(57)【要約】【課題】エージング処理時のプラズマディスプレイパネルの発熱を抑えてエージング処理時間の短縮を図る。【解決手段】放電空間８にエージング放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネル１の製造方法であって、エージング工程の実施中に、プラズマディスプレイパネル１を強制冷却する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電空間にエージング放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング工程の実施中に、前記プラズマディスプレイパネルを強制冷却することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記強制冷却は、室温と略同温度になるように冷却することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記強制冷却は、前記プラズマディスプレイパネルの表面に冷却ファンで風を吹き付けて冷却することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記強制冷却は、前記プラズマディスプレイパネルの表面にヒートシンクを接触させて、前記プラズマディスプレイパネルの熱をヒートシンクにより放出させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記強制冷却は、前記プラズマディスプレイパネルの表面に冷却コイルを内蔵した冷却ブロックを接触させて冷却することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
まず、一般的なプラズマディスプレイパネルの一例として、交流駆動方式の反射型のプラズマディスプレイパネルについて以下説明する。
図１は、交流駆動方式の反射型のプラズマディスプレイパネルを示す概略断面図である。
【０００３】
図１に示すように、プラズマディスプレイパネル１は、前面基板１１の内面側には、ＩＴＯ等の透明導電膜からなる透明電極２ａと、金属（銀など）の厚膜電極からなるバス電極２ｂとからそえぞれ構成される複数の行電極対２（Ｘ，Ｙ）と、これら行電極対２（Ｘ，Ｙ）を被覆する誘電体層３と、誘電体層３を被覆するＭｇＯからなる保護層４とが設けられている。
【０００４】
一方、放電空間８を介して対向配置される背面基板５には、行電極対２（Ｘ，Ｙ）と交差する位置の放電空間８内に放電セルを構成する列電極６、列電極６を覆う列電極保護層１０、放電空間８を放電セル毎に区画する隔壁（図示せず）、隔壁間に形成された蛍光体層７がそれぞれ設けられている。この蛍光体層７は、カラー表示をするために赤色蛍光体層、緑色蛍光体層、青色蛍光体層が順に配置された構成となっている。
【０００５】
また、放電空間８内には、キセノン（Ｘｅ）を５〜１０％含むネオン（Ｎｅ）との混合ガスが封入されている。蛍光体層７は、放電によりキセノン（Ｘｅ）ガスから放出される真空紫外線（波長１４７ｎｍ）により励起発光する。
【０００６】
次に、上記のプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。
まず、前面基板の作製工程において、前面基板１１上にフォトリソ法などにより透明電極２ａ、バス電極２ｂからなる行電極対２（Ｘ，Ｙ）を形成し、行電極対２上にスクリーン印刷法などにより誘電体層３を形成し、次いで誘電体層３上に蒸着によりＭｇＯを成膜して保護層４を形成する。
【０００７】
一方、背面基板作製工程において、背面基板５上にフォトリソ法などにより列電極６を形成し、その上に列電極保護層１０をスクリーン印刷法などにより一様に形成し、その上にサンドブラスト法などにより所定のパターンの隔壁９を形成する。次に隔壁９間に蛍光体ペーストを充填し、焼成することにより蛍光体層７を形成する。
【０００８】
次いで、封着工程において、背面基板５の周囲に封着用のガラスフリットを塗布し、４００℃程度で仮焼成して封着層を形成する。更に、前面基板１１と背面基板５とを、行電極対２と列電極６とが交差しながら対向するように重ね合わせて、その状態で４５０℃程度で焼成して封着層を加熱溶融させ周囲を封止する。
【０００９】
次いで、排気・ベーキング工程において、３５０℃程度まで加熱しながら放電空間８内を排気し、冷却後に、放電ガス導入工程において、放電ガスを所定の圧力（４００〜６００Ｔｏｒｒ）で放電空間８に導入する。
【００１０】
次いで、排気管封止工程において、排気・ガス導入に用いた排気管を封止し、エージング工程において、図２に示すエージング用駆動パルス発生部１２により発生させた駆動パルスを行電極対２に印加して、所定時間放電空間８にエージング放電を生じさせ、保護層４の活性化を行うと共に、放電を安定化させる。
【００１１】
上述のように、プラズマディスプレイパネルの製造工程では、前面基板１１と背面基板５を封止し、その内部空間を排気し、放電ガスを導入した後に、全放電セルを放電させるエージング工程を実施している（例えば、特許文献１参照）。
【００１２】
【特許文献１】
特開２００２−２３１１４１号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のプラズマディスプレイパネル製造におけるエージング工程では、放電特性を安定化させるために高電圧の駆動パルスで長時間プラズマディスプレイパネルを駆動しているが、その結果、プラズマディスプレイパネルの温度が上昇して、電極（特にバス電極）のインピーダンスが増大し、エージング処理時間が長くかかるという問題があった。
【００１４】
本発明が解決しようとする課題としては、上述した従来技術において生じているエージング処理を行う上での処理時間の問題を解消することがそれぞれ一例として挙げられる。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、放電空間にエージング放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記エージング工程の実施中に、前記プラズマディスプレイパネルを強制冷却することを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。
本発明に係る実施の形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、プラズマディスプレイパネルを組み上げて最後に、放電空間にエージング放電を発生させるエージング工程の実施中に、プラズマディスプレイパネルの温度を室温（２０℃〜３０℃程度）と略同温度になるように強制冷却するようにすることを特徴としている。
【００１７】
以下、エージング工程の実施中にプラズマディスプレイパネルを強制冷却する方法を挙げ詳細に述べる。
（第１の実施の形態）
図３は、第１の実施の形態における強制冷却方法を示す模式図である。
第１の実施の形態における強制冷却方法は、図３に示すように、トレイ２０内の支持部２２上に配置されたプラズマディスプレイパネル１に冷却ファン２１で空気を吹き付けて、プラズマディスプレイパネル１を空冷することで強制冷却する。なお、２６はプラズマディスプレイパネル１の行電極対２（図示せず）に駆動パルスを印加するための接続部である。
【００１８】
（第２の実施の形態）
図４は、第２の実施の形態における強制冷却方法を示す模式図である。
第２の実施の形態における強制冷却方法は、図４に示すように、トレイ２０内の支持部２２上に配置されたプラズマディスプレイパネル１の表面にヒートシンク２３を接触させて、プラズマディスプレイパネル１の熱をヒートシンク２３により放出させることで強制冷却する。
【００１９】
（第３の実施の形態）
図５は、第３の実施の形態における強制冷却方法を示す模式図である。
第３の実施の形態における強制冷却方法は、図５に示すように、トレイ２０内の支持部２２上に配置されたプラズマディスプレイパネル１の表面に冷却コイル２４ａを内蔵した冷却ブロック２４を接触させて、この冷却コイル２４ａ内に冷媒（例えば、水など）を通すことにより、プラズマディスプレイパネル１の熱を奪うことで強制冷却する。
【００２０】
なお、上記第１〜第３の実施の形態で示した各強制冷却方法を組み合わせて（例えば、ヒートシンク２３に対し、冷却ファン２１で空気を吹き付けるなど）実施してもよい。
【００２１】
プラズマディスプレイパネル１を製造する際のエージング工程において、前述の第１〜第３の実施の形態に示すような強制冷却方法を実施することによって、エージング処理中のプラズマディスプレイパネル１の温度を室温（２０℃〜３０℃程度）と略同温度に保つことにより、温度上昇による電極（特にバス電極２ｂ）のインピーダンスの増大を抑制することができる。
【００２２】
そして、電極（特にバス電極２ｂ）のインピーダンスの増大によるエネルギ損失（熱量として放出されるエネルギ損失）の減少により、エージング処理時の電力効率が向上して、エージング処理時間の短縮が可能となる。
また、プラズマディスプレイパネル１をほぼ均一に強制冷却することにより、発光ムラを抑制することもできる。
【００２３】
次に、前述の第１の実施の形態において示した冷却ファンを用いて強制冷却した場合と、従来の強制冷却しない場合との効果の違いについての比較結果を示す。
図１に示した交流駆動方式の反射型のプラズマディスプレイパネル１の製造を行い、そのエージング工程において、実施例はトレイ２０上に配置されたプラズマディスプレイパネル１に冷却ファン２１で空気を吹き付けて、プラズマディスプレイパネル１を空冷することで強制冷却しながら（図３参照）、電圧３００Ｖ、周波数２０ｋＨｚの駆動パルスを面放電電極（行電極対２（Ｘ，Ｙ））間に８時間印加した。
また、比較例は強制冷却を施さずに、プラズマディスプレイパネル１を電圧３００Ｖ、周波数２０ｋＨｚの駆動パルスを面放電電極（行電極対２（Ｘ，Ｙ））間に８時間印加した。
【００２４】
パネル表面温度として、エージング処理直後のプラズマディスプレイパネル表面の３箇所の温度を熱電対によって測定し平均温度を求めた。
また、エージング処理の前後に全白輝度の測定をプラズマディスプレイパネル表面の９箇所に対して、輝度計による輝度測定をそれぞれ行った。
そして、全白輝度平均値、ばらつき（偏差値：３σ）を算出し、上記表１にエージング処理によるそれらの数値の変化率を示した。
【００２５】
【表１】
2004259666.tif 000003
【００２６】
上述の表１に示すように、エージング処理中に強制冷却を施した実施例の場合は、強制冷却を施さない比較例に比べて、全白輝度の平均値の上昇率、全白輝度の偏差値（ばらつき）の減少率は、共に大きい値となっている。
これにより、強制冷却を施したエージング処理では、従来のエージング処理よりもエージングの進行が速いことがわかる。また、全白輝度の偏差値（ばらつき）がより減少するので、発光ムラを抑えることができる。
【００２７】
以上のように、第１〜第３の実施の形態によるプラズマディスプレイパネル１の製造方法は、放電空間８にエージング放電を発生させるエージング工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、エージング工程の実施中に、プラズマディスプレイパネル１を強制冷却するので、プラズマディスプレイパネル１の温度上昇が抑えられて、電極（特にバス電極２ｂ）のインピーダンス増大が生じないため、従来よりもエージング処理時間が短くて済み、またプラズマディスプレイパネル１の発光ムラを抑制することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】交流駆動方式の反射型のプラズマディスプレイパネルを示す概略断面図である。
【図２】図１のプラズマディスプレイパネルのエージング処理時の行電極対と列電極の関係を模式的に示す平面図である。
【図３】本発明に係る第１の実施の形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法における強制冷却方法の模式図である。
【図４】本発明に係る第２の実施の形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法における強制冷却方法の模式図である。
【図５】本発明に係る第３の実施の形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法における強制冷却方法の模式図である。
【符号の説明】
１    プラズマディスプレイパネル
２１    冷却ファン
２３    ヒートシンク
２４    冷却ブロック
２４ａ  冷却コイル
【図１】
2004259666.tif 000004
【図２】
2004259666.tif 000005
【図３】
2004259666.tif 000006
【図４】
2004259666.tif 000007
【図５】
2004259666.tif 000008