(57)【要約】【課題】ワークの形状、大きさ、及び外観の表面処理の有無によらず、ワーク内における電荷の集中を抑制することにより安定しためっき皮膜の品質を得ることができるような表面処理装置及び方法を提供する。【解決手段】陽極側の電極（例えば、陽極１０）と陰極側のワークの被処理面（例えば、シリンダブロック２，３のボア内面α，β）との間を表面処理液（例えば、めっき液１３）で満たし、電流を印加することにより前記ワークの被処理面に表面処理を施す表面処理装置１において、前記ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能なパレット４を備え、このパレット４を介して前記ワークを陰極（例えば、電源２２の陰極端子２３）に接続する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極側の電極と陰極側のワークの被処理面との間を表面処理液で満たし、電流を印加することにより前記ワークの被処理面に表面処理を施す表面処理装置において、前記ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能なパレットを備え、該パレットを介して前記ワークを陰極に接続したことを特徴とする表面処理装置。
【請求項２】
ワークの被処理面を電解液に浸漬し、前記ワークを陽極に接続して電流を印加することにより前記ワークの被処理面に表面処理を施す表面処理装置において、前記ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能なパレットを備え、該パレットを介して前記ワークを陽極に接続したことを特徴とする表面処理装置。
【請求項３】
前記パレットのうち少なくとも前記ワークと接する面を含む部分を導電材料にて構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記ワークのうちの前記パレットと接する箇所に、機械加工による平面を形成したことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記ワークの前記パレットと接する前記平面を、前記ワークの被処理面の回りの全周にわたって形成したことを特徴とする請求項４に記載の表面処理装置。
【請求項６】
複数のワークを前記パレットに接することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の表面処理装置。
【請求項７】
前記ワークの上部に１つ又は複数のワークを導電可能に載置することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の表面処理装置。
【請求項８】
前記パレットに表面処理液の流路となる開孔を形成し、該開孔の最表面に絶縁部材を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の表面処理装置。
【請求項９】
前記パレットに給電用部材を設け、該給電用部材に電源側の給電用部材を結線するように構成したことを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の表面処理装置。
【請求項１０】
陽極側の電極と陰極側のワークの被処理面との間を表面処理液で満たし、電流を印加することによりワークの被処理面に表面処理を施す表面処理方法において、前記ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能な導電材料から成るパレットを用い、該パレットを陰極に接続することにより、前記パレットを介して前記ワークを陰極に接続することを特徴とする表面処理方法。
【請求項１１】
ワークの被処理面を電解液に浸漬し、前記ワークを陽極に接続して電流を印加することによりワークの被処理面に表面処理を施す表面処理方法において、前記ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能なパレットを用い、該パレットを介して前記ワークを陽極に接続することを特徴とする表面処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばシリンダブロックのような円筒形状を有するワークに電解処理液を流して、ワークの円筒内面（例えば、シリンダブロックのボア内面）に表面処理を施すための表面処理装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリンダブロックのボア内面に電気めっきを施す場合には、通常、ワークであるシリンダブロックを電解処理液（めっき液）に浸漬させる一方、シリンダブロックに陰極を直接取付けることによってこのシリンダブロックを陰極とし、そのボアの内部に挿入配置した円柱形状の陽極に通電してボア内面にめっき処理を施すようにしている。
【０００３】
また、ワークであるシリンダブロックを縦に重ね合わせると共に、シリンダブロック間に位置決め兼通電部材を配し、その通電部材から給電することにより、通電部材を介してシリンダブロックに給電するようにしためっき装置（例えば、特許文献１参照）が提案されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−１８８９８８号公報（第２〜３頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、被処理面であるワークの円筒内面に電解処理液（めっき液）を流し、かつ、電流密度を高くしたり電極間距離を狭くしたりすることにより短時間でめっき処理することを目的としためっき処理方法（表面処理方法）においては、めっき皮膜の形成速度が速いことから、ワーク内に電荷の分布が生じると、場所によってめっき皮膜の形成速度に違いが生じるため、例えばシリンダブロックのボア内面に形成されためっき皮膜の品質（膜厚など）に違いが生じる問題がある。
【０００６】
特に、複数個のワークを同時に処理する場合や、多気筒シリンダブロックのような大型のワークを処理する場合にあっては、陰極の接点に近いところとそうでないところとでは電荷分布の差が顕著に表れる。そのため、陰極の接点箇所の数を多くするような対策が採られているが、このような方法では、治具や生産工数が増加したりするなど工業化において効率が悪いという問題が発生する。
【０００７】
更には、ワークの外観形状が複雑な場合や、ワークの外表面に塗装などの表面処理がなされている場合には、給電をすることが可能な箇所が限定されたり、ワークと陰極との接触面積が小さくなったりするため、被処理面の各部における電荷分布の差が大きくなり、品質にばらつきが生じる要因となるおそれがある。また、ワーク通電による生産時には、ワークと陰極との接触面積が小さいことから、充分な通電を確保するためには結線時（通電時）にワークに対して陰極部材を強い力でクランプするなどの操作が必要である。なお、その際にワークがずれると、電解処理液の漏れ（液漏れ）を生じたり、陰極−陽極間の距離が変化してしまうなどの大きな問題を生じる。
【０００８】
また、上述の特許文献１（特開平７−１８８９８８号公報）に記載のめっき装置では、陰極の給電箇所を１箇所にすることはできるものの、ワークとの接触面積は、従来におけるワークに直接給電する方法と同様に小さいため、ワークと陰極との相互間の接触面積をできる限り大きくして、被処理面の各部における電荷分布の差を小さくし得ることにはならない。このため、段積みしたワークの上下に位置する治具に通電プレートを更に設けることによって、電流が集中するのを防止することも試みられている。しかしながら、大量生産を行なううちに前記治具などが汚染されることも考えられ、その場合には給電可能な接触面積が更に小さくなり、めっき皮膜の品質をばらつかせる要因となり得る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような種々の実状に鑑みてなされたものであって、その目的は、ワークの形状、大きさ、及び外観の表面処理の有無によらず、ワーク内における電荷の集中を抑制することにより安定しためっき皮膜の品質を得ることができるような表面処理装置及び方法を提供することにある。更に、本発明の目的は、複数個もワークを同時に処理することが可能であり、生産性を大幅に向上できるような表面処理装置及び方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る表面処理装置及び方法では、陽極側の電極と陰極側のワークの被処理面との間を表面処理液で満たし、電流を印加することにより前記ワークの被処理面に表面処理を施す表面処理装置において、前記ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能なパレットを備え、該パレットを介して前記ワークを陰極に接続するようにしている。
【００１１】
本発明の好ましい実施形態では、円筒形状を有するワーク（例えば、シリンダブロック）のボアの内部に陽極を挿入し、陽極とワークの円筒内面（例えば、シリンダブロックのボア内面）との間にめっき液を流しながら被処理面となる円筒内面にめっき処理を施す装置及び方法において、導電材料からなるパレット上にワークを設置すると共に、そのパレットに陰極を接続し、これによりパレットを介してワークに給電する。なお、エッチング処理及びアルマイト処理に際しては、上述のパレットを陽極に接続し、パレットを介してワークに給電する。
【００１２】
この場合、ワークには、円筒両端部の少なくとも何れか一方に、全周にわたって機械加工などにより加工された平面が形成されており、この面をパレットに接するように設定する。すなわち、パレットに給電することによりパレット全体が陰極（又は、陽極）となり、このパレットとワークとの接触面積が従来と比較して非常に大きいことから、ワークにおける電荷のばらつきが抑制される。特に、円筒両端部は全周にわたってパレットと接していることから、ワークの被処理面の円周方向においては、品質にばらつきが発生しない。複数のワークを大量生産する場合においては、パレットなどが汚れることも考えられるが、パレットとワークとの接触面積が大きいため、汚れによるワークの電荷の分布は発生しにくい。また、円筒両端部の平面（機械加工面）を介して給電するため、ワークの外観形状に影響されないばかりでなく、例えば外観に塗装などの表面処理がなされている場合においても、問題はない。また、パレットの上に横並びにワークを設置することも可能であり、その場合には更に多くのワークを同時処理することが可能となり、より生産性が向上する。加えて、多気筒シリンダブロックのような円筒部（ボア内面）を複数有する大型のワークに対しても処理することが可能である。
【００１３】
なお、本明細書において、「パレット」とは、所謂ワークの設置台或いは搬送台のことを意味し、表面処理装置本体とは別体に設けられ、かつ、表面処理装置から容易に取り外し可能なものを言うものとする。かくして、ワークがこのパレットに予めセットされた後に、パレットごと表面処理装置本体内に搬入されてセットされ、表面処理後には、パレットごと表面処理装置本体の外に搬出される。なお、このパレットは、表面処理の前処理ステーション、並びに、後処理ステーションへの搬送にそれぞれ用いることも可能である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図１〜図５を参照して説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態に係る表面処理方法を施行する表面処理装置１を示すものであって、本装置１は、例えば円筒形状を有する２つのシリンダブロック（ワーク）２，３を段積みしてこれらのシリンダブロック２，３のボアの円筒内面（被処理面であるボア内面）α，βを所謂パレット通電により同時に表面処理するようにしたものである。
【００１６】
上述の表面処理装置１は、装置本体への搬入及び搬出が可能なパレット４を位置決め状態で受け支える下治具５と、前記パレット４上に段積み状態で載置された２つのシリンダブロック２，３のうちの上方側のシリンダブロック３を押圧保持する上治具６とをそれぞれ具備している。そして、上述の下治具５には、上下方向に延びる孔部７が設けられており、この孔部７の内部に導電材料から成るめっき液供給管８が前記孔部７の内周面７ａとの間に隙間をもって同軸状に取付けられている。また、めっき液供給管８の上部には、めっき液流通用通路９を有する陽極１０が同軸状に連結されており、この陽極１０が下治具５の上端面（パレット載置面）１１から上方に突出配置されている。また、上述のめっき液供給管８には、めっき液槽１２に貯留されているめっき液１３が送液ポンプ１４により圧送されるように構成されている。更に、下治具５には、前記孔部７に連通するめっき液回収管１５が取付けられている。
【００１７】
一方、パレット４は、導電性材料から成るものであって、めっき液流通用の開孔１６を有する基盤部１７と、この基盤部１７の上面側において前記開孔１６を取り囲むように配設された円筒部１８とを有する導電性部材である。上述のパレット４の開孔１６並びに円筒部１８の内部には、段付き円筒形状の絶縁部材１９が密着状態で嵌合されている。そして、前記円筒部１８の上端は、断面Ｌ字形状に屈曲された円環形状部２０となされており、この円環形状部２０の上面２０ａが、段積みされるシリンダブロック２の載置面となされている。すなわち、上述の円環形状部２０の上面２０ａは、機械加工によりシリンダブロック２に形成される平面（切削加工面）２ａに密着状態で当接される円環状の平面、すなわち、被処理面であるボア内面α，βの回りの全周にわたって形成された平面として形成されている。
【００１８】
また、上述の導電性のパレット４には、図１及び図２に示すように、導電性材料から成る給電用部材２１が取付けられている。更に具体的に述べると、給電用部材２１は、図１及び図２に示すように断面ほぼＬ字形状の導電性部材から成り、給電用部材２１の取付片部２１ａがパレット４の基盤部１７の上面に接触状態で取付けられて給電用部材２１がパレット４に通電可能に接続されている。そして、前記取付片部２１ａに対してほぼ直角状に屈曲された屈曲片部２１ｂが起立状態で配置されている。
【００１９】
更に、本実施形態の表面処理装置１には電源（直流電源）２２が備えられており、この電源２２の陰極端子２３が、図２（Ａ），（Ｂ）に示す如くエアシリンダ２４にて移動可能に保持された給電用部材２５にリード線２６を介して電気的に接続されている。かくして、この給電用部材２５は、エアシリンダ２４の動作に応じてパレット４の給電用部材２１に対して選択的に接触若しくは分離されるように構成されており、電源側の給電用部材２５がパレット４側の給電部材２１に当接された場合には、パレット４が給電用部材２１を介して電源２２の陰極端子２３に接続されてパレット４の全体が陰極となるように構成されている。なお、図１に示す状態は、給電用部材２１が陰極端子２３に接続されてこの給電用部材２１並びにパレット４が陰極となされている状態である。
【００２０】
一方、上述の電源２２の陽極端子２７は、導電性のめっき液供給管８にリード線２８を介して電気的に接続されている。これにより、陽極１０は、めっき液供給管８を介して電源２２の陽極端子２７に接続されて陽極（陽極棒）としての機能を果たすように構成されている。
【００２１】
次に、内燃機関である単気筒シリンダブロック２，３（以下において、単にシリンダブロック２，３と記載する）を表面処理装置１にて表面処理を行なう際の作業手順の具体例について説明する。なお、この具体例は、シリンダブロック２，３のボア内面α，βにＳｉＣ粒子を分散させたニッケル複合めっきを施すようにした例である。
【００２２】
まず、２つのシリンダブロック２，３をパレット４上に段積み状態で設置する。具体的には、シリンダブロック２の一端側の部分をパレット４の円筒部１８内に差し込んでシリンダブロック２の円環状の平面２ａをパレット４の円環状の上面２０ａに載置してこれらの両面２ａ，２０ａを互いに通電可能な接続状態にする。次いで、パレット４に載置されたシリンダブロック２の上部に位置決め用のステンレス製プレート３０を挟んでシリンダブロック３を載置して２つのシリンダブロック２，３を段積みする。なお、この段積みは、２つのシリンダブロック２，３を互いに上下逆向きにした状態で行なうと共に、これらのシリンダブロック２，３のボア内面α，βが上下方向において一致するように行なう。
【００２３】
このようにして２つのシリンダブロック２，３を２段積み状態でパレット４上に設置した後に、このパレット４をシリンダブロック２，３と一緒に表面処理装置１の下治具５及び陽極１０の上方位置に搬送して下降移動させることにより、パレット４を下治具５上に位置決めして載置する。この際、２段積み状態のシリンダブロック２，３のボア並びにパレット４側の絶縁部材１９の中空部にて形成された一連の中空部内に陽極１０を僅かな隙間を隔てて同軸状に配置する。しかる後に、表面処理装置１の上治具６を待機位置から下降移動させて上側のシリンダブロック３の円環状の切削加工面３ａを押圧することによって、ステンレス製プレート３０を挟んで段積み状態となされた２つのシリンダブロック２，３を上治具６とパレット４の円筒部１８との間に挟持すると共に、下側のシリンダブロック２の平面２ａとパレット４の円筒部１８の上面２０ａとを所定の押し付け力をもって密着せしめた状態、すなわち、シリンダブロック２の平面２ａ及びパレット４の上面２０ａを介してパレット４とシリンダブロック２，３とを互いに電気的に導通せしめた状態にする。
【００２４】
これに伴い、めっき液供給管８の連通路８ａと、この連通路８ａに連なる陽極１０のめっき液流通用通路９と、上治具６と陽極１０との間に形成される室３１と、シリンダブロック２，３のボア内面α，βと陽極１０の外周面γとの間の隙間に形成される幅狭の流路３２と、下治具５の孔部７の内周面７ａとめっき供給管８の外周面との間に形成される流路３３と、めっき液回収管１５の連通路（図示せず）とにより、一連のめっき液流通路が形成されることとなる。
【００２５】
かくして、このような状態の下で、液送ポンプ１４を作動させてめっき液槽１２内のめっき液１３を圧送すると、めっき液１３はめっき供給管８の連通路８ａ及び陽極１０のめっき液流通用通路９を順次に通って室３１内に流入し、次いで上治具６の外周方向に向けて噴水状に広がって、陽極１０とシリンダブロック２，３のボア内面α，βとの間のめっき流通路３２を通り、しかる後にめっき流通路３３及びめっき回収管１５を通ってめっき液槽１２に回収される。
【００２６】
このようにめっき液１３をシリンダブロック２，３のボア内面α，β内に満たして所定方向に流した状態に設定した後に、エアシリンダ２４を作動させて電源側の給電用部材２５を図２（Ａ）に示す復動位置（非接触位置）から図２（Ｂ）に示す往動位置（接触位置）に移動させることによって、前記給電用部材２５をパレット４側の給電用部材２１に当接させて結線状態にする。それに伴い、電源２２から導電性のパレット４を介して給電され、陽極１０から陰極であるシリンダブロック２，３に所定の電流が流れ、シリンダブロック２，３のボア内面α，βに電気めっきによるめっき皮膜が形成される。この場合、めっき液１３を流しながら前記ボア内面α，βを電気めっきするようにしているので、めっきの品質が安定し、めっき不良の削減を図ることができる。
【００２７】
なお、この際、パレット４に給電することによりパレット４の全体が電極（具体的には、陰極）となり、パレット４を介してシリンダブロック２，３の全体に均等に電流が流れ、電荷の集中が生じることを防ぐので、めっき品質が安定し、めっき不良の削減を図ることができる。また、このパレット４とシリンダブロック２，３との接触面積が従来と比較して非常に大きいことから、シリンダブロック２，３における電荷のばらつきが抑制される。特に、シリンダブロック２の円筒部の平面２ａは全周にわたってパレット４の円筒部１８の上面２０ａと接していることから、シリンダブロック２，３の円周方向においては、品質にばらつきが発生しない。また、シリンダブロック２の円筒部の機械加工面である平面２ａから給電するようにしているため、シリンダブロック２，３の外観形状に影響されないばかりでなく、例えば外観に塗装などの表面処理がなされている場合においても、問題はない。また、パレット４の上に横並びに複数のワークを設置することも可能であり、その場合には更に多くのワークを同時処理することが可能となり、より生産性が向上する。また、既述のようなパレット通電では、結線のためのクランプ時にシリンダブロック２，３がずれることがないため、液漏れや、陽極−陰極間の距離が変わるなどの問題が発生しない。
【００２８】
一方、シリンダブロック２，３を設置するパレット４においては、その一部にめっき液流路となる開孔１６（すなわち、シリンダブロック２，３を設置した状態では、被処理面となるボア内面α，βからつながる部分）を有しているが、その開孔１６の最表面（内周面）に絶縁部材１９が密着されてこの開孔１６の最表面が絶縁されているため、開孔１６の内周面にめっき皮膜が形成されるのが防止されると共に腐食などよる汚染が防止され、従ってメンテナンスが必要になるなどの問題は発生しない。
【００２９】
ここで、めっき条件についての一例を述べると、次の通りである。すなわち、めっき液を流速１．０ｍ／ｓｅｃで流れるよう制御すると共に、電流密度を８０Ａ／ｄｍ２  、並びに、１５０Ａ／ｄｍ２  に設定してめっき処理をそれぞれ２０回だけ行なった。また、パレット４は、ステンレス製とした。その結果、何れの電流密度においてもヤケ（焼け）或いはコゲ（焦げ）など不良の発生はなく、全数について良好なめっき処理（表面処理）をすることができた。なお、本実施例では、段積みした上下のシリンダブロック２，３を固定するために、それらの間に位置決めのためのステンレス製プレート３０を配置するようにしているが、プレート３０を介在させることなくシリンダブロック２，３を直接段積みしても同様の結果が得られた。
【００３０】
比較例として、既述の実施形態の場合と同様に単気筒シリンダブロック２，３を２つ段積みし、その上側のシリンダブロックの一部に直接陰極を接続し、めっき処理を行なった。めっき条件は、記述の実施形態の場合と同様である。その結果、８０Ａ／ｄｍ２  では不良の発生はなかったが、１５０Ａ／ｄｍ２  では２０個あたり２個についてコゲが発生した。不良発生品は、何れも上側に段積みしたシリンダブロック３であり、それは電荷の分布状態に起因していると考えられる。
【００３１】
一方、上述の如きめっき処理を行なう前に施行するめっき前処理（表面処理の一種）においては、上述の表面処理装置１と同様の構成の装置を用いて良い。すなわち、段積みされたシリンダブロック２，３のボア内面α，βを電解液に浸漬すべくこれらのボア内の流通路に電解液を流して被処理面であるボア内面α，βをエッチング又はアルマイト処理する場合には、ワークであるシリンダブロック２，３を陽極として上記と同様にパレット４を介して給電するような表面処理（エッチング処理又はアルマイト処理）を行なうことが可能である。この際、電解液を流しながら前記ボア内面α，βを電解エッチング又はアルマイト処理することにより、めっきの前処理である電解エッチング又はアルマイト処理を均一に行なうことができ、めっき品質の向上を図ることができる。
【００３２】
以上、本発明の一実施形態について述べたが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。例えば、パレット４側の給電用部材２１に電源側の給電用部材２５を当接及び当接解除を選択的に行なう機構として、図２（Ａ）に示す如くパレット４上に給電用部材２１を設ける必要は必ずしもなく、図３（Ａ），（Ｂ）に示すように導電性のパレット４の端縁１７ａを屈曲してこの端縁４ａを給電用部材２５の当接部として構成するようにしても良く、また図４（Ａ），（Ｂ）に示すように導電性のパレット４の基盤部１７の端面１７ｂを給電用部材２５の当接部として構成するようにしても良く、また図５（Ａ），（Ｂ）に示すように導電性のパレット４の基盤部１７の下端面１７ｃ（或いは、上端面１７ｄ）を給電用部材２５の当接部として構成するようにしても良い。既述の実施形態における給電用部材当接機構や図３〜図５にそれぞれ示す給電用部材当接機構によれば、パレット４自体を給電用部材として兼用することができ、特別な専用部材を給電用部材として用いる必要がなくなる。また、結線時にワークであるシリンダブロック２，３には下治具５と上治具６とによるクランプ力以外の外力は全く加わらないため、クランプ時にシリンダブロック２，３がずれたり、液漏れを生じたり、陰極−楊極間の距離が変わるなどの不具合の発生を防止することが可能となる。
【００３３】
また、パレット４とシリンダブロック２，３（ワーク）との相対的な位置関係については、パレット４の上にシリンダブロック２，３を設置する場合と、パレットの下にシリンダブロック２，３を設置する場合のどちらであっても良い。更に、既述の実施形態では２つのシリンダブロック２，３を上下に段積みした状態でめっき処理を行なうようにしたが、３つ以上のシリンダブロックを段積みしてこれらのシリンダブロックのボア内面を同時にめっき処理又はめっき前処理を行なうことも可能である。
【００３４】
また、本発明は、シリンダブロックのボア内面を表面処理する場合に限らず、シリンダブロック以外の各種のワークの表面処理にも適用できることは言う迄もない。
【００３５】
【発明の効果】
請求項１に記載の本発明は、陽極側の電極と陰極側のワークの被処理面（例えば、シリンダブロックのボア内面）との間を表面処理液で満たし、電流を印加することによりワークの被処理面に表面処理を施す表面処理装置において、ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能なパレットを備え、このパレットを介してワークを陰極に接続するようにしたものであるから、ワークに陰極を直接接続しないため、ワークの形状、大きさ、及び外観面の表面処理の有無によらず、ワーク内における電荷の集中を抑制することができ、安定した品質の表面処理を行なうことが可能となる。しかも、上述の如くワークに直接陰極を接続しないため、ワークに外力が加わることがなく、従って接続時（結線時）のワークのずれ、液漏れ、並びにワークの形状による極間距離の変化などの発生を防止することができる。
【００３６】
また、請求項２に記載の本発明は、ワークの被処理面（例えば、シリンダブロックのボア内面）を電解液に浸漬し、ワークを陽極に接続して電流を印加することによりワークの被処理面に表面処理（エッチング処理及びアルマイト処理）を施す表面処理装置において、ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能なパレットを備え、このパレットを介してワークを陽極に接続するようにしたものであるから、ワークに陽極を直接接続しないため、ワークの形状、大きさ、及び外観面の表面処理の有無によらず、ワーク内における電荷の集中を抑制することができ、安定した品質のエッチング処理及びアルマイト処理（表面処理に先立って行なう前処理）を行なうことが可能となる。しかも、ワークに陽極を直接接続しないため、ワークに外力が加わることがなく、従って接続時（結線時）のワークのずれ、液漏れ、並びにワークの形状による陽極−陰極間の距離の変化などの発生を防止することができる。
【００３７】
また、請求項３に記載の本発明は、パレットのうち少なくともワークと接する面を含む部分を導電材料にて構成するようにしとものであるから、パレットからワークヘの給電を容易かつ確実に行なうことが可能となる。
【００３８】
また、請求項４に記載の本発明は、ワークのうちのパレットと接する箇所に、機械加工による平面を形成するようにしたものであるから、パレットとワークとの接触面積を大きくとることが可能となり、これによりワークにおける電荷のばらつきを抑制することができる。更に、パレットの汚れに起因するワークにおける電荷の分布の変化を生じにくくすることが可能となる。
【００３９】
また、請求項５に記載の本発明は、ワークのパレットと接する平面を、ワークの被処理面の回りの全周にわたって形成するようにしたものであるから、このワークの平面を介して給電することにより、ワークの外観形状に影響されることがなく、しかも外観面に表面処理がなされている場合であっても表面処理を良好に行なうことができる。
【００４０】
また、請求項６に記載の本発明は、複数のワークをパレットに接するようにしたものであるから、更に多くのワークを同時処理することが可能となり、生産性のより一層の向上を図ることができる。
【００４１】
また、請求項７に記載の本発明は、ワークの上部に１つ又は複数のワークを導電可能に載置するようにしたものであるから、更に多くのワークを段積み状態の下で同時処理することが可能となり、生産性のより一層の向上を図ることができる。
【００４２】
また、請求項８に記載の本発明は、パレットに表面処理液の流路となる開孔を形成し、この開孔の最表面に絶縁部材を設けるようにしたものであるから、パレットの開孔の最表面（内周面）が絶縁されることにより、パレットヘの皮膜形成や腐食などの汚染を防ぐため、余分なメンテナンスが不要となる。
【００４３】
また、請求項９に記載の本発明は、パレットに給電用部材を設け、この給電用部材に電源側の給電用部材を結線するように構成したものであるから、パレットの形状に影響されることなく確実に結線（電気的接続）に必要な平面を確保することが可能となる。
【００４４】
また、請求項１０に記載の本発明は、陽極側の電極と陰極側のワークの被処理面との間を表面処理液で満たし、電流を印加することによりワークの被処理面に表面処理を施す表面処理方法において、ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能な導電材料から成るパレットを用い、このパレットを陰極に接続することにより、パレットを介してワークを陰極に接続するようにしたものであるから、ワークに陰極を直接接続しないため、ワークの形状、大きさ、及び外観面の表面処理の有無によらず、ワーク内における電荷の集中を抑制することができ、安定した品質の表面処理を行うことが可能となる。しかも、上述の如くワークに陰極を直接接続しないため、ワークに外力が加わることがなく、従って接続時のワークのずれ、液漏れ、並びにワークの形状による陽極−陰極間の距離の変化などの発生を防止することが可能な表面処理装置を提供することができる。
【００４５】
また、請求項１１に記載の本発明は、ワークの被処理面を電解液に浸漬し、ワークを陽極に接続して電流を印加することによりワークの被処理面に表面処理を施す表面処理方法において、ワークを設置した状態で表面処理装置本体への搬入及び搬出が可能なパレットを用い、このパレットを介してワークを陽極に接続するようにしたものであるから、ワークに陽極を直接接続しないため、ワークの形状、大きさ、及び外観面の表面処理の有無によらず、ワーク内における電荷の集中を抑制することができ、安定した品質の表面処理（エッチング処理及びアルマイト処理）を行なうことが可能となる。しかも、上述の如くワークに陽極を直接接続しないため、ワークに外力が加わることがなく、従って接続時のワークのずれ、液漏れ、並びにワークの形状による陽極−陰極間の距離の変化などの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る表面処理方法を施行するために用いられる表面処理装置を示す断面図である。
【図２】パレット側の給電用部材に電源側の給電用部材を当接及び当接解除を選択的に行なう機構を示す図であって、図２（Ａ）は上述の給電用部材が互いに当接解除されている状態を示す説明図、図２（Ｂ）は上述の給電用部材が互いに当接されている状態を示す説明図である。
【図３】上述の機構とは別の変形例を示すものであって、図３（Ａ），（Ｂ）は図２（Ａ），（Ｂ）とそれぞれ同様の説明図である。
【図４】上述の機構とは更に別の変形例を示すものであって、図４（Ａ），（Ｂ）は図２（Ａ），（Ｂ）とそれぞれ同様の説明図である。
【図５】上述の機構とは更に別の変形例を示すものであって、図５（Ａ），（Ｂ）は図２（Ａ），（Ｂ）とそれぞれ同様の説明図である。
【符号の説明】
１  表面処理装置
２，３シリンダブロック（ワーク）
２ａ，３ａ  平面（切削加工面）
４  パレット
５  下治具
６  上治具
８  めっき液供給管
９  めっき液流通用通路
１０  陽極
１３  めっき液
１７  基盤部
１８  円筒部
１９  絶縁部材
２０ａ  上面
２１，２５  給電用部材
２１ａ  取付片部
２１ｂ  屈曲片部
２２  電源
２３  陰極端子
２７  陽極端子
３０  ステンレス製プレート
３１  室
３２，３３  流路
α，β  ボア内面
【図１】
2004256878.tif 000003
【図２】
2004256878.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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