(57)【要約】【課題】解析操作により得られた情報の参照または変更を簡単に行う。【解決手段】演算手段１０１と、試験データを解析対象データとして記憶する解析対象データ記憶手段１０９と、解析操作の操作情報または前記解析操作により得られた解析情報との少なくとも一方を履歴データとして記憶する履歴データ記憶手段１０７と、前記解析操作により得られた解析情報を記憶するために、演算手段１０１により作成される解析表示データを記憶する表示データ記憶手段１１２とを含み、新たな解析操作が指定されると、演算手段１０１が、前記入力された試験データを前記解析操作に従って処理し、前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとの少なくとも１つの情報を前記新たな解析操作により処理する半導体試験データ解析システム１およびその解析方法を提供する。【選択図】　　　　図１
2004072093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力された試験データの解析条件あるいは解析手順を含む解析操作の操作情報、または、該解析操作により得られた解析情報を、自動的に記録する半導体試験データ解析システムであって、
演算手段と、
前記試験データを解析対象データとして記憶する解析対象データ記憶手段と、
前記解析操作の操作情報と、前記解析操作により得られた解析情報との少なくとも一方を履歴データとして記憶する履歴データ記憶手段と、
前記解析操作により得られた解析情報を記憶するために、前記演算手段により作成される解析表示データを記憶する表示データ記憶手段と
を含んでなり、
新たな解析操作が指定されると、前記演算手段が、前記入力された試験データを前記解析操作に従って処理し、前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとの少なくとも１つの情報を前記新たに指定された解析操作により処理する半導体試験データ解析システム。
【請求項２】
前記演算手段が、前記新たに指定された解析操作による処理により、データベースまたはデータファイルから試験データを読み込み、解析対象データとして該試験データを前記解析対象データ記憶手段に記憶することを含む請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項３】
前記演算手段が、新たに指定された解析操作により、前記解析対象データを加工することからなることを特徴とする請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項４】
前記解析対象データを加工することが、フィルタリングまたは並べ替えをさらに実行することを含む請求項３に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項５】
前記新たな解析操作の操作情報または前記解析情報に関連する解析対象データが、新たな解析対象データとして前記解析対象データ記憶手段にさらに記憶される請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項６】
前記新たな解析操作の操作情報または解析情報に関連する履歴データが、新たな履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶される請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項７】
前記新たな解析操作の操作情報または解析情報に関連する表示データが、新たな表示データとして前記表示データ記憶手段に記憶されることを特徴とする請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項８】
前記データ解析システムが、データベースとデータファイルと前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとの少なくとも１つに関する操作情報または解析情報を、複製、合成、または統合して、新たな操作情報または解析情報を作成する請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項９】
前記データ解析システムが、表示装置をさらに含む請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１０】
前記データ解析システムが、入力装置をさらに含む請求項１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１１】
前記表示装置が、前記解析対象データ記憶手段に記憶されている解析対象データに関連するデータウィンドウと、前記履歴データ記憶手段に記憶されている履歴データに関連する履歴ウィンドウと、前記表示データ記憶手段に記憶されている表示データに関連する表示ウィンドウと、前記解析操作の操作情報または解析情報の表示もしくは特定を行う複数のアイコンとの少なくとも１つを表示するものである請求項９に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１２】
前記複数のアイコンが、
前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示または選択を行うための手段と、
前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示または選択を行うための手段と、
前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示または選択を行うための手段と、前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示または選択を行うための手段との間の関連を表す指標を作成する手段と、
前記解析操作の解析情報を可視化するための選択を表示または選択を行うための手段と
の少なくとも１つを含む請求項１１に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１３】
前記複数のアイコンのうちの１つのアイコンが特定されると、前記アイコンに関連する前記解析操作に後続する、解析対象データがさらに特定される請求項９に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１４】
前記複数のアイコンのうちの１つのアイコンが特定されると、前記アイコンに関連する前記解析操作が自動的に再実行される請求項９に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１５】
前記複数のアイコンの少なくとも１つのアイコンが、そのアイコンに関連するバッチ処理を開始するものである請求項９に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１６】
前記解析システムによって前記解析操作に関連する複数のアイコンがさらに特定されると、それぞれの該アイコンによってそれぞれ特定されるデータを、複製、合成、または統合することを含む請求項９に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１７】
前記解析システムによってデータの可視化に関連する複数の前記アイコンが互いに関連付けられると、１つのアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報と、別のアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報とが、同一のウィンドウ内に可視化されて表示されることを含む請求項９に記載の半導体試験データ解析システム。
【請求項１８】
演算手段と、解析対象データ記憶手段と、履歴データ記憶手段と、表示データ記憶手段とを含む半導体試験データ解析システムにおいて実施される半導体試験データ解析方法であって、
前記試験データを前記演算手段によって演算するステップと、
前記解析対象データ記憶手段に入力された試験データを解析データとして記憶するステップと、
該入力された解析操作の操作情報と、前記解析操作により得られた解析情報とのいずれかを履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶するステップと、
前記解析操作により得られた解析情報を表示するために、前記演算手段により作成される解析表示データを表示データ記憶手段に記憶するステップと、
新たな解析操作が指定されると、前記演算手段が、前記入力された試験データを前記解析操作に従って処理し、前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとの少なくとも１つの情報を前記新たな解析操作により処理するステップと
を含んでなる半導体試験データ解析方法。
【請求項１９】
前記演算手段による前記試験データの処理が、前記新たに指定された解析操作による処理により、データベースまたはデータファイルから試験データを読み込み、前記試験データを解析対象データとして前記解析対象データ記憶手段にさらに記憶するステップを含む請求項１８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２０】
前記演算手段による処理が、新たに指定された解析操作により、解析対象データを加工するステップをさらに含む請求項１８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２１】
前記演算手段による処理が、フィルタリングまたは並べ替えを実行することをさらに含む請求項２０に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２２】
前記新たな解析操作の操作情報または前記解析情報に関連する解析対象データが、新たな解析対象データとして前記解析対象データ記憶手段にさらに記憶されるものである請求項１８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２３】
前記新たな解析操作の前記操作情報または前記解析情報に関連する履歴データが、新たな履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶されるものである請求項１８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２４】
前記新たな解析操作の操作情報または前記解析情報に関連する表示データが、新たな表示データとして前記表示データ記憶手段に記憶されるものである請求項１８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２５】
前記新たな解析操作により処理するステップが、データベースとデータファイルと前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとの少なくとも１つに関する操作情報または解析情報を、複製、合成、または統合して、新たな操作情報または解析情報を作成するものである請求項１８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２６】
前記新たな解析操作の操作情報または解析情報を表示装置に表示するステップをさらに含む請求項１８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２７】
解析操作の操作情報または解析情報を入力装置から入力するステップをさらに含む請求項１８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２８】
前記解析対象データ記憶手段に記憶されている解析対象データに関連するデータウィンドウと、前記履歴データ記憶手段に記憶されている履歴データに関連する履歴ウィンドウと、前記表示データ記憶手段に記憶されている表示データに関連する表示ウィンドウと、前記解析操作の操作情報または解析情報の表示もしくは特定を行う複数のアイコンとの少なくとも１つを、前記表示装置に表示させるステップをさらに含む請求項２７に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項２９】
前記複数のアイコンを作成するステップが、
前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示するか選択を行うための手段を作成することと、
前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示するか選択を行うための手段を作成することと、
前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示するか選択を行うための手段と、前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示するか選択を行うための手段との間の関係を表す指標を作成する手段を作成することと、
前記解析操作の解析情報を可視化するための選択を表示するか選択を行うための手段を作成することと
の１つを含む請求項２８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項３０】
前記複数のアイコンのうちの１つが特定されると、前記アイコンに関連する前記解析操作に後続する、解析対象データをさらに特定することをさらに含む請求項２８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項３１】
前記複数のアイコンのうちの１つがさらに特定されると、前記アイコンに関連する前記解析操作が自動的に再実行されることをさらに含む請求項２８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項３２】
前記複数のアイコンの少なくとも１つによって、前記解析操作に関連するバッチ処理が開始されるステップをさらに含む請求項２８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項３３】
前記解析操作に関連する複数のアイコンが特定されると、それぞれの該アイコンによってそれぞれ特定されるデータが、複製、合成、または統合されるステップをさらに含む請求項２８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項３４】
データの可視化に関連する複数の前記アイコンを互いに関連付けると、１つのアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報と、別のアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報とが、同一のウィンドウ内に可視化されて表示されるステップをさらに含む請求項２８に記載の半導体試験データ解析方法。
【請求項３５】
請求項２５に記載された半導体試験データ解析方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体試験データの解析に関し、特に、試験データに対する解析条件や解析手順のような解析操作を視覚化することにより、ユーザが解析操作を簡便に設定または変更することができる半導体試験データ解析システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＤＳ　Ｓｏｆｔｗａｒｅ　Ｓｙｓｔｅｍｓ社製ｄａｔａＰＯＷＥＲ（登録商標）などの半導体専用の解析ソフトウェアを用いた解析操作では、このようなソフトウェアの命令に従って、試験データがロードされて解析されることにより解析結果が取得される。このような解析操作は、解析条件または解析手順を変更することにより何度も実行することができる。この解析条件または解析手順は、通常、ファイルに保存されるため、ユーザがデータファイルを指定することによってバッチ処理を実行することができる。バッチ処理の実行により、試験データの集合の各解析操作において、ユーザが、解析条件または解析手順を何度も入力する必要がなくなる。
【０００３】
また、上記の従来技術と同様に、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ　Ｅｘｃｅｌ（登録商標）のような汎用のスプレッドシートソフトウェアにおいても、試験データのロードと、このロードされた試験データに関連する解析条件および解析手順とを、ソフトウェアの命令に従って実行することにより解析結果を取得することができる。このようなソフトウェアは、表示装置からユーザによって実行された解析条件または解析手順を自動的に保存する機能を有する。このようなソフトウェアを用いてバッチ処理を実行することにより、ユーザが、この自動的に保存された解析条件または解析手順に基づいて、試験データの解析に関する更なる情報を取得することができる。
【０００４】
半導体製造開発工程の初期段階では、試験データを予測することが困難である。このため、最適な解析条件または最適な解析手順を求めるための探索的な解析（ｔｒｙ　ａｎｄ　ｅｒｒｏｒ　ａｎａｌｙｓｉｓ）が、行われる。このような解析操作では、以前の解析操作により得られた結果の解析、または以前の解析操作において得られた結果に基づく更なる解析操作の実行が要求されることが多い。
【０００５】
しかしながら、従来の解析操作では、ソフトウェアにより実行された試験データの解析条件または解析手順などの解析操作の履歴を管理していない。このため、ユーザが解析操作の途中に得られた解析結果を意図的に保存するような場合を除いて、解析操作の途中に得られた解析結果、または以前の解析操作により得られたデータを再び取得することは一般的に困難である。したがって、解析操作の途中で得られた解析結果、または以前の解析操作により得られたデータに基づいて、試験データに対して更なる探索的な解析を行うことは一般的に容易ではない。
【０００６】
半導体製造開発工程の後期段階では、得られる試験データがほぼ予測可能となるため、このデータの解析に必要な解析条件または解析手順がほぼ決定される。これらの解析条件および解析手順を用いて、バッチ処理による解析操作の自動化が行われる。半導体試験データ専用の解析ソフトウエアを用いた従来の解析操作では、解析に使用されるソフトウェア独自に規定された符号化方法に従うように、ユーザがバッチ処理の命令を入力する必要がある。つまり、ユーザは、解析ソフトウェアによって必要な符号化方法に従って、バッチ処理の命令の入力を行う必要がある。したがって、バッチ処理の命令の作成はユーザにとって容易なことではない。
【０００７】
半導体試験データの探索的な解析では、解析条件または解析手順の一部を変更した解析操作が頻繁に行われる。したがって、バッチ処理に対する解析条件または解析手順の一部をユーザが容易に変更できるようにすることが要求される。しかしながら、上記に記載したように、専用解析ソフトウェアによる従来の解析操作では、バッチ処理に用いられるソフトウェア独自に規定された符号化方法に従って、ユーザがバッチ処理の符号化を行う必要がある。つまり、バッチ処理の符号化に関する専門の知識がバッチ処理の実行には必要である。したがって、解析条件または解析手順の一部をユーザが変更することは容易ではない。
【０００８】
汎用のスプレッドシートソフトウェアでは、解析操作における解析条件や解析手順を自動的に記録することができる。しかし、このようなソフトウェアにおいても、自動的に記録された解析条件や解析手順を実行している途中に得られた試験データの解析結果や解析データを取得または管理することはできない。探索的な解析において、解析操作の途中に得られた解析結果または解析データにアクセスする場合には、ユーザが、解析操作の間に取得された解析結果または解析データを意図的に保存しておく必要がある。また、自動的に記録された解析条件や解析手順は、ソフトウェア独自に規定された方法に従ってユーザがコード化する必要がある。したがって、自動的に記録された解析条件または解析手順の一部をユーザが変更することは容易ではない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
したがって本発明の目的は、解析操作において実行された解析条件または解析手順を自動的に記録して簡単にアクセスすることができ、かつさらに解析条件の設定または解析手順の設定またはバッチ処理の設定を容易に変更し、かつ変更された条件または設定によって解析を再実行することができる半導体試験データ解析システムを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、入力された試験データの解析条件あるいは解析手順を含む解析操作の操作情報、または、該解析操作により得られた解析情報を、解析操作中に自動的に記録する半導体試験データ解析システムを提供する。
【００１１】
具体的には、本発明のある好ましい態様は、
入力された試験データの解析条件あるいは解析手順を含む解析操作の操作情報、または、該解析操作により得られた解析情報を、自動的に記録する半導体試験データ解析システムであって、
演算手段と、
前記試験データを解析対象データとして記憶する解析対象データ記憶手段と、前記解析操作の操作情報または、前記解析操作により得られた解析情報との少なくとも一方を履歴データとして記憶する履歴データ記憶手段と、
前記解析操作により得られた解析情報を記憶するために、前記演算手段により作成される解析表示データを記憶する表示データ記憶手段と
を含んでなり、
新たな解析操作が指定されると、前記演算手段が、前記入力された試験データを前記新たに指定された解析操作に従って処理し、前記解析対象データと前記履歴データと前記表示データとの少なくとも１つの情報を前記新たに指定された解析操作により処理するものである。
【００１２】
本発明の別の好ましい態様は、前記演算手段が、前記新たに指定された解析操作により、データベースまたはデータファイルから試験データを読み込み、解析対象データとして前記試験データを前記解析対象データ記憶手段に記憶することを含む半導体試験データ解析システムである。
【００１３】
本発明の別の好ましい態様は、前記演算手段が、新たに指定された解析操作により、解析対象データを加工することを含む半導体試験データ解析システムである。
【００１４】
本発明の別の好ましい態様は、解析対象データへの加工が、さらにフィルタリングまたは並べ替えを実行することを含む半導体試験データ解析システムである。
【００１５】
本発明の別の好ましい態様は、前記新たに指定された解析操作の操作情報または解析情報に関連する解析対象データが、新たな解析対象データとして前記解析対象データ記憶手段にさらに記憶される半導体試験データ解析システムである。
【００１６】
本発明のさらに別の好ましい態様は、前記新たに指定された解析操作の操作情報または解析情報に関連する履歴データが、新たな履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶される半導体試験データ解析システムである。
【００１７】
本発明のさらに別の好ましい態様は、前記新たに指定された解析操作の操作情報または解析情報に関連する表示データが、新たな表示データとして前記表示データ記憶手段に記憶される半導体試験データ解析システムである。
【００１８】
本発明の別の好ましい態様は、データベースと、データファイルと、前記解析対象データと、前記履歴データと、前記表示データとの少なくとも１つに関する操作情報または解析情報を、複製、合成、または統合して、新たな操作情報または解析情報を作成する半導体試験データ解析システムである。
【００１９】
本発明の別の好ましい態様は、表示装置をさらに含む半導体試験データ解析システムである。
【００２０】
本発明の別の好ましい態様は、入力装置をさらに含む。
【００２１】
また、本発明は、前記表示装置が、前記解析対象データ記憶手段に記憶されている解析対象データに関連するデータウィンドウと、前記履歴データ記憶手段に記憶されている履歴データに関連する履歴ウィンドウと、前記表示データ記憶手段に記憶されている表示データに関連する表示ウィンドウと、前記解析操作の操作情報または解析情報の表示または特定を行う複数のアイコンとの少なくとも１つを表示する半導体試験データ解析システムも提供する。
【００２２】
本発明の別の好ましい態様は、前記複数のアイコンが、
前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示するか選択を行うための手段と、
前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示するか選択を行うための手段と、
前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示するか選択を行うための手段と、前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示するか選択を行うための手段との間の関係を表す指標を作成するための手段と、前記解析操作の解析情報を可視化するための選択を表示するか選択を行うための手段とのいずれか１つを含むものである。
【００２３】
本発明の別の好ましい態様は、前記複数のアイコンのうちの１つのアイコンが特定されると、該アイコンに関連する前記解析操作に後続する、解析対象データがさらに特定されるものである。
【００２４】
本発明の別の好ましい態様は、前記複数のアイコンのうちの１つのアイコンが特定されると、前記アイコンに関連する前記解析操作が自動的に再実行されるものである。
【００２５】
本発明の別の好ましい態様は、前記複数のアイコンの少なくとも１つが、該アイコンに関連するバッチ処理を開始するものである。
【００２６】
本発明の別の好ましい態様は、前記解析操作に関連する複数のアイコンが特定されると、該それぞれのアイコンによってそれぞれ特定されるデータを、複製、合成、または統合する手段をさらに含むものである。
【００２７】
本発明のさらにもう１つの好ましい様相は、データの可視化に関連する複数の前記アイコンを互いに関連付けると、あるアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報と、別のアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報とが、同一のウィンドウ内に可視化されて表示される手段をさらに含むものである。
【００２８】
また、本発明は、入力された試験データの解析条件もしくは解析手順を含む解析操作の操作情報、または、該解析操作により得られた解析情報を、前記解析操作中に自動的に記録する半導体試験データ解析方法を提供する。
【００２９】
具体的には、この方法は、
演算手段と、解析対象データ記憶手段と、履歴データ記憶手段と、表示データ記憶手段とを含む半導体試験データ解析システムにおいて実施される方法であって、
試験データを前記演算手段によって演算するステップと、
前記解析対象データ記憶手段に入力された試験データを解析データとして記憶するステップと、
該入力された解析操作の操作情報と、前記解析操作により得られた解析情報とのいずれかを履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶するステップと、前記解析操作により得られた解析情報を表示するために、前記演算手段により作成される解析表示データを表示データ記憶手段に記憶するステップと、
新たに指定される解析操作が指定されると、前記演算手段が、前記入力された試験データを前記解析操作に従って処理し、前記解析対象データ、前記履歴データ、または、前記表示データの少なくとも１つの情報を前記新たな解析操作により処理するステップと
を含んでなる。
【００３０】
本発明の半導体試験データ解析方法の別の好ましい態様は、前記演算手段による試験データの処理が、前記新たに指定される解析操作により、データベースまたはデータファイルから試験データを読み込み、試験データを解析対象データとして前記解析対象データ記憶手段にさらに記憶するステップを含むものである。
【００３１】
本発明の半導体試験データ解析方法の別の好ましい態様は、前記演算手段を利用する処理が、新たに指定される解析操作により、解析対象データを加工することを含むものである。
【００３２】
本発明の半導体試験データ解析方法の別の好ましい態様は、前記演算手段を使用する処理が、フィルタリングまたは並べ替えをさらに含むものである。
【００３３】
さらに別の好ましい態様は、前記新たな解析操作の操作情報または前記解析情報に関連する解析対象データが、新たな解析対象データとして前記解析対象データ記憶手段にさらに記憶されるものである。
【００３４】
別の好ましい態様は、前記新たな解析操作の操作情報または解析情報に関連する履歴データが、新たな履歴データとして前記履歴データ記憶手段に記憶されるものである。
【００３５】
さらに別の好ましい態様は、前記新たな解析操作の操作情報または解析情報に関連する表示データが、新たな表示データとして前記表示データ記憶手段に記憶されるものである。
【００３６】
別の好ましい態様は、データベースと、データファイルと、前記解析対象データと、前記履歴データと、前記表示データとの少なくとも１つに関する操作情報または解析情報を、複製、合成、または統合して、新たな操作情報または解析情報を作成するようにするものである。
【００３７】
別の好ましい態様は、前記新たな解析操作の操作情報または解析情報を表示装置に表示するステップをさらに含むものである。
【００３８】
別の好ましい態様は、前記解析操作の操作情報または解析情報を入力装置（１０３）から入力するステップをさらに含むものである。
【００３９】
また、本発明は、前記解析対象データ記憶手段に記憶されている解析対象データに関連するデータウィンドウと、前記履歴データ記憶手段に記憶されている履歴データに関連する履歴ウィンドウと、前記表示データ記憶手段に記憶されている表示データに関連する表示ウィンドウと、前記解析操作の操作情報または解析情報の表示または特定を行う複数のアイコンとの少なくとも１つを、前記表示装置に表示するステップをさらに含む半導体試験データ解析方法を提供する。
【００４０】
ここで、前記複数のアイコンを作成するステップは、前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示しまたは行う手段を作成することと、前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示しまたは行う手段を作成することと、前記解析操作の操作情報に関連する選択を表示しまたは行う手段と、前記解析操作の解析情報に関連する選択を表示しまたは行う手段との間の、関係を表す指標を作成する手段を作成することと、前記解析操作の解析情報を可視化するための選択を表示しまたは行う手段を作成することとのいずれか１つを含むものである。
【００４１】
別の好ましい態様は、前記複数のアイコンのうちの１つが特定されると、前記アイコンに関連する前記解析操作において、後続する解析対象データが特定されるステップをさらに含むものである。
【００４２】
別の好ましい態様は、前記複数のアイコンのうち１つが特定されると、前記アイコンに関連する前記解析操作が自動的に再実行されるステップをさらに含むものである。
【００４３】
別の好ましい態様は、前記複数のアイコンの少なくとも１つにより、該解析操作に関連するバッチ処理が開始されるステップをさらに有するものである。
【００４４】
別の好ましい態様は、前記解析操作に関連する複数のアイコンが特定されると、該それぞれのアイコンによってそれぞれ特定されるデータを複製、合成、または統合するステップをさらに有するものである。
【００４５】
別の好ましい態様は、データの可視化に関連する複数の前記アイコンを互いに関連付けると、あるアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報と、別のアイコンによって特定される解析操作により得られる解析情報とが、同一のウィンドウ内に可視化されて表示されるステップをさらに有するものである。
【００４６】
本発明は、上記のいずれかの半導体試験データ解析方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラムも提供する。
【００４７】
上記のシステムまたは方法により、半導体試験データの解析の操作情報または解析情報が、自動的に記憶され、必要に応じて可視化されて表示されるので、ユーザは、半導体試験データを簡便に解析することができる。
【００４８】
本明細書において使用される用語である“解析操作”とは、ユーザによって予め決められた操作情報に基づく試験データの処理と、この操作情報との比較を行う操作とを含むものと理解される。本明細書において使用される用語である“解析対象データ”とは、上記の解析操作が実行される対象となる試験データを含むものと理解される。
【００４９】
本明細書において使用される用語である“操作情報”とは、上記の解析操作により実行される解析条件または解析手順に関連する情報を含むものと理解される。本明細書において使用される用語である“解析情報”とは、上記の解析操作により得られた解析結果、または、これらの解析結果に関連する解析対象データまたはその解析結果のリンクまたはその解析結果の表示データを解析するためのリンクを含むものと理解される。
【００５０】
本明細書において使用される用語である“指標”とは、線、文字、図形、色分け、グラデーション、またはこれらを組み合わせたものを含むものと理解される。本明細書において使用される用語である“指標を作成する手段”とは、例えば、上記の指標を上記の表示装置に表示することを含むものと理解される。
【００５１】
本明細書において使用される用語である“アイコン”とは、解析対象データもしくは操作情報、または、解析情報の取得、加工、可視化、もしくは表示に関連する指令を、コンピュータに実行させるための表示手段または入力手段を含むものと理解される。アイコンは、通常、１つ以上の文字、図形、記号、またはこれらの組み合わせにより構成されている。本明細書において使用される用語であるアイコンは、例えば、コンピュータの表示装置に表示されるようなアイコンに限定されず、さらに表示装置のウィンドウ内のツールバーまたはボタンも含むものと理解される。本明細書において使用される表現である“アイコンを特定すること”とは、前記のようにツールバー、またはボタンを含むアイコンを、キーボードからの入力操作手段、タッチパネルからの入力操作、またはマウスまたはその他のポインティング入力装置を使用する選択を意味するものと理解される。
【００５２】
本明細書において使用される用語である“コンピュータ”とは、キーボードやマウスやタッチパネルのようなデータの入力手段と、入力されたデータを記憶するための半導体メモリ（以下、簡単に「メモリ」とよぶ）やハードディスクドライブまたはその他のタイプのドライブなどの記憶手段と、入力されたデータまたは記憶されたデータの演算または解析を行う演算手段と、入力されたデータまたは演算されたデータを表示装置に表示する表示手段とを含むものと理解される。ここで、解析対象データ、操作情報、または解析情報に関連する命令を、コンピュータに入力する必要はないが、ＬＡＮもしくはインターネットなどの通信手段を介してコンピュータに通信することができる。このような解析対象データ、操作情報、または、解析情報は、コンピュータのメモリまたはハードディスクドライブなどの記憶手段に記憶しておくことができる。
【００５３】
解析対象データ、操作情報、または、解析情報がコンピュータの記憶手段に記憶されると、中央演算処理装置（ｃｅｎｔｒａｌ　ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　ｕｎｉｔ：ＣＰＵ）などの演算手段において、コンピュータ内のシステム制御プログラムからの指令に従って、上記の解析対象データ、操作情報、または、解析情報が処理される。この処理された結果が表示装置に表示される。したがって、本発明における「コンピュータ」とは、例えば、解析対象データ、操作情報、または解析情報データの記憶、保存、読み取り、もしくは書き込みを行うデータの取得手段と、データのフィルタリング、並べ替え、結合、もしくは積演算あるいは和演算を行うデータの加工手段と、解析対象データもしくは解析情報の特徴を抽出するために図または表を作成して表示するようなデータの可視化手段とを含む。
【００５４】
【発明の実施の形態】
関連する添付の図面を参照して、以下に本発明の実施例を詳細に説明する。
【００５５】
図１を参照して、以下に本発明の半導体試験データ解析システム１の態様について説明する。この解析システムは、コンピュータ１０１と、表示装置１０２と、キーボードやマウスやタッチパネルなどの入力装置１０３とを含んでいる。ここでは説明のために、コンピュータ１０１と表示装置１０２と入力装置１０３とが分離して図面に描かれている。しかし、例えば、ノート型コンピュータ等の場合のように、コンピュータ１０１と表示装置１０２と入力装置１０３とを一体型にすることができることも明らかである。
【００５６】
表示装置１０２について図１を参照してここで説明する。解析対象データ記憶手段１０９に記憶された解析対象データが、表示装置１０２のデータウィンドウ１０４に表示される。解析対象データを演算することにより得られた表示データが、表示装置１０２の表示ウィンドウ１０５に表示される。さらに、履歴データ記憶手段１０７に記憶され、解析操作において実行された命令およびその命令の順序を示す履歴データが、表示装置１０２の履歴ウィンドウ１０８に表示される。
【００５７】
次に、本発明の半導体試験データ解析システムにおける解析操作について、より具体的に説明する。
【００５８】
図２は、本発明の半導体試験データ解析システムの解析操作の履歴を表示するための履歴ウィンドウ１０８を示している。解析対象データの取得に関連したアイコン２０１および２０３と、フィルタリングまたは並べ替え等の加工に関連したアイコン２０２および２０６と、データの可視化に関連したアイコン２０５と、解析操作の手順を示す指標２０４および２０７とが、履歴ウィンドウ１０８に表示されている。履歴ウィンドウのその他の例は、図２８に示されている。
【００５９】
コンピュータ１０１のシステム制御プログラム１０６は、解析操作により解析対象データを取得する。この解析対象データの取得は、データベース１１０と、データファイル１１１と、解析対象データ記憶手段１０９とのうちの少なくとも１つから行なわれる。取得した解析対象データは、解析対象データ記憶手段１０９に記憶される。なお、上記の解析操作の操作情報は、履歴データとして履歴データ記憶手段１０７に記録される。履歴データの記憶に対応して、履歴ウィンドウ１０８に解析操作に関連するアイコンが表示される。ユーザがデータベース１１０の検索するときおよびユーザがデータファイル１１１を指定するときに使用されるウィンドウが図３および図４にそれぞれ示される。データベースの検索によってデータの取得を行うには、抽出パラメータ用の質問およびフィルタを使用するか、または図３に示すウィンドウにおいて所定のファイル名を入力することができる。データファイルからデータの取得を行うには、図４に示すウィンドウにおいて所定のファイル名を入力する。その結果、データベース１１０またはデータファイル１１１から解析データが取得され、アイコン２０１が履歴ウィンドウ１０８に表示される。
【００６０】
本発明の解析システムにおけるデータの加工は、データのフィルタリングとデータの並べ替えとの少なくとも１つを含む。これらの解析操作のために、ユーザがデータ加工条件を指定するウィンドウを図５および図６にそれぞれ示す。図５のウィンドウでは、ユーザは、１以上のデータ変数を選択し、項目名およびその範囲を入力することにより、解析対象データのフィルタリングを実行することができる。図６のウィンドウでは、ユーザは、１以上のデータ変数を選択し、昇順または降順に所定の解析対象データの並べ替えを実行する。上記の解析操作の操作情報は、履歴データとして履歴データ記憶手段１０７に記録することができる。そして、データの加工に関連するアイコン２０２が、履歴ウィンドウ１０８に追加される。アイコン２０２は、アイコン２０３により特定される解析対象データから、図５において入力された所定の条件を満たすデータのみをフィルタリングするデータの加工に関連するものである。このため、このアイコン２０２にはフィルタリングを示す文字を含むアイコンが表示されている。アイコン２０２と、解析操作の解析対象データに関連するアイコン２０３との間に指標２０４が作成される。指標２０４は、矢印付きの直線で解析操作の手順に関連するように表示される。これによって、ユーザは、どの解析対象データに基づいて、どのような解析操作がなされたかを一見して理解することができる。データの加工により得られた解析対象データは、解析対象データ記憶手段１０９に記憶される。
【００６１】
次に、データの可視化についてアイコン２０６を用いて説明する。このアイコン２０６は、上記のアイコン２０２と同様に、あるアイコンにより特定される解析対象データから図５において入力された所定の条件を満たすデータのみをフィルタリングすることに関連するものである。このアイコン２０６に対してデータの可視化に関連する解析操作が実行されると、コンピュータ１０１は、システム制御プログラム１０６によってアイコン２０６により特定される解析対象データを演算し、データの可視化のための表示データを作成する。そして、この表示データが、表示データ記憶手段１１２に記憶され、表示ウィンドウ１０５にアイコン２０５として表示される。このデータの可視化に関する解析操作が特定されると、コンピュータ１０１は、このときの解析操作の解析情報を履歴データとして履歴データ記憶手段１０７に記録する。そして、データの可視化に関連するアイコン２０５を履歴ウィンドウ１０８に表示する。アイコン２０５は、図７に示されるような散布図の作成に相当する解析操作であるため、散布図を表示する図形を含むようアイコンが表示されている。このアイコン２０５と、試験データをフィルタリングするデータの加工に関連するアイコン２０６との間に指標２０７が作成される。指標２０７は、矢印付きの直線で解析操作の手順に関連するように表示される。これによって、ユーザは、どの解析対象データに基づいて、どのような解析操作がなされたかを一見して理解することができる。
【００６２】
本発明の解析システムにおけるデータの可視化は、図７に示される散布図に限らず、例えば、図８に示される累積分布図や、図９に示されるヒストグラムや、図１０に示されるウェハマップや、図１１に示される箱髭図（ｂｏｘ　ａｎｄ　ｗｈｉｓｋｅｒｓｐｌｏｔ）や、図１２に示されるＳＰＣ図（Ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓ　Ｃｏｎｔｒｏｌ：日本では管理図と呼ばれる）などの図または表を含む。また、このような視覚化のために、本発明の解析システムは、解析操作の条件を指定するためのウィンドウをさらに含んでいる。その詳細について、図１３から図１８までにそれぞれ示す。図１３は、図７に示される散布図の設定ウィンドウである。ここでは、Ｘ軸およびＹ軸の変数をユーザが選択したり、対数プロットとして表示させたり、複数の解析対象データを選択して表示させたりして、表示データを図示することができる。図１４は、図８に示される累積分布図の設定ウィンドウである。図１５は、図９に示されるヒストグラムの設定ウィンドウである。図１６は、図１０に示されるウェハマップの設定ウィンドウである。図１７は、図１１に示される箱髭図の設定ウィンドウである。図１８は、図１２に示されるＳＰＣ図の設定ウィンドウである。
【００６３】
ユーザが履歴ウィンドウ１０８上の任意のアイコンを特定することによって、本発明の解析システムに記憶されている任意の解析対象データまたは任意の表示データの少なくとも１つを参照することができる。データの取得とデータの加工とデータの可視化とにより得られた解析対象データと履歴データと表示データとが、記憶手段１０９、１０７、１１２にそれぞれ記憶される。データの取得とデータの加工とデータの可視化に関連するアイコンが、履歴ウィンドウ１０８にそれぞれ表示される。
【００６４】
ここで、このようなアイコンは、ある解析操作を特定するための表示手段または入力手段に相当するものである。なぜならば、ユーザがマウスの左ボタンをクリックまたはダブルクリックまたはキーボードを使用するようなその他の選択操作により履歴ウィンドウ１０８上に表示されたアイコンを選択することができる。そして、コンピュータ１０１は、（例えば、クリックまたはダブルクリック等の操作により）このアイコンの選択を受けると、システム制御プログラム１０６によって、このアイコンに関連する解析対象データをデータウィンドウ１０４に表示するか、またはそのアイコンに関連する表示データを表示ウィンドウ１０５に表示する。
【００６５】
さらに、ユーザが履歴ウィンドウ１０８上の任意のアイコンを選択して、本発明の解析システムに既に記憶されている解析操作を変更した解析条件で再実行することができる。ユーザが履歴ウィンドウ１０８上のアイコンをマウスの右ボタンで選択すると、（図３、図４、図５、図６、図１３、図１４、図１５、図１６、図１７、図１８に示すウィンドウに相当する）そのアイコンにより予め関連したウィンドウの設定を選択することができる。これらの任意のウィンドウの利用により、データの取得、データの加工、またはデータの可視化に関連する操作情報または解析情報が変更されると、コンピュータ１０１は、システム制御プログラム１０６によって、変更された操作情報または解析情報に関連する解析操作を再実行する。そして、この解析操作の再実行により更新された解析対象データが、解析対象データ記憶手段１０９に記憶され、このときの履歴データが履歴データ記憶手段１０７に記憶され、このときの表示データが表示データ記憶手段１１２に記憶される。
【００６６】
変更された解析操作がデータの取得およびデータの加工のどちらかに関連する場合には、コンピュータ１０１は、システム制御プログラム１０６を使用することによって、変更された解析操作に関連する解析対象データと履歴データから得られる操作情報または解析情報の少なくとも１つに基づいて、派生する解析操作を再実行する。このように再実行される解析操作は、履歴データに変更された解析操作から派生する解析操作が存在する限り、コンピュータ１０１のシステム制御プログラム１０６によって再帰的に実行できる。
【００６７】
また、ユーザは、履歴ウィンドウ１０８において、任意のアイコンから派生するアイコンを複製し、このアイコンにより特定される任意の解析対象データと結びつけることもできる。これによって、本発明の解析システムに既に記録されている解析操作を、任意の解析対象データに対して適用することができる。例えば、図１９に示すように、ユーザは、履歴ウィンドウ１０８においてマウスの左ボタンをクリックしたままマウスを移動（ドラッグ操作）させて複数のアイコン１９０１を囲み、アイコンの集合を指定する。ユーザが複製を要求すると、コンピュータ１０１のシステム制御プログラム１０６によって、指定されたアイコンに関連する履歴データを履歴データ記憶手段からそれぞれ読み取って、新たな履歴データを創作する。図２０に示される履歴ウィンドウ１０８において、この新たに複製された履歴データに関連するアイコンと指標とが２００１として共に表示されている。この表示において、まだ実行されていない解析対象データに関連するアイコンおよび指標と、既に実行されたアイコンおよび指標とは、互いに異なるように表示されている。ここでは、実行されていないアイコンおよび指標は、半透明な状態で表示されているため、ユーザが一見してその状態を認識することができる。
【００６８】
図２１に示すように、解析対象データに関連するアイコンと、複製された解析操作に関連するアイコンおよび指標２００１とが、指標２１０１に示されるように結合されると、コンピュータ１０１は、システム制御プログラム１０６によって、結合データ元の解析対象データに対して複製された新たな解析操作を適用することができる。つまり、複数のアイコンに関連する解析操作を統合することができる。このような統合は、表示装置１０２の履歴ウィンドウ１０８においてアイコンを選択して、通常のコンピュータと同様なマウス操作により、ユーザが簡単に実行することができる。さらに、ユーザは、この選択された解析操作の操作情報を図１に示されるバッチファイル１１３に保存することもできる。バッチファイル１１３が選択されると、コンピュータ１０１は、システム制御プログラム１０６によって、選択されたバッチファイルを読み取って履歴データを作成する。そして、履歴データがこのようにして作成されると、上記の複製の場合と同様に、任意の解析対象データに対してこの選択されたバッチファイルを適用することができる。
【００６９】
２つの表示データの集合の両軸に対応するうちの少なくとも一つの軸の間に互換性がある場合には、表示データの一方の集合を他方の表示データの集合へと合成することもできる。このことは、履歴ウィンドウ１０８において、ユーザがマウス操作によって実行することができる。図２２には、（共にデータ可視化に関連し、散布図を作成する解析操作に相当する）少なくとも一つの軸の間の単位系に互換性がある２つのアイコン２２０１および２２０２が示されている。ここで、オペレータが合成の対象とする解析対象データに関連するアイコン２２０１から別の集合の解析対象データに関連するアイコン２２０２までマウスの右ボタンをクリックしながらドラッグすることによりそれぞれの解析操作の合成を要求することができる。このような合成が要求されると、アイコン２２０１からアイコン２２０２に指標２２０３が作成される。そして、コンピュータ１０１は、システム制御プログラム１０６によって、アイコン２２０１に関連する解析操作をアイコン２２０２に関連する解析操作に追加する。このとき、アイコン２２０２に関連する解析操作の履歴データと、アイコン２２０１に関連する解析操作の履歴データとがコンピュータ１０１の履歴データ記憶手段１０７に記憶される。そして、アイコン２２０２に関連する表示データが変更され、その表示データが表示ウィンドウ１０５に表示される。これによって、アイコン２２０１および２２０２の表示形式と表示項目とに従って、アイコン２２０１および２２０２に関連する表示データが、それぞれ合成されて、表示ウィンドウ１０５に表示される。例えば、図７に示すように、異なる解析対象データに関連するアイコンに対して、（例えば、異なる色または形状により表示する等の）異なる種類の表示とすることができる。これによって、それぞれの解析対象データに関連する表示データを重ね合わせて表示することができるため、ユーザは、それぞれの解析対象データの間の相違を簡単に理解することができる。
【００７０】
最後に、本発明の解析システムにおける具体的な操作について、図２３〜図３０に示される表示装置１０２の種々の画面表示と、図３１〜図３９のフローチャートとを参照して、以下に説明する。
【００７１】
（解析対象データ取得）
図２３のメイン・ウィンドウにおいて、ＥｘｔｒａｃｔＤａｔａボタンを選択して図３に表示されるデータベース検索条件設定ウィンドウの手段によりデータベースを検索するか、または、図４に表示されるデータファイル指定ウィンドウの手段によりデータファイルを読み込む。これによって、図２の符号２０１に示すように、データベースまたはデータファイルに関連するアイコンが表示される。
【００７２】
（フィルタ操作）
図２に示す履歴ウィンドウにおいて、解析対象データに関連するいずれかのアイコンを選択する。次に、図２４に示すメイン・ウィンドウのＦｉｌｔｅｒボタンを選択する。そして、図５に示すフィルタ・ウィンドウにおいて、解析操作を指示し、Ｆｉｌｔｅｒボタンを選択する。これにより、図２の符号２０２、２０３、２０４に示すように、元のアイコンと、フィルタリングに関連するアイコンとが表示され、そのアイコンとの間に指標が表示される。
【００７３】
（並べ替え操作）
図２に示す履歴ウィンドウにおいて、解析対象データに関連するいずれかのアイコンを選択する。そして、図２４に示すＳｏｒｔボタンを選択する。図６に示す並べ替えウィンドウにおいて、並べ替えを指示し、Ｓｏｒｔボタンを選択する。これによって、図２４の２４０４に示すように、矢印およびアイコンが表示され、データが作成される。
【００７４】
（グラフ化操作）
図２に示す履歴ウィンドウにおいて、対応する解析データを有するいずれかのアイコンを選択する。次に、選ばれたアイコンのグラフを示す表示ウィンドウを作成するために、図２４に示されるＣｒｅａｔｅ　Ｆｒａｍｅボタンを選択する。そして、図２５に示すウィンドウの種々のタブ頁（ｔａｂ　ｐａｇｅ）を設定し、Ｐｌｏｔボタンを選択する。これによって、図７〜図１２に示すように、データの可視化と矢印とアイコン２４０６とが表示される。ここで、図２５のＤｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎタブ頁に隠れている他のタブ頁の設定内容は、図１３、図１５、図１６、図１７、図１８に示される各種設定ウィンドウと同様である。
【００７５】
（コピー＆ペースト操作）
図１９および図２６に示すように、履歴ウィンドウにおいて、結合されたアイコンの範囲をマウスによって選択する。次に、図２７において、ＥｄｉｔメニューからＣｏｐｙを選択した後に、Ｐａｓｔｅを選択して　複製を指示する。これにより、履歴ウィンドウに複製されたアイコンおよび矢印が表示される。図２０に示すように、ペーストされたアイコンのうちの最も元となるアイコンが、解析対象データを示すアイコンに接続されていない場合を想像されたい。図２１のＤａｔａ＿ｓｅｔ１からＤａｔａ＿ｓｅｔ５への矢印で示されるように、図２４の“→”ボタン（２４１０）を選択した後に、マウスで、他のアイコン（ソース、ソート、フィルタ）を、ペーストされたアイコンのうち最も元となるアイコンの解析対象データとしてドラッグして、標識２１０１に２つのアイコンを結合させる。
【００７６】
（操作情報のロード操作）
図２４に示すＬｏａｄ　Ｍｅｔｈｏｄボタンを選択する。次に、図２９に示すＬｏａｄ　Ｍｅｔｈｏｄ　Ｗｉｎｄｏｗにおいて使用するロード方法を選択する。これによって、図２０に示すように、２つのアイコン２００１および矢印が表示される。
【００７７】
（操作情報の保存操作）
図１９に示すように、履歴ウィンドウにおいて、（複数個選択することも可能な）保存すべきアイコンを選択する（１９０１）と、選択された領域部分の表示が変化する。次に、図２４に示すツールバーのＦｉｌｅメニューからＳａｖｅ　Ｍｅｔｈｏｄを選択する。図３０に示すＳａｖｅ　Ｍｅｔｈｏｄ　Ｗｉｎｄｏｗが表示され、そこでファイル名を指定して、ウィンドウにおいてＳａｖｅボタンを選択する。
【００７８】
（パラメータの変更操作）
履歴ウィンドウにおいて、アイコンを右クリックする。次に、図３〜図６または図１３〜図１８に示されるいずれかの設定ウィンドウが表示されるので、解析条件や解析手順等の再設定を行う。これによって、例えば図２４のＤａｔａ＿ｓｅｔ４　２４０２のフィルタ条件を変更した場合には、Ｄａｔａ＿ｓｅｔ４により特定される解析対象データが更新され、その解析対象データに対する処理（２４０４および２４０６）が再実行される。このように、解析条件や解析手順を再設定すると、結果に反映される。
【００７９】
（表示データの重ね合わせ操作）
図２４に示すＯｖｅｒｐｌｏｔボタン２４０８を選択し、合成元のアイコンから合成先のアイコンにマウス左ボタンを保持してドラッグして、２つの操作情報の間において関係付けする。これにより矢印前端部におけるアイコン、すなわち合成先のアイコンに関連するグラフに結合して、合成元の表示データが合成表示される。
【００８０】
【発明の効果】
以上のように、以前に実行された解析操作を本発明の解析システムが自動的に記憶しているため、ユーザが解析操作毎にこれらの解析操作を簡単に参照して利用することができる。このため、特に、半導体製造開発工程の初期段階において、最適な解析条件または最適な解析手順を求めるための探索的な解析が迅速に行われることになる。また、半導体製造開発工程の後期段階においても、ユーザが既に最適化されて解析操作に基づいてバッチ処理を作成する際に、バッチ処理の作成を容易に迅速に実行することができる。また、解析情報が視覚的に表示されるため、ユーザは、操作情報または解析情報を簡単に理解することができ、また操作ミスなどが起こりにくくなる。したがって、ユーザがより迅速により多面的に解析対象データを解析することができるため、不良箇所の特定をより迅速に行うことができる。このため、本発明によれば、生産効率の向上やコストの低減という効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】システム構成を示す概略図である。
【図２】履歴ウィンドウを示す概略図である。
【図３】データベース検索条件設定ウィンドウを示す概略図である。
【図４】データファイル指定ウィンドウを示す概略図である。
【図５】データフィルタ条件指定ウィンドウを示す概略図である。
【図６】データ並べ替え条件指定ウィンドウを示す概略図である。
【図７】散布図を示す概略図である。
【図８】累積分布図を示す概略図である。
【図９】ヒストグラムを示す概略図である。
【図１０】ウェハマップを示す概略図である。
【図１１】箱髭図を示す概略図である。
【図１２】ＳＰＣ図（管理図）を示す概略図である。
【図１３】散布図の設定ウィンドウを示す概略図である。
【図１４】累積分布図の設定ウィンドウを示す概略図である。
【図１５】ヒストグラムの設定ウィンドウを示す概略図である。
【図１６】ウェハマップの設定ウィンドウを示す概略図である。
【図１７】箱髭図の設定ウィンドウを示す概略図である。
【図１８】ＳＰＣ図（管理図）の設定ウィンドウを示す概略図である。
【図１９】マウスによる複製対象アイコンの指定を示す概略図である。
【図２０】複製されたアイコンと線とを示す概略図である。
【図２１】解析対象データを示すアイコンと複製した履歴を示すアイコンとの結合を示す概略図である。
【図２２】履歴ウィンドウにおける解析表示データの表示の合成操作を示す概略図である。
【図２３】本発明の半導体試験データ解析システムのメイン・ウィンドウを示す概略図である。
【図２４】図２３のメイン・ウィンドウにおいて、具体的な解析操作を行った後の画面を示す概略図である。
【図２５】本発明の半導体試験データ解析システムにおいて、解析データを表示するグラフの形式を選択するための画面を示す概略図である。
【図２６】解析条件や解析手順を示すＤａｔａ＿ｓｅｔ２およびＤａｔａ＿ｓｅｔ３およびＦｒａｍｅ１で示されるアイコンをコピーするために、これらを選択した画面を示す概略図である。
【図２７】選択されたＤａｔａ＿ｓｅｔ２およびＤａｔａ＿ｓｅｔ３およびＦｒａｍｅ１で示されるアイコンを、ウィンドウにペーストしたときの画面を示す概略図である。
【図２８】図２７に示すＤａｔａ＿ｓｅｔ１のアイコンとＤａｔａ＿ｓｅｔ２のアイコンとを結合したときの画面を示す概略図である。
【図２９】読み込むべき操作情報を選択するための画面を示す概略図である。
【図３０】操作情報を保存するための画面を示す概略図である。
【図３１】解析対象データの取得操作を示すフローチャートである。
【図３２】フィルタ操作を示すフローチャートである。
【図３３】並べ替え操作を示すフローチャートである。
【図３４】グラフ化操作を示すフローチャートである。
【図３５】コピー＆ペースト操作を示すフローチャートである。
【図３６】操作情報ロード操作を示すフローチャートである。
【図３７】操作情報保存操作を示すフローチャートである。
【図３８】パラメータの変更操作を示すフローチャートである。
【図３９】グラフの重ね合わせ操作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１　半導体試験データ解析システム
１０１　コンピュータ、演算手段
１０２　表示装置
１０３　入力装置
１０４　データウィンドウ
１０５　表示ウィンドウ
１０６　システム制御プログラム記憶手段
１０７　履歴データ記憶手段
１０８　履歴ウィンドウ
１０９　解析対象データ記憶手段
１１０　データベース
１１１　データファイル
１１２　表示データ記憶手段
１１３　バッチファイル
２０１、２０２、２０３、２０５、２０６　アイコン
２０４、２０７　指標
【図１】
2004072093.tif 000003
【図２】
2004072093.tif 000004
【図３】
2004072093.tif 000005
【図４】
2004072093.tif 000006
【図５】
2004072093.tif 000007
【図６】
2004072093.tif 000008
【図７】
2004072093.tif 000009
【図８】
2004072093.tif 000010
【図９】
2004072093.tif 000011
【図１０】
2004072093.tif 000012
【図１１】
2004072093.tif 000013
【図１２】
2004072093.tif 000014
【図１３】
2004072093.tif 000015
【図１４】
2004072093.tif 000016
【図１５】
2004072093.tif 000017
【図１６】
2004072093.tif 000018
【図１７】
2004072093.tif 000019
【図１８】
2004072093.tif 000020
【図１９】
2004072093.tif 000021
【図２０】
2004072093.tif 000022
【図２１】
2004072093.tif 000023
【図２２】
2004072093.tif 000024
【図２３】
2004072093.tif 000025
【図２４】
2004072093.tif 000026
【図２５】
2004072093.tif 000027
【図２６】
2004072093.tif 000028
【図２７】
2004072093.tif 000029
【図２８】
2004072093.tif 000030
【図２９】
2004072093.tif 000031
【図３０】
2004072093.tif 000032
【図３１】
2004072093.tif 000033
【図３２】
2004072093.tif 000034
【図３３】
2004072093.tif 000035
【図３４】
2004072093.tif 000036
【図３５】
2004072093.tif 000037
【図３６】
2004072093.tif 000038
【図３７】
2004072093.tif 000039
【図３８】
2004072093.tif 000040
【図３９】
2004072093.tif 000041