(57)【要約】【目的】被加工物の面精度を格段に高くする３軸制御型の平面加工装置を提供することを目的とする。【構成】加工具が先端に設けられて上下方向に移動してフランジを有した回転スピンドルと、前記加工具と当接して面加工される被加工物を固定して回転するチャックテーブルとを備え、前記回転スピンドルのフランジは摺動体に連結し、前記摺動体の外周は３軸となる案内体に可動自在に嵌装し、前記案内体は幾何学的な三角形の各頂点に位置して直立し、前記摺動体は前記案内体と対をなす送り装置によって移動した構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工具が先端に設けられて上下方向に移動するフランジを有した回転スピンドルと、前記加工具と当接して面加工される被加工物を固定して回転するチャックテーブルとを備え、前記回転スピンドルのフランジは摺動体に連結し、前記摺動体の外周は３軸となる案内体に可動自在に嵌装し、前記案内体は幾何学的な三角形の各頂点に位置して直立し、前記摺動体は前記案内体と対をなす送り装置によって移動することを特徴とする３軸制御型の平面加工装置。
【請求項２】
前記摺動体は少なくとも前記幾何学的な三角形の外形より大きい平板状として前記回転スピンドルの外周が挿通する貫通孔を中央部に有し、前記回転スピンドルのフランジと前記平板状とした摺動体とが結合し、前記案内体を棒状とした請求項１の３軸制御型の平面加工装置。
【請求項３】
請求項２において、前記案内体の上下方向の両端側は少なくとも前記幾何学的な三角形の外形より大きい平板状の底板と天板によって固定された３軸制御型の平面加工装置。
【請求項４】
前記摺動体と前記案内体とは上下方向には可動自在として水平方向には静剛性が略無限大である流体軸受構造とした請求項１の３軸制御型の平面加工装置。
【請求項５】
前記摺動体は平板状であって、前記案内体と対をなす送り装置はボールネジである請求項１の３軸制御型の平面加工装置。
【請求項６】
前記回転スピンドルは第１スピンドルと第２スピンドルとの２重構造とし、前記第１スピンドルのシャフトは前記第２スピンドルの中空状としたシャフト内に挿通して軸着するとともに前記第１スピンドルの軸中心は前記第２スピンドルの軸中心から偏心し、前記第２スピンドルのシャフトは軸受けとしての固定板に軸着するとともにプーリーの一方の主面に連結して一体的に回転し、前記プーリーの他方の主面には駆動モータが固定されて前記第１スピンドルのシャフトに結合した請求項１の３軸制御型の平面加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は被加工物の表面を加工する平面加工装置を産業上の技術分野とし、特に平面精度を分子及び原子レベルとする３軸制御型の平面加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
（発明の背景）平面加工装置例えば研削装置は砥石によって被加工物の表面を加工し、例えば科学・工業分野の金属及び非金属材に適用される。近年では、これら金属及び非金属材は一層の平面精度が要求され、例えば平面度や表面粗さが分子及び原子レベルに相当するｎｍ（ナノメータ１０−９）単位での切削になりつつある。特に、被加工物を時間や周波数の基準源となる水晶振動子（水晶ウェハ）とした場合には、平面精度が振動特性を決定することから、これらの要求が強い。
【０００３】
（従来技術の一例）第６図、第７図及び第８図は一従来例を説明する研削装置の図である。なお、第６図（ａ）は側面図、第７図（ａ）及び第８図（ａ）は正面図、各図（ｂ）は平面図である。
【０００４】
研削装置は基本的にチャックテーブル１と回転スピンドル２とからなる。チャックテーブル１はスピンドル（チャックスピンドル９とする）に結合して回転し、筐体３上に設けられる。そして、被加工物としての例えば水晶ウェハ４がチャックテーブル１上の表面に固定される。回転スピンドル２は外周一側面「第６図（ａ）」、両側面「第７図（ａ）」あるいは３側面「第８図（ｂ）」に摺動体５を有する。摺動体５は垂直方向の切り込み案内体６に遊装して、モータ１３に接続したボールネジ１９によって上下方向に移動する。なお、第８図の２Ａは回転スピンドルの外周に設けられた摺動板である。
【０００５】
そして、いずれの場合でも、回転スピンドル２の先端には例えばリング状の環状砥石７を主面外周に有する加工具８が設けられる。また、チャックスピンドル９と回転スピンドル２は両者ともに図示しないシャフト（中心軸）が軸中心として例えば機械的に直結したモータによって回転する。
【０００６】
但し、回転スピンドル２とチャックテーブル１（チャックスピンドル９）との一点鎖線で示す軸中心ａ、ｂは異なり、チャックテーブル１（水晶ウェハ４）の中心を回転スピンドル２の外周（環状砥石７）が通過するように設定される。ここでは幾何学上のＸ軸方向には同軸で、Ｙ軸方向には異軸とする。また、各シャフトの軸受けは転り軸受け等に比較して振動の発生源にはならないことから、近年では例えば潤滑油や空気を用いた流体軸受けが採用される傾向にある。
【０００７】
このようなものでは、先ず、水晶ウェハ４と環状砥石７とを当接してチャックテーブル１と回転スピンドル２とを回転する。次に、通常では、回転スピンドル２を例えば図示しないボールネジ等による送り機構によって一定速度で下降させ、水晶ウェハ４の表面を定速加工する。あるいは、重力等によって回転スピンドル２の加工力を制御して定圧加工とする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の研削装置では、構造上の観点から例えば加工中における回転スピンドルを含めた装置自体の剛性が小さく、回転スピンドル２の軸中心ａが傾斜して環状砥石７と水晶ウェハ４との接触状態が安定しない。これらのことから、水晶ウェハ４の面精度を悪化させる問題があった。
【０００９】
すなわち、回転スピンドル２は外周一側面あるいは両側面に設けた切り込み案内体６によって摺動体５を垂直方向に移動する。しかし、いずれの場合でも摺動体５が切り込み案内体６に遊挿されて移動する単純案内構造なので、特に水平方向での剛性が小さく、隙間の存在することすらある。したがって、回転スピンドル２は被加工物面上で傾きを生ずる。そして、回転スピンドル２はいずれも単一の送り機構によって上下するので、特に水平方向での傾きを制御することが困難な問題があった。
【００１０】
（発明の目的）本発明は被加工物の面精度を格段に高くする３軸制御型の平面加工装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【特許文献１】日本国特許第３０８９２７１号
【特許文献２】日本国特許第２８１４６５６号
【特許文献３】日本国特許第３０８９２７０号
【００１２】
【課題を解決するための手段】
（着目点）本発明は、平板（平面）を保持する際には基本的に３点保持であれば平板の傾斜方向が決定される点及び平板が安定して保持される点に、さらには従来では送り機構が１点であるのに対して３点での送り機構であれば傾斜方向を自在に制御できる点に着目した。また、平板の傾斜を防止するには、水平方向での静剛性（案内剛性）を概ね無限大としてモーメント剛性を小さくし、上下方向には可動自在とする高剛性の案内構造とすればよい点にも着目した。
【００１３】
（解決手段）本発明の請求項１は、加工具が先端に設けられた回転スピンドルのフランジは摺動体に連結して、前記摺動体の外周は３軸となる案内体に可動自在に嵌装し、前記案内体は幾何学的な三角形の各頂点に位置して直立し、前記摺動体は前記案内体と対をなす送り装置によって移動した構成とする。
【００１４】
これにより、回転スピンドルは３軸の送り装置によって各軸毎に垂直方向への移動を制御できる。したがって、被加工物の表面を全方向即ち３６０度方向にわたる傾斜を調整できるので、加工中の面精度もしくはチャックテーブルへの加重分布を把握して各軸の移動を制御すれば面精度を高められる。
【００１５】
請求項２は、前記摺動体は少なくとも前記幾何学的な三角形の外形より大きい平板状として前記回転スピンドルの外周が挿通する貫通孔を中央部に有し、前記回転スピンドルのフランジと前記平板状とした摺動体（摺動板とする）とが結合し、前記案内体は棒状とする。
【００１６】
したがって、回転スピンドルの言わば全外周を連結し得るので、全方向での結合強度を高めて結合を安定にする。そして、案内体を棒状（案内棒とする）とするので、摺動板の三角形の各頂点となる外周に軸受けを有する貫通孔を設けることによって、摺動板が案内棒を容易に可動する。
【００１７】
請求項３は、前記案内棒の両端側は少なくとも前記幾何学的な三角形の外形より大きい平板状の底板と天板によって固定されるので、前記案内棒との組立強度を高めて即ち箱型の構造にすることによって構造体の剛性値を大きくする。したがって、回転スピンドルの傾斜剛性を抑制する。
【００１８】
請求項４は、前記摺動体と前記案内体とは上下方向には可動自在として水平方向には静剛性が略無限大である流体軸受構造とするので、前記摺動体の移動を滑らかにして、水平方向での傾斜を防止する。なお、上下方向には可動自在として水平方向には静剛性が略無限大である流体軸受構造は特許文献１〜３で示される制御絞り弁を内蔵した静圧型（外部加圧型）の軸受構造（絞り制御型空気軸受けとする）により得られる。
【００１９】
請求項５は、前記摺動体は平板状として送り装置はボールネジとしたので、摺動板に対する取付けを容易にして、位置センサを用いたフィードバック制御により送り位置精度をｎｍ単位で制御できる。
【００２０】
請求項６は、前記回転スピンドルは第１スピンドルと第２スピンドルとの２重構造とし、前記第１スピンドルのシャフト（中心シャフトとする）は前記第２スピンドルの中空状としたシャフト（中空シャフトとする）内に挿通して軸着するとともに前記第１スピンドルの軸中心は前記第２スピンドルの軸中心から偏心し、前記中空シャフトは軸受けとしての固定板に挿通して軸着するとともにプーリーの一方の主面に連結して一体的に回転し、前記プーリーの他方の主面には駆動モータが固定されて前記中心シャフトに結合した構成とする。
【００２１】
これにより、プーリーに連結した中空シャフトの回転によって、軸中心が中空シャフトのそれから偏心した回転スピンドルの軸中心は中空シャフトの回りを移動する。例えばプーリー（中空シャフト）を１回転したとすると、可動スピンドの軸中心は中空シャフトを１回転し、加工具の外周は被加工物の中心を基準として円を描く軌跡となる。
【００２２】
したがって、プーリーを所定の角度で左右に間欠的に回転すると、加工具は被加工物の表面を横滑りしながら加工する言わば「ならし加工」とし、被加工物の切削加工溝のバリ除去等により表面を滑らかにする。以下、本発明の実施形態の例を説明する。
【００２３】
【第１実施形態】
第１図及び第２図は本発明による３軸制御型の平面加工装置の第１実施形態を説明する図で、第１図は概略外観図、第２図（ａ）は天板を除く要部平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）に示したＡ−Ａ線での要部断面図である。また、ここでは、３軸制御型の平面加工装置を研削装置（以下、３軸制御研削装置とする）とし、従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
【００２４】
３軸制御研削装置は前述同様にチャックスピンドル９に結合したチャックテーブル１と回転スピンドル２とを備え、回転スピンドル２は筐体３に設置された送り機構によって可動する。ここでのチャックスピンドル９及び回転スピンドル２は、いずれもフランジを有する軸受スピンドル１０をシャフト１１が挿通して、シャフト１１が軸受スピンドル１０に対して回転自在に機械的に結合即ち軸着する。
【００２５】
ここでの軸受スピンドル１０はいずれも後述の摺動板１６を可動自在として上下及びこれに直交する水平方向には略無限大の静剛性を持つ、特許文献１〜３で示される前述した絞り制御型空気軸受構造とする。
【００２６】
送り機構は同一外形の三角形状とした底板１５、摺動板１６及び天板１７と、３本の断面円状の案内棒１８と、３つの送り装置１９とからなる。底板１５は筐体３の表面上に固定され、三角形ここでは正三角形の各頂点部に案内棒１８の一端を固定して直立する。そして、底板１５にはチャックスピンドル９が、摺動板１６には回転スピンドル２が設置される。
【００２７】
例えば、いずれも中央領域に設けられた貫通孔にチャックスピンドル９及び回転スピンドル２の固定板として機能する軸受スピンドル１０が挿通して嵌装し、チャックスピンドル９及び回転スピンドル２が連結する。この例では各軸受スピンドル１０のフランジと底板１５及び摺動板１６とが図示しないボルトによって結合（締着）する。
【００２８】
そして、チャックスピンドル９は筐体内の駆動モータ２６にプーリー結合して回転する。なお、プーリー及びベルトの符号は省略してある。回転スピンドル２はフランジ上に固定された駆動モータ１３にシャフト１１が機械的に直結して回転する。チャックスピンドル９及び回転スピンドル２のシャフト１１の先端には円板１４を有する。
【００２９】
そして、チャックスピンドル９の円板１４上にはチャックテーブル１を設けて水晶ウェハ４を保持固定する。回転スピンドル２の円板１４上には環状砥石７を設けた加工具８を設ける。但し、チャックスピンドル９と回転スピンドル２の軸中心は異なり、前述のようにＸ方向では同軸としてＹ方向で異軸とする。
【００３０】
摺動板１６は、外周の３箇所に設けた貫通孔にフランジを有する軸受け２７を設けて各案内棒１８を挿通する。軸受け２７はここでも制御絞り弁を内蔵した空気軸受構造として案内棒１８を上下自在に摺動（可動）する。天板１７は各案内棒１８の他端を固定する。底板１５及び天板１７は箱型構造として、基準板としても機能する。
【００３１】
送り装置１９はボールネジとし、各案内棒１８に対として各頂点部と中心との間にそれぞれ設けられる。各ボールネジは棒状の雄ネジ１９ａが底板１５及び摺動板１６を貫通して直立する。そして、底板１５に設けた例えば転り軸受けとした軸受け２８を経て摺動板１６に結合した雌ネジ１９ｂと螺合する。また、底板１５を貫通した雄ネジ１９ａにはモータ２９が直結し、モータ２９（雄ネジ）の回転によって雌ネジ１９ｂとともに摺動板１６の各頂点部（軸）を個々に送る。
【００３２】
このようなものでは、正三角形の各頂点部となる摺動板１６の側面と筐体３の表面に各軸ごとの垂直方向における位置変化をｎｍレベルで検出するリニアエンコーダ３０を設ける。また、回転スピンドル２による３軸方向での押圧力（負荷）を測定する力センサ３１が底板１５に取り付けられる。そして、水晶ウェハ４の例えば表面の傾斜度合を決定する各軸におけるボールネジ（雌ネジ１９ｂ）の位置や負荷から、ボールネジの送り速度を制御して水晶ウェハ４の面精度を維持しながら研削する。
【００３３】
なお、面精度は例えば回転スピンドル２を停止し、水晶ウェハ４を固定した状態で、あるいは取り外した状態で、複数箇所に電極棒を当接して振動周波数を検出することによって間接的に、あるいは光によって厚みを検出することによって直接的に測定される。
【００３４】
このような構成であれば、回転スピンドル２の連結した摺動板１６は、三角形の各頂点部に設けた３本のボールネジによって各軸毎にｎｍ単位での進行が制御される。したがって、回転スピンドル２における軸中心ａの傾きは自在に可変でき、先端に設けられた加工具８（環状砥石７）は３６０度にわたる全方向での傾斜が制御される。これにより、水晶ウェハ４の面精度をｎｍ単位の原子及び分子レベルに加工できる。
【００３５】
また、摺動板１６は三角形状の平板状として中央部の貫通孔にて回転スピンドル２のフランジを含めた全外周と機械的に結合（連結）し、三角形の頂点部を案内棒１８が絞り制御型空気軸受構造として挿通する。そして、三角形の頂点部に位置した各案内棒１８の両端は底板１５と天板１７によって固定される箱型構造とし、送り機構の組立強度を高める即ち高剛性とする。したがって、回転スピンドル２が全方向にわたって、高剛性とした送り機構の摺動板１６に連結するので、回転スピンドル２の不都合な傾斜を抑制する。
【００３６】
また、摺動板１６と案内棒１８とは上下方向には可動自在に水平方向には略無限大の静剛性をもつ絞り制御型空気軸受構造としたので、回転スピンドル２の上下方向への移動中における軸中心ａの不都合な傾斜をさらに抑制する。
【００３７】
そして、送り装置１９はボールネジとリニアエンコーダを利用したフィードバック機構としたので、送り位置精度をｎｍ単位で制御できる。これらのことから、水晶ウェハ４の平面度の精度を格段に高くできる。したがって、振動特性に優れた水晶振動子を得られる。
【００３８】
【第２実施形態】
第３図は本発明の第２実施形態を説明する３軸制御研削装置の特に二重構造とした回転スピンドルの図で、同図（ａ）は断面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ平面図である。なお、第１実施形態と同一部分の説明は省略又は簡略する。
【００３９】
第２実施形態では第１実施形態での回転スピンドル２を、前述の円板１４を先端に有する第１スピンドル２０と、その外周に設けられた第２スピンドル２１の二重構造とする（二重回転スピンドルとする）。そして、第１スピンドル２０の軸中心ａが基準位置から移動する構成とする。但し、軸中心ａの基準位置は、ここでは円板１４の外周（環状砥石７）がチャックテーブル１（水晶ウェハ４）の軸中心ｂを通過する位置とする。
【００４０】
すなわち、二重回転スピンドルにおける第１スピンドル２０のシャフト１１は、第２スピンドル２１の中空状としたシャフト（中空シャフトとする）２２内を挿通して軸着する。第２スピンドル２１の中空シャフト２２は、前述したフランジを有する軸受スピンドル１０を挿通して軸着する。第１スピンドル２０（シャフト１１）、第２スピンドル２１（中空シャフト２２）及び軸受スピンドル１０はいずれも絞り型制御空気軸受けとする。
【００４１】
但し、第１スピンドル２０の軸中心ａは第２スピンドル２１の軸中心ｃから偏心する「第３図（ｂ）」。例えば第１スピンドル２０（シャフト１１）、第２スピンドル２１（中空シャフト２２）及びチャックテーブル１の軸中心ａｂｃを初期状態では直角として、第１スピンドル２０の軸中心ａを中央とする。そして、このときの第１スピンドル２０の軸中心ａを前述の基準位置とする。
【００４２】
中空シャフト２２はプーリー２３の一方の主面に軸中心を一致して機械的に連結し、一体的に回転する。プーリー２３は摺動板１６上に設けた遥動モータ２４とベルト２５でプーリー結合する。プーリー２３の他方の主面には、第１スピンドル２０のシャフト１１が機械的に直結した駆動モータ１３が固定される。
【００４３】
駆動モータ１３は第４図（平面図）に示したようにプーリー２３の回転中心から偏心して設置される。これにより、前述のように第１スピンドル２０の軸中心ａは第２スピンドル２１の軸中心ｃから偏心する。なお、第３図（ａｂ）間では便宜上寸法は一致していない。
【００４４】
このようなものでは、遥動モータ２４によってプーリー２３及びこれに一体的な中空シャフト２２を所定の角度で左右に回転する。これにより、中空シャフト２２に軸着した第１スピンドル２０のシャフトも回転する。
【００４５】
例えばプーリー２３によって第２スピンドル２１を時計回りに９０度回転したとすると次になる。すなわち、第５図（ａ）に示したように第２スピンドル２１（中空シャフト２２）の軸中心ｃに対し、第１スピンドル２０の軸中心ａは元の基準位置から同様に時計回りに９０度回転した位置になる。これにより、第１スピンドル２０における円板１４の外周（環状砥石７）はチャックテーブル１（水晶ウェハ４）の軸中心ｂからズレて深めの位置を通過する。
【００４６】
また、これとは逆に、第２スピンドル２１を反時計回りに９０度回転したとすると次になる。すなわち、第５図（ｂ）に示したように第２スピンドル２１の軸中心ｃに対し、第１スピンドル２０の軸中心ａは元の基準位置から同様に反時計回りに９０度回転した位置になる。これにより、第１スピンドル２０における円板１４の外周はチャックテーブル１の軸中心ｂからズレて浅めの位置を通過する。
【００４７】
したがって、水晶ウェハ４に対して環状砥石７は前後に遥動して研削するので、研削キズ等を解消して水晶ウェハ４の表面をさらに滑らかにする（所謂ホーニング加工）。
【００４８】
なお、プーリー２３を例えば１回転すれば、第１スピンドル２０の軸中心ａは、第２スピンドル２１の軸中心ｃに対して偏心距離を半径として１周する。これに伴い、チャックテーブル１の軸中心ｂを円における一端側を起点として、環状砥石７の先端外周は円となる軌跡を描く。
【００４９】
また、絞り制御型空気軸受構造を使用する構造の場合、第１スピンドル２０の軸中心ａが１回転することは困難なので、プーリー２３を左右に例えば９０度程度ずつ左右に回転して研削したが、第１スピンドル２０の軸中心ａを１回転させることは、動圧型流体軸受スピンドルを用いる等によって不可能ではない。
【００５０】
【他の事項】
上記実施形態では３軸制御によって各軸の送り速度をボールネジによっての位置制御としたが、例えばチャックテーブル１に圧力センサを有するシリンダを設けて押圧制御する定圧加工とすることもできる。
【００５１】
また、底板１５、摺動板１６及び天板１７は同一外形の正三角形状としたが、例えば外形の異なる四角形状としてもよく要は案内棒１８が三角形の頂点部に位置すればよい。そして、正三角形に限らず、基本的には任意の三角形で構成できる。また、送り装置１９はボールネジとしたが、例えば流体シリンダー、トラックションドライブやカム送り等々と適用してもよく摺動板１６をｎｍ単位で送ることができればよい。
【００５２】
また、摺動板１６と案内棒１８とは絞り制御型空気軸受構造としたが、潤滑油等を用いた流体軸受けでも、リニアガイド等の転り軸受型等でもよい。但し、前述したようにすべり及び送り方向以外の剛性の点から絞り型制御空気軸受けが最適である。そして、摺動板１６の貫通孔に案内棒１８を挿通したが、これ以外の摺動体と案内体の構成であってもよい。そして、底板１５、摺動板１６及び天板１７は平板状でなくとも、３軸としての案内体が確実に直立して剛性の高い構造であればよい。
【００５３】
また、被加工物は水晶振動子としての水晶ウェハとしたが、これ以外のシリコン基板等を含めて金属材や非金属の表面加工に適用できる。そして、平面加工装置は研削装置としたが、例えば環状砥石に代えて環状ラップ盤を設けて遊離砥粒を注入しながら研磨することもできる。この場合、環状研磨剤上に不織布を設けてポリッシュング（鏡面研磨）としてもあるいは加工具を研磨板としてもよく、何れにしても被加工物の表面加工に適用できる。
【００５４】
また、第２実施形態では２重回転スピンドルとして第１スピンドル２０の軸中心を移動したが、基本的には回転スピンドル２の軸中心が移動して遥動すればよく二重回転スピンドルの構造も含めて任意に構成できる。要するに、本発明では回転スピンドルを三角形の頂点部とした各軸で送り制御する点を基本的な趣旨とし、その趣旨を逸脱しない範囲内で適宜自在に変更できる。
【００５５】
【発明の効果】
本発明は、加工具が先端に設けられた回転スピンドルのフランジは摺動体に連結して、前記摺動体の外周は３軸となる案内体に可動自在載に嵌装し、前記案内体は幾何学的な三角形の各頂点に位置して直立し、前記摺動体は前記案内体と対をなす送り装置によって可動した構成とするので、被加工物の面精度を格段に高くする３軸制御型の平面加工装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を説明する３軸制御研削装置の概略外観図である。
【図２】本発明の第１実施例を説明する図で、同図（ａ）は天板を除く要部平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）に示したＡ−Ａ線での要部断面図である。
【図３】本発明の第２実施例を説明する特に二重スピンドルの要部断面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ平面図である。
【図４】本発明の第２実施例に適用される二重回転スピンドルの平面図である。
【図５】本発明の第２実施例の作用を説明する二重回転スピンドル「図３（ａ）」のＡ−Ａ平面図である。
【図６】従来例を説明する研削装置の図で、同図（ａ）は側面図、同図（ｂ）は平面図である。
【図７】従来例を説明する研削装置の図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は平面図である。
【図８】従来例を説明する研削装置の図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は平面図である。
【符号の説明】
１  チャックテーブル、スピンドル、２  回転スピンドル、３  筐体、４  水晶ウェハ、５  摺動体、６  案内体、７  環状砥石、８  囲う板、９  チャックスピンドル、１０、２７、２８  軸受け、１１  シャフト、１２      １３  駆動モータ、１４  円板、１５  底板、１６  摺動板、１７  天板、１８  案内棒、１９  送り装置（ボールネジ）、２０  第１スピンドル、２２  第２スピンドル、２３  プーリ、２４  遥動モータ、２５  ベルト、２６、２９  モータ、３０  エンコーダ、３１  圧力センサ．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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