(57)【要約】【課題】有機ＥＬ材料が蒸着されたメタルマスクを被処理メタルマスクとして高圧セル内に配置し、超臨界又は亜臨界流体を用いて洗浄する方法では、高圧セル内での洗浄時の運転圧力が高く、高圧セルの胴部の構成が円筒形状にならざるを得なかった。被処理メタルマスクの形状は薄板状であり、円筒状の高圧セルの胴部に位置した場合には、その胴部の上部、下部に必然的に空間が出来、洗浄時に大量の溶媒とモディファイアを循環する必要があり、洗浄する為に充分な流速を持って洗浄、濯ぎ作用を与える様になっていなかった。【解決手段】高圧セルの胴部内にスペーサを入れることにより溶媒とモディファイアを、被処理メタルマスクに沿って流れる様に出来、被処理メタルマスクに付着した有機ＥＬ材料を効率良く洗浄できた。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄方法において、高圧セル内の空き空間にスペーサを入れることを特徴とするメタルマスクの洗浄方法。
【請求項２】
有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄装置において、高圧セル内の空き空間にスペーサを設けた構成にしたことを特徴とするメタルマスクの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は発光材料である有機エレクトロルミネッセンス（以下有機ＥＬと言う）材料を用いたディスプレイの製造工程であるメタルマスクを使用した蒸着工程において、余剰の有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄して有機ＥＬ材料を除去するメタルマスクの洗浄方法及び洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、有機ＥＬ基板を製造する場合は、有機ＥＬ基板となる電極が形成されたガラス基板等の基板の裏面に磁石を配置し、該基板の表面側にメタルマスクを配して該メタルマスクを磁石によって該基板に吸着させる。
【０００３】
この状態で、有機発光層の主要を占めるホスト材料であるアルミノキノール錯体（Ａｌｑ３）、ベンゾキノリールベリリュウム錯体（Ｂｅｂｑ２）、アルミノベンゾキノリノール誘導体（Ａｌｐｈ３）、オキサジアゾール誘導体（ＥＭ２）、ピラゾロキノリン（ＰＺ１０）、シロール誘導体（２ＰＳＰ）等の複数の発光材料である有機ＥＬを個々の蒸気圧に合わせて所定の電極部に真空蒸着によって付着させている。
【０００４】
該真空蒸着操作によって所定の電極部に発光層が形成されるが、同時にメタルマスクの対応電極部以外の箇所にも有機ＥＬ材料が付着する。
【０００５】
このメタルマスクに付着した有機ＥＬ材料の洗浄作業は有機溶剤を用いて人手によりなされている。
【０００６】
該洗浄作業は人手によって行っているため、多量の有機溶剤が使用され、その洗浄に使用された有機溶剤は有機ＥＬ材料と共に廃棄されている。
【０００７】
上述のメタルマスクはＮｉ及びその合金又はステンレス等を使用し、高精度に加工された薄板形状であるため、人手による洗浄ではメタルマスクを損傷することが多発している。又、メタルマスクの細孔部等に付着した有機ＥＬ材料を洗浄するのは非常に困難である。さらに、有機溶剤を使用し、人手によって洗浄するため、洗浄剤としての有機溶剤が多量に使用され、その有機溶剤を処理するのが大変である。
【０００８】
これ等の問題点を解決するため、特願２００２−３５６６７３号の明細書、図面に記載されているような有機ＥＬ材料が付着したメタルマスクを洗浄室内においてモディファイアを洗浄剤、溶媒を超臨界流体又は亜臨界流体状にした濯ぎ剤とする洗浄、濯ぎ剤、あるいは溶媒にモディファイアが添加されたものを超臨界流体又は亜臨界流体状にした洗浄、濯ぎ剤を使用して洗浄、濯ぎを行う洗浄方法及び洗浄装置を発明した。
【０００９】
上述の洗浄方法及び洗浄装置では、使用する超臨界流体又は亜臨界流体、それに添加されるモディファイア及び有機物である有機ＥＬ材料の回収が容易で且つ再使用が可能なことから、環境汚染物質を排出することなくメタルマスクの洗浄作業を効率よく行うことができた。
【００１０】
図１を用いて、上記メタルマスクの洗浄装置の従来の洗浄の形態を説明する。洗浄装置は洗浄用の溶媒とモディファイアを供給する洗浄剤供給機構１と、メタルマスク１１０に有機ＥＬ材料１２０が付着した被処理メタルマスク１００を収納して該有機ＥＬ材料１２０を洗浄する洗浄機構２と、被処理メタルマスク１００を洗浄機構２に搬入し、処理済みメタルマスク１０１を取り出してメタルマスク載置部（図示せず）に搬送する搬送機構３とにより構成されている。
【００１１】
洗浄剤供給機構１は洗浄剤供給ライン５と、洗浄ライン６とにより構成されている。
【００１２】
洗浄剤供給ライン５は溶媒である液体状の二酸化炭素を貯留する溶媒タンク１０と、バルブ１２、溶媒供給用のポンプ１３、背圧弁１５を有する供給圧力調節用の戻り管１４、、圧力計を有し、一端が該溶媒タンク１０に連結され、他端がバルブ１６に連結された送液管１１と、バルブ１８と圧力計を有し、戻り管１４の送液管１１と連結部とバルブ１６との間の送液管１１に連結されたベント管１７と、モディファイアを貯留するモディファイアタンク１９と、ポンプ２１、バルブ２２、圧力計を有し、一端がモディファイアタンク１９に連結され、他端が混合器２６に連結された送液管２０と、背圧弁２４を有し、一端が送液管２０のポンプ２１の出口部に連結され、他端がモディファイア内に位置するようにモディファイアタンク１９に連結された供給圧力調節用の戻り管２３と、静止型の混合器２６を有し、一端がバルブ１６に連結され、他端が洗浄機構２に連結された送液管２５とにより構成されている。
【００１３】
洗浄ライン６は調圧バルブ３１を有し、一端が洗浄機構２に連結され、他端がトラップビーカ３２に連結された送液管３０と、流量計３５、ポンプ３６を有し、一端がトラップビーカ３２に連結され、他端が混合液タンク３７に連結された送液管３４と、ポンプ３９、背圧弁４２を有する供給圧力調節用の戻り管４１、バルブ４０、圧力計を有し、一端が混合液の底部に位置するよう混合液タンク３７に連結され、他端が送液管２５の混合器２６入口部に連結された送液管３８とにより構成されている。トラップビーカ３２はヒータ３３によって加熱されるようになっている。
【００１４】
洗浄機構２は耐圧性、耐熱性、耐腐食性を有す形状の高圧セル５０により構成されている。
【００１５】
該高圧セル５０は、一端が開口し、洗浄室５０ａに被処理メタルマスク１００をメタルマスク１１０に付着した有機ＥＬ材料１２０の全面が洗浄剤に接触するように支持する支持部材を備えた胴部５１と、被処理メタルマスク１００の搬入、処理済みメタルマスク１０１の取り出しのために開口位置と閉止位置とに移動可能なように胴部５１の開口部に取り付けられた蓋部材５２と、胴部５１内の洗浄剤を所定の温度に加熱するヒータ５３と、バルブ５５を有し、胴部５１に連通するように取り付けられたベント管５４と、胴部５１に設置された蓋部材５２の移動手段（図示せず）とにより構成されている。
【００１６】
蓋部材５２は胴部５１の支持部における摺接面部にシール部材を配設し、閉止位置に移動した状態において気密が維持できる構成にしてある。
【００１７】
高圧セル５０の胴部５１に対する送液管２５、３０の取り付け位置は、モディファイアが超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒よりも軽いものを使用した場合には送液管２５が下側、送液管３０が上側になるようにし、モディファイアが超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒よりも重いものを使用した場合には送液管２５が上側、送液管３０が下側になるようにするのが好ましい。モディファイアと超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒との比重がほぼ同一の場合には送液管２５、３０が上側又は下側のどちらかにすることができる。胴部５１内に回転羽根、スクリュー等の攪拌手段を設置して超臨界状態又は亜臨界状態の流体を攪拌することは可能である。
【００１８】
溶媒とモディファイアの混合液をヒータ５３によって加熱して超臨界状態又は亜臨界状態の流体にしたが、高圧セル５０の胴部５１に入る前に送液管等を加熱して超臨界状態又は亜臨界状態の流体にすることは可能である。
【００１９】
搬送機構３は複数枚の被処理メタルマスク１００を貯留するストッカ６０と、該ストッカ６０から被処理メタルマスク１００を一枚取り出して洗浄機構２の高圧セル５０に搬送して胴部５１内に挿入し、有機ＥＬ材料１２０が洗浄された処理済みメタルマスク１０１を該胴部５１から取り出してメタルマスク載置部（図示せず）に搬送する搬送用チャンバ６１とにより構成されている。
【００２０】
上述の洗浄装置による被処理メタルマスク１００の洗浄操作は次のような順序で行うことができる。
【００２１】
先ず、バルブ１２、１６を開栓の状態にしてポンプ１３を作動させると、液体状の溶媒が溶媒タンク１０より送出されて混合器２６に供給される。この時、背圧弁１５によって溶媒の圧力が予め設定された圧力に調節される。
【００２２】
該供給動作と同時のバルブ２２を開栓の状態にしてポンプ２１を作動させると、液体状のモディファイアがモディファイアタンク１９から送出されて混合器２６に供給される。この時、背圧弁２４によってモディファイアの圧力が予め設定された圧力に調節される。
【００２３】
該溶媒とモディファイアは混合器２６内で混合されて高圧セル５０の胴部５１内に供給され、ヒータ５３によって胴部５１を介して該混合液が加熱されると、超臨界流体又は亜臨界流体の状態となる。
【００２４】
そして、超臨界流体又は亜臨界流体が胴部５１内に充満し、バルブ４０を開栓の状態にしてポンプ３６、３９を作動させると、該超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤が調圧バルブ３１を通ってトラップビーカ３２に入る。該調圧バルブ３１の減圧により溶媒もしくはモディファイアまたは両者ともが液化する。
【００２５】
該洗浄剤が液化した場合には、その溶媒及びモディファイアはヒータ３３によって加熱されて気化して流量計３５を通ってポンプ３６で加圧されて溶媒とモディファイアは液化して混合液タンク３７に送られる。
【００２６】
該混合液タンク３７に必要量の混合液が溜まった状態になると、洗浄剤供給ライン５のバルブ１２、１６、２２を閉栓の状態にすると共にポンプ１３、２１を停止させると共に洗浄ライン６のバルブ４０を閉栓の状態にすると共にポンプ３６、３９を停止させる。
【００２７】
上述の操作中にストッカ６０に被処理メタルマスク１００を供給し、被処理メタルマスク１００が搬送チャンバー６１に取り込まれると、駆動手段（図示せず）を作動させて搬送チャンバー６１が高圧セル５０の被処理メタルマスク１００の挿入位置に移動させる。
【００２８】
すると、該搬送チャンバー６１が高圧セル５０へ被処理メタルマスク１００を搬入する。
【００２９】
該蓋部材５２が閉止され、搬送チャンバー６１と高圧セル５０が切り離されると、洗浄ライン６のバルブ４０を開栓の状態にすると共にポンプ３６、３９を作動させて超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を循環させて被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０を洗浄剤によって溶解させ、濯いで洗浄する。
【００３０】
超臨界流体状態の洗浄剤に溶解された有機ＥＬ材料１２０は該洗浄剤と共に調圧バルブ３１を通ってトラップビーカ３２に入る。該調圧バルブ３１の減圧によりモディファイアである例えばエタノールは液化し、超臨界状態又は亜臨界状態を解かれた例えば二酸化炭素は気化する。この時、洗浄された有機ＥＬ材料１２０も析出する。
【００３１】
液化したエタノールはヒータ３３により加熱されて気化し、減圧により気化した二酸化炭素と加熱により気化したエタノールは加圧ポンプ３６によって加圧されて二酸化炭素とエタノールに液化されて混合液タンク３７内に入る。二酸化炭素とエタノールが気化することでトラップビーカ３２には有機ＥＬ材料１２０のみが残る。
【００３２】
該混合液タンク３７内の二酸化炭素とエタノールの混合液は有機ＥＬ材料１２０及び付着物を含まない混合液である。
【００３３】
該混合液タンク３７内の混合液がポンプ３９により送られて高圧セル５０の胴部５１内に入り、洗浄剤となって再び被処理メタルマスク１００に付着している有機ＥＬ材料１２０を溶解させて洗浄する。
【００３４】
そして、有機ＥＬ材料１２０の洗浄が完了すると、バルブ４０を閉栓の状態にすると共にポンプ３６、３９を停止させ、搬送チャンバー６１が高圧セル５０とを気密を保持する状態に連結させて高圧セル５０から、蓋部材５２を操作して、処理済メタルマスク１０１を搬送チャンバー６１を通じて取り出す。
【００３５】
上述の操作を繰り返してスタッカ６０にある被処理メタルマスク１００の洗浄を行う。
【００３６】
上述の溶媒としては二酸化炭素を使用し、モディファイアとしてはエタノール、メタノール、アセトン、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセドアミド、ジクロロメタン、トルエン、キシレン、エチレングリコール、塩酸、硝酸、硫酸、エーテル、代替えフロン等を用いる。
【００３７】
【発明が解決しようとする課題】
上記の様に有機ＥＬ材料が蒸着されたメタルマスクを被処理メタルマスクとして高圧セル内に配置し、超臨界又は亜臨界流体を用いて洗浄する方法では、高圧セル内での洗浄時の運転圧力が２５ＭＰａと高く、高圧セルの胴部の構成が円筒形状にならざるを得なかった。
【００３８】
しかし、被処理メタルマスクの形状は薄板状であり、円筒状の高圧セルの胴部に位置した場合には、その胴部の上部、下部に必然的に空間が出来、洗浄時に大量の溶媒とモディファイアを循環する必要があるのと、溶媒とモディファイアの流れが緩慢になり、被処理メタルマスクに対し洗浄する為に充分な流速を持って洗浄、濯ぎ作用を与える様になっていなかった。
【００３９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明のメタルマスク洗浄方法は請求項１に記載のように、有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄方法において、高圧セル内の空き空間にスペーサを入れるようにしてある。
【００４０】
また、本発明のメタルマスク洗浄方法は請求項２に記載のように、有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄装置において、高圧セル内の空き空間にスペーサを入れる構成にしてある。
【００４１】
【発明の実施の形態】
図１から図３を用いて、本発明のメタルマスクの洗浄装置の形態を説明する。ここでは、図１による従来の技術の説明と機能的に同等な部分は同等の符号を用いた。本発明の洗浄装置は図１を用いて、従来の技術に記載したように、洗浄剤供給機構１と、メタルマスク１１０に有機ＥＬ材料１２０が付着した被処理メタルマスク１００を収納して該有機ＥＬ材料１２０を洗浄する洗浄機構２と、搬送機構３と洗浄徐剤を処理するトラップビーカ３２と洗浄剤を回収する混合タンク３７を含む洗浄ライン６により構成されている。
【００４２】
洗浄機構２の高圧セル５０への洗浄剤入口２００と洗浄剤出口２１０の構成については、図２、図３に示すように、図１の高圧セル５０の胴部５１に対する送液管２５、３０の取り付け位置は、超臨界状態又は亜臨界状態からなる洗浄剤入口２００として下部に、洗浄剤出口２１０として送液管３０が上側になるように構成してある。
【００４３】
高圧セル５０の胴部５１に対する送液管２５、３０の取り付け位置は、モディファイアが超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒よりも軽いものを使用した場合には送液管２５が下側、送液管３０が上側になるようにし、モディファイアが超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒よりも重いものを使用した場合には送液管２５が上側、送液管３０が下側になるようにするのが好ましい。モディファイアと超臨界状態又は亜臨界状態の溶媒との比重がほぼ同一の場合には送液管２５、３０が上側又は下側のどちらかにすることができる。胴部５１内に回転羽根、スクリュー等の攪拌手段を設置して超臨界状態又は亜臨界状態の流体を攪拌することは可能である。
【００４４】
次ぎに、上述の洗浄装置による被処理メタルマスク１００の洗浄操作について述べるが、全体の洗浄工程は従来の技術に記載したとおりであるので、ここでは、高圧セル５０に被洗浄メタルマスク１２０を搬入する工程から搬出までの工程について述べる。
【００４５】
上述の操作中にストッカ６０に被処理メタルマスク１００を供給し、被処理メタルマスク１００が搬送チャンバー６１に取り込まれると、駆動手段（図示せず）を作動させて搬送チャンバー６１が高圧セル５０の被処理メタルマスク１００の挿入位置に移動させる。
【００４６】
すると、該搬送チャンバー６１が高圧セル５０へ被処理メタルマスク１００を搬入する。被処理メタルマスク１００の搬入後スペーサ３００ａ、３００ｂを高圧セル５０の胴部５１に搬入する。その時、図３に示す様に、洗浄剤入口２００が高圧セル５０の胴部５１の下部奥側に、洗浄剤出口２１０が上部手前側にある場合図３の様に、スペーサ３００ａは胴部５１の奥に、スペーサ３００ｂは胴部５１の入口側に位置し、溶媒及びモディファイアが被処理メタルマスク１００に付着した有機ＥＬ材料１２０に沿って流れ、洗浄及び濯ぎの効果が出るようにスペーサを配置する。
【００４７】
該蓋部材５２が閉止され、搬送チャンバー６１と高圧セル５０が切り離されると、洗浄ライン６のバルブ４０を開栓の状態にすると共にポンプ３６、３９を作動させて超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を循環させて被処理メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０を洗浄剤によって溶解させ、濯いで洗浄する。
【００４８】
この様にして、図２、図３に示す様に、洗浄剤入口２００から流入する溶媒及びモディファイアが被洗浄メタルマスク１００の有機ＥＬ材料１２０の付着面に的確に当たるように沿うように流れ、高圧セル５０の上部に設けられた洗浄剤出口２１０から洗浄剤が流出するように洗浄操作が行われる。
【００４９】
そして、被処理メタルマスク１００の洗浄が完了すると、バルブ４０を閉栓の状態にすると共にポンプ３６、３９を停止させ、搬送チャンバー６１が高圧セル５０とを気密を保持する状態に連結させて高圧セル５０から、蓋部材５２を操作して、処理済メタルマスク１０１を搬送チャンバー６１を通じて取り出す。
【００５０】
必要に応じて、高圧セル５０の胴部５１から、スペーサ３００ａ，３００ｂをも取り出す。
【００５１】
上述の操作を繰り返してスタッカ６０にある被処理メタルマスク１００の洗浄を行う。
【００５２】
【実施例】
ストッカ６０に複数枚の被処理メタルマスク１００を準備する。
【００５３】
次いで、温度が常温、圧力が６ＭＰａの液状の二酸化炭素が充填された溶媒タンク１０を準備すると共に常温、常圧の状態のモディファイアタンク１９にエタノールを供給する。
【００５４】
高圧セル５０のヒータ５３によって胴部５１内の温度が６０℃になるように加熱し、洗浄剤供給ライン５と洗浄ライン６のバルブ１８、４４、５５を開栓の状態にしてベント管１７、４３、５４から管内、胴部５１内の空気を排出させながら液状の二酸化炭素を３６．０ｇ／ｍｉｎ、エタノールを１．８ｇ／ｍｉｎの割合（エタノールが二酸化炭素とエタノールの全体の約５％になるようする。）で供給して、胴部５１内の圧力が２５ＭＰａになるように洗浄ライン６内に二酸化炭素とエタノールを充満させ、洗浄剤供給ライン５からの二酸化炭素とエタノールの供給を停止させる。この時、胴部５１内を含む洗浄剤供給ライン５内の二酸化炭素とエタノールの混合物は超臨界流体状態の洗浄剤になっている。
【００５５】
これ等の準備ができると、搬送用チャンバ６１をストッカ６０に準備した被処理メタルマスク１００を高圧セル５０位置に搬入する。その後、被処理メタルマスク１００の搬入後スペーサ３００ａ、３００ｂを高圧セル５０の胴部５１に搬入する。その時、図３に示す様に、洗浄剤入口２００が高圧セル５０の胴部５１の下部奥側に、洗浄剤出口２１０が上部手前側にある場合図３の様に、スペーサ３００ａは胴部５１の奥に、スペーサ３００ｂは胴部５１の入口側に位置し、溶媒及びモディファイアが被処理メタルマスク１００に付着した有機ＥＬ材料１２０に沿って流れ、洗浄及び濯ぎの効果が出るようにスペーサを配置する。
【００５６】
この時、高圧セル５０の胴部５１の内部容量は５００ｍｌであり、挿入したスペーサ３００ａ、３００ｂの容量は４００ｍｌである。
【００５７】
スペーサ３００ａ、３００ｂを設けたことにより、高圧セル５０の胴部５１に充満させるために必要となる溶媒である二酸化炭素とモディファイアであるエタノールの重量は８０ｇであった。
【００５８】
そして、超臨界流体又は亜臨界流体が胴部５１内に充満し、バルブ４０を開栓の状態にしてポンプ３６、３９を作動させると、該超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤が調圧バルブ３１を通ってトラップビーカ３２に入る。該調圧バルブ３１の減圧により溶媒もしくはモディファイアまたは両者ともが液化する。
【００５９】
その後有機ＥＬ材料と混在した洗浄剤がヒータ３３によって加熱されて気化してポンプ３６で加圧し流量計３５を通って溶媒とモディファイアを液化して混合液タンク３７に送る。
【００６０】
該混合液タンク３７に必要量の混合液が溜まった状態になると、洗浄剤供給ライン５のバルブ１２、１６、２２を閉栓の状態にすると共にポンプ１３、２１を停止させると共に洗浄ライン６のバルブ４０を閉栓の状態にすると共にポンプ３６、３９を停止させた。
【００６１】
混合液タンク３７内の二酸化炭素とエタノールの混合液は有機ＥＬ材料１２０及び付着物を含まない混合液である。
【００６２】
該混合液タンク３７内の混合液がポンプ３９により送られて高圧セル５０の胴部５１内に入り、再び被処理メタルマスク１００に付着している有機ＥＬ材料１２０を溶解させて洗浄する。
【００６３】
洗浄操作の途中で、二酸化炭素とエタノールが減少すると、洗浄剤供給ライン５のバルブ１２、１６、２２が開栓されると共にポンプ１３、２１が作動して上述と同様にエタノールが二酸化炭素とエタノール全体の重量比約５％の割合で洗浄ライン６に供給される。
【００６４】
上述の洗浄ラインにおける高圧セル５０の胴部５１内の条件を温度が溶媒の臨界点である３１℃以上、圧力が７ＭＰａ以上の超臨界状態及び／又は臨界点以下の高温高圧領域である亜臨界状態にすると溶媒又は溶媒とモディファイアとの混合物が超臨界流体又は亜臨界流体状態になった洗浄剤を形成し、メタルマスク１１０に付着した有機ＥＬ材料１２０を洗浄することができた。
【００６５】
【比較例】
実施例１と同条件にて従来の技術の記載の方法で、スペーサ３００ａ、３００ｂを挿入せずに同じ条件で洗浄した。高圧セル５０の胴部５１を充満させるために必要な溶媒である二酸化炭素及びモディファイアであるエタノールの重量は４００ｇであり、実施例の場合の重量８０ｇに比べ５倍費やす状態であった。
【００６６】
【発明の効果】
本発明のメタルマスクの洗浄方法及び装置では、有機ＥＬ材料が付着した被処理メタルマスクを洗浄室内において超臨界流体又は亜臨界流体状の洗浄剤を使用して洗浄する洗浄するにおいて、高圧セル内の空き空間にスペーサを入れることにより、高圧セルの胴部に充満させるために必要な溶媒である二酸化炭素及びモディファイアであるエタノールの重量大幅に削減することが出来た。また、スペーサをいれることにより、高圧セルの胴部内を流れる溶媒とモディファイアを、被処理メタルマスクに沿って流れる様にすることにより、被処理メタルマスクに付着した有機ＥＬ材料を効率良く洗浄することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の洗浄装置における搬送機構の１実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明の高圧セル内のメタルマスクの配置を示す正面断面図である。
【図３】本発明の高圧セル内のメタルマスクの配置を示す側面断面図である。
【符号の説明】
１  洗浄剤供給機構
２  洗浄機構
３  搬送機構
５  洗剤供給ライン
６  洗浄ライン
１０  溶媒タンク
１１、２０、２５、３０、３４、３８  送液管
１２、１６、１８、２２、４０、４４、５５  バルブ
１３、２１、３６、３９  ポンプ
１４、２３、４１  戻り管
１５，２４、４２  背圧弁
１７、４３、５４  ベント管
１９  モディファイアタンク
２６  混合器
３１  調圧弁
３２  トラップビーカ
３３、５３  ヒータ
３５  流量計
３７  混合タンク
５０  高圧セル
５１  胴部
５２、６７  蓋部材
６０  ストッカ
６１  搬送用チャンバ
１００  被処理メタルマスク
１０１  処理済みメタルマスク
１１０  メタルマスク
１２０  有機ＥＬ材料
２００  洗浄剤入口
２１０  洗浄剤出口
３００ａ、３００ｂ  スペーサ
【図１】
2004234875.tif 000003
【図２】
2004234875.tif 000004
【図３】
2004234875.tif 000005