(57)【要約】【課題】高周波動作する被検査物を高精度で検査すると共に、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを効果的に吸収できるようにする。【解決手段】コイルスプリング２は、導電性線材が１．５ターン巻回されることで形成されている。コイルスプリング２の中空部には、隙間が生じないように円柱形状の弾性材料からなる絶縁性の支持部材３が嵌挿されている。半導体パッケージ１３の下面にある電極パッド１３ａと検査機器に接続されたプリント配線板１２の電極パッド１２ａとは、コイルスプリング２を介して接続される。【選択図】        図１
2004212287.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを電気的に接続するために用いられるコイルスプリング状コンタクトであって、
中空部が形成されるように導電性線材が１ターンを超えて巻回されてなるコイルスプリングと、
前記コイルスプリングとの間に隙間が生じる部分が実質的に形成されないように前記コイルスプリングの前記中空部に嵌挿された弾性材料からなる絶縁性の支持部材とを備えていることを特徴とするコイルスプリング状コンタクト。
【請求項２】
前記コイルスプリングを構成する導電性線材の前記コイルスプリングの軸方向に隣接する部分同士が互いに接触していることを特徴とする請求項１に記載のコイルスプリング状コンタクト。
【請求項３】
前記コイルスプリングが円筒形状に巻回されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のコイルスプリング状コンタクト。
【請求項４】
前記導電性線材がｎターン（ｎ：自然数）を超えてｎ＋１ターン未満巻回されることで、前記コイルスプリングに軸方向への重なり回数がｎ回の領域とｎ＋１回の領域とが存在しているとき、前記コイルスプリングが重なり回数ｎ＋１回の領域において前記被検査物のコンタクトと接触し、重なり回数ｎ回の領域において前記検査機器側のコンタクトと接触することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のコイルスプリング状コンタクト。
【請求項５】
被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを電気的に接続するために用いられるコイルスプリング状コンタクトであって、
中空部が形成されるように導電性線材が複数ターン巻回されてなるコイルスプリングと、
前記コイルスプリングとの間に隙間が生じる部分が形成されるように前記コイルスプリングの前記中空部に嵌挿された絶縁材料からなる支持部材とを備えていることを特徴とするコイルスプリング状コンタクト。
【請求項６】
被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを電気的に接続するために用いられるコイルスプリング状コンタクトであって、
中空部が形成されるように導電性線材が複数ターン巻回されてなるコイルスプリングと、
前記コイルスプリングの両端の少なくともいずれか一方に設けられ、前記コイルスプリングを他の部材と接続するために用いられる接続部とを備えていることを特徴とするコイルスプリング状コンタクト。
【請求項７】
前記コイルスプリングが円筒形状となるように巻回されていることを特徴とする請求項５又は６に記載のコイルスプリング状コンタクト。
【請求項８】
前記コイルスプリングが両端よりも中間での径が大きい形状に巻回されていることを特徴とする請求項５又は６に記載のコイルスプリング状コンタクト。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気部品などの被検査物が所定の性能を有しているかどうかを検査するために用いられるコイルスプリング状コンタクトに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子やフィルターなどに代表される電子回路素子に対しては、その製造後に所定の性能を有しているかどうかを各種の検査機器を用いて検査する必要がある。電子部品が有する多数のコンタクトの全てが検査機器に接続されるのを担保するために、被検査物である電子部品と検査機器との間には、弾性支持された導電性部材を有するプローブが配置されるのが一般的である。
【０００３】
このようなプローブとして、特許文献１には、バネを内蔵する筒内にバネの弾性力によって進退可能に収納されたロッド状導体を有するものが記載されている。このロッド状導体の先端がコンタクトと接触するとき、各コンタクトの位置に応じて対応するロッド状導体の後退量が異なるため、電子部品が有する多数のコンタクト間における位置の接触方向へのばらつきが吸収され、全てのコンタクトを対応するロッド状導体と接触させることが可能となる。
【０００４】
近年、電子回路素子は、数１０ＧＨｚを超える信号を取り扱うようになってきている。しかしながら、特許文献１に記載されたようなロッド状導体を有するコイルスプリング状コンタクトを用いた場合、被検査物である電子回路素子のコンタクトと検査機器のコンタクトとの距離が不可避的に大きくなってしまい、高周波で動作する電子回路素子の性能を高い精度で検査することが困難である。
【０００５】
一方、特許文献２には、弾性変形可能な円柱状の合成樹脂の外周を薄い金属膜で被覆したプローブが記載されている。この金属膜は、切り欠きを１個所に有するほぼ円環状に形成されている。そして、金属膜がコンタクトと接触するとき、金属膜が合成樹脂と共に押縮されるように変形する。このプローブは、特許文献１のようにロッド状導体とこれをその長手方向に進退可能に弾性支持するバネとを有していない。したがって、特許文献２のプローブを用いたとしても、電子回路素子のコンタクトと検査機器のコンタクトとの距離が不可避的に大きくなることがなく、高周波で動作する電子回路素子の性能を高い精度で検査することが可能となる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−２３２１３７号公報（図１）
【特許文献２】
特開２００２−２２７６９号公報（図２）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２に記載されたプローブには、以下のような問題がある。まず、コンタクトと接触した金属膜が合成樹脂と共に押縮されるように変形する際、金属膜の切り欠きの端部同士が当接することにより金属膜の変形が妨げられるので、被検査物をプローブ方向に押し付ける力が比較的弱い場合には金属膜の最大変形量が小さくならざるを得ない。これは、切り欠きが設けられていない金属膜であっても同様である。そのため、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを効果的に吸収することができず、結果として、全てのコンタクトがプローブの金属膜と接触しないおそれが生じてしまう。特に、被検査物である電子部品の高周波動作に対応させるために合成樹脂の径を小さくした場合には、その可能性が高くなる。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、高周波動作する被検査物を高精度で検査することができ、しかも、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを効果的に吸収することを可能とする新たな装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、上記目的を達成する新たな装置として、以下のようなコイルスプリング状コンタクトに到達した。すなわち、本発明のコイルスプリング状コンタクトは、被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを電気的に接続するために用いられるコイルスプリング状コンタクトであって、中空部が形成されるように導電性線材が１ターンを超えて巻回されてなるコイルスプリングと、前記コイルスプリングとの間に隙間が生じる部分が実質的に形成されないように前記コイルスプリングの前記中空部に嵌挿された弾性材料からなる絶縁性の支持部材とを備えている（請求項１）。
【００１０】
この構成によると、導電性線材が巻回されてなるコイルスプリングを用いているので、被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを比較的短い距離で電気的に接続することができるため、特に高周波動作する被検査物を高精度で検査することができるようになる。
【００１１】
また、導電性線材が１ターンを超えて巻回されているので、コイルスプリングが押縮されたときに導電性線材の両端部が互いに当接することがない。そのため、十分な量のストロークを確保することができるようになって、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを効果的に吸収することが可能となる。したがって、被検査物の全てのコンタクトにおいて低接触抵抗で安定した電気的接続が得られる。
【００１２】
また、大きなストロークを確保できることから、コイルスプリングにこれを押縮する方向の荷重が加えられたときにおける導電性線材の周方向の変位が大きくなり、ワイプ性能に優れている。
【００１３】
さらに、コイルスプリングを小さな力で押縮することができ、被検査物に大きな荷重が加えられることがなくなるため、被検査物の損傷を抑えることができる。
【００１４】
また、コイルスプリングとの間に隙間が生じる部分が実質的に形成されないように支持部材がコイルスプリングに嵌挿されていることにより、コイルスプリングが過度に押縮されてしまうのを未然に防止することができると共に、コイルスプリングを単独で用いる場合と比較してコイルスプリング状コンタクトのハンドリング性が改善される。
【００１５】
本発明のコイルスプリング状コンタクトにおいて、前記コイルスプリングを構成する導電性線材の前記コイルスプリングの軸方向に隣接する部分同士が互いに接触していることが好ましい（請求項２）。これによると、被検査物のコンタクトとコイルスプリングとが軸方向に位置ずれしたとしても、両者の確実な接触を担保することができる。これは、特に、導電性線材の径がコイルスプリングの軸方向に関する被検査物のコンタクトの長さに対して小さいときに効果が大きい。
【００１６】
本発明のコイルスプリング状コンタクトにおいて、前記コイルスプリングが円筒形状に巻回されていてよい（請求項３）。これによると、コイルスプリングが押縮されたときに変形しやすく、ストロークを大きく取ることができる。また、コイルスプリングの表面がどこにおいても軸方向に沿ってほぼ平坦になるので、コイルスプリングと被検査物のコンタクトとが軸方向に位置ずれしたとしても、被検査物のコンタクトに対向するコイルスプリングの領域のコンタクトからの距離は変わらないことになる。したがって、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを吸収しやすく、両者の確実な接触を担保することができる。さらに、長尺物からの切り出しにより多数のコイルスプリングを作製することができるので、製造コストを安価なものとすることができる。
【００１７】
本発明のコイルスプリング状コンタクトにおいて、前記導電性線材がｎターン（ｎ：自然数）を超えてｎ＋１ターン未満巻回されることで、前記コイルスプリングに軸方向への重なり回数がｎ回の領域とｎ＋１回の領域とが存在しているとき、前記コイルスプリングが重なり回数ｎ＋１回の領域において前記被検査物のコンタクトと接触し、重なり回数ｎ回の領域において前記検査機器側のコンタクトと接触することが好ましい（請求項４）。これによると、コイルスプリングにこれを押縮する方向の荷重が加えられたときにおける導電性線材の周方向の変位が重なり回数ｎ回の領域よりも重なり回数ｎ＋１回の領域で大きいため、被検査物のコンタクトを効率的にワイプすることができる。
【００１８】
本発明のコイルスプリング状コンタクトは、第２の観点では、被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを電気的に接続するために用いられるコイルスプリング状コンタクトであって、中空部が形成されるように導電性線材が複数ターン巻回されてなるコイルスプリングと、前記コイルスプリングとの間に隙間が生じる部分が形成されるように前記コイルスプリングの前記中空部に嵌挿された絶縁材料からなる支持部材とを備えている（請求項５）。
【００１９】
この構成によると、導電性線材が巻回されてなるコイルスプリングを用いているので、被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを比較的短い距離で電気的に接続することができるため、特に高周波動作する被検査物を高精度で検査することができるようになる。
【００２０】
また、コイルスプリングと支持部材との間に隙間が設けられるので、十分な量のストロークを確保することができるようになって、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを効果的に吸収することが可能となる。したがって、被検査物の全てのコンタクトにおいて低接触抵抗で安定した電気的接続が得られる。
【００２１】
また、大きなストロークを確保できることから、コイルスプリングにこれを押縮する方向の荷重が加えられたときにおける導電性線材の周方向の変位が大きくなり、ワイプ性能に優れている。
【００２２】
さらに、コイルスプリングを小さな力で押縮することができ、被検査物に大きな荷重が加えられることがなくなるため、被検査物の損傷を抑えることができる。
【００２３】
また、支持部材がコイルスプリングに嵌挿されていることにより、コイルスプリングが過度に押縮されてしまうのをある程度未然に防止することができると共に、コイルスプリングを単独で用いる場合と比較してコイルスプリング状コンタクトのハンドリング性が改善される。
【００２４】
本発明のコイルスプリング状コンタクトは、第３の観点では、被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを電気的に接続するために用いられるコイルスプリング状コンタクトであって、中空部が形成されるように導電性線材が複数ターン巻回されてなるコイルスプリングと、前記コイルスプリングの両端の少なくともいずれか一方に設けられ、前記コイルスプリングを他の部材と接続するために用いられる接続部とを備えている（請求項６）。
【００２５】
この構成によると、導電性線材が巻回されてなるコイルスプリングを用いているので、被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを比較的短い距離で電気的に接続することができるため、特に高周波動作する被検査物を高精度で検査することができるようになる。
【００２６】
また、導電性線材が巻回されてなるコイルスプリングの中空部に支持部材を嵌挿していないので、十分な量のストロークを確保することができるようになって、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを効果的に吸収することが可能となる。したがって、被検査物の全てのコンタクトにおいて低接触抵抗で安定した電気的接続が得られる。
【００２７】
また、大きなストロークを確保できることから、コイルスプリングにこれを押縮する方向の荷重が加えられたときにおける導電性線材の周方向の変位が大きくなり、ワイプ性能に優れている。
【００２８】
さらに、コイルスプリングを小さな力で押縮することができ、被検査物に大きな荷重が加えられることがなくなるため、被検査物の損傷を抑えることができる。
【００２９】
本発明の第２及び第３の観点によるコイルスプリング状コンタクトは、前記コイルスプリングが円筒形状となるように巻回されているものであってよい（請求項７）。これによると、コイルスプリングが押縮されたときに変形しやすく、ストロークを大きく取ることができる。また、コイルスプリングの表面が軸方向に沿ってほぼ平坦になるので、コイルスプリングと被検査物のコンタクトとが軸方向に位置ずれしたとしても、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを吸収しやすく、両者の確実な接触を担保することができる。さらに、長尺物からの切り出しにより多数のコイルスプリングを作製することができるので、製造コストを安価なものとすることができる。
【００３０】
本発明の第２及び第３の観点によるコイルスプリング状コンタクトは、前記コイルスプリングが両端よりも中間での径が大きい形状に巻回されているものであってよい（請求項８）。これによると、隣接するコイルスプリング間におけるクロストークを低減させることができ、且つ、コイルスプリングをその両端で支持部材に安定して支持させることができるので信頼性が高い。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００３２】
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態によるコイルスプリング状コンタクトを用いて被検査物の検査を行う様子を描いた模式的な分解斜視図である。図１に示すように、本実施の形態によるコイルスプリング状コンタクト１は、円柱状の中空部が形成されるように導電性線材（直径ｄの円形断面を有する：図３（ｂ）参照）が巻回されてなるコイルスプリング２と、コイルスプリング２の中空部に嵌挿された円柱形状を有する弾性材料からなる絶縁性の支持部材３とから構成されている。
【００３３】
コイルスプリング状コンタクト１と対になって用いられる固定フレーム１１の上面には、コイルスプリング２の巻回外径Ｄ１（図３（ｂ）参照）及び軸方向長さＬ１（図３（ａ）参照）よりそれぞれ若干大きい長さ及び幅を有し、下面に開口１１ｃが形成されるように設けられたスリット１１ａと、支持部材３の外径より若干大きい幅を有するスリット１１ｂとが平面視で十字状に組み合わされた形状となるように形成されている。スリット１１ｂは、固定フレーム１１の下面から上方にコイルスプリング２の直径ｄよりもやや短い距離だけ離れた深さまで形成されている。そして、コイルスプリング状コンタクト１は、コイルスプリング２が溝１１ａと嵌合し且つ支持部材３が溝１１ｂと嵌合することによって、コイルスプリング２の最下部が開口１１ｃから露出して固定フレーム１１の下面とほぼ同じ高さに位置した状態で、固定フレーム１１の所定位置に位置決めされている。
【００３４】
固定フレーム１１は、その開口１１ｃがプリント配線板（ＰＣＢ）１２の電極パッド１２ａと重なるように位置調整されている。したがって、コイルスプリング２が固定フレーム１１に支持されているとき、コイルスプリング２の最下部が電極パッド１２ａと接触している。プリント配線板１２の電極パッド１２ａは、図示しない検査機器に接続されている。
【００３５】
一方、コイルスプリング２上には、被検査物であるＣＰＵやＲＯＭ、ＡＳＩＣなどの半導体パッケージ１３が順次搬送され、そして、各半導体パッケージ１３の下面にある電極パッド１３ａがコイルスプリング２の最上部と接触させられる。これにより、半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａがコイルスプリング２を介してプリント配線板１２の電極パッド１２ａと電気的に接続される。したがって、半導体パッケージ１３が所定の性能を有しているか否かを検査機器を用いて検査することができる。
【００３６】
なお、図１には、半導体パッケージ１３の下面に電極パッド１３ａが１つだけ設けられ、固定フレーム１１にスリット１１ａ、１１ｂがそれぞれ１つだけ設けられ、支持部材３が１本だけ用いられてその支持部材３にコイルスプリング２が１つだけ支持され、且つ、プリント配線板１２に電極パッド１２ａが１つだけ設けられている例が描かれている。しかしながら、実際には、半導体パッケージ１３の下面に多数の電極パッド１３ａが設けられ、固定フレーム１１にスリット１１ａ、１１ｂがそれぞれ多数設けられ、多数本の支持部材３が平行に配列されて各支持部材３に多数のコイルスプリング２がそれぞれ支持され、且つ、プリント配線板１２に多数の電極パッド１２ａが設けられているのが一般的である。
【００３７】
次に、本実施の形態によるコイルスプリング状コンタクト１について、図２及び図３を参照してさらに詳細に説明する。図２（ａ）はコイルスプリング状コンタクト１の平面図であり、図２（ｂ）はその縦断面図である。また、図３（ａ）はコイルスプリング２の側面図であり、図３（ｂ）はその正面図である。
【００３８】
これらの図面から分かるように、コイルスプリング２は、直径ｄの円形断面を有する導電性線材が、円柱状の中空部が形成されるように１．５ターン分巻回されたものである。コイルスプリング２は全体として巻回外径Ｄ１、巻回内径Ｄ２（＝Ｄ１−ｄ）、軸方向長さＬ１のほぼ円筒形状を有しており、これを構成する導電性線材のコイルスプリング２の軸方向に隣接する部分同士は互いに接触している。
【００３９】
コイルスプリング２を構成する導電性線材は、黄銅、ベリリウム銅、金合金などの導電率が高く且つばね性を有する材料からなることが好ましく、さらに、その表面には抵抗を低下させる観点から部分的又は全体に金めっき、すずめっきなどのめっきが施されていることが好ましい。
【００４０】
また、支持部材３は、コイルスプリング２の巻回内径と同じ外径寸法Ｄ２と、コイルスプリング２の軸方向長さＬ１よりも十分に大きい長さとを有している。そのため、コイルスプリング２と支持部材３との間には、実質的に隙間が形成されていない。コイルスプリング２は、その中空部に嵌挿された支持部材３によってその軸方向のほぼ中央付近において固定支持されている。
【００４１】
支持部材３は、例えばテフロン（登録商標）のようなフッ素樹脂、又は、シリコンなどの絶縁性を有する弾性材料からなる。
【００４２】
図３（ａ）に示すように、導電性線材の延在方向に沿ったコイルスプリング２の一方の端部２ａと他方の端部２ｂとは、同じ高さに位置している。そして、これら端部２ａ、２ｂよりも上方では、コイルスプリング２の軸方向に導電性線材が２回重なっており、端部２ａ、２ｂよりも下方では、コイルスプリング２の軸方向に導電性線材が１回重なっている。
【００４３】
次に、本実施の形態によるコイルスプリング状コンタクト１を用いて被検査物の検査を行う手順について、図４及び図５をさらに参照して説明する。図４（ａ）はコイルスプリング状コンタクトが加圧されていない状態における様子を描いた正面図、図４（ｂ）は側面図、図４（ｃ）は図４（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。また、図５（ａ）はコイルスプリング状コンタクトが加圧された状態における様子を描いた正面図、図５（ｂ）は側面図、図５（ｃ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ線での断面図である。なお、図４及び図５では固定フレーム１１の図示を省略している。
【００４４】
コイルスプリング状コンタクトが加圧されていない状態では、多数の電極パッド１３ａのうち、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に描かれているような一部の電極パッド１３ａだけがコイルスプリング２を押縮することなくその最上部と接触しており、残りの電極パッド１３ａはコイルスプリング２の最上部と接触していない。そのため、半導体パッケージ１３の性能検査を行うことができない。
【００４５】
そこで、半導体パッケージ１３を下方に向けて変位させて、コイルスプリング２にこれを押縮する荷重を加える。すると、コイルスプリング状コンタクトが加圧されていない状態でコイルスプリング２を押縮することなくその最上部と接触していた電極パッド１３ａは、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に描かれているようにコイルスプリング２を押縮する。図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に描かれた状態において、コイルスプリング２は、これを押縮する方向の力を上下の電極パッド１２ａ、１３ａから受けてほぼ断面楕円形状に変形している。また、支持部材３のコイルスプリング２と接触する部位も、コイルスプリング２と同様に変形している。
【００４６】
電極パッド１３ａがコイルスプリング２を押縮する際、コイルスプリング２を構成する導電性線材が１ターンを超えて１．５ターン分だけ巻回されているので、コイルスプリング２が押縮される過程においてコイルスプリング２の両端部２ａ、２ｂが互いに当接することがない。そのため、コイルスプリング２の変形ストロークとして十分な量を確保することができるようになる。特に、本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト１においては、コイルスプリング２が円筒形状に巻回されているので、コイルスプリング２が押縮されたときに変形しやすく、ストロークを非常に大きく取ることができる。
【００４７】
したがって、半導体パッケージ１３を下方に向けて変位させたとき、コイルスプリング状コンタクトが加圧されていない状態でコイルスプリング２の最上部と接触していなかった残り全ての電極パッド１３ａが図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に描かれているようにコイルスプリング２を押縮することなくその最上部と接触するようになる。
【００４８】
つまり、本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト１を用いることにより、半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａの位置の接触方向へのばらつきを効果的に吸収することが可能である。これにより、半導体パッケージ１３の全ての電極パッド１３ａがコイルスプリング２と接触することが担保されることになり、検査の信頼性が向上する。
【００４９】
しかも、本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト１は導電性線材が巻回されてなるコイルスプリング２を用いたものであり、コイルスプリング２内では実質的にその半周分の距離だけ電流が流れるに過ぎないので、電極パッド１３ａと電極パッド１２ａとを比較的短い距離で電気的に接続することができる。したがって、高周波動作する半導体パッケージ１３を高精度で検査することができるようになる。
【００５０】
また、本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト１によると、大きなストロークを確保できることから、コイルスプリング２にこれを押縮する方向の荷重が加えられたときにおける導電性線材の周方向の変位が大きくなり、半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａを効果的にワイプ（拭き取り）することができる。そのため、半導体パッケージ１３の検査信頼性が大幅に向上し、安定した検査結果が得られる。
【００５１】
特に、本実施の形態の場合、コイルスプリング２が重なり回数２回の領域において半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａと接触し、重なり回数１回の領域においてプリント配線板１２の電極パッド１２ａと接触している。この場合、コイルスプリング２にこれを押縮する方向の荷重が加えられたときにおける導電性線材の周方向の変位が重なり回数１回の領域よりも重なり回数２回の領域で大きいため、プリント配線板１２の電極パッド１３ａを効率的にワイプすることができる。
【００５２】
さらに、本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト１においては、コイルスプリング２を小さな力で押縮することができるので、半導体パッケージ１３に大きな荷重が加えられることがなくなる。そのため、半導体パッケージ１３の損傷を抑えることができる。
【００５３】
また、本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト１においては、コイルスプリング２とその中空部に嵌挿された支持部材３との間に隙間が形成されていないので、コイルスプリング２に加えられた荷重によってこれが過度に押縮されてしまうことがなくなる。また、コイルスプリング２が支持部材３と組み合わされて用いられるので、コイルスプリング２を単独で用いる場合と比較して、比較的小さい部品であるコイルスプリング状コンタクト１が取り扱いし易いハンドリング性に優れたものとなっている。
【００５４】
加えるに、コイルスプリング状コンタクト１においては、コイルスプリング２を構成する導電性線材のコイルスプリング２の軸方向に隣接する部分同士が互いに接触しているので、半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａとコイルスプリング２とが軸方向に位置ずれしたとしても、両者が接触しなくなることがほとんどなく、これらを確実に接触させることができる。この利益は、特に、導電性線材の径がコイルスプリング２の軸方向に関する半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａの長さに対して小さいときに顕著なものとなる。
【００５５】
なお、本実施の形態の場合は、コイルスプリング２の端部２ａ、２ｂよりも上方におけるコイルスプリング２の軸方向への導電性線材の重なり回数（２回）が端部２ａ、２ｂよりも下方での重なり回数（１回）よりも多くなるようにコイルスプリング２を配向しているために、半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａとコイルスプリング２との軸方向への位置ずれが起こった際に両者が接触しなくなるという事態がさらに生じにくくなっている。
【００５６】
本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト１においては、コイルスプリング２が円筒形状となるように巻回されているので、コイルスプリング２の表面がどこにおいてもその軸方向に沿ってほぼ平坦（コイルスプリング２の軸方向の凹凸を大局的に無視できるとした場合）になるので、半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａがコイルスプリング２の軸方向に位置ずれしたとしても、それに対向するコイルスプリング２の領域の電極パッド１３ａからの距離は変わらないことになる。したがって、両者の接触をより確実なものとすることができる。しかも、円筒形状のコイルスプリング２は、長尺物からの切り出しにより短時間で多数作製することができるので、製造コストが安価なものとなる。
【００５７】
＜第２の実施の形態＞
次に、本発明の第２の実施の形態によるコイルスプリング状コンタクトについて、図６及び図７を参照して説明する、図６（ａ）は本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト２１の斜視図であり、図６（ｂ）はその平面図であり、図６（ｃ）はその縦断面図である。また、図７（ａ）はコイルスプリング状コンタクト２１に含まれるコイルスプリング２２の側面図であり、図７（ｂ）はその正面図である。
【００５８】
図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び図７（ａ）、（ｂ）から分かるように、コイルスプリング２２が図２（ａ）、（ｂ）及び図３（ａ）、（ｂ）に示すコイルスプリング２と異なるのは、端部２２ａ、２２ｂを有する導電性線材のターン回数だけである。すなわち、本実施の形態においては、コイルスプリング２２は導電性線材が３．５ターンされることにより形成されている。これにより、コイルスプリング２２は巻回外径Ｄ１及び巻回内径Ｄ２が変わることなく、その軸方向長さだけがＬ２とコイルスプリング２の軸方向長さＬ１よりも長くなっている。
【００５９】
本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト２１も、第１の実施の形態と同じく、固定フレーム１１に支持された状態で図１に示したような態様で用いられる。そして、本実施の形態によると、第１の実施の形態と同様の利益が得られる。なお、本実施の形態のコイルスプリング２２の方が第１の実施の形態のものよりもターン回数が多い分だけ、半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａの位置ずれが生じた際に、電極パッド１３ａとコイルスプリング２２とが接触しなくなるという事態が第１の実施の形態の場合よりもさらに生じにくくなる。
【００６０】
＜第３の実施の形態＞
次に、本発明の第３の実施の形態によるコイルスプリング状コンタクトについて、図８を参照して説明する、図８（ａ）は本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト３１の斜視図であり、図８（ｂ）はその平面図であり、図８（ｃ）はその正面図である。
【００６１】
図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）から分かるように、本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト３１において、コイルスプリング３２は、導電性線材がその軸方向への隣接部分同士が互いに離隔するように螺旋状に複数ターン巻回されることによって、コイルスプリング３２の両端部３２ａ、３２ｂから中央部３２ｃに向かって外径が比例的に増加していって中央部３２ｃにおいて外径が最大となる、いわば２つの円錐の底部同士を貼り合わせたような形状となっている。
【００６２】
コイルスプリング３２には、２つの円錐を貼り合わせた形状の中空部が形成されており、この中空部にはコイルスプリング３２の巻回内径Ｄ３に比べてかなり小さい直径を有する支持部材３３が嵌挿されている。そして、コイルスプリング３２は、その両端部３２ａ、３２ｂにおいて支持部材３３に接着固定されている。つまり、コイルスプリング３２と支持部材３３とは、両端部３２ａ、３２ｂ以外では離隔しており、両者の間には隙間が設けられている。
【００６３】
本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト３１も、第１の実施の形態と同じく、固定フレーム１１に支持された状態で図１に示したような態様で用いられる。そして、本実施の形態によると、第１の実施の形態と同様の利益が得られる。ただし、本実施の形態では、支持部材３３とコイルスプリング３２との間に隙間が設けられるので、コイルスプリングが支持部材と一緒に押縮される第１及び第２の実施の形態の場合よりも、コイルスプリング３２の変形ストロークが大きくなる。したがって、半導体パッケージ１３の全ての電極パッド１３ａにおいて低接触抵抗で安定したコイルスプリング３２との電気的接続が得られる。
【００６４】
また、本実施の形態では、コイルスプリング３２が両端部３２ａ、３２ｂよりも中央部３２ｃでの径が大きい形状に巻回されているので、高周波が印加された場合に隣接するコイルスプリング３２間におけるクロストークを低減させることができると共に、コイルスプリング３２をその両端部３２ａ、３２ｂで支持部材３３に安定して支持させることができるので検査の信頼性が高くなるという上述の実施の形態とは異なる利益を得ることができる。
【００６５】
＜第４の実施の形態＞
次に、本発明の第４の実施の形態によるコイルスプリング状コンタクトについて、図９を参照して説明する、図９（ａ）は本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト４１の斜視図であり、図９（ｂ）はその平面図であり、図９（ｃ）はその正面図である。
【００６６】
図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）から分かるように、本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト４１において、コイルスプリング４２は、導電性線材がその軸方向への隣接部分同士が互いに離隔した円筒形状となるように複数ターン巻回されることによって形成されており、その両端部は接続部４３となっている。コイルスプリング４２には、円柱状の中空部が形成されている。接続部４３はコイルスプリング４２と同じ部材で一体成形されている。本実施の形態の場合、コイルスプリング４２には、上述の実施の形態のように支持部材が嵌挿されることがない。その代わりとして、コイルスプリング４２の両端にある接続部３２が図１に示したような固定フレーム１１に形成されたスリットにはめ込まれることで、コイルスプリング４２が固定フレーム１１に対して支持される。
【００６７】
本実施の形態のコイルスプリング状コンタクト４１も、第１の実施の形態と同じく、固定フレーム１１に支持された状態で図１に示したような態様で用いられる。そして、本実施の形態によると、第１の実施の形態と同様の利益が得られる。ただし、本実施の形態では、支持部材４３とコイルスプリング４２との間に支持部材が嵌挿されておらずコイルスプリング４２内の中空部が比較的大きいので、コイルスプリングが支持部材と一緒に押縮される第１及び第２の実施の形態の場合よりも、コイルスプリング４２の変形ストロークが大きくなる。したがって、コイルスプリング４２と接触しない半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａが大幅に減少する。また、支持部材が不要であるため、製造が簡単で製造コストも低いという上述の実施の形態とは異なる利益を得ることができる。
【００６８】
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、第１及び第２の実施の形態ではコイルスプリングを円柱状に巻回しているが、これを円柱状、楕円柱状、角柱状などの形状に巻回してもよい。そして、これに合わせて支持部材としても様々な形状のものを用いることができる。
【００６９】
また、第１及び第２の実施の形態ではコイルスプリングを構成する導電性線材の軸方向への隣接部分が互いに接触しているが、これらが互いに離隔するようにコイルスプリングを巻回してもよい。これとは逆に、第３及び第４の実施の形態ではコイルスプリングを構成する導電性線材の軸方向への隣接部分が互いに離隔しているが、これらが互いに接触するようにコイルスプリングを巻回してもよい。
【００７０】
また、第１の実施の形態では、コイルスプリング２の軸方向への重なり回数が２回の部分が半導体パッケージ１３の電極パッド１３ａと接触するようにコイルスプリング２を配向しているが、必ずしもそのようにする必要はない。
【００７１】
さらに、第１〜第４の実施の形態において、コイルスプリングの巻回ターン回数は１ターンを超えるという条件を満たすのであれば、何ターン巻回されていても構わない。
【００７２】
また、第４の実施の形態において、接続部４３がコイルスプリング４２の両端に設けられているが、コイルスプリング４２を安定して支持することができるのであれば、接続部４３はいずれか一方の端部に設けられていてもかまわない。
【００７３】
また、第３の実施の形態において、コイルスプリングを円柱形状などのその他の形状にしてもよいし、第４の実施の形態において、コイルスプリングを第３の実施の形態と同様に、両端よりも中間で径が大きい形状としてもよい。
【００７４】
さらに、本発明のコイルスプリング状コンタクトは、図１に示したような固定フレーム１１に支持されるものに限らず、例えば支持部材の長手方向の両端において支持されてもよい。また、コイルスプリングや支持部材の材料などは適宜変更してもよい。
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、被検査物のコンタクトと検査機器側のコンタクトとを比較的短い距離で電気的に接続することができるため、特に高周波動作する被検査物を高精度で検査することができるようになる。また、十分な量のストロークを確保することができるようになって、被検査物のコンタクト位置の接触方向へのばらつきを効果的に吸収することが可能となって、被検査物の全てのコンタクトにおいて低接触抵抗で安定した電気的接続が得られる。また、大きなストロークを確保できることから、コイルスプリングにこれを押縮する方向の荷重が加えられたときにおける導電性線材の周方向の変位が大きくなり、ワイプ性能に優れている。さらに、コイルスプリングを小さな力で押縮することができ、被検査物に大きな荷重が加えられることがなくなるため、被検査物の損傷を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるコイルスプリング状コンタクトを用いて被検査物の検査を行う様子を描いた模式的な分解斜視図である。
【図２】図１に描かれたコイルスプリング状コンタクトの平面図及び縦断面図である。
【図３】図１に描かれたコイルスプリング状コンタクトに含まれるコイルスプリングの側面図及び正面図である。
【図４】図１に描かれたコイルスプリング状コンタクトが加圧されていない状態における様子を描いた正面図、側面図及び断面図である。
【図５】図１に描かれたコイルスプリング状コンタクトが加圧された状態における様子を描いた正面図、側面図及び断面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態によるコイルスプリング状コンタクトの斜視図、平面図及び縦断面図である。
【図７】図６に描かれたコイルスプリング状コンタクトに含まれるコイルスプリングの側面図で及び正面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態によるコイルスプリング状コンタクトの斜視図、平面図及び縦断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態によるコイルスプリング状コンタクトの斜視図、平面図及び縦断面図である。
【符号の説明】
１  コイルスプリング状コンタクト
２  コイルスプリング
２ａ、２ｂ  端部
３  支持部材
１１  固定フレーム
１１ａ、１１ｂ  スリット
１１ｃ  開口
１２  プリント配線板
１２ａ  電極パッド
１３  半導体パッケージ
１３ａ  電極パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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