(57)【要約】【課題】有機ＥＬ表示パネルの製造に要するコストと所要時間とを削減し、高い生産性を有する有機ＥＬ表示パネルを提供する。【解決手段】基板１と、画像表示部２と、画像表示部２にマトリクス状に配列された複数の画素電極９と、基板の全面を覆い配設された共通電極７と、画像表示部２の近傍に配設され、共通電極７と接続された共通電極端子４と、画像表示部２の近傍に配設され、共通電極端子４との間に検査電圧を印加するための外部端子５と、検査ＥＬ素子部３に配設され、一方の端子が共通電極端子４と接続され、他方の端子が外部端子５と接続された複数の検査ＥＬ素子とを備えた有機ＥＬ表示パネル１０である。共通電極端子４と外部端子５との間に検査電圧を印加して各検査ＥＬ素子を発光させ、検査電圧と予め設定したしきい電圧とを比較することで各画素ＥＬ素子２１の発光特性の良不良を判定する。【選択図】  図１
2004192925.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に設けられた画像表示部と、
前記画像表示部にマトリクス状に配列された複数の画素電極と、
各画素電極と対向して配設された共通電極と、
それぞれが所定の間隔を空けて垂直方向に沿って配設され、各画素電極へ信号電圧を印加するための複数の信号線と、
各画素電極と各信号線との間にそれぞれ配置され、各画素電極への前記信号電圧の印加をそれぞれオン・オフ操作する複数の薄膜トランジスタと、
それぞれが所定の間隔を空けて水平方向に沿って配設され、各薄膜トランジスタへオン・オフ操作のための制御電圧をそれぞれ印加するための複数の走査線と、
それぞれが所定の間隔を空けて水平方向又は垂直方向に沿って配設され、各画素電極へ電源電圧を印加するための複数の電源線と、
各画素電極と前記共通電極との間にそれぞれ配置され、各電源線を介して、各薄膜トランジスタと前記共通電極との間に前記電源電圧が印加されることで発光する複数の画素ＥＬ素子とを備えた有機ＥＬ表示パネルであって、
前記画像表示部の近傍に配設され、前記共通電極と接続された共通電極端子と、
前記画像表示部の近傍に配設され、前記共通電極端子との間に前記電源電圧と略同等の検査電圧を印加するための外部端子と、
前記画像表示部の近傍に配設され、かつ、一方の端子が前記共通電極端子と接続され、他方の端子が前記外部端子と接続された複数の検査ＥＬ素子とをさらに備え、
前記画素ＥＬ素子と前記検査ＥＬ素子は、実質的に同一の有機ＥＬ素子によって構成されており、前記共通電極端子と前記外部端子との間に前記検査電圧を印加して各検査ＥＬ素子を発光させ、前記検査電圧と予め設定したしきい電圧とを比較することで各画素ＥＬ素子の発光特性の良不良を判定するように構成されたことを特徴とする有機ＥＬ表示パネル。
【請求項２】
前記検査電圧が前記しきい電圧未満の場合は、各画素ＥＬ素子の発光特性を良と判定し、前記検査電圧が前記しきい電圧以上の場合は、各画素ＥＬ素子の発光特性を不良と判定するように構成された請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネル。
【請求項３】
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの検査方法であって、前記共通電極と前記外部端子との間に前記検査電圧を印加して各検査ＥＬ素子を発光させ、その発光の際に前記検査電圧と前記しきい電圧とを比較することで各画素ＥＬ素子の発光特性の良不良を判定する有機ＥＬ表示パネルの検査方法。
【請求項４】
前記検査電圧が前記しきい電圧未満の場合は、各画素ＥＬ素子の発光特性を良と判定し、前記検査電圧が前記しきい電圧以上の場合は、各画素ＥＬ素子の発光特性を不良と判定する請求項３に記載の有機ＥＬ表示パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機ＥＬ表示パネル及びその検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルに代わり、高品質な表示が可能な表示パネルとして、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子を用いた有機ＥＬ表示パネルが注目されている。
【０００３】
有機ＥＬ表示パネルには、陽極と陰極との単純マトリクス構成となり、陽極と陰極の交点における有機ＥＬ素子が発光するパッシブ方式と、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ；Ｔｉｎ−Ｆｉｌｍ−Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を用いて有機ＥＬ素子に供給する直流電流を制御するアクティブ方式とがある。
【０００４】
図５は従来のアクティブ方式による有機ＥＬ表示パネルの製造工程を示すフローチャートである。
【０００５】
以下、従来の有機ＥＬ表示パネルの製造方法について図５を参照しながら説明する。まず、アクティブマトリクスアレイ基板製造工程Ｓ１において、マトリクス状に配列された複数の単位画素を備える画像表示部と、各単位画素を駆動するための周辺回路部を同一の基板上に集積化したアクティブマトリクスアレイ基板を製造する。アレイ基板製造工程Ｓ１から後述するＥＬ薄膜蒸着工程Ｓ３までは、複数個の有機ＥＬ表示パネルがアクティブマトリクスアレイ基板上で集合した状態で同時に形成される。そして、パネル割断工程Ｓ４で個々の有機ＥＬ表示パネルに分離する。
【０００６】
次にアクティブマトリクスアレイ周辺回路検査工程Ｓ２において、アレイ基板上の周辺回路部の動作が良好かどうかを検査する。その結果、周辺回路部の動作が良好であり、合格（ＹＥＳ）と判定されたアレイ基板は、次のＥＬ薄膜蒸着工程Ｓ３に移送する。一方、周辺回路部の動作が不良であり、不合格（ＮＯ）と判定されたアレイ基板は製造ラインから外す（ステップＳ９）。
【０００７】
次いでＥＬ薄膜蒸着工程Ｓ３において、アレイ基板上に蒸着又はスパッタリングによりＩＴＯ薄膜を形成し、形成されたＩＴＯ薄膜をエッチングにより単位画素毎に分離した画素電極（陽極）を形成する。形成された複数の画素電極を覆うように真空蒸着法により発光層を含むＥＬ薄膜を形成する。ＥＬ薄膜は、各単位画素上において画素ＥＬ素子となる。続いて、形成されたＥＬ薄膜の上に真空蒸着法により金属の合金からなる共通電極（陰極）を形成する。以上の工程により複数個の有機ＥＬ表示パネル１０が集合したアクティブマトリクスアレイ基板を形成する。
【０００８】
続いてパネル割断工程Ｓ４において、有機ＥＬ表示パネルを製品化するサイズに分離する。次にＦＰＣ実装工程Ｓ５において、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）を有機ＥＬ表示パネルに実装する。ここで、ＦＰＣを有機ＥＬ表示パネルに実装するのは、次のＦＰＣ検査工程Ｓ６において、画像表示部の発光輝度や消費電力を検査するために、ＦＰＣを用いて画像表示部に配置された各画素ＥＬ素子に直流電流を通じて各画素ＥＬ素子を発光させるためである。
【０００９】
次いでＦＰＣ検査工程Ｓ６において、ＦＰＣを用いて画像表示部に配置された各画素ＥＬ素子に直流電流を通じて各画素ＥＬ素子を発光させる。そして、画像表示部に配置された各単位画素から光を出射させ、画像表示部の発光輝度と消費電力とを検査する。ここで、発光輝度が所定の輝度以上であり、かつ消費電力が所定の電力値以下のものを合格（ＹＥＳ）と判定する。それ以外のものは、不合格（ＮＯ）と判定する。この結果、合格と判定された有機ＥＬ表示パネルは、次のＥＬパネル完成品検査工程Ｓ７に移送し、不合格と判定された有機ＥＬ表示パネルは製造ラインから外す（ステップＳ１０）。
【００１０】
その後、ＥＬパネル完成品検査工程Ｓ７において、パネル上に形成されたＥＬ薄膜と共通電極との上から封止をする。そして、アクティブマトリクスアレイ周辺回路検査工程Ｓ２とＦＰＣ検査工程Ｓ６とにおける検査によって画像表示部又は周辺回路部に異常を生じた有機ＥＬ表示パネルを検出する。その結果、画像表示部又は周辺回路部に異常がなく、合格（ＹＥＳ）と判定された有機ＥＬ表示パネルを製品化する（ステップＳ８）。一方、画像表示部又は周辺回路部に異常があり、不合格（ＮＯ）と判定された有機ＥＬ表示パネルは製造ラインから外す（ステップＳ１１）。
【００１１】
【特許文献１】
特開２００１―１３５１９号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来の有機ＥＬ表示パネルの製造工程では、ＦＰＣ実装工程Ｓ５において、ＦＰＣの実装及び検査に多大なコストと所要時間とを要し、これが主な原因となって有機ＥＬ表示パネルの生産コストの低下を招いていた。
【００１３】
本発明は、係る問題を解決するためになされたものであり、その目的は、有機ＥＬ表示パネルの製造に要するコストと所要時間とを削減し、高い生産性を有する有機ＥＬ表示パネルを提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の有機ＥＬ表示パネルは、次の構成を有する。即ち、基板と、前記基板上に設けられた画像表示部と、前記画像表示部にマトリクス状に配列された複数の画素電極と、各画素電極と対向して配設された共通電極と、それぞれが所定の間隔を空けて垂直方向に沿って配設され、各画素電極へ信号電圧を印加するための複数の信号線と、各画素電極と各信号線との間にそれぞれ配置され、各画素電極への前記信号電圧の印加をそれぞれオン・オフ操作する複数の薄膜トランジスタと、それぞれが所定の間隔を空けて水平方向に沿って配設され、各薄膜トランジスタへオン・オフ操作のための制御電圧をそれぞれ印加するための複数の走査線と、それぞれが所定の間隔を空けて水平方向又は垂直方向に沿って配設され、各画素電極へ電源電圧を印加するための複数の電源線と、各画素電極と前記共通電極との間にそれぞれ配置され、各電源線を介して、各薄膜トランジスタと前記共通電極との間に前記電源電圧が印加されることで発光する複数の画素ＥＬ素子とを備える。前記画像表示部の近傍に配設され、前記共通電極と接続された共通電極端子と、前記画像表示部の近傍に配設され、前記共通電極端子との間に前記電源電圧と略同等の検査電圧を印加するための外部端子と、前記画像表示部の近傍に配設され、かつ、一方の端子が前記共通電極端子と接続され、他方の端子が前記外部端子と接続された複数の検査ＥＬ素子とをさらに備え、前記画素ＥＬ素子と前記検査ＥＬ素子は、実質的に同一の有機ＥＬ素子によって構成されており、前記共通電極端子と前記外部端子との間に前記検査電圧を印加して各検査ＥＬ素子を発光させ、前記検査電圧と予め設定したしきい電圧とを比較することで各画素ＥＬ素子の発光特性の良不良を判定するように構成されたことを特徴とする。
【００１５】
この構成により、有機ＥＬ表示パネルの製造に要するコストと所要時間を削減し、高い生産性を有する有機ＥＬ表示パネルを提供することができる。
【００１６】
ここで、前記検査電圧が前記しきい電圧未満の場合は、各画素ＥＬ素子の発光特性を良と判定し、前記検査電圧が前記しきい電圧以上の場合は、各画素ＥＬ素子の発光特性を不良と判定するように構成されたことが好ましい。
【００１７】
また、本発明の有機ＥＬ表示パネルの検査方法は、次の構成を有する。即ち、前記した有機ＥＬ表示パネルの検査方法であって、前記共通電極と前記外部端子との間に前記検査電圧を印加して各検査ＥＬ素子を発光させ、その発光の際に前記検査電圧と前記しきい電圧とを比較することで各画素ＥＬ素子の発光特性の良不良を判定することを特徴とする。
【００１８】
この構成により、画像表示部における各画素ＥＬ素子の発光特性が不良であるために、画像表示部の発光輝度や消費電力が不良となっている有機ＥＬ表示パネルを特定することができる。
【００１９】
ここで、前記検査電圧が前記しきい電圧未満の場合は、各画素ＥＬ素子の発光特性を良と判定し、前記検査電圧が前記しきい電圧以上の場合は、各画素ＥＬ素子の発光特性を不良と判定することが好ましい。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１に、本実施の形態における有機ＥＬ表示パネル１０の平面図を示す。図１を参照して、有機ＥＬ表示パネル１０は、ガラス基板１を備える。ガラス基板１のほぼ中央部に画像を表示するための略長方形状をした画像表示部２が設けられている。画像表示部２の周縁部に沿ったガラス基板１上の４個所の領域に検査ＥＬ素子部３がそれぞれ設けられている。画像表示部２の周囲のガラス基板１上に検査配線８が配設されている。検査配線８は、各検査ＥＬ素子部３を通過し、画像表示部２の上部におけるガラス基板１上に配置された外部端子５と接続されている。共通電極（陰極）７が画像表示部２と検査ＥＬ素子部３とを覆うようにガラス基板１上に設けられている。共通電極７は、画像表示部２の上部におけるガラス基板１上に配置された共通電極端子４と接続されている。
【００２１】
画像表示部２において、複数の単位画素２１がマトリクス状に配設されている。各単位画素において、共通電極（陰極）７と対向して画素電極（陽極）９がそれぞれ設けられている。また、画像表示部２の上部におけるガラス基板１上に、画像表示部２の発光輝度と消費電力とを検査するために用いるＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）を実装するためのＦＰＣ実装部６が共通電極端子４及び外部端子５に隣接して配置されている。
【００２２】
図２は画像表示部２と検査ＥＬ素子部３との回路構成を示す平面図である。図２を参照して、ほぼ中央部に図１に示した画像表示部２が設けられている。また、画像表示部２の周縁部に沿った４個所の領域（２点鎖線で囲んだ領域）に、図１に示した検査ＥＬ素子部３がそれぞれ設けられている。図１に示した検査配線８が画像表示部２の周囲に配設されている。
【００２３】
以下、画像表示部２と検査ＥＬ素子部３との回路構成及び動作について図面を参照しながら説明する。
【００２４】
まず、画像表示部２の回路構成について説明する。図２を参照して、画像表示部２において、複数の信号線１８と複数の電源線１９とがそれぞれ垂直方向に沿って所定の間隔をおいて配設され、複数の走査線２０が水平方向に沿って所定の間隔をおいて配設されている。画像表示部２において、複数の単位画素２１が、信号線１８、電源線１９、及び２本の走査線２０に囲まれた複数の領域内にそれぞれ形成され、マトリクス状に配置されている。各単位画素２１は、信号線１８、電源線１９、及び走査線２０とそれぞれ接続されている。各信号線１８は、信号線駆動回路１７と接続されており、各単位画素２１の画素電極９に信号電圧を供給するように構成されている。各電源線１９は、信号線駆動回路１７と接続されており、各単位画素２１の画素電極９に電源電圧を供給するように構成されている。各走査線２０は、走査線駆動回路１６と接続されており、各単位画素２１に制御電圧を供給するように構成されている。画像表示部２に配置されている単位画素２１の回路構成を図３に示す。スイッチング用ＴＦＴ１２のゲート部は、走査線２０と接続されている。ＥＬ駆動用ＴＦＴ１３のゲート部は、スイッチング用ＴＦＴ１２を介して信号線１８と接続されている。信号線１８からＥＬ駆動用ＴＦＴ１３のゲート部に供給される信号電圧は、走査線２０からスイッチング用ＴＦＴ１２のゲート部に供給される制御電圧によってオン・オフ操作される。スイッチング用ＴＦＴ１２がオンの場合はＥＬ駆動用ＴＦＴ１３のゲート部に信号電圧が供給され、その信号電圧が閾値を超えるとＥＬ駆動用ＴＦＴ１３がオンとなる。画素ＥＬ素子１１が図１に示した画素電極９と共通電極７との間に配設されている。画素ＥＬ素子１１の一方の端子は共通電極７と接続され、他方の端子は画素電極９と接続されている。ＥＬ駆動用ＴＦＴ１３がオンとなると、ＥＬ駆動用ＴＦＴ１３を介して電源線１９と画素電極９とが電気的に接続される。そして、電源線１９を介してＥＬ駆動用ＴＦＴ１３と共通電極７との間に電源電圧が印加され、画素ＥＬ素子１１に直流電流が供給される。そして、画素ＥＬ素子１１が発光し、単位画素２１から光が出射する。一方、スイッチング用ＴＦＴ１２がオフの場合はＥＬ駆動用ＴＦＴ１３のゲート部に信号電圧が供給されず、ＥＬ駆動用ＴＦＴ１３がオフとなって、電源線１９と画素電極９とが絶縁される。このため、画素ＥＬ素子１１が発光しない。また、蓄積容量２２において、画素ＥＬ素子１１が発光するために要する電流量が設定される。
【００２５】
次に、画像表示部２の動作について説明する。図２を参照して、同一の走査線２０と接続されて横一線に並んだ複数の単位画素２１が同時に動作するように選択され、各走査線２０と接続されたスイッチング用ＴＦＴ１２に制御電圧が供給される。そして、信号線１８からの信号電圧によって各単位画素２１のオンオフ状態が設定され、オンの場合に共通電極７と電源線１９との間に直流電圧が印加され、各単位画素２１から光が出射する。信号線１８からの信号電圧は、画像情報に伴って変化するため、画像情報に応じて各単位画素２１から出射される光の状態が変化する。そして、順次下方の走査線２０が選択され、一巡して画像表示部２の全体を覆うことによって、画像表示部２において画像が表示される。
【００２６】
次いで、検査ＥＬ素子部３の回路構成について説明する。図１及び図２を参照して、各検査ＥＬ素子部３において、複数の検査ＥＬ素子１１ａが共通電極７と検査配線８との間に配設されている。各検査ＥＬ素子１１ａの一方の端子は共通電極７を介して共通電極端子４と接続され、他方の端子は検査配線８を介して外部端子５と接続されている。
【００２７】
次に、検査ＥＬ素子部３の動作について説明する。図１及び図２を参照して、共通電極端子４と外部端子５との間、即ち、共通電極７と検査配線８との間に、画像表示部２における各画素ＥＬ素子１１を発光させるために必要な電源電圧とほぼ同じ大きさの直流電圧（以下、検査電圧という。）を印加する。画像表示部２では、図３を参照して、電源線１９を介してＥＬ駆動用ＴＦＴ１３と共通電極７との間に電源電圧が印加されるのに対して、検査ＥＬ素子部３では、図２を参照して、共通電極７と検査配線８との間に直接、検査電圧が印加される。そして、各検査ＥＬ素子１１ａに直流電流が供給され、各検査ＥＬ素子１１ａが発光する。
【００２８】
以下、本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの検査方法について図面を参照しながら説明する。
【００２９】
本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの検査方法においては、図１及び図２を参照して、有機ＥＬ表示パネル１０を用い、共通電極端子４と外部端子５との間に、検査電圧を印加して各検査ＥＬ素子１１ａを発光させる。そして、予め設定したしきい電圧と検査電圧とを比較することで各画素ＥＬ素子１１の発光特性の良不良を判定する。ここで、「発光特性」とは、有機ＥＬ素子の発光輝度や消費電力に代表される素子信頼性を表現する特性である。
【００３０】
図１及び図２を参照して、共通電極端子４と外部端子５との間に検査電圧を印加すると、共通電極７と検査配線８との間に検査電圧が印加される。そして、各検査ＥＬ素子１１ａに直流電流が供給されて、各検査ＥＬ素子１１ａが発光する。ここで、検査電圧が低い場合は、各検査ＥＬ素子１１ａに同じ発光輝度を得るために低い消費電力で済む。これは各検査ＥＬ素子１１ａの発光特性が良であることを意味する。一方、検査電圧が高い場合は、各検査ＥＬ素子１１ａに同じ発光輝度を得るために高い消費電力が必要となる。これは各検査ＥＬ素子１１ａの発光特性が不良であることを意味する。よって、しきい電圧を各検査ＥＬ素子１１ａの消費電力を評価する指標として予め所定の電圧値に設定しておき、検査電圧としきい電圧とを比較することで、検査電圧がしきい電圧未満の場合は、各検査ＥＬ素子１１ａの発光特性を良と判定することができ、検査電圧がしきい電圧以上の場合は、各検査ＥＬ素子１１ａの発光特性を不良と判定することができる。
【００３１】
後述するように、画像表示部２における各画素ＥＬ素子１１と検査ＥＬ素子部３における各検査ＥＬ素子１１ａとは、真空蒸着法により同時に形成されるため、互いに実質的に同一の素子となり、それら素子の発光特性も実質的に同一である。
【００３２】
したがって、各検査ＥＬ素子１１ａの発光特性を良と判定した場合は、各画素ＥＬ素子１１の発光特性を良と判定することができる。また、各検査ＥＬ素子１１ａの発光特性を不良と判定した場合は、各画素ＥＬ素子１１の発光特性を不良と判定することができる。
【００３３】
一般に、有機ＥＬ表示パネル１０において、画像表示部２の発光輝度や消費電力が不良となる原因としては、以下の３つのパターンが考えられる。
▲１▼各画素ＥＬ素子１１の発光特性が不良であり、かつ各画素ＥＬ素子１１を駆動するＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性が良である場合。
▲２▼各画素ＥＬ素子１１の発光特性が良であり、かつＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性が不良である場合。
▲３▼各画素ＥＬ素子１１の発光特性とＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性との双方が不良である場合。
【００３４】
なお、各画素ＥＬ素子１１の発光特性とＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性との双方が良である場合は、画像表示部２の発光輝度や消費電力は良となる。
【００３５】
本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの検査方法によれば、検査ＥＬ素子部３に配置された各検査ＥＬ素子１１ａの発光特性を良と判定した場合は、画像表示部２に配置された各画素ＥＬ素子１１の発光特性を良と判定することができ、各検査ＥＬ素子１１ａの発光特性を不良と判定した場合は、各画素ＥＬ素子１１の発光特性を不良と判定することができる。各画素ＥＬ素子１１の発光特性が不良であると、少なくとも前述した▲１▼の場合に相当し、また、▲３▼の場合に相当しうるから、画像表示部２の発光輝度や消費電力が不良となる。したがって、本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの検査方法によれば、上記した▲１▼又は▲３▼の場合に、画像表示部２の発光輝度や消費電力が不良となっている有機ＥＬ表示パネル１０を特定することができる。
【００３６】
図４は本実施の形態における有機ＥＬ表示パネル１０の製造工程を示すフローチャートである。
【００３７】
以下、図４及びその他の図面を参照しながら、本実施の形態における有機ＥＬ表示パネル１０の製造方法の一例について説明するとともに、本実施の形態における有機ＥＬ表示パネル１０の検査方法について説明する。
【００３８】
まず、アクティブマトリクスアレイ基板製造工程Ｓ１において、図１及び図２を参照して、画像表示部２と、検査ＥＬ素子部３と、各画素を駆動するための周辺回路部（走査線駆動回路１６と信号線駆動回路１７）とを同一のガラス基板１上に集積化したアクティブマトリクスアレイ基板を製造する。このアレイ基板製造工程Ｓ１から後述するＥＬ薄膜蒸着工程Ｓ３までは、複数個の有機ＥＬ表示パネル１０がアクティブマトリクスアレイ基板上で集合した状態で同時に形成される。そして、パネル割断工程Ｓ４で個々の有機ＥＬ表示パネル１０に分離する。
【００３９】
次にアクティブマトリクスアレイ周辺回路検査工程Ｓ２において、アレイ基板上の周辺回路部の動作が良好かどうかを検査する。その結果、周辺回路部の動作が良好であり、合格（ＹＥＳ）と判定されたアレイ基板は、次のＥＬ薄膜蒸着工程Ｓ３に移送する。一方、周辺回路部の動作が良好であり、不合格（ＮＯ）と判定されたアレイ基板は製造ラインから外す（ステップＳ９）。
【００４０】
次いでＥＬ薄膜蒸着工程Ｓ３において、図１及び図２を参照して、画像表示部２において、アレイ基板上に蒸着又はスパッタリングによりＩＴＯ薄膜を形成し、形成されたＩＴＯ薄膜をエッチングにより単位画素毎に分離した画素電極（陽極）９を形成する。これと同時に、検査ＥＬ素子部３において、アレイ基板上に検査配線８を形成する。検査配線８は外部端子５と接続する。さらに、画像表示部２と検査ＥＬ素子部３とにおいて、形成された画素電極９と検査配線８とを覆うように、真空蒸着法により発光層を含むＥＬ薄膜を形成する。ＥＬ薄膜は、画像表示部２において画素ＥＬ素子１１となり、検査ＥＬ素子部３において検査ＥＬ素子１１ａとなる。このように、画素ＥＬ素子１１と検査ＥＬ素子１１ａとは、同時に形成されるため、互いに実質的に同一の素子となり、それら素子の発光特性も実質的に同一となる。続いて、形成された複数の画素ＥＬ素子１１と複数の検査ＥＬ素子１１ａとの上に真空蒸着法により金属の合金からなる共通電極（陰極）７を形成する。共通電極７は共通電極端子４と接続する。さらに、各画素ＥＬ素子１１の一方の端子は共通電極７と接続し、他方の端子は画素電極９と接続する。これと同時に、各検査ＥＬ素子１１ａの一方の端子は共通電極７と接続し、他方の端子は検査配線８と接続する。以上の工程により複数個の有機ＥＬ表示パネル１０が集合したアクティブマトリクスアレイ基板を形成する。
【００４１】
続いてパネル割断工程Ｓ４において、有機ＥＬ表示パネル１０を製品化するサイズに分離する。
【００４２】
次にＥＬパネル検査工程Ｓ４Ａにおいて、本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの検査方法によって、有機ＥＬ表示パネル１０を検査する。即ち、図１〜図３を参照して、共通電極端子４と外部端子５との間に検査電圧を印加し、検査ＥＬ素子部３における各検査ＥＬ素子１１ａを発光させ、検査電圧と予め設定したしきい電圧とを比較する。そして、検査電圧がしきい電圧未満の場合は、各画素ＥＬ素子１１の発光特性を良と判定し、検査電圧がしきい電圧以上の場合は、各画素ＥＬ素子１１の発光特性を不良と判定する。前述したように、各画素ＥＬ素子１１の発光特性が不良であると、少なくとも▲１▼の場合に相当し、また、▲３▼の場合に相当しうるから、画像表示部２の発光輝度や消費電力が不良となる。したがって、検査電圧がしきい電圧未満の場合は、合格（ＹＥＳ）と判定し、検査電圧がしきい電圧以上の場合は、不合格（ＮＯ）と判定することができる。この結果、合格と判定された有機ＥＬ表示パネル１０は、次のＦＰＣ実装工程Ｓ５に移送し、不合格と判定された有機ＥＬ表示パネル１０は製造ラインから外す（ステップＳ９ａ）。
【００４３】
本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの検査方法によって、前述したように、
▲１▼各画素ＥＬ素子１１の発光特性が不良であり、かつ各画素ＥＬ素子１１を駆動するＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性が良である場合、又は、
▲３▼各画素ＥＬ素子１１の発光特性とＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性との双方が不良である場合に、有機ＥＬ表示パネル１０における画像表示部２の発光輝度や消費電力が不良となっている有機ＥＬ表示パネル１０が特定される。
【００４４】
係る有機ＥＬ表示パネル１０は、不合格（ＮＯ）と判定され、製造ラインから外されるため、次のＦＰＣ実装工程Ｓ５においてＦＰＣを実装して検査をすることが不要となる。一方、前述した、▲２▼各画素ＥＬ素子１１の発光特性が良であり、かつＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性が不良である場合と、各画素ＥＬ素子１１の発光特性とＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性との双方が良である場合は、有機ＥＬ表示パネル１０は合格（ＹＥＳ）と判定され、次のＦＰＣ実装工程Ｓ５に移送される。
【００４５】
次にＦＰＣ実装工程Ｓ５において、図１及び図２を参照して、ＦＰＣを有機ＥＬ表示パネル１０のＦＰＣ実装部６に実装する。ＦＰＣを有機ＥＬ表示パネル１０に実装するのは、次のＦＰＣ検査工程Ｓ６で、画像表示部２の発光輝度や消費電力を検査するために、電源線１９に直流電圧を供給し、さらに各画素ＥＬ素子１１に直流電流を通じて各画素ＥＬ素子１１を発光させるのに必要となるためである。ＦＰＣ実装工程Ｓ５において、ＦＰＣ実装部６が実装される有機ＥＬ表示パネル１０は、前述したように、▲２▼各画素ＥＬ素子１１の発光特性が良であり、かつＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性が不良である場合と、各画素ＥＬ素子１１の発光特性とＥＬ駆動用ＴＦＴ１３の発光特性との双方が良である場合のいずれかに限られる。
【００４６】
次いでＦＰＣ検査工程Ｓ６において、図２を参照して、ＦＰＣから電源線１９に直流電圧を供給し、さらに各画素ＥＬ素子１１に直流電流を通じて各画素ＥＬ素子１１を発光させる。そして、各単位画素２１から光を出射させ、画像表示部２の発光輝度と消費電力とを検査する。ここで、発光輝度が所定の輝度以上であり、かつ消費電力が所定の電力値以下のものを合格（ＹＥＳ）と判定する。それ以外のものは、不合格（ＮＯ）と判定する。この結果、合格と判定された有機ＥＬ表示パネル１０は、次のＥＬパネル完成品検査工程Ｓ７に移送し、不合格と判定された有機ＥＬ表示パネル１０は製造ラインから外す（ステップＳ１０）。
【００４７】
その後、ＥＬパネル完成品検査工程Ｓ７において、図１及び図２を参照して、ガラス基板１上に形成されたＥＬ薄膜と共通電極７との上から封止をする。そして、アクティブマトリクスアレイ周辺回路検査工程Ｓ２における検査、又は、ＦＰＣ検査工程Ｓ６における検査によって画像表示部又は周辺回路部に異常を生じた有機ＥＬ表示パネル１０を検出する。その結果、画像表示部又は周辺回路部に異常がなく、合格（ＹＥＳ）と判定された有機ＥＬ表示パネル１０を製品化する（ステップＳ８）。一方、画像表示部又は周辺回路部に異常があり、不合格（ＮＯ）と判定された有機ＥＬ表示パネル１０は製造ラインから外す（ステップＳ１１）。
【００４８】
本実施の形態における有機ＥＬ表示パネル及びその検査方法によれば、有機ＥＬ表示パネルにおいて、画像表示部に配置された各画素ＥＬ素子の発光特性が不良であり、かつ各画素ＥＬ素子を駆動するＥＬ駆動用ＴＦＴの発光特性が良である場合、又は、各画素ＥＬ素子の発光特性とＥＬ駆動用ＴＦＴの発光特性との双方が不良である場合には、ＦＰＣを実装して検査をすることが不要となるため、有機ＥＬ表示パネルの検査に要するコストと所要時間が削減される。その結果、有機ＥＬ表示パネルの製造に要するコストと所要時間を削減することができる。
【００４９】
なお、本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルでは、図２を参照して、電源線５は、画像表示部２において垂直方向に沿って配設されているが、電源線１９を走査線２０と兼用することで、画像表示部２において水平方向に沿って配設されていても良い。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、有機ＥＬ表示パネルの製造に要するコストと所要時間とを削減し、高い生産性を有する有機ＥＬ表示パネルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの構成を示す平面図である。
【図２】本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルに設けられた画面表示部及び検査ＥＬ素子部の回路構成を示す平面図である。
【図３】本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの画面表示部に配置された単位画素の回路構成を示す回路図である。
【図４】本実施の形態における有機ＥＬ表示パネルの製造工程を示すフローチャートである。
【図５】従来例における有機ＥＬ表示パネルの製造工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１      ガラス基板
２      画像表示部
３      検査ＥＬ素子部
４      共通電極端子
５      外部端子
６      ＦＰＣ実装部
７      共通電極
８      検査配線
９      画素電極
１０    有機ＥＬ表示パネル
１１    画素ＥＬ素子
１１ａ  検査ＥＬ素子
１２    スイッチング用ＴＦＴ
１３    ＥＬ駆動用ＴＦＴ
１６    走査線駆動回路
１７    信号線駆動回路
１８    信号線
１９    電源線
２０    走査線
２１    単位画素
２２    蓄積容量
【図１】
2004192925.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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