(57)【要約】【課題】ラミネータ装置を用い、シート材をガラス基板へ貼り付ける場合、ラミネータ装置に装着されたシート材が停止中にペットフィルム剥離箇所で、シート材の幅方向に縦スジが発生する。この縦すじが画像領域に入った場合、画像欠陥となる。また、ラミネート中にシート材を切断するため、切り屑がガラス基板の混入し、ラミネート不良となる。【解決手段】シート材の基板転写面に部分的にマスキングフィルムを貼り付けたシートあるいは、ラミネータ装置内でマスキングフィルムを貼り付け付与できる装置を提供することで、ラミネータ装置内での誘電体膜不要部分の削除を行う基板間処理やシート材の切断処理が不要であるため、シート材が停止中に発生する縦すじを解消できると共に、異物の発生を抑えることができるため、ガラス基板の有効領域にのみ安定した品質で誘電体膜を連続形成できる。【選択図】　図６
2004058329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送りながら、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成された転写材料と、前記転写材料の表面に所定の間隔に形成されたマスキングフィルムとを有するをシート材を前記基材に貼り付けるシート材の貼り付け方法であって、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記マスキングフィルムが覆うように前記シート材と前記基材とを送る貼り付け工程を備えたシート材の貼り付け方法。
【請求項２】
前記シート材を送りながら前記マスキングフィルムを前記シート材に貼り付ける請求項１記載のシート材の貼り付け方法。
【請求項３】
前記貼り付け工程の前に、予め前記マスキングフィルムを前記転写材料の表面に貼り付けておくマスキングフィルム貼り付け工程を備えた請求項１記載のシート材の貼り付け方法。
【請求項４】
端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送りながら、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成された転写材料とを有するシート材を前記基材に貼り付けるシート材の貼り付け方法であって、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域をマスキングフィルムが覆うようにマスキングフィルムを前記基材に貼り付けるマスク処理工程と、
前記基材と前記シート材とを送る貼り付け工程とを備えたシート材の貼り付け方法。
【請求項５】
前記貼り付け工程の後、隣りあう前記基材の間の隙間の位置で前記シート材を切断する切断工程と、
その基材の前記マスキングフィルムを剥離することによって前記転写材料を剥離する剥離工程とを備えた請求項１または請求項４に記載のシート材の貼り付け方法。
【請求項６】
端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送りながら、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に所定の間隔で間欠的に形成された転写材料とを有するをシート材を貼り付けるシート材の貼り付け方法であって、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記転写材料が覆わないように前記シート材と前記基材とを送る貼り付け工程を備えたシート材の貼り付け方法。
【請求項７】
前記転写材料は誘電体膜である請求項１〜６のいずれかに記載のシート材の貼り付け方法。
【請求項８】
前記マスキングフィルムは、ポリイミド系耐熱樹脂フィルム、セルロース系耐熱樹脂フィルム、及び薄膜金属のいずれかで構成される請求項１〜６のいずれかに記載のシート材の貼り付け方法。
【請求項９】
端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送る送り手段と、
ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成された転写材料と、前記転写材料の表面に所定の間隔に形成されたマスキングフィルムとを有するシート材を、前記基材に貼り付ける貼り付け部とを備え、
前記送り手段は、前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記マスキングフィルムが覆うように前記シート材と前記基材とを送るラミネータ装置。
【請求項１０】
前記シート材を送りながら前記マスキングフィルムを前記シート材に貼り付けるマスキングフィルム形成手段を備えた請求項９記載のラミネータ装置。
【請求項１１】
前記シート材の前記マスキングフィルムは、予め前記転写材料の表面に貼り合わされている請求項９記載のラミネータ装置。
【請求項１２】
端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送る送り手段と、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域をマスキングフィルムが覆うようにマスキングフィルムを前記基材に貼り付けるマスク処理手段と、
ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成された転写材料とを有するシート材を前記基材に貼り付ける貼り付け部とを備え、
前記送り手段は、前記シート材をも送るラミネータ装置。
【請求項１３】
前記シート材と前記基材とが貼り合わされた後、隣りあう前記基材の間の隙間の位置で前記シート材を切断する切断手段と、
その基材の前記マスキングフィルムを剥離することによって前記転写材料を剥離する剥離手段とを備えた請求項９記載のラミネータ装置。
【請求項１４】
端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送る送り手段と、
ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に所定の間隔で間欠的に形成された転写材料とを有するをシート材を貼り付ける貼り付け部とを備え、
前記送り手段は、前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記転写材料が覆わないように前記シート材と前記基材とを送るラミネータ装置。
【請求項１５】
前記転写材料は誘電体膜である請求項９〜１４のいずれかに記載のラミネータ装置。
【請求項１６】
前記マスキングフィルムは、ポリイミド系耐熱樹脂フィルム、セルロース系耐熱樹脂フィルム、及び薄膜金属のいずれかで構成される請求項９〜１４のいずれかに記載のラミネータ装置。
【請求項１７】
ベースフィルムと、
前記ベースフィルム上に形成された転写材料と、
前記転写材料の表面に所定の間隔に形成されたマスキングフィルムとを備えたシート材であって、
端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材が順次所定間隔で送られながら、シート材は前記基材に貼り合わされ、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記マスキングフィルムが覆うようにシート材と前記基材とが送られるシート材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラミネータ装置を用いロール状シート複合材に形成された転写材料を、ガラス基板の所望の領域に連続的にラミネート形成するシート材、シート材の貼り付け方法およびラミネータ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７は枚葉式のラミネータ装置２００の概略側面図で、シート材２０２はシートホルダー２０１に装着してシート材２０２のカバーフィルム２０４を剥がし、巻き取りローラ２０３に巻き取るようにセッティングする。
【０００３】
一方、カバーフィルムを剥がしたシート材２０２はカバーフィルム剥がしローラ２０５、テンションローラ２０７等を経由し、仮付けプレート２１４で吸着固定後、オートカッター２０８でシート材２０２の端部不要箇所を切断する。
【０００４】
その後、搬送ローラ２１２により適温に加熱されたガラス基板２１１が搬送され、上ラミネートロール２０９と下ラミネートロール２１０間にガラス基板が通過する際に、シート材の先端部が仮付けプレートが下降してガラス基板に仮付けされる。この時にシート材の先端貼り付け位置２１３は、ガラス基板の先端より１５ｍｍ程度内側の位置である。
【０００５】
シートの仮付け後は７０〜８０℃に加熱された上ラミネートロール２０９と下ラミネートロール２１０で、シート材２０２を熱圧着しながら、ガラス基板２１１上にシート材２０２がラミネートされ、ラミネート終端部になる箇所でシート材２０２はオートカッタ２０８で切断され、シート材２０２の切断部がガラス基板２１１の後端部より１５ｍｍの箇所にラミネートを行われシートのラミネート作業を終了する。
【０００６】
上述したようにシート材２０２はガラス基板２１１の先端部から１５ｍｍの位置から後端部から１５ｍｍまでの位置の間に貼り付けられる。すなわち、ガラス基材の全長よりも貼り付けられるシート材２０２の長さの方が短いので、枚葉式のラミネータ装置２００でシート材２０２は、間欠的に送り出されなければならない。すなわち、枚葉式ラミネータ装置２００では、シート材２０２の送り出し動作と停止状態とが交互に繰り返される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところがこれらの方法によれば、図７の枚葉式のラミネータ装置２００ではオートカッター２０８によってシート材２０２を切断する際に、シート材２０２やベースフィルムの切り屑がラミネート前のガラス基板上２１１に落下し、異物として混入するためラミネート不良となる。
【０００８】
また、シート材２０２の搬送が停止している間に図８（図７Ｃ部の詳細）に示すように、シート材２０２とカバーフィルム剥離部境界２０６に縦すじが発生する。この縦すじの発生はシート材２０２の停止時間が長いほど進展し、シート材２０２が厚いほど、すじが深くなる傾向を示す。
【０００９】
また縦すじ発生箇所２０６からオートカッター２０８までの距離が５００ｍｍ程度であるため、全長が１０００ｍｍ程度のガラス基板２１１のほぼ全面にラミネート後は、図９に示すように、絶えずガラス基板２１１の中央部付近に縦すじ２１５が入ることになる。またこの方式は、ガラス基板２１１の間欠送りとなるため、生産性の向上は困難で、大量生産には不向きである。
【００１０】
このように浮遊ゴミの付着や、飛散により付着した切り屑がシート材２０２上に載った状態でラミネートされた場合、浮遊ゴミや切り屑が混入するため、シート材２０２のラミネート不良となる。
【００１１】
以上のように、シート材２０２をガラス基板２１１にラミネートする方法において、異物の混入やすじの発生があるという課題を有していた。
【００１２】
すなわち、シート材をガラス基板などの基板にラミネートする際、異物の混入やすじの発生があるという課題がある。
【００１３】
本発明は、上記課題を考慮し、シート材をガラス基板などの基板にラミネートする際、異物の混入やすじの発生がないシート材、シート材の貼り付け方法およびラミネータ装置を提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、第１の本発明は、端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送りながら、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成された転写材料と、前記転写材料の表面に所定の間隔に形成されたマスキングフィルムとを有するをシート材を前記基材に貼り付けるシート材の貼り付け方法であって、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記マスキングフィルムが覆うように前記シート材と前記基材とを送る貼り付け工程を備えたシート材の貼り付け方法である。
【００１５】
また、第２の本発明は、前記シート材を送りながら前記マスキングフィルムを前記シート材に貼り付ける第１の本発明のシート材の貼り付け方法である。
【００１６】
また、第３の本発明は、前記貼り付け工程の前に、予め前記マスキングフィルムを前記転写材料の表面に貼り付けておくマスキングフィルム貼り付け工程を備えた第１の本発明のシート材の貼り付け方法である。
【００１７】
また、第４の本発明は、端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送りながら、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成された転写材料とを有するシート材を前記基材に貼り付けるシート材の貼り付け方法であって、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域をマスキングフィルムが覆うようにマスキングフィルムを前記基材に貼り付けるマスク処理工程と、
前記基材と前記シート材とを送る貼り付け工程とを備えたシート材の貼り付け方法である。
【００１８】
また、第５の本発明は、前記貼り付け工程の後、隣りあう前記基材の間の隙間の位置で前記シート材を切断する切断工程と、
その基材の前記マスキングフィルムを剥離することによって前記転写材料を剥離する剥離工程とを備えた第１または第４の本発明のシート材の貼り付け方法である。
【００１９】
また、第６の本発明は、端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送りながら、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に所定の間隔で間欠的に形成された転写材料とを有するをシート材を貼り付けるシート材の貼り付け方法であって、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記転写材料が覆わないように前記シート材と前記基材とを送る貼り付け工程を備えたシート材の貼り付け方法である。
【００２０】
また、第７の本発明は、前記転写材料は誘電体膜である第１〜６の本発明のいずれかのシート材の貼り付け方法である。
【００２１】
また、第８の本発明は、前記マスキングフィルムは、ポリイミド系耐熱樹脂フィルム、セルロース系耐熱樹脂フィルム、及び薄膜金属のいずれかで構成される第１〜６の本発明のいずれかのシート材の貼り付け方法である。
【００２２】
また、第９の本発明は、端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送る送り手段と、
ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成された転写材料と、前記転写材料の表面に所定の間隔に形成されたマスキングフィルムとを有するシート材を、前記基材に貼り付ける貼り付け部とを備え、
前記送り手段は、前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記マスキングフィルムが覆うように前記シート材と前記基材とを送るラミネータ装置である。
【００２３】
また、第１０の本発明は、前記シート材を送りながら前記マスキングフィルムを前記シート材に貼り付けるマスキングフィルム形成手段を備えた第９の本発明のラミネータ装置である。
【００２４】
また、第１１の本発明は、前記シート材の前記マスキングフィルムは、予め前記転写材料の表面に貼り合わされている第９の本発明のラミネータ装置である。
【００２５】
また、第１２の本発明は、端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送る送り手段と、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域をマスキングフィルムが覆うようにマスキングフィルムを前記基材に貼り付けるマスク処理手段と、
ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成された転写材料とを有するシート材を前記基材に貼り付ける貼り付け部とを備え、
前記送り手段は、前記シート材をも送るラミネータ装置である。
【００２６】
また、第１３の本発明は、前記シート材と前記基材とが貼り合わされた後、隣りあう前記基材の間の隙間の位置で前記シート材を切断する切断手段と、
その基材の前記マスキングフィルムを剥離することによって前記転写材料を剥離する剥離手段とを備えた第９の本発明のラミネータ装置である。
【００２７】
また、第１４の本発明は、端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材を順次所定間隔で送る送り手段と、
ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に所定の間隔で間欠的に形成された転写材料とを有するをシート材を貼り付ける貼り付け部とを備え、
前記送り手段は、前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記転写材料が覆わないように前記シート材と前記基材とを送るラミネータ装置である。
【００２８】
また、第１５の本発明は、前記転写材料は誘電体膜である第９〜１４の本発明のいずれかのラミネータ装置である。
【００２９】
また、第１６の本発明は、前記マスキングフィルムは、ポリイミド系耐熱樹脂フィルム、セルロース系耐熱樹脂フィルム、及び薄膜金属のいずれかで構成される第９〜１４の本発明のいずれかのラミネータ装置である。
【００３０】
また、第１７の本発明は、ベースフィルムと、
前記ベースフィルム上に形成された転写材料と、
前記転写材料の表面に所定の間隔に形成されたマスキングフィルムとを備えたシート材であって、
端縁部に転写材料貼り付け禁止領域を有する基材が順次所定間隔で送られながら、シート材は前記基材に貼り合わされ、
前記基材の少なくとも前記転写材料貼り付け禁止領域を前記マスキングフィルムが覆うようにシート材と前記基材とが送られるシート材である。
【００３１】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明はベースフィルムに転写材料を形成後、転写材料の表面に所定の間隔にてマスキングフィルムを形成したシート材を用意することで、シート材の切断および基板間処理を施すことなく、連続的にシート材をラミネートできる。
【００３２】
マスキングフィルムは、ポリイミド、セルロース系等耐熱樹脂フィルムまたは薄膜金属の何れかで構成されることが好ましい。
【００３３】
また、ガラス基板の両端部に形成された電極端子部にマスキング処理を施すことでも同様に連続的にシート材をラミネートできる。
【００３４】
以上ようにシート材を基板にラミネート後、シート材を構成するベースフィルムを剥離させ、次にマスキングフィルムおよびマスキングフィルム上に形成された転写材料を剥離除去することにより、ガラス基板内の有効領域に転写材料を形成することができる。
【００３５】
ベースフィルムに誘電体膜などの転写材料を、予め間欠的に形成したロール状シート材であってもシート材の切断および基板間処理を施すことなく、連続的にシート材を基板の有効領域にラミネートできる。
【００３６】
ベースフィルムに転写材料を形成後、転写材料の表面に所定の間隔にてマスキングフィルムを形成したシート材もしくは、ベースフィルムに所定の間隔で間欠的に転写材料を形成したシート材を基板に転写する際に、シート材の所定間隔を検出する機構と、基板の位置検出する機構と、検出されたシート材の所定間隔と、基板の位置検出との同期を取る機構を有するラミネータ装置も用いることで、シート材の切断および基板間処理を施すことなく、連続的にシート材を基板に精度よくラミネートできる。
【００３７】
また、ベースフィルムに転写材料が形成されたロール状シート材を、基板にラミネートする際、ロールから引き出されたシート材の転写材形成面に所望の間隔でマスキングフィルムを貼り付ける機構を有するラミネータ装置を用いることでシート材の切断および基板間処理を施すことなく、連続的にシート材を基板にラミネートできる。
【００３８】
以上のように、本発明はガラス基板の有効領域に品質良く連続的に転写材料を形成するための、シート材とシート材の貼り付け方法およびラミネータ装置を提供することにある。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００４０】
（実施の形態１）
まず、実施の形態１について説明する。
【００４１】
図１は本発明におけるシート材の構成図であり、ベースフィルム１２５上に誘電体膜１２３が形成され、誘電体膜１２３の表面にポリイミド材料で構成されるマスキングフィルム１２０を部分的に形成する。本シートの誘電体膜１２３を転写形成するプラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰ）の前面板となる電極付きガラス基板の有効領域寸法と一致する間隔を開けて、次のマスキングフィルム１２０が部分的に形成され、その上部にカバーフィルム１０４が配置されたロール状シート材である。
【００４２】
なお、カバーフィルム１０４は特になくても構わないが、カバーフィルム１０４を設けない場合には、ベースフィルム１２５裏面に離型処理等が施されることで、誘電体膜とベースフィルム表面との密着強度より、誘電体膜１２３とベースフィルム１２５との裏面の密着強度が弱いことが好ましい。
【００４３】
図３はＰＤＰの前面板となる電極付きガラス基板の構成図であり、ガラス基板１１０の表面に電極１２１が形成されておりその延長上に電極端子１２４が構成されている。上記のロール状シート材のカバーフィルム１０４を剥離後、誘電体膜１２３面とガラス基板１１０をラミネートにより貼り合わせる。この際、ガラス基板１１０両端に形成された電極端子１２４とシート材に形成されたマスキングフィルム１２０との位置を合わせラミネートを行う。図４は上記手段により複数のガラス基板に連続的にラミネートを行った時の断面図である。
【００４４】
まず、シート材及びガラス基板を停止せず送り出しながら、シート材がラミネートされた隣接するガラス基板の隙間の位置でシート材を切断する。
【００４５】
次に、シート材がラミネートされたガラス基板において、カバーフィルム１０４を剥離した後、マスキングフィルム１２０を剥離除去することで、マスキングフィルム１２０上にある誘電体膜１２３を同時に除去することができ、ガラス基板１０９，１１０の電極端子を除く所望の有効領域に誘電体膜を形成することができる。なお、マスキングフィルム１２０を除去する前に、誘電体膜１２３にスリット加工を施すことでマスキングフィルム１２０とマスキングフィルム１２０上の誘電体膜１２３の除去性は向上する。
【００４６】
実施の形態１の説明においては、シート材に形成される誘電体膜１２３上にマスキングフィルム１２０を構成することで、基板電極端子に誘電体膜１２３が転写されるのを防止したが、予めガラス基板１１０の電極端子１２４にマスキングフィルム１２０を貼り付けた後、誘電体膜１２３をガラス基板１１０全面に転写後、マスキングフィルム１２０を除去しても同様の効果が得られる。
【００４７】
（実施の形態２）
図２は本発明の実施の形態２におけるシート材の構成図であり、ベースフィルム１２５上に誘電体膜１２３が、本シートの誘電体膜１２３を転写形成するＰＤＰの前面板となる電極付きガラス基板の有効領域寸法と一致する間隔にて間欠的に形成され、その上部にカバーフィルム１０４が配置されたロール状シート材である。
【００４８】
なお、カバーフィルム１０４は特になくても構わないが、カバーフィルム１０４を設けない場合には、ベースフィルム１２５裏面に離型処理等が施されることで、誘電体膜１２３とベースフィルム１２５表面との密着強度より、誘電体膜１２３とベースフィルム１２５との裏面の密着強度が弱いことが好ましい。
【００４９】
図３はＰＤＰの前面板となる電極付きガラス基板の構成図であり、ガラス基板１１０の表面に電極１２１が形成されておりその延長上に電極端子１２４が構成されている。上記のロール状シート材１０２のカバーフィルム１０４を剥離後、誘電体膜１２３面とガラス基板１１０をラミネートにより貼り合わせる。この際、ガラス基板１１０両端に形成された電極端子１２４を除く有効領域と前記シート材１０２に間欠形成された誘電体膜１２３との位置を合わせラミネートを行う。
【００５０】
図５は上記手段により複数のガラス基板１０９、１１０に連続的にラミネートを行った時の断面図である。この後、まず、シート材及びガラス基板を停止せず送り出しながら、シート材がラミネートされた隣接するガラス基板の隙間の位置でシート材を切断する。次に、カバーフィルム１２５を剥離することでガラス基板１０９、１１０の所望の有効領域に誘電体膜１２３が形成できる。
【００５１】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３について説明する。
【００５２】
図６は本発明におけるラミネータ装置１００の概略側面図である。ベースフィルムに誘電体膜を形成後カバーフィルムを配置してロール状にしたシート材１０２をシートホルダー１０１に取り付ける。シート材１０２のカバーフィルム１０４はカバーフィルム剥離ローラ１０５により剥離され、巻き取りローラ１０３に巻き取られる。
【００５３】
一方、カバーフィルム１０４が剥離されたシート材１０２はテンションローラ１０６を経由して、ガラス基板加熱装置１１２によって加熱されたＰＤＰの前面板となる電極付きガラス基板１１０とともに、約８０℃に加熱された、上ラミネートロール１０７と下ラミネートロール１０８間を通過させることでガラス基板上にシート材をラミネート形成する。
【００５４】
この際、シート材１０２がテンションローラ１０６を通過する時に、マスキングフィルム１２０をシート材１０２の誘電体膜面に所定の間隔で形成する機構１０９を設けている。
【００５５】
一例として、ガラス基板１１０サイズが搬送方向で１０００ｍｍで電極端子部が左右端部に各２５ｍｍ設けてある場合においては、９５０ｍｍの幅で誘電体膜をラミネートによって転写形成をする必要がある。ガラス基板１１０を１０ｍｍの隙間を開けて連続搬送してシート材１０２をラミネートする場合に、６０ｍｍ幅のマスキングフィルム１２０を１０１０ｍｍのピッチで誘電体膜表面に形成する。
【００５６】
シート材１０２のマスキングフィルム１２０端部などをレーザやカメラ認識により位置検出するとともに、ガラス基板１１０の端部などを同様にレーザやカメラ認識により位置検出を行い、ガラス基板１１０の搬送系においてシート材１０２との位置制御を行いラミネート位置を合わせ込む。
【００５７】
以上のように、ラミネータ装置内で誘電体膜の一部にマスキングフィルム１２０を貼り付けて、ガラス基板１１０との位置合わせを行いながら連続的にラミネートをすることができるとともに、ガラス基板に形成された電極端子を除く有効領域だけに精度良く誘電体膜を形成できる。
【００５８】
なお、実施の形態３において、機構１０９を設けず、シート材１０２として実施の形態１の図１で説明したシート材や実施の形態２の図２で説明したシート材を用いることも出来る。このようにすれば実施の形態１や実施の形態２で説明したシート材を用いたラミネータ装置を実現することが出来る。
【００５９】
なお本実施の形態ではマスキングフィルム１２０がポリイミド系耐熱樹脂材料で構成されるとして説明したが、これに限らずセルロース系耐熱樹脂フィルムまたは薄膜金属で構成されていても構わない。
【００６０】
なお、本実施の形態の誘電体膜１２３は本発明の転写材料の例であり、本実施の形態の電極付きガラス基板の電極１２１が設けられている領域は本発明の転写材料貼り付け禁止領域の例である。また、本実施の形態のコンベア１１６、搬送ローラ１１１、シートホルダー１０１、テンションローラ１０６は本発明の送り手段の例であり、本実施の形態の上ラミネートロール１０７、下ラミネートロールは本発明の貼り付け部の例であり、本実施の形態の機構１０９は本発明のマスク処理手段の例である。
【００６１】
以上のことから明らかなように、本実施の形態のシート材またはラミネート装置を用いることによって、ラミネータ装置内での誘電体膜不要部分の削除を行う基板間処理やシート材の切断処理が不要であるため、シート材が停止中に発生する縦すじを解消できると共に、異物の発生を抑えることができるため、ガラス基板の有効領域にのみ安定した品質で誘電体膜を連続形成できる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したところから明らかなように、本発明は、シート材をガラス基板などの基板にラミネートする際、異物の混入やすじの発生がないシート材、シート材の貼り付け方法およびラミネータ装置を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１におけるシート材構成図
【図２】本発明の実施の形態２におけるシート材構成図
【図３】本発明の実施の形態１及び２におけるガラス基板構成図
【図４】本発明の実施形態１及び３におけるシートラミネート後の基板断面図
【図５】本発明の実施形態２におけるシートラミネート後の基板断面図
【図６】本発明の実施形態３におけるラミネータ装置の概略側面図
【図７】従来の枚葉式ラミネータ本体の概略側面図
【図８】図７Ｃ部詳細図
【図９】縦すじが入ったシート材のラミネート後状態図
【符号の説明】
１００　ラミネータ本体
１０１　シートホルダー
１０２　シート材
１０３　巻き取りローラ
１０４　カバーフィルム
１０５　剥がしローラ
１０６　テンションローラ
１０７　上ラミネートロール
１０８　下ラミネートロール
１０９　マスキングフィルム貼り付け機構
１１０　ガラス基板
１１１　搬送ローラ
１１２　ガラス基板加熱装置
１１６　コンベア
１２０　マスキングフィルム
１２１　電極
１２３　誘電体膜（転写膜）
１２４　電極端子
１２５　ベースフィルム
【図１】
2004058329.tif 000003
【図２】
2004058329.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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