(57)【要約】【課題】ゲート開口部を閉塞するためのシール部材の交換作業を、容易に行うことのできる真空用ゲート弁を提供する。【解決手段】ゲート開口部２４を封止するシール部材１３を、弁体３０にではなく、弁箱本体２９側に取り付けたことを特徴としている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略箱形状に形成された弁箱本体に貫通して形成されたゲート開口部に、駆動軸がこのゲート開口部を横断する方向に移動することにより、前記駆動軸の先端部に取り付けられた弁体が前記ゲート開口部に接近あるいは離反する方向に操作され、これにより、前記ゲート開口部の流体の流れが遮断あるいは許容される真空用ゲート弁であって、
前記ゲート開口部における流体の流通を封止するシール部材は、前記弁箱本体側に取り付けられていることを特徴とする真空用ゲート弁。
【請求項２】
前記弁箱本体は、長側壁と短側壁とを備えた箱形状に形成されており、
前記ゲート開口部は、前記弁箱本体の長側壁を貫通するように形成されており、
前記弁体は、先端側にシール面を備えた幅細の先端部と、基端側にシール面を備えた幅太の基端部とから断面略Ｌ字状に形成されており、
前記シール部材は、前記弁体本体の幅細の先端部に当接する第１のシール部分と、前記弁体の基端部に当接する第２のシール部分とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空用ゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等に使用される真空用ゲート弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチングなどのワークの加工、処理などが行われている。
このよう真空装置では、予備室に一旦ワークを搬入して、予備室内を所定の真空度にした後、加工室、処理室などへワークを順次搬入して、加工、処理などが行われている。したがって、これらの室間の搬出入口には、高い密封気密性を有する真空用ゲート弁が設けられている。
【０００３】
このような用途に使用される真空用ゲート弁は、図６および図７に示したような構造を有している。すなわち、真空用ゲート弁１は、略箱形状の弁箱本体２と、弁箱本体２内に収容され、幅方向に長い長形の弁体５と、弁箱本体２の下端開口を覆うボンネットフランジ部材４と、から構成されている。また、弁箱本体２の一方の長側壁の上部は、略全面的に切り欠かれており、この切欠部にサイドプレート３が嵌合されている。
【０００４】
そして、このサイドプレート３を含む一対の長側壁には、略矩形状のゲート開口部９が貫通して形成されている。
弁箱本体２内には、ゲート開口部９を上下に挟む態様で、上方シール座面１１と、下方シール座面１６とが形成され、これらのシール座面１１，１６は、段違いではあっても、連続している。これにより、弁箱本体２内部には、上方シール座面１１から下方シール座面１６に至るまでの、連続したシール座面が構成されている。
【０００５】
一方、弁体５は、先端部５ａ側の幅が細く、基端部５ｂ側の幅が太く形成されることにより、この弁体５が弁箱本体２内で先端部５ａおよび基端部５ｂが、上方シール座面１１および下方シール座面１６に、それぞれ当接するように形成されている。
このような形状の弁体５の先端部５ａならびに基端部５ｂには、連続したシール部材装着溝が形成され、このシール部材装着溝内に、Ｏリングなどのシール部材１３が接着剤等により装着されている。
【０００６】
そして、このようなシール部材１３を備えた弁体５が、図の下方から軸６に案内されて上方に移動されると、シール部材１３が、上下のシール座面１１、１６に当接されることにより、弁箱本体２のゲート開口部９内の流通が遮断されることになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような真空用ゲート弁１では、メンテナンスのため、シール部材１３を交換する必要がある。
ところが、従来の真空用ゲート弁１では、シール部材１３を交換するには、先ず、弁箱本体２とボンネットフランジ部材４との組み付けを解除するとともに、その状態から弁体５を引き抜かなければならなかった。
【０００８】
このようにシール部材１３の交換作業は、弁体５の引き抜き方向にかなりの作業スペースが必要になるとともに、交換作業が煩雑であるという問題があった。特に、開口部の長さが６００ｍｍ以上もある大型の真空用ゲート弁になると、弁体５を保持している軸６の長さも長く、重量も重いため、引き出し操作は困難を極めている。
【０００９】
本発明はこのような実情に鑑み、仮に大型であっても、ゲート開口部を閉塞するためのシール部材の交換作業を、容易に行うことのできる真空用ゲート弁を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、
略箱形状に形成された弁箱本体に貫通して形成されたゲート開口部に、駆動軸がこのゲート開口部を横断する方向に移動することにより、前記駆動軸の先端部に取り付けられた弁体が前記ゲート開口部に接近あるいは離反する方向に操作され、これにより、前記ゲート開口部の流体の流れが遮断あるいは許容される真空用ゲート弁であって、
前記ゲート開口部における流体の流通を封止するシール部材は、前記弁箱本体側に取り付けられていることを特徴としている。
【００１１】
このような構成であれば、弁体を弁箱本体から引き出すことなく、弁体を若干軸方向に移動させることにより、シール部材を交換することができる。
ここで、前記弁箱本体は、長側壁と短側壁とを備えた箱形状に形成されており、
前記ゲート開口部は、前記弁箱本体の長側壁を貫通するように形成されており、
前記弁体は、先端側にシール面を備えた幅細の先端部と、基端側にシール面を備えた幅太の基端部とから断面略Ｌ字状に形成されており、
前記シール部材は、前記弁体本体の幅細の先端部に当接する第１のシール部分と、前記弁体の基端部に当接する第２のシール部分とから構成されていても良い。
【００１２】
このような真空用ゲート弁であっても、シール部材を容易に取り外したり交換したりすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
図１および図２は、本発明の一実施例に係る真空用ゲート弁を示したものである。
真空用ゲート弁２０は、略箱形状の弁箱本体２９と、この弁箱本体２９内に収容され、幅方向に長い長形の弁体３０と、弁箱本体２９の下端開口を覆うボンネットフランジ部材２６と、から構成されている。また、弁箱本体２９の一方の長側壁は、略全面的に切り欠かれており、この切欠部にサイドプレート４１が嵌合されている点は、図６および図７の真空用ゲート弁１と同様である。
【００１４】
そして、このサイドプレート４１を含む一対の長側壁には、略矩形状のゲート開口部２４が貫通して形成されている。
一方、弁箱本体２９内も、図６に示した弁箱本体２内と略同様に形成され、略矩形状のゲート開口部２４を挟んで、上下に上方シール座面２７と下方シール座面２８とが連続して形成されている。
【００１５】
また、本実施例では、弁箱本体２９内の上方シール座面２７と下方シール座面２８とには、シール部材装着溝が形成され、このシール部材装着溝内に、図３に示したようなシール部材１３が装着されている。このシール部材１３は、上方シール座面２７と下方シール座面２８とに連続して形成されたシール部材装着溝に装着できる形状に形成されている。すなわち、両端部の水平部から、両側に押し開いたような環形状に形成されている。なお、このシール部材１３は、フッ素ゴム等の弾性体から形成されていることが好ましい。
【００１６】
他方、弁箱本体２９内に上下方向に移動可能に装着された弁体３０は、幅細の先端部３０ａと幅太の基端部３０ｂとから、横方向に長く形成され、さらに断面略Ｌ字状に形成されている。そして、このような弁体３０には、図６または図７に示した弁体５と異なり、シール部材が装着されていない。
このような弁体３０は、弁箱本体２９内に収容され、軸３１の移動に伴って上下方向に移動される点は、図６に示した真空用ゲート弁１と同様である。
【００１７】
このように構成された本実施例による真空用ゲート弁２０では、図３に示したシール部材１３が、上下動する弁体３０にではなく、弁箱本体２９側に装着されているが、シール面積は確保されるため、十分なシール力を発揮することができる。
また、本実施例によるゲート弁２０によれば、メンテナンスのため、あるいは真空度を向上させるために、例えば劣化したシール部材１３を交換する場合には、ボンネットフランジ部材２６を弁箱本体２９から取り外さなくても交換することができる。すなわち、弁体３０の幅細先端部３０ａの位置を、弁箱の下方シール座面２８より５０ｍｍ程度またはそれ以上に下位置まで下げることにより、操作者は、ゲート開口部２４の外方から内方に向かって手を伸ばせば、ボンネットフランジ部材２６を弁箱本体２９から取り外さなくても、シール部材１３を交換することができる。そのため、メンテナンスを容易に行えるように、サイドプレート４１の開口を大きくするのが好ましい。
【００１８】
したがって、本実施例によれば、軸３１の引き抜き方向に大きな作業スペースを確保する必要がない。
以上、本発明の一実施例に係る真空用ゲート弁について説明したが、本発明は上記実施例に限定されない。
例えば、上記実施例では、弁体３０が幅細の先端部３０ａと、幅太の基端部３０ｂとから断面略Ｌ字状に形成され、さらにシール部材１３が変形した環形状に形成されたものが採用されているが、弁体３０およびシール部材１３の形状は、実施例に何ら限定されない。
【００１９】
例えば、図４に示したように、特開２００１−４０６５号公報に開示された断面略Ｔ字状の弁体４６を備えた真空用ゲート弁１０にも適用可能である。この場合には、従来であれば、ゲート開口部２２を遮断するにあたり、図５に示したように、断面略Ｔ字状の弁体４６に、３つのシール部分からなるふんどし状のシール部材５８が装着される。このような真空用ゲート弁１０の場合は、シール部材５８と同形状のシール部材７０が、弁箱本体１２内に施されたシール溝に装着されている。
【００２０】
このように、真空用ゲート弁を構成する弁体および弁座、ならびにゲート開口部をシールするシール部材の形状などは実施例に何ら限定されない。
さらに、シール部材は、断面丸形に限定されず、平板状に形成されていても良い。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る真空用ゲート弁によれば、弁体を弁箱から完全に引き抜かなくても、弁体あるいはシール部材の交換を行うことができる。したがって、大きな真空用ゲート弁であっても、大きな労力が不用になるとともに、そのための作業スペースを確保する必要がない。したがって、狭い場所に用いるのに効果を発揮し、また、特に、大型の真空用ゲート弁であっても、多大な労力を不要とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施例による真空用ゲート弁の分解斜視図である。
【図２】図２は、図１に示した真空用ゲート弁の断面図である。
【図３】図３は、図１の真空用ゲート弁に使用されたシール部材の斜視図である。
【図４】図４は、本発明の他の実施例を示すもので、特開２００１−４０６５号公報に開示されている真空用ゲート弁の断面図である。
【図５】図５は、図４の真空用ゲート弁に使用されている弁体とシール部材との分解組立斜視図である。
【図６】図６は、従来の真空用ゲート弁の分解斜視図である。
【図７】図７は、図６に示した従来の真空用ゲート弁の断面図である。
【符号の説明】
１２　　　弁箱本体
１３　　　シール部材
２０　　　真空用ゲート弁
２４　　　ゲート開口部
２６　　　ボンネットフランジ部材
２９　　　弁箱本体
４１　　　サイドプレート
３０ａ　　先端部
３０ｂ　　基端部
３０　　　弁体
３１　　　駆動軸
４６　　　弁体
７０　　　シール部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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