(57)【要約】【課題】磁気転写用マスター担体の表面に付着物および欠陥を生じさせることなく、マスター担体を保持して搬送する。【解決手段】永久磁石２１、磁性部材２２および吸着部２３を備えた保持機構２０を有する搬送容器１０を用い、マスター担体３の裏面３ｂを吸着部２３に接触させ、該マスター担体３、永久磁石２１および磁性部材２２により磁気回路が構成される状態でマスター担体３の裏面３ｂを吸着保持する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所望の情報に応じた転写パターンを表面に有する磁気転写用マスター担体を保持する磁気転写用マスター担体搬送容器であって、
磁界を発生させる磁界発生手段を備え、
前記マスター担体の裏面を直接的または吸着部を介して間接的に前記磁界発生手段の磁極に接触させて、該マスター担体を保持するものであることを特徴とする磁気転写用マスター担体搬送容器。
【請求項２】
前記マスター担体を前記磁界発生手段と共に磁気回路を構成するように配置した状態で、該マスター担体を保持するものであることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用マスター担体搬送容器。
【請求項３】
所望の情報に応じた転写パターンを表面に有する磁気転写用マスター担体を保持する磁気転写用マスター担体搬送容器であって、
互いに対向して配置された２つの同極性の磁極を有する磁界発生手段を備え、
前記磁極間に前記マスター担体を浮遊させて非接触状態で該マスター担体を保持するものであることを特徴とする磁気転写用マスター担体搬送容器。
【請求項４】
０．１μｍ径未満の粒子が１０個／ｍ３以下、０．１μｍ径以上の大きさの粒子が０個／ｍ３の雰囲気中で請求項１〜３いずれか１項記載の搬送容器中に磁気転写用マスター担体を梱包することを特徴とする磁気転写用マスター担体梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁性層を有する記録媒体に所望の情報を磁気的に転写するための磁気転写用マスター担体の搬送容器および該搬送容器への梱包方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在、磁気記録媒体のさらなる高密度化および高速化が求められている。磁気記録媒体においては、トラック位置決めのためのサーボ信号や、そのトラックのアドレス信号、再生クロック信号等のサーボ情報は、磁気記録媒体の製造時にプリフォーマットとして予め磁気記録媒体に記録しておく必要がある。このプリフォーマットを正確にかつ効率よく行う方法として、凹凸パターンによりサーボ情報を担持するマスター担体に形成された、サーボ情報を担持するパターンを磁気記録媒体へ磁気転写により転写する方法が、例えば特許文献１および２等において提案されている。
【０００３】
磁気転写は、転写すべき情報を担持するマスター担体を磁気ディスク媒体等の磁気記録媒体（スレーブ媒体）と密着させた状態で、転写用磁界を印加することにより、マスター担体の有する転写パターンに対応する磁気パターンをスレーブ媒体に磁気的に転写するもので、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間であるという利点を有している。
【０００４】
マスター担体としては、転写情報に応じた凹凸パターンが形成された基板と該基板の少なくとも凸部上に設けられた磁性層とからなるもの、あるいは、凹凸パターンが形成された基板と該基板の凹部に埋め込まれた磁性層とからなるもの等が提案されている。
【０００５】
マスター担体は表面に付着物や欠陥があると、磁気転写時においてスレーブ媒体との密着不良を生じる等の問題が発生する。したがって、その搬送中においても、付着物や欠陥が発生しないよう細心の注意を払う必要がある。そのため、これまでは、マスター担体は半導体のＳｉウエハを搬送する容器（例えば特許文献３、４記載の容器）を用いて、運搬搬送することが一般的であった。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１０−４０５４４号公報
【０００７】
【特許文献２】
特開平１０−２６９５６６号公報
【０００８】
【特許文献３】
特開平６−１８１２５４号公報
【０００９】
【特許文献４】
特開平９−１６２２７６号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、磁気転写用マスター担体を上述の容器で搬送した後に磁気転写を実施すると、初期から密着不良が原因と思われる磁気転写不良が発生することが判明した。発明者らがこの原因究明を行った結果、搬送前の磁気転写用マスター担体表面には、マスター担体表面に全く付着物および欠陥などは存在しないにも拘わらず、搬送後にマスター担体表面に付着物および欠陥が存在しており、これらの付着物および欠陥は搬送工程で発生しているものであることが明らかになった。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑み、マスター担体の表面に付着物および欠陥を生じさせることなく、マスター担体を保持、搬送することができるマスター担体の搬送容器を提供することを目的とするものである。また、本発明は、搬送容器へのマスター担体の梱包方法を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
マスターに残留している付着物を解析した結果、主として二つの成分が検出された。一つはマスター担体の基板上に形成している磁性層と同成分であり、もう一つは有機樹脂であった。
【００１３】
より詳細な研究の結果、搬送工程において、搬送容器内でマスター担体の端部と容器が接触していることに加え、容器が振動するとマスター担体が動き、接触部でかなりの擦れが発生していることが明らかになった。すなわち、マスター担体と搬送容器との接触および擦れのために、マスター担体の磁性層が剥離もしくは破損したもの、および有機樹脂からなる搬送容器の一部が破損したものが付着物となっていることがわかった。本発明は、この知見に基づいてなされたものである。
【００１４】
本発明の第１の磁気転写用マスター担体搬送容器は、所望の情報に応じた転写パターンを表面に有する磁気転写用マスター担体を保持する磁気転写用マスター担体搬送容器であって、
磁界を発生させる磁界発生手段を備え、
前記裏面を直接的または吸着部を介して間接的に前記磁界発生手段の磁極に接触させて、該マスター担体を保持するものであることを特徴とするものである。
【００１５】
なお、本発明の搬送容器は、マスター担体を磁界発生手段と共に磁気回路を構成するように配置した状態で、該マスター担体を保持するものであることが望ましい。
【００１６】
また、前記裏面に接触する吸着部または磁極が、硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンのいずれもを発生しない材質により構成されていることが望ましい。なお、容器全体が硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンのいずれも発生しない材質により構成していることがさらに望ましい。ここで「発生しない」とは、発生量が１０ｐｐｍ以下であることを意味するものである。上述の各ガスについての許容発生濃度は１０ｐｐｍ以下であり、望ましくは２ｐｐｍ以下である。
【００１７】
吸着部を構成するために用いられる、硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンのいずれも発生させない材質としては、フッ素樹脂（具体的には、テフロン（登録商標）、ダイフロン（商標）等）、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリイミドアミド、アラミド、ポリカーボネート、アセタール樹脂（具体的にはデルリン（商標）等）が挙げられる。
【００１８】
本発明第２の磁気転写用マスター担体搬送容器は、所望の情報に応じた転写パターンを表面に有する磁気転写用マスター担体を保持する磁気転写用マスター担体搬送容器であって、
互いに対向して配置された２つの同極性の磁極を有する磁界発生手段を備え、
前記磁極間に前記マスター担体を浮遊させて非接触状態で該マスター担体を保持するものであることを特徴とするものである。
【００１９】
磁界発生手段としては、永久磁石、電磁石等が挙げられる。
【００２０】
本発明の磁気転写用マスター担体梱包方法は、０．１μｍ径未満の粒子が１０個／ｍ３以下、０．１μｍ径以上の大きさの粒子が０個／ｍ３の雰囲気中で上記本発明の搬送容器中に磁気転写用マスター担体を梱包することを特徴とするものである。
【００２１】
【発明の効果】
本発明の第１の磁気転写用マスター担体の搬送容器は、磁界発生手段を備え、マスター担体の裏面を直接的または吸着部を介して間接的に磁界発生手段の磁極に接触させてマスター担体を保持するものであり、マスター担体の表面は容器に触れないため、マスター担体の表面と容器の接触により付着物を発生させることなく保持することができる。また、マスター担体が直接または間接的に磁極に接触させて保持されているため、マスター担体が搬送時に振動することがなく、容器との擦れも生じないため、擦れによる付着物も発生しない。マスター担体の表面に付着物および欠陥を発生させることなく搬送することができるので、搬送後磁気転写を行う際に、スレーブ媒体との密着不良等による転写不良の発生を抑制することができる。
【００２２】
さらに、マスター担体が磁界発生手段と共に磁気回路を構成するように配置した状態で、マスター担体を保持する場合、より安定にマスター担体を保持、搬送することができる。
【００２３】
また、少なくともマスター担体の裏面に接触する部分が、硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンなどのスレーブ媒体を汚染するアウトガスを発生する物質ではないため、磁極もしくは吸着部の一部が破損してマスター担体の裏面に付着したとしても、磁気転写時にスレーブ媒体を汚染する虞がない。
【００２４】
本発明の第２の磁気転写用マスター担体搬送容器は、互いに対向して配置された２つの同極性の磁極を有する磁界発生手段を備え、この磁極間にマスター担体を浮遊させて非接触状態でマスター担体を保持するものであり、搬送中にマスター担体が容器に接触しないので、容器との接触や擦れがなく、付着物、欠陥が発生しない。マスター担体に付着物および欠陥を発生させることなく搬送することができるので、搬送後磁気転写を行う際に、スレーブ媒体との密着不良等による転写不良の発生を抑制することができる。
【００２５】
本発明の磁気転写用マスター担体搬送容器への梱包方法は、０．１μｍ径未満の粒子が１０個／ｍ３以下、０．１μｍ径以上の大きさの粒子が０個／ｍ３の雰囲気中で搬送容器中に磁気転写用マスター担体を梱包するので、搬送容器内の雰囲気も０．１μｍ径未満の粒子が１０個／ｍ３以下、０．１μｍ径以上の大きさの粒子が０個／ｍ３となるため、搬送容器中において、マスター担体表面に付着する粒子を抑制することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００２７】
図１は、本発明の第１の実施形態の磁気転写用マスター担体搬送容器であり、磁気転写用マスター担体をその裏面側で磁気的に吸着して保持する保持機構を備えた搬送容器の側断面図を示すものである。
【００２８】
搬送容器１０は、密閉可能な筐体１１と、該筐体内部１１に備えられた保持機構２０とからなる。筐体１１は、蓋部１２と容器部１３とから構成されており、蓋部１２の下面に保持機構２０が固着されている。蓋部１２に固着されている保持機構２０にマスター担体３を保持させた状態で、蓋部１２を、保持機構２０およびマスター担体３が容器部１３に収容されるように容器部１３の図示しない嵌合部に嵌合させる。
【００２９】
保持機構２０は、いわゆるマグネットスタンドに用いられている構造を有するものであり、永久磁石２１と、磁気的にソフトな軟鉄等からなる磁性部材２２と、マスター担体３の裏面３ｂに接触する吸着部２３を一部に備えた、永久磁石２１および磁性部材２２を覆うカバー部２５と、図示しない切換えレバーとからなる。カバー部２５は、硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンのいずれも発生しない材質により構成されている。具体的には、フッ素樹脂（具体的には、テフロン（登録商標）、ダイフロン（商標）等）、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリイミドアミド、アラミド、ポリカーボネートまたはアセタール樹脂（具体的にはデルリン（商標）等）により構成されている。なお、硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンは、スレーブ媒体である磁気記録媒体を腐食させるガスであることが知られており、吸着部が硫黄、塩素、シロキサンまたはアミンを発生する材質で構成されていると、該吸着部の破片等がマスター担体の裏面に付着した場合にこの付着した破片等から硫黄、塩素、シロキサンまたはアミン等が発生し、磁気転写時にスレーブ媒体を汚染する虞がある。なお、カバー部２５は必ずしも全体が上述の材質により構成されているものでなくてもよく、少なくとも吸着部２３が上述の材質で構成されていればよい。尤も、カバー部２５全体、さらには、筐体１１も硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンのいずれも発生しない材質により構成されていることがより望ましい。
【００３０】
保持機構２０は、切換えレバーによるオン／オフ操作により、着磁力のオン／オフがなされる。図１に示しているのはオン状態である。オフにすると、永久磁石２１および磁性材料２２が矢印Ａ方向に移動することによって、着磁力が解除された状態となる。なお、この機構は従来のマグネットスタンドに用いられている構造と同様の構造を適応することにより達成することができる。
【００３１】
本実施形態の搬送容器１０は、図１に示すように、マスター担体３のその裏面３ｂが吸着部２３に接触し、表面３ａが鉛直下向きとされた状態で保持し、搬送するものである。図示の状態において、マスター担体３は保持機構２０の磁石２１および磁性部材２２と共に磁気回路を構成するため、安定して保持搬送される。なお、図中矢印は永久磁石２１、磁性部材２２およびマスター担体３により構成される磁気回路における磁束の流れを示すものである。
【００３２】
なお、搬送容器１０へのマスター担体３の搬入および容器１０からの排出は、蓋部１２が容器部１３から取り外した状態で行う。容器１０への搬入および排出の手順を簡単に説明する。
【００３３】
搬入は、保持機構２０の着磁力が解除された状態（オフ）で行われる。マスター担体３は中心孔３ｃを有しており、例えば、ロボットアームの先端に取り付けられた内径把持手段（チャック）が中心孔３ｃに挿入され、マスター担体がその中心孔３において把持手段により把持されて吸着部２３に搬送される。なお、中心孔を有しない場合には、マスター担体を外周で把持する構成とすればよい。マスター担体３が搬入され、その裏面３ｂを吸着部２３に接触させた状態で、切換えレバーをオンとして吸着部２３でマスター担体３の裏面３ｂを吸着（着磁）させ、裏面３ｂが鉛直下向きとなるように保持される。その後、把持手段による把持を解除する。カバー部２５の吸着部２３の中央にはチャックが挿入できるように窪みが設けられている。なお、吸着部の中央に窪みを設ける代わりに、センタピンを設け、そのピン内に溝構造を作製し、把持手段が侵入できる形状に加工するなどの他の種々の形態をとることができる。
【００３４】
保持機構２０にマスター担体３を保持させた状態で、蓋部１２を、保持機構２０およびマスター担体３が容器部１３に収容されるように容器部１３の図示しない嵌合部に嵌合させる。
【００３５】
一方、排出時は、蓋部１２を容器部１３から鉛直上向きに引き抜くように取り出し、保持機構２０に保持されているマスター担体３の中心孔３ｃにロボットアーム先端の把持手段を挿入し、把持手段により把持する。この状態で、切換えレバーをオフとして吸着部２３における着磁力を解除する。その後、マスター担体３はロボットアームの移動に伴い排出される。
【００３６】
なお、一連の作業の間、マスター担体３の表面３ａに塵埃が付着するのを抑制するため、マスター担体３は表面３ａを鉛直下向きに維持する。ただし、マスター担体３の表面３ａが鉛直方向に平行な状態から、表面３ａが鉛直方向に垂直かつ鉛直下向きとなる図示のような状態までの角度範囲であればよい。
【００３７】
磁気転写用マスター担体３は、Ｎｉ等からなる基板および該基板上に配された磁性層を有するものであり、磁性層が形成された面が表面３ａであり、ここに転写パターンを有する。なお、基板が磁性体でない場合であっても、全体として裏面から吸着可能な磁性を有するマスター担体であれば本発明の搬送容器により保持搬送することができる。
【００３８】
マスター担体を容器内に梱包する一連の作業は、０．１μｍ径未満の粒子が１０個／ｍ３以下、０．１μｍ径以上の大きさの粒子が０個／ｍ３の雰囲気中において行う。これにより、マスター担体表面３ａへの粒子の付着を防止して、磁気転写時におけるスレーブ媒体との密着不良を防止することができる。
【００３９】
図２は、本発明の第２の実施形態の磁気転写用マスター担体搬送容器であり、磁気転写用マスター担体を浮遊状態で保持する保持機構を備えた搬送容器の側断面図を示すものである。
【００４０】
搬送容器３０は、密閉可能な筐体３１と、該筐体内部３１に備えられた保持機構４０とからなる。筐体３１は、容器上部３２と容器下部３３とから構成されており、保持機構４０は、容器上部３２に固定された中央に中心孔４１ａを有する円筒状の永久磁石４１、該円筒状の永久磁石４１の中心孔４１ａに永久磁石４１と極性が逆となるように配置された、Ａ方向に可動な円柱状の永久磁石４２、容器下部３２の内部に固定されたすり鉢状の表面を有する永久磁石４３、永久磁石４２を図２（ａ）の位置と図２（ｂ）の位置との間で切り換えるための図示しない切り換えレバーとを備えている。永久磁石４３と、永久磁石４１とは同じ極性の磁極が対向するように配置されている。また、永久磁石４２のマスター担体３側の磁極にはマスター担体３の中心孔３ａより小さい径の円柱状部材４５が固着されている。円柱状部材４５は、硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンのいずれも発生しない材質により構成されている。具体的には、フッ素樹脂（具体的には、テフロン（登録商標）、ダイフロン（商標）等）、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリイミドアミド、アラミド、ポリカーボネートまたはアセタール樹脂（具体的にはデルリン（商標）等）により構成されている。なお、硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンは、スレーブ媒体である磁気記録媒体を腐食させるガスであることが知られており、円柱状部材４５が硫黄、塩素、シロキサンまたはアミンを発生する材質で構成されていると、該部材４５の破片等がマスター担体に付着した場合にこの付着した破片等から硫黄、塩素、シロキサンまたはアミン等が発生し、磁気転写時にスレーブ媒体を汚染する虞がある。なお、第１の実施形態の場合と同様に、筐体３１（すなわち容器上部３２および容器下部３３）も硫黄、塩素、シロキサンおよびアミンのいずれも発生しない材質により構成されていることがより望ましい。
【００４１】
図２（ａ）のように永久磁石４２を下方に降ろした状態でマスター担体３の排出入を行う。永久磁石４２の先端を僅かに永久磁石４１の先端よりも下方に突出させた状態でマスター担体３をその裏面３ｂ側から吸着保持する。すなわち、第１の実施形態の場合と同様にマスター担体３が永久磁石４１および４２と共に磁気回路を構成した状態でマスター担体３を保持する。その後、容器上部３２を矢印Ｂ方向に下ろして、容器上部３２および容器下部３３の図示しない嵌合部を嵌合させて内部空間を密閉する。その後、切換えレバーを操作して永久磁石４２を上方（矢印Ａ方向）に移動させることにより、容器上部３２側におけるマスター担体３を着磁する力が弱まり、図２（ｂ）に示すように、マスター担体３が互いに同一の極性が対向している永久磁石４１と永久磁石４３の間で浮遊状態となる。この状態で搬送作業を行う。搬送時においてマスター担体３は、容器や磁石とは非接触の状態であるため、振動による擦れ等を生じない。
【００４２】
マスター担体３を容器３０内に梱包する一連の作業は、０．１μｍ径未満の粒子が１０個／ｍ３以下、０．１μｍ径以上の大きさの粒子が０個／ｍ３の雰囲気中において行う。これにより、マスター担体表面３ａへの粒子の付着を防止して、磁気転写時におけるスレーブ媒体との密着不良を防止することができる。
【００４３】
なお、一連の作業の間、マスター担体３の表面３ａに塵埃が付着するのを抑制するため、マスター担体３は表面３ａを図示のように鉛直下向きに維持する。ただし、マスター担体３の表面３ａが鉛直方向に平行な状態から、表面３ａが鉛直方向に垂直かつ鉛直下向きとなる図示のような状態までの角度範囲であれば、必ずしも表面が鉛直下向きでなくてもよい。
【００４４】
上記第１および第２の実施形態の搬送容器はいずれも磁界発生手段として永久磁石を備えたものであるが、永久磁石にかえて電磁石を備えてもよい。但し、電磁石を用いた場合、容器が大きくかつ複雑な構成となる虞がある。
【００４５】
本発明の磁気転写用マスター担体搬送容器に収容されるマスター担体について説明する。磁気転写用マスター担体３は、円盤状に形成されており、その表面３ａにスレーブ媒体である磁気記録媒体に転写すべき情報に応じた凹凸パターンを転写パターンとして有するものである。転写すべき情報としては、例えばサーボ信号が挙げられるが、その他種々のデータを含むものであってもよい。この転写パターンが形成されている表面３ａをスレーブ媒体である磁気記録媒体の記録面と密着させた状態で磁界を印加することにより、転写パターンに応じた磁化パターンを磁気記録媒体の記録面に転写する。したがって、マスター担体３の転写パターンが形成されている表面３ａに付着物が存在すると、スレーブ媒体の記録面との密着不良が生じ、転写不良となる。本発明の搬送容器に収容した状態で搬送すれば、表面３ａへの付着物を効果的に抑制することができるので、結果として、密着不良による転写不良を低減することができる。
【００４６】
マスター担体３は、基本的に、表面に凹凸パターンを有する基板と、該基板上に凹凸パターンに沿って配された磁性層とを備えてなる。
【００４７】
基板の材料としては、Ｎｉ、Ｓｉ、石英板、ガラス、Ａｌ、セラミックス、合成樹脂等が用いられる。基板材料として特に好ましいのは、Ｎｉ、もしくはＮｉ、ＦｅまたはＣｏを主成分とする強磁性を有する合金である。
【００４８】
磁性層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができ、特に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。なお、磁性層としては、軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層を用いることにより、より良好な転写を行うことができる。さらに、磁性層は、基板の飽和磁化よりも高い飽和磁化値を有するものであることが好ましい。
【００４９】
なお、磁性層上にさらに保護層および潤滑剤層を備えていてもよい。
【００５０】
なお、本発明の搬送容器は磁界を利用してマスター担体を保持するものであるため、マスター担体が磁性を有する必要がある。したがって、基板は磁性体からなるものであることが望ましいが、マスター担体全体として着磁もしくは浮遊が可能な程度に磁性を有していれば、基板は非磁性であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態にかかる磁気転写用マスター担体搬送容器の側断面図
【図２】第２の実施形態にかかる磁気転写用マスター担体搬送容器の側断面図
【符号の説明】
３    マスター担体
３ａ    マスター担体の表面
３ｂ    マスター担体の裏面
１０    搬送容器
１１    筐体
１２    上蓋
１３    容器部
２０    保持機構
２１    永久磁石
２２    磁性部材
２３    吸着部
２５    カバー部
３０    搬送容器
３１    容器上部
３２    容器下部
４０    保持機構
４１，４２，４３    永久磁石
【図１】
2004342185.tif 000003
【図２】
2004342185.tif 000004