(57)【要約】【課題】液圧アクチュエータを高圧小流量で制御する際に、高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプのみをサーボモータで回転し、サーボモータの必要トルクを低減して省エネルギー効果を図り得るもの。【解決手段】高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプ１を回転するサーボモータ３と低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプ２を回転するサーボモータ４とを格別に設ける。これにより、複動シリンダ５を高圧小流量で制御する際に、低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプ２を回転するサーボモータ４は停止し、サーボモータ３は高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプ１のみを回転すれば良く、サーボモータ３の必要トルクを低減して省エネルギー効果を図ることができる。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプと低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプとを設け、一方及び他方の液圧ポンプから吐出する圧液によって液圧アクチュエータを高圧小流量と低圧大流量とで制御する液圧駆動装置において、少なくとも高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプは正逆回転可能に設け、一方及び他方の液圧ポンプをそれぞれ格別に回転するよう２個の電動モータを設け、少なくとも高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプを回転する電動モータは回転数を制御可能なサーボモータとし、液圧アクチュエータ側からフィードバックされる実際値を目標値に一致するようサーボモータの回転数を制御する制御部を備えていることを特徴とする液圧駆動装置。
【請求項２】
一方及び他方の液圧ポンプはともに正逆回転可能に設け、２個の電動モータはともに回転数を制御可能なサーボモータとし、液圧アクチュエータ側から位置の実際値と圧力又は荷重の実際値とをフィードバックし、制御部は位置の実際値を位置の目標値に一致するよう他方の液圧ポンプを回転するサーボモータの回転数を制御すると共に、圧力又は荷重の実際値を圧力又は荷重の目標値に一致するよう一方の液圧ポンプを回転するサーボモータの回転数を制御することを特徴とする請求項１に記載の液圧駆動装置。
【請求項３】
液圧アクチュエータは一方のポートへの圧液の供給で一方向に駆動すると共に、他方のポートへの圧液の供給で他方に駆動するものであり、液圧アクチュエータの一方のポートと正逆回転可能な他方の液圧ポンプの一方のポートとを第１流路で接続すると共に、液圧アクチュエータの他方のポートと他方の液圧ポンプの他方のポートとを第２流路で接続し、第１流路には他方の液圧ポンプ側から液圧アクチュエータ側に向けて自由流れで液圧アクチュエータ側から他方の液圧ポンプ側に向けての流れを阻止し第２流路側から導くパイロット圧力により開作動して液圧アクチュエータ側から他方の液圧ポンプ側に向けての流れを許容するパイロット操作逆止め弁を配設し、第１流路におけるパイロット操作逆止め弁より液圧アクチュエータ側に正逆回転可能な一方の液圧ポンプの一方のポートを接続し、一方の液圧ポンプの他方のポートを低圧側に接続したことを特徴とする請求項２に記載の液圧駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電動モータにより回転する液圧ポンプから吐出する圧液により液圧アクチュエータを駆動する液圧駆動装置に関し、特に、液圧アクチュエータを高圧小流量と低圧大流量とで制御する液圧駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の液圧駆動装置は、電動モータとしてのサーボモータに正逆回転可能な２個の固定容量形の液圧ポンプを同軸に結合し、一方の液圧ポンプを圧力制御用に充当し、圧力制御用以外の他方の液圧ポンプの吐出口を絞り弁、方向切換弁を介し低圧側としてのタンクへ連通可能としてアンロード手段を構成し、また、他方の液圧ポンプの吐出口を逆止め弁を介して負荷回路に接続し、逆止弁の自由流れの方向を負荷回路方向とすると共に、逆止め弁の出口に圧力制御用とした一方の液圧ポンプの吐出口を接続する。そして、方向切換弁が他方の液圧ポンプの吐出口をタンクへ連通するのを遮断した状態では、両方の液圧ポンプの流量が合流して負荷回路へ流入し、サーボモータの回転数を操作して流量を制御し、この場合が前記低圧大流量で制御する状態となる。また、方向切換弁が他方の液圧ポンプの吐出口をタンクへ連通した状態では、サーボモータは低速で回転して圧力制御用とした一方の液圧ポンプの必要トルクを発生し、この場合が前記高圧小流量で制御する状態となる。このようにして、圧力制御用とした一方の液圧ポンプを押しのけ容積の小さなものにできてサーボモータを出力の小さい小形のものにできる。この液圧駆動装置は、例えば下記の特許文献に開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−１５９８０６号公報（２−３頁、図１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、かかる従来の液圧駆動装置では、方向切換弁が他方の液圧ポンプの吐出口をタンクへ連通して液圧アクチュエータを高圧小流量で制御する際に、他方の液圧ポンプにはタンクへの流通による絞り弁の絞り抵抗や流路抵抗に基づく背圧が作用し、サーボモータは圧力制御用とした一方の液圧ポンプに加えて背圧が作用する他方の液圧ポンプを回転しなければならず、いまだ必要トルクを十分に低減することができず満足のいく省エネルギー効果を得られ難かった。
【０００５】
本発明は、液圧アクチュエータを高圧小流量で制御する際に、高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプのみをサーボモータで回転し、サーボモータの必要トルクを低減して省エネルギー効果を図り得る液圧駆動装置を提供することを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明では、高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプと低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプとを設け、一方及び他方の液圧ポンプから吐出する圧液によって液圧アクチュエータを高圧小流量と低圧大流量とで制御する液圧駆動装置において、少なくとも高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプは正逆回転可能に設け、一方及び他方の液圧ポンプをそれぞれ格別に回転するよう２個の電動モータを設け、少なくとも高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプを回転する電動モータは回転数を制御可能なサーボモータとし、液圧アクチュエータ側からフィードバックされる実際値を目標値に一致するようサーボモータの回転数を制御する制御部を備えて成る。この場合、一方及び他方の液圧ポンプはともに正逆回転可能に設け、２個の電動モータはともに回転数を制御可能なサーボモータとし、液圧アクチュエータ側から位置の実際値と圧力又は荷重の実際値とをフィードバックし、制御部は位置の実際値を位置の目標値に一致するよう他方の液圧ポンプを回転するサーボモータの回転数を制御すると共に、圧力又は荷重の実際値を圧力又は荷重の目標値に一致するよう一方の液圧ポンプを回転するサーボモータの回転数を制御することが望ましい。また、液圧アクチュエータは一方のポートへの圧液の供給で一方向に駆動すると共に、他方のポートへの圧液の供給で他方に駆動するものであり、液圧アクチュエータの一方のポートと正逆回転可能な他方の液圧ポンプの一方のポートとを第１流路で接続すると共に、液圧アクチュエータの他方のポートと他方の液圧ポンプの他方のポートとを第２流路で接続し、第１流路には他方の液圧ポンプ側から液圧アクチュエータ側に向けて自由流れで液圧アクチュエータ側から他方の液圧ポンプ側に向けての流れを阻止し第２流路側から導くパイロット圧力により開作動して液圧アクチュエータ側から他方の液圧ポンプ側に向けての流れを許容するパイロット操作逆止め弁を配設し、第１流路におけるパイロット操作逆止め弁より液圧アクチュエータ側に正逆回転可能な一方の液圧ポンプの一方のポートを接続し、一方の液圧ポンプの他方のポートを低圧側に接続することが望ましい。
【０００７】
かかる本発明によると、電動モータにより他方の液圧ポンプを回転し、他方の液圧ポンプから吐出する圧液によって液圧アクチュエータを低圧大流量で制御する。また、サーボモータにより一方の液圧ポンプを回転し、一方の液圧ポンプから吐出する圧液によって液圧アクチュエータを高圧小流量で制御し、液圧アクチュエータ側からフィードバックされる実際値を目標値に一致するよう制御部がサーボモータの回転数を制御する。そして、高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプを回転するサーボモータと低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプを回転する電動モータとを格別に設けているため、液圧アクチュエータを高圧小流量で制御する際に、低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプを回転する電動モータは停止し、サーボモータは高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプのみを回転すれば良く、サーボモータの必要トルクを低減して省エネルギー効果を図ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づき説明する。
図１において、１は高圧小流量制御のための正逆回転可能な一方の液圧ポンプ、２は低圧大流量制御のための正逆回転可能な他方の液圧ポンプで、それぞれ一方のポート１Ａ、２Ａと他方のポート１Ｂ、２Ｂとを有し、正回転したときには他方のポート１Ｂ、２Ｂから吸入した作動液を一方のポート１Ａ、２Ａから圧液として吐出すると共に、逆回転したときには一方のポート１Ａ、２Ａから吸入した作動液を他方のポート１Ｂ、２Ｂから圧液として吐出する。３は一方の液圧ポンプ１を回転するサーボモータ、４は他方の液圧ポンプ２を回転するサーボモータで、それぞれ回転数を制御可能に設けている。５は液圧アクチュエータとしての複動シリンダで、ピストンロッド５Ａを有し、一方のポートとしてのキャップ側ポート６Ａへの圧液の供給でピストンロッド５Ａを一方向としての図１下方向へ駆動してワークＷを保持すると共に、他方のポートとしてのヘッド側ポート６Ｂへの圧液の供給でピストンロッド５Ａを他方向としての図１上方向へ駆動して原位置に復帰する。
【０００９】
７は複動シリンダ５のキャップ側ポート６Ａと他方の液圧ポンプ２の一方のポート２Ａとを接続する第１流路、８は複動シリンダ５のヘッド側ポート６Ｂと他方の液圧ポンプ２の他方のポート２Ｂとを接続する第２流路である。９は第１流路７に配設のパイロット操作逆止め弁で、自身のパイロット流路９Ａを第２流路８側に接続し、他方の液圧ポンプ２側から複動シリンダ５側に向けて自由流れで複動シリンダ５側から他方の液圧ポンプ２側に向けての流れを阻止し、第２流路８側からパイロット流路９Ａを介して導くパイロット圧力により開作動して複動シリンダ５側から他方の液圧ポンプ２側に向けての流れを許容する。１０は第１流路７におけるパイロット操作逆止め弁９より複動シリンダ５側に一方の液圧ポンプ１の一方のポート１Ａを接続する第３流路、１１は一方の液圧ポンプ１の他方のポート１Ｂを低圧側としての作動液を貯蔵するタンクＴに接続する第４流路である。
【００１０】
第１流路７は逆止め弁１２を介し、第２流路８は逆止め弁１３を介してそれぞれタンクＴに接続し、逆止め弁１２はタンクＴから第１流路７への流れを許容すると共に第１流路７からタンクＴへの流れを阻止する向きに設け、逆止め弁１３はタンクＴから第２流路８への流れを許容すると共に第２流路８からタンクＴへの流れを阻止する向きに設けている。そして、両逆止め弁１２、１３は接続ロッド１４を介して接続し、液圧ポンプ２を正回転して一方のポート２Ａから圧液を吐出した際には第１流路７より逆止め弁１２に圧液が作用して逆止め弁１２を閉じると共に逆止め弁１３を接続ロッド１４を介して押圧して開作動し、また、液圧ポンプ２を逆回転して他方のポート２Ｂから圧液を吐出した際には第２流路８より逆止め弁１３に圧液が作用して逆止め弁１３を閉じると共に逆止め弁１２を接続ロッド１４を介して押圧して開作動自在に設けている。１５は第１流路７におけるパイロット操作逆止め弁９より液圧ポンプ２側で分岐してタンクＴに接続する流路１６に配設したリリーフ弁で、第１流路７の圧力が異常上昇して設定圧力を越えると第１流路７の圧液をタンクＴに排出する。１７は第２流路８より分岐してタンクＴに接続する流路１８に配設したリリーフ弁で、設定圧力をリリーフ弁１５と同一に設定し、第２流路８の圧力が異常上昇して設定圧力を越えると第２流路８の圧液をタンクＴに排出する。１９は第３流路１０より分岐してタンクＴに接続する流路２０に配設したリリーフ弁で、設定圧力をリリーフ弁１５、１７の設定圧力より高く設定し、第３流路１０の圧力が異常上昇して設定圧力を越えると第３流路１０の圧液をタンクＴに排出する。
【００１１】
２１、２２はサーボモータ３、４の回転数を検出するロータリエンコーダ等の回転数検出センサで、検出したサーボモータ３、４の実際の回転数をそれぞれフィードバック配線２５、２６でサーボモータドライバ２３、２４にフィードバックする。２７は第１流路７に配設した圧力検出センサで、複動シリンダ５のキャップ側ポート６Ａに供給する圧液の圧力を検出し、検出した圧力の実際値をフィードバック配線２８でコントローラ２９にフィードバックする。３０は複動シリンダ５のピストンロッド５Ａの位置を検出する位置検出センサで、ここでは位置の変位に応じたパルスを出力するリニアスケールを用い、検出した位置の実際値をフィードバック配線３１でコントローラ２９にフィードバックする。コントローラ２９はフィードバック配線３１よりフィードバックされる位置の実際値を動作指令として入力する位置の目標値に一致するようサーボモータドライバ２４に位置指令を出力すると共に、フィードバック配線２８よりフィードバックされる圧力の実際値を動作指令として入力する圧力の目標値に一致するようサーボモータドライバ２３に圧力指令を出力する。サーボモータドライバ２４はフィードバック配線２６よりフィードバックされるサーボモータ４の回転数がコントローラ２９より入力される位置指令に一致するようサーボモータ４の回転数を制御する。サーボモータドライバ２３はフィードバック配線２５よりフィードバックされるサーボモータ３の回転数がコントローラ２９より入力される圧力指令に一致するようサーボモータ３の回転数を制御する。そして、サーボモータドライバ２３、２４とコントローラ２９とで制御部を構成する。
【００１２】
次に、かかる構成の作動を説明する。
複動シリンダ５のピストンロッド５Ａが上方の原位置に停止している図１の状態で、コントローラ２９の動作指令によりサーボモータ４で他方の液圧ポンプ２を正回転すると、液圧ポンプ２は他方のポート２Ｂから吸入した作動液を一方のポート２Ａから圧液として吐出し、この圧液は第１流路７を流れて複動シリンダ５のキャップ側ポート６Ａに供給され、複動シリンダ５はピストンロッド５Ａを下方向へ駆動し、ヘッド側ポート６Ｂの作動液は第２流路８を流れて液圧ポンプ２の他方のポート２Ｂに吸入される。このとき、一方の液圧ポンプ１は停止している。また、ヘッド側ポート６Ｂから排出される作動液量は、キャップ側ポート６Ａに供給される圧液量と比較してピストンロッド５Ａの体積に相当する分少なく、この不足分の作動液は逆止め弁１３が接続ロッド１４に押圧されて開作動することでタンクＴから補給される。
【００１３】
ピストンロッド５Ａが下方向へ駆動を開始すると、位置検出センサ３０がピストンロッド５Ａの実際の位置を検出し、コントローラ２９はフィードバック配線３１よりフィードバックされる位置の実際値を位置の目標値に一致させるよう位置指令をサーボモータドライバ２４へ出力し、サーボモータドライバ２４はフィードバック配線２６よりフィードバックされるサーボモータ４の回転数がコントローラ２９より入力される位置指令に一致するようサーボモータ４の回転数を制御し、サーボモータ４は他方の液圧ポンプ２を正回転し、ピストンロッド５Ａの下方への駆動を低圧大流量で制御する。
【００１４】
ピストンロッド５ＡをワークＷの近傍まで下方に駆動して位置の実際値が位置の目標値に一致すると、コントローラ２９はサーボモータドライバ２４に停止指令を出力して他方の液圧ポンプ２を停止し、ピストンロッド５Ａの位置制御が完了する。そして、コントローラ２９の動作指令によりサーボモータ３で一方の液圧ポンプ１を正回転すると、液圧ポンプ１は他方のポート１Ｂから吸入した作動液を一方のポート１Ａから圧液として吐出し、この圧液は第３流路１０、第１流路７を流れ、パイロット操作逆止め弁９で他方の液圧ポンプ２側への流れを阻止して複動シリンダ５のキャップ側ポート６Ａに供給され、複動シリンダ５はピストンロッド５Ａを下方へ駆動し、ヘッド側ポート６Ｂからの作動液は第２流路８を流れて接続ロッド１４に押圧されて開作動している逆止め弁１３よりタンクＴに排出される。
【００１５】
そして、ピストンロッド５ＡがワークＷに当接すると、キャップ側ポート６Ａに供給される圧液の圧力が上昇し、この圧力の実際値を圧力検出センサ２７で検出してフィードバック配線２８よりコントローラ２９にフィードバックし、コントローラ２９は圧力の実際値を圧力の目標値に一致させるよう圧力指令をサーボモータドライバ２３へ出力し、サーボモータドライバ２３はフィードバック配線２５よりフィードバックされるサーボモータ３の回転数がコントローラ２９より入力される圧力指令に一致するようサーボモータ３の回転数を制御し、ピストンロッド５Ａの駆動を高圧小流量で制御してワークＷの保持を圧力制御する。
【００１６】
ワークＷを保持している状態で、圧液の洩れ等で圧力の実際値が圧力の目標値より低くなると、コントローラ２９より一方の液圧ポンプ１を正回転させる圧力指令をサーボモータドライバ２３へ出力してワークＷの保持力を加圧し、また、温度上昇による圧液の膨張等で圧力の実際値が圧力の目標値より高くなると、コントローラ２９より一方の液圧ポンプ１を逆回転させる圧力指令をサーボモータドライバ２３へ出力してワークＷの保持力を除圧し、圧力の実際値が圧力の目標値に一致するよう圧力制御する。
【００１７】
ワークＷの保持が完了すると、コントローラ２９よりサーボドライバ２３に停止指令を出力して一方の液圧ポンプ１を停止して圧力制御が完了し、コントローラ２９よりサーボモータ４への動作指令で他方の液圧ポンプ２を逆回転すると、液圧ポンプ２は一方のポート２Ａから吸入した作動液を他方のポート２Ｂから圧液として吐出し、この圧液は第２流路８を流れて複動シリンダ５のヘッド側ポート６Ｂに供給され、複動シリンダ５はピストンロッド５Ａを上方へ駆動し、キャップ側ポート６Ａの作動液は第１流路７を流れ、第２流路８側からのパイロット圧力により開作動しているパイロット操作逆止め弁９を介して液圧ポンプ２の一方のポート２Ａに吸入される。このとき、キャップ側ポート６Ａから排出される作動液量は、ヘッド側ポート６Ｂに供給される圧液量と比較してピストンロッド５Ａの体積に相当する分多く、この余分な作動液は逆止め弁１２が接続ロッド１４に押圧されて開作動することでタンクＴに排出される。
【００１８】
ピストンロッド５Ａを図１の原位置まで復帰すると、コントローラ２９はサーボモータドライバ２４に停止指令を出力して他方の液圧ポンプ２を停止し、ピストンロッド５Ａを図１の原位置で停止する。
【００１９】
かかる作動で、高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプ１を回転するサーボモータ３と低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプ２を回転するサーボモータ４とを格別に設けているため、複動シリンダ５を高圧小流量で制御する際、すなわち、ピストンロッド５ＡでワークＷを保持する圧力制御の際に、低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプ２を回転するサーボモータ４は停止し、サーボモータ３は高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプ１のみを回転すれば良く、サーボモータ３の必要トルクを低減して省エネルギー効果を図ることができる。また、高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプ１を正逆回転可能に設け、回転数を制御可能なサーボモータ３で一方の液圧ポンプ１を回転し、複動シリンダ５側からフィードバックされる実際値を目標値に一致するようコントローラ２９、サーボモータドライバ２３でサーボモータ３の回転数を制御しているため、複動シリンダ５を高圧小流量で制御する際に、精度良く制御することができる。
【００２０】
また、一方の液圧ポンプ１に加え、他方の液圧ポンプ２を正逆回転可能に設け、回転数を制御可能な２個のサーボモータ３、４でそれぞれ一方及び他方の液圧ポンプ１、２を回転し、複動シリンダ５側から位置の実際値と圧力の実際値とをフィードバックし、位置の実際値を位置の目標値に一致するようコントローラ２９、サーボモータドライバ２４でサーボモータ４の回転数を制御すると共に、圧力の実際値を圧力の目標値に一致するようコントローラ２９、サーボモータドライバ２３でサーボモータ３の回転数を制御しているため、複動シリンダ５を低圧大流量で精度良く位置制御できると共に、高圧小流量で精度良く圧力制御することができる。
【００２１】
また、複動シリンダ５のキャップ側ポート６Ａと他方の液圧ポンプ２の一方のポート２Ａとを第１流路７で接続し、複動シリンダ５のヘッド側ポート６Ｂと他方の液圧ポンプ２の他方のポート２Ｂとを第２流路８で接続し、第１流路７に複動シリンダ５側に向けて自由流れで第２流路８側から導くパイロット圧力により開作動するパイロット操作逆止め弁９を配設し、一方の液圧ポンプ１の一方のポート１Ａを第１流路７におけるパイロット操作逆止め弁９より複動シリンダ５側に接続すると共に、一方の液圧ポンプ１の他方のポート１ＢをタンクＴに接続しているため、一方の液圧ポンプ１で複動シリンダ５を高圧小流量で圧力制御する際に、一方の液圧ポンプ１の正逆回転で複動シリンダ５に対して加圧及び除圧を行うことができる。
【００２２】
図２は、本発明の他の実施形態を示し、一実施形態と同一個所には同符号を付して説明を省略し、異なる個所についてのみ説明する。
この他の実施形態では、一実施形態で設けた圧力検出センサ２７に替えてピストンロッド５Ａの先端に荷重検出センサ３２を設け、ここでは圧電式のロードセルを用い、ピストンロッド５ＡでワークＷを保持する際に検出した荷重の実際値をフィードバック配線３３でコントローラ２９にフィードバックする。
そして、一実施形態と同様に、サーボモータ３の必要トルクを低減して省エネルギー効果を図ることができ、また、複動シリンダ５を高圧小流量で制御する際に、精度良く制御することができる。また、複動シリンダ５側から位置の実際値と荷重の実際値とをフィードバックし、位置の実際値を位置の目標値に一致するようコントローラ２９、サーボモータドライバ２４でサーボモータ４の回転数を制御すると共に、荷重の実際値を荷重の目標値に一致するようコントローラ２９、サーボモータドライバ２３でサーボモータ３の回転数を制御しているため、複動シリンダ５を低圧大流量で精度良く位置制御できると共に、高圧小流量で精度良く荷重制御することができる。また、一方の液圧ポンプ１で複動シリンダ５を高圧小流量で荷重制御する際に、一方の液圧ポンプ１の正逆回転で複動シリンダ５に対して加圧及び除圧を行うことができる。
【００２３】
なお、一実施形態及び他の実施形態では、一方及び他方の液圧ポンプ１、２をともにサーボモータ３、４で回転したが、回転数を変更できない三相誘導電動モータで低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプ２を回転しても良く、この場合には、サーボモータドライバ２４は不要となる。
【００２４】
【発明の効果】
このように請求項１に記載の発明では、高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプを回転するサーボモータと低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプを回転する電動モータとを格別に設けているため、液圧アクチュエータを高圧小流量で制御する際に、低圧大流量制御のための他方の液圧ポンプを回転する電動モータは停止し、サーボモータは高圧小流量制御のための一方の液圧ポンプのみを回転すれば良く、サーボモータの必要トルクを低減して省エネルギー効果を図ることができる。また、液圧アクチュエータ側からフィードバックされる実際値を目標値に一致するよう制御部で一方の液圧ポンプを回転するサーボモータの回転数を制御しているため、液圧アクチュエータを高圧小流量で制御する際に、精度良く制御することができる。
【００２５】
また、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明の効果に加え、液圧アクチュエータ側から位置の実際値と圧力又は荷重の実際値とをフィードバックし、位置の実際値を位置の目標値に一致するよう制御部で他方の液圧ポンプを回転するサーボモータの回転数を制御すると共に、圧力又は荷重の実際値を圧力又は荷重の目標値に一致するよう制御部で一方の液圧ポンプを回転するサーボモータの回転数を制御しているため、液圧アクチュエータを低圧大流量で精度良く位置制御できると共に、高圧小流量で精度良く圧力制御又は荷重制御することができる効果を有する。
【００２６】
また、請求項３に記載の発明では、請求項１及び請求項２に記載の発明の効果に加え、一方の液圧ポンプの一方のポートを第１流路におけるパイロット操作逆止め弁より液圧アクチュエータ側に接続すると共に、一方の液圧ポンプの他方のポートを低圧側に接続しているため、一方の液圧ポンプで液圧アクチュエータを高圧小流量で圧力制御又は荷重制御する際に、一方の液圧ポンプの正逆回転で液圧アクチュエータに対して加圧及び除圧を行うことができる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示し、液圧駆動装置の一部をブロックで示した液圧回路図である。
【図２】本発明の他の実施形態を示した図１に相当する液圧回路図である。
【符号の説明】
１、２　液圧ポンプ
３、４　サーボモータ
５　複動シリンダ（液圧アクチュエータ）
７　第１流路
８　第２流路
９　パイロット操作逆止め弁
２３、２４　サーボモータドライバ（制御部）
２９　コントローラ（制御部）
【図１】
2004138208.tif 000003
【図２】
2004138208.tif 000004