(57)【要約】【課題】磁気ヘッドと記録媒体間の放電に強い信頼性に優れた磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】磁極１３のトラック幅方向端部に、磁極１３の一部と電気的に接続し、記録動作時は常に記録媒体のトラックマージン１８，１９上に位置するように配置された導電性部材１１，１２を備える。導電性部材１１，１２は磁極１３よりも低い仕事関数を有する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隣接する記録トラック間にトラックマージンを有する磁気記録媒体と、記録磁極を有する薄膜磁気ヘッドとを含む磁気ディスク装置において、
前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録磁極に電気的に接続され、磁気記録時に前記トラックマージン上に位置する導電性部材を備えることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁気ディスク装置において、前記薄膜磁気ヘッドは記録ギャップを挟んで配置された上部磁極と下部磁極とを有し、前記導電性部材は前記上部磁極と下部磁極の少なくとも一方に電気的に接続されていることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項３】
請求項２記載の磁気ディスク装置において、前記導電性部材は前記上部磁極又は下部磁極の媒体摺動面側トラック幅方向端部に先端部を前記上部磁極又は下部磁極から離して設けられていることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項４】
請求項１記載の磁気ディスク装置において、前記薄膜磁気ヘッドは主磁極と副磁極とを有し、前記導電性部材は前記主磁極に電気的に接続されていることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項５】
請求項４記載の磁気ディスク装置において、前記導電性部材は前記主磁極の媒体摺動面側トラック幅方向端部に先端部を前記主磁極から離して設けられていることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項６】
請求項１記載の磁気ディスク装置において、前記導電性部材は、媒体摺動面におけるトラック幅方向の長さが前記トラックマージンの幅以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項７】
請求項１記載の磁気ディスク装置において、前記記録トラックの幅の半値をｔ、前記トラックマージンの幅をｍ、前記導電性部材の中心と前記薄膜磁気ヘッドのトラック方向に延びる中心線からの距離をｗ、前記導電性部材のトラック幅方向寸法を２ｒ、最大スキュー角をθとするとき、次式を満すことを特徴とする磁気ディスク装置。
ｔ  ＜  ｗ・ｃｏｓθ−ｒ  ＜  ｗ・ｃｏｓθ＋ｒ  ＜  ｔ＋ｍ
【請求項８】
請求項１記載の磁気ディスク装置において、前記導電性部材は前記磁極より低い仕事関数を有する材料から成ることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項９】
請求項１記載の磁気ディスク装置において、前記導電性部材はＣ、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｕ、Ａｕ合金、Ａｇ又はＡｇ合金からなることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１０】
請求項１記載の磁気ディスク装置において、前記薄膜磁気ヘッドは当該薄膜磁気ヘッドと前記磁気記録媒体との間の距離を制御するアクチュエータ機構を備えることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１１】
記録磁極を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、
記録磁極に電気的に接続され、前記記録磁極の媒体摺動面側トラック幅方向端部に先端部を前記記録磁極から離して設けられ、磁気記録時に記録媒体のトラックマージン上に位置する導電性部材を備えることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１２】
請求項１１記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、前記記録磁極は記録ギャップを挟んで配置された上部磁極と下部磁極とからなり、前記導電性部材は前記上部磁極と下部磁極の少なくとも一方に電気的に接続されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１３】
請求項１１記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、主磁極と副磁極とを有し、前記導電性部材は前記主磁極に電気的に接続されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１４】
請求項１１記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、前記導電性部材は前記磁極より低い仕事関数を有する材料から成ることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１５】
請求項１１記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、前記導電性部材はＣ、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｕ、Ａｕ合金、Ａｇ又はＡｇ合金からなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項１６】
記録磁極を有する薄膜磁気ヘッドの製造方法において、
非磁性絶縁膜に記録磁極を形成するステップと、
前記記録磁極の側方に、媒体摺動面側が前記記録磁極から離れ、媒体摺動面から奥まった位置で前記磁極の側面を露出させる穴を形成するステップと、
前記穴に導電膜を形成するステップと
を含むことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１７】
請求項１６記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法において、前記穴に導電膜を形成するステップでは、導電性金属粒子を斜め方向からスパッタすることにより前記穴の前記記録磁極側の側面に導電膜を形成することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置等に用いる薄膜磁気ヘッド及び薄膜磁気ヘッドを有する磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
薄膜磁気ヘッドは、書きこみを行う薄膜磁気変換素子と、読み出しを行う薄膜磁気抵抗素子より構成される。薄膜磁気変換素子はある電位に保たれるコイル膜と、コイル膜とともに磁気回路を構成する磁極とを有しており、磁極とコイル膜との間にキャパシタが発生する。
【０００３】
一方、現在の小型ＨＤＤ（磁気ディスク装置）は、パソコンへの搭載を考慮して、パソコン電源の５ボルト、１２ボルトの電源を使用し、小型ＨＤＤの読み書き用ＩＣ（集積回路）にも５ボルト、１２ボルトの電源を使用している。このため、薄膜磁気ヘッドは一定電圧で常時バイアスされる。その結果、キャパシタはバイアス電圧により常時一方向に電荷が蓄積される。キャパシタに蓄積された電荷は、磁極と磁気記録媒体とが接触したときはもちろん、接触しなくても近づくだけで放電を起こす。この放電により、媒体の一部を破壊し、その領域では記録再生ができなくなる現象が生じている。
【０００４】
この放電防止のため、特開平２−２４６０４８号公報記載の発明は、薄膜磁気ヘッドのバイアス電圧と磁気記録媒体の電圧を等しくして放電を生じさせないようにしている。また、特開平７−２９７８１４号公報記載の発明は、薄膜磁気変換素子の磁極から導電性の引き出し線を出し、ヘッド支持装置に接続している。これは、磁極とコイルとの間に生じたキャパシタに蓄積された電荷が媒体には放電されず、磁極から導電性の引き出し線を通り、ヘッド支持装置へ流れるようにし、放電を生じさせないようにしたものである。
【０００５】
【特許文献１】
特開平２−２４６０４８号公報
【特許文献２】
特開平７−２９７８１４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
特開平２−２４６０４８号公報記載の技術は、回転する磁気記録媒体を薄膜磁気ヘッドのバイアス電位と同じにするために、スピンドルコンタクト部が複雑になり、またフレームを二重構造として内側フレームは電圧を印加し、外側フレームはＧＮＤ（接地）側にする必要がある。そのため磁気ディスク装置の構造が複雑、大型化し、それに伴って高価になるという問題があった。また、特開平７−２９７８１４号公報記載の技術は、薄膜磁気ヘッドに引き出し線を用いてＧＮＤに接地しているため、薄膜磁気ヘッドや磁気抵抗効果素子のレイアウトの都合上、引き出し線の太さが十分確保できない場合には、ＧＮＤまでの抵抗が増加して電荷がＧＮＤに逃げ切れないという問題があった。
本発明は上記の問題を解決し、磁気ヘッドと記録媒体間の放電に強い構造を有する信頼性に優れた磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、隣接する記録トラック間にトラックマージンを有する磁気記録媒体と、記録磁極を有する薄膜磁気ヘッドとを含む本発明の磁気ディスク装置は、薄膜磁気ヘッドに、記録磁極に電気的に接続され、磁気記録時にトラックマージン上に位置する導電性部材を備える。薄膜磁気ヘッドが記録ギャップを挟んで配置された上部磁極と下部磁極とを有する面内磁気記録方式の磁気ヘッドの場合、導電性部材は上部磁極と下部磁極の少なくとも一方に電気的に接続される。薄膜磁気ヘッドが主磁極と副磁極とを有する垂直磁気記録方式の磁気ヘッドの場合、導電性部材は主磁極に電気的に接続される。導電性部材は各磁極より低い仕事関数を有している。また、薄膜磁気ヘッドが記録トラックに対して角度を持ったスキュー角がある状態においても、記録動作時、記録媒体のトラックマージン上に位置するように配置されている。
【０００８】
記録動作時、磁極に蓄積された電荷は、導電性部材を通って媒体に放電させられる。導電性部材は各磁極よりも仕事関数が低いため、磁極から放電を起こす場合よりも低い電位差で放電が起こる。つまり放電は磁極からではなく、常に導電性部材から起こる。また、放電は電界放出つまりトンネル電流であり、記録媒体の破壊に至るほどの電流量にはならないが、仮に破壊に至るほど電流量の放電が起きたとしても、放電は導電性部材から起こるため、トラックマージン上に放電し、媒体の記録部分を破壊することはない。
【０００９】
磁極と導電性部材の間に金属より抵抗の高い材質を挟むことにより、磁極から導電性部材へ瞬間的に過大な電流が流れることを抑制し、導電性部材から記録媒体への電流量を制御することは、媒体の破壊を防ぐ上で効果的である。放電のタイミングを制御したい場合は、磁気ヘッドと媒体間の距離をアクチュエータ等で制御する機構を有する磁気ヘッドを用いて、放電を起こしたい瞬間のみ磁気ヘッドと媒体間の距離を小さくすれば良い。記録部分以外に非磁性材料を埋めこんだ記録媒体の場合、記録部分以外の非磁性材料部分に仕事関数の低い非磁性金属の充填部材を使えば、さらに確実に記録部分以外の領域に放電させることができ、効果的である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を詳細に説明する。
図１１は、本発明による磁気ディスク装置の模式図であり、図１１（ａ）は装置内部の上面模式図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）における線ＡＡ’に沿った断面模式図である。磁気ディスク装置は、磁気記録媒体４１と、これを記録方向に駆動する駆動部４２と、記録の書きこみと読み出しを行う磁気ヘッド４３と、磁気ヘッド４３を駆動する駆動部４４、及び記録再生を行う信号を制御する信号処理部４５を有している。
【００１１】
図１２は本発明による磁気ヘッドを浮上面（ＡＢＳ）方向から見た概略図であり、図１２（ａ）は面内磁気記録方式の磁気ヘッドの例し、図１２（ｂ）は垂直磁気記録方式の磁気ヘッドの例を示している。
図１２（ａ）に示す面内磁気記録方式の磁気ヘッドは、インダクティブ磁気記録ヘッド５１と再生ヘッド５２とを一体化した複合型薄膜磁気ヘッドである。磁気記録ヘッド５１は、下部磁極５４と上部磁極５３を有する。また、後述する導電性部材５５，５６を備える。再生ヘッド５２は、磁気シールド５７，５８の間に設けられた磁気抵抗効果素子５９を有する。図１２（ｂ）に示す垂直磁気記録方式の磁気ヘッドは、インダクティブ磁気記録ヘッド６１と再生ヘッド６２とを一体化した複合型薄膜磁気ヘッドである。磁気記録ヘッド６１は、主磁極６３と補助磁極６４を有する。また、後述する導電性部材６５，６６を備える。再生ヘッド６２は、磁気シールド６７，６８の間に設けられた磁気抵抗効果素子６９を有する。
【００１２】
図１は、本発明による面内磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドの磁極部分の構成例を示す概略図であり、磁気ヘッド浮上面方向から見た斜視図である。この実施形態の薄膜磁気ヘッドは、インダクティブ磁気記録ヘッドと再生ヘッドとを一体化した複合型薄膜磁気ヘッドであるが、図１は再生ヘッドを省略して描いている。
【００１３】
インダクティブ磁気記録ヘッドは、下部磁極１と上部磁極３に挟まれた記録ギャップ２から漏洩させた磁界によって記録媒体に面内方向の磁化を記録する。図示した薄膜磁気ヘッドは、下部磁極１の両側面に電気的に接続してそれらに並設された導電性部材４，５を備える。導電性部材４及び５は上部磁極３の両側面に接続して並設してもよいし、下部磁極１と上部磁極３の両方に電気的に接続して並設しても良い。導電性部材は、下部磁極１又は上部磁極３の片側だけに設置されていても良い。
【００１４】
図２は、本発明による垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドの磁極部分の構成例を示す概略図であり、磁気ヘッド浮上面方向から見た斜視図である。この実施形態の薄膜磁気ヘッドはインダクティブ磁気記録ヘッドと再生ヘッドとを一体化した複合型薄膜磁気ヘッドであるが、図２は再生ヘッドを省略して描いている。
【００１５】
インダクティブ磁気記録ヘッドは主磁極６と補助磁極７を有し、主磁極６から漏洩した磁界により記録媒体に、磁化の向きが記録媒体平面と垂直方向の磁化を記録する。図示した薄膜磁気ヘッドは、主磁極６の両側面に電気的に接続してそれらに並設された導電性部材８，９を有する。導電性部材は、主磁極６の片側だけに設置されていても良い。
【００１６】
図３は、本発明による磁気記録装置の記録媒体１０、導電性部材１１及び１２、磁極１３（図１に示した下部磁極１あるいは上部磁極３、又は図２に示した主磁極６）を含んだ部分の拡大断面図である。磁極１３から磁界が発生させられ、記録媒体１０が紙面に垂直方向に動くことにより、記録トラック１４に磁化状態の変化としてデータが記録される。データが記録されている記録トラック１４からデータを読み取る場合、磁気ヘッド１５の再生ヘッドが、記録トラック１４に隣接する記録トラック１６及び１７からの磁界を感知してしまわないように、通常、記録トラック間にはトラックマージン１８及び１９が設けられている。磁気ヘッド１５が記録トラック１４に記録する際、導電性部材１１及び１２はそれぞれトラックマージン１８及び１９の上空に位置するように配置される。図示した例の場合、導電性部材１１，１２は、媒体摺動面から奥まった側で磁極１３と電気的に接続しており、媒体摺動面では絶縁体２０を介して磁極１３に並設され、記録トラック１４に隣接するトラックマージン１８，１９の中央部に対向するようにされている。磁極１３と導電性部材１１，１２の接触抵抗は、磁極１３と導電性部材１１，１２の間の接触面積及び磁極１３と導電性部材１１，１２を隔てる絶縁体２０の電気抵抗により制御される。
【００１７】
図４は、記録トラックと、磁気ヘッドの媒体摺動面における磁極及び導電性部材の位置関係を示している。（ａ）（ｂ）は面内記録方式ヘッドの場合、（ｃ）（ｄ）は垂直記録方式ヘッドの場合の位置関係である。（ａ）（ｃ）はスキュー角がない場合、（ｂ）（ｄ）はスキュー角がある場合を示している。図４（ｂ）（ｄ）に示したように、導電性部材１１及び１２は、磁気ヘッド１５が記録トラック１４に対して角度を持ったスキュー角がある状態においても、記録動作時、記録媒体１０の記録トラック１４の両脇のトラックマージン１８及び１９上に位置するように配置されている。
【００１８】
図５に示すように、記録トラック１４の幅の半値をｔ、トラックマージン１８の幅をｍ、導電性部材１１の中心と磁気ヘッドのトラック方向に延びる中心線からの距離をｗ、導電性部材１１を円柱と仮定したときの半径をｒ（導電性部材のトラック幅方向寸法を２ｒ）、最大スキュー角をθと定義する。スキュー角がある状態においても、導電性部材１１がトラックマージン１８上にあるためには次式を満たしていれば良い。
ｔ  ＜  ｗ・ｃｏｓθ−ｒ  ＜  ｗ・ｃｏｓθ＋ｒ  ＜  ｔ＋ｍ
【００１９】
図３に戻り、磁極１３は典型的にはＮｉＦｅからなるめっき膜であるが、ＮｉＦｅに代えて、この種の磁極材料としてよく知られているその他の材料で形成してもよい。絶縁体２０は典型的にはＡｌ２Ｏ３あるいはレジストからなる絶縁体であるが、Ａｌ２Ｏ３あるいはレジストに代えて、この種の絶縁体としてよく知られているその他の材料で形成してもよい。導電性部材１１，１２は、磁極１３よりも仕事関数の低い金属を使う。例えばアモルファスＣ、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｕ、Ａｕ合金、Ａｇ、Ａｇ合金等を用いることができ、非磁性金属を用いるのが望ましい。
【００２０】
記録動作時、磁極１３に蓄積された電荷は、導電性部材１１，１２を通って記録媒体１０に放電させられる。導電性部材１１，１２は磁極１３よりも仕事関数が低いため、磁極１３から放電を起こす場合よりも低い磁気ヘッド記録媒体間電位差で放電が起こる。放電は電界放出つまりトンネル電流であるため、記録媒体１０の破壊に至るほどの電流量にはならない。仮に記録媒体１０の破壊に至る電流量の放電が起きたとしても、放電は導電性部材１１，１２から起こるため、トラックマージン１８及び１９上に放電し、記録トラック１４を破壊することはない。
【００２１】
導電性部材１１，１２と磁極１３とを隔てている絶縁体２０と、磁極１３と導電性部材１１，１２との接触面積を制御し、磁極１３と導電性部材１１，１２との間の電気抵抗を制御することにより、磁極１３から導電性部材１１，１２へ過大な電流が流れることを抑制できる。したがって、導電性部材１１，１２から記録媒体１０への放電の電流量を制御することができる。この結果、導電性部材１１，１２から記録媒体１０への放電による記録媒体１０の破壊を防ぐことができる。
【００２２】
図６は、磁気ヘッドと記録媒体間の距離（スペーシング）を制御する機構を持った磁気ヘッドの概略図である。ジンバル２１と磁気ヘッド２２の間にスペーシングを制御するピエゾ素子等から成るアクチュエータ２３を備えている。図３に示した導電性部材１１，１２と記録媒体１０との間の放電は、導電性部材１１，１２と記録媒体１０との間の距離、導電性部材１１，１２の仕事関数、記録媒体１０の仕事関数及び導電性部材１１，１２と記録媒体１０との間に存在する気体の電気抵抗により決定される電界放出放電になるか、熱電子放出放電になるかの閾値電圧を越えた瞬間に生じる。したがって、放電のタイミングを制御したい場合には、アクチュエータ２３用いて放電を起こしたい瞬間のみ磁気ヘッド１５と記録媒体１０との間の距離を小さくすれば良い。
【００２３】
図７は、記録部分以外に非磁性材料を埋めこんだ記録媒体の構成を概略的に示す図である。記録トラック２４は磁性材料であるが、記録トラック以外の領域に非磁性材料２５を埋め込んだ記録媒体の場合、記録トラック２４以外の領域（トラックマージン）を埋める充填部材として記録トラック２４の磁性体よりも仕事関数の低い非磁性金属を用いれば、さらに確実に記録部分以外の領域に放電させることができ、効果的である。
【００２４】
図８は、記録部分をパターン状に埋めこみ、記録部分以外を非磁性材料で埋めた記録媒体（パターンドメディア）の構成を概略的に示す図である。記録部分２４ａ以外の場所に非磁性材料２５ａを埋め込んだ記録媒体の場合、記録部分２４ａ以外の場所を埋める充填部材の非磁性材料２５ａとして記録部分２４ａの磁性体よりも仕事関数の低い非磁性金属を用いれば、さらに確実に記録部分以外の領域に放電させることができ、効果的である。図８に示した記録媒体の場合には、記録動作時、磁極が通過しない部分（トラックマージン）２５ｂの非磁性金属部分に放電させる。
【００２５】
図９は、本発明による面内磁気記録方式の磁気ヘッドの製造方法を説明する工程図である。図にはインダクティブ磁気記録ヘッドの製造工程のみを示す。
まず、下部磁性層２６の上にレジスト２７を塗り下部磁極となる部分２８を露光し、エッチングして穴をあける（図９（ａ））。メッキ等により下部磁極となる磁性体２９を形成する（図９（ｂ））。表面を研磨してレジスト２７を露出させる（図９（ｃ））。導電性部材を形成する部分３０のレジストを除去する。導電性部材を形成する部分３０は、上部の媒体摺動面から奥まった位置で磁性体２９と連絡し、下部の媒体摺動面側では磁性体２９から離れるように形成する。具体的には露光しエッチングするか、もしくは集束イオンビーム（ＦＩＢ）を用いる（図９（ｄ））。
【００２６】
次に、スパッタ法により導電性部材３１を形成する。このとき図示するように、斜め方向から導電性金属粒子をスパッタすると、図９（ｄ）にて形成した穴の磁性体２９側の側面に穴の幅より狭い（薄い）導電性部材３１を形成することができる（図９（ｅ））。また、スパッタ法の代わりに蒸着法など他の手法を用いても良い。次に、導電性部材３１の周辺の穴を塞ぐためにレジストに代表される絶縁体３２を形成する（図９（ｆ））。表面研磨を施し、下部磁極２９を露出させる（図９（ｇ））。その後、コイル及びギャップとなる絶縁体３３及び上部磁極３４を形成する（図９（ｈ））。
【００２７】
図１０は、本発明による垂直磁気記録方式の磁気ヘッドの製造方法を説明する工程図である。図にはインダクティブ磁気記録ヘッドの製造工程のみを示す。
まず、コイル及び補助磁極３５及び絶縁体３６及び主磁極３７を形成する（図１０（ａ））。導電性部材を形成する部分３８のレジストを除去する。導電性部材を形成する部分３８は、上部の媒体摺動面からみて奥まった位置で磁性体２９と連絡し、下部の媒体摺動面側では主磁極３７から離れるように形成する。具体的には露光しエッチングするか、もしくは集束イオンビーム（ＦＩＢ）を用いる（図１０（ｂ））。
【００２８】
次に、スパッタ法により導電性部材３９を形成する。このとき図示するように斜め方向から導電性金属粒子をスパッタすると、図１０（ｂ）にて形成した穴の主磁極３７側の側面に穴の幅より狭い（薄い）導電性部材３９を形成することができる（図１０（ｃ））。また、スパッタ法の代わりに蒸着法など他の手法を用いても良い。次に、導電性部材３９の周辺の穴を塞ぐためにレジストに代表される絶縁体４０を形成する（図１０（ｄ））。表面研磨を施し、主磁極３７を露出させる（図１０（ｅ））。
【００２９】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００３０】
【発明の効果】
本発明によると、磁気ヘッドと記録媒体間の放電に強く、信頼性に優れた磁気ディスク装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態における面内磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドの磁極部分の構成を概略的に示しており、磁気ヘッドのＡＢＳ方向から見た斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態における垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドの磁極部分の構成を概略的に示しており、磁気ヘッドのＡＢＳ方向から見た斜視図である。
【図３】図１及び図２の実施形態の記録媒体及び導電性部材及び磁極を含んだ部分の断面図である。
【図４】図１及び図２の実施形態の記録媒体及び導電性部材及び磁極の位置関係を示した図である。
【図５】図１及び図２の実施形態における導電性部材の寸法を定義するための概略図である。
【図６】本発明の一実施形態における磁気ヘッド記録媒体間の距離を制御する機構を持った磁気ヘッドの概略図である。
【図７】本発明の他の実施形態における記録媒体を概略的に示した図である。
【図８】本発明の他の実施形態における記録媒体を概略的に示した図である。
【図９】本発明の一実施形態における面内磁気記録方式の薄膜磁気ヘッド製造方法の工程を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態における垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッド製造方法の工程を示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態における磁気ディスク装置の概略図である。
【図１２】本発明の一実施形態における磁気ヘッド部分の概略図である。
【符号の説明】
１，２６，２９，５４…下部磁極
２…ギャップ
３，３４，５３…上部磁極
４，５，８，９，１１，１２，３１，３９，５５，５６，６５，６６…導電性部材
６，３７，６３…主磁極
７，３５，６４…補助磁極
１０，４１…記録媒体
１３…磁極
１４，１６，１７，２４…記録トラック
１５，２２，４２…磁気ヘッド
１８，１９…トラックマージン
２０，３２，３３，４０…絶縁体
２１…ジンバル
２３…アクチュエータ
２４ａ…磁性体
２５，２５ａ…非磁性金属
２７，３６…レジスト
５１，６１…磁気記録ヘッド
５２，６２…再生ヘッド
５７，５８，６７，６８…磁気シールド
５９，６９…磁気抵抗効果素子
【図１】
2004342153.tif 000003
【図２】
2004342153.tif 000004
【図３】
2004342153.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004342153.tif 000007
【図６】
2004342153.tif 000008
【図７】
2004342153.tif 000009
【図８】
2004342153.tif 000010
【図９】
2004342153.tif 000011
【図１０】
2004342153.tif 000012
【図１１】
2004342153.tif 000013
【図１２】
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