(57)【要約】【課題】本発明は、加工レーザ光を加工対象物に照射して、溶接、穴開け又は切断等の加工を行うレーザ加工装置に関し、光学式観察装置の温度変化を抑制して、観察精度を向上させることを目的とする。【解決手段】光学式観察装置５２を隙間無く囲むように形成された収納部材５６と、収納部材５６に形成されたウインドウガラス５７と、ガルバノスキャナ収納用ケース４６と、ガルバノスキャナ収納用ケース４６内の温度を調節するクーラント６３とを有するレーザ加工装置において、収納部材５６で囲まれた領域のガルバノスキャナ収納用ケース４６に複数の通気孔６７が設けて、クーラント６３により収納部材５６内の光学式観察装置５２の温度制御を行う。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工レーザ光をスキャンさせて加工対象物に照射するスキャン光学機構と、
前記スキャン光学機構を密閉するためのスキャン光学機構用フレームと、
前記スキャン光学機構用フレーム内の温度調整を行う温度調整機構と、
前記加工レーザ光によりレーザ加工された前記加工対象物の加工地点の観察を行う光学式観察装置とを備えたレーザ加工装置において、
前記光学式観察装置は、前記スキャン光学機構用フレームの内部に形成されていることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記スキャン光学機構用フレームは、前記光学式観察装置からの観察光を透過させる観察用窓を備えていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記観察用窓は、前記加工対象物と対向する面に、前記観察用窓を保護する保護部材を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
加工レーザ光をスキャンさせて加工対象物に照射するスキャン光学機構と、
前記スキャン光学機構を密閉するためのスキャン光学機構用フレームと、
前記スキャン光学機構用フレーム内の温度調整を行う温度調整機構と、
前記加工レーザ光によりレーザ加工された前記加工対象物の加工地点の観察を行う光学式観察装置とを備えたレーザ加工装置において、
前記光学式観察装置と前記スキャン光学機構用フレームとを収納する収納部材を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項５】
前記収納部材の内部は、前記温度調整機構により温度調整されていることを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
前記収納部材は、前記加工対象物と対向する面に、前記光学式観察装置を保護する保護部材を備えることを特徴とする請求項４または５に記載のレーザ加工装置。
【請求項７】
レーザ加工された加工対象物の加工地点の観察を行う光学式観察装置と、
レーザ加工により発生する飛散物を除去するための第１のブローノズルと吸引ノズルとを備えたレーザ加工装置において、
前記レーザ加工するためのレーザ光により発生する熱を、前記光学式観察装置から前記吸引ノズルの方向へ移動させるための第２のブローノズルを設けたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項８】
前記第２のブローノズルは、少なくとも１つ以上備えることを特徴とする請求項７に記載のレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工装置に係り、特に、レーザ発振器より発振されるレーザビームを加工対象物に照射して、溶接、穴開け又は切断等の加工を行うレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、レーザ光を用いた加工（以下、レーザ加工という）としては、溶接、穴開け又は切断等の加工技術が機械、電子、半導体装置等の多様な分野の製造過程で利用されている。
【０００３】
ここで、図１を参照して、従来のレーザ加工装置の一例について説明する。
【０００４】
図１は、従来のレーザ加工装置の加工部を示した図である。図１に示したレーザ加工装置は、大略するとレーザ発振器１０と、レーザ加工部２０とにより構成されている。
【０００５】
レーザ加工部２０は、大略するとガルバノスキャナが収納されたガルバノスキャナ用フレーム１２と、ｆ−θレンズ１５と、レンズ保護部材１６と、光学式光学式観察装置１３と、ブローノズル１８と、吸引ノズル１７とにより構成されている。レンズ保護部材１６は、加工対象物１９をレーザ加工する際に発生する飛散物がｆ−θレンズ１５に付着することを防ぐためのものである。
【０００６】
図２は、ガルバノスキャナ用フレームの内部の構成を示した図である。ガルバノスキャナ用フレーム１２の内部には、ガルバノスキャナ２２と、クーラント２３と、温度センサー２４とを有する。
【０００７】
ガルバノスキャナ２２は、ガルバノスキャナ制御装置２１により制御されており、レーザ発振器１０から発振されたレーザ光の進行方向を、ｆ−θレンズ１５の方向へ偏光させて、所望する加工地点にレーザ光を照射させる。また、クーラント２３は、ガルバノスキャナ用フレーム１２の内部の温度を一定に保持するための温調装置である。クーラント２３は、温度センサー２４から得られるガルバノスキャナ用フレーム１２の内部の温度に基づき、温度制御装置２５により温調される。これにより、ガルバノスキャナ用フレームの内部の雰囲気の温度は、クーラント２３により常に一定の温度に調節されている。
【０００８】
また、レーザ装置による溶接、穴開け又は切断等の加工は、レーザ発振器１０から発振されたレーザ光の進行方向をガルバノスキャナ用フレーム１２によりｆ−θレンズ１５の方向に曲げ、ｆ−θレンズ１５とレンズ保護部材１６とを介したレーザ光を加工対象物１９の加工面に照射させて、加工対象物１９の特定部分を溶融又は蒸発させることにより、加工が行われる（例えば、特許文献１参照）。また、ブローノズル１８と吸引ノズル１７は、飛散物を除去するためのもので、ブローノズル１８から噴出されるガスにより飛散物を吸引ノズル１７の方向に移動させて、吸引ノズル１７により飛散物を吸引する。また、加工後には光学式観察装置１３により、加工対象物１９上の加工部分の観察が行われ、所望の加工形状が得られたかどうかの確認を行う。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−２７７２７４号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、光学式観察装置１３はレーザ加工が行われる雰囲気に露出されているため、レーザ加工により発生する熱の影響を受け易い。また、ブローノズル１８から噴出されるガスにより、熱や飛散物が光学式観察装置１３の方向に吹き上げられるため、光学式観察装置１３の熱の影響を受けた部分では、熱膨張又は熱収縮が発生して、光学式観察装置１３の観察位置がずれてしまう。したがって、光学式観察装置１３が常に一定の観察位置で加工対象物１９の観察を行うことができないため、観察精度が低下するという問題がある。また、レーザ加工の際に加工対象物１９から発生する飛散物が、光学式観察装置１３に付着して観察精度が低下するという問題がある。
【００１１】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みなされたもので、観察精度に優れたレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を、請求項１記載の発明では、加工レーザ光をスキャンさせて加工対象物に照射するスキャン光学機構と、前記スキャン光学機構を密閉するためのスキャン光学機構用フレームと、前記スキャン光学機構用フレーム内の温度調整を行う温度調整機構と、前記加工レーザ光によりレーザ加工された前記加工対象物の加工地点の観察を行う光学式観察装置とを備えたレーザ加工装置において、前記光学式観察装置は、前記スキャン光学機構用フレームの内部に形成されていることを特徴とするレーザ加工装置により、解決する。
【００１３】
上記発明によれば、密閉された状態で温度制御機構により温度制御された、スキャン光学機構用フレームの内部に光学式観察装置を備えることにより、光学式観察装置を一定の温度に保持することができる。したがって、レーザ加工する際に生じる熱変化による光学式観察装置の変形が抑制されて、光学式観察装置は一定の観察位置で加工対象物の観察を行える。また、光学式観察装置にレーザ加工する際に発生する飛散物が付着することを防止できる。その結果、光学式観察装置の観察精度を向上させることができる。
【００１４】
請求項２記載の発明では、前記スキャン光学機構用フレームは、前記光学式観察装置からの観察光を透過させる観察用窓を備えていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置により、解決する。
【００１５】
上記発明によれば、光学式観察装置からの観察光を透過できる観察用窓を備えることにより、光学式観察装置は加工対象物の観察を行うことができる。
【００１６】
請求項３記載の発明では、前記観察用窓は、前記加工対象物と対向する面に、前記観察用窓を保護する保護部材を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置により、解決する。
【００１７】
上記発明によれば、観察用窓のうち加工対象物と対向する面に保護部材を備えることにより、レーザ加工する際に発生する飛散物が観察用窓に付着することを防ぐことができる。
【００１８】
請求項４記載の発明では、加工レーザ光をスキャンさせて加工対象物に照射するスキャン光学機構と、前記スキャン光学機構を密閉するためのスキャン光学機構用フレームと、前記スキャン光学機構用フレーム内の温度調整を行う温度調整機構と、前記加工レーザ光によりレーザ加工された前記加工対象物の加工地点の観察を行う光学式観察装置とを備えたレーザ加工装置において、前記光学式観察装置と前記スキャン光学機構用フレームとを収納する収納部材を備えることを特徴とするレーザ加工装置により、解決する。
【００１９】
上記発明によれば、光学式観察装置を収納する収納部材を備えることにより、レーザ加工する際に生じる熱変化による光学式観察装置の変形が抑制され、光学式観察装置は一定の観察位置で加工対象物の観察を行える。また、光学式観察装置にレーザ加工する際に発生する飛散物が付着することを防止できる。その結果、光学式観察装置の観察精度を向上させることができる。
【００２０】
請求項５記載の発明では、前記収納部材の内部は、前記温度調整機構により温度調整されていることを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工装置により、解決する。
【００２１】
上記発明によれば、収納部材の内部は、前記温度調整機構により温度調整されているので、収納部材の内部に備えられた光学式観察装置が熱により変形することを抑制できる。したがって、光学式観察装置は一定の観察位置で加工対象物の観察を行うことができ、観察精度を向上させることができる。
【００２２】
請求項６記載の発明では、前記収納部材は、前記加工対象物と対向する面に、前記光学式観察装置を保護する保護部材を備えることを特徴とする請求項４または５に記載のレーザ加工装置により、解決する。
【００２３】
上記発明によれば、加工対象物と対向する面に、光学式観察装置を保護する保護部材を備えることにより、光学式観察装置に飛散物が付着することを防止でき、観察精度を向上させることができる。また、収納部材の交換頻度を低減することができる。
【００２４】
請求項７記載の発明では、レーザ加工された加工対象物の加工地点の観察を行う光学式観察装置と、レーザ加工により発生する飛散物を除去するための第１のブローノズルと吸引ノズルとを備えたレーザ加工装置において、前記レーザ加工するための加工レーザ光により発生する熱を、前記光学式観察装置から前記吸引ノズルの方向へ移動させるための第２のブローノズルを設けたことを特徴とするレーザ加工装置により、解決する。
【００２５】
上記発明によれば、加工レーザ光により発生する熱を、前記光学式観察装置から前記吸引ノズルの方向へ移動させるための第２のブローノズルを設けたことにより、加工レーザ光により発生する熱が光学式観察装置に到達することを防ぐことができ、光学式観察装置の変形が抑制されて、光学式観察装置は一定の観察位置で加工対象物の観察を行える。また、光学式観察装置にレーザ加工する際に発生する飛散物が付着することを防止できる。その結果、光学式観察装置の観察精度を向上させることができる。
【００２６】
請求項８記載の発明では、前記第２のブローノズルは、少なくとも１つ以上備えることを特徴とする請求項７に記載のレーザ加工装置により、解決する。
【００２７】
第２のブローノズルは、少なくとも１つ以上備えることにより、レーザ加工する際に生じる熱変化や飛散物が光学式観察装置に到達することを、さらに防止することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
次に、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。
【００２９】
（第１の実施の形態）
図３は、本発明の第１の実施の形態によるレーザ加工装置の概略図を示している。図３に示されるように、レーザ加工装置３０は大略すると、ステージ部２７と、レーザ発振部３３と、レーザ加工部４０とにより構成されている。
【００３０】
ステージ部２７は、大略すると架台２８と、Ｘ軸用リニアモータ２９と、Ｙ軸用リニアモータ３１と、ＸＹステージ３４とにより構成されている。ＸＹステージ３４は、加工対象物５５を固定するためのステージであり、移動可能な状態で架台２８に配設されている。Ｘ軸リニアモータ２９とＹ軸リニアモータ３１とは、それぞれ架台２８に固定されている。Ｘ軸リニアモータ２９は、Ｘ軸用リニアガイド３３を介して、ＸＹステージ３４を図３中に矢印で示したＸ軸方向に移動させるためのものである。Ｙ軸リニアモータ３１は、Ｙ軸用リニアガイド３２を介して、ＸＹステージ３４をＹ軸方向に移動させるためのものである。このＸＹステージ３４を動作させることにより、加工対象物５５上の加工位置を移動させる。
【００３１】
レーザ発振部３３は、大略すると支持フレーム３４と、Ｚ軸移動装置３５と、レーザ発振器３６とにより構成されている。レーザ発振器３６は、Ｚ軸移動装置３５と一体に構成されており、Ｚ軸移動装置３５は支持フレーム３４に図３中に矢印で示したＺ軸方向へ移動可能な状態で配設されている。支持フレーム３４は、架台２８に固定されている。レーザ発振器３６は、レーザ光を発振するためのものである。Ｚ軸移動装置３５は、レーザ発振器３６の端部に配設されているレーザ加工部４０とレーザ発振器３６とを一体に、Ｚ軸方向へ移動させて、加工対象物５５上のレーザ光のスポット径を調整するためのものである。
【００３２】
レーザ加工部４０は、大略すると加工部フレーム４５と、スキャン光学機構用フレームであるガルバノスキャナ用フレーム４６と、ブローノズル４９と、吸引ノズル４８と、加工用レンズであるｆ−θレンズ５３と、ウインドウガラス５４と、光学式観察装置５２と、観察装置用照明５１とにより構成されている。
【００３３】
加工部フレーム４５は、レーザ発振器３６に配設されている。加工部フレーム４５には、ブローノズル４９と、吸引ノズル４８と、ガルバノスキャナ用フレーム４６とが配設されている。ガルバノスキャナ用フレーム４６の加工対象物５５と対向する面には、ｆ−θレンズ５３と、光学式観察装置５２と、観察装置用照明５１とがそれぞれ配設されている。ｆ−θレンズ５３の加工対象物５５と対向する面には、ウインドウガラス５４が形成されている。光学式観察装置５２は、加工対象物５５の加工形状を観察するための装置である。また、光学式観察装置５２には、後述する収納部材５６とウインドウガラス５７とが形成されている。
【００３４】
図４は、光学式観察装置に収納部材を設けた場合のガルバノスキャナ用フレームの内部の構成を示した図である。
【００３５】
図４に示すように、ガルバノスキャナ用フレーム４６の内部には、ガルバノスキャナ６５と、温度センサー６１と、クーラント６３とが配設されている。
ガルバノスキャナ６５は、レーザ光をｆ−θレンズ５３の方向へ曲げるためのスキャン光学機構であり、ガルバノスキャナ制御装置６６により制御される。温度センサー６１は、ガルバノスキャナ用フレーム４６内の雰囲気の温度を監視するセンサーである。クーラント６３は、ガルバノスキャナ用フレーム４６の内部の温度調整を行い、一定の温度に制御するためのものある。クーラント６３は、温度センサー６１からの信号に基づいて温度制御装置６２により制御される。なお、ガルバノスキャナ６５、温度センサー６１、クーラント６３、温度制御装置６２及びガルバノスキャナ制御装置６６は、従来のレーザ加工装置に備えられているものである。
【００３６】
図３に示すように、ブローノズル４９と吸引ノズル４８は、加工対象物５５をレーザ加工する際に発生する飛散物を除去するためのものである。ブローノズル４９からはガスが噴射されて、飛散物は吸引ノズル４８の方向へ移動させられて、飛散物は吸引ノズル４８により吸引される。
【００３７】
次に、図３乃至４を参照して、レーザ加工装置３０の加工動作について説明する。レーザ発振器３６から発振されたレーザ光は、ガルバノスキャナ６５によりｆ−θレンズ５３の方向に偏光され、ｆ−θレンズ５３及びウインドウガラス５４を介して加工対象物５５の加工面にレーザ光が照射されて、加工対象物５５はレーザ加工される。レーザ加工の際には、ブローノズル４９及び吸引ノズル４８は、常時稼動した状態にあり、ブローノズル４９から噴射されるガスにより、飛散物は吸引ノズル４８の方向へ移動させられて、吸引ノズル４８により吸引される。その後、加工対象物５５は、加工面の観察が行うことのできる位置まで移動される。その後、光学式観察装置５２によりレーザ加工後の加工対象物５５の観察をして、所望の加工が行われている。続いて、加工対象物５５を移動して、次の加工地点のレーザ加工が行われる。なお、加工対象物５５上の全ての加工地点に対してレーザ加工が終了するまで、レーザ加工と観察とが繰り返される。
【００３８】
次に、図４を参照して、光学式観察装置５２に形成された収納部材５６とウインドウガラス５７について説明する。
【００３９】
図４に示すように、収納部材５６は、光学式観察装置５２を隙間無く囲むように、ガルバノスキャナ用フレーム４６に形成されている。収納部材５６は、レーザ加工する領域（以下、加工領域）から発生する熱や飛散物を遮断するためのものである。収納部材５６に透明なガラスを用いることで、光学式観察装置５２の観察光が収納部材５６を透過して、加工対象物５５の観察を行うことができる。また、耐熱性に優れた透明なガラスを用いることで、収納部材５６の交換頻度を少なくすることができる。なお、観察光とは、加工対象物５５上の加工された部分を観察するための光である。
【００４０】
図４に示すように、収納部材５６で囲まれた領域のガルバノスキャナ用フレーム４６には、複数の通気孔６７が設けられており、ガルバノスキャナ用フレーム４６内の雰囲気と収納部材５６内の雰囲気とが、同一雰囲気となるように構成されている。したがって、温度制御機構としてのクーラント６３により、収納部５６内の雰囲気を設定温度に対して、±０．５℃範囲に制御することができる。
【００４１】
また、収納部材５６の加工対象物５５と対向する面には、ウインドウガラス５７が配設されている。このウインドウガラス５７は、収納部材５６が飛散物により汚れることを防ぐためのものである。ウインドウガラス５７には、例えば、石英ガラスを用いることができる。
【００４２】
このように収納部材５６を形成することにより、加工領域からの熱の影響を光学式観察装置５２が直接受けることが無いため、光学式観察装置５２の熱膨張又は熱収縮による変形が抑制される。したがって、光学式観察装置５２は、常に一定の観察位置で加工対象物５５の観察を行えるため、観察精度を向上させることができる。また、光学式観察装置５２は、収納部材５６により隙間無く囲まれているため、加工対象物５５を加工する際に発生する飛散物が光学式観察装置５２に付着することを防止できる。さらに、収納部材５６内の雰囲気を一定の温度に制御することにより、光学式観察装置５２の熱膨張又は熱収縮による変形がさらに抑制され、より観察精度を向上させることができる。また、従来のレーザ加工装置に備えられているクーラント６３により、収納部材５６内の雰囲気の温度制御を行うため、新たに温度制御機構を設ける必要がないので装置コストの上昇を防ぐことができる。また、収納部材５６にウインドウガラス５７を設けることにより、加工対象物５５から発生する飛散物が付着することを防止でき、収納部材５６の交換の頻度を低減することができる。
【００４３】
（第２の実施の形態）
図５は、ガルバノスキャナ用フレーム内に光学式観察装置を設けた場合のガルバノスキャナ用フレーム内部の構成を示した図である。
【００４４】
第２の実施の形態のレーザ加工装置のレーザ発振部及びステージ部は、第１の実施の形態のレーザ加工装置３０と同一構成であるので説明は省略する。また、図５において、レーザ加工装置３０と同一構成の部分に関しては、同一の符号を付して説明を省略する。
【００４５】
図５に示すように、光学式観察装置５２は、ガルバノスキャナ用フレーム４６の内部に密閉された状態で形成されている。なお、第１の実施の形態と同様に第２の実施の形態においても、ガルバノスキャナ用フレーム４６の内部はクーラント６３により、一定の温度に制御されている。光学式観察装置５２の観察光が通過するガルバノスキャナ用フレーム４６の領域には、観察用窓５９が形成されている。観察用窓５９に透明なガラスを用いることで、光学式観察装置５２の観察光が観察用窓５９を透過して、加工対象物５５の観察を行うことができる。また、耐熱性に優れた透明なガラスを用いることで、観察用窓５９の交換頻度を少なくすることができる。観察用窓５９の加工対象物５５と対向する面には、ウインドウガラス５７が配設されている。このウインドウガラス５７は、観察用窓５９が飛散物により汚れることを防ぐためのものである。ウインドウガラス５７には、例えば、石英ガラスを用いることができる。
【００４６】
このように密閉されたガルバノスキャナ用フレーム４６の内部に光学式観察装置５２を形成して、ガルバノスキャナ用フレーム４６内の雰囲気をクーラント６３により一定の温度に制御することで、光学式観察装置５２の熱膨張又は熱収縮による変形が抑制される。したがって、光学式観察装置５２は、常に一定の観察位置で加工対象物５５の観察を行えるため、観察精度を向上させることができる。また、加工対象物５５から発生する飛散物が光学式観察装置５２に付着することを防止できる。さらに、観察用窓５９にウインドウガラス５７を設けることにより、加工対象物５５から発生する飛散物が観察用窓５９に付着することを防止でき、観察用窓５９の交換の頻度を低減することができる。
【００４７】
（第３の実施の形態）
図６は、本発明の第３の実施の形態レーザ加工装置の加工部の概略図を示している。第３の実施の形態のレーザ加工装置のレーザ発振部及びステージ部は、第１の実施の形態のレーザ加工装置３０と同一構成であるので説明は省略する。また、図６において、レーザ加工装置３０と同一構成の部分に関しては、同一の符号を付して説明を省略する。
【００４８】
図６に示すように、第３の実施の形態のレーザ加工装置では観察装置用ブローノズル６９が、ブローノズル３３に形成されている。観察装置用ブローノズル６９から噴射されるガスは、噴出し口７１から吸引ノズル３４の方向に向けて噴射される。
【００４９】
加工対象物５５を加工する際には、常に観察装置用ブローノズル６９からはガスが噴射されており、このガスにより加工領域から発生する熱や飛散物は吸引ノズル４８の方向へ移動させられて、吸引ノズル４８により吸引される。
【００５０】
なお、観察装置用ブローノズル６９は、光学式観察装置５２に加工領域から発生する熱や飛散物が光学式観察装置５２に到達することを防ぐことができれば良く、観察装置用ブローノズル６９から噴射されるガスの速度は、例えば、８０ｍ／ｓｅｃを用いることができる。また、ガスの種類は、例えばＡｉｒ，Ｎ２等を用いることができる。
【００５１】
このように、観察装置用ブローノズル６９を形成することにより、観察装置用ブローノズル６９から噴射されるガスにより、加工領域から発生する熱が光学式観察装置５２に到達することを防ぐことができ、光学式観察装置５２の熱膨張又は熱収縮による変形が抑制される。したがって、光学式観察装置５２の観察位置が移動することなく、常に一定の観察位置で加工対象物５５の観察を行えるため、観察精度を向上させることができる。また、従来から備えられているブローノズル４９から分岐させることで、容易に観察装置用ノズル６９を形成することができる。さらに、観察装置用ノズル６９から噴射されるガスは、加工領域から発生する飛散物が光学式観察装置５２に付着することを防ぐことができるので、第１の実施の形態で説明したようなウインドウガラスを光学式観察装置に形成する必要は無い。なお、図６に示したレーザ加工装置のレーザ加工部５０には、観察装置用ブローノズル６９を１つ設けた構成となっているが複数個の観察装置用ブローノズル６９を設けても同様な効果を得ることができる。
【００５２】
なお、第１の実施の形態又は第２の実施の形態と、第３の実施の形態とを組み合わせても同様な効果を得ることができる。
【００５３】
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の記載範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００５４】
【発明の効果】
本発明によれば、光学式観察装置の温度制御を行うことで、熱による光学式観察装置の変形が抑制でき、光学式観察装置が常に一定の観察位置で加工対象物の観察を行うことのできる、観察精度及び加工位置精度に優れたレーザ加工装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のレーザ加工装置の加工部を示した図である。
【図２】ガルバノスキャナ用フレームの内部の構成を示した図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態によるレーザ加工装置の概略図である。
【図４】光学式観察装置に収納部材を設けた場合のガルバノスキャナ用フレームの内部の構成を示した図である。
【図５】ガルバノスキャナ用フレーム内に光学式観察装置を設けた場合のガルバノスキャナ用フレーム内部の構成を示した図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態レーザ加工装置の加工部の概略図を示している。
【符号の説明】
１０、３８  レーザ発振器
１２、４６  ガルバノスキャナ用フレーム
１３、５２  光学式観察装置
１４、５１  観察装置用照明
１５、５３  ｆ−θレンズ
１６  レンズ保護部材
１７、４８  吸引ノズル
１８、４９  ブローノズル
１９、５５  加工対象物
２０、４０、５０  レーザ加工部
２１、６６  ガルバノスキャナ制御装置
２２、６５  ガルバノスキャナ
２３、６３  クーラント
２４、６１  温度センサー
２５、６２  温度制御装置
２７  ステージ部
２８  架台
２９  Ｘ軸用リニアモータ
３０  レーザ加工装置
３１  Ｙ軸用リニアモータ
３２  Ｙ軸用リニアガイド
３２  Ｘ軸用リニアガイド
３４  ＸＹステージ
３５  レーザ発振部
３６  支持フレーム
３７  Ｚ軸用移動装置
４５  加工部フレーム
５４、５７  ウインドウガラス
５６  光学式観察装置収納部材
５９  観察用窓
６９  観察装置用ブローノズル
７１  噴出し口
【図１】
2004195491.tif 000003
【図２】
2004195491.tif 000004
【図３】
2004195491.tif 000005
【図４】
2004195491.tif 000006
【図５】
2004195491.tif 000007
【図６】
2004195491.tif 000008