(57)【要約】【課題】空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁を有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置の電源投入時における不安定な動作を無くして、周辺機器に悪影響を与えない流体供給制御装置を提供することを目的とする【解決手段】例えば、サックバック弁３にパイロット空気を供給する電空比例弁７は、電源スイッチＳ１をＯＮにした後、ＣＰＵ部２１及びＤ／Ａ変換部２２から初期設定のサックバック量を指示する制御信号がアナログ出力部２３に出力された時間Ｔ１３よりも遅い時間Ｔ１４（電源投入の時間Ｔ１１から約２秒経過後）に、タイマリレースイッチＴ及びリレースイッチＫ１を介して、電源供給がされて起動される。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空圧式パイロット弁と、前記空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とを有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置において、
前記流体供給制御装置へ電源が投入されたときに、前記電空比例弁への電源の供給を、前記電源投入から遅延させる電源供給遅延手段を有することを特徴とする流体供給制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載する流体供給制御装置において、
前記電源供給遅延手段が遅延させる時間が、所定時間であることを特徴とする流体供給制御装置。
【請求項３】
空圧式パイロット弁と、前記空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とを有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置において、
前記流体供給制御装置へ電源が投入されたときに、該流体供給制御装置から前記電空比例弁への制御信号の送出を、前記電源投入から遅延させる制御信号遅延手段を有することを特徴とする流体供給制御装置。
【請求項４】
請求項３に記載する流体供給制御装置において、
前記制御信号遅延手段が遅延させる時間が、所定時間であることを特徴とする流体供給制御装置。
【請求項５】
空圧式パイロット弁と、前記空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とを有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置において、
前記電空比例弁は、該電空比例弁のパイロット室の圧力を大気に開放する常時開形の電磁弁を有し、
前記流体供給制御装置へ電源が投入されたときに、該流体供給制御装置は、前記電磁弁への通電を、前記電源投入から遅延させる通電遅延手段を有することを特徴とする流体供給制御装置。
【請求項６】
請求項５に記載する流体供給制御装置において、
前記通電遅延手段が遅延させる時間が、所定時間であることを特徴とする流体供給制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空圧式パイロット弁と、この空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とを有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、空圧式パイロット弁と、この空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とを有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置が種々提案されている。
例えば、半導体製造装置などのレジスト液等の薬液を供給する回路に使用される、空圧式パイロット弁としてのサックバック弁と、このサックバック弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とから構成されたサックバックシステム（流体供給システム）を制御する印加電圧制御装置（流体供給制御装置）では、セツトアツプ電圧を設定するセツトアツプ電圧設定装置と、サツクバツク電圧を設定するサツクバツク電圧設定装置と、オフセツト電圧を設定するオフセツト電圧設定装置と、シーケンサに接続されて印加電圧の上昇下降信号を入力するシグナル入力装置と、積分回路からなりサツクバツク電圧からセツトアツプ電圧へ上昇する勾配を発生させるセツトアツプ勾配発生回路と、サツクバツク電圧とセツトアツプ電圧の変化に応じてセツトアツプ勾配発生回路の基準電位を補正することによりセツトアツプ時間を一定に保つ第１の基準電位補正回路と、同じく積分回路からなりオフセツト電圧からサツクバツクで電圧へ下降する勾配を発生させるサツクバツク勾配発生回路と、オフセツト電圧とサツクバツク電圧の変化に応じてサツクバツク勾配発生回路の基準電位を補正することによりサツクバツク時間を一定に保つ第２の基準電位補正回路と、シグナル入力装置から入力した印加電圧の上昇下降信号によりセツトアツプ勾配発生回路とサツクバツク勾配発生回路の出力を選択して出力する出力選択回路とから構成され、サックバック電圧及びセットアップ電圧が変更されてもサックバック時間及びセットアップ時間が一定になるように構成されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
また、半導体製造装置においては、このような従来のサックバック弁と遮断弁とが一体に形成される薬液供給弁と、この薬液供給弁のサックバック弁にパイロット空気を供給して薬液の吸い戻し量を制御する電空比例弁とから構成される種々の薬液供給システム（流体供給システム）が使用されている。
例えば、従来の薬液供給システムの一例を図１１乃至図１３に基づいて説明する。
図１１に示すように、薬液供給弁１は、電空比例弁（Ｅ／Ｖ）などを介してパイロット空気を供給して薬液の供給量を調整すると共に、その供給を遮断する遮断弁（Ａ／Ｖ）２と、電空比例弁（Ｅ／Ｖ）７（図１２参照）を介してパイロット空気を供給してダイアフラム３Ａを駆動して薬液を規定量のみノズル内に吸い戻すサックバック弁３とが一体に形成されている。また、遮断弁２には薬液の供給ノズル４が接続され、サックバック弁３には薬液の吐出ノズル５が接続されている。従って、遮断弁２を遮断すると共に、サックバック弁３のダイアフラム３Ａを駆動してサックバック室３Ｂの容積を変化させることによって、吐出ノズル５の先端部に残留した雫状の薬液は、所定量だけ吐出ノズル５内へ吸い戻される。ここで、薬液供給システムは、薬液供給弁１、電空比例弁７、供給ノズル４、吐出ノズル５などから構成されている。
【０００４】
また、図１２に示すように、薬液供給弁１の遮断弁２とサックバック弁３の各電空比例弁（Ｅ／Ｖ）の駆動制御を行う流体供給制御装置としての制御部１０１は、ＣＰＵ部１０２、Ｄ／Ａ変換部１０３、アナログ出力部１０４、電空比例弁出力部１０５、入出力インターフェース１０６、及び、電源入力部１０７から構成されている。
また、電源入力部１０７は、電源スイッチＳ１を介して外部の直流電源（電圧ＤＣ２４Ｖ）に接続されると共に、ＣＰＵ部１０２に電圧ＤＣ５Ｖの電源を供給するＤＣ／ＤＣ変換部１０２Ａ、アナログ出力部１０４に電圧ＤＣ±１２Ｖの電源を供給するＤＣ／ＤＣ変換部１０４Ａ、及び、電空比例弁出力部１０５を介してサックバック弁３の電空比例弁７等に接続されている。従って、電源スイッチＳ１をＯＮにすることによって、ＣＰＵ部１０２、アナログ出力部１０４、及び電空比例弁７等に所定電圧の電源が供給されて起動する。
【０００５】
また、ＣＰＵ部１０２には、不図示のＣＰＵ、ＥＥＰＲＯＭやＲＡＭなどが設けられ、外部の入力スイッチＳ２をＯＮすることにより所定電圧（例えば、電圧ＤＣ１２Ｖ等）の入力信号が、入出力インターフェース１０６を介して入力されると共に、リレースイッチＲ１を駆動することにより外部に対してアラーム信号などが出力される。
また、Ｄ／Ａ変換部１０３は、ＣＰＵ部１０２から出力される所定ビット数（例えば、１２ビット等）のデジタル信号に対応するアナログ信号の出力電圧をアナログ出力部１０４に出力する。そして、アナログ出力部１０４は、Ｄ／Ａ変換部１０３から入力されたアナログ信号の出力電圧を所定電圧に増幅して電空比例弁出力部１０５を介して電空比例弁７などに駆動制御信号として出力し、電空比例弁７などのパイロット空気の供給が制御される。
【０００６】
次に、このように構成される従来の薬液供給弁１の制御部１０１による駆動制御の一例を図１３に基づいて説明する。
図１３（Ａ）に示すように、制御部１０１への入力信号が入力されていない場合、即ち、入力スイッチＳ２がＯＦＦの場合には、図１３（Ｂ）に示すように、ＣＰＵ部１０２から遮断弁（Ａ／Ｖ）２の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）に対して遮断弁２が閉となる所定の出力信号（例えば、ＤＣ１Ｖの出力信号）が出力され、この遮断弁２は遮断されている。また同時に、図１３（Ｃ）に示すように、ＣＰＵ部１０２からサックバック弁３の電空比例弁７に対して、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき演算したデジタル信号がＤ／Ａ変換部１０３に出力され、アナログ出力部１０４及び電空比例弁出力部１０５を介して所定電圧が印加され、ダイアフラム３Ａが最も変位してサックバック室３Ｂの容積が最大容積（いわゆる設定されたサックバック量）となるサックバック状態（サックバックエンド）となって、規定量の薬液が吐出ノズル５に吸い戻されている。
【０００７】
また、図１３（Ａ）に示すように、時間Ｔ１０１において、入力スイッチＳ２がＯＮになって所定電圧が入出力インターフェース１０６を介して入力された場合には、図１３（Ｂ）に示すように、ＣＰＵ部１０２から遮断弁２の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）に対して、時間Ｔ１０１から、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき随時演算したデジタル信号がＤ／Ａ変換部１０３に順次出力され、アナログ出力部１０４及び電空比例弁出力部１０５を介して徐々に上昇する電圧が印加されるため、遮断弁２が徐々に開放し、時間Ｔ１０２以降は遮断弁２は最大に開放される。一方、図１３（Ｃ）に示すように、ＣＰＵ部１０２からサックバック弁３の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）７に対して、時間Ｔ１０１から、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき随時演算したデジタル信号がＤ／Ａ変換部１０３に順次出力され、アナログ出力部１０４及び電空比例弁出力部１０５を介して徐々に上昇する電圧が印加されるため、ダイアフラム３Ａの変位が徐々に減少し（セットアップラン）、時間Ｔ１０２以降は所定の一定電圧が印加されるため、ダイアフラム３Ａの変位は最小となって（セットアップエンド）、サックバック弁３のサックバック室３Ｂの容積は最小容積となる。
【０００８】
そして、図１３（Ａ）に示すように、時間Ｔ１０３において、入力スイッチＳ２がＯＦＦになった場合には、図１３（Ｂ）に示すように、ＣＰＵ部１０２から遮断弁２の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）に対して、時間Ｔ１０３から、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき随時演算したデジタル信号がＤ／Ａ変換部１０３に順次出力され、アナログ出力部１０４及び電空比例弁出力部１０５を介して徐々に低下する電圧が印加されるため、遮断弁２が徐々に閉じられ、時間Ｔ１０４以降は遮断弁２の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）に対して遮断弁２が遮断される所定の一定電圧が印加されるため遮断弁２は遮断される。一方、図１３（Ｃ）に示すように、ＣＰＵ部１０２からサックバック弁３の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）７に対して、時間Ｔ１０３から、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき随時演算したデジタル信号がＤ／Ａ変換部１０３に順次出力され、アナログ出力部１０４及び電空比例弁出力部１０５を介して徐々に低下する電圧が印加されるため、ダイアフラム３Ａの変位が徐々に増加し（サックバックラン）、時間Ｔ１０５以降は所定の一定電圧（いわゆるサックバック量）が印加されるため、ダイアフラム３Ａの変位は最大となって（サックバックエンド）、サックバック弁３のサックバック室３Ｂの容積は最大容積（いわゆる設定されたサックバック量）となって、規定量の薬液が吐出ノズル５に吸い戻される。
これにより、遮断弁２を遮断した際に、吐出ノズル５の先端部に滞留した雫状の薬液は、規定量のみ吐出ノズル５内に吸い戻されるため、薬液の吐出停止直後に吐出ノズル５の先端に残留した雫状の薬液の垂れ落ちるのを防止することができる。
【０００９】
【特許文献１】
特公平７−３５８６３号公報（第３頁左欄第９行目〜同欄第２８行目、第１図乃至第５図）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の制御部１０１による薬液供給弁１の駆動制御では、図１４に示すように以下の問題点がある。
先ず、図１４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、時間Ｔ１１１において、電源スイッチＳ１をＯＮにすると、ＣＰＵ部１０２及び電空比例弁（Ｅ／Ｖ）７などに所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ）が印加される。すなわち、ＣＰＵ部１０２のＣＰＵは、時間Ｔ１１１から各カウンタの初期化などのイニシャル処理を所定時間実行後、Ｄ／Ａ変換部１０３などに対して出力するデジタル信号のデータ値などをＥＥＰＲＯＭから読み込み、時間Ｔ１１３において、このＥＥＰＲＯＭから読み込んだデータ値に基づくデジタル信号をＤ／Ａ変換部１０３に出力する。また、遮断弁２やサックバック弁３の各電空比例弁７などは、時間Ｔ１１１において動作可能な状態になっている。
【００１１】
一方、図１４（Ｃ）に示すように、時間Ｔ１１１から時間Ｔ１１３までは、このＤ／Ａ変換部１０２からは、時間Ｔ１１１から少し遅れる時間Ｔ１１２から時間Ｔ１１３まで通常駆動状態よりも低電圧の初期出力電圧（例えば、約ＤＣ１．０Ｖなど）がアナログ出力部１０４に出力され、アナログ出力部１０４からは、これに対応する制御信号が電空比例弁出力部１０５を介して電空比例弁７に出力される。これにより、サックバック弁３のダイアフラム３Ａは、予め設定される最も変位する位置（サックバックエンド）よりも更に変位して、サックバック室３Ｂの容積が最大容積（いわゆる設定されたサックバック量）よりも大きくなっている。そして、時間Ｔ１１３において、ＣＰＵ部１０２から電空比例弁７に対して、予めＥＥＰＲＯＭに記憶される所定のデジタル信号がＤ／Ａ変換部１０３に出力され、アナログ出力部１０４及び電空比例弁出力部１０５を介して所定電圧が印加され、サックバック弁３のダイアフラム３Ａは、予め設定されるサックバック室３Ｂの容積が最大容積（いわゆる設定されたサックバック量）となるサックバック状態（サックバックエンド）となる。従って、時間Ｔ１１３において、ダイアフラム３Ａは、予め設定される最大容積以上の変位から予め設定される最大容積の変位へ急激に変化するため、吐出ノズル５の先端部に滞留する薬液面が瞬間的に動き、その衝撃でこの先端部の薬液が垂れる虞があるという懸念がある。
【００１２】
そこで、本発明は、上述の例のような問題点を解決するためになされたものであって、流体供給システムのパイロット空気圧を制御する電空比例弁の駆動開始を電源投入時から所定時間遅延させることにより、電源投入時における、パイロット空気圧の変動による空圧式パイロット弁の不安定な動作を無くして、周辺機器に悪影響を与えない流体供給制御装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために成された請求項１に係る流体供給制御装置は、空圧式パイロット弁と、前記空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とを有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置において、前記流体供給制御装置へ電源が投入されたときに、前記電空比例弁への電源の供給を、前記電源投入から遅延させる電源供給遅延手段を有することを特徴とする。
【００１４】
このような特徴を有する請求項１に係る流体供給制御装置によれば、空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁には、電源供給遅延手段を介してこの流体供給制御装置への電源投入から遅延して電源供給がされる、即ち、流体供給システムの空圧式パイロット弁を駆動制御する電空比例弁の駆動開始が電源投入時から遅延させられるため、流体供給制御装置への電源投入時における、パイロット空気圧の変動による空圧式パイロット弁の不安定な動作を無くすることができ、周辺機器への悪影響を防止することができる。
【００１５】
また、請求項２に係る流体供給制御装置は、請求項１に記載の流体供給制御装置において、前記電源供給遅延手段が遅延させる時間が、所定時間であることを特徴とする。
【００１６】
このような特徴を有する請求項２に係る流体供給制御装置によれば、空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁は、電源供給遅延手段を介してこの流体供給制御装置への電源投入から所定時間だけ遅延して電源供給がされて起動される。これにより、流体供給制御装置への電源投入時における、不安定な制御信号の送出による空圧式パイロット弁の不安定な動作を確実に防止することができ、周辺機器への悪影響を更に防止することができる。
【００１７】
また、請求項３に係る流体供給制御装置は、空圧式パイロット弁と、前記空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とを有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置において、前記流体供給制御装置へ電源が投入されたときに、該流体供給制御装置から前記電空比例弁への制御信号の送出を、前記電源投入から遅延させる制御信号遅延手段を有することを特徴とする。
【００１８】
このような特徴を有する請求項３に係る流体供給制御装置によれば、空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁は、制御信号遅延手段を介してこの流体供給制御装置への電源投入から遅延して制御信号が送出される、即ち、流体供給システムの空圧式パイロット弁を駆動制御する電空比例弁の駆動開始が電源投入時から遅延させられるため、流体供給制御装置への電源投入時における、パイロット空気圧の変動による空圧式パイロット弁の不安定な動作を無くすることができ、周辺機器への悪影響を防止することができる。
【００１９】
また、請求項４に係る流体供給制御装置は、請求項３に記載の流体供給制御装置において、前記制御信号遅延手段が遅延させる時間が、所定時間であることを特徴とする。
【００２０】
このような特徴を有する請求項４に係る流体供給制御装置によれば、空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁は、制御信号遅延手段を介してこの流体供給制御装置への電源投入から所定時間だけ遅延して制御信号が送出される。これにより、流体供給制御装置への電源投入時における、不安定な制御信号の送出による空圧式パイロット弁の不安定な動作を確実に防止することができ、周辺機器への悪影響を更に防止することができる。
【００２１】
また、請求項５に係る流体供給制御装置は、空圧式パイロット弁と、前記空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とを有する流体供給システムを制御する流体供給制御装置において、前記電空比例弁は、該電空比例弁のパイロット室の圧力を大気に開放する常時開形の電磁弁を有し、前記流体供給制御装置へ電源が投入されたときに、該流体供給制御装置は、前記電磁弁への通電を、前記電源投入から遅延させる通電遅延手段を有することを特徴とする。
【００２２】
このような特徴を有する請求項５に係る流体供給制御装置によれば、空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁は、流体供給制御装置への電源投入時に、常時開形の電磁弁によりパイロット室の圧力が大気に開放されているため、この電源投入時には空圧式パイロット弁のパイロット空気は供給されない。そして、通電遅延手段を介して流体供給制御装置への電源投入から遅延してこの電磁弁に通電されて、電空比例弁を介して空圧式パイロット弁にパイロット空気が供給されるため、流体供給制御装置への電源投入時における、パイロット空気圧の変動による空圧式パイロット弁の不安定な動作を無くすることができ、周辺機器への悪影響を防止することができる。
【００２３】
更に、請求項６に係る流体供給制御装置は、請求項５に記載の流体供給制御装置において、前記通電遅延手段が遅延させる時間が、所定時間であることを特徴とする。
【００２４】
このような特徴を有する請求項６に係る流体供給制御装置によれば、空圧式パイロット弁にパイロット空気を供給する電空比例弁は、通電遅延手段を介してこの流体供給制御装置への電源投入から所定時間だけ遅延してこの空圧式パイロット弁にパイロット空気の供給が可能となる。これにより、流体供給制御装置への電源投入時における、不安定な制御信号の送出による空圧式パイロット弁の不安定な動作を確実に防止することができ、周辺機器への悪影響を更に防止することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る流体供給制御装置について具体化した第１実施形態乃至第３実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
先ず、流体供給制御装置を具体化した第１実施形態に係る薬液供給制御装置について図１及び図２に基づき説明する。この薬液供給制御装置により制御される流体供給システムである薬液供給システムは、サックバック弁と遮断弁とが一体に形成される薬液供給弁と、このサックバック弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とから構成されている。
尚、第１実施形態に係るサックバック弁と遮断弁とが一体に形成される薬液供給弁と、このサックバック弁にパイロット空気を供給する電空比例弁との構成は、上記従来の薬液供給弁１と電空比例弁７とほぼ同じ構成であり、以下の説明において上記従来の薬液供給弁１などと同一符号は、該従来の薬液供給弁１などの構成と同一あるいは相当部分を示すものである（図１１、図１２参照）。また、第１実施形態に係る薬液供給システムは、上記従来の薬液供給システムと同様に、薬液供給弁１、電空比例弁７、供給ノズル４、吐出ノズル５などから構成されている。
【００２６】
図１に示すように、薬液供給弁１の遮断弁２とサックバック弁３の各電空比例弁（Ｅ／Ｖ）の駆動制御を行う薬液供給制御装置１０は、電源供給遅延手段としての遅延回路部１１と、制御部１２とから構成されている。尚、第１実施形態では、遅延回路部１１と制御部１２とはそれぞれ別基板上に構成されている。
また、遅延回路部１１は、電源入力部１３、この電源入力部に入力された電源電圧を制御部１２に出力する電源出力部１４、入出力インターフェース１５、この入出力インターフェース１５と制御部１２とを電気的に接続する接続コネクタ部１６、電空比例弁出力部１７、この電空比例弁出力部１７と制御部１２とを電気的に接続する接続コネクタ部１８から構成されている。
【００２７】
また、この電源入力部１３は、電源スイッチＳ１を介して外部の直流電源（電圧ＤＣ２４Ｖ）に接続されている。また、電源入力部１３と電源出力部１４とを接続する一対の電源ラインＬ１、Ｌ２の間には、電源が供給されてから所定時間（第１実施形態では、約２秒である。）経過後にＯＮとなるタイマリレースイッチＴが接続されると共に、このタイマリレースイッチＴを介して各リレースイッチＫ１、Ｋ２がこの電源ラインＬ１、Ｌ２の間に接続されている。これにより、電源スイッチＳ１がＯＮになり電源が供給されると、所定時間経過後にタイマリレースイッチＴがＯＮになると共に、各リレースイッチＫ１、Ｋ２がＯＮになる。
【００２８】
また、この入出力インターフェース１５には外部の入力スイッチＳ２をＯＮすることにより所定電圧（例えば、電圧ＤＣ１２Ｖなど）の入力信号が入力されると共に、この入力された所定電圧は、一対の接続線Ｌ３、Ｌ４を介して接続コネクタ部１６に接続されている。また、入出力インターフェース１５と接続コネクタ部１６との間には、外部に対してアラーム信号などを出力するために、一対の接続線Ｌ５、Ｌ６が接続されると共に、この接続線Ｌ５の途中にはリレースイッチＫ２が接続されている。
【００２９】
また、この電空比例弁出力部１７と接続コネクタ部１８との間には、サックバック弁（Ｓ／Ｖ）３にパイロット空気を供給する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）７に接続される制御信号線Ｌ８と、該電空比例弁７に接続される一対の電源ラインＬ９、Ｌ１０とが接続されると共に、この電源ライン線Ｌ９の途中にはリレースイッチＫ１が接続されている。
【００３０】
一方、制御部１２は、ＣＰＵ部２１、Ｄ／Ａ変換部２２、アナログ出力部２３、電空比例弁出力部２４、入出力インターフェース２５、及び、電源入力部２６から構成されている。
また、電源入力部２６は、遅延回路部１１の電源出力部１４に接続されている。また、この電源入力部２６は、ＣＰＵ部２１に電圧ＤＣ５Ｖの電源を供給するＤＣ／ＤＣ変換部２１Ａ、アナログ出力部２３に電圧ＤＣ±１２Ｖの電源を供給するＤＣ／ＤＣ変換部２３Ａに接続されている。また、電源入力部２６は、電空比例弁出力部２４を介して接続コネクタ部１８に接続され、遅延回路部１１の各電源ラインＬ９、Ｌ１０に接続されている。
従って、電源スイッチＳ１をＯＮすることによって、ＣＰＵ部２１及びアナログ出力部２３に所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ）の電源が供給されて起動されると共に、遅延回路部１１の接続コネクタ部１８に所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ）の電源が供給される。また、電源スイッチＳ１をＯＮすることによって、所定時間経過後にタイマリレースイッチＴがＯＮになると共に、各リレースイッチＫ１、Ｋ２がＯＮになり、遅延回路部１１の接続線Ｌ５が接続されると共に、電源ラインＬ９が接続されて電空比例弁７等に所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ）の電源が供給されて起動する。
【００３１】
また、ＣＰＵ部２１には、不図示のＣＰＵ、ＥＥＰＲＯＭやＲＡＭなどが設けられている。また、ＣＰＵ部２１は、入出力インターフェース２５及び接続コネクタ部１６を介して、遅延回路部１１の各接続線Ｌ３、Ｌ４に接続されると共に、リレースイッチＲ１、入出力インターフェース２５及び接続コネクタ部１６を介して、遅延回路部１１の各接続線Ｌ５、Ｌ６に接続されている。
従って、外部の入力スイッチＳ２をＯＮすることにより所定電圧（例えば、電圧ＤＣ１２Ｖなど）の入力信号が、入出力インターフェース１５、接続コネクタ部１６、及び入出力インターフェース２５を介してＣＰＵ部２１に入力される。また、ＣＰＵ部２１は、リレースイッチＲ１を駆動することにより、入出力インターフェース２５、接続コネクタ部１６、及び入出力インターフェース１５を介して、外部に対してアラーム信号などを出力できる。
【００３２】
また、Ｄ／Ａ変換部２２は、ＣＰＵ部２１から出力される１２ビットのデジタル信号に対応するアナログ信号の出力電圧をアナログ出力部２３に出力する。そして、アナログ出力部２３は、Ｄ／Ａ変換部２２から入力されたアナログ信号の出力電圧を所定電圧に増幅して、電空比例弁出力部２４、接続コネクタ部１８、制御信号線Ｌ８、及び電空比例弁出力部１７を介して電空比例弁７などに駆動制御信号として出力し、電空比例弁７などのパイロット空気の供給が制御される。
【００３３】
次に、このように構成される薬液供給制御装置１０の起動時における、サックバック弁（Ｓ／Ｖ）３にパイロット空気を供給する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）７の駆動制御の一例を図２に基づいて説明する。
先ず、図２（Ａ）に示すように、時間Ｔ１１において、電源スイッチＳ１をＯＮにすると、ＣＰＵ部２１のＤＣ／ＤＣ変換部２１Ａ及びアナログ出力部２３のＤＣ／ＤＣ変換部２３Ａなどに所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ）が印加される。すなわち、ＣＰＵ部２１のＣＰＵは、時間Ｔ１１から各カウンタの初期化などのイニシャル処理を所定時間実行後、Ｄ／Ａ変換部２２などに対して出力するデジタル信号のデータ値などをＥＥＰＲＯＭから読み込み、時間Ｔ１３において、このＥＥＰＲＯＭから読み込んだデータ値に基づくデジタル信号をＤ／Ａ変換部２２に出力する。
【００３４】
また、図２（Ｃ）に示すように、時間Ｔ１１から時間Ｔ１３までは、このＤ／Ａ変換部２２からは、時間Ｔ１１より少し遅れた時間Ｔ１２から時間Ｔ１３まで通常駆動状態よりも低電圧の初期出力電圧（例えば、約ＤＣ１Ｖなど）がアナログ出力部２３に出力され、アナログ出力部２３からは、これに対応する制御信号が電空比例弁出力部２４、接続コネクタ部１８、制御信号線Ｌ８、及び電空比例弁出力部１７を介して電空比例弁７に出力される。即ち、アナログ出力部２３から電空比例弁７に対して、サックバック弁３のダイアフラム３Ａが予め設定される最も変位する位置（いわゆる設定されたサックバック量）よりも更に変位するパイロット空気を供給するように指示する制御信号が出力される。
そして、時間Ｔ１３において、ＣＰＵ部２１からＤ／Ａ変換部２２に対して、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき演算したデジタル信号が出力され、アナログ出力部２３、電空比例弁出力部２４、接続コネクタ部１８、制御信号線Ｌ８、及び電空比例弁出力部１７を介して電空比例弁７に所定電圧が出力される。即ち、アナログ出力部２３から電空比例弁７に対して、サックバック弁３のダイアフラム３Ａが予め設定される最も変位する位置（いわゆる設定されたサックバック量）に変位するパイロット空気を供給するように指示する制御信号が出力される。
【００３５】
一方、図２（Ｂ）に示すように、時間Ｔ１１において、電源スイッチＳ１をＯＮにすると、タイマリレースイッチＴは、時間Ｔ１３よりも遅い所定時間経過後（第１実施形態では、時間Ｔ１１から約２秒経過後）の時間Ｔ１４にＯＮとなり、各リレースイッチＫ１、Ｋ２がＯＮになる。これにより、遅延回路部１１の電源ラインＬ９がリレースイッチＫ１を介して導通するため、電空比例弁７には、電空比例弁出力部２４、接続コネクタ部１８、各電源ラインＬ９、Ｌ１０、及び電空比例弁出力部１７を介して電源電圧ＤＣ２４Ｖが供給されて起動する。
【００３６】
従って、第１実施形態に係る薬液供給制御装置１０によれば、サックバック弁３にパイロット空気を供給する電空比例弁７は、電源スイッチＳ１をＯＮにした後、ＣＰＵ部２１及びＤ／Ａ変換部２２から初期設定のサックバック量を指示する制御信号がアナログ出力部２３に出力された時間Ｔ１３よりも遅い時間Ｔ１４（電源投入の時間Ｔ１１から約２秒経過後）に、タイマリレースイッチＴ及びリレースイッチＫ１を介して、電源供給がされて起動する。
これにより、薬液供給制御装置１０への電源投入時における、電空比例弁７の起動をタイマリレースイッチＴ及びリレースイッチＫ１により電源投入時から約２秒間遅延させることにより、サックバック弁３の吸い戻し量の設定を初期設定のサックバック量に確実に設定することができ、電源投入時における、サックバック弁３の吸い戻し量の急激な変動を無くして、吐出ノズル５の先端部から薬液が垂れるのを確実に防止することができる。
【００３７】
次に、第２実施形態に係る流体供給制御装置について図３乃至図５に基づき説明する。この第２実施形態に係る流体供給システムは、空圧式パイロット弁である遮断弁（Ａ／Ｖ）と、この遮断弁にパイロット空気を供給する電空比例弁とから構成されている。
尚、第２実施形態に係る遮断弁とこの遮断弁にパイロット空気を供給する電空比例弁との構成は、上記第１実施形態に係る遮断弁２とこの遮断弁２にパイロット空気を供給する電空比例弁とほぼ同じ構成である。
【００３８】
図３に示すように、不図示の空圧式パイロット弁である遮断弁にパイロット空気を供給する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）３７の駆動制御を行う流体供給制御装置３０は、外部の直流電源（電圧ＤＣ２４Ｖ）に接続される電源スイッチＳ３と、制御部３１とから構成されている。また、制御部３１は、ＣＰＵ部３２、Ｄ／Ａ変換部３３、アナログ出力部３４、電空比例弁出力部３５、及び電源入力部３６から構成されている。また、ＣＰＵ部３２には、後述のようにＤ／Ａ変換部３３への基準電源の供給を遅らせる遅延回路４０（図４参照）が設けられている。
尚、制御部３１には、上記従来の制御部１０１と同様に入出力インターフェース１０６、入力スイッチＳ２、リレースイッチＲ１などが設けられている（図１２参照）。
また、電源入力部３６は、電源スイッチＳ３を介して外部の直流電源（電圧ＤＣ２４Ｖ）に接続されると共に、各電源ラインＬ２１、Ｌ２２及び電空比例弁出力部３５を介して電空比例弁３７に接続されている。また、各電源ラインＬ２１、Ｌ２２には、ＣＰＵ部３２に電圧ＤＣ５Ｖの電源を供給するＤＣ／ＤＣ変換部３２Ａ、アナログ出力部３４に電圧ＤＣ±１２Ｖの電源を供給するＤＣ／ＤＣ変換部３４Ａが接続されている。従って、電源スイッチＳ３をＯＮにすることによって、ＣＰＵ部３２、アナログ出力部３４、及び電空比例弁３７等に所定電圧の電源が供給されて起動する。
【００３９】
また、ＣＰＵ部３２には、不図示のＣＰＵ、ＥＥＰＲＯＭやＲＡＭなどが設けられ、不図示の入力スイッチＳ２をＯＮすることにより所定電圧（例えば、電圧ＤＣ１２Ｖなど）の入力信号が、不図示の入出力インターフェース１０６を介して入力されると共に、不図示のリレースイッチＲ１を駆動することにより外部に対してアラーム信号などが出力される。
また、Ｄ／Ａ変換部３３は、ＣＰＵ部３２から出力される１２ビットのデジタル信号に対応するアナログ信号の出力電圧をアナログ出力部３４に出力する。そして、アナログ出力部３４は、Ｄ／Ａ変換部３３から入力されたアナログ信号の出力電圧を所定電圧に増幅して制御信号線Ｌ２３及び電空比例弁出力部３５を介して電空比例弁３７などに駆動制御信号として出力し、電空比例弁３７などのパイロット空気の供給が制御される。
【００４０】
また、図４に示すように、Ｄ／Ａ変換部３３への基準電源の供給を遅らせる制御信号遅延手段としての遅延回路４０は、ＤＣ／ＤＣ変換部３２Ａの出力電源に接続される遅延素子４１、この遅延素子４１の出力部に接続されるＮＯＴ回路４２、ホトカプラ４３から構成されている。また、ホトカプラ４３の発光ダイオードのカソードにＮＯＴ回路４２の出力部が接続され、このホトカプラ４３のホトトランジスタのエミッターに基準電源４４が接続されている。従って、遅延素子４１がＬｏｗ信号（約ＤＣ０Ｖである。）を出力した場合は、ＮＯＴ回路４２及びホトカプラ４３を介して、基準電源４４に電源が供給されないため、Ｄ／Ａ変換部３３に基準電圧Ｖｒｅｆが供給されない、即ち、Ｄ／Ａ変換部３３から電空比例弁３７に対して制御信号が出力されない。一方、遅延素子４１がＨｉｇｈ信号（約ＤＣ５Ｖである。）を出力した場合は、ＮＯＴ回路４２及びホトカプラ４３を介して、基準電源４４に電源が供給されるため、Ｄ／Ａ変換部３３に基準電圧Ｖｒｅｆが供給される、即ち、Ｄ／Ａ変換部３３から電空比例弁３７に対して制御信号が出力される。
ここで、遅延素子４１は、起動後所定時間（第２実施形態では、少なくともＣＰＵ部３２のＣＰＵがＥＥＰＲＯＭに保存される初期化データに基づいて初期化出力信号を出力するまでの時間である。）Ｌｏｗ信号（約ＤＣ０Ｖである。）を出力後、Ｈｉｇｈ信号（約ＤＣ５Ｖ）を出力するように構成されている。
【００４１】
次に、このように構成される流体供給制御装置３０の起動時における、遮断弁にパイロット空気を供給する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）３７の駆動制御の一例を図５に基づいて説明する。
先ず、図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、時間Ｔ２１において、電源スイッチＳ３をＯＮにすると、ＣＰＵ部３２及び電空比例弁（Ｅ／Ｖ）３７などに所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ）が印加される。
また、図５（Ｃ）に示すように、ＣＰＵ部３２のＣＰＵは、時間Ｔ２１から各カウンタの初期化などのイニシャル処理を所定時間実行後、Ｄ／Ａ変換部３３などに対して出力するデジタル信号のデータ値などをＥＥＰＲＯＭから読み込み、時間Ｔ２２において、このＥＥＰＲＯＭから読み込んだデータ値に基づき演算したデジタル信号をＤ／Ａ変換部３３に出力する。
これにより、時間Ｔ２２において、ＣＰＵ部３２からＤ／Ａ変換部３３に対して、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき演算したデジタル信号が出力される。即ち、ＣＰＵ部３２からＤ／Ａ変換部３３に対して、電空比例弁３７を初期設定するように指示する制御信号が出力される。
【００４２】
一方、図５（Ｄ）及び（Ｅ）に示すように、遅延素子４１は、起動後所定時間（第２実施形態では、時間Ｔ２２より少し遅れる時間Ｔ２３である。）までＬｏｗ信号（約ＤＣ０Ｖである。）を出力するため、ＮＯＴ回路４２の出力電圧は、時間Ｔ２１から時間Ｔ２２より少し遅れる時間Ｔ２３までＨｉｇｈ信号（約ＤＣ５Ｖ）が出力される。また、基準電源４４は、ＮＯＴ回路４２からＨｉｇｈ信号（約ＤＣ５Ｖ）が出力されている間は、ホトカプラ４３を介して電源が供給されないため、Ｄ／Ａ変換部３３に対して基準電圧Ｖｒｅｆを出力しない。
このため、Ｄ／Ａ変換部３３は、時間Ｔ２１から時間Ｔ２３まで、アナログ信号の出力電圧をアナログ出力部３４に出力しないため、時間Ｔ２１から時間Ｔ２３までの間、アナログ出力部３４、制御信号線Ｌ２３、及び電空比例弁出力部３５を介して、電空比例弁３７などに対して駆動制御信号が出力されず、遮断弁（Ａ／Ｖ）は駆動されない。
【００４３】
そして、時間Ｔ２２より少し遅れる時間Ｔ２３において、遅延素子４１は、Ｈｉｇｈ信号（約ＤＣ５Ｖ）を出力するため、ＮＯＴ回路４２の出力電圧は、時間Ｔ２３からＬｏｗ信号（約ＤＣ０Ｖである。）を出力する。また、基準電源４４は、ＮＯＴ回路４２からＬｏｗ信号（約ＤＣ０Ｖである。）が出力されている間は、ホトカプラ４３を介して電源が供給されるため、Ｄ／Ａ変換部３３に対して基準電圧Ｖｒｅｆを出力する。
これにより、時間Ｔ２３以降、ＣＰＵ部３２からＤ／Ａ変換部３３に対して出力されている電空比例弁３７を初期設定するように指示する１２ビットの制御信号に対応するアナログ信号がアナログ出力部３４に出力され、アナログ出力部３４、制御信号線Ｌ２３、及び電空比例弁出力部３５を介して、この初期設定のデジタル信号に対応する初期設定の制御信号が電空比例弁３７に出力される。即ち、時間Ｔ２３以降、電空比例弁３７に対して、初期設定のパイロット空気を供給をするように指示する制御信号が出力される。
【００４４】
従って、第２実施形態に係る流体供給制御装置３０によれば、時間Ｔ２１に電源スイッチＳ３をＯＮにして電源投入後、時間Ｔ２２にＣＰＵ部３２からＤ／Ａ変換部３３に対して、電空比例弁３７を初期設定するように指示する１２ビットの制御信号が出力される。一方、この１２ビットの制御信号に対応してＤ／Ａ変換部３３から電空比例弁３７に対して出力される初期設定のアナログ信号は、遅延回路４０を介して時間Ｔ２２から所定時間だけ遅延した時間Ｔ２３にアナログ出力部３４に送出される。
これにより、流体供給制御装置３０への電源投入時における、Ｄ／Ａ変換部３３から電空比例弁３７への駆動制御信号を遅延回路４０により電源投入時から所定時間遅延させることによって、遮断弁の電空比例弁３７に対する初期設定を確実に設定するまではパイロット空気圧を大気圧に保つことができ、電源投入時におけるパイロット空気圧の急激な変動による遮断弁（Ａ／Ｖ）からの流体の漏れ等を確実に防止することができ、周辺機器への悪影響を防止することができる。
【００４５】
次に、第３実施形態に係る流体供給制御装置について図６乃至図８に基づき説明する。この第３実施形態に係る流体供給システムは、空圧式パイロット弁である遮断弁（Ａ／Ｖ）と、この遮断弁にパイロット空気を供給する後述の電空比例弁とから構成されている。
尚、第３実施形態に係る遮断弁とこの遮断弁にパイロット空気を供給する電空比例弁との構成は、上記第１実施形態に係る遮断弁２とこの遮断弁２にパイロット空気を供給する電空比例弁とほぼ同じ構成である。但し、この電空比例弁のパイロット室には、常時開形の電磁弁が設けられている点で第１実施形態の電空比例弁と異なっている。
【００４６】
図６に示すように、不図示の遮断弁（Ａ／Ｖ）にパイロット空気を供給する電空比例弁５０のパイロット室５１には、パイロット空気の流れる通路に常時開形の電磁弁５２が接続されている。これにより、電磁弁５２が通電されていない場合、即ち電磁弁５２が励磁されていない場合には、給気口からのエアは電磁弁５２より排気される、即ち、このパイロット室５１の圧力は大気に開放され、遮断弁へのエアパイロットの圧力は０ＭＰａにほぼ等しくなり、遮断弁は閉じられた状態である。一方、この電磁弁５２が通電された場合は、電磁弁５２が閉じられて所定圧力のパイロット空気がパイロット室から送出され、遮断弁はパイロット空気圧に従って開放される。
【００４７】
また、図７に示すように、遮断弁の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）５０の駆動制御を行う流体供給制御装置６０は、外部の直流電源（電圧ＤＣ２４Ｖ）に接続される電源スイッチＳ４と、制御部６１とから構成されている。また、制御部６１は、ＣＰＵ部６２、バッファ回路６８、Ｄ／Ａ変換部６３、アナログ出力部６４、電空比例弁出力部６５、入出力インターフェース６６及び電源入力部６７から構成されている。
また、電源入力部６７は、電源スイッチＳ４を介して外部の直流電源（電圧ＤＣ２４Ｖ）に接続されると共に、各電源ラインＬ２５、Ｌ２６及び電空比例弁出力部６５を介して電空比例弁５０に接続されている。また、各電源ラインＬ２５、Ｌ２６には、ＣＰＵ部６２に電圧ＤＣ５Ｖの電源を供給するＤＣ／ＤＣ変換部６２Ａ、アナログ出力部６４に電圧ＤＣ±１２Ｖの電源を供給するＤＣ／ＤＣ変換部６４Ａが接続されている。従って、電源スイッチＳ４をＯＮにすることによって、ＣＰＵ部６２、アナログ出力部６４、及び電空比例弁５０等に所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ）の電源が供給されて起動する。
【００４８】
また、ＣＰＵ部６２には、不図示のＣＰＵ、ＥＥＰＲＯＭやＲＡＭなどが設けられ、外部の入力スイッチＳ５をＯＮすることにより所定電圧（例えば、電圧ＤＣ１２Ｖなど）の入力信号が、入出力インターフェース６６を介して入力されると共に、リレースイッチＲ３を駆動することにより外部に対してアラーム信号などが出力される。
また、Ｄ／Ａ変換部６３は、ＣＰＵ部６２から出力される１２ビットのデジタル信号に対応するアナログ信号の出力電圧をアナログ出力部６４に出力する。そして、アナログ出力部６４は、Ｄ／Ａ変換部６３から入力されたアナログ信号の出力電圧を所定電圧に増幅して制御信号線Ｌ２７及び電空比例弁出力部６５を介して電空比例弁５０などに駆動制御信号として出力し、電空比例弁５０などのパイロット空気の供給が制御される。
また、バッファ回路６８は、ＣＰＵ部６２から出力される１ビットのデジタル信号に対応する出力電圧（例えば、１ビットのデジタル信号が「０」の時は、約ＤＣ０Ｖの出力電圧、１ビットのデジタル信号が「１」の時は、約ＤＣ５Ｖの出力電圧）をアナログ出力部６４に出力する。そして、アナログ出力部６４は、バッファ回路６８から入力されたこの出力電圧を所定電圧に増幅して信号線Ｌ２８及び電空比例弁出力部６５を介して電磁弁５２に通電し、電空比例弁５０のパイロット室５１の圧力が制御される。
【００４９】
次に、このように構成される流体供給制御装置６０の起動時における、遮断弁にパイロット空気を供給する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）５０の駆動制御の一例を図８に基づいて説明する。
先ず、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、時間Ｔ３１において、電源スイッチＳ４をＯＮにすると、ＣＰＵ部６２のＤＣ／ＤＣ変換部６２Ａ、アナログ出力部６４のＤＣ／ＤＣ変換部６４Ａ、及び電空比例弁（Ｅ／Ｖ）５０などに、各電源ラインＬ２５、Ｌ２６、及び電空比例弁出力部６５などを介して所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ）が印加される。即ち、ＣＰＵ部６２のＣＰＵは、時間Ｔ３１から各カウンタの初期化などのイニシャル処理を所定時間実行後、Ｄ／Ａ変換部６３やバッファ回路６８などに対して出力するデジタル信号のデータ値などをＥＥＰＲＯＭから読み込み、時間Ｔ３２において、このＥＥＰＲＯＭから読み込んだデータ値に基づくデジタル信号をＤ／Ａ変換部６３やバッファ回路６８などに対して出力する。また、電空比例弁５０及びＤ／Ａ変換部６３は、時間Ｔ３１において起動されている。
【００５０】
また、図８（Ｃ）に示すように、時間Ｔ３１から時間Ｔ３２までは、Ｄ／Ａ変換部６３からは、時間Ｔ３１から時間Ｔ３２まで通常駆動状態よりも低電圧の初期出力電圧（例えば、約ＤＣ１Ｖなど）がアナログ出力部６４に出力され、アナログ出力部６４からは、これに対応する制御信号が制御信号線Ｌ２７及び電空比例弁出力部６５を介して電空比例弁５０に出力される。即ち、アナログ出力部６４から電空比例弁５０に対して、遮断弁にパイロット空気を供給するように指示する制御信号が出力され、給気弁が所定量開かれる。
そして、時間Ｔ３２から所定時間経過した時間Ｔ３３（時間Ｔ３１から約２秒経過した時間Ｔ３３）において、ＣＰＵ部６２からＤ／Ａ変換部６３に対して、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき演算されたデジタル信号が出力され、アナログ出力部６３、制御信号線Ｌ２７及び電空比例弁出力部６５を介して電空比例弁５０に所定電圧が出力される。即ち、アナログ出力部６４から電空比例弁５０に対して、初期設定圧力のパイロット空気を供給するように指示する制御信号が出力される。
【００５１】
一方、図８（Ｄ）に示すように、時間Ｔ３１から時間Ｔ３２までは、ＣＰＵ部６２からバッファ回路６８にデジタル信号が出力されないため、このバッファ回路６８からアナログ出力部６４に対しては、時間Ｔ３１から時間Ｔ３２まで出力電圧が出力されず、電磁弁５２は通電されていない。即ち、電空比例弁５０のパイロット室５１の圧力は、常時開形の電磁弁５２を介して大気に開放されている。
そして、時間Ｔ３２から時間Ｔ３１より約２秒経過した時間Ｔ３３までは、ＣＰＵ部６２からバッファ回路６８に対して、予めＥＥＰＲＯＭに記憶される「０」のデジタル信号、即ち電圧ＤＣ０Ｖが出力されるため、アナログ出力部６３、信号線Ｌ２８及び電空比例弁出力部６５を介して電磁弁５２には通電されない。即ち、電空比例弁５０のパイロット室５１の圧力は、常時開形の電磁弁５２を介して大気に開放されている。
【００５２】
続いて、時間Ｔ３１より約２秒経過した時間Ｔ３３において、ＣＰＵ部６２からバッファ回路６８に対して、予めＥＥＰＲＯＭに記憶される「１」のデジタル信号、即ち約電圧ＤＣ５Ｖが出力されるため、アナログ出力部６３、信号線Ｌ２８及び電空比例弁出力部６５を介して電磁弁５２が通電される。即ち、常時開形の電磁弁５２は通電されて閉じられるため、電空比例弁５０のパイロット室５１の圧力は所定圧力に復帰する。これにより、時間Ｔ３３以降、電空比例弁５０を介して、所定圧力のパイロット空気が遮断弁に供給される。
ここで、ＣＰＵ部６２、バッファ回路６８、アナログ出力部６４、信号線Ｌ２８、及び電空比例弁出力部６５は、通電遅延手段を構成する。
【００５３】
従って、第３実施形態に係る流体供給制御装置６０によれば、遮断弁にパイロット空気を供給する電空比例弁５０は、流体供給制御装置６０への電源投入時に、時間Ｔ３１から時間Ｔ３２まで、常時開形の電磁弁５２により電空比例弁５０のパイロット室の圧力が大気に開放されているため、この電源投入時（時間Ｔ３１から時間Ｔ３２までの時間）にはパイロット空気が遮断弁に供給されない。また、時間Ｔ３２以降は、ＣＰＵ部６２からＤ／Ａ変換部６３に１２ビットの所定のデジタル信号が出力されるが、時間Ｔ３２から時間Ｔ３３までは、ＣＰＵ部６２からバッファ回路６８に「０」のデジタル信号が出力されて、電磁弁５２は通電されず、電空比例弁５０のパイロット室の圧力が大気に開放されているため、時間Ｔ３２から時間Ｔ３３までの時間にはパイロット空気が遮断弁に供給されない。一方、時間Ｔ３３（時間Ｔ３１から約２秒経過）以降においては、ＣＰＵ部６２からバッファ回路６８に「１」のデジタル信号が出力されて、電磁弁５２は通電され、所定圧力のパイロット空気が電空比例弁５０を介して遮断弁に供給される。
これにより、流体供給制御装置６０への電源投入時における、電空比例弁５０のパイロット室５１の圧力を大気に開放している常時開形の電磁弁５２を電源投入時から約２秒後に通電制御することにより、この電空比例弁５０から所定圧力のパイロット空気圧が遮断弁に供給されるため、電源投入時におけるパイロット空気圧の急激な変動による遮断弁（Ａ／Ｖ）からの流体の漏れ等を確実に防止することができ、周辺機器への悪影響を防止することができる。
【００５４】
尚、本発明は、前記第１実施形態乃至第３実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは勿論である。例えば、以下のようにしてもよい。
（Ａ）前記第１実施形態では、薬液供給制御装置１０の電源投入から、約２秒後に電空比例弁７からパイロット空気の送出が開始されるように設定しているが、薬液供給制御装置１０の電源投入から、少なくとも各Ｄ／Ａ変換部２２がＣＰＵ部２１から、サックバック弁３のダイアフラム３Ａが予め設定される最も変位する位置（いわゆる設定されたサックバック量）に変位するパイロット空気を供給するように制御する１２ビットのデジタル信号を受信して、それに対応するアナログ信号をアナログ出力部２３に送出後に、電空比例弁７からパイロット空気の送出が開始されるように設定してもよい。また、薬液供給制御装置１０の電源投入から、約２秒経過後の任意の時間に、電空比例弁７からパイロット空気の送出が開始されるように設定してもよい。これにより、薬液供給制御装置１０への電源投入時における、サックバック弁３のダイアフラム３Ａの吸い戻し量の急激な変動を無くして、吐出ノズル５の先端部から薬液が垂れるのを確実に防止することができる。
【００５５】
（Ｂ）前記第２実施形態では、遅延素子４１により基準電源４４の起動時間を遅らせたが、遅延素子４１に替えてＣＰＵ部３２のＣＰＵから直接ＮＯＴ回路４２に１ビットのデジタル信号を送出する構成にして、ＣＰＵ部３２の起動後、ＣＰＵからＮＯＴ回路４２に「０」のデジタル信号を送出し、所定時間経過後（例えば、ＣＰＵ部３２起動から約２秒経過後）に「１」のデジタル信号を送出するようにしてもよい。これにより、遅延素子４１を削減することができ、製造コストの低廉化を図ることができる。
【００５６】
（Ｃ）前記第２実施形態では、遅延回路４０によりＣＰＵ部３２の起動後所定時間経過した後にＤ／Ａ変換部３３へ基準電圧Ｖｒｅｆを供給するように構成したが、図９に示すように、ＤＣ／ＤＣ変換部３２ＡとＣＰＵ部３２及びＤ／Ａ変換部３３との間に上記遅延素子４１に替えてリセットＩＣ４６が配設された遅延回路４０を設け、この遅延回路４０によりＣＰＵ部３２へのリセット信号の供給及びＤ／Ａ変換部３３への基準電圧Ｖｒｅｆの供給を電源投入後、所定時間（例えば、約０．５秒）遅延させるように構成してもよい。
次に、このように構成される流体供給制御装置の起動時における、遮断弁にパイロット空気を供給する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）の駆動制御の一例を図１０に基づいて説明する。尚、以下の説明において上記第２実施形態に係る流体供給制御装置３０と同一符号は、該第２実施形態に係る流体供給制御装置３０などの構成と同一あるいは相当部分を示すものである（図３乃至図５参照）。
先ず、図１０（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、時間Ｔ４１において、電源スイッチＳ３をＯＮにすると、ＣＰＵ部３２及び電空比例弁（Ｅ／Ｖ）３７、Ｄ／Ａ変換部３３などに所定電圧（電圧ＤＣ２４Ｖ又はＤＣ５Ｖ）が印加される。
また、図１０（Ｃ）に示すように、ＣＰＵ部３２のＣＰＵは、時間Ｔ４１から所定時間（例えば、約０．５秒）遅延した時間Ｔ４２に、各カウンタの初期化などのイニシャル処理を開始後、Ｄ／Ａ変換部３３などに対して出力するデジタル信号のデータ値などをＥＥＰＲＯＭから読み込み、時間Ｔ４３において、このＥＥＰＲＯＭから読み込んだデータ値に基づき演算したデジタル信号をＤ／Ａ変換部３３に出力する。
これにより、時間Ｔ４３において、ＣＰＵ部３２からＤ／Ａ変換部３３に対して、予めＥＥＰＲＯＭに保存されたデータ値に基づき演算したデジタル信号が出力される。即ち、ＣＰＵ部３２からＤ／Ａ変換部３３に対して、電空比例弁３７を初期設定するように指示する制御信号が出力される。
【００５７】
一方、図１０（Ｄ）及び（Ｅ）に示すように、リセットＩＣ４６は、起動後所定時間経過した時間Ｔ４２までＬｏｗ信号（約ＤＣ０Ｖである。）を出力するため、基準電源４４は、ホトカプラ４３を介して電源が供給されないため、Ｄ／Ａ変換部３３に対して基準電圧Ｖｒｅｆを出力しない。
このため、Ｄ／Ａ変換部３３は、時間Ｔ４１から時間Ｔ４２まで、アナログ信号の出力電圧をアナログ出力部３４に出力しないため、時間Ｔ４１から時間Ｔ４２までの間、アナログ出力部３４、制御信号線Ｌ２３、及び電空比例弁出力部３５を介して、電空比例弁３７などに対して駆動制御信号が出力されず、遮断弁（Ａ／Ｖ）は駆動されない。即ち、図１０（Ｅ）の時間Ｔ４１から時間Ｔ４２まで破線で示すような不定出力が電空比例弁３７などに対して出力されず、遮断弁（Ａ／Ｖ）は駆動されない。
【００５８】
そして、時間Ｔ４２において、リセットＩＣ４６は、Ｈｉｇｈ信号（約ＤＣ５Ｖ）を出力するため、基準電源４４は、ＮＯＴ回路４２からＬｏｗ信号（約ＤＣ０Ｖである。）が出力されている間は、ホトカプラ４３を介して電源が供給されるため、Ｄ／Ａ変換部３３に対して基準電圧Ｖｒｅｆを出力する。一方、ＣＰＵ部３２は、時間Ｔ４２から時間Ｔ４３まで、Ｄ／Ａ変換部３３に制御信号としてイニシャル処理での初期出力（約ＤＣ０Ｖ）の指示をするため、この時間Ｔ４２から時間Ｔ４３までの間、アナログ出力部３４、制御信号線Ｌ２３、及び電空比例弁出力部３５を介して、電空比例弁３７などに対して駆動制御信号が出力されず、遮断弁（Ａ／Ｖ）は駆動されない。
【００５９】
続いて、時間Ｔ４３以降、ＣＰＵ部３２からＤ／Ａ変換部３３に対して電空比例弁３７を初期設定するように指示する１２ビットの制御信号が出力される。そして、Ｄ／Ａ変換部３３からこの１２ビットの制御信号に対応するアナログ信号がアナログ出力部３４に出力され、アナログ出力部３４、制御信号線Ｌ２３、及び電空比例弁出力部３５を介して、この初期設定のデジタル信号に対応する初期設定の制御信号が電空比例弁３７に出力される。即ち、時間Ｔ４３以降、電空比例弁３７に対して、初期設定圧力のパイロット空気を供給をするように指示する制御信号が出力される。
これにより、流体供給制御装置への電源投入時において、ＣＰＵ部３２の起動とＤ／Ａ変換部３３から電空比例弁３７への駆動制御信号の出力とが、遅延回路４０により電源投入時から所定時間遅延させることによって、電空比例弁３７に対する初期設定を確実に設定することができるため、電源投入時におけるパイロット空気圧の急激な変動による遮断弁（Ａ／Ｖ）からの流体の漏れ等を確実に防止することができ、周辺機器への悪影響を防止することができる。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明した通り本発明に係る流体供給制御装置では、流体供給システムのパイロット空気圧を制御する電空比例弁の駆動開始を電源投入時から所定時間遅延させることにより、電源投入時における、パイロット空気圧の変動による空圧式パイロット弁の不安定な動作を無くして、周辺機器に悪影響を防止することができる流体供給制御装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る薬液供給制御装置の一例を示すブロック図である。
【図２】第１実施形態に係る薬液供給制御装置の起動時における駆動制御を示すタイムチャートで、（Ａ）は薬液供給制御装置への電源入力及びＣＰＵ部の駆動状態を示すタイムチャート、（Ｂ）はサックバック弁の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）への電源入力を示すタイムチャート、（Ｃ）はＤ／Ａ変換部の出力信号及びサックバック弁のダイアフラムの駆動状態を模式的に示すタイムチャートである。
【図３】第２実施形態に係る流体供給制御装置の一例を示すブロック図である。
【図４】第２実施形態に係る流体供給制御装置のＤ／Ａ変換部への基準電源の供給を遅らせる遅延回路を示す概略回路図である。
【図５】第２実施形態に係る流体供給制御装置の起動時における駆動制御を示すタイムチャートで、（Ａ）は流体供給制御装置への電源入力を示すタイムチャート、（Ｂ）は遮断弁（Ａ／Ｖ）にパイロット空気を供給する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）への電源入力を示すタイムチャート、（Ｃ）はＣＰＵ部の駆動状態を示すタイムチャート、（Ｄ）はＤ／Ａ変換部への基準電源の供給を遅らせる遅延回路を構成するＮＯＴ回路の出力信号を示すタイムチャート、（Ｅ）は基準電源の出力電圧Ｖｒｅｆを示すタイムチャートである。
【図６】第３実施形態に係る流体供給システムを構成する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）のパイロット室の概略空気圧回路図である。
【図７】第３実施形態に係る流体供給制御装置の一例を示すブロック図である。
【図８】第３実施形態に係る流体供給制御装置の起動時における駆動制御を示すタイムチャートで、（Ａ）は流体供給制御装置への電源入力及びＣＰＵ部の駆動状態を示すタイムチャート、（Ｂ）は遮断弁の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）への電源入力を示すタイムチャート、（Ｃ）はＤ／Ａ変換部の出力信号を示すタイムチャート、（Ｄ）は電磁弁への通電状態を示すタイムチャートである。
【図９】他の実施形態に係る流体供給制御装置のＣＰＵ部及びＤ／Ａ変換部への電圧ＤＣ５Ｖ及び基準電源の供給を電源投入時から所定時間遅らせる遅延回路の構成を示す概略回路図である。
【図１０】他の実施形態に係る流体供給制御装置の起動時における駆動制御を示すタイムチャートで、（Ａ）は流体供給制御装置への電源入力を示すタイムチャート、（Ｂ）は遮断弁（Ａ／Ｖ）にパイロット空気を供給する電空比例弁（Ｅ／Ｖ）への電源入力を示すタイムチャート、（Ｃ）はＣＰＵ部の駆動状態を示すタイムチャート、（Ｄ）は基準電源の出力電圧Ｖｒｅｆを示すタイムチャート、（Ｅ）はＤ／Ａ変換部の出力信号を示すタイムチャートである。
【図１１】従来の薬液供給システムに使用されるサックバック弁と遮断弁とが一体に形成される薬液供給弁の一例を模式的に示す要部側断面図である。
【図１２】従来の薬液供給システムに使用されるサックバック弁と遮断弁とが一体に形成される薬液供給弁の電空比例弁を制御する制御部の一例を示すブロック図である。
【図１３】従来の薬液供給システムに使用されるサックバック弁と遮断弁とが一体に形成される薬液供給弁の制御部による駆動制御を示すタイムチャートで、（Ａ）は制御部への入力信号を示すタイムチャート、（Ｂ）は遮断弁の電空比例弁への出力信号及び遮断弁の動作状態を示すタイムチャート、（Ｃ）はサックバック弁の電空比例弁への出力信号及びサックバック弁のダイアフラムの駆動状態を模式的に示すタイムチャートである。
【図１４】従来の薬液供給システムの起動時における制御部による薬液供給弁の駆動制御を示すタイムチャートで、（Ａ）は制御部への電源入力及びＣＰＵ部の駆動状態を示すタイムチャート、（Ｂ）はサックバック弁の電空比例弁（Ｅ／Ｖ）への電源入力を示すタイムチャート、（Ｃ）はＤ／Ａ変換部の出力信号及びサックバック弁のダイアフラムの駆動状態を模式的に示すタイムチャートである。
【符号の説明】
１　　　　　　　　　　　　　薬液供給弁
２　　　　　　　　　　　　　遮断弁（Ａ／Ｖ）
３　　　　　　　　　　　　　サックバック弁（Ｓ／Ｖ）
３Ａ　　　　　　　　　　　　ダイアフラム
３Ｂ　　　　　　　　　　　　サックバック室
４　　　　　　　　　　　　　供給ノズル
５　　　　　　　　　　　　　吐出ノズル
７　　　　　　　　　　　　　電空比例弁（Ｅ／Ｖ）
１０、３７、５０　　　　　　薬液供給制御装置
１１　　　　　　　　　　　　遅延回路部
１２、３１、６１、１０１　　制御部
２１、３２、６２、１０２　　ＣＰＵ部
２２、３３、６３、１０３　　Ｄ／Ａ変換部
２３、３４、６４、１０４　　アナログ出力部
３０、６０　　　　　　　　　流体供給制御装置
４０　　　　　　　　　　　　遅延回路
５１　　　　　　　　　　　　パイロット室
５２　　　　　　　　　　　　電磁弁
６８　　　　　　　　　　　　バッファ回路
Ｋ１、Ｋ２　　　　　　　　　リレースイッチ
Ｓ１、Ｓ３、Ｓ４　　　　　　電源スイッチ
Ｓ２、Ｓ５　　　　　　　　　入力スイッチ
Ｔ　　　　　　　　　　　　　タイマリレースイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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