(57)【要約】【課題】ブレードに付着，蓄積したペーストを確実に除去することができ、バリアリブ状物を高精度かつ高効率に形成することが可能になるバリアリブ状物の製造装置を提供することにある。【解決手段】基板２０を水平に配置する基台２と、下部にくし歯を有し、この下部を水平にして基板２０に対向配置されたブレード５とを備え、ブレード５が基台２に対して相対的に水平方向に移動しつつ、前記くし歯が基板２０の表面に形成された膜状のペーストを掻くことにより、基板２０の表面にバリアリブ状物２２を形成するバリアリブ状物の製造装置１であって、少なくとも前記ブレードの下部に付着した前記ペーストを除去するクリーニング手段３０を備えている。【選択図】        図１
2004362823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を水平に配置する基台と、
下部にくし歯を有し、この下部を水平にして前記基板に対向配置されたブレードとを備え、
前記ブレードが前記基台に対して相対的に水平方向に移動しつつ、前記くし歯が前記基板の表面に形成された膜状のペーストを掻くことにより、前記基板の表面にバリアリブ状物を形成するバリアリブ状物の製造装置であって、
前記ブレードの下部に付着した前記ペーストを除去するクリーニング手段を備えていることを特徴とするバリアリブ状物の製造装置。
【請求項２】
請求項１記載のバリアリブ状物の製造装置において、
前記ブレードの前記移動方向前方側に、前記膜状のペーストから分離されたペーストを回収するペースト回収ケースを備えていることを特徴とするバリアリブ状物の製造装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のバリアリブ状物の製造装置において、
前記クリーニング手段は、前記ブレードの下部に付着した前記ペーストを払拭する払拭部と、
前記払拭部を前記ブレードの下部表面に沿った方向に移動させる移動駆動手段と、
前記払拭部を前記ブレードの下部に向かって進退駆動させる進退駆動手段とを備えた払拭手段を有することを特徴とするバリアリブ状物の製造装置。
【請求項４】
請求項３記載のバリアリブ状物の製造装置において、
前記クリーニング手段は、前記払拭手段に加え、
前記ブレードの下部に向けて圧縮空気を噴射する圧縮空気供給手段、及び前記ブレードの下部を洗浄液により洗浄する洗浄手段のうち少なくとも一方を備えていることを特徴とするバリアリブ状物の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）に使用される基板にバリアリブ状物を形成するためのバリアリブ状物の製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰに使用される基板にバリアリブ状物を製造する製造装置として、例えば、下記特許文献１に開示されているような、図５に示す構成のものが提案されている。
このバリアリブ状物の製造装置５１は、基台５２と、基台５２の上方に設けられ、水平方向（ＡＢ方向）に移動可能な移動ヘッド５３と、移動ヘッド５３に設けられたエアシリンダ５７と、エアシリンダ５７に支持されたブレードホルダ５４と、ブレードホルダ５４に保持されたブレード５５とを備えている。
【０００３】
基台５２は、その上面が水平面に形成され、この上面に基板７０が配置されている。この基板７０の表面には、セラミックペーストが膜状に塗布されてなるペースト膜７１が形成されている。このセラミックペーストは、樹脂及び溶剤に、ガラス粉末、若しくはガラス・セラミック混合粉末を混練したものである。
【０００４】
移動ヘッド５３は、基台５２の支柱５２ａに回転可能に取り付けられた一対のスクリューシャフト５６に連結されており、このスクリューシャフト５６が回転することによりＡＢ方向に移動するようになっている。なお、この移動ヘッド５３のＡＢ方向の駆動は、この構成の他、タイミングベルトとプーリ−との組合わせにより行う構成であってもよい。移動ヘッド５３には左右一対のエアシリンダ５７が設けられており、このエアシリンダ５７のロッド５７ａの下端部にブレードホルダ５４が支持されている。
【０００５】
ブレードホルダ５４は、エアタンク５８からエア圧調整装置５９に供給された圧縮空気が所定のエア圧になるように調整された後、この調整された圧縮空気がエアシリンダ５７に供給されて、所定の速度，駆動力で垂直方向（ＣＤ方向）に移動可能とされている。このブレードホルダ５４の下部には、ブレード５５を保持するためのスリット５４ａが移動ヘッド５３の移動方向に直交する方向（ＥＦ方向）に形成されている。
【０００６】
ブレード５５は、金属、セラミック若しくは樹脂等により板状に形成され、その下端部には複数のくし歯５５ａが形成されている。また、このブレード５５は、その上端部をブレードホルダ５４のスリット５４ａに挿入することによりブレードホルダ５４に保持され、その下端部が基台５２及び基板７０の表面に対して水平になるように配置されている。
【０００７】
以上のように構成されたバリアリブの製造装置においては、図６に示すように、ブレード５５が基台７０に対して相対的に水平方向に移動しつつ、くし歯５５ａがペースト膜７１を掻くことにより、基板７０の表面にバリアリブ状物７２が形成される。この際、くし歯５５ａに当接する部分のペースト膜７１は、くし歯５５ａにより掃きとられたり（以下、「ペースト７３」という）、または、くし歯５５ａ同士の間の隙間に回り込み、この隙間を通過することになる。
従って、バリアリブ状物７２は、くし歯５５ａの隙間を通過したペースト膜７１と、くし歯５５ａの隙間に当初から位置していたペースト膜７１とにより形成されることになる
【０００８】
しかしながら、前記従来のバリアリブ状物の製造装置５１によれば、前述したように、バリアリブ状物７２を形成する際、くし歯５５ａにより掻かれたペースト膜７１の一部（ペースト７３）が、くし歯５５ａにより掃きとられ、ブレード５５に付着，蓄積することになる。従って、このペースト７３を除去せずに、新たにバリアリブ状物７２を形成しようとすると、形成方向の始端部におけるバリアリブ状物７２の形状が乱れる、例えば隣合うバリアリブ状物７２同士が密着する等の問題があった。
【０００９】
一方、図７に示すように、基板７０の終端部７０ａにおいては、ブレード５５が基板７０の表面から上方へ離間する際に、前記付着，蓄積したペースト７３が、基板７０の表面にも付着し、良好に基板７０表面から除去することができないという不具合があった。これにより、バリアリブ状物７２の形状が前述と同様に乱れるという問題があった。特に、前記付着，蓄積したペースト７３の量が多くなるほど、前記不具合が多発していた。
【００１０】
【特許文献１】
特許第３３４６３５６号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、ブレードに付着，蓄積したペーストを確実に除去することができ、バリアリブ状物を高精度かつ高効率に形成することが可能になるバリアリブ状物の製造装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、基板を水平に配置する基台と、下部にくし歯を有し、この下部を水平にして前記基板に対向配置されたブレードとを備え、前記ブレードが前記基台に対して相対的に水平方向に移動しつつ、前記くし歯が前記基板の表面に形成された膜状のペーストを掻くことにより、前記基板の表面にバリアリブ状物を形成するバリアリブ状物の製造装置であって、前記ブレードの下部に付着した前記ペーストを除去するクリーニング手段を備えていることを特徴とする。
【００１３】
この発明に係るバリアリブ状物の製造装置によれば、前記クリーニング手段を備えているので、前記ペーストを掻くことにより、前記基板表面にバリアリブ状物を形成した際に、ブレードの下部に付着，蓄積されたペーストを除去することができる。従って、前記付着，蓄積されたペーストが除去されたブレードを用い、基板表面に新たにバリアリブ状物を形成すると、特に、形成方向の始端側におけるバリアリブ状物の形状の乱れ発生を確実に抑制することができる。また、形成方向の後端側においても、前記付着，蓄積されたペーストの量を最小限に抑制することができるので、バリアリブ状物の形状の乱れ発生を最小限に抑制することができる。
【００１４】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のバリアリブ状物の製造装置において、前記ブレードの前記移動方向前方側に、前記膜状のペーストから分離されたペーストを回収するペースト回収ケースを備えていることを特徴とする。
【００１５】
この発明に係るバリアリブ状物の製造装置によれば、バリアリブ状物を形成する際、くし歯により掻かれた膜状のペーストの一部は、くし歯により掃きとられ、ブレードに付着，蓄積することになるが、前記ペースト回収ケースにより、前記付着，蓄積したペーストは逐次的に確実に回収されることになる。
従って、バリアリブ状物の形成途中において、ブレードの下部に付着，蓄積されるペーストの量を略一定に維持することができるので、バリアリブ状物の高さを確実に高精度に形成することができる。また、形成方向の後端側における前記付着，蓄積されたペーストの量を最小限に抑制することができるので、バリアリブ状物の形状の乱れ発生を最小限に抑制することができる。さらに、前記ペースト回収ケースにより回収されたペーストを再利用することにより、低コスト生産を実現することができる。
【００１６】
請求項３に係る発明は、請求項１または２に記載のバリアリブ状物の製造装置において、前記クリーニング手段は、前記ブレードの下部に付着した前記ペーストを払拭する払拭部と、前記払拭部を前記ブレードの下部表面に沿った方向に移動させる移動駆動手段と、前記払拭部を前記ブレードの下部に向かって進退駆動させる進退駆動手段とを備えた払拭手段を有することを特徴とする。
【００１７】
この発明に係るバリアリブ状物の製造装置によれば、払拭部をブレードの下部表面に当接させた状態で、この表面に沿った方向に移動させることにより、このブレードの下部表面に付着，蓄積されたペーストを除去することができる。
【００１８】
請求項４に係る発明は、請求項３記載のバリアリブ状物の製造装置において、前記クリーニング手段は、前記払拭手段に加え、前記ブレードに向けて圧縮空気を噴射する圧縮空気供給手段、及び前記ブレードを洗浄液により洗浄する洗浄手段のうち少なくとも一方を備えていることを特徴とする。
【００１９】
この発明に係るバリアリブ状物の製造装置によれば、ブレードの下部表面に付着，蓄積されたペーストのみならず、くし歯同士の間隙に位置するペーストをも確実に除去することができる。さらに、この除去をくし歯と非接触な状態で行うことができるので、このくし歯の摩耗等の発生を抑制することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るバリアリブ状物の製造装置の一実施形態を、図１から図４を参照しながら説明する。
図１に示すように、この実施の形態に係るバリアリブ状物の製造装置１は、基台２と、基台２の上方に設けられ、水平方向（ＡＢ方向）に移動可能な移動ヘッド３と、移動ヘッド３に設けられたエアシリンダ９と、エアシリンダ９により進退可能に支持されたブレードホルダ４と、ブレードホルダ４により保持されたブレード５とを備え、後述するように、移動ヘッド３がＢ方向（以下、「掻き方向Ｂ」という）へ移動し、ブレード５のくし歯５ａが基板２０上のペースト膜２１を掻くことにより、バリアリブ状物２２を形成するようになっている。
【００２１】
基台２は、その上面が水平に形成されており、この上面は、掻き方向Ｂの前方側に位置する第１の上面２ａと、この第１の上面２ａより上方に位置し、かつ掻き方向Ｂの後方側に位置する第２の上面２ｂとを備えている。
第２の上面２ｂには、図示しない複数の微小孔が形成されており、この微小孔が形成されている領域に基板２０が配置され、この微小孔に連通された図示しないバキュームポンプを起動することにより、基板２０がこの上面２ｂに吸着するようになっている。
この基板２０の上面には、セラミックペーストが膜状に塗布されてなるペースト膜２１が形成されている。このセラミックペーストは、樹脂及び溶剤にガラス粉末、若しくはガラス・セラミック混合粉末を混練したものである。
【００２２】
第１の上面２ａには、掻き方向Ｂの前方端に、支柱２ｃが立設されており、この支柱２ｃの上部に、スクリューシャフト６と電気式アクチュエータ７とが設けられている。
スクリューシャフト６は、前記ＡＢ方向に延在するように架設され、掻き方向Ｂの前方側端部が支柱２ｃに回転可能に支持されるとともに、電気式アクチュエータ７に連結されている。この電気式アクチュエータ７は、図示しない制御手段からの出力信号に基づいて駆動され、これに伴い、スクリューシャフト６も回転されるようになっている。
【００２３】
移動ヘッド３は、図示しないスクリューナットを備え、このスクリューナットにスクリューシャフト６が螺合され、スクリューシャフト６が回転することにより、移動ヘッド３は、基台２の上方において前記ＡＢ方向、すなわちスクリューシャフト６の延在方向に移動可能になっている。
【００２４】
エアシリンダ９は、シリンダ本体９ａとロッド９ｂとを備え、シリンダ本体９ａがエアタンク１０及びエア圧調整装置１１に接続された構成となっている。このエアシリンダ９は、エアタンク１０及びエア圧調整装置１１からシリンダ本体９ａに圧縮空気の供給，排出が行われることにより、ロッド９ｂが進出，退避できるようになっている。
【００２５】
ロッド９ｂの下端部には、ブレードホルダ４及びペースト回収ケース１２が設けられており、ロッド９ｂが進出，退避することにより、ブレードホルダ４及びペースト回収ケース１２が垂直方向（ＣＤ方向）に移動可能となっている。
ブレードホルダ４の下端部には、ブレード５を保持するためのスリット４ａが形成されている。
【００２６】
ブレード５は、図２，図３に示すように、金属、セラミックス若しくは樹脂等により板状に形成され、その下端部における掻き方向Ｂの後方側の表面は、ブレード５の幅が下端に向かうに従い漸次幅狭になるテーパ面５ｂとされている。また、ブレード５の下端部には、基板２０の表面に形成されるバリアリブ状物２２の高さと同等の長さを有する複数のくし歯５ａが形成され、このくし歯５ａの掻き方向Ｂの前方側の表面は、基板２０上のペースト膜２１を掻く、掻き面５ｃとされている。
【００２７】
そして、このブレード５は、その上部がブレードホルダ４のスリット４ａに挿入，保持されることにより、その下端部が基台２及び基板２０に対して水平とされ、また、ブレード５全体が、基台２の上面に対して垂直な方向から掻き方向Ｂの前方側に一定角度傾けられるようになっている。
このようにブレードホルダ４に保持されたブレード５においては、くし歯５ａがブレードホルダ４の下端から突出し、かつ、ブレード５のテーパ面５ｂが、ブレードホルダ４の掻き方向Ｂの後方側の表面と略面一となり、このブレードホルダ４の表面から露出している。
【００２８】
ペースト回収ケース１２は、図３に示すように、ペースト膜２１からブレード５のくし歯５ａにより掃きとられるペースト２３を回収，蓄積するためのものであり、くし歯５ａの掻き面５ｃとの間にペースト２３が流動可能な間隙が形成されるように配置されている。このペースト回収ケース１２は、図４に示すように、楔状のすくい刃１２ａと、ペースト２３をペースト回収ケース１２外に排出するための排出孔１２ｂとが形成されている。
【００２９】
図１において、基台２の第１の上面２ａには、バリアリブ状物２２を形成した際に、ブレード５の下部に付着したペーストを除去するクリーニング手段３０が設けられている。このクリーニング手段３０は、ブレード５の下部表面を払拭することにより、前記付着したペーストを除去する払拭手段３１と、ブレード５の掻き方向Ｂの後方側表面に圧縮空気を噴射し、くし歯５ａ同士の間の間隙に位置するペーストを除去する圧縮空気供給手段４０とを備えている。
【００３０】
払拭手段３１は、基台２の第１の上面２ａに保持されたベース部３２と、ブレード５の下部表面を払拭する払拭部３５と、この払拭部３５を複数のくし歯５ａが連設された方向に移動させる移動駆動手段３３と、払拭部３５をブレード５の下部に向かって進退駆動させる進退駆動手段３４とを備えている。
【００３１】
払拭部３５は、図２に示すように、テーパ面５ｂのうち少なくともくし歯５ａを構成する表面，及びブレード５の下端面５ｄに付着したペーストを払拭するテーパ面払拭部３５ａと、くし歯５ａの掻き面５ｃに付着したペーストを払拭する掻き面払拭部３５ｂとを備えている。
【００３２】
テーパ面払拭部３５ａは、ブレード５のテーパ面５ｂから下端面５ｄにかけた面形状と略同一形状とされた当接面３５ｃが形成されており、この払拭部３５ａが後述するテーパ面進退駆動手段３４ａにより前進されると、当接面３５ｃが、ブレード５の下端部におけるテーパ面５ｂ及び下端面５ｄと略均一に当接するようになっている。
【００３３】
掻き面払拭部３５ｂは、断面矩形状に形成され、掻き方向Ｂの後方側における上面は、その厚さが前記後方側に向かうに従い漸次薄くなる傾斜面３５ｄとされている。この構成において、この払拭部３５ｂが後述する掻き面進退駆動手段３４ｂにより前進されると、その上面がペースト回収ケース１２のすくい刃１２ａ下面と当接し、かつ、掻き方向Ｂの後端部が、傾斜面３５ｄによりブレードホルダ４との当接を回避され、掻き面５ｃとのみ当接するようになっている。
【００３４】
進退駆動手段３４は、テーパ面払拭部３５ａをブレード５に向かって進退駆動するテーパ面進退駆動手段３４ａと、掻き面払拭部３５ｂをブレード５に向かって進退駆動する掻き面進退駆動手段３４ｂとを備え、これら両駆動手段３４ａ，３４ｂはともにエアシリンダとされている。
テーパ面進退駆動手段３４ａは、掻き方向Ｂの前方側に向かって傾斜して設けられ、テーパ面払拭部３５ａを前進駆動すると当接面３５ｃが、前述したように、ブレード５の下端部におけるテーパ面５ｂ，及び下端面５ｄに略均一に当接する構成となっている。
【００３５】
掻き面進退駆動手段３４ｂは、掻き面払拭部３５ｂを前記ＣＤ方向に進退駆動するように設けられ、この払拭部３５ｂを前進駆動すると、その上面が、前述したように、ペースト回収ケース１２のすくい刃１２ａ先端部の下面と当接し、かつ、掻き方向Ｂの後端部が、傾斜面３５ｄによりブレードホルダ４との当接を回避され、掻き面５ｃとのみ当接する構成となっている。
【００３６】
図１に示す移動駆動手段３３は、前記各進退駆動手段３４ａ，３４ｂが前進駆動され、前記各払拭部３５ａ，３５ｂが、ブレード５の下端部と前述したように当接した後に、図示しない制御手段により、移動駆動されるようになっている。この構成により、ブレード５表面のうち、掻き方向Ｂの前方側及び後方側の両面に付着したペーストを払拭除去できるようになっている。
【００３７】
圧縮空気供給手段４０は、エアタンク１０及びエア圧調整装置１１からエアシリンダ９に供給される流路から分岐して、掻き方向Ｂの前方端，すなわち基台２の第１の上面２ａの上方に位置したブレード５に向けて圧縮空気を噴射するようになっている。この圧縮空気供給手段４０は、払拭手段３０により、ブレード５の下端部表面におけるペーストが払拭された後に、圧縮空気を噴射するように前記制御手段により制御された構成となっている。
【００３８】
次に、以上のように構成されたバリアリブ状物の製造装置１の動作について説明する。
【００３９】
まず、このバリアリブ状物の製造装置１を起動するに際して予め、移動ヘッド３，及びこの移動ヘッド３の移動に伴って移動されるブレード５等の全て（以下、これら移動ヘッド３，及び前述した全てをまとめて「移動部１３」という）を、基板２０のペースト膜２１における掻き方向Ｂの後端位置から所定距離だけ後方に離間した位置に待機させておく。
【００４０】
この状態で、エアタンク１０からエアシリンダ９に圧縮空気を供給し、ロッド９ｂをＤ方向に下降させ、これに伴わせ、ブレードホルダ４，ブレード５及びペースト回収ケース１２もＤ方向に下降させる。この際、ブレード５の下端面５ｄの、基板２０の上面からの高さ位置は、基板２０の上面と略一致しているか、または、所定距離だけ上方に離間している。
【００４１】
次に、電気式アクチュエータ７を駆動させることにより、スクリューシャフト６を回転させ、移動部１３を掻き方向Ｂに移動し、これにより、くし歯５ａの掻き面５ｃが、ペースト膜２１の掻き方向Ｂの後端位置における側面（以下、「始端面」という）と当接する。そしてさらに、移動部１３を、ペースト膜２１の掻き方向Ｂの前端位置における側面（以下、「終端面」という）へ向かって移動させることにより、バリアリブ状物２２が形成される。
【００４２】
この際、くし歯５ａに当接する部分のペースト膜２１は、図３に示すように、くし歯５ａにより掃きとられ、または、くし歯５ａ同士の隙間に回り込む。
このくし歯５ａ同士の隙間に回り込んだペースト膜２１は、くし歯５ａ同士の間に当初から位置するペースト膜２１とともに、基板２０表面にバリアリブ状物２２を形成する。
【００４３】
一方、ペースト膜２１からくし歯５ａにより掃きとられたペースト２３は、ブレード５と、ペースト回収ケース１２のすくい刃１２ａ先端との間隙に流入し、ペースト２３としてペースト回収ケース１２内に回収，蓄積される。
そして、くし歯５ａがペースト膜２１の前記後端面に到達した後、さらに、移動部１３を掻き方向Ｂの前方側に移動し、図１に示すように、この移動部１３を第１の上面２ａの上方に至らせ、この位置に移動部１３を待機させる。
【００４４】
この際、移動部１３は、その直下方に払拭手段３１が位置しており、また、ブレード５表面のうち掻き方向Ｂの後方側の表面に向けて圧縮空気供給手段４０が位置している。そして、払拭手段３１の移動駆動手段３３により、払拭部３５，及び進退駆動手段３４を、くし歯５ａが連設されている方向におけるブレード５の一方の端部の直下方に位置するように移動させた後、テーパ面進退駆動手段３４ａ及び掻き面進退駆動手段３４ｂを駆動させ、前記各払拭部３５ａ，３５ｂを前進させる。この際、テーパ面払拭部３５ａは、その当接面３５ｃが、ブレード５のテーパ面５ｂ及び下端面５ｄと当接し、また、掻き面払拭部３５ｂは、その上面がペースト回収ケース１２のすくい刃１２ａ先端部の下面と当接するとともに、この上面における掻き方向Ｂの後端部が、傾斜面３５ｄによりブレードホルダ４との当接を回避され、掻き面５ｃとのみ当接する。
【００４５】
次に、前記各払拭部３５ａ，３５ｂを前述のように、ブレード５の前記各面５ｂ，５ｃ，５ｄと当接させた状態で、移動駆動手段３３を駆動し、前記各払拭部３５，３５ｂ，及び前記各進退駆動手段３４ａ，３４ｂを、ブレード５の他方の端部に向けて移動させる。これにより、ブレード５の前記各面５ｂ，５ｃ，５ｄに付着したペーストが、前記各払拭部３５ａ，３５ｂにより払拭され、除去されることになる。
【００４６】
その後、圧縮空気供給手段４０により、ブレード５表面のうち掻き方向Ｂの後方側の表面に向けて圧縮空気を噴射し、この空気により、くし歯５ａ同士の間に位置するペーストを除去する。
そして、前記各進退駆動手段３４ａ，３４ｂを後退駆動させ、前記各払拭部５ａ，３５ｂを後退させ、そして、移動駆動手段３３を駆動し、払拭部３５及び進退駆動手段３４を、ブレード５の前記一方の端部の直下方に移動させ、ここで停止させる。
【００４７】
また、払拭手段３０によるブレード５の前述した払拭が終了した後、移動部１３は、エアシリンダ９のロッド９ｂをＣ方向に後退させ、これに伴わせ、ブレードホルダ４，ブレード５及びペースト回収ケース１２もＣ方向に後退させる。そして、電気式アクチュエータ７を駆動させることにより、スクリューシャフト６を回転させ、移動部１３を掻き方向Ｂと逆方向であるＡ方向に移動させ、前記待機位置に到達したとき、前記制御手段により、これを停止させる。
【００４８】
以上説明したように、本実施形態によるバリアリブ状物の製造装置１によれば、クリーニング手段３０を備えているので、バリアリブ状物２２を形成した際に、ブレード５の下部表面，特にくし歯５５ａに付着されたペーストを確実に除去することができる。従って、前記付着されたペーストが除去されたブレード５を用い、新たにバリアリブ状物２２を形成する際、特に、形成方向の始端側におけるバリアリブ状物２２の形状の乱れ発生を確実に抑制することができる。また、形成方向の後端側においても、前記付着されたペーストの量を最小限に抑制することができるので、バリアリブ状物２２の形状の乱れ発生を最小限に抑制することができる。
【００４９】
さらに、前記ペーストの除去を自動で行うことができるので、バリアリブ状物２２の高精度かつ高効率生産を実現することができる。
また、バリアリブ状物２２を形成する際、くし歯５ａにより掻かれたペースト膜２１の一部は、くし歯５ａにより掃きとられ、ブレード５に付着することになるが、ペースト回収ケース１２により、このペーストを逐次的に確実に回収することができるようになる。
【００５０】
従って、バリアリブ状物２２の形成途中において、ブレード５の下部に付着，蓄積されるペーストの量を略一定に維持することができるので、バリアリブ状物２２の高さを確実に高精度に形成することができる。また、掻き方向Ｂの後端側における前記付着，蓄積されたペーストの量を最小限に抑制することができるので、バリアリブ状物２２の形状の乱れ発生を最小限に抑制することができる。さらに、ペースト回収ケース１２により回収されたペーストを再利用することにより、低コスト生産を実現することができる。
【００５１】
また、クリーニング手段３０は、ブレード５の下部表面を払拭することにより、この表面に付着したペーストを除去する払拭手段３１と、この払拭手段３１により払拭した後に、ブレード５表面に圧縮空気を噴出する圧縮空気供給手段４０とを備えているので、ブレード５の下部表面に付着したペーストのみならず、くし歯５ａ同士の間に位置したペーストをも除去することができる。従って、前述した高精度生産を確実に実現することができる。
【００５２】
なお、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、前記の実施形態においては、ブレード５が移動ヘッド３とともに水平方向（ＡＢ方向）に移動する構成を示したが、ブレード５を定位置に固定する固定ヘッドに取り付け、基板２０が基台２とともに水平方向に移動する構成としてもよい。
【００５３】
また、ブレード５は、基台２の第２の上面２ｂに対して垂直な方向から掻き方向Ｂの前方側に一定角度傾けて配置した構成を示したが、この構成に限らず、垂直な方向にとしてもよい。
【００５４】
さらに、移動ヘッド３は、スクリューシャフト６が回転することにより水平方向（ＡＢ方向）に移動する構成を示したが、一対の円柱状のロールに巻回されたスチールベルトに移動ヘッド３を設けて、ロールが回転してスチールベルトが移動することにより、移動ヘッド３が水平方向に移動する構成としてもよい。
【００５５】
さらにまた、クリーニング手段３０の圧縮空気供給手段４０に替えて、基台２の第１の上面２ａ表面に、洗浄液が満たされた槽を配設し、この槽内に、ブレード５を浸すことにより、くし歯５ａ同士の間に付着したペーストを洗浄除去するようにしてもよい。
また、前記実施形態においては、クリーニング手段３０が、基台２の上面のうち、掻き方向Ｂの前方側に位置する第１の上面２ａ上に配置された構成を示したが、この構成に限らず、例えば、基台２に、掻き方向Ｂの後端側に前記第１の上面２ａを形成し、この上面２ａ上にクリーニング手段３０を配置した構成であってもよい。
さらに、前記実施形態においては、移動ヘッド３のＡＢ方向の移動を、スクリューシャフト６の回転駆動により行う構成を示したが、これに限らず、例えばタイミングベルトとプーリ−との組合わせにより行う構成であってもよい。
【００５６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係るバリアリブ状物の製造装置によれば、ブレードの下部に付着，蓄積されたペーストを確実に除去することができる。従って、新たにバリアリブ状物を形成する際、形成方向の始端側のみならず、後端側におけるバリアリブ状物の形状の乱れ発生を確実に抑制することができるので、このバリアリブ状物の高精度生産を実現することができる。
【００５７】
また、本発明のバリアリブ状物の製造装置によれば、ペースト回収ケースを備えているので、バリアリブ状物の形成途中において、ブレードの下部に付着，蓄積されるペーストを逐次的に前記ペースト回収ケースにより回収することができる。従って、前記付着，蓄積されるペーストの量を略一定に維持することができるので、バリアリブ状物の高さを確実に高精度に形成することができる。また、形成方向の後端側における前記付着，蓄積されたペーストの量を最小限に抑制することができるので、バリアリブ状物の形状の乱れ発生を最小限に抑制することができる。さらに、ペースト回収ケースにより回収されたペーストを再利用することにより、低コスト生産を実現することができる。
【００５８】
また、本発明のバリアリブ状物の製造装置によれば、払拭部をくし歯の表面に当接させた状態で、このくし歯表面に沿った方向に移動させることにより、この表面に付着，蓄積されたペーストを除去することができる。
【００５９】
また、本発明のバリアリブ状物の製造装置によれば、くし歯表面に付着，蓄積されたペーストのみならず、くし歯同士の間隙に位置したペーストをも確実に除去することができる。さらに、この除去をくし歯と非接触な状態で行うことができるので、このくし歯の摩耗等の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として示したバリアリブ状物の製造装置の要部を示す概略図である。
【図２】図１に示すバリアリブ状物の製造装置において、ブレード及び払拭手段の要部を示す拡大側面図である。
【図３】図１に示すバリアリブ状物の製造装置において、ブレード及びペースト回収ケースの要部を示す拡大断面図である。
【図４】図１に示すバリアリブ状物の製造装置において、ペースト回収ケースを示す斜視図である。
【図５】本発明に係る従来例において、バリアリブ状物の製造装置の一例を示す斜視図である。
【図６】図５に示すバリアリブ状物の製造装置において、基板表面に形成されたペースト膜を掻き、バリアリブ状物を形成する際のブレード及びペーストを示す拡大断面図である。
【図７】図５に示すバリアリブ状物の製造装置において、ブレードが掻き方向における基板の後端に至り、このブレードを基板表面から上方へ離間させた際の状態を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１  バリアリブ状物の製造装置
２  基台
５  ブレード
５ａ  くし歯
１２  ペースト回収ケース
２０  基板
２１  ペースト膜（膜状のペースト）
２２  バリアリブ状物
３０  クリーニング手段
３１  払拭手段
３３  移動駆動手段
３４  進退駆動手段
３５  払拭部
４０  圧縮空気供給手段
Ｂ  掻き方向（移動方向）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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