(57)【要約】【課題】ファイバ軸に直交する断面に分布しておりファイバ軸方向に延びている複数の空孔を有し、それらの空孔の径がほぼ同じである光ファイバを製造する方法を提供すること。【解決手段】本発明に係る光ファイバの製造方法は、ファイバ軸に直交する断面に分布しておりファイバ軸方向に延びている複数の空孔１３１，１３２を有する光ファイバ１０を製造する方法であって、複数の空孔となるべき複数の孔２３１，２３２を有する光ファイバ母材２０を用意し、光ファイバ母材の複数の孔夫々に中空の針３２１，３２２を挿入し、それらの中空の針を通して複数の孔夫々の内部を加圧しながら、光ファイバ母材を線引きすることを特徴とする。この場合、複数の孔に加えるべき圧力を複数の孔毎に制御することができる。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファイバ軸に直交する断面に分布しており前記ファイバ軸方向に延びている複数の空孔を有する光ファイバを製造する方法であって、
前記複数の空孔となるべき複数の孔を有する光ファイバ母材を用意し、
前記光ファイバ母材の前記複数の孔夫々に中空の針を挿入し、それらの中空の針を通して前記複数の孔夫々の内部を加圧しながら、前記光ファイバ母材を線引きすることを特徴とする光ファイバの製造方法。
【請求項２】
前記複数の孔夫々に挿入する中空の針夫々の外径が、前記複数の孔へ挿入する側の端部に向かって次第に小さくなっていることを特徴とする請求項１記載の光ファイバの製造方法。
【請求項３】
前記複数の孔の内部に加える圧力を前記複数の孔毎に制御することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の光ファイバの製造方法。
【請求項４】
前記ファイバ軸に直交する断面において、前記複数の空孔がファイバ軸を取り囲むように分布し層構造を形成しており、
前記複数の空孔のうち同じ層を構成する空孔となるべき孔の内部には同じ圧力を加えることを特徴とする請求項３記載の光ファイバの製造方法。
【請求項５】
前記複数の孔夫々の内部に乾燥したガスを供給して、前記複数の孔夫々の内部を加圧することを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の光ファイバの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ファイバ軸方向に延びる空孔を有する光ファイバを製造する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ファイバ軸方向に延びる空孔を有する光ファイバには、ホーリーファイバやフォトニック結晶ファイバと呼ばれるものがある。以下、このようなファイバ軸方向に延びる空孔を有する光ファイバを微細構造光ファイバと称す。
【０００３】
このような微細構造光ファイバは、ファイバ軸に直交する断面における空孔の大きさや空孔の分布を調整することでコア領域とクラッド領域との平均屈折率差を調整することができる。そのため、空孔を有さない光ファイバよりも優れた特性を得ることが可能である。
【０００４】
微細構造光ファイバは、空孔となるべき孔を有する光ファイバ母材を線引炉で線引きして製造される。孔を有する光ファイバ母材を線引きのために加熱して溶融すると、孔の界面にはその接線方向に表面張力が働く。孔の界面に表面張力が働いた場合、表面張力における孔の径方向への成分は孔の曲率に比例して大きくなり、孔を潰すように作用する。その結果、小さな径の孔ほど表面張力の影響で潰れやすく、その効果により線引時に孔の潰れが生じていた。その結果、線引き後の光ファイバに設計通りの空孔が形成されていない場合があった。
【０００５】
そのため、光ファイバ母材を線引きする際に、孔の内部に圧力を加えながら線引きする手法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この場合、孔の内部に圧力が加えられ、孔の内部が大気圧よりも高い状態で線引きされるので、孔の潰れが抑制される。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−１４５６３４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、長手方向に直交する断面において複数の孔が層構造を形成している光ファイバ母材をそれらの孔の内部に圧力を加えながら線引きすると、層構造における内側の空孔が膨張し、外側の空孔が潰れている光ファイバが製造される場合があった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解消するためになされたものであり、ファイバ軸に直交する断面に分布しておりファイバ軸方向に延びている複数の空孔を有し、それらの空孔の径がほぼ同じである光ファイバを製造することができる方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、長手方向に延びる孔を有する光ファイバ母材を線引きする場合に孔が潰れることや変形することのメカニズムに関して研究を重ねた。そして、以下のような知見を得た。
【００１０】
光ファイバ母材が線引炉のヒータで加熱され始めた領域（ヒートゾーンの上部の領域）では光ファイバ母材の外径が大きいので空孔となるべき孔の径も大きいことから、表面張力の効果は小さい。そのため、孔を加圧して孔の内部が大気圧よりも高い状態になっていると、孔は膨張する。そして、光ファイバ母材が線引きされて外径が細くなり孔径が小さくなると、ある領域で孔内に加えられた圧力による孔の膨張と表面張力による収縮の効果とが釣り合う。その領域から更に孔径が小さくなると、孔内に加えられた圧力による孔の膨張よりも表面張力の効果が大きくなり、孔が収縮する。
【００１１】
ところで、表面張力の効果による孔の収縮は、光ファイバ母材を構成しているガラスの粘度が低くなるほど進行しやすくなる。そして、光ファイバ母材に形成されている孔が、その長手方向に直交する断面において光ファイバ母材の中心軸線を取り囲むように分布して層構造を形成していると、最外層の孔が断熱層として機能する。これにより内側の層の孔への熱伝導が阻害されるので、最外層の外側のガラス粘度に比較して内側の孔の周りのガラス粘度は高くなる。したがって、表面張力の影響は最外層の孔の方が大きくなることから、最外層の孔が優先的に潰れることになる。
【００１２】
ここで、最外層の孔を潰さない程度の圧力を複数の孔全てに加えると、内側の層を構成している孔が膨張しすぎて変形する。逆に、内側の孔が潰れたり変形したりしない程度の圧力を複数の孔全てに加えると、最外層の孔が潰れる。以上が、複数の孔を有する光ファイバ母材をその孔の内部に圧力を加えながら線引きしてもほぼ同じ径の空孔を有する光ファイバが製造できない理由である。本発明者らは、上述した知見に基づいて更に鋭意研究を重ねて本発明に至った。
【００１３】
即ち、本発明に係る光ファイバを製造する方法は、ファイバ軸に直交する断面に分布しておりファイバ軸方向に延びている複数の空孔を有する光ファイバを製造する方法であって、複数の空孔となるべき複数の孔を有する光ファイバ母材を用意し、光ファイバ母材の複数の孔夫々に中空の針を挿入し、それらの中空の針を通して複数の孔夫々の内部を加圧しながら、光ファイバ母材を線引きすることを特徴とする。この場合、孔毎に挿入された針を通して、複数の孔夫々に加えるべき圧力を制御することができる。
【００１４】
また、本発明に係る光ファイバの製造方法においては、複数の孔夫々に挿入する中空の針夫々の外径が、複数の孔へ挿入する側の端部に向かって次第に小さくなっていることが好適である。この場合には、上記中空の針を複数の孔へ挿入しやすい。また、孔径が若干変わっても針を挿入することができる。
【００１５】
更に、本発明に係る光ファイバの製造方法においては、複数の孔の内部に加える圧力を複数の孔毎に制御することが望ましい。これにより、孔毎に、表面張力の影響による孔が収縮する効果と、孔に圧力を加えたことによる孔の膨張の効果とをバランスさせることができる。
【００１６】
更にまた、本発明に係る光ファイバの製造方法においては、ファイバ軸に直交する断面において、複数の空孔がファイバ軸を取り囲むように分布し層構造を形成しており、複数の空孔のうち同じ層を構成する空孔となるべき孔の内部には同じ圧力を加えることが好適である。
【００１７】
この場合、最外層を構成している孔が線引き時に断熱層として機能しても、層毎にそれらの層を構成している孔に加える圧力を制御しているので、空孔の径をほぼ同じにすることができる。また、層毎に圧力を制御すればよいので、光ファイバの製造が容易になる。
【００１８】
また、本発明に係る光ファイバの製造方法においては、複数の孔夫々の内部に乾燥したガスを供給して、複数の孔夫々の内部を加圧することが望ましい。伝送特性に影響を与えない乾燥したガスを供給することにより、複数の孔夫々の内部に水分が吸着し、伝送損失の原因となることを抑制できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、図面と共に本発明の好適な実施形態について説明する。なお、以下の説明においては、同一の要素には同一の符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、図中の寸法比率は、説明のものとは必ずしも一致していない。
【００２０】
図１は、本実施形態における微細構造光ファイバ１０の構成を概略的に示す斜視図である。微細構造光ファイバ１０は、そのファイバ軸に沿って延びるコア領域１１と、そのコア領域１１の外周を取り囲むクラッド領域１２とを備える。コア領域１１とクラッド領域１２とは同じ組成である。
【００２１】
図１に示すように、クラッド領域１２において、ファイバ軸方向に延びるコア領域１１の周囲に複数の空孔１３１（例えば、６個の空孔）が、ファイバ軸に直交する断面において六角形状に分布している。また、複数の空孔１３２（例えば、１２個の空孔）が、複数の空孔１３１で構成される層を取り囲むようにファイバ軸に直交する断面において六角形状に分布している。言い換えれば、複数の空孔１３１，１３２が、ファイバ軸を取り囲むように分布し、２層構造を形成している。
【００２２】
上記構成の微細構造光ファイバ１０では、クラッド領域１２が空孔１３１，１３２を有しているので、クラッド領域１２の平均屈折率は、コア領域１１よりも小さくなっている。
【００２３】
次に、上記微細構造光ファイバ１０を製造する方法について説明する。まず、微細構造光ファイバ１０となるべき光ファイバ母材２０を用意する。図２は、光ファイバ母材２０を、その長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図である。光ファイバ母材２０は、図２に示すように、コア領域１１となるべき第１領域２１、及び、クラッド領域１２となるべき第２領域２２を備えている。第１領域２１と第２領域２２とは同一の組成である。また、第２領域２２には各空孔１３１，１３２となるべき各貫通孔２３１，２３２が形成されている。貫通孔２３１，２３２は、光ファイバ母材２０の長手方向に直交する断面において六角形状に配置され、２層構造を形成している。
【００２４】
上記光ファイバ母材２０は、まず、ＶＡＤ法、ＭＣＶＤ法又はＯＶＤ法などを用いて第１領域２１及び第２領域２２を形成したものを脱水・焼結して透明なガラス母材とし、第２領域２２に貫通孔２３１，２３２を形成することで作製される。貫通孔２３１，２３２は例えば穿孔器具を用いて形成すれば良い。この光ファイバ母材２０を延伸機により延伸した後に線引工程へ移す。
【００２５】
線引工程では、光ファイバ母材２０の貫通孔２３１，２３２を加圧しながら光ファイバ母材２０を線引きする。図３は、光ファイバ母材２０の貫通孔２３１，２３２を加圧するための加圧パイプ３０の構成を概略的に示す斜視図である。なお、図３には、光ファイバ母材２０の貫通孔２３１，２３２と加圧パイプ３０との位置関係を示すため光ファイバ母材２０も描いている。
【００２６】
加圧パイプ３０の光ファイバ母材２０側と反対側の端部には、加圧パイプ３０に窒素ガス（不活性ガス）を充填するためのガス供給口３１１，３１２が設けられている。加圧パイプ３０の内部は２重構造となっており、ガス供給口３１１から加圧パイプ３０に流入した窒素ガスと、ガス供給口３１２から加圧パイプ３０に流入した窒素ガスとは、加圧パイプ３０内の異なる内部空間に充填される。２重構造の加圧パイプ３０としては、例えば、第１の中空円筒体の内側に、第２の中空円筒体をその中心軸線が第１の中空円筒体の中心軸線と一致するように配置したものとすれば良い。この場合、例えば、ガス供給口３１１から流入した窒素ガスは、第２の中空円筒体の内部空間に充填され、ガス供給口３１２から流入した窒素ガスは、第２の中空円筒体と第１の中空円筒体との間の内部空間に充填されるようにする。
【００２７】
また、加圧パイプ３０の光ファイバ母材２０側の端部には、複数の中空の針３２１（例えば、６本の中空の針）及び複数の中空の針３２２（例えば、１２本の中空の針）が設けられている。各針３２１及び各針３２２は、加圧パイプ３０の長手方向に直交する断面において光ファイバ母材２０の各貫通孔２３１及び各貫通孔２３２の位置に対応するように配置されている。針３２１は、ガス供給口３１１から加圧パイプ３０に流入した窒素ガスを光ファイバ母材２０における貫通孔２３１に供給する。また、針３２２は、ガス供給口３１２から加圧パイプ３０に流入した窒素ガスを光ファイバ母材２０の貫通孔２３２に供給する。図４は、複数の針３２１，３２２の配置を示す模式図である。針３２１，３２２夫々は、貫通孔２３１，２３２夫々と同様に六角形状に分布し、２層構造を形成している。針３２１，３２２の先端部はテーパ状になっており、針３２１，３２２の外径は先端に向かって次第に小さくなっている。
【００２８】
図５は、光ファイバ母材２０の線引きに好適に用いられる線引装置４０の構成を示す模式図である。なお、図５は、光ファイバ母材２０が線引装置４０で線引きされている過程を示している。
【００２９】
光ファイバ母材２０は、その一端部に加圧パイプ３０が取り付けられて線引炉５０内に配置される。光ファイバ母材２０を線引炉５０に配置する方法は種々考えられるが、例えば、次のようにすれば良い。光ファイバ母材２０とほぼ同じ外径を有する中空のダミーパイプ６０を光ファイバ母材２０の上部に接続し、そのダミーパイプ６０をチャック７０で保持することで光ファイバ母材２０を線引炉５０内部に配置する。チャック７０は、上下方向に動き、線引きに合わせて光ファイバ母材２０を線引炉５０内部に送りこむ機能を備えている。
【００３０】
加圧パイプ３０は、ダミーパイプ６０の内部空間の気密を保つための蓋８０を介してダミーパイプ６０内に取り付けられる。蓋８０はダミーパイプ６０の内部空間の気密を保ったままで加圧パイプ３０の挿入量を変えることができる構造となっている。加圧パイプ３０をダミーパイプ６０内に取り付ける場合には、まず、加圧パイプ３０を、加圧パイプ３０の先端の各針３２１，３２２が光ファイバ母材２０に接触しない位置に固定する。この状態では針３２１，３２２と光ファイバ母材２０の貫通孔２３１，２３２の間には隙間があり、蓋８０の真空引き用ライン９０からダミーパイプ６０内を真空引きすることで貫通孔２３１，２３２の内部も真空引きされ、その内面に吸着している水分を取り除くことができる。これにより線引後の微細構造光ファイバ１０のコア近傍にＯＨ基が残存することを抑制でき、微細構造光ファイバ１０の伝送損失を低減することができる。なお、線引開始時には真空引きを可能とするため、光ファイバ母材２０の下端側は貫通孔２３１，２３２が封止された状態となっている。
【００３１】
続いて、加圧パイプ３０の針３２１，３２２が光ファイバ母材２０の貫通孔２３１，２３２に挿入される。上述したように、各針３２１，３２２の先端部はテーパ状になっているので、各針３２１，３２２を対応する貫通孔２３１，２３２に容易に挿入することができる。また、貫通孔２３１，２３２の径が設計値より多少変動していても各針３２１，３２２を対応する貫通孔２３１，２３２に挿入可能である。更に、各針３２１，３２２を押し込むことで貫通孔２３１，２３２との気密を保つことができる。
【００３２】
次に、加圧パイプ３０に設けられているガス供給口３１１，３１２夫々から乾燥した窒素ガスを供給する。ガス供給口３２１から加圧パイプ３０に流入した窒素ガスは、針３１１を通って光ファイバ母材２０の貫通孔２３１に供給される。また、ガス供給口３２２から加圧パイプ３０に流入した窒素ガスは、針３１２を通って光ファイバ母材２０の貫通孔２３２に供給される。上述したように、加圧パイプ３０は２重構造となっており、ガス供給口３１１，３１２夫々から加圧パイプ３０に流入した窒素ガスは加圧パイプ３０内の異なる内部空間を満たしている。したがって、ガス供給口３１１，３１２夫々から供給する窒素ガスの圧力を調整することで、貫通孔２３１及び貫通孔２３２夫々に加えるべき圧力を制御することができる。なお、乾燥した窒素ガスをガス供給口３１１，３１２に導入する場合、水分トラップ装置を経由させてガス供給口３１１，３１２に導入することが好適である。これにより、窒素ガス供給源（不図示）から供給される乾燥した窒素ガスに僅かに残留している水分をガス供給口３１１，３１２までに除去することができる。そのため、微細構造光ファイバ１０内にＯＨ基が残存することを更に低減できる。
【００３３】
上述したように貫通孔２３１，２３２に圧力を加えて貫通孔２３１，２３２の内部を大気圧よりも高い状態にしつつ、ヒータ５１で光ファイバ母材２０の端部を加熱・線引きして微細構造光ファイバ１０を得る。なお、貫通孔２３１，２３２に加える圧力は、線引張力や製造すべき微細構造光ファイバ１０の空孔１３１，１３２の所望の径に依存するが、０．１ｋＰａ〜５．０ｋＰａであることが好適である。図６は、微細構造光ファイバ１０の空孔の所望の径と、光ファイバ母材２０の貫通孔に加える好適な圧力との関係の一例を示す図表である。貫通孔２３１，２３２に加えるべき圧力は、空孔１３１，１３２が所望の径になるように最適化された圧力である。更に、外側の貫通孔２３２には、内側の貫通孔２３１に加える圧力よりもわずかに大きな圧力を加える。
【００３４】
図７は、従来のように、複数の孔全てに同じ圧力を加えて線引きした場合の微細構造光ファイバのファイバ軸に直交する断面の電子顕微鏡写真の図である。光ファイバ母材に形成されている貫通孔全てに同じ圧力を加えた場合には、最外層の空孔が変形しており、最外層より内側の層を構成している空孔が膨張している。
【００３５】
これに対して、図８は、上記線引装置４０で光ファイバ母材２０を線引きした場合の微細構造光ファイバ１０のファイバ軸に直交する断面の電子顕微鏡写真の図である。図８の微細構造光ファイバ１０を製造する場合には、光ファイバ母材２０の貫通孔２３１に、加圧パイプ３０の針３２１を通して約０．８ｋＰａの圧力を加え、貫通孔２３２に、加圧パイプ３０の針３２２を通して約０．８５ｋＰａの圧力を加えた。図８から、外側の層の空孔２３１の径と内側の空孔２３２の径との大きさがほぼ揃っていることが分かる。これは次の理由による。
【００３６】
図５を参照すると、ヒータ５１により光ファイバ母材２０が加熱・溶融されているガラス溶融領域αにおいて、光ファイバ母材２０の線引き開始部分である領域α１では貫通孔２３１，２３２の径が大きいので、表面張力の影響が小さい。したがって、貫通孔２３１，２３２に圧力を加えて大気圧よりも高い状態にしておくと、貫通孔２３１，２３２は膨張する。そして、線引きされて貫通孔２３１，２３２の径が小さくなった領域α２では、表面張力の影響が大きくなる。そのため、貫通孔２３１，２３２内の圧力の影響で貫通孔２３１，２３２が膨張する効果と、表面張力の影響で貫通孔２３１，２３２が収縮する効果とが釣り合う。更に線引きされて、領域α２での外径よりもさらに外径が小さくなる領域α３では、表面張力の影響の方が大きくなり、貫通孔２３１，２３２が収縮する。この貫通孔２３１，２３２に生じる膨張と収縮とのバランスをとることで貫通孔２３１，２３２の変形が抑制される。
【００３７】
ところで、図２に示すように、貫通孔２３１，２３２が光ファイバ母材２０の中心軸線を取り囲むように分布し層構造を形成している場合、外側の層を構成している貫通孔２３２が断熱層となり、内側への熱伝導を阻害する。そのため、貫通孔２３２で構成される層より外側のガラス粘度の方が、その層よりも内側のガラス粘度より低くなる。したがって、表面張力の影響は、貫通孔２３２の方が貫通孔２３１よりも大きい。図８に示した微細構造光ファイバ１０は、貫通孔２３１，２３２夫々に中空の針３２１，３２２夫々を挿入して貫通孔２３２に貫通孔２３１より高い圧力を加えて線引きしている。したがって、貫通孔２３１，２３２夫々において、加圧による貫通孔２３１，２３２の膨張と表面張力の影響による貫通孔２３１，２３２の収縮とのバランスをとることができている。そのため、図８に示すように、外側の空孔１３２と内側の空孔１３１との径をほぼ同じにすることができている。
【００３８】
上述した微細構造光ファイバ１０を製造する方法では、中空の針３２１，３２２夫々を貫通孔２３１，２３２夫々に挿入しているので、内側の層及び外側の層ごとにそれらを構成している貫通孔２３１，２３２に加える圧力を調整することができる。そのため、貫通孔２３１，２３２夫々において、表面張力の影響による収縮と加圧による膨張とをバランスさせることが可能である。したがって、複数の空孔１３１，１３２がファイバ軸を取り囲むように分布し層構造を形成している微細構造光ファイバ１０であって、複数の空孔１３１，１３２の径がほぼ同じである微細構造光ファイバ１０を製造することができる。微細構造光ファイバ１０の伝送特性は、ファイバ軸に直交する断面における空孔１３１，１３２の幾何学的形状や分布に依存する。そのため、微細構造光ファイバ１０の空孔１３１，１３２の径をほぼ同じにすることで、複数の空孔の径が夫々異なる場合よりも微細構造光ファイバ１０の伝送特性をより設計値に近いものとすることができる。
【００３９】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。例えば、上記実施形態では、ファイバ軸に直交する断面において、空孔１３１，１３２夫々を六角形状に配置して２層構造としているが、特にこのような配置関係に限定する必要はない。例えば、空孔は、２層構造に限らず、ファイバ軸に直交する断面において複数形成されていればよい。
【００４０】
また、ファイバ軸に直交する断面での空孔１３１，１３２の配置は、微細構造光ファイバで実現すべき特性、例えば絶対値の大きな波長分散や、空孔を有さない光ファイバよりも大きい又は小さい実効コア断面積を実現するために必要な配置とすれば良い。そして、分布形状に応じて空孔となるべき貫通孔ごとに加えるべき圧力を制御すれば良い。
【００４１】
更に、空孔１３１及び空孔１３２の直径が異なる構造に対しても有効である。空孔直径が異なると空孔となるべき貫通孔に加える最適圧力が変わるが、上述したように空孔となるべき貫通孔毎に異なる加圧を行えるので設計どおりの径を有する空孔を実現できる。
【００４２】
また、コア領域１１に屈折率を上昇させる添加材（例えば、Ｇｅ）を添加しても良く、屈折率を下げる添加材を添加しても良い。更に、添加材を添加しなくても良い。また、コア領域１１は中空でもかまわない。更に、貫通孔２３１，２３２に供給するガスとして乾燥した窒素ガスとしているが、窒素ガスに限らない。伝送特性に影響しない乾燥したガスならば良く、酸素ガス、Ｈｅガス、Ｎｅガス、Ａｒガスなども使用可能である。更にまた、空孔となるべき孔を貫通孔としているが、孔は必ずしも光ファイバ母材を貫通していなくても良い。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、ファイバ軸に直交する断面に分布しておりファイバ軸方向に延びている複数の空孔を有し、それらの空孔の径がほぼ同じである光ファイバを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係る微細構造光ファイバの製造方法で製造された光ファイバの斜視図である。
【図２】光ファイバ母材をその長手方向に直交する平面で切断した場合の断面図である。
【図３】加圧パイプの概略構成図である。
【図４】針の配置を示すための模式図である。
【図５】線引装置の概略構成図である。
【図６】空孔の所望の径と貫通孔に加える好適な圧力との関係の一例を示す図表である。
【図７】複数の孔に同じ圧力を加えて光ファイバ母材を線引きして製造した微細構造光ファイバの電子顕微鏡写真の図である。
【図８】微細構造光ファイバのファイバ軸に直交する断面の電子顕微鏡写真の図である。
【符号の説明】
１０…微細構造光ファイバ、１１…コア領域、１２…クラッド領域、１３１，１３２…空孔、２０…光ファイバ母材、２１…第１領域、２２…第２領域、２３１，２３２…貫通孔、３０…加圧パイプ、３１１，３１２…ガス供給口、３２１，３２２…中空の針、４０…線引装置、５０…線引炉、５１…ヒータ、α…ガラス溶融領域、６０…ダミーパイプ、７０…チャック、８０…蓋、９０…真空引き用ライン、α１…孔が膨張する領域、α２…孔の膨張と収縮が釣り合う領域、α３…孔が収縮する領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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