(57)【要約】【課題】大型のゲート弁において、メンテナンスあるいは弁体に取り付けられたシール部材の交換作業を、容易に行うことのできる真空用ゲート弁を提供する。【解決手段】弁体４６を移動させる軸２２，２３に対して、弁体４６がヒンジ２７などを介して起立自在に取り付けられていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略箱形状に形成された弁箱本体に貫通して形成されたゲート開口部に、駆動軸がこのゲート開口部を横断する方向に移動することにより、前記駆動軸の先端に取り付けられた弁体が前記ゲート開口部に接近あるいは離反する方向に操作され、これにより、前記ゲート開口部の流体の流れが遮断あるいは許容される真空用ゲート弁であって、
前記駆動軸に支持されてゲート開口部内に配置される弁体が、回動可能であることを特徴とする真空用ゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等に使用される真空用ゲート弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチングなどのワークの加工、処理などが行われている。
これらに使用される真空用ゲート弁は、例えば、図４および図５に示したような構造を有している。すなわち、真空用ゲート弁は、箱形状の弁箱本体２０を有している。箱形状の弁箱本体２０には、略矩形状のゲート開口部１が形成され、弁体９は軸１３に直結され、軸とともに移動可能にされている。そして、弁体９の所定位置には、シール部材８が装着されている。
【０００３】
このような弁体９は、軸１３に案内されてゲート開口部１内に押し込まれ、シール部材８がシール面４、５、６に当接されることにより、ゲート開口部１が封止されている（特公平６−５０１４８号公報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような真空用ゲート弁では、弁内部のメンテナンスを行ったり、あるいは必要に応じて弁体９に取り付けられたシール部材８を、交換したりする必要がある。
ところが、上記した真空用ゲート弁では、弁箱本体２０とこの弁箱本体２０に取り付けられた蓋体３０との組み付けを解除してメンテナンスを行ったり、あるいはその状態から弁体９を図４、図５の右方に引き抜いて、シール部材８の取り替え作業を行なわなければならなかった。
【０００５】
このような作業は、特に、真空ゲート弁が大型である場合に、作業が煩雑であるとともに、シール部材の交換に際して引き抜き方向にかなりの作業スペースが必要で、しかも多大な力が必要になるという問題があった。
また、特に、大型の真空用ゲート弁では、軸１３の長さも長く、重量も重いため、弁体の引き出し操作は困難である。
【０００６】
本発明はこのような実情に鑑み、大型なゲート弁であっても、メンテナンスあるいは弁体に取り付けられたシール部材の交換作業を、容易に行うことのできる真空用ゲート弁を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、
略箱形状に形成された弁箱本体に貫通して形成されたゲート開口部に、駆動軸がこのゲート開口部を横断する方向に移動することにより、前記駆動軸の先端に取り付けられた弁体が前記ゲート開口部に接近あるいは離反する方向に操作され、これにより、前記ゲート開口部の流体の流れが遮断あるいは許容される真空用ゲート弁であって、
前記駆動軸に支持されてゲート開口部内に配置される弁体が、回動可能であることを特徴とする真空用ゲート弁。
【０００８】
このような構成であれば、弁体を弁箱本体から引き出さずに、メンテナンスを行ったり、シール部材の交換作業を行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
図１は、本発明の一実施例に係る真空用ゲート弁の断面図である。図２は図１に示した真空用ゲート弁の閉弁状態を示すＡ−Ａ線方向の要部断面図である。
真空用ゲート弁１０は、箱形状の弁箱本体１２と、弁箱本体１２の開口を覆う蓋体１４と、移動可能な板状の弁体４６とを備えている。弁体４６は、蓋体１４側から挿通された複数本の駆動軸２２とガイド軸２３とにより、ゲート開口部２４に向かって移動あるいは離反するように構成されている。
【００１０】
板状の弁体４６は、幅方向に長く形成されているが、所定間隔置きに配置された軸２２，２３によって均等に案内されるようになっている。また、弁体４６と駆動軸２２との連結部は、ヒンジ２７により、横倒しあるいは横になった状態から起立状態に、回動可能に取り付けられている。したがって、弁体４６は、図２に示したように、ゲート開口部２４内で駆動軸２２あるいはガイド軸２３に対し、４５度さらには９０度の角度にまで折り曲げることが可能にされている。また、起立した状態では、ガイド軸２３にて固定されているため、その姿勢を保持することができる。したがって、通常の使用状態において、弁体４６が横になってしまうようなことはない。
【００１１】
このような構成からなる真空用ゲート弁１０は、例えば、図３に示したように、２つの真空チャンバー２９、３１間に設置され、流体の流れを遮断することができる。
そして、弁体４６に取り付けられたシール部材３３は、長期間の使用により劣化する虞があるため、周期的に交換したり、メンテナンスを行ったりする必要がある。その場合には、真空チャンバー２９，３１間の流通を完全に開放状態にした後、作業者が真空チャンバー２９内に入り、図示しないガイド軸２３と弁板４６との接合部を外し、起立状態にある弁体４６を、ゲート開口部２４の間口が大きく形成された側に傾倒し、シール部材３３を弁体４６から取り外し、新たなシール部材と交換すれば良い。
【００１２】
したがって、本実施例による真空ゲート弁によれば、弁体４６の抜き出しを支持している軸２２，２３の移動方向に大きな作業スペースを不要とすることができる。しかも、大重量であっても、その弁体を引き抜く必要がないため、軽作業でこの交換作業を行うことができる。
また、作業者が内部に入ることが出来ない程度の大きさであるとしても、ゲート開口部２４内に手を挿入すれば、シール部材３３の交換を容易に行なうことができる。
【００１３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る真空用ゲート弁によれば、弁体を、これを支持している軸に対して傾倒させれば、劣化したシール部材を交換することができるので、弁体を移動させる方向に大きな作業スペースを不要とし、多大な力をかけずに、シール部材の交換を行うことができる。
【００１４】
しかも、弁内部のメンテナンスを行う場合も、弁体を倒すことができるので、作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の一実施例による真空用ゲート弁の断面図である。
【図２】図２は図１のＡ−Ａ線方向の断面図である。
【図３】図３は図１に示した真空用ゲート弁を真空チャンバー内に設置したときの概略断面図である。
【図４】図４は従来の真空用ゲート弁の断面図である。
【図５】図５は、従来の真空用ゲート弁の図４とは異なる方向の断面図である。
【符号の説明】
１０　　　　　　真空用ゲート弁
１２　　　　　　弁箱本体
２０　　　　　　弁箱本体
２２　　　　　　駆動軸
２３　　　　　　ガイド軸
２４　　　　　　ゲート開口部
２７　　　　　　ヒンジ
３３　　　　　　シール部材
４６　　　　　　弁体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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