(57)【要約】【課題】その目的は、蛍光体のチャージ荷電を減少させ、そして、容易に精度良くスペーサを配設できる平面型表示装置を提供する。【解決手段】電子を放出する多数の冷陰極素子１９が絶縁性基板１０上に形成された背面基板１と、背面基板１に対向して配置された透光性基板１１０上に冷陰極素子１９からの電子線によって励起され発光する蛍光体１１１が形成された表示基板１０１と、枠部材１１６とを備え、背面基板１と表示基板１０１と枠部材１１６とで囲まれた空間が真空雰囲気とされる平面型表示装置において、表示基板１０１は、蛍光体１１１が内在して発光領域を形成する微細孔１２２をマトリクス状に多数設けた金属シート１２０を透光性基板１１０上に有する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子を放出する多数の冷陰極素子が絶縁性基板上に形成された背面基板と、該背面基板に対向して配置された透光性基板上に前記冷陰極素子からの電子線によって励起され発光する蛍光体が形成された表示基板と、枠部材とを備え、前記背面基板と前記表示基板と前記枠部材とで囲まれた空間が真空雰囲気とされる平面型表示装置において、
前記表示基板は、前記蛍光体が内在して発光領域を形成する微細孔をマトリクス状に多数設けた金属シートを前記透光性基板上に有することを特徴とする平面型表示装置。
【請求項２】
上記表示基板は、上記金属シートを上記透光性基板に固着する固着層を有する請求項１に記載の平面型表示装置。
【請求項３】
上記微細孔をマトリクス状に多数設けた金属シートは、上記上記透光性基板に金属シートを固着層で固着した後に微細孔を形成してなる請求項１に記載の平面型表示装置。
【請求項４】
上記固着層が低融点なガラス層である請求項２又は３に記載の平面型表示装置。
【請求項５】
上記固着層が光透過性を所定に制限されたガラス層である請求項４記載の平面型表示装置。
【請求項６】
上記金属シートと前記透光性基板と前記ガラス層は、略同じ熱膨張率である請求項４又は５に記載の平面型表示装置。
【請求項７】
上記金属シートが厚さ２０μｍ乃至２５０μｍの均一厚さを有する請求項１記載の平面型表示装置。
【請求項８】
上記金属シートの組成がＦｅ−Ｎｉを主とする合金からなる請求項１記載の平面型表示装置。
【請求項９】
上記金属シートに形成された微細孔が断面略Ｒを有する請求項１記載の平面型表示装置。
【請求項１０】
上記金属シートの上記透光性基板側の面が略黒色である請求項１記載の平面型表示装置。
【請求項１１】
上記金属シートに形成された微細孔の壁面が電気伝導性を有する請求項１記載の平面型表示装置。
【請求項１２】
上記金属シートに形成された微細孔に内在する蛍光体の形成断面が略Ｕ字形状である請求項１記載の平面型表示装置。
【請求項１３】
上記金属シートの上記背面基板側にメタルバックを有する請求項１記載の平面型表示装置。
【請求項１４】
上記金属シートが上記背面基板と上記表示基板との間隔を維持する支持体を保持する凹部を有する請求項１記載の平面型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面型表示装置であり、特に電子を放出する多数の冷陰極素子をマトリクス状に配設した電子源を気密容器内に収容した平面型表示装置であるフィールドエミッションディスプレイ（以下、「ＦＥＤ」と記す）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、冷陰極素子の電子放出素子をマトリクス状に配設した電子源を気密容器内に収容した平面型表示装置であるＦＥＤは、低消費電力でブラウン管並みの輝度、コントラストを有する自発光型の平面型表示装置として注目されている。電子放出素子としては、表面伝導型放出素子（以下、「ＳＥＤ型」と記す）、電界放出型素子（以下ＦＥ型と記す）や金属／絶縁膜／金属型放出素子（以下、「ＭＩＭ型」と記す）などが知られており、また、ＦＥ型には主にＭｏなどの金属やＳｉなどの半導体物質で作られたスピント型やカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を電子源としたＣＮＴ型がある。ＳＥＤ型に関しては、例えば下記特許文献１で開示されており、ＭＩＭ型に関しては、例えば下記特許文献２や下記特許文献３で開示されている。
【０００３】
このＦＥＤは、例えば下記特許文献２の図２１に開示されているように、絶縁性基板上に冷陰極素子の電子放出素子をマトリクス状に配設して電子源とした背面基板と、透光性基板上に電子源からの電子の衝突により発光する３原色Ｒ，Ｇ，Ｂの蛍光体を設けた表示基板とを対向させ、その間の周辺部に枠をフリットガラス等により封着し、内部を１０−５〜１０−７ｔｏｒｒ程度の気密状態としたものである。
【０００４】
ＦＥＤは、冷陰極からの電子が蛍光体に衝突して発光するため、チャージ電荷により帯電した蛍光体は、発光特性が悪くなるという問題が生じていた。
【０００５】
また、ＦＥＤは、大気圧によって破壊しないように支持体（以下、「スペーサ」と称する）を配置するのが好ましいが、スペーサは、電子源である電子放出素子から蛍光体に到る電子の軌道を妨げないように、コントラストを向上させるために画素を構成するＲ，Ｇ，Ｂの蛍光体間に設けられた例えばストライプ状のブラックマトリクス内に設けられる。画素を構成するＲ，Ｇ，Ｂの蛍光体とブラックマトリクスの配置例については、例えば特許文献４に一例が開示されている。
【０００６】
ＦＥＤに用いられるスペーサとしては、例えば、非特許文献１に記載されている。この文献に記載された平面型表示装置は、１０インチの２４０×２４０×３色画素（１画素は１組のＲ，Ｇ，Ｂ色画素からなる）であり、４０×３×０．２ｍｍのスペーサが２８個配置された構造となっている。また、背面側基板と表示側基板との間隔は３ｍｍ、スペーサ厚さが０．２ｍｍでアスペクト比は１５である。また、色画素ピッチが０．６５×０．２９ｍｍであり、色画素ピッチに比べてスペーサ幅がまだ大きい状況である。
【０００７】
既に放送されているハイビジョン放送や、今後開始が予定されている地上波デジタル放送に対応するには、高精細な大画面とする必要があり、画素間のブラックマトリクス内に設けるためには、さらに厚さを薄くする必要がある。例えば、表示範囲３０インチ、画素数１２８０×７２０（１画素は１組のＲ，Ｇ，Ｂ色画素からなる）、アスペクト比１６：９の平面型表示装置では、ブラックマトリクスの幅の１００μｍ以下とする必要があり、取り付け誤差を考慮すると９０μｍ以下としなければならない。スペーサの取り付けを容易とするために、背面基板や表示基板にスペーサの形状に合致した凹部を設け、その凹部に合うようにスペーサを装着する技術が、発明者等が出願した下記特許文献５で開示されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−１６４１２９号公報
【特許文献２】
特開２００１−１０１９６５号公報
【特許文献３】
特開２００１−２４３９０１号公報
【特許文献４】
特開２０００−３０６５１０号公報
【特許文献５】
特開２０００−２９４１７０号公報
【非特許文献１】
Ｔｈｅ  ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ  ｏｆ  ＳＤＩ’９７、ｐａｐｅｒ６．２（ｐ．５２−５５）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、背面基板には、例えば特許文献２で開示されているように、複数の電子放出素子がマトリックス状に配置され、また、各電子放出素子間を接続するバス配線層も形成されており、これらを避けて、複数画素間に渡る長さの範囲で上記したスペーサの形状に合致した凹部を設けるスペースを確保するのは困難であり、このことについては、特許文献５では言及されていない。
【００１０】
本発明は、上記した課題を鑑みて成されたものであり、その目的は、蛍光体のチャージ荷電を減少させ、そして、容易に精度良くスペーサを配設できる平面型表示装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、電子を放出する多数の冷陰極素子が絶縁性基板上に形成された背面基板と、該背面基板に対向して配置された透光性基板上に前記冷陰極素子からの電子線によって励起され発光する蛍光体が形成された表示基板と、枠部材とを備え、前記背面基板と前記表示基板と前記枠部材とで囲まれた空間が真空雰囲気とされる平面型表示装置において、前記表示基板は、前記蛍光体が内在して発光領域を形成する微細孔をマトリクス状に多数設けた金属シートを前記透光性基板上に有する平面型表示装置である。
【００１２】
金属シートは金属なので、蛍光体が内在して発光領域（即ち画素）を形成する微細孔の壁面は電気伝導性を有し、蛍光体のチャージ電荷を金属シート側に逃がし、該蛍光体の帯電を低減することができる。
【００１３】
また、本発明は、上記表示基板は、上記金属シートを上記透光性基板に固着する固着層を有する平面型表示装置である。
【００１４】
そして、本発明は、上記固着層が低融点なガラス層である平面型表示装置である。
【００１５】
更に、本発明は、上記金属シートと前記透光性基板と前記ガラス層は、略同じ熱膨張率である平面型表示装置である。
【００１６】
固着層を低融点なガラス層とし、前記金属シートと前記透光性基板と前記ガラス層の熱膨張率を略同じとすることにより、これらの間で生じる熱歪の影響を低減することができる。
【００１７】
また、本発明は、上記金属シートが厚さ２０μｍ乃至２５０μｍの均一厚さを有する平面型表示装置である。
【００１８】
そして、本発明は、上記金属シートの組成がＦｅ−Ｎｉを主とする合金からなる平面型表示装置である。
【００１９】
更に、本発明は、上記金属シートに形成された微細孔が断面略Ｒを有する平面型表示装置である。
【００２０】
また、本発明は、上記金属シートの上記透光性基板側の面が略黒色である平面型表示装置である。
【００２１】
これにより、金属シートの黒色面をブラックマトリクスとして、コントラストを低下させることなく、支持体を精度よくかつ容易にアセンブルすることができる。黒色とするには、前記金属シートをＦｅ−Ｎｉ合金として黒化処理を行うか、または、黒色顔料を塗布する。
【００２２】
そして、本発明は、上記金属シートに形成された微細孔の壁面が電気伝導性を有する平面型表示装置である。
【００２３】
更に、本発明は、上記金属シートに形成された微細孔に内在する蛍光体の形成断面が略Ｕ字形状である平面型表示装置である。
【００２４】
また、本発明は、上記金属シートの上記背面基板側にメタルバックを有する平面型表示装置である。
【００２５】
そして、本発明は、上記金属シートが上記背面基板と上記表示基板との間隔を維持する支持体を保持する凹部を有する平面型表示装置である。なお、保持するとは、保持位置決めを容易にすることを含む。
【００２６】
これにより、金属シートの凹部に前記支持体を挿入して配設できるので、該支持体を精度よくかつ容易にアセンブルすることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を説明する。
以下、本発明の平面型表示装置の実施例について、図１〜図５を用いて詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態を示す平面型表示装置の概略構成図である。図２は、図１のＡ部を拡大した詳細図である。図３は、金属シートの上面図である。図４は、凹部を設けた金属シートの一例の上面図である。図５は、凹部を設けた金属シートの別の例の上面図である。なお、全図において、各図に共通な部分には同一符号を付して、その部分の繰り返した説明を省略する。
【００２８】
本発明の平面型表示装置は、電子を放出する多数の冷陰極素子が絶縁性基板上に形成された背面基板と、背面基板に対向して配置された透光性基板上に冷陰極素子からの電子線によって励起され発光する蛍光体が形成された表示基板と、枠部材とを備え、背面基板と表示基板と枠部材とで囲まれた空間が真空雰囲気とされ、表示基板は、蛍光体が内在して発光領域を形成する微細孔をマトリクス状に多数設けた金属シートを透光性基板上に有する。
【００２９】
実施形態１を説明する。図１は本発明の一実施形態を示す平面型表示装置の概略構成図である。図１において、表示基板１０１は、光が透過するガラス等の透光性基板１１０と、マトリクス状（２次元状）に配列された多数の微細孔１２２を有する薄い金属シート１２０と、透光性基板１１０に金属シート１２０を固着する低融点の固着層１１２と、金属シート１２０の微細孔１２２内に塗布されて内在する蛍光体１１１と、金属シート１２０上に例えば蒸着で形成されたアルミニウム（Ａｌ）のメタルバック１１４からなる。
【００３０】
金属シート１２０には、ブラウン管（ＣＲＴ）に用いられるシャドウマスクと同様に、微細孔１２２がマトリクス状に多数形成されており、この微細孔１２２を蛍光体１１１を塗布する孔として用い、また、透光性基板１１０側の面を外光の反射を防止してコントラストの低下を防止するために略黒色にしてブラックマトリクス１２１としている。さらに、背面基板１側には、所々にスペーサ３０を挿入する窪みや溝等が形成された凹部１２３が設けられている。
【００３１】
背面基板１は、例えばガラス等の絶縁性基板１０と、絶縁性基板１０上に電子放出素子を多数形成して電子源とした例陰極の電子放出素子形成層１９とからなる。
【００３２】
平面型表示装置は、表示基板１０１と背面基板１とをスペーサ３０で支持し、表示基板１０１と背面基板１の周辺を枠１１６でフリットガラス１１５を用いて封着して、内部を１０−５〜１０−７ｔｏｒｒ程度の気密状態としている。
【００３３】
上記したように、金属シート１２０は、カラーテレビ用のブラウン管（ＣＲＴ）で所定の蛍光体へ電子ビームが照射されるように色選別用マスクとして用いられるシャドウマスクと同様に、Ｆｅ−Ｎｉ系合金の極低炭素鋼薄板に多数の微細孔１２２がエッチングでマトリクス状に形成され、鋼の再結晶温度以下の４５０〜４７０℃において、酸化性雰囲気で、１０〜２０分間の熱処理が施されて表面の黒化処理がなされたものである。これにより、金属シートを製造する上で従来のシャドウマスクを製造する設備がそのまま利用できる。
【００３４】
金属シート１２０の板厚は２０〜２５０μｍのものを用いる。板厚の下限は、これ以下の鋼板の商業的な需要が少ないこと、また、後述するように蛍光体１１１の層の厚さは略１０〜２０μｍ程度とされるので、これ以上とするためである。また、Ｆｅ−Ｎｉ系合金の極低炭素鋼薄板は高価であり、これ以上の鋼板の商業的な需要が少ないことや価格の点から２５０μｍ以下とするのが好ましい。
【００３５】
さらに、背面基板１の電子放出素子からの電子線によって微細孔１２２に内在する蛍光体１１１が励起され、蛍光体１１１から発生した２次電子が隣接する微細孔１２２に漏れこみ、隣接する微細孔１２２に内在する蛍光体１１１を励起して発光させる恐れがあるが、微細孔１２２の高さ、即ち金属シートの厚さを蛍光体１１１の層の厚さより大きくすることにより、発生した２次電子は微細孔１２２の内壁（内壁の黒色酸化膜は除去され、内壁面は電気を伝導させる。詳細は後述）やメタルバック１１４に吸収されて、隣接する微細孔１２２に漏れこまないようにすることができ、蛍光体のチャージ荷電を減少させることができる。
【００３６】
金属シート１２０は、表面が黒化処理されて絶縁性の黒色酸化膜であるため、透光性基板１１０側の面はブラックマトリクス１２１として用いることができるが、微細孔１２２の内面と背面基板１側の面の黒色酸化膜は、蛍光体のチャージ電荷を除去するため、また、メタルバックと導電性を持たせるために、絶縁性の黒色酸化膜は例えばサンドブラストで除去されており、微細孔１２２の内面と背面基板１側の面は電気を伝導する。
【００３７】
このように処理された金属シート１２０を透光性基板１１０に低融点（５００℃以下）の固着層１１２で固着する。固着層１１２の固着部材としては、例えば低融点のガラスであるフリットガラスを用い、透光性基板１１０に塗布して、金属シート１２０を接着し、４５０〜４７０℃で熱処理して焼結する。固着部材としては、その他に、液状のガラス前駆体であるポリシラザンがある。これを用いて、１２０℃以上の温度で焼結して固着してもよい。
【００３８】
なお、固着層の光学特性は、透明に限るものではない。たとえば、ＣＲＴなどでは従来からフロントパネル材に光の透過性を所定に制限したガラスを用いてコントラスト向上を図っており、本発明においても、透光性基板は透明であっても固着層を光透過性を所定に制限したガラス層で構成することでＣＲＴと同様にコントラスト性能向上の効果がある。ガラスは、従来よりＣＲＴで実施されている手段などで容易に達成できる。
【００３９】
透光性基板１１０に固着層１１２を介して固着されるので、金属シート１２０は、透光性基板１１０との熱膨張率の差に起因する熱歪を軽減するために、透光性基板１１０と同程度の熱膨張率を有することが望ましい。透光性基板１１０としてガラスを用いる場合、ガラスの熱膨張率は３８〜９０×１０−７／℃（３０〜３００℃）程度であり、Ｆｅ−Ｎｉを主とする合金である金属シート１２０の熱膨張率はニッケル（Ｎｉ）の含有量を変えて略同程度にすることが可能である。例えば、透光性基板１１０として熱膨張率が４８×１０−７／℃のホウケイ酸ガラス基板を用いる場合には、Ｆｅ−４２％Ｎｉ合金の金属シート１２０とすれば、その熱膨張率を略同程度とすることができる。
【００４０】
同様の観点から、固着層も透光性基板１１０と同程度の熱膨張率を有することが望ましい。そこで、上記したように、固着部材として、ガラス材の透光性基板と同程度の熱膨張率を有する例えばフリットガラスを用いる。
【００４１】
なお、金属シート１２０は熱歪を軽減するために透光性基板１１０と同程度の熱膨張率を有することが望ましいが、ガラス材の透光性基板および固着層は引張応力に弱いので、金属シート１２０の熱膨張率を透光性基板１１０，固着層１１２の熱膨張率より少し大きくし、実使用時では透光性基板，固着層に圧縮応力がかかるようにしてもよい。
【００４２】
ここで、上記した実施例によれば金属シートは、多数の微細孔を予め設けて表面の黒化処理を施して後固着層で透光性基板に固着していたが、このプロセスに限るものではない。たとえば、予め酸化性雰囲気で熱処理して表面を黒化処理した金属シートを、固着層で透光性基板に固着した後、エッチングにより多数の微細孔を形成してもよい。このようなプロセスによれば、先の実施例の場合と同様の機能をえられるばかりか、透光性基板に金属シートを固着するとき微細孔がないため取り扱いが容易になって固着効率が良くなる効果がある。
【００４３】
さて、上記のように、金属シート１２０をガラス層である固着層１１２で透光性基板１１０に固着した後、微細孔１２２に赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の蛍光体をそれぞれ略１０〜２０μｍ程度塗布する。そして、その上にフィルミングした後、例えばアルミニウムのメタルバック１１４を３０〜２００ｎｍ程度真空蒸着する。なお、メタルバック１１４は、蛍光体１１１の帯電を除去し、また、蛍光体１１１が発光する光を前面に反射させるとともに、電子放出素子からの電子を加速させる加速電圧を印加する電極として作用させるものである。勿論、電子放出素子からの電子を十分に透過させる必要があり、この点からメタルバックの厚さが上記範囲内に設定されるが、この厚さとしては、略７０ｎｍ程度が好適である。
【００４４】
図２は図１のＡ部を拡大した詳細図である。図２において、金属シート１２０の微細孔１２２の断面で、透光性基板１１０側と逆側の背面基板側の両表面側で、微細孔１２２の壁面にＲを取って丸くし、角部をなくして電界集中をなくし、放電が起こらないようにしている。また、先に述べたが、金属シート１２０の微細孔１２２の内面と金属シート１２０の背面基板側は、例えばサンドブラストによって絶縁性の黒色酸化膜が除去されており、蛍光体１１１にチャージした電荷や蛍光体１１１で発生した２次電子は金属シート１２０とメタルバック１１４に移動するので、帯電することがないようになっている。
【００４５】
さらに、金属シート１２０の厚さは蛍光体１１１の層の厚さよりも厚く２０μｍ以上であり、また、微細孔１２２の内面はサンドブラストにより、細かい凹凸ができているため、蛍光体１１１を塗布する際、細かい凹凸により濡れ性がよくなり、蛍光体１１１は透光性基板１１０側から見て滑らかな曲面である略Ｕ字形状（底部約１００μｍ、側部約２０μｍ程度）となるので、メタルバック１１４が微細孔１２２内部でも良好に形成でき、剥離しにくく、密着性が向上する効果がある。
【００４６】
図３は金属シートの上面図である。図３において、金属シート１２０はマトリクス（２次元）状に設けられた多数の微細孔１２２を備えている。そして、微細孔１２２に塗布されて内在する蛍光体が発光することにより画素を形成する。図３（ａ）は微細孔１２２が円形の微細孔１２２ａである場合を示す。微細孔１２２内部に蛍光体が塗布されるので、画素形状は微細孔１２２の孔形状と一致するが、ブラウン管と場合と同様に、画素形状即ち微細孔１２２の形状は円形に限定されるものではなく、図３（ｂ）のような長円形、図３（ｃ）のような四角形や図３（ｄ）のように丸くして角をなくした即ち略Ｒを取った四角形であってもよい。なお、図３において、１２４はアライメントマークであり、詳細は後述する。
【００４７】
本発明では、図１に示すように、金属シート１２０はブラックマトリクス１２１が設けられた面とは逆側の面に複数の凹部１２３が設けられている。凹部１２３は透光性基板１１０側から見て、ブラックマトリクス１２１の領域内にあり、この凹部にスペーサ３０を挿入配置しても、背面基板１から蛍光体１１１に到る電子線の軌道に影響を与える懸念はない。本発明では、凹部１２３の深さは、金属シートの厚さの略１／２の１０〜１２５μｍとする。
【００４８】
図４と図５は、図３（ａ）に示す円形の微細孔（画素に対応）の間のブラックマトリクス領域の対面に、スペーサ３０を配置するため、凹部を設けた金属シートの一例の上面図である。ここでは、図示を簡略化するために、画面が５ライン×３画素（１画素はＲ光，Ｇ光，Ｂ光を発光する３色画素で構成）で構成されているものとする。しかし、実際には、金属シート全体に、大気圧に耐えるに十分な多数のスペーサを配置する凹部１２３が多数設けられていることはいうまでもない。
【００４９】
図４と図５において、この凹部１２３にスペーサ３０を挿入できるようにして、スペーサ３０のアセンブリを容易としている。スペーサ３０を配置する精度は凹部１２３の形成精度によって定まるが、凹部は微細孔と同様、エッチングによって形成されるので、精度よく形成でき、スペーサ３０を背面基板１に対して精度よく所定の位置に配置することができる。また、金属シート１２０には、４隅に例えば十文字のアライメントマーク１２４が微細孔１２２と同様エッチングされて刻まれている。一般に、スペーサ３０のアセンブリは例えばマイクロマシンを用いて自動的に行った方がコストを低減できるが、本例では、アライメントマーク１２４を位置決めマーカとして用い、自動配置させることができる効果がある。なお、ここではアライメントマーク１２４を４隅に設けたが、これに限定されるものではなく、例えば襷がけに設けてもよいことはいうまでもない。勿論、凹部１２３の形状は、挿入されるスペーサ３０の端面形状に相似であることはいうまでもない。
【００５０】
図４（ａ）は、紙面左右方向に平板形状のスペーサを配置するために設けた凹部の一例を示す。平板形状のスペーサ３０を配置するために細長い四角形（長方形）の凹部１２３ａが紙面左右方向に設けられている。平面型表示装置にかかる大気圧に耐えるために、スペーサは複数必要であり、そのため、スペーサを挿入する凹部１２３ａも複数設けてある。勿論、紙面上下方向に凹部を設けてもよいことはいうまでもない。
【００５１】
図４（ｂ）では、梯子形状に凹部１２３ｂが設けられている。この凹部１２３ｂに対応するスペーサ（図示せず）は、平行な対向する２枚の平板の間に、直角に、平行な複数の平板が組合せられた梯子形構造のものであり、支持力が図４（ａ）に比べ高い。
【００５２】
図５（ａ）では、紙面上下方向と左右方向の２方向に十文字形状の凹部１２３ｃが設けられている。この凹部１２３ｃに対応するスペーサ（図示せず）は、平板２枚を直交させて十文字に組合せたものである。図５（ａ）では十文字形状の凹部１２３ｃが図の一部にしか設けられてないが、実際には、金属シート全体に、大気圧に耐えるに十分な多数のスペーサを配置する凹部１２３ｃが設けられているのはいうまでもない。
【００５３】
図５（ｂ）では、円柱形状のスペーサ（図示せず）を配置するために円形の凹部１２３ｄが設けられている。勿論、図５（ｂ）において、円柱形状のスペーサ（図示せず）ではなく、紙面左右方向に長い長円形または紙面上下方向に長い長円形のスペーサ（図示せず）であってもよく、この場合には、凹部は長円形の形状となる。また、スペーサは四角柱や角をとってＲをつけた四角柱であってもよく、この時には凹部は四角形やＲを有する四角形の形状となる。
【００５４】
以上述べたように、本発明によれば、薄い金属シートに多数の微細孔を形成し、この微細孔を用いて蛍光体を塗布し、該金属シートの黒色酸化膜を形成した一方の面をコントラストを向上させるブラックマトリクスとして用い、対向する他方の面に複数の凹部を設け、これらの凹部にスペーサを挿入して配設することにより、コントラストを低下させることなく、スペーサを精度よくかつ容易にアセンブリすることができる。
【００５５】
以上述べた本発明の実施形態では、Ｆｅ−Ｎｉ系合金の極低炭素鋼薄板を用いて黒化処理をした金属シート１２０を透光性基板１１０に固着する際、透光性基板１１０に固着部材を塗布するようにしたが、これに限定されるものではなく、黒化処理を施さない金属シート１２０に黒色顔料を混ぜて黒色とした固着部材を塗布して透光性基板１１０を固着するようにしてもよい。即ち、黒化処理を施さない金属シート１２０´にガラスペーストと黒色顔料を含んだ黒色顔料ペーストを微細孔１２２を避けて印刷し、透光性基板１１０を固着する。このとき、ブラックマトリクス１２１も同時に形成される。このようにすれば、黒化処理を施さないので、微細孔１２２の内壁とメタルバックを形成する他方の面のサンドブラストによる黒色酸化膜を取り除く工程を省くことができる。勿論、微細孔１２２の内壁に濡れ性をよくするために細かい凹凸を設ける作業は必要である。
【００５６】
【発明の効果】
本発明によれば、蛍光体のチャージ荷電を減少させ、そして、容易に精度良くスペーサを配設できる平面型表示装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す平面型表示装置の概略構成図。
【図２】図１のＡ部を拡大した詳細図。
【図３】金属シートの上面図。
【図４】凹部を設けた金属シートの一例の上面図。
【図５】凹部を設けた金属シートの別の例の上面図。
【符号の説明】
１  背面基板
１０  絶縁性基板
１９  電子放出素子形成層
３０  スペーサ
１０１  表示基板
１１０  透光性基板
１１１  蛍光体
１１２  ガラス層
１１４  メタルバック
１１５  フリットガラス
１１６  枠
１２０  金属シート
１２１  ブラックマトリクス
１２２  微細孔
１２３  凹部
１２４  アライメントマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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