(57)【要約】【課題】本発明はトラック内に同位相のウォブリング領域と異位相のウォブリング領域が共存するフレームウォブリング方式の光記録媒体を製造するのに適した光記録媒体の製造方法に関する。【解決手段】本発明による光記録媒体の製造方法は、第１ウォブリング領域に対しては該当の領域の識別情報がプリフォーマットされるようにするウォブリング信号を与える段階と、第２ウォブリング領域に対しては隣接トラックに位置した第１ウォブリング領域の識別情報がプリフォーマットされるようにウォブリング信号を与える段階と、２つのウォブリング信号が交番的に結合された信号によって露光する段階とを含む。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラック両辺が同一の位相でウォブルされた第１ウォブリング領域と、トラック両辺が異位相にウォブルされた第２ウォブリング領域とが交番する光記録媒体において、
前記第１ウォブリング領域に対しては、その領域の識別情報をプリフォマットするためのウォブリング信号が供給され、
前記第２ウォブリング領域に対しては、その領域の隣接トラックに位置する第１ウォブリング領域の識別情報をプリフォマットするためのウォブリング信号が供給される
ことを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
前記記録媒体は、ランドの信号トラックとグルーブの信号トラックとが１回転毎に交番されるように形成されることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項３】
前記光記録媒体は、ランドの信号トラックとグルーブの信号トラックとが内周から外周まで連続的な螺旋型で形成されることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にトラック内に同位相のウォブリング領域と異位相のウォブリング領域が共存するフレームウォブリング方式の光記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、ビデオ及びオーディオ情報などのような各種の情報を記録する光記録媒体として光記録媒体や光磁気記録媒体などが開発され、実用に供されている。光記録媒体は、ＣＤ−ＲＯＭ及びＤＶＤ−ＲＯＭなどの再生専用ディスクとＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲなどのＷＯＲＭ（Write Once Read Memory）タイプ、ＣＤ−ＲＷ及びＤＶＤ−ＲＡＭなどの記録可能なディスクに大別される。
【０００３】
通常の記録の可能なディスクでは所望の位置に情報を記録することができるようにアドレス情報などを含む識別情報が前もって記録されている。ＣＤ−Ｒなどの光ディスクには図１で示すようにランドの信号トラック（１０）とグルーブの信号トラック（１２）が形成されていてグルーブの信号トラック（１２）の両面にアドレス情報などを含む識別情報を記録している。このような識別情報は周波数の変調された搬送波信号によってグルーブの信号トラック（１２）の両側にウォブルされる形態でプリフォマットされている。このようにウォブルされたグルーブの信号トラック（１２）から検出されるウォブリング信号によってアドレス情報が読み取られて、このアドレス情報に基づいてディスク上の所望の位置に情報を記録することができる。しかし、このような方式のディスクでは情報はグルーブの信号トラック（１２）だけに記録されるので情報の記録容量が制限される。
【０００４】
ランドとグルーブの信号トラック双方に情報を記録できるディスクとして図２に示されたようなディスク（例えば、ＤＶＤ−ＲＡＭ）が知られている。このディスクはアドレス情報などを含む識別情報がプリピット列（１４）の形態で記録されたヘッド領域と同位相でウォブルされたランドとグルーブの信号トラック（１０、１２）を記録領域としている。このような方式のディスクではプリピット列（１４）とされたヘッドフィールドには情報を記録することができないので同様に記録容量が制限される。
【０００５】
本出願人によって既に出願された韓国特許出願９８−３２９７７号（１９９８、８、１４）では図３のようにランドとグルーブの信号トラック（２０、２２）に所定の区間の同位相のウォブリング領域（２４Ａ）と異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）を交互に配置した光記録媒体を提案したことがある。フレームウォブリング方式の光記録媒体は、同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報を記録することによって結果的に異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）にも異位相の識別情報が記録される。すなわち、同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報を記録することによって同位相のウォブリング領域（２４Ａ）と異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）の双方に情報を記録することができる。このようなフレームウォブリング方式の光記録媒体は、ランドとグルーブの信号トラック（２０、２２）の双方に情報を記録することができ、別途の識別情報の領域無しに同位相のウォブリング領域（２４Ａ）上の識別情報によって、同位相のウォブリング領域（２４Ａ）と異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）双方に情報を記録することができるので記録容量が大きくなる。しかし、フレームウォブリング方式の光記録媒体は同位相のウォブリング領域（２４Ａ）と異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）が交番されるトラック構造を有するので従来の光記録媒体の製造方法と同一の方法によっては製造しにくい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、本発明の目的はフレームウォブリング方式の光記録媒体を製造する新規な製造方法を提供することである。
本発明の他の目的はフレームウォブリング方式の光記録媒体を複製するためのマスタディスクを露光するのに適合した露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による光記録媒体の製造方法は、第１ウォブリング領域に対してはその領域の識別情報をプリフォマットするウォブリング信号を加える段階と、第２ウォブリング領域に対しても隣接トラックに位置した第１ウォブリング領域の識別情報をプリフォマットするウォブリング信号を加える段階と、二つのウォブリング信号が交番的に結合された信号によって露光する段階を含む。
【０００８】
本発明による露光装置は、第１ウォブリング領域に対してはその領域の識別情報をプリフォマットするウォブリング信号を発生させると共に、第２ウォブリング領域に対しても隣接トラックに位置した第１ウォブリング領域の識別情報をプリフォマットするウォブリング信号を発生するウォブリング信号発生手段と、二つのウォブリング信号が交番的に結合された信号に応答して光記録媒体を複製するためにマスタディスクを露光する露光手段とを具備する。
【０００９】
本発明による光記録媒体の製造方法は、グルーブの信号トラックの両辺でそのグルーブの信号トラックと、これに隣接したランドの信号トラックで交番する同位相のウォブリング領域の識別情報を含むウォブリング信号によってマスタディスク上に同位相のウォブリング領域に異位相の識別情報をプリフォマットして異位相のウォブリング領域の両辺に異位相の識別情報をプリフォマットする。
本発明による露光装置は、グルーブの信号トラックに位置した同位相のウォブリング領域の識別情報を含むウォブリング信号とそのグルーブの信号トラックに隣接したランドの信号トラックに位置した同位相のウォブリング領域の識別情報を含むウォブリング信号が結合されたウォブリング信号が入力される。
【発明の効果】
【００１０】
上述したところのように、本発明による光記録媒体の製造方法は、グルーブの信号トラック（２２）の両辺で該当のグルーブの信号トラック（２２）とこれに隣接したランドの信号トラック（２０）に交番する同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）を含むウォブリング信号によってマスタディスクのグルーブの信号トラック（２２）上に同位相識別情報（ＰＩＤ）をプリフォマットする。従って、本発明による光記録媒体の製造方法は、信号トラック内に同位相のウォブリング領域と異位相のウォブリング領域が交番されるフレームウォブリング方式の光記録媒体を製造するのに適している。
本発明による露光装置は、グルーブの信号トラック（２２）に位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）を含むウォブリング信号と該当のグルーブの信号トラック（２２）に隣接したランドの信号トラック（２０）に位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）を含むウォブリング信号が結合されたウォブリング信号が入力される。従って、本発明による露光装置によると、グルーブの信号トラック（２２）とこれに隣接したランドの信号トラック（２０）のそれぞれに位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）を含むウォブリング信号によって制御され、グルーブの信号トラック（２２）の両側辺の上に同位相のウォブリング領域の識別情報（ＰＩＤ）をプリフォマットすることでフレームウォブリング方式の光記録媒体を複製するためのマスタディスクを露光するのに適している。
【００１１】
以上説明した内容を通して当業者であれば本発明の技術思想を逸脱しない範囲で多様な変更及び修正が可能であることが分かる。従って、本発明の技術的な範囲は明細書の詳細な説明に記載された内容に限らず特許請求の範囲によって定めなければならない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図４〜図１２を参照して本発明の好ましい実施形態に対して説明する。
図４を参照すると、本発明による光記録媒体の製造方法は、マスタディスクを製作するための露光及び現像工程（Ｓ１及びＳ２段階）を含む。露光工程（Ｓ１段階）は基板の全面に成膜されたフォトレジスト膜をレーザビームに曝す過程である。この時、図３のようなフレームウォブリング方式の光記録媒体は、ランドの信号トラック（２０）またはグルーブの信号トラック（２２）の向かい合っている両側面の位相は同位相のウォブリング領域（２４Ａ）では同一あり、異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）では互いに異なるべきである。このために、露光時にレーザビームは、同一のグルーブの信号トラック（２２）の両側でそれぞれ制御される。このような露光方法の詳細な説明は後述する。現像工程（Ｓ２段階）で露光された部分に該当するフォトレジスト膜が除去されるとフレームウォブリング方式の光記録媒体の複製用のマスタディスクが形成される。
【００１３】
さらに、本発明による光記録媒体の製造方法は、さらにスタンパー（Stamper）の製作工程（Ｓ３段階）、基板物質の注入工程（Ｓ４段階）、記録膜と反射膜の成膜工程（Ｓ５段階）及び保護膜の成膜工程（Ｓ６段階）を含む。スタンパーはマスタディスクに形成されたトラックを反転・転写して作成される。このスタンパーは溶解された基板物質が注入される成型器の空洞内に設置される。スタンパーが設置された成型器には溶融された基板物質が注入されて成膜される。このように成形されたディスク基板上に記録膜と反射膜が形成される。最後に、反射膜の上に保護層が成膜されるとフレームウォブリング方式の光記録媒体の複製が終わる。
【００１４】
図５は本発明の第１実施形態による光記録媒体の露光装置を表す。
図５を参照すると、本発明による光記録媒体の露光装置は、レーザ共振器（４２）と、フォトレジスト膜（１００Ａ）が成膜された基板（１００）を回転させるためのスピンドルモータ（５０）を備え、さらに、基板（１００）とレーザ共振器（４２）の間には直列に配置されるビーム拡大器（４４）、反射ミラー（４８）、光偏向器（４６）及び対物レンズ（５２）を具備する。スピンドルモータ（５０）は基板（１００）を一定の回転速度で回転させる役割をする。レーザ共振器（４２）はレーザビームを発生する。このようにレーザ共振器（４２）で発生されたレーザビームはビーム拡大器（４４）によって一定の線束径を有するようになる。反射ミラー（４８）はビーム拡大器（４４）からのレーザビームを光偏向器（４６）側に反射させる。光偏向器（４６）は識別情報（ＰＩＤ）を含むウォブリング信号（Ｗ）に応答して反射ミラー（４８）から入射されたレーザビームを移動させる。対物レンズ（５２）は基板（１００）上のフォトレジスト膜（１００Ａ）上に光偏向器（４６）からのレーザビームをスポットの形態で集光させる。このように対物レンズ（５２）によってフォトレジスト膜（１００Ａ）上に集光された光スポットは、フレームウォブリング方式の光記録媒体のトラック構造に対応して光偏向器（４６）に入力されるウォブリング信号（Ｗ）によって所定の区間毎にウォブル位相を違えるように制御される。ウォブリング信号（Ｗ）は、同位相のウォブリング領域（２４Ａ）では、グルーブの信号トラック（２２）に位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報を含み、異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）では、グルーブの信号トラック（２２）とそれに隣接したランドの信号トラック（２０）に位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）と同じ識別情報を含む。すなわち、グルーブとランドとの境界は共通であり、その共通の箇所にウォブリング情報を記録するので、一方のトラックに同位相を記録すれば、それに隣接したトラックでは異位相となる。
【００１５】
図６にはフレームウォブリング方式のシングル・スパイラル・タイプ（Single Spiral Type）光記録媒体が図示されている。
【００１６】
図６を参照すると、フレームウォブリング方式のシングル・スパイラル・タイプの光記録媒体は、ランドとグルーブの信号トラック（２０、２２）それぞれに同位相のウォブリング領域（２４Ａ）と異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）が所定の長さで形成されており、そのランドとグルーブの信号トラック（２０、２２）が１回転毎に互いに交番される。
【００１７】
このようなフレームウォブリング方式のシングル・スパイラル・タイプの光記録媒体を複製するためにマスタディスクを露光する際に、レーザビームスポット（３１）は光偏向器（４６）に入力されるウォブリング信号（Ｗ）によってグルーブの信号トラック（２２）で同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の両辺（２５Ａ、２５Ｂ）に沿って進みながらグルーブの信号トラック（２２）に位置する同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）をフォトレジスト膜（１００Ａ）に記録する。また、レーザビームスポット（３１）はグルーブの信号トラック（２２）の両辺（２５Ａ、２５Ｂ）に沿って進みながら光偏向器（４６）に入力されるウォブリング信号によって該当のグルーブの信号トラック（２２）に隣接したランドの信号トラック（２０）に位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）をフォトレジスト膜（１００Ａ）上に記録する。このレーザビームスポット（３１）はグルーブの信号トラック（２２）の両辺にウォブリング信号をそれぞれ記録する。このために、レーザビームスポット（３１）は、グルーブの信号トラック（２２）の幅（Ｔ）が小さくてもその１／２以上（１／２Ｔ＜ビームスポットの直径＞Ｔ）の直径に集光される。
【００１８】
レーザビームスポット（３１）が図６のように識別情報（ＰＩＤ）がｎである同位相のウォブリング領域（２４Ａ）からフォトレジスト膜（１００Ａ）上に照射し始めるものと仮定する。このレーザビームスポット（３１）は軌跡（３２）に沿ってグルーブの信号トラック（２２）の第１側辺（２５Ａ）と第２側辺（２５Ｂ）にフレーム識別情報（ＰＩＤ）を含めたウォブリング信号を記録する。この時、レーザビームスポット（３１）は、ランド／グルーブトラックの交差ラインで１回転ごとに１／２ビーム径だけ上／下にシフトしながら同一のグルーブの信号トラック（２２）を２回走行する。例えば、ｍを一つのトラックに含まれた同位相のウォブリング領域（２４Ａ）と異位相のウォブリング領域（２４Ｂ）の合計、すなわち１回転分であるとすると、識別情報（ＰＩＤ）がｎである同位相のウォブリング領域（２４Ａ）から走行し始めたレーザビームスポット（３１）は、図７のようなウォブリング信号（Ｗ）によってランド／グルーブトラックの交差ラインで１／２ビーム径ほど上にシフトされる。続いて、レーザビームスポット（３１）はグルーブの信号トラック（２２）の第１側辺（２５Ａ）に沿って同位相のウォブリング領域（２４Ａ）と該当のグルーブの信号トラック（２２）に隣接したランドの信号トラック（２０）に位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ＝ｎ＋ｍ＋１、ＰＩＤ＝ｎ＋２、……ＰＩＤ＝ｎ＋２ｍ）に対応してフォトレジスト膜（１００Ａ）を露光させる。このようにグルーブの信号トラック（２２）を１回走行したレーザビームスポット（３１）はまたランド／グルーブトラックの交差ラインで１／２ビーム径だけ下にシフトした後、グルーブの信号トラック（２２）の第２側辺（２５Ｂ）に沿ってグルーブの信号トラック（２２）とランドの信号トラック（２０）とで交互に配置されている同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ＝ｎ＋ｍ＋１、ＰＩＤ＝ｎ＋＋２ｍ＋２、……ＰＩＤ＝ｎ＋２ｍ）に対応してフォトレジスト膜（１００Ａ）を露光させる。
【００１９】
前述したように、本発明による光記録媒体の製造方法は、マスタディスクの露光時に同一のグルーブの信号トラック（２２）を２回走行してグルーブの信号トラック（２２）の第１及び第２側辺（２５Ａ、２５Ｂ）それぞれにグルーブの信号トラック（２２）とこれに隣接したランドの信号トラック（２０）に位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）をプリフォマットする。また、本発明による光記録媒体の製造方法は、同一のグルーブの信号トラック（２２）上にレーザビームスポット（３１）を３回以上走行させることでグルーブの信号トラック（２２）とこれに隣接したランドの信号トラック（２０）に位置した同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）をマスタディスク上にプリフォマットさせることができる。この場合、レーザビームスポット（３１）の直径はグルーブの信号トラック（２２）の幅（Ｔ）に対して１／３以上（Ｔ／３＜ビームスポット直径）とし、このレーザビームスポット（３１）が互いに重畳されるように同一のグルーブの信号トラック（２２）を３回以上走行させる。すなわち、本発明による光記録媒体の製造方法はグルーブの信号トラック（２２）を３回以上走行させてマスタディスク上にグルーブの信号トラック（２２）の第１及び第２側辺（２５Ａ、２５Ｂ）に該当のグルーブの信号トラック（２２）とこれに隣接したランドの信号トラック（２０）に交互に配置された同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）をマスタディスク上にプリフォマットさせることができる。
【００２０】
図８は本発明の第２実施形態による露光装置を表す。
図８を参照すると、本発明による露光装置は、フォトレジスト膜（１００Ａ）が成膜された基板（１００）を回転させるためのスピンドルモータ（５００）を備えるとともに、レーザ共振器（５２）とビーム拡大器（５４）を備えている。ビーム拡大器（５４）からの光は第１ハーフミラー（５９Ａ）でその一部を反射ミラー（５８Ａ）で残りを基板１００側に向かうようにしている。第１ハーフミラー（５９Ａ）と基板（１００）の間には第１光変調器（６２Ａ）、第１光偏向器（５６Ａ）、第２ハーフミラー（５９Ｂ）、第２反射ミラー（５８Ｂ）及び対物レンズ（５２）が直列に配置される一方、第１反射ミラー（５８Ａ）と第２ハーフミラー（５９Ｂ）の間には第２光変調器（６２Ｂ）、第２光偏向器（５６Ｂ）、第３反射ミラー（５８Ｃ）とが配置されている。第１ハーフミラー（５９Ａ）はビーム拡大器（５４）からのレーザビームを第１光変調器（６２Ａ）側に反射させると共に、第１反射ミラー（５８Ａ）側に透過させる。第１反射ミラー（５８Ａ）は第１ハーフミラー（５９Ａ）から入射されるレーザビームを第２光変調器（６２Ｂ）側に全反射させる。第１及び第２変調器（６２Ａ、６２Ｂ）は光制御信号（ｏｎ／ｏｆｆ）によって自分に入射される光ビームをオン・オフさせる。光制御信号（ｏｎ／ｏｆｆ）は図９のようにトラック１回転ごとに論理値が反転される。即ち、光制御信号（ｏｎ／ｏｆｆ）はグルーブの信号トラック（２２）でハイ論理が発生され、ランドの信号トラック（２０）でロー論理を維持する。この光制御信号（ｏｎ／ｏｆｆ）に応答して第１及び第２光変調器（６２Ａ、６２Ｂ）はトラック１回転ごとにレーザビームを制御することでグルーブの信号トラック（２２）だけにレーザビームをフォトレジスト膜（１００Ａ）に照射されるようにする。第１光偏向器（５６Ａ）は識別情報（ＰＩＤ）を含む第１ウォブリング信号（Ｗ２）に応答してレーザビームを移動させる。第２光偏向器（５６Ｂ）は識別情報（ＰＩＤ）を含む第２ウォブリング信号（Ｗ２）に応答してレーザビームを基板（１００）の半径方向に移動させる。第１及び第２ウォブリング信号（Ｗ１、Ｗ２）は、図９のように光制御信号（ｏｎ／ｏｆｆ）のハイ論理期間に発生して、それぞれ同一のグルーブの信号トラック（２２）の第１及び第２側辺（２５Ａ、２５Ｂ）にプリフォマットされる同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）を含む。第１ウォブリング信号（Ｗ１）は、第２側辺（２５Ｂ）でグルーブの信号トラック（２２）とこれに隣接したランドの信号トラック（２０）に交番される同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ＝ｎ＋ｍ＋１、ＰＩＤ＝ｎ＋２ｍ＋２、ＰＩＤ＝ｎ＋ｍ＋３、……ＰＩＤ＝ｎ＋２ｍ）を含む。そして、第２ウォブリング信号（Ｗ２）は、第１側辺（２５Ａ）でグルーブの信号トラック（２２）とこれに隣接したランドの信号トラック（２０）に交番される同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ＝ｎ＋ｍ＋１、ＰＩＤ＝ｎ＋２、ＰＩＤ＝ｎ＋ｍ＋３、……ＰＩＤ＝ｎ＋２ｍ）を含む。第２ハーフミラー（５９Ｂ）は第１光偏向器（５６Ａ）からのレーザビームを第２全反射ミラー（５８Ｂ）側に反射させることと共に、第３反射ミラー（５８Ｃ）を経由して第２光偏向器（５６Ｂ）から入射されるレーザビームを第２全反射ミラー（５８Ｂ）側に透過させる。第２全反射ミラー（５８Ｂ）を経由して対物レンズ（５２）に入射される第１及び第２レーザビーム（７１Ａ、７１Ｂ）は対物レンズ（５２）によってフォトレジスト膜（１００Ａ）に集光される。このように対物レンズ（５２）によって集光された第１及び第２レーザビームスポット（３１Ａ、３１Ｂ）は図１０のような軌跡に沿ってグルーブの信号トラック（２２）の第１及び第２側辺（２５Ａ、２５Ｂ）に同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）を記録する。
【００２１】
このようにフレームウォブリング方式のシングル・スパイラル・タイプの光記録媒体のマスタディスクにはグルーブの信号トラック（２２）の第１及び第２側辺（２５Ａ、２５Ｂ）上に互いに異なるウォブリング信号によって制御されるレーザビームスポット（３１）によって同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）を記録する。
【００２２】
図１１はフレームウォブリング方式のツー・スパイラル・タイプ（Two Spiral Type）光記録媒体が図示されている。
図１１を参照すると、フレームウォブリング方式のツー・スパイラル・タイプの光記録媒体はランドとグルーブの信号トラック（２０、２２）が最内周から最外周まで螺旋型の形態で並んで形成されている。
【００２３】
このようなツー・スパイラル・タイプの光記録媒体を複製するためのマスタディスクは、グルーブの信号トラック（２２）がとぎれずに連続するためにレーザビームをオン・オフせずに最内周から最外周まで連続的に露光することができる。従って、ツー・スパイラル・タイプの光記録媒体のマスタディスクは図８の露光装置で光変調器（６２Ａ、６２Ｂ）を除くことができる。即ち、このようなツー・スパイラル・タイプの光記録媒体の複製用のマスタディスクは図１２のような露光装置によって同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）がプリフォマットされる。ここで、第１及び第２偏向器（５６Ａ、５６Ｂ）はグルーブの信号トラック（２２）の第１及び第２側辺（２５Ａ、２５Ｂ）それぞれにグルーブの信号トラック（２２）とこれに隣接するランドの信号トラック（２０）に交番する同位相のウォブリング領域（２４Ａ）の識別情報（ＰＩＤ）が記録されるように第１及び第２ウォブリング信号（Ｗ１、Ｗ２）に応答して第１及び第２レーザビーム（７１Ａ、７１Ｂ）を制御する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】ＣＤ−Ｒディスクの信号トラックの構造を概略的に図示する図面である。
【図２】ＤＶＤ−ＲＡＭディスクの信号トラックの構造を概略的に図示する図面である。
【図３】フレームウォブリング方式のディスクの信号トラックの構造を概略的に図示する図面である。
【図４】本発明の実施形態による光記録媒体の製造方法を段階的に表す流れ図である。
【図５】本発明の第１実施形態による露光装置を表す図面である。
【図６】図５に図示された露光装置を利用した露光時の光スポットの軌跡を表す図面である。
【図７】図６に図示された光スポットを制御するウォブリング信号を表す波形図である。
【図８】本発明の第２実施形態による露光装置を表す図面である。
【図９】図８に図示された光変調器などと光偏向器を制御するための光制御信号及びウォブリング信号を表す波形図である。
【図１０】図８に図示された露光装置を利用した露光時の光スポットの軌跡を表す図面である。
【図１１】フレームウォブリング方式のツー・スパイラル・タイプのディスクを表す図面である。
【図１２】本発明の第３実施形態による露光装置を表す図面である。
【符号の説明】
【００２５】
１０，２０…ランドの信号トラック、１２，２２…グルーブの信号トラック、１４…プリピット列、２４Ａ…同位相のウォブリング領域、２４Ｂ…異位相のウォブリング領域、２５Ａ，２５Ｂ…両辺、３１…レーザビームスポット、３２…軌跡、４２…共振器、４４…ビーム拡大器、４６…光偏向器、４８…反射ミラー、５０…スピンドルモータ、５２…対物レンズ、５４…ビーム拡大器、５６Ａ…第１光偏向器、５６Ｂ…第２光偏向器、５８Ｂ…第２反射ミラー、５８Ｃ…第３反射ミラー、５９Ｂ…第２ハーフミラー、５９Ａ…第１ハーフミラー、６２Ａ…第１光変調器、６２Ｂ…第２光変調器、１００…基板、１００Ａ…フォトレジスト膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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