(57)【要約】【課題】単板型スロットダイコータにより平坦な基材上に塗布液を塗布開始部から塗布終了部まで一定の厚みで均一に塗布する方法を提供すること。【解決手段】定盤上に平坦な基材を載置し、該基材に対して単板型スロットダイコータを相対的に移動させて上記基材上に塗布する際、塗布開始部に先導部を設け、該基材に対し連続的に塗布することを特徴とする。【選択図】　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤上に平坦な基材を載置し、該基材に対して単板型スロットダイコータを相対的に移動させて上記基材上に塗布液を塗布する際、塗布開始部に先導部を設け、該基材に対し連続的に塗布することを特徴とする塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、塗布方法に関し、特に回路パターンを形成するための露光用マスクを作製するための塗布方法に関する。詳しくは、単板型スロットダイコータを用いて平坦な基材に塗布液を塗布開始部から塗布終了部まで一定の厚みで均一に塗布する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、平坦な基材上に塗布液を塗布する方法として、基材を回転させて塗布するスピンコータ方式が知られている。しかし、上記スピンコータでは、塗布液の大部分が再利用されずに廃棄されるため経済的に非常に不利である。そこで、塗布液を効率よく利用する塗布方式として、スロットダイコータによる塗布方法が提案されている。
【０００３】
単板型スロットダイコータを用いた基材への塗布方法としては、特開平８−２４３４７６号公報、特開平１０−４２１号公報等に記載があり、塗布液の物性値（粘度、表面張力）および塗布速度から計算されるキャピラリー数より求まるスロットダイコータ下端と基材表面との実ギャップをスロットダイコータ本体に設けた距離測定センサーを使って一定に保つようにして塗布することで所定の塗布膜厚で塗布できることが記されている。
【０００４】
しかしながら、単板型スロットダイコータを用いて基材上に塗布液を塗布しようとする場合、塗布開始部から塗布終了部まで塗布液を一定の厚みで均一に塗布することは困難で、塗布開始部や塗布終了部付近では塗布膜厚が目標塗布膜厚から大きくズレるという問題がある。上記特開平８−２４３４７６号公報、特開平１０−４２１号公報等に記載の塗布方法により一部改善されてはいるが、基材全面にわたって厚みムラをなくすには至っていない。特に、特開２０００−３１０８４６号公報等に記載のポジ型感光材料では、感光層や機能性層の塗布厚さで画像細線巾、光学濃度等の感光特性が影響を受け、全面で均一な画像が再現されない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、単板型スロットダイコータを用いて平坦な基材上に塗布液を塗布開始部から塗布終了部まで一定の厚みで均一に塗布する方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記問題を解決するために鋭意検討した結果、定盤上に平坦な基材を載置し、該基材に対して単板型スロットダイコータを相対的に移動させて上記基材上に塗布液を塗布する際、塗布開始部に先導部を設け、該基材に対し連続的に塗布することで上記課題を解決することができた。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を詳細に説明する。
【０００８】
本発明に係る塗布液としては、水系、溶剤系の如何を問わず、低粘度のものから高粘度のものまであらゆるものを使用することができる。本発明に用いられる水系塗布液として、ゼラチン溶液を挙げることができる。該ゼラチン溶液は、場合によって、視認性向上のための染料が含まれ、塗布助剤として界面活性剤を含有せしめることもできる。また、溶剤系塗布液として、特開２００１−２２０３１号公報の実施例３に記載の酸化チタン前駆体溶液等を挙げることができる。
【０００９】
本発明に係る平坦な基材としては、当業者で公知のフィルム、ガラス、金属板等を使用することができる。例えば、単板型スロットダイコータを用いてガラス基材に塗布液を塗布する場合、使用するガラス基材としては、用途、求められる性能等によって選択する必要があるが、ソーダ石灰、ホワイトクラウンなどのソーダライムガラス、ホウケイ酸、無アルカリ、アルミケイ酸等の低膨張ガラス、合成石英ガラス、などが挙げられる。
【００１０】
単板型スロットダイコータは、特開平８−２４３４７６号公報、特開平１０−４２１号公報等に詳細に記載されている。
【００１１】
本発明において塗布開始部に設ける先導部としては、あらゆる材質、厚み、長さのものを使用することができる。好ましくは、該基材と同じ材質、同じ厚みのものを使用するのが望ましい。先導部の長さは、該基材長の５％以上とするのが望ましく、好ましくは１０％以上であるのがよい。また、該基材と先導部は隣接させるのが望ましく、好ましくは該基材と先導部の間にできる接合溝をテープ等で埋め合わせるのがよい。
【００１２】
【実施例】
以下、実施例により更に本発明を詳細に説明するが、これらに限定されるものではない。
【００１３】
実施例１
中外炉工業株式会社製の単板型スロットダイコータを用いて、ソーダ石灰ガラス基材（大きさ５０８ｍｍ×６１０ｍｍ、厚み５．０ｍｍ±１０μｍ）上に含染料ゼラチン溶液を特開平１０−４２１号公報に記載の方法に従い一定の塗布速度、一定の吐出量で塗布を行った。塗布開始部に７０ｍｍの先導部を設け、該ガラス基材との接合溝をテープで埋め合わせて、該ガラス基材に対し連続的に塗布し、試料（Ａ）を得た。詳しい塗布パターン（基材塗布方向における吐出量、塗速変化）を図１に示す。
【００１４】
塗布開始部に先導部を設けない以外は上記実施例１に記載の試料（Ａ）と全く同じ方法で比較例として試料（Ｂ）を作製した。詳しい塗布パターン（基材塗布方向における吐出量、塗速変化）を図２に示す。
【００１５】
試料（Ａ）、（Ｂ）において、それぞれガラス基材面内２５個（タテ５個×ヨコ５個）の小サンプルに裁断し、株式会社島津製作所製分光光度計ＵＶ−３１００Ｓを用いて、該小サンプルの吸光度を測定した。該ガラス基材面内における塗布均一性は、吸光度の値をもとに下記、数１に従って算出される吸光度誤差によって評価した。結果を表１に示す。
【００１６】
【数１】
吸光度誤差＝｛（ｂ１−ａ１）／ｃ１×１００｝／２
ａ１：該ガラス基材面内における吸光度の最小値
ｂ１：該ガラス基材面内における吸光度の最大値
ｃ１：該ガラス基材面内における吸光度の平均値
【００１７】
【表１】
2004041856.tif 000002
【００１８】
実施例２
中外炉工業株式会社製の単板型スロットダイコータを用いて、ソーダ石灰ガラス基材（大きさ５０８ｍｍ×６１０ｍｍ、厚み５．０ｍｍ±１０μｍ）上に特開２００１−２２０３１号公報の実施例３に記載の酸化チタン前駆体溶液を特開平１０−４２１号公報に記載の方法に従い一定の塗布速度、一定の吐出量で塗布を行った。塗布開始部に７０ｍｍの先導部を設け、該ガラス基材との接合溝をテープで埋め合わせて、該ガラス基材に対し塗布し、試料（Ｃ）を得た。詳しい塗布パターン（基材塗布方向における吐出量、塗速変化）を図１に示す。
【００１９】
塗布開始部に先導部を設けない以外は上記実施例２に記載の試料（Ｃ）と全く同じ方法で比較例として試料（Ｄ）を作製した。詳しい塗布パターン（基材塗布方向における吐出量、塗速変化）を図２に示す。
【００２０】
試料（Ｃ）、（Ｄ）において、それぞれガラス基材面内２５個（タテ５個×ヨコ５個）の小サンプルに裁断し、株式会社リガク製蛍光Ｘ線分析装置システム３２７０を用いて、該小サンプルのチタン含量を測定した。該ガラス基材面内における塗布均一性は、チタン含量の値をもとに下記、数２に従って算出されるチタン含量誤差によって評価した。結果を表２に示す。
【００２１】
【数２】
チタン含量誤差＝｛（ｂ２−ａ２）／ｃ２×１００｝／２
ａ２：該ガラス基材面内におけるチタン含量の最小値
ｂ２：該ガラス基材面内におけるチタン含量の最大値
ｃ２：該ガラス基材面内におけるチタン含量の平均値
【００２２】
【表２】
2004041856.tif 000003
【００２３】
実施例３
中外炉工業株式会社製の単板型スロットダイコータを用いて、ソーダ石灰ガラス基材（大きさ５０８ｍｍ×６１０ｍｍ、厚み５．０ｍｍ±１０μｍ）上に互応化学株式会社製の写真現像型液状パターンレジスト、エキレジンＰＥＲ−８００を特開平１０−４２１号公報に記載の方法に従い一定の塗布速度、一定の吐出量で塗布を行った。塗布開始部に７０ｍｍの先導部を設け、該ガラス基材との接合溝をテープで埋め合わせて、該ガラス基材に対し連続的に塗布し、試料（Ｅ）を得た。詳しい塗布パターン（基材塗布方向における吐出量、塗速変化）を図１に示す。
【００２４】
塗布開始部に先導部を設けない以外は上記実施例３に記載の試料（Ｅ）と全く同じ方法で比較例として試料（Ｆ）を作製した。詳しい塗布パターン（基材塗布方向における吐出量、塗速変化）を図２に示す。
【００２５】
試料（Ｅ）、（Ｆ）において、それぞれガラス基材面内２５個（タテ５個×ヨコ５個）の小サンプルに裁断し、その全てにおいて全重量を測定した。続いて、炭酸ナトリウム水溶液中で処理した後の重量を測定し、処理前の全重量との差を塗布液重量として測定した。該ガラス基材面内における塗布均一性は、塗布液重量の値をもとに下記、数３に従って算出される塗布液重量誤差によって評価した。結果を表３に示す。
【００２６】
【数３】
塗布液重量誤差＝｛（ｂ３−ａ３）／ｃ３×１００｝／２
ａ３：該ガラス基材面内における塗布液重量の最小値
ｂ３：該ガラス基材面内における塗布液重量の最大値
ｃ３：該ガラス基材面内における塗布液重量の平均値
【００２７】
【表３】
2004041856.tif 000004
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、単板型スロットダイコータにより平坦な基材上に塗布液を塗布開始部から塗布終了部まで一定の厚みで均一に塗布することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】塗布パターン（基材塗布方向における吐出量、塗速変化）
【図２】塗布パターン（基材塗布方向における吐出量、塗速変化）
【図１】
2004041856.tif 000005
【図２】
2004041856.tif 000006