(57)【要約】　　　（修正有）【課題】小型で高信頼性のパワーモニタ装置の簡単で信頼性の高い構造及び製造方法を提供する。【解決手段】（ａ）　入射光を平行ビームにするコリメータ手段１２０と、（ｂ）　コリメータ手段上に形成された部分透過反射膜を有する部分透過反射手段１２５と、（ｃ）　コリメータ手段に入る入射光ビームを受信する入力光ポート１０６と、部分透過反射手段が反射した出力光ビームを受信する出力光ポート１０７とを有するデュアルファイバフェルール１１０と、（ｄ）　部分透過反射膜から来る平行ビームのタップ部分を受信して光強度を検出する光信号検出手段１４０とを具備し、平行ビームのタップ部分を通過させることにより光パワーを測定し監視することを特徴とする光パワーモニタ。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）　入射光を平行ビームにするコリメータ手段と、（ｂ）その光パワーを測定し監視するために前記平行ビームの一部を通過させる部分透過反射手段とを具備し、前記部分透過反射手段がコリメータ手段上に形成された部分透過反射膜を有することを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項２】
請求項１に記載の光パワーモニタにおいて、前記コリメータ手段に入る入射光ビームを受信する入力光ポートと、前記部分透過反射手段が反射した出力光ビームを受信する出力光ポートとを有するデュアルファイバフェルールを有することを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光パワーモニタにおいて、前記部分透過反射膜から来る前記平行ビームの前記タップ部分を受信して光強度を検出する光信号検出手段を有することを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項４】
請求項３に記載の光パワーモニタにおいて、前記光信号検出手段は、光強度を検出するために前記平行ビームの前記タップ部分の焦点をフォトダイオード上に合わせる集光レンズを有することを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれかに記載の光パワーモニタにおいて、前記デュアルファイバフェルールを支持する第１の支持管、及び前記コリメータ手段を支持する第２の支持管を有し、前記第１の支持管と前記第２の支持管との間には、前記部分透過反射手段が反射した前記出力光ビームの光学損失を最小にするための位置調整用の光軸方向間隙が設けられていることを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれかに記載の光パワーモニタにおいて、前記コリメータ手段及び前記光信号検出手段を保持してそれらの相対位置を固定する第３の支持管を有することを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれかに記載の光パワーモニタにおいて、前記コリメータ手段及び前記光信号検出手段を保持してそれらの相対位置を固定する第３の支持管と、前記コリメータ手段に対向するとともに前記第３の支持管の後方開口部を密封状態に塞ぐ密封筐体とを有し、前記密封筐体は前記集光レンズ及び前記フォトダイオードを固定し、前記集光レンズは前記部分透過反射膜に対して実質的に最適な位置に設置されていることを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項８】
請求項４に記載の光パワーモニタにおいて、前記集光レンズはシリカ球レンズであることを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項９】
請求項４に記載の光パワーモニタにおいて、前記集光レンズは非球面レンズであることを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項１０】
請求項２〜４のいずれかに記載の光パワーモニタにおいて、前記コリメータ手段は光学主軸に対して傾斜したレンズ面を有するＧＲＩＮレンズであり、前記傾斜レンズ面は焦点の最適化のために前記デュアルファイバフェルールの平行なフェルール面に空隙を介して対面していることを特徴とする光パワーモニタ。
【請求項１１】
入射光を平行ビームにするコリメータ手段を使用し、前記コリメータ手段上に部分透過反射膜を形成して、前記平行ビームのタップ部分を通過させ、もって光パワーを測定し監視することを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光パワーの監視方法において、入射光ビームをデュアルファイバフェルールの入力光ポートを介して前記コリメータ手段に入れ、前記部分透過反射膜が反射した出力光ビームを前記デュアルファイバフェルールの出力光ポートに入れることを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載の光パワーの監視方法において、前記部分透過反射膜から来る前記平行ビームの前記タップ部分を光信号検出手段に入れ、光強度を検出することを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の光パワーの監視方法において、前記平行ビームの前記タップ部分を前記光信号検出手段に入れる際に、前記平行ビームの前記タップ部分を集光レンズに入れ、前記平行ビームの前記タップ部分の焦点を光強度検出用のフォトダイオード上に合わせることを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項１５】
請求項１２〜１４のいずれかに記載の光パワーの監視方法において、前記デュアルファイバフェルールを支持する第１の支持管、及び前記コリメータ手段を支持する第２の支持管を使用し、前記第１の支持管と前記第２の支持管の光軸方向位置を調整して、前記部分透過反射手段が反射した前記出力光ビームの光学損失を最小にすることを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項１６】
請求項１３に記載の光パワーの監視方法において、前記コリメータ手段及び前記光信号検出手段を保持してそれらの相対位置を固定する第３の支持管を使用することを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項１７】
請求項１４に記載の光パワーの監視方法において、前記コリメータ手段及び前記光信号検出手段を保持してそれらの相対位置を固定する第３の支持管を使用し、前記コリメータ手段に対向するとともに前記第３の支持管の後方開口部を密封し、前記集光レンズ及び前記フォトダイオードを固定する密封筐体を使用し、前記密封筐体は前記後方開口部を密封するとともに前記集光レンズを前記部分透過反射膜に対して実質的に最適に位置決めすることを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項１８】
請求項１４に記載の光パワーの監視方法において、前記平行ビームの前記タップ部分を受信する集光レンズとしてシリカ球レンズを使用することを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項１９】
請求項１４に記載の光パワーの監視方法において、前記平行ビームの前記タップ部分を受信する集光レンズとして非球面レンズを使用することを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項２０】
請求項１２に記載の光パワーの監視方法において、前記コリメータ手段として光学主軸に対して傾斜したレンズ面を有するＧＲＩＮレンズを使用し、焦点の最適化のために前記傾斜レンズ面を前記デュアルファイバフェルールの平行なフェルール面に空隙を介して対面させることを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項２１】
光信号のタップ部分を集光検出手段に入れるコリメータ兼タッピング手段と、前記コリメータ兼タッピング手段を保持するとともに前記コリメータ兼タッピング手段と前記集光検出手段の相対位置を固定する支持管と、前記コリメータ兼タッピング手段に対向するとともに前記支持管の後方開口部を密封する密封筐体とを使用する光パワーの監視方法であって、前記密封筐体は前記支持管の前記後方開口部を密封しながら、前記集光検出手段を前記コリメータ兼タッピング手段に対して最適な位置に保持することを特徴とする光パワーの監視方法。
【請求項２２】
支持管の後方開口部を密封する密封筐体であって、前記後方開口部を密封するように位置決めされた少なくとも２つの光学部品を保持し、前記少なくとも２つの光学部品は前記後方開口部に対向する前方開口部から挿入される第３の光学部品とともに適切な機能を発揮することを特徴とする密封筐体。
【請求項２３】
請求項２２に記載の密封筐体において、集光レンズ及びフォトダイオードを所定の位置に保持することを特徴とする密封筐体。
【請求項２４】
請求項２３に記載の密封筐体において、前記支持管の前方開口部から挿入したＧＲＩＮレンズを保持する支持管を備えることを特徴とする密封筐体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に光パワーモニタの構造及びその製造方法に関し、特に信頼性の高い光パワーモニタの簡略な構造及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光デバイスの設計及び製造に関する技術分野において、様々な光学システムで簡便に自己監視機能及び自己診断機能を発揮し、信頼性が高く適応範囲が広い、小型パワーモニタ等の光センサや光パワーモニタデバイスを提供することが当業者の課題となっている。つまり、様々な光学システムが益々複雑化する一方で、より広い帯域幅の信号を伝送する光ネットワーク通信システムが益々広範に用いられるようになり、光学システムのメンテナンス及びトラブルシューティングは益々困難になってきている。
【０００３】
システムの保守、診断及び修理による通信の中断時間及びそれらにかかるコストを減らすために、自己監視機能及び自己診断機能、さらには自己修正機能をも備えた「スマート」なシステムが望まれている。このようなシステムを実現するためにはまず、様々な光学システムにおいてより多くの検知及び監視装置を導入することが、システム及び運転状況の連続検知及び連続検出を実行する上で必要である。
【０００４】
システムの検知及び監視は多くの場合において、新規システムだけでなく既存のシステムにも必要である。既存のシステムにセンサ及びモニタを設置するためには、既存の構造及び設備状況に応じて使用可能で、操作範囲が広く、小型のセンサ及びモニタが必要となることが多い。光学センサ装置及び光パワーモニタ装置に関する従来の技術では、このような応用に適した十分に小型で融通性及び信頼性の高い、光パワーモニタ等のセンサ及びモニタを提供することができなかった。
【０００５】
これらの理由により、上述の問題を解決するべく、小型で操作性に優れた高信頼性の光パワーモニタの設計及び製造技術の改良が求められている。つまり、光パワーモニタの構造及び製造方法を改良及び単純化して、小型で高信頼性の光パワーモニタを低コストで得ることが求められている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従って本発明の目的は、上記の問題点を解消し、小型で高信頼性のパワーモニタ装置の簡単で信頼性が高い構造及び製造方法を提供することである。
【０００７】
本発明は、部分透過反射膜としてのタッピング膜をＧＲＩＮレンズに直接形成することにより、位置合わせ及び組み立て工程を省き、製造工程を簡略化することができる。更に新規で改良された構造及び製造方法では、ファイバ束の光軸とＧＲＩＮレンズ間にわずかな線形シフトを設けることにより、ＧＲＩＮレンズを通過する入射ビームと反射ビームの間の光路偏差を利用している。一組の支持管による新規で改良された位置合わせ方法によって、入射及び反射ビーム間の挿入損失を最小にして、挿入損失が少なく、より信頼性の高い光パワーモニタ装置が得られる。
【０００８】
具体的には、本発明の目的は光学システムにおける信号をサンプリングし監視する簡単で信頼性の高い装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
フィルタを中心としてパッケージする構造にすることによりパワーモニタの環境安定性を高めることができる。装置構造の小型化及び装置製造工程の簡略化のための設計の一つとして、タップ素子及び検出素子を統合した。また新規で改良された構造は、信号収集効率を改善するために、光の収集と光の焦点合わせを同時に行う機能を利用している。光を収集すると同時に光の焦点を合わせるユニットは、感度及び応答時間が多様な各種のセンサに適応できるように、密封センサ筐体の一部としてパッケージされている。
【００１０】
従って本発明の光パワー検知装置は、信号強度の検出だけでなく、データ品質の分析等の広範囲な用途に利用することができる。従って、本発明の新規で改良された装置を既存の種々の光学システムに装着する場合、超小型で、適応範囲が広く、長期間に渡る装置信頼性が高く、設計の自由度が高いというような重要な利点が得られる。
【００１１】
さらに本発明の簡単な構造により光パワー検知装置の製造工程を合理化し、生産コストを削減することができる。
【００１２】
要約すると、本発明の好ましい実施態様による新規な光パワーモニタは入射光を平行ビームにするコリメータを有する。本発明の光パワーモニタはさらに、部分透過反射膜を通過した平行ビームのタップ部分により光強度を検出する。コリメータ上に形成した部分透過反射膜は平行ビームの残部を、連続光送信用の別の光送信メディアに反射する。
【００１３】
本発明の光パワーの監視方法の好ましい例では、（Ａ）　入射光を平行ビームにするコリメータ手段を用い、（Ｂ）　光強度の検出及び監視に用いる平行ビームのタップ部分を通過させる部分透過反射膜をコリメータ手段上に形成する。デュアルファイバフェルールの入力光ポートを介して入射光ビームをコリメータ手段に入れ、部分透過反射膜が反射した出力光ビームをデュアルファイバフェルールの出力光ポートに入れるのが好ましい。また部分透過反射膜から来る平行ビームのタップ部分を光信号検出手段に入れ、光強度を検出するのが好ましい。
【００１４】
添付図面に示す好ましい実施態様に関する以下の詳細な説明により、本発明の目的及び利点が当業者にとって明らかになるであろう。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１を参照して、本発明の光パワーモニタ１００の好ましい態様について説明する。改良型パワーモニタ１００は、入力用光ファイバ１０６からの入力ビームの受信及び出力用光ファイバ１０７への出力ビームの送信のためのデュアルファイバフェルール１１０を有する。
【００１６】
入力用光ファイバ１０６から受信した入力ビームはフィルタコーティング１２５を有するＧＲＩＮレンズ１２０等のビームコリメータ１２０に入射する。フィルタコーティング１２５は、ビームスプリッタ／タッピングフィルタ（光の一部を透過させ、残部を反射する部分透過反射膜）として機能する。入力用光ファイバ１０６から受信したビームの強度を測定するために、集光レンズ１３０を通ったビームのタップ部分をフォトダイオード１４０等の光検出器に送る。
【００１７】
スプリッタ／タッピングフィルタ１２５はさらにビームの大部分を反射し、反射されたビームはＧＲＩＮレンズ１２０を通して出力光ビームとして出力用光ファイバ１０７に送られる。熱安定性を最大にし、光エネルギー損失を削減し、もって光損傷閾値を増加させるために、スプリッタ／タッピングフィルタ１２５はＧＲＩＮレンズ１２０の集光面上に多層コーティングとして形成されている。スプリッタ／タッピングフィルタ１２５を直接ＧＲＩＮレンズ１２０上に形成することにより、装置の構造が簡単になり、保守が容易になるのみならず、ＧＲＩＮレンズ１２０と他の光フィルタとの間の位置合わせ（多層コーティングフィルタの代わりに離隔した反射／タッピング手段を用いる場合に必要）が不要になる。
【００１８】
光スプリッタ比は光電信号強度及び総光信号強度損失のレベルに合わせて調整することができる。一般的にタップされた信号が初期ビーム強度の１〜１０％の範囲となるように多層フィルタコーティングを形成する。
【００１９】
デュアルファイバフェルール１１０及びＧＲＩＮレンズ１２０の対向端面１０１及び１１１はそれぞれ、反射減衰量を大きくするために、傾斜角θ＝８°の平行面として配置される。これらの傾斜面を通過する光信号の光学損失を減らすために、これらの両端面１０１，１１１を反射防止多層コーティングで被覆されている。信号損失を最小に調整するために、デュアル光ファイバフェルール１１０及びＧＲＩＮレンズ１２０は２つの支持管１０５及び１２４によってそれぞれ支持されている。
【００２０】
これらの２つの支持管１０５及び１２４は平行な境界面を有し、ＧＲＩＮレンズ１２０及びデュアル光ファイバフェルール１１０の光軸方向の線形位置のみを確実に調整する。焦点の最適化のためにデュアルファイバフェルール１１０及びＧＲＩＮレンズ１２０の間に空隙１２１が設けられている。２つの支持管１０５及び１２４間のごく僅かな間隙１２３は光軸方向の自由な動きを可能にする。これらの２つの支持管１０５及び１２４でＧＲＩＮレンズ１２０及びデュアルファイバフェルール１１０を支持することができる。２つの線形方向［光軸（Ｚ軸）に垂直なＸ軸方向及びＹ軸方向］に沿ってＧＲＩＮレンズ１２０とデュアルファイバフェルール１１０との相対位置を調整することにより、位置合わせ工程を非常に単純化することができるとともに、入力端１０６と出力端１０７との間の光学損失を最小にすることができる。
【００２１】
図２は位置合わせを概略的に示す。主光軸（Ｚ軸）に沿ってデュアルファイバフェルール１１０及びＧＲＩＮレンズ１２０を相対的に動かすことによって、焦点を合わせることができる。一方、Ｘ−Ｙ平面における相対的な動きにより、平行入射ビームと主光軸（Ｚ軸）との間の角度が変化する。従って、入射ビームと出力ビームの相対位置は３次元で位置合わせ調整することができる。好ましい実施態様において、入力光ファイバ１０６と出力光ファイバ１０７との距離は約１２５μｍである。部分透過反射膜コーティング１２５が投射する光ビームの方向と、Ｚ軸に沿ったデバイスの主光軸との角度αは約１．８°である。
【００２２】
再度図１を参照すると、構造を一体化するために、第三の支持管１５０によってＧＲＩＮレンズ１２０及び集光レンズ１３０を支持していることが分かる。支持管１５０はフォトダイオード１４０も支持しており、さらに支持管１５０の後端から支持管及びフォトダイオード１４０を密封するための密封金属筐体１６０を有する。暗電流及びキャパシタンスはセンサの感受面積の物理的な大きさにより決定され、これらの関数パラメータはさらに、それぞれＳＮ比（Ｓ／Ｎ）及びアナログ応答帯域に影響を及ぼす。
【００２３】
より高いＳＮ比及びより速い応答を得るためには、キャパシタンス及び暗電流を下げるのが望ましいが、フォトダイオード１４０の感受面積を減らすことによっても同様の結果が得られる。しかしフォトダイオード１４０の感受面積がより広くなると、受光検出量が多くなる。感受面積が直径５０μｍ〜１００μｍとなるように接近させることにより、十分なＳＮ比及び２ＧＨｚまでの応答速度が得られる。
【００２４】
具体例としては、ビームスプリッタ／タッピングフィルタ１２５の発光ビームサイズは直径約３００〜５００μｍである。小型パワーモニタ用デバイスを製造するためには、検出器１４０を小さくし、さらにスプリッタ／タッピングフィルタ１２５から検出器１４０への光路を短くするために、集光距離の短い集光レンズ１３０を用いる必要がある。図１に示した具体的な構造においては、短焦点レンズ１３０が密封筐体１６０の一部をなしている。シリカ球レンズは低コストで性能が良いため、好ましく用いられる。さらにより小型なパワーモニタを得るために、特別に設計された非球面レンズを用いてスペースを減らしてもよい。
【００２５】
支持管１５０及び密封筐体１６０を用いて、密封筐体１６０内の決まった位置に集光レンズ１３０及びフォトダイオード１４０を固定することにより、製造工程を極めて簡略化し得る自動位置決め構造が得られる。さらに製造時間及びコストを削減し、構造の一体化及び製品の信頼性を改善することもできる。分岐ビームの焦点をフォトダイオード１４０上に合わせられるので、２つの電極１４５を通して光強度測定用として直接変換できる量の光電電流を発生させることにより、光エネルギーが電気エネルギーに変換される。よりフレキシブルにタップ光信号を処理することができるように、光センサチップ上にプリアンプを設置してさらに光検出器１４０と一体化することもできる。
【００２６】
図１〜図３を参照しながら本発明の光パワーモニタについてさらに詳述する。パワーモニタは入射光を平行ビームにするコリメータ手段１２０を有する。パワーモニタはさらに光強度の検出及び監視に用いる平行ビームのタップ部分を通過させるビームスプリッタ／タッピング手段（部分透過反射手段）を有し、ビームスプリッタ／タッピング手段はコリメータ手段上に形成されたビームスプリッタ／タッピング膜（部分透過反射膜）１２５を有する。
【００２７】
好ましい態様において本発明のパワーモニタはさらに、コリメータ手段１２０に送られる入射光ビームが入る入力光ポート１０６と、スプリッタ／タッピング手段が反射した出力光ビームが入る出力光ポート１０７とを有するデュアルファイバフェルール１１０を備えている。
【００２８】
別の好ましい態様において本発明のパワーモニタはさらに、部分透過反射膜から来る平行ビームのタップ部分が入る光信号検出手段１４０を有し、光信号検出手段１４０により光強度を検出する。さらに別の好ましい態様において光信号検出手段は平行ビームのタップ部分の焦点を光強度検出用のフォトダイオード１４０上に合わせるための集光レンズ１３０を有する。
【００２９】
さらに別の好ましい態様において本発明のパワーモニタはさらに、デュアルファイバフェルール１１０を支持する第１の支持管１０５、及びコリメータ手段１２０を支持する第２の支持管１２４を有し、第１の支持管と第２の支持管の光軸方向位置を調整することにより、部分透過反射手段（スプリッタ／タップ手段）が反射した出力光ビームの光学損失を最小にする。
【００３０】
さらに別の好ましい態様における本発明のパワーモニタはさらに、コリメータ手段及び光信号検出手段１４０を保持してそれらの相対位置を固定する第３の支持管１５０を有する。さらに別の好ましい態様における本発明のパワーモニタはさらに、コリメータ手段に対向するとともに第３の支持管の後方開口部を密封する密封筐体１６０を有し、密封筐体は集光レンズ１３０及び前記フォトダイオード１４０を保持してそれらの相対位置を固定し、後方開口部を密封するとともに集光レンズを部分透過反射膜に対して実質的に最適に位置決めする。
【００３１】
さらに別の好ましい態様では、集光レンズはシリカ球からなるレンズである。さらに別の好ましい態様では、集光レンズは非球面レンズである。さらに別の好ましい態様において、コリメータ手段はＧＲＩＮレンズであり、その光学主軸に対して傾斜したレンズ面を有する。焦点の最適化のために、コリメータ手段の傾斜したレンズ面はそれと平行なデュアルファイバフェルール面に空隙を介して対向している。
【００３２】
本発明の光パワーの監視方法の好ましい例では、（Ａ）　入射光を平行ビームにするコリメータ手段を用い、（Ｂ）　光強度の検出及び監視に用いる平行ビームのタップ部分を通過させる部分透過反射膜をコリメータ手段上に形成する。デュアルファイバフェルールの入力光ポートを介して入射光ビームをコリメータ手段に入れ、部分透過反射膜が反射した出力光ビームをデュアルファイバフェルールの出力光ポートに入れるのが好ましい。また部分透過反射膜から来る平行ビームのタップ部分を光信号検出手段に入れ、光強度を検出するのが好ましい。
【００３３】
本発明の光パワーの監視方法はさらに、（Ａ）　光信号のタップ部分を集光検出手段に入れるコリメータ兼タッピング手段と、（Ｂ）コリメータ兼タッピング手段を保持するとともに、コリメータ兼タッピング手段と集光検出手段の相対位置を固定する支持管と、（Ｃ）コリメータ兼タッピング手段に対向するとともに支持管の後方開口部を密封する密封筐体とを使用し、前記密封筐体は集光検出手段をコリメータ兼タッピング手段に対して最適な位置に保持することを特徴とする。
【００３４】
支持管１５０の後方開口部を密封する密封筐体１６０は、少なくとも２つの光学部品を保持する。この少なくとも２つの光学部品は後方開口部を密封するように位置決めされ、後方開口部に対向する支持管の前方開口部から挿入される第３の光学部品と共に適切な機能を発揮する。密封筐体が保持する光学部材は集光レンズ１３０及びフォトダイオード１４０であるのが好ましい。ＧＲＩＮレンズ１２０を支持管１５０の前方開口部から挿入して、支持管１５０内に配置するのが好ましい。
【００３５】
熱硬化性エポキシ樹脂を用いて、支持管１０５をデュアルファイバフェルール１１０に、支持管１２４をＧＲＩＮレンズ１２０に、かつ支持管１５０をＧＲＩＮレンズ１２０及び密封筐体１６０にそれぞれしっかりと接着することにより、長期間信頼できる一体構造及び操作安定性が得られる。エポキシ等の適当な接着剤で支持管１０５及び１２４の互いに対向する端面もしっかりと接着して、光学損失が最小となる相対位置に固定する。
【００３６】
パワーモニタ１００の熱安定性及び長期間の性能信頼性は、いくつかの構造及び機能のパラメータに依存する。これらのパラメータの具体例は、１）支持管、デュアルファイバフェルール及びＧＲＩＮレンズ間の固着度、２）支持管１０５及び１２４の長さ、３）支持管の端面の状態及び相互接着強度、４）支持管１０５及び１２４間の境界面の均一性、５）支持管１０５，１２４及び１５０の材質、６）塗布した接着剤の種類及び量、７）接着面として機能する端面の前処理、８）支持管を接着して装置を一体化する接着材の固定及び硬化工程等である。
【００３７】
これらの部品の境界面及び取り付け状態は本発明の構造により大いに改善された。というのは、曲面や不規則な面がない単純で直線的な境界面の構造とすることにより好適な移動の自由度が得られ、位置調整が容易になっただけでなく、これらの境界面に接着剤を塗布するのも容易になったからである。
【００３８】
本発明の好ましい実施例について説明してきたが、本発明はこれらの記載により限定されず、上記記載を読んだ当業者にとって様々な変更及び修正が可能である。従って、特許請求の範囲は本発明の技術的思想の範囲内で全ての変更及び修正を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパワーモニタの構造を示す概略断面図である。
【図２】入力及び出力ビーム投射を調整するために、２つの支持管を相対的に光軸方向に移動してデュアルファイバフェルール及びＧＲＩＮレンズの相対位置を調整する様子を示す概略図である。
【図３】大きさの異なる集光ユニット及び検知ユニットを収容し支持する２つの支持管の互い違いの構造を示す断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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