(57)【要約】【課題】複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合であっても、各工場から発生する製造データを効率的に管理し、不良解析時間を短縮することができると共に、データ編集の煩雑さを低減できるようにしたＬＳＩ製造データ管理方法を提供する。【解決手段】ＬＳＩを複数工場で製造工程を分担して製造する場合、ＬＯＴＮＯ（ロット番号）に誕生工場を識別できるコードを付け、各工場から発生する製造データを誕生工場のＤＢ（データベース）に登録し、更に、ロット履歴を自工場のＤＢの履歴専用エリアにも登録する。不良解析を行う場合、自工場のＤＢの履歴専用エリアから目標とするＬＯＴＮＯを抽出すると、端末は、ＬＯＴＮＯに記述の工場コードからアクセス先の工場を自動決定し、この自動決定した工場のＤＢに自動的にアクセスし、目標とするＬＯＴＮＯのロットの製造データを自動抽出する。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合に各工場から発生する製造データをデータベースに登録して管理するＬＳＩ製造データ管理方法であって、前記各工場から発生する製造データをロット毎に所定の工場のデータベースに登録して管理することを特徴とするＬＳＩ製造データ管理方法。
【請求項２】
前記所定の工場は、初めにロットを仕込んだ工場であることを特徴とする請求項１記載のＬＳＩ製造データ管理方法。
【請求項３】
前記各工場から発生する製造データは、ロット番号の配下のデータとして前記所定の工場のデータベースに登録されることを特徴とする請求項１記載のＬＳＩ製造データ管理方法。
【請求項４】
ロット履歴データは、自工場のデータベースの履歴専用エリアにも登録されることを特徴とする請求項１記載のＬＳＩ製造データ管理方法。
【請求項５】
複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合に各工場から発生する製造データをデータベースに登録して管理するＬＳＩ製造データ管理システムであって、前記各工場から発生する製造データをロット毎に所定の工場のデータベースに登録して管理する手段を有することを特徴とするＬＳＩ製造データ管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩ（集積回路）を製造する場合に各工場から発生する製造データ（ロット履歴、検査データ等）をデータベースに登録して管理するＬＳＩ製造データ管理方法及びシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ製造事業者がＬＳＩを製造する場合、複数工場で製造工程を分担する場合がある。例えば、Ａ工場でバルク処理を行い、Ｂ工場で配線処理を行い、Ｃ工場で試験を行うという場合がある。この場合、自工場で発生するデータは自工場のデータベースに登録されていた。すなわち、同一ロットの製造データであっても、Ａ工場で発生する製造データはＡ工場のデータベースに登録され、Ｂ工場で発生する製造データはＢ工場のデータベースに登録され、Ｃ工場で発生する製造データはＣ工場のデータベースに登録されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＬＳＩの製造条件を指示して歩留まりを管理している不良解析部門が特定のロット又はロット群について不良解析を行う場合には、不良解析対象ロットについての全ての製造データを必要とする。したがって、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合、自工場で発生する製造データを自工場のデータベースに登録して管理すると、不良解析担当者は、各工場のデータベースに順にアクセスし、各工場のデータベースに分かれて登録されている不良解析対象ロットの製造データを抽出し、これらをマニュアルで結合しなければならない。
【０００４】
このように、不良解析担当者が、各工場のデータベースに順にアクセスし、各工場のデータベースに分かれて登録されている不良解析対象ロットの製造データを抽出し、これらをマニュアルで結合する場合には、出来上がったデータの信頼性は必ずしも高くはなく、また、不良解析に要する時間が長くなってしまうという問題点があった。
【０００５】
さらに、近年、ＬＳＩは大規模化が進み、それを製造するに当たって発生するデータも膨大となり、例えば、約２００００件／ロットとなる例もあり、各工場のデータベースに分かれて登録されているデータのマニュアルによる結合が実質上不可能となり、不良解析が不可能となる場合も生じている。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑み、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合であっても、各工場から発生する製造データを効率的に管理し、不良解析に要する時間を短縮すると共に、データ編集の煩雑さを低減することができるようにしたＬＳＩ製造データ管理方法及びシステムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のＬＳＩ製造データ管理方法は、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合に各工場から発生する製造データをロット毎に所定の工場のデータベースに登録して管理するというものである。
【０００８】
本発明のＬＳＩ製造データ管理システムは、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合に各工場から発生する製造データをロット毎に所定の工場のデータベースに登録して管理する手段を有するというものである。
【０００９】
本発明によれば、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合に各工場から発生する製造データは、ロット毎に所定の工場のデータベースに登録されて管理される。したがって、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造した場合であっても、ロット毎に全ての製造データを一元管理することができ、不良解析者は、所定の工場のデータベースから不良解析対象ロットの全ての製造データを取得することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態を説明するための図である。本発明の一実施形態は、図１Ａに示すように、例えば、ＬＳＩ製造事業者がＡ工場、Ｂ工場、Ｃ工場を有している場合において、これら３工場又は２工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合、各ロットについて最初の製造工程を実行する工場、すなわち、初めに各ロットを仕込んだ工場を誕生工場とし、誕生工場のデータベースの一元管理エリアに各工場から発生する各ロットの製造データを登録して一元管理するというものである。
【００１１】
各工場から発生する製造データとしては、例えば、▲１▼ロット履歴（工程名、装置名、処理日時等）、▲２▼ＰＣＭ［ｐｒｏｃｅｓｓ　ｃｏｎｔｒｏｌ　ｍｏｎｉｔｏｒ］データ（トランジスタ、抵抗、配線のコンタクト抵抗等、出来あがったチップの電気的基礎特性）、▲３▼ＳＯＲＴデータ（目標の論理が取れているか否か、入出力ピンの電気的特性）、▲４▼ＦＴ［ｆｉｎａｌ　ｔｅｓｔ］データ（目標の論理が取れているか否か、入出力ピンの電気的特性）等がある。なお、ＰＣＭデータ及びＳＯＲＴデータはウエハ状態で行う試験により取得し、ＦＴデータはパッケージ化された状態で行う試験により取得するものである。
【００１２】
本実施形態では、ロット番号は、Ａ工場が誕生工場の場合には「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ」、Ｂ工場が誕生工場の場合には「ＢＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ」、Ｃ工場が誕生工場の場合には「ＣＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ」というように、先頭に誕生工場を識別できるコードを付けるものとする。また、各工場から発生する製造データは、それが発生する度に、ロット番号の配下のデータとして、即ち、ロット番号以下に途切れない連続したデータとして、誕生工場のデータベースの一元管理エリアに自動的に登録されるものとする。更に、ロット履歴データは、自工場のデータベースの履歴専用エリアにも自動的に登録されるものとする。
【００１３】
例えば、図１Ｂに示すように、１番目のロットについて、Ａ工場でバルク処理、Ｂ工場で配線処理及びウエハテスト、Ｃ工場でファイナルテスト（パッケージテスト）を行う場合には、誕生工場はＡ工場であるから、ロット番号は「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ１」とする。この場合、図２に示すように、ロット番号「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ１」のロットについての全ての製造データはＡ工場のデータベースＡ−ＤＢの一元管理エリアに登録され、更に、Ａ工場のデータベースＡ−ＤＢの履歴専用エリアにはＡ工場分の履歴が登録され、Ｂ工場のデータベースＢ−ＤＢの履歴専用エリアにはＢ工場分の履歴が登録され、Ｃ工場のデータベースＣ−ＤＢの履歴専用エリアにはＣ工場分の履歴が登録される。
【００１４】
図３はＢ工場の不良解析担当者が製造データを抽出する場合を説明するための図である。Ｂ工場の不良解析担当者が自工場を流れたロットの不良解析を行う場合には、端末Ｂ−ＰＣを用いて、まず、自工場であるＢ工場のデータベースＢ−ＤＢの履歴専用エリアにアクセスし、ロット履歴データを参照して、目標とするロット番号を「処理日時」、「製造工程」、「品種」で絞って抽出する。不良解析担当者によって目標とするロット番号が抽出されると、端末Ｂ−ＰＣは、抽出されたロット番号の先頭に記述された工場コードから製造データを得るためのアクセス先の工場を自動決定して、目標とするロット番号のロットの製造データが登録されている工場のデータベースの一元管理エリアに自動的にアクセスして目標とするロット番号のロットの製造データを自動的に抽出する。
【００１５】
例えば、図４Ａに示すように、抽出されたロット番号が「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ１」、「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ２」及び「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ５」である場合、端末Ｂ−ＰＣにおいて、これらの製造データを得るための『アクセス先はＡ工場』と自動決定され、Ａ工場のデータベースＡ−ＤＢの一元管理エリアからロット番号「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ１」、「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ２」及び「ＡＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ５」のロットの全ての製造データが自動抽出されることになる。
【００１６】
また、図４Ｂに示すように、抽出されたロット番号が「ＢＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ３」、「ＢＸＸＸＸＸＸＸＸＸ１１」及び「ＢＸＸＸＸＸＸＸＸＸ２１」である場合、端末Ｂ−ＰＣにおいて、これらの製造データを得るための『アクセス先はＢ工場』と自動決定され、Ｂ工場のデータベースＢ−ＤＢの一元管理エリアからロット番号「ＢＸＸＸＸＸＸＸＸＸＸ３」、「ＢＸＸＸＸＸＸＸＸＸ１１」及び「ＢＸＸＸＸＸＸＸＸＸ２１」のロットの全ての製造データが自動抽出されることになる。Ａ工場の不良解析担当者やＣ工場の不良解析担当者が自工場を流れたロットの不良解析を行う場合も同様にして製造データの抽出が行われる。
【００１７】
以上のように、本発明の一実施形態においては、１ロットのＬＳＩを製造工程を分担してＡ工場、Ｂ工場、Ｃ工場の３工場又はいずれか２工場で製造工程を分担して製造する場合には、ロット番号の先頭に誕生工場を識別できるコードを付け、各工場から発生する製造データをロット番号の配下のデータとして誕生工場のデータベースの一元管理エリアに登録し、更に、ロット履歴データを自工場のデータベースの履歴専用エリアにも登録するとしている。
【００１８】
そして、不良解析担当者が自工場を流れたロットの不良解析を行う場合において、端末を用いて自工場のデータベースの履歴専用エリアにアクセスして目標とするロット番号を抽出すると、端末は、抽出されたロット番号の先頭に記述されている工場コードから製造データをえるためのアクセス先の工場を自動決定し、自動決定したアクセス先の工場のデータベースの一元管理エリアに自動的にアクセスして目標とするロット番号のロットの製造データを自動的に抽出するようにされている。
【００１９】
このように、本発明の一実施形態によれば、不良解析対象ロット番号を検索する場合、データ規模の小さい履歴専用エリアにアクセスすれば良く、不良解析対象ロット番号の検索を短い時間で行うことができ、また、不良解析対象ロットの番号が抽出されると、所定の工場のデータベースの一元管理エリアから不良解析対象ロットの全ての製造データが自動的に抽出される。したがって、不良解析に要する時間を短縮することができる。
【００２０】
また、各工場から発生する製造データは、ロット番号の配下のデータとして、誕生工場のデータベースの一元管理エリアに自動的に登録されるので、自動抽出される不良解析対象ロットの製造データは、従来のようにマニュアルで結合されて作成される場合と異なり、正確なものである。したがって、信頼性の高い不良解析を行うことができる。
【００２１】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造する場合に各工場から発生する製造データをロット毎に所定の工場のデータベースに登録して管理するとしたことにより、複数工場で製造工程を分担してＬＳＩを製造した場合であっても、不良解析担当者は、所定の工場のデータベースから不良解析対象ロットの全ての製造データを取得することができるので、不良解析に要する時間を短縮すると共に、データ編集の煩雑さを低減することができ、これによって、解析効率の向上化と、解析範囲の拡大化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を説明するための図である。
【図２】本発明の一実施形態で行われる製造データの記録の状況を説明するための図である。
【図３】Ｂ工場の不良解析担当者が製造データを抽出する場合を説明するための図である。
【図４】Ｂ工場の不良解析担当者が製造データを抽出する場合を説明するための図である。
【符号の説明】
Ａ−ＤＢ…Ａ工場のデータベース
Ｂ−ＤＢ…Ｂ工場のデータベース
Ｃ−ＤＢ…Ｃ工場のデータベース
Ｂ−ＰＣ…Ｂ工場の不良解析担当者用の端末
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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