(57)【要約】【課題】測定精度に耐久劣化が生じ難いガスセンサ素子を提供すること。【解決手段】外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室１２１，１２２と，センサセル４と，電気化学的セルとよりなり，上記センサセル４は，上記被測定ガス室１２２と対面する活性電極４２と，該活性電極４２と対になる第１基準電極４１と，両電極４１，４２を備えた固体電解質板１１とよりなると共に上記被測定ガス室１２２中の特定ガス濃度を検出可能に構成し，上記電気化学的セルは，上記被測定ガス室１２２と対面し，上記特定ガスに対し不活性な不活性電極３２と，該不活性電極３２と対になる第２基準電極３１と，両電極３１，３２を備えた固体電解質板１１とよりなり，上記不活性電極３２は，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｂより選択される少なくとも１種類以上を含有する貴金属材料とＲｈとよりなる。【選択図】　図２
2004037100.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室と，センサセルと，電気化学的セルとよりなり，
上記センサセルは，上記被測定ガス室と対面する活性電極と，該活性電極と対になる第１基準電極と，両電極を備えた固体電解質板とよりなると共に上記被測定ガス室中の特定ガス濃度を検出可能に構成し，
上記電気化学的セルは，上記被測定ガス室と対面し，上記特定ガスに対し不活性な不活性電極と，該不活性電極と対になる第２基準電極と，両電極を備えた固体電解質板とよりなり，
上記不活性電極は，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｂより選択される少なくとも１種類以上を含有する貴金属材料とＲｈとよりなることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
請求項１において，上記貴金属材料１００ｗｔ％に対するＲｈの添加量は０．０１〜３．０外ｗｔ％であることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項３】
請求項１または２において，上記電気化学的セルは，上記被測定ガス室に対し，酸素を出し入れするよう構成した酸素ポンプセルであることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項４】
請求項１または２において，上記電気化学的セルは，上記被測定ガス室における酸素濃度を検出可能な酸素モニタセルであることを特徴とするガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，内燃機関の排気系等に設置して，排ガス中のＮＯｘ濃度等を測定するガスセンサ素子に関する。
【０００２】
【従来技術】
自動車エンジンの排気系に設置し，排ガス中のＮＯｘ濃度，ＨＣ濃度，ＣＯ濃度等の特定ガス濃度を測定するガスセンサに用いるガスセンサ素子として，外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室と，該被測定ガス室中の特定ガス濃度を検出するセンサセルと，酸素モニタセル及び酸素ポンプセル等の電気化学的セルとよりなる素子が知られている（例えば特開平１０−２２７７６０号等）。
ここに酸素モニタセルは被測定ガス室中の酸素濃度を検出し，酸素ポンプセルは被測定ガス室に対し酸素を出し入れする。
【０００３】
そして，上記センサセルは，被測定ガス室と対面する活性電極を有する。この活性電極が特定ガスに対する分解活性を備える。上記センサセルは，活性電極において特定ガスを分解し，この分解プロセスから生じた酸素イオン電流に基づいて特定ガス濃度を検出する。
また，上記電気化学的セルにおける被測定ガス室と対面する電極は特定ガスに対して鈍感な不活性電極とする必要がある。
【０００４】
【解決しようとする課題】
ところで，ガスセンサ素子を高温の排ガスに曝して使用することで，電気化学的セルを構成する電極が変質する。この変質から電気化学的セルの特性が変化し，ひいてはガスセンサ素子の測定精度が変動，すなわち耐久劣化が発生することがあった。
【０００５】
例えば，酸素ポンプセルにかかる電極が劣化した場合，被測定ガス室の酸素ポンピングの性能が変わってしまい，劣化の前と後とでは，被測定ガス室に残留する酸素濃度が変わってしまう。この場合，後述する実施例２に示すようにオフセット電流の変動などが生じるおそれがあり，結果としてセンサセルにおける検出精度が劣化するおそれがある。
【０００６】
また，上記酸素ポンプセルを制御するために被測定ガス室に酸素モニタセルを設けることもあるが，この酸素モニタセルにかかる電極が劣化した場合も，上記と同様に酸素ポンプセルの性能が変わってしまい，センサセルにおける検出精度劣化が生じるおそれがある。
【０００７】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，測定精度に耐久劣化が生じ難いガスセンサ素子を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題の解決手段】
本発明は，外部から被測定ガスを導入する被測定ガス室と，センサセルと，電気化学的セルとよりなり，
上記センサセルは，上記被測定ガス室と対面する活性電極と，該活性電極と対になる第１基準電極と，両電極を備えた固体電解質板とよりなると共に上記被測定ガス室中の特定ガス濃度を検出可能に構成し，
上記電気化学的セルは，上記被測定ガス室と対面し，上記特定ガスに対し不活性な不活性電極と，該不活性電極と対になる第２基準電極と，両電極を備えた固体電解質板とよりなり，
上記不活性電極は，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｂより選択される少なくとも１種類以上を含有する貴金属材料とＲｈとよりなることを特徴とするガスセンサ素子にある。
【０００９】
本発明にかかるガスセンサ素子において，電気化学的セルは被測定ガス室と対面する不活性電極を有し，該不活性電極は，貴金属材料とＲｈとよりなる。
従来のＲｈを含まない不活性電極は，被測定ガスに曝されることで時間と共に劣化する。長時間の使用において不活性電極は次第に凝集し，電気化学的セルの特性が時間と共に変動し，測定精度に耐久劣化が生じていた。これは特定ガスに対する活性が低くなるように不活性電極がＡｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｐｂといった融点の低い材料を含んでいるためである。
【００１０】
本発明では，融点が高く耐熱性に優れたＲｈを貴金属材料に添加することで，上記不活性電極の耐熱性を高め，これにより電極の凝集を抑制し，長期にわたって測定精度の劣化が生じ難い耐久性能に優れたガスセンサ素子を得ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明にかかるガスセンサ素子において，上記不活性電極は，導電性を備えた各種の電極材料と共に上記貴金属材料を含有し，さらにＲｈを含んでいる。そして，上記電極材料としてＰｔ等を用いることができる。
また，本発明にかかるガスセンサ素子において，上記センサセルの活性電極の主成分はＰｔ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｉｒ，Ｒｕより選択されるいずれか一種以上とすることができる。
なお，本発明にかかるガスセンサ素子は，被測定ガス中のＮＯｘ濃度，ＨＣ濃度，ＣＯ濃度を測定することができる。
【００１２】
上記貴金属材料１００ｗｔ％に対するＲｈの添加量は０．０１〜３．０外ｗｔ％であることが好ましい（請求項２）。
この場合には，不活性電極の耐熱性を一層高め，これにより電極の凝集を更に抑制し，長期にわたって測定精度の劣化が生じ難い耐久性能に優れたガスセンサ素子を得ることができる。
【００１３】
Ｒｈの添加量が０．０１外ｗｔ％未満である場合は，添加量が少なすぎて不活性電極の凝集防止効果がえられなくなるおそれがあり，３．０ｗｔ外％より多い場合，Ｒｈは特定ガスに対し活性を有するため，不活性電極が活性を備えてしまうおそれがある。
【００１４】
また，上記電気化学的セルは，上記被測定ガス室に対し，酸素を出し入れするよう構成した酸素ポンプセルとすることができる。（請求項３）。また，上記電気化学的セルは，上記被測定ガス室における酸素濃度を検出可能な酸素モニタセルとすることができる（請求項４）。
また，上記電気化学的セルをガスセンサ素子に複数設けることもできる。
【００１５】
また，本発明にかかるガスセンサ素子は，被測定ガス中のＮＯｘ濃度を測定可能な構成とすることができ，この場合，センサセルの活性電極においてＮＯｘを分解し，発生した酸素イオン電流を利用してＮＯｘ濃度を得る。このとき，ＮＯｘが分解して生成された酸素イオンと被測定ガス室に存在する酸素に由来する酸素イオンとの区別がつかないため，予め酸素ポンプセルを用いて酸素を出し入れし，被測定ガス室の酸素濃度を一定値とすることが好ましい。
【００１６】
また，被測定ガス室の酸素を検出するための酸素モニタセルを設けることが好ましい。酸素モニタセルを設けることで被測定ガス室の酸素濃度を検出し，センサセルに対する酸素の影響をキャンセルできる。
また，上記酸素ポンプセル及び酸素モニタセルは複数個設けることもできる。
【００１７】
また，電気化学的セルとして，被測定ガス中の酸素濃度を測定するものを設けることができ，１本で複数種類のガス濃度を検出可能な複合センサ素子を構成することもできる。
さらに，内燃機関の排気系に設置して使用するガスセンサ素子の場合は，内燃機関の燃焼室における空燃比を，被測定ガス中の酸素濃度から検出可能な空燃比セルを設けた素子として構成することができる。
【００１８】
【実施例】
以下に，図面を用いて本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
本例は，図１，図２に示すごとく，外部から被測定ガスを導入する第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２と，センサセル４と，電気化学的セルである酸素ポンプセル２及び酸素モニタセル３とよりなる。
【００１９】
図２に示すごとく，上記センサセル４は，上記第２被測定ガス室１２２と対面する活性電極４２と，該活性電極４２と対になる第１基準電極４１と，両電極４１，４２を備えた第１固体電解質板１１とよりなると共に上記第２被測定ガス室１２２中の特定ガス濃度を検出可能に構成する。
【００２０】
上記電気化学的セルである酸素ポンプセル２は，上記第１被測定ガス室１２１と対面し，上記特定ガスに対し不活性な不活性電極２１と，該不活性電極２１と対になる第２基準電極２２と，両電極２１，２２を備えた第２固体電解質板１３とよりなり，上記不活性電極２１は，Ａｕを含有する貴金属材料とＲｈとよりなる
【００２１】
また，上記電気化学的セルである酸素モニタセル３は，上記第２被測定ガス室１２２と対面し，上記特定ガスに対し不活性な不活性電極３２と，該不活性電極３２と対になる第２基準電極３１と，両電極３１，３２を備えた第１固体電解質板１１とよりなり，上記不活性電極３２は，Ａｕを含有する貴金属材料とＲｈとよりなる
【００２２】
以下，詳細に説明する。
本例のガスセンサ素子１は，自動車エンジンの排気系に設置して，自動車排ガス中のＮＯｘ濃度を測定するガスセンサに内蔵して使用する。
図１及び図２に示すごとく，本例のガスセンサ素子１は，積層された第１固体電解質板１１，第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２用のスペーサー１２，第２固体電解質板１３，基準ガス室用のスペーサ１４，セラミックヒータ１９よりなる。
【００２３】
ガスセンサ素子１は，第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２と第１及び第２基準ガス室１４０，１６０を備え，第１被測定ガス室１２１に対して酸素をポンピングする酸素ポンプセル２，第２被測定ガス室１２２の酸素濃度を監視する酸素モニタセル３，第２被測定ガス室１２２のＮＯｘ濃度を検知するセンサセル４を有する。
【００２４】
第１及び第２固体電解質板１１，１３，スペーサー１２との間に第１及び第２被測定ガス室１２１，１２２がある。第１被測定ガス室１２１は，第１固体電解質板１１に設けた導入穴１０で外部に連通し，第１被測定ガス室１２１と第２被測定ガス室１２２との間は拡散通路１２０によって連通する。
また，本例のガスセンサ素子１は，上記第１固体電解質板１１の導入穴１０を覆う多孔質拡散層１７を有し，該多孔質拡散層１７と隣接して，第２基準ガス室１６０を形成するスペーサー１６を有する。
【００２５】
また，第２固体電解質板１３，スペーサー１４，セラミックヒータ１９との間に基準ガスとなる大気を導入する第１基準ガス室１４０がある。
上記セラミックヒータ１９は，ヒータ基板１９１と該ヒータ基板１９１上に設けた発熱体１９０，該発熱体１９０を覆う被覆板１９２とよりなる。
そして，上記第１及び第２の固体電解質板１１，１３はジルコニアセラミック，その他は絶縁性のアルミナセラミックよりなる。
【００２６】
上記酸素ポンプセル２は第２固体電解質板１３に設けた第１被測定ガス室１２１と対面する不活性電極２１，第１基準ガス室１４０と対面する第２基準電極２２とよりなる。両電極２１，２２は電源２５１及び電流計２５２を備えたポンプ回路２５に接続する。
上記酸素モニタセル３は第１固体電解質板１１に設けた第２被測定ガス室１２２と対面する不活性電極３２，第２基準ガス室１６０と対面する第２基準電極３１とよりなる。両電極３１，３２は電源３５１及び電流計３５２を備えたモニタ回路３５に接続する。
【００２７】
上記センサセル４は第１固体電解質板１１に設けた第２被測定ガス室１２２と対面する活性電極４２，第２基準ガス室１６０と対面する第１基準電極４１とよりなる。両電極４１，４２は電源４５１及び電流計４５２を備えたセンサ回路４５に接続する。
そして，酸素モニタセル３で酸素ポンプセル２の動作を制御するため，電流計３５２から電源２５１にむかうフィードバック回路２５５がある。
【００２８】
そして，不活性電極２１，３２はＡｕとＰｔとを含有する貴金属材料にＲｈを添加した材料よりなる。ここに貴金属材料全体を１００ｗｔ％とするとＡｕの含有量は３ｗｔ％（内ｗｔ％）である。
また，Ｒｈの添加量は，貴金属材料全体を１００ｗｔ％とすると，０．５ｗｔ外％である。
また，活性電極４２はＰｔとＲｈとを含む電極材料よりなる。また，その他の第２基準電極２２，３１，第１基準電極４１も，活性電極４２と同様のＰｔとＲｈとを含む電極材料よりなる。これらの電極材料を１００ｗｔ％とすると，Ｒｈの含有率は２０ｗｔ％（内ｗｔ％）である。
【００２９】
本例にかかるガスセンサ素子の作用効果について説明する。
本例のガスセンサ素子１の不活性電極２１，３２は貴金属材料とＲｈとよりなる。
上記不活性電極２１，３２は，融点が高く耐熱性に優れたＲｈを含有する。Ｒｈが不活性電極２１，３２の耐熱性を高めるため，熱い排ガスよりなる被測定ガスに曝されても，不活性電極２１，３２の経時劣化が生じ難くなる。
このように，本例によれば，長期にわたって測定精度の劣化が生じ難い耐久性能に優れたガスセンサ素子を得ることができる。
【００３０】
（実施例２）
本例では，本発明のガスセンサ素子と比較試料にかかるガスセンサ素子とを準備して，両者の性能をそれぞれ評価した。
まず，本発明のガスセンサ素子として実施例１に記載した素子を準備する。また，比較試料のガスセンサ素子として実施例１と同様の素子であって，かつ（酸素ポンプセル及び酸素モニタセルの）不活性電極にＲｈを添加していない素子を準備する。
そして，それぞれの素子をガスセンサに組付けて，酸素（２０％）と窒素とＮＯからなる組成の測定用ガスに曝して，実際にＮＯ濃度の測定を行った。このとき，測定用ガスは４種類，それぞれＮＯ濃度の異なるものを準備した。
【００３１】
また，ガスセンサ素子を用いたＮＯ濃度の測定は，初期と耐久４万ｋｍ後に行った。初期とはガスセンサ素子を製造した直後における測定，耐久４万Ｋｍとは，ガスセンサ素子を自動車のエンジン実機の排気系に設置し，その状態で自動車を４万ｋｍ走行させ，充分に自動車の排ガスに曝した後にガスセンサ素子を取り出して行った測定を指す。
そしてこれらの結果を図３（本発明）及び図４（Ｒｈ未添加）に記載した。
【００３２】
図３，図４によれば，本発明にかかるガスセンサ素子の出力（センサセルの出力で，図２に示す電流計４５２の値）は初期，耐久４万ｋｍとで略同じであった。つまり耐久劣化が生じていなかった。しかし，比較試料でＲｈを不活性電極に含まないガスセンサ素子は，図４より明らかであるが，出力が初期と耐久４万ｋｍとの間で変化した。
【００３３】
また，本発明にかかるガスセンサ素子と比較試料の素子とを準備し，耐久距離をじょじょに長くした場合について，それぞれのセンサセルに流れる電流をＮＯ濃度０の状態で測定し，結果を図５に記載した。
図５より明らかであるが，本発明は耐久距離にかかわらずセンサセル電流が一定値である。比較試料は耐久距離の増大と共にセンサセル電流が増大する。図５の測定はＮＯ濃度が０の雰囲気で行っているため，この電流はいわゆるオフセット電流となる。
【００３４】
ガスセンサ素子のセンサセルに流れる電流はＮＯｘを分解して得た酸素による酸素イオン電流とこのオフセット電流とを足した値となるため，オフセット電流が経時変化する際は，ガスセンサ素子の製造直後，使用開始直後は正確な濃度の測定ができても，だんだん不正確な値しか得られなくなる。
そして，本発明にかかるガスセンサ素子は，耐久距離にかかわらずオフセット電流が殆ど変わらないため，耐久距離が長くなってもガス濃度を正確に測定できる。
【００３５】
（実施例３）
本例のガスセンサ素子１は，図６に示すごとく，第１と第２の被測定ガス室５２０，５４０が固体電解質板５１，５５等の積層方向に位置するよう構成する。本例のガスセンサ素子１は，固体電解質板５１，スペーサー５２，スペーサー５３，スペーサー５４，固体電解質板５５，スペーサー５６，セラミックヒータ１９を積層構成してなる。
【００３６】
固体電解質板５１，スペーサー５３とスペーサー５２との間に第１被測定ガス室５２０が，スペーサー５３，固体電解質板５５とスペーサー５４との間に第２被測定ガス室５４０が，固体電解質板５５，スペーサー５６とセラミックヒータ１９との間に基準ガス室５５０がある。
【００３７】
固体電解質板５１に設けた導入穴５１０から第１被測定ガス室５２０に対し被測定ガスを導入する。多孔質拡散層１７は導入穴５１０を覆うように固体電解質板５１に対し積層する。第１と第２の被測定ガス室５２０，５４０との間は拡散通路５３０により連通される。
【００３８】
そして，酸素ポンプセル２の不活性電極２１は第１被測定ガス室５２０と対面し，第２基準電極２２は拡散抵抗層１７を通じて素子の外部雰囲気に曝される。不活性電極２１，第２基準電極２２は固体電解質板５１に設ける。
センサセル４の第２被測定ガス室５４０と対面する活性電極４２と基準ガス室５５０と対面する第１基準電極４１とは固体電解質板５５に設け，酸素モニタセル３の不活性電極３２と基準ガス室５５０と対面する第２基準電極３１とは固体電解質板５５に設ける。
【００３９】
そして，酸素ポンプセル２の不活性電極２１，第２基準電極２２は電源２５１及び電流計２５２を備えたポンプ回路２５に接続する。酸素モニタセル３の第２基準電極３１，不活性電極３２は電圧計３５６を備えたモニタ回路３５に接続する。センサセル４の電極４１，４２は電源４５１及び電流計４５２を備えたセンサ回路４５に接続する。
そして，酸素モニタセル３で酸素ポンプセル２の動作を制御するため，電圧計３５６から電源２５１にむかうフィードバック回路２５５を設ける。
【００４０】
そして，不活性電極２１，３２はＡｕとＰｔとを含有する貴金属材料にＲｈを添加した材料よりなる。
また，活性電極４２はＰｔとＲｈとを含む電極材料よりなる。また，その他の第２基準電極２２，３１，第１基準電極４１も，活性電極４２と同様のＰｔとＲｈとを含む電極材料よりなる。
その他，実施例１と同様の構成を有し，同様の作用効果を有する。
【００４１】
なお，図７に示すように，酸素モニタセル３を固体電解質板５１に設けることもできる。また，酸素ポンプセル２の第２基準電極２２と酸素モニタセル３の第２基準電極３１とは一体化することができる。
【００４２】
（実施例４）
本例のガスセンサ素子１は，図８に示すごとく，センサセル４と酸素モニタセル３を直列に接続した構成を有する。
本例のガスセンサ素子１は，スペーサー６１，固体電解質板６２，スペーサー６３，固体電解質板６４，スペーサー６５，セラミックヒータ１９を積層構成してなる。
スペーサー６１と固体電解質板６２との間に第１基準ガス室６１０が，固体電解質板６２とスペーサー６３，固体電解質板６４との間に第１及び第２の被測定ガス室６３１，６３２が，固体電解質板６４とスペーサー６５，ヒータ１９との間に第２基準ガス室６５０がある。
【００４３】
固体電解質板６２に設けた導入穴６２０から第１被測定ガス室６３１に対し被測定ガスを導入する。多孔質拡散層１７は導入穴６２０を覆うように固体電解質板６２に対し積層する。第１と第２の被測定ガス室６３１，６３２との間は拡散通路６３０により連通される。
【００４４】
そして，酸素ポンプセル２の不活性電極２１は第１被測定ガス室６３１と対面し，第２基準電極２２は第２基準ガス室６５０と対面する。不活性電極２１，第２基準電極２２は固体電解質板６４に設ける。
センサセル４の第２被測定ガス室６３２と対面する活性電極４２と第１基準ガス室６１０と対面する第１基準電極４１とは固体電解質板６２に設け，酸素モニタセル３の不活性電極３２と基準ガス室６１０と対面する第２基準電極３１とは固体電解質板６２に設ける。
【００４５】
そして，酸素ポンプセル２の不活性電極２１，第２基準電極２２は電源２５１及び電流計２５２を備えたポンプ回路２５に接続する。酸素モニタセル３の電極３１，３２は電源３５１，電流計３５２を備えたモニタ回路３５に接続する。センサセル４の電極４１，４２は電源４５１及び電流計４５２を備えたセンサ回路４５に接続する。
そして，酸素ポンプセル２の動作を制御するため，電流計２５２から電源２５１にむかうフィードバック回路２５５を設ける。
【００４６】
そして，不活性電極２１，不活性電極３２はＡｕとＰｔとを含有する貴金属材料にＲｈを添加した材料よりなる。
また，活性電極４２はＰｔとＲｈとを含む電極材料よりなる。また，その他の第２基準電極２２，３１，第１基準電極４１も，活性電極４２と同様のＰｔとＲｈとを含む電極材料よりなる。
その他，実施例１と同様の構成を有し，同様の作用効果を有する。
【００４７】
また，図示した構成のほか，酸素ポンプセル２を固体電解質板６２に設け，センサセル４や酸素モニタセル３を固体電解質板６４に設ける構成でもよい。
【００４８】
（実施例５）
本例は，図９に示すごとく，実施例１と同じ構成のガスセンサ素子であるが，酸素モニタセルを持たない２セル式の素子である。
そして，酸素ポンプセル２はポンプ回路２５に設けた電流計２５２から電源２５１に向かうフィードバック回路２５５を設ける。
その他，実施例１と同様の構成を有し，同様の作用効果を有する。
【００４９】
また，図示した構成のほか，酸素ポンプセル２を固体電解質板１１に設け，センサセル４を固体電解質板１３に設ける構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，ガスセンサ素子の断面説明図。
【図２】実施例１における，ガスセンサ素子の横断面説明図（図１のＡ−Ａ矢視断面図）。
【図３】実施例２における，本発明にかかるガスセンサ素子の初期と耐久４万ｋｍにおけるＮＯ濃度と出力との関係を示す線図。
【図４】実施例２における，比較試料にかかるガスセンサ素子の初期と耐久４万ｋｍにおけるＮＯ濃度と出力との関係を示す線図。
【図５】実施例２における，本発明と比較試料とにかかるそれぞれのガスセンサ素子の耐久距離とセンサセル電流との関係を示す線図（ただしＮＯを含まない雰囲気で測定）。
【図６】実施例３における，積層方向に被測定ガス室が並んだ構成のガスセンサ素子を示す断面説明図。
【図７】実施例３における，図６とは異なる，積層方向に被測定ガス室が並んだ構成のガスセンサ素子を示す断面説明図。
【図８】実施例４における，酸素モニタセルとセンサセルとが直列に並んだ構成のガスセンサ素子を示す断面説明図。
【図９】実施例５における，センサセルと酸素ポンプセルとよりなる２セル式のガスセンサ素子の断面説明図。
【符号の説明】
１．．．ガスセンサ素子，
１２１．．．第１被測定ガス室，
１２２．．．第２被測定ガス室，
１４０，１６０．．．第１及び第２基準ガス室，
２．．．酸素ポンプセル，
２１．．．不活性電極，
２２．．．第２基準電極，
４．．．センサセル，
４１．．．第１基準電極，
４２．．．活性電極，
【図１】
2004037100.tif 000003
【図２】
2004037100.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004037100.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004037100.tif 000008
【図７】
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【図８】
2004037100.tif 000010
【図９】
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