(57)【要約】【課題】基板を真空室内に進入させた後に即刻直接蒸着が行え、成膜時間を短縮し、生産効率を高められる有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法の提供。【解決手段】まず基板とマスクを真空室外でアラインメント完成し、その後、アラインメント完成した基板とマスクをマシンアームで真空室に送り込み、並びにアラインメント保持機構により該基板とマスクを挟持し、最後に蒸着源により有機材料を基板上に蒸着させ、こうして有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜を完成する。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法において、
ａ．基板（４１）及びマスク（４２）を真空室（４３）外でアラインメント完成する工程、
ｂ．アラインメント完成した基板（４１）とマスク（４２）をマシンアーム（４４）で真空室（４３）内に送り込む工程、
ｃ．蒸着源（４６）により有機材料を基板（４１）上に蒸着させて有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜を完成する工程、
以上の工程を具えたことを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法。
【請求項２】
請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法において、マシンアーム（４４）にアラインメント保持機構（４５）が設けられ、該アラインメント保持機構（４５）の磁性挟持シートにより基板（４１）とマスク（４２）を挟持することを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法。
【請求項３】
請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法において、基板（４１）及びマスク（４２）がＣＣＤカメラを利用し、さらに画像処理プログラムを利用してマスク（４２）と基板（４１）上に標記されたアラインメント記号を認識し、マスク（４２）と基板（４１）の中心点と基板（４１）とマスク（４２）の夾角を計算し、これによりシフトベクトルを計算し、基板（４１）或いはマスク（４２）を移動させてアラインメントを完成することを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は一種の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法に係り、特に、アラインメント設備と成膜設備の分離設計により、基板を真空室に進入させた後に、直接蒸着成膜できる、有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のとおり、高効率発光特性の有機エレクトロルミネッセンス装置を獲得するために、一般に用いられる方法は、蒸着ドープ法で有機材料で発光層を形成する方法であり、これが現在の全ての製造方式中、最もコストが低い方法である。マスクと真空成膜等の工程を使用し、有機材料を微細パターン化し、マスクと基板間の間隔は極めて小さくなければならず、この因子が高解析度特性を達成するための重要な鍵の一つであり、もしマスクと基板を直接密着させると、後続の領域性成膜工程で先に形成された薄膜に対して損傷を発生する。ゆえに、この問題を解決するために開発されたのが、カソード微細加工法によりカソードスペーサを形成する方法であり、その機能はカソードを自動パターン化させ、且つ有機膜を選択的に成膜する時の支持部材とされることにある。
【０００３】
図１は有機発光層成膜表示図である。図示されるように、基板上にそれぞれアノード１２とカソードスペーサ１３を成長させた後、さらにもともとの所定位置にあるマスク１４を設定し並びに赤色発光材料Ｒを成長させる。このときのマスク１４はカソードスペーサ１３を支持部材として直接には基板１１上のアノード１２と接触しない。その後、さらにマスク１４を引き上げ、並びに右向きに定値ピッチ移動させ、さらにカソードスペーサ１３の上に置く。このとき赤色発光材料Ｒと重畳接触しないようにして緑色発光材料Ｇを精密に成膜する。同様のプロセスを青色発光材料Ｂの成膜工程にも応用し、こうしてＲＧＢ三原色有機発光層の成膜工程を完成する。
【０００４】
そのうち、上述のカソードスペーサ１３は、基板１１の上に形成されたいわゆる逆テーパ形状の構造物とされ、マスク１４の支持点とされ並びに自動的に電気絶縁性を以てそのカソード金属膜と隔離されている。
【０００５】
図２は従来の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜フローである。図示されるように、上記有機薄膜を形成する時には、基板２１をマシンアーム２２で真空室２３内に送り、アラインメント制御機構２４で基板２１と真空室２３内のマスク２５のアラインメント完成した後、さらに蒸着源２６により有機材料を基板２１上に蒸着させ、最後に基板２１を真空室２３より取り出し、こうして有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜を完成する。
【０００６】
図３は従来の有機エレクトロルミネッセンス装置量産設備構造表示図である。図示されるように、上述の成膜工程において、マシンアーム３１を利用して基板を各真空室３２内で操作し、有機発光積層薄膜と金属電極（カソード）の配線薄膜形成を行い、並びに輸送室３３により基板を輸送する。
【０００７】
しかし、上述の従来の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜工程は、成膜及びアラインメント機構が同一の真空室内に設けられ、基板をベルジャ内で先にマスクとアラインメント完成してからでなければ蒸着を行えず、且つ成膜時に、アラインメント機構は使用できず、浪費を形成し、製造時間とプロセスを増す。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の主要な目的は、上述の従来の技術の欠点を解決し、欠点の存在を無くすことにあり、即ち、本発明は基板を真空室内に送る前に、マスクとのアラインメントを完成し、これにより基板を真空室内に進入させた後に即刻直接蒸着が行えるようにし、成膜時間を短縮し、生産効率を高める。
【０００９】
上述の目的を達成するため、本発明によると、まず基板とマスクをベルジャ外でアラインメント完成し、その後、アラインメント完成した基板とマスクをマシンアームでベルジャに送り込み、並びにアラインメント保持機構により該基板とマスクを挟持し、最後に蒸着源により有機材料を基板上に蒸着させ、こうして有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜を完成する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法において、ａ．基板（４１）及びマスク（４２）を真空室（４３）外でアラインメント完成する工程、
ｂ．アラインメント完成した基板（４１）とマスク（４２）をマシンアーム（４４）で真空室（４３）内に送り込む工程、
ｃ．蒸着源（４６）により有機材料を基板（４１）上に蒸着させて有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜を完成する工程、
以上の工程を具えたことを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法としている。
請求項２の発明は、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法において、マシンアーム（４４）にアラインメント保持機構（４５）が設けられ、該アラインメント保持機構（４５）の磁性挟持シートにより基板（４１）とマスク（４２）を挟持することを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法としている。
請求項３の発明は、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法において、基板（４１）及びマスク（４２）がＣＣＤカメラを利用し、さらに画像処理プログラムを利用してマスク（４２）と基板（４１）上に標記されたアラインメント記号を認識し、マスク（４２）と基板（４１）の中心点と基板（４１）とマスク（４２）の夾角を計算し、これによりシフトベクトルを計算し、基板（４１）或いはマスク（４２）を移動させてアラインメントを完成することを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図４は本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法の第１工程表示図である。図示されるように、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法によると、まず基板（４１）とマスク（４２）を真空室（４３）外でアラインメント完成させ、並びにマシンアーム（４４）上のアラインメント保持機構（４５）により基板（４１）とマスク（４２）を保持する。
【００１２】
図５は本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法の第２工程表示図である。図示されるように、アラインメント完成した基板（４１）とマスク（４２）をマシンアーム（４４）により真空室（４３）内に送り込む。
【００１３】
図６は本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法の第３工程表示図である。図示されるように、最後に蒸着源（４６）により有機材料を基板（４１）上に蒸着させ、こうして有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜を完成する。
【００１４】
上述の基板（４１）とマスク（４２）のアラインメント方式は、ＣＣＤカメラを利用し、さらに画像処理プログラムを利用してマスク（４２）と基板（４１）上に標記されたアラインメント記号を認識し、マスク（４２）と基板（４１）の中心点と基板（４１）とマスク（４２）の夾角を計算し、これによりシフトベクトルを計算し、基板（４１）或いはマスク（４２）を移動させてアラインメントさせるものとする。
【００１５】
該アラインメント保持機構（４５）は図７に示されるように、マスク（４２）が金属材料であることを利用し、磁性挟持シート（４５１）及び滑ると防がれたクッション（４５２）により該基板（４１）及びマスク（４２）を挟持し、これにより基板（４１）とマスク（４２）の輸送過程でそのアラインメント関係が崩れないようにする。
【００１６】
図８は本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置量産設備構造表示図である。図示されるように、上述の成膜方法により、マシンアーム（５１）が基板（図示せず）を輸送室（５２）に送り輸送を行う時、従来は僅かに基板を輸送室（５２）に送ることしかできなかったが、本発明は基板とマスクのアラインメント機能も具備する。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は以下の長所を有している。
１．成膜時間を短縮する。
２．アラインメント機構と成膜機構の分離設計により、基板のアラインメント機構に付着した異物による汚染を防止できる。
３．アラインメント機構と成膜機構の分離設計により、ベルジャの設計を簡易化でき、真空効率を高めることができる。
４．アラインメント機構と成膜機構の分離設計により、基板とマスクを非真空環境下でアラインメントさせられる。
５．全体の成膜設備の製造コストが低い。
【００１８】
以上は本発明の好ましい実施例の説明に過ぎず、本発明の実施範囲を限定するものではなく、本発明に基づきなしうる細部の修飾或いは改変は、いずれも本発明の請求範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜表示図である。
【図２】従来の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜フロー表示図である。
【図３】従来の有機エレクトロルミネッセンス装置量産設備構造表示図である。
【図４】本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法の第１工程表示図である。
【図５】本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法の第２工程表示図である。
【図６】本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の成膜方法の第３工程表示図である。
【図７】本発明のアラインメント保持機構の表示図である。
【図８】本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置量産設備構造表示図である。
【符号の説明】
１１  基板
１２  アノード
１３  カソードスペーサ
１４  マスク
２１  基板
２２  マシンアーム
２３  真空室
２４  アラインメント制御機構
２５  マスク
２６  蒸着源
３１  マシンアーム
３２  真空室
４１  基板
４２  マスク
４３  真空室
４４  マシンアーム
４５  アラインメント保持機構
４６  蒸着源
４５１  磁性挟持シート
４５２  滑ると防がれたクッション
５１  マシンアーム
５２  輸送室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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