(57)【要約】【課題】ユーザが操作部より離れたことを検知して自動的に操作レベルを設定することを可能とし、当該操作部による誤操作を防止する。【解決手段】ユーザが操作可能な操作部の近傍における人の存在を検知するセンサからの信号に基づいて該操作部の近傍に人がいることを検知し、認証がＯＫとなった場合は、操作範囲の広い操作レベルへ変更する（ステップＳ１０２、Ｓ１０３、Ｓ１０５）。この状態で、操作部の近傍から人がいなくなったことを認識した場合は、該操作部における操作可能範囲を最低レベルに戻す（ステップＳ１０６、Ｓ１０１）。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザが操作可能な操作部の近傍における人の存在を検知するセンサからの信号に基づいて該操作部の近傍から人がいなくなったことを認識する認識工程と、
前記認識工程において前記操作部の近傍から人がいなくなったことを認識した場合に、該操作部における操作可能範囲を変更する変更工程とを備えることを特徴とする誤操作防止方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、装置に設けられた操作部における誤操作防止技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に露光装置等の半導体製造設備においては、装置に対してユーザが操作を行なうためのコンソール（装置操作部）が設けられている。この種のコンソールにおいては、ユーザレベルを設けて、ユーザによって操作可能な範囲を制限することが行われている。
【０００３】
例えば、低いユーザレベルにおいては装置の運転、停止操作のみ可能であるが、高いユーザレベルにおいては装置の運転条件の変更操作も可能とすることが挙げられる。そして、このような場合、高いユーザレベルで操作を行なうためにはパスワードの入力を必要とするように構成するのが一般的である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高いユーザレベルで操作していたユーザが、操作終了後ユーザレベルを元に（低いレベルに）戻すことを忘れてしまったり、または操作途中に何らかの理由で一時的にコンソールから離れる場合がある。このような場合、次に低いユーザレベルのオペレータが操作すると、本来できない操作が可能となってしまう。すなわち、高いユーザレベルでの操作に移行する際には認証処理を設けていても、高いユーザレベルで操作した後にこれを低いユーザレベルの操作に切り換えなければ、そのまま別のユーザが高いユーザレベルで操作できることになる。この結果、例えば、誤って装置の運転条件を変更してしまい、その結果装置が誤った運転状態となってしまうという可能性がある。
【０００５】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、ユーザが操作部より離れたことを検知して自動的に操作レベルを設定することを可能とし、当該操作部による誤操作を防止することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための本発明による誤操作防止方法は、
ユーザが操作可能な操作部の近傍における人の存在を検知するセンサからの信号に基づいて該操作部の近傍から人がいなくなったことを認識する認識工程と、
前記認識工程において前記操作部の近傍から人がいなくなったことを認識した場合に、該操作部における操作可能範囲を変更する変更工程とを備える。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明の好適な実施形態を説明する。
【０００８】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の誤操作防止方法、ならびにこの方法を適用した装置操作部を半導体製造設備、特に露光装置に適用した例について説明する。但し、本発明の適用がこのような特定の装置に限定されないことはいうまでもない。
【０００９】
図１は第１実施形態による半導体露光装置を正面から見た概略図である。図１において１００は露光装置を表す。１０１はウェハ用のドアであり、ドア１０１を介してウェハの入ったウェハカセットがセットされる。１０２はレチクル用のドアであり、ドア１０２を介してレチクルをセットする。なお、レチクルとはウェハに転写する回路パターンの入ったガラスの基盤（マスク）である。
【００１０】
１０３はコンソールであり、ユーザが露光装置１００に対して各種操作を行なうための操作部（インターフェース）を提供する。本実施形態においては、コンソール１０３はタッチパネルとなっており、パネル上のボタンを押す（触れる）ことにより装置を操作することが可能である。装置に対する操作としては、露光処理開始、露光処理停止、露光条件変更、および後述するユーザレベルの変更の操作が可能である。また、露光条件としては、露光レイアウト、露光量、フォーカスオフセットが含まれる。
【００１１】
コンソール１０３によって露光条件を決定した後、ウェハ、レチクルをセットして露光処理開始ボタンを押すことにより露光処理が開始され、レチクルの回路パターンがウェハに転写される。なお、コンソールは、タッチパネルに限られるものではなく、通常の押ボタンスイッチやキーボードから構成されてもよい。
【００１２】
さて、本実施形態におけるコンソールには「オペレータ」および「エンジニア」という２つのユーザレベルがあり、各々操作範囲が以下の表のように決まっている。
【００１３】
【表１】
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【００１４】
この場合、エンジニアのユーザレベルが高く、オペレータのユーザレベルが低い。通常の装置運用形態として、エンジニアが露光条件を設定し、オペレータが露光処理を実施することを想定している。すなわち、エンジニアは適切な露光条件設定方法を知っており、オペレータはそれを知らないことを想定している。露光条件を誤ると、露光ウェハが不良ウェハとなってしまうという事故になる。よって、適切な露光条件設定方法を知らないオペレータには露光条件の変更ができないようにしている。従って、ユーザレベルがオペレータの場合は「露光処理の開始／停止」と「ユーザレベルの変更」が可能であり、ユーザレベルがエンジニアの場合は、「露光処理の開始／停止」と「ユーザレベルの変更」に加えて「露光条件の変更」が可能となっている
なお、ユーザレベルを「エンジニア」にするためにはユーザレベルの変更操作においてパスワードの入力が必要なものとする。
【００１５】
また、コンソール１０３のタッチパネルの下には、赤外線式対人センサ１０４が設けられている。当該センサ１０４からおよそ５０ｃｍ以内の距離に人が存在すると当該センサはＯＮになり、５０ｃｍ以上離れるとＯＦＦになる。なお、センサがＯＮ／ＯＦＦする距離はセンサの感度調節によって変更可能である。
【００１６】
以上のような構成を備えた本実施形態のコンソール１０３に関する誤操作防止方法を実現する制御について以下に説明する。
【００１７】
図２は本実施形態の誤操作防止方法を説明するフローチャートである。対人センサ１０４がＯＮからＯＦＦになる時期を検出することにより、オペレータがコンソールから離れたことを検知する。この時ユーザレベルがエンジニア（高いユーザレベル）であったならば、ユーザレベルをオペレータ（低いユーザレベル）に変更する。
【００１８】
なお、本処理は露光装置が備える不図示のＣＰＵが不図示のメモリに格納された制御プログラムを実行することで実現される。但し、コンソール１０３が独立してＣＰＵを備えているような場合は、コンソール１０３のＣＰＵが以下の処理を実行するように構成することもできる。
【００１９】
まずステップＳ１０１において、操作レベルを初期状態とする。本実施形態では、操作レベルを最低レベル（ユーザレベル：オペレータ）とする。そして、ステップＳ１０２に進み、対人センサ１０４がＯＮするの待つ。対人センサ１０４がＯＮしたならばステップＳ１０３へ進む。ステップＳ１０３では、認証処理が行われ、その認証結果がＯＫとなった場合に、処理をステップＳ１０５へ進める。他の場合、すなわち認証が行なわれない場合或いは認証が行なわれたがその認証に失敗した場合はステップＳ１０４へ進む。ステップＳ１０４では対人センサ１０４がＯＦＦになったかどうかを判定し、対人センサがＯＦＦとなったならばステップＳ１０１へ戻る。なお、この場合、操作レベルは低レベルのままなので、ステップＳ１０２へ戻すようにしてもよい。
【００２０】
上記ステップＳ１０３とＳ１０４によって形成されるループの最中において、ユーザは低いユーザレベルでコンソール１０３を操作することが可能である。すなわち、認証に成功するまでは、低いユーザレベルでの操作が可能となる。
【００２１】
一方、ステップＳ１０３で認証に成功した場合はステップＳ１０５へ進み、操作レベルを変更する。本実施形態ではユーザレベルがエンジニアに切り換えられ、露光条件の変更操作が可能となる。その後、対人センサ１０４がＯＦＦになるのを待ち、対人センサ１０４がＯＦＦになったならばステップＳ１０１へ戻り、ユーザレベルを最低のユーザレベル（オペレータ）に戻す。
【００２２】
以上説明したように、本実施形態によれば、ユーザが操作可能な操作部（コンソール１０３）の近傍における人の存在を検知するセンサ（対人センサ１０４）からの信号に基づいて操作部の近傍から人がいなくなったことが認識され（Ｓ１０６）、操作部の近傍から人がいなくなったことを認識した場合に、該操作部における操作可能範囲が変更される（Ｓ１０６、Ｓ１０１）。すなわち、ユーザが操作部より離れたことを検知して自動的に操作レベルが設定されるので、当該操作部による誤操作が防止できる。
【００２３】
なお、上記操作可能範囲の変更においては、操作可能範囲が最も狭い状態へと変更させる。このような操作範囲が最も狭い状態とは、例えば装置立ち上げ時に自動的に設定されるユーザレベルである。或いは、第２実施形態で後述するように、操作対象装置（露光装置１００）に対する操作が全くできない状態としてもよい。
【００２４】
また、更に、操作部に対してなされた所定操作に応じて該操作部における操作可能範囲を変更する（Ｓ１０３、Ｓ１０５）ように構成することが好ましい。この所定操作としては、認証操作が挙げられ、認証操作によって認証がとれた場合に操作部における操作可能範囲を拡大するように構成することができる。認証操作としては、パスワード等による方法、指紋等を用いた方法等、種々の方法を適用できることは明らかである。
【００２５】
また、上記構成において、前記認証操作によって認証されたユーザに応じて操作可能範囲が異なるように設定可能としてもよい。例えば、ユーザレベルをＡ，Ｂ，Ｃの３段階に分けておき、ステップＳ１０１ではユーザレベルＡが設定され、ステップＳ１０５では、認証されたユーザに応じてユーザレベルＢ、Ｃのいずれかが設定されるように構成できる。この場合、各ユーザがどのレベルに属するかを登録しておく必要がある。
【００２６】
〔第２実施形態〕
第２実施形態では、コンソール操作の開始に当たって、まずログイン操作を行なうこととし（ログインしなければ一切の操作は不可）、このログイン操作でユーザレベルが決定するようにする。この上で、オペレータがコンソールから離れたことを検知するとコンソール操作をログアウトする。この場合、図２のステップＳ１０１で操作レベルを露光装置１００への操作が禁止され、認証のみが可能な状態とすればよい。また、ステップＳ１０５における操作レベルの変更は、上述したように各ユーザに対して設定されたユーザレベルとしても良い。
【００２７】
この方法には、次に操作するためにはその都度ログイン操作をしなければならないという不便さがある。しかし、より確実に誤操作を防ぐことができる。
【００２８】
なお、上記実施形態以外に種々の変形が可能であり、例えば、ステップＳ１０１で操作禁止状態とし、対人センサがＯＮしたことをトリガとして最低レベルでの操作を可能とし、更に認証を経てより高いユーザレベルでの操作を可能とするように構成してもよい。
【００２９】
以上説明したように、上記各実施形態によれば、低いユーザレベルのオペレータが、本来できない操作をしてしまい、誤って装置の運転状態を変更してしまうというような事故を防ぐことができる。例えば半導体露光装置の場合には、誤って露光条件を変更した結果、不良ウェハを作ってしまうという事故を防ぐことができる。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ユーザが操作部より離れたことを検知して自動的に操作レベルを設定することが可能となり、当該操作部による誤操作を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態による半導体露光装置の概略正面図であり、コンソール（装置操作部）、ならびに対人センサの配置例を示す図である。
【図２】本実施形態による誤操作防止方法を実現するフローチャートである。
【図１】
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【図２】
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