(57)【要約】【課題】従来、最終焼鈍前に実施されていたアルミニウム材表面の酸化皮膜を安定化させるための加熱処理では雰囲気の影響を受けやすく加熱処理に時間がかかるという問題点を解決するとともに、エッチングによって実効面積を増大させることができ、ひいては高静電容量が得られる電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法、及び電解コンデンサ用電極材の製造方法等を提供する。【解決手段】圧延終了後のアルミニウム材に対し、アルミニウムを溶解し得る液での洗浄を実施し、次に、加熱体との接触によりアルミニウム材を加熱し、アルミニウム材の表層酸化皮膜を安定化させた後さらに焼鈍する。加熱体の表面温度が５０〜４５０℃、アルミニウム材と加熱体との接触時間が０．００１〜３０秒であることが望ましい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧延後のアルミニウム材をアルミニウムを溶解し得る液で洗浄した後、アルミニウム材を加熱体との接触により加熱し、さらに焼鈍する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項２】
圧延後のアルミニウム材にアルカリ洗浄を施した後、アルミニウム材を加熱体との接触により加熱し、さらに焼鈍する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項３】
圧延後のアルミニウム材に酸洗浄を施した後、アルミニウム材を加熱体との接触により加熱し、さらに焼鈍する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項４】
圧延後のアルミニウム材にアルカリ洗浄、酸洗浄を順次施した後、アルミニウム材を加熱体との接触により加熱し、さらに焼鈍する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項５】
圧延後アルミニウム材をアルカリ洗浄もしくは酸洗浄する前に有機溶剤洗浄する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項６】
加熱体の表面温度が５０〜４５０℃、加熱体との接触時間が０．００１〜３０秒である請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項７】
焼鈍が、アルミニウム材の実体温度４５０〜６００℃にて不活性ガス雰囲気で行われる請求項１ないし６のいずれか１項に記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項８】
加熱体が熱ロールまたは加熱板である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項９】
アルカリ洗浄に用いるアルカリ洗浄液が水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、オルト珪酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、リン酸三ナトリウムから選ばれた１種または２種以上のアルカリを含む水溶液である請求項２および請求項４ないし８のいずれか１項に記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項１０】
酸洗浄に用いる酸洗浄液が、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸から選ばれた１種または２種以上の酸を含む水溶液である請求項３ないし８のいずれか１項に記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項１１】
アルミニウム材が電解コンデンサ陽極用である請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項１２】
アルミニウム材のアルミニウム純度が９９．９％以上である請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の製造方法によって製造されたアルミニウム箔に、エッチングを実施することを特徴とする電解コンデンサ用電極材の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の製造方法によって製造された電極材が用いられているアルミニウム電解コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法及び電解コンデンサ用電極材の製造方法、並びにアルミニウム電解コンデンサに関する。
【０００２】
なお、この明細書において「アルミニウム」の語はその合金を含む意味で用い、アルミニウム材には箔と板およびこれらを用いた成形体が含まれる。
【０００３】
【従来の技術】
アルミニウム電解コンデンサ用電極材料として一般に用いられるアルミニウム材は、比表面積を拡大し静電容量を増大させるため、電気化学的あるいは化学的エッチング処理が施される。
【０００４】
一般的に直流エッチングによりトンネル状ピットを生成させる中圧および高圧用の電解コンデンサ電極用アルミニウム材は、アルミニウム材料の溶解・成分調整・スラブ鋳造、均熱処理、熱間圧延、冷間圧延、中間焼鈍、仕上冷間圧延（低圧下圧延）を経た後、（１００）面の結晶方位を発達させる目的で５００℃前後の温度で不活性雰囲気もしくは真空中で最終焼鈍することにより得られる。ここで、中間焼鈍は圧延工程の途中において前工程の冷間圧延により生じたアルミニウム箔の結晶組織の歪みを解消する目的で行われる工程である。
【０００５】
冷間圧延後のアルミニウム材の表面には、油分、圧延で形成された不均質な酸化皮膜が存在する。また、アルミニウム材の表面近傍には、圧延変質層や圧延時のロールコーティング等による汚染層が不均一に存在する。これら不均質な酸化皮膜、圧延変質層および汚染層は、仕上げ冷間圧延の後に行う最終焼鈍工程で生成する酸化皮膜の不均質性をもたらし、作製したアルミニウム材のエッチング特性を劣化させ、エッチングによる実効面積の拡大を阻害すると考えられる。
【０００６】
アルミニウム材表層の不均質な酸化皮膜、圧延変質層および汚染層の除去には、冷間圧延後最終焼鈍前にアルカリや酸を含んだ水系洗浄液で洗浄する事が有効である。一般に水系洗浄液で洗浄した後のアルミニウム材表面には水酸基や吸着水が多く残留し、アルミニウム材の表層酸化皮膜は不安定であるため洗浄後に加熱することが好ましい。
【０００７】
下記特許文献１には、アルミニウム箔の表面層を除去する工程と、除去後、温度：４０〜３５０℃、露点：０〜８０℃、時間：３０〜１８００秒の条件で加熱酸化する工程と、加熱酸化後、非酸化性雰囲気で焼鈍する工程を実施することを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法が開示されている。
【０００８】
下記特許文献２には、最終焼鈍前の洗浄処理の際、アルミニウム箔表面のバリヤー型酸化皮膜の厚さを２．５オングストローム以下に調整し、且つ前記洗浄処理の後、前記仕上焼鈍処理の前において、該アルミニウム箔を１５０〜４００℃の酸化雰囲気中で加熱処理して、該アルミニウム箔表面のバリヤー型酸化皮膜の厚さを１０オングストローム以下に成長させることを特徴とする電解コンデンサ陽極用アルミニウム箔の製造方法が示され、加熱処理の時間は、５分〜３時間程度が好ましいと記載されている。
【０００９】
また、下記非特許文献１には、最終焼鈍時にアルミニウム材の表面に生成した結晶性酸化物はエッチピットの核となることが記載されている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平７−２０１６７３号公報
【００１１】
【特許文献２】
特開平５−２７９８１５号公報
【００１２】
【非特許文献１】
大澤伸夫，福岡潔；表面技術，５０［７］，６４３（１９９９）
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上述の特許文献１および特許文献２の方法では、洗浄後に加熱を行うため安定化したアルミニウム材の表層酸化皮膜が得られるが、加熱方法は雰囲気加熱であるため、加熱により生成する酸化皮膜は雰囲気の影響を受けやすく加熱処理に時間がかかるという問題がある。
【００１４】
また、上記非特許文献１のように、最終焼鈍時にアルミニウム材の表面に生成した結晶性酸化物はエッチピットの核となることが知られており、結晶性酸化物の密度や結晶の粒子径を制御することは静電容量向上につながると考えられているが、特許文献１および特許文献２では、結晶性酸化物粒子の生成とエッチング特性の関係に関する記載がない。
【００１５】
この発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、従来、最終焼鈍前に実施されていたアルミニウム材表面の酸化皮膜を安定化させるための加熱処理では、雰囲気の影響を受けやすく処理に時間がかかるという問題点を解決するとともに、エッチングによって実効面積を増大させることができ、ひいては高静電容量が得られる電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法、及び電解コンデンサ用電極材の製造方法、並びにアルミニウム電解コンデンサを提供することを課題とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下の手段を提供する。即ち、
（１）圧延後のアルミニウム材をアルミニウムを溶解し得る液で洗浄した後、アルミニウム材を加熱体との接触により加熱し、さらに焼鈍する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（２）圧延後のアルミニウム材にアルカリ洗浄を施した後、アルミニウム材を加熱体との接触により加熱し、さらに焼鈍する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（３）圧延後のアルミニウム材に酸洗浄を施した後、アルミニウム材を加熱体との接触により加熱し、さらに焼鈍する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（４）圧延後のアルミニウム材にアルカリ洗浄、酸洗浄を順次施した後、アルミニウム材を加熱体との接触により加熱し、さらに焼鈍する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（５）圧延後アルミニウム材をアルカリ洗浄もしくは酸洗浄する前に有機溶剤洗浄する前項１ないし４のいずれかに記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（６）加熱体の表面温度が５０〜４５０℃、加熱体との接触時間が０．００１〜３０秒である前項１ないし５のいずれかに記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（７）焼鈍が、アルミニウム材の実体温度４５０〜６００℃にて不活性ガス雰囲気で行われる前項１ないし６のいずれかに記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（８）加熱体が熱ロールまたは加熱板である前項１ないし７のいずれかに記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（９）アルカリ洗浄に用いるアルカリ洗浄液が水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、オルト珪酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、リン酸三ナトリウムから選ばれた１種または２種以上のアルカリを含む水溶液である前項２および４〜８のいずれかに記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（１０）酸洗浄に用いる酸洗浄液が、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸から選ばれた１種または２種以上の酸を含む水溶液である前項３〜８のいずれかに記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（１１）アルミニウム材が電解コンデンサ陽極用である前項１〜１０のいずれかに記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（１２）アルミニウム材のアルミニウム純度が９９．９％以上である前項１〜１１のいずれかに記載の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法。
（１３）前項１〜１２のいずれかに記載の製造方法によって製造されたアルミニウム箔に、エッチングを実施することを特徴とする電解コンデンサ用電極材の製造方法。
（１４）前項１３に記載の製造方法によって製造された電極材が用いられているアルミニウム電解コンデンサ。
【００１７】
アルミニウム材を加熱体との接触により加熱する接触加熱は、加熱体接触面により短時間でアルミニウム材表面を目的の温度に到達させることが出来る点で優れており、しかも短時間で加熱できるため雰囲気の影響が少なく、温度制御が容易であるという利点がある。
【００１８】
上記製造方法によって得られたアルミニウム材をエッチングすると実効面積が大きくなるのは、焼鈍前の接触加熱によりアルミニウム材表層の酸化皮膜を安定なものとすることができ、これにより焼鈍時に表面にエッチピット核となる結晶性酸化物粒子が均一に生成するためである。
【００１９】
上記結晶性酸化物粒子の種類としては、γ―Ａｌ２Ｏ３をはじめとするＡｌ２Ｏ３、ベーマイトをはじめとするＡｌＯＯＨ、アルミニウム以外の含有金属（例えばＭｇ，Ｐｂ，Ｃｕ等）の酸化物および水酸化物、アルミニウムとアルミニウム以外の含有金属（例えばＭｇ，Ｐｂ，Ｃｕ等）との複合金属酸化物あるいは水酸化物があるが、特に限定されるものではなく、また単結晶、多結晶のどちらでも良い。また、単一もしくは複数の結晶が無定形物質に覆われて一つの粒子を形成するものでも良く、凝集した酸化物結晶の間に無定形酸化物が存在していても良い。
【００２０】
以下に、本発明による電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法を説明する。
【００２１】
本発明に用いられるアルミニウム材の純度は電解コンデンサ電極用に使用される範囲内であれば特に限定されないが、純度９９．９質量％以上のものが好ましく、特に９９．９５質量％以上が好ましい。なお、本発明においてアルミニウム材の純度は１００質量％からＦｅ，Ｓｉ，Ｃｕ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｎ，ＴｉおよびＧａの合計濃度（質量％）を差し引いた値とする。
【００２２】
また、アルミニウムを溶解し得る液で洗浄されるアルミニウム材は、一般には、アルミニウム材料の溶解・成分調整・スラブ鋳造、均熱処理、熱間圧延、冷間圧延、中間焼鈍、仕上冷間圧延（低圧下圧延）の各工程を経て製造される。これらの工程は一般法に従えばよく、特に限定されることはないが、アルミニウム材のエッチング条件との関係で、アルミニウム材の製造工程条件を適宜変更しても良い。
【００２３】
なお、圧延工程の途中において、前工程の圧延により生じたアルミニウム材の結晶組織の歪みを解消する目的で、焼鈍（以後中間焼鈍と称す）を実施しても良い。また、中間焼鈍以前の工程において、表面の不純物や油分を除去する目的で酸水溶液、アルカリ水溶液もしくは有機溶剤を用いて洗浄を実施しても良い。
【００２４】
アルミニウム材の表層に均質で安定な酸化皮膜を生成させ、最終焼鈍時にエッチピット核となる結晶性酸化物粒子をアルミニウム材表面に分散性良く生成させるため、最終圧延後のアルミニウム材をアルミニウムを溶解し得る液で洗浄し、その後、接触加熱を行う。
【００２５】
アルミニウムを溶解しうる液としては、酸、アルカリ、アンモニア、アミン類からなる群より選ばれた少なくとも１種を含んだ水溶液等が挙げられ、最終圧延後アルカリ洗浄または酸洗浄の少なくともどちらかの洗浄を行うことが好ましい。
【００２６】
前記アルカリ洗浄に用いるアルカリ洗浄液のアルカリとしては特に限定されるものではないが、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、珪酸ナトリウム、リン酸三ナトリウム、リン酸水素二ナトリウム、次亜塩素酸ナトリウム等を例示でき、少なくとも１種類以上のアルカリを含む水溶液を洗浄液として用いることができる。
【００２７】
アルカリ洗浄液中のアルカリ濃度は０．００５〜５０％（質量％、以下同じ）、液温は５〜８０℃、洗浄時間は１秒〜１０分であることが好ましい。アルカリ濃度が０．００５％未満、液温が５℃未満では洗浄による表面均一化の効果が得られないおそれがある。アルカリ濃度が５０％を越えると、アルカリ洗浄後のアルミニウム材表面に残留するアルカリの除去に手間がかかり、液温が８０℃を越えるとアルミニウム材の溶解が早く洗浄の制御が困難になるおそれがある。アルカリ洗浄時間が１秒未満では洗浄が不十分なおそれがあり、１０分より長く洗浄しても洗浄効果が飽和に達し、アルミニウム材を必要以上に溶解させるおそれがある。特に好ましくは、アルカリ洗浄液中のアルカリ濃度０．０５〜１０％、液温１０〜７０℃、洗浄時間２秒〜５分である。
【００２８】
アルカリ洗浄後にアルミニウム材の表面に付着した洗浄液成分の残留物を除去する目的で水洗を行うことが好ましい。
【００２９】
一方、酸洗浄に用いる酸洗浄液の酸としては、特に限定されるものではないが、ルイス酸が使用でき、例えば塩酸、硫酸、リン酸、硝酸、ホウ酸、フッ化水素酸等の無機酸及び酢酸、シュウ酸、クエン酸等の有機酸を例示でき、これら酸を少なくとも１種類以上含む水溶液を洗浄液として用いることができる。また、脱脂力を高めるために酸水溶液に界面活性剤を添加しても良い。酸の濃度としては０．０５〜５０％、液温は５〜８０℃、洗浄時間は０．５秒〜１０分であることが好ましい。酸洗浄時の酸濃度、液温および洗浄時間が上記範囲下限未満の場合は、洗浄が不十分となるおそれがあり、酸濃度、液温および洗浄時間が上記範囲上限を越えると洗浄効果が飽和に達しコスト高を招くおそれがある。特に好ましくは、酸の濃度０．０５〜３０％、液温１０〜７０℃、洗浄時間１秒〜５分である。
【００３０】
酸洗浄後にアルミニウム材の表面に付着した酸液成分の過度の残留を防止する目的で、水洗を行うことが好ましい。
【００３１】
アルカリ洗浄および酸洗浄の方式としては、浸漬法やスプレー法等が挙げられるが特に洗浄方式は限定されるものではない。
【００３２】
アルカリ洗浄、酸洗浄は少なくともいずれかを実施すればよいが、両方を少なくとも１回実施しても良い。両方を実施する場合、その順序は特に限定されないが、アルカリ洗浄をまず実施した後、酸洗浄を実施するのがよい。アルカリ洗浄により表面の汚染層を効率よく除去した後、酸洗浄の実施によりアルミニウム材の表面を中和することで、さらに均質で安定な酸化皮膜を形成できる。
【００３３】
なお、アルカリ洗浄後に酸洗浄を実施する場合の酸の濃度は前記の０．０５〜５０％より低くても良く、洗浄時間は前記の０．５秒〜１０分より短くても良い。
【００３４】
アルカリ洗浄もしくは酸洗浄前に、アルミニウム材に対し、脱脂を目的として有機溶剤洗浄を実施しても良い。有機溶剤の例としてはアルコール、トルエン・キシレン等の芳香族炭化水素、ペンタン・ヘキサン・脂肪族炭化水素、アセトン、ケトン、エステル等があげられるが特に限定されるものではなく複数の有機溶剤を混合して用いても良い。
【００３５】
次に、アルミニウムを溶解し得る液での洗浄を施したアルミニウム材を、加熱体との接触により加熱する。
【００３６】
加熱体は、熱ロール、加熱板、加熱ベルトなど接触加熱が可能なものであれば何でも良く、複数の接触加熱手段を組み合わせても良い。また、アルミニウム材の表裏を同時に加熱しても良く、片面ずつ加熱しても良く、表裏の一方のみを加熱しても良い。加熱体の加熱面の材質としては、ステンレス、メッキ、セラミックス、テフロン（登録商標）、シリコーン樹脂等を自由に選択できるが、アルミニウム材の表面酸化皮膜が加熱体の表面に凝着しない物質が好ましい。
【００３７】
アルミニウム材に接触させる加熱体の表面温度は５０〜４５０℃が好ましい。加熱体の表面温度が５０℃未満では、焼鈍後の表層酸化皮膜の結晶化率や結晶性酸化物微粒子の制御が十分ではなく、４５０℃より高くなると酸化皮膜が厚くなりすぎ、加熱冷却時に皺等が発生し、操業上の問題が生じる恐れがあるからである。特に好ましい表面温度は８０〜４００℃であり、８０〜３００℃が最も良い。
【００３８】
アルミニウム材表面と加熱体表面との接触時間は０．００１〜３０秒とするのが好ましい。接触時間が０．００１秒未満では、アルミニウム材の表面を十分に加熱することが出来ず、３０秒より長く加熱すると酸化皮膜が厚くなりすぎ、いずれの場合もエッチピットが発生しにくくなるおそれがある。特に好ましい接触時間は０．０１〜２０秒であり、０．０５〜１５秒が最も良い。
【００３９】
加熱体の表面温度及びアルミニウム材との接触時間は、接触加熱前のアルミニウム材表面の酸化皮膜の特性を考慮して適宜選択すればよい。接触加熱雰囲気は特に限定されず、特別な雰囲気制御も必要なく大気中でも十分である。
【００４０】
接触加熱後、アルミニウム材の結晶組織の方位を（１００）方位に整えてエッチング特性を向上させることを主目的とし最終焼鈍がなされる。
【００４１】
最終焼鈍においては、その前工程である接触加熱工程でアルミニウム材の表面に形成された酸化皮膜の厚さを最終焼鈍工程で増大させ過ぎて、結晶性酸化物がエッチング核となり得る可能性を消去させないように、酸化皮膜の合計厚さがハンターホール法（Ｍ．Ｓ．Ｈｕｎｔｅｒ　ａｎｄ　Ｐ．　Ｆｏｗｌｅ，　Ｊ．　Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍ．　Ｓｏｃ．，　１０１［９］，　４８３　（１９５４）参照）による厚さで２．５〜５ｎｍとなるように、最終焼鈍を実施するのが好ましい。また、最終焼鈍後のアルミニウム材の（１００）面積率は９０％以上が好ましい。
【００４２】
この最終焼鈍における処理雰囲気は特に限定されるものではないが、酸化皮膜の厚さを増大させすぎないように、水分および酸素の少ない雰囲気中で加熱するのが好ましい。具体的には、アルゴン、窒素等の不活性ガス中あるいは０．１Ｐａ以下の真空中で加熱することが好ましい。
【００４３】
最終焼鈍の方法は特に限定されるものではなく、コイルに巻き取った状態でバッチ焼鈍しても良く、コイルを巻き戻し連続焼鈍した後コイルに巻き取っても良く、バッチ焼鈍と連続焼鈍の少なくともどちらかを複数回行っても良い。
【００４４】
最終焼鈍時の保持温度、時間は特に限定されるものではないが、たとえばコイルの状態でバッチ焼鈍を行なう場合は、アルミニウム実体温度４５０〜６００℃にて、１０分〜５０時間焼鈍するのが好ましい。アルミニウム実体温度が４００℃未満、時間が１０分未満では、酸化皮膜中のエッチピットの核と成り得る結晶性酸化物粒子の生成が十分ではなく、その分散状態が疎となりすぎて、結晶をエッチング核とするエッチング時の拡面効果が期待できない恐れがあり、（１００）面の結晶方位の発達も不十分であるからである。逆に６００℃を越えて焼鈍すると、コイルでバッチ焼鈍する場合はアルミニウム材が密着を起こし易くなり、また５０時間を超えて焼鈍してもエッチング表面積拡大効果は飽和し、却って熱エネルギーコストの増大を招く。特に好ましい温度は、アルミニウム実体温度で４６０〜５６０℃、時間は３０分〜４０時間である。
【００４５】
また、焼鈍工程における昇温速度・パターンは特に限定されず、一定速度で昇温させても良く、昇温、温度保持を繰り返しながらステップ昇温・冷却させてもよい。アルミニウム実体温度４５０〜６００℃の温度域で合計１０分〜５０時間焼鈍されれば良い。
【００４６】
最終焼鈍後に得られる電解コンデンサ電極用アルミニウム材の厚さは特に規定されない。
【００４７】
最終焼鈍後のアルミニウム材には、表面積を拡大させるためにエッチング処理が施される。エッチング処理条件は特に限定されることはないが、直流エッチング法を採用するのが良い。直流エッチングによって、アルミニウム材の表面に存在する結晶性酸化物粒子がエッチピット核となり、多数のトンネル状ピットが生成される。
【００４８】
エッチング処理後、化成処理を行って陽極材とすることができ、特に、中圧および高圧用電解コンデンサ電極材として用いるのが良い。もとより、陰極材あるいは低圧用として用いることを妨げるものではない。
【００４９】
【実施例】
以下に本発明の実施例および比較例を示す。
【００５０】
最終圧延後のアルミニウム材をアルカリ洗浄もしくは酸洗浄する前に行う有機溶剤洗浄に用いる有機溶剤洗浄液を表１に、アルカリ洗浄液を表２に、酸洗浄液を表３に示す。
【００５１】
【表１】
2004006685.tif 000002
【００５２】
【表２】
2004006685.tif 000003
【００５３】
【表３】
2004006685.tif 000004
【００５４】
（実施例１）
厚さ１１０μｍに圧延された純度９９．９９質量％のアルミニウム箔（アルミニウム材）に対し、表１のＡ２液での洗浄、乾燥、表２のＢ６液での４０秒間の洗浄、水洗、乾燥、表３のＣ１液での６０秒間の洗浄、水洗、乾燥の各工程を順次実施した。
【００５５】
次に、アルミニウム箔を表面温度が２５０℃のステンレス製加熱板２枚の間に挟み、２秒間接触加熱を行った。
【００５６】
ついで、接触加熱後のアルミニウム箔を重ねた状態でアルゴン雰囲気下でアルミニウム箔の実体温度を室温から５００℃まで５０℃／ｈで昇温させた後、５００℃にて２４時間保持させ、次いで冷却した後炉出しし、電解コンデンサ電極用アルミニウム箔を得た。
（実施例２〜４９）
実施例１と同じ厚さ１１０μｍに圧延された純度９９．９９質量％のアルミニウム箔を、表４または表５の条件、工程順にて洗浄し乾燥させた後、表４または表５の条件にて接触加熱を行った。
【００５７】
なお、有機溶剤洗浄後には乾燥を、酸洗浄後およびアルカリ洗浄後には水洗を実施した。また、実施例４１、実施例４３及び実施例４４では、加熱体として表面にクロムメッキを施した熱ロールを用いた。
【００５８】
接触加熱後のアルミニウム箔を重ねた状態で、アルゴン雰囲気下でアルミニウム箔の実体温度を室温から表４または表５に示す焼鈍実体温度まで５０℃／ｈで昇温させた後、前記焼鈍実体温度にて２４時間保持させ、次いで冷却した後炉出しし、電解コンデンサ電極用アルミニウム箔を得た。
（比較例１〜４）
実施例１と同じ厚さ１１０μｍに圧延された純度９９．９９質量％のアルミニウム箔に対し、表５の条件にて表１のＡ１液での洗浄、乾燥、表２のＢ５液での４０秒間の洗浄、乾燥を実施した。
【００５９】
次に、接触加熱処理を実施することなく、アルミニウム箔を重ねた状態でアルゴン雰囲気下でアルミニウム箔の実体温度を室温から表５に示す焼鈍実体温度まで５０℃／ｈで昇温させた後、前記焼鈍実体温度にて２４時間保持させ、次いで冷却した後炉出しし、電解コンデンサ電極用アルミニウム箔を得た。
【００６０】
上記実施例および比較例で得られた箔をＨＣｌ　１．０ｍｏｌ・ｄｍ−３とＨ２ＳＯ４　３．５ｍｏｌ・ｄｍ−３を含む液温７５℃の水溶液に浸漬した後、電流密度０．２Ａ／ｃｍ２で電解処理を施した。電解処理後の箔をさらに前記組成の塩酸―硫酸混合水溶液に９０℃にて３６０秒浸漬し、ピット径を太くしエッチド箔を得た。
【００６１】
得られたエッチド箔を、化成電圧２７０ＶにてＥＩＡＪ規格に従い化成処理して陽極材とし、静電容量測定用サンプルを得た。各サンプルについて測定した静電容量を、比較例１を１００とした場合の相対値にて表４及び表５に示す。
【００６２】
【表４】
2004006685.tif 000005
【００６３】
【表５】
2004006685.tif 000006
【００６４】
上記表から理解されるように、本発明実施例では、アルカリ洗浄及び／または酸洗浄を行った後に接触加熱を実施することにより、接触加熱を行わない比較例に比べ静電容量が高いことがわかる。
【００６５】
【発明の効果】
第１の発明によれば、アルミニウムを溶解し得る液での洗浄後のアルミニウム材を接触加熱することによりアルミニウム材の表層酸化皮膜を安定化させ、その後焼鈍することにより、エッチング特性に優れ高静電容量を得ることの出来る電解コンデンサ電極用アルミニウム材を製造できる。特に加熱方法として、接触加熱を用いることから、均一に短時間でアルミニウム材表面を目的の温度に到達させることができるため、温度制御が比較的容易であり、しかも急速かつ短時間で加熱できるため雰囲気の影響を少なくできる。
【００６６】
第２の発明によれば、アルカリ洗浄後のアルミニウム材を接触加熱することによりアルミニウム材の表層酸化皮膜を安定化させ、その後焼鈍することにより、エッチング特性に優れ高静電容量を得ることの出来る電解コンデンサ電極用アルミニウム材を製造できる。特に加熱方法として、接触加熱を用いることから、均一に短時間でアルミニウム材表面を目的の温度に到達させることができるため、温度制御が比較的容易であり、しかも急速かつ短時間で加熱できるため雰囲気の影響を少なくできる。
【００６７】
第３の発明によれば、酸洗浄後のアルミニウム材を接触加熱することによりアルミニウム材の表層酸化皮膜を安定化させ、その後焼鈍することにより、エッチング特性に優れ高静電容量を得ることの出来る電解コンデンサ電極用アルミニウム材を製造できる。特に加熱方法として、接触加熱を用いることから、均一に短時間でアルミニウム材表面を目的の温度に到達させることができるため、温度制御が比較的容易であり、しかも急速かつ短時間で加熱できるため雰囲気の影響を少なくできる。
【００６８】
第４の発明によれば、アルカリ洗浄と酸洗浄との順次的実施により、均質で安定した酸化皮膜を形成でき、静電容量が高くなる。
【００６９】
第５の発明によれば、最終圧延後アルミニウム材をアルカリ洗浄もしくは酸洗浄する前に有機溶剤洗浄するから、アルミニウム材表面を脱脂でき、良好な酸化皮膜の形成が可能となる。
【００７０】
第６の発明によれば、加熱体の表面温度が５０〜４５０℃、加熱体との接触時間が０．００１〜３０秒であるから、表層酸化皮膜の結晶化率や結晶性酸化物微粒子を十分に制御した適度な厚さの安定した酸化皮膜を形成できる。
【００７１】
第７の発明によれば、焼鈍が、アルミニウム材の実体温度４５０〜６００℃にて不活性ガス雰囲気で行われるから、酸化皮膜中にエッチピットの核となりうる結晶性酸化物粒子を均一に分散させることができる。
【００７２】
第８の発明によれば、加熱体が熱ロールまたは加熱板であるから、良好な加熱接触を簡易に行うことができる。
【００７３】
第９の発明によれば、アルカリ洗浄に用いるアルカリ洗浄液が水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、オルト珪酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、リン酸三ナトリウムから選ばれた１種または２種以上のアルカリを含む水溶液であるから、アルミニウム材の表層酸化皮膜を確実に安定化させることができ、エッチング特性に優れ高静電容量を得ることの出来る電解コンデンサ電極用アルミニウム材を製造できる。
【００７４】
第１０の発明によれば、酸洗浄に用いる酸洗浄液が、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸から選ばれた１種または２種以上の酸を含む水溶液であることにより、アルミニウム材の表層酸化皮膜を確実に安定化させることができ、エッチング特性に優れ高静電容量を得ることの出来る電解コンデンサ電極用アルミニウム材を製造できる。
【００７５】
第１１の発明によれば、エッチング特性に優れ高静電容量を得ることの出来る電解コンデンサ陽極用アルミニウム材を製造できる。
【００７６】
第１２の発明によれば、アルミニウム材のアルミニウム純度が９９．９％以上であるから、特に化成処理が必要な陽極材として好適なものとなる。
【００７７】
第１３の発明によれば、高静電容量の電解コンデンサ用電極材を得ることができる。
【００７８】
第１４の発明によれば、高静電容量のアルミニウム電解コンデンサとなし得る。