(57)【要約】【課題】厚みが厚いセラミック母基板に分割溝を形成するに当たり、分割溝を深くするような場合に、ブレードの侵入に伴うセラミックグリーンシートの変形量が非常に大きくなり、クラック等の発生が顕著なものとなる。【解決手段】配線基板領域４が縦横に配列形成されたセラミック母基板１の両主面に、配線基板領域４の境界に沿って分割溝２を設けた多数個取り配線基板において、分割溝２のうち、セラミック母基板１の一方の主面に形成されているものは底部が配線基板領域４の辺部２ａにおいて深く角部２ｂにおいて浅い形状であり、他方の主面に形成されているものは全長にわたって底部が直線状であるものとした。ブレードを押圧・侵入させたときのセラミックグリーンシートの変形量を角部２ｂで特に大きくさせることなく、各配線基板領域４毎に容易かつ確実に撓折することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形状の配線基板領域が縦横に配列形成されたセラミック母基板の両主面に、前記配線基板領域の境界に沿って分割溝を設けた多数個取り配線基板において、前記分割溝のうち、前記セラミック母基板の一方の主面に形成されているものは底部が前記配線基板領域の辺部において深く角部において浅い形状であり、他方の主面に形成されているものは全長にわたって底部が直線状であることを特徴とする多数個取り配線基板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子や弾性表面波素子等の電子部品が塔載されるセラミック基板を広面積の母基板中に縦横に多数個配列して成る多数個取り配線基板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば半導体素子や弾性表面波素子等の電子部品を塔載するために用いられる配線基板は、酸化アルミニウム質焼結体等のセラミックス材料から成る四角平板状の絶縁基体の上面に電子部品を塔載するための電子部品塔載部を有し、この電子部品塔載部またはその周辺から絶縁基体の下面にかけて複数の配線導体が配設されて成る。そして、絶縁基体の電子部品搭載部に電子部品を塔載固定するとともに電子部品の電極をボンディングワイヤや半田等の電気的接続手段を介して配線導体に電気的に接続し、必要に応じて電子部品を樹脂や蓋体で気密封止することによって製品としての電子装置となる。
【０００３】
ところで、このような配線基板は、近時の電子装置の小型化の要求に伴い、その大きさが数ｍｍ角程度の極めて小さなものとなってきており、配線基板の取り扱いを容易とするために、また配線基板および電子装置の製作を効率よく行なうために、１枚の広面積の母基板中から多数個の配線基板を同時集約的に得るようにした、いわゆる多数個取り配線基板の形態で製作されている。
【０００４】
このような多数個取り配線基板は、平板状の母基板の両主面に分割溝を縦横に形成し、分割溝によって母基板を多数個の配線基板に区画しておき、分割溝に沿って母基板を撓折することによって個々の配線基板を得ることができる。
【０００５】
この場合、各分割溝は、通常、母基板を撓折するために印加される曲げ応力を分割溝の先端部に効果的に集中させるため、先端角が約２０°〜３０°程度の鋭いＶ字状の断面形を有していることによって、母基板を分割溝に沿って撓折することを容易かつ確実なものとしている。また各分割溝は、その深さが母基板の厚みに対して約２０〜４０％となるように形成され、分割溝の形成部位における母基板の機械的強度を適度に低下させることによって切断を容易としている。
【０００６】
このような多数個取り配線基板は、セラミックグリーンシート積層法によって製作される。具体的には、まず、母基板用のセラミックグリーンシートを準備するとともに、このセラミックグリーンシート上に金属ペーストを印刷塗布して配線用導体を所定パターンに塗布し、次に、このセラミックグリーンシートの一主面に、Ｖ字状の断面を有するブレード（刃）を押圧することにより分割溝を形成して各配線基板となる領域を区画し、最後にこのセラミックグリーンシートを高温で焼成することによって製造される。
【０００７】
〔特許文献１〕
特開２０００−２１６５０７号公報
〔特許文献２〕
特開平１１−２６６３９号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来の多数個取り配線基板によれば、セラミックグリーンシートに形成される分割溝がブレード（刃）と同じＶ字状の断面形を有しており、開口部ではその幅が広くなることから、セラミックグリーンシートに分割溝を形成する場合に、ブレードの押圧・侵入により開裂するセラミックグリーンシートの変形量が各配線基板領域の角部における交差部で大きくなり、この変形により発生する応力がこの交差部に集中してクラックを発生させ、焼成後に、母基板にクラックや割れ等の不具合を発生させてしまうという問題点があった。
【０００９】
特に、高機能化等のために母基板の厚みが厚く、これに応じて分割溝の深さを深くするような場合には、ブレードの侵入に伴うセラミックグリーンシートの変形量も非常に大きくなり、クラック等の発生が顕著なものとなるという問題点があった。
【００１０】
本発明はかかる従来の問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、分割溝の先端部にクラックが発生することがなく、母基板の機械的強度や信頼性に優れた多数個取り配線基板を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の多数個取り配線基板は、四角形状の配線基板領域が縦横に配列形成されたセラミック母基板の両主面に、前記配線基板領域の境界に沿って分割溝を設けた多数個取り配線基板において、前記分割溝のうち、前記セラミック母基板の一方の主面に形成されているものは底部が前記配線基板領域の辺部において深く角部において浅い形状であり、他方の主面に形成されているものは全長にわたって底部が直線状であることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の多数個取り配線基板によれば、セラミック母基板の両主面に形成される分割溝を、一方の主面に形成されるものは配線基板領域の辺部における深さが配線基板領域の角部における交差部の深さよりも深いものとし、他方の主面に形成されるものは全長にわたって底部が直線状であるものとしたことから、セラミックグリーンシートに分割溝を形成するためにブレードを押圧・侵入させたとき、ブレードの侵入に伴うセラミックグリーンシートの変形量を配線基板領域の角部における交差部で特に大きくさせることなく、各配線基板領域に容易・確実に撓折することができるような深さの分割溝を形成することができ、配線基板領域の角部における交差部に応力が集中してクラックを発生させる、という不具合を効果的に防止することができ、焼成後に、母基板にクラックや割れ等の不具合が発生することを効果的に防ぐことができる。
【００１３】
また、本発明の多数個取り配線基板において、セラミック母基板の一方の主面に形成されている分割溝を、配線基板領域の辺部において深く角部において浅い波型形状としていることにより、より一層効果的に、配線基板領域の辺部において母基板の機械的強度を低下させて母基板の撓折をより容易とすることができるとともに、配線基板領域の角部における交差部に応力が集中することを防止することができ、クラックの発生をより一層確実に防止することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の多数個取り配線基板について、添付図面に基づき説明する。図１は本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図であり、１はセラミック母基板、２は分割溝、３は配線導体である。このセラミック母基板１を分割溝２で縦横に区画し、多数の配線基板領域４をセラミック母基板１中に縦横に配列させることにより多数個取り配線基板が形成される。
【００１５】
セラミック母基板１は、平板状の酸化アルミニウム質焼結体・窒化アルミニウム質焼結体・ムライト質焼結体・窒化珪素質焼結体・炭化珪素質焼結体・ガラスセラミックス焼結体等の電気絶縁材料から成る。例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合には、酸化アルミニウム・酸化珪素・酸化カルシウム・酸化マグネシウム等の原料粉末に適当な有機バインダ・溶剤を添加混合して泥漿状のセラミックスラリーとなすとともに、このセラミックスラリーをドクターブレード法やカレンダーロール法等のシート成形技術を採用しシート状となすことによってセラミックグリーンシート（セラミック生シート）を得て、しかる後、このセラミックグリーンシートを切断加工や打ち抜き加工により適当な形状とするとともに必要に応じてこれを複数枚積層し、最後にこのセラミックグリーンシートを還元雰囲気中にて約１６００℃の温度で焼成することによって製作される。
【００１６】
またセラミック母基板１は、その上下の少なくとも一方の主面に分割溝２が縦横に形成されており、この分割溝２によって多数個の四角形状の配線基板領域４が区画され縦横に配列されている。
【００１７】
分割溝２は、多数個取り配線基板のセラミック母基板１をこれに沿って撓折して個々の配線基板領域４をそれぞれの配線基板に分割する際に曲げ応力を集中させる機能を有し、セラミック母基板１となるセラミックグリーンシートの主面に所定の断面形を有するブレード（金属製の刃）を押圧し、所定深さに侵入させることによって形成される。
【００１８】
また各配線基板領域４は、その上面中央部に電子部品（図示せず）を塔載する搭載部を有しており、この搭載部の周辺から下面にかけてタングステンやモリブデン・銅・銀等の金属材料から成る配線導体３を有している。
【００１９】
配線導体３は、例えばタングステンから成る場合であれば、タングステン粉末に適当な有機バインダ・溶剤を添加混合して得た金属ペーストを、セラミック母基板１となるセラミックグリーンシートの上面に予めスクリーン印刷法等により所定パターンに印刷塗布しておくことによって形成される。
【００２０】
そして、各搭載部には半導体素子や弾性表面波素子等の電子部品が塔載されるとともに、配線導体３にはこの電子部品の各電極が、例えばボンディングワイヤや半田バンプ等の電気的接続手段を介して電気的に接続される。
【００２１】
そして、搭載部に電子部品を塔載するとともに、この電子部品の各電極を電気的接続手段を介して配線導体３に電気的に接続した後、各配線基板領域４の上面に図示しない蓋体を電子部品を覆うように取着することによって電子部品が気密に封止され、多数個の電子装置が縦横に配列形成されることとなり、分割溝２に沿ってセラミック母基板１を撓折することにより、各配線基板を用いた多数の電子装置が同時集約的に製造される。
【００２２】
なお、セラミック母基板１の外側には枠状の捨て代領域５が形成されており、多数個取り配線基板の取扱いを容易なものとしている。
【００２３】
本発明の多数個取り配線基板においては、図２に要部拡大断面図で示す如く、セラミック母基板１の両主面に配線基板領域の境界に沿って設けた分割溝２のうち、セラミック母基板１の一方の主面（この例では上面）に形成されているものは配線基板領域４の辺部２ａにおいて深く角部２ｂにおいて浅い形状であり、セラミック母基板１の他方の主面（この例では下面）に形成されているものは全長にわたって底部が直線状であることであることが重要である。
【００２４】
このように、分割溝２のうちセラミック母基板１の一方主面に形成されたものについて、配線基板領域４の辺部２ａにおける深さを配線基板領域４の角部２ｂにおける深さよりも深くしておくと、セラミック母基板１となるセラミックグリーンシートに分割溝２を形成するためにブレードを押圧・侵入させたときに、ブレードの侵入に伴うセラミックグリーンシートの変形量を配線基板領域４の角部２ｂで特に大きくさせることなく、各配線基板領域４毎に容易かつ確実に撓折することができるような深さの分割溝２を形成することができ、配線基板領域４の角部２ｂに応力が集中してクラックを発生させる、という不具合を効果的に防止することができ、焼成後に、セラミック母基板１にクラックや割れ等の問題が発生することを効果的に防ぐことができる。
【００２５】
また、セラミック母基板１の他方の主面に形成された分割溝２を、底部が直線状であるものとしたことから、セラミック母基板１を撓折するとき、他方の主面を上面として、分割溝２の直線状の底部を基点にセラミック母基板１が分割されるためにかかる応力をこの上面から各配線基板領域４に均一にかけることができ、これによって容易に分割溝２に沿って分割することが可能となる。
【００２６】
このように、配線基板領域４の辺部２ａにおける深さを、配線基板領域４の角部２ｂにおける深さよりも深くする場合は、辺部２ａにおける深さが角部２ｂにおける深さよりも１０％乃至３０％程度深くなるようにして形成することが好ましい。
【００２７】
例えば、セラミック母基板１の厚さが２ｍｍ〜４ｍｍ程度と厚い多数個取り配線基板において、分割溝２の深さは、配線基板領域４の辺部２ａにおける深さを、配線基板領域４の角部２ｂにおける深さに対して１０％乃至３０％程度深いものとし、すなわち、辺部２ａにおける深さを０．６０ｍｍとし、角部２ｂにおける深さを０．５０ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００２８】
また、分割溝２は、配線基板領域４の辺部２ａにおいて深く角部２ｂにおいて浅い波型形状であることが好ましい。このように、分割溝２を辺部２ａにおいて深く角部２ｂにおいて浅い波型形状とすることにより、角部２ｂへの応力の集中をより一層効果的に防止することができ、クラックや割れ等の不具合の発生をより一層確実に防ぐことができる。
【００２９】
また、セラミック母基板１の他方の主面に形成された、底部が直線状の分割溝２は、セラミック母基板１の厚さが２ｍｍ〜４ｍｍ程度と厚い多数個取り配線基板において、セラミック母基板１の厚さに対して３０〜５０％の深さであることが好ましい。この場合、セラミック母基板１の厚さに対して３０％未満の深さでは、分割後の配線基板にバリやカケが起こりやすく、また５０％を超えるとセラミック母基板１の取扱い中に不意に割れたりする恐れがある。
【００３０】
かくして、本発明の多数個取り配線基板によれば、分割溝２の底部、特に配線基板領域４の角部２ｂにクラックが発生することが効果的に防止され、セラミック母基板１の機械的強度の不良や、配線導体３の断線等の不具合が発生することを有効に防止することができるとともに、セラミック母基板１を分割溝２に沿って各配線基板領域４毎に正確かつ容易に撓折することができる。
【００３１】
なお、本発明は上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、配線導体３の露出表面をニッケル・銅・金等のめっき層で被覆するようにしてもよい。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の多数個取り配線基板によれば、セラミック母基板の両主面に形成される分割溝のうち、セラミック母基板の一方の主面に形成されているものは配線基板領域の辺部において深く角部において浅い形状であり、セラミック母基板の他方の主面に形成されているものは全長にわたって底部が直線状であるものとしたことから、セラミックグリーンシートに分割溝を形成するためにブレードを押圧・侵入させたとき、ブレードの侵入に伴うセラミックグリーンシートの変形量を配線基板領域の角部における交差部で特に大きくさせることなく、各配線基板領域に容易・確実に撓折することができるような深さの分割溝を形成することができ、配線基板領域の角部における交差部に応力が集中してクラックを発生させる、という不具合を効果的に防止することができ、焼成後に、母基板にクラックや割れ等の不具合が発生することを効果的に防ぐことができる。
【００３３】
また、本発明の多数個取り配線基板によれば、セラミック母基板の一方の主面に形成されている分割溝を、配線基板領域の辺部において深く角部において浅い波型形状としていることにより、より一層効果的に、配線基板領域の辺部において母基板の機械的強度を低下させて母基板の撓折をより容易とすることができるとともに、配線基板領域の角部における交差部に応力が集中することを防止することができ、クラックの発生をより一層確実に防止することができる。
【００３４】
以上のように、本発明によれば、分割溝の先端部にクラックが発生することがなく、母基板の機械的強度や信頼性に優れた多数個取り配線基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す平面図である。
【図２】図１に示す多数個取り配線基板の要部拡大断面図である。
【符号の説明】
１・・・・セラミック母基板
２・・・・分割溝
２ａ・・配線基板領域の辺部
２ｂ・・配線基板領域の角部
３・・・・配線導体
４・・・・配線基板領域
５・・・・捨て代領域
【図１】
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【図２】
2004259799.tif 000004