(57)【要約】【課題】半導体デバイス上に施したＣｕ及びＣｕ合金を有する面を研磨するにあたり、スラリー濃度が比較的低濃度にも係わらず、実用的な加工速度２００ｎｍ／ｍｉｎが達成でき、しかも、表面特性は、表面欠陥のない高光沢、高平滑性を発現可能な銅系金属用研磨液を提供する。【解決手段】ピロリン酸、トリリン酸、ヘキサメタリン酸等の縮合リン酸および／またはその塩からなる銅系金属研磨液用酸を０．１重量％以上、過酸化水素、過ヨウ素酸及びその塩等の酸化剤を０．０５重量％以上及び研磨砥粒を０．０１重量％以上、更に必要に応じてベンゾトリアゾール等の反応抑制剤を０を超え１重量％以下含んでなり、ｐＨが３〜８のスラリーからなる銅系金属用研磨液。【選択図】　　選択図なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
縮合リン酸及び／又はその塩からなる銅系金属研磨液用酸。
【請求項２】
縮合リン酸及び／又はその塩が、ピロリン酸、トリリン酸、ヘキサメタリン酸及び／又はそれらの塩からなる群より選ばれる少なくとも一種である請求項１記載の銅系金属研磨液用酸。
【請求項３】
請求項１記載の銅系金属研磨液用酸、酸化剤及び研磨砥粒を含むスラリーであって、該スラリーのｐＨが３〜８である銅系金属用研磨液。
【請求項４】
銅系金属研磨液用酸濃度が０．１重量％以上、酸化剤濃度が０．０５重量％以上、研磨砥粒濃度が０．０１重量％以上である請求項３記載の銅系金属用研磨液。
【請求項５】
銅系金属研磨液用酸濃度が０．１〜１０重量％、酸化剤濃度が０．０５〜１０重量％、研磨砥粒濃度が０．０１〜１０重量％である請求項３記載の銅系金属用研磨液。
【請求項６】
酸化剤が、過酸化水素、過ヨウ素酸及び／又はその塩からなる群より選ばれる少なくとも一種である請求項３〜５のいずれかに記載の銅系金属用研磨液。
【請求項７】
請求項３の銅系金属用研磨液が、反応抑制剤を更に含有してなる銅系金属用研磨液。
【請求項８】
反応抑制剤がベンゾトリアゾール及び／又はその誘導体である請求項７記載の銅系金属用研磨液。
【請求項９】
反応抑制剤濃度が、０をこえ１重量％以下である請求項７又は請求項８記載の銅系金属用研磨液。
【請求項１０】
請求項３〜９のいずれかの項に記載の銅系金属用研磨液を用いて、銅又は銅合金を含む面を研磨する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は銅系金属研磨液用酸、それを用いた銅系金属用研磨液及び研磨方法に関するものであり、更に詳しくは、半導体集積回路の銅配線工程における化学機械研磨技術によるデバイス平坦化に用いられる研磨液に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、情報化技術の急速な発展に伴い大規模集積回路（ＬＳＩ、ＵＬＳＩ、ＶＬＳＩ）の微細化、高密度化、高集積化による高速化が要求され、精度の高い配線の多層化技術の開発が鋭意行われている。配線の多層化を達成するためには、配線ピッチ幅の縮小及び配線間容量の低減等を行なうことが必要となり、現有の金属配線材料等であるアルミニウムから電気抵抗率の低い銅（Ｃｕ）への変更技術開発が精力的に行なわれている。
【０００３】
Ｃｕ配線は、ドライエッチング法では生成物の蒸気圧の関係で配線形成が困難とされており、埋め込みによるダマシンプロセスが主流となりつつある。
【０００４】
配線の多層化における課題の一要素は、各層の配線パターン及び配線層に段差欠陥のない高平滑化、高平坦化を確立することにあり、高精度の平坦化技術として、ダマシン法により埋め込み形成された配線を機械的研磨及び化学的研磨の相乗作用を適用した所謂、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）技術が用いられる。
【０００５】
ＣＭＰ加工技術は、通常、研磨、除去する金属と化学的に反応する薬剤及び研磨砥粒を含む研磨用スラリーを、研磨装置の定盤上に貼付したポリシングパッド面に一定供給しつつ、ダマシン施工した半導体基板を装着した研磨ヘッドを一定荷重でパッドに押圧し、定盤と研磨ヘッドの回転相対運動により余剰の金属層を研磨、除去して平坦化する方法である。
【０００６】
Ｃｕは柔らかく貴な金属であり、酸素の存在下で容易に酸化被膜を形成し不働態化する特性を有する。Ｃｕの電気化学的溶出を誘起するには水素イオンより強い酸化力が必要であり、通常は酸化剤を添加することにより溶出を図る。また、酸化剤が存在しない系では、ＣＮ−やＮＨ４＋のようなイオン含有する薬剤を添加することにより成される。
【０００７】
Ｃｕ表面において溶出したＣｕイオンとの錯体を形成する錯体形成剤は、Ｃｕ表面での反応を助長し、表面に形成された酸化被膜を変質化させ、研磨加工を容易にすると共に研磨により溶液中に遊離、溶出するＣｕイオンを固定化する働きを行ない、加工特性を向上させる機能を有するものと考えられる。
【０００８】
酸化剤及び錯体形成剤の相乗作用により化学反応が著しくなると、酸化被膜形成よりもＣｕ表面の溶解が優先し、表面の凹凸性は激しくなる。また、研磨においては機械的作用が同伴することにより部分的研磨の進行が顕著となり、Ｃｕ表面上の平滑性は著しく低下する現象を生じる。
【０００９】
この対処法として、Ｃｕとの反応を制御する反応抑制剤が添加されている。
【００１０】
一般的なＣＭＰスラリーの構成としては、金属表面の酸化反応を促進することを目的とする酸化剤、Ｃｕの溶出及び錯体化を促進し、水素イオン供与体として作用する酸、金属のオーバーエッチングを制御する反応抑制剤及び表面に形成された酸化被膜を機械的に除去し、加工特性を増大させることを目的とする砥粒で構成されている。
【００１１】
ここで砥粒は、被研磨表面とスラリー構成剤との化学反応により形成された酸化被膜及び錯体被膜を機械的に除去し、加工速度を増大させることを主目的とするものであるが、一方、金属配線層の過剰研磨を誘発し、ディッシングと称する皿状欠陥、また、スクラッチと称する表面傷の発生を招く要因となる。よって、砥粒濃度は可能な限り低くし、実用的な加工速度が得られるスラリーとすることが望ましい。
【００１２】
砥粒を含有せずに、或いは、低濃度の砥粒を含有させてＣｕ又はＣｕを主成分とする金属膜を研磨するＣＭＰスラリー技術の一態様としては、例えば、特許文献１に酸化性物質と、リン酸と、有機酸と、保護膜形成剤と水を含む研磨液が開示されている。特許文献２には、１重量％未満の研磨砥粒と、酸化性物質と、酸化物を水溶化する物質を含み、ｐＨ及び酸化還元電位が金属膜の腐食域となる研磨液を用い、金属表面を機械的に摩擦する方法が開示されている。また、砥粒含有の一態様としては、シリカ粒子、有機酸類、酸化剤及び水よりなる金属膜用研磨剤において、有機酸類の濃度が０．０１〜０．１当量／ｌの範囲であり、ｐＨが５〜８の範囲である金属膜用研磨剤と用いて研磨を行なう、特許文献３が開示されている。
【００１３】
しかしながら、砥粒未含有系で高加工速度を得るには、高濃度のスラリー構成剤、特に、酸化剤の高濃度化が必要となり取り扱い上多大な支障を生じる。また、高加工速度は得られても多層配線化のリソグラフィー技術の焦点調整を反映する表面粗さ特性（Ｒａ）を充分満足されるものでなく、これら問題点を解決しうるスラリーの開発が望まれている。
【００１４】
なお、本発明の表面粗さ（Ｒａ）とは、ＪＩＳ　Ｂ０６０１に定義される算術表面粗さを表すものである。
【００１５】
【特許文献１】
特開２００２−５０５９５号公報（請求項１）
【特許文献２】
特開平１１−１３５４６６号公報（請求項１）
【特許文献３】
特開２００１−３１９５０号公報（請求項１）
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、スラリー構成剤の濃度が比較的低濃度にも係わらず、実用的な加工速度２００ｎｍ／ｍｉｎが達成でき、しかも、表面特性は、表面欠陥のない高光沢、高平滑性を発現可能な、これまでにない新規な銅系金属研磨液用酸、それを用いた銅系金属用研磨液及び研磨方法を提供するものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上記課題を達成するために鋭意検討を行なった結果、本発明により、高加工速度及び高表面特性（≦１．２ｎｍＲａ）を両立することが可能となる新規な縮合リン酸及び／又は塩からなる銅系金属研磨液用酸、それを用いた銅系金属用研磨液及び研磨方法を完成し、上記課題を一挙に解決したものである。
【００１８】
本発明の第一の発明は、縮合リン酸及び／又はその塩からなる銅系金属研磨液用酸を提供するものである。本発明の縮合リン酸及び／又はその塩からなる銅系金属研磨液用酸は、後述する本発明の構成条件とすることにより高加工速度及び高表面特性が発現することは勿論、従来提案されているスラリー液の有機酸等の代替酸として適用することも十分可能となる特性を有するものである。
【００１９】
本発明の第二の発明は、縮合リン酸及び／又はその塩からなる銅系金属研磨液用酸と酸化剤及び研磨砥粒と必要に応じて反応抑制剤から構成される、ｐＨが３〜８のスラリーからなる銅系金属用研磨液を提供するものである。
【００２０】
この銅系金属用研磨液の組成割合は、縮合リン酸及び／又はその塩濃度が０．１重量％以上、酸化剤濃度が０．０５重量％以上、研磨砥粒濃度が０．０１重量％以上であり、反応抑制剤を用いる場合にはその濃度が０重量％を超え１重量％以下であるのが好ましい。
【００２１】
本発明を更に詳述する。
【００２２】
本発明の銅系金属研磨液用酸として用いられる縮合リン酸及び／又はその塩としては、オルトリン酸を脱水縮合して合成される、鎖状に結合した二量体のピロリン酸、三量体のトリリン酸、ヘキサメタリン酸及び／又はそれらの塩の少なくとも一種を用いればよい。具体的な塩の種類としては、カリウム塩、ナトリウム塩、カルシウム塩等をあげることができる。
【００２３】
本発明の縮合リン酸及び／又はその塩からなる銅系金属研磨用酸は、Ｃｕ用ＣＭＰスラリーとして成立する構成剤の一成分である酸の代替剤として適用することにより、少なくとも代替前のスラリー特性を発現できる有用な銅系金属研磨液用酸である。
【００２４】
縮合リン酸及び／又はその塩の濃度としては、加工速度及び表面特性の低下を生じさせることなく、また、除去物の溶解を抑制、固定化し被研磨体上への再析出を阻止する効果を損なわない濃度として０．１重量％以上、１０重量％以下とすることが好ましく、０．５重量％以上、５重量％以下とすることがより好ましい。
【００２５】
その範囲外の低濃度側においては、表面特性は比較的満足できる特性を示すものの、実用的なレベルの加工速度が安定的に得られにくい場合があり、また、高濃度側においては、濃度の上昇に見合う加工速度が得られず、経済面において好ましくない場合がある。
【００２６】
本発明に用いられる酸化剤としては、過酸化水素、ヨウ素酸、ヨウ素酸塩、過ヨウ素酸、過ヨウ素酸塩、塩素酸、塩素酸塩、次亜塩素酸、次亜塩素酸塩、過硫酸塩、硝酸塩、亜硝酸塩及びオゾン等の少なくとも一種を用いることができるが、中でも加工速度と表面特性の両者が広範囲条件で安定した特性を発現できる過酸化水素、過ヨウ素酸及びその塩の少なくとも一種を用いることが、特に好ましい。
【００２７】
酸化剤の濃度としては、加工速度及び表面特性の両者を満足できる０．０５重量％以上、１０重量％以下とすることが好ましく、０．１重量％以上、５重量％以下とすることがより好ましい。
【００２８】
その範囲外の低濃度側においては、被研磨体表面を酸化させるに十分な作用が得られず、加工速度が低下する場合がある。また、高濃度側においては、添加量に対する性能発現勾配が小さくなり、飽和に近づくことより好ましくない場合がある。
【００２９】
本発明に用いられる研磨砥粒としては、通常使用されるシリカ（ＳｉＯ２）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、セリア（ＣｅＯ２）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、二酸化マンガン（ＭｎＯ２）及びマンガン酸化物等が適宜適用でき、特に限定されるものではないが、分散性及び研磨表面の欠陥制御の面より微細粒子で分散性に富んだコロイダルシリカ及びコロイダルアルミナを用いることが好ましい。
【００３０】
研磨砥粒の濃度としては、加工速度及び表面特性を満足できる０．０１重量％以上とすることが好ましく、０．０５重量％以上とすることがより好ましい。上限としては１０重量％以下が好ましく、より好ましくは５重量％以下であり、更に好ましくは１重量％以下である。
【００３１】
研磨砥粒濃度が０．０１重量％未満では酸化剤の適性により加工速度が不安定となることがある。
【００３２】
本発明には、必要に応じて反応抑制剤を適用することができる。
【００３３】
本発明に用いられる反応抑制剤としては、ベンゾトリアゾール、ベンゾチアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、トリルトリアゾール及び／又はこれらの誘導体等を用いることができるが、Ｃｕに対する反応性より、ベンゾトリアゾール、アジミドールまたは１−Ｎ−ベンゾイル等の誘導体を用いることが好ましい。
【００３４】
反応抑制剤は、本来、Ｃｕの溶出を抑制する、所謂、インヒビターとして作用するものであり、通常は１０ｐｐｍ〜１００ｐｐｍの添加で効果が発揮され、過剰の添加はＣｕの完全防食を引き起こし、研磨作用をも大きく阻害する可能性があるため好ましくない。一方、１０ｐｐｍ未満では、防食性が十分とならず溶出により表面特性が制御できなくなるため望ましくない。
【００３５】
しかしながら、本発明の構成剤への添加においては、通常使用される許容濃度範囲と相違し、反応抑制剤の許容濃度範囲が非常に広いことも特徴であり、加工速度及び表面特性を発現する濃度としては、０重量％をこえ、１重量％以下が好ましく、０．００５重量％〜０．５重量％とすることがより好ましい。
【００３６】
本発明には、必要に応じて水素イオン供与体となる有機酸、及び／又はポリリン酸以外の無機酸を添加することができる。
【００３７】
水素イオン供与体を添加することにより、表面粗さ特性は維持したまま加工速度を上昇させることが可能となる場合がある。
【００３８】
本発明に用いられる水素イオン供与体は、直鎖状の飽和及び不飽和カルボン酸、芳香族カルボン酸等の有機酸及び／又は塩酸、硝酸、硫酸等の無機酸の少なくとも一種を用いることができる。酸化剤が過酸化水素の場合は、蓚酸を適用することが、充分な加工速度、高光沢および高平滑性を得るために特に好ましい。また、酸化剤が過ヨウ素酸及び／又はその塩を用いる場合は、コハク酸、フタル酸、フマル酸、クエン酸、グリコール酸、リンゴ酸、蓚酸、マレイン酸等の有機酸及び／又は硝酸、硫酸、塩酸等の無機酸を適用することが、充分な加工速度、高光沢および高平滑性を得るために好ましく、蓚酸及びマレイン酸を用いることが特に望ましい。
【００３９】
本発明に用いられる水素イオン供与体の濃度は、特に制限されるものではないが、加工特性及び経済性の観点より５重量％以下が好ましく、０．０５重量％〜１．０重量％とすることがより好ましい。
【００４０】
本発明の研磨液のｐＨは、３．０〜８．０、好ましくは、３．４〜６．０とすることが大切である。
【００４１】
ｐＨを調整する前の研磨液スラリーのｐＨは、構成剤である縮合リン酸及び／又はその塩により２．５以下を呈する。よって、水酸化アンモニウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム等のアルカリ性を呈する調整剤の添加によりスラリーｐＨを調整することが必要である。
【００４２】
ｐＨ調整剤は特に限定されるものではないが、不純物の混入を抑制する意味で水酸化アンモニウム（アンモニア水）を適用すること特に望ましい。
【００４３】
研磨液のｐＨが８．０を超えたアルカリ領域では、ＨＣｕＯ２−として溶出するため加工速度は比較的高い値を示すが、表面粗さ特性が大きく低下し、無光沢又は半光沢の状態を示す。一方、ｐＨが３．０未満の場合、Ｃｕ２＋としての溶出が著しくなり、加工速度は高い値を示すものの表面特性が低下する。
【００４４】
本発明の研磨液には、更に一般的に用いられるアニオン系、カチオン系及びノニオン系の界面活性剤、粘度調整剤、ｐＨ調整剤及び消泡剤等を添加することができるが、界面活性剤においては、特にアニオン系及びノニオン系が研磨砥粒の分散性に好適に作用する。なお、本発明の研磨液における上記した以外の構成成分としては水であり、イオン交換水、蒸留水、超純水等を使用することができる。
【００４５】
本発明の研磨液は、通常適用されるＣＭＰ用研磨機器の付帯設備である、プラテンに貼付するパッド上或いはウエハ上に任意の速度で滴下し、ウエハ上にダマシン法で形成された銅及び銅合金を含有する配線層を研磨する方法に適用されるものである。
【００４６】
図１に、ダマシン配線／ＣＭＰ加工技術法による配線の一例（断面図）を示す。
初めに、図１（Ａ）のように半導体シリコン基板１０上にシリコンの熱酸化膜である絶縁層２０を形成し平坦化する。次に、図１（Ｂ）に示すように絶縁層２０にリソグラフィー等によりパターン溝を形成する。その後、図１（Ｃ）に示すように、絶縁層２０に形成した溝及び開口部にタンタル（Ｔａ）、チッ化タンタル（ＴａＮ）、チタン（Ｔｉ）及びチッ化チタン（ＴｉＮ）等のバリア金属層３０をスパッタリング及びＣＶＤ法等により形成する。このバリア金属層３０は、Ｃｕ等の配線用金属がシリコン基板１０及び絶縁層２０に拡散することを防御するため、また、熱酸化膜２０と配線用金属層４０の接触抵抗を低下させる目的で成膜されるものである。
【００４７】
次に、図１（Ｄ）に示すように溝及び開口部にメッキ法、スパッタリング法及びＣＶＤ法等により配線用金属層４０の埋め込み形成を行なう。このようにダマシン法により形成されたバリア金属層３０及び配線用金属層４０の平坦化を行なう方法としてＣＭＰ加工技術が適用される。
【００４８】
ＣＭＰ加工技術は、通常、研磨、除去する金属と化学的に反応する薬剤及び研磨砥粒を含む研磨用スラリーを、研磨装置の定盤上に貼付したポリシングパッド面に一定供給しつつ、ダマシン施工した半導体基板を装着した研磨ヘッドを一定荷重でパッドに押圧し、定盤と研磨ヘッドの回転相対運動により余剰の金属層を研磨、除去して平坦化する方法である。
【００４９】
ＣＭＰ加工技術の終了の一態様は図１（Ｆ）に示されるものであり、ＣＭＰ加工により図１（Ｄ）の配線用金属層４０と図１（Ｅ）のバリア金属層３０を順次研磨、除去し平坦化する。
【００５０】
【実施例】
以下、本発明を実施例により詳述するが、本発明はこれらの実施例に何ら制限されるものではない。
【００５１】
（実施例１）
過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）濃度が５ｗｔ％、ベンゾトリアゾール（ＢＴＡ）濃度が０．５ｗｔ％、コロイダルシリカ（扶桑化学工業製：グレードＰＬ−１、平均粒径：７０ｎｍ）濃度が１ｗｔ％となるように各試薬を添加、溶解させた後、ピロリン酸濃度を任意に設定し、これらの研磨液のｐＨをアンモニア水で約４．０に調整した。また、同時にＢＴＡを含有しないｐＨが３．５の各研磨液を調整した。
【００５２】
次に、電解Ｃｕメッキを施したウエハを１５ｍｍ角にダイシングした試料を、図２に示すワークプレート１に装着し、修正リング２に挿入した。
【００５３】
先に調整した研磨液を図２のスラリー供給ノズル４より３０ｍｌ／ｍｉｎの滴下速度で供給しつつ図２の定盤３の回転速度を３０ｒｐｍとして研磨を行った。
【００５４】
荷重量は２５０ｇ／ｃｍ２とし、パッドはロデール・ニッタ社製、商品名「ＩＣ１０００／ＳＵＢＡ４００」を用いた。
【００５５】
加工速度は、四端子法によるシート抵抗器を用いて加工前後のシート抵抗を測定し算出した。また、表面特性は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）により評価した。
【００５６】
結果を表１に示す。ここで、表中、表面特性の○印は、原子間力顕微鏡（セイコーインスツルメンツ製：Ｎａｎｏｐｉｃｓ１０００）による表面粗さが１．２ｎｍＲａ以下であることを表す。
【００５７】
ＢＴＡの有無に係わらず、ピロリン酸濃度が０．１ｗｔ％以上において、加工速度及び表面特性とも優れた特性を示した。
【００５８】
（実施例２）
実施例１と同一の試薬を用い、ピロリン酸濃度が０．５ｗｔ％、ＢＴＡ濃度が０．０１ｗｔ％、コロイダルシリカ濃度が１ｗｔ％となるように各試薬を添加、溶解させた後、過ヨウ素酸カリウム（ＫＩＯ４）濃度を任意に設定し、各研磨液のｐＨをアンモニア水で約３．５に調整した。また、同時にＢＴＡを含有しない各研磨液を調整した。
【００５９】
これらの研磨液を用いて、実施例１と同様の加工条件で評価を実施した。
【００６０】
結果を表１に示す。ＫＩＯ４濃度が、０．０５ｗｔ％以上で加工速度及び表面状態とも優れた結果を示した。
【００６１】
（実施例３）
実施例２のＢＴＡを含有しない研磨液の酸化剤をＨ２Ｏ２に変更した以外は、実施例２と同様の条件で加工評価を実施した。
【００６２】
結果を表１に示すが、Ｈ２Ｏ２濃度を０．５ｗｔ％〜５ｗｔ％まで変化させたが、いずれの条件下でも高加工特性を示した。
【００６３】
（実施例４）
実施例１と同一の原材料を用い、ピロリン酸濃度が０．５ｗｔ％、酸化剤としてＫＩＯ４濃度が０．２ｗｔ％、ＢＴＡ濃度が０．０１ｗｔ％となるように各試薬を添加、溶解させた後、コロイダルシリカ濃度を任意に変更し、各研磨液のｐＨをアンモニア水で約３．８に調整した。また、同時にＢＴＡを含有しない各研磨液を調整した。
【００６４】
これらの研磨液を用いて、実施例１と同様の加工条件で評価を実施した。
【００６５】
結果を表１に示す。コロイダルシリカ濃度を、０．０１ｗｔ％以上含有させる事で加工特性は十分満足できる結果を示した。
【００６６】
（実施例５）
実施例４の酸化剤を５ｗｔ％Ｈ２Ｏ２に変更し、ＢＴＡ濃度を０．５ｗｔ％研磨液のｐＨを４として、コロイダルシリカの濃度を変化させた検討を行った。
【００６７】
結果を表１に示すが、いずれの濃度でも加工速度及び表面特性ともに、高特性を示した。
【００６８】
（実施例６）
実施例１と同一の試薬を用い、ピロリン酸濃度が０．５ｗｔ％、酸化剤としてＫＩＯ４濃度が０．２ｗｔ％、砥粒としてコロイダルシリカが１ｗｔ％となるように各試薬を添加、溶解、混合させた後、ＢＴＡ濃度を任意に設定し、各研磨液のｐＨをアンモニア水を用いて約３．５に調整した。
【００６９】
これらの研磨液を用いて、実施例１と同様の加工条件で評価を実施した。
【００７０】
結果を表１に示す。ＢＴＡ濃度の上昇により、加工速度は低下傾向を示すが、ＢＴＡ濃度が、１ｗｔ％以下で優れた加工特性を示した。
【００７１】
（実施例７）
実施例６のピロリン酸を、トリポリリン酸０．５ｗｔ％とし、酸化剤を５ｗｔ％Ｈ２Ｏ２、砥粒としてコロイダルシリカを１ｗｔ％とした研磨液に、ＢＴＡ未添加及び０．５ｗｔ％添加して、アンモニア水でｐＨ４．０に調整して、実施例１と同一の評価条件で加工特性を評価した。
【００７２】
結果を表１に示すが、加工速度及び表面特性ともに良結果を示した。
【００７３】
（実施例８）
実施例１のスラリー構成成分のうち、ピロリン酸の濃度を１ｗｔ％、ＢＴＡ濃度を０．０１ｗｔ％とし、蓚酸を０．２ｗｔ％添加して、実施例１と同様の条件下で評価を実施した。
【００７４】
その結果を表１に示すが、表面特性は変化せず、加工速度が向上した。
【００７５】
（実施例９）
実施例８の酸化剤をＫＩＯ４に変更し、濃度を０．２ｗｔ％として蓚酸、マレイン酸及び硫酸を０．２ｗｔ％加え、同様の条件下での検討を実施した。
【００７６】
結果を表１に示す。表面状態は高特性を維持した状態で、且つ、加工速度は増大した特性を示した。
【００７７】
（実施例１０）
実施例１と同一の原材料を用い、ピロリン酸濃度が０．５ｗｔ％、酸化剤としてＫＩＯ４濃度が０．２ｗｔ％、砥粒としてコロイダルシリカ濃度が１ｗｔ％及びＢＴＡ濃度が０．０１ｗｔ％となるように各試薬を添加、溶解させた後、研磨液のｐＨをアンモニア水で任意に調整した。
【００７８】
これらの研磨液を用いて、実施例１と同様の加工条件で評価を実施した。
【００７９】
結果を表１に示すが、研磨液のｐＨが、３〜８の領域では、ｐＨの上昇により加工速度は低下傾向を示すものの加工速度及び表面状態ともに優れた特性を示した。
【００８０】
（比較例１）
実施例２を構成する組成で、酸化剤であるＫＩＯ４を含有しない研磨液での評価を行った。
【００８１】
得られた結果を表２に示す。ここで、表中、表面特性の評価記号において、○印は、原子間力顕微鏡（セイコーインスツルメンツ製：Ｎａｎｏｐｉｃｓ１０００）による表面粗さが１．２ｎｍＲａ以下、△印は、１．２ｎｍＲａをこえ、２．０ｎｍＲａ以下、×印は、２．０ｎｍＲａを超える特性を表す。
【００８２】
酸化剤が存在しないと、加工特性は出現せず表面は初期状態の無光沢を維持していた。
【００８３】
（比較例２）
実施例３の構成組成で、酸化剤であるＨ２Ｏ２を含有しない研磨液での評価を行った。
【００８４】
結果を表２に示すが、加工特性は出現しなかった。
【００８５】
（比較例３）
実施例１と同一の試薬を用い、砥粒を含有しない研磨液での評価を実施した。組成濃度は、ピロリン酸を０．５ｗｔ％、Ｈ２Ｏ２を５ｗｔ％、ＢＴＡを０．５ｗｔ％とし、研磨液のｐＨを３．５に調整して実施例１と同一の評価条件で検討を行なった。
【００８６】
結果を表２に示すが、加工特性は出現しなかった。
【００８７】
（比較例４）
液のｐＨをアンモニア水で２．０及び９．０に調整した以外は、実施例１０と同一の条件下で評価を行った。
【００８８】
結果を表２に示す。加工速度は充分な特性を示すものの表面特性に問題を生じた。
【００８９】
（比較例５）
試薬特級の硝酸（ＨＮＯ３）と実施例１の試薬を用い、硝酸の濃度を任意に設定して評価を実施した。
【００９０】
最初に、コロイダルシリカ濃度が１ｗｔ％となるスラリーに、ＨＮＯ３を添加し任意の濃度となるように設定し、液のｐＨをアンモニア水により３．５に調整した研磨液を用いて、実施例１と同一の条件で評価を行なった。次に、これらの研磨液に、酸化剤のＨ２Ｏ２及び反応抑制剤のＢＴＡを任意に添加して、同一の条件下で評価を行った。
【００９１】
結果を表２に示す。研磨液のｐＨが３．５の弱酸性では、ＨＮＯ３濃度を５ｗｔ％としても加工特性はほとんど出現しなかった。また、Ｈ２Ｏ２及びＢＴＡを添加した研磨液では、表面特性は改善され高光沢を示す場合も有るが、加工特性は著しく低い結果となった。
【００９２】
（比較例６）
試薬特級のリン酸（Ｈ３ＰＯ４：オルトリン酸）と実施例１の試薬を用い、リン酸の濃度を任意に設定して評価を行なった。
【００９３】
最初に、Ｈ２Ｏ２濃度が３ｗｔ％、コロイダルシリカ濃度が１ｗｔ％となるように調整した液に、リン酸を任意の濃度となるよう添加し、ｐＨをアンモニア水により３．５に調整して実施例１と同一の条件下で評価を行なった。
【００９４】
次に、リン酸濃度が５ｗｔ％、Ｈ２Ｏ２濃度が５ｗｔ％、コロイダルシリカ濃度が１ｗｔ％となるスラリー液に、任意の濃度のＢＴＡを添加し、各研磨液のｐＨを３．５に調整し、同一の条件下で評価を行った。
【００９５】
結果を表２に示す。リン酸濃度の上昇に伴い、加工速度は増大するが、加工表面は明かに腐食された凹凸の大きい表面を呈した。また、ＢＴＡの添加により、表面特性は改善される傾向を示すが、表面状態は陰りのある光沢面となり、高光沢の領域に達しなかった。
【００９６】
（比較例７）
比較例６で用いた酸化剤を、ＫＩＯ４に変更して、同一の検討を行なった。
【００９７】
結果を表２に示したが、加工特性は、比較例６と大きく変化せず、表面特性に問題を生じた。
【００９８】
（比較例８）
比較例７の構成成分を用い、各種有機酸を０．２ｗｔ％添加して、同様の評価を実施した。
【００９９】
その結果、リン酸濃度が高いと加工速度は十分な値を示すが、表面特性に問題を生じた。
【０１００】
（比較例９）
実施例９のピロリン酸を亜リン酸（Ｈ３ＰＯ３）に変更し、０．２ｗｔ％の乳酸として同様な検討を行ったが、表面特性は比較例８と同等となり、加工速度は幾分低い値を示した。
【０１０１】
（比較例１０）
試薬特級のリンゴ酸及び実施例１適用の試薬を用いて、同様に加工検討を行なった。
【０１０２】
リンゴ酸濃度が０．４ｗｔ％，コロイダルシリカ濃度が１ｗｔ％となる調整液に、Ｈ２Ｏ２が任意の濃度となるように試薬を添加し、これらのｐＨをアンモニア水で４．０に調整して、実施例１と同一の評価条件で研磨検討を行なった。
【０１０３】
また、Ｈ２Ｏ２濃度を３ｗｔ％と一定とし、ＢＴＡ濃度を任意に変化させて同一条件で検討を行なった。
【０１０４】
結果を表２に示す。ＢＴＡ未添加の研磨液では、加工速度は問題ない値を示し、表面も光沢性を呈したが、表面に陰りのある光沢であり、ＡＦＭによる評価では充分な粗さ特性は得られなかった。また、ＢＴＡを添加した研磨液では、表面特性に大きな改善は確認できず、加工速度はＢＴＡ濃度と共に減少し、加工速度と表面特性の両者を満足する結果は得られなかった。
【０１０５】
【表１】
2004006810.tif 000002
【表２】
2004006810.tif 000003
【発明の効果】
以上、詳述したように本発明の第一の態様は、縮合リン酸及び／又はその塩からなる銅系金属研磨液用酸を、第二の態様は、縮合リン酸及び／又はその塩からなる銅系金属研磨液用酸、酸化剤及び研磨砥粒と必要に応じて反応抑制剤を添加したスラリーからなる研磨液を提案するものである。本発明の研磨液を用いて半導体デバイス上に施したＣｕ及びＣｕ合金を有する面を研磨加工することにより、高加工速度及び高表面特性を両立する特性を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】金属配線（ダマシン法）／ＣＭＰ加工技術法の概略断面図である。
【図２】本発明の研磨液の評価に用いた研磨装置の概略図である。
【符号の説明】
１　ワークプレート
２　修正リング
３　定盤
４　スラリー供給ノズル
１０　シリコン基板
２０　絶縁層
３０　バリア金属層
４０　配線用金属層
【図１】
2004006810.tif 000004
【図２】
2004006810.tif 000005