(57)【要約】【課題】接触部の破損事故を少なくすることにある。【解決手段】接触子は、穴状の空間を有するランド部と、該ランド部から前記空間内を螺旋状に伸びる少なくとも１つの接触部とを含む。接触部は、ランド部の厚さ方向と直角の面内における第１の方向への長さ寸法が第１の方向と直角の第２の方向への接触部の長さ寸法より大きい外側端領域を備えており、この外側端領域の一端部においてランド部に続いている。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
穴状の空間を有するランド部と、該ランド部から前記空間内を螺旋状に伸びる少なくとも１つの接触部とを含み、
前記接触部は、前記ランド部の厚さ方向と直角の面内における第１の方向への長さ寸法が前記第１の方向と直角の第２の方向への前記接触部の長さ寸法より大きい外側端領域を備えており、この外側端領域の一端部において前記ランド部に続いている、接触子。
【請求項２】
前記外側端領域は前記ランド部から離れるほど小さい幅寸法を有する、請求項１に記載の接触子。
【請求項３】
前記接触部は、さらに、前記外側端領域の反ランド部側に続く延長領域を備え、前記延長領域の外側端領域側の端部は前記外側端領域の反ランド部側の幅寸法と幅寸法を有している、請求項１又は２に記載の接触子。
【請求項４】
当該接触子は複数の前記接触子を備えている、請求項１から３のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項５】
前記ランド部は、前記第１の方向に長い長円形の形状を有している、請求項１から４のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項６】
前記ランド部及び前記接触部は導電性材料により一体的に製作されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項７】
電気絶縁性の基板と、請求項１から６のいずれか１項に記載された少なくとも１つの導電性の接触子とを含み、
前記基板はこれの一方の面側に開放する少なくとも１つの凹所を有し、
前記接触子は、前記接触部が前記凹所の開放部に位置するように前記基板の一方の面に配置されている、電気的接続装置。
【請求項８】
前記基板は、さらに、前記凹所の近傍にあって前記第１の方向における一端部に対応する箇所に形成された導電性のスルーホールと、該スルーホールに電気的に接続された配線部とを含み、前記接触子は前記スルーホールに電気的に接続されている、請求項７に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線基板や半導体集積回路等に備えられた突起電極に接触される接触子及びこれを用いた電気的接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
配線基板、接続基板、半導体集積回路、表示用基板、電子部品等の被接続体は、一般に、検査装置の電気回路、配線基板、接続ランド又は配線を有する他の配線基板、配線基板を他の接続体に接続する接続基板等、相手側の接続体に電気的に接続される複数の突起電極を備えている。
【０００３】
この種の突起電極は、球状、円錐状、角錐状、球状の頂部を有する円錐状又は角錐状等の形状を有しており、またプローブ、プローブ要素等の接触子を用いて相手側の接続体に電気的に接続される。
【０００４】
上記のような接触子の１つとして、厚さ方向に貫通する導電性のスルーホールを有するランド部と、該ランド部から前記スルーホールの開放部を螺旋状に伸びる帯状の接触部とを含み、接触部を曲率半径がランド部側ほど大きい螺旋状とし、そのような螺旋状の接触部を被接続体の突起電極に押圧する構造としたものがある（特許文献１）。
【０００５】
特許文献１：特開２０００２−１７５８５９
【０００６】
上記従来の接触子においては、接触部を被接続体の突起電極に押圧したとき、接触部全体が捩れられる共に、接触部がランド部に垂直な方向に湾曲されることにより、接触子と突起電極との電気的接続状態を安定化させている。
【０００７】
【解決しようとする課題】
しかし、螺旋状の接触部を備えた接触子においては、ランド部に垂直な方向への接触部の湾曲により、接触部のうち、ランド部側の領域（外側端領域）、特にランド部に続く箇所に大きな負荷が作用し、その箇所において急激に曲げられる。このため、従来の接触子では、接触部がランド部に続く外側端領域において破損する事故が多い。
【０００８】
本発明の目的は、接触部の破損事故を少なくすることにある。
【０００９】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る接触子は、穴状の空間を有するランド部と、該ランド部から前記空間内を螺旋状に伸びる少なくとも１つの接触部とを含む。前記接触部は、前記ランド部の厚さ方向と直角の面内における第１の方向への長さ寸法が前記第１の方向と直角の第２の方向への前記接触部の長さ寸法より大きい外側端領域を備えており、この外側端領域の一端部において前記ランド部に続いている。
【００１０】
接触部が被接触体の接続箇所に押圧されると、接触部がランド部と直角の方向に湾曲される。これにより、接触子と被接続体との電気的接続状態が安定する。
【００１１】
本発明に係る接触子においては、第１の方向への外側端領域の長さ寸法が第２の方向への接触部のそれより大きいから、接触部に作用する負荷が接触部の長い範囲に分散され、接触部はそのような長い範囲において湾曲される。このため、接触部の破損が減少する。
【００１２】
前記外側端領域は前記ランド部から離れるほど小さい幅寸法を有していてもよい。そのようにすれば、外側端領域の機械的強度がランド部側の箇所ほど大きくなり、したがって外側端領域における破損が著しく低減する。
【００１３】
前記接触部は、さらに、前記外側端領域の反ランド部側に続く延長領域を備え、前記延長領域の外側端領域側の端部は前記外側端領域の反ランド部側の幅寸法と同じ幅寸法を有していてもよい。そのようにすれば、荷重が外側領域と延長領域との境界付近に集中することがなく、したがって外側端領域と延長領域との境界付近における破損が著しく低減する。
【００１４】
接触子は複数の前記接接触子を備えていてもよい。この場合、複数の接触子を回転対称に配置してもよい。請求項１から４のいずれか１項に記載の接触子。
【００１５】
前記ランド部は、前記第１の方向に長い長円形の形状を有していてもよい。また、前前記ランド部は前記第１の方向における端部に貫通穴を有していてもよい。さらに、前記ランド部及び前記接触部は導電性材料により一体的に製作されていてもよい。
【００１６】
本発明に係る電気的接続装置は、電気絶縁性の基板と、上記のような少なくとも１つの導電性の接触子とを含む。前記基板はこれの一方の面側に開放する少なくとも１つの凹所を有し、前記接触子は、前記接触部が前記凹所の開放部に位置するように前記基板の一方の面に配置されている。この電気的接続装置においても、接触子は、上記のように作用するから、上記のような効果を奏する。
【００１７】
前記基板は、さらに、前記凹所の近傍にあって前記第１の方向における一端部に対応する箇所に形成された導電性のスルーホールと、該スルーホールに電気的に接続された配線部とを含み、前記接触子は前記スルーホールに電気的に接続されていてもよい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１を参照するに、接触子１０は、導電性の金属材料、好ましくは弾性変形可能の金属材料により、全体に目の形を有する薄い板の形に製作されている。接触子１０は、長円形の形を有するランド部１２と、ランド部１２に一体に続く接触部１４とを含む。
【００１９】
ランド部１２は、長円形の中央領域に長円形をした穴状の空間１６を有していると共に、長円形の長軸方向における各端部に穴１８を有している。穴１８は、一端部にのみ設けてもよいし、長円形の短軸方向における端部のような他の箇所に設けてもよく、さらには貫通穴を設けなくてもよい。
【００２０】
接触部１４は、ランド部１２から空間１６内を螺旋状に伸びている。接触部１４のうち、螺旋の最も外側に位置する外側端領域２０はランド部１２から弧状に湾曲しつつ長円形の長軸方向に伸びており、また外側端領域２０に続く帯状の延長領域２２は螺旋状に伸びている。接触部１４は、外側端領域２０の一端部においてランド部１２に一体的に続いている。
【００２１】
長円形の長軸方向における外側端領域２０の長さ寸法Ｌ１は、長円形の短軸方向における接触部１４の長さ寸法Ｌ２より大きい。外側端領域２０の幅寸法はランド部１２から離れるほど小さく、延長領域２２の幅寸法は外側端領域２０の反ランド部側の幅寸法とほぼ同じである。
【００２２】
図２を参照するに、接触子１０は、基板２４の一方の面に組み付けられて、基板２４と共に電気的接続装置を構成する。
【００２３】
図２は、１つの接触子１０を基板２４に配置しているにすぎない。しかし、実際には、配線基板、接続基板、半導体集積回路、表示用基板、電子部品のいずれであっても、被接続体が２以上の接触箇所２６を備えていることから、一般に、電気的組立装置は、複数の接触子１０を基板２４に組み付けている。接触箇所２６は、図示の例では、球状の突起電極であるが、これに限定されない。
【００２４】
基板２４は、平板状の板部材３０と、複数の接触子１４に個々に対応されて板部材３０の一方の面に形成された複数の凹所３２と、凹所３２に個々に対応されて板部材３０を厚さ方向に貫通する複数対のスルーホール３４と、スルーホール３４の対に個々に対応された複数の配線部３６とを含む配線基板とされている。
【００２５】
基板２４は、図示してはいないが、テスターの電気回路に接続される複数の接続ランドを板部材３０の外周縁部に備えている。基板２４の平面形状は、円形であってもよいし、長円形、矩形等の他の形状であってもよい。
【００２６】
板部材３０は、ガラス入りエポキシのような電気絶縁材料により製作されている。各凹所３２は、平面的に見て、接触子１０の接触部１４とほぼ同じ大きさを有しており、基板２４の一方の面に開放している。しかし、凹所３２は、貫通穴であってもよい。
【００２７】
各対のスルーホール３４は、接触子１０の穴１８に個々に対応されており、したがって凹所３２を間にして、接触子１０の両穴１８と同じ寸法だけ互いに離間されている。各配線部３６は、基板２４のテスターランドと、対応するスルーホール３４の一方とに電気的に接続されている。
【００２８】
接触子１０は、平面的に見て、接触部１４が凹所３２の開放部に位置し、穴１８がスルーホール３４と一致してスルーホール３４に電気的に接続されるように、基板２４の一方の面に装着されている。
【００２９】
図２に示す例では、接触子１０と、スルーホール３４と、配線部３６とは、一体的に製作されている。
【００３０】
上記のような電気的接続装置は、凹所３２、スルーホール３４及び配線部３６を備える基板２４を一般的な方法により製作し、次いで接触子１０をリソグラフィー技術のような電気メッキにより基板２４に形成することにより、製造することができる。
【００３１】
しかし、接触子１０と基板２４とを別個に製作し、次いで接触子１０がスルーホール３４に電気的に接続した状態に、接触子１０を基板２４に装着するようにしてもよい。
【００３２】
接触子１０と突起電極２６とを電気的に接続するとき、接触部１０と突起電極２６とが相対的に押圧される。これにより、接触部１４がランド部１２と直角の方向（図２において下方）に湾曲される。この状態においては、突起電極２６が接触部１４の長い領域にわたって接触するから、接触子１０と突起電極２６とが確実に電気的に接触子、両者１０及び２６の電気的接続状態が安定する。
【００３３】
図２に示すように、接触子１０のランド部１２は基板２４の一方の面に取り付けられる装着部として用いられ、接触部１４は被接続体の突起電極２６に押圧される接触片として用いられる。また、接触子１０の最外側端領域２０は穴１６内を伸びて一端部においてランド部１２に一体的に続く撓み部として作用し、延長領域２２は撓み部２０の反ランド部側端部に一体的に続く接触片部として作用する。
【００３４】
接触子１０は、第１の方向への外側端領域２０の長さ寸法Ｌ１が第２の方向への接触部１４の長さ寸法Ｌ２より大きいから、接触部１４に作用する負荷が接触部１４の長い範囲に分散され、接触部１４は、そのような長い範囲において湾曲される。このため、接触部１４の破損が減少する。
【００３５】
接触子１０においては、外側端領域２０がランド部１２から離れるほど小さい幅寸法を有しているから、外側端領域２０の機械的強度がランド部側の箇所ほど大きくなり、したがって外側端領域２０における破損が著しく低減する。
【００３６】
さらに、接触子１０においては、延長領域２２が外側端領域２０の反ランド部側の幅寸法とほぼ同じ一定の幅寸法を有しているから、荷重が外側領域２０と延長領域２２との境界付近に集中することがなく、したがって外側端領域２０と延長領域２２との境界付近における破損が著しく低減する。
【００３７】
上記のような作用効果は、延長領域２２の幅寸法が反外側端領域側ほど小さい場合にも生じる。したがって、延長領域２２の幅寸法をそのようにしてもよい。
【００３８】
上記実施例では、１つの接触部１４を備えているにすぎないが、図３に示すように複数の接触部１４，１４を回転対称に備えていてもよい。
【００３９】
また、１つの突起電極を備える被接続体の場合、電気的接続装置は、基板のような適宜な支持体に１つの接触子を組み付けてもよい。
【００４０】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る接触子の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示す接触子を用いた電気的接続装置の一実施例を示す断面図である。
【図３】本発明に係る接触子の他の実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
１０  接触子
１２  ランド部
１４  接触部
１６  空間
１８  穴
２０  外側端領域（撓み部）
２２  延長町域（接触片部）
２４  基板
２６  接触箇所
３０  板部材
３２  凹所
３４  スルーホール
３６  配線部
【図１】
2004259467.tif 000003
【図２】
2004259467.tif 000004
【図３】
2004259467.tif 000005