(57)【要約】【課題】バクテリアの繁殖を抑制すると共にコストを低減した汚染物質除去装置を提供すること。【解決手段】５０はエアワッシャー装置でクリーンルームからのレターンエア（２５℃）を導入する。５１はエアワッシャー装置５０の入口に設置されるＨＥＰＡフィルタ、５２は冷水コイル、５３ａ〜５３ｃは噴霧ノズル、５５は補給循環水槽で、第１の補給循環水槽５５ａと第２の補給循環水槽５５ｂに分割されている。レターンエアはさらにエリミネータ５４を通過して噴霧水のミストが除去され１２℃の低温で空調チャンバ６０に流入する。噴霧熱交換器５８ａ、補給水熱交換器５８ｂ、温水熱交換器５８ｃは３台直列に結合して設置する。供給冷水（Ｅ）は７℃で、エネルギーの高い順に冷水が低い温度から高い温度に使える構成としており、冷水コイル５２に供給される冷水（Ｇ）の温度は１２℃である。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数列の噴霧ノズルを有する噴霧室と、前記噴霧室と集水管で連結されると共に補給水が供給される補給循環水槽と、前記噴霧ノズルと前記補給循環水槽とを配管で連結して、前記噴霧ノズルから射出される循環水により噴霧室に流入した空気中の汚染物質を除去する汚染物質除去装置であって、流入した空気の温度を下げる冷却手段を前記噴霧室に設けたことを特徴とする、汚染物質除去装置。
【請求項２】
前記冷却手段の前段にフィルタを設置したことを特徴とする、請求項１に記載の汚染物質除去装置。
【請求項３】
前記冷却手段を冷水コイルで構成し、当該冷水コイルを前記噴霧室の入口側に設けたことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の汚染物質除去装置。
【請求項４】
複数列の噴霧ノズルを有する噴霧室と、前記噴霧室と集水管で連結されると共に補給水が供給される補給循環水槽と、前記噴霧ノズルと前記補給循環水槽とを配管で連結して、前記噴霧ノズルから射出される循環水により噴霧室に流入した空気中の汚染物質を除去する汚染物質除去装置であって、
前記補給循環水槽からの循環水が流入する第１の熱交換器と、前記補給水が流入する第２の熱交換器とを設け、前記第１の熱交換器から前記複数列の噴霧ノズルの一部に低温の循環水を供給すると共に、前記第２の熱交換器から前記補給循環水槽に低温の補給水を供給し、前記第１の熱交換器と第２の熱交換器を冷水が流通する配管により直列に連結したことを特徴とする、汚染物質除去装置。
【請求項５】
前記第１の熱交換器から低温の循環水が供給される噴霧ノズルを、前記噴霧室の出口側に設けたことを特徴とする、請求項４に記載の汚染物質除去装置。
【請求項６】
前記噴霧室の出口側に空調室を設置し、前記空調室から清浄に温調された空気を作業室に供給することを特徴とする、請求項４または請求項５に記載の汚染物質除去装置。
【請求項７】
前記空調室の外部に第３の熱交換器を設けて前記第２の熱交換器と冷水が流通する配管により直列に連結し、前記第３の熱交換器に前記空調室内で空気の再熱のために使用された温水の還水を通し、前記第２の熱交換器を通ってきた冷水を所定の温度に調節して、前記噴霧室に設置した冷却コイルに供給することを特徴とする、請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の汚染物質除去装置。
【請求項８】
冷水を前記第１の熱交換器に供給し、前記第１の熱交換器と配管で直列に連結されている前記第２の熱交換器、および前記第２の熱交換器と配管で直列に連結されている前記第３の熱交換器に当該冷水を流通させることを特徴とする、請求項７に記載の汚染物質除去装置。
【請求項９】
前記各熱交換器から供給される冷水の水温は、前記第１の熱交換器から供給される冷水の水温が最も低く、前記第３の熱交換器から供給される冷水の水温が最も高いことを特徴とする、請求項７または請求項８に記載の汚染物質除去装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルームなどにおいて、空気中に存在する汚染物質を除去する汚染物質除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体、液晶などを製造するクリーンルームにおいて、半導体や液晶の洗浄工程、露光工程、塗膜工程などの処理が行なわれているエリアでは、その生産プロセスで使用する薬液から気化した有機系のケミカルガスなどが空気中に含まれている。この空気中の有機物質などは、クリーンルームの作業環境や製品の歩留まりに悪影響を与えるため、除去する必要がある。本出願人は、特許文献１において、空気中の有機物質などをクリーンルームから除去する方法を提案している。図２は、特許文献１に記載の有機物質除去方法の説明図である。
【０００３】
図２において、クリーンルーム１は、例えば半導体や液晶などの製造工場に設置されている。製造装置２では、例えば半導体や液晶などが製造される。湿式汚染ガス除去装置３は、汚染物質を除去すべき空気と純水などの補給水とを接触させ、補給水への吸収、溶解などによって汚染物質を除去するものである。このように、湿式汚染ガス除去装置３は、製造装置２から漏洩した有機ガスなどの汚染物質を含むクリーンルーム１の室内空気を吸引して汚染物質を除去し、清浄化した空気を送風ファン６によりクリーンルーム１内に循環させる。
【０００４】
前記のように、湿式汚染ガス除去装置３でクリーンルーム１の室内空気を吸引し、その空気中に存在する特有の汚染物質を除去し、清浄化した空気を再度クリーンルーム１に循環させる。湿式汚染ガス除去装置３においては、噴霧水槽５で冷水により純水を冷却して、その低温水を使用して噴霧チャンバ７内で噴霧ノズル４で処理空気に接触させることにより、汚染物質の除去性能を向上させている。低温水を利用するのは、低温水の方が物質の吸収効率が上がるためである。また、処理後の空気をクリーンルーム内の空調（冷房及び調湿）に利用している。
【０００５】
なお、噴霧チャンバ７の入口と出口には、バクテリアを含む微粒子を除去するためにフィルタ８、フィルタ９を設けている。  このフィルタ８は、例えば高性能フィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）またはＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  ＰａｒｔｉｃｕｌａｔｅＡｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）を使用する。また、フィルタ９としてＨＥＰＡフィルタを使用する。
【０００６】
ところで、上記湿式汚染ガス除去装置３においては、運転条件が次のような場合には、噴霧ノズル４、その配管、噴霧チャンバ７の内壁面等に微生物（バクテリア）が繁殖する。すなわち、（１）噴霧チャンバ７の内部温度が高い。（２）バクテリア菌が噴霧チャンバ７の内部に侵入する。（３）噴霧チャンバ７内に吸引された有機物質の濃度が非常に高くバクテリア菌の食餌になりやすい。
【０００７】
このような条件が揃って噴霧ノズル４、その配管、噴霧チャンバ７の内壁面等にバクテリアの繁殖すると、汚染物質の除去性能の低下や噴霧水量の低下などの不具合が生じる。このようなバクテリアの繁殖を防止するために種々の対応策が講じられており、定期的なメンテナンスが必要となっている。前記対応策の一例として、噴霧チャンバ７内のエア温度を下げることが行なわれている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−３３２２１号
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１に記載の図２に示された従来の装置においては  噴霧チャンバ７内のエア温度を大量の噴霧水によってのみ下げている。このため、必要な温度を確保するためには、大量の冷却水を必要としている。したがって、冷却水自体のコストに加えて、冷却水を得るための熱源機器が大型化すること、冷却水を通水する配管口径が大きくなること、などにより設備のコストも増大するという問題があった。
【００１０】
また、噴霧チャンバ７内のエア温度が十分に下がらないために必要な温度差を確保できない場合には、バクテリアが繁殖し易くなり、繁殖したときの復旧のためのメンテナンス費用が高くなるという問題があった。さらに、水資源やエネルギーの使用量が大きく、地球環境への貢献が困難になるという問題があった。
【００１１】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、コストを低減してバクテリアの繁殖を抑制することができる汚染物質除去装置の提供を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明の汚染物質除去装置は、複数列の噴霧ノズルを有する噴霧室と、前記噴霧室と集水管で連結されると共に補給水が供給される補給循環水槽と、前記噴霧ノズルと前記補給循環水槽とを配管で連結して、前記噴霧ノズルから射出される循環水により噴霧室に流入した空気中の汚染物質を除去する汚染物質除去装置であって、
流入した空気の温度を下げる冷却手段を前記噴霧室に設けたことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、前記冷却手段の前段にフィルタを設置したことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、前記冷却手段を冷水コイルで構成し、当該冷水コイルを前記噴霧室の入口側に設けたことを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の汚染物質除去装置は、複数列の噴霧ノズルを有する噴霧室と、前記噴霧室と集水管で連結されると共に補給水が供給される補給循環水槽と、前記噴霧ノズルと前記補給循環水槽とを配管で連結して、前記噴霧ノズルから射出される循環水により噴霧室に流入した空気中の汚染物質を除去する汚染物質除去装置であって、
前記補給循環水槽からの循環水が流入する第１の熱交換器と、前記補給水が流入する第２の熱交換器とを設け、前記第１の熱交換器から前記複数列の噴霧ノズルの一部に低温の循環水を供給すると共に、前記第２の熱交換器から前記補給循環水槽に低温の補給水を供給し、前記第１の熱交換器と第２の熱交換器を冷水が流通する配管により直列に連結したことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、前記第１の熱交換器から低温の循環水が供給される噴霧ノズルを、前記噴霧室の出口側に設けたことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、前記噴霧室の出口側に空調室を設置し、前記空調室から清浄に温調された空気を作業室に供給することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、前記空調室の外部に第３の熱交換器を設けて前記第２の熱交換器と冷水が流通する配管により直列に連結し、前記第３の熱交換器に前記空調室内で空気の再熱のために使用された温水の還水を通し、前記第２の熱交換器を通ってきた冷水を所定の温度に調節して、前記噴霧室に設置した冷却コイルに供給することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明は、冷水を前記第１の熱交換器に供給し、前記第１の熱交換器と配管で直列に連結されている前記第２の熱交換器、および前記第２の熱交換器と配管で直列に連結されている前記第３の熱交換器に当該冷水を流通させることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明は、前記各熱交換器から供給される冷水の水温は、前記第１の熱交換器から供給される冷水の水温が最も低く、前記第３の熱交換器から供給される冷水の水温が最も高いことを特徴とする。
【００２１】
本発明においては、噴霧室に流入した空気の温度を下げる冷却手段を噴霧室に設け低温化が図れるので、冷水の使用量を低減することができると共に、バクテリアの繁殖を抑制することができる。また、複数の熱交換器を配管により直列に連結しているので、熱交換器の設置に伴うスペースを節約することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の汚染物質除去装置を示す概略の構成図である。図１において、５０はエアワッシャー装置で図２の噴霧チャンバ７に相当する。クリーンルーム（作業室）からの汚染物質が含まれているレターンエア（空気）がエアワッシャー装置５０に流入する。５１はエアワッシャー装置（噴霧室）５０の入口に設置されるＨＥＰＡフィルタである。なお、ＨＥＰＡフィルタに代えて高性能フィルタを設置しても良い。
【００２３】
５２は冷水コイルで、ＨＥＰＡフィルタ５１を通過したレターンエアを冷却する。冷水コイル５２としては、バクテリアが繁殖しにくいドライコイルとして使用する。この冷水コイル５２には、後述するように１２℃の冷水が供給されるが、この場合に冷水コイル５２は結露しないので、冷水コイル内でのバクテリアが繁殖する条件が発生しないようにしている。このように、エアワッシャー装置５０の入口にバクテリアを含む微粒子を除去するフィルタを設け、更にフィルタの後段に冷水コイルを設置して温度を低下させているので、バクテリアの繁殖を二重の防護手段で防止している。
【００２４】
エアワッシャー装置５０には、レターンエアの流通方向からみて上流側から下流側に複数列の噴霧ノズル５３ａ〜５３ｃが設けられている。エアワッシャー装置５０に流入したレターンエアに、噴霧ノズル５３ａ〜５３ｃで低温水を射出して、水への溶解性が高いガス成分を除去する。５５は補給循環水槽で、エアワッシャー装置５０とは集水管７０、７１で連結されている。
【００２５】
補給循環水槽５５は、第１の補給循環水槽５５ａと第２の補給循環水槽５５ｂに分割されている。５６ａ、５６ｂは第１、第２のポンプ、５７ａ、５７ｂは第１、第２の水処理フィルタである。第１の補給循環水槽５５ａは、第１のポンプ５６ａ、第１の水処理フィルタ５７ａ、配管７２を通して循環水を噴霧ノズル５３ａ、５３ｂに供給する。また、第２の補給循環水槽５５ｂは、第２のポンプ５６ｂ、第２の水処理フィルタ５７ｂ、噴霧熱交換器５８ａ、配管７３を通して循環水を噴霧ノズル５３ｃに供給する。
【００２６】
噴霧ノズル５３ｃで射出された低温水は集水管７１により第２の補給循環水槽５５ｂに回収され、剰余の回収水は第１の補給循環水槽５５ａに流入する。第１の補給循環水槽５５ａからの循環水は、噴霧ノズル５３ａ、５３ｂで低温水として射出され、集水管７０により第１の補給循環水槽５５ａに回収される。回収水の一部は排水として流出し、エアワッシャー装置５０で吸収された有機成分が排出される。このように、第１の補給循環水槽５５ａから噴霧ノズル５３ａ、５３ｂに供給される循環水は、一旦噴霧ノズル５３ｃで使用された回収水であるので、噴霧ノズル５３ｃから供給される循環水よりも純度は低下している。
【００２７】
エアワッシャー装置５０には、噴霧ノズル５３ｃの下流側にエリミネータ５４が設置されている。噴霧ノズル５３ａ〜５３ｃで水への溶解性が高いガス成分を除去されたレターンエアは、さらにエリミネータ５４を通過して噴霧水のミストが除去される。エアワッシャー装置５０に隣接して空調チャンバ６０が設けられており、エアワッシャー装置５０で汚染物質が除去されたレターンエアは空調チャンバ６０に流入する。
【００２８】
本発明の実施形態においては、このように、エアワッシャー装置に流入したレターンエアの温度を下げる冷却手段としての冷水コイルを入口側（前段）に設けている。このため、クリーンルームなどの作業室からエアワッシャー装置に吸引されたレターンエアの温度は入口で低下することになり、エアワッシャー装置（噴霧室）全体が低温化され低温のレターンエアを各噴霧ノズルで処理している。したがって、噴霧ノズル５３ａ〜５３ｃ、その配管、エアワッシャー装置（噴霧室）５０の内壁面等において、バクテリアの繁殖を抑制することができる。また、冷却水のみによってエアワッシャー装置に吸引されたレターンエアの温度を低下させる場合よりも、冷却水の使い回しにより冷却水の使用量が少なくて済むのでコストを削減することができる。
【００２９】
空調チャンバ６０には、循環ファン６１、ＨＥＰＡフィルタ６２、温水コイル６３が設けられている。これらの各部品は、空調チャンバ６０のハウジング６４内に設置される。エアワッシャー装置５０を通過することにより低温にされたレターンエアは、温水コイル６３により所定温度に再熱される。空調チャンバ６０に流入したレターンエアは、ＨＥＰＡフィルタ６２を通過して清浄化され、温水コイル６３によりクリーンルームの温度条件まで昇温されてサプライエアとしてクリーンルームなどの作業室に供給される。
【００３０】
本発明の図１に示した実施形態においては、３台の熱交換器を設けている。５８ａは噴霧熱交換器（第１の熱交換器）、５８ｂは補給水熱交換器（第２の熱交換器）、５８ｃは温水熱交換器（第３の熱交換器）である。次に、これらの熱交換器の作用について説明する。
【００３１】
第１の補給循環水槽５５ａから第１のポンプ５６ａにより吸引された循環水は、噴霧ノズル保護用の第１の水処理フィルタ５７ａを通過して、レターンエアの流通方向からみて上流側（入口側）の噴霧ノズル５３ａ、５３ｂに供給される。補給水（純水）は、配管８０により補給水熱交換器５８ｂに供給される。その理由は、補給水の水温が２０〜２６℃であり、水温が１２℃以下の第２の補給循環水槽５５ｂの循環水と合流させるには水温が高過ぎるので、補給水の水温を下げるためである。補給水熱交換器５８ｂにより補給水は冷水で低温にされて、配管８１から第２の補給循環水槽５５ｂに供給される。
【００３２】
第２の補給循環水槽５５ｂから第２のポンプ５６ｂより吸引された循環水は、噴霧ノズル保護用の第２の水処理フィルタ５７ｂを通過して噴霧熱交換器５８ａに供給される。前記循環水は、噴霧熱交換器５８ａにより冷水で低温にされて、配管７３を通してレターンエアの流通方向からみて下流側（出口側）の噴霧ノズル５３ｃに供給される。このように、エアワッシャー装置の出口側に設置した噴霧ノズル５３ｃに、噴霧熱交換器５８ａからの低温水を供給している。
【００３３】
冷水は、配管７４を通り噴霧熱交換器（第１の熱交換器）５８ａに供給される。また、冷水は配管７５により噴霧熱交換器５８ａと直列に連結された補給水熱交換器（第２の熱交換器）５８ｂに供給される。さらに、冷水は配管７６により補給水熱交換器と直列に連結された温水熱交換器（第３の熱交換器）５８ｃに供給される。
【００３４】
温水熱交換器５８ｃでは、空調チャンバ６０の温水コイル６３で使用された温水を用いて、供給側の冷水よりも昇温された冷水を所定温度に調整する。この冷水は、配管７８を通して冷水コイル５２に供給される。冷水コイル５２に供給された冷水は、配管７９を通して供給側に還る。
【００３５】
ここで、本発明において、図１の構成により得られる空気系統および水系統の各部位における温度の実例について説明する。なお、以下の各温度値は一例として挙げるものであり、これらの温度値は装置の設置環境や季節などの要因で適宜の温度に調整される。エアワッシャー装置５０に流入するレターンエア（Ａ）の温度は２５℃、冷水コイル５２を通過後のレターンエア（Ｂ）の温度は１５℃、エアワッシャー装置５０の出口のレターンエア（Ｃ）の温度は１２℃、空調チャンバ６０の出口のサプライエア（Ｄ）の温度は２３℃である。
【００３６】
次に、補給水（Ｇ）の温度は２６℃、温水コイルに供給される温水（Ｆ）は３４℃、温水熱交換器５８ｃを通過した後の戻りの温水（Ｆ１）は、２２℃である。
供給側の冷水（Ｅ）の温度は７℃、噴霧熱交換器（第１の熱交換器）５８ａを通過した後の配管７５を通過する冷水（Ｅ１）の温度は８．９℃、補給水熱交換器（第２の熱交換器）５８ｂを通過した後の配管７６を通過する冷水（Ｅ２）の温度は１０．９℃、温水熱交換器（第３の熱交換器）５８ｃを通過した後の配管７８を通過し、冷水コイルに供給される冷水（Ｅ３）の温度は１２℃、専用の冷水還りの配管７９を通り冷水供給部に戻される冷水還り（Ｅ４）の温度は１５℃である。
【００３７】
補給水（Ｇ）は、前記のように補給水熱交換器５８ｂにおいて、冷水（Ｅ）により適宜の温度に下げられて（Ｇ１）、第２の補給循環水槽５５ｂに供給される。Ｇ１は、例えば９．９℃である。これらの第１、第２、第３の熱交換器は、供給側の冷水（Ｅ）に近いほど低温の冷水を出力している。すなわち、冷水の温度は、（Ｅ３）＞（Ｅ２）＞（Ｅ１）の順序に設定される。したがって、供給された冷水（Ｅ）は、第１、第２、第３の各熱交換器を通過する毎に序々に昇温する。
【００３８】
噴霧熱交換器（第１の熱交換器）５８ａは、前記のようにエアワッシャー装置の出口側に設けた噴霧ノズル５３ｃに供給される冷水の温度を処理空気出口の湿度を制御するために、エアワッシャー装置の出口側に設置して、低温の冷水が供給されるようにしている。
【００３９】
噴霧熱交換器５８ａの次段に設置される補給水熱交換器（第２の熱交換器）５８ｂは、供給された補給水の水温を下げて第２の補給循環水槽５５ｂに流入させる。このため、補給水を冷却させるために必要なエネルギーは中間の大きさとしている。また、冷水コイル５２に冷却水を供給する温水熱交換器（第３の熱交換器）５８ｃには、空気を再熱するために使用される温水の還水を通して、冷水温度を上昇させている。
【００４０】
このように、図１の実施形態においては供給側の冷水（Ｅ）と冷水還り（Ｅ４）との温度差が大きくなる。したがって、冷水量が少なくても良いので配管径が細くなる。また、冷水の送水動力が小さくても良いので、設備に要するコストを低減することができる。供給側の冷水（Ｅ）と冷水還り（Ｅ４）との温度差が小さい場合には、逆に冷水量が多くなり配管径が太くなる。また、冷水の送水動力が大きくなる。
【００４１】
図１に示したように、本発明においては熱交換器として、噴霧熱交換器（第１の熱交換器）５８ａ、補給水熱交換器（第２の熱交換器）５８ｂ、温水熱交換器（第３の熱交換器）５８ｃの３台を配管により直列に結合して設置している。すなわち、各熱交換器間の配管はカスケード式に連結される。したがって、複数の熱交換器を並列に設置する場合と比較して、配管を設置する際に、配管経路の幅方向の寸法を狭くすることができ、スペースを節約することができる。
【００４２】
本発明においてはエアワッシャー装置５０内のレターンエアの冷却に必要なエネルギーを必要温度別に整理し、エネルギーの高い順に冷水が低い温度から高い温度に使えるように熱交換器を直列に設置している。最終的な冷水の利用先は、温水熱交換器（第３の熱交換器）５８ｃを通して、エアワッシャー装置５０の上流側に設けた冷却コイルに供給している。
【００４３】
本発明の実施形態においては、レターンエアのエアワッシャー装置５０への流入温度が２５℃、冷水コイル５２へ供給される冷水（Ｅ３）の温度が１２℃で、冷水コイル５２により大きな利用温度差が得られる。また、冷水コイル５２を設けることにより、処理されるレターンエアに必要な冷却量を確保することができる。さらに、前記第１の熱交換器〜第３の熱交換器を配管を通して互いに直列に連結しているので、本発明の構成では冷水のカスケード利用システムが成立し、大きな温度差を確保することができる。そして、汚染物質除去装置で使用する水量を従来の半分程度に減らすことができる。
【００４４】
また、エアワッシャー装置５０内に流入するレターンエアの温度を入口部で下げることで、エアワッシャー装置５０（噴霧室）全体が低温化し、バクテリアの繁殖を抑制することができる。さらに、上記のバクテリア対策に加え、エアワッシャー装置５０の入口にＨＥＰＡフィルタを設けているので、一層効果的にバクテリアの繁殖を抑制することができる。
【００４５】
本発明の実施形態においては、冷却コイルをドライコイルとして用いている。そして、冷却コイルには例えば１２℃の冷水を供給している。このような冷却コイルで結露しない程度の水を供給することにより、冷却コイルの結露によるフインの劣化やバクテリアの発生を防ぐことができる。冷水コイルに供給する冷水の水温は、コイルの結露などを考慮して適宜定めることができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、次のような特有の効果が得られる。すなわち、十分な汚染物質除去能力を確保しつつ、冷水の使用量を大幅に削減することができる。このように、冷水使用量の減少により配管コストの削減や熱源容量の削減ができるので、汚染物質除去装置が設置される建物全体としては、大幅なコスト削減を図ることができる。
【００４７】
また、水使用量の削減に伴い、配管口径の縮小や熱源機器の縮小が可能となった。さらに、レターンエアのエアワッシャー装置の低温化が図れるので、バクテリアの繁殖が抑制される。したがって、バクテリア除去のためのメンテナンス（ランニング）コストを削減することができる。なお、冷水の節約により地球環境改善対策へ貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る汚染物質除去装置を示す構成図である。
【図２】従来例の説明図である。
【符号の説明】
５０・・・エアワッシャー装置、５１・・・ＨＥＰＡフィルタ、５２・・・冷水コイル、５３ａ〜５３ｃ・・・噴霧ノズル、５５・・・補給循環水槽、５６ａ、５６ｂ・・・ポンプ、５７ａ、５７ｂ・・・水処理フィルタ、５８ａ・・・噴霧熱交換器、５８ｂ・・・補給水熱交換器、５８ｃ・・・温水熱交換器、６０・・・空調チャンバ。７０、７１・・・集水管、７２〜７９・・・配管、
【図１】
2004358436.tif 000003
【図２】
2004358436.tif 000004