(57)【要約】【課題】マスター担体に対しスレーブ媒体を容易に高精度に位置決め供給できるようにした磁気転写装置を提供する。【解決手段】転写パターンを有するマスター担体３をホルダ１０に保持し、このマスター担体３に対し転写を受けるスレーブ媒体２をロボットハンド２０により供給し、両者を密着させて磁気転写を行う際に、ホルダ１０は中央部にスレーブ媒体２の中心孔２ａを位置決め保持するスレーブ保持軸１３と、ロボットハンド２０に対する位置決め部１５とを備え、ロボットハンド２０は、アーム部２１の先端に設置されスレーブ媒体２を保持してスレーブ保持軸１３にセットするスレーブ把持機構２２と、ホルダ１０の位置決め部１５との連係で把持機構２２の位置決めを行う位置決め部２５とを備え、ロボットハンド２０のスレーブ把持機構２２は、ホルダ１０との位置決め動作時にアーム部２１に対しＸ−Ｙ方向へ移動可能に取り付けられ、搬送精度の緩和を図る。【選択図】　　　　　図３
2004030745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報に対応した転写パターンを有するマスター担体をホルダに保持し、このマスター担体に対し転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体をロボットハンドにより供給し、両者を密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記ホルダは、中央部にスレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸と、前記ロボットハンドに対する位置決め部とを備え、
前記ロボットハンドは、アーム部の先端に設置され前記スレーブ媒体を保持して前記スレーブ保持軸にセットするスレーブ把持機構と、前記ホルダの位置決め部との連係で該スレーブ把持機構の位置決めを行う位置決め部とを備え、
前記ロボットハンドのスレーブ把持機構は、前記ホルダとの位置決め動作時に前記アーム部に対しＸ−Ｙ方向へ移動可能に取り付けられていることを特徴とする磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転写情報に対応したパターンが形成されたマスター担体から磁気記録部を有するスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置に関し、特にホルダに保持されたマスター担体へのスレーブ媒体の位置決め供給機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。この磁気転写の一例としては、例えば特開昭６３−１８３６２３号、特開平１０−４０５４４号、特開平１０−２６９５６６号、特開２００１−２５６６４４等に開示されている。
【０００３】
また、スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状磁気記録媒体の場合には、このスレーブ媒体に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加手段を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写を行う際の重要な課題の一つに、マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを精度良く行うことがある。特に、ハードディスク、高密度フレキシブルディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記録された磁化パターンの中心とが精度良く一致していなければならない。
【０００５】
上記点から、特開平１１−１７５９７３号、特開２００１−２０９９７８に見られるように、マスター担体とスレーブ媒体を密着させる際に、画像装置で両者の位置決めを行うものが知られている。具体的には、まず密着フランジにスレーブ媒体をセットした後、その上にパターンに対応して透明部分に形成したマーカーを有するマスター担体を載置し、画像装置でマーカーとスレーブ媒体との位置とが一致するように観察しつつマスター担体の位置調整を行ってから両者を密着させるようにしている。または、マスター担体をＸ−Ｙ方向に移動可能なホルダに保持し、マスター担体の中心位置をＣＣＤカメラで観察して、スレーブ媒体との位置を一致させて密着させるようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記点から、本発明者らは、マスター担体をホルダのスレーブ保持軸の中心に対し、その転写パターンの中心とを予め位置決めし、スレーブ媒体はこのスレーブ保持軸によって位置決めすることで、マスター担体とスレーブ媒体との位置決めを精度良く行うようにした技術を提案している（特願２００１−３０２２３１）。
【０００７】
上記ホルダのスレーブ保持軸は、スレーブ媒体の内径と同径に設けクリアランスを小さくして位置決めを行うほど、位置決め精度が向上する。その反面、スレーブ保持軸へスレーブ媒体を供給する搬送精度が要求されることになる。また、スレーブ媒体は記録領域の品質維持のため、記録領域以外の内周部または外周部を把持しなければならず、把持精度を高めるのが困難である。また、スレーブ媒体の供給はロボットハンドで行うのが汎用性および効率面で好適であるが、ロボットハンドの供給精度もスレーブ媒体の位置決め精度の要求精度より低いのが現状である。
【０００８】
また、前記ホルダにおけるマスター担体およびスレーブ媒体の保持は、水平状態で上下方向に積み重ねるようにマスター担体上にスレーブ媒体を搬送する場合と、鉛直状態で並べるように横方向からマスター担体の側面にスレーブ媒体を縦向きで搬送する場合とがあり、特に、後者の縦向きで搬送する場合には、上記位置決めのほかに、搬送途中などでのスレーブ媒体の落下、隙間への塵埃侵入等の問題がある。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、マスター担体に対しスレーブ媒体を容易に高精度に位置決め供給できるようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明による磁気転写装置は、転写情報に対応した転写パターンを有するマスター担体をホルダに保持し、このマスター担体に対し転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体をロボットハンドにより供給し、両者を密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記ホルダは、中央部にスレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸と、前記ロボットハンドに対する位置決め部とを備え、
前記ロボットハンドは、アーム部の先端に設置され前記スレーブ媒体を保持して前記スレーブ保持軸にセットするスレーブ把持機構と、前記ホルダの位置決め部との連係で該スレーブ把持機構の位置決めを行う位置決め部とを備え、
前記ロボットハンドのスレーブ把持機構は、前記ホルダとの位置決め動作時に前記アーム部に対しＸ−Ｙ方向へ移動可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
【００１１】
前記スレーブ把持機構のＸ−Ｙ方向への移動構造は、例えば、バネによって把持部が遊動自在に保持されてなり、ロボットハンドの位置決めピンまたは位置決め穴による位置決め部をホルダの位置決め穴または位置決めピンによる位置決め部に嵌合する際に、位置決め部のテーパー誘い込み構造等により両位置決め部の位置ずれが修正可能になっている。
【００１２】
前記スレーブ把持機構は、中央に位置決めピンまたは位置決め穴による位置決め部を、その外周部に拡縮移動する把持爪を有し、この把持爪をスレーブ媒体の中心孔に挿入し拡開してチャックし、縮小して解放する構造が好適である。ロボットハンドは、スレーブ媒体を垂直状態または水平状態で保持搬送し得る。
【００１３】
前記位置決め部の接触表面には硬質保護膜（ＤＬＣ膜等）をコーティングするのが、発塵防止の点で好ましい。
【００１４】
マスター担体は、予め、前記スレーブ保持軸の外周部に、該マスター担体のパターンの中心位置をスレーブ保持軸の中心位置に位置合わせして固定しておく。その際、前記マスター担体のパターンを測定顕微鏡等で観測し、該パターンの中心位置を前記スレーブ保持軸の中心位置に合わせるのが好ましい。また、スレーブ保持軸によってマスター担体の位置決めを行うようにしてもよいが、その場合には、マスター担体のパターンの中心と中心孔の中心とが精度良く一致していることが要件となる。
【００１５】
前記ロボットハンドによるスレーブ媒体の供給時には、スレーブ把持機構とスレーブ保持軸とが干渉しない構造となっている。例えば、スレーブ保持軸に把持爪の挿入・拡縮移動を許容する溝部を有するか、円弧位置に配置した２個以上の規制ピンでスレーブ媒体を保持する構造にスレーブ保持軸を設ける。
【００１６】
また、スレーブ保持軸によるスレーブ媒体の位置決め精度をより高めるためまたは落下防止のために、スレーブ媒体の中心孔内周部と接触する規制部、規制ピンを拡縮方向に移動可能に設け、スレーブ媒体が供給された後に拡開動作するように設けてもよい。また、スレーブ保持軸に、減圧（加圧）により膨張または変形し、スレーブ媒体の内周部を半径方向に押圧する変位部を設けてもよい。
【００１７】
一方、スレーブ媒体をスレーブ保持軸に供給した際に、このスレーブ媒体をロボットハンドによりスレーブ媒体をマスター担体に押し付けて密着状態としてから解放するのが好ましい。その際、押し付け力がスレーブ媒体とマスター担体間に過大に作用しないように、スレーブ把持機構がＺ方向にクッション移動可能とし、スレーブ媒体がマスター担体と接触した後は、アーム部のＺ方向移動に対し弾性部材によるクッション機構がその移動を吸収するように構成するのが好適である。
【００１８】
また、スレーブ保持軸の拡縮構造に、スレーブ媒体の中心孔内周部との接触部を逆テーパーにし、拡開作動した際にスレーブ媒体の内周部をマスター担体側に押し付ける分力が働くようにしてもよい。
【００１９】
【発明の効果】
上記のような本発明によれば、ホルダに保持したマスター担体に対し、スレーブ媒体をロボットハンドにより供給する際に、ホルダにはスレーブ媒体の中心孔を位置決め保持するスレーブ保持軸とロボットハンドに対する位置決め部とを備え、ロボットハンドはスレーブ媒体を保持してスレーブ保持軸にセットするスレーブ把持機構と位置決め部とを備えてなり、ロボットハンドのスレーブ把持機構をホルダとの位置決め動作時にアーム部に対しＸ−Ｙ方向へ移動可能に取り付けたことにより、マスター担体に対しスレーブ媒体をロボットハンドにより効率よく高精度に位置決め供給でき、磁気転写処理効率の向上を図ることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一つの実施の形態にかかる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図、図２はホルダの分解斜視図である。図３はスレーブ媒体の供給状態を示す断面図、図４はロボットハンドのスレーブ把持機構の要部正面図である。
【００２１】
図１および図２に示す磁気転写装置１は、スレーブ媒体２（磁気記録媒体）の両側記録面にサーボ信号等に対応する転写パターンを有するマスター担体３，４をそれぞれ密着させ転写用磁界を印加して磁気転写を行う。この装置１は、情報担持面を鉛直方向に向けて２枚のマスター担体３，４を内部空間に保持しスレーブ媒体２の両面に対峙密着させるホルダ１０と、該ホルダ１０に記録面を鉛直方向に向けてスレーブ媒体２を搬送する、図３に一部を示す搬送手段としてのロボットハンド２０と、ホルダ１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加手段１１と、ホルダ１０の内部空間のエアを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る不図示の真空吸引手段とを備えてなる。
【００２２】
その磁気転写方法としては、マスター担体３，４の情報担持面と予め初期磁化したスレーブ媒体２の記録面とを密着させ、これを回転させつつ、両側から磁界印加手段１１によって転写用磁界を印加し、マスター担体３，４に担持した情報を磁気的にスレーブ媒体２の両面に同時に転写記録するものである。
【００２３】
ホルダ１０は、スレーブ媒体２の一方の記録面にサーボ信号等の情報を転写する第１のマスター担体３を保持するベースチャンバー８と、スレーブ媒体２の他方の記録面にサーボ信号等の情報を転写する第２のマスター担体４を保持する押圧チャンバー９とを備え、ベースチャンバー８と押圧チャンバー９は不図示の移動機構により接離移動可能に設けられている。
【００２４】
図示のスレーブ媒体２は、円盤状で所定径の中心孔２ａが開口されたハードディスクであり、ガラス板等からなる円盤状のベースの両面に磁性体層が形成された記録面を有する。このスレーブ媒体２を、後述のロボットハンド２０によって記録面を鉛直方向に向けて上記中心孔２ａを保持し、押圧チャンバー９とホルダ１０の離間した状態のベースチャンバー８に保持された第１のマスター担体３に対して位置決め供給する。なお、前記スレーブ媒体２は、高密度フレキシブルディスであってもよい。
【００２５】
前記第１のマスター担体３および第２のマスター担体４はディスク状に形成され、中心部に中心孔３ａ，４ａが開口されているとともに、その片面にスレーブ媒体２の記録面に密着される微細凹凸形状の磁性層による転写パターンを有し、これと反対側の面がベースチャンバー８および押圧チャンバー９に保持される。
【００２６】
ベースチャンバー８は、図３に示すように、中心位置にスレーブ媒体２の中心孔２ａを位置決めするスレーブ保持軸１３を備えると共に、このスレーブ保持軸１３の外周部にマスター担体３を保持するマスター保持部材１４を備える。マスター保持部材１４は、スレーブ保持軸１３に対してＸＹ方向に位置調整可能に設けられる。そして、マスター担体３を保持したマスター保持部材１４を、マスター担体３に形成されたパターンの中心位置がスレーブ保持軸１３の中心位置に合致するように予め調整して固定しておき、このマスター担体３上に供給するスレーブ媒体２を、その中心孔２ａとスレーブ保持軸１３との嵌合により位置決めし、マスター担体３とスレーブ媒体２との位置決めを行う。
【００２７】
上記マスター保持部材１４はマスター担体３の大きさに対応した内面に吸気孔１４ａ（図２）がほぼ均等に開口して、第１のマスター担体３を吸引保持するようになっている。押圧チャンバー９も図示してないが内面に同様に第２のマスター担体４を保持する。なお、押圧チャンバー９の内面には均等に力を印加するためのクッション材を取り付け、このクッション材の表面に第２のマスター担体４を保持するようにしてもよい。
【００２８】
なお、スレーブ保持軸１３に対するマスター担体３の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、前記マスター保持部材１４によりマスター担体３をＸＹ方向へ微調整することにより行う。また、マスター担体３を直接微動手段によってマニュアルでまたは自動的に位置調整しつつ行うことが可能である。その一例としては、本出願人による特願２００１−３０２２３１を参照されたい。
【００２９】
なお、スレーブ保持軸１３によって第１のマスター担体３の中心孔３ａの位置決めを行うようにしてもよいが、その場合には、マスター担体３のパターンの中心と中心孔３ａの中心とが精度良く一致していることが要件となる。
【００３０】
前記ベースチャンバー８および押圧チャンバー９は一方または両方が軸方向に移動可能に設けられ、両チャンバー８，９の外周には鍔部８ａ，９ａを有し、閉作動時には不図示のシール機構により内部を密閉状態に保持する。また、ベースチャンバー８および押圧チャンバー９は図示しない回転機構に連係されて磁界印加時に一体に回転駆動される。
【００３１】
また、ホルダ１０の内部空間に対し、真空吸引手段の吸引口（不図示）が開口されて真空ポンプが接続され、エアの真空吸引によりホルダ１０の内部空間を、所定の真空度に制御する。これにより、スレーブ媒体２とマスター担体３，４とが所定の密着圧力となるように設定される。また、ホルダ１０の内部空間の真空吸引領域の実効的面積を、マスター担体３，４とスレーブ媒体２との接触面積より例えば２〜３倍大きく形成することにより密着力を増大して、真空度に応じた所定の密着圧力を得る。
【００３２】
磁界印加手段１１は、ホルダ１０の両側に配設された電磁石装置５，５を備えてなり、この電磁石装置５はホルダ１０の半径方向に延びるギャップ５１を有するコア５２にコイル５３が巻き付けられてなる。ギャップ５１に発生する磁力線の向きは、ホルダ１０に保持されたスレーブ媒体２のトラック方向（面内記録の場合）と平行である。なお、磁界印加手段１１としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよい。
【００３３】
また、磁界印加手段１１は、ホルダ１０の開閉動作を許容するように、両側の電磁石装置５，５が接離移動するか、電磁石装置５，５間にホルダ１０が挿入するように電磁石装置５，５またはホルダ１０が移動するようになっている。
【００３４】
開状態にあるホルダ１０のベースチャンバー８に対し、スレーブ媒体２を供給するロボットハンド２０は、アーム部２１の先端にスレーブ媒体２を把持しスレーブ保持軸１３にセットするスレーブ把持機構２２を備える。スレーブ保持軸１３には、中心部に位置決め部として位置決め穴１５（または位置決めピン）を有する。一方、スレーブ把持機構２２には上記ベースチャンバー８の位置決め部と連係して該把持機構２２の位置決めを行う位置決め部として位置決めピン２５（または位置決め穴）を把持基部２３の中央に有する。位置決めピン２５の先端外周部はテーパー形状に形成され、位置決め穴１５に対する誘い込み構造となっている。位置決め穴１５の先端内面をテーパー構造としてもよい。
【００３５】
スレーブ把持機構２２は、中央の位置決めピン２５の両側に不図示の駆動機構によって拡縮移動する把持爪２４を有し、この把持爪２４をスレーブ媒体２の中心孔２ａに挿入して、開いてチャックし、閉じて解放する。把持爪２４にはスレーブ媒体２を保持する不図示の溝部を設け、保持位置を規制してもよい。
【００３６】
このスレーブ把持機構２２は、アーム部２１の先端に位置決めピン２５の軸方向（Ｚ方向）およびそれと直交する平面方向（Ｘ−Ｙ方向）に遊動自在に支持されている。具体的には、スレーブ把持機構２２の把持基部２３が、遊動基部２６に対し、少なくとも３方向のバネ２７によってＸ−Ｙ方向に移動自在に支持されると共に、位置決めピン２５が中心に位置するように付勢されている。この機構により、位置決めピン２５と位置決め穴１５との結合時に、両者の中心位置が若干ずれていても誘い込み構造に伴って遊動し、両者の嵌合位置決めが行われる。
【００３７】
なお、位置決めピン２５に硬質保護膜（ＤＬＣ膜等）をコーティングするのが、位置決め穴１５への嵌合時の擦れに伴う発塵防止（摩耗粉の発生防止）の点で好ましい。
【００３８】
また、上記遊動基部２６がアーム部２１に対して、Ｚ方向に移動可能に、かつ複数のバネによる弾性部材２８によって突出方向に付勢されて保持されている。これは、スレーブ把持機構２２によってスレーブ媒体２を保持し、スレーブ保持軸１３に供給する際に、ロボットハンド２０によりスレーブ媒体２を予めマスター担体３に押し付けて密着状態としてから解放するためである。その際に、押し付け力がスレーブ媒体２とマスター担体３間に過大に作用しないように、ロボットハンド２０の把持機構２２にＺ方向に前記弾性部材２８によるクッション機構を設け、接触後はアーム部２１のＺ方向移動に対しクッション機構がその移動を吸収するようになっている。
【００３９】
これにより、スレーブ媒体２の供給後、マスター担体３とスレーブ媒体２が離れていると、磁気転写のための加圧密着時に、スレーブ保持軸１３とスレーブ媒体２とがこすれないように、また押圧時の片当たりによる傷の発生を防止し、隙間への異物侵入を防止する。
【００４０】
前記ベースチャンバー８のスレーブ保持軸１３は、上記のようなスレーブ媒体２の供給時に、スレーブ把持機構２２の把持爪２４と干渉しないような構造に形成されている。すなわち、図５（ａ）に示すように、スレーブ保持軸１３に、把持爪２４の挿入・拡縮移動を許容する溝部１３ａが形成されている。スレーブ媒体２の中心孔２ａの内周部に接触する規制部１３ｂは円弧状であり、位置決め穴１５の両側の直径方向に溝部１３ａが形成され、この部分に把持爪２４が挿入され、半径方向に拡縮作動することで両者の干渉が防止される。
【００４１】
または図５（ｂ）に示すように構成してもよい。このスレーブ保持軸１３は位置決め穴１５の外周部位における円弧位置に２個以上（図の場合４個）の規制ピン１６を有している。この規制ピン１６の外接円がスレーブ媒体２の円孔２ａの位置決めを行う寸法となっている。そして、この規制ピン１６の間の空間部分に把持爪２４が挿入され、半径方向に拡縮作動することで両者の干渉が防止される。
【００４２】
また、他の実施の形態としては、スレーブ保持軸１３におけるスレーブ媒体２の中心孔２ａを位置決めする規制部分が、拡縮方向に移動可能に設けられ、スレーブ媒体２が供給された後に拡開してスレーブ媒体２の位置決め精度をより高めると共に、供給時のクリアランスを大きくして供給位置精度を緩和するようにしてもよい。これにより、押圧密着前の脱落防止（縦型ホルダの場合）が同時に図れ、スレーブ媒体２のホルダ１０への保持が確実に行え、押圧前にホルダ１０内を減圧してもスレーブ媒体２が脱落しない。
【００４３】
例えば、上記図５（ａ）に対応する図６（ａ）に示すスレーブ保持軸１３の例では、両側の規制部１３ｂを拡縮移動可能に設け、左側に示すスレーブ媒体２の供給時には内側に移動して、位置決め円を縮小してスレーブ媒体２の挿入とのクリアランスを大きくし、その後に、右側に示すように、外側に拡開移動して、位置決め円を大きくしてスレーブ媒体２の中心孔２ａに接触してクリアランスをなくして位置決め精度を高めるように構成される。
【００４４】
また、上記図５（ｂ）に対応する図６（ｂ）に示すスレーブ保持軸１３の例では、規制ピン１６を、２組に分けるか各ピンを拡縮移動可能に設け、左側に示すスレーブ媒体２の供給時には内側に移動して、位置決め外接円を縮小してスレーブ媒体２の挿入とのクリアランスを大きくし、その後に、右側に示すように、外側に拡開移動して、外接円を大きくしてスレーブ媒体２の中心孔２ａに接触してクリアランスをなくして位置決め精度を高めるように構成される。
【００４５】
さらに他の形態としては、図７（ａ）〜（ｄ）に示すような拡縮構造をスレーブ保持軸１３に採用してもよい。この例ではスレーブ保持軸１３に減圧（または加圧）により膨張または変形する部材（変位部１７，１８）を設け、スレーブ媒体２の中心孔２ａの部分を半径方向に押圧して中心位置を規制保持し、位置決め精度を高める。
【００４６】
図７（ａ）では、スレーブ保持軸１３の外周部の４箇所に減圧（または加圧）により膨張または変形して突出する変位部１７を設け、左側に示した非作動状態でスレーブ媒体２を供給し、その後右側に示すように変位部１７を突出作動させて、スレーブ媒体２を位置決め保持する。
【００４７】
図７（ｂ）では、スレーブ保持軸１３の外周円弧部１３ｃを半径方向に移動可能に４分割し、その内周部に減圧（または加圧）により膨張または変形する変位部１８を設け、左側に示した非作動状態でスレーブ媒体２を供給し、その後右側に示すように変位部１８を膨張作動させて、円弧部１３ｃを外側に移動させてスレーブ媒体２を位置決め保持する。
【００４８】
図７（ｃ）では、スレーブ保持軸１３の外周円の一部（欠円部）に減圧（または加圧）により膨張または変形して突出する変位部１７を設け、左側に示した非作動状態でスレーブ媒体２を供給し、その後右側に示すように変位部１７を突出作動させて、スレーブ媒体２をスレーブ保持軸１３の固定基準点との間で直径方向に位置決め保持する。
【００４９】
図７（ｄ）では、スレーブ保持軸１３の一部の外周円弧部１３ｃを半径方向に移動可能に分離し、その内周部に減圧（または加圧）により膨張または変形する変位部１８を設け、左側に示した非作動状態でスレーブ媒体２を供給し、その後右側に示すように変位部１８を膨張作動させて、円弧部１３ｃを外側に移動させてスレーブ媒体２をスレーブ保持軸１３の固定基準点との間で直径方向に位置決め保持する。
【００５０】
なお、上記規制部１３ｂ、規制ピン１６、変位部１７、円弧部１３ｃを拡開方向にバネによって付勢し、その先端部のテーパー状の案内部に、スレーブ媒体２の内周部が接触した際に内側に移動して嵌合し、拡開方向に付勢して位置決めするように構成してもよい。また、スレーブ保持軸１３によりマスター担体３の位置決めも行う場合には、このマスター担体３，４についても、上記のような保持機構によって保持するようにしてもよい。さらに、マスター担体３，４またはスレーブ媒体２の固定を少なくとも異なる２種類以上の材料で行うようにしてもよい。
【００５１】
次に、図８はさらに他の実施の形態を示し、ロボットハンド２０によって供給されたスレーブ媒体２をマスター担体３に接近させて保持する機構を示す。
【００５２】
この実施形態のスレーブ保持軸１３は、半径方向に拡縮移動する押え部１３ｄを有し、この押え部１３ｄは、外周面のスレーブ媒体２内周部との接触部が逆テーパーに形成され、つまり、マスター担体３側の半径が小さく、スレーブ媒体２側の半径が大きく形成され、拡開してスレーブ媒体２の内周部に接触して位置決め保持する際に、スレーブ媒体２の内周部をマスター担体側に押し付ける分力が働くように構成されている。これにより、供給されたスレーブ媒体２をマスター担体３との間に隙間を生じないように保持し、その後の密着時の片当たり防止、塵埃侵入防止等が図れる。
【００５３】
なお、前述のようなロボットハンド２０によりスレーブ媒体２をマスター担体３に押し付ける場合、および図８の実施形態でのスレーブ媒体２の押し付け時に、スレーブ媒体２をマスター担体３の方向に吸引するようにしてもよい。その場合、マスター担体３の内周部の空間を吸引することにより行う。
【００５４】
上記実施の形態は両面同時磁気転写であるが、片面磁気転写を行うようにしてもよく、その際、ホルダ１０のベースチャンバー８には、スレーブ媒体２の片側記録面にサーボ信号等の情報を転写する１枚のマスター担体３を保持し、押圧チャンバー９にはスレーブ媒体２の他側記録面に接触する弾性体（クッション材）を設置するのが好ましい。スレーブ媒体２は上記と同様にロボットハンド２０によってベースチャンバー８のスレーブ保持軸１３に対して供給する。
【００５５】
磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体２をマスター担体３，４と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【００５６】
スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００５７】
マスター担体３，４は円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体３，４は、基板上に形成された微細凹凸パターンに磁性体が被覆された転写パターンを有する。マスター担体３，４の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
【００５８】
転写用磁界および必要に応じて初期磁界を印加する磁界印加手段１１は、面内記録の場合には、例えば、前述のようなリング型ヘッド電磁石装置５がホルダ１０の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダ１０を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。磁界を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加手段８は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加手段は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダ１０の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダ１０を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施の形態による磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図
【図２】ホルダの分解斜視図
【図３】開状態のホルダに対するロボットハンドによるスレーブ媒体の供給状態を示す断面図
【図４】ロボットハンドの先端把持機構の要部正面図
【図５】スレーブ保持軸の２つの形態例を示す部分斜視図
【図６】スレーブ保持軸の一部を移動可能にした２つの形態例を作動前後の状態で示す要部正面図
【図７】スレーブ保持軸のさらに他の４つの形態例を作動前後の状態で示す正面図
【図８】他の実施形態にかかるスレーブ保持軸によりスレーブ媒体を保持した状態の断面図
【符号の説明】
１　　磁気転写装置
２　　スレーブ媒体
２ａ　　中心孔
３，４　　マスター担体
８　　ベースチャンバー
９　　押圧チャンバー
１０　　ホルダ
１１　　磁界印加手段
１３　　スレーブ保持軸
１３ａ　　溝部
１４　　マスター保持部材
１５　　位置決め部
２０　　ロボットハンド
２１　　アーム部
２２　　スレーブ把持機構
２４　　把持部
２５　　位置決め部
２７　　バネ
２８　　弾性部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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