(57)【要約】【課題】スケール規模が小さくて複雑な調整機構を備えることができない条件下でも、振動ステータの円振動によるロータの回転駆動を円滑かつ効率良く行わせるのに好適な接触係合状態を安定かつ再現性良く得ることができるとともに、ロータの回転駆動を効率良く行わせることができるようにした超音波モータを提供する。【解決手段】軸状のロータ３０を円振動によって回転駆動する超音波モータ１０において、通電駆動により厚み方向と直交する板面方向に振動する板状厚みすべり振動子２２をその厚み方向に積層して振動子列２１を形成し、この振動子列２１を用いて生成される円振動でロータ３０を回転駆動するとともに、その回転駆動を、ロータ３０の回転中心に対して平行または斜めを向く環状周面で接触するように構成された接触係合部分を介して行わせる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被回転駆動体である軸状のロータと、このロータを円振動によって回転駆動する振動ステータとにより構成される超音波モータにおいて、上記振動ステータは、通電駆動により厚み方向と直交する板面方向に振動する板状厚みすべり振動子を、その厚み方向に積層して振動子列を形成し、この振動子列の一端面をケーシング側に固定し、他端面を上記ロータの軸端部に接触係合する振動伝達部材に結合させるとともに、その振動子列を少なくとも２つの群に分け、各群がそれぞれ上記板面方向に発生する振動の方向が互いに所定の角度差を持つように上記振動子を積層することにより、各群を所定の位相差で通電駆動したときに、上記ロータの回転軸と直交する面と平行な円振動が合成されるようにした振動駆動ユニットを備え、上記振動伝達部材と上記ロータ間は、ロータの回転中心に対して平行または斜めを向く環状周面で接触するように構成されていることを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
請求項１において、上記振動伝達部材と上記ロータ間は、ロータと同軸の円柱部と、この円柱部の外周面と嵌合する管状部とにより、円振動による回転駆動力を伝達させるための接触係合部分を形成していることを特徴とする超音波モータ。
【請求項３】
請求項１において、上記振動伝達部材と上記ロータ間は、ロータと同軸の円盤状部と、この円盤状部の外周面と嵌合する管状部とにより、円振動による回転駆動力を伝達させるための接触係合部分を形成していることを特徴とする超音波モータ。
【請求項４】
請求項１において、上記振動伝達部材と上記ロータ間は、ロータと同軸の切頭円錐部と、この切頭円錐部の傾斜側面と嵌合する円錐状孔部とにより、円振動による回転駆動力を伝達させるための接触係合部分を形成していることを特徴とする超音波モータ。
【請求項５】
請求項４において、上記ロータを上記振動伝達部材側に常時付勢するバネ部材をロータとケーシング間に介装させたことを特徴とする超音波モータ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかにおいて、上記振動子列と上記振動伝達部材の間で生じる応力を検出する板状センサ素子を介装し、このセンサ素子から超音波モータの動作に関するモニター情報を取り出すようにしたことを特徴とする超音波モータ。
【請求項７】
請求項６において、上記センサ素子の検出情報に基いて超音波モータの駆動をフィードバック制御する回路を備えたことを特徴とする超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、軸状のロータを円振動で回転駆動する超音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
超音波モータは、被回転駆動体である軸状のロータと、このロータを円振動によって回転駆動する振動ステータとにより構成される。振動ステータは、振動子たとえば圧電セラミックス薄板に電極を形成した圧電素子を用いて円振動を発生し、この円振動でロータを所定の回転方向に振動駆動する。この場合、圧電素子等の振動子を単独で励振して得られる振動のモードは、一方向（１軸方向）を往復する直線振動であって、このモードでは振動による回転駆動を行うことをできない。しかし、２つの直線振動を２方向から作用させるとともに、その２つの直線振動に所定の位相差を持たせることにより、円振動を合成して振動による回転駆動を行うことができる。たとえば、等振幅な２つの直線運動を直交方向から作用させるとともに、その２つの直線振動に９０度の位相差を持たせることにより、真円状の円振動を合成することができる。また、その２つの直線運動の交差角あるいは位相を９０度以外に選べば、任意の軸比の楕円状円振動を発生させることができる。
【０００３】
図８の（ａ）は従来の超音波モータの構成例を示す。同図に示す超音波モータは、必要な振幅／強度の振動を発生するために、板状振動子２２１を多数枚積層した振動子列２１１を使用する。この場合、各振動子２１１は、振動子列２１１の下半分の群２１１ｘと上半分の群２１１ｙとの間で振動方向が所定の角度差（９０度）を持つように配置されている。これにより、その２つの群２１１ｘ，２１１ｙを所定の位相差（９０度）で通電駆動したときに円振動を発生させることができる。この円振動は振動伝達部材２６１を介してロータ３０１の軸端面に作用させられ、これによりロータ３０１が振動駆動されて回転する。このような構成を持つ超音波モータとしては、特開平６−１５３５３６に記載の超音波アクチェータがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の超音波モータでは、振動子列２１１で発生した円振動をロータ３０１に作用させるために、図８の（ａ）に示すように、振動伝達部材２６１の先端面とロータ３０１の軸端面が軸方向に突き合う状態で接触係合させられている。しかし、この突き合わせ係合は、ロータ３０１の回転駆動を円滑かつ効率良く行わせるのに適正な当り具合を安定かつ再現性良く得るのが難しい、という問題があった。
【０００５】
また、特開平６−１５３５３６に記載の超音波アクチェータでは、「厚みすべり変位」をする板状振動子を積層した振動子列２１１を用いて円振動を発生するが、この円振動は、図８の（ｂ）に示すような屈曲変位をともなっている。このことから、特開平６−１５３５３６における「厚みすべり変位」は、正確には厚みすべり変位ではなく、水平と垂直の両変位を含む屈曲変位であると言える。ちなみに、厚みすべり振動子は本来、厚み方向と直交する板面方向に振動し、その板面に対して垂直方向の振動成分は原則として含まれないことになっている。実際は若干の垂直振動成分が含まれこともあるが、実効的には板面方向の振動だけである。
【０００６】
上記屈曲変位は、ロータの回転軸に直交する板面方向の振動と、その板面に対して垂直方向の振動とによって形成される。しかし、ロータを回駆駆動するのに有効な振動は、そのロータの回転軸と直交する面すなわち上記板面に平行な回転方向に振動する円振動であって、その直交面に対して垂直方向成分の振動は回転駆動に直接寄与しない。つまり、屈曲変位をともなう上記円振動は、ロータの回転駆動に寄与しない無効な振動成分を多く、ロータの回転駆動効率を悪くするという問題を生じさせる。
【０００７】
特開平６−１５３５３６に記載の超音波アクチェータでは、振動ステータとロータ間の接触係合状態を調整するのに十分な機構を備えているため、上述した問題は克服される。しかし、その調整機構は複雑で、スケール規模が極端に小さい場合、たとえばモータ全体を数ｍｍ以下のサイズで構成しようとすると、特開平６−１５３５３６のような複雑な調整機構を備えることができなくなるため、上述した問題が顕在化してくる。
【０００８】
この発明は以上のような問題を鑑みてなされたもので、その目的は、スケール規模が小さくて複雑な調整機構を備えることができない条件下でも、振動ステータの円振動によるロータの回転駆動を円滑かつ効率良く行わせるのに好適な接触係合状態を安定かつ再現性良く得ることができるとともに、ロータの回転駆動を効率良く行わせることができるようにした超音波モータを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の手段は、被回転駆動体である軸状のロータと、このロータを円振動によって回転駆動する振動ステータとにより構成される超音波モータにおいて、上記振動ステータは、通電駆動により厚み方向と直交する板面方向に振動する板状厚みすべり振動子を、その厚み方向に積層して振動子列を形成し、この振動子列の一端面をケーシング側に固定し、他端面を上記ロータの軸端部に接触係合する振動伝達部材に結合させるとともに、その振動子列を少なくとも２つの群に分け、各群がそれぞれ上記板面方向に発生する振動の方向が互いに所定の角度差を持つように上記振動子を積層することにより、各群を所定の位相差で通電駆動したときに、上記ロータの回転軸と直交する面と平行な円振動が合成されるようにした振動駆動ユニットを備え、上記振動伝達部材と上記ロータ間は、ロータの回転中心に対して平行または斜めを向く環状周面で接触するように構成されていることを特徴とする。
【００１０】
上記手段により、スケール規模が小さくて複雑な調整機構を備えることができない条件下でも、振動ステータの円振動によるロータの回転駆動を円滑かつ効率良く行わせるのに好適な接触係合状態を安定かつ再現性良く得ることができるとともに、ロータの回転駆動を効率良く行わせることができるようにした超音波モータを得ることができる。
【００１１】
上記実施例において、上記振動伝達部材と上記ロータ間には、円振動による回転駆動力を伝達させるための接触係合部分を、次のように構成するとよい。
（１）ロータと同軸の円柱部と、この円柱部の外周面と嵌合する管状部とによる接触係合。
（２）ロータと同軸の円盤状部と、この円盤状部の外周面と嵌合する管状部とによる接触係合。
（３）ロータと同軸の切頭円錐部と、この切頭円錐部の傾斜側面と嵌合する円錐状孔部とによる接触係合。この場合、上記ロータを上記振動伝達部材側に常時付勢するバネ部材をロータとケーシング間に介装させるとよい。
【００１２】
また、上記振動子列と上記振動伝達部材の間で生じる応力を検出する板状センサ素子を介装すれば、このセンサ素子から超音波モータの動作に関するモニター情報を取り出すことができる。たとえば、上記ロータのトルク、上記ロータの回転有無、上記ロータの回転速度のいずれかの情報を取り出すことができる。このセンサ素子の検出情報に基いて超音波モータの駆動をフィードバック制御する回路を備えた超音波モータを簡単に構成することができる。
【００１３】
そのほか、上記振動子は圧電素子が好適である。上記振動伝達部材を上記ロータよりも硬い材質で構成することにより、モータを長寿命化のはかることができる。モータを長寿命化には、上記振動伝達部材の少なくとも上記ロータと接触する面に硬化表面処理を施す構成が、より好適である。上記振動伝達部材と上記ロータの間にゴム質状の弾性体を介在させることにより、上記接触係合状態を良好にすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は本発明による超音波モータの第１実施例を示す。同図において、（ａ）は外観実施例を示す斜視図、（ｂ）はその内部構成を示す断面図、（ｃ）は要部の分解斜視図をそれぞれ示す。
同図に示す超音波モータ１０は主要な構成要素として、振動ステータ２０、被回転駆動体である軸状のロータ３０、およびケーシング４０を有する。振動ステータ２０は、振動子列２１と振動伝達部材２６により構成されている。振動子列２１と振動伝達部材２６の間には板状センサ素子２５ｘ，２５ｙが介装されている。
【００１５】
振動子列２１は、板状の厚みすべり振動子２２，２２，・・・をその厚み方向に積層したものであって、この振動子列２１の一端面はケーシング４０側に固定され、他端面は板状センサ素子２５ｘ，２５ｙを介して、ロータ３０の軸端部に接触係合する振動伝達部材２６に結合させられている。
【００１６】
各振動子２２，２２，・・・はそれぞれ、通電駆動により厚み方向と直交する板面方向に振動する。上記振動子列２１は２つの群２１ｘ，２１ｙに分けられる。各群２１ｘ，２１ｙはそれぞれ振動駆動電圧（高周波交流電圧）の通電により上記板面方向に平行な直線振動を発生する。このため、各群２１ｘ，２１ｙ内はそれぞれ、振動子２２，２２，・・・が振動方向を同じに揃えて積層されているが、一方の群２１ｘと他方の群２１ｙの間では、両者の振動方向（Ｘ，Ｙ）が互いに所定の角度差（９０度）なるように積層されている。これにより、各群２１ｘ，２１ｙを所定の位相差（９０度）で通電駆動したときに、上記ロータ３０の回転軸（Ｚ）と直交する面と平行に振動する円振動が合成されるようになっている。この円振動は振動伝達部材２６に伝達される。この円振動によりロータ３０が回転駆動される。その回転方向は通電駆動電圧の位相差を逆転させることにより切替えることができる。また、回転速度は通電駆動電圧の振幅および／または周波数により可変することができる。
【００１７】
振動伝達部材２６はロータ３０の軸端部３５と接触係合するが、その接触係合部分は、ロータ３０の回転中心に対して平行または斜めを向く環状周面で接触するように構成されている。このため、この実施例では、振動伝達部材２６にはロータ３０と同軸の円柱部が形成され、ロータ３０の軸端部３５にはその円柱部の外周面と嵌合する管状部が形成されている。この円柱状部と管状部の嵌め合わせ接触により、振動による回転駆動力を伝達する接触係合が形成されている。この接触係合は端面同士の突き合せではなく、上述したように、ロータ３０の回転中心に対して平行または斜めを向く環状周面で行われている。
【００１８】
ケーシング４０は、有底円筒状の固定ベース４１、貫通筒状の外套４３、取付用フランジ部４４などにより構成されている。上記振動子列２１は、その基端面を固定ベース４１に固定・保持されて、その反対側の先端面が円振動するようになっている。上記ロータ３０は外套４３の内側に介装された軸受４２に軸支されている。フランジ部４４には取付用の孔４５が設けられている。このケーシング４０はφ２ｍｍ程度の小規模スケールで構成されている。
【００１９】
図２は、本発明で使用する厚みすべり振動子２２の構成原理を示す。同図の（ａ）に示すように、厚みすべり振動子２２は薄板状圧電体２３の両面に電極２４を形成したものであって、このタイプは圧電素子とも呼ばれる。圧電素子は電極２４への電圧印加により形状変位が生じるが、厚みすべり振動子２２では、（ａ）に示すように、板面と平行な方向にだけ変位（矢印）が生じる。この厚みすべり振動子２２をその変位方向を揃えながら厚み方向に積層することにより、同図の（ｂ）に示すように、上記板面方向（矢印）に大きく振動する振動子列２１を形成することができる。このとき、その振動子列２１を２つの群２１ｘ，２１ｙに等分割し、一方の群２１ｘの振動方向と他方の群２１ｙの振動方向とが互いに直交するように両群２１ｘ，２１ｙ積み重ねると、その２つの群２１ｘ，２１ｙを９０度位相差で通電駆動することにより、上記板面と平行な円振動を合成することができる。この場合、上記のように、振動方向と通電位相をそれぞれ９０度にした場合は真円状の円振動を得ることができる。また、９０度以外にすると、その角度に応じて任意の軸比の楕円状円振動を得ることができる。
【００２０】
上述した本発明の超音波モータ１０では、  振動子列２１で発生した円振動をロータ３０に作用させるための係合接触が、ロータ３０の回転中心に対して平行または斜めを向く環状周面で形成されている。この環状周面での接触係合は、端面同士の突き合せによる接触係合と違って、スケール規模が小さい構造条件下にて、ロータ３０の回転駆動を円滑かつ効率良く行わせるのに適正な当り具合を安定かつ再現性良く得るのに適している。また、上記振動ステータ２０が発生する円振動は、ロータ３０の回転軸（Ｚ）と直交する面すなわち上記板面に平行な円振動であるが、この円振動はロータ３０を回駆駆動させるために効率よく作用する。
【００２１】
これにより、上述した本発明の超音波モータ１０では、スケール規模が小さくて複雑な調整機構を備えることができない条件下でも、振動ステータ２０の円振動によるロータ３０の回転駆動を円滑かつ効率良く行わせるのに好適な接触係合状態を安定かつ再現性良く得ることができるとともに、ロータ３０の回転駆動を効率良く行わせることができる。
【００２２】
また、上記実施例では、振動子列２１と振動伝達部材２６の間に２枚の板状センサ素子２５ｘ，２５ｙが積層状態で介装されているが、このセンサ素子２５ｘ，２５ｙは、振動子列２１と振動伝達部材２６の間で生じる応力を検出する。この応力は、たとえばロータ３０の回転や負荷などの状態を反映する。
【００２３】
一方のセンサ素子２５ｘは上記円振動の一方の直線振動成分方向（Ｙ）に対して生じる応力を検出する。他方のセンサ素子２５ｙは上記円振動の他方の直線振動成分方向（Ｘ）に対して生じる応力を検出する。この２つのセンサ素子２５ｘ，２５ｙの出力により、ロータ３０の駆動トルクまたは負荷トルクの状態、ロータ３０の回転有無、ロータ３０の回転速度などに関する情報を得ることができる。したがって、そのセンサ素子２５ｘ，２５ｙの検出情報を使えば、超音波モータ１０の駆動をフィードバック制御することができる。
【００２４】
上記センサ素子２５ｘ，２５ｙは、上記振動子列２１を構成する振動子２２と同じものをそのまま使用することができる。圧電素子などの振動子は可逆的な電気−機械変換素子であって、駆動電圧を与えることにより機械的変位を生じさせることができる一方、機械的圧力あるいは変位が加えられると、それに応じた電気的変位を発生する。この電気的変位をセンサ信号として取り出すようにすれば、振動子２２をそのままセンサ素子２５ｘ，２５ｙとして使用することができる。このことは低コスト化と構成の簡単化に有効である。しかし、上記振動子２２以外のセンサ素子の使用も可能である。また、センサ素子は上記のように２つ設けるのが望ましいが、１つだけでも良い。
【００２５】
図３は本発明による超音波モータの第２実施例を示す。同図において、（ａ）は内部構成を示す断面図、（ｂ）は要部の分解斜視図をそれぞれ示す。上述した実施例との相違に着目すると、この第２実施例では、振動伝達部材２６からロータ３０へ円振動による回転駆動力を伝達する接触係合部分が、ロータ３０と同軸の円盤状部と、この円盤状部の外周面と嵌合する管状部とにより形成されている。この場合、円盤状部は振動伝達部材２６の先端部に形成され、管状部はロータ３０の軸端部３５に形成されている。この構成は接触面積が少ない分、嵌め合わせ調整が容易であるといった利点がある。
【００２６】
図４は本発明による超音波モータの第３実施例を示す。同図において、（ａ）は内部構成を示す断面図、（ｂ）は要部の分解斜視図をそれぞれ示す。この実施例では、振動伝達部材２６からロータ３０へ円振動による回転駆動力を伝達する接触係合部分が、ロータ３０と同軸の切頭円錐部と、この切頭円錐部の傾斜側面と嵌合する円錐状孔部とにより形成されている。この場合、切頭円錐部は振動伝達部材２６の先端部に形成され、円錐状孔部はロータ３０の軸端部３５に形成されている。この構成は、切頭円錐部と円錐状孔部が互いに嵌め合いを案内するガイドとしての機能を有するので、組立時の位置合わせが容易であるといった利点がある。
【００２７】
図５は本発明による超音波モータの第４実施例を示す。同図に示す実施例では、図４に示したものにおいて、ロータ３０とケーシング４０間にバネ部材４６を介装させて、ロータ３０を振動伝達部材２６側に常時付勢するようにしてある。これにより、たとえば接触係合部分に磨耗等による寸法誤差が生じても、バネ部材４６により両者間に最適な接触圧力を与える続けることができる。
【００２８】
図６は本発明による超音波モータの第５実施例を示す。この実施例は、振動伝達部材２６とロータ３０の間にゴム質状の弾性体５１を介在させることを特徴とし、上述した各実施例にそれぞれ適用可能である。ゴム質状の弾性体５１は振動伝達部材２６とロータ３０間に適度の結合摩擦を生じさせることにより、振動による駆動伝達効率を高める効果が得られる。この弾性体５１は、図示の例では、振動伝達部材２６の外周面に被覆層（あるいは被着層）として形成されているが、この被覆層はロータ３０側に形成してもよい。また、その被覆層はロータ３０と振動伝達部材２６の両方に形成してもよい。
【００２９】
上記以外に各実施例に適用して好適な実施例としては、次のようなものがある。すなわち、振動伝達部材２６はロータ３０よりも硬い材質で構成することが望ましい。これにより、振動伝達部材２６の磨耗を防止あるいは低減させることができる。ロータ３０の磨耗はたとえば軸位置の再調整などで比較的容易に対応可能であるが、振動ステータ２０側の磨耗はそういった対応が困難であるため、振動伝達部材２６側の磨耗防止はモータ１０の長寿命化に有効である。
【００３０】
振動伝達部材２６の磨耗防止には、部材全体を硬い材質で構成するよりも、その部材の硬化表面処理の方が、部材の加工性や経済性の面で有利である。硬化表面効果処理としては、たとえば、たとえばチタンコーティンクのようなコーティング処理あるいはアルマイトのような化成処理などが適用できる。硬化表面処理は必ずしも振動伝達部材２６の全体でなくともよく、ロータ３０と接触する面に選択的に施すだけでもよい。
【００３１】
図７は本発明による超音波モータにフィードバック制御回路６０を付加した実施例を示す。上述したように、本発明の超音波モータ１０は、振動子列２１と振動伝達部材２６の間に２枚の板状センサ素子２５ｘ，２５ｙを積層状態で介装させることにより、ロータ３０の回転情報、たとえばトルク、回転有無、回転速度などの情報を取り出すことができるが、これらの検出情報を用いれば、超音波モータ１０の駆動をフィードバック制御する回路（あるいはシステム）６０を簡単に構成することができる。同図はそのフィードバック制御回路６０の実施例を示したものであって、この回路６０は、ＶＣＯ（電圧制御発信器）などを含む制御回路６１、この制御回路６１からの制御信号に基いて９０度位相差の駆動信号を超音波モータ１０に与える２相駆動回路６２、および上記センサ素子２５ｘ，２５ｙの検出信号（センサ信号）からロータ３０の回転情報を検出して上記制御回路６１に制御情報（誤差情報）として与える回転検出回路６３により構成される。
【００３２】
以上、本発明をその代表的な実施例に基づいて説明したが、本発明は上述した以外にも種々の態様が可能である。たとえば、円振動を合成するために振動方向を違えて積層される２つの群の振動子は、１枚あるいは２枚を交互に積層配置するようにしてもよい。
【００３３】
本発明は、上述した説明から明らかなように、請求の範囲に記載した以外に、以下の付記に記載のような態様を含む。
【００３４】
【付記１】請求項１〜７のいずれかにおいて、上記振動伝達部材を上記ロータよりも硬い材質で構成したことを特徴とする超音波モータ。
【００３５】
【付記２】請求項１〜７のいずれかにおいて、上記振動伝達部材の少なくとも上記ロータと接触する面に硬化表面処理を施したことを特徴とする超音波モータ。
【００３６】
【付記３】請求項１〜７、付記１，２のいずれかにおいて、上記振動伝達部材と上記ロータの間にゴム質状の弾性体を介在させたことを特徴とする超音波モータ。
【００３７】
【付記４】請求項６または７において、上記センサ素子から上記ロータのトルク、上記ロータの回転有無、上記ロータの回転速度のいずれかの情報を取り出すことを特徴とする超音波モータ。
【００３８】
【付記５】請求項１〜７，付記１，２の何れかにおいて、上記振動伝達部材と上記ロータの間に主材と異なる金属を介在させたことを特徴とする超音波モータ。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、スケール規模が小さくて複雑な調整機構を備えることができない条件下でも、振動ステータの円振動によるロータの回転駆動を円滑かつ効率良く行わせるのに好適な接触係合状態を安定かつ再現性良く得ることができるとともに、ロータの回転駆動を効率良く行わせることができるようにした超音波モータを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による超音波モータの第１実施例を示す外観斜視図、断面図、および要部分解斜視図である。
【図２】本発明で使用する厚みすべり振動子の構成原理を示す図である。
【図３】本発明による超音波モータの第２実施例を示す断面図および要部分解斜視図である。
【図４】本発明による超音波モータの第３実施例を示す断面図および要部分解斜視図である。
【図５】本発明による超音波モータの第４実施例を示す断面図である。
【図６】本発明による超音波モータの第５実施例を示す断面図である。
【図７】本発明による超音波モータにフィードバック制御回路を付加した実施例を示すブロック図である。
【図８】従来の超音波モータの構成例を示す断面図および振動子の変位モードを示す図である。
【符号の説明】
１０  超音波モータ              ２０  振動ステータ
２１  振動子列                  ２１ｘ，２１ｙ  振動子列の分割群
２２  厚みすべり振動子          ２３  薄板状圧電体
２４  電極                      ２５ｘ，２５ｙ  センサ素子
２６  振動伝達部材              ３０  ロータ
３５  軸端部                    ４０  ケーシング
４１  固定ベース                ４２  軸受
４３  外套                      ４４  フランジ部
４５  取付用の孔                ４６  バネ部材
５１  ゴム質状の弾性体          ６０  フィードバック制御回路
６１  制御回路                  ６２  ２相駆動回路
６３  回転検出回路            ２２１  板状振動子
２１１  振動子列                ２１１ｘ，２１１ｙ  振動子列の分割群
２６１  振動伝達部材            ３０１  ロータ
【図１】
2004229387.tif 000003
【図２】
2004229387.tif 000004
【図３】
2004229387.tif 000005
【図４】
2004229387.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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