(57)【要約】【課題】物品の水切りを効果的に行うことのできる物品の自動搬送水切り装置、及び物品の自動洗浄装置を提供する。【解決手段】物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも、前記物品を載置して搬送する搬送ベルト機構と、該搬送ベルト機構に振動を与えることにより搬送される物品の水切りを行うベルト振動機構とを具備することを特徴とする物品の自動搬送水切り装置、及び該物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置。【選択図】        図１
2004335898.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも、前記物品を載置して搬送する搬送ベルト機構と、該搬送ベルト機構に振動を与えることにより搬送される物品の水切りを行うベルト振動機構とを具備することを特徴とする物品の自動搬送水切り装置。
【請求項２】
前記搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することを特徴とする請求項１に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項３】
前記上部ネット機構が、少なくとも、前記物品を押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることを特徴とする請求項２に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項４】
前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項５】
前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項６】
前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、物品を誘導するためのホールドバーが設けられていることを特徴とする請求項５に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項７】
前記ベルト振動機構が、シングルエアーダンパー方式、ダブルエアーダンパー方式、回転駆動ダンパー方式の何れかの方式で前記搬送ベルト機構に振動を与えるものであることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項８】
前記物品に上方向及び／または下方向から空気を吹き付ける上側主ノズル及び／または下側主ノズルが設置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項９】
前記搬送ベルト機構に、傾斜部及び／または段差部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項１０】
前記搬送ベルト機構上で物品を持ち上げて落とす物品保持手段が設置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置。
【請求項１２】
物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り方法において、前記物品を搬送ベルト機構に載置し、該搬送ベルト機構にベルト振動機構によって振動を与えながら物品を搬送することによって物品の水切りを行うことを特徴とする物品の自動搬送水切り方法。
【請求項１３】
前記物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することを特徴とする請求項１２に記載の物品の自動搬送水切り方法。
【請求項１４】
前記物品の寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することを特徴とする請求項１３に記載の物品の自動搬送水切り方法。
【請求項１５】
前記物品にＣＤＡブローまたはエアーナイフを施すことを特徴とする請求項１２ないし請求項１４のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法。
【請求項１６】
前記物品を搬送する際に、該物品を前記搬送ベルト機構に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させることを特徴とする請求項１２ないし請求項１５のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法。
【請求項１７】
前記物品を搬送する際に、該物品を物品保持手段を用いて前記搬送ベルト機構上で持ち上げて落とすことを特徴とする請求項１２ないし請求項１６のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法。
【請求項１８】
請求項１２ないし請求項１７のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法を用いて、少なくとも、前記物品を自動的に搬送しながら洗浄処理を行った後に水切りを行い、該水切りと同時または該水切り後に前記物品に乾燥処理を行うことを特徴とする物品の自動洗浄方法。
【請求項１９】
前記自動洗浄を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることを特徴とする請求項１８に記載の物品の自動洗浄方法。
【請求項２０】
前記乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことを特徴とする請求項１８または請求項１９に記載の物品の自動洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品を自動的に搬送しながら物品に水切りを行うための物品の自動搬送水切り装置及び自動搬送水切り方法、並びにこの物品の自動搬送水切り装置を用いて物品に洗浄及び乾燥処理を行う物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、物品に例えば洗浄及び乾燥等の処理を施す際に、物品（被処理物）を搬送しながらその物品に純水や洗浄剤等を吹き付けて洗浄処理を行い、その後加熱した清浄空気（クリーンドライエア、以下、ＣＤＡと略すことがある）等を吹き付けて乾燥処理を行う方法が広く用いられている。
【０００３】
例えば、半導体ウエーハを出荷する際にウエーハを保持・収納するキャリアボックスには、通常ウエーハへの汚染を防止するために非常に清浄なものが求められている。そのため、一般的にウエーハを収納する前にキャリアボックスに洗浄及び乾燥等の処理を施し、キャリアボックスに付着している塵（パーティクル）や有機物等を除去することが行われている。このようなキャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が知られている。
【０００４】
ここで、キャリアボックスの洗浄方法について簡単に説明する。
通常、このようなキャリアボックスに洗浄及び乾燥処理を行う場合、キャリアボックスは、先ず、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解され、その各パーツに分解されたキャリアボックスに純水による前洗浄を行う。続いて、前洗浄を行ったキャリアボックスに界面活性剤等の薬液を用いた薬液洗浄を行うことによって、付着しているパーティクルや有機物等を除去し、その後純水によるリンス（水洗）を十分に行う。
【０００５】
リンスが行われた後、キャリアボックスを十分に乾燥させる。キャリアボックスの乾燥を行う方法としては、リンス後のキャリアボックスを例えばクリーンオーブン内に搬送し、オーブン内を６０℃程度に保持して温風の循環により乾燥を行ったり、あるいはキャリアボックスの乾燥装置としてユニット内に組み込まれた回転機構を用いてキャリアボックスを装置内で回転させるとともに清浄な温風を吹き付ける、いわゆるスピンを利用した方法等を用いることによりキャリアボックスの乾燥が行われる。
【０００６】
また、上記のようなキャリアボックスの洗浄及び乾燥処理では、キャリアボックスに洗浄処理を行った後、乾燥を行う前にキャリアボックスに付着している水滴を落としておくことにより乾燥処理での乾燥時間を短縮できることから、キャリアボックスの水切りが行われている。例えば、リンスが施されたキャリアボックスに対して、ＣＤＡを高速で吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等を用いて水切りが行われている。
【０００７】
しかしながら、このような従来のＣＤＡブローやエアーナイフ等によるキャリアボックスの水切りでは、キャリアボックスに付着している水滴を十分に水切りできているとは言えず、水切り後のキャリアボックスの表面や、ＣＤＡブローやエアーナイフ等を施しにくいキャリアボックスの内側には多くの水滴が残存していた。そのため、乾燥処理でキャリアボックスを完全に乾燥させるためには依然長い処理時間が必要とされ、スループットの低下やコストアップの要因の一つとなっている。
【０００８】
そして、このような水切りの効果が低いことにより乾燥処理に時間がかかるという問題は、半導体ウエーハのキャリアボックスを洗浄する場合に限定されて引き起こされるものではなく、様々な物品に洗浄及び乾燥処理を行う場合に共通して引き起こされる問題である。
【０００９】
さらに上記の問題に加えて、被処理物を搬送しながら洗浄や乾燥等の各種処理を行うときには、被処理物が搬送中に滑って落下したり、また例えば処理中に加圧した空気やＣＤＡの吹き付け等によって被処理物が飛散するのを防止して、被処理物を安定して搬送できるようにするため、一般的に専用のバスケットやラック等を用いて被処理物を保持・固定する必要があった。
【００１０】
しかしながら、このように被処理物を専用のバスケットやラックに固定して搬送する場合、被処理物を専用のバスケットやラックに固定する前準備が必要であり、さらに洗浄や乾燥等の各種処理を行った後には搬送されてきたバスケットやラックから被処理物を取り出し、空のバスケットやラックを搬送装置の投入側に移動させて再び上記の前準備を開始しなければならないという手間が必要とされた。そのため、被処理物の搬送を効率的に行なうことができず、各種処理における処理時間の短縮やスループットの向上が妨げられ、大量処理を行うことが非常に困難であった。
【００１１】
【特許文献１】
特開２００１−１５６０３４号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、物品の水切りを効果的に行うことのできる物品の自動搬送水切り装置及び自動搬送水切り方法、並びにこの物品の自動搬送水切り装置を用いることにより物品に付着している処理溶液の水切りを効果的に行って、その後の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも、前記物品を載置して搬送する搬送ベルト機構と、該搬送ベルト機構に振動を与えることにより搬送される物品の水切りを行うベルト振動機構とを具備することを特徴とする物品の自動搬送水切り装置が提供される（請求項１）。
【００１４】
このように、少なくとも、物品を載置して搬送する搬送ベルト機構と、搬送ベルト機構に振動を与えることにより搬送される物品の水切りを行うベルト振動機構とを具備する物品の自動搬送装置であれば、物品を自動搬送しながら物品に付着している水滴等を十分に落とし、物品の水切りを効果的に行うことができる自動搬送水切り装置とすることができる。
【００１５】
このとき、前記搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することが好ましい（請求項２）。
このように、本発明の物品の自動搬送水切り装置が上部ネット機構を有するものであれば、物品を搬送する際に上部ネット機構で物品を上方から押さえることができ、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止できる。したがって、物品を安定して自動搬送しながら効率的に水切りを行うことができる自動搬送水切り装置とすることができる。
【００１６】
またこの場合、前記上部ネット機構が、少なくとも、前記物品を押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることが好ましい（請求項３）。
【００１７】
このように、上部ネット機構が押さえネット部と、押さえネット駆動チェーンと、押さえネット駆動ギアとを具備するものであれば、搬送ベルト機構で搬送される物品を上方から押さえて物品の飛散を確実に防止できるとともに、その搬送速度を制御して搬送ベルト機構と容易に同期させることができるものとなる。さらに、上部ネット機構の押さえネット部が網状の構造を有するものであれば、物品が上部ネット機構で上方から押さえられていても、物品の上面（上部ネット機構で押さえられている面）の水切りを効果的に行うことができ、さらには物品に上方向からのＣＤＡブローやエアーナイフ等を施すことも可能となり、極めて効果的に物品を水切りできる自動搬送水切り装置となる。
【００１８】
さらに、前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい（請求項４）。
このように上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていれば、物品の寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、物品が様々な寸法や形状を有していても、物品を上方から安定して押さえることができ、物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００１９】
また、本発明の自動搬送水切り装置は、前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることが好ましい（請求項５）。
【００２０】
このように、搬送ベルト機構が、搬送ベルト部と、搬送ベルト駆動チェーンと、搬送ベルト駆動ギアとを具備するものであれば、物品を安定して載置し、搬送することができる。また、搬送ベルト機構の搬送ベルト部が網状の構造を有するものであれば、物品から水切りされた水滴等を搬送ベルト機構からすばやく滴下することができ、排水が容易となる。さらに、搬送ベルト部が網状の構造であれば、前記上部ネット機構の場合と同様に、物品に下方向からのＣＤＡブローやエアーナイフ等を施すことが可能となり、極めて効果的な水切りができる。
【００２１】
この場合、前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、物品を誘導するためのホールドバーが設けられていることが好ましい（請求項６）。
このように、搬送ベルト部にホールドバーが設けられていれば、物品を搬送する際に物品のズレを防止でき、物品の搬送を安定して行うことができる。
【００２２】
また、前記ベルト振動機構が、シングルエアーダンパー方式、ダブルエアーダンパー方式、回転駆動ダンパー方式の何れかの方式で前記搬送ベルト機構に振動を与えるものであることが好ましい（請求項７）。
ベルト振動機構が、シングルエアーダンパー方式、ダブルエアーダンパー方式、回転駆動ダンパー方式の何れかの方式で搬送ベルト機構に振動を与えるものであれば、搬送ベルト機構へ十分な振動を安定して確実に与えることができる。
【００２３】
さらに、本発明の自動搬送水切り装置には、前記物品に上方向及び／または下方向から空気を吹き付ける上側主ノズル及び／または下側主ノズルが設置されていることが好ましい（請求項８）。
このように本発明の自動搬送水切り装置に上側主ノズル及び／または下側主ノズルが設置されていれば、これらの上下の各主ノズルから物品に対してＣＤＡまたは加圧した空気を吹き付けることができるので、搬送ベルト機構の振動による水切りに加えてＣＤＡブローやエアーナイフ等による水切りを物品に対して行うことが可能となる。
【００２４】
また、前記搬送ベルト機構に、傾斜部及び／または段差部が形成されていることが好ましい（請求項９）。
自動搬送水切り装置の搬送ベルト機構に、傾斜部及び／または段差部が形成されていれば、搬送ベルト機構で搬送される物品に対して、傾斜部で物品の向きを傾けたり、段差部で物品の落下等による衝撃を与えたりして、物品に付着している水滴を落とし易くすることができるので、物品の水切りを一層効果的に行うことができる水切り装置となる。
【００２５】
さらに、前記搬送ベルト機構上で物品を持ち上げて落とす物品保持手段が設置されていることが好ましい（請求項１０）。
このように物品保持手段が設置されていれば、物品を搬送ベルト機構上で持ち上げて落とすことが可能となり、このときの物品の落下の衝撃を利用することによって水切りの効果を一層高めることができる。
【００２６】
そして、本発明によれば、上記本発明の物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置を提供することができる（請求項１１）。
このような本発明の物品の自動洗浄装置であれば、洗浄処理が行われた物品の水切りを効果的に行うことができるので、その後の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる物品の自動洗浄装置とすることができる。
【００２７】
さらに、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り方法において、前記物品を搬送ベルト機構に載置し、該搬送ベルト機構にベルト振動機構によって振動を与えながら物品を搬送することによって物品の水切りを行うことを特徴とする物品の自動搬送水切り方法が提供される（請求項１２）。
【００２８】
このように、物品を搬送ベルト機構に載置し、その搬送ベルト機構にベルト振動機構によって振動を与えながら物品を搬送することによって物品の水切りを行えば、物品に付着している水滴等をすばやく十分に落として、効果的に物品の水切りを行うことができる。
【００２９】
このとき、前記物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することが好ましい（請求項１３）。
【００３０】
このように上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、上部ネット機構と搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することにより、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止して、物品を安定して自動搬送しながら水切りを行うことができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して水切りを行うことができるため、処理時間を短縮させてスループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００３１】
この場合、前記物品の寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することが好ましい（請求項１４）。
このように物品の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することによって、物品が様々な寸法や形状を有していても、物品を上方から安定して押さえることができ、搬送する物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００３２】
また、前記物品にＣＤＡブローまたはエアーナイフを施すことが好ましい（請求項１５）。
このように物品にＣＤＡブローまたはエアーナイフを施すことによって、搬送ベルト機構の振動による水切りに加えてＣＤＡブローやエアーナイフ等による水切りを物品に対して行うことができ、水切り効率をさらに高めることができる。
【００３３】
さらに、前記物品を搬送する際に、該物品を前記搬送ベルト機構に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させることが好ましい（請求項１６）。
このように物品を搬送ベルト機構に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させることによって、傾斜部で物品の向きを傾けたり、段差部で物品に落下等による衝撃を与えたりして、物品に付着している水滴を落とし易くすることができるので、物品の水切りを一層効果的に行うことができる。
【００３４】
また、本発明の自動搬送水切り方法では、前記物品を搬送する際に、該物品を物品保持手段を用いて前記搬送ベルト機構上で持ち上げて落とすことが好ましい（請求項１７）。
このように物品を搬送する際に、物品を物品保持手段を用いて搬送ベルト機構上で持ち上げて落とすことにより、搬送ベルト機構の振動による水切りに加えて、物品を落とした際の落下の衝撃を利用して物品に付着している水滴を瞬時に水切りすることができるので、極めて効果的な物品の水切りを短時間で行うことができる。
【００３５】
そして、本発明によれば、上記本発明の物品の自動搬送水切り方法を用いて、少なくとも、前記物品を自動的に搬送しながら洗浄処理を行った後に水切りを行い、該水切りと同時または該水切り後に前記物品に乾燥処理を行うことを特徴とする物品の自動洗浄方法が提供される（請求項１８）。
【００３６】
このような本発明の物品の自動洗浄方法であれば、洗浄処理が行われた物品の水切りを効果的に行うことができるため、その後物品に乾燥処理を行う際に、乾燥ムラを生じさせず、また短時間で効率的に物品を乾燥させることができるので、洗浄及び乾燥処理のスループットを向上させることができる。
【００３７】
このとき、前記自動洗浄を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることができる（請求項１９）。
このように、本発明の物品の自動洗浄方法は、ウエーハのキャリアボックスを洗浄する際に特に好適に用いることができ、それによって、キャリアボックスの洗浄及び乾燥処理を効率的に高いスループットで行うことができる。
【００３８】
この場合、前記乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことが好ましい（請求項２０）。
このように、乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことによって、ウエーハのキャリアボックス等のような物品を搬送しながら乾燥処理を効率的に、また高清浄度を保って行うことができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
先ず、本発明に係る物品の自動搬送水切り装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を示す概略説明図である。
本発明の物品の自動搬送水切り装置１は、図１に示すように、少なくとも、物品３０を載置して搬送する搬送ベルト機構２と、この搬送ベルト機構２に振動を与えることにより搬送される物品３０の水切りを行うベルト振動機構３とを具備するものである。
【００４０】
この本発明の自動搬送水切り装置１において、搬送ベルト機構２は少なくとも１つ設置されていれば良いが、物品の重さ、搬送速度、搬送距離等の搬送条件に応じてその設置数を適宜変えることができ、それによって、非常に安定した物品の搬送を行うことができる。
【００４１】
この搬送ベルト機構２は、図３に示すように、物品を載置する搬送ベルト部１０と、搬送ベルト部１０の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーン１１と、搬送ベルト駆動チェーン１１を駆動させる搬送ベルト駆動ギア１２とを具備している。この搬送ベルト部１０は、図５（ａ）に拡大図を示すように、細線径の網状の構造を有しており、様々な形状の物品を安定して載置することができる。このとき、網状の構造は所定の大きさの開口寸法（目）を有しており、この目の大きさは物品の形状、寸法、重量を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、例えば物品としてウエーハのキャリアボックスを搬送する場合には、搬送ベルト部１０の網状の構造における目の大きさを２５×２５ｍｍ以下にすることにより、耐荷重性が増し、キャリアボックスを安定して載置して搬送することができる。また、搬送ベルト駆動チェーン１１は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有し、各コマ３７をピン３８で連結して構成することができる。
【００４２】
このとき、搬送ベルト部１０は、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えば搬送ベルト駆動チェーン１１の駆動方向に垂直な方向の搬送ベルト部１０の材質（Ａ材）には細いステンレス棒にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）をコートしたものを用い、また駆動チェーン１１の駆動方向に平行な方向の搬送ベルト部１０の材質（Ｂ材）にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることができる。搬送ベルト部１０がこのような材質からなるものであれば、優れた清浄度を維持できるだけでなく、耐熱性、耐薬品性、耐磨耗性に優れ、さらに搬送ベルト部に滑りを持たせることができるので、被洗浄物への引っかかりを防止して円滑に搬送することができる。このような搬送ベルト部１０において、Ａ材とＢ材との接合部１５を例えば図５（ｂ）に示したように形成することによって、搬送ベルト部１０の物品と接触する面を平坦にできる。
【００４３】
さらに、搬送ベルト機構２には、図５（ａ）に示すように、搬送ベルト部１０に物品を誘導するためのホールドバー１６が設けられていることが好ましい。例えば、シリコンラバー等の材質からなるホールドバーを搬送ベルト部１０のＡ材上に所定の間隔で設置していれば、物品を搬送ベルト機構２に載置して搬送する際に物品のズレを防止でき、さらに物品を自動搬送水切り装置１に受け入れる際や、自動搬送水切り装置１から送り出す際等に物品の受け渡しを円滑に行うことが可能となる。
【００４４】
また、搬送ベルト機構２にホールドバー１６が設けられている場合、図６に示すように、ホールドバー１６の上面は櫛状に形成されていることが望ましい。このような形状を有するホールドバーであれば、例えば搬送ベルト機構間で物品の受け渡しを行う場合等に、それぞれの搬送ベルト機構に設置されているホールドバー同士がぶつかり合わず、物品の搬送及び受け渡しを円滑に行うことができる。
【００４５】
一方、図１に示した自動搬送水切り装置１におけるベルト振動機構３としては、例えば図８（ａ）に示すような、バルブＡとバルブＢの開閉を利用してダンパー３９を振幅させて搬送ベルト機構２に振動を与えるシングルエアーダンパー方式のものを使用することができる。このシングルエアーダンパー方式のベルト振動機構３は、例えばバルブＡ及びバルブＢを図８（ｃ）に示したように一定の間隔で開閉を繰り返すことによって、ダンパー３９に図８（ｂ）に示すような振幅を与えることができ、このダンパー３９の振幅を搬送ベルト機構２の搬送ベルト部に直接伝えることによって、搬送ベルト機構２に十分な振動を安定して与えることができる。また、ダンパー３９の振幅を例えば搬送ベルト機構の搬送ベルト駆動ギアに伝えることによっても、搬送ベルト機構の全体的に振動を与えることができる。
【００４６】
また、搬送ベルト機構に振動を与えるベルト振動機構の他の形態としては、例えば図９（ａ）に示したようなダンパー３９を上下に連結したダブルエアーダンパー方式のベルト振動機構３１を用いることができる。このダブルエアーダンパー方式のベルト振動機構３１は、上記のシングルエアーダンパー方式のベルト振動機構３と同様に、例えば図９（ｂ）に示すようなバルブＡ〜バルブＤの開閉を利用してダンパー３９を振幅させ、この振幅を例えば搬送ベルト機構２の搬送ベルト駆動ギア１２に伝えることによって搬送ベルト機構２に振動を与えることができる。このとき、ダブルエアーダンパー方式のベルト振動機構３１を搬送ベルト機構２の両端の搬送ベルト駆動ギアにそれぞれ設置することによって、より安定した振動を搬送ベルト機構２に与えることができる。
【００４７】
ベルト振動機構のさらに別の形態としては、図１０に示すような回転駆動ダンパー方式のベルト振動機構３２がある。この回転駆動ダンパー方式のベルト振動機構３２は、ダンパー３９を円盤３３に連結し、モーターにより円盤３３を回転させることによってダンパー３９を振幅させ、このダンパー３９の振幅を搬送ベルト駆動ギア１２に伝えることによって搬送ベルト機構２に振動を与えるものである。このような回転駆動ダンパー方式のベルト振動機構３２であれば、振動数の制御を容易に行うことができる。このとき、モーターによる円盤３３の回転によるダンパー３９の振幅に加えて、さらに上記で説明したバルブＡ〜バルブＤの開閉を利用することによって種々の不規則な振動を搬送ベルト機構２に与えることが可能となる。
【００４８】
また、本発明の自動搬送水切り装置１は、図１に示したように、搬送ベルト機構２に載置した物品３０を上方から押さえるとともに、搬送ベルト機構２の搬送速度と同期させて物品３０を搬送する上部ネット機構４を有することが好ましい。このように自動搬送水切り装置１に上部ネット機構４が設置されていれば、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに、物品３０を上方から押さえて物品の落下や飛散を防止し、物品３０を連続的に安定して自動搬送することができる。
【００４９】
この上部ネット機構４は、例えば図２に示すように、柔軟性を有し物品を上方から押さえる押さえネット部７と、押さえネット部７の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーン８と、押さえネット駆動チェーン８を駆動させる押さえネット駆動ギア９とを具備している。この押さえネット部７は細線径の網状の構造を有しており、その網状の構造が、例えば図４に拡大図を示すように、所定の大きさの開口寸法（目）を有している。この押さえネット部７の網状の構造における目の大きさは、物品の寸法や形状を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、例えば物品としてウエーハのキャリアボックスを搬送する場合、開口寸法を５０×５０ｍｍ以下程度にすることにより、キャリアボックスを上方から安定して押さえることができる。また一方、押さえネット駆動チェーン８は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有するものであれば良く、また各コマ２７をピン２８で連結して構成することができる。
【００５０】
このとき、押さえネット部７も前記搬送ベルト部１０と同様に、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えばＡ材には細いステンレス棒にＰＴＦＥをコートしたものを用い、またＢ材にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることによって、前記搬送ベルト部１０と同様の効果を得ることができる。さらに、押さえネット部７のＡ材とＢ材との接合部についても図５（ｂ）と同様に形成することによって、押さえネット部７の物品と接触する面を平坦にできる。
【００５１】
また、上記のような搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４において、搬送ベルト駆動チェーン１１の内面及び押さえネット駆動チェーン８の内面には、それぞれの駆動ギア１２及び９との噛み合わせを容易にするために、例えば図４に示すような内周歯１３、または図５（ａ）に示すようなギヤ溝１４が形成されている。このように搬送ベルト駆動チェーン１１及び押さえネット駆動チェーン８の内面に、内周歯１３またはギヤ溝１４が形成されていれば、搬送ベルト駆動ギア１２及び押さえネット駆動ギア９の駆動力を確実に駆動チェーンに伝えることができるし、またそれぞれの駆動ギアでその駆動力の大きさを制御することによって、搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４のそれぞれの搬送速度を調節して、容易に同期させることができる。また、このような搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４における駆動チェーン及び駆動ギアは、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵や金属汚染を防止することができる。
【００５２】
さらに、本発明の物品の自動搬送水切り装置１では、上記上部ネット機構４の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい。例えば図７に示すように、高さ調節手段２６としては、上部ネット機構４の押さえネット駆動ギア９に駆動力を与えるモーター１９を、バネ２３を介して保持具２０で保持し、この保持具２０の外面に等間隔で歯２１を取り付けて上下調節回転ギア２２に噛み合わせる。そして、この上下調節回転ギア２２を回転させることによって、上部ネット機構４の高さを容易に調節することができる。
【００５３】
また、上下調節回転ギア２２にモータを取り付け、物品各々の高さの記憶と、記憶させた高さへのモータ回転数制御ができるコントローラーシステム５０を設置すれば、さらに簡便に搬送を行うことができる。
【００５４】
本発明の自動搬送水切り装置にこのような高さ調節手段２６が設置されていれば、物品の寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、物品が様々な寸法や形状を有し、また大幅に外寸が異なるものであっても、上部ネット機構４で上方から安定して押さえることができ、物品の搬送ベルト機構外への落下や飛散を確実に防止できる。
【００５５】
また、このような高さ調節手段２６によって上部ネット機構４の高さを調節する場合、例えば保持具２０と上下調節回転ギア２２の接触部等から塵が発生することが考えられるので、高さ調整手段２６の周りに外枠２４を配置し、外枠２４内で発生した塵を強制排気できるように排出口２５を形成することが好ましい。このような発塵対策を施しておくことによって、上部ネット機構の高さを調節する場合でも装置内に塵が入り込むことを防止でき、装置内を優れた洗浄度に維持することができる。もちろん、高さ調節手段がない場合であっても、駆動ギア、駆動チェーン等は囲って、磨耗等により発生し得る塵等を強制排気するのが好ましい。
【００５６】
同様に、搬送ベルト機構２についても、駆動ギア、駆動チェーン等の駆動エリアを、物品が搬送されるエリアと隔離し、駆動系エリアを強制排気することによって物品搬送エリアを高い清浄度に保持できる構造とすることが好ましい。
【００５７】
加えて、本発明の自動搬送水切り装置１には、図１に示すように、物品３０に上方向から空気を吹き付ける上側主ノズル５及び下方向から空気を吹き付ける下側主ノズル６が設置されていることが好ましい。このように上側主ノズル５と下側主ノズル６が設置されていれば、これら上下の各主ノズルから物品３０に対してＣＤＡまたは加圧した空気を吹き付けることができるので、物品３０を搬送しながらＣＤＡブローやエアーナイフ等を施すことができる。尚、このような上側主ノズル５及び下側主ノズル６の設置位置、設置数は水切りを行う物品に応じて適宜調節することができる。また、必要に応じて、上側主ノズル５及び下側主ノズル６が首振りできるようにノズル回転手段等を設置することもできる。
【００５８】
次に、本発明の物品の自動搬送水切り方法について、図１に示した物品の自動搬送水切り装置１を参照しながら詳細に説明する。
本発明の物品の自動搬送水切り方法は、水滴４０の付着している物品３０を網状の構造を有する搬送ベルト機構２に載置し、そしてこの搬送ベルト機構２にベルト振動機構３によって振動を与えながら物品３０を搬送することによって、物品３０の水切りを行うものである。このように物品３０を搬送ベルト機構２で自動搬送するとともに搬送ベルト機構２に振動を与えることによって、物品に付着している水滴をすばやく十分に落とすことができ、物品の水切りを非常に効果的に行うことができる。
【００５９】
このとき、搬送ベルト機構２に与える振動の振幅及び振動数は、ベルト振動機構３で容易に制御することができ、水切りを行う物品の形状や大きさ、物品に付着している水滴の量などに応じて適宜設定することができる。
【００６０】
また、この自動搬送水切り装置１には、上述のように柔軟性のある上部ネット機構４が設置されている。この上部ネット機構４を用いて搬送ベルト機構２に載置した物品３０を上方から押さえつつ、上部ネット機構４と搬送ベルト機構２との搬送速度を同期させて物品３０を自動的に搬送することによって、物品が様々な形状を有していたり、また種類の全く異なるものであっても、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止でき、物品を安定して自動搬送しながら振動を与えて水切りを行うことができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して水切りすることが可能となるため、処理時間を短縮させてスループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００６１】
このとき、自動搬送水切り装置１には上部ネット機構４の高さを調節する高さ調節手段が設置されているので、物品の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを容易に調節することができる。したがって、搬送する物品の寸法や形状が大きく異なるものであっても、物品を上方から安定して押さえることができ、物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００６２】
さらに本発明では、搬送ベルト機構２で搬送される物品３０に対して、上記のような搬送ベルト機構２の振動による水切りに加えて、上側主ノズル５及び下側主ノズル６を用いることによって、クリーンドライエアを吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフによる水切りを施すことができる。このように物品３０にＣＤＡブローやエアーナイフによる水切りを追加して行えば、物品の水切り効率をさらに高めることができ、物品に付着している水滴を短時間で十分に落とすことができる。
【００６３】
尚、上側主ノズル５及び下側主ノズル６によるＣＤＡブローやエアーナイフによる水切りは、搬送ベルト機構２の振動による水切りと同時に行っても良いし、順番に連続的に行うこともできる。例えば、始めに搬送ベルト機構２の振動による水切りを行って物品に付着している水滴を落とし、続いて上側主ノズル５及び下側主ノズル６によるＣＤＡブロー等を連続して行うことによって、効果的な水切りを非常に効率的に行うことができる。
【００６４】
さらに、本発明では、上記物品の自動搬送水切り装置１の搬送ベルト機構２に傾斜部及び／または段差部を形成することができる。
例えば、図１１に搬送ベルト機構に傾斜部を形成する場合の一例を簡単に示すように、搬送ベルト機構２の配置を調整することによって、搬送ベルト機構２に物品３０を下降（または上昇）させるような昇降傾斜の傾斜部を形成することができる。
【００６５】
そして、このような昇降傾斜の傾斜部が形成されている搬送ベルト機構２に物品３０を載置し、この搬送ベルト機構２にベルト振動機構３によって振動を与えながら物品３０を搬送するこによって、物品３０に付着している水滴を搬送ベルト機構２が傾斜している方向に向かって落とし易くするとともに搬送ベルト機構２の振動により水切りを行うことができるので、物品３０の水切りを一層効果的に行うことができる。
【００６６】
また、搬送ベルト機構に形成される傾斜部の形態としては、上記の昇降傾斜の傾斜部の他に、例えば物品の搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜となるような傾斜部を搬送ベルト機構に形成することができる。このような片側傾斜の傾斜部は、例えば搬送ベルト機構の一端を他方の端の高さよりも高くなるようにして搬送ベルト機構を配置することによって、容易に形成することができる。そして、この片側傾斜の傾斜部を形成しておくことによって、上記の昇降傾斜の傾斜部と同様の効果を得ることができ、物品の水切りを一層効果的に行うことができる。
【００６７】
さらに、搬送ベルト機構に段差部を形成する場合の例を図１３に示す。段差部を形成する方法の一例として、例えば図１３（ａ）に示すようにして搬送ベルト機構２を高さを変えて配置することによって、搬送ベルト機構に段差部を簡単に形成することができる。そして、このような段差部が形成されている搬送ベルト機構２に物品３０を載置し、この搬送ベルト機構２にベルト振動機構３によって振動を与えながら物品３０を搬送することによって、搬送ベルト機構２の振動による水切りを行うとともに、物品が段差部を通過する際の落下の衝撃で物品３０に付着している水滴を落とすことができるので、極めて効果的にかつ短時間で物品３０を水切りすることができる。
【００６８】
また、搬送ベルト機構に形成される段差部の他の形態として、例えば図１３（ｂ）に示すように、各搬送ベルト機構２の間に回転可能な回転固定ポール３５を設置したり、また図１３（ｃ）に示すように、搬送ベルト機構２の搬送ベルト駆動ギア間に搬送ベルト部を持ち上げるようなテンション機構３６を用いたりすることによって、搬送ベルト機構に容易に段差部を形成することができる。
【００６９】
図１３（ｂ）及び（ｃ）に示すような段差部が搬送ベルト機構に形成されていることによって、搬送ベルト機構の振動による水切りを行うとともに、物品が段差部を乗り越える際に物品の向きを傾けて、物品に付着している水滴を物品の傾斜方向に向かって落とし易くすることができ、さらに物品が段差部を乗り越えたときに物品を落下させ、その衝撃で水滴を落とすことができるので、物品の水切りを一層効果的に短時間で行うことができる。
【００７０】
さらに加えて、本発明では、上記物品の自動搬送水切り装置１に搬送ベルト機構上で物品を持ち上げて落とす物品保持手段を設置することができる。
例えば、このような物品保持手段として、図１２に示すような、搬送ベルト機構２の搬送速度と同じ速度で移動でき、搬送ベルト機構２上で物品３０を保持して持ち上げ、所定の高さから落下させる物品保持手段３４を設置することができる。このような物品保持手段３４が設置されていれば、ベルト振動機構３で搬送ベルト機構２に振動を与えて物品３０の水切りを行うとともに、物品３０を所定の高さから落下させ、その落下の衝撃を利用することにより物品３０に付着している水滴を瞬時に水切りすることができるので、極めて効果的な物品の水切りを短時間で行うことができる。このとき、落下衝撃の大きさは、物品を落下させる高さによって決まるため、物品保持手段３４で物品３０を持ち上げる高さを調節することによって、水切りの効果を容易に調整することができる。
【００７１】
そして、本発明では、上記本発明の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置を提供することができる。
以下、本発明に係る物品の自動洗浄装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１４は、本発明の物品の自動洗浄装置の一例を示す概略説明図である。
【００７２】
本発明の物品の自動洗浄装置は、物品３０を自動的に搬送しながら、例えば前洗浄、薬液洗浄、リンス等の洗浄処理を行った後、この洗浄処理が施された物品３０に少なくとも上記本発明の自動搬送水切り装置、例えば図１に示した自動搬送水切り装置１を用いて、搬送ベルト機構２にベルト振動機構３によって振動を与えながら物品３０を搬送することによって物品３０の水切りを行い、さらにその後、例えばエアーナイフやＣＤＡブローによる乾燥処理を行うものである。
【００７３】
このように、洗浄処理が施された物品に本発明の自動搬送水切り装置を用いて水切りを行うことにより、非常に効果的に水切りを行って物品に付着している水滴を十分に落とすことができる。したがって、その後エアーナイフ等による乾燥処理を行う際に、乾燥時間を大幅に短縮してスループットを従来に比べて著しく向上させることができるし、また乾燥ムラを生じさせずに均一に物品を乾燥させることもできる。
【００７４】
さらに、本発明の自動搬送水切り装置は、前述のように上側主ノズル５及び下側主ノズル６を用いて物品３０にＣＤＡブローやエアーナイフを施すことができる。したがって、例えば洗浄処理後の物品に水切りを行う際に、搬送ベルト機構２の振動による水切りを行うとともに、上側主ノズル５及び下側主ノズル６から物品３０に吹き付ける空気の流量や温度を調節したり、物品に空気を吹き付ける時間を長くしてＣＤＡブロー等を行うことによって物品の乾燥を同時に行うことが可能となる。したがって、その後別途に乾燥処理を行う必要がなくり、物品の洗浄及び乾燥処理における処理時間の大幅な短縮を図ることもできる。
【００７５】
そして、このような本発明の自動洗浄方法は、前述のようなウエーハを保持・収納するキャリアボックスを洗浄する際に特に好適に用いることができる。ウエーハのキャリアボックスの洗浄を本発明の自動洗浄方法で行うことによって、キャリアボックスの洗浄処理及び乾燥処理を効率的に非常に高いスループットで行うことができる。
【００７６】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例）
実施例として、先ず、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、図１に示した物品の自動搬送水切り装置１を用いて、搬送ベルト機構２にベルト振動機構３によって振動を与えながらキャリアボックスを搬送することによってキャリアボックスの水切りを行った。このとき、ベルト振動機構３としては、図８（ａ）に示したような、シングルエアーダンパー方式で搬送ベルト機構に振動を与えるものを用いた。さらに、自動搬送水切り装置１の上側主ノズル５及び下側主ノズル６からはキャリアボックスに対してＣＤＡを吹き付けて、搬送されるキャリアボックスに搬送ベルト機構の振動による水切りを行うとともにＣＤＡブローを同時に施した。
【００７７】
この自動搬送水切り装置１による水切りの効果を確かめるために、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理直後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、及び自動搬送水切り装置１により水切りが行われた後のキャリアボックスの重量を測定して洗浄処理前のキャリアボックスの重量との差を算出することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。
その結果、洗浄処理直後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ６８ｇ、自動搬送水切り装置１による水切り後の水滴の量はおよそ４０ｇであることが分かった。
【００７８】
（比較例）
比較例として、上記実施例と同様に、先ずキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行い、その後キャリアボックスを搬送しながら、ＣＤＡをキャリアボックスの上下方向から吹き付けるＣＤＡブローのみによる水切りを行った。このとき、キャリアボックスに吹き付けるＣＤＡの圧力及び流量は、上記実施例で上側主ノズル及び下側主ノズルから噴射するＣＤＡの圧力及び流量と同様の条件となるように制御した。
【００７９】
このＣＤＡブローによる水切りの効果を確かめるために、上記実施例と同様に、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理直後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、及びＣＤＡブロー後のキャリアボックスの重量を測定することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。
【００８０】
その結果、洗浄処理直後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ６８ｇ、ＣＤＡブロー後の水滴の量は５８ｇであることが分かった。このように、ＣＤＡブローによるキャリアボックスの水切りでは、上記実施例に比べて水切りの効果が非常に低いことがわかった。
【００８１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００８２】
例えば上記説明では、物品を搬送する際に上部ネット機構を用いて物品が搬送ベルト機構外へ落下したり、飛散するのを防止しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いて物品を保持・固定しても良く、専用の治具に保持された物品を本発明により水切りすることによって、非常に効果的な水切りを行うことができる。
【００８３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、物品を搬送ベルト機構に載置し、その搬送ベルト機構にベルト振動機構によって振動を与えながら物品を搬送することによって、物品に付着している水滴を十分に落として物品の水切りを効果的に行うことができる。また、本発明の物品の自動洗浄方法によれば、洗浄処理が施された物品に水切りを効果的に行うことができるので、物品を乾燥させる際に乾燥ムラを生じさせず、短時間で効率的に物品の乾燥処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を示す概略説明図である。
【図２】（ａ）は、上部ネット機構の概略断面図であり、（ｂ）は、上部ネット機構の概略平面図である。
【図３】（ａ）は、搬送ベルト機構の概略断面図であり、（ｂ）は、搬送ベルト機構の概略平面図である。
【図４】上部ネット機構を拡大した説明図である。
【図５】（ａ）は、搬送ベルト機構を拡大した説明図であり、（ｂ）は、Ａ材とＢ材の接合部をさらに拡大した説明図である。
【図６】ホールドバーの形状を説明する概略説明図である。
【図７】高さ調節手段の構成例を示す概略構成図である。
【図８】（ａ）は、シングルエアーダンパー方式のベルト振動機構の構成を示す概略構成図であり、（ｂ）は、ダンパーの振幅を示したグラフであり、（ｃ）は、ベルト振動機構の振幅の１サイクルにおけるバルブの開閉を示す図である。
【図９】（ａ）は、ダブルエアーダンパー方式のベルト振動機構の構成を示す概略構成図であり、（ｂ）は、ベルト振動機構の振幅の１サイクルにおけるバルブの開閉を示す図である。
【図１０】回転駆動ダンパー方式のベルト振動機構の構成を示す概略構成図である。
【図１１】搬送ベルト機構に傾斜部を形成する場合の一例を簡単に示した概略説明図である。
【図１２】物品保持手段を説明する概略説明図である。
【図１３】（ａ）〜（ｃ）は、搬送ベルト機構に段差部を形成する場合の例を簡単に示した概略説明図である。
【図１４】本発明の物品の自動洗浄装置の一例を示す構成概略図である。
【符号の説明】
１…物品の自動搬送水切り装置、  ２…搬送ベルト機構、
３…ベルト振動機構（シングルエアーダンパー方式）、
４…上部ネット機構、  ５…上側主ノズル、  ６…下側主ノズル、
７…押さえネット部、  ８…押さえネット駆動チェーン、
９…押さえネット駆動ギア、  １０…搬送ベルト部、
１１…搬送ベルト駆動チェーン、  １２…搬送ベルト駆動ギア、
１３…内周歯、  １４…ギヤ溝、  １５…接合部、
１６…ホールドバー、  １９…モーター、
２０…保持具、  ２１…歯、
２２…上下調節回転ギア、  ２３…バネ、
２４…外枠、  ２５…排出口、  ２６…高さ調節手段、
２７…コマ、  ２８…ピン、  ３０…物品、
３１…ダブルエアーダンパー方式のベルト振動機構、
３２…回転駆動ダンパー方式のベルト振動機構、
３３…円盤、  ３４…物品保持手段、
３５…回転固定ポール、  ３６…テンション機構、
３７…コマ、  ３８…ピン、  ３９…ダンパー、  ４０…水滴、
５０…コントローラーシステム。
【図１】
2004335898.tif 000003
【図２】
2004335898.tif 000004
【図３】
2004335898.tif 000005
【図４】
2004335898.tif 000006
【図５】
2004335898.tif 000007
【図６】
2004335898.tif 000008
【図７】
2004335898.tif 000009
【図８】
2004335898.tif 000010
【図９】
2004335898.tif 000011
【図１０】
2004335898.tif 000012
【図１１】
2004335898.tif 000013
【図１２】
2004335898.tif 000014
【図１３】
2004335898.tif 000015
【図１４】
2004335898.tif 000016