(57)【要約】【課題】複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを備える描画装置であって、描画作業を開始する前に、発光素子と受光素子とを有する光学式の液滴検出手段を用いて、各吐出ノズルから正常に液滴が吐出されているか否かを確認するものにおいて、サテライトや電気ノイズ等の影響により正常な吐出ノズルを異常と判定する誤判定を可及的に防止できるようにする。【解決手段】吐出確認作業で何れかの吐出ノズルからの液滴の吐出が不正常と判別されたときには、再度吐出確認作業を行い、この吐出確認作業でも同一の吐出ノズルからの液滴の吐出が不正常と判別されたときに（Ｓ４）、この吐出ノズルが異常であると判定し（Ｓ５）、異常ノズルから残留液体を吐出させるフラッシングを行う（Ｓ６）。【選択図】  図１５
2004209460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴を吐出する複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを備え、ワークに対しこのヘッドユニットを相対移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドの前記各吐出ノズルからワークに向けて機能液滴を吐出する描画作業を行うと共に、
発光素子と受光素子とを有し、これら両素子間の光路を機能液滴が横切ったときの受光量の変化に基づいて機能液滴の吐出を検出する液滴検出手段を設け、
描画作業を行う前に、前記液滴検出手段を用いて、前記各吐出ノズルから機能液滴が正常に吐出されているか否かを判別する機能液滴の吐出確認作業を行うようにした描画装置におけるノズルの異常判別方法において、
前記吐出確認作業で何れかの吐出ノズルからの機能液滴の吐出が不正常と判別されたときには、再度前記吐出確認作業を行い、この吐出確認作業でも同一の吐出ノズルからの機能液滴の吐出が不正常と判別されたときに、この吐出ノズルが異常であると判定することを特徴とする描画装置におけるノズルの異常判別方法。
【請求項２】
何れかの吐出ノズルが異常であると判定されたときは、機能液滴が正常に吐出されるように吐出ノズルを回復させるためのメンテナンス作業を行い、このメンテナンス作業後に再度前記吐出確認作業を行い、この吐出確認作業で全ての吐出ノズルから機能液滴が正常に吐出されていると判別されたとき、前記描画作業に移行することを特徴とする請求項１に記載の描画装置におけるノズルの異常判別方法。
【請求項３】
前記メンテナンス作業は、前記吐出ノズルから機能液滴を吐出する予備吐出作業であることを特徴とする請求項２に記載の描画装置におけるノズルの異常判別方法。
【請求項４】
前記メンテナンス作業後の前記吐出確認作業でも機能液滴の吐出が不正常と判別されたときは、前記吐出ノズルから機能液滴を吸引除去する第２のメンテナンス作業を行った後に再度前記吐出確認作業を行い、この吐出確認作業でも機能液滴の吐出が不正常と判別されたときに、前記ヘッドユニットの交換指令を出すことを特徴とする請求項３に記載の描画装置におけるノズルの異常判別方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の描画装置におけるノズルの異常判別方法を実施することを特徴とする描画装置。
【請求項６】
請求項５に記載の描画装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項５に記載の描画装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項６に記載の電気光学装置または請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを用いた描画装置におけるノズルの異常判別方法および描画装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタのインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等の機能液を用いることにより、各種製品の製造分野への応用が期待されている。
【０００３】
例えば、複数の液滴吐出ヘッドを搭載して成るヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板といったワークに対しヘッドユニットを直交する２つの走査方向に相対移動させつつ、各液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルからワークに向けて機能液滴を吐出することにより、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタを製造することが考えられている。
ここで、描画作業をワークの出し入れ等で或る程度の時間休止すると、液滴吐出ヘッドの機能液の粘度増加で吐出ノズルの目詰まりを生ずる可能性がある。そのため、描画装置に、液滴吐出ヘッド用のメンテナンス手段を配置し、休止期間にはヘッドユニットをメンテナンス手段の配置場所に移動して、吐出ノズルから機能液滴を吐出する予備吐出や、吐出ノズルから機能液を吸引して除去する等のメンテナンス作業を行うことが望まれている。
また、製品不良を防止するには、メンテナンス作業後、描画作業の開始前に、各吐出ノズルから機能液滴が正常に吐出されているか否かの確認を行うことも望まれる。
【０００４】
ところで、メンテナンス手段を具備しない通常のインクジェットプリンタに関するものであるが、従来、発光素子と受光素子とを有し、これら両素子間の光路を機能液滴が横切ったときの受光量の変化に基づいて機能液滴の吐出を検出する液滴検出手段が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
上記描画装置においても、このような液滴検出手段を用いて、各吐出ノズルから機能液滴が正常に吐出されているか否かを判別する機能液滴の吐出確認作業を行うことが考えられる。
【０００５】
また、通常のインクジェットプリンタに関するものであるが、従来、何れかの吐出ノズルが異常であると判定されたときに、正常な吐出ノズルが連続して並んでいるノズル列の一部分のみを使用して印字作業を行う技術も知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−１９０４６９号公報（第４〜５頁、図３〜４）
【特許文献２】
特開平９−２４６０７号公報（第６頁、図４）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例のような発光素子と受光素子とを有する光学式の液滴検出手段を用いて機能液滴の吐出確認作業を行うと、サテライト（吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子）や電気ノイズ等の影響により、吐出ノズルから正常に機能液滴が吐出されていても、不正常な吐出、即ち、吐出ノズルが異常であると誤判定されることがある。
また、何れかの吐出ノズルが異常であるときに、上記従来例のように正常な吐出ノズルが連続して並んでいるノズル列の一部分のみを使用して描画作業を行うと、作業に時間がかかり、能率が低下する。ここで、機能液滴が正常に吐出されなくても、吐出ノズルから機能液滴を吐出する予備吐出等のメンテナンス作業を実行することで、機能液滴が正常に吐出される状態に回復することが間々ある。
【０００８】
本発明は、以上の点に鑑み、誤判定を可及的に防止できるようにし、更に、異常と判定されたときに、吐出ノズルを回復させて能率良く描画作業を行い得られるようにした描画装置におけるノズルの異常判別方法および描画装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、機能液滴を吐出する複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを備え、ワークに対しこのヘッドユニットを相対移動させつつ、液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルからワークに向けて機能液滴を吐出する描画作業を行うと共に、発光素子と受光素子とを有し、これら両素子間の光路を機能液滴が横切ったときの受光量の変化に基づいて機能液滴の吐出を検出する液滴検出手段を設け、描画作業を行う前に、液滴検出手段を用いて、各吐出ノズルから機能液滴が正常に吐出されているか否かを判別する機能液滴の吐出確認作業を行うようにした描画装置におけるノズルの異常判別方法において、吐出確認作業で何れかの吐出ノズルからの機能液滴の吐出が不正常と判別されたときには、再度前記吐出確認作業を行い、この吐出確認作業でも同一の吐出ノズルからの機能液滴の吐出が不正常と判別されたときに、この吐出ノズルが異常であると判定することを特徴とする。
【００１０】
上記の構成によれば、同一の吐出ノズルからの機能液滴の吐出が２回続けて不正常であると判別されたときにのみ、吐出ノズルが異常であると判定されることになる。液滴検出手段がサテライトや電気ノイズ等の影響を受けるとしても、吐出ノズルが正常である限りは、２回続けて機能液滴の吐出が不正常と判別される可能性は極低く、従って、正常な吐出ノズルを異常有りと判定する誤判定は可及的に防止される。
【００１１】
また、何れかの吐出ノズルが異常であると判定されたときは、機能液滴が正常に吐出されるように吐出ノズルを回復させるためのメンテナンス作業を行い、このメンテナンス作業後に再度前記吐出確認作業を行い、この吐出確認作業で全ての吐出ノズルから機能液滴が正常に吐出されていると判別されたとき、描画作業に移行することにより、描画作業を正確に能率良く行うことができる。
【００１２】
ここで、機能液滴の吐出が不正常になるのは、吐出ノズルの近傍での軽微な目詰まりに起因することが多く、吐出ノズルから機能液滴を吐出する予備吐出を行うと、機能液滴が正常に吐出される状態に回復する可能性が高い。そして、予備吐出にかかる時間は短時間であるため、上記メンテナンス作業は予備吐出とすることが望ましい。
【００１３】
また、予備吐出では回復しない重度の目詰まりを生じても、吐出ノズルから機能液滴を吸引除去することで、機能液滴が正常に吐出される状態に回復することがある。そのため、予備吐出後の液体の吐出確認作業でも機能液滴の吐出が不正常と判別されたときは、吐出ノズルから機能液滴を吸引除去する第２のメンテナンス作業を行った後に再度液滴の吐出確認作業を行い、この吐出確認作業でも機能液滴の吐出が不正常と判別されたときに、ヘッドユニットの交換指令を出すことが望ましい。
【００１４】
本発明の描画装置は、上記した描画装置におけるノズルの異常判別方法を実施することを特徴とする。
【００１５】
上記の構成によれば、メンテナンス作業後の機能液滴の吐出確認を効率良く行うことができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置は、上記した描画装置を用い、液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した描画装置を用い、液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
【００１８】
上記の構成によれば、機能液滴の吐出不良のない信頼性ある描画装置を用いて製造されるため、電気光学装置自体を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）やＳＥＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。
【００１９】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置または電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。
【００２０】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した描画装置の外観斜視図、図２は、本発明を適用した描画装置の正面図、図３は、本発明を適用した描画装置の右側面図、図４は、本発明を適用した描画装置の一部を省略した平面図である。詳細は後述するが、この描画装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を液滴吐出ヘッド３１に導入して、基板等のワークＷに液滴による成膜部を形成するものである。
【００２２】
図１ないし図４に示すように、描画装置１は、液滴吐出ヘッド３１をワークＷに対し相対移動させつつ機能液を吐出するための描画手段２と、液滴吐出ヘッド３１のメンテナンスを行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給すると共に不要となった機能液を回収する機能液供給回収手段４と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５と、液滴吐出ヘッド３１からの液滴の吐出を検出する液滴検出手段６Ｌ，６Ｒと、を備えている。そして、これらの各手段は、制御手段７により、相互に関連付けられて制御されている。図示は省略したが、この他にも、ワークＷの位置を認識するワーク認識カメラや、描画手段２のヘッドユニット２１（後述する）の位置確認を行うヘッド認識カメラ、各種インジケータ等の付帯装置が設けられており、これらも制御手段７によりコントロールされている。
【００２３】
図１ないし図４に示すように、描画手段２は、アングル材を方形に組んで構成した架台１１の上部に固定した石定盤１２の上に配設されており、機能液供給回収手段４およびエアー供給手段５の大部分は、架台１１に添設された機台１３に組み込まれている。機台１３には、大小２つの収容室１４、１５が形成されており、大きいほうの収容室１４には機能液供給回収手段４のタンク類が収容され、小さいほうの収容室１５にはエアー供給手段５の主要部が収容されている。また、機台１３上には、後述する機能液供給回収手段４の給液タンク２４１を載置するタンクベース１７および機台１３の長手方向（すなわちＸ軸方向）にスライド自在に支持された移動テーブル１８が設けられており、移動テーブル１８上にはメンテナンス手段３の吸引ユニット９１（後述する）およびワイピングユニット９２（後述する）を載置する共通ベース１６が固定されている。
【００２４】
この描画装置１は、描画手段２の液滴吐出ヘッド３１をメンテナンス手段３で保守させながら、機能液供給回収手段４の給液タンク２４１から液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給すると共に、液滴吐出ヘッド３１からワークＷに機能液を吐出させるものである。以下、各手段について説明する。
【００２５】
描画手段２は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド３１を複数有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するメインキャリッジ２２と、ヘッドユニット２１をワークＷに対し主走査方向（Ｘ軸方向）とこれに直交する副走査方向（Ｙ軸方向）との２つの走査方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構２３と、を有している。
【００２６】
図５および図６に示すように、ヘッドユニット２１は、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド３１と、複数の液滴吐出ヘッド３１を搭載するサブキャリッジ５１と、各液滴吐出ヘッド３１のノズル形成面４４（ノズル面）を下面に突出させてサブキャリッジ５１に取り付けるためのヘッド保持部材５２と、から構成されている。１２個の液滴吐出ヘッド３１は、サブキャリッジ５１に、６個ずつ２列に分けて主走査方向（Ｘ軸方向）に離間配置されている。また、各液滴吐出ヘッド３１は、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方の列と他方の列の各液滴吐出ヘッド３１は、副走査方向（Ｙ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２が連続（一部重複）するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド３１を専用部品で構成するなどして、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド３１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００２７】
図６に示すように、液滴吐出ヘッド３１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針３３を有する機能液導入部３２と、機能液導入部３２に連なる２連のヘッド基板３４と、機能液導入部３２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体３５と、を備えている。各接続針３３は、配管アダプタ３６を介して機能液供給回収手段４の給液タンク２４１に接続されており、機能液導入部３２は、各接続針３３から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体３５は、２連のポンプ部４１と、多数の吐出ノズル４２を形成したノズル形成面４４を有するノズル形成プレート４３と、を有しており、液滴吐出ヘッド３１では、ポンプ部４１の作用により吐出ノズル４２から液滴を吐出するようになっている。なお、ノズル形成面４４には、多数の吐出ノズル４２から成る２列の吐出ノズル４２列が形成されている。
【００２８】
図５に示すように、サブキャリッジ５１は、一部が切り欠かれた本体プレート５３と、本体プレート５３の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン５４と、本体プレート５３の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材５５と、を備えている。一対の基準ピン５４は、画像認識を前提として、サブキャリッジ５１（ヘッドユニット２１）をＸ軸、Ｙ軸、およびθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となるものである。支持部材５５は、ヘッドユニット２１をメインキャリッジ２２に固定する際の固定部位となる。また、サブキャリッジ５１には、各液滴吐出ヘッド３１と給液タンク２４１を配管接続するための配管ジョイント５６が設けられている。配管ジョイント５６は、一端に各液滴吐出ヘッド３１（の接続針３３）と接続した配管アダプタ３６からのヘッド側配管部材を接続し、もう一端には給液タンク２４１からの装置側配管部材を接続するための１２個のソケット５７を有している。
【００２９】
図３に示すように、メインキャリッジ２２は、後述するブリッジプレート８２に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材６１と、吊設部材６１の下面に取り付けたθテーブル６２と、θテーブル６２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体６３と、で構成されている。キャリッジ本体６３には、ヘッドユニット２１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット２１を位置決め固定するようになっている。
【００３０】
Ｘ・Ｙ移動機構２３は、図１ないし図３に示すように、上記した石定盤１２に固定され、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向）させると共にメインキャリッジ２２を介してヘッドユニット２１を副走査（Ｙ軸方向）させるものである。Ｘ・Ｙ移動機構２３は、石定盤１２の長辺に沿う中心線に軸線を合致させて固定されたＸ軸テーブル７１と、Ｘ軸テーブル７１を跨いで、石定盤１２の短辺に沿う中心線に軸線を合致させたＹ軸テーブル８１と、を有している。
【００３１】
Ｘ軸テーブル７１は、ワークＷをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル７２と、吸着テーブル７２を支持するθテーブル７３と、θテーブル７３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ７４と、θテーブル７３を介して吸着テーブル７２上のワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダ７４に併設したＸ軸リニアスケール７５とで構成されている。液滴吐出ヘッド３１の主走査は、Ｘ軸リニアモータの駆動により、ワークＷを吸着した吸着テーブル７２およびθテーブル７３が、Ｘ軸エアースライダ７４を案内にしてＸ軸方向に往復移動することにより行われる。
【００３２】
Ｙ軸テーブル８１は、メインキャリッジ２２を吊設するブリッジプレート８２と、ブリッジプレート８２を両持ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スライダ８３と、Ｙ軸スライダ８３に併設したＹ軸リニアスケール８４と、一対のＹ軸スライダ８３を案内にしてブリッジプレート８２をＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ８５と、Ｙ軸ボールねじ８５を正逆回転させるＹ軸モータ（図示省略）とを備えている。Ｙ軸モータはサーボモータで構成されており、Ｙ軸モータが正逆回転すると、Ｙ軸ボールねじ８５を介してこれに螺合しているブリッジプレート８２が一対のＹ軸スライダ８３を案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート８２の移動に伴い、メインキャリッジ２２（ヘッドユニット２１）がＹ軸方向の往復移動を行い、液滴吐出ヘッド３１の副走査が行われる。なお、図４では、Ｙ軸テーブル８１とθテーブル７３とを省略している。
【００３３】
ここで、描画手段２の一連の動作を簡単に説明する。まず、ワークＷに向けて機能液を吐出する描画作業前の準備として、ヘッド認識カメラによるヘッドユニット２１の位置補正が行われた後、ワーク認識カメラによって、吸着テーブル７２にセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、ワークＷをＸ軸テーブル７１により主走査（Ｘ軸）方向に往復動させると共に、複数の液滴吐出ヘッド３１を駆動させてワークＷに対する液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット２１をＹ軸テーブル８１により副走査（Ｙ軸）方向に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と液滴吐出ヘッド３１の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット２１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット２１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット２１を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００３４】
次に、メンテナンス手段３について説明する。メンテナンス手段３は、液滴吐出ヘッド３１を保守して、液滴吐出ヘッド３１が適切に機能液を吐出できるようにするもので、吸引ユニット９１、ワイピングユニット９２を備えている。
【００３５】
図１および図４に示すように、吸引ユニット９１は、ワークＷの配置場所、即ち、Ｘ軸テーブル８１の配置場所から副走査方向（Ｙ軸方向）に離間配置される上記した機台１３の共通ベース１６に載置されており、移動テーブル１８を介して、機台１３の長手方向たる主走査方向（Ｘ軸方向）にスライド自在に構成されている。吸引ユニット９１は、液滴吐出ヘッド３１を吸引することにより、液滴吐出ヘッド３１を保守するためのもので、ヘッドユニット２１（の液滴吐出ヘッド３１）に機能液の充填を行う場合や、液滴吐出ヘッド３１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に用いられる。図７および図１４を参照して説明すると、吸引ユニット９１は、１２個のキャップ１０２を有するキャップユニット１０１と、キャップ１０２を介して機能液の吸引を行う機能液吸引ポンプ１４１と、各キャップ１０２と機能液吸引ポンプ１４１を接続する吸引用チューブユニット１５１と、キャップユニット１０１を支持する支持部材１７１と、支持部材１７１を介してキャップユニット１０１を昇降させる昇降機構１８１（キャッピング手段）とを有している。
【００３６】
キャップユニット１０１は、図７に示すように、ヘッドユニット２１に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド３１の配置に対応させて、１２個のキャップ１０２をキャップベース１０３に配設したものであり、対応する各液滴吐出ヘッド３１に各キャップ１０２を密着可能に構成されている。
【００３７】
図９に示すように、キャップ１０２は、キャップ本体１１１と、キャップホルダ１１２と、で構成されている。キャップ本体１１１は、２つのばね１１３で上方に付勢され、かつわずかに上下動可能な状態でキャップホルダ１１２に保持されている。キャップ本体１１１の上面には、液滴吐出ヘッド３１の２列の吐出ノズル４２列を包含する凹部１２１が形成され、凹部１２１の周縁部にはシールパッキン１２２が取り付けられている。そして、凹部１２１の底部には、吸収材１２３が押え枠１２４によって押し付けられた状態で敷設されている。液滴吐出ヘッド３１を吸引する際には、液滴吐出ヘッド３１のノズル形成面４４にシールパッキン１２２を押し付けて密着させ、２列の吐出ノズル４２列を包含するようにノズル形成面４４を封止する。また、凹部１２１の底部には小孔１２５が形成されており、この小孔１２５が、後述する各吸引分岐チューブ１５３に接続するＬ字継手に連通している。
【００３８】
また、各キャップ１０２には、大気開放弁１３１が設けられており、凹部１２１の底面側で大気開放できるようになっている（図９参照）。大気開放弁１３１は、ばね１３２で上方の閉じ側に付勢されており、大気開放弁１３１が後述する操作プレート１７６を介して開閉される。そして、機能液の吸引動作の最終段階で、大気開放弁１３１の操作部１３３を、操作プレート１７６を介して引き下げ、開弁することにより、吸収材１２３に含浸されている機能液も吸引できるようになっている。
【００３９】
機能液吸引ポンプ１４１は、各キャップ１０２を介して液滴吐出ヘッド３１に吸引力を作用させるもので、メンテナンス性を考慮してピストンポンプで構成されている。
【００４０】
図１４に示すように、吸引用チューブユニット１５１は、機能液吸引ポンプ１４１に接続される機能液吸引チューブ１５２と、各キャップ１０２に接続される複数（１２本）の吸引分岐チューブ１５３と、機能液吸引チューブ１５２と吸引分岐チューブ１５３とを接続するためのヘッダパイプ１５４、とで構成されている。すなわち、機能液吸引チューブ１５２および吸引分岐チューブ１５３により、キャップ１０２と機能液吸引ポンプ１４１とを接続する機能液流路が形成されている。そして、同図に示すように、各吸引分岐チューブ１５３には、キャップ１０２側から順に、液体センサ１６１、キャップ側圧力センサ１６２、および吸引用開閉バルブ１６３が設けられている。液体センサ１６１は、機能液の有無を検出するものであり、キャップ側圧力センサ１６２は、吸引分岐チューブ１５３内の圧力を検出するものである。また、吸引用開閉バルブ１６３は、吸引分岐チューブ１５３を閉塞させるものである。
【００４１】
図８に示すように、支持部材１７１は、上端にキャップユニット１０１を支持する支持プレート１７３を有する支持部材本体１７２と、支持部材本体１７２を上下方向にスライド自在に支持するスタンド１７４とを備えている。支持プレート１７３の長手方向の両側下面には、一対のエアーシリンダ１７５が固定されており、この一対のエアーシリンダ１７５により操作プレート１７６が昇降する。そして、操作プレート１７６上には、各キャップ１０２の大気開放弁１３１の操作部１３３に係合するフック１７７が取り付けられており、操作プレート１７６の昇降に伴って、フック１７７が操作部１３３を上下させることにより、上記した大気開放弁１３１は開閉される。
【００４２】
図８に示すように、昇降機構１８１は、エアーシリンダからなる２つの昇降シリンダ、すなわちスタンド１７４のベース部に立設した下段の昇降シリンダ１８２と、下段の昇降シリンダ１８２により昇降する昇降プレート１８４上に立設した上段の昇降シリンダ１８３と、を備えており、支持プレート１７３上には、上段の昇降シリンダ１８３のピストンロッドが連結されている。両昇降シリンダ１８２、１８３のストロークは互いに異なっており、両昇降シリンダ１８２、１８３の選択作動でキャップユニット１０１の上昇位置を比較的高い第１位置と比較的低い第２位置とに切換え自在としている。キャップユニット１０１が第１位置にあるときは、各液滴吐出ヘッド３１に各キャップ１０２が密着し、キャップユニット１０１が第２位置にあるときは、各機能液吐出ヘッド３１と各キャップ１０２との間に僅かな間隙が生じるようになっている。
【００４３】
なお、詳細は後述するが、キャップユニット１０１の各キャップ１０２は、機能液非吐出時における液滴吐出ヘッド３１のフラッシング（予備吐出）により吐出された機能液を受ける液滴受けを兼ねている。昇降機構１８１は、機能液を液滴吐出ヘッド３１のヘッド内流路に充填するときや、液滴吐出ヘッド３１のクリーニングを行うときのように、各キャップ１０２を介して液滴吐出ヘッド３１を吸引する場合には、第１位置にキャップユニット１０１を移動させて、各キャップ１０２を各液滴吐出ヘッド３１に密着させ、液滴吐出ヘッド３１がフラッシングを行う場合には、第２位置にキャップユニット１０１を移動させる。
【００４４】
ワイピングユニット９２は、液滴吐出ヘッド３１の吸引（クリーニング）等により、機能液が付着して汚れた各液滴吐出ヘッド３１のノズル形成面４４を拭き取るものであり、共通ベース１６上に突き合わせた状態で配設された巻き取りユニット１９１と拭き取りユニット１９２とから構成されている（図１、図３および図４参照）。例えば、液滴吐出ヘッド３１のクリーニングが完了すると、ワイピングユニット９２は、上記した移動テーブル１８により液滴吐出ヘッド３１に臨む位置まで移動させられる。そして、ワイピングユニット９２は、液滴吐出ヘッド３１に十分近接した状態で、巻き取りユニット１９１からワイピングシート（図示省略）を繰り出し、拭き取りユニット１９２の拭き取りローラを用いて、繰り出したワイピングシートで液滴吐出ヘッド３１のノズル形成面４４を拭き取っていく。なお、繰り出されたワイピングシートには、後述する洗浄液供給系２２３から洗浄液が供給されており、液滴吐出ヘッド３１に付着した機能液を効率よくふき取れるようになっている。
【００４５】
液滴吐出ヘッド３１のフラッシング動作（予備吐出）は、描画作業中にも行われる。そのために、Ｘ軸テーブル７１のθテーブル７３に、吸着テーブル７１を挟むようにして固定した１対のフラッシングボックス９３ａを有するフラッシングユニット９３を設けている（図４参照）。フラッシングボックス９３ａは、θテーブル７３と共に主走査時に移動するので、ヘッドユニット２１等をフラッシング動作のために移動させることがない。すなわち、フラッシングボックス９３ａはワークＷと共にヘッドユニット２１へ向かって移動していくので、フラッシングボックス９３ａに臨んだ機能液吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２から順次フラッシング動作を行うことができる。なお、フラッシングボックス９３ａで受けた機能液は、後述する廃液タンク２８２に貯留される。また、石定盤１２の機台１３とは反対側の側部には、ヘッドユニット２１の２列の液滴吐出ヘッド３１に対応する一対のフラッシングボックス９４ａを有する予備のフラッシングユニット９４が配置されている。
【００４６】
フラッシング動作は、全ての液滴吐出ヘッド３１の全吐出ノズル４２から機能液を吐出するもので、時間の経過に伴い、液滴吐出ヘッド３１に導入した機能液が乾燥により増粘して、液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２に目詰りを生じさせることを防止するために定期的に行われる。フラッシング動作は、描画作業時だけではなく、ワークＷの入れ替え時等、描画作業が一時的に休止される時（待機中）にも行う必要がある。かかる場合、ヘッドユニット２１は、クリーニング位置、すなわち吸引ユニット９１のキャップユニット１０１の直上部、まで移動した後、各液滴吐出ヘッド３１は、対応する各キャップ１０２に向けてフラッシングを行う。
【００４７】
キャップ１０２に対してフラッシングを行う場合、キャップユニット１０１は、液滴吐出ヘッド３１とキャップ１０２との間に僅かな間隙（液滴吐出空間）が生じる第２位置まで昇降機構１８１によって上昇させられており、フラッシングで吐出された機能液の大部分を各キャップ１０２で受けられるようになっている。
【００４８】
次に、機能液供給回収手段４について説明する。液体供給回収手段４は、ヘッドユニット２１の各液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給する機能液供給系２２１と、メンテナンス手段３の吸引ユニット９１で吸引した機能液を回収する機能液回収系２２２と、ワイピングユニット９２に機能材料の溶剤を洗浄用として供給する洗浄液供給系２２３と、フラッシングユニット９３や予備のフラッシングユニット９４で受けた機能液を回収する廃液回収系２２４とで構成されている。そして、図３に示すように、機台１３の大きいほうの収容室１４には、図示右側から順に機能液供給系２２１の加圧タンク２３１、機能液回収系２２２の再利用タンク２６１、洗浄液供給系２２３の洗浄液タンク２７１が横並びに配設されている。そして、再利用タンク２６１および洗浄液タンク２７１の近傍には、小型に形成した廃液回収系２２４の廃液タンク２８２および機能液回収系２２２の回収トラップ２６３が設けられている。
【００４９】
図１４に示すように、機能液供給系２２１は、大量（３Ｌ）の機能液を貯留する加圧タンク２３１と、加圧タンク２３１から送液された機能液を貯留すると共に、各液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給する給液タンク２４１と、給液管路を形成してこれらを配管接続する給液チューブ２５１と、で成り立っている。加圧タンク２３１は、エアー供給手段５から導入される圧縮気体（不活性ガス）により、給液チューブ２５１を介して貯留する機能液を給液タンク２４１に圧送している。
【００５０】
給液タンク２４１は、図１０に示すように上記した機台１３のタンクベース１７上に固定されており、両側に液位窓２４４を有すると共に、加圧タンク２３１からの機能液を貯留するタンク本体２４３と、両液位窓２４４に臨んで機能液の液位（水位）を検出する液位検出器２４５と、タンク本体２４３が載置されるパン２４６と、パン２４６を介してタンク本体２４３を支持するタンクスタンド２４２と、を備えている。
【００５１】
図１０に示すように、タンク本体２４３（の蓋体）の上面には、加圧タンク２３１に連なる給液チューブ２５１が繋ぎこまれており、またヘッドユニット２１側に延びる給液チューブ２５１用の６つの給液用コネクタ２４７と、エアー供給手段５と接続するエアー供給チューブ２９２（後述する）用の加圧用コネクタ２４８が１つ設けられている。液位検出器２４５は、機能液のオーバーフローを検出するオーバーフロー検出器２４９および機能液の液位を検出する液位レベル検出器２５０から成り立っている。そして、加圧タンク２３１に接続された給液チューブ２５１には、液位調節バルブ２５３が介設されており、液位調節バルブ２５３を開閉制御することにより、タンク本体２４３に貯留する機能液の液位が、液位レベル検出器２５０の検出範囲内にあるように調整されている（実際には、液位検出の後、数秒間給液を行う制御となる）。
【００５２】
なお、詳細は後述するが、加圧用コネクタ２４８に接続されるエアー供給チューブ２９２には、大気開放ポートを有する三方弁２５４（管路開閉手段）が介設されており、加圧タンク２３１からの圧力は、大気開放によって縁切りされる。これにより、ヘッドユニット２１側に延びる給液チューブ２５１の水頭圧を、上述した液位の調節により僅かにマイナス水頭（例えば２５ｍｍ±０．５ｍｍ）に保って、液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２からの液垂れを防止すると共に、液滴吐出ヘッド３１のポンピング動作、すなわちポンプ部４１内の圧電素子のポンプ駆動で精度良く液滴が吐出されるようにしている。
【００５３】
図１４に示すように、液滴吐出ヘッド３１に延びる６本の各給液チューブ２５１には、後述する圧力コントローラ２９４に接続されたヘッド側圧力センサ２５５（圧力検出手段）が液滴吐出ヘッド３１近傍に介設されている。また、これらの給液チューブ２５１は、それぞれＴ字継手２５７を介して２本に分岐され、計１２本の給液分岐チューブ２５２（分岐供給管路）が形成されている（同図参照）。１２本の給液分岐チューブ２５２は、装置側配管部材としてヘッドユニット２１に設けた配管ジョイント５６の１２個のソケット５７に接続している。各給液分岐チューブ２５２には、分岐給液通路を閉塞するための供給用バルブ２５６が介設されており、制御手段７により開閉制御されている。
【００５４】
機能液回収系２２２は、吸引ユニット９１で吸引した機能液を貯留するためのもので、吸引した機能液を貯留する再利用タンク２６１と、機能液吸引ポンプ１４１に接続され、吸引した機能液を再利用タンク２６１へ導く回収用チューブ２６２と、を有している。
【００５５】
洗浄液供給系２２３は、ワイピングユニット９２のワイピングシートに洗浄液を供給するためのもので、洗浄液を貯留する洗浄液タンク２７１と、洗浄液タンク２７１の洗浄液を供給するための洗浄液供給チューブ（図示せず）とを有している。なお、洗浄液の供給は、洗浄液タンク２７１にエアー供給手段５から圧縮エアーを導入することにより為される。また、洗浄液には機能液の溶剤が用いられる。
【００５６】
廃液回収系２２４は、フラッシングユニット９３や予備のフラッシングユニット９４に吐出した機能液を回収するためのもので、回収した機能液を貯留する廃液タンク２８２と、フラッシングユニット９３、９４に接続され、廃液タンク２８１にフラッシングユニット９３へ吐出された機能液を導く廃液用チューブ（図示せず）と、を有している。
【００５７】
次に、エアー供給手段５について説明する。図１４に示すように、エアー供給手段５は、例えば加圧タンク２３１や給液タンク２４１等の各部に不活性ガス（Ｎ２）を圧縮した圧縮エアーを等に供給するもので、不活性ガスを圧縮するエアーポンプ２９１と、エアーポンプ２９１によって圧縮された圧縮エアーを各部に供給するためのエアー供給チューブ２９２（加圧用管路）と、を備えている。そして、エアー供給チューブ２９２には、圧縮エアーの供給先に応じて圧力を所定の一定圧力に保つためのレギュレータ２９３が設けられている。
【００５８】
詳細は後述するが、本実施形態の描画装置１は、上記したヘッド側圧力センサ２５５に基づいて給液タンク２４１を加圧する構成となっており、給液タンク２４１に接続されるエアー供給チューブ２９２には、ヘッド側圧力センサ２５５と接続する圧力コントローラ２９４と大気開放ポートを有する三方弁２５４が介設されている。圧力コントローラ２９４は、レギュレータ２９３から送られた圧縮エアーを適宜減圧して給液タンク２４１に送ると共に、三方弁２５４を開閉制御することにより、給液タンク２４１への加圧力を調節可能となっている。
【００５９】
また、本実施形態は、加圧タンク２３１および給液タンク２４１に圧縮エアーが直接導入される構成であるが、加圧タンク２３１および給液タンク２４１をアルミニウム等で構成した加圧ボックス（図示省略）に個別に収容し、加圧ボックスを介して加圧タンク２３１および給液タンク２４１を個別に加圧する構成としても良い。具体的には、加圧タンク２３１および給液タンク２４１に通気孔等を設けて、これらを加圧ボックスの内部と連通させ、加圧ボックスの内部と加圧タンク２３１および給液タンク２４１内部の圧力を同圧に保つようにする。そして、エアーポンプ２９１からの圧縮エアーを加圧ボックスに供給することで、加圧タンク２３１および給液タンク２４１内部を加圧する。
【００６０】
次に制御手段７について説明する。制御手段７は、各手段の動作を制御するための制御部を備えており、制御部は、制御プログラムや制御データを記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。そして、制御手段７は、上記した各手段と接続され、装置全体を制御している。
【００６１】
ここで、制御手段７による制御の一例として、図１４を参照しながら、給液タンク２４１から液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給する場合について説明する。上述したように、本実施形態の描画装置１は、液滴吐出ヘッド３１のポンプ作用によって給液タンク２４１から機能液を液滴吐出ヘッド３１に供給しており、給液タンク２４１から液滴吐出ヘッド３１に至る管摩擦抵抗等の影響を受けている。したがって、液滴吐出ヘッド３１に導入する機能液の種類によっては、液滴吐出ヘッド３１内の機能液供給圧力が変化することに加え、液滴吐出ヘッド３１のポンプ作用による供給が間に合わなくなるために、途中で機能液が適切に吐出できなくなるという問題が生じうる。そこで、機能液の吐出時に、上記したヘッド側圧力センサ２５５に基づいて給液タンク２４１内を加圧することで、機能液の供給圧力を一定にし、液滴吐出ヘッド３１からの機能液の吐出を安定させる共に、液滴吐出ヘッド３１への機能液の供給が滞らないようにしている。
【００６２】
次に、液滴検出手段６Ｌ，６Ｒについて説明する。各液滴検出手段６Ｌ，６Ｒは、図１１ないし図１３に示されているように、レーザーダイオード等から成る発光素子２０１と受光素子２０２とを備え、受光素子２０２の受光信号を制御手段７に入力し、発光素子２０１と受光素子２０２との間の光路２０３を機能液滴が横切ったときの受光素子２０２の受光量の変化に基づいて機能液滴を検出するように構成されている。
【００６３】
ここで、一方の液滴検出手段６Ｌは、ヘッドユニット２１に２列に分けて搭載した一方の液滴吐出ヘッド３１列に対応し、他方の液滴検出手段６Ｒは、ヘッドユニット２１の他方の液滴吐出ヘッド３１列に対応する。そして、描画作業休止時に行うフラッシング等のメンテナンス作業終了後、次の描画作業開始前に、各列の液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２から正常に機能液滴が吐出されているか否かを液滴検出手段６Ｌ，６Ｒを用いて確認する。
【００６４】
なお、後記する液晶表示装置や有機ＥＬ装置の製造に際しては、吐出ノズル４２から機能液滴が多少斜めに吐出されても製品不良は生じず、そのため、発光素子２０１から発光されるビーム径を機能液滴の径（例えば２７μｍ）より大きな値（例えば９０μｍ）に設定すると共に、吐出ノズル４２と光路２０３との間の距離を１ｍｍ程度に設定し、吐出ノズル４２から機能液滴が多少斜めに吐出されても液滴を検出できるようにしている。
【００６５】
図４に示されているように、液滴検出手段６Ｌ，６Ｒは、Ｘ軸テーブル８１の配置場所とメンテナンス手段３たる吸引ユニット９１の配置場所との間に位置させて、共通ベース１６上に配置されている。これを詳述するに、図１１ないし図１３に示す如く、共通ベース１６に固定されるスタンド２０４を設けて、スタンド２０４の上板２０４ａに液滴検出手段６Ｌ，６Ｒを配置している。上板２０４ａは、これに垂設した一対のスライダ２０４ｂを介してスタンド２０４の一対の支柱２０４ｃに上下動自在に支持されており、スライダ２０４ｂに取り付けた当駒２０４ｄに上下から当接する調整ねじ２０４ｅを支柱２０４ｃに設けて、上板２０４ａ、即ち、液滴検出手段６Ｌ，６Ｒの上下方向の位置調整と水平調整とを行い得られるようにしている。
【００６６】
Ｘ軸テーブル８１の配置場所と吸引ユニット９１の配置場所との間のスペースは、元来デッドスペースになっていた部分であって、Ｙ軸方向に比較的幅狭であり、このスペースに液滴検出手段６Ｌ，６Ｒを無理なく配置できるよう、各液滴検出手段６Ｌ，６Ｒの発光素子２０１と受光素子２０２とをＸ軸方向に対向させて、各液滴検出手段６Ｌ，６ＲのＹ軸方向寸法を短縮している。
【００６７】
また、両液滴検出手段６Ｌ，６ＲをＸ軸方向に沿う同一線上に横並びで配置すると、両液滴検出手段６Ｌ，６ＲのＸ軸方向内方に位置する素子同士の干渉を避ける上で、一方の液滴検出手段６Ｌの検出有効領域（発光素子２０１と受光素子２０２との間の光路２０３が存在する領域）と他方の液滴検出手段６Ｒの検出有効領域と間の検出不能領域のＸ軸方向幅が広くなり、そのため、２つの液滴吐出ヘッド３１列間のＸ軸方向間隔も広く取らざるを得なくなり、ヘッドユニット２１が大型化してしまう。
【００６８】
そこで、本実施形態では、両液滴検出手段６Ｌ，６Ｒを、対応する液滴吐出ヘッド３１の列に合わせたＸ軸方向の位置に、互いにＹ軸方向に位置をずらして配置している。これによれば、一方の液滴検出手段６ＬのＸ軸方向内方に位置する素子（受光素子２０２）と他方の液滴検出手段６ＲのＸ軸方向内方に位置する素子（受光素子２０２）とをＸ軸方向にオーバーラップさせて、両液滴検出手段６Ｌ，６Ｒ間の検出不能領域のＸ軸方向幅を狭めることができる。そのため、２つの液滴吐出ヘッド３１列間のＸ軸方向間隔を広く取る必要が無く、ヘッドユニット２１を大型化せずに済む。
【００６９】
なお、液滴検出手段を単一にし、移動テーブル１８による共通ベース１６の動きで液滴検出手段をＸ軸方向にシフトして、２つの液滴吐出ヘッド３１列に対する液滴の吐出確認作業を行うことも可能であるが、本実施形態のように２つの液滴吐出ヘッド３１列に対応する２つの液滴検出手段６Ｌ，６Ｒを設けておけば、２つの液滴吐出ヘッド３１列に対する液滴の吐出確認作業を同時に行うことができ、作業能率を向上する上で有利である。
【００７０】
また、各液滴検出手段６Ｌ，６Ｒには、発光素子２０１と受光素子２０２との間の光路２０３の下方に位置させて液滴受け２０５が設けられ、この液滴受け２０５に吸収材２０６を配置して、吐出ノズル４２から吐出された機能液滴を吸収できるようにしている。更に、液滴受け２０５の底部に連通する配管ジョイント２０８を設け、この配管ジョイント２０８に上記した再利用タンク２６１に連なる吸引ポンプ２０９を接続し、吐出ノズル４２から吐出された機能液滴を、吸収材２０６を介して吸引回収する液滴検出手段用の機能液回収手段２０７を構成している。これにより、機能液滴の吐出確認作業で吐出される機能液を再利用できるようになり、ランニングコストの削減を図れる。
【００７１】
機能液滴の吐出確認作業に際しては、制御手段７により、各列の液滴吐出ヘッド３１の各吐出ノズル４２が各液滴検出手段６Ｌ，６Ｒの発光素子２０１と受光素子２０２との間の光路２０３の直上部に順に位置するようにヘッドユニット２１をＹ軸方向に連続的に移動させ、Ｙ軸方向のリニアスケール（Ｙ軸リニアスケール８４）からの信号により検出のタイミングを取ると同時に光路２０３の直上部に位置する吐出ノズル４２から機能液滴を吐出させる。そして、液滴検出手段６Ｌ，６Ｒで機能液滴が検出されたか否かで、該当する吐出ノズル４２から機能液滴が正常に吐出されているか否かを判別する。なお、発光素子２０１は、吐出ノズル４２からの機能液滴の吐出に同期させて発光させても良く、また、確認作業中、継続して発光させても良い。
【００７２】
そして、図１５に示されているように、全吐出ノズル４２に対する機能液滴の吐出確認を行い（Ｓ１）、全吐出ノズル４２から正常に機能液滴が吐出されていたときは（Ｓ２）、描画作業に移行する（Ｓ３）。機能液滴の吐出が不正常と判別された吐出ノズル４２が有ったときは、再度全吐出ノズル４２に対する機能液滴の吐出確認を行い、同一の吐出ノズル４２からの機能液滴の吐出が２回連続して不正常と判別されたとき（Ｓ４）、この吐出ノズル４２が異常であると判定し（Ｓ５）、２回目の吐出確認作業で前回と異なる吐出ノズル４２からの機能液滴の吐出が不正常であると判別されたときは、再度全吐出ノズル４２に対する機能液滴の吐出確認を行う。
【００７３】
ここで、本実施形態のような発光素子２０１と受光素子２０２とを有する光学式の液滴検出手段６Ｌ，Ｒを用いて機能液滴の吐出確認作業を行うと、サテライト（吐出された液体に起因して霧状に浮遊する微粒子）や電気ノイズ等の影響により、吐出ノズル４２から正常に機能液滴が吐出されていても、不正常な吐出であると判別されることがある。そこで、本実施形態では、上記の如く、同一の吐出ノズル４２からの機能液滴の吐出が２回連続して不正常と判別されたときに、この吐出ノズル４２が異常であると判定し、誤判定を可及的に防止できるようにしている。
【００７４】
吐出ノズル４２が異常であると判定されたときは、少なくとも異常と判定された吐出ノズル４２からキャップユニット１０１に向けて機能液滴を吐出するフラッシング（予備吐出）を行い（Ｓ６）、フラッシング後に再度全吐出ノズル４２に対する機能液滴の吐出確認を行う。そして、その後も上記と同様の判別処理で吐出ノズル４２が異常であると判定されたときは、先にフラッシングが行われているため（Ｓ７）、今度は少なくとも異常と判定された吐出ノズル４２を有する液滴吐出ヘッド３１の吸引ユニット９１による吸引とワイピングユニット９２によるワイピングとが行われる（Ｓ８）。そして、再度全吐出ノズル４２に対する機能液滴の吐出確認を行う。
【００７５】
ここで、機能液滴の吐出が不正常になるのは、吐出ノズル４２の近傍での軽微な目詰まりに起因することが多く、吐出ノズル４２のフラッシングを行うと、機能液滴が正常に吐出される状態に回復する可能性が高い。そのため、一旦吐出ノズル４２が異常と判定されても、フラッシングによる吐出ノズル４２の回復で、全吐出ノズル４２を使用した能率的な描画作業を行うことができ、生産性の向上を図る上で有利である。
【００７６】
また、予備吐出では回復しない重度の目詰まりを生じても、吐出ノズル４２の吸引で機能液滴が正常に吐出される状態に回復することがあるが、吸引によっても回復せず、再び吐出ノズル４２が異常であると判定されたときは、先に吸引が行われているため（Ｓ９）、今度は使用不能であるとしてヘッドユニット２１の交換指令を出す（Ｓ１０）。そして、この交換指令により適宜報知器等を作動させ、ヘッドユニット２１を新たなものに交換する。なお、本実施形態では、キャップユニット１０１の構造上、吐出ノズル４２毎の個別の吸引は不可能であるが、これが可能であれば、異常と判定された吐出ノズル４２のみの吸引を行うようにしても良い。
【００７７】
また、液滴検出手段６Ｌ，６Ｒでは、機能液滴の吐出は検出できても、吐出量の過不足は直接検出できない。そこで、本実施形態では、図４に示す如く、共通ベース１６に、吸引ユニット９１に隣接させて、吐出量の検査手段８を配置している。この検査手段８は、ヘッドユニット２１の複数の液滴吐出ヘッド３１に対応する複数の液滴受け８ａを備えており、各液滴吐出ヘッド３１から各液滴受け８ａに向けて液滴を複数回吐出させ、その時の重量変化から吐出量を検出するように構成されている。吐出量の検査は、或る程度の時間間隔で定期的に実行する。
【００７８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。
【００７９】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００８０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１７（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。さらに、図１７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド３１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００８１】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００８２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１７（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド３１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、液滴吐出ヘッド３１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、基板５０１を個々の有効画素領域毎に切断することによって、カラーフィルタ５００が得られる。
【００８４】
図１８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００８５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００８６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）などの透明導電材料により形成されている。
【００８７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８９】
実施形態の描画装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、液滴吐出ヘッド３１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を液滴吐出ヘッド３１で行うことも可能である。
【００９０】
図１９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００９１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００９２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９３】
図２０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００９４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００９５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００９６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００９７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９８】
次に、図２１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００９９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１００】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１０１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１０２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１０３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１０４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１０５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１０６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。
【０１０７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層１２０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１０８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１０９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１１０】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２２〜図３０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１１１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１１２】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、液滴吐出ヘッド３１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１１３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した描画装置１の吸着テーブル７１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１１４】
図２５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、液滴吐出ヘッド３１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２６に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１１５】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１１６】
そして次に、図２７に示すように、各色のうちの何れか（図２７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１１７】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１１８】
同様に、液滴吐出ヘッド３１を用い、図２９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１２０】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図３０に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１２１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１２２】
次に、図３１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１２３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１２４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１２５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した描画装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板１２６を描画装置１の吸着テーブル７１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、液滴吐出ヘッド３１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１２７】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１２８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド３１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１２９】
次に、図３２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１３０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１３１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１３２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、描画装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、描画装置１を用いて形成することができる。
【０１３４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（描画装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（描画装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１３５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。このように、描画装置１には、多種の機能液が導入される可能性があるが、上記した描画装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、液滴吐出ヘッド内の機能液供給圧力を一定に保つことができると共に、機能液を確実に液滴吐出ヘッドに供給することができ、且つ、全吐出ノズルが正常であることを事前に確認できるため、製品不良を生ずることなく効率よく各種製造を行うことができる。
【０１３６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、同一の吐出ノズルからの液滴の吐出が２回続けて不正常であると判別されたときにのみ、当該吐出ノズルが異常であると判定されることになるため、正常な吐出ノズルを異常有りと判定する誤判定を可及的に防止でき、更に、異常と判定された吐出ノズルをメンテナンス作業で回復させることにより、全吐出ノズルを使用して、能率良く描画作業を行うことができ、生産性が向上する。
【０１３７】
本発明の描画装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器によれば、装置の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態の描画装置の外観斜視図である。
【図２】実施形態の描画装置の正面図である。
【図３】実施形態の描画装置の右側面図である。
【図４】実施形態の描画装置の一部を省略した平面図である。
【図５】実施形態のヘッドユニットの平面図である。
【図６】（ａ）実施形態の液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図７】実施形態の吸引ユニットの斜視図である。
【図８】実施形態の吸引ユニットの正面図である。
【図９】実施形態の吸引ユニットに設けられたキャップの断面図である。
【図１０】実施形態の給液タンクの斜視図である。
【図１１】実施形態の液滴検出手段の平面図である。
【図１２】実施形態の液滴検出手段の正面図である。
【図１３】実施形態の液滴検出手段の右側面図である。
【図１４】実施形態の描画装置の配管系統図である。
【図１５】実施形態における吐出ノズルの異常判別の処理手順を示すフロー図である。
【図１６】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１７】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２１】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２２】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２３】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２４】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２５】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２６】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２７】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２８】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２９】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３０】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３１】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３２】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３３】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
１…描画装置  ３…メンテナンス手段  ６Ｌ，６Ｒ…液滴検出手段  ７…制御手段  ２１…ヘッドユニット  ３１…液滴吐出ヘッド  ４２…吐出ノズル  ９１…吸引ユニット  ２０１…発光素子  ２０２…受光素子  ２０３…光路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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