(57)【要約】【課題】所望の昇圧比の製品を歩留まり良く製造することができる積層型圧電トランスの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】内部電極に対する積層体の外形の相対的位置を変えて切断することにより昇圧比を調整するもので、同一ロット内の一部を先行させて作製評価した結果に基づき、相対的位置を決定する積層型圧電トランスの製造方法であり、同一ロット内の一部を先行させて作製評価した結果に基づき、内部電極に対する積層体の外形の相対的位置を変えて切断することにより昇圧比を調整するので、これにより、所望の昇圧比の製品を歩留まり良く製造することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック層と内部電極とを交互に積層し積層体ブロックを得る第１の工程と、前記積層体ブロックを所定の外形寸法に切断し個片の積層体を作製する第２の工程と、前記積層体を焼成して積層焼結体を得る第３の工程と、前記積層焼結体に外部電極を形成し分極する第４の工程とを備え、前記第２の工程において、前記内部電極に対する前記積層体の外形の相対的位置を変えて切断することにより昇圧比を調整するもので、同一ロット内の一部を先行させて作製評価した結果に基づき、前記相対的位置を決定する積層型圧電トランスの製造方法。
【請求項２】
内部電極に対する積層体の外形の相対的位置は、入力側内部電極に近接する積層体端面と入力側内部電極との距離である請求項１に記載の積層型圧電トランスの製造方法。
【請求項３】
入力側内部電極に近接する積層体端面と入力側内部電極との距離を、積層体の全長に対して０．５〜１０％とする請求項２に記載の積層型圧電トランスの製造方法。
【請求項４】
同一ロット内の一部を先行させて作製評価するに際し、内部電極に対する積層体の外形の相対的位置を３点以上の複数箇所で変えて切断して作製評価する請求項１に記載の積層型圧電トランスの製造方法。
【請求項５】
積層型圧電トランスはローゼンλ／２モードである請求項１に記載の積層型圧電トランスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイのバックライト用インバータ等の電圧変換装置に用いられる積層型圧電トランスの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の積層型圧電トランスの製造方法について以下に説明する。
【０００３】
まず、チタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミック原料に可塑剤やバインダなどの有機物を混合して作製した所望の厚みのグリーンシートを作製する。次に、このグリーンシート上に、入力側および出力側の内部電極となるパターンを縦横に複数配列したパターンで内部電極となる金属ペーストを印刷する。さらに、この上にグリーンシートを積層する。このグリーンシート上に、後に個片に分離したときに入力側電極が製品の側面に交互に露出するように、先に内部電極のパターンに対してずらして、先と同様に入力側および出力側の内部電極となるパターンを縦横に複数配列したパターンで内部電極となる金属ペーストを印刷する。これらグリーンシートの積層、内部電極の印刷を交互に繰り返し、積層体ブロックを作製する。
【０００４】
次に、積層体ブロックを所望の外形寸法に切断し、個片の積層体を作製する。この時、上述のように、積層体の入力側の内部電極は一層毎に個片の側面に交互に露出している。
【０００５】
次に、積層体を空気中で熱処理することにより積層体からバインダなどの有機物を除去する。次いで、積層体を千数百℃程度で焼成し、圧電セラミック層と内部電極とを交互に積層した積層焼結体を得る。
【０００６】
その後、積層焼結体の長手方向の側面に交互に露出した入力側内部電極と電気的に接続した入力側外部電極と、長手方向の側面端部に露出した出力側内部電極と電気的に接続した出力側外部電極を形成する。
【０００７】
次いで、入力側外部電極間に所望の条件で直流電圧を印加し、入力側内部電極間のセラミック層を分極する。その後、入力側外部電極間を短絡してマイナス側とし、出力側外部電極をプラス側として所望の条件で直流電圧を印加し、入力側内部電極と出力側内部電極の間のセラミック層を分極することにより積層型圧電トランスを得る。
【０００８】
そして、圧電トランスの重要な特性のひとつとして、圧電トランスの入力電圧に対する出力電圧の比で定義される昇圧比がある。圧電トランスは、所望の仕様に合わせて昇圧比を正確に作製する必要がある。完成した圧電トランスの昇圧比を測定し、所望の昇圧比と違っていた場合には、不良品となる。
【０００９】
このため、完成した圧電トランスの昇圧比を測定し、所望の昇圧比と違っていた場合には、入力側電極のサイズを調整して昇圧比を変える方法が提案されている。このような、入力側電極のサイズを調整して昇圧比を変える方法に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平９−１１６２０５号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような、入力側電極のサイズを調整して昇圧比を変える方法は、圧電セラミックの外表面に入力側電極を設けた単板型の圧電トランスには適用できるが、上述したような積層型圧電トランスにおいては、入力側電極は圧電セラミックに内蔵された内部電極であり、サイズを調整することは困難であり、この方法は適用できない。
【００１２】
このため、積層型圧電トランスにおいては、完成品が所望の昇圧比と違っていた場合には、不良品となり、多くの製品が廃棄になり量産上大変な不都合があった。そして、再度、内部電極の層数、セラミック層の厚み等の仕様を変えて、製造工程の最初から作製し直して所望の昇圧比を得る必要があった。しかしながら、積層型圧電トランスにおいては、製造ロットごとのセラミック層の厚みや電気特性のバラツキなど昇圧比を左右する要因が多く、所望の昇圧比の製品を歩留まり良く製造することが困難であるという問題を有していた。
【００１３】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、所望の昇圧比の製品を歩留まり良く製造することができる積層型圧電トランスの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１５】
本発明の請求項１に記載の発明は、セラミック層と内部電極とを交互に積層し積層体ブロックを得る第１の工程と、前記積層体ブロックを所定の外形寸法に切断し個片の積層体を作製する第２の工程と、前記積層体を焼成して積層焼結体を得る第３の工程と、前記積層焼結体に外部電極を形成し分極する第４の工程とを備え、前記第２の工程において、前記内部電極に対する前記積層体の外形の相対的位置を変えて切断することにより昇圧比を調整するもので、同一ロット内の一部を先行させて作製評価した結果に基づき、前記相対的位置を決定する積層型圧電トランスの製造方法であり、同一ロット内の一部を先行させて作製評価した結果に基づき内部電極に対する積層体の外形の相対的位置を変えて切断することにより昇圧比を調整するので、これにより、所望の昇圧比の製品を歩留まり良く製造することができるという作用効果が得られる。
【００１６】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、入力側内部電極に近接する積層体端面と入力側内部電極との距離を変えて切断することにより昇圧比を調整する積層型圧電トランスの製造方法であり、これにより、広い範囲の昇圧比を調整できるという作用効果が得られる。
【００１７】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、入力側内部電極に近接する積層体端面と入力側内部電極との距離を、積層体の全長に対して０．５〜１０％とする積層型圧電トランスの製造方法であり、これにより、広い範囲の昇圧比を調整できるとともに、内部電極が端面に露出することを防ぎ、信頼性の低下を防げるという作用効果が得られる。
【００１８】
本発明の請求項４に記載の発明は、特に、同一ロット内の一部を先行させて作製評価するに際し、内部電極に対する積層体の外形の相対的位置を３点以上の複数箇所で変えて切断して作製評価する積層型圧電トランスの製造方法であり、これにより、より高精度で昇圧比の調整ができるという作用効果が得られる。
【００１９】
本発明の請求項５に記載の発明は、特に、積層型圧電トランスはローゼンλ／２モードである積層型圧電トランスの製造方法であり、これにより、効率良く広い範囲で昇圧比を調整できるという作用効果が得られる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて本発明の、特に、請求項１〜３および請求項５に記載の発明について説明する。
【００２１】
本発明の実施の形態１について図面を参照して説明する。図１は本実施の形態１における積層型圧電トランスの分解斜視図であり、図２は本実施の形態１における積層型圧電トランスの外観斜視図である。
【００２２】
図１および図２に示すように、本実施の形態１における積層型圧電トランス１０は、圧電性を有するセラミックで形成し、その形状は長尺状の角板である。そして、その内部には、セラミック層１６を挟んで入力側内部電極１１、入力側内部電極１２および出力側内部電極１３を形成し、入力側内部電極１１と入力側内部電極１２は、長尺状のセラミック角板の側面にそれぞれ交互に露出し、出力側内部電極１３は、長尺状のセラミック角板の端部の両側面に露出している。また、ダミー内部電極１１ｂとダミー内部電極１２ｂは、長尺状のセラミック角板の側面にそれぞれ交互に露出している。そして、積層型圧電トランス１０は、セラミック角板の側面に、入力側内部電極１１およびダミー内部電極１２ｂに接続する入力側外部電極１４、入力側内部電極１２およびダミー内部電極１１ｂに接続する入力側外部電極１７（図示せず）、および出力側内部電極１３に接続する出力側外部電極１５および１８（図示せず）を形成している。
【００２３】
次に、本実施の形態１における積層型圧電トランスの製造方法について、図３に示す製造工程図を参照して説明する。
【００２４】
製品として、所望の形状寸法、特性の積層型圧電トランスとなるように、外形寸法のほかに内部電極寸法、セラミック層厚、積層数などの設計仕様を決定し、この設計仕様に基づき以下のようにして製造する。
【００２５】
まず、圧電性セラミックの原料として例えば、ＰｂＯ（酸化鉛）、ＺｒＯ２（二酸化ジルコニウム）、ＴｉＯ２（二酸化チタン）を主原料とし、副原料としてＺｎ，Ｎｂ，Ｍｎ，Ｓｎからなる化合物を所定の割合に原料配分し、この原料をボールミルにて所定時間混合することにより、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電材料を得る。次いで、この原料粉体を仮焼粉砕後、アクリル系樹脂などの有機結合剤を含む有機物を所定量配合し、スラリー混合を行い、シート成形用スラリーを得る。その後、このスラリーを用いドクターブレード法によってシート成形を行い、所望の厚みのセラミック層１６となるセラミックグリーンシートを得る。
【００２６】
次に、このセラミックグリーンシート上に、図４に示すパターンの形状でＡｇを主成分とした内部電極ペーストを印刷し、入力側内部電極１２、ダミー内部電極１２ｂおよび出力側内部電極１３となるパターンを形成する。図４に示すパターンは、入力側内部電極１２およびダミー内部電極１２ｂとなる矩形パターン４０と、出力側内部電極１３となるパターン４３とを、縦横に複数配列したパターンであり、例えば、一点鎖線で示す標準の切断位置Ｗで切断することにより、矩形パターン４０は、入力側内部電極１２となるパターン４１とダミー内部電極１２ｂとなるパターン４２との２つの領域に分けられる。
【００２７】
次いで、この上にセラミックグリーンシートを積層し、このセラミックグリーンシート上に、後に個片に切断したときに個片の側面に入力側内部電極１１と入力側内部電極１２とが一層毎に交互に露出するように、図４に示すパターンを一定寸法ずらしてＡｇを主成分とした内部電極ペーストを印刷し、入力側内部電極１１、ダミー内部電極１１ｂおよび出力側内部電極１３となるパターンを形成する。このように、セラミックグリーンシートの積層、内部電極ペーストの印刷を繰り返し、所望の特性を得るように複数層積層し、平板上の積層体ブロックを得る。同様にして、積層体ブロックを複数個作製して、１製造ロットとする。
【００２８】
次に、この製造ロットの複数個の積層体ブロックの中から、１個の積層体ブロックを先行品として、図４に示す入力側内部電極パターン４２の先端からの距離が０．５ｍｍである切断位置Ａおよび切断位置Ｗで切断し、複数個の個片の積層体とし、５００℃で５時間大気中で加熱して脱バインダーを行い、その後、１２００℃で１時間で焼成して積層焼結体を得る。
【００２９】
次いで、図１および図２に示すように、この積層焼結体の側面に、入力側内部電極１１およびダミー内部電極１２ｂに接続する入力側外部電極１４、入力側内部電極１２およびダミー内部電極１１ｂに接続する入力側外部電極１７、および出力側内部電極１３に接続する出力側外部電極１５および１８をそれぞれ形成した。
【００３０】
次に、入力側外部電極１４と入力側外部電極１７との間に、入力側内部電極１１と入力側内部電極１２とに挟まれたセラミック層１６の厚さ１ｍｍ当たり２〜３ｋＶの電圧を印加することにより、入力側内部電極１１と入力側内部電極１２との間のセラミック層１６を分極し、その後、入力側外部電極１４と入力側外部電極１７とを短絡しこれをマイナス側とし、出力側外部電極１５および１８をプラス側として、入力外部電極１４，１７と出力外部電極１５，１８間の距離１ｍｍ当たり２〜３ｋＶの電圧を印加して、入力側内部電極１１および入力側内部電極１２と出力側内部電極１３との間のセラミック層１６全体を分極して、ロットの一部を先行して作製した積層型圧電トランス１０を得た。この積層型圧電トランス１０の外形寸法は、端面１９から他端面までの長さが３０ｍｍ、幅が７ｍｍ、厚さが２．４ｍｍであった。
【００３１】
このようにして得た先行作製した積層型圧電トランス１０の昇圧比を測定し、この測定評価した結果に基づき、以下に示すような方法で、同一製造ロットの残りの積層体ブロックの切断位置を決定し、昇圧比を調整する。
【００３２】
まず、あらかじめ、外形寸法、内部電極の積層数、内部電極の寸法等の製造仕様が同一仕様の積層型圧電トランスについて、切断位置を種々変えて標準の切断位置Ａおよび標準の切断位置Ａよりずらしたサンプル、すなわち、図１の入力側内部電極１１，１２に近接する積層体端面１９と入力側内部電極１１，１２との距離を種々変えたサンプルを作製し昇圧比を測定評価して、標準の切断位置Ａに対するその切断位置のずれ量と、標準位置Ａでの昇圧比に対する昇圧比の比率つまり相対昇圧比の関係を求めて図５に示す換算表を作成しておく。図５において、ずれ量がマイナスは入力側内部電極１１，１２に近接する側であり、逆にプラスは離れる側である。
【００３３】
この図５は、製造仕様が同一仕様の圧電トランスにおいては、共通の換算表として用いることができる。実施の形態２に述べる方法と比較して、製造仕様が同一であれば、換算表を作り直す必要はないので、短期間に先行ロットの評価ができる。ただし、製造仕様が違う圧電トランスを生産するときには、改めてその製造仕様での換算表を作成する必要がある。
【００３４】
次に、上記で説明した先行作製した積層型圧電トランスの昇圧比の測定結果に基づき、図５の換算表を用いて、同一製造ロットの残りの積層体ブロックの切断位置を決定する。なお、外形寸法は、先行品と同一とする。
【００３５】
製品仕様として所望の昇圧比が５０倍±５倍であるのに対して、上記の標準の切断位置Ａの先行品の昇圧比の平均値が５５倍であった。所望の昇圧比にするためには、−１０％（先行品の昇圧比の９１％）の補正が必要なので、図５の換算表より、相対昇圧比が９１％の位置、すなわち標準の切断位置Ａに対してずれ量が−０．３５ｍｍを切断位置と決定した。つまり、図４に示す入力側内部電極パターン４２の先端からの距離が０．１５ｍｍの切断位置および切断位置Ｗを切断位置と決定した。
【００３６】
以上の方法により決定された切断位置で、同一製造ロットの残りの積層体ブロックを切断し、先行品と同様に工程を進めることで所望の特性の積層型圧電トランス１０を得た。このとき得られた積層型圧電トランス１０の昇圧比の平均値は、５０．５倍であった。製品仕様としての所望の昇圧比が５０倍±５倍に対して、先行品の不良率は５２％、残りの本ロットの不良率は２％であった。
【００３７】
以上説明したように、本実施の形態１では、同一ロット内の一部を先行させて作製評価した結果に基づき、内部電極に対する積層体の外形の相対的位置、つまり、入力側内部電極に近接する積層体端面と入力側内部電極との距離を変えて切断することにより昇圧比を調整したので、所望の昇圧比の積層型圧電トランスが、歩留まり良く製造することができた。
【００３８】
なお、上記の先行品の評価結果に基づき決定される切断位置は、入力側内部電極に近接する積層体端面と入力側内部電極との距離を積層体の全長に対して０．５〜１０％とすることが望ましい。これは、０．５％未満の場合には、積層体端面に入力側内部電極が露出する危険性があり、水滴などによりショート等の問題を生ずるからであり、１０％を超える場合には、入力側、出力側の結合係数が大きく変化して、昇圧比以外の特性も変化してしまうからである。
【００３９】
なお、上記本実施の形態１のように、切断位置を変えることで積層型圧電トランスの昇圧比を変えることができるのは以下の理由によるものである。図６に積層型圧電トランスの位置と応力分布の関係を示すように、ローゼンλ／２モードの積層型圧電トランスの応力は、中央部がもっとも大きく両端部にはほとんどない。
【００４０】
積層型圧電トランスの昇圧比は、入力側内部電極１１および１２に挟まれたセラミック層１６の入力側電気機械結合係数と、入力側内部電極１１，１２と出力側内部電極１３との間のセラミック層１６の出力側電気機械結合係数とによって決定される。
【００４１】
すなわち、入力側電気機械結合係数が大きく出力側電気機械結合係数が小さい方が、昇圧比は大きくなり、また、逆の場合には昇圧比は小さくなる。標準の切断位置Ａに比較して、内部電極１１，１２から離れる側の切断位置Ｂで切断すると、入力側の応力分布は大きく入力側の結合係数が大きくなり、出力側の応力分布は小さく出力側の結合係数が小さくなるので、結果として昇圧比が大きくなる。また、逆に内部電極１１，１２に近接する側の切断位置Ｃで切断すると、出力側の応力分布が大きく出力側の結合係数も大きくなり、入力側の応力分布が小さく入力側の結合係数も小さくなるので、結果として昇圧比が小さくなる。
【００４２】
したがって、積層型圧電トランスの入力側内部電極１１，１２、出力側内部電極１３の面積が変わらなくても、切断位置の変更により、入力側内部電極１１，１２、出力側内部電極１３の位置つまり外形に対する内部電極の相対的位置を変えるだけで、昇圧比が変わる。すなわち、入力側内部電極１１，１２に近接する積層体端面１９と入力側内部電極１１，１２との距離を変えることにより、積層型圧電トランスの昇圧比を変えることができる。
【００４３】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて本発明の、特に、請求項４に記載の発明について説明する。
【００４４】
本実施の形態２が上記実施の形態１と異なる点は、ロット内の積層体ブロックの一部を先行させて作製評価する方法と、この結果に基づき同一製造ロットの残りの積層体ブロックの切断位置を決定する方法であり、積層体ブロックを作製するまでの工程については上記実施の形態１と同様であるので説明を省略する。また、図面、符号についても上記実施の形態１と同様のものを用いて説明する。
【００４５】
上記実施の形態１と同様にして、積層体ブロックを複数個作製して、１製造ロットとする。
【００４６】
次に、この製造ロットの複数個の積層体ブロックの中から、３個の積層体ブロックを先行品とする。３個の積層体ブロックのうち、１個の積層体ブロックは、図４に示す入力側内部電極パターン４２の先端からの距離が０．５ｍｍである切断位置Ａおよび切断位置Ｗで切断し、複数個の個片の積層体とし、また、他の１個の積層体ブロックは、図４に示す入力側内部電極パターン４２の先端からの距離が０．８５ｍｍである切断位置Ｂおよび切断位置Ｗで切断し、複数個の個片の積層体とし、さらに、残りの１個の積層体ブロックは、図４に示す入力側内部電極パターン４２の先端からの距離が０．１５ｍｍである切断位置Ｃおよび切断位置Ｗで切断し、複数個の個片の積層体とし、切断位置を変えた３種類の積層体を作製した。
【００４７】
これら３種類の積層体を同時に、５００℃で５時間大気中で加熱して脱バインダーを行い、その後、１２００℃で１時間で焼成して３種類の積層焼結体を得る。
【００４８】
次いで、これら３種類の積層焼結体それぞれについて、上記実施の形態１と同様にして、外部電極を形成し、分離して、ロットの一部を先行して作製した３種類の積層型圧電トランス１０を得た。
【００４９】
このようにして得た先行作製した３種類の積層型圧電トランス１０の昇圧比を測定し、この測定評価した結果に基づき、以下に示すような方法で、同一製造ロットの残りの積層体ブロックの切断位置を決定し、昇圧比を調整する。
【００５０】
製品仕様として所望の昇圧比が５０倍±５倍であるのに対して、上記の３種類の積層型圧電トランス１０の昇圧比の平均値は、図７に示すように、切断位置Ａのものは５３倍、切断位置Ｂのものは５７倍、切断位置Ｃのものは４７倍であった。図７に示した結果から、所望の昇圧比５０倍±５倍を得るには、切断位置Ａと切断位置Ｃのちょうど中間である入力側内部電極パターン４２の先端からの距離が０．３２５ｍｍであるＤの位置で切断することが最適であることが分かった。
【００５１】
以上の方法により決定された切断位置Ｄおよび切断位置Ｗで、同一製造ロットの残りの積層体ブロックを切断し、先行品と同様に工程を進めることで所望の特性の積層型圧電トランス１０を得た。このとき得られた積層型圧電トランス１０の昇圧比の平均値は、５０．２倍であった。製品仕様として所望の昇圧比が５０倍±５倍に対して、標準の切断位置Ａで切断した先行品の不良品は３５％、残りの本ロットの不良率は１％であった。
【００５２】
本実施の形態２の方法は、上記実施の形態１の方法と比較して、ロット毎に先行品を３水準に切断位置を変えて切断し、全体のロットの切断位置を変えるので、先行品の評価に時間がかかる反面、圧電トランスの製造仕様が変わっても、本実施の形態の先行方法で周波数調整ができる利点がある。
【００５３】
上記実施の形態では、Ａ，Ｂ中間点が所望の昇圧比となったが、それ以外の位置でもＡ，Ｂ，Ｃ３点の切断位置と昇圧比の関係から、多項式（２次関数が望ましい）の近似曲線より外挿、内挿する事により適切な切断位置を決定できる。
【００５４】
なお、今回は３点の切断位置で説明したが、２点では直線近似になってしまうので精度が落ちる。４点以上では、先行にかかる作業が繁雑になってしまうが、前述の３点の場合とほぼ同等以上の効果が期待できる。
【００５５】
なお、上記本実施の形態では、ローゼンλ／２モードの積層型圧電トランスについて説明したが、これは、ローゼンλ／２モードの場合に、最も効率良く広い範囲で昇圧比を調整できるからである。ローゼンλ／２モードのほかに、内部電極に対する積層体の外形の相対位置を変えることにより、入力側、出力側の応力分布が変化するローゼンλモードなどの圧電トランスにおいても、同様の昇圧比調整工程が導入できる。ただし、ローゼンλモードは、内部電極に対する積層体の外形の相対位置をずらしても、入力側、出力側の応力分布の変化が少ないので、切断位置の変更による昇圧比の変化が少なく、昇圧比の調整範囲は狭くなる。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように本発明は、セラミック層と内部電極とを交互に積層し積層体ブロックを得る第１の工程と、前記積層体ブロックを所定の外形寸法に切断し個片の積層体を作製する第２の工程と、前記積層体を焼成して積層焼結体を得る第３の工程と、前記積層焼結体に外部電極を形成し分極する第４の工程とを備え、前記第２の工程において、前記内部電極に対する前記積層体の外形の相対的位置を変えて切断することにより昇圧比を調整するもので、同一ロット内の一部を先行させて作製評価した結果に基づき、前記相対的位置を決定する積層型圧電トランスの製造方法であり、同一ロット内の一部を先行させて作製評価した結果に基づき内部電極に対する積層体の外形の相対的位置を変えて切断することにより昇圧比を調整するので、これにより、所望の昇圧比の製品を歩留まり良く製造することができるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における積層型圧電トランスの分解斜視図
【図２】同積層型圧電トランスの外観斜視図
【図３】同積層型圧電トランスの製造工程図
【図４】同積層型圧電トランスの内部電極パターン図
【図５】標準位置Ａに対する切断位置のずれ量と相対昇圧比の関係を示す図
【図６】積層型圧電トランスの位置と応力分布の関係を示す図
【図７】本発明の実施の形態２における積層型圧電トランスの切断位置と昇圧比の関係を示す図
【符号の説明】
１０  積層型圧電トランス
１１，１２  入力側内部電極
１１ｂ，１２ｂ  ダミー内部電極
１３  出力側内部電極
１４  入力側外部電極
１５  出力側外部電極
１６  セラミック層
１９  積層体端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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