(57)【要約】【課題】従来、容易に真空度が高い真空容器を作成する技術が求められていた。本発明は、その要求に応えるためのものである。【解決手段】その解決手段は、本発明を用いて、「ある部屋の内部を絶対零度にする。次に、その部屋の内部で密閉容器を組み立てる。」というものである。本発明とは、以下のイ〜ハのごとき方法などである。イ．密閉容器を構成する部品のグループを、密閉することができる部屋に、アーム状作業機械を用いて入れ、さらにその部屋を密閉する。ロ．部屋の内部を、冷却装置を用いて、絶対零度に近い温度まで冷却する。ハ．密閉容器を構成する部品のグループを、冷却された部屋の中で、アーム状作業機械を用いて組み立てて、密閉容器にする。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
イ．「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、ある部屋に、その部品のグループに属する部品全てを動かすことができる装置または仕組みを用いて、運び入れる。なお、そのある部屋は、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却できるくらい十分に、気密性を有するものとする。
ロ．「イで部品のグループを入れたある部屋」の内部を、「そのある部屋の内部を絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置を用いて、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。
ハ．「イである部屋に入れた部品のグループ」を、ロで冷却されたある部屋の中で、アーム状の作業装置などの「イである部屋に入れた部品のグループに属する部品を組み立てに必要なだけ動かすことができるような装置または仕組み」を用いて組み立てて、ある密閉された容器にする。
以上のイからハのごとき手順を特徴とした、内部が真空である容器の作成方法。
【請求項２】
イ．ある部屋がある。また、物を動かすことができる装置または仕組みが取り付けられているか、または、取り付けることができるようになっており、それを用いて、「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、そのある部屋に入れることができるような構造になっている。なお、そのある部屋は、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却できるくらい十分に、気密性を有するものとする。
ロ．イのある部屋に、「そのある部屋の内部を絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置が取り付けられているか、または、取り付けることができるようになっている。
ハ．イのある部屋の中に、アーム状の作業装置などの「イの特徴を用いてある部屋に入れた部品のグループに属する部品を組み立てに必要なだけ動かして、イの特徴を用いてある部屋に入れた部品のグループを、ある密閉された容器に組み立てることができる」ような装置または仕組みが取り付けられている。
以上のイからハのごとき特徴をもった、内部が真空である容器の作成装置。
【請求項３】
イ．ある部屋の内部を、「そのある部屋の内部を絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置を用いて、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。なお、そのある部屋は、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却できるくらい十分に、気密性を有するものとする。
ロ．「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、「イで冷却されたある部屋」に、その部品のグループに属する部品全てを動かすことができる装置または仕組みを用いて、運び入れる。
ハ．「ロである部屋に入れた部品のグループ」を、イで冷却されたある部屋の中で、アーム状の作業装置などの「ロである部屋に入れた部品のグループに属する部品を組み立てに必要なだけ動かすことができるような装置または仕組み」を用いて組み立てて、ある密閉された容器にする。
以上のイからハのごとき手順を特徴とした、内部が真空である容器の作成方法。
【請求項４】
イ．ある部屋がある。また、そのある部屋に、「そのある部屋の内部を絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置を取り付けるか、または、取り付けることができるようになっている。なお、そのある部屋は、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却できるくらい十分に、気密性を有するものとする。
ロ．物を動かすことができる装置または仕組みが取り付けられているか、または、取り付けることができるようになっており、それを用いて、「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、「イの特徴を用いて冷却されたある部屋」に入れることができるような構造になっている。
ハ．イのある部屋の中に、アーム状の作業装置などの「ロの特徴を用いてある部屋に入れた部品のグループに属する部品を組み立てに必要なだけ動かして、ロの特徴を用いてある部屋に入れた部品のグループを、ある密閉された容器に組み立てることができる」ような装置または仕組みが取り付けられている。
以上のイからハのごとき特徴をもった、内部が真空である容器の作成装置。
【請求項５】
イ．ある部屋の内部を、「そのある部屋の内部を絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置を用いて、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。なお、そのある部屋は、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却できるくらい十分に、気密性を有するものとする。
ロ．「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、「イで冷却されたある部屋」に、その部品のグループに属する部品全てを動かすことができる装置または仕組みを用いて、運び入れる。
ハ．「ロで部品のグループを入れたある部屋」の内部を、「そのある部屋の内部を再び絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置を用いて、再び絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。
ニ．「ロである部屋に入れた部品のグループ」を、ハで冷却されたある部屋の中で、アーム状の作業装置などの「ロである部屋に入れた部品のグループに属する部品を組み立てに必要なだけ動かすことができるような装置または仕組み」を用いて組み立てて、ある密閉された容器にする。
以上のイからニのごとき手順を特徴とした、内部が真空である容器の作成方法。
【請求項６】
イ．ある部屋がある。また、そのある部屋に、「そのある部屋の内部を絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置が取り付けられているか、または、取り付けることができるようになっている。なお、そのある部屋は、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却できるくらい十分に、気密性を有するものとする。
ロ．物を動かすことができる装置または仕組みが取り付けられているか、または、取り付けることができるようになっており、それを用いて、「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、「イの特徴を用いて冷却されたある部屋」に入れることができるようになっている。
ハ．「ロの特徴を用いて部品のグループを入れたある部屋」の内部を、再び絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような冷却装置が取り付けられているか、または、取り付けることができるようになっている。
ニ．イのある部屋の中に、アーム状の作業装置などの「ロの特徴を用いてある部屋に入れた部品のグループに属する部品を組み立てに必要なだけ動かして、ロの特徴を用いてある部屋に入れた部品のグループを、ある密閉された容器に組み立てることができる」ような装置または仕組みが取り付けられている。
以上のイからニのごとき特徴をもった、内部が真空である容器の作成装置。
【請求項７】
イ．ある部屋に、「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを運び入れるとき、半導体製造用のシリコンウェハーも入れる。ロ．イの部品のグループを、冷却されたある部屋の中で組み立てて、ある密閉された容器にするとき、イのシリコンウェハーを封入する。
以上のイとロのごとき特徴を併せもった、請求項１または請求項３または請求項５の、内部が真空である容器の作成方法。
【請求項８】
イ．ある部屋に、「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを運び入れるとき、半導体製造用のシリコンウェハーも運び入れることができる構造になっている。
ロ．イの部品のグループを、冷却されたある部屋の中で組み立てて、ある密閉された容器にするとき、イのシリコンウェハーを封入することができる構造になっている。
以上のイとロのごとき特徴を併せもった、請求項２または請求項４または請求項６の、内部が真空である容器の作成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、内部が真空である容器を作成する方法、ならびに、内部が真空である容器を作成する作成する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、内部が真空である容器を作成するときは、真空ポンプを用いて、内部の気体を吸引・排気していた。
【０００３】
しかし、気体の分子はあらゆる方向にすばやく動きつづけており、真空ポンプを使用するとき、少量の気体分子がプロペラの隙間を通って、真空にしようとしている容器に戻ってきてしまった。
【０００４】
よって、従来の方法で高い真空度を得るには、真空ポンプのプロペラの回転速度を非常に早くしなければいけなく、容易では無かった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、これらの要求に応えるためになされたもので、高い真空度を容易に得ることができるような、内部が真空である容器を作成する方法・装置を作ろうとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
いま、課題を解決するための手段の内容について説明すれば、「請求項１〜請求項８に記載された、内部が真空である容器の作成方法、または、内部が真空である容器の作成装置を用いて、「以下のイ〜ハの処理を行う」か、または、「以下のニ〜ヘの処理を行う。」か、または、「以下のト〜ヌの処理を行う。」というものである。
【０００７】
イ．「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、ある部屋に、物を動かすことができる装置または仕組みを用いて、運び入れる。
【０００８】
ロ．「イで部品のグループを入れたある部屋」の内部を、冷却装置を用いて、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。
【０００９】
ハ．「イである部屋に入れた部品のグループ」を、ロで冷却されたある部屋の中で、アーム状の作業装置などの「イである部屋に入れた部品のグループに属する部品を動かすことができるような装置または仕組み」を用いて組み立てて、ある密閉された容器にする。
【００１０】
ニ．ある部屋の内部を、冷却装置を用いて、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。
【００１１】
ホ．「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、「ニで冷却されたある部屋」に、物を動かすことができる装置または仕組みを用いて、運び入れる。
【００１２】
ヘ．「ホである部屋に入れた部品のグループ」を、ニで冷却されたある部屋の中で、アーム状の作業装置などの「ホである部屋に入れた部品のグループに属する部品を組み立てに必要なだけ動かすことができるような装置または仕組み」を用いて組み立てて、ある密閉された容器にする。
【００１３】
ト．ある部屋の内部を、冷却装置を用いて、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。
【００１４】
チ．「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、「トで冷却されたある部屋」に、物を動かすことができる装置または仕組みを用いて、運び入れる。
【００１５】
リ．「チで部品のグループを入れたある部屋」の内部を、冷却装置を用いて、再び絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。
【００１６】
ヌ．「チである部屋に入れた部品のグループ」を、リで冷却されたある部屋の中で、アーム状の作業装置などの「チである部屋に入れた部品のグループに属する部品を組み立てに必要なだけ動かすことができるような装置または仕組み」を用いて組み立てて、ある密閉された容器にする。
【００１７】
なお、上記の手段において、請求項２を用いて、イ〜ハを行っても良いし、ニ〜ヘを行っても良いし、ト〜ヌを行っても良い。請求項４または請求項６を用いる場合についても同様で、イ〜ハを行っても良いし、ニ〜ヘを行っても良いし、ト〜ヌを行っても良い。
【００１８】
また、ある部屋は、冷却するときとある密閉された容器を組み立てるとき、密閉されていることが望ましい。
【００１９】
空気中に存在する物質のうちほとんどが、絶対零度に近い温度になると、凝固または凝縮する。よって、絶対零度に近い温度では、空気中に存在する物質は固体または液体となる。故に、ある部屋の内部を絶対零度にすると、凝固・凝縮した物質が付いた壁面以外にはほとんど何も物質が存在しなくなる。すなわち、部屋の内部がほぼ真空状態になる。
【００２０】
一方、ある部屋を、絶対零度そのものの温度にすることは容易ではないが、絶対零度に近い温度にすることは、容易である。
【００２１】
本発明は、それらの原理を利用して、内部が真空である容器を作成できるという性質を持っている。
【００２２】
本発明はその性質を利用して、課題を解決するものである。
【００２３】
【発明の実施の形態】
請求項１から請求項８のそれぞれの項に記載された通りである。
【００２４】
その中で特に代表的な形態を一つあげれば、以下のようになる。
【００２５】
イ．ある部屋の内部を、「そのある部屋の内部を絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置を用いて、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。なお、そのある部屋は、絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却できるくらい十分に、気密性を有するものとする。
【００２６】
ロ．「組み立てることで、ある密閉された容器を構成するような」部品のグループを、「イで冷却されたある部屋」に、物を動かすことができる装置または仕組みを用いて、運び入れる。
【００２７】
ハ．「ロで部品のグループを入れたある部屋」の内部を、「そのある部屋の内部を再び絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却することができるような」冷却装置を用いて、再び絶対零度、または、絶対零度に近い温度まで冷却する。
【００２８】
ニ．「ロである部屋に入れた部品のグループ」を、ハで冷却されたある部屋の中で、アーム状の作業装置などの「ロである部屋に入れた部品のグループに属する部品を動かすことができるような装置または仕組み」を用いて組み立てて、ある密閉された容器にする。
【００２９】
以上のイからニのごとき手順を特徴とした、内部が真空である容器の作成方法。
【００３０】
【実施例】
請求項１〜８において、
【００３１】
・「ある部屋」は、冷却するときとある密閉された容器を組み立てるときに、密閉されているとなお良い。
【００３２】
・「動かす」とは、空間座標における位置を移動させることでも良いし、回転させることでも良い。
【００３３】
・ある部屋に部品のグループを運び入れるのに用いる、「物を移動することができる装置または仕組み」とは、ベルトコンベアでも良いし、アーム状の作業装置でも良いし、人の手で使用する道具でも良いし、それらを組み合わせたものでも良い。
【００３４】
・ある部屋に部品を運び入れてから冷却を行う場合、運び入れる部品は、「ある部屋の内部にあった気体が、液体になって部品に付着したときたときに、その液体が部品内にたまらずに、部品外へ流れ出る」ような形状であるとなお良い。
【００３５】
・ある部屋に部品のグループを運び入れるのに用いる装置または仕組みを用いて、部品のグループをある密閉された容器に組み立てる作業を行っても良い。
【００３６】
・部品のグループを、ある密閉された容器に組み立てるとき、必ずしも部品のグループに属する部品のうち全てを動かす必要は無く、いくつかを固定しておき、いくつかを動かして組み立てても良い。
【００３７】
・部屋に部品のグループを運び入れるとき、部品のグループに属する部品を一つずつ運んでも、いくつかずつ運んでも、全てまとめて運んでも良い。
【００３８】
また、請求項６において、イの冷却装置とハの冷却装置は、同じでも良いし、違っても良い。
【００３９】
【発明の効果】
本発明は以上のような構成なので、真空度の高い、内部が真空である容器を、容易に作成できる。
【００４０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の特徴を示した説明図である。
【図１】
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