(57)【要約】【課題】ヒータ部からのリーク電流による測定精度の低下が生じ難いガスセンサ素子を提供すること。【解決手段】ヒータ基板１５と，該ヒータ基板１５に設けた通電により発熱する発熱体６１と，該発熱体６１とヒータリードを介して電気的に導通するヒータ端子とを有するヒータ部６と，外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室１２１，１２２用のスペーサ１２と，基準ガスを導入する基準ガス室１４０用のスペーサ１４と，一対の電極を設けて，該一対の電極間を流れる酸素イオンによる微弱電流に基づいて特定ガス濃度を検出する電気化学的セルを有する固体電解質板１１とを積層して構成し，上記ヒータ部６と上記電気化学的セルとの間の電気的経路の途中に，上記ヒータ部６からのリーク電流を電気化学的セル以外に導出するリーク電流用導電路を設ける。【選択図】　図１
2004093307.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒータ基板と，該ヒータ基板に設けた通電により発熱する発熱体と，該発熱体とヒータリードを介して電気的に導通するヒータ端子とを有するヒータ部と，
外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室用のスペーサと，
基準ガスを導入する基準ガス室用のスペーサと，
一対の電極を設けて，該一対の電極間を流れる酸素イオンによる微弱電流に基づいて特定ガス濃度を検出する電気化学的セルを有する固体電解質板とを積層して構成し，
上記ヒータ部と上記電気化学的セルとの間の電気的経路の途中に，上記ヒータ部からのリーク電流を上記電気化学的セル以外に導出するリーク電流用導電路を設けることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
請求項１において，上記ガスセンサ素子は，ポンプセル用固体電解質板と該ポンプセル用固体電解質板に設けた一対のポンプ電極よりなり，上記被測定ガス室に対し酸素をポンピングするポンプセルを有し，
上記ポンプセル用固体電解質板は上記一対のポンプ電極と電気的に導通するポンプリードを有し，該ポンプリードは上記ガスセンサ素子の外部に露出するよう設けた端子と電気的に導通し，
上記リーク電流用導電路は上記ポンプリードよりなることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項３】
請求項２において，上記ヒータ部，上記基準ガス室用のスペーサ，上記ポンプセル用固体電解質板，上記被測定ガス室用スペーサとがそれぞれ隣接して積層され，
ガスセンサ素子の一方の外側面と基準ガス室の内側面との間に位置する上記ポンプセル用固体電解質板と上記基準ガス室用のスペーサとの第１の境界面に一方のポンプリードを配置し，
ガスセンサ素子の他方の外側面と被測定ガス室の内側面との間に位置する上記ポンプセル用固体電解質板と上記被測定ガス室用のスペーサとの第２の境界面に他方のポンプリードを配置することを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項４】
請求項３において，上記ガスセンサ素子の長手方向と直交する幅方向に沿った上記第１の境界面の最小幅をＡ，上記幅方向に沿った上記第１の境界面に配置したポンプリードの最大幅をａ，
上記幅方向に沿った第２の境界面の最小幅をＣ，上記幅方向に沿った上記第２の境界面に配置したポンプリードの最大幅をｃとすると，０．１≦ａ／Ａ，０．１≦ｃ／Ｃであることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項５】
請求項１において，上記ガスセンサ素子は，ポンプセル用固体電解質板と該ポンプセル用固体電解質板に設けた一対のポンプ電極よりなり，上記被測定ガス室に対し酸素をポンピングするポンプセルを有し，
また上記ポンプ電極は，上記ポンプセル用固体電解質板に上記電気化学セルにかかる一対の電極を投影した電極投影面を覆うように構成し，
上記リーク電流用導電路は上記ポンプ電極よりなることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項６】
請求項１において，上記リーク電流導電路は，上記ヒータ部に絶縁板を介して積層した導電層よりなることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項７】
請求項６において，上記ガスセンサ素子の長手方向と直交する幅方向に沿った上記ガスセンサ素子の幅をＢ，上記導電層の幅をｂとすると，０．５≦ｂ／Ｂであることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項において，上記リーク電流用導電路は，少なくとも貴金属を含む材料よりなる，または貴金属とセラミックとを含むサーメットよりなることを特徴とするガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，自動車用内燃機関の燃焼制御等に用いるガスセンサに内蔵されるガスセンサ素子に関する。
【０００２】
【従来技術】
自動車エンジンの燃焼制御等に用いるガスセンサに内蔵されるガスセンサ素子として，例えば特許公報第２８８５３３６号等，多くの構成の素子が知られている。
その中の一例として以下に説明する素子が知られている。
【０００３】
すなわち，図１７に示すごとく，ヒータ基板１５と，該ヒータ基板１５に設けた通電により発熱する発熱体６１と，該発熱体６１と電気的に導通するヒータリード（図示略）とを有するヒータ部６と，基準ガスを導入する基準ガス室１４０用のスペーサ１４と，ポンプセル２を形成するポンプセル用固体電解質板１３と，外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室１２２用のスペーサ１２と，センサセル４やモニタセル３を形成する別の固体電解質板１１と，更に別の基準ガス室１６０用のスペーサ１６を積層して構成するガスセンサ素子９である。
【０００４】
ここにセンサセル４とは，被測定ガス中のＮＯｘ濃度等の特定ガス濃度を測定するセルであり，モニタセル３とは被測定ガス中の酸素濃度をモニタリングするセルである。また，図１８に示すごとく，ポンプセル２のポンプリード２１１，２２１は，ポンプセル用固体電解質板１３の幅方向中央に設けてある。
【０００５】
センサセル４を構成する電極の一方は被測定ガス室１２２に対面し，被測定ガス室１２２内の特定ガスを電極表面で分解し，発生した酸素イオンからなる電流を利用して特定ガス濃度の測定を行う。モニタセル３も同様に被測定ガス室１２２に対面する電極を有し，該電極表面で酸素をイオン化し，発生した酸素イオンからなる電流を利用して酸素濃度の測定を行う。
【０００６】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記モニタセル３，センサセル４に流れる電流は非常に微弱で，通常は１０μＡ以下である。そして，ヒータ部６の発熱体６１やヒータリードに流れる電流は１０Ａ以下と非常に大きい。
【０００７】
多くのガスセンサ素子において，ヒータ部６とセンサセル４やモニタセル３の電極との間には絶縁材料（図１７にかかる構成ではスペーサ１４やスペーサ１２を絶縁材料で構成することができる）などが介在し，ヒータ部６とセンサセル４及びモニタセル３との間に形成される電気的経路の電気抵抗を高めてはいるが，ヒータ部６とセンサセル４及びモニタセル３との間でのリーク電流をゼロにすることはできない。
そして，上記センサセル４やモニタセル３を流れる酸素イオンからなる電流は上述したように非常に微弱であるため，僅かのリーク電流による影響も無視できず，リーク電流がガスセンサ素子の測定精度低下の原因となる。
【０００８】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，ヒータ部からのリーク電流による測定精度の低下が生じ難いガスセンサ素子を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題の解決手段】
第１の発明は，ヒータ基板と，該ヒータ基板に設けた通電により発熱する発熱体と，該発熱体とヒータリードを介して電気的に導通するヒータ端子とを有するヒータ部と，
外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室用のスペーサと，
基準ガスを導入する基準ガス室用のスペーサと，
一対の電極を設けて，該一対の電極間を流れる酸素イオンによる微弱電流に基づいて特定ガス濃度を検出する電気化学的セルを有する固体電解質板とを積層して構成し，
上記ヒータ部と上記電気化学的セルとの間の電気的経路の途中に，上記ヒータ部からのリーク電流を上記電気化学的セル以外に導出するリーク電流用導電路を設けることを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項１）。
【００１０】
本発明にかかるガスセンサ素子は，ヒータ部と電気化学的セルとの間で，リーク電流の経路となる可能性のある場所，すなわち電気的経路の途中にリーク電流用の導電路を設けてある。従って，リーク電流はリーク電流用導電路を伝って導出され，電気化学的セルに到達しない。
なお，電気的経路はヒータ部と電気化学的セルとの間に存在する固体電解質板を含む固体部分となる。後述する実施例１に記載するように絶縁性の材料がヒータ部と電気化学的セルとの間に存在する場合でも，この絶縁性の材料の部分でさえ微弱なリーク電流の流れる可能性があり，電気的経路となりうる。
【００１１】
以上，本発明によれば，ヒータ部からのリーク電流による測定精度の低下が生じ難いガスセンサ素子を提供することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる電気化学的セルは，電極間に流れる酸素イオン電流の大きさが１０μＡ以下となるセルである。後述する実施例１にかかるＮＯｘと酸素濃度，λ点を測定するガスセンサ素子では，被測定ガス中のＮＯｘ濃度を測定するセンサセルと，被測定ガス中の酸素濃度をモニタリングするモニタセル，ガスセンサ素子の外部の被測定ガスを利用してλ点を検知するλセルが請求項１における『一対の電極間を流れる酸素イオンによる微弱電流に基づいて上記被測定ガス室における特定ガス濃度を検出する電気化学的セル』に該当する。
【００１３】
また，上記ＮＯｘ濃度以外にもＨＣ濃度やＣＯ濃度を測定するガスセンサ素子に本発明を適用することもできる。その場合，ＨＣ濃度やＣＯ濃度を測定するセンサセルが請求項１における『一対の電極間を流れる酸素イオンによる微弱電流に基づいて上記被測定ガス室における特定ガス濃度を検出する電気化学的セル』に該当する。
【００１４】
また，酸素濃度を測定するガスセンサ素子が有する，被測定ガス中の酸素濃度を測定する酸素センサセルも本発明にかかる電気化学的セルに該当する。
この酸素センサセルの場合，被測定ガス室と基準ガス室にそれぞれ対面する電極を備え，両電極によって生じる起電力から酸素濃度を測定する構成のセルと，両電極に電圧を印加して発生する限界電流から酸素濃度を測定する構成のセルとがある。
【００１５】
また上記リーク電流用導電路は，電気的経路となる箇所を横切るなど，部分的に電気的経路と重なるように設けることで本発明の効果を得ることができる。
また，リーク電流用導電路をアースすることで，リーク電流をより確実にリーク電流用導電路側へ流してやることができる。またリーク電流用の導電路は，リーク電流が流れる電気的経路よりも，電気抵抗の低い材料で構成することが望ましい。また，電気の良導体で構成してやることがより望ましい。
【００１６】
次に，上記ガスセンサ素子は，ポンプセル用固体電解質板と該ポンプセル用固体電解質板に設けた一対のポンプ電極よりなり，上記被測定ガス室に対し酸素をポンピングするポンプセルを有し，
上記ポンプセル用固体電解質板は上記一対のポンプ電極と電気的に導通するポンプリードを有し，該ポンプリードは上記ガスセンサ素子の外部に露出するよう設けた端子と電気的に導通し，
上記リーク電流用導電路は上記ポンプリードよりなることが好ましい（請求項２）。
【００１７】
ポンプセルに流れる電流は通常１０ｍＡ以下であり（ｍＡオーダーである），仮にリーク電流が流れ込んでも無視できる。さらにポンプセルの役割は被測定ガス室に酸素を出し入れして，被測定ガス室内の酸素濃度を所定値に調整する，または被測定ガス室より酸素を排出して限りなく０に近い状態とすることである。よって，ポンプセルに流れる電流の大小はガスセンサ素子の測定精度にあまり関係がない。
そのため，リーク電流用導電路をポンプリードで兼用させてもポンプセルの動作に影響がなく，従来構成の素子からの仕様変更が最小限で済み，別部材で設ける場合よりも部品点数を少なく出来るため製造コストなどの面で有利となる。
【００１８】
なお，ポンプリードはポンプセルのポンプ電極と，ポンプセル駆動用の電源等を接続するためにガスセンサ素子の外部に露出する端子との間を結ぶ導電路として使用する。
【００１９】
また，上記ヒータ部，上記基準ガス室用のスペーサ，上記ポンプセル用固体電解質板，上記被測定ガス室用スペーサとがそれぞれ隣接して積層され，
ガスセンサ素子の一方の外側面と基準ガス室の内側面との間に位置する上記ポンプセル用固体電解質板と上記基準ガス室用のスペーサとの第１の境界面に一方のポンプリードを配置し，
ガスセンサ素子の他方の外側面と被測定ガス室の内側面との間に位置する上記ポンプセル用固体電解質板と上記被測定ガス室用のスペーサとの第２の境界面に他方のポンプリードを配置することが好ましい（請求項３）。
【００２０】
上述した順番でスペーサやポンプセル用固体電解質板が積層される場合，ヒータ部からのリーク電流は，上記積層方向に，基準ガス室用のスペーサ，ポンプセル用固体電解質板，被測定ガス室用スペーサを経て，電気化学的セルを設けた固体電解質板に到達する。
よって，上記第１と第２境界面は，ヒータ部と電気化学的セルとの間の電気的経路を横断する位置にある。ここにそれぞれポンプリードを配置することで，リーク電流をポンプリードに流してやり，リーク電流の電気化学的セルへの到達を防止できる。
【００２１】
また，上記ガスセンサ素子の長手方向と直交する幅方向に沿った上記第１の境界面の最小幅をＡ，上記幅方向に沿った上記第１の境界面に配置したポンプリードの最大幅をａ，
上記幅方向に沿った第２の境界面の最小幅をＣ，上記幅方向に沿った上記第２の境界面に配置したポンプリードの最大幅をｃとすると，０．１≦ａ／Ａ，０．１≦ｃ／Ｃであることが好ましい（請求項４）。
これにより，より効果的にリーク電流が流せるポンプリードを得ることができる。
ａ／Ａ，ｃ／Ｃが０．１未満である場合は，細すぎてリーク電流が流れ難くなるおそれがある。
また，ａ／Ａ，ｃ／Ｃの上限は０．９９とすることが好ましい。
これより大きい場合は，ガスセンサ素子の外側から被測定ガスが電流経路である被測定ガス室に入り込み，ポンプセルで（センサセルにおける特定ガス濃度の測定を妨害する）妨害ガスである酸素を充分に排出できないなどポンピングが不十分となるおそがある。また，センサセルにおいて濃度を測定する特定ガスの濃度が変動するおそれもある。また，第１の境界面や第２の境界面において剥離が生じるおそれもある。
さらに，ポンプリードは，ガスセンサ素子の外側の表面で，被測定ガスと接触しないように，埋設形成することが好ましい。
【００２２】
また，上記ガスセンサ素子は，ポンプセル用固体電解質板と該ポンプセル用固体電解質板に設けた一対のポンプ電極よりなり，上記被測定ガス室に対し酸素をポンピングするポンプセルを有し，
また上記ポンプ電極は，上記ポンプセル用固体電解質板に上記電気化学セルにかかる一対の電極を投影した電極投影面を覆うように構成し，
上記リーク電流用導電路は上記ポンプ電極よりなることが好ましい（請求項５）。
【００２３】
ポンプ電極を延設することで，リーク電流の電気的経路をポンプ電極が横断する位置関係を得る。
ポンプセルに流れる電流は通常１０ｍＡ以下であり（ｍＡオーダーである），仮にリーク電流が流れ込んでも無視できる。さらにポンプセルの役割は被測定ガス室に酸素を出し入れして，被測定ガス室内の酸素濃度を所定値に調整する，または被測定ガス室より酸素を排出して限りなく０に近い状態とすることである。よって，ポンプセルに流れる電流の大小はガスセンサ素子の測定精度にあまり関係がない。
そのため，リーク電流用導電路をポンプ電極で兼用させてもポンプセルの動作に影響がなく，従来構成の素子からの仕様変更が最小限で済み，別部材で設ける場合よりも部品点数を少なく出来るため製造コストなどの面で有利となる。
なお，１対のポンプ電極の中で少なくとも１枚の電極を上述したような構成とすることで本発明にかかる効果を得ることができる。
【００２４】
また，上記リーク電流導電路は，上記ヒータ部に絶縁板を介して積層した導電層よりなることが好ましい（請求項６）。
これにより，ヒータ部と電気化学的セルとの間の電気的経路を導電層が横断し，リーク電流は導電層を流れて，電気化学的セルに達しない。
よって，本発明にかかる効果をより確実に得ることができる。
【００２５】
また，上記ガスセンサ素子の長手方向と直交する幅方向に沿った上記ガスセンサ素子の幅をＢ，上記導電層の幅をｂとすると，０．５≦ｂ／Ｂであることが好ましい（請求項７）。
これにより，より効果的にリーク電流を導電層に流してやることができる。
ｂ／Ｂが０．１未満である場合は，導電層の幅が細すぎて，リーク電流が流れ難くなるおそれがある。
また，ｂ／Ｂの上限は０．９９であり，これより大きい場合は導電層を設けた部分でガスセンサ素子の剥離が生じるおそれがある。
なお，ｂやＢは平均値である。
【００２６】
また，上記リーク電流用導電路は，少なくとも貴金属を含む材料よりなる，または貴金属とセラミックとを含むサーメットよりなることが好ましい。
これにより，リーク電流が流れやすい良導体のリーク電流導電路を得ることができる。
また，上記貴金属としては，Ｐｔ，Ａｕ，Ｒｈ，Ｐｄを用いることができる。上記セラミックとしては，アルミナ，ジルコニア等を用いることができる。
【００２７】
【実施例】
以下に，図面を用いて本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
本例のガスセンサ素子１は，図１〜図６に示すごとく，ヒータ基板１５と，該ヒータ基板１５に設けた通電により発熱する発熱体６１と，該発熱体６１とヒータリード６１１を介して電気的に導通するヒータ端子６１３とを有するヒータ部６と，外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室用のスペーサ１２と，基準ガスを導入する基準ガス室用のスペーサ１４，１６と，一対の電極を設けて，該一対の電極間を流れる酸素イオンによる微弱電流に基づいて特定ガス濃度を検出する電気化学的セルであるモニタセル３，センサセル４，λセル５を持つ固体電解質板１１とを積層して構成する。
【００２８】
そして，上記ヒータ部６と上記モニタセル３，センサセル４，λセル５との間における電気的経路の途中に，上記ヒータ部６より流れ出すリーク電流１９を外部に導出するリーク電流用導電路を設ける。
なお，本例のリーク電流用導電路は後述するポンプリード２１１，２２１からなる。
【００２９】
以下，詳細に説明する。
本例のガスセンサ素子１は，自動車エンジンの排気系に設置してエンジンの燃焼制御に利用するガスセンサに内蔵して用いる。そして，排気ガス中のＮＯｘ濃度を測定し，また酸素濃度を測定し，またエンジンにおけるλ点（理論空燃比点）を検出する。
【００３０】
図１に示すごとく，本例は，図面下方から順にヒータ部６，第１基準ガス室１４０用スペーサ１４，ポンプセル用固体電解板１３，第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２形成用スペーサ１２，固体電解質板１１，第２基準ガス室１６０形成用スペーサ１６及び拡散抵抗層１７を順に積層して構成したガスセンサ素子１である。
第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２には外部から排気ガスを導入し，第１及び第２基準ガス室１４０，１６０には大気を導入する。
【００３１】
ガスセンサ素子１は，第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２と第１及び第２基準ガス室１４０，１６０を備え，第１被測定ガス室１２１に対して酸素をポンピングするポンプセル２，第２被測定ガス室１２２の酸素濃度を監視するモニタセル３，第２被測定ガス室１２２のＮＯｘ濃度を検知するセンサセル４，ガスセンサ素子１外部の被測定ガス中の酸素濃度に基づいてエンジンのλ点を検出するλセル５を有する。
【００３２】
固体電解質板１１，ポンプセル用固体電解質板１３，スペーサ１２との間に第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２が形成され，第１被測定ガス室１２１は，固体電解質板１１に設けた導入穴１０において外部と連通する。第１被測定ガス室１２１と第２被測定ガス室１２２との間には拡散通路１２０を設ける。
また，本例のガスセンサ素子１は，上記固体電解質板１１の導入穴１０を覆う拡散抵抗層１７を有し，該拡散抵抗層１７と隣接して，第２基準ガス室１６０を形成するスペーサ１６を配置する。
また，ポンプセル用固体電解質板１３，スペーサ１４，ヒータ部６との間に第１基準ガス室１４０が形成される。
【００３３】
上記ヒータ部６は，ヒータ基板１５と該ヒータ基板１５上に設けた発熱体６１を有する。
そして，上記固体電解質板１１，ポンプセル用固体電解質板１３はジルコニアセラミック，ヒータ基板１５，スペーサ１４，１２，１６，拡散抵抗層１７は絶縁性のアルミナセラミックよりなる。
【００３４】
図１，図２に示すごとく，上記ポンプセル２はポンプセル用固体電解質板１３に設けた第１被測定ガス室１２１と対面する第１ポンプ電極２１，第１基準ガス室１４０と対面する第２ポンプ電極２２とよりなる。両電極２１，２２は可変電源２５１及び電流計２５２を備えたポンプ回路２５に接続される。
【００３５】
上記モニタセル３は固体電解質板１１に設けた第２被測定ガス室１２２と対面する被測定ガス側電極３２，第２基準ガス室１６０と対面する基準電極３１とよりなる。両電極３１，３２は電源３５１及び電流計３５２を備えたモニタ回路３５に接続される。
そして，モニタセル３でポンプセル２の動作を制御するため，電流計３５２から電源２５１に向かうフィードバック回路２５５を設ける。
【００３６】
上記センサセル４は固体電解質板１１に設けた第２被測定ガス室１２２と対面する被測定ガス側電極４２，第２基準ガス室１６０と対面する基準電極４１とよりなる。両電極４１，４２は電源４５１及び電流計４５２を備えたセンサ回路４５に接続する。
【００３７】
図１に示すごとく，上記λセル５は固体電解質板１１と拡散抵抗層１７との間に設け，拡散抵抗層１７を通じて素子外部の被測定ガスに接する被測定ガス側電極５２，第２基準ガス室１６０と対面する基準電極５１とよりなる。両電極５１，５２は電圧計５５２を備えたλセル回路５５に接続する。
また，ヒータ部６にかかる発熱体６１は，後述するヒータリードや端子を通じて電源６５１を備えたヒータ回路６５に接続する。
モニタセル３，センサセル４，λセル５の基準電極３１，４１，５１は，図１，図５（ｂ）に示すごとく一体に形成された共通電極よりなる。
また，電源３５１，４５１は０．４Ｖ，可変電源２５１は０．３Ｖ〜０．５Ｖ，電源６５１は０〜１６Ｖという電圧を各セル２，３，４や発熱体６１に付与する。
【００３８】
図４（ａ）はガスセンサ素子１を拡散抵抗層１７とスペーサ１６側から見下ろした平面図，図４（ｂ）はガスセンサ素子１の側面図，図４（ｃ）はガスセンサ素子１をヒータ部６側から見上げた平面図である。
拡散抵抗層１７，スペーサ１６側では端子３１２，５２３，４２３，３２３が露出し，ヒータ部６側では端子６１３，２１３，２２３がそれぞれガスセンサ素子１の素子外部に露出する。これらの端子よりヒータ部６，ポンプセル２，モニタセル３，センサセル４，λセル５にかかる各回路６５，２５，３５，４５，５５が接続される。
【００３９】
図５，図６はガスセンサ素子１を構成する各固体電解質板１１等の平面図である。（表）と記した図は図１の拡散抵抗層１７，スペーサ１６側から見下ろした状態を，（裏）と記した図は図１のヒータ部６側から見上げた状態を記載した図面である。
【００４０】
図５（ａ）は，拡散抵抗層１７と基準ガス室用スペーサ１６で，該スペーサ１６は，楕円形の基準ガス室１６０と該基準ガス室１６０に外部から大気を導入する導入路１６１を有する。
図５（ｂ）は，固体電解質板１１の表側で，λセル５の被測定ガス側電極５２と，モニタセル３，センサセル４，λセル５の基準電極３１，４１，５１を兼用する共通電極がある。また，被測定ガス側電極５２と一体のλセルリード５２１，端子５２３を，共通電極と一体の共通リード３１１，端子３１２がある。また，図５（ｃ）の端子３２２，４２２と導電スルーホールで導通した端子３２３，４２３がある。
【００４１】
図５（ｃ）は，固体電解質板１１の裏側で，モニタセル３，センサセル４の被測定ガス側電極３２，４２がある。また，被測定ガス側電極３２，４２とそれぞれ一体のモニタセルリード３２１，センサセルリード４２１，端子３２２，４２２がある。
また，端子３２２，４２２は導電スルーホールによって，図４（ａ）に示すごとく，ガスセンサ素子１の外部に露出する面に設けた端子３２３，４２３と導通する。
図５（ｄ）は，スペーサ１２の表側で，第１被測定ガス室１２１，第２被測定ガス室１２２，両者を連通させる拡散通路１２０がある。
【００４２】
また，図６（ａ），（ｂ）に示すごとく，ポンプセル用固体電解室板１３は第１，第２ポンプ電極２１，２２と一体のポンプリード２１１，２２１を有する。各ポンプリード２１１，２２１はポンプセル用固体電解質板１３の縁側で，図２，図３より明らかであるが，スペーサ１４と固体電解質板１３，固体電解質板１３とスペーサ１２との間に形成される第１及び第２の境界面１０５，１０６にそれぞれ配置される。
【００４３】
上記ポンプリード２１１について説明する。
図２，図３に示すごとく，ガスセンサ素子１の長手方向と直交する幅方向に沿ったガスセンサ素子１の外側面１０１と基準ガス室１４０の内側面１０２との間で，スペーサ１４とポンプセル用固体電解質板１３との間に第１の境界面１０５が形成される。外側面１０１とは別の外側面１０２と被測定ガス室１２２の内側面１０４との間で，スペーサ１２とポンプセル用固体電解質板１３との間に第２の境界面１０６が形成される。
【００４４】
第１の境界面１０５の最小幅をＡ，上記幅方向に沿ったポンプリード２２１の最大幅をａとすると，０．１≦ａ／Ａが成り立つ。
第２の境界面１０６の最小幅をＣ，上記幅方向に沿ったポンプリード２１１の最大幅をｃとすると，０．１≦ｃ／Ｃ，が成り立つ。
また，ポンプリード２１１，２２１は，ガスセンサ素子１外部に露出したヒータ基板１５の端子２１３，２２３に導電スルーホールによって電気的に接続される。
【００４５】
図６（ｃ）は，スペーサ１４の表側で，基準ガス室１４０がある。
図６（ｄ）は，ヒータ基板１５の表側で，発熱体６１と該発熱体６１と一体に形成したヒータリード６１１，端子６１２がある。端子６１２は導電スルーホールによって，図４に示すごとく，ヒータ基板１５の裏側で，ガスセンサ素子１の外部に露出する面に設けた端子６１３と導通する。
【００４６】
ガスセンサ素子１において，リーク電流１９は図２に示すごとくスペーサ１４，ポンプセル用固体電解質板１３，スペーサ１２，固体電解質板１１を通じて電気化学的セルであるモニタセル３，センサセル４，λセル５に向かう。
本例にかかるガスセンサ素子１では，ポンプリード２１１，２２１を図２，図３に示す位置に設けたため，ポンプリード２１１，２２１がヒータ部６と上記電気化学的セルとの間の電気的経路を横断する位置関係となる。従って，ヒータ部６からのリーク電流１９を電気化学的セル以外に導出するリーク電流用導電路としてポンプセル２のポンプリード２１１，２２１が機能する。
【００４７】
なお，第１ポンプ電極２１，被測定ガス側電極３２はＮＯｘに対して不活性なＰｔ−Ａｕ電極よりなる。Ａｕの含有率は３ｗｔ％である。被測定ガス側電極４２はＮＯｘに対して活性なＰｔ−Ｒｈ電極よりなる。その他の電極２２，３１，４１，５１，５２はＰｔ電極である。
【００４８】
本例にかかるガスセンサ素子１と従来構成の素子とを性能比較した。
従来構成にかかるガスセンサ素子９として，図１７，図１８を準備した。
長手方向の断面図は実施例１の図１と同様であるが，Ａ−Ａにかかる断面は図１７に示す状態である。またポンプセル用固体電解質板１３の表側や裏側は図１８に示す状態である。このように，従来構成にかかるガスセンサ素子９は，ポンプリード２１１，２２１はポンプセル用固体電解質板１３の中央にある。
【００４９】
このため，ヒータ部６からのリーク電流１９は，図１７に示すごとく，ヒータ部６からスペーサ１４，固体電解質板１３，スペーサ１２，固体電解質板１１を経てモニタセル３やセンサセル４，図示を略したλセルに流れ込む。
【００５０】
従来構成のガスセンサ素子９と本例にかかるガスセンサ素子１のセンサセル４に対してオフセット電流の温度依存性について測定したところ，図７に示す結果を得た。
ここにオフセット電流とは被測定ガスのＮＯｘ濃度がゼロである場合のセンサセル４における電流値である。本来ＮＯｘ濃度がゼロであればセンサセル４に酸素イオン電流は流れないはずであるが，実際は第２被測定ガス室１２２の残存酸素によって所定の電流が流れる。
【００５１】
また，リーク電流の経路の電気抵抗は温度が高くなればなるほど低くなり，より大きなリーク電流がセンサセル４に流れ込むと考えられる。
よって，リーク電流が流れ込む構造である従来タイプのガスセンサ素子９では素子の温度と共にオフセット電流が増大する。
反対に本例にかかるガスセンサ素子１はリーク電流がポンプリード２１１，２２１に流れ込むため，素子の温度が上昇しても，オフセット電流の値は殆ど変化しない。
【００５２】
このように，本例にかかるガスセンサ素子１は，ヒータ部６と電気化学的セルであるモニタセル３，センサセル４，λセル５との間で，リーク電流の経路となる第１や第２の境界面１０５，１０６にリーク電流用の導電路となるポンプリード２１１，２２１を設けてある。
従って，リーク電流はリーク電流用導電路であるポンプリード２１１，２２１を伝って導出され，電気化学的セルとなるモニタセル３，センサセル４，λセル５に到達しない。
【００５３】
また，本例のガスセンサ素子１では，ポンプリード２１１，２２１を用いてリーク電流の経路としており，従来構成からの仕様変更が最小限で済み，別部材で設ける場合よりも部品点数を少なく出来るため製造コストなどの面で有利となる。
【００５４】
以上，本例によれば，ヒータ部からのリーク電流による測定精度の低下が生じ難いガスセンサ素子を提供することができる。
【００５５】
（実施例２）
本例のガスセンサ素子１は，図８，図９に示すごとく，ポンプセル２を構成するポンプ電極２１，２２をセンサセル４やモニタセル３を設けた位置まで延設して，図１０に示すように，上記ポンプセル用固体電解質板１３にλセル５，センサセル４やモニタセル３にかかる各電極３１，３２，４１，４２，５１，５２を投影した電極投影面（＝図１１において破線で各電極の外形を示したが，この破線の部分が電極投影面となる。）を覆うように構成した。このため，ポンプ電極２１，２２がリーク電流用導電路となって，リーク電流１９を流し出す。
その他詳細は実施例１と同様の構成を有する。
【００５６】
本例のガスセンサ素子１では，リーク電流用導電路をポンプ電極２１，２２で兼用させている。従って従来構成からの仕様変更が最小限で済み，別部材で設ける場合よりも部品点数を少なく出来るため製造コストなどの面で有利となる。
その他詳細は実施例１と同様の作用効果を有する。
【００５７】
（実施例３）
本例のガスセンサ素子１は，図１１，図１２に示すごとく，上記ヒータ部６に絶縁板７１を介して積層した導電層７よりなるリーク電流導電路を設けてある。この導電層７はガスセンサ素子１の長手方向について，少なくともモニタセル３，センサセル４を設けた位置まで延設される。
そして，図１３に示すごとく，上記ガスセンサ素子１の長手方向と直交する幅方向に沿った上記ガスセンサ素子１の幅をＢ，上記導電層の幅をｂとすると，０．５≦ｂ／Ｂが成立する。
その他詳細は実施例１と同様の構成を有する。
【００５８】
本例のガスセンサ素子１でリーク電流の電気的経路となるスペーサ１４のヒータ部６側の面に導電層７があり，リーク電流１９は導電層７を流れて，電気化学的セルであるモニタセル３，センサセル４，λセル５に達しない。
その他詳細は実施例１と同様の作用効果を有する。
【００５９】
また，図１４に示すごとく，上記導電層７を導電スルーホール７２を介して，ヒータ回路６５のマイナス側に接続する端子６１２と電気的に導通させることもできる。この場合，導電層７の電位が下げり，リーク電流をより流れやすくすることができる。
【００６０】
（実施例４）
図１５に示すガスセンサ素子１は，ガスセンサ素子１の長手方向にモニタセル３とセンサセル４とを配列した構成である。その他詳細は実施例１と同様の構成である。
また，図１６に示すガスセンサ素子１は，実施例１に示したガスセンサ素子１と同じ構成であるが，ヒータ基板１５，スペーサ１２，１４，１６が固体電解質板１１，１３と同じ材料からなる。そして，発熱体６１だけが絶縁材料で包まれている。その他詳細は実施例１と同様の構成である。
そして，図１５，図１６にかかるガスセンサ素子は，共に実施例１と同様の作用効果を有する。
また，図１６については，ガスセンサ素子１の主要な部分が同じ材料で構成されているため，ガスセンサ素子１を複数枚のグリーンシートを積層圧着して焼成して作成する際に，異種材料の熱膨張率の違いから起こる焼成割れが生じ難い。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，ガスセンサ素子長手方向の要部断面説明図。
【図２】実施例１における，図１のＡ−Ａ矢視断面図。
【図３】実施例１における，ポンプリードの幅と第１，第２の境界面の幅とを示す説明図。
【図４】実施例１における，ガスセンサ素子の（ａ）拡散抵抗層側の平面図，（ｂ）側面図，（ｃ）ヒータ部側の平面図。
【図５】実施例１における，（ａ）拡散抵抗層とスペーサとの平面図，（ｂ）ポンプセル用固体電解質板の表側の平面図，（ｃ）ポンプセル用固体電解質板の裏側の平面図，（ｄ）スペーサの平面図。
【図６】実施例１における，（ａ）ポンプセル用固体電解質板の表側の平面図，（ｂ）ポンプセル用固体電解質板の裏側の平面図，（ｃ）スペーサの平面図，（ｄ）ヒータ基板の平面図。
【図７】実施例１における，本例と従来例のオフセット電流の温度依存性にかかる線図。
【図８】実施例２における，センサセルやモニタセルの位置まで延設されたポンプ電極を有するガスセンサ素子長手方向の要部断面説明図。
【図９】実施例２における，図８のＢ−Ｂ矢視断面図。
【図１０】実施例２における，導電層を有するガスセンサ素子長手方向の要部断面説明図。
【図１１】実施例３における，各電極をポンプセル用固体電解質板に投影した状態を示す模式図。
【図１２】実施例３における，図９のＣ−Ｃ矢視断面図。
【図１３】実施例３における，導電層の幅と素子の幅との関係を示す線図。
【図１４】実施例３における，導電層が導電性スルーホールを介して端子に電気的に接続されたガスセンサ素子の長手方向断面説明図。
【図１５】実施例４における，長手方向にモニタセルとセンサセルが配列したガスセンサ素子の断面説明図。
【図１６】実施例４における，発熱体が絶縁材料で包まれたガスセンサ素子の要部断面説明図。
【図１７】従来構成のガスセンサ素子における幅方向への断面説明図。
【図１８】従来構成のガスセンサ素子における，（ａ）ポンプセル用固体電解質板の表側の平面図，（ｂ）ポンプセル用固体電解質板の裏側の平面図。
【符号の説明】
１．．．ガスセンサ素子，
１０１，１０３．．．ガスセンサ素子外側面，
１０２，１０４．．．内側面，
１０５．．．第１境界面，
１０６．．．第２境界面，
１２，１４，１６．．．スペーサ，
１２１．．．第１被測定ガス室，
１２２．．．第２被測定ガス室，
１３．．．ポンプセル用固体電解質板，
１４０．．．第１基準ガス室，
１５．．．ヒータ基板，
１６０．．．第２基準ガス室，
１９．．．リーク電流，
２．．．ポンプセル，
３．．．モニタセル，
４．．．センサセル，
５．．．λセル，
６．．．ヒータ部，
６１．．．発熱体，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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