(57)【要約】【課題】ＤＶＤ−Ｒなど高密度での光情報を記録可能とし、記録ピットのＲＦ読み取りエラーを低減させつつ、蛇行型のランドプレピット８の読み取りエラーを同時に低減させるための最適化設計条件を設定した光情報記録媒体を製造可能な光情報記録媒体のスタンパーおよびその作成方法を提供すること。【解決手段】プリグルーブ用露光部３７にわずかな間隔を開けておくこと、わずかな間隔の部分においてプリグルーブ６からずらした状態でランドプレピット用スポット露光部３９を露光することに着目し、ランドプレピット８の内側弧状部２２が、第１の露光用ビーム３４Ａによる一対の減少レベルプロフィール部分３８Ａと、第２の露光用ビーム３４Ｂによる中央プロフィール部分３９Ｂと、からなり、その外側弧状部２４が、第２の露光用ビーム３４Ｂによる弧状プロフィール部分３９Ａからなることを特徴とする。【選択図】　　　　図５
2004030854.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性を有するとともにプリグルーブおよびこのプリグルーブの左右に位置するランドの部分にランドプレピットを形成した基板と、
この基板上に設けるとともに、記録光による記録が可能な光記録層と、
この光記録層上に設けるとともに、前記記録光を反射する光反射層と、を有し、
前記基板を通して前記光記録層に前記記録光を照射することにより光学的に読み取り可能な情報を記録する光情報記録媒体のスタンパーであって、
前記プリグルーブは、所定レベルの強さの露光用ビームによりこれを露光するとともに、
前記ランドプレピットは、
前記プリグルーブに連続しかつ前記基板の半径方向に弧状にこれを突出させてあり、
その内側弧状部が、前記所定レベルより低い強さの露光用ビームによる一対の減少レベルプロフィール部分と、この減少レベルプロフィール部分の間であって前記所定レベルの強さの露光用ビームによる中央プロフィール部分と、からなり、
その外側弧状部が、前記所定レベルの強さの露光用ビームによる弧状プロフィール部分からなることを特徴とする光情報記録媒体のスタンパー。
【請求項２】
前記内側弧状部の前記減少レベルプロフィール部分は、これを第１の露光用ビームにより露光してあり、
前記内側弧状部の前記中央プロフィール部分、および前記外側弧状部の前記弧状プロフィール部分は、これを第２の露光用ビームにより露光してあることを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体のスタンパー。
【請求項３】
透光性を有するとともにプリグルーブおよびこのプリグルーブの左右に位置するランドの部分にランドプレピットを形成した基板と、
この基板上に設けるとともに、記録光による記録が可能な光記録層と、
この光記録層上に設けるとともに、前記記録光を反射する光反射層と、を有し、
前記基板を通して前記光記録層に前記記録光を照射することにより光学的に読み取り可能な情報を記録する光情報記録媒体のスタンパー作成方法であって、所定レベルの強さの露光用ビームにより前記プリグルーブを露光するプリグルーブ露光工程と、
前記露光用ビームを前記所定レベルより低い強さとして、前記ランドプレピットにおけるその内側弧状部の一対の減少レベルプロフィール部分を露光する減少レベルプロフィール部分露光工程と、
前記露光用ビームを前記所定レベルの強さとして、前記ランドプレピットにおける前記内側弧状部の前記減少レベルプロフィール部分の間に位置する中央プロフィール部分と、前記ランドプレピットの外側弧状部におけるその弧状プロフィール部分と、を露光する所定レベルプロフィール露光工程と、
を有するとともに、
前記プリグルーブに連続しかつ前記基板の半径方向に弧状に前記ランドプレピットを突出させて形成することを特徴とする光情報記録媒体のスタンパー作成方法。
【請求項４】
前記プリグルーブ、および前記ランドプレピットにおける前記内側弧状部の前記減少レベルプロフィール部分を第１の露光用ビームにより露光するとともに、
前記ランドプレピットにおける前記内側弧状部の前記中央プロフィール部分、および前記ランドプレピットの外側弧状部における前記弧状プロフィール部分を第２の露光用ビームにより露光することを特徴とする請求項３記載の光情報記録媒体のスタンパー作成方法。
【請求項５】
前記ランドプレピットにおける前記内側弧状部の前記減少レベルプロフィール部分は、前記露光用ビームを不連続とすることによりこれを形成することを特徴とする請求項３記載の光情報記録媒体のスタンパー作成方法。
【請求項６】
前記ランドプレピットにおける前記内側弧状部の前記減少レベルプロフィール部分は、前記露光用ビームにより前記プリグルーブ部分に縮幅部を設けることによりこれを形成することを特徴とする請求項３記載の光情報記録媒体のスタンパー作成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光情報記録媒体のスタンパーおよびその作成方法にかかるもので、とくに透光性の基板上に少なくとも光吸収物質などを含む光記録層および金属膜などによる光反射層を有し、たとえば波長が６３０〜６７０ｎｍの短波長赤色レーザー光、あるいは波長が４００〜４１０ｎｍの青色レーザー光により高密度かつ高速で書き込みおよび再生が可能な光情報記録媒体のスタンパーおよびその作成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の一般的な光情報記録媒体である記録可能なＣＤ−Ｒ（ＣｏｍｐａｃｔＤｉｓｃ　Ｗｒｉｔａｂｌｅ）より高密度に光情報を記録可能なＤＶＤ−Ｒ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ　Ｗｒｉｔａｂｌｅ）ではＣＤ−Ｒとは異なる規格が定められている。
たとえば、光学ピックアップには、波長が６３０〜６７０ｎｍの短波長赤色レーザー光を用いること、開口率ＮＡが０．６〜０．６５という高開口率の対物レンズを用いること、などである。
【０００３】
従来、記録可能なＣＤーＲでは、ラセン状のプリグルーブをトラッキングガイドとしてこれをウォブル（蛇行）させ、その蛇行をＦＭ変調し、ＡＴＩＰ（Ａｂｓｏｌｕｔｅ　Ｔｉｍｅ　Ｉｎ　Ｐｒｅｇｒｏｏｖｅ）と呼ばれる位置情報などのアドレス情報を得ている。
一方ＤＶＤ−Ｒでは、上記ＡＴＩＰに代えて、ウォブルの形成とともに、プリグルーブの間のランドにランドプレピットを形成し、これらにより光情報記録媒体上におけるアドレス情報をはじめとするセクター情報を得ている。
【０００４】
こうしたランドプレピットを形成した光情報記録媒体に情報ピット（記録ピット）を記録し、これを再生する際に、上記光学ピックアップは、この情報ピットおよびランドプレピットをともに読み込むことになり、情報ピットおよびランドプレピットの相対的位置関係によっては、読取り信号にエラーが発生し、再生が不安定になるという問題がある。
【０００５】
図７ないし図１４にもとづき、従来のランドプレピット付き光情報記録媒体について概説する。
図７は、従来の光情報記録媒体１の要部拡大平面図ならびにそのＲＦ信号およびランドプレピット信号のグラフ、図８は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図、図９は、図７のＩＸ−ＩＸ線断面図、図１０は、図７のＸ−Ｘ線断面図である。
光情報記録媒体１は、透光性の基板２と、この基板２上に形成した光吸収層３（光記録層）と、この光吸収層３の上に形成した光反射層４と、この光反射層４の上に形成した保護層５と、を有する。
上記基板２にはスパイラル状にプリグルーブ６を形成してある。このプリグルーブ６の左右には、このプリグルーブ６以外の部分すなわちランド７が位置している。ランド７には、ランドプレピット８を所定周期で形成しアドレス情報その他のセクター情報を記録してある。
【０００６】
図１０に示すように、光情報記録媒体１にレーザー光９（記録光、図７の円形スポット９Ｓ）を照射したときに、光吸収層３がこのレーザー光９のエネルギーを吸収することにより発熱し、基板２側に熱変質が生じて記録ピット１０が形成される。
なお、図７は、光情報記録媒体１の光反射層４および保護層５を取り除いてプリグルーブ６、ランド７、ランドプレピット８および記録ピット１０について主に描いてある。
【０００７】
さらに、プリグルーブ６には、図７、図８、図９に示す光情報記録媒体１の円周方向に沿って、うねり（ウォブル６Ｗ）を形成することにより、光情報記録媒体１の回転と情報記録および読取りとの同期を取るとともに、記録時のトラッキング作用を確保している。
【０００８】
なお、基板２と光吸収層３とは、第１の層界１１により互いに接している。
光吸収層３と光反射層４とは、第２の層界１２により接している。
光反射層４と保護層５とは、第３の層界１３により接している。
【０００９】
透光性の基板２は、レーザー光に対する屈折率がたとえば１．４〜１．６程度の範囲内の透明度の高い材料で、耐衝撃性に優れた主として樹脂により形成したもの、たとえばポリカーボネート、ガラス板、アクリル板、エポキシ板等を用いる。
【００１０】
光吸収層３は、基板２の上に形成した光吸収性の物質（光吸収物質）からなる層で、レーザー光９を照射することにより、発熱、溶融、昇華、変形または変性をともなう層である。この光吸収層３はたとえば溶剤により溶解したシアニン系色素等を、スピンコート法等の手段により、基板２の表面に一様にコーティングすることによってこれを形成する。
光吸収層３に用いる材料は、任意の光記録材料を採用することができるが、光吸収性の有機色素が望ましい。
【００１１】
光反射層４は、金属膜であり、たとえば、金、銀、銅、アルミニウム、あるいはこれらを含む合金を、蒸着法、スパッタ法等の手段によりこれを形成する。
【００１２】
保護層５は、基板２と同様の耐衝撃性に優れた樹脂によりこれを形成する。たとえば、紫外線硬化樹脂をスピンコート法により塗布し、これに紫外線を照射して硬化させることによりこれを形成する。
【００１３】
図７のグラフに示すように、ランドプレピット８が隣合っていない記録ピット１０のＲＦ信号（図中左側）は、適正なレベルでこれを得ることができる。また、記録ピット１０が隣合っていないランドプレピット８のランドプレピット８信号（図中中央）も適正なレベルでこれを得ることができる。
しかしながら、とくにランドプレピット８と記録ピット１０とが光情報記録媒体１の半径方向において互いに隣合っている場合には、ランドプレピット８信号のレベルおよびＲＦ信号のレベルがともに低下あるいは上昇するという問題がある（図７中右側）。
【００１４】
具体的に、ランドプレピット信号としては、信号振幅が低下し、そのＡＲ（Ａｐｅｒｔｕｒｅ　Ｒａｔｉｏ：振幅低下率指標）が低下する。なお、ＡＲは、記録ピット１０がない部分におけるランドプレピット８信号に対する最長記録ピット１０がある部分のランドプレピット８信号の割合（％）であり、ＤＶＤ−Ｒの規格では、ＡＲが１５％以上であることが要請されている。
また、ＲＦ信号の信号変動は、そのＲＦ読み取りエラーにつながり、ＤＶＤ−Ｒ規格では、ＲＦ信号の信号変動に関する判断の目安としてこのＲＦ読み取りエラーが２５０未満であることが要請されている。
【００１５】
上述の諸問題は、図１１に示したランドプレピット８が円形型の場合および図１２に示したランドプレピット８が蛇行型の場合ともに発生するものである。図１３は、円形型のランドプレピット８の場合のＲＦ信号の変動量に対するＲＦ読み取りエラーの関係を示すグラフ、図１４は、蛇行型のランドプレピット８の場合のＲＦ信号の変動量に対するＲＦ読み取りエラーの関係を示すグラフである。
図示のように、円形型のランドプレピット８に比べて蛇行型のランドプレピット８は、ＲＦ信号変動量に対するエラー発生までのマージンが狭く、光学ピックアップの各種態様ないしそのスポットの仕様、さらには角度変動、焦点変動、トラック追従変動など高速時にとくに発生しやすい外乱に対して、その最適設計範囲をとくにきびしく設定する必要がある。
また、蛇行型のランドプレピット８については、その蛇行の弧状部分における内側および外側の弧状の程度ないし突出長さは、内側および外側について適正な組み合わせを設定することが困難であるという問題がある。
【００１６】
ＲＦ信号の変動量は、変動がない場合（記録ピット１０に隣接するランドプレピット８がない場合）のレベル値に対する（記録ピット１０に隣接するランドプレピット８がある場合）その変動量の割合（％）であり、ＲＦ読み取りエラーが２５０未満であるためには、図１４から、蛇行型のランドプレピット８についてＲＦ信号変動量は、少なくとも１％（絶対値として１％）程度以下である必要がある。
【００１７】
上述のように、ＲＦ読み取りエラーを低減させつつ、ランドプレピット８の読み取りエラーを同時に低減させるための最適化設計条件が、とくに蛇行型のランドプレピット８について必要となり、ＲＦ信号変動量を１％未満まで安定させるとともに、ランドプレピット８のＡＲ（振幅低下率指標）を１５％以上に維持する必要がある。
【００１８】
とくに蛇行型のランドプレピット８を形成した光情報記録媒体１について、ＲＦ信号変動量およびＡＲ（振幅低下率指標）を上記要請値に維持するためには、ランドプレピット８についてその形状を精密に設計および製作する必要があり、とくにランドプレピット８の弧状内側における光情報記録媒体１の半径方向の内側突出長さ、およびその弧状外側における半径方向の外側突出長さについて所定範囲内にこれを収めることが必要である。
【００１９】
しかしながら、プリグルーブ６およびランドプレピット８を形成した光情報記録媒体１を得るためには、プリグルーブ６およびランドプレピット８形成用の凸部を有するスタンパーを作成する必要があるが、上述のように、ランドプレピット８の形成に精度を必要とするため、当該光情報記録媒体１用のスタンパーの作成にも精度を必要とするという問題がある。
光情報記録媒体１の基板２を製造するためのスタンパーを作成するには、エッチングの手法を採用することが一般的であり、ガラス基板上に塗布したフォトレジストにレーザー光などによる露光用ビームを照射して、プリグルーブ６およびランドプレピット８を形成するための露光を行う。ただし、１本の露光用ビームで、プリグルーブ６に連続してランドプレピット８を露光することは非常に困難である。
すなわち、露光方法としては、１本の露光用ビームで、ウォブル６Ａ用信号のためのうねりを入れながらプリグルーブ６を露光していき、ランドプレピット８の部分で、光情報記録媒体１の半径方向、たとえば外側にわずかに軌道を外すように露光するが、ランドプレピット８の内側弧状部を正確に形成するように露光すると、外側弧状部が不正確になってバランスが崩れる。逆に、外側弧状部を正確に形成するように露光すると、内側弧状部が不正確になるという問題がある。したがって、ランドプレピット８の内側弧状部および外側弧状部をともに正確に設計とおりに露光することが必要であるにもかかわらず、その最適な形状を得るための露光が非常に困難であるという問題がある。
【００２０】
なお、当該ランドプレピットないしプレピットについては、特開平９−１７０２９、特開平９−３２６１３８、特開２０００−４０２６１などがある。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上のような諸問題にかんがみ、なされたもので、とくにＤＶＤ−Ｒなど高密度での光情報を記録可能とした光情報記録媒体のスタンパーおよびその作成方法を提供することを課題とする。
【００２２】
また本発明は、蛇行型のランドプレピットについてその最適な形状を形成可能で、光情報記録媒体上におけるアドレス情報をはじめとするセクター情報を適正に得ることができる光情報記録媒体のスタンパーおよびその作成方法を提供することを課題とする。
【００２３】
また本発明は、記録ピットのＲＦ読み取りエラーを低減させつつ、ランドプレピットの読み取りエラーを同時に低減させるための最適化設計条件を設定した光情報記録媒体を製造可能な光情報記録媒体のスタンパーおよびその作成方法を提供することを課題とする。
【００２４】
また本発明は、とくに従来の線速度（３．５ｍ／ｓｅｃ）に対して、たとえば４倍以上の高速で記録を行う場合にも、ＲＦ信号変動量を１％程度まで安定させるとともに、ランドプレピットのＡＲ（振幅低下率指標）を１５％以上に維持することができる光情報記録媒体のスタンパーおよびその作成方法を提供することを課題とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、スタンパー作成時に露光用ビームによってプリグルーブの部分を露光していってランドプレピットの部分に至り、プリグルーブの露光部分にわずかな間隔を開けておくこと、このわずかな間隔の部分においてプリグルーブの中心線から外して、すなわち、プリグルーブからずらした状態でスポット的な露光を行ってランドプレピット用の露光を行うことに着目したもので、第一の発明は、透光性を有するとともにプリグルーブおよびこのプリグルーブの左右に位置するランドの部分にランドプレピットを形成した基板と、この基板上に設けるとともに、記録光による記録が可能な光記録層と、この光記録層上に設けるとともに、上記記録光を反射する光反射層と、を有し、上記基板を通して上記光記録層に上記記録光を照射することにより光学的に読み取り可能な情報を記録する光情報記録媒体のスタンパーであって、上記プリグルーブは、所定レベルの強さの露光用ビームによりこれを露光するとともに、上記ランドプレピットは、上記プリグルーブに連続しかつ上記基板の半径方向に弧状にこれを突出させてあり、その内側弧状部が、上記所定レベルより低い強さの露光用ビームによる一対の減少レベルプロフィール部分と、この減少レベルプロフィール部分の間であって上記所定レベルの強さの露光用ビームによる中央プロフィール部分と、からなり、その外側弧状部が、上記所定レベルの強さの露光用ビームによる弧状プロフィール部分からなることを特徴とする光情報記録媒体のスタンパーである。
【００２６】
上記内側弧状部の上記減少レベルプロフィール部分は、これを第１の露光用ビームにより露光してあり、上記内側弧状部の上記中央プロフィール部分、および上記外側弧状部の上記弧状プロフィール部分は、これを第２の露光用ビームにより露光してあることができる。
【００２７】
第二の発明は、透光性を有するとともにプリグルーブおよびこのプリグルーブの左右に位置するランドの部分にランドプレピットを形成した基板と、この基板上に設けるとともに、記録光による記録が可能な光記録層と、この光記録層上に設けるとともに、上記記録光を反射する光反射層と、を有し、上記基板を通して上記光記録層に上記記録光を照射することにより光学的に読み取り可能な情報を記録する光情報記録媒体のスタンパー作成方法であって、所定レベルの強さの露光用ビームにより上記プリグルーブを露光するプリグルーブ露光工程と、上記露光用ビームを上記所定レベルより低い強さとして、上記ランドプレピットにおけるその内側弧状部の一対の減少レベルプロフィール部分を露光する減少レベルプロフィール部分露光工程と、上記露光用ビームを上記所定レベルの強さとして、上記ランドプレピットにおける上記内側弧状部の上記減少レベルプロフィール部分の間に位置する中央プロフィール部分と、上記ランドプレピットの外側弧状部におけるその弧状プロフィール部分と、を露光する所定レベルプロフィール露光工程と、を有するとともに、上記プリグルーブに連続しかつ上記基板の半径方向に弧状に上記ランドプレピットを突出させて形成することを特徴とする光情報記録媒体のスタンパー作成方法である。
【００２８】
上記プリグルーブ、および上記ランドプレピットにおける上記内側弧状部の上記減少レベルプロフィール部分を第１の露光用ビームにより露光するとともに、上記ランドプレピットにおける上記内側弧状部の上記中央プロフィール部分、および上記ランドプレピットの外側弧状部における上記弧状プロフィール部分を第２の露光用ビームにより露光することができる。
【００２９】
上記ランドプレピットにおける上記内側弧状部の上記減少レベルプロフィール部分は、上記露光用ビームを不連続とすることによりこれを形成することができる。
【００３０】
上記ランドプレピットにおける上記内側弧状部の上記減少レベルプロフィール部分は、上記露光用ビームにより上記プリグルーブ部分に縮幅部を設けることによりこれを形成することができる。
【００３１】
本発明による光情報記録媒体のスタンパーおよびその作成方法においては、プリグルーブの部分を露光していってランドプレピットの部分に至り、プリグルーブの露光部分にわずかな間隔を開けておき、このわずかな間隔の部分においてプリグルーブの中心線から外してスポット的な露光を行うようにしたので、このスポット的な露光とプリグルーブの直線状の露光の重なり部分がランドプレピットのプリグルーブからの突出基端部を形成することができるとともに、プリグルーブから外れたスポット的な露光の部分がランドプレピットの最突出部を形成することができる。
したがって、従来のように、１本の露光用ビームによりプリグルーブおよびランドプレピットを連続的に順次露光してゆく方法とは異なり、プリグルーブおよびランドプレピットの位置を正確に特定して、ランドプレピットの内側弧状部および外側弧状部を設計とおりに精密に形成することができる。
【００３２】
とくに第一の発明によれば、ランドプレピットの内側弧状部が、所定レベル（すなわち、プリグルーブを露光する強さ）より低い強さの露光用ビームによる一対の減少レベルプロフィール部分と、この減少レベルプロフィール部分の間であって所定レベルの強さの露光用ビームによる中央プロフィール部分と、からなり、さらに、ランドプレピットの外側弧状部が、所定レベルの強さの露光用ビームによる弧状プロフィール部分からなっているので、露光用ビームをスタンパーのガラス基板などに対し、ランドプレピット形成用にわずかな凸状に軌道を外らせて連続的に移動する必要がなく、正確なランドプレピットを有するスタンパーとすることができる。
【００３３】
とくに第二の発明によれば、プリグルーブを露光するプリグルーブ露光工程と、減少レベルプロフィール部分露光工程と、所定レベルプロフィール露光工程と、を有し、それぞれの工程で正確なプロフィールに露光が可能であり、必要な精度でランドプレピットをプリグルーブに連続しかつ基板の半径方向に弧状に突出させて形成することができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
つぎに、本発明の第１の実施の形態によるスタンパーにより製造される光情報記録媒体２０およびスタンパー作成方法を図１ないし図５にもとづき説明する。ただし、図７ないし図１４と同様の部分には同一符号を付し、その詳述はこれを省略する。
図１は、光情報記録媒体２０における蛇行型のランドプレピット８部分の拡大平面図であって、ランドプレピット８はプリグルーブ６の一部を光情報記録媒体１の半径方向外周側に弧状に突出してこれを形成している。
すなわち、ランドプレピット８は、図中左右一対の内側弧状端部２１から弧状に延びる内側弧状部２２、および外側弧状端部２３から弧状に延びる外側弧状部２４によりこれを画成し、光情報記録媒体２０の半径方向における外円周側に円弧状に突出する形状となっている。なお、内側弧状端部２１および外側弧状端部２３は、プリグルーブ６の内外両端部から連続して、滑らかな弧を描いて内側弧状部２２および外側弧状部２４にそれぞれ移行している。
内側弧状部２２および外側弧状部２４はともに、楕円形状を基本とし、楕円の一部の曲線を選択して弧状にこれを形成している。もちろん、任意の曲線による形状をもとにして、これら内側弧状部２２および外側弧状部２４を設計することができる。
なお、光情報記録媒体２０のその他部分の構成は、図７ないし図１０に示した光情報記録媒体１と同様である。
【００３５】
ランドプレピット８の弧状内側における半径方向の内側突出長さ（両側の内側弧状端部２１を結んだ補助線から内側弧状部２２の円弧の最突出部２５において内側弧状部２２に接する補助線までの距離）をＲｉｎとする。
ランドプレピット８の弧状外側における半径方向の外側突出長さ（両側の外側弧状端部２３を結んだ補助線から外側弧状部２４の円弧の最突出部２６において外側弧状部２４に接する補助線までの距離）をＲｏｕｔとする。
ただし、図２はランドプレピット８部分の縦断面図であって、図示のように、基板２におけるランドプレピット８の内壁部は、傾斜角度Ｇが４０〜８０度を有しており、上記それぞれの補助線は、ランドプレピット８の深さＤの１／２の部分の幅（半値幅）上に引いたものである。
【００３６】
光情報記録媒体２０においては、このランドプレピット８について、レーザー光９の波長をλとし、基板２の屈折率をｎとしたときに、プリグルーブ６における未記録状態の光学深さが、λ／８ｎ〜λ／５ｎ、さらに、プリグルーブ６のトラックピッチが、０．７０〜０．８５μｍ、という設計条件のもとで、たとえば、
０．１２０μｍ≦Ｒｉｎ≦０．１８２μｍ、および、
０．１００μｍ≦Ｒｏｕｔ≦０．２５０μｍ、とすることが望ましい。かくして、ＲＦ信号変動量を少なくとも１％未満に抑えるとともに、ランドプレピット８の特性すなわちＡＲ（振幅低下率指標）を１５％以上確保することができる。また、ＡＲが１８％以上で、ＲＦ信号変動量の絶対値が０．７％未満の範囲は、
０．１４０μｍ≦Ｒｉｎ≦０．１７３μｍ、および、
０．１００μｍ≦Ｒｏｕｔ≦０．１９２μｍ、である。
さらに、ＡＲが１８％以上で、ＲＦ信号変動量の絶対値が０．７％未満の範囲で、かつＲｉｎが最大で０．１５６μｍ程度で、Ｒｉｎ≦Ｒｏｕｔである範囲は、
０．１４０μｍ≦Ｒｉｎ≦０．１５６μｍ、および、
０．１５６μｍ≦Ｒｏｕｔ≦０．１９２μｍ、である。
【００３７】
図３は、図９と同様の、図７のＩＸ−ＩＸ線断面図に相当するランドプレピット８部分の断面図であって、プリグルーブ６に連続してランドプレピット８を光情報記録媒体２０の半径方向外方側に突出形成している。
このようなプリグルーブ６およびランドプレピット８を有する光情報記録媒体２０を製造するためのスタンパーとしては、上述の内側突出長さＲｉｎおよび外側突出長さＲｏｕｔについての精密な数値範囲を得ることができるようにする必要がある。
【００３８】
図４は、光情報記録媒体２０のスタンパーを作成する方法の一般的な工程を示す概略断面図であって、まず図４（１）に示すように、ガラス基板３０上にフォトレジスト３１を所定の厚さで塗布する。
【００３９】
図４（２）に示すように、レーザーカッティング装置３２のレンズ３３により、レーザー光３４（露光用ビーム）を所定の部位（プリグルーブ６およびランドプレピット８、図５にもとづき後述）に当てて露光する。
【００４０】
図４（３）に示すように、現像することにより、レーザー光３４を照射して露光した部分を除去してプリグルーブ６およびランドプレピット８とする。
【００４１】
図４（４）に示すように、フォトレジスト３１の表面にニッケル膜３５を塗布する。
【００４２】
図４（５）に示すように、ニッケル膜３５の表面にめっき厚膜３６を所定の厚さで作成する。
【００４３】
図４（６）に示すように、このメッキ厚膜３６をガラス基板３０およびフォトレジスト３１から剥離して、スタンパー３６Ａとする。
このスタンパー３６Ａを用いて、従来からの製造方法により、光情報記録媒体２０を製造するものである。
【００４４】
本発明は、とくに図４（２）における露光方法に特徴がある。
すなわち、図５は、本発明によるスタンパー作成方法におけるとくに露光方法を示す概略図であって、まず図５（１）に示すように、プリグルーブ６に相当する部分すなわちプリグルーブ用露光部３７を第１の露光用ビーム３４Ａにより露光する。
ただし、ランドプレピット８に相当する部分において、所定の間隔を開けて第１の露光用ビーム３４Ａの照射を一時的（瞬間的）に停止し、プリグルーブ６を露光してきた所定レベルの強さより弱いビームによる露光を行い、ランドプレピット８の部分を不連続状態とし、とくにその先端部をテーパー状にして、互いに対向する一対のテーパー部分３８（縮幅部）を形成する。
【００４５】
図５（２）に示すように、プリグルーブ用露光部３７にまたがるように、ないし少なくともプリグルーブ用露光部３７のテーパー部分３８と重なり合うように、プリグルーブ６の中心線から外れて、たとえば光情報記録媒体２０の外周方向側に第２の露光用ビーム３４Ｂにより、ランドプレピット８に相当する部分すなわちランドプレピット用スポット露光部３９を露光する。
このランドプレピット用スポット露光部３９は、第２の露光用ビーム３４Ｂおよびガラス基板３０が相対的に移動しているので、楕円形状に露光されることになる。
【００４６】
なお、一対のテーパー部分３８の間の不連続部分の間隔、およびそのテーパーの程度、さらにランドプレピット用スポット露光部３９の位置や大きさについては、第１の露光用ビーム３４Ａおよび第２の露光用ビーム３４Ｂの照射時間ないし照射停止時間、および照射パワーないしパワー低下量などを調節することにより、内側突出長さＲｉｎおよび外側突出長さＲｏｕｔ（図１）を所望範囲内の値とする。
【００４７】
また、上流側および下流側のプリグルーブ用露光部３７、ならびにランドプレピット用スポット露光部３９の露光順序は、任意である。たとえば、先に上流側および下流側のプリグルーブ用露光部３７を露光してからランドプレピット用スポット露光部３９を露光してもよいし、上流側のプリグルーブ用露光部３７、ランドプレピット用スポット露光部３９さらに続けて下流側のプリグルーブ用露光部３７を露光するようにしてもよい。
【００４８】
図５（３）に示すように、現像前は、プリグルーブ用露光部３７およびテーパー部分３８の交差部には鋭角部（内側鋭角部４０および外側鋭角部４１）が残っている。
しかして、図５（３）の内側（下側）における左右一対のテーパー部分３８の減少レベルプロフィール部分３８Ａがランドプレピット８の内側弧状部２２（図１）の両端部に相当し、ランドプレピット用スポット露光部３９の上側弧状部３９Ａ（弧状プロフィール部分）がランドプレピット８の外側弧状部２４に相当し、ランドプレピット用スポット露光部３９の下側弧状部３９Ｂ（中央プロフィール部分）が内側弧状部２２に相当する。
【００４９】
図５（４）に示すように、現像後（図４（３）に相当）は、内側鋭角部４０および外側鋭角部４１を丸く削って削除することができ、プリグルーブ用露光部３７（プリグルーブ６）からランドプレピット用スポット露光部３９（ランドプレピット８）に円滑に外形線を描くことができる。
【００５０】
図５（５）に示すように、図４の（４）、（５）、（６）の工程を実行してスタンパー３６Ａを得ることができ、プリグルーブ６およびランドプレピット８を精密に形成し、所定数値範囲内の内側突出長さＲｉｎおよび外側突出長さＲｏｕｔを有するランドプレピット８を設計とおりに形成することができる。
【００５１】
図６は、本発明の第２の実施の形態によるスタンパーの作成方法におけるとくに露光方法を示す概略図であって、このスタンパー作成方法における露光方法においては、まず図６（１）に示すように、プリグルーブ６に相当する部分すなわちプリグルーブ６用露光部３７を第１の露光用ビーム３４Ａにより露光する。
ただし、ランドプレピット８に相当する部分において、第１の露光用ビーム３４Ａの照射パワーを調節し、ランドプレピット８の部分を不連続状態とし、とくにその先端部をテーパー状にして、互いに接するように対向する一対のテーパー部分３８（縮幅部）を形成する。
【００５２】
以後は、図５（２）以降の工程と同様にして、図６（２）に示すように、第２の露光用ビーム３４Ｂにより、ランドプレピット８に相当する部分すなわちランドプレピット８用スポット露光部３９を露光する。
【００５３】
図６（３）に示すように、現像前は、プリグルーブ用露光部３７およびテーパー部分３８の交差部には鋭角部（内側鋭角部４０および外側鋭角部４１）が残っている。
しかして、図６（３）の内側（下側）における左右一対のテーパー部分３８の減少レベルプロフィール部分３８Ａがランドプレピット８の内側弧状部２２（図１）の両端部に相当し、ランドプレピット用スポット露光部３９の上側弧状部３９Ａがランドプレピット８の外側弧状部２４に相当し、ランドプレピット用スポット露光部３９の下側弧状部３９Ｂが内側弧状部２２の中央部に相当する。
【００５４】
図６（４）に示すように、現像後は、内側鋭角部４０および外側鋭角部４１を丸く削って削除することができる。
図６（５）に示すように、図４の（４）、（５）、（６）の工程を行ってスタンパー３６Ｂを得ることができ、プリグルーブ６およびランドプレピット８を精密に形成し、所定数値範囲内の内側突出長さＲｉｎおよび外側突出長さＲｏｕｔを有するランドプレピット８を設計とおりに形成することができる。
【００５５】
なお、本発明においては、第１の露光用ビーム３４Ａおよび第２の露光用ビーム３４Ｂは別々のレーザーカッティング装置３２によりこれを２本のビームとして照射してもよいが、露光用ビームを１本とし、プリグルーブ６の部分において上流側および下流側のプリグルーブ用露光部３７を照射し、さらにランドプレピット８の部分において同じ露光用ビームにより、ランドプレピット用スポット露光部３９を照射することもできる。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、プリグルーブの部分のプリグルーブ用露光部およびランドプレピットの部分のランドプレピット用スポット露光部を別々に不連続状態に露光するとともに、これらを重ね合わせることによりプリグルーブおよびランドプレピットを連続状態に形成するようにしたので、ランドプレピットにおける内側弧状部および外側弧状部を精密に製造することができる。
したがって、ＲＦ信号変動量を１％未満とし、ランドプレピット信号のＡＲを１５％以上に確保して読み取りエラーを回避し、光情報の高密度化および高速化に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるスタンパー３６Ａにより製造される光情報記録媒体２０における蛇行型のランドプレピット８部分の拡大平面図である。
【図２】同、ランドプレピット８部分の縦断面図である。
【図３】同、図９と同様の、図７のＩＸ−ＩＸ線断面図に相当するランドプレピット８部分の断面図である。
【図４】同、光情報記録媒体２０のスタンパーを作成する方法の一般的な工程を示す概略断面図である。
【図５】同、本発明によるスタンパー作成方法におけるとくに露光方法を示す概略図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態によるスタンパー３６Ｂの作成方法におけるとくに露光方法を示す概略図である。
【図７】従来の光情報記録媒体１の要部拡大平面図ならびにそのＲＦ信号およびランドプレピット信号のグラフである。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。
【図９】図７のＩＸ−ＩＸ線断面図である。
【図１０】図７のＸ−Ｘ線断面図である。
【図１１】同、円形型のランドプレピット８の平面図である。
【図１２】同、蛇行型のランドプレピット８の平面図である。
【図１３】同、円形型のランドプレピット８の場合のＲＦ信号の変動量に対するＲＦ読み取りエラーの関係を示すグラフである。
【図１４】同、蛇行型のランドプレピット８の場合のＲＦ信号の変動量に対するＲＦ読み取りエラーの関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１　光情報記録媒体（図７ないし図１０）
２　透光性の基板
３　光吸収層（光記録層）
４　光反射層
５　保護層
６　プリグルーブ
６Ｗ　プリグルーブ６のウォブル（うねり）
７　ランド
８　ランドプレピット
９　レーザー光（記録光、再生光）
９Ｓ　レーザー光９の円形スポット
１０　記録ピット
１１　基板２と光吸収層３との間の第１の層界
１２　光吸収層３と光反射層４との間の第２の層界
１３　光反射層４と保護層５との間の第３の層界
２０　光情報記録媒体（図１）
２１　ランドプレピット８の内側弧状端部
２２　ランドプレピット８の内側弧状部
２３　ランドプレピット８の外側弧状端部
２４　ランドプレピット８の外側弧状部
２５　内側弧状部２２の円弧の最突出部
２６　外側弧状部２４の円弧の最突出部
３０　ガラス基板（図４）
３１　フォトレジスト
３２　レーザーカッティング装置
３３　レーザーカッティング装置３２のレンズ
３４　レーザー光（露光用ビーム）
３４Ａ　第１の露光用ビーム（図５（１）、図６（１））
３４Ｂ　第２の露光用ビーム（図５（２）、図６（２））
３５　ニッケル膜（図４（４））
３６　メッキ厚膜（図４（５））
３６Ａ　メッキ厚膜３６によるスタンパー（第１の実施の形態、図４（６）、図５（５））
３６Ｂ　メッキ厚膜３６によるスタンパー（第２の実施の形態、図４（６）、図６（５））
３７　プリグルーブ用露光部（図５、図６）
３８　プリグルーブ用露光部３７のテーパー部分（縮幅部）
３８Ａ　テーパー部分３８の減少レベルプロフィール部分
３９　ランドプレピット用スポット露光部
３９Ａ　ランドプレピット用スポット露光部３９の上側弧状部（弧状プロフィール部分）
３９Ｂ　ランドプレピット用スポット露光部３９の下側弧状部（中央プロフィール部分）
４０　内側鋭角部
４１　外側鋭角部
Ｒｉｎ　ランドプレピット８の弧状内側における半径方向の内側突出長さ（図１）Ｒｏｕｔ　　ランドプレピット８の弧状外側における半径方向の外側突出長さ（図１）
Ｇ　　ランドプレピット８の内壁部の傾斜角度（４０〜８０度、図２）
Ｄ　　ランドプレピット８の深さ（図２）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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