(57)【要約】【課題】簡易な構成でウェハを安定して保持することが可能なウェハピンセットを提供する。【解決手段】ウェハピンセットに保持片１、２を設け、保持片１は、保持片２に対してウェハＷを横切るように延伸し、ウェハＷの両端を挟み込み可能な状態で保持片１、２を互いに結合し、保持片１、２の先端には、ウェハＷを引っ掛ける引っ掛け部３、４を設ける。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性変形に基づいてウェハの両端を挟み込み可能な保持片と、
前記保持片の先端に設けられ、前記ウェハを引っ掛ける引っ掛け部とを備えることを特徴とするウェハピンセット。
【請求項２】
前記引っ掛け部のウェハ接触面は、前記ウェハの形状に対応して屈曲していることを特徴とする請求項１記載のウェハピンセット。
【請求項３】
前記保持片は、前記ウェハを３箇所以上で支持する分岐片を備えることを特徴とする請求項１または２記載のウェハピンセット。
【請求項４】
ウェハの一端に接触可能な第１保持片と、
前記ウェハを横切るようにして延伸され、前記ウェハの他端に接触可能な第２保持片と、
前記第１保持片および前記第２保持片に設けられた把持部と、
前記ウェハを挟み込み可能な状態で前記第１保持片と前記第２保持片とを結合する結合部と、
前記第１保持片の先端に設けられ、前記ウェハに押し当てる押し当て部と、
前記第２保持片の先端に設けられ、前記ウェハを引っ掛ける引っ掛け部とを備えることを特徴とするウェハピンセット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェハピンセットに関し、特に、ウェハを両端で保持する構造に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェハピンセットでは、ウェハの片端を挟み込むようにして、ウェハを摘み上げる構造が一般的に用いられている。また、特許文献１には、ウェハの裏面および表面に触れることなくウェハを保持するため、ウェハを両側から挟み込むようにしたウェハピンセットが開示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１５０３５９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウェハの片端を挟み込む構造では、ウェハホルダからウェハを引き上げた際に、ウェハの上端のみでウェハが保持されるため、ウェハが不安定となり、ウェハが落下する危険があるという問題があった。また、特許文献１に開示された方法では、ウェハを両側から挟み込むための保持片をスライド移動させる必要があり、ウェハピンセットの機構が複雑化するという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、簡易な構成でウェハを安定して保持することが可能なウェハピンセットを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明の一態様に係るウェハピンセットによれば、弾性変形に基づいてウェハの両端を挟み込み可能な保持片と、前記保持片の先端に設けられ、前記ウェハを引っ掛ける引っ掛け部とを備えることを特徴とする。
【０００７】
これにより、保持片を弾性変形させることで、ウェハに引っ掛けるようにしてウェハの両端を挟み込むことが可能となる。このため、ウェハホルダからウェハを引き上げた場合においても、ウェハの下端を支持しつつ、ウェハの上下端でウェハを保持することが可能となり、ウェハの落下を防止しつつ、ウェハを安定して保持することが可能となる。
【０００８】
また、本発明の一態様に係るウェハピンセットによれば、前記引っ掛け部のウェハ接触面は、前記ウェハの形状に対応して屈曲していることを特徴とする。
これにより、ウェハの円周に沿うようにしてウェハの端部を保持することが可能となる。このため、ウェハの横ズレを防止しつつ、ウェハを保持することが可能となり、ウェハの両端で保持した場合においても、ウェハの落下を防止しつつ、ウェハを安定して保持することが可能となる。
【０００９】
また、本発明の一態様に係るウェハピンセットによれば、前記保持片は、前記ウェハを３箇所以上で支持する分岐片を備えることを特徴とする。
これにより、保持片を弾性変形させることで、ウェハを３箇所以上で支持することが可能となり、ウェハピンセットの機構を複雑化させることなく、ウェハを安定して保持することが可能となる。
【００１０】
また、本発明の一態様に係るウェハピンセットによれば、ウェハの一端に接触可能な第１保持片と、前記ウェハを横切るようにして延伸され、前記ウェハの他端に接触可能な第２保持片と、前記第１保持片および前記第２保持片に設けられた把持部と、前記ウェハを挟み込み可能な状態で前記第１保持片と前記第２保持片とを結合する結合部と、前記第１保持片の先端に設けられ、前記ウェハの押し当てる押し当て部と、前記第２保持片の先端に設けられ、前記ウェハを引っ掛ける引っ掛け部とを備えることを特徴とする。
【００１１】
これにより、第１保持片と第２保持片との間にウェハを挟み込むことで、ウェハを引っ掛けるようにしてウェハの両端を保持することが可能となり、ウェハの落下を防止しつつ、ウェハを安定して保持することが可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係るウェハピンセットについて図面を参照しながら説明する。
図１（ａ）および図１（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係るウェハピンセットの使用方法を示す斜視図、図１（ｃ）は、本発明の第１実施形態に係るウェハピンセットの構成を示す断面図である。
【００１３】
図１（ａ）において、ウェハピンセットには、保持片１、２が設けられている。ここで、保持片１は、保持片２に対してウェハＷを横切るように延伸され、保持片１、２は、ウェハＷの両端を挟み込み可能な状態で互いに結合されている。そして、保持片１、２の先端には、ウェハＷを引っ掛ける引っ掛け部３、４がそれぞれ設けられている。なお、引っ掛け部３、４は、例えば、Ｌ字状、Ｊ字状またはＵ字状にそれぞれ構成することができる。
【００１４】
また、ウェハＷは、例えば、ウェハホルダ５に立て掛けられた状態で収容されている。そして、ウェハホルダ５からウェハＷを取り出す場合、保持片１をウェハホルダ５内に挿入し、ウェハＷの下端に引っ掛け部３を引っ掛ける。そして、保持片１、２の結合点Ｋ側を握り締めることにより、保持片１、２の結合点Ｋを支点として保持片１、２を弾性変形させ、ウェハＷの上端に引っ掛け部４を引っ掛けることで、ウェハＷの両端を保持片１、２で挟み込む。
【００１５】
そして、ウェハＷの両端が保持片１、２で挟み込まれると、図１（ｂ）および図１（ｃ）に示すように、保持片１、２を握り締めながら、ウェハホルダ５からウェハＷを引き上げる。
ここで、ウェハＷの下端に引っ掛け部３を引っ掛けつつ、ウェハＷの両端を保持片１、２で挟み込むことにより、ウェハホルダ５からウェハＷを引き上げた場合においても、ウェハＷの下端を支持しつつ、ウェハＷの上下端でウェハＷを保持することが可能となり、ウェハＷの落下を防止しつつ、ウェハＷを安定して保持することが可能となる。
【００１６】
図２は、本発明の第２実施形態に係るウェハピンセットの使用方法を示す平面図である。
図２において、ウェハピンセットには、保持片１１、１２が設けられている。ここで、保持片１１は、保持片１２に対してウェハＷを横切るように延伸され、保持片１１、１２は、ウェハＷの両端を挟み込み可能な状態で互いに結合されている。そして、保持片１１、１２の先端には、ウェハＷを引っ掛ける引っ掛け部１３、１４がそれぞれ設けられている。なお、引っ掛け部１３、１４は、例えば、Ｌ字状、Ｊ字状またはＵ字状にそれぞれ構成することができる。ここで、引っ掛け部１３、１４のウェハＷの接触面１５、１６は、ウェハＷの形状に対応して屈曲させられている。
【００１７】
そして、ウェハＷを保持する場合、ウェハＷの下端に引っ掛け部１３を引っ掛ける。そして、ウェハＷの下端に引っ掛け部１３を引っ掛けた状態で、保持片１１、１２を握り締めることにより、保持片１１、１２を弾性変形させ、ウェハＷの上端に引っ掛け部１４を引っ掛けることで、ウェハＷの両端を保持片１１、１２で挟み込む。
【００１８】
ここで、ウェハＷの形状に対応して、引っ掛け部１３、１４のウェハＷの接触面１５、１６をそれぞれ屈曲させることにより、ウェハＷの円周に沿うようにしてウェハＷの端部を保持することが可能となる。このため、ウェハＷの横ズレを防止しつつ、ウェハＷを保持することが可能となり、ウェハＷの両端をウェハピンセットで保持した場合においても、ウェハＷがウェハピンセットの側方からずれ落ちることを防止しつつ、ウェハＷを安定して保持することが可能となる。
【００１９】
図３は、本発明の第３実施形態に係るウェハピンセットの使用方法を示す斜視図である。
図３（ａ）において、ウェハピンセットには、保持片２１、２２が設けられている。そして、保持片２１は、保持片２２に対してウェハＷを横切るように延伸され、保持片２１、２２は、ウェハＷの両端を挟み込み可能な状態で互いに結合されている。ここで、保持片２１には、保持片２１が分岐された分岐片２１ａ、２１ｂが設けられ、分岐片２１ａ、２１ｂおよび保持片２２の先端には、ウェハＷを引っ掛ける引っ掛け部２３ａ、２３ｂ、２４がそれぞれ設けられている。なお、引っ掛け部２３ａ、２３ｂ、２４は、例えば、Ｌ字状、Ｊ字状またはＵ字状に構成することができる。
【００２０】
そして、ウェハＷを保持する場合、ウェハＷの下方に引っ掛け部２３ａ、２３ｂを引っ掛ける。そして、保持片２１、２２の結合点Ｋ側を握り締めることにより、保持片２１、２２の結合点Ｋを支点として保持片２１、２２を弾性変形させ、ウェハＷの上端に引っ掛け部２４を引っ掛けることで、ウェハＷを保持片２１、２２で挟み込む。そして、ウェハＷが保持片２１、２２で挟み込まれると、図３（ｂ）に示すように、保持片２１、２２を握り締めながら、ウェハＷを持ち運ぶ。
【００２１】
ここで、保持片２１が分岐された分岐片２１ａ、２１ｂを設けることにより、保持片２１、２２を弾性変形させることで、ウェハＷを３箇所以上で支持することが可能となる。このため、ウェハピンセットの機構を複雑化させることなく、ウェハＷを安定して保持することが可能となるとともに、ウェハＷの横ズレを防止することを可能として、ウェハＷがウェハピンセットの側方からずれ落ちることを防止することが可能となる。
【００２２】
図４（ａ）および図４（ｂ）は、本発明の第４実施形態に係るウェハピンセットの使用方法を示す斜視図、図４（ｃ）は、本発明の第４実施形態に係るウェハピンセットの構成を示す断面図である。
図４（ａ）において、ウェハピンセットには、保持片３１、３２が設けられている。ここで、保持片３１は、保持片３２に対してウェハＷを横切るように延伸され、保持片３１、３２は、ウェハＷの両端を挟み込み可能な状態で互いに結合されている。そして、保持片３１の先端には、ウェハＷを引っ掛ける引っ掛け部３３が設けられ、保持片３２の先端には、ウェハＷを押え付ける押し当て部３４が設けられている。なお、引っ掛け部３３は、例えば、Ｌ字状、Ｊ字状またはＵ字状に構成することができ、押し当て部３４は、保持片３２の先端を屈曲させることにより構成することができる。
【００２３】
そして、ウェハＷを保持する場合、ウェハＷの下端に引っ掛け部３３を引っ掛ける。そして、保持片３１、３２の結合点Ｋ側を握り締めることにより、保持片３１、３２の結合点Ｋを支点として保持片３１、３２を弾性変形させ、ウェハＷの上部に押し当て部３４を押し当てることで、ウェハＷを保持片３１、３２で挟み込む。そして、ウェハＷが保持片３１、３２で挟み込まれると、図４（ｂ）および図４（ｃ）に示すように、保持片３１、３２を握り締めながら、ウェハＷを持ち運ぶ。
【００２４】
ここで、ウェハＷの下端に引っ掛け部３３を引っ掛けつつ、ウェハＷの上部に押し当て部３４を押し当てることにより、ウェハＷの下端を支持しつつ、ウェハＷの上下端でウェハＷを保持することが可能となり、ウェハＷの落下を防止しつつ、ウェハＷを安定して保持することが可能となる。
図５は、本発明の第５実施形態に係るウェハピンセットの使用方法を示す斜視図である。
【００２５】
図５（ａ）において、ウェハピンセットには、保持片４１、４２が設けられている。ここで、保持片４１は、保持片４２に対してウェハＷを横切るように延伸され、保持片４１、４２は、ウェハＷの両端を挟み込み可能な状態で互いに結合されている。そして、保持片４１の先端には、ウェハＷを引っ掛ける引っ掛け部４３が設けられている。また、保持片４２には、保持片４２が分岐された分岐片４４ａ、４４ｂが設けられ、分岐片４４ａ、４４ｂの先端には、ウェハＷを押え付ける押し当て部４４ａ、４４ｂがそれぞれ設けられている。なお、引っ掛け部４３は、例えば、Ｌ字状、Ｊ字状またはＵ字状に構成することができ、押し当て部４４ａ、４４ｂは、分岐片４４ａ、４４ｂの先端をそれぞれ屈曲させることにより構成することができる。
【００２６】
そして、ウェハＷを保持する場合、ウェハＷの下端に引っ掛け部４３を引っ掛ける。そして、保持片４１、４２の結合点Ｋ側を握り締めることにより、保持片４１、４２の結合点Ｋを支点として保持片４１、４２を弾性変形させ、ウェハＷの上部に押し当て部４４ａ、４４ｂを押し当てることで、ウェハＷを保持片４１、４２で挟み込む。そして、ウェハＷが保持片４１、４２で挟み込まれると、図５（ｂ）に示すように、保持片４１、４２を握り締めながら、ウェハＷを持ち運ぶ。
【００２７】
ここで、保持片４２が分岐された分岐片４２ａ、４２ｂを設けることにより、保持片４１、４２を弾性変形させることで、ウェハＷを３箇所以上で支持することが可能となる。このため、ウェハピンセットの機構を複雑化させることなく、ウェハＷを安定して保持することが可能となるとともに、ウェハＷの横ズレを防止することを可能として、ウェハＷがウェハピンセットの側方からずれ落ちることを防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係るウェハピンセットの構成を示す図。
【図２】第２実施形態に係るウェハピンセットの構成を示す図。
【図３】第３実施形態に係るウェハピンセットの構成を示す図。
【図４】第４実施形態に係るウェハピンセットの構成を示す図。
【図５】第５実施形態に係るウェハピンセットの構成を示す図。
【符号の説明】
Ｗ  ウェハ、１、２、１１、１２、２１、２２、３１、３２、４１、４２  保持片、３、４、１３、１４、２３ａ、２３ｂ、２４、３３、４３  引っ掛け部、５  ウェハホルダ、Ｋ  支点、１５、１６  接触面、２１ａ、２１ｂ、４２ａ、４２ｂ  分岐片、３４、４４ａ、４４ｂ  押し当て部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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