(57)【要約】【課題】ガラスペーストを含む組成物からなる塗膜が基材上に形成されてなる誘電体層形成用シートに適度な粘着性を付与する方法を提供する。【解決手段】基材１４上に塗料を塗布する塗布工程と、基材１４上に塗布された塗料を乾燥させる乾燥工程とを含み、乾燥工程における乾燥開始から乾燥ポイントまでの塗料からの蒸発水分量を０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）以上、１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）以下とする、または乾燥工程直後の塗膜表面の光沢度を５以上、３０以下とする誘電体層形成用シートの製造方法とする。【選択図】  図１
2004362939.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスペーストを含む組成物からなる塗膜が基材上に形成されてなる誘電体層形成用シートであって、
前記塗膜の表面の光沢度が、５以上、３０以下であることを特徴とする誘電体層形成用シート。
【請求項２】
基材上に塗料を塗布する塗布工程と、前記基材上に塗布された塗料を乾燥させる乾燥工程とを含む誘電体層形成用シートの製造方法であって、
前記乾燥工程における乾燥開始から乾燥ポイントまでの前記塗料からの蒸発水分量が、０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）以上、１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）以下であることを特徴とする誘電体層形成用シートの製造方法。
【請求項３】
基材上に塗料を塗布する塗布工程と、前記基材上に塗布された塗料を乾燥させて塗膜を形成する乾燥工程とを含む誘電体層形成用シートの製造方法であって、
前記乾燥工程直後の前記塗膜の表面の光沢度が、５以上、３０以下であることを特徴とする誘電体層形成用シートの製造方法。
【請求項４】
前記乾燥工程における乾燥温度が、３０℃以上、１３０℃以下である請求項２または３に記載の誘電体層形成用シートの製造方法。
【請求項５】
前記乾燥工程における乾燥風速が、１０ｍ／ｓ以上、４０ｍ／ｓ以下である請求項２〜４のいずれかに記載の誘電体層形成用シートの製造方法。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれかに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする誘電体層形成用シート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられる誘電体層形成用シートおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来からプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）には大別して、駆動方式ではＡＣ型とＤＣ型、放電方式では面放電型と対向放電型のそれぞれ２種類があるが、高精細、大画面化および製造の簡便性から、現状ではＡＣ型で面放電型のプラズマディスプレイパネルが主流を占めている。
【０００３】
プラズマディスプレイパネルの製造は、まず、ガラス基板上に電極や隔壁などからなる各種の凸部を形成して表面板パネルと背面板パネルを製造し、両パネルを対向させた後、周囲をシールしてその内部に不活性ガスを封入する。そして、最後に制御回路やシャーシを組み立ててプラズマディスプレイパネルを完成する。
【０００４】
以下、一般的なＡＣ型で面放電型のプラズマディスプレイパネルの構成を図面を用いて説明する。図３は一般的なプラズマディスプレイパネルの要部破断斜視図、図４は図３のＡ−Ａ線における断面図、図５は図３のＢ−Ｂ線における断面図である。図３〜図５において、ソーダガラス基板や高歪み点ガラスなどからなる耐熱ガラス基板より形成された表面側のガラス基板３１上に、Ａｇ層またはＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ層よりなり、走査電極３２と維持電極３３とで対をなすストライプ状の表示電極３４が複数対形成され、隣り合う表示電極３４間には遮光層３５が配置形成されている。この走査電極３２および維持電極３３は、それぞれ透明電極３２ａ、３３ａに電気的に接続された銀などからなる母線３２ｂ、３３ｂとから構成されている。また、上記表面側のガラス基板３１上には、上記複数対の電極群を覆い、コンデンサとして電荷を溜める誘電体ガラス層３６が形成され、その誘電体ガラス層３６上には保護膜および２次電子放出膜としてＭｇＯ膜３７が形成されている。
【０００５】
また、上記表面側のガラス基板３１に対向して、表面側のガラス基板３１と同様の背面側のガラス基板３８が配置されている。その背面側のガラス基板３８上に設けられた誘電体ガラス層３９上には、走査電極３２および維持電極３３の表示電極３４と直交する方向に、アドレス電極４０と平行にストライプ状の複数の隔壁４１が配置され、隣接する隔壁４１間において、隔壁４１の側面および誘電体ガラス層３９の表面に蛍光体層４２が設けられている。これらの表面側のガラス基板３１と背面側のガラス基板３８とは、走査電極３２および維持電極３３とアドレス電極４０とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止されている。
【０００６】
そして、上記放電空間には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうち１種またはこれらの混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、この放電空間は隔壁４１によって複数の区画に仕切られることにより、表示電極３４とアドレス電極４０との交点が放電セル４３となり、それら複数の放電セル４３の内、アドレス電極４０によって選択された放電セル４３において、最初に表示電極３４とアドレス電極４０との間に規模の小さい書き込み放電が生じ、その後、走査電極３２および維持電極３３間に主放電が生じてプラズマディスプレイパネルのディスプレイ表示が行われる。また、その各放電セル４３には、赤色、緑色および青色となるように蛍光体層４２が一色ずつ順次配置され、各放電セル４３間は遮光層５によって覆われており、放電セル４３の位置以外の放電は外部からは見えない構造になっている。
【０００７】
上記構成の従来のプラズマディスプレイパネルにおいて、表面側のガラス基板３１上と背面側のガラス基板３８上にそれぞれ表示電極３４、誘電体ガラス層３６とアドレス電極４０、誘電体ガラス層３９を形成するには、表示電極３４、アドレス電極４０については、スクリーン印刷によるパターニングなどで電極膜を形成した後、その電極膜をそれぞれ別途焼成して電極を形成し、また、誘電体ガラス層３６、誘電体ガラス層３９の形成方法としては、ガラス粉末、結着樹脂および溶媒を含有してなるペースト状のガラスペースト組成物を調製し、このガラスペースト組成物を、例えばスクリーン印刷法やダイ塗工法によってガラス基板３１の表面に直接塗布して乾燥することにより、有機物質を除去してガラス粉末を焼結させる方法が知られている。
【０００８】
また、ガラスペースト組成物を支持フィルム上に塗布し、塗膜を乾燥して誘電体層を形成し、支持フィルム上に形成された誘電体層を、電極が固定されたガラス基板上の表面に転写し、転写された誘電体層を焼結することにより、上記ガラス基板の表面に誘電体層を形成する工程を含む誘電体層形成用転写フィルムおよびプラズマディスプレイパネルの製造方法が知られている（特許文献１参照）。この特許文献１に記載された誘電体層の形成方法では、ガラスペーストを支持フィルムに塗布する方法としては、例えば、ロールコーター、カーテンコーター、ワイヤーコーター、ファウンテンコーターなどを用いることが挙げられている。また、この支持フィルム上に形成されたガラスペーストによる塗膜の乾燥条件は、例えば、４０〜１５０℃で０．１〜３０分間程度、乾燥後における溶剤の残存割合は、通常１０質量％以下、基板に対する粘着性および適度な形状保持性を膜形成材料層に発揮させる観点から、特に１〜５質量％であることが好ましいことから、乾燥後における塗膜中の残存溶剤量によりシートの乾燥性を評価していた。
【０００９】
【特許文献１】
特開平２００１−２３６８８８号公報（段落番号００３３〜００３４）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１に記載の塗布、乾燥手段により、特に乾燥条件を変更しながら乾燥後の誘電体層の残存溶剤量を１〜５質量％として、基材上にガラスペーストを塗布、乾燥した場合、誘電体層の乾燥後の厚みが６０〜９０μｍと厚いため、適度な粘着性を有したシート形成が困難となる。具体的には、シートの乾燥が困難になるため塗膜表面が未乾燥に近い状態となり、粘着性が大きくなり乾燥後の塗膜表面にカバーフィルムを密着させると塗膜表面が潰れる場合がある。また、カバーフィルムを使用せずに巻き取る場合では、塗膜面が基材の裏面に過度に密着するためブロッキングが生じる。これに対して、シートの乾燥を強くさせた場合、塗膜表面が過乾燥となり塗膜表面の粘着性が低下するため、次工程でのカバーフィルムとのラミネート性が著しく低下するなどの問題が生じる。
【００１１】
本発明は、ガラスペーストを含む組成物からなる塗膜が基材上に形成されてなる誘電体層形成用シートに適度な粘着性を付与する方法を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラスペーストを含む組成物からなる塗膜が基材上に形成されてなる誘電体層形成用シートであって、
前記塗膜の表面の光沢度が、５以上、３０以下であることを特徴とする誘電体層形成用シートを提供する。
【００１３】
また、本発明は、基材上に塗料を塗布する塗布工程と、前記基材上に塗布された塗料を乾燥させる乾燥工程とを含む誘電体層形成用シートの製造方法であって、
前記乾燥工程における乾燥開始から乾燥ポイントまでの前記塗料からの蒸発水分量が、０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）以上、１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）以下であることを特徴とする誘電体層形成用シートの製造方法を提供する。
【００１４】
また、本発明は、基材上に塗料を塗布する塗布工程と、前記基材上に塗布された塗料を乾燥させて塗膜を形成する乾燥工程とを含む誘電体層形成用シートの製造方法であって、
前記乾燥工程直後の前記塗膜の表面の光沢度が、５以上、３０以下であることを特徴とする誘電体層形成用シートの製造方法を提供する。
【００１５】
また、本発明は、上記いずれかの製造方法により製造されたことを特徴とする誘電体層形成用シートを提供する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の誘電体層形成用シートは、その塗膜の表面の光沢度が、５以上、３０以下であるため、適度な粘着性を有する。
【００１７】
また、本発明の誘電体層形成用シートの製造方法は、乾燥工程における乾燥開始から乾燥ポイントまでの塗料からの蒸発水分量が、０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）以上、１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）以下であるため、乾燥工程終了後の誘電体層形成用シートの乾燥状態を適度に保つことができる。ここで、乾燥ポイントとは、塗膜表面の水分量が０になるポイントをいう。
【００１８】
また、本発明の誘電体層形成用シートの製造方法は、乾燥工程直後の塗膜の表面の光沢度が、５以上、３０以下であるため、乾燥工程終了後の誘電体層形成用シートの乾燥状態を適度に保つことができる。
【００１９】
このように、誘電体層形成用シートの乾燥状態を適度に保つことにより、次の工程でカバーフィルムをラミネートしても塗膜表面が潰れることがなく、また粘着性も低下しない。さらに、乾燥後の誘電体層形成用シートをカバーフィルムを用いずに巻き取っても、塗膜がシートの裏面と過度に密着しないため塗膜の剥がれなどが生じない。
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
（実施形態１）
まず、本発明で使用する誘電体層形成用シートの製造装置の一例について説明する。図１は、本実施形態の誘電体層形成用シートの製造に用いる製造装置全体の概略構成を示す縦断面図である。図１に示すように本製造装置１１は大きく分けて、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムなどからなる基材１４が送り出される巻き出し部１５と、この巻き出し部１５から基材１４にガラスペーストを所定の厚さに塗工する塗工部１６と、基材１４に塗工されたガラスペーストを加熱して、そのガラスペーストから溶媒を除去して誘電体層を形成する乾燥部１７と、この乾燥部１７で加熱乾燥された誘電体層をカバーフィルム１８によりラミネートした後、基材１４を巻き取る巻き取り部１９とで構成されている。
【００２２】
以下各部の構成を詳細に説明する。巻き出し部１５には、ＰＥＴフィルムなどからなる基材１４が装着されている。本実施形態において、基材１４としては、次工程で誘電体層をガラス基板上に貼り付けた後に剥がす必要があるため、特に厚み２０〜８０μｍ程度の離型処理を施したＰＥＴフィルムなどを用いる。塗工部１６は、巻き出し部１５からの基材１４にガラスペーストを、その基材１４の幅方向における所定の幅、且つ所定の厚さとなるように塗工するためのものである。この塗工部１６は、例えばガラスペーストを供給するための供給系１６１と、基材１４を支持するためのバックロール１６２と、基材１４上に塗工するためのノズル１６３とを備えている。なお、１３はフィルターである。所定の厚みに塗工するためには、供給系１６１のポンプから送り出されるガラスペーストの吐出量、ノズル１６３の幅、基材１４の搬送速度により決定され、バックロール１６２とノズル１６３との隙間は、ガラスペーストのウェット厚みによって適宜設定するものである。このようにして、ガラスペーストを基材１４に、その所定の幅、且つ厚みとなるように塗工している。
【００２３】
なお、塗工部１６の構成は、上述したようなダイコーターに限定されるものではなく、コンマコーター、リバースロールコーターなどの他の塗工方式のものであっても良く、ガラスペーストの厚み調整の手法も各塗工方式に合わせて適宜変更実施することが可能である。
【００２４】
乾燥部１７は、ガラスペーストが塗工された基材１４が塗工部１６より搬送され、乾燥部１７内を通過する際に基材１４に熱風を吹き付けて加熱し、そのガラスペーストから溶媒を除去して誘電体層を形成するものである。本実施形態において使用される乾燥部１７は、基材１４に直接または間接的に熱風を吹き付けて乾燥するもので、それぞれ独立して熱風温度を調節できる乾燥ゾーン１７１を２つ以上設けている。乾燥ゾーン１７１の数は多ければより精密な乾燥条件のコントロールができ好ましい。これらの条件を満たすものであれば乾燥装置は特に限定されるものではないが、基材１４の走行方向と反対方向から間接的に熱風を吹き付けてるカウンターブロー方式は、初期乾燥において塗膜表面の膜張り現象を緩和できる。また、基材１４の上下方向から直接熱風を吹き付けられるフローティング方式は乾燥能力が高く、カウンターブロー方式とフローティング方式を併用することにより、効率の良い乾燥ができるので好適に用いられる。
【００２５】
巻き取り部１９は、乾燥部１７で乾燥処理された基材１４を所定の方向に案内するためのガイドローラー１９１と、このガイドローラー１９１によって誘電体層とカバーフィルム１８とをニップさせてラミネートするためのニップロール１９２と、このニップロール１９２によりラミネートされた基材１４を巻き取る巻き取りロール１９３とを備えている。
【００２６】
次に、本発明の誘電体層形成用シートの製造方法の一例を詳細に説明する。本実施形態の誘電体層形成用シートの製造方法は、基材１４上に塗料を塗布する塗布工程と、上記基材１４上に塗布された塗料を乾燥させる乾燥工程と、上記基材１４上に塗膜が形成された誘電体層形成用シートをカバーフィルム１８によりラミネートしながら、上記誘電体層形成用シートを巻き取る巻き取り工程からなる誘電体層形成用シートの製造方法であって、上記乾燥工程における乾燥開始から乾燥ポイントまでの塗料からの蒸発水分量（蒸発速度）は、０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）以上、１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）以下としている。
【００２７】
ここで、上記蒸発速度を求める方法を説明する。まず、乾燥炉内における塗膜表面の水分量が０なる乾燥ポイント（限界水分率）を、ＣＣＤカメラにより観察して確認する。乾燥炉入口から乾燥ポイントまでの距離と基材走行速度により、乾燥ポイントまでの乾燥時間が算出できる。そして、乾燥ポイントの塗膜固形分率を、非接触式で連続測定が可能な赤外線による水分率計で測定することにより、乾燥ポイントにおける単位面積当たりのシート重量が算出できるので、蒸発速度が求められる。
【００２８】
特に、プラズマディスプレイに用いる誘電体層形成用シートは乾燥後の塗膜が適度な粘着性を有することが必要となるため、乾燥過程における塗膜中のマイグレーションが生じ難くなる限界水分率までの乾燥、または恒率乾燥期間時の乾燥が重要となり、蒸発速度を常時一定にすることが必要となってくる。
【００２９】
本実施形態において、特に基材１４上に塗布された塗料の乾燥工程における乾燥開始から乾燥ポイントまでの塗料からの蒸発水分量（蒸発速度）は、０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）以上、１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）以下、好ましくは０．６ｇ／（ｍ２・ｓ）以上、０．８ｇ／（ｍ２・ｓ）以下の範囲にすることが重要である。
【００３０】
乾燥工程における上記蒸発速度が０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）未満の場合には、塗膜表面の乾燥ポイントまでの時間が長くなるので、ある程度の乾燥炉長が必要でないと塗膜が未乾燥となる。また、基材走行速度を遅くする必要があるため、生産能力が著しく低下し、乾燥炉長が長くなるので装置コストが高くなる。
【００３１】
乾燥工程における上記蒸発速度が１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）を超えると、塗膜表面の乾燥ポイントまでの時間が短くなるので、マイグレーションの影響を受け易く、塗膜表面が幕張りする。従って、乾燥後における塗膜の粘着性が著しく大きくなり、次工程でカバーフィルムを貼り合わせる時における塗膜の潰れが生じる。
【００３２】
本発明において、乾燥工程における塗膜を乾燥させるための乾燥温度を３０℃以上、１３０℃以下、好ましくは５０℃以上、８０℃以下の範囲、および乾燥風速を１０ｍ／ｓ以上、４０ｍ／ｓ以下、好ましくは２０ｍ／ｓ以上、３０ｍ／ｓ以下の範囲にすることが好ましい。上記乾燥温度および乾燥風速で乾燥することで、塗膜の未乾燥や突沸などが生じない極めて品質が良好な誘電体層形成用シートを得ることができる。
【００３３】
（実施形態２）
本実施形態では、乾燥工程出口直後の塗膜表面の光沢度に関するものであり、それ以外の構成は実施形態１と同様としたので、ここでは説明を省略する。ここで、塗膜表面の光沢度の測定方法について説明する。図２は、本実施形態で用いる光沢度計の概要を示す側面図である。塗膜表面の光沢度は、一般的に塗膜、金属、プラスチックなどのあらゆる材料製品の表面の外観的特性評価に用いる鏡面光沢度測定方法（ＪＩＳ  Ｚ  ８７４１）によるものである。塗膜表面の光沢度の測定は、図２に示す構造からなる光学系を有し、光源２０からの入射光２１が、試料面２２に規定された入射角θ（２３ａ）で、規定の開き角をもった光束で入射し、正反射方向に反射し、規定の開き反射角θ（２３ｂ）の反射光２４をもった光束を受光器２５により受けることにより行われる。本実施形態による塗膜表面の光沢度は、上述の方法による光沢度計を用いて、角度θを一般的に用いられる６０度による評価とした。本実施形態の特徴は、図１に示すように、基材１４上に塗料を塗布する塗布工程と、上記基材１４上に塗布された塗料を乾燥させて塗膜を形成する乾燥工程と、上記基材１４上に塗膜が形成された誘電体層形成用シートをカバーフィルム１８によりラミネートしながら、上記誘電体層形成用シートを巻き取る巻き取り工程からなる誘電体層形成用シートの製造方法であって、上記乾燥工程の出口直後の塗膜表面の光沢度を５以上、３０以下としている。
【００３４】
本実施形態において、乾燥工程出口直後の塗膜表面の光沢度を５以上、３０以下の範囲にすることが重要である。乾燥工程出口直後の塗膜表面の光沢度が５未満の場合には、塗膜表面の粘着性が極端に低下することにより、カバーフィルム１８による塗膜面へのラミネートが困難となる。また、乾燥工程出口直後の塗膜表面の光沢度が３０を超える場合、塗膜表面の粘着性が極端に大きくなるため、ラミネート時における塗膜の潰れが生じる。本実施形態の光沢度の範囲内であれば、塗布乾燥後における塗膜が適度な粘着性を有するため、塗膜の潰れなどの後工程の品質低下がない。
【００３５】
【実施例】
以下、実施例に基づき本発明を具体的に説明する。
【００３６】
誘電体層形成用シートを製造するための製造装置は、図１に示したものと同様の構造のものを使用した。バックロール１６２とノズル１６３との隙間を１５０μｍに設定し、塗布幅は６００ｍｍとした。乾燥温度は、第１室５０℃、第２室６０℃、乾燥風速は、第１室２０ｍ／ｓ、第２室３０ｍ／ｓの一定とした。乾燥時の乾燥開始から乾燥ポイントまでの蒸発速度を０．３〜１．２ｇ／（ｍ２・ｓ）の範囲で変化させた。誘電体シートとしては、基材１４が厚み３８μｍ、幅６５０ｍｍのＰＥＴフィルム（離型処理品）を用い、誘電体ペーストは、平均粒子径１μｍのガラス粉末を１００質量部、アクリル系樹脂を１０質量部、酢酸ブチルを７０質量部、それぞれ分散・混合したものを用いた。このペーストを、まず基材１４上に塗布して厚さ５０μｍの塗膜を形成し、その後上記乾燥条件により乾燥し、乾燥後の塗膜にカバーフィルム１８をラミネートして巻き取りした。得られた誘電体層形成用シートをラミネート機により、ガラス基板上ヘカバーフィルムを剥離しながらラミネートした後、焼成炉により焼成処理を行い、ガラス焼結体よりなる誘電体層を形成した。
【００３７】
以上の結果、乾燥開始から乾燥ポイントまでの蒸発速度を０．４〜１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）の範囲としたものは、カバーフィルムのラミネート時における塗膜の潰れなく、またカバーフィルムとの接着性も良好であった。
【００３８】
一方、上記蒸発速度が０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）未満の場合には、カバーフィルムのラミネート時に塗膜の潰れが発生した。また、上記蒸発速度が１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）を超えた場合には、カバーフィルムとの接着が困難となった。
【００３９】
また、本実施例において、乾燥工程直後の塗膜表面の光沢度を測定した結果、上記蒸発速度が０．４〜１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）の範囲のものは、その光沢度は５〜３０の範囲内であった。
【００４０】
一方、上記蒸発速度が０．４ｇ／（ｍ２・ｓ）未満の場合には、塗膜表面の光沢度は３０を超えた。また、上記蒸発速度が１．０ｇ／（ｍ２・ｓ）を超えた場合には、塗膜表面の光沢度は５未満であった。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、塗布乾燥後における誘電体層が適度な粘着性を有するため、後工程の著しい品質低下を抑制できる誘電体層形成用シートおよびその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態１の誘電体層形成用シートの製造に用いる製造装置全体の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】実施形態２で用いる光沢度計の概要を示す側面図である。
【図３】一般的なプラズマディスプレイパネルの要部破断斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線における断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線における断面図である。
【符号の説明】
１１  誘電体層形成用シートの製造装置
１３  フィルター
１４  基材
１５  巻き出し部
１６  塗工部
１６１  供給系
１６２  バックロール
１６３  ノズル
１７  乾燥部
１７１  乾燥ゾーン
１８  カバーフィルム
１９  巻き取り部
１９１  ガイドローラー
１９２  ニップロール
１９３  巻き取りロール
２０  光源
２１  入射光
２２  試料面
２３ａ  入射角θ
２３ｂ  反射角θ
２４  反射光
２５  受光器
３１  表面側のガラス基板
３２  走査電極
３３  維持電極
３２ａ、３３ｂ  透明電極
３２ｂ、３３ｂ  母線
３４  表示電極
３５  遮光層
３６  誘電体ガラス層
３７  ＭｇＯ膜
３８  背面側のガラス基板
３９  誘電体ガラス層
４０  アドレス電極
４１  隔壁
４２  蛍光体層
４３  放電セル
【図１】
2004362939.tif 000003
【図２】
2004362939.tif 000004
【図３】
2004362939.tif 000005
【図４】
2004362939.tif 000006
【図５】
2004362939.tif 000007