(57)【要約】【課題】本願発明は、密着性、耐高温酸化特性及び耐摩耗性に優れた硬質皮膜を提供することを目的とする。【解決手段】アーク放電式イオンプレーティング法により被覆される硬質皮膜であって、該硬質皮膜は（ＡｌｘＣｒ１−ｘ）（Ｎ１−α−β−γＢαＣβＯγ）、但し、ｘ、α、β、γは夫々原子比率を示し、０．４５＜Ｘ＜０．７５、０≦α＜０．１２、０≦β＜０．２０、０．０１≦γ≦０．２５からなり、ガス圧を１．５〜５．０Ｐａ、被覆基体温度を４５０〜７００℃、バイアス電圧を−１５〜−３００Ｖの低バイアス電圧で、Ｘ線光電子分光分析における５２５ｅＶから５３５ｅＶの範囲に少なくともＣｒ及び／又はＡｌと酸素との結合エネルギーを有することを特徴とする硬質皮膜の製造方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アーク放電式イオンプレーティング法により被覆される硬質皮膜であって、該硬質皮膜は（ＡｌｘＣｒ１−ｘ）（Ｎ１−α−β−γＢαＣβＯγ）、但し、ｘ、α、β、γは夫々原子比率を示し、０．４５＜Ｘ＜０．７５、０≦α＜０．１２、０≦β＜０．２０、０．０１≦γ≦０．２５からなり、ガス圧を１．５〜５．０Ｐａ、被覆基体温度を４５０〜７００℃、バイアス電圧を−１５〜−３００Ｖの低バイアス電圧で、Ｘ線光電子分光分析における５２５ｅＶから５３５ｅＶの範囲に少なくともＣｒ及び／又はＡｌと酸素との結合エネルギーを有することを特徴とする硬質皮膜の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の硬質皮膜の製造方法において、該硬質皮膜中の酸素量は、酸素含有の合金ターゲットを用いることを特徴とする硬質皮膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、超硬合金、高速度鋼、ダイス鋼等に被覆する耐摩耗性、密着性及び耐高温酸化特性に優れた硬質皮膜に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＡｌＣｒ系皮膜は、耐高温酸化特性に優れた硬質皮膜材として、特許文献１、特許文献２及び特許文献３に開示されている。特許文献１は金属成分としてＡｌＣｒとＣ、Ｎ、Ｏの１種より選択されるＡｌＣｒ系硬質膜において、高硬度を有する非晶質膜に関する事例が開示されている。しかしこの非晶質膜の硬度は最大でもヌープ硬さ２１ＧＰａ程度であり、耐摩耗効果は期待できず、密着性に関しても十分ではない。特許文献２及び特許文献３に開示されている硬質皮膜はＡｌＣｒの窒化物であり、約１０００℃の耐高温酸化特性を有しているが、１０００℃以上の耐酸化特性の検討は行われていない。硬度はＨＶ２１ＧＰａ程度で硬度の改善が不十分であり耐摩耗性に乏しい。
【０００３】
【特許文献１】特許第３０２７５０２号公報
【特許文献２】特許第３０３９３８１号公報
【特許文献３】特開２００２−１６０１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明はこうした事情に着目してなされ、密着性、耐高温酸化特性及び耐摩耗性に優れた硬質皮膜を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願発明は、アーク放電式イオンプレーティング法により被覆される硬質皮膜であって、該硬質皮膜は（ＡｌｘＣｒ１−ｘ）（Ｎ１−α−β−γＢαＣβＯγ）、但し、ｘ、α、β、γは夫々原子比率を示し、０．４５＜Ｘ＜０．７５、０≦α＜０．１２、０≦β＜０．２０、０．０１≦γ≦０．２５からなり、ガス圧を１．５〜５．０Ｐａ、被覆基体温度を４５０〜７００℃、バイアス電圧を−１５〜−３００Ｖの低バイアス電圧で、Ｘ線光電子分光分析における５２５ｅＶから５３５ｅＶの範囲に少なくともＣｒ及び／又はＡｌと酸素との結合エネルギーを有することを特徴とする硬質皮膜の製造方法である。ナノインデンテーションによる硬度測定法により接触深さと最大荷重時の最大変位量が求められる（Ｗ．Ｃ．Ｏｌｉｖｅｒ  ａｎｄ、Ｇ．  Ｍ．  Ｐｈａｒｒ：  Ｊ．  Ｍａｔｅｒ．  Ｒｅｓ．，  Ｖｏｌ．  ７，  Ｎｏ．６，  Ｊｕｎｅ  １９９２、１５６４−１５８３）。この数値を用いて、
Ｅ＝１００−｛（接触深さ）／（最大荷重時の最大変位量）｝
の数式で、弾性回復率Ｅを定義し、３０％≦Ｅ＜４０％とすることにより、耐摩耗性と密着性のバランスが最適となり好ましい。
【発明の効果】
【０００６】
本願発明を適用することにより、皮膜の硬さを向上させることが出来、エンドミル、ドリル等の切削工具や耐摩耗工具に用いても充分な耐摩耗性を有し、密着性、耐高温酸化特性に優れた硬質皮膜を得ることが出来た。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明者は、基体との密着性、耐高温酸化特性に優れ高硬度を有した硬質皮膜を得ることを目的として研究した結果、硬質皮膜の組成並びに成膜条件であるバイアス電圧、反応ガス圧やその分圧比、成膜時の基体温度の検討によって目的を達成する本発明の硬質皮膜を完成した。本発明の硬質皮膜を構成する金属元素の組成は、（ＡｌｘＣｒ１−ｘ）のＸが０．４５＜Ｘ＜０．７５を満足する必要がある。Ｘ値が０．４５以下では、皮膜硬度並びに耐高温酸化特性の改善効果が十分ではなく、０．７５以上では、残留圧縮応力が過大になり、被覆直後に自己破壊を誘発する。また強度が急激に低下する。非金属元素のαは、０．１２以上では皮膜が脆化し、好ましいαの上限値は０．０８である。硼素の添加は被加工物との耐溶着性と高温環境下での摩擦係数を低減する効果があり好ましい。βは、０．２０を以上で皮膜は脆化する。好ましいβの上限値は０．１６である。炭素の添加は硬質皮膜の硬度を高め、室温での摩擦係数の低減に効果的である。γは、０．０１以上０．２５以下にすることが必要であり、γが０．０１未満では添加の効果を得ることが出来ず、０．２５を超えて大きくなると皮膜硬度は著しく低下し、耐摩耗性に乏しくなる。好ましくは、γは、０．０２以上０．２０以下である。金属元素のＡｌ、Ｃｒに対する非金属元素のＮ、Ｂ、Ｃ、Ｏの比は、化学量論的に（Ｎ、Ｂ、Ｃ、Ｏ）／（Ａｌ、Ｃｒ）＞１．１がより好ましい。
【０００８】
Ｘ線回折での最強回折強度が（２００）面もしくは（１１１）面に有する結晶質とすることが必要であり、硬質皮膜に靭性を持たせ、密着性の改善に効果的である。Ｘ線光電子分光分析にて、５２５ｅＶから５３５ｅＶにＣｒ、Ａｌと酸素との結合エネルギーを有することが必要であり、皮膜が緻密化し、酸化雰囲気において酸素の拡散経路となる結晶粒界が不明瞭となり、内向拡散し難くする機能を有する。ＣｒとＡｌが窒化物、酸化物もしくは酸窒化物の状態で存在しているため、硬質皮膜が緻密化し高硬度を有する。Ｅは３０％≦Ｅ＜４０％であることが好ましく、皮膜の成膜条件であるバイアス電圧、反応ガス圧やその分圧比、成膜時の基体温度を最適に制御することにより達成できる。Ｅが４０％以上の場合、硬質皮膜内に残留する圧縮応力が高くなり過ぎて靭性に乏しくなり密着性を劣化させる。３０％未満の場合は強度不足による異常摩耗等により耐摩耗性が十分でない。好ましいＥの値は３２％〜３８％である。本発明の硬質皮膜の特徴である、Ｃｒ及び／又はＡｌと酸素との結合状態を形成するには、一定以上の酸素を含有させることが必要である。基体にバイアス電圧を印加すると、密着性を一段と高めることができる。成膜条件は、ガス圧を１．５〜５．０Ｐａ、被覆基体温度を４５０〜７００℃、バイアス電圧を−１５〜−３００Ｖの低バイアス電圧が好ましく、この範囲に於いて密着性、耐高温酸化特性並びに耐摩耗性の優れた緻密な硬質皮膜が得られる。
【実施例】
【０００９】
（実施例１）
成膜には酸素含有の合金ターゲットを用い、反応ガスを真空装置内に導入し全圧を３．０Ｐａ、バイアス電圧を−１００Ｖ、被覆温度を４５０℃とし、膜厚を約５μｍとし、（Ａｌ０．６Ｃｒ０．４）（Ｎ０．８０Ｃ０．０８Ｏ０．１０Ｂ０．０２）を成膜し、本発明例１とした。皮膜組成は、電子プローブＸ線マイクロアナリシス及びオージェ電子分光法により決定した。Ｘ線光電子分光分析は、ＰＨＩ社製１６００Ｓ型Ｘ線光電子分光分析装置を用いて分析した。本発明例１のＸ線光電子分光分析結果を図１に示す。図１は結合エネルギーが５３０ｅＶ近傍のナロースペクトル示し、Ｃｒ−Ｏ及びＡｌ−Ｏの結合の存在を示す。図２はＣｒ−Ｎ及びＣｒ−Ｏの結合の存在を示す。図３はＡｌ−Ｎ及びＡｌ−Ｏの結合の存在を示す。図４のＸ線回折結果は、皮膜が（２００）面に最も強く配向していることを示す。
【００１０】
（実施例２）
実施例１と同様に、（ＡｌｘＣｒ１−ｘ）（Ｎ０．９５Ｏ０．０５）を成膜し、比較例２、ｘ＝０．２０、比較例３、ｘ＝０．３０、本発明例４、ｘ＝０．５０、本発明例５、ｘ＝０．６０、本発明例６、ｘ＝０．７０、比較例７、ｘ＝０．８０、及び（ＡｌｘＣｒ１−ｘ）Ｎ系の従来例９、ｘ＝０．２０、従来例１０、ｘ＝０．５０、従来例１１、ｘ＝０．７０、を製作し、押込硬さを測定した。試験機は微小押込み硬さ試験機を用い、圧子はダイヤモンド製の対稜角１１５度の三角錐圧子を用い、最大荷重を４９ｍＮ、荷重負荷ステップ４．９ｍＮ／ｓｅｃ、最大荷重時の保持時間は１秒とした。測定値は１０点測定の平均値を示した。図５より、本発明例４〜６、Ａｌ添加量、４５〜７５原子％の範囲で、酸素を含有しない系より高硬度を示した。本発明の硬質皮膜は、酸素を含有することにより高硬度となり、４０ＧＰａ以上を得ることが出来る。より好ましい硬度は４５から５２ＧＰａである。これによって密着性並びに耐摩耗性に優れた硬質皮膜が得られる。
【００１１】
（実施例３）
実施例１と同様に、超硬合金、粉末高速度鋼及びダイス鋼を基体に用い、表１に示す皮膜組成の、本発明例１２〜１６、比較例１７〜１９及び従来例１０を製作した。表１に皮膜組成等を示す。
【００１２】
【表１】
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【００１３】
表１の試料を用いて、大気中１１００℃の酸化条件で処理した皮膜の酸化層、実施例２同様に微小押込み硬さ、薄板の変形量より算出した残留圧縮応力、弾性回復率を測定した。先ず、酸化層厚さは、本発明例１２〜１６は、殆ど酸化進行が無く、耐高温酸化特性に優れていることが確認された。従来例１０は酸化進行が著しく硬質皮膜は殆ど酸化物となり、酸素の内向拡散が基体まで達していた。次に、押込み硬さもＣ、Ｂを含有させることにより、更に高硬度となる。残留応力は、本発明例１２〜１６は低く、更に、図６に示す、本発明例１２及び従来例１０の荷重変位曲線より、本発明例１２は、最大荷重時における最大変位量が大きく、塑性変形量が小さく、同一応力が硬質皮膜に作用した際、弾性回復する割合が大きく塑性変形し難いことを示す。この荷重変位曲線よりＥを求めた。Ｅが大きい程弾性回復特性に優れる。表１より、本発明例１２〜１６は弾性回復特性に優れ、硬質皮膜の剥離やクラックの低減が可能となり、密着性に優れた硬質皮膜を得ることができる。これは、皮膜硬度差よりも大きな効果がある。
【００１４】
次に、表１の試料を用いて圧痕試験による皮膜剥離状況を併記する。測定はロックウェル硬度計により１５０Ｎ荷重で圧痕を形成し、光学顕微鏡により観察した。本発明例１２〜１６は剥離が無く、優れた密着性を示した。これは本発明例が適正なＥ値の範囲内にあるためである。比較例１７〜１９、従来例１０は被覆基体の塑性変形に追従することができず、圧痕周辺部に膜剥離が発生した。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明例のＣｒ−Ｏ及びＡｌ−Ｏの結合エネルギーを示す。
【図２】図２は、本発明例のＣｒ−Ｎ及びＣｒ−Ｏの結合エネルギーを示す。
【図３】図３は、本発明例のＡｌ−Ｎ及びＡｌ−Ｏの結合エネルギーを示す。
【図４】図４は、本発明例のＸ線回折結果を示す。
【図５】図５は、本発明例と従来例のＡｌ添加量と皮膜硬度の関係を示す。
【図６】図６は、本発明例１２及び従来例１０の荷重変位曲線を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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