(57)【要約】【課題】オートハンドラにおいて、被測定デバイスの除電を十分に行い、被測定デバイスの近傍からイオナイズドエアーを噴出する。【解決手段】被測定デバイスＸを所定の保持部１ａに保持して搬送する搬送手段Ａを備えたオートハンドラであって、被測定デバイスＸを除電するためのイオン化ガスを保持部１ａから被測定デバイスＸに噴き付ける除電手段Ｂを具備する。【選択図】　　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定デバイス（Ｘ）を所定の保持部（１ａ）に保持して搬送する搬送手段（Ａ）を備えたオートハンドラであって、
被測定デバイス（Ｘ）を除電するためのイオン化ガス（ｂ）を保持部（１ａ）から被測定デバイス（Ｘ）に噴き付ける除電手段（Ｂ）を具備することを特徴とするオートハンドラ。
【請求項２】
搬送手段（Ａ）は、空気吸引方式によって被測定デバイス（Ｘ）を保持部（１ａ）に吸着保持するものであって、
除電手段（Ｂ）は、圧縮ガス生成手段（２）から保持部（１ａ）に供給される圧縮ガス（ａ）の供給流路（Ｒ）に設けられ、圧縮ガス（ａ）をイオン化するイオナイザ（５）であることを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
【請求項３】
搬送手段（Ａ）は、被測定デバイス（Ｘ）を除電する場合にのみイオナイザ（５）を動作させることを特徴とする請求項１または２記載のオートハンドラ。
【請求項４】
搬送手段（Ａ）は、空気吸引方式によって被測定デバイス（Ｘ）を保持部（１ａ）に吸着するものであって、
除電手段（Ｂ）は、
除電用圧縮ガス（ｃ）を生成する除電用圧縮ガス生成手段（４）と、
該除電用圧縮ガス生成手段（４）から供給された除電用圧縮ガス（ｃ）をイオン化してイオン化ガス（ｂ）を出力するイオナイザ（５Ａ）と、
被測定デバイス（Ｘ）を解離する際に保持部（１ａ）に供給される圧縮ガス（ａ）の供給流路（Ｒ３）へのイオン化ガス（ｂ）の供給を搬送手段（Ａ）による制御に基づいて規制する除電用制御弁（７）とを備える
ことを特徴とする請求項１記載のオートハンドラ。
【請求項５】
圧縮ガス（ａ）及び／あるいは除電用圧縮ガス（ｃ）は、圧縮空気であることを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載のオートハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定デバイスを搬送するオートハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のオートハンドラは被測定デバイスがＰ＆Ｐ（ピックアンドプレス）に接触する前に、イオン化された空気（イオナイズドエアー）を被測定デバイスに噴射することによって被測定デバイスを除電している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、オートハンドラのステージ上には、被測定デバイスを搬送するための部材が複数設置されており、上記Ｐ＆Ｐがそれらの部材の間を稼動しているため、イオナイズドエアーを噴出するエアーブローユニットを設置するスペースが確保することが困難であった。そこで、上記エアーブローユニットを被測定デバイスから離れた場所に設置せざるを得ないため、イオナイズドエアーが被測定デバイスに到達する前にイオンが減少してしまい、被測定デバイスの除電を十分に行うことができない。これに加え、エアーブローユニットを被測定デバイスから離れた場所に設置すると、エアーブローユニットと被測定デバイスの間にＰ＆Ｐが入り込んでイオナイズドエアーの流路を遮ってしまうことがあり、被測定デバイスを十分に除電することができない。
【０００４】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、以下の点を目的とするものである。
（１）オートハンドラにおいて、被測定デバイスの除電を十分に行う。
（２）被測定デバイスの近傍からイオナイズドエアーを噴出する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、第１の手段として、被測定デバイスを所定の保持部に保持して搬送する搬送手段を備えたオートハンドラであって、被測定デバイスを除電するためのイオン化ガスを保持部から被測定デバイスに噴き付ける除電手段を具備するという構成を採用する。
【０００６】
第２の手段として、上記第１の手段において、搬送手段は、空気吸引方式によって被測定デバイスを保持部に吸着保持するものであって、除電手段は、圧縮ガス生成手段から保持部に供給される圧縮ガスの供給流路に設けられ、圧縮ガスをイオン化するイオナイザであるという構成を採用する。
【０００７】
第３の手段として、上記第１または第２の手段において、搬送手段は、被測定デバイスを除電する場合にのみイオナイザを動作させるという構成を採用する。
【０００８】
第４の手段として、上記第１の手段において、搬送手段は、空気吸引方式によって被測定デバイスを保持部に吸着するものであって、除電手段は、除電用圧縮ガスを生成する除電用圧縮ガス生成手段と、該除電用圧縮ガス生成手段から供給された除電用圧縮ガスをイオン化してイオン化ガスを出力するイオナイザと、被測定デバイスを解離する際に保持部に供給される圧縮ガスの供給流路へのイオン化ガスの供給を搬送手段による制御に基づいて規制する除電用制御弁とを備えるという構成を採用する。
【０００９】
第５の手段として、上記第１〜第４いずれかの手段において、圧縮ガス及び／あるいは除電用圧縮ガスは、圧縮空気であるという構成を採用する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わるオートハンドラの一実施形態について説明する。
【００１１】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態における本オートハンドラの要部構成図である。この図において、符号１はＰ＆Ｐ（ピックアンドプレス）、２は圧縮空気生成部（圧縮ガス生成手段）、３はイオナイザ（除電部Ｂ（除電手段））、４は制御弁、５は制御部、またＲ１はメイン流路、Ｒ２は吸着流路、Ｒ３は解離流路、Ａは搬送部（搬送手段）、Ｘは被測定デバイス、Ｙはトレーである。なお、供給流路Ｒはメイン流路Ｒ１及び解離流路Ｒ３から構成される。
【００１２】
搬送部Ａは、空気吸引方式によって被測定デバイスＸをＰ＆Ｐ１の先端に設置される吸着パッド１ａ（保持部）で吸着して搬送するものであり、Ｐ＆Ｐ１、圧縮空気生成部２、制御弁４及び制御部５から構成されている。
【００１３】
トレーＹは、複数の被測定デバイスＸが収納された容器であり、外部から本オートハンドラに搬送される。なお、説明の便宜上、トレーＹは、図面において、図示するように板状の部材で表す。Ｐ＆Ｐ１は、被測定デバイスＸを例えば搬送ステージから測定ステージに搬送するものである。
【００１４】
圧縮空気生成部２は、圧縮空気ａ（圧縮ガス）を生成するものである。制御弁４は、吸着流路Ｒ２、解離流路Ｒ３の開閉状態を規定すると共に、メイン流路Ｒ１を介して圧縮空気生成部２から供給された圧縮空気ａの流れる方向を規定するものである。吸着流路Ｒ２は、制御弁４から吸着パッド１ａを介さずに外部に向け圧縮空気ａが流れる流路であり、解離流路Ｒ３は、吸着パッドａ１が制御弁４から吸着パッド１ａを介して外部に向け圧縮空気ａが流れる流路である。イオナイザ３は、上記圧縮空気ａをイオン化してイオナイズドエアーｂにするものであり、圧縮空気生成部２から吸着パッド１ａに供給される圧縮ガスａのメイン流路Ｒ１に設けられる。すなわち、イオナイザ３は、圧縮空気生成部２と制御弁４との間に設置される。
【００１５】
制御部５は、Ｐ＆Ｐ１、イオナイザ３及び制御弁４を制御することによって、被測定デバイスＸの搬送及び除電を行わせるものである。
【００１６】
続いて、このように構成された本オートハンドラの第１実施形態における動作について説明する。
【００１７】
まず、制御部５は、Ｐ＆Ｐ１を搬送対象である被測定デバイスＸの上方に移動させる。そして、制御部５は、イオナイザ３を動作させ、さらに制御弁４を制御することによってメイン流路Ｒ１と解離流路Ｒ３のみを挿通状態とする。すなわち、圧縮空気生成部２において生成された圧縮空気ａは、イオナイザ３によってイオン化された後、イオナイズドエアーｂとして吸着パッド１ａから被測定デバイスＸに噴射される。そして上記被測定デバイスＸは、上記イオナイズドエアーｃを噴射されることによって除電される。この場合、吸着パッド１ａと被測定デバイスＸとの間には何もないため、上記イオナイズドエアーｃは、何にも遮られずに被測定デバイスＸに噴射される。
【００１８】
続いて、制御部５は、Ｐ＆Ｐ１を下降させることによって上記吸着パッド１ａが被測定デバイスＸに対して所定の位置まで近づくと、イオナイザ３の動作を停止することによって圧縮空気ａのイオン化を中止すると共に、制御弁４を制御してメイン流路Ｒ１と吸着流路Ｒ２及び解離流路Ｒ３とを挿通状態とし、圧縮空気ａが吸着流路Ｒ２に流れるようにする。すなわち、圧縮空気ａが吸着流路Ｒ２に流れることによって、解離流路Ｒ３内が負圧状態となり、空気を吸引するので、吸着パッド１ａは被測定デバイスＸを吸着する。
【００１９】
次に、制御部５は、Ｐ＆Ｐ１を被測定デバイスＸを解離する所定の位置の上方に移動させる。そして、制御部５は、Ｐ＆Ｐ１を下降させ、制御弁４を制御してメイン流路Ｒ１と解離流路Ｒ３のみを挿通状態とする。また、イオナイザ３は被測定デバイスＸを解離する際には動作状態とされる。すなわち、被測定デバイスＸは、解離流路Ｒ３を介して吸着パッド１ａに流入する圧縮空気ａ（イオナイザ３によってイオン化されたもの）に押圧され吸着パッド１ａから解離することによって所定の位置に載置される。
【００２０】
なお、上記実施形態において、被測定デバイスＸを吸着する場合に、イオナイザ３の動作停止状態を維持した。しかしながら、本発明は、これに限定されるものではなく、被測定デバイスＸを吸着する場合においてもイオナイザ５を稼動させ、イオナイズドエアーｂを用いて被測定デバイスＸを吸着しても良い。
【００２１】
（第２実施形態）
さらに、図２を参照して、本発明に係わるオートハンドラの第２実施形態について説明する。
【００２２】
この図において、３Ａはイオナイザ、６は除電用圧縮空気生成部（除電用圧縮ガス生成部）、７は除電用制御弁、またＲ４はイオン化空気供給流路である。本第２実施形態において、搬送部Ａは、上記第１実施形態と同様に、Ｐ＆Ｐ１、圧縮空気生成部２、制御弁４及び制御部５から構成されている。また、除電部Ｂは、イオナイザ３Ａ、除電用圧縮空気生成部６及び除電用制御弁７から構成されている。
【００２３】
除電用圧縮空気生成部６は、除電用圧縮空気ｃを生成するものであり、イオナイザ３Ａは、上記除電用圧縮空気生成部６から供給された除電用圧縮空気ｃをイオン化したイオナイズドエアーｂを出力するものである。除電用制御弁６は、吸着パッド１ａが被測定デバイスＸを解離する際に圧縮空気ａが供給される解離流路Ｒ３へのイオン化空気ｂの供給を搬送部Ａの制御部５による制御に基づいて規制するものであり、上記解離流路Ｒ３とイオン化空気供給流路Ｒ４によって連結される。なお、本第２実施形態において、制御部５は、Ｐ＆Ｐ１、制御弁４及び除電用制御弁７の制御を行う。
【００２４】
続いて、このように構成された本オートハンドラの第２実施形態における動作について説明する。
【００２５】
まず、制御部５は、Ｐ＆Ｐ１を搬送対象である被測定デバイスＸの上方に移動させる。この場合、制御部５は、制御弁４を制御することによって吸着流路Ｒ２及び解離流路Ｒ３を閉鎖状態とし、除電用制御弁７を制御することによってイオン化空気供給経路Ｒ４を開放状態とする。すなわち、除電用圧縮空気生成部６によって生成された圧縮空気ｃは、イオナイザ３Ａによってイオン化され、イオナイズドエアーｂとして吸着パッド１ａから被測定デバイスＸに噴射される。
【００２６】
続いて、制御部５は、Ｐ＆Ｐ１を下降させることによって上記吸着パッド１ａが被測定デバイスＸに対して所定の位置まで近づくと、制御弁４を制御してメイン流路Ｒ１と吸着流路Ｒ２及び解離流路Ｒ３とを挿通状態とすると共に、圧縮空気生成部２によって生成された圧縮空気ａが吸着流路Ｒ２に流れるようにすると共に、除電用制御弁７を制御することによってイオン化空気供給経路Ｒ４を解離流路Ｒ３から切り離す。すなわち、吸着パッド１ａは被測定デバイスＸを吸着する。そして、制御部５は、上記第１実施形態と同様にＰ＆Ｐ１を制御することによって被測定デバイスＸを所定の位置に移動する。
【００２７】
なお、上記第２実施形態において、吸着流路Ｒ２に圧縮空気ａを流し、解離流路Ｒ３を負圧状態にし、空気を吸引させることで被測定デバイスＸを吸着した。しかしながら、本発明は、これに限定されるものではなく、上記圧縮空気生成部２及び制御弁４に代えて真空ポンプを用いることによって被測定デバイスＸを吸着しても良い。この場合真空ポンプは上記制御部５によって制御される。
【００２８】
また、第１実施形態及び第２実施形態において、Ｐ＆Ｐ１は先端に設置された吸着パッド１ａによって被測定デバイスＸを吸着することで被測定デバイスＸを搬送した。しかしながら、本発明は、これに限定されるものではない。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被測定デバイスを所定の保持部に保持して搬送する搬送手段を備えたオートハンドラであって、被測定デバイスを除電するためのイオン化ガスを保持部から被測定デバイスに噴き付ける除電手段を具備する。すなわち、オートハンドラにおいて、被測定デバイスの除電を十分に行うこと及び被測定デバイスの近傍からイオナイズドエアーを噴出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係わるオートハンドラの要部構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係わるオートハンドラの要部構成図である。
【符号の説明】
１……Ｐ＆Ｐ（ピックアンドプレス）
１ａ……吸着パッド（保持部）
２……圧縮空気生成部（圧縮ガス生成手段）
３……イオナイザ
３Ａ……イオナイザ
４……制御弁
５……制御部
６……除電用圧縮空気生成部（除電用圧縮ガス生成手段）
７……除電用制御弁
Ａ……搬送部（搬送手段）
Ｂ……除電部（除電手段）
Ｒ，Ｒ１〜Ｒ４……流路
Ｘ……被測定デバイス
Ｙ……トレー
【図１】
2004093347.tif 000003
【図２】
2004093347.tif 000004