(57)【要約】【課題】液滴吐出ノズルの吐出不良を抑え、安定して液体を吐出すること。【解決手段】この発明の実施の形態１においては、液滴吐出ヘッドの描画方向（Ｘ方向）に区画したそれぞれの画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１が、描画ピッチＰｐに対応するノズルのピッチ２Ｐ’のノズル群５４２ｎ＋１によって描画される。そして、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１の描画が終了したら、改行方向（Ｙ方向）におけるノズルピッチＰ’だけノズル列５４を移動させる。その後、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２は、描画ピッチＰｐに対応するノズルのピッチ２Ｐ’のノズル群５４２ｎ＋２によって描画される。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルから機能液を基材に吐出させ、機能膜を形成する電気光学パネルの製造方法において、
所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する工程と、
前記ノズルと前記基材とを前記ピッチに対応させて相対的に移動させる工程と、
前記機能液が塗布された前記所定領域に隣接する他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する工程と、
を含むことを特徴とする電気光学パネルの製造方法。
【請求項２】
前記複数のノズル群が配列するノズル列が、前記ノズルを走査し前記機能液を塗布する描画方向に対して交差する方向に傾斜している場合には、前記所定領域に隣接する他の所定領域へ機能液を塗布する前に、前記機能液の塗布が終了した前記所定領域まで前記ノズル列が戻ることを特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの製造方法。
【請求項３】
複数のノズルから機能液を基材に吐出させ、機能膜を形成する電気光学パネルの製造方法において、
所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する工程と、
前記機能液が塗布された前記所定領域の前記描画方向に存在し、かつ前記描画方向と直交する方向にずらして区画した他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する工程と、
を含むことを特徴とする電気光学パネルの製造方法。
【請求項４】
前記ノズルから前記基材に対して機能液を吐出させる前に、前記基材の前記領域、及び、前記他の所定領域に、前記ノズルから吐出される機能液が付着すべき部分を予め形成する前処理工程を含むことを特徴とする請求項３に記載の電気光学パネルの製造方法。
【請求項５】
ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造プログラムにおいて、
所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する手順と、
前記ノズルと前記基材とを前記ピッチに対応させて相対的に移動させる工程と、
前記機能液が塗布された前記所定領域に隣接する他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする電気光学パネルの製造プログラム。
【請求項６】
ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造プログラムにおいて、
所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する手順と、
前記機能液が塗布された前記所定領域の前記描画方向に存在し、かつ前記描画方向と直交する方向にずらして区画した他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする電気光学パネルの製造プログラム。
【請求項７】
ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造装置において、
所定のピッチで配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、
前記機能液が吐出される基材を載置するテーブルと、
前記複数のノズルのうち、前記基材上の所定領域に対応する第１のノズル群から機能液を吐出させ、
前記所定領域に対して機能液の塗布が終了したら、前記液滴吐出ヘッドと前記テーブルとの位置を、前記描画方向に対して直交する方向へ相対的に移動させ、
すでに機能液を塗布した前記所定領域の描画方向に隣接する他の所定領域へ、前記ノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出させる制御部と、
を有することを特徴とする電気光学パネルの製造装置。
【請求項８】
ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造装置において、
所定のピッチで配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、
前記機能液が吐出される基材を載置するテーブルと、
前記複数のノズルのうち、前記基材上の所定領域に対応する第１のノズル群から機能液を吐出させ、
すでに機能液を塗布した前記所定領域の描画方向側に存在し、かつ描画方向に対して直交する方向にずらして区画した他の所定領域へ、前記ノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出させる制御部と、
を有することを特徴とする電気光学パネルの製造装置。
【請求項９】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気光学パネルの製造方法を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気光学パネルの製造方法を含むことを特徴とする電子機器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液滴吐出により電気光学パネルの基板を製造する方法に関し、さらに詳しくは、液滴吐出ノズルの吐出不良を抑え、安定して液体を吐出できる電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電気光学装置の製造方法及び電子機器の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年におけるパーソナルコンピュータや携帯電話等の発達にともなって、カラー表示のできる液晶表示パネル、有機ＥＬパネルその他の電気光学パネルの需要が増加する傾向にある。このような電気光学パネルの製造においては、近年インクジェット法に代表される液滴吐出法によってカラーフィルタやカラーの発光材料液を塗布することにより、カラー画素を作りこむ技術が提案されている。特許技術文献１には、一定のピッチで複数のノズルが直線状に配列されたノズル列を備えるインクジェットヘッドを用い、ノズル列の角度を変化させることによって様々な画素ピッチに対応できるようにした技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−１３８３０６号公報  Ｐ２０、２１  図１９
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示された技術は、画素ピッチとノズルピッチとの関係によっては、液滴を全く吐出しないノズルや、ある走査では液滴を吐出しないが次の走査では液滴を吐出するノズルが発生する。このようなノズルが存在すると、液滴を吐出していない間にノズル近傍にカラーフィルタインクや有機発光材料インク中の固形分が析出してしまう。そして、このノズルから次に液滴を吐出する場合には、液滴の飛行曲がりやドット抜け等の吐出不良が発生して、安定して液滴を吐出できない。特に、ある走査では液滴を吐出しないが次の走査では液滴を吐出するノズルがあると、１枚の基板に対する塗布において吐出欠陥が発生することになり、製品の歩留まりを低下させてしまう。また、使用しないノズルの存在により、特定ノズルの使用頻度が高くなるので、ヘッド全体の寿命を短くしてしまう。これらの問題は、基板が大きくなるほど顕著に発生する。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、液滴吐出ノズルの吐出不良を抑え、安定して液体を吐出すること、すべてのノズルをできるだけ均等に使用して、ヘッドの寿命を延ばすことのうち、少なくとも一つを達成できる電気光学パネルの製造方法、電気光学パネルの製造プログラム及び電気光学パネルの製造装置、並びに電気光学装置の製造方法及び電子機器の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る電気光学パネルの製造方法は、複数のノズルから機能液を基材に吐出させ、機能膜を形成する電気光学パネルの製造方法において、所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する工程と、前記ノズルと前記基材とを前記ピッチに対応させて相対的に移動させる工程と、前記機能液が塗布された前記所定領域に隣接する他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する工程と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造プログラムは、ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造プログラムにおいて、所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する手順と、前記ノズルと前記基材とを前記ピッチに対応させて相対的に移動させる工程と、前記機能液が塗布された前記所定領域に隣接する他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する手順と、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【０００８】
この電気光学パネルの製造方法は、基材である画素基板等を、描画方向に対して複数の領域に区分し、描画方向に直交する方向におけるノズルと基材との相対的な位置を変更することにより、それぞれの領域に対して異なるノズル群によって機能液を吐出する。ここで、前記相対的な位置の移動距離は、描画方向に対して直交する方向のノズルピッチ分が好ましい。これによって、１行描画する間にすべてのノズルから機能液を吐出することができるので、固形分の析出に起因する吐出不良を抑え、安定して機能液を吐出するができる。寸法の大きな基板の場合には、領域の区分を多くすることで、ノズルの吐出不良を十分に抑えることができる。また、すべてのノズルを可能な限り均等に使用できるので、液滴吐出ヘッドの寿命を延ばすこともできる。ここで、ノズルピッチとは、図１（ｄ）に示すように、隣接するノズル同士の間隔をいう。ノズル列が描画方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）に対して角度θだけ傾いていた場合には、見かけのノズルピッチＰ’はＰ×ｃｏｓθで表すことができる。このＰ’が描画方向に対して直交する方向のノズルピッチに相当する（以下同様）。
【０００９】
また、本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムによれば、本発明に係る電気光学パネルの製造方法をコンピュータに実行させることができる。なお、本発明でいうコンピュータには、いわゆるパーソナルコンピュータやワークステーションあるいはＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）の他、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）とメモリその他の電子素子によって構成されるハードウェアも含む（以下同様）。
【００１０】
なお、次の発明に係る電気光学パネルの製造方法のように、前記複数のノズル群が配列するノズル列が、前記ノズルを走査し前記機能液を塗布する描画方向に対して交差する方向に傾斜している場合には、前記所定領域に隣接する他の所定領域へ機能液を塗布する前に、前記機能液の塗布が終了した前記所定領域まで前記ノズル列が戻るように操作することが好ましい。このようにすれば、描画ピッチの関係からノズル列を傾けていても、これから機能液を塗布する領域に対して不要な機能液を塗布するおそれがなくなる。
【００１１】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造方法は、複数のノズルから機能液を基材に吐出させ、機能膜を形成する電気光学パネルの製造方法において、所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する工程と、前記機能液が塗布された前記所定領域の前記描画方向に存在し、かつ前記描画方向と直交する方向にずらして区画した他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１２】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造プログラムは、ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造プログラムにおいて、所定のピッチで配列された複数のノズルのうち、前記機能液を吐出する所定領域に対応する第１のノズル群から前記機能液を吐出する手順と、前記機能液が塗布された前記所定領域の前記描画方向に存在し、かつ前記描画方向と直交する方向にずらして区画した他の所定領域に対して、前記第１のノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出する手順と、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１３】
この電気光学パネルの製造方法は、基材である画素基板等を、描画方向に対してそれぞれ描画方向に対して直交する方向のノズルピッチＰ’の整数倍ずらして、複数の領域に区分する。そして、それぞれの領域に対して異なるノズル群によって機能液を吐出する。これによって、１行描画する間にすべてのノズルから機能液を吐出することができるので、固形分の析出に起因する吐出不良を抑え、安定して液体を吐出するができる。また、すべてのノズルをできるだけ均等に使用できるので、液滴吐出ヘッドの寿命を延ばすこともできる。また、本発明に係る電気光学パネルの製造プログラムによれば、本発明に係る電気光学パネルの製造方法をコンピュータに実行させることができる。
【００１４】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造方法のように、前記ノズルから前記基材に対して機能液を吐出させる前に、前記基材の前記領域、及び、前記他の所定領域に、前記ノズルから吐出される機能液が付着すべき部分を予め形成する前処理工程を含むようにすることが好ましい。この前処理工程とは、例えば画素を区画するバンク（隔壁）の形成工程や、ＩＴＯパターンの形成工程、あるいは陽極の形成工程が含まれる。
【００１５】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造装置は、ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造装置において、所定のピッチで配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、前記機能液が吐出される基材を載置するテーブルと、前記複数のノズルのうち、前記基材上の所定領域に対応する第１のノズル群から機能液を吐出させ、前記所定領域に対して機能液の塗布が終了したら、前記液滴吐出ヘッドと前記テーブルとの位置を、前記描画方向に対して直交する方向へ相対的に移動させ、すでに機能液を塗布した前記所定領域の描画方向に隣接する他の所定領域へ、前記ノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１６】
この電気光学パネルの製造装置は、基材である画素基板等を、描画方向に対して複数の領域に区分し、描画方向に直交する方向におけるノズルと基材との相対的な位置を変更することにより、それぞれの領域に対して異なるノズル群によって機能液を吐出する。ここで、前記相対的な位置の移動距離は、描画方向に対して直交する方向のノズルピッチ分が好ましい。これによって、１行描画する間にすべてのノズルから機能液を吐出することができるので、固形分の析出に起因する吐出不良を抑え、安定して液体を吐出するができる。寸法の大きな基板の場合には、領域の区分を多くすることで、ノズルの吐出不良を十分に抑えることができる。その結果、この製造装置においては、製造される製品の歩留まりを向上させることができる。また、すべてのノズルをできるだけ均等に使用できるので、液滴吐出ヘッドの寿命を延ばすこともできる。これにより、液滴吐出ヘッド交換の頻度を低減できるのでメンテナンスが容易になり、また、製造装置のランニングコストも低減できる。
【００１７】
また、次の発明に係る電気光学パネルの製造装置は、ノズルから機能液を吐出させ、基材上に設けられた画素となる部分に前記機能液を付与する電気光学パネルの製造装置において、所定のピッチで配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドと、前記機能液が吐出される基材を載置するテーブルと、前記複数のノズルのうち、前記基材上の所定領域に対応する第１のノズル群から機能液を吐出させ、すでに機能液を塗布した前記所定領域の描画方向側に存在し、かつ描画方向に対して直交する方向にずらして区画した他の所定領域へ、前記ノズル群とは異なる第２のノズル群から機能液を吐出させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１８】
この電気光学パネルの製造方法は、基材である画素基板等を、描画方向に対してそれぞれ描画方向に対して直交する方向におけるノズルピッチＰ’の整数倍ずらして、複数の領域に区分する。そして、それぞれの領域に対して異なるノズル群によって機能液を吐出する。これによって、１行描画する間にすべてのノズルから機能液を吐出することができるので、固形分の析出に起因する吐出不良を抑え、安定して液体を吐出するができる。その結果、この製造装置においては、製造される製品の歩留まりを向上させることができる。また、すべてのノズルをできるだけ均等に使用できるので、液滴吐出ヘッドの寿命を延ばすこともできる。これにより、液滴吐出ヘッド交換の頻度を低減できるのでメンテナンスが容易になり、また、製造装置のランニングコストも低減できる。
【００１９】
また、次の発明に係る電気光学装置の製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法を含むことを特徴とする。また、次の発明に係る電子機器の製造方法は、上記電気光学パネルの製造方法を含むことを特徴とする。これにより、ノズルの吐出不良に起因する電気光学パネルの品質不良を低減できるので、信頼性の高い電気光学装置あるいは電子機器を得ることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの或いは実質的に同一のものが含まれる。なお、本発明に係る電気光学パネルとしては、例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル、液晶表示パネル等が挙げられる。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る液滴吐出装置を示す説明図である。図２、３は、実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図である。また、図４は、実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示すフローチャートである。この電気光学パネルの製造方法は、電気光学パネルの基板に機能液を塗布して機能膜からなる画素を形成するにあたり、当該基板の画素形成領域を描画方向に対して複数の領域に区画し、画素ピッチに対応するノズルピッチを有する、異なるノズル群によってそれぞれの領域に描画する点に特徴がある。まず、図１を用いて、実施の形態１において本発明を適用する液滴吐出装置について説明する。
【００２２】
実施の形態１においては、液滴吐出方式にインクジェットを適用する。電気光学パネルの製造装置５０は、液滴吐出ヘッド５２とステージ６０とを備えている。液滴吐出ヘッド５２には、タンク５６から供給チューブ５８を介して、吐出物である機能液が供給される。機能液は、液滴吐出ヘッド５２から吐出される液体であり、カラーフィルタや画素等を形成する機能材料を溶媒成分中に含む液体である。そして、機能液中の溶媒成分を蒸発させることにより基材上へ機能膜を形成して、カラーフィルタや画素等となる。液滴吐出ヘッド５２から吐出させる機能液は、製造対象物によって適宜変更することができる。例えば、有機ＥＬ表示パネルを製造する場合は、機能液として高分子材料のポリフェニレンビニレン（ＰＰＶ（Ｐｏｌｙ  Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  Ｖｉｎｙｌｅｎｅ））等を溶媒に溶解させた液体を用いる。また、液晶表示パネル等に使用するカラーフィルタを形成する場合には、機能液として顔料粒子を液体に分散させた分散液を使用する。
【００２３】
なお、フルカラー表示可能な有機ＥＬ表示パネルあるいは液晶表示パネル等の電気光学パネルを製造する場合には、Ｒ（Ｒｅｄ）、Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）、Ｂ（Ｙｅｌｌｏｗ）三色の画素を形成する。この電気光学パネルの製造装置５０に備えられる液滴吐出ヘッドは１個であるが、このような場合には、それぞれの色に対応した発光材料液やカラーフィルタ材料を吐出する液滴吐出ヘッドを備える。
【００２４】
図１（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５２は、配列幅（描画幅）Ｈの間に複数のノズル５４が一定のピッチＰで配列されている。また、それぞれのノズル５４はピエゾ素子（図示せず）を備えており、制御装置６５からの指令によって、任意のノズル５４から発光材料液の液滴を吐出する。ピエゾ素子に与える駆動パルスを変化させることにより、ノズル５４から吐出される発光材料液の吐出量を変化させることができる。なお、制御装置６５は、パーソナルコンピュータやワークステーションを使用してもよい。
【００２５】
なお、制御装置６５には記憶部を備えてもよく、この場合に記憶部は、ハードディスク装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリや、ＣＤ−ＲＯＭ等のような読み出しのみが可能な記憶媒体、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）のような揮発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成されるものとする。また、この制御装置６５は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、この制御装置６５はメモリ及びＣＰＵ（中央演算装置）により構成され、制御装置６５の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。また、この制御装置６５には、周辺機器として入力装置、表示装置などを接続し（いずれも図示省略）、これらの制御プログラムをメモリにロードして実行することにより前記周辺機器の機能を実現させるものであってもよい。さらに、制御装置６５には、周辺機器として入力装置、表示装置など（いずれも図示省略）を接続してもよい。ここで、入力装置とはキーボード、マウス等の入力デバイスのことをいう。表示装置とはＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）や液晶表示装置等のことをいう。
【００２６】
液滴吐出ヘッド５２は、当該ヘッド中心に垂直な回転軸Ａを回転中心として回転軸Ａの周りを回転可能となっている。例えば、図１（ｄ）に示すように液滴吐出ヘッド５２を回転軸Ａの周りに回転させて、ノズル５４の配列方向とＸ方向とに角度θを与えると、見かけ上ノズル５４のピッチをＰ’＝Ｐ×ｃｏｓθとすることができる。これにより、機能液を吐出する対象の基材である画素基板１０等の塗布領域、あるいは機能液の種類その他の塗布条件に応じて、ノズル５４のピッチを変更することができる。画素基板１０はステージ６０に設置されている。ステージ６０は、Ｙ方向（副走査方向）に移動でき、また、ステージ６０中心に垂直な回転軸Ｂを回転中心として回転軸Ｂの周りに回転できる。
【００２７】
液滴吐出ヘッド５２は、図中Ｘ方向（主走査方向）に往復して、その間に機能液を吐出対象である画素基板１０上へ吐出する。一回の走査で機能液を塗布したら、ステージ６０がＹ方向にＨ×ｃｏｓθだけ移動して、液滴吐出ヘッド５２は次の領域へ機能液を吐出する。液滴吐出ヘッド５２の動作、ノズル５４の吐出及びステージ６０の動作は、制御装置６５によって制御される。これらの動作パターンを予めプログラムしておけば、画素基板１０の塗布領域あるいは機能液の種類その他の塗布条件に応じて塗布パターンを変更することも容易である。上記の動作を繰り返して、画素基板１０の全領域に機能液を塗布することができる。これと同様に、ステージ６０がＹ方向に移動している時に液滴吐出ヘッド５２から機能液を吐出し、その後、液滴吐出ヘッド５２をＸ方向に移動させ、次の領域へ機能液を吐出することも可能である。
【００２８】
また、機能液と板状部材であるノズルプレート５４ｐとの接触角α（図１（ｃ）参照）は３０度〜１７０度の範囲が好ましい。機能液とノズルプレート５４ｐとの接触角αが小さすぎると、機能液がノズル５４から吐出する際に、機能液がノズルプレート５４ｐへ引き寄せられる。その結果、機能液の液滴が画素基板１０上へ付着する位置がずれてしまい、製品の品質を低下させるおそれがあるからである。接触角αが上記範囲であれば、機能液がノズルプレート５４ｐへ引き寄せられることもなく、機能液の液滴は画素基板１０上の所定位置へ付着する。さらに安定して機能液の液滴を所定位置へ付着させるには、上記接触角αは５０度以上が好ましく、さらには８０度以上が好ましい。接触角αを上記範囲とするには、例えばフッ素を含むシランカップリング剤のような、液体に対する濡れ性を悪くするような物質をノズルプレート５４ｐへコーティングする手段がある。
【００２９】
次に、図２〜４を用いて、本発明の実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を説明する。なお、実施の形態１では、有機ＥＬ表示パネルを構成する画素基板上の所定位置に、Ｒ、Ｇ、Ｂの発光材料液を塗布して、これらの表示画素を形成する例について説明する。図３（ａ）に示すように、画素基板１０の画素形成領域１０Ａは、描画方向（Ｘ方向）に対して複数（ここでは４）の画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１、１０Ａ２ｎ＋２に区画されている。ここで、画素基板１０の描画方向に対する寸法が大きくなるにしたがって、画素形成領域１０Ａの描画方向に対する区画数を多くすることが好ましい。ノズルの不吐出時間が長くなると、それだけ吐出不良の発生する危険性は増加するので、ノズルの不吐出時間をある限度以下に抑えることが望ましいからである。
【００３０】
液滴吐出ヘッド５２は、画素基板１０上を描画方向へ走査する間に機能液である発光材料液の液滴を吐出して、画素基板１０上へ各画素を形成する。１行の描画が終了したら、液滴吐出ヘッド５２と画素基板１０とを改行方向（Ｙ方向）へ相対的に移動させる。次に、液滴吐出ヘッド５２は１行の描画が終了した側から先に描画を開始した側ヘ向かって同様に描画する。この動作を繰り返して、画素基板１０上の画素形成領域１０Ａへ各画素を形成する。
【００３１】
次に、図２を用いて、画素形成領域１０Ａの１行を描画する手順について説明する。この発明の実施の形態１においては、液滴吐出ヘッド５２の描画方向に区画したそれぞれの画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１、１０Ａ２ｎ＋２が、描画ピッチＰｐに対応するノズルのピッチ２Ｐ’の異なるノズル群５４２ｎ＋１、５４２ｎ＋２によって描画される。なお、画素形成領域は、添え字の符号が共通するノズル群によって描画される。例えば、本実施の形態において２個存在する画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１は、いずれもノズル群５４２ｎ＋１で描画される（以下同様）。
【００３２】
ここで、描画ピッチＰｐは、同じ色の画素２０ｒ同士に対応する画素ピッチであり、隣接する画素２０ｒと２０ｇとの画素ピッチＰｐ１の３倍である。図１に示す電気光学パネルの製造装置５０では、異なる画素ピッチの画素基板等に対応できるように、液滴吐出ヘッド５２を回転軸Ａの周りに回転させることで、見かけ上ノズル５４のピッチをＰ’＝Ｐ×ｃｏｓθとして変化させることができる。同じ発光材料液を吐出するノズル５４２ｎ＋１、５４２ｎ＋２で構成されるノズル列５４ｌにおけるノズルのピッチＰは一定である。したがって、画素２０ｒ間の描画ピッチＰｐに対応させるためには、ノズル列５４ｌをθ傾けて、ノズル群５４２ｎ＋１によって描画する。例えば、図２（ａ）に示す例においては、ノズル群５４２ｎ＋１によってＲ画素２０ｒを描画する。
【００３３】
しかし、ノズル群５４２ｎ＋１のみを使用して１行全体を走査すると、ノズル群５４２ｎ＋２からは、発光材料液の液滴は全く吐出されない。その結果、発光材料液がノズル近傍で固化等することにより、発光材料液の吐出不良を招いてしまう。したがって、図２に示すように、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１においてはノズル群５４２ｎ＋１で、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２ではノズル群５４２ｎ＋２でそれぞれ描画することにより、１行の描画において不吐出ノズルが存在しないようにする。
【００３４】
図２〜図４を用いてこの描画手順を詳細に説明する。なお、図２には、Ｒ画素２０ｒを形成するノズル列５４ｌしか記載していないが、Ｇ画素２０ｇ、Ｂ画素２０ｂを形成するノズル列をノズル列５４ｌと平行に配置して、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素を同時に形成する。まず、画素形成領域１０Ａの描画方向全領域に発光材料液の液滴を塗布したか否かを判断する（ステップＳ１０１）。塗布していなければ（ステップＳ１０１：Ｎｏ）、描画方向に液滴を塗布する（ステップＳ１０２；図２（ａ））。このとき、ノズル列５４ｌは改行方向（Ｙ方向）に対して角度θだけ傾いているので、ノズル群５４２ｎ＋１のノズルピッチ２Ｐ’は２×Ｐ×ｃｏｓθとなり、画素２０ｒ間の描画ピッチＰｐと等しくなる。
【００３５】
次に、描画方向における所定の画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１全体に発光材料液の液滴を塗布していない場合には（ステップＳ１０３：Ｎｏ）、引き続き液滴を塗布する（ステップＳ１０２）。なお、ノズル列５４ｌが傾いているので、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１全体を描画するとノズル列５４ｌは、次の画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２上へ位置することになる（図２（ｂ）参照）。このため、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２上ではノズルから発光材料液の液滴を吐出させないように制御装置６５（図１参照）で制御する。
【００３６】
前記画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１全体に発光材料液の液滴を塗布した場合には（ステップＳ１０３：Ｙｅｓ；図２（ｂ））、ノズルと画素形成領域１０Ａとの位置を、描画方向に対して直交する方向のノズルピッチＰ’だけ移動させる（ステップＳ１０４；図２（ｃ））。すなわち改行方向（Ｙ方向）に対して見かけのノズルピッチＰ’分だけ移動させる。そして、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１を描画したノズル群５４２ｎ＋１とは異なるノズル群５４２ｎ＋２で、次の画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２へ描画を開始する（ステップＳ１０１：Ｎｏ）。なお、ノズル列５４ｌが傾いているので、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１全体を描画すると、ノズル列５４ｌは次の画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２上へ位置することになる（図２（ｂ）参照）。このため、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２を描画する場合には、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１上まで一旦ノズル列５４ｌ全体を移動させてから、画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２の描画を開始する。なお、ノズル列５４ｌの傾き角であるθが略０度である場合には、ノズル列５４ｌは次の画素形成領域１０Ａ２ｎ＋２上へ位置することはない。このため、ノズル列５４ｌを画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１上へ移動させる動作は不要である。これにより、描画速度が向上する。
【００３７】
上記ステップＳ１０１〜Ｓ１０４を繰り返して、描画方向全領域に対する液滴の塗布、すなわち１行全体の描画が終了したら（ステップＳ１０１：Ｙｅｓ）、液滴吐出ヘッド５２（図３参照）を改行する（ステップＳ１０５）。画素形成領域１０Ａの全領域へ発光材料液の液滴を塗布していない場合には（ステップＳ１０６：Ｎｏ）、次の行に対しても上記ステップＳ１０１〜Ｓ１０４を繰り返す。画素形成領域１０Ａの全領域へ液滴を塗布したら（ステップＳ１０６：Ｙｅｓ）、画素基板１０に対する描画が終了する。このようにして製造した画素基板１０に対して、駆動電極の形成、ドライバＩＣの実装等を施すことにより、電気光学パネルを製造することができる。
【００３８】
ここで、画素形成領域１０Ａの区画について説明する。上記描画手順においては、描画方向（Ｘ方向）に対して画素形成領域１０Ａを４領域に区画した（図３（ａ））。画素形成領域１０Ａは、図３（ｃ）に示すような２領域に区画してもよい。また、図３（ｂ）に示すように画素形成領域１０Ａの行方向両端部とその中間部とに区画して、両端部と中央部とでそれぞれ異なるノズル群５４２ｎ＋１と５４２ｎ＋２を用いて描画してもよい。区画数を少なくすると、ノズル列５４ｌが傾いている場合にはノズル列５４ｌを描画方向反対側へ移動させる回数が少なくなるので、それだけ描画時間を短くできる。すなわち、ノズルの不吐出時間を短くできるので、それだけ発光材料液等の乾燥等に起因する吐出不良を低減できる。一方、図３（ａ）のように、異なるノズル群５４２ｎ＋１と５４２ｎ＋２とを交互に使用するように、画素形成領域１０Ａを画素形成領域１０Ａ２ｎ＋１と１０Ａ２ｎ＋２とに区画してもよい。このようにすれば、ノズル群が不吐出である時間を短くできるので、それだけ発光材料液等の乾燥等に起因する吐出不良を低減できる。
【００３９】
図５は、画素形成領域の区画とこれに対応するノズル群との他の例を示す説明図である。図５（ａ）に示すように、ノズル列５４ｌを構成するノズルを、ノズル群５４３ｎ＋１、５４３ｎ＋２、５４３ｎ＋３の３群に分けて、それぞれのノズル群で３領域に区画した画素形成領域１０Ａ３ｎ＋１、１０Ａ３ｎ＋２、１０Ａ３ｎ＋３を描画してもよい。また、図５（ｂ）に示すように、ノズル列５４ｌを構成するノズルを、ノズル群５４４ｎ＋１、５４４ｎ＋２、５４４ｎ＋３、５４４ｎ＋４の４群に分けて、それぞれのノズル群で４領域に区画した画素形成領域１０Ａ４ｎ＋１、１０Ａ４ｎ＋２、１０Ａ４ｎ＋３、１０Ａ４ｎ＋４を描画してもよい。画素基板１０における画素形成領域１０Ａの大きさや画素ピッチ等によって、画素形成領域の区画及びノズル群の分割を適宜変更することができる。
【００４０】
以上、本発明の実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法の構成によれば、液滴吐出ヘッド５２が１行描画する間において、不吐出ノズルは存在しなくなる。これにより、ノズル近傍に固形分が凝固することを防止できるので、液滴のドット抜けや飛行曲がりを極めて少なくすることができ、製品の歩留まりが向上する。特に、寸法の大きい画素基板等に対して画素を描画する場合にこの効果は大きい。また、描画中にすべてのノズルを均等に使用することができるので、特定のノズルのみが使用される頻度を低減できる。これにより、液滴吐出ヘッドの寿命を伸ばすことができ、また液滴吐出ヘッドの交換回数も低減できるので、ランニングコストも低減できる。
【００４１】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２に係る画素形成基板を示す説明図である。図７は、実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図である。図８は、実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示すフローチャートである。図９は、画素基板上における画素チップ配置を示す説明図である。この電気光学パネルの製造方法は、１枚の画素基板１０上に複数の画素チップ１０Ｃを形成するにあたり、改行方向に対するノズルピッチＰ’の整数倍だけ、描画方向の画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１、１０Ｃ２ｎ＋２を改行方向に対してずらして形成する点に特徴がある。
【００４２】
実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法は、携帯電話やＰＤＡ等の携帯電子機器に用いられる表示パネルを構成するための、比較的小さい画素チップ１０Ｃを１枚の画素基板１０上に複数形成するものである。図６（ａ）に示すように、画素チップ１０Ｃは、描画方向（Ｘ方向）に対して複数形成される。図６（ｂ）は、画素チップ１０Ｃの隣接部分（図６（ａ）のＤ部分）を拡大したものである。同図に示すように、この例においては隣接する画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１、１０Ｃ２ｎ＋２は、改行方向に対するノズルピッチＰ’（図１（ｄ））だけ改行方向にずらしてある。すなわち、各色の発光材料液やカラーフィルタ材料等を所定の各画素へ塗布する前に、各画素を仕切るバンク（隔壁）やブラックマトリックス等が前記画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１、１０Ｃ２ｎ＋２が形成される位置に予め形成されている。なお、改行方向に対するずれ量は、Ｐ’の整数倍であればよい。
【００４３】
次に、図７を用いて、実施の形態２に係る各画素の形成手順について説明する。説明に使用するノズル列５４ｌの構成は実施の形態１と同様である。実施の形態２においては、画素基板１０上に形成される各画素チップ１０Ｃが、予め描画方向に対して改行方向に対するノズルピッチＰ’だけ同方向にずらしてある。したがって、改行方向に対して同じ大きさのノズルピッチＰ’を有するノズル列５４ｌをそのまま描画方向に走査する。このとき、画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１のＲ画素２０ｒに対してはノズル群５４２ｎ＋１で、画素チップ１０Ｃ２ｎ＋２のＲ画素２０ｒ対してはノズル群５４２ｎ＋２で画素を描画すれば（図７（ａ）、（ｂ））、画素チップ毎に交互にノズル群を使用することになる。ここで、画素チップ毎に交互にノズル群を使用するため、改行方向に対する各画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１、１０Ｃ２ｎ＋２は、図９（ａ）に示すように、描画方向に対して１画素チップおきに、改行方向に対してずらして配置されている。これによって、１行の走査間において不吐出ノズルは発生しないことになる。なお、図９（ｂ）に示すように、描画方向に対して２画素チップおきに、改行方向に対してずらして配置してもよい。
【００４４】
図７、図８を用いてこの描画手順を詳細に説明する。なお、図７には、Ｒ画素２０ｒを形成するノズル列５４ｌしか記載していないが、Ｇ画素２０ｇ、Ｂ画素２０ｂを形成するノズル列をノズル列５４ｌと平行に配置して、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素を同時に形成する。まず、画素基板１０の描画方向におけるすべての画素チップ１０Ｃに発光材料液の液滴を塗布したか否かを判断する（ステップＳ２０１）。塗布していなければ（ステップＳ２０１：Ｎｏ）、描画方向に対する画素チップに液滴を塗布する（ステップＳ２０２；図７（ａ））。このとき、ノズル列５４ｌは改行方向（Ｙ方向）に対して角度θだけ傾いているので、ノズル群５４２ｎ＋１のノズルピッチ２Ｐ’は２×Ｐ×ｃｏｓθとなり、画素２０ｒ間の描画ピッチＰｐと等しくなる。
【００４５】
描画方向における所定の画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１全体に発光材料液の液滴を塗布していない場合には（ステップＳ２０３：Ｎｏ）、引き続き当該画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１に液滴を塗布する（ステップＳ２０２）。前記画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１全体に発光材料液の液滴を塗布した場合には（ステップＳ２０３：Ｙｅｓ）、次の画素チップ（この場合は隣接して配置される画素チップ１０Ｃ２ｎ＋２）に対して、液滴を塗布する。このときには、画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１を描画したノズル群５４２ｎ＋１とは異なるノズル群５４２ｎ＋２に切り替えて（ステップＳ２０４）、次の画素チップ１０Ｃ２ｎ＋２へ描画を開始する（ステップＳ２０１：Ｎｏ）。
【００４６】
なお、ノズル列５４ｌが傾いているので、画素チップ１０Ｃ２ｎ＋１全体を描画すると、ノズル群を切り替える前にノズル列５４ｌの一部が次の画素チップ１０Ｃ２ｎ＋２上へ位置する場合がある。このような場合は、画素チップ１０Ｃ２ｎ＋２上では吐出が不要なノズル群５４２ｎ＋１からは液滴を吐出させないように制御装置６５（図１参照）で制御する。実施の形態２に係る描画手順では、画素チップ間においては液滴を吐出するノズル群を切り替えるだけであり、ノズル列５４ｌの走査は停止しないので、実施の形態１と比較して描画速度が向上する。
【００４７】
上記ステップＳ２０１〜Ｓ２０４を繰り返して、描画方向すべての画素チップ１０Ｃに対する液滴の塗布、すなわち１行全体の描画が終了したら（ステップＳ２０１：Ｙｅｓ）、液滴吐出ヘッド５２（図３参照）を改行する（ステップＳ２０５）。描画方向すべての画素チップ１０Ｃに発光材料液の液滴を塗布していない場合には（ステップＳ２０６：Ｎｏ）、次の行に対しても上記ステップＳ２０１〜Ｓ２０４を繰り返す。画素基板１０の全画素チップに発光材料液の液滴を塗布したら（ステップＳ２０６：Ｙｅｓ）、画素基板１０に対する描画が終了する。このようにして製造した画素基板１０に対して、駆動電極の形成、ドライバＩＣの実装等を施すことにより、電気光学パネルを製造することができる。なお、画素基板１０に対する部品の実装その他の後工程においては、図９（ａ）に示す点線ｃｃに沿って画素基板１０を切断して取り扱うことが好ましい。
【００４８】
図１０は、画素チップ配置とこれに対応するノズル群との他の例を示す説明図である。図１０（ａ）に示すように、ノズル列５４ｌを構成するノズルをノズル群５４３ｎ＋１、５４３ｎ＋２、５４３ｎ＋３の３群に分ける。そして、それぞれずらして配置した画素チップ１０Ｃ３ｎ＋１、１０Ｃ３ｎ＋２、１０Ｃ３ｎ＋３をそれぞれの前記ノズル群で描画してもよい。また、図１０（ｂ）に示すように、ノズル列５４ｌを構成するノズルを、ノズル群５４４ｎ＋１、５４４ｎ＋２、５４４ｎ＋３、５４４ｎ＋４の４群に分ける。そして、それぞれずらして配置した画素チップ１０Ｃ４ｎ＋１、１０Ｃ４ｎ＋２、１０Ｃ４ｎ＋３、１０Ｃ４ｎ＋４をそれぞれの前記ノズル群で描画してもよい。画素基板１０の大きさや画素ピッチ等によって、画素チップ配置とこれに対応するノズル群との関係を適宜変更することができる。
【００４９】
図１１は、画素がデルタ配列の場合における描画を示した説明図である。ここで、同図に示すノズル列５４ｌは、Ｒ画素を形成する発光材料液やカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。同図に示すように、デルタ配列の場合には、ノズル列５４ｌのノズル群５４２ｎ＋１によって１、３、５・・・番のＲ画素を、ノズル群５４２ｎ＋２によって２、４・・・番のＲ画素を形成する。このため、デルタ配列の場合は、ノズル列５４ｌが描画方向に走査する間に、常にすべてのノズルから液滴が吐出されるので、ノズル近傍における固化分の付着に起因する吐出不良を最小限に抑えることができる。
【００５０】
以上、本発明の実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法の構成によれば、液滴吐出ヘッド５２が１行描画する間において、不吐出ノズルは存在しなくなる。これにより、ノズル近傍に固形分が凝固することを防止できるので、液滴のドット抜けや飛行曲がりを極めて少なくすることができる。この電気光学パネルの製造方法は、携帯機器に使用されるような比較的寸法の小さい画素基板等に対するものであり、前記作用によってこのような製品の歩留まりが向上する。また、描画中にすべてのノズルを均等に使用することができるので、特定のノズルのみが使用される頻度を低減できる。これにより、液滴吐出ヘッドの寿命を伸ばすことができ、また液滴吐出ヘッドの交換回数も低減できるので、ランニングコストも低減できる。
【００５１】
（実施の形態３）
実施の形態３においては、上記電気光学パネルの製造方法を含む電気光学装置又は電子機器の製造方法について説明する。図１２は、実施の形態３に係る電気光学装置又は電子機器の製造方法を示す説明図である。図１３は、液晶パネルの構造を示す概略図である。図１４は、実施の形態３に係る電気光学装置又は電子機器の製造方法を示すフローチャートである。次の説明においては、原則として電気光学パネルとして有機ＥＬ表示パネルを例に説明するが、必要に応じて液晶表示パネルについても説明する。
【００５２】
ガラス等の透明な材料で作られる画素基板１０に、フォトリソグラフィー等によって予めＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）で形成する陽極２３、バンク（隔壁）２２、カソードセパレータ２４及び正孔注入層２６を形成する（ステップＳ３０１）。次に、バンク２２で仕切られた領域内に、実施の形態１又は２で説明したいずれかの方法によって、液滴吐出ヘッド５２により発光材料液３０ｒを塗布する（ステップＳ３０２；図１２（ａ））。ここで、発光材料液３０ｒを塗布すると同時に、発光材料液３０ｇ、３０ｂを塗布する。なお、発光材料液３０ｒ、３０ｇ、３０ｂはそれぞれ別個の工程で塗布してもよい。このとき、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド５２の１滴あたりの吐出量は８ｎｇとし、１画素あたりの塗布量は１６０ｎｇとしてある。したがって、１画素あたり２０滴の発光材料液３０ｒが塗布される。なお、図１３に示す液晶表示パネル１０１、及び１０１’についても、実施の形態１又は２で説明したいずれかの方法によって、カラーフィルタ３２ｒ、３２ｇ、３２ｂを形成することができる。液晶表示パネル１０１’は、バンク４０によって画素を区分したものである。
【００５３】
液滴吐出においては、液滴吐出ヘッド５２のノズル５４（図１参照）から安定して発光材料液等の液滴を吐出する必要がある。このため、前記発光材料液等は、溶媒によって液滴吐出に適した物性値に調整されている。具体的には、２０℃における粘度が１〜２０ｍＰａ・ｓ、同じく２０℃における表面張力が２０〜７０ｍＮ／ｍの範囲である。この範囲であれば、安定してノズル５４へ発光材料液等を供給でき、また、ノズル５４出口における発光材料液等のメニスカスも安定する。これによって、ノズル５４から安定して発光材料液等の液滴を吐出して、高品質の発光層やカラーフィルタを形成することができる。また、この粘度及び表面張力の範囲であれば、液滴吐出に要するエネルギーも無闇に高くならないので、液滴吐出ヘッド５２を駆動するピエゾ素子の吐出能力を超えることもない。
【００５４】
さらには、２０℃における粘度が４〜８ｍＰａ・ｓ、同じく２０℃における表面張力が２５〜３５ｍＮ／ｍの範囲がより好ましい。この範囲であれば、さらに安定してノズル５４へ発光材料液等を供給でき、また、ノズル５４出口における発光材料液等のメニスカスも安定する。これによって、ノズル５４から吐出する発光材料液等の液滴はさらに安定し、さらに高品質の発光層やカラーフィルタを形成することができる。
【００５５】
また、バンク２２、４０は、この発光材料液の液体に対する濡れ性を悪くしておくことが好ましい。このようにすれば、発光材料液の液滴がバンク２２で仕切られた領域内に向けて多少ずれて吐出された場合でも、濡れ性の悪いバンク２２によって、発光材料液を前記区画内へ塗布することができる。同様の理由から、カソードセパレータ２４も、前記発光材料液に対する濡れ性を悪くしておくことが好ましい。
【００５６】
画素基板１０上へ発光材料液３０ｒ、３０ｇ、３０ｂを塗布したら、発光材料液中の溶媒を揮発させるため、発光材料液を乾燥させる（ステップＳ３０３）。本実施の形態においては、図１２（ｂ）に示すように、発光材料液の液滴を塗布した画素基板１０をホットプレート６７上へ載せて、発光材料液中の溶媒を揮発させる。このとき、発光材料層の表面を平滑にするために、比較的低温度で、ある程度の時間をかけて乾燥させることが好ましい。なお、乾燥はホットプレート６７に限られず、赤外線ヒータの加熱により乾燥させたり、オーブン内で乾燥させたりしてもよい。このようにして保護膜材料中の溶媒を揮発させて、画素基板１０へ発光材料層が形成される。
【００５７】
次に、図１２（ｃ）に示すように発光材料層の上に電子輸送層２８を形成する（ステップＳ３０４）。そして、図１２（ｄ）に示すように、電子輸送層２８上には陰極２１を真空蒸着法により形成して（ステップＳ３０５）、電気光学パネルである有機ＥＬ表示パネル１００が完成する。図１３に示す液晶表示パネル１０１、及び１０１’の場合は、保護層４２、ＩＴＯ４４及び配向膜４６を形成する。そして、配向膜４６にラビング処理した後、画素基板１１と対向基板と貼り合わせ、液晶４８を封入して液晶表示パネル１０１、１０１’が完成する。
【００５８】
完成した有機ＥＬ表示パネル１００又は液晶表示パネル１０１、１０１’にハーネスやＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）７、あるいはドライバＩＣ５が実装されて（ステップＳ３０６；図１２（ｅ））、電気光学装置２００が完成する。さらに、図１２（ｆ）に示すように、この電気光学装置２００を携帯電話やＰＤＡ等の電子機器９へ取り付けて、これらの電子機器が完成する（ステップＳ３０７）。
【００５９】
なお、実施の形態１〜３に係る本発明の電気光学パネル、電気光学装置、電子機器の製造方法は、予め用意されたプログラムを上記制御装置６５へロードして実行することによって実現することができる。このプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することもできる。また、このプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、所定のインターフェースを介して上記制御装置６５へロードすることによって実行することもできる。ここで、コンピュータで読み取り可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ等の可搬媒体、あるいはコンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記録装置をいう。
【００６０】
（本発明の適用対象）
本発明に係る電気光学パネルが適用できる電子機器としては、携帯電話機の他に、例えば、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学装置である電気光学パネルを用いる機器が挙げられる。したがって、これらの電子機器における電気的接続構造であっても、本発明が適用可能であることはいうまでもない。
【００６１】
また、この発明が適用できる液晶表示パネルは、透過型又は反射型の電気光学パネルであり、図示しない照明装置をバックライトとして用いる。なお、アクティブマトリックス型のカラー液晶表示パネルであっても同様である。また、パッシブマトリクス型の液晶表示パネルでも、アクティブマトリクス型の液晶表示パネル（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた電気光学パネル）にも同様に本発明を適用することができる。また、本発明は、このような電気光学パネルとしての液晶表示パネルに適用できるだけでなく、上述したように有機エレクトロルミネッセンス装置にも適用できる。さらに、これに限られず、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置などのように、複数の画素毎に表示状態を制御可能な各種の電気光学装置においても本発明を同様に適用することができる。特に、エレクトロルミネッセンス装置（有機、無機）においては、発光色を白色とし、装置の前面にカラーフィルタを配置することによりフルカラー表示を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る液滴吐出装置を示す説明図。
【図２】実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図３】実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図４】実施の形態１に係る電気光学パネルの製造方法を示すフローチャート。
【図５】画素形成領域の区画とこれに対応するノズル群との他の例を示す説明図。
【図６】本発明の実施の形態２に係る画素形成基板を示す説明図。
【図７】実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示す説明図。
【図８】実施の形態２に係る電気光学パネルの製造方法を示すフローチャート。
【図９】画素基板上における画素チップ配置を示す説明図。
【図１０】画素チップ配置とこれに対応するノズル群との他の例を示す説明図。
【図１１】画素がデルタ配列の場合における描画を示した説明図。
【図１２】実施の形態３に係る電気光学装置又は電子機器の製造方法を示す説明図。
【図１３】液晶パネルの構造を示す概略図。
【図１４】実施の形態３に係る電気光学装置又は電子機器の製造方法を示すフローチャート。
【符号の説明】
９  電子機器、  １０、１１  画素基板、  １０Ｃ  画素チップ、  １０Ａ  画素形成領域、  １０Ｃ  画素チップ、  ５０  電気光学パネルの製造装置、  ５２  滴吐出ヘッド、  ５４  ノズル、  ５４ｌ  ノズル列、  ６０  ステージ、  ６５  制御装置、  １００  有機ＥＬ表示パネル、  １０１、１０１’    液晶表示パネル、  ２００  電気光学装置
【図１】
2004335351.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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