(57)【要約】【課題】非軸対称非球面のような自由曲面を研磨ムラの発生を抑制して均一にしかも迅速に研磨することができる研磨工具及び研磨方法を提供する。【解決手段】研磨装置１００の研磨工具回転軸１０７に対して同軸で装着可能な装着回転軸体４と、ドーム状に膨張する又はドーム状に形成された弾性材で構成される弾性研磨体２と、装着回転軸体４回りに自由回転可能で弾性研磨体２を支持する支持治具３とを有する研磨工具１を用いて研磨する。装着回転軸体４の回転中心Ｃ１と支持治具４の回転中心Ｃ２とが偏心量δを有していることが好ましい。【選択図】    図１
2004358591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨装置の研磨工具回転軸に対して装着可能な装着回転軸体と、ドーム状に膨張する又はドーム状に形成された弾性材で構成される弾性研磨体と、前記装着回転軸体回りに自由回転可能で前記弾性研磨体を支持する支持治具とを有することを特徴とする研磨工具。
【請求項２】
請求項１記載の研磨工具において、
前記装着回転軸体の回転中心と前記支持治具の回転中心とが偏心していることを特徴とする研磨工具。
【請求項３】
請求項１又は２記載の研磨工具において、
前記弾性研磨体が弾性シートで構成され、前記支持治具と前記弾性研磨体とが密封空間を形成することを特徴とする研磨工具。
【請求項４】
請求項３記載の研磨工具において、
前記密封空間と接続され、前記密封空間に加圧流体を導入すると共に、その密封を維持する逆止弁が前記支持治具に取り付けられていることを特徴とする研磨工具。
【請求項５】
研磨装置の研磨工具回転軸に対して装着可能な装着回転軸体と、ドーム状に膨張する又はドーム状に形成された弾性材で構成される弾性研磨体と、前記装着回転軸体の回転中心と偏心している回転中心を中心として前記装着回転軸体回りに自由回転可能で前記弾性研磨体を支持する支持治具とを有する研磨工具の前記装着回転軸体を回転させつつ回転しているワークの被研磨面に前記弾性研磨体を当てながら研磨することを特徴とする研磨方法。
【請求項６】
請求項５記載の研磨方法において、
前記研磨工具又は前記ワークを揺動させながら研磨することを特徴とする研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非軸対称非球面等の自由曲面を研磨ムラを抑制して迅速に鏡面研磨することができる研磨工具及び研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＮＣ制御の切削技術が進歩し、レンズ等の非軸対称非球面を切削により形成することが可能になってきている。光学製品では、創成した切削面を所望の平滑な光学鏡面に研磨する必要がある。近年、レンズの性能が向上し、鏡面研磨に対する形状精度や面精度の要求が厳しくなってきている。
【０００３】
従来より、図３に示すような研磨装置１００を用いる非軸対称非球面の研磨方法が知られている。この研磨方法は、ワーク１１０の被研磨面１１１の一部に当接する小さい球形の弾性研磨体で構成されるポリシングヘッド１０１を用いる。被研磨面の形状から最大の曲率を求め、この最大の曲率より大きい曲率を有するポリシングヘッド１０１を選択し、ポリシングヘッド１０１を回転させながら被研磨面１１１の一部に当て、ポリシングヘッド１０１を被研磨面１１１の法線方向に制御しつつ全体に走査させることによって、被研磨面１１１全体を研磨するものである。
【０００４】
しかし、この部分研磨方法は、小さいポリシングヘッドにより被研磨面全体を研磨するため、長い研磨時間が必要となり、製造コストが高いという問題がある。
【０００５】
また、特許文献１に示すように、非軸対称非球面の鏡面研磨には、ゴム状の弾性材で構成される中空ドーム状の研磨工具を用いることが行われている。研磨方法は、研磨工具の表面に研磨パッドを貼り付け、研磨工具の内部に圧縮空気を導入してドーム状部に張りを与え、スラリー状の研磨剤を供給して研磨工具と被研磨物とを共に回転させながらこれらを摺り合わせて鏡面研磨するものである。
【０００６】
図４に示すように、弾性材で構成されるドーム状の弾性研磨体２を有する研磨工具２００を前述した研磨装置１００の球形のポリシングヘッド１０１と交換し、研磨工具２００とワーク１１０の両方を回転させつつ被研磨面１１１に研磨工具２００を圧着することにより、球形のポリシングヘッド１０１を用いる場合と比較して研磨工具２００の接触面積が大きいため、非軸対称非球面を極めて迅速に研磨することが可能になった。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−７７５０３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、弾性材で構成される中空ドーム状の弾性研磨体２を有する研磨工具２００を用いた研磨では、被研磨面１１１の形状によっては研磨ムラが発生するという問題がある。発生した研磨ムラをなくすために、中空ドームの内圧を低下させた研磨工具２００を用い、時間をかけて再研磨しなければならず、生産性の低下を招いている。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、非軸対称非球面のような自由曲面を研磨ムラの発生を抑制して均一にしかも迅速に研磨することができる研磨工具を提供することを目的とする。
【００１０】
また、本発明は、非軸対称非球面のような自由曲面を研磨ムラの発生を抑制して均一にしかも迅速に研磨することができる研磨方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記目的を達成するため、鋭意検討した結果、従来、研磨工具をワークの被研磨面に対して圧着させながら強制的に回転させて研磨していたことが研磨ムラの原因となっていたことを知見した。その知見に基づき、研磨装置の研磨工具を回転させる研磨工具回転軸と同軸に装着する装着部を弾性研磨体を支持する支持治具から切り離して装着回転軸体とし、支持治具を装着回転軸体の周りに自由に回転するように試みた。その結果、ワークを回転させ、弾性研磨体をワークの被研磨面に圧着させて研磨する際、被研磨面と弾性研磨体とが部分的に強く接触するときに、弾性研磨体を支持する支持治具が被研磨面と共に回転して逃げるため、弾性研磨体が被研磨面を無理に擦ることを防ぐことができる。これにより、弾性研磨体を強制的に回転させていた場合と比較して、部分的な研磨過剰を防止することができ、研磨ムラの発生を抑制して均一に研磨することができる。しかも、研磨工具の弾性ドームの接触面積が大きいため、研磨効率は良好であり、迅速に研磨することができる。
【００１２】
支持治具の装着回転軸体回りの回転中心と装着回転軸体の回転中心とをずらして偏心させることによって、周速度がゼロで研磨できない回転中心が常に移動することになり、研磨効率を顕著に向上させることができる。
【００１３】
被研磨面を研磨する弾性研磨体を、ドーム状に膨張するかあるいはドーム状に形成された弾性シートで構成すると、弾性研磨体の内圧や弾性シートの硬度等の研磨条件の幅が大きくなり、適切な研磨を行うことが可能となる。
【００１４】
また、ドーム状の弾性研磨体の内圧を一定に保つために、ドーム状の弾性研磨体の中を密封空間に形成すると共に、密封空間の圧力を一定に保つ逆止弁を設けることが好ましい。
【００１５】
研磨の際には研磨工具又はワークの一方を揺動させることによって、被研磨面全体を均一に研磨することが可能となる。
【００１６】
従って、請求項１記載の発明は、研磨装置の研磨工具回転軸に対して装着可能な装着回転軸体と、ドーム状に膨張する又はドーム状に形成された弾性材で構成される弾性研磨体と、前記装着回転軸体回りに自由回転可能で前記弾性研磨体を支持する支持治具とを有することを特徴とする研磨工具を提供する。
【００１７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の研磨工具において、前記装着回転軸体の回転中心と前記支持治具の回転中心とが偏心していることを特徴とする研磨工具を提供する。
【００１８】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の研磨工具において、前記弾性研磨体が弾性シートで構成され、前記支持治具と前記弾性研磨体とが密封空間を形成することを特徴とする研磨工具を提供する。
【００１９】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の研磨工具において、前記密封空間と接続され、前記密封空間に加圧流体を導入すると共に、その密封を維持する逆止弁が前記支持治具に取り付けられていることを特徴とする研磨工具を提供する。
【００２０】
請求項５記載の発明は、研磨装置の研磨工具回転軸に対して装着可能な装着回転軸体と、ドーム状に膨張する又はドーム状に形成された弾性材で構成される弾性研磨体と、前記装着回転軸体の回転中心と偏心している回転中心を中心として前記装着回転軸体回りに自由回転可能で前記弾性研磨体を支持する支持治具とを有する研磨工具の前記装着回転軸体を回転させつつ回転しているワークの被研磨面に前記弾性研磨体を当てながら研磨することを特徴とする研磨方法を提供する。
【００２１】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の研磨方法において、前記研磨工具又は前記ワークを揺動させながら研磨することを特徴とする研磨方法を提供する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の研磨工具及び研磨方法の実施の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
【００２３】
図１は、本発明の研磨工具の一実施形態を示す断面図である。この研磨工具１は、弾性研磨体２、弾性研磨体２を支持する支持治具３、支持治具３を回転可能に保持する装着回転軸体４を含む偏心カムフォロア５、及び逆止弁６を有する。
【００２４】
弾性研磨体２は弾性シートで構成され、平らな円形のシート状の形状、又は、図１に示すように、リング状のフランジ部２１が外周に設けられたドーム状部２２を有する中空ドーム状の形状に成形されている。
【００２５】
支持治具３は、ステンレススチール等の金属で構成され、円盤状の支持治具本体３１と、支持治具本体３１とは別体のリング状の押さえ部材３２とで構成されている。押さえ部材３２は、支持治具本体３１の下面の外周面に図示しない圧着治具によって固定されるようになっている。
【００２６】
弾性研磨体２の外周部又はフランジ部２１が支持治具本体３１の下面外周面とリング状の押さえ部材３２との間に、いわばパッキンのように圧着されて支持治具本体３１に取り付けられている。これにより、弾性研磨体２の外周部又はフランジ部２１は支持治具本体３１の下面に圧着し、弾性研磨体２と支持治具本体３１との間の空間が密封空間７を形成できるようになっている。
【００２７】
また、支持治具本体３１を貫通して密封空間７内に圧力流体を導入する逆止弁６が設けられている。逆止弁６は密封空間７内の圧力流体の圧力を一定に保つ機能を有する。圧力流体を密封空間７内へ導入することにより、平らなシート状の弾性研磨体２を膨らませてドーム状に形成することができる。また、ドーム状に成形された弾性研磨体２に内圧で張りを与えてドーム状の形状を保持することができる。弾性シートで構成される中空の弾性研磨体２の曲率等の形状は圧力流体の圧力である程度変更することができる。
【００２８】
このような研磨工具１の弾性研磨体２は、図１に示した弾性シートで構成され、圧力流体の内圧でドーム状の形状を保持するもの以外に、弾性素材をドーム状のブロックに形成したもの、ドーム状の弾性シートの中空部を他の弾性素材で充填したものなどでもよい。弾性シートの厚みは０．１〜１０ｍｍ、特に０．２〜５ｍｍの範囲が好ましく、ＪＩＳ  Ａ硬さ（タイプＡデュロメータ）１０〜１００、ヤング率１０２〜１０３Ｎ・ｃｍ−２、耐熱温度は１００℃以上の物性値を備えるものが好ましい。弾性シートや弾性素材の材質は、天然ゴム、クロロプレンゴム、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、シリコンゴム、フッ素ゴム等のゴム、ポリエチレン、ナイロン等の熱可塑性樹脂、スチレン系、ウレタン系等の熱可塑性樹脂エラストマーを例示することができる。
【００２９】
装着回転軸体４は、例えば偏心カムフォロア５のスタッドで構成されている。偏心カムフォロア５は、ネジ付スタッド（装着回転軸体）４に針状コロ５１、図示しない保持器、側板５２及び厚肉外輪５３を組み込んだ転がり軸受けで、ネジ付スタッド４の回転中心Ｃ１と厚肉外輪５３の回転中心Ｃ２とが偏心している構造である。この装着回転軸体（ネジ付スタッド）４は、円柱状乃至円筒状で、基端部に研磨装置の研磨工具を回転させる研磨工具回転軸に装着可能なネジ等が形成された装着部４１を有し、先端に抜け止め防止のフランジ部４２が形成され、フランジ部４２と装着部４１の間は、装着部４１の回転中心Ｃ１と偏心した回転中心がＣ２の短軸円柱状のカム４３を構成している。カム４３の周囲には針状コロ５１が配置され、針状コロ５１は図示しない保持器で保持され、針状コロ５１の外面を外輪５３が回転可能に保持されている。針状コロ５１の側方は側板５２によって封止されている。従って、外輪５３は装着回転軸体４のカム４３の周りを針状コロ５１を介して回転可能に保持されている。この外輪５３は、ボルト５４で支持治具本体３１と同軸に固定されている。
【００３０】
この研磨工具１の装着回転軸体４と支持治具３とは切り離され、装着回転軸体４が回転しても支持治具３は回転しない。支持治具３は装着回転軸体４回りに自由回転可能になっている。また、装着回転軸体４の回転中心Ｃ１と支持治具３の回転中心Ｃ２とはずれており、偏心量δを有している。従って、装着回転軸体４が回転することにより、支持治具３は偏心量δだけ微小の位置変動を生じ、微小振動するようになっている。
【００３１】
偏心量δは偏心カムフォロア５の仕様により決定され、通常０．３ｍｍ〜１．６ｍｍの範囲から選定できる。偏心量が大き過ぎると振動が生じるため、１ｍｍ程度が適当である。偏心させることによって、周速度がゼロで研磨できない回転中心を常に移動させて研磨効率を顕著に向上させることができる。
【００３２】
この研磨工具１は、弾性研磨体２を強制的に回転させることができないため、この研磨工具１が用いられる研磨装置は、ワークを回転させる機構と装着回転軸体を回転させる機構を備える必要がある。使用できる研磨装置としては、これらの機構を備えれば、いずれの研磨装置でも使用可能である。
【００３３】
例えば、図３に示したような研磨装置を用いるようにしてもよい。この研磨装置１００は、４軸ＮＣ制御によりポリシング軸を被加工面１１１に対して法線方向に向くように制御して研磨するものである。ポリシングヘッド１０１は例えば球形の弾性体の表面に研磨パッドを貼り付けたものが用いられる。この研磨装置１００は、ワーク１１０の水平方向の位置を制御するＸ軸テーブル１０２、ワーク１１０の傾きを制御する角度割り出しが可能なチルトテーブル１０３、ポリシングヘッド１０１の垂直方向の位置を制御するＺ軸昇降機構１０４、ワーク１１０の回転位置を制御する回転テーブル１０５の４軸で研磨する。ポリシングヘッド１０１は、研磨工具回転軸１０７の回転に伴って回転しつつエアーシリンダ１０６の圧力制御により所定の荷重でワーク１１０に押し付けられながら被研磨面を研磨する。
【００３４】
図２に示すように、例えば、この研磨装置１００のポリシングヘッド１０１を本発明の研磨工具１に交換して使用することができる。研磨工具１の研磨工具回転軸１０７を垂直の下向きに配置し、密封空間７を所定の内圧に調整した研磨工具１の装着回転軸体４を研磨工具回転軸１０７に同軸で装着して研磨工具１を装着することができる。
【００３５】
ワーク１１０の装着は、被研磨面１１１と反対側の面を研磨装置の回転テーブル１０５に装着するための加工治具１２０にワックス等の接合材１２１を介して接合し、加工治具１２０を回転テーブル１０５にボルトなどで固定して行うことができる。
【００３６】
研磨装置１００のＮＣ制御により、回転テーブル１０５を所定の回転数で回転させながら、Ｘ軸テーブル１０２の水平方向の位置を制御し、チルトテーブル１０３の傾斜を制御し、Ｚ軸昇降機構１０４で研磨工具１の垂直方向の位置を制御し、研磨工具回転軸１０７を所定の回転数で回転させながらエアーシリンダ１０６の圧力制御により所定の荷重でワーク１１０に押し付け、ノズル１３０より研磨剤を含むスラリーを被研磨面１１１に供給して研磨を行うことができる。
【００３７】
このような研磨装置１００に研磨工具１を用いると、ワーク１１０を所定の回転数で回転させ、水平方向の位置を制御すると共に、垂直方向からの傾斜を制御し、研磨工具１を偏心量δだけ微小振動させながら研磨工具１をワーク１１０に押し当てて研磨することができる。
【００３８】
ワーク１１０を回転させながら研磨するため、被研磨面１１１が球面や軸対称非球面の場合には研磨工具１を被研磨面１１１の法線方向に制御することができる。非軸対称非球面の場合、厳密には法線制御はできないが、法線制御に近い制御を行うことができる。
【００３９】
また、ワーク１１０を回転させながらワーク１１０を単純に揺動させ、そのときの被研磨面１１１の頂面が弾性研磨体２の中心近傍に当たるようにワーク１１０の水平方向の位置と研磨工具１の垂直方向の位置を調整するように研磨装置１００を制御してもよい。ワーク１１０に揺動運動を与えることによって、図２に示すような大きな曲率の被研磨面１１１を有するレンズ１１０でも均一に被研磨面１１１全体を研磨することが可能になる。
【００４０】
この場合、弾性研磨体２に与える内圧は、例えば０．２〜１．２ｋｇｆ／ｃｍ２、装着回転軸体４の回転数は、例えば１０〜２００ｒｐｍ／ｍｉｎ、ワーク１１０の回転数は、例えば１０〜２００ｒｐｍ／ｍｉｎ、研磨圧力は、例えば１〜８ｋｇｆの研磨条件で研磨することができる。
【００４１】
研磨工具１の弾性研磨体２は自由回転するため、弾性研磨体２が被研磨面１１１の一部と強く接触する場合、強制回転させていたときにはそのまま擦り合わせるために強く当たる部分を強く研磨して研磨ムラを発生させていたのに対し、弾性研磨体２は自由回転により被研磨面１１１と共に回転し、無理に擦れ合うことを防止することができる。その結果、研磨ムラの発生は強制的に弾性研磨体を回転させていた場合と比較して顕著に抑制される。
【００４２】
また、上記研磨方法は、弾性研磨体２の接触面積が球形のポリシングヘッド１０１を用いる場合と比較して極めて広いため、研磨速度が非常に速い。しかも、弾性研磨体２が装着回転軸体４の回転に伴って偏心量δだけ微小振動し、研磨効率が劣る弾性研磨体２の回転中心を常に位置を変えながら研磨するため、研磨効率が良好である。
【００４３】
その結果、本発明の研磨工具１を用いる研磨方法は、研磨時間が極めて短くて済み、通常１〜２０分程度の研磨時間で研磨ムラのない鏡面研磨を得ることが可能である。
【００４４】
研磨の際に弾性研磨体２は、被研磨面１１１の形状により、被研磨面１１１の一部に当接するようにしてもよく、あるいは被研磨面１１１全体に当接するようにしてもよい。
【００４５】
また、弾性研磨体２の表面に研磨パッドを貼り付け、研磨パッドを介して研磨するようにしてもよく、あるいは弾性研磨体２で直接研磨するようにしてもよい。また、弾性研磨体２表面に研磨剤を接着して研磨するようにしてもよい。
【００４６】
本発明の研磨工具１及び研磨方法の対象となる被研磨面としては、鏡面研磨を必要とするあらゆるものが研磨対象となる。例えば、球面、軸対称非球面、非軸対称非球面などの曲面を有する各種のレンズの凸面や凹面、金型、光学製品などが対象となり、材質としてはプラスチック、ガラス、超硬、鋼など制限はない。
【００４７】
上記説明では、逆止弁を用いて密封空間内の圧力を一定に保つようにしていたが、装着回転軸体の中心に圧力流体を導入できる通路を設け、圧力流体側と連通させることにより、密封空間内を一定の圧力に維持するようにしてもよい。
【００４８】
また、上記説明では、ワークを揺動させるように説明しているが、研磨工具を揺動させるようにしてもよい。更に、支持治具の回転中心と装着回転軸体の回転中心とが偏心するように説明していたが、支持治具と装着回転軸体とが分離されていればよく、必ずしも偏心させる必要はない。
【００４９】
［実施例］
ワークは、材質がショットＳ−３で外径が１００ｍｍφの光学ガラスレンズの凸面側を＃２０００レジンボンド砥石を用いた超精密研削盤による精密研削加工で表面粗さの平均値Ｒａが０．０６８μｍの非球面に加工し、裏面を同じ砥石で平面に加工した後、光学鏡面（表面粗さの平均値Ｒａ：０．００３μｍ）にしたものを用い、その凸面を被研磨面とした。
【００５０】
この光学ガラスレンズの裏面の平面をドライヤーで溶かしたワックス（エレクトロンワックス）を使用して加工治具１２０に接着した。
【００５１】
研磨剤は、酸化セリウム（セロックス：平均粒径１μｍ）を用い、純水を希釈液として比重１．０７±０．０１のスラリーに調製した。
【００５２】
＜比較例＞
図４に示したように、従来の研磨工具を用いた。この研磨工具２００は、研磨装置の研磨工具回転軸１０７に装着する装着部２０１が円盤状の支持治具本体２０２に固定されている。その他の弾性研磨体２を支持する構造や逆止弁６が設けられている構造に違いはない。
【００５３】
弾性研磨体２は、厚さ１ｍｍ、硬度ＨＳ９０のＮＢＲゴムシートが１２０Ｒのドーム状に形成されたものを用いた。弾性研磨体の上に厚さ０．８ｍｍのセリウムシートの研磨布を貼り付けた。
【００５４】
研磨装置１００は、Ｘ軸テーブル１０２の往復運動、チルトテーブル１０３の揺動運動、回転テーブル１０５の回転運動及びＺ軸昇降機構１０４の昇降運動の制御を行った。装着部２０１と支持治具本体２０２とが固定されているため、研磨工具回転軸１０７の回転が研磨工具２００の回転に直結し、研磨工具２００に強制回転運動を与えて研磨を行った。
【００５５】
研磨条件は、研磨工具回転数：３０ｒｐｍ、ワーク回転数：６０ｒｐｍ、研磨荷重：３．５ｋｇｆ、研磨時間：５ｍｉｎで行った。
【００５６】
研磨後の光学ガラスレンズの凸面の表面粗さの平均値Ｒａは０．０１６１μｍであった。研磨面はほぼ鏡面となっていたが、レンズ中心１０ｍｍから４０ｍｍの範囲に設計形状からかけ離れたうねりがあり、水銀灯検査を実施すると円周方向にリング状の影があり、中心から外周に至る形状が不連続である状態であった。
【００５７】
＜実施例１＞
比較例１で研磨を行ったレンズを図１に示した本発明の研磨工具１を用いて研磨を行った。研磨工具１の偏心量δは１ｍｍである。
【００５８】
弾性研磨体２は、比較例と同一であり、厚さ１ｍｍ、硬度ＨＳ９０のＮＢＲゴムシートが１２０Ｒのドーム状に形成されたものを用いた。弾性研磨体の上に厚さ０．８ｍｍのセリウムシートの研磨布を貼り付けた。
【００５９】
研磨方法は、比較例と同じく、Ｘ軸テーブル１０２の往復運動、チルトテーブル１０３の揺動運動、回転テーブル１０５の回転運動、Ｚ軸昇降機構１０４の昇降運動の制御を行い、研磨工具の装着回転軸体４に回転運動を与えて研磨を行った。
【００６０】
研磨条件は、装着回転軸体回転数：３０ｒｐｍ、ワーク回転数：６０ｒｐｍ、研磨荷重：３．５ｋｇｆ、研磨時間：３ｍｉｎで行った。
【００６１】
研磨後の光学ガラスレンズの凸面の表面粗さの平均値Ｒａは０．００３３μｍであった。リング状の影は無くなり、裏面の平面側とほぼ同等の光学鏡面が得られた。
【００６２】
＜実施例２＞
被加工物は、材質がショットＳ−３で外径が１００ｍｍφの光学ガラスレンズの凸面側を＃２０００レジンボンド砥石を用いた超精密研削盤による精密研削加工で表面粗さの平均値Ｒａが０．０６９μｍの非球面に加工し、裏面を同じ砥石で平面に加工した後、光学鏡面（表面粗さの平均値Ｒａ：０．００３μｍ）にしたものを用い、その凸面を被研磨面とした。
【００６３】
実施例１と同じ弾性研磨体を用い、実施例１と同じＮＣ研磨装置を用い、同じ研磨剤を用い、同一の研磨条件で研磨時間：７ｍｉｎで行った。その結果、研磨後の光学ガラスレンズの凸面の表面粗さの平均値Ｒａは０．００３５μｍであった。リング状の影は無くなり、裏面の平面側とほぼ同等の光学鏡面が得られた。
【００６４】
【発明の効果】
本発明の研磨工具は、自由回転の弾性研磨体としたことにより、非軸対称非球面のような自由曲面を研磨ムラの発生を抑制して均一にしかも迅速に研磨することができる。
【００６５】
また、本発明の研磨方法は、非軸対称非球面のような自由曲面を研磨ムラの発生を抑制して均一にしかも迅速に研磨することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨工具の一実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明の研磨工具をＮＣ制御の研磨装置に取り付けて研磨を行う方法を説明する概略構成図である。
【図３】ＮＣ制御の研磨装置を示す概略構成図である。
【図４】ＮＣ制御の研磨装置に従来の研磨工具を取り付けて研磨を行う方法を説明する概略構成図である。
【符号の説明】
１：研磨工具
２：弾性研磨体
２１：フランジ部
２２：ドーム状部
３：支持治具
３１：支持治具本体
３２：押さえ部材
４：装着回転軸体
５：偏心カムフォロア
５１：針状コロ
５３：外輪
１００：研磨装置
１０１：ポリシングヘッド
１０２：Ｘ軸テーブル
１０３：チルトテーブル
１０４：Ｚ軸昇降機構
１０５：回転テーブル
１０７：研磨工具回転軸
１１０：ワーク
１１１：被研磨面
１２０：加工治具
１３０：ノズル
【図１】
2004358591.tif 000003
【図２】
2004358591.tif 000004
【図３】
2004358591.tif 000005
【図４】
2004358591.tif 000006