(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドの吐出ノズルと液滴検知部との位置関係を高精度に設定する必要がなく、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出でき、吐出される液滴の量が少量であっても吐出異常の有無を検出できる液滴不吐出検出装置および液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】本発明の液滴不吐出検出装置５０は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出異常を検出する装置であって、電極が設けられた圧電部材を有し、所定の固有振動数で発振するセンサ５００と、センサ５００を所定の固有振動数で発振させる駆動手段と、センサ５００が所定の固有振動数で発振している状態で、前記液滴吐出ヘッドがセンサ５００に向けて液滴を吐出する吐出動作を行った際に、センサ５００の固有振動数または当該固有振動数に対応する物理量を検出し、その検出値に基づいて前記液滴吐出ヘッドの吐出異常の有無を検出する検出手段とを備える。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出異常を検出する液滴不吐出検出装置であって、
電極が設けられた圧電部材を有し、所定の固有振動数で発振するセンサと、
前記センサを所定の固有振動数で発振させる駆動手段と、
前記センサが所定の固有振動数で発振している状態で、前記液滴吐出ヘッドが前記センサに向けて液滴を吐出する吐出動作を行った際に、前記センサの固有振動数または当該固有振動数に対応する物理量を検出し、その検出値に基づいて前記液滴吐出ヘッドの吐出異常の有無を検出する検出手段とを備えることを特徴とする液滴不吐出検出装置。
【請求項２】
前記圧電部材は、板状をなし、該圧電部材の両面に電極が設けられており、
前記検出手段は、前記検出値の変化に基づいて前記吐出異常の有無を検出する請求項１に記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項３】
前記駆動手段は、前記センサを所定の固有振動数で発振させ、該センサを含む発振回路を有し、
前記検出手段は、前記発振回路からの出力信号の所定時間内におけるパルス数を計数する計測手段を有する請求項１または２に記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項４】
前記センサの振動モードは、厚みすべり振動である請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項５】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出異常を検出する液滴不吐出検出装置であって、
電極が設けられた圧電部材を有し、表面弾性波を伝播するセンサと、
前記センサを駆動し、該センサに表面弾性波を伝播させる駆動手段と、
前記センサが表面弾性波を伝播している状態で、前記液滴吐出ヘッドが前記センサに向けて液滴を吐出する吐出動作を行った際に、前記伝播した表面弾性波の振幅または当該振幅に対応する物理量を検出し、その検出値に基づいて前記液滴吐出ヘッドの吐出異常の有無を検出する検出手段とを備えることを特徴とする液滴不吐出検出装置。
【請求項６】
前記圧電部材は、板状をなし、該圧電部材の一方の面の一端側に、１対の櫛歯状の第１の電極が設けられ、他端側に、１対の櫛歯状の第２の電極が設けられ、前記センサの前記第１の電極側から前記第２の電極側に表面弾性波が伝播するよう構成されており、
前記液滴吐出ヘッドが前記センサの前記第１の電極と前記第２の電極との間に向けて液滴を吐出する吐出動作を行った際に、前記検出手段は、前記第２の電極に伝播した表面弾性波の振幅または当該振幅に対応する物理量を検出し、その検出値の変化に基づいて前記吐出異常の有無を検出する請求項５に記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項７】
前記駆動手段は、前記第１の電極側に接続された高周波発振回路を有し、
前記検出手段は、前記第２の電極側に接続されたベクトル電圧計を有する請求項６に記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項８】
前記センサは、前記電極を覆う保護膜を有する請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項９】
前記センサ上に残留した液滴を除去する清掃手段をさらに備える請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項１０】
前記センサを覆う位置と覆わない位置とに相対的に移動可能に設置されたカバーをさらに備える請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置。
【請求項１１】
駆動回路によりアクチュエータを駆動して液体が充填されたキャビティ内の圧力を変化させることにより前記キャビティに連通するノズルから前記液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴不吐出検出装置とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
前記液滴吐出ヘッドに対し、吐出異常の原因を解消させる回復処理を行う回復手段をさらに備え、
前記液滴不吐出検出装置によって吐出異常が検出された場合、前記回復手段による回復処理を行う請求項１１に記載の液滴吐出装置。
【請求項１３】
前記回復手段による回復処理を行った後、前記液滴不吐出検出装置による検出を再度行う請求項１２に記載の液滴吐出装置。
【請求項１４】
前記回復手段は、前記液滴吐出ヘッドのノズルが配列されるノズル面をワイパにより拭き取るワイピング処理を行うワイピング手段を含む請求項１２または１３に記載の液滴吐出装置。
【請求項１５】
前記回復手段は、前記液滴吐出ヘッドのノズル面を覆うキャップに接続するポンプによりポンプ吸引処理を行うポンピング手段を含む請求項１２ないし１４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１６】
前記液滴吐出装置は、インクジェットプリンタを含む請求項１２ないし１５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴不吐出検出装置および液滴吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、インクジェットプリンタなどのインクジェットヘッドのノズル孔が詰まったり、紙粉や異物が付着したり、気泡がインクジェットヘッドのキャビティなどに入った場合には、本来インク滴が吐出されるべき時に吐出されない場合があった。
【０００３】
インク滴が吐出されたかどうかを検出するために、主にインク滴を検出する各種センサを用いる方法がある。その中でも、光学式センサを用いてインク滴がノズルから吐出されたことを検出する方法は、インク滴径と光ビーム径を適切に選び且つ精度よく位置合わせを行うことによって確実に検出ができるため多くの提案がされている。
【０００４】
この方法は、インクジェットプリンタのインク滴吐出原理（ピエゾ方式、サーマルジェット方式、ソリッドインク方式など）が異なっていても適用できる点で優れている。また、インク滴が真っ直ぐに飛行せずに、曲がって飛行し記録紙上の着弾位置がずれる場合も、インク滴が検出領域を通過しないので、検出することが可能である。
【０００５】
図２５（ａ）は、従来の光学式のインク滴検出方法の原理を示す模式図である。
発光素子からの光は発光領域７０３を出て、フォトトランジスタなどの受光素子が設置されている受光領域７０４に入る。この発光領域７０３と受光領域７０４との間に位置する領域が検出領域７０７になる。その検出領域７０７に対して上方からインク滴７１０が吐出されてくると、インク滴７１０は染料や顔料などの色材を含んでいるため、光の透過率が低く光を遮ることになる。
【０００６】
すると、受光素子に入る光量が減少するため、電気信号に変化された時の電圧が小さくなり、インク滴７１０が検出できる。検出領域７０７の断面積と受光領域７０４の面積とが同じと仮定すると、それらの面積Ｓ２とインク滴投影部７１１の面積Ｓ１とから、Ｓ１／Ｓ２がインク滴７１０の減少分に相当することになる。
【０００７】
図２５（ｂ）は、キャリッジ軸６２２上をヘッドユニット７０８が移動しつつインク滴７１０をインク滴受け７０９に向けて吐出されちょうど検出領域７０７をインク滴７１０が通過する様子を示す図である。
インク滴７１０が上方から速度Ｖ１で吐出され、ヘッドユニット７０８が速度Ｖ２で移動していると、インク滴７１０はその合成速度（Ｖ１＋Ｖ２）となり、検出領域７０７へ確実に通過させるにはかなりの精度が要求される。検出感度を高めようとすると、Ｓ１／Ｓ２を大きくする即ち検出領域７０７の面積Ｓ２を小さくすればよいが、そうするとインク滴７１０が検出領域７０７を通過する検出のタイミングを精度良くしなければならない。
【０００８】
逆に、インク滴７１０が検出領域７０７を通過する検出のタイミングを緩やかにすれば、検出感度が低下してしまう。この課題を解決しようといくつかの提案がされている。
具体的には、例えば、インクジェットヘッドのインク吐出口の並び方向に対して、インク吐出を検出するフォトセンサの発光素子と受光素子とで決定される検出光軸を相対的に所定角度なすように配置し、フォトセンサによる検出範囲を広くする技術がある（特許文献１）。
【０００９】
しかし、特許文献１に記載されている技術は、感度を低下させずに受光領域を斜めにインク滴が透過する分だけ検出タイミングが緩やかになるが、依然としてその改善効果は比較的小さい。また、インク滴が検出領域の対角線上を通過するように、インク吐出口と検出領域との位置関係を高精度に設定しなければ、逆に、検出範囲が狭くなりかねない。
また、別の検出方法として、インクに対する撥水性の高い反射板と、反射光量を検知するセンサとを有し、インク滴を吐出させ、反射板からの反射光量をセンサで検出して吐出インク滴の状態を検出する技術がある（特許文献２）。
【００１０】
しかし、特許文献２に記載されている技術は、反射板に着弾したインク滴に浮遊する紙粉やゴミなどが付着すると、反射板の反射率が低下することもあるので、インク滴を反射板に着弾させるという手法では、長期間の使用を考慮すると、信頼性という点では課題がある。
さらに、インクタンク内のインク保持量をモニタするセンサとして圧電振動子を利用することが提案されている（特許文献３）。
【００１１】
しかし、特許文献３に記載されている技術は、圧電振動子がインクタンク内にあり、実際にインクと接触している。圧電振動子とインクとの接触する部分の面積が変化すると圧電振動子の固有振動数もそれに連れて変化するという原理を使っており、圧電振動子を使う点が類似しているが、インク量の変化がミリリットルのレベルでないと検出できなかった。そのため、数ピコリットル〜１００ピコリットルレベルのインク滴を吐出するインクジェットプリンタではインク滴の吐出異常を検出することができなかった。
【００１２】
【特許文献１】
特開平９−９４９４８号公報
【特許文献２】
特開平８−３３２７３６号公報
【特許文献３】
特開平７−１３７２７６号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルと液滴検知部との位置関係を高精度に設定する必要がなく、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出することができ、吐出される液滴の量が少量であっても吐出異常の有無を検出することができる液滴不吐出検出装置および液滴吐出装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴不吐出検出装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出異常を検出する液滴不吐出検出装置であって、
電極が設けられた圧電部材を有し、所定の固有振動数で発振するセンサと、
前記センサを所定の固有振動数で発振させる駆動手段と、
前記センサが所定の固有振動数で発振している状態で、前記液滴吐出ヘッドが前記センサに向けて液滴を吐出する吐出動作を行った際に、前記センサの固有振動数または当該固有振動数に対応する物理量を検出し、その検出値に基づいて前記液滴吐出ヘッドの吐出異常の有無を検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
【００１５】
これにより、センサの略全体を、インク滴を含む液滴の検出領域とすることができ、センサの面積（検出領域）を所定の大きさに設定することにより、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルとセンサとの位置関係を高精度に設定する必要がなく、このため、組み立て・製造が容易であり、また、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出することができ、また、吐出される液滴の量が少量であってもそれを検出、すなわち、吐出異常の有無を検出することができる液滴不吐出検出装置を提供することができる。
【００１６】
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記圧電部材は、板状をなし、該圧電部材の両面に電極が設けられており、
前記検出手段は、前記検出値の変化に基づいて前記吐出異常の有無を検出するのが好ましい。
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記駆動手段は、前記センサを所定の固有振動数で発振させ、該センサを含む発振回路を有し、
前記検出手段は、前記発振回路からの出力信号の所定時間内におけるパルス数を計数する計測手段を有するのが好ましい。
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記センサの振動モードは、厚みすべり振動であるのが好ましい。
【００１７】
本発明の液滴不吐出検出装置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出異常を検出する液滴不吐出検出装置であって、
電極が設けられた圧電部材を有し、表面弾性波を伝播するセンサと、
前記センサを駆動し、該センサに表面弾性波を伝播させる駆動手段と、
前記センサが表面弾性波を伝播している状態で、前記液滴吐出ヘッドが前記センサに向けて液滴を吐出する吐出動作を行った際に、前記伝播した表面弾性波の振幅または当該振幅に対応する物理量を検出し、その検出値に基づいて前記液滴吐出ヘッドの吐出異常の有無を検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
【００１８】
これにより、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルとセンサとの位置関係を高精度に設定する必要がなく、このため、組み立て・製造が容易であり、また、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出することができ、また、吐出される液滴の量がさらに少ない量であってもそれを検出、すなわち、吐出異常の有無を検出することができる液滴不吐出検出装置を提供することができる。
【００１９】
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記圧電部材は、板状をなし、該圧電部材の一方の面の一端側に、１対の櫛歯状の第１の電極が設けられ、他端側に、１対の櫛歯状の第２の電極が設けられ、前記センサの前記第１の電極側から前記第２の電極側に表面弾性波が伝播するよう構成されており、
前記液滴吐出ヘッドが前記センサの前記第１の電極と前記第２の電極との間に向けて液滴を吐出する吐出動作を行った際に、前記検出手段は、前記第２の電極に伝播した表面弾性波の振幅または当該振幅に対応する物理量を検出し、その検出値の変化に基づいて前記吐出異常の有無を検出するのが好ましい。
【００２０】
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記駆動手段は、前記第１の電極側に接続された高周波発振回路を有し、
前記検出手段は、前記第２の電極側に接続されたベクトル電圧計を有するのが好ましい。
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記センサは、前記電極を覆う保護膜を有するのが好ましい。
これにより、センサの電極を外気等から遮断することができるので、電極の腐食等を防止することができる。
【００２１】
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記センサ上に残留した液滴を除去する清掃手段をさらに備えるのが好ましい。
これにより、センサ上に残留した液滴を除去することができるので、吐出異常の有無をより確実に検出することができる。
本発明の液滴不吐出検出装置では、前記センサを覆う位置と覆わない位置とに相対的に移動可能に設置されたカバーをさらに備えるのが好ましい。
これにより、センサにゴミ等が付着するのを防止することができ、よって、ゴミ等の付着による誤検出をより確実に防止することができる。
【００２２】
本発明の液滴吐出装置は、駆動回路によりアクチュエータを駆動して液体が充填されたキャビティ内の圧力を変化させることにより前記キャビティに連通するノズルから前記液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
本発明の液滴不吐出検出装置とを備えることを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルとセンサとの位置関係を高精度に設定する必要がなく、このため、組み立て・製造が容易であり、また、長期間の使用に際しても高い信頼性を確保して吐出異常の有無を検出することができ、また、吐出される液滴の量が少量であってもそれを検出、すなわち、吐出異常の有無を検出することができる液滴不吐出検出装置を備えた液滴吐出装置を提供することができる。
【００２３】
本発明の液滴吐出装置では、前記液滴吐出ヘッドに対し、吐出異常の原因を解消させる回復処理を行う回復手段をさらに備え、
前記液滴不吐出検出装置によって吐出異常が検出された場合、前記回復手段による回復処理を行うのが好ましい。
これにより、吐出異常が生じた液滴吐出ヘッドを正常な状態に回復させることができるので、その後の印刷動作において吐出異常（ドット抜け）が発生するのを防止することができる。
【００２４】
本発明の液滴吐出装置では、前記回復手段による回復処理を行った後、前記液滴不吐出検出装置による検出を再度行うのが好ましい。
これにより、回復処理によって、液滴吐出ヘッドの異常が解消されたかどうか（正常状態に回復したかどうか）を確認することができ、その後の印刷動作において吐出異常（ドット抜け）が発生するのをより確実に防止することができる。
【００２５】
本発明の液滴吐出装置では、前記回復手段は、前記液滴吐出ヘッドのノズルが配列されるノズル面をワイパにより拭き取るワイピング処理を行うワイピング手段を含むのが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの出口に紙粉などの異物が付着した場合の吐出異常を回復させるのに好適な回復処理を行うことができる。
【００２６】
本発明の液滴吐出装置では、前記回復手段は、前記液滴吐出ヘッドのノズル面を覆うキャップに接続するポンプによりポンプ吸引処理を行うポンピング手段を含むのが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルが目詰まりした場合や、キャビティ内に気泡が混入した場合の吐出異常を回復させるのに好適な回復処理を行うことができる。
【００２７】
本発明の液滴吐出装置では、前記センサを移動させる移動手段をさらに備えるのが好ましい。
これにより、いずれの位置においても液滴吐出ヘッドの吐出異常の検出を行うことができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記液滴吐出装置は、インクジェットプリンタであるのが好ましい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図２５を参照して本発明の液滴吐出装置の好適な実施形態を詳細に説明する。なお、この実施形態は例示として挙げるものであり、これにより本発明の内容を限定的に解釈すべきではない。なお、以下、本実施形態では、本発明の液滴吐出装置の一例として、インク（液状材料）を吐出して記録用紙（液滴受容物）に画像をプリントするインクジェットプリンタを用いて説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態における液滴吐出装置の一種であるインクジェットプリンタ１の構成を示す概略図である。なお、以下の説明では、図１中、上側を「上部」、下側を「下部」という。まず、このインクジェットプリンタ１の構成について説明する。
図１に示すインクジェットプリンタ１は、装置本体２を備えており、上部後方に記録用紙Ｐを設置するトレイ２１と、下部前方に記録用紙Ｐを排出する排紙口２２と、上部面に操作パネル７とが設けられている。
【００３０】
操作パネル７は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＬＥＤランプ等で構成され、エラーメッセージ等を表示する表示部（図示せず）と、各種スイッチ等で構成される操作部（図示せず）とを備えている。この操作パネル７の表示部は、報知手段として機能する。
また、装置本体２の内部には、主に、往復動する印字手段（移動体）３を備える印刷装置（印刷手段）４と、記録用紙Ｐを印刷装置４に対し供給・排出する給紙装置（液滴受容物搬送手段）５と、印刷装置４および給紙装置５を制御する制御部（制御手段）６とを有している。
【００３１】
制御部６の制御により、給紙装置５は、記録用紙Ｐを１枚ずつ間欠送りする。この記録用紙Ｐは、印字手段３の下部近傍を通過する。このとき、印字手段３が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。すなわち、印字手段３の往復動と記録用紙Ｐの間欠送りとが、印刷における主走査および副走査となって、インクジェット方式の印刷が行われる。印刷装置４は、印字手段３と、印字手段３を主走査方向に移動（往復動）させる駆動源となるキャリッジモータ４１と、キャリッジモータ４１の回転を受けて、印字手段３を往復動させる往復動機構４２とを備えている。
【００３２】
印字手段３は、複数のヘッドユニット３５と、各ヘッドユニット３５にインクを供給するインクカートリッジ（Ｉ／Ｃ）３１と、各ヘッドユニット３５およびインクカートリッジ３１を搭載したキャリッジ３２とを有している。なお、インクの消費量が多いインクジェットプリンタの場合には、インクカートリッジ３１がキャリッジ３２に搭載されず別な場所に設置され、チューブでヘッドユニット３５と連通されインクが供給されるように構成してもよい（図示せず）。
【００３３】
なお、インクカートリッジ３１として、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラック（黒）の４色のインクを充填したものを用いることにより、フルカラー印刷が可能となる。この場合、印字手段３には、各色にそれぞれ対応したヘッドユニット３５（この構成については、後に詳述する。）が設けられることになる。ここで、図１では、４色のインクに対応した４つのインクカートリッジ３１を示しているが、印字手段３は、その他の色、例えば、ライトシアン、ライトマゼンダ、ダークイエロー、特色インクなどのインクカートリッジ３１をさらに備えるように構成されてもよい。
【００３４】
往復動機構４２は、その両端をフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸４２２と、キャリッジガイド軸４２２と平行に延在するタイミングベルト４２１とを有している。
キャリッジ３２は、往復動機構４２のキャリッジガイド軸４２２に往復動自在に支持されるとともに、タイミングベルト４２１の一部に固定されている。
【００３５】
キャリッジモータ４１の作動により、プーリを介してタイミングベルト４２１を正逆走行させると、キャリッジガイド軸４２２に案内されて、印字手段３が往復動する。そして、この往復動の際に、印刷されるイメージデータ（印刷データ）に対応して、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００から適宜インク滴が吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
【００３６】
給紙装置５は、その駆動源となる給紙モータ（Ｍ）５１と、給紙モータ５１の作動により回転する給紙ローラ５２とを有している。
給紙ローラ５２は、記録用紙Ｐの搬送経路（記録用紙Ｐ）を挟んで上下に対向する従動ローラ５２ａと駆動ローラ５２ｂとで構成され、駆動ローラ５２ｂは給紙モータ５１に連結されている。これにより、給紙ローラ５２は、トレイ２１に設置した多数枚の記録用紙Ｐを、印刷装置４に向かって１枚ずつ送り込んだり印刷装置４から１枚ずつ排出したりするようになっている。なお、トレイ２１に代えて、記録用紙Ｐを収容する給紙カセットを着脱自在に装着し得るような構成であってもよい。
【００３７】
さらに給紙モータ５１は、印字手段３の往復動作と連動して、画像の解像度に応じて、記録用紙Ｐの紙送りも行う。給紙動作と紙送り動作については、それぞれ別のモータで行うことも可能であり、また、電磁クラッチなどのトルク伝達の切り替えを行う部品によって同じモータで行うことも可能である。
制御部６は、例えば、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）やディジタルカメラ（ＤＣ）等のホストコンピュータ８から入力された印刷データに基づいて、印刷装置４や給紙装置５等を制御することにより記録用紙Ｐに印刷処理を行うものである。また、制御部６は、操作パネル７の表示部にエラーメッセージ等を表示させ、あるいはＬＥＤランプ等を点灯／点滅させるとともに、操作部から入力された各種スイッチの押下信号に基づいて、対応する処理を各部に実行させるものである。さらに、制御部６は、必要に応じてエラーメッセージや吐出異常などの情報をホストコンピュータ８（図２）に転送することもある。
【００３８】
図２は、本発明のインクジェットプリンタの主要部を概略的に示すブロック図である。この図２において、本発明のインクジェットプリンタ１は、ホストコンピュータ８から入力された印刷データなどを受け取るインターフェース部（ＩＦ：Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）９と、制御部６と、キャリッジモータ４１と、キャリッジモータ４１を駆動制御するキャリッジモータドライバ４３と、給紙モータ５１と、給紙モータ５１を駆動制御する給紙モータドライバ５３と、ヘッドユニット３５と、ヘッドユニット３５を駆動制御するヘッドドライバ３３と、回復手段２４と、操作パネル７とを備える。なお、回復手段２４については、詳細を後述する。
【００３９】
この図２において、制御部６は、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００に対し印刷処理やセンサ５００（図７参照）に液滴を吐出するように命令するなどの各種処理を実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）６１と、ホストコンピュータ８からＩＦ９を介して入力される印刷データを図示しないデータ格納領域に格納する不揮発性半導体メモリの一種であるＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｅｒａｓａｂｌｅ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｒｅａｄ−Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）６２と、ＣＰＵ６１が種々の命令を行うデータを含む各種データを一時的に格納し、あるいは印刷処理などのアプリケーションプログラムを一時的に展開するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）６３と、各部を制御する制御プログラム等を格納する不揮発性半導体メモリの一種であるＰＲＯＭ６４とを備えている。なお、制御部６の各構成要素は、図示しないバスを介して電気的に接続されている。
【００４０】
上述のように、印字手段３は、各色のインクに対応した複数のヘッドユニット３５を備える。また、各ヘッドユニット３５は、複数のノズル１１０（図３）と、これらの各ノズル１１０にそれぞれ対応する静電アクチュエータ１２０（図３）とを備える。すなわち、ヘッドユニット３５は、１組のノズル１１０および静電アクチュエータ１２０を有してなるインクジェットヘッド１００（液滴吐出ヘッド）を複数個備えた構成になっている。そして、ヘッドドライバ３３は、各インクジェットヘッド１００の静電アクチュエータ１２０を駆動して、インクの吐出タイミングを制御する駆動回路（図示せず）を有している。なお、静電アクチュエータ１２０の構成については後述する。
【００４１】
また、制御部６には、図示しないが、例えば、インクカートリッジ３１のインク残量、印字手段３の位置、温度、湿度等の印刷環境等を検出可能な各種センサが、それぞれ電気的に接続されている。
制御部６は、ＩＦ９を介して、ホストコンピュータ８から印刷データを入手すると、その印刷データをＥＥＰＲＯＭ６２に格納する。そして、ＣＰＵ６１は、この印刷データに所定の処理を実行して、この処理データおよび各種センサからの入力データに基づいて、各ドライバ３３、４３、５３に駆動信号を出力する。各ドライバ３３、４３、５３を介してこれらの駆動信号が入力されると、ヘッドユニット３５の複数の静電アクチュエータ１２０、印刷装置４のキャリッジモータ４１および給紙装置５がそれぞれ作動する。これにより、記録用紙Ｐに印刷処理が実行される。
【００４２】
つぎに、印字手段３内の各ヘッドユニット３５の構造を説明する。図３は、図１に示すヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００）の概略的な断面図であり、図４は、１色のインクに対応するヘッドユニット３５の概略的な構成を示す分解斜視図であり、図５は、図３および図４に示すヘッドユニット３５を適用した印字手段３のノズル面の一例を示す平面図である。なお、図３および図４は、通常使用される状態とは上下逆に示されている。
【００４３】
図３に示すように、ヘッドユニット３５は、インク取入れ口１３１、ダンパ室１３０およびインク供給チューブ３１１を介して、インクカートリッジ３１に接続されている。ここで、ダンパ室１３０は、ゴムからなるダンパ１３２を備えている。このダンパ室１３０により、キャリッジ３２が往復走行する際のインクの揺れおよびインク圧の変化を吸収することができ、これにより、ヘッドユニット３５に所定量のインクを安定的に供給することができる。
【００４４】
また、ヘッドユニット３５は、シリコン基板１４０を挟んで、上側に同じくシリコン製のノズルプレート１５０と、下側にシリコンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガラス基板（ガラス基板）１６０とがそれぞれ積層された３層構造をなしている。中央のシリコン基板１４０には、独立した複数のキャビティ（圧力室）１４１（図４では、７つのキャビティを示す）と、一つのリザーバ（共通インク室）１４３と、このリザーバ１４３を各キャビティ１４１に連通させるインク供給口（オリフィス）１４２としてそれぞれ機能する溝が形成されている。各溝は、例えば、シリコン基板１４０の表面からエッチング処理を施すことにより形成することができる。このノズルプレート１５０と、シリコン基板１４０と、ガラス基板１６０とがこの順序で接合され、各キャビティ１４１、リザーバ１４３、各インク供給口１４２が区画形成されている。
【００４５】
これらのキャビティ１４１は、それぞれ短冊状（直方体状）に形成されており、後述する振動板１２１の振動（変位）によりその容積が可変であり、この容積変化によりノズル１１０からインク（液状材料）を吐出するよう構成されている。ノズルプレート１５０には、各キャビティ１４１の先端側の部分に対応する位置に、ノズル１１０が形成されており、これらが各キャビティ１４１に連通している。また、リザーバ１４３が位置しているガラス基板１６０の部分には、リザーバ１４３に連通するインク取入れ口１３１が形成されている。インクは、インクカートリッジ３１からインク供給チューブ３１１、ダンパ室１３０を経てインク取入れ口１３１を通り、リザーバ１４３に供給される。リザーバ１４３に供給されたインクは、各インク供給口１４２を通って、独立した各キャビティ１４１に供給される。なお、各キャビティ１４１は、ノズルプレート１５０と、側壁（隔壁）１４４と、底壁１２１とによって、区画形成されている。
【００４６】
独立した各キャビティ１４１は、その底壁１２１が薄肉に形成されており、底壁１２１は、その面外方向（厚さ方向）、すなわち、図３において上下方向に弾性変形（弾性変位）可能な振動板（ダイヤフラム）として機能するように構成されている。したがって、この底壁１２１の部分を、以後の説明の都合上、振動板１２１と称して説明することもある（すなわち、以下、「底壁」と「振動板」のいずれにも符号１２１を用いる）。
【００４７】
ガラス基板１６０のシリコン基板１４０側の表面には、シリコン基板１４０の各キャビティ１４１に対応した位置に、それぞれ、浅い凹部１６１が形成されている。したがって、各キャビティ１４１の底壁１２１は、凹部１６１が形成されたガラス基板１６０の対向壁１６２の表面に、所定の間隙を介して対峙している。すなわち、キャビティ１４１の底壁１２１と後述するセグメント電極１２２の間には、所定の厚さ（例えば、０．２ミクロン程度）の空隙が存在する。なお、前記凹部１６１は、例えば、エッチングなどで形成することができる。
【００４８】
ここで、各キャビティ１４１の底壁（振動板）１２１は、ヘッドドライバ３３から供給される駆動信号によってそれぞれ電荷を蓄えるための各キャビティ１４１側の共通電極１２４の一部を構成している。すなわち、各キャビティ１４１の振動板１２１は、それぞれ、後述する対応する静電アクチュエータ１２０の対向電極（コンデンサの対向電極）の一方を兼ねている。そして、ガラス基板１６０の凹部１６１の表面には、各キャビティ１４１の底壁１２１に対峙するように、それぞれ、共通電極１２４に対向する電極であるセグメント電極１２２が形成されている。また、図３に示すように、各キャビティ１４１の底壁１２１の表面は、シリコンの酸化膜（ＳｉＯ２）からなる絶縁層１２３により覆われている。このように、各キャビティ１４１の底壁１２１、すなわち、振動板１２１と、それに対応する各セグメント電極１２２とは、キャビティ１４１の底壁１２１の図３中下側の表面に形成された絶縁層１２３と凹部１６１内の空隙とを介し、対向電極（コンデンサの対向電極）を形成
（構成）している。したがって、振動板１２１と、セグメント電極１２２と、これらの間の絶縁層１２３および空隙とにより、静電アクチュエータ１２０の主要部が構成される。
【００４９】
図３に示すように、これらの対向電極の間に駆動電圧を印加するための駆動回路（図示せず）を含むヘッドドライバ３３は、制御部６から入力される印字信号（印字データ）に応じて、これらの対向電極間の充放電を行う。ヘッドドライバ（電圧印加手段）３３の一方の出力端子は、個々のセグメント電極１２２に接続され、他方の出力端子は、シリコン基板１４０に形成された共通電極１２４の入力端子１２４ａに接続されている。なお、シリコン基板１４０には不純物が注入されており、それ自体が導電性をもつために、この共通電極１２４の入力端子１２４ａから底壁１２１の共通電極１２４に電圧を供給することができる。また、例えば、シリコン基板１４０の一方の面に金や銅などの導電性材料の薄膜を形成してもよい。これにより、低い電気抵抗で（効率良く）共通電極１２４に電圧（電荷）を供給することができる。この薄膜は、例えば、蒸着あるいはスパッタリング等によって形成すればよい。ここで、本実施形態では、例えば、シリコン基板１４０とガラス基板１６０とを陽極接合によって結合（接合）させるので、その陽極結合において電極として用いる導電膜をシリコン基板１４０の流路形成面側（図３に示すシリコン基板１４０の上部側）に形成している。そして、この導電膜をそのまま共通電極１２４の入力端子１２４ａとして用いる。なお、本実施形態では、例えば、共通電極１２４の入力端子１２４ａを省略してもよく、また、シリコン基板１４０とガラス基板１６０との接合方法は、陽極接合に限定されない。
【００５０】
図４に示すように、ヘッドユニット３５は、複数のノズル１１０が形成されたノズルプレート１５０と、複数のキャビティ１４１、複数のインク供給口１４２、一つのリザーバ１４３が形成されたシリコン基板１４０と、絶縁層１２３とを備え、これらがガラス基板１６０を含む基体１７０に収納されている。基体１７０は、例えば、各種樹脂材料、各種金属材料等で構成されており、この基体１７０にシリコン基板１４０が固定、支持されている。
【００５１】
なお、ノズルプレート１５０に形成されたノズル１１０は、図４では簡潔に示すためにリザーバ１４３に対して略並行に直線的に配列されているが、ノズルの配列パターンはこの構成に限らず、通常は、例えば、図５に示すノズル配置パターンのように、段をずらして配置される。また、このノズル１１０間のピッチは、印刷解像度（ｄｐｉ：ｄｏｔ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）に応じて適宜設定され得るものである。なお、図５では、４色のインク（インクカートリッジ３１）を適用した場合におけるノズル１１０の配置パターンを示している。
【００５２】
図６は、図３のＩＩＩ−ＩＩＩ断面の駆動信号入力時の各状態を示す。ヘッドドライバ３３から対向電極間に駆動電圧が印加されると、対向電極間にクーロン力が発生し、底壁（振動板）１２１は、初期状態（図６（ａ））に対して、セグメント電極１２２側へ撓み、キャビティ１４１の容積が拡大する（図６（ｂ））。この状態において、ヘッドドライバ３３の制御により、対向電極間の電荷を急激に放電させると、振動板１２１は、その弾性復元力によって図中上方に復元し、初期状態における振動板１２１の位置を越えて上部に移動し、キャビティ１４１の容積が急激に収縮する（図２（ｃ））。このときキャビティ１４１内に発生する圧縮圧力により、キャビティ１４１を満たすインク（液状材料）の一部が、このキャビティ１４１に連通しているノズル１１０からインク滴として吐出される。
【００５３】
さて、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００では、前述したような吐出動作を行ったにもかかわらずノズル１１０からインク滴が正常に吐出されない現象、すなわち液滴の吐出異常が発生する場合がある。この吐出異常が発生する原因としては、例えば、（１）キャビティ１４１内への気泡の混入、（２）ノズル１１０付近でのインクの乾燥・増粘（固着）、（３）ノズル１１０出口付近への紙粉付着、等が挙げられる。
【００５４】
この吐出異常が発生すると、その結果としては、典型的にはノズル１１０から液滴が吐出されないこと、すなわち液滴の不吐出現象が現れ、その場合、記録用紙Ｐに印刷（描画）した画像における画素のドット抜けを生じる。また、吐出異常の場合には、ノズル１１０から液滴が吐出されたとしても、液滴の量が過少であったり、その液滴の飛行方向（弾道）がずれたりして適正に着弾しないので、やはり画素のドット抜けとなって現れる。
【００５５】
そして、このようなインクジェットプリンタ１は、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）の吐出異常の有無、すなわちヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）からインク滴５１０が正常に吐出されるかどうかを検出する、図９に示す後述する液滴不吐出検出装置５０を備えている。
【００５６】
次に、液滴不吐出検出装置５０について説明する。
図７（ａ）は、図１に示すインクジェットプリンタ１が備える液滴不吐出検出装置５０のセンサ５００の構成を示す平面図、背面図および断面側面図、図７（ｂ）は、センサ５００の他の例を示す平面図および背面図、図７（ｃ）は、図７（ａ）に示すセンサ５００の周辺を示す側面図、図８は、図７（ａ）に示すセンサ５００を覆うカバー５１２を示す断面図、図９（ａ）は、図１に示すインクジェットプリンタ１が備える液滴不吐出検出装置５０の構成を示すブロック図である。
【００５７】
なお、図７（ａ）の平面図および背面図、図７（ｂ）の平面図および背面図では、保護膜を図示せず、また、電極および配線に斜線を付した。
液滴不吐出検出装置５０は、図７（ａ）に示すセンサ５００を有している。まず、このセンサ５００の構成について説明する。
図７（ａ）に示すように、センサ５００は、圧電材料で形成された板状の圧電部材（圧電素子）５０１と、この圧電部材５０１の一方の面（表面）に設けられた電極５０２と、他方の面（裏面）に設けられた電極５０３とを有している。
【００５８】
これらの電極５０２および５０３上には、それぞれ、保護膜５０４および５０５が設けられ、各電極５０２および５０３は、それぞれ、保護膜５０４および５０５で覆われている。この保護膜５０４および５０５により、電極５０２および５０３の腐食等を防止することができ、高い信頼性が得られる。
なお、保護膜５０４および５０５を省略してもよいことは、言うまでもない。
【００５９】
このセンサ５００（圧電部材５０１）の平面視での形状は、本実施形態では、図７（ａ）に示すように、略長方形をなしている。この液滴不吐出検出装置５０では、センサ５００（長方形）の一部または全部が検出領域となり、この検出領域にインク滴５１０が付着（着弾）した場合、それを検出することができる。
検出領域の広さは、特に限定されないが、例えば、ヘッドユニット３５におけるノズル１１０が配列されている領域の面積より少し大きい程度とすることができる。これにより、ヘッドユニット３５をセンサ５００に対し静止したまま、各インクジェットヘッド１００について吐出異常の有無の検出を行うことができる。
【００６０】
このセンサ５００は、例えば、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０（ノズル面）に対して略平行になるように、所定の位置に固定的に設置、または、移動可能に設置される。
なお、本発明では、センサ５００（圧電部材５０１）の形状は、特に限定されず、例えば、その平面視での形状は、図７（ｂ）に示すように略円形であってもよく、また、この他の形状であってもよい。
【００６１】
また、使用する圧電材料としては、特に限定されず、例えば、水晶（ＳｉＯ２）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、ポリ弗化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ペロブスカイト型結晶構造をしている強誘電体のチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）に少量のＬａを添加して得られるチタン酸ジルコン酸ランタン鉛（ＰＬＺＴ）等の各種のものを用いることができる。
【００６２】
また、保護膜５０４および５０５の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）のような酸化物や窒化物、またはポリイミド、感光性フォトレジスト等を用いることができる。
ここで、このセンサ５００のような圧電材料で形成された圧電部材５０１を利用した振動子では、圧電部材５０１の振動モードによって、固有振動数（発振周波数）の範囲がおおよそ決まる。すなわち、その固有振動数は、厚みすべり振動では、例えば、１〜１０ＭＨｚ程度、とじ込め振動では、例えば、２〜１００ＭＨｚ程度、表面弾性波では、例えば、１０〜１０００ＭＨｚ程度となる。
このセンサ５００の振動モードは、厚みすべり振動であり、電極５０２、５０３間に所定の周波数の交流電圧を印加すると、圧電部材５０１、すなわち、センサ５００は、その厚み方向に固有振動数で振動（発振）する。
【００６３】
図９（ａ）に示すように、液滴不吐出検出装置５０は、センサ５００を所定の固有振動数で発振させ、そのセンサ５００を含む発振回路（駆動手段）５２０と、この発振回路５２０の出力側に設けられたカウンタ計測回路（計測手段）５３０と、このカウンタ計測回路５３０の出力側に設けられた演算処理判定回路（判定手段）５４０とを有している。カウンタ計測回路５３０および演算処理判定回路５４０により、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）１００の吐出異常の有無を検出（判定）する検出手段の主要部が構成される。なお、これら発振回路５２０、カウンタ計測回路５３０および演算処理判定回路５４０は、前述した制御部６により制御される。
【００６４】
次に、液滴不吐出検出装置５０によるインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）１００の吐出異常の検出の原理（方法）について説明する。
まず、センサ５００を用いて図９（ｂ）のコルピッツ型発振回路にすると、センサ５００はその厚み方向に固有振動数で振動する。この時、基本的には１次の厚みすべり振動が生じるが、ある条件を満たすと３次の厚みすべり振動へ遷移する。
【００６５】
次に、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）は、制御部６からの命令に基づき、センサ５００に向けてインク滴５１０を吐出するべく、吐出動作を行う。
この状態で、センサ５００の表面にインク滴５１０が付着すると、センサ５００は、そのインク滴５１０の質量分だけ重くなり、これにより、センサ５００の固有振動数は、小さくなる（変化する）。
【００６６】
この液滴不吐出検出装置５０では、前記センサ５００の固有振動数の減少（変化）を捉えて、インクジェットヘッド１００からインク滴５１０が吐出されたか否か（センサ５００の表面にインク滴５１０が付着したか否か）を判別し、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無を検出する。
すなわち、液滴不吐出検出装置５０は、インクジェットヘッド１００がセンサ５００に向けてインク滴５１０を吐出する吐出動作を行った際に、センサ５００の固有振動数または当該固有振動数に対応する物理量を検出し、その検出値に基づいて、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無を検出する。この場合、検出値が吐出動作の前後で減少（変化）した場合には、センサ５００の表面にインク滴５１０が付着し、インクジェットヘッド１００の吐出異常は無し（正常）と判定し、検出値が吐出動作の前後で変化しない場合には、センサ５００の表面にインク滴５１０が付着せず、インクジェットヘッド１００の吐出異常と判定する。
【００６７】
前記固有振動数に対応する物理量としては、例えば、所定時間内におけるセンサ５００の振動の数（回数）、振動の周期、振動の周期のＮ倍（但し、Ｎは、２以上の整数）、振動の半周期、振動の半周期のＭ倍（Ｍは、３以上の奇数）等が挙げられる。
ここで、センサ５００の厚み方向に振動する振動モードでは、センサ５００の発振周波数（固有振動数）ｆ０は、圧電部材５０１の材質、形状から決まる定数Ｎ、センサの厚さｔによって、
ｆ０＝Ｎ／ｔ
と表される。
【００６８】
インク滴５１０がセンサ５００に付着したときに変化する周波数（振動数）は、センサ５００の厚さがΔｔだけ厚くなったとして計算できる。センサ５００の比重をρ１、付着したインク滴５１０の比重をρ２、付着したインク滴５１０の体積をｖ２、付着したインク滴５１０がセンサ５００全面に付着したと想定したインク滴５１０の面積をＳ２とすれば、Δｔは、
Δｔ＝（ρ２・ｖ２）／（ρ１・Ｓ２）
と表される。
この厚み変化Δｔにより、インク滴５１０が付着した後のセンサ５００の発振周波数（固有振動数）ｆは、
ｆ＝Ｎ／（ｔ＋Δｔ）
となる。
【００６９】
図９（ｂ）は、図９（ａ）に示す発振回路５２０の構成例を示す回路図である。
図９（ｂ）に示す発振回路５２０は、センサ５００を含むコルピッツ型発振回路であり、インバータ５２２に対して、センサ５００と、コンデンサ５２４、５２５とからなるＬＣ並列共振回路と、抵抗（負荷抵抗）５２１、５２３と、インバータ５２６とを接続することによって構成されている。
【００７０】
前述したように、センサ５００にインク滴５１０が付着し、センサ５００の固有振動数が減少（変化）すると、ＬＣ並列共振回路から反転増幅器に入力される信号の周波数が減少し、インバータ５２６の出力端子から出力される信号、すなわち、発振回路５２０の出力信号の発振周波数が減少する。
従って、この発振回路５２０の出力信号に基づいて、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無を検出することができる。
なお、ここでは、発振回路５２０として、コルピッツ型発振回路を一例として示したが、他の形態のものとしてもよい。
【００７１】
図１０は、センサ５００に付着したインク滴５１０の数（累積インク滴数）と、センサ５００の１次振動の周波数との関係を示すグラフである。なお、横軸にインク滴５１０の数を示し、縦軸に周波数を示す。
具体的には、図７（ｂ）に示す円形の水晶振動子であって、外径１２．４ｍｍ、振動モードが厚みすべり振動、１次振動が約５ＭＨｚの水晶振動子に対して、ヘッドユニット３５のインクジェットヘッド１００からインク滴５１０を１００ショットずつ合計１０００ショット滴下し、水晶振動子の発振周波数を順次測定した。
測定結果は、図１０のグラフに示す通りである。
【００７２】
図１１は、センサ５００に付着したインク滴５１０の数（累積インク滴数）と、センサ５００の３次振動の周波数との関係を示すグラフである。なお、横軸にインク滴５１０の数を示し、縦軸に周波数を示す。
具体的には、図７（ｂ）に示す円形の水晶振動子であって、外径１２．４ｍｍ、振動モードが厚みすべり振動、３次振動が約１５ＭＨｚの水晶振動子に対して、ヘッドユニット３５のインクジェットヘッド１００からインク滴５１０を１００ショットずつ合計１０００ショット滴下し、水晶振動子の発振周波数を順次測定した。
測定結果は、図１１のグラフに示す通りである。
【００７３】
上記各測定結果から判るように、センサ５００に付着したインク滴５１０の数（体積）が増加すると、水晶振動子の発振周波数は、それに応じて減少し、従って、インク滴５１０のサイズが変わっても、インク滴がセンサ５００に付着した場合と、インク滴がセンサ５００に付着しない場合とで、それに応じた周波数変化をすることが判る。
【００７４】
ここで、本実施形態の液滴不吐出検出装置５０において設定されるセンサ５００の固有振動数は、振動モードが厚みすべり振動であれば、特に限定されないが、４〜６４ＭＨｚの範囲で出来るだけ高い振動数であるのが好ましい。
これにより、高い感度が得られ、インク滴５１０をより確実に検出することができ、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無をより確実に検出することができ、また、量産にも有利である。
液滴不吐出検出装置５０は、さらに、センサ５００上に残留したインク滴を除去する（センサ５００上を清掃する）清掃手段５５０を有している。
図１２は、清掃手段５５０の構成を示す側面図である。
【００７５】
同図に示すように、清掃手段５５０は、後述する回復手段２４のワイパ３００のような部材で構成される。すなわち、清掃手段５５０は、例えば、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０（ノズル面）と、センサ５００上面との間の間隔よりもやや長い丈の弾性変形可能な板状の部材（例えば、ゴム部材）である。
この清掃手段５５０は、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０の端部に取り付けられている（固定されている）。このため、インクジェットヘッド１００の吐出異常の検出の際は、その清掃手段５５０が邪魔になることはない。
【００７６】
ヘッドユニット３５がキャリッジ軸４２２に沿って主走査方向に移動すると、清掃手段５５０は、そのヘッドユニット３５と一体的に移動する。そして、清掃手段５５０が、センサ５００上を移動する際、センサ５００の上面を撫で、これにより、センサ５００上に残留したインク滴５１０’が除去される。すなわち、センサ５００の表面が清掃される。
【００７７】
なお、清掃手段５５０によりセンサ５００の清掃を行うタイミングや回数等は、諸条件に応じて適宜設定される。
この液滴不吐出検出装置５０では、前記清掃手段５５０により、センサ５００上に残留した液滴を除去することができるので、吐出異常の有無をより確実に検出することができる。
【００７８】
なお、清掃手段５５０は、これに限定されず、例えば、センサ５００側に設けられ、センサ５００上面を撫でるように移動可能なワイパを有するワイパ機構であってもよい。
また、本実施形態のインクジェットプリンタ１は、センサ５００を移動させる図示しない移動手段を有している。これにより、液滴不吐出検出装置５０では、センサ５００を図７（ｃ）の紙面に垂直な方向に移動可能になっている。この移動手段の作動により、インクジェットプリンタ１では、ヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００）の吐出異常の検出を行うときには、例えば、ヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００）と、後述するキャップ３１０との間にセンサ５００を挿入（移動）する（図７（ｃ）に示す状態）。そして、吐出異常の検出を行わないとき（印刷時や、キャップ３１０を用いたポンプ吸引時など）には、ヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００）とキャップ３１０との間からセンサ５００を退避させる。なお、センサ５００は、所定の位置に、固定的に設置されていてもよい。
【００７９】
また、図８に示すように、本実施形態の液滴不吐出検出装置５０は、センサ５００を覆う位置と覆わない位置とに相対的に移動可能に設置されたカバー５１２をさらに備えている。吐出異常の有無の検出を行わないときには、センサ５００は、このカバー５１２に覆われている。これにより、センサ５００の各部にゴミ、紙粉、インクミスト等が付着するのを防止することができ、例えば、感度が低下したりするような事態を回避できるので、インクジェットプリンタ１の長期間の使用後でも、液滴不吐出検出装置５０の信頼性を維持することができる。
このカバー５１２は、図示しないカバー移動手段によって移動することにより、センサ５００を覆う位置と覆わない位置とに移動する。あるいは、カバー５１２を固定とし、センサ５００が移動するのに伴って、センサ５００がカバー５１２内から出たり入ったりするようになっていてもよい。
【００８０】
次に、液滴不吐出検出装置５０の動作について説明する。
ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）の吐出異常の有無を検出する際には、制御部６は、ヘッドユニット３５が例えばホームポジションのように液滴不吐出検出装置５０の作動可能位置にあるか否かを判定し、作動可能位置に位置していない場合には、キャリッジガイド軸４２２によってガイドしながら、ヘッドユニット３５を作動可能位置（例えば、ホームポジション）に移動させる。
【００８１】
次いで、制御部６は、図示しない移動手段によって、センサ５００を、ヘッドユニット３５の下側、図７（ｃ）に示す例では、ヘッドユニット３５とキャップ３１０との間に移動する。
次いで、制御部６は、発振回路５２０を駆動する。これにより、センサ５００は、その厚み方向に固有振動数で振動（発振）し、発振回路５２０からの出力信号は、カウンタ計測回路５３０へ入力される。
【００８２】
次いで、カウンタ計測回路５３０は、発振回路５２０からの出力信号の計測ゲート時間内におけるパルス数（波数）を計数（計測）する。この計測ゲート時間内における計数値（計測結果）は、センサ５００の発振周波数（固有振動数）に対応する物理量である。
ここで、前記「パルス」には、波形整形された矩形波のみならず、例えば、発振回路５２０から出力された信号（出力信号）そのもの等も含まれる。
【００８３】
また、後述する処理では、前記計数値をそのまま用いてもよく、また、計数値からセンサ５００の発振周波数を算出し（求め）、その算出値を用いてもよい。
また、前記計測ゲート時間は、特に限定されず、例えば、その計測ゲート時間の調整により、前記カウンタ計測回路５３０での計数値がセンサ５００の発振周波数となるようにすることもできる。
【００８４】
カウンタ計測回路５３０での計測結果は、演算処理判定回路５４０へ入力され、演算処理判定回路５４０は、その計測結果を、吐出動作前のセンサ５００の固有振動数または固有振動数に対応する物理量（以下、単に「固有振動数」と言う）として、図示しないメモリ（記憶手段）に記憶する。
この状態で、制御部６からヘッドユニット３５のインクジェットヘッド１００にインク滴５１０の吐出命令がされると、命令されたインクジェットヘッド１００は吐出動作を行い、ノズル詰まり等の吐出異常がなければ、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出され、そのインク滴５１０は、センサ５００の表面に付着する。
【００８５】
次いで、カウンタ計測回路５３０は、発振回路５２０からの出力信号の計測ゲート時間内におけるパルス数（波数）を計数（計測）する。
カウンタ計測回路５３０での計測結果は、演算処理判定回路５４０へ入力され、演算処理判定回路５４０は、その計測結果を、吐出動作後のセンサ５００の固有振動数として、図示しないメモリに記憶する。
【００８６】
このようにインク滴５１０がセンサ５００の表面に付着した場合は、前述したように、センサ５００の固有振動数は、小さくなる。このため、演算処理判定回路５４０は、メモリに記憶されている吐出動作前のセンサ５００の固有振動数と、吐出動作後のセンサ５００の固有振動数とに基づいて、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されているということを検出（判定）することができる。この検出は、例えば、下記のように行うことができる。
【００８７】
演算処理判定回路５４０は、メモリに記憶されている吐出動作前のセンサ５００の固有振動数と、吐出動作後のセンサ５００の固有振動数とを比較して、これらの偏差（差）を求め、この偏差が、予め設定されている所定の閾値を超えたことを条件として、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されているということを検出する。
【００８８】
一方、制御部６からインクジェットヘッド１００に対してインク滴５１０の吐出命令がされたときに、当該インクジェットヘッド１００に異常があると、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されず、センサ５００の表面には、インク滴５１０が付着しない。
この場合には、前述したように、センサ５００の固有振動数は、吐出動作の前後で変化しない（維持される）。このため、演算処理判定回路５４０は、メモリに記憶されている吐出動作前のセンサ５００の固有振動数と、吐出動作後のセンサ５００の固有振動数とに基づいて、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されているということを検出（判定）することができる。
【００８９】
例えば、演算処理判定回路５４０は、メモリに記憶されている吐出動作前のセンサ５００の固有振動数と、吐出動作後のセンサ５００の固有振動数とを比較して、これらの偏差を求め、この偏差が、前記閾値以下であることを条件として、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されていないということを検出する。
このようにして、液滴不吐出検出装置５０は、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００について、吐出異常の有無を検出することができる。
【００９０】
以上説明したように、この液滴不吐出検出装置５０によれば、センサ５００の略全体を、インク滴５１０の検出領域とすることができ、その検出領域を広くすることができる。このため、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）のノズル１１０と、検出領域との位置関係を高精度に設定（制御）する必要がない、という利点がある。よって、インクジェットプリンタ１は、液滴不吐出検出装置５０に関連して、高い組み立て精度や位置精度を要求されないので、容易に組み立て・製造を行うことができ、また、液滴不吐出検出装置５０は、長期間の使用に際しても高い信頼性を維持することができる。
【００９１】
また、検出領域を容易に広くすることができ、その検出領域の広さを、例えば、ヘッドユニット３５におけるノズル１１０が配列されている領域の面積より少し大きい程度とすることにより、ヘッドユニット３５をセンサ５００に対し静止したまま、各インクジェットヘッド１００について吐出異常の有無の検出を行うことができる。
また、センサ５００の構成が簡易であるとともに、吐出されるインク滴５１０の量が少量であってもそれを検出、すなわち、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無を検出することができる。
【００９２】
図１３（ａ）は、本発明の液滴不吐出検出装置の他の実施形態におけるセンサを示す平面図および断面側面図、図１３（ｂ）は、図５に示すノズルプレート１５０に対応するセンサ６００の構成例を模式的に示す平面図、図１４は、本発明の液滴不吐出検出装置の他の実施形態の主腰部を模式的に示す図（一部ブロック図）である。
【００９３】
なお、図１３（ａ）の平面図では、保護膜を図示せず（保護膜と圧電部材との境界線のみを図示）、また、櫛歯状電極に斜線を付した。
以下、これらの図に基づいて本発明の液滴不吐出検出装置の他の実施形態について説明するが、前記図７および図９の液滴不吐出検出装置５０との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００９４】
液滴不吐出検出装置６０は、図１３（ａ）に示すセンサ６００を有している。まず、このセンサ６００の構成について説明する。
図１３（ａ）に示すように、センサ６００は、圧電材料で形成された板状の圧電部材（圧電素子）６０１と、この圧電部材６０１の一方の面に設けられた１対の櫛歯状の第１の電極（櫛歯状電極）６０２および１対の櫛歯状の第２の電極（櫛歯状電極）６０３とを有している。以下、櫛歯状の第１の電極および第２の電極を、それぞれ、単に「櫛歯状電極」と言う。なお、１対の櫛歯状電極は、ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）とも呼ばれている。
【００９５】
１対の櫛歯状電極６０２は、入力用であり、圧電部材６０１の一方の面の一端側に配置され、１対の櫛歯状電極６０３は、出力用であり、圧電部材６０１の一方の面の他端側に配置されている。
このセンサ６００の振動モードは、表面弾性波であり、１対の櫛歯状電極６０２間に所定の周波数の交流電圧を印加（入力）すると、圧電部材６０１に表面弾性波が励振される。この表面弾性波は、圧電部材６０１の表面を櫛歯状電極６０２側から櫛歯状電極６０３側に伝播し、１対の櫛歯状電極６０３間に、その伝播した表面弾性波に対応する交流電圧が発生する（出力される）。
【００９６】
また、これらの櫛歯状電極６０２および６０３上には、それぞれ、保護膜６０６および６０７が設けられ、各櫛歯状電極６０２および６０３は、それぞれ、保護膜６０６および６０７で覆われている。なお、保護膜６０６および６０７を省略してもよいことは、言うまでもない。
また、センサ６００（圧電部材６０１）の平面視での形状は、本実施形態では、略長方形をなしているが、これに限定されず、他の形状であってもよい。
【００９７】
この液滴不吐出検出装置６０では、センサ６００の櫛歯状電極６０２（保護膜６０６）と櫛歯状電極６０３（保護膜６０７）との間の領域（表面弾性波６０８の伝播する領域）の一部または全部が検出領域６０９となり、この検出領域６０９にインク滴５１０が付着（着弾）した場合、それを検出することができる。
また、設定されるセンサ６００の固有振動数は、振動モードが表面弾性波であれば、特に限定されないが、１０６．２５ＭＨｚ〜１．２５ＧＨｚの範囲で出来るだけ高い振動数であるのが好ましい。
これにより、より高い感度が得られ、インク滴５１０をより確実に検出することができ、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無をより確実に検出することができる。
【００９８】
図１４に示すように、液滴不吐出検出装置６０は、センサ６００を所定の固有振動数で発振させ（駆動し）、センサ６００に表面弾性波を伝播させる高周波発振回路である高周波発振器（駆動手段）６１０と、ベクトル電圧計６２０とを有している。
センサ６００の１対の櫛歯状電極６０２は、入力信号線６０４を介して、高周波発振器６１０の出力側に接続されている。また、センサ６００の１対の櫛歯状電極６０３は、出力信号線６０５を介して、ベクトル電圧計６２０の入力側に接続されている。
なお、本実施形態では、前記制御部６およびベクトル電圧計６２０が、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）１００の吐出異常の有無を検出（判定）する検出手段として機能する。
【００９９】
次に、液滴不吐出検出装置６０によるインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）１００の吐出異常の検出の原理（方法）について説明する。
まず、センサ６００の１対の櫛歯状電極６０２間に所定の周波数の交流電圧を印加する。これにより、図１３に示すように、圧電部材６０１に表面弾性波６０８が励振される。この表面弾性波６０８は、圧電部材６０１の表面を櫛歯状電極６０２側から櫛歯状電極６０３側に伝播し、１対の櫛歯状電極６０３間に、その伝播した表面弾性波６０８に対応する交流電圧が発生する（出力される）。
【０１００】
次に、ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）は、制御部６からの命令に基づき、センサ６００の１対の櫛歯状電極６０２と１対の櫛歯状電極６０３との間、すなわち、検出領域６０９に向けてインク滴５１０を吐出するべく、吐出動作を行う。
この状態で、センサ６００の表面（検出領域６０９）にインク滴５１０が付着すると、櫛歯状電極６０３に伝播した表面弾性波６０８の振幅が、インク滴５１０が付着しない場合に比べて小さくなる（変化する）。
【０１０１】
例えば、センサ６００の検出領域６０９にインク滴５１０が付着していない場合は、表面弾性波６０８は、圧電部材６０１の表面を櫛歯状電極６０２側から櫛歯状電極６０３側にほとんど減衰せずに伝播するが、検出領域６０９にインク滴５１０が付着している場合は、表面弾性波６０８は、圧電部材６０１の表面を櫛歯状電極６０２側から櫛歯状電極６０３側に略そのインク滴５１０の質量分だけ減衰して伝播する。すなわち、櫛歯状電極６０３に伝播した表面弾性波６０８の振幅は、付着したインク滴５１０の質量分だけ小さくなる。
【０１０２】
この液滴不吐出検出装置６０では、前記センサ６００の櫛歯状電極６０３に伝播した表面弾性波６０８の振幅の減少（変化）を捉えて、インクジェットヘッド１００からインク滴５１０が吐出されたか否か（検出領域６０９にインク滴５１０が付着したか否か）を判別し、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無を検出する。
【０１０３】
すなわち、液滴不吐出検出装置６０は、インクジェットヘッド１００が検出領域６０９に向けてインク滴５１０を吐出する吐出動作を行った際に、櫛歯状電極６０３に伝播した表面弾性波６０８の振幅（振幅量）または当該振幅に対応する物理量を検出し、その検出値に基づいて、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無を検出する。この場合、検出値が吐出動作の前後で減少（変化）した場合には、検出領域６０９にインク滴５１０が付着し、インクジェットヘッド１００の吐出異常は無し（正常）と判定し、検出値が吐出動作の前後で変化しない場合には、検出領域６０９にインク滴５１０が付着せず、インクジェットヘッド１００の吐出異常と判定する。
前記振幅に対応する物理量としては、例えば、振幅に比例した値等が挙げられる。
【０１０４】
図１３（ｂ）は、図５に示すノズルプレート１５０に対応するセンサ６００の構成例を模式的に示す平面図であり、この図１３（ｂ）中左側には、図５に示すノズルプレート１５０が示されている。
同図に示すように、このセンサ６００では、圧電部材６０１上に、４色のインクの各色のノズル１１０（ノズル群）毎に、前記１対の櫛歯状電極６０２および１対の櫛歯状電極６０３が設けられている。
各検出領域６０９は、ノズル１１０から吐出されたインク滴５１０が、センサ６００に到達するまでに許容される飛行曲がりを考慮して、ヘッドユニット３５におけるノズル１１０が配列されている領域の面積より少し大きい面積とされている。
【０１０５】
次に、液滴不吐出検出装置６０の動作について説明する。
ヘッドユニット３５（各インクジェットヘッド１００）の吐出異常の有無を検出する際には、制御部６は、ヘッドユニット３５が例えばホームポジションのように液滴不吐出検出装置５０の作動可能位置にあるか否かを判定し、作動可能位置に位置していない場合には、キャリッジガイド軸４２２によってガイドしながら、ヘッドユニット３５を作動可能位置（例えば、ホームポジション）に移動させる。
【０１０６】
次いで、制御部６は、図示しない移動手段によって、センサ６００を、ヘッドユニット３５の下側、図７（ｃ）に示す例では、ヘッドユニット３５とキャップ３１０との間に移動する。
次いで、制御部６は、高周波発振器６１０を駆動する。これにより、センサ６００の１対の櫛歯状電極６０２間に所定の周波数の交流電圧が印加され（高周波信号が入力され）、図１３に示すように、圧電部材６０１に表面弾性波６０８が励振される。この表面弾性波６０８は、圧電部材６０１の表面を櫛歯状電極６０２側から櫛歯状電極６０３側に伝播し、１対の櫛歯状電極６０３間に、その伝播した表面弾性波６０８に対応する交流電圧が発生する（出力される）。
この１対の櫛歯状電極６０３から出力された交流電圧（高周波信号）は、ベクトル電圧計６２０に入力される。ベクトル電圧計６２０では、その高周波信号（電圧）が検出され、その検出結果は、制御部６へ送出される。
【０１０７】
図１４の下側には、センサ６００の入力側（１対の櫛歯状電極６０２側）における表面弾性波の波形（ベクトル電圧計６２０での検出値に換算したときの振幅を「振幅Ａ」とする）と、センサ６００の出力側（１対の櫛歯状電極６０３側）における表面弾性波の波形、すなわち、ベクトル電圧計６２０で検出された振幅Ａ’の高周波信号の波形とが示されている。
【０１０８】
センサ６００の検出領域６０９にインク滴５１０が付着していないときにベクトル電圧計６２０で検出される高周波信号の振幅Ａ’の値は、振幅Ａと略等しい。これに対し、センサ６００の検出領域６０９にインク滴５１０が付着しているときにベクトル電圧計６２０で検出される高周波信号の振幅Ａ’の値は、振幅Ａよりそのインク滴５１０の質量分だけ小さい。そして、センサ６００の検出領域６０９に付着したインク滴５１０が増加すると、ベクトル電圧計６２０で検出される高周波信号の振幅Ａ’の値は、そのインク滴５１０の増加分に応じて減少する。
【０１０９】
制御部６は、ベクトル電圧計６２０による検出結果、すなわち、ベクトル電圧計６２０により検出された高周波信号（電圧）の振幅Ａ’を、吐出動作前における１対の櫛歯状電極６０３に伝播した表面弾性波の振幅または振幅に対応する物理量（以下、単に「振幅」と言う）として、ＥＥＰＲＯＭ（記憶手段）６２に記憶する。
【０１１０】
この状態で、制御部６からヘッドユニット３５のインクジェットヘッド１００にインク滴５１０の吐出命令がされると、命令されたインクジェットヘッド１００は吐出動作を行い、ノズル詰まり等の吐出異常がなければ、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出され、そのインク滴５１０は、センサ６００の検出領域６０９に付着する。
【０１１１】
次いで、ベクトル電圧計６２０により、１対の櫛歯状電極６０３から出力された高周波信号（電圧）を検出し、その検出結果を、制御部６へ送出する。
制御部６は、ベクトル電圧計６２０による検出結果、すなわち、ベクトル電圧計６２０により検出された高周波信号（電圧）の振幅Ａ’を、吐出動作後における１対の櫛歯状電極６０３に伝播した表面弾性波の振幅として、ＥＥＰＲＯＭ６２に記憶する。
【０１１２】
このようにインク滴５１０がセンサ６００の検出領域６０９に付着した場合は、前述したように、１対の櫛歯状電極６０３に伝播した表面弾性波の振幅は、小さくなる。このため、制御部６は、ＥＥＰＲＯＭ６２に記憶されている吐出動作前の振幅Ａ’と、吐出動作後の振幅Ａ’とに基づいて、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されているということを検出（判定）することができる。この検出は、例えば、下記のように行うことができる。
制御部６は、ＥＥＰＲＯＭ６２に記憶されている吐出動作前の振幅Ａ’と、吐出動作後の振幅Ａ’とを比較して、これらの偏差（差）を求め、この偏差が、予め設定されている所定の閾値を超えたことを条件として、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されているということを検出する。
【０１１３】
一方、制御部６からインクジェットヘッド１００に対してインク滴５１０の吐出命令がされたときに、当該インクジェットヘッド１００に異常があると、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されず、センサ６００の検出領域６０９には、インク滴５１０が付着しない。
この場合には、前述したように、１対の櫛歯状電極６０３に伝播した表面弾性波の振幅は、吐出動作の前後で変化しない（維持される）。このため、制御部６は、ＥＥＰＲＯＭ６２に記憶されている吐出動作前の振幅Ａ’と、吐出動作後の振幅Ａ’とに基づいて、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されているということを検出（判定）することができる。
【０１１４】
例えば、制御部６は、ＥＥＰＲＯＭ６２に記憶されている吐出動作前の振幅Ａ’と、吐出動作後の振幅Ａ’とを比較して、これらの偏差を求め、この偏差が、前記閾値以下であることを条件として、ノズル１１０から所定量のインク滴５１０が吐出されていないということを検出する。
このようにして、液滴不吐出検出装置６０は、ヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００について、吐出異常の有無を検出することができる。
【０１１５】
以上説明したように、この液滴不吐出検出装置６０によれば、前記図７および図９の液滴不吐出検出装置５０と同様の利点がある。
そして、本実施形態では、センサ６００の固有振動数が高い（振動モードが表面弾性波である）ので、感度が高い。これにより、検出精度をより高くすることができ、また、吐出されるインク滴５１０の量がさらに少ない量であってもそれを検出、すなわち、インクジェットヘッド１００の吐出異常の有無を検出することができる。
なお、前述した実施形態では、振動モードが、厚みすべり振動の場合と、表面弾性波の場合とをそれぞれ説明したが、本発明では、振動モードを他の振動モード、例えば、とじ込め振動等に設定してもよい。
【０１１６】
次に、本発明の液滴吐出装置におけるインクジェットヘッド１００（ヘッドユニット３５）に対し、吐出異常（ヘッド異常）の原因を解消させる回復処理を実行する構成（回復手段２４）について説明する。図１５は、図１に示すインクジェットプリンタ１の上部から見た概略的な構造（一部省略）を示す図である。この図１５に示すインクジェットプリンタ１は、図１の斜視図で示した構成以外に、インク滴不吐出（ヘッド異常）の回復処理を実行するためのワイパ３００とキャップ３１０とを備える。
【０１１７】
回復手段２４が実行する回復処理としては、各インクジェットヘッド１００のノズル１１０から液滴を予備的に吐出するフラッシング処理と、後述するワイパ３００（図１６参照）によるワイピング処理と、後述するチューブポンプ３２０によるポンピング処理（ポンプ吸引処理）が含まれる。すなわち、回復手段２４は、チューブポンプ３２０およびそれを駆動するパルスモータと、ワイパ３００およびワイパ３００の上下動駆動機構と、キャップ３１０の上下動駆動機構（図示せず）とを備え、フラッシング処理においてはヘッドドライバ３３およびヘッドユニット３５などが、また、ワイピング処理においてはキャリッジモータ４１などが回復手段２４の一部として機能する。フラッシング処理については上述しているので、以降、ワイピング処理およびポンピング処理について説明する。
【０１１８】
ここで、ワイピング処理とは、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０（ノズル面）に付着した紙粉などの異物をワイパ３００により拭き取る処理のことをいう。また、ポンピング処理（ポンプ吸引処理）とは、後述するチューブポンプ３２０を駆動して、ヘッドユニット３５の各ノズル１１０から、キャビティ１４１内のインクを吸引して排出する処理をいう。このように、ワイピング処理は、上述のようなインクジェットヘッド１００の液滴の吐出異常の原因の一つである紙粉付着の状態における回復処理として適切な処理である。また、ポンプ吸引処理は、前述のフラッシング処理では取り除けないキャビティ１４１内の気泡を除去し、あるいは、ノズル１１０付近のインクが乾燥によりまたはキャビティ１４１内のインクが経年劣化により増粘した場合に、増粘したインクを除去する回復処理として適切な処理である。なお、それほど増粘が進んでおらず粘度がそれほど大きくない場合には、上述のフラッシング処理による回復処理も行われ得る。この場合、排出するインク量が少ないので、スループットやランニングコストを低下させずに適切な回復処理を行うことができる。
【０１１９】
複数のヘッドユニット３５は、キャリッジ３２に搭載され、２本のキャリッジガイド軸４２２にガイドされてキャリッジモータ４１により、図中その上端に備えられた連結部３４を介してタイミングベルト４２１に連結して移動する。キャリッジ３２に搭載されたヘッドユニット３５は、キャリッジモータ４１の駆動により移動するタイミングベルト４２１を介して（タイミングベルト４２１に連動して）主走査方向に移動可能である。なお、キャリッジモータ４１は、タイミングベルト４２１を連続的に回転させるためのプーリの役割を果たし、他端側にも同様にプーリ４４が備えられている。
【０１２０】
また、キャップ３１０は、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０（図５参照）のキャッピングを行うためのものである。キャップ３１０には、その底部側面に孔が形成され、後述するように、チューブポンプ３２０の構成要素である可撓性のチューブ３２１が接続されている。なお、チューブポンプ３２０については、図１８において後述する。
【０１２１】
記録（印字）動作時には、所定のインクジェットヘッド１００（液滴吐出ヘッド）の静電アクチュエータ１２０を駆動しながら、記録用紙Ｐは、副走査方向、すなわち、図１５中下方に移動し、印字手段３は、主走査方向、すなわち、図１５中左右に移動することにより、インクジェットプリンタ（液滴吐出装置）１は、ホストコンピュータ８から入力された印刷データ（印字データ）に基づいて所定の画像などを記録用紙Ｐに印刷（記録）する。
【０１２２】
図１６は、図１５に示すワイパ３００と印字手段３（ヘッドユニット３５）との位置関係を示す図である。この図１６において、印字手段３（ヘッドユニット３５）とワイパ３００は、図１５に示すインクジェットプリンタ１の図中下側から上側を見た場合の側面図の一部として示される。ワイパ３００は、図１６（ａ）に示すように、印字手段３のノズル面、すなわち、ヘッドユニット３５のノズルプレート１５０と当接可能なように、上下移動可能に配置される。
【０１２３】
ここで、ワイパ３００を利用する回復処理であるワイピング処理について説明する。ワイピング処理を行う際、図１６（ａ）に示すように、ノズル面（ノズルプレート１５０）よりもワイパ３００の先端が上側に位置するように図示しない駆動装置によってワイパ３００は上方に移動される。この場合において、キャリッジモータ４１を駆動して図中左方向（矢印の方向）に印字手段３を移動させると、ワイピング部材３０１がノズルプレート１５０（ノズル面）に当接することになる。
【０１２４】
なお、ワイピング部材３０１は可撓性のゴム部材等から構成されるので、図１６（ｂ）に示すように、ワイピング部材３０１のノズルプレート１５０と当接する先端部分は撓み、その先端部によってノズルプレート１５０（ノズル面）の表面をクリーニング（拭き掃除）する。これにより、ノズルプレート１５０（ノズル面）に付着した紙粉などの異物（例えば、紙粉、空気中に浮遊するごみ、ゴムの切れ端など）を除去することができる。また、このような異物の付着状態に応じて（異物が多く付着している場合には）、印字手段３（ヘッドユニット３５）にワイパ３００の上方を往復移動させることによって、ワイピング処理を複数回実施することもできる。
【０１２５】
図１７は、ポンプ吸引処理時における、ヘッドユニット３５と、キャップ３１０およびポンプ３２０との関係を示す図である。チューブ３２１は、ポンピング処理（ポンプ吸引処理）におけるインク排出路を形成するものであり、その一端は、上述のように、キャップ３１０の底部に接続され、他端は、チューブポンプ３２０を介して排インクカートリッジ３４０に接続されている。
【０１２６】
キャップ３１０の内部底面には、インク吸収体３３０が配置されている。このインク吸収体３３０は、ポンプ吸引処理やフラッシング処理においてインクジェットヘッド１００のノズル１１０から吐出されるインクを吸収して、一時貯蔵する。なお、インク吸収体３３０によって、キャップ３１０内へのフラッシング動作時に、吐出された液滴が跳ね返ってノズルプレート１５０を汚すことを防止することができる。
【０１２７】
図１８は、図１７に示すチューブポンプ３２０の構成を示す概略図である。この図１８（Ｂ）に示すように、チューブポンプ３２０は、回転式ポンプであり、回転体３２２と、その回転体３２２の円周部に配置された４つのローラ３２３と、ガイド部材３５０とを備えている。なお、ローラ３２３は、回転体３２２により支持されており、ガイド部材３５０のガイド３５１に沿って円弧状に載置された可撓性のチューブ３２１を加圧するものである。
【０１２８】
このチューブポンプ３２０は、軸３２２ａを中心にして回転体３２２を図１８（Ｂ）に示す矢印Ｘ方向に回転させることにより、チューブ３２１に当接している一つまたは２つのローラ３２３が、Ｙ方向に回転しながら、ガイド部材３５０の円弧状のガイド３５１に載置されたチューブ３２１を順次加圧する。これにより、チューブ３２１が変形し、このチューブ３２１内に発生した負圧により、各インクジェットヘッド１００のキャビティ１４１内のインク（液状材料）がキャップ３１０を介して吸引され、気泡が混入し、あるいは乾燥により増粘した不要なインクがノズル１１０を介して、インク吸収体３３０に排出され、このインク吸収体３３０に吸収された排インクがチューブポンプ３２０を介して排インクカートリッジ３４０（図１７参照）に排出される。
【０１２９】
なお、このチューブポンプ３２０は、図示しないパルスモータなどのモータにより駆動される。パルスモータは、制御部６により制御される。チューブポンプ３２０の回転制御に対する駆動情報、例えば、回転速度、回転数が記述されたルックアップテーブル、シーケンス制御が記述された制御プログラムなどは、制御部６のＰＲＯＭ６４などに格納されており、これらの駆動情報に基づいて、制御部６のＣＰＵ６１によってチューブポンプ３２０の制御が行われている。
【０１３０】
さて、このような回復手段２４を備えるインクジェットプリンタ１では、液滴不吐出検出装置５０や６０によりヘッドユニット３５の各インクジェットヘッド１００に対して吐出異常の有無の検出を行った結果、吐出異常が検出された場合には、回復手段２４によって、上述したフラッシング処理、ポンピング処理、ワイピング処理のうちの少なくとも１つの回復処理を行うように作動する。これにより、吐出異常が生じたインクジェットヘッド１００を正常な状態に回復させることができ、その後の印刷動作において吐出異常（ドット抜け）が発生するのを防止することができる。
【０１３１】
また、このようにして回復手段２４による回復処理を行った場合には、その後、液滴不吐出検出装置５０や６０による検出を再度行うことが好ましい。これにより、回復処理によって、インクジェットヘッド１００の異常が解消されたかどうか（正常状態に回復したかどうか）を確認することができ、その後の印刷動作において吐出異常（ドット抜け）が発生するのをより確実に防止することができる。なお、この再度の検出によっても吐出異常が検出された場合には、回復手段２４によるフラッシング処理、ポンピング処理、ワイピング処理のうちの少なくとも１つの回復処理を行うのが好ましい。
【０１３２】
次に、本発明における液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の他の構成例について説明する。本発明における液滴吐出ヘッドは、前述したインクジェットヘッド１００のような構成のものに限らず、いかなるものでもよく、例えば、以下に説明するインクジェットヘッド１００Ａ〜１００Ｅのような構成のものであってもよい。
【０１３３】
図１９〜図２２は、それぞれ、インクジェットヘッド（ヘッドユニット）の他の構成例を示す断面図である。図２３および図２４は、インクジェットヘッド（ヘッドユニット）のさらに他の構成例を示す斜視図および断面図である。以下、これらの図に基づいて説明するが、前述した実施形態と相違する点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【０１３４】
図１９に示すインクジェットヘッド１００Ａは、圧電素子２００の駆動により振動板２１２が振動し、キャビティ２０８内のインク（液体）がノズル２０３から吐出するものである。ノズル（孔）２０３が形成されたステンレス鋼製のノズルプレート２０２には、ステンレス鋼製の金属プレート２０４が接着フィルム２０５を介して接合されており、さらにその上に同様のステンレス鋼製の金属プレート２０４が接着フィルム２０５を介して接合されている。そして、その上には、連通口形成プレート２０６およびキャビティプレート２０７が順次接合されている。
ノズルプレート２０２、金属プレート２０４、接着フィルム２０５、連通口形成プレート２０６およびキャビティプレート２０７は、それぞれ所定の形状（凹部が形成されるような形状）に成形され、これらを重ねることにより、キャビティ２０８およびリザーバ２０９が形成される。キャビティ２０８とリザーバ２０９とは、インク供給口２１０を介して連通している。また、リザーバ２０９は、インク取入れ口２１１に連通している。
【０１３５】
キャビティプレート２０７の上面開口部には、振動板２１２が設置され、この振動板２１２には、下部電極２１３を介して圧電素子（ピエゾ素子）２００が接合されている。また、圧電素子２００の下部電極２１３と反対側には、上部電極２１４が接合されている。ヘッドドライバ２１５は、駆動電圧波形を生成する駆動回路を備え、上部電極２１４と下部電極２１３との間に駆動電圧波形を印加（供給）することにより、圧電素子２００が振動し、それに接合された振動板２１２が振動する。この振動板２１２の振動によりキャビティ２０８の容積（キャビティ内の圧力）が変化し、キャビティ２０８内に充填されたインク（液体）がノズル２０３より液滴として吐出する。
液滴の吐出によりキャビティ２０８内で減少した液量は、リザーバ２０９からインクが供給されて補給される。また、リザーバ２０９へは、インク取入れ口２１１からインクが供給される。
【０１３６】
図２０に示すインクジェットヘッド１００Ｂも前記と同様に、圧電素子２００の駆動によりキャビティ２２１内のインク（液体）がノズルから吐出するものである。このインクジェットヘッド１００Ｂは、一対の対向する基板２２０を有し、両基板２２０間に、複数の圧電素子２００が所定間隔をおいて間欠的に設置されている。
【０１３７】
隣接する圧電素子２００同士の間には、キャビティ２２１が形成されている。キャビティ２２１の図２０中前方にはプレート（図示せず）、後方にはノズルプレート２２２が設置され、ノズルプレート２２２の各キャビティ２２１に対応する位置には、ノズル（孔）２２３が形成されている。
各圧電素子２００の一方の面および他方の面には、それぞれ、一対の電極２２４が設置されている。すなわち、一つの圧電素子２００に対し、４つの電極２２４が接合されている。これらの電極２２４のうち所定の電極間に所定の駆動電圧波形を印加することにより、圧電素子２００がシェアモード変形して振動し（図２０において矢印で示す）、この振動によりキャビティ２２１の容積（キャビティ内の圧力）が変化し、キャビティ２２１内に充填されたインク（液体）がノズル２２３より液滴として吐出する。すなわち、インクジェットヘッド１００Ｂでは、圧電素子２００自体が振動板として機能する。
【０１３８】
図２１に示すインクジェットヘッド１００Ｃも前記と同様に、圧電素子２００の駆動によりキャビティ２３３内のインク（液体）がノズル２３１から吐出するものである。このインクジェットヘッド１００Ｃは、ノズル２３１が形成されたノズルプレート２３０と、スペーサ２３２と、圧電素子２００とを備えている。圧電素子２００は、ノズルプレート２３０に対しスペーサ２３２を介して所定距離離間して設置されており、ノズルプレート２３０と圧電素子２００とスペーサ２３２とで囲まれる空間にキャビティ２３３が形成されている。
【０１３９】
圧電素子２００の図２１中上面には、複数の電極が接合されている。すなわち、圧電素子２００のほぼ中央部には、第１電極２３４が接合され、その両側部には、それぞれ第２の電極２３５が接合されている。第１電極２３４と第２電極２３５との間に所定の駆動電圧波形を印加することにより、圧電素子２００がシェアモード変形して振動し（図２１において矢印で示す）、この振動によりキャビティ２３３の容積（キャビティ内の圧力）が変化し、キャビティ２３３内に充填されたインク（液体）がノズル２３１より液滴として吐出する。すなわち、インクジェットヘッド１００Ｃでは、圧電素子２００自体が振動板として機能する。
【０１４０】
図２２に示すインクジェットヘッド１００Ｄも前記と同様に、圧電素子２００の駆動によりキャビティ２４５内のインク（液体）がノズル２４１から吐出するものである。このインクジェットヘッド１００Ｄは、ノズル２４１が形成されたノズルプレート２４０と、キャビティプレート２４２と、振動板２４３と、複数の圧電素子２００を積層してなる積層圧電素子２０１とを備えている。
【０１４１】
キャビティプレート２４２は、所定の形状（凹部が形成されるような形状）に成形され、これにより、キャビティ２４５およびリザーバ２４６が形成される。キャビティ２４５とリザーバ２４６とは、インク供給口２４７を介して連通している。また、リザーバ２４６は、インク供給チューブ３１１を介してインクカートリッジ３１と連通している。
【０１４２】
積層圧電素子２０１の図２２中下端は、中間層２４４を介して振動板２４３と接合されている。積層圧電素子２０１には、複数の外部電極２４８および内部電極２４９が接合されている。すなわち、積層圧電素子２０１の外表面には、外部電極２４８が接合され、積層圧電素子２０１を構成する各圧電素子２００同士の間（または各圧電素子の内部）には、内部電極２４９が設置されている。この場合、外部電極２４８と内部電極２４９の一部が、交互に、圧電素子２００の厚さ方向に重なるように配置される。
【０１４３】
そして、外部電極２４８と内部電極２４９との間にヘッドドライバ３３より駆動電圧波形を印加することにより、積層圧電素子２０１が図２２中の矢印で示すように変形して（図２２上下方向に伸縮して）振動し、この振動により振動板２４３が振動する。この振動板２４３の振動によりキャビティ２４５の容積（キャビティ内の圧力）が変化し、キャビティ２４５内に充填されたインク（液体）がノズル２４１より液滴として吐出する。
液滴の吐出によりキャビティ２４５内で減少した液量は、リザーバ２４６からインクが供給されて補給される。また、リザーバ２４６へは、インクカートリッジ３１からインク供給チューブ３１１を介してインクが供給される。
【０１４４】
図２３および図２４に示すヘッドユニット３５（インクジェットヘッド１００Ｅ）は、いわゆる膜沸騰インクジェット方式（サーマルジェット方式）によるもので、支持板４１０と、基板４２０と、外壁４３０および隔壁４３１と、天板４４０とが、図２３および図２４中下側からこの順に接合された構成のものである。
【０１４５】
基板４２０と天板４４０とは、外壁４３０および等間隔で平行に配置された複数（図示の例では６枚）の隔壁４３１を介して所定の間隔をおいて設置されている。そして、基板４２０と天板４４０との間には、隔壁４３１によって区画された複数（図示の例では５個）のキャビティ（圧力室：インク室）１４１が形成されている。各キャビティ１４１は、短冊状（直方体状）をなしている。
【０１４６】
また、図２３および図２４に示すように、各キャビティ１４１の図２４中左側端部（図２３中上端）は、ノズルプレート（前板）４３３により覆われている。このノズルプレート４３３には、各キャビティ１４１に連通するノズル（孔）１１０が形成されており、このノズル１１０からインク（液状材料）が吐出する。
図２３では、ノズルプレート４３３に対しノズル１１０が直線的に、すなわち列状に配置されているが、ノズルの配置パターンはこれに限定されないことは言うまでもない。
【０１４７】
なお、ノズルプレート４３３を設けず、各キャビティ１４１の図２３中上端（図２４中左端）が開放しており、この開放した開口がノズルとなるような構成のものでもよい。
また、天板４４０には、インク取り入れ口４４１が形成され、該インク取り入れ口４４１には、インク供給チューブ３１１を介して、インクカートリッジ３１に接続されている。
【０１４８】
基板４２０の各キャビティ１４１に対応する箇所には、それぞれ、発熱体４５０が設置（埋設）されている。各発熱体４５０は、ヘッドドライバ（通電手段）３３により、それぞれ別個に通電され、発熱する。ヘッドドライバ３３は、制御部６から入力される印刷信号（印刷データ）に応じ、発熱体４５０の駆動信号として例えばパルス状の信号を出力する。
【０１４９】
また、発熱体４５０のキャビティ１４１側の面は、保護膜（耐キャビテーション膜）４５１で覆われている。この保護膜４５１は、発熱体４５０がキャビティ１４１内のインクと直接接触するのを防止するために設けられたものである。この保護膜４５１を設けることにより、発熱体４５０がインクと接触することによる変質、劣化等を防止することができる。
【０１５０】
次に、インクジェットヘッド１００Ｅの作用（作動原理）について説明する。
ヘッドドライバ３３から駆動信号（パルス信号）が出力されて発熱体４５０に通電されると、発熱体４５０は、瞬時に３００℃以上の温度に発熱する。これにより、保護膜４５１上に膜沸騰による気泡（前述した吐出異常の原因となるキャビティ内に混入、発生する気泡とは異なる）４８０が発生し、該気泡４８０は瞬時に膨張する。これにより、キャビティ１４１内に満たされたインク（液状材料）の液圧が増大し、インクの一部がノズル１１０から液滴として吐出される。
インク滴の吐出によりキャビティ１４１内で減少した液量は、インク取り入れ口４４１から新たなインクがキャビティ１４１内に供給されて補給される。このインクは、インクカートリッジ３１からインク供給チューブ３１１内を通って供給される。
【０１５１】
以上、本発明の液滴不吐出検出装置および液滴吐出装置を図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、液滴不吐出検出装置あるいは液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができ、また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１５２】
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド（上述の実施形態では、インクジェットヘッド１００）から吐出する吐出対象液（液滴）としては、特に限定されず、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。すなわち、カラーフィルタのフィルタ材料（インク）、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料、電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための液状金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料、ＤＮＡチップやプロテインチップなどのバイオセンサに利用する各種試験液体材料などである。
また、本発明では、液滴を吐出する対象となる液滴受容物は、記録用紙のような紙に限らず、フィルム、織布、不織布等の他のメディアや、ガラス基板、シリコン基板等の各種基板のようなワークであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の一種であるインクジェットプリンタの構成を示す概略図である。
【図２】本発明のインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の主要部を概略的に示すブロック図である。
【図３】図１に示すインクジェットプリンタにおけるヘッドユニット（インクジェットヘッド）の概略的な断面図である。
【図４】図３のヘッドユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図５】４色インクを用いるヘッドユニットのノズルプレートのノズル配置パターンの一例である。
【図６】図３のＩＩＩ−ＩＩＩ断面の駆動信号入力時の各状態を示す状態図である。
【図７】図１に示すインクジェットプリンタが備える液滴不吐出検出装置のセンサの構成を示す図およびセンサの周辺を示す側面図である。
【図８】図７に示すセンサを覆うカバーを示す断面図である。
【図９】図１に示すインクジェットプリンタ１が備える液滴不吐出検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】センサに付着したインク滴の数（累積インク滴数）と、１次振動の周波数との関係を示すグラフである。
【図１１】センサに付着したインク滴の数（累積インク滴数）と、３次振動の周波数との関係を示すグラフである。
【図１２】清掃手段の構成を示す側面図である。
【図１３】本発明の液滴不吐出検出装置の他の実施形態におけるセンサを示す図である。
【図１４】本発明の液滴不吐出検出装置の他の実施形態の主腰部を模式的に示す図（一部ブロック図）である。
【図１５】図１に示すインクジェットプリンタの上部から見た概略的な構造（一部省略）を示す図である。
【図１６】図１５に示すワイパとヘッドユニットとの位置関係を示す図である。
【図１７】ポンプ吸引処理時における、ヘッドユニットと、キャップおよびポンプとの関係を示す図である。
【図１８】図１７に示すチューブポンプの構成を示す概略図である。
【図１９】本発明におけるインクジェットヘッドの他の構成例の概略を示す断面図である。
【図２０】本発明におけるインクジェットヘッドの他の構成例の概略を示す断面図である。
【図２１】本発明におけるインクジェットヘッドの他の構成例の概略を示す断面図である。
【図２２】本発明におけるインクジェットヘッドの他の構成例の概略を示す断面図である。
【図２３】本発明におけるインクジェットヘッドのさらに他の構成例を示す斜視図である。
【図２４】図２３に示すインクジェットヘッドの断面図である。
【図２５】従来の光学式のインク滴検出方法の原理を示す模式図である。
【符号の説明】
１……インクジェットプリンタ  ２……装置本体  ２１……トレイ  ２２……排紙口  ３……印字手段  ３１……インクカートリッジ  ３１１……インク供給チューブ  ３２……キャリッジ  ３３……ヘッドドライバ  ３４……連結部  ３５……ヘッドユニット  ４……印刷装置  ４１……キャリッジモータ  ４２……往復動機構  ４２１……タイミングベルト  ４２２……キャリッジガイド軸  ４３……キャリッジモータドライバ  ４４……プーリ  ５……給紙装置  ５１……給紙モータ  ５２……給紙ローラ  ５２ａ……従動ローラ  ５２ｂ……駆動ローラ  ５３……給紙モータドライバ  ６……制御部  ６１……ＣＰＵ  ６２……ＥＥＰＲＯＭ  ６３……ＲＡＭ  ６４……ＰＲＯＭ  ７……操作パネル  ８……ホストコンピュータ  ９……ＩＦ  ２４……回復手段  １００、１００Ａ〜１００Ｅ……インクジェットヘッド  １１０‥‥ノズル  １２０……静電アクチュエータ  １２１……振動板（底壁）  １２２……セグメント電極  １２３……絶縁層１２４……共通電極  １２４ａ……入力端子  １３０……ダンパ室  １３１……インク取入れ口  １３２……ダンパ  １４０……シリコン基板  １４１……キャビティ  １４２……インク供給口  １４３……リザーバ  １５０……ノズルプレート  １６０……ガラス基板  １６１……凹部  １６２……対向壁  ２００……圧電素子  ２０１……積層圧電素子  ２０２、２２２、２３０、２４０……ノズルプレート  ２０３、２２３、２３１、２４１……ノズル  ２０４……金属プレート  ２０５……接着フィルム  ２０６……連通口形成プレート  ２０７、２４２……キャビティプレート  ２０８、２２１、２３３、２４５……キャビティ２０９、２４６……リザーバ  ２１０、２４７……インク供給口  ２１１……インク取入れ口  ２１２、２４３……振動板  ２１３……下部電極  ２１４……上部電極  ２１５……ヘッドドライバ  ２２０……基板  ２２４……電極  ２３２……スペーサ  ２３４……第１電極  ２３５……第２電極  ２４４……中間層２４８……外部電極  ２４９……内部電極  ３００……ワイパ  ３０１……ワイピング部材  ３１０……キャップ  ３２０……チューブポンプ（回転式ポンプ）  ３２１……（可撓性）チューブ  ３２２……回転体  ３２２ａ……軸  ３２３……ローラ  ３３０……インク吸収体  ３４０……排インクカートリッジ  ３５０……ガイド部材  ３５１……ガイド  Ｐ……記録用紙  ５０、６０……液滴不吐出検出装置  ５００、６００……センサ  ５０１、６０１……圧電部材  ５０２、５０３……電極  ５０４、５０５、６０６、６０７……保護膜  ５１０……インク滴  ５１０’……残留したインク滴  ５１２……カバー  ５２０……発振回路  ５２１、５２３……抵抗  ５２２、５２６……インバータ  ５２４、５２５……コンデンサ  ５３０……カウンタ計測回路  ５４０……演算処理判定回路  ５５０……清掃手段  ６０２、６０３……櫛歯状電極  ６０４……入力信号線  ６０５……出力信号線  ６０８……表面弾性波  ６０９……検出領域  ６１０……高周波発信器  ６２０……ベクトル電圧計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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