(57)【要約】【課題】２枚のディスク単板に対して紫外線を照射する際に両ディスク単板を載置するための紫外線照射用テーブル機構であって、光ディスクの反りの発生を極力抑え、また残存するチルトを有効に修正することができ、紫外線照射に伴う熱の影響を極力回避可能な紫外線照射用テーブル機構を提供すること。【解決手段】２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２に紫外線硬化樹脂を介在させた状態で紫外線を照射して該紫外線硬化樹脂を硬化させて光ディスクを形成する際に、該２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２を載置するため受け面を備えた紫外線照射用テーブル機構であって、該受け面は、外側受け面３と、該２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２を位置決めするためのボス部４１を備えた内側受け面４とよりなり、該内側受け面４は、該外側受け面３に対して昇降可能に形成されている紫外線照射用テーブル機構Ａ。【選択図】  図２
2004234722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚のディスク単板の間に紫外線硬化樹脂を介在させた状態で紫外線を照射して該紫外線硬化樹脂を硬化させて光ディスクを形成する際に、該２枚のディスク単板を載置するため受け面を備えた紫外線照射用テーブル機構であって、該受け面は、外側受け面と、該２枚のディスク単板を位置決めするためのボス部を備えた内側受け面とよりなり、該内側受け面は、該外側受け面に対して昇降可能に形成されていることを特徴とする紫外線照射用テーブル機構。
【請求項２】
前記内側受け面は、ネジ構造により外側受け面に対して昇降可能に形成されていることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射用テーブル機構。
【請求項３】
前記内側受け面は、ボス部と一体成形されていることを特徴とする請求項２記載の紫外線照射用テーブル機構。
【請求項４】
前記内側受け面は、ボス部の中央に貫通孔が形成され、該貫通孔に挿通された抜け止めボルトにより上方から押さえつけられて位置決め固定されることを特徴とする請求項３記載の紫外線照射用テーブル機構。
【請求項５】
前記外側受け面は、その下面に放熱を助けるための溝が形成されていることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射用テーブル機構。
【請求項６】
前記外側受け面は、その上面にディスク単板への熱の移行を抑えるための溝が形成されていることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射用テーブル機構。
【請求項７】
前記２枚のディスク単板は、その上部に重りが載せられることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射用テーブル機構。
【請求項８】
前記重りのほかに、更に２枚のディスク単板の端部に輪状の透明部材を載せることを特徴とする請求項７記載の紫外線照射用テーブル機構。
【請求項９】
前記２枚のディスク単板の上に、円盤状の透明部材を載せることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射用テーブル機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスクの製造における紫外線照射工程に用いられる紫外線照射用テーブル機構に関し、更に詳しくは、光ディスクの製造において発生するチルトを極力小さくできる紫外線照射用テーブル機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光ディスクは、大容量化や高密度化、多機能化が進み、要求される情報読み取り精度も益々精緻なものとなっている。
例えば、ＤＶＤは、２枚のディスク単板を貼り合わせた構造を有するものであり、印加されたピットからレーザ光線を使って情報を読み取るため、寸法精度上の厳しい品質が要求される。
【０００３】
光ディスクの製造、特にＤＶＤの製造では、近年、ディスク単板の貼り合わせ工程（例えば特許文献１参照）のみならず、その前段階であるディスク単板の射出成形工程、冷却工程、スパッタリング工程等をも含む装置が開発されている（特許文献２参照）。
このようにディスク単板の成形から光ディスクの完成までを一つの生産ラインで製造できるようになったことで、全工程を通して一貫した品質管理を行うことが可能となった。
そのため、上記寸法精度に対する要求等に、より的確に応え得る光ディスクの製造が可能となっている。
【０００４】
光ディスクの読み取り精度を低下させる要因の一つとしては種々の原因が考えられるが、製造工程におけるディスク単板や光ディスクの反り及びそれに伴う光ディスクの信号記録面の傾き（チルト）の発生の問題もその一つである。
光ディスクが反り、信号記録面が傾くと、レーザ光線による読み取りの際、光ディスクの下面で屈曲し、本来読み取るべきではないピットを読み取る、いわゆる信号読み取りエラーが生じてしまう。
【０００５】
そのため、光ディスクの製造においては、チルトの発生を許容範囲内に抑えることが必要となる。
光ディスクに反りが生じるのは、主として、▲１▼もともとディスク単板成形においてディスク単板に生じた反りが光ディスクに残る場合と、▲２▼紫外線照射による紫外線硬化樹脂の硬化の際に発生する場合の、２通りの場合が考えられている。
【０００６】
前者の▲１▼について考察する場合、ディスク単板の成形工程において発生する反りの特徴について考える必要があるが、ここではその要点のみを示す（詳しくは特許文献３参照）。
ディスク単板は、成形機により同一の金型スタンパを用いて、通常、数千〜数万枚単位でロット生産される。
【０００７】
その際、ディスク単板のチルトは個々の単板ごとにランダムに発生するわけではなく、金型スタンパや成形機等の特性や成形条件によって、その１ロット全体（例えば数千〜数万枚）が同一のチルト（反り）傾向が持つことが分かっている。
そして、成形機や金型スタンパが変わると、また別のチルト傾向を有するディスク単板がロット生産される。
【０００８】
ＤＶＤの製造においては、先述したように、こうして成形された２枚のディスク単板を貼り合わせる。
この貼り合わせ工程では、通常、一方のディスク単板（いわゆる記録板）上に接着剤である紫外線硬化樹脂を輪状に塗布し、その上に他方のディスク単板（いわゆるダミー板）を載置し、両者を高速回転させて紫外線硬化樹脂を遠心力により両ディスク単板間全体に延展させる。
【０００９】
この際、上記のようなそれぞれ特有のチルト傾向を有する２枚のディスク単板を単に貼り合わせると、両ディスク単板の反りがそのまま光ディスク（ＤＶＤ）に反映されて残り、光ディスクに反り（チルト）が発生する。
つまり、例えば、記録板の上方に反った部分とダミー板の上方に反った部分が貼り合わされると、両ディスク単板の反りがそのまま光ディスクに反映されて残り、光ディスクに上方への反りが発生してしまうのである。
【００１０】
そこで、本発明者等は、２枚のディスク単板を貼り合わせる際に、回転方向に例えば０°、３０°、６０°、…と３０°ごとの位相差を与えて貼り合わせ試験を行い、光ディスクのチルトが最も少なくなる位相差を見出し、その位相差を与えて両ディスク単板の貼り合わせを行う光ディスクの製造方法を提示した（特許文献３参照）。
【００１１】
この方法は、原理的には、２枚のディスク単板の凹凸を相対させ、その間の紫外線硬化樹脂により接着して両ディスク単板を平面状にする（いわゆる真っ直ぐな状態にする）、又は少なくとも平面状に近付けるというものである。
この方法により、ディスク単板の反りが光ディスクに反映される事態（即ち上記▲１▼の場合）は、有効に抑えることができるようになり、これを原因とする不良品の発生は著しく減少した。
【００１２】
次に、後者の▲２▼の場合、即ち、紫外線照射による紫外線硬化樹脂の硬化の際に光ディスクに反りが発生することについて考察する前に、光ディスクの製造における紫外線照射工程について図を用いて簡単に述べる。
図１は、光ディスク生産ラインにおける紫外線照射工程の一構成例を示す概略図である。
【００１３】
紫外線照射工程は、通常、少なくとも、２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２や光ディスクＤを位置決め載置するための紫外線照射用テーブル機構Ａを備えたターンテーブル１００と、紫外線照射装置２００とを備える。
紫外線硬化樹脂の延展を終えた２枚のディスク単板は、吸着チャック３１０を備えた移載アーム３００により紫外線照射工程に搬送されて、ターンテーブル１００の紫外線照射用テーブル機構Ａの上に載置される。
【００１４】
ターンテーブル１００は、一定角度ずつ間欠的に（図１の場合は３６０°／７ずつ時計回りに）回転して、２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２を紫外線照射装置２００のフード部２１０の下方まで運ぶ。
２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２は、フード部２１０を介して紫外線照射装置２００の光源Ｌから紫外線を照射され、紫外線硬化樹脂が硬化されて光ディスクＤに形成される。
因みに、光ディスクＤは、その後移送チャック４００により図示しない検査工程に移され、チルト（通常角度で表されラジアルチルトとタンジェンシャルチルトとして測定される）が許容範囲内にあるかどうか等の検査を受ける。
【００１５】
さて、上記のような紫外線照射工程において、光ディスクに反りが発生する理由としては、種々の原因が考えられている。
原因の一つとして、紫外線照射に伴って２枚のディスク単板に温度差が生じることが挙げられ、両ディスク単板の熱膨張の違いにより光ディスクに反りが発生するとされる（特許文献４参照）。
【００１６】
そこで、同文献では、こうした光ディスクの反りを回避するため、紫外線照射の前に、ホットプレート等を用いて積極的に一方のディスク単板を加熱したり、他方のディスク単板をクーラーで冷却したりして、予め両ディスク単板に温度差を設けておき、上記紫外線照射で発生する温度差による反りを補正する方法を提示している。
【００１７】
しかし、加熱手段又は冷却手段による温度の調整や維持等の管理は、通常、必ずしも容易ではない。
また、金型スタンパ等の成形条件を変更した場合、改めて加熱温度とディスク単板の反り量等のデータを収集して温度を調整するのに時間がかかり、必ずしも迅速に対応できるとは言えない。
【００１８】
更に、根本的に問題なのは、ディスク単板を加熱したり冷却したりすると、むしろディスク単板が熱膨張したり収縮したりして、変形する可能性が高まる点である。
その結果として、製造された光ディスクが読み取り精度の低いものとなり、最悪の場合、読み取りエラーが発生し易いものとなる可能性がある。
ディスク単板や光ディスクに対する熱の影響は、本来、逆に、極力避けるべきものである。
【００１９】
以上のように、光ディスクに反りが発生する原因のうち、上記▲１▼については、先述した通り、本発明者等の回転方向に位相差を与えて両ディスク単板の貼り合わせを行う光ディスクの製造方法により回避可能である。
しかし、実際には、この方法では、主にタンジェンシャルなチルトは有効に抑えられるものの、ラジアルチルトは修正が必ずしも有効には行えず、通常、このラジアルチルトは紫外線照射部まで残る。
【００２０】
従って、紫外線照射部において、この残存するチルトを修正する対策が必要となる。
即ち、残存するチルトを有効に修正でき、且つ紫外線照射による紫外線硬化樹脂の硬化の際に光ディスクに反りが発生するのを極力抑えることが可能であり、しかもその際、紫外線照射に伴う熱の影響を極力回避できる装置や方法の開発が求められている。
【００２１】
【特許文献１】
特開平１１−３４５４３３号公報
【特許文献２】
特開２００１−３４４８２７号公報
【特許文献３】
特開２００２−２３０８４４号公報
【特許文献４】
特開２００２−２５１８０３号公報
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる実状を背景に、上記の問題点を克服するためになされたものである。
すなわち、本発明の目的は、紫外線硬化樹脂を介在させた２枚のディスク単板に対して紫外線を照射する際に両ディスク単板を載置するための紫外線照射用テーブル機構であって、光ディスクの反りの発生を極力抑え、また残存するチルトを有効に修正可能な紫外線照射用テーブル機構を提供することである。
さらに、紫外線照射に伴う熱の影響を極力回避可能な紫外線照射用テーブル機構を提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
かくして、本発明者は、このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、成形工程から残存するチルト（反り）は同一ロット内でほぼ一定の傾向をもっており、また紫外線照射工程で発生する光ディスクのチルト（反り）も、ディスク単板の成形の際と同様に１枚１枚ランダムに発生するわけではなく２枚のディスク単板のそれぞれのチルト傾向等に合わせて一定のチルト傾向を生じること、そのため、従来、単一平面的だった紫外線照射用テーブル機構のディスク受け面を、内周受け面と外周受け面とに区画して段差を設けることを可能にすることにより、光ディスクのチルト傾向に対応することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたものである。
【００２４】
即ち、本発明は、（１）、２枚のディスク単板の間に紫外線硬化樹脂を介在させた状態で紫外線を照射して該紫外線硬化樹脂を硬化させて光ディスクを形成する際に、該２枚のディスク単板を載置するため受け面を備えた紫外線照射用テーブル機構であって、該受け面は、外側受け面と、該２枚のディスク単板を位置決めするためのボス部を備えた内側受け面とよりなり、該内側受け面は、該外側受け面に対して昇降可能に形成されている紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００２５】
そして、（２）、前記内側受け面は、ネジ構造により外側受け面に対して昇降可能に形成されている紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００２６】
そしてまた、（３）、前記内側受け面は、ボス部と一体成形されている紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００２７】
そしてまた、（４）、前記内側受け面は、ボス部の中央に貫通孔が形成され、該貫通孔に挿通された抜け止めボルトにより上方から押さえつけられて位置決め固定される紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００２８】
そしてまた、（５）、前記外側受け面は、その下面に放熱を助けるための溝が形成されている紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００２９】
そしてまた、（６）、前記外側受け面は、その上面にディスク単板への熱の移行を抑えるための溝が形成されている紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００３０】
そしてまた、（７）、前記２枚のディスク単板は、その上部に重りが載せられる紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００３１】
そしてまた、（８）、前記重りのほかに、更に２枚のディスク単板の端部に輪状の透明部材を載せる紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００３２】
そしてまた、（９）、前記２枚のディスク単板の上に、円盤状の透明部材を載せる紫外線照射用テーブル機構に存する。
【００３３】
本発明はこの目的に沿ったものであれば、上記１〜９の中から選ばれた２つ以上を組み合わせた構成も当然採用可能である。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき、本発明の紫外線照射用テーブル機構の好適な実施の形態について説明する。
本発明の紫外線照射用テーブル機構は、先述した図１のターンテーブル１００に備えられるものである。
【００３５】
図２は、本発明の紫外線照射用テーブル機構の一構成例を示す概略断面図である。
紫外線照射用テーブル機構Ａは、基台１、鏡面体２、外側受け面３、及び内側受け面４等よりなる。
本構成例では、基台１は、ターンテーブル１００に設けられた円形状の貫通孔の縁部に固定されている。
【００３６】
鏡面体２は、いわゆるドーナツ状の形状をした部材であり、ターンテーブル１００の上記貫通孔の内側に嵌入され取り付けられている。
鏡面体２は、上方から照射される紫外線を鏡面２１で反射することで、２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２間の紫外線硬化樹脂に上方からだけでなく側面からも紫外線を照射する状態にして、紫外線硬化樹脂の硬化効率を上げるためのものである。
【００３７】
外側受け面３は、中心部に内側受け面４を逃がして基台１に嵌合するための円形状の貫通孔を備えて、いわゆるドーナツ状の円盤状に形成され、基台１に嵌合するように嵌め込まれ固定されている。
本構成例では、外側受け面３の下面に溝３１が同心円状に形成されている。
【００３８】
これは、２枚のディスク単板間の樹脂が紫外線により硬化する際に発生する熱がディスク単板を介して外側受け面３に移行し、それが繰り返されて外側受け面３が熱を持つため、その放熱を助けるためのものである。
基台１には、外側受け面３の下面の空間と外界とが連続するように、適宜貫通孔１１が形成されており、外側受け面３の熱がその貫通孔１１を通って紫外線照射用テーブル機構Ａの外部に放出される。
尚、下面の溝３１を形成することにより、外気に接触する面積が大きくなるため、熱がより効率的に発散される。
【００３９】
外側受け面３の上面にも、細かな溝（図示しない）が同心円状に形成されている。
例えば、この細かな溝は、深さ１ｍｍ程度に形成される。
この溝は、上記下面の溝と同様に放熱のためであると同時に、２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２（特に下ディスク単板Ｄ１、図３等参照）と外側受け面３との接触面積を減らし、ディスク単板に熱が移行するのを抑える役割をも果たす。
【００４０】
内側受け面４は、基台１や外側受け面３とは別体の部材として形成される。
本構成例では、内側受け面４は、紫外線硬化樹脂を介在させた２枚のディスク単板の位置決めをするためのボス部４１と一体成形されている。
内側受け面４の軸部４２にはネジが形成されており、基台のメネジ部１２に螺合できるように形成されている。
【００４１】
このネジ構造により、内側受け面４は、基台１や外側受け面３に対して昇降可能に形成される。
内側受け面４と外側受け面３とがこのように区画されて昇降可能に形成されていることが本発明の主な特徴であるが、この点については後で詳しく述べる。
【００４２】
内側受け面４のボス部４１の中央には貫通孔が形成されており、貫通孔には抜け止めボルト５（例えば六角穴付ボルト）が挿通される。
抜け止めボルト５は、基台１のメネジ部１２の底部に形成されたナット部１３に螺着され、内側受け面４を上方から押さえつけて内側受け面を位置決め固定する。
即ち、内側受け面４が上方に抜けるのを防止すると同時に、内側受け面４が下降するのも防ぐ。
【００４３】
内側受け面４や外側受け面３に載置された２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２の中心上部には、重り６が載せられる。
重り６は、比較的肉厚である程度の重さ（例えば３０ｇ）を有するドーナツ状の透明部材であり、照射される紫外線を透過し、２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２を上方から押さえる役割をする。
【００４４】
図１の紫外線照射工程において、重り６は、ターンテーブル１００上の紫外線照射用テーブル機構Ａの内側に置かれており、取り載せチャック５００により２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２の上に載置される。
また、紫外線照射後、重り６は、取り出しチャック６００により光ディスクＤ上から取り除かれる。
【００４５】
次に、本発明の紫外線照射用テーブル機構Ａの機能について述べる。
本発明の紫外線照射用テーブル機構の特徴は、従来、単一平面的に１枚の円盤状に形成されていた受け面を、上記のように、外側受け面と、２枚のディスク単板を位置決めするためのボス部を備えた内側受け面とに別体として形成し、且つ内側受け面が外側受け面に対して昇降可能に形成することにある。
【００４６】
このように形成されることで、２枚のディスク単板が紫外線照射により光ディスクに形成される際、残存するチルトを修正し、しかも光ディスクに反りが発生するのを防止することができる（上記原因▲２▼参照）。
以下、このことについて詳しく述べる。
【００４７】
両ディスク単板はそれぞれのロットごとに特有のチルト傾向を持って成形され、また成形後はそのまま貼り合わせラインに載せられるため、両ディスク単板を貼り合わせる際の２枚のディスク単板の相対的な位相差は一定となる。
この際、両ディスクを貼り合わせると、残存する（ラジアル）チルトを反映して、４つのパターンに分類される貼り合わせ状態が形成される（図３参照）。
尚、図３は、実際よりもディスク単板のチルトを誇張して描いており、２枚のディスク単板の間に紫外線硬化樹脂Ｒを介在させた状態を示す。
【００４８】
図３（Ａ）は、上下ディスク単板Ｄ１、Ｄ２の端部がともに上方に反った貼り合わせ状態であり、（Ｂ）は、上下ディスク単板Ｄ１、Ｄ２の端部がともに下方に反った貼り合わせ状態である。
（Ｃ）は、上下ディスク単板Ｄ１、Ｄ２が反対に反り、その端部が接近して中央付近が離間している貼り合わせ状態であり、（Ｄ）は、上下ディスク単板Ｄ１、Ｄ２が反対に反り、その端部が離間した貼り合わせ状態である。
【００４９】
このように貼り合された２枚のディスク単板に紫外線を照射すると、先述したように、両ディスク単板間の樹脂が紫外線により硬化する際に熱が発生し、製造された光ディスクに反りが発生することがある。
これを詳しく分析すると、光ディスクの１枚１枚にはランダムに別々のチルトが発生するのではなく、ほぼ一定のチルト傾向を生じることが分かる。
【００５０】
即ち、先述したように、一定のチルト傾向を持つ１ロット（数千〜数万枚）の下ディスク単板と、それとは別のチルト傾向を持つ１ロット（同数）の上ディスク単板とを、その相対的な位相差のまま貼り合わせ、同一の照射条件で紫外線を照射すると、ほぼ同一のチルト傾向を持つ光ディスクが製造されるのである。
【００５１】
また、発生する反りは、多くの場合、上記の上下ディスク単板の貼り合わせ状態を反映している。
そのため、紫外線硬化樹脂を介して２枚のディスク単板を貼り合わせた後、紫外線を照射する前の段階で、その貼り合わせ状態（その反りやチルト）を検査することにより、本発明の紫外線照射用テーブル機構を用いて、残存するチルトを修正し、且つ光ディスクの反りを効果的に防止することができる。
【００５２】
図４は、図３（Ａ）の貼り合わせ状態の場合の上反りを防止する方法を示す概略図である（ディスク単板やその反りを実際より誇張して描いている）。
紫外線照射用テーブル機構Ａの外側受け面３に対して、内側受け面４を回して上昇させ、抜け止めボルト５を締めて固定する。
この状態で、２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２をその中心穴がボス部４１に上から嵌め込まれるようにして載置し、その上から重り６を載せる〔図４（Ａ）参照〕。
【００５３】
このように、内側受け面４が外側受け面３に対して高くすることで、２枚のディスク単板のうち特に下ディスク単板Ｄ１が外側受け面３に直接触れて加熱されるのを回避することができ、両ディスク単板が反る可能性をより低くすることができる。
また、このように２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２を載置することで、その端部が、自重とスプリングバック現象（元に戻ろうとする性質）により下がり、上方への反りが修正されるのである。
【００５４】
このようにしても、紫外線照射後、光ディスクのチルトが許容範囲内に入らない場合は、更に端部に輪状の透明部材７を載せたり〔図４（Ｂ）参照〕、重り６や輪状の透明部材７の代わりに、例えば、石英ガラス等よりなる円盤状の透明部材８を両ディスク単板上に載せることも可能である〔図４（Ｃ）参照〕。
輪状の透明部材７や円盤状の透明部材８は、図１の取り載せチャック５００により、重り６と同様に２枚のディスク単板に載せることが可能である。
【００５５】
図５は、図３（Ｂ）の貼り合わせ状態の場合の下反りを防止する方法を示す概略図である（ディスク単板やその反りを実際より誇張して描いている）。
この場合は、内側受け面４を外側受け面３より低く、又は同じ高さにしておけば、２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２の中央付近の上方に反った部分を重り６が押し下げ、ディスク単板の反りが修正される。
【００５６】
図６は、図３（Ｃ）の貼り合わせ状態の場合の反りを防止する方法を示す概略図である（ディスク単板やその反りを実際より誇張して描いている）。
この場合は、内側受け面４を外側受け面３と同じ高さにして、２枚のディスク単板Ｄ１、Ｄ２を載置すれば、重り６が離間している中央付近を押し下げるため、ディスク単板の反りが修正される。
【００５７】
この際、下ディスク単板Ｄ１が外側受け面３の熱により影響を受けるようであれば、内側受け面４を外側受け面３より高くすることも可能である。
更に、図３（Ｄ）の貼り合わせ状態の場合は、図示しないが、内側受け面４の高さを外側受け面３と同じか又は低くし、図４（Ａ）〜（Ｃ）の場合と同様に、重り６や輪状の透明部材７、円盤状の透明部材８を載置することにより反りを修正することができる。
【００５８】
本発明の紫外線照射用テーブル機構によれば、以上のように内側受け面を昇降させることによりディスク単板の残存するチルト傾向に合わせて対処することが可能であり、その結果、光ディスクの反りの発生を極力抑えることができる。
さらに、樹脂の硬化の際の発熱により生じる外側受け面の熱の影響を、極力回避することが可能となるのである。
【００５９】
因みに、図４〜図６等に示した反り防止方法は、あくまで例示であることは言うまでもない。
実際には、２枚のディスク単板の貼り合わせ状態に応じて内側受け面を昇降させておき、紫外線照射の後、光ディスクのチルトを測定した結果に基づいて、内側受け面の高さを微調整したり、輪状の透明部材を追加して載置したり、或いは重りや輪状の透明部材の代わりに円盤状の透明部材を載せること等を決定するのである。
【００６０】
以上、本発明を説明してきたが、本発明は実施形態にのみ限定されるものではなく、その本質を逸脱しない範囲で、他の種々の変形例が可能であることは言うまでもない。
本明細書では、紫外線照射用テーブル機構は、ターンテーブルに固定するタイプのものを示したが、例えば、下部にモータ等を取り付け、紫外線照射用テーブル機構が基台ごと回転するようにすることも当然可能である。
【００６１】
また、例えば、内側受け面とボス部とを別体として形成し、光ディスクを紫外線照射用テーブル機構から取り除く際にボス部が下方に没するようにすることも可能である。
更に、２枚のディスク単板の残存するチルトが非常に小さく、重り等を載せなくても紫外線照射後の光ディスクのチルトが許容範囲内に製造できるような場合には、両ディスク単板に重り等を載置しないことも可能であることは言うまでもない。
【００６２】
【発明の効果】
本発明の紫外線照射用テーブル機構によれば、２枚のディスク単板を載置する受け面を、外側受け面と内側受け面とに別体として形成し、且つ内側受け面が外側受け面に対して昇降可能に形成したことにより、紫外線照射による光ディスクの反りの発生を極力抑え、且つ紫外線照射の前工程から残存するチルトを有効に修正することが可能となる。
また、受け面に溝を形成することにより、紫外線照射に伴う熱の影響を極力回避することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、光ディスク生産ラインにおける紫外線照射工程の一構成例を示す概略図である。
【図２】図２は、本発明の紫外線照射用テーブル機構の一構成例を示す概略断面図である。
【図３】図３は、２枚のディスク単板の貼り合わせ状態を説明する図であり、（Ａ）〜（Ｄ）は主たる４つのパターンを示す。
【図４】図４は、図３（Ａ）の貼り合わせ状態の場合の反りを防止する方法を示す概略図であり、（Ａ）は重りを載せた場合、（Ｂ）は更に輪状の透明部材を載せた場合、（Ｃ）は円盤状の透明部材を載せた場合を示す。
【図５】図５は、図３（Ｂ）の貼り合わせ状態の場合の反りを防止する方法を示す概略図である。
【図６】図６は、図３（Ｃ）の貼り合わせ状態の場合の反りを防止する方法を示す概略図である。
【符号の説明】
１…基台
１１…貫通孔
１２…メネジ部
１３…ナット部
２…鏡面体
２１…鏡面
３…外側受け面
３１…溝
４…内側受け面
４１…ボス部
４２…軸部
５…抜け止めボルト
６…重り
７…輪状の透明部材
８…円盤状の透明部材
１００…ターンテーブル
２００…紫外線照射装置
２１０…フード部
３００…移載アーム
３１０…吸着チャック
４００…移送チャック
５００…取り載せチャック
６００…取り出しチャック
Ａ…紫外線照射用テーブル機構
Ｄ…光ディスク
Ｄ１…（下）ディスク単板
Ｄ２…（上）ディスク単板
Ｌ…光源
【図１】
2004234722.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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