(57)【要約】【課題】コンパクトな構成で液滴を噴射する液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置を提供する。【解決手段】インクジェット記録ヘッドの圧力室３０に配設された変形素子３４は、基材５０と、基材５０の両面に形成されカーボンナノチューブを含むナノチューブ層５２、５４と、各ナノチューブ層５２、５４と電子の移動可能な供給層５６、５８とから構成され、駆動装置６０から矩形波形状の駆動電圧が印加されることにより、一方のナノチューブ層に供給層から電子が移動してカーボンナノチューブの炭素間結合が伸張し、他方が逆に短縮する。したがって、変形素子３４が印加電圧によって撓み、圧力室３０に突出することによって圧力室３０のインクがインク吐出口２８からインク滴として噴射される。この際、カーボンナノチューブの相対変形量がピエゾ素子よりも大きいため、小さな変形素子３４でインク滴を吐出可能になり、コンパクトな構成とすることができる。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給源から液体が供給される圧力室と、
圧力室に配設され、電圧が印加されると変形する変形素子と、
圧力室で圧力が付与された液体を吐出するノズルと、
を備える液滴噴射ヘッドであって、
前記変形素子は、絶縁性の基材と、
前記基材の少なくとも一方の面に形成されカーボンナノチューブを含有するナノチューブ層と、
電圧の印加によって前記カーボンナノチューブとの間で電荷の移動が可能な供給層と、
を備えることを特徴とする液滴噴射ヘッド。
【請求項２】
前記基材の両面にそれぞれ設けられた第１、第２のナノチューブ層と、
各ナノチューブ層との間でそれぞれ電荷の移動が可能な第１、第２供給層と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の液滴噴射ヘッド。
【請求項３】
供給源から液体が供給される圧力室と、
圧力室に配設され、電圧が印加されると変形する変形素子と、
圧力室で圧力が付与された液体を吐出するノズルと、
を備える液滴噴射ヘッドであって、
前記変形素子は、絶縁性の基材と、
前記基材の少なくとも一方の面に形成されカーボンナノチューブを含有するナノチューブ層と、
電圧の印加によって前記カーボンナノチューブとの間で電荷の移動が可能な媒質が充填される供給室と、
を備えることを特徴とする液滴噴射ヘッド。
【請求項４】
前記基材の両面にそれぞれ設けられた第１、第２のナノチューブ層と、
各ナノチューブ層との間でそれぞれ電荷を移動可能な媒質を充填可能な第１、第２の供給室と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の液滴噴射ヘッド。
【請求項５】
前記媒質は、前記液体であることを特徴とする請求項３または４記載の液滴噴射ヘッド。
【請求項６】
前記供給室は、前記圧力室であることを特徴とする請求項５記載の液滴噴射ヘッド。
【請求項７】
前記変形素子は、隣接する２つの圧力室間の隔壁の一部を構成することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の液滴噴射ヘッド。
【請求項８】
前記変形素子に電圧を印加する電圧印加手段を備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の液滴噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項記載の液滴噴射ヘッドを備えることを特徴とする液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴を噴射する液滴噴射ヘッド、および液滴噴射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来からピエゾ素子を使用したインクジェット記録装置が提案されている。このタイプのインクジェット記録装置では、ピエゾ素子を圧力室に配設して、電圧を印加してピエゾ素子を変形させ、変形による圧力で圧力室のインクをノズルからインク滴として吐出する構成とされている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
一方、インクジェット方式を印字用のみならず、工業用に転用することが考えられている。例えば、インクジェット方式の液滴を噴射する技術を用いて、半導体などのパターンを基板上に直接作製することによって半導体製造工程が簡略化されるためである。
【０００４】
【特許文献１】
特開平３−１６４２５７号公報
【特許文献２】
特開平７−１９５６８２号公報
【特許文献３】
特開平６−２０９１２８号公報
【非特許文献１】
「Carbon Nanotube Actuators」,SCIENCE,21.MAY.1999,VOL284,P1340-1344
【非特許文献２】
「カーボンナノチューブの研究の歴史と進展」の「人工筋肉」の記事、［online］、１９９９年９月３０日、［平成１４年１２月１６日検索］、インターネット＜ＵＲＬ： HYPERLINK http://flex.ee.uec.ac.jp/~rsaito/Kaisetu/fuller99/node3.html http://flex.ee.uec.ac.jp/~rsaito/Kaisetu/fuller99/node3.html＞
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、パターニングにインクジェット方式を用いる場合には、インクと比較して比重の大きい導電性物質を噴射しなくてはならず、ピエゾ素子では噴射が困難であった。
【０００６】
特に、半導体などのパターニングに用いるためには、非常に微小な液滴を噴射するためにノズルおよび圧力室の微小化が求められ、圧力室に配設されるピエゾ素子も小型化せざるを得ない。しかしながら、小型化されたピエゾ素子では比重の大きい導電性物質を噴射することができず、パターニング可能な液滴噴射装置を構成できないという不都合があった。
【０００７】
本発明は、上記不都合を解決するために、コンパクトな構成で吐出力の大きい液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の液滴噴射ヘッドは、供給源から液体が供給される圧力室と、圧力室に配設され、電圧が印加されると変形する変形素子と、圧力室で圧力が付与された液体を吐出するノズルと、を備える液滴噴射ヘッドであって、前記変形素子は、絶縁性の基材と、前記基材の少なくとも一方の面に形成されカーボンナノチューブを含有するナノチューブ層と、電圧の印加によって前記カーボンナノチューブとの間で電荷の移動が可能な供給層と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項１記載の液滴噴射ヘッドの作用について説明する。
【００１０】
本発明の液滴噴射ヘッドは、供給源から圧力室に供給された液体は、圧力室に配設された変形素子の変形によって圧力が加わり、ノズルから液滴として噴射される。変形素子は、少なくとも供給層と基材の間に電圧を印加することにより、例えば、供給層からナノチューブ層に電荷が供給されることによりカーボンナノチューブに電荷が蓄積され、カーボンナノチューブを構成する炭素間結合が伸び、カーボンナノチューブの体積が増加する。この結果、基材に対してナノチューブ層が伸張して変形素子が撓み、例えば、変形素子が圧力室に突出することによって、圧力室の液体に対して圧力が作用してノズルから液滴として噴射される。
【００１１】
一方、逆向きに電圧を印加することによって、例えは、ナノチューブ層に含まれるカーボンナノチューブから供給層に電荷が移動する。ナノチューブ層を構成するカーボンナノチューブの炭素間結合から電荷が脱け出し、カーボンナノチューブの体積が縮小する構成となる。この結果、基材に対してナノチューブ層が短縮して圧力室に突出していた変形素子が凹み、あるいは原型に復帰することによって、圧力室の負圧が増加して供給源から圧力室に液体が供給される。
【００１２】
ここで、カーボンナノチューブの電圧印加による相対変形量は、同等の電圧印加によるピエゾ素子の相対変形量と比較して１０倍程度大きいことが知られている。例えば、特許文献３にはピエゾ素子で発生される変位はピエゾ素子の長さの約０．１％程度であることが記されている一方、非特許文献１、２にはカーボンナノチューブの相対変形量は１％程度であることが記されている。したがって、カーボンナノチューブを含むナノチューブ層を含む変形素子を備える液滴噴射ヘッドでは、小型で高出力の液滴噴射ヘッドを構成することができる。すなわち、ピエゾ素子と同等の出力であれば変形素子（ノズル、圧力室）の小型化を図ることができ、ピエゾ素子と同等のサイズであれぱより大きな吐出力を有する液滴噴射ヘッドを構成することができる。
【００１３】
また、特許文献２（図１０参照、第１実施例の駆動電圧の印加タイミング）にも記載されているように、インクジェットプリンタにおいてピエゾ素子の印加電圧は１０Ｖから２０Ｖであるが、カーボンナノチューブは１Ｖ程度の印加電圧で１％の変形が得られることが非特許文献１（ｐ１３４３）に記されている。したがって、ピエゾ素子と比較して印加電圧を大幅に小さくすることができ、非常に低電圧で駆動可能な液滴噴射ヘッドとすることができる。
【００１４】
請求項３記載の液滴噴射ヘッドは、供給源から液体が供給される圧力室と、圧力室に配設され、電圧が印加されると変形する変形素子と、圧力室で圧力が付与された液体を吐出するノズルと、を備える液滴噴射ヘッドであって、前記変形素子は、絶縁性の基材と、前記基材の少なくとも一方の面に形成されカーボンナノチューブを含有するナノチューブ層と、電圧の印加によって前記カーボンナノチューブとの間で電荷の移動が可能な媒質が充填される供給室と、を備えることを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の液滴噴射ヘッドの作用について説明する。
【００１６】
本発明の液滴噴射ヘッドでは、供給源から圧力室に供給された液体は、圧力室に配設された変形素子の変形によって圧力が加わり、ノズルから液滴として噴射される。変形素子を構成する供給室に媒質を充填させた状態で、少なくとも媒質と基材の間に電圧を印加することにより、例えば、媒質からナノチューブ層に電荷が供給されてカーボンナノチューブに電荷が蓄積され、カーボンナノチューブを構成する炭素間結合が伸び、カーボンナノチューブの体積が増加する。この結果、基材に対してナノチューブ層が伸張することによって基材とナノチューブ層からなる変形素子が撓み、例えば、変形素子が圧力室に突出することによって、圧力室に供給されている液体に対して圧力を付与して、ノズルから液滴が吐出される。
【００１７】
一方、逆向きに電圧を印加することによって、例えば、ナノチューブ層に含まれるカーボンナノチューブから媒質に電荷が移動する。すなわち、ナノチューブ層を構成するカーボンナノチューブの炭素間結合から電荷が脱け出し、カーボンナノチューブが縮小する構成となる。この結果、圧力室に突出していた変形素子が凹み、あるいは原型に復帰することによって、圧力室の負圧が増加して供給源から圧力室に液体が供給される。
【００１８】
ここで、カーボンナノチューブの電圧印加による相対変形量は、同等の電圧印加によるピエゾ素子の相対変形量と比較して１０倍程度大きいことが知られている。したがって、カーボンナノチューブを含むナノチューブ層を含む変形素子を備える液滴噴射ヘッドでは、小型で高出力の液滴噴射ヘッドを構成することができる。すなわち、ピエゾ素子と同等の出力であれば変形素子（ノズル、圧力室）の小型化を図ることができ、ピエゾ素子と同等のサイズであれぱより大きな吐出力を有する液滴噴射ヘッドを構成することができる。
【００１９】
また、ピエゾ素子と比べ印加電圧を大幅に小さくすることができ、非常に低電圧で駆動できる液滴噴射ヘッドとすることができる。
【００２０】
請求項８記載の液滴噴射装置は、請求項１〜７のいずれか１項記載の液滴噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【００２１】
請求項８記載の液滴噴射装置の作用について説明する。
【００２２】
このような液滴噴射ヘッドを備えた液滴噴射装置であれば、変形素子がピエゾ素子と比較して大きな吐出力を有するため、ノズルを細密化しても十分な吐出力を有し、比重の大きい導電性物質を有する含有液体等も液滴として吐出することが可能になる。また、ピエゾ素子と比較して消費電力の小さい液滴噴射装置とすることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態に係る液滴噴射ヘッド、液滴噴射装置について図１〜図５を参照して説明する。本実施形態では、液滴噴射装置としてインクジェット記録装置、液滴噴射ヘッドとしてインクジェット記録ヘッドを説明する。しかし、対象となる液体はインクに限定されるものではなく、例えば、パターンニングするために導電性物質を含有する液体等であっても良い。
【００２４】
先ず、インクジェット記録装置について簡単に説明する。
【００２５】
インクジェット記録装置１０は、図２に示すように、用紙供給部１２から装置内部に搬送される用紙Ｐに対して、用紙搬送方向に走査されるインクカートリッジ１４の先端に設けられたインクジェット記録ヘッド２０からインク滴が吐出され、用紙Ｐに画像が形成される。画像が形成された用紙Ｐは排紙口１６から外部に排出される。
【００２６】
インクジェット記録ヘッド２０は、図３〜図５に示すように、変形素子基板２２および流路基板２４が接合されることによって形成されており、一端面（インク吐出面）に形成された複数のインク吐出口２８と、インク吐出口２８に連通する圧力室３０と、全ての圧力室３０と連通しノズル配列方向に延在する共通液室３２と、圧力室３０に面して配設される変形素子３４と、から基本的に構成される。
【００２７】
ところで、記録ヘッド２０の上部には、共通液室３２に連通する開口部４０が形成されており、記録ヘッド２０に接続されるインク供給体４２のインク供給路４４が接続されている。
【００２８】
次に、変形素子３４の構成について図１を参照して説明する。
【００２９】
変形素子３４は、基材５０の両面に形成されたカーボンナノチューブを含む第１、第２ナノチューブ層５２、５４と、各ナノチューブ層５２、５４の上部に形成され、各ナノチューブ層５２、５４との間で電子を移動可能な供給層５６、５８とから構成されており、駆動装置６０から矩形波形状の駆動電圧（交流電圧）が供給層５６、５８間に印加される構成である。
【００３０】
ナノチューブ層５２、５４は、カーボンナノチューブを含む構成である。ナノチューブ層５２、５４に含まれるカーボンナノチューブとしては、公知のカーボンナノチューブであれば特に限定されず、グラファイトの１層（グラフェンシート）を丸めて円筒状のチューブにした単層状のもの（単層ナノチューブ、あるいは、シングルウォールナノチューブ）や、複数のグラフェンシートを丸めた異なる直径からなる複数の円筒状のチューブからなる多層状のもの（多層ナノチューブ、あるいは、マルチウォールナノチューブ）等を用いることができるが、本発明においては、シングルウォールナノチューブが好ましく用いられる。
【００３１】
ナノチューブ層５２、５４の形成方法は特に限定されず、公知の方法を利用して形成することができる。例えば、アーク放電法、レーザー蒸着法、化学気相成長法等の気相成膜法を利用して基材５０上に直接ナノチューブ層５２、５４を形成することができる。
【００３２】
また、カーボンナノチューブの粉末を液体やペーストに分散させ、これを基材５０上に塗布することによりナノチューブ層５２、５４を形成することも可能である。この場合、ナノチューブ層５２、５４の形成を容易とするためにバインダーを併用することが好ましい。なお、このようなバインダーとしては、カーボンナノチューブに対して電子の授受が容易に行えるような導電性バインダーであることがより好ましい。
【００３３】
供給層５６、５８は、ナノチューブ層５２、５４に含まれるカーボンナノチューブに対して電子の授受が可能な構成であれば良く、公知の導電性材料を含むものであれば特に限定されない。
【００３４】
しかしながら、ナノチューブ層５２、５４が、それぞれいずれか一方の電位に帯電することにより伸縮した際に、変形素子３４が効率的に変形するためには、供給層５６、５８は、柔軟性を有する導電性材料を含有していることが好ましい。このような観点から、供給層５６，５８は、導電性の有基材料を含むものであることが好ましく、導電性の有基材料としては公知の電荷輸送性有基材料を用いることが好適である。
【００３５】
このような電荷輸送性有基材料としては、例えば、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、チアゾール誘導体、チアジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、イミダゾロン誘導体、イミダゾリジン誘導体、ビスイミダゾリジン誘導体、スチリル化合物、ヒドラゾン化合物、ピラゾリン誘導体、オキサゾロン誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、キナゾリン誘導体、ベンゾフラン誘導体、アクリジン誘導体、フェナジン誘導体、アミノスチルベン誘導体、ポリ−Ｎ−ビニルカルバゾール、ポリ−１−ビニルピレン、ポリ−９−ビニルアントラセン等を挙げることができる。
【００３６】
なお、供給層５６、５８は、固体状のものに限定されるものでは無く、液体であってもよい。例えば、構成成分としてイオン解離可能な金属塩を含むインクを用いる場合には、このようなインクを供給層５６、５８として利用することも可能である。
【００３７】
このように構成されるインクジェット記録ヘッド２０およびインクジェット記録装置１０の作用について説明する。
【００３８】
変形素子３４では、駆動装置６０から駆動電圧、例えば、図１に示すような駆動装置から矩形波形状の交流電圧が第１、第２供給層５６、５８間に印加された場合、例えば、第１供給層５６側が正電圧、第２供給層５８側が負電圧とされた場合には、この状態を打ち消すように、ナノチューブ層５２を構成する単層カーボンナノチューブから第１供給層５６に電子が供給され、カーボンナノチューブから電子が脱け出すことによってカーボンナノチューブを構成する炭素間結合をが短縮し、カーボンナノチューブの体積を減少させる。一方、第２供給層５８側では、第２供給層５８からナノチューブ層５４を構成する単層カーボンナノチューブに電子が供給され、カーボンナノチューブを構成する炭素間結合が伸張し、カーボンナノチューブの体積を増加させる。この結果、変形素子３４は、第１ナノチューブ層５２側が凸となるように撓むことになる。したがって、変形素子３４が圧力室３０内に突出し、圧力室３０に供給されているインクがノズル２８からインク滴としてを吐出される。
【００３９】
また、変形素子３４に対して逆向きに電圧が付与されることにによって、変形素子３４は上記変形と逆向きの変形を生じ、第２ナノチューブ層５４が凸となるように変形する。すなわち、変形素子３４は、圧力室３０に対して凹むように変形することによって、圧力室内部の負圧を増加させ、共通液室３２から圧力室３０にインクを供給させる。
【００４０】
このように変形素子３４を備えるインクジェット記録ヘッド２０を構成することによって、インク滴を良好に吐出することができる。
【００４１】
特に、変形素子３４を構成するナノチューブ層５２、５４を構成するカーボンナノチューブは、同等の印加電圧によってピエゾ素子と比較して相対変形量が１０倍程度大きいことが知られている。ここで、相対変形量とは、電圧印加前の長さをＬとし、電圧印加後の変形量（伸縮量）をΔＬとした場合のΔＬ／Ｌである。
【００４２】
したがって、ピエゾ素子と同等のインク吐出力を有する変形素子３４は、ピエゾ素子と比較して十分に小型化することができる。すなわち、インク滴の微小化（高解像度化）を図るためにノズル２８や圧力室３０のさらなる小型化を図った場合にも、圧力を付与する素子として変形素子３４を配設可能である。すなわち、インク滴が微小化された高解像度のインクジェット記録ヘッドを実現することができる。
【００４３】
また、変形素子３４は、インク吐出力が同等であればピエゾ素子と比較して印加電圧を非常に小さくすることができ、非常に低電圧で駆動することができる。
【００４４】
さらに、ピエゾ素子と同等のサイズの変形素子３４であれば、ピエゾ素子の場合と比較して相対変形量が大きいため、同等の相対変形量であれば印字周波数を大きくすることができる。変形素子３４の場合、カーボンナノチューブが高導電性であるため電荷（電子）の蓄積・脱却が低導電性のピエゾ素子よりも高速に行えるためである。すなわち、インクジェット記録装置１０では、印字速度を飛躍的に向上させることができる。なお、非特許文献１、２には、カーボンナノチューブの変形応答性の高さが記されている。
【００４５】
さらにまた、ピエゾ素子と同等のサイズの変形素子３４を用いる場合には、吐出力が１０倍程度大きくなると考えられ、導電性物質等を含む液体を吐出することが可能となる。すなわち、本実施形態に係るインクジェット記録装置をパターニングを行なうための液滴噴射装置として使用することも可能になる。
【００４６】
なお、本実施形態では、ナノチューブ層５２、５４に電子を供給するのは固体の供給層５６、５８であったが液体であっても良い。例えば、圧力室３０側に配設されているナノチューブ層５２には、インクとの間で電子の移動が可能に構成することによって、固体の電圧供給層５６を省略することができる。この場合、ナノチューブ層５２（カーボンナノチューブ）を直接インクにさらすことになるが問題はない。
［第２実施形態］
本発明の第２実施形態に係る液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置について、図６〜８を参照して説明する。なお、第１実施形態と同様の構成要素については同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。なお、第１実施形態と異なる液滴噴射ヘッドの要部についてのみ説明する。また、本実施形態も液滴噴射ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッド、液滴噴射装置としてのインクジェット記録装置について説明する。
【００４７】
なお、インクジェット記録ヘッドは、図６に示すように、隣接する圧力室３０Ａ、３０Ｂの隔壁４６の一部として変形素子３４Ａが配設されている。変形素子３４Ａは、絶縁性の基材５０とカーボンナノチューブを含むナノチューブ層５２、５４とのみから形成されており、各圧力室３０Ａ、３０Ｂにナノチューブ層５２、５４がそれぞれ露出して配置されている。各圧力室３０Ａ、３０Ｂにおいて、ナノチューブ層５２、５４と対向する位置には電極６２、６４が配設されており、図示しない制御部によって電極６２、６４間に電圧を印加する構成である。
【００４８】
なお、図６に示すように、各圧力室３０Ａ、３０Ｂのノズル２８Ａ、２８Ｂは隣接して形成されており（図６、図７参照）、このノズル対２８Ａ、２８Ｂの配設されるピッチＰ２が第１実施形態のノズルピッチＰ１（図３、図５参照）と同等にされている。
【００４９】
このように構成されているインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置の作用について説明する。
【００５０】
圧力室３０Ａ、３０Ｂにインクが充填された状態で図示しない駆動装置６０によって電極６２、６４間に駆動電圧を印加することによって、例えば、電極６２側が正電圧、電極６４側が負電圧とされると、圧力室３０Ａに充填されたインクからナノチューブ層５２に電子が供給されると共に、ナノチューブ層５４から圧力室３０Ｂに供給されたインクに電子が移動する。したがって、基材５０に対してナノチューブ層５２が伸び、ナノチューブ層５４が縮むことによって、変形素子３４が圧力室３０Ａに対して凸（圧力室３０Ｂに対して凹）（図８（Ａ）参照）に撓む。この結果、圧力室３０Ａに連通するノズル２８Ａからインク滴が吐出されると共に、圧力室３０Ｂに共通液室３２からインクが供給される。
【００５１】
電極６２、６４間に逆電圧が印加されることにより、変形素子３４が圧力室３０Ｂに対して凸（圧力室３０Ａに対して凹）に撓み（図８（Ｂ）参照）、圧力室３０Ｂに連通するノズル２８Ｂからインク滴が吐出されると共に、圧力室３０Ａに共通液室３２からインクが供給される。
【００５２】
このように、隣接して配置された圧力室３０Ａ、３０Ｂの隔壁４６の一部を変形素子３４で構成することによって、変形素子３４に印加する駆動電圧（矩形波）の１周期で２滴のインク滴を吐出することができることになる。したがって、第１実施形態のインクジェット記録ヘッドと要求される解像度が同等であれば、ノズル対２８Ａ、２８ＢのピッチＰ２が第１実施形態のノズル２８のピッチＰ１と同等であるため、インクジェット記録ヘッドの印字周波数を実質的に２倍に向上させることができる。
【００５３】
なお、本実施形態では、変形素子３４Ａのナノチューブ層５２、５４に対して電子を供給するものを圧力室３０Ａ、３０Ｂに充填されたインク（媒質）としたが、第１実施形態と同様に固体の供給層５６、５８を有する構成であっても良い。
【００５４】
また、第１、第２実施形態に係る変形素子３４、３４Ａでは、基材５０の両面にナノチューブ層５２。５４を形成したが、片面のみにナノチューブ層を形成するものでも良い。
【００５５】
【発明の効果】
本発明に係る液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置は、ピエゾ素子と同等のサイズのものに同等の印加電圧を加えた場合には、変形量が飛躍的に増加して吐出力も増加する。したがって、導電性物質等を含有した液体等を吐出することが可能になり、パターニング等に適用可能になる。
【００５６】
また、ピエゾ素子と同等の吐出力を確保する場合には、変形素子を小型化することが可能になり、ノズルや圧力室の小型化に対応可能となる。
【００５７】
さらに、ピエゾ素子に比べ駆動電圧を飛躍的に低下させることが可能になり、非常に低電圧で駆動可能な液滴噴射ヘッドを提供することができる。
【００５８】
また、ピエゾ素子に比べ変形応答性が良いので、駆動電圧の印加周波数を大きくすることができ、高速化が可能である。
【００５９】
さらに請求項７記載の発明によれば、原理的に印字周波数を２倍にできるので、飛躍的な高速化が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る変形素子の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録装置の概略構成図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係インクジェット記録ヘッドの要部を示す概略斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係インクジェット記録ヘッドの縦断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係インクジェット記録ヘッドの横断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係インクジェット記録ヘッドの横断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係インクジェット記録ヘッドの要部を示す概略斜視図である。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る変形素子の動作説明図である。
【符号の説明】
１０  インクジェット記録装置
２０  インクジェット記録ヘッド
３０、３０Ａ、３０Ｂ  圧力室（供給室）
３４  変形素子
４６  隔壁
５０  基材
５２、５４  ナノチューブ層
５６、５８  供給層
６０  駆動装置（電圧印加手段）
【図１】
2004195718.tif 000003
【図２】
2004195718.tif 000004
【図３】
2004195718.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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