(57)【要約】【課題】有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄剤により洗浄する洗浄方法において、洗浄ラインによって高圧セルの洗浄室内に供給された溶解剤と濯ぎ剤によってメタルマスクに付着した有機ＥＬ材料の溶解と洗浄をほぼ同時に行っているため、溶解された有機ＥＬ材料が該洗浄室のデッドゾーンに浮遊し、処理済みのメタルマスクを取り出すために常圧に減圧した時に浮遊していた有機ＥＬ材料を含有するモデファイアが該処理済みのメタルマスクに液滴となって付着する。【解決手段】メタルマスクに付着している有機ＥＬ材料を溶解洗浄し、溶解された有機ＥＬ材料を含む洗浄剤を洗浄室から排出した後、亜臨界流体状の濯ぎ剤を洗浄室に供給して洗浄室及び被処理メタルマスクの有機ＥＬ材料溶解部を濯ぐようにした。【選択図】        図１
2004234975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄剤により洗浄する洗浄方法において、被処理メタルマスクが収納された洗浄室に定常状態の洗浄剤を供給してメタルマスクに付着している有機ＥＬ材料を溶解洗浄し、溶解された有機ＥＬ材料を含む洗浄剤を洗浄室から排出した後、亜臨界流体状の濯ぎ剤を洗浄室に供給して洗浄室及び被処理メタルマスクの有機ＥＬ材料溶解部を濯ぐようにしたことを特徴とするメタルマスクの洗浄方法。
【請求項２】
洗浄剤がモディファイアであり、濯ぎ剤が溶媒であることを特徴とする請求項１に記載のメタルマスクの洗浄方法。
【請求項３】
有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄剤により洗浄する洗浄装置において、被処理メタルマスクを収納するための洗浄室を有する洗浄機構と、定常状態の洗浄剤を前記洗浄室に供給する洗浄剤供給機構と、亜臨界流体状の濯ぎ剤を前記洗浄室に供給する濯ぎ剤供給機構と、少なくとも溶解された有機ＥＬ材料が除去処理された洗浄剤を洗浄剤供給機構に戻し、濯ぎにより有機ＥＬ材料が除去処理された濯ぎ剤を濯ぎ剤供給機構に戻す除去処理機構とを備えていることを特徴とするメタルマスクの洗浄装置。
【請求項４】
洗浄剤がモディファイアであり、濯ぎ剤が溶媒であることを特徴とする請求項３に記載のメタルマスクの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は発光材料である有機エレクトロルミネッセンス（以下有機ＥＬと言う）材料を用いたディスプレイの製造工程であるメタルマスクを使用した蒸着工程において、余剰の有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクの洗浄して有機ＥＬ材料を除去するメタルマスクの洗浄方法及び洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、有機ＥＬ基板の製造する場合は、有機ＥＬ基板となる電極が形成されたガラス基板等の基板の裏面に磁石を配置し、該基板の表面側にメタルマスクを配して該メタルマスクを磁石によって該基板に吸着させる。
【０００３】
この状態で、有機発光層の主要を占めるホスト材であるアルミキノール錯体（Ａｌｑ３）、ベンゾキノリールベリリュウム錯体（Ｂｅｂｑ２）、アルミノベンゾキノリール誘導体（Ａｌｐｈ３）、オキサジアゾール誘導体（ＥＭ２）、ピラゾロキノリン（ＰＺ１０）、シロール誘導体（２ＰＳＰ）等の複数の発光材料である有機ＥＬを個々の蒸気圧に合わせて所定の電極部に真空蒸着によって付着させている。
【０００４】
該真空蒸着操作によって所定の電極部に発光層が形成されるが、同時にメタルマスクの対応電極部以外の箇所にも有機ＥＬ材料が付着する。
【０００５】
このメタルマスクに付着した有機ＥＬ材料の洗浄作業は有機溶剤を用いて人手によりなされている。
【０００６】
該洗浄作業は人手によって行っているため、多量の有機溶剤が使用され、その洗浄に使用された有機溶剤は有機ＥＬ材料と共に廃棄されている。
【０００７】
上述のメタルマスクはＮｉ及びその合金又はステンレス等を使用し、高精度に加工された薄板形状であるため、人手による洗浄ではメタルマスクを損傷することが多発している。又、メタルマスクの細孔部等に付着した有機ＥＬ材料を洗浄することは非常に困難である。さらに、有機溶剤を使用し、人手によって洗浄するため、、洗浄剤としての有機溶剤が多量に使用され、その有機溶剤を処理することが大変である。
【０００８】
これ等の問題点を解決するため、特願２００２−３５６６７３号の明細書及び図面に記載されているような有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを高圧セルの洗浄室内に収納した状態でモデファイアを洗浄剤と溶媒を超臨界流体又は亜臨界流体状にした濯ぎ剤とからなる洗浄、濯ぎ剤あるいは溶媒にモデファイアが添加されたものを超臨界流体又は亜臨界流体状にした洗浄、濯ぎ剤を高圧セルの洗浄室内に供給して洗浄と濯ぎを行う洗浄方法及び洗浄装置を発明した。
【０００９】
該洗浄装置は図２に示されるような洗浄用の溶媒とモディファイアを供給する洗浄剤供給機構５０１と、メタルマスク１１０に有機ＥＬ材料１２０が付着した被処理メタルマスク１００を収納して該有機ＥＬ材料１２０を洗浄する洗浄機構５０２とにより構成されている。
【００１０】
洗浄剤供給機構５０１は洗浄剤供給ライン５０５と、洗浄ライン５０６とにより構成されている。
【００１１】
洗浄剤供給ライン５０５は溶媒である液体状の二酸化炭素を貯留する溶媒タンク５１０と、バルブ５１２、溶媒供給用のポンプ５１３、背圧弁５１５を有する供給圧力調節用の戻り管５１４、圧力計を有し、一端が該溶媒タンク５１０に連結され、他端がバルブ５１６に連結された送液管５１１と、バルブ５１８と圧力計を有し、戻り管５１４の送液管５１１と連結部とバルブ５１６との間の送液管５１１に連結されたベント管５１７と、モディファイアを貯留するモディファイアタンク５１９と、ポンプ５２１、バルブ５２２、圧力計を有し、一端がモディファイアタンク５１９に連結され、他端が混合器５２６に連結された送液管５２０と、背圧弁５２４を有し、一端が送液管５２０のポンプ５２１の出口部に連結され、他端がモディファイア内に位置するようにモディファイアタンク５１９に連結された供給圧力調節用の戻り管５２３と、静止型の混合器５２６を有し、一端がバルブ５１６に連結され、他端が洗浄機構５０２に連結された送液管５２５とにより構成されている。
【００１２】
洗浄ライン５０６は調圧バルブ５３１を有し、一端が洗浄機構５０２に連結され、他端がトラップビーカ５３２に連結された送液管５３０と、流量計５３５、ポンプ５３６を有し、一端がトラップビーカ５３２に連結され、他端が混合液タンク５３７に連結された送液管５３４と、ポンプ５３９、背圧弁５４２を有する供給圧力調節用の戻り管５４１、バルブ５４０、圧力計を有し、一端が混合液の底部に位置するよう混合液タンク５３７に連結され、他端が送液管５２５の混合器５２６入口部に連結された送液管５３８とにより構成されている。
【００１３】
トラップビーカ５３２はヒータ５３３によって加熱されるようになっている。
【００１４】
洗浄機構５０２は耐圧性、耐熱性、耐腐食性を有す形状の高圧セル５５０により構成されており、該高圧セル５５０は、一端が開口し、洗浄室５５０ａに被処理メタルマスク１００をメタルマスク１１０に付着した有機ＥＬ材料１２０の全面が洗浄剤に接触するように支持する支持部材を備えた胴部（図示せず）と、被処理メタルマスク１００の搬入、処理済みメタルマスクの取り出しのために開口位置と閉止位置とに移動可能なように胴部（図示せず）の開口部に取り付けられた蓋部材（図示せず）と、洗浄室５５０ａ内の洗浄剤を所定の温度に加熱するヒータ５５３と、バルブ５５５を有し、端部が洗浄室５５０ａに連通するよう胴部（図示せず）に取り付けられたベント管５５４と、胴部（図示せず）に設置された蓋部材（図示せず）の移動手段（図示せず）とにより構成されている。
【００１５】
上述の洗浄装置では、使用する超臨界流体又は亜臨界流体、それに添加されるモデファイア及び有機ＥＬ材料の回収が容易で且つ再使用が可能なことから、環境汚染物を排出することなくメタルマスクの洗浄作業を効率よく行うことができた。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の洗浄装置においては洗浄ライン５０６によって高圧セル５５０の洗浄室５５０ａ内に供給された溶解剤と濯ぎ剤によってメタルマスク１００に付着した有機ＥＬ材料１２０の溶解と洗浄をほぼ同時に行っているため、溶解された有機ＥＬ材料１２０が該洗浄室５５０ａのデッドゾーンに浮遊し、処理済みのメタルマスクを取り出すために常圧に減圧した時に浮遊していた有機ＥＬ材料１２０を含有するモデファイアが該処理済みのメタルマスクに液滴となって付着する。
【００１７】
そのため、有機ＥＬ材料１２０を含有するモデファイアが処理済みのメタルマスクに付着しないようにする必要があり、しかも多量の濯ぎ剤を必要とすると共に洗浄時間が約３０分と長くかかって十分満足することができないものであった。
【００１８】
本発明は洗浄時間を短縮させると共に濯ぎ剤の量を減少させることを目的とするものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために本発明のメタルマスクの洗浄方法は請求項１に記載にように有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄剤により洗浄する洗浄方法において、被処理メタルマスクが収納された洗浄室に定常状態の洗浄剤を供給してメタルマスクに付着している有機ＥＬ材料を溶解洗浄し、溶解された有機ＥＬ材料を含む洗浄剤を洗浄室から排出した後、亜臨界流体状の濯ぎ剤を洗浄室に供給して被洗浄室及び処理メタルマスクの有機ＥＬ材料溶解部を濯ぐようにしてある。
【００２０】
又、本発明のメタルマスクの洗浄方法は請求項２に記載にように洗浄剤をモディファイアに、濯ぎ剤を溶媒にしてある。
【００２１】
本発明のメタルマスクの洗浄装置は請求項３に記載にように有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄剤により洗浄する洗浄装置において、被処理メタルマスクを収納するための洗浄室を有する洗浄機構と、定常状態の洗浄剤を前記洗浄室に供給する洗浄剤供給機構と、亜臨界流体状の濯ぎ剤を前記洗浄室に供給する濯ぎ剤供給機構と、少なくとも溶解された有機ＥＬ材料が除去処理された洗浄剤を洗浄剤供給機構に戻し、濯ぎにより有機ＥＬ材料が除去処理された濯ぎ剤を濯ぎ剤供給機構に戻す除去処理機構とを備えた構成にしてある。
【００２２】
又、本発明のメタルマスクの洗浄装置は請求項４に記載にように洗浄剤をモディファイアに、濯ぎ剤を溶媒にしてある。
【００２３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明のメタルマスクの洗浄装置の１実施形態を示す概略図であり、洗浄装置は被処理メタルマスクを収納するための洗浄室１０ａを有する洗浄機構１と、定常状態の洗浄剤２００を該洗浄室１０ａに供給する洗浄剤供給機構２と、亜臨界流体状の濯ぎ剤３００を該洗浄室１０ａに供給する濯ぎ剤供給機構３と、少なくとも溶解された有機ＥＬ材料１２０が除去処理された洗浄剤２００を洗浄剤供給機構２に戻し、濯ぎにより有機ＥＬ材料１２０が除去処理された濯ぎ剤３００を濯ぎ剤供給機構３に戻す除去処理機構４とを備えた構成になっている。
【００２４】
洗浄機構１は耐圧性、耐熱性、耐腐食性を有する形状の高圧セル１０によって構成されている。
【００２５】
該高圧セル１０は一端が開口し、洗浄室１０ａに被処理メタルマスク１００をメタルマスク１００に付着した有機ＥＬ材料１２０の全面が洗浄剤２００と濯ぎ剤３００に接触するように支持する支持部を備えた胴部（図示せず）と、被処理メタルマスク１００の搬入、処理済みメタルマスクの取り出しのために開口位置と閉止位置に移動可能なように且つ閉止位置において気密が維持できるように胴部の開口部に取り付けられた蓋部材（図示せず）と、該胴部（図示せず）の上部に取り付けられた洗浄剤２００又は濯ぎ剤３００のＴ字状供給用管１１と、端部にバルブ１３を有し、該胴部（図示せず）の上部に取り付けられたベント管１２と、該胴部（図示せず）の下部に取り付けられた洗浄剤２００又は濯ぎ剤３００の排出用管１４と、該胴部（図示せず）に設置された蓋部材（図示せず）の移動手段（図示せず）とにより構成されている。
【００２６】
胴部（図示せず）内に回転羽根、スクリュー等の攪拌手段を設置して洗浄剤、濯ぎ剤を攪拌することは可能である。
【００２７】
洗浄剤供給機構２は、洗浄剤２００であるモディファイアを貯留するモディファイアタンク２０と、ポンプ２２、圧力計を有し一端がモディファイアタンク２０に連結され、他端が供給機構１の供給用管１１に連結されているバルブ２５に連結されて送液管２１と、背圧弁２４を有し、一端が送液管２１に連結され、他端がモディファイアタンク２０のモディファイア内に位置するように該モディファイアタンク２０に取り付けられた供給圧力調節用の戻り管２３とにより構成されている。
【００２８】
濯ぎ剤供給機構３は濯ぎ剤３００である溶媒を貯留する溶媒タンク３０と、ポンプ３２、バルブ３３、圧力計を有し一端が溶媒タンク３０に連結され、他端が洗浄機構１の供給用管１１に連結されているバルブ３８に連結されて送液管３１と、背圧弁３５を有し、一端が送液管２１のポンプ３２の入口側位置に連結され、他端が送液管２１のポンプ３２の出口側位置に連結された供給圧力調節用の戻り管３４と、端部にバルブ３７が取り付けられ、他端が溶媒タンク３０に連結されたベント管３６とにより構成されている。
【００２９】
除去処理機構４は洗浄機構１の排出用管１４に連結されたフイルタ４１と、調圧弁４２を有し、一端がフイルタ４１に連結され、他端がトラップビーカ４３に取り付けられた送液管４０と、一端に三方弁４６が連結され、他端がトラップビーカ４３に取り付けられた送液管４５と、一端が三方弁４６に連結され、他端がモディファイアタンク２０の洗浄剤２００内に位置するように該モディファイアタンク２０に取り付けられた戻り管４７と、流量計４９と溶媒を液化させる加圧用のポンプ５０を有し、一端が三方弁４６に連結され、他端が溶媒タンク３０の濯ぎ剤３００内に位置するように該溶媒タンク３０に取り付けられた戻り管４８とにより構成されている。
【００３０】
トラップビーカ４３はヒータ４４によって加熱されるようになっている。
【００３１】
戻り管４７はトラップビーカ４３によって気体状になった洗浄剤２００がモディファイアタンク２０内に戻される時に液体状になっているようその途中に液化用の加圧用ポンプあるいは冷却器を設置するか、戻り管４７に冷却用フインを設けた構成にしてある。
【００３２】
上述の洗浄装置による被処理メタルマスク１００の洗浄操作は次の順序で行うことができる。
【００３３】
先ず、洗浄機構１の高圧セル１０の蓋部材（図示せず）を開口させて予め準備された被処理メタルマスク１００を洗浄室１０ａ内の支持部に供給して該蓋部材（図示せず）を閉止する。
【００３４】
次いで、洗浄機構１のバルブ１３と、洗浄剤供給機構２のバルブ２５と、濯ぎ剤供給機構３のバルブ３３、３７、３８と、除去処理機構４の調圧弁４２、三方弁４６とを閉栓の状態にし、ポンプ３２を作動させて高圧セル１０の洗浄室１０ａ内、供給用管１１，排出用管１４、送液管３１、２１、４０、４５内の空気を放出させて気体状態の濯ぎ剤３００である溶媒（二酸化炭素）と置換する。
【００３５】
該空気と気体状態の溶媒の置換操作が済むと、洗浄機構１のバルブ１３を閉栓の状態にし、濯ぎ剤供給機構３のポンプ３２を停止させ、バルブ３３、３７、３８を閉栓の状態にすると共に除去処理機構４の三方弁１６の戻り管４８側を閉栓の状態にする。
【００３６】
該状態でポンプ２２を作動させると、液体状態の洗浄剤２００が洗浄機構１の高圧セル１０の洗浄室１０ａに供給される。この時、背圧弁２４によって洗浄剤２００の圧力が予め設定された圧力に調節される。また、ヒータ１５により高圧セル１０の洗浄室１０ａ内を設定された温度に調整される。
【００３７】
該洗浄剤２００が洗浄室１０ａに供給されると、該洗浄室１０ａ内、供給用管１１、排出用管１４等内にあった気体状態の濯ぎ剤３００が戻り管４７を通ってモディファイアタンク２０の洗浄剤２００内に送り込まれ、該洗浄剤２００を通って大気中に放出される。
【００３８】
該洗浄室１０ａ内に予め設定された量（被処理メタルマスク１００が浸漬する量）の液体状態の洗浄剤２００が供給されると、該洗浄剤２００によって被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０が溶解される。
【００３９】
該有機ＥＬ材料１２０の溶解を容易にしたり、溶解時間を短縮するために洗浄剤２００を洗浄剤供給機構２、洗浄機構１、除去処理機構４間を所定時間循環させながら被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０を溶解させるようにすることは可能である。
【００４０】
そして、メタルマスク１００に付着していた有機ＥＬ材料１２０が溶解されると、濯ぎ剤供給機構３のバルブ３３、３８を開栓の状態にしてポンプ３２を作動させて気体状態の濯ぎ剤３００を洗浄室１０ａに供給して該洗浄室１０ａの有機ＥＬ材料１２０を含む洗浄剤２００を排出させる。
【００４１】
フイルタ４１によって前工程で付着したチップ破片や金属破片等の付着物が除去され有機ＥＬ材料１２０を含む液体状態の洗浄剤２００が調圧弁４２を通ってトラップビーカ４３に入ると、ヒータ４４によって加熱されて気化して気体の状態で戻り管４７を通ってモディファイアタンク２０に戻される。該有機ＥＬ材料１２０を含まない洗浄剤２００はモディファイアタンク２０に戻される前に加圧ポンプ、冷却器等の冷却手段によって冷却されて液化し、液体の状態でモディファイアタンク２０内に戻される。
【００４２】
洗浄剤２００が気化してモディファイアと有機ＥＬ材料２が分離し、トラップビーカ４３内には有機ＥＬ材料１２０のみが残る。
【００４３】
高圧セル１０の洗浄室１０ａ内の有機ＥＬ材料１２０を含む洗浄剤２００が気体状態の濯ぎ剤３００によって排出され、有機ＥＬ材料１２０の除去処理がされた液体状の洗浄剤２００がモディファイアタンク２０に戻されると三方弁４６の戻り管４７側が閉栓の状態に戻り管４８の流量計４９側が開栓の状態に切り替えられる。
【００４４】
そして、該洗浄室１０ａ内に所定量（被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０が溶解された部分の濯ぎ操作、洗浄室１０ａの内壁部等の濯ぎ操作に必要な量）の濯ぎ剤３００が供給され、該濯ぎ剤３００によって被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０が溶解された部分、洗浄室１０ａの内壁部等に付着している有機ＥＬ材料１２０の濯ぎが行われる。
【００４５】
該濯ぎ剤３００は洗浄剤２００の供給が停止された時点あるいは濯ぎ剤３００が供給された時点に昇温されたヒータ１５によって温度を調整し、さらにポンプ３２により圧力を調整して亜臨界流体状にするか、洗浄室１０ａに供給される途中で加熱及び加圧して亜臨界流体状にすることができる。
【００４６】
該有機ＥＬ材料１２０の濯ぎを容易にしたり、濯ぎ時間を短縮するために濯ぎ剤３００を濯ぎ剤供給機構３、洗浄機構１、除去処理機構４間を所定時間循環させながら被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０が溶解された部分、洗浄室１０ａ内を濯ぐようにすることは可能である。
【００４７】
亜臨界流体状の濯ぎ剤３００による濯ぎ操作が済むと、洗浄室１０ａに濯ぎ剤３００の供給を止め高圧セル１０の洗浄室１０ａ内を調整弁４２を操作し、有機ＥＬ材料１２０を含む亜臨界流体状態の濯ぎ剤３００が調圧弁４２を通ってトラップビーカ４３に送られると、該亜臨界流体状態の溶媒は調圧弁４２によりトラップビーカ４３で亜臨界状態を解かれて気化する。
【００４８】
この時、モディファイアによる溶解洗浄で若干残っていた洗浄残留物を析出し、ヒータ４４によって流体状態の有機ＥＬ材料１２０を含む濯ぎ剤３００が加熱されて濯ぎ剤３００のみが気化して戻り管４７から流量計４９を通って溶媒タンク３０に戻される。該濯ぎ剤３００が気化したトラップビーカ４３内には有機ＥＬ材料１２０のみが残る。
【００４９】
該有機ＥＬ材料１２０を含まない濯ぎ剤３００は溶媒タンク３０に戻される前にポンプ５０によって加圧されて液化し、流体状態の濯ぎ剤３００になって溶媒タンク３０内に戻される。有機ＥＬ材料１２０の除去処理が行われた濯ぎ剤３００が溶媒タンク３０に戻されるとポンプ５０が停止される。
【００５０】
有機ＥＬ材料１２０を含む亜臨界流体状態の濯ぎ剤３００が洗浄室１０ａから排出され、気体状態の濯ぎ剤３００に置換されると、濯ぎ剤供給機構３のバルブ３３，３８を閉栓の状態にすると共にポンプ３２が停止される。
【００５１】
上述のモディファイアによる被処理メタルマスク１００のメタルマスク１００に付着した有機ＥＬ材料１２０の溶解操作、亜臨界流体状態の溶媒による濯ぎ操作が済むと、洗浄機構１の高圧セル１０の蓋部材（図示せず）を開口させ、該溶解洗浄操作の済んだ処理済みメタルマスクを洗浄室１０ａから取り出し、次に洗浄処理操作を行う被処理メタルマスク１００を供給する。
【００５２】
該新たな被処理メタルマスク１００が供給されると上述のモディファイアによる有機ＥＬ材料１２０の溶解操作及び亜臨界流体状態の溶媒による濯ぎ操作が行われる。
【００５３】
上述の洗浄剤であるモディファイアとしてはエタノール、メタノール、アセトン、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセドアミド、ジクロロメタン、トルエン、キシレン、エチレングリコール、塩酸、硝酸、硫酸、エーテル、代替えフロン等を使用することができ、溶媒としては、二酸化炭素を使用する。
【００５４】
【実施例１】
メタルマスク１１０には発光材料である有機ＥＬ材料１２０の蒸着工程で付着した有機ＥＬ材料１２０、チップ破片や金属破片等の不純物が付着した被処理メタルマスク１００を準備すると、上述の洗浄装置における洗浄機構１の高圧セル１０の蓋部材（図示せず）を開口させて該被処理メタルマスク１００を洗浄室１０ａ内の支持部に供給して該蓋部材（図示せず）を閉止する。
【００５５】
次いで、洗浄機構１のバルブ１３と、洗浄剤供給機構２のバルブ２５と、濯ぎ剤供給機構３のバルブ３３、３７、３８と、除去処理機構４の調圧弁４２、三方弁４６とを閉栓の状態にし、ポンプ３２を作動させて気体状態の二酸化炭素を供給して高圧セル１０の洗浄室１０ａ内、供給用管１１，排出用管１４、送液管３１、２１、４０内の空気を放出させて気体状態の二酸化炭素と置換する。
【００５６】
該空気と気体状態の溶媒の置換操作が済むと、洗浄剤供給機構２のポンプ２２を作動して、液体状態のエタノールが洗浄機構１の高圧セル１０の洗浄室１０ａに供給される。この時の高圧セル１０内の温度は２５℃で圧力は常圧である。
【００５７】
該洗浄室１０ａ内に予め設定された量のエタノールが供給されると、該エタノールによってメタルマスク１１０に付着した有機ＥＬ材料１２０の溶解処理が行われる。
【００５８】
そして、メタルマスク１００に付着していた有機ＥＬ材料１２０が溶解されると、濯ぎ剤供給機構３のバルブ３３、３８を開栓の状態にしてポンプ３２を作動させて気体状態の二酸化炭素を洗浄室１０ａに供給して該洗浄室１０ａの有機ＥＬ材料１２０を含むエタノールを排出させる。
【００５９】
すると、フイルタ４１によってチップ破片や金属破片等の付着物が除去され有機ＥＬ材料１２０を含むエタノールが調圧弁４２を通ってトラップビーカ４３に入ると、ヒータ４４によって加熱されて気化して気体の状態で戻り管４７を通ってモディファイアタンク２０に戻される。該有機ＥＬ材料１２０を含まないエタノールはモディファイアタンク２０に戻される前に加圧ポンプ、冷却器等の冷却手段によって冷却されて液化し、液体の状態でモディファイアタンク２０内に戻され再使用される。
【００６０】
エタノールが気化してエタノールと有機ＥＬ材料１２０が分離し、トラップビーカ４３内には有機ＥＬ材料１２０のみが残る。
【００６１】
高圧セル１０の洗浄室１０ａ内の有機ＥＬ材料１２０を含むエタノールが二酸化炭素によって排出され、有機ＥＬ材料１２０の除去処理がされた液体状態のエタノールがモディファイアタンク２０に戻されると三方弁４６の戻り管４７側が閉栓の状態に戻り管４８の流量計４９側が開栓の状態に切り替えられる。
【００６２】
そして、該洗浄室１０ａ内に所定量（被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０が溶解された部分の濯ぎ操作、洗浄室１０ａの内壁部等の濯ぎ操作に必要な量）の液体状態の二酸化炭素がポンプ３２によって溶媒タンク３０からバルブ３３を通って背圧弁３５で所定の圧力に調節され、６．８ｇ／ｍｉｎの割合で高圧セル１０の洗浄室１０ａ内に供給される（二酸化炭素の流量は相により体積が異なるため、ｇ／ｍｉｎで表す。）。この時の洗浄室１０ａ内の圧力は６．５ＭＰａで温度はヒータ１５により加熱されて２５℃であり、供給された二酸化炭素は亜臨界流体の状態となる。
【００６３】
この亜臨界流体状態の二酸化炭素によりエタノールによる溶解操作での残留物を溶解、濯ぎ、有機ＥＬ材料１２０が溶解された部分の濯ぎ、洗浄室１０ａ内壁部に付着している有機ＥＬ材料１２０の濯ぎ等が行なわれる。
【００６４】
亜臨界流体状の二酸化炭素による濯ぎ操作が済むと、洗浄室１０ａを調圧弁４２の操作により減圧する。高圧セル１０の洗浄室１０ａ内の二酸化炭素が調圧弁４２を通ってトラップビーカ４３に送られると、該亜臨界流体状態の二酸化炭素は調圧弁４２によりトラップビーカ４３で亜臨界状態を解かれて気化する。
【００６５】
この時、エタノールによる溶解洗浄で若干残っていた洗浄残留物を析出し、ヒータ４４によって流体状態の有機ＥＬ材料１２０を含む二酸化炭素が加熱されて二酸化炭素のみが気化して戻り管４７から流量計４９を通って溶媒タンク３０に戻される。該二酸化炭素が気化したトラップビーカ４３内には有機ＥＬ材料１２０のみが残る。
【００６６】
該有機ＥＬ材料１２０を含まない二酸化炭素は溶媒タンク３０に戻される前にポンプ５０によって加圧されて液化し、流体状態の二酸化炭素になって溶媒タンク３０内に戻される。有機ＥＬ材料１２０の除去処理が行われた二酸化炭素が溶媒タンク３０に戻されるとポンプ５０が停止される。
【００６７】
有機ＥＬ材料１２０を含む亜臨界流体状態の二酸化炭素が洗浄室１０ａから排出され、気体状態の二酸化炭素に置換されると、濯ぎ剤供給機構３のバルブ３３、３８を閉栓の状態にすると共にポンプ３２が停止される。
【００６８】
上述のエタノールによる被処理メタルマスク１００のメタルマスク１００に付着した有機ＥＬ材料１２０の溶解操作、亜臨界流体状態の溶媒による濯ぎ操作が済むと、洗浄機構１の高圧セル１０の蓋部材（図示せず）を開口させ、該溶解洗浄操作の済んだ処理済みメタルマスクを洗浄室１０ａから取り出し、次に洗浄処理操作を行う被処理メタルマスク１００を供給する。
【００６９】
上述のエタノールによる有機ＥＬ材料１２０の溶解操作、亜臨界流体状態の二酸化炭素によるエタノールによる溶解操作での残留物の溶解、濯ぎ操作、有機ＥＬ材料１２０が溶解された部分の濯ぎ操作、洗浄室１０ａ内壁部に付着している有機ＥＬ材料１２０の濯ぎ操作によって、二酸化炭素の使用量を従来の約８割程度にすることができると共に洗浄処理されたメタルマスク１００は有機ＥＬ材料１２０が殆ど付着しない状態にすることができ、しかも洗浄時間を約２０分にすることができた。
【００７０】
【発明の効果】
本発明のメタルマスクの洗浄方法は請求項１に記載のように有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄剤により洗浄する洗浄方法において、被処理メタルマスクが収納された洗浄室に定常状態の洗浄剤を供給してメタルマスクに付着している有機ＥＬ材料を溶解洗浄し、溶解された有機ＥＬ材料を含む洗浄剤を洗浄室から排出した後、亜臨界流体状の濯ぎ剤を洗浄室に供給して洗浄室及び被処理メタルマスクの有機ＥＬ材料溶解部を濯ぐようにしているため、洗浄室内あるいは被処理メタルマスク部に残っていた有機ＥＬ材料を容易にかつ洗浄することができ、洗浄時間を短縮することができると共に濯ぎ剤の量を減少させることができる。
【００７１】
又、本発明のメタルマスクの洗浄方法は請求項２に記載のように洗浄剤をモディファイアに、濯ぎ剤を溶媒にしているため、有機ＥＬ材料の溶解、濯ぎを確実に行うことができる。
【００７２】
本発明のメタルマスクの洗浄装置は請求項３に記載のように有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄剤により洗浄する洗浄装置において、被処理メタルマスクを収納するための洗浄室を有する洗浄機構と、定常状態の洗浄剤を前記洗浄室に供給する洗浄剤供給機構と、亜臨界流体状の濯ぎ剤を前記洗浄室に供給する濯ぎ剤供給機構と、少なくとも溶解された有機ＥＬ材料が除去処理された洗浄剤を洗浄剤供給機構に戻し、濯ぎによる有機ＥＬ材料が除去処理された濯ぎ剤を濯ぎ剤供給機構に戻す除去処理機構とを備えた構成にしているため、洗浄剤の供給及び排出操作、濯ぎ剤の供給及び排出操作、及びメタルマスクに付着した有機ＥＬ材料の溶解操作、メタルマスクの有機ＥＬ材料溶解部分の濯ぎ操作、洗浄室内壁に付着した溶解有機ＥＬ材料の濯ぎ操作を確実に行うことができ、洗浄時間を短縮することができると共に濯ぎ剤の量を減少させることができる。
【００７３】
又、本発明のメタルマスクの洗浄装置は請求項４に記載のように洗浄剤をモディファイアに、濯ぎ剤を溶媒にしているため、有機ＥＬ材料の溶解操作、濯ぎ操作を確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明のメタルマスクの洗浄装置の１実施形態を示す簡略図である。
【図２】図２は従来のメタルマスクの洗浄装置の１実施形態を示す簡略図である。
【符号の説明】
１  洗浄機構
２  洗浄剤供給機構
３  濯ぎ剤供給機構
４  除去処理機構
１０  高圧セル
１１  供給用管
１２、３６  ベント管
１３、２５、３３、３８、３７  バルブ
１４  排出用管
１５、４４  ヒータ
２０  モデファイアタンク
２１、３１、４０、４５、  送液管
２２、３２、５０  ポンプ
２３、３４、４７、４８  戻り管
２４、３５  背圧弁
３０  溶媒タンク
４１  フイルタ
４２  調圧弁
４３  トラップビーカー
４６  三方弁
４９  流量計
１０ａ  洗浄室
１００  被処理メタルマスク
１１０  メタルマスク
１２０  有機ＥＬ材料
２００  洗浄剤
３００  濯ぎ剤
【図１】
2004234975.tif 000003
【図２】
2004234975.tif 000004