(57)【要約】【課題】本発明は、構成が簡単で安価な高精度マイクロステップ駆動の機能を有するステッピングモータ駆動装置を実現することを目的としている。【解決手段】上記課題を解決するために、電流指令に従ってモータ電流を制御する電流制御機能と、指令ロータ磁極位置を検出する位置検出器を備え、位置指令入力端子に与えられる位置指令θ＊と位置検出器で検出したロータ磁極位置θｆを用いて位置指令θ＊とロータ磁極位置θｆの差である位置偏差εを演算し、該位置偏差εを係数器で係数倍したのち、位置指令θ＊から該係数器出力を減算した値を励磁角度指令とするように構成する。【選択図】        図１
2004282914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステッピングモータに正弦波状階段電流を通電するステッピングモータの駆動装置において、電流指令に従ってモータ電流を制御する電流制御機能と、指令ロータ磁極位置を検出する位置検出器を備え、位置指令入力端子に与えられる位置指令θ＊と位置検出器で検出したロータ磁極位置θｆを用いて位置指令θ＊とロータ磁極位置θｆの差である位置偏差εを演算し、該位置偏差εを係数器で係数倍したのち、位置指令θ＊から該係数器出力を減算した値を励磁角度指令とするように構成したステッピングモータの駆動装置。
【請求項２】
該係数器の係数をｋとして、ｋは０≦ｋ＜１の範囲で決定する１項記載のステッピングモータの駆動装置。
【請求項３】
該係数器の係数ｋはｋ≦０の範囲で決定する１項記載のステッピングモータの駆動装置。
【請求項４】
該係数器の係数ｋはモータ回転時において０≦ｋ＜１とし、停止時においてｋ≦０の範囲で決定する１項記載のステッピングモータの駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、角度及び速度を制御するためのステッピングモータの駆動装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
装置の高機能化に伴い、モータは低振動低騒音で広範囲に亘り回転できることが求められているが、ステッピングモータは各巻線の通電状態を外部指令パルスの印加毎に瞬時に切り替えることで歩進回転するため、電流の切り替え時に発生する振動騒音の低減及び脱調の防止が課題である。
振動騒音の低減及び脱調防止のために、パルス幅変調方式（以下ＰＷＭ方式と記す）のインバータを用いて巻線通電電流を滑らかに変化させるマイクロステップ駆動が一般的である。図５は従来技術によるマイクロステップ駆動回路のブロック図である。
【０００３】
マイクロステップ駆動は、モータ巻線に正弦波状の階段電流を、モータ相数に応じた位相差で通電することで実現できる。図５は２相ステッピングモータの例を示しているが、外部入力端子１０に印加される位置指令θ＊に対応する第１相基本電流指令発生器５１の出力ｃｏｓθ＊及び第２相基本電流指令発生器５２の出力ｓｉｎθ＊を発生し、前記相基本電流指令発生器５１及び５２の出力を乗算器６３及び６４の一方の入力端子に接続し、外部入力端子６１及び６２に印加される電流振幅指令を乗算器６３及び６４の他方の入力端子に接続し第１相電流指令Ｉα＊ｃｏｓθ＊及び第２相電流指令Ｉβ＊ｓｉｎθ＊を得る構成となっている。加算器３１及び３２、電流制御器４１及び４２、インバータ７０電流検出器８１及び８２は、加算器３１及び３２に印加される第１相電流指令Ｉα＊ｃｏｓθ＊及び第２相電流指令Ｉβ＊ｓｉｎθ＊を電流指令とする電流制御系を構成し、所望の特性を実現している。
図５に係るマイクロステップ駆動方式は、位置指令の分解能に応じて、ステップ状の動作を微小化し、滑らかな回転に近づけることができるから、過渡的な振動を小さくするために有効な技術である。
しかし、該マイクロステップ駆動方式は、例えば静止時の停止位置誤差はモータの角度対発生トルク特性に依存するものであるから、停止位置改善効果は期待できない。また、モータの固有振動についても同様に、ステッピングモータの固有特性を示すことになる。
【０００４】
マイクロステップ機能と振動低減を実現するために、例えば特開平６−２２５５９５記載のとおり、各相電流をｄｑ回転座標系に変換し、モータ電流の制御を回転座標系で取り扱う制御装置がある。
特開平６−２２５５９５記載方式では、図６に示す構成図の如くステッピングモータが永久磁石形同期モータと同一モデルであるという前提で、ステッピングモータにエンコーダを接続し、電流制御、速度制御、位置制御の各閉ループ制御系を構成し、これらをｄｑ回転座標系に変換し位置制御を実現する具体的手法が記載されている。また、制御構成の簡略化を目的に、ｄｑ軸成分の非干渉要素の省略と、電流指令を直接ｄｑ軸上で与えることが明記されている。
【０００５】
しかし、ステッピングモータは磁極数が多く、電流基本周波数ωｒｅが他の制御用モータに比べて高いという特徴がある。このため、ステッピングモータは同一構造とされる永久磁石形同期モータと同様の制御回路で構成した場合、電流制御器の応答性の限界から速度の上昇とともに電流制御器ゲインが低下しモータ電流の制御誤差が増大するという問題がある。また、モータは速度起電力Ｅｅｍｆを発生するから、モータ回転数の上昇により該Ｅｅｍｆが印加電圧に拮抗するか、印加電圧を超える回転数においてモータ電流を制御することができない状態が発生する。
つまり、特開平６−２２５５９５記載方式によるステッピングモータの制御方式に対し印加電圧の限られた実際の装置では、回転数の上昇につれ電流を制御することが困難になり、制御可能範囲が限定されるという問題があった。
また、特開平６−２２５５９５記載のステッピングモータ制御装置は、磁束方向成分をｄ軸、該ｄ軸と直交する方向をｑ軸として、発生トルクを制御する目的で磁束と直交する電流、即ちｑ軸電流を速度偏差に応じて制御する構成になっており、位置制御を実現するために位置制御器及び速度制御器を設ける必要から、構成が複雑で高価な制御装置となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
以上の如く、振動を抑制することを目的として従来方式ではステッピングモータの１ステップあたりの位置変化量を細分化しているが、負荷変動に対する振動、停止精度に対する特性はステッピングモータの固有特性となっていた。また、積極的に振動特性を改善する従来方式では、構成が複雑で高価な制御装置となっていた。
本発明は、振動抑制効果を持つ、構成が簡単で安価なステッピングモータの駆動装置の実現を目的としている。また、停止（零速度）時の位置精度の改善効果を具備したステッピングモータの駆動装置の実現を目的としている。
【０００７】
【問題を解決するための手段】
上記問題を解決するために本発明では、ステッピングモータに正弦波状階段電流を通電する多相ステッピングモータの駆動装置において、ロータ磁極磁極位置を検出する位置検出器を備え、位置指令入力端子に与えられる位置指令θ＊と位置検出器で検出したロータ磁極磁極位置θｆを用いて位置指令θ＊とロータ磁極磁極位置θｆの差である位置偏差εを演算し、該位置偏差εを係数器で係数倍したのち、位置指令θ＊から該係数器出力を減算した値を励磁角度指令とするように構成する。
また、該係数器の係数ｋを振動抑制目的で０＜ｋ＜１で調整し、停止精度制御の目的でｋ＜０の範囲で係数ｋを変更する。
【０００８】
【作用】
上記構成にすることで、本発明の課題とする低振動で高精度の駆動装置を安価に実現することができろ。以下その根拠を記述する。
モータの軸トルクが、ロータ磁極磁極位置と励磁位置の偏差即ち位置δの正弦関数であるとすると、軸トルクは数式１で表すことができる。
【数１】
2004282914.tif 000003
ただし、Ｔは軸トルク、Ｔｍはモータ最大トルク、δは位置偏差である
また、振動抑制部２０を図２のように構成したときの振動抑制部出力λは数式２となる。
【数２】
2004282914.tif 000004
ここで、ｋは係数器２１の設定値、θ＊は端子１０に加えられる位置指令、θたｆは位置検出器９２の出力であるロータ磁極位置である。
振動抑制部２０の出力λは電流指令の角度となるから、ロータ磁極位置θｆとλの位相差が偏差δと考えることができるから、数式３が成り立つ。
【数３】
2004282914.tif 000005
数式３を数式１に代入して数式４を得る。
【数４】
2004282914.tif 000006
数式４の関係を図３に示す。図３において（ａ）はｋ＝０の場合、（ｂ）はｋ＞０の場合（代表値としてｋ＝０．５）、（ｃ）はｋ＜０の場合（代表値としてｋ＝−０．５）を示している。また、ｋと最大トルク発生角度の関係を図４に示す。即ち、図４に示すとおり、係数器の設定値ｋの大きさを変えることで、最大トルク発生の角度を制御することができることが分かる。また、図３に示すとおり安定点における位置偏差対発生トルクの割合（軸剛性と称する）も変化させることができる。
図３における（ａ）のｋ＝０という条件は通常のステッピングモータのオープン駆動に対応することは明らかであるから、ｋを正の値に取ることで軸剛性を小さくすることができる。この結果、振動を低減することができる。
また、ｋを負の値に取ることで軸剛性を大きくすることができるから、停止位置精度を向上することができる。
【０００９】
【実施例】
図１は本発明の第１の実施例である。
図１において、ステッピングモータ９１に対してＰＷＭインバータ７０でモータに所定の電圧を印加し、モータを回転させる。電流検出器８１、８２はモータ相電流ｉαｆ、ｉβｆを検出し、該モータ相電流ｉαｆ、ｉβｆを第１の加算器３１及び第２の加算器３２の一方の入力とする。一方、第１相の電流振幅指令入力端子６１と第２相の電流振幅指令入力端子にそれぞれｉα＊及びｉβ＊を印加する。
加算器３１、３２は電流指令と帰還電流の差分である電流誤差を演算するものであり、該電流誤差を電流補償器４１、４２で増幅したのち、該ＰＷＭインバータ７０の入力としている。
【００１０】
図２は該調整部２０の詳細を示す図である。
角度演算器２１は比較２２の出力である位置偏差εを係数倍（ｋ倍）し、加算器２３（異符号であるため減算となる）の一方の入力に接続する。加算器２３の他方の入力には位置指令θ＊を接続し、出力λを得ている。
【００１１】
係数ｋを０＜ｋ＜１に取ると、該調整部２０の出力λは、ロータ磁極位置が指令に対して偏差を持つ場合、角度指令を直接励磁電流の角度指令に用いるよりも小さな指令変化を過渡的に与えることができるため、振動低減効果が得られる。
【００１２】
係数ｋをｋ＜０に取ると、該調整部２０の出力λは、ロータ磁極位置が指令に対して偏差を持つ場合、角度指令を直接励磁電流の角度指令に用いるよりも大きな指令変化を過渡的に与えることができるため、モータの軸剛性を大きくできる。
【００１３】
【発明の効果】
図６は本発明の第２の実施例である。
図６と図１の共通部は同一番号を付しているが、図６では、対象モータが３相ステッピングモータになり、３相−２相固定座標変換器６３、及び２相−３相固定座標変換器６４、電流センサ３３が追加されている他は、同一の構成である。３相電流を検出する場合、対称性を利用して、２つの電流センサ検出出力で第３相電流を演算することで第３相目の電流センサを省略することも可能である。
尚、第１及び第２の実施例に示す機能は、構成部品を少なくするためにマイクロプロセッサを用いて実現することも可能である。
【００１４】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例である。
【図２】本発明の第１の実施例の部分説明図である。
【図３】本発明の原理説明のための角度対軸トルクの関係を示す説明図である。
【図４】本発明の係数器係数対最大トルク発生角度の関係を示す説明図である。
【図５】第１の従来例ブロック図である。
【図６】第２の従来例ブロック図である。
【００１４】
【符号の説明】
１０        位置指令入力端子
２０        調整部
２１        係数器
２２、２３      加算器
３１、３２      加算器
４１        第１相電流制御器
４２        第２相電流制御器
５１        第１相基本電流指令発生器
５２        第２相基本電流指令発生器
６１        第１相電流振幅指令入力端子
６２        第２相電流振幅指令入力端子
７０        ＰＷＭインバータ
８１、８２      電流検出器
９１        ステッピングモータ
９２        位置検出器
１０１      加算器
１０２      加算器
１０３      加算器
１０４      加算器
１０５      加算器
１１０      位置制御器
１２０      速度制御器
１３０      第１の座標変換器
１４１      第１の電流制御器
１４２      第２の電流制御器
１５０      ＰＷＭインバータ
１５４      第１の電流検出器
１５５      第２の電流検出器
１６０      第２の座標変換器
１７０      三角関数発生器
１８０      ステッピングモータ
１９０      位置検出器
【整理番号】Ｌ２００３−０５
【図１】
2004282914.tif 000007
【図２】
2004282914.tif 000008
【図３】
2004282914.tif 000009
【図４】
2004282914.tif 000010
【図５】
2004282914.tif 000011
【図６】
2004282914.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成15年3月31日(2003.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】ステッピングモータに正弦波状階段電流を通電するステッピングモータの駆動装置において、電流指令に従ってモータ電流を制御する電流制御機能と、指令ロータ磁極位置を検出する位置検出器を備え、位置指令入力端子に与えられる位置指令θ＊と位置検出器で検出したロータ磁極位置θｆを用いて位置指令θ＊とロータ磁極位置θｆの差である位置偏差εを演算し、前記位置偏差εを係数器で係数倍したのち、位置指令θ＊から前記係数器出力を減算した値を励磁角度指令とするように構成したステッピングモータの駆動装置。
【請求項２】前記係数器の係数をｋとして、ｋは０≦ｋ＜１の範囲で決定する１項記載のステッピングモータの駆動装置。
【請求項３】前記係数器の係数ｋはｋ≦０の範囲で決定する１項記載のステッピングモータの駆動装置。
【請求項４】前記係数器の係数ｋはモータ回転時において０≦ｋ＜１とし、停止時においてｋ≦０の範囲で決定する１項記載のステッピングモータの駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、角度及び速度を制御するためのステッピングモータの駆動装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
装置の高機能化に伴い、モータは低振動低騒音で広範囲に亘り回転できることが求められているが、ステッピングモータは各巻線の通電状態を外部指令パルスの印加毎に瞬時に切り替えることで歩進回転するため、電流の切り替え時に発生する振動騒音の低減及び脱調の防止が課題である。
振動騒音の低減及び脱調防止のために、パルス幅変調方式（以下ＰＷＭ方式と記す）のインバータを用いて巻線通電電流を滑らかに変化させるマイクロステップ駆動が一般的である。図５は従来技術によるマイクロステップ駆動回路のブロック図である。
【０００３】
マイクロステップ駆動は、モータ巻線に正弦波状の階段電流を、モータ相数に応じた位相差で通電することで実現できる。図５は２相ステッピングモータの例を示しているが、外部入力端子１０に印加される位置指令θ＊に対応する第１相基本電流指令発生器５１の出力ｃｏｓθ＊及び第２相基本電流指令発生器５２の出力ｓｉｎθ＊を発生し、前記相基本電流指令発生器５１及び５２の出力を乗算器６３及び６４の一方の入力端子に接続し、外部入力端子６１及び６２に印加される電流振幅指令を乗算器６３及び６４の他方の入力端子に接続し第１相電流指令Ｉα＊ｃｏｓθ＊及び第２相電流指令Ｉβ＊ｓｉｎθ＊を得る構成となっている。加算器３１及び３２、電流制御器４１及び４２、インバータ７０、電流検出器８１及び８２は、加算器３１及び３２に印加される第１相電流指令Ｉα＊ｃｏｓθ＊及び第２相電流指令Ｉβ＊ｓｉｎθ＊を電流指令とする電流制御系を構成し、所望の特性を実現している。
図５に係るマイクロステップ駆動方式は、位置指令の分解能に応じて、ステップ状の動作を微小化し、滑らかな回転に近づけることができるから、過渡的な振動を小さくするために有効な技術である。
しかし、前記マイクロステップ駆動方式は、例えば静止時の停止位置誤差はモータの角度対発生トルク特性に依存するものであるから、停止位置改善効果は期待できない。また、モータの固有振動についても同様に、ステッピングモータの固有特性を示すことになる。
【０００４】
マイクロステップ機能と振動低減を実現するために、例えば特開平６−２２５５９５記載のとおり、各相電流をｄｑ回転座標系に変換し、モータ電流の制御を回転座標系で取り扱う制御装置がある。
特開平６−２２５５９５記載方式では、図６に示す構成図の如くステッピングモータが永久磁石形同期モータと同一モデルであるという前提で、ステッピングモータにエンコーダを接続し、電流制御、速度制御、位置制御の各閉ループ制御系を構成し、これらをｄｑ回転座標系に変換し位置制御を実現する具体的手法が記載されている。また、制御構成の簡略化を目的に、ｄｑ軸成分の非干渉要素の省略と、電流指令を直接ｄｑ軸上で与えることが明記されている。
【０００５】
しかし、ステッピングモータは、磁極数が多く電流基本周波数が他の制御用モータに比べて高いという特徴がある。このため、ステッピングモータは同一構造とされる永久磁石形同期モータと同様の制御回路で構成した場合、電流制御器の応答性の限界から速度の上昇とともに電流制御器ゲインが低下しモータ電流の制御誤差が増大するという問題がある。また、モータは速度起電力Ｅｅｍｆを発生するから、モータ回転数の上昇により前記Ｅｅｍｆが印加電圧に拮抗するか、印加電圧を超える回転数においてモータ電流を制御することができない状態が発生する。
つまり、特開平６−２２５５９５記載方式によるステッピングモータの制御方式に対し印加電圧の限られた実際の装置では、回転数の上昇につれ電流を制御することが困難になり、制御可能範囲が限定されるという問題があった。
また、特開平６−２２５５９５記載のステッピングモータ制御装置は、磁束方向成分をｄ軸、前記ｄ軸と直交する方向をｑ軸として、発生トルクを制御する目的で磁束と直交する電流、即ちｑ軸電流を速度偏差に応じて制御する構成になっており、位置制御を実現するために位置制御器及び速度制御器を設ける必要から、構成が複雑で高価な制御装置となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
以上の如く、振動を抑制することを目的として従来方式ではステッピングモータの１ステップあたりの位置変化量を細分化しているが、負荷変動に対する振動、停止精度に対する特性はステッピングモータの固有特性となっていた。また、積極的に振動特性を改善する従来方式では、構成が複雑で高価な制御装置となっていた。
本発明は、振動抑制効果を持つ、構成が簡単で安価なステッピングモータの駆動装置の実現を目的としている。また、停止（零速度）時の位置精度の改善効果を具備したステッピングモータの駆動装置の実現を目的としている。
【０００７】
【問題を解決するための手段】
上記問題を解決するために本発明では、ステッピングモータに正弦波状階段電流を通電する多相ステッピングモータの駆動装置において、ロータ磁極位置を検出する位置検出器を備え、位置指令入力端子に与えられる位置指令θ＊と位置検出器で検出したロータ磁極位置θｆを用いて位置指令θ＊とロータ磁極位置θｆの差である位置偏差εを演算し、前記位置偏差εを係数器で係数倍したのち、位置指令θ＊から前記係数器出力を減算した値を励磁角度指令とするように構成する。
また、前記係数器の係数ｋを振動抑制目的で０＜ｋ＜１で調整し、停止精度制御の目的でｋ＜０の範囲で係数ｋを変更する。
【０００８】
【作用】
上記構成にすることで、本発明の課題とする低振動で高精度の駆動装置を安価に実現することができる。以下その根拠を記述する。
モータの軸トルクが、ロータ磁極位置と励磁位置の偏差の正弦関数であるとすると、軸トルクは数式１で表すことができる。
【数１】
2004282914.tif 000013
ただし、Ｔは軸トルク、Ｔｍはモータ最大トルク、δは偏差である。
また、振動抑制部２０を図２のように構成したときの振動抑制部出力λは数式２となる。
【数２】
2004282914.tif 000014
ここで、ｋは係数器２１の設定値、θ＊は端子１０に加えられる位置指令、θｆは位置検出器９２の出力であるロータ磁極位置である。
振動抑制部２０の出力λは電流指令の角度となるから、ロータ磁極位置θｆとλの位相差が偏差δと考えることができ、数式３が成り立つ。
【数３】
2004282914.tif 000015
数式３を数式１に代入して数式４を得る。
【数４】
2004282914.tif 000016
数式４の関係を図３に示す。図３において（ａ）はｋ＝０の場合、（ｂ）はｋ＞０の場合（代表値としてｋ＝０．５）、（ｃ）はｋ＜０の場合（代表値としてｋ＝−０．５）を示している。また、ｋと最大トルク発生角度の関係を図４に示す。即ち、図４に示すとおり、係数器の設定値ｋの大きさを変えることで最大トルク発生の角度を制御することができることが分かる。また、図３に示すとおり安定点における位置偏差対発生トルクの割合（軸剛性と称する）も変化させることができる。
図３における（ａ）のｋ＝０という条件は通常のステッピングモータのオープン駆動に対応することは明らかであるから、ｋを正の値に取ることで軸剛性を小さくすることができる。この結果、振動を低減することができる。
また、ｋを負の値に取ることで軸剛性を大きくすることができるから、停止位置精度を向上することができる。
【０００９】
【実施例】
図１は本発明の第１の実施例である。
図１において、ステッピングモータ９１に対してＰＷＭインバータ７０でモータに所定の電圧を印加し、モータを回転させる。電流検出器８１、８２でモータ相電流ｉαｆ、ｉβｆを検出し、前記モータ相電流ｉαｆ、ｉβｆを第１の加算器３１及び第２の加算器３２の一方の入力とする。また、第１相の電流振幅指令入力端子６１と第２相の電流振幅指令入力端子にそれぞれｉα＊及びｉβ＊を印加する。
加算器３１、３２は電流指令と帰還電流の差分である電流誤差を演算するものであり、前記電流誤差を電流補償器４１、４２で増幅したのち、前記ＰＷＭインバータ７０の入力としている。
【００１０】
図２は前記調整部２０の詳細を示す図である。
角度演算器２１は加算器２２の出力である位置偏差εを係数倍（ｋ倍）し、加算器２３（異符号であるため減算となる）の一方の入力に接続する。加算器２３の他方の入力には位置指令θ＊を接続し、出力λを得ている。
【００１１】
係数ｋを０＜ｋ＜１に取ると、前記調整部２０の出力λは、ロータ磁極位置が指令に対して偏差を持つ場合、角度指令を直接励磁電流の角度指令に用いるよりも小さな指令変化を過渡的に与えることができるため、振動低減効果が得られる。
【００１２】
係数ｋをｋ＜０に取ると、前記調整部２０の出力λは、ロータ磁極位置が指令に対して偏差を持つ場合、角度指令を直接励磁電流の角度指令に用いるよりも大きな指令変化を過渡的に与えることができるため、モータの軸剛性を大きくできる。
【００１３】
図７は本発明の第２の実施例である。
図７と図１の共通部は同一番号を付しているが、図７では、対象モータが３相ステッピングモータになり、第１の座標変換器（３相−２相変換）６５、及び第２の座標変換器（２相−３相変換）６６、電流センサ８３が追加されている他は、同一の構成である。３相電流を検出する場合、対称性を利用して、２つの電流センサ検出出力で第３相電流を演算することで第３相目の電流センサを省略することも可能である。
尚、第１及び第２の実施例に示す機能は、構成部品を少なくするためにマイクロプロセッサを用いて実現することも可能である。
【００１４】
【発明の効果】
上記のごとく、本発明によるステッピングモータの駆動装置は、軸剛性を調節することができるから、低振動と高停止精度のモータ駆動を実現することができ、低振動、高精度の装置を構築可能である。
また、対象モータは異なる相数に対して柔軟に対応することができる。
【００１５】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例である。
【図２】本発明の第１の実施例の部分説明図である。
【図３】本発明の原理説明のための角度対軸トルクの関係を示す説明図である。
【図４】本発明の係数器係数対最大トルク発生角度の関係を示す説明図である。
【図５】第１の従来例ブロック図である。
【図６】第２の従来例ブロック図である。
【図７】本発明の第２の実施例である。
【符号の説明】
１０        位置指令入力端子
２０        調整部
２１        係数器
２２、２３      加算器
３１、３２      加算器
４１        第１相電流制御器
４２        第２相電流制御器
５１        第１相基本電流指令発生器
５２        第２相基本電流指令発生器
６１        第１相電流振幅指令入力端子
６２        第２相電流振幅指令入力端子
６３、６４    乗算器
６５        第１の座標変換器
６６        第２の座標変換器
７０        ＰＷＭインバータ
８１、８２、８３    電流検出器
９１        ステッピングモータ
９２        位置検出器
１０１      加算器
１０２      加算器
１０３      加算器
１０４      加算器
１０５      加算器
１１０      位置制御器
１２０      速度制御器
１３０      第１の座標変換器
１４１      第１の電流制御器
１４２      第２の電流制御器
１５０      ＰＷＭインバータ
１５４      第１の電流検出器
１５５      第２の電流検出器
１６０      第２の座標変換器
１７０      三角関数発生器
１８０      ステッピングモータ
１９０      位置検出器


【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2004282914.tif 000017
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】追加
【補正の内容】
【図７】
2004282914.tif 000018