(57)【要約】【課題】　接続チューブをアースすることにより、接続チューブで発生した静電気を除電可能な液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することをその課題としている。【解決手段】　移動テーブル１１１による走査と同期して機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド４１と、機能液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する機能液供給手段１９１と、を備えた液滴吐出装置１において、機能液供給手段１９１は、機能液を供給する機能液タンク２０２と、配管接続のための樹脂製の接続チューブ２０３と、接続チューブ２０３を支持し、機能液滴吐出ヘッド４１の走査に伴って接続チューブ２０３を追従移動させる可撓性担持部材１２３と、可撓性担持部材１２３に設けられ、接続チューブ２０３に接触して当該接続チューブ２０３を装置フレーム１０にアースする除電手段６と、を有することを特徴とする。【選択図】　図１１
2004141861.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　移動テーブルに搭載され、当該移動テーブルによる走査と同期してワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給手段と、を備えた液滴吐出装置において、
　前記機能液供給手段は、機能液を供給する機能液タンクと、
　前記機能液滴吐出ヘッドと前記機能液タンクとを接続する樹脂製の接続チューブと、
　一端を前記移動テーブルに固定され、かつ他端を装置フレームに固定され、前記接続チューブを支持すると共に前記機能液滴吐出ヘッドの走査に伴って前記接続チューブを追従移動させる可撓性担持部材と、
　前記可撓性担持部材に設けられ、前記接続チューブに接触して当該接続チューブを前記装置フレームにアースする除電手段と、を有していることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
　機能液滴吐出ヘッドと、前記機能液滴吐出ヘッドに対し移動して当該機能液滴吐出ヘッドのノズル面を拭き取るワイピングユニットと、前記ワイピングユニットを搭載すると共に、前記機能液滴吐出ヘッドに対して前記ワイピングユニットを移動させる移動テーブルと、前記ワイピングユニットに拭き取り用の洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えた液滴吐出装置において、
　前記洗浄液供給手段は、洗浄液を供給する洗浄液タンクと、
　前記洗浄液タンクと前記ワイピングユニットとを接続する樹脂製の接続チューブと、
　一端を前記移動テーブルに固定され、かつ他端を装置フレームに固定され、前記接続チューブを支持すると共に前記ワイピングユニットの移動に伴って前記接続チューブを追従移動させる可撓性担持部材と、
　前記可撓性担持部材に設けられ、前記接続チューブに接触して当該接続チューブを前記装置フレームにアースする除電手段と、を有していることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
　前記除電手段は、前記可撓性担持部材における前記接続チューブの支持面に配設した除電シートで構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
　前記除電シートは、前記可撓性担持部材の支持面の全長に亘って設けられていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
　前記除電シートの前記接続チューブとの接触面に、除電用の起毛が設けられていることを特徴とする請求項３または４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
　前記接続チューブの前記可撓性担持部材に支持された部分を除いた非可動部分に介設され、前記接続チューブを前記装置フレームにアースする導電性の継手を、さらに有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
　前記継手は、前記接続チューブの非可動部分に所定の間隔で設けられていることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
　前記継手は、導電性の継手支持金具を介して前記装置フレームにアースされていることを特徴とする請求項６または７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
　請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に前記機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
　請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に前記機能液滴吐出ヘッドから吐出した機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
　請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置、または請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、樹脂で構成され、各部材を配管接続する接続チューブ、例えば、機能液滴吐出ヘッドと機能液タンクとを接続する接続チューブ等、をアースする液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　液滴吐出装置の一種として従来から知られているインクジェット記録装置は、往復動移動可能に構成されたキャリッジにインクを吐出するインクジェットヘッドを搭載すると共に、インクジェットヘッドとインクを供給するインクカートリッジ（インクタンク）とをインク供給チューブ（接続チューブ）で接続している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
　このようなインクジェット記録装置のインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴をドット状に精度良く吐出できることから、各種製品の製造分野への応用が期待されており、液滴吐出装置の機能液滴吐出ヘッドに機能液として各種液体材料を導入することが考えられている。したがって、液滴吐出装置には、多種多様な機能液が導入されることが想定されるため、機能液を貯留する機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路には、耐食性を有する樹脂製の接続チューブが用いられる。
【０００４】
　また、液滴吐出装置には、機能液滴吐出ヘッドに付着した機能液を拭き取るためのワイピングユニットを備えられており、ワイピングユニットには洗浄液タンクから洗浄液が供給される。そして、洗浄液も、機能液に応じて多種多様な洗浄液を用いられることが考えられるので、機能液タンクからワイピングユニットに至る洗浄液流路も機能液流路と同様に耐食性を有する樹脂製の接続チューブが用いられる。
【特許文献１】特開２００１−２７０１３３号公報（第２−３頁、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
　このように、液滴吐出装置では、機能液または洗浄液の耐食性を考慮して機能液流路および洗浄液流路を樹脂製の接続チューブで構成している。しかし、樹脂製の接続チューブは静電気を発生しやすく、引火点の低い溶媒を用いた機能液または洗浄液が導入された場合、静電気が装置に悪影響を与える可能性が生じる。そして、機能液滴吐出ヘッドの走査に伴い接続チューブが追従移動する等のように、接続チューブが動く構成となっている場合には、特に接続チューブの動く部分で静電気を発生しやすく、装置に悪影響を及ぼす可能性が高くなる。
【０００６】
　そこで、本発明は、接続チューブをアースすることにより、接続チューブで発生した静電気を除電可能な液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
　本発明は、移動テーブルに搭載され、当該移動テーブルによる走査と同期してワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給手段と、を備えた液滴吐出装置において、機能液供給手段は、機能液を供給する機能液タンクと、機能液滴吐出ヘッドと機能液タンクとを接続する樹脂製の接続チューブと、一端を移動テーブルに固定され、かつ他端を装置フレームに固定され、接続チューブを支持すると共に機能液滴吐出ヘッドの走査に伴って接続チューブを追従移動させる可撓性担持部材と、可撓性担持部材に設けられ、接続チューブに接触して当該接続チューブを装置フレームにアースする除電手段と、を有していることを特徴とする。
【０００８】
　また、本発明は、機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドに対し移動して当該機能液滴吐出ヘッドのノズル面を拭き取るワイピングユニットと、ワイピングユニットを搭載すると共に、機能液滴吐出ヘッドに対してワイピングユニットを移動させる移動テーブルと、ワイピングユニットに拭き取り用の洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えた液滴吐出装置において、洗浄液供給手段は、洗浄液を供給する洗浄液タンクと、洗浄液タンクとワイピングユニットとを接続する樹脂製の接続チューブと、一端を移動テーブルに固定され、かつ他端を装置フレームに固定され、接続チューブを支持すると共にワイピングユニットの移動に伴って接続チューブを追従移動させる可撓性担持部材と、可撓性担持部材に設けられ、接続チューブに接触して当該接続チューブを装置フレームにアースする除電手段と、を有していることを特徴とする。
【０００９】
　これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの走査またはワイピングユニットの移動に伴い、接続チューブを追従移動させる可撓性担持部材に静電気を除電する除電手段が設けられているので、発生した静電気を速やかに除電することができる。すなわち、可撓性担持部材で支持された部分の接続チューブは、追従移動することで最も静電気を発生しやすい部分であるが、この部分の接続チューブに接触する除電手段を設けることにより、発生した静電気を効率的に除電することができる。なお、「可撓性担持部材に除電手段を設ける」とは、可撓性に導電性の部材を別体として設ける場合の他、可撓性担持部材自身を導電性の部材（カーボン等の導電性材料を混入した樹脂も含む）で構成する場合を含むものである。
【００１０】
　この場合、除電手段は、可撓性担持部材における接続チューブの支持面に配設した除電シートで構成されていることが好ましい。
【００１１】
　この構成によれば、除電手段が除電シートで構成されているので、可撓性担持部材に配設しても邪魔になることがない。また、可撓性担持部材における接続チューブの支持面に除電シートを配設すれば、除電シートと接続チューブとが接触する構成であるので、接続チューブの静電気を容易に除電することができる。また、接続チューブが複数本で構成されている場合でも、除電シートの幅を調整するだけで、全ての接続チューブに除電シートを容易に接触させることができ、全ての接続チューブの静電気を除電することができる。
【００１２】
　この場合、除電シートは、可撓性担持部材の支持面の全長に亘って設けられていることが好ましい。
【００１３】
　この構成によれば、除電シートが可撓性担持部材の支持面の全長に亘って設けられているので、可撓性担持部材によって追従移動する接続チューブの全長に亘り除電シートが接触する。したがって、接続チューブの静電気が最も発生しやすい部分全体に除電シートが接触するので、接続チューブに静電気が部分的に残留することを防止できる。
【００１４】
　この場合、除電シートの接続チューブとの接触面に、除電用の起毛が設けられていることが好ましい。
【００１５】
　この構成によれば、除電シートの接触面に設けられた除電用の起毛が接続チューブに接触するので、除電シートと接続チューブとの接触面積を増すことができ、より効率的に接続チューブの静電気を除電することができる。
【００１６】
　この場合、接続チューブの可撓性担持部材に支持された部分を除いた非可動部分に介設され、接続チューブを装置フレームにアースする導電性の継手をさらに有していることが好ましい。
【００１７】
　この構成によれば、接続チューブの非可動部分、すなわち機能液滴吐出ヘッドの走査に伴って追従移動しない部分の接続チューブ、が継手を介して装置フレームにアースされるので、接続チューブの非可動部分に発生した静電気を除電することができる。なお、導電性の継手としては、ステンレス、銅、真鍮等の金属性の継手の他、カーボン等の導電性材料を混入した導電性の樹脂で構成された継手も含むものである。
【００１８】
　この場合、継手は、接続チューブの非可動部分に所定の間隔で設けられていることが好ましい。
【００１９】
　この構成によれば、接続チューブの非可動部分に継手が所定の間隔で設けられているので、接続チューブの非可動部分に発生した静電気を所定の間隔毎に除電することができ、発生した静電気の影響を最小限に止めることができる。
【００２０】
　この場合、継手は、導電性の継手支持金具を介して装置フレームにアースされていることが好ましい。
【００２１】
　この構成によれば、接続チューブの非可動部分は、継手を支持する継手支持金具を介して装置フレームにアースされているので、特殊形状の継手や、継手にアースするための部材を別個に設ける必要がなく、部材を設置するスペースを省略できると共に、装置構成を簡略化することができる。
【００２２】
　本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２３】
　また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２４】
　これらの構成によれば、ワークに対し多彩な機能液の吐出を可能とする液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置やＳＥＤ(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２５】
　本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２６】
　この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００２７】
　以上に述べたように、本発明の液滴吐出装置によれば、樹脂製の接続チューブに発生する静電気を除電手段により効率的に除電することができる。すなわち、動くことにより、特に静電気を発生しやすい接続チューブの可動部には、可動部の全長に亘って除電シートを接触させ、速やかに発生した静電気を除電すると共に、非可動部分には、所定間隔毎に除電用の継手を設け、適切に除電が行われるようにしている。また、通常の継手を、導電性を有する部材で構成することにより、除電用の継手として利用することができるので、新たに別部材を設ける必要がなく、装置の省スペース化を図ることができると共に、装置構成を簡略化することができる。
【００２８】
　また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器では、上記した液滴吐出装置を用いて製造されているため、静電気による影響を受けにくく、効率的な製造が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
　以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置の外観斜視図、図２は外観平面図、図３は外観側面図である。詳細は後述するが、この液滴吐出装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッド４１に導入して、基板等のワークＷに機能液滴による成膜部を形成するものである。
【００３０】
　図１ないし３に示すように、液滴吐出装置１は、機能液を吐出するための吐出手段２と、吐出手段２のメンテナンスを行うメンテナンス手段３と、吐出手段２に機能液を供給すると共に不要となった機能液を回収する液体供給回収手段４と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５と、を備えている。そして、これらの各手段は、制御手段７により、相互に関連付けられて制御されている。また、液滴吐出装置１には、装置内で発生した静電気を除電するための除電手段６が設けられている。なお、図示省略したが、この他にも、ワークＷの位置を認識するワーク認識カメラや、吐出手段２のヘッドユニット３１（後述する）の位置確認を行うヘッド認識カメラ、各種インジケータ等の付帯装置が設けられており、これらも制御手段７によりコントロールされている。
【００３１】
　図１に示すように、吐出手段２およびメンテナンス手段３のフラッシングユニット１３３（後述する）は、アングル材を方形に組んで構成した架台１１の上部に固定した石定盤１２の上に配設されており、液体供給回収手段４およびエアー供給手段５の大部分は、架台１１に添設された機台２１に組み込まれている。機台には、大小２つの収容室２６、２７が形成されており、大きいほうの収容室２６には液体供給回収手段４のタンク類が収容され、小さいほうの収容室２７にはエアー供給手段５の主要部が収容されている。また、機台２１上には、後述する液体供給回収手段４の給液タンク２０２を載置するタンクベース２２および機台２１の長手方向にスライド自在に支持された移動テーブル２３が設けられており、移動テーブル２３上にはメンテナンス手段３の吸引ユニット１３１（後述する）およびワイピングユニット１３２（後述する）を載置する共通ベース２４が固定されている。また、移動テーブル２３の脇には、移動テーブル２３と平行に配設したケーブルベア（登録商標）２５が備えられており、吸引ユニット１３１やワイピングユニット１３２に接続するケーブル等が収容されている。なお、架台１１や石定盤１２、機台２１、タンクベース２２等のように、各手段を載置・固定するための部材を総称して、装置フレーム１０とする。
【００３２】
　この液滴吐出装置１は、吐出手段２の機能液滴吐出ヘッド４１をメンテナンス手段３に保守させながら、液体供給回収手段４の給液タンク２０２から機能液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給すると共に、機能液滴吐出ヘッド４１からワークＷに機能液を吐出させるものである。そして、以下、各手段について説明する。
【００３３】
　吐出手段２は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド４１を複数有するヘッドユニット３１と、ヘッドユニット３１を支持するメインキャリッジ３２と、ワークＷを載置し、ワークＷを機能液滴吐出ヘッド４１に対して走査させるＸ・Ｙ移動機構３３と、を有している。
【００３４】
　図４および図５に示すように、ヘッドユニット３１は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド４１と、複数の機能液滴吐出ヘッド４１を搭載するサブキャリッジ４２と、各機能液滴吐出ヘッド４１をサブキャリッジ４２に取り付けるためのヘッド保持部材４３と、から構成されている。１２個の機能液滴吐出ヘッド４１は、６個ずつに二分され、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けてサブキャリッジ４２に配設されている。二分された６個の各機能液滴吐出ヘッド４１は、副走査方向（Ｙ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各機能液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズル５８が連続（一部重複）するようになっている。なお、機能液滴吐出ヘッド４１を専用部品で構成するなどして、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、機能液滴吐出ヘッド４１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００３５】
　図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド４１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針５２を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５３と、機能液導入部５１の下方に連なるヘッド本体５４と、を備えている。各接続針５２は、配管アダプタ５９を介して液体供給回収手段４の給液タンク２０２に接続されており、機能液導入部５１は、各接続針５２から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体５４は、２連のポンプ部５５および多数の吐出ノズル５８から成る２列の吐出ノズル５８列を形成したノズル形成プレート５６を有しており、ヘッド本体５４の内部には、機能液で満たされるヘッド内流路が形成されている。そして、機能液滴吐出ヘッド４１では、ポンプ部５５の作用により吐出ノズル５８から機能液滴を吐出するようになっている。
【００３６】
　図４に示すように、サブキャリッジ４２は、一部が切り欠かれた本体プレート７１と、本体プレート７１の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン７２と、本体プレート７１の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材７３と、を備えている。一対の基準ピン７２は、画像認識を前提として、サブキャリッジ４２（ヘッドユニット３１）をＸ軸、Ｙ軸、およびθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となるものである。支持部材７３は、ヘッドユニット３１をメインキャリッジ３２に固定する際の固定部位となる。また、サブキャリッジ４２には、各機能液滴吐出ヘッド４１と給液タンク２０２を配管接続するための配管ジョイント７４が設けられている。配管ジョイント７４は、一端に各機能液滴吐出ヘッド４１（接続針５２）と接続した配管アダプタ５９からのヘッド側配管部材を接続し、もう一端には給液タンク２０２からの装置側配管部材を接続するための１２個のソケット７５を有している。
【００３７】
　メインキャリッジ３２は、後述するブリッジプレート１１２に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材９１と、吊設部材９１の下面に取り付けたθテーブルと、θテーブルの下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体９３と、で構成されている（図３参照）。キャリッジ本体９３には、ヘッドユニット３１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット３１を位置決め固定するようになっている。なお、キャリッジ本体９３には、キャリッジ移動軸の誤差補正データを取り込むためのワーク認識カメラが配設されている。
【００３８】
　Ｘ・Ｙ移動機構３３は、上記した石定盤１２に固定され、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向）させると共にメインキャリッジ３２を介してヘッドユニット３１を副走査（Ｙ軸方向）させるものである。図１に示すように、Ｘ・Ｙ移動機構３３は、石定盤１２の長辺に沿う中心線に軸線を合致させて、石定盤１２上に直接固定されたＸ軸テーブル１０１と、石定盤１２に固定した４本の支柱１３によりＸ軸テーブル１０１を跨いで、石定盤１２の短辺に沿う中心線に軸線を合致させたＹ軸テーブル１１１と、を有している。
【００３９】
　図１に示すように、Ｘ軸テーブル１０１は、ワークＷをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル１０２と、吸着テーブル１０２を支持するθテーブル１０３と、θテーブル１０３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ１０４と、θテーブル１０３を介して吸着テーブル１０２上のワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ(図示省略)と、Ｘ軸エアースライダ１０４に併設したＸ軸リニアスケール１０５とで構成されている。機能液滴吐出ヘッド４１の主走査は、Ｘ軸リニアモータの駆動により、ワークＷを吸着した吸着テーブル１０２およびθテーブル１０３が、Ｘ軸エアースライダ１０４を案内にしてＸ軸方向に往復移動することにより行われる。
【００４０】
　また、Ｘ軸リニアスケール１０５と平行に位置して、Ｘ軸ケーブルベア１２１が配設されている。Ｘ軸ケーブルベア１２１には、上記したエアー供給手段５に接続され、吸着テーブル１０２を介してワークＷをエアー吸引するための真空チューブやθテーブル１０３に配設するためのケーブルやチューブ等が収容されており、ボックス１２２で覆われている。
【００４１】
　図１ないし３に示すように、Ｙ軸テーブル１１１（移動テーブル）は、上記した４本の支柱１３上に配設した載置プレート１４上に設けられており、メインキャリッジ３２を吊設するブリッジプレート１１２と、ブリッジプレート１１２を両持ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スライダ１１３と、Ｙ軸スライダ１１３に併設したＹ軸リニアスケール１１４と、一対のＹ軸スライダ１１３を案内してブリッジプレート１１２をＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ１１５と、Ｙ軸ボールねじ１１５を正逆回転させるＹ軸モータ(図示省略)と、を備えている。Ｙ軸モータはサーボモータで構成されており、Ｙ軸モータが正逆回転すると、Ｙ軸ボールねじ１１５を介してこれに螺合しているブリッジプレート１１２が一対のＹ軸スライダ１１３を案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート１１２の移動に伴い、メインキャリッジ３２（ヘッドユニット３１）がＹ軸方向の往復移動を行い、機能液滴吐出ヘッド４１の副走査が行われる。
【００４２】
　また、同図に示すように、一対のＹ軸スライダ１１３の両外側には、Ｙ軸スライダ１１３と平行に配設され、ボックス１２４に収容された一対のＹ軸ケーブルベア１２３が設けられている。各Ｙ軸ケーブルベア１２３は、一端をＹ軸テーブル１１１のブリッジプレートに固定され、他端を載置プレート１４に固定されている。Ｙ軸ケーブルベア１２３には、主にヘッドユニット３１（機能液滴吐出ヘッド４１）に接続されるケーブルやチューブが収容されており、Ｙ軸ケーブルベア１２３は、これらのケーブルやチューブをフレキシブルに保護すると共に、これらをメインキャリッジ３２（ヘッドユニット３１）の移動に追従させている。なお、図示手前側のＹ軸ケーブルベア１２３（可撓性担持部材）には、給液タンク２０２と機能液滴吐出ヘッド４１とを接続する給液チューブ２０３が収容（支持）されている。
【００４３】
　ここで、吐出手段２の一連の動作を簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、ヘッド認識カメラによるヘッドユニット３１の位置補正が行われた後、ワーク認識カメラによって、吸着テーブル１０２にセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、ワークＷをＸ・Ｙ移動機構３３（Ｘ軸テーブル１０１）により主走査方向に往復動させると共に、複数の機能液滴吐出ヘッド４１を駆動させてワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット３１をＸ・Ｙ移動機構３３（Ｙ軸テーブル１１１）により副走査方向に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド４１の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット３１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット３１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ヘッドユニット３１を固定とし、ワークＷを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４４】
　次に、メンテナンス手段３について説明する。メンテナンス手段３は、機能液滴吐出ヘッド４１を保守して、機能液滴吐出ヘッド４１が適切に機能液を吐出できるようにするもので、吸引ユニット１３１、ワイピングユニット１３２、フラッシングユニット１３３を備えている（図１参照）。
【００４５】
　吸引ユニット１３１は、上記した機台２１の共通ベース２４に載置されており、移動テーブル２３を介して、機台２１の長手方向、すなわちＸ軸方向、にスライド自在に構成されている。吸引ユニット１３１は、機能液滴吐出ヘッド４１を吸引することにより、機能液滴吐出ヘッド４１を保守するためのもので、ヘッドユニット３１（の機能液滴吐出ヘッド４１）に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド４１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に用いられる。
【００４６】
　図６に示すように、吸引ユニット１３１は、各機能液滴吐出ヘッド４１に密着させる１２個のキャップ１４２を有するキャップユニット１４１と、密着させたキャップ１４２を介して機能液の吸引を行う機能液吸引ポンプ１４３と、各キャップ１４２と機能液吸引ポンプ１４３を接続する吸引用チューブ１４４と、キャップユニット１４１を支持する支持部材１４５と、支持部材１４５を介してキャップユニット１４１を昇降させ、キャップ１４２を機能液滴吐出ヘッド４１から離接させる昇降機構１４６とを有している。
【００４７】
　ワイピングユニット１３２は、後述する液体供給回収手段４の洗浄液タンク２４１から洗浄液の供給を受けて、吸引動作により機能液が付着するなどして汚れた各機能液滴吐出ヘッド４１のノズル形成面５７（ノズル面）を拭き取るものであり、吸引ユニット１３１と共に共通ベース２４に配設されている。すなわち、移動テーブル２３の駆動により、吸引ユニット１３１およびワイピングユニット１３２は共通ベース２４を介してＸ軸方向に移動する構成となっており、ヘッドユニット３１の機能液滴吐出ヘッド４１を吸引ユニット１３１で吸引後、移動テーブルを駆動してヘッドユニット３１にワイピングユニット１３２を臨ませ、吸引で汚れた機能液滴吐出ヘッド４１のノズル形成面５７をワイピングユニット１３２で拭き取るようになっている。
【００４８】
　図１に示すように、ワイピングユニット１３２は、共通ベース２４上に突き合わせた状態で配設された巻取りユニット１５１と拭き取りユニット１５２とから構成されている。図７に示すように、巻取りユニット１５１は、片持ち形式のフレーム１６１とフレーム１６１に回転自在に支持した上側の繰出しリール１６２および下側の巻取りリール１６３と、下側の巻取りリール１６３を回転させる巻取りモータ１６４と、を備えている。また、フレーム１６１の上側部にはサブフレーム１６５が固定されており、サブフレーム１６５には、繰出しリール１６２の先方に位置するように速度検出ローラ１６６および中間ローラ１６７が両持ちで支持されている。なお、これらの下側には洗浄液（後述する）を受ける洗浄液パン１６９が設けられている。
【００４９】
　図１２に示すように、繰出しリール１６２には、ロール状のワイピングシート１６８が装填され、繰出しリール１６２から繰出されたワイピングシート１６８は、速度検出ローラ１６６および中間ローラ１６７を介して拭き取りユニット１５２に送られ、後述の拭き取りローラ１７３を経由して巻取りリール１６３に巻き取られる。
【００５０】
　図８に示すように、拭き取りユニット１５２は、左右一対のスタンド１７１と一対のスタンド１７１に支持された断面「Ｕ」字状のベースフレーム１７２と、ベースフレーム１７２に両持ちで回転自在に支持され、グリップローラで構成された拭き取りローラ１７３と、拭き取りローラ１７３に平行に対峙する洗浄液噴霧ヘッド１７４と、ベースフレーム１７２を昇降させる１対のエアーシリンダ１７５とを備えている。
【００５１】
　洗浄液噴霧ヘッド１７４は、拭き取りローラ１７３の近傍に配設され、中間ローラ１６７から送られてくるワイピングシート１６８に洗浄液を吹き付ける。このため、洗浄液噴霧ヘッド１７４の前面、すなわち拭き取りローラ１７３側には、ワイピングシート１６８の幅に合わせて複数の洗浄液噴霧ヘッド１７４が横並びに配設されている。また、洗浄液噴霧ヘッド１７４の背面には、洗浄液タンク２４１に連なるチューブ接続用の複数のコネクタが設けられている。なお、図示省略したが、拭き取りユニット１５２にも、ワイピングシート１６８から滴る洗浄液を受けるための洗浄液パンが設けられている。
【００５２】
　ここで、図１２を参照して、ワイピングユニット１３２の一連の拭き取り動作について説明する。ヘッドユニット３１（機能液滴吐出ヘッド４１）の吸引が終了すると、移動テーブル２３が駆動し、ワイピングユニット１３２を前進させてヘッドユニット３１に十分に接近させる。拭き取りローラ１７３が機能液滴吐出ヘッド４１の近傍まで移動したら、移動テーブル２３の駆動を停止し、両エアーシリンダ１７５を駆動して拭き取りローラ１７３を上昇させ、機能液滴吐出ヘッド４１に拭き取りローラ１７３が接触（押し付けられる）させる。
【００５３】
　そして、巻取りモータ１６４を駆動して、ワイピングシート１６８を送ると共に、洗浄液の噴霧を開始し、ワイピングシート１６８に洗浄液を含浸させる。これと同時に、移動テーブルを駆動し、ワイピングシート１６８の送りを行いながら、拭き取りローラ１７３を前進させ、複数の機能液滴吐出ヘッド４１の下面（ノズル形成面５７）にワイピングシート１６８を摺動させ、拭き取っていく。そして、拭き取り動作が完了したら、すなわち拭き取りローラ１７３が機能液滴吐出ヘッド４１の下面を通過し終えたら、ワイピングシート１６８の送りを停止させると共に、拭き取りローラ１７３を下降させ、移動テーブル２３を駆動して、ワイピングユニット１３２を元の位置に後退させる。
【００５４】
　フラッシングユニット１３３は、液滴吐出時における複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド４１のフラッシング動作（予備吐出）により順に吐出される機能液を受けるためのものである。フラッシングユニット１３３は、Ｘ軸テーブル１０１の吸着テーブル１０２を挟んでθテーブル１０３に固定され、吐出された機能液を受ける一対のフラッシングボックス１８１を備えている。フラッシングボックス１８１は、主走査に伴い移動するので、ヘッドユニット３１等をフラッシング動作のために移動させることない。すなわち、フラッシングボックス１８１はワークＷと共にヘッドユニット３１へ向かって移動していくので、フラッシングボックス１８１に臨んだ機能液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズル５８から順次フラッシング動作を行うことができる。なお、フラッシングボックス１８１で受けた機能液は、後述する廃液タンク２５１に貯留される。
【００５５】
　フラッシング動作は、全ての機能液滴吐出ヘッド４１の全吐出ノズル５８から機能液を吐出するもので、時間の経過に伴い、機能液滴吐出ヘッド４１に導入した機能液が乾燥により増粘して、機能液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズル５８に目詰りを生じさせることを防止するために定期的に行われる。フラッシング動作は、機能液の吐出時だけではなく、ワークＷの入れ替え時等、機能液の吐出が一時的に休止されるときにも行う必要がある。係る場合、ヘッドユニット３１は、吸引位置、すなわち吸引ユニット１３１のキャップユニット１４１の直上部、まで移動した後、各機能液滴吐出ヘッド４１は、対応する各キャップ１４２に向けてフラッシングを行う。
【００５６】
　キャップ１４２に対してフラッシングを行う場合、キャップユニット１４１は、機能液滴吐出ヘッド４１とキャップ１４２との間に僅かな間隙が生じる第２位置まで昇降機構１４６によって上昇させられており、フラッシングで吐出された機能液の大部分を各キャップ１４２で受けられるようになっている。しかしながら、吐出された機能液の一部は、霧状のミストとなって浮遊・飛散するため、本実施形態の液滴吐出装置１では、キャップ１４２に向けてフラッシングを行う際に、各キャップ１４２を介して機能液滴吐出空間のエアーを吸引する構成となっている。すなわち、エアー吸引により、ミストを各キャップ１４２に受け、機能液滴吐出ヘッド４１のノズル形成面５７や装置内部がミストで汚れることを防止している。なお、エアー吸引はキャップに接続されたブロア１４７を駆動することにより行う（図１３参照）。
【００５７】
　次に、液体供給回収手段４について説明する。液体供給回収手段４は、ヘッドユニット３１の各機能液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する機能液供給系１９１（機能液供給装置）と、メンテナンス手段３の吸引ユニット１３１で吸引した機能液を回収する機能液回収系１９２と、ワイピングユニット１３２に機能材料の溶剤を洗浄用として供給する洗浄液供給系１９３と、フラッシングユニット１３３で受けた機能液を回収する廃液回収系１９４とで構成されている。そして、図３に示すように、機台２１の大きいほうの収容室２６には、図示右側から順に機能液供給系１９１の加圧タンク２０１、機能液回収系１９２の再利用タンク２３１、洗浄液供給系１９３の洗浄液タンク２４１が横並びに配設されている。そして、再利用タンク２３１および洗浄液タンク２４１の近傍には、小型に形成した廃液回収系１９４の廃液タンク２５１が設けられている。
【００５８】
　図１３に示すように、機能液供給系１９１は、大量（３Ｌ）の機能液を貯留する加圧タンク２０１と、加圧タンク２０１から送液された機能液を貯留すると共に、各機能液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する給液タンク２０２と、給液通路を形成してこれらを配管接続する給液チューブ２０３（接続チューブ）と、で成り立っている。加圧タンク２０１は、エアー供給手段５から導入される圧縮気体（不活性ガス）により、給液チューブ２０３を介して貯留する機能液を給液タンク２０２に圧送している。
【００５９】
　給液タンク２０２は、図１ないし３に示すように上記したタンクベース２２上に固定されており、両側に液位窓２１２を有すると共に、加圧タンク２０１からの機能液を貯留するタンク本体２１１と、両液位窓２１２に臨んで機能液の液位（水位）を検出する液位検出器２１３と、を備えている。
【００６０】
　図２に示すように、タンク本体２１１（の蓋体）の上面には、加圧タンク２０１に連なる給液チューブ２０３が繋ぎこまれており、またヘッドユニット３１側に延びる給液チューブ２０３用の６つの給液用コネクタ２１８と、エアー供給手段５と接続するエアー供給チューブ２６２用の加圧用コネクタ２１９が１つ設けられている。加圧タンク２０１に接続された給液チューブ２０３には、液位調節バルブ２２１が介設されており、液位検出器２１３からの検出結果に基づいて液位調節バルブ２２１を開閉制御することにより、タンク本体２１１に貯留する機能液の液位が、常に液位検出器２１３の検出範囲内にあるように調整されている（図１３参照）。
【００６１】
　なお、加圧用コネクタ２１９に接続されるエアー供給チューブ２６２には、大気開放ポートを有する三方弁２６４が介設されており、加圧タンク２０１からの圧力は、大気開放によって縁切りされる。これにより、ヘッドユニット３１側に延びる給液チューブ２０３の水頭圧を、上述した液位の調節により僅かにマイナス水頭（例えば２５ｍｍ±０．５ｍｍ）に保って、機能液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズル５８からの液垂れが防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド４１のポンピング動作、すなわちポンプ部５５内の圧電素子のポンプ駆動で精度良く液滴が吐出されるようにしている。
【００６２】
　給液チューブ２０３は、機能液により侵食されることを防止するために、耐食性のあるフッ素樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）、あるいはポリプロピレン（ＰＰ）等で構成されている。詳細は後述するが、給液チューブ２０３は、各所に設けられたアース継手２８１に接続され、各継手を介して装置フレーム１０に固定されている。また、給液タンク２０２から機能液滴吐出ヘッド４１に延びる６本の給液チューブ２０３は、Ｙ軸ケーブルベア１２３から継手ユニット２７２（後述する）に配設されたＴ字継手２８４に接続され、それぞれ２本に分岐して計１２本の分岐給液チューブ２０４を形成する（図１０、図１１および１３参照）。各分岐給液チューブ２０４は、配管側装置部材を介して各機能液滴吐出ヘッド４１に接続される。なお、各分岐給液チューブ２０４には、供給バルブ２２２が介設されており、供給バルブ２２２を開閉制御することで、機能液滴吐出ヘッド４１への機能液の供給を制御することができる。
【００６３】
　機能液回収系１９２は、吸引ユニット１３１で吸引した機能液を貯留するためのもので、吸引した機能液を貯留する再利用タンク２３１と、機能液吸引ポンプ１４３に接続され、吸引した機能液を再利用タンク２３１へ導く回収用チューブ２３２と、を有している（図１３参照）。回収用チューブ２３２も給液チューブ２０３と同様に耐食性を有する樹脂で構成されている。回収用チューブ２３２は、上記したケーブルベア（登録商標）２５（可撓性担持部材）に支持されている。ケーブルベア（登録商標）２５は、機台２１に固定されると共に、先端部が共通ベース２４に固定されており、回収用チューブ２３２を吸引ユニット１３１（共通ベース２４）の移動に追従させている。
【００６４】
　洗浄液供給系１９３は、ワイピングユニット１３２のワイピングシート１６８に洗浄液を供給するためのもので、洗浄液を貯留する洗浄液タンク２４１と、洗浄液タンク２４１の洗浄液を供給するための洗浄液供給チューブ２４２とを有している。図１３に示すように、洗浄液タンク２４１には、エアー供給手段５に連なるエアー供給チューブ２６２（後述する）と、一端をワイピングユニット１３２の洗浄液噴霧ヘッド１７４に接続した洗浄液供給チューブ２４２と、が接続されている。すなわち、洗浄液タンク２４１の洗浄液は、エアー供給手段５から導入される圧縮エアーにより洗浄液噴霧ヘッド１７４まで圧送される。
【００６５】
　洗浄液にはエタノール等の機能液の溶剤が用いられるが、導入する機能液に対応させた洗浄液を用いる必要があるため、洗浄液供給チューブ２４２は、給液チューブ２０３と同様に耐食性を有するフッ素樹脂等で構成された樹脂で形成されている。洗浄液供給チューブ２４２は、回収用チューブ２３２と共にケーブルベア（登録商標）２５（可撓性担持部材）に支持されており、ワイピングユニット１３２（共通ベース２４）の移動に追従可能に構成されている。
【００６６】
　廃液回収系１９４は、フラッシングユニット１３３に吐出した機能液を回収するためのもので、回収した機能液を貯留する廃液タンク２５１と、フラッシングユニット１３３に接続され、廃液タンク２５１にフラッシングユニット１３３に吐出された機能液を導く廃液用チューブ２５２とを有している。
【００６７】
　次に、エアー供給手段５について説明する。図１３に示すように、エアー供給手段５は、例えば加圧タンク２０１や給液タンク２０２等の各部に不活性ガス（Ｎ２）を圧縮した圧縮エアーを供給するもので、不活性ガスを圧縮するエアーポンプ２６１と、エアーポンプ２６１によって圧縮された圧縮エアーを各部に供給するためのエアー供給チューブ２６２と、を備えている。そして、エアー供給チューブ２６２には、圧縮エアーの供給先に応じて圧力を所定の一定圧力に保つためのレギュレータ２６３が介設されている。
【００６８】
　次に、除電手段６について説明する。除電手段６は、主に、給液チューブ２０３、回収用チューブ２３２、および洗浄液供給チューブ２４２で発生した静電気を除電するためのものである。除電手段６は、各チューブの可動部、すなわち上記したＹ軸ケーブルベア１２３およびケーブルベア（登録商標）２５に支持された部分、で発生した静電気を除電する除電シート２７１と、各チューブの非可動部、すなわちケーブルベア（登録商標）で支持されている部分を除いた部分、で発生した静電気を除電するための継手ユニット２７２で構成されている。なお、図１１ないし１３に示すように、液滴吐出装置１の機能液滴吐出ヘッド４１やワイピングユニット１３２、各タンク類等はアース２８５が接続されている。除電可能となっている。また、装置フレーム１０、すなわち架台１１や支柱１３、機台２１等もアース２８５に接続されている。
【００６９】
　図９に示すように、除電シート２７１は、Ｙ軸ケーブルベア１２３およびケーブルベア（登録商標）２５のチューブ支持面（取り付け面）の全面に略全長に亘り配設されており、Ｙ軸ケーブルベア１２３およびケーブルベア（登録商標）２５に支持される全てのチューブに接触するよう構成されている。そして、除電シート２７１の各チューブとの接触面には除電用の細かい起毛が無数に形成され、各チューブとの接触面積を増して、効率的に除電できるようになっている。なお、除電シート２７１はＹ軸ケーブルベア１２３およびケーブルベア（登録商標）２５に固定されているので、除電した静電気はこれらのケーブルベア（登録商標）を介して、装置フレーム１０にアースされている。このように、各チューブの可動部の長さおよび配設される各チューブの幅に対応させ、配設した全てのチューブに全長に亘って接触する除電シート２７１を設けることで、樹脂で構成され、静電気を最も発生しやすい各チューブの可動部の静電気を速やかに除電することができ、静電気による影響を最小限に抑えることができる。
【００７０】
　図１０に示すように、継手ユニット２７２は、各チューブに接続するアース継手２８１と、アース継手２８１を装置フレーム１０に固定するためのスタンド２８２と、アース継手２８１をスタンド２８２に取り付けるための断面略「Ｌ」字状の継手固定部材２８３（継手支持金具）と、を有しており、これらは導電性の部材、例えば銅、真鍮等の金属や導電性材料を混入した導電性の樹脂、で構成されている。したがって、非可動部の各チューブは、アース継手２８１、継手固定部材２８３、およびスタンド２８２を介して、装置フレーム１０にアースされており、非可動部の各チューブで発生した静電気を除電できるようになっている。
【００７１】
　図１１および１３を参照して、給液チューブ２０３廻りに配設された除電手段６について説明する。加圧タンク２０１から機能液滴吐出ヘッド４１までの給液チューブ２０３の長さはおよそ９．０ｍであり、そのうち、（給液チューブ２０３の）可動部の長さは、およそ１．２ｍである。また、加圧タンク２０１から給液タンク２０２までの長さはおよそ３．０ｍである。同図に示すように、継手ユニット２７２は、加圧タンク２０１と給液タンク２０２の略中間に１個、Ｙ軸ケーブルベア１２３（給液チューブ２０３の可動部）から機能液滴吐出ヘッド４１に至るまでに１個、給液チューブ２０３に介設されている。また、給液タンク２０２からおよそ１．８ｍの位置にＹ軸ケーブルベア１２３が設けられ、Ｙ軸ケーブルベア１２３には可動部の長さに対応した約１．２ｍの除電シート２７１が配設されている。なお、Ｙ軸ケーブルベア１２３から機能液滴吐出ヘッド４１の間に介設されている継手ユニット２７２には、給液チューブ２０３を２つに分岐させるためのＴ字継手２８４と、分岐した給液チューブ２０３（分岐給液チューブ２０４）を閉塞可能とするための供給バルブ２２２と、が配設されている（図１１参照）。
【００７２】
　給液チューブ２０３の非可動部においては、およそ１．５〜１．８ｍ毎に継手ユニット２７２が設けられ、装置フレーム１０にアースされている。すなわち、所定の間隔毎に継手ユニット２７２を設けることで、給液チューブ２０３の非可動部分で発生した静電気を適切に除電することができる。なお、当然のことながら、給液チューブ２０３の非可動部に設ける継手ユニット２７２は、状況に応じて適宜増減可能で、例えば非可動部で発生した静電気をより効率的に除電するために継手ユニット２７２の数を増やして、継手ユニット２７２を１．０ｍ毎に設けるようにしても良い。
【００７３】
　図１２に示すように、給液チューブ２０３廻りと同様に、回収用チューブ２３２および洗浄液供給チューブ２４２廻りにも除電手段６が設けられている。すなわち、回収用チューブ２３２および洗浄液供給チューブ２４２の可動部、すなわち上記したケーブルベア（登録商標）２５に支持された部分、の長さに対応して、ケーブルベア（登録商標）のチューブ支持面には、表面に細かい起毛を有する除電シート２７１が配設されている。また、再利用タンク２３１とケーブルベア（登録商標）２５との略中間位置、および洗浄液タンク２４１とケーブルベア（登録商標）２５との略中間位置には、それぞれ継手ユニット２７２が１個ずつ設けられており、回収用チューブ２３２および洗浄液供給チューブ２４２の非可動部で発生した静電気を除電できるようになっている。
【００７４】
　次に制御手段７について説明する。制御手段７は、各手段と接続され、装置全体を制御している。制御手段７は、各手段の動作を制御するための制御部を備えており、制御部は、制御プログラムや制御データを記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。
【００７５】
　次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【００７６】
　先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１４は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１５は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
　まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１５（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７７】
　続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１５（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
　さらに、図１５（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
　このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド４１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７８】
　以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
　なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００７９】
　次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１５（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド４１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド４１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８０】
　その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１５（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
　即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
　そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００８１】
　図１６は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１５に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００８２】
　この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
　なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００８３】
　カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１６において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
　一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００８４】
　液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
　そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８５】
　通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８６】
　実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド４１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド４１で行うことも可能である。
【００８７】
　図１７は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
　この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
　この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８８】
　カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
　対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８９】
　液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
　そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９０】
　図１８は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
　この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００９１】
　この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
　カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００９２】
　対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００９３】
　また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００９４】
　なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９５】
　次に、図１９は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００９６】
　この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
　この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９７】
　回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９８】
　また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９９】
　そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
　また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１００】
　このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１０１】
　上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
　これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１０２】
　バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
　そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１０３】
　上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
　正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１０４】
　発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１０５】
　そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１０６】
　陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１０７】
　次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２０〜図２４を参照して説明する。
　この表示装置６００は、図２０に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０８】
　まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２１に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
　無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２２に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
　このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０９】
　表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
　また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
　この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド４１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１１０】
　そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、液滴吐出装置１のセットテーブル（図示省略）に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１１１】
　図２３に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド４１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２４に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。
【０１１２】
　次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
　しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
　そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
　このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１１３】
　そして次に、図２５に示すように、各色のうちの何れか（図２５の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１１４】
　その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２６に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１１５】
　同様に、機能液滴吐出ヘッド４１を用い、図２７に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１６】
　以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１１７】
　対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２８に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
　この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１８】
　このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１９】
　次に、図２９は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
　この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１２０】
　第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
　そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１２１】
　放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１２２】
　第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
　第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
　そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２３】
　本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
　この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル（図示省略）に載置された状態で以下の工程が行われる。
　まず、機能液滴吐出ヘッド４１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１２４】
　補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１２５】
　ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
　表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
　また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド４１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１２６】
　次に、図３０は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
　この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２７】
　第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２８】
　第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、所定のパターンで配置されている。
【０１２９】
　そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３０】
　この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１３１】
　第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３１（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３１（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１３２】
　また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。
【０１３３】
　すなわち、上記した液滴吐出装置１は、静電気を適切に除電することで多種多様な機能液および洗浄液に対応できるので、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができ、各種の電気光学装置を効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本実施形態における機能液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】本実施形態における機能液滴吐出装置の外観平面図である。
【図３】本実施形態における機能液滴吐出装置の外観右側面図である。
【図４】ヘッドユニットの平面図である。
【図５】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。
【図６】吸引ユニットの外観斜視図である。
【図７】ワイピングユニットの巻取りユニットの外観斜視図である。
【図８】ワイピングユニットの拭き取りユニットの外観斜視図である。
【図９】給液チューブを支持するＹ軸ケーブルベア廻りの（ａ）外観斜視図、（ｂ）外観側面図である。
【図１０】除電手段の継手ユニットの（ａ）外観斜視図、（ｂ）正面図である。
【図１１】給液チューブ廻りの除電手段に関する模式図である。
【図１２】回収用チューブ廻りの除電手段に関する模式図である。
【図１３】液体供給回収手段廻りを示した模式図である。
【図１４】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１６】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２０】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２１】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２２】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２３】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２４】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２６】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２７】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２９】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３０】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３１】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１３５】
　　　１　液滴吐出装置　　　　　　　　　　　２　吐出手段
　　　３　メンテナンス手段　　　　　　　　　４　機能液供給回収手段
　　　５　エアー供給手段　　　　　　　　　　６　除電手段
　　　７　制御手段　　　　　　　　　　　　１０　装置フレーム
　　２５　ケーブルベア　　　　　　　　　　３３　Ｘ・Ｙ移動機構
　　４１　機能液滴吐出ヘッド　　　　　　　５７　ノズル形成面
　１２３　Ｙ軸ケーブルベア　　　　　　　１３２　ワイピングユニット
　２０２　給液タンク　　　　　　　　　　２０３　給液チューブ
　２４１　洗浄液タンク　　　　　　　　　２４２　洗浄液供給チューブ
　２７１　除電シート　　　　　　　　　　２８１　アース継手
　２８２　スタンド　　　　　　　　　　　２８３　継手固定部材
　　　Ｗ　ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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