(57)【要約】【課題】この発明は、据え付け工数およびコストが低減され、また基板の大型化に対してレイアウトの過密化を抑制することができる基板搬送システムを得る。【解決手段】この発明の基板搬送システムは、ガラス基板５を収納するカセット１と、カセット１内のガラス基板５を次工程に搬送する第１の搬送コンベア４と、カセット１と第１の搬送コンベア４との間に設けられカセット１内のガラス基板５をハンド１４により取り出すとともに第１の搬送コンベア４に同ハンド１４により移行させるローダ３と、第１の搬送コンベア４により搬送されたガラス基板５をハンド２５により第１の搬送コンベア４から取り出すとともに次工程に同ハンド２５により移行させるアンローダ６とを備え、ローダ３およびアンローダ６のハンド１４，２５は、鉛直移動、水平移動および回転可能になっている。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に複数枚の積層された基板を収納するカセットと、前記カセット内の前記基板を次工程に搬送する第１の搬送コンベアと、前記カセットと前記第１の搬送コンベアとの間に設けられカセット内の前記基板をハンドにより取り出すとともに第１の搬送コンベアに同ハンドにより移行させるローダと、前記第１の搬送コンベアにより搬送された前記基板をハンドにより第１の搬送コンベアから取り出すとともに前記次工程に同ハンドにより移行させるアンローダとを備えた基板搬送システムにおいて、
前記ローダおよび前記アンローダの少なくとも一方の前記ハンドは、鉛直移動、水平移動および回転可能になっている基板搬送システム。
【請求項２】
前記次工程は、前記カセットに前記基板を収納する収納工程と、前記アンローダの近傍に設けられた第２の搬送コンベアに前記基板を移行させる搬送工程とに分かれており、前記アンローダの前記ハンドによる前記鉛直移動、前記水平移動および前記回転で前記収納工程および前記搬送工程の何れか一方に選択されるようになっている請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記第２の搬送コンベアは、身長よりも高い高さである請求項２に記載の基板搬送システム。
【請求項４】
前記ローダおよび前記アンローダの少なくとも一方は、前記基板の側端面を押圧して前記基板の移動方向に対して直角方向の位置を規制するプッシャーを備えている請求項１ないし請求項３の何れかに記載の基板搬送システム。
【請求項５】
前記ローダおよび前記アンローダの少なくとも一方は、前記ハンドの先端側である基板の前縁部または基端側である基板の後縁部を検知してハンドの移動を停止させる位置センサを備えている請求項１ないし請求項４の何れかに記載の基板搬送システム。
【請求項６】
前記ローダおよび前記アンローダの少なくとも一方は、前記基板の情報を読み取る読取センサを備えている請求項１ないし請求項５の何れかに記載の基板搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばクリーンルーム工場内で生産される大型ガラス基板を搬送する基板搬送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の基板搬送システムとして、工程間の搬送リフター、ガラス基板の位置決め、ＩＤ情報読み取り等の機能を有する専用装置をそれぞれ独立してクリーンルーム内フロアーに設置した例が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−３４３６２１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の上記基板搬送システムでは、それぞれの専用装置を製作しなければならず、また専用装置間の通信を含めた制御的信号制御等の工数を要し、さらに装置間の位置合わせ、調整に時間がかかり、多くの据え付け工数とコストが嵩むという問題点があった。
また、例えばガラス基板の大型化が進むと、各専用装置は体積および重量が大きくなり、工場内のレイアウトが過密になってしまうという問題点もあった。
【０００５】
この発明は、かかる問題点を解決することを課題とするものであって、多機能を有するローダ、アンローダを備えることで、据え付け工数およびコストが低減され、また基板の大型化に対してレイアウトの過密化を抑制することができる基板搬送システムを得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る基板搬送システムは、内部に複数枚の積層された基板を収納するカセットと、前記カセット内の前記基板を次工程に搬送する第１の搬送コンベアと、前記カセットと前記第１の搬送コンベアとの間に設けられカセット内の前記基板をハンドにより取り出すとともに第１の搬送コンベアに同ハンドにより移行させるローダと、前記第１の搬送コンベアにより搬送された前記基板をハンドにより第１の搬送コンベアから取り出すとともに前記次工程に同ハンドにより移行させるアンローダとを備えた基板搬送システムにおいて、
前記ローダおよび前記アンローダの少なくとも一方の前記ハンドは、鉛直移動、水平移動および回転可能になっているものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１の基板搬送システムの平面図、図２は図１の要部拡大図、図３は図１のローダ本体１１の斜視図、図４は図１のアンローダ本体２１の斜視図である。
この基板搬送システムは、複数段に積層されているとともに、１列に配列されたカセット１から所定のカセット１を取り出す移動自在のスタッカークレーン２と、このスタッカークレーン２により運搬されたカセット１が載置されるローダ３と、このローダ３からカセット１から離れる方向に延びカセット１内のガラス基板５を搬送する第１の搬送コンベア４と、中間部でＵターンした第１の搬送コンベア４からのガラス基板５をカセット１内に収納するアンローダ６と、第１の搬送コンベア４の終端部ロから分岐した第２の搬送コンベア７とを備えている。
クリーンルーム工場内には、ローダ３、第１の搬送コンベア４、アンローダ６および第２の搬送コンベア７がそれぞれ一対配置されている。
【０００８】
各カセット１内には例えば幅１ｍ×長さ１．３ｍで厚さ０．７ｍｍのガラス基板５が２０枚単位で収納されている。
前記ローダ３は、スタッカークレーン２で搬送されたカセット１が載置されるカセット台８と、このカセット台８に連設されたベース９と、このベース９の両縁部に沿って延びた一対のレール１０と、このレール１０に沿って駆動機構（図示せず）により往復移動可能なローダ本体１１とを備えている。
ローダ本体１１は、モータ（図示せず）により３６０°回転可能な回転軸１５と、この回転軸１５に固定された矩形状の枠体１２と、この枠体１２内を上下動しかつカセット１に対して前進および後退するフォークベース１３と、このフォークベース１３に対してガイド（図示せず）に案内されてカセット１に向かって前進および後退するハンド１４と、枠体１２内の左右両側に往復動可能に設けられたプッシャー１６と、枠体１２の天板の裏面に設けられガラス基板５の位置を検知する光電センサで構成された位置センサと、枠体１２に設けられガラス基板５に貼付されたバーコード３０を読み取りガラス基板５の製造ナンバー等を読み取るバーコードリーダ２８を備えている。ここで、バーコード３０およびバーコードリーダ２８により、ガラス基板５の情報を読み取る読取センサを構成している。
【０００９】
前記アンローダ６は、カセット１が載置されるカセット台１８と、このカセット台１８に連設されたベース１９と、このベース１９の両縁部に沿って延びた一対のレール２０と、このレール２０に沿って駆動機構（図示せず）により往復移動可能なアンローダ本体２１を備えている。
アンローダ本体２１は、ローダ本体１１と同一の構造であり、モータ（図示せず）により３６０°回転可能な回転軸２２と、この回転軸２２に固定された矩形状の枠体２３と、この枠体２３内を上下動しかつカセット１に向かって前進および後退するフォークベース２４と、このフォークベース２４に対してガイド（図示せず）に案内されてカセット１に向かって前進および後退するハンド２５と、枠体２３内の左右両側に往復動可能に設けられたプッシャー２６と、枠体２３の天板の裏面に設けられガラス基板５の位置を検知する光電センサで構成された位置センサと、位置センサと、枠体２３に設けられガラス基板５に貼付されたバーコード３１を読み取りガラス基板５の製造ナンバー等を読み取るバーコードリーダ２９を備えている。ここで、バーコード３１およびバーコードリーダ２９により、ガラス基板５の情報を読み取る読取センサを構成している。
【００１０】
次に、上記構成の基板搬送システムの動作について説明する。なお、図１および図２において矢印Ａ、矢印Ｂはガラス基板５の搬送方向を示す。
先ず、スタッカークレーン２は、所定のカセット１を取り出し、そのカセット１をカセット台８まで運搬し、カセット台８に載置する。その後、ローダ本体１１がレール１０に沿ってそのカセット１の正面に移動するとともに、ハンド１４の先端がカセット１の正面に指向するように、モータの駆動により回転軸１５が回転する。次に、カセット１内の抜き取るべきガラス基板５の位置までフォークベース１３が上方向に移動するとともに、図５に示すように、フォークベース１３に対してハンド１４はガラス基板５に向かって相対的に前進し、ハンド１４上にはガラス基板が載せられる。
【００１１】
その後は、上述したローダ本体１１の動作と反対の動作がなされる。
即ち、フォークベース１３に対してハンド１４はカセット１から相対的に後退するとともにフォークベース１３は所定の高さまで移動する。その後、モータの駆動により回転軸１５が１８０°回転するとともに、ローダ本体１１は、第１の搬送コンベア４の始端部イに対向する位置までレール１０に案内されて移動する。
次に、フォークベース１３は第１の搬送コンベア４の始端部イに向かって前進するとともに、フォークベース１３に対してハンド１４も始端部イに向かって相対的に前進し、始端部イにはガラス基板５が載置される。
なお、上記一連のガラス基板５の移動に伴い、フォークベース１３上のガラス基板５は幅方向に揺動する虞があるが、この揺動は図６に示すようにプッシャー１６が基板５の側端面を押圧することで規制される。
また、図７に示すように、ハンド１４の後退時、位置センサ１７がガラス基板５の後縁部を検知し、その時点でハンド１４の後退は停止する。
その後は、ガラス基板５は第１の搬送コンベア４により第１の搬送コンベア４の終端部ロまで搬送される。この途中、ガラス基板５は、プロセス処理、例えば洗浄、コーター、露光、現像、焼き付け乾燥および検査がなされる。
【００１２】
次に、アンローダ本体２１のハンド２５の先端がガラス基板５に指向するように、モータの駆動により回転軸２２が回転するとともにアンローダ本体２１がレール２０に沿ってする。次に、フォークベース２４がガラス基板５に向かって前進するとともにフォークベース２４に対してハンド２５もガラス基板５に向かって相対的に前進し、ハンド２５上にはガラス基板５が載せられる。
その後、フォークベース２４およびハンド２５は終端部ロから後退する。その後、モータの駆動により回転軸２２の回転により、枠体２３は１８０°回転するとともに、アンローダ本体２１は、３個並んだカセット１の中から所定のカセット１に対向する位置までレール１０に案内されて移動する。
次に、フォークベース２４はカセット１に向かって前進するとともに、フォークベース２４に対してハンド２５もカセット１に向かって相対的に前進し、カセット１内にガラス基板５が収納される。
【００１３】
ところで、終端部ロ上のガラス基板５がハンド２５上に載置され、フォークベース２４およびハンド２５が後退した後、ガラス基板５を第２の搬送コンベア７に移行することもできる。
このときには、アンローダ本体２１は、第２の搬送コンベア７側にレール２０に案内されて移動するとともに、フォークベース２４は上方向に移動する。その後、フォークベース２４は、第２の搬送コンベア７の始端部ハに向かって前進するとともに、フォークベース２４に対してハンド２５も始端部ハに向かって相対的に前進し、第２の搬送コンベア７の始端部ハにはガラス基板５が載置され、このガラス基板５は、第２の搬送コンベア７により次工程に搬送される。
なお、従来では、図９に示すように、第１の昇降装置４１および第２の昇降装置４２を搬送コンベアと組み合わせてアクセス通路を確保していたのに対して、図８から分かるように、第２の搬送コンベア７は、人の身長よりも高い高さであり、第２の搬送コンベア７の下側は人のアクセス通路として利用できる。
【００１４】
この実施の形態では、ローダ３のハンド１４およびアンローダ６のハンド２５は、鉛直移動、水平移動および回転可能になっており、一つの装置で多機能を有しているので、据え付け工数およびコストが低減され、また基板の大型化に対してレイアウトの過密化を抑制することができる。
【００１５】
また、第１の搬送コンベア４によるガラス基板５の搬送工程の次工程は、カセット１にガラス基板５を収納する収納工程と、第２の搬送コンベア７にガラス基板５を移行させる搬送工程とに分かれており、アンローダ６のハンド２５による鉛直移動、水平移動および回転で収納工程および搬送工程の何れかに選択されるようになっているので、工場内の各設備の配置自由度が高くなるとともに、スペースを有効利用できる。
【００１６】
また、第２の搬送コンベア７は、身長よりも高い高さであるので、従来のもののようにわざわざ第１の昇降装置４１および第２の昇降装置４２を備えることなくアクセス通路を確保することができる。
【００１７】
また、ローダ３およびアンローダ６は、ガラス基板５の側端面を押圧してガラス基板５の移動方向に対して直角方向の位置を規制するプッシャー１６，２６を備えているので、ガラス基板５はカセット１内に円滑に収納される。
【００１８】
また、ローダ３およびアンローダ６は、ガラス基板５の後縁部を検知してハンド１４，２５の移動を停止させる位置センサ１７を備えているので、枠体１２，２３に対するハンド１４，２５の位置決めが確実になされ、ガラス基板５の次工程への移行が円滑に行われる。
【００１９】
また、ローダ３およびアンローダ６は、ガラス基板５の製造ナンバー、製造年月日等の情報を読み取るために、バーコード３０，３１およびバーコードリーダ２８，２９を備えているので、ガラス基板５が次工程に移行中にその情報を読み取ることができ、その情報に基づいた迅速な対応が可能となる。
【００２０】
なお、上記の実施の形態では、ローダ３のハンド１４およびアンローダ６のハンド２５は、共に鉛直移動、水平移動および回転可能になっているが、何れか一方のハンドが床面に対して鉛直移動、水平移動および回転可能になっているものでもよい。
【００２１】
また、ローダ３およびアンローダ６は、ガラス基板５の側端面を押圧してガラス基板５の移動方向に対して直角方向の位置を規制するプッシャー１６，２６を何れも備えているが、何れか一方にプッシャーを備えるようにしてもよい。
【００２２】
また、ローダ３およびアンローダ６は、ガラス基板５の後縁部を検知してハンド１４，２５の移動を停止させる位置センサ１７を何れも備えているが、何れが一方に位置センサを備えるようにしてもよい。また、位置センサは光電センサに限定されないのは勿論である。また、ガラス基板の前縁部を直接検知するようにしてもよい。
【００２３】
また、ローダ３およびアンローダ６は、ガラス基板５の製造ナンバー、製造年月日等の情報を読み取るために、バーコード３０，３１およびバーコードリーダ２８，２９を何れも備えているが、何れか一方にガラス基板の情報を読み取る読取センサを設けるようにしてもよい。また、読取センサはバーコードおよびバーコードリーダに限定されないのは勿論である。
また、上記の実施の形態では、基板として液晶表示用のガラス基板５について説明したが、勿論このものに限定されるものではなく、フォトマスク用のガラス基板でもよく、半導体基板でもよい。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る搬送基板システムによれば、内部に複数枚の積層された基板を収納するカセットと、前記カセット内の前記基板を次工程に搬送する第１の搬送コンベアと、前記カセットと前記第１の搬送コンベアとの間に設けられカセット内の前記基板をハンドにより取り出すとともに第１の搬送コンベアに同ハンドにより移行させるローダと、前記第１の搬送コンベアにより搬送された前記基板をハンドにより第１の搬送コンベアから取り出すとともに前記次工程に同ハンドにより移行させるアンローダとを備え、前記ローダおよび前記アンローダの前記ハンドは、鉛直移動、水平移動および回転可能になっているので、据え付け工数およびコストが低減され、また基板の大型化に対してレイアウトの過密化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１の基板搬送システムの平面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】図１のローダ本体の斜視図である。
【図４】図１のアンローダ本体の斜視図である。
【図５】図１のローダ本体の側面図である。
【図６】図３のプッシャーの動作説明図である。
【図７】位置センサの動作説明図である。
【図８】図１の第２の搬送コンベアの側面図である。
【図９】従来の搬送コンベアの側面図である。
【符号の説明】
１  カセット、３  ローダ、４  第１の搬送コンベア、５  ガラス基板、６  アンローダ、７  第２の搬送コンベア、１１  ローダ本体、１２，２３  枠体、１３，２４  フォークベース、１４，２５  ハンド、１６，２６  プッシャー、２１  アンローダ本体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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