(57)【要約】【課題】ウエハの反りが大きくても平坦度の良いウエハホールディングを実現する。【解決手段】ウエハホルダに配管されたサーボ弁５と、サーボ弁５への指令値を、露光中に既知の値へ下げるように構成された制御系を有する。本体制御装置７は、電磁弁３および６を遮断側へ、また電磁弁４をバキュームライン側へ操作する。半導体基板１の裏面の圧力は、排気源であるバキュームラインに対して十分太い配管により接続されるので迅速に減圧される。その結果、半導体基板１は若干の反りがあっても、基板ホルダ２へ十分強い力で押し付けられ固定される。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の露光部気圧より低い圧力を基板全裏面に導き基板を保持する基板ホルダを有する露光装置において、該減圧値を調整する手段と、減圧値を調整するタイミングを制御する機構を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記減圧値を、基板の受け渡し時と、露光時に可変することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記減圧値を、基板の製造工程情報内に記憶する手段と基板の製造工程情報の更新時には該減圧値を調整する制御手段により制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
基板の表面の凹凸を測る手段を有し、前記減圧値を可変する手段を複数値可変し、各減圧値に対する表面の凹凸を測定し、該凹凸が最小になる減圧値を求める手段と、前記減圧値に基づいて前記減圧値調整手段を設定することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記減圧値を最大に設定する際には、露光装置の排気源に近い所から導いた圧力に切り替える弁を有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子製造等に用いられる露光装置に関し、詳しくは基板を変形なく保持するための方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子製造に用いられる露光装置では、基板の保持方法としていわゆるバキュームチャックと呼ばれるホルダが使われている。バキュームチャックは基板裏面に基板表面の圧力（一般には大気圧）よりも減圧された状態とし、気圧差により基板をホルダに保持している。ホルダの表面には様々な形状があり、それぞれに特徴を持っている。
【０００３】
リングチャック：
同心円状にホルダの表面に溝が形成してある。溝の底には穴があり、すべて同じ系統に接続されているものや、内周と外周の減圧量に差を設けたものなどがある。
【０００４】
ピンチャック：
チャック表面に無数のピンが立っている。基板交換時に基板をリフトするための機構の周りや最外周はリング状になっている。基板との接触面積はリングチャックよりも少ないため、ゴミの付着する可能性が少ない。露光の解像度が高くなるにつれ投影レンズのＮ．Ａ．は年々高くなり、それに伴って焦点深度も浅くなってきている。基板表面の平坦度が課題となる最近の半導体デバイスにおいてはゴミの挟み込みによる影響をさらに減らすため、可能な限り基板とホルダの接触率を小さくすることが求められており、ピンチャックが主流となっていて、さらにピンの先端は細くなる傾向にある。
【０００５】
これらのチャックに接続する減圧部は半導体工場設備にあるバキュームラインから取り出している。このバキュームラインは半導体工場設備の真空ポンプの能力とそのラインに接続される装置のリーク量によりまちまちであるが、一般には大気圧に対し約７００ｍｍＨｇ程度のマイナス圧力が供給されている。
【０００６】
半導体露光装置ではこの圧力を直接または一定圧に変更したのち、基板裏面へ接続している。基板裏面への接続を選択的に切り替える電磁弁により、保持する・しないを装置の動作に合わせてコントロールしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のコントロール方法では大気圧か減圧かのどちらかの状態しか選択できない。
【０００８】
よって、工場のバキュームラインを圧力制御せずに基板裏面に導いている場合は基板をホルダに押し付ける力が必要以上に強いものとなってしまっている。
【０００９】
このため、最近の細いピンチャックにおいてはピンとピンの間で基板が大気圧によってへこんでしまうため、平坦度を確保するのが困難になってきている。
【００１０】
一方、リングチャックにおいては、リングの数を減らすと同時にリング間で減圧した圧力を平坦度が向上するように調節する手段を有する案（特公平８−３１５１５号）もあるが、各同心円部において所望の圧力とするためにはリークがないようにしなければならず、リングの全周が確実に基板と接触するようにリングの幅が太くならざるを得ない。その結果、基板とホルダの接触率が大きくなってしまい、ゴミを挟み込み平坦度を下げる確率が高くなってしまうという致命的な欠点がある。
【００１１】
また、平坦度の向上とゴミ付着を防止する目的で基板裏面側も表面と同様の鏡面仕上げを行うような場合では、基板への押し付け力が強いと分子間力により基板とホルダが固着してしまう現象が出やすい。
【００１２】
減圧をなるべく大気圧に近い状態になるまで調整して使うことも考えられるが、基板をホルダに最初に保持させる際には基板の反りがあると基板とホルダの間に隙間が生じることがあり、基板を完全に固定することができなくなる欠点がある。
【００１３】
特に最近の集積度の高い半導体デバイス製造プロセスにおいては基板の反りが顕著になってきている。
【００１４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、より平坦度の高い基板表面状態を形成できる基板保持機構を持つ露光装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の露光装置は、基板の露光部気圧より低い圧力を基板全裏面に導き基板を保持する基板ホルダを有する露光装置において、該減圧値を可変する手段と、減圧値を可変するタイミングを制御する機構を有することを特徴とする。
【００１６】
この露光装置においては、さらに減圧値を、装置全体の動作をコントロールしている主制御装置より任意の値に設定できる手段を有していることが好ましい。これにより、基板の製造工程情報内に、その基板状態に最適な減圧値を記憶し、露光時には減圧値をその値に変更することができる。これによりプロセスによる基板の反り具合、裏面の仕上げ状態（鏡面か否か）、インチサイズ、材料などによって異なる減圧値を設定することができる。
【００１７】
また、基板の受け渡し時には、減圧値が大気圧ともっとも差が出るように設定できる手段を有していることが好ましい。理想的には、工場のバキュームラインより直接導いた経路を接続できるとよい。これにより、基板の受け渡し時には基板の反りがあっても確実に基板がホルダに固定される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
【００１９】
第１図は、本発明の特徴を最もよく表す実施例の装置の側面図（一部は透視して表している）である。同図において、１は本発明の露光装置の露光対象である半導体基板、２は基板１を保持する基板ホルダ、３は基板裏面空間と大気を仕切る電磁弁、４は基板裏面空間と排気源である工場バキュームラインとを仕切る電磁弁、５は排気源である工場バキュームラインを所望の圧力に調節するサーボ弁、６はサーボ弁５により調節された減圧と基板裏面空間を仕切る電磁弁、７は制御信号ａ、ｂ、ｃ、ｖにより電磁弁３、電磁弁４、電磁弁６およびサーボ弁５を適切なタイミングおよび量で操作する本体制御装置、８は本体制御装置７の制御により半導体基板１を基板ホルダ２への載せ降ろしを行う搬送系制御装置である。
【００２０】
次に、これらの図を参照して本実施の形態による露光装置の動作を説明する。まずはじめに、本体制御装置７は搬送系制御装置８に対し半導体基板の供給を命令する。搬送系制御装置８は搬送ロボットハンド（不図示）により半導体基板１を基板ホルダ２へ載せる。
【００２１】
次に、本体制御装置７は、電磁弁３および６を遮断側へ、また電磁弁４をバキュームライン側へ操作する。半導体基板１の裏面の圧力は、排気源であるバキュームラインに対して十分太い配管により接続されるので迅速に減圧される。その結果、半導体基板１は若干の反りがあっても、基板ホルダ２へ十分強い力で押し付けられ固定される。本体制御装置７は、基板裏面の圧力センサ（不図示）の値を読み取り、半導体基板１が基板ホルダ２にリークがなく吸着されたことを確認する。次に、本体制御装置７はマンマシンインターフェース９によりあらかじめ設定されている当該半導体基板１のプロセス状態などから決定された最適な減圧値をサーボ弁５に対して支持する。次に、電磁弁６を開き、電磁弁４を閉じ、基板裏面の圧力を最適な減圧値にする。本体制御装置７は、基板裏面の圧力センサの値を再度読み取り、圧力が所望の値に達していることを確認する。
【００２２】
次に、不図示の基板表面高さ測定器により半導体基板１の高さを測定する。露光装置には投影レンズの像面に半導体基板の表面に塗布された感光剤層を合わせるために、投影レンズ像面と感光剤層の間の距離を測定する機能が備わっている。この機能を用いて半導体基板の全面にわたり基板の凹凸を測定する。この動作を減圧値を増減しながら複数回繰り返し、最も凹凸が少なくなる最適減圧値を求める。この最適減圧値と、基板材料や裏面の仕上げ状態等のパラメータより求めた摩擦係数、およびステージ加速度を考慮し基板の保持に必要な最低減圧値を求め、それと比較し、最適減圧値が最低減圧値を満たしていればそれをそのプロセスの設定減圧値とする。満たしていない場合は最低減圧値を使用する。この作業は半導体基板のプロセス条件などの変更があった場合のみ一度だけ行う。
【００２３】
次に、本体制御装置７は不図示のステージにより半導体基板１を不図示の投影レンズの像面へ位置決めし、半導体基板の表面に塗布された感光剤に対し原板のパターンを露光する。
【００２４】
露光終了後、本体制御装置７は電磁弁６を閉じると同時に電磁弁３を開き、半導体基板裏面の圧力を急速に大気圧まで戻す。
【００２５】
最後に本体制御装置７は搬送系制御装置８へ半導体基板１を回収し、次に処理すべき半導体基板を載せるように指示する。
【００２６】
本実施例では基板ホルダ２の基板裏面空間と排気源を直接接続している電磁弁４とサーボ弁５を介して接続している電磁弁６を構成しているが、サーボ弁の配管が十分太く、配管抵抗の影響が小さい場合には、電磁弁４を省略することもできる。また、サーボ弁５の遮蔽能力が十分高く、応答速度も速い場合は、サーボ弁５の作用により電磁弁６の役割を担うことが可能となり、電磁弁６を省略することもできる。
【００２７】
また、電磁弁３と電磁弁４を１つの３方弁に変更し、１つの操作信号による制御とすることもできる。
【００２８】
また、電磁弁３に大気圧よりも高い圧力を供給し、基板裏面の圧力を大気圧よりもさらに高い圧力にすることで、基板がホルダに固着していても強制的に剥がすようにすることもできる。
【００２９】
また、サーボ弁５と電磁弁６は、複数のレギュレータと複数の電磁弁で構成することもできる。その場合レギュレータの設定値は露光装置が対象としている複数のプロセスや半導体基板に合った値にしておくことが望ましい。
【００３０】
【発明の効果】
本発明によれば、プロセスによる基板の反り具合、裏面の仕上げ状態（鏡面か否か）、インチサイズ、材料などによって異なる減圧値を最適に設定することができ、不必要な凹凸を生じさせないで露光ができる。
【００３１】
これにより、基板の製造工程情報内に、その基板状態に最適な減圧値を記憶し、露光時には減圧値をその値に変更することができる。受け渡し時には最大限の力で半導体基板を基板ホルダに押し付けることができ、基板の反りがあっても確実に基板を固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の露光装置の一実施例を示す図である。
【符号の説明】
１　　半導体基板
２　　基板ホルダ
３、４、５　　電磁弁
６　　サーボ弁
７　　本体制御装置
８　　搬送系制御装置
９　　マンマシンインターフェース
【図１】
2004014723.tif 000003