(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドにおいて、ノズル相互間のリークを防止しつつ圧力室の剛性低下による異常振動の発生を抑制する。【解決手段】インクが吐出される複数のノズル１５が形成されたノズルプレート１６と、ノズル１５に連通して形成されてインクを貯留する圧力室２３、および当該圧力室２３内のインクに圧力を付与してノズル１５からインクを吐出させるアクチュエータ２５が設けられたヘッド本体１１と、ノズルプレート１６とヘッド本体１１との間に設けられ、圧力室２３に相当する位置におけるノズルプレート１６とヘッド本体１１とを２０〜８０％の接着面積で接着する接着剤１２ａを備えた接着層１２とを有するインクジェットヘッドとする。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが吐出される複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ノズルに連通して形成されてインクを貯留する圧力室、および当該圧力室内のインクに圧力を付与して前記ノズルからインクを吐出させるアクチュエータが設けられたヘッド本体と、
前記ノズルプレートと前記ヘッド本体との間に設けられ、前記圧力室に相当する位置における前記ノズルプレートと前記ヘッド本体とを２０〜８０％の接着面積で接着する接着手段を備えた接着層とを有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記接着手段は、相互に独立した複数のドット状接着剤を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記ドット状接着剤は、円形状または多角形状に形成されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記接着手段における前記圧力室の列方向のピッチは前記圧力室の列方向のピッチと等しくなっていることを特徴とする請求項１、２または３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記接着層の前記圧力室に相当する位置相互間における接着面積は等しくなっていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記接着手段の幅は統一されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記接着手段は、前記圧力室に相当する位置がそれ以外の位置に対して密になっていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記接着手段は、前記ノズルプレートまたは前記ヘッド本体に対してスクリーン印刷法によって塗布されていることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記接着層における前記接着手段の設けられていない空間は外気と連通していることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット式記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、インクジェットヘッドとして、複数のノズルが形成されたノズルプレートをヘッド本体に接合したものが知られている。この種のインクジェットヘッドでは、ヘッド本体には、インクを貯留する複数の圧力室と、各圧力室につながるインク流路と、圧力室内のインクに圧力を付与してノズルからインクを吐出させるアクチュエータとが設けられている。
【０００３】
ノズルプレートは、各ノズルが各インク流路とつながるように、ヘッド本体に接合されている。そして、アクチュエータが圧力室内のインクに圧力を加えることにより、圧力室内のインクの一部がインク流路を流れ、ノズルからインク滴となって吐出される。
【０００４】
ところで、ノズルプレートとヘッド本体との接合に際しては、接着剤（接着手段）が用いられることが多い。しかし、ノズルプレートおよびヘッド本体は寸法が極めて小さいため、接着に際して種々の課題が存在する。
【０００５】
すなわち、接着剤の量が多いと、接着剤がインク流路にはみ出し、インクの吐出不良を招くおそれがある。また、接着剤の内部に気泡が混入すると、空気が閉じこめられた部分については十分な接着力が得られなくなるため、接着不良を生じるおそれがある。
【０００６】
そこで、上記の弊害を防止するため、種々の技術が提案されている。接着剤のインク流路へのはみ出しを防止するために、ヘッド本体に接着剤の逃げ溝を設けることが提案されている。（例えば、特許文献１を参照）。また複数の流路プレートを積層することによってヘッド本体を形成し、それら流路プレートに対し、積層方向に空気を逃がすための貫通穴を設けることが提案されている。（例えば、特許文献２を参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平５−３３００６７号公報（図１）
【特許文献２】
特開２００１−６３０５２号公報（図２）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特開平５−３３００６７号公報および特開２００１−６３０５２号公報に開示されたインクジェットヘッドでは、ヘッド本体に逃げ溝または貫通穴を設ける必要があったため、ヘッド本体の構造が複雑になり、歩留まりの低下および製造コストの上昇を招いていた。
【０００９】
また、接着剤として熱硬化性の接着剤等を用いる場合には、乾燥硬化の過程でガスや水分等の副生成物が生成されることがある。しかし、上記インクジェットヘッドでは、接着剤をヘッド本体またはノズルプレートに対してべた塗りしており、副生成物に対する配慮はなされていない。
【００１０】
ここで、副生成物によりノズル相互間が連通されるとインクのリークが発生する。これを防止するためには、ノズルプレートとヘッド本体との接着において、接着剤を点在するように塗布して両者間に空間を形成し、前述した副生成物をこの空間に逃がすことが考えられる。
【００１１】
しかしながら、ノズルプレートとヘッド本体とが全面接着していないことから、単に空間を形成しただけでは、接着剤が存在する部分は圧力室剛性が高くなり、接着剤が存在しない部分では剛性が低下する。
【００１２】
すると、圧力室と接着剤が所定距離以上に接近しているとアクチュエータの変位が圧力室内のインクに十分に作用せずに異常振動が発生し、所望のインク吐出性能が得られなくなる。
【００１３】
そこで、本発明は、圧力室と接着手段が所定距離以上に接近した場合において、ノズル相互間のリークを防止しつつ圧力室の剛性低下による異常振動の発生を抑制することのできるインクジェットヘッドおよびそれを備えたインクジェット式記録装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドは、インクが吐出される複数のノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルに連通して形成されてインクを貯留する圧力室、および当該圧力室内のインクに圧力を付与してノズルからインクを吐出させるアクチュエータが設けられたヘッド本体と、ノズルプレートとヘッド本体との間に設けられ、圧力室に相当する位置におけるノズルプレートとヘッド本体とを２０〜８０％の接着面積で接着する接着手段を備えた接着層とを有するものである。
【００１５】
これによれば、圧力室と接着手段が所定距離以上に接近した場合において、ノズル相互間のリークを防止しつつ圧力室の剛性低下による異常振動の発生を抑制することが可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、インクが吐出される複数のノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルに連通して形成されてインクを貯留する圧力室、および当該圧力室内のインクに圧力を付与してノズルからインクを吐出させるアクチュエータが設けられたヘッド本体と、ノズルプレートとヘッド本体との間に設けられ、圧力室に相当する位置におけるノズルプレートとヘッド本体とを２０〜８０％の接着面積で接着する接着手段を備えた接着層とを有するインクジェットヘッドであり、圧力室と接着手段が所定距離以上に接近した場合において、ノズル相互間のリークを防止しつつ圧力室の剛性低下による異常振動の発生を抑制することが可能になるという作用を有する。
【００１７】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１記載の発明において、接着手段は、相互に独立した複数のドット状接着剤を有するインクジェットヘッドであり、圧力室と接着手段が所定距離以上に接近した場合において、ノズル相互間のリークを防止しつつ圧力室の剛性低下による異常振動の発生を抑制することが可能になるという作用を有する。
【００１８】
本発明の請求項３に記載の発明は、請求項２記載の発明において、ドット状接着剤は、円形状または多角形状に形成されているインクジェットヘッドであり、圧力室と接着手段が所定距離以上に接近した場合において、ノズル相互間のリークを防止しつつ圧力室の剛性低下による異常振動の発生を抑制することが可能になるという作用を有する。
【００１９】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１、２または３記載の発明において、接着手段における圧力室の列方向のピッチは圧力室の列方向のピッチと等しくなっているインクジェットヘッドであり、ノズルプレートとヘッド本体とが位置ずれした場合には全ての圧力室に相当する位置が一様に同じ寸法でずれることになるので、圧力室相互間の剛性変動条件を同一にすることができるという作用を有する。
【００２０】
本発明の請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の発明において、接着層の圧力室に相当する位置相互間における接着面積は等しくなっているインクジェットヘッドであり、圧力室相互間の剛性を同一にすることができるという作用を有する。
【００２１】
本発明の請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載の発明において、接着手段の幅は統一されているインクジェットヘッドであり、圧力室の剛性のバラツキを抑制することが可能になるという作用を有する。
【００２２】
本発明の請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載の発明において、接着手段は、圧力室に相当する位置がそれ以外の位置に対して密になっているインクジェットヘッドであり、圧力室と接着手段が所定距離以上に接近した場合において、ノズル相互間のリークを防止しつつ圧力室の剛性低下による異常振動の発生を抑制することが可能になるという作用を有する。
【００２３】
本発明の請求項８に記載の発明は、請求項１〜７の何れか一項に記載の発明において、接着手段は、ノズルプレートまたはヘッド本体に対してスクリーン印刷法によって塗布されているインクジェットヘッドであり、接着手段を所定のパターンに高精度に配置させることができるという作用を有する。
【００２４】
本発明の請求項９に記載の発明は、請求項１〜８の何れか一項に記載の発明において、接着層における接着手段の設けられていない空間は外気と連通しているインクジェットヘッドであり、接着の際に生じた気泡や副生成物等のガス成分を、円滑かつ迅速に排出することが可能になるという作用を有する。
【００２５】
本発明の請求項１０に記載の発明は、請求項１〜９の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置であり、良好な液体吐出性能により高画質の印字を行うことが可能になるという作用を有する。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図１から図８を用いて説明する。なお、これらの図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。
【００２７】
図１は本発明のインクジェットヘッドを備えた記録装置の全体概略構成を示す斜視図、図２は図１の記録装置に装着された本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドを示す断面図、図３は本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域の一例を示す平面図、図４は本発明のインクジェットヘッドにおける接着率と異常振幅およびリーク発生率との関係を示すグラフ、図５は本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域の他の一例を示す平面図、図６は本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域のさらに他の一例を示す平面図、図７は本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域のさらに他の一例を示す平面図、図８は本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域のさらに他の一例を示す平面図である。
【００２８】
図１に示すインクジェット式記録装置（記録装置）４０は、アクチュエータを構成する強誘電体素子の圧電効果を利用して記録を行うインクジェットヘッド（インク吐出ヘッド）４１を備え、インクタンク（図示せず）から供給されてインクジェットヘッド４１から吐出したインク滴を紙等の記録媒体４２に着弾させて、記録媒体４２に記録を行うものである。インクジェットヘッド４１は、主走査方向Ｘに配置したキャリッジ軸４３に設けられたキャリッジ４４に搭載されていて、キャリッジ４４がキャリッジ軸４３に沿って往復動するのに応じて、主走査方向Ｘに往復動する。さらに、インクジェット式記録装置４０は、記録媒体４２をインクジェットヘッド４１の幅方向（すなわち、主走査方向Ｘ）と略垂直方向の副走査方向Ｙに移動させる複数個のローラ（移動手段）４５を備える。
【００２９】
図２に示すように、インクジェットヘッド４１は、複数のノズル１５が形成されたノズルプレート１６と、このノズルプレート１６が接合されたヘッド本体１１とを有している。
【００３０】
ここで、ヘッド本体１１は、流路板１９と、圧力室２３を区画形成する区画部材２４およびアクチュエータ２５を積層してなる圧力室部材１３とを備えている。
【００３１】
そして、流路板１９には、圧力室２３とノズル１５とを連通するインク流路１７と、圧力室２３内にインクを導入する共通インク室１８と、共通インク室１８と圧力室２３とを連通するインク供給路２０とが設けられている。流路板１９は、複数枚の薄板を積層することによって形成されている。ここでは、流路板１９は５枚の薄板によって形成されている。薄板としては、例えばステンレス等を好適に用いることができる。
【００３２】
圧力室部材１３の区画部材２４は、感光性ガラスによって形成されている。ただし、区画部材２４の種類は感光性ガラスに限定されるものではない。区画部材２４には、流路板１９のインク供給路２０とインク流路１７とにまたがるように圧力室２３が形成されている。圧力室２３は、主走査方向Ｘに延びるように長溝状に形成され、副走査方向Ｙに互いに所定間隔をあけて配設されている。
【００３３】
アクチュエータ２５は、区画部材２４の圧力室２３を覆うように区画部材２４の上側面（ノズルプレート１６が設けられる側と反対の側の面）に設けられている。アクチュエータ２５は圧電素子の圧電効果を利用するいわゆるピエゾ式のアクチュエータであって、特に、たわみ振動型のアクチュエータである。このアクチュエータ２５は、アクチュエータ２５のたわみ変形によって圧力室２３の容積を拡大および縮小させ、その拡大および縮小に伴う圧力室２３内の圧力変化によって、ノズル１５からインク滴を吐出し且つ共通インク室１８から圧力室２３にインクを充填する。
【００３４】
図示は省略するが、アクチュエータ２５は、圧力室２３を覆う振動板と、振動板を振動させる薄膜の圧電素子と、個別電極とが順に積層されて構成されている。振動板は、厚さ２μｍのクロム板からなっていて、個別電極と共に圧電素子に電圧を印加するための共通電極としての機能をも有している。圧電素子は、圧力室２３に対応して設けられており、厚さ０．５μｍ〜５μｍのＰＺＴ（ジルコル酸チタン酸鉛）等を好適に用いることができる。本実施の形態では、圧電素子の厚みは３μｍに設定されている。個別電極は厚さ０．１μｍの白金板からなっており、アクチュエータ２５の全体の厚さは約５μｍとなっている。
【００３５】
ヘッド本体１１の全体の厚みは、たとえば４８０μｍに設定されている。ノズルプレート１６は、厚さ２０μｍのポリイミド板によって形成されている。
【００３６】
そして、アクチュエータ２５が圧力室２３内のインクに圧力を加えることにより、圧力室２３内のインクの一部がインク流路１７を流れ、ノズル１５からインク滴となって吐出される。
【００３７】
図示するように、流路板１９とノズルプレート１６との間には接着層１２が介在している。つまり、ノズルプレート１６とヘッド本体１１とは、接着層１２を構成する接着剤（接着手段）１２ａにより相互に接合されている。なお、接着剤１２ａの種類は特に限定されるものではなく、例えばエポキシ系、シリコーン系またはアクリル系の接着剤を好適に用いることができる。ただし、エポキシ系接着剤は耐インク性、剛性、チクソ性等に優れているので、信頼性および接着強度を向上する観点から、エポキシ系接着剤が特に好ましい。
【００３８】
接着層１２は、その厚みが薄すぎるとノズルプレート１６の表面粗さや反りを吸収できずに大気と連通する一方、厚すぎるとヘッド全体の剛性が不足して印字品質の低下を招くおそれがある。そこで、本実施の形態では、１μｍ〜２０μｍの厚さの接着剤１２ａを塗布し、それを加圧硬化することにより１μｍ〜１０μｍ（好ましくは５μｍ程度）の接着層１２を形成することとした。
【００３９】
ここで、図３に示すように、接着剤１２ａは、ノズル１５の全周を包囲してノズル１５の配列方向に沿って連続的に形成され、また圧力室２３に相当する位置のノズル１５と反対側においてノズル１５の配列方向に沿って連続的に形成され、さらにこれらの間においてノズル１５の配列方向に沿って相互に独立した複数のドット状に形成されている。なお、ノズル１５の周りでは、ノズル１５の開口縁との間に隙間を設けつつノズル１５の周りを取り囲むように、接着剤１２ａが塗布されている。このように、接着剤１２ａとノズル１５との間に隙間を設けた理由は、接着剤１２ａの一部がノズル１５内にはみ出さないようにするためである。
【００４０】
接着層１２は、このように接着剤１２ａの存在する領域と、接着剤１２ａの存在しない領域（空間）とで構成されている。なお、図示する場合には、ドット状の接着剤１２ａは細長い六角形に形成されているが、円形状または多角形状に形成されていればよく、図３に示す形状に限定されない。
【００４１】
そして、このような塗布位置において、圧力室２３に相当する位置では、接着剤１２ａはノズルプレート１６とヘッド本体１１とをたとえば３０％の接着面積で接着している。
【００４２】
ここで、本発明者は、圧力室２３に相当する位置におけるノズルプレート１６とヘッド本体１１との接着率と異常振幅およびリーク発生率との関係について検討をした。検討結果を図４のグラフに示す。なお、ここでは、圧力室２３に相当する位置において、ノズル１５側、ノズル１５と反対側およびこれらの間の３点でノズルプレート１６とヘッド本体１１とを接着した。
【００４３】
図４に示すように、接着率が２０％以下になると、圧力室２３の剛性の低下に起因すると考えられるアクチュエータ２５の変位時における異常振幅が増加している。また、８０％以上になると、熱硬化性の接着剤１２ａにおける乾燥硬化の過程で生成されたガスや水分等の副生成物によりノズル１５相互間が連通されたことに起因すると考えられるインクリークの発生率が増加している。
【００４４】
したがって、圧力室２３に相当する位置では、接着剤１２ａによるノズルプレート１６とヘッド本体１１との接着面積を２０〜８０％とすることにより、圧力室と接着剤が所定距離以上に接近した場合において、ノズル１５相互間のリークを防止しつつ圧力室２３の剛性低下による異常振動の発生を抑制できることが分かる。
【００４５】
そして、前述のように本実施の形態のインクジェットヘッドでは、接着率を３０％としているので、ノズル１５相互間のリークを防止しつつ圧力室２３の剛性低下による異常振動の発生を抑制することが可能になる。
【００４６】
したがって、このようなインクジェットヘッドを備えインクジェット式記録装置では、良好な液体吐出性能により高画質の印字を行うことが可能になる。
【００４７】
図３においては、ドット状の接着剤１２ａはそれぞれの圧力室２３に相当する位置で１つのみ設けられているが、圧力室２３に相当する位置における接着剤１２ａによるノズルプレート１６とヘッド本体１１との接着面積が２０〜８０％であれば、このようなこれに限定されない。つまり、図５に示すように、２つ（あるいは３つ以上）設けられていてもよく、図６に示すように、１つ設けられた箇所と２つ設けられた箇所を交互に配してもよい。さらに、図７に示すように、ドット状の接着剤１２ａが設けられていなくてもよい。そして、圧力室２３の剛性に関わる箇所は圧力室２３に相当する位置に設けられた接着剤１２ａであることから、図８に示すように、圧力室２３に相当する位置の接着剤１２ａを、それ以外の位置の接着剤１２ａに対して密に設けてもよい。
【００４８】
ここで、接着剤１２ａにおける圧力室２３の列方向のピッチは圧力室２３の列方向のピッチと等しくなっていることが望ましい。両者のピッチを等しくすることにより、ノズルプレート１６とヘッド本体１１とが位置ずれした場合、全ての圧力室２３に相当する位置が一様に同じ寸法でずれることになるので、圧力室２３相互間の剛性変動条件が同じになるからである。
【００４９】
また、接着層１２の圧力室２３に相当する位置相互間における接着面積は等しくなっているのがよい。これは、接着面積が等しいと、圧力室２３相互間の剛性は同じになるからである。
【００５０】
さらに、圧力室２３の剛性のバラツキを抑制するためには、接着剤１２ａの幅が統一されているのがよい。
【００５１】
そして、接着層１２における接着剤１２ａの設けられていない空間は外気と連通しているのがよい。これは、当該空間が外気と連通することにより、接着の際に生じた気泡や副生成物等のガス成分を、円滑かつ迅速に排出することができるからである。
【００５２】
なお、接着剤１２ａは、ノズルプレート１６またはヘッド本体１１に対してスクリーン印刷法によって塗布するのが望ましい。
【００５３】
スクリーン印刷では、ノズルプレート１６の接着面に接着剤１２ａを上述したパターンに塗布する。ここでは、接着剤１２ａとして樹脂接着剤を用い、ノズルプレート１６に対して塗布する方法について説明する。但し、ヘッド本体１１に対して塗布してもよい。
【００５４】
接着剤１２ａの塗布に際しては、まず、接着剤１２ａの配置パターンに対応した形状に形成されたメッシュ（図示せず）を、ノズルプレート１６の接着面に対向させる。次に、メッシュの上に接着剤１２ａを載せ、スキージ（図示せず）によって、メッシュの上から接着剤１２ａをノズルプレート１６に押しつける。この際、スキージは、ドット状接着剤１２ａの長手方向に向かって押しつけることが好ましい。つまり、スキージの走査方向とドット状接着剤１２ａの長手方向とが同一方向となるように、スキージの走査方向を調整することが好ましい。
【００５５】
このようにスキージを押しつけることにより、メッシュの小孔の内部に接着剤１２ａが押し込まれ、ノズルプレート１６上に接着剤１２ａが所定のパターンに配置される。
【００５６】
以上のようにノズルプレート１６上に接着剤１２ａを塗布した後、ノズルプレート１６とヘッド本体１１との位置合わせを行い、ノズルプレート１６とヘッド本体１１とを互いに押し当てて接着させる。
【００５７】
この際、樹脂接着剤の表面に凹凸があること等により、接着剤に気泡が混じる場合がある。また、特に接着剤として２液を混合する種類の接着剤を用いる場合など、乾燥硬化する過程で水分が生じたり溶剤の一部が揮発する等、それら水分や溶剤等が副生成物として生成される場合がある。しかし、本実施の形態では、ノズルプレート１６上の接着層１２には接着剤１２ａの存在しない領域（空間）があるので、接着剤１２ａから生じた気泡や副生成物等のガス成分は当該空間に放出される。特に、その空間が外気と連通していれば、これらは接着層１２の内部に密封されることなく、外部に排出される。
【００５８】
そして、ノズルプレート１６とヘッド本体１１と接着した後、所定時間かけて熱硬化させる。
【００５９】
このようなスクリーン印刷法によれば、接着剤１２ａを所定のパターンに高精度に配置させることができる。
【００６０】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、圧力室と接着手段が所定距離以上に接近した場合において、ノズル相互間のリークを防止しつつ圧力室の剛性低下による異常振動の発生を抑制することが可能になるという有効な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドを備えた記録装置の全体概略構成を示す斜視図
【図２】図１の記録装置に装着された本発明の一実施の形態であるインクジェットヘッドを示す断面図
【図３】本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域の一例を示す平面図
【図４】本発明のインクジェットヘッドにおける接着率と異常振幅およびリーク発生率との関係を示すグラフ
【図５】本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域の他の一例を示す平面図
【図６】本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域のさらに他の一例を示す平面図
【図７】本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域のさらに他の一例を示す平面図
【図８】本発明のインクジェットヘッドにおける接着層を構成する接着剤の塗布領域のさらに他の一例を示す平面図
【符号の説明】
１１　ヘッド本体
１２　接着層
１２ａ　接着剤（接着手段）
１５　ノズル
１６　ノズルプレート
２３　圧力室
２５　アクチュエータ
４０　インクジェット式記録装置
４１　インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
2004142296.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2004142296.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004142296.tif 000009
【図８】
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