(57)【要約】【課題】磁歪式トルクセンサ用のトルクセンサシャフトの磁気シールド特性を向上させる。【解決手段】磁歪検出部５と動力伝達軸との嵌合部６とを備えた磁歪式トルクセンサシャフト２であって、トルクセンサシャフト２が磁歪材料を含み、上記磁歪検出部５を除く部分の少なくとも上記嵌合部６を含む範囲の表面に、残留オーステナイトを含む常磁性層を備えた磁歪式トルクセンサシャフト２とその製造方法を提供する。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁歪検出部と動力伝達軸との嵌合部とを含む磁歪式トルクセンサシャフトであって、上記トルクセンサシャフトが磁歪材料を含んでなり、上記磁歪検出部を除く少なくとも上記嵌合部の表面に、残留オーステナイトの含有量が１０容量％より多い常磁性層を備えた磁歪式トルクセンサシャフト。
【請求項２】
前記残留オーステナイトの前記常磁性層中の含有量が、５０容量％以上である請求項１に記載の磁歪式トルクセンサシャフト。
【請求項３】
前記常磁性層の厚さが、３００μｍ以上である請求項１または請求項２に記載の磁歪式トルクセンサシャフト。
【請求項４】
前記トルクセンサシャフトが、強磁性体を含んでなる請求項１〜３のいずれかに記載の磁歪式トルクセンサシャフト。
【請求項５】
前記強磁性体が、３重量％〜３０重量％のＮｉを含有する請求項４に記載の磁歪式トルクセンサシャフト。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の磁歪式トルクセンサシャフトを含む磁歪式トルクセンサ。
【請求項７】
磁歪検出部と動力伝達軸との嵌合部とを含む磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法であって、上記磁歪検出部を除く少なくとも上記嵌合部の表面に浸炭処理を施すことにより、残留オーステナイトを含む常磁性層を形成する磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法。
【請求項８】
前記浸炭処理のカーボンポテンシャルが、０．８重量％以上である請求項７に記載の磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法。
【請求項９】
前記浸炭処理に先立って前記磁歪検出部に防炭処理を行い、前記浸炭処理の後に、防炭処理部を除去することにより磁歪検出部表面に磁歪材料を露出させる請求項７または請求項８に記載の磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、逆磁歪効果を利用した磁歪式トルクセンサ用のトルクセンサシャフトに関し、特に、中点出力の変動を低減する磁歪式トルクセンサシャフトに関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車用のトランスミッションや４ＷＤトルクスプリッタ、電動パワーステアリング（ＥＰＳ）等では、適切な制御を行うためにトルクを検出する必要がある。例えば、ＥＰＳとは、自動車等のハンドルに入力されたトルクに応じて電動モータを制御し、アシスト力を発生させるパワーステアリングシステムであり、その制御にはハンドルに加えられたトルクの検出が必須である。従来、このようなトルクの検出にはトルクセンサ、特に、歪の検出感度が非常に高く、微小な歪の検出が可能な磁歪式トルクセンサが用いられている。磁歪式トルクセンサとして、特開平１−１６９９８３号公報、特公平８−３１６３６号公報等が知られている。
【０００３】
ところが、この磁歪式トルクセンサでは、トルクセンサシャフトの両端にある、他の動力伝達軸と嵌合して動力を伝達するための嵌合部が、トルク検出部品を内包するケースから露出することが避けられない。つまり、トルクセンサシャフトにおいて、トルク検出部位は、磁気シールド機能を有するケースに内包することができるが、嵌合部に関してはこれが難しく、嵌合部は磁気的に外部に開放された状態にある。このため、トルクセンサ内部の磁力線は外部の影響を受けるという問題があった。特に、構造用鋼等（炭素鋼、クロム鋼、ニッケルクロム鋼、ニッケルクロムモリブデン鋼、マンガン鋼、マンガンクロム鋼など）の強磁性体をセンサシャフトに用いる場合、トルクセンサは外部の影響を強く受け、嵌合部に強磁性体を近づける、もしくは嵌合部を他の動力伝達軸と嵌合すると、トルクセンサ内部の磁力線の分布が変化してしまう。
【０００４】
一般に、トルクセンサは、トルクがゼロのとき出力がゼロになるように、初期状態において、中点が調節されている。しかし、従来、上記のように、トルクセンサシャフトの嵌合部が磁気的にシールドされていないため、トルクセンサシャフトを他の動力軸と連結したときに、トルクセンサ内部の磁力線の分布が変化し、トルクセンサ出力の中点が変動してしまうという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたもので、磁歪式トルクセンサ用のトルクセンサシャフトであって、トルク検出の精度および物理的強度を損なわずに、磁気的にシールドされたトルクセンサシャフトを廉価に提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、磁歪検出部と動力伝達軸との嵌合部とを含む磁歪式トルクセンサシャフトであって、上記トルクセンサシャフトが磁歪材料を含んでなり、上記磁歪検出部を除く少なくとも上記嵌合部の表面に、残留オーステナイトの含有量が１０容量％より多い常磁性層を備えた磁歪式トルクセンサシャフトを提供する。なお、前記残留オーステナイトの前記常磁性層中の含有量が５０容量％以上であると好ましい。なお、前記常磁性層の厚さが３００μｍ以上であると好ましい。また、好ましくは、前記トルクセンサシャフトが強磁性体を含んでなり、この強磁性体が３重量％〜３０重量％のＮｉを含有するとさらに好ましい。
【０００７】
ここで、「磁歪検出部」とは、磁歪式トルクセンサシャフトにおいて、トルクに応じてその磁気的性質が変化する部位を意味する。例えば、特許第１６９３２６号で提案されているように、強磁性体のトルクセンサシャフト表面の軸方向から４５°傾けた溝を設けることで、その形状効果によりトルクセンサシャフトに磁気異方性を付与し、その部分の磁気的性質の変化を検出できるようにすることができる。このような部分を磁歪検出部という。あるいは、特許第２７１０１６５号および特許第２９６５６２８号で提案されているように、トルクセンサシャフト表面に磁歪層を付加することで、磁歪検出部を設けることができる。あるいは、特開２００２−１０７２４０号公報に提案されているように、温度変化に応じて磁性を変化させる材料に、局所的な温度処理を施すことで、磁歪検出部を設けることができる。しかし、本発明にかかる磁歪検出部は、これらのいずれも含むものであり、かつ、これらの例に限定されるものではない。
【０００８】
また、「嵌合部」とは、磁歪式トルクセンサシャフトにおいて、他の動力伝達軸とトルクセンサシャフトとを連結するための部位を意味する。他の動力伝達軸はステアリングシャフトや、プロペラシャフト、ドライブシャフト等であるが、これらに限定されるものではない。また、嵌合部は、例えば、トルクセンサシャフトにセレーションを施したり、多角形の断面形状とするなりして形成することができる。あるいは、穴と軸を用いた圧入や、フランジを設けたボルト締結とすることで、嵌合部を設けることができる。しかし、本発明にかかる嵌合部は、これらのいずれも含むものであり、かつ、これらに限定されるものではない。
また、「磁歪材料」とは、物理的な力を受けることでその透磁率を変化させる特性を持つ金属であり、鉄−アルミニウム系合金や鉄−ニッケル系合金、鉄−コバルト系合金等が利用できるが、これらに限定されるものではない。磁歪材料としては、好ましくは強磁性体である。「強磁性体」とは、強磁性を有する金属を意味し、炭素鋼、クロム鋼、ニッケルクロム鋼、ニッケルクロムモリブデン鋼、マンガン鋼、マンガンクロム鋼等が利用できるが、これらに限定されるものではない。また、「残留オーステナイト」とは、焼入れされた鉄鋼の中でオーステナイトの一部が未変態のまま残ったものを意味し、残留オーステナイトの含有量（容量％）は、Ｘ線回折による残留オーステナイト相の回折強度を測定すること、あるいは、該鉄鋼の断面を顕微鏡で観察することで測定することができる。
【０００９】
本発明によれば、磁歪式トルクセンサシャフトの嵌合部は、残留オーステナイトを含む常磁性層により覆われ、磁気的にシールドされ、トルクセンサ内部の磁力線は外部の影響を受けにくくなる。
【００１０】
また、本発明は、前記トルクセンサシャフトを有する磁歪式トルクセンサを提供する。前記トルクセンサシャフトは、それぞれ適当な励磁手段、検出手段およびシールドケースと組み合わせることで、さらに効果的に磁気的なシールドができる。
【００１１】
さらに、本発明は、磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法を提供する。
すなわち、本発明は、磁歪検出部と他の動力伝達軸との嵌合部とを含む磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法であって、上記磁歪検出部を除く少なくとも上記嵌合部の表面に浸炭処理を施すことにより、残留オーステナイトを含む常磁性層を形成する磁歪式トルクセンサシャフトの製造方法を提供する。好ましくは、前記浸炭処理のカーボンポテンシャルは０．８重量％以上である。また、好ましくは、前記浸炭処理に先立って前記磁歪検出部に防炭処理を行い、前記浸炭処理の後に、該防炭処理部を除去することにより磁歪検出部表面に磁歪材料を露出させることができる。
【００１２】
ここで、「浸炭処理」とは、金属の表面に炭素を拡散させる処理を意味する。浸炭処理としては、固体浸炭（木炭）、ガス浸炭、液体浸炭の他、真空浸炭（真空炉を使って浸炭する方法）、プラズマ浸炭（イオン浸炭ともいう）および滴注式浸炭（Ｃ−Ｈ−Ｏ系液状有機剤を炉内に滴下させ、熱分解した炭素を用いる）等が利用できるが、これらに限定されるものではない。特に、ガス浸炭が一般的であり、好ましい。また、「カーボンポテンシャル（ＣＰ）」とは、平衡炭素量ともいい、炉内雰囲気の浸炭能力を意味し、例えばカーボンポテンシャルが１．２％といえば炭素濃度が１．２％まで浸炭できると定義され、炉内のＯ２ガスとＣＯガスとカーボンポテンシャルが平衡状態を保つことから、Ｏ２分圧を測定することで炉内雰囲気を制御することができる。カーボンポテンシャルが高い程、浸炭が強く行われる。
また、「防炭処理」とは、材料に浸炭が起きないように、浸炭処理の前にあらかじめ材料に施す処理を意味する。防炭処理としては、Ｃｕでのメッキ処理の他、Ｃｒメッキや、Ｎｉメッキ等が利用できるが、これらに限定されるものではない。また、「防炭処理部」とは、前記防炭処理により、トルクセンサシャフトの磁歪検出部の表面に設けた層を意味する。
【００１３】
浸炭処理により残留オーステナイトを含む常磁性層を形成することにより、トルクセンサの磁歪検出部を除く少なくとも嵌合部の表面に磁気シールドを容易に設けることができ、さらに、トルクセンサシャフトの材質の選択に自由度ができる。特に、強磁性を有するトルクセンサシャフトの磁歪検出部を除く少なくとも嵌合部に浸炭処理をして常磁性層を形成する場合、トルクセンサシャフト本体の表面に新たに層を付加する必要がなくなるので、過大トルクの入力にも耐え得るトルクセンサの製造が可能である。
また、カーボンポテンシャルを増やすことにより、残留オーステナイトの生成を促し、トルクセンサシャフト本体における高価なＮｉの使用量を減らすことが可能である。さらに、防炭処理をした後に浸炭処理をすることで、必要な部位のみに常磁性層を形成できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る磁歪式トルクセンサの実施の形態の１例を、添付図面を参照しながら説明する。もっとも、以下に挙げる実施の形態は、本発明を限定するものではない。
図１は本発明に係る磁歪式トルクセンサを概念図的に示した。図２は本発明に係るトルクセンサシャフトを概念図的に示す。
図１および図２に示すように、本発明に係る磁歪式トルクセンサ１は、トルクセンサシャフト２と、励磁用ソレノイドコイル３と、検出用ソレノイドコイル４とを主要な要素とする。トルクセンサシャフト２は、応力（歪）に応じてその磁気的性質が変化する磁歪部５および、トルクセンサシャフト２と他の動力伝達軸（図示しない）とを連結するための嵌合部６を有する。
【００１５】
磁歪部５は、トルクセンサシャフト２の中心軸に対して約４５°傾けた溝（図示しない）を、トルクセンサシャフト２の全周に亘り所定間隔をもって設けることによって形成することができる。なお、トルクセンサシャフト２は、トルクセンサシャフト２の中心軸に対して互いに逆方向に傾いた溝によって形成された磁歪部５の組を１組以上備えると好ましい。
以上の構成により形状磁気異方性を有する磁歪部５は、応力に応じてその透磁率を変化させる。なお、中心軸に対して４５°とは、ねじり荷重に対してトルクセンサシャフト表面の引張り方向の応力および圧縮方向の応力が最大となる方向であり、この方向に溝を形成することで、最も効率よくトルクセンサシャフト表面の引張り応力または圧縮方向の応力を検出できる。
なお、必要に応じて溝部に高周波焼入れおよびショットピーニング等を施して高透磁率部分を形成し磁気特性の調整を行うと好ましい。
【００１６】
励磁手段である励磁用ソレノイドコイル３は前記磁歪部５を覆うように配置し、これに交流磁場を与える。検出手段は検出用ソレノイドコイル４と電子回路（図示しない）を含み、検出用ソレノイドコイル４も前記磁歪部５を覆うように配置する。
ここで、励磁用ソレノイドコイル３により前記磁歪部５に沿うように磁力線を流す。前述のように、トルクセンサシャフト２に応力がかかると、磁歪部５はその透磁率を変化させるが、この磁気的変化を検出用ソレノイドコイル４によって検出することができる。
なお、トルクセンサシャフト２の磁気異方性部分である磁歪部５は、励磁用ソレノイドコイル３、検出用ソレノイドコイル４等と共に、外部の磁気の影響を遮蔽するアルミ製のセンサケース７に内包する。
【００１７】
ここで、図３は、図２Ａ線における、トルクセンサシャフトの模式的な断面図である。図３に示すように、嵌合部６に磁力線を遮蔽するはたらきを持つ、残留オーステナイトを含む常磁性層８を存在させる。これは、トルクセンサシャフト２の磁歪検出部を除く少なくとも嵌合部６を浸炭処理することにより表面から内部に向かって残留オーステナイトを含む層を生成することができる。面心立方格子であるオーステナイトは、常磁性体であるため、この残留オーステナイトで磁気シールドを行うことができる。
【００１８】
ここで、トルクセンサシャフト２を強磁性体である構造用鋼にすることにより、廉価で加工性の良い構造用鋼の使用が可能となり、同時に、トルクセンサシャフト２自体を構造用鋼とすることで、トルクセンサシャフト２の物理的強度を高くすることができる。
ここで、常磁性層８を設ける範囲は、トルクセンサシャフト２のうち、少なくとも嵌合部６を含み、好ましくはセンサケース７に内包されていない部分を含む。しかし、トルクセンサシャフト２自体を強磁性体とした場合、オーステナイトでは磁歪特性がでないため、磁気異方性部分である磁歪部５に浸炭処理をしてはならない。このため、浸炭処理時には磁歪部５には防炭処理を施し、浸炭処理後に溝加工等の各種処理をおこなうと好ましい。防炭処理はＣｕでのメッキ処理等により行うことができる。なお、Ｃｕメッキは機械加工あるいは酸で取り除くことができる。
【００１９】
ここで、図４は残留オーステナイト量と中点変動の関係を示したものである。図４が示すように、残留オーステナイトの量が１０容量％を越えると磁気シールド効果が現われ始め、中点変動量が減少する。特に、残留オーステナイトの量が５０容量％を超えると、特に中点変動量が減少する。
ここから、常磁性層を残留オーステナイトにより設ける場合は、残留オーステナイトの量が１０容量％より多いと好ましく、５０容量％以上であるとさらに好ましいことが分かる。上記の浸炭処理において、残留オーステナイトの量が１０容量％より多い、好ましくは５０容量％以上となるように、カーボンポテンシャル等の諸条件を設定すると好ましい。
【００２０】
ここで、図５はＦｅ−Ｃ系合金をオーステナイト域より水中に焼入れた場合の残留オーステナイト生成量の関係を示したものである。炭素含有量が増すにつれて残留オーステナイト量が２次曲線的に増加する。
【００２１】
また、図６はＦｅ−Ｃ−Ｎｉ系合金をオーステナイト域より油中に焼入れた場合の、鉄鋼のニッケル含有量、炭素含有量と残留オーステナイト生成量の関係を示したものである。ニッケルはＭｓ点（マルテンサイト変態開始温度）およびＭｆ点（マルテンサイト変態終了温度）を著しく低下させる元素であるため、浸炭焼入れの際に炭素と共存することで残留オーステナイトの生成を著しく増加させる。図６が示すように、炭素とニッケルが共存する場合、両元素の相互作用により、炭素含有量の増加あるいはニッケル含有量の増加につれて、残留オーステナイト生成量が飛躍的に増加する。特に炭素含有量を高くすることで少ないニッケル含有量でも十分な量の残留オーステナイトが得られる。
【００２２】
上記のように、残留オーステナイトの量が１０容量％より多いと好ましいが、トルクセンサシャフト本体に用いる強磁性体中の適当な炭素含有量、ニッケル含有量を選択することで、残留オーステナイトの量を１０容量％より多くし、効果的に中点変動を抑制することが可能となる。具体的には、浸炭によるカーボンポテンシャルは０．８重量％以上とすると同時にトルクセンサシャフト本体に用いる強磁性体のニッケル含有量は３重量％以上とすると好ましい。ただし、ニッケル含有量が３０重量％を越えると鋼材自体がオーステナイト鋼となり、磁歪性が得られないため、ニッケル含有量は３０重量％が上限である。
【００２３】
以上のように、３重量％〜３０重量％のニッケルを含有する強磁性体を用いると、残留オーステナイトの生成が促進され、効果的に中点変動を抑制することが可能となる。例えば、強磁性体として、ＪＩＳ　ＳＮＣＭ８１５、マルエージング鋼等の含ニッケル鋼等が利用できるが、これらに限定されるものではない。上記のように、ニッケルを鋼に添加すると、その量につれて、浸炭処理時の残留オーステナイトの生成量が多くなる。さらに、浸炭処理におけるカーボンポテンシャルを高めることで残留オーステナイト量を増すことができる。また、焼入れ温度が高い程、またＭｓ点（マルテンサイト変態開始温度）付近の冷却速度が遅い程、残留オーステナイト量が増す。
【００２４】
なお、浸炭処理は、例えば、図７に模式的に示す、以下の工程により行うことができる。ただし、これに限定されるものではない。
１．トルクセンサシャフト２を炉に挿入し、１〜２時間かけて、９２０〜９５０℃に昇温し、３０〜６０分間保持し、均熱化を行う。
２．炉内のカーボンポテンシャルが１．０〜１．２重量％になるように浸炭用ガスを浸炭炉に導入する。
３．そのままの温度で３〜６時間保持することで浸炭および拡散を行い、シャフト表面から５００μｍの厚さまでの炭素量を０．８重量％以上とする。このときのカーボンポテンシャルが常に１．０〜１．２重量％となるようにセンサで測定、混合ガスの制御を行う。
４．８４０〜８６０℃に降温後１０〜３０分間保持し、１２０〜１５０℃の油中に投入して焼入れを行う。
５．１５０〜２００℃で２〜４時間保持し、焼き戻しを行う。
【００２５】
ここで、前記浸炭用ガスとしては、メタノール、プロパン、炭酸ガス（Ｈ２ＣＯ３）、メタン（ＣＨ４）、ブタン（Ｃ４Ｈ１０）等の炭化水素とＣＯ２、ＣＯ、Ｈ２、Ｈ２Ｏ、ＮＨ３、Ｎ２、Ａｒ等を混合してなるガスが好ましい。
【００２６】
なお、常磁性層９の厚さは、好ましくは３００μｍ以上、さらに好ましくは５００μｍ以上である。一般に、磁歪式ソレノイドコイルでは高い励磁周波数（約４０Ｈｚ）の磁力線が使用される。このような高い励磁周波数の磁力線はセンサシャフト表面層（約３００μｍ）のみを流れることが知られている。従って、浸炭処理により、３００μｍ以上の常磁性層９を設けることで、十分な磁気シールド層を形成させることが可能である。
【００２７】
【実施例】
Ｎｉ含有量が４．００〜４．５０重量％であるＪＩＳ　ＳＮＣＭ８１５合金鋼（成分組成を表１に示す）丸棒から、所定寸法の棒状体を旋削により形成した。
【００２８】
【表１】
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【００２９】
磁気異方性部を形成する部位にはＣｕメッキにより防炭を施した。両端部には転造を施して嵌合部構造となるセレーションを形成した後、以下のように浸炭焼入れを行った。
まず、トルクセンサシャフトを炉に挿入し、９３０℃に昇温し、この温度に３０分間保持することで、均熱化を行った。次に、炉内のカーボンポテンシャルが１．２重量％になるようにメタノール、プロパン、炭酸ガスを混合したガスを浸炭炉に導入した。そのまま９３０℃で４時間保持することで浸炭および拡散を行った。このときのカーボンポテンシャルが常に１．２重量％となるように酸素センサで測定、混合ガスの制御を行った。次に、８５０℃に降温後１５分間保持し、１３０℃の油中に投入して焼入れを行った。最後に、１８０℃で２時間保持し、焼き戻しを行った。
【００３０】
この、浸炭処理により、残留オーステナイトを、体積比で５０％以上、表面から５００μｍの厚さで形成させた。
次に防炭部のＣｕメッキを機械加工により除去した後、転造加工により中央部表面には中心軸から４５°傾いた溝（磁気異方性部分）を対向して形成した。ヒステリシスや非直線性改善のため、磁気異方性部に高周波焼入れを施した後、ショットピーニングを施した。ショットピーニングはアークハイト値０．２５ｍｍＡ、粒径０．２５ｍｍの条件で行った。
【００３１】
このトルクセンサシャフトにソレノイドコイル、電気回路を内包するアルミ製ケースを組み付けてトルクセンサを構成した。このセンサの諸元は定格１０Ｎ・ｍ、定格トルクにおける出力電圧１Ｖ（０．１Ｖ／Ｎ・ｍ）である。表２に示すように、トルクセンサとしての基本性能（出力感度、ヒステリシス、非直線性）としては、常磁性層を形成したトルクセンサシャフトは常磁性層のないタイプのトルクセンサシャフトと比べても遜色ない性能を確保している。
【００３２】
【表２】
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【００３３】
そして、アルミ製ケースから露出したトルクセンサシャフトの表面部分には残留オーステナイトによる常磁性層が形成されているため、トルクセンサシャフトを強磁性体の構造用合金鋼からなるステアリングシャフトと嵌合した際の中点変動を２０ｍＶから６ｍＶに抑制することができた。この結果、センサ嵌合時の中点調整を省略できると同時に、トルク検出感度が高まりモータによるアシスト量を最適化することができ、ハンドリング操作のフィーリングが向上した。また、定格トルクの１５倍である１５０Ｎ・ｍの過大トルクを付加しても、センサ性能に劣化は認められなかった。
【００３４】
【発明の効果】
上記したところから明らかなように、本発明は、磁歪式トルクセンサ用のトルクセンサシャフトであって、トルク検出の精度および物理的強度を損なわずに、磁気的にシールドされたトルクセンサシャフトを廉価に提供することを可能とする。
つまり、浸炭処理により動力伝達軸との嵌合部に磁気を遮断する効果のあるオーステナイト層を形成させることで中点変動を抑制することが可能となり、中点調整の省略と検出感度を高めることができる。また、熱処理により磁気シールド効果を有するオーステナイト層を任意の部位に形成させることができるため、ヒステリシスや非直線性に起因する検出感度安定性や、定格トルクに対する過負荷特性に優れる、構造用鋼をセンサシャフトとして使用することができる。また、熱処理により必要な部位のみに磁気シールド効果を有するオーステナイト層を形成させることで、高価なＣｒやＮｉを多く含むオーステナイト系合金を使用する必要はなく、安価かつ高性能なトルクセンサを供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁歪式トルクセンサの概念図である。
【図２】本発明に係るトルクセンサシャフトの概念図である。
【図３】本発明にかかるトルクセンサシャフトの、嵌合部における模式的な断面図である。
【図４】残留オーステナイトの量と中点変動の関係を表すグラフである。
【図５】Ｆｅ−Ｃ系合金におけるＣ含有量と残留オーステナイト生成量の関係を表すグラフである。
【図６】Ｆｅ−Ｃ−Ｎｉ系合金におけるＮｉ含有量とＣ含有量と残留オーステナイト量の関係を表すグラフである。
【図７】本発明に係る浸炭処理の条件を模式的に表す図である。
【符号の説明】
１　　磁歪式トルクセンサ
２　　トルクセンサシャフト
３　　励磁用ソレノイドコイル
４　　検出用ソレノイドコイル
５　　磁歪部
６　　嵌合部
７　　センサケース
８　　常磁性層
【図１】
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【図２】
2004037240.tif 000006
【図３】
2004037240.tif 000007
【図４】
2004037240.tif 000008
【図５】
2004037240.tif 000009
【図６】
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【図７】
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