(57)【要約】【課題】検体、例えば体液中の極微量のグルコースを高感度かつ高精度で分析することが可能な光導波路型グルコースセンサ及び発色試薬固定化方法を提供する。【解決手段】基板１と、基板１に接して設けられた第１光導波路層２と、第１光導波路層２に接して、第１光導波路層２の両端部部位に離間して設けられた入射側グレーティング３ａ及び出射側グレーティング３ｂと、第１光導波路層に接して、入射側グレーティング３ａ及び出射側グレーティング３ｂの間に設けられた、第１光導波路層より高屈折率を有する第２光導波路層４と、第２光導波路層に接して設けられた１００ｎｍ以内の厚さの発色試薬固定化層８と、発色試薬固定化層８に接して設けられた酵素を含有する酵素固定化層９とを備える。【選択図】　　　図１
2004093528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に接して設けられた第１光導波路層と、
前記第１光導波路層に接して、前記第１光導波路層の両端部部位に離間して設けられた入射側グレーティング及び出射側グレーティングと、
前記第１光導波路層に接して、前記入射側グレーティング及び前記出射側グレーティングの間に設けられた、前記第１光導波路層より高屈折率を有する第２光導波路層と、
前記第２光導波路層に接して設けられた５０ｎｍ以上、５００ｎｍ以下の厚さの発色試薬固定化層と、
前記発色試薬固定化層に接して設けられた酵素を含有する酵素固定化層
とを具備することを特徴とする光導波路型グルコースセンサ。
【請求項２】
前記酵素固定化層の上部に設けられた、メッシュ状導電性薄膜と、
前記メッシュ状導電性薄膜を陰極に配線し、電極板を陽極に配線した電源
とを更に具備することを特徴とする請求項１に記載の光導波路型グルコースセンサ。
【請求項３】
導電性材料からなる前記第２光導波路層と、
前記第２光導波路層を陰極に配線し、電極板を陽極に配線した電源
とを更に具備することを特徴とする請求項１に記載の光導波路型グルコースセンサ。
【請求項４】
前記発色試薬が、３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光導波路型グルコースセンサ。
【請求項５】
前記酵素にグルコースオキシダーゼ、ペルオキシダーゼ又はムタロターゼを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の光導波路型グルコースセンサ。
【請求項６】
少なくとも１つの第１のアミノ基をもつ発色試薬をトルエンで溶解し、発色試薬溶液を調製するステップと、
前記発色試薬溶液を光導波路層表面に塗布するステップと、
前記塗布した発色試薬溶液中のトルエンを揮発させ、前記発色試薬を前記光導波路層表面に吸着させるステップ
とを有することを特徴とする発色試薬固定化方法。
【請求項７】
前記発色試薬が、３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンであることを特徴とする請求項６に記載の発色試薬固定化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、グルコースセンサに関し、特に血液等の溶液中のグルコース濃度を測定するための光導波路型グルコースセンサ及び発色試薬固定化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、特開平９−６１３４６号公報には平面光導波路型グルコースセンサが開示されている。このグルコースセンサは、基板表面に一対のグレーティング（回折格子）を配置し、一方のグレーティングに光が入射され、もう一方のグレーティングから光が出射される。これらグレーティングに位置する基板表面に単一の光導波路層を形成し、さらにこの光導波路層上に分子認識機能および情報変換機能を有する膜を形成した構造を有する。
【０００３】
このような構造のグルコースセンサにおいて、検体から抽出した血液等に含まれる生体分子を分子認識機能および情報交換機能を有する膜に接触した状態でレーザ光のような光をグレーティングを通して光導波路層に入射させ、エバネッセント波を発生させ、光導波路層上の膜による血液等に含まれる生体分子との反応に起因するエバネッセント波の変化量をグレーティングから出射される光を受光する受光素子により検出して、血液等に含まれる生体分子を分析する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のグルコースセンサは光導波路層が単層で、ここで発生するエバネッセント波の変化量の検出には感度的に限界があり、また光導波路層上の膜構造から検体から抽出した血液等に含まれる極微量の生体分子分析には不向きであるという問題があった。
【０００５】
本発明は、検体から抽出した、例えば体液中の極微量のグルコースを好感度かつ高精度で分析することが可能な光導波路型グルコースセンサ及び発色試薬固定化方法を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の特徴は、基板と、基板に接して設けられた第１光導波路層と、第１光導波路層に接して、第１光導波路層の両端部部位に離間して設けられた入射側グレーティング及び出射側グレーティングと、第１光導波路層に接して、入射側グレーティング及び出射側グレーティングの間に設けられた、第１光導波路層より高屈折率を有する第２光導波路層と、第２光導波路層に接して設けられた５０ｎｍ以上、５００ｎｍ以下の厚さの発色試薬固定化層と、発色試薬固定化層に接して設けられた酵素を含有する酵素固定化層とを具備する光導波路型グルコースセンサを提供することである。
【０００７】
本発明の第１の特徴によれば、溶液中の極微量のグルコースを高感度で分析することができる。
【０００８】
本発明の第２の特徴は、少なくとも１つの第１のアミノ基をもつ発色試薬をトルエンで溶解し、発色試薬溶液を調製するステップと、発色試薬溶液を光導波路層表面に塗布するステップと、塗布した発色試薬溶液中のトルエンを揮発させ、発色試薬を光導波路層表面に吸着させるステップとを有する発色試薬固定化方法を提供することである。
【０００９】
本発明の第２の特徴によれば、光導波路層表面に発色試薬を強固に固定することができる。また、光導波路層表面に吸着する発色試薬固定化層の厚さを１００ｎｍ以内にすることができる。これにより、溶液中の極微量のグルコースを高感度で分析することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分は同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。従って、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１１】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る光導波路型グルコースセンサは、図１に示すように、基板１と、基板１に接して設けられた第１光導波路層２と、第１光導波路層２の両端部付近に離間して設けられた入射側グレーティング３ａ及び出射側グレーティング３ｂと、第１光導波路層２に接して設けられ、入射側グレーティング３ａと出射側グレーティング３ｂの間に位置する第１光導波路層２より高屈折率を有する第２光導波路層４と、第２光導波路層４に接して設けられた発色試薬を固定化した発色試薬固定化層８と、発色試薬固定化層８に接して設けられた酵素を含有する酵素固定化層９を備える。さらに、酵素固定化層９に接して設けられた多孔質膜１０と、多孔質膜１０に接して設けられたメッシュ状導電性薄膜と、入射側グレーティング３ａ及び出射側グレーティング３ｂを覆うように第１光導波路層２に接して設けられた保護膜５と、保護膜５をさらに覆うように接して設けられた迷光トラッピング層７とを備える。
【００１２】
基板１は、例えばホウケイ酸ガラス等からなる。第１光導波路層２は、基板１より高い屈折率を有する材質からなる。入射側グレーティング３ａと出射側グレーティング３ｂは、例えば酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化タルタル（Ｔａ２Ｏ５）またはポリイミド等の第１光導波路層２より高い屈折率を有する材質からなる。第２光導波路層４は、例えばＴｉＯ２、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ３、ＧａＡｓ、ＩＴＯ、Ｔａ２Ｏ５、酸化錫（ＳｎＯ２）またはポリイミド等からなり、外周が傾斜した形状をしている。発色試薬固定化層８は、例えば、３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジン等を含有する。酵素固定化層９は、酸化酵素として例えばグルコースオキシダーゼ（ＧＯＤ）、酸化還元酵素としてペルオキシダーゼ（ＰＯＤ）、そしてα−Ｄ−グルコースをβ−Ｄ−グルコースに転換するためのムタロターゼ等を含有する。さらに、多孔質膜１０は、例えば含水ゲル等からなる。メッシュ状導電性薄膜１１は、例えばチタン薄膜等からなる。保護膜５は、例えばフッ素樹脂等からなる。そして、迷光トラッピング層７は、例えば液晶表示装置に用いられるブラックマトリックス（顔料入りレジスト）等からなる。
【００１３】
なお、基板１の屈折率をｎ１、第１光導波路層２の屈折率をｎ２、入射側グレーティング３ａと出射側グレーティング３ｂの屈折率をｎ３、第２光導波路層４の屈折率をｎ４および保護膜５の屈折率をｎ５、とすると、それらの屈折率の大小関係は、ｎ４≧ｎ３＞ｎ２＞ｎ１＞ｎ５となる。
【００１４】
次に、図１に示した光導波路型グルコースセンサの製造方法の一例を図２、図３を参照して説明する。
【００１５】
（イ）まず、図２（ａ）に示すように、例えばホウケイ酸ガラスからなる基板１の表面を例えば３８０〜４００℃の硝酸カリウム溶液塩等のイオン交換溶液に浸漬してカリウム、ナトリウム等の高屈折率元素をイオン交換することにより第１光導波路層２を形成する。その後、化学蒸着（ＣＶＤ）法等を用いて、第１光導波路層２上に例えばＴｉＯ２、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ３、ＧａＡｓ、ＩＴＯ、Ｔａ２Ｏ５またはポリイミド等の第１光導波路層２より屈折率の高い材料の層１２を形成する。
【００１６】
（ロ）次に、図２（ｂ）に示すように、第１光導波路層より屈折率の高い材料の層１２をフォトエッチング技術等を用いてパターニングすることにより第１光導波路層２の中央付近に外周が傾斜した形状の第２光導波路層４を形成する。
【００１７】
（ハ）次に、例えばＣＶＤ法等により、第１光導波路層２の全面に第１光導波路層より屈折率の高い材料の層１２を再度形成する。その後、フォトエッチング技術等を用いて第１光導波路層２より屈折率の高い材料の層１２をパターニングすることにより、図２（ｃ）に示すように、第１光導波路層２の両端部付近表面上に２つの入射側グレーティング３ａと出射側グレーティング３ｂを形成する。
【００１８】
（ニ）次に、入射側グレーティング３ａと出射側グレーティング３ｂおよび第２光導波路層４を含む第１光導波路層２上に、例えば感光性フッ素系樹脂のような入射側グレーティング３ａと出射側グレーティング３ｂに比べて低屈折率を有する材料の被膜をスピン塗布する。つづいて、この被膜に露光、現像処理を施すことにより、図２（ｄ）に示すように、第２光導波路層４の表面に対応する箇所に矩形状の開口部６を有する感光性フッ素系樹脂からなる保護膜５を形成する。
【００１９】
（ホ）次に、ＣＶＤ法や真空蒸着法等により、図３（ｅ）に示すように、保護膜５の表面（開口部６の内面を除く）に例えば液晶表示装置に用いられるブラックマトリックスからなる迷光トラッピング層７を形成する。
【００２０】
（ヘ）次に、図３（ｆ）に示すように、保護膜５の開口部６から露出した第２光導波路層４表面部分に発色試薬を固定化することにより発色試薬固定化層８を形成する。具体的な発色試薬固定化層８の形成方法については、後で詳細に記述する。
【００２１】
（ト）次に、図３（ｇ）に示すように、保護膜５の開口部６から露出した発色試薬固定化層８表面部分に、例えばグルコースオキシダーゼ、ペルオキシダーゼ、ムタローゼ等を、下記式（１）に示す構造式の化合物のような脂質の膜で固定化することにより酵素固定化層９を形成する。
【化１】
2004093528.tif 000003
【００２２】
（チ）次に、保護膜５の開口部６から露出した酵素固定化層９上に、例えば有機モノマー、光反応開始剤およびデカン酸メチルのような貧溶媒を含む溶液をスピン塗布し、乾燥させ、光重合させた後、洗浄処理することにより、図３（ｈ）に示すように、多孔質膜１０を形成する。
【００２３】
（リ）最後に、チタンアルコキシドを加水分解して原液を作り、これをスピン塗布し、乾燥後加熱して酸化チタン薄膜を得るゾルゲル方法等によって、図３（ｉ）に示すように、メッシュ状導電性薄膜１１を多孔質膜１０上に形成する。そして、電界（例えばパルス状の電界）が印加されるように陽極に電極板１０１を配線した電源１０２の陰極を配線することにより図１に示す光導波路型グルコースセンサを製造する。
【００２４】
次に、本発明の第１の実施の形態に係る発色試薬固定化方法について説明する。図１に示した光導波路型グルコースセンサにおいては、発色試薬固定化層８の発色試薬として、下記式（２）に示す構造式のようなアミノ基を有する３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンを使用する。
【化２】
2004093528.tif 000004
【００２５】
通常、３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンは、水に溶けにくいためメチルアルコール等に溶解した発色試薬溶液を用いる。しかし、このメチルアルコールで溶解した発色試薬溶液を用いて第２光導波路層４上に固定化した場合、試料溶液に接触させた際に固定化した３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンが第２光導波路層４から遊離して溶出しやすい。この結果、エバネッセント波がしみ出す第２光導波路層４表面から約１００ｎｍの厚さの範囲から発色試薬が外れてしまうため、発色試薬の発色を十分に検出することができなくなる。そこで本発明の実施の形態では、第２光導波路層４表面上に３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンを強固に固定し、かつ発色試薬固定化層８を第２光導波路層４表面から５０ｎｍ以上、５００ｎｍ以下に設けるように形成する。好ましくは、５０ｎｍ以上、１００ｎｍ以下が望ましい。
【００２６】
（イ）まず、３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンをトルエンで溶解し、最終濃度が４ｍｍｏｌ／ｌ程度になるように発色試薬溶液を調製する。
【００２７】
（ロ）次に、この発色試薬溶液を、保護膜５の開口部６から露出した第２光導波路層４表面部分にスピン塗布する。
【００２８】
（ハ）最後に、乾燥させて発色試薬溶液中のトルエンを揮発させると、３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンが第２光導波路層４表面に吸着し、発色試薬固定化層８を形成する。
【００２９】
なお、発色試薬固定化層８の膜厚は、保護膜５の開口部６から露出した第２光導波路層４表面部分に塗布する面積及び塗布量によって決まる。例えば、塗布面積を４ｍｍ×７ｍｍ、塗布量を５μｌとした場合、上述の発色試薬溶液を回転数５００ｒｐｍでスピン塗布すると、発色試薬固定化層８の膜厚は１００ｎｍ以内となる。
【００３０】
このような発色試薬固定化方法によれば、第２光導波路層４表面に３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジンを強固に固定することができる。また、第２光導波路層４表面に吸着する発色試薬固定化層８の厚さは、分子サイズレベル程度で１００ｎｍ以内となる。
【００３１】
次に、検体１００のグルコースの測定方法について説明する。図１に示す光導波路型グルコースセンサのメッシュ状導電性薄膜１１側に検体１００、例えば人体の皮膚の一部を接触させ、さらに検体１００の別の部位に電極板１０１を接触させる。ここで、多孔質膜１０の上部に配置されたメッシュ状導電性薄膜１１と電極板１０１の間に電源１０２から所望の電界（例えばパルス状電界）を印加すると、人体の皮膚下のグルコースを含む体液が多孔質膜１０を通して酵素固定化層９に効率よく抽出される、いわゆる微浸襲作用がなされる。この体液中のグルコースは、酵素固定化層９でグルコースオキシダーゼ（ＧＯＤ）等との酸化酵素反応により過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）を発生させる。さらに過酸化水素からペルオキシダーゼ（ＰＯＤ）等との酸化還元酵素反応によりラジカル酸素原子（Ｏ＊）が生成される。このラジカル酸素原子により発色試薬固定化層８で発色試薬を発色させる。この反応を模式すると（１）、（２）、（３）のようになる。
グルコース　＋　酸化酵素（ＧＯＤ等）→　Ｈ２Ｏ２　・・・・（１）
Ｈ２Ｏ２　＋　酸化還元酵素（ＰＯＤ等）→　Ｏ＊　　　・・・・（２）
Ｏ＊　＋　発色試薬　→　発色　　　　　　　　　　　・・・・（３）
【００３２】
上述の反応（２）において、ペルオキシダーゼ等の酸化還元酵素によりラジカル酸素原子を生成しているが、酸化還元酵素に代わって例えば白金（Ｐｔ）、エチレンジアミン４酢酸鉄（Ｆｅ−ＥＤＴＡ）等の金属触媒によりラジカル酸素原子を生成することも可能である。
【００３３】
このような状態で、図１に示すように光源２１（例えば波長６５０ｎｍの半導体レーザ）および受光素子２２をそれぞれグルコースセンサの基板１の裏面左側および右側に配置する。光源２１からレーザ光を偏光フィルタ２３を通してグルコースセンサの基板１裏面側に入射する。そのレーザ光は基板１を通して入射側グレーティング３ａと第１光導波路層２の界面で屈折されて、その第１光導波路層２を伝播される。第１光導波路層２を伝播されるレーザ光は、この第１光導波路層２より高屈折率の第２光導波路層４との界面で２つのモード（ＴＭモード、ＴＥモード）に分割され、ＴＭモードレーザ光は第１光導波路層２を、ＴＥモードレーザ光は第２光導波路層４を伝播する。このとき、発色試薬固定化層８における発色試薬の発色に基づく変化（例えば吸光度変化）により、この発色試薬固定化層８直下の第２光導波路層４を伝播する光の強度が変化する。第１光導波路層２と第２光導波路層４を伝播した光は、受光素子２２側端付近において第１光導波路層２と第２光導波路層４の界面で再び結合、干渉するため、第２光導波路層４を伝播する光の強度変化が増幅される。その結果、第２光導波路層４を伝播する光の極微な変化も偏光フィルタ２４を通して受光素子２２で検出される。
【００３４】
したがって、光導波路を第１光導波路層２と第２光導波路層４により構成し、本発明の発色試薬固定化方法により、発色試薬固定化層８を第２光導波路層４上に接して１００ｎｍ以内に設けることで、検体１００（人体の皮膚下）から抽出されたグルコースと酵素との反応による発色試薬の発色に基づく第２光導波路層４を伝播する光の極微な変化を、第１光導波路層２と第２光導波路層４の界面で検出できる。このため、検体１００から抽出された極微量のグルコースを一層高感度で分析することができる。
【００３５】
また、図１に示すように入射側グレーティング３ａと出射側グレーティング３ｂを含む第１光導波路層２上に保護膜５を設けることによって、第１光導波路層２および入射側グレーティング３ａと出射側グレーティング３ｂに外部圧力が直接加わるのを防止できる。このため、第１光導波路層２および出射側グレーティング３ｂに外部圧力が直接加わることに伴う部材の屈折率変化によって、その第１光導波路層２を伝播する光が外部に漏れるのを防止できる。しかも、保護膜５を第１光導波路層２に比べて低屈折率材料で形成することによって、その第１光導波路層２を伝播する光を第１光導波路層２と保護膜５との界面で効果的に全反射させて第１光導波路層２内に封じ込めることができる。このため、第１光導波路層２から光が外部に漏れるのを防止できる。その結果、検体１００中の極微量のグルコースをより高感度で分析することが可能となる。
【００３６】
さらに、第１光導波路層２を伝播する光が保護膜５との界面から保護膜５側に漏れた場合、迷光トラッピング層７を保護膜５の表面（開口部６の内面を除く）に設けることによって、漏光を迷光トラッピング層７でトラップすることができる。すなわち、第１光導波路層２を伝播する光が保護膜５との界面から保護膜５側に漏れると、保護膜５表面と外界（空気）との屈折率の差により漏光は保護膜５表面で全反射して第２光導波路層４に迷光として入射されるため、前述した検体１００中のグルコースの検出感度を低下させる。これに対し、迷光トラッピング層７を保護膜５の表面に設けることによって、漏光が保護膜５表面で全反射することなく迷光トラッピング層７でトラップできる。このため、漏光が第２光導波路層４に迷光として入射するのを防止でき、検体１００中のグルコースをより高感度で分析することが可能となる。
【００３７】
さらに、酵素固定化層９を多孔質膜１０で覆うことによって、酵素固定化層９に検体１００から抽出される溶液（例えば体液）中のグルコース以外の蛋白や血球等の不純物の影響を防止できる。つまり酵素固定化層９における酵素とグルコースの酵素反応および発色試薬固定化層８での発色試薬の発色反応に基づく変化による第２光導波路層４を伝播する光の強度変化に対して作用する外乱を低減できる。したがって、検体１００から抽出された体液中の極微量のグルコースをより一層高感度で分析することが可能になる。
【００３８】
（第１の実施の形態の変形例）
本発明の第１の実施の形態に係る光導波路型グルコースセンサの変形例として、図４に示すように電源１０２の陰極を導電性のある金属酸化物でできた第２光導波路層４に配線し、電源１０２の陽極に電極板１０１を配線する。このようにすることでメッシュ状導電性薄膜１１は不要となる。そして多孔質膜１０側に検体１００、例えば人体の皮膚を接触させ、さらに検体１００の別の部位に電極板１０１を接触させる。ここで、この多孔質膜１０の下方に配置された導電性の第２光導波路層４と電極板１０１の間に電源１０２から所望の電界（例えばパルス状電界）を印加すると、浸襲作用により、検体１００からグルコースを含む体液が多孔質膜１０を通して酵素固定化層９に効率よく抽出される。
【００３９】
第１の実施の形態で記述したグルコースの測定法法と同様に、抽出された体液中のグルコースは酵素反応を起こし、この酵素反応によるラジカル酸素原子により酵素固定化層９直下の発色試薬固定化層８の発色試薬を発色させる。そして発色に基づく第２光導波路層４を伝播する光の極微な変化を偏光フィルタ２４を通して受光素子２２で検出することが可能である。したがって検体１００から抽出された体液中の極微量のグルコースを高感度で分析することができる。
【００４０】
（その他の実施の形態）
ここで、図１と図４は、微浸襲作用を利用して体液を抽出する場合について示しているが、本発明のその他の実施の形態として、検体１００への電界の印加に代えて、検体１００への穿刺等によって得られる血液等を直接メッシュ状導電性薄膜１１または多孔質膜１０上から滴下して分析することも可能であることは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、検体１００から抽出される、例えば体液中の極微量のグルコースを高感度かつ高精度で分析することが可能な光導波路型グルコースセンサと、光導波路型グルコースセンサの第２光導波路層４に接して１００ｎｍ以内の厚さに発色試薬固定化層８を固定化する発色試薬固定化方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る光導波路型グルコースセンサを示す断面図である。
【図２】図１の光導波路型グルコースセンサの製造工程を示す工程断面図である（その１）。
【図３】図１の光導波路型グルコースセンサの製造工程を示す工程断面図である（その２）。
【図４】本発明の第１の実施の形態の変形例に係る光導波路型グルコースセンサを示す断面図である。
【符号の説明】
１　基板
２　第１光導波路層
３ａ　入射側グレーティング
３ｂ　出射側グレーティング
４　第２光導波路層
５　保護膜
６　開口部
７　迷光トラッピング層
８　発色試薬固定化層
９　酵素固定化層
１０　多孔質膜
１１　メッシュ状導電性薄膜
１２　第１光導波路層より屈折率の高い層
２１　光源
２２　受光素子
２３，２４　偏光フィルタ
１００　検出器
１０１　電極板
１０２　電源
【図１】
2004093528.tif 000005
【図２】
2004093528.tif 000006
【図３】
2004093528.tif 000007
【図４】
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