(57)【要約】【課題】パターン部材の製造において、生産性及び製品品質のいずれをも向上させる。【解決手段】帯状可撓性支持体上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造方法。帯状可撓性支持体Ｗを走行させるとともに、表面にパターン部材用の材料層が形成されている材料転写シート１８を帯状可撓性支持体に近接させ、かつ帯状可撓性支持体の走行方向と交差する方向に走行させ、帯状可撓性支持体Ｗと材料転写シート１８とが交差する箇所において、転写手段１６により材料転写シートより帯状可撓性支持体へパターン部材用の材料層をパターン状に転写する。【選択図】  図２
2004287306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状可撓性支持体上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造方法において、
前記帯状可撓性支持体を走行させるとともに、表面にパターン部材用の材料層が形成されている材料転写シートを前記帯状可撓性支持体に近接させ、かつ前記帯状可撓性支持体の走行方向と交差する方向に走行させ、
前記帯状可撓性支持体と前記材料転写シートとが交差する箇所において、転写手段により前記材料転写シートより前記帯状可撓性支持体へ前記パターン部材用の材料層をパターン状に転写することを特徴とするパターン部材の製造方法。
【請求項２】
前記帯状可撓性支持体及び／又は前記材料転写シートの走行を間欠的な走行とし、前記転写手段による転写の際に前記帯状可撓性支持体及び／又は前記材料転写シートの走行を停止させる請求項１に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項３】
異なる材料の前記材料転写シートを複数種使用し、これらの材料転写シートを前記帯状可撓性支持体の異なる箇所において交差させる請求項１又は２に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項４】
前記転写手段において、表面にパターン状の凸部が形成されたプレス板又はプレスローラを使用し、前記材料転写シート又は前記帯状可撓性支持体の裏面より押圧することにより、前記パターン部材用の材料層を前記帯状可撓性支持体にパターン状に転写する請求項１〜３のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項５】
前記転写手段において、前記パターンと略同一形状の開口を有するマスク材を使用し、前記材料転写シートの裏面より押圧板により押圧することにより、前記パターン部材用の材料層を前記開口を介して前記帯状可撓性支持体にパターン状に転写する請求項１〜３のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項６】
前記パターン部材用の材料が、少なくとも赤、緑及び青の色彩用の材料である請求項１〜５のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項７】
前記帯状可撓性支持体へ転写された前記パターン部材用の材料層のパターン位置を検出し、この検出結果により前記帯状可撓性支持体及び／又は材料転写シートの走行位置を制御する請求項１〜６のいずれか１項に記載のパターン部材の製造方法。
【請求項８】
帯状可撓性支持体上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造装置において、
前記帯状可撓性支持体を走行させるウェブ走行手段と、
表面にパターン部材用の材料層が形成されている材料転写シートを前記帯状可撓性支持体に近接させ、かつ前記帯状可撓性支持体の走行方向と交差する方向に走行させる転写シート走行手段と、
前記帯状可撓性支持体と前記材料転写シートとが交差する箇所において、前記材料転写シートより前記帯状可撓性支持体へ前記パターン部材用の材料層をパターン状に転写させる転写手段と、
を有することを特徴とするパターン部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はパターン部材の製造方法及び製造装置に係り、特に、液晶表示素子のカラーフィルタ、有機ＥＬ素子用画素等の電子ディスプレイ用途に好適に使用されるパターン部材の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液晶表示素子のカラーフィルタ、有機ＥＬ素子用画素等の電子ディスプレイ用材料として、ガラス基板、シート基材、フイルム等の面に、たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）等の単色又は３色の微細（μｍレベル）なストライプ状又はマトリックス状のパターンを形成したパターン部材が使用されている。
【０００３】
このようなパターン部材の製造方法として、これまで各種の方法が提案、採用されている。たとえば、フォトリソグラフィー、電着法、印刷法等が挙げられる。これらの製造方法は、一長一短あり、各社において最適と判断される製造方法が採用されているのが現状である。このような従来技術として、各種の提案がなされている（特許文献１〜４参照。）。
【０００４】
具体的には、特許文献１、２においては、フォトリソグラフィー、蒸着法が採用されており、特許文献３においては、グラビアオフセット印刷法が採用されており、特許文献４においては、インクジェット方式が採用されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−３６３８５号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開平９−２０４９８４号公報
【０００７】
【特許文献３】
特開昭６２−８５２０２号公報
【０００８】
【特許文献４】
特開平１０−１５３９６７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のパターン部材の製造方法では、品質（パターン精度）面とコスト面との両方を満足させることが困難であるのが現状である。
【００１０】
すなわち、フォトリソグラフィー、蒸着法等（特許文献１、２参照）では、工数が多く、装置が複雑であるうえに、連続可撓性支持体への加工に不適であり量産に不向きである。
【００１１】
印刷法として、グラビアオフセット印刷法（特許文献３参照）では、使用する液の粘度が低いと所望の画素形状が形成できなかったり、転写の際にパターン形状が乱れ、高精度（数十μｍレベル）の加工が困難であるという問題がある。また、大面積化に向かず、更に、インク厚さの均一化、位置合わせ精度等の点でも問題がある。
【００１２】
インクジェット方式（特許文献４参照）では、隔壁を必要とするため、開口率が小さくなったり、液の表面張力により隔壁周辺の膜厚が厚くなったりするという問題があるうえに、液が混在しやすいので有機の層を多層化するのが困難であるという問題がある。また、大面積化に向かず、更に、インク厚さの均一化等の点でも問題がある。
【００１３】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、基板上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造において、生産性及び製品品質（パターン精度、パターンの膜厚の均一性、等）のいずれをも向上させることができる製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、帯状可撓性支持体上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造方法において、前記帯状可撓性支持体を走行させるとともに、表面にパターン部材用の材料層が形成されている材料転写シートを前記帯状可撓性支持体に近接させ、かつ前記帯状可撓性支持体の走行方向と交差する方向に走行させ、前記帯状可撓性支持体と前記材料転写シートとが交差する箇所において、転写手段により前記材料転写シートより前記帯状可撓性支持体へ前記パターン部材用の材料層をパターン状に転写することを特徴とするパターン部材の製造方法、及びこれに使用される製造装置を提供する。
【００１５】
本発明によれば、帯状可撓性支持体を走行させるとともに、表面にパターン部材用の材料層が形成されている材料転写シートをこの帯状可撓性支持体に近接させ、かつ帯状可撓性支持体の走行方向と交差する方向に走行させ、両者が交差する箇所において、転写手段により材料転写シートより帯状可撓性支持体へパターン部材用の材料層をパターン状に転写できる。そして、これを複数種類の材料、たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の色彩用材料のいずれかに対して行い、これを繰り返すことにより、パターン部材（たとえば、有機ＥＬ素子、液晶表示素子のカラーフィルタ）を形成できる。
【００１６】
したがって、本発明の上記方法により、帯状可撓性支持体上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造において、生産性及び製品品質（パターン精度）のいずれをも向上させることができる。また、材料（インク）の種類についても選択の自由度が多いという利点が得られる。
【００１７】
本発明において前記帯状可撓性支持体及び／又は前記材料転写シートの走行を間欠的な走行とし、前記転写手段による転写の際に前記帯状可撓性支持体及び／又は前記材料転写シートの走行を停止させることが好ましい。帯状可撓性支持体及び／又は材料転写シートを走行させながら転写を行うことも可能であるが、転写時に帯状可撓性支持体及び／又は材料転写シートの走行停止させる方式とすれば、装置構成が簡単となる効果が得られるからである。
【００１８】
また、本発明において、異なる材料の前記材料転写シートを複数種使用し、これらの材料転写シートを前記帯状可撓性支持体の異なる箇所において交差させることが好ましい。このような構成を採用することにより、複数種類の材料、たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の色彩用材料の転写を連続して行えるからである。
【００１９】
また、本発明において、前記転写手段において、表面にパターン状の凸部が形成されたプレス板又はプレスローラを使用し、前記材料転写シート又は前記帯状可撓性支持体の裏面より押圧することにより、前記パターン部材用の材料層を前記帯状可撓性支持体にパターン状に転写することが好ましい。このようなプレス板又はプレスローラを使用すれば、材料の転写が確実に行えるからである。
【００２０】
また、本発明において、前記転写手段において、前記パターンと略同一形状の開口を有するマスク材を使用し、前記材料転写シートの裏面より押圧板により押圧することにより、前記パターン部材用の材料層を前記開口を介して前記帯状可撓性支持体にパターン状に転写することが好ましい。このようなマスク材を使用すれば、パターン部のキワ（端部）をシャープに形成することができるからである。また、このようなマスク材を使用すれば、押圧板をパターン状の凸部を有しないものとすることもできる。たとえば、押圧板の表面が柔軟性の高い材料で形成されており、押圧板により材料転写シートを押圧した際に、押圧板の表面及び材料転写シートが変形してマスク材の開口に入って行けば、材料層を帯状可撓性支持体にパターン状に転写できる。
【００２１】
また、本発明において、前記パターン部材用の材料が、少なくとも赤、緑及び青の色彩用の材料であることが好ましい。このようなパターン部材用の材料であれば、液晶表示素子のカラーフィルタ、有機ＥＬ素子用画素等の電子ディスプレイ用途に好適に使用できるからである。
【００２２】
また、本発明において、前記帯状可撓性支持体へ転写された前記パターン部材用の材料層のパターン位置を検出し、この検出結果により前記帯状可撓性支持体及び／又は材料転写シートの走行位置を制御することが好ましい。帯状可撓性支持体と複数の材料転写シートとを交差させて走行させ、かつ、複数種類の材料を正確にパターン状に形成するのは、装置の高い精度を要求されるが、このようにパターン位置を検出する手段が設けられ、その結果を受けて帯状可撓性支持体及び／又は材料転写シートの走行位置が制御されれば、装置の高い精度が要求されずに済むからである。
【００２３】
なお、材料層のパターン位置の検出とは、材料層のパターン自体の位置検出のみならず、材料層を用いて形成した位置合わせマークによる位置の検出をも含むものである。このような位置合わせマークを帯状可撓性支持体の端部近傍に設けておけば、位置合わせが容易となる効果が得られる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るパターン部材の製造方法及び製造装置の好ましい実施の形態について詳説する。図１に、本発明のパターン部材の製造装置の第１の実施形態が斜視図で示される。パターン部材の製造装置１０は、ウェブ走行手段１２と、転写シート走行手段１４と、転写手段１６とより構成される。このうち、転写シート走行手段１４と、転写手段１６とは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３色に対応すべく、帯状可撓性支持体（以下、「ウェブＷ」という）の走行方向の上流側から、１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ及び１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂの順でそれぞれ組として配されている。
【００２５】
ウェブ走行手段１２は、ウェブＷを支持しながら走行させるものであり、ロール状に巻回されたウェブＷを繰り出すウェブ繰り出しローラ２０と、走行経路に設けられ、走行中のウェブＷを支持する図示しない複数のウェブ支持ローラと、処理の終了したウェブＷを巻き取るウェブ巻取りローラ２２とより構成される。なお、図１に示されるウェブ走行手段１２は、ウェブＷの走行を間欠的な走行とし、転写手段１６による転写の際にウェブＷの走行を停止させる構成が採用されている。
【００２６】
転写シート走行手段１４は、表面にパターン部材用の材料層（パターン材料Ｐ）が形成されている材料転写シート１８をウェブＷに近接させ、かつウェブＷの走行方向と交差する方向に走行させるものであり、ロール状に巻回された材料転写シート１８を繰り出す転写シート繰り出しローラ２４と、走行経路に設けられ、走行中の材料転写シート１８を支持する図示しない複数の転写シート支持ローラと、転写の終了した材料転写シート１８を巻き取る転写シート巻取りローラ２６とより構成される。
【００２７】
なお、図１に示される転写シート走行手段１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂは、いずれも材料転写シート１８の走行を間欠的な走行とし、転写手段１６による転写の際に材料転写シート１８の走行を停止させる構成が採用されている。
【００２８】
転写手段１６は、ウェブＷと材料転写シート１８とが交差する箇所において、材料転写シート１８よりウェブＷへパターン部材用の材料層Ｐをパターン状に転写させるものであり、その詳細が図２に拡大されて図示されている。
【００２９】
図２に示されるように、転写手段１６における、ウェブＷと材料転写シート１８とが交差する箇所において、ウェブＷの下面には位置合わせテーブル２８が配されており、材料転写シート１８の上面にはプレス板３０が配されている。更に、材料転写シート１８の端部の上方にはＣＣＤカメラ３２が配されている。
【００３０】
プレス板３０の表面（この場合は下面）にはパターン状の凸部３０Ａが形成されており、プレス板３０と位置合わせテーブル２８とでウェブＷと材料転写シート１８とをサンドイッチして押圧することにより、パターン部材用の材料層ＰをウェブＷにパターン状に転写できるようになっている。
【００３１】
プレス板３０としては、表面にパターンと略同一形状の凸部３０Ａ、３０Ａ…が形成されている板状部材が使用される。凸部３０Ａのプレス板３０上の配置は、各材料（Ｒ、Ｇ、Ｂ等）のパターンに対応してなされる。凸部３０Ａのサイズは、パターンと略同一サイズ又はパターンより若干小さいサイズとするのがよい。具体的には、たとえば、パターンが１００×１００μｍの矩形である場合、これと同一とする。
【００３２】
プレス板３０の凸部３０Ａの段差は、パターンのサイズ、パターンの膜厚、パターンの要求精度等に応じて最適値が採用できるが、一般的には３０〜７０μｍが好ましく採用できる。パターンの要求精度、すなわち凸部３０Ａの成形精度の観点からは、凸部３０Ａの段差が可能な限り小さいことが好ましく、パターンの転写性の観点からは、凸部３０Ａの段差がある程度大きいことが好ましい。
【００３３】
このようなプレス板３０は、所定以上の厚さをもった金属部材で形成されているのが好ましい。プレス板３０の凸部３０Ａの形成は、フォトエッチング等により行なえる。なお、本実施形態においてはプレス板３０を使用して、プレス方式の転写を行ったが、ロールの表面に凸部が形成されたプレスローラを使用してロール方式の転写を行う方式も採用できる。
【００３４】
パターン材料Ｐの転写において、加圧と同時に加熱をする場合には、転写手段１６に加熱機構を設ける必要がある。加熱機構としては、公知の各種の方式が採用できるが、たとえば、プレス板３０の中にシースヒータを埋め込む方式が好ましく採用できる。この際、プレス板３０の中にシース熱電対等の測温手段を埋め込む構成を採れば、温度制御が好適に行える。
【００３５】
図１に示される本実施形態において、最上流側の転写手段１６（図１では１６Ｒ）においては、プレス板３０の正確な位置決めは不要であるが、以降の転写手段１６（図１では１６Ｇ、１６Ｂ）においては、プレス板３０の正確な位置決めが必要となる。プレス板３０の位置決めが不正確であると、転写済みのパターン材料Ｐ（図１ではＲ）に転写すべきパターン材料Ｐ（図１ではＧ又はＢ）が一部で重なってしまうからである。
【００３６】
そのため、ウェブＷへ転写されたパターン部材用の材料層Ｐのパターン位置をＣＣＤカメラ３２により検出し、この検出結果によりウェブＷの位置を位置合わせテーブル２８により制御する構成が採られる。
【００３７】
これに使用されるＣＣＤカメラ３２は、ウェブＷへ転写されたパターン部材用の材料層Ｐのパターン位置をμｍレベルで検出できるものが好ましい。また、ＣＣＤカメラ３２に代えて、顕微鏡とこれに接続されるＣＲＴモニタの組み合わせも採用できる。
【００３８】
位置合わせテーブル２８は、吸引手段等によりウェブＷを一時的に固定支持し、Ｘ、Ｙ及びθ方向の移動によりウェブＷの正確な位置合わせをするものであり、慣用の手段、たとえば、ボールねじとステッピングモータの組み合わせ等で構成できる。制御する手段も慣用の手段を採用すればよい。
【００３９】
なお、ＣＣＤカメラ３２による検出結果を見ながら、作業者が手動で位置合わせテーブル２８のＸ、Ｙ及びθ方向の位置合わせを行なう手動方式であっても、ＣＣＤカメラ３２による検出結果により、自動的にテーブル２８のＸ、Ｙ及びθ方向の位置合わせが行なわれる自動方式であってもよい。
【００４０】
帯状可撓性支持体（ウェブＷ）としては、一般に、所定幅の、長さが４５〜２００００ｍ、厚さが２〜２００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６  −ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等のプラスチックフイルム、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が２〜１０のα−ポリオレフィン類を塗布又はラミネートした紙等からなる可撓性帯状物又は該帯状物を基材としてその表面に加工層を形成した帯状物が使用できる。
【００４１】
パターン材料Ｐが転写されるウェブＷの表面には、必要に応じて下地処理を予め施しておくことができる。また、ウェブＷの裏面には、必要に応じて背面電極を設けておくこともできる。この背面電極は、パターン材料Ｐのピッチに合せたストライプ状のものが一般的であり、陰極・電子輸送層を形成する。
【００４２】
背面電極を形成する場合、ウェブＷがロール状に巻回される前に、真空蒸着法、スパッタリング法等で形成されることが好ましい。背面電極の組成としては、金属、合金、金属酸化物、又は電気伝導性化合物等が採用でき、仕事関数が４．５ｅＶ以上である材料で形成されることが好ましい。このような材質としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、金、銀、鉛、アルミニウム等が挙げられる。
【００４３】
このうち、電子注入性の観点から見ると、アルカリ金属及びアルカリ土類金属が好ましく、保存安定性の観点から見ると、アルミニウムを主体とする材料が好ましい。ここで、アルミニウムを主体とする材料とは、アルミニウム単体のみならず、アルミニウムと０．０１〜１０質量％のアルカリ金属又はアルカリ土類金属との合金又は混合物を指す。
【００４４】
背面電極の厚さは、使用する材料によって適宜の値が選択できるが、通常は１０ｎｍ〜５μｍの値が好ましく採用でき、５０ｎｍ〜１μｍの値が更に好ましく採用できる。
【００４５】
材料転写シート１８としては、帯状可撓性支持体が好ましく使用できる。帯状可撓性支持体としては、所定形状のシートで、各種の異なる材料（パターン材料）Ｐが塗布でき、かつ、転写工程において材料ＰをウェブＷに転写できる材質が使用できる。すなわち、転写工程における条件下において、材料Ｐの濡れ性又は接着性が、ウェブＷより劣る材質であることが求められる。
【００４６】
このような帯状可撓性支持体としては、一般に、所定幅、所定長さで、厚さが２〜２００μｍ程度ののポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６  −ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等のプラスチックフイルム、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が２〜１０のα−ポリオレフィン類を塗布又はラミネートした紙、金属板等からなる可撓性帯状物又は該帯状物を基材としてその表面に加工層を形成した帯状物が使用できる。
【００４７】
また、材料転写シート１８の材質は、転写する方式によっても適、不適があり、転写時に加熱を行う方式の場合、熱により変形しない材質が好ましい。
【００４８】
更に、材料転写シート１８の厚さは、転写する方式によっても最適な範囲がある。本実施形態のようにプレス板３０のパターン状の凸部３０Ａを使用する方式の場合、材料転写シート１８の厚さは１００μｍ以下が好ましく、３０μｍ以下がより好ましく、１０μｍ以下が更に好ましい。
【００４９】
材料転写シート１８のサイズは、最終製品（パターン部材）のサイズによっても異なるが、一般的なサイズとしては、幅が５０ｍｍ〜２ｍ、長さが１０〜２０００ｍの範囲が採用できる。
【００５０】
材料転写シート１８の表面に形成されるパターン材料Ｐの材質は、最終製品（パターン部材）の用途、転写の方式等により異なる。パターン部材が有機ＥＬ素子に使用される場合、パターン材料Ｐは発光性有機薄膜層として形成され、少なくとも１種の発光性化合物を含む。この発光性化合物の種類は、特に限定されず、蛍光発光性化合物であってもよく、燐光発光性化合物であってもよく、両者を同時に使用してもよい。
【００５１】
本発明においては、発光輝度及び発光効率の観点より、燐光発光性化合物を使用するのが好ましい。この燐光発光性化合物のパターン材料Ｐへの含有率に特に制限はないが、０．１〜７０質量％が好ましく、１〜２０質量％がより好ましい。
【００５２】
材料転写シート１８の表面に形成されるパターン材料Ｐの厚さは、特に制限はないが、１０〜２００ｎｍが好ましく、２０〜８０ｎｍがより好ましい。厚さが１０ｎｍ未満では有機薄膜素子が短絡する可能性が高く、厚さが２００ｎｍ
超では駆動電圧が上昇する可能性が高く、いずれも不適だからである。
【００５３】
材料転写シート１８の表面にパターン部材用の材料層Ｐを形成する方法としては、エクストルージョン塗布法、グラビア塗布法、バーコート塗布法等の各塗布法のみならず、真空蒸着法、スパッタリング法等の気相法をも採用できる。すなわち、連続して走行される帯状可撓性支持体（材料転写シート１８）に所定膜厚で塗布できればよい。
【００５４】
次に、図１に示されるパターン部材の製造装置１０によるパターン部材の製造方法について説明する。
【００５５】
ウェブ走行手段１２によりウェブＷを走行させるとともに、各転写シート走行手段１４により材料転写シート１８をウェブＷに近接させて走行させ、各転写手段１６の箇所でウェブＷ及び各材料転写シート１８の走行を停止させる。ウェブ走行手段１２によるウェブＷの張力、及び、転写シート走行手段１４による材料転写シート１８の張力は、搬送中の変形を起こさない程度が好ましく、５０Ｎ／ｍ以下が好ましく、２０Ｎ／ｍ以下がより好ましい。
【００５６】
一方、各転写手段１６において、ウェブＷはプレス板３０と高精度で位置合わせされることより、ウェブＷに付与される張力は小さいことが好ましい。すなわち、ウェブＷの弾性変形は極力抑えることが高精度の位置合わせには好ましい。
【００５７】
ウェブＷ及び各材料転写シート１８の走行が停止した後、各転写手段１６の位置合わせテーブル２８によってウェブＷを一時的に保持する。この吸引圧は、ウェブＷのずれを防止できる程度の負圧が得られればよい。
【００５８】
各転写手段１６のＣＣＤカメラ３２によりパターン材料Ｐの各パターン位置を検出する。この際、既述したように、転写手段１６ＲにおいてはウェブＷ上に未だパターン材料Ｐが形成されていないことより、位置合せマークを検出するか、検出を省略する。
【００５９】
ＣＣＤカメラ３２による検出結果により、位置合わせテーブル２８を微動させてウェブＷの位置合せを行う。そして、この状態でプレス板３０による押圧によりパターン材料Ｐの転写を行う。
【００６０】
転写の条件としては、パターン材料Ｐの材質、パターンのサイズ、パターンの要求精度等により異なるが、たとえば、４０〜１８０°Ｃの温度、５〜２０ｋＰａの圧力で５〜６０秒の押圧時間とする条件が採用できる。
【００６１】
転写手段１６Ｂにおいて転写が終了した後、ウェブＷはウェブ巻取りローラ２２に巻き取られる。
【００６２】
次に、本発明のパターン部材の製造装置の第２の実施形態について、図３に基づいて説明する。なお、図１及び図２に示される、本発明のパターン部材の製造装置の第１の実施形態と同一、類似の部材については、同様の符号を附し、その説明を省略する。
【００６３】
本実施形態のパターン部材の製造装置４０において、転写手段１６の位置合わせテーブル２８（図１参照）に代えて吸引テーブル４２が採用されている。この吸引テーブル４２は、転写手段１６ＲにおいてウェブＷを吸引保持したまま転写手段１６Ｇ及び転写手段１６ＢまでウェブＷの搬送と連動して移動できる構成となっている。
【００６４】
このような吸引テーブル４２は４台以上設けられており、転写手段１６Ｂで転写が終了した後、図３の紙面の手前側又は奥側に移動し、紙面の手前側又は奥側に設けられる戻りラインを経て転写手段１６Ｒに再度供給される循環方式を採る。なお、図３においては、説明の便宜のため吸引テーブル４２を１台のみ示している。
【００６５】
このような構成を採用することにより、吸引テーブル４２の送り精度を確保してあれば、ウェブＷへ転写されたパターン部材用の材料層Ｐのパターン位置を検出し、この検出結果によりウェブＷ及び／又は材料転写シート１８の走行位置を制御する構成、すなわち、図２に例示されるＣＣＤカメラ３２及び位置合わせテーブル２８は不用となる。
【００６６】
次に、図３に示されるパターン部材の製造装置４０によるパターン部材の製造方法について説明する。
【００６７】
ウェブ走行手段１２によりウェブＷを走行させるとともに、各転写シート走行手段１４により材料転写シート１８をウェブＷに近接させて走行させ、各転写手段１６の箇所でウェブＷ及び各材料転写シート１８の走行を停止させる。
【００６８】
ウェブＷ及び各材料転写シート１８の走行が停止した後、転写手段１６Ｒの吸引テーブル４２によってウェブＷを一時的に保持する。この吸引圧は、ウェブＷのずれを防止できる程度の負圧が得られればよい。この状態でプレス板３０（図２参照）による押圧によりパターン材料Ｐ（Ｒ色のパターン材料）の転写を行う。
【００６９】
転写手段１６Ｒにおいて転写が終了した後、ウェブＷは吸引テーブル４２に吸引保持された状態で転写手段１６Ｇに搬送される。この状態でプレス板３０による押圧によりパターン材料Ｐ（Ｇ色のパターン材料）の転写を行う。
【００７０】
転写手段１６Ｇにおいて転写が終了した後、ウェブＷは吸引テーブル４２に吸引保持された状態で転写手段１６Ｂに搬送される。この状態でプレス板３０による押圧によりパターン材料Ｐ（Ｂ色のパターン材料）の転写を行う。
【００７１】
転写手段１６Ｂにおいて転写が終了した後、ウェブＷはウェブ巻取りローラ２２に巻き取られる。
【００７２】
次に、本発明のパターン部材の製造装置の第３の実施形態について、図４及び図５に基づいて説明する。なお、図１及び図２に示される、本発明のパターン部材の製造装置の第１の実施形態と同一、類似の部材については、同様の符号を附し、その説明を省略する。
【００７３】
本実施形態のパターン部材の製造装置５０において、転写手段１６のプレス板３０（図２参照）に代えてマスクＭ及び押圧板５２が採用されている。そして、パターンと略同一形状の開口ＭＡを有するマスクＭ（マスク材）を使用し、材料転写シート１８の裏面（図５では上面）より押圧板５２により押圧することにより、パターン部材用の材料層Ｐを開口ＭＡを介してウェブＷにパターン状に転写する構成を採用する。このようにマスクＭを使用することにより、パターンの際をシャープに形成することができる。
【００７４】
マスクＭ（マスク材）としては、図４に示されるように、パターンと略同一形状の開口ＭＡ、ＭＡ…を有する薄板状部材が使用される。開口ＭＡのマスクＭ上の配置は、各材料（Ｒ、Ｇ、Ｂ等）のパターンに対応してなされる。開口ＭＡのサイズは、パターンと略同一形状であり、好ましくはパターンより若干大きいサイズとするのがよい。具体的には、たとえば、パターンが１００×２００μｍの矩形である場合、開口ＭＡを１０５×２０５μｍの矩形とする。
【００７５】
マスクＭの厚さは、パターンのサイズ、パターンの膜厚、パターンの要求精度等に応じて最適値が採用できるが、一般的には２０〜４０μｍが好ましく採用できる。パターンの要求精度の観点からは、マスクＭの厚さが可能な限り小さいことが好ましく、マスクＭの耐久性（寿命）や剛性の観点からは、マスクＭの厚さが厚いことが好ましい。
【００７６】
このようなマスクＭは、四周を枠材により保持され、所定のテンションをもって支持されているのが好ましい。マスクＭの材質としては、たとえば、ステンレス鋼が好ましく使用できる。マスクＭの開口ＭＡの形成は、フォトエッチング等により行なえる。
【００７７】
押圧板５２としては、所定の縦弾性係数以下の変形し易い材料であれば、押圧によってマスクＭの開口ＭＡに該当する部分が変形して、パターン部材用の材料層Ｐを開口ＭＡを介してウェブＷにパターン状に転写できる。このような材料としては、各種のゴムシートが好ましく採用できる。また、所定の樹脂材料も使用できる。
【００７８】
マスクＭと押圧板５２との組み合わせのメリットは、押圧板５２の下面にプレス板３０のような凸部３０Ａを形成せずに済む点、及び、マスクＭと押圧板５２との正確な位置合せが不要な点である。なお、押圧板５２に代えてプレス板３０を使用することも可能である。
【００７９】
次に、本発明のパターン部材の製造装置５０によるパターン部材の製造方法について説明する。図５は、本発明のパターン部材の製造方法のフローを示す概念図である。
【００８０】
図５において、転写手段１６は、上面に材料転写シート１８を支持するマスクＭと、マスクＭを支持するとともに、マスクＭのＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向の位置合わせを行なう図示しないマスク位置合わせ手段と、表面が平坦に形成され、ウェブＷの裏面を吸着支持する図示しない支持ベースと、材料転写シート１８の両端部近傍に位置決めできるように設けられ、マスクＭの位置決めマーク又はウェブＷのパターン部を検出できる２個以上の位置決め検出手段であるＣＣＤカメラ３２（図２参照）と、材料転写シート１８の裏面より押圧することによりパターン材料ＰをマスクＭの開口ＭＡを介してウェブＷにパターン状に転写する押圧板５２と、押圧板５２をウェブＷ側に押圧する押圧手段（図示略）とより構成される。
【００８１】
先ず、図５（ａ）に示されるように、マスクＭ上に材料転写シート１８を支持するとともに、マスクＭを介して材料転写シート１８をウェブＷに接近かつ相対させた状態で、マスク位置合わせ手段（図示略）によりマスクＭのＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向の位置合わせを行なう。
【００８２】
位置合わせが完了した時点で、押圧手段により押圧板５２の裏面より押圧することによりパターン材料ＰがウェブＷに転写される。この状態が、図５（ｂ）及び（ｃ）に順次示される。すなわち、材料転写シート１８の厚さは薄いので、伸長変形して、押圧板５２の弾性変形によりマスクＭの開口ＭＡに押し込まれる。これにより、開口ＭＡに押し込まれた部分の材料転写シート１８上のパターン材料ＰがウェブＷに押圧され、最終的にウェブＷ側に転写される。
【００８３】
図５（ｂ）及び（ｃ）に示されるように、ウェブＷ側に転写されたパターンの幅はマスクＭの開口ＭＡの幅より若干小さくなっていることが解る。このような断面状態となることより、マスクＭの開口ＭＡの幅は、パターンの設計幅、材料転写シート１８の厚さ、材料転写シート１８の伸長量、材料転写シート１８の機械特性（たとえば、縦弾性係数）、パターン材料Ｐの膜厚等を考慮して設計する必要がある。
【００８４】
パターン材料ＰがウェブＷに転写された後に、押圧板５２、マスクＭ及び材料転写シート１８はウェブＷ側から退避する（図５（ｄ））。この操作が、たとえばＲ、Ｇ、Ｂの３色分繰り返されて、図５（ｅ）及び図６に示されるようなウェブＷが形成される。
【００８５】
以上に説明した本発明のパターン部材の製造方法の各実施形態によって得られたパターン部材のパターン形状の例を図６に示す。各画素がマトリックス状に形成されており、横方向はＲ、Ｇ、Ｂの順で配列され、縦方向は同一色が配列されている。Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素（パターン）のサイズは１辺が１００μｍの正方形であり、各画素同士の間隔は２５μｍとなっている。
【００８６】
以上、本発明に係るパターン部材の製造方法及び製造装置の実施形態の例について説明したが、本発明は上記実施形態の例に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。
【００８７】
たとえば、ウェブＷの幅、厚さ、材料転写シート１８の種類、枚数、等は、パターン部材の製品サイズ、製品の種別、生産数量等に応じて上記実施形態以外の各種態様が選択できる。
【００８８】
また、上記実施形態の例では、パターン部材が転写されたウェブＷをそのまま巻き取る工程が採用されているが、パターン部材の材質によっては、乾燥工程等の後処理を経て巻き取る工程とすることも可能である。
【００８９】
また、たとえば、転写後のパターン部材を保護すべく、転写シート巻取りローラ２６の箇所において、ポリエチレン又はポリプロピレン等の保護シートを重ねて巻き取る構成も採用できる。
【００９０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、帯状可撓性支持体を走行させるとともに、表面にパターン部材用の材料層が形成されている材料転写シートをこの帯状可撓性支持体に近接させ、かつ帯状可撓性支持体の走行方向と交差する方向に走行させ、両者が交差する箇所において、転写手段により材料転写シートより帯状可撓性支持体へパターン部材用の材料層をパターン状に転写できる。そして、これを複数種類の材料、たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の色彩用材料のいずれかに対して行い、これを繰り返すことにより、パターン部材（たとえば、有機ＥＬ素子、液晶表示素子のカラーフィルタ）を形成できる。
【００９１】
したがって、本発明の上記方法により、帯状可撓性支持体上に複数種類の異なる材料をパターン状に形成するパターン部材の製造において、生産性及び製品品質（パターン精度）のいずれをも向上させることができる。また、材料（インク）の種類についても選択の自由度が多いという利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパターン部材の製造装置の実施例の概念図
【図２】転写手段の概念図
【図３】本発明のパターン部材の製造装置の他の実施例の概念図
【図４】マスクの構成図
【図５】本発明のパターン部材の製造装置の更に他の実施例のフローを示す概念図
【図６】転写が終了した帯状可撓性支持体の構成図
【符号の説明】
１０、４０、５０、６０…パターン部材の製造装置、１２…ウェブ走行手段、１４…転写シート走行手段、１６…転写手段、１８…材料転写シート、２０…ウェブ繰り出しローラ、２２…ウェブ巻取りローラ、２４…転写シート繰り出しローラ、２６…転写シート巻取りローラ、２８…位置合わせテーブル、３０…プレス板、３２…ＣＣＤカメラ、４２…吸引テーブル、５２…押圧板、Ｍ…マスク、Ｐ…パターン材料、Ｗ…帯状可撓性支持体（ウェブ）
【図１】
2004287306.tif 000003
【図２】
2004287306.tif 000004
【図３】
2004287306.tif 000005
【図４】
2004287306.tif 000006
【図５】
2004287306.tif 000007
【図６】
2004287306.tif 000008