(57)【要約】【課題】内部電極を放電容器の中心軸に沿って配置させることができる誘電体バリア放電ランプを提供する。【解決手段】誘電体バリア放電ランプ１は、放電容器２の中に設けられた内部電極３と放電容器２の外周部に設けられた外部電極７とを有し、両者が対応する位置で放電して光を照射する。内部電極３は、両端部を放電容器２の両端部に形成されたピンチシール部５に固定され、放電容器２の中で張設されている。補正部材９により、その位置を補正されて、放電容器２の中心軸に沿うように配置されている。【選択図】  図１
2004319132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状の放電容器と、前記放電容器に固定された状態で前記放電容器の中に設けられた内部電極と、前記放電容器の外周部に設けられた外部電極と、前記放電容器の両端部に形成され、前記内部電極の端部を固定する封止部と、を備える誘電体バリア放電ランプにおいて、
前記放電容器における前記内部電極と前記外部電極とが対応する位置から外れた非放電領域に、前記内部電極の配置位置が前記放電容器の中心軸に沿うように補正する補正部材が設けられていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。
【請求項２】
管状の放電容器と、前記放電容器に固定された状態で前記放電容器の中に設けられた内部電極と、前記放電容器の外周部に設けられた外部電極と、前記放電容器の両端部に形成され、前記内部電極の端部を固定する封止部と、を備える誘電体バリア放電ランプにおいて、
前記内部電極は、コイル部と非コイル部とを有し、前記コイル部の引張力により前記非コイル部が緊張されており、
前記内部電極のコイル部は、前記放電容器における前記内部電極と前記外部電極とが対応する位置から外れた非放電領域に配置され、
前記非放電領域に、前記内部電極における非コイル部の緊張方向が前記放電容器の中心軸に沿うように補正する補正部材が設けられていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。
【請求項３】
前記コイル部が、前記内部電極の一端部側のみに設けられており、
前記コイル部が、前記補正部材よりも前記放電容器の端部側に配置されている請求項２に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項４】
前記補正部材が、前記放電容器の内側面に嵌め込まれる固定部材を有しており、前記固定部材の中心部に、前記内部電極を貫通させる貫通孔が形成されている請求項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項５】
前記補正部材が、前記固定部材に形成された貫通孔に貫通する前記内部電極を補助する補助部材を備える請求項４に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項６】
前記補正部材が、導電体である請求項１〜請求項５のうちのいずれか１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項７】
前記補正部材が、絶縁体である請求項１〜請求項５のうちのいずれか１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項８】
前記外部電極が、金属蒸着により形成されている請求項１〜請求項７のうちのいずれか１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項９】
管状の放電容器の外周部に外部電極を設け、
前記放電容器の内部における前記外部電極に対応する位置から外れた非放電領域に、内部電極を前記放電容器の中心軸に沿うように補正する補正部材を設け、前記補正部材によって、前記内部電極を前記放電容器の中心軸に沿うように補正して、前記内部電極を前記放電容器の内部に設けることを特徴とする誘電体バリア放電ランプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、このエキシマ分子から放射される光を放射する誘電体バリア放電ランプおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、内部電極と外部電極の間に誘電体を介して放電を行わせる誘電体バリア放電ランプとしては、たとえば特開２００１−８４９６６号公報に開示されたものがある。この誘電体バリア放電ランプは、細長い管状の気密容器を有している。気密容器の内部には気密容器の中心軸方向に張力が作用して内部電極が配設されており、内部電極の両端部は、それぞれ気密容器の両端部に形成された封止部に固定されている。また、気密容器の外周には外部電極が設けられており、気密容器の内部には、気密容器の内面と協働して内部電極を気密容器のほぼ中心軸に沿って位置規制させる位置規制子が設けられている。この位置規制子により、内部電極が気密容器の中心軸にほぼ沿って位置規制されるので、内部電極の垂れ下がりが防止される。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−８４９６６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特許文献１に開示された誘電体バリア放電ランプでは、内部電極が気密容器の中心軸方向に張力が作用して配設されている。この誘電体バリア放電ランプでは、気密容器の封止部において、正確に内部電極を固定されていなければ、気密容器の中心軸方向に張力を作用させて内部電極を配設することができなくなる。このため、封止部において、内部電極を正確に固定する必要があるので、その分製造に手間がかかるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、放電容器の封止部における内部電極の固定位置の精度が低い場合でも、確実に内部電極を放電容器の中心軸に沿って配置させることができる誘電体バリア放電ランプおよびその製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決した本発明に係る誘電体バリア放電ランプは、管状の放電容器と、放電容器に固定された状態で放電容器の中に設けられた内部電極と、放電容器の外周部に設けられた外部電極と、放電容器の両端部に形成され、内部電極の端部を固定する封止部と、を備える誘電体バリア放電ランプにおいて、放電容器における内部電極と外部電極とが対応する位置から外れた非放電領域に、内部電極の配置位置が放電容器の中心軸に沿うように補正する補正部材が設けられているものである。
【０００７】
本発明に係る誘電体バリア放電ランプでは、内部電極の配置位置が放電容器の中心軸に沿うように補正する補正部材が設けられている。この補正部材が設けられていることにより、たとえば封止部における内部電極の固定位置が放電容器の中心軸からある程度ずれていたとしても、放電領域に位置する内部電極を放電容器の中心軸に合わせることができる。したがって、放電容器の封止部における内部電極の固定位置の精度が低い場合でも、確実に内部電極を放電容器の中心軸に沿って配置させることができる。なお、本発明にいう「中心軸に沿う」とは、中心軸と一致する場合のほか、中心軸からわずかにずれた位置に配置される場合を含むものである。
【０００８】
また、上記課題を解決した本発明に係る誘電体バリア放電ランプは、管状の放電容器と、放電容器に固定された状態で放電容器の中に設けられた内部電極と、放電容器の外周部に設けられた外部電極と、放電容器の両端部に形成され、内部電極の端部を固定する封止部と、を備える誘電体バリア放電ランプにおいて、内部電極は、コイル部と非コイル部とを有し、コイル部の引張力により非コイル部が緊張されており、放電容器における内部電極と外部電極とが対応する位置から外れた非放電領域に、内部電極における非コイル部の緊張方向が放電容器の中心軸に沿うように補正する補正部材が設けられているものである。
【０００９】
本発明に係る誘電体バリア放電ランプでは、内部電極の緊張方向が放電容器の中心軸に沿うように補正する補正部材が設けられている。この補正部材が設けられていることにより、たとえば封止部における内部電極の固定位置が放電容器の中心軸からある程度ずれていたとしても、放電領域に位置する内部電極の非コイル部の緊張方向を放電容器の中心軸に合わせることができる。したがって、放電容器の封止部における内部電極の固定位置の精度が低い場合でも、確実に内部電極の非コイル部を放電容器の中心軸に沿って配置させることができる。
【００１０】
また、コイル部が、内部電極の一端部側のみに設けられており、コイル部が、補正部材よりも放電容器の端部側に配置されている態様とするのが好適である。
【００１１】
このような配置とすることにより、内部電極のコイル部を補正部材に通すことなく、内部電極の非コイル部に補正部材を設けることができる。したがって、その製造を容易に行うことができる。
【００１２】
また、補正部材が、放電容器の内側面に嵌め込まれる固定部材を有しており、固定部材の中心部に、内部電極を貫通させる貫通孔が形成されている態様とするのが好適である。
【００１３】
このような補正部材とすることにより、内部電極をより確実に放電容器の中心軸に沿うように配置させることができる。
【００１４】
さらに、補正部材が、固定部材に形成された貫通孔に貫通する内部電極を補助する補助部材を備えるのが好適である。
【００１５】
このような補助部材を設けることにより、内部電極をさらに安定した状態で放電容器の中心軸に沿うように配置させておくことができる。
【００１６】
また、補正部材が、導電体である態様とすることができるし、絶縁体である態様とすることもできる。
【００１７】
さらに、外部電極が、金属蒸着によって形成されているのが好適である。外部電極が金属蒸着によって形成されていることにより、外部電極を薄膜状に形成するのが容易となる。
【００１８】
他方、上記課題を解決した本発明の誘電体バリア放電ランプの製造方法は、管状の放電容器の外周部に外部電極を設け、放電容器の内部における外部電極に対応する位置から外れた非放電領域に、内部電極を放電容器の中心に沿うように補正する補正部材を設け、補正部材によって、内部電極を放電容器の中心軸に沿うように補正して、内部電極を放電容器の内部に設けることを特徴とするものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、各図面は説明の理解を容易にするため、誇張ないし省略している部分があり、その寸法比率は必ずしも実際のそれとは一致しない。また、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、図２は図１に示す誘電体バリア放電ランプの端部拡大側面図、図３は図２に示す誘電体バリア放電ランプの端部の拡大平面図である。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ（エキシマ放電ランプ）１は、細長い管状の光透過性放電容器（以下「放電容器」という）２を備えている。放電容器２は、外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ（肉厚１ｍｍ）、長さ３６０ｍｍの管状の石英ガラス材からなるガラスバルブである。放電容器２の内部には、長尺材からなる内部電極３が設けられている。ここで、長尺材とは、長手方向の長さに対してその直交方向の長さが短い、いわば細長い部材であり、たとえば線材、棒材、管材、あるいは細長い板材などが含まれ、その断面形状等は問わないものである。
【００２２】
内部電極３は、たとえばタングステンからなる中実の金属製の線材であり、放電容器２の長手方向に貫通して設けられている。内部電極３は、外径が０．１８ｍｍである１本の金属線によって直線状に形成され、放電容器２に対して同軸上に配置されている。
【００２３】
内部電極３の両端部には、それぞれモリブデンを含むモリブデン箔などの金属箔４が接続されている。金属箔４は横長の矩形表面を有する板状体であり、図３にも示すように、その一端側の表面における高さ方向中央部位に、内部電極３の一端部がたとえば溶接によって接続されている。
【００２４】
また、放電容器２における長手方向両端部は、ピンチシールされてそれぞれ本発明の封止部であるピンチシール部５とされており、放電容器２内を封止している。ピンチシール部５の内部には、金属箔４が配設されており、このピンチシール部５で金属箔４が内部電極３の両端部に接続されている。さらに、金属箔４の他端側の表面における高さ方向中央部には、それぞれたとえばモリブデン線からなるリード線６がたとえば溶接によって接続されている。これらのリード線６は、それぞれ内部電極３が接続されている面と同じ面に溶接されている。
【００２５】
放電容器２における外周部には、外部電極７が設けられている。外部電極７は、図４に示すように、放電容器２の周方向における上部であって、排気管８を中心とした２４０度の範囲を覆うようにして設けられており、周方向下部の１２０度が開放している。また、外部電極７は内部電極３の周囲に設けられている。この外部電極７は、アルミニウムなどの金属膜からなる。金属膜は、アルミニウムを１５０ｎｍの厚さで放電容器２の上部に蒸着して形成されており、反射鏡としての機能を備えるものである。したがって、放電によって生じた光は、反射鏡に反射するので、下方の開口部のみから照射される。また、内部電極３の外径は、放電容器２の内径の約４２分の１と十分に小さいので、内部電極３によって遮断される光を非常に少なくでき、もって利用効率を高めることができる。
【００２６】
さらに、放電容器２における一端部近傍位置には、排気管８が設けられている。この排気管８を介して放電容器２内の空気などの気体を排出して放電容器２の中が真空状態とされ、その後放電容器２内にキセノンなどを含むエキシマ放電用ガスが封入される。こうして、放電容器２内にはエキシマ放電ガスが充填され、内部電極３はエキシマ放電ガスに曝される。
【００２７】
また、放電容器２の両端部近傍位置には、補正部材９が設けられている。補正部材９は、図２および図３に示すように、内部電極３の端部近傍を支持する本発明の固定部材となる支持部材９Ａと、支持部材９Ａに固定して設けられた補助部材９Ｂとを備えている。支持部材９Ａは、側面視した形状が放電容器２の内部の断面形状に沿った円形をなす円盤状の部材であり、その中央部に、内部電極３が貫通する貫通孔９Ｃが形成されている。この貫通孔９Ｃに内部電極３が貫通することにより、内部電極３は支持部材９Ａに支持される。また、補助部材９Ｂは、内部電極３が緊張される方向に沿って配置された中空の円筒部を備えており、この円筒部における中空部分に内部電極３が貫通して配置される。この補助部材９Ｂに形成された中空部分の径は、内部電極の外径とほぼ同一であり、補助部材９Ｂの中空部分に内部電極３を貫通させることにより、内部電極３は補助部材９Ｂに嵌め込まれる。これらの支持部材９Ａおよび補助部材９Ｂは、銅などの導電性を有する金属材料で構成されている。ただし、セラミック等の絶縁体で構成することもできる。
【００２８】
さらに、放電容器２の一端側におけるリード線６および外部電極７には、導電線を介して点灯電源１０がそれぞれ接続されている。点灯電源１０からは交流電圧が供給され、リード線６には高電圧が供給され外部電極７には低電圧が供給される。
【００２９】
以上の構成を有する本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ１では、補正部材９が設けられているので、内部電極３に対応する位置に外部電極７が存在する放電領域においては、内部電極３を放電容器２の中心軸に沿って配置することができる。なお、放電容器２の中心軸は、誘電体バリア放電ランプ１の長軸に沿った軸である。ここで、図５（ａ）に示すように、ピンチシール部５において金属箔４が放電容器２の中心軸Ｃからずれた位置に配置されてしまったとする。このとき、図５（ｂ）に示すように、従来の誘電体バリア放電ランプ５０であれば、放電容器２の中心軸Ｃからずれて配置された金属箔４に内部電極３が取り付けられると、放電領域Ｅで内部電極３が放電容器２の中心位置からずれたままとなる。内部電極３が放電容器２の中心位置からずれていると、不均一な放電状態となってしまう。
【００３０】
この点、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ１では、放電領域Ｅをはずれた非放電領域Ｎに補正部材９が設けられている。このため、非放電領域Ｎでは内部電極３は放電容器２の中心軸Ｃからずれた位置にあるものの、放電領域Ｅでは、内部電極３は、放電容器２の中心軸Ｃに一致する位置に配置された状態となる。したがって、放電領域Ｅでは、放電容器２の外周に設けられた外部電極７と内部電極３との距離を均一に保つことができるので、良好な放電状態を維持することができる。
【００３１】
また、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ１では、補正部材９が支持部材９Ａのほかに補助部材９Ｂを有している。この補助部材９Ｂが内部電極３の緊張方向に沿った円筒部を有し、この円筒部を内部電極３が貫通することから、内部電極３をさらに安定した状態で放電容器２の中心軸Ｃに沿って配置させた状態とすることができる。
【００３２】
次に、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ１の製造方法について説明する。図６は、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ１の製造工程を示す工程図である。
【００３３】
誘電体バリア放電ランプ１を製造するに際し、まず、図６（ａ）に示すように、放電容器となる円筒状のガラス筒体１５を用意し、このガラス筒体１５の外部電極を形成する部位を除いた部位に排気管８を取り付ける。その一方、図６（ｂ）に示すように、内部電極３をガラス筒体１５の長さに応じて切断し、その両端部に補正部材９の補助部材９Ｂの中空部分および貫通孔９Ｃに貫通させる。
【００３４】
続いて、図６（ｃ）に示すように、補正部材９を両端付近に配置した内部電極３の両端部に金属箔４およびリード線６を溶着する。さらに、ガラス筒体１５の内部に補正部材９を配置したときに、ガラス筒体１５における外部電極７（図１）が形成される位置に補正部材９が位置しないように、内部電極３に対する補正部材９の位置を調整し、補正部材９を内部電極３に固定する。
【００３５】
それから、図６（ｄ）に示すように、補正部材９が取り付けられた内部電極３をガラス筒体１５の内側に通す。その後、内部電極３をガラス筒体１５の両側からたとえば２ｋｇ程度の張力で引っ張り、ガラス筒体１５内で内部電極３を緊張させる。さらに、排気管８から窒素ガスをフローさせながら、ガラス筒体１５の一端側をピンチシールして、ガラス筒体１５の一端側にピンチシール部５を作製する。同様にして、ガラス筒体１５の他端側もピンチシールしてピンチシール部５を作製して、放電容器２（図１）を作製する。その後、金属蒸着によってアルミニウムを放電容器２の外周面に形成して、外部電極７を形成し、誘電体バリア放電ランプ１を製造する。このピンチシールを行う際、金属箔４および金属箔４に溶着される内部電極３を放電容器２の中心軸Ｃに一致させるのが困難な作業である。この点、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ１では、補正部材９を設けていることから、金属箔４および金属箔４に溶着される内部電極３を放電容器２の中心軸Ｃに厳密に一致させる必要はない。したがって、誘電体バリア放電ランプ１を容易に製造することができる。
【００３６】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図７は、本発明の第２の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【００３７】
図７に示すように、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０は、上記第１の実施形態と比較して、内部電極の態様が異なる。本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０における内部電極２１は、非コイル部である直線部２２を備えており、直線部２２の一端側には、コイル部２３が形成され、コイル部２３の外側には直線状端部２４が形成されている。これらの直線部２２、コイル部２３、および直線状端部２４は、１本の金属線を変形加工することによって形成されている。コイル部２３は、放電容器２における内部電極２１と外部電極７が対応する位置から外れた位置、すなわち放電容器２におけるピンチシール部５を除いた外部電極７が形成されていない位置に、直線部２２に沿った軸線周りに巻き回されて形成されている。このコイル部２３は、直線部２２をその長手方向である放電容器２の外側方向、換言すれば直線部２２を引張して緊張させる方向に張力を付与する付勢力を与えている。また、直線部２２は、放電容器２に対して同軸上に配置されており、直線状端部２４は直線部２２の延長線上に配置されている。その他の構成については、上記第１の実施形態と同一である。
【００３８】
以上の構成を有する本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０においては、長期間使用した場合、直線部２２が自重によりその長さ方向中央部が下に垂れ下がるようにして撓もうとする。このとき、誘電体バリア放電ランプ２０の内部電極２１は、直線部２２のほかにコイル部２３を有しており、コイル部２３で直線部２２を緊張させる方向に張力を与えている。このため、直線部２２が自重により撓もうとしたとしても、自重により撓もうとする力に抗して直線部２２を直線状に維持することができる。また、直線部２２が熱膨張を起こした際にも、その膨張した分を吸収して直線部２２を緊張した状態で維持することができる。
【００３９】
さらに、コイル部２３は、外部電極７が設けられていない非発光領域のみに設けられている。このため、発光領域では内部電極２１のうちの直線部２２のみが設けられているので、内部電極２１と外部電極７との間の距離を一定に保つことができる。したがって、放電状態や発光強度を安定させることができる。
【００４０】
このように、内部電極２１にコイル部２３を形成することにより、優れた効果を奏するが、このような効果は、コイル部２３の引張力による直線部２２の緊張方向が放電容器２の中心軸に沿うことにより発揮される。ここで、たとえば図８（ｂ）に示すように、コイル部２３の直線部２２側の巻き出し位置が放電容器２の中心軸Ｃからずれてしまった場合、直線部２２の緊張方向が放電容器２の中心軸Ｃからずれてしまうことになり、上記の効果を発揮しなくなってしまう。特に、コイル部２３の直線部２２側および反直線部２２側で同じ高さ方向に巻き出し位置がきてしまった場合には、この傾向は顕著となる。
【００４１】
この点、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０においては、図８（ａ）に示すように、内部電極２１における直線部２２の緊張方向が放電容器２の中心軸Ｃに沿うように補正する補正部材９が設けられている。この補正部材９が設けられていることにより、コイル部２３の巻き出し位置が放電容器２の中心軸Ｃからずれていた場合でも、直線部２２の緊張方向を放電容器２の中心軸Ｃに沿う方向に補正することができる。
【００４２】
また、補正部材９を設けることにより、図９（ａ）に示すように、コイル部２３の直線部２２側および反直線部２２側の高さ位置が反転する場合、コイル部２３における巻き出し位置が放電容器２の中心軸Ｃからずれることがある。ここで、補正部材９が設けられていない比較例の態様では、図１０（ａ）に示すように、直線部２２が放電容器２の中心軸Ｃからずれてしまう。これに対して、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０では、図９（ａ）に示すように、補正部材９が設けられていることから、直線部２２側の巻き出し位置を放電容器２の中心軸Ｃに合わせることができる。したがって、直線部２２の緊張方向を放電容器２の中心軸Ｃに沿う方向に確実に合わせることができる。
【００４３】
さらに、図９（ｂ）に示すように、ピンチシール部５における金属箔４の位置が放電容器２の中心軸Ｃからずれて、直線状端部２４が放電容器２の中心軸Ｃからずれてしまうこともある。さらに、図９（ｃ）に示すように、金属箔４の位置が放電容器２の中心軸Ｃからずれ、コイル部２３の直線部２２側および反直線部２２側の高さ位置が同じような場合もある。これらの場合でも、補正部材９が設けられていない従来の態様では、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）に示すように、いずれも直線部２２が放電容器２の中心軸Ｃからずれてしまう。これに対して、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０では、補正部材９が設けられていることにより、コイル部２３における直線部２２側の巻き出し位置を、放電容器２の中心軸Ｃに合わせることができる。したがって、これらの場合でも、直線部２２の緊張方向を放電容器２の中心軸Ｃに沿う方向に確実に合わせることができる。
【００４４】
次に、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０の製造方法について説明する。図１１は、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０の製造工程を示す工程図である。
【００４５】
まず、上記第１の実施形態と同様、図１１（ａ）に示すように、放電容器となる円筒状のガラス筒体１５に排気管８を取り付ける。その一方、図１１（ｂ）に示すように、内部電極２１をガラス筒体１５の長さに応じて切断し、その一端部にコイル部２３を形成する。コイル部２３が形成された部分以外の部分のうち、長い方が直線部２２となり、短い方が直線状端部２４となる。
【００４６】
コイル部２３を形成したら、図１１（ｃ）に示すように、内部電極２１における直線部２２を補正部材９における補助部材９Ｂの中空部分および貫通孔９Ｃに貫通させて、補正部材９を内部電極２１に取り付ける。補正部材９を内部電極２１に取り付ける際には、直線部２２におけるコイル部２３が形成されていない側の端部から補正部材９を差し込み、直線部２２に沿わせて押し込んでいく。こうすることにより、補正部材９を内部電極２１に容易に取り付けることができる。
【００４７】
その後は、上記第１の実施形態と同様、図１１（ｄ）に示すように、補正部材９を配置した内部電極２１の両端部に金属箔４およびリード線６を溶着し、外部電極７を外した位置にくるように、内部電極２１に対する補正部材９の位置を調整して、補正部材９を内部電極２１に固定する。それから、図１１（ｅ）に示すように、補正部材９が取り付けられた内部電極２１をガラス筒体１５の内側に通す。その後、内部電極３をガラス筒体１５の両側からたとえば２ｋｇ程度の張力で引っ張り、ガラス筒体１５内で内部電極２１を緊張させる。さらに、排気管８から窒素ガスをフローさせながら、ガラス筒体１５の一端側をピンチシールして、ガラス筒体１５の一端側にピンチシール部５を作製する。同様にして、ガラス筒体１５の他端側もピンチシールしてピンチシール部５を作製して、放電容器２を作製する。その後、金属蒸着によってアルミニウムを放電容器２の外周面に形成して、外部電極７を形成し、誘電体バリア放電ランプ１を製造する。
【００４８】
このようにして本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ２０を製造することにより、誘電体バリア放電ランプ２０を容易に製造することができる。
【００４９】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。たとえば、上記実施形態で示した補正部材に代えて、図１２に示す補正部材を用いることもできる。図１２（ａ）〜（ｃ）に示すように、補正部材３０は、放電容器２の半径方向に延在する仮想平面上に、正面視した形状がＺ字形状をなす保形部材３１を有しており、保形部材３１の両端部から、放電容器２の長手方向に沿って延在する当接支持部材３２，３３を有している。この保形部材３１における中心バーの中心位置に、上記実施形態で用いた補助部材と同様の補助部材３４が固定されており、この補助部材９Ｂに内部電極２１における直線部２２が貫通して取り付けられている。
【００５０】
この補正部材３０では、当接支持部材３２，３３が放電容器２の内面に当接することにより、保形部材３１の形状を保持しており、保形部材３１の中央部が放電容器２の中心軸Ｃ上にくるようにしている。この保形部材３１における中央部に補助部材３４が設けられ、この補助部材３４に内部電極２１の直線部２２が取り付けられることにより、内部電極２１の直線部２２を放電容器２の中心軸Ｃに沿った方向に緊張させることができる。
【００５１】
また、図１３に示すように、補正部材４０として、放電容器２の半径方向に沿った断面上に、直線状の中心辺４１と、放電容器２の内部曲面の曲率に合わせた曲率を備える側辺４２，４３を有する保形部材を有するものを用いることができる。この補正部材４０では、図１２に示す例のような、当接支持部材を設ける態様としても良く、当接支持部材を設けない態様としてもよい。このような補正部材４０を用いることもできる。また、このような図１２、図１３に示す補正部材を図１に示すような直線状の内部電極を用いた誘電体バリア放電ランプに適用することももちろん可能である。
【００５２】
他方、上記各実施形態に誘電体バリア放電ランプでは、外部電極として、金属蒸着によって形成したものを用いたが、図１４に示すように、メッシュ状の外部電極５１を用いた誘電体バリア放電ランプ５０とすることもできる。
【００５３】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、本発明によれば、放電容器の封止部における内部電極の固定位置の精度が低い場合でも、確実に内部電極を放電容器の中心軸に沿って配置させることができる誘電体バリア放電ランプおよびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【図２】図１に示す誘電体バリア放電ランプの端部の拡大側面図である。
【図３】図１に示す誘電体バリア放電ランプの端部の拡大平面図である。
【図４】図１に示す誘電体バリア放電ランプの端部の正面図である。
【図５】誘電体バリア放電ランプで金属箔の取付位置がずれた状態を示し、（ａ）は本発明の例を示す側面図、（ｂ）は従来例を示す側面図である。
【図６】図１に示す誘電体バリア放電ランプの製造工程を示す工程図である。
【図７】第２の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【図８】コイル部の巻き出し位置が放電容器の中心位置からずれた状態を示し、（ａ）は本発明の例を示す側面図、（ｂ）は従来例を示す側面図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）のいずれも、第２の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプの変形例を示す側面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）のいずれも、比較例に係る誘電体バリア放電ランプの直線部が放電容器の中心軸からずれた例を示す側面図である。
【図１１】図７に示す誘電体バリア放電ランプの製造工程を示す工程図である。
【図１２】補正部材の変形例を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。
【図１３】補正部材のさらなる変形例を示す正面図である。
【図１４】変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【符号の説明】
１，２０，５０…誘電体バリア放電ランプ、２…放電容器、３…内部電極、４…金属箔、５…ピンチシール部、６…リード線、７，５１…外部電極、８…排気管、９，３０，４０…補正部材、９Ａ…支持部材、９Ｂ，３４…補助部材、９Ｃ…貫通孔、１０…点灯電源、１５…ガラス筒体、２１…内部電極、２２…直線部、２３…コイル部、２４…直線状端部、３１…保形部材、３２，３３…当接支持部材、４１…中心辺、４２，４３…側辺、Ｃ…中心軸、Ｅ…放電領域、Ｎ…非放電領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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