(57)【要約】【課題】一度に多数のレーザーバーの蒸着が行えながらレーザーバーの両端面への蒸着も簡単に行えるレーザーバーの固定用治具を提供する。【解決手段】レーザーバー１００ａを挟持して保持する複数本の保持用バー２と、保持用バー２を並列に設置させる設置面３２１を有する２枚の支持板３２と、保持用バー２の両端部を覆って、保持用バー２の支持板３２からの落下を防止する押え用覆部材と、支持板３２と押え用覆部材とを脱着可能に支持する支持枠体３３とを具える。２枚の支持板３２は、互いの設置面３２１が所定の間隔をもって対向するように設置面３２１を支持枠体３３の枠内に対向させて支持枠体３３に取り付け可能としており、また、一方の支持板３２のみを支持枠体３３に取り付けて、他方の支持板３２に換えて押え用覆部材を取付け可能としている。【選択図】  図４
2004339544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハーをバー状に劈開した半導体レーザーバーの所定面に所定の反射率を有する反射膜を蒸着又はスパッタリングにより形成するために用いる半導体レーザーバーの固定用治具であって、
レーザーバーを挟持して保持する複数本の保持用バーと、
保持用バーを並列に設置させる設置面を有する２枚の支持板と、
保持用バーのレーザーバーを保持する保持面を押圧する押圧部と、
保持用バーの両端部を覆って、保持用バーの支持板からの落下を防止する押え用覆部材と、
支持板と押え用覆部材とを脱着可能に支持する支持枠体とを具え、
保持用バーは、長手方向の長さを、レーザーバーよりも長く、かつ、支持枠体の枠内に収まる長さとしており、
２枚の支持板は、互いの設置面が所定の間隔をもって対向するように設置面を支持枠体の枠内に対向させて支持枠体に取り付け可能としており、また、一方の支持板のみを支持枠体に取り付けて、他方の支持板に換えて押え用覆部材を取付け可能としていることを特徴とする半導体レーザーバーの固定用治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハーをバー状に劈開した半導体レーザーバーの所定面に所定の反射率を有する反射膜を蒸着又はスパッタリングにより形成するために用いる半導体レーザーバーの固定用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体レーザー素子の多くは、レーザーチップの光射出端面に、所定の反射率を有する反射膜が形成されて構成されている。
この反射膜を形成するには、まず、図７（Ａ）に示すように、半導体ウエハー１００に多数の電極１０１を形成し、これら電極１０１の間に、劈開部１０２を形成する。
そして、図７（Ｂ）に示すように、半導体ウエハー１００を棒状に劈開して複数のレーザーバー１００ａ（複数の電極１０１が一列に並んだバー状のもの）に分割する。
【０００３】
これら分割されたレーザーバー１００ａは、従来では、１本のレーザーバー１００ａを一つの固定用治具にセットして、このレーザーバー１００ａが取り付けられた固定用治具を蒸着装置のチャンバー内のホルダーにセットする。チャンバー内の上部には固定用治具を固定するためのホルダーが具えつけられ、チャンバー内下部には蒸発源が具えつけられている。
【０００４】
蒸着処理は、チャンバー内を所定の真空度にした後、蒸発源に入れられた蒸着材料を電子ビーム等で加熱して蒸発させて、レーザーバー１００ａの端面に反射膜を蒸着することにより行う。この蒸着処理により、レーザーバー１００ａの端面に蒸着膜からなる反射膜が形成される。
【０００５】
しかしながら、以上の蒸着処理方法では、１本のレーザーバー１００ａを一つの固定用治具に固定するようにしているため、レーザーバーの固定用治具への取付作業が煩雑となる問題があった。特に、レーザーバーの両側の端面に蒸着を行う場合には、一方の端面の蒸着処理が終わった後に、レーザーバーを固定用治具から取り外して他方の面が露出するように再度レーザーバーを取り付ける煩雑な作業を要していた。
【０００６】
そこで、例えば特許文献１に開示されているように、複数本のレーザーバーを一つの固定用治具に取り付け、しかも、レーザーバーを固定用治具から取り外すことなく両端面の蒸着処理が行える手段が提案されている。
【０００７】
特許文献１に開示されている蒸着処理では、図８に示す固定用治具Ａに、複数本のレーザーバー１００ａを、電極１０１の面が積層されていくように重ねてセットするようになっている。固定用治具Ａは、一方が開放した三辺を有する枠状体からなる。対向する二辺の内面側には、溝Ｂが形成されており、これら溝Ｂにレーザーバー１００ａの長手方向端部を嵌め合わせて、固定用治具Ａの底部にレーザーバー１００ａを積み重ねていく。
【０００８】
このように、レーザーバー１００ａが固定用治具Ａに取り付けられると、レーザーバー１００ａは、その両端部を除き、両側の側面が露出された状態になる。
そして、複数のレーザーバー１００ａが取り付けられた固定用治具Ａを蒸着装置のチャンバー内にセットして蒸着処理を行う。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−１６４６０９号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１の蒸着装置では、複数のレーザーバー１００ａを固定用治具Ａに取り付けて一度に蒸着処理が行える。しかも、レーザーバーの両端面を露出させた状態で固定用治具に固定できるので、固定用治具の蒸着源への向きを変えるだけで両端面への蒸着処理が行える。
【００１１】
しかしながら、固定用治具Ａに取り付けられた複数のレーザーバー１００ａは、その長手方向両端部が固定用治具Ａの溝Ｂに嵌め込まれた状態で蒸着処理が行われる。そのため、レーザーバー１００ａの両端部においては、蒸着がなされず、反射膜が形成できないため、この部分のチップだけ製品としての価値がなくなるという不具合が生ずる。
【００１２】
また、固定用治具Ａは、溝Ｂの深さおよび二つの溝間の長さが決まっているため、レーザーバー１００ａの長さが異なる場合には固定用治具Ａにレーザーバー１００ａを固定できない場合が生ずる。その結果、レーザーバー１００ａの長さに応じて固定用治具Ａを作る必要があり汎用性に欠ける。そして、このような固定用治具Ａでは、劈開する際に折れてしまったレーザーバー１００ａに対しては固定用治具に固定できず対応できない。
【００１３】
さらに、レーザーバー１００ａが固定用治具Ａに装着後に折れて、蒸着装置のホルダーへの取付作業時などに固定用治具Ａから落下してしまった場合には、積層したレーザーバーの間に隙間ができてしまう。そのため、レーザーバーが傾くなどの不具合が生じ、レーザーバーの端面に正確な膜厚の反射膜を形成できないという問題が生じる。
【００１４】
また、固定用治具Ａは、溝Ｂにレーザーバー１００ａを取り付けるようにしているため、固定用治具Ａへの装着作業中にレーザーバー１００ａの両端部が溝Ｂの角部に接触して傷が付いてしまうと、この両端部のチップは製品としての価値がなくなってしまう。
【００１５】
また、前記固定用治具Ａは、図８に示すような一方が開放した三辺の枠状をしているため、熱による影響でねじれなどの変形が起き易い。そのため、固定用治具Ａが変形してしまうと、レーサーバーも変形してしまうという不具合が生じる。
【００１６】
本発明は、損傷、変形が起こることなく一度に多数のレーザーバーの蒸着が行えながら、レーザーバーの長手方向端部まで確実に反射膜が形成でき、しかも、レーザーバーの両端面への蒸着も簡単に行える半導体レーザーバーの固定用治具を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体レーザーバーの固定用治具とは、半導体ウエハーをバー状に劈開したレーザーバーの所定面に所定の反射率を有する反射膜を蒸着又はスパッタリングにより形成するために用いる半導体レーザーバーの固定用治具である。
【００１８】
この固定用治具は、例えば蒸着装置のチャンバー内に設置する回転ドームに取り付けられるようになっている。この回転ドームにレーザーバーの蒸着被覆面が蒸着源に向くように固定用治具が取り付けられて、回転ドームを回転させながら、固定用治具にセットされているレーザーバーに蒸着材料を蒸着する。
【００１９】
そして、本発明に係る固定用治具は、レーザーバーを挟持して保持する複数本の保持用バーと、保持用バーを並列に設置させる設置面を有する２枚の支持板と、保持用バーのレーザーバーを保持する保持面を押圧する押圧部と、保持用バーの両端部を覆って、保持用バーの支持板からの落下を防止する押え用覆部材と、支持板と押え用覆部材とを脱着可能に支持する支持枠体とを具える。
【００２０】
本発明の保持用バーは、長尺な面のうち一対の表裏両面にレーザーバーを保持する保持面が形成されている。さらに、保持用バーの長手方向の長さは、レーザーバーよりも長く、かつ、支持枠体の枠内に収まる長さとなるように形成している。
【００２１】
２枚の支持板は、互いの設置面が所定の間隔をもって対向するように設置面を支持枠体の枠内に対向させて支持枠体に取り付け可能としており、一方の支持板のみを支持枠体に取り付けて、他方の支持板に換えて押え用覆部材を取付け可能としている。
なお、支持板の設置面は、支持枠体の枠内に挿入できるようにすることが好ましい。
【００２２】
本発明では、２枚の支持板で矩形状の支持枠体を挟むようにして、支持枠体の開口両面側から支持板のそれぞれの設置面を支持枠体の枠体に対向させ、または、支持枠体の枠内に挿入して、これら支持板を支持枠体に固定することができるようになっている。
【００２３】
さらに、２枚の支持板を支持枠体に固定したとき、互いに対向する設置面の間の間隔は、レーザーバーの電極形成面の幅方向長さ以上の間隔を有する大きさにしている。具体的には、レーザーバーおよび保持用バーを設置面の間に介在させたときに、レーザーバーがほぼ接触するように支持板を支持枠体に固定するようになっている。このように隙間を形成することにより、２枚の支持板の間にレーザーバーと保持用バーを収納した状態にできる。
【００２４】
また、本発明では、１枚の支持板のみを支持枠体に固定しておいて、支持枠体に固定された支持板の設置面にレーザーバーと保持用バーが交互となるように保持用バーの間にレーザーバーを配置させた後、保持用バーの両端部を覆うように押え用覆部材を支持枠体に固定するようにもなっている。
【００２５】
保持用バーを設置面に設置させる際は、保持用バーは、レーザーバーを保持する保持面が互いに対向するように並べて設置させる。
そして、複数の保持用バーについて保持面をレーザーバーの電極形成面に接触させ、２本の保持用バーで１本のレーザーバーを挟持する。さらに、レーザーバーを保持用バーの間に配置させるとき、レーザーバーを保持用バーの長手方向中心部に配置させる。
【００２６】
このように保持用バーでレーザーバーを挟持した状態に配置させた後は、ばねネジやクランプ板などの押圧部によって保持用バーの保持面を押圧する。本発明では、押圧部で保持用バーを押圧することにより、保持用バーとレーザーバーとの接触面圧を上げて保持用バーでレーザーバーを確実に保持できるようにしている。
【００２７】
そして、本発明では、設置面にレーザーバーと保持用バーが設置された状態で、押え用覆部材を支持枠体に固定することにより、押え用覆部材で保持用バーの両端部が覆われ、保持用バーが支持板の設置面から落ちないように支持するようになっている。押え用覆部材には、長尺板状部材や棒状部材を用いて、保持用バーの一端部を一度に覆うようにすることが好ましい。
【００２８】
本発明では、以上のように、１枚の支持板を支持枠体に固定した状態で、この支持板の設置面に保持用バーとレーザーバーを設置して押圧部で保持用バーを押圧し、押え用覆部材を支持枠体に固定することにより、レーザーバーの一方の端面への蒸着処理が行える状態になる。この状態の固定用治具を蒸着装置の回転ドームに取り付けてレーザーバーの蒸着処理を行う。
【００２９】
さらに、レーザーバーの他方の端面への蒸着処理を行うときは、固定用治具を回転ドームから取り外し、押え用覆部材を上方に向けた状態で押え用覆部材を支持枠体から取り外す。そして、そのまま、もう１枚の支持板を、レーザーバーを覆うように支持枠体に固定する。このようにもう１枚の支持板を支持枠体に固定することにより、レーザーバーと保持用バーとが２枚の支持板と支持枠体で囲まれた空間内に収納された状態になる。
【００３０】
そして、後から支持枠体に固定した支持板を下方に向けた状態となるように支持枠体を反転させ、もともと固定されていた支持板を支持枠体から取り外す。そして、押え用覆部材を保持用バーの両端部が覆われるように支持枠体に固定する。押え用覆部材が支持枠体に固定されると、レーザーバーは蒸着がなされていない他方の端面が露出された状態になる。この状態のまま、固定用治具を回転ドームに取り付けてレーザーバーの他方の端面への蒸着を行う。
【００３１】
以上のように、本発明の固定用治具を用いることにより、レーザーバーに損傷、変形が起こることなく一度に多数のレーザーバーの蒸着が行えながら、レーザーバーの長手方向端部まで確実に反射膜を形成できる。
【００３２】
さらに、本発明の固定用治具を用いることにより、レーザーバーを治具から取り外すことなく、押え用覆部材と支持板とを交換するように支持枠体に対して取り付け取り外しを行うだけで、レーザーバーの両端面への蒸着が行える。その結果、レーザーバーの固定用治具への取り付け、取り外し作業が容易となる。
【００３３】
また、本発明では、保持用バーの長手方向の長さを前記した長さとしているので、レーザーバーを保持用バーの長手方向中心部に位置させるように保持用バーの間に配置させることにより、保持用バーの両端部が押え用覆部材で覆われてもレーザーバーの端部は覆われないようにすることができる。
【００３４】
このようにレーザーバーを保持用バーの間に配置させることにより、レーザーバーの蒸着被覆面の全面を露出させた状態で保持用バーでレーザーバーを保持することができるので、蒸着被覆面の全面に反射膜を形成できる。
【００３５】
しかも、複数のレーザーバーは長さが異なっても一つの固定用治具で保持でき、一度に多数のレーザーバーの蒸着が行える。特に、一部のレーザーバーが折れた場合でも、この折れたレーザーバーを他のレーザーバーとともに蒸着処理を行うことができる。このように、レーザーバーの長さに関係なく複数のレーザーバーの蒸着処理を一度に行えるので固定用治具としての汎用性が高くなる。
【００３６】
さらに、レーザーバーを保持する保持用バーが棒状であるため、蒸着中に保持用バーが熱によって変形（捻れ）する量は小さく、レーザーバーの変形は起こりにくい。
【００３７】
なお、レーザーバーの端面への蒸着は、レーザーバーの表面（電極形成面）の縁部に蒸着が回り込むようにしなければ、レーザーバーの端面の縁部において蒸着されない部分ができる可能性がある。そのため、確実に均一な反射膜が形成できるようにレーザーバーの表面側へ回り込むように蒸着を行う必要がある。
【００３８】
そこで、保持用バーは、保持面の幅方向の長さがレーザーバーの幅方向長さ（電極形成面の幅方向長さ）よりも短くすることが好ましい。
このように保持用バーの幅方向の長さを前記した長さとすることにより、保持用バーの端面からレーザーバーの蒸着被覆面側を突出させた状態にすることができる。その結果、レーザーバーの電極を有する表面において、蒸着被覆面である端面から保持用バーから突出させた部分に蒸着を回り込ませることができる。
【００３９】
このようにレーザーバーの電極側表面へ蒸着を回り込ませて行うことにより、蒸着被覆面全体を均一に蒸着材料で被覆することができる。さらに、蒸着の回り込ませ量は、保持用バーの保持面の幅方向長さの設定を変えるだけで所望の量に制御することができる。
【００４０】
また、本発明の固定用治具は、保持用バーの保持面の摩擦係数μａを、半導体レーザーバーの表面の摩擦係数μｂに対して、
０．９μｂ≦μａ≦１．１μｂ
の範囲内とすることが好ましい。即ち、摩擦係数μａは摩擦係数μｂと実質的に等しい値にすることが好ましい。
【００４１】
このように保持用バーの保持面の摩擦係数を、レーザーバーの表面摩擦係数とほぼ同等の摩擦係数にすることにより、レーザーバーが保持用バーの間から抜け落ちることなく、保持用バーでレーザーバーを保持できる。保持用バーは、このような範囲の摩擦係数を有するようにするためＳｉで形成することが好ましい。
【００４２】
さらに本発明では、押圧部を具えていることから、この押圧部による保持用バーの押圧により、保持用バーとレーザーバーとの接触面圧を大きくできるので、保持用バーによってレーザーバーを確実に保持することができる。
【００４３】
しかも、レーザーバーの一部が支持体から落下して、保持用バーの間に隙間が生じても、押圧部による押圧で保持用バーの間の隙間を無くすことができるので、他のレーザーバーが傾くことなく保持用バーで保持することができる。その結果、レーザーバーの一部が落下しても、レーザーバーの端面に正確な膜厚の反射膜を形成できる。
【００４４】
また、本発明では押え用覆部材を具えていることから、この押え用覆部材により保持用バーの両端部のみを覆い、レーザーバーの蒸着被覆面となる端面全面を露出させた状態で保持用バーが支持台から落ちないようにすることができる。
【００４５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１に基づいて説明する。図１は、本発明に係る半導体レーザーバーの固定用治具の平面図で、レーザーバーの一方の面が露出された状態を示す。図２は、図１の固定用治具のＸ−Ｘ断面図を示す。図３は、本発明に係る半導体レーザーバーの固定用治具の平面図で、レーザーバーが２枚の支持板の間に収納された状態を示す。図４は、図３の固定用治具のＹ−Ｙ断面図を示す。図５は、本発明の固定用治具が取り付けられる真空蒸着装置の全体構成図であり、図６は、真空蒸着装置の回転ドームに固定用治具を取り付けた状態を示す部分断面図である。
【００４６】
本実施形態にかかる固定用治具は、図７に示すように、ＧａＡｓやＩｎを含む材料からなる半導体ウエハー１００をバー状に劈開した半導体レーザーバー１００ａの所定面に所定の反射率を有する反射膜を真空蒸着により形成するために用いられる。
【００４７】
レーザーバー１００ａは、図５に示す真空蒸着装置１のチャンバー１１内に設ける回転ドーム１２に取り付けられて蒸着処理が行われる。そのため、レーザーバー１００ａをまず本実施形態に係る固定用治具１０に固定させておいて、レーザーバー１００ａが固定されている固定用治具１０を回転ドーム１２に取り付けることにより、レーザーバー１００ａの回転ドーム１２への取り付けが行われる。
【００４８】
本実施形態に係る固定用治具１０は、図１から図４に示すように、レーザーバー１００ａを保持する複数本の保持用バー２と、保持用バー２を設置させる支持台３と、保持用バー２を押圧する押圧部４と、保持用バー２の両端部を支持台３に支持させるための押え用覆部材５とを具える。
【００４９】
保持用バー２は、Ｓｉで形成され、レーザーバー１００ａを保持する保持面２１を有する長尺物から構成される。保持面２１は、長尺な面のうち一対の表裏両面に形成されている。
【００５０】
保持用バー２は、複数本用いられ、保持用バー２とレーザーバー１００ａが交互になるように各保持用バー２の間にレーザーバー１００ａを配置させる。このとき、保持用バー２の保持面２１をレーザーバー１００ａに対向させ、それぞれの保持用バー２の保持面２１をレーザーバー１００ａの電極形成面に接触させることにより、２本の保持用バー２で１本のレーザーバー１００ａを挟持するようにしている。
【００５１】
さらに、保持用バー２は、長手方向の長さをレーザーバー１００ａの長手方向長さよりも長く、かつ、後記する支持枠体３３の枠内に収まる長さとし、保持面２１の幅方向の長さをレーザーバー１００ａの幅方向長さ（電極形成面の幅方向長さ）よりも短くしている。
【００５２】
例えば、レーザーバー１００ａは、長手方向長さを６．５ｍｍ、幅方向長さ（電極形成面の幅方向長さ）を０．３５ｍｍ、厚みを０．１ｍｍとしている。保持用バー２は、長手方向長さを１８ｍｍ、保持面の幅方向長さを０．３ｍｍ、厚みを０．７ｍｍとする。
【００５３】
さらに、保持用バー２のレーザーバー１００ａと接触する保持面２１の摩擦係数μａは、レーザーバー１００ａの表面の摩擦係数μｂと実質的に等しくしており、レーザーバー１００ａの摩擦係数μｂを０．５４とし、保持用バー２の摩擦係数μａを０．５８としている。
【００５４】
本実施形態を示す図１から図４の固定用治具１０では、９本のレーザーバー１００ａを固定用治具１０で固定するために１０本の保持用バー２が用いられた状態が示されている。なお、図１から図４に示す実施形態では、説明の便宜上、レーザーバーの本数を少なくしているが、本発明の固定用治具は、５０本近くの保持用バー２を具えつけて、５０本近くのレーザーバーを固定することが可能である。
【００５５】
支持台３は、円板状の取付板３１と、この取付板３１の中心部に設ける長方形状の支持板３２と支持枠体３３とを具える。取付板３１は、真空蒸着装置１の回転ドーム１２に取り付けられる。
【００５６】
長方形状の支持板３２は、一方の面が平滑で、他方の面は、両方の長辺部に長手方向に延び、短辺部に至る切欠段部３２２を形成して、これら切欠段部３２２の間に保持用バー２を設置させる設置面３２１を形成している。本実施形態の固定用治具１０は、図１および図２に示すように１枚の支持板３２を用いて蒸着処理状態とし、図３および図４に示すように２枚の支持板３２を用いてレーザーバーを挟んだ状態にすることができるようになっている。
【００５７】
この設置面３２１は支持枠体３３の枠内に挿入させ、切欠段部３２２を支持枠体３３に当接させるようにしている。設置面３２１は複数のレーザーバー１００ａとこれらを挟持するための複数の保持用バー２の全てを設置面３２１からはみ出さないように載せることができる面積を有する。
【００５８】
支持枠体３３は、枠の一辺を保持用バー２の保持面２１と当接する当接部３３１とし、この当接部３３１と対向する辺を押圧部４のばねネジ４１を支持する支持壁部３３２とし、他の二辺を支持板３２の切欠段部３２２または押え用覆部材５が固定される固定部３３３としている。
【００５９】
当接部３３１には、設置面３２１に設置された保持用バー２のうち、一番外側に配置される保持用バー２の保持面２１を当接させる。本実施形態では、一番外側に配置される保持用バー２を当接部３３１に当接させた状態で、レーザーバー１００ａと他の保持用バー２を設置面３２１に設置させていく。
支持壁部３３２には、ばねネジ４１と螺合されるネジ孔４２が貫通形成されている。
【００６０】
支持枠体３３は取付板３１に取り付け取り外し可能に固定するようになっており、当接部３３１と支持壁部３３２においてボルト３４により固定するようにしている。
固定部３３３には、支持板３２の切欠段部３２２をボルト３５により、押え用覆部材５をボルト３６により取り付け取り外し可能に固定するようになっている。
【００６１】
押圧部４は、ネジの先端部をばねで伸縮させるばねネジ４１と支持壁部３３２のネジ孔４２とから構成されている。このばねネジ４１を、支持壁部３３２の外方からネジ孔４２に螺合させていくことにより、レーザーバー１００ａを挟持した保持用バー２の保持面２１を押圧するようになっている。
【００６２】
押え用覆部材５は、２箇所の固定部３３３に取り外し可能に固定される長尺板状部材５１で構成される。一方の長尺板状部材５１は、設置面３２１上に設置された保持用バー２の一端部を覆った状態で固定部３３３に固定される。他方の長尺板状部材５１も、設置面３２１上に設置された保持用バー２の他端部を覆った状態で固定部３３３に固定される。２枚の長尺板状部材５１で保持用バー２の両端部を覆うことにより、保持用バー２を設置面３２１から落ちないように支持させるようになっている。
【００６３】
本実施形態では、２枚の支持板３２のうち、一方の支持板３２を支持枠体３３の固定部３３３に固定し、支持板３２が固定部３３３と取付板３１との間に介在されるように、支持板３２が固定された支持枠体３３を取付板３１に固定しておく。
【００６４】
そして、レーザーバー１００ａの一方の端面に蒸着処理を行う場合、押圧部４であるばねネジ４１を支持壁部３３２のネジ孔４２に対して弛めておき、複数の保持用バー２を、支持台３の設置面３２１に保持面２１が互いに対向するように並べて設置させるとともに、これら保持用バー２の間にレーザーバー１００ａを配置させていく。
【００６５】
このとき、レーザーバー１００ａは保持用バー２の長手方向中心部に配置させ、長尺板状部材５１を固定部３３３に固定したときに、長尺板状部材５１によってレーザーバー１００ａの端部が覆われないようにする。保持用バー２とレーザーバー１００ａを設置面３２１に設置させたとき、図２に示すように保持用バー２の上部端面からレーザーバー１００ａの蒸着被覆面が突出した状態となる。
【００６６】
保持用バー２とレーザーバー１００ａの設置面３２１への設置がなされた後、ばねネジ４１のネジ孔４２への押し込み動作によりばねネジ４１の先端部を保持用バー２の保持面２１に圧接させる。このばねネジ４１によって保持用バー２を当接部３３１側に押圧することにより、保持用バー２とレーザーバー１００ａとの接触面圧を上げて、保持用バー２でレーザーバー１００ａを挟持する。
【００６７】
次に、一方の長尺板状部材５１を、設置面３２１上に設置された保持用バー２の一端部を覆った状態で固定部３３３に固定する。他方の長尺板状部材５１も、設置面３２１上に設置された保持用バー２の他端部を覆った状態で固定部３３３に固定する。これら２枚の長尺板状部材５１により、全ての保持用バー２の両端部が覆われて、保持用バー２を設置面３２１から落ちないように支持させ、レーザーバー１００ａの固定用治具１０への取り付けが完了する。
そして、レーザーバー１００ａが取り付けられた固定用治具１０を真空蒸着装置１の回転ドーム１２に取り付ける。
【００６８】
真空蒸着装置１は、図５に示すように、チャンバー１１内の上部に円盤状の回転ドーム１２とモニタ基板１３が設けられ、チャンバー１１内の下部にルツボ１４とイオンビームガン（ＥＢガン）１５とイオンガン１６と光学式膜厚モニタ部１７が設けられている。
【００６９】
チャンバー１１内は排気口１８から真空引きを行うことにより、内部を所定の真空度にできるようになっている。
回転ドーム１２は、チャンバー１１の天井部に回転可能に取り付けられており、複数の固定用治具１０が取り付けられるように、治具固定用の取付孔１２１が複数設けられている。
【００７０】
固定用治具１０は、図６に示すように、支持枠体３３と支持板３２が回転ドーム１２の天井側から取付孔１２１に挿入されるように取付孔１２１に装着される。
回転ドーム１２の下面側中心部には、前記モニタ基板１３が設けられている。このモニタ基板１３に光学式膜厚モニタ部１７から出される光を当てて反射させるようにしている。光学式膜厚モニタ部１７は、モニタ基板１３から反射されてきた光を受け入れて光量の変化を測定するようになっている。
【００７１】
レーザーバー１００ａへの蒸着処理を行うに当たっては、まず、回転ドーム１２にレーザーバー１００ａの蒸着被覆面が蒸着源に向くように固定用治具１０を取り付ける。また、ルツボ１４に、蒸着材料となるたとえばＡｌ２Ｏ３，Ｓｉを装填する。
そして、チャンバー１１内を排気口１８から排気して真空引きを行い所定の真空度にする。
【００７２】
次に、光学式膜厚モニタ部１７から光を出して、モニタ基板１３に当てる。モニタ基板１３から反射した光を光学式膜厚モニタ部１７で受光して、光量の変化を測定していく。
【００７３】
以上の準備が整ったら、回転ドーム１２を回転させながら、ＥＢガン１５の出力を徐々に大きくしていき、ルツボ１４内の蒸着材料にＥＢガン１５からイオンビームを照射して蒸着材料を蒸発させてドーム側に飛ばし、レーザーバー１００ａに反射膜を成膜していく。なお、回転ドーム１２を回転させるのは、均一な反射膜を形成するためである。
【００７４】
また、ＥＢガン１５の照射と同時にイオンガン１６の照射も行う。イオンガン１６は、ドーム側に飛んでいる蒸発した蒸着材料をレーザーバー端面に付着しやすくし、かつ、着いた膜が剥がれにくくするために照射している。
【００７５】
そして、光学式膜厚モニタ部１７で測定している光量の変化が任意の変化量となったところでＥＢガン１５の出力を停止し、回転ドーム１２の回転を停止させる。そして、チャンバー１１内を冷却した後、チャンバー１１内の真空状態を解除し、チャンバー１１内から固定用治具１０を取り出すことによりレーザーバー１００ａの蒸着処理が完了する。
【００７６】
そして、固定用治具１０を回転ドーム１２から取り外し、次にレーザーバーの他方の端面の蒸着処理を行う。この他方の端面の蒸着処理を行うため、まず、回転ドーム１２から取り外した固定用治具１０について、２枚の長尺板状部材５１を支持枠体３３の固定部３３３から外し、長尺板状部材５１に換えて未使用の支持板３２を固定部３３３に固定する。この支持板３２の固定部３３３への取り付けにより、レーザーバー１００ａと保持用バー２とが２枚の支持板３２の間に収納された状態になる。
【００７７】
そして、２枚の支持板３２を取り付けたまま支持枠体３３を取付板３１から取り外し、支持枠体３３を反転させて、後から固定した支持板３２が取付板３１と対向するようにして支持枠体３３を取付板３１に固定する。
【００７８】
次に、支持枠体３３から先に取り付けていた支持板３２を取り外し、取り外した支持板３２に換えて、２枚の長尺板状部材５１を、レーザーバー１００ａの両端部が覆われるように支持枠体３３の固定部３３３に固定する。これら長尺板状部材５１を支持枠体３３に取り付けた状態で、レーザーバー１００ａの他方の未蒸着端面が露出した状態となる。
そして、レーザーバー１００ａの他方の未蒸着端面が露出した状態の固定用治具１０を回転ドーム１２に取り付けて蒸着装置により前記と同様の蒸着処理を行う。
【００７９】
以上のように、本実施形態によれば、レーザーバー１００ａを保持用バー２の間に配置させて、レーザーバー１００ａを保持用バー２で保持するようにしているので、レーザーバー１００ａの蒸着被覆面となる端面の一部が他の部材で覆われることなく、端面全面に反射膜を形成することができる。
【００８０】
さらに、本実施形態では、レーザーバー１００ａを固定用治具１０から取り外すことなく、押え用覆部材５と支持板３２とを交換するように支持枠体３３に対して取り付け、取り外しを行うだけで、レーザーバーの両端面への蒸着が行える。その結果、レーザーバーの固定用治具への取り付け、取り外し作業が容易となる。
【００８１】
しかも、複数のレーザーバー１００ａの長さが異なっても一つの固定用治具１０で各レーザーバー１００ａを保持して、一度に多数のレーザーバーの蒸着が行える。特に、一部のレーザーバーが折れた場合でも、この折れたレーザーバーを他のレーザーバーとともに蒸着処理を行うことができる。このように、レーザーバーの長さに関係なく複数のレーザーバーの蒸着処理を一度に行えるので固定用治具としての汎用性が高くなる。
【００８２】
特に、保持用バー２の保持面２１を、レーザーバー１００ａの表面摩擦係数とほぼ同等の摩擦係数にしているので、保持用バー２によるレーザーバー１００ａの保持を良好に行える。
【００８３】
さらに、本実施形態では、レーザーバー１００ａを保持する保持用バー２が棒状であるため、蒸着中に保持用バー２が熱によってほとんど変形（捻れ）せず、レーザーバー１００ａの変形も起こりにくい。
【００８４】
しかも、レーザーバー１００ａの蒸着被覆面である端面から電極を有する表面の一部、即ち、保持用バー２から突出した部分だけ回り込ませて蒸着を行うようにしているので、レーザーバー１００ａの端面全面に均一な反射膜を形成することができる。
【００８５】
また、押圧部４のばねネジ４１で保持用バー２を押圧するようにしているので、保持用バー２とレーザーバー１００ａとの接触面圧を大きくでき、保持用バー２によってレーザーバー１００ａを確実に保持することができる。
【００８６】
さらに、本実施形態では、押圧部４で保持用バー２を押圧するようにしているので、レーザーバー１００ａの一部が支持台３から落下して、保持用バー２の間に隙間が生じても、保持用バー２の間の隙間を無くすことができる。その結果、レーザーバー１００ａの一部が落下しても、他のレーザーバー１００ａが傾くことなく保持用バー２で保持することができ、レーザーバー１００ａの端面に正確な膜厚の反射膜を形成できる。
【００８７】
また、本実施形態では、押え用覆部材５により保持用バー２の両端部を覆って支持台３から落ちないように支持しているので、レーザーバー１００ａの蒸着被覆面となる端面全面を露出させた状態で保持用バー２が支持台３から落ちないようにすることができる。
なお、前記実施形態では、蒸着によりレーザーバーに反射膜を形成した場合について説明したが、本発明の固定用治具はスパッタリングにより反射膜を形成する場合にも適用できる。
【００８８】
【発明の効果】
本発明の固定用治具は、レーザーバーを保持用バーの間に配置させて、レーザーバーを保持用バーで保持するようにしているので、レーザーバーの蒸着被覆面となる端面の一部が他の部材で覆われることなく、端面全面に確実に反射膜を形成することができる。
【００８９】
さらに、レーザーバーを固定用治具から取り外すことなく、押え用覆部材と支持板とを交換するように支持枠体に対して取り付け、取り外しを行うだけで、レーザーバーの両端面への蒸着又はスパッタリングが行える。その結果、レーザーバーの固定用治具への取り付け、取り外し作業が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる半導体レーザーバーの固定用治具の平面図であって、支持枠体に押え用覆部材が固定され、蒸着処理が行える状態を示す。
【図２】図１に示す固定用治具のＸ−Ｘ断面図である。
【図３】本発明にかかる半導体レーザーバーの固定用治具の平面図であって、支持枠体に２枚の支持板が固定され、レーザーバーが支持板の間に収納された状態を示す。
【図４】図３に示す固定用治具のＹ−Ｙ断面図である。
【図５】半導体レーザーバーの固定用治具が装着される蒸着装置の全体概略構成図である。
【図６】固定用治具を蒸着装置内のホルダーに取り付けた状態を示す部分断面図である。
【図７】半導体ウエハーを劈開してバー状にする工程を示す説明図であって、（Ａ）は劈開する前の状態を示し、（Ｂ）は劈開してレーザーバーが形成された状態を示す。
【図８】従来の固定用治具を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  真空蒸着装置      １１  チャンバー      １２回転ドーム      １２１取付孔
１３  モニタ基板      １４  ルツボ      １５  イオンビームガン（ＥＢガン）
１６  イオンガン      １７  光学式膜厚モニタ部      １８  排気口
１０  固定用治具
２  保持用バー      ２１  保持面
３  支持台          ３１  取付板      ３２  支持板      ３２１設置面
３３  支持枠体    ３３１  当接部      ３３２  支持壁部      ３３３  固定部
３４，３５，３６  ボルト
４  押圧部          ４１  ばねネジ      ４２  ネジ孔
５  押え用覆部材      ５１  長尺板状部材
【図１】
2004339544.tif 000003
【図２】
2004339544.tif 000004
【図３】
2004339544.tif 000005
【図４】
2004339544.tif 000006
【図５】
2004339544.tif 000007
【図６】
2004339544.tif 000008
【図７】
2004339544.tif 000009
【図８】
2004339544.tif 000010