(57)【要約】【課題】インク吐出ヘッドおよびそれを備えた記録装置を構成する板状部材の反りを規制する。【解決手段】所定の機能空間７，１１，１２，１４，１６，１８が形成されて相互に積層して接合された複数の板状部材１０，１３，１７，１９を備え、インク液をノズル孔１４から吐出させて記録を行うインク吐出ヘッドであって、少なくとも一つの板状部材１０，１３，１７，１９の少なくとも片面に、当該板状部材１０，１３，１７，１９の反りを補正する補正膜６を形成する。補正膜６は、この補正膜６が有する膜応力により板状部材１０，１３，１７，１９の反りを補正するものである。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の機能空間が形成されて相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、インク液をノズル孔から吐出させて記録を行うインク吐出ヘッドであって、
少なくとも一つの前記板状部材の少なくとも片面に、当該板状部材の反りを補正する補正膜が形成されていることを特徴とするインク吐出ヘッド。
【請求項２】
前記補正膜は、この補正膜が有する膜応力により前記板状部材の反りを補正することを特徴とする請求項１記載のインク吐出ヘッド。
【請求項３】
前記補正膜は、スパッタリングにより成膜されていることを特徴とする請求項２記載のインク吐出ヘッド。
【請求項４】
前記補正膜はクロムからなることを特徴とする請求項３記載のインク吐出ヘッド。
【請求項５】
所定の機能空間が形成されて相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、インク液をノズル孔から吐出させて記録を行うインク吐出ヘッドであって、
少なくとも一つの前記板状部材には、当該板状部材の反りを補正する枠体が取り付けられていることを特徴とするインク吐出ヘッド。
【請求項６】
前記インク吐出ヘッドは、アクチュエータにより前記板状部材の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、前記圧力室内のインク液を前記板状部材の他の一つであるノズル板に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のインク吐出ヘッド。
【請求項７】
複数の前記板状部材は、
ノズル孔が形成されたノズル板、
前記ノズル孔に連通するインク流路孔と共通インク流路とが形成された共通インク流路板、
前記共通インク流路に連通するインク供給孔と前記インク流路孔に連通する接続孔とが形成されたインク供給孔板、
および前記インク供給孔と前記接続孔とに連通する圧力室が形成された圧力室板であることを特徴とする請求項６記載のインク吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載のインク吐出ヘッドを備えたことを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク吐出ヘッドおよびそれを備えた記録装置に関し、特にインク吐出ヘッドを構成する板状部材の反り補正に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタなどの記録装置を構成するインク吐出ヘッドの一種であるインクジェットヘッドは、ノズル孔が形成されたノズル板、共通インク流路およびノズル孔に連通するインク流路孔が形成された共通インク流路板、共通インク流路に連通するインク供給孔およびインク流路孔に連通する接続孔が形成されたインク供給孔板、インク供給孔および接続孔に連通する圧力室が形成された圧力室板が順次積層された構造を有しており、アクチュエータにより圧力室の容積を変化させて圧力室内のインク液をノズル孔から吐出させている。
【０００３】
このような構造において、インク吐出ヘッドの高密度化、高速応答性を実現するために、ノズル板、共通インク流路板、インク供給孔板および圧力室板という板状部材の厚みを薄くする方向にある。つまり、ヘッドが高密度になると、隣接する圧力室の間を区画する隔壁が狭くなり、十分な剛性が得られなくなる。すると、圧力室がアクチュエータにより加圧された際に隔壁がたわみ、インク吐出に必要な圧力が十分得られないという問題が生じる。したがって、圧力室の隔壁の剛性を相対的に上げるために、前述した板状部材の厚みを薄くする必要があるからである。
【０００４】
ここで、これら板状部材はＳＵＳ、ガラス、シリコン、電気鋳造によるニッケル（以下、「Ｎｉ電鋳品」という。）、セラミック、樹脂等で構成されており、厚みが薄くなると各部材単体において反りが発生しやすくなる。そして、材料および作製方法によっては、反り制御が困難な場合が多い。
【０００５】
つまり、圧力室板や共通インク流路板などにＮｉ電鋳品を用いた場合、このＮｉ電鋳品はある程度の応力コントロールはできるものの、析出させる母材基板から膜が剥がれないようにするために膜応力が蓄積されるので、出来上がった板状部材としては不可避的に反りが発生してしまう。
【０００６】
また、インク吐出ヘッドを構成する板状部材として、精密金型による樹脂成形品を用いた場合、初期に反りが発生する場合がしばしばある。
【０００７】
そして、板状部材同士を貼り合わせようとしても、反りが発生していると接着そのものが困難になる。あるいは、接着はできたとしても部材間に隙間ができるので、その隙間からインク漏れが発生し、ヘッドを使用している間に正常にインクが吐出されなくなって長期寿命信頼性に問題が発生する。
【０００８】
インク吐出ヘッドにおける反りの問題を解決する技術としては、圧力室板とノズル板との間に、圧電素子を構成する下部電極と同程度の熱膨張係数を有する中間膜を介在させて反りや歪みを抑制する技術が開示されている。（例えば特許文献１を参照）。
【０００９】
また、共通インク流路板の一方面を圧力室板の列方向に沿って凸面となる方向に屈曲された状態で接合することにより、初期応力を緩和して初期不良を防止する技術が開示されている。（例えば特許文献２を参照）。ここで、板状部材、たとえばノズル板にスリットや孔を形成することによる反り対策も考えられる（例えば特許文献３を参照）
【００１０】
【特許文献１】
特開平１０−１８１０１５号公報
【特許文献２】
特開平１１−１１５１８６号公報
【特許文献３】
特開平０４−２３５０４９号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に記載の技術は、出来上がったインク吐出ヘッドにおいて反りを解消するものであるために、ヘッド形成時において反りのある板状部材同士を貼り合わせる際に発生する前述した問題、つまり貼り合わせが困難である、あるいは貼り合わせても隙間が発生するという問題は依然として解決されない。
【００１２】
また、特許文献２に記載の技術では、反った状態の板状部材である共通インク流路板を圧力室板に貼り合わせるものであるため、やはり反りのある板状部材同士を貼り合わせる際に発生する問題は解決されない。
【００１３】
さらに、特許文献３に記載の技術では、高密度化されたヘッドへの適用が困難であったり、用いられる材料や製法によってはこのような対策ができない場合もある。
【００１４】
そこで、本発明は、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することのできる技術を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明のインク吐出ヘッドは、所定の機能空間が形成されて相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、インク液をノズル孔から吐出させて記録を行うインク吐出ヘッドであって、少なくとも一つの板状部材の少なくとも片面に、当該板状部材の反りを補正する補正膜が形成されているものである。
【００１６】
また、この課題を解決するために、本発明のインク吐出ヘッドは、所定の機能空間が形成されて相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、インク液をノズル孔から吐出させて記録を行うインク吐出ヘッドであって、少なくとも一つの板状部材には、当該板状部材の反りを補正する枠体が取り付けられているものである。
【００１７】
これによれば、板状部材に補正膜を形成して反りを補正し、あるいは枠体を取り付けて反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、所定の機能空間が形成されて相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、インク液をノズル孔から吐出させて記録を行うインク吐出ヘッドであって、少なくとも一つの板状部材の少なくとも片面に、当該板状部材の反りを補正する補正膜が形成されているインク吐出ヘッドであり、板状部材に補正膜を形成して反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になるという作用を有する。
【００１９】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１記載の発明において、補正膜は、この補正膜が有する膜応力により板状部材の反りを補正するインク吐出ヘッドであり、板状部材に補正膜を形成して反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になるという作用を有する。
【００２０】
本発明の請求項３に記載の発明は、請求項２記載の発明において、補正膜は、スパッタリングにより成膜されているインク吐出ヘッドであり、板状部材に補正膜を形成して反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になるという作用を有する。
【００２１】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項３記載の発明において、補正膜はクロムからなるインク吐出ヘッドであり、板状部材に補正膜を形成して反りを補正し、あるいは枠体を取り付けて反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になるという作用を有する。
【００２２】
本発明の請求項５に記載の発明は、所定の機能空間が形成されて相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、インク液をノズル孔から吐出させて記録を行うインク吐出ヘッドであって、少なくとも一つの板状部材には、当該板状部材の反りを補正する枠体が取り付けられているインク吐出ヘッドであり、板状部材に枠体を取り付けて反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になるという作用を有する。
【００２３】
本発明の請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載の発明において、インク吐出ヘッドは、アクチュエータにより板状部材の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、圧力室内のインク液を板状部材の他の一つであるノズル板に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドであるインク吐出ヘッドであり、板状部材に補正膜を形成して反りを補正し、あるいは枠体を取り付けて反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になるという作用を有する。
【００２４】
本発明の請求項７に記載の発明は、請求項６記載の発明において、複数の板状部材は、ノズル孔が形成されたノズル板、ノズル孔に連通するインク流路孔と共通インク流路とが形成された共通インク流路板、共通インク流路に連通するインク供給孔とインク流路孔に連通する接続孔とが形成されたインク供給孔板、およびインク供給孔と接続孔とに連通する圧力室が形成された圧力室板であるインク吐出ヘッドであり、板状部材に補正膜を形成して反りを補正し、あるいは枠体を取り付けて反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になるという作用を有する。
【００２５】
本発明の請求項８に記載の発明は、請求項１〜７の何れか一項に記載のインク吐出ヘッドを備えた記録装置であり、安定したインク吐出により高画質の印字を行うことが可能になるという作用を有する。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図１から図１０を用いて説明する。なお、これらの図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。
【００２７】
図１は本発明のインク吐出ヘッドを備えた記録装置の全体概略構成を示す斜視図、図２は図１の記録装置に装着された本発明の一実施の形態であるインク吐出ヘッドを示す断面図、図３は図２のインク吐出ヘッドにおける補正膜形成の一例を示す断面図、図４は図２のインク吐出ヘッドにおける補正膜形成の他の一例を示す断面図、図５は図２のインク吐出ヘッドにおける補正膜形成のさらに他の一例を示す断面図、図６は本発明の他の実施の形態であるインク吐出ヘッドにおける補正膜形成の一例を示す断面図、図７は本発明の他の実施の形態であるインク吐出ヘッドにおける補正膜形成の他の一例を示す断面図、図８は本発明の他の実施の形態であるインク吐出ヘッドにおける補正膜形成のさらに他の一例を示す断面図、図９は本発明のさらに他の実施の形態であるインク吐出ヘッドを構成する圧力室板に取り付けられた枠体を示す断面図、図１０は図９のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【００２８】
図１に示すインクジェット式記録装置（記録装置）４０は、アクチュエータを構成する強誘電体素子の圧電効果を利用して記録を行う本発明のインクジェットヘッド（インク吐出ヘッド）４１を備え、インクタンク（図示せず）から供給されてインクジェットヘッド４１から吐出したインク滴を紙等の記録媒体４２に着弾させて、記録媒体４２に記録を行うものである。インクジェットヘッド４１は、主走査方向Ｘに配置したキャリッジ軸４３に設けられたキャリッジ４４に搭載されていて、キャリッジ４４がキャリッジ軸４３に沿って往復動するのに応じて、主走査方向Ｘに往復動する。さらに、インクジェット式記録装置４０は、記録媒体４２をインクジェットヘッド４１の幅方向（すなわち、主走査方向Ｘ）と略垂直方向の副走査方向Ｙに移動させる複数個のローラ（移動手段）４５を備える。
【００２９】
図２に示すように、インクジェットヘッド４１は、ノズル孔（機能空間）１４が形成されたノズル板（板状部材）１３と、ノズル孔１４に連通するインク流路孔（機能空間）１６が形成されるとともに共通インク流路（機能空間）１１が形成された共通インク流路板（板状部材）１７と、共通インク流路１１に連通するインク供給孔（機能空間）１２およびインク流路孔１６に連通する接続孔（機能空間）１８が形成されたインク供給孔板（板状部材）１０と、インク供給孔１２および接続孔１８に連通する圧力室（機能空間）７が形成された圧力室板（板状部材）１９と、圧力室７の容積を変化させて圧力室７内のインク液をノズル孔１４から吐出させるアクチュエータ２０とを備え、これらが順次積層して接合された構造を有している。そして、共通インク流路１１はインク液供給方向に並ぶ圧力室７間で共用されており、また、アクチュエータ２０や圧力室７などは整列配置されている。なお、板状部材１０，１３，１７，１９はこれらに限定されるものではなく、たとえばさらに他の板状部材を付加したり、これらに代わる板状部材を用いたり、これらの板状部材の一部を一体化してもよい。
【００３０】
ノズル板１３と共通インク流路板１７とは接着剤１５で、インク供給孔板１０と圧力室板１９とは接着剤８で、圧力室板１９とアクチュエータ２０とは接着剤５で、それぞれ接合されている。
【００３１】
アクチュエータ２０は、圧力室板１９上に固定された振動板４、振動板４上に形成された下部電極（共通電極）３、下部電極３上に形成されたたとえばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体膜２、圧電体膜２上に形成された上部電極（個別電極）１とからなる。そして、上部電極１と下部電極３とに電圧が印加されると、圧力室７の容積を変化させる方向に圧電体膜２が変位し、この変位が振動板４を介して圧力室７に作用すると、その変位量に応じたインク液がノズル孔１４から吐出されて記録媒体４２に着弾する。
【００３２】
ここで、アクチュエータ２０の振動板４と圧力室板１９との間、および圧力室板１９とインク供給孔板１０との間には補正膜６が設けられている。
【００３３】
なお、上部電極１および下部電極３の材料としてＰｔ（プラチナ）が用いられ、振動板４の材料としてＣｒ（クロム）が用いられている。また、圧力室板１９の材料としては、感光性ガラス、Ｎｉ電鋳品、ＳＵＳ（ステンレス）、シリコン、セラミック、樹脂などが用いられている。さらに、インク供給孔板１０および共通インク流路板１７の材料としては、感光性ガラス、Ｎｉ電鋳品、ＳＵＳ、シリコン、樹脂などが用いられている。そして、ノズル板１３の材料としては、ＳＵＳ、ポリイミド、シリコン、セラミック、樹脂などが用いられている。但し、形成材料はこれらに限定されるものではない。
【００３４】
前述のように、インクジェットヘッドでは、圧力室板１９、インク供給孔板１０および共通インク流路板１７は、ヘッドの性能向上のために薄層化の傾向にあり、これらの板状部材１０，１３，１７，１９に発生する反りが問題になる。そして、本実施の形態では、補正膜６を形成して反りを規制しておいて各板状部材１０，１３，１７，１９を接着剤５，８で貼り合わせることにより、反りのないインクジェットヘッドを得ている。
【００３５】
なお、図２においては、補正膜６は振動板４と圧力室板１９との間、および圧力室板１９とインク供給孔板１０との間に設けられているが、インク供給孔板１０と共通インク流路板１７との間、あるいは共通インク流路板１７とノズル板１３との間に設けてもよい。また、これらの全ての箇所に設ける必要はなく、少なくとも何れか一箇所であればよい。
【００３６】
ここで、補正膜６の形成方法について説明する。以下においては、たとえばＳＵＳまたはＮｉ電鋳品からなる圧力室板１９およびインク供給孔板１０が反っており、反りの凹面側に圧縮応力を持つ補正膜を、Ｃｒターゲットを用いたスパッタ法により形成する場合について説明する。なお、反りの凸面側に補正膜を形成する場合には、当該補正膜は引っ張り応力を持つ膜とする。
【００３７】
すなわち、直径８インチのＣｒターゲットを用いたスパッタリング装置で、投入パワー８００Ｗ〜１ｋＷ、Ａｒガス圧０．３〜０．８Ｐａ、基板とターゲットとの間隔８０ｍｍ、基板加熱なしの条件で成膜すると、圧縮応力の膜が形成される。そして、膜厚を最適化することにより、反りが緩和もしくは解消される。
【００３８】
初期の反り量によって成膜する膜の圧縮応力の程度、膜厚は決定されるが、反り量が約５０μｍ程度の場合、例えばＣｒで５０ｋｇ／ｍｍ２の応力の場合、膜厚０．２μｍ〜２μｍ程度成膜すればよい。反り量の大きい部材は成膜する膜の応力の程度および膜厚を厚くすればよいが、極端に応力（引っ張り、圧縮）が大きくなったり、膜厚が１０μｍを超えると、膜剥離が生じることに注意をしなければならない。
【００３９】
なお、以上の説明では、補正膜６の材料としてＣｒを用いた場合について説明したが、耐インク性を有する材料であれば、Ｃｒに限定されるものではない。但し、成膜条件によって応力が調整可能な金属膜（例えばＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ等の金属又は合金又はこれらの金属の酸化膜）や酸化膜（ＳｉＯ２、アルミナ等）を、反り量を打ち消してほぼフラットになるだけの膜厚に成膜するのがよい。
【００４０】
また、本実施の形態では、膜応力調整の制御が比較的容易に可能なスパッタリングにより補正膜６を成膜しているが、スパッタ法に限定されず、蒸着法、ＣＶＤ法、ＥＣＲ法等の真空成膜および電解メッキ、無電解メッキ等湿式堆積法、刷毛塗り、スピンコート等のコーティング法等を採用することができる。
【００４１】
ここで、図２〜図５においてはインク供給孔板１０と共通インク流路板１７とが一体化されたものである。そして、図３においては、圧力室板１９のアクチュエータ２０側、インク供給孔板１０の圧力室板１９側、およびノズル板１３の共通インク流路板１７側にそれぞれ補正膜６が形成されており、膜形成後に相互に接着される。また、図４においては、圧力室板１９のインク供給孔板１０側、共通インク流路板１７のノズル板１３側、およびノズル板１３の共通インク流路板１７側にそれぞれ補正膜６が形成されており、膜形成後に相互に接着される。そして、図５においては、圧力室板１９のアクチュエータ２０側とインク供給孔板１０側、インク供給孔板１０の圧力室板１９側、共通インク流路板１７のノズル板１３側、およびノズル板１３の共通インク流路板１７側にそれぞれ補正膜６が形成されており、膜形成後に相互に接着される。
【００４２】
また、図６〜図８においては圧力室板１９とインク供給孔板１０とが一体化されたものである。そして、図６においては、圧力室板１９のアクチュエータ２０側、共通インク流路板１７のインク供給孔板１０側、およびノズル板１３の共通インク流路板１７側にそれぞれ補正膜６が形成されており、膜形成後に相互に接着される。また、図７においては、インク供給孔板１０の共通インク流路板１７側、共通インク流路板１７のノズル板１３側、およびノズル板１３の共通インク流路板１７側にそれぞれ補正膜６が形成されており、膜形成後に相互に接着される。そして、図８においては、圧力室板１９のアクチュエータ２０側、インク供給孔板１０の共通インク流路板１７側、共通インク流路板１７のインク供給孔板１０側とノズル板１３側、およびノズル板１３の共通インク流路板１７側にそれぞれ補正膜６が形成されており、膜形成後に相互に接着される。
【００４３】
このように、補正膜６は板状部材１０，１３，１７，１９の片面あるいは両面に形成することができる。なお、ノズル板１３の吐出口側には撥水膜が形成されているので、ここに補正膜６を形成することは困難であると思われるが、撥水膜を形成しない場合、あるいは撥水膜と補正膜６がともに形成可能な場合には、形成してもよい。
【００４４】
ここで、補正膜６により反りを補正することの他、図９および図１０に示すように、枠体２１を取り付けて反りを補正するようにしてもよい。なお、図示する場合には、圧力室板１９の周囲に枠体２１が取り付けられた場合が示されているが、ノズル板１３、共通インク流路板１７、インク供給孔板１０に取り付けてもよい。つまり、これらノズル板１３、共通インク流路板１７、インク供給孔板１０、圧力室板１９といった板状部材の少なくとも一つに取り付けることができる。
【００４５】
なお、枠体２１には、ＳＵＳ、セラミック、樹脂等の材料を用いることができる。
【００４６】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ノズル板１３、共通インク流路板１７、インク供給孔板１０、圧力室板１９等の板状部材に補正膜６を形成して反りを補正し、あるいは枠体２１を取り付けて反りを補正しているので、インクジェットヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になる。
【００４７】
そして、板状部材の反りを補正してから接合することにより、板状部材相互間の接着不良およびリーク発生を未然に防止することができる。
【００４８】
そして、このようなインクジェットヘッドを備えた記録装置によれば、安定したインク吐出性能が得られるので、高画質の印字を行うことが可能になる。
【００４９】
なお、以上の説明では、圧電アクチュエータを用いたインクジェットヘッドに本発明を適用した場合を説明したが、ヒータを用いたバブルタイプおよび静電タイプのインク吐出ヘッドに適用することもできる。
【００５０】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、板状部材に補正膜を形成して反りを補正し、あるいは枠体を取り付けて反りを補正しているので、インク吐出ヘッドを構成する板状部材の反りを規制することが可能になるという有効な効果が得られる。
【００５１】
また、本発明によれば、板状部材の反りを補正してから接合することにより、板状部材相互間の接着不良およびリーク発生を未然に防止することができるという有効な効果が得られる。
【００５２】
このようなインク吐出ヘッドを備えた記録装置によれば、安定したインク吐出性能が得られるので、高画質の印字を行うことが可能になるという有効な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインク吐出ヘッドを備えた記録装置の全体概略構成を示す斜視図
【図２】図１の記録装置に装着された本発明の一実施の形態であるインク吐出ヘッドを示す断面図
【図３】図２のインク吐出ヘッドにおける補正膜形成の一例を示す断面図
【図４】図２のインク吐出ヘッドにおける補正膜形成の他の一例を示す断面図
【図５】図２のインク吐出ヘッドにおける補正膜形成のさらに他の一例を示す断面図
【図６】本発明の他の実施の形態であるインク吐出ヘッドにおける補正膜形成の一例を示す断面図
【図７】本発明の他の実施の形態であるインク吐出ヘッドにおける補正膜形成の他の一例を示す断面図
【図８】本発明の他の実施の形態であるインク吐出ヘッドにおける補正膜形成のさらに他の一例を示す断面図
【図９】本発明のさらに他の実施の形態であるインク吐出ヘッドを構成する圧力室板に取り付けられた枠体を示す断面図
【図１０】図９のＡ−Ａ線に沿った断面図
【符号の説明】
６　補正膜
７　圧力室（機能空間）
１０　インク供給孔板（板状部材）
１１　共通インク流路（機能空間）
１２　インク供給孔（機能空間）
１３　ノズル板（板状部材）
１４　ノズル孔（機能空間）
１６　インク流路孔（機能空間）
１７　共通インク流路板（板状部材）
１８　接続孔（機能空間）
１９　圧力室板（板状部材）
２１　枠体
４０　インクジェット式記録装置（記録装置）
４１　インクジェットヘッド（インク吐出ヘッド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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