(57)【要約】【課題】位置合わせを容易に行うことができ、効率的に素材を成形することができる放電加工による成形方法及びその装置を提供する。【解決手段】板材２をテーブル３に固定し、板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続して板材２に孔２１を形成する。次いで、図２（ｃ）のように孔２１に、破線１ａのように素材１の一部が重なるように板材２と素材１との相対位置を移動させ、図２（ｄ）のに、板材２をマイナス、素材１をプラスとして、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、放電加工で素材１に細い部分１１に成形する。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ブロックをプラス、素材をマイナスとして放電加工により導電性ブロックに孔を形成する第１工程、前記導電性ブロックに第１工程で形成した孔に下降する素材の一部が重なるように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２工程、前記導電性ブロックをマイナス、前記素材をプラスとし、第１工程で形成した孔で放電加工により素材を成形する第３工程とを有し、前記導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で前記第１〜３工程が行われるもので、導電性ブロックに第１工程で形成した孔で素材を所定の形状に成形することを特徴とする放電加工による素材の成形方法。
【請求項２】
導電性ブロックをプラス、複数の素材をマイナスとして放電加工により導電性ブロックに複数の孔を形成する第１工程、前記導電性ブロックに第１工程で形成した複数の孔に下降する複数の素材のそれぞれの一部が重なるように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２工程、前記導電性ブロックをマイナス、前記素材をプラスとし、第１工程で形成した複数の孔で放電加工により複数の素材を成形する第３工程とを有し、前記導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、複数の素材は同一の保持具に保持された状態で前記第１〜３工程が行われるもので、導電性ブロックに第１工程で形成した複数の孔で複数の素材を同時に所定の形状に成形することを特徴とする放電加工による素材の成形方法。
【請求項３】
導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、第１工程で形成した孔で放電加工により素材を成形する第３工程が、複数回繰り返されることを特徴とする請求項１または２に記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項４】
導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、第１工程で形成した孔で放電加工により素材を成形する第３工程が、複数回繰り返されるものであり、繰り返される放電加工による素材の成形が、導電性ブロックに第１工程で形成した孔の周縁の異なる位置で行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項５】
導電性ブロックが板材で、第１工程で形成した孔が貫通孔であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項６】
板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に２つの円形を重複させて形成された２つの突起部を有する貫通孔であり、板材をマイナス、素材をプラスとし、素材を下降させて前記２つの突起部により素材に軸方向の溝を成形することを特徴とする請求項５に記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項７】
板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に中央部から直線で放射状に形成された貫通孔で、その中央部は隣合う放射状貫通孔で形成された突起部が形成されており、板材をマイナス、素材をプラスとし、素材を下降させて前記突起部により、素材に軸方向の溝を成形することを特徴とする請求項５に記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項８】
板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に中央部から直線で放射状に形成された貫通孔であり、その中央部で隣合う放射状貫通孔で形成された突起部が、種々の角度に形成されていることを特徴とする請求項７に記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項９】
板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に中央部から直線で放射状に形成された貫通孔であり、板材をマイナス、素材をプラスとして前記貫通孔の直線部により、素材に平坦面を成形することを特徴とする請求項７または８に記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項１０】
板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に素材の直径より細い突起部が形成された貫通孔であり、板材をマイナス、素材をプラスとし、板材に第１工程で形成した細い突起部と素材の相対位置を移動させて、放電加工により素材の径方向に凹部または穴を成形することを特徴とする請求項５に記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項１１】
板材をプラス、素材をマイナスとし、放電加工により前記板材に貫通孔を形成する工程、板材をマイナス、素材をプラスとして、板材に第１工程で形成した貫通孔と素材の相対位置を移動させて、放電加工により軸方向で直径の異なるものに成形する工程とを有し、前記板材は同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で前記各工程が行われるもので、板材に第１工程で形成した孔で素材に軸方向で直径の異なるものに成形することを特徴とする放電加工による素材の成形方法。
【請求項１２】
導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、穿孔する孔径より大きい径の素材を回転させながら送り、放電加工により素材を消耗させながら導電性ブロックにテーパー孔を形成する第１工程、導電性ブロックに第１工程で形成した孔のテーパー部に下降する素材の先端部が位置するように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２工程、前記導電性ブロックをマイナス、前記消耗した素材をプラスとしたままで第１工程より小さい放電エネルギーで、前記消耗した素材を回転させながら下降させ第１工程で形成した孔のテーパー部で放電加工により素材の先端部をテーパー状に成形する第３工程とを有し、前記導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で前記第１〜３工程が行われるもので、導電性ブロックに第１工程で形成したテーパー孔で、消耗した素材の先端部をテーパー状に成形することを特徴とする放電加工による素材の成形方法。
【請求項１３】
素材が、電極素材であり、放電加工により放電加工用電極を成形することを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の放電加工による素材の成形方法。
【請求項１４】
Ｘ、Ｙ方向の移動手段を有する導電性ブロックの載置テーブル、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の移動及びＺ軸で角度を変更する手段を有する素材の保持具、導電性ブロックと素材に接続する放電回路を備えた放電加工による電極の成形装置であって、前記載置テーブルに固定された導電性ブロックをプラス、前記保持具の素材をマイナスとして、素材をＺ方向に下降させて導電性ブロックに孔を形成し、素材をＺ方向に上昇させる第１ステップ、導電性ブロックを固定した載置テーブルの位置の移動、または素材を保持した前記保持具の位置の移動により、導電性ブロックに第１ステップで形成した孔に下降する素材の一部が重なるように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２ステップ、導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、第１ステップで形成した孔で素材を成形する第３ステップ、とを有することを特徴とする放電加工による素材の成形装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放電加工による素材の成形方法及びその装置に係り、特に導電性ブロックに形成された孔で放電加工により素材を成形する方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、工業製品における部品の微細化が進んでおり、これに伴って必要とされる穴加工においても、微細・高品位加工技術が求められている。
一般に、放電加工では、数μｍの微細穴を作ることができ、機械加工ではできないような高アスペクト比の微細穴加工が可能である。そのためには数μｍの微細な電極を作る必要があり、従来よりＷＥＤＧ法が知られている。これは図４２に示すように、放電加工電源５５に素材５２と金属線５３を接続する。支持具５１に素材５２を支持し、矢印Ｋのように回転させ、ガイド５４に沿って矢印Ｊ方向に走行している金属線５３で放電加工により細く成形するものである（例えば非特許文献１）。また、図４３に示すように、準備段階で穴６４を開けたブロック６３を用意し、素材６１とブロック６３を放電加工電源５５に接続し、素材６１を矢印Ｋのように回転させながら送り、ブロックの穴６４の周囲を破線の矢印Ｌのように回りながら放電加工により細い部分６２に成形する方法が知られている（例えば非特許文献２）。
【非特許文献１】増沢隆久著　２０００年７月２５日　日刊工業新聞社発行「マイクロ加工技術」第５３〜５５頁
【非特許文献２】平成１３年４月９日　工業調査会発行　「機械と工具」４月号別冊「最新金型加工技術２００１年版」第９５〜９６頁
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来として図４２に示したＷＥＤＧ法では、そのための高価な専用加工機が必要でありコストのかかるものであった。また、図４３に示したような方法では、放電加工の準備段階で穴６４を開けたブロック６３を用意し、その穴６４に素材６１の位置を合わせ、その原点位置を調整する必要があり、このような準備段階での調整は困難で時間がかかるものであった。特に微細な素材を成形するときには、その原点調整が極めて重要であるが、そのような調整作業は時間がかかり、また正確に原点を調整することは困難であった。
本発明は、原点調整作業を行なうことなく位置合わせを容易に行うことができ、効率的に素材を成形することができる放電加工による成形方法及びその装置を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、導電性ブロックをプラス、素材をマイナスとして放電加工により導電性ブロックに孔を形成する第１工程、前記導電性ブロックに第１工程で形成した孔に下降する素材の一部が重なるように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２工程、前記導電性ブロックをマイナス、前記素材をプラスとし、第１工程で形成した孔で放電加工により素材を成形する第３工程とを有し、前記導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で前記第１〜３工程が行われるもので、導電性ブロックに第１工程で形成した孔で素材を所定の形状に成形することを特徴とする放電加工による素材の成形方法である。
【０００５】
また、本発明は、導電性ブロックをプラス、複数の素材をマイナスとして放電加工により導電性ブロックに複数の孔を形成する第１工程、前記導電性ブロックに第１工程で形成した複数の孔に下降する複数の素材のそれぞれの一部が重なるように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２工程、前記導電性ブロックをマイナス、前記素材をプラスとし、第１工程で形成した複数の孔で放電加工により複数の素材を成形する第３工程とを有し、前記導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、複数の素材は同一の保持具に保持された状態で前記第１〜３工程が行われるもので、導電性ブロックに第１工程で形成した複数の孔で複数の素材を同時に所定の形状に成形することを特徴とする放電加工による素材の成形方法である。
【０００６】
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、第１工程で形成した孔で放電加工により素材を成形する第３工程が、複数回繰り返されることを特徴とするものである。
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、第１工程で形成した孔で放電加工により素材を成形する第３工程が、複数回繰り返されるものであり、繰り返される放電加工による素材の成形が、導電性ブロックに第１工程で形成した孔の周縁の異なる位置で行うことを特徴とするものである。
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、導電性ブロックが板材で、第１工程で形成した孔が貫通孔であることを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に２つの円形を重複させて形成された２つの突起部を有する貫通孔であり、板材をマイナス、素材をプラスとし、素材を下降させて前記２つの突起部により素材に軸方向の溝を成形することを特徴とするものである。
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に中央部から直線で放射状に形成された貫通孔で、その中央部は隣合う放射状貫通孔で形成された突起部が形成されており、板材をマイナス、素材をプラスとし、素材を下降させて前記突起部により、素材に軸方向の溝を成形することを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に中央部から直線で放射状に形成された貫通孔であり、その中央部で隣合う放射状貫通孔で形成された突起部が、種々の角度に形成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に中央部から直線で放射状に形成された貫通孔であり、板材をマイナス、素材をプラスとして前記貫通孔の直線部により、素材に平坦面を成形することを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、板材をプラス、素材をマイナスとし、第１工程で形成した孔が、前記板材に素材の直径より細い突起部が形成された貫通孔であり、板材をマイナス、素材をプラスとし、板材に第１工程で形成した細い突起部と素材の相対位置を移動させて、放電加工により素材の径方向に凹部または穴を成形することを特徴とするものである。
また、本発明は、板材をプラス、素材をマイナスとし、放電加工により前記板材に貫通孔を形成する工程、板材をマイナス、素材をプラスとして、板材に第１工程で形成した貫通孔と素材の相対位置を移動させて、放電加工により軸方向で直径の異なるものに成形する工程とを有し、前記板材は同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で前記各工程が行われるもので、板材に第１工程で形成した孔で素材に軸方向で直径の異なるものに成形することを特徴とする放電加工による素材の成形方法である。
【００１０】
また、本発明は、導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、穿孔する孔径より大きい径の素材を回転させながら送り、放電加工により素材を消耗させながら導電性ブロックにテーパー孔を形成する第１工程、導電性ブロックに第１工程で形成した孔のテーパー部に下降する素材の先端部が位置するように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２工程、前記導電性ブロックをマイナス、前記消耗した素材をプラスとしたままで第１工程より小さい放電エネルギーで、前記消耗した素材を回転させながら下降させ第１工程で形成した孔のテーパー部で放電加工により素材の先端部をテーパー状に成形する第３工程とを有し、前記導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で前記第１〜３工程が行われるもので、導電性ブロックに第１工程で形成したテーパー孔で、消耗した素材の先端部をテーパー状に成形することを特徴とする放電加工による素材の成形方法である。
【００１１】
また、本発明の放電加工による素材の成形方法は、素材が、電極素材であり、放電加工により放電加工用電極を成形することを特徴とするものである。
さらに、本発明は、Ｘ、Ｙ方向の移動手段を有する導電性ブロックの載置テーブル、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の移動及びＺ軸で角度を変更する手段を有する素材の保持具、導電性ブロックと素材に接続する放電回路を備えた放電加工による電極の成形装置であって、前記載置テーブルに固定された導電性ブロックをプラス、前記保持具の素材をマイナスとして、素材をＺ方向に下降させて導電性ブロックに孔を形成し、素材をＺ方向に上昇させる第１ステップ、導電性ブロックを固定した載置テーブルの位置の移動、または素材を保持した前記保持具の位置の移動により、導電性ブロックに第１ステップで形成した孔に下降する素材の一部が重なるように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２ステップ、導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、第１ステップで形成した孔で素材を成形する第３ステップ、とを有することを特徴とする放電加工による素材の成形装置である。
【００１２】
【作用】
本発明は、前記導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で、導電性ブロックをプラス、素材をマイナスとして放電加工により導電性ブロックに孔を形成する第１工程、導電性ブロックに第１工程で形成した孔に下降する素材の一部が重なるように導電性ブロックと素材との相対位置を移動させる第２工程、導電性ブロックをマイナス、前記素材をプラスとし、第１工程で形成した孔で放電加工により素材を成形する第３工程を行うもので、第１工程で開けた孔と素材の位置は、それぞれの原点となるもので、その原点を基に第２工程の相対位置の移動を行うので、正確に所定位置に移動させることができるものである。
すなわち、従来技術の図４３では、準備段階で穴６４を開けたブロック６３を用意し、穴６４の位置に合わせて素材６１を取付けるもので、それらの原点や位置を調整するのに時間がかかるものであったが、本発明は、導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で、導電性ブロックに素材で穴を開け、その素材を上昇させているので、素材で開けた穴とその素材は、原点である中心軸が一致しており、また素材径のサイズと穴径のサイズも正確に把握されているので、正確に所定位置に移動させることができ、微細なものを精度よく放電加工により成形することができるものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明において、導電性ブロックを固定する載置テーブルはＸ、Ｙ方向の移動手段を有するものである。また素材を保持する保持具は、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の移動及びＺ軸で角度を変更する手段を有するものである。図１（ａ）で説明すると、テーブル３は同一面でＸ方向（横方向）、Ｙ方向（縦方向）に移動させる手段を有しているものであり、また保持具（図示省略）は、素材１をＸ方向（横方向）、Ｙ方向（縦方向）、Ｚ方向（上昇、下降）に移動させる手段を有し、またＺ軸で回転して保持角度θを変更する手段を有し、さらに素材を矢印Ａのように回転させる手段を有しているものである。
【００１４】
例えば、テーブル３のＸ、Ｙ方向の移動手段、素材保持具のＸ、Ｙ、Ｚ方向の移動及びＺ軸で角度を変更する手段は、ＮＣプログラムにより制御で行う。
放電回路としては、例えばＲＣ放電回路で、電源、コンデンサー、抵抗で構成されているものである。また、放電加工液としては、例えばパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油を用いる。
放電回路は、例えば電圧７０Ｖ〜１１０Ｖ、コンデンサー容量１０〜３３００ｐＦである。
また、素材の送り速度は、例えば１μｍ／秒〜５μｍ／秒である。
本発明において、導電性ブロックとして、板材を用いるときは、薄いものが好ましく、例えば厚さ約１００μｍの銅板を用いる。素材は導電性のものであればよく、金属、合金、セラミックス、グラファイト、超硬合金の素材にμｍオーダーの微細加工を行なうことができるもので、例えば、マイクロマシン用部品、工具のμｍオーダーの微細加工、またタングステン、タングステン合金等の電極素材を、インクジェットプリンタノズル、エンジン噴射ノズル、繊維ノズル等など各種ノズルの放電加工に用いるμｍオーダーの微細な電極に形成することができる。
【００１５】
本発明の実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
図１（ａ）（ｂ）及び図２（ｃ）（ｄ）は、本発明の実施形態の放電加工による電極の成形を示す斜視図である。
図１（ａ）（ｂ）及び図２（ｃ）（ｄ）に示すように、テーブル３に導電性ブロックとして板材２を固定し、素材１はその保持具（図示省略）に保持する。板材２はテーブル３に固定され、素材１はその保持具に保持され、同一のテーブル３、同一の保持具で、放電加工により成形するものである。
なお、テーブル３には、素材１が板材２の裏側に貫けるようにし、また放電加工液が流れるように開口部３１を設けている。図１〜図２では板材２の両端をテーブル３に載置した場合を示したが、板材２の端部のみをテーブル３に固定して素材１が板材２の裏側に貫けるようにし、放電加工液が流れるようにしてもよい。
【００１６】
まず、図１（ａ）に示すように、テーブル３に固定した板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続する。素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、放電加工により図１（ｂ）に示すように板材２に孔２１を形成する。
テーブル３に固定されている板材２の孔２１は、素材１で開けたものであり、素材１と孔２１の中心軸（原点）は一致している。また素材１の直径サイズと孔２１の直径サイズも正確に把握されている。
次いで、図２（ｃ）に示すように、板材２に開けられた孔２１に、破線１ａのように下降する電極素材１の一部が重なるように板材２と素材１との相対位置を移動させる。
板材２と素材１との相対位置の移動は、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３のＸ、Ｙ方向の移動により、下降する素材１の一部が破線１ａのように孔２１に重なるようにする。
また、板材２を固定したテーブル３の位置はそのままで、素材１のＸ、Ｙ方向の移動により、下降する素材１の一部が破線１ａのように孔２１に重なるようにする。
【００１７】
板材２と素材１との相対位置の移動距離について説明する。
図３には、板材２をプラス、素材１をマイナスとして放電加工により形成された孔２１、移動した素材１（破線で示した）、素材の成形される細い部分１１、孔２１の中心点Ｏ、移動した素材１及び成形される部分１１の中心点Ｏ´が示されており、板材２に形成された孔２１の半径Ｒ、素材１の成形される部分１１の半径ｒ、放電加工ギャップｇ、素材１の中心位置ＯからＯ´への移動距離をＳとすると、
移動距離Ｓ＝孔２１の半径Ｒ−成形される部分１１の半径ｒ−放電加工ギャップｇ
の関係になるように、板材２と素材１の相対位置を移動させる。
一般に、放電加工ギャップｇは、放電電圧が高いほど大きくなるものである。
【００１８】
次いで、図２（ｄ）に示すように、孔２１を形成した板材２をマイナス、素材１をプラスとして、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、放電加工で細い部分１１に成形する。
なお、素材１は回転させずに下降させる場合もある。
【００１９】
図１（ａ）（ｂ）においては、例えば、板材２として厚さ約１００μｍの銅板を用い放電回路４のプラスに、素材１をマイナスに接続し、電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量３３００ｐＦ、素材１を送り速度５μｍ／秒で、矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ孔２１を開ける。
素材１はＺ方向に５００μｍ下降させた。これは板材２の厚さ１００μｍよりも多く下降させることにより、孔２１を板材２の厚さ方向にストレートに近い孔を形成するものである。
図２（ｃ）（ｄ）では、孔２１が開けられた板材２（厚さ約１００μｍの銅板）を放電回路４のマイナスに、素材１をプラスに接続し、電圧７０Ｖ〜１１０Ｖ、コンデンサー容量１０〜３３００ｐＦ、送り速度が１μｍ／秒〜５μｍ／秒で素材１の成形を行った。放電回路４のコンデンサー容量１０〜２２０ｐＦの放電エネルギーで放電加工を行うと、素材１はストレートに近い形状に成形され、また放電回路４のコンデンサー容量２２０ｐＦを超える放電エネルギーで放電加工を行うと素材１はテーパー状に成形される。
また、素材１の送り速度が１μｍ／秒〜３μｍ／秒では、孔２１により素材１はストレートに近い形状に成形され、送り速度５μｍ／秒以上に、速くすれば素材１は長さ方向にテーパー状に成形される。
【００２０】
【実施例１】
本発明の実施例１について、図４〜図７に参照して説明する。
図４（ａ）は、テーブル３に板材２を固定し、板材２をプラス、棒状の素材１をマイナスに放電回路４と接続する。
次いで、図４（ｂ）に示すように、棒状素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により板材２に貫通孔２１を形成する。
次いで、図４（ｃ）に示すように、素材１を矢印Ｚのように上昇させる。
次いで、図５（ｄ）と図５（ｅ）の平面図に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動距離（Ｘ１）の移動を行い、下降する素材１の一部が孔２１に重なるようにする。
【００２１】
次いで、図５（ｆ）に示すように、孔２１を形成した板材２をマイナス、素材１をプラスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させる。
図６（ｇ）と図６（ｈ）の平面図に示すように、板材２の孔２１（図４（ｂ）で開けた孔）で素材１を成形部１１に放電加工し、図７（ｉ）のように素材１を矢印のように上昇させる。図７（ｊ）は素材１と成形部１１を示したものである。
このように、板材２は同じテーブル３に固定し、素材１は同じ保持具（図示せず）に保持された状態で各工程を行うものであり、中心点は一致しており、また素材１の径サイズと孔２１の径サイズも正確に把握されているので、正確に所定位置に距離（Ｘ１）の移動をさせることができ、精度よく放電加工により成形することができるものである。
【００２２】
具体的には、棒状の素材１はタングステンで半径は７５μｍ、板２は厚さ１００μｍの銅板であり、板２をプラス、素材１をマイナスに接続し、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量３３００ｐＦ、素材１を送り速度５μｍ／秒、放電加工液としてパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油中で放電加工を行い、図４（ｂ）に示すように、板２（銅板）に孔２１を形成した。その半径は８４μｍであった。この板材２を図５（ｄ）（ｅ）に示すように、移動距離（Ｘ１）＝７８μｍの移動を行った。放電加工ギャップは１．０μｍである。次いで、図５（ｆ）に示すように、板２をマイナス、素材１をプラスに接続し、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量１００ｐＦ、素材１のＺ方向の送り速度２μｍ／秒、放電加工時間５分で、放電加工を行い、半径５μｍの図７（ｊ）に示すような成形部１１が得られた。
【００２３】
【実施例２】
本発明の実施例２について、図４及び図８〜図１１を参照して説明する。
まず、上述した図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、テーブル３に板材２を固定し、板材２をプラス、電極素材１をマイナスに放電回路４と接続し、棒状の素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により板材２に貫通孔２１を開け、素材１を矢印Ｚのように上昇させる。
次いで、図８（ａ）と図８（ｂ）の平面図に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に距離（Ｘ２）の移動を行い、下降する素材１の一部が孔２１に重なるようにする。
なお、図４及び図８〜図１１の各工程において、板材２は同じテーブル３に固定され、素材１は同じ保持具（図示せず）に保持されているものである。
【００２４】
次いで、図８（ｃ）に示すように、孔２１を形成した板材２をマイナス、素材１をプラスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、図９（ｄ）と図９（ｅ）の平面図に示すように、板材２の孔２１の周縁２１ａで素材１を中間の太さ１２に成形する。
次いで、図９（ｆ）と図１０（ｇ）の平面図に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に距離（Ｘ３）の移動を行い、下降する素材１の中間太さ１２の一部が孔２１の周縁２１ｂに重なるようにする。
次いで、図１０（ｈ）に示すように、孔２１を形成した板材２をマイナス、素材１をプラスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、図１０（ｉ）と図１１（ｊ）の平面図に示すように、中間太さ１２を板材２の孔２１の周縁２１ｂで細い部分１３に成形する。図１１（ｋ）は素材１の成形された中間太さ１２、細い部分１３を示したものである。
【００２５】
このように、板材２は同じテーブル３に固定され、素材１は同じ保持具（図示せず）に保持された状態で各工程を行うので原点は一致しており、また素材１の径サイズと孔２１の径サイズも正確に把握されているので、放電加工による電極の成形工程が複数回繰り返される場合でも、正確に所定位置に移動をさせることができ、電極を精度よく放電加工により成形することができるものである。また板材２の孔２１の周縁２１ａ、２１ｂと異なる位置で放電加工による成形を行うので、細い電極に精度よく成形することができる。これは孔２１の周縁の垂直な端面が放電加工で消耗して斜めになるが、孔２１の周縁２１ａ、２１ｂと異なる位置で放電加工を行うようにすることにより、孔２１の周縁の垂直な端面で細い電極を精度よく成形することができるものである。
【００２６】
具体的には、棒状の素材１はタングステンで半径は７５μｍ、板２は厚さ１００μｍの銅板であり、板２をプラス、素材１をマイナスに接続し、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量３３００ｐＦ、素材１を送り速度５μｍ／秒、放電加工液としてパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油中で放電加工を行い、図４（ｂ）に示すように、板２（銅板）に孔２１を形成した。その半径は８８μｍであった。
次いで、図８（ｂ）に示すように、板材２を移動距離（Ｘ２）＝７８μｍの移動をさせた。放電加工ギャップは１．０μｍである。次いで、図８（ｃ）に示すように、板２をマイナス、素材１をプラスに接続し、矢印Ｚ方向に下降させる。素材１の送り速度は２μｍ／ｓ、放電加工時間５分で放電加工を行った。図９（ｄ）に示す成形部１２の半径は９μｍであった。さらに図１０（ｇ）に示すように、板材２を移動距離（Ｘ３）＝８３μｍの移動をさせた。放電加工ギャップは１．０μｍであり、図１０（ｈ）に示す矢印Ｚ方向に下降させる素材１の送り速度は２μｍ／ｓ、放電加工時間５分で放電加工を行った。図１０（ｉ）に示す成形部１３の半径は４μｍであった。
【００２７】
【実施例３】
本発明の実施例３について、図４、図１２、図１３を参照して説明する。
まず、上述した図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、テーブル３に板材２を固定し、板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続し、棒状の素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により板材２に貫通孔２１を開け、素材１を矢印Ｚのように上昇させる。
次いで、図１２（ａ）と図１２（ｂ）の平面図に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に距離（Ｘ４）の移動をさせて、下降する素材１の一部が孔２１に重なるようにする。
なお、図４、図１２、図１３の各工程において、板材２は同じテーブル３に固定され、素材１は同じ保持具（図示せず）に保持されているものである。
【００２８】
次いで、図１２（ｃ）に示すように、孔２１を形成した板材２をマイナス、棒状の素材１をプラスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ｚのように下降させ、図１３（ｄ）と図１３（ｅ）の平面図に示すように、板材２の孔２１で素材１を２つの円弧の楕円状断面部分１４に成形する。図１３（ｆ）は素材１と成形された２つの円弧の楕円状断面部分１４を示したものである。
このように、板材２は同じテーブル３に固定され、素材１は同じ保持具（図示せず）に保持された状態で各工程を行うものであり、原点は一致しており、また素材１の径サイズと孔２１の径サイズも正確に把握されているので、正確に所定位置に移動をさせ、素材１を回転させずに下降させることにより、楕円状断面に精度よく放電加工により成形することができるものである。
【００２９】
具体的には、棒状の素材１はタングステンで半径は７５μｍ、板２は厚さ１００μｍの銅板であり、板２をプラス、素材１をマイナスに接続し、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量３３００ｐＦ、素材１を送り速度５μｍ／秒、放電加工液としてパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油中で放電加工を行い、図４（ｂ）に示すように、板２（銅板）に孔２１を形成した。その半径は８４μｍであった。次いで図１２（ｂ）に示すように板材２の移動距離（Ｘ４）＝７５μｍの移動を行った。放電加工ギャップは１．０μｍである。次いで、図１２（ｃ）（ｄ）に示すように、板２をマイナス、素材１をプラスに接続し、矢印Ｚ方向に下降させる。素材１の送り速度は２μｍ／ｓ、放電加工時間５分で放電加工を行い、図１３（ｅ）に示す成形部１４に成形した。
【００３０】
【実施例４】
本発明の実施例４について、図１４〜図１６を参照して説明する。
実施例４は、複数の素材を同時に所定の形状に成形する場合である。
図１４（ａ）に示すように、７本の素材４８が保持具４７に保持されている。テーブル３には板材２が固定され、板材２をプラス、素材４８をマイナスに放電回路４と接続し、７本の素材４８を矢印Ｚのように下降させ放電加工により板材２に７個の貫通孔４９を開け、素材４８を上昇させる。図１４（ｂ）はその平面図で板材２に７つの孔４９が形成されている。
次いで、図１５（ｃ）に示すように、保持具４７は動かさず７本の素材４８の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３を矢印のように移動をさせ、下降する７本の素材４８がそれぞれ７個の孔４９に、その一部が重なるようにする。
【００３１】
次いで、図１５（ｄ）に示すように、７個の孔４９を形成した板材２をマイナス、７本の素材４８をプラスに放電回路４と接続し、矢印Ｚのように７本の素材４８を下降させ、７本の素材４８を同時に放電加工で成形する。図１６（ｅ）は成形された状態で、保持具４７に保持されている７本の素材４８は、２つの円弧の楕円状断面部分４８ａに成形される。
このように、板材２は同じテーブル３に固定され、複数の素材４８は同じ保持具４７に保持された状態で各工程を行うことにより、孔４９及び素材４８の原点は一致しており、また素材４８の径サイズと孔４９の径サイズも正確に把握されているので、複数でも正確に所定位置に移動をさせることができ、複数の素材４８を同時に精度よく放電加工により成形することができるものである。
【００３２】
【実施例５】
本発明の実施例５について、図１７〜図２２を参照して説明する。
図１７（ａ）の側面図及び図１７（ｂ）の平面図に示すように、テーブル３に板材２を固定し、板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続する。次いで、図１７（ｃ）に示すように、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により板材２に貫通した円形の孔２２を開け、図１８（ｄ）に示すように、素材１を矢印Ｚのように上昇させる。
次いで、図１８（ｅ）に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させて、下降する素材１の一部が孔２２と重複する位置になるようにし、図１８（ｆ）に示すように、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により板材２に貫通した円形の孔２３を開ける。板材２の２つの円形の孔は、図１９（ｇ）の平面図に示すように、孔２２と孔２３は重複して２つの突起部２４、２５を有するものである。Ｘ５は孔２２と孔２３の中心点の距離である。
【００３３】
次いで、図１９（ｈ）に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させて、下降する素材１の中心部を、孔の２つの突起部２４と２５を結んだ線上に位置させる。そして２つの円形の孔２２と孔２３を重複させた孔を形成した板材２をマイナス、素材１をプラスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ｚのように下降させる。
重複させた２つの円形の孔２２と孔２３と電極素材１は、図１９（ｉ）の平面図と図２０（ｊ）の斜視図に示すように、素材１の中心部が、孔の２つの突起部２４と２５を結んだ線上に位置しており、素材１は下降して放電加工により、孔２２と２３及び突起部２４と２５で、軸方向に溝１５ａ、１５ｂが成形される。
【００３４】
さらに、軸方向に溝を設ける場合は、図２１（ｋ）の平面図及び図２２（ｌ）の斜視図に示すように、軸方向の溝１５ａ、１５ｂを設けた素材１の角度を９０度回転させ、素材１を下降して、放電加工により、孔２２と２３及び突起部２４と２５で、素材１の軸方向に溝１５ｃ、１５ｄを成形される。
このようにして、素材１の軸方向に溝１５ａ、１５ｂを成形し、次いで軸方向に溝１５ｃ、１５ｄを成形することができる。
【００３５】
具体的には、棒状の素材１はタングステンで半径は７５μｍ、板２は厚さ１００μｍの銅板であり、板２をプラス、素材１をマイナスに接続し、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量３３００ｐＦ、素材１を送り速度５μｍ／秒、放電加工液としてパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油中で放電加工を行い、図１９（ｇ）に示すように、板２（銅板）に孔２２、２３を形成した。孔２２、２３の半径は９０μｍであった。
次いで、図１９（ｈ）（ｉ）に示すように、板材２を移動距離８５μｍ（Ｘ５÷２）の移動をさせた。放電加工ギャップは１．０μｍである。また板２をマイナス、素材１をプラスに接続し、矢印Ｚ方向に下降させる。素材１の送り速度は２μｍ／ｓ、放電加工時間５分で放電加工を行い、図１９（ｉ）の平面図と図２０（ｊ）の斜視図に示すように、素材１に軸方向の溝１５ａ、１５ｂを成形することができた。
【００３６】
【実施例６】
本発明の実施例６について、図２３〜図２７を参照して説明する。
まず、図２３（ａ）の斜視図に示すように、テーブル３に板材２を固定し、板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ａのように回転させながら下降させて、図２３（ｂ）の平面図のように板材２に素材１で貫通孔を開ける。次いで、素材１は回転させながらその位置に止め、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させて、図２４（ｃ）の平面図のように，素材１で板材２に中央部から放射状に直線で延びている十字状の孔４０を形成する。十字状の孔４０は、４本の直線な孔４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄは９０度で交わっており、中央部で隣合う放射状の孔で形成された突起部４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄは、直角である。
【００３７】
次いで、図２４（ｄ）の斜視図に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させて、下降する素材１の一部が突起部に重なるようにし、放射状に直線で延びている孔を形成した板材２をマイナス、素材１をプラスに放電回路４と接続し、素材１を矢印のように下降させて放電加工を行うもので、図２５（ｅ）〜図２７（ｊ）の平面図で具体的に示す。
【００３８】
図２５（ｅ）に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３を移動させて、下降する素材１の一部が突起部４１ａに重なるようにし、素材１を下降させて放電加工で素材１に軸方向に直角な溝４２ａを形成する。次いで、図２５（ｆ）に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３を移動させて、下降する素材１の一部が突起部４１ｂに重なるようにし、素材１を下降させて放電加工で素材１に軸方向に直角な溝４２ｂを形成する。次いで、図２６（ｇ）に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３を移動させて、下降する素材１の一部が突起部４１ｃに重なるようにし、素材１を下降させて放電加工で素材１に軸方向に直角な溝４２ｃを形成し、次いで、図２６（ｈ）に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３を移動させて、下降する素材１の一部が突起部４１ｄに重なるようにし、素材１を下降させて放電加工で素材１に軸方向に直角な溝４２ｄを形成する。
【００３９】
さらに、断面円形の素材１の外周の円弧４２ｅを直線にする場合は、図２７（ｉ）に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３を移動させて素材１の外周が孔４０ｄの直線部に重なるようにし、素材１を下降させて放電加工で素材１の円弧を直線４２ｆに形成する。
上記工程を繰り返えし行い、鎖線で示したように、軸方向に直角な溝４２ａ〜４２ｄを形成した素材１の外周の円弧４２ｅを直線４２ｆに形成する。
このようにして、図２７（ｊ）に示すような、軸方向の直角な溝４２ａ〜４２ｄ、外周の直線４２ｆを設けた成形部４２を放電加工により素材１に形成するものである。
【００４０】
【実施例７】
本発明の実施例７について、図２８を参照して説明する。
まず、図２８（ａ）の斜視図に示すように、テーブル３に板材２を固定し、板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ａのように回転させながら下降させて素材１で貫通孔を開け、素材１は回転させながらその位置に止め、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させて、図２８（ｂ）の平面図のように，素材１で板材２に中央部から放射状に直線で延びている直線な孔４３を形成する。これは４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅの５本が放射状に直線で延びているもので、中央部で隣合う放射状の孔で形成された突起部が、その角度が、α、β、γ、δ、ηと種々の角度に形成されている。
【００４１】
次いで、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させて、下降する素材１の一部が突起部に重なるようにし、放射状の孔４３を形成した板材２をマイナス、素材１をプラスに放電回路４と接続し、素材１を下降させて放電加工を行い、図２８（ｂ）の実線の素材１のように軸方向に角度γの溝を形成するものであり、また鎖線の素材１のように軸方向に角度αの溝を形成するものである。
このようにして、種々の角度の突起部を形成して、素材１の軸方向に種々の角度の溝を形成するものである。
【００４２】
【実施例８】
本発明の実施例８について、図２９〜図３１を参照して説明する。
まず、図２９（ａ）の斜視図に示すように、テーブル３に板材２を固定し、板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ａのように回転させながら下降させて、図２９（ｂ）の平面図のように板材２に素材１で貫通孔を開ける。次いで、素材１は回転させながらその位置に止め、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させて、図３１（ｆ）の平面図のように，素材１で板材２にＵ字状の孔４４を形成する。Ｕ字状の孔４４は、孔４４ａ、４４ｂ、４４ｃと突起部４５が形成されている。突起部４５は、素材１の直径より細いものである。
【００４３】
次いで、図３０（ｃ）に示すように、素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３を移動させて、素材１を孔４４ａで突起部４５と対向させて位置させ、図３０（ｄ）の斜視図に示すように、突起部４５を形成した板材２をマイナス、素材１をプラスに放電回路４と接続する。そして素材１の位置はそのままで、板材２を固定したテーブル３を移動させて、図３１（ｅ）に示すように、素材１に径方向の凹部または穴を突起部４５で放電加工により成形する。
このようにして、図３１（ｇ）に示すように、素材１に径方向に凹部または穴４６を形成するものである。
【００４４】
【実施例９】
本発明の実施例９について、図３２〜図３４を参照して説明する。
図３２（ａ）に示すように、テーブル３に板材２を固定し、板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続する。そして、図３２（ｂ）に示すように、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により板材２に孔２６を開ける。
次いで、素材１を板材２の孔２６に挿入した状態で、図３２（ｃ）に示すように、板材２をマイナス、素材１をプラスに放電回路４と接続する。図３３（ｄ）に示すように、通電させ、素材１を矢印Ａのように回転させた状態で、板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させながら、放電加工により孔２６で素材１に括れ部分１７を形成し、括れ部分１７が所定の径に形成されたときに、板材２を固定したテーブル３の移動を停止する。
【００４５】
次いで、板材２を固定したテーブル３の移動を停止させた状態で、図３３（ｅ）に示すように、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により、板材２の孔２６で括れ部分１７を軸方向に長くする。図３４（ｈ）に示すように、括れ部分１７と太い部分１６のように、素材１を軸方向で直径の異なるものに成形するものである。
また、下降する素材１の軸方向の適宜の箇所で、図３３（ｄ）に示す括れ部分１７を形成する工程を繰り返し行うことにより、複数の括れ部分１７を成形することができる。
【００４６】
次に、この括れ部分１７を板材２の孔から取り出すことについて示す。板材２を固定したテーブル３を移動させ、段部を設けた電極の中心と孔２６の中心を合わせて、電極を上昇させて取り出すこともできるが、放電加工を用いて取り出す場合を説明する。
図３３（ｆ）に示すように、板材２をプラス、素材１をマイナスに放電回路４と接続し、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように上昇させ、図３３（ｇ）に示すように、素材１の太い部分１６で放電加工により孔２６の隣りに孔２７を成形するようにして、取り出すことができる。
【００４７】
【実施例１０】
本発明の実施例１０について、図３５〜図４１を参照して説明する。
まず、図３５の斜視図に示すように、テーブル３に導電性ブロック２０を固定し、導電性ブロック２０をマイナス、素材１をプラスに放電回路４に接続する。そして図３６の斜視図及び図３７の平面図に示すように、素材１を矢印Ａの回転をさせながら、矢印Ｚのように下降させて放電加工による穴あけ加工を行う。素材１はテーパー部１８とその先端部１９のように消耗し、導電性ブロック２０には、テーパー部２８とその先の細い孔２９のようなテーパー孔が形成された。
【００４８】
具体的には、素材１として直径１５０μｍのタングステン棒材、導電性ブロック２０として鋼材、電圧１１０Ｖ、コンデンサ容量３３００ｐＦのＲＣ放電回路、矢印Ａの回転数４９００ｒｐｍ、矢印Ｚ方向の送り速度６０μｍ／ｓ、加工時間８ｍｉｎで、加工液油中において放電加工を行った。
その結果、導電性ブロック２０にテーパー部２８とその先の細い孔２９のような深さ６５０μｍのテーパー孔が形成された。テーパー部２８の垂線に対する角度は１２度であった。
また素材１は消耗して、その先端部１９の直径は２５μｍであった。
【００４９】
次いで、図３８に示すように、素材１の位置はそのままで、導電性ブロック２０を固定したテーブル３を移動させる。距離（Ｘ６）は、導電性ブロック２０の孔のテーパー部２８に下降する素材１の先端部１９が位置する移動距離で１７μｍである。また導電性ブロック２０をマイナス、素材１をプラスに放電回路４に接続した。ここでの放電回路は、電圧７０Ｖ、コンデンサ容量１００ｐＦとした。
次いで、図３９に示すように、素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、導電性ブロック２０の孔のテーパー部２８で素材１の先端部１９の放電加工を行った。その回転数４９００ｒｐｍ、矢印Ｚ方向の送り速度２μｍ／ｓ、加工時間　５ｍｉｎで、放電加工液油中で放電加工を行った。
その結果、図４０に示すように、テーパー部２８とその先の細い孔２９で素材１の先端部１９ａを針のように鋭く尖ったものが得られた。
なお、図４１は導電性ブロック２０の孔のテーパー部２８とその先の細い孔２９、素材１の先端部１９ａの位置を平面図に示したものである。
【００５０】
以上のことから明らかなように、請求項１２に記載の発明においては、導電性ブロックをマイナス、第１工程で得られた消耗した素材をプラスとしたままで、導電性ブロックにテーパー孔を形成する第１工程の放電加工での放電エネルギーよりも小さい放電エネルギーで、先端部を放電加工することにより、針のように鋭く尖らせることができる。
図３５、図３６に示す第１工程で、素材１はテーパー部１８とその先端部１９のように消耗させ、また導電性ブロック２０にはテーパー部２８とその先の細い孔２９のようなテーパー孔を形成させるが、この放電加工の条件は、例えば、素材１が直径１５０μｍのタングステン、導電性ブロック２０が鋼材の場合、放電エネルギー８．９１×１０−７Ｊ以上、矢印Ｚ方向の送り速度３０μｍ／ｓ〜２００μｍ／ｓ、矢印Ａの回転数１５００ｒｐｍ〜６０００ｒｐｍである。
第１工程の放電加工での放電エネルギーと同様な放電エネルギーで、消耗した素材の先端部を針のように鋭く尖ったテーパー状に成形する第３工程を行なうと、素材の先端部は消耗してしまい、針のように鋭く尖ったものは得られなかった。
また、導電性ブロックにテーパー孔を形成する第１工程で、放電エネルギーを小さくすると、素材の消耗と導電性ブロックへのテーパー孔の形成を効率的に行なうことができなかった。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の放電加工による素材の成形方法及びその装置によれば、導電性ブロックは同一のテーブルに固定され、素材は同一の保持具に保持された状態で、導電性ブロックに孔を形成し、導電性ブロックと素材との相対位置を移動させ、導電性ブロックをマイナス、素材をプラスとし、導電性ブロックに形成した孔で放電加工を行うので、速やかに正確な位置に移動させることができ、種々の微細加工を精度よく行うことができるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明する図
【図２】本発明の実施形態を説明する図
【図３】本発明の実施形態を説明する図
【図４】本発明の実施例１を説明する図
【図５】本発明の実施例１を説明する図
【図６】本発明の実施例１を説明する図
【図７】本発明の実施例１を説明する図
【図８】本発明の実施例２を説明する図
【図９】本発明の実施例２を説明する図
【図１０】本発明の実施例２を説明する図
【図１１】本発明の実施例２を説明する図
【図１２】本発明の実施例３を説明する図
【図１３】本発明の実施例３を説明する図
【図１４】本発明の実施例４を説明する図
【図１５】本発明の実施例４を説明する図
【図１６】本発明の実施例４を説明する図
【図１７】本発明の実施例５を説明する図
【図１８】本発明の実施例５を説明する図
【図１９】本発明の実施例５を説明する図
【図２０】本発明の実施例５を説明する図
【図２１】本発明の実施例５を説明する図
【図２２】本発明の実施例５を説明する図
【図２３】本発明の実施例６を説明する図
【図２４】本発明の実施例６を説明する図
【図２５】本発明の実施例６を説明する図
【図２６】本発明の実施例６を説明する図
【図２７】本発明の実施例６を説明する図
【図２８】本発明の実施例７を説明する図
【図２９】本発明の実施例８を説明する図
【図３０】本発明の実施例８を説明する図
【図３１】本発明の実施例８を説明する図
【図３２】本発明の実施例９を説明する図
【図３３】本発明の実施例９を説明する図
【図３４】本発明の実施例９を説明する図
【図３５】本発明の実施例１０を説明する図
【図３６】本発明の実施例１０を説明する図
【図３７】本発明の実施例１０を説明する図
【図３８】本発明の実施例１０を説明する図
【図３９】本発明の実施例１０を説明する図
【図４０】本発明の実施例１０を説明する図
【図４１】本発明の実施例１０を説明する図
【図４２】従来例を示す図
【図４３】従来例を示す図
【符号の説明】
１　素材
２　板材
３　テーブル
４　放電回路
２１　孔
【図１】
2004142087.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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