(57)【要約】【課題】常に明るい蛍光像を確保でき、質の高い蛍光観察を実現できる蛍光共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】蛍光を励起する光の波長を透過する特性を有する光透過部を有するパターン領域２３１と、蛍光の波長を透過する特性を有する光透過部を有するパターン領域２３２を有する回転ディスク２３をモータ３４により回転させ、光源２１からの光をパターン領域２３１の光透過部に入射させるとともに、該光透過部を透過した光を試料２９に照射させ、試料２９より発生する蛍光をパターン領域２３２の光透過部に結像させる。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
光透過部と光遮断部を有する第１のパターン領域および第２のパターン領域を形成し、前記第１のパターン領域の光透過部は、前記光源の光から選択される蛍光を励起する光の波長を透過する特性を有し、前記第２のパターン領域の光透過部は、蛍光の波長を透過する特性を有するパターン領域形成手段と、
前記光源からの光を前記第１のパターンの光透過部に入射させるとともに、該光透過部を透過した光を試料に照射させる第１の光学手段と、
前記第１のパターンの光透過部を透過した光を前記試料に対して走査する走査手段と、
前記照射された光により前記試料より発生する蛍光を前記第２のパターン領域の光透過部に結像させる第２の光学手段と
を具備したことを特徴とする蛍光共焦点顕微鏡。
【請求項２】
前記パターン領域形成手段は、円板状のディスクからなり、前記走査手段は前記ディスクを回転させる回転手段からなることを特徴とする請求項１記載の蛍光共焦点顕微鏡。
【請求項３】
前記パターン領域形成手段の前記第１および第２のパターン領域の位置情報を検出する位置検出手段と、前記第２のパターン領域の光透過部を透過した蛍光を結像する第３の光学手段と、前記位置検出手段により検出される前記第１および第２のパターン領域の位置情報に同期して前記第３の光学手段により結像された蛍光像を撮像する撮像手段と
をさらに有することを特徴とする請求項２記載の蛍光共焦点顕微鏡。
【請求項４】
前記第１および第２のパターン領域は、光を透過するスリット状の光透過部を等間隔に配置したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の蛍光共焦点顕微鏡。
【請求項５】
前記第１および第２のパターン領域は、前記円板状ディスクの回転軸に対して対称なパターンからなっていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の蛍光共焦点顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生物標本の蛍光を拡大して観察する蛍光顕微鏡に関し、特に、蛍光標本の３次元構造や高コントラスト観察を行う蛍光共焦点顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近、遺伝子研究は、ますます盛んになっており、この遺伝子研究における遺伝子分析などには、蛍光観察が用いられている。
【０００３】
このような蛍光観察において、蛍光をコントラストよく観察するものとして、共焦点法のセクショニング効果を利用した蛍光共焦点顕微鏡が知られている。
【０００４】
この蛍光共焦点顕微鏡には、多数の微小開口を持つパターンをディスクに形成し、このディスクを回転させて走査することにより共焦点像を得るディスクスキャンタイプの共焦点顕微鏡が用いられている。また、ディスクのうち最も良く用いられているものとして、ピンホールパターンを用いた周知のＮｉｐｋｏｗディスクがある。
【０００５】
図６は、Ｎｉｐｋｏｗディスクを使用した蛍光共焦点顕微鏡の一例を示すもので、水銀光源等の光源１から出射される光の光路上にコンデンサーレンズ２、ダイクロックミラー３が配置されている。ダイクロックミラー３は、蛍光を励起する波長を反射し、蛍光波長は透過するようになっている。このダイクロックミラー３の反射光路上にＮｉｐｋｏｗディスク４、第１の結像レンズ５、対物レンズ６を介して試料７が配置されている。
【０００６】
ここで、Ｎｉｐｋｏｗディスク４は、図７に示すようにピンホール４ａの配置が螺旋状になっているとともに、各ピンホール４ａ間の距離は、ピンホール４ａの直径の１０倍程度になっている。また、Ｎｉｐｋｏｗディスク４は、回転軸８を介して図示しないモータの軸に連結され、一定の回転速度で回転するようになっている。
【０００７】
ダイクロックミラー３の試料７に対する透過光路上には、第２の結像レンズ９を介してＣＣＤカメラ１０が配置されている。このＣＣＤカメラ１０の画像出力端子には、モニター１１に接続され、ＣＣＤカメラ１０で撮像された画像を表示するようになっている。
【０００８】
このような構成において、光源１から出射された光は、コンデンサーレンズ２を通って、ダイクロックミラー３で励起光となる短い波長のみが反射され、一定の速度で回転するＮｉｐｋｏｗディスク４に入射され、このＮｉｐｋｏｗディスク４のピンホール４ａを通過した光が第１の結像レンズ５を通り、対物レンズ６によって結像され、試料７に入射する。
【０００９】
試料７では、入射した励起光により蛍光が発生する。試料７からの蛍光は、対物レンズ６を介し、第１の結像レンズ５によりＮｉｐｋｏｗディスク４上に試料像を投影する。投影された試料像のうち焦点の合っている部分はピンホール４ａを通過し、さらにダイクロックミラー３で蛍光である長い波長が第２の結像レンズ９の方向に透過してこの第２の結像レンズ９を介してＣＣＤカメラ１０で撮像される。このＣＣＤカメラ１０で撮像された共焦点画像は、モニター１１に表示される。この場合、図示しないが、第２の結像レンズ９とＣＣＤカメラ１０の代わりに接眼レンズで目視観察してもよい。
【００１０】
このような蛍光共焦点顕微鏡によれば、Ｎｉｐｋｏｗディスク４のピンホール４ａを通過する焦点が合っている像のみが観察できるため、焦点を上下（Ｚ方向）に移動させて観察することで、試料７の高さ毎の画像いわゆるセクショニング像を観察することができる。
【００１１】
ところが、このようなＮｉｐｋｏｗディスク４を用いた共焦点顕微鏡で蛍光観察を行う場合、Ｎｉｐｋｏｗディスク４のピンホール４ａの総面積は、ディスク全体の１／１００程度であり、光源１からの光のほとんどは、ディスクを通過しないため、非常に暗い画像が観察される。このことは、特に、蛍光は、励起光に対して１／１０００００以下と非常に微弱であるため、Ｎｉｐｋｏｗディスク４を使用した共焦点顕微鏡では、質の高い蛍光観察が非常に難しくなる。
【００１２】
そこで、従来、ディスク走査型で、より明るい蛍光観察を可能としたものとして、特開２０００−２０６４１２号公報に開示されるマイクロレンズアレイを使ったディスク走査型の顕微鏡が考えられている。
【００１３】
図８は、このようなマイクロレンズを備えたディスク走査型顕微鏡の概略構成を示すものである。この場合、マイクロレンズを多数備えたマイクロレンズ板１２と、このマイクロレンズ板１２のマイクロレンズと同一位置に配置されるピンホールを有するピンホール板１３が設けられ、レーザ光源から出射されたレーザ光１４がマイクロレンズ板１２のマイクロレンズを介してピンホール板１３のピンホールで焦点を結ぶようになっている。ここでのピンホール板１３のピンホールは、上述したＮｉｐｋｏｗディスク４と同様で、図７に示すようになっている。また、マイクロレンズ板１２とピンホール板１３は、回転軸１５を介して図示しないモータの軸に連結され、一定の回転速度で矢印の様に回転するようになっている。
【００１４】
これらマイクロレンズ板１２とピンホール板１３の間にはダイクロックミラー１６が配置されている。このダイクロックミラー１６は、レーザー光の波長を透過し、蛍光波長は反射するようになっている。このダイクロックミラー１６の透過光路上に対物レンズ１７を介して試料１８が配置されている。また、ダイクロックミラー１６の反射光路上には、接眼レンズ１９を介してＣＣＤカメラ２０が配置されている。
【００１５】
このような構成において、レーザ光源から出射されたレーザ光１４は、マイクロレンズ板１２に入射し、マイクロレンズ板１２にある、それぞれのマイクロレンズを通り、ダイクロックミラー１６を通過し、ピンホール板１３のそれぞれのピンホールに集光される。ピンホール板１３のピンホールを通過した光は、対物レンズ１７によって結像され、試料１８に入射する。
【００１６】
この状態で、マイクロレンズ板１２とピンホール板１３は、回転軸１５の回転により、回転軸１５の周りを回転することで走査を行う。
【００１７】
試料１８では入射した励起光により蛍光が発生する。試料１８からの蛍光は、対物レンズ１７を介し、ピンホール板１３上に試料像を投影する。投影された試料像のうち焦点の合っている部分は、ピンホールを通過し、さらにダイクロックミラー１６で蛍光である長い波長が接眼レンズ１９の方向に反射して、接眼レンズ１９を介してＣＣＤカメラ２０で撮像される。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような構成によっても、共焦点観察のためのピンホール板１３の他、蛍光観察のためのダイクロックミラー１６とともに、図示しないが励起フィルタ、吸収フィルタが必要であり、このため、上述したように試料１８から発せられる非常に微弱な蛍光が、これらピンホール板１３、ダイクロックミラー１６および吸収フィルタを通過すると、これらの通過により発生する光量ロスによってさらに減衰してしまうため、明るい蛍光画像を得るのが難しく、依然として質の高い蛍光観察を行うことができないという問題があった。
【００１９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、明るい蛍光像を確保でき、質の高い蛍光観察を実現できる蛍光共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、光源と、光透過部と光遮断部を有する第１のパターン領域および第２のパターン領域を形成し、前記第１のパターン領域の光透過部は、前記光源の光から選択される蛍光を励起する光の波長を透過する特性を有し、前記第２のパターン領域の光透過部は、蛍光の波長を透過する特性を有するパターン領域形成手段と、前記光源からの光を前記第１のパターンの光透過部に入射させるとともに、該光透過部を透過した光を試料に照射させる第１の光学手段と、前記第１のパターンの光透過部を透過した光を前記試料に対して走査する走査手段と、前記照射された光により前記試料より発生する蛍光を前記第２のパターン領域の光透過部に結像させる第２の光学手段とを具備したことを特徴としている。
【００２１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記パターン領域形成手段は、円板状のディスクからなり、前記走査手段は前記ディスクを回転させる回転手段からなることを特徴としている。
【００２２】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記パターン領域形成手段の前記第１および第２のパターン領域の位置情報を検出する位置検出手段と、前記第２のパターン領域の光透過部を透過した蛍光を結像する第３の光学手段と、前記位置検出手段により検出される前記第１および第２のパターン領域の位置情報に同期して前記第３の光学手段により結像された蛍光像を撮像する撮像手段とをさらに有することを特徴としている。
【００２３】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記第１および第２のパターン領域は、光を透過するスリット状の光透過部を等間隔に配置したことを特徴としている。
【００２４】
請求項５記載の発明は、請求項２乃至３のいずれかに記載の発明において、前記第１および第２のパターン領域は、前記円板状ディスクの回転軸に対して対称なパターンからなっていることを特徴としている。
【００２５】
この結果、本発明によれば、光源からの光は、蛍光を励起する光の波長を透過する特性を有する第１のパターン領域の光透過部を通って試料に入射し、試料より発する蛍光は、蛍光の波長を透過する特性を有する第２のパターン領域光透過部を通り共焦点像が得られるようになるので、従来、必須の励起フィルター、蛍光フィルターのそれぞれの機能を、共通のパターン領域形成手段（ディスク）に持たせることができ、これら励起フィルターおよび蛍光フィルターを省略することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００２７】
図１は、本発明の一実施の形態が適用される共焦点顕微鏡の概略構成を示している。
【００２８】
この場合、水銀光源等の光源２１から出射される光の光路上には、コリメータレンズ２２、パターン領域形成手段として円板状の回転ディスク２３、複数のレンズからなるリレーレンズ２４およびミラー２５が配置されている。
【００２９】
ミラー２５の反射光路上には、第１の結像レンズ２６およびダイクロックミラー２７が配置され、さらに、ダイクロックミラー２７の反射光路上には、対物レンズ２８を介して試料２９が配置されている。
【００３０】
この場合、コリメータレンズ２２、リレーレンズ２４、ミラー２５、第１の結像レンズ２６およびダイクロックミラー２７は、第１の光学系を構成している。
【００３１】
ダイクロックミラー２７の透過光路上には、第２の光学系を構成する第２の結像レンズ３０、回転ディスク２３が配置され、さらに、第３の光学系を構成する第３の結像レンズ３１および撮像手段としてＣＣＤカメラ３２が配置されている。この場合、回転ディスク２３のダイクロックミラー２７の透過光路上の位置は、回転ディスク２３の光源側の光路上の位置と回転軸に対して対称な位置である。
【００３２】
また、回転ディスク２３は、走査手段を構成する回転手段として回転軸２３ａを介してモータ３４の軸に連結され、一定の回転速度で回転されるようになっている。
【００３３】
ＣＣＤカメラ３２前面の第３の結像レンズ３１との間の光路上には、ＣＣＤカメラ３２への光をＯＮ／ＯＦＦするシャッター３３が配置されている。
【００３４】
回転ディスク２３の外周部には、パターン領域２３１および２３２の位置情報を検出する位置検出手段としてセンサー３５が配置されている。このセンサー３５は、回転ディスク２３の後述するマーカー２３５を読み取ることによりパターン領域２３１および２３２の位置情報を検出するようにしている。
【００３５】
センサー３５には、シャッター制御部３６が接続されている。このシャッター制御部３６は、センサー３５の出力（マーカー２３５の有無）によってシャッター３３をＯＮ／ＯＦＦ制御するようにしている。
【００３６】
図２（ａ）は回転ディスク２３の概略構成を示すもので、スリット状の光透過部を等間隔に配置したパターン領域２３１と２３２と、これらパターン領域２３１と２３２を区分する扇型の遮光領域２３３、２３４が形成されている。この場合、これらパターン領域２３１と２３２は、回転ディスク２３の中心、つまり回転軸２３ａに対して対称なパターンからなっている。また、回転ディスク２３は、周縁部の円周方向に沿って半周にわたって光を遮蔽するマーカー２３５が形成されている。
【００３７】
パターン領域２３１、２３２は、それぞれ同図（ｂ）の拡大図に示すように、特定の波長の光が通過するスリット状の光透過部２３６と光を遮蔽する光遮蔽部２３７が交互に並んで配置されている。この場合、光透過部２３６の幅寸法と光遮蔽部２３７の幅寸法との比は、例えば、１：９に設定されている。また、光が通過するスリット状の光透過部２３６の幅Ｗは、ピンホールの場合と同じく、サンプル像がディスクに投影される倍率をＭ、光の波長をλ、対物レンズの開口率をＮＡとすると
Ｗ＝ｋλＭ／ＮＡ
となる関係を満たすようになっている、なお、ｋは係数で、ｋ＝１程度が良く使われる。
【００３８】
また、これらパターン領域２３１、２３２は、それぞれの光透過部２３６を透過する波長が異なっており、パターン領域２３１では、図３（ａ）に示すように光源１の光から選択される蛍光を励起する光の波長を透過し、その他の波長（蛍光の波長Ａを含む）を遮断するような特性を有し、また、パターン領域２３２では、図３（ｃ）に示すように試料２９からの蛍光の波長Ａを透過し、その他の波長（蛍光を励起する光の波長）を遮断するような特性を有している。
【００３９】
ダイクロックミラー２７は、図３（ｂ）に示すように回転ディスク２３のパターン領域２３１を透過した蛍光を励起する光の波長の光を反射し、同図（ｃ）に示すように試料２９からの蛍光の波長Ａを透過するような特性になっている。
【００４０】
なお、これらの波長特性は、使用する蛍光色素で異なっており、例えば、ＦＩＴＣを観察する場合は、励起最大波長が４９０ｎｍ、蛍光最大波長が５２０ｎｍであるから、回転ディスク２３のパターン領域２３１のスリット状の光透過部２３６を透過しダイクロックミラー２７を反射する波長は、４６０〜４９０ｎｍが用いられ、ダイクロックミラー２７を透過し、さらに回転ディスク２３のパターン領域２３２のスリット状の光透過部２３６を透過する波長は、５１０ｎｍが用いられる。
【００４１】
次に、このように構成された実施の形態の作用について説明する。
【００４２】
まず、モータ３４を駆動して回転ディスク２３を一定速度で回転させる。
【００４３】
この状態で、光源２１から出射された光は、コリメータレンズ２２を通って、回転ディスク２３に入射する。
【００４４】
いま、回転ディスク２３のパターン領域２３１に光が入射すると、このパターン領域２３１のスリット状の光透過部２３６により、図３（ａ）のように光源２１からの光から蛍光を励起する波長の光が選択的に透過され、その他の波長は遮断される。
【００４５】
波長選択された光源２１からの光は、リレーレンズ２４を通りミラー２５で直角に反射して、第１の結像レンズ２６を通ってダイクロックミラー２７に入射する。
【００４６】
この場合、ダイクロックミラー２７は、図３（ｂ）に示すように回転ディスク２３のパターン領域２３１を透過した蛍光を励起する光の波長の光を反射し、同図（ｃ）に示すように試料２９からの蛍光の波長Ａを透過するような特性を有しているので、第１の結像レンズ２６を通って入射される蛍光を励起する光、つまり励起光は反射し、対物レンズ２８によって結像され、試料２９に入射する。
【００４７】
試料２９では、入射された励起光により蛍光を発生する。この試料２９からの蛍光は、対物レンズ２８を通り、今度はダイクロックミラー２７を透過し、第２の結像レンズ３０を介して回転ディスク２３上のパターン領域２３２に試料２９の像を結像する。
【００４８】
パターン領域２３２は、図３（ｃ）に示すように試料２９からの蛍光の波長Ａを透過し、その他の波長（蛍光を励起する光の波長）を遮断するような特性を有している。これにより、仮に、試料２９で反射散乱された励起光の一部がダイクロックミラー２７を透過してパターン領域２３２に入射しても、これら入射光は遮断され、焦点の合っている蛍光波長Ａの成分のみが、スリット状の光透過部２３６を通過し、第３の結像レンズ３１を介してＣＣＤカメラ３２に試料２９の蛍光像として結像される。
【００４９】
この状態から、回転ディスク２３が回転して、パターン領域２３２が光源２１の光路上に、パターン領域２３１がＣＣＤカメラ３２の撮影光路上にそれぞれ位置すると、回転ディスク２３のパターン領域２３２を透過するのは、光源２１からの光のうち図３（ｃ）のような蛍光波長のみであるため、このとき試料２９へ入射する光の波長では蛍光を励起することはできない。
【００５０】
そして、さらに回転ディスク２３が回転して、パターン領域２３１が光源２１の光路上に、パターン領域２３２がＣＣＤカメラ３２の撮影光路上にそれぞれ位置するようになると、上述したと同様にして、光源２１からの光のうち蛍光を励起する光の波長がパターン領域２３１を透過して試料２９の蛍光を励起し、この試料２９からの蛍光の波長がパターン領域２３２を透過し、ＣＣＤカメラ３２により撮像される。
【００５１】
このような状態は、回転ディスク２３の周縁部の円周方向に沿って半周にわたって設けられたマーカー２３５とセンサー３５との位置関係により検出される。つまり、センサー３５は、図４（ａ）に示すように、パターン領域２３１が光源２１の光路上に、パターン領域２３２がＣＣＤカメラ３２の撮影光路上にそれぞれ位置している状態では、マーカー２３５による光の遮蔽によりＯＦＦ信号を出力し、パターン領域２３２が光源２１の光路上に、パターン領域２３１がＣＣＤカメラ３２の撮影光路上にそれぞれ位置している状態では、マーカー２３５による光の遮蔽が解かれＯＮ信号を出力する。
【００５２】
シャッター制御部３６は、図４（ｂ）に示すように、センサー３５からの出力信号を受け取ると、信号レベルを反転し、ＣＣＤカメラ３２前面に位置されるシャッター３３に対し、パターン領域２３１が光源２１の光路上に、パターン領域２３２がＣＣＤカメラ３２の撮影光路上にそれぞれ位置している状態では、シャッター開放を指示するＯＰＥＮ信号を出力し、パターン領域２３２が光源２１の光路上に、パターン領域２３１がＣＣＤカメラ３２の撮影光路上にそれぞれ位置している状態では、シャッター閉成を指示するＣＬＯＳＥ信号を出力する。
【００５３】
これにより、ＣＣＤカメラ３２前面に位置されるシャッター３３に対しシャッター制御部３６よりシャッター開放を指示するＯＰＥＮ信号が与えられている期間、つまり、光源２１からの光路上に回転ディスク２３のパターン領域２３１が、ＣＣＤカメラ３２の撮影光路上にパターン領域２３２がそれぞれ位置するときのみ、光源２１からの光のうち蛍光を励起する光の波長がパターン領域２３１を透過して試料２９の蛍光を励起し、試料２９からの蛍光の波長がパターン領域２３２を透過し、ＣＣＤカメラ３２により撮像され、試料２９の蛍光画像が得られることになる。
【００５４】
従って、このようにすれば、従来の蛍光顕微鏡で必須の励起フィルター、蛍光フィルターのそれぞれの機能を、回転ディスク２３に形成されたスリット状の光透過部を等間隔に配置したパターン領域２３１および２３２に持たせるようにしたので、これら励起フィルターおよび蛍光フィルターを省略することができる。これにより、これらフィルターを通過することにより発生していた光量ロスを無くすことができるので、常に明るい蛍光画像を得ることができ、質の高い蛍光観察を行うことができる。
【００５５】
なお、上述した実施の形態では、回転ディスク２３のパターン領域２３１、２３２での光透過部２３６の幅寸法と光遮蔽部２３７の幅寸法との比を、例えば、１：９に設定しているが、この比はもっと小さくても大きくてもよい。例えば、非常に暗い蛍光の場合は、非合焦成分が増えるが１：３程度に設定すると、蛍光像は明るくなる。また、非常に明るい蛍光の場合は、１：２０や１：５０にすると、非合焦成分がほとんどなくなり、焦点の合った像のみのセクショニング画像が得られるが、この場合の蛍光像は暗くなる。
【００５６】
上述した実施の形態では、回転ディスク２３のパターン領域２３１、２３２では、スリット状の光透過部を等間隔に配置したものを述べたが、ピンホールを形成した上述のＮｉｐｋｏｗディスクに応用することもできる。この場合、図５に示すようにピンホールパターンを形成した２つの扇型の領域５０１、５０２を遮光領域５０３、５０４を介して配置し、このうち領域５０１のピンホール部分は、図２に示したパターン領域２３１のスリット状の光透過部と同様に光源からの光のうち励起光の波長を透過するようにし、また、領域５０２のピンホールは、図２に示したパターン領域２３２のスリット状の光透過部と同様に試料からの蛍光の波長を透過するようにすれば、上述したと同じようにして使用することができる。
【００５７】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【００５８】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００５９】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、常に明るい蛍光像を確保でき、質の高い蛍光観察を実現できる蛍光共焦点顕微鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態が適用される共焦点顕微鏡の概略構成を示す図。
【図２】一実施の形態に用いられる回転ディスクの概略構成を示す図。
【図３】一実施の形態に用いられる回転ディスクのパターン領域およびダイクロックミラーの特性を示す図。
【図４】一実施の形態に用いられるセンサーおよびシャッター制御部の動作を説明するための図。
【図５】一実施の形態に用いられる他の回転ディスクの概略構成を示す図。
【図６】従来の共焦点顕微鏡の概略構成を示す図。
【図７】従来の共焦点顕微鏡に用いられるＮｉｐｋｏｗディスクの概略構成を示す図。
【図８】従来のマイクロレンズを備えたディスク走査型顕微鏡の概略構成を示す図。
【符号の説明】
２１…光源
２２…コリメータレンズ
２３…回転ディスク
２３ａ…回転軸
２３１．２３２…パターン領域
２３３．２３４…遮光領域
２３５…マーカー
２３６…光透過部
２３７…光遮蔽部
２４…リレーレンズ
２５…ミラー
２６…第１の結像レンズ
２７…ダイクロックミラー
２８…対物レンズ
２９…試料
３０…第２の結像レンズ
３１…第３の結像レンズ
３２…ＣＣＤカメラ
３３…シャッター
３４…モータ
３５…センサー
３６…シャッター制御部
２３１…パターン領域
２３１．２３２…パターン領域
２３２…パターン領域
２３３．２３４…遮光領域
２３５…マーカー
２３６…光透過部
２３７…光遮蔽部
５０１．５０２…領域
５０３．５０４…遮光領域
【図１】
2004138819.tif 000003
【図２】
2004138819.tif 000004
【図３】
2004138819.tif 000005
【図４】
2004138819.tif 000006
【図５】
2004138819.tif 000007
【図６】
2004138819.tif 000008
【図７】
2004138819.tif 000009
【図８】
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