(57)【要約】【課題】サイドヒート姿勢で使用される場合において、冷媒液面を下げて放熱部を大きく確保し、冷却性能の向上を可能とする沸騰冷却装置を提供する。【解決手段】自身の側壁１１１に発熱体１０が装着されると共に、内部に冷媒が封入される第１冷媒槽１１０と、第１冷媒槽１１０の反発熱体側に配置される第２冷媒槽１２０と、上下方向に複数積層され、第１冷媒槽１１０および第２冷媒槽１２０の内部同士を連通させるチューブ１３０とを有する沸騰冷却装置において、第１冷媒槽１１０の内部に、第１冷媒槽１１０の冷媒を第２冷媒槽１２０を経由して、発熱体１０の上側に対応する位置から側壁１１１の内壁面１１１ａに沿って還流させる冷媒流制御手段１４０を設ける。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自身の側壁（１１１）に発熱体（１０）が装着されると共に、内部に冷媒が封入される第１冷媒槽（１１０）と、
前記第１冷媒槽（１１０）の反発熱体側に配置される第２冷媒槽（１２０）と、
上下方向に複数積層され、前記第１冷媒槽（１１０）および前記第２冷媒槽（１２０）の内部同士を連通させるチューブ（１３０）とを有し、
前記発熱体（１０）の熱によって沸騰気化した前記冷媒が、凝縮液化する際に前記チューブ（１３０）の外部に放熱することで、前記発熱体（１０）を冷却する沸騰冷却装置において、
前記第１冷媒槽（１１０）の内部には、前記第１冷媒槽（１１０）の前記冷媒を前記第２冷媒槽（１２０）を経由して、前記発熱体（１０）の上側に対応する位置から前記側壁（１１１）の内壁面（１１１ａ）に沿って還流させる冷媒流制御手段（１４０）が設けられたことを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項２】
前記冷媒流制御手段（１４０）は、前記第１冷媒槽（１１０）内部を前記発熱体（１０）上端近傍位置で上下の空間に仕切る仕切り部（１４１）と、
前記仕切り部（１４１）において、前記内壁面（１１１ａ）側で前記上下の空間を連通させる隙間部（１４２）とから成ることを特徴とする請求項１に記載の沸騰冷却装置。
【請求項３】
前記隙間部（１４２）の開口面積は、前記チューブ（１３０）のうち、少なくとも前記第１冷媒槽（１１０）から前記第２冷媒槽（１２０）に向かう前記冷媒が流通するチューブ（１３０Ａ）の流路面積よりも小さく形成されたことを特徴とする請求項２に記載の沸騰冷却装置。
【請求項４】
前記チューブ（１３０）は、水平方向にも複数配列され、この配列方向に外部流体が供給されており、
前記チューブ（１３０）のうち、前記第１冷媒槽（１１０）から前記第２冷媒槽（１２０）に向かう前記冷媒が流通するチューブ（１３０Ａ）の流路面積は、前記外部流体の上流側から下流側に向けて大きくなるようにし、
且つ、前記第２冷媒槽（１１０）から前記第１冷媒槽（１２０）の前記内壁面（１１１ａ）に向かう前記冷媒が流通するチューブ（１３０Ｂ）の流路面積は、前記外部流体の下流側から上流側に向けて大きくなるようにしたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【請求項５】
前記第１冷媒槽（１１０）および前記第２冷媒槽（１２０）は、中間に配置されるものにおいて複数の開口部（１１３ａ、１１４ａ、１２２ａ、１２３ａ）を有する複数のプレート（１１１〜１１４、１２１〜１２４）が積層されて形成されたことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の沸騰冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷媒の沸騰熱伝達により半導体素子等の発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、先に特願２００１−３２７４４４において、図１０に示すような沸騰冷却装置１００を提案している。この沸騰冷却装置１００は、内部に冷媒が貯留される冷媒槽１０１、複数のチューブ１３０およびヘッダ１６０から成り、冷媒槽１０１の下側の受熱面１１０ａに発熱体１０が取付けられる。
【０００３】
チューブ１３０は、冷媒槽１０１の放熱面１１０ｂに対して略直立して配置され、冷媒槽１０１とヘッダ１６０とを互いに連通させるようにしている。そして、発熱体１０の取付け部位が放熱面１１０ｂに投影される領域を沸騰領域とする時に、複数のチューブ１３０のうち、沸騰領域に配置されるチューブ１３０Ｃは、沸騰領域外に配置されるチューブ１３０Ｄより、冷媒槽１０１に接続される下端開口部の通路面積が大きくなるようにしている。
【０００４】
これにより、発熱体１０の熱を受けて沸騰気化した冷媒が、複数のチューブ１３０のうち、沸騰領域内に配置されているチューブ１３０Ｃに優先的に流れ込むことができる。その結果、沸騰領域内に配置されているチューブ１３０Ｃからヘッダ１６０内で拡散した冷媒が、沸騰領域外に配置されているチューブ１３０Ｄを通って冷却され、凝縮液となって冷媒槽１０１に還流する。発熱体１０から発生した熱は、冷媒に伝達されて、凝縮される際に沸騰領域外のチューブ１３０Ｄからで外気に放出されることで発熱体１０が冷却されることになる。
【０００５】
このように、この沸騰冷却装置１００においては、沸騰領域内に配置されるチューブ１３０Ｃの下端開口部の通路断面積を他のチューブ１３０Ｄよりも大きくするだけで冷媒の循環を良好にできるので、放熱部（チューブ１３０Ｄ部）の体格が大きくなるこを抑制でき、且つ装置全体が大型化することを抑制できるようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、発熱体１０の発熱量は増加傾向にあり、沸騰冷却装置１００に対する冷却性能向上のニーズが高まっており、更には、図１１に示すように、発熱体１０の実装密度をアップするためにサイドヒート姿勢（発熱体１０が冷媒槽１０１の側面に位置する）での使用が多くなっている。
【０００７】
発熱体１０は、各種配線の関係から冷媒槽１０１の略中央に取付けされるため、このサイドヒート姿勢の場合には冷媒槽１０１内の発熱体１０上端近傍まで冷媒を充填させる必要があり、その結果、蒸発した冷媒が凝縮する放熱部（沸騰気化した冷媒が流通するチューブ１３０の本数）が減少し、充分な冷却性能が得られなくなる。
【０００８】
本発明の目的は、上記問題に鑑み、サイドヒート姿勢で使用される場合において、冷媒液面を下げて放熱部を大きく確保し、冷却性能の向上を可能とする沸騰冷却装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、以下の技術的手段を採用する。
【００１０】
請求項１に記載の発明では、自身の側壁（１１１）に発熱体（１０）が装着されると共に、内部に冷媒が封入される第１冷媒槽（１１０）と、第１冷媒槽（１１０）の反発熱体側に配置される第２冷媒槽（１２０）と、上下方向に複数積層され、第１冷媒槽（１１０）および第２冷媒槽（１２０）の内部同士を連通させるチューブ（１３０）とを有し、発熱体（１０）の熱によって沸騰気化した冷媒が、凝縮液化する際にチューブ（１３０）の外部に放熱することで、発熱体（１０）を冷却する沸騰冷却装置において、第１冷媒槽（１１０）の内部には、第１冷媒槽（１１０）の冷媒を第２冷媒槽（１２０）を経由して、発熱体（１０）の上側に対応する位置から側壁（１１１）の内壁面（１１１ａ）に沿って還流させる冷媒流制御手段（１４０）が設けられたことを特徴としている。
【００１１】
これにより、第１冷媒槽（１１０）の発熱体（１０）が対応する内壁面（１１１ａ）に冷媒が供給され、発熱体（１０）の熱によって沸騰気化させることができるので、第１冷媒槽（１１０）内に封入される冷媒の液面を下げることができる。よって、その分チューブ（１３０）において放熱部として活用できる領域を大きくすることができるので、サイドヒート姿勢における冷却性能を向上させることができる。
【００１２】
請求項２に記載の発明では、冷媒流制御手段（１４０）は、第１冷媒槽（１１０）内部を発熱体（１０）上端近傍位置で上下の空間に仕切る仕切り部（１４１）と、仕切り部（１４１）において、内壁面（１１１ａ）側で上下の空間を連通させる隙間部（１４２）とから成ることを特徴としており、これにより、冷媒流制御手段（１４０）を容易に形成することができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明では、隙間部（１４２）の開口面積は、チューブ（１３０）のうち、少なくとも第１冷媒槽（１１０）から第２冷媒槽（１２０）に向かう冷媒が流通するチューブ（１３０Ａ）の流路面積よりも小さく形成されたことを特徴としている。
【００１４】
これにより、沸騰気化した冷媒を第１冷媒槽（１１０）から第２冷媒槽（１２０）に向かうチューブ（１３０Ａ）側に流入させやすくして、第２冷媒槽（１２０）を経由して隙間部（１４２）へ還流するのを促進できるので、冷却性能を更に向上させることができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明では、チューブ（１３０）は、水平方向にも複数配列され、この配列方向に外部流体が供給されており、チューブ（１３０）のうち、第１冷媒槽（１１０）から第２冷媒槽（１２０）に向かう冷媒が流通するチューブ（１３０Ａ）の流路面積は、外部流体の上流側から下流側に向けて大きくなるようにし、且つ、第２冷媒槽（１１０）から第１冷媒槽（１２０）の内壁面（１１１ａ）に向かう冷媒が流通するチューブ（１３０Ｂ）の流路面積は、外部流体の下流側から上流側に向けて大きくなるようにしたことを特徴としている。
【００１６】
これにより、外部流体は冷媒との熱交換により下流側に向けて温度上昇していくので、第１冷媒槽（１１０）から第２冷媒槽（１２０）に向かう冷媒（沸騰気化冷媒）は凝縮が抑制され、その流れが滞ることが無い。また、第２冷媒槽（１２０）から第１冷媒槽（１１０）に向かう冷媒が流通するチューブ（１３０Ｂ）においては、逆に熱交換前の外部流体によって上流側で冷媒（沸騰気化冷媒）の凝縮が活発に行われ、総じて、冷媒の還流が促進され、冷却性能を一層向上させることができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明では、第１冷媒槽（１１０）および第２冷媒槽（１２０）は、中間に配置されるものにおいて複数の開口部（１１３ａ、１１４ａ、１２２ａ、１２３ａ）を有する複数のプレート（１１１〜１１４、１２１〜１２４）が積層されて形成されたことを特徴としている。
【００１８】
これにより、第１、第２冷媒槽（１１０、１２０）を容易に形成できると共に、第１冷媒槽（１１０）においては、積層構造を活用して冷媒流制御手段（１４０）を容易に形成できる。
【００１９】
尚、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
本発明の沸騰冷却装置１００の第１実施形態を図１〜図５に基づいて説明する。この沸騰冷却装置１００は、図１に示すように、例えば半導体素子等の発熱体１０を冷却するもので、第１冷媒槽１１０、第２冷媒槽１２０、複数のチューブ１３０、放熱フィン１５０から構成されており、以下説明する各部材は、アルミニウムあるいはアルミニウム合金より成り、各部材間で接合される部位に施されたろう材により一体でろう付けされている。
【００２１】
図２は図１における沸騰冷却装置１００のＡ−Ａ部における断面図、図３は第１冷媒槽１１０を構成する各プレート１１１〜１１４を示す正面図、図４は図２のＢ−Ｂ部における断面図、図５は中間プレート１１３、１１４が重なり合った状態を示す部分正面図である。
【００２２】
第１冷媒槽１１０は、側壁を成す受熱プレート１１１、この受熱プレート１１１に対向配置される放熱プレート１１２、および受熱プレート１１１と放熱プレート１１２との間に積層される複数の中間プレート１１３、１１４より構成され、全体が一体ろう付けされている。
【００２３】
図３に示すように、受熱プレート１１１は、発熱体１０が取付けられる略正方形の平板部材である。放熱プレート１１２は、上記受熱プレート１１１と同様の略正方形の平板部材であり、チューブ１３０の一方の端部が挿入されるチューブ孔１１２ａが複数設けられている。
【００２４】
中間プレート１１３（ここでは３個仕様としている）は、略正方形の平板部材に縦横に延びる開口部１１３ａが複数形成されている。また、隣り合う開口部１１３ａ間においては肉厚部１１３ｂが形成されている。
【００２５】
中間プレート１１４は、上記中間プレート１１３に対して類似の開口部１１４ａが形成されたものであり、特に発熱体１０に対応する領域には縦方向に延びるスリット状の開口部１１４ｂが複数設けられている。そして開口部１１４ａ、１１４ｂ間には肉厚部１１４ｃが形成されている。尚、中間プレート１１３、１１４の各開口部１１３ａ、１１４ａ、１１４ｂは、切削加工、プレス加工、エッチング加工等により形成されている。
【００２６】
そして、図２に示す様に、中間プレート１１３、１１４が受熱プレート１１１と放熱プレート１１２との間に積層されて、第１冷媒槽１１０として形成されることになり、各開口部１１３ａ、１１４ａ、１１４ｂが重なり合う位置で互いに連通して内部空間が形成される。この内部空間には所定量の冷媒が封入されており、冷媒としては、ここではフロン（ＨＦＣ１３４ａ）を用いている。その他の冷媒として、水、アルコール、フロロカーボン等を用いても良い。
【００２７】
尚、各開口部１１３ａ、１１４ａ、１１４ｂおよび各肉厚部１１３ｂ、１１４ｃの組み合わせにより、第１冷媒槽１１０内には本発明の特徴部としての冷媒流制御手段１４０が形成されることになるが、その詳細については後述する。
【００２８】
第１冷媒槽１１０の受熱プレート１１１の外側となる受熱面１１０ａの中央には、発熱体１０が配置され、図示しないボルト等の締め付けにより固定されている。尚、発熱体１０と受熱面１１０ａとの間の接触熱抵抗を小さくするために、両者間に熱伝導グリースを介在させても良い。このように、本沸騰冷却装置１００においては、発熱体１０は第１冷媒槽１１０の受熱プレート（側壁）１１１に装着され、サイドヒート姿勢で使用されるものとしている。
【００２９】
第２冷媒槽１２０は、上記第１冷媒槽１１０と同様に複数のプレート１２１〜１２４が積層されて成るもので、第１冷媒槽１１０の反発熱体側に配置されている。中間に挟まれる中間プレート１２２、１２３には、それぞれ開口部１２２ａ、１２３ａが形成されている。これら開口部１１２ａ、１２３ａが互いに重なり合うことによって、第２冷媒槽１２０は内部空間を形成する容器となっている。尚、プレート１２１にはチューブ孔１２１ａが複数設けられている。
【００３０】
チューブ１３０は、図４に示すように、押し出し加工により形成され、断面が扁平状を成し、内部には複数の流路１３１を有する多孔チューブとしており、上下方向に複数（ここでは７段）積層され、更には、水平方向にも複数（ここでは３列）配列されている。
【００３１】
そして、チューブ１３０の一方の端部が放熱プレート１１２のチューブ孔１１２ａに挿入、ろう付けされ、また、チューブ１３０の他方の端部がプレート１２１のチューブ孔１２１ａに挿入、ろう付けされている。そして、チューブ１３０によって第１冷媒槽１１０および第２冷媒槽１２０の内部同士が連通される。
【００３２】
尚、チューブ１３０の端部は、冷媒流通時の流通抵抗低減、両冷媒槽１１０、１２０の小型化のために、両冷媒槽１１０、１２０の内部空間に突出しないように、位置決めされている。
【００３３】
そして、チューブ１３０には複数の放熱フィン１５０が設けられている。放熱フィン１５０は、チューブ１３０が貫通することによって、このチューブ１３０に装着されるいわゆるプレートフィンである。
【００３４】
この沸騰冷却装置１００を作動させる際には、熱交換を促進させるために、図示しない送風装置等により水平方向（チューブ１３０の配列方向）にチューブ１３０および放熱フィン１５０を通過するように外部流体としての冷却風が供給されるようにしている。
【００３５】
次に、本発明の特徴部について説明する。本発明では、第１冷媒槽１１０内に冷媒流制御手段１４０を設けている。この冷媒流制御手段１４０は、ここでは中間プレート１１３、１１４によって形成される仕切り部１４１と隙間部１４２とから成るようにしている。
【００３６】
仕切り部１４１は、中間プレート１１３の肉厚部１１３ｂのうち、発熱体１０の上端近傍位置に対応するものが積層されることによって形成されている。また、隙間部１４２は、図５に示すように、発熱体１０の上端近傍位置に対応する中間プレート１１３の開口部１１３ａと中間プレート１１４の開口部１１４ｂとが僅かに重なり合うことによって形成される隙間である。
【００３７】
そして、隙間部１４２に近接する中間プレート１１４の肉厚部１１４ｃと仕切り部１４１とによって、第１冷媒槽１１０内の空間は発熱体１０の上端近傍位置で上下の空間に仕切られ、また、隙間部１４２によって受熱プレート１１１の内壁面１１１ａ側で上下の空間が連通される形となっている。
【００３８】
更に、ここでは、隙間部１４２の開口面積は、冷媒液面と仕切り部１４１とによって挟まれるチューブ１３０の流路１３１のトータル面積よりも小さくなるようにしている。尚、冷媒液面と仕切り部１４１とによって挟まれるチューブ１３０というのは、後述するように第１冷媒槽１１０において発熱体１０の熱によって沸騰気化した冷媒が第２冷媒槽１２０側に向かって流通するチューブ（以下、チューブ１３０Ａとして区別する）である。
【００３９】
以上のように構成される沸騰冷却装置１００においては、第１冷媒槽１１０の受熱プレート１１１に取付けられた発熱体１０の熱を受けて沸騰気化した冷媒の大半は、仕切り部１４１によってその流れが制御され、チューブ１３０Ａから第２冷媒槽１２０を経て、チューブ１３０Ａの上側に位置するチューブ１３０（以下、チューブ１３０Ｂとして区別する）を流れ、再び第１冷媒槽１１０に戻る。この沸騰気化した冷媒は上記のようにチューブ１３０Ａ、１３０Ｂを流れる際に、冷却風により凝縮液化し、第１冷媒槽１１０の上側の空間に流入する。この時の凝縮潜熱が冷却風に放出されることで発熱体１０は冷却される。この凝縮潜熱の放出は放熱フィン１５０により促進される。尚、チューブ１３０Ａを流れる際に凝縮液化した冷媒は、第２冷媒槽１２０の下側に溜まる。
【００４０】
そして、第１冷媒槽１１０の上側の空間に流入した液化冷媒は、隙間部１４２から内壁面１１１ａに沿って薄い液膜を形成しつつ流れ落ちる。
【００４１】
このように、第１冷媒槽１１０内に冷媒流制御手段１４０を設けることにより、第１冷媒槽１１０の発熱体１０が対応する内壁面１１１ａに凝縮液化した冷媒が供給され、発熱体１０の熱によって沸騰気化させることができるので、第１冷媒槽１１０内に封入される冷媒の液面を下げることができる。よって、その分チューブ１３０において放熱部として活用できる領域を大きくすることができるので、サイドヒート姿勢における冷却性能を向上させることができる。
【００４２】
また、冷媒流制御手段１４０を仕切り部１４１および隙間部１４２から構成するようにしているので、冷媒流制御手段１４０を容易に形成することができる。
【００４３】
また、隙間部１４２の開口面積は、少なくともチューブ１３０Ａの流路面積よりも小さく成るようにしているので、沸騰気化した冷媒をチューブ１３０Ａ側に流入させやすくして、第２冷媒槽１２０を経由して隙間部１４２へ還流するのを促進でき、冷却性能を更に向上させることができる。
【００４４】
更に、第１、第２冷媒槽１１０、１２０を複数のプレート１１１〜１１４、１２１〜１２４による積層構造としているので、第１、第２冷媒槽１１０、１２０を容易に形成できると共に、第１冷媒槽１１０においては、積層構造を活用して冷媒流制御手段１４０を容易に形成できる。
【００４５】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態を図６に示す。第２実施形態は、上記第１実施形態に対して、チューブ１３０Ａおよびチューブ１３０Ｂの流路面積を冷却風の流れ方向に対して変化させるようにしたものである。
【００４６】
即ち、冷却風の上流側では冷媒流制御手段（１４０）を発熱体１０の中段位置に設定し、また冷却風の下流側では冷媒流制御手段（１４０）を発熱体１０の上端の更に上側に相当する位置に設定することで、チューブ１３０Ａを冷却風の上流から下流に向けて本数が増加するようにしている。即ち、チューブ１３０Ａの流路面積が冷却風の上流側から下流側に向けて大きくなるようにしている。
【００４７】
一方、上記チューブ１３０Ａの設定により、チューブ１３０Ｂの流路面積は逆に冷却風の下流側から上流側に向けて大きくなるようにしている。
【００４８】
これにより、冷却風は冷媒との熱交換により下流側に向けて温度上昇していくので、第１冷媒槽１１０から第２冷媒槽１２０に向かうチューブ１３０Ａにおいて、冷媒（沸騰気化冷媒）は凝縮が抑制され、その流れが滞ることは無い。また、第２冷媒槽１２０から第１冷媒槽１１０に向かうチューブ１３０Ｂにおいては、逆に冷媒は熱交換前の冷却風によって上流側で冷媒（沸騰気化冷媒）の凝縮が活発に行われ、総じて、冷媒の還流が促進され、冷却性能を一層向上させることができる。
【００４９】
（その他の実施形態）
上記第１、第２実施形態に対して、第１、第２冷媒槽１１０、１２０は複数のプレートの積層構造によって形成されるものに限らず、扁平な容器体で構成するようにしても良い。
【００５０】
その場合には、図７（その他の実施形態１）に示すように、冷媒流制御手段１４０としては、板状部材によって仕切り部１４１を形成し、内壁面１１１ａ側に隙間部１４２が形成されるようにすれば良い。
【００５１】
また、冷媒流制御手段１４０は、図８に示すように、チューブ１３０Ｂから発熱体１０に対応する内壁面１１１ａ側に繋がり、チューブ１３０Ａのトータル流路面積よりも小さくなる開口部１４４を有する連通路１４３としても良い。尚、図８（ａ）（その他の実施形態２）は、第１冷媒槽１１０が複数のプレート１１１〜１１４によって形成される場合、図８（ｂ）（その他の実施形態３）は、第１冷媒槽１１０が１つの扁平容器体から形成される場合を示したものである。
【００５２】
また、上記第１、第２実施形態では第１、第２冷媒槽１１０、１２０の中間プレート１１３、１２２、１２３は各１枚、中間プレート１１４は３枚の設定のものとして説明したが、これに限らず他の枚数の組み合わせとしても良い。
【００５３】
また、放熱フィン１５０は、図９（その他の実施形態４）に示すように、プレートフィンに限らず、例えば波形に形成されてチューブ１３０の間に介在（一体ろう付け）されるコルゲートフィン１５１等としても良い。
【００５４】
尚、本沸騰冷却装置１００においては、チューブ１３０を上下方向に向けて、第１冷媒槽１１０を下側とし、発熱体１０が更にその下側となるボトムヒート姿勢としても使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態における沸騰冷却装置全体の外観を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ部における断面図である。
【図３】第１冷媒槽を構成する各プレートを示す正面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ部における断面図である。
【図５】中間プレートが重なり合った状態を示す部分正面図である。
【図６】第２実施形態におけるチューブを示す断面図である。
【図７】その他の実施形態１における沸騰冷却装置を示す断面図である。
【図８】（ａ）はその他の実施形態２、（ｂ）はその他の実施形態３における沸騰冷却装置を示す部分断面図である。
【図９】その他の実施形態４における沸騰冷却装置全体の外観を示す斜視図である。
【図１０】先の出願における沸騰冷却装置全体の外観を示す斜視図である。
【図１１】サイドヒート姿勢で使用される場合の沸騰冷却装置を示す断面図である。
【符号の説明】
１０  発熱体
１００  沸騰冷却装置
１１０  第１冷媒槽
１１１  受熱プレート（側壁）
１１１ａ  内壁面
１１２  放熱プレート
１１３、１１４  中間プレート
１１３ａ、１１４ａ  開口部
１２０  第２冷媒槽
１２１、１２４  プレート
１２２、１２３  中間プレート
１２２ａ、１２３ａ  開口部
１３０  チューブ
１３０Ａ  第１冷媒槽から第２冷媒槽に向かう冷媒が流通するチューブ
１３０Ｂ  第２冷媒槽から第１冷媒槽の内壁面に向かう冷媒が流通するチューブ
１４０  冷媒流制御手段
１４１  仕切り部
１４２  隙間部
【図１】
2004207643.tif 000003
【図２】
2004207643.tif 000004
【図３】
2004207643.tif 000005
【図４】
2004207643.tif 000006
【図５】
2004207643.tif 000007
【図６】
2004207643.tif 000008
【図７】
2004207643.tif 000009
【図８】
2004207643.tif 000010
【図９】
2004207643.tif 000011
【図１０】
2004207643.tif 000012
【図１１】
2004207643.tif 000013