(57)【要約】【課題】運転状態においてポンプロータとポンプケーシングの隙間を所定の値が得られ、ポンプロータとポンプケーシングの接触を防ぎ、かつ、高い性能が得られる多段式真空ポンプ装置を提供する。【解決手段】ポンプロータ１１ａ、１１ｂと、作動ガスの吸入口１２と排気口１３を備えたポンプケーシング１４と、ポンプロータ１１ａ、１１ｂを一定の位相に維持するためのタイミングギヤ１５ａ、１５ｂと、タイミングギヤ１５ａ、１５ｂからの動力をポンプロータ１１ａ、１１ｂへ伝達するためのシャフト１６ａ、１６ｂから構成させるルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０が直列に複数個配設されて成る４段式真空ポンプ装置１００で、各段のルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０の初期隙間は、運転状態でのポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂとポンプケーシング１４、２４、３４、４４の温度差△Ｔから各段ごとに設定する。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のポンプロータと、作動ガスの吸入口と排気口を備えた前記ポンプロータを内蔵するポンプケーシングと、複数の前記ポンプロータを一定の位相に維持するためのタイミングギヤと、前記ポンプロータへ動力を伝達する複数のシャフトから構成させるルーツ型ポンプで、前記ルーツ型ポンプが直列に複数個配設して成る多段式真空ポンプ装置において、
各段の前記ルーツ型ポンプの前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの間の初期隙間は、前記ルーツ型ポンプの運転状態での前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの温度差が大きいときには大きく設定されること、を特徴とする多段式真空ポンプ装置。
【請求項２】
前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの初期隙間は、ポンプロータのポンプロータ頂部の外径により調整すること、を特徴とする請求項１に記載の多段式真空ポンプ装置。
【請求項３】
前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの初期隙間は、前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの側面隙間により調整すること、を特徴とする請求項１に記載の多段式真空ポンプ装置。
【請求項４】
前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの初期隙間は、前記ポンプロータの前記ポンプロータ頂部の外径と、前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの側面隙間により調整されること、を特徴とする請求項１に記載の多段式真空ポンプ装置。
【請求項５】
前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの側面隙間は、前記ポンプロータの位置決めをする基準位置側の隙間が基準位置とは反対側の隙間より小さいこと、を特徴とする請求項３、４に記載の多段式真空ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のルーツ型ポンプが複数個直列に配設されて成る多段式真空ポンプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本発明に関する従来技術として、特開平１０−１５９７７５公報に開示された多段式真空ポンプ装置がある。従来の多段式真空ポンプ装置は、隣り合うルーツ型ポンプの吸入口と排気口とを排気管によって接続して直列に連結される複数の個別のルーツ型ポンプと、個別のルーツ型ポンプをそれぞれ駆動する個別のモータと、少なくとも大気側に接する前記ルーツ型ポンプの回転数を可変にする駆動手段と、大気側に接する前記ルーツ型ポンプを駆動するモータの駆動電流を検出する駆動電流検出手段とから成るものである。
【０００３】
従来の多段式真空ポンプ装置では、個別のモータが、隣り合うルーツ型ポンプの吸入口と排気口とを排気管によって接続して直列に連結される複数の個別のルーツ型ポンプをそれぞれ駆動するとともに、駆動電流検出手段が大気側に接するルーツ型ポンプを駆動するモータの駆動電流を検出して、駆動手段が該検出された駆動電流に基づき大気側に接するルーツ型ポンプの回転数を制御するため、安価なシステムにより、ルーツ型ポンプの背圧真空度を改善するとともに、駆動力の増加を抑制するという効果を奏するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の多段式真空ポンプ装置では、部品の共通化や互換性を図るため、ルーツ型ポンプに全て同じ仕様のポンプロータとポンプケーシングを用いており、またポンプロータとポンプケーシングの初期隙間も同一であった。
【０００５】
多段式真空ポンプ装置の運転時におけるポンプロータ、ポンプケーシングの温度は各段ごとに異なり、真空側のルーツ型ポンプと、大気側のルーツ型ポンプを比べると、大気側のルーツ型ポンプの方が温度が高くなる。また、ポンプロータとポンプケーシングの温度は、ポンプロータの温度が高く、温度差は大気側のルーツ型ポンプの方が大きい。
【０００６】
そのため初期隙間を同一にすると、ルーツ型ポンプの運転状態において、特に大気側のルーツ型ポンプのポンプロータとポンプケーシングの隙間が狭くなり、ポンプロータとポンプケーシングが接触する問題がある。ポンプロータとポンプケーシングが接触すると、摩擦力等により荷重が発生し、軸受への過大な負荷がかかり、軸受の短命化、破損、またルーツ型ポンプの消費電力の増加、ポンプロータの回転不能といった故障に至る恐れがある。初期隙間を大きくすると、大気側のルーツ型ポンプのポンプロータとポンプケーシングが接触という問題は避けられるが、真空側のルーツ型ポンプの運転状態での隙間が大きすぎて、所定のルーツ型ポンプの性能（真空度や排気速度）が得られない問題がある。
【０００７】
本発明は、運転状態において、ポンプロータとポンプケーシングの隙間を所定の隙間が得られ、ポンプロータとポンプケーシングの接触を防ぎ、かつ、高いルーツ型ポンプの性能が得られる多段式真空ポンプ装置を提供することを解決すべき課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１の発明は、「複数のポンプロータと、作動ガスの吸入口と排気口を備えた前記ポンプロータを内蔵するポンプケーシングと、複数の前記ポンプロータを一定の位相に維持するためのタイミングギヤと、前記ポンプロータへ動力を伝達する複数のシャフトから構成させるルーツ型ポンプで、前記ルーツ型ポンプが直列に複数個配設して成る多段式真空ポンプ装置において、各段の前記ルーツ型ポンプの前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの間の初期隙間は、前記ルーツ型ポンプの運転状態での前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの温度差が大きいときには大きく設定されること」を特徴とする。
【０００９】
請求項１の発明では、ルーツ型ポンプのポンプロータとポンプケーシングの間の初期隙間がルーツ型ポンプの運転状態でのポンプロータとポンプケーシングの温度差から各段ごとに設定されるため、運転状態で温度が高くなり、且つ、ポンプロータとポンプケーシングの温度差が大きい大気側のルーツ型ポンプの初期隙間を大きくすることで、運転状態でポンプロータとポンプケーシングが接触する問題がなくなる。したがって、ポンプロータとポンプケーシングが接触ことによる、摩擦力等により荷重が増大し、軸受に過大な負荷がかかり、軸受の短命化、破損、またルーツ型ポンプの消費電力の増加、ポンプロータの回転不能といった不具合を防ぐことができる。また、温度差の大きい大気側のルーツ型ポンプの隙間は、運転状態では任意の幅まで小さくなるため、初期隙間が大きいことによるルーツ型ポンプの性能（真空度や排気速度）低下を防ぐことができる。
【００１０】
また、上記課題を解決するための請求項２の発明は、「前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの初期隙間は、ポンプロータのポンプロータ頂部の外径により調整すること」を特徴とする。
【００１１】
請求項２の発明では、ルーツ型ポンプのポンプロータのポンプロータ頂部の外径によりポンプロータとポンプケーシングの初期隙間を調整することで、ルーツ型ポンプの部品の共通化や互換性を図ることができる。本発明では、各段のごとにルーツ型ポンプを専用設計しなくて良いため、例えば市販の自動車用のスーパーチャージャー（ルーツ型）を真空ポンプに応用する場合にポンプロータ頂部の外径の部分に手を加えることで本発明の多段式真空ポンプ装置を構成することができる。したがってルーツ型ポンプを各段ごとに専用設計するのと比べてコストが低減できる。
【００１２】
また、上記課題を解決するための請求項３の発明は、「前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの初期隙間は、前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの側面隙間により調整すること」を特徴とする。
【００１３】
請求項３の発明では、ルーツ型ポンプのポンプロータの側面とポンプケーシングの側面との間の側面隙間により、ポンプロータとポンプケーシングの初期隙間を調整するものである。側面隙間は、ポンプロータの長さ、もしくはポンプケーシングの深さを変えることで調整する。ポンプロータの長さを変えること、もしくはケーシングの深さを変えることで、本発明の多段式真空ポンプ装置を構成することが可能であり、ルーツ型ポンプの部品の多くは共通化や互換性を図ることができる。したがって本発明では、各段のごとにルーツ型ポンプを専用設計しなくて良いため、例えば市販の自動車用のスーパーチャージャー（ルーツ型）を真空ポンプに応用する場合にポンプロータの長さを変えること、もしくはポンプケーシングの深さを変えることで本発明の多段式真空ポンプ装置を構成することができるため、ルーツ型ポンプを各段ごとに専用設計する場合と比べてコストを低減できる。
【００１４】
また、上記課題を解決するための請求項４の発明は、「前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの初期隙間は、前記ポンプロータの前記ポンプロータ頂部の外径と、前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの側面隙間により調整されること」を特徴とする。
【００１５】
請求項４の発明では、ポンプロータのポンプロータ頂部の外径とポンプロータとポンプケーシングの側面隙間により調整することで、ルーツ型ポンプの部品の共通化や互換性を図りながら、運転状態においてポンプロータとポンプケーシングの温度差が大きいルーツ型ポンプで、ポンプロータとポンプケーシングが接触する問題を防ぐことができる。
【００１６】
また、上記課題を解決するための請求項５の発明は、「前記ポンプロータと前記ポンプケーシングの側面隙間は、前記ポンプロータの位置決めをする基準位置側の隙間が基準位置とは反対側の隙間より小さいこと」を特徴とする。
【００１７】
請求項５の発明では、ポンプロータとポンプケーシングの側面隙間を、ポンプロータの位置決めをする基準位置側の隙間を基準位置とは反対側の隙間より小さくすることで、ポンプロータとポンプケーシングの初期隙間を小さくできる。基準位置から基準位置側の隙間までの距離は、基準位置から基準位置側とは反対の隙間までの距離に比べて短いため、ポンプロータ又はポンプケーシングの熱膨張による隙間の変化は少ない。これに対して基準位置から基準位置側とは反対の隙間までの距離は長いため、ポンプロータ又はポンプケーシングの熱膨張による隙間の変化は大きい。したがって基準位置側の隙間を反対側の隙間より小さくすることで、ポンプロータとポンプケーシングの初期隙間を小さくでき、多段式真空ポンプ装置の始動時において隙間が大きいことによるルーツ型ポンプの性能（真空度や排気速度）低下を防止できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の多段式真空ポンプ装置の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１は本発明の４段式真空ポンプ装置１００（図５）を構成する第１段目のルーツ型ポンプ１０の横断面図で、一対のポンプロータ１１ａ、１１ｂと、作動ガスの吸入口１２と排気口１３を備え一対のポンプロータ１１ａ、１１ｂを内蔵するポンプケーシング１４と、一対のポンプロータ１１ａ、１１ｂを一定の位相に維持するためのタイミングギヤ１５ａ、１５ｂと、動力源であるモータ（図示しない）からの動力が伝達されポンプロータ１１ａを回動するドライブ側のシャフト１６ａと、タイミングギヤ１５ａ、１５ｂを介してドライブ側のシャフト１６ａから動力が伝達されポンプロータ１１ｂを回動するドリブン側のシャフト１６ｂから成る。一対のポンプロータ１１ａ、１１ｂは、夫々２箇所のポンプロータ頂部１７ａ、１７ｂを備える。
【００２０】
図２は本発明の第１段目のルーツ型ポンプ１０のポンプロータ１１ａに設けたポンプロータ頂部１７ａの拡大図である。ポンプロータ頂部１７ａとポンプケーシング１４の内面との間のポンプロータ頂部の間の初期隙間であるポンプロータ頂部の隙間Ａは、ポンプケーシング１４の内径Ｂと、ポンプロータ頂部１７ａの外径Ｃより、Ａ＝（Ｂ−Ｃ）／２の式で表される。
【００２１】
図３は本発明の第１段目のルーツ型ポンプ１０の水平方向に切った縦断面図である。ポンプロータ１１ａを回動するシャフト１６ａは、ポンプロータ１１ａの両端に設けられた軸受１８ａ、１９ａにより回動可能に軸支される。同様に、ポンプロータ１１ｂを回動するシャフト１６ｂは、ポンプロータ１１ｂの両端に設けられた軸受１８ｂ、１９ｂにより回動可能に軸支される。ポンプロータ１１ａ、１１ｂのポンプケーシング１４内でのシャフト１６ａ、１６ｂの軸方向の位置は、タイミングギヤ１５ａ、１５ｂの側に設けられた基準位置に軸受１８ａ、１８ｂが当接することで決まる。シャフト１６ａ、１６ｂの軸受１９ａ、１９ｂの側は、シャフト１６ａ、１６ｂの軸方向に伸長可能な構成になっている。
【００２２】
図４は、本発明の第１〜４段目のルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０（図５）の各段のポンプケーシングの深さＤ、ポンプロータの長さＥ、基準位置側（タイミングギヤ１５ａ、１５ｂの側）の隙間Ｆ、基準位置とは反対側の隙間Ｇの初期寸法を示したものである。ポンプロータとポンプケーシングの側面隙間Ｈ（初期隙間）は、Ｈ＝Ｄ−Ｅ＝Ｆ＋Ｇの式で表される。本実施例では、第１〜３段目のルーツ型ポンプ１０、２０、３０のポンプケーシングの深さＤ、ポンプロータの長さＥ、基準位置側の隙間Ｆ、基準位置とは反対側の隙間Ｇの初期寸法、及び側面隙間Ｈ（Ｈ＝０．１１ｍｍ）は同一である。これに対して第４段目のルーツ型ポンプ４０の側面隙間ＨはＨ＝０．２１ｍｍと大きい。
【００２３】
また、第１〜３段目のルーツ型ポンプ１０、２０、３０のポンプロータの位置決めをする基準位置側の隙間Ｆは基準位置とは反対側の隙間Ｇより０．０１ｍｍ小さく、第４段目のポンプロータの位置決めをする基準位置側の隙間Ｆも基準位置とは反対側の隙間Ｇより０．１１ｍｍ小さい。
【００２４】
図５は本発明の４段式真空ポンプ装置１００で、真空装置５０と連通して真空装置５０内の作動ガスを吸入する真空側の第１段目のルーツ型ポンプ１０と、第１段目のルーツ型ポンプ１０と連通する第２段目のルーツ型ポンプ２０と、第２段目のルーツ型ポンプ２０と連通する第３段目のルーツ型ポンプ３０と、第３段目のルーツ型ポンプ３０と連通する大気側の第４段目のルーツ型ポンプ４０と、第４段目のルーツ型ポンプ４０と連通する消音器６０と、消音器６０からの作動ガスを大気に排気するための排気口７０とから構成される。第２段目のルーツ型ポンプ２０から第４段目のルーツ型ポンプ４０は、基本的な構成は第１段目のルーツ型ポンプ１０（図１）と同様であり、多くの部品で共通化が図られている。
【００２５】
図６は本発明の４段式真空ポンプ装置１００の作動状態における各段のルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０のポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂの表面の温度Ｔ１、ポンプケーシング１４、２４、３４、４４のケーシング中央の温度Ｔ２、及び各段におけるポンプロータとポンプケーシングの温度差△Ｔを示したものである。４段式真空ポンプ装置１００の作動状態においては、大気側の第４段目のルーツ型ポンプ４０のポンプロータ４１ａ、４１ｂの温度Ｔ１と、ポンプケーシング４４の温度Ｔ２が最も高くなる。ポンプロータとポンプケーシングの温度差△Ｔは、第４段目＞第１段目＞第３段目＞第２段目の順になる。第４段目のルーツ型ポンプ４０のポンプロータ４１ａ、４１ｂと、ポンプケーシング４４の温度が最も高くなるのは、第４段目のルーツ型ポンプ４０でのポンプ仕事が第１〜３段目のルーツ型ポンプ１０、２０、３０と比較して大きいことと、第１〜３段目のルーツ型ポンプ１０、２０、３０のポンプ仕事により加熱された作動ガスが第４段目のルーツ型ポンプ４０に吸入されるためである。また、第１段目の温度差△Ｔが第２段目、第３段目の温度差△Ｔより大きくなるのは、真空度が高いためポンプロータから作動ガスへの熱伝達が少なくポンプロータが冷却されにくいことによる。
【００２６】
次に本発明の４段式真空ポンプ装置１００の作動について説明する。真空装置５０内の作動ガスは、第１段目のルーツ型ポンプ１０のポンプケーシング１４に設けた吸入口１２から吸入される。吸入口１２から吸入された作動ガスは、ポンプケーシング１４の内面とポンプロータ１１ａ、１１ｂの間を経由して排気口１３から第２段目のルーツ型ポンプ２０へと送られる。第２段目のルーツ型ポンプ２０においても同様に作動し、第３段目のルーツ型ポンプ３０、第４段目のルーツ型ポンプ４０へと作動ガスは順次送られる。第４段目のルーツ型ポンプ４０の排気口から排出された作動ガスは消音器６０で消音されて、排気口７０から大気中に排気される。
【００２７】
本発明では、第１〜４段目のルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０のポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂとポンプケーシング１４、２４、３４、４４の間の初期隙間が運転状態での温度差△Ｔからポンプロータ頂部の外径Ｃにより各段ごとに設定されるため、運転状態で温度Ｔ１、Ｔ２が高くなり、且つ、温度差△Ｔが大きい場合でも、温度差△Ｔの大きいルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０の初期隙間を大きくすることで、運転状態でポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂとポンプケーシング１４、２４、３４、４４が接触する問題がなくなる。したがって、ポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂとポンプケーシング１４、２４、３４、４４が接触ことに起因して、摩擦力等による荷重が発生し、軸受１８ａ、１８ｂ、１９ａ、１９ｂへ過大な負荷がかかり、軸受１８ａ、１８ｂ、１９ａ、１９ｂの短命化、破損、またルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０の消費電力の増加、ポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂの回転不能といった故障を防ぐことができる。また、初期隙間の大きいルーツ型ポンプ４０の運転状態における隙間は、任意の大きさまで小さくなるため、隙間が大きすぎることによるルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０の性能（真空度や排気速度）低下を防止できる。
【００２８】
また、ルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０のポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂのポンプロータ頂部の外径Ｃによりポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂとポンプケーシング１４、２４、３４、４４のポンプロータ頂部の隙間Ａ（初期隙間）を調整することで、ルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０の部品の共通化や互換性を図ることができる。そのため、各段のごとにルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０を専用設計しなくて良いため、例えば市販の自動車用のスーパーチャージャー（ルーツ型）を真空ポンプに応用する場合に、ポンプロータ頂部の外径Ｃの部分だけ手を加えることで本発明の多段式真空ポンプ装置を構成することができる。したがってルーツ型ポンプを各段ごとに専用設計するのと比べてコストが低減できる。
【００２９】
また、ルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０のポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂとポンプケーシング１４、２４、３４、４４の初期隙間は、側面隙間Ｈにより調整する。側面隙間Ｈは、ポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂの長さＥ、もしくはポンプケーシング１４、２４、３４、４４の深さＤを変えることで調整可能になる。ポンプロータの長さＥを変えること、もしくはポンプケーシングの深さＤを変えることにより、本発明の４段式真空ポンプ装置１００を構成できるため、ルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０の部品の共通化や互換性を図ることができる。したがって本発明では、各段のごとにルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０を専用設計しなくて良いため、例えば市販の自動車用のスーパーチャージャー（ルーツ型）を真空ポンプに応用して本発明のルーツ型ポンプに利用する場合に、ポンプロータの長さＥを変えること、もしくはポンプケーシングの深さＤを変えることで、本発明の多段式真空ポンプ装置１００が構成でき、ルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０を各段ごとに専用設計する場合と比べてコストを低減できる。
【００３０】
また、ポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂとポンプケーシング１４、２４、３４、４４の側面隙間Ｈを、ポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂのケーシング１４、２４、３４、４４内での位置決めをする基準位置側の隙間Ｆを反対側の隙間Ｇより小さくすることで、側面隙間Ｈ（Ｈ＝Ｆ＋Ｇ）を小さくできる。基準位置から基準位置側の隙間Ｆまでの距離Ｉは、基準位置から基準位置側とは反対の隙間Ｇまでの距離Ｊに比べて短いため、ポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂ又はポンプケーシング１４、２４、３４、４４の熱膨張による軸方向への伸長は少なく、基準位置側の隙間Ｆの変化は少ない。これに対して基準位置から基準位置側とは反対の隙間Ｇまでの距離Ｊは長い（Ｉ＜Ｊ）ため、ポンプロータ１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ、４１ａ、４１ｂの熱膨張による軸方向への伸長は大きく、基準位置から基準位置側とは反対の隙間Ｇを大きくする必要がある。基準位置側の隙間Ｆを反対側の隙間Ｇより小さくすることができるため、ポンプロータとポンプケーシングの初期隙間である側面隙間Ｈを小さくでき、側面隙間Ｈが大きいことによるルーツ型ポンプ１０、２０、３０、４０の始動時における性能（真空度や排気速度）低下を防止できる。
【００３１】
本実施例では、ポンプロータ頂部の外径Ｃの調整と、側面隙間Ｈにより、初期隙間の調整を行なったが、初期隙間の調整はどちらか一方だけを調整するのでもよい。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の多段式真空ポンプ装置では、運転状態においてポンプロータとポンプケーシングの隙間を所定の値が得られ、ポンプロータとポンプケーシングの接触を防ぎ、かつ、高い性能が得られる多段式真空ポンプ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の４段式真空ポンプ装置を構成する第１段目のルーツ型ポンプの横断面図である。
【図２】本発明の第１段目のルーツ型ポンプのポンプロータに設けられたポンプロータ頂部の拡大図である。
【図３】本発明の第１段目のルーツ型ポンプの水平方向に切った縦断面図である。
【図４】本発明の第１〜４段目のルーツ型ポンプの各段の初期寸法である。
【図５】本発明の４段式真空ポンプ装置である。
【図６】本発明の４段式真空ポンプ装置の作動状態における各段のポンプロータの表面の温度と、ポンプケーシングのケーシング中央の温度、及び各段におけるポンプロータとポンプケーシングの温度差を示したものである。
【符号の説明】
１０　　第１段目のルーツ型ポンプ
１１ａ、１１ｂ　　ポンプロータ
１４　　ポンプケーシング
１５ａ、１５ｂ　　タイミングギヤ
１６ａ、１６ｂ　　シャフト
１７ａ、１７ｂ　　ポンプロータ頂部
２０　　第２段目のルーツ型ポンプ
３０　　第３段目のルーツ型ポンプ
４０　　第４段目のルーツ型ポンプ
１００　　４段式真空ポンプ装置
Ａ　　ポンプロータ頂部の隙間
Ｂ　　ポンプケーシングの内径
Ｃ　　ポンプロータ頂部の外径
Ｄ　　ポンプケーシングの深さ
Ｅ　　ポンプロータの長さ
Ｆ　　基準位置側の隙間
Ｇ　　基準位置とは反対側の隙間
Ｈ　　側面隙間
Ｉ　　基準位置から基準位置側の隙間までの距離
Ｊ　　基準位置から基準位置側とは反対の隙間までの距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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