(57)【要約】【課題】光量補正フィルタと補正レンズとの組合せ位置精度の問題から色斑が生じているが、これを各色共通の光量補正フィルタと各色別の個々の補正レンズに光量補正フィルタ層を部分的に形成することで、色斑の発生を抑えたカラー受像管の蛍光面形成用露光装置を提供する。【解決手段】各色共通の入出端を平坦とした光量補正フィルタ１９を光学レンズ系１８とシャドウマスク６８との間に配置するとともに、赤、緑、青用の各色用の個別補正レンズ１５に夫々部分的に光量補正フィルタ層１４を設ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラー受像管のフェースパネル内面に蛍光面を形成するためのカラー受像管の蛍光面形成用露光装置において、
内面に蛍光面形成部材層が形成されているとともに、この蛍光面形成部材層に対向してシャドウマスクが装着されたフェースパネルを支持して位置決めする支持台と、
このシャドウマスクを介して前記蛍光面形成部材層に光を照射する光源と、
この光源と前記シャドウマスク間に配置され前記光源からの光を所定の軌道に補正するための光学レンズ系と、
この光学レンズ系と前記シャドウマスク間に介在され各色共通に光量を補正する補正フィルタと、
前記光学レンズ系と前記光源間に配置され各色個別の光の軌道を補正するための一側面に非球面状の曲面を有する補正レンズと、
この補正レンズに形成され補正レンズの透過光量を部分的に補正する光量補正フィルタ層とを具備することを特徴とするカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。
【請求項２】
前記補正フィルタは光の入出端を平坦状に形成され、前記補正レンズは光源側を平坦面とし、この平坦面に前記光量補正フィルタ層が設けられていることを特徴とする請求項１記載のカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。
【請求項３】
前記補正レンズは各色毎に設けられ、前記蛍光面形成部材層を各色別に露光する際に夫々交換使用されることを特徴とする請求項１または２記載のカラー受像管の蛍光面形成用露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、写真印刷法によってフェースパネル内面にストライプ状もしくはマトリクス状の３色蛍光面を形成する際に使用されるカラー受像管の蛍光面形成用露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般にカラー受像管は、図６に示すように、周辺部にスカート部６１を有する略矩形状のフェースパネル６２と、このフェースパネル６２のスカート部６１に接合されたファンネル６３からなる外囲器を有し、そのフェースパネル６２の内面に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光する３色蛍光体層６４及びこの蛍光体層６４間に配置された黒色の光吸収層６５からなる蛍光面６６が形成され、この蛍光面６６に対向して多数の電子ビーム通過孔６７が形成されたシャドウマスク６８がマスクフレーム６９に固定されており、このマスクフレーム６９がフェースパネル６２のスカート部６１内部に設けたスタッドピン（図示せず）に弾性支持体（図示せず）によって係止されることによりフェースパネル６２内に配置されている。
【０００３】
一方、ファンネル６３のネック７０内には、３電子ビーム７１Ｒ、７１Ｇ，７１Ｂを放出する電子銃７２が配設され、この電子銃７２から放出される３電子ビーム７１Ｒ、７１Ｇ，７１Ｂをファンネル６３の外側に装着された偏向ヨーク７３の発生する磁界により偏向して、この電子ビーム７１Ｒ、７１Ｇ，７１Ｂによって蛍光面６６を水平、垂直方向に走査することにより、カラー画像を表示するように形成されている。
【０００４】
この蛍光面６６としては、赤、緑、青に発光するマトリクス状、またはストライプ状の３色蛍光体層６４を密接して配置した蛍光面６６、もしくはマトリクス状またはストライプ状の光吸収層６５の間隙部に、３色蛍光体層６４が埋め込まれたブラックマトリクス形またはブラックストライプ形の蛍光面６６が用いられている。
【０００５】
このカラー受像管の蛍光面６６は、従来から写真印刷法にて形成されている。例えば、光吸収層６５を備えるブラックマトリクス形、またはブラックストライプ形の蛍光面６６については、フェースパネル６２内面を洗浄した後に、このフェースパネル６２の内面に、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）及び重クロム酸アンモニウム（ＡＤＣ）を主成分とする感光膜を塗布して乾燥させる。
【０００６】
そして、この感光膜をシャドウマスク６８を介して露光し、シャドウマスク６８の電子ビーム通過孔６７に対応するパターンを感光膜に焼付けた後に現像して、フェースパネル６２の内面にシャドウマスク６８の開孔パターンに対応するパターンからなるマトリクス状、もしくはストライプ状のレジスト膜を形成する。
【０００７】
次に、このレジスト膜の形成されたフェースパネル６２の内面に、例えば黒鉛からなる光吸収塗料層を塗布し、そしてレジスト膜とともに、そのレジスト膜上の光吸収塗料層を剥離除去して、マトリクス状またはストライプ状の光吸収層６５を形成する。
【０００８】
その後、光吸収層６５の形成されたフェースパネル６２の内面に、蛍光体、ＰＶＡ、ＡＤＣ等を主成分とする蛍光体スラリ層を塗布して乾燥させ、この蛍光体スラリ層をシャドウマスク６８を介して露光し、シャドウマスク６８の電子ビーム通過孔６７に対応するパターンを焼付けた後に現像して、光吸収層６５の所定の間隙部に赤、緑、青の３色のうちの１色に対応する蛍光体層６４を形成する。このような蛍光体層６４の形成工程を、残りの２色の蛍光体についても繰返すことによって、３色の蛍光面６６が形成される。
【０００９】
また、光吸収層６５を持たない３色蛍光面６６については、蛍光体層６４の形成工程を３色の蛍光体層６４について夫々繰返して実施することにより形成することができる。
【００１０】
このような光吸収層６５及び３色蛍光体層６４を得るための感光膜または蛍光体スラリ層等の蛍光面形成部材層に対するシャドウマスク６８の電子ビーム通過孔６７に対応するパターンの焼付けには、図７に示すような露光装置が使用される。
【００１１】
即ち、内面に感光膜または蛍光体スラリ層等の蛍光面形成部材層７４が形成され、且つシャドウマスク６８が装着されたフェースパネル６２を位置決め支持する支持台７５が、筐体７６の上部に設けられる。この筐体７６の下部には、水銀ランプ等の露光用光源７７が設置され、この光源７７上には、この光源７７から支持台７５方向に、順次光源７７から放射される光を電子ビーム７１Ｒ、７１Ｇ，７１Ｂの軌道に近似させるために蛍光体層６４の赤、緑、青の各色毎に個別に対応するために配置される補正レンズ７８や、各色共通に使用する共通レンズ７９，８０等の光学レンズ系８１、及びフェースパネル６２内面に形成された蛍光面形成部材層７４に対する光量分布を補正する光量補正フィルタ８２が設置されている。
【００１２】
この補正レンズ７８は、各蛍光体層６４位置が電子ビーム７１ｒ、７１Ｇ，７１Ｂ軌道と一致するように光の軌道を補正しているもので、また、夫々のレンズ７８，７９，８０は光源７７からの光を電子ビーム７１Ｒ、７１Ｇ，７１Ｂに近似するように、各レンズ面が微妙な凹凸を有するように非球面状に加工されている。
【００１３】
このように、露光装置内には、蛍光面６６を形成する赤、緑、青の各発光色に対応するストライプ位置を補正する補正レンズ７８を有しているが、この補正レンズ７８は各色専用にレンズ曲面が設定されており、このため補正レンズ７８の個々のレンズ曲面の形状差によって光の軌道の補正だけではなく、光の集光作用にも差が生じることになり、３色間で光量の不均一性が発生するといった問題が生じていた。
【００１４】
この光量の不均一性が発生すると、画面上ではストライプ幅の差となって再現されてしまうことになる。例えば、フェースパネル６２上の同一位置で青用のストライプ幅が大きく、赤用のストライプ幅が小さくなった場合には、このストライプ幅の差がカラー受像管を動作させた場合に、画面がやや青味がかった色斑となって再現される。この現象が画面上で疎らに発生するために画面全面を白画面に設定したとしても画面上の場所によって青味がかったり、赤味がかった箇所が疎らに発生してしまうために著しく画面品位を低下させていた。
【００１５】
一方、図７に示すような露光装置においては、フェースパネル６２内面の中央部と周辺部とで、光源７７からの距離及び光の入射角が相違するために光量差が生じ、蛍光面６６全域で均一あるいは所望の光量分布とはならず、このため形成される光吸収層６５や蛍光体層６４が所定のサイズにならなくなってしまう。そこで光量補正フィルタ８２を設け、そのフェースパネル６２内面の中央部から周辺部にかけての光量分布を適性化するために使用されている。
【００１６】
この光量補正フィルタ８２は、ガラス透明基板８３の一方の面に、ＮｉやＣｒ等の金属を蒸着して金属蒸着膜８４を形成し、この金属蒸着膜８４の膜厚を変化させることによって、中央部の光透過率を抑え、周辺部になるのに従って光透過率が大きくなるように設定されており、安価で製造も比較的容易に行うことができる。
【００１７】
しかしながら、このように金属蒸着膜８４の膜厚によって光透過率を調整する光量補正フィルタ８２を設けただけでは十分に補正することができず、再現性に劣るものである。そのために光透過率分布の相違によって、形成される光吸収層６５や蛍光体層６４が所定のサイズにならないという問題が発生している。
【００１８】
この金属蒸着膜８４による光量補正フィルタ８２の問題点を解決するために、ドット状の遮光部を有する光量補正フィルタが開発されている。このドット状の遮光部を有する光量補正フィルタは、透明基板上に多数のドット状の遮光部を形成し、この遮光部と遮光部との間の部分を光透過部として使用し、この遮光部と光透過部との面積比によって光透過量の分布を補正するようにし、この遮光部を一定ピッチまたは不等ピッチで配置された多数のドット状遮光部として光量補正フィルタを構成し、この光量補正フィルタを用いて露光を行なうものである（例えば、特許文献１参照）。
【００１９】
しかしながら、このようなドット状遮光部を有する光量補正フィルタ１枚では、赤、緑、青の各色の各露光時に、各レンズ７８，７９，８０のレンズ曲面が微妙な凹凸を有しているために、光の入射角が夫々の各色毎に相違して光量差が発生する。このため蛍光面６６全域で均一な、あるいは所望の光量分布を得ることが困難であり、しかも、このような光量補正フィルタは透過率分布が複雑なために、フィルタ自体が高価なものとなるばかりでなく、実際に形成される光吸収層６５や蛍光体層６４が所定のサイズにならなくなり、例えば、フェースパネル６２上の同位置で青用のストライプサイズ幅が大きく、赤用のストライプサイズ幅が小さくなったりしている。このストライプサイズ幅の差は、カラー受像管を動作させた場合に、画面がやや青味がかった色斑となって再現されてしまうことになる。この現象が画面上で疎らに発生するために、画面全体を白画面に設定したとしても、画面上の場所によって青味がかったり、赤味がかった箇所が疎らに発生するために、更なる画面品位の向上が望まれていた。
【００２０】
また、光量補正フィルタ８２を省略して、補正レンズ７８の平坦面、または凹凸面に補正フィルタ層を設けた補正レンズ単独で露光を行なう露光装置も開発されている（例えば、特許文献２参照）。
【００２１】
しかしながら、光源７７に近い場所に補正フィルタ層を設けた補正レンズだけを使用した場合には、最近の大型カラー受像管のように広範囲の蛍光面６６を有する場合においては、画面全域に亘る所望の光量を極僅かな領域で補正することになり、画面全域で所望のサイズに一致させることが難しく、更なる改善が要望されている。また、補正レンズ７８単独での曲面が目標とする特性となった場合でも、露光装置全体として見た場合に透過率分布及び画面でのストライプサイズが所望のサイズとならなかった場合には、これに合致させるように補正レンズ７８自体からの再製作が必要となる問題点がある。
【００２２】
【特許文献１】
特開平６−１３９９３１号公報（第４−５頁、図１、図２）
【００２３】
【特許文献２】
特開２００１−３２５８８４号公報（第５−６頁、図１、図２、図３）
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の露光方法を採用したとしても各レンズ７８，７９，８０曲面が微妙な凹凸を有しており、光の入射角が相違するために光量差が発生し、蛍光面６６全域で均一あるいは所望の光量分布を得ることが非常に難しく、フェースパネル６２全面でとらえた場合には依然として色斑が残存しており、更なる改善が要望されている。この傾向は近年の画面が平坦化されたカラー受像管を製造する際に特に顕著に発生しているものである。
【００２５】
本発明は、このような課題に対処してなされたものであり、各色共通に画面全体の光量を補正する補正フィルタとは別に赤、緑、青の各色に対応する補正レンズに光路差による光量の差分を補正する光量補正フィルタ層とを設けて、これら補正フィルタと補正フィルタ層との総合によって、全体としての光量を補正することにより、色斑の発生を十分に抑制することが可能で、且つ安価なカラー受像管の蛍光面形成用露光装置を提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、カラー受像管のフェースパネル内面に蛍光面を形成するためのカラー受像管の蛍光面形成用露光装置において、内面に蛍光面形成部材層が形成されているとともに、この蛍光面形成部材層に対向してシャドウマスクが装着されたフェースパネルを支持して位置決めする支持台と、このシャドウマスクを介して蛍光面形成部材層に光を照射する光源と、この光源とシャドウマスク間に配置され光源からの光を所定の軌道に補正するための光学レンズ系と、この光学レンズ系とシャドウマスク間に介在され各色共通に光量を補正する補正フィルタと、光学レンズ系と光源間に配置され各色個別の光の軌道を補正するための一側面に非球面状の曲面を有する補正レンズと、この補正レンズに形成され補正レンズの透過光量を部分的に補正する光量補正フィルタ層とを設けている。
【００２７】
このように構成することにより、光量補正フィルタで各色共通の全体としての基本的な光量を補正するとともに、個々の補正レンズの形状差による光量の不均一性を補正レンズに設けた補正フィルタ層によって補正レンズの透過光量を補正し、これら両補正フィルタ及び補正フィルタ層の総合によって画面全体の光量の補正を行うことによって、画面全体にわたって色斑の発生を抑制することを可能としている。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るカラー受像管の蛍光面形成用露光装置の実施の形態につき、図面を参照して詳細に説明する。
【００２９】
なお、カラー受像管自体の構成としては、従来と同様な構成を採っているので、同じ構成部分については同じ符号を付すことにより、その詳細な説明については省略する。
【００３０】
本発明に係るカラー受像管の蛍光面形成用露光装置は、図１に示すように、内面に３色蛍光体層を形成するための感光膜または蛍光体スラリ層等の蛍光面形成部材層７４が形成され、且つシャドウマスク６８が装着されたフェースパネル６２を位置決め支持する支持台１１が筐体１２の上部に設けられる。この筐体１２の下部には、水銀ランプ等の露光用光源１３が設置される。
【００３１】
この光源１３上には、この光源１３から順次支持台１１方向に、光源１３から放射される光を電子ビーム７１Ｒ、７１Ｇ，７１Ｂの軌道に近似させ蛍光面６６の赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色毎に個別に対応する、図２に示すように、光量分布を部分的に補正するための光量補正フィルタ層１４を有する補正レンズ１５、並びに各色共通に使用する共通レンズ１６，１７等の光学レンズ系１８が設置され、この光学レンズ系１８と支持台１１間に光の入出面が平坦に形成された補正フィルタ１９が順次配置されている。
【００３２】
この補正レンズ１５は、各蛍光体層６４位置が電子ビーム７１Ｒ、７１Ｇ，７１Ｂ軌道と一致するように、光の軌道を各色毎に個別に補正しており、また、補正レンズ１５に設けた光量補正フィルタ層１４は、フェースパネル６２内面の中央部と周辺部とで光源１３からの距離、及び光の入射角の相違による光量差を補正するために、補正レンズ１５の中央部から周辺部にかけての光量分布を適性化するために設けられており、補正レンズ１５の光源１３側の平坦面に部分的に形成されている。
【００３３】
この補正レンズ１５及び光量補正フィルタ層１４は、各色毎に専用に設けられるために、露光の際には夫々の色に対応した補正レンズ１５、及び光量補正フィルタ層１４を選択する必要があることから、例えば、回転もしくは往復動するテーブル（図示せず）上に、赤、緑、青用の光量補正フィルタ層１４を有する各補正レンズ１５を配置し、使用時にテーブルを回転もしくは往復動させて光量補正フィルタ層１４を備えた目的の補正レンズ１５を選択して使用する。また、共通レンズ１６，１７は、全色共通に光の軌道を補正しており、同様に補正フィルタ１９も全色共通に光の軌道を補正している。この補正フィルタ１９は、ガラス透明基板２０の一方の面に、ＮｉやＣｒ等の金属を蒸着して金属蒸着膜２１を形成し、この金属蒸着膜２１の膜厚を同心円状に変化させることによって中央部の光透過率を抑え、周辺部になるのに従って光透過率が大きくなるように設定されている。
【００３４】
このような構成の露光装置を使用して露光する場合は、カラー受像管を構成するフェースパネル６２の内面にＰＶＡ及びＡＤＣを主成分とする感光膜等の蛍光面形成部材層７４が塗布されたフェースパネル６２を支持台１１上に載置固定し、その蛍光面形成部材層７４を露光装置を使用して、フェースパネル６２に取着されたシャドウマスク６８を介して露光する。
【００３５】
このシャドウマスク６８の電子ビーム通過孔６７に対応するパターンを焼付けた後に現像して、フェースパネル６２の内面にシャドウマスク６８の開孔パターンに対応するパターンからなるレジスト膜を形成する。このレジスト膜の形成されたフェースパネル６２の内面に更に光吸収塗料層を塗布した後に、レジスト膜とともに、そのレジスト膜上の光吸収塗料を剥離除去して、マトリクス状またはストライプ状の光吸収層６５を形成する。
【００３６】
その後、光吸収層６５の形成されたフェースパネル６２の内面に、蛍光体、ＰＶＡ、ＡＤＣ等を主成分とする蛍光体スラリ層等の蛍光面形成部材層７４を塗布形成し、この蛍光面形成部材層７４をシャドウマスク６８を介して露光し、シャドウマスク６８の電子ビーム通過孔６７に対応するパターンを焼付けた後に現像して、光吸収層６５の所定の間隙部に赤、緑、青のいずれか１色の蛍光体層６４を形成する。
【００３７】
そして、この蛍光体層６４の形成工程を、残りの２色の蛍光体層６４について繰返すことにより、３色の蛍光体層６４を有する蛍光面６６が写真印刷法によって形成される。
【００３８】
なお、この光吸収層６５を持たない蛍光面６６については、蛍光体層６４形成工程のみを、３色蛍光体層６４について繰返すことによって形成される。
【００３９】
この露光装置に使用される個別の補正レンズ１５は、緑用は平板状であり、赤用は、図３に示すように、光源１３側を平坦面とするとともに光学レンズ系１８側を非球面状に形成されている。また青用は、図４に示すように、赤用と１８０°反転した形状に形成されており、これらの各補正レンズ１５が各色の露光時に夫々交代で使用される。この補正レンズ１５には、光源１３に対向して配置される一側面の平坦面に中心部から周辺部にかけて部分的に光量補正フィルタ層１４が形成されている。この平坦面に形成される光量補正フィルタ層１４は、その濃淡で光量を部分的に調整する金属の蒸着膜によって形成されており、この光量補正フィルタ層１４にて個別の補正レンズ１５の光量分布を部分的に調整している。この光量補正フィルタ層１４を蒸着膜で形成した場合には、その濃淡で光量分布を部分的に調整するだけで調整が可能であり、しかも補正レンズ１５の平坦側に形成するようにしているので、容易に製造することが可能である。
【００４０】
このように補正レンズ１５平坦面上に光量補正フィルタ層１４を形成するには、次のような工程で製造することができる。
【００４１】
即ち、補正レンズ１５の基台となる透明な光学ガラス材料、例えば光学ガラス：ＢＫ−７（「ＢＫ」は硼硅クラウンを表し、「７」は種類を示す）等からなるレンズ構体２２を用意し、これを図３もしくは図４に示すような所定のレンズ曲面２３に研磨加工する。その際に、図３もしくは図４に示す赤用、あるいは青用の補正レンズ１５は、図５に示すように複雑な曲面２３を有するレンズ１５として研磨加工する必要がある。
【００４２】
この図５に示す赤用もしくは青用の補正レンズ１５の曲面２３は、補正レンズ１５の横方向（Ｘ方向）と縦方向（Ｙ方向）とを、Ｙ方向手前上方から厚さ方向（Ｚ方向）を眺めた、即ち、レンズ曲面２３を斜め上方から眺めた状態の曲面を示している。この図５からも解るように、レンズ曲面２３は非常に変化に富んだ凹凸の複雑な曲面２３構成をとっており、この曲面２３の凸部では光が集光され、凹部では光が発散されている。この複雑な曲率を有する曲面２３が設けられた側と反対側の側面、即ち、光源１３からの光の入射側端面は、平坦面２４状に研磨加工されている。
【００４３】
このように研磨加工されたレンズ構体２２を洗浄後、その曲面２３の表面にハレーションを防止するための色素層を形成し、他方の平坦面２４表面には、金属の蒸着膜からなる光量補正フィルタ層１４が部分的に蒸着されている。
【００４４】
このような光量補正フィルタ層１４を有する補正レンズ１５を用いて、カラー受像管の蛍光面６６を形成した場合には、補正レンズ１５の曲面２３に微妙な凹凸を有することによる光の入射角が相違するために光量差が発生したとしても、個々の補正レンズ１５に設けた光量補正フィルタ層１４によって３色ともに均一な光量に補正することが可能である。また、各色共通な基本的な光量補正については、光量補正フィルタ１９によって行なっているので、画面上でのストライプ幅については、これら光量補正フィルタ１９と光量補正フィルタ層１４との総合の補正効果によって３色蛍光体層６４間で殆ど差が生じないように構成することができ、従来発生していた画面上の色斑を解消させることができる。
【００４５】
更に、各色毎に設けられる補正レンズ１５に部分的に光量補正フィルタ層１４を設けることは、光量補正フィルタ１９を用いたときに、赤、緑、青の各色のストライプサイズに差があった場合にのみ光量補正フィルタ層１４を設ければよく、このため、補正レンズ１５の曲面が最終仕様に設定された後からでも光量補正フィルタ層１４を形成する蒸着膜を部分的に個別に施すことが可能である。従って、補正レンズ１５の曲面が目標とする特性を満足する仕様となった場合で、露光装置全体としての透過率分布及び画面でのストライプサイズが所望のサイズとならなかった場合においても、従来は補正レンズ１５を全体の光量を満足するように再製作していたが、その必要もなく単に光量補正フィルタ層１４の蒸着仕様を変更するだけで対応が可能となり、しかも安価に製作することができる。
【００４６】
また、補正レンズ１５の光源１３側側面の平坦面２４に光量補正フィルタ層１４を配置するようにした場合には、補正レンズ１５のフェースパネル６２側は光の軌道を補正するために非球面状に加工されているが、光源１３側側面は平面状に形成されているために、光量補正フィルタ層１４を形成する場合にも精度良く配置することが可能である。
【００４７】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、その他にも種々の応用や変形が可能である。
【００４８】
【発明の効果】
本発明は、各色共通の光量を光量補正フィルタによって補正するとともに、各色毎に設けられる補正レンズに部分的に光量補正フィルタ層を設けることで、補正レンズ毎に光通過量を部分的に調整することが可能となり、画面全面にわたり色斑の発生を防止することを可能としている。
【００４９】
更に、補正レンズ曲面仕様決定後に光量補正フィルタ層を補正レンズに設けることができるので、補正レンズの再製作等の必要がなく、総合的に露光装置を安価に製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るカラー受像管の蛍光面形成用露光装置を説明するための一部断面図。
【図２】本発明に係る光量補正フィルタ層を有するカラー受像管の蛍光面形成用補正レンズを示す平面図。
【図３】同じく補正レンズの他の構成を示す側面図。
【図４】同じく補正レンズの別の構成を示す側面図。
【図５】同じく補正レンズの曲面状態を示す投影図。
【図６】カラー受像管の構成を説明するための説明図。
【図７】従来のカラー受像管の蛍光面形成用露光装置を説明するための一部断面図。
【符号の説明】
１１：支持台
１３：光源
１４：光量補正フィルタ層
１５：補正レンズ
１６，１７：共通レンズ
１８：光学レンズ系
１９：光量補正フィルタ
２３：曲面
２４：平坦面
６２：フェースパネル
６８：シャドウマスク
７４：蛍光面形成部材層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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