(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドのインク流路を良好に洗浄することができるインクジェットヘッド洗浄装置を提供することである。【解決手段】インクジェットヘッド洗浄装置２０が、洗浄液を収容してその洗浄液に超音波振動を加えるヘッド浸漬容器２１内の洗浄液にインクジェットヘッド１を浸漬し、ヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液に浸漬したインクジェットヘッド１のインク流路に洗浄液を流通させ、その後、ヘッド浸漬容器２１内の洗浄液から引き上げたインクジェットヘッド１のインク流路に気体を送ってそのインク流路を乾燥させることで、インクジェットヘッド１のインク流路内の異物を除去するようにした。これにより、インクジェットヘッド１のインク流路を良好に洗浄することができる。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するための吐出孔及びこの吐出孔を含むインク流路に連通する開口部を有するインクジェットヘッドが浸漬される洗浄液を収容し、その洗浄液に超音波振動を加えるヘッド浸漬容器と、
前記インクジェットヘッドを保持し、前記ヘッド浸漬容器内の洗浄液に前記インクジェットヘッドを出し入れ自在に浸漬する浸漬部と、
前記インクジェットヘッドの開口部に連通し、前記ヘッド浸漬容器内で超音波振動する洗浄液に前記浸漬部により浸漬された前記インクジェットヘッドのインク流路に洗浄液を流通させる流通部と、
前記インクジェットヘッドの開口部に連通し、前記ヘッド浸漬容器内で超音波振動する洗浄液から前記浸漬部により引き上げられた前記インクジェットヘッドのインク流路に気体を送り、そのインク流路を乾燥させる乾燥部と、
を備えるインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項２】
前記流通部は、前記インクジェットヘッドの開口部からインク流路内の洗浄液を吸引し、前記インクジェットヘッドの吐出孔からインク流路内に洗浄液を流入させる請求項１記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項３】
前記流通部は、前記インクジェットヘッドの開口部からインク流路内に洗浄液を供給し、前記インクジェットヘッドの吐出孔から洗浄液を噴射させる請求項１又は２記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項４】
前記流通部は、前記ヘッド浸漬容器内で超音波振動する洗浄液から前記浸漬部により引き上げられた前記インクジェットヘッドの開口部からインク流路内に洗浄液を供給し、前記インクジェットヘッドの吐出孔から洗浄液を噴射させ、
前記流通部により前記インクジェットヘッドの吐出孔から噴射された洗浄液の吐出直進度を測定する測定部を備える請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項５】
前記流通部と前記乾燥部とを必要回数繰り返し駆動する繰返手段を備える請求項１、２、３又は４記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【請求項６】
洗浄液を収容してその洗浄液に超音波振動を加えるヘッド浸漬容器にインクを吐出するための吐出孔及びこの吐出孔を含むインク流路に連通する開口部を有するインクジェットヘッドを浸漬し、前記ヘッド浸漬容器内で超音波振動する洗浄液に浸漬した前記インクジェットヘッドのインク流路に洗浄液を流通させる流通工程と、
前記インク浸漬容器の洗浄液から前記インクジェットヘッドを引き上げ、引き上げた前記インクジェットヘッドのインク流路に気体を送り、そのインク流路を乾燥させる乾燥工程と、
を備えるインクジェットヘッド洗浄方法。
【請求項７】
前記流通工程は、前記インクジェットヘッドの開口部からインク流路内の洗浄液を吸引し、前記インクジェットヘッドの吐出孔からインク流路内に洗浄液を流入させる請求項６記載のインクジェットヘッド洗浄方法。
【請求項８】
前記流通工程は、前記インクジェットヘッドの開口部からインク流路内に洗浄液を供給し、前記インクジェットヘッドの吐出孔から洗浄液を噴射させる請求項６又は７記載のインクジェットヘッド洗浄方法。
【請求項９】
前記流通工程は、超音波振動する洗浄液から前記インクジェットヘッドを引き上げ、引き上げた前記インクジェットヘッドの開口部からインク流路内に洗浄液を供給し、前記インクジェットヘッドの吐出孔から洗浄液を噴射させ、
前記流通工程により前記インクジェットヘッドの吐出孔から噴射された洗浄液の吐出直進度を測定する測定工程を備える請求項６、７又は８記載のインクジェットヘッド洗浄方法。
【請求項１０】
前記流通工程と前記乾燥工程とを必要回数繰り返し実行する繰返工程を備える請求項６、７、８又は９記載のインクジェットヘッド洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドの内部を洗浄するインクジェットヘッド洗浄装置及びインクジェットヘッド洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットヘッドとしては、例えば、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドが挙げられる。インクジェットヘッドは、基本的に、インクが供給される圧力室と、この圧力室に設けられインクを吐出するための吐出孔（ノズル）と、圧力室内のインクを吐出孔からインク滴として吐出させる駆動手段とから構成されている。この圧力室及び吐出孔等はインクが流れるインク流路として機能する。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドを製造する工程では、インクジェットヘッド内部に潜在する異物を取り除くためインクジェットヘッドの内部、すなわちインク流路を洗浄する必要があるが、インク流路は微細で複雑な構造であるため、その洗浄は非常に困難である。インク流路に潜在する異物がインクジェットヘッドの吐出動作中等に吐出孔の近傍に流れ込むと、インク吐出の障害となり、インクの吐出安定性及びインクの吐出直進性を低下させてしまう。
【０００４】
そこで、超音波振動する洗浄液を吐出孔から噴射させることで、インク流路の壁面に固着する異物を除去する技術が提案されている（特許文献１参照）。また、洗浄液が収容された容器の中にインク供給口にチューブが接続されたインクジェットヘッドを浸漬し、容器内の洗浄液に超音波振動を加えながら送液ポンプでインクジェットヘッドの吐出孔からその内部に洗浄液を吸引し、吸引した洗浄液を廃液容器にチューブを介して送液することで、インク流路の壁面に固着する異物を除去する技術が提案されている（特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平２−３１８０７２号公報
【特許文献２】
特開平９−２５４３９７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１の技術では、洗浄液で除去された異物が吐出孔と同じ大きさである場合や吐出孔より大きい場合等、その異物が吐出孔を詰まらせてしまう可能性が高く、一度詰まらせてしまうと除去することが困難になる。また、特許文献２の技術では、インクジェットヘッドの吐出孔からその内部に洗浄液を吸引するため、吐出孔より大きな異物がインクジェットヘッドの内部、すなわちインク流路に侵入することはなく、インク流路に潜在する異物はインク供給口から除去されるが、洗浄液の流れ方向が一定であるため、インク流路の凹凸等に固着する異物はインクジェットヘッドのインク流路内に残留してしまうことが多い。さらに、特許文献１の技術でも、洗浄液の流れ方向が一定であるため、特許文献２の技術と同様に、インク流路の凹凸等に固着する異物がインクジェットヘッドのインク流路内に残留してしまうことが多い。
【０００７】
また、インクジェットヘッドのインク流路は微細で複雑な構造をしているため乾燥しにくく、水等の洗浄液がインク流路から完全に除去されず、水シミ等が発生する。この水シミの発生はインクの吐出安定性及びインクの吐出直進性を低下させる要因となるため問題である。
【０００８】
本発明の目的は、インクジェットヘッドのインク流路を良好に洗浄することができるインクジェットヘッド洗浄装置及びインクジェットヘッド洗浄方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のインクジェットヘッド洗浄装置は、洗浄液を収容してその洗浄液に超音波振動を加えるヘッド浸漬容器内の洗浄液にインクジェットヘッドを浸漬し、ヘッド浸漬容器内で超音波振動する洗浄液に浸漬したインクジェットヘッドのインク流路に洗浄液を流通させ、その後、ヘッド浸漬容器内の洗浄液から引き上げたインクジェットヘッドのインク流路に気体を送ってそのインク流路を乾燥させることで、インクジェットヘッドのインク流路内の異物を除去するようにした。
【００１０】
【発明の実施の形態】
＜インクジェットヘッド＞
インクジェットプリンタ等に搭載されるインクジェットヘッドについて図１及び図２を参照して説明する。図１はインクジェットヘッドを概略的に示す縦断側面図、図２はそのＡ−Ａ線断面図である。
【００１１】
インクジェットヘッド１は、複数の吐出孔（ノズル）２が形成されたノズルプレート３、複数の吐出孔２に各々対向する位置に設けられインクを収容する複数個の圧力室４を備えている。複数個の圧力室４は、それぞれに共通インク室５からインクが供給されるように構成されている。圧力室４の一部を形成してノズルプレート３に対向する面は振動板６によって形成されている。振動板６には、各圧力室４に対応させて複数個の圧電部材７が固定されている。振動板６及び圧電部材７は、アクチュエータを構成しており、圧電部材７は駆動信号発生回路８の出力端子に電気的に接続されている。なお、圧電部材７としては、圧電素子（ピエゾ素子）が用いられているが、これに限るものではない。
【００１２】
共通インク室５には、インク供給経路（図示せず）に接続されてインクを供給するための開口部であるインク供給口９が設けられている。また、ノズルプレート３には、複数の吐出孔２が略一直線上に形成されている。すなわち、インクジェットヘッドは、ノズルプレートの吐出孔２からインクをインク滴として吐出させるように構成されている。なお、インクはインク供給口９から共通インク室５、圧力室４及び吐出孔２を通過するため、これらが、インクが流れるインク流路１０として機能している。
【００１３】
このようなインクジェットヘッド１は、駆動信号発生回路８から圧電部材７に駆動信号を付与し、圧電部材７を変形させて、振動板６を振動させる。この振動によって圧力室４の容積が変化する。圧力室４の容積が増える過程で、共通インク室５のインクが圧力室４に吸引され、圧力室４の容積が減る過程で、圧力室４のインクがインク滴（液滴）となって吐出孔２から外部に向けて吐出する。
【００１４】
ここで、インクとしては、例えば水性インク、油性インク、溶剤インク及びＵＶインク（紫外線硬化型インク）等の様々なインクが用いられる。ＵＶインクは、例えば、顔料、モノマー、オリゴマー、光重合開始剤、分散剤やその他の添加剤（例えば表面張力調整剤）等から構成されている。
【００１５】
なお、本実施の形態においては、アクチュエータとして圧電部材７を用いているが、これに限るものではなく、例えば、アクチュエータとして発熱体を用いて、これによりインクを沸騰させることで、吐出孔２からインク滴を吐出させる構成にしても良い。
【００１６】
＜インクジェットヘッド洗浄装置及びインクジェットヘッド洗浄方法＞
本発明の実施の一形態のインクジェットヘッド洗浄装置について図３ないし図６を参照して説明する。
【００１７】
図３はインクジェットヘッド洗浄装置を概略的に示す縦断側面図である。インクジェットヘッド洗浄装置２０は、インクジェットヘッド１が浸漬される洗浄液を収容してその洗浄液に超音波振動を加えるヘッド浸漬容器２１と、インクジェットヘッドを保持し、ヘッド浸漬容器２１内の洗浄液にインクジェットヘッド１を出し入れ自在に浸漬する浸漬部２２と、インクジェットヘッド１のインク供給口９に連通してヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液に浸漬部２２により浸漬されたインクジェットヘッド１のインク流路１０に洗浄液を流通させる流通部２３と、インクジェットヘッド１のインク供給口９に連通してヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液から浸漬部２２により引き上げられたインクジェットヘッド１のインク流路１０に気体を送り、そのインク流路１０を乾燥させる乾燥部２４と、を備えている。
【００１８】
ヘッド浸漬容器２１は、その一部が開口しており、この開口からインクジェットヘッド１がその内部に入れられて洗浄液に浸漬される。また、浸漬部２２は、インクジェットヘッドを保持する保持部２５、そして、この保持部２５をヘッド浸漬容器２１内の洗浄液に出し入れ自在に移動させる移動部２６から構成されている。このような浸漬部２２は、保持部２５に保持されたインクジェットヘッド１を移動部２６によりヘッド浸漬容器２１内の洗浄液に浸漬したり、その洗浄液から引き上げたりする。なお、保持部２５は、例えば２本のアームから構成されており、インクジェットヘッド１はその吐出孔２が２本のアームで塞がれないように保持部２５に取り付けられる。
【００１９】
流通部２３は、超音波振動する洗浄液に浸漬されたインクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内の洗浄液を吸引し、インクジェットヘッド１の吐出孔２からインク流路１０内に洗浄液を流入させる吸引部２７と、超音波振動する洗浄液に浸漬されたインクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させる噴射部２８と、を備えている。
【００２０】
吸引部２７は、ヘッド浸漬容器２１に洗浄液供給経路Ｋ１によって接続され洗浄液を収容する洗浄液循環タンク２９、洗浄液供給経路Ｋ１内に設けられ洗浄液循環タンク２９に収容された洗浄液をヘッド浸漬容器２１に流入させるための吸引力を発生させるポンプＰ１、インクジェットヘッド１のインク供給口９にバルブＶ１を介して洗浄液吸引経路Ｋ２によって接続され廃液を収容する廃液タンク３０、そして、洗浄液に浸漬されたインクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内の洗浄液を吸引するための吸引力を発生させるポンプＰ２から構成されている。
【００２１】
噴射部２８は、インクジェットヘッド１のインク供給口９にバルブＶ１を介して洗浄液供給経路Ｋ３によって接続されインクジェットヘッド１に供給する洗浄液を収容する洗浄液供給タンク３１、洗浄液供給タンク３１にバルブＶ２を介して乾燥気体供給経路Ｋ４によって接続され窒素を収容する窒素供給タンク３２、ヘッド浸漬容器２１にフィルタＦを介して洗浄液吸引経路Ｋ５によって接続され洗浄液を収容する洗浄液循環タンク２９、そして、洗浄液吸引経路Ｋ５の途中に設けられヘッド浸漬容器２１に収容された洗浄液を洗浄液循環タンク２９に流入させるための吸引力を発生させるポンプＰ３から構成されている。また、洗浄液循環タンク２９には、バルブＶ３が設けられており、このバルブＶ３が開けられると、洗浄液循環タンク２９の内部とその外部とは連通する。
【００２２】
乾燥部２４は、インクジェットヘッド１のインク供給口９にバルブＶ１及びバルブＶ４を介して乾燥気体供給経路Ｋ６によって接続され窒素を収容する窒素供給タンク３２から構成されている。なお、乾燥部２４では、気体として乾燥気体である窒素を用いているが、これに限るものではなく、例えば所定の温度に熱された空気（熱風）を用いても良く、さらに、それら両方を各々用いても良い。
【００２３】
洗浄液供給経路Ｋ１，Ｋ３、洗浄液吸引経路Ｋ２，Ｋ５及び乾燥気体供給経路Ｋ４，Ｋ６は、それぞれゴム製のチューブ等により形成されているが、これに限るものではなく、例えばプラスチックや金属等のパイプ等により形成されても良い。
【００２４】
図４はインクジェットヘッド洗浄装置２０が備える各部の電気的接続を概略的に示すブロック図である。インクジェットヘッド洗浄装置２０は、コントローラ４０を内蔵し、コントローラ４０は、各部を集中的に制御するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）４１、ＣＰＵ４１が実行する各種制御プログラム等を格納するＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）４２、ＣＰＵ４１のワークエリアとして機能するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）４３等をバスライン４４で接続することによって構成されている。
【００２５】
ＣＰＵ４１には、バルブ制御回路４５を介して複数のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４が接続されており、ポンプ制御回路４６を介して複数のポンプＰ１，Ｐ２，Ｐ３が接続されており、移動部制御回路４７を介して移動部２６が接続されている。また、ＣＰＵ４１には、測定部制御回路４８を介してインクジェットヘッド１の吐出孔２から噴射された洗浄液の液柱の方向及び傾きの均一性等の吐出直進度を測定する測定部４９が接続されており、操作部制御回路５０を介して操作者による操作を受け付ける操作部５１が接続されている。
【００２６】
このようなインクジェットヘッド洗浄装置２０は、複数のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４、複数のポンプＰ１，Ｐ２，Ｐ３及び移動部２６等を駆動制御することによってインクジェットヘッド１の内部、すなわちインク流路１０を洗浄する洗浄動作を行う。この洗浄動作におけるインクジェットヘッド洗浄方法は、基本的に、ヘッド浸漬容器２１にインクジェットヘッド１を浸漬し、ヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液に浸漬したインクジェットヘッド１のインク流路１０に洗浄液を流通させる流通工程と、ヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液からインクジェットヘッド１を引き上げ、引き上げたインクジェットヘッド１のインク流路１０に気体である窒素を送り、そのインク流路１０を乾燥させる乾燥工程と、流通工程と乾燥工程とを必要回数繰り返し実行する繰返工程とから構成されている。
【００２７】
流通工程は、ヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液に浸漬部２２により浸漬されたインクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内の洗浄液を吸引し、インクジェットヘッド１の吐出孔２からインク流路１０内に洗浄液を流入させる吸引工程と、ヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液に浸漬部２２により浸漬されたインクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させる噴射工程と、を備えている。なお、吸引工程及び噴射工程が実行されると、各々の工程後に乾燥工程が実行される。
【００２８】
また、噴射工程は、ヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液からインクジェットヘッド１を引き上げ、引き上げたインクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させる。インクジェットヘッド洗浄方法は、その際に、噴射工程によりインクジェットヘッド１の吐出孔２から噴射された洗浄液の吐出直進度を測定する測定工程を備えている。
【００２９】
次に、これらの各工程を実現するため、インクジェットヘッド洗浄装置２０のＣＰＵ４１がＲＯＭ４２に格納されたプログラムに基づいてインクジェットヘッド１の内部を洗浄する洗浄処理について図５を参照して説明する。図５は洗浄処理の流れを示すフローチャートである。
【００３０】
操作者は、インクジェットヘッド１をインクジェットヘッド洗浄装置２０に取り付ける。詳述すると、操作者は、まず、インクジェットヘッド１を保持部２５に取り付ける。ここでは、インクジェットヘッド１は、その吐出孔２が下方（インクジェットヘッド１の下降移動方向）に向けられて保持部２５に取り付けられている。さらに、操作者は、インクジェットヘッド１のインク供給口９にチューブ（各種の経路）を取り付け、操作部５１のスタートボタン（図示せず）を押下する。
【００３１】
これに応じて、ＣＰＵ４１はヘッド浸漬容器２１の超音波振動をＯＮにする（Ｓ１）。これにより、ヘッド浸漬容器２１内の洗浄液は超音波振動する。
【００３２】
ＣＰＵ４１は吸引部２７でインクジェットヘッド１の吐出孔２からその内部、すなわちインク流路１０内に洗浄液を流入させる（Ｓ２）。詳述すると、ＣＰＵ４１は、移動部２６を駆動してインクジェットヘッド１をヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液に浸漬させ、バルブＶ１を駆動してインクジェットヘッド１のインク供給口９と廃液タンク３０とを連通させ、さらに、バルブＶ３を開け、ポンプＰ１及びポンプＰ２を駆動する。これにより、洗浄液循環タンク２９内の洗浄液は洗浄液供給経路Ｋ１を介してヘッド浸漬容器２１内に供給される。さらに、ヘッド浸漬容器２１内の洗浄液は、インクジェットヘッド１の吐出孔２からインク流路１０に流入し、インク流路１０を通過してインクジェットヘッド１のインク供給口９から洗浄液吸引経路Ｋ２を介して廃液タンク３０に収容される。このようにして、洗浄液がインクジェットヘッド１のインク流路１０を通過するため、インクジェットヘッド１のインク流路１０内に潜在する異物が取り除かれる。所定時間経過後、ＣＰＵ４１は、ポンプＰ１及びポンプＰ２を停止させ、バルブＶ３を閉じる。この所定時間は、工場出荷前等に予め設定されているが、これに限るものではなく、例えば操作部５１に対する操作者の操作によって設定されるようにしても良い（以下、同様である）。
【００３３】
次に、ＣＰＵ４１は乾燥部２４でインクジェットヘッド１の内部、すなわちインク流路１０を乾燥させる（Ｓ３）。詳述すると、ＣＰＵ４１は、移動部２６を駆動してインクジェットヘッド１をヘッド浸漬容器２１内の洗浄液から引き上げ、バルブＶ１を駆動してインクジェットヘッド１のインク供給口９と窒素供給タンク３２とを連通させ、さらに、バルブＶ４を開ける。これにより、窒素供給タンク３２内の窒素は、インクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０に流入し、インク流路１０を通過してインクジェットヘッド１の吐出孔２から流出する。このようにして、窒素がインクジェットヘッド１のインク流路１０を通過するため、インク流路１０は短時間で乾燥し、洗浄液による水シミの発生が防止される。所定時間経過後、ＣＰＵ４１はバルブＶ４を閉じる。
【００３４】
次いで、ＣＰＵ４１は噴射部２８でインクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させる（Ｓ４）。詳述すると、ＣＰＵ４１は、移動部２６を駆動してインクジェットヘッド１をヘッド浸漬容器２１内の洗浄液に浸漬させ、バルブＶ１を駆動してインクジェットヘッド１のインク供給口９と洗浄液供給タンク３１とを連通させ、バルブＶ２を開け、ポンプＰ３を駆動する。これにより、洗浄液供給タンク３１内の洗浄液は、窒素による圧によって、インクジェットヘッド１のインク流路１０に供給され、インク流路１０を通過してインクジェットヘッド１の吐出孔２から噴射する。さらに、ヘッド浸漬容器２１内の洗浄液はフィルタＦでろ過されて洗浄液循環タンク２９内に供給される。所定時間経過後、ＣＰＵ４１は、バルブＶ２を閉め、ポンプＰ３を停止させる。
【００３５】
そして、ＣＰＵ４１は乾燥部２４でインクジェットヘッド１の内部、すなわちインク流路１０を乾燥させる（Ｓ５）。詳述すると、ＣＰＵ４１は、移動部２６を駆動してインクジェットヘッド１をヘッド浸漬容器２１内の洗浄液から引き上げ、バルブＶ１を駆動してインクジェットヘッド１のインク供給口９と窒素供給タンク３２とを連通させ、さらに、バルブＶ４を開ける。これにより、窒素供給タンク３２内の窒素は、インクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０に流入し、インク流路１０を通過してインクジェットヘッド１の吐出孔２から流出する。このようにして、窒素がインクジェットヘッド１のインク流路１０を通過するため、インク流路１０は短時間で乾燥し、洗浄液による水シミの発生が防止される。所定時間経過後、ＣＰＵ４１はバルブＶ４を閉じる。
【００３６】
次に、ＣＰＵはステップＳ２からステップＳ５までの処理を必要回数繰り返したか否かを判断する（Ｓ６）。ステップＳ２からステップＳ５までの処理を必要回数繰り返していないと判断した場合（Ｓ６のＮ）、ステップＳ２からステップＳ５までの処理を再び実行する。ここに、繰返手段としての機能が実行される。ステップＳ２からステップＳ５までの処理を必要回数繰り返したと判断した場合（Ｓ６のＹ）、ヘッド浸漬容器２１の超音波振動をＯＦＦにする（Ｓ７）。なお、ここでは、必要回数は１０回に設定されているが、これに限るものではない。また、この必要回数は、操作部５１に対する操作者の操作によって設定されるようにしても良い。
【００３７】
その後、操作者は、インクジェットヘッド洗浄装置２０からインクジェットヘッド１を取り外す。詳述すると、操作者は、インクジェットヘッド１のインク供給口９からチューブ（各種の経路）を取り外し、インクジェットヘッド１を保持部２５から取り外す。
【００３８】
このようにして、インクジェットヘッド１のインク流路１０に洗浄液を流通させ（Ｓ２又はＳ４）、その後、インクジェットヘッド１のインク流路１０を乾燥させることによって（Ｓ３又はＳ５）、インクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等が剥がれやすくなり、その異物は容易に除去されるので、インクジェットヘッド１のインク流路１０内を良好に洗浄することができ、その結果として、インクジェットヘッド１のインク吐出安定性及びインク吐出直進性の低下を防止することができる。
【００３９】
さらに、インク流路１０に窒素を流通させてインク流路１０を乾燥させることによって（Ｓ３及びＳ５）、洗浄液による水シミの発生を防止することができ、その結果として、インクジェットヘッド１のインク吐出安定性及びインク吐出直進性の低下を防止することができる。
【００４０】
また、インクジェットヘッド１のインク流路１０内への洗浄液の流通（Ｓ２又はＳ４）とインクジェットヘッド１のインク流路１０内の乾燥（Ｓ３又はＳ５）とを繰り返すことによって（Ｓ６）、インクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等がより剥がれやすくなるため、異物の除去効率が向上する。
【００４１】
さらに、インクジェットヘッド１の吐出孔２からインク流路１０に洗浄液を流入させ（Ｓ２）、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させることによって（Ｓ４）、洗浄液の流れ方向が一定でなくなるため、インクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等がより剥がれやすくなるため、異物の除去効率がより向上する。
【００４２】
次に、インクジェットヘッド洗浄装置２０のＣＰＵ４１がＲＯＭ４２に格納されたプログラムに基づいて検査処理を含んでインクジェットヘッド１の内部を洗浄する洗浄処理について図６を参照して説明する。図６は検査処理を含む洗浄処理の流れを示すフローチャートである。
【００４３】
操作者は、図５に示すような洗浄処理に基づいて洗浄されたインクジェットヘッド１を他の製造工程に搬送する場合等、異物の混入を防止するため、インクジェットヘッド１のインク供給口９にフィルタ（図示せず）を取り付ける。そして、操作者は、フィルタ取り付け時の異物混入の有無を確認するため、そのインクジェットヘッド１をインクジェットヘッド洗浄装置２０に取り付ける。詳述すると、操作者は、まず、フィルタがインク供給口９に取り付けられたインクジェットヘッド１を保持部２５に取り付ける。ここでは、インクジェットヘッド１は、その吐出孔２が下方（インクジェットヘッド１の下降移動方向）に向けられて保持部２５に取り付けられる。さらに、操作者はインクジェットヘッド１のインク供給口９にチューブ（各種の経路）を取り付け、操作部５１のスタートボタン（図示せず）を押下する。
【００４４】
これに応じて、ＣＰＵ４１はヘッド浸漬容器２１の超音波振動をＯＮにする（Ｓ１１）。これにより、ヘッド浸漬容器２１内の洗浄液は超音波振動する。
【００４５】
ＣＰＵ４１は噴射部２８でインクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させる（Ｓ１２）。詳述すると、ＣＰＵ４１は、移動部２６を駆動してインクジェットヘッド１をヘッド浸漬容器２１内の洗浄液に浸漬させ、バルブＶ１を駆動してインクジェットヘッド１のインク供給口９と洗浄液供給タンク３１とを連通させ、バルブＶ２を開け、ポンプＰ３を駆動する。これにより、洗浄液供給タンク３１内の洗浄液は、窒素による圧によって、インクジェットヘッド１のインク流路１０に供給され、インク流路１０を通過してインクジェットヘッド１の吐出孔２から噴射する。さらに、ヘッド浸漬容器２１内の洗浄液はフィルタＦでろ過されて洗浄液循環タンク２９内に供給される。
【００４６】
この噴射中にＣＰＵ４１は測定部４９でインクジェットヘッド１の吐出孔２から噴射する洗浄液の吐出直進性を検査する（Ｓ１３）。詳述すると、ＣＰＵ４１は、噴射中に移動部２６を駆動してインクジェットヘッド１をヘッド浸漬容器２１の洗浄液から引け上げ、測定部４９で洗浄液の液柱の方向及び傾きの均一性等の吐出直進度を測定し、洗浄液の吐出直進性を検査する。この検査結果からインク流路１０内の異物の有無や吐出孔２の形状等が判断され、検査結果の合否が決定される。洗浄液の吐出直進性の検査後、ＣＰＵ４１は、バルブＶ２を閉め、ポンプＰ３を停止させる。
【００４７】
次に、ＣＰＵ４１は乾燥部２４でインクジェットヘッド１の内部、すなわちインク流路１０を乾燥させる（Ｓ１４）。詳述すると、ＣＰＵ４１は、バルブＶ１を駆動してインクジェットヘッド１のインク供給口９と窒素供給タンク３２とを連通させ、バルブＶ４を開ける。これにより、窒素供給タンク３２内の窒素は、インクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０に流入し、インク流路１０を通過してインクジェットヘッド１の吐出孔２から流出する。このようにして、窒素がインクジェットヘッド１のインク流路１０を通過するため、インク流路１０は短時間で乾燥し、洗浄液による水シミの発生が防止される。所定時間経過後、ＣＰＵ４１はバルブＶ４を閉じる。
【００４８】
次いで、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１３で行われた検査結果が合格であるか否かを判断する（Ｓ１５）。ＣＰＵ４１は、検査結果が合格であると判断した場合（Ｓ１５のＹ）、ステップＳ１２からステップＳ１５までの処理を必要回数繰り返したか否かを判断する（Ｓ１６）。ステップＳ１２からステップＳ１５までの処理を必要回数繰り返していないと判断した場合（Ｓ１６のＮ）、ステップＳ１２からステップＳ１５までの処理を再び実行する。ここに、繰返手段としての機能が実行される。ステップＳ１２からステップＳ１５までの処理を必要回数繰り返したと判断した場合（Ｓ１６のＹ）、ヘッド浸漬容器２１の超音波振動をＯＦＦにする（Ｓ１７）。また、検査結果が不合格であると判断した場合（Ｓ１５のＮ）、ヘッド浸漬容器２１の超音波振動をＯＦＦにする（Ｓ１７）。なお、ここでは、必要回数は５回に設定されているが、これに限るものではない。また、この必要回数は、操作部５１に対する操作者の操作によって設定されるようにしても良い。
【００４９】
その後、操作者は、インクジェットヘッド洗浄装置２０からインクジェットヘッド１を取り外す。詳述すると、操作者は、インクジェットヘッド１のインク供給口９からチューブ（各種の経路）を取り外し、インクジェットヘッド１を保持部２５から取り外す。なお、検査結果が不合格であったインクジェットヘッド１は、例えば、図５のような洗浄処理によって再び洗浄される。
【００５０】
このようにして、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させ（Ｓ１２）、その後、インクジェットヘッド１のインク流路１０内を乾燥させることによって（Ｓ１４）、インクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等が剥がれやすくなり、その異物は容易に除去されるので、インクジェットヘッド１のインク流路１０を良好に洗浄することができ、その結果として、インクジェットヘッド１のインク吐出安定性及びインク吐出直進性の低下を防止することができる。
【００５１】
さらに、インク流路１０に窒素を流通させてインク流路１０を乾燥させることによって（Ｓ１４）、洗浄液による水シミの発生を防止することができ、その結果として、インクジェットヘッド１のインク吐出安定性及びインク吐出直進性の低下を防止することができる。
【００５２】
また、インクジェットヘッド１の吐出孔２からの洗浄液の噴射（Ｓ１２）とインクジェットヘッド１のインク流路１０の乾燥（Ｓ１４）とを繰り返すことによって（Ｓ１６）、インクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等がより剥がれやすくなるため、異物の除去効率が向上する。
【００５３】
さらに、インクジェットヘッド１のインク流路１０の洗浄（Ｓ１２）及びインクジェットヘッド１の吐出孔２から噴射する洗浄液の吐出直進性の検査（Ｓ１３）を繰り返すことによって（Ｓ１６）、複数回の検査過程中にもインクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等が剥がされるため、異物を検出する検出能力が向上する。
【００５４】
なお、本実施の形態においては、流通部２３は、インクジェットヘッド１の開口部であるインク供給口９からインク流路１０内の洗浄液を吸引し、インクジェットヘッド１の吐出孔２からインク流路１０内に洗浄液を流入させることから、簡単な構成でインクジェットヘッド１のインク流路１０を良好に洗浄することができる。
【００５５】
また、本実施の形態においては、流通部２３は、インクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させることから、簡単な構成でインクジェットヘッド１のインク流路１０を良好に洗浄することができる。
【００５６】
また、本実施の形態においては、流通部２３は、ヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液から浸漬部２２により引き上げられたインクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させ、流通部２３によりインクジェットヘッド１の吐出孔２から噴射された洗浄液の吐出直進度を測定する測定部４９を備えることから、洗浄液の吐出直進性を検査することができ、さらに、測定過程中にもインクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等が剥がされるため、異物を検出する検出能力が向上する。
【００５７】
また、本実施の形態においては、流通部２３と乾燥部２４とを必要回数繰り返し駆動する繰返手段を備えることから、インクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等がより剥がれやすくなるため、異物の除去効率が向上する。
【００５８】
また、本実施の形態においては、洗浄液を収容してその洗浄液に超音波振動を加えるヘッド浸漬容器２１にインクを吐出するための吐出孔２及びこの吐出孔２にインク流路１０を介して連通するインク供給口９を有するインクジェットヘッド１を浸漬し、ヘッド浸漬容器２１内で超音波振動する洗浄液に浸漬したインクジェットヘッド１のインク流路１０に洗浄液を流通させる流通工程と、ヘッド浸漬容器２１の洗浄液からインクジェットヘッド１を引き上げ、引き上げたインクジェットヘッド１のインク流路１０に気体を送り、そのインク流路１０を乾燥させる乾燥工程と、を備えることから、インクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等が剥がれやすくなり、その異物は容易に除去されるので、インクジェットヘッド１のインク流路１０を良好に洗浄することができ、その結果として、インクジェットヘッド１のインク吐出安定性及びインク吐出直進性の低下を防止することができる。
【００５９】
また、本実施の形態においては、流通工程は、インクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内の洗浄液を吸引し、インクジェットヘッド１の吐出孔２からインク流路１０内に洗浄液を流入させることから、簡単にインクジェットヘッド１のインク流路１０を良好に洗浄することができる。
【００６０】
また、本実施の形態においては、流通工程は、インクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させることから、簡単にインクジェットヘッド１のインク流路１０を良好に洗浄することができる。
【００６１】
また、本実施の形態においては、流通工程は、超音波振動する洗浄液からインクジェットヘッド１を引き上げ、引き上げたインクジェットヘッド１のインク供給口９からインク流路１０内に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１の吐出孔２から洗浄液を噴射させ、流通工程によりインクジェットヘッド１の吐出孔２から噴射された洗浄液の吐出直進度を測定する測定工程を備えることから、洗浄液の吐出直進性を検査することができ、さらに、測定過程中にもインクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等が容易に剥がされるため、異物を検出する検出力が向上する。
【００６２】
また、本実施の形態においては、流通工程と乾燥工程とを必要回数繰り返し実行する繰返工程を備えることから、インクジェットヘッド１のインク流路１０の壁面に固着する異物等がより剥がれやすくなるため、異物の除去効率が向上する。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、インクジェットヘッドの内部、すなわちインク流路を良好に洗浄することができ、その結果として、インクジェットヘッドのインク吐出安定性及びインク吐出直進性の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェットヘッドを概略的に示す縦断側面図である。
【図２】インクジェットヘッドのＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の実施の一形態のインクジェットヘッド洗浄装置を概略的に示す縦断側面図である。
【図４】インクジェットヘッド洗浄装置が備える各部の電気的接続を概略的に示すブロック図である。
【図５】洗浄処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】検査処理を含む洗浄処理の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
１          インクジェットヘッド
２          吐出孔
９          開口部（インク供給口）
１０        インク流路
２０        インクジェットヘッド洗浄装置
２１        ヘッド浸漬容器
２２        浸漬部
２３        流通部
２４        乾燥部
４９        測定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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