(57)【要約】【課題】簡易な構造で気流を自在に制御可能な気流制御装置を提供する。【解決手段】気流制御装置４１は、互いに重ねられた第１通風板４２と第２通風板４３とを備える。第１通風板４２は、内面下側４２ａに第１貫通穴４４が多数配列して形成されている。また、第２通風板４３は、第２貫通穴４７が多数配列して形成されている。第２通風板４３の一端には係合穴４８が形成され、この係合穴４８に第１通風板４２の回転軸４５が貫通する。第２通風板４３は回転軸４５を中心にして第１通風板４２に対して摺動可能に重ね合わされる。操作レバー４９を左右に動かせば、第２通風板４３は第１通風板４２に対して回転軸４５を中心にして図中矢印Ｒのように左右に移動する。【選択図】        図３
2004212018.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに摺動可能に重ね合わされ、それぞれに多数の貫通穴が形成された複数枚の通風板を備え、互いに隣接する通風板どうしを相対移動して前記貫通穴の開口面積を変化させることを特徴とする気流制御装置。
【請求項２】
前記通風板は隣接する通風板に対する相対移動によって貫通穴の開口面積を変化させて通風量を制御することを特徴とする請求項１に記載の気流制御装置。
【請求項３】
前記通風板は隣接する通風板に対する相対移動によって前記通風板の全面に渡って分布する多数の貫通穴の内の一領域の貫通穴の開口面積を変化させることによって通風量分布を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の気流制御装置。
【請求項４】
前記複数枚の通風板を互いに回転可能に結合させる回転軸を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の気流制御装置。
【請求項５】
前記複数枚の通風板を互いに平行移動可能に結合させるレールを更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の気流制御装置。
【請求項６】
前記貫通穴は前記通風板の全面に渡って均一に分布するように形成されたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の気流制御装置。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の気流制御装置を備えたことを特徴とする空気清浄化装置。
【請求項８】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の気流制御装置を備えたことを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気流の流量や方向を制御するための気流制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体等を製造するクリーンルームでは、ＨＥＰＡフィルター等を備えた空気浄化装置を通して清浄化された、極めて塵の少ない空気を通気口から送り出すことで、クリーンルーム内を高度な清浄環境に保っている。このようなクリーンルームにおいては、室内全域に渡って一定レベルの清浄環境を保つために、室内のレイアウトに応じて、通気口から送り出される清浄化された空気の流量や流出方向、即ち気流を制御して、空気の滞留域を減らすように設計される。クリーンルーム内での空気の滞留域を低減するには、清浄化された空気を送り出す通気口の数や、通気口の配列を変える方法が一般的である。また、通気口から送り出される空気の気流を制御するために、穴のあいた板であるパンチングフェースを通気口の前面に備えた気流制御板も知られている。（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２０５６２０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、クリーンルームにおいては、既に配管されているダクトに接続された通気口の位置を自在に変更することで、クリーンルームの気流を制御するのは現実的には著しく困難であった。また、一辺が１ｍ以下の可搬性のある超小型クリーンルーム（クリーンボックス）の場合、清浄化ユニットと一体化された単一の通気口のみ備えているため、通気口の数や配列を変更して気流の制御を行うことは困難であった。一方、穴のあいた板であるパンチングフェースを通気口の前面に備えた従来の気流制御板では、パンチングフェースが固定されているために気流を自在に変更することが困難であった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構造で気流を自在に制御可能な気流制御装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、互いに摺動可能に重ね合わされ、それぞれに多数の貫通穴が形成された複数枚の通風板を備え、互いに隣接する通風板どうしを相対移動して前記貫通穴の開口面積を変化させることを特徴とする気流制御装置が提供される。また、前記通風板は隣接する通風板に対する相対移動によって貫通穴の開口面積を変化させて通風量を制御することを特徴とする気流制御装置が提供される。
【０００７】
このような気流制御装置によれば、互いに隣接する通風板どうしを相対移動させて貫通穴の開口面積を変化させるだけで、通風量を簡単に、且つ自在に制御することができる。気流制御装置は多数の貫通穴が形成された複数枚の通風板を重ね合わせる構造なので、容易に且つローコストに気流の制御を行うことができる。更に、多数の貫通穴が形成された通風板を複数枚重ね合わせる簡易な構成なので、軽量で故障の発生する可能性が低く信頼性の高い気流制御装置を実現できる。
【０００８】
前記通風板は隣接する通風板に対する相対移動によって前記通風板の全面に渡って分布する多数の貫通穴の内の一領域の貫通穴の開口面積を変化させることによって通風量分布を制御してもよい。このような気流制御装置によれば、通風板同士を相対移動させて、全面に渡って分布する多数の貫通穴の一領域だけの開口面積を変化させることで、簡単に通風量の分布を制御することが可能になる。前記通風板に面した領域の一部分だけの通風量を絞り込んだり、増やしたりすることができる。
【０００９】
前記複数枚の通風板は互いに回転可能に結合させる回転軸を更に備えていてもよい。また、前記複数枚の通風板は互いに平行移動可能に結合させるレールを更に備えていてもよい。このような通風板を備えた気流制御装置によれば、複数枚の通風板を動かして気流を制御するに当たって、通風板の移動が容易になり、且つ段階的に気流を制御することが可能になる。
【００１０】
前記貫通穴は前記通風板の全面に渡って均一に分布するように形成されていてもよい。このような通風板を備えた気流制御装置によれば、通風板の移動量に応じて段階的且つ定量的に気流を制御することが可能になる。
【００１１】
本発明によれば、これらの気流制御装置を備えたことを特徴とする空気清浄化装置が提供される。このような気流制御装置を空気清浄化装置に適用すれば、簡易で且つローコストに気流の制御が可能な空気清浄化装置を提供することができる。また、小型軽量で信頼性の高い空気清浄化装置の実現に寄与する。
【００１２】
本発明によれば、これらの気流制御装置を備えたことを特徴とするクリーンルームが提供される。このような気流制御装置をクリーンルームに適用すれば、簡易で且つローコストに気流の制御が可能なクリーンルームを提供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明の気流制御装置を備えたクリーンボックスの概要を示す説明図である。可搬性のある小型クリーンルームであるクリーンボックス（クリーンルーム）１０は、例えば清浄な環境下に置く必要のある装置や部品等に被せて使用する０．５〜１．０ｍ四方の小型のボックス（立方体）であり、気密室１１と空気清浄化装置１２とを備えている。気密室１１は、例えばアルミ製骨材から形成された矩形の枠体１３と、この枠体１３に固着され、気密室１１の底面を除いた５つの壁面を構成するパネル１４とを備えている。パネル１４は、例えば帯電防止処理を施したアクリルプレートから構成され、枠体１３に蝶ネジ１５で取り付けられている。
【００１４】
気密室１１の側壁面を構成する４枚のパネル１４の下部には、開閉自在な排気口１６がそれぞれ形成されている。すなわち、横長の細長い開口１６ａをヒンジ１６ｂにより上下動自在に支持されたダンパー板１６ｃが設けられていて、気密室１１の内圧が上昇すると、ダンパー板１６ｃが自然に上昇回動して開口１６ａが開くようになっている。また、これらパネル１４の中心部には、気密室１１の内部環境を測定するための測定機器のセンサ等を差し入れる測定口１７が形成されている。この測定口１７は使用しない時にはゴム栓などで塞がれていれば良い。
【００１５】
一方の面のパネル１４には、計器類１８、イオナイザーハンガー１９、及びマノメータ２１が取り付けられている。計器類１８に設置されるパーティクルセンサーは、クリーンボックス１０内の清浄度、例えば１立方フィート当たりの塵の個数を測定する装置であり、例えばクラス１０と呼ばれる環境下では、１立方メートル当たり１０個以下の塵しかない状態とされる。イオナイザーハンガー１９は、気密室１１内の静電気を除電するためのイオナイザーを取り付けるハンガーである。
【００１６】
マノメータ２１は、気密室１１内の気圧、および空気清浄化装置１２内の圧力損失を測定する装置であり、切り替えコック２１ａの操作によって、測定対象を気密室１１または空気清浄化装置１２の間で切り替える。クリーンボックス１０の稼動時においては、気密室１１内の気圧は外気圧よりも高くなるように設定することが好ましい。これにより浄化されていない外気が排気口１６から気密室１１内に逆流することを防止することができる。
【００１７】
気密室１１の上面のパネル１４の端部には、電源コンセント２２が設けられている。こうした電源コンセント２２からは空気清浄化装置１２や計器類１８の駆動用電力が供給される。更に、枠体１３の底面には、クリーンボックス１０をテーブル等に載置した際に気密室１１とテーブル等とを密着させるゴムパッキン２３、およびアース線２４等を設けても良い。
【００１８】
図２は空気清浄化装置１２の概要を示す断面図である。空気清浄化装置１２は気密室１１（図１参照）の上面のパネル１４に形成された開口１４ａを覆うように設置されており、ゴムパッキン２５等で上面のパネル１４に密着している。空気清浄化装置１２は、大別して除塵装置３１と気流制御装置４１とから構成されている。除塵装置３１は、筐体３２に吸気口３３、プレフィルタユニット３５、ファンユニット３６および高機能フィルタユニット３７とを備えいる。筐体３２の上部に形成された吸気口３３には、プレフィルタユニット３５が取り付けられている。
【００１９】
プレフィルタユニット３５は、後述する高機能フィルタユニット３７にある程度清浄化された空気を供給するために、吸気口３３から導入された外気に含まれる比較的大きめの塵を除去する。こうしたプレフィルタユニット３５は高機能フィルタユニット３７のＨＥＰＡフィルタの通気性を確保し、かつ寿命を延ばす。プレフィルタユニット３５は例えば、外気に含まれる総塵量の６０〜９０％の塵を除去する中性能フィルタを内蔵していれば良い。
【００２０】
ファンユニット３６は、モータ３６ａおよびファン３６ｂとを備えている。ファンユニット３６はファン３６ｂの回転によって、プレフィルタユニット３５側を負圧にするとともに、高機能フィルタユニット３７側を加圧にする。これにより、吸気口３３から筐体３２内に外気が吸入され、高機能フィルタユニット３７に向けて流れる。
【００２１】
高機能フィルタユニット３７は、グラスウールを主材としたペーパー状のフィルタ、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  ）フィルタ３７ａが内蔵されている。ＨＥＰＡフィルタ３７ａは集塵効果を高めるために、広い表面積のものが屈曲されて収められており、慣性、拡散、衝突のフィルタ３作用により１μｍ以下の非常に微細な塵も捕捉することができる。
【００２２】
このような高機能フィルタユニット３７の下面からは、例えば１立方フィート中に微細な塵が１０個以下の清浄な空気が供給される。なお、高機能フィルタユニット３７に用いられるフィルタ材は、前述したＨＥＰＡフィルタ以外にも、例えば、ＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）フィルタなど、更なる高性能のフィルタを用いても良い。
【００２３】
図３は気流制御装置４１の概要を示す斜視図である。除塵装置３１の下部に配置される気流制御装置４１は、互いに重ねられた第１通風板４２と第２通風板４３とを備えている。第１通風板４２は、内面下側４２ａに第１貫通穴４４が多数配列して形成されており、全体を例えばアルミ板で形成すればよい。このような第１通風板４２は例えば側壁と一体に形成し外形を箱型にすればよい。
【００２４】
第１通風板４２の上面４２ａの一辺側中央には、回転軸４５が突設されている。また、第１通風板４２において、この回転軸４５の形成位置とは反対側の端には円弧状の長穴４６が形成されている。このような回転軸４５および長穴４６は、後述する第２通風板４３を第１通風板４２に対してスライド移動自在にする。
【００２５】
第２通風板４３は、第２貫通穴４７が多数配列して形成されており、全体を例えばアルミ板で形成すればよい。こうした第２通風板４３のサイズは、第１通風板４２の下面４２ａのサイズよりも一回り小さく形成されている。また、第２貫通穴４７の直径は第１貫通穴４４の直径よりも一回り大きく形成されており、第２貫通穴４７の形成ピッチは第１貫通穴４４の形成ピッチと同じに設定されている。
【００２６】
第２通風板４３の一端には係合穴４８が形成され、この係合穴４８に第１通風板４２の回転軸４５が貫通する。これにより、第２通風板４３は回転軸４５を中心にして第１通風板４２に対して摺動可能に重ね合わされる。また、第２通風板４３の下面４３ａのコーナー部には、第２通風板４３を第１通風板４２に対して回動操作する際の摘みとなる操作レバー４９が突設されている。この操作レバー４９は第１通風板４２の長穴４６を貫通し、第１通風板４２の下面から突出する。このような構成により、操作レバー４９を左右に動かせば、第２通風板４３は第１通風板４２に対して回転軸４５を中心にして図３中矢印Ｒのように左右に移動する。
【００２７】
以上のような構成のクリーンボックス１０（図１参照）は、清浄な環境下に置く必要のある部品や装置等の上から被せて使用する。クリーンボックス１０のメインスイッチ（図示略）が投入されると、ファンユニット３６が動作して除塵装置３１の筐体３２内に外気が吸入される。除塵装置３１で除塵された清浄な空気が気流制御装置４１に入ると、第１通風板４２の第１貫通穴４４と第２通風板４３の第２貫通穴４７が合致した貫通部分を通って気密室１１に送り込まれる。そして、気密室１１の下部の排気口１６から排気される。これにより、気密室１１内は常に塵の量が制御された一定レベルの清浄な環境に保たれる。気密室１１内に収容された部品や装置は、常に清浄な空気で満たされた環境下に置くことができる。
【００２８】
次に、上述した構成の本発明の気流制御装置４１について、動きと作用を詳細に説明する。図４は、気流制御装置４１における互いに摺動自在に重ね合わされた第１通風板４２と第２通風板４３とを、上面から見た場合の平面図である。基準位置、即ち第１通風板４２に対して回転軸４５周りで摺動自在な第２通風板４３が第１通風板４２に対してズレなく置かれている状態では、第１通風板４２の第１貫通穴４４と第２通風板４３の第２貫通穴４７は全て合致している。
【００２９】
この位置では、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分、即ち図２に示す除塵装置３１から気密室１１に向けて開かれた通風可能な開口５０の面積は最大になり、通風可能な開口５０は気密室１１の上面の全域に均一に分布する。なお、開口５０は第１貫通穴４４と第２貫通穴４７とが合致した図中の斜線部分であり、気密室１１に向けて空気が通風可能な領域を表現している。
【００３０】
図５は、図４に示した基準位置において、気密室を上から見たときに気密室に送り込まれる空気の分布を模式的に示したものである。図４に示した基準位置では、通風可能な開口５０が気密室１１の上面の全域に均一分布して、開口５０の面積が最大になっているので、気密室１１の上面の全域に向けて除塵された清浄な空気が送り込まれる。図５中の斜線で示す浄化された空気の放出領域（気流分布）５１は気密室１１の全域にムラ無く分布する。
【００３１】
図６は、図４に示す基準位置から第１ずらし位置まで第２通風板４３を摺動させた状態を示す平面図である。図６に示す第１ずらし位置では、図４に示す基準位置から第１通風板４２に対して第２通風板４３を回転軸４５周りで第２貫通穴４７の直径の半分の長さｔ１まで図中Ｒ１方向にずらした状態にある。第２通風板４３の回動操作は、図３に示す操作レバー４９を動かせばよい。この第１ずらし位置では、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７とは図６中の右側の上下方向に向かうほどズレが大きくなる。即ち、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である通風可能な開口５０は、右側の上下方向に向かうほど絞り込まれている。
【００３２】
このような第１ずらし位置では、図７に示すように、気密室１１の上面における右側の上下方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少する。図７中の斜線で示す気流の分布領域５２は気密室１１の左側ほど多くなり、右側の上下方向に向かうほど空気の送り込まれる量は絞られる。
【００３３】
図８は、図４に示す基準位置から第２ずらし位置まで第２通風板４３を摺動させた状態を示す平面図である。図８に示す第２ずらし位置では、図４に示す基準位置から第１通風板４２に対して第２通風板４３を回転軸４５周りで第２貫通穴４７の直径分の長さｔ２まで図中Ｒ２方向にずらした状態にある。この第２ずらし位置では、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７とは図８中の右側の上下方向に向かうほどズレが大きくなり、中央付近より右側では第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である通風可能な開口５０は殆どなくなる。
【００３４】
このような第２ずらし位置では、図９に示すように、気密室１１の上面における中央付近の上下方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、気密室１１の右側では空気は全く送り込まれない状態になる。図９中の斜線で示す気流の分布領域５３は気密室１１の左側ほど多くなり、中央付近の上下方向では絞り込まれ、右側では空気は全く送り込まれない状態になっている。
【００３５】
図１０は、図４に示す基準位置から第３ずらし位置まで第２通風板４３を摺動させた状態を示す平面図である。図１０に示す第３ずらし位置では、図４に示す基準位置から第１通風板４２に対して第２通風板４３を回転軸４５周りで第２貫通穴４７の直径の２倍分の長さｔ３まで図中Ｒ１方向にずらした状態にある。この第３ずらし位置では、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７とは図１０中の中央の上下方向に向かうほどズレが大きくなり、中央付近よりも右側及び左側に向かうほど第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である通風可能な開口５０が大きくなる。
【００３６】
このような第３ずらし位置では、図１１に示すように、気密室１１の上面における中央付近では空気は全く送り込まれなくなり、気密室１１の右側及び左側の２つの領域で空気が送り込まれる状態になる。図１１中の斜線で示す気流の分布領域５４は気密室１１の右側及び左側の２つに分かれ、中央付近の上下方向に向かうほど送り込まれる空気は絞られる状態になっている。
【００３７】
以上のように、本発明の気流制御装置４１は、第１通風板４２と第２通風板４３とを相対移動させるだけで、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である開口面積を変化させることができる。これにより、第１貫通穴４４と第２貫通穴４７との合致部分である開口の分布を変化させて、図５と図７と図９と図１１の状態あるいは、操作レバー４９の位置に応じてそれらの中間の送風状態に気流を制御することが可能になる。
【００３８】
こうした気流制御装置４１は、貫通穴４４，４７が形成された第１と第２の通風板４２，４３とを摺動可能に重ね合わせる構成なので、簡単でしかも極めてローコストに気流を制御することが可能になる。また、２枚の通風板４２，４３で気流を制御できるので、こうした気流制御装置４１を搭載する空気清浄化装置やクリーンルームの軽量化、小型化に大いに寄与する。２枚の通風板４２，４３といった簡易な構成により、故障が少なくメンテナンスが容易な気流制御装置４１を提供することができる。
【００３９】
上述した実施形態の第１通風板および第２通風板の係合位置を変えれば、更に気流分布を変化させることができる。図１２に示す第１通風板６１には第１貫通穴６２が多数配列して形成され、第２通風板６３には第１貫通穴６２よりも一回り大きい第２貫通穴６４が多数配列して形成されている。第２通風板６３は第１通風板６１の図１２中の左側上端部角部に形成された回転軸６５に軸着され、これにより第２通風板６３は第１通風板６１に対して回転軸６５回りで摺動可能になっている。
【００４０】
このように、図１２中の上端部に形成された回転軸６５回りで第２通風板６３を第１通風板６１に対して第２貫通穴６４の直径分の長さｔ４まで図中Ｒ３方向にずらした第４ずらし位置では、第１貫通穴６２と第２貫通穴６４とは図１２中の左下方向に向かうほどズレが大きくなり、右下付近では第１貫通穴６２と第２貫通穴６４との合致部分である通風可能な開口５０は殆どなくなる。その一方で、図１２中の左上付近では開口５０の面積が最大にまで広がっている。
【００４１】
このような第４ずらし位置では、図１３に示すように、気密室１１の上面における右下方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、気密室１１の右下付近では空気は全く送り込まれない状態に置かれる。図１３中の斜線で示す気流の分布領域５５によれば、平面視した気密室１１の左上側ほど空気が多く送り込まれる状態になっていることを示している。
【００４２】
図１４は、第１通風板および第２通風板の係合位置を更に変えた実施形態を示す。第１通風板６６には第１貫通穴６７が多数配列して形成され、第２通風板６８には第１貫通穴６７よりも一回り大きい第２貫通穴６９が多数配列して形成されている。第２通風板６８は第１通風板６６の図１４中の下部中央（第２通風板６８の一辺側中央部）に形成された回転軸７０に軸着され、これにより第２通風板６８は第１通風板６６に対して回転軸７０回りで摺動可能にされている。
【００４３】
このように、図１４中の下部中央に形成された回転軸７０回りで第２通風板６８を第１通風板６６に対して第２貫通穴６９の直径分の長さｔ５まで図中Ｒ４方向にずらした第５ずらし位置では、第１貫通穴６７と第２貫通穴６９とは図１４中の上側の左右方向に向かうほどズレが大きくなり、左上端および右上端付近では第１貫通穴６７と第２貫通穴６９との合致部分である通風可能な開口５０は殆どなくなる。その一方で、図１４中の下部付近では開口５０の面積が最大にまで広がっている。
【００４４】
このような第５ずらし位置では、図１５に示すように、平面視した気密室１１の上面における上側の左右方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、気密室１１の左上端および右上端付近では空気は全く送り込まれない状態になる。図１５中の斜線で示す気流の分布領域５６によれば、平面視した気密室１１の下側ほど空気を多く送り込まれ、上側の左右方向に向かうほど空気の送り込まれない状態を示している。
【００４５】
第１通風板または第２通風板に形成される貫通穴の形状を面内で変えても、気流分布を変化させることができる。図１６に示す第１通風板７１には第１貫通穴７２が多数配列して形成される。一方、第２通風板７３に形成される第２貫通穴７４は、中央部がほぼ真円に形成され、図１６中の左右に向かうほど真円を横方向に延ばした楕円形状（レーストラック形状）に形成されている。第１通風板７１には第２通風板６３を図１６中の左右方向にスライド自在に保持するレール７５が形成されている。これにより、第２通風板７３は第１通風板７１に対して左右方向に摺動可能になっている。
【００４６】
図１６示す基準位置では、第１貫通穴７２と第２貫通穴７４との合致部分、即ち図２に示す除塵装置３１から気密室１１に向けて開かれた通風可能な開口５０の面積は最大になり、通風可能な開口５０は気密室１１の上面の全域に分布する。
【００４７】
図１７は、図１６に示した基準位置において、気密室を上から見たときに気密室に送り込まれる空気の分布を模式的に示したものであり、図１６に示した基準位置では、通風可能な開口５０が気密室１１の上面の全域に均一に分布して、開口５０の面積が最大になっているので、気密室１１の上面の全域に向けて除塵された清浄な空気が均一に送り込まれる。図１７中の斜線で示す浄化された空気の放出領域（気流分布）５７は気密室１１の全域にムラ無く分布する。
【００４８】
図１８は、図１６に示す基準位置から第６ずらし位置まで第２通風板７３をレール７５に沿って図１８中のＬ１方向にスライドさせた状態を示す平面図である。図１８に示す第６ずらし位置では、図１６に示す基準位置から第１通風板７１に対して第２通風板７３を長さｔ６まで図１８中のＬ１方向にずらした状態にある。この第６ずらし位置では、第１貫通穴７２と第２貫通穴７４との合致部分である通風可能な開口５０は、左右方向に向かうほど開口面積が広がり、逆に中央付近では殆ど開口は塞がれた状態になる。
【００４９】
このような第６ずらし位置では、図１９に示すように、気密室１１の上面における中央方向に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、気密室１１の中央付近では空気は全く送り込まれない状態になる。図１６中の斜線で示す気流の分布領域５８によれば、気密室１１の左右側に向けて重点的に空気が多く送り込まれる状態を示している。
【００５０】
第１通風板、第２通風板は円形に形成しても気流分布を変化させることができる。図２０に示す第１通風板８１は外形が円形に形成され、この第１通風板８１には、中心から外周に向けて第１貫通穴８２が放射状に多数配列して形成される。第１貫通穴８２は、中心から一定距離の同心円上で真円に形成され、そこから中心および外周に向かうほど、円周方向に延ばされた長穴形状に形成されている。
【００５１】
一方、第２通風板８３も外形が円形に形成され、この第２通風板８３に真円形の第２貫通穴８４が中心から外周に向けて放射状に多数配列して形成されている。第１通風板８１の中心には第２通風板８３を回転自在に保持する回転軸８５が形成されている。これにより、第２通風板８３は第１通風板８１に対して回転自在になっている。
【００５２】
図２０示す基準位置では、第１貫通穴８２と第２貫通穴８４との合致部分、即ち通風可能な開口５０の面積は、第２貫通穴８４の全開口面積と同じである最大の状態になり、通風可能な開口５０は全域に均一に分布する。
【００５３】
図２１は、図２０に示した基準位置において、第１通風板８１の下部に形成された円形の清浄化エリア８０に向けて送り込まれる空気の分布を模式的に示したものである。図２１によれば、通風可能な開口５０が清浄化エリア８０の上面の全域に分布して、開口５０の面積が最大になっているので、清浄化エリア８０の全域に向けて除塵された清浄な空気が送り込まれる。図２１中の斜線で示す浄化された空気の放出領域（気流分布）８６は清浄化エリア８０の全域にムラ無く分布する。
【００５４】
図２２は、図２０に示す基準位置から第７ずらし位置まで第２通風板８３を回転軸８５を中心にして図２２中のＲ５方向に回転させた状態を示す平面図である。図２２に示す第７ずらし位置では、図２０に示す基準位置から第１通風板８１に対して第２通風板８３を長さｔ７まで図２２中のＲ５方向にずらした状態にある。この第７ずらし位置では、第１貫通穴８２と第２貫通穴８４との合致部分である通風可能な開口５０は、円形の周縁に向かうほど開口面積が広がり、逆に中央付近では開口は塞がれた状態になる。
【００５５】
このような第７ずらし位置では、図２３に示すように、円形の清浄化エリア８０の中心に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、中央付近では空気は全く送り込まれない状態になる。図２３中の斜線で示す気流の分布領域８７によれば、清浄化エリア８０の周縁から一定幅のリング状の領域に向けて空気が送り込まれる状態を示している。
【００５６】
図２４は、図２０に示す基準位置から第８ずらし位置まで第２通風板８３を回転軸８５を中心にして図２４中のＲ６方向に回転させた状態を示す平面図である。図２４に示す第８ずらし位置では、図２０に示す基準位置から第１通風板８１に対して第２通風板８３を長さｔ８まで図２４中のＲ６方向にずらした状態にある。この第８ずらし位置では、第１貫通穴８２と第２貫通穴８４との合致部分である通風可能な開口５０は、円形の中心に向かうほど開口面積が広がり、逆に周縁では開口は塞がれた状態になる。
【００５７】
このような第８ずらし位置では、図２５に示すように、円形の清浄化エリア８０の周縁に向かうほど空気の送り込まれる量は減少し、中央付近だけに空気が送り込まれる状態になる。図２５中の斜線で示す気流の分布領域８８によれば、清浄化エリア８０の中心部の領域だけに空気が送り込まれる状態を示している。
【００５８】
上述した各実施例以外にも、気流の形状を制御することもできる。図２６に示すように、図２６に示す第１通風板９１は外形が円形に形成され、この第１通風板９１には、雲形の第１貫通穴９２が複数形成されている。一方、第２通風板９３も外形が円形に形成され、この第２通風板９３に真円形の第２貫通穴９４が複数形成されている。第１貫通穴９２は、真円形の第２貫通穴９４と同形の円部９２ａと、この円部９２ａから左右に向かって閉じるように延びる第１延長部９２ｂおよび第２延長部９２ｃからなる開口である。第１通風板９１の中心には第２通風板９３を回転自在に保持する回転軸９５が形成されている。これにより、第２通風板９３は第１通風板９１に対して回転自在になっている。
【００５９】
図２６示す基準位置では、第１貫通穴９２の真円部分である円部９２ａが第２貫通穴９４と完全に重なり、これら第１貫通穴９２と第２貫通穴９４との合致部分、即ち通風可能な開口５０の形状は、円部９２ａおよび第２貫通穴９４の形状と同様の真円形になり、気流は円形に制御される。
【００６０】
図２７〜図３０に示すように、第２通風板９３を回転軸９５を中心にして図中のＲ７方向に回転させていくと、通風可能な開口５０の形状は連続的に変化する。これにより、送風対象に応じて簡単に任意の形状に気流を変化させることができる。
【００６１】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の気流制御装置によれば、互いに隣接する通風板どうしを相対移動させて貫通穴の開口面積を変化させるだけで、通風量を簡単に、且つ自在に制御することができる。気流制御装置は多数の貫通穴が形成された複数枚の通風板を重ね合わせる構造なので、容易に且つローコストに気流の制御を行うことができる。更に、多数の貫通穴が形成された通風板を複数枚重ね合わせる簡易な構成なので、軽量で故障の発生する可能性が低く信頼性の高い気流制御装置を実現できる。
【００６２】
また、通風板同士を相対移動させて、全面に渡って分布する多数の貫通穴の一領域だけの開口面積を変化させることで、簡単に通風量の分布を制御することが可能になる。前記通風板に面した領域の一部分だけの通風量を絞り込んだり、増やしたりすることができる。複数枚の通風板を互いに回転可能に結合させる回転軸を更に備えたり、複数枚の通風板は互いに平行移動可能に結合させるレールを更に備えれば、複数枚の通風板を動かして気流を制御するに当たって、通風板の移動が容易になり、且つ段階的に気流を制御することが可能になる。
【００６３】
更に、貫通穴を前記通風板の全面に渡って均一に分布するように形成すれば、通風板の移動量に応じて段階的且つ定量的に気流を制御することが可能になる。
そして、本発明の気流制御装置を空気清浄化装置に適用すれば、簡易で且つローコストに気流の制御が可能な空気清浄化装置を提供することができる。また、小型軽量で信頼性の高い空気清浄化装置の実現に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の気流制御装置を備えたクリーンルームを示す説明図である。
【図２】図２は、図１の空気清浄化装置の詳細を示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の気流制御装置を示す拡大斜視図である。
【図４】図４は、本発明の気流制御装置の通風板の動きを示す平面図である。
【図５】図５は、気流の分布を示す模式図である。
【図６】図６は、本発明の気流制御装置の通風板の動きを示す平面図である。
【図７】図７は、気流の分布を示す模式図である。
【図８】図８は、本発明の気流制御装置の通風板の動きを示す平面図である。
【図９】図９は、気流の分布を示す模式図である。
【図１０】図１０は、本発明の気流制御装置の通風板の動きを示す平面図である。
【図１１】図１１は、気流の分布を示す模式図である。
【図１２】図１２は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１３】図１３は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１４】図１４は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１５】図１５は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１６】図１６は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１７】図１７は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１８】図１８は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図１９】図１９は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２０】図２０は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２１】図２１は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２２】図２２は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２３】図２３は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２４】図２４は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２５】図２５は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２６】図２６は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２７】図２７は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２８】図２８は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図２９】図２９は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図３０】図３０は、本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
１０  クリーンボックス（クリーンルーム）
１２  空気清浄化装置
４１  気流制御装置
４２  第１通風板（通風板）
４３  第２通風板（通風板）
４４  第１貫通穴（貫通穴）
４５  回転軸
４７  第２貫通穴（貫通穴）
７５  レール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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