(57)【要約】【課題】　紫外線による硬化能力が優れており、アクリルバインダーと相溶性が優れたフォトポリマー及びこれを利用した共重合体及びフォトポリマーを利用して少ない露光量でも現像性が優れており、保管安定性も優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】　本発明はフォトポリマーを利用した感光性樹脂組成物に関し、特に、他の助けを受けずに、光により硬化できるフォトポリマーを用いて、露光感度と現像マージンが優れた透過型、反射型、及び半透過型のカラーフィルター用感光性樹脂組成物に関する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）及び／又は（２）で示される構造単位を有するマクロポリマー。
【化１】
2004124096.tif 000008
【化２】
2004124096.tif 000009
（但し、前記一般式（１）及び（２）において、Ｒ1 は各々独立に水素または炭素数１〜２のアルキル基であり、Ｒ2 は各々独立にヒドロキシル基を有していてもよい炭素数２〜５のアルキル基又はフェニル基であり、ａ、ｂ、及びｃの比がａ＋ｂ＋ｃ＝１を満たし、かつ０．１＜ａ＜０．４、０＜ｂ＜０．５、０．１＜ｃ＜０．５である。）
【請求項２】
前記マクロポリマーの重量平均分子量が１０，０００〜８０，０００である請求項１記載のマクロポリマー。
【請求項３】
ａ）請求項１又は２記載のマクロポリマー１〜３０重量部、
ｂ）少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマー５〜３０重量部、ｃ）顔料１０〜６０重量部、
ｄ）光重合開始剤０．５〜５重量部、及び
ｅ）溶剤２０〜８０重量部を含有するカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーが、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート誘導体、トリメチルプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、及びこれらのメタクリレート類からなる群より選択される少なくとも１種である請求項３記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記顔料が、有機顔料または無機顔料である請求項３又は４記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記溶剤が、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、及び３−エトキシプロピオン酸エチルからなる群より選択される少なくとも１種である請求項３〜５のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項７】
さらに、ポリエステル系分散剤及びポリウレタン系分散剤からなる群より選択される少なくとも１種の分散剤を０．０１〜１重量部含有する請求項３〜６のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項８】
さらに、シリコン系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤からなる群より選択される少なくとも１種の界面活性剤を０．０１〜１重量部含有する請求項３〜７のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は感度が高く、現像マージンが優れた透過型、反射型、及び半透過型液晶ディスプレイのカラーフィルター用感光性樹脂組成物、及び該カラーフィルター用感光性樹脂組成物に用いられるマクロポリマーに関する。
【背景技術】
【０００２】
　液晶ディスプレイのカラーフィルターを形成する方法としては、従来から染色方式、印刷方式、電着方式、インクジェット方式、及び顔料分散方式などがあるが、最近はパターンの精巧性（微細化、複雑化の程度）及び製造方法が容易な顔料分散方式を採用しており、このような方式は携帯電話、ノートブック、モニター、及びＴＶなどのＬＣＤを製造するのに応用されている。
【０００３】
　しかし、モニターやＴＶ用ＬＣＤなどは、要求される色再現率（ＮＴＳＣ対比色濃度）がノートブックＬＣＤに比べて高まったので、顔料の混合率（含量）が非常に高くなり、この結果、実際に生産工程で高い露光量を必要とし、現像時の現像マージン及びパターンの直進性（変形が少ないこと）を悪くする影響を与えた。
【０００４】
　従来用いられていた感光性樹脂組成物は、一般に、ａ）アルカリ水溶液に溶解されるバインダー、ｂ）少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマー、ｃ）顔料、ｄ）光重合開始剤、及びｅ）溶剤からなっており、必要に応じて基板との接着力向上剤、保管安定性のための安定剤、顔料の分散性を向上させるための分散剤などの添加剤を含有する。このような感光性樹脂組成物は、一般に、光によって生成された光重合開始剤のラジカルによって架橋性モノマーと架橋結合を作って現像過程で現像液に対する溶解力を阻止する。しかし、このような構造は顔料混合率が高くなると共にカラーフィルターの厚さが薄膜化されることによって、マトリックス（包容材）の成分として作用するバインダー及びモノマーの含量が減少し、パターン形成における現像液との反応性及び工程マージンの両面で重要な問題として提起された。
【０００５】
　このような問題点を解決するために、多様なフォトポリマーを利用した製造方式が提案された（特許文献１〜４）。しかし、このような樹脂を利用した方法では保管安定性が低下し、現像後に残渣が残る場合が多いため改善が要求されており、溶剤に対する溶解性も既存のアクリルバインダーに比べてよくなかった。
【特許文献１】特開平８−２７８６３０号公報
【特許文献２】特開平６−１９３８号公報
【特許文献３】特開平５−３３９３５６号公報
【特許文献４】大韓民国特許公開第１９９５−７０２３１３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　本発明は、このような従来の問題点を解決するために、紫外線による硬化能力が優れており、アクリルバインダーとの相溶性が優れたフォトポリマーを提供することを目的とする。
【０００７】
　本発明の他の目的は、前記フォトポリマーを含有し、少ない露光量でも現像性が優れており、保管安定性にも優れる感光性樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
　前記目的を達成するために本発明は、下記一般式（１）及び／又は（２）で示される構造単位を有するマクロポリマーを提供する。該マクロポリマーは、ブロック共重合体であってもよく、ランダム共重合体であってもよい。
【０００９】
【化３】
2004124096.tif 000002
【００１０】
【化４】
2004124096.tif 000003
（但し、前記一般式（１）及び（２）において、Ｒ1 は各々独立に水素または炭素数１〜２のアルキル基であり、Ｒ2 は各々独立にヒドロキシル基を有していてもよい炭素数２〜５のアルキル基又はフェニル基であり、ａ、ｂ、及びｃの比がａ＋ｂ＋ｃ＝１を満たし、かつ０．１＜ａ＜０．４、０＜ｂ＜０．５、０．１＜ｃ＜０．５である。）
　前記マクロポリマーは、重量平均分子量が１０，０００〜８０，０００であることが好ましい。
【００１１】
　本発明のカラーフィルター用感光性樹脂組成物は、ａ）前記マクロポリマー１〜３０重量部、
ｂ）少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマー５〜３０重量部、ｃ）顔料１０〜６０重量部、
ｄ）光重合開始剤０．５〜５重量部、及び
ｅ）溶剤２０〜８０重量部を含有する。
【００１２】
　前記少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーは、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート誘導体、トリメチルプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、及びこれらのメタクリレート類からなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【００１３】
　また前記顔料は、有機顔料または無機顔料であることが好ましい。
【００１４】
　また前記溶剤は、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、及び３−エトキシプロピオン酸エチルからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【００１５】
　前記カラーフィルター用感光性樹脂組成物は、さらに、ポリエステル系分散剤及びポリウレタン系分散剤からなる群より選択される少なくとも１種の分散剤を０．０１〜１重量部含有することが好ましい。前記分散材は、顔料の分散性を向上させる性質を有する。
【００１６】
　前記カラーフィルター用感光性樹脂組成物は、さらに、シリコン系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤からなる群より選択される少なくとも１種の界面活性剤を０．０１〜１重量部含有することが好ましい。前記界面活性剤は、コーティング性向上のために用いられる。
【発明の効果】
【００１７】
　本発明による感光性樹脂組成物は、他の助けを受けずに、光によって架橋可能なフォトポリマー端を含む樹脂を使用するので、顔料を高濃度で含む場合、または、ブラック顔料を含んで遮光性が高まり現像性が悪い場合にも低い露光量で優れた現像性を発現でき、保管安定性が優れていて、カラーフィルターを含むＬＣＤの製造に好適に用いられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
　以下、本発明を詳細に説明する。
【００１９】
　本発明は、他の助けを受けずに、光により硬化する前記一般式（１）及び／又は（２）で示される構造単位を有するマクロポリマーを含有し、感度が高く、現像マージンが優れた透過型、反射型、及び半透過型のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供するものである。該カラーフィルター用感光性樹脂組成物は、透過型、反射型、及び半透過型ＬＣＤの製造に好適に用いられる。
【００２０】
　前記一般式（１）及び／又は（２）で示される構造単位を有するマクロポリマーは、アルカリ水溶液に溶解する樹脂であって、溶媒中で下記一般式（３）及び／又は（４）で示される単量体と、酸性基を有するエチレン系単量体及び酸性基を有しないエチレン系単量体を共重合させることにより得ることができる。
【００２１】
【化５】
2004124096.tif 000004
【００２２】
【化６】
2004124096.tif 000005
（但し、前記一般式（３）及び（４）において、Ｒ1 は各々独立に水素または炭素数１〜２のアルキル基であり、Ｒ2 は各々独立にヒドロキシル基を有していてもよい炭素数２〜５のアルキル基又はフェニル基である。）
　前記一般式（３）又は（４）の具体例としては、ケイ皮酸エステル（Ｃｉｎｎａｍａｔｅ）またはカルコン（Ｃｈａｌｃｏｎｅ）の誘導体が挙げられる。マクロポリマー中の前記一般式（３）及び／又は（４）で示される単量体の含有量は１０〜５０重量％であることが好ましい。
【００２３】
　前記酸性基を有するエチレン系単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれらの酸無水物、または２−アクリロオキシエチルヒドロゲンフタレート、２−アクリロオキシプロピルヒドロゲンフタレート、２−アクリロオキシプロピルヘキサヒドロゲンフタレートなどがある。これらは単独または２種以上混合して用いることができる。マクロポリマー中の前記酸性基を有するエチレン系単量体の含有量は１０〜４０重量％であることが好ましく、より好ましくは２０〜３０重量％である。前記酸性基を有するエチレン系単量体の含有量が１０重量％未満の場合には、アルカリ現像液に対する感光性樹脂組成物の溶解性が低下する傾向があり、４０重量％を超える場合にはアルカリ現像液による現像時に、パターンの脱落及び剥離現象が発生する傾向にある。
【００２４】
　前記酸性基を有しないエチレン系単量体としては、イソブチルアクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルアクリレート、ラウリルアクリレート、アルキルアクリレート、ステアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、イソボニルアクリレート、ベンジルアクリレート、２−ヒドロキシアクリレート、トリメトキシブチルアクリレート、エチルカルビトールアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−アクリルオキシエチル−２−ヒドロキシプロピルフタレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、及びこれらのメタクリレート類；２−フルオロエチルアクリレート、３−フルオロプロピルアクリレートのようなハロゲンを含むアクリレート及びこれらのメタクリレート類；トリエチルシロキシエチルアクリレートのようなシロキサン基を含むアクリレート及びこれらのメタクリレート類；スチレン、４−メトキシスチレンのような芳香族を有するオレフィン類などがあり、これらは単独または２種以上混合して用いることができる。マクロポリマー中の前記酸性基を有しないエチレン系単量体の含有量は１０〜８０重量％であることが好ましく、より好ましくは２０〜７０重量％である。該単量体の含有量が１０重量％未満の場合には、現像工程時にガラス面との密着性が低下してパターン剥離現象が激しくなり、形成されたパターンの直進性が悪化する傾向にある。一方、該単量体の含有量が８０重量％を超える場合には、現像時の現像時間が長くなる傾向にある。
【００２５】
　本発明のアルカリ水溶液に溶解されるマクロポリマーの重量平均分子量は１０，０００〜８０，０００であるのが好ましく、さらに好ましくは１５，０００〜５０，０００である。前記マクロポリマーの重量平均分子量が８０，０００を超える場合には、現像過程で現像時間が遅くなって残膜が生じ、一方、重量平均分子量が１０，０００未満の場合には、現像過程で現像マージンがなくなる傾向にある。
【００２６】
　感光性樹脂組成物中の前記マクロポリマーの含有量は１〜３０重量部であり、好ましくは５〜３０重量部であり、含有量によって感度及び硬化度の増加を示す。また、感光性樹脂組成物１００重量部中の前記マクロポリマーの含有量は１〜３０重量部であることが好ましく、さらに好ましくは５〜３０重量部である。前記マクロポリマーの含有量が１重量部未満の場合には、形成されたパターンの耐熱性及び耐化学性に問題が生じ、一方３０重量部を超える場合には、固形分の増加による粘度上昇の問題が生じる。
【００２７】
　本発明の感光性樹脂組成物において、ｂ）少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーとしては、例えば、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート誘導体、トリメチルプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、及びこれらのメタクリレート類などがある。
【００２８】
　感光性樹脂組成物中の前記架橋性モノマーの含有量は５〜３０重量部であり、好ましくは５〜２０重量部である。また、感光性樹脂組成物１００重量部中の前記架橋性モノマーの含有量は５〜３０重量部であることが好ましく、さらに好ましくは５〜２０重量部である。前記架橋性モノマーの含有量が５重量部未満の場合には、マクロポリマーの架橋度が小さく、硬化度が低くなることによってパターン実現が難しくなる。一方、３０重量部を超える場合には、マクロポリマーの架橋度が大きくなり、硬化度が高くなることによって現像時パターンの剥離現象が激しくなり、パターンの直進性が悪くなる。
【００２９】
　本発明の感光性樹脂組成物において、ｃ）顔料は有機顔料も無機顔料も用いることができ、このような有機顔料の具体的な例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５: ３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５: ４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５: ６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、及びＣ．Ｉ．ピグメントブラック７などがある。また、無機顔料としては、酸化チタン、チタンブラック、及びカーボンブラックなどがある。これら顔料は色調合のために１種または２種以上を混合して用いることができる。感光性樹脂組成物中の前記顔料の含有量は１０〜６０重量部であり、好ましくは２０〜５０重量部である。また、感光性樹脂組成物１００重量部中の前記顔料の含有量は１０〜６０重量部であることが好ましく、さらに好ましくは２０〜５０重量部である。
【００３０】
　本発明の感光性樹脂組成物において、ｄ）光重合開始剤としては、例えば、トリアジン系化合物、アセトフェノン系化合物、キサントン系化合物、ベンゾイン系化合物、及びイミダゾル系化合物などを１種または２種以上混合して用いることができる。前記光重合開始剤の具体的な例としては、２，４−ビストリクロロメチル−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−ｐ−メトキシスチリル−４，６−ビストリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−４−メチルナフチル−６−トリアジン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，２−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジブトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロリオフェノン、ｐ−ｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、２−メチルチオキサントン、２−イソブチルチオキサントン、２−ドデシルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，２−ビス−２−クロロフェニル−４，５，４，５−テトラフェニル−２−１，２−ビイミダゾル化合物などがある。
【００３１】
　感光性樹脂組成物中の前記光重合開始剤の含有量は０．５〜５重量部であり、好ましくは１〜２重量部である。また、感光性樹脂組成物１００重量部中の前記光重合開始剤の含有量は０．５〜５重量部であることが好ましく、さらに好ましくは１〜２重量部である。前記光重合開始剤の含有量が０．５重量部未満の場合には、低い感度によって正常なパターン実現が難しくなり、パターンの直進性にもよくない。一方、５重量部を超える場合には、保存安定性に問題が発生することがあり、高い硬化度のため現像時パターンの剥離が激しくなり、形成されたパターン外の部分に残渣が発生しやすい。
【００３２】
　本発明の感光性樹脂組成物において、前記ｅ）溶剤は溶解性、顔料分散性、コーティング性の観点で選択され、具体的にはエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、及び３−エトキシプロピオン酸エチルなどが好ましく、これらを単独または２種以上混合して用いることができる。感光性樹脂組成物中の前記溶剤の含有量は２０〜８０重量部であり、好ましくは３０〜７０重量部である。また、感光性樹脂組成物１００重量部中の前記溶剤の含有量は２０〜８０重量部であることが好ましく、さらに好ましくは３０〜７０重量部である。
【００３３】
　また、本発明の感光性樹脂組成物は、ポリエステル系分散剤及びポリウレタン系分散剤からなる群より選択される少なくとも１種の分散剤を０．０１〜１重量部含有することが好ましい。また、感光性樹脂組成物１００重量部中の前記分散材の含有量は０．０１〜１重量部であることが好ましい。
【００３４】
　また、本発明の感光性樹脂組成物は、シリコン系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤からなる群より選択される少なくとも１種の界面活性剤を０．０１〜１重量部含有することが好ましい。また、感光性樹脂組成物１００重量部中の前記界面活性剤の含有量は０．０１〜１重量部であることが好ましい。
【実施例】
【００３５】
　以下、本発明を下記の実施例に基づいて詳細に記載するが、本発明が下記の実施例によって限られるわけではない。下記の実施例において別途の言及がなければ百分率及び混合比は重量を基準にしたものである。
【００３６】
　実施例１
　ａ）アルカリ水溶液に溶解されるマクロポリマーとして、ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／ヒドロキシエチルシンナミックアクリレートの共重合体（プロピレングリコールメチルエーテルアセテートの溶液下に共重合比が６０／２０／２０であり、固形分の含量が３５重量％であり、重量平均分子量が３０，０００である共重合体）を１５重量部、ｂ）少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーとしてジペンタエリスリトルヘキサアクリレートを５重量部、ｃ）顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４を４０重量部、ｄ）光重合開始剤としてＩｒｇａｃｕｒｅ３６９（チバスペシャルケミカル製造）１重量部、４，４´−ビスジエチルアミノベンゾフェノンを１重量部、ｅ）溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを２８重量部、及びシクロヘキサノンを１０重量部を混合して液状の感光性樹脂組成物を製造した。
【００３７】
　実施例２
　ａ）アルカリ水溶液に溶解されるマクロポリマーとして、スチレン／メタクリル酸／ヒドロキシブチルシンナミックメタクリレートの共重合体（プロピレングリコールメチルエーテルアセテートの溶液下に共重合比が６０／２０／２０であり、固形分の含量が３５重量％であり、重量平均分子量が３０，０００である共重合体）を１５重量部、ｂ）少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーとしてジペンタエリスリトルヘキサアクリレートを５重量部、ｃ）顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６を３０重量部、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８を２０重量部、ｄ）光重合開始剤としてＩｒｇａｃｕｒｅ３６９（チバスペシャルケミカル製造）を１重量部、４，４´−ビスジエチルアミノベンゾフェノンを１重量部、ｅ）溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを１８重量部、及びシクロヘキサノンを１０重量部を混合して液状の感光性樹脂組成物を製造した。
【００３８】
　実施例３
　ａ）アルカリ水溶液に溶解されるマクロポリマーとして、スチレン／メタクリル酸／ヒドロキシブチルシンナミックメタクリレートの共重合体（プロピレングリコールメチルエーテルアセテートの溶液下に共重合比が５０／２５／２５であり、固形分の含量が３５重量％であり、重量平均分子量が３０，０００である共重合体）を１５重量部、ｂ）少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーとしてジペンタエリスリトルヘキサアクリレートを５重量部、ｃ）顔料としてＣ．Ｉ．ピグメントブル−１５: ６を３５重量部、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を５重量部、ｄ）光重合開始剤としてＩｒｇａｃｕｒｅ３６９（チバスペシャルケミカル製造）を１重量部、４，４´−ビスジエチルアミノベンゾフェノンを１重量部、ｅ）溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを２８重量部、及びシクロヘキサノンを１０重量部を混合して液状の感光性樹脂組成物を製造した。
【００３９】
　実施例４
　ａ）アルカリ水溶液に溶解されるマクロポリマーとして、ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／ヒドロキシフェニルカルコンアクリレートの共重合体（プロピレングリコールメチルエーテルアセテートの溶液下に共重合比が５０／２５／２５であり、固形分の含量が３５重量％であり、重量平均分子量が３０，０００の共重合体）を１５重量部、ｂ）少なくとも２個以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーとしてジペンタエリスリトルヘキサアクリレートを５重量部、ｃ）顔料としてカーボンブラック（２０％溶液）を４０重量部、ｄ）光重合開始剤としてＩｒｇａｃｕｒｅ３６９（チバスペシャルケミカル製造）を２重量部、４，４´−ビスジエチルアミノベンゾフェノンを１重量部、ｅ）溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを２８重量部、及びシクロヘキサノンを１０重量部を混合して液状の感光性樹脂組成物を製造した。
【００４０】
　比較例１
　前記実施例２記載のａ）マクロポリマーの代わりに、ａ）アルカリ水溶液に溶解されるバインダーとして、スチレン／メタクリル酸の共重合体（プロピレングリコールメチルエーテルアセテートの溶液下に共重合比が７０／３０で、固形分が３５％であり、重量平均分子量が３０，０００である共重合体）を１５重量部使用した以外は実施例２と同様の方法で樹脂組成物を製造した。
【００４１】
　比較例２
　前記実施例４記載のａ）マクロポリマーの代わりに、ａ）アルカリ水溶液に溶解されるバインダーとして、ｔ−ブチルアクリレート／メタクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタクリレートの共重合体（プロピレングリコールメチルエーテルアセテートの溶液下に共重合比が６０／２０／２０であり、固形分が３５％であり、重量平均分子量が３０，０００である共重合体）を１５重量部使用した以外は実施例４と同様の方法で樹脂組成物を製造した。
【００４２】
　〔特性比較〕
　前記実施例１〜４のように感光性二重結合を含有している組成物と感光性二重結合を全く含有していない比較例１〜２の組成物に対して現像特性及びパターンの直進性を次のようにして評価した。
【００４３】
　（現像特性評価）
　前記実施例および比較例で得られた樹脂組成物をそれぞれガラス面上に膜の厚さが２μｍになるようにスピンコーティングをした後、８０℃ホットプレート上で２分間乾燥してコーティング膜を形成した。そして、得られた膜上にフォトマスクを配置した後、２００ｎｍ〜４００ｎｍの紫外線を出す超高圧水銀燈を利用して３６５ｎｍを基準に約２００ｍｊ／ｃｍ2 になるように所定時間露光し、ＫＯＨ現像液（韓国東進セミケム製造、ＤＣＤ−２６０ＣＦ）を用いて所定時間スプレー噴射して現像した。現像された微細パターンの程度とパターン末端部分の直進性を調べて現像性を評価した。その結果を表１に示す。表１において、○はパターン末端部分の直進性優秀である、△は不良である、及び×はパターンが現像液によって除去されたことを示す。
【００４４】
【表１】
2004124096.tif 000006
　表１から明らかなように、本発明の実施例１〜４の場合は低い露光量に対して優れた現像性を示したが、比較例１〜２の場合は現像性が非常に悪かった。
【００４５】
　（保管安定性評価）
　前記実施例で得られた感光性樹脂組成物を４０℃の密閉されたオーブンに１０日間放置しながら、２日間隔で５回取り出してコーティング後の厚さ及び露光現像して１００μｍ幅にパターニングされたパターンの直進性を評価した。その結果を表２に示す。表２において、○は初期状態に比して変化がない場合、△はコーティング後の厚さが変化したが、現像後のパターンの直進性が良好な場合、×はコーティング後の厚さが変化し、かつパターンの直進性が悪くなったことを示す。
【００４６】
【表２】
2004124096.tif 000007
　表２から明らかなように、実施例１〜４の場合、保管安定性面において優れた結果を示した。