(57)【要約】【課題】高温、多湿の雰囲気中において耐久性に優れたジルコニア焼結体からなる光コネクタ用部材を提供する。【解決手段】ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とし、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％含有したジルコニア焼結体からなり、平均結晶粒径が０．２３〜０．２７μｍもしくは、０．３１〜０．３５μｍである。【選択図】図１
2004175625.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とし、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％含有したジルコニア焼結体からなり、平均結晶粒径が０．２３〜０．２７μｍもしくは、０．３１〜０．３５μｍであることを特徴とする光コネクタ用部材。
【請求項２】
ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とし、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％含有してなる原料粉末を成形し、得られた成形体を１３５０〜１３８０℃もしくは、１４２０〜１４５０℃にて平均結晶粒径がそれぞれ０．２３〜０．２７μｍ、０．３１〜０．３５μｍになるように焼成してジルコニア焼結体を得ることを特徴とする請求項１に記載の光コネクタ用部材の製造方法。
【請求項３】
平均砥粒径が０．４μｍ以下のダイヤモンドラッピングフィルム、または、シリカ（ＳｉＯ２）のラッピングフィルムにより前記ジルコニア焼結体を１μｍ／分以上のラッピング量で研磨することを特徴とする請求項２に記載の光コネクタ用部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、ジルコニア焼結体を用いたフェルールやスリーブなどの光コネクタ用部材及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、通信における情報量の増大に伴い、光ファイバを用いた光通信が多用されている。この光通信において、光ファイバ同士の接続、あるいは光ファイバと各種光素子との接続には光コネクタが用いられている。
【０００３】
例えば、光ファイバ同士を接続する光コネクタの場合、フェルールに形成された貫通孔に光ファイバの端部を保持しその先端面を凸球面状に加工し、一対のフェルールをスリーブの両端から挿入して、凸球面状の先端面同士を当接させる構造となっている。
【０００４】
上記光コネクタに用いられるフェルールやスリーブを構成する材質として、特許文献１に示すように、ジルコニアからなる焼結体が多用されており、ヤング率が低いため２つのフェルールの先端面同士を当接する際に、小さな応力で密着性を高めることができ、また強度、靱性が高いことから信頼性を向上することができる。
【０００５】
例えば、上記ジルコニア焼結体としては、特許文献２に示すように、ＺｒＯ２を主成分とし、安定化剤として２．５〜３．５モル％程度（約４．５〜６．２重量％）のＹ２Ｏ３を含有する原料を、所定形状に成形、焼成して平均結晶粒径０．４〜０．６μｍとした正方晶の結晶相を主体とした部分安定化ジルコニア焼結体が用いられている。
【０００６】
また、特許文献３に示すように、ＺｒＯ２を主成分とし、安定化剤としてＹ２Ｏ３を含有する原料にＡｌ２Ｏ３を０．２〜０．３重量％添加した原料を成形、焼成した正方晶の結晶相を主体とした部分安定化ジルコニア焼結体が提案されている。
【０００７】
また、特許文献４に示すように、ＺｒＯ２を主成分とし、安定化剤としてＹ２Ｏ３を２〜４モル％（約３．６〜７．１重量％）、Ａｌ２Ｏ３を０．１〜１重量％、平均結晶粒径を０．２μｍ以上０．４μｍ未満としたジルコニア焼結体が用いられている。
【０００８】
さらに、参考文献１に示すように、ＺｒＯ２を主成分とし、安定化剤としてＹ２Ｏ３を含有し、正方晶相中のＹ２Ｏ３濃度を３．０モル％以上に保持した部分安定化ジルコニア焼結体が提案されている。
【特許文献１】
特公平８−３０７７５号公報
【特許文献２】
特開平６−３３７３２７号公報
【特許文献３】
特開平１０−２６０３３６号公報
【特許文献４】
特開２０００−３０２５４８号公報
【非特許文献１】
Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｊａｐａｎ誌、１０７（２）  １２８−１３３（１９９９）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のＹ２Ｏ３を含む部分安定化ジルコニア焼結体は、水分の存在する高温雰囲気中に曝されると、正方相の結晶が単斜相に相変態して強度、靱性等の特性が劣化するという問題があった。
【００１０】
また、光コネクタにおいては、例えば砂漠のような高温、多湿の厳しい環境下等で長時間使用されることがある。そのため加速試験として、一対のフェルールをスリーブの両端から挿入して先端面同士を当接させた状態の光コネクタを８５℃の熱水中に曝す試験が行われることがある。この際に、ジルコニア焼結体からなるフェルール等の光コネクタ用部材は、上述した相変態により接続した先端面が変形し、フェルール端面の凸球面の曲率半径が大きくなってしまうという現象が生じやすく、その結果、接続不良や過大な接続損失を生じるという問題があった。
【００１１】
また相変態によってスリーブの内径鏡面部が荒れ、フェルールの同軸を正確に合わせることができなくなり、接続損失が悪くなるという問題があった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の光コネクタ用部材は、ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とし、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％含有したジルコニア焼結体からなり、平均結晶粒径が０．２３〜０．２７μｍもしくは、０．３１〜０．３５μｍであることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の光コネクタ用部材は、ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とし、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％含有してなる原料粉末を成形し、得られた成形体を１３５０〜１３８０℃または１４２０〜１４５０℃にて、平均結晶粒径がそれぞれ０．２３〜０．２７μｍ、０．３１〜０．３５μｍになるように焼成してジルコニア焼結体を得ることを特徴とする製造方法である。
【００１４】
さらに、本発明の光コネクタ用部材は、平均砥粒径が０．４μｍ以下のダイヤモンドラッピングフィルム、または、シリカ（ＳｉＯ２）のラッピングフィルムにより前記ジルコニア焼結体を１μｍ／分以上のラッピング量で研磨することを特徴とする製造方法である。
【００１５】
本発明の光コネクタ用部材によれば、光コネクタ用部材の被研磨性が良くなり、結果として相変態による単斜相量が接続した先端面の変形が生じないレベルである５％以下となることを見いだしたのである。
【００１６】
すなわち光ファイバーを光コネクタ用部材であるジルコニアフェルールに接着した後の最終研磨作業において、従来は、研磨時の熱及び応力によって生じる正方相から単斜相への相変態層が蓄積し、単斜相量が１０％以上となり、この時の体積変化によって加工歪みを生じる。このためこのジルコニアフェルールを用いた光コネクタ用部材は、高温多湿の環境下で接続して使用した場合に、加工歪みの緩和によってフェルール端面の凸球面の曲率半径が大きくなってしまうという変形を生じ、接続不良や過大な接続損失を生じるという問題がある。
【００１７】
これに対して本発明は、ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とし、イットリア（Ｙ２Ｏ３）が４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）が０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）が０．０４〜０．０７重量％であり、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％とすることで、ジルコニアより研磨しやすいシリカが脱粒し、そこを起点にしてジルコニアの脱粒も進むため、全体として被研磨性が良くなる。また平均結晶粒径が０．２３〜０．２７μｍもしくは、０．３１〜０．３５μｍの範囲とすることは、焼結性が劣るものの被研磨性が良くなる。すなわち、平均結晶粒径を０．２３〜０．２７μｍとすることは、強度が問題ない範囲で焼結が不十分であるが、完全に焼き締まっていないために加工時に脱粒しやすくなり、被研磨性が良くなる。また、０．３１〜０．３５μｍとすることは、強度が問題ない範囲で焼結が過多となるが、粒径が大きくなるために加工時に脱粒しやすくなり、被研磨性が良くなる。このように本発明は、強度の問題がないので、ジルコニア焼結体としての本来の特性を維持しつつ、光コネクタ用部材であるジルコニアフェルールの被研磨性が良いために、先に説明した研磨時の熱及び応力によって生じる正方相から単斜相への相変態層が蓄積せずに除去され、単斜相量を５％以下とすることができ、加工歪みの緩和を小さくでき、フェルール端面の凸球面の曲率半径が大きくなってしまうという変形を生じない。
【００１８】
また本発明の光コネクタ用部材によれば、平均砥粒径が０．４μｍ以下のダイヤモンドラッピングフィルムまたは、シリカ（ＳｉＯ２）のラッピングフィルムにより前記ジルコニア焼結体のラッピング量を１μｍ／分以上とすることによって、相変態による単斜相量が接続した先端面の変形が生じないレベルである５％以下となることを見いだしたのである。
【００１９】
すなわち平均砥粒径が０．４μｍ以下のダイヤモンドラッピングフィルムまたは、シリカ（ＳｉＯ２）によるラッピングフィルムで研磨した時のラッピング量を１μｍ／分以上とすることによって、先に説明した研磨時の熱及び応力によって生じる正方相から単斜相への相変態層が蓄積せずに除去され、単斜相量を５％以下とすることができ、加工歪みの緩和を小さくでき、フェルール端面の凸球面の曲率半径が大きくなってしまうという変形を生じない。
【００２０】
また、本発明の光コネクタ用部材であるジルコニアスリーブを用いると、同様に相変態による内径鏡面部の荒れを生じることはなく、高精度な位置あわせが可能となり接続損失が低い光コネクタを得ることができる。
【００２１】
また、本発明の光コネクタ用部材の製造方法によれば、ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とし、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％含有してなる原料粉末を成形し、得られた成形体を１３５０〜１３８０℃または１４２０〜１４５０℃にて焼成することで、平均結晶粒径をそれぞれ０．２３〜０．２７μｍ、０．３１〜０．３５μｍとすることができ、同様に研磨面の単斜相量を小さくでき、耐久性を向上することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態を説明する。
【００２３】
図１（ａ）は、本発明の光コネクタ用部材の一実施形態であるフェルール１の断面図であり、中央に光ファイバ３を挿入するための貫通孔１ａを有し、該貫通孔１ａの後端側には光ファイバ３の挿入を容易にするために円錐部１ｂを備え、外周部１ｃと凸球面状の先端面１ｄの境界にはスリーブ挿入時にガイド面となる面取部１ｅを備えている。
【００２４】
また、図１（ｂ）に示すように上記図１（ａ）に示すフェルール１の後端側に支持体２を接合し、貫通孔１ａに光ファイバ３を挿入して接合した後、先端面１ｄを曲率半径１０〜２５ｍｍ程度の凸球面状に研磨することによって光ファイバ固定具を得ることができる。
【００２５】
さらに、図２は光コネクタの断面図を示し、上記一対の光ファイバ固定具をスリーブ４の両端から挿入し、バネ等で押圧して先端面１ｄ同士を当接させることによって、光ファイバ３同士の接続を行うことによって光コネクタを得ることができる。このスリーブ４には軸方向にスリットを有することにより、フェルール１を弾性的に保持するものや、内周面に３箇所程度の凸部を形成し凸部でフェルール１を支持することもできる。
【００２６】
上記フェルール１やスリーブ４を成すジルコニア焼結体は、ジルコニア（ＺｒＯ２  ）を主成分とし、相変態の抑制を目的とする安定化剤としてのイットリア（Ｙ２Ｏ３）及び主に焼結助剤としてのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、シリカ（ＳｉＯ２）を含有し、Ｙ２Ｏ３が４〜７重量％、Ａｌ２Ｏ３が０．１〜０．４重量％、ＳｉＯ２が０．０４〜０．０７重量％である。また原料粉体の平均一次粒径は、０．０６〜０．１３μｍである。
【００２７】
ここでＹ２Ｏ３を４〜７重量％としたのは、４重量％未満であると、相変態しやすくなるためである。また７重量％を超えると、ジルコニアの中に立方相が増し、応力誘起変態によってジルコニアの高強度・高靱性を発現する正方相の割合が少なくなるためである。またＡｌ２Ｏ３を０．１〜０．４重量％としたのは、この範囲内でないと焼結性が悪くなり、相変態しやすくなるためである。さらにＳｉＯ２を０．０４〜０．０７重量％としたのは、０．０４重量％未満であると、研磨時に脱粒しにくく、１μｍ／分以上のラッピング量で研磨することができず、ジルコニア焼結体研磨面において研磨時の熱及び応力によって生じる正方相から単斜相への相変態層が蓄積されるためである。また０．０７重量％を超えると安定化剤であるＹ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３の偏析を生じやすくなり、相変態しやすくなるためである。また原料粉体の平均一次粒径を０．０６〜０．１３μｍとしたのは、０．０６μｍより小さいと成形が困難となり、また０．１３μｍより大きいと活性が低下し、１３５０〜１３８０℃の焼成温度で焼結することができないためである。
【００２８】
また、上記フェルール１やスリーブ４を成すジルコニア焼結体は、１３５０〜１３８０℃もしくは、１４２０〜１４５０℃にて焼成し、この時の平均結晶粒径がそれぞれ０．２３〜０．２７μｍ、０．３１〜０．３５μｍである。ここで平均結晶粒径を０．２３〜０．２７μｍもしくは、０．３１〜０．３５μｍとしたのは、以下の理由による。上記結晶粒径は焼成温度で決定され、焼成温度が低いと粒径は小さくなり、焼成温度が高いと粒径は大きくなる。このため先の範囲としたのは、上記平均結晶粒径が０．２３μｍ未満の場合は焼結不十分となり、相変態しやすくなるためである。また０．３５μｍを越えると、焼成温度が高すぎるために安定化剤として含有しているＹ２Ｏ３が拡散して熱的に不安定になり相変態しやすくなるためである。さらに平均結晶粒径を０．２３〜０．２７μｍとしたのは、この範囲では特性上問題ないが、完全に焼き締まっていないために被研磨性が良く、ジルコニア焼結体研磨面において研磨時の熱及び応力によって生じる正方相から単斜相への相変態層の蓄積をふせぐことができるためである。また平均結晶粒径を０．３１〜０．３５μｍとしたのは、この範囲では特性上問題ないが、平均結晶粒径が大きいために脱粒しやすく、同様に相変態層の蓄積をふせぐことができるためである。
【００２９】
なお、上記の平均結晶粒径を作成するために、平均結晶粒径が０．２３〜０．２７μｍとするためには焼成温度が１３５０〜１３８０℃とすると良いする。また、平均結晶粒径が０．３１〜０．３５μｍとするためには焼成温度が１４２０〜１４５０℃にて焼成すると良い。
【００３０】
さらに、上記フェルール１やスリーブ４を構成するジルコニア焼結体を平均砥粒径０．４μｍ以下のダイヤモンドラッピングフィルム、または、シリカ（ＳｉＯ２）のラッピングフィルムでジルコニア焼結体をラッピング量が１μｍ／分以上で研磨することが重要であり、ジルコニア焼結体研磨面において研磨時の熱及び応力によって生じる正方相から単斜相への相変態層が蓄積されずに除去され、ジルコニア焼結体研磨面の単斜相量と単斜相に相変態した時の体積変化によって生じた加工歪みを小さくすることができる。
【００３１】
このためこのジルコニア焼結体を用いた光コネクタ用部材は、高温多湿の環境下で使用した場合の加工歪みの緩和によるフェルール端面の凸球面の曲率半径が大きくなってしまうという変形がなく、接続不良や過大な接続損失を生じるという問題を解決することができる。またこのジルコニア焼結体を用いた光コネクタ用部材は、相変態による鏡面部の荒れを生じることはなく、高精度な位置あわせが可能となり接続損失が低い光コネクタを得ることができる。
【００３２】
さらに研磨面の単斜相量を小さくすることができるため、高温多湿の環境化において相変態の進行が促進されず、例として該ジルコニア焼結体を用いた光コネクタ用部材を８５℃の条件で３３６時間、水中エージングした後の研磨面の単斜相比率を５％以下に抑えることができ、新たに加工歪みを生じてそれが緩和することによる変形を生じないため、前記と同様の効果を得ることができる。
【００３３】
次に上記フェルール１及びスリーブ４の製造方法について説明する。
まず出発原料のＺｒＯ２にＹ２Ｏ３を４〜７重量％、Ａｌ２Ｏ３を０．１〜０．４重量％、ＳｉＯ２を０．０４〜０．０７重量％添加混合し、中和共沈または加水分解等の方法により反応・固溶させる。さらにこれを粉砕・分級して、原料粉体の平均一次粒径が０．０６〜０．１３μｍになるように調整する。
【００３４】
次に得られた原料を押出成形やプレス成形や射出成形等により所定形状に成形し、必要があれば切削等を行った後、焼成温度１３５０〜１３８０℃もしくは１４２０〜１４５０℃の範囲で大気雰囲気中で焼成する。
【００３５】
しかる後、フェルール１やスリーブ４はこの焼結体をさらに研削加工を行うことによって得ることができる。研削加工は通常ダイヤモンド砥石またはダイヤモンド砥粒を用いて行われる。最後にフェルール１の先端面１ｄは、光ファイバー３を接着後、ラッピングフィルムを用いて光ファイバー面と一緒に凸球面状に研磨する。この時のラッピングフィルムは、平均砥粒径０．４μｍ以下のダイヤモンドラッピングフィルム、または、ＳｉＯ２を用いる。これはフェルール１同士を当接し、良好な光学特性を得るために研磨後の光ファイバーの研磨傷及び粗さを小さくする必要があり、平均砥粒径の小さいダイヤモンドラッピングフィルムまたは、ＳｉＯ２でポリッシング機構を利用して平滑化するためである。しかしこのような研磨方法では、ジルコニア焼結体研磨面において摩擦による局部的な熱及び応力を生じ、結果として相変態を生じて変形や表面荒れといった問題を生じる。
【００３６】
ここでダイヤモンドラッピングフィルムの平均砥粒径を０．４μｍ以下としたのは、０．４μｍを超えると研磨性が良くなり、ジルコニア焼結体研磨面において摩擦による局部的な熱及び応力により生じる相変態層の蓄積を防ぐことができるのであるが、一緒に研磨される光ファイバーの研磨傷及び粗さが大きくなり、接続不良や過大な接続損失を生じるという問題があるためである。
【００３７】
以上の方法で製造したフェルール１では、砥粒径０．４μｍ以下のダイヤモンドラッピングフィルムまたは、シリカ（ＳｉＯ２）によるラッピングフィルムで研磨した場合においてもラッピング量が１μｍ／分以上となり、ジルコニア焼結体研磨面において研磨時の熱及び応力によって生じる正方相から単斜相への相変態層が蓄積されずに除去され、ジルコニア焼結体研磨面の単斜相比率及び単斜相に相変態した時の体積変化によって生じた加工歪みを小さくすることができる。またスリーブ４の内径研磨面では、相変態による鏡面部の荒れを生じることはなく、高精度な位置あわせが可能となり接続損失が低い光コネクタを得ることができる。
【００３８】
以上、上述の実施形態では、フェルール１及びスリーブ４を用いた光コネクタについて説明したが、光ファイバ同士、光ファイバと各種光素子との接続に用いるさまざまな部材に適用することができる。例えば、光ファイバ同士を完全に接続するために用いるスプライサや、レーザダイオードやフォトダイオード等の光素子と光ファイバを接続する光モジュールに用いるダミーフェルール等にも好適に適用することができる。
【００３９】
【実施例】
以下本発明の実施例を説明する。
【００４０】
まず、組成をＹ２Ｏ３４〜７重量％、Ａｌ２Ｏ３０．１〜０．４重量％、ＳｉＯ２０．０４〜０．０７重量％、原料粉体の平均一次粒径を０．０６〜０．１３μｍとしたジルコニア原料を用い、最終製品の寸法が外径２．５ｍｍ、長さ１０．５ｍｍとなるように、図１（ａ）に示すフェルールの形状に押出成形し、この成形体を焼成温度１３５０℃〜１４５０℃の条件で焼成した。
【００４１】
次に、この焼結体を加工してフェルール試料を作製し、先端面を＃１５００番のダイヤモンド砥石で凸球面状に研削加工を行った。そして、フェルールに光ファイバを接着し、ラッピングフィルムを用いて先端面を凸球面の曲率半径が平均１５ｍｍ程度となるように研磨した。この時のラッピングフィルムは平均砥粒が０．１、０．４、０．５μｍのダイヤモンドラッピングフィルムと平均砥粒が０．３μｍのＳｉＯ２ラッピングフィルムをそれぞれ用いた。ラッピング量（μｍ／分）は研磨前のフェルール１の長さと１分間研磨後の長さをダイヤルゲージにて測定し、その差から求めた。
【００４２】
最後に図２に示すように一対のフェルールをスリーブ内部で接続させた状態で、８５℃の熱水中に３３６時間放置した後、フェルール試料の先端面をＸ線回折（ＸＲＤ）分析し、単斜相量の測定を行った。単斜相量は各反射ピーク強度の比から次式を用いて求めた。
Ｘｍ＝（Ｉｍ（１１１−）＋Ｉｍ（１１１））／（Ｉｍ（１１１−）＋Ｉｍ（１１１）＋Ｉｔ＋ｃ（１１１））×１００
この時の分析例としてＸ線回折図を図３示す。図３における縦軸はＸ線の回折強度を、横軸は回折角度２θを表す。ｍ（１１１￣）は、（１１１￣）面の単斜相ピークを、ｔ＋ｃ（１１１）は、（１１１）面の正方相と立方相ピークを、またｍ（１１１）は、（１１１）面の単斜相ピークを表す。
【００４３】
表１にそれぞれの条件における単斜相量を示す。
【００４４】
【表１】
2004175625.tif 000003
【００４５】
表１から明らかなように、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％含有してなり、平均結晶粒径が０．２３〜０．２７μｍまたは、０．３１〜０．３５μｍのジルコニア焼結体からなる試料（Ｎｏ．４、５、８、９、１２、１３、１７等）は、０．１μｍ、０．４μｍのダイヤモンドラッピングフィルム及びＳｉＯ２ラッピングフィルムで研磨した時にラッピング量が１．０μｍ／分以上であり、８５℃の熱水中に３３６時間放置後のフェルール試料先端面の単斜相量が５％以下と小さく耐久性に優れていることがわかった。
【００４６】
これに対し、上記範囲外の試料（Ｎｏ．１〜３、６、７、１０、１１、１４〜１６、１８〜２０等）は、０．１μｍ、０．４μｍのダイヤモンドラッピングフィルム及びＳｉＯ２ラッピングフィルムで研磨した時にラッピング量が０．６μｍ／分以下であり、８５℃の熱水中に３３６時間放置後のフェルール試料先端面の単斜相量が１０．５％以上と大きく、耐久性が悪いことがわかった。
【００４７】
０．５μｍのダイヤモンドラッピングフィルムで研磨した試料（Ｎｏ．４１〜６０）は、ラッピング量が大きく、単斜相量も小さいが、先に説明したように一緒に研磨される光ファイバーの研磨傷及び粗さが大きくなり、接続不良や過大な接続損失を生じるという問題があり、本発明の範囲外である。
【００４８】
【発明の効果】
本発明の光コネクタ用部材によれば、ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とし、イットリア（Ｙ２Ｏ３）を４〜７重量％、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を０．１〜０．４重量％、シリカ（ＳｉＯ２）を０．０４〜０．０７重量％含有し、平均結晶粒径を０．２３〜０．２７μｍもしくは、０．３１〜０．３５μｍとすることによって、相変態による単斜相量が接続した先端面の変形が生じないレベルである５％以下となり、フェルール端面の凸球面の曲率半径が大きくなってしまうという変形を生じず、接続不良や過大な接続損失を生じるという問題を解決することができる。
【００４９】
また、本発明の光コネクタ用部材の製造方法によれば、平均砥粒径が０．４μｍ以下のダイヤモンドラッピングフィルムまたは、シリカ（ＳｉＯ２）によるラッピングフィルムで研磨した時のラッピング量を１μｍ／分以上とすることによって、相変態による単斜相量が接続した先端面の変形が生じないレベルである５％以下となり、同様にフェルール端面の凸球面の曲率半径が大きくなってしまうという変形を生じず、接続不良や過大な接続損失を生じるという問題を解決することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の光コネクタ用部材の一例であるフェルールを示す断面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のフェルールを用いた光ファイバ固定具を示す断面図である。
【図２】本発明のジルコニア焼結体からなる光コネクタ用部材を用いた光コネクタを示す断面図である。
【図３】Ｘ線回折（ＸＲＤ）分析例を示す図である。
【符号の説明】
１：フェルール
２：支持体
３：光ファイバ
４：スリーブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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