(57)【要約】【課題】製品価格などの製品の価値に応じて、適切な製造スケジュールを決定する。【解決手段】製造装置で行う予定の製品処理ごとに、製品価格と故障確率との積により算出される製品処理する際のリスクを示す製品指数と、処理単位にかかるメンテナンス費用を示すＰＭ指数とを比較し（ステップＳ３）、製品指数がＰＭ指数を上回った処理数だけ製造装置が製品処理を行った場合に、製造装置のメンテナンス時期と見なし、処理数をリセットし新たな製造スケジュールを決定する（ステップＳ４）。【選択図】        図１
2004362115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の製品の製造スケジュールを決定する製造スケジューリング方法において、
製造する前記製品に関する製品情報、製造装置情報及び製造装置のメンテナンス情報を入力し、
前記製造装置における前記製品の製品処理のスケジューリングと、メンテナンスのスケジューリングを行うスケジューラ部より、スケジュール情報を入力し、
前記製造装置で行う予定の前記製品処理ごとに、
前記製品情報をもとに算出される製品価格と、前記製造装置情報をもとに現在の処理数に応じて算出される故障確率との積により、前記製品処理する際のリスクを示す第１の指数を算出し、
前記メンテナンス情報と、前記処理数とから、処理単位にかかるメンテナンス費用を示す第２の指数を算出し、
算出された前記第１及び第２の指数を比較し、
前記第１の指数が前記第２の指数を上回った処理数だけ前記製造装置が前記製品処理を行った場合、前記製造装置のメンテナンス時期と見なし、前記処理数をリセットし、前記スケジュール情報をもとに、新たな製造スケジュールを決定する、
ことを特徴とする製造スケジューリング方法。
【請求項２】
前記第１の指数を、前記製品の付加価値指数で重み付けすることを特徴とする請求項１記載の製造スケジューリング方法。
【請求項３】
前記第１の指数を降順で並べなおし、前記製造スケジュールを決定し、前記スケジューラ部にフィードバックすることを特徴とする請求項１記載の製造スケジューリング方法。
【請求項４】
前記製品の製造の際、前記製造装置を複数回使用する場合、製造工程の順序に応じて、前記製品価格を可変することを特徴とする請求項１記載の製造スケジューリング方法。
【請求項５】
複数の製品の製造スケジュールを決定する処理をコンピュータに機能させるプログラムにおいて、
コンピュータを、
製造する前記製品に関する製品情報、製造装置情報及び製造装置のメンテナンス情報を入力する入力手段、
前記製造装置における前記製品の製品処理のスケジューリングと、メンテナンスのスケジューリングを行うスケジューラ部より、スケジュール情報を入力するスケジュール情報入力手段、
前記製造装置で行う予定の前記製品処理ごとに、
前記製品情報をもとに算出される製品価格と、前記製造装置情報をもとに現在の処理数に応じて算出される故障確率との積により、製造処理する際のリスクを示す第１の指数を算出する第１の指数算出手段、
前記メンテナンス情報と、前記処理数とから、処理単位にかかるメンテナンス費用を示す第２の指数を算出する第２の指数算出手段、
算出された前記第１及び第２の指数を比較する比較手段、
前記第１の指数が前記第２の指数を上回った処理数だけ前記製造装置が前記製品処理を行った場合、前記製造装置のメンテナンス時期と見なし、前記処理数をリセットし、前記スケジュール情報をもとに、新たな製造スケジュールを決定する新規スケジュール決定手段、
として機能させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造スケジューリング方法及びプログラムに関し、特に、製造装置において製品処理する複数の製品の製造スケジュールを決定する、製造スケジューリング方法及びプログラムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、半導体装置などの製造の際に、製造スケジュールを管理するホストコンピュータと生産設備とをＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｉａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）などでリンクさせ、複数の製品の製品処理をスケジューリングして生産の効率を高めることが行われている。このようなシステムとして、ＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）などの種々の製造管理システムがある。
【０００３】
半導体装置などの製造においては、従来、比較的製品価格が一定のメモリなどの大量生産品を扱うことが多く、メンテナンスは、製造装置の稼働率や生産性の向上を目的に、時間間隔、装置状態、処理数などのメンテナンス管理値を設定して参照することによって、メンテナンス時期を決定し、部品やユニットの交換などを行っている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このような製造管理システムにおける従来の製造スケジューリング方法では、例えば、製品の処理数が一定数（例えば、処理ロット数１００）に達したら、製造装置のメンテナンスを実施すると決めていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−１９８５３（段落番号〔００６９〕〜〔００７２〕）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年では、システムＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）などの価値や規模の異なる製品を扱うことが増えており、従来のスケジューリング方法では、価値の高い製品の製造期間と、メンテナンス時期が重なった場合に、価値の高い製品を没にすることで大きな損失が発生してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、製品価格などの製品の価値に応じて、製造スケジュールを決定する製造スケジューリング方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明では上記課題を解決するために、複数の製品の製造スケジュールを決定する製造スケジューリング方法において、図１に示すように、製造装置スケジュール決定部１０では、製造する製品に関する製品情報、製造装置情報及び製造装置のメンテナンス情報を入力し、製造装置における複数の製品の製品処理のスケジューリングと、メンテナンスのスケジューリングを行うスケジューラ部２０より、スケジュール情報を入力する。さらに、製造装置で行う予定の製品処理ごとに、製品情報をもとに算出される製品価格と、製造装置情報をもとに現在の処理数に応じて算出される故障確率との積により、製品処理する際のリスクを示す指数（以下製品指数と呼ぶ）を算出する（ステップＳ１）。また、メンテナンス情報と、現在の処理数とから、処理単位にかかるメンテナンス費用を示す指数（以下ＰＭ（プリメンテナンス）指数と呼ぶ）を算出する（ステップＳ２）。その後、算出された製品指数及びＰＭ指数を比較し（ステップＳ３）、製品指数がＰＭ指数を上回った処理数だけ製造装置が製品処理を行った場合、製造装置のメンテナンス時期と見なし、処理数をリセットし、スケジュール情報をもとに新たな製造スケジュールを決定する（ステップＳ４）、ことを特徴とする製造スケジューリング方法が提供される。
【０００９】
上記の方法によれば、製造装置で行う予定の製品処理ごとの、製品価格を加味した製品指数と、ＰＭ指数とが比較され、製品指数がＰＭ指数を上回った処理数だけ製造装置が製品処理を行った場合に、製造装置のメンテナンス時期と見なし、処理数をリセットし新たな製造スケジュールを決定する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態の製造スケジューリング方法の原理を説明する原理図である。
【００１１】
図１では、製造装置スケジュール決定部１０、スケジューラ部２０、製品情報管理データベース３０、製造設備管理データベース４０からなる構成における製造スケジューリング方法を説明する。
【００１２】
ここで、製造装置スケジュール決定部１０は、スケジューラ部２０、製品情報管理データベース３０、製造設備管理データベース４０、からの各種情報をもとに、製造装置の製造スケジュールを決定する。
【００１３】
スケジューラ部２０は、製品スケジューラ、ＰＭスケジューラ（図示せず）を有し、製品スケジューラは、受注製品の納期や個数などから複数の製品の製品処理のスケジューリングを行う。また、ＰＭスケジューラは、定期点検及び製造装置の状態や処理回数に基づく点検のスケジューリングを行う。
【００１４】
製品情報管理データベース３０は、製造する製品の価格や、市場での価値などの製品情報を管理する。
製造設備管理データベース４０は、製造設備である製造装置における部品の価格や、処理数に対応した故障確率、歩留まり、などの製造装置情報と、メンテナンスにかかる作業時間、そのメンテナンスに必要な人件費や、部品代などのメンテナンス情報を管理する。
【００１５】
図１のような構成において、製造装置スケジュール決定部１０では、製品情報管理データベース３０より、製品情報、製造設備管理データベース４０より製造装置情報及びメンテナンス情報をそれぞれ入力する。また、スケジューラ部２０よりスケジュール情報を入力する。
【００１６】
その後、製造装置スケジュール決定部１０では、製造装置で行う予定の製品処理ごとに、製品指数、ＰＭ指数を算出する。
製品指数は、製品価格に故障確率を掛け合わせたもので表され、製品処理する場合のリスクの高さを示す（ステップＳ１）。
【００１７】
なお、製品価格は、製品情報に含まれる情報によって算出される。例えば、半導体装置のような場合は１つの処理ロットごとの製品価格となる。製造する製品に応じて、様々な価格のロットがあるものとする。
【００１８】
また、故障確率は、製造装置情報から算出され、１つの製造装置においては、処理数（または処理ロット数）の増大とともに、故障確率も高くなる。
ＰＭ指数は、メンテナンス費用を現在の処理数（または処理ロット数）で割ったもので表され、製品の処理単位（例えば１ロット）にかかるメンテナンス費用を示す（ステップＳ２）。
【００１９】
なお、メンテナンス費用は、メンテナンス情報に含まれる情報によって算出される。例えば、メンテナンスに必要な人件費と、部品代の和から算出される。
次に、ステップＳ１、Ｓ２の処理で算出した指数を比較する（ステップＳ３）。ここで、製品指数が、メンテナンス指数を上回った場合、メンテナンス時期と見なし、処理数をリセットし、入力したスケジュール情報をもとに、新たな製造スケジュールを決定する（ステップＳ４）。決定した新規スケジュールは、スケジューラ部２０にフィードバックされ再びスケジューリングを行う。
【００２０】
図２は、従来の製造スケジューリング方法によって得られる製品指数とＰＭ指数との関係を示す図であり、（Ａ）は製品価格が一定の場合、（Ｂ）は製品価格が変動した場合の図である。
【００２１】
ここでは、半導体装置の製品処理の際のように、ロット処理する場合について示しており、横軸は、累計の処理ロット数である。
従来の場合は、製造装置のメンテナンスは、例えば、処理ロット数が１００に達した場合に点検を行うと決められていた。そのため、１ロットにかかるメンテナンスの費用（ＰＭ指数）は一定の値となる。製品価格が一定の場合、製品指数は、製造装置の故障確率に依存する。図２（Ａ）のように、製品を１ロットずつ処理していくと、製造装置の処理ロット数に比例して、製品指数が増加している。このように、製品価格が一定の場合には、ＰＭ指数と製品指数のバランスをとることが可能であり問題はなかった。
【００２２】
処理する製品価格が変動する場合、図２（Ｂ）のように、製品指数も製品価格に依存するように変動する。しかし、従来の製造スケジューリング方法では、ＰＭ指数は一定であるので、処理ロット数が１００を過ぎる前に、製品指数がＰＭ指数を超えてしまう場合がある。この分が、万一点検前に故障してしまった場合の損害となっている。
【００２３】
図３は、本発明の製造スケジューリング方法によって得られる、製品価格が一定の場合の製品指数とＰＭ指数との関係を示す図である。
横軸は累計の処理ロット数である。
【００２４】
製品価格が一定の場合、製品を１ロットずつ処理していくと、製造装置の処理ロット数は増加していき、それに比例して故障確率も増加していく。そのため、製品指数及びＰＭ指数は、図３のように、推移していく。
【００２５】
製品指数は、処理ロット数が増加（故障確率が増加）行くことに比例して増加する。一方、ＰＭ指数は、処理ロット数が増加するにしたがって、１ロットあたりにかかるメンテナンス費用が減少していくので、図３のように処理ロット数に反比例していく。メンテナンス時期は、製品指数とＰＭ指数、それぞれの線が交差したときとなる。
【００２６】
一度メンテナンスが行われると、製造装置の処理ロット数はリセットされ０に戻る。それに伴い、故障確率もリセットされる。以後繰り返す。
図４は、本発明の製造スケジューリング方法によって得られる、製品価格が変動する場合の製品指数とＰＭ指数との関係を示す図である。
【００２７】
製品処理する製品の価格が変動する場合、製品指数も図４のように製品価格に依存して変動する。本発明の製造スケジューリングによれば、ＰＭ指数は、処理ロット数が増加するにしたがって、１ロットあたりにかかるメンテナンス費用が減少していくので、処理ロット数に反比例していく。よって、メンテナンス時期は、製品価格が変動する場合、図４のように間隔が異なっており、製品処理する製品に合わせて、最適な（減耗損害による利益損失を低減させる）製造スケジューリングが実施できていることが分かる。
【００２８】
次に本発明の実施の形態の詳細を説明する。
なお以下では、特に、半導体装置の製造の際の製造スケジューリング方法について説明する。
【００２９】
図５は、本発明の実施の形態の製造スケジューリング方法が適用されるシステムの構成を示すシステム構成図である。
図５で示すシステムは、ホストコンピュータ１００と、製品情報管理データベース２００と、製造設備管理データベース３００と、装置コントローラ４００−１、４００−２、…、４００−ｎと、製造装置５００−１、５００−２、…、５００−ｎを有する。
【００３０】
また、ホストコンピュータ１００と、製品情報管理データベース２００と、製造設備管理データベース３００はＬＡＮ６００によって接続され、製造装置５００−１、５００−２、…、５００−ｎは、装置コントローラ４００−１、４００−２、…、４００−ｎを介して、ＬＡＮ６００に接続されている。
【００３１】
ここで、ホストコンピュータ１００は、図１で示した、製造装置スケジュール決定部１０と、スケジューラ部２０の機能を有する。なお、スケジューラ部２０として機能させる装置（コンピュータ）をＬＡＮ６００上に別に設けてもよい。
【００３２】
また、装置コントローラ４００−１、４００−２、…、４００−ｎは、オンライン上で上位からの指示に基づき製造装置５００−１、５００−２、…、５００−ｎを製造するコントローラである。
【００３３】
製造装置５００−１、５００−２、…、５００−ｎとして、半導体装置の製造工程で使用される、プラズマエッチング装置やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置などがある。
【００３４】
図６は、ホストコンピュータのハードウェア構成例を示す図である。
ホストコンピュータ１００は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１０１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０３、ハードディスク１０４、グラフィック処理部１０５、入力Ｉ／Ｆ（Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）１０６及び通信Ｉ／Ｆ１０７などによって構成され、これらはバス１０８を介して相互に接続されている。
【００３５】
ここで、ＣＰＵ１０１は、ハードディスク１０４やＲＯＭ１０３に格納されているプログラムに応じて各部を制御する。
ＲＯＭ１０２は、ＣＰＵ１０１が実行する基本的なプログラムやデータを格納している。
【００３６】
ＲＡＭ１０３は、ＣＰＵ１０１が実行途中のプログラムや、演算途中のデータを一時的に格納する。
ハードディスク１０４は、ＣＰＵ１０１が実行するＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）や、アプリケーションプログラムなどが格納される。
【００３７】
グラフィック処理部１０５には、ディスプレイなどの表示装置１０５ａが接続されており、ＣＰＵ１０１からの描画命令に従って、表示装置１０５ａの画面上に画像を表示させる。
【００３８】
入力Ｉ／Ｆ１０６には、マウス１０６ａやキーボード１０６ｂが接続されており、例えば、ホストコンピュータ１００の管理者により入力された情報を受信し、バス１０８を介してＣＰＵ１０１に送信する。
【００３９】
通信Ｉ／Ｆ１０７は、ＬＡＮ６００に接続して、製品情報管理データベース２００、製造設備管理データベース３００や、製造装置５００−１、５００−２、…、５００−ｎを制御する装置コントローラ４００−１、４００−２、…、４００−ｎとの情報の送受信を行う。
【００４０】
上記のような、ハードウェア構成により本発明の実施の形態の処理が実現される。
以下、図６で示すホストコンピュータ１００における本発明の実施の形態の製造スケジューリング方法の処理の流れを、フローチャートを用いて示す。
【００４１】
図７は、本発明の実施の形態の製造スケジューリング方法の処理の流れを説明するフローチャートである。
製造スケジューリング処理が開始すると、ＣＰＵ１０１の制御のもと、通信Ｉ／Ｆ１０７により、製品情報管理データベース２００から製品情報、製造設備管理データベース３００から、製造装置情報及びメンテナンス情報を取り出し、入力する。更に、例えば、ホストコンピュータ１００上で、図１で示したスケジューラ部２０として機能する、製品スケジューラ及びＰＭスケジューラから、スケジュール情報を入力する（ステップＳ１０）。
【００４２】
次に、処理ロット数をインクリメントする（ステップＳ１１）。
その後、ＣＰＵ１０１は入力した製品情報などをもとに製品指数を算出する（ステップＳ１２）。
【００４３】
製品指数は“製品価格×故障確率”で算出される。ここで、製品価格は、入力した製品情報より、“製品価格＝１チップ当たりの単価×１ロット当たりの有効個数”で算出される。また、１ロット当たりの有効個数は、“１枚のウェーハから取れるチップ数×歩留まり×１ロットのウェーハ数”で算出される。なお、歩留まりは、製造装置情報に含まれる情報である。
【００４４】
例えば、単価が６８０円、１枚のウェーハから取れるチップ数が３００個、歩留まり９８％、１ロットは２５枚のウェーハで構成されているとして製品価格を計算すると、６８０×３００×０．９８×２５＝４９９８０００円となる。
【００４５】
故障確率は、現在の処理ロット数に応じて決まる。例えば、“１−ｅ（−係数×処理ロット数）”で算出される。係数は、製造装置によって決まる値である。
次に、ＣＰＵ１０１は、入力したメンテナンス情報などをもとにＰＭ指数を算出する（ステップＳ１３）。
【００４６】
ＰＭ指数は、“メンテナンス費用÷処理ロット数”で算出される。ここで、メンテナンス費用は、入力したメンテナンス情報より、“メンテナンス費用＝人件費＋部品代”で算出される。
【００４７】
例えば、人件費が４万円、部品代が１６万円だとすると、メンテナンス費用は２０万円となる。
次に、ＣＰＵ１０１は、製品指数とＰＭ指数の比較を行う（ステップＳ１４）。ここで、製品指数がＰＭ指数を上回った場合には、処理ロット数をリセットし０にして、入力したスケジュール情報をもとに新規スケジュールを決定し（ステップＳ１５）、製品スケジューラやＰＭスケジューラにフィードバックしてステップＳ１１からの処理を繰り返す（ステップＳ１６）。また、製品指数がＰＭ指数以下の場合にも、ステップＳ１１からの処理を繰り返す。
【００４８】
上記のような処理により、横軸を累計の処理ロット数として、製品指数とＰＭ指数の関係を示したものが、前述の図３、図４である。このようにすれば、製品価格が変動する場合においても、適切な製造装置のスケジューリングを行うことが可能である。
【００４９】
以上の説明では、製品指数を、“製品価格×故障確率”とした。しかし、製品価格のみで、点検時期を決定することが不都合である場合、付加価値指数を導入して製品価格を重み付けするようにしてもよい。
【００５０】
その場合、製品指数は、“製品価格×付加価値指数×故障確率”で算出される。付加価値指数の算出方法について、以下簡単に説明する。
付加価値指数は、例えば、製品レベル、市場レベル、顧客レベルをポイント評価し、合計ポイントを求めてから、“付加価値指数＝１＋合計ポイント／１００”のようにして算出する。
【００５１】
なお、製品レベルとしては、新規性、特許性の有無、発展性などの要素をポイント評価した合計として表す。また、市場レベルとしては、需要量、競合性、発展性などの要素、顧客レベルとしては、継続性、規模、発展性などの各要素をポイント評価した合計として表すことができる。
【００５２】
上記で説明した図４では、製品価格が変動する場合について示したが、図４のように変動する製品指数をホストコンピュータ１００上で、降順で並べなおした場合について以下説明する。
【００５３】
図８は、製品指数を降順で並べなおした場合の製品指数とＰＭ指数の関係を示す図である。
横軸は累計の処理ロット数である。
【００５４】
図のように、図４の場合に比べて、製品指数がＰＭ指数を上回る時期が延びていることが分かる。つまり、メンテナンスの効率が上がっているといえる。
このように、価値の高い製品を先に処理するように、製造スケジュールを決定し、スケジューラ部（製品スケジューラ）にフィードバックして、製品スケジュールをディスパッチすることによって、処理する製品に応じてメンテナンスの効率を上げることが可能となる。
【００５５】
また、製品が完成するまでの製造工程において、同じ製造装置を何度も用いる場合、その製品の価値は、製造工程の位置によって変化する。このような、製造工程の位置における製品の価値を考慮するようにしてもよい。例えば、同一の製品が、同じ製造装置で３回処理される場合、１回目に製造装置で製品を処理する場合には、製品価格を最終製品価格の１／３にし、２回目のときは２／３、３回目で３／３＝１とする。
【００５６】
このように計算した製品価格を、製品指数算出の際に反映する。そうすることによって、製造工程での位置による製品価格の重み付けができるようになり、より製造現場での製品の価値を捕らえることができるようになる。
【００５７】
前述したように、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、ホストコンピュータ１００が有すべき機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリなどがある。磁気記録装置には、ハードディスク、フレキシブルディスク（ＦＤ）、磁気テープなどがある。光ディスクには、ＤＶＤ、ＤＶＤ−ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷなどがある。光磁気記録媒体には、ＭＯ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｏｐｔｉｃａｌ  ｄｉｓｃ）などがある。
【００５８】
プログラムを流通させる場合には、例えば、そのプログラムが記録されたＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭなどの可搬型記録媒体が販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。
【００５９】
プログラムを実行するコンピュータは、例えば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、サーバコンピュータからプログラムが転送されるごとに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。
【００６０】
（付記１）複数の製品の製造スケジュールを決定する製造スケジューリング方法において、
製造する前記製品に関する製品情報、製造装置情報及び製造装置のメンテナンス情報を入力し、
前記製造装置における前記製品の製品処理のスケジューリングと、メンテナンスのスケジューリングを行うスケジューラ部より、スケジュール情報を入力し、
前記製造装置で行う予定の前記製品処理ごとに、
前記製品情報をもとに算出される製品価格と、前記製造装置情報をもとに現在の処理数に応じて算出される故障確率との積により、前記製品処理する際のリスクを示す第１の指数を算出し、
前記メンテナンス情報と、前記処理数とから、処理単位にかかるメンテナンス費用を示す第２の指数を算出し、
算出された前記第１及び第２の指数を比較し、
前記第１の指数が前記第２の指数を上回った処理数だけ前記製造装置が前記製品処理を行った場合、前記製造装置のメンテナンス時期と見なし、前記処理数をリセットし、前記スケジュール情報をもとに、新たな製造スケジュールを決定する、
ことを特徴とする製造スケジューリング方法。
【００６１】
（付記２）前記第１の指数を、前記製品の付加価値指数で重み付けすることを特徴とする付記１記載の製造スケジューリング方法。
（付記３）前記第１の指数を降順で並べなおし、前記製造スケジュールを決定し、前記スケジューラ部にフィードバックすることを特徴とする付記１記載の製造スケジューリング方法。
【００６２】
（付記４）前記製品の製造の際、前記製造装置を複数回使用する場合、製造工程の順序に応じて、前記製品価格を可変することを特徴とする付記１記載の製造スケジューリング方法。
【００６３】
（付記５）複数の製品の製造スケジュールを決定する処理をコンピュータに機能させるプログラムにおいて、
コンピュータを、
製造する前記製品に関する製品情報、製造装置情報及び製造装置のメンテナンス情報を入力する入力手段、
前記製造装置における前記製品の製品処理のスケジューリングと、メンテナンスのスケジューリングを行うスケジューラ部より、スケジュール情報を入力するスケジュール情報入力手段、
前記製造装置で行う予定の前記製品処理ごとに、
前記製品情報をもとに算出される製品価格と、前記製造装置情報をもとに現在の処理数に応じて算出される故障確率との積により、製造処理する際のリスクを示す第１の指数を算出する第１の指数算出手段、
前記メンテナンス情報と、前記処理数とから、処理単位にかかるメンテナンス費用を示す第２の指数を算出する第２の指数算出手段、
算出された前記第１及び第２の指数を比較する比較手段、
前記第１の指数が前記第２の指数を上回った処理数だけ前記製造装置が前記製品処理を行った場合、前記製造装置のメンテナンス時期と見なし、前記処理数をリセットし、前記スケジュール情報をもとに、新たな製造スケジュールを決定する新規スケジュール決定手段、
として機能させるプログラム。
【００６４】
（付記６）複数の製品の製造スケジュールを決定する処理をコンピュータに機能させるプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、
コンピュータを、
製造する前記製品に関する製品情報、製造装置情報及び製造装置のメンテナンス情報を入力する入力手段、
前記製造装置における前記製品の製品処理のスケジューリングと、メンテナンスのスケジューリングを行うスケジューラ部より、スケジュール情報を入力するスケジュール情報入力手段、
前記製造装置で行う予定の前記製品処理ごとに、
前記製品情報をもとに算出される製品価格と、前記製造装置情報をもとに現在の処理数に応じて算出される故障確率との積により、製造処理する際のリスクを示す第１の指数を算出する第１の指数算出手段、
前記メンテナンス情報と、前記処理数とから、処理単位にかかるメンテナンス費用を示す第２の指数を算出する第２の指数算出手段、
算出された前記第１及び第２の指数を比較する比較手段、
前記第１の指数が前記第２の指数を上回った処理数だけ前記製造装置が前記製品処理を行った場合、前記製造装置のメンテナンス時期と見なし、前記処理数をリセットし、前記スケジュール情報をもとに、新たな製造スケジュールを決定する新規スケジュール決定手段、
として機能させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【００６５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、製造装置で行う予定の製品処理ごとに、製品価格と故障確率との積により算出される製品処理する際のリスクを示す製品指数と、処理単位にかかるメンテナンス費用を示すＰＭ指数とを比較し、製品指数がＰＭ指数を上回った処理数だけ製造装置が製品処理を行った場合に、製造装置のメンテナンス時期と見なし、処理数をリセットし新たな製造スケジュールを決定するので、製品価格などの製品価値が変動する場合でも適切に製品の製造スケジュールが決定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の製造スケジューリング方法の原理を説明する原理図である。
【図２】従来の製造スケジューリング方法によって得られる製品指数とＰＭ指数との関係を示す図であり、（Ａ）は製品価格が一定の場合、（Ｂ）は製品価格が変動した場合の図である。
【図３】本発明の製造スケジューリング方法によって得られる、製品価格が一定の場合の製品指数とＰＭ指数との関係を示す図である。
【図４】本発明の製造スケジューリング方法によって得られる、製品価格が変動する場合の製品指数とＰＭ指数との関係を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態の製造スケジューリング方法が適用されるシステムの構成を示すシステム構成図である。
【図６】ホストコンピュータのハードウェア構成例を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態の製造スケジューリング方法の処理の流れを説明するフローチャートである。
【図８】製品指数を降順で並べなおした場合の製品指数とＰＭ指数の関係を示す図である。
【符号の説明】
１０  製造装置スケジュール決定部
２０  スケジューラ部
３０  製品情報管理データベース
４０  製造設備管理データベース
【図１】
2004362115.tif 000003
【図２】
2004362115.tif 000004
【図３】
2004362115.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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