(57)【要約】【課題】プランジャ式電磁比例弁において、弁動作時におけるプランジャの傾きを抑制して、プランジャの動作の安定化を図る。【解決手段】プランジャ式電磁比例弁において、プランジャ１３の全体形状を円筒状に形成し、かつ、その長さＨと直径Ｗとの比（縦横比）を、２：１〜３：１、好ましくは、２．４：１〜２．９：１に設定することにより、動作時の振動によるプランジャの傾きを抑制することができ、その結果、プランジャが安定して動作するようになり、かつ摺動抵抗も低減できて、出力流量の安定化が可能となる。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁コイルと、該電磁コイルの電磁吸引力により吸引移動されるプランジャと、該プランジャの端部に取り付けられた弾性体製の弁体とを備えた電磁コイル部と、前記プランジャ部に取り付けられた前記弁体に対向するように配設される弁座を備えた弁本体とで構成され、前記電磁コイルの電磁吸引力により前記プランジャが移動して前記弁体と弁座との間の距離の制御が行われて流量制御を可能にした電磁比例弁において、
前記弁本体に、流体の流入口と流出口とが設けられ、該流体の流入口と流出口とを連通する部分に弁収納室が配置され、該弁収納室に前記弁座が配置されるとともに、前記電磁吸引力により前記プランジャに誘発される力に比例して安定的に変化する対抗力を供給する板ばねが設けられ、
前記プランジャが円筒状に形成されており、その長さＨと直径Ｗとの比を２：１〜３：１に設定されていることを特徴とする電磁比例弁。
【請求項２】
前記プランジャが、その長さＨと直径Ｗとの比を２．４：１〜２．９：１に設定されていることを特徴とする請求項１記載の電磁比例弁。
【請求項３】
前記板ばねが、全体形状を円板形状に形成されるとともに、中心部に円孔が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の電磁比例弁。
【請求項４】
前記板ばねが、前記円孔を貫通して前記プランジャの端面に圧入された円筒形保持部材により、同プランジャの端面に保持されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の電磁比例弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁比例弁に関し、特に電磁弁を通過する流体流量の精密な制御が可能な電磁比例弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、このような電磁比例弁は、クロマトグラフィ等の分析器に、少量の流体を所定量供給するための装置に使用されている。
クロマトグラフィ等の分析器においては、低圧の流体を正確に微少量供給することが要求されており、そのため、供給される流体の流量を正確に測定しつつ、それに応じて流路に設けられた電磁弁を開閉制御することが行われている。その際、所定の流量を正確に供給するため、この電磁弁としては、供給電流に比例して弁開度を可変とする電磁比例弁が採用されている。
【０００３】
このような電磁比例弁としては、電磁コイルと、該電磁コイル内に摺動可能に設けられたプランジャと、該プランジャの先端に弁座に対向するように設けられた弁体と、前記電磁コイルの吸引力に対抗する荷重を発生する板ばねとからなり、前記電磁コイルに通電することにより、そのときの供給電流に応じて生じる吸引力により、前記板ばねのばね力に抗してプランジャとともに弁体を開弁方向に移動して、供給電流に比例した弁開度が得られる構成となっている。
【０００４】
このような電磁比例弁の一例として、特開２００２−７１０４５号公報に記載のものが知られている。これを図１１乃至図１５により説明すると、この電磁比例弁は、電磁３４コイルと、該電磁コイルの電磁吸引力により吸引移動されるプランジャ１３と、該プランジャの端部に取り付けられた弾性体製の弁体１８とを備えた電磁コイル部２７と、プランジャ１３に取り付けられた弁体１８に対向するように配設される弁座１０を備えた弁本体１とで構成され、電磁コイル３４の電磁吸引力によりプランジャ１３が移動して弁体１８と弁座１０との間の距離の制御が行われて流量の制御ができるように構成されている。
【０００５】
弁本体１には流体の流入口２と流出口３とが設けられ、それらの連通部分には、上方に開口した弁収納室４が形成されている。弁本体１には弁座体６が固定され、弁座体６の弁座部７は弁収納室４の底面から突出して設けられており、弁座体６には中心部を貫通する流通路８が形成され、この流通路８は弁座部７の上端部まで貫通し、先端の開口部は弁座１０となっている。弁座体６を弁本体１に固定するに際しては、圧入により固定され、弁座を正確に位置決めすると共に、流入口２側から流出口３側への流体の漏れを防止できるようになっている。
【０００６】
弁本体１の上部寄りに環状の凹部１Ａが形成されており、この凹部１Ａの環状の上部開口部１１の内周に雌ねじ１１ａが形成されている。一方、この雌ねじ１１ａに上部開口部１１側から螺合する雄ねじ１６ａを外周に形成されるとともに中心部に貫通円孔１６ｂを有する上蓋１６が、両ねじ部材の螺合により、弁本体１の凹部１Ａに嵌入されている。
【０００７】
上蓋１６の貫通円孔１６ｂにチューブ２６が溶接等により取り付けられている。弁本体１の開口部１１に螺合した上蓋１６の下端面と弁本体の窪み部底面１ａとの間にフィルタ５１が配設されている。上蓋１６の環状の下端面１６ｃとフィルタ５１の上面との間に、板ばね５０の外周端縁がスペーサ５２を介して挟持されていて、上蓋１６の締め込みにより、フィルタ５１下部の０リング２５ａを押し、そのねじ込み量によって板ばね５０の押圧力を調節できるようになっている。また、０リング２５ａは流体がフィルタ５１を通過するように漏れ防止も行っている。上蓋１６と凹部１Ａとの間は、０リング２５によりシールされている。
【０００８】
プランジャ１３の下端部には、弁体収納部１７が形成されており、その中に弁体１８が、周囲を金属製のホルダー１８ａに保持されて固定されている。弁体１８は上部に大径部を有する形状に形成されているが、その弾性を利用して金属製のホルダー１８ａに下方から押し込まれる。ホルダー１８ａの下端部はプランジャ１３の下端部にカシメにより固定されており、そのために、プランジャ１３の下端部にカシメ部１３ａがあらかじめ形成されている。
【０００９】
チューブ２６の上端固定部２９は、弁本体１の上部に配置した電磁コイル部２７の吸引子２８の外周に溶接又はろう付けによって固定されている。吸引子２８の上部は電磁コイル部２７の外函３０の上面３１から突出し、その突出部を止め輪３２で止めることにより、電磁コイル部２７と弁本体１とを互いに当接した状態でチューブ２６を介して連結する構成になっている。このように、チューブ２６の下端が上蓋１６にろう付け又は溶接により固定され、また上端部が吸引子２８に溶接又はろう付けにより固定されているので、この部分からの内部の流体の漏れを防止することができる。チューブ２６の内部にはプランジャ１３が上下動自在に配置され、プランジャ１３の外周には潤滑処理が施されていて、チューブ２６内での摺動性能を良好にしている。
【００１０】
電磁コイル部２７の外函３０の内部中心に、コア３３が配置され、その外周に、電磁コイル３４が巻回されている。この電磁コイル３４に供給する電流の量に応じて吸引子２８に磁力が発生し、この吸引子２８の下端面３５と離間して配置されているプランジャ１３の上端面が吸引され、プランジャ１３が上方に移動する。このことにより、プランジャ１３に保持された弁体１８が上方に移動し、弁体１８が弁座１０から離れ、開弁状態となる。
【００１１】
プランジャ１３の下端部に、板ばね５０が取り付けられている。板ばね５０は、図１３に示すように、中心部に円形の穴部５０ａを形成された円板体で形成されており、その中心部に形成された穴部５０ａでプランジャ１３の端部にカシメにより固定されている。この板ばね５０のカシメによる固定に際し、前記カシメ部１３ａが利用される。板ばね５０の外周部は、上蓋１６の環状の下縁部１６ｃに下方から圧接するようになっており、この構成によて、板ばね５０は、電磁コイル３４の非通電時においても、弁体１８に弁閉方向への荷重を発生可能なばね特性が与えられるようになっている。したがって、この電磁比例弁では、通常の電磁比例弁における弁ばね（コイルばね）の省略化が可能となる。前記のばね特性は、上蓋１６の締めつけ量により調節することができる。
【００１２】
このように、板ばね５０は、電磁コイル３４の非通電時においても弁体１８に弁閉方向への荷重を発生可能なばね特性を有しており、更に、該板ばね５０に前記のばね特性、即ち電磁コイル３４の非通電時においても弁体１８に弁閉方向への荷重を発生可能なばね特性を安定して発生させるべく、円形の穴部５０ａを中心として複数の同心円状の円弧状切り抜き部５０ｂが形成されている。
【００１３】
上記の構成のこの電磁比例弁において、作動に際して、電磁コイル３４に電流を供給する前は、図１１に示すように、板ばね１５のばね力によって、プランジャ１３、即ち弁体１８は下方に押圧され、最も下方の位置に移動した状態にあり、弁体１８の底面は弁座体６の上端部の弁座１０に当接し、流通路８は閉鎖されて閉弁となっている。
【００１４】
このような状態から電磁コイル３４に通電し、所定の電流を供給すると、プランジャ１３の自重ＦＯと板ばね１５による押圧力の合成力に対して、電磁コイル３４に供給する電流に応じた吸引力がバランスする点で開弁する。このように、この電磁比例弁は電磁コイル３４に供給される電流に比例した開度だけ開くように作動する。
【００１５】
そして、閉弁位置の時、板ばね５０は図１２に示す状態にあり、また開弁位置の時、板ばね５０は図１５に示す状態にある。したがって、上述の閉弁位置から開弁位置に至る間、あるいは開弁位置から閉弁位置に至る間に、板ばね５０は、図１２に示す状態から図１５に示す状態へと、あるいはこれと逆に変形する。また、板ばね５０は、その中心部をプランジャ１３にカシメ固着されるとともに外周部を上蓋１６の環状の下縁部１６ｃで下方から押圧されているので、板ばね５０の上記の変形時、板ばね５０はその中心部及び外周縁部（これら両部分は固定乃至挟持されていて変形し難い）を除く中間部Ｃ区間だけを変形させながら変形することになる。したがって、通常の電磁比例弁のように、板ばねに「こすれ」が発生するおそれは殆どなくなり、その結果、プランジャ１６の動作は比較的安定化することになる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記のような従来の電磁比例弁では、板ばね５０はその中心部をプランジャ１３にカシメ固着されるとともに外周部を上蓋１６の環状の下縁部１６ｃで下方から押圧されているので、製作時に板ばねが曲がりやすい。電磁比例弁作動時において、安定した流量を出力させるためには、プランジャ１６の摺動抵抗の低減化、部品の精度化、部品重量の適正化が必要となる。しかし、電磁比例弁の大型化を抑制しながら、かつコストアップなしに所要の性能を得ることは難しい。
また、板ばね５０の形状が図１３に示すように複雑なため、製作が難しいなどの課題がある。
【００１７】
本発明は、このような課題を解決しようとするもので、プランジャの縦横比を所定値に設定することで、電磁比例弁の動作の安定化を図り、更に板ばねの形状及び保持構造を改良して電磁比例弁の動作の安定化を図るものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、電磁コイルと、該電磁コイルの電磁吸引力により吸引移動されるプランジャと、該プランジャの端部に取り付けられた弾性体製の弁体とを備えた電磁コイル部と、前記プランジャ部に取り付けられて前記弁体に対向するように配設される弁座を備えた弁本体とで構成され、前記電磁コイルの電磁吸引力で前記プランジャが移動し、前記の弁体と弁座との間の距離を制御して流量を制御可能にした電磁比例弁において、前記弁本体に、流体の流入口と流出口とが設けられ、該流体の流入口と流出口とを連通する部分に弁収納室が配置され、該弁収納室に前記弁座が配置されるとともに、前記電磁吸引力により前記プランジャに誘発される力に比例して安定的に変化する対抗力を供給する板ばねが設けられ、前記プランジャを全体形状を円筒状に形成し、かつ、その長さＨと直径Ｗとの比（縦横比）を、２：１〜３：１、好ましくは、２．４：１〜２．９：１に設定して課題解決の手段としている。
また、前記板ばねを、その全体形状を円板形状に形成するとともに、中心部に円孔を形成し、該円孔を貫通して前記プランジャの端面に圧入された円筒形保持部材により、同プランジャの端面に保持されるようにして課題解決の手段としている。
【００１９】
上記の本発明の電磁比例弁では、プランジャを全体形状を円筒状に形成し、かつ、その長さＨと直径Ｗとの比（縦横比）を、２：１〜３：１、好ましくは、２．４：１〜２．９：１に設定することにより、動作時の振動によるプランジャの傾きを抑制することができ、その結果、プランジャが安定して動作するようになり、かつ摺動抵抗も低減するので、出力流量の安定化が可能となる。
また、板ばねの形状が単純なため、板ばねの製作コストを低減できる。更に、板ばねはプランジャに安定して保持されるので、ばね荷重の発生が安定し、出力流量が安定する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の一実施形態としての電磁比例弁を示す縦断面図、図２は同板ばね保持構造を示す縦断面図、図３は板ばねの斜視図、図４はプランジャの側面図、図５、図６はプランジャの動作を説明するための縦断面図、図７は試験結果を示すグラフ、図８は性能試験装置の概略線図、図９、図１０は図８の装置による性能試験の結果を示すグラフである。なお、図１〜図６において図１１〜１５と同じ部材には同一符号を付し、これらについては詳細な説明を省略する場合がある。
【００２１】
この実施形態の電磁比例弁も、電磁コイル３４と、電磁コイル３４の電磁吸引力により吸引移動されるプランジャ１３と、プランジャ１３の端部に取り付けられた弾性体製の弁体１８とを備えた電磁コイル部２７と、プランジャ１３に取り付けられた弁体１８に対向するように配設される弁座部７を備えた弁本体１とによって構成され、電磁コイル３４の電磁吸引力によりプランジャ１３が移動して弁体１８と弁座１０との間の距離の制御が行われて流量の制御ができるように構成されている。
【００２２】
弁本体１には流体の流入口２と流出口３とが設けられ、それらの連通部分にはリング状のフィルタ５１が形成されている。弁本体１には弁座体６が固定され、弁座体６の弁座部７はフィルタ５１の上面から突出して設けられており、弁座体６には中心部を貫通する流通路８が形成され、この流通路８は弁座部７の上端部まで貫通し、先端の開口部は弁座部７となっている。弁座体６を弁本体１に固定するに際しては、圧入により固定され、弁座部７を正確に位置決めすると共に、流入口２側から流出口３側への流体の漏れを防止できる構成になっている。
【００２３】
弁本体１の上部寄りに環状の凹部１Ａが形成されており、この凹部１Ａの環状の上部開口部１１の内周に雌ねじ１１ａが形成されている。一方、この雌ねじ１１ａに上部開口部１１側から螺合する雄ねじ１６ａを外周に形成されるとともに中心部に貫通円孔１６ｂを有する上蓋１６が、両ねじ部材の螺合により、弁本体１の凹部１Ａに嵌入されている。
【００２４】
上蓋１６の貫通円孔１６ｂにチューブ２６が溶接等により取り付けられている。弁本体１の開口部１１に螺合した上蓋１６の下端面と弁本体の窪み部底面１ａとの間に、フィルタ５１が配設されている。上蓋１６の環状下端面１６ｃとフィルタ５１の上面との間に板ばね７０が挟持されており、上蓋１６の締め込みにより、フィルタ５１下部の０リング２５ａを押し、そのねじ込み量によって板ばね７０の押圧力を調節できるようになっている。また、０リング２５ａは流体がフィルタ５１を通過するように漏れ防止も行っている。上蓋１６と凹部１Ａとの間は、０リング２５によりシールされている。
【００２５】
プランジャ１３の下端部には、図１１に示したものと同様に、弁体収納部１７が形成されており、その中に弁体１８が、周囲を金属製円筒形保持部材６０に保持されて固定されている。弁体１８はその弾性を利用して上部に設けた円筒に面取りを施したホルダ１９に下方に押し込まれている。
【００２６】
チューブ２６の上端固定部２９は、弁本体１の上部に配置した電磁コイル部２７の吸引子２８の外周に溶接又はろう付けによって固定されている。
吸引子２８の上部は電磁コイル部２７の外函３０の上面から突出し、その突出部を止め輪３２で止めることにより、電磁コイル部２７と弁本体１とを互いに当接した状態でチューブ２６を介して連結する構成になっている（この構造は図１１と同じである）。このように、チューブ２６の下端が上蓋１６にろう付け又は溶接により固定され、上端部が吸引子２８に溶接又はろう付けにより固定されているので、この部分からの内部の流体の漏れを防止することができる。チューブ２６の内部にはプランジャ１３が上下動自在に配置されている。プランジャ１３の外周に潤滑処理を施せば、チューブ２６内での摺動性能が向上する。
【００２７】
電磁コイル部２７の外函３０の内部中心に、コア３３が配置され、その外周に、電磁コイル３４が巻回されている。この電磁コイル３４に供給する電流の量に応じて吸引子２８に磁力が発生し、この吸引子２８の下端面３５と離間して配置されているプランジャ１３の上端面が吸引され、プランジャ１３が上方に移動する。このことにより、プランジャ１３に保持された弁体１８が上方に移動し、弁体１８が弁座部７から離れ、開弁状態となる。
【００２８】
プランジャ１３の下端部に、板ばね７０が取り付けられている。板ばね７０は、図３に示すように、中心部に円形の穴部７０ａを形成された円板体で形成されており、その中心部に形成された穴部７０ａでプランジャ１３の端部に、ばね取付け用の円筒形保持部材６０により保持されている。板ばね７０の円形の穴部７０ａには、均等に３ヵ所に安定したばね荷重を得るため切り欠き７０ｂが形成されている。板ばね７０が、電磁コイル３４の非通電時においても弁体１８に弁閉方向への荷重を発生可能なばね特性を有することは勿論のことである。板ばね７０をこのような単純な形状とすることにより、製作コストの低減化が可能となる。
ばね取付け用の円筒形保持部材６０は底部６０ａの中心部に弁座１０の挿通孔６０ｂが形成されており、また筒状の本体部６０ｃをプランジャ１３の端部に圧入される。したがって、この実施形態の電磁比例弁においては、板ばね７０は固定されておらず、プランジャ１３の端部に円筒形保持部材６０により保持された状態となっている。
【００２９】
プランジャ１３は、円筒状に形成されており、その長さＨと直径Ｗ（図４参照）との比（Ｈ：Ｗ、「縦横比」という）を、２：１〜３：１、好ましくは、２．４：１〜２．９：１に設定されている。
【００３０】
この実施形態の電磁比例弁の基本的な作動は、図１１に示した従来の電磁比例弁と同様であるので、ここではあらためて説明しないが、板ばね７０をプランジャ１３の端部に固定することなく、単にプランジャ１３の端部に保持する構成にしたことにより、製作時のたわみのばらつき発生がないため、電磁比例弁の動作時に板ばね７０のばね荷重の発生が安定し出力流量が安定する。このことにより、コストアップなしに高精度の電磁比例弁を提供することができる。
次に、プランジャ１３の縦横比を上記の値に設定した点の作用効果について、説明する。
【００３１】
プランジャ１３の縦横比を、２：１〜３：１、好ましくは、２．４：１〜２．９：１に設定した点については次の通りである。
一般に、電磁比例弁では、プランジャはその動作時に、振動により、傾く傾向にある。そしてその傾きに伴って吸引面にずれが発生し、このずれが大きいと吸引力が不安定となり、さらにプランジャチュ−ブに接触し易くなって摺動抵抗が発生するという不都合が生じる。この現象はプランジャが縦長すぎたりあるいは横長すぎたりした場合に顕著となる。したがって、プランジャの縦横比を適切な値に設定することが必要となる。
【００３２】
図５は、プランジャ１３の縦横比が、３：１よりも大きい縦長プランジャを備えた電磁比例弁の例を示しており、この例の場合、動作時の振動により傾いた場合、プランジャ１３の吸引面にずれδが発生する。このずれδは比較的大きく吸引力が不安定となり、正規の位置に戻り難い。その結果、プランジャ１３の端部Ｘがチュ−ブ２６に接触して摺動抵抗が発生する。
【００３３】
図６は、プランジャ１３の縦横比が、３：１よりも小さい横長プランジャを備えた電磁比例弁の例を示しており、この例の場合も、動作時の振動により傾いた場合、プランジャ１３の吸引面にずれδが発生する。このずれδを縦長プランジャの例と同じ寸法と仮定した時には、プランジャ１３の傾き角度は大きなものとなる。その結果、弁体と弁座のリフト距離変化が大きくなり、出力流量変化が大きくなっていまう。またプランジャ１３の端部Ｙがチュ−ブ２６に接触して摺動抵抗が発生する。
【００３４】
プランジャ１３の縦横比を、２：１〜３：１、好ましくは、２．４：１〜２．９：１に設定したとき、上記の縦長プランジャや横長プランジャを備えた電磁比例弁における上記の不都合を解消できることが、図８に示す試験装置８０を用いてプランジャの縦横比を変えたプランジャをパラメ−タとして制御性を確認することにより確認できた。
【００３５】
図８において、符号８１は試験対象としての電磁比例弁（この電磁比例弁の板ばね７０は図３に示す形状を有し、図２に示す構成でプランジャに保持されている）を、８２は流量センサを示しており、流量センサ８２の検出信号により電磁比例弁８１をフィ−ドバック制御するようになっている。
【００３６】
試験は、任意の流量を設定し、電磁比例弁８１の開度を調整することにより出力を制御する試験機により実機動作方法で行われた。なお、制御は、出力流量を流量センサ８２により監視し、振動などにより出力がずれた場合、そのずれを設定の値になるように電磁比例弁への印加電流を増減させる。
ここで、本来ならば振動により出力がずれてもフィ−ドバックなしで元の値に復帰するが、この実施形態の電磁比例弁のように、許容出力範囲は±０．１ｍｌ／ｍｉｎと極めて小さく、その範囲でモニタした場合には、流量は常に発振していることになる。また、公差内で制御するため高速でサンプリングさせて、設定からのずれを瞬時に修正している。よって自然に復帰する時間では遅すぎる。
【００３７】
試験条件はつぎの通りである。
１次圧力：一定、試験時間：３００秒、サンプリング速度：１８ｍｓｅｃ、制御設定：８００±０．１ｍｌ／ｍｉｎ。
【００３８】
試験は、表１に示す▲１▼〜▲５▼の５つのサンプルについて行った。
試験結果は表１の中央欄に記載の通りである。ここで、安定時間とは、出力公差内に収まって出力している時間のことで、サンプル▲３▼と▲４▼とについて、図９（サンプル▲３▼）、図１０（サンプル▲４▼）に示す試験資料により説明すると、図９の場合（Ｈ＝１３，Ｗ＝５、縦横比＝２．６：１）、安定まで３３秒かかり、その後は一度も規格（規格上限点線ａ，規格下限点線ｂ）を越えていない。したがって、安定時間は、３００秒−３３秒＝２６７秒となる。
図１０の場合（Ｈ＝１２．５，Ｗ＝５、縦横比＝２．５：１）最長９０秒間規格内で制御している。
設定値に対して、上下規格限値内に収まっている時間が所定時間（例えば２０秒以上）続けば、使用可能と判断する（２０秒も安定に動作しない電磁比例弁は使用出来ないと判断する）。
【００３９】
【表１】
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【００４０】
上記の試験により、プランジャの縦横比と安定時間との関係として、図７に示すグラフが得られた。図７のグラフは、プランジャ１３の縦横比を、２：１〜３：１、好ましくは、２．４：１〜２．９：１に設定したとき、安定時間の長い、つまり使用可能な電磁比例弁が得られることを示している。
【００４１】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の電磁比例弁によれば、以下のような効果が得られる。
（１）動作時の振動によるプランジャの傾きを抑制することができ、その結果、プランジャの摺動抵抗が低減し安定して動作するようになるので、出力流量の安定化が可能となる。
（２）板ばねの形状が単純なため、板ばねの製作コストを低減できる。更に、板ばねは上下から押えるのではなく、片側のみから保持されているので、製作時のたわみのばらつきがなく、プランジャに安定して保持されるので、ばね荷重の発生が安定し、出力流量が安定する。
（３）上記１、２により、コストアップなしに、出力流量の安定した、即ち、高精度の電磁比例弁を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態としての電磁比例弁を示す縦断面図である。
【図２】（ａ）は図１のＡ部を拡大した板ばね保持構造を示す縦断面図、（ｂ）は図２（ａ）のＢ部の拡大図である。
【図３】同板ばねの斜視図である。
【図４】プランジャの側面図である。
【図５】縦長形電磁比例弁の動作を説明するための縦断面図である。
【図６】横長形電磁比例弁の動作を説明するための縦断面図である。
【図７】実験結果を示すグラフである。
【図８】図８は性能試験装置の概略線図である。
【図９】図８の装置による性能試験の結果を示すグラフである。
【図１０】図８の装置による性能試験の結果を示すグラフである。
【図１１】従来の電磁比例弁の一例を示す縦断面図である。
【図１２】同主要部を示す縦断面図である。
【図１３】同板ばねを示す斜視図である。
【図１４】図１２のＡ矢部の拡大断面図である。
【図１５】図１１のＢ矢部の弁開時の拡大断面図である。
【符号の説明】
１　　　弁本体
２　　　流入口
３　　　流出口
６　　　弁座体
７　　　弁座部
１０　　弁座
１２　　ホルダー
１３　　プランジャ
１６　　上蓋
２６　　チューブ
２７　　コイル部
２８　　吸引子
３４　　電磁コイル
６０　　円筒形保持部材
７０　　板ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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