(57)【要約】【課題】測定対象物に対する処理能力を向上させる。【解決手段】平面板１上で測定対象物を搬送する第１および第２の搬送ユニット２Ａ，２Ｂと、搬送ユニット２Ａ，２Ｂの移動を制御する制御手段とを備え、この制御手段は、第１の搬送ユニット２Ａが測定位置１６にある間、次に測定される測定対象物を搬送した第２の搬送ユニット２Ｂを、測定位置１６から所定距離だけ離間して平面板１上に配置された待機位置１５Ｂに待機させ、第１の搬送ユニット２Ａを測定位置１６から退避させた後に、第２の搬送ユニット２Ｂを待機位置１５Ｂから測定位置１６に進入させる。【選択図】　　　　図１
2004014732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面板上で測定対象物を搬送する搬送ユニットを備え、この搬送ユニットにより前記測定対象物を供給位置から測定位置へ搬送し、前記測定位置の近傍に配置された測定手段に前記測定対象物の特性を測定させた後、前記測定対象物を前記測定位置から前記平面板上の回収位置へ搬送する動作を繰り返す搬送システムにおいて、
前記平面板上で前記測定対象物を搬送する第１および第２の搬送ユニットと、
前記搬送ユニットの移動を制御する制御手段とを備え、
この制御手段は、前記第１の搬送ユニットが前記測定位置にある間、次に測定される測定対象物を搬送した前記第２の搬送ユニットを、前記測定位置から所定距離だけ離間して前記平面板上に配置された待機位置に待機させ、前記第１の搬送ユニットを前記測定位置から退避させた後に、前記第２の搬送ユニットを前記待機位置から前記測定位置に進入させることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
請求項１に記載された搬送システムにおいて、
前記搬送ユニットは、移動手段としてサーフェイスモータを有することを特徴とする搬送システム。
【請求項３】
請求項１に記載された搬送システムにおいて、
前記制御手段は、前記第１および第２の搬送ユニットを、前記平面板上で前記測定位置を通る線に対し互いに対称な位置に配置された第１および第２の待機位置にそれぞれ待機させることを特徴とする搬送システム。
【請求項４】
請求項３に記載された搬送システムにおいて、
前記制御手段は、前記第１の搬送ユニットを前記測定位置から前記第１の待機位置を経由して前記回収位置へ移動させるとともに、前記第２の搬送ユニットを前記測定位置から前記第２の待機位置を経由して前記回収位置へ移動させることを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送システムに関し、より詳しくは、測定対象物を供給位置から測定位置まで搬送し、測定終了後、測定位置から回収位置まで搬送する搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣ等の電子デバイスでは、出荷前の検査において電気特性の測定が行われる。この測定において電子デバイスの搬送を行なう従来の搬送システムは、図８に示すように、平面板１０１と、この平面板１０１上で電子デバイスを搭載して移動する搬送ユニット１０２とを有している。
搬送ユニット１０２は、ボールねじを用いた移動手段を有している。このボールねじを用いた移動手段は、平面板１０１のＸ方向およびＹ方向に差し渡されたボールねじのねじ棒１２４Ｘおよび１２４Ｙと、搬送ユニット１０２に固定され、ねじ棒１２４Ｘ，１２４Ｙのそれぞれを通すボールねじのナット（図示せず）とから構成されている。ねじ棒１２４Ｘを回転させると搬送ユニット１０２がＸ方向に移動し、ねじ棒１２４Ｙを回転させると搬送ユニット１０２がＹ方向に移動するので、ねじ棒１２４Ｘ，１２４Ｙの回転角度を制御することにより、搬送ユニット１０２をＸ方向およびＹ方向に自在に動かすことができる。
【０００３】
電子デバイスの測定は次のようにして行われる。まず、搬送ユニット１０２を平面板１０１上の供給位置１１２に移動させ、供給装置１０３により搬送ユニット１０２上に未測定の電子デバイスを配置する。次に、電子デバイスが配置された搬送ユニット１０２を平面板１０１上の測定位置１１６に移動させ、測定装置１０５による電子デバイスの測定を行なう。測定終了後、搬送ユニット１０２を平面板１０１上の回収位置１１７に移動させ、回収装置１０６により測定済の電子デバイスを回収する。以後、電子デバイスの供給、測定、回収を繰り返し行なう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の搬送システムを用いる場合、電子デバイスの測定終了後、その電子デバイスを回収し、次の電子デバイスを測定位置１１６へ搬送するまでの間、測定装置１０５を待機状態にしていた。このため、測定装置１０５の待機時間が長く、１回の測定サイクルにおける測定装置１０５の稼動時間の割合であるデューティ比（稼動時間／（稼動時間＋待機時間））が小さいので、測定装置１０５に従来の搬送システムを組み合わせると検査処理能力が著しく低下するという問題があった。
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、電子デバイス等の測定対象物に対する処理能力を向上させることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明による搬送システムは、平面板上で測定対象物を搬送する第１および第２の搬送ユニットと、搬送ユニットの移動を制御する制御手段とを備え、この制御手段は、第１の搬送ユニットが測定位置にある間、次に測定される測定対象物を搬送した第２の搬送ユニットを、測定位置から所定距離だけ離間して平面板上に配置された待機位置に待機させ、第１の搬送ユニットを測定位置から退避させた後に、第２の搬送ユニットを待機位置から測定位置に進入させることを特徴とする。
これにより、測定対象物に対する測定終了後、直ちに次の測定対象物に対する測定を開始できるので、測定手段の待機時間が短くなる。
なお、第１および第２の搬送ユニットの大きさに応じて待機位置を設定することにより、測定ユニット同士が衝突せず、かつ、測定位置から最短距離にある位置に待機位置を設定することが可能となる。
【０００６】
この搬送システムにおいて、搬送ユニットが、移動手段としてサーフェイスモータを有するものであってもよい。これにより、従来必要であった平面板のＸ，Ｙ方向に差し渡されるねじ棒１２４Ｘ，１２４Ｙが不要となる。
【０００７】
また、制御手段は、第１および第２の搬送ユニットを、平面板上で測定位置を通る線に対し互いに対称な位置に配置された第１および第２の待機位置にそれぞれ待機させるようにしてもよい。
また、制御手段は、第１の搬送ユニットを測定位置から第１の待機位置を経由して回収位置へ移動させるとともに、第２の搬送ユニットを測定位置から第２の待機位置を経由して回収位置へ移動させるようにしてもよい。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、本発明の一実施の形態について詳細に説明する。
本発明の一実施の形態である搬送システムは、図１に示すように、平面板１上で測定対象物である電子デバイスを搬送する搬送ユニットを二基有している。
平面板１は、平面視矩形をなし、水平に配置されている。後述する搬送ユニットのサーフェイスモータが推進力を得られるように、平面板１の表面には鉄などの磁性体からなる直方体状の歯がマトリクス状に複数配置されている。なお、平面板１の二つの短辺を１Ａ，１Ｂ、二つの長辺を１Ｃ，１Ｄと呼ぶ。また、平面板１上において、短辺１Ａ，１Ｂに平行な方向をＸ方向、長辺１Ｃ，１Ｄに平行な方向をＹ方向と呼ぶ。
【０００９】
短辺１Ｂと長辺１Ｃとに挟まれる角１Ｅの近傍にセンサ８Ａ１，８Ａ２が配設されるとともに、センサ８Ａ１，８Ａ２を囲むように短辺１Ｂに沿う電磁石７Ａ１と長辺１Ｃに沿う電磁石７Ａ２とが配設されている。電磁石７Ａ１，７Ａ２は、筐体の少なくとも一部が磁性体からなる第１の搬送ユニット２Ａを磁力により吸引するものであり、センサ８Ａ１，８Ａ２は、第１の搬送ユニット２Ａの有無を検出するものである。これらは後述するように、第１の搬送ユニット２Ａの移動制御のための座標系の初期化に用いられる。
【００１０】
同様に、短辺１Ｂと長辺１Ｄとに挟まれる角１Ｆの近傍にセンサ８Ｂ１，８Ｂ２が配設されるとともに、センサ８Ｂ１，８Ｂ２を囲むように短辺１Ｂに沿う電磁石７Ｂ１と長辺１Ｄに沿う電磁石７Ｂ２とが配設されている。電磁石７Ｂ１，７Ｂ２は、筐体の少なくとも一部が磁性体からなる第２の搬送ユニット２Ｂを磁力により吸引するものであり、センサ８Ｂ１，８Ｂ２は、第２の搬送ユニット２Ｂの有無を検出するものである。これらは後述するように、第２の搬送ユニット２Ｂの移動制御のための座標系の初期化に用いられる。
【００１１】
平面板１の短辺１Ａに沿った隣り合う位置に、供給装置３および回収装置６が設けられている。供給装置３は、搬送ユニット２Ａ，２Ｂのそれぞれに電気特性未測定の電子デバイスを供給するものである。供給装置３により、複数の電子デバイスがフレームについたままの状態またはウェーハシートに貼り付けられた状態で、後述する搬送ユニット２Ａ，２Ｂの上面に搭載される。回収装置１０６は、搬送ユニット２Ａ，２Ｂのそれぞれから電気特性測定済の電子デバイスを回収するものである。
【００１２】
平面板１の短辺１Ａから離間し、かつ、二長辺１Ｃ，１Ｄからほぼ等距離にある位置の上方に、公知のアライメント検出装置４が配設されている。アライメント検出装置４は、その直下にある搬送ユニット２Ａ，２Ｂ上に搭載されたフレームまたはウェーハシートをカメラで撮影し、得られた画像を処理することにより、フレームまたはウェーハシートが本来配置されるべき基準位置からのずれ量を検出するものである。
また、平面板１の短辺１Ａから更に離間し、かつ、二長辺１Ｃ，１Ｄからほぼ等距離にある位置の上方に、公知の測定装置５が配設されている。測定装置５は、電子デバイスの電気特性を測定し、その電気デバイスが正常に動作するか否かを検査するものである。
【００１３】
図２に示すように、二基の搬送ユニット２Ａ，２Ｂはケーブルを介して制御装置９に接続されている。制御装置９は、第１および第２の搬送ユニット２Ａ，２Ｂの移動を含む動作全般を制御する手段を有している。搬送ユニット２Ａ，２Ｂの移動は、平面板１に座標系を設定し、この座標系に基づき制御することができる。
制御装置９はまた、電磁石７Ａ１，７Ａ２，７Ｂ１，７Ｂ２およびセンサ８Ａ１，８Ａ２，８Ｂ１，８Ｂ２に接続されている。電磁石７Ａ１，７Ａ２へ通電して第１の搬送ユニット２Ａを平面板１の角１Ｅの方向へ吸引し、平面板１の角１Ｅに第１の搬送ユニット２Ａが接触していることをセンサ８Ａ１，８Ａ２の出力から確認することにより、第１の搬送ユニット２Ａの移動制御のための座標系を初期化し、平面板１の角１Ｅを原点とする座標系を設定することが可能となる。同様にして、第２の搬送ユニット２Ｂに対し平面板１の角１Ｆを原点とする座標系を設定すること可能となる。
【００１４】
制御装置９は更に供給装置３、アライメント検出装置４、測定装置５および回収装置６に接続され、これらの装置３〜６とともに二基の搬送ユニット２Ａ，２Ｂを動作させることができる。加えて制御装置９は、アライメント検出装置４の検出結果に基づき第１および第２の搬送ユニット２Ａ，２Ｂの位置制御を行い、搬送ユニット２Ａ，２Ｂ上のフレームまたはウェーハシートの位置ずれを補正する手段も有している。
【００１５】
次に、第１および第２の搬送ユニット２Ａ，２Ｂの構成について説明する。
図３に示すように、搬送ユニット２Ａ，２Ｂは、フレームについたままの状態またはウェーハシートに貼り付けられた状態の電子デバイスが搭載されるテーブル２１と、テーブル２１を昇降する昇降部２２と、移動手段としてのサーフェイスモータ２３とを有している。
サーフェイスモータ２３は、平面板１上をエアーの力で浮上し、Ｘ方向に直線運動するリニアパルスモータと、Ｙ方向に直線運動するリニアパルスモータとを組み合わせたものである。リニアパルスモータとは、例えば「電気工学ハンドブック（電気学会、平成７年５月版）１２篇６章に記載されているように、入力パルス信号に同期して所定のステップ量ずつ直線運動するものである。したがって、制御装置９から供給するパルス信号により、サーフェイスモータ２３をＸ，Ｙ方向に自在に移動させることができる。なお、本実施の形態では、サーフェイスモータ２３として、新電子株式会社製「Ｆｌｙｉｎｇ　Ｐｒｏｂｅｒ　ＥＢＳ−２００８」を採用している。
【００１６】
搬送ユニット２Ａ，２Ｂの移動手段としてサーフェイスモータ２３を用いることにより、ボールねじを用いた場合に必要であったねじ棒１２４Ｘ，１２４Ｙが不要となるので、システムを小型化でき、また各搬送ユニット２Ａ，２Ｂで供給装置３および回収装置６を共用できるという効果が得られる。また、サーフェイスモータ２３は平面板１と非接触で移動するので摩耗がなく、移動手段の寿命を延ばすことができる。さらに、サーフェイスモータ２３は、磁気的にも電気的にも他のサーフェイスモータの影響を受けないので、平面板１上に機械的な干渉がない範囲で複数のサーフェイスモータを配置でき、２以上の搬送ユニットを用いた電子デバイスの搬送が可能となる。
【００１７】
次に、図４〜図７を参照し、図１および図２に示した搬送システムの動作について説明する。ここでは複数の電子デバイスがフレームについた状態のもの（以下、単にフレームという）を測定する例を説明する。
電源が投入されシステムが起動すると（図４：ステップＳ１）、第１の搬送ユニット２Ａを平面板１の角１Ｅ近傍の原点位置１１Ａへ、また第２の搬送ユニット２Ｂを平面板１の角１Ｆ近傍の原点位置１１Ｂへ移動させる（図４：ステップＳ２）。このとき電磁石７Ａ１，７Ａ２，７Ｂ１，７Ｂ２に通電し、磁力により搬送ユニット２Ａ，２Ｂをそれぞれ平面板１の角１Ｅ，１Ｆの方向へ吸引し、搬送ユニット２Ａ，２Ｂの位置決めをする。センサ８Ａ１，８Ａ２，８Ｂ１，８Ｂ２の出力から搬送ユニット２Ａ，２Ｂがそれぞれ角１Ｅ，１Ｆに接触していることを確認すると、搬送ユニット２Ａ，２Ｂのそれぞれに対し角１Ｅ，１Ｆを原点とする座標系を設定する。ここで設定した座標系に基づき、以後、搬送ユニット２Ａ，２Ｂの移動を制御する。なお、角１Ｅ，１Ｆへの搬送ユニット２Ａ，２Ｂの接触を確認できない場合には、アラームを鳴らしオペレータに知らせるようにしてもよい。
【００１８】
つぎに、原点位置１１Ａから平面板１上で供給装置３に対向する供給位置１２へ、第１の搬送ユニット２Ａを移動させる。第１の搬送ユニット２Ａを移動させるには、移動先の座標と移動元の座標との差分に相当するパルス数の信号を、制御装置９から第１の搬送ユニット２Ａのサーフェイスモータ２３へ供給すればよい。ここでは、供給位置１２の座標に相当するパルス数の信号を、第１の搬送ユニット２Ａのサーフェイスモータ２３に供給する。
第１の搬送ユニット２Ａを供給位置１２へ移動させたら、供給装置３より電気特性未測定の電子デバイスからなるフレームを第１の搬送ユニット２Ａのテーブル２１上に配置する（図４：ステップＳ３）。
この状態で第１の搬送ユニット２Ａをアライメント検出装置４直下のアライメント検出位置１３へ移動させ（図６（ａ）：矢印（１））、アライメント検出装置４によりフレームの基準位置からのずれ量を検出し（図４：ステップＳ４）、検出されたフレームのずれ量を制御装置９のメモリ（図示せず）に記録する。
【００１９】
その後、第１の搬送ユニット２Ａを、アライメント検出位置１３から平面板１の長辺１Ｃに向かう方向にある待機位置（第１の待機位置）１４Ａへ（図６（ａ）：矢印（２））、続いて待機位置１４Ａから平面板１の短辺１Ｂに向かう方向にある待機位置（第１の待機位置）１５Ａへ移動させ（図６（ａ）：矢印（３））、待機位置１５Ａから平面板１の長辺１Ｄに向かう方向にある測定装置５直下の測定位置１６へ進入させる（図６（ａ）：矢印（４））。なお、待機位置１５Ａから測定位置１６への進入の際に、ステップＳ４において検出されたフレームのずれ量が相殺されるように、第１の搬送ユニット２Ａの移動量を調整する。これにより、フレームの位置ずれが実質的に補正される（図４：ステップＳ５）。
【００２０】
第１の搬送ユニット２Ａが測定位置１６へ進入した後、第１の搬送ユニット２Ａに搭載されたフレームに対し測定装置５による測定を開始する（図４：ステップＳ６）。この際、第１の搬送ユニット２Ａの昇降部２２によりテーブル２１を上昇させ、フレームに含まれる電子デバイスを測定装置５のコンタクタに接触させて測定を行なう。その後、昇降部２２によりテーブル２１を一旦下降させてから、サーフェイスモータ２３による移動を行い、再度テーブル２１を上昇させ、フレームに含まれる別の電子デバイスをコンタクタに接触させて測定を行なう。フレームに含まれるすべての電子デバイスの測定が終了するまで、この動作を繰り返し行なう。
供給装置３に未測定のフレームがなくなった場合（図４：ステップＳ７，ＮＯ）、第１の搬送ユニット２Ａ上のフレームの測定終了により（図４：ステップＳ８，ＹＥＳ）、システムの動作も終了する。
【００２１】
一方、供給装置３に未測定のフレームのストックがある場合（図４：ステップＳ７，ＹＥＳ）、ステップＳ６において第１の搬送ユニット２Ａ上のフレームに対し測定を開始した後、今度は第２の搬送ユニット２Ｂを原点位置１１Ｂから供給位置１２へ移動させる。第２の搬送ユニット２Ｂを移動させるにも、移動先の座標と移動元の座標との差分に相当するパルス数の信号を、制御装置９から第２の搬送ユニット２Ｂのサーフェイスモータ２３へ供給すればよい。なお、第２の搬送ユニット２Ｂを供給位置１２へ移動させるタイミングは、第１の搬送ユニット２Ａ上のフレームに対する測定開始後に限らず、例えば第１の搬送ユニット２Ａを供給位置１２から待機位置１５Ａへ移動させた後であってもよい。
第２の搬送ユニット２Ｂを供給位置１２へ移動させたら、供給装置３より未測定のフレームを第２の搬送ユニット２Ｂのテーブル２１上に配置する（図５：ステップＳ９）。
【００２２】
この状態で第２の搬送ユニット２Ｂをアライメント検出位置１３へ移動させ（図６（ｂ）：矢印（１１））、アライメント検出装置４によりフレームの基準位置からのずれ量を検出し（図５：ステップＳ１０）、検出されたフレームのずれ量を制御装置９のメモリ（図示せず）に記録する。
その後、第２の搬送ユニット２Ｂを、アライメント検出位置１３から平面板１の長辺１Ｄに向かう方向にある待機位置（第２の待機位置）１４Ｂへ（図６（ｂ）：矢印（１２））、続いて待機位置１４Ｂから平面板１の短辺１Ｂに向かう方向にある待機位置（第２の待機位置）１５Ｂへ移動させ（図６（ｂ）：矢印（１３））、この待機位置１５Ｂで第１の搬送ユニット２Ａ上のフレームの測定が終了するまで待機させる（図５：ステップＳ１１）。
【００２３】
第１の搬送ユニット２Ａ上のフレームの測定が終了したら（図５：ステップＳ１２，ＹＥＳ）、第１の搬送ユニット２Ａを測定位置１６から待機位置１５Ａへ退避させる（図６（ａ）：矢印（５））（図５：ステップＳ１３）。
その直後、第２の搬送ユニット２Ｂを待機位置１５Ｂから平面板１の長辺１Ｃに向かう方向にある測定位置１６へ進入させ（図６（ａ）：矢印（５）、図６（ｂ）：矢印（１４））、その間にステップＳ１０において検出されたフレームの位置ずれを補正し（図５：ステップＳ１４）、第２の搬送ユニット２Ｂに搭載されたフレームに対し測定装置５による測定を開始する（図５：ステップＳ１５）。
【００２４】
第２の搬送ユニット２Ｂ上のフレームに対し測定を行っている間に、第１の搬送ユニット２Ａを待機位置１５Ａから待機位置１４Ａ、供給位置１２を経由し、平面板１上で回収装置６に対向する回収位置１７へ移動させ（図６（ａ）：矢印（７）〜（９））、測定済のフレームを回収装置６に回収させる（図５：ステップＳ１６）。
供給装置３に未測定のフレームがなくなった場合（図５：ステップＳ１７，ＮＯ）、第２の搬送ユニット２Ｂ上のフレームの測定終了により（図５：ステップＳ１８，ＹＥＳ）、システムの動作も終了する。
【００２５】
一方、供給装置３に未測定のフレームのストックがある場合（図５：ステップＳ１７，ＹＥＳ）、第１の搬送ユニット２Ａを回収位置１７から供給位置１２へ移動させ（図６（ａ）：矢印（１０））、供給装置３より未測定のフレームを第１の搬送ユニット２Ａのテーブル２１上に配置する（図５：ステップＳ１９）。この状態で第１の搬送ユニット２Ａをアライメント検出位置１３へ移動させ（図６（ａ）：矢印（１））、アライメント検出装置４によりフレームのずれ量を検出し（図５：ステップＳ２０）、制御装置９のメモリに記録されたフレームのずれ量を更新する。そして、第１の搬送ユニット２Ａを待機位置１４Ａを経由して待機位置１５Ａへ移動させ（図６（ａ）：矢印（２），（３））、この待機位置１５Ａで第２の搬送ユニット２Ｂ上のフレームの測定が終了するまで待機させる（図５：ステップＳ２１）。
【００２６】
第２の搬送ユニット２Ｂ上のフレームの測定が終了したら（図５：ステップＳ２２，ＹＥＳ）、第２の搬送ユニット２Ｂを測定位置１６から待機位置１５Ｂへ退避させる（図６（ｂ）：矢印（１５））（図５：ステップＳ２３）。
その直後、第１の搬送ユニット２Ａを待機位置１５Ａから測定位置１６へ進入させ（図６（ｂ）：矢印（１６）、図６（ａ）：矢印（４））、その間にステップＳ２０において検出されたフレームの位置ずれを補正し（図５：ステップＳ２４）、第１の搬送ユニット２Ａに搭載されたフレームに対し測定装置５による測定を開始する（図５：ステップＳ２５）。
【００２７】
第１の搬送ユニット２Ａ上のフレームに対し測定を行っている間に、第２の搬送ユニット２Ｂを待機位置１５Ｂから待機位置１４Ｂを経由し回収位置１７へ移動させ（図６（ｂ）：矢印（１７），（１８））、測定済のフレームを回収装置６に回収させる（図５：ステップＳ２６）。
その後、供給装置３に未測定のフレームがなくなるまで、ステップＳ９〜Ｓ１６またはステップＳ１９〜Ｓ２６を繰り返し行なう。
なお、第１の搬送ユニット２Ａを待機位置１４Ａを経由しない経路で、また第２の搬送ユニット２Ｂを待機位置１４Ｂを経由しない経路で移動させるようにしてもよい。
【００２８】
上述したようにシステムを動作させることにより、図７に示すように、一方の搬送ユニット２Ａ（または２Ｂ）により搬送されたフレームに対し測定装置５による測定を行っている間に、他方の搬送ユニット２Ｂ（または２Ａ）を用いて測定済のフレームの回収、未測定のフレームの供給、位置ずれ検出、搬送を行なうことができる。この場合、測定済フレームを搭載する搬送ユニット２Ａ（または２Ｂ）を測定位置から退避させ、未測定フレームを搭載する搬送ユニット２Ｂ（または２Ａ）を測定位置に進入させる間だけ、測定装置５を待機状態にすればよくなる。この結果、従来よりも測定装置５の待機時間が短縮され、測定装置５のデューティ比（稼動時間／（稼動時間＋待機時間））が大きくなる。したがって、測定装置５の検査処理能力が同じでも、測定装置５に搬送システムを組み合わせたシステム全体として検査処理能力を向上させることができる。
【００２９】
上述したシステムの動作説明では、第１の搬送ユニット２Ａが測定位置１６にある間、第２の搬送ユニット２Ｂを測定位置１６に比較的近い待機位置１５Ｂで待機させる例を示したが、待機位置１５Ｂはそこで待機する第２の搬送ユニット２Ｂが測定位置１６にある第１の搬送ユニット２Ａと衝突しない位置に設定される。一方、搬送ユニット２Ａ，２Ｂが大きく、待機位置１５Ｂで待機する第２の搬送ユニット２Ｂが測定位置１６にある第１の搬送ユニット２Ａと衝突してしまう場合には、第２の搬送ユニット２Ｂを測定位置１６から比較的離れた待機位置１４Ｂに待機させるものとする。第２の搬送ユニット２Ｂを待機位置１４Ｂに待機させる場合には、第１の搬送ユニット２Ａを測定位置１６から退避させ待機位置１４Ａに移動させた後に、第２の搬送ユニット２Ｂを測定位置１６に進入させることになる。
【００３０】
同様に、待機位置１５Ａはそこで待機する第１の搬送ユニット２Ａが測定位置１６にある第２の搬送ユニット２Ｂと衝突しない位置に設定されるが、第２の搬送ユニット２Ｂを待機位置１４Ｂに待機させる場合には、同様に第１の搬送ユニット２Ａを測定位置１６から比較的離れた待機位置１４Ａに待機させ、第２の搬送ユニット２Ｂを測定位置１６から退避させ待機位置１４Ｂに移動させた後に、第１の搬送ユニット２Ａを測定位置１６に進入させる。
なお、搬送ユニット２Ａ，２Ｂを待機させる待機位置を変更する場合には、予め制御装置９の設定を変更しておく必要がある。
【００３１】
ここでは搬送ユニット２Ａおよび２Ｂのそれぞれに対し二ヶ所の待機位置１４Ａ，１５Ａおよび１４Ｂ，１５Ｂを設定する例を示したが、搬送ユニット２Ａ，２Ｂの大きさに応じた二ヶ所以上の待機位置を設定してもよい。そして、制御装置９に搬送ユニット２Ａ，２Ｂの大きさに対応する設定を行い、測定位置１６にある一方の搬送ユニット２Ａ（または２Ｂ）と衝突せず、しかも測定位置１６から最短距離にある待機位置に他方の搬送ユニット２Ｂ（または２Ａ）を待機させることにより、一方の搬送ユニット２Ａ（または２Ｂ）を測定位置１６から退避させてから、短時間で他方の搬送ユニット２Ｂ（または２Ａ）を測定位置１６に進入させることができる。これにより、測定装置５による測定開始時間を早めることができ、測定装置５の待機時間を更に短縮させることができる。この待機位置の変更は、例えばフレームまたはウェーハシートなどの測定対象物の占有面積を変更し、それに応じて測定対象物を搭載するテーブル２１の大きさを変更する場合などに有効である。
【００３２】
また、図１および図２に示した搬送システムでは、第１の搬送ユニット２Ａの待機位置１４Ａ，１５Ａと第２の搬送ユニット２Ｂの待機位置１４Ｂ，１５Ｂとを、測定位置１６から供給位置１２および回収位置１７に向かう線（より正確には、測定位置１６を通り平面板１の長辺１Ｃ，１Ｄに平行な線）に対して互いに対称な位置に設けている。これにより、ケーブルを介して各搬送ユニット２Ａ，２Ｂを制御する場合でも、各搬送ユニット２Ａ，２Ｂのケーブルが絡まないように、互いに異なる搬送経路を設定すること可能となる。
【００３３】
なお、各搬送ユニットを無線で制御する場合には、例えば供給位置１２からアライメント検出位置１３、待機位置１５Ａ、測定位置１６、回収位置１７を経由し供給位置１２に戻るという同一の搬送経路を各搬送ユニットに対し設定してもよい。
また、各搬送ユニットを無線で制御する場合にも、平面板１に設定された座標系に基づき搬送ユニットの移動を制御することができる。この場合には、搬送ユニット同士の衝突を回避するため、各搬送ユニットに他の搬送ユニットの接近を検出するセンサを設けることが望ましい。
以上では、二基の搬送ユニットを用いる場合を例にして説明したが、搬送ユニット同士の機械的な干渉がない範囲で複数の搬送ユニットを用いることができる。測定装置５による測定を図７の例よりも短時間で行える場合には、搬送ユニット同士の機械的な干渉がない範囲でその数を増やすことにより、測定装置５に搬送システムを組み合わせたシステム全体として検査処理能力を更に向上させることができる。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、測定対象物を搬送する搬送ユニットを複数設け、第１の搬送ユニットが測定位置にある間、次に測定される測定対象物を搬送した第２の搬送ユニットを待機位置に待機させ、第１の搬送ユニットを測定位置から退避させた後に第２の搬送ユニットを測定位置に進入させることにより、測定手段の待機時間を短縮し、測定対象物に対する処理能力を向上させることができる。
【００３５】
また、搬送ユニットの移動手段としてサーフェイスモータを用いることにより、従来必要であった平面板のＸ，Ｙ方向に差し渡されるねじ棒１２４Ｘ，１２４Ｙが不要となるので、システムを小型化でき、また各搬送ユニットで供給装置および回収装置を共用できる。
また、平面板上で測定位置を通る線に対して互いに対称な位置に第１および第２の搬送ユニットの待機位置を配置することにより、ケーブルを介して各搬送ユニットを制御する場合でも、各搬送ユニットのケーブルが絡まないように、互いに異なる搬送経路を設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である搬送システムの構成を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施の形態である搬送システムの電気的な接続関係を示すブロック図である。
【図３】第１および第２の搬送ユニットの構成を示す側面図である。
【図４】搬送システムの動作の流れを示すフローチャートである。
【図５】図４に引き続く動作の流れを示すフローチャートである。
【図６】（ａ）は第１の搬送ユニットの搬送経路示す図であり、（ｂ）は第２の搬送ユニットの搬送経路示す図である。
【図７】第１および第２の搬送ユニットのタイミング図である。
【図８】従来の搬送システムの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１…平面板、１Ａ，１Ｂ…短辺、１Ｃ，１Ｄ…長辺、１Ｅ，１Ｆ…角、２Ａ…第１の搬送ユニット、２Ｂ…第２の搬送ユニット、３…供給装置、４…アライメント検出装置、５…測定装置、６…回収装置、７Ａ１，７Ａ２，７Ｂ１，７Ｂ２…電磁石、８Ａ１，８Ａ２，８Ｂ１，８Ｂ２…センサ、９…制御装置、１１Ａ，１１Ｂ…原点位置、１２…供給位置、１３…アライメント検出位置、１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂ…待機位置、１６…測定位置、１７…回収位置、２１…テーブル、２２…昇降部、２３…サーフェイスモータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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