(57)【要約】【課題】この発明は、構成簡易にして、対物レンズ又はサンプルにダメージを与えるような接触を確実に防止し得るようにすることにある。【解決手段】サンプルと対物レンズ１５の接触を検知する触覚センサ２２を備えて、この触覚センサ２２に擬似的に接触状態を発生させるダミーサンプル２６を、サンプルに代えてステージ１１上に選択的に配し、上記触覚センサ２２でダミーサンプル２６により発生された擬似的な接触状態における検知出力に基づいて自己診断部２５で触覚センサ２２の状態を診断し、その診断結果に応じた所望の処理を指示するように構成したものである。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルを載せるステージと対物レンズとの光軸方向の相対距離を変化させる駆動手段及び前記光軸上の対物レンズの交換を行う対物レンズ交換手段の少なくとも一方を備える顕微鏡システムにおいて、
前記サンプルと対物レンズの接触を検知する接触検知手段と、
この接触検知手段の出力により前記駆動手段又は対物レンズ交換手段を制御する制御手段と、
前記接触検知手段に擬似的に接触状態を発生させる疑似接触手段と、
この疑似接触手段により発生された擬似的な接触状態における前記接触検知手段からの検知出力より該接触検知手段の状態を診断し、その診断結果に応じた指示を前記制御手段に出力する自己診断部と
を具備したことを特徴とする顕微鏡システム。
【請求項２】
前記疑似接触手段は、前記接触検知手段に対し前記ステージ及び対物レンズ交換手段のいずれか一方の側に設置されることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡システム。
【請求項３】
前記疑似接触手段は、発振素子を備え、該発振素子による振動を、疑似的に接触させることによる応力とともに、前記接触検知手段に与えることを特徴とする請求項１又は２記載の顕微鏡システム。
【請求項４】
前記自己診断部は、前記疑似接触手段の検知出力に応動して前記制御手段へ出力する指示を変更することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の顕微鏡システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、顕微鏡システムに係り、特に、そのサンプル又は対物レンズにダメージを与えるような接触を防止する機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、顕微鏡によりサンプルを観察する場合、先ず、サンプルとして生体標本をステージ上に置き、その像を接眼レンズやＴＶモニタを通して見ながら対物レンズとサンプルの光軸方向の相対距離を調節して、ピントを合わせた後、光軸と垂直なＸＹ平面の位置を調節し、所望の観察像を取得する方法が採られる。
【０００３】
ところで、このような対物レンズとサンプルの相対距離は、対物レンズの作動距離（以下、ＷＤと記す）によって決定される。そして、このＷＤは、対物レンズの倍率によって異なり、高倍率ほど短く、例えば１０倍の対物レンズの場合、約１０ｍｍであるが、１００倍の対物レンズの場合だと約０．２ｍｍとなる。
【０００４】
したがって、高倍率の観察の場合にあっては、ピント合わせのために対物レンズとサンプルの相対距離を調節するときの僅かな誤操作によってもサンプルと対物レンズが接触する虞を有する。
【０００５】
また、凹凸が激しく高低差の大きいサンプルの観察を行う場合にあっても、観察中にサンプルをＸＹ平面上で移動させる際に、サンプルと対物レンズが接触する危険性を有する。さらに、サンプルと対物レンズの接触は、自動で複数の対物レンズを交換する機能をもつ顕微鏡システムにおける対物レンズ交換の際にも、ＷＤ、焦点深度等の違いによって同様に起こりうる。
【０００６】
このようなサンプルと対物レンズの接触は、種々の状況下において生じる虞があり、例えばサンプルが半導体ウエハのように薄いものであれば、接触の程度によってはサンプルを破損してしまう虞があり、破損ウエハの処理時間も考慮すると、歩留まり、工数両方の点で多大な損失を招くことになる。
【０００７】
そこで、サンプルと対物レンズの接触を回避する手段としては、対物レンズ先端に接触検出センサを取り付けて、接触時のセンサヘの加圧を信号として検出し、その検出信号に応じて標本を退避する処理を行うことで、標本を保護する方法が提案されている（例えば特許文献１、特許文献２参照）。
【０００８】
しかしながら、上記保護の方法では、その構成上、接触防止機能が正常に動作するか否かの検出することが困難なため、接触防止機能が不充分な状態で観察し、接触が発生した場合、例えば触覚センサの感度が通常より鈍いときには、サンプルヘのセンサの加圧が強く、サンプルに傷をつけてしまう虞を有する。また、触覚センサの感度が高すぎる場合には、サンプルとセンサの接触ではない微弱な振動に対して誤検出してしまうという不都合を有する。
【０００９】
さらに、接触検出センサにピエゾ圧電素子等の温度による抵抗値変動の大きい素子を用いた場合には、環境の変化によって検出信号にばらつきが生じやすいために、接触時にサンプルを破損してしまうという不都合を有する。
【００１０】
【特許文献１】
特開２０００―１９９８５８号公報（段落番号００１９〜段落番号００２４、図１）
【００１１】
【特許文献２】
特開平１０―２６０３６１号公報（段落番号００１７〜段落番号００４９、図２）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、従来の顕微鏡システムでは、対物レンズがサンプルに接触して傷付けたり、破損してしまうという不具合を有する。
【００１３】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、構成簡易にして、対物レンズ又はサンプルのダメージを与えるような接触を確実に防止し得るようにした顕微鏡システムを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この発明は、サンプルを載せるステージと対物レンズとの光軸方向の相対距離を変化させる駆動手段及び前記光軸上の対物レンズの交換を行う対物レンズ交換手段の少なくとも一方を備える顕微鏡システムにおいて、前記サンプルと対物レンズの接触を検知する接触検知手段と、この接触検知手段の出力により前記駆動手段又は対物レンズ交換手段を制御する制御手段と、前記接触検知手段に擬似的に接触状態を発生させる疑似接触手段と、この疑似接触手段により発生された擬似的な接触状態における前記接触検知手段からの検知出力より該接触検知手段の状態を診断し、その診断結果に応じた指示を前記制御手段に出力する自己診断部とを具備して構成した。
【００１５】
上記構成によれば、疑似接触手段によって接触検知手段に対して擬似的に接触状態を発生させると、この接触による検知出力が自己診断部に送信され、自己診断部が接触検知手段の状態を診断し、その診断結果に応じた指示を制御手段に出力する。したがって、センサ機能が正常であるか否かが事前に検出することができることで、誤動作による対物レンズ又はサンプルにダメージを与えるような接触を確実に防止することができる。
【００１６】
また、この発明は、前記疑似接触手段を、前記接触検知手段に対し前記ステージ及び対物レンズ交換手段のいずれか一方の側に設置するように構成した。
【００１７】
上記構成によれば、前記疑似接触手段を用いた自己診断を、サンプルの一時退避をさせることなく行うことが可能となり、迅速なサンプル又は対物レンズにダメージを与えるような接触を防止する機能の診断を行うことができる。
【００１８】
また、この発明は、前記疑似接触手段は、発振素子を備え、該発振素子による振動を、疑似的に接触させることによる応力とともに、前記接触検知手段に与えるように構成した。
【００１９】
上記構成によれば、前記接触検出手段に前記疑似接触手段により、発生された疑似接触による応力だけでなく、所望の振動を与えることで、対物レンズとサンプルとの接触時に前記接触検出手段に加わる振動に対するセンサ機能を診断することも可能となる。したがって、診断の信頼性の向上が図れる。
【００２０】
また、この発明は、前記自己診断部は、前記疑似接触手段の検知出力に応動して前記制御手段へ出力する指示を変更するように構成した。
【００２１】
上記構成によれば、前記自己診断部は、前記疑似接触手段の検知出力に応じて前記制御手段への指示を変更することにより、観察環境の温度等の変化の大きい場所における観察の際も、前記接触検出手段の感度に応じてセンサ機能を微調整することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
図１は、この発明の第１の実施の形態に係る顕微鏡システムの概略構成を示すもので、図中１０は、顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１０には、サンプル（観察標本）を載置するステージ１１が昇降自在に設けられる。このステージ１１は、顕微鏡本体１０に内蔵されたステージモータ１２により光軸方向に昇降自在に移動調整されると共に、ステージＸＹハンドル１３の操作により光軸と直交する水平面上でＸＹ方向に移動調整自在に配される。そして、このステージ１１の表面には、図示しないサンプル固定用のクレンメルが取り付けられる。
【００２４】
上記顕微鏡本体１０には、ステージ１１に対向してレボルバ１４が設けられている。このレボルバ１４には、複数の対物レンズ１５が設けられ、この複数の対物レンズ１５が、レボルバ１４に内蔵されたレボルバモータ１６によって選択的に光軸上に挿入される。これにより、検鏡者は、開口絞り１７、視野絞り１８、コーナーキューブ１９、対物レンズ１５を通過した光源２０からの照明光で照明されたサンプルを接眼レンズ２１を通して見ることでサンプルを観察することができる。
【００２５】
また、上記レボルバ１４上の各対物レンズ１５の先端部には、接触検知手段として触覚センサ２２が設けられる。この触覚センサ２２は、例えばピエゾ圧電素子で構成され、サンプルとの僅かな接触状態を検出する。この触覚センサ２２は、対物レンズ１５側面を通るリード線１０１を介して顕微鏡本体１０内に配される中央演算処理装置（ＣＰＵ）２３に接続され、その検出信号をＣＰＵ２３に出力する。
【００２６】
ＣＰＵ２３には、操作ユニット２４が接続される。この操作ユニット２４には、ピント合わせ用ステージモ一夕１２によりステージ１１を光軸方向に移動させるために、例えば図２に示すように焦準ハンドル２４１、対物レンズ切換え時にレボルバモ一夕１６を駆動させるための対物切換え用スイッチ２４２、オートフォーカス動作を行うためのＡＦスイッチ２４３及びＳＥＡＣＨスイッチ２４４、触覚センサ２２の自己診断を開始させるためのスイッチ２４５が配される。
【００２７】
上記スイッチ２４５は、例えば照光式に構成され、警告告知用のＬＥＤ２４６が内蔵される。
【００２８】
また、上記ＣＰＵ２３には、自己診断部２５が接続される。自己診断部２５は、例えば図３に示すように演算部２５１及び読み出し専用記憶部であるＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）２５２で構成される。自己診断部２５は、上記スイッチ２４５の操作に応動して演算部２５１でＲＯＭ２５２に格納された正常時の基準信号レベルを読み出して、上記ＣＰＵ２３を介して入力される触覚センサ２２からのデータと比較して接触の有無を判断して、その診断処理データを上記ＣＰＵ２３に出力する。
【００２９】
上記構成において、自己診断を行う手順について図４を参照して説明する。即ち、ステップＳ１において、検鏡者は、観察標本であるサンプルをステージ１１から退避させ、疑似接触手段を構成するダミーサンプル２６をステージ１１に載置して、上記クレンメル（図示せず）によって所定の位置に固定する。次に、ステップＳ２に移行して、操作ユニット２４のスイッチ２４５を押して、ＣＰＵ２３を介してステージモータ１２を駆動させ、ダミーサンプル２６と触覚センサ２２が近づく上昇方向にステージ１１を一定距離だけ移動させる。
【００３０】
ここで、ＣＰＵ２３は、触覚センサ２２からの検出信号が入力され、その検出信号を、自己診断部２５に転送する。自己診断部２５は、その演算部２５１でＲＯＭ２５２に格納される基準信号レベルに基づいて検出信号の有無を判定し（ステップＳ３）、検出信号が無く、ＮＯを判定した状態では、再び、上記ステップＳ２に戻りステージモータ１２を駆動させ、ダミーサンプル２６と触覚センサ２２が近づく上昇方向にステージ１１を一定距離だけ移動させ、ステップＳ３に移行されて同様の判定が行われる。
【００３１】
上記ステップＳ３において、自己診断部２５は、検出信号を検知し、ＹＥＳを判定すると、ステップＳ４に移行して、ＣＰＵ２１がステージモータ１２を駆動してステージ１１を反転させて下降させた後、ステップＳ５に移行される。ここで、自己診断部２５は、その演算部２５１がＲＯＭ２５２に格納された正常時の基準信号レベルを読み出し、検出信号と比較する。検出信号の方が基準信号レベルより大きいときは、触覚センサ２２の感度が良好でサンプル又は対物レンズ１５にダメージを与えるような接触を防止する機能が正常であると判断し、検出信号の方が基準信号レベルより小さいときは、触覚センサ２２の感度が不充分なため、サンプル又は対物レンズ１５にダメージを与えるような接触を防止する機能が正常に動作しないと判断する。
【００３２】
そして、触覚センサ２２が正常に動作すると判断したときは、自己診断部２５は、ステップＳ６に移行してＣＰＵ２３に指示を与え、操作ユニット２４のＬＥＤ２４６を点灯させて機能が正常であることを検鏡者に報せる。また、自己診断部２５は、触覚センサ２２が正常に動作しないと判断したときはステップＳ７に移行して、例えばブザー等を鳴らし検鏡者に触覚センサ２２の動作が異常であることを報せる。
【００３３】
ここで、上記触覚センサ２２に接触させるダミーサンプル２６としては、サンプル（観察標本）に応じて取り換えることで、触覚センサ２２の状態をより正確に自己診断をすることができる。
【００３４】
また、上記触覚センサ２２の感度を微調整できる機構を設けて構成してもよい。この場合には、触覚センサ２２の異常検出時に、その感度を調整しつつ、自己診断を再度、繰り返すことにより、触覚センサ２２を動作可能に構成することができる。
【００３５】
このように、上記顕微鏡システムは、サンプルと対物レンズ１５の接触を検知する触覚センサ２２を備えて、この触覚センサ２２に擬似的に接触状態を発生させるダミーサンプル２６を、サンプルに代えてステージ１１上に選択的に配し、上記触覚センサ２２でダミーサンプル２６により発生された擬似的な接触状態における検知出力に基づいて自己診断部２５で触覚センサ２２の状態を診断し、その診断結果に応じた所望の処理を指示するように構成した。
【００３６】
これによれば、ダミーサンプル２６によって触覚センサ２２に対して擬似的に接触状態を発生させると、この接触による検知出力が自己診断部２５に送信され、自己診断部２５が触覚センサ２２の状態を診断し、その診断結果に応じた処理を指示することにより、センサ機能が正常であるか否かが事前に検出することができることで、誤動作によって、対物レンズ１５がサンプルに誤って接触し、対物レンズ１５又はサンプルにダメージを与えるようなことを確実に防止することができる。
【００３７】
なお、上記第１の実施の形態では、自己診断の手法として、ステージ１１を昇降駆動して触覚センサ２２の自己診断を行うように構成したが、その他、ステージ１１を固定した状態で、レボルバ１４を回転させて触覚センサ２２とダミーサンプル２６とを接触させて自己診断を行うように構成してもよい。また、この発明では、ステージ１１の昇降駆動及びレボルバ１４の回転の双方の状態で、それぞれ触覚センサ２２とダミーサンプル２６とを接触させて自己診断を行うようにしてもよい。この場合には、さらに、自己診断結果の信頼性の向上を図ることが可能となる。
【００３８】
また、この発明は、上記第１の実施の形態に限ることなく、その他、図５及び図６に示す第２の実施の形態、第３の実施の形態、図７及び図８に示す第４の実施の形態の如く構成しても良い。但し、図５及び図６、図７及び図８の説明においては、上記図１乃至図４と同一部分について、同一符号を付し、且つ、互いに同一に構成される部分についても、同一符号を付して、以後、その詳細な説明を省略する。
【００３９】
先ず、図５及び図６に示す第２の実施の形態では、ステージ１１上にサンプルを載置した状態で、触覚センサ２２の自己診断を可能にダミーサンプル搭載部３０を顕微鏡本体１０に昇降自在に配して構成した。
【００４０】
即ち、顕微鏡本体１０には、上記レボルバモータ１６と共に、ダミーサンプル配置用の第１の駆動モータ３１が内蔵され、この第１の駆動モータ３１の駆動軸には、アーム３２の一端がリンク結合される（図６参照）。そして、このアーム３２の他端には、矢印方向に昇降自在に配させるアーム格納部３３がリンク結合される。このアーム格納部３３には、第２の駆動モータ３４が内蔵され、この第２の駆動モータ３４の駆動軸には、図示しない歯車機構を介して上記ダミーサンプル搭載部３０が矢印方向に出入り自在に結合される。このダミーサンプル搭載部３０には、その先端部に上記ダミーサンプル２６が搭載され、該ダミーサンプル２６と協働して疑似接触手段を構成する。
【００４１】
上記第１及び第２の駆動モータ３１、３４は、上記ＣＰＵ２３に接続される。このＣＰＵ２３は、図２の上記操作ユニット２４のスイッチ２４５の操作に応動して駆動信号を生成して第１及び第２の駆動モータ３１、３４を選択的に駆動制御して後述するように自己診断を実行する。
【００４２】
上記構成において、触覚センサ２２の自己診断を行う場合、先ず、検鏡者は、そのダミーサンプル搭載部３０にダミーサンプル２６を搭載する。この状態で、上記操作ユニット２４のスイッチ２４５を押圧操作すると、先ずステージモータ１７が駆動されて、ステージ１１が下降し、サンプルを安全な位置に退避する。
【００４３】
ここで、第１及び第２の駆動モータ３１、３４が順に駆動制御されてアーム３２を介してアーム格納部３３が最も下に下降されると共に、ダミーサンプル搭載部３０が最も下に下降され、該ダミーサンプル搭載部３０上のダミーサンプル２６が、観察位置に移動される。その後、上記第２の駆動モータ３４が反転駆動されて、ダミーサンプル搭載部３０が上昇されてダミーサンプル２６が触覚センサ２２に接触される。ここで、触覚センサ２２は、接触状態を検出して、その検出信号をＣＰＵ２３に出力する。ＣＰＵ２３は、入力した検出信号を自己診断部２５に出力する。
【００４４】
ここで、自己診断部２５は、上述した図３のステップＳ３〜ステップＳ７と同様の手順で自己診断を実行し、その自己診断結果を告知する。この自己診断が完了した状態で、検鏡者は、ダミーサンプル搭載部３０のダミーサンプル２６を取り外した後、再び、操作ユニット２４が操作されると、第１及び第２の駆動モータ３１、３４が反転駆動され、ダミーサンプル搭載部３０が上昇されると共に、アーム３２が反転されてアーム格納部２２が上昇され、サンプル（観察標本）と干渉しない安全な位置まで避難される。その後、ステージ１１を初期の観察位置まで上昇させ、ステージ１１上のサンプルの観察が自己診断結果を考慮して行うことができる。
【００４５】
この第２の実施の形態によれば、触覚センサ２２が正常に機能するか否かを判断する自己診断の一連の動作を、操作ユニット２４のスイッチ２４５を押圧操作するだけで実現でき、自己診断のためのダミーサンプル２６をステージ１１上に取り付けたり、サンプルをステージ１１外に一時的に退避させる手間が省けることにより、さらに高速な自己診断を行うことが可能となる。
【００４６】
また、第３の実施の形態は、例えば図５及び図６の第２の実施の形態におけるダミーサンプル搭載部３０に搭載する疑似接触手段を構成するダミーサンプル２６として、図示しない発振素子を配し、この発振素子（図示せず）の接触状態を上記触覚センサで検出するようにしたものである。この発振素子（図示せず）は、該発振素子（図示せず）を振動させるための電極を介して配され、この電極が上記ＣＰＵを介して駆動制御されて振動が制御される。
【００４７】
上記構成において、触覚センサ２２の自己診断を行う場合、検鏡者は、上記操作ユニット２４のスイッチ２４５を押圧操作して、ステージモータ１２を駆動して、ステージ１１を下降させてサンプルを安全な位置に退避させる。
【００４８】
ここで、上記第１及び第２の駆動モータ３１、３４が順に駆動制御されてアーム３２を介してアーム格納部３３が最も下に下降されると共に、ダミーサンプル搭載部３０が最も下に下降され、該ダミーサンプル搭載部３０上の発振素子（図示せず）が、観察位置に移動される。その後、上記第２の駆動モータ３４を反転駆動して、ダミーサンプル搭載部３０を所望の位置まで上昇させ、触覚センサ２２を発振素子（図示せず）に当接させる。
【００４９】
ここで、ＣＰＵ２１は、発振素子（図示せず）の電極を駆動して該発振素子（図示せず）を振動させ、その振動に応じた検出信号が触覚センサ２２で検出され、その検出信号が上記自己診断部２５に入力される。自己診断部２５は、入力した検出信号に基づいて触覚センサ２２が正常か、異常かの判断を、例えば上述した図３に示す手順で実行する。
【００５０】
この第３の実施の形態によれば、サンプルと対物レンズ１５の接触時に触覚センサ２２に加わる微弱な振動に対しても触覚センサ２２の感度を確認することができる。また、発振素子（図示せず）の周波数を変更することによって多様な接触状況下に対する触覚センサ２２の自己診断をすることも可能となる。
【００５１】
また、図７及び図８に示す第４の実施の形態では、触覚センサ２２の自己診断時に触覚センサ２２の検出信号に応じて接触信号のレベルや駆動方法を可変とし、触覚センサ２２が正常動作するようにフィードバックをかけるように構成したものである。
【００５２】
即ち、第４の実施の形態では、自己診断部３５を上記演算部２５１及びＲＯＭ２５２の他に、信号レベル値を格納するための書き込みと読み出し可能な記憶部であるＲＡＭ（Ｒａｎｄｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）３５１を備えて構成したことを特徴とする。
【００５３】
ＲＡＭ３５１には、信号レベルの下限値と接触基準値と接触判断値の３つの値を格納する。このうち下限値は、演算部２５１が検出信号を認識するための最低値であり、検出信号レベルがこの値より小さい場合、演算部２５１は、接触検知をすることができない。接触基準値は、定常状態において触覚センサ２２が接触時出力する検出信号の平均値である。サンプル観察時、演算部２５１は、接触判断値によって接触の有無を判定する。
【００５４】
上記構成において、自己診断は、図８に示す手順で行われる。即ち、ステップＳ１０において、検鏡者は、上述したように操作ユニット２４を操作すると、ダミーサンプル搭載部３０のダミーサンプル２６が触覚センサ２２に接触され、その検出信号が、自己診断部３５に出力される（ステップＳ１１〜Ｓ１３）。すると、自己診断部３５は、その演算部２５１で、ＲＡＭ３５１に格納される基準信号レベルに基づいて入力した検出信号が接触信号であるか否かを判定し、検出信号が接触信号でない接触判断ＮＯを判定した状態で、ダミーサンプル搭載部３０が上昇される。
【００５５】
そして、自己診断部３５は、入力した検出信号が接触信号であるＹＥＳを判定すると、ダミーサンプル搭載部３０を下降させて、その下限値の判定が行われる（ステップＳ１４、Ｓ１５）。ステップＳ１５において、自己診断部３５は、演算部２５１で、ＲＡＭ３５１に格納される下限値と検出信号を比較し、検出信号が下限値より大きいか否かを判定し、小さいＮＯを判定したときは、触覚センサ２２の感度が不十分で正常に動作することは不可能と判断し、ステップＳ１６に移行する。ステップＳ１６では、例えばブザーを鳴らし検鏡者に告知し、その後、ステップＳ１７に移行して初期状態に戻し、自己診断動作が終了される。
【００５６】
同時に、自己診断部３５は、ＣＰＵ２３に制御変更指令信号を出力する。ここで、ＣＰＵ２３は、この制御変更指令信号に応動して、例えばステージモータ１２及びレボルバモータ１６のモータ制御を動作速度が遅くなるように設定し、観察時におけるサンプル接触時の損害を最小限にくい止める。
【００５７】
また、上記ステップＳ１５において、検出信号が下限値より大きいＹＥＳを判定したときは、ステップＳ１８に移行して、接触検知が可能であることをＬＥＤ２４６を点灯して検鏡者に報せた後、ステップＳ１９でＲＡＭから接触基準値を読み取り検出信号と比較する。ステップＳ１９において、検出信号が接触基準値より大きいＹＥＳを判定すると、触覚センサの感度は通常より良いと判断してステップＳ２０に移行して、接触判断値をそのまま保持し、上記ステップＳ１７に移行され、自己診断動作が終了される。
【００５８】
一方、ステップＳ１９において、検出信号が接触判断値より小さいＮＯを判定すると、触覚センサ２２の感度は通常より悪いと判断し、ステップＳ２１移行してＲＡＭ３５１に格納される接触判断値をそのときの検出値に置換し、接触時に必要以上、サンプルに負荷がかかるのを防止し、上記ステップＳ１７に移行され、自己診断動作が終了される。
【００５９】
このように、第４の実施の形態では、検出信号のレベルに応じて警告を与えるだけでなく、接触判断の信号レベルを可変とすることで、温度等の環境変化の大きい場所で観察がなされる場合も、触覚センサ２２の感度に対応した安定した接触検出ができるため、より確実なサンプル保護が実現され、サンプル破損時の歩留まり、工数の点における損失を減らすことができる。
【００６０】
また、この第４の実施の形態では、ダミーサンプル２６を備えて構成に適用した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、例えば上記図３の実施の形態で説明した発振素子を、ダミーサンプル搭載部３０に配する疑似接触手段を備える構成のものにおいても適用可能であり、同様に有効な効果を期待することができる。また、ダミーサンプル自体に圧力センサ、測長センサを用いれば、さらに信頼性を向上させることも可能である。
【００６１】
なお、上述した各実施の形態では、接触検知手段として、触覚センサ２２を用いて構成した場合で説明しているが、これに限ることなく、例えば周知の近接センサを用いて構成することも可能である。この近接センサを用いた場合には、非接触による検出が実現できることにより、さらに、有効な効果を期待することができる。
【００６２】
さらに、上記各実施の形態では、疑似接触手段を構成するダミーサンプル２６、発振素子（図示せず）を、ステージ１１に対応して配し、触覚センサ２２の自己診断を行うように構成した場合で説明したが、これに限ることなく、疑似接触手段を、顕微鏡本体１０に搭載されるその他の構成部品に対応して配することにより、その他の構成部品の自己診断を行うように構成することも可能である。
【００６３】
また、上記各実施の形態では、例えばステージ１１を昇降させて対物レンズ１５との光軸方向の相対距離を変化させる駆動手段、及び光軸上の対物レンズ１５の交換を行う対物レンズ交換手段の双方を備えた顕微鏡システムに適用した場合で説明したが、これに限ることなく、これら駆動手段及び対物レンズ交換手段のいずれか一方を備える顕微鏡システムに適用することで、同様の効果を期待することができる。
【００６４】
よって、この発明は、上記各実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記各実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【００６５】
例えば各実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【００６６】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、構成簡易にして、対物レンズ又はサンプルにダメージを与えるような接触を確実に防止し得るようにした顕微鏡システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施の形態に係る顕微鏡システムの概略構成を示した構成図である。
【図２】図１の操作ユニットを取り出して示した構成図である。
【図３】図１の自己診断部の詳細を示したブロック図である。
【図４】図１の自己診断動作を示したフォローチャートである。
【図５】この発明の第２の実施の形態に係る顕微鏡システムの概略構成を示した構成図である。
【図６】図５の疑似接触手段の構成を示した詳細図である。
【図７】この発明の第４の実施の形態に係る顕微鏡システムの要部を示したブロック図である。
【図８】図７の自己診断動作を示したフォローチャートである。
【符号の説明】
１０  …  顕微鏡本体
１０１  …  リード線
１１  …  ステージ
１２  …  ステージモータ
１３  …  ステージＸＹハンドル
１４  …  レボルバ
１５  …  対物レンズ
１６  …  レボルバモータ
１７  …  開口絞り
１８  …  視野絞り
１９  …  コーナーキューブ
２０  …  光源
２１  …  接眼レンズ
２２  …  触覚センサ
２３  …  ＣＰＵ
２４  …  操作ユニット
２４１  …  焦準ハンドル
２４２  …  スイッチ
２４３  …  ＡＦスイッチ
２４４  …  ＳＥＡＣＨスイッチ
２４５  …  スイッチ
２４６  …  ＬＥＤ
２５、３５  …  自己診断部
２５１  …  演算部
２５２  …  ＲＯＭ
３５１  …  ＲＡＭ
３０  …  ダミーサンプル搭載部
３１  …  第１の駆動モータ
３２  …  アーム
３３  …  アーム格納部
３４  …  第２の駆動モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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