(57)【要約】【課題】取り付け姿勢に制限を受けることなく、分流構造としても対流を起こすことなく、小型化を実現するフローセンサを提供する。【解決手段】流路ベース２の両面に、流路用の溝１６ａ、１６ｂを設けるとともに、この溝１６ａ、１６ｂを連通するための貫通穴１７を設け、各々に一面から他面に貫通穴９ａ（９ｂ）を設けるとともに、一面にヒータ用の薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）と周囲温度検出用の薄膜抵抗体７ａ（７ｂ）を形成した２枚のセンサ基板３ａ、３ｂを、各々のヒータ用の薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）が溝１６ａ、１６ｂに対向する位置に、薄膜抵抗体７ａ（７ｂ）が各々の貫通穴９ａ（９ｂ）の近傍の位置に配置されるようにし、このセンサ基板３ａを流路ベース２の一面に、センサ基板３ｂを流路ベース２の他面に貼付する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路ベースに形成される流路の上流側と下流側のそれぞれに少なくとも薄膜抵抗体を設けるフローセンサにおいて、
前記流路を前記流路ベースの表面、表面から裏面及び裏面にわたり形成し、前記流路ベースの表面あるいは裏面のいずれか一方の流路に上流用の薄膜抵抗体を配置し、前記流路ベースの表面あるいは裏面のいずれか一方の流路に対する他方の流路に下流用の薄膜抵抗体を配置したことを特徴とするフローセンサ。
【請求項２】
一面と他面に流路用の溝を設けるとともに、この一面及び他面の流路用の溝を先端で連通するための第１の貫通穴を有する流路ベースと、
各々に、一面から他面に貫通する第２の貫通穴を有するとともに、一面に少なくとも１つの薄膜抵抗体をそれぞれに形成してなる第１のセンサ基板、第２のセンサ基板とを備え、
前記第１のセンサ基板の前記一面が前記流路ベースの一面に貼着され、前記第２のセンサ基板の前記一面が前記流路ベースの他面に貼着されてなることを特徴とするフローセンサ。
【請求項３】
前記第１のセンサ基板、第２のセンサ基板の少なくともいずれか一方に、第２の薄膜抵抗体を形成し、前記第１、第２のセンサ基板の貼着時に、第２の薄膜抵抗体が、前記第２の貫通穴の近傍位置となるように配置したことを特徴とする請求項２記載のフローセンサ。
【請求項４】
前記第１、第２のセンサ基板は、前記流路ベースの溝に沿った溝を形成し、この溝上に、前記第１の薄膜抵抗体を橋絡して設けたことを特徴とする請求項２又は請求項３記載のフローセンサ。
【請求項５】
前記第１、第２のセンサ基板は、ダイヤフラムを有し、このダイヤフラム上に前記第１の薄膜抵抗体を形成したことを特徴とする請求項２又は請求項３記載のフローセンサ。
【請求項６】
一面から他面に貫通する第１の貫通穴と、一面と他面のそれぞれに少なくとも１つの薄膜抵抗体を形成してなるセンサ基板と、
各々に、一面から他面に貫通する第２の貫通穴を有するとともに、一面に流路用の溝を設けた第１の流路ベース、第２の流路ベースとを備え、
前記第１の流路ベースの前記一面が前記センサ基板の一面に貼着され、前記第２の流路ベースの前記一面が前記流路ベースの他面に貼着されてなることを特徴とするフローセンサ。
【請求項７】
前記センサ基板の一面と他面のいずれか一方に、第２の薄膜抵抗体を形成し、前記第１と第２の流路ベースの貼着時に、第２の薄膜抵抗体が前記第２の貫通穴の近傍位置となるように配置したことを特徴とする請求項６記載のフローセンサ。
【請求項８】
前記センサ基板は、前記流路ベースの溝に沿った溝を形成し、この溝上に、前記第１の薄膜抵抗体を橋絡して設けたことを特徴とする請求項６又は請求項７記載のフローセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、流体の流量を測定する熱式のフローセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
フローセンサには、流路の上流側と下流側にヒータを配置し、上流側と下流側で流れ無しで熱的平衡を保ち、流れにより熱的平衡が崩れると、これを検出して流量を測定するものがある。この種のフローセンサにおいて、従来、シリコン基板上にパターン形成された金属膜からなる２つのヒータを形成し、一方のヒータから他方のヒータへガスを流通させるためのガス流路を形成するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、熱線を形成した測定チップを基板に実装し、主流路とは別にセンサ流路を、測定チップと基板との間に溝で形成し、かつセンサ流路に熱線を橋設したものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、流路に逆Ｕ字状の細管を用い、一方の垂直部分にセンサコイルとしての第１と第２の感熱抵抗体を巻設し、他の垂直部分にヒータコイルとして第３の感熱抵抗体を巻設するものが知られている（例えば、特許文献３参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−３４０６４６号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開２００２−１６８６６９号公報
【０００７】
【特許文献３】
特開平１１−１６０１２０号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記した特許文献１に記載のフローセンサでは、図１７の（ａ）に示すように、上流用ヒータ３０ａと下流用ヒータ３０ｂを水平に置いたとき、流れ無しで熱分布が平衡しており、流れが生じると、図１７の（ｂ）に示すように、熱分布が崩れて、ブリッジ回路により流量を検出できるが、図１７の（ｃ）に示すように、垂直置きにすると流れ無しの場合でも、熱分布が崩れるという問題がある。
【０００９】
また、このようなフローセンサを主流路に並設されるセンサ流路に適用したり、特許文献２に記載のフローセンサ等では、図１８の（ａ）に示すように、水平置きにし、流れ無しの場合、熱分布平衡しているが、図１８の（ｂ）に示すように、垂直置きにすると、熱分布が崩れ、センサ流路３２と主流路３１間で対流が起こる。したがって、上流側と下流側の感熱抵抗体を水平に配置したものでは、設置姿勢に制限を受けるという問題がある。また、特許文献３の技術では、姿勢による制限は不要であるが、逆Ｕ字状の細管を用いるので、計器の設置スペースが大となり、小型化に問題がある。
【００１０】
この発明は、上記問題点に着目してなされたものであって、取り付け姿勢に制限を受けることなく、分流構造としても対流を起こすことなく、かつ小型化を実現し得るフローセンサを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１に係るフローセンサは、流路ベースに形成される流路の上流側と下流側のそれぞれに少なくとも薄膜抵抗体を設けるフローセンサにおいて、前記流路を前記流路ベースの表面、表面から裏面及び裏面にわたり形成し、前記流路ベースの表面あるいは裏面のいずれか一方の流路に上流用の薄膜抵抗体を配置し、前記流路ベースの表面あるいは裏面のいずれか一方の流路に対する他方の流路に下流用の薄膜抵抗体を配置している。
【００１２】
また、請求項２に係るフローセンサは、一面と他面に流路用の溝を設けるとともに、この一面及び他面の流路用の溝を先端で連通するための第１の貫通穴を有する流路ベースと、各々に、一面から他面に貫通する第２の貫通穴を有するとともに、一面に少なくとも１つの薄膜抵抗体をそれぞれに形成してなる第１のセンサ基板、第２のセンサ基板とを備え、前記第１のセンサ基板の前記一面が前記流路ベースの一面に貼着され、前記第２のセンサ基板の前記一面が前記流路ベースの他面に貼着されている。
【００１３】
また、請求項６に係るフローセンサは、一面から他面に貫通する第１の貫通穴と、一面と他面のそれぞれに少なくとも１つの薄膜抵抗体を形成してなるセンサ基板と、各々に、一面から他面に貫通する第２の貫通穴を有するとともに、一面に流路用の溝を設けた第１の流路ベース、第２の流路ベースとを備え、前記第１の流路ベースの前記一面が前記センサ基板の一面に貼着され、前記第２の流路ベースの前記一面が前記流路ベースの他面に貼着されている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態により、この発明をさらに詳細に説明する。図１は、この発明の一実施形態であるフローセンサの分解斜視図である。また、図２の（ａ）が同実施形態フローセンサの正面図、図２の（ｂ）が同フローセンサの中央部の縦断面図である。
【００１５】
この実施形態フローセンサ１は、流路ベース２と、この流路ベース２に左右（表裏）両側から装着されるセンサ基板３ａ、３ｂと、更にセンサ基板３ａ、３ｂ装着済みの流路ベース２を左右両側から一体的に収容する筐体４ａ、４ｂとから構成されている。流路ベース２、センサ基板３ａ、３ｂには、シリコン等の半導体や樹脂板などが使用され、筐体４ａ、４ｂには、樹脂板、金属板などが使用される。
【００１６】
センサ基板３ａ（３ｂ）には、図３〔図３の（ａ）は正面図、図３の（ｂ）は縦断面図〕に示すように、表面に絶縁膜１２ａ（１２ｂ）を形成している。更に、絶縁膜１２ａ（１２ｂ）上に、薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）を形成している。この薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）は流量測定用のヒータである。また、絶縁膜１２ａ（１２ｂ）上には、薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）と同様の薄膜抵抗体７ａ（７ｂ）を１つ以上、他の場所に形成している。これら薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）、７ａ（７ｂ）の上層に、保護膜１３ａ（１３ｂ）を形成している。薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）は、熱絶縁性が良いように、絶縁膜１２ａ（１２ｂ）の下側に流体の流路の一部となる溝１０ａ（１０ｂ）を設けている。特に薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）の下部の絶縁膜１２ａ（１２ｂ）は、溝１０ａ（１０ｂ）に橋設するブリッジ部２１ａ（２１ｂ）を構成している。また、流路の出入口として、溝１０ａ（１０ｂ）より下方に、貫通穴９ａ（９ｂ）を形成する。この貫通穴９ａ（９ｂ）の近傍に薄膜抵抗体７ａ（７ｂ）を形成している。この薄膜抵抗体７ａ（７ｂ）は、周囲温度測定用の抵抗体である。８Ａａ（８Ａｂ）、８Ｂａ（８Ｂｂ）、８Ｃａ（８Ｃｂ）は薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）、７ａ（７ｂ）接続用の電極パターンである。
【００１７】
流路ベース２には、図５に示すように、センサ基板貼り合わせ凹部１４ａ、１４ｂと、周囲温度測定スペース１５ａ、１５ｂと、流路溝１６ａ、１６ｂと、表面から裏面（一方の側から他方の側）へ貫通する貫通穴１７を備えている。この流路ベース２の流路は、流路１６ａ、１６ｂが長手方向に延設されており、周囲温度測定スペース１５ａ、表面の流路１６ａ、貫通穴１７、裏面の流路１６ｂ、周囲温度測定スペース１５ｂと連通している。周囲温度測定スペース１５ａ、１５ｂは、ここでは浅い円筒状をしている。この流路ベース２の両側のセンサ基板貼り合わせ凹部１４ａ（１４ｂ）に、センサ基板３ａ（３ｂ）が嵌められ、貼り付けられる。以上の各構成は、機械加工による製作、もしくはマイクロマシンニングによる製作が可能である。
【００１８】
筐体４ａ（４ｂ）には、図６に示すように、流路ベース貼り合わせ凹部１８ａ（１８ｂ）と、流路入口、出口となる貫通穴１９ａ（１９ｂ）と、リード取り出し部２０ａ（２０ｂ）とを備えており、流路ベース貼り合わせ凹部１８ａ（１８ｂ）にそれぞれ流路ベース２の両側が嵌め込まれて貼り付ける。貼り付けられた状態で、貫通穴１９ａ（１９ｂ）は、センサ基板３ａ（３ｂ）の貫通穴９ａ（９ｂ）に連通している。
【００１９】
この実施形態フローセンサでは、流路ベース２の溝１６ａ、１６ｂと基板３ａ（３ｂ）の溝１０ａ（１０ｂ）の両方で流路を形成し、その間に、薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）を形成しているので、流体と薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）間とで効率良く熱量を授受できる。
【００２０】
図４は、図３に示す基板３ａ（３ｂ）に代えて使用できる他の基板を示している。この基板３ａ（３ｂ）は、図３に示す基板３ａ（３ｂ）のような溝１０ａ（１０ｂ）を設けることなく、半導体基板の上面に絶縁膜１２ａ（１２ｂ）を形成し、その上層に薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）を形成し、更にその上層に保護膜１３ａ（１３ｂ）を形成している。そして、最後に薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）を形成する側とは逆側からエッチングしてダイヤフラム１１ａ（１１ｂ）を形成している。このような基板３ａ（３ｂ）を用いると、流路中の障害物がなくなり、流体の乱れを小さくすることができる。
【００２１】
この実施形態フローセンサでは、センサ基板３ａ（３ｂ）の溝１０ａ（１０ｂ）は、図３の（ａ）において、中心より右側に偏った位置にあり、この溝１０ａ（１０ｂ）が流路ベース２の溝１６ａ（１６ｂ）に向かい合う箇所で、センサ基板３ａ（３ｂ）がそれぞれ流路ベース２のセンサ基板貼り合わせ凹部１４ａ（１４ｂ）に嵌められ、装着されている。そのため、組み立てられた状態で、センサ基板３ａ（３ｂ）の電極８Ａａ（８Ａｂ）、８Ｂａ（８Ｂｂ）、８Ｃａ（８Ｃｂ）が、筐体４ａ（４ｂ）のリード取り出し部２０ａ（２０ｂ）の空間を介して、外部に露出している。この電極８Ａａ（８Ａｂ）、８Ｂａ（８Ｂｂ）、８Ｃａ（８Ｃｂ）をリード線あるいはコネクタにより、センサ外部の回路部に接続する。
【００２２】
次に、他の実施形態フローセンサを、図７、図８、図９を参照して説明する。図７はこの実施形態フローセンサの正面図、縦断面図を、図８はこの実施形態フローセンサの流路ベースの正面図、縦断面図を、図９はこの実施形態フローセンサのセンサ基板の正面図、縦断面図を示している。図５に示す流路ベース２は、機械加工により、センサ基板貼り合わせ凹部１４ａ（１４ｂ）、周囲温度測定スペース１５ａ（１５ｂ）等を形成したものであるが、この実施形態では、マイクロマシニングにより、加工した流路ベース２を使用している。つまり、流路ベース２は、図８に示すように、表裏両面に長手方向に流路用の溝１６ａ（１６ｂ）を設けるとともに、表面から裏面に、貫通穴１７を形成している。この実施形態フローセンサは、前記流路ベース２の両側に、図９に示すセンサ基板３ａ（３ｂ）を貼り付けている。流体の入力口、あるいは出力口となる貫通穴９ａ（９ｂ）には、近傍に薄膜抵抗体７ａ（７ｂ）が形成されている。
【００２３】
この実施形態においても、センサ基板３ａ（３ｂ）の溝１０ａ（１０ｂ）は、図９の（ａ）に示すように、中心より右側に偏った位置にあり、この溝１０ａ（１０ｂ）が流路ベース２の溝１６ａ（１６ｂ）に向かい合う箇所で、センサ基板３ａ（３ｂ）がそれぞれ流路ベース２に貼り合わせられると、センサ基板３ａ（３ｂ）の電極８Ａａ（８Ａｂ）、８Ｂａ（８Ｂｂ）、８Ｃａ（８Ｃｂ）が外部に露出する。これにより、フローセンサを外部に接続可能としている。
【００２４】
この実施形態フローセンサでは、一方の貫通穴９ａから入力した流体は、流路ベース２の溝１６ａ、更に途中からセンサ基板３ａの溝１０ａも含めて流れ、流路ベース２の貫通穴１７を経て、他方のセンサ基板３ｂの溝１０ｂ及び流路ベース２の溝１６ｂに至る。この実施形態フローセンサでは、流路ベースもマイクロマシニング加工が可能なので、低コストでフローセンサを製作できる。
【００２５】
更に、他の実施形態フローセンサを図１０、図１１、図１２を参照して説明する。図１０はこの実施形態フローセンサの正面図、縦断面図、図１１はこの実施形態フローセンサの流路ベースの正面図、縦断面図、図１２はこの実施形態フローセンサのセンサ基板の正面図、縦断面図を示している。この実施形態フローセンサは、図１０に示すように、１枚のセンサ基板３に、２枚の流路ベース２ａ、２ｂが両側から貼着されて構成されている。流路ベース２ａ、２ｂは筐体を兼ねても良いし、その外側に別途、筐体を設けても良い。
【００２６】
センサ基板３は、図１２に示すように、両表面上に絶縁膜１２ａ、１２ｂを形成している。この絶縁膜１２ａ、１２ｂ上に、薄膜抵抗体６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂを形成し、その上層に保護膜１３ａ、１３ｂを形成している。その後、エッチングにより、表裏にそれぞれ長手方向に溝１０ａ、１０ｂを形成するとともに、溝１０ａ、１０ｂより先端側に表面から裏面に貫通穴２７を形成している。
【００２７】
絶縁膜１２ａ、１２ｂ上の薄膜抵抗体６ａ、６ｂは、溝１０ａを橋絡するように設けている。薄膜抵抗体７ａ、７ｂは、同一面の溝１０ａが形成されない先端側に設けられている。この薄膜抵抗体７ａ、７ｂの位置は、図１０、図１１に示す流路ベース２ａ（２ｂ）の貫通穴１５ａ（１５ｂ）に対応する位置、つまり貫通穴１５ａ（１５ｂ）の近傍位置に配置されている。センサ基板３の表面には、更に薄膜抵抗体６ａ、７ａに接続した電極８Ａａ、８Ｂａ、８Ｃａが設けられている。また、センサ基板３の裏面には、表面と同様に、溝１０ｂ、薄膜抵抗体６ｂ、７ｂ及び電極８Ａｂ、８Ｂｂ、８Ｃｂが形成されている。これら電極８Ａａ、８Ｂａ、８Ｃａと８Ａｂ、８Ｂｂ、８Ｃｂは、それぞれ互いに他端に位置するように配置しているので、流路ベース２ａ（２ｂ）が両側から貼着されたときに、流路ベース２ａ（２ｂ）の切欠部より露出する。そのため、フローセンサを外部に接続できる。
【００２８】
２枚の流路ベース２ａ（２ｂ）は、図１１に示すように、片面にセンサ基板貼り合わせ凹部１４ａ（１４ｂ）と、周囲温度測定スペース１５ａ（１５ｂ）と、流路溝１６ａ（１６ｂ）とを備えている。この流路ベース２ａ（２ｂ）の周囲温度測定スペース１５ａ（１５ｂ）は貫通穴となっている。
【００２９】
更に、他の実施形態フローセンサを、図１３、図１４、図１５を参照して説明する。図１３はこの実施形態フローセンサの正面図、縦断面図を、図１４はこの実施形態フローセンサの流路ベースの正面図、縦断面図を、図１５はこの実施形態フローセンサのセンサ基板の正面図、縦断面図を示す図である。この実施形態フローセンサも、図１３に示すように、１枚のセンサ基板３と、このセンサ基板３を両側から挟んで貼着する２枚の流路ベース２ａ、２ｂとから構成されている。センサ基板３は、図１５に示すように、上記実施形態の図１２に示したものと同様である。この実施形態では、マイクロマシニングにより、加工した流路ベース２ａ（２ｂ）を使用している。つまり、流路ベース２ａ（２ｂ）は、図１４に示すように、表裏のいずれか一面にのみ、長手方向に流路用の溝１６ａ（１６ｂ）を設けるとともに、流路用の溝１６ａ（１６ｂ）の位置を外して、表面から裏面に貫通穴１５ａ（１５ｂ）を形成している。この実施形態フローセンサは、センサ基板３の両側に流路ベース２ａ（２ｂ）を貼り付けている。
【００３０】
この実施形態フローセンサでも、流路ベースについて、マイクロマシニング加工が可能なので、低コストでフローセンサを製作できる。
【００３１】
この発明のフローセンサでは、図１６に示すように、図１６の（ａ）の如く、水平置きし、流れ無しで熱分布平衡状態にあり、また、図１６の（ｂ）のように、それから垂直置きしても、センサ基板、流路ベースを介して熱量が移動することなく、流れ無しであれば、熱分布平衡が崩れることはない。
【００３２】
なお、上記各実施形態においては、上流側と下流側に、それぞれ第１の薄膜抵抗体６ａ（６ｂ）の他に、第２の薄膜抵抗体７ａ（７ｂ）を設けた場合について説明したが、この発明において、上流側と下流側のどの箇所に、いかなる抵抗体を何個設けるかについて限定されるものではなく、フローセンサの用途に応じて適宜選択すれば良い。
【００３３】
【発明の効果】
この発明によれば、流路を前記流路ベースの表面、表面から裏面及び裏面にわたり形成し、前記流路ベースの表面あるいは裏面のいずれか一方の流路に上流用の薄膜抵抗体を配置し、前記流路ベースの表面あるいは裏面のいずれか一方の流路に対する他方の流路に下流用の薄膜抵抗体を配置しているので、フローセンサの小型化が実現できるばかりか、水平とするか垂直とするかの姿勢の変更によって熱分布の影響を受けないので、測定姿勢の制限を受けることなく、また、副流路型センサとしても対流が生じて設定誤差が生じるのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態フローセンサの構成を示す分解斜視図である。
【図２】同実施形態フローセンサを説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図３】同実施形態フローセンサのセンサ基板を説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図４】同実施形態フローセンサに使用可能な他のセンサ基板を説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図５】同実施形態フローセンサの流路ベースを説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図６】同実施形態フローセンサの筐体を説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図７】この発明の他の実施形態であるフローセンサを説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図８】同実施形態フローセンサの流路ベースを説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図９】同実施形態フローセンサのセンサ基板を説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１０】この発明の他の実施形態であるフローセンサを説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１１】同実施形態フローセンサの流路ベースを説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１２】同実施形態フローセンサのセンサ基板を説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１３】この発明の他の実施形態であるフローセンサを説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１４】同実施形態フローセンサの流路ベースを説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１５】同実施形態フローセンサのセンサ基板を説明する図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１６】この発明のフローセンサの設置姿勢を変更した場合を説明する図である。
【図１７】従来のフローセンサの設置姿勢を変更した場合の問題点を説明する図である。
【図１８】従来の他のフローセンサの設置姿勢を変更した場合の問題点を説明する図である。
【符号の説明】
１                      フローセンサ
２、２ａ、２ｂ          流路ベース
３、３ａ、３ｂ          センサ基板
４ａ、４ｂ              筐体
６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ  薄膜抵抗体
８Ａａ、８Ａｂ、８Ｂａ、８Ｂｂ、８Ｃａ、８Ｃｂ  電極
９ａ、９ｂ              センサ基板の貫通穴
１０ａ、１０ｂ          センサ基板の溝
１４ａ、１４ｂ          基板貼り合わせ溝
１５ａ、１５ｂ          周囲温度測定スペース
１６ａ、１６ｂ          流路ベースの流路溝
１７                    流路ベースの貫通穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2004212356.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
2004212356.tif 000016
【図１５】
2004212356.tif 000017
【図１６】
2004212356.tif 000018
【図１７】
2004212356.tif 000019
【図１８】
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