(57)【要約】【課題】要求される検査仕様を満たし、ヘッドの形式に制限されることなくヘッド着脱時にヘッドとディスクとを十分に離すことができ、かつ、小型で簡素な検査装置の提供【解決手段】ディスクドライブ装置に具備されるディスクおよびヘッドの少なくとも一方を検査する検査装置において、ディスクを回転させるディスク回転手段とヘッドを回転位置決めする回転位置決め手段とを備え、さらに、回転位置決め手段は、回転位置決め手段の回転中心に対するヘッドの姿勢が、ディスクドライブ装置内におけるヘッドの回転中心に対するヘッドの姿勢に対して傾くようにヘッドを支持するようにする。【選択図】図６
2004362634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドをディスク上に回転位置決めし、ヘッドを用いてディスクに情報を記録し、または、ディスクから情報を再生するディスクドライブ装置に具備されるディスクおよびヘッドの少なくとも一方を検査する検査装置において、
前記ディスクを回転させるディスク回転手段と、
前記ヘッドを回転位置決めする回転位置決め手段と、
を備え、
前記回転位置決め手段は、前記回転位置決め手段の回転中心に対する前記ヘッドの姿勢が、前記ディスクドライブ装置内における前記ヘッドの回転中心に対する前記ヘッドの姿勢に対して傾くように前記ヘッドを支持する、
ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記回転位置決め手段は、前記回転位置決め手段の回転中心および前記ヘッドのギャップ中心を通る線と前記ヘッドのギャップ中心線とがなす角度が、前記ディスクドライブ装置内における前記ヘッドの回転中心および前記ヘッドのギャップ中心を通る線と前記ヘッドのギャップ中心線とがなす角度に対してオフセットした角度となるように前記ヘッドを支持する、
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記ヘッドは、前記ディスク上の第一のトラック上に位置決めされ、
前記ディスク回転手段の回転中心と前記回転位置決め手段の回転中心との距離をＤ、前記回転位置決め手段の回転中心と前記ヘッドのギャップ中心との距離をＬ、前記第一のトラックの半径をＲＸ、前記第一のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＸ、前記オフセット角度をφとするとき、次式が成立するように構成されることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【数１】
2004362634.tif 000011
【請求項４】
前記ヘッドは、前記ディスク上の第一のトラック上と第二のトラック上とに位置決めされ、
前記ディスク回転手段の回転中心と前記回転位置決め手段の回転中心との距離をＤ、前記回転位置決め手段の回転中心と前記ヘッドのギャップ中心との距離をＬ、前記第一のトラックの半径をＲＸ、前記第二のトラックの半径をＲＹ、前記第一のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＸ、前記第二のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＹ、前記オフセット角度をφとするとき、次式が成立するように構成されることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【数１】
2004362634.tif 000012
【数２】
2004362634.tif 000013
【請求項５】
前記ヘッドは、ウナマウントヘッドである事を特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】
ヘッドをディスク上に回転位置決めし、ヘッドを用いてディスクに情報を記録し、または、ディスクから情報を再生するディスクドライブ装置に具備されるディスクおよびヘッドの少なくとも一方を、ディスク回転手段と回転位置決め手段とを用いて検査する方法において、
前記ディスク回転手段により、前記ディスクを回転させる第一のステップと、
前記回転位置決め手段により、前記回転位置決め手段の回転中心に対する前記ヘッドの姿勢が、前記ディスクドライブ装置内における前記ヘッドの回転中心に対する前記ヘッドの姿勢に対して傾くように前記ヘッドを支持し位置決めする第二のステップと、
を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項７】
前記第二のステップにおいて、前記ヘッドは、前記回転位置決め手段により、前記回転位置決め手段の回転中心および前記ヘッドのギャップ中心を通る線と前記ヘッドのギャップ中心線とがなす角度が、前記ディスクドライブ装置内における前記ヘッドの回転中心および前記ヘッドのギャップ中心を通る線と前記ヘッドのギャップ中心線とがなす角度に対してオフセットした角度となるように支持される、
ことを特徴とする請求項６に記載の検査方法。
【請求項８】
前記ヘッドは、前記ディスク上の第一のトラック上に位置決めされ、
前記ディスク回転手段の回転中心と前記回転位置決め手段の回転中心との距離をＤ、前記回転位置決め手段の回転中心と前記ヘッドのギャップ中心との距離をＬ、前記第一のトラックの半径をＲＸ、前記第一のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＸ、前記オフセット角度をφとするとき、次式が成立することを特徴とする請求項７に記載の検査方法。
【数１】
2004362634.tif 000014
【請求項９】
前記ヘッドは、前記ディスク上の第一のトラック上と第二のトラック上とに位置決めされ、
前記ディスク回転手段の回転中心と前記回転位置決め手段の回転中心との距離をＤ、前記回転位置決め手段の回転中心と前記ヘッドのギャップ中心との距離をＬ、前記第一のトラックの半径をＲＸ、前記第二のトラックの半径をＲＹ、前記第一のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＸ、前記第二のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＹ、前記オフセット角度をφとするとき、次式が成立することを特徴とする請求項７に記載の検査方法。
【数１】
2004362634.tif 000015
【数２】
2004362634.tif 000016
【請求項１０】
前記ヘッドは、ウナマウントヘッドである事を特徴とする請求項６乃至請求項９のいずれかに記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヘッドまたはディスクの検査装置および検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のヘッドまたはディスクの検査装置は、ヘッドおよびディスクの配置をヘッドおよびディスクが組み込まれるディスクドライブ装置内における配置と同じにして、検査を行う（例えば、特許文献１、特許文献２、および、特許文献３を参照。）。
【０００３】
例えば、従来のヘッドまたはディスクの検査装置は、ディスクを支持し回転させるディスク回転装置と、ヘッドを支持するアームと、アームを回転位置決めする回転位置決め装置と、ディスク回転装置と回転位置決め装置とを相対位置決めする相対位置決め手段とを備えている。そして、アームの長さは、ヘッドおよびディスクが組み込まれるディスクドライブ装置内におけるアームの長さと等しくされる。また、ディスク回転装置とアームとの相対距離も、ヘッドおよびディスクが組み込まれるディスクドライブ装置内におけるディスク回転装置とアームとの相対距離に等しくされる。これは、ヘッドまたはディスクを試験する際に、ヘッドがディスク上の所定の半径位置において所定のスキュー角をなすように、ヘッドまたはディスクの検査仕様が定められているからである（例えば、特許文献１を参照。）。なお、スキュー角については、後に詳述する。
【０００４】
このような半径位置とスキュー角に対する要求は、全てのヘッドおよびディスクに存在する。従って、従来のヘッドまたはディスクの検査装置は、様々な半径位置およびスキュー角を実現できるような機構を備えている。
【０００５】
ところで、ヘッドには、ウナマウント（Ｕｎａ−ｍｏｕｎｔ）と呼ばれる形式のヘッドがある。以降、このヘッドをウナマウントヘッドと称する。一般的なヘッドは、記録素子と再生素子とを具備するスライダーと、スライダーを支持するサスペンションと、サスペンションを支持するマウントプレートとを備える。ウナマウントヘッドは、マウントプレートが延伸され、ヘッドの回転中心を内部に含む構造を有することを特徴としている。ウナマウントヘッドは、上述のような構造を有するので、他の形式のヘッドと比べて、ディスクドライブ装置の構造を簡素化かつ小型化することができるという特徴がある。
【０００６】
ここで、ウナマウントヘッド１００の外形を、図１と図２に示す。図１と図２は、ウナマウントヘッド１００の表と裏を示している。以下、図１と図２を参照する。スライダー１１０、サスペンション１２０、および、マウントプレート１３０は、上記の説明の通りである。また、軸受け１４０は、ウナマウントヘッド１００が回転位置決め装置に取り付けられる部分である。中心Ｃ１は、軸受け１４０の中心であり、ウナマウントヘッド１００は中心Ｃ１を中心に回転する。ギャップ中心線Ｇは、スライダー１１０のギャップ中心線である。
【０００７】
ここで、図２に示すスライダー１１０を拡大した図を図３に示す。以下、図３を参照する。スライダー１１０は、ディスクに向かい合う面が示されている。スライダー１１０は、記録素子のギャップ１１１と再生素子のギャップ１１２を有する。一般に、記録素子のギャップは、ライト・ギャップとも称される。また、再生素子のギャップは、リード・ギャップとも称される。さらに、記録素子のギャップの中心または再生素子のギャップの中心は、単にギャップ中心またはギャップ位置と称される。記録素子または再生素子のいずれをもってギャップ中心と称するかは、ヘッドの検査仕様に従う。図３において、ギャップ中心１１３は、記録素子のギャップ１１１の中心である。また、特に断りのない限り、本明細書において、ギャップ中心は、記録素子のギャップ中心とする。図３において、ギャップ中心線Ｇは、記録素子のギャップ１１１に直交し、記録素子のギャップ１１１の中央を通る直線である。また、特に断りのない限り、本明細書において、ギャップ中心線は、記録素子のギャップに直交し記録素子のギャップ中心を通る直線とする。（ギャップ中心線は、ギャップ中心と軸受け中心とを通る線に平行なのか、さらに一致するのか？または、平行ヘッド中心線に平行する直線とする。
【０００８】
ちなみに、ヘッドをトラックに位置決めするということは、そのヘッドのギャップ中心をトラック上に位置決めするということである。また、スキュー角は、ディスク上に位置決めされたヘッドの、円周方向に対する傾きである。さらに詳しく言えば、スキュー角は、ディスク上のトラック上に位置決めされたヘッドのギャップ中心線と、そのヘッドのギャップ中心におけるトラック円の接線とがなす角度である。スキュー角は、ヘッドのギャップからマウントプレート方向に伸延されたギャップ中心線が、ヘッドのギャップ中心におけるトラック円の接線に対して外周側に開く場合を正とする。また、スキュー角は、そのギャップ中心線が接線に一致する場合は零であり、内周側に開く場合は負である。
【０００９】
ここで、ウナマウントヘッド１００が位置決めされる様子を図４と図５に示す。なお、図５において、ディスク２００は、図示の便宜上、その一部が切除されている。以下、図４と図５を参照する。ウナマウントヘッド１００ａとウナマウントヘッド１００ｂは、ウナマウントヘッド１００と同一の機能および構成を有するものである。ウナマウントヘッド１００ａとウナマウントヘッド１００ｂは、互いにスライダーが向かい合うように、かつ、ディスク２００を挟み込むように配置されている。ウナマウントヘッド１００ａとウナマウントヘッド１００ｂは、全体的にディスク２００の外周に極めて近接し、その一部がディスク２００上に重なる。なお、図５において、ディスク２００は、ウナマウントヘッド１００ｂの動きが見えるように、その一部が切除により図示される。
【００１０】
【特許文献１】
特開２０００−１８７８２１号公報（第４−５頁、第１図および第２図）
【特許文献２】
特開平６−３５０２６９号公報（第４−５頁、第３図）
【特許文献３】
特開平５−２９８６３２号公報（第２頁）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
従来のヘッドまたはディスクの検査装置において、ヘッドは実際のディスクドライブ装置に内蔵された時と同様に配置される。従って、検査中のウナマウントヘッドは、全体的にディスクの外周に極めて近接し、その一部がディスク上に重なる。ヘッドとディスクとの接触防止やディスク飛散による事故回避の観点から、ヘッドの着脱時にはヘッドをディスクから十分離れた位置に移動させなければならない。従って、従来のヘッドまたはディスクの検査装置は、回転位置決め装置全体をディスク回転装置から引き離すための駆動機構が必須であった。
【００１２】
ヘッドまたはディスクの量産検査において、検査装置の簡素化および小型化が要求されている。一方、回転位置決め装置全体をディスク回転装置から引き離すための駆動機構は、検査装置の簡素化および小型化を阻害する要因である。そこで、本発明は、要求される検査仕様を満たし、ヘッドの形式に制限されることなくヘッド着脱時にヘッドとディスクとを十分に離すことができ、かつ、小型で簡素な検査装置を提供することを目的とする。また、本発明は、そのような検査装置を提供するために必要な検査方法を提供することも、目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、ディスクドライブ装置に具備されるディスクおよびヘッドの少なくとも一方を検査する検査装置において、ディスクを回転させるディスク回転手段とヘッドを回転位置決めする回転位置決め手段とを備え、回転位置決め手段は、回転位置決め手段の回転中心に対するヘッドの姿勢が、ディスクドライブ装置内におけるヘッドの回転中心に対するヘッドの姿勢に対して傾くようにヘッドを支持するようにする。
【００１４】
また、本発明は、上記の課題を解決するために、ディスクドライブ装置に具備されるディスクおよびヘッドの少なくとも一方を、ディスク回転手段と回転位置決め手段とを用いて検査する方法において、ディスク回転手段によりディスクを回転させる第一のステップと、回転位置決め手段により回転位置決め手段の回転中心に対するヘッドの姿勢が、ディスクドライブ装置内におけるヘッドの回転中心に対するヘッドの姿勢に対して傾くようにヘッドを位置決めする第二のステップと、を含むようにする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付の図面に示す好適実施形態に基づいて説明する。本発明の実施形態は、ヘッドまたはディスクを検査するための装置であって、その概略構成を図６に示す。以下、図６を参照する。
【００１６】
図６において、検査装置３００は、ディスク２００を支持し回転するディスク回転装置３１０と、ウナマウントヘッド１００をディスク２００に対して相対位置決めする回転位置決め装置３２０と、ディスク回転装置の駆動源を制御するドライバ３３０と、回転位置決め装置３２０の回転位置を制御する回転位置制御装置３４０と、検査装置全体を制御する主制御装置３５０とを備える。
【００１７】
ウナマウントヘッド１００は、図１に示すものと機能および構成が同一であり、被測定物である。ウナマウントヘッド１００は、図示しない検査回路Ｍと電気的に接続されている。ウナマウントヘッド１００は、ディスク２００上の各トラックに検査信号を記録し、さらに、その記録された信号を再生することにより検査される。この記録と再生は、それらの両方が検査装置３００で実施されても良いし、それぞれが記録専用の検査装置と再生専用の検査装置で実施されるようにしても良い。また、予め記録されたディスクを用いて、再生のみを行うことによりウナマウントヘッド１００を検査しても良い。
【００１８】
ディスク回転装置３１０は、回転軸３１１とモータ３１２と回転速度検出器３１３とを備える。回転軸３１１は、ディスク２００を着脱可能に支持する。モータ３１２は、回転軸３１１を回転駆動する駆動源である。回転速度検出器３１３は、回転軸３１１の回転速度を検出する。また、モータ３１２と回転速度検出器３１３は、ドライバ３３０に接続されている。ドライバ３３０は、回転速度検出器３１３により検出される回転速度を一定に保つように、モータ３１２を制御する。これにより、ディスク回転装置３１０は、ディスク２００を一定速度で回転させることができる。
【００１９】
回転位置決め装置３２０は、アーム３２１と回転軸３２２とモータ３２３と回転位置検出器３２４とを備える。アーム３２１は、一方の端部でウナマウントヘッド１００を着脱可能に支持する。また、アーム３２１は、他方の端部が回転軸３２２によって支持されている。モータ３２３は、回転軸３２２を回転駆動する駆動源である。回転位置検出器３２４は、回転軸３２２の回転位置を検出する。また、モータ３２３と回転位置検出器３２４は、回転位置制御装置３４０に接続されている。回転位置制御装置３４０は、回転位置検出器３２４により検出される回転位置情報を参照して、モータ３２３を制御する。これにより、回転位置決め装置３２０は、ウナマウントヘッド１００を回転位置決めし、ウナマウントヘッド１００とディスク２００とを所定の相対位置関係に位置決めすることができる。なお、ウナマウントヘッド１００は、ディスク２００の下面に対して位置決めされる。懸垂されるディスクの下面に対してヘッドを位置決めする方法は、検査装置３００の小型化に貢献する。
【００２０】
なお、ディスク回転装置３１０と回転位置決め装置３２０は、図示しない基盤に支持されている。
【００２１】
主制御装置３５０は、検査装置３００を全体的に制御する装置である。主制御装置３５０には、ドライバ３３０と、回転位置制御装置３４０と、図示しない検査回路Ｍとが接続されている。主制御装置３５０は、ウナマウントヘッド１００を要求される検査仕様に合わせて検査する。大まかな検査の流れは次の通りである。まず、主制御装置３５０は、ドライバ３３０を制御し、ディスク２００を所定の回転速度で回転させる。次に、主制御装置３５０は、ウナマウントヘッド１００を一定速度で回転しているディスク２００に対して相対位置決めする。最後に、主制御装置３５０は、図示しない検査回路Ｍを制御して、ウナマウントヘッド１００に記録および再生を行わせて、ウナマウントヘッド１００を検査する。
【００２２】
ここで、検査装置３００の上面図を図７に示す。図７は、説明の便宜上、ディスク２００、ウナマウントヘッド１００、および、アーム３２１のみが図示されている。また、ディスク２００は、図示の便宜上、その一部が切除されている。以下、図７を参照する。ウナマウントヘッド１００は、図示しない記録素子ＷＲおよび図示しない再生素子ＲＤを具備するスライダー１１０と、スライダー１１０を支持するサスペンション１２０と、サスペンション１２０を支持するマウントプレート１３０と軸受け１４０とを備える。直線Ｇは、ウナマウントヘッド１００のギャップ中心線である。ギャップ中心線Ｇは、スライダー１１０に具備される図示しない記録素子ＷＲのギャップに直交し、図示しない記録素子ＷＲのギャップの中心を通る直線である。
【００２３】
中心Ｃ２は、ディスク２００の中心であり、図６に図示した回転軸３１１の中心でもある。ディスク２００は、中心Ｃ２を中心に回転する。また、中心Ｃ３は、図６に図示した回転軸３２２の中心である。ウナマウントヘッド１００およびアーム３２１は、中心Ｃ３を中心に回転位置決めされる。直線Ｈは、ウナマウントヘッド１００のギャップ中心（不図示）と中心Ｃ３とを通る直線である。なお、ウナマウントヘッド１００のギャップ中心（不図示）は、スライダー１１０に具備される図示しない記録素子ＷＲの中心である。図７において、ウナマウントヘッド１００は、半径ＲＸのトラックＴＸ上および半径ＲＹのトラックＴＹ上、ならびに、ディスク２００から退避した位置に位置決めされている。
【００２４】
回転位置決め装置３２０は、中心Ｃ３からウナマウントヘッド１００を遠ざけるように、かつ、中心Ｃ３に対するウナマウントヘッド１００の姿勢が、実際のディスクドライブ装置内におけるウナマウントヘッド１００の回転中心に対するウナマウントヘッド１００の姿勢に対して傾くようにウナマウントヘッド１００を支持し位置決めする。図７に対応させて言い換えると、回転位置決め装置３２０は、直線Ｈとギャップ中心線Ｇとがなす角度が、実際のディスクドライブ装置内における中心Ｃ１およびウナマウントヘッド１００のギャップ中心（不図示）を通る線とギャップ中心線Ｇとがなす角度に対してオフセットした角度となるようにウナマウントヘッド１００を支持し、位置決めする。
【００２５】
さて、ウナマウントヘッド１００の検査において、重要な検査仕様の１つが、ウナマウントヘッド１００とディスク２００との相対位置関係である。製造ラインでの検査において、通常、ウナマウントヘッド１００は、それぞれ異なる半径を有する２つのトラックの上に位置決めされて検査される。それぞれのトラック上におけるウナマウントヘッド１００のスキュー角は、検査結果に影響を及ぼす重要なパラメータの１つであり、ウナマウントヘッド１００とディスク２００がディスクドライブ装置に内蔵される時のスキュー角と同一でなければならない。そこで、検査装置３００では、次式が成立するように構成される。
【００２６】
【数３】
2004362634.tif 000003
【００２７】
ここで、Ｄは、中心Ｃ１と中心Ｃ２との距離である。Ｄは、軸間距離とも称する。ＲＸおよびＲＹは、検査すべきトラック位置ＴＸおよびＴＹの半径である。ΘＸは、ＲＸにおいて要求されるウナマウントヘッド１００のスキュー角αＸに９０°を足した角度である。ΘＹは、ＲＹにおいて要求されるウナマウントヘッド１００のスキュー角αＹに９０°を足した角度である。ＲＸおよびＲＹ、ならびに、αＸおよびαＹは、検査仕様によって定められている。また、φは、中心Ｃ２およびウナマウントヘッド１００のギャップ中心を通る直線とギャップ中心線との間の角度である。本明細書では、φをオフセット角と称する。Ｌは、ウナマウントヘッド１００のギャップ中心（不図示）と回転軸３２２の中心Ｃ２との間の距離であり、次式で表される。Ｌは、揺動半径とも称する。
【００２８】
【数４】
2004362634.tif 000004
【００２９】
ここで、式１と式２の理解を助ける図面を図８に示す。図８は、図７について、幾つかの要素が省略され、幾つかの要素が追加された図である。以下、図８を参照する。中心Ｃ２は、ディスク２００の中心であり、図６に図示した回転軸３１１の中心でもある。中心Ｃ３は、図６に図示した回転軸３２２の中心である。位置Ｘは、半径ＲＸを有するトラックＴＸ上に位置決めされるウナマウントヘッド１００のギャップ中心の位置である。位置Ｙは、半径ＲＹを有するトラックＴＹ上に位置決めされるウナマウントヘッド１００のギャップ中心の位置である。直線ＤＸは、ディスク２００の中心である中心Ｃ２と位置Ｘを通る直線である。直線ＤＹは、中心Ｃ２と位置Ｙを通る直線である。直線ＧＸは、トラックＴＸ上に位置決めされるウナマウントヘッド１００のギャップ中心線である。直線ＧＹは、トラックＴＹ上に位置決めされるウナマウントヘッド１００のギャップ中心線である。直線ＨＸは、位置Ｘと中心Ｃ３を通る直線である。直線ＨＹは、位置Ｙと中心Ｃ３を通る直線である。ΘＸは、直線ＤＸとギャップ中心線ＧＸとがなす角度である。ΘＹは、直線ＤＹとギャップ中心線ＧＹとがなす角度である。式１および式２に記載のスキュー角αＸは、位置ＸにおけるトラックＴＸの接線ＮＸとギャップ中心線ＧＸとがなす角度である。式２に記載のスキュー角αＹは、位置ＹにおけるトラックＴＹの接線ＮＹとギャップ中心線ＧＹとがなす角度である。式１と式２は、図８を参照し、余弦定理を用いれば簡単に導出される。
【００３０】
オフセット角度φ、軸間距離Ｄ、および、揺動半径Ｌを決定するには、それら３つのパラメータのいずれか１つに適当な値を与え、他の２つのパラメータを導出すれば良い。アームの３２１の長さ、すなわち、中心Ｃ１と中心Ｃ２との距離は、導出されたオフセット角度φ、導出された軸間距離Ｄ、および、導出された揺動半径Ｌから、余弦定理を用いて求めることができる。
【００３１】
また、ウナマウントヘッド１００の検査において、１つのトラックにのみ位置決めすれば良い場合は、式１のみが満たされるように、オフセット角度φ、軸間距離Ｄ、および、揺動半径Ｌを決めれば良い。
【００３２】
本発明は、回転位置決め手段の回転中心に対するヘッドの姿勢が、実際のディスクドライブ装置内におけるヘッドの回転中心に対するヘッドの姿勢に対して傾くようにヘッドを支持すれば、如何様にも変形が可能である。ここで、変形例として第二の実施形態について以下に説明する。
【００３３】
第二の実施形態は、ヘッドまたはディスクを検査するための装置であって、その概略構成を図９に示す。図９は、該検査装置の一部を示す上面図である。以下、図９を参照する。
【００３４】
図９において、検査装置４００は、図６に示す検査装置３００について回転位置決め装置３２０を回転ステージ５００に置き換えたものである。検査装置３００の他の構成要素は、同様に検査装置４００に備えられる。
【００３５】
回転ステージ５００は、円盤状の位置決め装置であって、中心Ｃ１を中心にして回転する。回転ステージ５００は、その円周付近に微細位置決め装置４１０を備える。微細位置決め装置４１０は、直線方向に微細位置決め可能な位置決め手段である。一般に、微細位置決め装置４１０の位置決め精度は、回転ステージ５００の位置決め精度よりも高い。ウナマウントヘッド１００は、微細位置決め装置４１０に着脱可能に支持され、位置決めされる。本実施形態において、ウナマウントヘッド１００は、微細位置決め装置４１０によりギャップ中心線Ｇに直交する方向に位置決めされる。この位置決め方向は、トラックの幅方向に一致する。また、ウナマウントヘッド１００は、中心Ｃ１と中心Ｃ２とを離すように支持する。また、ウナマウントヘッド１００は、ウナマウントヘッド１００のギャップ中心線が、ウナマウントヘッド１００のギャップ中心と中心Ｃ２とを通る線に対して傾くように支持される。
【００３６】
回転ステージ５００は、第一の実施形態で説明したアーム３２１と比べて軸揺れが少なく、ウナマウントヘッド１００を安定に支持できる。また、回転ステージ５００は、ウナマウントヘッド１００の先端部における機械的共振周波数を高くする事ができる。これにより、検査装置４００は、位置決めの制御などが容易になり、また、検査時の測定誤差を抑えられる。
【００３７】
以上、説明した各実施形態では、ディスクを基準にヘッドを検査する装置としたが、このヘッドを基準ヘッドとしディスク側を検査ディスクとすればディスク検査装置となる。この場合も本発明が好適であることは容易に理解されるであろう。更に、両方の検査を１つの装置で別々に行ってもよい。
【００３８】
また、各実施形態において、ギャップ中心は、スライダーに具備される記録素子のギャップの中心としているが、スライダーに具備される再生素子のギャップの中心であっても良い。また、ギャップ中心線は、スライダーに具備される記録素子のギャップに直交し該ギャップの中心を通る直線としているが、スライダーに具備される再生素子のギャップに直交し該ギャップの中心を通る直線であっても良い。
【００３９】
上述した実施形態およびその変形例は、特許請求の範囲に記載した本発明の説明のための一実施形態にすぎず、特許請求の範囲で示した権利範囲内において種々の変形を行うことができることは、当業者にとって明らかである。
【００４０】
最後に、本発明の実施態様の一部をまとめて示す。
【００４１】
（実施態様１）
ヘッドをディスク上に回転位置決めし、ヘッドを用いてディスクに情報を記録し、または、ディスクから情報を再生するディスクドライブ装置に具備されるディスクおよびヘッドの少なくとも一方を検査する検査装置において、
前記ディスクを回転させるディスク回転手段と、
前記ヘッドを回転位置決めする回転位置決め手段と、
を備え、
前記回転位置決め手段は、前記回転位置決め手段の回転中心に対する前記ヘッドの姿勢が、前記ディスクドライブ装置内における前記ヘッドの回転中心に対する前記ヘッドの姿勢に対して傾くように前記ヘッドを支持する、
ことを特徴とする検査装置。
【００４２】
（実施態様２）
前記回転位置決め手段は、前記回転位置決め手段の回転中心および前記ヘッドのギャップ中心を通る線と前記ヘッドのギャップ中心線とがなす角度が、前記ディスクドライブ装置内における前記ヘッドの回転中心および前記ヘッドのギャップ中心を通る線と前記ヘッドのギャップ中心線とがなす角度に対してオフセットした角度となるように前記ヘッドを支持する、
ことを特徴とする実施態様１に記載の検査装置。
【００４３】
（実施態様３）
前記ヘッドは、前記ディスク上の第一のトラック上に位置決めされ、
前記ディスク回転手段の回転中心と前記回転位置決め手段の回転中心との距離をＤ、前記回転位置決め手段の回転中心と前記ヘッドのギャップ中心との距離をＬ、前記第一のトラックの半径をＲＸ、前記第一のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＸ、前記オフセット角度をφとするとき、次式が成立するように構成されることを特徴とする実施態様２に記載の検査装置。
【数１】
2004362634.tif 000005
【００４４】
（実施態様４）
前記ヘッドは、前記ディスク上の第一のトラック上と第二のトラック上とに位置決めされ、
前記ディスク回転手段の回転中心と前記回転位置決め手段の回転中心と距離をＤ、前記回転位置決め手段の回転中心と前記ヘッドのギャップ中心との距離をＬ、前記第一のトラックの半径をＲＸ、前記第二のトラックの半径をＲＹ、前記第一のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＸ、前記第二のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＹ、前記オフセット角度をφとするとき、次式が成立するように構成されることを特徴とする実施態様２に記載の検査装置。
【数１】
2004362634.tif 000006
【数２】
2004362634.tif 000007
【００４５】
（実施態様５）
前記ヘッドは、ウナマウントヘッドである事を特徴とする実施態様１乃至実施態様４のいずれかに記載の検査装置。
【００４６】
（実施態様６）
ヘッドをディスク上に回転位置決めし、ヘッドを用いてディスクに情報を記録し、または、ディスクから情報を再生するディスクドライブ装置に具備されるディスクおよびヘッドの少なくとも一方を、ディスク回転手段と回転位置決め手段とを用いて検査する方法において、
前記ディスク回転手段により、前記ディスクを回転させる第一のステップと、
前記回転位置決め手段により、前記回転位置決め手段の回転中心に対する前記ヘッドの姿勢が、前記ディスクドライブ装置内における前記ヘッドの回転中心に対する前記ヘッドの姿勢に対して傾くように前記ヘッドを支持し位置決めする第二のステップと、
を含むことを特徴とする検査装置。
【００４７】
（実施態様７）
前記第二のステップにおいて、前記ヘッドは、前記回転位置決め手段により、前記回転位置決め手段の回転中心および前記ヘッドのギャップ中心を通る線と前記ヘッドのギャップ中心線とがなす角度が、前記ディスクドライブ装置内における前記ヘッドの回転中心および前記ヘッドのギャップ中心を通る線と前記ヘッドのギャップ中心線とがなす角度に対してオフセットした角度となるように支持される、
ことを特徴とする実施態様６に記載の検査方法。
【００４８】
（実施態様８）
前記ヘッドは、前記ディスク上の第一のトラック上に位置決めされ、
前記ディスク回転手段の回転中心と前記回転位置決め手段の回転中心との距離をＤ、前記回転位置決め手段の回転中心と前記ヘッドのギャップ中心との距離をＬ、前記第一のトラックの半径をＲＸ、前記第一のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＸ、前記オフセット角度をφとするとき、次式が成立することを特徴とする実施態様７に記載の検査方法。
【数１】
2004362634.tif 000008
【００４９】
（実施態様９）
前記ヘッドは、前記ディスク上の第一のトラック上と第二のトラック上とに位置決めされ、
前記ディスク回転手段の回転中心と前記回転位置決め手段の回転中心との距離をＤ、前記回転位置決め手段の回転中心と前記ヘッドのギャップ中心との距離をＬ、前記第一のトラックの半径をＲＸ、前記第二のトラックの半径をＲＹ、前記第一のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＸ、前記第二のトラック上において要求される前記ヘッドのスキュー角をαＹ、前記オフセット角度をφとするとき、次式が成立することを特徴とする実施態様７に記載の検査方法。
【数１】
2004362634.tif 000009
【数２】
2004362634.tif 000010
【００５０】
（実施態様１０）
前記ヘッドは、ウナマウントヘッドである事を特徴とする実施態様６乃至実施態様９のいずれかに記載の検査方法。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明した第１実施例のように、アームやディスクのサイズ、回転中心間距離を直線位置決め手段により実際の磁気記憶装置に一致させた上で、スキュー角を磁気ディスクの全位置において磁気記憶装置に一致させるので、従来のように１つのスキュー角に対して必要であった回転位置決め手段と直線位置決め手段に対する２つの操作が不要となり、磁気ディスクの全位置におけるスキュー角を実際の磁気記憶装置に連続的にかつ短時間で一致させることができる。また、アームやディスクのサイズを実際と一致させなくても、第２、第３の実施例の手法を用いれば、実際の使用時と同じスキュー角で同様に検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ウナマウントヘッドを示す図である。
【図２】ウナマウントヘッドを示す図である。
【図３】ウナマウントヘッドのスライダーを示す図である。
【図４】ウナマウントヘッドの位置決め動作を示す図である。
【図５】ウナマウントヘッドの位置決め動作を示す図である。
【図６】本発明の第一の実施形態である検査装置３００を示す図である。
【図７】検査装置３００の一部を示す上面図である。
【図８】検査装置３００の一部を示す上面図である。
【図９】本発明の第一の実施形態である検査装置４００を示す図である。
【符号の説明】
１００，１００ａ，１００ｂ  ウナマウントヘッド
１１１  ライト・ギャップ
１１２  リード・ギャップ
１１３  ギャップ中心
１２０  スライダー
１３０  マウントプレート
１４０  軸受け
２００  ディスク
３００  検査装置
３１０  ディスク回転装置
３１１  回転軸
３１２  モーター
３１３  回転速度検出器
３２０  回転位置決め装置
３２１  アーム
３２２  回転軸
３２３  モーター
３２４  回転位置検出器
３３０  ドライバ
３４０  回転位置制御装置
３５０  主制御装置
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３  中心
Ｇ，ＧＸ，ＧＹ，ＧＺ  ギャップ中心線
ＨＸ，ＨＹ，ＨＺ  線
ＮＸ，ＮＹ  接線
ＲＸ，ＲＹ  トラック半径
ＴＸ，ＴＹ  トラック
Ｘ，Ｙ，Ｚ  ギャップ位置
【図１】
2004362634.tif 000017
【図２】
2004362634.tif 000018
【図３】
2004362634.tif 000019
【図４】
2004362634.tif 000020
【図５】
2004362634.tif 000021
【図６】
2004362634.tif 000022
【図７】
2004362634.tif 000023
【図８】
2004362634.tif 000024
【図９】
2004362634.tif 000025