(57)【要約】　　　（修正有）【課題】予加重ダイアフラムを波型形状に形成して、低圧力でも排除容積が大きく取れる受圧部を提供する。【解決手段】高圧側プロセスダイアフラムと、高圧側予加重ダイアフラムとからなる高圧側ダイアフラム部と、充填された高圧側伝達用オイルと、低圧側プロセスダイアフラムと、低圧側予加重ダイアフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、充填された低圧側伝達用オイルと、高圧側伝達用オイルと低圧側伝達用オイルとの圧力の差を検出する差圧センサ部とを備え、高圧側及び／または低圧側予加重ダイアフラムは、円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部と、該センター平坦部の外側を前記高圧側及び低圧側接液面に接する面側に張り出すように波形状に形成した波部と、該波部の外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部とからなる。【選択図】　　　図２
2004093237.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスからの高圧力を高圧側伝達用オイルに伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前記高圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を低圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させるようにして配設した高圧側予加重ダイアフラムとからなる高圧側ダイアフラム部と、
プロセスからの低圧力を低圧側伝達用オイルに伝達する低圧側プロセスダイアフラムと、前記低圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面に接合させるようにして配設した低圧側予加重ダイアフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部からの前記高圧側伝達用オイルと前記低圧側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用オイルとの圧力の差を検出する差圧センサ部と、
を備えてなる差圧／圧力伝送器であって、
前記高圧側及び／または低圧側予加重ダイアフラムは、円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部と、該センター平坦部の外側を前記高圧側及び低圧側接液面に接する面側に張り出すように波形状に形成した波部と、該波部の外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部と
からなることを特徴とする差圧／圧力伝送器。
【請求項２】
前記波部を形成する波形状の波が少なくとも１個である請求項１に記載の差圧／圧力伝送器。
【請求項３】
前記波部を形成する波形状の波が少なくとも２個以上である請求項１に記載の差圧／圧力伝送器。
【請求項４】
プロセスからの高圧力を高圧側伝達用オイルに伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前記高圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を低圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させるようにして配設した高圧側予加重ダイアフラムとからなる高圧側ダイアフラム部と、
プロセスからの低圧力を低圧側伝達用オイルに伝達する低圧側プロセスダイアフラムと、前記低圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面に接合させるようにして配設した低圧側予加重ダイアフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部からの前記高圧側伝達用オイルと前記低圧側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用オイルとの圧力の差を検出する差圧センサ部と、
を備えてなる差圧／圧力伝送器であって、
前記高圧側及び／または低圧側予加重ダイアフラムは、
円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部と、該センター平坦部の外側であって前記高圧側及び低圧側接液面に接する面側に張り出す波の山の高さが反対面に張り出す波の高さより高くした波形状に形成した波部と、該波部の外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部とからなることを特徴とする差圧／圧力伝送器。
【請求項５】
前記波部を形成する波形状の波が少なくとも１個である請求項４に記載の差圧／圧力伝送器。
【請求項６】
前記波部を形成する波形状の波が少なくとも２個以上である請求項４に記載の差圧／圧力伝送器。
【請求項７】
プロセスからの高圧力を高圧側伝達用オイルに伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前記高圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を低圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させるようにして配設した高圧側予加重ダイアフラムとからなる高圧側ダイアフラム部と、
プロセスからの低圧力を低圧側伝達用オイルに伝達する低圧側プロセスダイアフラムと、前記低圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面に接合させるようにして配設した低圧側予加重ダイアフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部からの前記高圧側伝達用オイルと前記低圧側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用オイルとの圧力の差を検出する差圧センサ部と、
を備えてなる差圧／圧力伝送器であって、
前記高圧側及び／または低圧側予加重ダイアフラムは、
円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部と、該センター平坦部の外側であって前記高圧側及び低圧側接液面に接する面側に張り出す波の山の内側の径よりも外側の径の大きさを大きくした波形状に形成した波部と、該波部の外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部とからなることを特徴とする差圧／圧力伝送器。
【請求項８】
前記波部を形成する波形状の波が少なくとも１個である請求項７に記載の差圧／圧力伝送器。
【請求項９】
前記波部を形成する波形状の波が少なくとも２個以上である請求項７に記載の差圧／圧力伝送器。
【請求項１０】
前記アウター平坦部は、中心方向への内側寸法がダイアフラム板厚の５倍以上にしたことを特徴とする請求項７に記載の差圧／圧力伝送器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、差圧／圧力伝送器に関し、特に、工業計測に用いられる圧力計に関し、圧力センサに対し過大な圧力が印加されてもセンサに圧力が伝達されない構造とし、センサ破損を防止する差圧／圧力伝送器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、差圧／圧力伝送器に採用されているダイアフラムの特性指標として、ダイアフラムの圧力“Ｐ”に対する排除容積“ΔＶ”の特性を示す“ｆ（φ）”が用いられている。この特性としては、測定圧力範囲では可能な限り一様な傾斜を持つ直線関係が求められる。
【０００３】
このような理想な特性を有するセンターダイアフラムを採用した差圧計は、センサからの信号もプロセス圧力に比例した出力を得ることが可能となり、増幅部での信号変換及びＣＰＵでの補正演算も高次式の高次項を省略しても測定誤差を極力小さくすることが可能になる。
【０００４】
また、従来から採用されている３枚ダイアフラム方式、即ち、ボディのプロセス側に接する高／低圧側シールダイアフラムが２枚、ボディ内部のセンターダイアフラムが１枚の合計３枚からなる差圧／圧力伝送器は、プロセス圧力によってセンターダイアフラムは両側に移動する構造である。
【０００５】
この結果、両側に移動する広い範囲で、一様な直線特性“ｆ（φ）”を求められる必要があった。これらの特性を得るためには、センターダイアフラムの外径を大きくする、またはセンターダイアフラムの板厚を薄くする解決策が有効である。
【０００６】
しかし、板厚を薄くすると発生応力が大きくなるため、主にセンターダイアフラムの外径を大きくする方向で解決している。
【０００７】
このような３枚ダイアフラム方式を備えた差圧／圧力伝送器にあっては、高圧側及び低圧側のシールダイアフラム部に過大圧が印加されると、印加された側のシールダイアフラムがボディに密着する。
【０００８】
これによってボディ内部に封入されている圧力伝達オイルの移動がなくなることによりセンサ部分への圧力伝達がなくなり、過大圧がセンサ部分に伝達されない構造である。
【０００９】
図７及び図８に示すように、このような差圧／圧力伝送器１１０の構成は、プロセスからの高圧及び低圧の圧力差からの圧力を電気信号に変換する圧力検出部１１１と、この圧力検出部１１１で生成された信号を増幅する電気回路からなる増幅部１１２とからなる。
【００１０】
圧力検出部１１１は、プロセスからの高圧の圧力を導入する高圧力導入部を形成する高圧側フランジ１１３と、プロセスからの低圧の圧力を導入する低圧力導入部を形成する低圧側フランジ１１４と、この高圧側フランジ１１３及び低圧側フランジ１１４からの高圧及び低圧をダイアフラムで検出する受圧部１１５とから構成され、高圧側フランジ１１３及び低圧側フランジ１１４はナット１１６とボルト１１７で係止された構造である。
【００１１】
受圧部１１５は、図８に示すように、上部中間位置を細首形状に形成したボデイ１２１と、このボディ１２１の上部中央位置にリング１２２で係止されるセンサ部１２３と、ボディ１２１の下部位置であって互いに背を向き合って外側方向に臨ませて配設した高圧側ダイアフラム部１２４及び低圧側ダイアフラム部１２５とを有する。
【００１２】
更に、ボディ１２１内部において、この高圧側ダイアフラム部１２４からのオイルをセンサ部１２３に伝達させる高圧側オイル伝達穴部１２６と、低圧側ダイアフラム部１２５からのオイルをセンサ部１２３に伝達させる低圧側オイル伝達穴部１２７とから構成される。以下、各構成の細部について説明する。
【００１３】
センサ部１２３は、ターミナル１２８と、上部から高圧側の圧力を、下部から低圧側の圧力を加えて差圧を検出する差圧センサ１２９と、この差圧センサ１２９にワイヤボンディングして電気的に接続した一対のハーメチック端子１３０ａ，１３０ｂとからなる。この一対のハーメチック端子１３０ａ，１３０ｂは、図７に示す増幅部１１２に通じている。
【００１４】
高圧側ダイアフラム部１２４とボディ１２１との間には、高圧側オイル１３３が封入される空間があり、この空間と、センタダイアフラムＣとボディ１２１との間の空間に連通する高圧側伝導穴１３９とが接続する。
【００１５】
更に、高圧側伝導穴１３９は、高圧側オイル伝導穴１２６に接続する。これらの空間には、伝達用の高圧側オイル１３３が充填される。
【００１６】
同様に、低圧側ダイアフラム部１２５とボディ１２１との間には、低圧側オイル１３７が封入される空間があり、この空間と、センタダイアフラムＣとボディ１２１との間の空間に連通する低圧側伝導穴１４２とが接続し、低圧側伝導穴１４２は、低圧側オイル伝導穴１２７に接続する。これらの空間には、伝達用の低圧側オイル１３７が充填される。
【００１７】
このような構造からなる差圧／圧力伝送器１１０において、特に受圧部１１５にあっては、例えば、高圧側のプロセスから圧力を高圧側プロセスダイアフラム１３４が受けると、その圧力は高圧側オイル１３３に伝達され、その伝達した高圧側オイル１３３の圧力は高圧側伝導穴１３９を通過し、高圧側センサ伝導穴１２６を介してセンサ部１２３の差圧センサ１２９及びセンタダイアフラムＣに供給される。
【００１８】
同時に、低圧側のプロセスから圧力を低圧側プロセスダイアフラム１２５が受けると、その圧力は低圧側オイル１３７に伝達され、その伝達された圧力が低圧側伝導穴１４２を通過し、低圧側センサ伝導穴１２７を介してセンサ部１２３の差圧センサ１２９及びセンタダイアフラムＣに供給される。
【００１９】
このようにして、高圧側及び低圧側からの圧力をオイル１３３，１３７により伝達し、その差を差圧センサ１２９で検出している。
【００２０】
ここで、高圧側と低圧側とで圧力差が発生し、例えば、高圧側と低圧側とで圧力の均衡がなくなって高圧側の圧力が過大になると、高圧側ダイアフラム１２４がボディ１２１側に移動し、この時移動したオイルの体積分に対応してセンタダイアフラムＣも撓むこととなる。
【００２１】
更に、センタダイアフラムＣのたわみによって低圧側のオイルも移動し、低圧側ダイアフラム１２５が外側へ押し出されることとなる。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術で説明した３枚ダイアフラム方式のセンタダイアフラムを採用すると、センタダイアフラムの発生応力が高くなり、強度的に強い材料を採用しなければならないという問題があった。
【００２３】
また、ダイアフラムとして成形するためには材料自身に延性が必要であるが、差圧／圧力伝送器に採用するセンタダイアフラムの発生応力が高くなると、センタダイアフラム自身が延性のない強い材料が必須の要件となる。
【００２４】
以上のことから従来技術のセンタダイアフラムでは、強度的に強い材料は硬く、かつ延びもないことから、センタダイアフラムとして成形することが困難となり、これら相反する問題を解決することができない。
【００２５】
従って、センタダイアフラムの波形形状を改善し、小さな応力でも大きな排除容積、即ち、センタダイアフラムの初期状態時と圧力印加状態時の移動体積とを比較した容積が大きくなるような形状にすることに解決しなければならない課題を有する。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成する本発明にかかる差圧／圧力伝送器は、次の通りである。
（１）プロセスからの高圧力を高圧側伝達用オイルに伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前記高圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を低圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させるようにして配設した高圧側予加重ダイアフラムとからなる高圧側ダイアフラム部と、
プロセスからの低圧力を低圧側伝達用オイルに伝達する低圧側プロセスダイアフラムと、前記低圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面に接合させるようにして配設した低圧側予加重ダイアフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部からの前記高圧側伝達用オイルと前記低圧側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用オイルとの圧力の差を検出する差圧センサ部と、
を備えてなる差圧／圧力伝送器であって、
前記高圧側及び／または低圧側予加重ダイアフラムは、円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部と、該センター平坦部の外側を前記高圧側及び低圧側接液面に接する面側に張り出すように波形状に形成した波部と、該波部の外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部と
からなることを特徴とする差圧／圧力伝送器。
（２）前記波部を形成する波形状の波が少なくとも１個である（１）に記載の差圧／圧力伝送器。
（３）前記波部を形成する波形状の波が少なくとも２個以上である（１）に記載の差圧／圧力伝送器。
（４）プロセスからの高圧力を高圧側伝達用オイルに伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前記高圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を低圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させるようにして配設した高圧側予加重ダイアフラムとからなる高圧側ダイアフラム部と、
プロセスからの低圧力を低圧側伝達用オイルに伝達する低圧側プロセスダイアフラムと、前記低圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面に接合させるようにして配設した低圧側予加重ダイアフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部からの前記高圧側伝達用オイルと前記低圧側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用オイルとの圧力の差を検出する差圧センサ部と、
を備えてなる差圧／圧力伝送器であって、
前記高圧側及び／または低圧側予加重ダイアフラムは、
円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部と、該センター平坦部の外側であって前記高圧側及び低圧側接液面に接する面側に張り出す波の山の高さが反対面に張り出す波の高さより高くした波形状に形成した波部と、該波部の外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部とからなることを特徴とする差圧／圧力伝送器。
（５）前記波部を形成する波形状の波が少なくとも１個である（４）に記載の差圧／圧力伝送器。
（６）前記波部を形成する波形状の波が少なくとも２個以上である（４）に記載の差圧／圧力伝送器。
（７）プロセスからの高圧力を高圧側伝達用オイルに伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前記高圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を低圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させるようにして配設した高圧側予加重ダイアフラムとからなる高圧側ダイアフラム部と、
プロセスからの低圧力を低圧側伝達用オイルに伝達する低圧側プロセスダイアフラムと、前記低圧側伝達用オイルに表面を接合させるとともに背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面に接合させるようにして配設した低圧側予加重ダイアフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部からの前記高圧側伝達用オイルと前記低圧側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用オイルとの圧力の差を検出する差圧センサ部と、
を備えてなる差圧／圧力伝送器であって、
前記高圧側及び／または低圧側予加重ダイアフラムは、
円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部と、該センター平坦部の外側であって前記高圧側及び低圧側接液面に接する面側に張り出す波の山の内側の径よりも外側の径の大きさを大きくした波形状に形成した波部と、該波部の外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部とからなることを特徴とする差圧／圧力伝送器。
（８）前記波部を形成する波形状の波が少なくとも１個である（７）に記載の差圧／圧力伝送器。
（９）前記波部を形成する波形状の波が少なくとも２個以上である（７）に記載の差圧／圧力伝送器。
（１０）前記アウター平坦部は、中心方向への内側寸法がダイアフラム板厚の５倍以上にしたことを特徴とする（７）に記載の差圧／圧力伝送器。
【００２７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明にかかる差圧／圧力伝送器の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２８】
本発明の差圧／圧力伝送器は、図１及び図２に示すように、高圧側及び低圧側ダイアフラム部に過大圧が印加されたときに、その過大圧を検出する予加重ダイアフラムを備えた構造であり、プロセスからの高圧及び低圧の圧力差からの圧力を電気信号に変換する圧力検出部１１と、この圧力検出部１１で生成された信号を増幅する電気回路からなる増幅部１２とからなる。
【００２９】
圧力検出部１１は、高圧の圧力を導入する高圧力導入部を形成する高圧側フランジ１３と、低圧の圧力を導入する低圧力導入部を形成する低圧側フランジ１４と、この高圧側フランジ１３及び低圧側フランジ１４からの高低圧をダイアフラムで検出する受圧部１５とからなり、高圧側フランジ１３及び低圧側フランジ１４はナット１６及びボルト１７で係止された構造となっている。
【００３０】
受圧部１５は、図２に示すように、ボディ２１と、このボディ２１の上部中央位置にターミナル２８で係止されているセンサ部２３とからなる。
【００３１】
このボディ２１には、その下部位置であって互いに背を向き合って外側方向に臨ませて配設した高圧側ダイアフラム部２４及び低圧側ダイアフラム部２５と、ボディ２１内部において、この高圧側ダイアフラム部２４からのオイルをセンサ部２３に伝達させるための高圧側オイル伝達穴部２６と、低圧側ダイアフラム部２５からのオイルをセンサ部２３に伝達させるための低圧側オイル伝達穴部２７とから構成される。以下、各構成の細部について説明する。
【００３２】
センサ部２３は、ターミナル２８に差圧センサを取り付けたものであり、この差圧センサは、上部から高圧側の圧力を下部から低圧側の圧力を加えて差圧を検出するものである。
【００３３】
この差圧センサは、ワイヤボンディングにより電気的に接続した一対のハーメチック端子を有し、この一対のハーメチック端子は図１に示す増幅部１２に接続する。
【００３４】
高圧側ダイアフラム部２４は、ボディ２１の側壁面を凹曲面形状に形成した接液面５１を有する高圧側接液部３１と、その凹曲面に沿って接触した状態で配置される高圧側予加重ダイアフラム３２と、この高圧側予加重ダイアフラム３２と所定の空間を持ちかつ高圧側予加重ダイアフラム３２を覆う大きさであって、外周端部の外側に高圧側オイル３３を伝達する高圧側伝導穴３９を設けるとともに、凹曲面形状の高圧側接液部３１を外部から遮蔽するように外側に臨ませて配設された平面形状の高圧側プロセスダイアフラム３４と、高圧側予加重ダイアフラム３２と高圧側プロセスダイアフラム３４との間の空間に充填した伝達用の高圧側オイル３３とからなる。
【００３５】
低圧側ダイアフラム部２５は高圧側ダイアフラム部２４の反対側に形成され、ボディ２１の側壁面を凹曲面形状に形成した接液面５２を有する低圧側接液部３５と、その凹曲面に沿って接触した状態で配置してなる低圧側予加重ダイアフラム３６と、この低圧側予加重ダイアフラム３６と所定の空間を持ちかつ低圧側予加重ダイアフラム３６を覆う大きさであって、外周端部の外側に低圧側オイル３７を伝達する穴（低圧側伝導穴）の入口である低圧側伝導穴４２を設けるとともに、凹曲面形状の低圧側接液部３５を外部から遮蔽するように外側に臨ませて配設した平面形状の低圧側プロセスダイアフラム３８と、低圧側予加重ダイアフラム３６と低圧側プロセスダイアフラム３８との間の空間に充填した伝達用の低圧側オイル３７とからなる。
【００３６】
高圧側オイル伝達穴部２６は、高圧側予加重ダイアフラム３２の外周端部の外側位置に高圧側接液部３１と連通してなる高圧側伝導穴３９と、この高圧側伝導穴３９に連通し、センサ部２３に高圧側オイル３３を伝達する高圧側センサ伝導穴４０と、同じく高圧側伝導穴３９に連通し、低圧側予加重ダイアフラム３６のほぼ中央位置を背後から押すように配設してなる高圧側過大圧伝導穴４１とから構成される。
【００３７】
低圧側オイル伝達穴部２７は、低圧側予加重ダイアフラム３６の外周端部の外側位置に低圧側接液部３５と連通してなる低圧側伝導穴４２と、この低圧側伝導穴４２に連通し、センサ部２３に低圧側オイル３７を伝達する低圧側センサ伝導穴４３と、同じく低圧側伝導穴４２に連通し、高圧側予加重ダイアフラム３２のほぼ中央位置を背後から押すように配設してなる低圧側過大圧伝導穴４４とから構成される。
【００３８】
高圧側予加重ダイアフラム３２及び低圧側予加重ダイアフラム３６の構造を図３に詳しく示す。
【００３９】
高圧側予加重ダイアフラム３２及び低圧側予加重ダイアフラム３６は、同様の構造であり、円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部５３と、このセンター平坦部５３の外側を高圧側接液部３１及び低圧側接液部３５の接液面５１，５２に接する面側に波形状の山を張り出すようにし、かつその反対面をセンター平坦部５３と面一にした波形状の波部５４と、この波部５４の外側端部からこの予加重ダイアフラム３２，３６の外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部５５とから構成される。尚、波部５４は、実施例において２個であるが、１個でもよくまたは２個以上でもよい。
【００４０】
このような構造の高圧側予加重ダイアフラム３２及び低圧側予加重ダイアフラム３６は、接液面５１，５２に密着する側の面が波の山が張り出し、反対面は張り出していない構造にしたことにより、高圧側及び低圧側過大圧伝導穴４１，４４からのプラス側圧力（＋Ｐ）に対し、張り出している波部５４の山が伸びてダイアフラム自体の表面積が広くなり、その分オイル３３，３７を押す面積が広くなるため、通常のダイアフラムと比較して、低い圧力で大きな排除容積（初期状態時と圧力印加状態時の移動体積）を得ることができる。
【００４１】
また、マイナス側圧力（−Ｐ）に対しては、通常のダイアフラムと比較して、大きな排除容積を得ることはできないが、予加重ダイアフラム３２，３６では使用しない領域のため問題にはならない。
【００４２】
これは、図６に示すように、圧力（Ｐ）と排除容積（Ｖ）との関係を“ｆ（φ）”で表わせば、本発明の予加重ダイアフラム３２，３６を採用する方式にあって、圧力を加える（＋Ｐ）と波部５４の山の部分が伸びることにより、“ｆ（φ）”は、従来の技術で説明した通常の３枚ダイアフラム方式のグラフ“ｆ（φ）”に比較して、急激な傾きを持って排除容積（＋Ｖ）が増加することが容易に理解できる。
【００４３】
次に、高圧側及び低圧側予加重ダイアフラム３２，３６の他の実施例について、図面を参照して説明する。
【００４４】
この高圧側及び低圧側予加重ダイアフラム３２，３６の例を図４に示す。
この例では、高圧側及び低圧側予加重ダイアフラム３２，３６は、円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部５３Ａと、このセンター平坦部５３Ａの外側であって接液面５１，５２に接する面側に張り出す波の山の高さｈＡが反対面に張り出す波の高さｈＢより高くした波形状に形成した波部５４Ａと、この波部５４Ａの外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部５５Ａとからなる。尚、この波部５４Ａは、実施例において２個であるが、１個でもよくまたは２個以上でもよい。
【００４５】
このように予加重ダイアフラム３２，３６の形状は、波の山が両面に張り出しているが、接液面５１，５２側の波の高さｈＡが反対側の面の高さｈＢよりも高くした形状により、高圧側及び低圧側過大圧伝導穴４１，４４からのプラス側圧力（＋Ｐ）に対して、その波部５４Ａの山の部分が伸びてダイアフラムの表面積が拡大することにより、通常のダイアフラムと比較して、低い圧力で大きな排除容積（初期状態時と圧力印加状態時の移動体積）を得ることができる。
【００４６】
また、マイナス側圧力（−Ｐ）に対しては通常のダイアフラムと比較して、大きな排除容積を得ることができないが、予加重ダイアフラムでは使用しない領域のため問題にはならない。
【００４７】
次に、高圧側及び低圧側予加重ダイアフラム３２，３６の更に他の実施例について、図面を参照して説明する。
【００４８】
この高圧側及び低圧側予加重ダイアフラム３２，３６を図５に示す。
この例の高圧側及び低圧側予加重ダイアフラム３２，３６は、円盤形状に形成した中央位置を平坦にしたセンター平坦部５３Ｂと、このセンター平坦部５３Ｂの外側であって高圧側及び低圧側接液面５１，５２に接する面側に張り出す波の山の内側の径Ｒ１よりも外側の径Ｒ２の大きさを大きくした波形状に形成した波部５４Ｂと、この波部５４Ｂの外側から外周端部に到る位置を平坦に形成したアウター平坦部５５Ｂとからなる。
【００４９】
このように、波部５４Ｂの波形の内側の径（半径）Ｒ１よりも外側の径（半径）Ｒ２を大きくした形状にしたことにより、高圧側及び低圧側過大圧伝導穴４１，４４からのプラスの圧力（＋Ｐ）は内側の径Ｒ１が小さい波の面への当たり具合が良くなり、その分波の山の部分の伸び具合がスムーズになることにより、図６に示す排除容積の特性“ｆ（φ）”が更に向上する。
【００５０】
また、アウター平坦部５５Ｂの幅を予加重ダイアフラム３２，３６の板厚ｔの５倍以上にすることで、内側の山（半径Ｒ１）に当接する圧力を受け、その受けた圧力を幅のあるアウター平坦部５５Ｂが受けることにより、しなやかに変形拡大することが可能になり、排除容積の特性“ｆ（φ）”の傾斜が更に向上する。
【００５１】
このように、高圧側及び低圧側予過重ダイアフラム３２，３６を波型形状にするとともに、その波型の山を高さ方向及び幅方向の径を変化させることで、プラスの圧力を良好に受けとめ、オイルの伝達圧力が低圧でも高圧側及び低圧側予加重ダイアフラム３２，３６の排除容積を大きくすることができる。
【００５２】
従って、設計の段階でより小さな予加重ダイアフラムを設計することが可能となり、そのため、よりコンパクトな受圧部を設計することが可能になる。また、このような予加重ダイアフラムを使用すると、ダイアフラム材質を特殊な高強度材料を使う必要もなくなる。
【００５３】
【発明の効果】
上記説明したように、本発明にかかる差圧／圧力伝送器は、高圧側及び低圧側予加重ダイアフラムを波型形状に形成したことにより、低圧でも排除容積を大きくとることができるため、予加重ダイアフラム自体を小さく設計することが可能となり、また、材質を高強度の材料にする必要もなくなり、製造工程を簡約でき、製造コストのコストダウンを図ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る差圧／圧力伝送器の平面図である。
【図２】図１における受圧部を示した断面図である。
【図３】予加重ダイアフラムの構造を示した断面図である。
【図４】他の実施例の予加重ダイアフラムの構造を示した断面図である。
【図５】他の実施例の予加重ダイアフラムの構造を示した断面図である。
【図６】予加重ダイアフラムの圧力と排除容積との関係を示す特性“ｆ（φ）”のグラフである。
【図７】従来技術における差圧伝送器の平面図である。
【図８】従来技術における図７に示す受圧部の断面図である。
【符号の説明】
１１　圧力検出部
１２　増幅器
１３　高圧側フランジ
１４　低圧側フランジ
１５　受圧部
１６　ナット
１７　ボルト
２１　ボディ
２２　ターミナル
２３　センサ部
２４　高圧側ダイアフラム部
２５　低圧側ダイアフラム部
２６　高圧側オイル伝導穴
２７　低圧側オイル伝導穴
３１　高圧側接液部
３２　高圧側予加重ダイアフラム
３３　高圧側オイル
３４　高圧側プロセスダイアフラム
３５　低圧側接液部
３６　低圧側予加重ダイアフラム
３７　低圧側オイル
３８　低圧側プロセスダイアフラム
３９　高圧側伝導穴
４０　高圧側センサ伝導穴
４１　高圧側過大圧伝導穴
４２　低圧側伝導穴
４３　低圧側センサ伝導穴
４４　低圧側過大圧伝導穴
５１，５２　接液面
５３，５３Ａ，５３Ｂ　センター平坦部
５４，５４Ａ，５４Ｂ　波部
５５，５５Ａ，５５Ｂ　アウター平坦部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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