(57)【要約】【課題】可撓性を有するシート状の光ディスクを用いて記録／再生を行う際に、ベルヌーイの法則による空気力を利用して光ディスクの面ぶれを抑制する安定化部材を用い、この安定化部材と光ディスクとの相対的位置関係を的確に調整し、光ピックアップの焦点位置と光ディスクの面ぶれ安定化位置を的確に一致させ、記録および／または再生動作の安定化を図る。【解決手段】光ピックアップ６の焦点位置を光ディスク１面に追従制御させるサーボ駆動系のサーボ駆動信号をモニタし、前記サーボ駆動信号の最大振幅が、任意に設定した基準値以下となるように、安定化部材８のＺ軸方向位置およびチルト角を、Ｚ軸方向・安定化部材／ピックアップユニット位置制御部４０，Ｘ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部４２，Ｙ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部４３を動作させて調整する。【選択図】　　図８
2004030813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、前記光ディスクの記録面に対して光出射して情報の書き込みあるいは読み取りを行う光ピックアップと、少なくとも前記光ディスクにおける書き込みあるいは読み取りが行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差によって安定化させる安定化手段とを備えた光ディスク装置であって、
前記光ピックアップの焦点位置を前記光ディスク面に追従制御させるサーボ駆動系のサーボ駆動信号の解析値に基づいて、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整させる制御調整手段を備えたことを特徴とする光ディスク装置。
【請求項２】
前記制御調整手段により、前記サーボ駆動信号の最大振幅が、あらかじめ設定した基準値以下となるように、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整させることを特徴とする請求項１記載の光ディスク装置。
【請求項３】
前記基準値を、面ぶれしている光ディスクの任意の面に対してフォーカスサーボ駆動を行った場合のサーボ駆動信号振幅と面ぶれ量との相対関係に基づいて任意の面ぶれ範囲内で設定し、該任意の面ぶれ範囲を光ディスクの回転数、および任意の記録／再生が行われる光ディスクにおける半径位置を条件とし、前記安定化手段により安定化させた最適な光ディスク面ぶれ安定化点における面ぶれ量よりも大きく、かつ２０μｍ以下に設定したことを特徴とする請求項１または２記載の光ディスク装置。
【請求項４】
前記制御調整手段からの前記光ディスクと前記安定化手段との相対位置調整信号に基づいて、前記光ディスクおよび／または前記安定化手段の位置を移動させる移動手段を備えたことを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の光ディスク装置。
【請求項５】
可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、前記光ディスクの記録面に対して光出射して情報の書き込みあるいは読み取りを行う光ピックアップと、少なくとも前記光ディスクにおける書き込みあるいは読み取りが行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差によって安定化させる安定化手段とを備えた光ディスク装置に用いられる調整方法であって、
前記光ピックアップの焦点位置を前記光ディスク面に追従制御させるサーボ駆動系のサーボ駆動信号の解析値に基づいて、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整することを特徴とする光ディスク装置の調整方法。
【請求項６】
可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、前記光ディスクの記録面に対して光出射して情報の書き込みあるいは読み取りを行う光ピックアップと、少なくとも前記光ディスクにおける書き込みあるいは読み取りが行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差によって安定化させる安定化手段とを備えた光ディスク装置に用いられる調整方法であって、
異なる仕様の光ディスクごとに、請求項５記載の調整方法を実行して、光ディスクと安定化部材との三次元空間内における相対位置関係の調整基準条件をあらかじめ設定しておき、使用される光ディスクに対して請求項５記載の調整方法を実行して、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整することを特徴とする光ディスク装置の調整方法。
【請求項７】
請求項６記載の調整を、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係における微調整として実行することを特徴とする請求項５記載の光ディスク装置の調整方法。
【請求項８】
前記サーボ駆動信号の最大振幅が、あらかじめ設定した基準値以下となるように、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整することを特徴とする請求項５〜７いずれか１項記載の光ディスク装置の調整方法。
【請求項９】
前記基準値を、面ぶれしている光ディスクの任意の面に対してフォーカスサーボ駆動を行った場合のサーボ駆動信号振幅と面ぶれ量との相対関係に基づいて任意の面ぶれ範囲内で設定し、該任意の面ぶれ範囲を光ディスクの回転数、および任意の記録／再生が行われる光ディスクにおける半径位置を条件とし、前記安定化手段により安定化させた最適な光ディスク面ぶれ安定化点における面ぶれ量よりも大きく、かつ２０μｍ以下の値を用いることを特徴とする請求項５〜８いずれか１項記載の光ディスク装置の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可撓性を有するシート状の光学的情報記録媒体である光ディスクを使用し、この光ディスクにおける書き込みあるいは読み取りが行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差によって安定化させる安定化手段を具備した光ディスク装置、およびその光ディスク装置の調整方法に係り、特に光ディスクと安定化部材との相対位置関係を調整するための技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、テレビ放送のデジタル化が始まるなど、大容量のデジタルデータを記録することが光ディスクに求められている。光ディスクの高密度化のための手法のうち、基本的な方法は記録／再生のための光のスポット径を小さくすることである。
【０００３】
このため、記録／再生のために用いられる光の波長を短く、かつ対物レンズの開口数ＮＡを大きくすることが有効である。光の波長についてはＣＤ（ｃｏｍｐａｃｔ　ｄｉｓｋ）では近赤外光の７８０ｎｍ、ＤＶＤ（ｄｉｇｉｔａｌ　ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　ｄｉｓｋ）では赤色光の６５０ｎｍ近傍の波長が用いられている。最近、青紫光の半導体レーザが開発され、今後は４００ｎｍ近傍のレーザ光が使用されると予想される。
【０００４】
また、対物レンズについては、ＣＤ用はＮＡ０．５未満であったが、ＤＶＤ用はＮＡ０．６程度である。今後、さらに開口数（ＮＡ）を大きくしてＮＡ０．７以上とすることが求められる。しかし、対物レンズのＮＡを大きくすること、および光の波長を短くすることは、光を絞るときに収差の影響が大きくなることでもある。したがって、光ディスクのチルトに対するマージンが減ることになる。また、ＮＡを大きくすることによって焦点深度が小さくなるため、フォーカスサーボ精度を上げなくてはならない。
【０００５】
さらに、高ＮＡの対物レンズを使用することによって、対物レンズと光ディスクの記録面との距離が小さくなってしまうため、光ディスクの面ぶれを小さくしておかないと、始動時のフォーカスサーボを引き込む直前、対物レンズと光ディスクとが衝突することがあり、ピックアップの故障の原因となる。
【０００６】
短波長，高ＮＡの大容量光ディスクとして、例えばＯ　ＰＬＵＳ　Ｅ（ｖｏｌ．２０　Ｎｏ．２）の１８３ページに示されているように、ＣＤと同程度に厚く剛性の大きい基板に記録膜を成膜し、記録／再生用の光を基板を通さずに、薄いカバー層内を通して記録膜に対して記録／再生する構成のシステムが提案されている。
【０００７】
また、例えば特開平７−１０５６５７号公報，特開平１０−３０８０５９号公報に記載されているように、平面をもつ安定化板上で可撓性を有する光ディスクを回転させて、光ディスクにおける面ぶれを安定化させる方法が知られている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の技術において、光ディスクの基板を剛体で形成すると、回転する光ディスクにおける面ぶれ，チルトを小さくするためには、きわめて正確な成形をし、かつ熱変形が生じないように低温で記録膜を成膜しなければならない。このことは、光ディスク製造に係るタクトタイムを長くすることになり、コストを上げる原因となる。
【０００９】
また、可撓性のある光ディスクを安定板上で回転させる方法では、特開平１０−３０８０５９号公報に記載されているように、単純な平板上で回転させると、光ディスクと安定化板が接して摺動し、このため光ディスクが振動して高周波の面ぶれが発生する。この面ぶれは、機械的なフォーカスサーボでは応答できない周波数領域にかかってくることが多く、残留サーボエラーを十分抑圧することができない。
【００１０】
さらに、面ぶれにより光ディスクと対物レンズとが摺動すると、発塵を引き起こして、その塵埃などがエラーを発生させる原因となる。特に特開平７−１０５６５７号公報に記載されているように、安定化板側に記録膜が存在する構成であると、摺動により光ディスクの記録膜を損傷して、直接エラーを引き起こすことになる。
【００１１】
これらの問題を解決するための１つの手段として、本件出願人は、特願２００１−２２８９４３号において、光ディスクの記録層の全面に安定化ガイド部材を対向設置させずに、光ディスクとの対向面が円弧状をなす円柱状の安定化ガイド部材を用い、光ディスクにおける安定化ガイド部材による空気圧の作用による面ぶれが安定する部位におけるディスク回転方向上流側と下流側とに空気圧の作用を生じさせない領域（安定化ガイド部材がない空間部）を設けて、面ぶれを安定化させた部位の前後位置に光ディスクに「逃げ」となる部分を存在させ、面ぶれを安定化させた部位での光ディスクにおける反発力を小さくすることにより、空気力による安定化力の効果を増大させる発明を提案した。
【００１２】
この発明によれば、可撓性光ディスクの面ぶれを確実に抑制し、高密度の記録を可能にし、また対物レンズとの摺接などの不具合の発生を防ぐことが可能となるが、反面、安定化ガイドによる光ディスク面上の面ぶれ安定化位置はディスク回転数，半径位置などによって影響されるため、光ピックアップの焦点位置と面ぶれ安定化位置を的確に一致させることが重要課題となる。
【００１３】
また本件出願人は、特願２００２−１２７１７号において、トラッキングエラー信号の検出結果に基づいて安定化ガイドと光ディスクの相対位置を制御・調整する発明を提案し、光ピックアップの焦点位置と面ぶれ安定化位置を一致させる、という前記重要課題の解決を図っている。
【００１４】
この方法は、他に類がなく、光ピックアップの焦点位置と面ぶれ安定化位置を確実に一致させることができる方法であるが、この制御動作では、フォーカスサーボ・オフの状態でプッシュプル信号に代表されるようなトラッキングエラー信号が検出できる場合に限られ、フォーカスサーボをオンにした状態においては適用することができない。
【００１５】
本発明の目的は、前記従来の課題を解決し、可撓性を有するシート状の光ディスクを用いて記録／再生を行う際に、ベルヌーイの法則による空気力を利用して光ディスクの面ぶれを抑制する安定化部材を用い、この安定化部材と光ディスクとの相対的位置関係を的確に調整し、光ピックアップの焦点位置と光ディスクの面ぶれ安定化位置を的確に一致させ、光ディスク上の信号記録／再生位置におけるディスク面ぶれを極めて小さい値とすることにより、高ＮＡの光ピックアップにおける狭小デフォーカスマージン，狭小ワークディスクタンスにも容易に対応でき、記録および／または再生動作の安定化を図ることができる光ディスク装置およびその調整方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、前記光ディスクの記録面に対して光出射して情報の書き込みあるいは読み取りを行う光ピックアップと、少なくとも前記光ディスクにおける書き込みあるいは読み取りが行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差によって安定化させる安定化手段とを備えた光ディスク装置であって、
前記光ピックアップの焦点位置を前記光ディスク面に追従制御させるサーボ駆動系のサーボ駆動信号の解析値に基づいて、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整させる制御調整手段を備えたことを特徴とし、この構成によって、サーボ駆動信号波形によって、光ピックアップと対向する位置の光ディスクにおける面ぶれ安定化状態を的確に判断し、光ディスクと安定化手段との相対位置関係の調整により、光ピックアップの光ディスクに対する焦点位置と光ディスクにおける面ぶれ安定化位置とを的確に一致させることが可能となり、面ぶれを低減した位置において安定した記録および／または再生が実現可能となる。また、光ディスク上の信号記録再生位置におけるディスク面ぶれを極めて小さい値とすることにより、高ＮＡの光ピックアップの狭小デフォーカスマージン，狭小ワークディスクタンスにも容易に対応できるようになる。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の光ディスク装置において、制御調整手段により、サーボ駆動信号の最大振幅が、あらかじめ設定した基準値以下となるように、光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整させることを特徴とし、この構成によって、光ピックアップ面の面ぶれが任意の定量値以下に調整されることとなる。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、請求項１〜２記載の光ディスク装置において、基準値を、面ぶれしている光ディスクの任意の面に対してフォーカスサーボ駆動を行った場合のサーボ駆動信号振幅と面ぶれ量との相対関係に基づいて任意の面ぶれ範囲内で設定し、該任意の面ぶれ範囲を光ディスクの回転数、および任意の記録／再生が行われる光ディスクにおける半径位置を条件とし、安定化手段により安定化させた最適な光ディスク面ぶれ安定化点における面ぶれ量よりも大きく、かつ２０μｍ以下に設定したことを特徴とし、この基準値を用いることにより、確実かつ正確な判断を行うことが可能になる。すなわち、面ぶれ量の制限値を２０μｍ以下とすることにより、ワークディスタンスが０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍ位と狭い高ＮＡの光ピックアップ（例えばＤＶＲ用ではＮＡ０．８５）を用いる場合においても、光ピックアップの対物レンズと光ディスクとの衝突を確実に回避できるようになり、また、面ぶれ量の下限値を当該光ディスクにおける実効的な値に設定することにより、制御調整系の動作が発散することを防ぐことができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３いずれか１項記載の光ディスク装置において、制御調整手段からの光ディスクと安定化部材と相対位置調整信号に基づいて、光ディスクおよび／または安定化部材の位置を移動させる移動機構を備えたことを特徴とする。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、前記光ディスクの記録面に対して光出射して情報の書き込みあるいは読み取りを行う光ピックアップと、少なくとも前記光ディスクにおける書き込みあるいは読み取りが行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差によって安定化させる安定化手段とを備えた光ディスク装置に用いられる調整方法であって、
前記光ピックアップの焦点位置を前記光ディスク面に追従制御させるサーボ駆動系のサーボ駆動信号の解析値に基づいて、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整することを特徴とし、この方法によって、サーボ駆動信号により、光ピックアップと対向する位置の光ディスクにおける面ぶれ安定化状態を的確に判断し、光ディスクと安定化部材との相対位置関係の調整により、光ピックアップの光ディスクに対する焦点位置と光ディスクにおける面ぶれ安定化位置とを的確に一致させることが可能となり、面ぶれを低減した位置において安定した記録および／または再生が実現可能となる。また、光ディスク上の信号記録／再生位置におけるディスク面ぶれを極めて小さい値とすることにより、高ＮＡの光ピックアップの狭小デフォーカスマージン，狭小ワークディスクタンスにも容易に対応できるようになる。
【００２１】
請求項６に記載の発明は、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光ディスクの記録面に対して光出射して情報の書き込みあるいは読み取りを行う光ピックアップと、少なくとも光ディスクにおける書き込みあるいは読み取りが行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差によって安定化させる安定化手段とを備えた光ディスク装置に用いられる調整方法であって、
異なる仕様の光ディスクごとに、請求項５記載の調整方法を実行して、光ディスクと安定化部材との三次元空間内における相対位置関係の調整基準条件をあらかじめ設定しておき、使用される光ディスクに対して請求項５記載の調整方法を実行して、光ディスクと安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整することを特徴とし、この方法によって、使用される光ディスクにおける代表的な制御条件をあらかじめ設定しておき、その制御条件に基づき光ピックアップの光ディスクに対する焦点位置と光ディスクにおける面ぶれ安定化位置とを的確に一致させることができるため、請求項５に記載の方法に比べて、調整制御動作，演算処理を簡素化することができ、より簡易的かつ安価な光ディスク装置が実現する。
【００２２】
請求項７に記載の発明は、請求項５記載の光ディスク装置の調整方法において、請求項６記載の調整を、光ディスクと安定化手段との三次元空間内における相対位置関係における微調整として実行することを特徴とし、この方法によって、調整制御動作の簡略化，迅速化を図ることができる。
【００２３】
請求項８に記載の発明は、請求項５〜７いずれか１項記載の光ディスク装置の調整方法において、サーボ駆動信号の最大振幅が、あらかじめ設定した基準値以下となるように、前記光ディスクと前記安定化手段との三次元空間内における相対位置関係を調整することを特徴とし、この方法によって、光ピックアップ面の面ぶれが任意の定量値以下に調整される。
【００２４】
請求項９に記載の発明は、請求項５〜８いずれか１項記載の光ディスク装置の調整方法において、基準値を、面ぶれしている光ディスクの任意の面に対してフォーカスサーボ駆動を行った場合のサーボ駆動信号振幅と面ぶれ量との相対関係に基づいて任意の面ぶれ範囲内で設定し、該任意の面ぶれ範囲を光ディスクの回転数、および任意の記録／再生が行われる光ディスクにおける半径位置を条件とし、前記安定化手段により安定化させた最適な光ディスク面ぶれ安定化点における面ぶれ量よりも大きく、かつ２０μｍ以下の値を用いることを特徴とし、この方法によって、確実かつ正確な判断を行うことが可能になる。すなわち、面ぶれ量の制限値を２０μｍ以下とすることにより、ワークディスタンスが０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍ位と狭い高ＮＡの光ピックアップ（例えばＤＶＲ用ではＮＡ０．８５）を用いる場合においても、光ピックアップの対物レンズと光ディスクとの衝突を確実に回避できるようになり、また、面ぶれ量の下限値を当該光ディスクにおける実効的な値に設定することにより、制御調整系の動作が発散することを防ぐことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００２６】
図１は本発明の実施形態の基本構成を説明するための光ディスク装置の概略構成図であり、１は可撓性を有するシート状の光ディスク、２は光ディスク１のハブ３を保持するスピンドルシャフト、４はスピンドルシャフト２を回転駆動するスピンドルモータ、６は、光ディスク１に対して情報の書き込みを行う記録手段、および書き込まれた情報の読み取りを行う再生手段としての光ピックアップ、７は光ピックアップ６を光ディスク１の半径方向へ移動させるピックアップ用位置決め機構、８は、光ディスク１を介して光ピックアップ６に対向設置され、光ディスク１の面ぶれを防止するための安定化部材、９は安定化部材８を光ピックアップ６と連動して光ディスク１の半径方向へ移動させる安定化部材用位置決め機構、１０は前記各構成部材を収納する装置本体である。
【００２７】
図２は前記光ピックアップを構成する記録手段と再生手段の説明図であり、記録手段としては、図２（ａ）に示すように、入力された記録信号に対してデジタル信号化処理，信号圧縮処理などを行う信号処理回路１１と、信号処理回路１１からの出力に基づいてレーザ駆動制御信号を生成するレーザ駆動制御回路１２と、レーザ駆動制御回路１２からの出力を受けて半導体レーザなどからなるレーザ光源１４を駆動するレーザ駆動部１３などからなっており、レーザ光源１４から出射した高出射エネルギの出射光Ｌａが、図１に示す光ピックアップ６の対物レンズ１５により集光されて光ディスク１の記録面を光スポットとして照射し、ビット形成による情報記録が行われる。
【００２８】
また、再生手段としては、図２（ｂ）に示すように、フォトダイオードなどからなる光電変換素子１７と再生信号処理回路１８などからなり、光ディスク１の記録面に形成されている記録ビットに対して、レーザ光源１４から低出射エネルギのレーザ光が出射され、その反射光Ｌｂを対物レンズ１５を通し光電変換素子１７で受光し、光電変換素子１７からの出力に再生信号処理回路１８で信号伸張処理などを施して再生信号を生成する。
【００２９】
光ディスク１は、図３の断面図に示すような構成であって、記録層２０が光ピックアップ６の対物レンズ１５に対向し、基板２１が安定化部材８に対向するように、スピンドルシャフト２に設けられたチャッキング部にセットされる。
【００３０】
光ディスク１の具体例を説明する。基板として可撓性を持たせるために０．１ｍｍ程度の薄いシートを用いた。例えばポリエチレンテレフタレート製の厚さ８０μｍのシートに熱転写で、スタンパのピッチが０．６μｍ、幅０．３μｍのグルーブを転写し、その後、スパッタリングでシート／Ａｇ反射層を１２０ｎｍ／（ＺｒＯ２−Ｙ２Ｏ３）−ＳｉＯ２，７ｎｍ／ＡｇＩｎＳｂＴｅＧｅ，１０ｎｍ／ＺｎＳ−ＳｉＯ２，２５ｎｍ／Ｓｉ３Ｎ４の順番に成膜した。このシートにＵＶ樹脂をスピンコートし、紫外線照射で硬化させて厚さ５μｍの透明保護膜を形成し、さらに、このディスクを大口径のレーザ光で記録層を溶融結晶化することにより、反射率を上げたものを使用した。
【００３１】
図４の説明図を参照して可撓性を有するシート状の光ディスクの面ぶれ安定化について説明する。記録／再生時、前記構成の可撓性を有する光ディスク１を、光ピックアップ６と安定化部材８間で回転させる。回転している光ディスク１は、それ自体、小さいながら剛性を持ち、また回転すると遠心力の作用により、真っ直ぐな状態になろうとする力を持つ。したがって、光ディスク１に対して安定化部材８を近づけて、ベルヌーイの法則に基づく空気流の圧力差による反発力を生成して光ディスク１に与えることにより、光ディスク１が真っ直ぐになろうとする力と、安定化部材８からの反発力の釣り合いによって、大きな面ぶれ（ディスク回転軸方向の振れ）を減少させることができる。
【００３２】
本実施形態では、光ディスク１の記録層２０全面に安定化部材８を対向設置させないようにする。例えば図４の構成例では、光ディスク１との対向面が円弧状をなす円柱状の安定化部材８を用いており、光ディスク１における安定化部材８による前記空気圧の作用による面ぶれが安定する部位Ａにおけるディスク回転方向上流側と下流側とに前記空気圧の作用を生じさせない領域（安定化部材８がない空間部）Ｂ，Ｃを設け、面ぶれを安定化させた部位Ａの前後位置に光ディスク１に「逃げ」となる部分を存在させることによって、面ぶれを安定化させた部位Ａにおける光ディスク１の反発力を小さくするようにしている。このようにしたことによって、空気力による安定化力の効果が増大することになる。
【００３３】
さらに、光ディスク１における記録層２０とは反対側である基板２１側に安定化部材８が存在し、光ディスク１の記録層２０に対して記録／再生用の光Ｌａ，Ｌｂを集光して記録／再生を行う。安定化部材８は記録層２０の反対側の基板２１側を安定化させる。このことにより、万一、安定化部材８と光ディスク１とに摺動状態が発生しても記録層２０を損傷させることにならず、エラーの発生の直接原因にはならない。なお、記録層２０側に安定化部材８を配置し、記録再生用のレーザ光を基板２１を通して記録層に入射させる構成とすることも可能であり、この場合には、記録層２０上へのオーバーコート処理などの保護膜を形成することが記録層２０の損傷防止に有効である。
【００３４】
図４の説明図を参照してさらに具体的に説明する。図４において、安定化部材８以外の構成部材または装置本体ケース、あるいは光ディスク１をカートリッジに収納した状態において使用する場合は、そのカートリッジによってベルヌーイの法則による作用が働かないように、それらから光ディスク１を１ｍｍ程度以上離しているとする。ただし、例外的に対物レンズ１５が高ＮＡの場合には、作動距離が短くなるため、対物レンズ１５が０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍ位まで近づくことになる。
【００３５】
さらに、図５に図４の構成における光ディスクの面ぶれの測定結果の実測図（２回転分）を示す。安定化部材８は先端形状が半径５０ｍｍ、直径が２０ｍｍであり、光ディスク１は、８０μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）シートに０．６５μｍピッチのトラッキング用の溝を形成し、記録膜をスパッタリングで形成したものであって、直径４５ｍｍ、その回転数は２０００ｒｐｍとし、レーザ変位計を用いて面ぶれを測定したものである。安定化部材８と光ディスク１との設定間隔は約５μｍである。
【００３６】
安定化部材８には異常振動がなく、かつ光ディスク１にも摺動傷は発生しなかったので、過度の空気浮上が行われず摺動状態が生じていなかったと判断することができる。また、ディスク面ぶれは５μｍ程度であって、通常の剛体のディスクが５０μｍ以上の面ぶれを生じることからすると、極めて小さいことが分かる。
【００３７】
（表１）は面ぶれ状態を図５にて説明した測定法と同様にして１０回転させて測定した結果をまとめた表であり、本実施形態のように光ディスク片側に安定化部材を設置した構成のものと、従来の光ディスク全面にガイド部材を設置したものとを比較した。
【００３８】
【表１】
2004030813.tif 000003
【００３９】
（表１）にて分かるように、本構成では面ぶれの最大幅が略１１μｍであって、面ぶれのばらつきの３σが２μｍ程度となる好結果を得られた。
【００４０】
本安定化部材８は、装置本体ケースに設置しても、カートリッジ内に内設しても、いずれの場合にも前記のような良好な面ぶれ安定化が得られた。
【００４１】
そして、前記構成の光ディスク装置を波長４０５ｎｍ、かつＮＡ０．９の光ピックアップを用いて記録再生を行った。例えば光ディスクにおける記録位置は半径４５ｍｍとし、最短記録ビット長を０．１２μｍ、かつランダムなデジタルデータを１−７ＲＬＬで変調して記録した。
【００４２】
記録線速度は１０ｍ／ｓ，記録ピークパワーは５ｍＷ，消去パワーは２．６ｍＷ，記録ボトムパワーは０．１ｍＷの３値変調，再生は０．２５ｍＷで行ったとき、基本クロックと記録信号との間のジッターは８％未満であった。さらに記録信号のエンベロープの乱れもなく、安定したフォーカスおよびトラッキングが行われていた。記録再生ともフォーカスの残留エラーを測定したが、デフォーカス量は±０．１２μｍ以下になっていた。０．８以上の高いＮＡでは、デフォーカスマージンがきわめて狭く、ＤＶＤなどに比べて数分の１しかなく、デフォーカス量を±０．２μｍ以下にすることが必須である。その意味においては十分なフォーカス安定化が行われていたといえる。
【００４３】
また、線速度を２０ｍ／ｓに上げて再生を行ってデフォーカスを評価したが、その量は前記と同様に±０．１２μｍ以下であった。従来の高剛性ディスクでは、線速度を上げると、共振などの作用のために面ぶれが増え、デフォーカス量が増えるのに比べると良い結果が得られた。これは、本発明においては、空気力安定化を用いているために高線速になるほど安定化させる力が大きくなるからである。
【００４４】
本発明者らは、上述した光ディスクの面ぶれを、さらに安定化させるためにコントロールする方法について鋭意検討した結果、フォーカスサーボ機構により光ピックアップの焦点位置を光ディスク面に追従制御させた場合においては、この追従制御時のサーボ駆動信号がディスク面の面ぶれと相関関係があり、このサーボ駆動信号が任意基準を満たすように光ディスクと安定化部材との三次元空間における相対位置関係を調整することにより、結果的にディスク面ぶれを低減かつ調整することができることを見出した。
【００４５】
一般的に、光ディスク装置においては、ディスク面／対物レンズ間の距離に応じて図７に示すようなＳ字特性に従って検出波形を返すフォーカスエラー検出系を具備しており、検出されたフォーカスエラー信号が一定値（一般的にはゼロ目標）となるように、ドライブアンプによって光ピックアップの合焦位置を制御し、光ピックアップがディスク面上で焦点を結ぶようにコントロールしている。このコントロールに用いられるサーボ駆動信号には光ディスクの面ぶれに関する情報が含まれており、その波形解析により光ディスクの面ぶれ量を見積ることができ、前記調整／制御が可能となる。
【００４６】
図６は光ディスクと安定化部材とにおける三次元空間の相対位置調整用の制御系の一例を示すブロック図であり、光ピックアップ６におけるディテクタなどからなるフォーカスエラー信号検出系３０から検出されたフォーカスエラー信号を受けて、位相補償ドライブアンプ３１では位相補償を行い適正フォーカスにするためのサーボ駆動信号が光ピックアップ６へ出力する。また前記サーボ駆動信号を安定化部材駆動装置３２で監視して光ディスク１の面ぶれ信号を得て、光ピックアップ６の焦点位置でのディスク面ぶれが小さくなるように、安定化部材８の位置を調整する。このことによって、面ぶれの小さい位置での安定した記録／再生動作が実現できるようになる。
【００４７】
なお、図６に示す例は、光ディスク１と安定化部材８との三次元空間における相対位置関係の調整を安定化部材８側、すなわち安定化部材駆動装置３２に持たせた場合の一例であるが、この構成に限られるものではない。
【００４８】
また、フォーカスエラー検出系３０の具体例としては、シリンドリカルレンズおよび４分割フォトディテクタを用いた非点収差法、プリズムを用いたフーコー法などの数種の検出系が考えられ、また、光ピックアップ６のフォーカス位置の制御系も対物レンズを機械的に動かす方法、電歪素子などを用いた方法などの数種の方法があるが、本発明において特に限定されるものではない。
【００４９】
また、本実施形態においては、光ピックアップ６のフォーカスサーボをオンした状態、さらにはトラッキングサーボをオンした状態において、ディスク面ぶれ検出，制御が可能であることが１つの特徴となっている。これにより、光ディスク１における記録／再生が行われる半径位置を移動させながら連続した記録／再生動作が行われる場合においても、追従して常に光ピックアップ６の焦点位置におけるディスク面ぶれを調整することが可能となる。この点が、本件出願人先願の特願２００２−１２７１７号に記載の発明と大きく異なる点である（先願においては、フォーカスサーボオフでのディスク面ぶれ検出，制御に限られる）。
【００５０】
図８は本発明の実施形態１を説明するための光ディスク装置の概略構成図である。なお、以下の説明において、既述した部材に対応する部材には同一符号を付して詳しい説明は省略する。
【００５１】
図８において、４０はＺ軸方向・安定化部材／ピックアップユニット位置制御部、４１はＸ軸方向・安定化部材／ピックアップユニット位置制御部、４２はＸ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部、４３はＹ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部、４４は安定化部材８と光ピックアップ６とを保持してなる安定化部材／ピックアップユニット共通筐体、４５は安定化部材８と光ピックアップ６間の対向間隔を調整する安定化部材／ピックアップ間隔調整部である。Ｘ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部４２とＹ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部４３は安定化部材８の表面中心位置Ｏを回転中心としてチルト角を調節することができる機構である。また、光ピックアップ６は、レーザ光が常に安定化部材８の表面中心位置Ｏに垂直入射するように安定化部材／ピックアップユニット共通筐体４４に固定してある。なお、シート状の光ディスク１および安定化部材８は既述したものと同様の仕様のものである。
【００５２】
実施形態１における面ぶれ安定化のための図示しないＣＰＵ（中央演算処理ユニット）による調整制御について、図９のフローチャートを参照して説明する。
【００５３】
すなわち、ＣＰＵにスタート信号が入力することによって、スピンドルモータ４が始動して光ディスク１を回転させ（Ｓ１−１）、所定の回転数に達したときに（Ｓ１−２のＹＥＳ）、安定化部材８を光ディスク１の半径方向へ移動させ、安定化部材８の表面中心位置Ｏを光ディスク１の半径方向における所定の位置に合わせ、光ディスク１に対して安定化部材８を近接させる（Ｓ１−３）。その後、安定化部材８によりディスク設置基準面（光ディスク１が平坦であると仮定した場合の安定化部材８の表面）よりも、約０．５ｍｍだけ光ディスク１を押し込み、光ディスク１の面ぶれが略安定化した時点で（Ｓ１−４）、安定化部材／ピックアップ間隔調整部４５により、光ピックアップ６の仮フォーカス位置と安定化部材８の表面中心位置Ｏとが一致するように調整する（Ｓ１−５）。このステップより、光ピックアップ６の仮フォーカス位置と安定化部材８の表面中心位置Ｏとが一致するように調整することにより、光ピックアップ６の焦点位置を、光ディスク１の回転軸方向における変動範囲の略中心位置に設定することができる。この後、フォーカスサーボ，トラッキングサーボの順にサーボをオンにする（Ｓ１−６，Ｓ１−７）。
【００５４】
その後、ＣＰＵでは既述したようにフォーカスサーボのサーボ駆動信号をモニタして特性解析し、この特性解析値に基づいて光ディスク１に対する安定化部材８の相対的位置調整制御を行う（Ｓ１−８，Ｓ１−９）。すなわち、サーボ駆動信号の最大振幅が０．５Ｖ以下となるように、安定化部材８のＺ軸方向位置およびチルト角を、Ｚ軸方向・安定化部材／ピックアップユニット位置制御部４０，Ｘ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部４２，Ｙ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部４３を動作させて調整する。
【００５５】
前記調整後に、例えば、ステップ（Ｓ１−８），（Ｓ１−９）の動作を繰り返して、ディスク面ぶれの監視と調整とを常に実施させるようにすれば、光ディスク１における記録が行われる半径位置、あるいはディスク回転数といった光ディスク１上の面ぶれ安定化位置に影響するパラメータを変更した場合にも、常に光ピックアップ６の焦点位置における面ぶれを安定化させるように制御することができ、例えば記録／再生を行う光ディスク１における半径位置を移動させながら、面ぶれの安定化した位置で記録／再生動作を連続して常に実行することが可能となる。
【００５６】
また光ディスク１の面ぶれの監視と調整とを常に実施させなくても、記録／再生が行われる任意のディスク半径位置における記録／再生動作ごとに、ステップ（Ｓ１−８），（Ｓ１−９）の動作により、随時、光ピックアップ６の焦点位置における光ディスク１の面ぶれを安定化させることも可能である。このような記録／再生に関わるパターンは多岐に渡り、本発明では本実施形態のものに限定されるものではない。
【００５７】
なお、前記サーボ駆動信号の最大振幅の基準値０．５Ｖという値は、あらかじめサーボ信号振幅と光ディスク１の面ぶれ量との相関関係から決定した値であり、面ぶれ量としては５μｍに相当する。ここではサーボ駆動信号を電圧として捉えたが、電流あるいは電力としてみることも可能である。また前記基準値はあくまで一例であって、各種サーボ駆動系ごとに固有の値を設定すればよい。なお、面ぶれ基準値が５μｍという値は、前記光ディスク１を３１００ｒｐｍで回転させ、安定化部材８により半径４０ｍｍの位置で光ディスクの面ぶれを安定化させた場合に得られた最適安定化点における面ぶれ振幅２．５μｍを基にして、上限２０μｍまでの範囲で任意に設定したものである。
【００５８】
このような調整制御を行うことにより、安定化部材８による光ディスク１における面ぶれ安定化領域の位置を簡便かつ的確に設定することができ、ベルヌーイの法則を利用した可撓性を有する光ディスク１の面ぶれ安定性の利点を最大限に生かした安定した記録／再生を行うことができる。
【００５９】
なお、前記実施形態１における面ぶれ調整効果を確認するため、既述した光ディスク１を３１００ｒｐｍにて回転させ、半径４０ｍｍの位置でのピックアップ面におけるディスク面ぶれをレーザ変位計にて評価したところ、実効的な面ぶれは４μｍ以下に抑制されていることが確認され、本発明の有効性が実証された。さらに、実施形態１において、評価対象の光ディスクにおける半径位置，回転数，仕様などのパラメータを実用範囲内で変化させて前記評価テストを行ったところ、光ディスクにおける各ピックアップ面において一定の面ぶれ安定性を確保することが確認され、各面において面ぶれが４μｍ以下であった。
【００６０】
図１０は本発明の実施形態２を説明するための光ディスク装置の概略構成図であり、５０はＺ軸方向・安定化部材位置制御部、５１はＺ軸方向・ピックアップ位置制御部、５２はＸ軸方向・スピンドルチルト角制御部、５４はＸ軸方向・スピンドル位置制御部、５５はＹ軸方向・安定化部材チルト角制御部、５６はＹ軸方向・ピックアップチルト角制御部である。Ｙ軸方向・安定化部材チルト角制御部５５のチルト角は安定化部材８の表面中心位置Ｏを回転中心としてチルト角を調整することができるものである。Ｙ軸方向ピックアップチルト角制御部５６のチルト角は光ピックアップ６の焦点位置を回転中心としてチルト角を調整することができるものであって、また両チルト角制御部５５，５６は、光ピックアップ６の入出射光の光軸と安定化部材８の中心軸とが一致するように、常に連動するようにしてある。またスピンドル２のチルト角は、図示している傾きの方向へ略２度傾けて固定した。
【００６１】
実施形態２における面ぶれ安定化のための調整制御動作についても、実施形態１と同様に図９のフローチャートを参照して説明する。
【００６２】
すなわち、ＣＰＵにスタート信号が入力することによって、スピンドルモータ４が始動して光ディスク１を回転させ（Ｓ１−１）、所定の回転数に達したときに（Ｓ１−２のＹＥＳ）、安定化部材８を光ディスク１の半径方向へ移動させ、安定化部材８の表面中心位置Ｏを光ディスク１の半径方向における所定の位置に合わせ、光ディスク１に対して安定化部材８を近接させる（Ｓ１−３）。その後、安定化部材８によりディスク設置基準面（光ディスク１が平坦であると仮定した場合の安定化部材８の表面）よりも、約０．５ｍｍだけ光ディスク１を押し込んで光ディスク１の面ぶれを略安定化（Ｓ１−４）させ、光ピックアップ６のＺ軸方向位置をＺ軸方向ピックアップ位置制御部５１により、光ピックアップ６の仮想フォーカス位置と安定化部材８の表面中心位置Ｏとが一致するように調整する（Ｓ１−５）。このステップより、光ピックアップ６の仮フォーカス位置と安定化部材８の表面中心位置Ｏとが一致するように調整することにより、光ピックアップの焦点位置を、光ディスクの回転軸方向における変動範囲の略中心位置に設定することができる。この後、フォーカスサーボ，トラッキングサーボの順にサーボをオンにする（Ｓ１−６，Ｓ１−７）。
【００６３】
その後、ＣＰＵでは既述したようにフォーカスサーボのサーボ駆動信号をモニタして特性解析し、この特性解析値に基づいて光ディスク１に対する安定化部材８の相対的位置調整制御を行う（Ｓ１−８，Ｓ１−９）。すなわち、サーボ駆動信号の最大振幅が０．５Ｖ以下となるように、安定化部材８のチルト角をＹ軸方向・安定化部材チルト角制御部５５により調整する。
【００６４】
前記調整後に、例えば、ステップ（Ｓ１−８），（Ｓ１−９）の動作を繰り返して、光ディスク１の面ぶれの監視と調整を常に実施させておくようにすれば、光ディスク１における記録／再生が行われる半径位置、あるいはディスク回転数といった光ディスク１上の面ぶれ安定化位置に影響するパラメータを変更した場合にも、常に光ピックアップ６の焦点位置における面ぶれを安定化させるように制御することができ、例えば、記録再生半径位置を移動させながら行う連続した記録／再生動作を、常に面ぶれの安定化した位置で実行することが可能となる。
【００６５】
あるいは、光ディスク１における面ぶれの監視と調整を常に実施させなくても、光ディスク１に対して記録／再生が行われる半径位置での記録／再生動作ごとに、ステップ（Ｓ１−８），（Ｓ１−９）を実行することにより、随時、光ピックアップ６の焦点位置における光ディスク１の面ぶれを安定化させることも可能である。こうした記録／再生に関わるパターンは多岐に渡り、本発明は本実施形態のものに限定されるものではない。
【００６６】
なお、前記サーボ駆動信号における最大振幅の基準値０．５Ｖという値は、あらかじめサーボ信号振幅とディスク面ぶれ量との相関関係から決定した値であり、面ぶれ量としては５μｍに相当する。ここでは、サーボ駆動信号を電圧として捉えたが、電流あるいは電力として見ることも可能である。また前記基準値はあくまで一例であって、各種サーボ駆動系毎に固有の値を設定すればよい。
【００６７】
なお、面ぶれ基準値を５μｍという値は、光ディスク１を３１００ｒｐｍの範囲で回転させ、安定化部材８により半径４０ｍｍ位置における光ディスク１の面ぶれを安定化させた場合に、得られた最適安定化点における面ぶれ振幅２．５μｍを基に、上限２０μｍまでの範囲で任意に設定したものである。
【００６８】
このような調整制御を行うことにより、実施形態１と同様に、安定化部材８による光ディスク１の面ぶれ安定化領域の位置を簡便かつ的確に設定することができ、ベルヌーイの法則を利用した可撓性を有する光ディスク１の面ぶれ安定性の利点を最大限に生かした安定した記録／再生を行うことができる。
【００６９】
なお、実施形態２における面ぶれ調整効果を確認するため、既述した光ディスク１を３１００ｒｐｍで回転させ、半径４０ｍｍの位置でのピックアップ面におけるディスク面ぶれをレーザ変位計にて評価テストを行ったところ、面ぶれを４μｍ以下に抑制することができることが確認され、実施形態２においても本発明に係る有効性が実証された。さらに、実施形態２において、評価対象のディスク半径位置，ディスク回転数，ディスクの仕様などのパラメータを実用範囲内で変化させて前記評価テストを行ったところ、光ディスクにおける各ピックアップ面において一定の面ぶれ安定性を確保することが確認され、各面において面ぶれが５μｍ以下であった。
【００７０】
次に本発明の実施形態３について説明する。実施形態３の光ディスク装置の構成は図８に示す実施形態１と同様な装置構成であって図示は省略するが、記録／再生を行うディスク半径方向の位置，ディスク回転数，ディスクの各種仕様にそれぞれに対応して、面ぶれ安定状態になる安定化部材８における三次元上の位置を、既述したようなフォーカスエラー信号の検出信号に基づいて、あらかじめ見積り、この見積値を安定化部材８の予備動作位置のデータとして、光ディスク装置に搭載されているＣＰＵのメモリに見積値Ａとして記憶させておく点で異なっている。
【００７１】
実施形態３における面ぶれ安定化のための調整制御について、図１１のフローチャートを参照して説明する。
【００７２】
すなわち、ＣＰＵにスタート信号が入力することによって、スピンドルモータ４が始動して光ディスク１を回転させ（Ｓ２−１）、所定の回転数に達したときに（Ｓ２−２のＹＥＳ）、安定化部材８を光ディスク１の半径方向へ移動させ、かつ前記見積値Ａを読み出して、安定化部材８を光ディスク１に対する三次元空間上に設定し（Ｓ２−３）、安定化部材／ピックアップ間隔調整部４５により、光ピックアップ６の仮想フォーカス位置と安定化部材８の表面中心位置Ｏとが一致するように調整する（Ｓ２−４）。この後、フォーカスサーボ，トラッキングサーボの順にサーボをオンにする（Ｓ２−５，Ｓ２−６）。
【００７３】
その後、ＣＰＵでは既述したようにフォーカスサーボのサーボ駆動信号をモニタして特性解析し、この特性解析値に基づいて光ディスク１に対する安定化部材８の相対的位置の微調整制御を行う（Ｓ２−７，Ｓ２−８）。すなわち、サーボ駆動信号の最大振幅が０．５Ｖ以下となるように、安定化部材８のＺ軸方向位置およびチルト角を、Ｚ軸方向・安定化部材／ピックアップユニット位置制御部４０，Ｘ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部４２，Ｙ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部４３を動作させて微調整する。
【００７４】
このような調整制御を行うことにより、実施形態１と同様に面ぶれの安定化を図ることができ、しかも安定化部材８の初期設定動作の簡略化を図ることができた。
【００７５】
また、本実施形態では、光ディスク１ごとに安定化部材８を大まかに位置設定する予備動作を見積る動作を含んでいるが、見積りのためのパラメータとしてはディスク材料，厚さ，機能構成層の種類といった代表的なパラメータをベースとして、代表的な安定化部材６の予備動作位置を何種類か用意しておけばよく、全てのパラメータに対応する見積りを設定する必要はない。
【００７６】
なお、本実施形態において、シート状の光ディスク１の材料としてポリエチレンテレフタレートを使用した光ディスクを採用しても、前記本実施形態の調整制御方法を実施することにより、安定化部材８によるディスク面ぶれの安定化における前記のような効果が得られることを確認した。
【００７７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、サーボ駆動信号によって、光ピックアップと対向する位置の光ディスクにおける面ぶれ安定化状態を的確に判断し、光ディスクと安定化部材との相対位置関係の調整により、光ピックアップの光ディスクに対する焦点位置と光ディスクにおける面ぶれ安定化位置とを一致させ、光ディスク上の信号記録再生位置におけるディスク面ぶれを極めて小さい値とすることにより、高ＮＡの光ピックアップの狭小デフォーカスマージン，狭小ワークディスクタンスにも容易に対応できるようになり、安定した記録および／または再生動作が実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の基本構成を説明するための光ディスク装置の概略構成図
【図２】本実施形態における光ピックアップを構成する記録手段と再生手段との説明図
【図３】本実施形態に使用される可撓性を有するシート状の光ディスクの一部断面図
【図４】本実施形態における可撓性を有するシート状の光ディスクにおける面ぶれ安定化についての説明図
【図５】本実施形態の構成における光ディスクの面ぶれの測定結果の実測図（２回転分）
【図６】本実施形態に係る光ディスクと安定化部材とにおける三次元空間の相対位置調整用の制御系の一例を示すブロック図
【図７】光ピックアップにおける信号検出系のフォトディテクタの一般的なＳ字特性の説明図
【図８】本発明の実施形態１，３を説明するための光ディスク装置の概略構成図
【図９】本発明の実施形態１，２における面ぶれ安定化のための調整制御動作に係るフローチャート
【図１０】本発明の実施形態２を説明するための光ディスク装置の概略構成図
【図１１】本発明の実施形態３における面ぶれ安定化のための調整制御動作に係るフローチャート
【符号の説明】
１　可撓性を有するシート状の光ディスク
２　スピンドルシャフト
４　スピンドルモータ
６　光ピックアップ
８　安定化部材
３０　フォーカスエラー信号検出系
３１　位相補償ドライブアンプ
３２　安定化部材駆動装置
４０　Ｚ軸方向・安定化部材／ピックアップユニット位置制御部
４１　Ｘ軸方向・安定化部材／ピックアップユニット位置制御部
４２　Ｘ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部
４３　Ｙ軸方向・安定化部材／ピックアップユニットチルト角制御部
４４　安定化部材／ピックアップユニット共通筐体
４５　安定化部材／ピックアップ間隔調整部
５０　Ｚ軸方向・安定化部材位置制御部
５１　Ｚ軸方向・ピックアップ位置制御部
５２　Ｘ軸方向・スピンドルチルト角制御部
５４　Ｘ軸方向・スピンドル位置制御部
５５　Ｙ軸方向・安定化部材チルト角制御部
５６　Ｙ軸方向・ピックアップチルト角制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2004030813.tif 000011
【図９】
2004030813.tif 000012
【図１０】
2004030813.tif 000013
【図１１】
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