(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドのノズル形成面を払拭するようにしたワイピングユニットにおいて、払拭性を向上させると共にシート消費量を削減することを課題とする。【解決手段】拭き取りユニット１３２に、ノズル面４４に合致する水平面Ｈより下方で、且つ、押圧ローラ１６３に対するシート送り込み側に位置させて、洗浄液吐出部材１６５を配置する。ワイピングシート１３０を下方から押圧ローラ１６３と洗浄液吐出部材１６５との間の隙間を通して押圧ローラ１６３に送り込み、ワイピングシート１３０の表面に洗浄液を塗布する。【選択図】  図１４
2004195908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドの下向きのノズル面にワイピングシートを下方から押しつける押圧ローラを搭載した拭き取りユニットと、前記押圧ローラを経由させて前記ワイピングシートを送るシート供給ユニットとを備え、前記ワイピングシートを前記ノズル面に押しつけた状態で、前記ワイピングシートを送りつつ前記拭き取りユニットを前記シート供給ユニットと一体に前記ノズル面に平行な所定の払拭方向に移動させて、払拭動作させる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、
前記拭き取りユニットに、前記ノズル面に前記ワイピングシートを押しつけた状態で前記ノズル面に合致する水平面より下方で、且つ、前記押圧ローラに対する前記ワイピングシートの送り込み側に位置させて、洗浄液吐出部材を搭載し、前記ワイピングシートを下方から前記押圧ローラと前記洗浄液吐出部材との間の隙間を通して前記押圧ローラに送り込み、
且つ前記隙間を通過する前記ワイピングシートに向けて前記洗浄液吐出部材から洗浄液を吐出することを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記液滴吐出ヘッドの複数個から成るヘッド列を所定方向に間隔を明けて複数並設し、前記払拭方向を前記所定方向と同一方向として、前記拭き取りユニットをこれら複数のヘッド列に順に移行させ、各ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するものにおいて、
前記各ヘッド列間に位置する前記拭き取りユニットの移動区間では、前記ワイピングシートの送りと前記洗浄液の吐出とを休止することを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項３】
前記拭き取りユニットを昇降自在とし、前記ノズル面の払拭後、前記拭き取りユニットを下降させた状態で前記払拭方向と逆方向に復動させることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項４】
前記ワイピングシートは、ポリエステル１００％のシート材およびポリプロピレン１００％のシート材のいずれかで構成されていることを特徴とする請求項１、２または３に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項５】
前記ワイピングシートの厚みが、０．４ｍｍから０．６ｍｍであることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットと、
前記液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ワイピングユニットに隣接して配設され、前記液滴吐出ヘッドの全ノズルからの機能液吸引を行う吸引ユニットと、
前記吸引ユニットおよび前記ワイピングユニットを、それぞれ前記液滴吐出ヘッドに臨むように一体として移動させる移動機構とを、更に備えたことを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項６または７に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項６または７に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項８に記載の電気光学装置または請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出装置（描画装置）における液滴吐出ヘッドのワイピングユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタのインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等の機能液を用いることにより、各種製品の製造分野への応用が期待されている。
例えば、液滴吐出ヘッドを搭載して成るヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板といったワークに対しヘッドユニットを相対移動させつつ、液滴吐出ヘッドの下向きのノズル面に開設した吐出ノズルからワークに向けて液滴を吐出することにより、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタを製造することが考えられている。
ここで、装置を停止させるなど比較的長い時間休止すると、液滴吐出ヘッドに残留する機能液の粘度増加で吐出ノズルの目詰まりを生ずる可能性がある。そのため、描画装置に、液滴吐出ヘッドのノズル面に密着するキャップを有する吸引ユニットを配置し、描画作業の休止時に吸引ユニットにより吐出ノズルから残留液を吸引して除去することが必要になる。また、吸引を行うと、吸い出された機能液でノズル面が汚れるため、吸引後にノズル面を払拭して汚れを除去することが望まれる。
そのため、従来、ノズル面にワイピングシートを下方から相対的に押しつける押圧部材を搭載した拭き取りユニットと、押圧部材を経由させてワイピングシートを送るシート供給ユニットとを備え、ワイピングシートをノズル面に押しつけた状態で、ワイピングシートを送りつつ拭き取りユニットをシート供給ユニットと一体にノズル面に平行な所定の払拭方向に移動させて、ノズル面をワイピングシートで払拭するようにしたワイピングユニットが、知られている（例えば、特許文献１参照。）。
なお、このものでは、ワイピングシートを押圧部材にほぼ水平に送り込み、押圧部材に送り込まれるワイピングシートに、押圧部材の中央に形成した洗浄液ノズルから機能液の溶剤から成る洗浄液を吐出し、ワイピングシートに洗浄液を染み込ませて、ノズル面に付着した機能液を効果的に払拭し得るようにしている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１７１１３５号公報（第４頁、図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のワイピングユニットでは、キャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが平面的に広く分布していると、キャリッジがワイピングユニットの本体部分と干渉してしまう問題がある。また、ワイピングユニットをＸ軸テーブルにより移動させ、且つ液滴吐出ヘッド（キャリッジ）を上下動させるようにしているため、構造が複雑になる問題がある。
かかる場合に、ワイピングユニットを機台上に設け、これに液滴吐出ヘッドを臨ませる構造とし、且つワイピングシートを下側から導入する構造とすることが考えられる。また、複数の液滴吐出ヘッドが、拭き取り方向にオーバーラップしたり、複雑に配置されることを考慮すると、洗浄液の供給を、拭き取り方向手前側の１箇所に設ける必要性も生ずる。
しかし、このような構造では、洗浄液吐出部材に対向するワイピングシートの面が表面（ノズル面に接触する面）ではなく裏面になり、この裏面に洗浄液吐出部材からの洗浄液が塗布されることになる。ここで、ワイピングシートによる除去物の吸収性を確保するには、ワイピングシートとして或る程度厚みの有るものを用いる必要があり、ワイピングシートの裏面に塗布した洗浄液がワイピングシートの表面側に染み込むまでには時間がかかる。そのため、ワイピングシートの表面に洗浄液を行き渡らせて払拭性を向上させるには、押圧部材と洗浄液吐出部材との間の距離を長く取ることが必要になるが、これでは、高価なワイピングシートの消費量が増加して、ランニングコストが嵩む。即ち、ノズル面の払拭に際しては、洗浄液吐出部材で洗浄液を塗布したワイピングシートの部分が押圧部材に到達するまでワイピングシートを空送りしてから払拭作業を開始する必要があり、押圧部材と洗浄液吐出部材との間の距離を長くとると、空送りによって無駄に消費されるワイピングシートの長さが長くなる。
【０００５】
本発明は、払拭性を向上させて、且つ、ワイピングシートの消費量も可及的に低減できるようにした液滴吐出ヘッドのワイピングユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することをその課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットは、液滴吐出ヘッドの下向きのノズル面にワイピングシートを下方から押しつける押圧ローラを搭載した拭き取りユニットと、押圧ローラを経由させてワイピングシートを送るシート供給ユニットとを備え、ワイピングシートをノズル面に押しつけた状態で、ワイピングシートを送りつつ拭き取りユニットをシート供給ユニットと一体にノズル面に平行な所定の払拭方向に移動させて、払拭動作させる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、拭き取りユニットに、ノズル面にワイピングシートを押しつけた状態でノズル面に合致する水平面より下方で、且つ、押圧ローラに対するワイピングシートの送り込み側に位置させて、洗浄液吐出部材を搭載し、ワイピングシートを下方から押圧ローラと洗浄液吐出部材との間の隙間を通して押圧ローラに送り込み、且つ隙間を通過するワイピングシートに向けて洗浄液吐出部材から洗浄液を吐出することを特徴とする。
【０００７】
上記の構成によれば、洗浄液吐出部材にワイピングシートの表面が対向することになり、洗浄液吐出部材からの洗浄液がワイピングシートの表面に塗布される。従って、洗浄液吐出部材を押圧ローラの可及的近傍に配置しても、ワイピングシートの表面に洗浄液を行き渡らせて、ノズル面の汚れを効果的に払拭できる。その結果、ワイピングシートの空送り長さ（洗浄液吐出部材で洗浄液を塗布したワイピングシートの部分が押圧ローラに到達するまでの送り長さ）を可及的に短縮でき、ワイピングシートの消費量の削減を図れる。尚、洗浄液吐出部材は、上記水平面より下方に配置されるため、ノズル面に干渉することはない。
【０００８】
ところで、液滴吐出ヘッドの複数個から成るヘッド列を所定方向に間隔を明けて複数並設することがあり、この場合は、上記払拭方向をこの所定方向と同一方向として、拭き取りユニットをこれら複数のヘッド列に順に移行させ、各ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭する。ここで、各ヘッド列間に位置する拭き取りユニットの移動区間においては、ノズル面の払拭は行われない。従って、ワイピングシートと洗浄液とが無駄に消費されることを防止するため、この移動区間では、ワイピングシートの送りと洗浄液の吐出とを休止することが望ましい。
【０００９】
また、ノズル面の払拭後は、拭き取りユニットを上記払拭方向と逆方向に復動させて、ホーム位置に復帰させるが、この際ワイピングシートがノズル面に押しつけられたままであると、拭き取った汚れがノズル面に再付着する可能性がある。この場合、拭き取りユニットを昇降自在とし、拭き取りユニットを下降させた状態で復動させれば、ワイピングシートがノズル面から離れるため、復動時にノズル面に汚れが再付着することを防止することができる。
【００１０】
一方、ワイピングシートは、ポリエステル１００％の布材およびポリプロピレン１００％の布材のいずれかで構成されていることが、好ましい。また、ワイピングシートの厚みが、０．４ｍｍから０．６ｍｍであることが、好ましい。
【００１１】
この構成では、ワイピングシートの繊維のケバや、繊維中の合成物が溶出することがない。また、ある程度の厚みを持たせることで、払拭動作のために必要な量の洗浄液を、適切に染み込ませ且つ保持させることができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置は、上記した液滴吐出ヘッドのワイピングユニットと、液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを移動させる移動テーブルと、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、ワイピングユニットにより、液滴吐出ヘッドのノズル面を汚れのない状態に管理することができるため、安定な機能液吐出と高い描画精度を維持することができる。
【００１４】
この場合、前記ワイピングユニットに隣接して配設され、前記液滴吐出ヘッドの全ノズルからの機能液吸引を行う吸引ユニットと、吸引ユニットおよびワイピングユニットを、それぞれ液滴吐出ヘッドに臨むように一体として移動させる移動機構とを、更に備えることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、移動機構により、吸引ユニットおよびワイピングユニットを一体として移動させることができるため、メンテナンス位置に移動してきた液滴吐出ヘッドに対し、これらメンテナンス系の装置を効率良く臨ませることができる。例えば、液滴吐出ヘッドの吐出不良を解消する場合には、液滴吐出ヘッドを移動させることなく、液滴吐出ヘッドの機能液吸引およびワイピングを連続して行うことができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１７】
同様に、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
【００１８】
これらの構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面が清浄に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置製造することが可能となる。なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。また、液晶表示装置等の透明電極（ＩＴＯ）形成の装置が考えられる。
【００１９】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置または上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。
【００２０】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した描画装置の外観斜視図、図２は、本発明を適用した描画装置の正面図、図３は、本発明を適用した描画装置の右側面図、図４は、本発明を適用した描画装置の一部を省略した平面図である。詳細は後述するが、この描画装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を液滴吐出ヘッド３１に導入して、基板等のワークＷに液滴による成膜部を形成するものである。
【００２２】
図１ないし図４に示すように、描画装置１は、液滴吐出ヘッド３１をワークＷに対し相対移動させつつ機能液を吐出するための描画手段２と、液滴吐出ヘッド３１のメンテナンスを行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給すると共に不要となった機能液を回収する機能液供給回収手段４と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５と、を備えている。そして、これらの各手段は、図外の制御手段により、相互に関連付けられて制御されている。図示は省略したが、この他にも、ワークＷの位置を認識するワーク認識カメラや、描画手段２のヘッドユニット２１（後述する）の位置確認を行うヘッド認識カメラ、各種インジケータ等の付帯装置が設けられており、これらも制御手段によりコントロールされている。
【００２３】
図１ないし図４に示すように、描画手段２は、アングル材を方形に組んで構成した架台１１の上部に固定した石定盤１２の上に配設されており、機能液供給回収手段４およびエアー供給手段５の大部分は、架台１１に添設された機台１３に組み込まれている。機台１３には、大小２つの収容室１４、１５が形成されており、大きいほうの収容室１４には機能液供給回収手段４のタンク類が収容され、小さいほうの収容室１５にはエアー供給手段５の主要部が収容されている。また、機台１３上には、図５に示す如く、モータ１６によりボールねじ１７を介して機台１３の長手方向（すなわちＸ軸方向）に移動される移動テーブル１８が設けられており、移動テーブル１８上には、メンテナンス手段３の構成ユニットたる後述する吸引ユニット９１、ワイピングユニット９２、ドット抜け検出ユニット９３および機能液の吐出量測定のための液滴受けユニット９４を載置する共通ベース１９が固定されている。
【００２４】
この描画装置１は、描画手段２の液滴吐出ヘッド３１をメンテナンス手段３で保守させながら、機能液供給回収手段４から液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給すると共に、液滴吐出ヘッド３１からワークＷに機能液を吐出させるものである。なお、機能液は、収納室１４に収納した加圧タンク２０１から機台１３上に配置した給液タンク２０２を介して液滴吐出ヘッド３１に供給される。以下、各手段について説明する。
【００２５】
描画手段２は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド３１を複数搭載したヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するメインキャリッジ２２と、ヘッドユニット２１をワークＷに対し主走査方向（Ｘ軸方向）とこれに直交する副走査方向（Ｙ軸方向）との２つの走査方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構２３と、を有している。
【００２６】
図６および図７に示すように、ヘッドユニット２１は、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド３１と、これら液滴吐出ヘッド３１を搭載するサブキャリッジ５１と、各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を下面に突出させてサブキャリッジ５１に取り付けるためのヘッド保持部材５２と、から構成されている。１２個の液滴吐出ヘッド３１は、サブキャリッジ５１に、６個宛の二つのヘッド列３０Ｌ，３０Ｒに分けて主走査方向（Ｘ軸方向）に離間配置されている。また、各液滴吐出ヘッド３１は、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方のヘッド列３０Ｌと他方のヘッド列３０Ｒの各液滴吐出ヘッド３１は、副走査方向（Ｙ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２が連続（一部重複）するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド３１を専用部品で構成するなどして、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド３１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００２７】
図６に示すように、液滴吐出ヘッド３１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針３３を有する機能液導入部３２と、機能液導入部３２に連なる２連のヘッド基板３４と、機能液導入部３２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体３５と、を備えている。各接続針３３は、配管アダプタ３６を介して機能液供給回収手段４の給液タンク２０２に接続されており、機能液導入部３２は、各接続針３３から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体３５は、２連のポンプ部４１と、多数の吐出ノズル４２を形成したノズル面４４を有するヘッドプレート４３と、を有しており、液滴吐出ヘッド３１では、ポンプ部４１の作用により吐出ノズル４２から液滴を吐出するようになっている。なお、ノズル面４４には、多数の吐出ノズル４２から成る２列の吐出ノズル列が形成されている。
【００２８】
図５に示すように、サブキャリッジ５１は、一部が切り欠かれた本体プレート５３と、本体プレート５３の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン５４と、本体プレート５３の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材５５と、を備えている。一対の基準ピン５４は、画像認識を前提として、サブキャリッジ５１（ヘッドユニット２１）をＸ軸、Ｙ軸、およびθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となるものである。支持部材５５は、ヘッドユニット２１をメインキャリッジ２２に固定する際の固定部位となる。また、サブキャリッジ５１には、各液滴吐出ヘッド３１と給液タンク２０２を配管接続するための配管ジョイント５６が設けられている。配管ジョイント５６は、一端に各液滴吐出ヘッド３１（の接続針３３）と接続した配管アダプタ３６からのヘッド側配管部材を接続し、もう一端には給液タンク２０２からの装置側配管部材を接続するための１２個のソケット５７を有している。
【００２９】
図３に示すように、メインキャリッジ２２は、後述するブリッジプレート８２に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材６１と、吊設部材６１の下面に取り付けたθテーブル６２と、θテーブル６２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体６３と、で構成されている。キャリッジ本体６３には、ヘッドユニット２１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット２１を位置決め固定するようになっている。
【００３０】
Ｘ・Ｙ移動機構２３は、図１ないし図３に示すように、上記した石定盤１２に固定され、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向）させると共にメインキャリッジ２２を介してヘッドユニット２１を副走査（Ｙ軸方向）させるものである。Ｘ・Ｙ移動機構２３は、石定盤１２の長辺に沿う中心線に軸線を合致させて固定されたＸ軸テーブル７１と、Ｘ軸テーブル７１を跨いで、石定盤１２の短辺に沿う中心線に軸線を合致させたＹ軸テーブル８１と、を有している。
【００３１】
Ｘ軸テーブル７１は、ワークＷをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル７２と、吸着テーブル７２を支持するθテーブル７３と、θテーブル７３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ７４と、θテーブル７３を介して吸着テーブル７２上のワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ(図示省略)と、Ｘ軸エアースライダ７４に併設したＸ軸リニアスケール７５とで構成されている。液滴吐出ヘッド３１の主走査は、Ｘ軸リニアモータの駆動により、ワークＷを吸着した吸着テーブル７２およびθテーブル７３が、Ｘ軸エアースライダ７４を案内にしてＸ軸方向に往復移動することにより行われる。
【００３２】
Ｙ軸テーブル８１は、メインキャリッジ２２を吊設するブリッジプレート８２と、ブリッジプレート８２を両持ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スライダ８３と、Ｙ軸スライダ８３に併設したＹ軸リニアスケール８４と、一対のＹ軸スライダ８３を案内にしてブリッジプレート８２をＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ８５と、Ｙ軸ボールねじ８５を正逆回転させるＹ軸モータ(図示省略)とを備えている。Ｙ軸モータはサーボモータで構成されており、Ｙ軸モータが正逆回転すると、Ｙ軸ボールねじ８５を介してこれに螺合しているブリッジプレート８２が一対のＹ軸スライダ８３を案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート８２の移動に伴い、メインキャリッジ２２（ヘッドユニット２１）がＹ軸方向の往復移動を行い、液滴吐出ヘッド３１の副走査が行われる。なお、図４では、Ｙ軸テーブル８１とθテーブル７３とを省略している。
【００３３】
ここで、描画手段２の一連の動作を簡単に説明する。まず、ワークＷに向けて機能液を吐出する描画作業前の準備として、ヘッド認識カメラによるヘッドユニット２１の位置補正が行われた後、ワーク認識カメラによって、吸着テーブル７２にセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、ワークＷをＸ軸テーブル７１により主走査（Ｘ軸）方向に往復動させると共に、複数の液滴吐出ヘッド３１を駆動させてワークＷに対する液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット２１をＹ軸テーブル８１により副走査（Ｙ軸）方向に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と液滴吐出ヘッド３１の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット２１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット２１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット２１を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００３４】
次に、メンテナンス手段３の各構成ユニットについて説明する。メンテナンス手段３は、上述した共通ベース１９上の吸引ユニット９１、ワイピングユニット９２、ドット抜け検出ユニット９３および液滴受けユニット９４で概略構成されている。ヘッドユニット２１は、描画作業の休止時に機台１３の上方のメンテナンス位置に移動され、この状態で移動テーブル１８を介して共通ベース１９を移動することにより、吸引ユニット９１とワイピングユニット９２と液滴受けユニット９４とを選択的にヘッドユニット２１の直下部に臨ませる。
【００３５】
吸引ユニット９１は、液滴吐出ヘッド３１から機能液を強制的に吸引すると共に、液滴吐出ヘッド３１からの機能液の吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。吸引ユニット９１は、共通ベース１９（移動テーブル１８）がホーム位置（図４，図５に示す位置）に存するときに、メンテナンス位置に存するヘッドユニット２１の直下部に臨む昇降自在なキャップユニット１０１を備えている。
【００３６】
キャップユニット１０１は、ヘッドユニット２１に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド３１の配置に対応させて、１２個のキャップ１０２をキャップベース１０３に配設したものであり、対応する各液滴吐出ヘッド３１に各キャップ１０２を密着可能に構成されている。
【００３７】
ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド３１に機能液の充填を行う場合や、液滴吐出ヘッド３１内で増粘した機能液を除去する場合には、各キャップ１０２を各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に密着させて、ポンプ吸引を行い、吸引した機能液を収納室１４に配置した再利用タンク２０３に回収する。また、装置の非稼働時には、各キャップ１０２を各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に密着させて、液滴吐出ヘッド３１の保全（機能液の乾燥防止等）を行う。さらに、ワーク交換などで描画作業を休止するときには、各キャップ１０２を各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４から僅かに離間させておいて、フラッシング（予備吐出）を行うようにしている。
【００３８】
ところで、液滴吐出ヘッド３１のフラッシング動作（予備吐出）は、描画作業中にも行われる。そのために、Ｘ軸テーブル７１のθテーブル７３に、吸着テーブル７１を挟むようにして固定した１対のフラッシングボックス９５ａを有するフラッシングユニット９５を設けている（図４参照）。フラッシングボックス９５ａは、θテーブル７３と共に主走査時に移動するので、ヘッドユニット２１等をフラッシング動作のために移動させることがない。すなわち、フラッシングボックス９５ａはワークＷと共にヘッドユニット２１へ向かって移動していくので、フラッシングボックス９５ａに臨んだ液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２から順次フラッシング動作を行うことができる。なお、フラッシングボックス９５ａで受けた機能液は、収納室１４に配置した廃液タンク２０４に貯留される。また、石定盤１２の機台１３とは反対側の側部には、ヘッドユニット２１の２つのヘッド列３０Ｌ，３０Ｒに対応する一対のフラッシングボックス９６ａを有する予備のフラッシングユニット９６が配置されている。
【００３９】
ドット抜け検出ユニット９３は、液滴吐出ヘッド３１の全吐出ノズル４２から液滴が確実に吐出されているか否か、すなわち各液滴吐出ヘッド３１にノズル詰まり等が生じているか否かを検出するものである。ドット抜け検出ユニット９３は、ヘッドユニット２１の２つのヘッド列３０Ｌ，３０Ｒに対応して設けた一対の光学式検出器１１１Ｌ，１１１Ｒで構成されている。各検出器１１１Ｌ，１１１Ｒは、レーザーダイオード等の発光素子１１２と受光素子１１３とを対向させ、両素子１１２，１１３間の光路を吐出した液滴が遮断するか否かで、ドット抜け（吐出不良）を検出するようになっている。そして、ヘッドユニット２１を各ヘッド列３０Ｌ，３０Ｒの液滴吐出ヘッド３１が各検出器１１１Ｌ，１１１Ｒの直上部を通るようにＹ軸方向に移動させつつ、各吐出ノズル４２から順に液滴を吐出させて、ドット抜けの検査を行う。
【００４０】
液滴受けユニット９４は、液滴の吐出量（重量）を液滴吐出ヘッド２１単位で測定するために使用するものであり、共通ベース１９をホーム位置から図４，図５で左方に移動させたときに、メンテナンス位置に存するヘッドユニット２１の直下部に臨むように配置した載置台１２１と、載置台１２１上にヘッドユニット２１の１２個の液滴吐出ヘッド３１に合わせて載置した１２個の受け容器１２２とを備えている。液滴の吐出量測定に際しては、各液滴吐出ヘッド３１から各受け容器１２２に向けて所定回数液滴を吐出させ、各受け容器１２２を図外の電子天秤に移載して、各受け容器１２２内の液滴の重量を測定する。
【００４１】
ワイピングユニット９２は、液滴吐出ヘッド３１の吸引（クリーニング）等により機能液が付着して汚れた各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を、ワイピングシート１３０（図１４参照）を用いて拭き取るものであり、別個独立に構成されたシート供給ユニット１３１と拭き取りユニット１３２とを備える。これらシート供給ユニット１３１と拭き取りユニット１３２とは、共通ベース１９上に、拭き取りユニット１３２を吸引ユニット９１側に位置させた状態でＸ軸方向に並べて配置されており、メンテナンス位置に存するヘッドユニット２１に向けて移動テーブル１８の動きにより拭き取りユニット１３２がシート供給ユニット１３１と一体に払拭方向たるＸ軸方向一方（図４，図５の右方）に移動し、ヘッドユニット２１の１２個全ての液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を払拭する。
【００４２】
図８、図９および図１０に示すように、シート供給ユニット１３１は、Ｙ軸方向片側に立設したフレーム１４１に片持ち状態で着脱自在に軸支した上側の繰出しリール１４２および下側の巻取りリール１４３と、巻取りリール１４３を巻取り回転させる巻取りモータ１４４とを備えている。また、フレーム１４１の上側部にはサブフレーム１４５が固定されており、このサブフレーム１４５には、繰出しリール１４２の先方に位置するように速度検出ローラ１４６およびガイドローラ１４７が、両持ちで支持されている。さらに、これら構成部品の下側には、洗浄液を受ける洗浄液パン１４８が配設されている。
【００４３】
繰出しリール１４２には、ロール状のワイピングシート１３０が挿填され、繰出しリール１４２から繰り出されたワイピングシート１３０は、速度検出ローラ１４６およびガイドローラ１４７を介して拭き取りユニット１３２に送り込まれる。巻取りリール１４３と巻取りモータ１４４との間にはタイミングベルト１４９が掛け渡され、巻取りリール１４３は巻取りモータ１４４により回転してワイピングシート１３０を巻き取る。
【００４４】
詳細は後述するが、拭き取りユニット１３２にもワイピングシート１３０を送るモータ（送り込みモータ１６４）が設けられており、繰出しリール１４２は、これに設けたトルクリミッタ１５０により、送り込みモータ１６４に抗するように制動回転する。速度検出ローラ１４６は、自由回転する上下２つのローラ１４６ａ，１４６ｂから成るグリップローラであり、これに設けた速度検出器１５１により、巻取りモータ１４４を制御する。すなわち、繰出しリール１４２は、ワイピングシート１３０を張った状態で送り出し、巻取りリール１４３は、ワイピングシート１３０を弛みが生じないように巻き取る。
【００４５】
また、繰出しリール１４２と速度検出ローラ１４６との間のシート走行路部分の下方に光学式のシート検出器１５２を配置し、繰出しリール１４２から繰り出されるワイピングシート１３０の端末が通過したことをシート検出器１５２で検出したとき、繰出しリール１４２および巻取りリール１４３の交換指令を出すようにしている。
【００４６】
図１１、図１２および図１３に示すように、拭き取りユニット１３２は、Ｙ軸方向両側に立設した一対のスタンド１６１，１６１間に昇降自在に支持される昇降枠１６２と、昇降枠１６２上に両持ちで回転自在に支持される押圧ローラ１６３と、押圧ローラ１６３を回転させる送り込みモータ１６４と、押圧ローラ１６３に送り込まれるワイピングシート１３０に機能液の溶剤から成る洗浄液を供給する洗浄液吐出ヘッド（洗浄液吐出部材）１６５とを備えている。
【００４７】
昇降枠１６２のＹ軸方向両側には一対の脚片１６６が垂設されており、各脚片１６６を各スタンド１６１の内側面に取り付けたガイド１６７に上下動自在に係合させている。そして、各スタンド１６１のベース部にエアーシリンダ１６８を立設し、そのピストンロッド１６８ａを各脚片１６６に連結して、エアーシリンダ１６８の作動により、昇降枠１６２およびこれに支持された押圧ローラ１６３や洗浄液吐出ヘッド１６５等が昇降されるようにしている。
【００４８】
押圧ローラ１６３は、送り込みモータ１６４によりタイミングベルト１６９を介して回転駆動されるようになっている。また、昇降枠１６２には、押圧ローラ１６３の下側に沿わせてピンチローラ１７０が軸支されており、図１４（ａ）に示す如く、押圧ローラ１６３から巻取りリール１４３に向けて送り出されるワイピングシート１３０の部分をピンチローラ１７０との間に挟み込んで、ワイピングシート１３０が押圧ローラ１６３に対しスリップしないようにし、押圧ローラ１６３の回転でワイピングシート１３０が押圧ローラ１６３に確実に送り込まれるようにしている。
【００４９】
押圧ローラ１６３は、軸部１６３ａの外周にゴム等の弾性体１６３ｂを装着した弾性ローラで構成されている。そして、拭き取りユニット１３２（昇降枠１６２）を上昇端位置に上昇させた状態では、押圧ローラ１６３に周回するワイピングシート１３０の最上部の位置がヘッドユニット２１に搭載した液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４の位置より若干高くなるようにし、拭き取りユニット１６３のＸ軸方向一方への往動で押圧ローラ１６３がノズル形成面４４の直下部を横切るとき、ワイピングシート１３０および押圧ローラ１６３が下方に圧縮されて、その弾性復元力によりワイピングシート１３０がノズル面４４に押しつけられるようになっている（図１４（ｂ）参照）。
【００５０】
洗浄液吐出ヘッド１６５は、押圧ローラ１６３に対するワイピングシート１３０の送り込み側に位置して押圧ローラ１６３に近接対向するように配置されている。そして、図１４（ａ）に示す如く、上記ガイドローラ１４７を経由して送られてくるワイピングシート１３０を下方から押圧ローラ１６３と洗浄液吐出ヘッド１６５との間の隙間を通して押圧ローラ１６３に送り込んでいる。ここで、洗浄液吐出ヘッド１６５の押圧ローラ１６３側を向く前面部分には、ノズル穴（図示せず）がワイピングシート１３０の幅に合わせて横並びに多数設けられており、一方、洗浄液吐出ヘッド１６５の後面には、配管用の複数のコネクタ１７１が設けられている。
【００５１】
また、収納室１４に洗浄液タンク２０５を収納すると共に、共通ベース１９上に、シート供給ユニット１３１の前部側方に位置する配管用の分配盤１７２（図５参照）を配置している。そして、洗浄液タンク２０５から分配盤１７２とコネクタ１７１とを介して洗浄液吐出ヘッド１６５に洗浄液を供給し、押圧ローラ１６３と洗浄液吐出ヘッド１６５との間の隙間を通過するワイピングシート１３０に向けて洗浄液吐出ヘッド１６５のノズル穴から洗浄液を吐出させている。
【００５２】
ところで、ワイピングシート１３０は、洗浄液たる溶剤による溶出の影響が比較的少ないポリエステル１００％またはポリプロピレン１００％のワイパー材（布材）で構成され、その厚さは、拭き取った汚れの吸収性を確保するため、０．４ｍｍ以上にすることが望まれている（好ましくは、０．４ｍｍ〜０．６ｍｍ）。この場合、ワイピングシート１３０の裏面から洗浄液を塗布したのでは、ワイピングシート１３０の表面（ノズル面４４に接する面）に洗浄液が染み込む迄に時間かかる。
【００５３】
そのため、ワイピングシート１３０の表面に洗浄液を行き渡らせて、ノズル面４４の汚れを効率良く払拭し得るようにするには、押圧ローラ１６３と洗浄液吐出ヘッド１６５との間の距離を長く取ることが必要になる。ここで、ノズル面４４の払拭に際しては、洗浄液吐出ヘッド１６５で洗浄液を塗布したワイピングシート１３０の部分が押圧ローラ１６３の最上部に到達するまでワイピングシート１３０を空送りしてから払拭作業を開始する必要があり、押圧ローラ１６３と洗浄液吐出ヘッド１６５との間の距離を長く取ると、空送りによって無駄に消費されるワイピングシートの長さが長くなる。
【００５４】
これに対し、押圧ローラ１６３と洗浄液吐出ヘッド１６５との間の隙間に下方からワイピングシート１３０を通過させるようにした本実施形態では、洗浄液吐出ヘッド１６５にワイピングシート１３０の表面が対向するようになり、洗浄液吐出ヘッド１６５から吐出された洗浄液がワイピングシート１３０の表面に直接塗布される。そのため、洗浄液吐出ヘッド１６５を押圧ローラ１６３の可及的近傍に配置しても、ワイピングシート１３０の表面に洗浄液を行き渡らせて、ノズル面４４の汚れを効果的に払拭できる。その結果、ワイピングシート１３０の空送り長さ（洗浄液吐出ヘッド１６５で洗浄液を塗布したワイピングシート１３０の部分が押圧ローラ１６３の最上部に到達するまでの送り長さ）を可及的に短縮でき、ワイピングシート１３０の消費量の削減を図れる。
【００５５】
なお、洗浄液吐出ヘッド１６５は、ノズル面４４に干渉しないように、ノズル面４４にワイピングシート１３０を押しつけた状態でノズル面４４に合致する水平面Ｈ（図１４（ｂ）参照）より下方に配置されている。また、押圧ローラ１６３の下方に位置して、昇降枠１６２にも洗浄液パン１７３が設けられており、シート供給ユニット１３１の洗浄液パン１４８と共に、ワイピングシート１３０から滴る洗浄液を受け得るようになっている。
【００５６】
以下、図１５を参照して、ワイピングユニット９２によるノズル面４４の払拭作業手順について説明する。ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド３１の吸引ユニット９１による吸引が完了すると、移動テーブル１８用のモータ１６の作動で拭き取りユニット１３２をシート供給ユニット１３１と一体に、ホーム位置からメンテナンス位置に存するヘッドユニット２１に向けてＸ軸方向一方に往動させる。押圧ローラ１６３がヘッドユニット２１の一方のヘッド列３０Ｌの液滴吐出ヘッド３１の直前まで移動したら（図１５のｔ１の時点）、拭き取りユニット１３２の往動を一旦停止し、エアーシリンダ１６８の作動で拭き取りユニット１３２を上昇端位置に上昇させる。
【００５７】
上昇後、拭き取りユニット１３２の往動を再開し、同時に、巻取りモータ１４４および送り込みモータ１６４を駆動して、ワイピングシート１３０の送りを開始すると共に、洗浄液吐出ヘッド１６５からの洗浄液の吐出を開始する。これによれば、押圧ローラ１６３がヘッド列３０Ｌの液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に到達する時点（図１５のｔ２の時点）までに空送りが完了し、表面に洗浄液が行き渡った状態でワイピングシート１３０がノズル面４４に押しつけられ、ノズル面４４の払拭が開始される。以後、押圧ローラ１６３がノズル面４４に沿ってこれを横切るように進行すると共に、ワイピングシート１３０の送りによりノズル面４４に対する接触部に常に新たなシート部分が供給され、ノズル面４４の汚れが効率良く払拭される。
【００５８】
押圧ローラ１６３がヘッド列３０Ｌに属する全ての液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を横切り終わると（図１５のｔ３の時点）、拭き取りユニット１３２の往動を継続したまま、ワイピングシート１３０の送りと洗浄液の吐出とを一旦停止し、その後、押圧ローラ１６３がヘッドユニット２１の他方のヘッド列３０Ｒの液滴吐出ヘッド３１の直前まで移動したとき（図１５のｔ４の時点）、ワイピングシート１３０の送りと洗浄液の吐出とを再開して、押圧ローラ１６３がヘッド列３０Ｒの液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に到達する時点（図１５のｔ５の時点）までに空送りを完了し、上記と同様にヘッド列３０Ｒの液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を払拭する。このようにして、一方のヘッド列３０Ｌと他方のヘッド列３０Ｒとの間に位置する拭き取りユニット１３２の移動区間では、ワイピングシート１３０の送りと洗浄液の吐出とが休止され、ワイピングシート１３０および洗浄液が無駄に消費されることが防止される。
【００５９】
押圧ローラ１６３がヘッド列３０Ｒに属する全ての液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を横切り、ヘッドユニット２１の全ての液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４の払拭が完了すると（図１５のｔ６の時点）、ワイピングシート１３０の送りと洗浄液の吐出とを停止すると共に、拭き取りユニット１３２の往動を停止して、拭き取りユニット１３２を下降させる。そして、下降後、拭き取りユニット１３２をＸ軸方向他方に復動させ、ホーム位置に復帰させる。このように、拭き取りユニット１３２を下降させた状態で復動させるため、復動時にワイピングシート１３０はノズル面４４に接触せず、拭き取った汚れがノズル面４４に再付着することを防止できる。
【００６０】
なお、上記実施形態では、シート供給ユニット１３１と拭き取りユニット１３２とを別個独立に構成しているが、シート供給ユニット１３１と拭き取りユニット１３２とを一体的に構成して、拭き取りユニット１３２と一体にシート供給ユニット１３１を昇降させるようにしても良い。
【００６１】
次に、上記の描画装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図１６は、液晶表示装置３０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置３０１は、ガラス基板３２１を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）３２２および配向膜３２３を形成した上基板３１１および下基板３１２と、この上下両基板３１１，３１２間に介設した多数のスペーサ３３１と、上下両基板３１１，３１２間を封止するシール材３３２と、上下両基板３１１，３１２間に充填した液晶３３３とで構成されると共に、上基板３１１の背面に位相基板３４１および偏光板３４２ａを積層し、且つ下基板３１２の背面に偏光板３４２ｂおよびバックライト３４３を積層して、構成されている。
【００６２】
通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜３２２のパターニングおよび配向膜３２３の塗布を行って上基板３１１および下基板３１２を別々に作製した後、下基板３１２にスペーサ３３１およびシール材３３２を作り込み、この状態で上基板３１１を貼り合わせる。次いで、シール材３３２の注入口から液晶３３３を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板３４１、両偏光板３４２ａ，３４２ｂおよびバックライト３４３を積層する。
【００６３】
実施形態の描画装置１は、例えば、スペーサ３３１の形成や、液晶３３３の注入に利用することができる。具体的には、機能液としてセルギャップを構成するスペーサ材料（例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂）や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出（塗布）させていく。先ずシール材３３２を環状に印刷した下基板３１２を吸着テーブルにセットし、この下基板３１２上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板３１２のシール材３３２の内側に、液晶３３３を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板３１１と、液晶を所定量塗布した下基板３１２を真空中に導入して貼り合わせる。
【００６４】
このように、上基板３１１と下基板３１２とを貼り合わせる前に、液晶３３３をセルの中に均一に塗布（充填）するようにしているため、液晶３３３がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。
【００６５】
なお、機能液（シール材用材料）として紫外線硬化樹脂或いは熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材３３２の印刷をこの描画装置１で行うことも可能である。同様に、機能液（配向膜材料）としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜３２３を描画装置１で作成することも可能である。また、実施形態の描画装置１を用いて、透明導電膜３２２を形成することも可能である。
【００６６】
このように、液晶表示装置３０１の製造に上記した描画装置１を使用した場合、液滴吐出ヘッド３１のノズル形成面４４の汚れを確実に拭き取ることができるため、ノズル形成面４４の汚れがワークに落下して、製品不良を生ずることを防止できる。
【００６７】
ところで、上記した描画装置１は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置３０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。
【００６８】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した描画装置１を応用した例を簡単に説明する。図１７に示すように、有機ＥＬ装置４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００６９】
有機ＥＬ装置４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置４０１が製造される。
【００７０】
描画装置１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、液滴吐出ヘッド３１に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、描画装置１を利用して作成することも可能である。
【００７１】
また例えば、電子放出装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。
【００７２】
ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【００７３】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【００７４】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられ、本実施形態の液滴吐出装置１は、これらの各種製造方法にも、適用可能である。
【００７５】
例えば、金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【００７６】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【００７７】
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【００７８】
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【００７９】
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【００８０】
このように、液滴吐出装置１には、多種の機能液が導入される可能性があるが、上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、電気光学装置を精度良く且つ安定に製造することができる。
【００８１】
【発明の効果】
以上のように本発明のワイピングユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドに対する払拭性を損なうことなく、ワイピングシートの空送り長さを可及的に短縮でき、ランニングコストを削減することができる。
【００８２】
本発明の電気光学装置、その製造方法および電子機器によれば、液滴吐出ヘッドが清浄に管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い高品質の電気光学装置や電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態の描画装置の外観斜視図である。
【図２】実施形態の描画装置の正面図である。
【図３】図２の右方から見た実施形態の描画装置の側面図である。
【図４】実施形態の描画装置の一部を省略した平面図である。
【図５】実施形態のワイピングユニットを含むメンテナンス手段の斜視図である。
【図６】実施形態のヘッドユニットの平面図である。
【図７】（ａ）実施形態の液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図８】実施形態のシート供給ユニットの斜視図である。
【図９】実施形態のシート供給ユニットの平面図である。
【図１０】図９の左方から見た実施形態のシート供給ユニットの正面図である。
【図１１】実施形態の拭き取りユニットの斜視図である。
【図１２】実施形態の拭き取りユニットの正面図である。
【図１３】図１２のＸＩＩ−ＸＩＩ線で切断した実施形態の拭き取りユニットの断面図である。
【図１４】（ａ）実施形態の拭き取りユニットの模式図、（ｂ）ノズル面に対する押圧ローラおよび洗浄液吐出ヘッドの位置関係を示す図である。
【図１５】実施形態のワイピングユニットによる払拭作業を示すタイムチャートである。
【図１６】実施形態の描画装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図１７】実施形態の描画装置で製造する有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  描画装置                        ２１  ヘッドユニット
３１  液滴吐出ヘッド                  ４２  吐出ノズル
４４  ノズル面                        ９２  ワイピングユニット
１３０  ワイピングシート              １３１  シート供給ユニット
１３２  拭き取りユニット              １６３  押圧ローラ
１６５  洗浄液吐出ヘッド（洗浄液吐出部材）
【図１】
2004195908.tif 000003
【図２】
2004195908.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2004195908.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2004195908.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2004195908.tif 000017
【図１６】
2004195908.tif 000018
【図１７】
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