(57)【要約】【課題】ノイズの共振を防ぐことができると共に、ダンピング抵抗を備えた小型で安価なノイズフィルタを提供する。【解決手段】インダクタ用磁性体シート３の表面にインダクタ用伝送線路４を設けてインダクタ部２を形成する。また、２枚のフィルタ用磁性体シート９，１０の間にフィルタ用伝送線路１１を設けると共に、２枚のフィルタ用磁性体シート９，１０を２枚のグランド電極１２，１３を挟んでフィルタ部８を形成する。そして、インダクタ部２とフィルタ部８とを積み重ねて一体化すると共に、伝送線路４，１１を直列接続する。これにより、インダクタ部２がダンピング抵抗として機能すると共に、フィルタ部８が分布定数型のフィルタとして機能する。【選択図】        図２
2004207902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、
前記インダクタ部は、インダクタ用磁性体シートと、該インダクタ用磁性体シートの表面に設けられたインダクタ用伝送線路とによって構成し、
前記フィルタ部は、前記インダクタ用磁性体シートの裏面に積み重ねて設けられ互いに重なり合う２枚のフィルタ用磁性体シートと、該２枚の磁性体シート間に配設され前記インダクタ用伝送線路に直列接続されたフィルタ用伝送線路と、前記各フィルタ用磁性体シートに設けられ該フィルタ用伝送線路を含めて前記２枚のフィルタ用磁性体シートを挟む２枚のグランド電極とによって構成してなるノイズフィルタ。
【請求項２】
ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、
前記インダクタ部は、互いに重なり合う複数枚のインダクタ用磁性体シートと、該各インダクタ用磁性体シートの表面に設けられ互いに直列接続されたインダクタ用伝送線路とによって構成し、
前記フィルタ部は、前記複数枚のインダクタ用磁性体シートのうち最裏面側のインダクタ用磁性体シートに積み重ねて設けられ互いに重なり合う２枚のフィルタ用磁性体シートと、該２枚の磁性体シート間に配設され前記インダクタ用伝送線路に直列接続されたフィルタ用伝送線路と、前記各フィルタ用磁性体シートに設けられ該フィルタ用伝送線路を含めて前記２枚のフィルタ用磁性体シートを挟む２枚のグランド電極とによって構成してなるノイズフィルタ。
【請求項３】
ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、
前記インダクタ部は、インダクタ用磁性体シートと、該インダクタ用磁性体シートの表面に設けられたインダクタ用伝送線路とによって構成し、
前記フィルタ部は、前記インダクタ用磁性体シートの裏面に積み重ねて設けられ互いに重なり合う複数枚のフィルタ用磁性体シートと、これら各フィルタ用磁性体シートの最表面層と最裏面層とにグランド電極を配置する状態で、前記各フィルタ用磁性体シート間にフィルタ用伝送線路とグランド電極とを交互に積み重ね、複数層のフィルタ用伝送線路を直列接続すると共に、その一端側を前記インダクタ用伝送線路に直列接続する構成としてなるノイズフィルタ。
【請求項４】
ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、
前記インダクタ部は、互いに重なり合う複数枚のインダクタ用磁性体シートと、該各インダクタ用磁性体シートの表面に設けられ互いに直列接続されたインダクタ用伝送線路とによって構成し、
前記フィルタ部は、前記複数枚のインダクタ用磁性体シートのうち最裏面側のインダクタ用磁性体シートに積み重ねて設けられ互いに重なり合う複数枚のフィルタ用磁性体シートと、これら各フィルタ用磁性体シートの最表面層と最裏面層とにグランド電極を配置する状態で、前記各フィルタ用磁性体シート間にフィルタ用伝送線路とグランド電極とを交互に積み重ね、複数層のフィルタ用伝送線路を直列接続すると共に、その一端側を前記インダクタ用伝送線路に直列接続する構成としてなるノイズフィルタ。
【請求項５】
ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、
前記インダクタ部は、インダクタ用磁性体シートと、該インダクタ用磁性体シートの表面に設けられたインダクタ用伝送線路とによって構成し、
前記フィルタ部は、前記インダクタ用磁性体シートの裏面に積み重ねて設けられたフィルタ用磁性体シートと、該フィルタ用磁性体シートの裏面に設けられ前記インダクタ用伝送線路に直列接続されたフィルタ用伝送線路と、前記フィルタ用磁性体シートとインダクタ用磁性体シートとの間に設けられ該フィルタ用伝送線路を全長に亘って覆うグランド電極とによって構成してなるノイズフィルタ。
【請求項６】
ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、
前記インダクタ部は、互いに重なり合う複数枚のインダクタ用磁性体シートと、該各インダクタ用磁性体シートの表面に設けられ互いに直列接続されたインダクタ用伝送線路とによって構成し、
前記フィルタ部は、前記複数枚のインダクタ用磁性体シートのうち最裏面側のインダクタ用磁性体シートに積み重ねて設けられたフィルタ用磁性体シートと、該フィルタ用磁性体シートの裏面に設けられ前記インダクタ用伝送線路に直列接続されたフィルタ用伝送線路と、前記フィルタ用磁性体シートとインダクタ用磁性体シートとの間に設けられ該フィルタ用伝送線路を全長に亘って覆うグランド電極とによって構成してなるノイズフィルタ。
【請求項７】
前記インダクタ用伝送線路のインピーダンス値は、信号周波数において、接続対象となる伝送線路の特性インピーダンス値とドライバＩＣの出力インピーダンス値との差の値と同程度の値に設定してなる請求項１，２，３，４，５または６に記載のノイズフィルタ。
【請求項８】
前記フィルタ用伝送線路は蛇行したジグザグ状に形成してなる請求項１，２，３，４，５，６または７に記載のノイズフィルタ。
【請求項９】
前記フィルタ用伝送線路は渦巻き状に形成してなる請求項１，２，３，４，５，６または７に記載のノイズフィルタ。
【請求項１０】
前記インダクタ用磁性体シートおよびフィルタ用磁性体シートは四角状に形成し、これら磁性体シートの長さ方向一端側にはインダクタ用伝送線路に接続された第１の信号用外部電極を設け、これら磁性体シートの長さ方向他端側にはフィルタ用伝送線路に接続された第２の信号用外部電極を設け、これら磁性体シートの長さ方向中間位置には前記グランド電極に接続されたグランド用外部電極を設けてなる請求項１，２，３，４，５，６，７，８または９に記載のノイズフィルタ。
【請求項１１】
遮断周波数が２００ＭＨｚから２ＧＨｚの範囲にあり、前記フィルタ用磁性体シートの比透磁率をμr、前記フィルタ用伝送線路の長さ寸法をＬ［ｍｍ］としたときに、４≦μr≦３０の範囲にあり、Ｌ／√（μr−１）≧３ｍｍに設定してなる請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９または１０に記載のノイズフィルタ。
【請求項１２】
前記グランド電極の厚さ寸法は前記フィルタ用伝送線路の厚さ寸法よりも薄く形成してなる請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０または１１に記載のノイズフィルタ。
【請求項１３】
前記インダクタ用磁性体シートおよびフィルタ用磁性体シートは磁性特性をもったセラミックス材料によって形成してなる請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１または１２に記載のノイズフィルタ。
【請求項１４】
前記インダクタ用磁性体シートおよびフィルタ用磁性体シートは焼結したフェライトによって形成してなる請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１または１２に記載のノイズフィルタ。
【請求項１５】
前記インダクタ用磁性体シートおよびフィルタ用磁性体シートは磁性粉を混入した樹脂材料によって形成してなる請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１または１２に記載のノイズフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子機器の電磁雑音障害を抑制するのに用いて好適なノイズフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、電子機器の電磁雑音障害を抑制するために各種のノイズフィルタが用いられている。そして、従来技術によるノイズフィルタとして例えば３端子コンデンサのように集中定数による回路を形成したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような従来技術によるノイズフィルタでは、雑音（ノイズ）となる周波数で反射係数を増大させる反射損失を用いてノイズの抑制を行っている。
【０００３】
また、他の従来技術によるノイズフィルタとして、多数のインダクタ、キャパシタ等からなる回路を形成したものも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−１５４６３２号公報
【特許文献２】
特開２０００−３４８９４４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来技術では、反射損失によってノイズを抑制しているから、例えば回路間を接続する線路中にノイズフィルタを配設した場合、ノイズフィルタと周辺の回路との間で特定の周波数のノイズが共振することがあり、却ってノイズを増幅してしまうという問題があった。
【０００６】
特に、近年はデジタル機器に用いる信号周波数が高周波化する傾向があり、信号周波数が１００ＭＨｚを超えている電子機器が増加している。このため、遮断周波数が２００ＭＨｚ以上であるローパスフィルタが求められているのに対し、例えばノイズフィルタと周囲の部品との間の線路長や複数の部品間の線路長等が２００ＭＨｚ以上の高周波の信号に対して共振し易い長さ寸法となっている。従って、信号周波数が１００ＭＨｚを超えている電子機器には、従来技術のように反射損失を用いるノイズフィルタは使用し難い傾向があった。
【０００７】
また、他の従来技術では、反射損失を低下させることによって共振現象を抑制している。しかし、他の従来技術によるノイズフィルタでは、多数のインダクタ、キャパシタ等を接続することによって回路を構成しているから、構造が複雑で小型化が難しく、製造コストが増大すると共に、チップ形状ではないためプリント配線に対して取り付け難いという問題があった。
【０００８】
さらに、ノイズフィルタに接続するドライバＩＣの出力抵抗が低いときには、ドライバＩＣと周辺の回路との間の共振を抑制するために、ノイズフィルタとドライバＩＣとの間にダンピング抵抗を別途接続していた。この場合、ノイズフィルタとダンピング抵抗との２つの部品を用意すると共に、これら２つの部品をそれぞれ実装する必要があるから、製造コストが増大し易いのに加え、実装時の手間がかかり、生産性が低下するという問題もある。
【０００９】
本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、ノイズの共振を防ぐことができると共に、ダンピング抵抗を備えた小型で安価なノイズフィルタを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１の発明は、ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、前記インダクタ部は、インダクタ用磁性体シートと、該インダクタ用磁性体シートの表面に設けられたインダクタ用伝送線路とによって構成し、前記フィルタ部は、前記インダクタ用磁性体シートの裏面に積み重ねて設けられ互いに重なり合う２枚のフィルタ用磁性体シートと、該２枚の磁性体シート間に配設され前記インダクタ用伝送線路に直列接続されたフィルタ用伝送線路と、前記各フィルタ用磁性体シートに設けられ該フィルタ用伝送線路を含めて前記２枚のフィルタ用磁性体シートを挟む２枚のグランド電極とによって構成したことにある。
【００１１】
このように構成したことにより、インダクタ用伝送線路のインダクタンスによってインダクタ部にはインピーダンスが生じるから、インダクタ部をダンピング抵抗として機能させることができ、ドライバＩＣの出力抵抗が低いときでも周辺の回路との共振を抑制することができる。
【００１２】
また、フィルタ用磁性体シートを構成する磁性材料はフィルタ用伝送線路を通過する信号の周波数が高くなるに従って信号の熱損失が増大するから、このような熱損失を用いることによってノイズを抑制することができる。
【００１３】
また、フィルタ用伝送線路の幅寸法、磁性体シートの厚さ寸法を適宜設定することによって、フィルタ部の特性インピーダンスを設定することができる。特に、磁性材料の比誘電率は信号の周波数に関係なくほぼ一定値となるから、この特性インピーダンスを信号の周波数に依らずほぼ一定値に保持することができる。このため、ほぼ全ての周波数領域についてノイズフィルタに接続される回路に対するインピーダンス整合を取ることができ、ノイズフィルタの反射損失を低下させることができる。
【００１４】
さらに、２枚のフィルタ用磁性体シート間にフィルタ用伝送線路を配設すると共に、当該２枚のフィルタ用磁性体シートを２枚のグランド電極によって挟むから、グランド電極によって２枚のフィルタ用磁性体シート間に位置するフィルタ用伝送線路をその全長に亘って覆うことができる。このため、フィルタ用伝送線路の全長に亘って特性インピーダンスを一定値に設定できるから、フィルタ用伝送線路の途中でノイズに反射が生じることがなく、ノイズの共振を抑制することができる。また、フィルタ用伝送線路を通過する信号を２枚のグランド電極間に閉じ込めることができ、通過帯域での信号の減衰を防止できると共に、外部からフィルタ用伝送線路中にノイズが混入するのを防ぐことができ、信号を確実に伝達することができる。
【００１５】
請求項２の発明は、ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、前記インダクタ部は、互いに重なり合う複数枚のインダクタ用磁性体シートと、該各インダクタ用磁性体シートの表面に設けられ互いに直列接続されたインダクタ用伝送線路とによって構成し、前記フィルタ部は、前記複数枚のインダクタ用磁性体シートのうち最裏面側のインダクタ用磁性体シートに積み重ねて設けられ互いに重なり合う２枚のフィルタ用磁性体シートと、該２枚の磁性体シート間に配設され前記インダクタ用伝送線路に直列接続されたフィルタ用伝送線路と、前記各フィルタ用磁性体シートに設けられ該フィルタ用伝送線路を含めて前記２枚のフィルタ用磁性体シートを挟む２枚のグランド電極とによって構成したことにある。
【００１６】
これにより、請求項１の発明とほぼ同様の作用効果を奏すると共に、複数層に設けられたインダクタ用伝送線路を直列接続するから、インダクタ部のインピーダンスを高めることができる。
【００１７】
請求項３の発明は、ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、前記インダクタ部は、インダクタ用磁性体シートと、該インダクタ用磁性体シートの表面に設けられたインダクタ用伝送線路とによって構成し、前記フィルタ部は、前記インダクタ用磁性体シートの裏面に積み重ねて設けられ互いに重なり合う複数枚のフィルタ用磁性体シートと、これら各フィルタ用磁性体シートの最表面層と最裏面層とにグランド電極を配置する状態で、前記各フィルタ用磁性体シート間にフィルタ用伝送線路とグランド電極とを交互に積み重ね、複数層のフィルタ用伝送線路を直列接続すると共に、その一端側を前記インダクタ用伝送線路に直列接続する構成としている。
【００１８】
これにより、インダクタ部のインピーダンスがダンピング抵抗として機能することにより共振抑制作用を与えると共に、高周波信号をフィルタ部に確実に伝達することができる。また、高周波信号がフィルタ用伝送線路を通過するときには、フィルタ用磁性体シートの熱損失が増大するのを利用してノイズを抑制することができる。さらに、フィルタ用伝送線路の幅寸法、フィルタ用磁性体シートの厚さ寸法を適宜設定することによって、フィルタ部の特性インピーダンスを設定できる。特に、磁性材料の比誘電率は信号の周波数に関係なくほぼ一定値となるから、ほぼ全ての周波数領域についてノイズフィルタと該ノイズフィルタに接続される回路との間でインピーダンス整合を取ることができ、ノイズフィルタの反射損失を低下させることができる。
【００１９】
さらに、重なり合う複数枚のフィルタ用磁性体シートの最表面層と最裏面層とにグランド電極を配置する状態で、前記各フィルタ用磁性体シート間にフィルタ用伝送線路とグランド電極とを交互に積み重ねたから、各層のフィルタ用伝送線路を２枚のフィルタ用磁性体シート間に配置できると共に、２枚のグランド電極によって各層のフィルタ用伝送線路をその全長に亘って覆うことができる。このため、フィルタ用伝送線路を通過する信号をグランド電極間に閉じ込めることができ、通過帯域での信号の減衰を防止できる。
【００２０】
また、重なり合う複数枚のフィルタ用磁性体シートはその最表面層と最裏面層とにグランド電極を配置するから、外部からフィルタ用伝送線路中にノイズが混入するのを防ぐことができ、信号を確実に伝達することができる。
【００２１】
また、全てのフィルタ用伝送線路の幅寸法をほぼ等しい値に設定すると共に、全てのフィルタ用磁性体シートの厚さ寸法をほぼ等しい値に設定した場合には、各層のフィルタ用伝送線路に対する特性インピーダンスを相互にほぼ一致させることができる。このため、相互に直列接続されたフィルタ用伝送線路の全体に亘って特性インピーダンスをほぼ一定値に設定できるから、フィルタ用伝送線路の途中でノイズに反射が生じることがなく、ノイズの共振を抑制することができ、外部の回路とのインピーダンス整合を容易に取ることができる。
【００２２】
さらに、複数層のフィルタ用伝送線路を直列接続したから、フィルタ用伝送線路の全長を長くすることができ、フィルタ用伝送線路を通過するノイズの減衰量を増加させることができる。
【００２３】
請求項４の発明は、ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、前記インダクタ部は、互いに重なり合う複数枚のインダクタ用磁性体シートと、該各インダクタ用磁性体シートの表面に設けられ互いに直列接続されたインダクタ用伝送線路とによって構成し、前記フィルタ部は、前記複数枚のインダクタ用磁性体シートのうち最裏面側のインダクタ用磁性体シートに積み重ねて設けられ互いに重なり合う複数枚のフィルタ用磁性体シートと、これら各フィルタ用磁性体シートの最表面層と最裏面層とにグランド電極を配置する状態で、前記各フィルタ用磁性体シート間にフィルタ用伝送線路とグランド電極とを交互に積み重ね、複数層のフィルタ用伝送線路を直列接続すると共に、その一端側を前記インダクタ用伝送線路に直列接続する構成としている。
【００２４】
これにより、請求項３の発明とほぼ同様の作用効果を奏することができる。また、複数層に設けられたインダクタ用伝送線路を直列接続するから、インダクタ用伝送線路の全長を長くすることができ、インダクタ部の特性インピーダンスを高めることができる。
【００２５】
請求項５の発明は、ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、前記インダクタ部は、インダクタ用磁性体シートと、該インダクタ用磁性体シートの表面に設けられたインダクタ用伝送線路とによって構成し、前記フィルタ部は、前記インダクタ用磁性体シートの裏面に積み重ねて設けられたフィルタ用磁性体シートと、該フィルタ用磁性体シートの裏面に設けられ前記インダクタ用伝送線路に直列接続されたフィルタ用伝送線路と、前記フィルタ用磁性体シートとインダクタ用磁性体シートとの間に設けられ該フィルタ用伝送線路を全長に亘って覆うグランド電極とによって構成したことにある。
【００２６】
このように構成したことにより、インダクタ部のインピーダンスがダンピング抵抗として機能することにより共振抑制作用を与えると共に、高周波信号をフィルタ部に確実に伝達することができ、フィルタ部のフィルタ用磁性体シートの熱損失を利用してフィルタ用伝送線路を通過する信号のノイズを抑制することができる。また、フィルタ用伝送線路の幅寸法、フィルタ用磁性体シートの厚さ寸法を適宜設定することによって、フィルタ部の特性インピーダンスを設定することができると共に、特性インピーダンスを信号の周波数に依らずほぼ一定値に保持することができる。このため、ほぼ全ての周波数領域についてノイズフィルタに接続される回路に対するインピーダンス整合を取ることができ、ノイズフィルタの反射損失を低下させることができる。さらに、グランド電極によってフィルタ用伝送線路を全長に亘って覆うから、フィルタ用伝送線路の全長に亘って特性インピーダンスを一定値に設定でき、ノイズの反射、共振を抑制することができる。
【００２７】
請求項６の発明は、ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とからなるノイズフィルタであって、前記インダクタ部は、互いに重なり合う複数枚のインダクタ用磁性体シートと、該各インダクタ用磁性体シートの表面に設けられ互いに直列接続されたインダクタ用伝送線路とによって構成し、前記フィルタ部は、前記複数枚のインダクタ用磁性体シートのうち最裏面側のインダクタ用磁性体シートに積み重ねて設けられたフィルタ用磁性体シートと、該フィルタ用磁性体シートの裏面に設けられ前記インダクタ用伝送線路に直列接続されたフィルタ用伝送線路と、前記フィルタ用磁性体シートとインダクタ用磁性体シートとの間に設けられ該フィルタ用伝送線路を全長に亘って覆うグランド電極とによって構成したことにある。
【００２８】
これにより、請求項５の発明とほぼ同様の作用効果を奏することができると共に、複数層に設けられたインダクタ用伝送線路を直列接続するから、インダクタ部の特性インピーダンスを高めることができる。
【００２９】
請求項７の発明では、前記インダクタ用伝送線路のインピーダンス値は、信号周波数において、接続対象となる伝送線路の特性インピーダンス値とドライバＩＣの出力インピーダンス値との差の値と同程度の値に設定している。
【００３０】
これにより、接続対象となる伝送線路とインダクタ用伝送線路との間でインピーダンス整合を取ることができ、高周波信号の反射を小さくすることができる。
【００３１】
請求項８の発明では、前記フィルタ用伝送線路は蛇行したジグザグ状に形成している。これにより、フィルタ用伝送線路を直線状に形成した場合に比べて、その長さ寸法を増加させることができ、ノイズの減衰量を増加させることができる。
【００３２】
請求項９の発明では、前記フィルタ用伝送線路は渦巻き状に形成している。これにより、フィルタ用伝送線路によって形成される磁束は互いに足し合わされるから、インダクタンスを大きくすることができると共に、フィルタ部のインピーダンスを高めることができる。
【００３３】
請求項１０の発明では、前記インダクタ用磁性体シートおよびフィルタ用磁性体シートは四角状に形成し、これら磁性体シートの長さ方向一端側にはインダクタ用伝送線路に接続された第１の信号用外部電極を設け、これら磁性体シートの長さ方向他端側にはフィルタ用伝送線路に接続された第２の信号用外部電極を設け、これら磁性体シートの長さ方向中間位置には前記グランド電極に接続されたグランド用外部電極を設ける構成としている。
【００３４】
これにより、磁性体シートの長さ方向両端側に位置する２つの信号用外部電極は、直線状に延びる配線の途中に容易に接続することができる。また、磁性体シートの長さ方向中間位置に設けられたグランド用外部電極も、配線の周辺に設けられたグランド端子に容易に接続することができる。このため、ノイズフィルタの組付け性を向上することができる。
【００３５】
請求項１１の発明は、遮断周波数が２００ＭＨｚから２ＧＨｚの範囲にあり、前記フィルタ用磁性体シートの比透磁率をμr、前記フィルタ用伝送線路の長さ寸法をＬ［ｍｍ］としたときに、４≦μr≦３０の範囲にあり、Ｌ／√（μr−１）≧３ｍｍに設定したことにある。
【００３６】
なお、ここで比透磁率μrはフィルタ用磁性体シートの透磁率μ［Ｈ／ｍ］と真空中の透磁率μ0［Ｈ／ｍ］との比を表しており、以下の数１の式で表される値を示している。
【００３７】
【数１】
2004207902.tif 000003
【００３８】
このように、フィルタ用磁性体シートの比透磁率μrを４≦μr≦３０の範囲内に設定すると共に、Ｌ／√（μr−１）≧３ｍｍとなるようにフィルタ用伝送線路の長さ寸法Ｌを設定することによって、遮断周波数の範囲を容易に２００ＭＨｚ≦ｆc≦２ＧＨｚの範囲内に設定することができる。また、ノイズの減衰曲線の傾き（信号の周波数に対する減衰量変化の割合）は、フィルタ用伝送線路の長さ寸法Ｌに比例して大きくなると共に、フィルタ用磁性体シートの比透磁率μrに対して√（μr−１）に反比例して大きくなる傾向がある。このため、フィルタ用磁性体シートの比透磁率μrを４≦μr≦３０の範囲に設定し、Ｌ／√（μr−１）≧３ｍｍに設定することによって、ノイズの減衰曲線の傾きを例えば２０ｄＢ／ｄｅｃ．以上にすることができ、信号とノイズとの減衰量の差を大きくすることができる。
【００３９】
請求項１２の発明は、前記グランド電極の厚さ寸法は前記フィルタ用伝送線路の厚さ寸法よりも薄く形成したことにある。
【００４０】
これにより、ノイズフィルタ全体の厚さ寸法を薄くすることができ、小型化を図ることができる。また、伝送線路の厚さ寸法をグランド電極に比べて厚くすることができるから、伝送線路の直流抵抗を小さくすることができ、より大きな電流を流すことができる。
【００４１】
請求項１３の発明は、前記インダクタ用磁性体シートおよびフィルタ用磁性体シートは磁性特性をもったセラミックス材料によって形成したことにある。これにより、磁性体シートを重ね合わせた状態で焼成することによってノイズフィルタを形成することができる。この場合、請求項１４の発明のように、各磁性体シートを焼結したフェライトによって形成することが好ましい。
【００４２】
請求項１５の発明は、前記インダクタ用磁性体シートおよびフィルタ用磁性体シートは磁性粉を混入した樹脂材料によって形成したことにある。これにより、各磁性体シートを接着剤を用いて接合することによってノイズフィルタを形成することができ、焼成等の製造工程を省くことができ、生産性を向上させることができる。
【００４３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態によるノイズフィルタを、図１ないし図２１に基づき詳細に説明する。
【００４４】
図１ないし図６は第１の実施の形態に係り、１は本実施の形態によるノイズフィルタで、該ノイズフィルタ１は後述するインダクタ部２とフィルタ部８とによって大略構成されている。また、ノイズフィルタ１の遮断周波数ｆcは、例えば２００ＭＨｚから２ＧＨｚ程度の範囲内の値（２００ＭＨｚ≦ｆc≦２ＧＨｚ）に設定されている。
【００４５】
２はダンピング抵抗をなすインダクタ部で、該インダクタ部２は、インダクタ用磁性体シート３と、該インダクタ用磁性体シート３の表面に設けられたインダクタ用伝送線路４とによって構成されている。ここで、インダクタ用磁性体シート３は、略四角形の板状に形成され、例えばフェライト等の磁性特性を有するセラミックス材料によって形成されている。
【００４６】
また、インダクタ用伝送線路４は、例えば銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料によって渦巻き状に形成され、その一端側がインダクタ用磁性体シート３の長さ方向（図１中の左，右方向）一端側に向けて延びると共に、後述の信号用外部電極１６に接続された電極部４Ａをなしている。一方、インダクタ用伝送線路４の他端側は、磁性体シート３，９を貫通して内部に導電性ペースト等が充填されたスルーホール５を通じて後述のフィルタ用伝送線路１１に接続されている。
【００４７】
そして、インダクタ用伝送線路４の特性インピーダンス値は、例えば高周波信号のクロック周波数においてノイズフィルタ１の接続対象となる後述の伝送線路２２の特性インピーダンス値とドライバＩＣ２１の出力インピーダンス値との差の値と同程度の値に設定されている。
【００４８】
なお、インダクタ用伝送線路４のうち自身を跨ぐ途中部位はフェライト等からなる絶縁膜６によって覆われている。これにより、インダクタ用伝送線路４の途中部位が短絡するのを防いでいる。また、インダクタ用磁性体シート３の表面には、インダクタ用伝送線路４を覆う保護膜としての磁性体シート７が設けられている。
【００４９】
８は分布定数型フィルタをなすフィルタ部で、該フィルタ部８は、インダクタ用磁性体シート３の裏面側に積み重ねて設けられた２枚のフィルタ用磁性体シート９，１０と、該磁性体シート９，１０の間に設けられインダクタ用伝送線路４に直列接続された後述のフィルタ用伝送線路１１と、伝送線路１１を含んで磁性体シート９，１０を挟む後述の２枚のグランド電極１２，１３によって構成されている。そして、磁性体シート１０の裏面側には、グランド電極１３を覆う保護膜としての磁性体シート１４が設けられている。
【００５０】
また、フィルタ用磁性体シート９，１０は、インダクタ用磁性体シート３とほぼ同形状をなす略四角形の板状に形成され、例えばフェライト等の磁性特性を有するセラミックス材料によって形成されている。そして、２枚のグランド電極１２，１３に挟まれた磁性体シート９，１０は、その比透磁率μrが例えば４から３０程度の範囲内の値（４≦μr≦３０）に設定されている。
【００５１】
また、フィルタ用磁性体シート９，１０は、磁性体シート３，７，１４と相互に重なり合って積層した状態でプレスした後に焼成される。これにより、これらの磁性体シート３，７，９，１０，１４は積層体１５を形成している。
【００５２】
なお、磁性体シート９，１０と磁性体シート３，７，１４とは異なる材料を用いる構成としてもよい。即ち、磁性体シート３にはインダクタ部のインダクタンス値を高めるために磁性体シート９，１０よりも比透磁率が大きな材料を用い、磁性体シート７には絶縁性の樹脂皮膜を用い、磁性体シート１４にはアルミナ等の絶縁性のセラミック基板（絶縁性基板）を用いてもよい。但し、製造コストの低減するためには、５枚の磁性体シート３，７，９，１０，１４は全て同じ材料を用いることが好ましい。
【００５３】
１１はフィルタ用磁性体シート９，１０間に配設されたフィルタ用伝送線路で、該フィルタ用伝送線路１１は、例えば銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料によってジグザグ状に蛇行した略帯状に形成され、その全長に亘って一定の幅寸法Ａを有している。そして、フィルタ用伝送線路１１の一端側は、磁性体シート３，９を貫通したスルーホール５を通じてインダクタ用伝送線路４に接続されている。一方、フィルタ用伝送線路１１の他端側は、磁性体シート９，１０の長さ方向他端側に向けて延びると共に、後述の信号用外部電極１７に接続された電極部１１Ａをなしている。そして、フィルタ用伝送線路１１は、磁性体シート９，１０の厚さ方向に対して２枚のグランド電極１２，１３間の略中央に位置し、略全長に亘って２枚のグランド電極１２，１３によって覆われている。
【００５４】
ここで、フィルタ用伝送線路１１の幅寸法をＡ、２枚のグランド電極１２，１３間の距離寸法をＢ、磁性体シート９，１０の透磁率をμ、磁性体シート９，１０の誘電率をεとしたときには、伝送線路１１の特性インピーダンスＷは以下の数２の式に示す値となる。
【００５５】
【数２】
2004207902.tif 000004
【００５６】
また、伝送線路１１の長さ寸法Ｌ（全長）は、磁性体シート９，１０の比透磁率μrに対して例えば以下の数３の式を満たす値に設定されている。
【００５７】
【数３】
2004207902.tif 000005
【００５８】
なお、小型のチップ部品によってノイズフィルタ１を構成する場合には、伝送線路の長さ寸法Ｌは、例えば１００ｍｍ以下である必要がある。一方、磁性体シート９，１０の比透磁率μrは４≦μr≦３０に設定されている。このため、Ｌ／√（μr−１）の値は、以下の数４の式に示すように３ｍｍ以上かつ２０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００５９】
【数４】
2004207902.tif 000006
【００６０】
１２，１３は磁性体シート９の表面と磁性体シート１０の裏面とにそれぞれ設けられた２枚のグランド電極で、これらのグランド電極１２，１３は、フィルタ用磁性体シート９，１０を上，下方向（厚さ方向）から挟むものである。また、各グランド電極１２，１３は、例えば銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料を用いて略四角形の平板状に形成され、磁性体シート９，１０を略全面に亘って覆っている。さらに、グランド電極１２，１３のうち略四角状をなす磁性体シート９，１０の長さ方向（図２中の左，右方向）中間位置には、幅方向（図２中の前，後方向）両端側に向けて舌状に突出して延びる電極部１２Ａ，１３Ａがそれぞれ設けられ、該電極部１２Ａ，１３Ａは後述のグランド用外部電極１８に接続されている。
【００６１】
そして、グランド電極１２は、フィルタ用磁性体シート９とインダクタ用磁性体シート３との間に挟まれた状態でフィルタ用磁性体シート９の表面に配設されている。一方、グランド電極１３は、フィルタ用磁性体シート１０の裏面に配設されると共に、保護膜としての磁性体シート１４によって覆われている。
【００６２】
１６，１７は積層体１５（磁性体シート３，７，９，１０，１４）の長さ方向両端側にそれぞれ設けられた第１，第２の信号用外部電極で、該各信号用外部電極１６，１７は、積層体１５の端面を覆うと共に、その表面、裏面および側面をも筒状に覆っている。また、信号用外部電極１６，１７は、例えば積層体１５の両端側に導電性金属材料を塗布した後に、この導電性金属材料を焼き付けることによって固定されている。そして、信号用外部電極１６はインダクタ用伝送線路４の電極部４Ａに接続され、信号用外部電極１７はフィルタ用伝送線路１１の電極部１１Ａに接続されている。
【００６３】
１８は積層体１５の長さ方向中間位置で幅方向の両端側にそれぞれ設けられたグランド用外部電極で、該グランド用外部電極１８は、略コ字状をなし、積層体１５の側面に厚さ方向に沿って帯状に延びると共に、その一部が積層体１５の表面と裏面とに延伸している。そして、グランド用外部電極１８は、例えば積層体１５の側面側に導電性金属材料を塗布した状態で焼き付けることによって固定され、グランド電極１２，１３の電極部１２Ａ，１３Ａにそれぞれ接続されている。
【００６４】
本実施の形態によるノイズフィルタ１は上述の如く構成されるものであり、次にその作動について図１ないし図８を参照しつつ説明する。
【００６５】
まず、図７に示すように、例えばドライバＩＣ２１と伝送線路２２を通じてレシーバＩＣ２３が接続された回路に対して、ドライバＩＣ２１と伝送線路２２との間にノイズフィルタ１を接続する。このとき、インダクタ部２に接続された信号用外部電極１６をドライバＩＣ２１側に接続し、フィルタ部８に接続された信号用外部電極１７を伝送線路２２側に接続すると共に、グランド用外部電極１８をグランド端子に接続する。これにより、ドライバＩＣ２１から出力された信号は、インダクタ部２のインダクタ用伝送線路４およびフィルタ部８のフィルタ用伝送線路１１を通じて伝送線路２２に伝達されると共に、グランド電極１２，１３はグランド電位に保持される。
【００６６】
ここで、インダクタ用伝送線路４のインダクタンスによってインダクタ部２のインピーダンスが生じるから、インダクタ部２をダンピング抵抗として機能させることができ、ドライバＩＣ２１の出力抵抗が低いときでもフィルタ部８に向けて確実に信号を伝達することができる。
【００６７】
また、フィルタ部８は図８に示すように分布定数型のフィルタを構成すると共に、磁性体シート９，１０を構成するフェライト等の磁性材料はフィルタ用伝送線路１１を通過する信号の周波数が高くなるに従って信号の熱損失が増大する傾向がある。このため、このような熱損失を用いることによって低域通過型フィルタを構成することができるから、伝送線路１１は、例えば２００ＭＨｚから２ＧＨｚ程度に設定された遮断周波数ｆcよりも低い周波数（１００ＭＨｚ〜１ＧＨｚ程度）の信号を通過させ、これよりも高い周波数の信号をノイズとして減衰し、抑制することができる。
【００６８】
また、伝送線路１１の幅寸法Ａ、磁性体シート９，１０の厚さ寸法（グランド電極１２，１３間の距離寸法Ｂ）を適宜設定することによってフィルタ部８の特性インピーダンスＷを設定することができる。さらに、磁性材料の比誘電率は信号の周波数に関係なくほぼ一定値となるから、特性インピーダンスＷを信号の周波数に依らずほぼ一定値に保持することができる。このため、ノイズフィルタ１に接続される回路に対して、ほぼ全ての周波数領域についてインピーダンス整合を取ることができ、ノイズフィルタ１の反射損失を低下させ、共振によるノイズの増大を防止することができる。
【００６９】
さらに、２枚の磁性体シート９，１０間に伝送線路１１を配設すると共に、当該２枚の磁性体シート９，１０を２枚のグランド電極１２，１３によって挟む構成としたから、２枚のグランド電極１２，１３によって磁性体シート９，１０間に位置する伝送線路１１をその全長に亘って覆うことができる。このため、伝送線路１１の全長に亘って特性インピーダンスＷを一定値に設定できるから、伝送線路１１の途中でノイズに反射が生じることがなく、ノイズの共振を抑制することができる。また、伝送線路１１を通過する信号をグランド電極１２，１３間に閉じ込めることができ、通過帯域での信号の減衰を防止できると共に、外部からの伝送線路１１中にノイズが混入するのを防ぐことができ、信号を確実に伝達することができる。
【００７０】
なお、ノイズフィルタ１の遮断周波数ｆcは、磁性体シート９，１０の磁性材料の組成（磁性体シート９，１０の比透磁率μr）および伝送線路１１の長さ寸法Ｌを調整することによって適宜設定できるものである。
【００７１】
そこで、次に磁性体シート９，１０の比透磁率μrおよび伝送線路１１の長さ寸法Ｌに対する遮断周波数ｆcの関係について、図９ないし図１４を参照しつつ検討する。
【００７２】
まず、磁性体シート９，１０の比透磁率μrを一定の値として例えば１０とし（μr＝１０）、伝送線路１１の長さ寸法Ｌを５ｍｍ、１０ｍｍ、２０ｍｍ、５０ｍｍにそれぞれ設定し、フィルタ部８のシミュレーションを行った。この結果、図９に示すように４種類の伝送線路１１の長さ寸法Ｌに対応して、４本の減衰曲線を得た。
【００７３】
図９の結果より、伝送線路１１の長さ寸法Ｌが長くなるに従って、遮断周波数ｆc（減衰量が−３ｄＢとなる周波数）は低下すると共に、例えば減衰量が−１０ｄＢ付近での減衰曲線の傾き（周波数変化に対する減衰量変化の割合）は増加することが分かる。
【００７４】
一方、伝送線路１１の長さ寸法Ｌを一定の値として例えば５０ｍｍとし（Ｌ＝５０ｍｍ）、磁性体シート９，１０の比透磁率μrを３，５，１０，２０，３０にそれぞれ設定し、フィルタ部８のシミュレーションを行った。この結果、図１０に示すように５種類の比透磁率μrに対応して、５本の減衰曲線を得た。
【００７５】
図１０の結果より、比透磁率μrが大きくなるに従って、遮断周波数ｆcは低下するものの、例えば減衰量が−１０ｄＢ付近での減衰曲線の傾きは減少することが分かる。
【００７６】
これらの特性を本願発明者等が鋭意検討した結果、伝送線路１１の長さ寸法Ｌと磁性体シート９，１０の比透磁率μrとに基づいて以下の数５の式によって定まる定数Ｃ［ｍｍ］が同一となる場合に、長さ寸法Ｌ、比透磁率μrが異なるときであっても、減衰曲線の形状（傾き）はほぼ同一となることが分かった。
【００７７】
【数５】
2004207902.tif 000007
【００７８】
例えば、図１１は、定数Ｃを一定の値として例えば２０ｍｍとし（Ｃ＝２０ｍｍ）、磁性体シート９，１０の比透磁率μrを３，５，１０，２０，３０にそれぞれ設定すると共に、伝送線路１１の長さ寸法Ｌを３５ｍｍ、４５ｍｍ、６３ｍｍ、８９ｍｍ、１０９ｍｍにそれぞれ設定し、シミュレーションを行った場合の減衰曲線を示している。
【００７９】
また、図１２は、定数Ｃを一定の値として例えば３ｍｍとし（Ｃ＝３ｍｍ）、磁性体シート９，１０の比透磁率μrを３，５，１０，２０，３０にそれぞれ設定すると共に、伝送線路１１の長さ寸法Ｌを５．１９ｍｍ、６．７２ｍｍ、９．４８ｍｍ、１３．４ｍｍ、１６．４ｍｍにそれぞれ設定し、シミュレーションを行った場合の減衰曲線を示している。
【００８０】
このように、定数Ｃが同一となる場合には、比透磁率μrが大きくなるに従って、遮断周波数ｆcは低下するものの、長さ寸法Ｌ、比透磁率μrが異なるときでも、減衰曲線の形状（傾き）はほぼ同一となる。また、定数Ｃは大きくなるに従って、減衰曲線の傾きは大きくなる。
【００８１】
そこで、定数Ｃと減衰量が−１０ｄＢ付近での減衰曲線の傾きとの関係を検討したところ、図１１に示す結果を得た。ここで、一般にノイズ対策に用いられるバイパスコンデンサの減衰曲線の傾きは２０ｄＢ／ｄｅｃ．であり、ノイズ対策部品として用いるにはこれ以上の傾きを有していることが望ましい。図１１の結果より、定数Ｃが３ｍｍ以上であれば、減衰曲線の傾きが２０ｄＢ／ｄｅｃ．以上となり、ノイズ対策部品として優れた効果を発揮することが分かる。
【００８２】
また、図１１および図１２の結果より、比透磁率μrが同じ値となる場合には、定数Ｃが小さくなるに従って、遮断周波数ｆc（減衰量が−３ｄＢとなる周波数）が高くなることが分かる。このため、フィルタ部８の最高の遮断周波数ｆcを検討するために、定数Ｃを３ｍｍとし（Ｃ＝３ｍｍ）、比透磁率μrと遮断周波数ｆcとの関係を検討した。この結果を図１４に示す。
【００８３】
ここで、近年は、デジタル機器同士で情報伝達を行う手段として無線ＬＡＮが普及し始めており、この無線ＬＡＮには例えば２．４５ＧＨｚおよび５ＧＨｚ程度の高周波の信号が用いられている。このため、これらの高周波の信号に対してデジタル機器内の低周波（数百ＭＨｚ程度）の信号を保護するためには、遮断周波数が２ＧＨｚ以下であるノイズフィルタが必要となっている。そこで、図１４の結果を検討すると、遮断周波数ｆcを２ＧＨｚに設定するためには、比透磁率μrを４程度に設定すればよいことが分かる。
【００８４】
なお、数５の式によれば、定数Ｃは√（μr−１）に反比例しているから、伝送線路１１の長さ寸法Ｌが一定であれば、比透磁率μrは小さい値に設定した方が、定数Ｃを大きくして減衰曲線の傾きを大きくすることができる。また、定数Ｃが一定であれば、比透磁率μrは小さい値に設定した方が、伝送線路１１の長さ寸法Ｌを短くすることができ、ノイズフィルタ１を小型化することができる。
【００８５】
従って、比透磁率μrはできるだけ小さい値として４程度に設定することが望ましい。但し、図１４の結果によれば、定数Ｃが最小値である３ｍｍとしたとき（Ｃ＝３ｍｍ）に、比透磁率μrは３０程度に設定しても、遮断周波数ｆcをデジタル機器等で必要となる２００ＭＨｚ程度に設定することができる。このため、比透磁率μrは、４以上かつ３０以下の範囲内（４≦μr≦３０）に設定することが好ましい。
【００８６】
また、伝送線路１１の長さ寸法Ｌは、長くなるほど定数Ｃが増大するから、できるだけ長い値に設定することが好ましい。しかし、長さ寸法Ｌが長くなるに従ってノイズフィルタ１の全体形状が大きくなるから、ノイズフィルタ１を実用的な大きさにするためには、長さ寸法Ｌはおよそ１００ｍｍ以下である必要がある。ここで、比透磁率μrの最小値は４だから、定数Ｃの最大値はおよそ２０程度となる。従って、定数Ｃは、３ｍｍ以上かつ２０ｍｍ以下の範囲内（３ｍｍ≦Ｃ≦２０ｍｍ）に設定することが好ましい。
【００８７】
かくして、本実施の形態によれば、ノイズフィルタ１にはインダクタ用磁性体シート３とインダクタ用伝送線路４とからなるインダクタ部２を設けたから、伝送線路４のインピーダンスによってインダクタ部２をダンピング抵抗として機能させることができ、ドライバＩＣ２１の出力抵抗が低いときでもフィルタ部８に向けて確実に信号を伝達することができる。
【００８８】
また、インダクタ部２とフィルタ部８とを一体形成してノイズフィルタ１を構成したから、ダンピング抵抗を別途接続する必要がなく、ダンピング抵抗の組み付けに伴う手間を省くことができる。さらに、インダクタ部２はフィルタ部８と同様に磁性体シート３と伝送線路４とによって構成したから、フィルタ部８と同様の製造工程を付加することによって、容易にインダクタ部２を形成することができる。このため、ダンピング抵抗とノイズフィルタとを別途製造した場合に比べて、製造コストを低減することができる。
【００８９】
また、インダクタ用伝送線路４のインピーダンス値は、信号周波数において接続対象となる伝送線路２２の特性インピーダンス値とドライバＩＣ２１の出力インピーダンス値との差の値と同程度の値に設定したから、これらの伝送線路４，２２間でインピーダンス整合を取ることができ、高周波信号の反射を小さくすることができる。
【００９０】
さらに、インダクタ部２の伝送線路４を渦巻き状に形成したから、伝送線路４によって形成される磁束を相互に足し合わせてインダクタンスを大きくすることができ、インダクタ部２のインピーダンスを高めることができる。
【００９１】
また、フィルタ部８では２枚のフィルタ用磁性体シート９，１０間にフィルタ用伝送線路１１と配設すると共に、これらの磁性体シート９，１０を２枚のグランド電極１２，１３によって覆う構成としたから、磁性体シート９，１０を構成する磁性材料の熱損失を用いることによってノイズを抑制することができる。また、伝送線路１１の特性インピーダンスＷを信号の周波数に依らずほぼ一定値に保持することができるから、外部の回路とのインピーダンス整合を容易に取ることができる。このため、ノイズフィルタ１の反射損失を低下させることができ、共振によるノイズの増大を防止することができる。
【００９２】
また、フィルタ部８の２枚のグランド電極１２，１３によって磁性体シート９，１０間に位置する伝送線路１１をその全長に亘って覆うことができるから、伝送線路１１の全長に亘って特性インピーダンスＷを一定値に設定することができ、伝送線路１１の途中でノイズが反射することがないのに加え、伝送線路１１を通過する信号をグランド電極１２，１３間に閉じ込めることができる。このため、通過帯域での信号の減衰を防止できると共に、外部からの伝送線路１１中にノイズが混入するのを防ぐことができ、信号を確実に伝達することができる。
【００９３】
さらに、磁性体シート３，９，１０等は略四角状に形成し、該磁性体シート３，９，１０の長さ方向両端側には伝送線路４，１１にそれぞれ接続された信号用外部電極１６，１７を設け、該磁性体シート３，９，１０の長さ方向中間位置にはグランド電極１２，１３に接続されたグランド用外部電極１８を設ける構成としたから、直線状に延びる配線の途中に磁性体シート３，９，１０の長さ方向両端側に位置する信号用外部電極１６，１７を容易に接続することができる。また、磁性体シート３，９，１０の長さ方向中間位置に設けられたグランド用外部電極１８も配線の周辺に設けられたグランド端子に容易に接続することができるから、ノイズフィルタ１の組付け性を向上することができる。
【００９４】
また、磁性体シート９，１０の比透磁率μrを４≦μr≦３０の範囲内に設定すると共に、定数Ｃが３ｍｍ以上（Ｃ≧３ｍｍ）となるように、伝送線路１１の長さ寸法Ｌを設定したから、遮断周波数ｆcの範囲を容易に実用的な周波数帯である２００ＭＨｚ≦ｆc≦２ＧＨｚの範囲内に設定することができる。さらに、ノイズの減衰曲線の傾きは、伝送線路１１の長さ寸法Ｌに比例して大きくなると共に、√（μr−１）に反比例して大きくなる傾向がある。このため、磁性体シート９，１０の比透磁率μrを４≦μr≦３０の範囲に設定し、定数Ｃを３ｍｍ以上に設定することによって、ノイズの減衰曲線の傾きを例えば２０ｄＢ／ｄｅｃ．以上にすることができる。この結果、信号とノイズとの減衰量の差を大きくすることができるから、信号は減衰させずに通過させることができると共に、ノイズを確実に減衰させることができる。
【００９５】
さらに、フィルタ用伝送線路１１は蛇行したジグザグ状に形成したから、伝送線路１１を直線状に形成した場合に比べて、その長さ寸法Ｌを増加させることができ、ノイズの減衰量を増加させることができる。
【００９６】
次に、図１５ないし図１８は本発明の第２の実施の形態によるノイズフィルタを示し、本実施の形態によるノイズフィルタの特徴は、インダクタ部を複数枚のインダクタ用磁性体シート間に設けられた複数層のインダクタ用伝送線路を直列接続することによって構成し、フィルタ部を複数枚のフィルタ用磁性体シート間にフィルタ用伝送線路とグランド電極とを交互に積み重ね、複数層のフィルタ用伝送線路を直列接続する構成としたことにある。
【００９７】
３１は本実施の形態によるノイズフィルタで、該ノイズフィルタ３１は後述するインダクタ部３２とフィルタ部４６とによって大略構成されている。
【００９８】
３２はダンピング抵抗をなすインダクタ部で、該インダクタ部３２は、例えば４枚のインダクタ用磁性体シート３３〜３６と、該インダクタ用磁性体シート３３〜３６の表面にそれぞれ設けられた後述のインダクタ用伝送線路３７〜４０とによって構成されている。そして、インダクタ用磁性体シート３３〜３６は、略四角形の板状に形成され、例えばフェライト等の磁性特性を有するセラミックス材料によって形成されている。
【００９９】
３７〜４０は磁性体シート３３〜３６の表面にそれぞれ配設された合計４層のインダクタ用伝送線路で、該各伝送線路３７〜４０は、導電性金属材料によって折返し部を有する略コ字状または円弧状をなして形成されている。
【０１００】
ここで、伝送線路３７の一端側は、インダクタ用磁性体シート３３の一端側に向けて延びると共に、後述の信号用外部電極５９に接続された電極部３７Ａをなしている。一方、伝送線路３７の他端側は、磁性体シート３３を貫通して内部に導電性ペースト等が充填されたスルーホール４１を通じて伝送線路３８の一端側に接続されている。また、伝送線路３８の他端側は磁性体シート３４を貫通するスルーホール４２を通じて伝送線路３９の一端側に接続され、伝送線路３９の他端側は磁性体シート３５を貫通するスルーホール４３を通じて伝送線路４０の一端側に接続されている。さらに、伝送線路４０の他端側は磁性体シート３６，４７を貫通するスルーホール４４を通じて後述のフィルタ用伝送線路５１の一端側に接続されている。
【０１０１】
これにより、伝送線路３７〜４０は、互いに直列接続され、磁性体シート３３〜３６の厚さ方向に対して略四角形または円形の開口を有する枠型のコイル状（螺旋状）をなしている。
【０１０２】
また、インダクタ用伝送線路３７〜４０のインピーダンス値は、例えば高周波信号のクロック周波数においてノイズフィルタ１の接続対象となる伝送線路の特性インピーダンス値とドライバＩＣの出力インピーダンス値との差の値と同程度の値に設定されている。さらに、インダクタ用磁性体シート３３の表面には、インダクタ用伝送線路３７を覆う保護膜としての磁性体シート４５が設けられている。
【０１０３】
４６は分布定数型フィルタをなすフィルタ部で、該フィルタ部４６は、最裏面側のインダクタ用磁性体シート３６に対してその裏面に積み重ねて設けられた４枚のフィルタ用磁性体シート４７〜５０と、磁性体シート４７，４８間と磁性体シート４９，５０間にそれぞれ設けられ互いに直列接続された後述のフィルタ用伝送線路５１，５２と、磁性体シート４７の表面、磁性体シート４８，４９間、磁性体シート５０の裏面にそれぞれ設けられた後述する３枚のグランド電極５３〜５５によって構成されている。
【０１０４】
これにより、最表面層と最裏面層とにグランド電極５３，５５が配置される状態で磁性体シート４７〜５０間には伝送線路５１，５２とグランド電極５４とが交互に積み重ねられている。また、磁性体シート５０の裏面側には、グランド電極５５を覆う保護膜としての磁性体シート５６が設けられている。
【０１０５】
そして、フィルタ用磁性体シート４７〜５０は、グランド電極５３〜５５に挟まれると共に、インダクタ用磁性体シート３３〜３６とほぼ同形状の略四角形の板状をなし、第１の実施の形態による磁性体シート９，１０とほぼ同様のフェライト等の磁性特性を有するセラミックス材料によって形成されている。
【０１０６】
また、フィルタ用磁性体シート４７〜５０は、磁性体シート３３〜３６，４５，５６と相互に重なり合って積層した状態でプレスした後に焼成される。これにより、これらの磁性体シート３３〜３６，４５，４７〜５０，５６は積層体５７を形成している。
【０１０７】
５１，５２はフィルタ用磁性体シート４７，４８間とフィルタ用磁性体シート４９，５０間にそれぞれ配設されたフィルタ用伝送線路で、該フィルタ用伝送線路５１は、第１の実施の形態による伝送線路１１とほぼ同様に例えば銀ペースト、パラジウム等の導電性金属材料によってジグザグ状に蛇行した略帯状に形成され、その全長に亘って一定の幅寸法を有している。
【０１０８】
そして、フィルタ用伝送線路５１の一端側は、磁性体シート３６，４７を貫通したスルーホール４４を通じてインダクタ用伝送線路４０に接続され、フィルタ用伝送線路５１の他端側は、磁性体シート４８，４９を貫通したスルーホール５８を通じてフィルタ用伝送線路５２の一端側に接続されている。また、フィルタ用伝送線路５２の他端側は、磁性体シート５０の長さ方向他端側に向けて延びると共に、後述の信号用外部電極６０に接続された電極部５２Ａをなしている。
【０１０９】
そして、伝送線路５１，５２の特性インピーダンスは、第１の実施の形態による伝送線路１１と同様に伝送線路５１，５２の幅寸法、隣り合うグランド電極５３〜５５間の距離寸法、磁性体シート４７〜５０の透磁率、誘電率によって決定される。このため、伝送線路５１，５２の幅寸法をほぼ等しい値に設定すると共に、磁性体シート４７〜５０の厚さ寸法をほぼ等しい値に設定することによって、伝送線路５１，５２の全長に亘って特性インピーダンスを一定値に設定することができる。
【０１１０】
５３〜５５は各層の伝送線路５１，５２を挟むように磁性体シート４７〜５０の間にそれぞれ設けられた合計３枚のグランド電極で、グランド電極５３は磁性体シート４７の表面に配置され、グランド電極５４は磁性体シート４８，４９の間に配置されると共に、グランド電極５５は磁性体シート５０の裏面に配置されている。
【０１１１】
そして、グランド電極５３〜５５は、導電性金属材料を用いて略四角形の平板状に形成され、磁性体シート４７〜５０を略全面に亘って覆っている。さらに、グランド電極５３〜５５には第１の実施の形態によるグランド電極１２，１３とほぼ同様に幅方向両端側に向けて突出した電極部５３Ａ〜５５Ａが設けられ、該電極部５３Ａ〜５５Ａは後述のグランド用外部電極６１に接続されている。
【０１１２】
５９，６０は積層体５７（磁性体シート３３〜３６，４５，４７〜５０，５６）の長さ方向両端側にそれぞれ設けられた導電性金属材料からなる第１，第２の信号用外部電極で、該各信号用外部電極５９，６０は、第１の実施の形態による信号用外部電極１６，１７と同様に積層体５７の端面を覆うと共に、その表面、裏面および側面をも筒状に覆っている。そして、信号用外部電極５９はインダクタ用伝送線路３７の電極部３７Ａに接続され、信号用外部電極６０はフィルタ用伝送線路５２の電極部５２Ａに接続されている。
【０１１３】
６１は積層体５７の長さ方向中間位置で幅方向の両端側にそれぞれ設けられた導電性金属材料からなるグランド用外部電極で、該グランド用外部電極６１は、略コ字形状をなし、積層体５７の側面に厚さ方向に沿って帯状に延びると共に、その一部が積層体５７の表面と裏面とに延伸している。そして、グランド用外部電極６１は、グランド電極５３〜５５の電極部５３Ａ〜５５Ａに接続されている。
【０１１４】
かくして、このように構成される本実施の形態でも、前記第１の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得ることができるが、特に本実施の形態では、インダクタ部３２を複数層の伝送線路３７〜４０を直列接続することによって構成すると共に、フィルタ部４６を複数層の伝送線路５１，５２を直列接続することによって構成している。このため、インダクタ部３２、フィルタ部４６のインピーダンスを高めることができると共に、フィルタ部４６を通過するノイズに対する熱損失を増大させ、その減衰量を増加させることができる。
【０１１５】
また、伝送線路５１，５２の幅寸法、磁性体シート４７〜５０の厚さ寸法を全てほぼ等しい値に設定することによって、積層された各層の伝送線路５１，５２での特性インピーダンスを相互にほぼ一致させることができるから、伝送線路５１，５２の途中で特性インピーダンスが変化することがなく、外部の回路との間でインピーダンス整合を容易に取ることができる。
【０１１６】
次に、図１９は本発明の第３の実施の形態によるノイズフィルタを示し、本実施の形態によるノイズフィルタの特徴は、インダクタ用磁性体シートの裏面にフィルタ用磁性体シートを設け、該フィルタ用磁性体シートの裏面にフィルタ用伝送線路と設けると共に、インダクタ用磁性体シートとフィルタ用磁性体シートとの間にグランド電極を設けることによってフィルタ部を構成したことにある。なお、本実施の形態では第１の実施の形態と同一の構成要素に同一の符合を付し、その説明を省略するものとする。
【０１１７】
７１は本実施の形態によるフィルタ部で、該フィルタ部７１は、インダクタ用磁性体シート３の裏面側に積み重ねて設けられた１枚のフィルタ用磁性体シート７２と、該磁性体シート７２の裏面に設けられインダクタ用伝送線路４に直列接続された後述のフィルタ用伝送線路７３と、磁性体シート３，７２の間に位置して磁性体シート７２の表面に設けられた後述のグランド電極７４とによって構成されている。そして、磁性体シート７２の裏面側には、グランド電極７４を覆う保護膜としての磁性体シート７５が設けられている。
【０１１８】
また、フィルタ用磁性体シート７２は、インダクタ用磁性体シート３とほぼ同形状をなす略四角形の板状に形成され、例えばフェライト等の磁性特性を有するセラミックス材料によって形成されている。そして、フィルタ用磁性体シート７２は、磁性体シート３，７，７５と相互に重なり合って積層した状態でプレスした後に焼成される。これにより、これらの磁性体シート３，７，７２，７５は積層体７６を形成している。
【０１１９】
７３はフィルタ用磁性体シート７２の裏面に配設されたフィルタ用伝送線路で、該フィルタ用伝送線路７３は、第１の実施の形態による伝送線路１１とほぼ同様に導電性金属材料によってジグザグ状に蛇行した略帯状に形成され、その全長に亘って一定の幅寸法を有している。そして、フィルタ用伝送線路７３の一端側は、磁性体シート３，７２を貫通したスルーホール５を通じてインダクタ用伝送線路４に接続されている。一方、フィルタ用伝送線路７３の他端側は、磁性体シート７２の長さ方向他端側に向けて延びると共に、第２の信号用外部電極(図示せず)に接続された電極部７３Ａをなしている。
【０１２０】
７４は磁性体シート３，７２間に位置して磁性体シート７２の表面に設けられたグランド電極で、該グランド電極７４は、第１の実施の形態によるグランド電極１２等とほぼ同様に導電性金属材料を用いて略四角形の平板状に形成され、磁性体シート７２を略全面に亘って覆っている。また、グランド電極７４には電極部７４Ａが設けられ、該電極部７４Ａはグランド用外部電極(図示せず)に接続されている。
【０１２１】
かくして、本実施の形態では、磁性体シート７２の裏面に伝送線路７３を設けると共に、磁性体シート７２の表面に設けたグランド電極７４によって該伝送線路７３を覆うことによってフィルタ部７１を構成したから、第１の実施の形態と同様に、磁性体シート７２等の熱損失を利用してノイズを抑制することができる。
【０１２２】
また、伝送線路７３の幅寸法、磁性体シート７２の厚さ寸法を適宜設定することによって、ノイズフィルタの特性インピーダンスを設定することができると共に、該特性インピーダンスを信号の周波数に依らずほぼ一定値に保持することができる。このため、ほぼ全ての周波数領域についてノイズフィルタに接続される回路に対するインピーダンス整合を取ることができ、ノイズフィルタの反射損失を低下させることができる。
【０１２３】
さらに、グランド電極７４によって伝送線路７３を全長に亘って覆うから、伝送線路７３の全長に亘って特性インピーダンスを一定値に設定でき、伝送線路７３の途中でノイズが反射するのを防止でき、ノイズの共振を抑制することができる。
【０１２４】
特に、本実施の形態では、１枚のグランド電極７４を用いてフィルタ部７１を構成するから、２枚のグランド電極を用いる場合に比べてフィルタ部７１の構成を簡略化することができ、製造コストを低減することができる。
【０１２５】
なお、前記第１，第３の実施の形態では、１枚の磁性体シート３と１層の伝送線路４とからなるインダクタ部２をフィルタ部８，７１に接続する構成とした。しかし、本発明はこれに限らず、例えば第２の実施の形態のように複数枚の磁性体シート３３〜３６と複数層の伝送線路３７〜４０からなるインダクタ部３２を第１，第３の実施の形態によるフィルタ部８，７１に接続する構成としてもよい。
【０１２６】
また、前記第１の実施の形態では、２枚の磁性体シート９，１０間に伝送線路１１を挟んだ状態でこれらの磁性体シート９，１０を２枚のグランド電極１２，１３で挟むことによってフィルタ部８を構成し、該フィルタ部８をインダクタ部２に接続する構成とした。しかし、本発明はこれに限らず、例えば第２の実施の形態のように複数枚の磁性体シート４７〜５０間に伝送線路５１，５２とグランド電極５３〜５５とを交互の配設したフィルタ部４６を第１の実施の形態によるインダクタ部２に接続する構成としてもよい。
【０１２７】
また、前記各実施の形態では、フィルタ用伝送線路１１，５１，５２，７３は蛇行したジグザグ状に形成するものとしたが、直線状や渦巻き状に形成する構成としてもよく、第２の実施の形態のインダクタ部３２のように複数層に亘ってコイル状（螺旋状）に形成する構成としてもよい。
【０１２８】
また、図２０に示す第１の変形例のようにフィルタ部８′のグランド電極１２′，１３′の厚さ寸法Ｔ1を伝送線路１１′の厚さ寸法Ｔ2よりも薄く形成してもよい。これにより、ノイズフィルタ全体の厚さ寸法を薄くすることができ、小型化を図ることができる。また、伝送線路１１′の厚さ寸法Ｔ2をグランド電極１２′，１３′の厚さ寸法Ｔ1に比べて厚くすることができるから、伝送線路１１′の直流抵抗を小さくすることができ、より大きな電流を流すことができる。
【０１２９】
また、前記各実施の形態では、単一のノイズフィルタ１，３１に単一のインダクタ部２，３２とフィルタ部８，４６，７１を設けるものとしたが、例えば図２１に示す第２の変形例のように、単一のノイズフィルタ３１′にインダクタ部３２′とフィルタ部４６′を複数個ずつ設ける構成としてもよい。
【０１３０】
さらに、前記各実施の形態では、磁性体シート３，９，１０，３３〜３６，４７〜５０，７２をフェライト等のセラミックス材料によって形成し、これらを焼成する構成とした。しかし、本発明はこれに限らず、磁性体シートを樹脂材料にカルボニル鉄等の磁性粉を混入して形成してもよい。これにより、磁性体シートを接着剤を用いて接合することによって、ノイズフィルタを形成することができ、焼成等の製造工程を省くことができ、生産性を向上させることができる。なお、この場合、ノイズフィルタの遮断周波数は混入する磁性粉の組成および樹脂材料と磁性粉との割合および伝送線路の長さ寸法によって設定されるものである。
【０１３１】
【発明の効果】
以上詳述した通り、請求項１の発明によれば、ダンピング抵抗をなすインダクタ部と、該インダクタ部に接続されノイズを除去するフィルタ部とを一体形成する構成としたから、ダンピング抵抗を別途設ける場合に比べて、組付け作業を簡略化できると共に、製造コストを低減することができる。
【０１３２】
また、フィルタ部は、２枚のフィルタ用磁性体シート間にフィルタ用伝送線路を設けると共に、これらの磁性体シートを２枚のグランド電極によって挟む構成としたから、フィルタ用磁性体シートの熱損失を用いることによってノイズを抑制することができる。また、フィルタ用伝送線路の特性インピーダンスを信号の周波数に依らずほぼ一定値に保持することができるから、外部の回路とのインピーダンス整合を容易に取ることができ、ノイズフィルタの反射損失を低下させ、ノイズの増幅を防止することができる。
【０１３３】
さらに、フィルタ部は２枚のフィルタ用磁性体シートを２枚のグランド電極によって挟む構成としたから、フィルタ用伝送線路を通過する信号を２枚のグランド電極間に閉じ込めることができ、通過帯域での信号の減衰を防止できると共に、外部からの伝送線路中にノイズが混入するのを防ぐことができ、信号を確実に伝達することができる。
【０１３４】
請求項２の発明によれば、インダクタ部を複数枚のインダクタ用磁性体シートと複数層のインダクタ用伝送線路とによって構成したから、請求項１の発明による効果に加えて、インダクタ用伝送線路の全長を長くすることができ、インダクタ部のインピーダンスを高めることができる。
【０１３５】
請求項３の発明によれば、フィルタ部を複数枚のフィルタ用磁性体シートの間にフィルタ用伝送線路とグランド電極とを交互に配置して構成したから、フィルタ用伝送線路の全長を長くして、フィルタ用伝送線路を通過するノイズの減衰量を増加させることができる。
【０１３６】
この場合、請求項４の発明のように、フィルタ部に接続されるインダクタ部は複数枚のインダクタ用磁性体シートと複数層のインダクタ用伝送線路とによって構成してもよい。
【０１３７】
請求項５の発明によれば、１枚のフィルタ用磁性体シートを挟んでフィルタ用伝送線路とグランド電極とをそれぞれ設けることによってフィルタ部を構成したから、請求項１の発明による効果に加えて、フィルタ部の構成を簡略化することができ、製造コストを低減することができる。
【０１３８】
この場合、請求項６の発明のように、フィルタ部に接続されるインダクタ部は複数枚のインダクタ用磁性体シートと複数層のインダクタ用伝送線路とによって構成してもよい。
【０１３９】
請求項７の発明によれば、インダクタ用伝送線路のインピーダンス値を信号周波数において接続対象となる伝送線路の特性インピーダンス値とドライバＩＣの出力インピーダンス値との差の値と同程度の値に設定したから、接続対象となる伝送線路とインダクタ用伝送線路との間でインピーダンス整合を取ることができ、伝送すべき高周波信号の反射を小さくして確実に伝搬させることができる。
【０１４０】
請求項８の発明によれば、フィルタ用伝送線路を蛇行したジグザグ状に形成したから、フィルタ用伝送線路を直線状に形成した場合に比べて、その長さ寸法を増加させることができ、ノイズの減衰量を増加させることができる。
【０１４１】
請求項９の発明によれば、フィルタ用伝送線路は渦巻き状に形成したから、フィルタ用伝送線路によって形成される磁束を相互に足し合わせることができ、インダクタンスを大きくすることができると共に、フィルタ部のインピーダンスを高めることができる。
【０１４２】
請求項１０の発明によれば、インダクタ用磁性体シートおよびフィルタ用磁性体シートは略四角状に形成し、これら磁性体シートの長さ方向両端側にはインダクタ用伝送線路とフィルタ用伝送線路とがそれぞれ接続された第１，第２の信号用外部電極を設け、これら磁性体シートの長さ方向中間位置にはグランド電極に接続されたグランド用外部電極を設ける構成としたから、直線状に延びる配線の途中に磁性体シートの長さ方向両端側に位置する信号用外部電極を容易に接続することができる。また、磁性体シートの長さ方向中間位置に設けられたグランド用外部電極も配線の周辺に設けられたグランド端子に容易に接続することができるから、ノイズフィルタの組付け性を向上することができる。
【０１４３】
請求項１１の発明によれば、フィルタ用磁性体シートの比透磁率μrを４≦μr≦３０の範囲内に設定すると共に、Ｌ／√（μr−１）≧３となるようにフィルタ用伝送線路の長さ寸法Ｌを設定したから、遮断周波数の範囲を容易に実用的な周波数帯である２００ＭＨｚ≦ｆc≦２ＧＨｚの範囲内に設定することができる。また、フィルタ用磁性体シートの比透磁率μrを４≦μr≦３０の範囲に設定し、Ｌ／√（μr−１）≧３に設定したから、ノイズの減衰曲線の傾きを例えば２０ｄＢ／ｄｅｃ．以上にすることができ、信号とノイズとの減衰量の差を大きくすることができる。
【０１４４】
請求項１２の発明によれば、グランド電極の厚さ寸法をフィルタ用伝送線路の厚さ寸法よりも薄く形成したから、ノイズフィルタ全体の厚さ寸法を薄くすることができ、小型化を図ることができる。また、フィルタ用伝送線路の厚さ寸法をグランド電極に比べて厚くすることができるから、伝送線路の直流抵抗を小さくすることができ、より大きな電流を流すことができる。
【０１４５】
請求項１３の発明によれば、磁性体シートは磁性特性をもったセラミックス材料によって形成したから、磁性体シートを重ね合わせた状態で焼成することによってノイズフィルタを形成することができる。この場合、請求項１４の発明のように、磁性体シートを焼結したフェライトによって形成することが好ましい。
【０１４６】
請求項１５の発明によれば、磁性体シートは磁性粉を混入した樹脂材料によって形成したから、磁性体シートを接着剤を用いて接合することによって、ノイズフィルタを形成することができ、焼成等の製造工程を省くことができ、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態によるノイズフィルタを示す斜視図である。
【図２】図１中のノイズフィルタを分解して示す分解斜視図である。
【図３】ノイズフィルタを図１中の矢示III−III方向からみた断面図である。
【図４】ノイズフィルタを図１中の矢示IV−IV方向からみた断面図である。
【図５】フィルタ用伝送線路等を図２中の矢示Ｖ−Ｖ方向からみた平面図である。
【図６】図３中のａ部を拡大して示す要部拡大断面図である。
【図７】図１中のノイズフィルタを伝送線路等に接続した状態を示す回路図である。
【図８】図１中のノイズフィルタを示す等価回路図である。
【図９】磁性体シートの比透磁率μrを１０に設定したときの信号の周波数と減衰量との関係を示す特性線図である。
【図１０】フィルタ用伝送線路の長さ寸法Ｌを５０ｍｍに設定したときの信号の周波数と減衰量との関係を示す特性線図である。
【図１１】定数Ｃを２０ｍｍに設定したときの信号の周波数と減衰量との関係を示す特性線図である。
【図１２】定数Ｃを３ｍｍに設定したときの信号の周波数と減衰量との関係を示す特性線図である。
【図１３】定数Ｃと減衰曲線の傾きとの関係を示す特性線図である。
【図１４】遮断周波数ｆcとフィルタ用磁性体シートの比透磁率μrとの関係を示す特性線図である。
【図１５】第２の実施の形態によるノイズフィルタを示す斜視図である。
【図１６】図１５中のノイズフィルタを分解して示す分解斜視図である。
【図１７】ノイズフィルタを図１５中の矢示XVII−XVII方向からみた断面図である。
【図１８】ノイズフィルタを図１５中の矢示XVIII−XVIII方向からみた断面図である。
【図１９】第３の実施の形態によるノイズフィルタを分解して示す分解斜視図である。
【図２０】第１の変形例によるノイズフィルタのフィルタ部を拡大して示す図６を同様位置の要部拡大断面図である。
【図２１】第２の変形例によるノイズフィルタを分解して示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１，３１，３１′  ノイズフィルタ
２，３２，３２′  インダクタ部
３，３３〜３６，３３′〜３６′  インダクタ用磁性体シート
４，３７〜４０，３７′〜４０′  インダクタ用伝送線路
８，４６，７１，８′，４６′  フィルタ部
９，１０，４７〜５０，７２，４７′〜５０′  フィルタ用磁性体シート
１１，５１，５２，７３，１１′，５１′，５２′  フィルタ用伝送線路
１２，１３，５３〜５５，７４，１２′，１３′，５３′〜５５′  グランド電極
１６，１７，５９，６０  信号用外部電極
１８，６１  グランド用外部電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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