発光素子と、上記発光素子からの光束をディスク上に集束させる対物レンズと、上記ディスクからの反射光を検出する受光素子と、上記発光素子から上記ディスクにいたる光束中に設けたホログラム素子により上記ディスクに情報の記録、再生を行う光ピックアップ装置において、上記発光素子、受光素子を所定位置に固定したＬＤユニットに対して上記ホログラム素子を位置、角度調整して組付けてホログラムＬＤユニットを組み立てるホログラムＬＤユニットの調整組立方法であって、
上記発光素子からの光束を上記調整組立装置内の光ピックアップと等価の基準光学系へ導き、その光束を上記調整組立装置内にもうけたディスク上に上記対物レンズにて集光させ、更にディスク面で反射して上記ＬＤユニットに戻る戻り光が上記ホログラム素子を通過することにより回折された回折光が、上記受光素子の所定の位置に来るようにホログラム素子の位置、角度が調整されるように、
上記発光素子からの光束の出射角測定結果から上記ＬＤユニットの出射角ずれを演算するステップと、
その調整量だけ出射角調整手段で上記ＬＤユニットの傾きを調整するステップと、
上記ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入するステップと、
結合部材把持手段で上記結合部材の把持基準面およびホログラム素子把持手段でホログラム素子透過面を基準光学系光軸に対して垂直に保った状態で、その戻り光束を使ってホログラムするステップと、を具備することを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立方法。
【請求項７】
請求項６に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、上記ＬＤユニットと調整されるホログラム素子の間にホログラム素子摺動面とその面に平行な把持基準面、上記ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、ホログラム素子摺動面に沿ってホログラムを調整することを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立方法。
【請求項８】
請求項７に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、上記結合部材と上記ＬＤユニット間の調整しろに硬化樹脂を充填し、上記ＬＤユニットの傾き調整後に硬化させた後、ホログラム素子摺動面に沿ってホログラムを調整することを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立方法。
【請求項９】
請求項６あるいは７に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、上記ＬＤユニットの光軸ずれ粗調整を行った後、上記ＬＤユニットの発光素子光束の出射角測定結果から出射角ずれの調整量を演算し、その調整量だけ上記出射角調整手段で上記ＬＤユニットの出射角を調整し、その後光束の光軸ずれ測定結果からＬＤユニット光軸調整量を演算し、その調整量だけ上記光軸調整手段で上記ＬＤユニットの光軸を微調整し、その戻り光束を使ってホログラム調整をすることを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、上記ＬＤユニットの出射角調整、光軸調整を交互に繰り返し行い調整した光束の戻り光束を使ってホログラム調整をすることを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立方法。
【請求項１１】
請求項６あるいは７に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、出射角ずれの調整量が一定値以上になった場合、上記ホログラムＬＤユニットの調整組立を中止し、上記ＬＤユニットを不良品として排出することを特徴とするホログラムＬＤユニットの調整組立方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ピックアップ装置内で用いる発光素子と受光素子、光学部品（ホログラム素子）を集積化したホログラムＬＤユニットに関し、特に、発光素子および受光素子を所定位置に実装固定したホログラムＬＤユニットに対してホログラム素子の位置・角度を調整して受光素子に回折光が戻るように調整し組み立てる光学ピックアップ用ホログラムＬＤユニット調整組立装置および方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、光ピックアップ装置内で用いる発光素子と受光素子、光学部品（ホログラム素子）を集積化したホログラムＬＤユニットの構成部品である発光素子および受光素子を所定位置に実装固定したＬＤユニットに対して、ホログラム素子の位置・角度調整して受光素子に回折光が戻るように調整し組み立てる光学ピックアップ用ホログラムＬＤユニットの調整組立装置が知られている。
従来の光学ピックアップ用ホログラムＬＤユニットの調整組立装置としては、以下に述べるようなものが挙げられる。
１．特開平８−１１１０２６（特許文献１）、出願人：シャープ株式会社
ホログラム型半導体レーザ装置のホログラムの組立調整を短時間且つ正確に行うことを目的とした発明であり、発光素子からの照射光は回折格子によって主ビームと２つの副ビームとに分割されて対物レンズに与えられて、平滑な反射板の反斜面に集光する。反斜面で反射した光は、対物レンズを通過し、ホログラムによって２つの光に分割されて受光素子に与えられる。この受光強度の合計値が最大となるように、前記回折格子、ホログラムを光軸中心に角変位させる。即ち、発光素子と、発光素子からの照射光の反射光を受光する受光素子と、照射光を平行光とするコリメートレンズと、発光素子からの照射光を反射する反斜面と、発光素子からの照射光を前記反斜面に集光する対物レンズと、発光素子からの照射光を対物レンズに与え反斜面からの反射光を受光素子に与える光学素子（回折格子とホログラム）とを備えた光ピックアップの調整方法で、コリメートレンズが理想の平行光を作り、対物レンズの焦点が反斜面に一致した状態にする。この状態で受光素子の受光強度が最大かつ対物レンズを光軸方向に動かした時の受光強度が等しくなるよう、光学素子（回折格子とホログラム）を光軸中心に回転させることで短時間にかつ正確にピックアップを調整する。
２．特開２０００−１４９２８７（特許文献２）、出願人：富士通株式会社
調整の負荷を低減しつつ、高精度の調整を実現する光ディスク装置調整方法の提供を目的とした発明であり、光ディスクを回転させながら、ホログラムや複合プリズムなどの装置構成要素の取り付け位置を調整する構成を採るときに、フォーカスサーボをかけつつ、トラックエラー信号を収集して、そのときに収集するトラックエラー信号が規定のものになるように装置構成要素の取り付け位置を調整する構成を採ったり、フォーカスサーボ及びトラックサーボをかけつつ、再生信号を収集して、そのときに収集する再生信号が規定のものになるように装置構成要素の取り付け位置を調整する構成を採ったりする。これにより、実際に使用される状態で装置構成要素の調整を実行することで高精度の調整を実行するとき、その調整にかかる負荷を大幅に低減できるようになる。
【０００３】
ここで、光ピックアップ装置は、上記発光素子と、上記発光素子からの光束をディスク上に集束させる対物レンズと、ディスクからの反射光を検出する受光素子と、上記発光素子からディスクにいたる光束中に設けた種々の光学部品により、ディスクに情報の記録、再生を行うものである。この光ピックアップ装置を構成する部品として、発光素子、受光素子とホログラム素子をパッケージ化してあらかじめ調整組立をして一部品（ホログラムＬＤユニット）とし、光ピックアップ装置の組立調整を簡易化しようという流れがある。
ホログラムＬＤユニットは、発光素子と受光素子を組み付けたＬＤユニットに対するホログラム素子の相対位置関係の要求精度が高く、調整方法としては、擬似的に光ピックアップ装置の光学系と等価若しくは同じ効果となる光学系を調整装置内に設け、ＬＤユニット内の発光素子の光を基準に組立調整を行うということが考えられる。
上記特許文献１では、コリメートレンズが作る理想の平行光や対物レンズの合焦の位置への調整光学系の調整（擬似的に光ピックアップ装置の光学系と等価若しくは同じ効果となる光学系）は、非常に難しく達成が困難であった。すなわち、その調整には工夫が必要であると考えられるが、上記特許文献１には、その調整方法、手段、若しくは装置構成には何ら言及されておらず、調整装置と発光素子との光軸合わせの構成・方法に関する記載も無い。
また、上記特許文献２では、ホログラムや複合プリズムをＬＤユニットと組み付ける際に対物レンズでフォーカス方向及び、トラック方向の制御をするため調整装置内の基準光学系の光軸と対物レンズ中心がずれてしまい調整精度が低下するという問題点があった。また、ＬＤユニット内の受光素子からのフォーカス信号、トラック信号をもとに調整装置の光学系のフォーカスサーボ、トラックサーボをかけるためホログラムや複合プリズムの調整を行った時に検出信号に影響が出てフォーカスサーボ、トラックサーボが精度良くかからないという問題点もあった。
【０００４】
これらの課題を解決するため、本出願人は、特開２００２−１３３７０８および特開２００２−２６０２４５を提案している。
すなわち、特開２００２−１３３７０８の光学ユニットの組立調整装置では、調整装置内の基準光学系の調整方法を開示し、また、特開２００２−２６０２４５の光学部品の組付け調整装置及びその組付け調整方法では、基準光学系の光軸と対物レンズ中心がずれの発生しないフォーカス、トラックサーボ方法を提案した。
しかしながら、上記特開２００２−１３３７０８、特開２００２−２６０２４５では、ＬＤユニットの発光素子の出射角にずれが有る場合、光軸検出手段で検出される発光素子スポットに光量分布の偏りが生じ、光軸調整誤差が発生したり、基準光学系内のフォーカスエラー、トラックエラー検出手段に影響が及ぶことで、合焦位置特定時のトラック振幅最大位置と真の合焦位置のずれが発生したりして、ホログラム素子調整にフォーカスオフセットを招くという問題があった。また、上記特開２００２−１３３７０８に記載した出射角検出手段でＬＤユニットの発光素子の出射角ずれを検出してＬＤユニットの傾きを基準光学系光軸に対して調整するのが望ましいが、ホログラム素子を調整固定する面、ＬＤユニットをピックアップに固定する際に基準となる基準面が光軸に対して傾いてしまうため、光軸に対してホログラムが傾いてしまったり、ピックアップに取り付ける際の取り付け方法、調整が複雑になるという問題点があり、出射角ずれを調整できなかった。
【特許文献１】特開平８−１１１０２６号公報
【特許文献２】特開２０００−１４９２８７公報
【特許文献３】特開２００２−１３３７０８公報
【特許文献４】特開２００２−２６０２４５公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ＬＤユニットの発光素子に出射角ずれが存する場合であっても、正確なホログラム調整が可能であり、ピックアップに組み付ける際に取り付け、調整が容易なホログラムＬＤユニットの調整組立できる方法及びその装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１記載の発明は、発光素子と、上記発光素子からの光束をディスク上に集束させる対物レンズと、上記ディスクからの反射光を検出する受光素子と、上記発光素子から上記ディスクにいたる光束中に設けたホログラム素子により上記ディスクに情報の記録、再生を行う光ピックアップ装置において、上記発光素子、受光素子を所定位置に固定したＬＤユニットに対して上記ホログラム素子を位置、角度調整して組付けてホログラムＬＤユニットを組み立てるホログラムＬＤユニットの調整組立装置であって、上記ＬＤユニットの上記発光素子からの光束を上記調整組立装置内の光ピックアップと等価の基準光学系へ導き、その光束を上記調整組立装置内にもうけたディスク上に上記対物レンズにて集光させ、更にディスク面で反射された光束を上記ＬＤユニットに戻し、その戻り光が上記ホログラム素子を通過することにより回折された回折光が、上記受光素子の所定の位置に来るようにホログラム素子の位置、角度が調整されるように、上記ＬＤユニットの発光素子光束の出射角を測定する出射角検出手段と、その測定結果をもとに上記基準光学系の光軸に対する上記ＬＤユニットの傾き調整量を演算する演算手段と、上記演算結果をもとに上記ＬＤユニットの傾きを調整する出射角調整手段と、上記ＬＤユニットの傾き調整しろを確保した状態で上記基準光学系光軸に対してホログラム素子透過面を垂直に保つホログラム素子把持手段と、上記ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材の把持基準面を基準光学系光軸に対して垂直に把持する結合部材把持手段と、を具備することを特徴とする。
すなわち、ＬＤユニットの発光素子光束の出射角を測定する出射角検出手段と、その測定結果をもとに基準光学系光軸に対してＬＤユニットの傾きを調整する調整量を演算する演算手段と、演算結果をもとにＬＤユニットの傾きを調整する出射角調整手段と、ＬＤユニットの傾き調整しろを確保した状態で基準光学系光軸に対してホログラム素子透過面を垂直に保つホログラム素子把持手段と、把持基準面およびＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材の把持基準面を基準光学系光軸に対して垂直に把持する結合部材把持手段を持つことで、基準光学系光軸に対してＬＤユニット出射角ずれを調整し、基準光学系に対する出射角ずれの影響が無い状態でホログラム調整ができるため、信号オフセットの無い高精度なホログラム調整組立が可能となるとともに、ピックアップ組み付け時に結合部材基準面を基準とした容易な組みつけが可能となる。
【０００７】
また、請求項２記載の発明は、請求項１に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立装置において、上記ＬＤユニットと調整されるホログラム素子の間に、ホログラム素子摺動面とその面に平行な把持基準面、上記ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、ホログラム素子摺動面を基準光学系光軸に対して垂直に把持する結合部材把持手段を持つことを特徴とする。
すなわち、ＬＤユニットと調整されるホログラム素子の間にホログラム素子摺動面とその面に平行な把持基準面、ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、ホログラム素子摺動面を基準光学系光軸に対して垂直に把持する結合部材把持手段を持つことで、ＬＤユニットの出射角を調整した状態でも、ホログラム素子透過面を光軸に対して垂直に保つことができ、出射角ずれをキャンセルした状態で高精度なホログラム調整組立が可能となる。
また、請求項３記載の発明は、請求項１あるいは２に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立装置において、上記ＬＤユニットの発光素子からの光束の出射角検出結果をもとに上記基準光学系光軸に対して上記ＬＤユニットの傾きを調整する出射角調整手段を光軸調整手段の可動部上に構成したことを特徴とする。
すなわち、ＬＤユニットの発光素子からの光束の出射角検出結果をもとに基準光学系光軸に対してＬＤユニットの傾きを調整する出射角調整手段を光軸調整手段の可動部上に構成したことで、ＬＤユニットの光軸調整による発光素子発光点と出射角調整手段の回転中心の位置関係が変化しないため、容易に出射角ずれをキャンセルすることができ、高精度なホログラム調整組立が可能となる。
【０００８】
また、請求項４記載の発明は、請求項１あるいは２に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立装置において、上記出射角調整手段の回転中心が上記ＬＤユニットの発光素子発光点若しくは発光点の近傍に有るように構成することを特徴とする。
すなわち、出射角調整手段の回転中心がＬＤユニットの発光素子発光点若しくは発光点のできるだけ近くに有るように構成し、出射角ずれを調整したことによる光軸検出手段への影響を小さくすることで、容易に出射角ずれをキャンセルすることができ、高精度なホログラム調整組立が可能となる。
また、請求項５記載の発明は、請求項１あるいは２に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立装置において、上記基準光学系光軸に対して垂直なホログラム素子摺動面に沿って上記ホログラム素子の位置、角度を調整する調整手段および上記ＬＤユニットと調整されるホログラム素子の間に挿入する結合部材把持手段を光軸調整手段の可動部上に全て構成すること特徴とする。
すなわち、基準光学系光軸に対して垂直なホログラム素子摺動面に沿ってホログラム素子の位置、角度を調整する調整手段、ＬＤユニットと調整されるホログラム素子の間に挿入する結合部材把持手段を光軸調整手段の可動部上に全て構成することで、結合部材とＬＤユニットを硬化樹脂で固定する際、またホログラム素子を結合部材に固定する際に、出射角調整、ホログラム調整をした状態を保持してワークを基準光学系から引き出し、硬化樹脂の塗布、硬化をすることが可能となり、出射角ずれをキャンセルした状態で高精度なホログラム調整組立が容易に可能となる。
【０００９】
また、請求項６記載の発明は、発光素子と、上記発光素子からの光束をディスク上に集束させる対物レンズと、上記ディスクからの反射光を検出する受光素子と、上記発光素子から上記ディスクにいたる光束中に設けたホログラム素子により上記ディスクに情報の記録、再生を行う光ピックアップ装置において、上記発光素子、受光素子を所定位置に固定したＬＤユニットに対して上記ホログラム素子を位置、角度調整して組付けてホログラムＬＤユニットを組み立てるホログラムＬＤユニットの調整組立方法であって、上記ＬＤユニットの上記発光素子からの光束を上記調整組立装置内の光ピックアップと等価の基準光学系へ導き、その光束を上記調整組立装置内にもうけたディスク上に上記対物レンズにて集光させ、更にディスク面で反射された光束を上記ＬＤユニットに戻し、その戻り光が上記ホログラム素子を通過することにより回折された回折光が、上記受光素子の所定の位置に来るようにホログラム素子の位置、角度が調整されるように、上記ＬＤユニットの発光素子光束の出射角測定結果から上記ＬＤユニットの出射角ずれを演算するステップと、その調整量だけ出射角調整手段で上記ＬＤユニットの傾きを調整するステップと、上記ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入するステップと、結合部材把持手段で結合部材の把持基準面およびホログラム素子把持手段でホログラム素子透過面を基準光学系光軸に対して垂直に保った状態で、その戻り光束を使ってホログラムするステップと、を具備することを特徴とする。
すなわち、ＬＤユニットの発光素子光束の出射角の測定結果をもとに基準光学系光軸に対してＬＤユニットの傾きを調整する調整量を演算するステップと、演算結果をもとにＬＤユニットの傾きを調整するステップと、ＬＤユニットの傾き調整しろを確保した状態で基準光学系光軸に対してホログラム素子透過面を垂直に保つステップと、把持基準面およびＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材の把持基準面を基準光学系光軸に対して垂直に把持するステップを持つことで、基準光学系光軸に対してＬＤユニット出射角ずれを調整し、基準光学系に対する出射角ずれの影響が無い状態でホログラム調整ができるため、信号オフセットの無い高精度なホログラム調整組立が可能となるとともに、ピックアップ組み付け時に結合部材基準面を基準とした容易な組みつけが可能となる。
また、請求項７記載の発明は、請求項６に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、上記ＬＤユニットと調整されるホログラム素子の間にホログラム素子摺動面とその面に平行な把持基準面、上記ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、ホログラム素子摺動面に沿ってホログラムを調整することを特徴とする。
すなわち、ＬＤユニットと調整されるホログラム素子の間にホログラム素子摺動面とその面に平行な把持基準面、ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、ホログラム素子摺動面に沿ってホログラムを調整することで、ＬＤユニットの出射角を調整した状態でも、ホログラム素子透過面を光軸に対して垂直に保った状態で容易にホログラム素子の位置、角度を調整することができ、出射角ずれをキャンセルした状態で高精度なホログラム調整組立が可能となる。
【００１０】
また、請求項８記載の発明は、請求項７に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、上記結合部材と上記ＬＤユニット間の調整しろに硬化樹脂を充填し、上記ＬＤユニットの傾き調整後に硬化させた後、ホログラム素子摺動面に沿ってホログラムを調整することを特徴とする。
すなわち、結合部材とＬＤユニット間の調整しろに硬化樹脂を充填し、ＬＤユニットの傾き調整後に硬化させた後ホログラム素子摺動面に沿ってホログラムを調整することで、結合部材のホログラム素子摺動面を光軸に対して垂直に固定した状態で安定してホログラム素子の位置、角度を調整することができ、出射角ずれをキャンセルした状態で高精度なホログラム調整組立が可能となる。
また、請求項９記載の発明は、請求項６あるいは７に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、上記ＬＤユニットの光軸ずれ粗調整を行った後、上記ＬＤユニットの発光素子光束の出射角測定結果から出射角ずれの調整量を演算し、その調整量だけ上記出射角調整手段で上記ＬＤユニットの出射角を調整し、その後光束の光軸ずれ測定結果からＬＤユニット光軸調整量を演算し、その調整量だけ上記光軸調整手段で上記ＬＤユニットの光軸を微調整し、その戻り光束を使ってホログラム調整をすることを特徴とする。
すなわち、ＬＤユニットの光軸ずれ粗調整を行った後、ＬＤユニットの発光素子光束の出射角測定結果から出射角ずれの調整量を演算し、その調整量だけ出射角調整手段でＬＤユニットの出射角を調整し、その後光束の光軸ずれ測定結果からＬＤユニット光軸調整量を演算し、その調整量だけ光軸調整手段でＬＤユニットの光軸を微調整することで、出射角ずれを調整した際の光軸ずれを完全にキャンセルすることができ、高精度なホログラム調整組立が可能となる。
【００１１】
また、請求項１０記載の発明は、請求項９に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、上記ＬＤユニットの出射角調整、光軸調整を交互に繰り返し行い調整した光束の戻り光束を使ってホログラム調整をすることを特徴とする。
すなわち、ＬＤユニットの出射角調整、光軸調整を交互に繰り返し行うことで、光軸ずれを調整したことによる出射角検出手段への影響、出射角ずれを調整したことによる光軸検出手段への影響の交互作用を収束させ、高精度に光軸、出射角調整を行うことで、高精度なホログラム調整組立が可能となる。
また、請求項１１記載の発明は、請求項６あるいは７に記載のホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、出射角ずれの調整量が一定値以上になった場合、上記ホログラムＬＤユニットの調整組立を中止し、上記ＬＤユニットを不良品として排出することを特徴とする。
すなわち、出射角ずれの調整量が一定値以上になった場合、ホログラムＬＤユニットの調整組立を中止、ＬＤユニットを不良品として排出することで、出射角ずれ調整によるホログラム素子とＬＤユニット内受光素子の位置関係のずれが許容範囲外になり信号の劣化等を起こすことを防いだり、結合部材とＬＤユニット間に設けた調整しろが不足することを防止できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に添付の図を参照してこの発明の実施形態を詳細に説明する。
図１は、本発明による光学ピックアップ用ホログラムＬＤユニットの調整組立装置の一実施形態の構成図である。図２は、図１に示したホログラムＬＤユニットの構成図および調整方向の説明図であり、図２（ａ）及び（ｂ）は斜視図、（ｃ）は縦断面図である。
この光学ピックアップ用ホログラムＬＤユニットの調整組立装置は、光ピックアップ装置内で用いる発光素子１ａと受光素子１ｂ、光学部品（ホログラム素子２）を集積化したホログラムＬＤユニットの構成部品である発光素子１ａ、受光素子１ｂを所定位置に実装固定したＬＤユニット１に対して、ホログラム素子２の位置、角度を調整して受光素子１ｂに回折光が戻るように調整し組み立てる装置である。
図１に示すように、ＬＤユニット１は、ＬＤユニット把持部３により外形を把持されており、ＬＤユニット把持部３はＸ、Ｙ自動ステージ４ａ、４ｂを組み合わせたＬＤユニット光軸調整部４に固定されている。光軸調整部４は、ＬＤユニット１の発光素子光軸を調整装置内基準光学系の光軸に対して面内調整できるように構成されている。ホログラム素子２は、ホログラム素子把持部５により外形を把持されており、ホログラム素子把持部５は、Ｘ、Ｙ、θ自動ステージ６ａ、６ｂ、６ｃを組み合わせたホログラム素子調整部６に固定されている。このホログラム素子調整部６によりホログラム素子２はＬＤユニット１に対してＸ、Ｙ方向の位置調整、θ方向の角度調整が可能な様に構成されている。また、図２に示すように、ＬＤユニット１は、発光素子１ａおよび受光素子１ｂが内包された器にステム１ｄを介して接続端子１ｃが備えられている。
【００１３】
次に、図１および図２に示された光学ピックアップ用ホログラムＬＤユニットの調整組立装置の動作について説明する。
まず、ＬＤユニット１内の発光素子１ａから発光された光束は調整装置内の基準光学系に導かれる。導かれた光束が基準光学系の光軸と一致しているかどうか光軸検出部１１で検出し、先に説明したＬＤユニット１の光軸調整部４によりＬＤユニット面内位置を調整する。光軸検出部１１は、集光レンズで発光素子光束を集光させＣＣＤカメラ撮像素子上に導き、そのスポットを画像処理して、スポット重心位置を求めることで光軸位置の検出を行う。
発光素子１ａから発光され調整装置内の基準光学系に導かれた光束はコリメートレンズ７で平行光にされる。調整装置内の光束が平行光か否かを調整装置内に設けられた平行光検出部１２によって検出し、平行光でなければ平行光調整部８によりレンズ位置を調整する。調整装置内の基準光学系の平行光はディスク若しくは原盤１６の前に設けられた対物レンズ１５により集光される。集光された光束はディスク若しくは原盤１６面で反射され再び対物レンズ１５を通過平行光にされる。
次いで、ディスク若しくは原盤１６面に常に焦点を結ぶようにフォーカス検出部１３の検出信号で対物レンズ１５にフォーカスサーボをかける。焦点を結ぶ位置についてはディスク若しくは原盤１６をトラック溝横断方向に振動させながら対物レンズ１５をスキャンさせトラック信号振幅が最大になる位置を特定する方法を用いる。また焦点がディスク若しくは原盤１６面のトラック溝（グルーブ）の中心になるようにトラック検出手段の検出信号に従って調整し、ディスク若しくは原盤１６にトラックサーボをかける。この状態のディスク若しくは原盤１６面からの反射光が対物レンズ１５、コリメータレンズ７を通過してＬＤユニット１へと戻される。ＬＤユニット１手前にセットされたホログラム素子２によりこの戻り光は回折され、ＬＤユニット１内受光素子１ｂの複数の受光パターン上に集光する。前記ホログラム素子調整部６によりこの受光パターン上の集光位置が正規位置に来るように検出信号を検出しながら調整を行う。
【００１４】
ここで、ＬＤユニット１内の出射光束は、発光素子１ａの実装時のずれ、発光素子１ａの出射特性のばらつきからＬＤユニット基準面１ｅ（図２のステム１ｄの上面）に対して強度分布のピークが傾く出射角ずれを持っている場合がある。出射角ずれを有したＬＤユニット１に対してホログラム調整をする場合、出射角検出部１０で出射角ずれを測定し、出射角ずれが無いようにＬＤユニット傾きを調整し、その後ホログラム素子２を調整、接着するのが望ましい。
しかし、出射角ずれを調整すると、ＬＤユニット１の基準面、基準面と平行に設けられたホログラム素子２を調整固定する取り付け面が光軸に対して傾いてしまう。この場合、ホログラム素子が光軸に対して傾くという問題とピックアップに取り付ける際にＬＤユニットの基準面が傾いていると言う問題のため、取り付け方法が複雑になったり、出射角調整を再び実行せねばならないという問題点があった。
そこで、出射角ずれが許容範囲内のＬＤユニット１を選別し、出射角ずれの調整をせずにホログラム素子２の調整を行い、ＬＤユニット基準面１Ｅを基準にピックアップの組み付けを行うことが考えられる。しかし、許容範囲内の出射角ずれでも、図３に示すように光軸検出部１１で光軸ずれを検出する時に、出射角ずれによる光量分布の傾きにより、画像処理のスレッシュレベルの設定によっては２値化画像の重心位置が実際の光軸とずれ、そのずれた位置にＬＤユニット１を調整してしまう事態も生じ得る。また、光軸調整が正しくできた場合でも、出射角ずれによる光量分布の偏りがホログラムＬＤユニット調整組立装置の基準光学系内のフォーカスエラー、トラックエラー検出部１３の検出結果に影響を及ぼし、フォーカスオフセットが発生（トラック振幅が最大となる位置と合焦位置のずれ）、オフセットを履いた位置にホログラム素子２を調整してしまう。なお、図３は、出射角ずれの光軸調整への影響の説明図である。
【００１５】
そこで、この実施形態では、出射角ずれをキャンセルした状態でホログラム素子２をＬＤユニット１に対して調整するために、図１に示すように、ＬＤユニット１の発光素子光束の出射角測定結果からＬＤユニット１の出射角ずれを第１の演算部２３で演算し、その演算結果を出射角調整部１８へ送り、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、その調整量だけ出射角調整部１８によりＬＤユニット１の傾きを調整した状態で、把持基準面およびＬＤユニット１の傾き調整しろを持つ結合部材１９を挿入し、結合部材把持部２０によって把持基準面を、ホログラム素子把持部５によってホログラム素子透過面を基準光学系光軸に対して垂直に保った状態で、ホログラム調整を行うことで、前述の出射角ずれの基準光学系への影響をキャンセルし、信号オフセットの無いホログラムＬＤユニットの調整を行うことができる様にしている。なお、図５は、ホログラムＬＤユニットの調整組付方法の説明図である。
そして、ホログラム素子調整後は、図５（ｃ）に示すように、ＬＤユニット１とホログラム素子２、ＬＤユニット１と結合部材１９を硬化樹脂２５で固定する。ピックアップに組み付ける際は、結合部材の取り付け基準面（把持基準面）を基準に組み付ければ、出射角をキャンセルしたホログラムＬＤユニットの形成が可能となる（請求項１、６、８）。
上記硬化樹脂２５としては接着作業のやり易いＵＶ接着剤が望ましい。また、出射角検出部１０としては基準光学系内の平行光束中に設けた４分割受光素子の受光バランスを角度に変換することが考えられる。出射角調整部１８としてはα、β回転ステージを回転中心が一致するように組み合した調整手段が考えられる。
【００１６】
以上のように出射角を調整したことにより、ホログラム素子２を調整固定する取り付け面が光軸に対して傾いてしまうので、それを解決するための結合部材の変形例を以下に説明する。
すなわち、図６（ａ）に示すように、ＬＤユニット１と調整される光学部品（ホログラム素子）の間に光学部品摺動面とその面に平行な把持基準面、ＬＤユニットの傾き調整しろ分のスペース持つ結合部材１９ａを挿入し（請求項２）、さらに、図６（ｂ）に示すように、光学部品摺動面を基準光学系光軸に対して垂直になるように把持する結合部材把持部２０を調整組立装置内に配置する。
これにより、ホログラム素子透過面を光軸に対して垂直に保ったままＬＤユニット１の調整量を調整しろで吸収することが可能となり、出射角ずれをキャンセルしたホログラム調整組立ができるようになる。調整しろの量としては出射角ずれの調整必要量（最大±２度程度）とＬＤユニット１のホログラム素子取付面サイズ（１０×５ｍｍ程度）から決めればよい（０．１ｍｍ程度）。
また、ホログラムＬＤユニットの調整組立方法において、ＬＤユニット１と調整される光学部品との間に光学部品摺動面とその面に平行な把持基準面、ＬＤユニット１の傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、光学部品摺動面に沿ってホログラムを調整することもできる。この場合、ホログラム素子透過面を光軸に対して垂直に保った状態で常に調整できるため、ホログラム素子透過面倒れによる回折光の位置ずれが起こらないため、高精度なホログラム調整組立ができる（請求項７）。
また、図７に示すように、結合部材１９ａとＬＤユニット１間の調整しろに硬化樹脂２５を充填し、ＬＤユニット１の傾き調整後に硬化させた後光学部品摺動面に沿ってホログラムを調整することで、より安定な状態でホログラム素子の位置、角度を調整することもできる（請求項８）。
以上のように構成することにより、出射角を調整した状態でも、ホログラム素子透過面を光軸に対して垂直に保ち、ピックアップにＬＤユニット１を取り付ける際に結合部材１９の基準面を基準とした容易な取り付けを可能にすることができる（図６参照）。
【００１７】
また、出射角調整部構成として、ＬＤユニット１の光軸調整による発光素子発光点と出射角調整部１８の回転中心の位置関係が変化しないように、出射角調整部１８を光軸調整部４の可動部上に構成することもできる（請求項３）。
また、図４に示すように、出射角調整部１８の回転中心がＬＤユニット１の発光素子発光点若しくは発光点のできるだけ近くに位置するように構成することで、出射角調整による発光素子発光点の光軸ずれ量を小さくし、出射角調整、光軸調整を容易にすることもできる（請求項４）。なお、発光点と回転中心のずれ量としては、出射角ばらつきに対してその出射角調整を行った場合の光軸ずれ量が光軸調整条件以下であることが望ましい。
また、ＬＤユニットの光軸調整、出射角ずれの調整方法としては、ホログラムＬＤユニット１の調整組立方法において、ＬＤユニット１の光軸ずれ粗調整を行った後、ＬＤユニット１の発光素子光束の出射角測定結果から出射角ずれの調整量を第１の演算部２３で演算し、その調整量だけ出射角調整部１８でＬＤユニット１の出射角を調整し、その後光束の光軸ずれ測定結果からＬＤユニット光軸調整量を第２の演算部２７で演算し、その調整量だけ光軸調整部４でＬＤユニット１の光軸を微調整し、その戻り光束を使ってホログラム調整をすることもできる。すなわち、光軸調整の粗調整を行った後、出射角測定、出射角調整を行い、その後出射角調整により発生した微妙な光軸ずれを光軸測定で測定して微調整することで、出射角ずれを調整した際の光軸ずれをキャンセルすることができる（請求項９）。
【００１８】
また、図８のフローチャートに示すように、ＬＤユニット１の出射角調整、光軸調整を交互に繰り返し行うことで、光軸ずれを調整したことによる出射角検出部１０への影響、出射角ずれを調整したことによる光軸検出部１１への影響の交互作用を収束させ高精度に光軸、出射角の調整を行うこともできる（請求項１０）。
すなわち、図８のステップ１０１において、ＬＤユニット１の光軸測定を行い、ＬＤユニット光軸調整（粗調整）を行う（ステップ１０３）。次に、光軸が光軸粗調整条件以内の場合（ステップ１０５）、非点収差測定を行い（ステップ１０７）、続いてＣＬ位置調整を行う（ステップ１０９）。次に、ＣＬ調整条件以内の場合（ステップ１１１）、ＬＤユニット出射角測定を行い（ステップ１１３）、ＬＤユニット出射角調整を行う（ステップ１１５）。次に、出射角調整条件以内の場合（ステップ１１７）、ＬＤユニット１の光軸測定を行い（ステップ１１９）、ＬＤユニット光軸調整（微調整）を行う（ステップ１２１）。次に、光軸が光軸微調整条件以内で出射角調整を行った場合（ステップ１２３、１２５）、処理を終了する。なお、上記ステップ１１７、１２３において、条件が満たされていない場合、それぞれステップ１１３、１１９に戻り、出射角調整および光軸調整を繰り返し行う。
また、図９のホログラムＬＤユニット調整フローチャートに示すように、結合部材１９と出射角調整をしたＬＤユニット１を硬化樹脂で固定する時や調整したホログラム素子２を結合部材１９の光学部品摺動面に硬化樹脂２５で固定する時に、硬化樹脂２５を塗布するスペース、硬化樹脂２５を硬化させるスペースを確保するため、駆動軸を使ってワークを基準光学系から引き出すこともできる。
すなわち、図９のステップ２０１において、ＬＤユニット１をセット把持した後、結合部材１９をセット把持し（ステップ２０３）、ホログラム素子２をセット把持する（ステップ２０５）。次に、ホログラムＬＤ調整部を基準光学系に挿入し（ステップ２０７）、ＬＤユニット光軸調整（粗調整）を行い（ステップ２０９）、ＣＬ位置調整を行い（ステップ２１１）、ＬＤユニット出射角調整を行い（ステップ２１３）、ＬＤユニット光軸調整（微調整）を行う（ステップ２１７）。次に、ホログラムＬＤ調整部を基準光学系から引き出し（ステップ２１７）、結合部材１９とＬＤユニット１の間に硬化樹脂２５を塗布して硬化させ（ステップ２１９）、ホログラムＬＤ調整部を基準光学系に挿入し（ステップ２２１）、ＬＤユニット光軸調整を行い（ステップ２２３）、対物レンズ１５の合焦位置の調整を行い（ステップ２２５）、原盤のトラック位置の調整を行い（ステップ２２７）、ホログラム位置角度の調整を行う（ステップ２２９）。そして、ホログラムＬＤ調整部を基準光学系から引き出し（ステップ２３１）、結合部材１９とホログラム素子２の間に硬化樹脂２５を塗布して硬化させ（ステップ２３３）、処理を終了させる。
【００１９】
また、基準光学系光軸に対して垂直な光学部品摺動面に沿ってホログラム素子２の位置、角度を調整する調整部６、ＬＤユニット１と調整される光学部品の間に挿入する結合部材把持部２０を光軸調整部４の可動部上に全て構成して、出射角調整、ホログラム調整をした状態を保持してワークを基準光学系から引き出し、硬化樹脂２５の塗布、硬化をすることもできる（請求項５）。また、再度基準光学系にワークを挿入した際には、出射角調整、ホログラム調整をした状態を保持した状態で光軸調整のみを行うことでワークを基準光学系から引き出す前の状態を再現することができる。
また、出射角ずれの調整量が一定値以上になった場合、ホログラムＬＤユニット１の調整組立を中止、ＬＤユニット１を不良品として排出することで、出射角ずれ調整によるホログラム素子２とＬＤユニット内受光素子の位置関係のずれが許容範囲外になり信号の劣化等を起こすことを防ぐこともできる（請求項１１）。この場合、結合部材１９とＬＤユニット１間に設けた調整しろが不足することを防ぐことが可能となる。
【００２０】
【発明の効果】
以上の説明から理解されるように、本発明によれば、ＬＤユニットの発光素子光束の出射角を測定する出射角検出手段と、その測定結果をもとに基準光学系光軸に対してＬＤユニットの傾きを調整する調整量を演算する演算手段と、演算結果をもとにＬＤユニットの傾きを調整する出射角調整手段と、ＬＤユニットの傾き調整しろを確保した状態で基準光学系光軸に対してホログラム素子透過面を垂直に保つホログラム素子把持手段と、把持基準面およびＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材の把持基準面を基準光学系光軸に対して垂直に把持する結合部材把持手段を持つことで、基準光学系光軸に対してＬＤユニット出射角ずれを調整し、基準光学系に対する出射角ずれの影響が無い状態でホログラム調整ができるため、信号オフセットの無い高精度なホログラム調整組立が可能となるとともに、ピックアップ組み付け時に結合部材基準面を基準とした容易な組みつけが可能となる（請求項１、６に対応する作用効果）。
また、ＬＤユニットと調整される光学部品の間に光学部品摺動面とその面に平行な把持基準面、ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、光学部品摺動面を基準光学系光軸に対して垂直に把持する結合部材把持手段を持つことで、ＬＤユニットの出射角を調整した状態でも、ホログラム素子透過面を光軸に対して垂直に保つことができ、出射角ずれをキャンセルした状態で高精度なホログラム調整組立が可能となる（請求項２に対応する作用効果）。
また、ＬＤユニットの発光素子からの光束の出射角検出結果をもとに基準光学系光軸に対してＬＤユニットの傾きを調整する出射角調整手段を光軸調整手段の可動部上に構成したことで、ＬＤユニットの光軸調整による発光素子発光点と出射角調整手段の回転中心の位置関係が変化しないため、容易に出射角ずれをキャンセルすることができ、高精度なホログラム調整組立が可能となる（請求項３に対応する作用効果）。
また、出射角調整手段の回転中心がＬＤユニットの発光素子発光点若しくは発光点のできるだけ近くに有るように構成し、出射角ずれを調整したことによる光軸検出手段への影響を小さくすることで、容易に出射角ずれをキャンセルすることができ、高精度なホログラム調整組立が可能となる（請求項４に対応する作用効果）。
【００２１】
また、基準光学系光軸に対して垂直な光学部品摺動面に沿ってホログラム素子の位置、角度を調整する調整手段、ＬＤユニットと調整される光学部品の間に挿入する結合部材把持手段を光軸調整手段の可動部上に全て構成することで、結合部材とＬＤユニットを硬化樹脂で固定する際、またホログラム素子を結合部材に固定する際に、出射角調整、ホログラム調整をした状態を保持してワークを基準光学系から引き出し、硬化樹脂の塗布、硬化をすることが可能となり、出射角ずれをキャンセルした状態で高精度なホログラム調整組立が容易に可能となる（請求項５に対応する作用効果）。
また、ＬＤユニットと調整される光学部品の間に光学部品摺動面とその面に平行な把持基準面、ＬＤユニットの傾き調整しろを持つ結合部材を挿入し、光学部品摺動面に沿ってホログラムを調整することで、ＬＤユニットの出射角を調整した状態でも、ホログラム素子透過面を光軸に対して垂直に保った状態で容易にホログラム素子の位置、角度を調整することができ、出射角ずれをキャンセルした状態で高精度なホログラム調整組立が可能となる（請求項７に対応する作用効果）。
また、結合部材とＬＤユニット間の調整しろに硬化樹脂を充填し、ＬＤユニットの傾き調整後に硬化させた後光学部品摺動面に沿ってホログラムを調整することで、結合部材の光学部品摺動面を光軸に対して垂直に固定した状態で安定してホログラム素子の位置、角度を調整することができ、出射角ずれをキャンセルした状態で高精度なホログラム調整組立が可能となる（請求項８に対応する作用効果）。
また、ＬＤユニットの光軸ずれ粗調整を行った後、ＬＤユニットの発光素子光束の出射角測定結果から出射角ずれの調整量を演算し、その調整量だけ出射角調整手段でＬＤユニットの出射角を調整し、その後光束の光軸ずれ測定結果からＬＤユニット光軸調整量を演算し、その調整量だけ光軸調整手段でＬＤユニットの光軸を微調整することで、出射角ずれを調整した際の光軸ずれを完全にキャンセルすることができ、高精度なホログラム調整組立が可能となる（請求項９に対応する作用効果）。
また、ＬＤユニットの出射角調整、光軸調整を交互に繰り返し行うことで、光軸ずれを調整したことによる出射角検出手段への影響、出射角ずれを調整したことによる光軸検出手段への影響の交互作用を収束させ、高精度に光軸、出射角調整を行うことで、高精度なホログラム調整組立が可能となる（請求項１０に対応する作用効果）。
また、出射角ずれの調整量が一定値以上になった場合、ホログラムＬＤユニットの調整組立を中止、ＬＤユニットを不良品として排出することで、出射角ずれ調整によるホログラム素子とＬＤユニット内受光素子の位置関係のずれが許容範囲外になり信号の劣化等を起こすことを防いだり、結合部材とＬＤユニット間に設けた調整しろが不足することを防いだりすることが可能となる（請求項１１に対応する作用効果）。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光学ピックアップ用ホログラムＬＤユニットの調整組立装置の一実施形態の構成図である。
【図２】図１に示したホログラムＬＤユニットの構成図および調整方向の説明図であり、（ａ）（ｂ）は斜視図、（ｃ）は断面図である。
【図３】図１に示したホログラムＬＤユニットにおける出射角ずれの光軸調整への影響の説明図であり、（ａ）（ｂ）（ｃ）は説明図、（ｄ）は特性図である。
【図４】図１に示した出射角調整部、光軸調整部、ホログラム素子調整部の構成部である。
【図５】図１に示したホログラムＬＤユニットの調整組付方法の説明図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）（ｃ）は断面図である。
【図６】図１に示したホログラムＬＤユニットの他の調整組付方法の説明図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）（ｃ）は断面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は図１に示したホログラムＬＤユニットの他の調整組付フローを示す断面図である。
【図８】図１に示したホログラムＬＤユニットの調整組立装置における出射角調整、光軸調整、ホログラム素子調整のフローチャートである。
【図９】図６、図７に示した結合部材を使用して出射角調整を行った場合の調整フローチャートである。
【符号の説明】
１…ＬＤユニット、１ａ…発光素子、１ｂ…受光素子、２…ホログラム素子、３…ＬＤユニット把持部、４…ＬＤユニット光軸調整部、４ａ、４ｂ…ＸＹ軸ステージ、５…ホログラム素子把持部、６…ホログラム素子調整部、６ａ、６ｂ、６ｃ…ＸＹθ軸ステージ、７…コリメートレンズ、８…平行光調整部、１０…出射角検出部、１１…光軸検出部、１２…平行光検出部、１３…トラックエラー検出部、１５…対物レンズ、１６…原盤、１８…出射角調整部、１９…結合部材、２０…結合部材把持部、２３…第１の演算部、２５…硬化樹脂、２７…第２の演算部
【図１】
2004192745.tif 000003
【図２】
2004192745.tif 000004
【図３】
2004192745.tif 000005
【図４】
2004192745.tif 000006
【図５】
2004192745.tif 000007
【図６】
2004192745.tif 000008
【図７】
2004192745.tif 000009
【図８】
2004192745.tif 000010
【図９】
2004192745.tif 000011