(57)【要約】【課題】動圧流体軸受装置およびこれを備えたモータにおいて、軸部を構成するシャフトに対するフランジの取り付け誤差の低減および、精度のよいスラスト動圧溝を構成し、安定したスラスト軸受剛性を持たせるようにする。【解決手段】軸部３としてのシャフト１とフランジ２をガラス材の一体成型により製作され、シャフト１に外ばめされるようスリーブ４が取り付けられるとともに、フランジ２は軸方向に所定間隔をもってスリーブ４とスリーブキャップ５とにより、スラスト方向に挟み込むように装着され、そのスリーブ４とスリーブキャップ５により軸受部６が構成されている。軸部３と軸受部６の間には潤滑油７が供給された動圧流体軸受装置である。【選択図】　　図１
2004036716.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部と前記ロータとが継合された動圧流体軸受装置において、前記フランジと前記シャフトがガラス材にて一体的に構成されていることを特徴とする動圧流体軸受装置。
【請求項２】
フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記フランジと前記シャフトがガラス材にて一体的に構成され、かつ前記フランジおよび前記スリーブキャップに曲面を持たせたことを特徴とする動圧流体軸受装置。
【請求項３】
前記スリーブキャップがガラス材料にて構成されたことを特徴とする請求項２に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項４】
フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記フランジのスラスト動圧溝が凸であることを特徴とする動圧流体軸受装置。
【請求項５】
フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記シャフトにテーパを設けたことを特徴とする動圧流体軸受装置。
【請求項６】
フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記シャフトの中央部にテーパを設けたことを特徴とする動圧流体軸受装置。
【請求項７】
フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記フランジの下端中央部に凹部を設けたことを特徴とする動圧流体軸受装置。
【請求項８】
前記フランジの下端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項９】
前記スリーブキャップをガラス材料にしたことを特徴とする請求項８に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項１０】
前記フランジの下端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項５に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項１１】
前記フランジ下端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項６に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項１２】
フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項１３】
前記スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項１４】
フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記フランジおよび下端中央部に凹部を設けた前記スリーブキャップに曲面半径を持たせるとともに、前記スリーブキャップをガラス材料にしたことを特徴とする動圧流体軸受装置。
【請求項１５】
前記スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項５に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項１６】
前記スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項６に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項１７】
室温における導電率が１０−８Ｓ・ｃｍ−１以上の導電性ガラス材料にて前記シャフトおよび前記フランジが構成されていることを特徴とする請求項１または２、または請求項４から１０に記載の動圧流体軸受装置。
【請求項１８】
室温における導電率が１０−８Ｓ・ｃｍ−１以上の導電性ガラス材料にて前記スリーブキャップが構成されていることを特徴とする請求項３または１２に記載の動圧流体軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軸部と軸受部の相対回転時にその間に充填された潤滑油に圧力を発生させ、その圧力によって軸部を支持する動圧流体軸受装置およびこれを備えたモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、動圧流体軸受装置として、図１４、図１５に記載のような動圧流体軸受モータが提案されている。図１４、図１５において、シャフト１にフランジ２が接着等により固定されることで軸部３を構成している。軸部３との間に径方向すなわちジャーナル方向に所定間隔をもってスリーブ４が外ばめされている。また、軸方向に所定間隔をもってスリーブ４とスリーブキャップ５とによりフランジ２がスラスト方向に挟み込まれるように構成されている。これらスリーブ４とスリーブキャップ５とによって軸受部６が構成され、軸部３と軸受部６との間隙に潤滑油７が充填されている。
【０００３】
このような動圧流体軸受装置は、上下方向のシャフト１の外周面とこれに対向するスリーブ４の内周面との一方または両方に、ラジアル方向の動圧を発生させるためのヘリングボーン形状の上側ラジアル動圧溝８、下側ラジアル動圧溝９が上下２箇所の位置に設けられ、このシャフト１の外周面とスリーブ４の内周面との間隙に潤滑油７がが充填される。スラスト方向の動圧を発生させるために、フランジ２の両面と、これら両面に対向するスリーブ４およびスリーブキャップ５との間隙にも潤滑油７が充填される。また、スラスト方向の動圧を発生させるために、フランジ２にはヘリングボーン形状のスラスト動圧溝１０が設けられている。
【０００４】
このような動圧流体軸受装置は、ハードディスク駆動用あるいはＣＤ−ＲＯＭ駆動用のスピンドルモータ等に使用されることが多い。その場合においては、シャフトあるいはスリーブの一方がモータのステータ及びベースプレートに固定され、他方がロータに連結される。すなわちモータには、シャフトが固定され、かつ、それに対してロータが回転するシャフト固定型と、シャフトがロータと共に回転するシャフト回転型がある。シャフト固定型の場合はシャフトがベースの固定部に固定され、スリーブがロータに一体的に回転するよう結合される。また、シャフト回転型では、スリーブがモータの固定部に固定され、シャフトがロータに連結される。
【０００５】
図１４に記載されたモータはシャフト回転型で、スリーブ４はベースプレート１１に固定され、シャフト１がロータ１２に一体的に回転するように結合されている。また、図１４に記載されたモータは、磁気ディスクのような記録ディスク１３を回転駆動させるもので、この磁気ディスク１３がロータ１２に固定されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような動圧流体軸受装置及びそれを備えたモータにおいては、軸部と軸受部とのラジアル方向およびスラスト方向の隙間は極微小であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の精度がモータの性能に大きく影響するという課題があった。また、スラスト方向の動圧を発生させるためにフランジの上下面にはスラスト動圧溝が必要であり、材質がＳＵＳ等の金属であるためエッチング等により形成する必要があり、スラスト動圧溝の精度の確保にも課題があった。すなわち、フランジとスリーブおよびスリーブキャップの隙間は約３０μｍであり、シャフトに対してフランジの直角度の精度が悪く傾斜して取り付けられると、フランジの上面がスリーブに、フランジの下面がスリーブキャップに擦ることになり、摩擦力が生じて最悪の場合、モータは回らなくなる。また、シャフトに対してフランジの直角度の精度が悪く、フランジがスリーブおよびスリーブキャップに接触していなくても傾いていると、スラスト方向の軸受剛性は悪くなる。一般的にスラスト軸受剛性は浮上量の２乗に反比例し、面積の２乗に比例すると言われており、フランジが傾いていると最小浮上量に対する剛性の面積が少なくなり、結果としてスラスト軸受剛性が弱くなり、外乱に対する余裕度が減少することになる。
【０００７】
本発明の目的は、シャフトにフランジを固定させるときに発生する取り付け誤差を無くするとともに、スラスト動圧溝を精度よく製作し、安定したスラスト方向の軸受剛性を得ることができる動圧流体軸受装置及びこれを備えたモータを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため本発明は、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型にて構成したり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でするとともに、フランジの下端部に曲面およびスリーブキャップに曲面を設けた構成にしたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でするとともに、フランジの下端部に曲面およびスリーブキャップに曲面を設け、かつ、スリーブキャップをガラス材料にしたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でし、かつ、スラスト動圧溝を凸形状にしたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でし、かつ、成型し易いようにシャフトにテーパを設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でし、かつ、成型し易いようにシャフトの中央部にテーパを設けたり、
シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でし、かつ、フランジの下端中央部の凹部を設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でするとともに、フランジの下端部に曲面およびスリーブキャップに曲面を設け、かつ、フランジ下部中央部に凹部を設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でするとともに、フランジの下端部に曲面およびガラス材のスリーブキャップに曲面を設け、かつ、フランジ下端中央部に凹部を設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でし、かつ、成型し易いようにシャフトにテーパを設け、かつ、フランジの下部中央部に凹部を設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でし、かつ、成型し易いようにシャフトの中央部にテーパを設け、かつ、フランジの下端中央部に凹部を設けたり、
シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でするとともに、スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でするとともに、フランジの下端部に曲面を設け、スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でするとともに、フランジの下端部に曲面およびスリーブキャップに曲面を設け、かつ、スリーブキャップをガラス材料し、スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でし、かつ、成型し易いようにシャフトにテーパを設け、スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたり、シャフトとフランジの一体化およびフランジの動圧溝をガラスの一体成型でし、かつ、成型し易いようにシャフトの中央部にテーパを設け、スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたり、あるいは、これらの構成を組み合わせることにより、シャフトに対するフランジの位置精度、およびスラスト動圧溝形状の精度が同時に確保されるので、安定した動圧流体軸受装置及びこれを備えたモータが実現できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の動圧流体軸受装置は、フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部と前記ロータとが継合された動圧流体軸受装置において、前記フランジと前記シャフトがガラス材にて一体的に構成されていることを特徴とする動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られるので、安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１０】
請求項２に記載の動圧流体軸受装置は、フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記フランジと前記シャフトがガラス材にて一体的に構成され、かつ前記フランジおよび前記スリーブキャップに曲面を持たせたことを特徴とする動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、軸部が倒れても曲面があるためスラスト方向の軸受剛性は損なわれにくく、安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１１】
請求項３に記載の動圧流体軸受装置は、前記スリーブキャップがガラス材料にて構成されたことを特徴とする請求項２に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、スリーブキャップはガラスの成型にて製作されるので、曲面の形状が自在にでき、かつ、軸部が倒れても曲面があるためスラスト方向の軸受剛性は損なわれにくく、安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１２】
請求項４に記載の動圧流体軸受装置は、フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記フランジのスラスト動圧溝が凸であることを特徴とする動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、スラスト動圧溝が凸になっているのでモータが停止時には、スラスト動圧溝の一部とスリーブキャップが接触することになり、モータ起動時のトルクを低減できるとともに、安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１３】
請求項５に記載の動圧流体軸受装置は、フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記シャフトにテーパを設けたことを特徴とする動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、シャフトが成型し易いようにシャフトにテーパを設けているので、一体成型がしやすく、かつ、安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１４】
請求項６に記載の動圧流体軸受装置は、フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記シャフトの中央部にテーパを設けたことを特徴とする動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、ラジアル軸受剛性を発生しないシャフト中央部にテーパを設けているので、一体成型がしやすく、かつ、安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１５】
請求項７に記載の動圧流体軸受装置は、フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記フランジの下端中央部に凹部を設けたことを特徴とする動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１６】
請求項８に記載の動圧流体軸受装置は、前記フランジの下端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、軸部が倒れても曲面があるためスラスト方向の軸受剛性は損なわれにくく、また、フランジの中央部に凹部があるので、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１７】
請求項９に記載の動圧流体軸受装置は、前記スリーブキャップをガラス材料にしたことを特徴とする請求項８に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、軸部が倒れても曲面があるためスラスト方向の軸受剛性は損なわれにくく、また、フランジはガラスの成型にて製作されるので、曲面の形状および中央部の凹部の形成が容易であり、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１８】
請求項１０に記載の動圧流体軸受装置は、前記フランジの下端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項５に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、シャフトが成型し易いようにシャフトにテーパを設けているので、一体成型がしやすく、かつ、フランジの中央部に凹部があるので、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００１９】
請求項１１に記載の動圧流体軸受装置は、前記フランジ下端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項６に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、ラジアル軸受剛性を発生しないシャフト中央部にテーパを設けているので、一体成型がしやすく、かつ、フランジの中央部に凹部があるので、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００２０】
請求項１２に記載の動圧流体軸受装置は、フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００２１】
請求項１３に記載の動圧流体軸受装置は、前記スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、軸部が倒れても曲面があるためスラスト方向の軸受剛性は損なわれにくく、また、スリーブキャップの中央部に凹部があるので、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００２２】
請求項１４に記載の動圧流体軸受装置は、フランジと、前記フランジに設けたシャフトから成る軸部と、前記フランジに対向して配置されたロータと、前記軸部の周囲に配置されたスリーブと、前記軸部と前記ロータとを継合し、前記軸部と前記スリーブを封止するために前記スリーブキャップが前記軸受の前記フランジ側に配置された動圧流体軸受装置において、前記シャフトおよび前記フランジがガラス材料にて一体的に構成され、かつ、前記フランジおよび下端中央部に凹部を設けた前記スリーブキャップに曲面半径を持たせるとともに、前記スリーブキャップをガラス材料にしたことを特徴とする動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、軸部が倒れても曲面があるためスラスト方向の軸受剛性は損なわれにくく、また、スリーブキャップはガラスの成型にて製作されるので曲面の形状および凹部の形成が容易であり、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００２３】
請求項１５に記載の動圧流体軸受装置は、前記スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項５に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、シャフトが成型し易いようにシャフトにテーパを設けているので、一体成型がしやすく、かつ、スリーブキャップの中央部に凹部があるので、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００２４】
請求項１６に記載の動圧流体軸受装置は、前記スリーブキャップの上端中央部に凹部を設けたことを特徴とする請求項６に記載の動圧流体軸受装置であり、シャフトに固定するフランジのシャフトに対する直角度の取り付け誤差がなくなるとともに、精度のよいスラスト動圧溝が得られ、かつ、ラジアル軸受剛性を発生しないシャフト中央部にテーパを設けているので、一体成型がしやすく、かつ、スリーブキャップの中央部に凹部があるので、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉は凹部にトラップされるので、発生した異物に対してフランジとスリーブキャップが接触しにくく、モータの信頼性の向上および安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００２５】
請求項１７に記載の動圧流体軸受装置は、室温における導電率が１０−８Ｓ・ｃｍ−１以上の導電性ガラス材料にて前記シャフトおよび前記フランジが構成されていることを特徴とする請求項１または２、または請求項４から１０に記載の動圧流体軸受装置であり、軸受の回転により発生した静電気が導電性ガラスを経由してスリーブ、ベースへとアースされ、信号を記録／再生する磁気ヘッドへの静電気の影響が少なく、かつ、安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００２６】
請求項１８に記載の動圧流体軸受装置は、室温における導電率が１０−８Ｓ・ｃｍ−１以上の導電性ガラス材料にて前記スリーブキャップが構成されていることを特徴とする請求項３または１２に記載の動圧流体軸受装置であり、軸受の回転により発生した静電気が導電性ガラスを経由してスリーブキャップ、スリーブ、ベースへとアースされ、信号を記録／再生する磁気ヘッドへの静電気の影響が少なく、かつ、安定したスラスト軸受剛性を持った動圧流体軸受装置が実現できる。
【００２７】
（実施の形態１）
以下に、本発明の請求項１に記載された発明の実施の形態について、図１ａ、図１ｂを用いて説明する。
【００２８】
図１ａ，図１ｂにおいて、上下方向に配置されたシャフト１およびシャフト１の下端部において、半径方向に鍔を持ったフランジ２がガラス材料にて一体成型されており、シャフト１とフランジ２により軸部３を形成している。シャフト１との間に半径方向すなわちジャーナル方向の距離をおいてスリーブ４が外ばめされている。
【００２９】
軸部３は、スリーブ４とスリーブ４に接着等により固定されたスリーブキャップ５により形成された軸受部６により微小な隙間を設けて取り付けられている。軸受部６のスリーブ４の外周部はベースプレート１１に接着等により固定されており、この軸部３は、軸受部６に対して相対的に回転可能となっている。
【００３０】
シャフト１の外周部にはロータ１２が圧入等により取り付けられ、そのロータ１２には、磁気ディスク１３が所定の間隔を空けるためのスペーサ１４を用いて取り付けられている。
【００３１】
磁気ディスク１３およびスペーサ１４はクランプ１５により固定され、そのクランプ１５はビス１６によりロータ１２に固定されている。ロータ１２の内周には磁気回路の効率をよくするためバックヨーク１７が取り付けられ、そのバックヨーク１７の内周にはロータマグネット１８が接着等により取り付けられている。
【００３２】
ロータマグネット１８に対向してステータ１９が設けられ、このステータ１９は、複数個のステータプレート２０を積層して構成されるとともに、コイル２１が巻かれてベースプレート１１に取り付けられている。
【００３３】
軸部３と軸受部６との間には潤滑油７が充填されている。それゆえ、ステータ１９のコイル２１に電流が供給されると、ステータ１９とロータマグネット１８との相互磁気作用により、ロータマグネット１８に回転力が掛かり、軸部３は軸受部６の回りを所定の方向に回転する。
【００３４】
次に、動圧を発生させる動圧流体軸受装置２２について説明する。動圧流体軸受装置２２は、軸部３のシャフト１およびフランジ２と、軸受部６のスリーブ４およびスリーブキャップ５と潤滑油７とにより構成されている。
【００３５】
動圧流体軸受装置２２は、シャフト１あるいはスリーブ４の一方又は両方の表面における周方向に沿ってヘリングボーン形状の上側ラジアル動圧溝８、下側ラジアル動圧溝９が設けられ、軸部３の回転に伴う溝８、９のポンプ作用を利用して潤滑油７を圧縮し、この圧縮によって発生する圧力（動圧）を利用して、軸部３を軸受部６の回りに回転可能に保持している。また、軸部３のフランジ２の端面には、ガラス材料にて一体成型にてヘリングボーン形状のスラスト動圧溝１０（端部における２箇所の形状が異なっていても、同形状でもよい）が形成されており、軸部３の回転に伴うスラスト動圧溝１０のポンプ作用を利用して潤滑油７を圧縮し、この圧縮によって発生する圧力（動圧）を利用して、軸部３を軸受部６より浮上させ非接触にて軸部３が軸受部６の回りに回転可能に保持している。
【００３６】
このような構成であると、軸受部３のシャフト１およびフランジ２がガラス材料により一体成型されているので、シャフト１に対するフランジ２の取り付け精度（特に直角度）の誤差が無くなり、精度のよい軸受部３が製作できる。また、軸受部３のフランジ２の端面に設けられるスラスト動圧溝１０も一体成型するときに同時に金型により製作されるので、高精度なスラスト動圧溝が形成され、安定したスラスト方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００３７】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について、図２を用いて説明する。なお、前述した実施の形態１と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００３８】
図２において、フランジ２の下端部には曲面が設けられ、そのフランジ２の曲面に対向したスリーブキャップ５の面にも曲面が設けられている。このような構成であると、軸部３が倒れても、フランジ２およびスリーブキャップ５に曲面があるため、フランジ２とスリーブキャップ５が接触しにくくなる。また、理想的に軸部３がフランジ２の曲面の中心付近を起点にして倒れた場合、軸受３が倒れてもフランジ２とスリーブキャップ５の隙間はほとんど変化しないので、スラスト方向の推力の低減はほとんどなくなり、安定したスラスト方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。スリーブキャップ５はガラス材料の一体成型による製作、あるいは、金属材料等を切削、研磨等により製作してもよい。
【００３９】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３について、図３を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００４０】
図３において、フランジ２の下端部には凸形状をしたスラスト動圧溝１０が設けられている。このような構成であると、モータが停止したときフランジ２のスラスト動圧溝１０とスリーブキャップ５が接触するのであるが、スラスト動圧溝１０の凸部と接触するので、接触する面積は全体として少なくなる。それゆえ、モータの起動時に要する起動トルクは少なくなり、モータの起動特性のよい動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００４１】
（実施の形態４）
次に、本発明の実施の形態４について、図４を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００４２】
図４において、シャフト１はガラスの一体成型がし易いようにテーパーが設けられており、スリーブ４にはシャフト１の形状に対応したテーパーが設けられている。このような構成であると、ラジアル方向の軸受剛性を構成する上側ラジアル動圧溝８、下側ラジアル動圧溝部のシャフト１とスリーブ４との隙間の精度出しが容易になり、安定したラジアル方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。図は省略しているが、図４において、図１に記載のスリーブ４のようにスリーブ４の中央部をラジアル方向に大きくし、油溜め部を設けてもよいことは言うまでもない。
【００４３】
（実施の形態５）
次に、本発明の実施の形態５について、図５を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００４４】
図５において、シャフト１の中央部にはガラスの一体成型がし易いようにテーパーが設けられており、上下のラジアル動圧溝８、９部のシャフト径は異なった形状となっている。また、シャフト１の上下ラジアル動圧溝部の外径が異なっているのに対応して、スリーブ４の内径は異なっている。このような構成であると、ラジアル方向の軸受剛性を構成する上側ラジアル動圧溝８、下側ラジアル動圧溝９部以外の中央部等の精度だしはシビアでなくてもよいので、シャフト１とスリーブ４との隙間の精度出しが容易になり、安定したラジアル方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００４５】
（実施の形態６）
次に、本発明の実施の形態６について、図６を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００４６】
図６において、フランジ２の下端中央部にはフランジ凹部２３が設けられている。このような構成であると、シャフト１およびフランジ２とガラスで一体成型する場合に、フランジの中央部の肉厚が厚くなるので変形しやすいのであるが、初めから凹形状にしておくと、変形しても影響が少なくなる。また、フランジ２とスリーブキャップ５の接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされるので、摩耗に対する信頼性のよい動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００４７】
（実施の形態７）
次に、本発明の実施の形態７について、図７を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００４８】
図７において、フランジ２の下端部には曲面が設けられ、かつ、その下端中央部にフランジ凹部２３を設けるとともに、そのフランジ２の曲面に対向したスリーブキャップ５の面にも曲面が設けたものである。このような構成であると、フランジ２とスリーブキャップ５の接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされる。また、軸部３が倒れても、フランジ２およびスリーブキャップ５に曲面があるため、フランジ２とスリーブキャップ５が接触しにくくなる。また、理想的に軸部３がフランジ２の曲面の中心付近を起点にして倒れた場合、軸受３が倒れてもフランジ２とスリーブキャップ５の隙間はほとんど変化しないので、スラスト方向の推力の低減はほとんどなくなり、摩耗に対する信頼性がよく、かつ、安定したスラスト方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。スリーブキャップ５はガラス材料の一体成型による製作、あるいは、金属材料等を切削、研磨等により製作してもよい。
【００４９】
（実施の形態８）
次に、本発明の実施の形態８について、図８を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００５０】
図８において、シャフト１はガラスの一体成型がし易いようにテーパーが設けられており、かつ、フランジ２の下端中央部にはフランジ凹部２３が設けられているとともに、スリーブ４にはシャフト１の形状に対応したテーパーが設けられている。このような構成であると、フランジ２とスリーブキャップ５の接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされる。また、ラジアル方向の軸受剛性を構成する上側ラジアル動圧溝８、下側ラジアル動圧溝部のシャフト１とスリーブ４との隙間の精度出しが容易になり、摩耗に対する信頼性がよく、かつ、安定したラジアル方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００５１】
図は省略しているが、図８において、図１に記載のスリーブ４のようにスリーブ４の中央部をラジアル方向に大きくし、油溜め部を設けてもよいことは言うまでもない。
【００５２】
（実施の形態９）
次に、本発明の実施の形態９について、図９を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００５３】
図９において、シャフト１の中央部にはガラスの一体成型がし易いようにテーパーが設けられており、かつ、フランジ２の下端中央部にはフランジ凹部２３が設けられているとともに、シャフト１の、上下のラジアル動圧溝８、９のシャフト径は異なった形状となっている。また、シャフト１の上下ラジアル動圧溝形状が異なっているのに対応して、スリーブ４の内径は異なっている。このような構成であると、フランジ２とスリーブキャップ５の接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされる。また、ラジアル方向の軸受剛性を構成する上側ラジアル動圧溝８、下側ラジアル動圧溝９部以外の中央部等の精度だしはシビアでなくてもよいので、摩耗に対する信頼性がよく、かつ、シャフト１とスリーブ４との隙間の精度出しが容易になり、安定したラジアル方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００５４】
（実施の形態１０）
次に、本発明の実施の形態１０について、図１０を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００５５】
図１０において、スリーブキャップ５の上端中央部にはスリーブキャップ凹部２４が設けられている。このような構成であると、フランジ２とスリーブキャップ５の接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされるので、摩耗に対する信頼性のよい動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００５６】
（実施の形態１１）
次に、本発明の実施の形態１１について、図１１を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００５７】
図１１において、フランジ２の下端部には曲面が設けられ、そのフランジ２の曲面に対向したスリーブキャップ５の面にも曲面が設けられ、かつ、スリーブキャップ５の上端中央部にスリーブキャップ凹部２４を設けたものである。このような構成であると、フランジ２とスリーブキャップ５の接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされる。また、軸部３が倒れても、フランジ２およびスリーブキャップ５に曲面があるため、フランジ２とスリーブキャップ５が接触しにくくなる。また、理想的に軸部３がフランジ２の曲面の中心付近を起点にして倒れた場合、軸受３が倒れてもフランジ２とスリーブキャップ５の隙間はほとんど変化しないので、スラスト方向の推力の低減はほとんどなくなり、摩耗に対する信頼性がよく、かつ、安定したスラスト方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。スリーブキャップ５はガラス材料の一体成型による製作、あるいは、金属材料等を切削、研磨等により製作してもよい。
【００５８】
（実施の形態１２）
次に、本発明の実施の形態１２について、図１２を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００５９】
図１２において、シャフト１はガラスの一体成型がし易いようにテーパーが設けられており、スリーブ４にはシャフト１の形状に対応したテーパーが設けられている。また、スリーブキャップ５の上端中央部にはスリーブキャップ凹部２４が設けられている。このような構成であると、フランジ２とスリーブキャップ５の接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされる。また、ラジアル方向の軸受剛性を構成する上側ラジアル動圧溝８、下側ラジアル動圧溝部のシャフト１とスリーブ４との隙間の精度出しが容易になり、摩耗に対する信頼性がよく、かつ、安定したラジアル方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。図は省略しているが、図１２において、図１に記載のスリーブ４のようにスリーブ４の中央部をラジアル方向に大きくし、油溜め部を設けても、同様な効果がある。
【００６０】
（実施の形態１３）
次に、本発明の実施の形態１３について、図１３を用いて説明する。なお、前述した実施の形態と同じ構成をなす部材については、以下、同じ符号を用い、その詳細な説明を省略する。
【００６１】
図１３において、シャフト１の中央部にはガラスの一体成型がし易いようにテーパーが設けられており、シャフト１の上下のラジアル動圧溝８、９のシャフト径は異なった形状となっているとともに、シャフト１の上下ラジアル動圧溝形状が異なっているのに対応して、スリーブ４の内径は異なっている。また、スリーブキャップ５の上端中央部にはスリーブキャップ凹部２４が設けられている。このような構成であると、フランジ２とスリーブキャップ５の接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされる。また、ラジアル方向の軸受剛性を構成する上側ラジアル動圧溝８、下側ラジアル動圧溝９部以外の中央部等の精度だしはシビアでなくてもよいので、摩耗に対する信頼性がよく、かつ、シャフト１とスリーブ４との隙間の精度出しが容易になり、安定したラジアル方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００６２】
なお、本発明においては、以上で説明したほかに、各図に記載された構成どうしを合理的な範囲でさまざまに組み合わせることができる。たとえば、図６の構成と図１０の構成を組み合わせることができる。
【００６３】
【発明の効果】
以上のように、本発明の動圧流体軸受装置及びそれを備えたモータにおいては、軸部のシャフトとフランジ、および、フランジの両端部に設けられたスラスト動圧溝をガラス材の一体成型にて作ることができるので、シャフトに対するフランジの取り付け誤差がなく、かつ、精度のよいスラスト動圧溝形状が得られ、安定したスラスト方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００６４】
また、本発明によれば、フランジの下端部およびそのフランジの曲面に対向したスリーブキャップの面にも曲面が設けられているので、軸部が倒れても、フランジとスリーブキャップが接触しにくくなり、安定したスラスト方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００６５】
また、本発明によれば、フランジの下端部には凸形状をしたスラスト動圧溝が設けられているので、モータが停止したときの接触面積は全体として少なくなるので、モータの起動時に要する起動トルクは少なくなり、モータの起動特性のよい動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００６６】
また、本発明によれば、シャフトはガラスの一体成型がし易いようにテーパーが設けられており、スリーブにはシャフトの形状に対応したテーパーが設けられているので、上側ラジアル動圧溝と下側ラジアル動圧溝部のシャフトとスリーブとの隙間の精度出しが容易になり、安定したラジアル方向の軸受剛性を得ることができる動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００６７】
また、本発明によれば、シャフトの中央部にはガラスの一体成型がし易いようにテーパーが設けられており、シャフトの上下ラジアル動圧溝部の外径が異なっているのに対応して、スリーブの内径は異なった形状となっているので、上下ラジアル動圧溝部以外の中央部等の精度だしはシビアでなくてもよいので、シャフトとスリーブとの隙間の精度出しが容易になり、安定したラジアル方向の軸受剛性を持った動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００６８】
また、本発明によれば、フランジの下端中央部にフランジ凹部が設けられているので、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされるので、摩耗に対する信頼性のよい動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００６９】
また、本発明によれば、スリーブキャップの上端中央部にはスリーブキャップ凹部が設けられているので、フランジとスリーブキャップの接触により発生した摩耗粉がこの凹部にトラップされるので、摩耗に対する信頼性のよい動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００７０】
また、本発明によれば、一体成型される軸受部の材質を導電性ガラスにて構成するので、モータの回転により発生する静電気が、スリーブを通してベースプレートにリークさせることができ、静電気に対して信頼性のよい動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【００７１】
また、本発明によれば、一体成型される軸部およびスリーブキャップの材質を導電性ガラスにて構成するので、モータの回転により発生する静電気が、スリーブあるいはスリーブキャップを通してベースプレートにリークさせることができ、静電気に対して信頼性のよい動圧流体軸受装置およびこの装置を用いたモータが実現出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータを示す図
（ｂ）本発明の実施の形態１にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの他に要部の図
【図２】本発明の実施の形態２にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図３】本発明の実施の形態３にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図４】本発明の実施の形態４にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図５】本発明の実施の形態５にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図６】本発明の実施の形態６にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図７】本発明の実施の形態７にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図８】本発明の実施の形態８にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図９】本発明の実施の形態９にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図１０】本発明の実施の形態１０にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図１１】本発明の実施の形態１１にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図１２】本発明の実施の形態１２にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図１３】本発明の実施の形態１３にもとずく動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を供えたモータの要部を示す図
【図１４】従来の動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を備えたモータを示す図
【図１５】従来の動圧流体軸受装置およびこの軸受装置を備えたモータの他の要部を示す図
【符号の説明】
１　　シャフト
２　　フランジ
３　　軸部
４　　スリーブ
５　　スリーブキャップ
６　　軸受部
７　　潤滑油
８　　上側ラジアル動圧溝
９　　下側ラジアル動圧溝
１０　　スラスト動圧溝
１１　　ベースプレート
１２　　ロータ
１３　　磁気ディスク
１４　　スペーサ
１５　　クランプ
１６　　ビス
１７　　バックヨーク
１８　　ロータマグネット
１９　　ステータ
２０　　ステータプレート
２１　　コイル
２２　　動圧流体軸受装置
２３　　フランジ凹部
２４　　スリーブキャップ凹部
【図１】
2004036716.tif 000003
【図２】
2004036716.tif 000004
【図３】
2004036716.tif 000005
【図４】
2004036716.tif 000006
【図５】
2004036716.tif 000007
【図６】
2004036716.tif 000008
【図７】
2004036716.tif 000009
【図８】
2004036716.tif 000010
【図９】
2004036716.tif 000011
【図１０】
2004036716.tif 000012
【図１１】
2004036716.tif 000013
【図１２】
2004036716.tif 000014
【図１３】
2004036716.tif 000015
【図１４】
2004036716.tif 000016
【図１５】
2004036716.tif 000017