(57)【要約】【目的】磁気ディスク装置に関し、磁気ヘッドの位置決め精度を高めることを目的とする。【構成】キャリッジアーム１を駆動して該キャリッジアーム１の先端に保持した磁気ヘッドスライダ２を磁気ディスク３上の所定位置にシークする磁気ディスク装置であって、前記キャリッジアーム１と磁気ヘッドスライダ２との間には、表層に絶縁被覆４が施された圧電アクチュエータ５を駆動源とし、磁気ヘッドスライダ２をキャリッジアーム１に対して相対移動させる補助アクチュエータ６が介装され、かつ、前記圧電アクチュエータ５の絶縁被覆４に前記磁気ヘッドスライダ２への配線を形成して構成する。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジアームを駆動して該キャリッジアームの先端に保持した磁気ヘッドスライダを磁気ディスク上の所定位置にシークする磁気ディスク装置であって、
前記キャリッジアームと磁気ヘッドスライダとの間には、表層に絶縁被覆が施された圧電アクチュエータを駆動源とし、磁気ヘッドスライダをキャリッジアームに対して相対移動させる補助アクチュエータが介装され、
かつ、前記圧電アクチュエータの絶縁被覆に前記磁気ヘッドスライダへの配線が形成される磁気ディスク装置。
【請求項２】
前記補助アクチュエータは、圧電アクチュエータと磁気ヘッドスライダとの間に介装され、圧電アクチュエータの伸縮運動を磁気ヘッドスライダに所定回転中心周りの偶力として伝達する伝達プレートを含み、
かつ、伝達プレートの表層には、磁気ヘッドスライダと圧電アクチュエータ間を電気的に接続する配線が形成される請求項１記載の磁気ディスク装置。
【請求項３】
電圧の印加開放により伸縮する圧電素子の外表を絶縁被覆により被覆するとともに、該絶縁被覆に駆動対象部品への配線が形成される圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記圧電素子は非活性層により分離された複数の活性層を有し、
非活性層表層に前記配線への接続端子が配置される請求項３記載の圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に磁気ディスク装置は、高速回転する磁気ディスク上の所定位置に駆動された磁気ヘッドにより磁気ディスク上の磁気記録をリード、ライトするように構成されるもので、磁気ヘッドの駆動は、該磁気ヘッドを保持するキャリッジアームを回転軸周りに回転駆動して行われている。
【０００３】
一方、近時、記憶容量の増加、あるいは装置の小型化の要請により、トラック幅の狭隘化が進行し、それに伴って磁気ヘッドの位置決め精度を高める必要があるが、キャリッジアームの回転角度の制御のみによってはより高い精度向上は望めないという問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上の欠点を解消すべくなされたものであって、磁気ヘッドの位置決め精度を高めることのできる磁気ディスク装置の提供を目的とする。
【０００５】
また、本発明の他の目的は、上記磁気ディスク装置に利用可能な圧電アクチュエータの提供にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
キャリッジアーム１により磁気ディスク３上の所定位置にドライブされた磁気ヘッドスライダ２は、補助アクチュエータ６上に固定されており、該補助アクチュエータ６を駆動することにより、キャリッジアーム１に対して相対駆動することができる。
【０００７】
磁気ヘッドスライダ２のキャリッジアーム１上での位置を微調整可能とすることにより、シーク位置を高い精度で管理することができる。また、圧電アクチュエータ５の外表面は絶縁被覆４により被覆されているために、圧電セラミックスの伸縮運動に伴う発塵を防止することができ、磁気ディスク装置内の清浄環境を維持することが可能となる上に、圧電アクチュエータ５の防湿効果も高めることができる。さらに、絶縁被覆４を配線基体として利用すると、キャリッジアーム１上への実装作業が容易になる上に、ディスクリート配線を行う場合に比して、磁気ディスク３上の高速気流への影響が小さくなり、磁気ヘッドスライダ２の浮上特性に悪影響を与えることがなくなる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１に示すように、磁気ディスク装置は、スピンドルモータ３ａにより回転駆動される複数枚の磁気ディスク３と、電磁アクチュエータ１０により回転軸１ａ周りに回転駆動されるキャリッジアーム１とを備える。キャリッジアーム１の先端には、磁気ヘッドスライダ２が固定され、電磁アクチュエータ１０を励磁すると、磁気ディスク３上の所定位置に磁気ヘッドスライダ２がシークされる。磁気ヘッドスライダ２は、一面を磁気ディスク３に対面する浮上面とした矩形のチップであり、磁気ディスク３を高速回転させた状態で磁気ディスク３上に発生する気流により該磁気ディスク３表面上の適宜高さに浮上し、一辺部に膜形成された電磁変換部により磁気ディスク３面上の磁気記録にアクセスする。
【０００９】
図２に示すように、磁気ヘッドスライダ２は、キャリッジアーム１の一端部に固定され、薄板バネ材により形成されるサスペンション１１の先端に補助アクチュエータ６を介して固定される。補助アクチュエータ６は、圧電アクチュエータ５と、伝達プレート７とを有し、まず、サスペンション１１の先端に形成されたスライダ取付部１１ａに接着層１２を介して圧電アクチュエータ５が固定される。
【００１０】
圧電アクチュエータ５は、図３に示すように、圧電セラミックス間に複数の内部電極５ａを配置して形成される。この圧電アクチュエータ５は、図３において矢印で示す分極方向に電圧を印加し、分極方向と平行方向に歪を発生させる圧電縦効果を利用するもので、歪発生方向に複数の圧電セラミックスと内部電極５ａを積層して構成される。これら内部電極５ａを介して積層される各圧電セラミックス部は各々駆動層として伸縮駆動され、全体として活性層９として大きな変位量が得られる。また、この実施の形態において、圧電アクチュエータ５には伸縮駆動されない非活性層８が圧電アクチュエータ５の両端と、複数（図示の実施の形態においては２個）の活性層９との間に配置される。
【００１１】
マイグレーション等による不具合を防止するために、圧電アクチュエータ５の内部電極５ａには、Ｐｔを使用するのが望ましいが、一般にＰｔはＰＺＴ系セラミックスとの密着性が内部電極５ａ部材として一般に利用されるＡｇ−Ｐｄに比して劣る。このため、この実施の形態において、内部電極５ａは、セラミックス部と同一の組成を有するセラミックス粉末（ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ）を５〜５０体積パーセント、好ましくは１０〜３０体積パーセント含んだＰｔペーストにより形成される。
【００１２】
以上の圧電アクチュエータ５は、表面にＰｔ電極がスクリーン印刷されたＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺのグリーンシートを複数枚積層して焼成することにより製造され、その後、圧電アクチュエータ５には、ほぼ全外周壁面に渡って合成樹脂材による絶縁被覆４が形成される。この絶縁被覆４の一部は電極露出開口４ａとして開口され、該電極露出開口４ａから露出する外部電極５ｂに補助アクチュエータ駆動用配線１３が接続される。図２に示すように、電極露出開口４ａは圧電アクチュエータ５の高さ方向全高に渡って開口され、金ボンディング等によりサスペンション１１に形成される補助アクチュエータ駆動用配線１３に接続される。補助アクチュエータ駆動用配線１３との接続信頼性を高めるために、電極露出開口４ａは圧電アクチュエータ５の非活性層８に配置される。
【００１３】
また、上記圧電アクチュエータ５の絶縁被覆４の表面には、磁気ヘッドスライダ２への中継配線４ｂが形成される。図２、４に示すように、中継配線４ｂは圧電アクチュエータ５の両端部の非活性層８下端に形成されるプレート用接続端子４ｃと、中間部の非活性層８上端に形成されるサスペンション用接続端子４ｄ間で接続され、サスペンション用接続端子４ｄがサスペンション１１上の接続パッド（図示せず）に金ボンディング等で接続される。
【００１４】
一方、伝達プレート７は、アクチュエータ固定片１４ａと、スライダ固定片１４ｂとを有する２枚のヒンジ板１４、１４から構成される。図２、４に示すように、磁気ヘッドスライダ２の中心に対して点対称姿勢で配置され、各々のアクチュエータ固定片１４ａの上面が圧電アクチュエータ５の両端裏面に固定され、スライダ固定片１４ｂの裏面が磁気ヘッドスライダ２の両側部上面に固定される。固定状態において、圧電アクチュエータ５を駆動すると、図４（ａ）において右上がりハッチングを施して示すヒンジ板１４と圧電アクチュエータ５との接続部が圧電アクチュエータ５の伸縮動作に追随して矢印Ａ方向に接近、あるいは離隔し、図４（ａ）において右下がりハッチングを施して示す接続部においてヒンジ板１４に接合される磁気ヘッドスライダ２には、中心軸周りに発生する偶力Ｆによって回転駆動力が与えられる。
【００１５】
さらに、上記各ヒンジ板１４の表面には中継配線１４ｃが形成される。図２、図４（ｂ）に示すように、中継配線１４ｃは、アクチュエータ固定片１４ａの上面に形成される接続パッド１４ｄと、スライダ固定片１４ｂの裏面に形成される接続パッド１４ｅとの間で配線され、圧電アクチュエータ５のプレート用接続端子４ｃとアクチュエータ固定片１４ａの接続パッド１４ｄとが、磁気ヘッドスライダ２の接続パッド２ａとスライダ固定片１４ｂの接続パッド１４ｅとが各々接続される。
【００１６】
したがってこの実施の形態において、キャリッジアーム１のサスペンション１１を経由して補助アクチュエータ６の圧電アクチュエータ５を駆動することにより磁気ヘッドスライダ２をキャリッジアーム１の掃引平面に対して直交する軸周りに水平回転させ、磁気ディスク３上のトラックを正確にトレースすることができる。
【００１７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、磁気ヘッドの位置決め精度を高めることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を示す図である。
【図２】本発明の要部を示す分解斜視図である。
【図３】圧電アクチュエータを示す断面図である。
【図４】補助アクチュエータの動作を示す図で、（ａ）は伝達プレートの平面図、（ｂ）は伝達プレートへの圧電アクチュエータ、磁気ヘッドスライダの配線状態を示す（ａ）の４Ｂ方向矢視図である。
【符号の説明】
１　　　　キャリッジアーム
２　　　　磁気ヘッドスライダ
３　　　　磁気ディスク
４　　　　絶縁被覆
５　　　　圧電アクチュエータ
６　　　　補助アクチュエータ
７　　　　伝達プレート
８　　　　非活性層
９　　　　活性層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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