(57)【要約】【課題】ダイヘッドの両側リップの先端外側を挟み込むように配列された洗浄薬液噴射ヘッドにより、ダイヘッドの両側リップの先端を洗浄する洗浄装置において、ダイヘッドの両側リップの先端を、ムラなく均一に洗浄できるようにすること。【解決手段】ダイヘッドのスリット状ノズルの幅方向に、前記スリット状ノズルを構成する両側リップの先端外側を挟み込むようにして平行に所定のピッチで多数個配設された洗浄薬液噴射ヘッドにより、前記両側リップの先端を洗浄する装置であって、前記洗浄薬液噴射ヘッドを、前記幅方向に、少なくとも前記ピッチ分揺動させる機構を有することを特徴とするダイヘッド洗浄装置。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヘッドのスリット状ノズルの幅方向に、前記スリット状ノズルを構成する両側リップの先端外側を挟み込むようにして平行に所定のピッチで多数個配設された洗浄薬液噴射ヘッドにより、前記両側リップの先端を洗浄する装置であって、
前記洗浄薬液噴射ヘッドを、前記幅方向に、少なくとも前記ピッチ分揺動させる機構を有することを特徴とするダイヘッド洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄薬液噴射ヘッドの噴射ノズル先端より、内部で混合された洗浄薬液と不活性ガスの２流体を噴射して洗浄し、その洗浄液ミストを強制排気することを特徴とする請求項１に記載のダイヘッド洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄薬液噴射ヘッドは、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズルと、この扇状の要より延びる細長の洗浄薬液と不活性ガスの２流体の混合領域とを有し、前記扇形噴射ノズルの高さより前記混合領域の高さが高いことを特徴とする請求項２記載のダイヘッド洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄薬液噴射ヘッドは、前記リップ先端に対し水平面内で斜めに配設されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のダイヘッド洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイヘッドのスリット状ノズルを構成する両側リップの先端を洗浄する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、枚葉状のガラス板へ高精度の塗布膜を形成する塗布装置として、例えばガラス板の中央部へ塗液を滴下し、回転しながら塗布膜を形成するスピンコート法が知られ、種々の製品に広く使用されていた。
【０００３】
しかし近年において、例えば液晶ディスプレー用のカラーフィルターなどでは、その大型化に伴い上記スピンコート法では滴下する液量を多く必要とし、従って飛ばされて廃棄される量も多くなり不経済的で、かつまたその膜厚の精度も低下する傾向にあった。
【０００４】
そのため、大型のガラス板への塗布方法として、例えば精密なテーブル（定盤）上へガラス板を真空吸着させて保持し、そのガラス板を保持したままの状態でテーブルを移動させ、塗液をガラス板上に供給するダイヘッドの下部を通過させることによって塗布を行うダイコート方式がある。
【０００５】
上記ダイヘッドの代表的な例として、被塗布基材の走行方向に対して上流側リップと下流側リップと、塗布液供給系よりダイヘッドの内部に塗布液が導入されるべく設けられたマニホールドと、このマニホールドから両側リップ先端に塗布液を押し出す通路であるスリット状ノズルとからなっているもので、このようなダイヘッドを使用する際に、リップ先端外側に塗布液が付着・堆積し、これが剥がれ落ち、その異物が塗布物あるいはラインの露光用マスク等に付着して塗布物が不良となったり、またリップ先端に付着・堆積したレジスト等により、塗布方向にスジムラが発生するという問題があった。
【０００６】
上記のような塗布物が不良となる問題の解決策として、ダイヘッドのリップ先端を洗浄する方法があり、例えばスリット状ノズルから洗浄薬液を噴射する所謂一流体噴射ノズルが、ダイヘッドの両側リップの先端を挟むように多数個配列されている洗浄装置によって洗浄する方法がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の一流体噴射ノズルを用いた従来技術においては、堆積物を完全に除去するためのスプレー打力（ダイヘッドに付着した塗布液の堆積等の異物を叩き落とす力）を薬液の流量で稼ぐので洗浄薬液量が多く必要となるという問題点があった。さらに上記一流体噴射ノズルでは、洗浄性に均一性がなく、かつコンパクトに設計できないという問題点があった。即ち、異物等による不良品が皆無とはならず、かつ洗浄性に均一性がないなど洗浄効率が悪いのでその洗浄時間も多く要するなどにより塗布装置の稼働率をも下げるという問題があった。
【０００８】
これら一流体噴射ノズルを用いた従来技術の諸問題を解決するために、本願出願人は、特願２００１−１６４１２０（未公開）の中で、図１〜３に示すように、ダイヘッド（１０）の両側リップ先端外側を挟み込むように多数個の洗浄薬液噴射ヘッド（１１）を配列し、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）内の混合領域（３４）で、供給口（１３）から供給される洗浄薬液と、供給口（１４）から供給される不活性ガスとを混合し、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）の扇形噴射ノズル（３２）の先端より、混合領域（３４）で混合された洗浄薬液と不活性ガスとの２流体を噴射して、ダイヘッド（１０）の両側リップ先端を洗浄し、噴射した洗浄液ミストを排気ブロック（１２）で受け、強制排気発生器（図示せず）で排出する洗浄装置を提案している。
【０００９】
ところで、本願出願人が特願２００１−１６４１２０の中で提案した、ダイヘッドの両側リップの先端外側を挟み込むように洗浄薬液噴射ヘッドが配列され、洗浄薬液と不活性ガスの２流体を噴射して洗浄する洗浄装置においては、洗浄薬液噴射ヘッドは先端方向に扇状に広がりを持った扇形噴射ノズルをもっているが、ある一定間隔おきに配列するため、扇状の際の部分から噴射している２流体は設定する圧力もしくは流量によって両隣の扇形噴射ノズルと干渉する恐れや流速が落ち、必要なスプレー打力が得られない可能性がある。つまり洗浄にムラが発生する。また設定によっては逆に隣りあった扇形噴射ノズルでダイヘッド先端を洗浄できない箇所ができる可能性もある。
【００１０】
本発明は、このような可能性が指摘される問題点に鑑みてなされたもので、ダイヘッドの両側リップの先端外側を挟み込むように配列された洗浄薬液噴射ヘッドにより、ダイヘッドの両側リップの先端を洗浄する洗浄装置において、ダイヘッドの両側リップの先端を、ムラなく均一に洗浄できるようにすることを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明において上記の課題を達成するために、まず請求項１の発明では、ダイヘッドのスリット状ノズルの幅方向に、前記スリット状ノズルを構成する両側リップの先端外側を挟み込むようにして平行に所定のピッチで多数個配設された洗浄薬液噴射ヘッドにより、前記両側リップの先端を洗浄する装置であって、
前記洗浄薬液噴射ヘッドを、前記幅方向に、少なくとも前記ピッチ分揺動させる機構を有することを特徴とするダイヘッド洗浄装置としたものである。
【００１２】
また請求項２の発明では、前記洗浄薬液噴射ヘッドの噴射ノズル先端より、内部で混合された洗浄薬液と不活性ガスの２流体を噴射して洗浄し、その洗浄液ミストを強制排気することを特徴とする請求項１に記載のダイヘッド洗浄装置としたものである。
【００１３】
また請求項３の発明では、前記洗浄薬液噴射ヘッドは、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズルと、この扇状の要より延びる細長の洗浄薬液と不活性ガスの２流体の混合領域とを有し、前記扇形噴射ノズルの高さより前記混合領域の高さが高いことを特徴とする請求項２記載のダイヘッド洗浄装置としたものである。
【００１４】
また請求項４の発明では、前記洗浄薬液噴射ヘッドは、前記リップ先端に対し水平面内で斜めに配設されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のダイヘッド洗浄装置としたものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図２〜５を参照しながら、以下に説明する。
【００１６】
本発明のダイヘッド洗浄装置は、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）、排気ブロック（１２）、ブロック（１５）、スライドガイド（１６）、ローラ（１７）、スライドブロック（１８）、モータ（１９）を備える。
【００１７】
本発明のダイヘッド洗浄装置では、ダイヘッド（１０）が定位置に設置されると、ダイヘッド（１０）のスリット状ノズルを構成する両側リップの先端外側を、ピッチ（Ｒ）で複数の洗浄薬液噴射ヘッド（１１）が挟み込むように、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）が配設されている。ダイヘッド（１０）は、指定された時間或いは枚数、塗布すると、本発明のダイヘッド洗浄装置の定位置に設置される。
【００１８】
洗浄薬液噴射ヘッド（１１）の側面にブロック（１５）が取付けられ、ブロック（１５）にはダイヘッド幅方向にスライドするスライドガイド（１６）のコマが固定され、スライドガイド（１６）のレールがベース（２０）に固定されている。ベース（２０）上にモータ（１９）が配置され、モータ回転軸中心にオフセットして取り付けれたローラ（１７）がブロック（１５）に固定されたスライドブロック（１８）の長穴内を摺動する。これにより、モータ（１９）の回転運動が、ブロック（１５）の直線運動に変換され、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）について、オフセット×２倍の揺動ストロークが得られる。この揺動ストロークは、少なくとも、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）のピッチ（Ｒ）分あることが好ましい。
【００１９】
洗浄薬液噴射ヘッド（１１）は、供給口（１３）から洗浄薬剤、供給口（１４）から窒素ガス等の不活性ガスが供給されるようになっていて、ダイヘッド（１０）が定位置に設置されたことを確認して、洗浄薬剤と不活性ガスとの供給が行なわれる。
【００２０】
洗浄薬剤と不活性ガスとが供給されると、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）内の混合領域（３４）で、洗浄薬液と不活性ガスとが混合され、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）の扇形噴射ノズル（３２）の先端より、混合領域（３４）で混合された洗浄薬液と不活性ガスとの２流体を噴射して、ダイヘッド（１０）の両側リップ先端を洗浄し、噴射した洗浄液ミストを排気ブロック（１２）で受け、強制排気発生器（図示せず）で排出される。
【００２１】
洗浄薬液噴射ヘッド（１１）は、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズル（３２）と、この扇形の要から細長く延びる２流体の混合領域（３４）とを有し、この扇形噴射ノズル（３２）の高さ（Ｈ１）を混合領域（３４）の高さ（Ｈ２）より低くしたものである。尚、この混合領域（３４）には洗浄薬液の供給口（１３）と不活性ガスの供給口（１４）が設けられている。
【００２２】
このような洗浄薬液噴射ヘッド（３０）の形状とすることによって、従来のスリット状ノズルより洗浄薬液が噴出する一流体噴射ノズルに比べ、コンパクト化が可能になり、かつスプレーされる領域も、扇形噴射ノズル（３２）内で均一に混合２流体を広げてあるので、噴射口（ノズル先端）から僅か数ミリの所でも均一に洗浄することができる。
【００２３】
即ち上記洗浄薬液噴射ヘッド（１１）は、扇形噴射ノズル（３２）の高さ（Ｈ１）を細長の２流体混合領域（３４）の高さ（Ｈ２）より低くすることによって、不活性ガスによるスプレー打力をよりアップせしめることができ、よって洗浄効率をより向上させることができるようにしたものである。
【００２４】
さらにまた、本発明のダイヘッド洗浄装置では、洗浄薬液噴射ヘッド（１１）は、ダイヘッド（１０）のスリットノズルを構成する両側リップの先端に対し斜め（水平面内で）に配設しても良く、このことによって、両側の先端の塗布液による汚れ・堆積物を落下し易くし、よってより洗浄の均一性を向上させる洗浄装置とすることができる。
【００２５】
洗浄方法としては、２流体噴射と揺動洗浄とで同時に継続的に洗浄する方法や、２流体噴射のみで洗浄した後、２流体噴射と揺動洗浄とで同時に洗浄する方法などがある。これら洗浄方法は使用する塗布液の特性によって、最適なものを選択する。
【００２６】
【発明の効果】
以上の結果、本発明には、以下の諸効果がある。
【００２７】
まず請求項１の発明は、洗浄薬液噴射ヘッドを、ダイヘッドのスリット状ノズルの幅方向に、少なくとも前記ピッチ分揺動させる機構を有するので、ダイヘッドのスリット状ノズルを構成する両側リップの先端の一部分でスプレー打力にムラがあったとしても、両側リップの先端をムラなく均一に洗浄できる。
【００２８】
また請求項２の発明は、ダイヘッドの両側リップの先端外側を挟み込むように配設されている多数個の洗浄薬液噴射ヘッドのノズルより、洗浄薬液と不活性ガスがその内部で混合された２流体を噴射するので、その不活性ガスの圧力によりスプレー打力がアップし、よって両側リップ先端外側に堆積している塗布液の堆積物を取り除くことができ、また、前記のようにスプレー打力を不活性ガスで稼げるので噴射する洗浄薬液の量も削減できるダイヘッド洗浄装置とすることができる。さらにスプレー打力のアップによりスプレー粒径を微細にし、スプレーの広がりに対して打力、流量分布とも均一にするので、洗浄性にムラがなくなることになる。
また請求項２の発明は、洗浄液ミストを強制排気することによって洗浄液ミストの飛散を防止し、洗浄後の乾燥を促進することができる。
【００２９】
また請求項３の発明は、洗浄薬液噴射ヘッドを、先端方向に扇状に広がりを有する扇形噴射ノズルとこの扇形の要から細長く延びる洗浄薬液と不活性ガスの２流体の混合領域とを有する形状としたので、従来の一流体噴射ノズルに比較しコンパクトなに設計が可能で、かつスプレーされる領域も噴射口から僅か数ミリの所でも均一に洗浄することができ、また扇形噴射ノズル部の高さが２流体の混合領域の高さより低いので、窒素ガスによるスプレー打力をよりアップせしめることができ、よって洗浄効率をより向上させるダイヘッド洗浄装置とすることができる。
【００３０】
また請求項４の発明は、洗浄薬液噴射ヘッドを、ダイヘッドのスリット状ノズルを構成するリップ先端に対し斜め（水平面内で）に配設しているので、より洗浄の均一性を向上させることのできるダイヘッド洗浄装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】特願２００１−１６４１２０のダイヘッド洗浄装置にダイヘッドを配置したときの正面の概念図。
【図２】特願２００１−１６４１２０又は本発明のダイヘッド洗浄装置にダイヘッドを配置したときの断面の概念図。
【図３】特願２００１−１６４１２０又は本発明のダイヘッド洗浄装置の洗浄薬液噴射ヘッドの断面の概念図。
【図４】本発明のダイヘッド洗浄装置にダイヘッドを配置したときの正面の概念図。
【図５】（Ａ）は、本発明のダイヘッド洗浄装置にダイヘッドを配置したときの断面の概念図。
（Ｂ）は、本発明のダイヘッド洗浄装置のスライドブロックの断面の概念図。
【符号の説明】
１０…ダイヘッド
１１…洗浄薬液噴射ヘッド
１２…排気ブロック
１３…供給口（洗浄薬液用）
１４…供給口（不活性ガス用）
１５…ブロック
１６…スライドガイド
１７…ローラ
１８…スライドブロック
１９…モータ
２０…ベース
３２…扇形噴射ノズル
３４…混合領域
Ｈ１…扇形噴射ノズルの高さ
Ｈ２…混合領域の高さ
Ｒ…ピッチ
【図１】
2004141743.tif 000002
【図２】
2004141743.tif 000003
【図３】
2004141743.tif 000004
【図４】
2004141743.tif 000005
【図５】
2004141743.tif 000006