(57)【要約】【課題】定盤の変形に関わらず、本来の機能を発揮でき、またメンテナンス容易性を確保できる位置決め装置を提供する。【解決手段】中間ブロック１９０と移動ブロック１３０とのスキマが不適切になった場合、調整支持機構１９０の下側楔部１９３を上側楔部１９４に対して当接斜面を摺動させるように移動させる。それにより上側楔部１９４は、下側楔部１９３の斜面により押し上げられ或いは下降し、例えばミクロン単位で変位量を微調整しつつサブ定盤１０３を上下に変位させることができる。よって、中間ブロック１９０と移動ブロック１３０とのスキマを適切な値に設定でき、差動排気シール１５０の良好な動作を確保できる。【選択図】  図１
2004319608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し、外部と異なる環境に維持されるプロセス室を有する筐体と、
前記プロセス室内に配置されたテーブルと、
前記テーブルに連結され、前記開口を介して外部へと延在する連結部と、
前記プロセス室外で前記連結部に接続される移動部と、
前記移動部を移動自在に支持するベースと、
前記筐体と前記移動部との間に配置された差動排気シールと、
前記ベースと前記筐体とを相対変位可能に支持する調整支持機構とを有することを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前記筐体は定盤上に載置され、前記ベースは前記調整支持機構を介して前記定盤上に載置されていることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記ベースは、前記調整支持機構の支持部により３点以上で支持されていることを特徴とする請求項２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記調整支持機構は、前記ベースと前記筐体とを第１の量で相対的に変位させる第１調整部と、前記第１の量より小さな量で相対的に変位させる第２調整部とを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記調整支持機構は、液圧式の駆動源を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記調整支持機構は、電気式の駆動源を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記調整支持機構は、非通電時に前記ベースと前記筐体との相対変位を抑える抑制手段を有することを特徴とする請求項６に記載の位置決め装置。
【請求項８】
前記筐体は、第１の開口を有し、プロセス室を内包するプロセス室筐体と、第２の開口を有し、前記プロセス室筐体と前記移動部との間に配置されたシール板とからなり、前記連結部は、前記第１の開口と前記第２の開口とを貫通しており、前記第１の開口及び前記第２の開口を囲うようにして、前記プロセス室筐体と前記シール板との間にＯリング又はベローズが配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば外部環境から隔離された室内でワークを移動可能な位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置などにおいては、真空や特殊ガス雰囲気に維持したプロセス室内で、ワークをステージに載置して移動させて加工処理することが行われている。ここで、プロセス室内に位置決め装置を設けると、その可動部に補給する潤滑剤などが飛散してプロセス室内を汚染するおそれがある。
【０００３】
このような問題に対して、たとえば特許文献１には、差動排気シールを用いた位置決め装置が開示されている。かかる従来技術においては、真空に曝されるプロセス室内に連通する開口を有する案内面を備えた筐体と、案内面に対して所定の隙間を介して対向した状態で、少なくとも一方向に移動可能に設けられた移動ブロックと、開口を囲むようにして、筐体と移動ブロックとの間に設けられ、プロセス室内と、プロセス室内よりも高圧のプロセス室外との間をシールする差動排気シールとを備えたものである。差動排気シールは、筐体と移動ブロックとの間に生じた微小スキマ内の空気を吸引することで、開口を介してプロセス室内の雰囲気を維持するものである。
【特許文献１】
特開２００３−１７５４６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の位置決め装置は頑丈な定盤上に設置されるが、真空に耐え得るよう筐体を剛性の高いものとしているため位置決め装置全体が２０００ｋｇ以上の重量物となっており、また位置決め装置の動作時に重心移動なども生じることから、それらに応じて定盤が微小に変形するという問題がある。定盤が微小に変形すると、筐体と移動ブロックとの間の微小スキマが変化し、それにより差動排気シールの性能が変化したり、筐体と移動ブロックとが直接接触し互いの相対移動を妨げたりする恐れがある。これに対し、より剛性の高い定盤を用いることも考えられるが、設置場所を制限されたり設置コストが増大するという問題がある。又、メンテナンスなどの場合に、前記筐体に対して前記移動ブロックを離隔させる場合もあるが、従来技術においては、前記筐体に連結された配管を含む大がかりな分解作業を必要としていた。
【０００５】
そこで本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み、定盤の変形に関わらず、本来の機能を発揮でき、またメンテナンス容易性を確保できる位置決め装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明の位置決め装置は、
開口を有し、外部と異なる環境に維持されるプロセス室を有する筐体と、
前記プロセス室内に配置されたテーブルと、
前記テーブルに連結され、前記開口を介して外部へと延在する連結部と、
前記プロセス室外で前記連結部に接続される移動部と、
前記移動部を移動自在に支持するベースと、
前記筐体と前記移動部との間に配置された差動排気シールと、
前記ベースと前記筐体とを相対変位可能に支持する調整支持機構とを有することを特徴とする。
【０００７】
【作用】
本発明の位置決め装置は、開口を有し、外部と異なる環境に維持されるプロセス室を有する筐体と、前記プロセス室内に配置されたテーブルと、前記テーブルに連結され、前記開口を介して外部へと延在する連結部と、前記プロセス室外で前記連結部に接続される移動部と、前記移動部を移動自在に支持するベースと、前記筐体と前記移動部との間に配置された差動排気シールと、前記ベースと前記筐体とを相対変位可能に支持する調整支持機構とを有するので、前記筐体を定盤上に設置した際に、自重等により変形した場合でも、前記調整支持機構が、前記ベースと前記筐体との間隔を一定に保つように相対変位を行わせるので、両者の不測の接触を防止し、前記差動排気シールの性能を最良に維持できる。又、メンテナンス等の場合には、前記ベースを前記筐体より大きく遠ざけることで、作業性が高まる。
【０００８】
更に、前記筐体は定盤上に載置され、前記ベースは前記調整支持機構を介して前記定盤上に載置されていると好ましい。前記ベースには前記筐体の重量が付与されないので、極めて変形が少なくなり、例えば前記ベースにて前記移動部を支持する対向ブロックを支える場合、この対向ブロックの変形を抑えることができる。
【０００９】
更に、前記ベースは、前記調整支持機構の支持部により３点以上で支持されていると、安定支持が可能となるので好ましい。
【００１０】
更に、前記調整支持機構は、前記ベースと前記筐体とを第１の量で相対的に変位させる第１調整部と、前記第１の量より小さな量で相対的に変位させる第２調整部とを有すると、メンテナンス時には前記第１調整部を動作させることで、短時間で効率的なメンテナンスを行え、前記ベースと前記筐体のスキマの微調整時には前記第２調整部を動作させると、精度の良い調整を行うことができる。
【００１１】
更に、前記調整支持機構は、液圧式の駆動源を有すると好ましい。
【００１２】
更に、前記調整支持機構は、電気式の駆動源を有すると好ましい。
【００１３】
更に、前記調整支持機構は、非通電時に前記ベースと前記筐体との相対変位を抑える抑制手段を有すると、省エネを図りつつ相対変位を抑制できる。
【００１４】
更に、前記筐体は、第１の開口を有し、プロセス室を内包するプロセス室筐体と、第２の開口を有し、前記プロセス室筐体と前記移動部との間に配置されたシール板とからなり、前記連結部は、前記第１の開口と前記第２の開口とを貫通しており、前記第１の開口及び前記第２の開口を囲うようにして、前記プロセス室筐体と前記シール板との間にＯリング又はベローズが配置されていると、前記プロセス室内の雰囲気を維持できる。
【００１５】
ここで、差動排気シールとは、例えば対向する２面間の微小な間隙にある気体を排気することにより、非接触の状態で、対向面を挟む両側の雰囲気（例えば大気圧と高真空）を一定の状態に保つように機能するものをいう。以下に述べる実施の形態においては、排気面を有する部材を差動排気シールという。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。図１は、第１の実施の形態にかかる位置決め装置１１０の正面断面図であり、密閉されている筐体の上部を省略し且つ差動排気シール及び静圧軸受に関しては簡略化して示している。図２は、図１の位置決め装置１１０をＩＩ−ＩＩ線で切断して矢印方向に見た図である。図３は、図２の位置決め装置１１０をＩＩＩ−ＩＩＩ線で切断して矢印方向に見た図である。図４〜６は、それぞれ図２の位置決め装置１１０をＩＶ−ＩＶ、Ｖ−Ｖ、ＶＩ−ＶＩ線で切断して矢印方向に見た図である。
【００１７】
図１に示すように、本実施の形態の位置決め装置１１０は、プロセス室Ｐを含む且つプロセス室Ｐとその外部とを連通する開口１２０ａを有するプロセス室筐体１２０と、プロセス室筐体１２０の開口１２０ａに対向して配置された移動ブロック１３０と、プロセス室筐体１２０と移動ブロック（移動部）１３０との間に挟まれた中間ブロック（シール板）１７０と、移動ブロック１３０を挟んでプロセス室筐体１２０（或いは中間ブロック１７０）の反対側に配置された対向ブロック１４０と、セラミックなどの軽量且つ高剛性なサブ定盤（ベース）１０３と、定盤１０１上に載置され、サブ定盤１０３を変位自在に支持する３個の調整支持機構１９０とから構成されている。プロセス室Ｐは、不図示の配管を介して外部ポンプにより吸引され負圧となっている。プロセス室筐体１２０は、定盤１０１に対し４本の支持脚１０２により支持されている。プロセス室筐体１２０と中間ブロック１７０とで筐体を構成する。
【００１８】
図１，図４〜６で、移動ブロック１３０の両側の上面は、中間ブロック１７０に対して所定の隙間を介して、静圧軸受１８１（その下面が第１の案内面）で支持され、移動ブロック１３０の両側の下面は、対向ブロック１４０に対して所定の隙間を介して、静圧軸受１８２（その上面が第２の案内面）で支持され、移動ブロック１３０の両側面は、軸受ブロック１８３，１８４に設けられた静圧軸受１８５で支持されている。従って、移動ブロック１３０は、図１において紙面に垂直方向に（図２においては上下方向に）移動可能となっている。尚、本実施の形態では、静圧軸受１８１，１８２，１８５は、それぞれ略円筒形の多孔質グラファイトでなるもので、その軸受面が、中間ブロック１７０、筐体１４０、或いは軸受ブロック１８３，１８４と面一となるように固定されており、不図示のエア供給路を介してエアが供給されるようになっている。静圧軸受１８１に隣接し且つその内側における移動ブロック１３０の上面と、中間ブロック１７０との間は、第１の差動排気シール１５０で密封され、静圧軸受１８２に隣接し且つその内側における移動ブロック１３０の下面と、対向ブロック１４０との間は、第２の差動排気シール１６０により密封されている。静圧軸受１８１，１８２，１８５は、静圧ポンプ（不図示）から圧送された空気により、対向する面を非接触に支持することができる。一方、差動排気シール１５０，１６０は、負圧ポンプ（不図示）に吸引されることで負圧となっている。更に、静圧軸受１８１と第１の差動排気シール１５０との間の環状空間１５４（詳細は後述）と、静圧軸受１８２と第２の差動排気シール１６０との間の環状空間１６４（詳細は後述）とは、大気圧に維持されるようになっている。
【００１９】
定盤１０１上に支持脚１０２により支持された筐体１２０は、その下壁１２０ｃに、長孔状の開口（第１の開口）１２０ａを形成している。図１で、筐体１２０の下壁１２０ｃの下面には、長円形状の浅い座繰り部１２０ｄが形成されている。下壁１２０ｃに対向する中間ブロック１７０の上面には、座繰り部１２０ｄの周囲に沿って溝部１７０ａが形成されている。溝部１７０ａ内には、変形吸収手段としてのＯ−リング１７１が配置されている。Ｏ−リング１７１は、筐体１２０の下壁１２０ｃの下面に当接し、中間ブロック１７０との間を密封するようになっている。尚、図１に明示されていないが、溝部１７０ａの外側の周囲においても、筐体１２０の下壁１２０ｃの下面と、中間ブロック１７０の上面との間には、隙間が設けられている。この外側の周囲の隙間は、０．１ｍｍ程度のものであるが、これにより中間ブロック１７０の上面と、下壁１２０ｃの下面との非接触状態が保たれる。
【００２０】
中間ブロック１７０の中央には長円の開口（第２の開口）１７０ｂが形成されている。かかる開口１７０ｂ及びプロセス室筐体１２０の開口１２０ａを貫通するようにして、連結部である軸１３１が延在している。プロセス室Ｐ内に設けられたテーブル１０５を支持する軸１３１は、移動ブロック１３０の上面に取り付けられて一体となっている。対向ブロック１４０と移動ブロック１３０と第２の差動排気シール１６０とで、減圧室Ｒが形成されている。軸１３１内を貫通する通路１３２は、プロセス室筐体１２０内のプロセス室Ｐと、減圧室Ｒとを連通している。減圧室Ｒが移動ブロック１３０の下面と対向している部分が、開口１４０ａとなっている。尚、移動ブロック１３０は、不図示の駆動部に、連結部１３３（図２）を介して連結されている。駆動部としては、例えばモータとボールねじ等の送りねじとの組み合わせ、モータとベルト及びプーリとの組み合わせ、或いはリニアモータ等を用いることができる。又、静圧軸受１８５の代わりに或いはそれに加えて、対向ブロック１４０に対して移動ブロック１３０を駆動することができる超音波モータ（不図示）を設けることで、駆動部及び連結部１３３を省略することもできる。又、連結部１３３を設ける代わりに、移動ブロック１３０の長手方向端部に、連結部を設け、これを介して駆動部を連結するようにしても良い。この場合、移動ブロック１３０の短手方向の開口は遮蔽すると好ましい。
【００２１】
差動排気シール１５０は、溝１５１，１５２，１５３と，連通孔１５５，１５６，１５７と、排気孔１５９とから構成される。図２において、中間ブロック１７０の長孔１７０ｂの周囲に沿って、４本の溝１５１〜１５４がトラック状に延在している。そのうち溝１５４は、接線方向両側に延び中間ブロック１７０の両端面で大気に開放している。図２，５、６に示すように、溝１５１〜１５３の溝底から、中間ブロック１７０の内部に向かって、それぞれ連通孔１５５〜１５７が形成され、図４〜６に示すごとく中間ブロック１７０の内部を長手方向に延在する６本の排気孔１５９に連通している。排気孔１５９は、両端が中間ブロック１７０の外部へと抜けており、それぞれ不図示の吸引ポンプに接続されているが、図４〜６に示すように、中間ブロック１７０の内部に向かうに連れ（すなわち開口１７０ｂ寄りのものほど）太くなる径を有していると好ましい。
【００２２】
移動ブロック１３０を挟んで差動排気シール１５０に対向して配置され、同様な構成を有する差動排気シール１６０は、溝１６１，１６２，１６３と，連通孔１６５，１６６，１６７と、排気孔１６９とから構成される。対向ブロック１４０の上面に形成された長円状の減圧室Ｒの周囲に沿って、４本の溝１６１〜１６４がトラック状に延在している。そのうち溝１６４（前記環状空間）は、接線方向両側に延び対向ブロック１４０の両端面で大気に開放している。図５又は６に示すように、溝１６１〜１６３の溝底から、対向ブロック１４０の内部に向かって、それぞれ連通孔１６５〜１６７が形成され、図４〜６に示すごとく対向ブロック１４０の内部を長手方向に延在する６本の排気孔１６９に連通している。排気孔１６９は、両端が対向ブロック１４０の外部へと抜けており、それぞれ不図示の吸引ポンプに接続されているが、図４〜６に示すように、対向ブロック１４０の内部に向かうに連れ（すなわち減圧室Ｒ寄りのものほど）太くなる径を有していると好ましい。
【００２３】
各調整支持機構１９０は、定盤１０１に設置されたシリンダ部１９１と、シリンダ部１９１に嵌入したピストン部１９２ａを有する支持板１９２と、支持板１９２上において図で左右に移動可能に保持された下側楔部１９３と、サブ定盤１０３の下面に固定され、下側楔部１９３に対して斜面同士を当接させた上側楔部１９４と、定盤１０１に下端を植設され、上端は支持板１９２を貫通するボルト１９５と、ボルト１９５に螺合し支持板１９２を固定するためのロックナット１９６とからなる。シリンダ部１９１は、簡略図示された配管を介して外部の液圧駆動源であるポンプＰに接続されている。位置決め装置の動作時には、ロックナット１９６を用いて、支持板１９２をボルト１９５に固定し、サブ定盤１０３が不用意に変位しないようにしている。尚、シリンダ部１９１とピストン部１９２ａとで第１調整部を構成し、下側楔部１９３と上側楔部１９４とで第２調整部を構成する。尚、調整支持機構１９０は３つ以上設けられていても良いが、その場合、下側楔部１９３の移動方向を１点に集中させると望ましい。
【００２４】
次に、本実施の形態に係る位置決め装置１１０の動作について説明する。不図示の駆動源の駆動力は、連結部材１３３を介して移動ブロック１３０に伝達され、それにより軸１３１も一体で移動するので、軸１３１の上端に取り付けられたテーブル１０５に載置されたワーク（不図示）を、プロセス室筐体１２０内で任意の位置に位置決めできる。
【００２５】
ここで、プロセス室筐体１２０の内部が真空であった場合、プロセス室筐体１２０の内外の気圧差が大きくなり、それに応じてプロセス室筐体１２０が微小変形する。より具体的には、開口１２０ａの付近が最も剛性が低いので、図１で開口１２０ａを上方に押し上げるように変形する。本実施の形態においては、プロセス室筐体１２０の下壁１２０ｃの中央部が変形により上方に移動しても、変形吸収手段としてのＯ−リング１７１は、プロセス室筐体１２０の下壁１２０ｃの下面から離隔することがなく、プロセス室筐体１２０と中間ブロック１７０との間の密閉性は維持される。すなわち、予めプロセス室筐体１２０の変形量（かかる変形はプロセス室筐体１２０と中間ブロック１７０との間の微小隙間により保証される）を見込み、常にＯ−リング１７１がプロセス室筐体１２０と中間ブロック１７０との双方に密着した状態を保つように設定されている。つまり、プロセス室Ｐ内が減圧され、プロセス室筐体１２０の下壁１２０ｃがたわみにより上方に変位するにつれ、Ｏ−リング１７１の弾性変形量（つぶれ代）は小さくなってくるが、想定される最大変位量に達しても、Ｏ−リング１７１の弾性変形が完全になくなることがないようにしている。すなわち、プロセス室筐体１２０は、定盤１０１上に支持脚１０２を介して支持されており、一方、中間ブロック１７０，対向ブロック１４０，及び軸受ブロック１８３，１８４よりなる移動ブロック１３０の案内機構も、前記定盤上面を基準にして固定されているので、前記支持脚の高さと中間ブロック１７０の上面の高さの差が、上記の条件を満たすように設定されている。このように、変形吸収手段としてＯ−リング１７１を用いることにより、部品点数が少なくて済む簡単な構成を達成でき、移動ブロック１３０の案内機構を構成する中間ブロック１７０，対向ブロック１４０，及び軸受ブロック１８３，１８４にプロセス室筐体１２０の変形による影響を及ぼすことが回避される。
【００２６】
又、本実施の形態では、対向ブロック１４０の減圧室Ｒが通路１３２を介してプロセス室Ｐに連通しているので、減圧室Ｒの気圧はプロセス室Ｐの気圧に一致する。従って上下面の気圧が釣り合っているので、移動ブロック１３０の中央の変形を抑制できる。更に、本実施の形態では、Ｏ−リング１７１の位置は、差動排気シール１５０と静圧軸受１８２との間（大気に連通する溝１５４）と略一致するため、プロセス室Ｐにつながる中間ブロック１７０の上面の溝１７０ａの内側の範囲が真空になった場合に、中間ブロック１７０の反対側が差動排気シール１５０となることから、中間ブロック１７０の変形を効果的に抑制することができる。すなわち、差動排気シール１５０の部分の中間ブロック１７０と移動ブロック１３０との間の隙間内の気圧は、プロセス室Ｐ内とは同一ではないが、十分これに近いと考えることができる。一方、移動ブロック１３０は、その上下面に差動排気シール１５０，１６０と、静圧軸受１８１，１８２とをバランス良く対向させているため、それらから受ける力が釣り合って、すなわち上下面の気圧差が全くないので、それに起因する曲げ変形も全くないこととなる。これらにより、中間ブロック１７０の下面と移動ブロック１３０の上面との間隔は略初期状態に維持されるので、差動排気シール１５０及び静圧軸受１８１の機能を損なうことがなく、移動ブロック１３０の下面と対向ブロック１４０の上面との間隔も略初期状態に維持されるので、差動排気シール１６０及び静圧軸受１８２の機能を損なうことがない。又、プロセス室Ｐの内部と外部（大気圧下）との差圧に起因する軸受に対する負荷がないので、前記差圧が変動しても軸受に対する負荷は変動することはない。
【００２７】
ところで、定盤１０１上における荷重分布は一様ではなく、また定盤剛性に応じてその変形モードが決まってしまうので、支持脚１０２の変位量もそれに応じて変化する。しかるに、差動排気シール１５０，１６０が最適に動作するスキマ量は、５〜１０μｍ程度であるので、円滑な動作を確保するためには、定盤１０１の変形を考慮することが望ましい。
【００２８】
そこで、本実施の形態においては、例えば中間ブロック１７０と移動ブロック１３０とのスキマが不適切になった場合、以下のようにして微調整を行うことができる。
【００２９】
図７は、図１の構成における調整支持機構の一部をより詳細に示す図である。図７において、下側楔部１９３は、シリンダ部１９２の上面に設けられた支持部１９２ｂに螺合してなるボルト１９７に連結されている。従って、このボルト１９７を支持部１９２ｂに対してねじ込んだり緩めたりすることで、下側楔部１９３を上側楔部１９４に対して当接斜面を摺動させるように移動させることができるので、上側楔部１９４は、下側楔部１９３の斜面により押し上げられ或いは下降し、例えばミクロン単位で変位量を微調整しつつサブ定盤１０３を上下に変位させることができる。適切な位置までボルト１９７を回転させた後は、ロックナット１９８を用いて支持部１０１ａに固定することで、ボルト１９７及び下側楔部１９３は固定されることとなる。尚、ボルト１９７の回転は、不図示のアクチュエータを用いて行っても良い。
【００３０】
メンテナンス時等においては、ロックナット１９６を緩めることで、ボルト１９５に対して支持板１９２が変位自在となる。ここで、ポンプＰまでの配管に設けられたバルブ（不図示）を開放すると、シリンダ１９１内の液圧が低下するので、サブ定盤１０３等の自重により、ピストン部１９２ａがシリンダ部１９１に対して押し込まれ、それによりサブ定盤１０３，対向ブロック１４０，移動ブロック１３０を下降させることができる。この場合の変位量は、楔部１９３，１９４の調整量より大きな量であり、例えば２００ｍｍ以上となるので、メンテナンス作業性を向上させることができる。
【００３１】
図８は、第２の実施の形態を示す図１と同様な正面断面図であり、図９は、図８の構成をＩＸ−ＩＸ線で切断して矢印方向に見た図である。図１０は、図８の構成のＸ部を拡大して示す図である。本実施の形態に関しては、図１〜６の実施の形態に対し異なる点のみ説明し、共通する構成については同じ符号を付すことで説明を省略する。
【００３２】
図８においては、３つの調整支持機構２９０でサブ定盤１０３を支持している。サブ定盤１０３上には、一対の対向ブロック１４０と、移動ブロック１３０と、中間ブロック１７０とが配置され、各移動ブロック１３０から延在する軸１３１の上端は、単一のテーブル１０５に接続されている。単一のテーブル１０５上には一対のリニアガイド２０６に支持されたサブテーブル２０５が図８で左右方向に移動自在に支持されている。尚、本実施の形態における差動排気シール及び静圧軸受の構成及び作用は、図１〜６に示す実施の形態と同様である。
【００３３】
本実施の形態において、図８，９に示すように、いずれも同じ構成の調整支持機構２９０は、３個配置されており、各々がハウジング２９１と、ハウジング２９１内に配置されサブ定盤１０３を支持する上側楔部２９４と、これに対向してハウジング２９１内に設けられ図９で左右方向に移動自在な下側楔部２９３と、下側楔部２９３を駆動する油圧シリンダ（モータとボールねじ機構からなるリニアアクチュエータでも良い）２９２とから構成されている。油圧シリンダ２９２が下側楔部２９３を駆動することで、下側楔部２９３（点線で示す）が上側楔部２９４に対して当接斜面を摺動させるように移動し、上側楔部２９４（点線で示す）は、下側楔部２９３の斜面により押し上げられ或いは下降し、例えばミクロン単位で変位量を微調整しつつサブ定盤１０３を上下に変位させることができる。
【００３４】
本実施の形態においては、プロセス室筐体１２０の下面と中間ブロック１７０の上面とは、金属製のベローズ２７１を用いて連結されている。より具体的には、図１０において、プロセス室筐体１２０の下壁１２０ｃには、軸１３１を包囲し且つＯリング２２３で気密した上で上部シール部材２２１を固定し、中間ブロック１７０の上面にも、軸１３１を包囲し且つＯリング２２３で気密した上で下部シール部材２２２を固定し、上部シール部材２２１と下部シール部材２２２とをベローズ２７１で連結している。
【００３５】
Ｏリングにより、プロセス室筐体１２０の下面と中間ブロック１７０の上面との気密性を確保した場合、経時劣化によるＯリングのヘタリなどで気密機能が低下する恐れがある。このような気密機能の低下は、Ｏリング近傍にヘリウムガスなどを吹き付けた後、真空のプロセス室Ｐ内にヘリウムガスが存在するかどうかで確認できるが、作業の手間がかかる。本実施の形態によれば、耐久性のある金属製ベローズ２７１を用いることで、長期間にわたって気密性を確保できる。又、金属製べローズ２７１は、Ｏリングに比べて寸法誤差に対する許容度が高いという利点も有する。例えば、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、調整支持機構２９０を動作させた結果、サブ定盤１０３の上下位置が範囲δで変化した場合でも、これに追従することで気密性を維持できる。更に、金属べローズ２７１にバネ性を持たせれば、金属製の厚い板であるため比較的重量のある中間ブロック１７０の中央を上方に付勢する力を与えることができ、それにより中間ブロック１７０と移動ブロック１３０との間の差動排気シールのスキマを適切に維持できるため、位置決め装置１２０の動作の円滑化を確保できる。
【００３６】
尚、プロセス室筐体２２０は、その上部１２０ｆと下壁１２０ｃとがボルト１２０Ａ、１２０Ｂにより連結されおり、メンテナンス時あるいはワーク交換時などにサブ定盤１０３を下降させる際には、ボルト１２０Ａ、１２０Ｂを緩めることで、プロセス室筐体１２０の上部１２０ｆと下壁１２０ｃとを分離できるようになっている。尚、ボルト１２０Ｂは、プロセス室筐体１２０の頂面に設けられた密封蓋（不図示）を緩めて、ここから工具を差し込むことで締緩動作が可能となる。
【００３７】
図１１は、第３の実施の形態を示す図８と同様な正面断面図であり、図１２は、図１１の構成をＸＩＩ−ＸＩＩ線で切断して矢印方向に見た図である。本実施の形態に関しては、図８〜１０の実施の形態に対し異なる点のみ説明し、共通する構成については同じ符号を付すことで説明を省略する。
【００３８】
図８においては、３つの調整支持機構３９０でサブ定盤１０３を支持している。いずれも同じ構成の調整支持機構３９０は、２つと１つを対向させるように配置されており、各々がサブ定盤１０３に配置された支持板３９１と、支持板３９１に取り付けられ角ねじ３９２ａを回転させるサーボモータ３９２と、図で上限方向に延在する一対のリニアガイド３９３と、リニアガイド３９３に支持され対向ブロック１４０の下面に取り付けられ移動部３９４とからなる。移動部３９４は、角ねじ３９２ａに螺合するナット３９４ａを有している。
【００３９】
本実施の形態によれば、サーボモータ３９２が角ねじ３９２ａを回転させることで、ナット３９４ａが図で上下方向に移動し、それにより例えばミクロン単位で変位量を微調整しつつサブ定盤１０３を上下に変位させることができる。更に、本実施の形態によれば、ねじ溝のリードを調整することで、抑制手段を構成する角ねじ３９２ａとナット３９４ａとの間に作用する摩擦力で対向ブロック１４０等の自重を支持できるため、サーボモータ３９２への給電を停止しても、対向ブロック１４０が急激に下降することを阻止することができ、省エネを図れる。
【００４０】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、差動排気シール１５０の溝部１５１，１５２、１５３及び差動排気シール１６０の溝部１６１，１６２、１６３は、３列にしたが、これに限定されず、吸引ポンプの性能、プロセス室内外の差圧の大きさ、等に応じ、２列あるいは４列以上としても良い。また、プロセス室筐体１２０と、中間ブロック１７０との隙間の大きさも、吸引ポンプ等の性能との兼ね合いで決まるもので、数μｍから数１００μｍまで適宜選択可能である。さらに、軸受としては、リニアガイドや静圧軸受に限らず、例えばクロスローラガイド等、他の転がり軸受など各種の軸受を用いることができる。又、複数の調整支持機構の各々の調整量を異ならせ、局部的な変形に対向させることも可能である。
【００４１】
【発明の効果】
本発明の位置決め装置は、開口を有し、外部と異なる環境に維持されるプロセス室を有する筐体と、前記プロセス室内に配置されたテーブルと、前記テーブルに連結され、前記開口を介して外部へと延在する連結部と、前記プロセス室外で前記連結部に接続される移動部と、前記移動部を移動自在に支持するベースと、前記筐体と前記移動部との間に配置された差動排気シールと、前記ベースと前記筐体とを相対変位可能に支持する調整支持機構とを有するので、前記筐体を定盤上に設置した際に、自重等により変形した場合でも、前記調整支持機構が、前記ベースと前記筐体との間隔を一定に保つように相対変位を行わせるので、両者の不測の接触を防止し、前記差動排気シールの性能を最良に維持できる。又、メンテナンス等の場合には、前記ベースを前記筐体より大きく遠ざけることで、作業性が高まる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態にかかる位置決め装置１１０の正面断面図である。
【図２】図１の位置決め装置１１０を矢印ＩＩ−ＩＩで切断して矢印方向に見た図である。
【図３】図２の位置決め装置１１０を矢印ＩＩＩ−ＩＩＩで切断して矢印方向に見た図である。
【図４】図２の位置決め装置１１０をＩＶ−ＩＶ線で切断して矢印方向に見た図である。
【図５】図２の位置決め装置１１０をＶ−Ｖ線で切断して矢印方向に図である。
【図６】図２の位置決め装置１１０をＶＩ−ＶＩ線で切断して矢印方向に見た図である。
【図７】本実施の形態にかかる変形例の正面断面図である。
【図８】第２の実施の形態を示す図１と同様な正面断面図である。
【図９】図８の構成をＩＸ−ＩＸ線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１０】図８の構成のＸ部を拡大して示す図である。
【図１１】第３の実施の形態を示す図８と同様な正面断面図である。
【図１２】図１１の構成をＸＩＩ−ＸＩＩ線で切断して矢印方向に見た図である。
【符号の説明】
１１０  位置決め装置
１２０  プロセス室筐体
１３０  移動ブロック
１４０  対向ブロック
１７０  中間ブロック
１５０，１６０  差動排気シール
１９０，２９０，３９０  調整支持機構
Ｐ  プロセス室
Ｒ  減圧室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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