(57)【要約】【課題】少なくとも２つのステージの位置制御性を向上させる。【解決手段】第１駆動機構（ＬＸ１，ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂ，ＳＹ１，ＳＹ２）により、ステージＳＴ１が２次元面内で駆動され、第１駆動機構に少なくとも一部が接続された第２駆動機構（ＬＸ２，ＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂ）により、ステージＳＴ２，ＳＴ３が２次元平面のうちの第１軸方向に関して相互に独立に、第２軸方向に関しては同時に駆動される。この場合、ステージＳＴ１が駆動される際に第１駆動機構に生じる反力は、第２駆動機構に影響を及ぼし、ステージＳＴ２が駆動される際に第２駆動機構に生じる反力は、第１駆動機構に影響を及ぼし得る。従って、ステージＳＴ３を第１軸方向に駆動することで、ステージＳＴ１，ＳＴ２が並行動作を行うために同時に駆動される場合に各ステージを含む系全体に作用する回転モーメントを相殺あるいは低減することができる。【選択図】  図２
2004342638.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ステージと；
該第１ステージを２次元面内で駆動する第１駆動機構と；
前記第１ステージとは異なる第２、第３ステージを含む複数のステージと；
前記第１駆動機構に少なくとも一部が接続され、前記第２、第３ステージを前記２次元平面のうちの第１軸方向に関しては相互に独立に、第２軸方向に関しては同時に駆動する第２駆動機構と；を備えることを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記第２駆動機構は、前記第１ステージとは独立して前記第２、第３ステージを駆動することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記第１駆動機構は、前記第１ステージを前記第１軸方向に駆動する第１リニアモータと、該第１リニアモータの固定子を前記第２軸方向に駆動する一対の第２リニアモータとを有し、
前記第２駆動機構は、固定子を共有し、前記第２、第３ステージを独立に前記第１軸方向に駆動する２つの第３リニアモータと、該第３リニアモータの固定子を前記第２軸方向に駆動する一対の第４リニアモータとを有することを特徴とする請求項１又は２に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記一対の第２リニアモータの固定子と、前記一対の第４リニアモータの固定子とが接続され、前記各ステージを支持するステージベースに移動可能に支持されたカウンタウエイトを更に備えることを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記第１リニアモータ及び前記第３リニアモータの少なくとも一方のモータの固定子である特定固定子と前記カウンタウエイトとの間には、前記特定固定子の長手方向に関する該特定固定子と前記カウンタウエイトとの位置関係を維持する維持機構が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のステージ装置。
【請求項６】
前記第１、第２及び第３ステージのいずれにも搭載可能な少なくとも２つのテーブルと；
前記第１、第２及び第３ステージの三者間で前記各テーブルを受け渡すテーブル受け渡し機構と；を更に備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項７】
前記第１駆動機構は、前記第１ステージに前記テーブルが搭載された際の前記第１ステージ及びテーブル全体の重心点を駆動点として前記第１ステージを駆動することを特徴とする請求項６に記載のステージ装置。
【請求項８】
前記第２駆動機構は、前記第２、第３ステージにそれぞれ前記テーブルが搭載された際の各ステージ及びテーブル全体の重心点を駆動点として前記第２、第３ステージのうち少なくとも所定の一方のステージを駆動することを特徴とする請求項６又は７に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記第２駆動機構は、前記カウンタウエイトの回転を抑制するように、前記第３ステージを駆動することを特徴とする請求項４〜８のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項１０】
相互に接近離間する方向に２次元面内で移動可能な第１ステージ、第２ステージ及び第３ステージを含む複数のステージと；
前記複数のステージのそれぞれに搭載可能であり、前記複数のステージのうち任意の１つを除く残りのステージに搭載された前記複数のステージより１つ少ない数のテーブルと；
前記複数のステージのうち任意の２つのステージが近接することにより、当該２つのステージの一方から他方へ前記テーブルを移動する移動機構と；を備えることを特徴とするステージ装置。
【請求項１１】
前記複数のステージそれぞれには、少なくとも１つの固定子が設けられ、前記テーブルには、前記固定子とともに微動機構を構成する少なくとも１つの可動子が設けられ、前記微動機構により、前記テーブルが少なくとも重力方向に微小駆動されることを特徴とする請求項１０に記載のステージ装置。
【請求項１２】
前記複数のステージそれぞれには、前記固定子が６つ設けられ、前記テーブルには、各固定子に個別に対応する６つの可動子が設けられ、前記微動機構は、前記各固定子と対応する各可動子との個別の協働により、前記テーブルを６自由度方向に微小駆動することを特徴とする請求項１１に記載のステージ装置。
【請求項１３】
前記各固定子は電磁コア及び永久磁石の所定の一方であり、
前記各可動子は、電磁コア及び永久磁石の所定の他方であることを特徴とする請求項１２に記載のステージ装置。
【請求項１４】
前記第１ステージを含む少なくとも１つのステージを２次元面内で駆動する第１駆動機構と；
前記第２、第３ステージを、前記２次元面内の直交二軸方向のうち、第１軸方向に関しては相互に独立に、第２軸方向に関しては同時に駆動する第２駆動機構と；を更に備えることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項１５】
前記第２駆動機構は、前記第１ステージとは独立して前記第２、第３ステージを駆動することを特徴とする請求項１４に記載のステージ装置。
【請求項１６】
前記第２、第３ステージは、相互の接近離間方向と前記第１ステージに対する接近離間方向が、相互に直交する方向とされていることを特徴とする請求項１０〜１５のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項１７】
前記第１、第２、第３ステージのそれぞれには、前記任意のテーブルを前記第１、第２、第３ステージ間で移動するための移動経路が設けられ、該移動経路のそれぞれは他のステージに設けられた移動経路と接続可能であることを特徴とする請求項１０〜１６のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項１８】
前記第１ステージの上面には、前記２次元面内の第２軸方向に沿ったテーブル搬送経路が設けられ、
前記第２、第３ステージそれぞれの上面には、前記第１軸方向及び第２軸方向の経路部分から成るＬ字状のテーブル搬送経路がそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１７に記載のステージ装置。
【請求項１９】
前記移動機構は、前記各ステージ上に設けられた、静電多相電極を含む静電アクチュエータ、磁歪素子を含む磁歪アクチュエータ、非共振の圧電素子を含む圧電アクチュエータ、電歪素子を含む電歪アクチュエータのいずれかであることを特徴とする請求項１０〜１８のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項２０】
前記第１駆動機構および前記第２駆動機構が共通に接続され、前記各ステージの反力の作用により自在に移動可能に、前記複数のステージを支持するステージベースに支持されたカウンタウエイトを更に備えることを特徴とする請求項１０〜１９のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項２１】
前記カウンタウエイトを前記２次元面内で駆動する駆動装置を更に備えることを特徴とする請求項４、５、２０のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項２２】
前記第３ステージは、前記カウンタウエイトの回転を抑制するように、移動することを特徴とする請求項２０に記載のステージ装置。
【請求項２３】
エネルギビームにより感光物体を露光して前記所定のパターンを前記感光物体上に形成する露光装置であって、
前記各ステージに前記感光物体が載置される請求項１〜５のいずれか一項に記載のステージ装置と；
前記第１ステージに載置された前記感光物体を前記エネルギビームで露光する露光部と；
前記第２、第３ステージのうちの所定の一方に載置された前記感光物体上に形成されたマークを検出するマーク検出系と；を備える露光装置。
【請求項２４】
エネルギビームにより感光物体を露光して所定のパターンを前記感光物体上に形成する露光装置であって、
前記各テーブルに前記感光物体が載置される請求項６〜２２のいずれか一項に記載のステージ装置と；
前記第１ステージ上に搭載された任意のテーブル上の前記感光物体を前記エネルギビームで露光する露光部と；
前記第２、第３ステージのうちの所定の一方に搭載された任意のテーブル上の前記感光物体に形成されたマークを検出するマーク検出系と；を備える露光装置。
【請求項２５】
前記露光部は、前記エネルギビームを前記感光物体に照射する露光光学系を有し、
前記各テーブルには、前記第１軸及び第２軸にそれぞれ直交する反射面がそれぞれ設けられ、
前記露光光学系と前記マーク検出系とが、前記第１軸及び第２軸にともに交差する方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項２４に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ステージ装置及び露光装置に係り、更に詳しくは、２次元面内で移動可能なステージを備えるステージ装置及び該ステージ装置を備える露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体素子（集積回路）又は液晶表示素子等を製造するに際し、リソグラフィ工程では、種々の露光装置が用いられている。近年では、半導体素子の高集積化に伴い、ステップ・アンド・リピート方式の縮小投影露光装置（いわゆるステッパ）や、このステッパに改良を加えたステップ・アンド・スキャン方式の走査型投影露光装置（いわゆるスキャニング・ステッパ（スキャナとも呼ばれる））などの逐次移動型の投影露光装置が主流となっている。
【０００３】
例えば、半導体素子の製造に用いられる投影露光装置では、ウエハステージ上のウエハを交換するウエハ交換工程、ウエハ上の各ショット領域の位置を正確に求めるためのウエハアライメント工程、及びそのウエハアライメントの結果に基づいてウエハステージの位置を制御してウエハ上の各ショット領域にレチクル（又はマスク）に形成されたパターンを転写する露光工程の３つの工程の処理が、１つのウエハステージを用いてが順次繰り返し行われている。
【０００４】
しかるに、上記投影露光装置は、半導体素子等の量産に用いられるものであることから、一定の時間内にどれだけの枚数のウエハを露光できるか、という処理能力、すなわちスループットを向上させることが必然的に求められる。
【０００５】
このため、近年の投影露光装置では、ウエハアライメント工程において、ウエハ上の複数のショット領域の中から予め選択された特定の複数（例えば４〜１５個程度）のショット領域（サンプルショット領域又はアライメントショット領域）それぞれに付設されたアライメントマーク（ウエハマーク）の位置を順次計測し、この計測結果とショット領域の設計上の座標値とに基づいて、いわゆる最小二乗法等による統計演算を行って、ウエハ上の全てのショット領域の配列座標を求める、ＥＧＡ（エンハンスト・グローバル・アライメント）方式のウエハアライメントが主として採用されている（特許文献１参照）。このＥＧＡ方式のウエハアライメントでは、高スループットで比較的精度良くウエハ上の各ショット領域の位置情報を求めることができる。
【０００６】
しかしながら、スループット向上に対する要求はとどまることがなく、最近では、例えばウエハ交換動作及びアライメント動作と、露光動作とを並行して行いスループットをさらに向上させようとの観点から、上記ウエハ交換及びアライメントの際に用いられるウエハステージと、露光の際に用いられるウエハステージとを備えた、ツインウエハステージタイプの露光装置も種々提案され、その一部は実用化されている。
【０００７】
上記のツインウエハステージとしては、例えば、Ｘ軸方向に延びるＸ駆動リニアモータの固定子の長手方向の一端と他端に一対のＹ駆動リニアモータの可動子がそれぞれ設けられた機構部を、一対具備し、それぞれの機構部がそれぞれ備える一対のＹ駆動リニアモータの可動子を、共通の一対の固定子上に配置した位置決め装置が知られている（例えば特許文献２参照）。この特許文献２に記載の位置決め装置では、各一対のＹ駆動リニアモータの駆動力によってＸ駆動リニアモータの固定子及び可動子が、Ｙ軸方向に一体で駆動される。また、各Ｘ軸リニアモータの可動子は、その固定子に対してＸ軸方向に駆動される。各Ｘ軸リニアモータの可動子には、２つのステージ（物体保持器）のいずれをも連結可能な接続機構（連結機構）の一部がそれぞれ設けられ、２つのステージのＹ軸方向の一側と他側には、前記各接続機構の残部がそれぞれ設けられている。
【０００８】
この他、ウエハが載置された断面Ｓ字状の２つのウエハステージを、所定の第１軸方向を長手方向とし、その長手方向に直交する第２軸方向に移動可能な第１、第２の移動体（スライダ）に対して非接触で接続（連結）可能な装置も提案されている（例えば、特許文献３参照）。この特許文献３に開示される装置では、各ステージは、連結された移動体との間の電磁相互作用により第１軸方向に駆動されるとともに、その移動体と一体で第２軸方向に移動する。なお、この特許文献３に記載の装置では、それぞれの移動体と各ステージとの連結が非接触で行われることから、上記特許文献２に記載の装置に比べて連結時の衝撃が小さいという利点がある。
【０００９】
【特許文献１】
特開昭６１−４４４２９号公報
【特許文献２】
国際公開ＷＯ９８／４０７９１号パンフレット
【特許文献３】
特開平１１−３４１８８４号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献２に記載の位置決め装置にあっては、各ステージを各Ｘ軸リニアモータの可動子に連結するためのリジッドな接続機構が必要であるとともに、このリジッドな接続機構はステージとともに移動する可動部であることから、その分、可動部の重量が重くなり、結果的にステージの位置制御性が必ずしも満足できるものとはなっていなかった。また、この位置決め装置にあっては、上述の如く、リジッドな接続機構が採用されていることから、接続時（連結時）の衝撃力により、ステージ上の半導体基板（ウエハ）の位置ずれが発生するおそれもあった。更には、上記特許文献２の図２等からも明らかなように、ステージが片持ち構造であり、各ステージの推力の作用点は重心から外れているので、その駆動時に振動が発生し易く、更にはステージに回転モーメン卜が必然的に作用する構成になっていた。
【００１１】
一方、上記特許文献３に記載のステージ装置にあっては、質量の比較的大きいステージを第１、第２の移動体に対して非接触で入れ替える（持ち替える）こととしているため、持ち替え動作に要する時間が長く、改善の余地を残している。
【００１２】
本発明は、かかる事情の下になされたもので、その第１の目的は、複数のステージを用いた並行処理動作の能力を向上させることができるステージ装置を提供することにある。
【００１３】
また、本発明の第２の目的は、最終製品であるデバイスの生産性を向上させることが可能な露光装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、第１ステージ（ＳＴ１）と；該第１ステージを２次元面内で駆動する第１駆動機構（ＬＸ１，ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂ，ＳＹ１，ＳＹ２）と；前記第１ステージとは異なる第２、第３ステージ（ＳＴ２，ＳＴ３）を含む複数のステージと；前記第１駆動機構に少なくとも一部が接続され、前記第２、第３ステージを前記２次元平面のうちの第１軸方向に関しては相互に独立に、第２軸方向に関しては同時に駆動する第２駆動機構（ＬＸ２，ＬＸ３，ＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂ）と；を備えることを特徴とするステージ装置である。
【００１５】
ここで、第２軸方向は、第１軸方向とは異なる方向、すなわち第１軸方向と交差する方向であれば良く、例えば直交する方向であっても良い。
【００１６】
これによれば、第１駆動機構により、第１ステージが２次元面内で駆動され、第１駆動機構に少なくとも一部が接続された第２駆動機構により、第１ステージとは異なる第２、第３ステージが２次元平面のうちの第１軸方向に関して相互に独立に、第２軸方向に関しては同時に駆動される。この場合、第１駆動機構と第２駆動機構とは少なくとも一部が接続されているので、第１駆動機構によって第１ステージが駆動される際に第１駆動機構に生じる反力は、第２駆動機構に影響を及ぼし、第２駆動機構によって第２、第３ステージの少なくとも一方が駆動される際に第２駆動機構に生じる反力は、第１駆動機構に影響を及ぼし得る。
【００１７】
すなわち、例えば第１ステージと、第２、第３ステージの一方とが、所定の動作を並行して行うために同時に駆動される場合に、第１、第２の駆動機構とこれらの駆動機構によってそれぞれ駆動可能な各ステージを含む系全体に作用する回転モーメントを、第２、第３ステージの他方を第１軸方向に駆動することにより、その駆動力の反力の作用を利用して、相殺あるいは効果的に低減することが可能である。
【００１８】
従って、本発明によれば、ステージの駆動時に生じる反力が他のステージに与える影響を低減して、並行動作のために同時に駆動される少なくとも２つのステージの位置制御性を向上させることができ、ひいては複数のステージを用いた並行処理動作の能力を精度面で向上させることが可能となる。
【００１９】
この場合において、請求項２に記載のステージ装置の如く、前記第２駆動機構は、前記第１ステージとは独立して前記第２、第３ステージを駆動することとすることができる。
【００２０】
上記請求項１及び２に記載の各ステージ装置において、請求項３に記載のステージ装置の如く、前記第１駆動機構は、前記第１ステージを前記第１軸方向に駆動する第１リニアモータ（ＬＸ１）と、該第１リニアモータの固定子を前記第２軸方向に駆動する一対の第２リニアモータ（ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂ）とを有し、前記第２駆動機構は、固定子を共有し、前記第２、第３ステージを独立に前記第１軸方向に駆動する２つの第３リニアモータ（ＬＸ２，ＬＸ３）と、該第３リニアモータの固定子を前記第２軸方向に駆動する一対の第４リニアモータ（ＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂ）とを有することとすることができる。
【００２１】
この場合において、請求項４に記載のステージ装置の如く、前記一対の第２リニアモータの固定子と、前記一対の第４リニアモータの固定子とが接続され、前記各ステージを支持するステージベースに移動可能に支持されたカウンタウエイト（５８）を更に備えることとすることができる。
【００２２】
この場合において、請求項５に記載のステージ装置の如く、前記第１リニアモータ及び前記第３リニアモータの少なくとも一方のモータの固定子である特定固定子と前記カウンタウエイトとの間には、前記特定固定子の長手方向に関する該特定固定子と前記カウンタウエイトとの位置関係を維持する維持機構（４２Ａ，４２Ｂ，３６Ａ，３６Ｂ，４６Ａ，４６Ｂ）が設けられていることとすることができる。
【００２３】
上記請求項１〜５に記載の各ステージ装置において、請求項６に記載のステージ装置の如く、前記第１、第２及び第３ステージのいずれにも搭載可能な少なくとも２つのテーブル（ＴＢ１，ＴＢ２）と；前記第１、第２及び第３ステージの三者間で前記各テーブルを受け渡すテーブル受け渡し機構（ＰＴ，６４Ａ〜６４Ｃ）と；を更に備えることとすることができる。
【００２４】
この場合において、請求項７に記載のステージ装置の如く、前記第１駆動機構は、前記第１ステージに前記テーブルが搭載された際の前記第１ステージ及びテーブル全体の重心点を駆動点として前記第１ステージを駆動することとすることができる。
【００２５】
上記請求項６及び７に記載の各ステージ装置において、請求項８に記載のステージ装置の如く、前記第２駆動機構は、前記第２、第３ステージにそれぞれ前記テーブルが搭載された際の各ステージ及びテーブル全体の重心点を駆動点として前記第２、第３ステージのうち少なくとも所定の一方のステージを駆動することとすることができる。
【００２６】
上記請求項４〜８に記載の各ステージ装置において、請求項９に記載のステージ装置の如く、前記第２駆動機構は、前記カウンタウエイトの回転を抑制するように、前記第３ステージを駆動することとすることができる。
【００２７】
請求項１０に記載の発明は、相互に接近離間する方向に２次元面内で移動可能な第１ステージ（ＳＴ１）、第２ステージ（ＳＴ２）及び第３ステージ（ＳＴ３）を含む複数のステージと；前記複数のステージのそれぞれに搭載可能であり、前記複数のステージのうち任意の１つを除く残りのステージに搭載された前記複数のステージより１つ少ない数のテーブル（ＴＢ１，ＴＢ２）と；前記複数のステージのうち任意の２つのステージが近接することにより、当該２つのステージの一方から他方へ前記テーブルを移動する移動機構（ＰＴ，６４Ａ〜６４Ｃ）と；を備えることを特徴とするステージ装置である。
【００２８】
これによれば、相互に接近離間する方向に２次元面内で移動可能な第１ステージ、第２ステージ及び第３ステージを含む複数のステージと、該複数のステージのそれぞれに搭載可能な、複数のステージより１つ少ない数のテーブルとを備えている。そして、移動機構により、複数のステージのうち任意の２つのステージが近接することにより、当該２つのステージの一方から他方へテーブルが移動される。すなわち、ロボットアーム等を用いることなく、２つのステージの相互の接近により該ステージ間でのテーブルの受け渡しが可能である。従って、ロボットアームなどの搬送系の設置スペースが不要なので、その分フットプリントの狭小化、ひいては装置の小型化を実現することができる。また、ステージに比べて相当小型軽量のテーブルがステージ間で受け渡されるので、その受け渡しを短時間で行うことができる。
【００２９】
従って、本発明では、テーブルの複数のステージ間での受け渡しを行う場合に、例えば第１のステージから第２のステージへ、その第２のステージから第３のステージへ、……、第Ｎのステージから第１のステージへというような循環経路に沿って行うことにより、高スループットのテーブル循環動作、及び複数のステージ上にそれぞれ搭載されたテーブルを用いた並行処理動作の実現が可能であり、結果的に、複数のステージを用いた並行処理動作の能力を特に時間的な面で向上させることが可能となる。
【００３０】
この場合において、請求項１１に記載のステージ装置の如く、前記複数のステージそれぞれには、少なくとも１つの固定子（９２Ａ〜９３Ｆ）が設けられ、前記テーブルには、前記固定子とともに微動機構を構成する少なくとも１つの可動子（９５Ａ〜９６Ｆ）が設けられ、前記微動機構により、前記テーブルが少なくとも重力方向に微小駆動されることとすることができる。
【００３１】
この場合において、請求項１２に記載のステージ装置の如く、前記複数のステージそれぞれには、前記固定子が６つ設けられ、前記テーブルには、各固定子に個別に対応する６つの可動子が設けられ、前記微動機構は、前記各固定子と対応する各可動子との個別の協働により、前記テーブルを６自由度方向に微小駆動することとすることができる。
【００３２】
この場合において、請求項１３に記載のステージ装置の如く、前記各固定子は電磁コア及び永久磁石の所定の一方であり、前記各可動子は、電磁コア及び永久磁石の所定の他方であることとすることができる。
【００３３】
上記請求項１０〜１３に記載の各ステージ装置において、請求項１４に記載のステージ装置の如く、前記第１ステージを含む少なくとも１つのステージを２次元面内で駆動する第１駆動機構（ＬＸ１，ＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂ）と；前記第２、第３ステージを、前記２次元面内の直交二軸方向のうち、第１軸方向に関しては相互に独立に、第２軸方向に関しては同時に駆動する第２駆動機構（ＬＸ２，ＤＹ２ａ、ＤＹ２ｂ）と；を更に備えることとすることができる。
【００３４】
この場合において、請求項１５に記載のステージ装置の如く、前記第２駆動機構は、前記第１ステージとは独立して前記第２、第３ステージを駆動することとすることができる。
【００３５】
上記請求項１０〜１５に記載の各ステージ装置において、請求項１６に記載のステージ装置の如く、前記第２、第３ステージは、相互の接近離間方向と前記第１ステージに対する接近離間方向が、相互に直交する方向とされていることとすることができる。
【００３６】
上記請求項１０〜１６に記載の各ステージ装置において、請求項１７に記載のステージ装置の如く、前記第１、第２、第３ステージのそれぞれには、前記任意のテーブルを前記第１、第２、第３ステージ間で移動するための移動経路が設けられ、該移動経路のそれぞれは他のステージに設けられた移動経路と接続可能であることとすることができる。
【００３７】
この場合において、請求項１８に記載のステージ装置の如く、前記第１ステージの上面には、前記２次元面内の第２軸方向に沿ったテーブル搬送経路が設けられ、前記第２、第３ステージそれぞれの上面には、前記第１軸方向及び第２軸方向の経路部分から成るＬ字状のテーブル搬送経路がそれぞれ設けられていることとすることができる。
【００３８】
上記請求項１０〜１８に記載の各ステージ装置において、請求項１９に記載のステージ装置の如く、前記移動機構は、前記各ステージ上に設けられた、静電多相電極を含む静電アクチュエータ、磁歪素子を含む磁歪アクチュエータ、非共振の圧電素子を含む圧電アクチュエータ、及び電歪素子を含む電歪アクチュエータのいずれかであることとすることができる。
【００３９】
上記請求項１０〜１９に記載の各ステージ装置において、請求項２０に記載のステージ装置の如く、前記第１駆動機構および前記第２駆動機構が共通に接続され、前記各ステージの反力の作用により自在に移動可能に、前記複数のステージを支持するステージベースに支持されたカウンタウエイト（５８）を更に備えることとすることができる。
【００４０】
上記請求項４，５，２０に記載の各ステージ装置において、請求項２１に記載のステージ装置の如く、前記カウンタウエイトを前記２次元面内で駆動する駆動装置を更に備えることとすることができる。
【００４１】
上記請求項２０に記載のステージ装置において、請求項２２に記載のステージ装置の如く、前記第３ステージは、前記カウンタウエイトの回転を抑制するように、移動することとすることができる。
【００４２】
請求項２３に記載の発明は、エネルギビーム（ＩＬ）により感光物体（Ｗ）を露光して前記所定のパターンを前記感光物体上に形成する露光装置であって、前記各ステージに前記感光物体が載置される請求項１〜５のいずれか一項に記載のステージ装置と；前記第１ステージに載置された前記感光物体を前記エネルギビームで露光する露光部（１２，ＰＬ）と；前記第２、第３ステージのうちの所定の一方に載置された前記感光物体上に形成されたマークを検出するマーク検出系（ＡＬＧ）と；を備える露光装置である。
【００４３】
これによれば、請求項１〜５のいずれか一項に記載のステージ装置を備えており、また、第１ステージに載置された前記感光物体をエネルギビームで露光する露光部と、第２、第３ステージのうちの所定の一方に載置された感光物体上に形成されたマークを検出する検出系とを備えている。従って、第１ステージに載置された感光物体に対して露光が行われている間に、第２ステージに載置された感光物体上に形成されたマークの検出を行う並行処理動作を、その並行動作時の第１、第２ステージの駆動に伴う反力及び該反力に起因する回転モーメントの影響を低減して精度良く行うことができる。従って、本発明の露光装置によれば、最終製品であるデバイスの生産性を特に歩留まりの面で向上させることが可能である。
【００４４】
請求項２４に記載の発明は、エネルギビーム（ＩＬ）により感光物体（Ｗ）を露光して所定のパターンを前記感光物体上に形成する露光装置であって、前記各テーブルに前記感光物体が載置される請求項６〜２２のいずれか一項に記載のステージ装置と；前記第１ステージ上に搭載された任意のテーブル上の前記感光物体を前記エネルギビームで露光する露光部（１２，ＰＬ）と；前記第２、第３ステージのうちの所定の一方に搭載された任意のテーブル上の前記感光物体に形成されたマークを検出するマーク検出系（ＡＬＧ）と；を備える露光装置である。
【００４５】
これによれば、請求項６〜２２のいずれか一項に記載のステージ装置を構成する、第１ステージ上に搭載された任意のテーブル上の感光物体が露光部によりエネルギビームで露光するのと並行して、第２、第３ステージのうちの所定の一方に搭載された任意のテーブル上の感光物体に形成されたマークがマーク検出系によって検出される。この場合、高スループットのテーブル循環及び第１ステージ及び第２、第３ステージのうちの所定の一方を用いた高スループットの並行処理動作が実現される。この結果、最終製品であるデバイスの生産性を主としてスループットの面で向上させることができる。
【００４６】
この場合において、請求項２５に記載のステージ装置の如く、前記露光部は、前記エネルギビームを前記感光物体に照射する露光光学系（ＰＬ）を有し、前記各テーブルには、前記第１軸及び第２軸にそれぞれ直交する反射面がそれぞれ設けられ、前記露光光学系と前記マーク検出系とが、前記第１軸及び第２軸にともに交差する方向に沿って配置されていることとすることができる。
【００４７】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態を図１〜図１５に基づいて説明する。図１には、一実施形態の露光装置１０が概略的に示されている。
【００４８】
この露光装置１０は、マスクとしてのレチクルＲと感光物体としてのウエハＷ１（又はＷ２）とを一次元方向（ここでは、図１における紙面直交方向であるＹ軸方向とする）に同期移動しつつ、レチクルＲに形成された回路パターンを投影光学系ＰＬを介してウエハＷ１（又はＷ２）上の複数のショット領域にそれぞれ転写する、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、すなわちいわゆるスキャニング・ステッパ（スキャナ）である。
【００４９】
露光装置１０は、照明光ＩＬによりレチクルＲを照明する照明系１２、レチクルＲが載置されるレチクルステージＲＳＴ、レチクルＲから射出される照明光ＩＬをウエハＷ１（又はＷ２）上に投射する投影光学系ＰＬ、ウエハＷ１（又はＷ２）が載置されるテーブルとしてのウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２等を有するステージ装置２０、及び装置全体を統括制御する主制御装置５０等を備えている。
【００５０】
前記照明系１２は、光源及び照明光学系を含み、該照明光学系の内部に配置された視野絞り（マスキングブレード又はレチクルブラインドとも呼ばれる）で規定される矩形又は円弧状の照明領域にエネルギビームとしての照明光ＩＬを照射し、回路パターンが形成されたレチクルＲを均一な照度で照明する。照明系１２と同様の照明系は、例えば特開平６−３４９７０１号公報などに開示されている。ここで、照明光ＩＬとしては、ＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）あるいはＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）などの遠紫外光、又はＦ２レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光などが用いられる。照明光ＩＬとして、超高圧水銀ランプからの紫外域の輝線（ｇ線、ｉ線等）を用いることも可能である。
【００５１】
前記レチクルステージＲＳＴ上には、レチクルＲが、例えば真空吸着又は静電吸着等により固定されている。レチクルステージＲＳＴは、レチクルステージ駆動部２２によって、照明系１２の光軸（後述する投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに一致）に垂直なＸＹ平面内でＸ軸方向、Ｙ軸方向及びθｚ方向（Ｚ軸回りの回転方向）に微少駆動可能であるとともに、不図示のレチクルステージベースの上面に沿って所定の走査方向（Ｙ軸方向）に指定された走査速度で駆動可能となっている。なお、レチクルステージ駆動部２２は、リニアモータ、ボイスコイルモータ等を駆動源とする機構であるが、図１では図示の便宜上から単なるブロックとして示されている。なお、レチクルステージＲＳＴとしては、Ｙ軸方向に一次元駆動する粗動ステージと、該粗動ステージに対してレチクルＲを少なくとも３自由度方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びθｚ方向）に微小駆動可能な微動ステージとを有する粗微動構造のステージを採用しても勿論良い。
【００５２】
レチクルステージＲＳＴのＸＹ面内の位置（θｚ回転を含む）は、レチクルレーザ干渉計（以下、「レチクル干渉計」という）１６によって、レチクルステージＲＳＴ端部に形成された（又は設けられた）反射面を介して、例えば０．５〜１ｎｍ程度の分解能で常時検出される。レチクル干渉計１６からのレチクルステージＲＳＴの位置情報（θｚ回転量（ヨーイング量）を含む）は主制御装置５０に供給される。主制御装置５０では、レチクルステージＲＳＴの位置情報に基づいてレチクルステージ駆動部２２を介してレチクルステージＲＳＴを駆動制御する。
【００５３】
前記投影光学系ＰＬとしては、物体面側（レチクル側）と像面側（ウエハ側）の両方がテレセントリックでその投影倍率が１／４（又は１／５）の縮小系が用いられている。このため、レチクルＲに照明系１２から照明光（紫外パルス光）ＩＬが照射されると、レチクルＲ上に形成された回路パターン領域のうちの紫外パルス光によって照明された部分からの結像光束が投影光学系ＰＬに入射し、その照明光ＩＬの照射領域（前述の照明領域）内の回路パターンの像（部分倒立像）が紫外パルス光の各パルス照射の度に投影光学系ＰＬの像面側の視野の中央にＸ軸方向に細長いスリット状（又は矩形状（多角形））に制限されて結像される。これにより、投影された回路パターンの部分倒立像は、投影光学系ＰＬの結像面に配置されたウエハＷ１（又はＷ２）上の複数のショット領域のうちの１つのショット領域表面のレジスト層に縮小転写される。
【００５４】
投影光学系ＰＬとしては、照明光ＩＬとしてＫｒＦエキシマレーザ光又はＡｒＦエキシマレーザ光などを用いる場合には、屈折光学素子（レンズ素子）のみから成る屈折系が主として用いられるが、照明光ＩＬとしてＦ２レーザ光を用いる場合には、例えば特開平３−２８２５２７号公報に開示されるような、屈折光学素子と反射光学素子（凹面鏡やビームスプリッタ等）とを組み合わせたいわゆるカタディオプトリック系（反射屈折系）、あるいは反射光学素子のみから成る反射系が主として用いられる。但し、Ｆ２レーザ光を用いる場合に、屈折系を用いることは可能である。
【００５５】
前記ステージ装置２０は、投影光学系ＰＬの図１における下方に配置され、ウエハＷ１（又はＷ２）を保持する２つのウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２、該ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２のいずれをも搭載可能な３つのウエハステージＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３、該ウエハステージＳＴ１〜ＳＴ３をＸＹ面内で駆動する駆動系を備えている。
【００５６】
ステージ装置２０は、図２に示されるように、定盤４４、該定盤４４の外縁部近傍で上面の上方に非接触で浮上支持された全体として矩形の枠状部材から成るカウンタウエイト５８、該カウンタウエイト５８のＸ軸方向の一対の対向面（内面）のそれぞれに固定された一対のＹ軸固定子としてのＹ軸リニアガイドＳＹ１，ＳＹ２、並びにこれらのＹ軸リニアガイドＳＹ１，ＳＹ２に沿ってそれぞれＹ軸方向に移動可能な第１の移動ユニット３０及び第２の移動ユニット４０等を備えている。
【００５７】
前記定盤４４は、図２のステージ装置２０からカウンタウエイト５８を取り除いた状態を示す図３の斜視図からわかるように、その外縁部近傍の矩形枠状の領域を除く中央部の領域が一段高い凸部４４ａとされた全体として矩形の段付きの板状の形状を有している。この定盤４４は、クリーンルームの床面Ｆ上で複数（例えば３つ）の防振ユニット（不図示）を介して略水平に支持されている。この複数の防振ユニットは、床面Ｆから定盤４４に伝達される微振動（暗振動）を、マイクロＧレベルで絶縁する。なお、複数の防振ユニットとして、定盤４４の所定個所にそれぞれ固定された半導体加速度計等の振動センサの出力に基づいて定盤４４をそれぞれ積極的に制振する、いわゆるアクティブ防振装置を用いることは勿論可能である。
【００５８】
前記定盤４４の凸部４４ａの上面４４ｂは、平面度が高く仕上げられ、後述する第１〜第３ステージとしてのウエハステージＳＴ１〜ＳＴ３の移動ガイド面とされている。凸部４４ａの周囲の矩形枠状の領域の上面４４ｃは、上面４４ｂと同程度（あるいはそれより低い）平面度となる加工が施されている。この上面４４ｃの上方に、前述のカウンタウエイト５８が、その底面あるいは定盤４４側に設けられた気体静圧軸受により数μｍ程度のクリアランスを介して浮上支持されている。
【００５９】
前記一方のＹ軸リニアガイドＳＹ１は、図３に示されるように、Ｔ字状の断面形状を有し、そのＴ字の足の部分が内側を向きかつ定盤４４の上面４４ｂに平行となる状態でＹ軸方向に延設されている。このＹ軸リニアガイドＳＹ１の＋Ｘ側の面は、前述したカウンタウエイト５８の＋Ｘ側辺部の内面に固定されている（図２参照）。このＹ軸リニアガイドＳＹ１は、断面Ｔ字状の筐体と、該筐体内にＹ軸方向に沿って所定間隔で配設された不図示の電機子コイルとを有する電機子ユニットである。
【００６０】
前記他方のＹ軸リニアガイドＳＹ２は、上記Ｙ軸リニアガイドＳＹ１と同様に構成され、左右対称の配置となるように、カウンタウエイト５８の−Ｘ側辺部の内面に固定されている。
【００６１】
前記Ｙ軸リニアガイドＳＹ１の上側（＋Ｚ側）、下側（−Ｚ側）には、図２及び図３に示されるように、Ｙ軸リニアガイドＳＹ１と同様にＴ字状の断面形状を有する一対の固定子４２Ａ，４２Ｂが、Ｙ軸リニアガイドＳＹ１に関して上下対称にかつＹ軸リニアガイドＳＹ１と同様の向き、姿勢でＹ軸方向に延設されている。これらの固定子４２Ａ，４２Ｂは、Ｔ字の足の部分がＹ軸リニアガイドＳＹ１より幾分短いが、その長さは同一長さとなっている。固定子４２Ａ，４２Ｂは、Ｙ軸リニアガイドＳＹ１を上下から挟む状態で前述したカウンタウエイト５８の＋Ｘ側辺部の内面に固定されている（図２参照）。
【００６２】
前記第１の移動ユニット３０は、図２及び図３等に示されるように、Ｘ軸方向を長手方向とするＸ軸固定子としてのＸ軸リニアガイドＳＬ１、該Ｘ軸リニアガイドＳＬ１のＸ軸方向の一端と他端にそれぞれ固定された略直方体状の取付部材７３ａ，７３ｂ、該取付部材７３ａ，７３ｂそれぞれのＸ軸リニアガイドＳＬ１とは反対側の面に固定されたＹ軸可動子ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂ、及びＸ軸リニアガイドＳＬ１がその内部に挿入状態とされているステージとしてのウエハステージＳＴ１等を備えている。
【００６３】
前記Ｘ軸リニアガイドＳＬ１は、Ｘ軸方向に伸びる筐体と、該筐体の内部にＸ軸方向に沿って所定間隔で配設された不図示の電機子コイルとを有する電機子ユニットである。このＸ軸リニアガイドＳＬ１の長手方向の一端と他端にそれぞれ固定された前述の取付部材７３ａ，７３ｂの下面（定盤４４の上面４４ｂと対向する面）には、不図示の非接触ベアリング、例えば真空予圧型気体静圧軸受がそれぞれ取り付けられており、該軸受から定盤４４の上面４４ｂに向けて噴出される加圧気体の静圧（いわゆる隙間内圧力）により、取付部材７３ａ，７３ｂと定盤４４の上面４４ｂとの間に数μｍ程度のクリアランスが維持されている。
【００６４】
前記Ｙ軸可動子ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂは、図４（Ａ）に示されるように、断面Ｕ字状（コ字状）の形状を有するヨークと、該ヨーク内部の上下対向面にＹ軸方向に沿って所定間隔でそれぞれ配設された複数の界磁石とを有している。この場合、Ｙ軸方向に隣り合う界磁石同士、Ｚ軸方向で向かい合う界磁石同士が逆極性とされている。このため、Ｙ軸可動子ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂの内部空間には、Ｙ軸方向に関して交番磁界がそれぞれ形成されている。
【００６５】
これらＹ軸可動子ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂは、図２に示されるように、前述のカウンタウエイト５８に固定されたＹ軸リニアガイドＳＹ１、ＳＹ２にそれぞれ係合状態とされている（図３参照）。Ｙ軸リニアガイドＳＹ１、ＳＹ２は、前述のように、その内部にＹ軸方向に所定間隔で配置された複数の電機子コイルを有していることから、Ｙ軸リニアガイド（ＳＹ１又はＳＹ２）内の電機子コイルを流れる電流と、Ｙ軸可動子（ＤＹ１ａ又はＤＹ１ｂ）の内部の交番磁界との間の電磁相互作用により生じるＹ軸方向のローレンツ力がＹ軸可動子（ＤＹ１ａ又はＤＹ１ｂ）に推力（駆動力）として作用する。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸リニアガイドＳＹ１とＹ軸可動子ＤＹ１ａとによってムービングマグネット型のＹ軸リニアモータが構成され、Ｙ軸リニアガイドＳＹ２とＹ軸可動子ＤＹ１ｂとによってムービングマグネット型のＹ軸リニアモータが構成されている。以下では、これらのＹ軸リニアモータを、それぞれの可動子と同一の符号を用いてＹ軸リニアモータＤＹ１ａ、Ｙ軸リニアモータＤＹ１ｂと適宜記述するものとする。
【００６６】
前記ウエハステージＳＴ１は、図４（Ａ）に示されるように、概略箱状の形状を有し、その上面には、３方（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ方向）をＵ字状（コ字状）の側壁７１ｃで囲まれた凹部７１ａが形成されている。このウエハステージＳＴ１の底面は、不図示の非接触ベアリング、例えば真空予圧型気体静圧軸受が設けられ、該軸受から定盤４４の上面４４ｂに噴き付けられる加圧気体の静圧（いわゆる隙間内圧力）によってウエハステージＳＴ１が定盤４４の上面４４ｂの上方に数μｍ程度のクリアランスを介して浮上支持されている（図２、図３等参照）。
【００６７】
更に、ウエハステージＳＴ１には、図４（Ａ）に示されるように、Ｘ軸方向に貫通する矩形の貫通孔７１ｂが形成され、この貫通孔７１ｂの内部上面にＸ軸可動子ＤＸ１が固定されている。このＸ軸可動子ＤＸ１は、断面矩形の筒形状を有するヨークと、該ヨーク内部の上下対向面にＸ軸方向に沿って所定間隔で配設された複数の界磁石とを有している。この場合、Ｘ軸方向に隣り合う界磁石同士、Ｚ軸方向で向かい合う界磁石同士が逆極性とされている。このため、Ｘ軸可動子ＤＸ１の内部空間には、Ｘ軸方向に関して交番磁界が形成されている。
【００６８】
この場合、前述したＸ軸リニアガイドＳＬ１を構成する電機子コイルを流れる電流と、Ｘ軸可動子ＤＸ１内部の交番磁界との間の電磁相互作用により生じるＸ軸方向のローレンツ力がＸ軸可動子ＤＸ１に対する推力（駆動力）として作用し、該推力の作用により可動子ＤＸ１（及びウエハステージＳＴ１）がＸ軸リニアガイドＳＬ１に沿ってＸ軸方向に駆動される。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸リニアガイドＳＬ１とＸ軸可動子ＤＸ１とによって、図４（Ａ）に示されるムービングマグネット型のＸ軸リニアモータＬＸ１が構成されている。
【００６９】
このように、ウエハステージＳＴ１は、Ｘ軸リニアモータＬＸ１によりＸ軸方向に駆動されるが、この駆動力の反力が、Ｘ軸リニアガイドＳＬ１に生じ、この反力により、前述のＹ軸可動子ＤＹ１ａ又はＤＹ１ｂが、対向するＹ軸リニアガイドＳＹ１、ＳＹ２に接触することがないように、本実施形態では、Ｘ軸リニアガイドＳＬ１の長手方向の一端部に、次に説明する一対のボイスコイルモータが設けられている。
【００７０】
すなわち、この一対のボイスコイルモータは、前述のＹ軸リニアガイドＳＹ１の上側及び下側に配置された固定子４２Ａ，４２Ｂのそれぞれと、当該各固定子に個別に対応して、図２に示されるように、Ｙ軸可動子ＤＹ１ａの上側及び下側にそれぞれ固定された可動子３６Ａ，３６Ｂとによって、それぞれ構成されている。
【００７１】
可動子３６Ａ，３６Ｂのそれぞれは、図４（Ａ）に示されるように、断面Ｕ字状（コ字状）のヨークと、該ヨークの上下対向面に各１つずつ設けられた不図示の永久磁石とを有している。これら永久磁石同士は逆極性とされている。また、前記固定子４２Ａ，４２Ｂのそれぞれは、断面Ｔ字状の筐体と、該筐体内にＹ軸方向に沿って配設された不図示の複数の電機子コイルとを備えている。これらの電機子コイルは、可動子３６Ａ，３６Ｂがそれぞれ形成するＺ軸方向の磁界に−Ｘ側の半分部分のみが掛かるような配置で上記筐体内に配設されている。
【００７２】
従って、各固定子（４２Ａ又は４２Ｂ）を構成する電機子コイルを流れるＹ軸方向の電流と、対応する各可動子（３６Ａ又は３６Ｂ）内部のＺ軸方向の磁界との間の電磁相互作用により生じるＸ軸方向のローレンツ力が、各可動子（３６Ａ又は３６Ｂ）に推力（駆動力）として作用するようになっている。本実施形態では、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ１をＸ軸方向に駆動する際に、Ｘ軸リニアモータＬＸ１に対する推力指令値に基づいて、ウエハステージＳＴ１の駆動によってＸ軸リニアガイドＳＬ１に生じる反力を相殺するための大きさ及び方向の電流を、各固定子（４２Ａ又は４２Ｂ）を構成する電機子コイルに供給する。これにより、各可動子（３６Ａ又は３６Ｂ）と対応する各固定子（４２Ａ又は４２Ｂ）との間の間隔が所定の間隔に維持される。すなわち、上記一対のボイスコイルモータによってＸ軸リニアガイドＳＬ１とカウンタウエイト５８との位置関係を所定の状態に維持する維持機構が構成されている。なお、以下の説明においては、前記一対のボイスコイルモータを、それぞれの可動子と同一の符号を用いてボイスコイルモータ３６Ａ、ボイスコイルモータ３６Ｂと適宜記述するものとする。
【００７３】
ところで、図１〜図３では、ウエハステージＳＴ１上にウエハテーブルＴＢ１が搭載された状態が示されている。このウエハテーブルＴＢ１の上面（＋Ｚ側面）には、図２に示されるように、Ｘ軸方向の一端（−Ｘ側の端部）にＹ軸方向に延びるＸ移動鏡ＭＸ１が固定され、Ｙ軸方向の一端（＋Ｙ側の端部）に、Ｘ軸方向に延びるＹ移動鏡ＭＹ１が固定されている。また、ウエハテーブルＴＢ１の上面には、ウエハホルダＨ１を介してウエハＷ１が静電吸着又は真空吸着により固定されている（図４（Ａ）参照）。
【００７４】
本実施形態では、ウエハテーブルＴＢ１は、ウエハステージＳＴ１に対して非接触で保持されているが、この保持のための機構を含め、ウエハステージＳＴ１及びウエハテーブルＴＢ１のその他の構成については後述する。
【００７５】
前記第２の移動ユニット４０は、図２及び図３等に示されるように、Ｘ軸方向を長手方向とするＸ軸固定子としてのＸ軸リニアガイドＳＬ２、該Ｘ軸リニアガイドＳＬ２のＸ軸方向一端と他端にそれぞれ固定された略直方体状の取付部材７５ａ，７５ｂと、該取付部材７５ａ，７５ｂにそれぞれのＸ軸リニアガイドＳＬ２とは反対側の面に固定されたＹ軸可動子ＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂ、及びＸ軸リニアガイドＳＬ２がその内部に挿入状態とされているステージとしてのウエハステージＳＴ２、ＳＴ３等を備えている。
【００７６】
前記Ｘ軸リニアガイドＳＬ２は、前述のＸ軸リニアガイドＳＬ１と同様に構成された電機子ユニットである。このＸ軸リニアガイドＳＬ２の長手方向の一端と他端にそれぞれ固定された前述の取付部材７５ａ，７５ｂの下面（定盤４４の上面４４ｂと対向する面）には、不図示の非接触ベアリング、例えば真空予圧型気体静圧軸受がそれぞれ取り付けられており、該軸受から定盤４４の上面４４ｂに向けて噴出される加圧気体の静圧（いわゆる隙間内圧力）により、取付部材７５ａ，７５ｂと定盤４４の上面４４ｂとの間に数μｍ程度のクリアランスが維持されている。
【００７７】
前記Ｙ軸可動子ＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂは、図４（Ｂ）と図４（Ａ）とを比較するとわかるように、前述の第１の移動ユニット３０側のＹ軸可動子ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂと同様に構成されている。これらＹ軸可動子ＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂは、Ｙ軸可動子ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂと同様、前述のカウンタウエイト５８に固定されたＹ軸リニアガイドＳＹ１、ＳＹ２にそれぞれ係合状態とされている（図３参照）。この場合、Ｙ軸リニアガイド（ＳＹ１又はＳＹ２）内の電機子コイルを流れる電流と、Ｙ軸可動子（ＤＹ２ａ又はＤＹ２ｂ）の内部の交番磁界との間の電磁相互作用により生じるＹ軸方向のローレンツ力がＹ軸可動子（ＤＹ２ａ又はＤＹ２ｂ）に推力（駆動力）として作用する。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸リニアガイドＳＹ１とＹ軸可動子ＤＹ２ａとによってムービングマグネット型のＹ軸リニアモータが構成され、Ｙ軸リニアガイドＳＹ２とＹ軸可動子ＤＹ２ｂとによってムービングマグネット型のＹ軸リニアモータが構成されている。以下では、これらのＹ軸リニアモータを、それぞれの可動子と同一の符号を用いてＹ軸リニアモータＤＹ２ａ、Ｙ軸リニアモータＤＹ２ｂと適宜記述するものとする。
【００７８】
前記ウエハステージＳＴ２は、図４（Ｂ）に示されるように、概略箱状の形状を有し、その上面には、−Ｘ側端部と−Ｙ側端部との所定幅の帯状の部分から成る他の部分（残りの領域）より一段高いＬ字状凸部８１ｃが設けられている。以下の説明では、便宜上、Ｌ字状凸部８１ｃを除く領域を、低段差部８１ａと記述するものとする。
【００７９】
このウエハステージＳＴ２は、ウエハステージＳＴ１と同様に、不図示の非接触ベアリング、例えば真空予圧型気体静圧軸受を介して定盤４４の上面４４ｂの上方に数μｍ程度のクリアランスを介して浮上支持されている（図２、図３等参照）。
【００８０】
更に、ウエハステージＳＴ２には、図４（Ｂ）に示されるように、Ｘ軸方向に貫通する矩形の貫通孔８１ｂが形成され、この貫通孔８１ｂの内部上面にＸ軸可動子ＤＸ２が固定されている。このＸ軸可動子ＤＸ２は、前述のウエハステージＳＴ１に設けられたＸ軸可動子ＤＸ１と同様に構成されている。この場合、前述したＸ軸リニアガイドＳＬ２を構成する電機子コイルを流れる電流と、Ｘ軸可動子ＤＸ２内部の交番磁界との間の電磁相互作用により生じるＸ軸方向のローレンツ力がＸ軸可動子ＤＸ２に対する推力（駆動力）として作用し、該推力の作用により可動子ＤＸ２（及びウエハステージＳＴ２）がＸ軸リニアガイドＳＬ２に沿ってＸ軸方向に駆動される。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２とＸ軸可動子ＤＸ２とによって、図４（Ｂ）に示されるムービングマグネット型のＸ軸リニアモータＬＸ２が構成されている。
【００８１】
前記ウエハステージＳＴ３は、図４（Ｂ）に示されるように、上記ウエハステージＳＴ２と左右対称ではあるが、同様の構成を有している。すなわち、ウエハステージＳＴ３は、概略箱状の形状を有し、その上面には、Ｌ字状の凸部９１ｃ及び低段差部９１ａが形成されている。このウエハステージＳＴ３は、ウエハステージＳＴ１と同様に、不図示の非接触ベアリング、例えば真空予圧型気体静圧軸受を介して定盤４４の上面４４ｂの上方に数μｍ程度のクリアランスを介して浮上支持されている（図２、図３等参照）。
【００８２】
更に、ウエハステージＳＴ３には、図４（Ｂ）に示されるように、Ｘ軸方向に貫通する矩形の貫通孔９１ｂが形成され、この貫通孔９１ｂの内部上面に前述のＸ軸可動子ＤＸ１と同様に構成されたＸ軸可動子ＤＸ３が固定されている。この場合、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２を構成する電機子コイルを流れる電流と、Ｘ軸可動子ＤＸ３内部の交番磁界との間の電磁相互作用により生じるＸ軸方向のローレンツ力がＸ軸可動子ＤＸ３に対する推力（駆動力）として作用し、該推力の作用により可動子ＤＸ３（及びウエハステージＳＴ３）がＸ軸リニアガイドＳＬ２に沿ってＸ軸方向に駆動される。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２とＸ軸可動子ＤＸ３とによって、図４（Ｂ）に示されるムービングマグネット型のＸ軸リニアモータＬＸ３が構成されている。
【００８３】
このように、ウエハステージＳＴ２は、Ｘ軸リニアモータＬＸ２によりＸ軸方向に駆動され、ウエハステージＳＴ３は、Ｘ軸リニアモータＬＸ３によりＸ軸方向に駆動されるが、これらの駆動力の反力が、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２に生じ、この反力により、前述のＹ軸可動子ＤＹ２ａ又はＤＹ２ｂが、対向するＹ軸リニアガイドＳＹ１、ＳＹ２に接触することがないように、本実施形態では、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２の長手方向の一端部に、次に説明する一対のボイスコイルモータが設けられている。
【００８４】
すなわち、この一対のボイスコイルモータは、前述のＹ軸リニアガイドＳＹ１の上側及び下側に配置された固定子４２Ａ，４２Ｂのそれぞれと、当該各固定子に個別に対応して、図２に示されるように、Ｙ軸可動子ＤＹ２ａの上側及び下側にそれぞれ固定された可動子４６Ａ，４６Ｂとによって、それぞれ構成されている。
【００８５】
可動子４６Ａ，４６Ｂのそれぞれは、図４（Ａ）と図４（Ｂ）とを比較するとわかるように、前述した可動子３６Ａ、３６Ｂと同様に構成されている。従って、各固定子（４２Ａ又は４２Ｂ）を構成する電機子コイルを流れるＹ軸方向の電流と、対応する各可動子（４６Ａ又は４６Ｂ）内部のＺ軸方向の磁界との間の電磁相互作用により、各可動子（４６Ａ又は４６Ｂ）にＸ軸方向のローレンツ力が駆動力として作用するようになっている。本実施形態では、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ２（又はＳＴ３）をＸ軸方向に駆動する際に、Ｘ軸リニアモータＬＸ２（又はＬＸ３）に対する推力の指令値に基づいてウエハステージＳＴ２（又はＳＴ３）の駆動際にＸ軸リニアガイドＳＬ２に生じる反力を相殺するための大きさ及び方向の電流を、各固定子（４２Ａ又は４２Ｂ）を構成する電機子コイルに供給する。これにより、各可動子（４６Ａ又は４６Ｂ）と対応する各固定子（４２Ａ又は４２Ｂ）との間の間隔が所定の間隔に維持される。
【００８６】
また、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ２及びウエハステージＳＴ３を同時にＸ軸方向に駆動する際には、Ｘ軸リニアモータＬＸ２、ＬＸ３に対する推力の指令値に基づいて、ウエハステージＳＴ２、ＳＴ３それぞれの駆動によってＸ軸リニアガイドＳＬ２にそれぞれ生じる反力の合力を相殺するための大きさ及び方向の電流を、各固定子（４２Ａ又は４２Ｂ）を構成する電機子コイルに供給する。これにより、各可動子（４６Ａ又は４６Ｂ）と対応する各固定子（４２Ａ又は４２Ｂ）との間の間隔が所定の間隔に維持される。すなわち、上記一対のボイスコイルモータによってＸ軸リニアガイドＳＬ２とカウンタウエイト５８との位置関係を所定の状態に維持する維持機構が構成されている。なお、以下の説明においては、前記一対のボイスコイルモータを、それぞれの可動子と同一の符号を用いてボイスコイルモータ４６Ａ、ボイスコイルモータ４６Ｂと適宜記述するものとする。
【００８７】
ところで、図１〜図３では、ウエハステージＳＴ２上にウエハテーブルＴＢ２が搭載された状態が示されている。このウエハテーブルＴＢ２の上面（＋Ｚ側面）には、図２に示されるように、Ｘ軸方向の一端（−Ｘ側の端部）にＹ軸方向に延びるＸ移動鏡ＭＸ２が固定され、Ｙ軸方向の一端（＋Ｙ側の端部）に、Ｘ軸方向に延びるＹ移動鏡ＭＹ２が固定されている。また、ウエハテーブルＴＢ２の上面には、ウエハホルダＨ２を介してウエハＷ２が静電吸着又は真空吸着により固定されている（図４（Ｂ）参照）。
【００８８】
本実施形態では、ウエハテーブルＴＢ２は、ウエハステージＳＴ２に対して非接触で保持されているが、この保持のための機構を含め、ウエハステージＳＴ２及びウエハテーブルＴＢ２のその他の構成については後述する。
【００８９】
図２に戻り、前記投影光学系ＰＬの−Ｘ側に所定距離離れ、かつ−Ｙ側に所定距離離れた位置（すなわち、斜めに離れた位置）に、オフアクシス（ｏｆｆ−ａｘｉｓ）方式のアライメント系ＡＬＧが設けられている。このアライメント系ＡＬＧとしては、一例として画像処理方式の結像式アライメントセンサの一種であるＦＩＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｉｍａｇｅ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系のアライメントセンサが用いられている。このアライメント系ＡＬＧは、光源（例えばハロゲンランプ）及び結像光学系、検出基準となる指標マークが形成された指標板、及び撮像素子（ＣＣＤ）等を含んで構成されている。このアライメント系ＡＬＧでは、光源からのブロードバンド（広帯域）光により検出対象であるマークを照明し、このマーク近傍からの反射光を結像光学系を介して指標からの光とともにＣＣＤで受光する。このとき、マークの像が指標の像とともにＣＣＤの撮像面に結像される。そして、ＣＣＤからの画像信号（撮像信号）に所定の信号処理を施すことにより、検出中心である指標マークの中心を基準とするマークの位置を計測する。アライメント系ＡＬＧのようなＦＩＡ系のアライメントセンサは、アルミ層やウエハ表面の非対称マークの検出に特に有効である。
【００９０】
本実施形態では、アライメント系ＡＬＧは、ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２上不図示の基準マーク板上の基準マーク及びウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２上に保持されたウエハ上のアライメントマークの位置情報の計測等に用いられる。アライメント系ＡＬＧからの画像信号は、不図示のアライメント制御装置により、Ａ／Ｄ変換され、デジタル化された波形信号を演算処理して指標中心を基準とするマークの位置が検出される。このマーク位置の情報が、不図示のアライメント制御装置から主制御装置５０に送られるようになっている。
【００９１】
図２おいて、ウエハテーブルＴＢ１上の移動鏡ＭＸ１の反射面には、Ｘ軸干渉計１１６から投影光学系ＰＬの光軸を通るＸ軸に平行な方向の干渉計ビーム（測長ビーム）が照射されている。同様に、ウエハテーブルＴＢ２上の移動鏡ＭＸ２の反射面には、Ｘ軸干渉計１１８からアライメント系ＡＬＧの検出中心（指標マークの中心）を通るＸ軸に平行な方向の干渉計ビームが照射されている。そして、Ｘ軸干渉計１１６、１１８では移動鏡ＭＸ１、ＭＸ２からの反射光をそれぞれ受光することにより、各反射面の基準位置（一般には投影光学系ＰＬ側面や、アライメント系ＡＬＧの側面に固定ミラーを配置し、そこを基準面とする）からの相対変位を計測し、ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２のＸ軸方向位置を計測するようになっている。ここで、Ｘ軸干渉計１１６、１１８は、測長軸を少なくとも３軸有する多軸干渉計であり、ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２のＸ軸方向の位置情報の計測以外に、ローリング（Ｙ軸回りの回転（θｙ回転））及びヨーイング（θｚ方向の回転）の計測が可能となっている。各測長軸の出力値は独立に計測できるようになっている。
【００９２】
また、ウエハテーブルＴＢ１上の移動鏡ＭＹ１の反射面には、Ｙ軸干渉計１４６から投影光学系ＰＬの光軸を通り、Ｘ軸干渉計１１６の干渉計ビームと垂直に交差する干渉計ビーム（測長ビーム）が照射されている。同様に、ウエハテーブルＴＢ２上の移動鏡ＭＹ２の反射面には、Ｙ軸干渉計１４８からアライメント系ＡＬＧの検出中心（指標マークの中心）を通り、Ｘ軸干渉計１１８の干渉計ビームと垂直に交差する干渉計ビーム（測長ビーム）が照射されている。そして、Ｙ軸干渉計１４６、１４８では移動鏡ＭＹ１、ＭＹ２からの反射光をそれぞれ受光することにより、各反射面の基準位置からの相対変位を計測し、ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２のＹ軸方向位置を計測するようになっている。ここで、Ｙ軸干渉計１４６、１４８は、測長軸を少なくとも３つ有する多軸干渉計であり、ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２のＹ軸方向の位置情報の計測以外に、ピッチング（Ｘ軸回りの回転（θｘ回転））及びヨーイング（θｚ方向の回転）の計測が可能となっている。各光軸の出力値は独立に計測できるようになっている。
【００９３】
このように、本実施形態では、Ｘ軸干渉計１１６、１１８及びＹ軸干渉計１４６，１４８の合計４つの干渉計によって、ウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２のＸＹ２次元座標位置を管理するウエハ干渉計システムＩＦ（図１参照）が構成されている。このウエハ干渉計システムＩＦを構成する各干渉計の計測値は、主制御装置５０に送られるようになっている。主制御装置５０では、後述する露光時には、干渉計１４６、１１６の計測値に基づいて、ウエハステージＳＴ１のＸＹ面内の位置を、いわゆるアッベ誤差なく高精度に管理し、後述するウエハアライメント時（及びウエハ交換時）には、干渉計１４８、１１８の計測値に基づいて、ウエハステージＳＴ２の位置を、いわゆるアッベ誤差なく高精度に管理するようになっている。
【００９４】
但し、本実施形態では、ウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２は、常時ウエハステージＳＴ１、ＳＴ２上にとどまるものではなく、後述するようにウエハステージＳＴ２とＳＴ１との間、ＳＴ１とＳＴ３との間、ＳＴ３とＳＴ２との間を移動するようになっている。このため、ウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２のウエハステージ間の移動の途中や、ウエハテーブルがウエハステージ上に存在しなくなったときなど、状況によっては、干渉計システムのみでは各ウエハステージの位置管理が困難となる。かかる点を考慮して、ウエハステージＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３のＸ軸方向の位置を常時計測可能な不図示のリニアエンコーダが、Ｘ軸リニアガイドＳＬ１とウエハステージＳＴ１との間、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２とウエハステージＳＴ２，ＳＴ３との間にそれぞれ設けられている。また、Ｙ軸リニアガイドＳＹ１、ＳＹ２の所定の一方、例えばＹ軸リニアガイドＳＹ２と、Ｙ軸可動子ＤＹ１ｂ，ＤＹ２ｂとの間に、第１の移動ユニット３０（すなわち、ウエハステージＳＴ１），第２の移動ユニット４０（すなわち、ウエハステージＳＴ２，ＳＴ３）のＹ軸方向の位置を常時計測可能な不図示のリニアエンコーダが、それぞれ設けられている。
【００９５】
そして、主制御装置５０が、ウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２が、ウエハステージＳＴ２とＳＴ１との間、ＳＴ１とＳＴ３との間、ＳＴ３とＳＴ２との間を移動する際に、各ウエハステージ（ＳＴ１〜ＳＴ３）のＸ軸方向、Ｙ軸方向のいずれか一方の軸方向の干渉計による位置計測が不能となるときには、リニアエンコーダによって計測されるその一方の軸方向の位置情報と、干渉計によって計測される他方の軸方向の位置情報と、に基づいて、各ウエハステージのＸ位置、Ｙ位置を管理する。
【００９６】
勿論、主制御装置５０では、上述のウエハテーブルの移動中などに、それまで計測不能であった干渉計からの干渉計ビームが再度ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２の移動鏡に当たるようになったときは、それまで計測に用いられていなかった測長軸の干渉計の計測値をリセット（又はプリセット）し、以後、干渉計システムを構成するＸ軸干渉計，Ｙ軸干渉計の計測値のみに基づいてウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２（及び該ウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２が搭載されたウエハステージ）の位置を管理する。
【００９７】
上述のように、ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２上には、各２つの移動鏡が設けられ、これらの移動鏡に対向して干渉計も４つ設けられているが、図１では、ウエハテーブルＴＢ１側の移動鏡として移動鏡ＭＸ１のみが代表的に図示され、ウエハテーブルＴＢ２側の移動鏡として移動鏡ＭＸ２のみが代表的に図示され、さらに複数の干渉計が代表的にウエハ干渉計システムＩＦとして示されている。
【００９８】
上述のようにして構成された本実施形態のステージ装置２０では、図１〜図３に示されるように、ウエハテーブルＴＢ１がウエハステージＳＴ１に搭載された状態では、図５に示されるように、ウエハステージＳＴ１（重心ＧＳ）とウエハテーブルＴＢ１（重心ＧＴ）との全体の重心ＧのＺ位置が、一対のＹ軸リニアモータＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂの固定子及び可動子と略一致しており、この結果、これらのＹ軸リニアモータＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂの駆動力の合力の作用点と前記重心ＧのＺ位置とがほぼ一致している。
【００９９】
また、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ１をＹ軸方向に駆動する際には、第１の移動ユニット３０の全体に回転モーメントが作用しないように、ウエハステージＳＴ１のＸ軸方向の位置に応じて、Ｙ軸リニアモータＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂの各電機子コイルに供給する電流の大きさ、方向を制御する。従って、Ｙ軸リニアモータＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂの発生する駆動力の合力の作用点のＸ位置は、重心ＧのＸ位置に略一致する。また、Ｘ軸リニアモータＬＸ１の発生する駆動力の作用点のＹ位置は、前述の重心Ｇに略一致している。
【０１００】
すなわち、本実施形態では、ウエハステージＳＴ１は、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）が搭載された状態（例えば後述する露光時の状態）では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のいずれの方向に関しても、ウエハステージＳＴ１とウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）との全体の重心Ｇが駆動されるようになっている。従って、この場合、駆動に際して、ウエハステージＳＴ１及びウエハテーブルＴＢ１（ＴＢ２）には、ピッチングモーメント、ヨーイングモーメント、ローリングモーメントが極力作用しないようになっている。
【０１０１】
また、上記ウエハステージＳＴ１と同様に、ウエハテーブルＴＢ２（又はＴＢ１）が搭載された状態（例えば後述するウエハアライメント時の状態）では、少なくともＸ軸方向に関して、ウエハステージＳＴ２とウエハテーブルＴＢ２（又はＴＢ１）との全体の重心が駆動されるようになっている。従って、この場合、駆動に際して、ウエハステージＳＴ２及びウエハテーブルＴＢ２（ＴＢ１）には、ヨーイングモーメント、ローリングモーメントが極力作用しないようになっている。また、ウエハステージＳＴ２とウエハテーブルＴＢ２との全体の重心のＺ位置が、一対のＹ軸リニアモータＤＹ２ａ、ＤＹ２ｂの固定子及び可動子と略一致しており、この結果、これらのＹ軸リニアモータＤＹ２ａ、ＤＹ２ｂの駆動力の合力の作用点と前記重心ＧのＺ位置とがほぼ一致している。従って、ウエハステージＳＴ２及びウエハテーブルＴＢ２（ＴＢ１）には、ピッチングモーメントは極力作用しないようになっている。
【０１０２】
さらに、本実施形態の露光装置１０では、図示は省略されているが、レチクルＲの上方に、投影光学系ＰＬを介してレチクルＲ上のレチクルマークとウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２上の不図示の基準マーク板上の基準マークとを同時に観察するための露光波長の光を用いたＴＴＲ（Ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｔｈｅ  Ｒｅｔｉｃｌｅ）方式の一対のレチクルアライメント系が設けられている。これらのレチクルアライメント系の検出信号は、不図示のアライメント制御装置を介して主制御装置５０に供給されるようになっている。なお、レチクルアライメント系としては、例えば特開平７−１７６４６８号公報等に開示されるものと同様の構成を採用することができる。
【０１０３】
この他、図示は省略されているが、投影光学系ＰＬ、アライメント系ＡＬＧのそれぞれには、例えば特開平１０−２１４７８３号公報等に開示されるものと同様の合焦位置を調べるためのオートフォーカス／オートレベリング計測機構（以下、「ＡＦ／ＡＬ系」という）がそれぞれ設けられている。
【０１０４】
次に、各ウエハテーブルを各ウエハステージに対して非接触で保持するための機構等について、図６（Ａ）〜図１０（Ｃ）に基づいて説明する。
【０１０５】
図６（Ａ）には、ウエハステージＳＴ１とウエハテーブルＴＢ１との斜視図が併せて示されている。この図６（Ａ）に示されるように、ウエハテーブルＴＢ１は、矩形板状のテーブル部１４２Ａと、該テーブル部１４２Ａの底面（−Ｚ側面）に凸設された凸部１４２Ｂとを有している。凸部１４２Ｂは、テーブル部１４２Ａよりも一回り小さい所定の厚さの矩形板状の形状を有している。この場合、凸部１４２Ｂの形状及び大きさは、ウエハステージＳＴ１の上面に形成された凹部７１ａに所定のクリアランスを介して嵌合（係合）可能な形状及び大きさとなっている。
【０１０６】
前記凸部１４２Ｂの側面（４面）には、Ｘ軸方向の両側面に各２つ、Ｙ軸方向の両側面に各１つ、合計６つの磁石ユニット９５Ａ〜９５Ｆが貼付され、凸部１４２Ｂの底面には可動子としての６つの磁石ユニット９６Ａ〜９６Ｆが貼付されている。更に、凸部１４２Ｂの底面の中央部には、半導体又は絶縁体等を素材とする板部材から成るターゲットプレートＰＴ（これについては後述する）が貼付されている。
【０１０７】
これを更に詳述すると、凸部１４２Ｂの図６（Ａ）における＋Ｘ側の面の両端に磁石ユニット９５Ｂ、９５Ｃがそれぞれ貼付され、−Ｘ側の面の両端に磁石ユニット９５Ｅ、９５Ｆがそれぞれ貼付され、磁石ユニット９５Ｂと９５Ｆ、磁石ユニット９５Ｃと９５Ｅとが、凸部１４２Ｂを介してそれぞれ対向している。また、凸部１４２Ｂの−Ｙ側の側面の中央部に磁石ユニット９５Ａが貼付され、これに対向して＋Ｘ側の側面の中央部に磁石ユニット９５Ｄが貼付されている。
【０１０８】
また、凸部１４２Ｂ底面の−Ｙ側の端部のＸ方向両端の部分に磁石ユニット９６Ａ、９６Ｃが貼付され、それらの中間に磁石ユニット９６Ｂが貼付されている。同様に、凸部１４２Ｂ底面の＋Ｙ側の端部のＸ方向両端の部分に磁石ユニット９６Ｄ、９６Ｆが貼付され、それらの中間に磁石ユニット９６Ｅが貼付されている。
【０１０９】
なお、他方のウエハテーブルＴＢ２は、上記ウエハテーブルＴＢ１と同様に構成されているので、その説明を省略し、以下では同一部分には同一の符号を用いるものとする。
【０１１０】
前記ウエハステージＳＴ１の凹部７１ａの内部底面には、電機子コイルを含む固定子としての電磁コア（ＥＩコア）９２Ａ，９２Ｂ，９２Ｃがそれぞれ埋め込まれている。この場合、電磁コア９２Ａ，９２Ｂ，９２Ｃは、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）側の磁石ユニット９６Ａ，９６Ｅ，９６Ｃにそれぞれ対向する位置に配置されている。また、側壁７１ｃの内面には、電磁コア９２Ｄ，９２Ｅ，９２Ｆがそれぞれ埋め込まれている。これらの電磁コア９２Ｄ，９２Ｅ，９２Ｆは、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）がウエハステージＳＴ１上に搭載された状態では、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）側の磁石ユニット９５Ｆ，９５Ｅ，９５Ｄに対向するようになっている。
【０１１１】
前記ウエハステージＳＴ２は、図６（Ｂ）に示されるように、上記ウエハステージＳＴ１と同様に、低段差部８１ａの３箇所に埋め込まれた３つの電磁コア９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃと、Ｌ字状凸部８１ｃの内面に埋め込まれた３つの電磁コア９３Ｄ，９３Ｅ，９３Ｆとを有している。これら電磁コア９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃ，９３Ｄ，９３Ｅ，９３Ｆは、ウエハステージＳＴ２上にウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）が搭載された状態では、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）側の磁石ユニット９６Ｂ，９６Ｄ，９６Ｆ，９５Ｆ，９５Ｅ，９５Ａにそれぞれ対向するようになっている。
【０１１２】
前記ウエハステージＳＴ３は、前述のように、ウエハステージＳＴ２とは左右対称の構成であり、不図示ではあるが、低段差部９１ａ及びＬ字状凸部９１ｃ（図４（Ｂ）参照）においても、ウエハステージＳＴ２と同様の（左右対称の）配置で６つの電磁コアが設けられている。この場合、ウエハステージＳＴ３上にウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）が搭載された場合、それら６つの電磁コアのそれぞれは、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）側の磁石ユニット９６Ｂ，９６Ｄ，９６Ｆ，９５Ｂ，９５Ｃ，９５Ａに個別に対向するようになっている。
【０１１３】
ここで、図６（Ａ）中の相互に対向する磁石ユニット９６Ｅと電磁コア９２Ｂとを例にとって、それらの構成、作用について簡単に説明する。電磁コア９２Ｂは、図７に示されるように、例えば鉄などの磁性体により構成された略Ｅ字状の芯材５１と、該芯材５１の中央の突起部５１ａに巻回されたコイル５３とを備えている。一方、磁石ユニット９６Ｅは、３つの永久磁石５５ａ〜５５ｃから成り、隣接する永久磁石同士が逆極性とされている。
【０１１４】
電磁コア９２Ｂと磁石ユニット９６Ｅが対向した状態では、図７に示されるように、電磁コア９２Ｂを構成する芯材５１の３つの突起部５１ａ〜５１ｃの端面に対して永久磁石５５ａ〜５５ｃがそれぞれ対向する。この場合、電磁コア９２Ｂを構成するコイル５３に所定方向の電流（ここでは、矢印Ａで示される方向の電流）が供給されると芯材５１の中央の突起部５１ａがＮ極に磁化され、両端の突起部５１ｂ，５１ｃがＳ極に磁化される。このとき、突起部５１ａ〜５１ｃには、同じ極性の永久磁石がそれぞれ対向しており、電磁コア９２Ｂと磁石ユニット９６Ｅとの間には、反発力（斥力）が生じている。この反発力の大きさは、電磁コア９２Ｂのコイル５３に供給される電流の大きさを制御することにより任意に調整可能である。
【０１１５】
一方、コイル５３に矢印Ａ’で示される方向の電流が供給されると、図７の場合とは逆に、芯材５１の中央の突起部５１ａがＳ極に磁化され、両端の突起部５１ｂ，５１ｃがＮ極に磁化されるので、電磁コア９２Ｂと磁石ユニット９６Ｅとの間には吸引力が生じることとなる。この吸引力も、コイル５３に供給される電流の大きさを制御することにより任意に調整可能である。
【０１１６】
すなわち、電磁コア９２Ｂのコイル５３に供給される電流の大きさ及び方向を制御することにより、磁石ユニット９６Ｅを電磁コア９２Ｂに対して非接触で浮上支持することが可能であるとともに、両者間の間隔を調整することも可能である。すなわち、相互に対向する電磁コアと磁石ユニットとにより、非接触保持機構を兼ねる微動機構が構成される。
【０１１７】
他の磁石ユニット９５Ａ〜９５Ｆ，９６Ａ〜９６Ｄ，９６Ｆは、上記磁石ユニット９６Ｅと同様に構成され、他の電磁コア９２Ａ，９２Ｃ〜９２Ｆは、上記電磁コア９２Ｂと同様に構成されている。従って、ウエハステージＳＴ１（又はＳＴ２あるいはＳＴ３）上にウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）が搭載された状態では、ウエハステージとウエハテーブルとの間に、いずれもウエハテーブルのウエハステージに対する非接触保持機構を兼ねる３つのＺ軸方向微小駆動用の微動機構と、２つのＹ軸方向微小駆動用の微動機構と、１つのＸ軸方向駆動用の微同機構とが構成される。そこで、主制御装置５０は、それぞれの微動機構を構成する電磁コアに供給する電流の大きさ及び方向を制御することにより、ウエハステージに対するウエハテーブルの６自由度方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ，θｘ，θｙ，θｚ方向）の位置姿勢制御を行うようになっている。
【０１１８】
なお、本実施形態では、ウエハステージ側に固定子として電磁コアを設け、ウエハテーブル側に可動子として磁石ユニットを設けるものとしたが、これと反対に、ウエハステージ側に固定子として磁石ユニットを設け、ウエハテーブル側に可動子として電磁コアを設けることも可能である。
【０１１９】
なお、ウエハステージＳＴ３は、後述するウエハアライメント動作及び露光動作のいずれにも用いられないので、Ｚ軸方向の駆動力を発生する微動機構（すなわち、低段差部９１ａに埋め込まれた電磁コア）を必ずしも設けなくても良い。
【０１２０】
さらに、本実施形態では、図６（Ａ）に示されるように、ウエハステージＳＴ１の凹部７１ａの内部底面には、Ｘ軸方向中央部の所定幅の領域に、Ｙ軸方向に沿って所定間隔（ピッチ）でＸ軸方向に細長く伸びる複数の電極６６が埋め込まれている。以下においては、この複数の電極６６を纏めて電極群６４Ａと記述するものとする。
【０１２１】
また、ウエハステージＳＴ２の低段差部８１ａの上面には、図６（Ｂ）及び図９（Ａ）に示されるように、その中央部の略正方形の領域に、マトリクス状の配置で複数の略正方形状の電極６８Ｃが埋め込まれ、この領域の＋Ｙ側の領域にＹ軸方向に沿って所定間隔（ピッチ）でＸ軸方向に細長く伸びる複数の電極６８Ａが埋め込まれ、前記略正方形の領域の＋Ｘ側の領域にＸ軸方向に沿って所定間隔（ピッチ）でＹ軸方向に細長く伸びる複数の電極６８Ｂが埋め込まれている。以下においては、これらの電極６８Ｃ、６８Ａ、６８Ｃの全てを纏めて電極群６４Ｂと記述する。
【０１２２】
更に、ウエハステージＳＴ３の低段差部９１ａの上面には、電極群６４Ｂとは左右対称の電極群６４Ｃが埋め込まれている（図１０（Ａ）等参照）。
【０１２３】
本実施形態では、上記の電極群６４Ａ〜６４Ｃと、前述したウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２の底面に貼付されたターゲットプレートＰＴとにより、ウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２をウエハステージＳＴ１〜ＳＴ３の三者間で受け渡すテーブル受け渡し機構が構成されている。
【０１２４】
以下、ウエハステージＳＴ１に埋め込まれた電極群６４ＡとウエハテーブルＴＢ１の底面に貼付されたターゲットプレートＰＴとから構成される、テーブル受け渡し機構を例にとり、図８（Ａ）〜図８（Ｄ）等に基づいて、ウエハテーブルの受け渡し時におけるウエハテーブルの搬送原理について簡単に説明する。
【０１２５】
図８（Ａ）〜図８（Ｄ）には、電極群６４Ａ及びターゲットプレートＰＴを＋Ｘ方向から見た状態が模式的に示されている。
【０１２６】
電極群６４Ａを構成する複数の電極（前述の図６（Ａ）の電極６６に相当）には、電源が接続されており、この電源は、各電極に対して所定の電圧を印加する。電源は、それぞれの電極に対して交流電圧を印加することにより、各電極に印加される電圧の符号（正負）を切り替えることが可能である。また、図８（Ａ）に示されるように、複数の電極として、搬送方向（ここではＹ軸方向）に沿ってＵ、Ｖ、Ｔ、Ｕ’、Ｖ’、Ｔ’の電極が設けられており、電源から、電極Ｕ及び電極Ｕ’の組、電極Ｖ及び電極Ｖ’の組、電極Ｔ及び電極Ｔ’の組に、それぞれ１相ずつの交流電圧が印加される、いわゆる３相式となっている。
【０１２７】
ここでの、ウエハテーブルＴＢ１の搬送方法は、主にターゲットプレートＰＴを帯電する工程（第１工程）と、帯電したターゲットプレートＰＴ（及びウエハテーブルＴＢ１）を静電気力によって浮上する工程（第２工程）と、浮上したターゲットプレートＰＴ（及びウエハテーブルＴＢ１）を−Ｙ方向に搬送する（第３工程）とを含む。以下、これらの工程につき説明する。
【０１２８】
まず、第１工程では、主制御装置５０は、電極群６４Ａを構成する複数の電極のうちの所定の電極に所定の電圧を印加するよう不図示の電源に指示を出す。この指示に応じて電源は、所定の電極に所定の電圧を印加する。これにより電圧が印加された電極は、電圧に応じた符号の電荷を帯電する。図８（Ａ）においては、電極Ｔがプラスに帯電され、電極Ｔ’がマイナスに帯電された状態が示されている。
【０１２９】
この場合、ターゲットプレートＰＴは、ウエハテーブルＴＢ１の上面（凹部７１ａの内部底面）に接しており、電極Ｔ、Ｔ’の作用により、誘電分極される。すなわち、ターゲットプレートＰＴのうち、電極Ｔに対応する部分ＰＯ１はマイナスに帯電し、電極Ｔ’に対応する部分ＰＯ２は、プラスに帯電する。
【０１３０】
次の、第２工程では、上述のようにターゲットプレートＰＴの一部が誘電分極した状態で、主制御装置５０の指示の下、不図示の電源により、部分ＰＯ１、ＰＯ２にそれぞれ対向する電極Ｔ，Ｔ’に対し、上記第１工程と異なる電荷が帯電するように、電圧を印加する。これにより、図８（Ｂ）に示されるように、電極Ｔがマイナスに帯電され、電極Ｔ’がプラスに帯電される。
【０１３１】
すなわち、ターゲットプレートＰＴのうち電極Ｔに対応している部分ＰＯ１と電極Ｔとは、ともにマイナスに帯電され、電極Ｔ’に対応している部分ＰＯ２と電極Ｔ’とは、ともにプラスに帯電されている。従って、ターゲットプレートＰＴと電極Ｔ、Ｔ’とは静電気力によって反発し、この反発力によってターゲットプレートＰＴ（及びウエハテーブルＴＢ１）は、ウエハステージＳＴ１に対して浮上する。
【０１３２】
なお、第１、第２工程において各電極に印加される電圧の値は、ターゲットプレートＰＴの物性や、ターゲットプレートＰＴを含むウエハテーブルＴＢ１全体の重さによって予め設定されるものであり、ターゲットプレートＰＴを含むウエハテーブルＴＢ１全体を浮上させるために必要な大きさに設定され、主制御装置５０内のメモリに記憶されている。
【０１３３】
次いで、第３工程では、主制御装置５０の指示の下、ターゲットプレートＰＴが静電気力により−Ｙ方向に駆動されるような電圧制御が行われる。具体的には、図８（Ｃ）に示されるように、第１、第２工程において電圧が印加された電極Ｔ、Ｔ’の搬送方向（−Ｙ側）に隣接する電極Ｕ、Ｕ’に電圧を印加する。このとき、主制御装置５０は、不図示の電源を介して、電極Ｕ、Ｕ’に対して、隣接する電極の帯電状態とは反対の符号の電荷が帯電するような電圧を印加する。
【０１３４】
すなわち、電極Ｕには、プラスの電荷が帯電するような電圧が印加され、電極Ｕ’にはマイナスの電荷が帯電するような電圧が印加される。
【０１３５】
なお、この場合、電極Ｕ、Ｕ’に印加される電圧と、電極Ｔ、Ｔ’に印加された電圧とはその絶対値が等しくなるように設定されている。
【０１３６】
このようにすることで、ターゲットプレートＰＴでは、部分ＰＯ１と電極Ｕとが静電気の吸引力によって引き合い、部分ＰＯ１には、図８（Ｃ）中の矢印ｆ１方向の力が作用する。同様に、部分ＰＯ２と電極Ｕ’とが静電気の吸引力によって引き合い、部分ＰＯ２には矢印ｆ２方向の力が作用する。これらの力によりターゲットプレートＰＴは、部分ＰＯ１と電極Ｔとの反発力と、部分ＰＯ２と電極Ｔ’との反発力による浮力を受けたまま、−Ｙ方向に搬送され、部分ＰＯ１は、電極Ｔの上方から電極Ｕの上方に移動し、部分ＰＯ２は、電極Ｔ’の上方から電極Ｕ’の上方に移動することとなる。
【０１３７】
なお、この移動の際にも、部分ＰＯ１と部分ＰＯ２とは、電極Ｔ及び電極Ｔ’からの反発力、電極Ｕ及び電極Ｕ’からの吸引力を受け続け、重力を含むターゲットプレートＰＴに加わる力のバランスは、部分ＰＯ１及び部分ＰＯ２の位置によって変化する。また、部分ＰＯ１及び部分ＰＯ２に存在する電荷も変化する。そのため、それらの変化に伴い、ターゲットプレートＰＴの高さも変動するようになる。したがって、この変動により、ターゲットプレートＰＴと電極群６４Ａとが接触しないように、第２工程において、ターゲットプレートＰＴが十分な高さとなるように印加電圧を設定しておく必要がある。
【０１３８】
そして、ターゲットプレートＰＴのうちマイナスに帯電している部分ＰＯ１の大部分とプラスに帯電している電極Ｕとが対向し、プラスに帯電している部分ＰＯ２の大部分とマイナスに帯電している電極Ｕ’とが対向するようになると、部分ＰＯ１、ＰＯ２と、電極Ｕ、Ｕ’との間の吸引力が強まり、ターゲットプレートＰＴが次第に落下するようになる。そこで、本実施形態では、適当なタイミングで、主制御装置５０の指示の下、電極Ｕをマイナスに帯電させ、電極Ｕ’をプラスに帯電させる。これにより、ターゲットプレートＰＴと電極Ｕ、Ｕ’の間には、静電気による反発力が生じるので、ターゲットプレートＰＴは、ウエハステージＳＴ１上面に対して浮上したままとなる。なお、このとき、電極Ｔ、Ｔ’に帯電する電荷を０とする。
【０１３９】
以降、ターゲットプレートＰＴを浮上させたまま、さらに−Ｙ方向に搬送する場合には、図８（Ｄ）に示されるように、電極Ｖをプラスに帯電させ、電極Ｖ’をマイナスに帯電させる。これにより、図８（Ｃ）の場合と同様に、矢印ｆ３方向の力と矢印ｆ４方向の力とが発生し、ターゲットプレートＰＴは、部分ＰＯ１と電極Ｕとの反発力と、部分ＰＯ２と電極Ｕ’との反発力による浮力を受けたまま、−Ｙ方向に搬送され、部分ＰＯ１は、電極Ｕの上方から電極Ｖの上方に移動し、部分ＰＯ２は、電極Ｕ’の上方から電極Ｖ’の上方に移動することとなる。なお、この際にも、部分ＰＯ１、ＰＯ２が、電極Ｖ、Ｖ’にそれぞれ近づいたときの電極Ｖ、Ｖ’との吸引力の増加によるターゲットプレートＰＴの落下を防止すべく、適当なタイミングで電極Ｖ，Ｖ’の帯電する電荷を反転させることは言うまでもない。
【０１４０】
なお、上述した電極の電荷を反転させるタイミングは、ターゲットプレート等の電気物性、例えば、その物体の誘電分極の分極時定数等に基づいて設定されており、予め主制御装置５０内のメモリに設定されているものとする。
【０１４１】
上述したような原理により、本実施形態では、ウエハテーブルは、各ウエハステージ上及びウエハステージ間で搬送される。なお、ウエハステージ間におけるウエハテーブルの搬送については、更に後述する。
【０１４２】
前述の如く、ウエハステージＳＴ２に設けられた電極群６４Ｂは、図９（Ａ）に示されるように、Ｘ軸方向を長手方向とする複数の電極６８Ａと、Ｙ軸方向を長手方向とする複数の電極６８Ｂと、略正方形状でマトリクス状に配置された複数の電極６８Ｃとを備えている。従って、この電極群６４ＢとウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）の下面に貼付されたターゲットプレートＰＴとの間では、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）をＹ軸方向に搬送する際には、主制御装置５０の指示の下、電源により複数の電極６８Ａに対して前述のような電圧の印加が行われるとともに、図９（Ａ）に示されるように、略正方形の電極６８Ｃのうちの同一のＸ軸方向に並ぶ電極（同一行の電極）を１つの組として、電源により電極６８Ｃの各組ごとに前述と同様の電圧の印加が行われる。すなわち、電極６８Ｃの各組が、Ｘ軸方向を長手方向とする各電極６８Ａと同様の機能を果たす。
【０１４３】
また、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）をＸ軸方向に搬送する際には、主制御装置５０の指示の下、電源により複数の電極６８Ｂに対して前述のような電圧の印加が行われるとともに、図９（Ｂ）に示されるように、電極６８Ｃのうちの同一のＹ軸方向に並ぶ電極（同一列の電極）を１つの組として、電源により電極６８Ｃの各組ごとに前述と同様の電圧の印加が行われる。すなわち、電極６８Ｃの各組が、Ｙ軸方向を長手方向とする各電極６８Ｂと同様の機能を果たす。
【０１４４】
ウエハステージＳＴ３に設けられた電極群６４Ｃも、ウエハステージＳＴ２に設けられた電極群６４Ｂと左右対称ではあるが、同様に構成されているので、同様にしてウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）のＸ軸方向、Ｙ軸方向の搬送が行われる。
【０１４５】
次に、ウエハステージ間におけるウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）の搬送の手順について説明する。
【０１４６】
図１０（Ａ）には、ウエハステージＳＴ１とウエハステージＳＴ３との間で、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）が搬送される（受け渡される）ときの、第１の移動ユニット３０と第２の移動ユニット４０の各部の位置関係が示されている。この図１０（Ａ）に示されるように、ウエハステージＳＴ１とウエハステージＳＴ３とが最接近した状態では、電極群６４Ａによって形成されるウエハテーブルの移動経路と電極群６４Ｃによって形成されるウエハテーブルの移動経路とが実質的に接続された状態（繋がった状態）となる。この状態で、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）の位置に応じて、主制御装置５０の指示の下、電源が電極群６４Ａの＋Ｙ側から−Ｙ側の電極に順次電圧を印加し、また、電極群６４Ｃの＋Ｙ側から−Ｙ側の電極（略正方形の電極の組を含む）に順次電圧を印加することにより、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）がウエハステージＳＴ１上からウエハステージＳＴ３上に搬送される。なお、このステージ間でのウエハテーブルの受け渡しの終了後には、主制御装置５０は、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）を前述の各微動機構を用いて非接触支持及び位置調整しても良いし、そのようにすることなく、ウエハステージＳＴ３上に載置しても良い。
【０１４７】
図１０（Ｂ）には、ウエハステージＳＴ３とウエハステージＳＴ２との間で、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）が搬送される（受け渡される）ときの、第２の移動ユニット４０の各部の状態が示されている。この図１０（Ｂ）に示されるように、ウエハステージＳＴ３とウエハステージＳＴ２とが最接近した状態では、電極群６４Ｃによって形成されるウエハテーブルの移動経路と電極群６４Ｂによって形成されるウエハテーブルの移動経路とが実質的に接続された状態（繋がった状態）となる。この状態で、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）の位置に応じて、上記と同様に主制御装置５０の指示の下、電源が電極群６４Ｃの＋Ｘ側から−Ｘ側の電極（略正方形の電極の組を含む）に順次電圧を印加し、また、電極群６４Ｂの＋Ｘ側から−Ｘ側の電極（略正方形の電極の組を含む）に順次電圧を印加することにより、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）がウエハステージＳＴ３からウエハステージＳＴ２上に搬送される。なお、このステージ間でのウエハテーブルの受け渡しの終了後には、主制御装置５０は、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）を前述の各微動機構を用いて非接触で支持するとともに、干渉計１１８、１４８の計測値に基づいて位置調整を行う。
【０１４８】
図１０（Ｃ）には、ウエハステージＳＴ２とウエハステージＳＴ１との間で、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）が搬送される（受け渡される）ときの、第１の移動ユニット３０と第２の移動ユニット４０の各部の位置関係が示されている。この図１０（Ｃ）に示されるように、ウエハステージＳＴ２とウエハステージＳＴ１とが最接近した状態では、電極群６４Ｂによって形成されるウエハテーブルの移動経路と電極群６４Ａによって形成されるウエハテーブルの移動経路とが実質的に接続された状態（繋がった状態）となる。この状態で、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）の位置に応じて、上記と同様に主制御装置５０の指示の下、電源が電極群６４Ｂの−Ｙ側から＋Ｙ側の電極（略正方形の電極の組を含む）に順次電圧を印加し、また、電極群６４Ａの−Ｙ側から＋Ｙ側の電極に順次電圧を印加することにより、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）がウエハステージＳＴ２からウエハステージＳＴ１上に搬送される。なお、このステージ間でのウエハテーブルの受け渡しの終了後には、主制御装置５０は、ウエハテーブルＴＢ１（又はＴＢ２）を前述の各微動機構を用いて非接触で支持するとともに、干渉計１１６、１４８の計測値に基づいて位置調整を行う。
【０１４９】
ところで、本実施形態の露光装置１０においては、上述したウエハテーブルのステージ間での搬送（受け渡し）は、ウエハステージＳＴ１上に搭載されたウエハテーブル上のウエハに対する投影光学系ＰＬを介した露光動作と、ウエハステージＳＴ２上に搭載されたウエハテーブル上でのウエハ交換・ウエハアライメント動作との並行処理を含む、一連の露光シーケンスの動作の一部としてそれぞれ行われる。
【０１５０】
以下、一連の露光処理シーケンスの動作について、図１１（Ａ）〜図１３（Ｂ）に基づいて説明する。
【０１５１】
図１１（Ａ）には、ウエハステージＳＴ１上に搭載されたウエハテーブルＴＢ１上のウエハＷ１に対して投影光学系ＰＬを介した露光動作が行われるのと並行して、ウエハステージＳＴ２上に搭載されたウエハテーブルＴＢ２上のウエハＷ２に対してアライメント系ＡＬＧを用いたウエハアライメント動作が行われている状態が示されている。
【０１５２】
この図１１（Ａ）の状態に先立って、所定のローディングポジション（これについて後述する）に該ウエハテーブルＴＢ２（ウエハステージＳＴ２）があるとき、不図示のウエハローダによって、ウエハテーブルＴＢ２上に載置された露光済みのウエハのアンロード及び新たなウエハＷ２のロードが行なわれている。
【０１５３】
そして、主制御装置５０は、干渉計１１８，１４８の計測値に基づいてウエハテーブルＴＢ２（ウエハステージＳＴ２）のＸＹ面内の位置を管理しつつ、アライメント系ＡＬＧを用いて、ウエハＷ２上の特定の複数のショット領域（サンプルショット領域）に付設されたアライメントマーク（サンプルマーク）の位置情報を検出する。このときの状態が、図１１（Ａ）に示されている。次いで、主制御装置５０は、その検出結果とその特定のショット領域の設計上の位置座標とに基づいて、例えば特開昭６１−４４４２９号公報などに開示される最小二乗法を用いた統計演算によりウエハＷ２上の全てのショット領域の配列座標を求めるＥＧＡ（エンハンスト・グローバル・アライメント）方式のウエハアライメント計測を実行する。また、この場合、主制御装置５０は、サンプルマークの位置情報の検出に前後して、ウエハテーブルＴＢ２上の不図示の基準マーク板上の第１基準マークの位置情報を検出している。
【０１５４】
そして、主制御装置５０は、先に求めたウエハＷ２上の全てのショット領域の配列座標を、第１基準マークの位置を原点とする位置座標に変換する。
【０１５５】
なお、上記のウエハ交換、ウエハアライメントの際、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ２を、前述したＸ軸リニアモータＬＸ２、一対のＹ軸リニアモータＤＹ２ａ、ＤＹ２ｂを介して長ストロークで駆動するとともに、ウエハテーブルＴＢ２を前述の６つの微動機構を介してウエハステージＳＴ２に対して相対的にＸ，Ｙ，Ｚ，θｘ，θｙ，θｚ方向に関して微小駆動する。勿論、Ｚ，θｘ，θｙ方向の駆動に際しては、前述のＡＦ／ＡＬ系の計測結果が考慮される。
【０１５６】
このようにして、ウエハテーブルＴＢ２（ウエハステージＳＴ２）側で、ウエハ交換、ウエハアライメントが実行される。このウエハ交換、ウエハアライメントと並行して、ウエハステージＳＴ１側では、既に行われたウエハアライメント結果に基づいてウエハテーブルＴＢ１上に載置されたウエハＷ１上の各ショット領域の露光のための加速開始位置にウエハテーブルＴＢ１（ウエハステージＳＴ１）を移動させるショット間ステッピング動作と、レチクルＲ（レチクルステージＲＳＴ）とウエハＷ１（ウエハテーブルＴＢ１）とを、Ｙ軸方向に相対走査してレチクルＲに形成されたパターンをウエハＷ１上の露光対象のショット領域に投影光学系ＰＬを介して転写する走査露光動作と、を繰り返す、ステップ・アンド・スキャン方式の露光動作が行なわれる。
【０１５７】
上記のステップ・アンド・スキャン方式の露光動作の開始に先立って、主制御装置５０は、干渉計１１６、１４６の計測値に基づいてウエハテーブルＴＢ１の位置を管理しつつ、ウエハテーブルＴＢ１上の不図示の基準マーク板上の一対の第２の基準マークとレチクルＲ上の一対のレチクルアライメントマークとを前述のレチクルアライメント系を用いて計測している。そして、主制御装置５０では、その計測結果と前述とのウエハアライメントの結果とに基づいてウエハＷ１上の各ショット領域の露光のための加速開始位置にウエハテーブルＴＢ１を移動させる。
【０１５８】
上記のステップ・アンド・スキャン方式の露光動作中、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ１を、前述したＸ軸リニアモータＬＸ１、一対のＹ軸リニアモータＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂを介して長ストロークで駆動するとともに、ウエハテーブルＴＢ１を前述の６つの微動機構を介してウエハステージＳＴ１に対して相対的にＸ，Ｙ，Ｚ，θｘ，θｙ，θｚ方向に関して微小駆動する。勿論、Ｚ，θｘ，θｙ方向の駆動に際しては、前述のＡＦ／ＡＬ系の計測結果が考慮される。
【０１５９】
なお、この露光動作そのものの手順などは、通常のスキャニング・ステッパと同様なので、これ以上の詳細な説明は省略する。
【０１６０】
上述したウエハテーブルＴＢ２上のウエハに対するウエハアライメント動作と、ウエハテーブルＴＢ１上のウエハに対する露光動作とでは、通常は、ウエハアライメント動作の方が先に終了する。そこで、主制御装置５０は、ウエハアライメントの終了後、ウエハテーブルＴＢ２が搭載されたウエハステージＳＴ２を、第１の移動ユニット３０を構成する各部と干渉しない範囲で、第１の移動ユニット３０に接近した所定の待機位置に移動させ、その位置で待機させる（図１１（Ｂ）参照）。
【０１６１】
その後、ウエハテーブルＴＢ１上のウエハＷ１に対する露光動作が終了すると、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ１を−Ｙ方向に駆動し、図１１（Ｃ）に示されるように、ウエハステージＳＴ３に最接近させる。このとき、ウエハステージＳＴ１、ＳＴ３は、前述した図１０（Ａ）の位置関係となり、前述したようにして、ウエハテーブルＴＢ１がウエハステージＳＴ１からウエハステージＳＴ３に搬送される（受け渡される）。
【０１６２】
図１２（Ａ）には、このウエハテーブルＴＢ１のウエハステージＳＴ１からウエハステージＳＴ３への搬送の途中の様子が示されている。
【０１６３】
そして、主制御装置５０は、ウエハテーブルＴＢ１が完全にウエハステージＳＴ３上に搬送されると、ウエハステージＳＴ１を、−Ｘ方向に移動し、図１２（Ｂ）に示されるように、ウエハステージＳＴ２に最接近させる。このとき、ウエハステージＳＴ１、ＳＴ２は、前述した図１０（Ｃ）の位置関係となり、前述したようにして、ウエハテーブルＴＢ２がウエハステージＳＴ２からウエハステージＳＴ１に搬送される（受け渡される）。
【０１６４】
そして、図１２（Ｃ）に示されるように、ウエハステージＳＴ１上にウエハテーブルＴＢ２が搬送されると、主制御装置５０は、ウエハテーブルＴＢ２（ウエハステージＳＴ１）を、投影光学系ＰＬの直下に移動し、ウエハテーブルＴＢ２上の不図示の基準マーク板上の一対の第２の基準マークとレチクルＲ上の一対のレチクルアライメントマークとを前述のレチクルアライメント系を用いて計測した後、その計測結果と前述のウエハアライメントの結果とに基づいて、ウエハＷ２上の各ショット領域対して、ステップ・アンド・スキャン方式の露光動作を開始する。
【０１６５】
上記のウエハテーブルＴＢ２（ウエハステージＳＴ１）の投影光学系ＰＬの直下への移動とほぼ同時に、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ２、ＳＴ３の−Ｙ方向に向けた移動を開始する。この移動の途中で、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ３をウエハステージＳＴ２に最接近させ、両ステージの位置関係を図１０（Ｂ）の位置関係にする。このようにして、ウエハステージＳＴ３がウエハステージＳＴ２に最接近した状態で、露光済みのウエハＷ１が載置されたウエハテーブルＴＢ１が、ウエハステージＳＴ３からウエハステージＳＴ２に搬送される（受け渡される）。図１３（Ａ）には、このウエハテーブルＴＢ１の受け渡しの途中の様子が示されている。この受渡しが行われている間も、第２の移動体４０は、−Ｙ方向に移動し続けている。
【０１６６】
そして、ウエハステージＳＴ２へのウエハテーブルＴＢ１の搬送が終了すると、主制御装置５０は、ウエハステージＳＴ２を、図１３（Ｂ）に示されるウエハ交換位置（ローディングポジション）まで移動するとともに、ウエハステージＳＴ３を所定の待機位置へ向けて＋Ｘ方向に移動する。
【０１６７】
そして、図１３（Ｂ）に示される位置まで、ウエハステージＳＴ２、ＳＴ３が移動すると、不図示のウエハローダによって、ウエハテーブルＴＢ１上に載置された露光済みのウエハＷ１のアンロード及び新たなウエハＷ３のロードが行なわれている。
【０１６８】
その後、新たなウエハＷ３に対するウエハアライメント動作が前述したウエハＷ２に対するウエハアライメント動作と同様にして行われる。
【０１６９】
この間、すなわち、ウエハテーブルＴＢ１上でウエハ交換、その交換後のウエハＷ３に対するウエハアライメントが行われている間、ウエハテーブルＴＢ２側では、前述のステップ・アンド・スキャン方式の露光動作が続行されている。
【０１７０】
その後は、上と同様の動作が繰り返し行われ、所定枚数のウエハに対する露光が順次繰り返される。
【０１７１】
ところで、上述した一方のウエハテーブル上のウエハに対する露光と、他方のウエハテーブル上のウエハに対するウエハアライメント計測とが並行して行われる際には、ウエハステージＳＴ１とウエハステージＳＴ２とが並行してＸＹ面内で駆動され、それぞれのウエハステージの駆動力の反力が、カウンタウエイト５８に伝達され、該カウンタウエイト５８がその重心回りの回転モーメントを受ける。厳密には、カウンタウエイト５８は、接続された前述の第１の移動ユニット３０及び第２の移動ユニット４０とともに、それら全体の重心の回りの回転モーメントを受けるが、カウンタウエイト５８の重量（質量）に比べて第１の移動ユニット３０及び第２の移動ユニット４０の重量（質量）は小さいので、それぞれのウエハステージの駆動力の反力は、カウンタウエイト５８をその重心回りに回転させる回転モーメントであると考えて差し支えない。
【０１７２】
そこで、本実施形態では、主制御装置５０は、前述のウエハテーブル上のウエハに対する露光と、他方のウエハテーブル上のウエハに対するウエハアライメント計測との並行動作中には、ウエハステージＳＴ３の移動を制御し、これにより回転モーメントによるカウンタウエイト５８の回転を極力生じさせないようにしている。以下、これについて、図１４、図１５に基づいて説明する。
【０１７３】
図１４には、上述した露光動作と、ウエハ交換及びアライメント動作との並行処理の際に、ウエハステージＳＴ１（及びウエハテーブルＴＢ１）と、ウエハステージＳＴ２（ウエハテーブルＴＢ２）とをＹ軸方向に同時に駆動した場合の、Ｙ軸リニアモータＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂ，ＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂの発生推力（図１４中の黒矢印参照）が模式的に示されている。
【０１７４】
主制御装置５０は、干渉計１１６の計測値に基づいて、ウエハステージＳＴ１の位置を算出し、その算出結果に基づいて、Ｙ軸リニアモータＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂが発生する推力の合力が、第１の移動ユニット３０全体の重心に作用するようなＹ軸リニアモータＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂに対する推力の指令値を算出する。この場合、第１の移動ユニット３０全体の重心は、ウエハステージＳＴ１の位置に関わらず、該ウエハステージＳＴ１の重心位置にほぼ一致するものと考えられる。従って、ウエハステージＳＴ１の位置がわかると、簡単な比例計算により、Ｙ軸リニアモータＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂに対する推力の指令値を算出することができる。
【０１７５】
また、主制御装置５０は、干渉計１１８の計測値に基づいて、ウエハステージＳＴ２の位置を算出し、不図示のリニアエンコーダの計測値に基づいて、ウエハステージＳＴ３の位置を算出し、これらの算出結果とウエハステージＳＴ２（及びウエハテーブルＴＢ２）、ウエハステージＳＴ３の質量とに基づいて、Ｙ軸リニアモータＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂが発生する推力の合力が、第２の移動ユニット４０全体の重心に作用するようなＹ軸リニアモータＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂに対する推力の指令値を算出する。
【０１７６】
ここで、図１４の場合において、ウエハステージＳＴ１（及びウエハテーブルＴＢ１）及びウエハステージＳＴ２（及びウエハテーブルＴＢ２）を＋Ｙ方向に駆動する場合を考えると、上記のようにして算出された各推力指令値に基づいてＹ軸リニアモータＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂが駆動された場合、ウエハステージＳＴ１がＸ軸リニアガイドＳＬ１の中心より＋Ｘ側に位置しているので、＋Ｘ側のＹ軸リニアモータＤＹ１ａが発生する推力Ｆ１ａの方が、−Ｘ側のＹ軸リニアモータＤＹ１ｂが発生する推力Ｆ１ｂよりも大きくなる。この結果、Ｙ軸リニアガイドＳＹ１に作用する反力Ｆ１ａ’の方が、Ｙ軸リニアガイドＳＹ２に作用する反力Ｆ１ｂ’よりも大きくなる。
【０１７７】
また、この場合、第２の移動体４０側においては、ウエハステージＳＴ２、ＳＴ３及びＸ軸リニアガイドＳＬ２を含む系の重心は、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２の中心よりも−Ｘ側にあるので、＋Ｘ側のＹ軸リニアモータＤＹ２ａに発生する推力Ｆ２ａよりも、−Ｘ側のＹ軸リニアモータＤＹ２ｂが発生する推力Ｆ２ｂが大きくなる。この結果、Ｙ軸リニアガイドＳＹ１に作用する反力Ｆ２ａ’よりもＹ軸リニアガイドＳＹ２に作用する反力Ｆ２ｂ’の方が大きくなる。
【０１７８】
従って、ウエハステージＳＴ３を静止させたまま、上記のようなウエハステージＳＴ１、ＳＴ２の＋Ｙ方向の駆動を行うと、図１４に白抜き矢印で示される、時計回りの回転モーメントＭが、カウンタウエイト５８の重心ｇ回りに作用する。
【０１７９】
そこで、主制御装置５０では、上記Ｙ軸リニアモータＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂ、ＤＹ２ａ、ＤＹ２ｂに対する推力指令値を算出した際に、その推力指令値の算出結果に基づいて前記重心ｇ回りの回転モーメントＭを算出し、この回転モーメントＭと同一方向、同一大きさの回転モーメントを発生するためのＸ軸リニアモータＬＸ３の推力指令値を算出する。そして、このようにして算出した推力指令値に基づいて、Ｙ軸リニアモータＤＹ１ａ、ＤＹ１ｂ、ＤＹ２ａ、ＤＹ２ｂ及びＸ軸リニアモータＬＸ３を同時に駆動するようになっている。これにより、ウエハステージＳＴ３の駆動時にＸ軸リニアガイドＳＬ２に生じる反力Ｆａ’によって生じるカウンタウエイト５８の重心ｇ回りの回転モーメントによって、前述の回転モーメントＭが相殺され、カウンタウエイト５８には回転が生じない。この場合、前述したボイスコイルモータ４６Ａ、４６Ｂから成る維持機構によってＸ軸リニアガイドＳＬ２とカウンタウエイト５８との相対位置が維持されているので、前記反力Ｆａ’は、ボイスコイルモータ４６Ａ、４６Ｂの固定子４２Ａ，４２Ｂを介してカウンタウエイト５８に、ほぼそのまま伝達され、結果的に、前述の回転モーメントＭを正確に相殺することが可能となっている。
【０１８０】
一方、図１５には、上記露光動作と、ウエハ交換及びアライメント動作との並行処理の際に、ウエハステージＳＴ１（及びウエハテーブルＴＢ１）と、ウエハステージＳＴ２（ウエハテーブルＴＢ２）とをＸ軸方向に同時に駆動した場合の、Ｘ軸リニアモータＬＸ１、ＬＸ２の発生推力（図１５中の黒矢印参照）が模式的に示されている。
【０１８１】
この図１５において、推力Ｆ１でウエハステージＳＴ１（ウエハテーブルＴＢ１）が−Ｘ方向に駆動され、推力Ｆ２でウエハステージＳＴ２（ウエハテーブルＴＢ２）が−Ｘ方向に駆動される場合に、ウエハステージＳＴ３が静止状態であるとすると、前述の重心ｇとウエハステージＳＴ１，ウエハステージＳＴ２とのＹ軸方向の距離が殆ど同じであり、推力Ｆ１の反力Ｆ１’の方が、推力Ｆ２の反力Ｆ２’より大きいので、重心ｇの回りには時計回りの回転モーメントＭが作用する。
【０１８２】
そこで、主制御装置５０は、Ｘ軸リニアモータＬＸ１、ＬＸ２に対する推力の指令値を算出した際に、そのときの干渉計１４６、１４８の計測値と算出した推力の指令値とに基づいて、重心ｇの回りの回転モーメントＭを算出する。主制御装置５０は、この回転モーメントＭと同一方向、同一大きさの回転モーメントを発生するためのＸ軸リニアモータＬＸ３の推力指令値を算出する。そして、このようにして算出した推力指令値に基づいて、Ｘ軸リニアモータＬＸ１、ＬＸ２、ＬＸ３を同時に駆動する。これにより、ウエハステージＳＴ３の駆動時にＸ軸リニアガイドＳＬ２に生じる反力Ｆｂ’によって生じるカウンタウエイト５８の重心ｇ回りの回転モーメントによって、前述の回転モーメントＭが相殺され、カウンタウエイト５８には回転が生じない。この場合、前述したボイスコイルモータ３６Ａ、３６Ｂから成る維持機構によってＸ軸リニアガイドＳＬ１とカウンタウエイト５８との相対位置が維持され、かつ前述したボイスコイルモータ４６Ａ、４６Ｂから成る維持機構によってＸ軸リニアガイドＳＬ２とカウンタウエイト５８との相対位置が維持されているので、算出した推力指令値に対応する推力Ｆ１に応じた反力Ｆ１’、推力Ｆ２に応じた反力Ｆ２’、及び前記反力Ｆｂ’は、ボイスコイルモータの固定子４２Ａ，４２Ｂを介してカウンタウエイト５８に、ほぼそのまま伝達され、結果的に、前述の回転モーメントＭを正確に相殺することが可能となっている。
【０１８３】
上述と同様に、ウエハステージＳＴ１をＸ軸方向に駆動し、これと並行してウエハステージＳＴ２をＹ軸方向に駆動する場合、あるいは、ウエハステージＳＴ１をＹ軸方向に駆動し、これと並行してウエハステージＳＴ２をＸ軸方向に駆動する場合など、ウエハステージＳＴ１、ＳＴ２の同時駆動に際しては、主制御装置５０は、上記と同様にして、Ｘ軸リニアモータＬＸ３（ウエハステージＳＴ３）に対する推力指令値を算出する。この場合の主制御装置５０による、各リニアモータに対する推力指令値の算出は、所定の時間（例えば数ｍ秒）間隔で、タイマー割り込み処理により実現されるので、カウンタウエイト５８の回転は、略確実に防止できる。
【０１８４】
但し、カウンタウエイト５８は、各ウエハステージの移動に応じて、ほぼ運動量保存則に従ってＸ軸及びＹ軸方向に関して移動するので、カウンタウエイト５８が必要以上に定盤４４に対して位置ずれしないようにすることが望ましい。そこで、本実施形態では、不図示ではあるが、適宜カウンタウエイト５８のＸＹ２次元方向の位置を調整する不図示の駆動装置（例えばボイスコイルモータにより構成される）が、定盤４４とカウンタウエイト５８との相互間に設けられている。
【０１８５】
これまでの説明から明らかなように、本実施形態に係るステージ装置２０では、Ｘ軸リニアモータＬＸ１と一対のＹ軸リニアモータＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂとによって、ウエハステージＳＴ１をＸＹ面内で２次元駆動する第１駆動機構が構成されている。また、Ｘ軸リニアモータＬＸ２，ＬＸ３と、一対のＹ軸リニアモータＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂとによって、前記第１駆動機構に少なくとも一部が接続され、ウエハステージＳＴ２、ＳＴ３をＸ軸方向に関しては相互に独立に、Ｙ軸方向に関しては同時に駆動する第２駆動機構が構成されている。さらに、本実施形態に係るステージ装置２０では、各ウエハステージ上の電極とターゲットプレートとから構成されるテーブル受け渡し機構によって、ウエハステージＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３のうち任意の２つのステージが近接することにより、当該２つのステージの一方から他方へウエハテーブルを移動する移動機構が構成されている。
【０１８６】
また、本実施形態の露光装置１０では、照明系１２及び投影光学系ＰＬ等を含んで、ウエハステージＳＴ１上に搭載された任意のウエハテーブル上のウエハを照明光ＩＬで露光する露光部が構成されている。
【０１８７】
以上詳細に説明したように、本実施形態に係るステージ装置２０によると、主制御装置５０の指示の下、前述の第１駆動機構（ＬＸ１，ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂ）により、ウエハステージＳＴ１がＸＹ面内で駆動され、第１駆動機構に一部が接続された（より具体的には、Ｙ軸リニアモータの固定子を共通にする）前述の第２駆動機構により、ウエハステージＳＴ２、ＳＴ３がＸ軸方向に関して相互に独立に、Ｙ軸方向に関しては同時に駆動される。この場合、第１駆動機構と第２駆動機構とは一部が接続されているので、第１駆動機構によってウエハステージＳＴ１が駆動される際に第１駆動機構に生じる反力は、第２駆動機構に影響を及ぼし、第２駆動機構によってウエハステージＳＴ２、ＳＴ３の少なくとも一方、例えばウエハステージＳＴ２が駆動される際に第２駆動機構に生じる反力は、第１駆動機構に影響を及ぼす。
【０１８８】
すなわち、例えばウエハステージＳＴ１と、ウエハステージＳＴ２（又はＳＴ３）とが、所定の動作、例えば前述の露光動作とウエハアライメント動作を並行して行うために同時に駆動される場合に、第１、第２の駆動機構とこれらの駆動機構によってそれぞれ駆動可能な各ウエハステージを含む系（本実施形態の場合には、前述のカウンタウエイトも含まれる）全体に作用する回転モーメントを、前述のようにしてウエハステージＳＴ３（又はＳＴ２）をＸ軸方向に駆動することにより、その駆動力の反力の作用を利用して、相殺（あるいは効果的に低減する）ことが可能である。
【０１８９】
従って、本実施形態に係るステージ装置２０によると、各ウエハステージの駆動時に生じる反力が他のウエハステージに与える影響を低減して、並行動作のために同時に駆動される少なくとも２つのウエハステージの位置制御性を向上させることができる。この結果、複数のウエハステージを用いた並行処理動作の能力を精度面で向上させることが可能となる。
【０１９０】
また、ステージ装置２０は、一対のＹ軸リニアモータＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂの固定子、すなわち一対のＹ軸リニアモータＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂの固定子が接続され、ウエハステージＳＴ１〜ＳＴ３を支持する定盤４４に移動可能に支持されたカウンタウエイト５８を備えている。このため、ウエハステージＳＴ１〜ＳＴ３の駆動に伴う反力が、カウンタウエイト５８に作用した際に、該カウンタウエイトイ５８がほぼ運動量保存則に従って移動し、その反力が吸収される。これにより、ウエハステージＳＴ１〜ＳＴ３の駆動力の反力に起因して振動が生ずるのを効果的に抑制することができる。
【０１９１】
また、ステージ装置２０では、Ｘ軸リニアモータＬＸ１の固定子であるＸ軸リニアガイドＳＬ１とカウンタウエイト５８との間には、Ｘ軸リニアガイドＳＬ１とカウンタウエイト５８とのＸ軸方向に関する位置関係を維持する前述の一対のボイスコイルモータ３６Ａ，３６Ｂが設けられているので、ウエハステージＳＴ１の駆動の際に、Ｘ軸リニアガイドＳＬ１がその駆動力の反力の作用によって移動することがなく、この点においてウエハステージＳＴ１の位置制御性を良好にすることができる。
【０１９２】
また、ステージ装置２０では、Ｘ軸リニアモータＬＸ２、ＬＸ３の固定子であるＸ軸リニアガイドＳＬ２とカウンタウエイト５８との間には、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２とカウンタウエイト５８とのＸ軸方向に関する位置関係を維持する前述の一対のボイスコイルモータ４６Ａ，４６Ｂが設けられているので、ウエハステージＳＴ２、ＳＴ３のいずれか一方、又は両方をＸ軸方向に駆動する際に、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２がその駆動力の反力の作用によって移動することがない。従って、ウエハステージＳＴ３のＸ軸方向の駆動力の反力が、ウエハステージＳＴ２に影響を与えることがないとともに、ウエハステージＳＴ２のＸ軸方向の駆動力の反力が、ウエハステージＳＴ３に影響を与えることもない。従って、前述したカウンタウエイト５８に作用する回転モーメントの相殺のためのウエハステージＳＴ３の駆動が、ウエハステージＳＴ２に悪影響を与えるのを、確実に防止することができる。
【０１９３】
また、本実施形態に係るステージ装置２０は、ウエハステージＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３のいずれにも搭載可能な２つのウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２と、これらのウエハステージ三者間でウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２を受け渡す前述のテーブル受け渡し機構（すなわち移動機構）を備えている。また、このテーブル受け渡し機構（移動機構）は、各ウエハステージに設けられた電極（静電多相電極）と絶縁体又は誘電体から成るターゲットプレートとを含む静電アクチュエータによって構成されている。従って、このテーブル受け渡し機構（移動機構）により、小型で軽量なウエハテーブルを、高速にウエハステージ間で移動（受け渡す）ことができる。
【０１９４】
また、本実施形態では、移動機構（テーブル受け渡し機構）により、３つのウエハステージのうち任意の２つのウエハステージが近接することにより、当該２つのウエハステージの一方から他方へウエハテーブルが移動される。すなわち、ロボットアーム等を用いることなく、２つのウエハステージの相互の接近により該ウエハステージ間でのウエハテーブルの受け渡しが可能である。従って、ロボットアームなどの搬送系の設置スペースが不要なので、その分フットプリントの狭小化、ひいては装置の小型化を実現することができる。また、ウエハステージに比べて相当小型軽量のウエハテーブルがウエハステージ間で受け渡されるので、その受け渡しを短時間で行うことができる。
【０１９５】
また、本実施形態の露光装置１０によると、前述したウエハステージＳＴ１に搭載されたウエハテーブル上のウエハに対する露光動作と、ウエハステージＳＴ２に搭載されたウエハテーブル上でのウエハ交換及びウエハアライメント動作との同時並行処理を含む、一連のシーケンスに従った処理により、複数のウエハテーブルＴＢ１、ＴＢ２のそれぞれを複数のウエハステージＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３間で順次受け渡して循環使用することができるとともに、ウエハステージＳＴ１，ＳＴ２による並行動作を無理なく実現することができる。
【０１９６】
また、本実施形態の露光装置１０によると、高スループットのウエハテーブル循環及び並行処理動作の実現が可能であり、結果的に、ウエハステージＳＴ１，ＳＴ２を用いた並行処理動作の能力を特に時間的な面で向上させることが可能となる。
【０１９７】
本実施形態の露光装置１０によると、前述した種々の工夫により、ウエハアライメント精度及び露光精度の向上が可能であるとともに、スループットの向上が可能である。従って、結果的に、最終製品であるデバイスの生産性を歩留まり、及びスループットの両面で向上させることができる。
【０１９８】
また、本実施形態の露光装置１０では、前述の露光部は、照明光ＩＬをウエハに照射する投影光学系ＰＬを有し、ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２には、Ｘ軸及びＹ軸にそれぞれ直交する反射面（移動鏡の反射面に相当）がそれぞれ設けられ、投影光学系ＰＬとアライメント系ＡＬＧとが、Ｘ軸及びＹ軸にともに交差する方向に沿って配置されている。このため、投影光学系に関して対称に２つのアライメント系が設けられている、ツインウエハステージタイプのステージ装置を採用する露光装置に比べて、ウエハ側の干渉計の数の低減、装置の小型化ひいてはフットプリントを狭小化することが可能である。
【０１９９】
また、上記実施形態では、ウエハステージＳＴ１〜ＳＴ３それぞれには、少なくとも６つの固定子としてのＥＩコアが設けられ、ウエハテーブルには、固定子とともに微動機構を構成する１２個の可動子としての磁石ユニットが設けられ、ウエハテーブルをウエハステージに対して６自由度方向で微小駆動して、ウエハテーブル（ウエハ）の６自由度方向における位置、姿勢制御を精度良く行うことができる。但し、必ずしもこのようにする必要はなく、複数のウエハステージそれぞれには、少なくとも１つの固定子が設けられ、ウエハテーブルには、その固定子とともに微動機構を構成する少なくとも１つの可動子が設けられ、微動機構により、ウエハテーブルが少なくとも重力方向に微小駆動されるものであれば良い。
【０２００】
なお、上記実施形態では、Ｘ軸リニアガイドＳＬ１に１つのウエハステージ、Ｘ軸リニアガイドＳＬ２に２つのウエハステージを設けた場合について説明したが、本発明がこれに限られるものではなく、例えば、Ｘ軸リニアガイドＳＬ１に２つのウエハステージを設けることとしても良いし、それ以上設けることとしても良い。要は、少なくとも３つのステージを有していれば良く、また、テーブルの数もステージの数よりも少なくとも１つ少なければ良い。
【０２０１】
また、上記実施形態で説明したテーブルの搬送機構などの構成は一例であって、本発明がこれに限定されるものではない。また、上記実施形態では、ウエハステージＳＴ２、ＳＴ３は、相互の接近離間方向とウエハステージＳＴ１に対する接近離間方向が、相互に直交する方向とされているものとしたが、本発明がこれに限定されるものではなく、従ってテーブルの搬送経路の組み合わせも上記実施形態で説明したものを必ずしも採用する必要はない。例えば、ウエハステージをＸ軸リニアガイドＳＬ１、ＳＬ２にそれぞれ２つ、設ける場合には、いずれのウエハステージ上のテーブルの搬送経路としてもＬ字状の経路を採用することができる。
【０２０２】
また、上記実施形態では第１、第２の駆動機構をリニアモータによって構成するものとしたが、本発明がこれに限られるものではなく、その他の駆動機構を用いることとしても勿論良い。
【０２０３】
なお、上記実施形態では、ウエハステージ間でウエハテーブルを搬送する搬送機構として、ターゲットプレートと電極群を備える静電アクチュエータを採用するものとしたが、本発明がこれに限られるものではなく、例えば、図１６（Ａ）〜１６（Ｄ）に示されるようなウエハテーブルの搬送機構（テーブル受け渡し機構）を採用することができる。
【０２０４】
なお、以下では、便宜上、ウエハステージＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３を、代表的にウエハステージＳＴと記述し、ウエハテーブルＴＢ１，ＴＢ２を代表的にウエハテーブルＴＢと記述するものとする。
【０２０５】
この搬送機構は、図１６（Ａ）等に示されるように、磁歪素子６３Ａ，６３Ｂを含む磁歪アクチュエータ６１Ａが、ウエハステージＳＴ上に、ウエハテーブルのＴＢの搬送方向（ここでは、紙面左右方向であるＸ軸方向）に沿って所定間隔で複数並んで配置されている。
【０２０６】
前記各磁歪アクチュエータ６１Ａは、図１６（Ａ）に示されるように、ウエハステージＳＴの上面（例えば前述の凹部の内部底面、又は低段差部上面に相当）にその一端が固定された略Ｔ字状の支持部材６２Ａ、該支持部材６２Ａの突出部（Ｔ字の足の部分）の端面（＋Ｘ側の面）に固定された磁歪素子６３Ａ、該磁歪素子６３Ａの＋Ｘ側の端面に固定された中間部材６２Ｂ、該中間部材６２Ｂの＋Ｚ端部に固定された磁歪素子６３Ｂ、及び該磁歪素子６３Ｂの上端面（＋Ｚ側の端面）に固定された持ち上げ部材６２Ｃ等を備えている。
【０２０７】
前記磁歪素子６３Ａの周囲には、励磁されることにより紙面左右方向（搬送方向）の磁界を発生する界磁コイルＣＬ１が巻回されており、また、前記磁歪素子６３Ｂの周囲には、励磁されることにより鉛直方向の磁界を発生する界磁コイルＣＬ２が巻回されている。
【０２０８】
従って、界磁コイルＣＬ１が励磁されると、磁歪素子６３Ａは伸び、磁歪素子６３Ａより＋Ｘ側の構成各部が一体的に＋Ｘ方向に所定量移動し、界磁コイルＣＬ１が非励磁状態になると、磁歪素子６３Ａが元の長さまで縮んで、磁歪素子６３Ａより＋Ｘ側の構成各部は、元の位置まで戻る。
【０２０９】
上記と同様に、界磁コイルＣＬ２が励磁されると、磁歪素子６３Ｂは伸びて該磁歪素子６３Ｂの上部の持ち上げ部材６２Ｃが＋Ｚ方向に所定量移動し、界磁コイルＣＬ２が非励磁状態になると、元の長さまで縮んで持ち上げ部材６２Ｃが元の位置に戻る。
【０２１０】
この場合、重要なことは、界磁コイルＣＬ２の非励磁状態で持ち上げ部材６２Ｃの上端面が、支持部材６２Ａの上端面より下方に位置し、界磁コイルＣＬ２の励磁状態で持ち上げ部材６２Ｃの上端面が、支持部材６２Ａの上端面より上方の位置まで移動するようになっていることである。
【０２１１】
以下、上記の複数の磁歪アクチュエータ６１Ａから成る搬送機構によるウエハテーブルＴＢの搬送原理について説明する。
【０２１２】
図１６（Ａ）には、ウエハテーブルＴＢの搬送開始前の状態が示されている。この図１６（Ａ）の状態では、界磁コイルＣＬ１，ＣＬ２のいずれも非励磁状態にあり、磁歪素子６３Ａ，６３Ｂはいずれも縮んだ状態（自然長）にある。このとき、各磁歪アクチュエータ６１Ａを構成する支持部材６２ＡによってウエハテーブルＴＢは下方から支持されている。
【０２１３】
この状態から、各磁歪アクチュエータ６１Ａを構成する界磁コイルＣＬ２に電圧を印加する（すなわち界磁コイルＣＬ２を励磁する）と、磁歪素子６３Ｂが伸張し、図１６（Ｂ）に示されるように、持ち上げ部材６２ＣによりウエハテーブルＴＢが持ち上げられ、支持部材６２Ａから離間する。
【０２１４】
次いで、各磁歪アクチュエータ６１Ａを構成する界磁コイルＣＬ１を励磁すると、磁歪素子６３Ａが伸張し、図１６（Ｃ）に示されるように、持ち上げ部材６２Ｃを含む磁歪素子６３Ａより＋Ｘ側の各部が、＋Ｘ方向に移動する。これにより、持ち上げ部材６２Ｃによって支持されたウエハテーブルＴＢが＋Ｘ方向に移動する。
【０２１５】
次いで、界磁コイルＣＬ２の励磁を停止すると、磁歪素子６３Ｂが元の長さまで縮む（収縮する）が、この収縮の途中で、図１６（Ｄ）に示されるように、ウエハテーブルＴＢが、支持部材６２Ａにより支持され、さらに磁歪素子６３Ｂが収縮することで、ウエハテーブルＴＢと持ち上げ部材６２Ｃとが離間する。その後、界磁コイルＣＬ１の励磁を停止することにより、磁歪素子６３Ａが元の長さまで収縮し、各磁歪アクチュエータ６１Ａは、図１６（Ａ）と同様の状態に戻る。
【０２１６】
これ以降は、各界磁コイルの励磁と、励磁の停止とを、上述の手順で繰り返し行うことで、ウエハテーブルＴＢをウエハステージＳＴ上で＋Ｘ方向に搬送することができる。上記の磁歪アクチュエータ６１Ａを用いる場合、ウエハテーブル側には前述のターゲットプレートは設けなくても良い。
【０２１７】
上記実施形態において、ウエハステージ間でウエハテーブルを搬送する搬送機構として、上述の複数の磁歪アクチュエータ６１Ａから成る搬送機構を採用した場合には、主制御装置５０が、上述のようにして、各界磁コイルの励磁と、励磁の停止とを、上述の手順で繰り返し行えば良い。
【０２１８】
なお、図１６（Ａ）に示される構成において、各磁歪素子に代えて、非共振の圧電素子あるいは電歪素子を採用した、圧電アクチュエータあるいは電歪アクチュエータを、複数用いて搬送機構を構成することも可能である。この場合も、上述の手順で、圧電素子等に対する電圧の印加、印加の停止を繰り返し行えば良い。
【０２１９】
なお、上記実施形態では、ステージ装置２０が、カウンタウエイト５８を備える場合について説明したが、前述した複数のウエハステージ間での高スループットのウエハテーブルの循環及び並行処理動作などは、カウンタウエイトの有無とは直接の関係はない。
【０２２０】
また、上記実施形態では、カウンタウエイトの位置調整のためトリムモータを備えているものとしたが、カウンタウエイトの質量が十分に大きく、カウンタウエイトの位置が殆ど変化しない場合などには、トリムモータなどは設けなくても良い。
【０２２１】
また、上記実施形態では、ウエハステージに対して着脱自在のウエハテーブル上のウエハに対する露光を行う露光装置に本発明が適用された場合について説明したが、これに限らず、前述のウエハステージＳＴ１、ＳＴ２などと同様のステージと、該ステージに固定されたテーブル又はホルダなどの保持部材を有し、そのテーブル又は保持部材上にウエハ等の感光物体を保持するタイプの露光装置にも、本発明のステージ装置は適用することが可能である。かかる場合、その露光装置は、本発明のステージ装置の他、該ステージ装置を構成する第１ステージに載置された感光物体をエネルギビームで露光する露光部と、第２、第３ステージのうちの所定の一方に載置された感光物体上に形成されたマークを検出する検出系（前述のアライメント系ＡＬＧに相当）とを備えていることが望ましい。このような露光装置であれば、上記実施形態と同様に、第１ステージに載置された感光物体に対して露光が行われている間に、第２ステージに載置された感光物体上に形成されたマークを検出系を用いて検出する並行処理動作を、その並行動作時の第１、第２ステージの駆動に伴う反力及び該反力に起因する回転モーメントの影響を低減して精度良く行うことができる。従って、この露光装置では、最終製品であるデバイスの生産性を特に歩留まりの面で向上させることが可能である。
【０２２２】
なお、上記実施形態では、照明光ＩＬとしてＫｒＦエキシマレーザ光などの遠紫外光、Ｆ２レーザ、ＡｒＦエキシマレーザ等の真空紫外域光、あるいは超高圧水銀ランプからの紫外域の輝線（ｇ線、ｉ線等）などを用いるものとしたが、これに限らずＡｒ２レーザ光（波長１２６ｎｍ）などの他の真空紫外光を用いても良い。また、例えば、真空紫外光として上記各光源から出力されるレーザ光に限らず、ＤＦＢ半導体レーザ又はファイバーレーザから発振される赤外域、又は可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（Ｅｒ）（又はエルビウムとイッテルビウム（Ｙｂ）の両方）がドープされたファイバーアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換した高調波を用いても良い。
【０２２３】
更に、照明光ＩＬとしてＥＵＶ光、Ｘ線、あるいは電子線やイオンビームなどの荷電粒子線を用いる露光装置に本発明を適用しても良い。例えば荷電粒子線を用いる露光装置の場合、電子光学系などの荷電粒子線光学系が、露光用光学系を構成することになる。この他、例えば国際公開ＷＯ９９／４９５０４号などに開示される、投影光学系ＰＬとウエハとの間に液体が満たされる液浸型露光装置などにも本発明を適用しても良い。
【０２２４】
なお、上記実施形態では、ステップ・アンド・スキャン方式等の走査型露光装置に本発明が適用された場合について説明したが、本発明の適用範囲がこれに限定されないことは勿論である。すなわちステップ・アンド・リピート方式の縮小投影露光装置にも本発明は好適に適用できる。
【０２２５】
なお、複数のレンズから構成される照明光学系、投影光学系を露光装置本体に組み込み、光学調整をするとともに、多数の機械部品からなるレチクルステージやウエハステージを露光装置本体に取り付けて配線や配管を接続し、更に総合調整（電気調整、動作確認等）をすることにより、上記実施形態の露光装置を製造することができる。なお、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【０２２６】
なお、本発明は、半導体製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子などを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックウエハ上に転写する露光装置、及び撮像素子（ＣＣＤなど）、マイクロマシン、有機ＥＬ、ＤＮＡチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露光装置、及び電子線露光装置などで使用されるレチクル又はマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。ここで、ＤＵＶ（遠紫外）光やＶＵＶ（真空紫外）光などを用いる露光装置では一般的に透過型レチクルが用いられ、レチクル基板としては石英ガラス、フッ素がドープされた石英ガラス、螢石、フッ化マグネシウム、又は水晶などが用いられる。また、プロキシミティ方式のＸ線露光装置、又は電子線露光装置などでは透過型マスク（ステンシルマスク、メンブレンマスク）が用いられ、マスク基板としてはシリコンウエハなどが用いられる。
【０２２７】
半導体デバイスは、デバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたレチクルを製作するステップ、シリコン材料からウエハを製作するステップ、前述した実施形態の露光装置を用いて前述の方法によりレチクルのパターンをウエハに転写するステップ、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）、検査ステップ等を経て製造される。
【０２２８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のステージ装置によれば、複数のステージを用いた並行処理動作の能力を向上させることができるという効果がある。
【０２２９】
また、本発明の露光装置によれば、最終製品であるデバイスの生産性を向上させることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態に係る露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１のウエハステージ装置を示す斜視図である。
【図３】図２のカウンタウエイトを取り外した状態を示す図である。
【図４】図４（Ａ）は、第１の移動体を示す図であり、図４（Ｂ）は、第２の移動体を示す図である。
【図５】ウエハステージＳＴ１の駆動力の作用点を示す図である。
【図６】図６（Ａ）は、ウエハステージＳＴ１とウエハテーブルＴＢ１を示す分解斜視図であり、図６（Ｂ）は、ウエハステージＳＴ２を示す斜視図である。
【図７】ウエハテーブルの微動機構の１つを示す斜視図である。
【図８】図８（Ａ）〜図８（Ｃ）は、ウエハテーブルの搬送方法を説明するための図である。
【図９】図９（Ａ），図９（Ｂ）は、ウエハステージ上の電極群を示す図である。
【図１０】図１０（Ａ）〜図１０（Ｃ）は、ウエハテーブルの搬送方法について説明するための図である。
【図１１】図１１（Ａ）〜図１１（Ｃ）は、並行処理動作について説明するための図（その１）である。
【図１２】図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）は、並行処理動作について説明するための図（その２）である。
【図１３】図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）は、並行処理動作について説明するための図（その３）である。
【図１４】ウエハステージＳＴ３の駆動制御について説明するための図（その１）である。
【図１５】ウエハステージＳＴ３の駆動制御について説明するための図（その２）である。
【図１６】図１６（Ａ）〜図１６（Ｄ）は、ウエハテーブルの搬送機構の変形例を説明するための図である。
【符号の説明】
１０…露光装置、１２…照明系（露光部の一部）、２０…ウエハステージ装置（ステージ装置）、３６Ａ，３６Ｂ…可動子（維持機構の一部）、４２Ａ，４２Ｂ…固定子（維持機構の一部）、４６Ａ，４６Ｂ…可動子（維持機構の一部）、５８…カウンタウエイト（カウンタウエイト）、６４Ａ，６４Ｂ，６４Ｃ…電極群（テーブル受け渡し機構の一部、移動機構、静電アクチュエータの一部）、９２Ａ〜９２Ｆ，９３Ａ〜９３Ｆ…電機子ユニット（微動機構の一部、電磁コア）、９５Ａ〜９５Ｆ，９６Ａ〜９６Ｆ…磁石ユニット（微動機構の一部、永久磁石）、ＡＬＧ…アライメント系（マーク検出系）、ＤＹ１ａ，ＤＹ１ｂ…Ｙ軸可動子（第１駆動機構の一部、第２リニアモータの一部）、ＤＹ２ａ，ＤＹ２ｂ…Ｙ軸可動子（第２駆動機構の一部、第４リニアモータの一部）、ＩＬ…照明光（エネルギビーム）、ＬＸ１…（第１駆動機構の一部、第１リニアモータ）、ＬＸ２、ＬＸ３…（第２駆動機構の一部、第３リニアモータ）、ＰＴ…ターゲットプレート（テーブル受け渡し機構の一部、移動機構の一部、静電アクチュエータの一部）、ＰＬ…投影光学系（露光部の一部）、ＳＴ１…ウエハステージ（第１ステージ）、ＳＴ２…ウエハステージ（第２ステージ）、ＳＴ３…ウエハステージ（第３ステージ）、ＴＢ１，ＴＢ２…ウエハテーブル（テーブル）、Ｗ１、Ｗ２…ウエハ（感光物体）。
【図１】
2004342638.tif 000003
【図２】
2004342638.tif 000004
【図３】
2004342638.tif 000005
【図４】
2004342638.tif 000006
【図５】
2004342638.tif 000007
【図６】
2004342638.tif 000008
【図７】
2004342638.tif 000009
【図８】
2004342638.tif 000010
【図９】
2004342638.tif 000011
【図１０】
2004342638.tif 000012
【図１１】
2004342638.tif 000013
【図１２】
2004342638.tif 000014
【図１３】
2004342638.tif 000015
【図１４】
2004342638.tif 000016
【図１５】
2004342638.tif 000017
【図１６】
2004342638.tif 000018