(57)【要約】【課題】ＩＣテスタにおける測定結果の信頼性を向上させ、ＴＣＰ用ハンドラにおける誤動作をさらに防止し、光源の消灯を検出する。【解決手段】光源１１，１２からＴＣＰテープＹを透過した透過光の画像を画像処理することによってＴＣＰテープの加工状態を検証するＴＣＰ用ハンドラであって、画像処理によってＴＣＰテープＹのエッジＥの有無を検出し、エッジＥが検出されなかった場合は、光源１１，１２の異常を示す警告を警告部Ｋから発する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源（１１，１２）からＴＣＰテープ（Ｙ）を透過した透過光の画像を画像処理することによってＴＣＰテープの加工状態を検証するＴＣＰ用ハンドラであって、
画像処理によってＴＣＰテープ（Ｙ）のエッジ（Ｅ）の有無を検出し、エッジ（Ｅ）が検出されなかった場合は、光源（１１，１２）の異常を示す警告を警告部（Ｋ）から発することを特徴とするＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項２】
エッジ（Ｅ）が検出された場合には、画像においてＴＣＰテープ（Ｙ）が存在する領域（Ａ）と存在しない領域（Ｂ）との明度差を画像処理によってさらに検出し、当該明度差が所定のしきい値以下の場合は、信頼性のあるＴＣＰテープの検証ができないことを示す警告を警告部（Ｋ）から発することを特徴とする請求項１記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項３】
警告部（Ｋ）は、警告を画面上に表示することを特徴とする請求項１または２記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項４】
警告部（Ｋ）は、警告を音として発することを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項５】
ＴＣＰテープ（Ｙ）の通常搬送開始後に警告が発せられた場合には、ＴＣＰテープ（Ｙ）の搬送を停止することを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＴＣＰ用ハンドラに関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のようにＴＣＰ（ｔａｐｅ　ｃａｒｒｉｅｒ　ｐａｃｋａｇｅ）は、ＴＡＢ（ｔａｐｅ　ａｕｔｏｍａｔ　ｂｏｎｄｉｎｇ）技術を用いることによりフィルム上にＩＣチップを実装した集積回路の１パッケージ形態であり、実際にプリント基板に搭載される前の搬送段階では、複数連接されたテープ形態（ＴＣＰテープ）となっている。このようなＴＣＰテープは、専用のＴＣＰ用ハンドラ（ＴＡＢハンドラとも言う。）によって長手方向に順次間欠送りされると共に、間欠的な停止時において各ＴＣＰ内に形成された各テストパッドが半導体集積回路試験装置（通称、ＩＣテスタ）の測定ピンに順次押圧接続されることによって機能試験が行われる。また、上記ＴＣＰ用ハンドラには、ＩＣテスタによる試験結果に応じて各ＴＣＰを分類するパンチユニットが設けられている、このパンチユニットは、ＩＣテスタによって不良品と判定されたＴＣＰ（不良ＴＣＰ）のＩＣチップをパンチングによりＴＣＰテープから除去したり、あるいは良品判定されたＴＣＰ（良品ＴＣＰ）にパンチングにより良品レベルを示す分類孔を形成するものである。
【０００３】
さらに、従来のＴＣＰ用ハンドラは、上記パンチユニットを通過した各ＴＣＰの画像を画像処理することによって、検査結果に基づいて上記分類孔が各ＴＣＰに正常に形成されているか、あるいはＩＣチップが正常に除去されているか等を検証している。この検証は、光源から各ＴＣＰに照射された照明光の透過光に基づく画像（ＴＣＰ画像）の明度差を検出することによって、各ＴＣＰに分類孔が正常に形成されているか等を検証するものである。特許第２９９８５１５号公報には、このような画像処理を用いた検証技術が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のＴＣＰ用ハンドラでは、何らかの異常によって光源が消灯してしまった場合に、この異常を検出することなく上記検証を行っている。しかしながら、照明が消灯した状態では、ＴＣＰ画像のコントラストが大幅に低下するため、ＴＣＰ画像の明度差に基づいて分類孔等を信頼性良く検出することはできない。これに加え、近年のＴＣＰテープは、薄型化傾向にあり、薄いＴＣＰテープのＴＣＰ画像の場合には、やはりコントラストが低いので分類孔を認識することができない。従来のＴＣＰ用ハンドラは、ＴＣＰテープがあると認識している限り搬送を続けてしまうため、検出結果の信頼性が薄れる、すなわちＩＣテスタの測定結果の信頼性が薄れるという問題点があった。
【０００５】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、以下の点を目的とするものである。
（１）信頼性のあるＴＣＰの試験を実現する。
（２）画像処理用の光源の消灯を検出する。
（３）画像処理が正常に機能するか否かを検出する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、第１の手段として、光源（１１，１２）からＴＣＰテープ（Ｙ）を透過した透過光の画像を画像処理することによってＴＣＰテープの加工状態を検証するＴＣＰ用ハンドラであって、画像処理によってＴＣＰテープ（Ｙ）のエッジ（Ｅ）の有無を検出し、エッジ（Ｅ）が検出されなかった場合は、光源（１１，１２）の異常を示す警告を警告部（Ｋ）から発するという構成を採用する。
【０００７】
第２の手段として、上記第１の手段において、エッジ（Ｅ）が検出された場合には、画像においてＴＣＰテープ（Ｙ）が存在する領域（Ａ）と存在しない領域（Ｂ）との明度差を画像処理によってさらに検出し、当該明度差が所定のしきい値以下の場合は、信頼性のあるＴＣＰテープの検証ができないことを示す警告を警告部（Ｋ）から発するという構成を採用する。
【０００８】
第３の手段として、上記第１または第２の手段において、警告部（Ｋ）は警告を画面上に表示するという構成を採用する。
【０００９】
第４の手段として、上記第１〜第３いずれかの手段において、警告部（Ｋ）は警告を音として発するという構成を採用する。
【００１０】
第５の手段として、上記第１〜第４いずれかの手段において、ＴＣＰテープ（Ｙ）の通常搬送開始後に警告が発せられた場合には、ＴＣＰテープ（Ｙ）の搬送を停止するという構成を採用する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わるＴＣＰ用ハンドラの一実施形態について説明する。
【００１２】
図１は、本実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの要部構成図である。この図において、符号ＹはＴＣＰテープ、１１及び１２は光源、２は測定前撮像部、３は測定後撮像部、４は画像処理部、５は制御部、６は表示部、７は警告音発生部である。なお、上記表示部６及び警告音発生部７は、警告部Ｋを構成している。
【００１３】
ＴＣＰテープＹは、複数のＴＣＰが連設された帯状体であり、図２に示すように、エッジＥに沿って複数のスプロケットホールＹ１が等間隔で設けられている。また、ＴＣＰテープＹ上の各ＴＣＰには被測定デバイスＸが実装されている。このようなＴＣＰテープＹは、矢印方向に順次間欠移送される。光源１１，１２は、ＴＣＰテープＹに下方から照明光を照射するものであり、一方の光源１１は、ＴＣＰテープＹの搬送路上においてＩＣテスタによる測定前のＴＣＰが存在する位置に配置され、他方の光源１２は、測定後のＴＣＰが存在する位置に配置されている。これら光源１１，１２は、例えば蛍光灯やＬＥＤ（発光ダイオード）からなる面発光光源であり、ＴＣＰをムラなく均一な光度で照明する。
【００１４】
測定前撮像部２は、ＴＣＰテープＹの透過光に基づく画像をＴＣＰテープＹの上方から撮像して画像処理部４に出力するものであり、ＴＣＰテープＹを挟んで上記光源１１と対向するように設置されている。測定後撮像部３は、同様にＴＣＰテープＹの透過光に基づく画像をＴＣＰテープＹの上方から撮像して画像処理部４に出力するものであり、ＴＣＰテープＹを挟んで上記光源１２と対向するように設置されている。すなわち、測定前撮像部２は、測定前のＴＣＰテープＹの画像（測定前画像）を撮像するものであり、一方、測定後撮像部３は、測定後のＴＣＰテープＹの画像（測定後画像）を撮像するものである。
【００１５】
画像処理部４は、上記測定前画像及び測定後画像に基づいて、ＴＣＰテープＹのエッジＥの有無や画像処理が正常に機能するか否か等を検出し、当該検出の結果を処理信号として制御部５に出力するものである。この画像処理部４による画像処理の詳細については後述する。
【００１６】
制御部５は、上記処理信号に基づいて光源１１，１２の消灯や画像処理異常を判定し、当該判定結果に応じた警告信号を表示部６及び警告音発生部７に出力するものである。表示部６は、上記警告信号に基づく警告画像を画面上に表示するものであり、例えば液晶ディスプレである。警告音発生部７は、上記警告信号に基づいて警告音を発生するものであり、例えばスピーカである。
【００１７】
続いて、このように構成された本ＴＣＰ用ハンドラの要部動作について、説明する。
【００１８】
周知のように、ＴＣＰ用ハンドラは、供給リールに巻回されたＴＣＰテープＹを順次間欠搬送して収容リールに巻き取る動作を行うものであり、準備作業として供給リールから引き出したＴＣＰテープＹを搬送系を構成する各部に掛け回す作業が作業者によって行われる。そして、この掛け回し作業が終了すると、始動スイッチが操作されて通常の搬送動作である収容リール側への間欠移送が開始される。ＴＣＰテープＹが一時停止する度に、搬送系の途中部位において各ＴＣＰがＩＣテスタに接続されて試験される。
【００１９】
上記始動スイッチが操作されると、通常の搬送動作を開始する前処理として、画像処理部４は、測定前画像及び測定後画像に基づいてＴＣＰテープＹのエッジＥの有無を検出する。すなわち、画像処理部４は、測定前画像及び測定後画像の所定位置に図３に示すような検査領域Ｒ１を設定し、この検査領域Ｒ１内に左端から右端に亘る明度の境界線が検出されるか否かによってエッジＥの有無を検出する。そして、画像処理部４は、測定前画像及び測定後画像の各々についてエッジＥの有無を処理信号として制御部５に出力する。
【００２０】
制御部５は、測定前画像及び測定後画像の両方についてエッジＥが存在する場合は、光源１１及び光源１２が正常であると判断するが、測定前画像あるいは測定後画像の何れか及び両方においてエッジＥが存在しない場合には、エッジＥが存在しない方の画像（測定前画像あるいは／及び測定後画像）に各々対応する光源１１あるいは／及び光源１２が消灯していると判断する。そして、このような光源１１あるいは／及び光源１２の消灯を判断すると、当該光源１１あるいは／及び光源１２が消灯していることを示す警告信号を表示部６及び警告音発生部７に出力する。
【００２１】
この結果、表示部６は、光源１１あるいは／及び光源１２が消灯していることを示す文字情報を液晶ディスプレ上に点滅表示する一方、警告音発生部７は、上記警告信号に基づいて警告音を発生する。
【００２２】
さらに、上記画像処理部４は、測定前画像及び測定後画像の両方についてエッジＥを検出した場合には、測定後画像のみについて、図４に示すようにＴＣＰテープＹが存在する領域Ａと存在しない領域Ｂとの明度差を検出する。そして、この明度差を所定のしきい値と比較し、この比較結果を処理信号として制御部５に出力する。ここで、上記しきい値は、画像処理部４の明度差の識別限界を示すものである。
【００２３】
制御部５は、領域Ａと領域Ｂとの明度差が所定のしきい値以上であることを示す処理信号が入力された場合は、画像処理部４において確実に分類孔が検出できる、つまり分類孔の形成について信頼性のある検証ができると判断し、上記明度差が所定のしきい値以下であることを示す処理信号が入力された場合には、信頼性のある検証ができないと判断する。すなわち、例えばＴＣＰテープＹが薄いために測定後画像のコントラストが低い場合には、上記明度差が所定のしきい値以下となるため、信頼性のある検証ができないという判断が下る。
【００２４】
制御部５は、上記明度差が所定のしきい値以上である場合には、ＩＣチップの有無や分類孔を正常に検証できないことを示す警告信号を表示部６に出力し、明度差が所定のしきい値以下である場合には、このような検証を正常に行うことができることを示す正常信号を表示部６に出力する。また、制御部５は、警告信号を表示部６に出力した場合には、本ＴＣＰ用ハンドラの運転準備が完了していないので、本ＴＣＰ用ハンドラを通常の搬送状態に移行させない。
【００２５】
表示部６は、上記警告信号が入力された場合は、ＴＣＰテープＹの検証不能であることを示す文字情報を液晶ディスプレ上に点滅表示する。また、警告音発生部７は、上記警告信号に基づいて警告音を発生する。また、表示部６は、正常信号が入力された場合には、運転準備が完了したことを示す文字情報を液晶ディスプレ上に表示する。
【００２６】
なお、制御部５は、正常信号を表示部６に出力した場合には、本ＴＣＰ用ハンドラを通常の搬送状態に移行させるが、画像処理部４は、この通常搬送状態においても、測定前画像及び測定後画像の両方についてエッジＥの存在確認処理を定期的に行う。そして、エッジＥの存在が確認されない事態が生じると、この旨を示す処理信号を制御部５に出力する。
【００２７】
そして、この場合、制御部５は、ＴＣＰテープＹの搬送開始後において光源１１あるいは／及び光源１２が消灯したものと判断して、警告信号を表示部６及び警告音発生部７に出力すると共に、ＴＣＰテープＹの搬送を停止させる。表示部６は、上記警告信号に基づいて、光源１１あるいは／及び光源１２の消灯を示す文字情報を液晶ディスプレ上に表示し、警告音発生部７は、上記警告信号に基づいて警告音を発生する。また、本ＴＣＰ用ハンドラは、ＴＣＰテープＹの搬送を停止して待機状態となる。
【００２８】
なお、本実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラは、上記実施形態において説明した検証のみを行うものではなく、特許第２９９８５１５号公報に開示されたような、測定前撮像部２によってＴＣＰの測定可否を判断し、測定後撮像部３によって測定前撮像部２の画像とパンチユニットの打ち抜き結果を比較照合する、すなわち、ＩＣテスタの測定結果に基づいた打ち抜き加工が各ＴＣＰに施されているかの検証をも行うものである。
【００２９】
これに加え、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態において、ＴＣＰテープＹの搬送開始前において、測定後画像のみの明度差を検出した。しかしながら、測定前画像についても明度差を検出するようにしても良い。測定前画像においても明度差を検出することによって、より確実に信頼性のある検証を行い得るか否かを判断することが可能となる。
【００３０】
（２）上記実施形態において、光源１１あるいは／及び光源１２が正常であるか否か、また信頼性のある検証を行い得るか否かを制御部５によって判断した。しかしながら、光源１１あるいは／及び光源１２が正常であるか否か、また信頼性のある検証を行い得るか否かを画像処理部４によって判断しても良い。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光源からＴＣＰテープを透過した透過光の画像を画像処理することによってＴＣＰテープの加工状態を検証するＴＣＰ用ハンドラであって、画像処理によってＴＣＰテープのエッジの有無を検出し、エッジが検出されなかった場合は、光源の異常を示す警告を警告部から発する。すなわち、光源が異常である場合にはエッジが検出されないので、ＩＣテスタにおける測定結果の信頼性を向上させ、ＴＣＰ用ハンドラにおける誤動作をさらに防止し、光源の異常を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの要部の構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラによって搬送されるＴＣＰテープＹの正面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの動作を説明するための画像である。
【図４】本発明の一実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの動作を説明するための画像である。
【符号の説明】
１１，１２……光源
２……測定前撮像部（撮像部）
３……測定後撮像部（撮像部）
４……画像処理部
５……制御部
６……表示部（警告部Ｋ）
７……警告音発生部（警告部Ｋ）
Ｘ……被測定デバイス
Ｙ……ＴＣＰテープ
Ｙ１……スプロケットホール
Ｅ……エッジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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