(57)【要約】【課題】コモンレール圧を精度良く制御して、エミッションやドライバビリティの低下を防止することができるコモンレール圧制御装置及びプログラム並びに記録媒体を提供すること。【解決手段】目標コモンレール演算部Ａ１にて、目標コモンレール圧を算出する。ポンプＦ／Ｂ制御部Ａ２では、目標コモンレール圧と実コモンレール圧との差を低減する様に、燃料噴射ポンプ９の吐出量指令値を算出する。吐出量−駆動電流変換部Ａ３では、目標ポンプ吐出量と駆動電流の特性を多項式近似した駆動電流算出式を用いて、吐出量指令値から駆動電流指令値を算出する。ソフト電流Ｆ／Ｂ制御部Ａ４では、駆動電流のフィードバック制御を行う。そして、駆動電流により調量弁３３が作動し、必要な燃料量が燃料噴射ポンプ９に供給される。燃料噴射ポンプ９では、供給された燃料量を圧送してコモンレール７に供給する。【選択図】　図４
2004060500.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィードポンプから供給された燃料を吸入するとともに、該吸入した燃料を内燃機関に噴射供給可能な高圧に加圧して、コモンレール側に吐出する燃料噴射ポンプと、
前記コモンレールに到る燃料供給路に設けられ、前記燃料の供給状態を自身への駆動電流により調節する電磁弁と、
を備えた燃料噴射装置に対して、
前記コモンレール圧を目標値に制御するために、前記燃料噴射ポンプの目標ポンプ吐出量を求め、該目標ポンプ吐出量となるように、前記電磁弁への駆動電流を制御するコモンレール圧制御装置において、
前記目標ポンプ吐出量と前記駆動電流との関係を近似した多項式を用い、前記目標ポンプ吐出量から前記電磁弁への駆動電流を求めることを特徴とするコモンレール圧制御装置。
【請求項２】
前記多項式は、２次以上の一元高次多項式であることを特徴とする前記請求項１に記載のコモンレール圧制御装置。
【請求項３】
前記多項式は、目標ポンプ吐出量と前記駆動電流との関係を示す多数のデータに対して、最小２乗近似を実施することにより求めることを特徴とする前記請求項１又は２に記載のコモンレール圧制御装置。
【請求項４】
前記電磁弁は、前記フィードポンプから前記燃料噴射ポンプへの燃料供給路に設けられて、前記燃料噴射ポンプに吸入される燃料を調量する調量弁であることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載のコモンレール圧制御装置。
【請求項５】
前記電磁弁は、前記駆動電流に応じて開口面積が変化する電磁弁であることを特徴とする前記請求項１〜４のいずれかに記載のコモンレール圧制御装置。
【請求項６】
前記請求項１〜５のいずれかに記載のコモンレール圧制御装置の機能を実現するための手段を有することを特徴とするプログラム。
【請求項７】
前記請求項６に記載のプログラムの機能を実現するための手段を記憶していることを特徴とする記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内燃機関にコモンレールを介して高い圧力の燃料を供給するコモンレール圧制御装置及びプログラム並びに記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、車両には、内燃機関（例えばディーゼル機関）に供給する燃料量を制御するために、内燃機関の回転に同期して燃料の吸入・吐出を行う燃料噴射ポンプが設けられており、燃料噴射ポンプからの燃料の吐出状態は、燃料噴射ポンプに吸入される燃料量を調節することにより制御される。
【０００３】
この種の装置では、燃料タンクから燃料を汲み出すフィードポンプから燃料噴射ポンプに到る燃料供給経路に、調量弁が設けられており、この調量弁の開口面積などを制御することにより、燃料噴射ポンプへの燃料量が調節される。
また、燃料噴射ポンプから吐出される高圧の燃料は、（複数のインジェクタが接続された）コモンレールに供給されており、各インジェクタを開閉駆動することにより、高圧の燃料が内燃機関の気筒内に噴射供給される。
【０００４】
前記コモンレール内の燃料の圧力（コモンレール圧）は、インジェクタから噴射供給される燃料量に影響するので、コモンレール圧を圧力センサによりチェックし、所望のコモンレール圧となる様に調量弁が制御される。
この調量弁は、ソレノイドにより駆動される電磁弁であり、ソレノイドに通電する電流量によって流路の開口面積が調節され、それにより、燃料噴射ポンプに供給する燃料量、ひいてはコモンレールに供給される燃料の圧力の調節が行われる。
【０００５】
つまり、燃料噴射ポンプの目標ポンプ吐出量を実現するために（従って目標コモンレール圧を実現するために）、ソレノイドの駆動電流が制御されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した技術では、駆動電流は、目標ポンプ吐出量とエンジン回転数をパラメータとした２次元マップにより演算されるが、目標ポンプ吐出量と駆動電流との関係（特性）は非線形であるため、実際の制御において問題が生じることがあった。
【０００７】
つまり、目標ポンプ吐出量から駆動電流への変換には、実際の特性を近似したマップ及びマップ補間が用いられるが、例えば図１（ａ）に点線で示す様に、補間ポイントＢの前後で、特性（従って特性を示す傾き）が大きく変化することがある。
【０００８】
よって、図１（ｂ）に点線で示す様に、目標ポンプ吐出量−駆動電流の特性の微分値に連続性が無く、ステップ状に変化している。そのため、特性の変化が大きい領域（Ｂ点近傍）では、図１（ｃ）に点線で示す様に、コモンレール圧の変動が大きく、制御が振動的になり易いという問題があった、
その結果、コモンレール圧の安定性に問題が生じ、噴射の安定性にも影響を与えてしまう。
【０００９】
つまり、コモンレール圧を精度良く制御できなければ、噴射量を精度良く制御できず、結果として、エミッションやドライバビリティが悪化するという問題があった。
本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、コモンレール圧を精度良く制御して、エミッションやドライバビリティの低下を防止することができるコモンレール圧制御装置及びプログラム並びに記録媒体を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
（１）請求項１の発明は、フィードポンプから供給された燃料を吸入するとともに、該吸入した燃料を内燃機関に噴射供給可能な高圧に加圧して、コモンレール側に吐出する燃料噴射ポンプと、前記コモンレールに到る燃料供給路に設けられ、前記燃料の供給状態を自身への駆動電流により調節する電磁弁と、を備えた燃料噴射装置に対して、前記コモンレール圧を目標値に制御するために、前記燃料噴射ポンプの目標ポンプ吐出量を求め、該目標ポンプ吐出量となるように、前記電磁弁への駆動電流を制御するコモンレール圧制御装置に関するものである。
【００１１】
そして、本発明では、前記目標ポンプ吐出量と前記駆動電流との関係を近似した多項式を用い、前記目標ポンプ吐出量から前記電磁弁への駆動電流を求めることを特徴としている。
本発明では、従来の様なマップ補間を用いるのではなく、図１（ａ）に実線で示す様に、目標ポンプ吐出量と駆動電流との関係（特性）を多項式で近似するので、図１（ｂ）に実線で示す様に、その多項式で近似した特性の微分値も滑らかに変化する。
【００１２】
つまり、本発明では、実際の特性に近い多項式の近似式を用いて駆動電流を求めるので、目標ポンプ吐出量−駆動電流の特性の微分値に連続性がある。そのため、前記駆動電流によって電磁弁を作動させることにより、特性の変化が大きい領域（例えばＢ点近傍）でも、図１（ｃ）に実線で示す様に、コモンレール圧の変動が少なく、制御が振動的になり難い。よって、コモンレール圧が安定性するので、噴射の安定性も高いという利点がある。
【００１３】
従って、本発明では、コモンレール圧を精度良く制御できるので、噴射量を精度良く制御でき、結果として、エミッションやドライバビリティが向上するという顕著な効果を奏する。
尚、前記駆動電流を制御する場合には、駆動電流の電流量や電流値を制御する方法が挙げられる。
【００１４】
（２）請求項２の発明では、前記多項式は、２次以上の一元高次多項式であることを特徴としている。
本発明は、多項式を例示したものであり、その多項式が、２次以上の一元高次多項式である場合には、実際の特性に沿った近似を行うことができ、特性の変化が大きな領域でも、コモンレール圧の変動が少なく好適である。
【００１５】
尚、多項式としては、例えば４次以上の多項式が一層好適である。
（３）請求項３の発明では、前記多項式は、目標ポンプ吐出量と前記駆動電流との関係を示す多数のデータに対して、最小２乗近似を実施することにより求めることを特徴としている。
【００１６】
本発明は、どのようにして多項式近似を行うかを例示したものである。
本発明では、実験等により求めた多くのデータ点に対して、（例えば近似用のソフトを用いて）周知の最小２乗法を利用して多項式の近似式を求めるので、データの特性を的確に表すような所望の次数の多項式を、容易に求めることができる。
【００１７】
（４）請求項４の発明では、前記電磁弁は、前記フィードポンプから前記燃料噴射ポンプへの燃料供給路に設けられて、前記燃料噴射ポンプに吸入される燃料を調量する調量弁であることを特徴としている。
本発明は、電磁弁を例示したものである。
【００１８】
この電磁弁を用いることにより、燃料噴射ポンプへ供給する燃料量、ひいてはコモンレール圧を制御することができる。
（５）請求項５の発明では、前記電磁弁は、前記駆動電流に応じて開口面積が変化する電磁弁であることを特徴としている。
【００１９】
本発明は、電磁弁を例示したものである。
この電磁弁のソレノイドに通電する駆動電流を、例えばデューティ制御することにより、電磁弁の開口面積、ひいては、燃料噴射ポンプへ供給する燃料量やコモンレール圧を制御することができる。
【００２０】
（６）請求項６の発明（プログラム）は、前記請求項１〜５のいずれかに記載のコモンレール圧制御装置の機能を実現するための手段を有している。
上述した様なプログラムをコンピュータシステムにて実現する機能は、例えば、コンピュータシステム側で起動するプログラムとして備えることができる。
【００２１】
（７）請求項７の発明（記録媒体）は、前記請求項６に記載のプログラムの機能を実現するための手段を記憶している。
前記プログラムの場合、例えば、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ハードディスク等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録し、必要に応じてコンピュータシステムにロードして起動することにより用いることができる。この他、ＲＯＭやバックアップＲＡＭ等をコンピュータ読み取り可能な記録媒体として前記プログラムを記録しておき、このＲＯＭあるいはバックアップＲＡＭ等をコンピュータシステムに組み込んで用いても良い。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明のコモンレール圧制御装置及びプログラム並びに記録媒体の実施の形態の例（実施例）を説明する。
（実施例）
本実施例のコモンレール圧制御装置は、電磁弁のソレノイドに通電する駆動電流をデューティ制御することにより、燃料噴射ポンプのポンプ吐出量、ひいてはコモンレール圧を制御するものである。
【００２３】
ａ）まず、本実施例のコモンレール圧制御装置を備えた蓄圧式燃料噴射装置について説明する。
図１に示す様に、蓄圧式燃料噴射装置１は、６気筒のディーゼル機関３の各気筒に燃料を噴射供給する燃料噴射弁（インジェクタ）５と、インジェクタ５に供給する高圧燃料を蓄える蓄圧室（コモンレール）７と、コモンレール７に高圧燃料を圧送する燃料供給装置９と、これらを制御する電子制御装置（ＥＣＵ）１１とを備えている。
【００２４】
前記ＥＣＵ１１は、周知のＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を中心とするマイクロコンピュータ（マイコン）からなり、エンジン回転数（ＮＥ）を検出する回転数センサ１３、アクセルペダル１５の開度（ＡＣＣ）を検出するアクセルセンサ１７、コモンレール圧（ＰＣ）を検出するコモンレール圧センサ１９等が接続されている。
【００２５】
このＥＣＵ１１は、ディーゼル機関３の運転状態を表す各種のパラメータ（ＮＥ、ＡＣＣ、ＰＣ等）を取り込み、ディーゼル機関３の燃焼状態を、この検出された運転状態に応じた最適状態に制御するために、目標燃料圧力（目標コモンレール圧）を算出し、コモンレール圧センサ１９にて検出された実燃料圧力（実コモンレール圧）が目標コモンレール圧と一致するように、燃料供給装置９を駆動制御する。即ち、コモンレール圧のフィードバック（Ｆ／Ｂ）制御を行う。尚、このＥＣＵ１１により、コモンレール圧制御装置の機能が実現されている。
【００２６】
前記燃料供給装置９は、ＥＣＵ１１からの制御指令に従って、燃料タンク２１に蓄えられた燃料を汲み出すフィードポンプ２３からの低圧燃料を吸入するとともに、この吸入した燃料を高圧に加圧し、加圧後の高圧燃料を、給油配管２５を介してコモンレール７に圧送する。
【００２７】
一方、各インジェクタ５は、配管２７によって、高圧燃料を蓄圧したコモンレール７と連結されている。そして、各インジェクタ５に配設されたコントロール弁２９を開閉動作することで、コモンレール７にて蓄圧された高圧燃料が、ディーゼル機関３の各気筒の燃焼室内へ噴射される。
【００２８】
ｂ）次に、前記燃料供給装置９について説明する。
図３に示す様に、燃料供給装置９は、燃料噴射ポンプ（ロータリポンプ）３１と、ロータリポンプ３１に吸入される燃料量（吸入燃料量）を調量する調量弁３３とから構成されている。
【００２９】
ロータリポンプ３１は、ディーゼル機関３の回転軸に連結された駆動軸３５と、駆動軸３５の周囲に１２０度間隔で配置された３個のシリンダ３７ａ〜ｃと、各シリンダ３７ａ〜ｃ内に配置された各プランジャ３９ａ〜ｃとを備えている。そして、このロータリポンプ３１により、燃料供給装置９からコモンレール７に対して、ディーゼル機関３の１回転当たりに３回の割で、高圧燃料が供給されることになる。
【００３０】
一方、調量弁３３は、ロータリポンプ２０の各シリンダ３７ａ〜ｃ内に燃料を供給する際に、各シリンダ３７ａ〜ｃ内に流入する燃料量（吸入燃料量）を調量する電磁弁であり、ロータリポンプ２０への燃料供給経路の一部を形成するシリンダ４１と、シリンダ４１内に配置されてシリンダ４１を通過する燃料量を調量する弁体４３と、弁体４３の摺動位置を電磁力により変化させるソレノイド４５とを備えている。
【００３１】
そして、シリンダ４１の吸入孔４１ａの開口面積は、弁体４３の位置に応じて変化することから、シリンダ４１内にて、弁体４３の摺動位置をソレノイド４５により調節することにより、調量弁３３を通ってロータリポンプ２０に吸入される燃料量を調量することができる。
【００３２】
前記調量弁３３では、ソレノイド４５への通電を遮断すれば、スプリング４７の付勢力により、弁体４３が同図左方向に移動して開口面積が最大となり、ロータリポンプ２０への吸入燃料量を最大にすることができる。
また、ソレノイド４５への通電時には、ソレノイド４５が発生する電磁力により、弁体４３がソレノイド４５側（同図右方向）に移動するので、吸入孔４１ａがソレノイド４５への通電電流量（具体的には電流値：駆動電流）に応じて徐々に閉じられることになる。
【００３３】
従って、ソレノイド４５への駆動電流を多くすればするほど、ロータリポンプ２０への吸入燃料量を少なくすることができる。
ｃ）次に、上述したハード構成を駆動するための制御システムについて説明する。
【００３４】
尚、図３では、主としてＥＣＵ１１、特にコモンレール圧制御装置に相当する部分（点線の枠内）を機能的に示しており、この動作に関する処理は、ロータリポンプ２０の燃料吐出周期に同期して、ディーゼル機関の１２０°ＣＡ毎に実行される。
【００３５】
図３に示す様に、本実施例では、目標コモンレール演算部Ａ１にて、図示しない周知の制御量演算処理にて、ディーゼル機関３の回転数やアクセル開度に基づいて、所望の運転状態（例えば目標とするエンジン回転数）を実現するために、目標コモンレール圧を算出する。
【００３６】
次に、ポンプＦ／Ｂ制御部Ａ２では、燃料噴射ポンプ９の燃料吐出量（従ってコモンレール圧）のフィードバック制御を行う。つまり、目標コモンレール圧とコモンレール圧センサ１９にて検出された実コモンレール圧との差に基づいて、目標コモンレール圧を実現する様に、燃料噴射ポンプ９の吐出量指令値を算出する。
【００３７】
次に、吐出量−駆動電流変換部Ａ３では、後述する駆動電流算出式（１）を用いて、吐出量指令値から駆動電流指令値（電流値）を算出する。
次に、ソフト電流Ｆ／Ｂ制御部Ａ４では、駆動電流のフィードバック制御を行う。つまり、駆動電流指令値と実駆動電流（電流値）との差に基づいて、駆動電流指令値を実現するように、駆動電流デューティ指令値を算出する。
【００３８】
この駆動電流デューティ指令値は、調量弁３３のソレノイド４５を駆動するＳＣＶ回路に供給され、駆動電流のデューティ制御が実施される。尚、この時の実駆動電流が、前記駆動電流のフィードバック制御に用いられる。
そして、前記駆動電流によりソレノイド４５が駆動されて調量弁３３が作動し、それによって、駆動弁３３の開口面積が調節されて、必要な燃料量が燃料噴射ポンプ９に供給される。燃料噴射ポンプ９では、供給された燃料量を圧送してコモンレール７に供給し、これにより、目標とするコモンレール圧が実現される。
【００３９】
尚、この実現されたコモンレール圧が、前記吐出量のフィードバック制御に用いられる。
この様に、本実施例では、コモンレール圧センサ９にて検出された実コモンレール圧が、（目標コモンレール圧算出部Ａ１にて算出された）目標コモンレール圧となるように、（ポンプＦ／Ｂ制御部Ａ２にて）吐出量指令値を算出し、この吐出量指令値を（吐出量−駆動電流変換部Ａ３にて）駆動電流指令値に変換し、（ソレノイド４５に流れる）実駆動電流がこの駆動電流指令値となるように、（ソフト電流Ｆ／Ｂ制御部Ａ４にて）駆動デューティ指令値を算出し、この駆動デューティ指令値による駆動電流をソレノイド１５に通電する。
【００４０】
これにより、調量弁３３の開口面積を調節し、燃料噴射ポンプ９のポンプ吐出量、ひいてはコモンレール圧を制御する。
ｄ）次に、本実施例の要部である多項式近似を行う手順を説明する。
本実施例では、目標ポンプ吐出量と駆動電流との関係を実験等によりデータとして求め、このデータに対する最小２乗近似を、５次の多項式にて近似したものである。
【００４１】
この多項式近似を行う場合には、データ及び何次で近似するかを、周知の演算ソフトを組み込んだ演算装置に入力することにより、自動的に近似する多項式を求めることができる。
例えば回転数１０００ｒｐｍにおける５次の多項式近似を行うと、その近似多項式（駆動電流算出式）は下記（１）のようになる。
2004060500.tif 000003
この近似多項式をグラフで示すと、図５（ａ）に示すものとなる。尚、同図の実線が近似多項式のグラフを示し、点線が従来のマップにより得られるグラフを示す。
【００４２】
一見したところ、両者は同じグラフのように見えるが、実際には（拡大して見ると前記図１（ａ）の様に）、マップの方は、直線が多くのポイントで折れ曲がったグラフであるが、近似多項式の方は、特性が急変することなく、そのグラフが滑らかに変化している。
【００４３】
更に、前記図５（ａ）のマップのグラフ及び近似多項式のグラフを微分したものを、図５（ｂ）に示す。尚、同図の実線が近似多項式によるもの（微分後の４次式）を示し、点線が従来のマップによるもの（微分後の階段状）を示す。
図５（ｂ）から明らかな様に、マップ（マップ補間）に得られるグラフは、その微分値は階段状に変化するので、目標ポンプ吐出量が同じだけ変化した場合でも、その変化する位置によっては、駆動電流の変化の違いが極めて大きくなる。つまり、駆動電流が変化しない領域と急激に変化する領域（階段状に変化する箇所）があるので、駆動電流の変化が著しい。
【００４４】
それに対して、本実施例では、特性のグラフを微分した値が滑らかに変化しており、そのため、目標ポンプ吐出量が変化しても、従来よりは、駆動電流が急変しないことが分かる。
また、前記と同様に、回転数４０００ｒｐｍにおける５次の多項式近似を行って、その近似多項式を求め、そのグラフを図６（ａ）に示す。更に、図６（ａ）のグラフを微分したものを図６（ｂ）に示す。尚、同図の実線が近似多項式のグラフを示し、点線が従来のマップにより得られるグラフを示す。
【００４５】
これらの図５及び図６グラフからも、本実施例では、どの目標ポンプ吐出量の変化領域において、目標ポンプ吐出量が変化しても、従来よりは、駆動電流が急変しないこと（即ち階段状に急変しないこと）が分かる。
ｅ）次に、本実施例の効果について説明する。
【００４６】
本実施例では、従来の様なマップ（マップ補間）を用いるのではなく、最小２乗法を利用して、実際の多数のデータから、目標ポンプ吐出量と駆動電流との関係を２次以上の１元高次多項式（例えば５次多項式）で近似している。
つまり、実際の特性に近い多項式の近似式を用いるので、その多項式によって得られるグラフは滑らかであり、目標ポンプ吐出量−駆動電流の特性の微分値に連続性がある。
【００４７】
従って、前記近似多項式によって目標ポンプ吐出量から駆動電流を求め、その駆動電流により調量弁３３を作動させることにより、特性の変化が大きい領域でも、コモンレール圧の変動が少なく、制御が振動的になり難いという利点がある。よって、コモンレール圧が安定性するので、噴射の安定性も高くなる。
【００４８】
そのため、本実施例では、コモンレール圧を精度良く制御できるので、噴射量を精度良く制御でき、結果として、エミッションやドライバビリティが向上するという顕著な効果を奏する。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００４９】
（１）例えば、本発明は、ディーゼル機関に設けられた燃料噴射弁からの燃料噴射量を制御する装置に適用できるのはいうまでもないが、例えばガソリンを内燃機関の気筒内に直接噴射する直噴式のガソリンエンジン等、ディーゼル機関以外の内燃機関に燃料を噴射供給するための装置にも適用できる。
【００５０】
（２）また、前記実施例では、コモンレール圧制御装置について述べたが、それらに限らず、上述したアルゴリズムに基づく処理を実行させるプログラムやそのプログラムを記憶している記録媒体にも適用できる。
この記録媒体としては、マイクロコンピュータとして構成される電子制御装置、マイクロチップ、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク等の各種の記録媒体が挙げられる。つまり、上述したコモンレール圧制御装置の処理を実行させることができるプログラムを記憶したものであれば、特に限定はない。
【００５１】
尚、前記プログラムは、単に記録媒体に記憶されたものに限定されることなく、例えばインターネットなどの通信ラインにて送受信されるプログラムにも適用される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理を示し、（ａ）は目標ポンプ吐出量−駆動電流の特性を示すグラフ、（ｂ）は特性の微分値を示すグラフ、（ｃ）は本発明の効果を例示するグラフである。
【図２】実施例のコモンレール圧制御装置を備えた蓄圧式燃料噴射装置を示す説明図である。
【図３】実施例における燃料供給装置を示す説明図である。
【図４】実施例における制御システムを示す説明図である。
【図５】（ａ）は１０００ｒｐｍにおける目標ポンプ吐出量−駆動電流の特性を示すグラフ、（ｂ）は特性の微分値を示すグラフである。
【図６】（ａ）は４０００ｒｐｍにおける目標ポンプ吐出量−駆動電流の特性を示すグラフ、（ｂ）は特性の微分値を示すグラフである。
【符号の説明】
１…蓄圧式燃料噴射装置
３…ディーゼル機関
５…燃料噴射弁（インジェクタ）
７…蓄圧室（コモンレール）
９…燃料供給装置
１１…電子制御装置（ＥＣＵ）
１３…回転数センサ
１７…アクセルセンサ
１９…コモンレール圧センサ
２１…燃料タンク
２３…フィードポンプ
３１…燃料噴射ポンプ（ロータリポンプ）
３３…調量弁
【図１】
2004060500.tif 000004
【図２】
2004060500.tif 000005
【図３】
2004060500.tif 000006
【図４】
2004060500.tif 000007
【図５】
2004060500.tif 000008
【図６】
2004060500.tif 000009