(57)【要約】【課題】液晶表示パネルの両面に付着しているカレットや封止剤などの異物を除去するようにした液晶表示パネル洗浄装置において、液晶表示パネルに面接触して該パネルを支持するように設けられたステージを用いることに起因する不具合の発生を回避するのみならず、作業能率を高められるようにする。【解決手段】液晶表示パネル１０を支持機構２０により略鉛直状態に支持するとともに、その液晶表示パネル１０をパネル厚さ方向に挟むように配置した１対の洗浄機構３０，３０により、該液晶表示パネル１０を倒れないように支え合いつつその両面を同時に洗浄するようにする。【選択図】  図１
2004212862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状電子部品の両板面上の異物を取り除くようにした板状電子部品の洗浄装置であって、
上記板状電子部品を板面が略鉛直になる状態に支持する支持機構と、
上記板状電子部品の板面との摩擦接触により該板面状の異物を取り除く摩擦シートを保持するための保持部と、上記保持部を上記支持機構上の板状電子部品の対応する板面に略垂直な軸心回りに回転駆動する回転手段と、上記保持部を該保持部上の摩擦シートが上記板状電子部品の対応する板面に摩擦接触するように押圧する押圧手段とを有し、上記板状電子部品を板厚方向に挟むように対向配置された１対の洗浄機構とを備えていることを特徴とする板状電子部品の洗浄装置。
【請求項２】
請求項１記載の板状電子部品の洗浄装置において、各保持部は、摩擦シートを板状電子部品の対応する板面に線接触させるように構成されていることを特徴とする板状電子部品の洗浄装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の板状電子部品の洗浄装置において、各保持部は、摩擦シートが繰出可能に巻き付けられる繰出ロールと、該繰出ロール上の摩擦シートを巻き取る巻取ロールとを有し、上記繰出ロールおよび巻取ロールは、上記保持部の回転軸心上に軸方向に並ぶように配置されていることを特徴とする板状電子部品の洗浄装置。
【請求項４】
請求項１，２又は３記載の板状電子部品の洗浄装置において、少なくとも一方の洗浄機構は、板状電子部品の対応面に対する摩擦シートの接触圧を検出する検出手段と、上記検出手段により検出された接触圧に基づき、押圧手段の押圧作動を制御する制御手段とを有することを特徴とする板状電子部品の洗浄装置。
【請求項５】
請求項１，２，３又は４記載の板状電子部品の洗浄装置において、板状電子部品は、液晶表示パネルであることを特徴とする板状電子部品の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルなどの板状電子部品を洗浄するようにした板状電子部品の洗浄装置に関し、特に、洗浄むらや割れなどの不具合の発生を抑える対策に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示パネルの製造過程では、２枚のガラス板を貼り合わせて１枚のパネルにし、このパネルを所定の大きさに切断した後、２枚のガラス板の間に液晶を注入して封止するようになされており、その後、この液晶表示パネルの両面に偏光板を貼り付けるようになっている。
【０００３】
ところで、パネルを所定の大きさに切断する工程では、切断に伴って発生したカレット（ガラスの粉や小さなかけら）がパネルの表面にこびりつくように付着（固着）した状態が発生しやすい。
【０００４】
また、液晶を注入する工程では、注入口を封止する際に封止剤が注入口付近のパネル表面に付着した状態が発生しやすい。
【０００５】
このように、カレットや封止樹脂などの異物が液晶表示パネルの表面に付着したままであると、次工程の偏光板貼付時などに不良が発生することになる。そこで、洗浄装置を用いて、それらの異物を除去する必要がある。
【０００６】
ところで、液晶表示パネルやウェハなどの板状電子部品を洗浄するようにした洗浄装置としては、特許文献１に記載されているような「カッター刃回転タイプ」（従来例１）のもの，特許文献２に記載されているような「シート回転研磨タイプ」（従来例２）のもの，特許文献３に記載されているような「シート洗浄タイプのもの」（従来例３）の３種類が挙げられる。
【０００７】
「カッター刃回転タイプのもの」では、図６に示すように、２枚以上の刃物２００，２００，…に鉛直軸心回りの自転と公転とを与えつつ、その刃先を、ステージ２０１上に載置された液晶表示パネル２０２の上側のパネル面に接触させることで、異物を削り落として除去するようになっている。
【０００８】
「シート回転研磨タイプのもの」では、図７に示すように、ステージ２０３の下面に液晶表示パネル２０４を支持し、研磨台２０５を鉛直軸心回りに回転させつつ該研磨台２０５上の研磨シート２０６に液晶表示パネル２０４の下側のパネル面を面接触させるようになっている。
【０００９】
「シート洗浄タイプのもの」では、図８に示すように、回転ユニット２０７を鉛直軸心回りに回転させつつ、該回転ユニット２０７内の１対のロール２０８，２０８間に保持された研磨シート２０９を、ステージ２１０上に載置された液晶表示パネル２１１の上側のパネル面に線接触させるようになっている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平１０−３９２８２号公報（第３頁，図３）
【特許文献２】
特開平８−２５２１４号公報（第２頁，図６および図７）
【特許文献３】
特開２００２−６６８９９号公報（第３〜第４頁，図１）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例１〜従来例３の場合には、次のような共通の問題がある。
１）ステージの平滑精度に起因する洗浄むらやセルギャップむらが発生しやすい。特に、液晶表示パネルの大形化に伴ってステージが大形化するほど、この問題は顕著になる。
２）ステージと液晶表示パネルとの間に異物が介在していると、液晶表示パネルのその部分が盛り上がることによる洗浄むらおよびセルギャップむらや、その部分に応力が集中することによるパネル割れが発生しやすい。
【００１２】
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、液晶表示パネルなどの板状電子部品の両面に付着している異物を除去するようにした板状電子部品の洗浄装置において、板状電子部品の支持状態に工夫を加えることで、ステージを用いることに起因する不具合の発生を回避し、しかも、作業能率を高められるようにすることにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成すべく、本発明では、液晶表示パネルを略鉛直状態に配置することとし、１対の洗浄機構により、その液晶表示パネルを倒れないように支え合うことで、ステージを不要にし、しかも、支え合いつつ両面を同時に洗浄するようにした。
【００１４】
具体的には、請求項１の発明では、板状電子部品の両板面上の異物を取り除くようにした板状電子部品の洗浄装置を前提としている。
【００１５】
そして、上記の板状電子部品を板面が略鉛直になる状態に支持する支持機構を備えるとともに、板状電子部品の板面との摩擦接触により該板面状の異物を取り除く摩擦シートを保持するための保持部と、この保持部を上記支持機構上の板状電子部品の対応する板面に略垂直な軸心回りに回転駆動する回転手段と、保持部を該保持部上の摩擦シートが上記板状電子部品の対応する板面に摩擦接触するように押圧する押圧手段とを有していて、上記板状電子部品を板厚方向に挟むように対向配置された１対の洗浄機構を備えるようにした。
【００１６】
この発明によれば、両洗浄機構は、各摩擦シートを支持機構上の板状電子部品の対応する板面に摩擦接触させることで、その板状電子部品を互いに支え合って対応する板面の洗浄が行えるようになる。よって、板状電子部品の板面に面接触して該板状電子部品を支持するステージが不要であるので、ステージの平滑精度に起因する不具合や、ステージと板状電子部品との間に異物が存在することによる不具合は発生せず、しかも、板状電子部品の両板面が同時に洗浄されるので、従来のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率が向上する。
【００１７】
尚、摩擦シートが板状電子部品に摩擦接触することにより、板状電子部品に負荷が加わるとき、各摩擦シートは、該摩擦シートのみが板状電子部品に接触しただけでは摩擦接触したことにはならず、両摩擦シートが共に板状電子部品に接触したときに、始めて摩擦接触したことになる。つまり、板状電子部品に対する２つの摩擦シートの摩擦接触は、同時に起きる。よって、摩擦シートの摩擦接触により板状電子部品に負荷が加わる回数（アタック回数）は、従来のようにステージ上に支持されて１つの摩擦シートに摩擦接触される場合と同じであるので、摩擦シートが２つであるにも拘わらず、摩擦シートのアタックに起因する板状電子部品のダメージは増大しない。
【００１８】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、各保持部は、摩擦シートを板状電子部品の対応する板面に線接触させるように構成されているものとする。
【００１９】
このように、摩擦シートが板状電子部品の板面に線接触することで、従来例２（図７参照）のように摩擦シートが板状電子部品の板面に面接触する場合とは異なり、板状電子部品と摩擦シートとの間に介在する異物による引き擦りが回避される。よって、そのような引き擦りにより板状電子部品の板面に傷が付いたり異物が再付着したりするという事態は未然に防止される。
【００２０】
請求項３の発明では、請求項１および２の発明において、各保持部が、摩擦シートが繰出可能に巻き付けられる繰出ロールと、該繰出ロール上の摩擦シートを巻き取る巻取ロールとを有するものである場合に、上記繰出ロールおよび巻取ロールは、上記保持部の回転軸心上に軸方向に並ぶように配置されているものとする。
【００２１】
これにより、摩擦シートが繰出ロールから巻取ロールに巻き取られるのに伴って、保持部の重心が移動する際に、その重心が常に保持部の回転軸心上に位置するので、保持部の回転バランスは崩れない。よって、従来例３（図８参照）の場合には、重心が回転軸心に直交する方向に移動するために、回転バランスが崩れ、板状電子部品に対する摩擦シートの接触状態が不安定になり、その結果、洗浄むらの発生や、洗浄能力の不安定化を招きやすいが、この発明では、そのような事態は回避される。
【００２２】
また、上記のような重心変動に起因する回転バランスの崩れは、高速回転になるほど顕著であることから、高速回転時にも、板状電子部品に対する摩擦シートの摩擦接触は、より確実に、また、より安定して行われることとなり、よって、洗浄効率のさらなる向上が図れるようになる。
【００２３】
請求項４の発明では、請求項１〜３の発明において、少なくとも一方の洗浄機構は、板状電子部品の対応する板面に対する摩擦シートの接触圧を検出する検出手段と、この検出手段により検出された接触圧に基づいて、押圧手段の押圧作動を制御する制御手段とを有するものとする。
【００２４】
これにより、各摩擦シートは、板状電子部品の対応する板面に対し、適正でかつ安定した圧力でもって接触するようになるので、洗浄効果が向上するとともに、洗浄能力の安定化が図れるようになる。さらに、板状電子部品が液晶表示パネルである場合には、摩擦シートの接触圧の変動に起因するセルギャップむらの発生が回避されるという利点もある。
【００２５】
請求項５の発明では、請求項１〜４の発明において、上記の板状電子部品が、対向配置された１対の電極基板間に液晶層を配置してなる液晶表示パネルである場合に、その液晶表示パネルは、１対の洗浄機構により支えられつつ洗浄される。よって、従来例１〜従来例３の場合とは異なり、ステージを用いることに起因する洗浄むらやパネル割れが発生せず、しかも、液晶表示パネルの両パネル面が同時に洗浄されるので、従来例１〜従来例３のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率が向上する他、上記請求項２〜請求項６の発明での作用が具体的に営まれる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
【００２７】
図１および図２は、本発明の実施形態に係る液晶表示パネル洗浄装置の全体構成を概略的に示している。尚、図１は、洗浄装置の縦断正面図であり、図２は、その左側面図である。
【００２８】
この液晶表示パネル洗浄装置は、搬入された液晶表示パネル１０を略鉛直状態に支持する支持機構２０と、この支持機構２０に支持された液晶表示パネル１０をパネル厚さ方向に挟むように対向配置された１対の洗浄機構３０，３０とを備えている。
【００２９】
支持機構２０は、複数枚の液晶表示パネル１０を同一平面上に１列に並べられた状態で所定の送り方向（図２に矢印で示す方向）に定寸送りするようになされたものであって、その送り方向に直交する水平方向両側（図１の左右方向両側）に該送り方向に並ぶように立設された複数本の支持ローラ２１，２１，…と、これら支持ローラ２１，２１，…の下方に送り方向に延びるように配置されたベルトコンベヤ２２とを有する。ベルトコンベヤ２２のコンベヤベルトには、各々、略鉛直状態に配置された液晶表示パネル１０の下辺部をチャッキングするための複数のチャック２３，２３，…が所定間隔をおいて設けられている。そして、ベルトコンベヤ２２の送り方向略中間部分に対応する送り位置は、１対の洗浄機構３０，３０による洗浄の行われる洗浄位置とされており、この洗浄位置では、送り方向において相隣る支持ローラ２１，２１間の間隔が他の位置の場合よりも広くなっている。
【００３０】
各洗浄機構３０は、支持機構２０により洗浄位置に位置付けられた液晶表示パネルの対応するパネル面を洗浄する洗浄ユニット４０と、この洗浄ユニット４０を昇降移動させる昇降移動部９０と、洗浄ユニット４０を上記液晶表示パネル１０に対し進退移動させる進退移動部１００とを備えている。
【００３１】
具体的には、支持機構２０の両側（図１の左右両側）に、それぞれ、支柱９１が立設されており、各支柱９１上には昇降台９３が配置されている。この昇降台９３は、図外の案内支持機構を介して支柱９１により昇降移動可能に案内支持されている。各昇降台９３上には移動台１０３が配置されており、この移動台１０３は、図外の案内支持機構を介して昇降台９３により進退移動可能に案内支持されている。そして、上記の洗浄ユニット４０は、この移動台１０３上に配置されている。
【００３２】
詳しく説明すると、上記各支柱９１には、出力軸を正逆両方向に回転させる昇降用モータ（図示せず）と、鉛直方向（図１および図２の各上下方向）に延びるように配置されていて、図外の軸受機構を介して支柱９１に鉛直軸心回りに回転可能に支持された昇降用ボールねじ９２とが設けられている。また、上記昇降用モータの出力軸は、昇降用ボールねじ９２に連結されており、この昇降用ボールねじ９２は、上記の昇降台９３に螺合している。そして、これら支柱９１，昇降用モータ，昇降用ボールねじ９２，昇降台９３により上記の昇降移動部９０が構成されており、昇降用モータが出力軸を一方向に回転させることにより昇降台９３が洗浄ユニット４０と共に上昇移動し、一方、昇降用モータが出力軸を他方向に回転させることにより昇降台９３が洗浄ユニット４０と共に下降移動するようになっている。また、両洗浄機構３０，３０の昇降移動部９０，９０は、液晶表示パネル１０に対する各研磨シート５１の接触部位の水平方向位置が互いに同じになるように配置されているとともに、上記各接触部位の上下方向位置が互いに同じになるように同期して作動するようになされている。
【００３３】
さらに、上記の各昇降台９３上には、出力軸を正逆両方向に回転させる進退用モータ１０１と、液晶表示パネル１０の対応するパネル面に直交する方向に延びるように配置されていて、図外の軸受機構を介して昇降台９３に水平軸心回りに回転可能に支持された進退用ボールねじ１０２とが設けられている。また、進退用モータ１０１の出力軸は、進退用ボールねじ１０２に連結されており、進退用ボールねじ１０２は、上記の移動台１０３に螺合している。そして、これら進退用モータ１０１，進退用ボールねじ１０２，移動台１０３により上記の進退移動部１００が構成されており、進退用モータ１０１が出力軸を一方向に回転させることにより移動台１０３が洗浄ユニット４０と共に進出移動し、一方、進退用モータ１０１が出力軸を他方向に回転させることにより移動台１０３が洗浄ユニット４０と共に後退移動するようになっている。
【００３４】
上記の洗浄ユニット４０は、図３の拡大断面図にも示すように、液晶表示パネル１０のパネル面に摩擦接触して該パネル面上の異物を除去する研磨シート５１を保持するための保持部としての回転部５０と、この回転部５０を支持機構２０上の液晶表示パネル１０に略直交する水平軸心回りに回転駆動する回転手段としての回転用モータ７０と、回転部５０上の研磨シート５１が液晶表示パネル１０の対応するパネル面に摩擦接触するように該回転部５０を押圧する押圧手段としての押圧用シリンダ８０とを有する。
【００３５】
本実施形態では、研磨シート５１として、例えばポリウレタン系合成樹脂の接着剤を使用してポリエステルタフタ製のベース材に研磨材としてのホワイトアルミナ粒子（粒子径は、５〜９μｍ）を塗布接着してなるものが用いられる。尚、研磨材を含んでいない単なるシートを用い、このシートにスラリー状の研磨材を供給して洗浄を行うようにすることもできる。
【００３６】
上記の回転用モータ７０は、移動台１０３上に配置されており、その出力軸には、図外のプーリが回転一体に連結されている。一方、移動台１０３上には、洗浄ユニット４０の進退方向に延びるように配置された回転軸４１が図外の軸受機構を介して水平軸心回りに回転可能に設けられている。この回転軸４１の進出方向前端には、上記の回転部５０が一体に連結されており、回転軸４１の進出方向後端側には、図外のプーリが回転一体に連結されている。そして、回転用モータ７０側のプーリと、回転軸４１側のプーリとの間には、伝動ベルト７１が巻き掛けられており、回転用モータ７０が出力軸を回転させることにより、回転部５０が水平軸心回りに回転するようになっている。尚、回転用モータ７０の駆動力を回転軸４１に伝達する手段としては、上記ベルト伝動機構の他に、例えば歯車伝動機構が挙げられる。
【００３７】
両洗浄機構３０，３０の回転用モータ７０，７０同士は、同期して互いに同じ方向（図２に示す例では、同図の時計回り方向）に各回転部５０を回転駆動するようになされており、また、各回転用モータ７０による回転部５０の回転速度は、例えば１０００〜３０００ｒｐｍの範囲で互いに一致するようになされている。
【００３８】
上記の押圧用シリンダ８０は、ロッド８０ａが進出方向に向かって出退移動させるように配置されており、そのロッド８０ａの先端は、回転軸４１の進出方向後端に連結されている。そして、押圧用シリンダ８０が伸張作動することにより、回転部５０が進出方向に押圧されて液晶表示パネル１０に対する研磨シート５１の接触圧（液晶表示パネル１０に加わる圧力）が高くなり、一方、押圧用シリンダ８０が収縮作動することにより、回転部５０が後退方向に引っ張られて液晶表示パネル１０に対する研磨シート５１の接触圧が低くなるようになっている。
【００３９】
上記押圧用シリンダ８０のロッド８０ａ先端と、上記回転軸４１の後端との間には、液晶表示パネル１０の対応するパネル面に対する研磨シート５１の接触圧を検出する検出手段としてのロードセル４２が介設されている。また、移動台１０３上には、ロードセル４２により検出された接触圧に基づいて、押圧用シリンダ８０の伸張作動を制御する制御手段としての制御部４３が設けられている。そして、接触圧が適正な値（例えば、０．１〜０．２ＭＰａ）になるようになされている。
【００４０】
上記の回転部５０は、回転軸４１の進出方向前端に一体に連結された略方形状の枠体５２を有している。この枠体５２内には、１対のシートロール５３，５４が配置されている。これらシートロール５３，５４は、回転部５０の回転軸心上に軸方向に並ぶように配置されていて、枠体５２により回転部５０の軸心に直交する各軸心回りに回転可能に支持されている。進出方向後側のシートロール５３は、研磨シート５１が繰出可能に巻き付けられた繰出シートロールとされており、進出方向前側のシートロール５４は、研磨シート５１を巻き取る巻取シートロールとされている。
【００４１】
図４の拡大側面図に示すように、上記巻取シートロール５４には、繰出シートロール５３上の研磨シート５１を一定量だけ自動的に巻き取るシート自動送り機構が設けられている。具体的には、巻取シートロール５４には、該シートロール５４の軸心に直交する方向に延びるレバー５５が一方向クラッチ（図示せず）を介して回転一体に連結されている。この一方向クラッチは、巻取シートロール５４が研磨シート５１を巻き取る方向（同図の時計回り方向）にレバー５５が回動するときにはその回動を巻取シートロール５４に伝達し、一方、上記巻取方向とは逆の方向（同図の反時計回り方向）にレバー５５が回動するときには、巻取シートロール５４への伝達を遮断するようになっている。また、レバー５５と枠体５２との間には、該レバー５５を上記巻取方向とは逆の方向に回動付勢する引張コイルばね５６が介装されている。さらに、枠体５２には、引張コイルばね５６の引張力に抗してレバー５５を巻取方向に回動するように押圧するための巻取用シリンダ５７が取り付けられている。上記のシート自動送り機構は、これらレバー５５，一方向クラッチ，引張コイルばね５６，巻取用シリンダ５７により構成されており、巻取用シリンダ５７の伸張作動時にレバー５５が回動して巻取シートロール５４が巻取方向に回転することにより、該巻取シートロール５４に研磨シート５１が一定量だけ巻き取られ、このことで、液晶表示パネル１０の対応するパネル面に摩擦接触する研磨シート５１の部位が、例えば液晶表示パネル１０毎に新しくなるようになっている。
【００４２】
図３のＶ−Ｖ線断面図である図５に示すように、枠体５２の進出方向前縁部には、シートロール５３，５４に略平行に延びるように設けられたバックアップ部材５８が配置されている。このバックアップ部材５８は、両シートロール５３，５４間における研磨シート５１の部位背面に線接触しているとともに、首振り機構により、回転軸４１の軸心を含む平面上において揺動可能に支持されている。具体的には、枠体５２の前縁部に、バックアップ部材５８の揺動面に直交する方向に延びるベアリングシャフト５９が取り付けられており、バックアップ部材５８は、このベアリングシャフト５９を中心にして、図５の時計回り方向および反時計回り方向に回動できるようになっている。これにより、バックアップ部材５８が研磨シート５１を介して液晶表示パネル１０の対応するパネル面に対し非平行状態に接触したときに、その反力によりバックアップ部材５８が上記パネル面に平行になるように回動することで、バックアップ部材５８上の研磨シート５１の部位が上記パネル面に線接触するようになっている。尚、液晶表示パネル１０の対応するパネル面に対する研磨シート５１の接触幅（線接触の接触線長さ）は、狭すぎると、全面清掃する際に洗浄ユニット４０の昇降移動速度を遅くせざるを得なくなって、作業効率が低下する一方、広すぎると、パネル表面に微小な傷が発生するというダメージを与えやすくなることから、例えば５〜１５ｍｍとされる。
【００４３】
上記回転部５０の背後には、洗浄時に液晶表示パネル１０に向かって水を散布する複数の散水ノズル６０，６０，…と、各散水ノズル６０から散布された水が周囲に飛散することを防止する水飛散防止カバー６１とが配置されている。水飛散防止カバー６１は、移動台１０３に設けられており、各散水ノズル６０は、この水飛散防止カバー６１に取り付けられている。
【００４４】
尚、研磨材の粒子径が上限値９μｍを超える場合、回転部５０の回転速度が３０００ｒｐｍを超える場合、研磨シート５１の接触圧が０．２ＭＰａを超える場合には、パネル表面に微小な傷や、むらなどが発生するというダメージを与えてしまう虞れがある。一方、研磨材の粒子径が下限値５μｍ未満である場合、回転部５０の回転速度が１０００ｒｐｍ未満である場合、研磨シート５１の接触圧が０．１ＭＰａ未満である場合には、異物除去能力が９５％程度に低下する。
【００４５】
次に、上記のように構成された液晶表示パネル洗浄装置の作動について説明する。
【００４６】
まず、両洗浄機構３０，３０の各回転用モータ７０が一定速度で所定の方向に回転することにより、この回転用モータ７０の出力軸に伝動ベルト７１を介して駆動連結された回転軸４１が同方向に回転する。これにより、洗浄ユニット４０の回転部５０が同方向に一定の速度で回転する。この回転の開始とともに、各散水ノズル６０，６０，…から水の散布が開始される。このとき、散布された水が周囲へ飛散することは、水飛散防止カバー６１により防止される。
【００４７】
次いで、進退移動部１００の作動により、洗浄ユニット４０が前進移動する。そして、支持ローラ２１，２１，…により支持されつつベルトコンベヤ２２により洗浄位置に位置付けられた液晶表示パネル１０に対し、各洗浄ユニット４０は、回転部５０の研磨シート５１が接触しない程度の位置で停止する。
【００４８】
その後、洗浄ユニット４０上において、押圧用シリンダ８０の伸張作動により、回転部５０が前進移動し、それにより、各研磨シート５１が液晶表示パネル１０の対応するパネル面に摩擦接触するようになる。このとき、各押圧用シリンダ８０の伸張作動は、ロードセル４２により検出された液晶表示パネル１０に対する研磨シート５１の接触圧が所定の値になるように制御部４３により制御され、これにより、各研磨シート５１は、適正な圧力でもって液晶表示パネル１０に摩擦接触するようになる。
【００４９】
また、パネル面上における研磨シート５１との接触部位が回転部５０の回転軸心に直交していない場合でも、首振り機構によりバックアップ部材５８が研磨シート５１を上記接触部位に線接触させることができるので、液晶表示パネル１０の表面精度やうねりに対応することができるとともに、回転部５０の回転が安定化して洗浄効率が向上する。また、液晶表示パネル１０と研磨シート５１との間に異物が噛み込まれたときでも、それによる引き擦りを回避することができるので、パネル傷の発生や異物の再付着を防ぐこともできる。
【００５０】
各研磨シート５１が液晶表示パネル１０の対応するパネル面に摩擦接触した状態で、各洗浄ユニット４０は、昇降移動部９０の作動により、研磨シート５１が常に液晶表示パネル１０の同じ部位の両パネル面に摩擦接触するように両洗浄機構３０，３０間で同期しつつ上昇移動又は下降移動する。そして、洗浄ユニット４０の１回の移動毎に、ベルトコンベヤ２２により液晶表示パネル１０が定寸送りされ、この繰返しにより、液晶表示パネル１０の全面洗浄が行われることとなる。
【００５１】
全面洗浄が完了した後、各散水ノズル６０による水の散布および回転用モータ７０による回転部５０の回転が共に停止するとともに、各進退移動部１００の作動により、両洗浄ユニット４０，４０は、同期して後退移動し、原点位置に戻る。一方、自動シート送り機構では、まず、巻取用シリンダ５７の伸張作動によりロッド先端５７ａがレバー５５を押圧して該レバー５５を巻取方向に回動させる。このレバー５５の回動により、巻取シートロール５４が巻取方向に回転することで、その巻取シートロール５４に研磨シート５１が一定量だけ巻き取られる。これにより、洗浄を行う際に常に新しい研磨シート５１の部位による洗浄が行われるとともに、研磨シート５１の送り作業によるロスが回避される。
【００５２】
以上の作動が繰り返されることにより、複数枚の液晶表示パネル１０，１０，…が自動的に順次洗浄される。そして、上記の研磨シート５１の材質と洗浄時の条件（接触圧や回転速度など）とを適正に組み合わせて液晶表示パネル１０を洗浄るようにすれば、洗浄むらやセルギャップむらなど、液晶表示パネル１０の品質上の不具合の発生も無く、両パネル面に付着したカレットや異物の９９％以上を同時に除去することができる。
【００５３】
したがって、本実施形態によれば、１対の洗浄機構３０，３０により液晶表示パネル１０を支え合って洗浄することができるので、従来のようにステージに液晶表示パネル１０を支持させて洗浄する場合に比べると、そのようなステージの平滑精度に起因する洗浄むらやパネルギャップむらの発生は起こらず、また、ステージと液晶表示パネルとの間に異物が存在することによる洗浄むらおよびセルギャップむらや、パネル割れの発生を回避することができる。
【００５４】
しかも、液晶表示パネル５１の両面を同時に洗浄することができるので、従来のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率を向上させることができる。
【００５５】
また、研磨シート５１を液晶表示パネル１０の対応面に線接触させることで、液晶表示パネル１０と研磨シート５１との間に介在する異物による引き擦りを回避することができるので、従来例のように、パネル表面に研磨シートを面接触させるようにする場合とは異なり、そのような引き擦りによる傷の発生や、異物の再付着を回避することができる。
【００５６】
また、回転部５０において、研磨シート５１が繰出シートロール５３から巻取シートロール５４に巻き取られる際に、回転部５０の重心が常に回転軸心上に位置しているので、回転部５０をバランスを崩さずに回転させることができる。よって、従来例３（図９参照）のように、上記重心が回転軸心に直交する方向に移動するために、保持部の回転バランスが崩れて液晶表示パネルに対する研磨シートの接触状態が不安定になり、その結果、洗浄むらおよびセルギャップむらの発生や洗浄能力の不安定化を招きやすいという場合とは異なり、そのような事態を回避することができる。
【００５７】
また、液晶表示パネル１０に対する研磨シート５１の接触圧を検出しつつ押圧用シリンダ８０の伸張作動を制御することで、接触圧の適正化および安定化を図ることができるので、洗浄むらやセルギャップむらの発生を回避することができるとともに、洗浄能力の安定化を図ることができる。
【００５８】
尚、上記の実施形態においては、液晶表示パネル１０を洗浄する場合について説明したが、本発明は、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置やプラズマ表示装置などの表示パネルの他、ウェハなど、種々の板状電子部品を洗浄する装置に適用することができる。
【００５９】
また、今回開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、１対の洗浄機構により板状電子部品を支え合いつつ洗浄することができるので、従来のようにステージを用いる場合に比べて、洗浄むらや板状電子部品割れの発生を抑えることができるとともに、従来のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率を向上させることができる。
【００６１】
請求項２の発明によれば、保持部が摩擦シートを板状電子部品の対応する板面に線接触させることで、板状電子部品と摩擦シートとの間に介在する異物による引き擦りを回避することができ、よって、そのような引き擦りにより板状電子部品表面に傷が付いたり異物が再付着したりするという事態を未然に防止することができる。
【００６２】
請求項３の発明によれば、保持部において摩擦シートを繰出ロールから巻取ロールに送るようにする場合に、それら繰出ロールおよび巻取ロールを保持部の回転軸心上に軸方向に並ぶように配置することで、摩擦シートが巻取ロールに巻き取られるのに応じて保持部の重心が移動する際に、その重心を保持部の回転軸心上で移動させることができるので、保持部の回転バランスが崩れて洗浄が不安定化するという事態を回避することができる。この結果、洗浄作動の安定性を損なうことなく保持部を高速回転させることができ、洗浄効率のさらなる向上を図ることができる。
【００６３】
請求項４の発明によれば、少なくとも一方の洗浄機構の検出手段により検出された接触圧に基づいて、制御手段により押圧手段の押圧作動を制御することで、各摩擦シートを板状電子部品の対応面に適正でかつ安定した圧力でもって接触させることができ、洗浄効果を向上できるとともに洗浄能力の安定化を図ることができる。さらに、板状電子部品が液晶表示パネルである場合には、摩擦シートの接触圧の変動に起因するセルギャップむらの発生を回避することもできる。
【００６４】
請求項５の発明によれば、上記の板状電子部品が液晶表示パネルである場合に、その液晶表示パネルを１対の洗浄機構により支え合いつつ洗浄することができるので、従来のようにステージを用いる場合に比べて、洗浄むらやパネル割れの発生を抑えることができ、しかも、液晶表示パネルの両面を同時に洗浄することができるので、従来のように片面ずつ洗浄する場合に比べて、洗浄作業の効率を向上させることができる他、上記請求項１〜請求項４の発明による効果を具体的に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る液晶表示パネル洗浄装置の全体構成を示す縦断正面図である。
【図２】液晶表示パネル洗浄装置の構成を示す側面図である。
【図３】両洗浄ユニットの構成を拡大して示す縦断正面図である。
【図４】保持部の構成を示す図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】シート自動送り機構を拡大して示す側面図である。
【図６】従来の液晶表示パネル洗浄装置（従来例１）の全体構成を示す正面図である。
【図７】従来の液晶表示パネル洗浄装置（従来例２）の全体構成を示す正面図である。
【図８】従来の液晶表示パネル洗浄装置（従来例３）の全体構成を示す正面図である。
【符号の説明】
１０  液晶表示パネル（板状電子部品）
２０  支持機構
３０  洗浄機構
４２  ロードセル（検出手段）
４３  制御部（制御手段）
５０  回転部（保持部）
５１  研磨シート（摩擦シート）
５３  繰出シートロール（繰出ロール）
５４  巻取シートロール（巻取ロール）
７０  回転用モータ（回転手段）
８０  押圧用シリンダ（押圧手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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