(57)【要約】【課題】レーザ発振器から出力されるレーザ光のレーザ品質を切り替えることができ、また、上記レーザ発振器から出力される各レーザ光を、同一の光路をたどらせて、被照射物に照射することができると共に、上記レーザ発振器から出射されるレーザ光のレーザ品質のばらつきを少なくする。【解決手段】ビーム品質が互いに異なるレーザ光を発生可能な複数のレーザ共振器３Ａ、３Ｂと、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂのうちの１つのレーザ共振器を選択し、この選択されたレーザ共振器がレーザ光を発生するように制御するレーザ共振器選択制御手段５と、上記各レーザ共振器が発生する各レーザ光が被照射物に向かって進行する光路途中に設けられ、上記各レーザ共振器が発生した各レーザ光のいずれもが、上記被照射物に向かって同軸上を進行するように、上記各レーザ光の光路を設定可能なベンドミラー７とを有する。【選択図】  図１
2004207390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビーム品質が互いに異なるレーザ光を発生可能な複数のレーザ共振器と；
上記各レーザ共振器のうちの１つのレーザ共振器を選択し、この選択されたレーザ共振器がレーザ光を発生するように制御するレーザ共振器選択制御手段と；
上記各レーザ共振器が発生する各レーザ光が被照射物に向かって進行する光路途中に設けられ、上記各レーザ共振器が発生した各レーザ光のいずれもが、上記被照射物に向かって同軸上を進行するように、上記各レーザ光の光路を設定可能なベンドミラーと；
を有することを特徴とするレーザ発振器。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ発振器おいて、
上記複数のレーザ共振器のうちの少なくとも２つのレーザ共振器は、共通の筐体内に設けられており、また、上記筐体内に設けられた各レーザ共振器は、上記筐体内の共通のガス流路を流れるガス状のレーザ媒質を励起するために、レーザ共振器の数に対応する数の電極対を、上記筐体内で上記ガス流路に対応した位置に備えており、
上記レーザ共振器選択制御手段は、切り替えスイッチを用いて、上記各電極対のうちの１つの電極対に電圧を印加する手段であることを特徴とするレーザ発振器。
【請求項３】
互いのビーム品質が異なるレーザ光を発生可能な複数のレーザ共振器と；
上記各レーザ共振器のうちの１つのレーザ共振器を選択し、この選択されたレーザ共振器がレーザ光を発生するように制御するレーザ共振器選択制御手段と；
を有し、上記複数のレーザ共振器のうちの少なくとも２つのレーザ共振器は、共通の筐体内に設けられており、また、上記筐体内に設けられた各レーザ共振器は、上記筐体内の共通のガス流路を流れるガス状のレーザ媒質を励起するために、レーザ共振器の数に対応する数の電極対を上記筐体内で上記ガス流路に対応した位置に備えており、上記レーザ共振器選択制御手段は、切り替えスイッチを用いて、上記各電極対のうちの１つの電極対に電圧を印加する手段であることを特徴とするレーザ発振器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ発振器に係り、特に、複数のレーザ共振器を備え、これらのレーザ共振器のうちの１つのレーザ共振器を選択し、この選択されたレーザ共振器からレーザ光を発射し、上記各レーザ共振器のうちのいずれのレーザ共振器から発せられたレーザ光も、被照射物に対して同軸上を進行するように構成されたレーザ発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ発振器を構成するレーザ共振器では、このレーザ共振器を構成している反射ミラーや出力ミラーの形態と、上記反射ミラーと上記出力ミラーとの間の距離と、アパーチャ径とによって、上記レーザ共振器の出力ミラーから出力されるレーザ光のビーム品質（Ｍ２値；エムスクエアー値）が決まる。
【０００３】
そして、上記反射ミラーや上記出力ミラーの形態、上記反射ミラーと上記出力ミラーとの間の距離、アパーチャ径を変更することは、一般的には困難なので、通常のレーザ共振器からは、一定のレーザ品質のレーザ光しか取り出せないようになっている。
【０００４】
ここで、レーザ加工について説明すると、レーザで薄板ワークを高速切断する場合には、レーザ光のビーム品質を良くし（Ｍ２値を小さくし）、すなわち、レーザ光のスポット径を小さくすることが必要であり、一方、レーザで厚板ワークを切断する場合には、レーザ光のビーム品質を若干悪くし（Ｍ２値を大きくし）、すなわち、レーザ光のスポット径を大きくし、切断のカーフ幅をある程度大きくすることが必要である。切断のカーフ幅を大きくすることによって、上記厚板ワークの板厚方向にアシストガスの流れをスムーズにすることができ、安定した状態で厚板ワークにレーザ加工を施すことができる。
【０００５】
しかし、通常のレーザ発振器からは、一定のレーザ品質のレーザ光しかワークに照射することができないので、上記通常のレーザ発振器を用いて、薄板ワークを高速加工し、しかも、厚板ワークを安定した状態で加工することが困難であるという欠点がある。すなわち、ビーム品質の良いレーザ光を発生するレーザ発振器を用いれば、薄板ワークを高品位で高速加工することが可能であるが、厚板ワークを安定した状態で加工することが困難であり、一方、ビーム品質のやや悪いレーザ光を発生するレーザ発振器を用いれば、厚板ワークを安定した状態で加工することができるが、薄板ワークを高品位で高速加工することが困難になる。
【０００６】
そして、レーザ共振器内に超音波発生素子を設け、この超音波発生素子が発生する超音波でこの超音波を伝達する媒質をレンズ化し、このレンズ化された媒質によって、上記レーザ共振器から発生するレーザ光のビーム品質を変更することができるレーザ発振器（ガスレーザ）が知られている（たとえば、特許文献１）。
【０００７】
また、レーザ共振器内の反射ミラーの形態を変更することによって、上記レーザ共振器から発生するレーザ光のビーム品質を変更することができるレーザ発振器（レーザ装置）が知られている（たとえば、特許文献２）
【０００８】
【特許文献１】
特許第２９０６７８８号明細書
【０００９】
【特許文献２】
特開２００２−１１８３１２号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許第２９０６７８８号明細書に記載されているレーザ共振器では、超音波によってこの超音波の媒質をレンズ化させ、レーザ品質を変更している。したがって、１つのレーザ共振器を用いて、互いのレーザ品質が異なるレーザ光を、レーザ発振器から出射し、ワーク等の被照射物に照射することができる。しかし、正確な形状のレンズ（たとえばガラスでできたレンズ）と同等な機能を発揮するように、上記媒質を正確にレンズ化することは困難であり、上記レーザ共振器から出射されるレーザ光のレーザ品質のばらつきが多くなり、上記レーザ共振器から出射されるレーザ光の出力が不安定になる場合があるという問題がある。
【００１１】
また、上記特開２００２−１１８３１２号公報に記載されているレーザ共振器では、反射ミラーの形状を変更することによって、互いのレーザ品質が異なるレーザ光を、レーザ発振器から出射し、ワーク等の被照射物に照射することができる。
【００１２】
しかし、上記反射ミラーの形状を正確な形状に変形させることは困難であり、上記特許第２９０６７８８号明細書に記載されているレーザ共振器と同様に、上記レーザ共振器から出射されるレーザ光のレーザ品質のばらつきが多くなり、上記レーザ共振器から出射されるレーザ光の出力が不安定になる場合があるという問題がある。
【００１３】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、レーザ発振器から出力されるレーザ光のレーザ品質を切り替えることができ、また、上記レーザ発振器から出力される各レーザ光を、同一の光路をたどらせて、被照射物に照射することができると共に、上記レーザ発振器から出射されるレーザ光のレーザ品質のばらつきを少なくすることができるレーザ発振器を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明は、ビーム品質が互いに異なるレーザ光を発生可能な複数のレーザ共振器と、上記各レーザ共振器のうちの１つのレーザ共振器を選択し、この選択されたレーザ共振器がレーザ光を発生するように制御するレーザ共振器選択制御手段と、上記各レーザ共振器が発生する各レーザ光が被照射物に向かって進行する光路途中に設けられ、上記各レーザ共振器が発生した各レーザ光のいずれもが、上記被照射物に向かって同軸上を進行するように、上記各レーザ光の光路を設定可能なベンドミラーとを有するレーザ発振器である。
【００１５】
請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載のレーザ発振器おいて、上記複数のレーザ共振器のうちの少なくとも２つのレーザ共振器は、共通の筐体内に設けられており、また、上記筐体内に設けられた各レーザ共振器は、上記筐体内の共通のガス流路を流れるガス状のレーザ媒質を励起するために、レーザ共振器の数に対応する数の電極対を、上記筐体内で上記ガス流路に対応した位置に備えており、上記レーザ共振器選択制御手段は、切り替えスイッチを用いて、上記各電極対のうちの１つの電極対に電圧を印加する手段であるレーザ発振器である。
【００１６】
請求項３に記載の本発明は、互いのビーム品質が異なるレーザ光を発生可能な複数のレーザ共振器と、上記各レーザ共振器のうちの１つのレーザ共振器を選択し、この選択されたレーザ共振器がレーザ光を発生するように制御するレーザ共振器選択制御手段とを有し、上記複数のレーザ共振器のうちの少なくとも２つのレーザ共振器は、共通の筐体内に設けられており、また、上記筐体内に設けられた各レーザ共振器は、上記筐体内の共通のガス流路を流れるガス状のレーザ媒質を励起するために、レーザ共振器の数に対応する数の電極対を上記筐体内で上記ガス流路に対応した位置に備えており、上記レーザ共振器選択制御手段は、切り替えスイッチを用いて、上記各電極対のうちの１つの電極対に電圧を印加する手段であるレーザ発振器である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の形態に係るレーザ発振器１の概略構成を示す図であり、図２は、上記レーザ発振器１に設けられているレーザ共振器３の概略構成を示す図である。
【００１８】
まず、図１を主に用いて、レーザ発振器１の概略構成を説明する。
【００１９】
レーザ発振器１は、レーザ共振器３を備え、このレーザ共振器３は、ビーム品質が互いに異なるレーザ光を発生可能な２つのレーザ共振器３Ａ、３Ｂによって構成されている。
【００２０】
また、レーザ発振器１には、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂのうちの１つのレーザ共振器を選択し、この選択されたレーザ共振器がレーザ光を発生するように制御するレーザ共振器選択制御手段５（図２参照）が設けられており、また、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂが発生した各レーザ光のいずれもが、被照射物（たとえば板状のワーク；図示せず）に向かって同軸上を進行するように、上記各レーザ光の光路を設定可能なベンドミラー７が設けられている。なお、上記ベンドミラー７は、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂが発生する各レーザ光が上記被照射物に向かって進行する光路途中に設けられている。
【００２１】
次に、図２を主に用いて、上記レーザ共振器３や上記レーザ共振器選択制御手段５の概略構成について説明する。
【００２２】
レーザ共振器３は、上述のように、レーザ共振器３Ａとレーザ共振器３Ｂとで構成され、上記レーザ共振器３Ａと上記レーザ共振器３Ｂとが共通の筐体（図示せず）内に設けられている。また、上記筐体内に設けられた各レーザ共振器３Ａ、３Ｂは、上記筐体内の共通のガス流路Ｇを流れるガス状のレーザ媒質を励起するために、レーザ共振器の数に対応する数の電極対を、上記筐体内で上記ガス流路に対応した位置に備えている。なお、図２では、レーザ共振器の数は２つであるので、上記電極対の数は、各電極８Ａ、８Ｂで形成された電極対８と、各電極９Ａ、９Ｂで形成された電極対９との２つである。
【００２３】
ここで、各レーザ共振器３Ａ、３Ｂについて詳しく説明する。
【００２４】
レーザ共振器３Ａは、互いが離隔している各電極８Ａ、８Ｂで形成された一対の電極対８を備え、上記各電極８Ａ、８Ｂを互いに結ぶ方向とほぼ直交する方向に、ガス流路Ｇが形成され、このガス流路Ｇに沿ってガス状のレーザ媒質が流れるようになっている。また、上記各電極８Ａ、８Ｂを互いに結ぶ方向にほぼ直交し、しかも、上記ガス状のレーザ媒質が流れる方向にほぼ直交する方向には、光パス１１が形成されている。
【００２５】
光パス１１は、レーザ共振器３Ａ内におけるレーザ光の光路であり、上記光パス１１は、図１に示すように、レーザ共振器３Ａが備えるリヤミラー１３Ａと、出力ミラー１３Ｂとの間に形成されている。
【００２６】
なお、図１では、リヤミラー１３Ａと出力ミラー１３Ｂとの間の直線距離を少なくして、レーザ共振器３Ａの大きさを小さくするために、反射ミラー１３Ｃと反射ミラー１３Ｄとが設けられている。すなわち、たとえば、リヤミラー１３Ａで反射された光が、反射ミラー１３Ｃに到達して反射ミラー１３Ｃで反射され、この反射ミラー１３Ｃで反射された光が、反射ミラー１３Ｄに到達して反射ミラー１３Ｄで反射され、この反射ミラー１３Ｄで反射された光が、出力ミラー１３Ｂに到達するようになっている。また、出力ミラー１３Ｂに到達して、この出力ミラー１３Ｂで反射された光が、上述の経路とは逆の経路をたどって、リヤミラー１３Ａまでとどくようになっている。
【００２７】
また、レーザ共振器３Ｂは、レーザ共振器３Ａとほぼ同様に構成され、互いが離隔している各電極９Ａ、９Ｂで形成された一対の電極対９を備え、上記各電極９Ａ、９Ｂを互いに結ぶ方向とほぼ直交する方向にガス流路Ｇが形成され、さらに、光パス１５が形成されている。
【００２８】
そして、光パス１５は、図１に示すように、レーザ共振器３Ｂが備えるリヤミラー１７Ａと、出力ミラー１７Ｂとの間に形成され、さらに、リヤミラー１７Ａと出力ミラー１７Ｂとの間には、反射ミラー１７Ｃと反射ミラー１７Ｄとが設けられている。
【００２９】
なお、レーザ共振器３では、レーザ共振器３Ａの光パス１１とレーザ共振器３Ｂの光パス１５とが互いに平行になっており、レーザ共振器３Ａのリヤミラー１３Ａ、各反射ミラー１３Ｃ、１３Ｄおよび出力ミラー１３Ｂで構成されるミラー同士の相対的な位置関係と、レーザ共振器３Ｂのリヤミラー１７Ａ、各反射ミラー１７Ｃ、１７Ｄおよび出力ミラー１７Ｂ同士の相対的な位置関係とは同じになっている。すなわち、レーザ共振器３Ａのリヤミラー１３Ａ、各反射ミラー１３Ｃ、１３Ｄおよび出力ミラー１３Ｂを所定の距離だけ、上記ガス流路Ｇの方向に平行移動した位置に、レーザ共振器３Ｂのリヤミラー１７Ａ、各反射ミラー１７Ｃ、１７Ｄおよび出力ミラー１７Ｂが設けられている。
【００３０】
このように、各光パス１１、１５を配置することにより、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂが設けられている筐体の形態を簡素化することができると共に、上記筐体内におけるガス状のレーザ媒質の流れがスムーズになり、安定した出力のレーザ光を得ることができる。
【００３１】
ただし、レーザ共振器３Ａから出力されるレーザ光のビーム品質と、レーザ共振器３Ｂから出力されるレーザ光のビーム品質とを互いに異なったものとするために、レーザ共振器３Ａとレーザ共振器３Ｂとでは、それぞれのアパーチャ径を互いに変えている。
【００３２】
そして、レーザ共振器３Ａでは、たとえば、ビーム品質を示すＭ２値が１．５程度の高品質のレーザ光を出射可能であり、このレーザ光を用いて薄い板状のワークを高速加工（たとえば切断）できるようになっている。また、レーザ共振器３Ｂでは、たとえば、ビーム品質を示すＭ２値が２程度のレーザ光を出射可能であり、このレーザ光を用いて、加工時のカーフ幅を大きくとりアシストガスの抜けを容易にして、厚い板状のワークを安定して加工（たとえば切断）できるようになっている。
【００３３】
なお、各レーザ共振器３Ａ、３Ｂにおいて、アパーチャ径の変更に代えてまたは加えて、各反射ミラーの曲率や各リヤミラーと出力ミラーとの間の光パスの距離を変えてもよい。
【００３４】
また、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂが設けられている筐体は密閉されており、内部にガス状のレーザ媒質を蓄えており、上記ガス状のレーザ媒質は上記筐体内で循環可能になっている。そして、上記ガス状のレーザ媒質の循環路中には、上記ガス状のレーザ媒質を循環させるための送風機（図示せず）と、上記各電極対８、９で加熱された上記ガス状のレーザ媒質を冷却するための冷却装置（図示せず）とが設けられている。
【００３５】
次に、レーザ共振器選択制御手段５（図２参照）について説明する。
【００３６】
レーザ共振器選択制御手段５は、たとえば、切り替えスイッチ１９を用いて、上記各電極対８、９のうちの１つの電極対に電圧を印加する手段である。すなわち、レーザ共振器３のレーザ媒質を励起させるための高周波電源２１が発生する電圧を、切り替えスイッチ１９を用いて、各電極対８、９のうちの１つの電極対に印加することができる。
【００３７】
そして、電極対８に電圧が印加された場合には、電極対８の間に放電部２３Ａが形成され、レーザ媒質が励起され、光パス１１でレーザ光が生成され、レーザ共振器３Ａの出力ミラー１３Ｂからレーザ光が出力されるようになっている。一方、電極対９に電圧が印加された場合には、同様にして、放電部２３Ｂが形成されレーザ共振器３Ｂの出力ミラー１７Ｂからレーザ光が出力されるようになっている。
【００３８】
なお、上記切り替えスイッチ１９の切り替えは、レーザ共振器３を備えたレーザ発振器１を具備したレーザ加工機の制御装置（たとえばＮＣ制御装置）からの指令によって行われる。
【００３９】
次に、ベンドミラー７について、図１を用いて詳細に説明する。
【００４０】
ベンドミラー７は、反射ミラー７Ａを備え、この反射ミラー７Ａは、また、各レーザ共振器３Ａ、３Ｂのうちのいずれのレーザ共振器からレーザ光が出射されているかに応じ、また、上記レーザ加工機の制御装置からの指令によって作動するアクチュエータによって、たとえば、２つのポジションの間を移動し、上記２つのポジションのうちのいずれか一方のポジションで位置決めされるようになっている。すなわち、レーザ共振器３Ａからレーザ光が出射されている場合には、図１の７Ａａで示す位置に反射ミラー７Ａが存在し、レーザ共振器３Ｂからレーザ光が出射されている場合には、図１の７Ａｂで示す位置に反射ミラー７Ａが存在するようになっている。
【００４１】
そして、反射ミラー７Ａが７Ａａで示す位置に存在しているときには、レーザ共振器３Ａの出力ミラー１３Ｂから出射されたレーザ光ＬＢ１は、反射ミラー７Ａと干渉することなく（反射ミラー７Ａによって進路を妨げられることなく）、そのまま、被照射物に向かって進行する。一方、反射ミラー７Ａが７Ａｂで示す位置に存在しているときには、レーザ共振器３Ｂの出力ミラー１７Ｂから出射されたレーザ光ＬＢ２は、反射ミラー７Ａによって反射され、被照射物に向かって進行する。
【００４２】
なお、レーザ共振器３Ｂの出力ミラー１７Ｂから出射されたレーザ光ＬＢ２が、反射ミラー７Ａに向かって進行するようにするために、上記レーザ光ＬＢ２を、たとえばほぼ直角に反射させるための反射ミラー７Ｂが、上記出力ミラー１７Ｂと反射ミラー７Ａとの間に設けられている。また、上記被照射物に向かって各レーザ光ＬＢ１、ＬＢ２が進行する場合、上記レーザ光ＬＢ１と上記レーザ光ＬＢ２とが互いに同軸上を進行するように、上記各反射ミラー７Ａ、７Ｂの位置や姿勢が設定されている。
【００４３】
ちなみに、レーザ共振器３Ａの出力ミラー１３Ｂから出射されたレーザ光ＬＢ１は、上述のように被照射物に向かってそのまま進行するが、レーザ共振器３Ｂの出力ミラー１７Ｂから出射されたレーザ光ＬＢ２は、反射ミラー７Ｂで上述のようにほぼ直角に曲げられた後、さらに反射ミラー７Ａでほぼ直角に曲げられて、上記レーザ光ＬＢ１と同軸上をたどって、上記被照射物にむかって進行するようになっている。
【００４４】
次に、レーザ発振器１を備えたレーザ加工機の動作について説明する。
【００４５】
レーザ発振器１を具備しているレーザ加工機に、加工対象であるレーザ光の被照射物（たとえば板状のワーク）が載置設定され、このワークの加工プログラムが上記レーザ加工機に入力されると、上記レーザ加工機に設けられたＮＣ制御装置等の制御部は、上記加工プログラムの中から上記ワークの厚みを検知する。この検知結果に基づいて、ベンドミラー７の反射ミラー７Ａを位置決め設定すると共に、切り替えスイッチ１９を切り替えて、各電極対８、９のうちのいずれかに電圧印加し、レーザ共振器３Ａ、３Ｂのうちのいずれか一方からレーザ光を出射し、上記ワークにレーザ光を照射して上記ワークに加工を施す。
【００４６】
すなわち、上記ワークが薄い場合には、反射ミラー７Ａを７Ａａの位置に位置決め設定し、電極対８に電圧を印加し、Ｍ２値の小さいレーザ光を出射可能なレーザ共振器３Ａからレーザ光を出射させて上記ワークの加工を行う。一方、上記ワークが厚い場合には、反射ミラー７Ａを７Ａｂの位置に位置決め設定し、電極対９に電圧を印加し、Ｍ２値の大きいレーザ光を出射可能なレーザ共振器３Ｂからレーザ光を出射させて上記ワークの加工を行う。
【００４７】
レーザ発振器１は、ビーム品質が互いに異なるレーザ光を発生可能な各レーザ共振器３Ａ、３Ｂを備え、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂのうちの１つのレーザ共振器を選択し、この選択されたレーザ共振器がレーザ光を発生するように、レーザ共振器選択制御手段５が制御し、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂが発生する各レーザ光のいずれもが、上記ワークに向かって同軸上を進行するように、ベンドミラー７を用いて上記各レーザ光の光路を設定するようになっている。
【００４８】
したがって、レーザ発振器１から出力されるレーザ光のレーザ品質を容易に切り替えることができ、また、上記レーザ発振器１から出力されるレーザ品質の各レーザ光を、同一の光路をたどって、被照射物に照射することができると共に、各レーザ共振器３Ａ、３Ｂの内部において、ビーム品質を変更しているわけではなく、すなわち、各レーザ共振器３Ａ、３Ｂの各アパーチャ径それぞれが一定であり、リアミラーと反射ミラーとの間の各光パス長が一定であり、各ミラー（リアミラー、反射ミラー等）の曲率が固定されて一定であるので、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂを備えた上記レーザ発振器１から出射されるレーザ光のレーザ品質のばらつきを少なくすることができ、上記レーザ発振器１から出射されるレーザ光の出力を安定させることができる。
【００４９】
つまり、レーザ発振器１からレーザ光が出射されているときの上記レーザ光のビーム品質の変動を無くすことができ、また、レーザ発振器１から出射されるレーザ光のビーム品質を変更する度に、ビーム品質にばらつきが発生するという事態を回避することができる。
【００５０】
また、たとえば、各レーザ共振器３Ａ、３Ｂの各ミラーの曲率を変更することなく一定値にしておけばよく、上記各ミラーを正確な形状に製作し、これらの各ミラーをそのまま用いて各レーザ共振器３Ａ、３Ｂの各光パスを形成し、上記各ミラーを正確な形状に維持して使用することが可能であるので、レーザ発振器１から出射されるレーザ光の中心軸から周辺部方向へのレーザ光の強度分布が理想的なものになる。さらに、上記各光パス内に、ビーム品質を変更するために、たとえば超音波とこの媒質で形成された焦点距離可変のレンズが存在しないので、上記各光パス内でレーザ光が歪むことはほとんどなく、レーザ発振器１から出射されるレーザ光の中心軸から周辺部方向へのレーザ光の強度分布が理想的なものになる。
【００５１】
さらに、レーザ発振器１では、各レーザ共振器３Ａ、３Ｂから出射された各レーザ光が同軸上を通ってワークまでとどき、上記ワークに加工を施すので、板状のワークの厚みが変わることに応じて、上記レーザ発振器１から出射されるレーザ光のビーム品質が変わった場合であっても、上記ワークと上記レーザ発振器１を備えたレーザ加工機の加工ヘッドとの間の相対的な位置関係を変更する必要がなくなる。換言すれば、たとえば、板状のワークの厚さに応じて、ワークの設置位置をオフセットする必要がなくなる。
【００５２】
また、たとえば、１枚の板状ワークの一部分が厚く、他の部分が薄くなっている場合でも、レーザ共振器のみを切り替えてビーム品質を変えればよく、ワークの位置をオフセットする必要がないので、上記ワークの加工時間を節約することができる。
【００５３】
さらに、板状のワークを試し加工し、その後、ビーム品質を切り替えて本加工にうつる場合も、上記ワークをオフセットする必要がないので、試し加工後に本加工へ迅速に移行することができる。
【００５４】
また、レーザ発振器１は、上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂは、共通の筐体内に設けられており、また、上記筐体内に設けられた各レーザ共振器３Ａ、３Ｂは、上記筐体内の共通のガス流路を流れるガス状のレーザ媒質を励起するために、レーザ共振器の数に対応する数の電極対（レーザ発振器１では２つの電極対８、９）を上記筐体内で上記ガス流路に対応した位置に備えており、上記レーザ共振器選択制御手段５は、切り替えスイッチ１９を用いて、上記各電極対８、９のうちの１つの電極対に電圧を印加するようになっている。
【００５５】
したがって、各レーザ共振器３Ａ、３Ｂを互いに接近させて設けることができ、またガス状のレーザ媒質を共通して使用することができ、さらに、上記ガス状のレーザ媒質を循環させる装置、冷却する装置を共有化することができるので、レーザ発振器１を構成しているレーザ共振器３の構成を簡素化することができる。
【００５６】
なお、上記レーザ発振器１では、２つのレーザ共振器３Ａ、３Ｂを備えているが、３つ以上の複数のレーザ共振器を備えていてもよい。
【００５７】
また、上記レーザ発振器１の上記各レーザ共振器は、ガス状のレーザ媒質を使用しているが、上記各レーザ共振器を固体のレーザ媒質を用いて構成してもよい。さらに、レーザ発振器が複数のレーザ共振器を備えている場合、上記複数のレーザ共振器のうちの少なくとも２つのレーザ共振器が、ガス状のレーザ媒質を用い、さらに上記各レーザ共振器３Ａ、３Ｂのように共通の筐体内に設けられていれば、このように構成されている部分に関して、レーザ共振器の構成を簡素化することができる。
【００５８】
【発明の効果】
請求項１または請求項２に記載の本発明によれば、レーザ発振器から出力されるレーザ光のレーザ品質を切り替えることができ、また、上記レーザ発振器から出力される各レーザ光を、同一の光路をたどらせて、被照射物に照射することができると共に、上記レーザ発振器から出射されるレーザ光のレーザ品質のばらつきを少なくすることができるという効果を奏する。
【００５９】
請求項３に記載の本発明によれば、レーザ発振器から出力されるレーザ光のレーザ品質を切り替えることができ、また、上記レーザ発振器から出力されるレーザ品質の各レーザ光を、同一の光路をたどらせて、被照射物に照射することができると共に、レーザ発振器を構成しているレーザ共振器の構成を簡素化することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るレーザ発振器の概略構成を示す図である。
【図２】レーザ発振器に設けられているレーザ共振器の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
１  レーザ発振器
３、３Ａ、３Ｂ  レーザ共振器
５  レーザ共振器選択制御手段
７  ベンドミラー
８、９  電極対
１９  切り替えスイッチ
【図１】
2004207390.tif 000003
【図２】
2004207390.tif 000004