(57)【要約】【課題】コークス炉の燃料ガスとしてＢＦＧが使用できない際において、ＣＯＧ燃焼による問題を解消し、希釈ガスとしてコークス炉排ガスや空気を使用する際における問題も解消することのできるコークス炉の加熱方法及びコークス炉の燃料ガス供給設備を提供する。【解決手段】コークス炉で発生するＣＯＧと外部から供給される実質不活性ガスからなる希釈ガスとを予混合して、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させることを特徴とするコークス炉の加熱方法。また、コークス炉で発生するＣＯＧと希釈ガスとを予混合し（１段目混合）、さらに当該予混合したガスにＣＯＧを混合して（２段目混合）、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させることを特徴とするコークス炉の加熱方法。前記希釈ガスが酸素製造プラントで副生したものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法において、コークス炉で発生するＣＯＧと外部から供給される実質不活性ガスからなる希釈ガスとを予混合して、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させることを特徴とするコークス炉の加熱方法。
【請求項２】
蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法において、コークス炉で発生するＣＯＧと希釈ガスとを予混合し（１段目混合）、さらに当該予混合したガスにＣＯＧを混合して（２段目混合）、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させることを特徴とするコークス炉の加熱方法。
【請求項３】
前記２段目混合後のガスの発熱量が一定となるよう、２段目混合におけるＣＯＧの流量を調整することを特徴とする請求項２に記載のコークス炉の加熱方法。
【請求項４】
前記希釈ガスは、窒素濃度が９７％以上であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のコークス炉の加熱方法。
【請求項５】
前記希釈ガスが、酸素製造プラントで副生したものであることを特徴とする請求項４に記載のコークス炉の加熱方法。
【請求項６】
燃料ガスを蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させるコークス炉の燃料ガス供給設備において、ＣＯＧとＢＦＧを混合して燃料ガスとするためのＣＯＧ用配管及びＢＦＧ用配管を有し、前記ＣＯＧ用配管とＢＦＧ用配管が合流して蓄熱室へつながる経路Ａと、さらに前記ＣＯＧ用配管から分岐した分岐ＣＯＧ用配管と実質不活性ガスからなる希釈ガス用配管とを合流した後、前記ＢＦＧ用配管に接続した経路Ｂとを有し、前記ＢＦＧ用配管に導入するガスについては、ＢＦＧを導入することと、経路ＢによりＣＯＧと前記希釈ガスを混合したガスを導入することとを切り替え可能に構成したことを特徴とするコークス炉の燃料ガス供給設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法及びコークス炉の燃料ガス供給設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
コークス炉においては、燃料ガスと燃焼用空気とをそれぞれ蓄熱室で予熱し、ついで燃料ガスと燃焼用空気とを燃焼室に導入して燃焼させ、発生した熱によって炭化室に装入された石炭を乾留し、コークスを製造している。
【０００３】
燃料ガスとしては、コークス炉で発生し高カロリーのＣＯＧと、高炉で発生し低カロリーのＢＦＧとを混合し、混合後の燃料ガスの発熱量（燃料ガス単位体積あたり燃焼したときに発生する熱量）を一定の最適発熱量とした上で使用している。
【０００４】
高炉改修や高炉休風等でＢＦＧが供給されない時期がある。このような時期には、コークス炉の燃料ガスとしてＣＯＧのみが使用可能である。しかしＣＯＧ単独でコークス炉の燃料ガスとすると、発熱量が高カロリーであるため、燃焼室内における炎の長さが短くなり、燃焼室の全長を均一に加熱することができなくなる。また、ＣＯＧをそのまま蓄熱室に導入して予熱すると、炭化水素が熱分解してカーボンが析出し、蓄熱室を構成するレンガに堆積することとなる。
【０００５】
特許文献１においては、リッチガスをコークス炉を出た排ガスの一部又は空気と予混合して低カロリーガスに調整し、これを蓄熱室に導き加熱した後、燃焼室に導入して燃焼させるようにしたコークス炉の加熱方法が記載されている。これにより、燃焼室において均一加熱ができ、蓄熱室におけるカーボン析出トラブルの発生がなく、さらにＮＯｘの発生を極少に抑制することができるとしている。
【０００６】
【特許文献１】
特開昭５２−７７１０１号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
コークス炉からの排ガスは、酸素を含有している。通常のＣＯＧとＢＦＧの混合ガスを燃料ガスとする場合でも、排ガス中の酸素濃度は６％程度まで達する場合があり、ＢＦＧを用いないＣＯＧ専焼の場合には、排ガス中の酸素濃度は１１％程度まで増大する場合がある。さらに、コークス炉の燃焼切り替え等に際して排ガス中の酸素濃度が配管内等で局所的にさらに増加すると考えられる。ＣＯＧは、主に水素とメタンから構成されており、酸素濃度が５％程度で爆発限界に達するため、その濃度以上での配管内輸送、高温予熱は好ましくない。
【０００８】
コークス炉の排ガスは露点が１２０℃程度と高いので、排ガスを希釈ガスとして用いた場合には配管内でのドレン発生や配管の腐食の問題が発生することとなる。また、排ガス中の煤煙がリサイクルされてしまい、蓄熱室内に煤煙が蓄積することとなる。さらに排ガスは高温であるため、蓄熱室でのアンバランスが発生する。
【０００９】
コークス炉が設備トラブルで休止した場合、当然のことながらコークス炉排ガスの発生も停止する。従って、設備再開時には希釈用の排ガスが得られず、ＣＯＧ単独で燃料ガスとせざるを得ないという問題がある。特許文献１に記載のように、希釈ガスとして排ガスに代えて空気を用いようとすると、上記の爆発限界の制約により、空気の混合率は極めて小さく制限され、目標とする希釈を達成できないという問題がある。
【００１０】
ＣＯＧとＢＦＧを混合して燃料ガスとする通常の場合、混合後の燃料ガスの発熱量を一定に保持する手段として、混合後のガスラインにカロリー計を設け、ＣＯＧの流量を調整して燃料ガス発熱量を調整する方法が採用される。実質発熱成分を有しない希釈ガスとＣＯＧとを混合する場合においては、燃料ガスの発熱量を一定に保持するため、ＢＦＧを使用する通常の場合と比較してＣＯＧの混合比率が増大する。そのため、ＣＯＧ流量が既設のＣＯＧ流量調整ラインの許容上限を超えてしまうことがある。このような場合、大流量に対応できるＣＯＧ流量調整ラインを新設する必要があった。
【００１１】
高カロリーのＣＯＧと実質発熱成分を有しない排ガスとを混合して燃料ガスとする場合、両者の発熱量の差が大きいので、混合後の混合性が十分ではなく、混合後のガスラインにおけるカロリー計での測定精度が低下することがある。
【００１２】
本発明は、コークス炉の燃料ガスとしてＢＦＧが使用できない際において、ＣＯＧ燃焼による問題を解消し、希釈ガスとしてコークス炉排ガスや空気を使用する際における問題も解消することのできるコークス炉の加熱方法及びコークス炉の燃料ガス供給設備を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の要旨とするところは以下の通りである。
（１）蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法において、コークス炉で発生するＣＯＧと外部から供給される実質不活性ガスからなる希釈ガスとを予混合して、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させることを特徴とするコークス炉の加熱方法。
（２）蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法において、コークス炉で発生するＣＯＧと希釈ガスとを予混合し（１段目混合）、さらに当該予混合したガスにＣＯＧを混合して（２段目混合）、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させることを特徴とするコークス炉の加熱方法。
（３）前記２段目混合後のガスの発熱量が一定となるよう、２段目混合におけるＣＯＧの流量を調整することを特徴とする上記（２）に記載のコークス炉の加熱方法。
（４）前記希釈ガスは、窒素濃度が９７％以上であることを特徴とする上記（１）乃至（３）のいずれかに記載のコークス炉の加熱方法。
（５）前記希釈ガスが、酸素製造プラントで副生したものであることを特徴とする上記（４）に記載のコークス炉の加熱方法。
（６）燃料ガスを蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させるコークス炉の燃料ガス供給設備において、ＣＯＧとＢＦＧを混合して燃料ガスとするためのＣＯＧ用配管１１及びＢＦＧ用配管１２を有し、ＣＯＧ用配管１１とＢＦＧ用配管１２が合流して蓄熱室へつながる経路Ａと、さらにＣＯＧ用配管１１から分岐した分岐ＣＯＧ用配管２１と実質不活性ガスからなる希釈ガス用配管２２とを合流した後、ＢＦＧ用配管１２に接続した経路Ｂとを有し、ＢＦＧ用配管１２に導入するガスについては、ＢＦＧを導入することと、経路ＢによりＣＯＧと前記希釈ガスを混合したガスを導入することとを切り替え可能に構成したことを特徴とするコークス炉の燃料ガス供給設備。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１に基づいて本発明の実施の形態について説明する。
【００１５】
第１の発明は、蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法において、コークス炉で発生するＣＯＧと希釈ガスとを予混合して、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させるに際し、希釈ガスとして外部から供給される実質不活性ガスからなるガスを用いることを特徴とする。ここにおいて実質不活性ガスとは、酸素含有量が少なく、なおかつ酸素含有量が変動しないガスをいう。酸素含有量は３％以下であれば好ましい。ガスの主成分を窒素とすると、安価に供給できるので好ましい。また、外部から供給されるガスとは、コークス炉において発生するガス以外のガスを意味する。外部から供給を受けるので、実質不活性ガスを入手することが可能になる。
【００１６】
このように希釈ガスとして実質不活性ガスを用いるので、希釈ガスとしてコークス炉の排ガス又は空気を用いる特許文献１に記載の方法と比較し、ＣＯＧが爆発限界に達する危険性を解消することができる。
【００１７】
また、外部から供給される希釈ガスを用いるので、コークス炉設備トラブル休止の後に稼働を開始するに際しても希釈ガスの供給を受けることができる。
【００１８】
第２の発明は、蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法において、コークス炉で発生するＣＯＧと希釈ガスとを予混合し（１段目混合）、さらに当該予混合したガスにＣＯＧを混合して（２段目混合）、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させることを特徴とする。
【００１９】
コークス炉の燃料ガス供給設備においては、通常はＣＯＧとＢＦＧを混合して燃料ガスとするので、ＣＯＧとＢＦＧを混合して燃料ガスとするためのＣＯＧ用配管１１及びＢＦＧ用配管１２を有し、混合後の燃料ガスの発熱量を一定に保持する手段として、混合後の燃料ガス配管１２にカロリー計１５を設け、混合前のＣＯＧ用配管１１にＣＯＧ流量調整弁１４を設け、ＣＯＧの流量を調整して燃料ガス発熱量を調整する方法が採用される。実質発熱成分を有しない希釈ガスとＣＯＧとを１段で混合する従来の場合においては、燃料ガスの発熱量を最適な熱量に保持するため、ＢＦＧを使用する通常の場合と比較してＣＯＧの混合比率が増大し、ＣＯＧ流量が既設のＣＯＧ流量調整弁１４の許容上限を超えてしまうことがあった。
【００２０】
上記第２の発明においては、ＣＯＧの混合を１段目混合と２段目混合の２段階で混合することとした。このため、２段目混合においては従来の１段混合に比較してＣＯＧの流量を少なくすることができる。２段目混合のためのＣＯＧを既設の燃料ガス供給設備におけるＣＯＧ流量調整弁１４の許容範囲内流量に抑えれば、当該既設のＣＯＧ流量調整弁１４を用いることが可能になる。最終的な燃料ガスのカロリー一定制御については、２段目混合において既設のＣＯＧ流量調整弁１４を用いて制御を行うことができるので、１段目混合におけるＣＯＧと希釈ガスの混合においては、ＣＯＧと希釈ガスを一定流量で、あるいは一定比率で混合することができる。本発明を実施する上で、既設の燃料ガス供給設備に付加する新規設備は１段目混合に関する部分であり、この部分に複雑な流量調整機構を設ける必要がなくなるので、設備投資額を低額に抑えることが可能になる。１段目混合前の希釈ガス用配管２２と分岐ＣＯＧ用配管２１にも、希釈ガス流量調整弁２８と分岐ＣＯＧ流量調整弁２９とが配置されることがあるが、これらの流量調整弁はガス流量を一定に調整する機能のみを具備すればいいので、上記ＣＯＧ流量調整弁１４に比較して安価に製造することが可能である。１段目混合を終えたガスは、１段目合流後配管２３から既設のＢＦＧ用配管１２に導入することにより、その後の２段目混合が実施される。
【００２１】
この場合、２段目混合後の燃料ガスの発熱量が一定となるよう、２段目混合におけるＣＯＧの流量をＣＯＧ流量調整弁１４において調整することとなる。
【００２２】
２段目混合においては、１段目混合を終えてある程度の発熱量を有するガスとＣＯＧガスとを混合する。従って、実質発熱成分を有しない排ガスとＣＯＧとを混合する従来の場合と異なり、２段目混合前の両ガス間の発熱量の差が小さく、混合後のガスラインにおけるカロリー計１５での測定精度を改善することができる。このため、従来の１段混合に比較し、燃料ガスの発熱量を精度良く一定に保持することが可能になる。
【００２３】
本発明で用いる希釈ガスとしては、窒素濃度が９７％以上であると好ましい。窒素濃度が９７％以上であれば、必然的に酸素濃度は３％未満と低酸素濃度であり、また酸素濃度の変動も３％未満に抑えられる。その結果、希釈ガスとしてコークス炉の排ガス又は空気を用いる特許文献１に記載の方法と比較し、安定してＣＯＧの爆発限界内とすることができる。
【００２４】
コークス炉が製鉄所の敷地内あるいは製鉄所の隣接地に設けられている場合、同じ製鉄所内には製鋼工場で使用する純酸素ガスを製造するための酸素製造プラントが設けられていることが多い。酸素製造プラントにおいては、空気から酸素を分離して純酸素ガスとしているので、当然のことながら副生ガスとして窒素を主成分とするガスが生成する。酸素製造プラントで副生される窒素ガスにおいては、窒素濃度が９９％以上であり、その他成分は酸素、アルゴン等であり、露点は−２０℃以下である。従って、本発明で用いる希釈ガスとして最適である。
【００２５】
希釈ガスとして酸素製造プラントで副生した窒素ガスを用いることにより、当然窒素濃度が９７％としたときの上記効果と同様の効果を得ることができる。また、酸素製造プラントで副生した窒素ガスはコークス炉の外部から供給される希釈ガスであるから、前記第１の発明と同様の効果を発揮することができる。
【００２６】
酸素製造プラントで副生した窒素ガスは露点が−２０℃以下であるから、希釈ガスとして使用したときに配管内でのドレン発生や配管の腐食が起こらない。
【００２７】
第３の発明は、コークス炉の燃料ガス供給設備に関するものである。
【００２８】
燃料ガス供給設備において通常用いる燃料ガスはＣＯＧとＢＦＧの混合ガスであるため、ＣＯＧとＢＦＧを混合して燃料ガスとするためのＣＯＧ用配管１１及びＢＦＧ用配管１２を有し、ＣＯＧ用配管１１とＢＦＧ用配管１２が合流して蓄熱室へつながる経路（以下「経路Ａ」という。）を有する。本発明においては、さらにＣＯＧ用配管１１から分岐した分岐ＣＯＧ用配管２１を有し、ＣＯＧを分岐ＣＯＧ配管２１に供給することができる。また、実質不活性ガスからなる希釈ガス用配管２２を有する。分岐ＣＯＧ配管２１と希釈ガス用配管２２とが合流し（１段目合流）、ここにおいてＣＯＧと希釈ガスとを混合することができる。合流した後の１段目合流後配管２３はＢＦＧ用配管１２に接続される。分岐ＣＯＧ用配管２１、希釈ガス用配管２２と、これらが合流してＢＦＧ用配管１２に接続するまでを経路Ｂと呼ぶ。ＢＦＧ用配管１２に導入するガスについては、ＢＦＧを導入することと、経路ＢによりＣＯＧと希釈ガスを混合したガスを導入することとを切り替え可能に構成する。
【００２９】
ＢＦＧ用配管１２に導入するガスについては、上記のように切り替え可能に構成されている。通常のＣＯＧとＢＦＧを混合して燃料ガスとする場合においては、ＢＦＧ用配管１２にＢＦＧを導入する。図１に示す例においては、ＢＦＧ遮断弁１７を開とし、希釈ガス遮断弁２６と分岐ＣＯＧ遮断弁２７とを閉とすることにより、ＢＦＧ用配管１２にＢＦＧが導入される。一方、ＢＦＧを用いない場合においては、経路ＢによりＣＯＧと希釈ガスを混合したガスを導入する。図１に示す例においては、ＢＦＧ遮断弁１７を閉とし、希釈ガス遮断弁２６と分岐ＣＯＧ遮断弁２７とを開とすることにより、ＢＦＧ用配管１２にＣＯＧと希釈ガスを混合したガスが導入される。
【００３０】
ＣＯＧ用配管１１とＢＦＧ用配管１２から供給されるガスが２段目混合によって混合した後の燃料ガスは、２段目合流後配管２４（燃料ガス配管１３）を通過して蓄熱室に送られ、その後図示しない燃焼室に導入して燃焼させる。
【００３１】
本発明のコークス炉の燃料ガス供給設備は、燃料ガスを蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させる通常のコークス炉の燃料ガス供給設備を改造することにより実現する。従って、経路Ａは、ＣＯＧ用配管１１とＢＦＧ用配管１２の合流後蓄熱室までの間にカロリー計１５を有し、ＣＯＧ用配管１１にはＣＯＧ流量調整弁１４を有している。カロリー計で測定した燃料ガスの発熱量が一定になるよう、カロリー制御装置１９の制御によりＣＯＧ流量調整弁１４でＣＯＧの流量を調整することができる。経路ＢによりＣＯＧと希釈ガスを混合したガスを導入する場合においても、ＣＯＧ流量調整弁１４を通過するＣＯＧの流量を調整することにより、混合後の燃料ガスの発熱量を一定に保持することができる。
【００３２】
【実施例】
蓄熱室を有するコークス炉を加熱するための燃料ガス供給設備として、図１に示す経路Ａを有する設備を改造することにより、本発明を適用した。ＣＯＧとして供給されるガスは、水素５４％、メタン２７％、その他から構成されるガスであり、発熱量は４２００Ｋｃａｌ／Ｎｍ３である。
【００３３】
（本発明例）
本発明例においては、図１の経路Ａに経路Ｂを付加し、コークス炉で発生するＣＯＧと希釈ガスとを経路Ｂにおいて予混合し（１段目混合）、さらに当該予混合したガスを経路Ａに戻してＣＯＧを混合して（２段目混合）、蓄熱室で予熱し、燃焼室に導入して燃焼させることとした。希釈ガスとしては、製鉄所内の酸素製造プラントで副生された、窒素濃度が９９％の窒素ガスを供給した。
【００３４】
本発明の適用に際しては、まずＢＦＧ遮断弁１７を全閉、希釈ガス遮断弁２６及び分岐ＣＯＧ遮断弁２７を全開とする。これにより、経路Ｂにおいて、発熱量が４２００Ｋｃａｌ／Ｎｍ３の上記ＣＯＧ：４８００Ｎｍ３／Ｈｒと、希釈ガスとしての上記窒素ガス：２０３００Ｎｍ３／Ｈｒとを混合し、１段目混合後のガスとして発熱量がＢＦＧなみの８００Ｋｃａｌ／Ｎｍ３のガスとした。
【００３５】
次に、２段目混合として、上記混合したガスを１段目混合後配管２３から経路ＡのＢＦＧ用配管１２へ輸送した後、ＣＯＧ用配管１１を経由したＣＯＧと混合し、燃料ガス配管１３（２段目混合後配管２４）に流した。燃料ガス配管１３にはカロリー計１５が設置されており、カロリー計１５での発熱量の測定値が１１５０Ｋｃａｌ／Ｎｍ３となるように、２段目に混合するＣＯＧ流量をカロリー制御装置１９を介してＣＯＧ流量調整弁１４により調整した。このとき、２段目混合に用いるＣＯＧの流量は２９００Ｎｍ３／Ｈｒとなった。
【００３６】
蓄熱室前で最終的な燃料ガスの発熱量を別のカロリー計により配管内深さ方向に測定位置を種々変えて測定したところ、いずれの測定値も１１５０±５Ｋｃａｌ／Ｎｍ３に収まっていた。
【００３７】
（比較例）
上記本発明例と同じ設備を用い、ＢＦＧ遮断弁１７及び分岐ＣＯＧ遮断弁２７をともに全閉、希釈ガス遮断弁２６を全開とし、ＣＯＧは全量ＣＯＧ用配管１１から供給し、ＢＦＧ用配管１２には１段目混合後配管２３を経由して希釈ガスを供給し、経路ＡにおいてＣＯＧと希釈ガスとを１段で混合するようにした。希釈ガスとしては上記本発明例と同じ窒素ガスを供給した。
【００３８】
ＣＯＧと窒素ガスの混合後で発熱量を１１５０Ｋｃａｌ／Ｎｍ３とする前提でＣＯＧ流量がＣＯＧ流量調整弁１４の調整範囲内の約３５００Ｎｍ３／Ｈｒとなるように窒素ガスの流量を９２００Ｎｍ３／Ｈｒとした。該窒素ガスをＢＦＧ用配管１２へ輸送した後、ＣＯＧと混合し、カロリー計１５での熱熱量の測定値が１１５０Ｋｃａｌ／Ｎｍ３となるように、カロリー制御装置１９を介してＣＯＧ流量調整弁１４によりＣＯＧ流量を調整した。
【００３９】
蓄熱室前で最終的な燃料ガスの発熱量を別のカロリー計により配管内深さ方向に測定位置を種々変えて測定したところ、１１３０〜１１７０Ｋｃａｌ／Ｎｍ３の間でばらついていた。このことは、カロリー計１５が燃料ガスの平均的発熱量を測定しておらず、測定精度が悪いことを示している。
【００４０】
【発明の効果】
本発明は、蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法において、コークス炉で発生するＣＯＧと外部から供給される実質不活性ガスからなる希釈ガスとを予混合して燃料ガスとするので、希釈ガスとしてコークス炉排ガスを用いる従来と比較し、コークス炉立ち上げの初期から希釈された燃料ガスを得ることができ、さらに設備保護、長期安定燃焼を確保できるという効果を有する。
【００４１】
本発明はまた、蓄熱室を有するコークス炉の加熱方法において、コークス炉で発生するＣＯＧと希釈ガスとを予混合し（１段目混合）、さらに当該予混合したガスにＣＯＧを混合して（２段目混合）燃料ガスとする２段混合を用いるので、従来の１段混合と比較し、既設の燃料ガスカロリー調整用流量調整機構をそのまま用いることができ、またカロリー計の測定精度向上による燃料ガス発熱量の精度向上効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の燃料ガス供給設備を示す図である。
【符号の説明】
１  燃料ガス供給設備
２  蓄熱室
３  燃焼室
４  炭化室
１１  ＣＯＧ用配管
１２  ＢＦＧ用配管
１３  燃料ガス配管
１４  ＣＯＧ流量調整弁
１５  カロリー計
１６  ＣＯＧ遮断弁
１７  ＢＦＧ遮断弁
１８  燃料ガス流量調整弁
１９  カロリー制御装置
２１  分岐ＣＯＧ用配管
２２  希釈ガス用配管
２３  １段目合流後配管
２４  ２段目合流後配管
２６  希釈ガス遮断弁
２７  分岐ＣＯＧ遮断弁
２８  希釈ガス流量調整弁
２９  分岐ＣＯＧ流量調整弁
【図１】
2004339425.tif 000003