(57)【要約】【課題】駆動流量を増加させるとともにエネルギ変換効率に優れた液体駆動機構、すなわちマイクロポンプを提供する。【解決手段】熱電素子１０に交流電力を入力し、伝熱面上で周囲からの吸熱及び周囲への放熱を交互に繰り返し、チャンネル２３内で作動液体２１内の沸騰・凝縮を周期的に発生させ、液体の体積変化を駆動源に液体を駆動する。微小液体をヒータ手段によって加熱することによって搬送するマイクロポンプは、ヒータ手段は吸熱面と放熱面との２つの伝熱面をそれぞれ備えた複数個の熱電素子と、該熱電素子を位相の異なる交流電力を投入する交流電源と、及び前記吸熱面と放熱面とに設けられた電気絶縁層とからなり、前記吸熱面と放熱面のそれぞれに熱的に接続された微小液体が流過するチャンネルと、及び該チャンネルに設けられた放熱手段とを含んで構成される。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小液体を加熱することによって搬送するマイクロポンプにおいて、吸熱面と放熱面の２つの伝熱面を備えた熱電素子と、該熱電素子を駆動する交流電源と、および前記吸熱面と放熱面とのそれぞれに熱的に接続された微小液体が流過するチャンネルとを含んで構成されることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２】
微小液体を加熱することによって搬送するマイクロポンプにおいて、吸熱面と放熱面の２つの伝熱面を備えた熱電素子と、該熱電素子を駆動する交流電源と、および流入口と流出口とを有し、２つの電熱面に熱的に接続される部分にあっては並列配置とされ、前記吸熱面と放熱面とのそれぞれに熱的に接続された微小液体が流過する少なくとも２つのチャンネルとを含んで構成されることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項３】
微小液体を加熱することによって搬送するマイクロポンプにおいて、吸熱面と放熱面との２つの伝熱面を備えた熱電素子と、該熱電素子を駆動する交流電源と、および２つの伝熱面に熱的に接続される部分にあっては並列配置とされ、前記吸熱面と放熱面のそれぞれに熱的に接続された微小液体が一方向に流過するチャンネルとを含んで構成されることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項４】
微小液体をヒータ手段によって加熱することによって搬送するマイクロポンプにおいて、前記ヒータ手段は吸熱面と放熱面との２つの伝熱面をそれぞれ備えた複数個の熱電素子と、該熱電素子を位相の異なる交流電力を投入する交流電源と、および前記吸熱面と放熱面とに設けられた電気絶縁層とからなり、前記吸熱面と放熱面のそれぞれに熱的に接続された微小液体が流過するチャンネルと、および該チャンネルに設けられた放熱手段とを含んで構成されることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項５】
微小液体をポンプ手段で搬送する微小液体搬送方法において、チャンネル内に導入した液体に対し蒸発および凝縮を交互に発生させ、チャンネル内の微小液体を搬送させることを特徴とする微小液体搬送方法。
【請求項６】
請求項６において、熱電素子を使用して放熱と吸熱とを同時に発生させ、チャンネル内の一部において蒸発を、そして他部において凝縮を発生させ、次いで一部において凝縮を、そして他部において蒸発を発生させることを特徴とする微小液体搬送方法。
【請求項７】
微小液体によって熱量を輸送する流路を備えた熱輸送デバイスにおいて、該流路に吸熱面と放熱面との２つの伝熱面を備えた熱電素子を熱輸送容器に設けて熱輸送容器上に設けた放熱ヒートシンクに微小液体の輸送を行うことを特徴とする熱輸送デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばマイクロポンプなどに用いられる、微量な液体を駆動・制御して搬送する液体搬送機構および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
微小液体を搬送するマイクロポンプの液体駆動方式として、多様な流体駆動方式が提案・利用されている。従来技術の流体駆動機構としては、１９９５年に開催されたＩＥＥＥのＭＥＭＳカンファレンスの予稿集３１〜３６頁に、複数のヒータを流路に並べ、ヒータ加熱により流路内の液体を蒸発させ、さらに複数のヒータの加熱位置とタイミングを制御することで流体を一方向へ搬送する流体駆動機構が開示されている。
【０００３】
また、特開２０００−２２０５７５号公報には、厚さ方向に穿設される孔を長手方向に複数個配列する基板と、該基板の各孔の基板表面側の開口を閉じるダイアフラムと、前記基板の表面側に配設され、前記基板の表面側に圧送流体が流れる流路空間を形成する流路板と、前記孔内に作動流体を封入する封入基板と、該封入基板に配設され基板の各孔内の作動流体をそれぞれ加熱可能な加熱機構と、を有し、該加熱機構によって作動流体の体積を膨張させて各ダイアフラムを順次膨出させることにより流路空間内の圧送流体を圧送するマイクロポンプであって、前記加熱機構は、電流を流すことにより発熱するヒータを用いるマイクロポンプが記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術では、ヒータ加熱による気泡発生は容易だが、発生した蒸気から能動的に熱を奪って凝縮させる手段がないため、蒸発・凝縮のサイクルを完結するために要する時間が長く、その結果単位時間当たりの流量を増加させるのが困難だった。また同じ理由から、流量の制御が困難であった。
【０００５】
本発明の目的は、駆動流量の増加を容易に可能にするとともに、応答性のよいエネルギ変換効率に優れたマイクロポンプ液体駆動機構および微小液体搬送方法を得ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、微小液体を加熱することによって搬送するマイクロポンプにおいて、吸熱面と放熱面との２つの伝熱面を備えた熱電素子と、該熱電素子を駆動する交流電源と、および前記吸熱面と放熱面のそれぞれに熱的に接続された微小液体が流過するチャンネルとを含んで構成されるマイクロポンプによって達成される。
【０００７】
また、上記目的は、微小液体を加熱することによって搬送するマイクロポンプにおいて、吸熱面と放熱面との２つの伝熱面を備えた熱電素子と、該熱電素子を駆動する交流電源と、および流入口と流出口とを有し、２つの電熱面に熱的に接続される部分にあっては並列配置とされ、前記吸熱面と放熱面のそれぞれに熱的に接続された微小液体が流過する少なくとも２つのチャンネルとを含んで構成されるマイクロポンプによって達成される。
【０００８】
また、上記目的は、微小液体を加熱することによって搬送するマイクロポンプにおいて、吸熱面と放熱面との２つの伝熱面を備えた熱電素子と、該熱電素子を駆動する交流電源と、および流入口と流出口とを有し、あるいは両端を封止し、２つの伝熱面に熱的に接続される部分にあっては並列配置とされ、前記吸熱面と放熱面のそれぞれに熱的に接続された微小液体が一方向に流過するチャンネルとを含んで構成されるマイクロポンプによって達成される。
【０００９】
また、上記目的は、微小液体をヒータ手段によって加熱することによって搬送するマイクロポンプにおいて、前記ヒータ手段は吸熱面と放熱面の２つの伝熱面をそれぞれ備えた複数個の熱電素子と、該熱電素子を位相の異なる交流電力を投入する交流電源と、および前記吸熱面と放熱面とに設けられた電気絶縁層とからなり、前記吸熱面と放熱面のそれぞれに熱的に接続された微小液体が流過するチャンネルと、および該チャンネルに設けられた放熱手段とを含んで構成されるマイクロポンプによって達成される。
【００１０】
また、上記目的は、微小液体をポンプ手段であるマイクロポンプで搬送する微小液体搬送方法において、チャンネル内に導入した液体に対し蒸発および凝縮を交互に発生させ、チャンネル内の微小液体を搬送させる微小液体搬送方法によって達成される。
【００１１】
本発明の微小液体搬送方法は、熱電素子を使用して放熱と吸熱とを同時に発生させ、チャンネル内の一部において蒸発を、そして他部において凝縮を発生させ、次いで一部において凝縮を、そして他部において蒸発を発生させることを１つの特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図５に基づいて、本発明の実施形態を説明する。まず図１乃至図３を用いて、本発明による第１実施形態である流体圧送機構、即ちマイクロポンプを説明する。図１はマイクロポンプの構成図、図２ａ〜ｆはマイクロポンプの動作状態を時系列に示した図、図３は本マイクロポンプの動作時における各電源から出力する波形の例を示したものである。
【００１３】
始めに図１を用いてマイクロポンプの構成を説明する。
まず、本マイクロポンプの基本構成要素である熱電素子について説明する。熱電素子１０は、Ｐ形半導体１１ｐとＮ形半導体１１ｎと、その接合部を展開する形で形成される伝熱面１２ｎ、１２ｐ、および各伝熱面上で電気絶縁性を確保するために設けられた絶縁層１３（１３ａ，１３ｂ）から構成される。熱電素子１０は、Ｎ形半導体１１ｎからＰ形半導体１１ｐへ向かって電流が流れた場合、Ｎ形半導体とＰ形半導体の接合部、即ち伝熱面１２ｎで吸熱効果（ペルチェ効果）を発生し、周囲から熱を汲み上げる。例えば図１では、熱電素子１０に対し時計周りに電流が流れた場合、伝熱面１２ｎは吸熱面として周囲から熱を奪う。一方伝熱面１２ｐは放熱面として周囲へ熱を放散する、即ち周囲を加熱する。図１に示す実施形態では、このような熱電素子を３個備えている。１個でもよい。各熱電素子１０ａ〜１０ｃには、それぞれの素子に対し電流を流すための交流電源である電源３０（３０ａ，３０ｂ，３０ｃ）が接続され、図３に示すような交流波形を各熱電素子へ出力する。
【００１４】
次に流路部であるチャンネル２３の構成を説明する。流入口２４ａおよび流出口２４ｂの間にはチャンネル２３ｐおよび２３ｎが並列に挿入される。チャンネル２３ｐには熱電素子１０ａ〜１０ｃの伝熱面１２ｐ側が、チャンネル２３ｎには熱電素子１０ａ〜１０ｃの伝熱面１２ｎ側が、絶縁層１３を介し、チャンネルの流れ方向に沿ってそれぞれ熱的に接続される。チャンネル２３ｐ、２３ｎには作動液体２１が導入される。少なくともさらに各チャンネル２３と熱電素子１０との間に外気に対し放熱を行うための放熱手段であるヒートシンク２５が設けられる。
【００１５】
ここでチャンネルの寸法、特に断面積は、作動させる液体の表面張力および液体とチャンネル内面の材質から決まる接触角に応じて、発生した気泡が容易にチャンネル断面全体と覆う、即ち容易にプラグを形成できる程度に小さくすることが、液体の圧送を効率良く行うために望ましい。
【００１６】
次に図２ａ〜図２ｆおよび図３を用いて、図１に示したマイクロポンプの動作を説明する。図２ａ〜図２ｆは液体振動機構の動作状態を時系列にして示した図である。
まず初期状態（図１）では、３つの電源３０ａ，３０ｂ，３０ｃのスイッチ３１ａ，３１ｂ，３１ｃはいずれも切れており、各熱電素子１０には電流が流れない。
【００１７】
次に図２ａでは、図１に対し左側の電源３０ａのスイッチ３１ａが入り、熱電素子１０ａが動作を始める。ここで熱電素子１０ａに与える波形は図３に示す通り、一定の時間巾のパルスが交互に極性を変える形の、いわゆる交流波形（３０ａの電圧波形）が出力される。図２ａ〜図２ｆでは、図３に示したプラス側に通電される場合、時計周りに電流が流れるものとする。即ち図３においてプラス側にパルス出力があった場合、伝熱面１２ｎは吸熱面で、１２ｐが加熱面となる。各熱電素子１０は、吸熱面と加熱面の２つの伝熱面を同時に形成する。パルス出力は加熱面１２ｐ上のチャンネル内液体を沸騰させる程度大きな値とし、パルス巾は少なくともチャンネル内の液体が沸騰を開始するまでとする。以上の結果、加熱面１２ｐ上のチャンネル２３ｐ内には沸騰により気泡３２ａが発生し、それまで加熱面１２ｐ上にあった液体２１を押しのける。これによって矢印に示すように液体の連動が発生し、微小液体は搬送される。一方吸熱面１２ｎはチャンネル２３ｎ内の液体２１から、図に矢印で示すように、熱を奪い、すなわち放熱（加熱）し、液体を吸熱（冷却）する。
【００１８】
次に図２ｂでは、図２ａの状態に引き続き、電源３０ｂのスイッチ３１ｂが入り、熱電素子１０ｂが、図２ａにおける熱電素子１０ａと同様な動作を行い、気泡３２ｂが発生する。このとき電源３０ａの放熱面１２ｎ上で発生した気泡３２ａはそのまま保持されている。図３において、３０ａとは位相を違えたパルス（３０ｂの電圧波形）が発生する。図３ではこの時点で電源３０ａからパルスは出力されていないが、構成条件によっては通電を継続しないと気泡が消滅する場合もあるため、その場合は電源３０ａからパルスを引き続き出力させるものとする。
【００１９】
図２ｃも同様に、図２ｂの状態に引き続き、電源３０ｃのスイッチ３１ｃが入り、熱電素子１０ｃが動作を始め気泡３２ｃが発生する。
以上、図２ａから２ｃまでの一連の動作により気泡３２がチャンネル２３ｐ内に左から順に発生し、これが液体２１のぜん動運動を生み出し、その結果、チャンネル２３ｐ内の液体２１が左から右方向へ圧送される。
【００２０】
次に図２ｄでは電源３０ａがマイナス側にパルスを出力（図３参照）するため、これまで放熱面として気泡を発生・保持させていた伝熱面１２ｐはここでは吸熱面となり、周囲から熱を奪う。その結果、それまで保持されていた気泡が急速に凝縮する。
一方これまで吸熱面だった伝熱面１２ｎは、今度は放熱面となってチャンネル２３ｐ内に気泡３３ａを発生する。以降、図２ｅおよび図２ｆでは同様に各電源がマイナス側にパルスを出力する結果、気泡３３ｂ，３３ｃがチャンネル２３ｎ内で左から右へ順に発生し、チャンネル２３ｎ内の液体２１が左から右方向へぜん動により圧送される。これと並行してチャンネル２３ｐ内では、それまで保持されていた気泡が吸熱作用によって凝縮し、やはり左から右へ順に消滅していく。
【００２１】
以上のように、吸熱面と放熱面の２つの伝熱面を備えた少なくとも１つもしくは２つ以上の熱電素子１０と、該熱電素子を駆動する電源３０と、流入口２４ａと流出口２４ｂと、１つもしくは２つのチャンネル２３からなり、該チャンネル２３は流入口２４ａおよび流出口２４ｂに対し並列に接続され、かつ該チャンネル２３は各熱電素子１０の一方の伝熱面（１２ｐ，１２ｎ）にそれぞれ熱的に接続され、各熱電素子１０は各電源３０より出力されるそれぞれ位相の異なる交流電力により、チャンネル内に導入した液体に対し蒸発・凝縮を交互に発生させ、チャンネル内の液体を駆動、すなわち搬送させるマイクロポンプが構成される。
【００２２】
この場合に、熱電素子１０に交流電流を入力し、伝熱面上で周囲からの吸熱および周囲への放熱を交互に繰り返すことで、チャンネル２３内で作動液体２１内の沸騰・凝縮を周期的に発生させ、そのときの液体の体積変化を駆動源に液体を駆動する。
【００２３】
次に上述した本実施形態の構成における作用効果を説明する。
まず、ポンプ性能から見た作用効果を説明する。
本実施形態では、熱電素子特有の冷却（吸熱）作用により発生気泡の凝縮を促進できることで、気泡を凝縮（消滅）させる時間が短くなり、気泡の発生・消滅のサイクル数を増加させることができる。その結果、圧送できる液体の量を増加させることができたり、応答性を含めた液体の制御性を向上させることができる。このような冷却作用を伴わない、例えばヒータによる加熱（放熱）のみで上述した流体駆動を実現しようとした場合、加熱によって発生した気泡を凝縮させるために冷却することが困難であるか、冷却できたとしても凝縮させるのに多くの冷却時間を必要とし、その結果、気泡の発生・消滅のサイクル数を増加させることができない。
【００２４】
次に、エネルギ変換効率から見た作用効果を説明する。
本実施形態では、熱電素子の放熱面と吸熱面のいずれにも、同一方向にぜん動運動を発生させるチャンネルを並列に形成することができる。すなわち熱電効果により発生する加熱・冷却作用が無駄なく液体の駆動に寄与していることから、エネルギ変換効率に優れた液体駆動機構を提供することができる。このようにチャンネルを並列に形成しない場合でも、加熱・冷却を繰り返すことで液体を駆動することは可能だが、液体と熱的な接続のない他方の伝熱面での熱交換が仕事に変換されないため、装置全体としてのエネルギ変換効率は低くならざるを得ない。
【００２５】
次に、本実施形態における各チャンネルに設けたヒートシンク２５の作用効果を説明する。
熱電素子はその特性上、通電時の吸熱量と放熱量は一致せず、常に放熱量の方が大きい。そのため、本実施形態で示した動作を継続させると、熱電素子を含めた機構全体が温度上昇してしまい、チャンネル内で液体が保持できなくなる可能性がある。そこでヒートシンク２５をこのマイクロポンプに取り付けることで、熱電素子１０の加熱面から液体２１へ伝わった熱の一部を外気へ放散するようにバランスさせることで、機構全体の温度上昇を適切な値に抑制するものである。
以上までに説明した通り、本実施例のマイクロポンプは液体の相変化を利用したものであるから、その駆動条件は、作動液体の物性やヒートシンクの放熱条件に依存する。
【００２６】
次に、本発明による第２実施形態である液体振動機構、すなわちマイクロポンプを説明する。図４は液体振動機構の構成図、図５ａ〜図５ｆは液体振動機構の動作状態を時系列に示した図である。なお、本実施形態においては第１実施形態と共通する構成を一部省略すると共に、重複する説明を省略する。実施形態の図における同一符号は同一物又は相当物を示す。
【００２７】
はじめに本実施形態の液体振動機構の用途を説明する。本実施形態は例えば通称「ドリームパイプ」と呼ばれる、液体の振動により振動方向への熱輸送が促進される熱輸送デバイスとして使用することができるものである。
次に図４を用いて本実施形態の構成を説明する。第１実施形態に対し、熱電素子１０に備わる伝熱面１２ｎおよび１２ｐ上のチャンネルを直列に接続し、チャンネルの両端を封止した。チャンネル内は２相性流体、例えば水やエタノールといった液体が減圧されて所定量封入され、液体は気液２相状態でチャンネル内に存在する。この封入状態は通常のヒートパイプと同様である。ここでは特に、初期封入の段階で気相がチャンネル端部、図４では伝熱面１２ｎ側に滞留するように封入する。
【００２８】
次に図５ａ〜図５ｆを用いて、図４に示した液体振動機構の動作を説明する。
まず初期状態（図４）では、電源３０のスイッチ３１は切れており、熱電素子１０には電流が流れない。
次に図５ａでは、電源３０のスイッチが入り、熱電素子１０が動作を始める。ここで熱電素子１０に与える波形は図３に示したものと同様、一定の時間巾のパルスが交互に極性を変える形のいわゆる交流波形である。図５ａでは、はじめに時計周りに電流が流れるものとする。このとき伝熱面１２ｎは吸熱面で、１２ｐが加熱面となる。パルス出力は加熱面１２ｐ上のチャンネル内液体を沸騰させる程度大きな値とし、パルス巾は少なくともチャンネル内の液体が沸騰を開始するまでとする。以上の結果、図５ｂに示すとおり、加熱面１２ｐ上のチャンネル内には沸騰により気泡３４ｄが発生し、それまで加熱面１２ｐ上にあった液体２１を右側に押しのける。一方吸熱面１２ｎはチャンネル２３ｎ内の気相３４ｅから熱を奪い、気相３４ｅは凝縮を始める。以上の変化を進むと、最終的に図５ｃに示す通り、気相の位置が伝熱面１２ｐ側に移動する。
【００２９】
次に図５ｄから図５ｆでは、伝熱面１２ｐが吸熱面となり、伝熱面１２ｎが加熱面となって各液体を相変化させ、気相は伝熱面１２ｎ側に戻り、気相３５ａは凝縮する。以上の動作を繰り返すことで、液体が連続して振動を行う。このように、可逆的に微小液体が一方向に流過（搬送）するチャンネルが構成される。
【００３０】
本実施形態の作用効果は、第１実施形態と同様、熱電素子特有の冷却（吸熱）作用により発生気泡の凝縮を促進できることで、気泡を凝縮（消滅）させる時間が短くなり、振動周波数を大きくすることができ、熱拡散を促進する。また、熱電効果により発生する加熱・冷却作用が無駄なく液体の駆動に寄与していることから、エネルギ変換効率に優れた液体振動機構を提供することができる。
【００３１】
ヒートシンク２５についても、第１実施形態と同様、熱電素子１０の加熱面から液体２１へ伝わった熱の一部を外気へ放散するようにバランスさせることで、機構全体の温度上昇を適切な値に抑制するものである。
本実施形態の液体振動機構も液体の相変化を利用したものであるから、その駆動条件は、作動液体の物性やヒートシンクの放熱条件に依存する。
【００３２】
以上のように、吸熱面と放熱面の２つの伝熱面を備えた少なくとも１つ以上の熱電素子と、該熱電素子を駆動する電源と、１つのチャンネルからなり、該チャンネルは２つの伝熱面に対し熱的に接続され、熱電素子は電源から出力される交流電力により、チャンネル内に導入した液体に対し蒸発・凝縮を交互に発生させ、チャンネル内の液体を振動させるマイクロポンプが構成される。
以上の手段において、チャンネル内液体以外の媒体への放熱手段を有するが特に好ましい。
【００３３】
図６および図７は、本実施例を熱輸送デバイスに適用した例を示す。
図６に、熱輸送デバイス１０１の構成を示す。熱輸送デバイス１０１は、熱輸送容器１０２とこの熱輸送容器１０２内に配設した、前述した吸熱面と放熱面との２つの伝熱面を備えた第２実施形態である液体振動機構１０３（ペルチェ素子）を有する。熱輸送容器１０２上には、発熱体１０４、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）が一端側に、そして外気放熱用ヒートシンク１０５が多端側に配設される。外気放熱用ヒートシンク１０５はヒートシンク２５を兼ねる。外気放熱用ヒートシンク１０５の側方にファン１０７が設けられる。第２実施形態である液体振動機構１０３を駆動する電気回路はファン１０７の電気回路と組み合わせて構成される。
【００３４】
図７は、図６に示す熱輸送容器１０２の内部構成を示す。熱輸送容器１０２の内部には、流路１０６（１０６ａ、１０６ｂ）が形成される。流路１０６ａに前述した第２実施形態である液体振動機構１０３が設けられる。１０６ｂは、並行した複数の流路であり、流路１０６ａと接続されて１つの流路となっている。このような構成によれば、第２実施形態である液体振動機構１０３によって微小液体が流路１０６を介して輸送され、微小液体によってＣＰＵで発生した熱量は流路１０６を移送され、放熱用ヒートシンク１０５によって外気に放散される。このようにＣＰＵ等の局所発熱を離れた放熱し易い場所に熱輸送して放熱する。
【００３５】
【発明の効果】
本発明によれば、蒸発・凝縮のサイクル数を大きくすることが容易に可能となり、高性能化で応答性を含めた制御性に優れ、かつエネルギ変換効率に優れた液体駆動機構（マイクロポンプ）が実現する。さらに本駆動機構には可動部位がないことから、信頼性に優れた液体駆動機構が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態におけるマイクロポンプの構成図である。
【図２ａ】本発明の第１実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（１）にして説明する図である。
【図２ｂ】本発明の第１実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（２）にして説明する図である。
【図２ｃ】本発明の第１実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（３）にして説明する図である。
【図２ｄ】本発明の第１実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（４）にして説明する図である。
【図２ｅ】本発明の第１実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（５）にして説明する図である。
【図２ｆ】本発明の第１実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（６）にして説明する図である。
【図３】本発明の第１実施形態におけるマイクロポンプの電源の動作を説明する図である。
【図４】本発明の第２実施形態における液体振動機構の構成図である。
【図５ａ】本発明の第２実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（１）にして説明する図である。
【図５ｂ】本発明の第２実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（２）にして説明する図である。
【図５ｃ】本発明の第２実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（３）にして説明する図である。
【図５ｄ】本発明の第２実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（４）にして説明する図である。
【図５ｅ】本発明の第２実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（５）にして説明する図である。
【図５ｆ】本発明の第２実施形態におけるマイクロポンプの動作を時系列（６）にして説明する図である。
【図６】応用例である熱輸送デバイスの概略構成を示す図である。
【図７】図６の一部構成を示す図である。
【符号の説明】
１０…熱電素子、１０ｐ…Ｐ形半導体、１０ｎ…Ｎ形半導体、１２…伝熱面、１３…絶縁層、２１…液体（液相）、２３…チャンネル、２４ａ…流入口、２４ｂ…流出口、３０…電源、３２ａ，３２ｂ，３２ｃ…気泡。
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図２ｄ】
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【図２ｅ】
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【図２ｆ】
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【図３】
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【図４】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図５ｃ】
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【図５ｄ】
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【図５ｅ】
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【図５ｆ】
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【図６】
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【図７】
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