(57)【要約】【課題】長尺帯状の金属基材に多面付けされたシャドウマスクを所定間隔で、シート状に断裁してシャドウマスク中間体を作製する際シャドウマスク中間体の断裁の良否を早く、精度良く判定するためのシャドウマスク中間体の検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】多面付けされたシャドウマスクが形成された長尺帯状の金属基材１１を断裁機６０に送り込み、所定サイズに断裁して、搬送方向と直角に複数個センサー５０を配置して、幅方向に面付けされたシート状のシャドウマスク中間体１００ａの断裁端部からムシリ加工スリット２１までの距離を測定し、断裁の良否を判定する。この距離測定は、各センサー５０で同時に行われ、予め設定された設定値との比較判定が実施され、断裁状態の良否が判定される。複数個のセンサー５０の測定値が一つでも設定値からはずれると、断裁不良と判定される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺帯状の金属基材を一連のパターニング処理、エッチング加工等を行って、長尺帯状の金属基材に多面付けされたシャドウマスクを作製し、多面付けされたシャドウマスクが形成された長尺帯状の金属基材を所定サイズのシート状に断裁してシャドウマスク中間体を作製する工程において、所定サイズのシート状に断裁されたシャドウマスク中間体の断裁の良否を検査するために、当該シャドウマスクの搬送方向と直角方向に複数個のセンサーを設け、各センサーでシャドウマスク中間体の断裁端部からムシリ加工スリットまでの距離を測定して、断裁の良否を判定することを特徴とするシャドウマスク中間体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は長尺帯状の面付けされたシャドウマスクを所定サイズのシート状に断裁した後にシャドウマスク中間体の断裁良否を判定するシャドウマスク中間体の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的なカラーディスプレー陰極線管は電子銃、シャドウマスク及び赤、緑、青からなる三色のドット蛍光面から成り立っている。シャドウマスクは蛍光面の手前に取りつけられた薄い鉄系材料で、電子ビームが通過する開口部が規則正しく多数配列されたものである。一つの開口部が赤、緑、青の蛍光体ドットの一組三個に対応しており、電子銃から放出された三本の電子ビームをそれぞれの蛍光体ドットに導く役目を果たしている。
【０００３】
一般的なシャドウマスクの製造方法は、まず、鉄又は鉄合金よりなる長尺帯状の金属基材の両面に感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布、乾燥して感光層を形成し、所定の遮光パターンを有する露光用原板（多くの場合、表裏２枚の実用版）を位置合わせ、密着して、所定の露光量で感光層にパターン露光を行い、所定の薬液で現像、硬膜処理等を行い、金属基材の両面に小孔及び大孔パターンからなるレジストパターンを形成する。
【０００４】
次に、レジストパターンをレジストにして塩化第２鉄液等を用いて金属基材の両面から１次エッチング（ハーフエッチング）を行い、金属基材の両面に各々所定形状の小孔凹部及び大孔凹部を形成する。
【０００５】
次に、金属基材の小孔凹部形成面側に所定の樹脂溶液をローラーコーティングやグラビアコーティング、スプレーコーティングなどの方法を用いて塗布、乾燥・硬化してエッチング耐触樹脂層を形成した後、金属基材の大孔凹部形成面側より塩化第２鉄液等を用いて金属基材が貫通するまで２次エッチングを行う。
【０００６】
次に、金属基材上のエッチング耐触樹脂層及びレジストパターンをアルカリ水溶液を用いて剥離処理して、長尺帯状の金属基材に小孔１０ｂ及び大孔１０ａからなる開孔マスク部１０を有する多面付けされたシャドウマスクを作製する。
【０００７】
次に、シャドウマスクが多面付けされた長尺帯状の金属基材１１は所定間隔で断裁機６０にてシート状に断裁されて、開口マスク部１０、スカート部２０、ムシリ加工スリット２１、切断加工スリット２２及び不要部３０を有する幅方向に面付けされたシート状のシャドウマスク中間体１００ａを作製する（図１（ａ）及び（ｂ）参照）。
次に、幅方向に面付けされたシート状のシャドウマスク中間体１００ａの切断加工スリット２２より切り離して、シャドウマスク中間体１００ｂを作製する（図１（ｃ）、図３（ａ）及び（ｂ）参照）。
ここで、切断加工スリット２２はムシリ加工スリット２１とほぼ同じ構造で、金属基材１１を所定幅でエッチングした貫通スリットと貫通スリットを部分的に繋ぐハーフエッチング線で形成されており、わずかな力で切断できるようになっている。
【０００８】
次に、シャドウマスク中間体１００ｂを複数枚（シャドウマスク中間体の積層枚数としては金属基材の板厚により異なるが板厚０．１２ｍｍの場合３０枚前後）積層して、図４に示すように、ムシリ加工スリット２１とほぼ相似形で、且つ若干小さめに外形加工が施された押さえ金型枠７０にて両面からシャドウマスク中間体１００ｂのスカート部２０を挟み込み、保持枠８０にて不要部３０を挟み込んで、振動ないし揺動を与えてムシリ加工スリット２１に金属疲労を生じさせ、不要部３０をムシリ加工スリット２１より除去して（一般的にムシリ加工と呼ばれている）、外形仕上げ加工を行い、開口マスク部１０及びスカート部２０を有する外形加工が施されたシャドウマスク１００を得る（図３（ｃ）参照）。さらに、シャドウマスクの外観検査（形状検査等）等を行って、出荷される。
【０００９】
最近は、製造コスト低減のため、長尺帯状の金属基材に少しでも多くのシャドウマスクを面付けするために、面付け間隔を狭くしている。このため、長尺帯状の金属基材に多面付けされたシャドウマスクを所定間隔のシート状に断裁する際長尺帯状の金属基材１１のちょっとした蛇行及びズレで、ムシリ加工スリット２１からの不要部が極端に狭くなったりして（図２（ａ）及び（ｂ）参照）、ひどい場合にはムシリ加工スリットにかかり、シャドウマスクの有効部が一部断裁されるという断裁不良が発生する。
シャドウマスク中間体１００ｂのムシリ加工は、上記したように複数枚積層して不要部３０を保持枠８０にてつかんで折り曲げ加工するため、不要部３０が短かったり、斜めになっていると保持枠８０からはずれたりして、ムシリ加工不良が発生する等の問題を有する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題点に鑑み考案されたもので、長尺帯状の金属基材に多面付けされたシャドウマスクを所定間隔で、シート状に断裁してシャドウマスク中間体を作製する際シャドウマスク中間体の断裁の良否を早く、精度良く判定するためのシャドウマスク中間体の検査方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に於いて上記問題を解決するために、本発明では、長尺帯状の金属基材を一連のパターニング処理、エッチング加工等を行って、長尺帯状の金属基材に多面付けされたシャドウマスクを作製し、多面付けされたシャドウマスクが形成された長尺帯状の金属基材を所定サイズのシート状に断裁してシャドウマスク中間体を作製する工程において、所定サイズのシート状に断裁されたシャドウマスク中間体の断裁の良否を検査するために、搬送方向と直角方向に複数個のセンサーを設け、各センサーでシャドウマスク中間体の断裁端部からムシリ加工スリットまでの距離を測定して、断裁の良否を判定することを特徴とするシャドウマスク中間体の検査方法としたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１（ａ）は、本発明のシャドウマスク中間体の検査方法の一例を模式的に示す説明図である。
本発明のシャドウマスク中間体の検査方法は、まず、多面付けされたシャドウマスクが形成された長尺帯状の金属基材１１を断裁機６０に送り込み、所定サイズに断裁して、幅方向に面付けされたシート状のシャドウマスク中間体１００ａとした後、コンベア１に載置する。
シャドウマスクの面付けは、ここでは幅方向に３面付けした例を示したが、これは、金属基材の幅、シャドウマスクサイズによって、適宜設定されるものである。
【００１３】
次に、シート状のシャドウマスク中間体１００ａは、コンベア１で搬送され、コンベア２に橋渡しされるが、このコンベア１とコンベア２との間に、センサー５０を搬送方向と直角に複数個（この事例では３個）配置し、シート状のシャドウマスク中間体１００ａの断裁端部からムシリ加工スリット２１までの距離を測定し、断裁の良否を判定する。
センサー５０は、センサー取り付け支持体５１上を自由に移動できるようになっており、あらかじめ、品種毎にセンサー５０の位置をプリセットできるようになっている。
【００１４】
センサー５０は、ＣＣＤ等の半導体センサーが利用可能で、各センサー５０でシート状のシャドウマスク中間体１００ａの一方の断裁端部を検知した時点で測定を開始し、一方のムシリ加工スリット２１までの距離を測定する。
さらに、他方のムシリ加工スリット２１を検知した時点で測定を開始し、シート状のシャドウマスク中間体１００ａの他方の断裁端部までの距離を測定する。この距離測定は、各センサー５０で同時に行われ、予め設定された設定値との比較判定が実施され、断裁状態の良否が判定される。複数個のセンサー５０の測定値が一つでも設定値からはずれると、断裁不良と判定される。
【００１５】
具体的には、図２（ａ）及び（ｂ）の断裁例について説明する。
図２（ａ）は、帯状の金属基材が蛇行して、斜め方向に断裁された例であるが、シート状のシャドウマスク中間体１００ａの一方の断裁端部から一方のムシリ加工スリット２１までの距離をａ１、ａ２、ａ３としたとき、ａ１及びａ２は設定値内、ａ３が設定値から外れているとした場合、判定は、断裁不良となる。
また、他方のムシリ加工スリット２１からシート状のシャドウマスク中間体１００ａの他方の断裁端部までの距離をａ４、ａ５、ａ６としたとき、ａ４が設定値から外れており、ａ５及びａ６は設定値内とした場合、判定は、断裁不良となる。結果的に、シャドウマスク中間体１００ａの両側の測定結果を含めた総合判定は断裁不良となる。
【００１６】
図２（ｂ）は、断裁は直角に断されているが、一方向にずれて断裁された例であるが、シート状のシャドウマスク中間体１００ａの一方の断裁端部から一方のムシリ加工スリット２１までの距離をｂ１、ｂ２、ｂ３としたとき、ｂ１、ｂ２及びｂ３はほぼ同じ値となり、設定値から外れているとした場合、判定は、断裁不良となる。
また、他方のムシリ加工スリット２１からシート状のシャドウマスク中間体１００ａの他方の断裁端部までの距離をｂ４、ｂ５、ｂ６としたとき、ａ４、ｂ５及びｂ６はほぼ同じ値となり、設定値から外れているとした場合、判定は、断裁不良となる。結果的に、シャドウマスク中間体１００ａの両側の測定結果を含めた総合判定は断裁不良となる。
このように、センサーを搬送方向と直角方向に複数個設けることは、帯状の金属基材が蛇行して、斜め方向に断裁されたシート状のシャドウマスク中間体１００ａの断裁良否を判定するのに有効である。
センサーの取り付け個数は、帯状の金属基材の幅、シャドウマスクサイズ、幅方向の面付け数等により、適宜設定する。
また、センサー５０で判定したシート状のシャドウマスク中間体１００ａの断裁良否データを断裁機の６０の制御機構にフィードバックすることにより、断裁不良に対する素早い対応ができ、断裁不良を削減できる。
【００１７】
上記測定順序は、あらかじめシャドウマスクの品種毎にプログラム化されており、シャドウマスクの品種毎に設定、実施される。
断裁良否が判定されたシート状のシャドウマスク中間体１００ａは、コンベア２で搬送されながら、断裁良品と判定されたシート状のシャドウマスク中間体１００ａがスタッカーに積層され、切断加工スリット２２より切り離して個々のシャドウマスク中間体１００ｂを作製し、後工程のムシリ加工、検査工程に送られる。
【００１８】
【発明の効果】
本発明のシャドウマスク中間体の検査方法で、シャドウマスク中間体の断裁の良否を判定することにより、断裁不良に対する素早い対応ができ、断裁不良を削減できる。
また、断裁精度に優れたシャドウマスク中間体を後工程のムシリ工程に送ることにより、安定したムシリ作業を行うことができ、シャドウマスクのコストダウンに繋げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明のシャドウマスク中間体の検査方法の一例を模式的に示す説明図である。
（ｂ）は、幅方向に面付けされたシート状のシャドウマスク中間体１００ａをコンベア１に載置し、断裁精度を測定開始する前の状態を示す説明図である。
（ｃ）は、幅方向に面付けされたシート状のシャドウマスク中間体１００ａを切断加工スリット２２より切り離して得られたシャドウマスク中間体１００ｂの一例を示す模式平面図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、シート状のシャドウマスク中間体の断裁状態の一例を示す模式平面図である。
【図３】（ａ）は、幅方向に面付けされたシート状のシャドウマスク中間体から切り離されたシャドウマスク中間体の一例を示す模式平面図である。
（ｂ）は、（ａ）をＡ−Ａ’線で切断した模式構成部分断面図である。
（ｃ）は、ムシリ加工スリット２１より不要部３０をトリミング加工して得られた製品シャドウマスクの一例を示す模式平面図である。
【図４】シャドウマスク中間体１００ｂ積層して、スカート部２０を押さえ金型枠７０にて挟み込、不要部３０を保持枠８０で挟み込んだ状態を示す模式構成断面図である。
【符号の説明】
１１……帯状の金属基材
１０……開口マスク部
１０ａ……大孔
１０ｂ……小孔
２０……スカート部
２１……ムシリ加工スリット
２２……切断加工スリット
３０……不要部
５０……センサー
５１……センサー取り付け支持体
６０……断裁機
１００……シャドウマスク
１００ａ……幅方向に面付けされたシャドウマスク中間体
１００ｂ……個々に切り離されたシャドウマスク中間体
ａ１、ａ２、ａ３、ａ４、ａ５、ａ６、ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｂ４、ｂ５、ｂ６……シャドウマスク中間体の断裁端部からムシリ加工スリットまでの距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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