(57)【要約】【課題】高歩留りで高比重のものを製造できる振動子の製造方法を提供する。【解決手段】（ａ）混合金属粉末と樹脂バインダー等の混合された懸濁液７の撹拌槽８及び噴霧乾燥槽９による噴霧乾燥方式の造粒加工法を導入し、工程条件として特に前記懸濁液７の粒度νを５００〜２０００ｃｐｓの範囲に設定し、また（ｂ）前記樹脂バインダーの熱分解したコールタール等を沈積するトラップを装備した加熱炉による脱バインダー処理法を適用する。これにより、特に粒子形状が略球状に造粒加工されて流動性に優れた混合金属粉末が得られ、これを加圧成形に用いると成形用金型に充填する粉末量Ｍの変動を抑制でき、よって高歩留りで振動子を製造できる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料がタングステン重合金からなり、有機バインダーとしての樹脂の添加で造粒加工された混合金属粉末から成形加工され、次いで加熱炉で脱バインダー処理され、最終的に本格焼結処理される振動子の製造方法において、
造粒加工前の混合金属粉末及び前記樹脂と溶媒が混合された懸濁液を、噴霧乾燥槽において噴霧状に飛散・乾燥させて造粒加工する噴霧乾燥方式による造粒加工法を適用し、
前記懸濁液の粘度νを５００ｃｐｓ以上２０００ｃｐｓ以下の範囲にしたことを特徴とする振動子の製造方法。
【請求項２】
前記噴霧乾燥槽の槽内温度Ｔｇを、いま前記溶媒の沸点をＴｖとしたとき、Ｔｖ＋１０℃≦　Ｔｇ　≦Ｔｖ＋８０℃の範囲にした請求項１に記載の振動子の製造方法。
【請求項３】
前記脱バインダー処理用の加熱炉に、前記樹脂の熱分解で析出する析出物を沈積するためのトラップを備えた請求項１に記載の振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯電話等に内臓される振動発生装置用のタングステン重合金からなる振動子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、普及されている携帯電話に内臓される振動発生装置用の振動子部材として、特に高比重のタングステン（Ｗ）重合金が広く用いられている。
【０００３】
タングステン重合金としては、主組成がＷ−Ｎｉ−Ｃｕ系、Ｗ−Ｎｉ−Ｆｅ系及びＷ−Ｍｏ−Ｎｉ−Ｆｅ系からなるものが知られており、これからなる振動子は従来からいわゆる粉末冶金法により製造されている。すなわち、振動子は、Ｗ粉末にＮｉ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｏ等の金属粉末を添加した混合金属粉末を成形用金型に流入・充填し、これを扇状に加圧成形したものを、１３００〜１５００℃の高温で焼結するものである。ここで、通常のタングステン重合金は、高比重を得るためにＷ組成が９０〜９８ｗｔ％の範囲に設定され、一方残りが添加金属組成から構成されている。そして、添加金属は、焼結時に液相を発生させて合金の高密度化を図り、また材料としての靭性を高める機能を果たすものである。そして、かかる振動子が、通常は振動発生装置内の小型モータの回転軸にいわゆる加締めにより固定されている。
【０００４】
上記タングステン合金からなる振動子の粉末冶金法による従来製造において、特に前記混合金属粉末は、主組成のＷ粉末が元々平均粒径１〜５μｍの微粉である故に流動性に劣り、よって前記成形用金型に規定量の粉末を均斉かつ精度よく流入・充填するのが難しく、結果的に振動子の仕上寸法、特に厚寸法が比較的大きく変動する、という問題が発生してきた（特開平７−２７８６９３号公報）。これを解決する有効な手段として、流入・充填する混合金属粉末の流動性を高めるために、従来から混合金属粉末の平均粒径を数十〜数百μｍレベルまで大きくするという、いわゆる造粒加工が適用されてきた。そして、通常のかかる造粒加工としては、前記混合金属粉末に有機バインダーとしてのアクルリ系等の樹脂及び溶媒としてのアセトン等の溶液を添加・混合し、かかる混合物を乾燥後に粒径の大きい粉末に粉砕し、次いでふるいなどにより規定の平均粒径をなす粉末に分級する、という方法が広く用いられてきた。これにより、当初の微粉の混合金属粉末をそのまま用いたときと比べて、成形用金型に流入・充填する混合金属粉末の流動性が改善され、規定量の粉末がより精度よく流入・充填され、よって振動子の仕上寸法の変動が幾分かは抑えられてきた。
【０００５】
一方、上記振動子の従来製造における主要課題として、タングステン重合金の材料としての高い靱性を得るために、その不純物含有量、特に炭素含有量を低減する、ことが取組まれてきた（特公昭６３−３０３９１号公報、特開平９−６７６３６号公報）。具体的には、高靭性を得るための炭素含有量として０．０５ｗｔ％以下に低減することが要望されてきた。
【０００６】
ところで、特に前記造粒加工された混合金属粉末から振動子を製造するときに、かかる混合金属粉末には有機バインダーとして炭素含有の樹脂が添加されており、これを加圧成形した直後の振動子成形品には相当量の樹脂成分がそのまま残存している。従って、加圧成形後の振動子成形品を最終的に本焼結処理するまえに、振動子成形品に残存している樹脂成分を除去するためのいわゆる脱バインダー処理を行う必要がある。従来技術による脱バインダー処理方法は、通常振動子成形品を水素等の還元雰囲気あるいはアルゴン等の不活性雰囲気の加熱炉において温度１０００℃以下で加熱処理することにより、残存樹脂を熱分解して除去するものである。これにより、最終焼結処理後の振動子において、その炭素含有量は０．０５ｗｔ％以下に低減されてきた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前記のように、タングステン重合金からなる振動子の粉末冶金法による通常の従来製造工程は、（ａ）混合金属粉末を樹脂有機バインダー添加の造粒加工によりその平均粒径を大きくし、（ｂ）かかる造粒加工した混合金属粉末から加圧成形により扇形の振動子成形品を製作し、（ｃ）これから脱バインダー処理により炭素含有の残存樹脂を除去し、（ｄ）次いで本格焼結処理により最終的な振動子へと仕上げるものである。
【０００８】
ところが、本発明者が前記粉末冶金法での従来製造工程により振動子を製造したところ、従来からの下記課題が十分には解決されていないことがわかった。
【０００９】
第１に、前記の従来造粒加工による混合金属粉末を用いたときでも、依然として成形用金型に流入・充填される粉末量Ｍは規定センター値に対して約±５％の幅で変動し、よって振動子の仕上寸法、特に厚寸法が変動し、製造歩留りが約９５％以下と比較的低いレベルに終わることがわかった。これは、前記造粒加工による混合金属粉末の流動性が依然として十分でない故である。ここで、９９％以上の製造歩留りを得るには、充填される粉末量Ｍは±１％以下の変動幅に抑える必要がある。
【００１０】
第２に、前記の従来脱バインダー処理により振動子を製造したときに、炭素含有量の低減が十分でないこともわかった。そして、本発明者がかかる振動子について解析してみると、前記のように材料としての靱性が依然として十分でないほかに、特に振動子の比重が目標規定値（理論比重の９８％以上）に達しないことが判明した。これは、炭素含有量が十分に低減されない振動子では泡状の空孔が多くなり、よって振動子の密度が低下する故である。ここで、理論比重の９８％以上の目標比重を得るには、前記脱バインダー処理の改良により振動子の炭素含有量を０．０２％以下に低減する必要がある。
【００１１】
本発明は、材料がタングステン重合金からなり、樹脂有機バインダー添加で造粒加工された混合金属粉末から成形加工され、次いで脱バインダー処理され、最終的に本格焼結処理される振動子の製造方法において、特に（ａ）造粒加工される混合金属粉末の流動性をより高めることにより成形用金型に充填する粉末量の変動をより抑制し、（ｂ）また前記脱バインダー処理の改良により振動子の炭素含有量をより低減し、これにより高歩留りで高比重のものを製造できる振動子の製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明の振動子の製造方法は、材料がタングステン重合金からなり、有機バインダーとしての樹脂の添加で造粒加工された混合金属粉末から成形加工され、次いで加熱炉で脱バインダー処理され、最終的に本格焼結処理される振動子の製造方法において、造粒加工前の混合金属粉末及び前記樹脂と溶媒が混合された懸濁液を、噴霧乾燥槽において噴霧状に飛散・乾燥させて造粒加工する噴霧乾燥方式による造粒加工法を適用し、前記懸濁液の粘度νを５００ｃｐｓ以上２０００ｃｐｓ以下の範囲にしたことを特徴とする。これにより、特に粒子形状が略球状に造粒加工されて流動性に優れた混合金属粉末が得られ、これを加圧成形に用いると成形用金型に充填する粉末量Ｍの変動を抑制でき、よって高歩留りで振動子を製造できる。前記において、「タングステン重合金」とは、比重１７．５〜１８．５の高比重タングステン合金をいう。
【００１３】
本発明においては、前記噴霧乾燥槽の槽内温度Ｔｇを、いま前記溶媒の沸点をＴｖとしたとき、Ｔｖ＋１０℃≦　Ｔｇ　≦Ｔｖ＋８０℃の範囲にしたことが好ましい。これにより、特に前記造粒加工において噴霧状に飛散された懸濁液粒子から溶媒が速やかに蒸発し、よって前記懸濁液粒子が速やかかつ十分に乾燥されてので、粒子形状が略球状に造粒加工されて流動性に優れた混合金属粉末がより安定して得られる。
【００１４】
また、前記脱バインダー処理用の加熱炉に、前記樹脂の熱分解で析出する析出物を沈積するためのトラップを備えたことが好ましい。これにより、特に上記振動子の炭素含有量を低減でき、よって高比重で高靱性の振動子を実現する製造方法が得られる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１から図７を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態に関連する携帯電話等に内臓される振動発生装置用の振動子の組立構成を示す。一方、図２は、上記振動子の一連の製造工程を模式的に示す。
【００１６】
振動子１は、材料が組成Ｗ９５％−Ｎｉ３％−Ｃｕ２％（但し、各組成は重量％）のタングステン重合金２からなり、基本的には粉末冶金法による下記の改良された製造装置及び工程にて製造されたものである。ここで、振動子１のタングステン重合金２表面には、いわゆる耐食防止用のニッケルメッキ層３が形成されている。振動子１の形状は、半径Ｒが３．０ｍｍ、厚さｔが３．０ｍｍ及び円周長Ｌが３．７ｍｍの扇状をなしており、その中心部には取付溝４が設けられている。そして、小型モーター５の回転軸６が上記取付溝４に挿入・加締められることで、振動子１は小型モーター５に固定・装着されている。
【００１７】
上記振動子１の一連の製造工程は、（ａ）元々微粉末からなる混合金属粉末を樹脂有機バインダー添加の造粒加工によりその平均粒径を大きくし、（ｂ）造粒加工された混合金属粉末から加圧成形により振動子成形品を製作し、（ｃ）これから脱バインダー処理により残存している炭素含有の樹脂有機バインダーを除去し、（ｄ）本格焼結処理により最終的なタングステン重合金の振動子１に仕上げるものである。
【００１８】
上記のうちの製造工程（ｂ）では、造粒加工された混合金属粉末は成形金型に充填され、成形加圧機により圧力３ｔｏｎ／ｃｍ２で成形された。また、製造工程（ｄ）では、残存樹脂の除去された振動子成形品は、水素雰囲気の焼結炉に設置されて温度１４２０℃で１時間の条件のもとに焼結処理された。
【００１９】
以下に、本発明に関連する残りの製造工程（ａ）及び（ｃ）について述べる。
【００２０】
本発明者は、まず上記製造工程（ａ）での混合金属粉末の造粒加工に関して、当初は従来からの前記方法を用いていた。つまり、組成がＷ９５％−Ｎｉ３％−Ｃｕ２％で各金属の平均粒径がそれぞれＷ２μｍ、Ｎｉ３μｍ及びＣｕ５μｍの混合金属粉末に有機バインダーとしてのアクリル系樹脂及溶媒としてのアセトン溶液を添加して撹拌混合し、この混合物を乾燥後に粉砕した。次いで、粉砕した粉末を１００メッシュ及び４００メッシュの２種類のふるいにより粒径が３８〜１５０μｍの粉末に分級し、これを加圧成形用粉末として用いた。
【００２１】
ところが、上記造粒加工された混合金属粉末を加圧成形に用いたとき、成形用金型に流入・充填される粉末量Ｍが規定センター値０．６ｇに対して約±５％の幅で変動し、よって振動子１の仕上寸法、特に厚寸法もそれだけ変動し、製造歩留りが約９５％と比較的低いレベルに終わることがわかった。ここで、本発明者が上記造粒加工された混合金属粉末の粒子形状を調べたところ、図３に示すように、粒子は比較的鋭角をなしかつ不均一な形状を有していることがわかった。そして、かかる粒子形状こそが、粒子間粘性を高めることで混合金属粉末の流動性を低めており、上記充填される粉末量Ｍを比較的大きく変動せしめる要因である、と判断した。
【００２２】
ここで本発明者は、混合金属粉末の流動性をより高めるために、単に平均粒径を大きくするだけでなく、併せて粒子形状が粒子間粘性の小さい略球状となるような混合金属粉末の得られる新たな造粒加工法を探索・検討した。この結果、従来からの前記方法に代っていわゆる噴霧乾燥方式の造粒加工法を導入し、ここで特に造粒加工の工程条件を下記のような特定範囲に設定することにより、粒子形状が略球状で流動性に優れた混合金属粉末が得られることを突き止めた。そして、かかる混合金属粉末を加圧成形に用いることにより、成形用金型に充填する粉末量Ｍの変動幅がより狭められ、よって振動子１の仕上寸法精度も高められて、最終的に製造歩留りが改善できることを確かめた。
【００２３】
図４は、本発明の実施の形態である噴霧乾燥方式による造粒加工のための製造装置及び工程を模式的に示す。
【００２４】
上記製造装置は、基本的に混合金属粉末等の混合された懸濁液７を撹拌する撹拌槽８と、上記懸濁液７を滴下しながら噴霧乾燥させて造粒加工を行う噴霧乾燥槽９の２つの装置から構成されている。噴霧乾燥槽９には、懸濁液７を滴下するための滴下ノズル１０と滴下された懸濁液７を噴霧するための回転円盤１１が装備されている。ここで、上記回転円盤１１は、回転数７０００〜１００００ｒｐｍの範囲にて動作された。また、噴霧乾燥槽９の槽内には非酸化雰囲気にするための窒素ガス１２が充填されており、併せて下記のように、特に槽内の雰囲気温度Ｔｇは造粒加工にとって最適な特定範囲になるように調整されている。そして、上記両装置８、９は搬送パイプ１３にて連結されている。
【００２５】
一方、上記造粒加工の工程は、（ａ−１）組成がＷ９５％−Ｎｉ３％−Ｃｕ２％で各金属の平均粒径がそれぞれＷ２μｍ、Ｎｉ３μｍ及びＣｕ５μｍの混合金属粉末に有機バインダーとしてのアクリル系樹脂及びアセトン溶液を添加し、撹拌槽８にて撹拌混合した懸濁液７を準備し、（ａ−２）次いで噴霧乾燥槽９にて、懸濁液７が滴下ノズル１０から回転円盤１１の上に滴下されて噴霧状に飛散され、これが槽内温度Ｔｇにより乾燥されて、最終的に造粒加工された粒子からなる混合金属粉末として回収されるものである。
【００２６】
なお、上記懸濁液７に添加する有機バインダーとしては、アクリル系樹脂の他に例えばポリビニールアルコール系、ポリビニールブチラール系、ポリビニールピロリドン系等の樹脂を用いてもよい。
【００２７】
本発明者は、混合金属粉末の上記噴霧乾燥方式による造粒加工の製造工程に関して、特に粒子形状が粒子間粘性の小さい略球状となるような工程条件を探索・検討した。この結果、上記造粒加工による混合金属粉末の粒子形状は、基本的に上記懸濁液７の粒度νに依存しており、ここで目的とする略球状の粒子形状を得るには、特に上記粘度νを５００〜２０００ｃｐｓの範囲に規定すればよいことを見い出した。これが、噴霧乾燥方式による造粒加工に関する本発明の特徴をなすものである。
【００２８】
以下に、上記結果に至った検討内容を述べる。本発明者は、上記工程（ａ−１）で混合金属粉末への樹脂バインダーおよび溶媒の添加量を変えることにより、粘度νが１００〜３０００ｃｐｓの範囲で異なる懸濁液７を調合して、上記工程（ａ−２）で造粒加工された混合金属粉末の粒子形状と上記粘度νとの関係を調べた。更に、かかる粘度νの異なる懸濁液７から造粒加工された混合金属粉末を用いて、実際に振動子を加圧成形により製作し、このときの上記粉末の流動性や成形金型へ充填される粉末量の変動幅などを調べた。なお、この場合の噴霧乾燥槽９の槽内温度Ｔｇは８０℃に設定した。
【００２９】
上記検討から、次のことがわかった。
（ａ）懸濁液７の粘度νが５００〜２０００ｃｐｓの範囲においては、図５に典型例を示すように、粒子形状が略球状をなし比較的均一で、平均粒径が５０〜１２０μｍの混合金属粉末が得られた。次いで、これを加圧成形したとき、成形金型への流動性は最もよく、充填された粉末量Ｍの変動幅は規定センター値０．６ｇに対して±０．７％以下まで狭められた。
（ｂ）粘度νが上記範囲以下の１５０〜５００ｃｐｓの範囲では、図６に示すように、粒子形状は見掛けでは略球状をなしているが比較的不均一で、また粒子表面に多数の陥没が観測された。一方、この成形金型への流動性そのものはよかったが、上記陥没の発生の故に実際に充填された粉末量の変動幅は±２．０％以上と依然として大きくなった。
【００３０】
更に、粘度νが１５０ｃｐｓ以下の範囲になると、得られた粉末は平均粒径が１５μｍ以下の微粉末となり、加圧成形での十分な流動性が得られなかった。
（ｃ）粘度νが２０００〜２５００ｃｐｓと高い範囲になると、図７に示すように、造粒加工された粉末は糸状となり、加圧成形での十分な流動性が得られなかった。更に、粘度νが２５００ｃｐｓ以上のより高い範囲になると、懸濁液７が撹拌槽８から噴霧乾燥槽９へ搬送パイプ１３を通じて十分供給できなくなった。
【００３１】
以上から、懸濁液７の粘度νを特に５００〜２０００ｃｐｓの範囲に規定することにより、造粒加工において粒子形状が略球状で流動性のよい混合金属粉末が得られることがわかった。そして、これから最終の振動子１を製造したところ、その仕上寸法精度は向上されており、よって９９．０％以上という高い製造歩留りが得られることも確かめた。
【００３２】
本発明者は、更に上記噴霧乾燥槽９の槽内温度Ｔｇが粒子形状に影響するもう一つの工程条件であることも見い出した。
【００３３】
上記工程（ａ−２）において噴霧状に飛散された粒子が槽内温度Ｔｇにより十分乾燥されるには、粒子中の溶媒として添加されたアセトンが速やかに蒸発される必要がある。これに関する本発明者による検討結果から、上記蒸発に必要な槽内温度Ｔｇは、いまアセトン溶媒の沸点をＴｖとしたとき、Ｔｖ＋１０℃　≦　Ｔｇ≦Ｔｖ＋８０℃の範囲に規定すればよいことがわかった。温度Ｔｇが上記範囲以下では乾燥が不十分となり、必ずしも略球状をなす粒子形状が得られなかった。一方、温度Ｔｇが上記範囲以上ではアセトン蒸発が急激すぎて、この場合も略球状をなす粒子形状が得られなかった。なお、上記本実施形態において、用いられたアセトンの沸点Ｔｖは５６℃であり、よって槽内温度Ｔｇは６６〜１３６℃の範囲に設定された。
【００３４】
なお、上記懸濁液７に用いられる溶媒としては、アセトンの他に例えばエタノール、メタノール、トルエン等を用いてもよく、この場合の槽内温度Ｔｇも同様の上記範囲に規定すればよい。
【００３５】
上記本実施形態での造粒加工の典型的な工程条件として、懸濁液７の粘度νを１０００ｃｐｓに、槽内温度Ｔｇを８０℃にそれぞれ設定し、ここで造粒加工された混合金属粉末から最終の振動子１を製造し、本発明による効果の再確認を行った。この場合、実際の懸濁液７は、混合金属粉末が８４　ｗｔ％、アクリル系樹脂が１．７ｗｔ％及びアセトン溶媒が１４．３ｗｔ％の混合組成で調合した。
【００３６】
この結果、成形用金型に充填された粉末量の変動幅は規定センター値０．６ｇに対して±０．５％以下に抑えられて、よって最終の振動子１の特に厚さｔの仕上寸法精度はそれだけ向上し、９９．６％という高い製造歩留りを達成することができた。
【００３７】
次いで本発明者は、本実施形態である製造工程（ｃ）の脱バインダー処理について検討した。
【００３８】
本発明者は、当初検討では従来からの脱バインダー処理を行っていた。すなわち、図８に模式的に示すように、前段の製造工程（ｂ）で加圧成形された振動子成形品１４は、水素雰囲気における脱バインダー処理加熱炉１５の複数のトレイ１６に設置され、処理温度が１０００℃以下、典型例では５００℃で３時間の条件のもとで加熱処理された。ここで、脱バインダー処理加熱炉１５は通常の固定式の電気ヒーターによる加熱炉であって、炉内の温度分布は比較的均一に保たれ、炉内にはトレイ１６以外の備品は設置されていない。また、振動子成形品１４の内部の残存樹脂は、上記処理温度において熱分解されていわゆるコールタール等となり回収された。
【００３９】
ところが、従来からの上記脱バインダー処理では、最終の振動子１の平均比重が１７．６と目標最小値１７．８に未達であり、また各比重の変動幅も±０．４と比較的大きくなることがわかった。そして、低比重の振動子１を分析してみると、タングステン重合金２の炭素含有量は０．０３〜０．０６ｗｔ％と比較的高い範囲に分布しており、ここで炭素含有量がより高い振動子１ほど、より多くの空孔が内部に残存していることがわかった。これから、振動子１の低比重は、高い炭素含有量での空孔の残存に起因していることが判明した。
【００４０】
更に、従来からの脱バインダー処理において振動子１の炭素含有量が高くなる要因について調べたところ、これは図８に示した前記脱バインダー処理加熱炉１５の構造上の問題にあると判断した。つまり、前記脱バインダー処理加熱炉１５の稼動での内部状態を観察してみると、振動子成形品１４から熱分解により析出されたコールタール等が主に脱バインダー処理加熱炉１５の炉壁のほぼ全般にわたって付着・残留しており、これが加熱処理後の炉冷却サイクルにおける振動子成形体１４へのいわゆる炭素汚染源となっていると判断した。
【００４１】
本発明者は、上記析出して炉壁に付着したコールタール等が炭素汚染源とならないような脱バインダー処理加熱炉１５の構造改良について検討した。この結果、基本的に炉内に上記コールタール等を沈積できるようないわゆるトラップを装備することにより、上記コールタールが炭素汚染源となるのを確実に防止できることを見い出した。
【００４２】
図９は、本発明の実施の形態である改良された脱バインダー処理用熱炉１５の構造を模式的に示す。前記脱バインダー処理加熱炉１５に炉内には、特に開閉扉１７の入口部に析出するコールタール等を沈積するためのトラップ１８が装備され、一方奥側に振動子成形品１４を乗せたトレイ１６が設置されている。上記トラップ１８はステンレス鋼からなる３枚の円板１９ａ、１９ｂ及び１９ｃを支柱棒２０で連結したものから構成されている。ここで、上記トラップ１８が装備された脱バインダー処理加熱炉１５の稼動での内部状態を観察してみると、振動子成形品１４から析出したコールタールは、主に上記トラップ１８の特に開閉扉入口側の円板１９ａ及び１９ｂの両表面に集中して沈積しており、その他の円板１９ｃや炉壁そのものには殆ど付着・残留しないことがわかった。これは、トラップ１９の炉内側の円板１９ｃが炉内加熱に対するいわゆる熱遮蔽板として機能し、入口側の円板１９ａ及び１９ｂの温度が炉内加熱温度より低く保たれることによるものである。
【００４３】
次いで、上記の改良された脱バインダー処理加熱炉１５で加熱処理した振動子成形品１４から最終の振動子１を製造し、その炭素含有量及び比重を測定した。この結果、かかる振動子１の比重は１８．０〜１８．３のより高い範囲に分布し、一方で炭素含有量も０．００３〜０．０１８ｗｔ％のより低い範囲に分布することを確かめた。また、振動子１のタングステン重合金２内には空孔が殆ど観測されなかった。更に、振動子１は、小型モーター５の回転軸６への加締めに対しても十分耐える高い靱性を示した。
【００４４】
以上のように、材料がタングステン重合金からなり、樹脂有機バインダー添加で造粒加工された混合金属粉末から成形加工され、次いで脱バインダー処理され、最終的に本格焼結処理される振動子の製造方法及び装置において、特に（ａ）噴霧乾燥方式による造粒加工法を導入することにより、粒子形状が略球状で流動性に優れた混合金属粉末が得られ、これを加圧成形に用いると成形用金型に充填する粉末量Ｍの変動を抑制でき、また（ｂ）コールタール等を沈積するトラップを装備した加熱炉による脱バインダー処理法を適用することにより、上記振動子の炭素含有量を低減できる、ことが明らかとなった。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、材料がタングステン重合金からなり、樹脂有機バインダー添加で造粒加工された混合金属粉末から成形加工され、次いで脱バインダー処理され、最終的に本格焼結処理される振動子の製造方法において、特に（ａ）粒子形状が略球状に造粒加工されて流動性に優れた混合金属粉末が得られ、これを加圧成形に用いることで成形用金型に充填する粉末量Ｍの変動幅を抑制でき、また（ｂ）上記振動子の炭素含有量を低減でき、よって高比重の振動子を実現できる製造方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に関連する振動発生装置用の振動子の組立構成図
【図２】本発明の実施の形態に関連する振動発生装置用の振動子の製造工程図
【図３】従来造粒加工法による混合金属粉末の粒子形状
【図４】本実施形態である噴霧乾燥方式による造粒加工の製造装置及び工程図
【図５】本実施形態である上記造粒加工における粒子形状と懸濁液粘度の関係を示す図
【図６】本実施形態である上記造粒加工における粒子形状と懸濁液粘度の関係を示す図
【図７】本実施形態である上記造粒加工における粒子形状と懸濁液粘度の関係を示す図
【図８】従来技術による脱バインダー処理炉の構造
【図９】本実施形態である改良されたトラップ装備の脱バインダー処理加熱炉の構造
【符号の説明】
１　振動子
２　タングステン重合金
７　懸濁液
８　撹拌槽
９　噴霧乾燥槽
１０　滴下ノズル
１１　回転円盤
１４　振動子成形品
１５　脱バインダー処理加熱炉
１８　トラップ
【図１】
2004052020.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004052020.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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