(57)【要約】【課題】真空蒸着において、Ｘ線特性が均一な、品質の良い蛍光体シートを製造する。【解決手段】中央部に蒸発材料を収容するキャビティ部を有し、直接通電することにより抵抗加熱されるボートと、温度を測定するための温度検出手段と、を有することを特徴とする真空蒸着用蒸発源及び、少なくとも２つ以上の抵抗加熱型の蒸発源から成膜材料を蒸発させ、前記真空蒸着室内に保持されたシート状の基板に蒸着させて蓄積性蛍光体層を成膜する蛍光体シート製造装置であって、蒸発用に、前記真空蒸着用蒸発源を有し、前記蒸発を前記真空蒸着用蒸発源に設置された前記温度検出手段で検出するようにしたことを特徴とする蛍光体シート製造装置を提供することにより前記課題を解決する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に蒸発材料を収容するキャビティ部を有し、直接通電することにより抵抗加熱されるボートと、
温度を測定するための温度検出手段と、
を有することを特徴とする真空蒸着用蒸発源。
【請求項２】
中央部に蒸発材料を収容するキャビティ部を有し、直接通電することにより抵抗加熱されるボートと、
前記ボートのキャビティ部を覆うように、多重に配置されたリフレクタと、
前記ボートのキャビティ部の底面と前記リフレクタの底面との間に配置された、温度を測定するための温度検出手段と、
を有することを特徴とする真空蒸着用蒸発源。
【請求項３】
少なくとも２つ以上の抵抗加熱型の蒸発源から成膜材料を蒸発させ、前記真空蒸着室内に保持されたシート状の基板に蒸着させて蓄積性蛍光体層を成膜する蛍光体シート製造装置であって、
蒸発用に、請求項１または２に記載の真空蒸着用蒸発源を有し、
前記蒸発を前記真空蒸着用蒸発源に設置された前記温度検出手段で検出するようにしたことを特徴とする蛍光体シート製造装置。
【請求項４】
真空蒸着室内にガスを導入して、少なくとも２つ以上の抵抗加熱型の蒸発源から成膜材料を蒸発させ、前記真空蒸着室内に保持されたシート状の基板に蒸着させて蓄積性蛍光体層を成膜する蛍光体シート製造装置であって、
付活剤の蒸発用に、請求項１または２に記載の真空蒸着用蒸発源を有し、
母体結晶材料の蒸発を水晶振動子型モニタで検出するとともに、
前記付活剤の蒸発を前記真空蒸着用蒸発源に設置された前記温度検出手段で検出するようにしたことを特徴とする蛍光体シート製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空蒸着用蒸発源及び蛍光体シート製造装置に係り、特に、抵抗加熱の真空蒸着用蒸発源を２つ以上有し、真空蒸着室にガスを導入して蛍光体シートを製造するのに適した真空蒸着用蒸発源及び蛍光体シート製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
放射線（Ｘ線、α線、β線、γ線、電子線、紫外線等）の照射を受けると、この放射線エネルギーの一部を蓄積し、その後、可視光等の励起光の照射を受けると、蓄積された放射線エネルギーに応じた輝尽発光を示す蛍光体が知られている。この蛍光体は、蓄積性蛍光体（輝尽性蛍光体）と呼ばれ、医療用途などの各種の用途に利用されている。
【０００３】
一例として、この蓄積性蛍光体を含有する層（以下、蛍光体層とする。）を有するシートを利用する放射線画像情報記録再生システムが知られている。この蛍光体層を有するシートは、放射線像変換パネルとも呼ばれているが、以下、蛍光体シートとする。なお、このようなシステムとして、既に実用化されているものにＦＣＲ（Ｆｕｊｉ  Ｃｏｍｐｕｔｅｄ  Ｒａｄｉｏｇｒａｐｈｙ）がある。
【０００４】
このシステムにおいては、まず蛍光体シート（の蛍光体層）に人体等の被写体の放射線画像情報を記録する。記録後に蛍光体シートをレーザ光等の励起光で２次元的に走査して、輝尽発光光を放出させる。そして、この輝尽発光光を光電的に読み取って画像信号を得、この画像信号に基づいて再生した画像を写真感光材料等の記録材料あるいはＣＲＴ等の表示装置に被写体の放射線画像を可視像として出力する。読取りを終えた蛍光体シートは、残存する画像を消去して、繰り返し使用される。
【０００５】
このような蛍光体シートは、通常、蓄積性蛍光体の粉末をバインダ等を含む溶媒に分散してなる塗料を調製して、ガラスや樹脂製のシート状の支持体に塗布し、乾燥して、蛍光体層を形成することによって作製される。
これに対して、真空蒸着やスパッタリング等の物理蒸着法（気相成膜法）によって、支持体に蛍光体層を形成してなる蛍光体シートも知られている。蒸着によって作製される蛍光体層は、真空中で形成されるので不純物が少なく、バインダ等の蓄積性蛍光体以外の成分が殆ど含まれないので、性能のバラツキが少なく、発光効率が良好である。この真空蒸着法は、真空容器内において、成膜材料を蒸発源で蒸発させ、蒸発源の上方に配置された基板に成膜材料を蒸着させて、基板表面に蛍光体層を成膜するものである。
【０００６】
蛍光体シートに成膜される蛍光体層は非常に厚く、薄くても２００μｍ程度、通常５００μｍ程度、厚い場合には、１０００μｍを超える場合も有る。このように厚い膜厚を有する蛍光体層を成膜するにあたっては、膜厚を測定しつつ均一な膜厚となるように成膜し、Ｘ線特性を均一にする必要がある。
従来、膜厚を測定する方法としては、水晶振動子式膜厚モニタ装置を用いる方法が知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、例えば蛍光体の成膜材料（母体結晶用原料）として臭化セシウムＣｓＢｒを用い、付活剤の成膜材料として臭化ユーロピウムＥｕＢｒｘ  を用いて、ガスを導入して二元の真空蒸着を行う場合、蛍光体用と付活剤用に別々に水晶モニタ（水晶振動子式膜厚モニタ装置）を設けても、ＣｓＢｒは蒸発速度が大きいため水晶モニタで監視できるが、ＥｕＢｒは、蒸発量の割合がＣｓＢｒに比べて３／１０００程度と少なく、さらに、ガスを導入しているため、途中のガスに衝突して、水晶モニタまで粒子が届かず計測できないという問題がある。
【０００８】
またこれに対して、ルツボの温度をモニタして蒸発量を制御するものとしてＫセル（Ｋｎｕｄｓｅｎ  Ｃｅｌｌ）  が知られているが、これは温度が安定になるまでに時間を要し、蒸着型蛍光体シート製造装置には適していないという問題がある。
【０００９】
本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされたものであり、真空蒸着において、二種以上の成膜材料を含む場合でも、成膜材料の蒸発量を高精度に制御して、組成制御を行い、Ｘ線特性が均一な、品質の良い蛍光体シートを製造することのできる真空蒸着用蒸発源及び蛍光体シート製造装置を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の第１の態様は、中央部に蒸発材料を収容するキャビティ部を有し、直接通電することにより抵抗加熱されるボートと、温度を測定するための温度検出手段と、を有することを特徴とする真空蒸着用蒸発源を提供する。
【００１１】
また同様に前記課題を解決するために、本発明の第２の態様は、中央部に蒸発材料を収容するキャビティ部を有し、直接通電することにより抵抗加熱されるボートと、前記ボートのキャビティ部を覆うように、多重に配置されたリフレクタと、前記ボートのキャビティ部の底面と前記リフレクタの底面との間に配置された、温度を測定するための温度検出手段と、を有することを特徴とする真空蒸着用蒸発源を提供する。
【００１２】
また同様に前記課題を解決するために、本発明の第３の態様は、少なくとも２つ以上の抵抗加熱型の蒸発源から成膜材料を蒸発させ、前記真空蒸着室内に保持されたシート状の基板に蒸着させて蓄積性蛍光体層を成膜する蛍光体シート製造装置であって、蒸発用に、本発明第１または第２の態様に示す真空蒸着用蒸発源を有し、前記蒸発を前記真空蒸着用蒸発源に設置された前記温度検出手段で検出するようにしたことを特徴とする蛍光体シート製造装置を提供する。
【００１３】
また同様に前記課題を解決するために、本発明の第４の態様は、真空蒸着室内にガスを導入して、少なくとも２つ以上の抵抗加熱型の蒸発源から成膜材料を蒸発させ、前記真空蒸着室内に保持されたシート状の基板に蒸着させて蓄積性蛍光体層を成膜する蛍光体シート製造装置であって、付活剤の蒸発用に、本発明第１または第２の態様に示す真空蒸着用蒸発源を有し、母体結晶材料の蒸発を水晶振動子型モニタで検出するとともに、前記付活剤の蒸発を前記真空蒸着用蒸発源に設置された前記温度検出手段で検出するようにしたことを特徴とする蛍光体シート製造装置を提供する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の真空蒸着用蒸発源及び蛍光体シート製造装置について、添付の図面に示される好適実施形態を基に詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明に係る蛍光体シート製造装置の一実施形態を示す概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態の蛍光体シート製造装置１０は、シート状のガラス基板Ｓの表面に蓄積性蛍光体層を二元の真空蒸着によって形成して、蛍光体シートを作成するものである。蛍光体シート製造装置１０は、基本的に、真空チャンバ１２と、基板保持・回転機構１４と、加熱蒸発部１６とを有して構成される、いわゆる基板回転型の真空蒸着装置である。本実施形態の蛍光体シート製造装置１０は、さらに、前記真空チャンバ１２内に、後述するような成膜材料の蒸着レートを検出するセンサ及びセンサの検出結果に応じて加熱蒸発部１６を制御する制御手段を有している。
なお、真空チャンバ１２には、系内を排気して所定の真空度にするための、図示しない真空ポンプ（真空排気手段）及び、真空チャンバ１２内に後述するようなガスを導入するためのガス導入手段が接続されている。
【００１６】
本実施形態の蛍光体シート製造装置１０においては、一例として、臭化セシウムＣｓＢｒ及び臭化ユーロピウムＥｕＢｒｘ  （ｘは、通常２〜３）を成膜材料とした二元の真空蒸着を行って、ガラス基板Ｓ上にＣｓＢｒ：Ｅｕを蓄積性蛍光体とする蛍光体層を成膜して、蛍光体シートが作成される。
なお、蓄積性蛍光体としては、上記ＣｓＢｒ：Ｅｕには限定されず、各種のものが利用可能である。好ましくは、波長が４００ｎｍ〜９００ｎｍの範囲の励起光の照射により、３００ｎｍ〜５００ｎｍの波長範囲に輝尽発光を示す輝尽性蛍光体が利用される。
【００１７】
中でも、下記の基本組成式
ＭＩ  Ｘ・ａＭＩＩＸ’２  ・ｂＭＩＩＩ  Ｘ’’３  ：ｚＡ
で代表されるアルカリ金属ハロゲン化物質系輝尽性蛍光体は、特に、好ましい。なお、上記式において、ＭＩ  は、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，ＲｂおよびＣｓからなる群より選択される少なくとも一種のアルカリ金属を表し、ＭＩＩは、Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｎｉ，Ｃｕ，ＺｎおよびＣｄからなる群より選択される少なくとも一種のアルカリ土類金属もしくは二価の金属を表し、ＭＩＩＩ  は、Ｓｃ，Ｙ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕ，Ａｌ，ＧａおよびＩｎからなる群より選択される少なくとも一種の希土類元素もしくは三価の金属を表し、Ａは、Ｙ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕ，Ｎａ，Ｍｇ，Ｃｕ，Ａｇ，ＴｌおよびＢｉからなる群より選択される少なくとも一種の希土類元素もしくは金属を示し、さらに、Ｘ、Ｘ’およびＸ’’は、Ｆ，Ｃｌ，ＢｒおよびＩからなる群より選択される少なくとも一種のハロゲンを示す。また、ａは、０≦ａ＜０．５の範囲内の数値を、ｂは、０≦ｂ＜０．５の範囲内の数値を、さらに、ｚは、０≦ｚ＜１．０の範囲内の数値を、それぞれ示す。
【００１８】
上記基本組成式において、ＭＩ  は、少なくともＣｓを含んでいるのが好ましく、また、Ｘは、少なくともＢｒを含んでいるのが好ましく、さらに、Ａは、ＥｕまたはＢｉであるのが好ましい。
また、上記基本組成式で示される金属ハロゲン化物系輝尽性蛍光体には、必要に応じて、酸化アルミニウム、二酸化珪素、および酸化ジルコニウム等の金属酸化物を、ＭＩ  １ｍｏｌに対して０．５ｍｏｌ以下の量で、添加物として加えてもよい。
さらに、成膜材料にも、特に限定はなく、蛍光体層の組成に応じて、蛍光体を含有する材料、および、付活剤を含有する材料（付活剤単体を含む）を、適宜、選択すればよい。
【００１９】
真空チャンバ１２は、鉄、ステンレス、アルミニウム等で形成される、真空蒸着装置で利用される公知の真空チャンバ（ベルジャー、真空槽）である。
図示例において、真空チャンバ１２内には、上方に基板保持・回転機構１４が、また、下方に加熱蒸発部１６が配設される。なお、ここでは、加熱蒸発部１６が１組だけの場合を例示したが、加熱蒸発部１６は複数組設けてもよいことはいうまでもない。
【００２０】
前述のように、真空チャンバ１２には、図示しない真空ポンプが接続されている。真空ポンプにも特に限定はなく、必要な到達真空度を達成できるものであれば、真空蒸着装置で利用されている各種のものが利用可能である。一例として、油拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラーポンプ等を利用すればよく、また、補助として、クライオコイル等を併用してもよい。
【００２１】
なお、本実施形態に係る蛍光体シート製造装置１０においては、真空チャンバ１２内の到達真空度は、１×１０−５〜１×１０−２Ｐａ程度の真空度とする。このとき、装置内の雰囲気中の水分圧を、ディフュージョンポンプ（もしくは、マイスナーコイル等）との組み合わせ等を用いることにより、７．０×１０−３Ｐａ以下にすることが好ましい。次いで、この低い水分圧を維持しながらＡｒガス、Ｎｅガス、Ｎ２  ガス等の付活性ガスを導入して、０．０５〜２．０Ｐａ程度、好ましくは０．１〜１．５Ｐａ程度の真空度とする。
【００２２】
基板保持・回転機構１４は、基板Ｓを保持して回転するものであり、回転駆動源（モータ）１８ａと係合する回転軸１８と、ターンテーブル２０とから構成される。
ターンテーブル２０は、上側の本体２２と下側（加熱蒸発部１６側）のシースヒータ２４とからなる円板で、その中心に、モータ１８ａと係合する回転軸１８が固定される。ターンテーブル２０は、後述する加熱蒸発部１６（成膜材料の蒸発位置）に対応する所定位置において、下面（シースヒータ２４の下面）に基板Ｓを保持して、回転軸１８によって所定速度で回転される。シースヒータ２４は、成膜される基板Ｓを裏面（成膜面と逆側の面）から加熱する。
【００２３】
なお、ここで用い得る基板Ｓには、特に限定はなく、ガラス、セラミックス、カーボン、アルミニウム、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ポリイミド等、蛍光体シートにおいて利用されている各種のシート状の基板がすべて利用可能である。
【００２４】
真空チャンバ１２内の下方には、加熱蒸発部１６が配置されている。
前述のように、図示例の製造装置１０は、臭化セシウムＣｓＢｒ及び臭化ユーロピウムＥｕＢｒを成膜材料として用い、これらを個々に加熱蒸発させる二元の真空蒸着を行うものである。このため、加熱蒸発部１６は、ユーロピウム蒸発部（以下、Ｅｕ蒸発部とする。）３０と、セシウム蒸発部（以下、Ｃｓ蒸発部とする。）３２とを有している。
【００２５】
Ｅｕ蒸発部３０は、抵抗加熱装置３４によって、蒸発位置（ルツボ）に収容した臭化ユーロピウムＥｕＢｒ（付活剤材料）を、抵抗加熱して蒸発させる部位である。Ｅｕ蒸発部３０の抵抗加熱装置３４については、後で詳しく説明する。
また、Ｃｓ蒸発部３２は、抵抗加熱装置３６によって、蒸発位置（ルツボ）に収容した臭化セシウムＣｓＢｒ（母体結晶材料）を抵抗加熱して蒸発させる部位である。本実施形態において、臭化セシウムＣｓＢｒの蒸発手段は、特に限定はなく、蛍光体が大部分を占めると共に、２００μｍを超える蛍光体層の成膜に対して、十分な成膜速度を得られるものであれば、各種の加熱蒸発手段を利用することができる。
また、図示を省略したが、各蒸発位置にはそれぞれの材料を供給する材料供給手段を設けても良い。
【００２６】
蛍光体シートの作成においては、付活剤は蛍光体に対して極めて微量であり、蛍光体層の成分コントロールは重要である。このため蛍光体の成膜材料と付活剤の成膜材料とで別々に蒸気を発生させて、両者を十分に混合した混合蒸気を生成し、この混合蒸気で基板に成膜を行うのが好ましい。
そのためには、蛍光体材料と付活剤材料の蒸発位置を近接して配置するのが好ましく、両者の蒸発位置が近いほど、付活剤を均一に分散した、良質な蛍光体層を形成することができる。しかも、両蒸発位置が近いほど、２つの蒸気の混合領域を多くできるため、材料の利用効率も向上させることができる。
【００２７】
また、本実施形態の蛍光体シート製造装置１０は、前述したように、成膜材料の蒸着レートを検出するためのセンサが設けられている。
Ｃｓ蒸発部３２から蒸発する蛍光体の蒸着レートを検出するためのセンサとして水晶振動子型モニタ４０が、Ｃｓ蒸発部３２の上方に設けられている。
また、Ｅｕ蒸発部３０から蒸発する付活剤の蒸着レートを検出するためのセンサとして、ルツボの温度を検出する温度検出手段（熱電対）４２が抵抗加熱装置３４に設けられている。なお、これについては後で抵抗加熱装置３４について説明する際に詳しく説明する。
【００２８】
水晶振動子型モニタ４０は、センサ上に蒸着が進行すると、その振動特性が変化することを利用して蒸着膜厚を測定する蒸着膜厚測定振動子である。そのため水晶振動子の場合には、成膜材料がある程度付着すると測定が不可能となってしまうおそれがあるため、水晶振動子にあまり成膜材料が付着しないように、Ｃｓ蒸発部３２から蒸発した成膜材料（蛍光体）の流れから水晶振動子型モニタ４０を遮蔽するような遮蔽手段を設けるようにしてもよい。また、複数ルツボを同時に使用する場合の相互の蒸発材料の回り込みを防止するように水晶振動子型モニタ４０の周りにカバーを設けるようにしてもよい。
【００２９】
なお、本実施形態において、Ｃｓ蒸発部３２側のセンサには水晶振動子型モニタ４０を用いているのに対して、Ｅｕ蒸発部３０側のセンサとしては、水晶モニタを用いずに熱電対４２を用いているのは、前にも述べたように、ガスを導入しているため、ＥｕＢｒは蒸発量の割合がＣｓＢｒに比べて極めて少なく（３／１０００程度）、さらに導入されているガスに衝突して水晶モニタにまで粒子が届かず、計測ができないためである。
【００３０】
また蛍光体シート製造装置１０には、Ｃｓ蒸発部３２及びＥｕ蒸発部３０の制御を始めとして、装置全体の働きを制御して成膜制御を行うコントローラ（成膜制御手段）４４が設けられている。
水晶振動子型モニタ４０及び熱電対４２の検出結果は、コントローラ４４に送られるようになっている。コントローラ４４は、これらの検出データに基づいて、Ｃｓ蒸発部３２及びＥｕ蒸発部３０の各抵抗加熱装置３４及び３６を制御して、それぞれの成膜材料の蒸発量を制御する。
【００３１】
次に、Ｅｕ蒸発部３０の抵抗加熱装置３４について説明する。
本実施形態における抵抗加熱装置３４の概略構成を図２に示す。図２（ａ）は、正面断面図であり、図２（ｂ）は、側断面図である。
本実施形態の抵抗加熱装置３４は、基台５０の上に設けられた筐体５２内に２重に設けられたリフレクタ５４（５４ａ、５４ｂ）と、その上に配置された、中央に蒸発材料を収容するためのキャビティ部（ルツボ）５６とを有するボート６０とから構成される真空蒸着用蒸発源である。なお、キャビティ部５６には、蓋５８が設けられている。
抵抗加熱装置３４には、さらにキャビティ部５６の底面５６ａとリフレクタ５４の底面５４ｃとの間にルツボの温度を測定するための熱電対４２が設けられている。
【００３２】
ボート６０は、その両端に電圧を印加し、通電してルツボ（キャビティ部５６）を直接加熱することによって、成膜材料としてのＥｕＢｒ（付活剤）を蒸発させるものである。
リフレクタ５４（５４ａ、５４ｂ）は、多重に配置され、ルツボ（キャビティ部５６）の底面を覆い、キャビティ部５６及びキャビティ部５６の底面５６ａとリフレクタ５４の底面５４ｃとの間に配置される熱電対４２を保温するものであり、例えばＳＵＳ等で形成される板状体である。さらに、リフレクタ５４の表面は、反射率が高くなるように、研磨しておくことが好ましい。
【００３３】
熱電対４２はルツボ（キャビティ部５６）の温度を検出するものであり、検出データはコントローラ４４に入力される。
コントローラ４４は、熱電対４２の検出データ及び水晶振動子型モニタ４０の検出データ（検出信号）をもとにして、各検出データを各抵抗加熱装置３４及び３６の電源出力にフィードバックして蒸発速度を制御することにより、自動蒸着を行うようにしてもよい。
【００３４】
以下、本実施形態に係る蛍光体シート製造装置１０における蛍光体層の成膜方法について説明する。
前述したように、本実施形態の蛍光体シート製造装置１０は、ガスを導入し、抵抗加熱により二元の真空蒸着を行うものである。蛍光体シートを製造する際には、まず、ガラス基板Ｓをターンテーブル２０下面の所定位置に成膜面を下方に向けて装着した後、真空チャンバ１２を閉塞して減圧するとともに、シースヒータ２４を駆動して、ガラス基板Ｓを裏面から加熱する。
【００３５】
真空チャンバ１２内にＡｒガス等の付活性ガスを導入して、内部を所定の真空度（０．０５〜２．０Ｐａ程度、好ましくは０．１〜１．５Ｐａ程度）にする。真空チャンバ１２内が所定の真空度になったら、回転駆動源１８によってターンテーブル２０を所定速度で回転する。ガラス基板Ｓを所定速度で回転しつつ、加熱蒸発部１６において、Ｅｕ蒸発部３０の抵抗加熱装置３４を駆動して蒸発位置（キャビティ部５６）に収容された臭化ユーロピウムＥｕＢｒを蒸発させ、かつ同様にＣｓ蒸発部３２の抵抗加熱装置３６を駆動して蒸発位置の臭化セシウムＣｓＢｒを蒸発させて、ガラス基板ＳへのＣｓＢｒ：Ｅｕの蒸着すなわち蛍光体層の成膜を開始する。
【００３６】
抵抗加熱による蒸着の場合には、このように抵抗加熱器に電流を流すことにより蒸発源を加熱する。蒸発源である蓄積性蛍光体の母体成分や付活剤成分等は加熱されて蒸発、飛散する。そして、両者は、反応を生じて蛍光体を形成するとともに基板表面に堆積する。また、本実施形態のように、付活性ガスを導入して蒸着を行う場合には、抵抗加熱器の使用が好ましい。蒸着の際に必要に応じて基板Ｓを加熱してもよいし、あるいは冷却してもよい。基板温度は、一般には０〜３００℃の範囲にあり、好ましくは５０〜１５０℃の範囲にある。蛍光体の堆積する速度、すなわち蒸着速度は、一般には０．１〜１０００μｍ／分の範囲にあり、好ましくは１〜１００μｍ／分の範囲にある。
【００３７】
なお、前述したように、両蒸発位置は近接して配置され、かつ臭化ユーロピウムＥｕＢｒの蒸発は抵抗加熱で行われるため、加熱蒸発部１６では、極微量な臭化ユーロピウムＥｕＢｒの蒸気が均一に分散された両成膜材料の混合蒸気が構成され、この混合蒸気によって、付活剤が均一に分散されたＣｓＢｒ：Ｅｕが蒸着される。
また、このとき、水晶振動子型モニタ４０によって蛍光体の蒸着レートを検出し、熱電対４２によって付活剤の蒸着レートを検出し、これらの検出結果に基づいてコントローラ４４により、各成膜材料の蒸発量を制御することにより組成制御を行うことにより、基板Ｓ上に形成される蛍光体層の膜厚を正確に設定することが可能となる。
【００３８】
所定膜厚の成膜を終了したら、ターンテーブル２０の回転を停止し、真空チャンバ１２を開放して、蛍光体層の成膜を終了したガラス基板Ｓを取り出す。連続的に成膜を行う場合には、以下、上と同様にして、新たなガラス基板Ｓを装填して、成膜を行えばよい。また、成膜材料の付着した水晶振動子は水で洗浄することにより再利用することができる。
本実施形態においては、各蒸着レートを正確に測定でき、これをもとにして蒸発源の駆動を制御するようにしたため、蛍光体層の膜厚を精度よく制御でき、かつ、Ｘ線特性が均一な高品質な蛍光体シートを製造することができる。
【００３９】
以下、より具体的な実施例について説明する。
（実施例）
水晶振動子型モニタ４０としては、アルバック社製ＣＲＴＭ−９０００を使用した。また、付活剤の蒸発源としては、図２に示すような構成の蒸発源及び温度センサを試作して使用した。また、水晶振動子型モニタ４０（ＣＲＴＭ−９０００）の周りには、カバーを付けて、複数ルツボ同時使用時の相互の回り込みを防止できるようにした。
【００４０】
蛍光体層の形成においては、支持体として、順にアルカリ洗浄、純水洗浄、およびＩＰＡ（イソプロピルアルコール）洗浄を施した合成石英基板を用意し、蒸着装置内の基板ホルダーに設置した。上記ＣｓＢｒ蒸発源およびＥｕＢｒ蒸発源を装置内のルツボ容器に充填した後、装置内を排気して８×１０−４Ｐａの真空  度とした。このとき、真空排気装置として、ロータリポンプ、メカニカルブースター、ディフュージョンポンプ、マイスナーコイルの組み合わせを用いた。その後、装置内にＡｒガスを導入して０．５Ｐａの真空度にした。次いで、基板の蒸着とは反対側に位置したシースヒータで、石英基板を１２０℃に加熱した。基板と各蒸発源との距離を１５ｃｍに保持して、蒸発源それぞれを抵抗加熱器で加熱して、基板上に１０μｍ／分の速度でＣｓＢｒ：Ｅｕ輝尽性蛍光体を堆積させた。このとき、各々の加熱器の抵抗電流を調整して、輝尽性蛍光体におけるＥｕ／Ｃｓモル濃度比が０．００３／１となるように制御した。また、ＣｓＢｒ蒸発源の蒸着開始とＥｕＢｒｘ  蒸発源の蒸着開始を、基板と各蒸発源の間に設けられたシャッタ（遮蔽手段）の開閉によって制御した。
【００４１】
蒸着終了後、装置内を大気圧に戻し、装置から石英基板を取り出した。石英基板上には、蛍光体の柱状結晶がほぼ垂直方向に密に林立した構造の蛍光体層（層厚：６００μｍ、面積２０ｃｍ×２０ｃｍ）が形成されていた。
また、本実施例では、水晶振動子型モニタと温度検出手段（熱電対）の組み合わせである水晶−温度モニタ方式を採用したため、蒸発速度のばらつきは±５％以内であった。一方従来の定電流方式では、蒸発速度のばらつきは±２０％であり、本実施例の方がはるかに優れていることがわかった。
【００４２】
以上、本発明の真空蒸着用蒸発源及び蛍光体シート製造装置について、詳細に説明したが、本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのはもちろんである。
【００４３】
【発明の効果】
以上、説明した通り、本発明によれば、真空蒸着において、二種以上の成膜材料を含む場合でも、成膜材料の蒸発量を高精度に制御して、組成制御を行い、Ｘ線特性が均一な、品質の良い蛍光体シートを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る蛍光体シート製造装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】本実施形態の抵抗加熱装置の概略構成を示す断面図であり、（ａ）は、正面断面図、（ｂ）は、側断面図である。
【符号の説明】
Ｓ    ガラス基板
１０  蛍光体シート製造装置
１２  真空チャンバ
１４  基板保持・回転機構
１６  加熱蒸発部
１８  回転軸
１８ａ  回転駆動源
２０  ターンテーブル
２２  本体
２４  シースヒータ
３０  ユーロピウム蒸発部
３２  セシウム蒸発部
３４、３６  抵抗加熱装置
４０  水晶振動子型モニタ
４２  温度検出手段（熱電対）
４４  コントローラ
５０  基台
５２  筐体
５４（５４ａ、５４ｂ）  リフレクタ
５６  キャビティ部（ルツボ）
５８  蓋
６０  ボート
【図１】
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【図２】
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