(57)【要約】【課題】信号エリアにダメージを与えることなく安定に搬送できるようにすることを目的とする。【解決手段】信号エリア２ｃが設けられると共にこの信号エリア２ｃの内周側にクランピングエリア２ｂが設けられたシート状ディスク２を搬送する信号付きシート搬送用ハンドであって、このシート状ディスク２のクランピングエリア２ｂに対応する部分にエア吸引口３３を設けると共にこのシート状ディスク２の信号エリア２ｃに対応する部分にエア噴出口３５を設けたものである。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号エリアが設けられると共に前記信号エリアの内周側にクランピングエリアが設けられたシート状ディスクを搬送する信号付きシート搬送用ハンドであって、
前記シート状ディスクのクランピングエリアに対応する部分にエア吸引口を設けると共に前記シート状ディスクの信号エリアに対応する部分にエア噴出口を設けたことを特徴とする信号付きシート搬送用ハンド。
【請求項２】
請求項１記載の信号付きシート搬送用ハンドにおいて、
前記エア吸引口のブロックが前記エア噴出口のブロックより突出していることを特徴とする信号付きシート搬送用ハンド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報を光学的に記録する光学記録層を複数層積層した多層光学記録媒体の製造時に信号エリアが設けられたシート状ディスクを搬送するのに適用して好適な信号付きシート搬送用ハンドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
先に、情報を光学的に記録する光学記録層を複数層積層した多層光学記録媒体（以下多層光ディスク）として図６に示す如きものが提案されている。
【０００３】
この図６の多層光ディスクは例えばポリカーボネートからなる厚さ１．１ｍｍ程度の基板１０に、下層光学記録層用の凹凸パターンＧ１が形成され、その上層に例えば膜厚１５ｎｍのアルミニウムからなり、この凹凸パターンＧ１に対応するパターンを有する反射膜である下層光学記録層１１が形成され、このようにして下層基板１が構成されている。
【０００４】
一方、例えばポリカーボネートからなる厚さ７０μｍ程度の可撓性フィルムである光透過性樹脂シート１５に、例えば膜厚８ｎｍのアルミニウムからなり、凹凸パターンが形成された半透明膜の反射膜である上層光学記録層１３が紫外線硬化樹脂などの接着剤層１４により接着され、このようにして上層基板２が構成されている。
【０００５】
この上層基板２は図７に示す如く厚さが０．１ｍｍ程度のシート状ディスクで中心にセンターホール２ａを有し、このセンターホール２ａの外周側に所定幅のクランピングエリア２ｂを設け、このクランピングエリア２ｂの外周側に所定幅の信号エリア２ｃが設けられたものである。即ちシート状ディスクである上層基板２の信号エリア２ｃの内周側にクランピングエリア２ｂが設けられている。
【０００６】
この下層光学記録層１１と上層光学記録層１３が対向する状態で、この下層基板１と上層基板２とが感圧性接着剤あるいは紫外線硬化樹脂系等の接着剤層１２により貼り合わされている。ここで、下層光学記録層１１と上層光学記録層１３の間隔（即ち接着剤層１２の膜厚）は数１０μｍ程度（例えば２７μｍ）である。
【０００７】
この多層光ディスクは例えば、上層光学記録層１３及び下層光学記録層１１とが光透過性の樹脂シート１５側から１００μｍ程度の深さの範囲内に位置しており、光透過性の樹脂シート１５側から記録情報を読み取る表面読みの多層光ディスクとして用いられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、斯る多層光ディスクを製造する場合、この厚さが０．１ｍｍ程度の上層光学記録層１３である信号エリア２ｃが設けられた上層基板２であるシート状ディスクを搬送する必要がある。
【０００９】
従来、斯るシート状ディスクを搬送する信号付きシート搬送用ハンドとして、機械的につかむメカニカルチャック、負圧により吸着する真空チャック、エゼクタ機構とベルヌーイ機構のもつ静圧の変化による吸引力と圧力室型エアクッション機構による反発力を利用して無接触でワークを吸引懸垂する正圧によるベルヌーイチャックが考えられる。
【００１０】
然しながらメカニカルチャックではこの厚さが０．１ｍｍ程度のシート状ディスクの上層基板２は剛性不足により安定した搬送は困難である不都合があった。
【００１１】
また真空チャックでこの厚さが０．１ｍｍ程度のシート状ディスクである上層基板２を吸着し搬送したときには、この上層基板２の信号エリア２ｃにダメージを与える不都合がある。
【００１２】
また、ベルヌーイチャックでこの厚さが０．１ｍｍ程度のシート状ディスクである上層基板２を無接触で吸引懸垂するようにしたときには、この上層基板２の安定した搬送ができない不都合がある。
【００１３】
本発明は斯る点に鑑み、極めて薄い信号エリアを有するシート状ディスクを信号エリアにダメージを与えることなく安定に搬送できるようにすることを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明信号付きシート搬送用ハンドは、信号エリアが設けられると共にこの信号エリアの内周側にクランピングエリアが設けられたシート状ディスクを搬送する信号付きシート搬送用ハンドであって、このシート状ディスクのクランピングエリアに対応する部分にエア吸引口を設けると共にこのシート状ディスクの信号エリアに対応する部分にエア噴出口を設けたものである。
【００１５】
斯る本発明によればシート状ディスクのクランピングエリアに対応する部分にエア吸引口を設けると共にシート状ディスクの信号エリアに対応する部分にエア噴出口を設けたので、シート状ディスクのクランピングエリアを真空チャックで吸着すると共に信号エリアをベルヌーイチャックで無接触で吸引懸垂し、信号エリアにダメージを与えることなく安定に搬送することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明信号付きシート搬送用ハンドの実施の形態の例につき説明する。本例は本発明を図６に示す如き多層光ディスクを製造する際の下層基板１と上層基板２とを貼り合わせる工程で、この上層基板２を搬送するのに適用したものである。
【００１７】
この図６に示す多層光ディスクは例えばポリカーボネート（ＰＣ）からなる厚さ１．１ｍｍ程度の基板１０に、下層光学記録層用の凹凸パターンＧ１が形成され、その上層に例えば膜厚１５ｎｍのアルミニウムからなり、この凹凸パターンＧ１に対応するパターンを有する反射膜である下層光学記録層１１が形成され、このようにして下層基板１が構成されている。
【００１８】
一方、例えばポリカーボネートからなる厚さ７０μｍ程度の可撓性フィルムである光透過性の樹脂シート１５に、例えば膜厚８ｎｍのアルミニウムからなり、凹凸パターンが形成された半透明膜の反射膜である上層光学記録層１３が紫外線硬化樹脂などの接着剤層１４により接着され、このようにして上層基板２が構成されている。
【００１９】
この上層基板２は、図７に示す如く厚さが０．１ｍｍ程度のシート状ディスクで中心にセンターホール２ａを有し、このセンターホール２ａの外周側に所定幅の環状のクランピングエリア２ｂを設け、この環状のクランピングエリア２ｂの外周側に情報が記録された信号エリア２ｃが設けられたものである。即ちこのシート状ディスクである上層基板２の信号エリア２ｃの内周側に環状のクランピングエリア２ｂが設けられている。
【００２０】
この下層光学記録層１１と上層光学記録層１３とが対向する状態で、この下層基板１と上層基板２とが感圧性接着剤あるいは紫外線硬化樹脂系等の接着剤層１２により貼り合わされている。ここで、下層光学記録層１１と上層光学記録層１３との間隔（即ち接着剤層１２の膜厚）は数１０μｍ程度（例えば２７μｍ）である。
【００２１】
この多層光ディスクは例えば、上層光学記録層１３及び下層光学記録層１１が光透過性の樹脂シート１５側から１００μｍ程度の深さの範囲内に位置しており、この光透過性の樹脂シート１５側から記録情報を読み取る表面読みの多層光ディスクとして用いられる。
【００２２】
図４及び図５は、斯る多層光ディスクの下層光学記録層１１を有する例えばポリカーボネートよりなる厚さ約１．１ｍｍの下層基板１と上層光学記録層１３を有する厚さ約０．１ｍｍの上層基板（シート状ディスク）２とを貼り合わせる貼り合わせ工程の製造装置の模式的な概略上面図及び側面図である。この製造装置は図示しない所定の外筺内に収納されている。
【００２３】
この製造装置は下層基板１と上層基板２とのアライメントを行うアライメントステージ２０と、下層基板投入部よりの下層基板１をこのアライメントステージ２０に搬送する下層基板搬送手段２１と、上層基板投入部２３よりの上層基板（シート状ディスク）２をアライメントステージ２０に搬送するシート状ディスク搬送手段２２と、下層基板１と上層基板２との貼り合わせが行われる真空チャンバー２４と、真空チャンバー２４内で真空雰囲気で貼り合わせ時の仮押さえ及び本貼り合わせの加圧を行うパッド２５と、このアライメントステージ２０が所定の移動を行う如くなされたスライドステージ２６から構成されている。
【００２４】
この下層基板搬送手段２１は、厚さ約１．１ｍｍの下層基板１を搬送するものであり、この下層基板搬送手段２１は下層基板１を例えばメカ的に保持するメカチャックより成るハンド２１ａと、先端にこのハンド２１ａが設けられたアーム２１ｂと、このアーム２１ｂを回動すると共に上下方向に移動する如くなされたアーム駆動部２１ｃとより構成される。
【００２５】
また、このシート状ディスク搬送手段２２は、上層光学記録層１３を有する厚さ約０．１ｍｍの上層基板（シート状ディスク）２を搬送するものであり、このシート状ディスク搬送手段２２は、本例による信号付きシート搬送用ハンド２２ａと、先端にこのハンド２２ａが設けられたアーム２２ｂと、このアーム２２ｂを回動すると共に上下方向に移動する如くなされたアーム駆動部２２ｃとより構成される。
【００２６】
この本例による信号付きシート搬送用ハンド２２ａは図１〜図３に示す如くで、図１は図２のＩ−Ｉ線断面図で、図２は底面図、図３は側面図である。
【００２７】
本例による信号付きシート搬送用ハンド２２ａは、外観が上層基板（シート状ディスク）２の外径と略同一径円盤をなす。この信号付きシート搬送用シート２２ａは上面にアーム２２ｂに取付けるアーム取付杆３０が取付けられた円盤状フランジ３１の下面に、その内側よりシート状ディスク２のセンターホール２ａをガイドする円筒状の円周ガイド３２、この内周ガイド３２の外周側に、このシート状ディスク２のクランピングエリア２ｂに対応する部分にエア吸引口３３が形成された吸引口ブロック３４、この吸引口ブロック３４の外周側に、このシート状ディスク２の信号エリア２ｃに対応する部分にエア噴出口３５が形成された噴出口ブロック３６及びこの噴出口ブロック３６の外周側にシート状ディスク２の外周をガイドする外周ガイド３７を取り付ける如くする。
【００２８】
この吸引口ブロック３４のシート状ディスク２の環状のクランピングエリア２ｂに対応部分に等角間隔に例えば６個のエア吸引口３３を設ける如くする。
【００２９】
このシート状ディスク２の信号エリア２ｃに対応する噴出口ブロック３６に等角間隔に例えば１２個の円柱状凹部３６ａを形成し、この円柱状凹部３６ａの一つおきの円柱状凹部３６ａにエア噴出口３５を設ける。この円柱状凹部３６ａに設けるエア噴出口３５は本例においては図示の如く６個の孔としその内の３個を小孔とする。
【００３０】
また本例においては、この吸引口ブロック３４のシート状ディスク２をつかむ側の面をこの噴出口ブロック３６のシート状ディスク２をつかむ側の面より例えば１ｍｍ程度突き出す如くする。
【００３１】
また、この外周ガイド３７に等角間隔に図３に示す如くエア抜け溝３７ａを設ける如くする。
【００３２】
また、図１において、４０は圧縮空気より成る正圧供給源を示し、この正圧供給源４０よりのエアを一定正圧とするレギュレータ４１及びエアスピードを制御するスピードコントローラ４２を介し、正圧気体供給配管を介して、この噴出口ブロック３６のエア噴出口３５に供給する如くする。
【００３３】
また更に吸引口ブロック３４のエア吸引口３３を負圧気体供給配管を介して真空吸引源４３に接続する如くする。
【００３４】
本例による信号付きシート搬送用ハンドは上述の如く、シート状ディスク２のクランピングエリア２ｂに対応する部分にエア吸引口３３を設けると共にシート状ディスク２の信号エリア２ｃに対応する部分にエア噴出口３５を設けたので、シート状ディスク２のクランピングエリア２ｂを真空チャックで吸着すると共に信号エリア２ｃをベルヌーイ原理によるベルヌーイチャックで無接触で吸引懸垂し、信号エリア２ｃにダメージを与えることなくシート状ディスク２を安定に搬送することができる。
【００３５】
尚、本発明は上述例に限ることなく、本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得ることは勿論である。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、シート状ディスクのクランピングエリアに対応する部分にエア吸引口を設けると共にシート状ディスクの信号エリアに対応する部分にエア噴出口を設けたので、シート状ディスクのクランピングエリアを真空チャックで吸着すると共に信号エリアをベルヌーイ原理によるベルヌーイチャックで無接触で吸引懸垂し、信号エリアにダメージを与えることなくシート状ディスクを安定に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明信号付きシート搬送用ハンドの実施の形態の例を示す図２のＩ−Ｉ線断面図である。
【図２】本発明信号付きシート搬送用ハンドの実施の形態の例の底面図である。
【図３】図１の側面図である。
【図４】貼り合わせ工程の製造装置の例の模式的概略上面図である。
【図５】図４の側面図である。
【図６】多層光ディスクの例を示す断面図である。
【図７】シート状ディスクの例を示す上面図である。
【符号の説明】
２‥‥上層基板（シート状ディスク）、３２‥‥内周ガイド、３３‥‥エア吸引口、３４‥‥吸引口ブロック、３５‥‥エア噴出口、３６‥‥噴出口ブロック、３７‥‥外周ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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