(57)【要約】【課題】液晶とシール材との接触を防止して、液晶の品質低下を抑制すること。【解決手段】液晶滴１２ｄが配向膜上に付着すると、液晶滴１２ｄは配向膜上で濡れ広がるが、ある大きさ以上には液晶滴１２ｄの径は大きくならない。このときの液晶滴１２ｄの径をＤｍａｘとし、これを液晶滴１２ｄの最大濡れ広がり径とする。そして、液晶滴１２ｄの滴下中心Ｃとシール材１７の内側端部１７ｉｔ（表示領域１９側端部）との間隔ｌを、液晶滴１２ｄの最大濡れ広がり径Ｄｍａｘの１／２よりも大きくして液晶滴１２ｄを基板状に滴下する。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学パネルを構成する基板の表示領域に液滴吐出法により液晶を塗布するにあたり、
前記基板の外周部に塗布されるシール材の前記表示領域側端部から、前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に前記液晶滴を滴下することを特徴とする電気光学パネルの製造方法。
【請求項２】
電気光学パネルを構成する基板の表示領域に液滴吐出法により液晶を塗布するにあたり、
前記基板の表示領域における最外周に塗布される前記液晶滴の滴下中心から前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に、前記液晶を封止するためのシール材の前記表示領域側端部が位置するように、前記シール材を前記基板に塗布することを特徴とする電気光学パネルの製造方法。
【請求項３】
前記液晶滴の最終的な広がり径は、前記液晶滴が配向膜上に付着した時から３０分以上経過した時における前記液晶滴の径であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学パネルの製造方法。
【請求項４】
前記液晶滴の径は、ラビング方向と平行の方向における前記液晶滴の径であることを特徴とする請求項３に記載の電気光学パネルの製造方法。
【請求項５】
電気光学パネルを構成する基板の表示領域に液滴吐出法により液晶を塗布するにあたり、
前記基板の外周部に塗布されるシール材の前記表示領域側端部から、前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に前記液晶滴を滴下する手順をコンピュータに実現させることを特徴とする電気光学パネルの製造プログラム。
【請求項６】
電気光学パネルを構成する基板の表示領域に液滴吐出法により液晶を塗布するにあたり、
前記基板の表示領域における最外周に塗布される前記液晶滴の滴下中心から前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に、前記液晶を封止するためのシール材の前記表示領域側端部が位置するように、前記シール材を前記基板に塗布する手順をコンピュータに実現させることを特徴とする電気光学パネルの製造プログラム。
【請求項７】
電気光学パネルを構成する基板を載置するステージと、
前記基板上に液晶滴を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出ヘッドと、
前記液晶を封止するために前記基板の外周部に塗布されるシール材の前記表示領域側端部から、前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に前記液晶滴を滴下させる制御部と、
を有することを特徴とする電気光学パネルの製造装置。
【請求項８】
前記液滴吐出ヘッドの描画方向と平行な前記シール材に対向する前記ノズルからは液晶滴を吐出しないことを特徴とする請求項７に記載の電気光学パネルの製造装置。
【請求項９】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気光学パネルの製造方法により製造した電気光学パネルを実装する工程を含むことを特徴とする電子機器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気光学パネルに関し、さらに詳しくは、液滴吐出によって液晶を塗布するにあたってシール材との接触がなく、品質の高い電気光学パネルを製造できる電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電子機器の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気光学パネルは、各画素を駆動する駆動素子が形成された素子基板と、これに対向して配置される対向基板との間に、液晶を封入して構成される。液晶を封入する際には、前記２枚の基板を貼り合わせた後、両者の空間を真空にして液晶を吸い込むことにより、両基板間に液晶を封入する。この方法は、液晶槽に貼り合わせた基板をつけて液晶を吸い込むので、液晶の使用量が膨大となる。また、時間の経過とともに液晶槽内の液晶が劣化するので、液晶槽内の液晶交換前と後とでは、電気光学パネルの品質に違いが生ずることもある。
【０００３】
この問題を解決するために、特許文献１には、素子基板にシール材を塗布した後、シール材が硬化する前に液晶を滴下し、その後直ちに対向基板と貼り合わせる液晶封入方法が開示されている。このとき、シール材を二重に塗布して、液晶と接するシール材は液晶の塗布前に硬化させておき、硬化前のシール材と液晶とが接触しない構造としてある。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−１２３５３７号公報  Ｐ２、図１
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構造において、液晶を滴下してから基板を貼り合わせる前に、硬化させたシール材に液晶が長時間接触した場合には、液晶の品質低下を招いてしまう。そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、液滴吐出によって液晶を塗布するにあたってシール材との接触をなくして、シール材との接触に起因する液晶の品質低下を抑制できる電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電子機器の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、電気光学パネルを構成する基板の表示領域に液滴吐出法により液晶を塗布するにあたり、前記基板の外周部に塗布されるシール材の前記表示領域側端部から、前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に前記液晶滴を滴下することを特徴とする。
【０００７】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムは、電気光学パネルを構成する基板の表示領域に液滴吐出法により液晶を塗布するにあたり、前記基板の外周部に塗布されるシール材の前記表示領域側端部から、前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に前記液晶滴を滴下する手順をコンピュータに実現させることを特徴とする。
【０００８】
この電気光学パネルの製造方法は、シール材の表示領域側端部すなわち内側端部から、液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に液晶滴を滴下する。このため、液晶滴はこれ以上濡れ広がらないのでシール材に対する接触を防止でき、液晶の品質低下を抑制することができる。その結果、表示不良が極めて少ない高品質な電気光学パネルを製造することができ、また、不良品の発生率も低減できるので、製品の歩留まりを向上させることができる。さらに、液晶吸い込み口が存在しないので、この部分の洗浄工程が不要になり、それだけ電気光学パネルの製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。
【０００９】
また、本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムによれば、この電気光学パネルの製造方法をコンピュータに実行させることができる。なお、本発明でいうコンピュータには、いわゆるパーソナルコンピュータやワークステーションあるいはＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）の他、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）とメモリその他の電子素子によって構成されるハードウェアも含む（以下同様）。
【００１０】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、電気光学パネルを構成する基板の表示領域に液滴吐出法により液晶を塗布するにあたり、前記基板の表示領域における最外周に塗布される前記液晶滴の滴下中心から前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に、前記液晶を封止するためのシール材の前記表示領域側端部が位置するように、前記シール材を前記基板に塗布することを特徴とする。
【００１１】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムは、電気光学パネルを構成する基板の表示領域に液滴吐出法により液晶を塗布するにあたり、前記基板の表示領域における最外周に塗布される前記液晶滴の滴下中心から前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に、前記液晶を封止するためのシール材の前記表示領域側端部が位置するように、前記シール材を前記基板に塗布する手順をコンピュータに実現させることを特徴とする。
【００１２】
この電気光学パネルの製造方法は、滴下された液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に、シール材の表示領域側端部すなわち内側端部が位置するようにシール材を塗布する。このため、液晶滴はこれ以上濡れ広がらないので、シール材と液晶との接触を防止して、液晶の品質低下を抑制することができる。その結果、表示不良が極めて少ない高品質な電気光学パネルを製造することができ、また、不良品の発生率も低減できるので、製品の歩留まりを向上させることができる。さらに、液晶吸い込み口が存在しないので、この部分の洗浄工程が不要になり、それだけ電気光学パネルの製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。また、本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムによれば、この電気光学パネルの製造方法をコンピュータに実行させることができる。
【００１３】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法において、前記液晶滴の最終的な広がり径は、前記液晶滴が配向膜上に付着した時から３０分以上経過した時における前記液晶滴の径であることを特徴とする。
【００１４】
液晶滴が配向膜上に付着すると、液晶滴は配向膜上に濡れ広がる。液晶滴が配向膜上に付着してから３０分経過すれば、液晶滴の量に関わらず配向膜上における液晶滴の広がりは停止する。したがって、このときの液晶滴の径を最終的な液晶滴の広がりとすれば、シール材との接触を確実に防止して、液晶の品質低下を防止できる。
【００１５】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法において、前記液晶滴の径は、ラビング方向と平行の方向における前記液晶滴の径であることを特徴とする。
【００１６】
液晶分子を一方向に整列させるために、配向膜はラビング処理される。ラビング処理の方向と平行な方向における液晶滴の径は、ラビング処理の方向と垂直方向における液晶滴の径よりも大きくなる。したがって、液晶滴の最終的な濡れ広がり径をラビング処理の方向と平行な方向における液晶滴の径とすれば、さらに確実にシール材との接触を確実に防止して、液晶の品質低下を防止できる。
【００１７】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造装置は、電気光学パネルを構成する基板を載置するステージと、前記基板上に液晶滴を吐出するための複数のノズルを所定のピッチで配列した液滴吐出ヘッドと、前記液晶を封止するために前記基板の外周部に塗布されるシール材の前記表示領域側端部から、前記液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に前記液晶滴を滴下させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１８】
この電気光学パネルの製造装置は、シール材の表示領域側端部すなわち内側端部から、液晶滴の最終的な広がり径の１／２より離れた位置に、液滴吐出ヘッドによって液晶滴を滴下する。このため、液晶滴はこれ以上濡れ広がらないのでシール材に対する接触を防止でき、液晶の品質低下を抑制することができる。その結果、表示不良が極めて少ない高品質な電気光学パネルを製造することができ、また、不良品の発生率も低減できるので、製品の歩留まりを向上させることができる。さらに、液晶吸い込み口が存在しないので、この部分の洗浄工程が不要になり、それだけ電気光学パネルの製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。
【００１９】
また、次の本発明に係る電気光学パネルの製造装置は、上記電気光学パネルの製造装置において、前記液滴吐出ヘッドの描画方向と平行な前記シール材に対向する前記ノズルからは液晶滴を吐出しないことを特徴とする。
【００２０】
この電気光学パネルの製造装置は、液滴吐出ヘッドの描画方向と平行に塗布されたシール材に対向する前記ノズルからは、液晶滴を吐出しないので、シール材と液晶との接触を確実に防止して、液晶の品質低下を抑制できる。
【００２１】
また、次の本発明に係る電子機器の製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法により製造した電気光学パネルを実装する工程を含むことを特徴とする。
【００２２】
この電子機器の製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法により製造した電気光学パネルを実装する工程を含むので、表示不良が極めて少ない高品質な電子機器を製造することができる。また、不良品の発生率も低減できるので、製品の歩留まりを向上させることができる。さらに、液晶吸い込み口の洗浄工程が不要になるので、それだけ電子機器の製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるものあるいは実質的に同一のものが含まれる。なお、以下の説明においては電気光学パネルとして液晶パネルを例にとって説明する。
【００２４】
（実施の形態１）
図１は、電気光学パネルの一種である液晶パネルの概略構造を示す一部断面図である。この電気光学パネル１００は、カラーフィルタ１１が形成されたカラーフィルタ基板１０ａ上へ、液滴吐出によって液晶１２を塗布したものである。図１に示すように、この電気光学パネル１００は、基材１の上にカラーフィルタ１１を表面に形成したカラーフィルタ基板１０ａと、これに対向配置される対向基板１０ｂとで構成される。そして、両基板の外周端部近傍に塗布されたシール材１７によって両基板間に液晶１２が封入されている。カラーフィルタ基板１０ａと対向基板１０ｂとの間には、スペーサ１３が配置されており、両基板の間隔ｔを全面にわたって略一定にしてある。
【００２５】
図２は、液晶塗布前における実施の形態１に係るカラーフィルタ基板の平面図である。図２に示すように、カラーフィルタ基板１０ａの外周部分にはシール材１７が塗布されている。また、シール材１７の内側には、シール材１７の内側端部から一定の間隔をあけて遮光領域１８が形成されており、遮光領域１８よりも外側からバックライトの光が漏れないようにしてある。遮光領域１８よりも内側の領域は表示領域１９であり、実際に画像が表示される領域である。
【００２６】
図３は、実施の形態１に係るカラーフィルタ基板に液晶を塗布した状態を示す一部断面図である。このカラーフィルタ基板１０ａは、インクジェット法やプランジャ法その他の液滴吐出法によって、表示領域１９上へ液晶１２を塗布してから、両者を封止する。以下の実施の形態においては、カラーフィルタ基板１０ａ上に液晶１２を塗布してから封止する例について説明するが、液晶１２を対向基板１０ｂ上へ塗布してからシール材１７を塗布して封止してもよい。
【００２７】
図３に示すように、液晶１２を塗布してから両者を封止するまでの間に、液晶１２とシール材１７とが接触しないように、シール材１７の表示領域１９側端部から所定の間隔ｋを設けて表示領域１９側に液晶１２を塗布する。カラーフィルタ基板１０ａには、透明樹脂材料によってカラーフィルタ保護膜２０が形成されており、基材１上に形成されたカラーフィルタ１１を保護している。また、カラーフィルタ保護膜２０上にはＩＴＯ１４及びポリイミド等の配向膜１６がこの順序で形成されている。カラーフィルタ保護膜２０は、ＩＴＯ１４を形成するときの高温からカラーフィルタ１１を保護する機能、及びカラーフィルタ１１間の凹凸を平坦にしてＩＴＯ１４の断線及び配向膜１６のラビング不良を抑制する機能を備えている。
【００２８】
図４は、配向膜上に液晶滴を一滴塗布した場合における液滴の広がりを示す説明図である。電気光学パネルに使用される配向膜は一般にポリイミド樹脂が使用されるが、液晶滴が配向膜に付着すると、時間の経過とともに、図４（ａ）〜（ｄ）に示すように徐々に液晶滴１２ｄが濡れ広がる。ここで、図４（ａ）は、液晶滴１２ｄが配向膜に付着した直後を表し、以後、時間の経過とともに、液晶滴１２ｄは（ｂ）〜（ｄ）の順に濡れ広がる。液晶滴１２ｄが配向膜に付着した直後においては、その径はＤ１であるが、時間の経過とともに、液晶滴１２ｄの径はＤ２〜Ｄ∞のように大きくなる。Ｄ∞は十分に時間が経過した場合における液晶滴１２ｄの径である。十分に時間が経過した場合には、これ以上液晶滴１２ｄの径は大きくならないので、このときの液晶滴１２ｄの径をＤｍａｘとし、これが液晶滴１２ｄの最大濡れ広がり径となる。
【００２９】
図５は、図４に示した関係を示す説明図である。図５は、液晶滴１２ｄの塗布量を□、○、△の順に大きくして、液晶滴１２ｄが配向膜に付着してからの時間経過に対する濡れ広がりを調査した結果を示している。縦軸は、液晶滴１２ｄの径Ｄを、液晶滴１２ｄの最大濡れ広がり径Ｄｍａｘで除したものである。また、液晶滴１２ｄが配向膜上に付着したときの時間を０としてある。図５から、液晶滴１２ｄの塗布量に関わらず、液晶滴１２ｄが配向膜に付着してから３０分経過後には、液晶滴１２ｄの径は最大濡れ広がり径Ｄｍａｘに達することがわかる。すなわち、液晶滴１２ｄが配向膜に付着後３０分経過後すれば、液晶滴１２ｄの量に関わらず液晶滴１２ｄはこれ以上濡れ広がることはないことを見出した。
【００３０】
したがって、図２、３に示すシール材１７と液晶とが接触しないようにするためには、液晶滴１２ｄの最大濡れ広がり径Ｄｍａｘを考慮して、液晶滴１２ｄを配向膜１６上に塗布すればよい。具体的には、シール材１７の表示領域１９側端部から少なくともＤｍａｘ／２だけ離れた位置に液晶滴１２ｄを塗布すれば、液晶滴１２ｄはこれ以上濡れ広がらないので、液晶滴１２ｄがシール材１７へ付着することはない。次に、液晶滴１２ｄの塗布位置について説明する。
【００３１】
図６、図７は、液晶滴の塗布位置とシール材との関係を示す説明図である。両図とも、図２中Ｅで示す領域を拡大したものである。図６は、液晶滴１２ｄの滴下中心Ｃとシール材１７の内側端部１７ｉｔ（表示領域１９側端部）との間隔ｌが、液晶滴１２ｄの最大濡れ広がり径Ｄｍａｘの１／２よりも大きい場合を示している。この場合、液晶滴１２ｄとシール材１７とは接触しない。一方、図７は、液晶滴１２ｄの滴下中心Ｃとシール材１７の内側端部１７ｉｔ（表示領域１９側の端部）との間隔ｌが、液晶滴１２ｄの最大濡れ広がり径Ｄｍａｘの１／２と等しい場合を示す。この場合には、液晶滴１２ｄとシール材１７とが接触する場合がある。したがって、液晶滴１２ｄとシール材１７とが接触しないためには、ｌ＞Ｄｍａｘ／２の関係を満たすことが必要になる。実際に液晶１２を塗布する場合には、シール材１７と液晶滴１２ｄとがこの関係を満たしていればよく、シール材１７又は液晶１２の塗布順序は問わない（以下同様）。
【００３２】
図８は、ラビング方向と液晶滴との関係を示す説明図である。電気光学パネルの製造工程においては、液晶分子を一方向に整列させるため、配向膜１６（図３参照）上にラビング処理を施す。ラビング処理は、図８（ａ）に示すように、ラビング用の布等を巻き付けたラビングローラ３を回転させながら、カラーフィルタ基板１０ａ上等に形成された配向膜上を一定方向に移動させる。すると、配向膜上には、ラビングローラの移動方向（ラビング方向：図８（ａ）のＸ方向）に向かって細かい溝が形成される。配向膜上に液晶を塗布すると、液晶分子がこの溝に入り込むことによって、液晶分子が一方向に整列する。
【００３３】
ラビング処理した配向膜上に液晶滴１２ｄ’を塗布すると、図８（ｂ）に示すように、ラビング方向に向かって液晶滴１２ｄ’が引伸されて、液晶滴１２ｄ’は楕円形状となる。なお、図８（ｂ）は、図８（ａ）部分の拡大図である。液晶滴１２ｄ’の引伸程度は、配向膜の性質や塗布時における液晶滴の粘度等の条件によって変化するが、引伸程度が無視できない程大きい場合には、これを考慮する必要がある。液晶滴１２ｄ’がラビング方向に伸張されると楕円形状となるが、このとき長径（ラビング方向と平行な方向における径）をＤ１、短径をＤ２とする。液晶滴１２ｄ’とシール材１７とが接触しないためには、液晶滴１２ｄ’の長径Ｄ１側のシール材１７と液晶滴１２ｄとが接触しなければよい。したがって、液晶滴１２ｄ’の最大濡れ広がり径をＤ１ｍａｘ、Ｄ２ｍａｘとすると、ｌ＞Ｄ１ｍａｘ／２の関係を満たせば、液晶滴１２ｄとシール材１７とは接触しない。
【００３４】
このように、ラビング方向に液晶滴１２ｄ’が引伸ばされた場合でも、ラビング方向と平行な方向の最大濡れ広がり径、すなわち径の大きい方の１／２よりもｌを大きくしておけば、確実に液晶滴１２ｄ’とシール材１７との接触を防止できる。これにより、液晶の品質低下を防止できる。
【００３５】
図９は、液晶滴の塗布位置と遮光領域との関係を示す説明図である。液晶滴１２ｄが、遮光領域１８よりも表示領域１９側に塗布されると、遮光領域１８まで液晶１２が塗布されない場合がある。そして、遮光領域１８と、表示領域１９との間に液晶１２が塗布されていない領域が存在すると、その部分から光が漏れて表示不良を招く。したがって、遮光領域１８と表示領域１９との間は完全に液晶１２が塗布される必要がある。
【００３６】
図９に示すように、斜め隣の液晶滴１２ｄ同士の間隔が液晶滴１２ｄの径Ｄと等しくなるように液晶滴１２ｄを塗布すれば、すべての液晶滴１２ｄは隙間なく塗布されることになる。このとき、Ｘ又はＹ方向に隣接する液晶滴１２ｄの間隔は√２×Ｄ／２となる。これが、すべての液晶滴１２ｄが隙間なく塗布される場合における液晶滴１２ｄの最大間隔となる。このように液晶滴１２ｄが塗布される場合、液晶滴１２ｄの滴下中心Ｃと遮光領域１８の内側端部１８ｉｔ（遮光領域１８側の端部）との間隔ｆが、Ｄ／２−ｈ、すなわちＤ／２−√２×Ｄ／４であれば、遮光領域１８と表示領域１９との間には完全に液晶１２が塗布される。したがって、すべての液晶滴１２ｄが隙間なく塗布される最大間隔を満たす場合、遮光領域１８と表示領域１９との間へ完全に液晶１２を塗布するためには、前記間隔ｆ＜（Ｄ／２−√２×Ｄ／４）であることが必要になる。
【００３７】
図１０は、液晶滴の塗布位置と遮光領域との関係の他の例を示す説明図である。この例において、液晶滴１２ｄの滴下中心Ｃと遮光領域１８の内側端部１８ｉｔとの間隔は０である。この場合には、上記間隔ｆ＜（Ｄ／２−√２×Ｄ／４）の関係を満たさないが、図１０に示すように、液晶滴１２ｄを千鳥状に塗布すれば、表示領域１９内における液晶滴１２ｄを隙間なく塗布することができる。次に、本発明に係る電気光学パネルの製造装置について説明する。
【００３８】
図１１は、本発明に係る電気光学パネルの製造装置を示す説明図である。本発明においては、液滴吐出によって液晶を塗布し、本実施の形態においては、液滴吐出としてインクジェットを使用する。電気光学パネルの製造装置５０は、液滴吐出ヘッド５２とステージ６０とを備えている。液滴吐出手段である液滴吐出ヘッド５２には、タンク５６から供給チューブ５８を介して液晶が供給される。
【００３９】
図１１（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５２は、配列幅Ｈの間に複数のノズル５４が一定のピッチＰで配列されている。また、それぞれのノズル５４はピエゾ素子（図示せず）を備えており、制御装置６５に備えられた処理部６５ｃからの指令によって、任意のノズル５４から液晶滴を吐出する。制御装置６５は、記憶部６５ｍを備えており、液晶滴１２ｄの塗布パターン、液滴吐出ヘッド５２やステージ６０の制御プログラム等を格納してある。また、ピエゾ素子に与える駆動パルスを変化させることにより、ノズル５４から吐出される液晶の吐出量を変化させることができる。なお、制御装置６５は、パーソナルコンピュータやワークステーションを使用してもよい。
【００４０】
また、液滴吐出ヘッド５２は、当該ヘッド中心に垂直な回転軸Ａを回転中心として回転軸Ａの周りを回転可能となっている。図１１（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド５２を回転軸Ａの周りに回転させて、ノズル５４の配列方向とＸ方向とに角度θを与えると、見かけ上ノズル５４のピッチをＰ’＝Ｐ×Ｓｉｎθとすることができる。これにより、カラーフィルタ基板１０ａの塗布領域や液晶の物性値その他の塗布条件に応じて、ノズル５４のピッチを変更することができる。液晶塗布対象であるカラーフィルタ基板１０ａは、ステージ６０に設置されている。ステージ６０は、Ｙ方向（副走査方向）に移動でき、また、ステージ６０中心に垂直な回転軸Ｂを回転中心として回転軸Ｂの周りに回転できる。
【００４１】
液滴吐出ヘッド５２は、図中Ｘ方向（主走査方向）に往復して、その間に液晶滴をカラーフィルタ基板１０ａ上へノズル５４の配列幅Ｈで吐出する。一回の走査で液晶を塗布したら、ステージ６０がＹ方向にノズル５４の配列幅Ｈだけ移動して、液滴吐出ヘッド５２は次の領域へ液晶を吐出する。ここで、カラーフィルタ基板１０ａの液晶塗布領域がノズル５４の配列幅Ｈに対して小さい場合には、液滴吐出ヘッド５２の１回の走査で前記液晶塗布領域すべてに液晶を塗布することが好ましい。このようにすれば、改行なしで液晶塗布領域すべてに液晶を塗布できるので、表示ムラを低減できる。
【００４２】
液滴吐出ヘッド５２の動作、ノズル５４の吐出及びステージ６０の動作は、制御装置６５によって制御される。これらの動作パターンを予めプログラムしておけば、カラーフィルタ基板１０ａの塗布領域や液晶の物性値その他の塗布条件に応じて塗布パターンを変更することも容易である。上記動作を繰り返して、カラーフィルタ基板１０ａの全領域に液晶を塗布することができる。これと同様に、ステージ６０がＹ方向に移動している時に液滴吐出ヘッド５２から液晶を吐出し、その後、液滴吐出ヘッド５２をＸ方向に配列幅Ｈだけ移動させ、次の領域へ液晶を吐出することも可能である。
【００４３】
液滴吐出においては、ノズル５４から安定して液晶滴を吐出する必要がある。このため、本発明に係る液晶は、液滴吐出に適した物性値に調整されている。具体的には、粘度が１〜２０ｍＰａ・ｓ、表面張力が２０〜７０ｍＮ／ｍの範囲である。このような範囲に粘度と表面張力とを調整するために、液晶の温度を５０〜７０℃程度まで昇温させて液滴吐出ヘッド５２へ供給する。
【００４４】
この範囲であれば、安定してノズル５４へ液晶を供給でき、また、ノズル５４出口における液晶のメニスカスも安定する。これによって、ノズル５４から安定して液晶の液滴を吐出して、表示ムラを極めて低減した高品質の電気光学パネルを製造することができる。また、上記粘度及び表面張力の範囲であれば、液晶滴を吐出する際に要するエネルギーも無闇に高くならないので、ピエゾ素子の吐出能力を超えることもない。ここで、液晶の昇温は、例えばタンク５６や供給チューブ５８に加熱手段を設けたり、液滴吐出ヘッド５２に加熱手段を設けたりすることで実現できる。
【００４５】
上記粘度及び表面張力は、粘度が４〜８ｍＰａ・ｓ、表面張力が２５〜３５ｍＮ／ｍの範囲がより好ましい。この範囲であれば、さらに安定してノズル５４へ液晶を供給でき、また、ノズル５４出口における液晶のメニスカスも安定する。これによって、ノズル５４から吐出する液晶の液滴はさらに安定し、高品質の電気光学パネルを製造することができる。
【００４６】
さらに、液晶と板状部材であるノズルプレート５４ｐとの接触角α（図１１（ｂ）、（ｃ）参照）は３０度〜１７０度の範囲が好ましい。液晶とノズルプレート５４ｐとの接触角αが小さすぎると、液晶がノズル５４から吐出する際に、液晶がノズルプレート５４ｐへ引き寄せられる。その結果、液晶の液滴がカラーフィルタ基板１０ａ上へ付着する位置がずれてしまい、液晶滴がシール材に付着するおそれがある。接触角αが上記範囲であれば、液晶がノズルプレート５４ｐへ引き寄せられることもなく、液晶滴はカラーフィルタ基板１０ａ上の所定位置へ付着する。さらに安定して液晶滴を所定位置へ付着させるには、上記接触角αは５０度以上が好ましく、さらには８０度以上が好ましい。
【００４７】
液晶とノズルプレート５４ｐとの接触角αを上記範囲に収めるためには、例えばノズルプレート５４ｐに撥液処理を施す。撥液処理は、撥液材料をノズルプレート５４ｐへコーティングすることで実現できる。このような材料としては、フッ素を含むシランカップリング剤を使用することができる。また、撥液とは、ノズルプレート５４ｐが液晶をはじくことをいい、両者の濡れ性を悪くする処理が撥液処理である。次に、本発明に係る電気光学パネルの製造方法、及び当該電気光学パネルの製造方法を含んだ電子機器の製造方法について説明する。
【００４８】
図１２は、本発明に係る電気光学パネル及び電子機器の製造方法を示すフローチャートである。図１３は、本発明に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図である。図１４は、本発明に係る電子機器の製造方法を示す説明図である。まず、図１３（ａ）に示すように、基材１上に、フォトリソグラフィーあるいはインクジェットやプランジャ等の液滴吐出によってカラーフィルタ１１を形成する（ステップＳ１０１）。
【００４９】
次に、カラーフィルタ１１へカラーフィルタ保護膜２０を形成する（ステップＳ１０２）。カラーフィルタ保護膜２０は、液状の保護膜材料をインクジェット等の液滴吐出やスピンコート法等によって形成する。この保護膜材料は、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、イミド樹脂、フッ素樹脂のうち、少なくとも一つが含まれており、これらの樹脂をグリセリン、ジエチレングリコール、メタノール、エタノールその他の溶媒に溶解させたものである。保護膜材料中の溶媒が揮発した後、前記樹脂がカラーフィルタ保護膜２０となる。
【００５０】
保護膜材料の消費量低減及びカラーフィルタの凹凸によらず均一にカラーフィルタ保護膜２０を形成できるという観点からは、液滴吐出を用いることが好ましい。液滴吐出による場合には、カラーフィルタ１１上に塗布される液状の保護膜材料との濡れ性を向上させるため、に示すようにカラーフィルタ１１上へ表面改質処理を施し、保護膜材料に対する濡れ性を向上させることが好ましい。濡れ性が悪いと保護膜材料が滴状になりやすくなるので、カラーフィルタ１１上へ保護膜材料が均一に塗布されないからである。また、カラーフィルタ１１間へ保護膜材料が浸透しにくくなり、この部分へ気泡が生ずることもあり、電気光学パネルの表示画像品質を低下させるおそれもあるからである。表面改質処理としては、例えば、ＵＶランプによる紫外線照射や、酸素プラズマ処理を適用することができる。特に酸素プラズマ処理によれば、カラーフィルタ１１上の残渣も除去できるので、カラーフィルタ保護膜２０の品質が高くなり好ましい。
【００５１】
カラーフィルタ基板１０ａ上へカラーフィルタ保護膜２０を形成したら、保護膜上にＩＴＯ１４及び配向膜１６を形成する（ステップＳ１０３、図１３（ａ））。また、対向基板１０ｂ（図１参照）には、駆動電極を形成する（ステップＳ１０４）。ＩＴＯや駆動電極はスパッタリング等により、配向膜は液滴吐出法やスピンコート法により形成することができる。配向膜１６を形成したら、配向膜１６に対してラビング処理を施す（ステップＳ１０４、図１３（ｂ））。ラビング処理は、ラビング用布を取り付けたラビングローラ３を回転させながら、配向膜１６上を一定方向に移動させることで実現できる。
【００５２】
ラビング処理が終了したら、配向膜１６上の所定領域にシール材１７を塗布する（ステップＳ１０５、図１３（ｃ））。このシール材１７は紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂を使用し、紫外線照射や加熱によってカラーフィルタ基板と対向基板とを封止することができる。本実施の形態においては、シール材１７に紫外線硬化樹脂を使用する。なお、シール材１７は、例えばプランジャによって塗布することができる。次に、配向膜１６上へスペーサ１３を配置する。スペーサ１３は、単に散布してもよいが、インクジェット法によりカラーフィルタ１１間やブラックマトリックス（図示せず）間に配置してもよい。このようにカラーフィルタ１１間等にスペーサ１３を配置すれば、スペーサ１３が画素上に位置しないので、表示品質を向上させることができる。
【００５３】
スペーサ１３を配置したら、液晶１２を配向膜１６上の所定領域へ塗布する（ステップＳ１０７、図１３（ｄ））。液晶１２は、既に説明した電気光学パネルの製造装置５０により、シール材１７の内側端部１７ｉｔから所定の間隔ｌをあけて塗布される。これは、シール材１７の内側端部１７ｉｔから所定の間隔ｌをあけた液晶塗布パターンを、電気光学パネルの製造装置５０の制御装置６５へ予め記憶させておくことで実現できる。
【００５４】
なお、この実施の形態においては、シール材１７を配向膜１６上に塗布してから液晶１２を塗布するが、液晶１２を配向膜１６上に塗布してから、最外周に滴下された液晶滴から所定の間隔ｌをあけてシール材１７を塗布してもよい。このときには、液晶滴の滴下中心とシール材１７の内側端部１７ｉｔとの間隔がｌとなる。
【００５５】
次に、カラーフィルタ基板１０ａと対向基板１０ｂとを貼り合わせて（ステップＳ１０８）、シール材１７を紫外線ランプ４で硬化させる（図１３（ｅ））。シール材１７が硬化したら、必要に応じてチップ毎等に切断し（ステップＳ１０８）、電気光学パネル１００が完成する。その後、図１４（ａ）に示すように、完成した電気光学パネル１００にハーネスやＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）７、あるいはドライバＩＣ５が実装される（ステップＳ１０９）。そして、図１４（ｂ）に示すように、携帯電話やＰＤＡ等の電子機器９へ取り付けられて、電子機器が完成する（ステップＳ１１０）。
【００５６】
以上、本発明によれば、シール材１７の内側端部と液晶滴１２ｄとを、液晶滴１２ｄの最終的な濡れ広がり径の１／２よりも離して液晶滴１２ｄを滴下するので、シール材１７に対する液晶滴１２ｄの接触を防止でき、液晶の品質低下を抑制することができる。その結果、表示不良が極めて少ない高品質な電気光学パネルを製造することができ、また、不良品の発生率も低減できるので、製品の歩留まりを向上させることができる。
【００５７】
また、液晶滴１２ｄの最終的な濡れ広がり径の１／２よりも離して液晶滴１２ｄを滴下することにより、液晶を塗布した後、基板の貼り合わせまでにある程度の時間を要しても、シール材１７に対する液晶滴１２ｄの接触を防止できる。これにより、貼り合わせ時の位置合わせに十分な時間を確保することができるので、不良品の発生を押さえて製品の歩留まりを向上させることができる。また、液晶の塗布工程から貼り合わせ工程へ移動する際に振動その他の外乱を受けても、液晶とシール材との接触を防止して、液晶の品質低下を抑制して不良品の発生を抑えることができる。
【００５８】
また、従来の液晶を吸い込む方式では、付着した余分な液晶を洗浄するので、液晶の消費量増加につながるが、液滴吐出によれば、目的の塗布量で液晶を塗布できるので、余分な液晶消費を抑えることができる。これにより、高価な液晶の消費量を抑制できるので、電気光学パネルの製造コストを低減できる。また、従来の液晶を吸い込む方式では、液晶を吸い込んだときの流れがムラとして表示されてしまうが、液滴吐出によればこのようなムラは発生しないので、表示品質を向上させることができる。さらに、液滴吐出により液晶を塗布するので、規定量の液晶を基板上に塗布できる。これにより、液晶を吸い込む従来の方式と比較して、使用する液晶の量を削減できる。また、従来のようには液晶吸い込み口が存在しないので、この部分の洗浄工程が不要になり、それだけ電気光学パネルの製造時間を短縮できる上、洗浄液も不要となる。
【００５９】
（実施の形態２）
図１５は、電気光学パネルの製造装置の液晶塗布方法例を示す説明図である。実施の形態２においては、本発明に係る電気光学パネルの製造装置５０でどのように液晶を塗布するかを説明する。電気光学パネルの製造装置５０の構成は既に説明したものと略同様なので、同じ構成についてはその説明を省略するとともに、同一の構成要素には同一の符号を付す。
【００６０】
この液滴吐出ヘッド５２は、ｎ（ｎは自然数）個のノズル５４１〜５４ｎを備えた液滴吐出ヘッドを複数つないで長尺の液滴吐出ヘッドを構成する。これにより、改行方向（Ｙ方向）に対して広範囲の領域へ液晶１２を塗布できる。この液滴吐出ヘッド５２により、大基板３２に形成された複数のチップ基板行３２ｎ（ｎは自然数）へ、同時に液晶１２を塗布する。図１５では、チップ基板行３２ｎ−１まで液晶１２が塗布されている。改行方向（Ｙ方向）へ液滴吐出ヘッド５２が移動し、チップ基板行３２ｎからチップ基板行３２ｎ−ｋに対して液晶１２を塗布する。
【００６１】
液滴吐出ヘッド５２がチップ基板行３２ｎ−ｋ（ｋは自然数）に対して液晶１２を塗布するときには、描画方向（Ｘ方向）と平行なシール材１７に対向するノズル５４１、５４ｎ及び５４ｎ＋４等は液晶１２を吐出しない。そして、ノズル５４２〜５４ｎ−１及び５４ｎ＋５〜等を用いて液晶１２を塗布する。このように、描画方向（Ｘ方向）と平行なシール材１７に対向するノズルからは液晶を吐出しないで、シール材１７の内側端部から所定の距離をあけた領域に液晶１２を塗布する。このように、描画方向（Ｘ方向）と平行なシール材１７に対向するノズルからは液晶を吐出しないで描画することにより、シール材１７の内側端部から所定の距離をあけた領域へ、確実に液晶１２を塗布することができる。
【００６２】
なお、実施の形態１、２に係る本発明の電気光学パネル及び電子機器の製造方法は、予め用意されたプログラムを上記制御装置６５の処理部６５ｃへロードして実行することによって実現することができる。このプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することもできる。また、このプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、所定のインターフェースを介して上記制御装置６５の処理部６５ｃへロードすることによって実行することもできる。ここで、コンピュータで読み取り可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ等の可搬媒体、あるいはコンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記録装置をいう。
【００６３】
（本発明の適用対象）
本発明に係る電気光学パネルが適用できる電子機器としては、携帯電話機の他に、例えば、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学パネルを用いる機器が挙げられる。したがって、これらの電子機器における電気的接続構造であっても、本発明が適用可能であることはいうまでもない。
【００６４】
また、この電気光学パネルは、透過型又は反射型の電気光学パネルであり、図示しない照明装置をバックライトとして用いる。なお、アクティブマトリックス型のカラー電気光学パネルであっても同様である。例えば、以上説明した各実施形態においては、いずれもパッシブマトリクス型の電気光学パネルを例示してきたが、本発明の電気光学パネルとしては、アクティブマトリクス型の電気光学パネル（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた電気光学パネル）にも同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電気光学パネルの一種である液晶パネルの概略構造を示す一部断面図。
【図２】液晶塗布前における実施の形態１に係るカラーフィルタ基板の平面図。
【図３】実施の形態１に係るカラーフィルタ基板に液晶を塗布した状態を示す一部断面図。
【図４】配向膜上に液晶滴を一滴塗布した場合における液滴の広がりを示す説明図。
【図５】図４に示した関係を示す説明図。
【図６】液晶滴の塗布位置とシール材との関係を示す説明図。
【図７】液晶滴の塗布位置とシール材との関係を示す説明図。
【図８】ラビング方向と液晶滴との関係を示す説明図。
【図９】液晶滴の塗布位置と遮光領域との関係を示す説明図。
【図１０】液晶滴の塗布位置と遮光領域との関係の他の例を示す説明図。
【図１１】本発明に係る電気光学パネルの製造装置を示す説明図。
【図１２】本発明に係る電気光学パネル及び電子機器の製造方法を示すフローチャート。
【図１３】本発明に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図１４】本発明に係る電子機器の製造方法を示す説明図。
【図１５】電気光学パネルの製造装置の液晶塗布方法例を示す説明図。
【符号の説明】
９  電子機器；  １０ａ  カラーフィルタ基板；  １０ｂ  対向基板；  １１  カラーフィルタ；  １２  液晶；  １２ｄ、１２ｄ’    液晶滴；  １７  シール材；  １７ｉｔ、１８ｉｔ  内側端部；  １８  遮光領域；  １９  表示領域；５０  電気光学パネルの製造装置；  ５２  液滴吐出ヘッド；  ５４、５４１、５４２  ノズル；  ６０  ステージ；  ６５  制御装置；  １００  電気光学パネル；  Ｃ  滴下中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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