(57)【要約】【課題】クリーンルーム等の清浄区域へ入る人や物について塵埃の除去を行うだけでなく、同時に、これらに付着した微生物や細菌の除去または殺菌、或いは弱体化を効率的に行うことを課題とする。【解決手段】清潔区域に付随して設置され、該清潔区域へ入る被処理体に対してオゾンを含有した高速気流を噴出し、該被処理体の除塵および除菌を行うことを特徴とするエアシャワー装置による。また、該エアシャワー装置において、好ましくは、高速気流に含有されているオゾンの濃度を０．２５〜０．６ｐｐｍとする。【選択図】　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
清潔区域に付随して設置され、該清潔区域へ入る被処理体に対してオゾンを含有した高速気流を噴出し、該被処理体の除塵および除菌を行うことを特徴とするオゾンエアシャワー装置。
【請求項２】
高速気流に含有されているオゾンの濃度が０．２５〜０．６ｐｐｍであることを特徴とする請求項１記載のオゾンエアシャワー装置。
【請求項３】
前記被処理体を収容して閉空間を構成し得る装置本体と、該装置本体内の空気中より塵埃及び微生物等を除去する除塵手段とを備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のオゾンエアシャワー装置。
【請求項４】
被処理体の下方側よりオゾンを吹き出すオゾン吹出し手段が備えられてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のオゾンエアシャワー装置。
【請求項５】
清潔区域へ入る被処理体に対してオゾンを含有した高速気流を噴出し、該被処理体の除塵および除菌を行うことを特徴とする除塵除菌方法。
【請求項６】
前記高速気流のオゾンの濃度を０．２５〜０．６ｐｐｍとすることを特徴とする請求項５記載の除塵除菌方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、清潔区域に付随して設置されるオゾンエアシャワー装置、および除塵除菌方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、クリーンルームは、半導体分野、精密機械分野、薬品工業分野あるいは食品工業分野など各種の技術分野において多用されており、その利用分野は益々拡大する傾向にある。クリーンルームは、その内部を無塵状態に保つものであるため、該クリーンルームへの入室の際には、人体等に付着した塵埃をできる限り除去しておくことが好ましい。そこで、従来、クリーンルームに入室する人や物に付着した塵埃を除去するため、クリーンルームの入口にはエアシャワー装置が設置されている。エアシャワー装置は、一般に、空気を高速で噴出するように構成された複数のノズルと、該空気によって除去された塵埃等を捕捉するためのフィルタとを備えてなる。
【０００３】
そして、該エアシャワー装置によれば、ノズルより噴出された高速気流によって被服や物等に付着した塵埃が吹き飛ばされ、その塵埃がフィルタによって捕捉されるため、クリーンルームへ入室する人や物に付着した塵埃を速やかに除去することができる。
【０００４】
近年、このようなクリーンルームに対して、単に無菌状態とするだけではなく、無菌状態という更なる特性を備えたものが望まれるケースが増してきている。その一例が、薬品工業や食品工業など、微生物を抑制して品質管理を行う必要のある分野であり、斯かる分野において利用されるクリーンルームでは、塵埃の制御だけでなく微生物や細菌の制御を行う必要がある。
【０００５】
しかしながら、従来クリーンルームに付随して設置されるエアシャワー装置によれば、被服や物に付着した塵埃をある程度除去することは可能であるが、被服や物に付着した微生物や細菌については、これを効率的に除去あるいは殺菌することができない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、上記のような問題点に鑑み、クリーンルーム等の清浄区域へ入る人や物（本発明において、「被処理体」という）について塵埃の除去を行うだけでなく、同時に該被処理体に付着した微生物や細菌の除去または殺菌、或いは弱体化を効率的に行うことが可能なオゾンエアシャワー装置および除塵除菌方法を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その解決手段は、清潔区域に付随して設置され、該清潔区域へ入る被処理体に対してオゾンを含有した高速気流を噴出し、該被処理体の除塵および除菌を行うことを特徴とするオゾンエアシャワー装置にある。
また、該オゾンエアシャワー装置において、好ましくは、高速気流に含有されているオゾンの濃度が０．２５〜０．６ｐｐｍであることを特徴とする。
また、該オゾンエアシャワー装置として、好ましくは、前記被処理体を収容して閉空間を構成し得る装置本体と、該装置本体内の空気中より塵埃及び微生物等を除去する除塵手段とを備えてなることを特徴とし、好ましくは被処理体の下方側よりオゾンを吹き出すオゾン吹出し手段が備えられてなることを特徴とする。
【０００８】
尚、本発明における清潔区域とは、一般にクリーンルームと称される区域に加え、該クリーンルームに準ずるような状態に管理された区域をも含めたものをいう。
【０００９】
斯かる構成のオゾンエアシャワー装置によれば、高速気流によって従来と同様に除塵を行うとともに、空気中のオゾンによる殺菌作用によって微生物等を死滅あるいは弱体化させ、この死滅あるいは弱体化した微生物等を高速気流によって除去することができる。また、該オゾンの濃度が０．２５〜０．６ｐｐｍという比較的低濃度であっても、数十秒〜１分程度という極めて短時間の処置で殺菌或いは除菌を効率的に行うことができ、人体へ悪影響を及ぼす虞もない。
【００１０】
また、本発明の手段は、清浄区域へ入る被処理体に対してオゾンを含有した高速気流を噴出し、該被処理体の除塵および除菌を行うことを特徴とする除塵除菌方法にあり、好ましくは、前記高速気流に含有されているオゾンの濃度が０．２５〜０．６ｐｐｍである除塵除菌方法にある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るオゾンエアシャワー装置および除塵除菌方法について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１２】
図１は、本発明にかかるオゾンエアシャワー装置の一実施形態を示した斜視図であり、図２はそのＡ−Ａ視断面図、図３はそのＢ−Ｂ視断面図である。
本実施形態におけるオゾンエアシャワー装置１は、図１に示したように、クリーンルームの出入口に設置されており、クリーンルーム側ドア５と外部側ドア４とが互いに対向するように設けられた装置本体３を備え、さらに、該装置本体３の内部には、複数のノズル２１、２１…とオゾン供給手段と除塵手段とを兼ね備えた２台の一体型ユニット２、２が、前記クリーンルーム側ドア５と外部側ドア４とを結ぶ通路の両側に対向するように配置されて構成されている。即ち、クリーンルーム側ドア５と外部側ドア４の双方を閉めると、装置本体３の内部には、一対の一体型ユニット２，２を取り囲む閉空間が構成されることとなる。
【００１３】
さらに、該通路の床面には、オゾンが吹き出すように構成されたオゾンマット６が備えられてなる。
【００１４】
前記一体型ユニット２は、図２および図３に示したように、高速気流を噴出可能な複数のノズル２１、２１…を該一体型ユニット２の前面に備え、該ノズル２１、２１…へ空気を供給するための送風機２２を内部に備えてなる。そして、個々のノズル２１からは、例えば２３ｍ／秒の高速気流が噴出されるように構成されている。また、該一体型ユニット２には、図３に示したように、オゾン発生機３０と、該オゾン発生機３０から前記複数ノズル２１、２１…に別々にオゾンを供給するオゾン供給配管３１とが備えられてなる。そして、オゾン発生機３０より発生したオゾンは、該オゾン供給配管３１によって各ノズル２１まで送られ、噴出される高速気流に０．２５〜０．６ｐｐｍのオゾンが含有されるように、吹き出される。
【００１５】
さらに、除塵手段としては、該一体型ユニット２の前面下部に設置されたプレフィルタ２６と、前記複数のノズル２１、２１…の背面側に設置されたＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ　Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ　Ａｉｒ）フィルタ２３とが備えられてなる。プレフィルタ２６は、ナイロン不織布によって構成されたフィレドンエアフィルターであり、一方、ＨＥＰＡフィルタ２３は、粒径が０．３μｍ程度の粒子を９９．９７％以上の割合で除去し得るガラス繊維からなるフィルタである。
【００１６】
前記オゾンマット６は、図４に示したように、通気性のある足拭きマット６１と、該足拭きマット６１の下面に敷設される多孔性の分散マット６２と、前記オゾン発生機３０に導通され複数のオゾン噴き出し孔３４、３４…よりオゾンを噴き出すように構成されたオゾン供給配管３３と、これらを収容する枠体６３とから構成されてなる。即ち、オゾン発生機３０により供給されるオゾンは、オゾン吹き出し孔３４より吹き出された後、分散マット６２によって全体に広がり、足拭きマット６１の略全面より吹き出されることとなる。また、該オゾンマット６から吹き出されるオゾンは、好ましくは、空気で希釈されることなく、例えば０．５〜０．８ｐｐｍの濃度で、且つ１．２ｋｇ／ｃｍ２といった比較的低圧で吹き出される。
【００１７】
そして、上記構成のオゾンエアシャワー装置による除塵および除菌処理は、従来のエアシャワー装置と同様に、２０秒程度の処理時間で効果を奏することとなるが、より好ましくは、高速気流中のオゾン濃度が０．５ｐｐｍ以上となった状態で、１０〜２０秒間連続して行うことにより、より一層効果的となる。
【００１８】
斯かる構成のオゾンエアシャワー装置１によれば、外部側ドア４より装置本体３内部に入室した作業者に向けて、両側に設置された一体型ユニット２、２の複数のノズル２１よりオゾンを含有した高速気流が噴出され、且つオゾンマット６からも、作業者の靴底や足元に向けてオゾンガスが吹き出されることとなる。また、一体型ユニット２の前面下部に備えられたプレフィルタ２６からは、該装置本体３内の空気が吸引され、送風機２２によって加圧された後、ＨＥＰＡフィルタ２３を通して各ノズル２１、２１…に供給され、再び高速で噴出されることとなる。
【００１９】
このように、オゾン含有の高速気流が複数のノズル２１より作業者に向けて噴出されることにより、該高速気流は、作業者の被服等に付着した塵埃や異物等を払い落とし、また同時に被服等に付着した微生物や細菌を払い落とす。このように、高速気流によって該オゾンを吹き付けることにより、単に従来知られたオゾンによる殺菌効果が得られるだけでなく、被服の細かな繊維に付着したような微生物の付着力を弱めることができ、被服からの除去（即ち、除菌）をより効率的に行うことができる。
【００２０】
そして、被服より除去された塵埃および微生物等は、空気と共に一体型ユニット２の前面下部に備えられたプレフィルタ２６より吸引され、該プレフィルタおよびＨＥＰＡフィルタ２３によって捕捉されることとなる。
【００２１】
また、被服より除去されなかった微生物や細菌についても、上述のようなオゾン含有の高速気流を吹き付けられることにより、これを効果的に死滅あるいは弱体化させることができる。
【００２２】
また、前記構成のオゾンエアシャワー装置１によれば、各ノズル２１へ個別にオゾンを供給するようなオゾン供給配管３１を備えたことにより、各ノズル２１より噴出される高速気流中のオゾン濃度の調整が容易となる。よって、例えば、各ノズル２１へ供給するオゾン量を一定にすれば、均一なオゾン濃度の高速気流を噴出させることができ、また、人を対象として除菌する場合には、オゾン濃度に差を設け、下方のノズルより噴出される高速気流のオゾン濃度よりも、上方のノズルより噴出される高速気流のオゾン濃度を下げることにより、口、目、鼻といった部分への刺激を抑制しつつ、他の身体各部の除菌および殺菌をより強力に行うことが可能となる。
【００２３】
一方、前記オゾンマット６より吹き出される比較的高濃度のオゾンは、作業者の靴底等に付着した微生物や細菌に作用し、これを強力に死滅又は弱体化させ、或いは除去することができる。
その後、該高濃度のオゾンは、そのまま上昇することなく、その多くが前記プレフィルタ２６より吸引され、空気と混合されて希釈された後再びノズル２１から噴出される高速気流として利用される。
【００２４】
また、前記構成のオゾンエアシャワー装置１によれば、装置本体３によって閉空間が構成され、且つ空気中の塵埃や微生物等がＨＥＰＡフィルタによって捕捉されることとなるため、除塵および除菌処理が終了した後には該装置本体３の内部が微生物や細菌の少ない状態となり、作業者がクリーンルーム側ドア５よりクリーンルームへ入室しても、該クリーンルームの汚染を防止することができる。
【００２５】
尚、前記実施形態では、オゾン供給配管３１によって各ノズルへ個別にオゾンを供給したが、本発明はこれに限定されるものではない。よって、例えば、送風機２２の上流側に供給し、該送風機２２で空気と十分に混合させてもよい。或いは、前記オゾンマット６へのみオゾンを供給し、プレフィルタ２６を介して吸引した後、所定の濃度となるように空気と混合し、各ノズル２１より噴出させても良い。
【００２６】
また、前記実施形態は、クリーンルームへ入室する作業者を対象としたものであるが、本発明はこれに限定されるものではない。よって、人以外の物品等を被処理体とする場合には、より高濃度のオゾンで処理することも可能である。
【００２７】
【実施例】
上述したようなオゾンエアシャワー装置（図１〜３参照）を作成し、該装置によって両側から異なるオゾン濃度の高速気流を噴出させ、人体に付着した菌の数を測定した。
具体的には、オゾン発生機３０よりオゾンを発生させると共に、該オゾンを片側のノズル３１のみに供給しつつ両側の送風機２２を運転して空気を循環させた。そして、オゾンを供給する側のノズル出口におけるオゾン濃度が０．６ｐｐｍ、オゾンを供給しない側のノズル出口におけるオゾン濃度が０．１１ｐｐｍとなったところで被験者が入室し、それぞれのノズル出口に手の甲を近づけ、２０秒間の除塵除菌を行った。
【００２８】
除塵除菌処理の前後における被験者の手の甲に付着している一般生菌を、キッコーマン株式会社、ルミテスターＣ−１００によって測定した。
結果を下記表１に示す。
【００２９】
【表１】
2004019957.tif 000003
【００３０】
表１に示した結果によると、０．１１ｐｐｍという低いオゾン濃度の場合であっても、２０秒という短時間で有効に除菌又は殺菌可能であることがわかる。また、オゾン濃度を０．６ｐｐｍとすれば除菌率が６４％にまで上昇しており、該オゾンエアシャワー装置による除菌又は殺菌作用が極めて優れていることがわかる。
【００３１】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るオゾンエアシャワー装置および除塵除菌方法によれば、清潔区域へ入る被処理体について塵埃の除去を行うだけでなく、同時に該被処理体に付着した微生物や細菌の除去または殺菌、或いは弱体化を効率的に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るオゾンエアシャワー装置の一実施形態を示す斜視図。
【図２】図１におけるＡ−Ａ視断面図。
【図３】図１におけるＢ−Ｂ視断面図。
【図４】一実施形態のオゾンエアシャワー装置において、床面に設置されるオゾンマットの一例を示した分解斜視図。
【符号の説明】
１…オゾンエアシャワー装置、２…一体型ユニット、３…装置本体、４…外部側ドア、５…クリーンルーム側ドア、６…オゾンマット、２１…ノズル、２２…送風機、２３…ＨＥＰＡフィルタ、２６…プレフィルタ、３０…オゾン発生機
【図１】
2004019957.tif 000004
【図２】
2004019957.tif 000005
【図３】
2004019957.tif 000006
【図４】
2004019957.tif 000007