(57)【要約】【課題】簡易な構成で振動検出素子等の検出素子を動作可能な転動装置用センサを提供する。【解決手段】転動装置の振動を検出する振動検出素子を有し、検出値を電圧で出力するセンサであって、出力電圧の符号が変化しないことを特徴とする。【選択図】　図３
2004093186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動装置の振動を検出する振動検出素子を有し、検出値を電圧で出力するセンサであって、出力電圧の符号が変化しないことを特徴とする振動センサ。
【請求項２】
前記振動センサの出力電圧は、正電圧又は負電圧であることを特徴とする請求項１記載の振動センサ。
【請求項３】
前記振動センサの振動０Ｇの時の出力の基準電圧値を正電圧又は負電圧に設定する基準電圧設定回路を有することを特徴とする請求項１又は２記載の振動センサ。
【請求項４】
前記基準電圧値は、電源電圧とグランド間のほぼ中央値であることを特徴とする請求項３記載の振動センサ。
【請求項５】
正電圧及び負電圧の何れか一方により駆動される請求項１乃至４の何れか記載の振動センサ。
【請求項６】
前記振動検出素子の出力を増幅する増幅回路を有することを特徴とする請求項１乃至５の何れか記載の振動センサ。
【請求項７】
転動装置上に取り付けられたセンサユニットであって、
前記転動装置の振動を検出する振動検出素子を有し、かつ検出値を電圧で出力する振動センサを少なくとも備え、
前記振動センサは、出力電圧の符号が変化しないことを特徴とするセンサユニット。
【請求項８】
前記振動センサの出力電圧は、正電圧又は負電圧であることを特徴とする請求項７記載のセンサユニット。
【請求項９】
前記振動センサは、前記振動センサの振動０Ｇの時の出力の基準電圧値を正電圧又は負電圧に設定する基準電圧設定回路を有することを特徴とする請求項７又は８記載のセンサユニット。
【請求項１０】
前記基準電圧値は、前記電源電圧とグランド間のほぼ中央値であることを特徴とする請求項９記載のセンサユニット。
【請求項１１】
前記振動センサは、正電圧及び負電圧の何れか一方により駆動される請求項７乃至１０の何れか記載のセンサユニット。
【請求項１２】
前記振動センサは、前記振動検出素子の出力を増幅する増幅回路を有することを特徴とする請求項７乃至１１の何れか記載のセンサユニット。
【請求項１３】
前記センサユニットは、前記転動装置の温度を測定する温度センサを有し、
前記温度センサは、前記振動センサと共通の電源により駆動されることを特徴とする請求項７乃至１２の何れか記載のセンサユニット。
【請求項１４】
前記センサユニットは、前記転動装置の回転速度を測定する回転センサを有し、
前記回転センサは、前記振動センサと共通の電源により駆動されることを特徴とする請求項７乃至１３の何れか記載のセンサユニット。
【請求項１５】
請求項７乃至１４の何れか記載のセンサユニットを備えたセンサ付転動装置。
【請求項１６】
前記転動装置が転がり軸受装置である請求項１５記載のセンサ付き転動装置。
【請求項１７】
前記転動装置が直動装置である請求項１５記載のセンサ付き転動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、転がり軸受装置や、リニアガイド、ボールねじ等の直動装置等の転動装置の運転状態を検知する転動装置用センサに係る。特に、信頼性が要求される鉄道車両、自動車等の移動体の車軸軸受、機械設備等の軸受等の異常判定を行う転がり軸受装置用センサに関する。また本発明は、リニアガイド、ボールねじ等の直動装置の異常判定や、映像・情報機器などの軸受装置の異常判定を行う転動装置用センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１０は、転動装置用センサを備えた転動装置を示す。転動装置１００は、軸１０１と、軸１０１と径方向に対向するハウジング１０２と、軸方向に間隔をあけて軸１０１及びハウジング１０２間に配置された一対の転がり軸受１０３，１０３とを有する。
【０００３】
転がり軸受１０３，１０３は、それぞれ軸１０１に外嵌する内輪１０４，１０４、内輪１０４，１０４と対向しハウジング１０２に内嵌する外輪１０５，１０５、及び、内輪１０４，１０４と外輪１０５，１０５との間に転動可能に配置された転動体１０６，１０６を有している。軸１０１は、転がり軸受１０３，１０３を介して、ハウジング１０２に対して回転可能に構成されている。
【０００４】
ハウジング１０２の外表面１０２ａ上には、転動装置用センサ１１０が固定されている。この転動装置用センサ１１０は、転動装置１００の振動を検出するための振動検出素子である。転動装置用センサ１１０は、検出した振動信号を振動測定用信号増幅器１１１に送出し、振動信号を増幅する。増幅された振動信号は、外部に配置された所定の回路に送られ、転動装置１１０のモニター、異常診断等が行われる。
【０００５】
図１１は、振動測定用信号増幅器１１１により増幅された信号波形を示すグラフである。この転動装置用センサ１１０は、転動装置１１０の振動がゼロの時に基準値０Ｖを出力する。従って、転動装置用センサ１１０は、正方向の振動を検出した場合にはプラスの電圧信号を、そして負方向の振動を検出した場合には、マイナスの電圧信号をそれぞれ出力する。従って、図１１に示すように、増幅された値は、例えば＋２．５〜―２．５Ｖまでの範囲の値をとる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１１に示すような構成をとるためには、振動測定用信号増幅器１１１に正の定電圧及び負の定電圧を発生する電源を用意する必要がある。図１２に示すように、負の定電圧を与えない場合には、負方向の振動は、全て０Ｖとして検出されてしまい、全ての振動を正確に測定することができなくなってしまう。すなわち、振動測定用信号増幅器１１１は、正及び負の定電圧電源を内蔵しなければならない。そのため、装置の小型化や低コスト化が困難であった。
【０００７】
また、外部から振動測定用信号増幅器１１１に電源を供給する場合であっても、プラス電源、グランド線、マイナス電源の３種類の電線を用意しなければならず、構成パーツの増加及び配線の複雑化により、必要スペースが増大してしまっていた。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために為されたものであり、簡易な構成で振動検出素子等の検出素子を動作可能な転動装置用センサを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１記載のセンサは、転動装置の振動を検出する振動検出素子を有し、検出値を電圧で出力するセンサであって、出力電圧の符号が変化しないことを特徴とする。
【００１０】
具体的には、前記出力電圧は、正電圧又は負電圧であって、前記振動検出素子の基準電圧を正電圧又は負電圧に設定する基準電圧設定回路を設けることにより、出力電圧の符号が変化しないように構成することが可能となる。
【００１１】
基本的に、前記基準電圧は、電源電圧とグランド（０Ｖ）のほぼ中央となるように設定される。
【００１２】
また、本構成によれば、センサは、正電圧及び負電圧の何れか一方により駆動される。従って、正電圧及び負電圧の何れか一方のみをセンサに供給すればよいため、構成パーツを減らし、構造が簡素化される。
【００１３】
さらに、本発明の請求項７記載のセンサユニットは、転動装置上に取り付けられたセンサユニットであって、前記転動装置の振動を検出する振動検出素子を有し、かつ検出値を電圧で出力する振動センサを少なくとも備え、前記振動センサは、出力電圧の符号が変化しないことを特徴とする。
【００１４】
また、前記センサユニットは、前記転動装置の温度を測定する温度センサを有していてもよい。前記温度センサは、前記振動センサと共通の電源により駆動される。このように、温度センサと振動センサは、電源を共有しているため、センサユニット内部の構造を簡素化することが可能となる。
【００１５】
また、前記センサユニットは、前記転動装置の回転速度を測定する回転センサを有していてもよい。前記回転センサは、前記振動センサと共通の電源により駆動される。このように、回転センサと振動センサは、電源を共有しているため、センサユニット内部の構造を簡素化することが可能となる。
【００１６】
上記センサユニットは、センサ付転動装置又は直動装置等に適用することが可能である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明に係るセンサユニットの実施形態について詳細に説明する。
【００１８】
（第１実施形態）
以下、本発明に係るセンサユニットの第１実施形態について説明する。
【００１９】
図１は、転動装置用センサを備えた転動装置を示す。転動装置１０は、軸１１と、軸１１と径方向に対向するハウジング１２と、軸方向に間隔をあけて軸１１及びハウジング１２間に配置された一対の転がり軸受１３，１３とを備えている。
【００２０】
転がり軸受１３，１３は、それぞれ軸１１に外嵌する内輪１４，１４、内輪１４，１４と対向しハウジング１２に内嵌する外輪１５，１５、及び、内輪１４，１４と外輪１５，１５との間に転動可能に配置された転動体１６，１６を有している。軸１１は、転がり軸受１３，１３を介して、ハウジング１２に対して回転可能に構成されている。
【００２１】
ハウジング１２の外表面１２ａ上には、センサユニット２０が固定されている。センサユニット２０は、転動装置１０の振動を検出するための振動検出素子２１、転動装置１０の温度を検出するための温度検出素子２２、振動検出素子２１とともに振動センサを構成する振動センサ用信号処理回路２３、及び、温度検出素子２２とともに温度センサを構成する温度センサ用信号処理回路２４を有している。
【００２２】
図２は、センサユニット２０の内部構成を示すブロック図である。センサユニット２０には、ケーブル３０が接続されており、振動センサ及び温度センサにより検出された信号を外部に送出する。また、センサユニット２０には、たとえば＋５Ｖの定電圧を供給する＋５Ｖ線と、ＧＮＤ線とが配線されている。センサユニット２０に配線された＋５Ｖ線とＧＮＤ線は、振動検出素子２１、温度検出素子２２、及び、各信号処理回路２３，２４が動作するための電力を供給する。
なお、供給する定電圧は、センサの種類やセンサの内部回路に応じて選択され、＋５Ｖに限らず、＋１２Ｖや＋２４Ｖ等、他の電圧を供給するようにしてもよい。
【００２３】
振動検出素子２１は、転動装置１０の振動方向に応じた電圧を信号処理回路２３に出力する素子である。振動検出素子２１は、変位、速度、加速度検出素子等から構成されている。振動検出素子として加速度センサを用いる場合、両端支持のバイモルフ型加速度センサや、片もち構造の加速度センサ、リング状の圧電素子型加速度センサ等を用いることが可能である。また、複数の振動検出素子をセンサユニット内部に配置するようにしてもよい。
【００２４】
信号処理回路２３は、振動検出素子２１の出力の増幅等の所定の処理を施す回路である。具体的に信号処理回路２３は、出力増幅用のアンプ等を有している。
【００２５】
図３は、振動検出素子２１及び信号処理回路２３の構成例を示す回路図である。図３では、説明の簡便化のため、信号処理回路２３が、単電源オペアンプ２５ａのみから構成されている差動増幅器として説明する。
【００２６】
振動検出素子２１は、正方向の振動を検出した場合にはプラスの電圧信号を、そして負方向の振動を検出した場合には、マイナスの電圧信号をそれぞれ出力する素子である。図３において振動検出素子の電位基準端子（負端子）は、抵抗Ｒ１を介してオペアンプ２５ａの負端子に接続されている。
【００２７】
オペアンプ２５ａは、外部から供給される＋５Ｖ定電圧線とＧＮＤ線によって動作する単電源オペアンプである。オペアンプ２５ａは、出力の一部が抵抗Ｒ４を介して負端子に接続された負帰還接続構造を有している。ここで、オペアンプ２５ａで差動増幅器を構成するためにＲ１＝Ｒ２、Ｒ３＝Ｒ４とするのが望ましい。オペアンプ２５ａは、振動検出素子２１の出力を所定の増幅率で増幅して出力している。
【００２８】
振動検出素子２１の正端子は、抵抗Ｒ２を介してオペアンプ２５ａの正端子と接続されており、また抵抗Ｒ２及びＲ３を介して基準電圧設定器２１ａに接続されている。基準電圧設定器２１ａは、ＧＮＤ電位に対して、オペアンプ２５ａの正端子電位を上昇させるための回路であり、ここではＧＮＤに対して抵抗Ｒ３の一端を２．５Ｖとしている。基準電圧設定器２１ａとしては、電池、定電圧レギュレータ、ＤＣ−ＤＣコンバータ、基準電圧ＩＣ、定電圧ダイオード等を用いることが可能である。なお、基準電圧設定器２１ａとして、定電圧レギュレータ、ＤＣ−ＤＣコンバータ、基準電圧ＩＣ、定電圧ダイオードなどを用いる場合には、オペアンプ２５ａへの供給電源電圧５Ｖなどのような基準電圧設定器２１ａの設定電圧（この場合は２．５Ｖ）以上の電圧を基準電圧設定器２１ａに供給する必要がある。
【００２９】
この構成により、振動０Ｇのときの振動検出素子２１の出力電圧は０Ｖであるので、オペアンプ２５ａの検出信号電圧は、２．５Ｖ（基準電圧設定器２１ａの電圧）となる。振動が加わり、振動検出素子２１に出力電圧が発生した場合には、この２．５Ｖ（基準電圧設定器の電圧）にオペアンプ２５ａにより増幅（増幅率：Ｒ４／Ｒ１（＝Ｒ２／Ｒ３））された電圧が重畳された検出信号が出力される。
【００３０】
温度検出素子２２は、転動装置１０の温度を測定する温度検出素子である。温度検出素子２２は、所定の温度測定範囲を有しており、温度変化に応じて、抵抗値や出力電圧が変化する素子である。温度検出素子としては、サーミスタ、温度ＩＣ、白金等からなる測温抵抗、熱電対等が使用可能である。
【００３１】
信号処理回路２４は、温度検出素子２２の出力を増幅する回路である。具体的に、信号処理回路２４は、出力増幅用の単電源アンプ等を有している。前述の通り、信号処理回路２４は、信号処理回路２３と同様に、＋５Ｖ線により供給される＋５Ｖ電圧で駆動する。なお、温度検出素子を使用した温度センサの回路としては、増幅が必要でない構成とすることも可能である。
【００３２】
信号処理回路２３及び信号処理回路２４の両出力は、一本のケーブル３０内にまとめられ外部に設置された異常診断装置に出力され、モニター表示される。信号処理回路２３及び信号処理回路２４の出力を別々のケーブルを介して出力するように構成してもよい。
【００３３】
図４は、信号処理回路２３を介して増幅出力された振動検出素子２１の出力信号を示す図である。図４において、出力信号は、約２．５Ｖを中心に、正負に振動していることがわかる。これより、単電源オペアンプであるオペアンプ２５ａは、基準電圧設定器２１ａにより振動検出素子２２からの出力を適切に増幅し、２．５Ｖのオフセット電圧を加えて出力していることがわかる。
【００３４】
センサユニット２０は、転動装置１０内にて軸１１が回転すると、振動検出素子２１により転動装置１０に生じる振動を検出し、同時に温度検出素子２２により転動装置１０の温度を検出する。検出された振動信号及び温度信号は、信号処理回路２３及び２４によりそれぞれ増幅され、ケーブル３０を介して外部の異常診断装置に出力される。異常診断装置は、受け取った振動信号及び温度信号をもとに、転動装置の温度を計算し、振動を構成する周波数の分布及び温度の時間変化等を基に転動装置に異常が発生していないかどうかを診断する。
【００３５】
本実施形態によれば、ＧＮＤ電圧と＋５Ｖ電圧により動作する単電源オペアンプを用いている。そして、基準電圧設定器２１ａにより振動検出素子の出力の基準値を変更し、単電源オペアンプで増幅することにより、適切な出力信号を得ている。このように、基準値を変更しかつ単電源オペアンプを使用することにより、各検出素子及び信号処理回路のそれぞれにＧＮＤ電圧と＋５Ｖ電圧の２種類のみの共通外部供給電圧を用いて、センサユニットを動作可能に構成することが可能となる。
【００３６】
従って、プラス電源線、グランド線、マイナス電源線の３種類の電線を用意することなく、簡易な電源構成により、センサユニットを動作させることが可能となる。また、２種類の電圧を供給する電源を用意する必要がないため、電源及びその周辺回路を構成する部品数を減少させることが可能となり、低コスト化を図ることができる。
【００３７】
なお、本実施形態では、電源をセンサユニット２０の外部に設ける構成としたが、これに限られず、センサユニット２０の内部に定電圧電源を設けるように構成してもよい。この場合には、発生させる定電圧としてプラス電圧のみを発生させればよい。従って、電源の配置による回路の複雑化を招くことがなく、センサユニット２０のサイズを小さく構成することが可能となる。
【００３８】
なお、本実施形態では、振動出力信号の基準電圧値（振動０Ｇのときの出力）は、グランドと正電圧間の中央近傍となるように調整したが、これに限られず、正電圧またはグランド（０Ｖ）の何れか一方に基準電圧が偏っていてもよい。図５は、振動出力信号の基準電圧値が、正電圧とグランドの中央近傍でない場合の出力例を示す図である。この図では、振動出力信号の基準電圧値がグランド（０Ｖ）と正電圧間の中央である２．５Ｖから２Ｖにずれている。出力信号が、正又は負の何れか一方向に偏る傾向がある場合には、何れか一方向に基準電圧値をずらしてやることにより、全ての波形を適切に精度よく増幅出力することが可能となる。
【００３９】
なお、本実施形態では、基準電圧設定器２１ａは、２．５Ｖに設定したが、これに限られず、検出素子からの出力の大きさや回路構成に応じて、適切な値に設定してもよい。
【００４０】
なお、本実施形態では、図３に示される回路構造により、出力の基準電圧を０Ｖから変更するよう構成したが、これに限られず、種々の変形が可能である。単電源アンプが、出力信号を適切に増幅することができるような回路構成であれば、上記と同様の結果を得ることが可能となる。
【００４１】
（第２実施形態）
以下、本発明に係るセンサユニットの第２実施形態について説明する。
【００４２】
図６は、転動装置用センサを備えた転動装置を示す。転動装置５０は、軸５１と、軸５１と径方向に対向するハウジング５２と、軸方向に間隔をあけて軸５１及びハウジング５２間に配置された一対の転がり軸受５３，５３とを備えている。
【００４３】
転がり軸受５３，５３は、それぞれ軸５１に外嵌する内輪５４，５４、内輪５４，５４と対向しハウジング５２に内嵌する外輪５５，５５、及び、内輪５４，５４と外輪５５，５５との間に転動可能に配置された転動体５６，５６を有している。軸５１は、転がり軸受５３，５３を介して、ハウジング５２に対して回転可能に構成されている。
【００４４】
ハウジング５２の外表面５２ａ上には、ハウジング５２の内部に連通している取り付け孔１２ｂが形成されており、そして取り付け孔１２ｂを介して、センサユニット６０が固定されている。センサユニット６０は、フランジ６０ａと、フランジ６０ａと連続して一体形成された筒状の凸部６０ｂとを有する。ハウジング５２の取り付け孔１２ｂには、センサユニット６０の凸部６０ｂが差し込まれている。センサユニット６０は、フランジ６０ａがハウジング５２の外表面５２ａ上に当接した状態で図示せぬ固定手段により固定されている。
【００４５】
センサユニット６０の凸部６０ｂ内部には、凸部６０ｂの形状に沿って筒型のセンサユニット収納空間６０ｃが形成されている。センサユニット６０は、転動装置１０の振動を検出するための振動検出素子６１、転動装置１０の温度を検出するための温度検出素子６２、軸５１の回転数を測定する回転検出素子６３、振動検出素子６１とともに振動センサを構成する振動センサ用信号処理回路６４、温度検出素子６２とともに温度センサを構成する温度センサ用信号処理回路６５、及び、回転検出素子と共に回転センサを構成する回転センサ用信号処理回路６６とをセンサユニット収納空間６０ｃ内に収納している。
【００４６】
図７は、センサユニット６０の内部構造を示すブロック図である。センサユニット６０には、ケーブル６９が接続されており、振動センサ、温度センサ、及び、回転センサによって検出された信号を外部に送出する。また、センサユニット６０には、＋１２Ｖの定電圧を供給する＋１２Ｖ線と、ＧＮＤ線とが配線されている。センサユニット６０に供給された＋１２Ｖ線とＧＮＤ線は、回転速度検出素子６３、及び、信号処理回路６６が動作するための電力を供給する。また、定電圧回路６７は、＋１２Ｖの定電圧から＋５Ｖを生成し、振動検出素子６１、温度検出素子６２、信号処理回路６５、及び、信号処理回路６４に＋５Ｖを供給する。
【００４７】
振動検出素子６１は、転動装置５０の振動方向に応じた電圧を信号処理回路６５に出力する素子である。振動検出素子６１は、変位、速度、加速度検出素子等が使用できる。振動検出素子として加速度センサを用いる場合、両端支持のバイモルフ型加速度センサや、片もち構造の加速度センサ、リング状の圧電素子型加速度センサ等を用いることが可能である。また、複数の振動検出素子をセンサユニット内部に配置するようにしてもよい。
【００４８】
信号処理回路６５は、振動検出素子６１の出力の増幅処理を施す回路である。具体的に信号処理回路６５は、出力増幅用のアンプ等を有している。
【００４９】
振動検出素子６１及び信号処理回路６５の基本構成は、図３に示す第１実施形態と同一である。信号処理回路６５は、単電源オペアンプ６５ａを有しており、振動検出素子６１の電位基準端子（負端子）は、抵抗Ｒ１を介してオペアンプ６５ａの負端子に接続されている。
【００５０】
オペアンプ６５ａは、＋１２Ｖ電源を降圧して作られた＋５Ｖ電源電圧とＧＮＤによって動作する単電源オペアンプである。オペアンプ６５ａは、出力の一部が抵抗Ｒ４を介して負端子に接続された負帰還接続構造を有している。ここで、オペアンプ６５ａで差動増幅器を構成するためにＲ１＝Ｒ２、Ｒ３＝Ｒ４とするのが望ましい。オペアンプ６５ａは、振動検出素子６１の出力を所定の増幅率で増幅して出力している。
【００５１】
振動検出素子６１の正端子は、抵抗Ｒ２を介してオペアンプ６５ａの正端子と接続されており、また抵抗Ｒ２及びＲ３を介して基準電圧設定器６１ａに接続されている。基準電圧設定器６１ａは、ＧＮＤ電位に対して、オペアンプ６５ａの正端子電位を上昇させるための回路であり、ここではＧＮＤに対して抵抗Ｒ３の一端を２．５Ｖとしている。基準電圧設定器６１ａとしては、電池、定電圧レギュレータ、ＤＣ−ＤＣコンバータ、基準電圧ＩＣ、定電圧ダイオード等を用いることが可能である。
【００５２】
この構成により、振動０Ｇのときの振動検出素子６１の出力電圧は０Ｖであるので、オペアンプ６５ａの検出信号電圧は、２．５Ｖ（基準電圧設定器６１ａの電圧）となる。振動が加わり、振動検出素子６１に出力電圧が発生した場合には、この２．５Ｖ（基準電圧設定器の電圧）にオペアンプ６５ａにより増幅（増幅率：Ｒ４／Ｒ１（＝Ｒ２／Ｒ３））された電圧が重畳された検出信号が出力される。
【００５３】
温度検出素子６２は、転動装置５０の温度を測定する温度検出素子である。温度検出素子６２は、所定の温度測定範囲を有しており、温度変化に応じて、抵抗値や出力電圧が変化する素子である。温度検出素子６２としては、サーミスタ、温度ＩＣ、白金等からなる測温抵抗、熱電対等が使用できる。
【００５４】
信号処理回路６４は、温度検出素子６２の出力の増幅処理等を施す回路である。具体的に、信号処理回路６４は、出力増幅用の単電源アンプ等を有している。本実施形態では、信号処理回路６４は、＋１２Ｖ電源より降圧して作られた＋５Ｖ定電圧回路で駆動してもよいし、＋１２Ｖで駆動してもよい。
【００５５】
回転検出素子６３は、センサユニット６０の凸部６０ｂの先端部近傍に配置され、軸５１と対向している。回転検出素子６３は、ホール素子、ホールＩＣ、ＭＲ素子、ＧＭＲ素子等のアクティブタイプの速度センサや、磁石、コイル、及びポールピースからなるパッシブタイプの速度センサが使用できる。回転検出素子６３は、軸５１上に周期的に形成された、スリット、凹凸、Ｓ・Ｎ着磁領域等を有するパルサリングによる磁束の変化を検出することにより、回転速度及び回転数に対応するパルス信号を生成し、信号処理回路６６に出力する。
【００５６】
信号処理回路６６は、回転検出素子６３の出力の増幅、波形整形、ノイズカット等の所定の処理を施す回路である。具体的に、信号処理回路６６は、出力増幅用の単電源アンプ、波形整形回路、ノイズカット用の周波数フィルタ等を有している。本実施例においては、信号処理回路６６は、＋１２Ｖ電圧線により供給される＋１２Ｖ電圧で駆動されているが、これ以外の電圧で駆動されるように構成してもよい。
【００５７】
信号処理回路６４〜６６の各出力は、一本のケーブル６９内にまとめられ外部に設置された異常診断装置に出力され、モニター表示される。各信号処理回路６４〜６６の出力を別々のケーブルを介して出力するように構成してもよい。
【００５８】
センサユニット６０は、転動装置５０内にて軸５１が回転すると、振動検出素子６１により転動装置５０に生じる振動を検出し、同時に温度検出素子６２及び回転検出素子６３により転動装置５０の温度及び回転パルスを検出する。検出された振動信号、温度信号及び回転速度信号は、信号処理回路６４〜６６によりそれぞれ増幅や、波形処理され、ケーブル６９を介して外部の異常診断装置に出力される。異常診断装置は、受け取った振動信号、温度信号及び回転速度信号をもとに、転動装置の温度及び回転速度を計算し、振動を構成する周波数の分布、温度の時間変化及び回転数等を基に転動装置に異常が発生していないかどうかを診断する。
【００５９】
本実施形態では、振動センサに単電源オペアンプを用いている。そして、基準電圧設定器６１ａにより振動センサ出力の基準電圧値を変更し、単電源オペアンプで増幅することにより、適切な出力信号を得ている。このように、振動センサに単電源オペアンプを使用し、出力の基準電圧値を変更することにより、＋１２Ｖ電圧の１種類のみの外部供給電圧を用いて、センサユニットを動作可能に構成することが可能となる。
【００６０】
従って、プラス電源線、グランド線、マイナス電源線の３本の電線を用意することなく、２本の電線により、センサユニットを動作させることが可能となる。また、２種類の電圧を供給する電源を用意する必要がないため、電源及びその周辺回路を構成する部品数を減少させることが可能となり、低コスト化を図ることができる。
【００６１】
なお、本実施形態では、電源をセンサユニット２０の外部に設ける構成としたが、これに限られず、センサユニット２０の内部に定電圧電源を設けるように構成してもよい。この場合には、発生させる定電圧として正電圧のみを発生させればよい。従って、電源の配置による回路の複雑化を招くことがなく、センサユニット２０のサイズを小さく構成することが可能となる。
【００６２】
なお、本実施形態では、振動センサ出力の基準電圧値（振動０Ｇのときの出力）は、電源電圧とＧＮＤ（０Ｖ）のほぼ中央となるように調整したが、これに限られず、図５に示すように、正または負の何れか一方に出力の基準電圧値が偏っていてもよい。出力信号が、正又は負の何れか一方向に偏る傾向がある場合には、何れか一方向に出力の基準電圧値をずらしてやることにより、全ての波形を適切に精度よく増幅出力することが可能となる。
【００６３】
なお、本実施形態では、基準電圧設定器２１ａは、２．５Ｖに設定したが、これに限られず、検出素子からの出力の大きさや回路構成に応じて、適切な値に設定してもよい。
【００６４】
なお、本実施形態では、図３に示される回路構造により、基準値を０Ｖから変更するよう構成したが、本発明はこれに限られず、種々の変形が可能である。単電源アンプが、出力信号を適切に増幅することができるような回路構成があれば、上記と同様の結果を得ることが可能となる。
【００６５】
なお、本実施形態では、１２Ｖの定電圧を５Ｖに降圧して、振動センサ及び温度センサに供給したが、これに限られず、所定の定電圧を各センサに供給し、各センサ内にて必要な降圧または昇圧を行うように構成してもよい。例えば、振動センサが５Ｖ駆動、温度センサが３Ｖ駆動、回転センサが１２Ｖ駆動の場合には、各センサに１２Ｖをそのまま供給し、振動センサ及び温度センサ内にて、それぞれ電圧を５Ｖ及び３Ｖに降圧するように構成可能である。
【００６６】
（変形例）
以下、本発明に係る振動検出素子および信号処理回路の変形例について説明する。
【００６７】
図８は、振動検出素子および信号処理回路の変形例を示す図である。本変形例においては振動検出素子７０および単電源オペアンプ７１には、―５Ｖ電圧が供給されている。
【００６８】
振動検出素子７０は、正方向の振動を検出した場合にはプラスの電圧信号を、そして負方向の振動を検出した場合には、マイナスの電圧信号をそれぞれ出力する素子である。図８において振動検出素子の電位基準端子（負端子）は、抵抗Ｒ１を介してオペアンプ７１の負端子に接続されている。
【００６９】
オペアンプ７１は、外部から供給される−５Ｖ定電圧線とＧＮＤ線によって動作する単電源オペアンプである。オペアンプ７１は、出力の一部が抵抗Ｒ４を介して負端子に接続された負帰還接続構造を有している。ここで、オペアンプ７１で差動増幅器を構成するためにＲ１＝Ｒ２、Ｒ３＝Ｒ４とするのが望ましい。オペアンプ７１は、振動検出素子７０の出力を所定の増幅率で増幅して出力している。
【００７０】
振動検出素子７０の正端子は、抵抗Ｒ２を介してオペアンプ７１の正端子と接続されており、また抵抗Ｒ２及びＲ３を介して基準電圧設定器７２に接続されている。基準電圧設定器７２は、−５Ｖ線に対して、オペアンプ７１の正端子電位を上昇させるための回路であり、ここでは−５Ｖ線に対して抵抗Ｒ３の一端を−２．５Ｖとしている。基準電圧設定器７２としては、電池、定電圧レギュレータ、ＤＣ−ＤＣコンバータ、基準電圧ＩＣ、定電圧ダイオード等を用いることが可能である。
【００７１】
この構成により、振動０Ｇのときの振動検出素子７０の出力電圧は０Ｖであるので、オペアンプ７１の検出信号電圧は、―２．５Ｖ（基準電圧設定器７２の電圧）となる。振動が加わり、振動検出素子７０に出力電圧が発生した場合には、この−２．５Ｖ（基準電圧設定器の電圧）にオペアンプ７１により増幅（増幅率：Ｒ４／Ｒ１（＝Ｒ２／Ｒ３））された電圧が重畳された検出信号が出力される。
【００７２】
本変形例に示す構成によれば、得られる出力電圧は、出力電圧の基準値（振動０Ｇのときの出力）が−５Ｖから−２．５Ｖに変更され、―５Ｖから０Ｖの範囲で変動する。このように、負電原のみを用意し、―電圧電源線とＧＮＤ線により単電源オペアンプを駆動し、さらに出力の基準値電圧を変更することにより、センサおよびセンサユニットを駆動することが可能となる。
【００７３】
なお、第１、第２実施形態及び変形例で示したセンサユニットは、転動装置に限らず、図９に示すようにボールねじ８０に適用することもできる。ボールねじ８０では、ナット８１にセンサ２０（６０）を配置することにより、ねじ軸８２との係合部における剥離や傷等の初期的な異常及び、急激な温度上昇等の末期的な異常を検知することができる。なお、センサ２０（６０）は、ナット８１に限らず、ねじ軸８２をサポートしている固定側のサポートユニット８３や単純支持側のサポートユニット８４に取付けても良い。ねじ軸８２はロックナット８５により固定側のサポートユニット８３に軸方向に固定されており、カップリング８６を介して結合された駆動ユニット８７によって回転する。
【００７４】
また更に、ボールねじに限らず、リニアガイドやその他の直動部品における可動部やレールにセンサ２０（６０）を取り付けることによって、剥離や傷等の初期的な異常及び、急激な温度上昇等の末期的な異常を検知することもできる。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によれば、簡易な構成で振動検出素子等の検出素子を動作可能な転動装置用センサを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１実施形態の転動装置用センサを備えた転動装置を示す図である。
【図２】第１実施形態のセンサユニットの内部構成を示すブロック図である。
【図３】振動検出素子及び信号処理回路の具体的な構成例を示す回路図である。
【図４】信号処理回路を介して増幅出力された振動検出素子の出力信号を示す図である。
【図５】基準値が、出力波形の中心値でない場合の出力例を示す図である。
【図６】本発明に係る第２実施形態の転動装置用センサを備えた転動装置を示す図である。
【図７】第２実施形態のセンサユニットの内部構成を示すブロック図である。
【図８】振動検出素子および信号処理回路の変形例を示す図である。
【図９】センサユニットを有するボールねじを示す図である。
【図１０】従来の転動装置用センサを備えた転動装置を示す図である。
【図１１】従来の振動測定用信号増幅器により増幅された信号波形を示すグラフである。
【図１２】従来の振動測定用信号増幅器により増幅された信号波形を示すグラフである。
【符号の説明】
１０，５０　　　転動装置
２０，６０　　　センサユニット
２１，６１　　　振動検出素子
２２，６２　　　温度検出素子
６３　　　　　　回転検出素子
２１ａ，６１ａ　基準電圧設定器
８０　　　　　　ボールねじ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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