(57)【要約】【課題】エネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録用発熱抵抗体素子を提供する。【解決手段】インクジェット用発熱抵抗体素子１０は発熱抵抗体２２と、発熱抵抗体２２表面に形成された自己酸化膜２８と、自己酸化膜２８上に設けられ自己酸化膜２８よりも膜厚の金属層３０と、発熱抵抗体２２の下に設けられ発熱抵抗体２２へ通電する通電電極１４と、を有する。発熱抵抗体素子１０の表面にインクへの熱伝達を阻害する絶縁保護膜と耐キャビテーション膜が存在しないので発熱抵抗体２２のエネルギー効率が向上し、かつ発熱抵抗体２２の表面に設けた自己酸化膜２８および耐キャビテーション層としての金属膜３０を設けたことでエネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット用発熱抵抗体素子１０とすることができる。通電電極１４が発熱抵抗体２２と基板１１の間に設けられているため、金属層３０と通電電極１４の間には絶縁性の自己酸化膜２８が存在することになり、短絡の発生を防ぐことができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板上に設けられた発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体表面に形成された自己酸化膜と、前記自己酸化膜上に設けられ前記自己酸化膜よりも膜厚の金属層と、前記発熱抵抗体に接続され前記発熱抵抗体へ通電する通電電極と、を有するインクジェット記録用発熱抵抗体素子。
【請求項２】
前記発熱抵抗体がＴａＳｉＯ系材料である請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子。
【請求項３】
前記金属層がＴａ層である請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子。
【請求項４】
前記金属層が少なくとも発熱領域を被覆している請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子。
【請求項５】
前記金属層が耐キャビテーション層である請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子。
【請求項６】
前記通電電極は、前記発熱抵抗体と基板の間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子。
【請求項７】
前記通電電極は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子。
【請求項８】
請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子と、インク吐出用のオリフィスとを備え、前記オリフィスと前記インクジェット記録用発熱抵抗体素子間にインク保持部を設けたインクジェット記録用ヘッド。
【請求項９】
前記インクジェット記録用発熱抵抗体素子の表面でインク内に発生した気泡が前記オリフィスを介して大気に連通するよう制御して記録することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
前記インクジェット記録用発熱抵抗体素子の表面でインク内に発生した気泡が大気に連通しないよう制御して記録することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
請求項８に記載のインクジェット記録用ヘッドを備えたインクジェット記録カートリッジ。
【請求項１２】
請求項１１に記載のインクジェット記録カートリッジを備えたインクジェット記録装置。
【請求項１３】
前記自己酸化膜が熱酸化処理によって形成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェット記録用発熱抵抗体素子及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一般に市販されているサーマルインクジェットプリンタの記録ヘッド構造の多くは、図７に示すように基板２００上に設けられた発熱抵抗体２０２および通電電極層２０４の表面に、発熱抵抗体２０２および通電電極層２０４をインクから保護するための保護絶縁層２０６と、発熱抵抗体と保護絶縁層をキャビテーションダメージから保護するための耐キャビテーション層２０８の２層が形成されている。
【０００３】
しかし、保護絶縁層２０６および耐キャビテーション層２０８の２層が発熱抵抗体２０２表面に形成されることにより、発熱抵抗体２０２からインクへ伝わる熱がこの２層によって阻害され、エネルギー効率（投入した電気エネルギーがインクを沸騰させるエネルギーに変換される割合）が低下しており、消費電力の増大する原因となっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このためヒータとなる発熱抵抗体２０２自身（素材はＴａＳｉＯ、ＣｒＳｉＯなど）の表面に自己形成酸化膜を形成し、保護絶縁層２０６および耐キャビテーション層２０８を不要とする構造が提案されている。この自己形成酸化膜は膜厚が１００Å程度であり、エネルギー効率に優れる。しかし、この程度の膜厚ではキャビテーションダメージが発生することもあり、また製造ばらつき等で耐キャビテーション寿命が短くなる可能性がある（例えば、特許文献２〜３参照）。
【０００５】
さらに、サーマルインクジェット方式の記録ヘッドでは長期間の使用によって、発熱抵抗体の表面にインクの焦げ付きにより炭素を主成分とする堆積物の膜が生成される。この堆積物の膜もまた、発熱抵抗体で発生する熱エネルギーのインクへの伝導を阻害しエネルギー効率を低下させるため、液滴の噴射力が弱まり画質劣化を引き起こす原因となっている。これに対して、気泡の消泡時に消泡点に集中するインクによる衝撃（キャビテーション）力を上げ、この衝撃力によって発熱抵抗体の保護膜上の炭素などの膜を剥がし、除去する方法が提案されている（例えば、特許文献４参照）。しかし、この方式を用いれば必然的にキャビテーションダメージが少なからず発生する。
【０００６】
また、インク室内部を大気連通構造とし、発熱抵抗体表面に自己形成酸化膜を形成し、発熱抵抗体から個別電極に接続される部位をＴａの保護膜で覆う構造も提案されている。しかし、インク室内部を大気連通構造としない場合にキャビテーションダメージが発生する発熱抵抗体の中央付近をＴａの保護膜が覆っていない（例えば特許文献５参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平５−８３９１号公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献２】
特開平６−７１８８８号公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献３】
特開平８−２３８７７１号公報（第３頁、第１図）
【特許文献４】
特開平１０−１５７１６６号公報（第３頁、第１図）
【特許文献５】
特開平１１-９１１１１号公報（第３−４頁、第１図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事実を考慮し、エネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録用発熱抵抗体素子を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子は基板と、前記基板上に設けられた発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体表面に形成された自己酸化膜と、前記自己酸化膜上に設けられ前記自己酸化膜よりも膜厚の金属層と、前記発熱抵抗体に接続され前記発熱抵抗体へ通電する通電電極と、を有することを特徴とする。
【００１０】
上記構成の発明では、発熱抵抗体素子の表面から分厚い絶縁保護膜と耐キャビテーション膜を排することで発熱抵抗体素子のエネルギー効率を向上させ、かつ発熱抵抗体素子の表面に設けた自己酸化膜および耐キャビテーション層としての金属膜を設けたことでエネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録用発熱抵抗体素子とすることができる。
【００１１】
請求項２に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子は発熱抵抗体がＴａＳｉＯ系材料であることを特徴とする。
【００１２】
上記構成の発明では、発熱抵抗体素子にＴａＳｉＯ系材料を用いることにより、熱酸化によって表面に絶縁性の自己酸化膜を形成することができる。
【００１３】
請求項３に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子は金属層がＴａ層であることを特徴とする。
【００１４】
上記構成の発明では、耐腐食性の極めて高いＴａを金属層に用いることで、直接インクに接触する金属層に高い耐腐食性を持たせることができる。
【００１５】
請求項４に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子は金属層が少なくとも発熱領域を被覆していることを特徴とする。
【００１６】
上記構成の発明では、耐キャビテーション層である金属層が発熱領域を被覆することで、インクと接する発熱抵抗体素子の表面部分を保護することができる。
【００１７】
請求項５に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子は金属層が耐キャビテーション層であることを特徴とする。
【００１８】
上記構成の発明では、金属層を耐キャビテーション層とすることで熱伝導に優れ、充分な機械的強度を持ち、かつ４００〜５００℃の高温に耐える耐キャビテーション層とすることができる。
【００１９】
請求項６に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子は通電電極は、前記発熱抵抗体と基板の間に設けられていることを特徴とする。
【００２０】
上記構成の発明では、通電電極が発熱抵抗体の基板側に接して設けられているため、金属層と通電電極の間には絶縁性の自己酸化膜が存在することになり、短絡の発生を防ぐことができる。
【００２１】
請求項７に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子は、通電電極がアルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする。
【００２２】
上記構成の発明では、一般的に半導体材料として使われているアルミニウムまたはアルミニウム合金を通電電極の素材として用いることで発熱抵抗体との接触抵抗（電気抵抗）を減らすことができる。
【００２３】
請求項８に記載のインクジェット記録用ヘッドは、請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子と、インク吐出用のオリフィスとを備え、前記オリフィスと前記インクジェット記録用発熱抵抗体素子間にインク保持部を設けたことを特徴とする。
【００２４】
上記構成の発明では、請求項１に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体素子を用いたことでエネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録用ヘッドとすることができる。
【００２５】
請求項９に記載のインクジェット記録用ヘッドは、前記インクジェット記録用発熱抵抗体素子の表面でインク内に発生した気泡が前記オリフィスを介して大気に連通するよう制御して記録することを特徴とする
上記構成の発明では、インク吐出後にインク内に発生した気泡部分へインクが再充填される際の、発熱抵抗体素子の表面へのキャビテーションダメージが少ないメリットがある。
【００２６】
請求項１０に記載のインクジェット記録用ヘッドは、前記インクジェット記録用発熱抵抗体素子の表面でインク内に発生した気泡が大気に連通しないよう制御して記録することを特徴とする
上記構成の発明では、発熱抵抗体素子の表面が常にインクで覆われており、空気に接触しないので劣化の恐れがなく、インクカスの発生も抑えられる。
【００２７】
請求項１１に記載のインクジェット記録カートリッジは、請求項８に記載のインクジェット記録用ヘッドを備えたことを特徴とする。
【００２８】
上記構成の発明では、請求項８に記載のインクジェット記録用ヘッドを用いたことでエネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録カートリッジとすることができる。
【００２９】
請求項１２に記載のインクジェット記録装置は、請求項１１に記載のインクジェット記録カートリッジを備えたことを特徴とする。
【００３０】
上記構成の発明では、請求項１１に記載のインクジェット記録カートリッジを用いたことでエネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録装置とすることができる。
【００３１】
請求項１３に記載のインクジェット記録用発熱抵抗体の製造方法は、前記自己酸化膜が熱酸化処理によって形成されることを特徴とする。
【００３２】
上記構成の発明では、自己酸化膜を熱酸化処理によって形成したことで、塗布などの方法に比較して薄膜であってもピンホール等の欠陥のない絶縁性皮膜とすることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
図１には、本発明の第１形態に係るインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０の製造方法が示されている。
【００３４】
先ず単結晶シリコン基板１１上に酸化シリコン（酸化膜）１２を１μｍ厚で形成する。次いでアルミニウム合金からなる第１金属配線１４を０．７μｍ厚で着膜した後、パターニングする（図１−ａ）。
【００３５】
次に層間絶縁膜１６を１μｍ厚で形成する。この層間絶縁膜１６の上にフォトレジスト１８（東京応化工業製OFPR-800）を回転塗布し、露光、現像を行ない、パターニングを行なう（図１−ｂ）。
【００３６】
続いてフォトレジスト１８をマスクとしてフッ素系ガスによるドライエッチングを行ない、フォトレジスト１８を酸素プラズマで除去する。さらにアルミニウム合金からなる第２金属配線２０を０．５μｍ厚で着膜し、図示しないフォトレジストを塗布し、露光、現像を行ない、パターニングを行なったのち、塩素系ガスにてドライエッチングを行ない、フォトレジストを除去する（図１−ｃ）。
【００３７】
次にＴａＳｉＯからなる発熱抵抗体２２を０．１μｍ厚でスパッタ（着膜）を行ない、図示しないレジストでマスクし、フッ素系ガスでエッチングを行なうことで所望のサイズにパターニングする。その後レジストを除去する（図１−ｄ）。
【００３８】
次いで層間絶縁膜２４（保護膜）を０．７μｍ厚で着膜し、エッチングによってパターニングする。この工程によって発熱抵抗体２２の発熱領域が規定される（図１−ｅ）。
【００３９】
次に４５０°Ｃ程度の温度で数十分、酸素雰囲気中で熱処理を加える。表面に露出した発熱抵抗体２２（ＴａＳｉＯ）表面に薄い酸化膜２８（自己形成酸化膜）が形成される。（図１−ｆ）
さらに発熱抵抗体２２上に、酸化膜２８を介してＴａからなる耐キャビテーション層３０を０．２μｍ厚で形成し、レジストを用いてフッ素系ガスによるドライエッチングで所望のサイズにパターニングする。（図１−ｇ）
以上の工程で発熱抵抗体素子１０の完成となる。
【００４０】
本実施例では、発熱抵抗体２２上の自己酸化膜２８は熱処理により形成されているため、薄膜であってもピンホールなどの欠陥のない絶縁性皮膜となっている。この自己酸化膜２８を介して発熱抵抗体２２表面にＴａからなる金属薄膜を耐キャビテーション層３０として形成することで、隣接する発熱抵抗体２２の上に連続して耐キャビテーション層３０を形成しても短絡することはない。また、発熱抵抗体２２ごとに分離して形成することも可能である。
【００４１】
自己酸化膜２８は膜厚０．０１μｍ程度と非常に薄く、その表面にＴａからなる耐キャビテーション層３０を形成しても、殆どエネルギー効率を低下させることはなく、発熱抵抗体２２をキャビテーションダメージから守り、信頼性を向上させることができる。
【００４２】
本実施例は以上の構成としたことで、エネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録用発熱抵抗体素子とすることができる。
【００４３】
また本実施例はＬＳＩなどの製造装置、製造方法を用いて作成することができる。
【００４４】
図２には、本発明の第２形態に係るインクジェット記録用発熱抵抗体素子４０の製造方法が示されている。
【００４５】
まずシリコン基板４１上に酸化膜４２を１μｍ厚で形成する。ＴａＳｉＯからなる発熱抵抗体４４を酸化膜４２上に０．１μｍ厚でスパッタ（着膜）し、所望のサイズにパターニングを行なう。パターニングにはレジストを用い、フッ素系ガスでドライエッチングを行なう（図２-ａ）。
【００４６】
次にアルミニウム合金からなる金属配線層４６を０．５μｍ厚で着膜し、所望のサイズにパターニングする。すなわち、図示しないフォトレジストをマスクに塩素系ガスにてドライエッチングを行なった後、フォトレジストを除去する（図２-ｂ）。
【００４７】
次いで層間絶縁膜４８を１μｍ厚で形成する。この層間絶縁膜４８の上にフォトレジスト５０（東京応化工業製OFPR-800）を回転塗布し、露光、現像を行ない、パターニングを行なう。続いてフォトレジスト５０をマスクとして層間絶縁膜４８にフッ素ガスによるドライエッチングを行なう（図２−ｃ）。
【００４８】
次にフォトレジスト５０を酸素プラズマで除去したのち、酸素雰囲気中で数十分、４５０℃程度の温度で熱処理を行なう。これにより層間絶縁膜４８で覆われていない、発熱抵抗体４４の露出した表面に薄い酸化膜（自己酸化膜）５２が形成される（図２-ｄ）。
【００４９】
次いで、発熱抵抗体４４上に、発熱抵抗体４４の自己酸化膜５２を介してＴａからなる耐キャビテーション層５４を０．２ミクロン厚で形成し、所望のサイズにパターニングする。パターニングにはレジストでマスクをし、フッ素系ガスにてドライエッチングを行なう（図２-ｅ）。
【００５０】
以上の工程で発熱抵抗体素子４０の完成となる。
【００５１】
本実施例は以上の構成としたことで、エネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録用発熱抵抗体素子とすることができる。
【００５２】
また本実施例はＬＳＩなどの製造装置、製造方法を用いて作成することができる。
【００５３】
図３には本発明の第３形態に係るインクジェット記録用ヘッドが示されている。
【００５４】
インクジェット記録用ヘッド６０は、第１形態の項で説明したインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０を使用したインクジェット記録用ヘッドである。
【００５５】
インクジェット記録用ヘッド６０は、複数のインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０が設けられたシリコンからなる基板６２と、インク吐出口６６が設けられたノズル板６８と、基板６２の下に設けられたインクタンク７２とを有している。これらの基板６２とノズル板６８とは、一定の間隔を空けて平行に配置されている。
【００５６】
基板６２にはインク供給口７０が形成されている。インク供給口７０はインクジェット記録ヘッド６０の長手方向に沿って長穴状に形成されている。インクタンク７２内のインクは、インク供給口７０を通って基板６０とノズル板６８との間に流入する。
【００５７】
基板６２にはインクジェット記録用ヘッド６０の長手方向に沿って複数のインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０が等間隔で設けられており、基板６０とノズル板６８との間隙のうち、インクジェット記録用発熱抵抗体素子１０の近傍領域がインク室７４とされている。
【００５８】
それぞれのインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０は、基板６２とノズル板６８の間に設けられた隔壁部材７６によって隔離されている。また、インク供給口７０からインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０の近傍のインク室７４までの部分を含んでインク流路７８が構成されている。さらに、それぞれのインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０は、基板６２に設けられた図示しない駆動トランジスタを介して図示しない制御回路に接続されており、画像情報に応じて所定のタイミングで発熱する。
【００５９】
ノズル板６８にはインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０に対応した位置にインク吐出口６６が形成されている。
【００６０】
図４には、第３形態に係るインクジェット記録用ヘッドの作動原理を示す断面図が示されている。
【００６１】
インクジェット記録用ヘッドの作動形態としては、大気連通型および非連通型が考えられる。
【００６２】
大気連通型の作動は、まず図４−▲１▼（ｂ）に示すように、発熱抵抗体素子１０または４０が発熱することによりインク室７４内のインクにバブル８０が発生し、急激に成長すると共にインク吐出口６６を超え、図４−▲１▼（ｃ）に示すように、大気とバブルが連通する。バブル８０の圧力によってインク滴８２が生じ、図４−▲１▼（ｃ）に示すように、このインク滴８２がインク吐出口６６から吐出され、記録用紙に着弾してインク画像が形成される。
【００６３】
また、非連通型の作動は図４−▲２▼（ｂ）に示すように、発熱抵抗体素子１０または４０が発熱することによりインク室７４内のインクにバブル８０が発生し、バブル８０の圧力によってインク滴８２が生じると、図４−▲２▼（ｃ）に示すように、このインク滴８２がインク吐出口６６から吐出され、記録用紙に着弾してインク画像が形成されるものである。本実施形態の特徴である、エネルギー効率に優れ、耐キャビテーション性の高いメリットは大気連通型、非連通型の何れにおいても有効である。大気連通、非連通の制御については、発熱抵抗体への印加エネルギー、発熱抵抗体前後のインク流路抵抗、インク流路設計、発熱抵抗体に印加するプレパルス等を、公知の方法で制御することによって設定できる。
【００６４】
なお、大気連通型の制御を行う方が、インク吐出後のインクリフィルに伴うインクによる発熱抵抗体表面へのキャビテーションダメージが少なくなるので、キャビテーションダメージを低減する点からは大気連通型が好ましい。
【００６５】
本実施形態においては発熱抵抗体素子１０または４０を２列配置すると共に、各列での発熱抵抗体素子１０または４０の位置を発熱抵抗体素子１０または４０の間隔の半分ずらし、長手方向に沿って全体を見たとき等間隔となるように配置した、いわゆる千鳥配置としている。これにより記録ヘッドでの解像度は１列当りの解像度の２倍となる。本実施形態では、１列当りの解像度を６００ｄｐｉとしており、これが２列で１２００ｄｐｉの解像度となる。
【００６６】
図５には本発明の第４形態に係るインクジェット記録用ヘッドが示されている。
【００６７】
インクジェット記録ヘッド９０にはインクジェット記録用発熱抵抗体素子１０または４０、すなわち第１および第２形態の項で説明した発熱抵抗体素子のどちらを使用してもよい。
【００６８】
インクジェット記録ヘッド９０は、複数の発熱抵抗体素子１０または４０が設けられたシリコンからなる発熱抵抗体素子基板９２と、液体の流路となる溝がエッチングにより形成された流路基板９６が接合されることによって構成されており、一端面に形成された複数のインク吐出口９８と、インク吐出口９８に連通する個別流路１００と、全ての個別流路１００に連通しノズル配列方向（矢印Ａ方向）に設けられた共通液室１０２と、個別流路１００に面して配設される発熱抵抗体素子１０または４０とから構成されている。
【００６９】
共通液室１０２は各個別流路１００と連通し、個別流路１００と直交する方向に形成されたインク供給口１０４が設けられ、図示しないインクタンクからインクが供給される。インク吐出口９８を形成した面の背面側には、図示しない電気信号入出力端子が設けられている。また、発熱抵抗体素子基板９２の共通液室１０２側には、発熱抵抗体素子１０または４０を駆動するための図示しない駆動回路が設けられている。
【００７０】
本実施形態はいわゆるサイドシューターと言われるタイプのインクジェット記録用ヘッドであり、本発明第３形態のようなルーフシューターに比較してノズルの位置、向きを揃え易いことに加え、飛ぶ液滴の液量が同じであるためインクの滴径を揃え易いといった優位点がある。
【００７１】
また、このサイドシュータ型ヘッドにおいても、ルーフシュータ型ヘッド同様に、大気連通、大気非連通の制御が可能である。大気連通、非連通の制御については、発熱抵抗体への印加エネルギー、発熱抵抗体前後のインク流路抵抗、インク流路設計、発熱抵抗体に印加するプレパルス等を、公知の方法で制御することによって設定できる。
【００７２】
なお、大気連通型の制御を行う方が、インク吐出後のインクリフィルに伴うインクによる発熱抵抗体表面へのキャビテーションダメージが少なくなるので、キャビテーションダメージを低減する点からは大気連通型が好ましい。
【００７３】
また本実施形態の流路基板９６、発熱抵抗体素子基板９２はＬＳＩなどの製造装置、製造方法を用いて作成することができる。
【００７４】
図６には本発明の第５形態に係るインクジェット記録装置が示されている。
【００７５】
インクジェット記録装置１１０は第３または第４形態で示したルーフシューターまたはサイドシューター型のインクジェット記録ヘッドを搭載している。
【００７６】
図６に示すように、インクジェット記録装置１１０はインクジェット記録用ヘッド１１１が搭載されたキャリッジ１１２を備えている。キャリッジ１１２はインクジェット記録装置１１０に設けられたシャフト１１４に沿って主走査方向（矢印Ｍ方向）に移動する。
【００７７】
また、インクジェット記録装置１１０には記録用紙１１６を搬送する搬送ローラ１１８が設けられている。記録用紙１１６は搬送ローラ１１８に挟持されて搬送され、副走査方向（矢印Ｓ方向）へ移動する。
【００７８】
インクジェット記録用ヘッド１１１にはインクタンク１２０が設けられており、インクジェット記録装置本体に対してユーザが着脱可能な消耗品としてのインクジェットカートリッジ１３０を構成している。インクジェットカートリッジ１３０は、インクジェット記録用ヘッドと１１１と、インクタンク１２０と、両者を連結する図示しないインク供給路とを備えた構造を有している。インクタンク内には、インク吸収体が内臓されていても良い。また、インクジェット記録ヘッドのみがキャリッジ１１２に載置され、インクタンクはインクジェット記録装置本体のキャリッジ外部に配置され、両者がインク供給路で連結される構造とすることもできる。このインクタンク１２０の、記録用紙１１６に対面する側（図６では下側）が、インクジェット記録用ヘッド１１１となっている。なお本実施形態のインクジェット記録用ヘッド１１１では長手方向が副操作方向と一致し、短手方向が主走査方向と一致しているため、図６においてインクジェット記録用ヘッド１１１の長手方向が矢印Ｓで、短手方向が矢印Ｍでそれぞれ示されている。
【００７９】
本実施例は以上の構成としたことで、エネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット記録装置とすることができる。
【００８０】
【発明の効果】
本発明は、上記構成としたので、エネルギー効率に優れ、かつ耐キャビテーション寿命を向上させたインクジェット用発熱抵抗体素子を提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態１に係るインクジェット記録用発熱抵抗体素子の製造方法を示した断面図である。
【図２】本実施形態２に係るインクジェット記録用発熱抵抗体素子の製造方法を示した断面図である。
【図３】本実施形態３に係るインクジェット記録用ヘッドの平面図および断面図である。
【図４】本実施形態３に係るインクジェット記録用ヘッドの動作説明図である。
【図５】本実施形態４に係るインクジェット記録用ヘッドの平面図および断面図である。
【図６】本実施形態５に係るインクジェット記録装置の斜視図である。
【図７】従来のインクジェット記録用発熱抵抗体素子の断面図である。
【符号の説明】
１０    発熱抵抗体素子
１１    シリコン基板
１２    酸化膜
１４    第１金属配線
１６    層間絶縁膜
１８    フォトレジスト
２０    第２金属配線
２２    発熱抵抗体
２４    層間絶縁膜
２８    自己酸化膜
３０    耐キャビテーション層
４１    シリコン基板
４２    酸化膜
４４    発熱抵抗体
４６    金属配線
４８    層間絶縁膜
５０    フォトレジスト
５２    自己酸化膜
５４    耐キャビテーション層
６０    インクジェット記録用ヘッド
９０    インクジェット記録用ヘッド
１１０    インクジェット記録装置
１３０    インクジェットカートリッジ
【図１】
2004195832.tif 000003
【図２】
2004195832.tif 000004
【図３】
2004195832.tif 000005
【図４】
2004195832.tif 000006
【図５】
2004195832.tif 000007
【図６】
2004195832.tif 000008
【図７】
2004195832.tif 000009