(57)【要約】【課題】摩耗を低減でき、耐久性を向上できる圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】圧電素子を備えた振動体５の凸部２０に円錐状の突起２１を設ける。一方、ロータ４の外周にはショットピーニング等によって形成された凹凸部１５を設ける。振動体５に交流電圧を印加すると、突起２１は楕円軌道を描いて振動する。楕円軌道の一部において、突起２１はロータ４の凹凸部１５に係合し、ロータ４をロータの周方向に押すようにして回転させる。これを繰り返してロータ４を回転させる。ロータ４を凹凸部１５の係合によって駆動するので、摩擦力を低減でき、摩耗が軽減され、耐久性を向上させることができる。【選択図】　図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子の変形で振動する振動体と、前記振動体の振動によって駆動される被駆動体とを備えた圧電アクチュエータであって、前記振動体には、前記被駆動体側に向かって突出した突起が設けられ、前記被駆動体には、前記突起に向かって凹凸部が設けられ、前記突起が、前記凹凸部に係合して前記被駆動体を駆動させることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記被駆動体の凹凸部は、ショットピーニングにより形成されたくぼみで構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記被駆動体の凹凸部は、前記突起の略振動振幅の間隔で等間隔に形成された歯形状部で構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記振動体の前記突起は、複数設けられて凹凸部を形成しており、前記振動体および前記被駆動体のそれぞれの凹凸部は、前記突起の略振動振幅の間隔で等間隔に形成された歯形状部で構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記振動体の前記突起および前記被駆動体の前記凹凸部の少なくとも互いの係合部分は、インボリュート曲線からなることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記突起および前記被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、カーボンナノチューブを含んだ樹脂で構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記突起および前記被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、シリコンウェハで構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項８】
請求項７に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記突起および前記被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、シリコンウェハが複数枚積層されて構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項９】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記突起および前記被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、エッチングにより形成されたステンレス鋼で構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記突起および前記被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、転造によって製造されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記突起と前記被駆動体との係合部分には潤滑剤が介装されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１１に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記潤滑剤は、油および固体潤滑剤のいずれかであることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記振動体は、略矩形板状の前記圧電素子と、この圧電素子に接合されるとともに前記突起が形成された振動板とを備え、前記圧電素子の長辺の長さを１とすると短辺の長さは０．２７４以上であり、かつ、前記圧電素子の長手方向に伸縮する縦振動と、前記圧電素子の平面中心に対して点対称に、前記縦振動に直交する方向に屈曲する屈曲振動とにおいて、前記縦振動の共振周波数に対する前記屈曲振動の共振周波数の比が１．００より大きく１．０３以下となるように設定されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１から請求項１３のいずれかに記載の圧電アクチュエータを備えた動力伝達装置。
【請求項１５】
請求項１から請求項１３のいずれかに記載の圧電アクチュエータを備えた液体吐出装置。
【請求項１６】
請求項１から請求項１３のいずれかに記載の圧電アクチュエータを備えた時計。
【請求項１７】
請求項１６に記載の時計において、前記圧電アクチュエータによって駆動される日付表示機構を備えていることを特徴とする時計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電素子を用いて被駆動体を駆動する圧電アクチュエータ、これを備えた動力伝達装置、液体吐出装置、および時計に関する。より詳しくは、圧電素子の変形振動によって被駆動体を駆動する圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えた動力伝達装置、液体吐出装置および時計に関する。
【０００２】
【背景技術】
近年、圧電素子を用いて駆動する圧電アクチュエータが知られている。これは、圧電素子を備えた振動板に交流電圧を印加して振動板を変形振動させ、この振動によって例えば回転運動を得たい場合であれば、振動でロータを回転させるものである。このような圧電アクチュエータにおいては、振動板の振動をロータに伝達する際には、振動板をロータに押し付けて、振動板とロータとの摩擦力によって回転させる。そのため、振動板とロータとの摩擦力を適切に保持できるように、振動板には押圧ばねが一体的に形成されている。この押圧ばねの付勢力によって振動板をロータに押し付けて、必要な摩擦力を発生させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような圧電アクチュエータでは、摩擦力によってロータを駆動しているため、比較的高い摩擦力を必要とする。そのため、例えば両者の摩擦係数が高くなるような材料を選択したり（例えば特許文献１）、ロータの外周の表面粗さを調節して摩擦係数を高めるなどの工夫がなされている。しかしながら、いずれにしてもロータを振動板との摩擦力によって回転させているため、両者の摩耗が発生してしまう。よって、このような圧電アクチュエータの長寿命化が図れず、耐久性の向上が望まれている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−３５４３８５号公報（第３頁）
【０００５】
本発明の目的は、振動の動力を伝達する際の摩擦力を軽減し、耐久性の向上を図ることができる圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えた動力伝達装置、液体吐出装置および時計を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧電アクチュエータは、圧電素子の変形で振動する振動体と、振動体の振動によって駆動される被駆動体とを備えた圧電アクチュエータであって、振動体には、被駆動体側に向かって突出した突起が設けられ、被駆動体には、突起に向かって凹凸部が設けられ、突起が、凹凸部に係合して被駆動体を駆動させることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、振動体には突起が設けられ、また、被駆動体には凹凸部が形成されているので、突起が振動する際には、突起が被駆動体の凹凸部に係合して、この凹凸部を被駆動体の移動方向に押すようにして動力を伝達する。したがって、突起を被駆動体に押し付けて高い摩擦力を得る必要がないので、突起と被駆動体との間の摩擦力が低減される。また、これにより摩耗が軽減され、圧電アクチュエータの耐久性が向上する。
【０００８】
本発明では、被駆動体の凹凸部は、ショットピーニングにより形成されたくぼみで構成されていることが望ましい。
この発明によれば、被駆動体の凹凸部をショットピーニングにより形成するので、凹凸部の形成が簡単かつ安価に実現される。また、ショットピーニングを施されることにより凹凸部の硬度が増すので、より一層耐久性が向上する。
【０００９】
本発明では、被駆動体の凹凸部は、突起の略振動振幅の間隔で等間隔に形成された歯形状部で構成されていることが望ましい。
この発明によれば、被駆動体の凹凸部が突起の振動振幅程度の間隔の歯形状部となっているので、突起が振動するごとに歯形状部に確実に係合する。よって、突起と被駆動体とのすべりがほとんど生じず、動力の伝達効率が良好となる。これは、位置決め精度が要求される機器に搭載する場合に特に有用である。また、この際には、突起の振動の周波数がわかれば、凹凸部の間隔、歯形状部の数などから突起の一回の振動における被駆動体の移動量が決定される。よって、被駆動体の移動量を検出したい場合でも、移動量検出手段を別途設ける必要がなく、構造が簡単になる。
【００１０】
本発明では、振動体の突起は、複数設けられて凹凸部を形成しており、振動体および被駆動体のそれぞれの凹凸部は、突起の略振動振幅の間隔で等間隔に形成された歯形状部で構成されていることが望ましい。
この発明によれば、振動体および被駆動体の両方に突起の振動振幅程度の間隔の歯形状部を形成しているので、振動体および被駆動体は複数の歯形状部において噛合するように係合する。したがって、例えば歯車同士の噛合でいうところの噛合率が１以上の噛合の場合と同様に、振動体からの駆動力が複数の歯形状部に分散されて伝達され、一歯当たりの歯面に働く応力が低減される。また、振動体および被駆動体のそれぞれの凹凸部が等間隔の歯形状部で構成されているので、一方が他方に確実に噛合し、すべりがほとんど生じないので、動力伝達効率が良好となる。
【００１１】
本発明では、振動体の突起および被駆動体の凹凸部の少なくとも互いの係合部分は、インボリュート曲線からなることが望ましい。
この発明によれば、突起および被駆動体の凹凸部の係合部分がインボリュート曲線からなるので、動力伝達の際力の働く方向が一定になり、動力が効率よく伝達される。また、互いの係合部分がインボリュート曲線からなるので、振動体や被駆動体の取り付け位置の誤差の影響を受けにくく、動力が良好に伝達される。
【００１２】
本発明では、突起および被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、カーボンナノチューブを含んだ樹脂で構成されていることが望ましい。
この発明によれば、凹凸部がカーボンナノチューブを含んで構成されているので、高強度に構成され、耐久性が向上する。また、例えば集束イオンビーム（ＦＩＢ）などのナノテクノロジーを用いれば、高精度な凹凸部が容易に形成される。したがって、突起の振動振幅程度の間隔で精度よく凹凸部を形成することも容易である。
【００１３】
本発明では、突起および被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、シリコンウェハで構成されていることが望ましい。
この発明によれば、凹凸部がシリコンウェハで構成されているので、当該部分が高硬度となり、圧電アクチュエータの耐久性が向上する。また、例えば凹凸部をエッチングなどによって加工すれば凹凸部の形状加工が容易かつ高精度に可能となる。
【００１４】
本発明では、突起および被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、シリコンウェハが複数枚積層されて構成されていることが望ましい。
この発明によれば、少なくとも一方がシリコンウェハを複数枚積層して形成しているので、例えば突起および被駆動体を異なる厚さで構成することが可能となる。これにより、被駆動体が移動方向に直交する方向にずれた時にも係合が外れることなく良好に係合する。よって、圧電アクチュエータ自体の形状公差を緩和でき、構造の自由度が増す。また、突起および被駆動体の少なくとも一方を同じ厚さのシリコンウェハから製造しても、複数枚積層すれば所望の厚さを得ることが可能となる。この場合には、二つの部品を一つのマスクに設計して、一枚のシリコンウェハから同時に製造すればよいので、製造工程が簡略化される。
【００１５】
本発明では、突起および被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、エッチングにより形成されたステンレス鋼で構成されていることが望ましい。この発明によれば、少なくとも凹凸部が形成されている部材がエッチングによって形成されているので、高精度な加工が可能となる。また、その部材がステンレス鋼で構成されているので、防錆においても優れている。特に、ＳＵＳ４２０Ｊ２などのマルテンサイト系ステンレス鋼では、熱処理による硬度調節で高い強度を得ることが可能なので、耐久性に優れている。
【００１６】
本発明では、突起および被駆動体の少なくとも凹凸部が形成されている一方は、転造によって製造されていることが望ましい。
この発明によれば、少なくとも凹凸部が形成されている部材が転造によって形成されているので、金属や樹脂などの様々な材料が使用可能となり、適用範囲が広がる。また、集束イオンビーム（ＦＩＢ）などを利用すれば高精度な転造型の作成が可能なので、高精度な凹凸部を有する突起や被駆動体が量産可能となる。
【００１７】
本発明では、突起と被駆動体との係合部分には潤滑剤が介装されていることが望ましい。
従来の圧電アクチュエータでは、摩擦力によって突起の振動を被駆動体に伝達していた。このため、油などの潤滑剤を使用すると摩擦力が低減してしまうので、塗布する潤滑剤が限られていた。この発明によれば、突起が被駆動体の凹凸部に係合することにより動力を伝達するため、使用できる潤滑剤が限定されず、潤滑剤の選択範囲が広がる。
【００１８】
本発明では、潤滑剤は油および固体潤滑剤のいずれかであることが望ましい。この発明によれば、例えば潤滑剤として油を使用する場合では、応力や摺動速度などの使用条件に適した油が選択可能である。また、注油量の調節が容易である。
一方、潤滑剤として固体潤滑剤を使用する場合には、油のようにゴミや毛羽が突起および被駆動体に付着することがない。よって、油の劣化を防いで突起と被駆動対とが良好に係合する。ここで、固体潤滑剤としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などが採用できる。
【００１９】
本発明では、振動体は、略矩形板状の圧電素子と、この圧電素子に接合されるとともに突起が形成された振動板とを備え、圧電素子の長辺の長さを１とすると短辺の長さは０．２７４以上であり、かつ、圧電素子の長手方向に伸縮する縦振動と、圧電素子の平面中心に対して点対称に、縦振動に直交する方向に屈曲する屈曲振動とにおいて、縦振動の共振周波数に対する屈曲振動の共振周波数の比が１．００より大きく１．０３以下となるように設定されていることが望ましい。この発明によれば、縦振動および屈曲振動の共振周波数が互いに近接しているので、これらの共振周波数近傍で圧電素子を振動させると、縦振動および屈曲振動が同時に現れ、圧電アクチュエータの突起は圧電素子のほぼ平面内で楕円軌道を描いて振動する。この楕円軌道によって突起は被駆動体を押圧して駆動することが可能となる。この時、圧電素子は、縦振動および屈曲振動のそれぞれの共振点付近で励振されるので、それぞれの振動振幅が大きくなる。従って、突起の楕円軌道の振幅も大きくなり、被駆動体が高効率で駆動される。
【００２０】
ここで、突起が設けられた圧電アクチュエータの短辺が０．２７４よりも小さい場合には、縦振動の共振周波数が屈曲振動の共振周波数よりも大きくなり、突起が良好な楕円軌道を描くことができない。この時、縦振動の共振周波数に対する屈曲振動の共振周波数の比は、１．００以下となる。また、縦振動の共振周波数に対する屈曲振動の共振周波数の比が１．０３より大きい場合には、縦振動の共振点と屈曲振動の共振点とが離れてしまい、両振動の振幅を同時に良好にすることができない。
【００２１】
本発明の動力伝達装置は、以上のいずれかの圧電アクチュエータを備えることを特徴とする。
この発明によれば、以上のような圧電アクチュエータで動力伝達装置を構成すするので、前述のような効果を奏し、高トルクに対しても対応可能である。反対に、同じトルクを獲得するための電圧を小さくすることが可能となるので、高効率化につながる。また、このような動力伝達装置は駆動トルクが比較的大きいので、減速機構の減速比を減らした小さな構造で所望の回転速度を得ることが容易である。
【００２２】
本発明の液体吐出装置は、以上のいずれかの圧電アクチュエータを備えていることを特徴とする。
この発明によれば、前述の圧電アクチュエータは高トルクにも対応可能で、高効率化が促進されるので、液体を吐出するために比較的高いトルクを必要とする液体吐出装置に適用するのに好適である。
【００２３】
本発明の時計は、以上のいずれかの圧電アクチュエータを備えていることを特徴とする。
本発明では、圧電アクチュエータが前述のような効果を奏するので、小型化、薄型化が要求される時計に適用するのに最適である。
【００２４】
本発明では、前述の圧電アクチュエータは時計の日付表示機構に適用されることが望ましい。
この発明によれば、特に、突起や被駆動体に等間隔の凹凸部が形成されている場合では、被駆動体は突起の振動の周波数に比例した量だけ移動するので、日付表示機構が正確に機能する。この際にも、被駆動体の移動量を検出する検出手段を設ける必要がないので、部品点数が減少し、構造が簡単になる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。なお、後述する第二実施形態以降において、以下に説明する第一実施形態での構成部品と同じ部品および同様な機能を有する部品には同一符号を付し、説明を簡単にあるいは省略する。
【００２６】
〔第一実施形態〕
第一実施形態では、本発明の圧電アクチュエータを液体吐出装置に適用した場合について説明する。
図１は本発明の第一実施形態に係る液体吐出装置１を示す平面図、図２は図１における断面図である。また、以下の説明では、図２中の上側を液体吐出装置１における上側を「上側」、下側を「下側」と言う。
【００２７】
図１に示す液体吐出装置１は、チューブ６が設置される基部２と、基部２に対し回転可能に設置され、ボール７の回転軌跡を規定するリテーナ３（図２）と、リテーナ３の上部に設けられ、ボール７をチューブ６に押圧するためのロータ（被駆動体）４と、ロータ４を回転駆動する振動体５とを有している。
【００２８】
基部２には、平面円形状の溝９が設けられ、また、この溝９に連通して基部２の外部に通じる直線状の溝１０が二本並行に形成されている。なお、溝１０は、溝９のリテーナ３の回転軸を挟んだ位置（１８０度間隔で対向する位置）に連通されている。
溝９の溝１０側でない半円部分および溝１０に沿って、チューブ６が略Ｕ字形に装着されている。すなわち、溝９の溝１０側でない円弧部分と、溝１０とでチューブガイド溝１１が構成されている。チューブガイド溝１１のうちチューブ６に当接する当接面の断面形状はボール７と同心円の円弧形状に形成されている。また、溝９のうちチューブガイド溝１１でない円弧部分は、チューブ６は配置されておらず、ボール７を案内するためのボール案内溝１２となっている。ここで、チューブ６は弾性を有する材料で構成され、例えば、シリコーンゴム等を採用できる。
【００２９】
図２に示されるように、基部２には、溝９の円形中心部分にリテーナ３およびロータ４を支持する軸部１３が嵌めこまれている。リテーナ３およびロータ４は、ボールベアリング１４を介して軸部１３に固定され、これによりリテーナ３およびロータ４は、軸部１３つまり基部２に対して回転可能に支持されている。ボールベアリング１４は、ねじによって軸部１３に固定され、これにより軸方向のずれが防止されている。
なお、図示しないが、基部２の上部には、リテーナ３やロータ４等を覆うカバーが設けられており、基部２とカバーとでリテーナ３やロータ４等を収納するための空間が形成されている。
【００３０】
リテーナ３には、ボール取付孔８が形成されており、チューブ６を上方から圧閉するボール７が３個転動可能に取り付けられている。それぞれのボール７の軸部１３からの距離は等しく、隣り合うボール７間の距離は等間隔（１２０度間隔）となっている。このボール７はチューブ６を圧閉しながらチューブ６上を転動するものである。
【００３１】
ロータ４は、例えば硬度８５０ＨＶのＳＵＳ４４０などのステンレス鋼、焼き入れ鋼、窒化したステンレス鋼、浸炭した炭素鋼、アルミニウム、その他の材料で構成され、円盤状に形成されている。ロータ４の外周面は、振動体５と係合する凹凸部１５となっている。凹凸部１５は、周方向に沿って断面円弧状に形成され、図３に示されるように、表面には微細なディンプル状の凹凸が形成されている。この凹凸は、ショットピーニングによって形成され、例えば直径３０μｍのガラスビーズを１気圧で２０秒間、凹凸部１５に吹き付ける等の条件下で形成される。これにより、凹凸部１５にはロータ４の外周面と垂直な成分を有する凹凸がランダムに形成されるが、全体として凹凸の間隔は所定の間隔になるように設定されている。
【００３２】
図２に戻って、ロータ４の下面にはボール７の上面が当接しており、ボール７はチューブ６の弾性力で上方（ロータ４側）に付勢されながらロータ４で支持されている。つまり、ボール７はロータ４によってチューブ６を押圧している。ここで、ボール７とチューブガイド溝１１の当接面との間隔寸法は、液体吐出量の精度を確保できるようにチューブ６が完全につぶされ、かつチューブ６に過剰な力がかからないように、適宜決定されている。
【００３３】
振動体５は、図１および図２に示されるように、略矩形平板状に形成された補強板１６と、この補強板１６の表裏両面に設けられた略矩形板状の圧電素子１７と、補強板１６を基部２に固定するためのねじ孔が形成された腕部１８とを備える。なお、振動体５およびロータ４を備えて本発明の圧電アクチュエータが構成されている。
【００３４】
補強板１６は、硬度５００ＨＶのＳＵＳ３０１などのステンレス鋼、その他の材料から構成され、略矩形状の長辺と短辺とがほぼ７対２の比で形成されている。補強板１６の対角線上の長さ方向両端には、凸部２０が一体的に形成されている。
凸部２０のうち凹凸部１５側の一方は、先端に円錐状の突起２１を備えており、この突起２１が凹凸部１５に当接されている。この時、突起２１は凹凸部１５に形成された断面円弧状のへこみに係合され、これによりロータ４および突起２１の上下のずれが防止されている。突起２１は先端が半径１μｍ程度の円弧状に形成され、補強板１６の凸部２０にタガネなどにより打ち込まれて固定されている。
ここで、突起２１の材料は、硬度の高い材料であればよく、例えば、ダイヤモンドや、タングステン、焼き入れ鋼、窒化したステンレス鋼、浸炭した炭素鋼、あるいはアルミナ等のセラミックスなどが採用できる。なお、突起２１の材料の硬度は、ロータ４の材料の硬度よりも大きい方が望ましい。
【００３５】
圧電素子１７は、補強板１６の両面の略矩形状部分に接着されている。圧電素子１７の材料は、特に限定されず、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（登録商標））、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。
また、圧電素子１７の両面には、ニッケルおよび金などによる電極１９がめっき、スパッタ、蒸着等の方法で形成されている。これらの電極１９のうち、補強板１６に対向する面の電極１９は補強板１６に導通している。圧電素子１７の補強板１６に対向しない面の電極１９と、補強板１６とは、リード線などによって圧電素子１７に所定電圧を印加する印加装置（図示せず）に接続されている。
【００３６】
圧電素子１７の寸法や厚さなどは、圧電素子１７に繰り返し電圧が印加された時に、圧電素子１７が長手方向に伸縮する、いわゆる縦振動と、縦振動に直交する方向で圧電素子１７の平面中心に対して点対称に屈曲する、いわゆる屈曲振動とが同時に現れるように適宜設定される。この時、縦振動の共振周波数と、屈曲振動の共振周波数は互いに近接するように設定されていることが望ましく、縦振動の共振周波数に対する屈曲振動の共振周波数の比は、１．００より大きく１．０３以下であることが望ましい。また、圧電素子１７の長辺と短辺との長さの比は、長辺の長さを１とすると、短辺の長さが０．２７４以上であることが望ましい。
さらに、圧電素子１７に印加される電圧の周波数は、縦振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数との間、より好ましくは、反共振周波数と屈曲振動の共振周波数との間に設定されている。なお、振動体５に印加される電圧の波形は特に限定されず、例えばサイン波、矩形波、台形波等を採用できる。
【００３７】
腕部１８は、振動体５の長手方向略中央に一体的に形成され、振動体５を片持ちに支持しており、この腕部１８の端部はねじによって基部２に固定されている。この腕部１８は、突起２１と凹凸部１５の係合がはずれない程度の力で、突起２１を凹凸部１５に押し付けている。なお、この押付力は、従来の摩擦によってロータを回転させるものと比べると、はるかに小さいものである。
また、突起２１とロータ４の凹凸部１５との間には、潤滑剤が介装されている。潤滑剤としては、特に限定されず、例えば粘性２．７，油膜強度６１０ｋｇ／ｍｍ２の時計用油ＳＹＮＴＡ−ＶＩＳＣＯ−ＬＵＢＥ（メービス社）などが採用できる。
【００３８】
ここで、凹凸部１５の凹凸の間隔は、振動体５の略振動振幅の間隔に設定されている。振動体５の振動振幅は、圧電素子１７に印加される電圧や周波数によって異なるので、印加電圧や周波数は、ロータ４の寸法や、回転数、トルクの設定などを勘案して良好な振動が得られるように適宜設定される。
【００３９】
このような液体吐出装置１は、次のように動作する。
図４には振動体５の動作を示す模式図が示されており、図４（Ａ）には、振動体５の縦振動が、図４（Ｂ）には屈曲振動が、図４（Ｃ）には突起２１の振動軌跡が示されている。
突起２１が凹凸部１５に当接した状態で、図示しない印加装置により振動体５の圧電素子１７表面の電極１９と補強板１６との間に電圧を繰り返し印加して振動体５を振動させる。すると、圧電素子１７は図４（Ａ）に示されるように、長手方向に伸縮する縦振動を励振する。この時、補強板１６には対角線上両端に凸部２０が形成されているので、振動体５の重量バランスが長手方向に沿った中心線に対して非対称となる。この重量アンバランスにより、圧電素子１７を平面内にねじる力が働き、圧電素子１７は図４（Ｂ）に示されるように、縦振動に直交する方向に、圧電素子１７の平面中心に対して点対称に屈曲する屈曲振動を励振する。
【００４０】
これらの縦振動および屈曲振動が同時に現れることにより、振動体５の突起２１は図４（Ｃ）に示されるように、縦振動と屈曲振動とが組み合わさった楕円軌道を描いて振動する。
図５には、突起２１およびロータ４の拡大図が示されている。この図５に示されるように、突起２１は、楕円軌道の一部で凹凸部１５の凹凸に係合し、凹凸部１５をロータ４の周方向に押すようにしてロータ４を矢印Ｅ方向に間欠回転させる。ここで、突起２１はロータ４の半径方向に対して傾斜して配置されているので、ロータ４を間欠回転させた後、凹凸部１５との係合がはずれる。そして、突起２１は、楕円軌道を描きながら凹凸部１５の次の凹凸に係合する。これにより、突起２１はつねに一方向（Ｅ方向）にのみロータ４を回転させる。突起２１の振動により、繰り返しロータ４を間欠回転させることにより、ロータ４を所定の回転数で回転させる。
【００４１】
図６には、振動体５の振動特性が示されている。この図６において、線図は、駆動周波数に対する圧電素子１７のインピーダンスを示している。この図６に示されるように、本実施形態の振動体５では、圧電素子１７に印加する電圧の周波数に対して、インピーダンスが極小となる点が二点現れる。これらのうち周波数の低い方の一点は、縦振動の振動振幅が最大となる共振点で、この共振点における周波数が縦振動の共振周波数ｆ１となる。一方、周波数の高い方の一点は、屈曲振動の振動振幅が最大となる共振点で、この共振点における周波数が屈曲振動の共振周波数ｆ３となる。また、共振周波数ｆ１，ｆ３の間には、反共振周波数ｆ２が現れる。
この図６からもわかるように、圧電素子１７を縦振動の共振周波数ｆ１と屈曲振動の共振周波数ｆ３との間の周波数で駆動すると、縦振動および屈曲振動の両方の振幅を大きく得られ、ロータ４を高効率で駆動できる。
【００４２】
ここで、圧電素子１７の寸法を、長辺の長さを１とした時に短辺の長さを０．２７４より小さくすると、縦振動の共振周波数ｆ１が屈曲振動の共振周波数ｆ３より大きくなり、突起２１において良好な楕円軌道を得ることができない。この時、縦振動の共振周波数ｆ１に対する屈曲振動の共振周波数ｆ３の比は、１．００以下である。また、両振動の共振周波数ｆ１，ｆ３の比が１．０３よりも大きいと、縦振動の共振点と屈曲振動の共振点とが離れてしまい、両振動の振幅が同時に大きくなる振動周波数を設定することができない。
【００４３】
振動体５の振動によってロータ４が回転すると、ロータ４の回転に伴ってボール７は転がりながら移動する。このボール７の移動に伴いリテーナ３も回転する。ボール７は、ロータ４の回転に伴い、チューブ６上を転動し、チューブ６の圧閉位置を順次移動させる。これにより、チューブ６内の液体は各ボール７で圧閉された部分で区画されながら、その圧閉位置の移動に伴いチューブ６内を移動する。これにより、２つのボール７で圧閉された空間部分つまり所定の容積内に液体が閉じこめられ、液体は容積計量されることになる。
そして、ロータ４の回転方向前方の１つ目のボール７がチューブ６上から外れてチューブ６の圧閉を解除すると、２つのボール７間に閉じこめられていた液体が溝１０に配置されたチューブ６を通して吐出される。
以上の動作の繰り返しにより、チューブ６を通して液体が順次押出される。
【００４４】
なお、単位時間当たりの液体の吐出量は、チューブ６の直径、ボール７やチューブ６円弧部の半径（長さ）、ロータ４の回転速度等により設定される。特に、ロータ４の回転速度は、振動体５の圧電素子１７への周波数や電圧、その他の設定を適宜調整することにより容易に変更可能であるため、ある程度の範囲での吐出量の調整は、振動体５の振動速度つまりロータ４の回転速度で調整すればよい。
【００４５】
このような第一実施形態によれば、次のような効果が得られる。
（１）　ロータ４の凹凸部１５には、凹凸が形成されており、また、振動体５の凸部２０には突起２１が設けられている。ロータ４を回転させる時には、突起２１が凹凸部１５の凹凸に係合して回転する。よって、突起２１を凹凸部１５に押し付けて高い摩擦力を保持する必要がないので、突起２１および凹凸部１５の摩耗を低減できる。したがって、耐久性を向上させることができる。
また、従来の方法では、突起２１と凹凸部１５との滑りによって突起２１の振動がロータ４に伝達されないことがあった。本実施形態によれば、突起２１が凹凸部１５の凹凸に係合するので、振動体５の振動をロータ４に確実に伝達でき、動力の伝達効率を良好にできる。
【００４６】
（２）　凹凸部１５の凹凸は、ショットピーニングによって形成されているので、短時間で簡単に形成することができ、容易かつ安価に量産できる。
また、ショットピーニングにより凹凸部１５の表面硬度を向上できるので、これによっても耐久性を向上させることができる。
【００４７】
（３）　凹凸部１５の凹凸は突起２１の略振動振幅の間隔で形成されているので、突起２１の凹凸部１５に対する係合を良好にでき、ロータ４への動力伝達効率を良好にできる。
【００４８】
（４）　従来では、振動体５とロータ４との摩擦力によって動力を伝達していたので、ロータ４および振動体５の間には摩擦係数を低減させるような潤滑剤を使用することができなかった。本実施形態では、突起２１が凹凸部１５に形成された凹凸に係合してロータ４を回転させるので、使用できる潤滑剤が限定されない。したがって、入手が容易な油等も使用することができ、潤滑剤の選択の自由度を大きくすることができる。また、油を使用することができるので、注油量を容易に調節することができ、取扱性を良好にできる。
【００４９】
（５）　凹凸部１５には凹凸が形成されているので、凹凸に油を保持することができ、潤滑剤切れを防止できる。
【００５０】
（６）　圧電素子１７が適切な寸法に、つまり長辺の長さを１とした時短辺の長さが０．２７４以上で、かつ縦振動の共振周波数に対する屈曲振動の共振周波数の比が１．００より大きく１．０３以下になるように設定されているので、縦振動および屈曲振動を同時に得ることができ、突起２１が良好な楕円軌道を描いてロータ４を回転駆動できる。この時、縦振動および屈曲振動の共振点が互いに近接しているので、両振動の振幅が共振点近傍の大きな振幅となり、ロータ４を高効率で駆動できる。
【００５１】
ここで、第一実施形態の具体的な実施例を挙げる。
圧電素子１７の材料をＰＺＴとし、寸法を短辺１．９８ｍｍ、長辺７．００ｍｍ、厚み０．１５ｍｍとする。補強板１６の材料はステンレス鋼（ＳＵＳ３０１）で、厚みが０．１ｍｍとなっている。ロータ４に当接される側の凸部２０は、平面形状が幅０．５ｍｍ、突出長さが０．４５ｍｍの略半円形状で、質量が約０．１６ｍｇである。また、腕部１８は、幅０．４ｍｍで長さが０．５ｍｍである。
このような振動体５では、突起２１をロータ４に当接せずにロータ４から反力を受けない状態で圧電素子１７に電圧を印加した時、縦振動の共振周波数ｆ１が約２７９ｋＨｚ、屈曲振動の共振周波数ｆ３が約２８５ｋＨｚ、反共振周波数ｆ２が約２８３ｋＨｚであった。従って、縦振動の共振周波数ｆ１に対する屈曲振動の共振周波数ｆ３の比は、約１．０１５となる。この振動体５に共振周波数ｆ１と共振周波数ｆ３との間の周波数で、またより望ましくは反共振周波数ｆ２と共振周波数ｆ３との間の周波数で電圧を印加すると、縦振動および屈曲振動がそれぞれ共振点付近で励振されて大きな振動振幅が得られ、突起２１が良好な楕円軌道を描くことがわかる。
【００５２】
〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態について説明する。第二実施形態は、本発明の圧電アクチュエータを時計の日付表示機構に適用したものである。
図７には、第二実施形態にかかる日付表示機構３０の平面図が、また図８には日付表示機構３０の側断面図が示されている。これらの図７および図８に示されるように、日付表示機構３０は、日付を表示する日車３１と、駆動力を伝達して日車３１を回転させる動力伝達機構３２と、駆動力を動力伝達機構３２に与える振動体５とを備える。
なお、図示はしないが、この日付表示機構３０は、時計のケースに収納され、日車３１の一部がケースに形成された窓から視認可能となっている。
また、振動体５および動力伝達機構３２を備えて、本発明の動力伝達装置が構成されている。
【００５３】
日車３１は、リング状の平板部材で、表面に日付表示３１Ａが印刷やその他の方法により形成されている。また、日車３１の内周側には日車３１を回転させるための日送り歯３３が形成されている。日送り歯３３は、一つの歯の間隔（ピッチ）が日付表示３１Ａの一日分になっており、つまり日送り歯３３を一つ送ると日付表示３１Ａが一つ送られて、日付が変わるように設定されている。
【００５４】
動力伝達機構３２は、日送り歯３３に噛合する日回し車３６と、日回し車３６に噛合する日回し中間車３５と、日回し中間車３５に噛合して被駆動体としてのロータ３７を一体的に備える伝え車３４とを備える。
日回し車３６は、周囲に複数のつめ部４２（本実施形態では５つ）を有し、そのピッチが日送り歯３３と噛合するように設定されている。日回し車３６の回転軸は、基板４４に設けられた長孔４４Ａに回転可能に支持されている。また、基板４４には、一端が固定された押さえ板４３が取り付けられており、この押さえ板４３の他端は日回し車３６の回転軸に当接されている。この押さえ板４３により、日回し車３６は、日回し中間車３５側に付勢されている。
【００５５】
日回し中間車３５は、日回し車３６のつめ部４２が当接される円盤状の日送り部４０と、日送り部４０と一体的に形成された歯車３９とを備えている。日送り部４０には、周囲に一箇所凹部４１が設けられている。
伝え車３４は、歯車３９と噛合するロータかな３８と、このロータかな３８に一体的に形成されるロータ３７とを備えている。ロータ３７の外周には、図９に示されるように、例えば圧力角２０°のインボリュート曲線からなる歯形状部が等間隔に配置された凹凸部３７Ａが形成されている。ロータ３７は、シリコンウェハで構成され、エッチング加工によって形成されている。また、ロータ３７およびロータかな３８は接着やろう付けなどによって結合されている。
ここで、ロータ３７の外径形状をエッチング加工によって形成する場合には、まず、ロータ３７の形状のマスクを作成しておく。ポジ型のフォトレジストを用いたフォトリソグラフィによって、シリコンウェハ上にマスクの形状のマスクパターンを形成する。その後、マスクパターンの形成されたシリコンウェハにドライエッチング加工を施し、ロータ３７の外形形状を正確に形成する。
なお、ロータ３７および振動体５を備えて、本発明の圧電アクチュエータが構成されている。
【００５６】
振動体５は、第一実施形態と同様に凸部２０に突起２１を有する。第二実施形態では、補強板１６および突起２１は一体的に形成され、シリコンウェハで構成されている。
図９には、ロータ３７および突起２１の拡大図が示されている。この図９において、突起２１の先端は、ロータ３７の凹凸部３７Ａと同様に例えば圧力角２０°のインボリュート曲線で形成されている。補強板１６および突起２１は、ロータ３７と同様に、フォトリソグラフィおよびエッチング加工によって形成される。ロータ３７と補強板１６とを製造する場合には、両方の形状を一枚のマスクに作成し、一枚のシリコンウェハから両方同時に製造すればよい。なお、図８では理解を容易にするために、凸部２０およびロータ３７の厚さを変えて表示してある。
突起２１は、ロータ３７の半径方向に対して傾斜するように設置されている。そして、突起２１がロータ３７の凹凸部３７Ａに係合するように配置されている。また、突起２１は、ロータ３７との係合が外れない程度の押付力で腕部１８によって支持されている。なお、この押付力は従来の摩擦によってロータを回転させるものと比べるとはるかに小さいものである。
【００５７】
ここで、ロータ３７に形成された凹凸部３７Ａの間隔Ａは、振動体５の振動振幅である楕円軌道の長径ａ以下に設定されていればよく、本実施形態ではほぼ同じ、つまり突起２１の略振動振幅の間隔に設定されている。また、凹凸部３７Ａの深さＢは、振動体５の楕円軌道の短径ｂ以下に設定されていればよい。振動体５の振動振幅は、振動体５に印加される電圧によって異なるので、ロータ３７の必要トルクや回転数などを勘案して適宜決定される。本実施形態では、印加される電圧は２０Ｖ、凹凸部３７Ａの間隔は２．６μｍに設定されている。
また、動力伝達機構３２の各部材の寸法や、形成される歯数、または振動体５の振動周波数などを調整することにより日回し中間車３５が、２４時間で一回転するように設定されている。
【００５８】
このような日付表示機構３０は、以下のように動作する。
振動体５に電圧が繰り返し印加されると、振動体５は、第一実施形態と同様に楕円軌道を描いて振動する。振動体５が伸長した時に楕円軌道の一部において、突起２１がロータ３７の凹凸部３７Ａに噛合し、ロータ３７を間欠回転させる。これを繰り返すことによりロータ３７を所定の回転数で回転させる。
日回し中間車３５は、２４時間で一周するように設定されているので、２４時間経過ごとに日送り部４０の凹部４１が日回し車３６との当接部に位置する。日回し車３６の回転軸は押さえ板４３によって付勢されているので、つめ部４２が凹部４１に係合する。この時につめ部４２が日送り歯３３を図７中の矢印Ｃ方向に押すことにより日車３１を回転させる。これにより、日車３１の日付表示３１Ａが一日分送られて時計の外部からは日付が変更されて表示されることとなる。
【００５９】
以上のような第二実施形態によれば、第一実施形態における（１）、（３）、（４）、（５）および（６）の効果と同様な効果が得られる他、次のような効果が得られる。
（７）　ロータ３７の凹凸部３７Ａに形成された凹凸が、突起２１の略振動振幅の等間隔で配置されているので、突起２１の一回の振動振幅によってロータ３７が凹凸一つ分だけ送られる。よって、確実に突起２１とロータ３７とが係合するので、滑りが生じず、動力の伝達効率を良好にできる。また、これにより、凹凸部３７Ａに形成された凹凸の数や振動体５の周波数などからロータ３７の回転速度や回転角度を決定することができるから、日送りが正確にできる。
従来の日送り機構では、日送りをしたことを検知するために、凹部４１に係合するような他の腕を設けて、この腕部が凹部４１にはまった時に日送りを検知していた。本実施形態によれば、従来のような検知機構が不要となるので、部品点数も少なくでき、機構を簡単にできる。
【００６０】
（８）　ロータ３７の凹凸部３７Ａおよび突起２１の先端の形状がインボリュート曲線からなるので、両者が良好に噛合でき、噛合した際に一定方向に力がかかるため、確実かつ効率よく動力を伝達できる。また、噛合部の曲率が比較的大きいため、噛合した際の側圧が小さくなり、摩擦力を低減できる。さらに、これらの形状がインボリュート曲線からなるので、製造する際に精度確保と精度測定が容易にでき、また、ロータ３７や突起２１の取り付け位置が多少ずれても比較的正確に噛合することができる。
【００６１】
（９）　ロータ３７および補強板１６がエッチングによって形成されたシリコンウェハで構成されているので、外形形状を高精度に形成でき、凹凸部３７Ａと突起２１とが確実に噛合できる。また、エッチングで加工することにより、凹凸部３７Ａを鏡面とすることができるので、保油性および耐久性を向上させることができる。
【００６２】
（１０）　ロータ３７および補強板１６が一枚のシリコンウェハから同時に形成されているので、製造工程を簡単にできる。
【００６３】
（１１）　振動体５とロータ３７を含む動力伝達機構３２とで動力伝達装置を構成しているので、凹凸部３７Ａに突起２１が係合して動力を伝達する。よって、動力伝達効率を良好にでき、高トルクにも対応できる。また、反対に、日車３１を駆動するのに必要なトルクを得るための電力を小さくできるので、高効率化を促進できる。
【００６４】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、第二実施形態では、突起２１の先端およびロータ３７の凹凸部３７Ａはインボリュート曲線からなる形状であったが、少なくとも両者が係合する部分の面がインボリュート曲線からなる形状であれば、両者は良好に係合することができる。
また、第二実施形態では、突起２１の先端形状がインボリュート曲線からなる形状であったが、これに限らず、第一実施形態と同様の円錐状の突起２１であってもよい。ロータ３７の凹凸部３７Ａの形状も、インボリュート曲線に限らず、サイン波、矩形波、台形波など、突起２１が係合できる凹凸を有する形状の係合溝となっていればよい。また、凹凸の間隔は、突起２１の略振動振幅としていたが、これに限らず、その整数倍でもよく、突起２１と凹凸部１５，３７Ａとが良好に係合するように適宜設定されてよい。
さらに、突起２１は凸部２０の先端に一つ形成されていたが、これに限らず例えば図１０に示されるように複数個形成されていてもよい。この場合には、凹凸部１５，３７Ａと複数の面で係合し、歯車の噛合でいうところの噛合率が１以上の状態となる。突起２１からの駆動力が複数の凹凸部１５，３７Ａに分散されて伝達されるので、一歯当たりの歯面に働く応力を低減できる。
【００６５】
第二実施形態において、補強板１６とロータ３７とは同じシリコンウェハから形成されていたが、これに限らず図１１に示されるように、ロータ３７または補強板１６（図１１ではロータ３７）のシリコンウェハを他方よりも厚いシリコンウェハで形成してもよい。この場合には、ロータ３７の回転軸方向のずれによって突起２１との係合が外れることがなく、長期的使用に耐えうる。また、これにより、圧電アクチュエータ自体の形状公差を緩和でき、構造の自由度を向上させることができる。
あるいは、補強板１６およびロータ３７を同じシリコンウェハで形成しておき、一方を複数枚重ねて形成してもよい。この場合は、同じシリコンウェハから両方を形成できるので、同じマスクに補強板１６およびロータ３７を形成でき、製造工程を簡単にでき、経済的である。
【００６６】
突起２１やロータ４，３７の形成方法は、第二実施形態ではエッチングによってシリコンウェハを加工するものであったが、これに限らず、他の方法によって加工してもよい。また、例えば突起２１やロータ４，３７の材料が金属、樹脂などの場合には、エッチングに限らず、転造によって形成してもよい。この場合は、集束イオンビーム（ＦＩＢ）等のナノテクノロジーを用いれば転造型を高精度に製造できる。したがって、凹凸部１５，３７Ａを歯形状に形成する場合でも、高精度な外形形状の突起２１やロータ４，３７を量産することができる。また、これにより、金属や樹脂など、様々な材料で高精度な突起２１やロータ４，３７を製造できるので、材料の選択範囲を広げることができる。
【００６７】
突起２１やロータ４，３７の材料は、前述のものに限らない。例えば、第二実施形態では突起２１およびロータ３７はシリコンウェハで構成されていたが、これに限らず、ステンレス鋼をエッチング加工することによって形成してもよい。ステンレス鋼は、防錆にも優れているので、長期間の使用に耐えうる。また、特にＳＵＳ４２０Ｊ２などのマルテンサイト系ステンレス鋼は熱処理で硬度を調節することができるので、所望の硬度を実現できる。
その他、突起２１やロータ４，３７の材料は、アルミニウム、鉄、カーボンナノチューブを含んだ樹脂やなどでもよい。カーボンナノチューブを含んだ樹脂で構成する場合には、樹脂を使用するので外形形状を容易に形成できる。また、カーボンナノチューブを含んでいるので、強度を高くすることができ、これによって圧電アクチュエータの耐久性をさらに向上させることができる。なお、母材となる樹脂は、例えばポリスチレンやポリカーボネイトなどが採用できる。この際には、集中イオンビーム（ＦＩＢ）などのナノテクノロジーを用いれば、外形形状を高精度に形成することができる。
【００６８】
潤滑剤は、各実施形態において時計用油であったが、これに限らず、任意の油を採用できる。また、油に限らずポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの固体潤滑剤を用いてもよい。固体潤滑剤を使用する場合は、凹凸部１５，３７Ａの形状を有するリング状の部材を形成しておき、圧入などによりロータ４，３７の外周に固定してもよい。この場合には、潤滑剤が固体なので、油に比べて突起２１と凹凸部１５，３７Ａとの間のゴミや毛羽がたまりにくく、両者の係合を長期間良好に保つことができる。あるいは、潤滑剤としてトラクションオイルを使用すれば、より一層動力伝達効率を向上させることができる。
【００６９】
被駆動体は、各実施形態において回転駆動されるロータ４，３７であったが、これに限らず、直線駆動されるものであってもよい。この場合には、被駆動体を棒状部材で構成し、その一面に凹凸部を形成する。そして、この凹凸部に係合するように突起２１を設ければよい。
【００７０】
圧電アクチュエータは、液体吐出装置１および時計の日付表示機構３０に適用されたが、これに限らない。ロータが突起との係合によって駆動されるので、高トルクに対しても対応可能であるから、回転駆動されるファンや直線駆動されるピンアクチュエータなどに適用できる。また、被駆動体の凹凸部に等間隔な歯形状の凹凸部を設ける場合では、被駆動体の移動量を検出することができるので、位置決め精度を必要とする機器などに使用できる。さらに、本発明の圧電アクチュエータに減速輪列や増速輪列を付加して、動力伝達装置を構成してもよい。高トルクに対しても対応可能なので、減速輪列の段数を最小限に押さえることができ、動力伝達装置を小さく構成することができる。
【００７１】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００７２】
【発明の効果】
このような本発明によれば、圧電素子を有する振動体に突起が設けられ、被駆動体に凹凸部が形成されているので、振動体が被駆動体を駆動させる時には、突起が被駆動体の凹凸部に係合することによって被駆動体を駆動させる。よって、振動体および被駆動体の間の摩擦力を低減でき、摩耗が軽減するので、耐久性を向上させることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態にかかる液体吐出装置を示す平面図。
【図２】本発明の第一実施形態にかかる液体吐出装置を示す断面図。
【図３】本発明の第一実施形態にかかる振動体およびロータの係合部を示す図。
【図４】本発明の第一実施形態にかかる振動体の動作を示す模式図。
【図５】本発明の第一実施形態にかかる突起およびロータを示す拡大図。
【図６】本発明の第一実施形態にかかる振動体の振動特性を示す図。
【図７】本発明の第二実施形態にかかる日付表示機構の平面図。
【図８】本発明の第二実施形態にかかる日付表示機構の断面図。
【図９】本発明の第二実施形態にかかる突起およびロータの拡大図。
【図１０】本発明の突起およびロータの変形例を示す図。
【図１１】本発明の突起およびロータの別の変形例を示す図。
【符号の説明】
１…液体吐出装置
４…ロータ（被駆動体）
５…振動体
６…チューブ
７…ボール
１５…凹凸部
１６…補強板
１７…圧電素子
２０…凸部
２１…突起
３０…日付表示機構
３１…日車
３２…動力伝達機構
３４…伝え車
３５…日回し中間車
３６…日回し車
３７…ロータ（被駆動体）
３７Ａ…凹凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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