(57)【要約】【課題】極めて簡便な装置で、金属箔等の薄膜を基板等の基台から傷つけることなく剥離することができる剥離装置及びその剥離方法を提供する。【解決手段】剥離装置は、基板１１とその片面上に貼り付けられた金属薄膜１２とからなるワーク１０の上下面を押圧するローラ２３ａ，２３ｂと、ワーク１０を送り出すためローラ２３ａを回転するモータと、上部ローラ２３ａと連動し、ローラ２３ａと共に、ワーク１０上の薄膜１２をクランプするクランプ用ローラ２４と、これを支持する支持部材２６とを有している。ローラ２３ａ，ローラ２４により薄膜１２をクランプした後、上部ローラ２３ａの回転を制御し、ワーク１０を上部ローラ２３ａにより、その直前まで押圧し、即ち剥離位置を押圧した状態で薄膜１２を基板１１から剥離する。このとき、ローラ２４，ローラ２３ａを連動して、薄膜１２をクランプして基板１１から剥離する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上面に薄膜が貼り付けられたワークから該薄膜を剥離する剥離装置において、
上記基板の下面側で上記ワークを移動可能に支持する支持手段と、
上記薄膜の上面側で上記ワークを押圧する押圧手段と、
上記支持手段と上記押圧手段との間で挟持された上記ワークの上記薄膜をクランプして上記基板から上記薄膜を剥離する剥離手段とを有し、
上記押圧手段は、上記薄膜が上記基板から剥離される剥離位置を押圧する
ことを特徴とする剥離装置。
【請求項２】
上記押圧手段は、筒状体の第１のローラであり、
少なくとも上記第１のローラを回転駆動する駆動手段を有することを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項３】
上記支持手段は、筒状体の第２のローラであり、上記第１のローラと連動して上記ワークを送出することを特徴とする請求項２記載の剥離装置。
【請求項４】
上記剥離手段は、上記第１のローラと連動して回転される筒状体の第３のローラと、該第３のローラを上記第１のローラに押圧させるローラ押圧手段とを有し、上記第１のローラと上記第３のローラとで上記薄膜をクランプして該薄膜を上記基板から剥離することを特徴とする請求項２記載の剥離装置。
【請求項５】
上記第１のローラは、その外周面が弾性材からなることを特徴とする請求項２記載の剥離装置。
【請求項６】
上記ワークは、上記基板に上記薄膜が部分的に熱圧着されたものであることを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項７】
上記薄膜の上記基板からはみ出すはみ出し部分を検知する検知手段を有し、
上記剥離手段は、上記検知手段により検知された上記はみ出し部分をクランプすることを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項８】
基板と薄膜との間に介在して剥離を補助する補助部材を有することを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項９】
上記薄膜は金属材料からなることを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項１０】
上記基板は樹脂材料からなることを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項１１】
上記ワークから剥離された薄膜及び薄膜が剥離された基板を個別に回収する回収手段を有することを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項１２】
上記支持手段及び押圧手段の前段に、上記基板に上記薄膜を熱転写する熱転写装置を有することを特徴とする請求項６記載の剥離装置。
【請求項１３】
基板上面に薄膜が貼り付けられたワークから該薄膜を剥離する剥離装置の剥離方法において、
基板上面に薄膜が貼り付けられたワークの該基板の下面側で該ワークを移動可能に支持する支持手段と上記薄膜の上面側で上記ワークを押圧する押圧手段とで上記ワークを挟持し、
上記支持手段と上記押圧手段との間から送出される上記ワークの上記薄膜をクランプし、
上記薄膜をクランプした後、上記ワークを送出しながら上記押圧手段により上記薄膜が上記基板から剥離される剥離位置を押圧しつつ、上記基板から上記薄膜を剥離する
ことを特徴とする剥離方法。
【請求項１４】
上記押圧手段は、筒状体の第１のローラであり、少なくとも上記第１のローラを回転駆動する駆動手段により、上記第１のローラを回転させ、上記ワークを送出することを特徴とする請求項１３記載の剥離方法。
【請求項１５】
上記支持手段は、筒状体の第２のローラであり、この第２のローラと上記第１のローラとが連動して上記ワークを送出することを特徴とする請求項１４記載の剥離方法。
【請求項１６】
上記第１のローラと連動して回転される筒状体の第３のローラを上記第１のローラに押圧するローラ押圧手段により、上記第３のローラと上記第１のローラとの間で上記薄膜をクランプすることを特徴とする請求項１４記載の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上に貼り付けられた薄膜を基板から剥離する剥離装置及びその剥離方法に関し、特に、極めて薄い基板上に熱転写された金属薄膜を剥離する際に好適な剥離装置及びその剥離方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶表示素子の基板としては、一般的にガラスが使用されていたが、薄型化、軽量化が図られ、これにより、新たにプラスチック基板等の柔軟性薄板状基板の使用が実用化されている。柔軟性薄板状基板は、治具上に保持され、電極生成等の所定の処理が為された後、治具から剥離される。しかしながら、このような柔軟性薄板状基板は剛性が低いため、治具から剥離する場合、剥離力を充分に加えて単に治具から剥離するのみでは、柔軟性薄板基板が傷つく等の悪影響が生じてしまう。
【０００３】
そこで、このような柔軟性薄板基板を物体上に貼着された状態から剥離する際に、この柔軟性薄板状基板に悪影響を与えないよう、剥離を行うことを目的とした基板剥離装置が下記特許文献１に開示されている。
【０００４】
図６は、この特許文献１に記載の基板剥離装置における一連の剥離動作を示す模式図である。上記特許文献１に記載の基板剥離装置は、図６に示すように、柔軟性薄板状基板１１１の端部を保持するチャック部１１３を有すると共に柔軟性薄板状基板１１１が貼着されている治具１１２の位置に対して保持位置を変化させることができる保持部と、保持部が保持位置を変化させることによって端部付近が所定の図中矢印Ｂで示す剥離方向（ｙ軸方向）に剥離された柔軟性薄板状基板１１１の貼着されていた側の面に滑らかに接触して剥離を進行させる剥離用ローラ１２１とを有し、剥離用ローラ１２１により、柔軟性薄板状基板１１１のローラ１２１との接触箇所が受ける合力による柔軟性薄板状基板１１１の湾曲量が許容範囲となるように剥離を進行させ、保持部により、柔軟性薄板状基板１１１の接触箇所から端部までは接触箇所からの滑らかな延長面上で平坦に近いやや弛んだ状態となるように保持位置を変化させることにより、柔軟性薄板状基板１１１を治具１１２から剥離する。
【０００５】
剥離を開始する場合は、先ず、剥離用ローラ１２１は、十分離れた位置に待避させておき、チャック部１１３のチャック爪により、基板１１１の角部を挟持する。次に、回転を加えた円弧動作をチャック部１１３にさせることにより、治具１１２から基板１１１の剥離を開始させる。次いで、剥離用ローラ１２１を一定速度で剥離方向Ｂに前進させ、ローラ１２１を回転させながら基板１１１との接触箇所に基板１１１を捲り上げるような力を加えることにより、剥離を進める。
【０００６】
ところで、樹脂等の薄い基板に金属箔を熱圧着し、基板にパターンを転写することにより形成されるフレキシブル基板においても、真空吸着により基板を吸着し、上述の剥離装置と同様に、金属箔をクランプして剥離する方法、若しくは金属箔端面を粘着テープにより接着させて剥離する方法等により、基板から金属箔を剥離することが行われる。
【０００７】
図７は、従来の金属箔を剥離する剥離装置の一部を模式的に示す斜視図である。図７に示すように、金属薄膜２１２が熱圧着された樹脂基板２１１からなるワーク２１０が吸着台２００上に真空吸着されている。吸着台１００の上方には、金属薄膜２１２を剥離するための１対の剥離ローラ２０３ａ，２０３ｂが配置されており、金属薄膜２１２の端部を剥離ローラ２０３ａ，２０３ｂの間に挟み、剥離ローラ２０３ａ，２０３ｂを回転させることにより、金属薄膜２１２を矢印Ｅ方向に持ち上げ（巻上げ）、樹脂基板２１１から剥離させるよう構成されている。樹脂基板２１１上に熱圧着された金属薄膜２１２は、その端部が樹脂基板２１１からはみ出すよう樹脂基板２１１より大きい面積を有し、このはみ出した金属薄膜２１２の端部を剥離ローラ２０３ａ，２０３ｂにより挟み込み、巻き上げて剥離する。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−１２８３８８号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図７に示す剥離装置の場合、即ち、ワーク２１０を吸着台２００に真空吸着しておいて金属薄膜を剥離する方法においては、金属薄膜２１２の剥離を開始したときに、金属薄膜２１２を基板２１１から剥離する力が、ワーク２１０を吸着する真空吸着力より強い場合は、金属薄膜２１２が破れる等して剥離ができない。
【００１０】
以下、その理由について説明する。樹脂基板２１２上に圧着される金属薄膜２１１には、所定のパターンが熱転写される。即ち、基本的には、全面が均一に転写されることはなく、部分的にある形状（パターン）２０４が熱転写（熱圧着）されている場合が多い。図８は、図７を矢印Ｃ方向からみた断面図である。図８に示すように、部分的なパターン２０４が熱転写されている場合、図７に示す従来の剥離方法では、金属薄膜２１２と基板２１１との全面は、均一に密着しているわけではなく、パターンが転写されているため、両者の間の密着力が部位によって異なり、転写されたパターン部分には、他の箇所より大きな剥離力が必要となる。従って、パターン２０４部分において、基板２１２の吸着台２００からの吸着力が剥離力より弱くなる場合があり、このような場合、パターン２０４の位置にて樹脂基板２１１が吸着台２００から浮き上がってしまう。樹脂基板２１１が吸着台２００から浮き上がると、剥離力は、剥離方向の剥離力と、吸着台に平行な方向の横方向の力とに分けられ、この横方向の力により、金属薄膜２１１が破れてしまう。このように、転写された一部分Ｄに応力が集中し、薄い樹脂基板２１１及び金属薄膜２１２はその応力により引っ張られることにより、剥離力は、薄い樹脂基板２１１及び金属薄膜２１２を剥離する力と、金属薄膜２１２又は薄い樹脂基板２１１を破損させる力とに分けられ、これにより、金属薄膜２１２又は薄い樹脂基板２１１を破損して剥離することができなくなるという問題点がある。
【００１１】
また、金属薄膜の端面に強力な粘着テープを接着させる場合は、金属薄膜の剥離が可能ではあるが、金属薄膜を再利用する際に、粘着テープを金属薄膜から剥がす必要がある等、金属薄膜の後処理が困難である。
【００１２】
更に、図６に示す上記特許文献１に記載の剥離装置においては、チャック部１１３には、回転を加えた円弧動作をさせる必要があり、また、柔軟性薄板状基板１１１にかかる合成ベクトルが上方成分のみとなるよう、剥離用ローラの半径は、なるべく小さくする必要があり、更に、柔軟性薄板状基板１１１と剥離用ローラ１２１との接触箇所に余分な張力を与えることを防止するため、剥離用ローラ１２１の前進速度及び回転速度を適宜調整する必要がある等して、装置が複雑であるという問題点がある。
【００１３】
本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、極めて簡便な装置で、金属等の薄膜を基板から傷つけることなく剥離することができる剥離装置及びその剥離方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明に係る剥離装置は、基板上面に薄膜が貼り付けられたワークから該薄膜を剥離する剥離装置において、上記基板の下面側で上記ワークを移動可能に支持する支持手段と、上記薄膜の上面側で上記ワークを押圧する押圧手段と、上記支持手段と上記押圧手段との間で挟持された上記ワークの上記薄膜をクランプして上記基板から上記薄膜を剥離する剥離手段とを有し、上記押圧手段は、上記薄膜が上記基板から剥離される剥離位置を押圧することを特徴とする。
【００１５】
本発明においては、パターンが熱転写される等して、基板と薄膜とが均一に圧着されていない場合であっても、薄膜を基板から剥離する直前まで、押圧手段によりワークを押圧して剥離を行うため、剥離の際に応力集中が起こりにくく、スムーズに剥離を進行させることができる。
【００１６】
本発明に係る剥離方法は、基板上面に薄膜が貼り付けられたワークから該薄膜を剥離する剥離装置の剥離方法において、基板上面に薄膜が貼り付けられたワークの該基板の下面側で該ワークを移動可能に支持する支持手段と上記薄膜の上面側で上記ワークを押圧する押圧手段とで上記ワークを挟持し、上記支持手段と上記押圧手段との間から送出される上記ワークの上記薄膜をクランプし、上記薄膜をクランプした後、上記ワークを送出しながら上記押圧手段により上記薄膜が上記基板から剥離される剥離位置を押圧しつつ、上記基板から上記薄膜を剥離することを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。この実施の形態は、本発明を、所定のパターンが熱転写された例えば金属箔（金属薄膜）を薄い例えば樹脂等からなる基板から剥離するものであって、熱転写装置の後段に設置可能な極めて簡便な構造の剥離装置に適用したものである。
【００１８】
図１は、本実施の形態における剥離装置の要部を模式的に示す断面図である。例えば樹脂等からなる基板１１上には、熱圧着等により金属薄膜１２が貼り付けられ、所定のパターンが熱転写（熱圧着）されており、剥離装置は、この金属薄膜１２を基板１１から剥離するものである。以下、金属薄膜１２が熱圧着されパターン転写された基板１１をワーク１０という。金属薄膜１２が剥離された基板は、例えばフレキシブル基板等として使用される。金属薄膜１２は、例えば厚さが２０μｍの銅等の金属箔又は金属薄膜であり、基板１１は、例えば樹脂等からなり、例えば厚さが０．１ｍｍ程度の薄い基板である。
【００１９】
図１に示すように、剥離装置１は、ワーク１０を搬送する送り台２１と、この送り台２１上に送られてくるワーク１０を挟み込む挟持手段２２と、挟持手段２２から送出された金属薄膜１２の先端を検知するセンサ２７と、センサ２７により検出された金属薄膜１２の先端部をクランプし、基板から薄膜を剥離する剥離手段とを有している。
【００２０】
また、送り台２１上にて送り台２１の一端部に設けられた挟持手段２２の方向へワーク１０を搬送する搬送手段（図示せず）を有し、これにより、基板１０が送り台２１上を挟持手段２２の方向、本実施の形態においては、紙面右から左（以下、方向Ａという。）へ搬送される。
【００２１】
挟持手段２２は、ワーク１０の基板１１側、即ちワーク１０の下面にてワーク１０を移動可能に支持する支持手段と、ワーク１０の薄膜１２側、即ち、ワークの上面にてワーク１０を押圧する押圧手段とから構成される。本実施の形態においては、押圧手段及び支持手段は、送り台２１に連続して配置された１対の筒状体（円筒体）からなる夫々上部ローラ（第１のローラ）２３ａ及び下部ローラ（第２のローラ）２３ｂからなり、駆動手段であるモータ等（図示せず）により、少なくとも上部ローラ２３ａが回転駆動される。そして、送り台２１上を搬送されてきたワーク１０が、上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂとの間に挟み込まれる。このとき、下部ローラ２３ｂが、回転駆動された上部ローラ２３ａとは逆向きに連動して回転されることにより、ワーク１０が上部ローラ２３ａ及び下部ローラ２３ｂに挟持されつつ送出される。即ち、上部ローラ２３ａが時計周り、下部ローラ２３ｂが反時計周りに回転することにより、ワーク１０が方向Ａに送り出される。
【００２２】
なお、支持手段及び押圧手段は、筒状体のローラとしたが、これらの支持手段及び押圧手段は、ワークを所定の力で押圧した状態で、ワークを送り出せればよく、例えば支持手段をローラコンベヤ等としてもよい。
【００２３】
剥離手段は、支軸２５により回転可動に取り付けられ、ローラ２４を挟持手段２２に押圧するためのアーム（ローラ押圧手段）２６と、アーム２６の端部に取り付けられ、上部ローラ２３ａとの間にて金属薄膜１２をクランプする筒状体のクランプ用ローラ（第３のローラ）２４とを有し、クランプ用ローラ２４は、剥離の際に、上部ローラ２３ａとクランプ用ローラ２４との間にて金属薄膜１２をクランプするため、アーム２６により、上部ローラ２３ａ側に回動される。アーム２６は、例えばシリンダ（図示せず）により、クランプ用ローラ２４が金属薄膜１２を上部ローラ２３ａに押圧するよう構成されている。また、例えばバネ等の弾性部材を備え、弾性部材の弾性力を利用して押圧するようにしてもよい。そして、このクランプ用ローラ２４と上部ローラ２３ａとが連動して回転することにより、金属薄膜１２を上部ローラ２３ａの外周面に沿って巻き上げることで、金属薄膜１２を基板１１から剥離する。即ち、クランプ用ローラ２４と上部ローラ２３ａとで金属薄膜１２をクランプすると共に、金属薄膜１２を剥離する。
【００２４】
ここで、上部ローラ２３ａ、下部ローラ２３ｂ及びクランプ用ローラ２４が共に金属からなる場合、上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂとに挟まれる基板１０の接触部、上部ローラ２３ａとクランプ用のローラ２４とに挟まれる金属薄膜１２の接触部において、各部材を均一に接触させるのは難しいため、例えば、少なくとも上部ローラ２３ａの外周面にウレタンゴム等の弾性材を焼付ける等し、この弾性材の弾性を利用して密着させる。
【００２５】
また、ワーク１０の金属薄膜１２と基板１１との剥離部において、金属薄膜１２と基板１１との間に介在し、基板１１から金属薄膜１２を剥離するのを補助する例えば楔型の補助部材であるガイド（図示せず）が配置される。
【００２６】
以下、本実施の形態における剥離装置の動作について説明する。図２乃至図５は、基板から金属薄膜を剥離する動作中の剥離装置を示す側面図である。図２に示すように、先ず、剥離装置１の送り台２１上にワーク１０をセットする。ワーク１０は、図示せぬ搬送手段により、上部ローラ２３ａ，下部ローラ２３ｂを有する挟持手段が設けられている方向Ａに搬送される。このとき、上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂとをモータにより相互に逆向きに回転させる。上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂの間にワーク１０を送り込み、上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂとを回転駆動することによりワーク１０が挟入側から送出側までの間挟持されつつ、送出される。即ち、支持手段である下部ローラ２３ｂにて支持されるワーク１０が、押圧手段である上部ローラ２３ａにより下部ローラ２３ｂ側に押圧された状態で両者が回転するため、ワーク１０は上部ローラ２３ａにより押圧された状態となっている。
【００２７】
ワーク１０の送出部近傍には、センサ２７が配置されており、このセンサ２７により、上部ローラ２３ａ及び下部ローラ２３ｂから送出されたワーク１０における金属薄膜の先端１２ａを検知し、モータによる上部ローラ２３ａ，下部ローラ２３ｂの回転を停止する。
【００２８】
次に、図３に示すように、先端部にクランプ用ローラ２４が取り付けられたアーム２６を回動し、シリンダにより、金属薄膜の端部１２ａを上部ローラ２３ａとクランプ用ローラ２４とにより挟み込む。クランプ用ローラ２４は、アーム２６により回動されて上部ローラ２３ａ側に移動され、クランプ用ローラ２４を上部ローラ２３ａに押圧することにより、金属薄膜の端部１２ａがクランプされる。その後、再度、上部ローラ２３ａ，下部ローラ２３ｂをモータにより回転させ、上部ローラ２３ａ，下部ローラ２３ｂからワーク１０が送出される送出部、即ち、上部ローラ２３ａの押圧位置にて基板１１から金属薄膜１２が剥離されるよう上部ローラ２３ａ，下部ローラ２３ｂ及びクランプ用ローラ２４の回転を制御する。
【００２９】
このとき、図４に示すように、金属薄膜１２は、剥離直前まで上部ローラ２３ａ，下部ローラ２３ｂに挟持され、上部ローラ２３ａによりワーク１０の薄膜１２が押圧された状態で、上部ローラ２３ａの外周面に沿ってめくり上げられる。即ち、上部ローラ２３ａによりワーク１０が押圧されている、上部ローラ２３ａと金属薄膜１２との押圧部（押圧位置）を、基板１１から金属薄膜１２が剥離される剥離位置とすることにより、金属薄膜１２が剥離位置にて部分的に引っ張られることなく、パターンが転写された部分においても応力集中が生じない。ここで、上部ローラ２３ａとクランプ用ローラ２４とでクランプされた金属薄膜１２の剥離部と基板１１との間には、剥離を補助する図示せぬガイドが設けられており、このガイドが剥離を補助する。
【００３０】
このように、本実施の形態の剥離装置であれば、上部ローラ２３ａ，下部ローラ２３ｂにより、ワーク１０を挟持し押圧した状態で、剥離が開始され、剥離された金属薄膜１２は上部ローラ２３ａの外周面に添わせた形になる。このため、上部ローラ２３ａの外周面に沿った均一方向のみに剥離力が働くと共に、ワーク１０は、上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂとにより適切な力で押圧され、剥離の直前までローラ２３ａ，２３ｂにてその軸方向に均一にワーク１０の上下面が押さえられているため、従来のように部分的に基板１１が送り台２１上から浮き上がることがない。最後に、図５に示すように、剥離が終了した金属薄膜１２及び基板１１を夫々回収トレイ３２及び３１上に積載する。
【００３１】
このように構成された本実施の形態においては、上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂとで、ワーク１０の基板１１から金属薄膜１２が剥離されるまでの部位を挟み込んで適切な押圧力を負荷しているため、剥離位置で薄い基板１１が金属薄膜１２に引っ張られることが少なく、また、金属薄膜１２も上部ローラ２３ａの外周部に沿って剥離させることにより金属薄膜１２の一部分にのみ応力が集中することを防ぐことができる。従って、パターンが熱転写（熱圧着）される等して薄い基板１１と金属薄膜１２が均一に密着せず、ある一部分のみ密着している場合でも、ローラ２３ａ，２３ｂによりワーク１０を押圧し、両者が均一に密着しているような状態としておくことにより、金属薄膜１２を破ることなく基板１１から剥離することができる。
【００３２】
また、駆動源が上部ローラ２３ａのモータのみであるため、上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂとの間で行われるワーク送りと、上部ローラ２３ａにクランプ用ローラ２４を押し付けて金属薄膜１２を挟み込んでクランプしながら巻き上げて剥離する際のクランプ用ローラ２４と上部ローラ２３ａとに間で行われる剥離した金属薄膜送りとの同期を容易に取ることができる。このように、上部ローラ２３ａと下部ローラ２３ｂとが、その回転によりワーク１０を送り出すこと、及びワーク１０を適切な力で押圧することを同時に行うと共に、上部ローラ２３ａとクランプ用ローラ２４とが、金属薄膜１２を送ること、及び金属薄膜１２を基板１１から剥離することを同時に行うことができ、装置のコストを低減し、且つ小型にすることができる。そして、駆動源が１つの簡単な構造であるため、薄い樹脂に金属箔を熱転写する装置に比較的容易に組み込むことが可能であり、熱転写装置と剥離装置とを分けた場合と比較して、省スペース且つ低コストの剥離装置を提供することができる。
【００３３】
更に、金属薄膜は、クランプ用ローラ２４を支持するアーム２６における引っ張りバネ等の弾性力を利用して、上部ローラ２３ａとクランプ用ローラ２６とでクランプすれば、クランプ力の強度を上げることが容易であり、また、粘着テープを利用していないため、金属薄膜の再利用持に、金属薄膜と粘着テープとの分離をする手間を省くことができる。
【００３４】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明に係る剥離装置は、基板上面に薄膜が貼り付けられたワークから該薄膜を剥離する剥離装置において、上記基板の下面側で上記ワークを移動可能に支持する支持手段と、上記薄膜の上面側で上記ワークを押圧する押圧手段と、上記支持手段と上記押圧手段との間で挟持された上記ワークの上記薄膜をクランプして上記基板から上記薄膜を剥離する剥離手段とを有し、上記押圧手段は、上記薄膜が上記基板から剥離される剥離位置を押圧するので、部分的に基板と薄膜との密着度が異なるようなワークであっても、剥離部において応力集中が起こりにくく、従って薄膜を破ることなく剥離することができると共に、簡単な構造で、省スペース且つ低コストの剥離装置を提供することができ、薄膜の剥離の際に粘着テープを利用していないため、薄膜の再利用も容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における剥離装置の要部を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態において基板から金属薄膜を剥離する動作中の剥離装置の要部を示す側面図である。
【図３】同じく、本発明の実施の形態において基板から金属薄膜を剥離する動作中の剥離装置の要部を示す側面図である。
【図４】同じく、本発明の実施の形態において基板から金属薄膜を剥離する動作中の剥離装置の要部を示す側面図である。
【図５】同じく、本発明の実施の形態において基板から金属薄膜を剥離する動作中の剥離装置の要部を示す側面図である。
【図６】特許文献１に記載の基板剥離装置における一連の剥離動作を示す模式図である。
【図７】従来の金属箔を剥離する剥離装置の一部を模式的に示す斜視図である。
【図８】同じく、従来の金属箔を剥離する剥離装置の一部を模式的に示す図であって、図７に示す装置を矢印Ｃ方向からみた断面図である。
【符号の説明】
１０  ワーク、１１  基板、１２  金属薄膜、２１  送り台、２２  挟持手段、２３ａ  上部ローラ、２３ｂ  下部ローラ、２４  クランプ用ローラ、２５  支軸、２６  アーム、２７  センサ
【図１】
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【図２】
2004175456.tif 000004
【図３】
2004175456.tif 000005
【図４】
2004175456.tif 000006
【図５】
2004175456.tif 000007
【図６】
2004175456.tif 000008
【図７】
2004175456.tif 000009
【図８】
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