(57)【要約】      （修正有）【課題】ＢＧＡ型の半導体装置の歩留まり及び信頼性向上を図る。【解決手段】第１の配線３が形成された半導体ウエハ１ａの表面に樹脂５を介して支持板となるガラス基板４を接着する。当該ガラス基板４を接着した面と反対側の面をバックグラインドし、半導体ウエハ１ａの厚さを薄くする。この時、バックグラインド処理で生じるスクラッチによる半導体ウエハ１ａ面内の凹凸を除去するためにウェットエッチング処理を行う。次に、ガラス基板４を接着した面と反対側の面に対して、境界Ｓに沿った領域を、テーパーのついた溝になるようにエッチングを行う。ここで、当該エッチングで形成した溝の表面の凹凸や角になった部分の先端部を丸めるためにウェットエッチングを行う。上記ウェットエッチング処理を行うことによって、バックグラインド後、エッチング後に形成される絶縁膜、配線、保護膜の被覆性が向上し半導体装置の歩留まり、信頼性の向上につながる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子が形成されている半導体ウエハの面に支持板を接着し、
前記支持板が接着されている面と反対側の前記半導体ウエハの面をバックグラインドし、
前記バックグラインドされた前記半導体ウエハの面にウェットエッチングを行うことによって、表面粗さを減らすことを特徴とした半導体装置の製造方法。
【請求項２】
半導体素子が形成されている半導体ウエハの面に支持板を接着し、
前記支持板が接着されている面と反対側の前記半導体ウエハの面をエッチングすることにより、溝を形成し、
前記エッチングされた前記半導体ウエハの面にウェットエッチングを行うことにより、前記溝の角部を丸くするように加工することを特徴とした半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記ウェットエッチングは、前記バックグラインドされた前記半導体ウエハの面を上に向けて、上方から当該半導体ウエハに薬液を滴下し、当該半導体ウエハを回転させ、薬液を当該半導体ウエハ全体に広げることにより、ウェットエッチング加工を行うことを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記ウェットエッチングは、前記エッチングされた前記半導体ウエハの面を上に向けて、上方から当該半導体ウエハに薬液を滴下し、当該半導体ウエハを回転させ、薬液を当該半導体ウエハ全体に広げることにより、ウェットエッチング加工を行うことを特徴とする請求項２記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記ウェットエッチングは、前記半導体ウエハの回転方向を切り換えながら行うことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記ウェットエッチングは、前記バックグラインドされた半導体ウエハの面をＣＭＰ処理することで表面粗さを減らすことを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記ウェットエッチングにより、前記バックグラインドされた半導体ウエハの面に付着している異物を除去することを特徴とする請求項１，３，６のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記ウェットエッチングにより、前記エッチングされた半導体ウエハの面に付着している異物を除去することを特徴とする請求項２または請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
複数の半導体素子が形成されている半導体ウエハ上に、絶縁膜を介して、隣接する半導体素子の境界を中心として一対となる第１の配線を形成する工程と、
前記第１の配線を覆うように、接着剤を介して支持板を接着する工程と、
前記支持板が接着されている面と反対側の前記半導体ウエハの面をバックグラインドする工程と、
前記バックグラインドされた半導体ウエハの面にウェットエッチングを行うことで表面粗さを減らす工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記バックグラインドされた半導体ウエハの面、もしくは前記ウェットエッチングされた前記半導体ウエハの面に対して、レジストによるパターニングを行い、当該レジストをマスクとしたエッチングを行い、前記半導体素子の境界線に沿うように溝を形成する工程と、
前記溝を含めた前記エッチングされた半導体ウエハの面に対して、ウェットエッチングを行うことにより、当該溝の角部を丸める工程と、
を有することを特徴とする請求項９記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記ウェットエッチングは、前記半導体ウエハを薬液に浸すディップ処理により行われることを特徴とする請求項１，２，９，１０のうちいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
前記ウェットエッチングに替わって、ドライエッチングを行うことを特徴とする請求項１，２，９，１０のうちいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はボール状の導電端子を有するＢＧＡ（Ball Grid Array）型の半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、三次元実装技術として、また新たなパッケージ技術として、ＣＳＰ （Chip Size Package）が注目されている。ＣＳＰとは、半導体チップの外形寸法とほぼ同サイズの外形寸法を有する小型パッケージをいう。
【０００３】
従来より、ＣＳＰの一種として、ＢＧＡ型の半導体装置が知られている。このＢＧＡ型の半導体装置は、半田等の金属部材からなるボール状の導電端子をパッケージの一主面上に格子状に複数配列し、パッケージの他の面上に搭載される半導体チップと電気的に接続したものである。
【０００４】
そして、ＢＧＡ型半導体装置を電子機器に組み込む際には、各導電端子をプリント基板上の配線パターンに圧着することで、半導体チップとプリント基板上に搭載される外部回路とを電気的に接続する。
【０００５】
このようなＢＧＡ型半導体装置は、側部に突出したリードピンを有するＳＯＰ（Small Outline Package）やＱＦＰ（Quad Flat Package）等の他のＣＳＰ型半導体装置に比べて、多数の導電端子を設けることが出来、しかも小型化できるという長所を有する。このようなＢＧＡ型の半導体装置は、例えば携帯電話機に搭載されるデジタルカメラのイメージセンサチップとしての用途がある。
【０００６】
図９は従来のＢＧＡ型の半導体装置の概略構成を示すものであり、図９（Ａ）は、このＢＧＡ型半導体装置の表面側の斜視図である。また、図９（Ｂ）はこのＢＧＡ型半導体装置の裏面側の斜視図である。
【０００７】
このＢＧＡ型の半導体装置１００は、第１及び第２のガラス基板１０４ａ、１０４ｂの間に半導体チップ１０１がエポキシ樹脂１０５ａ、１０５ｂを介して封止されている。第２のガラス基板１０４ｂの一主面上、即ちＢＧＡ型の半導体装置１００の裏面上には、ボール状の端子（以下、導電端子１１１と称す）が格子状に複数配置されている。この導電端子１１１は、第２の配線１０９を介して半導体チップ１０１へと接続される。複数の第２の配線１０９には、それぞれ半導体チップ１０１の内部から引き出された第１の配線が接続されており、各導電端子１１１と半導体チップ１０１との電気的接続がなされている。
【０００８】
このＢＧＡ型の半導体装置１００の断面構造について図１０を参照して更に詳しく説明する。図１０はダイシングラインに沿って、個々のチップに分割されたＢＧＡ型の半導体装置１００の断面図を示している。
【０００９】
半導体チップ１０１の表面に形成された絶縁膜１０２の上に第１の配線１０３が設けられている。この半導体チップ１０１は樹脂１０５ａによって第１のガラス基板１０４ａと接着されている。また、この半導体チップ１０１の裏面は、樹脂１０５ｂによって第２のガラス基板１０４ｂと接着されている。そして、第１の配線１０３の一端は第２の配線１０９と接続されている。この第２の配線１０９は、第１の配線１０３の一端から第２のガラス基板１０４ｂの表面に延在している。そして、第２のガラス基板１０４ｂ上に延在した第２の配線１０９上には、ボール状の導電端子１１１が形成されている。
【００１０】
上述した技術は、例えば以下の特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特許公表２００２−５１２４３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
前記ＢＧＡ型の半導体装置１００では、ガラス基板を半導体チップ１０１の両面に接着している。しかし、半導体素子が形成されていない面、すなわち導電端子が配置される面については、必ずしも第２のガラス基板１０４ｂを接着させる必要はない。つまり、半導体チップ１０１と第２の配線１０９が絶縁されていれば、第２のガラス基板を接着する必要がなくなるということである。また、２枚のガラスの厚さが半導体装置１００全体の厚さの多くを占めるようになっている。そこで、半導体チップ１０１の半導体素子が形成されている面にのみガラス基板を接着することによって、コスト削減、半導体装置１００の小型化を図ることが考えられている。その例として、本発明による半導体装置の断面図である図８を用いて説明する。第２のガラス基板を接着する代わりに半導体チップ１に絶縁膜７を形成し、この上に緩衝部材８、第２の配線９、保護膜１０、導電端子１１を形成することによって、半導体装置１００と同等な半導体装置ができる。しかし、このような半導体装置を作るには、以下のような問題点がある。
【００１２】
まず、第１の問題を説明する。このようなＢＧＡ型の半導体装置の製造では、絶縁膜７を成膜する前に、ガラス基板４を接着した面と反対側の面、即ち半導体装置の裏面をバックグラインドで研削する工程がある。バックグラインドでは、砥石で、複数の半導体チップを含む半導体ウエハを研削することによってウエハを薄くする。そのため、砥石の凹凸が反映され、研削後の面には深さや幅が数μｍになるスクラッチが発生する。なお、図１０に示した前記半導体装置１００の場合には、両面にガラス基板を接着するため、スクラッチによる凹凸は、樹脂１０５ｂによって覆われるため、問題となりにくい。
【００１３】
しかし、本発明のように半導体素子を形成した面にのみガラス基板を接着するＢＧＡ型の半導体装置では、チップと第２の配線の絶縁性を保つ為に、バックグラインドされた半導体ウエハの面に絶縁膜７を形成する必要がある。絶縁膜７は、プラズマＣＶＤ装置によ
って形成する為、面内の凹凸が反映されてしまい、ＣＶＤ成膜後の面は平坦にならない。その結果、絶縁膜７、第２の配線９、パターニングに用いるレジスト膜の被覆性が悪化する原因となっていた。また、絶縁膜７の被覆性が悪い場合、ピンホールやクラックが発生することがあり、半導体装置の歩留まりや信頼性が低下する要因となっていた。
【００１４】
次に第２の問題について説明する。バックグラインド後、半導体ウエハを個々の半導体チップに分割するため、半導体ウエハの境界線に沿ってエッチングを行い溝を形成する。このエッチングされた半導体ウエハの面には、残渣や異物が付着することにより、エッチングされた半導体ウエハの面に凹凸ができる。また、エッチング後、角になる部分は先端が尖った形状になってしまう。これらにより、溝形成以降に成膜するパターニング用のレジスト膜、第２の配線９、保護膜１０の被覆性が悪化し、半導体装置の信頼性、歩留まりが低下する要因となっていた。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、以上の問題点に鑑み成されたものであり、ＢＧＡ型の半導体装置の製造工程で発生する上記バックグラインドされた半導体ウエハの面の凹凸、上記エッチングされた半導体ウエハの面の凹凸、もしくは上記エッチングによる溝形成後に、角となり尖った部分が発生するといった問題を解決する。
【００１６】
本発明は、バックグラインド後、もしくはエッチング後に、半導体ウエハに対してウェットエッチングを行うことにより、ウエハ面内の凹凸の平滑化や尖った部分の先端を丸めるようにしたものである。これにより、その後の工程で、バックグラインド後、もしくはエッチング後の半導体ウエハの面上に形成するレジスト膜、第２の配線、絶縁膜、保護膜の被覆性の向上を図ることができ、半導体装置の歩留まり、及びその信頼性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の効果は、薄型のＢＧＡ型半導体装置の製造における問題点を解決することにより、ＢＧＡ型半導体装置の信頼性と歩留まりが向上することである。その内容は以下の通りである。
【００１８】
（１）支持板を接着した半導体ウエハの面と反対側の面に対するバックグラインドの後に、上記半導体ウエハの面と反対側の面に発生するスクラッチ、即ち、幅、深さが数μｍに達するウエハ面内の凹凸に対してウェットエッチングを行うことで、表面粗さが低減し、膜の被覆性が向上する。
【００１９】
（２）バックグラインド後、もしくはチップ境界部分をテーパーのついた溝に加工するために行うエッチング作業後に発生する異物や残渣によるウエハ面内の凹凸、もしくは先端が尖っている部分に対してウェットエッチングを行い、ウエハ面内の凹凸をなくし、角を丸めることで、膜の被覆性を向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法を、図１乃至図８を参照しながら順次説明する。
【００２１】
図１に示すように、後の工程で半導体チップ１となる半導体ウエハ１ａを用意する。当該半導体チップ１は、例えばＣＣＤのイメージセンサ用のチップであり、半導体のウエハプロセスにより形成される。その表面上に絶縁膜２を介して、半導体チップ１毎に分断するための境界Ｓ（ダイシングラインまたはスクライブラインと呼ばれる。）付近で、所定の間隙を有するように、一対の第１の配線３を形成する。ここで、第１の配線３は、半導体チップ１のボンディングパットから、境界Ｓ付近まで拡張されたパッドである。すなわち、第１の配線３は外部接続パッドであって、半導体チップ１の図示しない回路と電気的に接続されている。
【００２２】
続いて、第１の配線３が形成された半導体ウエハ１ａの表面に接着剤を介して支持板を接着する。ここでは、接着剤として透明のエポキシ樹脂５を、支持板として透明なガラス基板４を用いる。なお、例えば、ＣＣＤではない、メモリやマイコン等のＬＳＩで、本発明のＢＧＡ型半導体装置を作る場合には、不透明なプラスチック製の支持板を各種適切な接着剤を用いて貼り合わせてもよい。
【００２３】
図２に示すように、前記半導体ウエハ１ａについて、ガラス基板４を接着した面と反対側の面をバックグラインドして、半導体ウエハ１ａの厚さを薄くする。このときのバックグラインドされた半導体ウエハ１ａの厚さは２３０μｍ程度である。
【００２４】
バックグラインドされた半導体ウエハ１ａの面では、図２中に円で囲んだ部分「ａ：エッチング前の面」に示すように、スクラッチが発生し、幅、深さが数μm程度になる凹凸ができる。これを小さくするために、半導体ウエハ１ａの材料であるシリコン（以下Ｓｉ）と絶縁膜２及びガラス基板４の材料であるシリコン酸化膜（以下ＳｉＯ２）に比して高いエッチング選択比を持つ薬液を用いて、半導体ウエハ１ａの面に対してウェットエッチングを行う。当該エッチングにより、半導体ウエハ１ａを５〜３０μｍ削り、図２中に円で囲んだ部分「ｂ：エッチング後の面」に示したような凹凸の少ない面が得られる。
【００２５】
なお、当該ウェットエッチングで用いる薬液としては、前記したようにＳｉとＳｉＯ２で高い選択比をもっていれば特別な限定をするものではない。例えば、本実施形態では、ウェットエッチング溶液として、フッ化水素酸２．５％、硝酸５０％、酢酸１０％及び水３７．５％の溶液を使用している。
【００２６】
また、ウェットエッチングの方法としては、以下に示すいずれの方法を用いてもよい。
【００２７】
第１の方法は、レジスト塗布の様に、バックグラインドされた半導体ウエハ１ａの面を上に向けて、半導体ウエハ１ａ上に薬液を滴下し、ガラス基板４が接着された半導体ウエハ１ａを、その軸を中心として回転させることで薬液を当該半導体ウエハ１ａのウエハ面内全体に行き渡らせることで、ウェットエッチングを行い、表面粗さを減らす方法である。
【００２８】
この時、当該半導体ウエハ１ａの回転方向を切り換えることにより、ウエハ面内全体に薬液がより均一に行き渡るようになり、表面粗さが低減する。
【００２９】
第２の方法は、半導体ウエハ１ａを薬液に浸すディップ処理で、ウェットエッチングを行うことで、表面粗さを減らす方法である。これにより、上記第１の方法によるウェットエッチングに比して、より均一に薬液を当該半導体ウエハ１ａのウエハ面内全体に行き渡らせることができるため、その表面粗さをより均一に減らすことが可能となる。
【００３０】
第３の方法は、バックグラインドされた半導体ウエハ１ａの面をＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）で研磨することによって、表面粗さを減らす方法である。
【００３１】
また、ウェットエッチングの替わりに、バックグラインドされた半導体ウエハ１ａの面を上に向けて、当該半導体ウエハ１ａの面に対してドライエッチングを行うことで、ウエハ面内全体の表面粗さを減らしてもよい。
【００３２】
ウェットエッチングの後、図３に示すように、ガラス基板４を接着した面と反対側の半導体ウエハ１ａの面に対して、境界Ｓに沿って開口部を設けた不図示のレジストパターンを形成する。当該レジストパターンをマスクとして、半導体ウエハ１ａを等方性エッチングすることにより、境界Ｓの部分で、テーパーのついた溝が形成され、絶縁膜２が露出した状態となる。これにより、半導体ウエハ１ａは個々の半導体チップ１に分割されるが、これらの半導体チップ１はガラス基板４によって支持されるので、全体としては半導体ウエハ１ａの形態を有している。
【００３３】
なお、このエッチングは、ドライエッチング、ウェットエッチングのどちらで行ってもよい。
【００３４】
溝が形成された半導体ウエハ１ａには、表面の凹凸や、エッチングによる残渣、異物が生じている。さらに、図３中に丸く囲んでｃ、ｄとして示したように、溝で角になる部分が尖った形状になっている。
【００３５】
図４に示すように、前記した残渣や異物の除去、尖った部分の先端部を丸めるためにウェットエッチングを行う。当該ウェットエッチングにより、図３中のｃ、ｄの部分は、図４中のｃ、ｄの部分に示すように、尖った部分を丸くすることができる。
【００３６】
前記ウェットエッチングに使用する薬液は、バックグラインド後のウェットエッチングと同様の薬液を用いればよい。ウェットエッチングの方法としては、以下のような方法が挙げられる。
【００３７】
第１の方法は、レジスト塗布の様に、溝形成後の面を上側にして、半導体ウエハ１ａ上に薬液を滴下し、当該半導体ウエハ１ａを回転させることにより薬液を当該半導体ウエハ１ａ全体に行き渡らせ、溝形成後の面のウェットエッチングを行う方法である。
【００３８】
この時、半導体ウエハ１ａの回転方向を切り換えることにより、薬液が半導体ウエハ１ａ全体に均等に行き渡るようになり、ウエハ面内でのエッチングの均一性が向上する。
【００３９】
第２の方法は、半導体ウエハ１ａを薬液に浸すディップ処理を行うことで、溝形成後の面のウェットエッチングを行う方法である。これにより、上記第１の方法によるウェットエッチングに比して、より均一に薬液を当該半導体ウエハ１ａのウエハ面内全体に行き渡らせることができるため、ウエハ面内でのエッチングの均一性をより向上することが可能となる。
【００４０】
また、ウェットエッチングの替わりに、溝が形成された半導体ウエハ１ａの面に対してドライエッチングを行うことで、半導体ウエハ１ａの上記尖った部分の先端部を丸めてもよい。
【００４１】
ウェットエッチングの後、図５に示すように、前記半導体チップ１のガラス基板４を接着した面と反対側の面に対して、絶縁膜７の成膜を行う。本実施例では、シランベースの酸化膜を３μｍ成膜する。
【００４２】
図６に示すように、前記半導体チップ１において、絶縁膜７上に不図示のレジストを塗布し、前記第１の配線３の下面の一部が露出するように絶縁膜７をパターニングする。前記レジストをマスクにして、絶縁膜７、絶縁膜２をエッチングし、第１の配線３の下面の一部を露出させる。次に、後に導電端子１１を形成する位置と重なる位置に柔軟性を有する緩衝部材８を形成する。なお、緩衝部材８は導電端子１１に加わる力を吸収し、導電端子１１の接合時のストレスを緩和する機能を持つものであるが、本発明は緩衝部材８の不使用を制限するものではない。
【００４３】
次に、前記ガラス基板４を接着した面と反対側の面に、第２の配線９を形成する。これにより、第１の配線３と第２の配線９が電気的に接続される。
【００４４】
図７に示すように、前記ガラス基板４を接着した面と反対側の面に、不図示のレジストを塗布し、境界Ｓに沿う部分を開口させるようにパターン形成を行う。当該レジストをマスクとしてエッチングを行い、境界Ｓ付近の第２の配線９を除去する。なお、不図示であるが、第２の配線９の形成後、ガラス基板４を接着した面と反対側の面に対して無電解メッキ処理を行い、第２の配線９に対して、Ｎｉ−Ａｕをメッキする。
【００４５】
次に、ガラス基板４を接着した面と反対側の面に保護膜１０を形成する。保護膜１０を形成するためには、ガラス基板４を接着した面と反対側の面を上に向けて、熱硬化性の有機系樹脂を上方から滴下して、半導体ウエハ１ａ自体を回転させることで、この回転により生じる遠心力を利用し、当該有機系樹脂をウエハ面上に広げる。これにより、第２の配線９の表面に保護膜１０を形成することができる。
【００４６】
図８に示すように、導電端子１１を形成する部分（緩衝部材８に対応する位置上）を、不図示のレジストマスクを利用したエッチングにより除去する。そして、上記エッチングにより露出した第２の配線９上（緩衝部材８に対応する位置上）に導電端子１１を形成する。そして、保護膜１０、樹脂５、及びガラス基板４を、境界Ｓに沿って切断することによりＢＧＡ型の半導体装置が完成する。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の断面図である。
【図８】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の断面図である。
【図９】従来の半導体装置の製造方法による半導体装置の斜視図である。
【図１０】従来の半導体装置の製造方法による半導体装置の断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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