(57)【要約】      （修正有）【課題】大型のフラットパネルを直立姿勢で搬入出でき、周部の気流を乱すこともないフラットパネル供給装置を提供する。【解決手段】複数のフラットパネルＦＰを直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部３と、フラットパネルＦＰを搬入及び搬出する搬入出ラインＥＯＬ上に設けられ、フラットパネルＦＰの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する搬送手段２８と、カセット収納位置にあるフラットパネルＦＰの面に対向するように配置した板状部材２７と、フラットパネルＦＰと板状部材２７との間に下向きに流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段と、カセット収納位置にあるフラットパネルＦＰをカセット部３に移載する移載機構２９とを備えた装置本体部２０とを含んでいる。【選択図】      図２
2004319866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル供給装置であって、
複数の前記フラットパネルを、前記直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、
前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを備えた装置本体部とを含む、ことを特徴とするフラットパネル供給装置。
【請求項２】
前記移載機構は、前記カセット部を前記搬送ラインの搬送方向と直交する方向に往復移動させるカセット移動手段と、前記搬送手段を上下動させる上下駆動手段とを含んでいる、ことを特徴とする請求項１に記載のフラットパネル供給装置。
【請求項３】
前記板状部材の上端は前記フラットパネルの上端よりも低く設定され、さらに前記気体膜生成手段は該気体膜生成手段から噴出した気体が上方に突出しているフラットパネルの上端部分に当たり下向きに導かれるように配置されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネル供給装置。
【請求項４】
前記カセット部は、少なくとも前記フラットパネルの下端を位置決めして保持する下端位置決め部材と、前記フラットパネルの上端位置を規定する上端位置規定部材とを含み、前記下端位置決め部材及び前記上端位置規定部材の少なくとも一方がフラットパネルの並列方向において移動可能に設定されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネル供給装置。
【請求項５】
前記カセット部には、少なくともフラットパネルの両側端部を支持する支持棒を含み、前記フラットパネルは前記支持棒を介して直立姿勢状態に保持される、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネル供給装置。
【請求項６】
前記搬送手段がフラットパネルの下端に接する搬送コンベアであり、前記上下駆動手段は前記搬送コンベアを上下動させるアクチュエータである、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネル供給装置。
【請求項７】
フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル傾倒装置であって、
前記フラットパネルの下端に接し前記搬送ラインから傾倒位置まで搬送する搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段とを備えた、ことを特徴とするフラットパネル傾倒装置。
【請求項８】
前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に気体噴出手段をさらに備えて前記気体流通口から気体を噴出させる構造とした、ことを特徴とする請求項７に記載のフラットパネル傾倒装置。
【請求項９】
前記パネル支持板が、前記気体膜の流れ方向とは略直角な方向で間隔を持って複数に分割され、前記間隔に外部からのフラットパネル移載用部材を受入れ可能とした、ことを特徴とする請求項７又は８に記載のフラットパネル傾倒装置。
【請求項１０】
前記傾倒手段により、所定位置まで傾倒された前記フラットパネルの側端に接触して前記フラットパネルの幅方向での位置を修正する位置修正手段をさらに備えた、ことを特徴とする請求項７から９のいずれか一項に記載のフラットパネル傾倒装置。
【請求項１１】
複数のフラットパネルを、鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する第１搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる第１気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを含んで構成される装置本体部とを、備えたフラットパネル供給装置と、
前記フラットパネル供給装置の第１搬送手段から前記フラットパネルを受ける位置に配置され、前記フラットパネルの下端に接して傾倒位置まで搬送する第２搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる第２気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置とを備えた、ことを特徴とするフラットパネル供給システム。
【請求項１２】
前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に前記気体流通口から気体を噴出させる気体噴出手段をさらに備えた、ことを特徴とする請求項１１に記載のフラットパネル供給システム。
【請求項１３】
前記フラットパネル供給装置を、前記フラットパネルを直立姿勢にて搬送する搬送ラインに接して配置した、ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載のフラットパネル供給システム。
【請求項１４】
前記フラットパネル供給装置及び搬送ラインを制御する制御部を備え、前記制御部は前記搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが過剰となるときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内にフラットパネルを搬入し、搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが不足するときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルを搬出する制御を実行する、ことを特徴とする請求項１３に記載のフラットパネル供給システム。
【請求項１５】
前記フラットパネル傾倒装置を、水平姿勢となった前記フラットパネルを移載する移載装置に接して配置した、ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載のフラットパネル供給システム。
【請求項１６】
前記フラットパネル供給装置及びフラットパネル傾倒装置を制御する制御部を備え、前記制御部は前記移載装置に向けて前記フラットパネルを供給するときに、前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルの搬出を行うと共に、前記フラットパネル傾倒装置を駆動してフラットパネルの傾倒を行う、ことを特徴とする請求項１５に記載のフラットパネル供給システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、面積が大きく、薄い板状の部材（以下、フラットパネルと称す）を供給する供給装置、及びフラットパネルを傾倒させる傾倒装置、並びに搬送ライン内でフラットパネルを収蔵もしくは供給するバッファ機能に関する。より詳細には、工場内でフラットパネルを直立姿勢で搬送する搬送ラインに接して設けられ、フラットパネルを搬入および搬出するための供給装置に関する。また、直立姿勢のフラットパネルを傾倒させて水平姿勢にできる傾倒装置に関する。
【０００２】
なお、本明細書のフラットパネルには、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、ＥＬ（電界発光ディスプレイ）、ＦＥＤ（電界放射ディスプレイ）等に用いられるガラス基板、また装飾用金属薄板、金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材などが含まれる。
【０００３】
【従来の技術】
フラットパネルは、工場内で搬送ラインを介して搬送され、複数の場所（処理ステーション）で種々の処理を受ける。また、処理が完了した製品或いは半製品となったフラットパネルは、搬送ラインを介して所定位置に集合されて搬出される。近年、製品の歩留まり向上（コスト低減）等を図るために、このフラットパネルが大型化しているという状況にある。このようなフラットパネルの一例としては、ＬＣＤ用ガラス基板がある。一般的なＬＣＤ用ガラス基板は、面積７５０ｍｍ×９５０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ程度である。このようにＬＣＤ用ガラス基板は、現状においても面積の大きさと比較して厚みがかなり薄い。そのため壊れ易く、撓みやすいので、取扱いには注意を要している。ところが、近い将来において、ＬＣＤ用ガラス基板は面積がさらに大きく、例えば１３００ｍｍ×１５００ｍｍ、或いは１５００ｍｍ×１８００ｍｍにまで大型化すると予想されている。
【０００４】
上記のように大型化するフラットパネルも、各種の処理を施すために工場内の各所に搬送する必要がある。よって、工場内にコンベアを配備してフラットパネルを順次に搬送（枚葉搬送）したり、フラットパネルを一度に複数収納できるカセットを使用してＡＧＶ、ＲＧＶ等による搬送（バッチ搬送）が行われる。ところが、フラットパネルが大型化してくると搬搬送中での撓みが顕著化し、また搬送設備の大型化が問題となる。
【０００５】
ＬＣＤ用ガラス基板などでは、その表面に傷が発生しないように、幅方向の端部を支持しながら搬送を行うことが必要であるので、大型化するに従って中央部が垂れ下がり撓みの発生が特に顕著となる。カセット内に収納したＬＣＤ用ガラス基板についても、同様に問題となる。さらに、フラットパネルが大型化することに伴って、カセットも大型のものに変更する必要がある。よって、設備およびコスト上の問題も発生する。
【０００６】
上記のような問題に対しては、従来において、流体をフラットパネルの平面部に吹付けて浮上させ、非接触状態としフラットパネルを搬送する技術の提案が複数なされている。例えば特許文献１では、フラットパネルを直立姿勢にして搬送するシステムを開示している。特許文献１では、搬送面に多孔質体を臨ませ、この多孔質体から気体を縦姿のフラットパネルに吹付け、これら多孔質体とフラットパネルとの間に気体膜を形成して板面に対しては非接触を維持しつつ、下端部を搬送ローラで搬送する技術を提案している。この技術によると、フラットパネルを直立姿とするので、前述した撓みの発生を抑制できる。また、フラットパネルを寝かせた場合よりも、装置の占有面積を小さくすることもがきるので大型化したフラットパネルに対応したシステムとなっている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−３０８４２２号  公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に開示するシステムでは、多数の多孔質体が配置される。この多孔質体を形成するセラミック板は非常に高価であり、このシステムは、製造コストが増大するという問題がある。また、ＬＣＤ用ガラス基板等はゴミやチリを所定値以下に抑えたクリーンルーム内で処理されており、クリーンルーム内の空気流は下方の一定方向に制御されている。ところが、特許文献１に開示するシステムでは、複数の多孔質体から圧力の高い多量の流体が噴出するので、クリーンルーム内の気流に乱れが生じて、クリーン度が維持できなくなるという問題を発生させてしまう。また、この方式ではフラットパネルの浮上量が微小であり、円滑な搬送の為にはセラミック板に高い平面度が要求されるので加工コストがさらに嵩むことになる。
【０００９】
したがって、本発明の主な目的は、撓みの発生を抑制しつつ大型のフラットパネルを搬入出でき、また、クリーンルーム内の気流を乱すこともない、フラットパネル供給装置を提供することであり、また、他の目的はこのフラットパネル供給装置の自由度を高めることができる傾倒装置を合わせて提供することである。さらに他の目的はこれらを組み合わせたシステムを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的は請求項１に記載するように、フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル供給装置であって、
複数の前記フラットパネルを、前記直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、
前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを備えた装置本体部とを、含むフラットパネル供給装置により達成できる。
【００１１】
本発明によると、搬送手段によりカセット収納位置まで搬送された直立姿勢のフラットパネルは板状部材に対向するが、気体膜生成手段により形成される気体膜によって非接触状態とすることができる。この非接触状態で移載機構によりフラットパネルのカセット部への移載が行われるので、直立姿勢のフラットパネルに傷かつ接触による汚染や発塵が生じることなくカセット部内に収納できる。また、気体膜生成手段からは気体が下向きに少量だけ供給されているので、周囲の気流に乱れを生じさせない。よって、クリーンルーム等で用いても障害とならない。また、直立姿勢のフラットパネルを非接触に保持する程度の気流が気体膜生成手段から供給さればよいので、水平姿勢のフラットパネルを浮上させる場合よりも気体の供給量を抑制することができる。
【００１２】
前記移載機構は、前記カセット部を前記搬送ラインの搬送方向と直交する方向に往復移動させるカセット移動手段と、前記搬送手段を上下動させる上下駆動手段とにより構成できる。上下駆動手段を駆動して搬送手段を退避させた状態で、カセット部を移動することでフラットパネルをカセット部内に円滑に移載できる。また、特に本発明の場合は、従来方式に比べて、フラットパネルの浮上量（板状部材から離す距離）を大きく、例えば対向させた板状部材から約３〜５ｍｍも確保できる。よって、本発明で用いる板状部材は、加工により高い平面度とする必要がないのでコスト低減を図ることもできる。
【００１３】
また、前記板状部材の上端は前記フラットパネルの上端よりも低く設定され、さらに前記気体膜生成手段は該気体膜生成手段から噴出した気体が上方に突出しているフラットパネルの上端部分に当たり下向きに導かれるように配置されていることが望ましい。
【００１４】
また、前記カセット部は、少なくとも前記フラットパネルの下端を位置決めして保持する下端位置決め部材と、前記フラットパネルの上端位置を規定する上端位置規定部材とを含み、前記下端位置決め部材及び前記上端位置規定部材の少なくとも一方がフラットパネルの並列方向において移動可能に設定されていることが望ましい。このように構成すると、カセット部内のフラットパネルの傾斜状態を容易に調整できる。
【００１５】
また、前記カセット部には、少なくともフラットパネルの両側端部を支持する支持棒を含み、前記フラットパネルは前記支持棒を介して直立姿勢状態に保持する構造を採用できる。このように、支持棒を用いてフラットパネル両端を保持すると、フラットパネルに係る負荷が軽減するので撓みの発生を抑制しつつ直立姿勢を維持できる。さらにフラットパネルの中央にもこの支持棒で保持すれば、より好ましい状態でこの直立姿勢を維持できる。
【００１６】
なお、前記搬送手段はフラットパネルの下端に接する搬送コンベア、前記上下駆動手段は前記搬送コンベアを上下動させるアクチュエータとすることができる。
【００１７】
本発明の他の目的は、請求項７に記載する、フラットパネルを鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢にして搬送する搬送ラインに接して配置されるフラットパネル傾倒装置であって、
前記フラットパネルの下端に接し前記搬送ラインから傾倒位置まで搬送する搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置によって達成される。
【００１８】
本発明によると、搬送手段により傾倒位置まで搬送されたフラットパネルはパネル支持板に対向するが、気体膜生成手段により形成される気体膜によって非接触状態とすることができる。この非接触状態で傾倒手段によりフラットパネルが直立姿勢から水平姿勢に変換されるので、フラットパネルに傷かつ接触による汚染や発塵を生じることなく倒すことができる。また、傾倒前は気体膜生成手段からは下向きに供給されているので周囲の気流に乱れを生じさせないので、クリーンルーム等で用いても障害とならない。
【００１９】
また、前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に気体噴出手段をさらに備えて前記気体流通口から気体を噴出させる構造であることがより望ましい。そして、パネル支持板を傾倒させるときにおいて前記流体膜生成手段から前記気体噴出手段に切替え、前記気体流通口からの気体により気体膜を形成し、前記フラットパネルと該パネル支持板との非接触状態を保持するようにすれば、より安定してフラットパネルを直立姿勢から水平姿勢とすることができる。
【００２０】
また、前記パネル支持板が、前記気体膜の流れ方向とは略直角な方向で間隔を持って複数に分割され、前記間隔に外部からのフラットパネル移載用部材を受入れ可能とした構造を採用することが望ましい。さらに、前記傾倒手段により、所定位置まで傾倒された前記フラットパネルの側端に接触して前記フラットパネルの幅方向での位置を修正する位置修正手段をさらに備えた構造とすることがさらに好ましい。
【００２１】
さらに他の目的は、請求項１１に記載する、複数のフラットパネルを、鉛直状態よりも一方側に僅かに傾いた直立姿勢の状態で並列に保持可能としたカセット部と、前記フラットパネルを搬入及び搬出する搬入出ライン上に設けられ、フラットパネルの下端に接し少なくともカセット収納位置まで搬送する第１搬送手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルの面に対向するように配置した板状部材と、前記フラットパネルと前記板状部材との間に下向きに流れる気体膜を生成させる第１気体膜生成手段と、前記カセット収納位置にある前記フラットパネルを前記カセット部に移載する移載機構とを含んで構成される装置本体部とを、備えたフラットパネル供給装置と、
前記フラットパネル供給装置の第１搬送手段から前記フラットパネルを受ける位置に配置され、前記フラットパネルの下端に接して傾倒位置まで搬送する第２搬送手段と、前記傾倒位置にある前記フラットパネルの面に対向するように設けたパネル支持板と、前記パネル支持板を背面側に傾倒させる傾倒手段と、前記パネル支持板の上部に配置され、前記フラットパネルと前記パネル支持板との間に流れる気体膜を生成させる第２気体膜生成手段とを備えたフラットパネル傾倒装置とを備えたフラットパネル供給システムによって達成できる。
【００２２】
本発明によると、直立姿勢でフラットパネルを搬入及び搬出することができるフラットパネル供給装置に接して、フラットパネル傾倒装置が設けられているので、直立姿勢のフラットパネルを水平姿勢に容易に変換できる。よって、フラットパネルを水平姿勢で処理することが必要な場所で適用できるフラットパネル供給システムとして提供できる。
【００２３】
なお、前記パネル支持板が複数の気体流通口を備えると共に、該パネル支持板の背面側に前記気体流通口から気体を噴出させる気体噴出手段をさらに備えた構成であることが望ましい。
【００２４】
また、前記フラットパネル供給装置を、前記フラットパネルを直立姿勢にて搬送する搬送ラインに接して配置することができる。この場合に、前記フラットパネル供給装置及び搬送ラインを制御する制御部を設け、前記制御部は前記搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが過剰となるときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内にフラットパネルを搬入し、搬送ラインにより搬送される前記フラットパネルが不足するときには前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルを搬出する制御を実行させることができる。
【００２５】
また、前記フラットパネル傾倒装置を、水平姿勢となった前記フラットパネルを移載する移載装置に接して配置することができる。この場合に、前記フラットパネル供給装置及びフラットパネル傾倒装置を制御する制御部を設け、前記制御部は前記移載装置に向けて前記フラットパネルを供給するときに、前記フラットパネル供給装置を駆動して前記カセット部内のフラットパネルの搬出を行うと共に、前記フラットパネル傾倒装置を駆動してフラットパネルの傾倒を行う制御を実行させることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係るフラットパネル供給システムの実施例を説明する。本フラットパネル供給システムには、フラットパネル供給装置及びフラットパネル傾倒装置が含まれる。これらの詳細な構成を説明する前に、先ず本フラットパネル供給システム１の大略を図１を参照して説明する。図１は、本システム１とこれらに接して配置される周辺装置まで含んだレイアウト例を示した図である。
【００２７】
フラットパネル供給装置２は、フラットパネルＦＰを直立姿勢で搬送する搬送ライン１００に接して配置されている。なお、本発明とは直接関係がないので、この搬送ライン１００の構成についての詳細な説明を省略するが、少なくともフラットパネルＦＰを直立姿勢にてＦＤ方向に搬送し、本フラットパネル供給装置２に搬入できる構成を備えたものである。
【００２８】
フラットパネル供給装置２は、搬送ライン１００により搬送されるフラットパネルＦＰの搬送方向ＦＤに対して直角な方向ＲＤに移動するカセット３を備えている。カセット３はフラットパネルＦＰを直立姿勢状態にして並列に保持できる特別な構成を備えており、搬送ライン１００から供給されるフラットパネルＦＰを順次、格納できる。このフラットパネル供給装置２の詳細な構成については後述する。なお、図１ではフラットパネル供給装置２は簡略化して示している。
【００２９】
上記フラットパネル供給装置２に接して、フラットパネル傾倒装置４が配置されている。この傾倒装置４は前記フラットパネルＦＰの面に対向するように設けたパネル支持板５を備えている。このパネル支持板５は所定軸回りに回動可能に構成されており、直立姿勢と水平姿勢（ほぼ水平な姿勢）の状態が取れるように構成されている。この傾倒装置４は、上流側に位置する供給装置２からフラットパネルＦＰを受けて、フラットパネルＦＰを直立姿勢から水平姿勢に変換する。工場内では、フラットパネルＦＰを水平姿勢とすることが必要な場合が多々ある。よって、前述した供給装置２に接して、このような傾倒装置４を設けることで、供給装置２を適用する範囲を広げることができる。このフラットパネル傾倒装置４の詳細な構成についても後述する。
【００３０】
図１では、上記傾倒装置４に接してフラットパネル移載装置６を配置したレイアウト例を示している。この移載装置６は水平姿勢となったパネル支持板５上からフラットパネルＦＰを一枚ずつ受取り他の場所に移載する。この移載装置６は、フラットパネルＦＰの授受するための移載ハンド７（フラットパネル移載用部材）を備えている。この移載ハンド７は、待機状態では積層状態であるがフラットパネルＦＰの授受するとき伸びて移載装置６から他の場所に移動させる。
【００３１】
上記移載装置６の下流側には、さらに例示的に処理装置８が示されている。図１では、移載装置６の移載ハンド７が傾倒装置４のパネル支持板５上からフラットパネルＦＰを受け取った後で、移載ハンド７を伸ばして処理装置８内にフラットパネルＦＰを挿入した状態を示している。なお、処理装置８にて処理を受けたフラットパネルＦＰは、前述した説明とは逆方向に移動させて、供給装置２のカセット部３に格納するようにしてもよいし、また、図示しない設備を介して、処理装置８から更に他の場所に搬送するようにしてもよい。
【００３２】
この図１に示した供給装置２及び傾倒装置４等は、ＣＰＵを含む制御装置９により全体的にコントロールされている。制御装置９は、図１に示すレイアウト構成を利用して種々の動作を実行する。上記で説明したフラットパネルＦＰの移載するときの制御としては、例えば供給装置２を駆動してカセット３内のフラットパネルＦＰの搬出を行うと共に、傾倒装置４を駆動してフラットパネルＦＰを傾倒させる制御を実行する。
【００３３】
また、制御装置９は他の装置を駆動させず、フラットパネル供給装置２のみを駆動させる制御を実行することもでききる。例えば前記搬送ライン１００により搬送されるフラットパネルＦＰが過剰となったときにフラットパネル供給装置２を駆動してカセット部３内にフラットパネルＦＰを搬入させる。その逆に、搬送ライン１００で搬送しているフラットパネルＦＰが不足するときには供給装置２からフラットパネルＦＰを搬出する制御を実行する。制御装置９によりこのような制御が行われたときには、供給装置２はフラットパネルＦＰの供給量を調整する一種のバッファ装置として機能する。さらに、以下においてフラットパネル供給装置２及びフラットパネル傾倒装置４の詳細な構成を順に説明する。
【００３４】
（フラットパネル供給装置）
図２から図４は、フラットパネル供給装置２について示した図である。図２は、フラットパネル供給装置２の全体構成を示した斜視図である。本供給装置２は基台２１とその上にフレーム２２を組んで形成した装置本体（装置本体部）２０と、この装置本体２０内に配置したカセット（カセット部）３とを含んでいる。基台２１上には、カセット３を案内するための一対のレール２３、２３がフラットパネルＦＰの搬送方向ＦＤとは直角な方向ＲＤに向いて配置されている。このレール２３の上には、カセット載置台２６がレール２３に対してスライド可能にセットされている。このカセット載置台２６の底部には、ボールネジ２５に係合するナット（図示せず）が固定されている。ボールネジ２５は軸受を介して、両方向に回転するモータ２４に接続されている。よって、モータ２４の両方向への回転力がボールネジ２５に伝達するので、カセット載置台２６上のカセット３は方向ＲＤに往復動可能となる。
【００３５】
装置本体２０の中央に位置するフレーム２２ＣＴの下部には、外部の搬送ライン１００から搬入されるフラットパネルＦＰの面に対向するように一対の背面板（板状部材）２７が固定配置されている。背面板２７がこのように左右に分割された構成となっている理由はこの後の説明で明らかとなる。これら背面板２７の下方には、その下端に接してフラットパネルＦＰを搬送する搬送コンベア２８が配置されている。この搬送コンベア２８は上下動するアクチュエータ２９上に固定されている。このように搬送コンベア２８を上下動させる構成としているのは、カセット３にフラットパネルＦＰを並列に格納するためである。この点については、この後に示す図３を参照して詳細に説明する。
【００３６】
なお、本供給装置２にフラットパネルＦＰが搬入されるパネル搬入出位置ＰＥＰは、上流からフラットパネルＦＰを送出す搬送ライン１００の排出位置と一致するように配置されている（図１参照）。また、搬送ライン１００の搬送方向ＦＤと、本供給装置２の搬入出ラインＥＯＬとは一致する。上述した搬送コンベア２８は、この搬入出ラインＥＯＬ上でフラットパネルＦＰの下端に接触する位置に配設されている。
【００３７】
上記カセット３は略立方体を成すフレーム３１を備えている。このカセット側のフレーム３１と装置本体側のフレーム２２とは、互いに干渉する事が無いように工夫されている。すなわち、カセット３が載置台２６に載りレール２３上を移動する際に、装置本体側のフレーム２２と衝突することが無いように設計されている。この図２では、カセット３が最も前方に位置した状態を示している。カセット３のフレーム２２上の参照符号ＰＥは、カセット３が後退したときには参照符号ＰＰの位置まで移動する。このカセット３は最も後退した位置から、フラットパネルＦＰを一枚ずつ格納して、前進する。よって、図２で示している位置は、カセット３にフラットパネルＦＰが並列に満載され、最も前進している状態である。
【００３８】
図３は、図２におけるカセット３の内部構成が確認し易いように拡大して示した図である。この図３および先の図２を参照して、本フラットパネル供給装置２の細部に係る構成を説明する。装置本体２０側のフレーム２２ＣＴの中央部から垂下する一対のフレーム２２ＤＷは、カセット３の空間内に配置されている。また、同様にフレーム２２ＣＴの両端から垂下するフレーム２２ＤＲ、２２ＤＬもカセット３の空間内に配置されている。
【００３９】
そして、前述した左右一対の背面板２７は、それぞれ上記フレーム２２ＤＷ、２２ＤＲおよびフレーム２２ＤＷ、２２ＬＲに固定されている。この２つの背面板２７の左右両端およびその間には、所定の空間が確保されている。この空間内には後述するカセット２内に設けられるパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃが配置されている。このように設計することで、装置本体２０側のフレーム２２に対して、カセット３を干渉させることなく移動できるようにしている。
【００４０】
つぎに、本供給装置２でカセット３内にフラットパネルＦＰを順次、並列に移載するための構成について説明する。カセット３の底部側では、底部フレーム３１Ｄ上にフラットパネルＦＰの下端を位置決めする位置決め横棒（下端位置決め部材）３２が固定されている。この位置決め横棒３２は、フラットパネルＦＰの下端を位置決めし且つ安定に保持するため、両端および中央に３本（３２Ａ〜３２Ｃ）が配置されている。この位置決め横棒３２には、フラットパネルＦＰの下端を収納して保持する凹部３３が長手方向に複数、形成されている。また、図２、図３ではカセット３は取外しできない構造を例示しているが、背面板２７等の配置を変更することで、容易に着脱可能な構造とすることができる。この場合にはＡＧＶ等で他の装置へ移動させることもできるようになる。
【００４１】
上記凹部３３の各々の近傍からは、パネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃが立ち上がっている。ただし、この図３では、最後端に位置する３本だけを示している。各パネル支持棒３７はヒンジ部を有して回動可能に固定されている。この部分の構成はこの後の図４で明らかにする。
【００４２】
また、上部フレーム３１Ｔには、パネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃの上端に当接する当接部材（上端位置規定部材）３５が配置されている。この当接部材３５は、パネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃの上端に当接して規制し、これらを鉛直状態より僅かに傾いた状態となるように保持する。よって、これら３本のパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃにより、１枚のフラットパネルＦＰを直立姿勢にして支持できる。
【００４３】
次に、外部から搬入されるフラットパネルＦＰを、位置決め横棒３２上に乗せ、上記のようにパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃで背面から保持した状態に移行させるための移載機構を説明する。フラットパネルＦＰは搬送ライン１００から本供給装置２に向けて搬送される。この状態のフラットパネルＦＰを参照符号ＦＰ−１で示している。このフラットパネルＦＰは、搬入搬出ライン上にある搬送コンベア２８によりカセット収納位置まで搬送される。ここで、カセット収納位置とは、フラットパネルＦＰがちょうど２つの背面板２７に対向するように配置された位置である。この状態のフラットパネルＦＰを参照符号ＦＰ−２で示している。
【００４４】
そして、本供給装置２はカセット収納位置にあるフラットパネルＦＰと背面板２７とが接触しないように、即ち、非接触でフラットパネルＦＰを保持するための特徴的な構成を備えている。背面板２７の各々の上部には、エア発生器３９に接続されたエアパイプ３８が配設されている。このエアパイプ３８からは、斜め下向きにクリーンエアが噴出されている。これにより、背面板２７とフラットパネルＦＰとの間には、これらを非接触に保つような下向きの気体膜が形成される。
【００４５】
よって、フラットパネルＦＰが外部から搬入される状態となったときには、エアパイプ３８から下向きのクリーンエアが噴出しており、フラットパネルＦＰがカセット収納位置に来たときには背面板２７との非接触状態を形成できるように準備されている。なお、上記エア発生器３９については、塵埃等のパーティクルを捕捉できるフィルタを内蔵すると共に、静電気の発生等を予防するイオン化されたエアを供給できるものを採用することが望ましい。
【００４６】
上記のように気体膜で背面を保持された状態のフラットパネルＦＰは、その下端は搬送コンベア２８により支持されている。このコンベア２８はアクチュエータ２９により上下動できるようになっている。よって、搬送コンベア２８を上方に移動させた状態にして、カセット３を移動し位置決め横棒３２の凹部３３が搬入出ライン上に来るようにしてから、搬送コンベア２８を下げると凹部３３にフラットパネルＦＰの下端を収納できる。このような移載操作を繰り返すことにより、フラットパネルＦＰをカセット３内に並列に収納できる。
【００４７】
図４（Ａ）〜（Ｄ）は、カセット収納位置にあるフラットパネルＦＰを、カセット３の位置決め棒３２上に移載させる様子を模式的に示した図である。なお、図４の各部符号は、図３で示したものと対応している。（Ａ）は、アクチュエータ２９により搬送コンベア２８の位置が上昇され、フラットパネルＦＰの下端位置が位置決め横棒３２よりも上方に位置した状態が示されている。なお、エアパイプ３８は背面板２７の上方から左下方に向け、クリーンエアを吹付けるようになっている。特に、背面板２７はフラットパネルＦＰの上部側が幾分か突出するように設計されている。よって、エアパイプ３８からの下向きエアは当初、フラットパネルＦＰの上端部に沿って下降してから、背面板２７との間に入り確実に気体膜を形成する。
【００４８】
（Ａ）の状態からカセット３が左に移動されると、位置決め横棒３２および上部フレーム３１と共に当接部材３５も左へ移動して、パネル支持棒３７Ａ〜３７ＣがフラットパネルＦＰに接近する。（Ｂ）は、位置決め横棒３２の凹部３３が、フラットパネルＦＰの下端を受入れる位置に来た状態を示している。次の（Ｃ）は、アクチュエータ２９を駆動して、搬送コンベア２８を下降させてフラットパネルＦＰの下端を凹部３３に収納した状態を示している。この（Ｃ）までの移載工程では、エアパイプ３８から噴出する下向きのクリーンエアによりフラットパネルＦＰと背面板２７との間に気体膜が形成され非接触状態が維持される。
【００４９】
（Ｄ）では、カセット２がさらに左へ移動することで、このフラットパネルＦＰはカセット収納位置から前方にずれる。このとき、フラットパネルＦＰは気体膜により非接触で支持されている状態から、両端および中央のパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃにより接触支持される状態に変わる。これらのパネル支持棒は、フラットパネルＦＰに僅かに接触するだけであるから、カセットに格納中にその表面に傷や接触による汚染が発生することは殆どない。図４ではパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃの複数の小突起３７ｂを設けた例を示している。このように構成すれば、フラットパネルＦＰ表面との接触面積を抑制できる。
【００５０】
この（Ｄ）状態から、搬送コンベア２８は外部からフラットパネルＦＰを受ける初期位置に復帰される。上記（Ａ）から（Ｄ）の工程を繰り返すことにより、カセット２内にフラットパネルＦＰが並列に移載される。上記工程では、フラットパネルＦＰがパネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃによる支持に切替えられるまで、エアパイプ３８から噴出す下向きのクリーンエアによりフラットパネルＦＰと背面板２７との間に気体膜が形成され非接触状態が維持される。よって、フラットパネルＦＰの表面がカセットへの移載作業で傷付いたり汚染されることが抑制できる。
【００５１】
さらに、フラットパネルＦＰと背面板２７との間に気体膜を形成させるためのエアパイプ３８からの噴出しエアは下向きである。一般に工場内のクリーンルームでは、下向きの気流を生成させて塵埃等のパーティクルが舞い上がることがないように制御している。よって、本供給装置２を工場内に設置した場合、周辺の気流を乱すことが抑制できる。また、直立姿勢としたフラットパネルＦＰと背面板の間にエアを吹き込んで非接触状態を形成しているので、水平状態のフラットパネルＦＰを浮上させて非接触とする従来の装置よりもエア消費量を大幅に抑制できる。即ち、前記エア発生器３９は従来のものよりも小型化することができる。また、図４（Ａ）にのみで例示したが、例えば搬送コンベア２８の周部に気体吸引装置３６をさらに配置すると、パーティクルの発生をより確実に抑制できる。
【００５２】
さらに、図４（Ａ）を参照し、上述したフラットパネル供給装置２に関する好ましい構成例を説明する。図４（Ａ）の左側で円内に示したのは、矢印Ｘ方向から見た上部フレーム３１Ｔと当接部材３５との断面図である。上部フレーム３１Ｔの断面はチャンネル状の中空に形成され、当接部材３５の一部がこの中空部分に嵌り込んでいる。これにより、当接部材３５は上部フレーム３１Ｔの長手方向に摺動自在である。また、当接部材３５は固定ピン３５ａを差し込むことにより所定位置に固定できる。よって、当接部材３５を上部フレーム３１Ｔに沿って移動させ、所定位置に固定できる。その一方、パネル支持棒３７Ａ〜３７Ｃは、その下端が位置決め横棒３２に対してヒンジ３２ａにより回動自在に固定されている。このような構成とすることにより、位置決め横棒３２の傾斜角を可変とすることができるので、必要に応じてフラットパネルＦＰの直立姿勢を調整できる。
【００５３】
上記位置決め横棒３２の構成に関連して、前述した背面板２７の傾きを調整できるように構成しておけば、搬送ライン１００から搬送されるフラットパネルＦＰの傾斜角に対応して、フラットパネルＦＰを受入れることができる好ましい供給装置２となる。
【００５４】
なお、上記図４（Ａ）では、カセット３の移動時にアクチュエータ２９を駆動させて、搬送コンベア２８を上昇させる例を説明した。しかし、搬送ライン１００からフラットパネルＦＰを搬入する位置をカセット３の移動に障害とならない高めの位置に当初から設定しておけば、図４（Ａ）の上昇工程を省略でき（Ｃ）で示す工程で搬送コンベア２８を下降させるだけでよい。
【００５５】
上記では、フラットパネルＦＰをカセット３に搬入する工程を説明したが、搬出する際にはこの工程を逆とすればよい。フラットパネルＦＰを搬送コンベア２８上に配置した後は、図２に示すように必要に応じて、搬送ライン１００方向又は傾倒装置４方向に搬出することができる。
【００５６】
（フラットパネル傾倒装置）
さらに図５及び図６を参照して、フラットパネル傾倒装置４について説明する。図５は、フラットパネル傾倒装置４の全体構成を示した斜視図である。フレーム４１内にパネル支持板５とこのパネル支持板５を傾倒させる傾倒機構を含んでいる。なお、参照符号９０で示すのは、上流のフラットパネル供給装置２から搬送されるフラットパネルＦＰを傾倒位置まで送り込む、接続部である。この接続部９０にも搬送コンベア９２と支持板９１が設けられている。
【００５７】
本傾倒装置４は、台座５１に固定されたパネル支持板５を備えている。台座５１は回動軸５２回りに回動可能とされ、上記フレーム４１に固定されている。回動軸５２は両方向に回転可能なモータ５３に無端ベルト５４を介して接続されている。よって、パネル支持板５は実線で示すように直立姿勢の状態と、傾倒した点線で示す水平姿勢とを取ることができるように構成されている。
【００５８】
パネル支持板５は、前述した供給装置装２内の背面板２７に類似した構成を備えている。すなわち、パネル支持板５の上部には下向きのクリーンエアを噴出すエアパイプ５８が配設され、パネル支持板５は搬送されてきたフラットパネルＦＰの面に対向するように設定されている。なお、このエアパイプ５８も、図３で示したエアパイプ３８の場合と同様にエア発生器に接続されているが、図示を省略している。また、パネル支持板５の下方には、搬送コンベア５９が配置されている。この搬送コンベア５９がフラットパネルＦＰをパネル支持板５と対向する状態となる傾倒位置まで搬送する。
【００５９】
ところで、本装置４のパネル支持板５は、５Ａ〜５Ｄの４つに分割されている。これらの各パネル支持板５Ａ〜５Ｄは間隔を持って配置されている。このように間隔を取った構成とすることにより、水平姿勢となったときのフラットパネルＦＰの外部への移載操作を容易化している。すなわち、図示するように移載装置６（図１参照）の移載ハンド７をこの間隔内で受入れるようにすることで、フラットパネルＦＰを移載ハンド７上に容易に移載できるようにしている。
【００６０】
また、各パネル支持板５Ａ〜５Ｄには、複数の気体流通口５６が形成されている。各パネル支持板５Ａ〜５Ｄの背部には、クリーンなエアを噴出すエア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄが固定されている。このエア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄで生成された所定圧のエアは、パネル支持板５Ａ〜５Ｄが水平姿勢となったときにフラットパネルＦＰを浮上させるように、気体流通口５６から均一に噴出すようになっている。なお、この気体流通口５６からのエアの噴出しは、パネル支持板５の上部に設けたエアパイプ５８からのエアの噴出しと関連付けて調整されている。この点については、後に示す図６に基づいて詳細に説明する。
【００６１】
さらに、本傾倒装置４は好ましい構成として、パネル支持板５Ａ〜５Ｄが水平姿勢となったときにフラットパネルＦＰの位置を修正する位置修正装置４２が付加されている。この位置修正装置４２は、図５に示すように、水平姿勢となったフラットパネルＦＰの両端に接触できる位置に一対配置されている。この位置修正装置４２は、水平方向に所定長さ出没する接触片４２ａを備えており、フラットパネルＦＰが水平状態となったときに端部に接触して位置決めする。このような構成を備えることで、水平姿勢となったフラットパネルＦＰを定位置に正確に位置決めできるので、後の処理が円滑化できる。
【００６２】
図６は、直立姿勢のフラットパネルＦＰが水平姿勢に傾倒される様子を模式的に示した図である。図６の各部符号は、図５で示したものと対応している。なお、この図でよく確認できるように、パネル支持板５Ａ〜５Ｄの上部は外側に傾斜され、この上端部には各エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄが固定されている。このように構成することで、フラットパネルＦＰに下向きのクリーンエアを吹付け、パネル支持板５Ａ〜５ＤとフラットパネルＦＰとの間に気体膜を形成することができる。
【００６３】
フラットパネルＦＰが傾倒位置に来たときには、エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄから下向きのエアが噴出されており、非接触状態でパネル支持板５Ａ〜５ＤがフラットパネルＦＰを支持する状態が形成されている。この状態から、パネル支持板５Ａ〜５Ｄが回動軸５２回り回転され傾倒状態に入る。このとき、傾倒状態に応じてエア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄが駆動されるようになっている。
【００６４】
前述したところから明らかなように、エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄからのエアの噴出しは、直立姿勢のフラットパネルＦＰとパネル支持板５Ａ〜５Ｄとが非接触状態を維持できる程度の気流でよい。しかし、フラットパネルＦＰが傾倒したときには、フラットパネルＦＰの重量に打ち勝って、フラットパネルＦＰを浮上させることができる気流が必要となる。よって、本装置４においては、パネル支持板５Ａ〜５Ｄの傾倒状態に応じて、エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄのエアによる支持から、エア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄに基づく気体流通口５６からのエア支持に切替えるようにしている。このように構成することで、直立姿勢のフラットパネルＦＰを円滑に水平姿勢とすることができる。
【００６５】
図６ではフラットパネルＦＰの下端を支持する搬送コンベア５９は定位置固定であり一緒に回転しない場合を例示している。ここでの図示は省略しているが、フラットパネルＦＰの下端を支持する部材によりパネル支持板５Ａ〜５Ｄが傾倒する時に支持されるようになっている。なお、このような構成を採用せずに、パネル支持板５Ａ〜５Ｄが傾倒する時にフラットパネルＦＰの下端を支持しながら搬送コンベア５９が一緒に回転する構造としてもよい。
【００６６】
上記傾倒工程では、フラットパネルＦＰがエア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄによる支持に切替えられるまで、エアパイプ５８Ａ〜５８Ｄから噴出す下向きのクリーンエアにより気体膜が形成され非接触状態が維持される。よって、フラットパネルＦＰの表面が傷付くことが抑制できる。さらに、フラットパネルＦＰとパネル支持板５Ａ〜５Ｄとの間に気体膜を形成させるためのエアパイプ５８Ａ〜５８Ｄからの噴出しエアは下向きである。本傾倒装置４も前記本供給装置２の場合と同様に工場内に設置した場合に、周辺の気流を乱すことを抑制できる。また、エア噴出装置５７Ａ〜５７Ｄが駆動されるのは、フラットパネルＦＰを水平姿勢とした場合であり、そのエアはフラットパネルＦＰ下面に吹付けられているので、周辺の気流を乱すことは殆どない。
【００６７】
図５及び図６で示した、フラットパネル傾倒装置は好ましい構成としてエア噴出装置５７を設けている。そして、フラットパネルの傾倒時にエアの噴出しをエアパイプ５８から、このエア噴出装置５７に基づく気体流通口５６に切替えている。しかし、エア噴出装置５７を設けずに、エアパイプ５８から噴出させるエアの出力を増加させてフラットパネルＦＰの傾倒を行う構成を採用してもよい。この場合には、パネル支持板５Ａ〜５Ｄに気体流通口５６を設ける必要はない。
【００６８】
また、先に図１に示したレイアウトは単なる一例であって、本発明はこれにより限定されるものではない。すなわち、前述したようにフラットパネル供給装置２とフラットパネル傾倒装置４とを、隣接配置することにより好ましい効果を得ることができる。しかし、これらは単独で使用しても各々が独自の効果を奏する。フラットパネル供給装置を工場内の搬送ラインの途中に設けた場合、必要に応じてフラットパネルを保管し、又供給できるストック装置として機能する。この場合、フラットパネルの搬入側から搬出したり、搬入側とは反対側から搬出することもできる。よって、搬送ラインの自由度を増すことができる。
【００６９】
また、上記フラットパネル供給装置は複数、隣接配置してもよい。このように構成すると、フラットパネルの保管能力を向上させることができる。この場合、中間に位置するフラットパネル供給装置は隣接する上流のフラットパネル供給装置の搬送コンベア（搬送手段）からフラットパネルを受ける。すなわち、下流に位置するフラットパネル供給装置から見ると、搬送ラインは上流に位置する供給装置の搬送コンベアとなる。すなわち、本明細書で言う、搬送ラインは工場内に長く設定されたラインばかりでなく、隣接する装置の搬送コンベア等が含まれる広い概念である。また、フラットパネル傾倒装置４を単独で図１に示す搬送ライン１００に接続するように構成してもよい。
【００７０】
以上本発明の好ましい一実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更・組合せが可能である。
【００７１】
【発明の効果】
以上詳述したところから明らかなように、本発明によれば、フラットパネルが直立姿勢とされるので撓みの発生を抑制できる。また、フラットパネルの姿勢を保持する板状の部材との間は、気流膜が形成され非接触が維持されているのでフラットパネルが傷付くことや接触による汚染を防止できる。
【００７２】
さらに、気体膜を生成させる気体膜生成手段からは、下向きに気体が供給されているので、周囲の気流に乱れを生じさせない。よって、クリーンルーム等で用いても障害とならない。また、直立姿勢のフラットパネルを非接触に保持する程度の気流が気体膜生成手段から供給さればよいので、水平姿勢のフラットパネルを浮上させる場合よりも気体の供給量を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例のフラットパネル供給システムの大略を説明するため、このシステムを含むレイアウト例を示した図である。
【図２】フラットパネル供給装置の全体構成を示した斜視図である。
【図３】図２におけるカセットの内部構成が確認し易いように拡大して示した図である。
【図４】カセット収納位置にあるフラットパネルを、カセットの位置決め棒上に移載させる様子を模式的に示した図である。
【図５】フラットパネル傾倒装置の全体構成を示した斜視図である。
【図６】直立姿勢のフラットパネルが水平姿勢に傾倒される様子を模式的に示した図である。
【符号の説明】
１              フラットパネル供給システム
２              フラットパネル供給装置
３              カセット（カセット部）
４              フラットパネル傾倒装置
５              パネル支持板
６              移載装置
７              移載ハンド（フラットパネル移載用部材）
８              処理装置
９              制御装置（制御部）
２０            装置本体（装置本体部）
２７            背面板（板状部材）
２８、５９      搬送コンベア（搬送手段）
２９            アクチュエータ（移載機構、上下駆動手段）
３２            位置決め横棒（下端位置決め部材）
３５            当接部材（上端位置規定部材）
３７            パネル支持棒（支持棒）
３８、５８      エアパイプ（気体膜生成手段）
３９            エア発生器（気体膜生成手段）
４２            位置修正装置
５６            気体流通口
５７            エア噴出装置（気体噴出手段）
１００          搬送ライン
ＦＰ            フラットパネル
ＥＯＬ          搬入出ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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