(57)【要約】【課題】高密度光磁気記録媒体の製造のために、情報トラック間の磁気的結合を切り離す方法を提供する。【解決手段】加熱用光ビームに対して凸形の形状をもつ磁気結合分断部が隣接する情報トラック間に形成されている透光性基板上に光磁気記録層を形成し、加熱用光ビームの強度を、情報トラック上の光磁気記録層の磁気光学的性質を変化させることなく磁気結合分断部上の磁性層に磁気転移を生じさせる値に設定して、光磁気記録媒体に加熱用光ビームを照射する。加熱用光ビームの透光性基板上におけるスポットは、少なくとも３本の情報トラックを横断する幅を持ち、情報トラックの進行方向の長さに対する情報トラックの横断方向の幅の比を１以上の所定値に設定する。【選択図】　　　図６
2004030818.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報トラックの間に凸部が形成された光磁気記録媒体の製造方法であって、
基板の情報トラック間に相当する箇所に凸部を形成した後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凸部を形成し、その後、前記記録膜の凸部が突出する側から加熱用の光ビームを照射して、前記記録膜の凸部が形成された情報トラック間における磁気的結合を弱めることを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項２】
情報トラックの間に凹部が形成された光磁気記録媒体の製造方法であって、
透光性基板の情報トラック間に相当する箇所に凹部を形成した後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凹部を形成し、その後、前記記録膜の凹部の底が突出する前記透光性基板の裏面側から加熱用の光ビームを照射して、前記記録膜の凹部が形成された情報トラック間における磁気的結合を弱めることを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
情報トラックの間に凸部が形成された光磁気記録媒体の製造方法であって、
基板の情報トラック間に相当する箇所に凸部を形成した後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凸部を形成し、その後、反射膜を形成した後に前記記録膜に形成された凸部上の前記反射膜をエッチング除去し、前記記録膜の凸部が突出する側から加熱用の光ビームを照射して、前記記録膜の凸部が形成された情報トラック間における磁気的結合を弱めることを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光磁気記録媒体の製造方法において、
加熱用の光ビームの照射を、基板を線速度一定で回転させながら行なうとともに、光ビームの形状を少なくとも３本以上の情報トラックを横断する幅があり、かつ、情報トラック進行方向の長さよりも情報トラック横断方向の幅が広い形状として行なうことを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の光磁気記録媒体の製造方法において、
光ビームの情報トラック横断方向の幅が、情報トラック進行方向の長さの５倍以上であることを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の光磁気記録媒体の製造方法において、
前記光磁気記録媒体が、磁壁の移動を利用して情報の再生を行なう磁壁移動型光磁気記録媒体であることを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記エッチングがイオン化スパッタエッチングである、請求項３に記載の光磁気記録媒体製造方法。
【請求項８】
前記エッチングがイオンビームエッチングである、請求項３に記載の光磁気記録媒体製造方法。
【請求項９】
情報トラックの間に凸部が形成された光磁気記録媒体であって、
基板の情報トラック間に相当する箇所に凸部を形成した後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凸部が形成され、その後、前記記録膜の凸部が突出する側から加熱用の光ビームが照射されて、前記記録膜の凸部が形成された情報トラック間における磁気的結合が弱められていることを特徴とする光磁気記録媒体。
【請求項１０】
情報トラックの間に凹部が形成された光磁気記録媒体であって、
透光性基板の情報トラック間に相当する箇所に凹部が形成された後に記録膜が形成されることにより該記録膜にも凹部が形成され、その後、前記記録膜の凹部の底が突出する前記透光性基板の裏面側から加熱用の光ビームが照射されて、前記記録膜の凹部が形成された情報トラック間における磁気的結合が弱められていることを特徴とする光磁気記録媒体。
【請求項１１】
情報トラックの間に凸部が形成された光磁気記録媒体であって、
基板の情報トラック間に相当する箇所に凸部が形成された後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凸部が形成され、その後、反射膜が形成された後に前記記録膜に形成された凸部上の前記反射膜がエッチング除去され、前記記録膜の凸部が突出する側から加熱用の光ビームが前記基板照射されて、前記記録膜の凸部が形成された情報トラック間における磁気的結合が弱められていることを特徴とする光磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ビームを用いて情報の記録再生を行う光磁気ディスクの製造方法およびその方法によって製造された光磁気ディスクに関し、特に磁壁移動検出法によって記録の再生を行う光磁気ディスクの製造方法および光磁気ディスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】
書き換え可能な高密度記録方式として、半導体レーザーの熱エネルギーを用いて、磁性薄膜に磁区を書き込んで情報を記録し、磁気光学効果を用いて、この情報を読み出す光磁気記録媒体が注目されている。また、近年、インターネットやデジタルカメラの普及に伴って、この光磁気記録媒体の記録密度を高めて更に大容量の記録媒体とする要求が高まっている。
【０００３】
光磁気記録媒体等の光ディスクの線記録密度は、再生光学系のレーザー波長および対物レンズの開口数に大きく依存する。すなわち、再生光学系のレーザー波長λと対物レンズの開口数ＮＡが決まるとビームウェストの径が決まるので、信号再生時の空間周波数は２ＮＡ／λ程度が記録磁区の検出可能な限界になる。
【０００４】
したがって、従来の光ディスクで高密度化を実現するためには、再生光学系のレーザー波長を短くし、対物レンズの開口数ＮＡを大きくする必要がある。しかし、レーザー波長や対物レンズの開口数の改善にも限度がある。このため、記録媒体の構成や読み取り方法を工夫して、記録密度を改善する技術が開発されている。
【０００５】
このような記録磁区の検出限界を克服する１つの方法として、再生しようとする記録磁区を、再生する瞬間だけ拡大することによって再生信号を増幅する技術が提案された。これが、磁区拡大再生技術である。
【０００６】
特開平６−２９０４９６号（以下、引用技術と記す）には、光スポット外周部にある磁壁をスポット中心に引き延ばす磁区拡大再生法が開示されている。この方法は、磁壁移動検出法と呼ばれ、記録マークの境界に存在する磁壁を、光スポットの照射によって生じた温度勾配によって移動させ、拡大された記録磁区を検出することによって高密度な記録信号を再生する磁区拡大再生方式である。
【０００７】
この方法においては、磁壁が移動する温度に記録媒体が加熱された瞬間に（移動層の磁壁をロックしている切断層の温度がキュリー点以上になったとき）、温度勾配によって生じた磁壁駆動力によって低温部から高温部に向かって磁壁を移動させて記録磁区を拡大し、拡大された記録磁区を検出する。したがって、ビームウェストの径よりも遥かに短い磁区長の記録信号を再生することができる。その結果、光の回折限界に全く依存することなく記録信号の再生が可能になる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前掲の引用技術によると、磁壁がトラック上で移動するときにトラック側部の磁壁の生成・消滅を伴わないように、磁性層は情報トラック間で互いに分断（すなわち、磁気的に分離）されていることが望ましい。このような閉じていない磁区（情報トラックに対して横方向に分断された磁壁）を作製する方法として、上記公報には、断面が矩形の深溝をもつ基板を用いる方法と、溝部分をレーザーでアニール照射して磁気的に変質させる方法が開示されている。
【０００９】
しかし、矩形深溝をもつ基板については、成形時の転写性に問題がある。また、アニール処理を採用する場合には、ディスク全面にアニール処理を行うため、処理に時間がかかる。その結果、記録媒体の量産性を考慮した場合には、媒体のコストアップに繋がるという問題がある。
【００１０】
さらに、磁壁移動検出型の光磁気記録媒体に限らず、高密度の光磁気記録媒体及び磁気記録媒体において、トラック密度を向上させていくと、隣接トラック間のクロスライトやクロスイレースの問題で、トラック間の分断は必須の技術となってきている。しかし、現状では媒体の量産性を考慮したトラック間分断技術は確立されていない。
【００１１】
本発明の目的は、従来技術の上記の問題点を解決し、超高密度の磁壁移動検出型の光磁気記録媒体を製造する方法、および、その方法によって製造される光磁気記録媒体を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の光磁気記録媒体の製造方法は、情報トラックの間に凸部が形成された光磁気記録媒体の製造方法であって、
基板の情報トラック間に相当する箇所に凸部を形成した後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凸部を形成し、その後、前記記録膜の凸部が突出する側から加熱用の光ビームを照射して、前記記録膜の凸部が形成された情報トラック間における磁気的結合を弱めることを特徴とする。
【００１３】
本発明の他の形態による光磁気記録媒体の製造方法は、情報トラックの間に凹部が形成された光磁気記録媒体の製造方法であって、
透光性基板の情報トラック間に相当する箇所に凹部を形成した後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凹部を形成し、その後、前記記録膜の凹部の底が突出する前記透光性基板の裏面側から加熱用の光ビームを照射して、前記記録膜の凹部が形成された情報トラック間における磁気的結合を弱めることを特徴とする。
【００１４】
本発明のさらに他の形態による光磁気記録媒体の製造方法は、情報トラックの間に凸部が形成された光磁気記録媒体の製造方法であって、
基板の情報トラック間に相当する箇所に凸部を形成した後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凸部を形成し、その後、反射膜を形成した後に前記記録膜に形成された凸部上の前記反射膜をエッチング除去し、前記記録膜の凸部が突出する側から加熱用の光ビームを照射して、前記記録膜の凸部が形成された情報トラック間における磁気的結合を弱めることを特徴とする。
【００１５】
この場合、加熱用の光ビームの照射を、基板を線速度一定で回転させながら行なうとともに、光ビームの形状を少なくとも３本以上の情報トラックを横断する幅があり、かつ、情報トラック進行方向の長さよりも情報トラック横断方向の幅が広い形状として行なうこととしてもよい。
【００１６】
また、光ビームの情報トラック横断方向の幅が、情報トラック進行方向の長さの５倍以上であるとしてもよい。
【００１７】
また、前記光磁気記録媒体が、磁壁の移動を利用して情報の再生を行なう磁壁移動型光磁気記録媒体であることを特徴とする。
【００１８】
また、前記エッチングがイオン化スパッタエッチングであるとしてもよい。
【００１９】
また、前記エッチングがイオンビームエッチングであるとしてもよい。
【００２０】
本発明の光磁気記録媒体は、情報トラックの間に凸部が形成された光磁気記録媒体であって、
基板の情報トラック間に相当する箇所に凸部を形成した後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凸部が形成され、その後、前記記録膜の凸部が突出する側から加熱用の光ビームが照射されて、前記記録膜の凸部が形成された情報トラック間における磁気的結合が弱められていることを特徴とする。
【００２１】
本発明の他の形態による光磁気記録媒体は、情報トラックの間に凹部が形成された光磁気記録媒体であって、
透光性基板の情報トラック間に相当する箇所に凹部が形成された後に記録膜が形成されることにより該記録膜にも凹部が形成され、その後、前記記録膜の凹部の底が突出する前記透光性基板の裏面側から加熱用の光ビームが照射されて、前記記録膜の凹部が形成された情報トラック間における磁気的結合が弱められていることを特徴とする。
【００２２】
本発明のさらに他の形態による光磁気記録媒体は、情報トラックの間に凸部が形成された光磁気記録媒体であって、
基板の情報トラック間に相当する箇所に凸部が形成された後に記録膜を形成することにより該記録膜にも凸部が形成され、その後、反射膜が形成された後に前記記録膜に形成された凸部上の前記反射膜がエッチング除去され、前記記録膜の凸部が突出する側から加熱用の光ビームが前記基板照射されて、前記記録膜の凸部が形成された情報トラック間における磁気的結合が弱められていることを特徴とする。
【００２３】
図３に関連して後述されるように、赤外ビームを透光性基板に照射すると、該光ビームに対して凸形の部分の光吸収は、他の部分に比較して大きい。この性質を利用すると、情報トラック上の光磁気記録層の磁気光学的性質を実質的に変化させることなく磁気結合分断部上の磁性層のみに磁気特性変化を生じさせることができる。
【００２４】
このようにして、隣接した情報トラック上の光磁気記録層間の磁気的結合を切り離すことができる。
【００２５】
次に、成形時の転写性の問題は、磁気結合分断部の、情報トラックに面した側壁を、磁気結合分断部の凸形の先端部に向かって該磁気結合分断部の幅が狭くなるように傾斜させることによって解決する。
【００２６】
次に、処理に時間がかかるという問題は、加熱用光ビームの透光性基板上におけるスポットが、少なくとも３本の情報トラックを横断する幅を持ち、情報トラックの進行方向の長さに対する情報トラックの横断方向の幅の比を１以上の所定値を持つように設定することによって解決される。
【００２７】
すなわち、加熱用光ビームスポットの形を、少なくとも３本以上の情報トラックを横断する幅があり、かつ、情報トラック進行方向の長さよりも情報トラック横断方向の幅が広く設定することにより、３本以上の情報トラック間の複数の磁気結合分断部を一括して加熱して、当該上に形成されている光磁気記録層に磁気転移を起こさせて、複数の情報トラック間の磁気的結合を一括して弱める処理を行うことができる。
【００２８】
さらに、前記の光磁気記録媒体製造方法は、磁壁の移動を利用して情報の再生を行う磁壁移動検出型光磁気記録媒体の製造においては、格別その効果が大きい。
【００２９】
また、磁気結合分断部が、基板の、光磁気記録層が形成される面側から見て凸形に形成されている光磁気記録媒体を製造する場合においては、透光性基板上に光磁気記録層を形成し、その光磁気記録層上に金属反射膜を形成し、その金属反射膜の凸部のみをエッチングにより除去する。そして、少なくとも３本以上の情報トラックを横断する幅があり、かつ、情報トラック進行方向の長さよりも情報トラック横断方向の幅が広い加熱用光ビームを光磁気記録媒体に照射することによって、磁気結合分断部上の磁性層のみに磁気転移を起こさせ、情報トラック間の磁気的結合を弱めることができる。
【００３０】
この方法においては、磁気結合分断部上の反射膜はエッチングにより除去され、情報トラック上の反射膜は残存し、その残存反射膜が加熱用光ビームを反射するので、情報トラック上の光磁気記録層が、その磁気光学的性質を変化させるほど加熱されることが防止される。
【００３１】
また、特に磁気結合分断部が、透光性基板の光磁気記録層側から見て凸形である場合においてこの方法が適用される理由は、磁気結合分断部のエッチングをイオン化スパッタエッチング法やイオンビームエッチング法で行うためである。
【００３２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３３】
図１は本発明の光磁気記録媒体製造方法の一例を説明する図である。光磁気記録媒体１１は、情報記録トラック１２、情報記録トラック間の磁気的結合を分離するための磁気結合分断部として働く凸部１３を備えている。加熱用の光ビーム１４は凸部１３を加熱して隣接する情報トラック１２間を磁気的に分断するために照射される。
【００３４】
図２は図１の光磁気記録媒体のＡ−Ａ断面図である。光磁気記録媒体１１は、ディスク状の透光性基板２１と透光性基板２１上に設けられた光磁気記録層としての記録膜２２とを備えている。
【００３５】
図２に示されているように、光磁気記録媒体１１の記録膜２２が設けてられている側から情報トラックを横断する方向（図２における図面左右方向）に幅広の光ビーム１４を照射すると、光ビーム１４のエネルギーは光ビーム１４が入射する側に突き出た凸部１３で最も強く吸収される。
【００３６】
図３には、光磁気記録媒体１１の記録膜２２が設けてある側から光ビームを照射した場合に光エネルギーが記録膜で吸収される様子をシミュレーションした結果が示されている。同図から分かるように、凸部１３の相対光吸収強度は情報記録トラックにおけるそれと比較して数倍の強度になる。その結果、複数の情報トラック１２と複数の凸部１３に渡って幅広の光ビーム１４を照射したとき、凸部１３の温度は情報トラック１２の温度よりも高くなる。このように温度差が生じることを利用して、凸部１３では温度上昇によって記録膜２２の磁気異方性または磁化が大きく変化する磁気特性変化を生じ、情報トラック１２では磁気異方性および磁化の大きな変化がおきないこととする。
【００３７】
すなわち、情報トラック１２では記録膜の磁気光学的性質の実質的変化が生じないように、光ビーム１４のパワー、および光ビーム１４と光磁気記録媒体１１との相対速度を選ぶことによって、隣接する情報記録トラック１２間の磁気的な結合を実質的に分断することができる。このようにして、凸部１３は、情報記録トラック間を磁気的に分離する磁気結合分断部として機能することができる。
【００３８】
以下に、本発明の光学式情報記録媒体の製造方法の実施例を図面を参照しながら説明する。以下の実施例に用いられる光磁気記録媒体は、上述した特開平６−２９０４９６号公報に開示されている磁壁移動検出方法によって記録および再生される光磁気記録媒体である。
【００３９】
実施例１
直流マグネトロンスパッタリング装置に、ＢドープしたＳｉ、及びＧｄ、Ｔｂ、Ｆｅ、Ｃｏの各ターゲットを取り付け、トラッキング用の案内溝が形成されたディスク状のポリカーボネイトの基板を基板ホルダーに固定した後、１×１０−５Ｐａ以下の高真空になるまでチャンバー内をクライオポンプで真空排気した。基板に形成された情報記録トラック間を分離するための凸部１３は、凸部の高さが５０ｎｍ、凸部の幅が０．１２ミクロン、凸部のピッチが０．５５ミクロン、凸部側壁の傾斜角が約４５度、情報トラック部の幅が０．４３ミクロンの形状のものを用いた。このように、凸部の側壁に傾斜を持たせることによって基板成形時の転写性が改善された。
【００４０】
真空排気をしながら、ＡｒガスとＮ２ガスを０．３Ｐａとなるまでチャンバー内に導入し、基板を回転させながら、光干渉層としてＳｉＮ層を３０ｎｍ成膜させた。引き続き、真空排気をしながら、Ａｒガスを０．３Ｐａとなるまでチャンバー内に導入し、基板を回転させながら、第１の磁性層（メモリ層）としてＧｄＦｅＣｏ層を３０ｎｍ、第２の磁性層（切断層）としてＴｂＦｅ層を１０ｎｍ、第３の磁性層（移動層）としてＴｂＦｅＣｏ層を６０ｎｍ順次成膜させた。これらの磁性層はいずれも希土類−遷移金属非晶質合金膜である。
【００４１】
最後に、上記の光干渉層の成膜と同様の条件で、保護層としてＳｉＮ層を５０ｎｍ成膜させた。各磁性層は、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｆｅ、Ｃｏの各ターゲットに直流パワーを印加してスパッタリング成膜させた。各磁性層の組成は、全て補償組成近傍になるように調整され、かつ、各磁性層のキュリー温度が、第１の磁性層が２３０℃、第２の磁性層が１２０℃、第３の磁性層が２７０℃程度となるように調整した。
【００４２】
次に、この光磁気ディスクを図４に示されているトラック間分断装置に載せて情報トラック間の分断処理を行った。図４は、トラック間分断装置の概略構成図であり、トラック間分断装置は、図示されるように光ヘッド３１、スピンドルモータ３２、送りモータ３３を備えている。
【００４３】
光ヘッド３１は情報トラック間の磁気的結合を分断するための加熱用光ビーム１４を光磁気ディスク１１に照射する。光ヘッド３１は、長円形の光ビームを光磁気ディスク１１の記録膜面上に集光する。その長円形のサイズは、情報トラック横断方向の長さが５０ミクロン、情報トラック進行方向の長さが２ミクロンである。この加熱用光ビーム１４の波長は８５０ｎｍである。スピンドルモータ３２は光磁気ディスク１１を回転させ、送りモータ３３は光磁気ディスク１１を半径方向に移動させる。
【００４４】
光磁気ディスク１１をスピンドルモータ３２によって、加熱用光ビーム１４との相対速度が３ｍ／ｓｅｃとなるように線速度一定（ＣＬＶ：Ｃｏｎｓｔａｎｔ　Ｌｉｎｅａｒ　Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）で回転させながら、加熱用光ビーム１４を照射して情報トラック間磁気的結合の分断処理を行った。このとき加熱用光ビームのパワーは４５０ｍＷに設定され、光磁気ディスク１１上の情報トラックが形成されている全ての部分に加熱用光ビームが略２回照射されるように、送りモータ３３を制御して光磁気ディスク１１を半径方向に移動させた。
【００４５】
上記のようにして、光磁気ディスクの情報トラック間の磁気的結合を分断する処理を行った後、光磁気ディスク１１を、図５に示されている光磁気ディスク記録再生装置に載せ、磁界変調記録方法を用いて０．１ミクロンの繰り返しパターンを記録した。
【００４６】
図５は、光磁気ディスク記録再生装置の概略構成図であり、図示されるように光磁気ディスク記録再生装置は、光ピックアップ４１、スピンドルモータ４２、磁気ヘッド４３を備えている。
【００４７】
光ピックアップ４１は光磁気信号を再生する。スピンドルモータ４２は光磁気ディスク１１を回転させる。磁気ヘッド４３は光磁気ディスクの記録層に記録磁界を印加する。記録再生に用いられた光ビームの波長は６５０ｎｍ、記録パワーは４ｍＷ、記録線速度は３ｍ／ｓｅｃである。この記録したマークを、同じく図５の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓｅｃの線速度、再生パワー２．２ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは３．１ｎｓと良好な値が得られた。
【００４８】
実施例２
基板に磁壁移動検出方法によって記録を再生する光磁気記録膜を成膜した。図６は、この光磁気記録媒体の記録膜の構成を示す図である。基板５１には、情報記録トラック間を分離するための凸部５８が形成されている。凸部の高さが６５ｎｍ、凸部の幅が０．１４ミクロン、凸部のピッチが０．５５ミクロンで凸部側壁の傾斜角が約４５度、情報トラック部の幅が０．４１ミクロンに形成された光磁気記録媒体が用いられた。
【００４９】
記録膜は、実施例１と同様の装置および方法によって、光干渉層５２、第１の磁性層５３、第２の磁性層５４、第３の磁性層５５、保護層５６が成膜された。本実施例の光磁気記録媒体には、この後、さらに反射膜５７として厚さ４０ｎｍのＡｌ０．９Ｃｒ０．１が積層された。イオンビームエッチング装置を用いてこの光磁気記録媒体にＡｒイオンビームを照射し、情報記録トラック間を分離するための凸部５８では反射膜が完全に除去されるまでエッチングを行った。このとき情報トラック部では反射膜が約２０ｎｍ残存していた。イオンビームエッチングでは、イオンビームが膜面に垂直に入射するよりも斜めに入射したほうがエッチング速度が速いので、上記のように凸部５８の反射膜のみを除去することができる。
【００５０】
この光磁気ディスクを図４に示されているトラック間分断装置に載せ、情報トラック間の分断処理を行った。スピンドルモータ３２によって、光磁気ディスクを加熱用光ビーム１４との相対速度が３ｍ／ｓｅｃとなるようにＣＬＶで回転させながら、加熱用光ビーム１４を照射して情報トラック間の磁気結合分断処理を行った。このとき、加熱用光ビームのパワーを５２０ｍＷに設定し、光磁気ディスク上の情報トラックが形成されている全ての部分に加熱用光ビームが略２回照射されるように、送りモータ３３を制御して光磁気ディスク１１を径方向に移動させた。
【００５１】
このようにして情報記録トラック間の磁気的結合を分断する処理を行った後、光磁気ディスクを、図５に示されている光磁気ディスク記録再生装置に載せ、磁界変調記録方法を用いてマーク長０．１ミクロンの繰り返しパターンを記録した。記録再生に用いた光ビームの波長は６５０ｎｍ、記録パワーは５ｍＷ、記録線速度は３ｍ／ｓｅｃである。この記録したマークを、同じく図５の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓｅｃの線速度、再生パワー２．４ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは２．７ｎｓと実施例１よりも更に良好な値が得られた。
【００５２】
本実施例では、図４に示されているトラック間分断装置で情報トラック間の分断処理が行われた光磁気ディスクは、情報記録トラック部には加熱用光ビームを反射する反射膜が残っており、情報記録トラック間を磁気的に分離するための凸部５８は前記反射膜がエッチングによって除去されていた、そのため、分断処理の際に情報記録トラック部と、情報記録トラック間磁気結合とを分離するための凸部５８との温度差が実施例１よりも大きくなり、より一層良好な特性の光磁気ディスクを作製することができた。
【００５３】
実施例３
実施例２と同様に、基板に磁壁移動検出方法によって記録を再生する光磁気記録膜を成膜した。エッチングによって、情報記録トラック間を分離するためのエッチングを行った。このエッチングは凸部５８における反射膜が完全に除去されるまで行われた。このエッチングによって情報トラック部においては反射膜が約１６ｎｍ残存していた。
【００５４】
この光磁気ディスクを図４に示されているトラック間分断装置に載せ、情報トラック間磁気結合の分断処理を行った。光磁気ディスクをスピンドルモータ３２によって、加熱用光ビーム１４との相対速度が３ｍ／ｓｅｃとなるようにＣＬＶで回転させながら、加熱用光ビーム１４を照射して情報トラック間の分断処理を行った。このとき加熱用光ビームのパワーは５００ｍＷに設定された。そして、情報トラックが形成されている光磁気ディスク上の全ての部分に加熱用光ビームが略２回照射されるように、送りモータ３３を制御して光磁気ディスク１１を半径方向に移動させた。
【００５５】
このようにして情報記録トラック間の磁気的結合を分断する処理を行った後、光磁気ディスクを、図５に示されている光磁気ディスク記録再生装置に載せ、磁界変調記録方法を用いてマーク長０．１ミクロンの繰り返しパターンを記録した。記録再生に用いた光ビームの波長は６５０ｎｍ、記録パワーは４．５ｍＷ、記録線速度は３ｍ／ｓｅｃである。この記録したマークを、同じく図５の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓｅｃの線速度、再生パワー２．２ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは２．８ｎｓと良好な値が得られた。
【００５６】
実施例４
基板に、磁壁移動検出方法によって記録を再生する光磁気記録膜を成膜した。この光磁気記録媒体には、情報記録トラック間を分離するための凸部５８の高さが４０ｎｍ、凸部５８の幅が０．１４ミクロン、凸部のピッチが０．５４ミクロン、凸部５８の側壁の傾斜角が約４０度、情報トラック部の幅が０．４０ミクロンに成形された基板が用いられ、他は実施例２と同様に作製された。
【００５７】
イオンビームエッチング装置を用いて、この光磁気記録媒体にＡｒイオンビームを照射し、凸部５８上の反射膜が完全に除去されるまでエッチングを行った。このとき情報トラック部では反射膜が約１５ｎｍ残存していた。
【００５８】
この光磁気ディスクを、図４に示されているトラック間分断装置に載せ、情報トラック間の分断処理を行った。光磁気ディスクをスピンドルモータ３２によって、加熱用光ビーム１４との相対速度が５ｍ／ｓｅｃになるようにＣＬＶで回転させながら、加熱用光ビーム１４を照射して情報トラック間の分断処理を行った。このとき加熱用光ビームのパワーは５２０ｍＷに設定された。光磁気ディスク上の情報トラックが形成されている全ての部分に加熱用光ビームが略２回照射されるように送りモータ３３を制御して光磁気ディスク１１を径方向に移動させた。
【００５９】
このようにして情報記録トラック間の磁気的結合を分断する処理を行った後、光磁気ディスクを、図５に示されている光磁気ディスク記録再生装置に載せ、磁界変調記録方法を用いてマーク長０．１ミクロンの繰り返しパターンを記録した。
【００６０】
記録再生に用いた光ビームの波長は６５０ｎｍ、記録パワーは５ｍＷ、記録線速度は３ｍ／ｓｅｃである。この記録したマークを、同じく図５の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓｅｃの線速度、再生パワー２．４ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは２．７ｎｓと良好な値が得られた。
【００６１】
実施例５
実施例１と同様に光磁気記録媒体を作製し、加熱用光ビーム１４のスポット形状を情報トラック横断方向が１０ミクロン、情報トラック進行方向が２ミクロンとした以外は、実施例１で用いられたものと同様のトラック間分断装置に光磁気記録媒体を載せて情報トラック間の分断処理を行った。トラック間分断装置の加熱用光ビーム１４の波長は８５０ｎｍである。光磁気ディスク１１をスピンドルモータ３２によって、加熱用光ビーム１４との相対速度が３ｍ／ｓｅｃとなるようにＣＬＶで回転させながら、加熱用光ビーム１４を照射して情報トラック間の分断処理を行った。このとき加熱用光ビームのパワーは１２０ｍＷに設定された。光磁気ディスク上の情報トラックが形成されている全ての部分に加熱用光ビームが略２回照射されるように、送りモータ３３を制御して光磁気ディスク１１を径方向に移動させた。
【００６２】
このようにして、情報トラック間の磁気的結合を分断する処理を行った後、光磁気ディスクを、図５に示されている光磁気ディスク記録再生装置に載せ、磁界変調記録方法を用いて０．１ミクロンの繰り返しパターンを記録した。記録再生に用いた光ビームの波長は６５０ｎｍ、記録パワーは４ｍＷ、記録線速度は３ｍ／ｓｅｃである。この記録したマークを、同じく図５の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓｅｃの線速度、再生パワー２．２ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは３．０ｎｓと良好な値が得られた。
【００６３】
比較例
加熱用光ビーム１４のスポット形状の影響を検査するために、次の実験を行った。
【００６４】
加熱用光ビーム１４のスポット形状を、情報トラック横断方向が１０ミクロン、情報トラック進行方向が５ミクロンとし、それ以外は実施例５と同様の手続きで実験を行った。情報トラック間の分断処理には、２５０ｍＷと実施例５の２倍以上のパワーが必要であった。さらに、図５に示されている光磁気ディスク記録再生装置を用いて磁界変調記録方法で０．１ミクロンの繰り返しパターンを記録し、この記録したマークを、同じく図５に示した光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓｅｃの線速度、再生パワー２．２ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは８．０ｎｓになり、好ましくない結果が得られた。
【００６５】
実施例６
図７は本発明の第２の実施形態を説明する図である。実施例６は、本実施形態の実施例である。
【００６６】
情報記録トラック間を分離するための磁気結合分断部として凹部７３が形成された基板７１を用い、実施例１と同様に光磁気記録層７２を成膜して光磁気記録媒体を作製した。この場合には、後述するように、透光性基板の下方から加熱用光ビーム１４を照射するので、凹部７３は、加熱用光ビームを照射方向から見ると凸部になる。
【００６７】
透光性基板７１は、凹部の深さが５０ｎｍ、凹部の幅が０．１６ミクロン、凹部のピッチが０．６０ミクロン、凹部側壁の傾斜角が約４０度、情報トラック部の幅が０．４４ミクロンに成形されたものが用いられた。この光磁気記録媒体をトラック間分断装置に載せ、基板越しに（この実施例では下方から）加熱用光ビーム１４を照射して、情報トラック間の分断処理を行った。加熱用光ビーム１４のスポット形状を情報トラック横断方向が１０ミクロン、情報トラック進行方向が２ミクロンとした。トラック間分断装置の加熱用光ビーム１４の波長は８５０ｎｍである。光磁気ディスクを加熱用光ビーム１４との相対速度が３ｍ／ｓｅｃとなるようにＣＬＶで回転させながら、加熱用光ビーム１４を照射して情報トラック間の分断処理を行った。このとき加熱用光ビームのパワーは１４０ｍＷに設定された。光磁気ディスク上の情報トラックが形成されている全ての部分に加熱用光ビームが略２回照射されるように送りモータ３３を制御して光磁気ディスク１１を半径方向に移動させた。
【００６８】
このようにして、情報トラック間の磁気的結合を分断する処理を行った後、光磁気ディスクを、図５に示されている光磁気ディスク記録再生装置に載せ、磁界変調記録方法を用いて０．１ミクロンの繰り返しパターンを記録した。記録再生に用いた光ビームの波長は６５０ｎｍ、記録パワーは４ｍＷ、記録線速度は３ｍ／ｓｅｃである。この記録したマークを、同じく図５の光磁気ディスク記録再生装置で、３ｍ／ｓｅｃの線速度、再生パワー２．２ｍＷで再生したところ、再生信号のマーク幅ジッタは３．２ｎｓと良好な値が得られた。
【００６９】
【発明の効果】
本発明は以上説明したように構成されているので、以下に記載する効果を奏する。
【００７０】
１）加熱用光ビームに対して凸形の形状をもつ磁気結合分断部を、透光性基板上の、隣接する情報トラック間に形成し、加熱用光ビームの強度を、情報トラック上の光磁気記録層の磁気光学的性質を変化させることなく磁気結合分断部上の磁性層に磁気転移を生じさせる値に設定することによって、情報トラック間の磁気的結合を確実に遮断することができる。
【００７１】
２）加熱用光ビームの透光性基板上におけるスポットを、少なくとも３本の情報トラックを横断する幅を持ち、情報トラックの進行方向の長さに対する情報トラックの横断方向の幅の比を１以上の所定値に設定することによって、隣接情報トラックの光磁気記録層間の磁気的結合を分断する処理を、複数のトラックにわたって一括して行うことができるので、生産性良くトラック間の磁気結合分断処理を行うことができる。
【００７２】
３）磁気結合分断部の、情報トラックに面した側壁を、磁気結合分断部の凸形の先端部に向かって該磁気結合分断部の幅が狭くなるように傾斜させることによって、成形時の転写性を改善することができる。
【００７３】
４）本発明を用いることによって、特に磁壁移動検出方式の光磁気記録媒体において、信号品質の良い媒体を安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光磁気記録媒体製造方法の一例を示す図である。
【図２】第１図Ａ−Ａ断面を示す図である。
【図３】光磁気記録媒体の記録膜が形成されている側から光ビームを照射した場合に光エネルギーが記録膜で吸収される様子をシミュレーションした結果を示す図である。
【図４】本発明の実施例に係るトラック間分断装置の模式図である。
【図５】本発明の実施例に係る光磁気ディスク記録再生装置の模式図である。
【図６】磁壁移動検出方法によって記録を再生する光磁気記録媒体の記録膜の構成を示す図である
【図７】本発明の第２の実施形態を説明するための図である。
【符号の説明】
１１　光磁気記録媒体
１２　情報記録トラック
１３　凸部（磁気結合分断部）
１４　加熱用光ビーム
２１　透光性基板
２２　光磁気記録層
３１　光ヘッド
３２　スピンドルモータ
３３　送りモータ
４１　光ピックアップ
４２　スピンドルモータ
４３　磁気ヘッド
５１　基板
５２　光干渉層
５３　第１の磁性層（メモリ層）
５４　第２の磁性層（切断層）
５５　第３の磁性層（移動層）
５６　保護層
５７　反射膜
５８　凸部（磁気結合分断部）
７１　透光性基板
７２　光磁気記録層
７３　凹部（磁気結合分断部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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