(57)【要約】【課題】保全キャップに付着して残る機能液のノズル面への影響に着目して為されたものであり、機能液の性状等に関らず、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる液滴吐出ヘッドの保全方法、保全キャップのクリーニング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】液滴吐出ヘッドの保全方法は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド２０のノズル面に対し、シール部位１０５を介して保全キャップ９１を密着する封止工程に先立ち、保全キャップ９１のキャップ表面１７１をダミーヘッド１２１で封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、少なくともシール部位１０５に付着した機能液を洗い落とす洗浄工程を、備えたものである。【選択図】  図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に保全キャップを密着し、当該保全キャップのシール部位によりノズル孔を気密に封止することで当該液滴吐出ヘッドを保全する液滴吐出ヘッドの保全方法において、
前記液滴吐出ヘッドに前記保全キャップを密着する封止工程に先立ち、
前記保全キャップのキャップ表面を封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、少なくとも前記シール部位に付着した機能液を洗い落とす洗浄工程を、有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項２】
前記洗浄工程は、前記封止空間に洗浄液を通液して、前記シール部位および前記保全キャップの内部に付着した機能液を一括して洗い落とすことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項３】
前記洗浄液の通液は、前記液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドであって、前記シール部位に対し非接触状態でこれを囲繞するキャップシール部位を有するものを用いて行われ、
前記洗浄工程は、前記保全キャップのキャップ表面に対し、前記キャップシール部位を介して前記ダミーヘッドにより封止するキャップ封止工程と、
前記ダミーヘッドと前記保全キャップとの間の封止空間に、当該ダミーヘッドから洗浄液を通液して洗浄を行う通液工程と、から成ることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項４】
機能液を吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に保全キャップを密着し、当該保全キャップのシール部位によりノズル孔を気密に封止することで当該液滴吐出ヘッドを保全する液滴吐出ヘッドの保全方法において、
前記液滴吐出ヘッドに前記保全キャップを密着する封止工程に先立ち、
前記保全キャップのシール部位に対し、拭取り部材を押し付けて当該シール部位に付着した機能液を拭き取る拭取り工程を、有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項５】
前記封止工程に先立ち、
前記保全キャップのキャップ表面を封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、前記保全キャップの内部に付着した機能液を洗い落とすキャップ内洗浄工程を、更に有することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項６】
前記キャップ内洗浄工程は、前記拭取り工程に先行して行われることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項７】
前記キャップ内洗浄工程は、前記液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドにより前記保全キャップのキャップ表面を封止するキャップ封止工程と、
前記ダミーヘッドと前記保全キャップとの間の封止空間に、前記ダミーヘッドから洗浄液を通液して洗浄を行う通液工程と、から成ることを特徴とする請求項５または６に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項８】
前記通液工程は、前記ダミーヘッドから前記封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液工程と、
前記洗浄液給液工程に連続し、前記保全キャップ内の洗浄液を排液する排液工程と、から成ることを特徴とする請求項３または７に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項９】
前記排液工程は、前記保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で終了することを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項１０】
前記保全キャップは吸引手段に接続されており、
前記洗浄液給液工程および前記排液工程のうち、少なくとも前記排液工程は、前記吸引手段を駆動することにより行われることを特徴とする請求項８または９に記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項１１】
前記保全キャップは、吸引手段に接続され、前記液滴吐出ヘッドの全ノズルから機能液を吸引する吸引処理用のキャップ部材を兼ねていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの保全方法。
【請求項１２】
機能液を吐出する液滴吐出ヘッドを保全するためにそのノズル面に密着し、キャップ表面のシール部位によりノズル孔を気密に封止する保全キャップのクリーニング装置において、
前記保全キャップのキャップ表面を封止する封止部材と、
前記封止部材と前記保全キャップとの間の封止空間に洗浄液を通液し、少なくとも前記シール部位を洗浄する通液洗浄手段と、
前記保全キャップに対し前記封止部材を相対的に臨ませる封止用移動手段と、を備えたことを特徴とする保全キャップのクリーニング装置。
【請求項１３】
前記封止部材は、前記シール部位に対し非接触状態でこれを囲繞し、前記キャップ表面に密着するキャップシール部位を有し、
前記通液洗浄手段は、前記封止空間に洗浄液を通液し、前記シール部位および保全キャップの内部を洗浄することを特徴とする請求項１２に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項１４】
前記封止部材は、前記液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドからなり、
前記通液洗浄手段は、
前記ダミーヘッドから前記封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段と、
前記保全キャップ内の洗浄液を当該保全キャップから排液する排液手段と、
を有することを特徴とする請求項１３に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項１５】
前記排液手段は、前記保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で、駆動を停止することを特徴とする請求項１４に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項１６】
前記保全キャップに接続された吸引手段を更に有し、
前記吸引手段は、前記洗浄液給液手段および前記排液手段を兼ねていることを特徴とする請求項１４または１５に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項１７】
機能液を吐出する液滴吐出ヘッドを保全するためにそのノズル面に密着し、シール部位によりノズル孔を気密に封止する保全キャップのクリーニング装置において、
前記保全キャップのシール部位に対し、拭取り部材を相対的に押し付けて、当該シール部位に付着した機能液を拭き取る拭取り手段と、
前記保全キャップに対し前記拭取り手段を相対的に臨ませる拭取り用移動手段と、
を備えたことを特徴とする保全キャップのクリーニング装置。
【請求項１８】
前記保全キャップのキャップ表面を封止する封止部材と、前記封止部材と前記保全キャップとの間の封止空間に洗浄液を通液し、当該保全キャップの内部を洗浄するキャップ内通液洗浄手段と、
前記保全キャップに対し前記封止部材を相対的に臨ませる封止用移動手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１７に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項１９】
前記拭取り手段は、前記キャップ内通液洗浄手段の駆動停止後、駆動を開始することを特徴とする請求項１８に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項２０】
前記封止部材は、前記液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドからなり、
前記キャップ内通液洗浄手段は、前記ダミーヘッドから前記封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段と、
前記保全キャップ内の洗浄液を当該保全キャップから排液する排液手段と、を有することを特徴とする請求項１８または１９に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項２１】
前記排液手段は、前記保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で、駆動を停止することを特徴とする請求項２０に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項２２】
前記保全キャップに接続された吸引手段を更に有し、
前記吸引手段は、前記洗浄液給液手段および前記排液手段を兼ねていることを特徴とする請求項２０または２１に記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項２３】
前記拭取り部材は、シート状の部材からなり、
前記拭取り手段は、
前記拭取り部材を繰出し自在に巻回した繰出し手段と、
前記拭取り部材の拭取り済み部分を巻き取って回収する巻取り手段と、
前記繰出し手段および前記巻取り手段の間に設けられ、繰り出した前記拭取り部材を前記保全キャップのシール部位に相対的に押し付ける押付け機構と、
を有することを特徴とする請求項１７ないし２２のいずれかに記載の保全キャップのクリーニング装置。
【請求項２４】
請求項１２ないし２３のいずれかに記載の保全キャップのクリーニング装置と、
ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるヘッド移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２５】
請求項２４に記載の液滴吐出装置を用い、
前記液滴吐出ヘッドから吐出した機能液により形成した成膜部を、前記ワークとなる基板上に有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項２６】
請求項２４に記載の液滴吐出装置を用い、
前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、前記ワークとなる基板上に成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２７】
請求項２５に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、保全キャップにより、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドのノズル面を気密に封止する液滴吐出ヘッドの保全方法、保全キャップのクリーニング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、多数のノズルをノズル面に有するインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、ノズルから吐出するインク滴の飛行曲がりを防止するべく、ノズル孔廻りおよびノズル面を共析メッキ層等により撥インク処理されている（例えば、特許文献１参照。）。
一方、インクジェットプリンタに代表される液滴吐出装置では、稼動時におけるノズル詰り（ドット抜け）を防止・解消するために、インクジェットヘッドのノズル面に保全キャップを気密に密着させ、保全キャップを介してノズルからインクを強制的に吸引する吸引処理が適宜行われている。また、非稼動時には、インクジェットヘッドに保全キャップを気密に密着させることで、ノズル孔を飽和状態に保ち、ノズル孔からのインク乾燥を防止する保管処理が行われている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平７−３１４６９４号公報（第２−４頁、第５図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、カラーフィルタや有機ＥＬデバイスなどの各種成膜部の形成に供する液滴吐出装置では、インクとしてハロゲンイオンを多く含む溶剤など、特殊な機能液を用いる場合がある。
従来のように保全キャップにより液滴吐出ヘッドを封止すると、保全キャップのシール部位（通常、ゴム材料）に機能液が予め付着している場合には、ノズル面に機能液が付着してしまう。このため、機能液の性状やノズル面の表面処理の態様によっては、共析メッキ層が劣化して、ノズル面の撥インク性が悪化し、液滴吐出ヘッドの吐出特性に影響をおよぼす問題があった。
また、保全キャップを保管処理に加えて吸引処理にも兼用している場合には、保全キャップ内には機能液が残存しているため、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを封止すると、その封止空間は機能液の略飽和気体で満たされることになる。この状態が長時間続くと、上記同様に機能液の性状等によっては、ノズル面の撥インク性の悪化を促進する要因となっていた。
【０００５】
本発明は、保全キャップに付着して残る機能液のノズル面への影響に着目して為されたものであり、機能液の性状等に関らず、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる液滴吐出ヘッドの保全方法、保全キャップのクリーニング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することをその目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出ヘッドの保全方法は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に保全キャップを密着し、保全キャップのシール部位によりノズル孔を気密に封止することで液滴吐出ヘッドを保全する液滴吐出ヘッドの保全方法において、液滴吐出ヘッドに保全キャップを密着する封止工程に先立ち、保全キャップのキャップ表面を封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、少なくともシール部位に付着した機能液を洗い落とす洗浄工程を、有することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、保全キャップのシール部位に機能液が付着していたとしても、キャップ表面を封止してなる封止空間に洗浄液を通液して、少なくともシール部位を洗浄してから、保全キャップを液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させている。このため、封止時におけるノズル面には、きれいなシール部位が密着し機能液が付着した状態とならない。これにより、機能液の性状等に関らず、保全時におけるノズル面に悪影響（例えば撥機能液性の悪化）を及ぼすことを防止できる。
【０００８】
この場合、洗浄工程は、封止空間に洗浄液を通液して、シール部位および保全キャップの内部に付着した機能液を一括して洗い落とすことが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、封止空間に通液した洗浄液により、シール部位に加えて保全キャップの内部も洗浄される。これにより、保全キャップ内を、機能液の略飽和気体で満たすことなく、常に、略空気（自然状態）ないしは洗浄液の略飽和気体で満たすことができる。このため、ノズル面が機能液の飽和気体に曝されることがなく、機能液の性状等に関らず、液滴吐出ヘッドを保全キャップにより長時間に亘って安定に且つ適切に封止することができる。
【００１０】
この場合、洗浄液の通液は、液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドであって、シール部位に対し非接触状態でこれを囲繞するキャップシール部位を有するものを用いて行われ、洗浄工程は、保全キャップのキャップ表面に対し、キャップシール部位を介してダミーヘッドにより封止するキャップ封止工程と、ダミーヘッドと保全キャップとの間の封止空間に、ダミーヘッドから洗浄液を通液して洗浄を行う通液工程と、から成ることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、保全キャップに密着させたダミーヘッドから、この封止空間に洗浄液を通液するが、ダミーヘッドは、液滴吐出ヘッドが本来密着する保全キャップのシール部位には非接触で、キャップシール部位を介してシール部位を囲繞するように密着する。そしてこの封止状態で洗浄液が通液することから、洗浄液の漏れ等を生ずることなく、シール部位および保全キャップの内部を一括して洗浄することができる。
【００１２】
本発明の他の液滴吐出ヘッドの保全方法は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に保全キャップを密着し、保全キャップのシール部位によりノズル孔を気密に封止することで液滴吐出ヘッドを保全する液滴吐出ヘッドの保全方法において、液滴吐出ヘッドに保全キャップを密着する封止工程に先立ち、保全キャップのシール部位に対し、拭取り部材を押し付けてシール部位に付着した機能液を拭き取る拭取り工程を、有することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、保全キャップのシール部位に機能液が付着していたとしても、これを拭取り部材で拭き取ってから、保全キャップを液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させている。このため、封止時におけるノズル面には、きれいなシール部位が密着し機能液が付着した状態とならない。これにより、機能液の性状等に関らず、保全時（封止時）におけるノズル面に悪影響（例えば撥機能液性の悪化）を及ぼすことを防止できる。
【００１４】
この場合、封止工程に先立ち、保全キャップのキャップ表面を封止し、この封止空間に洗浄液を通液して、保全キャップの内部に付着した機能液を洗い落とすキャップ内洗浄工程を、更に有することが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、封止空間に洗浄液を通液すると、保全キャップの内部が洗浄される。このため、仮にフラッシングや吸引処理により捨て吐出した機能液が保全キャップ内に残存していても、保全キャップ内を、機能液の飽和気体で満たすことなく、略空気（自然状態）ないしは洗浄液の略飽和気体で満たすことができる。これにより、液滴吐出ヘッドを保全キャップにより長時間に亘って封止しても、ノズル面と保全キャップとにより構成される封止空間に機能液の飽和気体が存在しないため、ノズル面に悪影響をおよぼすことがない。
【００１６】
この場合、キャップ内洗浄工程は、拭取り工程に先行して行われることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、洗浄後に拭取るようにしているため、シール部位廻りに付着して残り得る機能液を確実に除去できる。また、シール部位には液体が一切付着しない状態になるため、液滴吐出ヘッドの吐出特性に影響をきたすことが一切ない。
【００１８】
これらの場合、キャップ内洗浄工程は、液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドにより保全キャップのキャップ表面を封止するキャップ封止工程と、ダミーヘッドと保全キャップとの間の封止空間に、ダミーヘッドから洗浄液を通液して洗浄を行う通液工程と、から成ることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、ダミーヘッドを用いているため、保全キャップのキャップ表面（のシール部位）を適切に封止することができると共に、その封止空間にダミーヘッドから洗浄液を通液して、保全キャップの内部を洗浄することができる。
【００２０】
これらの場合、通液工程は、ダミーヘッドから封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液工程と、洗浄液給液工程に連続し、保全キャップ内の洗浄液を排液する排液工程と、から成ることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、ダミーヘッドから保全キャップの排液側に向かって封止空間に洗浄液を通液させることで、保全キャップ内に機能液を一切残すことなく、これを効率良く洗浄することができる。
【００２２】
この場合、排液工程は、保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で終了することが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、ヘッド保全時において、保全キャップ内に洗浄液が僅かに（ノズル面に接液しない程度に）残存する状態で、液滴吐出ヘッドが封止されることになる。これにより、その封止空間は洗浄液の略飽和気体で満たされるため、ノズル面に悪影響をおよぼさないことはもとより、ノズル孔からの機能液溶剤の気化を抑制する（保湿する）ことができ、いわゆるノズル孔からの機能液乾燥が防止される。
【００２４】
これらの場合、保全キャップは吸引手段に接続されており、洗浄液給液工程および排液工程のうち、少なくとも排液工程は、吸引手段を駆動することにより行われることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、吸引手段を駆動することで、保全キャップ内に残存する洗浄液および機能液を効率良く排液することができる。また、洗浄液給液工程においても吸引手段を用いれば、機能液等の排液と同時に、封止空間への洗浄液の給液もできる。すなわち、給液と排液とを連続して行うことができ、短時間で洗浄を行うことができる。
【００２６】
これらの場合、保全キャップは、吸引手段に接続され、液滴吐出ヘッドの全ノズルから機能液を吸引する吸引処理用のキャップ部材を兼ねていることが、好ましい。
【００２７】
この構成によれば、保全キャップを有効活用することができるため、吸引処理用の保全キャップを別個独立して設ける場合に比して、部品点数を削減することができる。また、吸引処理により保全キャップは機能液で汚染し得るが、液滴吐出ヘッドの保管処理に際しては、拭取り或いは洗浄した保全キャップで液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる。なお、吸引処理の直後に、上記の拭取り工程あるいは洗浄工程を行えば、保全キャップに付着した機能液が乾燥して固化するのを防止することができる。
【００２８】
本発明の保全キャップのクリーニング装置は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドを保全するためにそのノズル面に密着し、キャップ表面のシール部位によりノズル孔を気密に封止する保全キャップのクリーニング装置において、保全キャップのキャップ表面を封止する封止部材と、封止部材と保全キャップとの間の封止空間に洗浄液を通液し、少なくともシール部位を洗浄する通液洗浄手段と、保全キャップに対し封止部材を相対的に臨ませる封止用移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２９】
この構成によれば、保全キャップのクリーニングを行う場合には、その位置に封止部材を相対的に臨ませ、通液洗浄手段を駆動する。すると、封止部材と保全キャップとの間の封止空間に洗浄液が通液され、少なくともシール部位に付着して残る機能液は洗い落とされる。これにより、保全キャップを液滴吐出ヘッドに密着させるヘッド保全処理を行う場合には、ノズル面には洗浄後のシール部位が密着するため、機能液の性状等の如何に関らず、保全時におけるノズル面に悪影響（例えば撥機能液性の悪化）を及ぼすことを防止できる。
【００３０】
この場合、封止部材は、シール部位に対し非接触状態でこれを囲繞し、キャップ表面に密着するキャップシール部位を有し、通液洗浄手段は、封止空間に洗浄液を通液し、シール部位および保全キャップの内部を洗浄することが、好ましい。
【００３１】
この構成によれば、封止部材は、液滴吐出ヘッドが本来密着する保全キャップのシール部位には非接触で、キャップシール部位を介してシール部位を囲繞するように保全キャップを封止する。そしてこの封止状態で洗浄液が通液されることから、シール部位に加えて、保全キャップの内部もこれに付着した機能液が洗い落とされる。これにより、保全キャップ内を、機能液の飽和気体で満たすことなく、常に、略空気（自然状態）ないしは洗浄液の飽和気体で満たすことができるため、液滴吐出ヘッドの保管処理を長時間に亘って安定に且つ適切に行うことができる。
【００３２】
この場合、封止部材は、液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドからなり、通液洗浄手段は、ダミーヘッドから封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段と、保全キャップ内の洗浄液を保全キャップから排液する排液手段と、を有することが、好ましい。
【００３３】
この構成によれば、ダミーヘッドから保全キャップの排液側に向かって封止空間に洗浄液を通液させることで、洗浄液の漏れ等を生ずることなく、且つ保全キャップ内に機能液を残すことなく、これを効率良く洗浄することができる。
【００３４】
この場合、排液手段は、保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で、駆動を停止することが、好ましい。
【００３５】
この構成によれば、ヘッド保全時において、保全キャップ内に洗浄液が僅かに残存する状態で、液滴吐出ヘッドが封止されることになる。これにより、その封止空間は洗浄液の略飽和状態となるため、ノズル面に悪影響をおよぼすことがないと共に、ノズル孔を適切に保湿することができる。
【００３６】
これらの場合、保全キャップに接続された吸引手段を更に有し、吸引手段は、洗浄液給液手段および排液手段を兼ねていることが、好ましい。
【００３７】
この構成によれば、吸引手段を駆動することで、封止空間への洗浄液の給液と同時に、保全キャップ内に残存する洗浄液および機能液を効率良く排液できるため、短時間で洗浄を行うことができる。
【００３８】
本発明の保全キャップのクリーニング装置は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドを保全するためにそのノズル面に密着し、シール部位によりノズル孔を気密に封止する保全キャップのクリーニング装置において、保全キャップのシール部位に対し、拭取り部材を相対的に押し付けて、シール部位に付着した機能液を拭き取る拭取り手段と、保全キャップに対し拭取り手段を相対的に臨ませる拭取り用移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３９】
この構成によれば、保全キャップのクリーニングを行う場合には、その位置に拭取り手段を相対的に臨ませ、拭取り手段を駆動する。すると、拭取り部材に押し付けられたシール部位は、これに付着して残る機能液を拭き取られる。これにより、保全キャップを液滴吐出ヘッドに密着させるヘッド保全処理を行う場合には、ノズル面には常にきれいなシール部位が密着するため、機能液の性状等の如何に関らず、ノズル面に悪影響（例えば撥機能液性の悪化）を及ぼすことを防止できる。
【００４０】
この場合、保全キャップのキャップ表面を封止する封止部材と、封止部材と保全キャップとの間の封止空間に洗浄液を通液し、保全キャップの内部を洗浄するキャップ内通液洗浄手段と、保全キャップに対し封止部材を相対的に臨ませる封止用移動手段と、を更に備えたことが、好ましい。
【００４１】
この構成によれば、封止部材を保全キャップの位置に相対的に臨ませ、これでキャップ表面を封止した状態で、この封止空間に洗浄液を通液することで、保全キャップの内部に付着した機能液が洗い落とされる。これにより、保全キャップ内を、機能液の飽和気体で満たすことなく、略空気（自然状態）ないしは洗浄液の略飽和気体で満たすことができ、ヘッド保全処理を長時間に亘って安定して行うことができる。
【００４２】
この場合、拭取り手段は、キャップ内通液洗浄手段の駆動停止後、駆動を開始することが、好ましい。
【００４３】
この構成によれば、洗浄後に拭取るようにしているため、シール部位廻りに付着して残り得る機能液を確実に除去できる。また、シール部位には液体が一切付着しない状態になるため、液滴吐出ヘッドの吐出特性に影響をきたすことが一切ない。
【００４４】
これらの場合、封止部材は、液滴吐出ヘッドを模したダミーヘッドからなり、キャップ内通液洗浄手段は、ダミーヘッドから封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段と、保全キャップ内の洗浄液を保全キャップから排液する排液手段と、を有することが、好ましい。
【００４５】
この構成によれば、ダミーヘッドを用いているため、保全キャップのキャップ表面（のシール部位）を適切に封止することができるため、ダミーヘッドから保全キャップの排液側に向かう洗浄液の通液により、洗浄液の漏れ等を生ずることなく、且つ保全キャップ内に機能液を残すことなく、これを効率良く洗浄することができる。
【００４６】
この場合、排液手段は、保全キャップ内に洗浄液を僅かに残した状態で、駆動を停止することが、好ましい。
【００４７】
この構成によれば、ヘッド保全時において、保全キャップ内に洗浄液が僅かに残存する状態で、液滴吐出ヘッドが封止されることになるため、上記同様に、ノズル面に悪影響をおよぼさず、しかもノズル孔を適切に保湿することができる。
【００４８】
これらの場合、保全キャップに接続された吸引手段を更に有し、吸引手段は、洗浄液給液手段および排液手段を兼ねていることが、好ましい。
【００４９】
この構成によれば、吸引手段を駆動することで、封止空間への洗浄液の給液と同時に、保全キャップ内に残存する洗浄液および機能液を効率良く排液できる。また、構造を単純にすることができる。
【００５０】
これらの場合、拭取り部材は、シート状の部材からなり、拭取り手段は、拭取り部材を繰出し自在に巻回した繰出し手段と、拭取り部材の拭取り済み部分を巻き取って回収する巻取り手段と、繰出し手段および巻取り手段の間に設けられ、繰り出した拭取り部材を保全キャップのシール部位に相対的に押し付ける押付け機構と、を有することが、好ましい。
【００５１】
この構成によれば、拭取り部材は、押付け機構によりシール部位に相対的に押し付けられて機能液を拭き取った後、巻取り手段に巻き取られる。これにより、使用済みの拭取り部材を適切に回収でき、併せて、次の拭取りの準備も完了するため、常にきれいな拭取り部材をシール部位に供することができる。
【００５２】
本発明の液滴吐出装置は、上記した本発明の保全キャップのクリーニング装置と、ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるヘッド移動機構と、を備えたことを特徴とする。
【００５３】
この構成によれば、非稼働時等において液滴吐出ヘッドを適切に保全することができるため、ヘッド移動機構を駆動する稼働時において、液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液を適切に吐出することができる。また、液滴吐出ヘッドのノズル面の劣化を抑制できるため、劣化による液滴吐出ヘッドの交換頻度が減り、装置の信頼性および生産性を高めることができる。なお、ワークには、後述するカラーフィルタなどの各種基板の他、単票紙などの記録媒体も含まれる。
【００５４】
本発明の電気光学装置は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから吐出した機能液により形成した成膜部を、ワークとなる基板上に有することを特徴とする。
【００５５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した本発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して、ワークとなる基板上に成膜部を形成することを特徴とする。
【００５６】
この構成によれば、基板に対する機能液滴の吐出が確実に行われる液滴吐出装置を用いての製造であるため、電気光学装置の歩留まりを向上することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が含まれる。
【００５７】
本発明の電子機器は、上記した本発明の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００５８】
この構成によれば、高性能な電気光学装置を搭載した電子機器を提供することができる。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００５９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、有機ＥＬデバイス等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェット方式により、基板（ワーク）に対し液滴吐出ヘッドからフィルタ材料や発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。また、液滴吐出装置には、保全キャップのクリーニング装置が備えられており、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができるようになっている。
【００６０】
図１ないし図４に示すように、液滴吐出装置１は、図６に示す液滴吐出ヘッド２０を有し機能液を吐出する吐出手段２と、液滴吐出ヘッド２０の保全処理を行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド２０に機能液を供給すると共に不要となった機能液などの液体を回収する機能液供給手段４と、機能液供給手段４など各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５と、これら各手段・装置を統括制御する制御手段６（図８、図９参照）と、を備えている。
【００６１】
液滴吐出装置１は、石定盤１３を上部に固定した架台１１と、架台１１に添設した機台１２とを有している。石定盤１３の上には吐出手段２が配設され、上方の液滴吐出ヘッド２０に対応して、下方に液滴対象物となるワークＷ（基板、図４参照）がセットされている。ワークＷは、例えばガラス基板やポリイミド基板等で構成されている。
【００６２】
機台１２は、機能液供給手段４のメインタンク５２等のタンク類（図３参照）を収容する手前側の大収容室１４と、エアー供給手段５の主要部を収容する奥側の小収容室１５と、小収容室１５の上に設置され、メインタンク５２に対しサブタンクとして機能する機能液供給手段４の給液サブタンク５３を載置するタンクベース１６と、大収容室１４の上に設置され、機台１２の長手方向（すなわちＸ軸方向）にスライド自在に支持された移動テーブル１７と、で構成されている。移動テーブル１７上には、メンテナンス手段３の各種ユニットを載置する共通ベース１８が固定されている。
【００６３】
吐出手段２は、複数の液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を搭載したメインキャリッジ２２と、メインキャリッジ２２を介してヘッドユニット２１をワークＷに対しＸ・Ｙ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構２３と、を有している。Ｘ・Ｙ移動機構２３（ヘッド移動機構）は、石定盤１３上に配設されており、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２５と、Ｘ軸テーブル２５に直交してメインキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル２６とで構成され、Ｙ軸テーブル２６はＸ軸テーブル２５を跨ぐようにしてその上方に配設されている。
【００６４】
Ｘ軸テーブル２５は、移動系の主体をリニアモータにより構成され、ワークＷを吸着載置した吸着テーブル２７（図４参照）を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸テーブル２６は、移動系の主体をボールねじで構成され、メインキャリッジ２２を吊り下げるように固定したブリッジプレート２８を介して液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に移動させる。
【００６５】
吐出手段２による一連の動作では、Ｘ軸テーブル２５によるワークＷの主走査方向（Ｘ軸方向）への移動に同期して、複数の液滴吐出ヘッド２０が選択的に吐出駆動する。すなわち、液滴吐出ヘッド２０のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル２５によるワークＷの往復動動作により行われ、これに対応していわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル２６による液滴吐出ヘッド２０のＹ軸方向へのピッチ送り動作となる往動動作により行われる。このように、Ｘ・Ｙ移動機構２３により液滴吐出ヘッド２０をワークＷに対し相対的に主走査および副走査することで、ワークＷの所定位置に機能液を吐出する描画動作を、制御手段６に記憶するデータに基づいて実行している。
【００６６】
なお、液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）に対し、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド２０を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、液滴吐出ヘッド２０を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００６７】
ヘッドユニット２１は、図５および図６に示すように、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド２０を搭載するサブキャリッジ２９を有し、サブキャリッジ２９の部分でメインキャリッジ２２に固定されている。１２個の液滴吐出ヘッド２０は、６個ずつ２列に分けて主走査方向（Ｘ軸方向）に離間して配置されている。また、各液滴吐出ヘッド２０は、ワークＷに対して機能液滴の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド２０は、副走査方向（Ｙ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド２０のノズル４９が連続（一部重複）するようになっている。
【００６８】
液滴吐出ヘッド２０は、図６に示すように、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４１を有する機能液導入部４２と、機能液導入部４２に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４２の下方（同（ａ）では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４と、を備えている。この種のインクジェット方式の液滴吐出ヘッド２０は、吐出駆動のためのエネルギー発生素子として圧電素子（ピエゾ素子）を用いたもの、あるいは電気熱変換体を用いたもので構成されている。
【００６９】
各接続針４１は、配管アダプタ５１を介して給液サブタンク５３に接続されており、機能液導入部４２は、各接続針４１から機能液の供給を受けるようになっている。すなわち、機能液は、エアー供給手段５によりメインタンク５２から給液サブタンク５３に圧力供給されると共に、この給液サブタンク５３で圧力的に縁切りされ、給液サブタンク５３から分岐して各液滴吐出ヘッド２０に供給される。
【００７０】
ヘッド本体４４は、平坦なノズル面４５を有するノズル形成プレート４６と、ノズル形成プレート４６に連なる直方体形状の２連のポンプ部４７とで構成されている。液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体４４がサブキャリッジ２９の下面から突出しており、ヘッド本体４４の下面、すなわちワークＷに平行に対峙するノズル面４５には、２本のノズル列４８が相互に平行に形成されている。
【００７１】
各ノズル列４８は、略主走査方向に延在しており、例えば１８０個のノズル４９が等ピッチで並べられて構成されている。そして液滴吐出ヘッド２０は、ポンプ部４７の作用により各ノズル４９のノズル孔から機能液滴をドット状に吐出する。特に図示しないが、ノズル孔の周囲の部分およびノズル面４５は、撥機能液性を有するように表面処理され、例えば共析メッキ層が被膜されている。
【００７２】
メンテナンス手段３は、液滴吐出ヘッド２０を保全処理して、液滴吐出ヘッド２０が機能液を適切に吐出できるようにするためのものであり、特に図４に示すように、架台１１側にはフラッシングボックス７１が配置され、機台１２側には図示紙面の下側からワイピングユニット７２、吸引ユニット７３、重量測定ユニット７４およびキャップクリーニングユニット７５が配設されている。
【００７３】
この場合、ワイピングユニット７２、吸引ユニット７３および重量測定ユニット７４は、移動テーブル１７上の共通ベース１８に搭載されており、移動テーブル１７により、メンテナンス位置に移動したヘッドユニット２１に臨むようになっている。一方、キャップクリーニングユニット７５は、機台１２上に直接載置されており、後述する自身の保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５により、吸引ユニット７３に臨むようになっている。
【００７４】
フラッシングボックス７１は、吸着テーブル２７を挟んで一対のものがＸ軸テーブル２５に固定されており、各フラッシングボックス７１は、複数の液滴吐出ヘッド２０のフラッシング（予備吐出：全ノズル４９からの機能液滴の捨て吐出）を受ける。具体的には、フラッシングボックス７１は、描画動作中に使用されるものであり、主走査時にワークＷと共に液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）に向かって移動し、フラッシングボックス７１に臨んだ液滴吐出ヘッド２０からフラッシングが順次（列ごとに）、定期的に行われる。
【００７５】
ワイピングユニット７２は、図１、図３および図４に示すように、移動テーブル１７を介してＸ軸方向にスライド自在に構成されている。ワイピングユニット７２は、液滴ミストが付着して汚れた各液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５をワイピングシート（図示省略）により拭き取るものであり、このワイピング処理は、基本的に吸引ユニット７３による液滴吐出ヘッド２０の吸引処理の後で行われる。
【００７６】
例えば、液滴吐出ヘッド２０の吸引処理が完了すると、ワイピングユニット７２は移動テーブル１７により液滴吐出ヘッド２０に臨む位置まで移動する。そして、ワイピングユニット７２は、ロール状のワイピングシートを繰り出し、これを液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５に摺接させてノズル面４５を拭き取り、拭き取り後のワイピングシートを巻き取る。
【００７７】
重量測定ユニット７４は、液滴吐出ヘッド２０の液滴吐出量（重量）をヘッド単位で測定することにより、液滴吐出ヘッド２０における駆動電圧の適正化に資するものである。重量測定ユニット７４は、１２個の液滴吐出ヘッド２０に対応して設けた１２個の液滴受け容器７８と、１２個の液滴受け容器７８を載置する共に共通ベース１８に固定された載置台７９と、を有している。
【００７８】
そして、重量測定に際しては、重量測定ユニット７４の直上部に臨む各液滴吐出ヘッド２０から各液滴受け容器７８に向けて所定回数液滴を吐出させる。その後、各液滴受け容器７８を図外の電子天秤に移載して、各液滴受け容器７８内の液滴の重量を測定する。
【００７９】
吸引ユニット７３は、液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５に密着する保全キャップ９１を有している。吸引ユニット７３は、液滴吐出装置１の稼働時やマニュアル操作により、液滴吐出ヘッド２０のノズル詰まり（ドット抜け）を防止・解消するために、保全キャップ９１を介して液滴吐出ヘッド２０から機能液を強制的に吸引する吸引処理（ヘッドクリーニング処理）を行う。また、吸引ユニット７３は、非稼働時における液滴吐出ヘッド２０のノズル孔からの機能液乾燥を防止するために、保全キャップ９１により液滴吐出ヘッド２０のノズル孔を気密に封止する保管処理を行う。
【００８０】
吸引ユニット７３は、図７に示すように、１２個の液滴吐出ヘッド２０に対応する１２個の保全キャップ９１をベースプレート９２に組み込んだキャップユニット９３と、キャップユニット９３を昇降させる昇降機構９４と、保全キャップ９１を介して機能液の吸引を行う吸引ポンプ９５と、各保全キャップ９１と吸引ポンプ９５とを接続する吸引用チューブ９６と、を有している。
【００８１】
保全キャップ９１は、キャップ本体１０１と、キャップ本体１０１をベースプレート９２に固定するキャップホルダ１０２と、で構成されている。図８に簡略的に示すように、保全キャップ９１は、キャップ本体１０１内の底部に敷設した吸収材１０３と、吸収材１０３を押える枠状の吸収材押え１０６と、キャップ本体１０１の底部に形成した小孔１０４と、キャップ本体１０１の上端周縁部に取り付けたシールパッキン１０５と、を有している。小孔１０４は吸引用チューブ９６に連通している。
【００８２】
シールパッキン１０５は、保全キャップ９１のキャップ表面に位置し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５の周縁部に密着可能に構成され、これを封止する。すなわち、シールパッキン１０５が液滴吐出ヘッド２０に対する保全キャップ９１のシール部位となり、保全キャップ９１とノズル面４５とにより封止空間が構成され、液滴吐出ヘッド２０のノズル孔が気密に封止される。
【００８３】
吸引ポンプ９５は、制御手段６に接続されている。昇降機構９４は、エアーシリンダにより構成されており、制御手段６に接続されている。昇降機構９４は、保全キャップ９１を液滴吐出ヘッド２０に密着させる封止位置と、保全キャップ９１を液滴吐出ヘッド２０から離間させる退避位置との間で、キャップユニット９３を昇降（離接）させる。
【００８４】
なお、昇降機構９４を、吸引処理を行うキャップユニット９３の比較的高い封止位置のほかに、保全キャップ９１が液滴吐出ヘッド２０から僅かに離間する比較的低い上昇位置にキャップユニット９３を停止可能に構成することで、吸引ユニット７３をフラッシングボックスとして機能させることもできる。
【００８５】
液滴吐出ヘッド２０の保管処理および吸引処理ではいずれも、保全キャップ９１を封止位置に移動させ、シールパッキン１０５を介して保全キャップ９１を液滴吐出ヘッド２０に密着した状態で行われる。この状態で、保管処理では吸引ポンプ９５の駆動を待機状態とするが、吸引処理では吸引ポンプ９５を駆動する。吸引ポンプ９５を駆動すると、小孔１０４や封止空間を介して液滴吐出ヘッド２０には負圧がかかり、液滴吐出ヘッド２０から機能液が吸引される。吸引した機能液は、吸収材１０３から吸引用チューブ９６および排液用チューブ１１１から、排液タンク１１２に導かれる。なお、排液タンク１１２は、上記の大収容室１４に収容されている（図３参照）。
【００８６】
詳細は後述するが、少なくとも保管処理の実行前には、キャップクリーニングユニット７５による保全キャップ９１のクリーニング処理が実行されるようになっている。また、このクリーニング処理は、保管処理および吸引処理のヘッド保全処理と同様に、保全キャップ９１が封止位置に移動した状態で行われる。
【００８７】
キャップクリーニングユニット７５は、吸引処理等により保全キャップ９１に付着して残る機能液を除去するために、保全キャップ９１に対し、通液洗浄処理と拭取り処理とから成るクリーニング処理を行うものである。
【００８８】
キャップクリーニングユニット７５は、図４に示すように、封止位置の保全キャップ９１を封止するダミーヘッド１２１と（図８参照）、ダミーヘッド１２１を介して保全キャップ９１内に洗浄液を通液してその内部を洗浄するキャップ内通液洗浄手段１２２と（図８参照）、保全キャップ９１のシールパッキン１０５に付着した機能液を拭き取るキャップ拭取り手段１２３（図９参照）と、ダミーヘッド１２１およびキャップ拭取り手段１２３を一括保持するユニットキャリッジ１２４と、ユニットキャリッジ１２４を介してダミーヘッド１２１およびキャップ拭取り手段１２３をＸ・Ｙ軸方向に移動させる保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５と、を有している。
【００８９】
保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５は、図４に示すように、機台１２上に設置されており、上記のＸ・Ｙ移動機構２３と同様に、保全用Ｘ軸テーブル８５と、これに直交する保全用Ｙ軸テーブル８６とで構成されている。保全用Ｘ軸テーブル８５は、ユニットキャリッジ１２４を搭載し、これをＸ軸方向に移動させる。保全用Ｙ軸テーブル８６は、保全用Ｘ軸テーブル８５の一方の端部を搭載し、保全用Ｘ軸テーブル８５を介してユニットキャリッジ１２４をＹ軸方向に移動させる。
【００９０】
このように、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５は、ユニットキャリッジ１２４を介してダミーヘッド１２１およびキャップ拭取り手段１２３をそれぞれ、保全キャップ９１の直上部に臨ませることができる。すなわち、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５が、請求項にいう封止用移動手段および拭取り用移動手段を構成している。
【００９１】
ダミーヘッド１２１（封止部材）は、液滴吐出ヘッド２０の特にヘッド本体４４の形状を模して形成されており、ヘッド本体４４のノズル面４５に相当する下面が、保全キャップ９１のシールパッキン１０５に密着可能に構成されている。すなわち、液滴吐出ヘッド２０と保全キャップ９１との封止関係と同様に、ダミーヘッド１２１に対する保全キャップ９１のシール部位はシールパッキン１０５となり、ダミーヘッド１２１と保全キャップ９１との間には封止空間が構成される（図８（ａ）参照）。
【００９２】
ダミーヘッド１２１の下面は、保全キャップ９１のシールパッキン１０５に密着する密着面１３１と、保全キャップ９１の内部すなわち封止空間に面する封止面１３２と、で構成されている。封止面１３２には、その周縁部に沿って環状に、封止空間に洗浄液を給液する複数の洗浄ノズル１３３が形成されている（同図（ｂ）参照）。このため、複数の洗浄ノズル１３３から封止空間に給液される洗浄液は、保全キャップ９１の（キャップ本体１０１の）内部の隅々まで行き渡るようになっている。洗浄液により、保全キャップ９１の内部は、これに付着する機能液を洗い落とされる。
【００９３】
キャップ内通液洗浄手段１２２は、図８に示すように、ダミーヘッド１２１から封止空間に洗浄液を給液する洗浄液給液手段１４１と、保全キャップ９１内の洗浄液を保全キャップ９１から排液する排液手段１４２とを有している。
【００９４】
洗浄液給液手段１４１は、洗浄液を大量に貯留した洗浄液タンク１４３と、洗浄液タンク１４３とダミーヘッド１２１とを接続する洗浄用チューブ１４４と、を有している。洗浄用チューブ１４４は、ダミーヘッド１２１の上部に繋ぎこまれている。洗浄液タンク１４３は、上記の大収容室１４に収容され（図３参照）、ダミーヘッド１２１よりも低い位置に配置されている。これにより、自然状態におけるダミーヘッド１２１からの洗浄液の垂れが防止されている。
【００９５】
排液手段１４２は、主として、保全キャップ９１に接続した上記の吸引ポンプ９５が兼ねており、吸引ポンプ９５の駆動により、保全キャップ９１内の洗浄液を吸引用チューブ９６等を介して排液タンク１１２に導く。そして、ダミーヘッド１２１を保全キャップ９１に密着した状態で吸引ポンプ９５を駆動すると、封止空間を介してダミーヘッド１２１には負圧がかかり、ダミーヘッド１２１から吸引される洗浄液が、封止空間に給液されるようになっている。
【００９６】
すなわち、保全キャップ９１を組み込んだキャップユニット９３を封止位置に上昇させてダミーヘッド１２１に密着させた後、吸引ポンプ９５を駆動することで、保全キャップ９１とダミーヘッド１２１との間の封止空間には、洗浄用チューブ１４４を介して洗浄液タンク１４３の洗浄液が給液されてゆく。またこれと同時に、保全キャップ９１内の洗浄液は、吸引用チューブ９６を介して保全キャップ９１から排液タンク１１２に排液されてゆく。
【００９７】
このように、吸引ポンプ９５を所定時間駆動することで、封止空間には、洗浄液がダミーヘッド１２１から保全キャップ９１の排液側に向かって通液するようになっている。この通液により、保全キャップ９１内は洗浄され、キャップ本体１０１の内壁に付着した機能液が洗い落とされることはもとより、吸収材１０３に含浸している機能液も、洗浄液と共に排液される。
【００９８】
この場合、保全キャップ９１内に洗浄液を僅かに残した状態で、すなわち吸収材１０３に洗浄液を含浸させた状態で、吸引ポンプ９５の駆動を停止するようにしている。これにより、その後のヘッド保全処理において、保全キャップ９１と液滴吐出ヘッド２０との間の封止空間を洗浄液の略飽和気体で満たすことができるため、特に保管処理における封止時間に関らず、ノズル孔からの機能液の気化を適切に抑制することができ、ノズル孔からの機能液乾燥を好適に防止することができる。
【００９９】
１２個の保全キャップ９１に対する一連の通液洗浄処理では、先ず保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５により、ダミーヘッド１２１を一つ目の保全キャップ９１の直上部に臨ませる。このとき、ダミーヘッド１２１の下面は、液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５と同一の高さレベルに位置しているが、ここで昇降機構９４を駆動して、保全キャップ９１を封止位置に上昇させ、ダミーヘッド１２１の下面に密着させる。その後、吸引ポンプ９５を駆動して、封止空間に洗浄液を通液させて、保全キャップ９１内を洗浄する。
【０１００】
一つ目の保全キャップ９１の通液洗浄処理後、昇降機構９４を駆動して保全キャップ９１を下降させると共に、次の保全キャップ９１の位置にダミーヘッド１２１を臨ませて、同様に昇降機構９４および吸引ポンプ９５を駆動させることで、二つ目の保全キャップ９１の通液洗浄処理が終わる。そしてこの動作を保全キャップ９１の数分（１２回）繰り返すことで、全ての保全キャップ９１の通液洗浄処理が終了する。
【０１０１】
なお、上記の通液洗浄処理は、吐出手段２の駆動中（描画動作）に行われるため、ワーク処理のタクトタイムに影響を与えることはない。このため、本実施形態では、一つのダミーヘッド１２１を用いて、１２個の保全キャップ９１を１個ずつ順に通液洗浄処理している。もっとも、１２個の保全キャップ９１に対応して１２個のダミーヘッド１２１および洗浄用チューブ１４４を用意し、１２個の保全キャップ９１を一括して通液洗浄処理してもよい。これによれば、昇降機構９４および吸引ポンプ９５の制御を簡単にすることができる。
【０１０２】
また、吸引ポンプ９５で洗浄液給液手段１４１をも兼ねる本実施形態の構成に代えて、洗浄液タンク１４３内を加圧する洗浄液加圧機構を設け、洗浄液タンク１４３内の洗浄液を洗浄用チューブ１４４を介してダミーヘッド１２１に加圧送液するようにしてもよい。あるいは、開閉制御される開閉バルブを洗浄用チューブ１４４に介設すると共に、洗浄液タンク１４３をダミーヘッド１２１よりも高い位置に設け、洗浄液の供給時に開閉バルブを開放することにより、高さ水頭圧で洗浄液をダミーヘッド１２１に送液するようにしてもよい。この場合、洗浄液タンク１４３を上記のユニットキャリッジ１２４に搭載してもよい。
【０１０３】
キャップ拭取り手段１２３は、図９に示すように、柔軟性を有する布製の拭取りシート１５１と、拭取りシート１５１を保全キャップ９１のシールパッキン１０５に押し付けるシート押付け機構１５２と、拭取りシート１５１を繰出し自在に供給する繰出し機構１５３と、繰り出した拭取りシート１５１を巻き取って回収する巻取り機構１５４と、を有している。繰出し機構１５３は、ロール状の拭取りシート１５１を繰出し自在に巻回した繰出リール１５５と、繰出リール１５５に軸着されこれを制動回転させるトルクリミッタ１５６と、を有している。
【０１０４】
巻取り機構１５４は、拭取りシート１５１を巻き取る巻取りリール１５７と、巻取りリール１５７を回転駆動させる巻取りモータ１５８とを有し、巻取りモータ１５８は、上記の制御手段６に接続されている。巻取りモータ１５８の回転により、拭取りシート１５１は、繰出リール１５５から繰り出されて走行を開始し、走行経路上のシート押付け機構１５２を経て、巻取りリール１５７に巻き取られる。すなわち、巻取り機構１５４は、拭取りシート１５１を走行経路に沿って送るシート送り機構を兼ねている。
【０１０５】
シート押付け機構１５２は、繰出し機構１５３と巻取り機構１５４との間に設けられ、拭取りシート１５１をシールパッキン１０５に押し付ける押付け部材１６１と、押付け部材１６１を昇降させるエアーシリンダなどのアクチュエータ１６２と、アクチュエータ１６２の動力を押付け部材１６１に伝達する動力伝達部１６３とを備えている。アクチュエータ１６２は制御手段６に接続されている。
【０１０６】
押付け部材１６１は、保全キャップ９１を包含する十分な押付け面１６１ａを有し、保全キャップ９１との間で拭取りシート１５１を挟み込むようにして、拭取りシート１５１をシールパッキン１０５に押し付ける。これにより、拭取りシート１５１は、シールパッキン１０５に付着して残る機能液を拭き取り、機能液の汚染のないきれいなシールパッキン１０５となる。
【０１０７】
キャップ拭取り手段１２３による一連の拭取り処理は、基本的に、上記の通液洗浄処理後に行われるが、先ず保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５により、キャップ拭取り手段１２３を保全キャップ９１に臨ませる。ここでアクチュエータ１６２を駆動して押付け部材１６１を下降させ、送り停止状態の拭取りシート１５１をシールパッキン１０５に押し付ける。拭取り後、押付け部材１６１を上昇させ、拭取りシート１５１を保全キャップ９１から離間させたところで、巻取りモータ１５８を駆動する。巻取りモータ１５８を駆動すると、拭取り済み部分が巻取りリール１５７に回収されると共に、押付け部材１６１の直下には、次の拭取り処理に供される未使用の拭取りシート１５１が臨む。
【０１０８】
なお、本実施形態では、１つ目の保全キャップ９１の拭取り処理後には、次の保全キャップ９１の拭取り処理のために、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５によりキャップ拭取り手段１２３を次の位置に移動させるものであるが、複数の保全キャップ９１に対応して複数の押付け部材１６１を用意して、複数の保全キャップ９１を一括して拭取り処理を行うようにしてもよい。
【０１０９】
また、本実施形態のように、保全キャップを１つずつ順に通液洗浄処理および拭取り処理する場合にあっては、これら両処理を併行して行ってもよい。すなわち、洗浄された１つ目の保全キャップ９１に対し拭取り処理を実行するのに併行して、２つ目の保全キャップに対し通液洗浄処理を実行するようにしてもよい。
【０１１０】
制御手段６は、ＣＰＵを有して各手段の動作を制御する制御部を備えており、制御部は、制御プログラムや制御データを記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。そして、制御手段６は、上記した各手段と接続されて液滴吐出装置１全体を制御している。
【０１１１】
例えば、ワークＷに対して描画作業を行う場合に、制御手段６は、複数の液滴吐出ヘッド２０の吐出駆動をそれぞれ制御すると共に、Ｘ・Ｙ移動機構２３によりワークＷおよびヘッドユニット２１の相対的な移動動作を制御する。また描画作業中には、メンテナンス手段３の吸引ユニット７３やワイピングユニット７２により、液滴吐出ヘッド２０に対して吸引処理やワイピング処理が適宜行われる一方、この吸引処理の直後には、保全キャップ９１に対してクリーニング処理が行われる。
【０１１２】
具体的には、保全キャップ９１のクリーニング処理は、上述のように、キャップクリーニングユニット７５と吸引ユニット７３との協働により行われるが、先ず、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５によりダミーヘッド１２１を移動させて、全ての保全キャップ９１を通液洗浄処理する。次いで、保全用Ｘ・Ｙ移動機構１２５によりキャップ拭取り手段１２３を移動させて、全ての保全キャップ９１を拭取り処理する。
【０１１３】
したがって、液滴吐出ヘッド２０の吸引処理によって機能液で汚染された保全キャップ９１を、きれいにすることができるため、さらに液滴吐出ヘッド２０を吸引処理する場合においては、保全キャップ９１の状態が液滴吐出ヘッド２０に影響をおよぼすことがない。また、描画作業終了後の待機中に行われる液滴吐出ヘッド２０の保管処理においても、保全キャップ９１により、液滴吐出ヘッド２０のノズル面４５を洗浄液の略飽和気体に曝してノズル孔を保湿できるため、液滴吐出ヘッド２０を適切に且つ安定して保管することができる。
【０１１４】
なお、吸引処理の頻度にもよるが、保全キャップ９１のクリーニング処理は基本的に吸引処理後に行うことが好ましい。もっとも、吸引処理後においては、保全キャップ９１のクリーニング処理を行うのに併行して、液滴吐出ヘッド２０により描画作業が実行されている。
【０１１５】
次に、本発明の第２実施形態について、図１０を参照して第１実施形態と異なる点を中心に説明する。第２実施形態では、保全キャップ９１およびダミーヘッド１２１の構成が、第１実施形態のものと一部異なっている。保全キャップ９１のキャップ表面は、液滴吐出ヘッド２０に密着するシールパッキン１０５が取り付けられていると共に、シールパッキン１０５の外側に位置する部分が、ダミーヘッド１２１に密着する枠状のキャップ密着面１７１となっている。
【０１１６】
ダミーヘッド１２１の下面は、シールパッキン１０５に対し非接触状態でこれを囲繞し、キャップ密着面１７１に密着するキャップシール１７２（キャップシール部位）を有している。このため、同図（ｂ）に示すように、ダミーヘッド１２１がキャップシール１７２を介して保全キャップ９１に密着すると、ダミーヘッド１２１と保全キャップ９１との間には封止空間が構成されると共に、複数の洗浄ノズル１３３を形成したダミーヘッド１２１の封止面１３２が、シールパッキン１０５および保全キャップ９１の内部に非接触状態で臨むことになる。この場合、複数の洗浄ノズル１３３は、シールパッキン１０５の直上部に位置し且つシールパッキン１０５の外側まで位置するように、封止面１３２の周縁部に沿って環状に形成されている。
【０１１７】
本実施形態によれば、吸引ポンプ９５を駆動すると、保全キャップ９１とダミーヘッド１２１との封止空間に洗浄液が通液するが、このとき、保全キャップ９１の内部の洗浄を行えると共に、洗浄液がシールパッキン１０５に直接流れ込むため、シールパッキン１０５の洗浄も同時に行うことができる。
【０１１８】
すなわち、キャップ内通液洗浄手段１２２が請求項にいう通液洗浄手段として機能し、保全キャップ９１のクリーニング処理をシールパッキン１０５も含めて一括して行うことができる。このため、効率良く保全キャップ９１をクリーニングすることができる一方、図９に示したキャップ拭取り手段１２３を省略することもできる。もっとも、最終処理として補完的に、キャップ拭取り手段１２３による拭取り処理を行ってもよい。
【０１１９】
なお、通液洗浄処理する際のダミーヘッド１２１や保全キャップ９１の移動動作や、保全キャップ９１内に洗浄液を僅かに残した状態で通液洗浄処理を終了することなどは、第１実施形態と同様であることはいうまでもない。また、いずれの実施形態も、複数の洗浄ノズル１３３の配置を限定するものでもない。
【０１２０】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１は、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【０１２１】
そこで、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、簡単に説明する。
【０１２２】
図１１は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００および対向基板４６６間には、配向膜４６１、４６４が構成され、対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【０１２３】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク４１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１（ワークＷ）と、遮光性のバンク４１３とを備えている。バンク４１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層４２１を構成する。バンク４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【０１２４】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク４１３で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド２０により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層４２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド２０により、オーバーコート層４２２など各種の成膜部を形成している。
【０１２５】
同様に、図１２を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１（ワークＷ）上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２上に主体を為す有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【０１２６】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極５０３で覆われている。
【０１２７】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、液滴吐出ヘッド２０に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成する等している。
【０１２８】
【発明の効果】
本発明の液滴吐出ヘッドの保全方法によれば、保全キャップのシール部位に付着し得る機能液を、拭取り部材による拭き取り後にあるいは洗浄液による洗浄後に、保全キャップを液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させている。したがって、保全時において、保全キャップを介してノズル面に機能液が付着することがなく、ノズル面の撥機能液性を悪化させるなどの、液滴吐出ヘッドの吐出特性に悪影響をきたすことなく、機能液の性状等に関らず、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる。
【０１２９】
本発明の保全キャップのクリーニング装置によれば、封止部材で保全キャップを封止し、その封止空間に洗浄液を通液させてシール部位を洗浄し、あるいは拭取り部材をシール部位に押し付けてこれに付着した機能液を拭き取ることができるため、保全キャップを液滴吐出ヘッドに密着させるヘッド保全処理を行う場合には、ノズル面には洗浄後あるいは拭取り後のシール部位が密着する。したがって、ヘッド保全処理において、機能液の性状等に関らず、保全キャップにより液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる。
【０１３０】
本発明の液滴吐出装置によれば、上記の保全キャップのクリーニング装置を備えているため、非稼働時等において液滴吐出ヘッドを適切に保全することができ、その稼働時において、液滴吐出ヘッドからワークに対し機能液を適切に吐出することができる。また、液滴吐出ヘッドの劣化を極力抑えることができるため、装置の信頼性および生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出装置の正面図である。
【図３】実施形態に係る液滴吐出装置の右側面図である。
【図４】実施形態に係る液滴吐出装置の一部を省略した平面図である。
【図５】実施形態に係るヘッドユニットの平面図である。
【図６】（ａ）実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図７】実施形態に係る保全ユニットのヘッド保全機構の斜視図である。
【図８】（ａ）は、実施形態に係る保全ユニット（のヘッド保全機構およびキャップ内通液洗浄手段）を模式的に示す正面図であり、（ｂ）は矢印Ａ方向から見たダミーヘッドの平面図である。
【図９】実施形態に係る保全ユニットの拭取り手段を模式的に示す正面図である。
【図１０】第２実施形態に係るダミーヘッドおよび保全キャップを模式的に示す正面図である。
【図１１】実施形態の液滴吐出装置で製造する液晶表示装置の断面図である。
【図１２】実施形態の液滴吐出装置で製造する有機ＥＬ装置の断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置
２  吐出手段
３  メンテナンス手段
６  制御手段
２０  液滴吐出ヘッド
２３  Ｘ・Ｙ移動機構
４５  ノズル面
４９  ノズル
７３  吸引ユニット
７５  キャップクリーニングユニット
９１  保全キャップ
９５  吸引ポンプ（吸引手段）
１２１  ダミーヘッド
１２２  キャップ内通液洗浄手段
１２３  キャップ拭取り手段
１２５  保全用Ｘ・Ｙ移動機構（拭取り用移動手段、封止用移動手段）
１４１  洗浄液供給手段
１４２  排液手段
１５１  拭取りシート（拭取り部材）
１５２  シート押付け機構
１５３  繰出し機構
１５４  巻取り機構
１７２  キャップシール部位
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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