(57)【要約】【課題】平行かつ近接して配列された複数の帯状電極の隣り合う電極間のショートを、自動で検出し、リペアすることが可能な、電極間のショート検出方法等を提供する。【解決手段】平行に配列された複数の電極のうちから選ばれた隣り合う２本の電極間のショートを検出する際に、隣り合う２本の電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、電極間の抵抗値を測定し、この抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定する。電極間にショートが有るものと判定された場合には、電極間に形成されているショートの位置を求め、ショートの位置を基準とする所定の領域３０３内を、観察領域として設定し、その観察領域内の画像を拡大した状態で撮像する。この撮像された画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート箇所を特定するので、ショート欠陥を短時間で確実に見つけ出すことができ、リペア時間の短縮を実現できる。【選択図】　図３
2004037178.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行に配列された複数の電極のうちから選ばれた隣り合う２本の電極間のショートを検出する方法であって、
少なくとも隣り合う前記２本の電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、隣り合う２本の電極間の抵抗値を測定するステップ、
前記抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定するステップ、
前記抵抗値から前記電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記電極間に形成されているショートの位置を求めるステップ、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定するステップ、
前記観察領域内の画像を拡大した状態で撮像するステップ、
撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート箇所を特定するステップ、
を含むことを特徴とする電極間のショート検出方法。
【請求項２】
測定された前記抵抗値と、当該抵抗値に基づいて実際に特定されたショートの位置との相関関係をデータベースに蓄積し、前記データベースに蓄積された相関関係に基づいて、前記観察領域を設定することを特徴とする請求項１に記載の電極間のショート検出方法。
【請求項３】
前記電極が、光透過性を有する基板上に形成された無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極であることを特徴とする請求項１または２に記載の電極間のショート検出方法。
【請求項４】
少なくとも前記基板の前記電極が形成されていない一方の面側から光を照射し、その透過光を前記基板の他方の面側に設けられた撮像素子によって受光することにより、前記画像を撮像することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の電極間のショート検出方法。
【請求項５】
前記画像処理が、
撮像された前記画像がカラー画像である場合に、当該画像を二値化するステップ、
前記二値化された画像の明るい部分の重心を求めるステップ、
前記重心に沿って濃度分布を求めるステップ、
前記濃度分布に表れたピーク形状からショート箇所を特定するステップ
を含むことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電極間のショート検出方法。
【請求項６】
平行に配列された複数の電極のうちから選ばれた隣り合う２本の電極間のショートを検出する装置であって、
前記２本の電極の片側にそれぞれ接触させられる少なくとも２つのプローブと、前記プローブを介して前記２本の電極間に電流を流し、そのとき得られる電圧値から前記２本の電極間の抵抗値を求め、当該抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定するとともに、前記抵抗値から前記電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記電極間に形成されているショートの位置を求め、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定するショート判定手段と、
前記観察領域内の画像を拡大する光学手段と、
前記光学手段によって拡大された画像を撮像する撮像手段と、
撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート部分を特定する画像処理手段
を備えたことを特徴とする電極間のショート検出装置。
【請求項７】
基板上に形成され、かつ互いに絶縁状態にある複数の電極を製造する方法であって、
前記基板上に、平行に配列された複数の電極を形成するステップ、
少なくとも隣り合う２本の電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、隣り合う２本の電極間の抵抗値を測定するステップ、
前記抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定するステップ、
前記抵抗値から前記電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記電極間に形成されているショートの位置を求めるステップ、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定するステップ、
前記観察領域内の画像を拡大した状態で撮像するステップ、
撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート部分を特定するステップ、
特定された前記電極間のショート部分にレーザパルスを照射して、ショートを除去するステップ
を含むことを特徴とする電極製造方法。
【請求項８】
基板上に形成され、かつ互いに絶縁状態にある複数の電極を製造する装置であって、
前記基板上に平行に配列された前記複数の電極のうちから選ばれた、隣り合う２本の電極の片側にそれぞれ接触させられる少なくとも２つのプローブと、
前記プローブを介して前記２本の電極間に電流を流し、そのとき得られる電圧値から前記２本の電極間の抵抗値を求め、当該抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定するとともに、前記抵抗値から前記電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記電極間に形成されているショートの位置を求め、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定するショート判定手段と、
前記観察領域内の画像を拡大する光学手段と、
前記光学手段によって拡大された画像を撮像する撮像手段と、
撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート部分を特定する画像処理手段と、
ショート部分を除去するため、特定された前記ショート部分にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段
を少なくとも備えたことを特徴とする電極製造装置。
【請求項９】
基板上にロウ電極材料を成膜する工程と、
前記成膜されたロウ電極材料をパターニングして、互いに平行に配列された複数のロウ電極を形成する工程と、
少なくとも隣り合う２本のロウ電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、隣り合う２本のロウ電極間の抵抗値を測定する工程と、
前記抵抗値から前記ロウ電極間のショートの有無を判定し、前記抵抗値から前記ロウ電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記ロウ電極間に形成されているショートの位置を求め、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定し、当該観察領域内の画像を拡大した状態で撮像する工程と、
撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、ロウ電極間のショート部分を特定し、特定された前記ロウ電極間のショート部分にレーザパルスを照射して、ショートを除去する工程と、
ショートが除去されたロウ電極が形成された前記基板上に、第１の誘電体層、無機発光層および第２の誘電体層を、順次成膜する工程と、
前記第２の誘電体層上にカラム電極材料を成膜する工程と、
前記成膜されたカラム電極材料をパターニングして、前記ロウ電極と交差し、かつ互いに平行に配列された複数のカラム電極を形成する工程と、
少なくとも隣り合う２本のカラム電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、隣り合う２本のカラム電極間の抵抗値を測定する工程と、
前記抵抗値から前記カラム電極間のショートの有無を判定し、前記抵抗値から前記カラム電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記カラム電極間に形成されているショートの位置を求め、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定し、当該観察領域内の画像を拡大した状態で撮像する工程と、
撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、カラム電極間のショート部分を特定し、特定された前記カラム電極間のショート部分にレーザパルスを照射して、ショートを除去する工程と、
ショートが除去されたカラム電極が形成された前記基板上に、保護手段を設ける工程
を含むことを特徴とする無機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電極間のショート検出方法および装置に関し、より詳細には、無機ＥＬディスプレイ装置に使用される無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極やカラム電極のような、平行に配列された複数の帯状電極の隣り合う電極間のショートを検出し、リペアするのに好適な方法および装置に関する。
【０００２】
また、本発明は、電極製造方法および装置に関し、より詳細には、無機ＥＬディスプレイ装置に使用されるロウ電極やカラム電極のような、基板上に形成され、かつ互いに絶縁状態にある複数の電極を製造する方法および装置に関する。
【０００３】
さらにまた、本発明は、無機ＥＬディスプレイパネルの製造方法に関し、より詳細には、ロウ電極やカラム電極のような、平行に配列された複数の帯状電極の隣り合う電極間においてショートのない無機ＥＬディスプレイパネルを製造する方法に関する。
【０００４】
【従来の技術】
近年、薄型で高画質表示が可能なディスプレイ装置として、無機ＥＬディスプレイパネルを用いた無機ＥＬディスプレイ装置が注目されている。一般的な無機ＥＬディスプレイ装置は、多数の走査配線（ロウ電極）と多数のデータ配線（カラム電極）とが互いに交差して敷設された無機ＥＬディスプレイパネルを有し、データ配線と走査配線との間にしきい値を超える電圧を印加することによって、所望の画素を発光させることができる。
【０００５】
このような無機ＥＬディスプレイ装置のロウ電極やカラム電極は、本来ならば各電極間が絶縁状態にあるべきところ、多数の帯状電極が平行かつ近接して敷設されるので、これらの電極を基板上へ形成する際に、隣り合う電極間が部分的につながってしてしまうことがある。このようなショート欠陥のあるＥＬパネルでは、特定の一画素を発光させることができないため、ショート部分を取り除く（リペアする）必要がある。
【０００６】
ショート部分を取り除くためのショート検出方法としては、特開昭６２−０６６１５２号公報に開示されているように、一定のピッチ間隔の電極を有する基板上に、ピッチ間隔に対応する間隔に配置した２本のプローブを接触させ、電極上を当該電極の長手方向とほぼ垂直な方向に移動することによって、電極間の導通を確認し、ショートを検出する方法がある。しかし、この検出方法では、電極間のショートが検出された場合には、多数ある電極間のうち、特定の２本の電極間にショートが発生していることが分かるのみであり、その電極のどのあたりにショート箇所が存在するかということは知ることができず、結局、ショートが検出された電極間の全体にわたって、顕微鏡等で目視観察して、ショート箇所を検出し、修理するしかなかった。また、このショート検出方法は、最終的に目視観察が行われるため、人手による作業負担が大きく、間違えやすいという問題もある。
【０００７】
また、特許第２８７９０６５号公報（特開平０３−０３１８９４号公報）に開示されているように、帯状に並んだ複数の電極のうちから選ばれた第１の電極の両端部のそれぞれに２つのプローブを接触させるとともに、第１の電極との短絡の有無を検出されるべき第２の電極の一方の端部または両方の端部であって、第１の電極に接触しているプローブに近接した位置にプローブを接触させ、上記のプローブのうちから選ばれた３種類の２つのプローブの間の抵抗値であって、お互いに１次独立である抵抗値を推定または測定することにより、第１の電極と第２の電極との間の短絡の有無およびその場所を検出する方法がある。
【０００８】
この検出方法によれば、電極間のショートの有無のみならず、ショート箇所の位置まで特定できるので、ショート箇所のデータに基づき、レーザビーム照射によりリペアシステムを動かすことが可能である。すなわち、コンピュータ制御されたリペア装置に、本装置で得られたデータを送り込むことにより、マニュアルでショート箇所を捜し出す手間が省け、修正までの時間がさらに大幅に短縮することが可能である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この検出方法は、一対の電極間に一つのショート箇所しか存在しない場合には対応できるが、複数のショート箇所が存在する場合には、各々の正確なショート箇所を特定することができない。
【００１０】
また、ロウ電極やカラム電極は、電極間のピッチ間隔が極めて狭いが、各電極にＥＬを駆動するためのドライバを接続するためには、リード電極間のピッチ間隔をさらに狭くして、リード電極を一箇所にまとめる必要があり、ロウ電極あるいはカラム電極とそのリード電極とを斜めにつなぐ部分（引き出し電極）が形成され、この引き出し電極の形状の微妙な違いによって、抵抗値とショート位置との関係も変動する。また、測定時の接触抵抗の影響により、測定される抵抗値が変動することもある。そのため、実際にはショート箇所の正確な特定は困難である。
【００１１】
さらにショート箇所を特定するためには、最終的に、ショート欠陥が存在するだろうと思われる一定領域について顕微鏡による目視検査を行う必要がある。人間が顕微鏡のようなものを使用して注意を集中できる時間には限界があるが、この方法では、例えば、０．１ｍｍ／１秒として、１００ｍｍの領域を観察するには、１０００秒（１６分）もかかることになる。そのため、ショート欠陥を見落としたり、時にはラインを勘違いしたりすることにより、ショート欠陥を発見できず、何度も繰り返し検査することによって、多くの時間を必要としていた。
【００１２】
したがって、本発明は、無機ＥＬディスプレイ装置に使用されるロウ電極やカラム電極のような、平行かつ近接して配列された複数の帯状電極の隣り合う電極間のショートを、自動で検出し、リペアすることが可能な、電極間のショート検出方法および装置、リペア方法および装置、ならびにショート欠陥のない電極を製造する方法および装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明のかかる目的は、平行に配列された複数の電極のうちから選ばれた隣り合う２本の電極間のショートを検出する方法であって、少なくとも隣り合う前記２本の電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、隣り合う２本の電極間の抵抗値を測定するステップ、前記抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定するステップ、前記抵抗値から前記電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記電極間に形成されているショートの位置を求めるステップ、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定するステップ、前記観察領域内の画像を拡大した状態で撮像するステップ、撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート箇所を特定するステップを含むことを特徴とする電極間のショート検出方法によって達成される。
【００１４】
本発明によれば、無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極やカラム電極のような、平行かつ近接して配列された複数の帯状電極の隣り合う電極間のショートを、自動で検出し、リペアすることが可能な、電極間のショート検出方法を提供することができる。
【００１５】
本発明の実施形態においては、測定された前記抵抗値と、当該抵抗値に基づいて実際に特定されたショートの位置との相関関係をデータベースに蓄積し、前記データベースに蓄積された相関関係に基づいて、前記観察領域を設定することが好ましい。
【００１６】
本発明の実施形態によれば、ショート箇所を検出するための観察領域に、ある程度当りを付けた上で、観察領域の拡大画像を撮像手段で取り込み、これを画像処理してショート箇所を特定することができるので、人手による目視検査が不要となり、短時間でショートリペア処理を行うことが可能となる。
【００１７】
本発明の実施形態においては、さらに、前記２つの電極の形状から前記抵抗値の補正値を求め、当該補正値に基づいて補正された抵抗値から、前記電極間に形成されているショートの位置を求めることが好ましい。
【００１８】
本発明の実施形態によれば、電極の形状によって変化する電極間の抵抗値を、当該電極形状に基づいて予め求められた補正値を用いて補正するので、より正確なショート位置を求めることが可能となる。
【００１９】
本発明の実施形態においては、さらに、前記電極が、光透過性を有する基板上に形成された無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極であることが好ましい。
【００２０】
本発明によれば、ロウ電極が光透過性を有する基板上に形成されているので、無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極間のショート状態をより正確に捉えることができ、より精度の高い画像処理を行うことが可能となる。
【００２１】
本発明の実施形態においては、さらに、少なくとも前記基板の前記電極が形成されていない一方の面側から光を照射し、その透過光を前記基板の他方の面側に設けられた撮像素子によって受光することにより、前記画像を撮像することが好ましい。
【００２２】
本発明の実施形態によれば、前記電極が形成された基板面と反対側から光を照射することで、電極間のショートの状態を正確に捉えることができ、精度の高いショート検出を行うことが可能となる。
【００２３】
本発明の実施形態においては、さらに、前記画像処理が、撮像された前記画像がカラー画像である場合に、当該画像を二値化するステップ、前記二値化された画像の明るい部分の重心を求めるステップ、前記重心に沿って濃度分布を求めるステップ、前記濃度分布に表れたピーク形状からショート部分を特定するステップを含むことが好ましい。
【００２４】
本発明の実施形態によれば、二値化画像の明るい部分の重心から濃度分布を求め、そのピーク形状からショート部分を特定するので、より精度の高いショート検出を行うことが可能となる。
【００２５】
本発明の実施形態においては、さらに、前記複数の電極すべてに対して片側からプローブを当てながら、前記複数のプローブのうちから選ばれた隣り合う２つのプローブについて、抵抗値の測定が可能な状態（アクティブ）にすることにより、前記２つのプローブが当てられた隣り合う２本の電極間の抵抗値を測定することが好ましい。
【００２６】
本発明の実施形態によれば、全ての電極に対してプローブを当てた上で、隣り合う２つのプローブについてアクティブにして、隣り合う２本の電極間の抵抗値を測定するので、アクティブにされる２つのプローブを順次シフトさせて全ての電極間の抵抗値を測定することができ、例えば２本のプローブをスライドさせて全ての電極間の抵抗値を順次測定するような方法に比べて、短時間かつ正確に抵抗値を測定することが可能となる。
【００２７】
本発明の実施形態においては、さらに、前記複数のプローブのうち、アクティブにされる２つのプローブを順次シフトさせて、全ての電極間について抵抗値を測定することが好ましい。
【００２８】
本発明の実施形態によれば、アクティブにされる２つのプローブを順次シフトさせるので、より短時間で抵抗値を測定することが可能となる。
【００２９】
また、本発明の前記目的は、平行に配列された複数の電極のうちから選ばれた隣り合う２本の電極間のショートを検出する装置であって、
前記２本の電極の片側にそれぞれ接触させられる少なくとも２つのプローブと、前記プローブを介して前記２本の電極間に電流を流し、そのとき得られる電圧値から前記２本の電極間の抵抗値を求め、当該抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定するとともに、前記抵抗値から前記電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記電極間に形成されているショートの位置を求め、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定するショート判定手段と、前記観察領域内の画像を拡大する顕微鏡（光学手段）と、前記顕微鏡によって拡大された画像を撮像するＣＣＤカメラ（撮像手段）と、撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート部分を特定する画像処理手段を備えたことを特徴とする電極間のショート検出装置によって達成される。
【００３０】
本発明によれば、無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極やカラム電極のような、平行かつ近接して配列された複数の帯状電極の隣り合う電極間のショートを、自動で検出し、リペアすることが可能な、電極間のショート検出装置を提供することができる。
【００３１】
さらにまた、本発明の前記目的は、基板上に形成され、かつ互いに絶縁状態にある複数の電極を製造する方法であって、前記基板上に、平行に配列された複数の電極を形成するステップ、少なくとも隣り合う２本の電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、隣り合う２本の電極間の抵抗値を測定するステップ、前記抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定するステップ、前記抵抗値から前記電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記電極間に形成されているショートの位置を求めるステップ、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定するステップ、前記観察領域内の画像を拡大した状態で撮像するステップ、撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート部分を特定するステップ、特定された前記電極間のショート部分にレーザパルスを照射して、ショートを除去するステップを含むことを特徴とする電極製造方法によって達成される。
【００３２】
本発明によれば、無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極やカラム電極のような、平行かつ近接して配列された複数の電極の隣り合う電極間のショートを確実にリペアすることができ、基板上に形成され、かつ互いに絶縁状態にある複数の電極を製造することができる。
【００３３】
さらにまた、本発明の前記目的は、基板上に形成され、かつ互いに絶縁状態にある複数の電極を製造する装置であって、前記基板上に平行に配列された前記複数の電極のうちから選ばれた、隣り合う２本の電極の片側にそれぞれ接触させられる少なくとも２つのプローブと、前記プローブを介して前記２本の電極間に電流を流し、そのとき得られる電圧値から前記２本の電極間の抵抗値を求め、当該抵抗値から前記電極間のショートの有無を判定するとともに、前記抵抗値から前記電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記電極間に形成されているショートの位置を求め、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定するショート判定手段と、前記観察領域内の画像を拡大する顕微鏡（光学手段）と、前記顕微鏡によって拡大された画像を撮像するＣＣＤカメラ（撮像手段）と、撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、電極間のショート部分を特定する画像処理手段と、ショート部分を除去するため、特定された前記ショート部分にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段を少なくとも備えたことを特徴とする電極製造装置によって達成される。
【００３４】
本発明によれば、無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極やカラム電極のような、平行かつ近接して配列された複数の電極の隣り合う電極間のショートを確実にリペアすることができ、基板上に形成され、かつ互いに絶縁状態にある複数の電極を製造することができる。
【００３５】
さらにまた、本発明の前記目的は、基板上にロウ電極材料を成膜する工程と、前記成膜されたロウ電極材料をパターニングして、互いに平行に配列された複数のロウ電極を形成する工程と、少なくとも隣り合う２本のロウ電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、隣り合う２本のロウ電極間の抵抗値を測定する工程と、前記抵抗値から前記ロウ電極間のショートの有無を判定し、前記抵抗値から前記ロウ電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記ロウ電極間に形成されているショートの位置を求め、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定し、当該観察領域内の画像を拡大した状態で撮像する工程と、撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、ロウ電極間のショート部分を特定し、特定された前記ロウ電極間のショート部分にレーザパルスを照射して、ショートを除去する工程と、ショートが除去されたロウ電極が形成された前記基板上に、第１の誘電体層、無機発光層および第２の誘電体層を、順次成膜する工程と、前記第２の誘電体層上にカラム電極材料を成膜する工程と、前記成膜されたカラム電極材料をパターニングして、前記ロウ電極と交差し、かつ互いに平行に配列された複数のカラム電極を形成する工程と、少なくとも隣り合う２本のカラム電極それぞれに対して片側からプローブを当てて、隣り合う２本のカラム電極間の抵抗値を測定する工程と、前記抵抗値から前記カラム電極間のショートの有無を判定し、前記抵抗値から前記カラム電極間にショートが有るものと判定された場合に、前記抵抗値に基づいて、前記カラム電極間に形成されているショートの位置を求め、前記ショートの位置を基準とする所定の領域内を、観察領域として設定し、当該観察領域内の画像を拡大した状態で撮像する工程と、撮像された前記画像に対して所定の画像処理を行って、カラム電極間のショート部分を特定し、特定された前記カラム電極間のショート部分にレーザパルスを照射して、ショートを除去する工程と、ショートが除去されたカラム電極が形成された前記基板上に、保護手段を設ける工程を含むことを特徴とする無機ＥＬディスプレイパネルの製造方法によって達成される。
【００３６】
本発明によれば、ショート欠陥のない無機ＥＬディスプレイ装置を、短時間で製造することが可能となる。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。
【００３８】
図１は、無機ＥＬディスプレイパネルの配線構造を示す略平面図である。
【００３９】
図１に示すように、無機ＥＬディスプレイパネル１００は、互いに平行に配列された多数の走査配線（ロウ電極）１０１と、これらの走査配線１０１と交差し、かつ互いに平行に配列された多数のデータ配線（カラム電極）１０２を備えている。走査配線１０１の片側一端部にはこれらを駆動するためのロウドライバ１０３が接続され、またデータ配線１０２の片側一端部にはこれらを駆動するためのカラムドライバ１０４が接続される。走査配線１０１とデータ配線１０２との交点がそれぞれ一つの画素１０５を構成する。
【００４０】
図２は、画素１０５の構造を概略的に示す図であり、（ａ）はその略平面図、（ｂ）はＡ−Ａ線に沿った略断面図である。
【００４１】
図２（ａ），（ｂ）に示すように、一つの画素１０５は、基板１０６上に敷設されたロウ電極１０１及びこれと交差するカラム電極１０２によって構成される。画素１０５において、カラム電極１０２が設けられている方向は無機ＥＬディスプレイパネル１００の視認方向となることから、少なくともカラム電極１０２については透明な導電材料を用いる必要があり、特に限定されるものではないが、ＩＴＯを用いることが好ましい。一方、ロウ電極１０１については透明である必要はなく、金等の金属を用いることができる。
【００４２】
また、ロウ電極１０１とカラム電極１０２との間には、第１の誘電体層１０７ａ及び第２の誘電体層１０７ｂに挟まれた無機発光層１０８が設けられており、カラム電極１０２上には透明な保護膜１０９が設けられている。第１の誘電体層１０７ａ及び第２の誘電体層１０７ｂの材料としては、特に限定されるものではないが、ペロブスカイト型強誘電体材料、タングステンブロンズ型強誘電体材料、Ｙ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＮ、ＢａＴｉＯ３等の透明誘電体薄膜等を用いることができる。また、無機発光層１０８の材料としては、特に限定されるものではないが、ＳｒＳ：Ｃｅ、ＺｎＳ：Ｍｎ等を用いることができる。
【００４３】
無機ＥＬディスプレイパネルの製造では、まず、基板１０６上にロウ電極１０１が形成される。基板１０６として、液晶表示パネルのように透明な基板材料を用いてもよいが、無機ＥＬディスプレイパネルには、セラミック基板、ガラスセラミック複合基板、その他各種の半透明基板が使用される。次いで、その上に第１の誘電体層１０７ａ、無機発光層１０８、第２の誘電体層１０７ｂが順次形成される。第１および第２の誘電体層は、それぞれ積層された後、約６００度の温度で焼成される。その後、第１の誘電体層１０７ｂの上にＩＴＯ等を材料とするカラム電極が形成され、さらにその上に封止用のガラス１０９が設けられる。
【００４４】
ロウ電極１０１は上述したように金等を材料とし、フォトリゾクラフィ工程を経てエッチングにより形成される。このとき、フォトマスクに汚れがあったりすると、電極間がショートすることがある。したがって、基板１０４上にロウ電極１０１を形成した後、ロウ電極間にショート部分が形成されていないかどうかが検査される。
【００４５】
図３は、本発明の好ましい実施形態にかかる電極間のショート検出方法の概略を説明するための略斜視図である。
【００４６】
図３に示されるように、このショート検出方法では、まず、隣り合う２本のロウ電極１０１間のショートの有無を検出するため、各電極の片側一端部に形成されたリード端子２０１のリード電極２１１にそれぞれプローブ３０１ａ，３０１ｂを当てて、電極間の抵抗値を測定する。
【００４７】
電極間の抵抗値が無限大か、あるいは実質的に無限大といえる程度に極めて高い場合には、両電極間が絶縁（オープン）状態にあると判断できるが、ショート部分３０２のように、電極間の少なくとも一部が短絡（ショート）している場合には、抵抗値が非常に低い値となるため、そのように判断できる。ショート欠陥があることが検出された場合には、その抵抗値からショートの位置が推定される。ショート位置は、プローブの接触位置（測定位置）からショート部分３０２までの距離（以下、ショート距離という）と抵抗値との相関関係から求めることができる。
【００４８】
図４は、ロウ電極間の抵抗値とショート距離との相関関係を示すグラフであって、横軸が電極間の抵抗値［Ω］、縦軸が実際のショート距離［ｍｍ］を示している。
【００４９】
図４に示されるように、ロウ電極の抵抗値とショート距離との間には、一定の相関があり、抵抗値に比例して実際のショート距離も大きくなることが分かる。しかしながら、図示のように、実際のショート距離にはある程度のばらつきがある。このグラフによれば、ロウ電極の抵抗値から求められるショート距離の理論値から±１５ｍｍの領域内に、実際のショート部分が存在している。このような抵抗値のばらつきは、上述した引き出し電極の長さの違いのほか、ロウ電極の厚みや幅のわずかな違いによっても生ずるものと考えられる。
【００５０】
したがって、電極間の抵抗値に比例した値として求められるショート距離の理論値に基づいてショートの有無を観察する場合に、図３に示すような、ショートが存在しているであろうと予測される所定の領域３０３を定め、その領域内を観察することにより、ほとんどのショートを見つけ出すことができる。このように、ロウ電極の抵抗値から、ショートの位置のみならず、それが実際に存在しうる所定の領域を特定し、この領域内でショートの有無を観察するので、ショート欠陥を短時間で確実に見つけ出すことができ、リペア時間の短縮を実現することができる。さらには、ショート検出およびリペア作業の自動化を図ることが可能となる。
【００５１】
観察対象とすべき領域は次のようにして設定される。まず、測定した抵抗値から、ショート距離の理論値を求め、その近傍を観察して、実際のショート位置を特定する。そして、前記抵抗値と、ショート距離の理論値と、ショート距離の実測値をデータベースに登録する。データベースに登録されたショート距離のデータの積み重ねから、統計的に観察対象の領域を設定する。例えば、データベースに登録されているショート距離の理論値および実測値から求められる誤差範囲の最大値を観察対象の領域として設定してもよく、また、前記誤差範囲の平均値を観察対象の領域として設定してもよい。以上のように観察領域を設定することにより、ショート箇所を確実に特定することができる。
【００５２】
ロウ電極間の抵抗値は、予め求めておいた補正値によって、補正することができる。抵抗値から算出されたショート距離の理論値と、実際のショート距離のとの間に生ずるショート距離の誤差は、図３に示したように、ロウ電極の片側一端部において、リード電極１１０のピッチ間隔をロウ電極１０１よりも狭くするために形成された、引き出し電極１１１の形状の違いが大きく影響していると考えられる。したがって、この影響を予め取り除くことで、抵抗値から求められるショート距離の理論値とショート距離の実測値との誤差が少なくなるので、観察領域がいっそう限定され、ショート検出の確実化と時間の短縮化を図ることができる。
【００５３】
以上のようにしてショート部分が特定されると、このショート部分にレーザを照射して、ショート部分を焼き切り、電極間を絶縁状態とすることにより、ショート欠陥のないロウ電極が形成される。
【００５４】
なお、カラム電極間のショートを検出する場合も、同様である。上述したように、ロウ電極１０１が形成された基板１０４上には第２の誘電体層１０７ａ、無機発光層１０８、第１の誘電体層１０７ｂが順次形成され、さらに第１の誘電体層１０７ｂの上にＩＴＯ等を材料とするカラム電極１０２が形成されるが、このカラム電極に対して、上述したように、プローブ３０１ａ，３０１ｂを接触させて、隣り合う２本のカラム電極間の抵抗値を測定し、その抵抗値からショートの有無ならびにショート距離の理論値を求め、ショート距離の理論値から求められるショート位置を基準とした所定の領域を観察して、ショートを特定することができる。
【００５５】
最終的に、ショート欠陥のないロウ電極およびカラム電極が形成された基板上に、保護手段として、封止用ガラス１０９が設けられることにより、無機ＥＬディスプレイパネルが完成する。なお、保護手段として保護膜を形成してもよい。
【００５６】
図５は、レーザリペア装置の概略的な構成を示す略正面図である。
【００５７】
図５に示されるように、このレーザリペア装置には、電極間のショートを検出する手段が含まれ、レーザリペア装置５００は、ロウ電極（あるいはカラム電極、以下単に電極という）が形成された基板（以下、ワークという）５０１を、各工程ラインへ運ぶための搬送テーブル５０２上へ載せる作業（ロード）および搬送テーブル５０２から下ろす作業（アンロード）を行うローダ／アンローダ部５１０と、搬送テーブルに載置されたワークの向き等を調整するアライメント調整部５２０と、電極間の抵抗値を測定するプローバ部５３０と、ショート部分を画像処理により検出し、ショート部分をレーザで焼き切るためのショート検出／リペア部５４０と、前記各部を制御する制御部５５０を備えている。
【００５８】
ローダ／アンローダ部５１０は、複数のワーク５０１が収容されたカセット５１１から、ワークを一枚ずつ取り出し、搬送テーブル５０２上にセットする。カセット５１１は、ワーク５０１を取り出すことができる所定の位置へ移動することができるように、図示されていないパルスモータおよびそのドライブ回路によって上下方向に駆動される。カセット５１１の上下動によって定位置まで移動されたワーク５０１は、カセット５１１と搬送テーブル５０２との間を移動する移載アーム５１２およびアーム先端部に設けられたワークハンドリング部５１３によって取り出され、搬送テーブル５０２まで運ばれ、搬送テーブル５０２上にセットされる。
【００５９】
搬送テーブル５０２は、図示されていないが、ワークを吸着するための吸着テーブルと、θテーブルと、Ｘ−Ｙテーブルを備えている。搬送テーブル５０２は、セットされたワークを吸着した状態で、アライメント調整部５２０に移送する。
【００６０】
アライメント調整部５２０は、アライメント確認用のＣＣＤカメラ５２１と、図示されていない照明部および画像処理部を備え、このＣＣＤカメラ５２１により取り込まれたワーク上の基準マーク（アライメントマーク）を認識した後、座標変換を行い、次の工程においてワークを所定位置に移動するための座標を作成する。
【００６１】
すなわち、ワーク５０１を搬送テーブル５０２に吸着した際に、ワーク５０１の中心と搬送テーブル５０２の中心を完全に一致させることができないため、そのままでは次工程を正しく行うことができない。したがって、ワーク５０２の外形等を位置決めピン等に突き当てることで、ある程度の位置出しを予め行った上で、ワーク５０２上のアライメントマークをＣＣＤカメラ５２１で読み込み、ワークのずれ量を算出する。このずれ量の分だけ補正しながら、ワークを載せた搬送テーブル５０２が動くことによって、ワーク５０２が常に正しい位置にセットされる。なお、ＣＣＤカメラ５２１によって取り込まれた画像が図示しない画像処理マーク認識部によって画像処理されることにより、ずれ量が算出される。さらに、このずれ量が搬送テーブル５０２の駆動制御部に送られることによって、補正量を含めた搬送テーブルの移動量が決定される。
【００６２】
プローバ部５３０は、ワークのリード端子のピッチ間隔に対応して設けられた多数のプローブ素子を有するプローブカード５３１を備える。また、図示されていないが、隣接する電極間の抵抗を測定するため、プローブカード５３１に低電流を供給する定電流発生器と、電極間の抵抗値を求める抵抗測定回路と、抵抗値からショート距離を求めるショート距離算出回路と、多数のプローブ素子の中から２つのプローブ素子がアクティブ（抵抗値の測定が可能な状態）になるように自動的に切り替えるためのスイッチング手段が設けられている。また、プローブカード５３１をワーク５０１に接触させるため、プローブカードを上下移動させるサーボモータ５３２およびその駆動装置と、上下移動を案内するガイド機構５３３を備えている。プローバ部５３０では、プローブカード５３１の各プローブをワーク５０１のリード電極に接触させた状態で、各電極間に対して順次一定の電流を流し、そのときの電圧値から抵抗値を測定する。測定された電極間の抵抗値から、ショートの有無の判定と、ショートがある場合にはショート距離を計算する。
【００６３】
ショート検出／リペア部５４０は、オートフォーカス機構を備えた顕微鏡５４１と、図示されていない顕微鏡用の落射・透過照明部と、撮像手段であるＣＣＤカメラ５４２と、取り込んだ画像を処理してショート箇所を特定する画像処理部と、ショート箇所を焼き切るためのレーザ部５４３を備えている。
【００６４】
図６は、ショート／リペア検出部５４０の構成を示す略ブロック図である。
【００６５】
図６に示されるように、ショート／リペア検出部５４０は、顕微鏡５４１と、ＣＣＤカメラ５４２と、レーザ部５４３を備える。顕微鏡５４１には、所定の倍率を有する対物レンズ５４１ａが含まれる。ワーク５０１の裏面から透過光を照射するため、ショート／リペア検出部５４０はまた、光源５４４ａおよび光ファイバ５４４ｂを備える。
【００６６】
顕微鏡５４１による観察のため、光源５４４ａからの光は、光ファイバ５４４ｂを通して、搬送テーブル５０２の裏面側、すなわちワーク５０１の裏面に照射される。なおワークの上面から落射光を照射する手段は、ここでは図示を省略する。ＣＣＤカメラ５４２は、顕微鏡５４１によって拡大された領域の画像を取り込む。この画像は画像処理部５４２ａによって処理され、ショートが検出される。また、その画像はモニタ５４２ｂに表示することもできる。なお、このモニタ５４２ｂは後述する制御部５５０のディスプレイ５５１を利用する。
【００６７】
顕微鏡５４１とＣＣＤカメラ５４２との間には、ハーフミラー５４５ａおよびミラー５４５ｂが設けられる。顕微鏡からの画像は、このハーフミラー５４５ａおよびミラー５４５ｂを介してＣＣＤカメラに取り込まれる。このような構成は、顕微鏡をレーザ部５４３と併用するために必要とされる。したがって、顕微鏡５４１内の対物レンズ５４１ａとしては、レーザの波長（例えば３２０ｎｍ〜６２０ｎｍ）が通るように構成されたレンズが使用される。
【００６８】
レーザ部５４３は、レーザ発振器５４３ａと、これを制御するレーザ制御部５４３ｂを備える。レーザ制御部５４３ｂによって制御されるレーザビームは、ハーフミラー５４５ａを通って顕微鏡５４１に入射し、焦点が絞られた後、ワーク５０１上に照射される。
【００６９】
ショート検出／リペア部５４０では、まず、プローバ部５３０で求められたショート距離の推定値に基づき、ショート位置から所定の領域の画像がＣＣＤカメラ５４２で取り込まれる。このときの画像は、顕微鏡を通して拡大された状態で、ＣＣＤカメラに取り込まれる。
【００７０】
この場合、基板１０６が実質的に光透過性のある材料からなることから、基板の裏側、すなわちロウ電極が形成されていない基板面の方から光を照射しながら、観察を行うことが好ましい。このように、基板を透過した光をＣＣＤカメラ５４２に取り込むことで、電極が存在する部分と存在しない部分との差異が明確に表れる。
【００７１】
ＣＣＤカメラ５４２によって撮影された画像は画像処理部５４２ａに送られ、一画面ごとに画像処理が行われる。まず、取り込まれた画像の濃淡が例えば２５６段階に振り分けられ、さらに濃淡が強調される処理が行われる。この画像から、電極のない部分を示す白抜けの部分を選択するため、２値重心面積処理を行い、その白抜けの中心をスキャンして、ショート部分を見つけ出す。このようにしてショート箇所が自動的に特定される。
【００７２】
レーザ部５４３は、画像処理部５４２ａで検出されたショート箇所にレーザを照射して焼き切り、ショート欠陥のある電極のリペアを行う。このレーザ部５４３はＮｄ：ＹＡＧレーザ光源をもつレーザ装置を備えており、レーザ光の発振パルス幅を短くすることにより、ピークの高いエネルギーパルスでＱスイッチ発振するため、加工物に対して瞬間的にエネルギーを与えることができる。レーザのピークパワーを一定にし、減衰フィルタと、偏光板と、ビームスプリッタを使用し、出力エネルギーを変化させる。
【００７３】
また特に、レーザの空間エネルギー分布をガウス分布（ＴＥＭ００モード）にし、中央部のやや平坦なエネルギー部分の光学系を切り出して使用し、矩形加工のエッジが明瞭となるようにする。
【００７４】
制御部５５０は、搬送テーブル５０２、ローダ／アンローダ部５１０、アライメント調整部５２０、プローバ部５３０およびショート検出／リペア部５４０が上述のように正しく動作するよう、これらを統合制御する。特に、搬送テーブル５０２、ローダ／アンローダ部５１０およびプローバ部５３０における駆動制御や、アライメント調整部５２０およびショート検出／リペア部５４０と、搬送テーブル５０２等の駆動部分とのインターフェースを行う。
【００７５】
また制御部５５０は、各部の動作条件の設定等を行う操作パネルや、各部の稼動状況や前記ＣＣＤカメラによって取り込まれた画像を表示するディスプレイ５５１を備えている。ディスプレイ５１１がタッチパネルであっても構わない。制御部は、パーソナルコンピュータやワークステーションのような一般的なコンピュータに、専用のソフトウェアをインストールしたものであってもよく、あるいは、それよりも高性能もしくは簡素化されたハードウェアによって構成された専用機器によって構成されていてもよい。
【００７６】
図７は、ショート検出およびリペアの流れを示すフローチャートである。
【００７７】
図７に示されるように、まず、ワークがロードされ（Ｓ７０１）、搬送テーブルによってアライメント調整部まで運ばれ、ワーク上のアライメントマークが認識される（Ｓ７０２）。この認識により、ワークの位置が補正される（Ｓ７０３）。
【００７８】
ワークがプローバ部まで搬送されると（Ｓ７０４）、プローブカードがワーク上のリード端子に接触させられる。そして、隣接する電極間の抵抗値が測定される（Ｓ７０５）。この抵抗値から各電極間のショートの有無が求められ（Ｓ７０６）、抵抗値が非常に高い場合には（Ｓ７０６Ｎ）、ショートが全くないものとして、ワークがアンロードされる（Ｓ７１８）。
【００７９】
一方、ショートがある場合には（Ｓ７０６Ｙ）、抵抗値からショート距離が算出される（Ｓ７０７）。次いで、ショート位置から一定の領域（例えば±１５ｍｍ）をＣＣＤカメラで撮像し（Ｓ７０８）、画像処理によりショート部分を特定する（Ｓ７０９）。ショート部分が特定されると（Ｓ７０９Ｙ）、そのショート部分にレーザパルスが照射され（Ｓ７１０）、ショート欠陥のある電極間のリペアが施される。なお、実際に特定されたショート距離と、このショートを検出するために測定された抵抗値は、ショート距離の推定値を求めるためのデータとしてデータベース（ＤＢ）に蓄積され、次のワーク処理のときに参照される（Ｓ７１１）。
【００８０】
上記のショート検出およびリペア工程は、所定回数内で繰り返し行われる（Ｓ７１２，Ｓ７１３）。これにより、確実にリペアされているかどうかを確認でき、検査対象とされている電極間に複数のショート箇所がある場合でも、これらを完全に取り除くことができる。
【００８１】
ただし、２本の電極間に対して、リペア処理を何回も繰り返しているにもかかわらず、相変わらずショートが検出される場合には（Ｓ７１３Ｎ）、ワークに異常があるものとして、所定回数リペア処理を繰り返した上で、アラームを出力し（Ｓ７１４）、そのワークのアンロードが行われる（Ｓ７１８）。
【００８２】
また、測定された抵抗値からショートが有るものと判定されたが（Ｓ７０６Ｙ）、その後の画像処理でショート部分を特定できない場合には（Ｓ７０９Ｎ）、±１５ｍｍの領域内にはショート部分が存在しないものと考えられるため、画像の取り込み領域を少し広げて（Ｓ７１５）、再度ＣＣＤカメラで撮像し（Ｓ７０８）、画像処理によりショート部分を特定する。この工程も所定回数繰り返して行われ（Ｓ７１６，Ｓ７１７）、どうしても実際のショート箇所が見つからない場合には（Ｓ７０９Ｎ）、ワークに異常があるものとして、アラームを出力し（Ｓ７１４）、ワークのアンロードが行われる（Ｓ７１８）。
【００８３】
以上のようにワークが処理されることにより、電極間のショートを確実に検出かつ特定し、リペアすることができ、またワークに異常がある場合でも、他のワークの処理に影響を与えることなく、円滑に多数のワークのショート検出およびリペアを行うことが可能となる。
【００８４】
図８は、上述した電極間のショート検出およびリペア方法を利用して、無機ＥＬディスプレイパネルを製造する方法を示したフローチャートである。
【００８５】
図８に示されるように、まずセラミック基板等の半透明基板が用意され（Ｓ８０１）、これに金等のロウ電極材料が成膜される（Ｓ８０２）。成膜されたロウ電極材料はパターニングされ、互いに平行に配列された複数のロウ電極が形成される（Ｓ８０３）。このロウ電極に対して、上述したショート検出およびリペアが施され（Ｓ８０４）、ショート欠陥のないロウ電極が作製される。
【００８６】
ショートが除去されたロウ電極が形成された基板上には、第１の誘電体層、無機発光層および第２の誘電体層が、順次成膜され（Ｓ８０５）、さらに第２の誘電体層上に、ＩＴＯ等のカラム電極材料が成膜される（Ｓ８０６）。成膜されたカラム電極材料はパターニングされ、前記ロウ電極と交差し、かつ互いに平行に配列された複数のカラム電極が形成される（Ｓ８０７）。このカラム電極に対して、上述したショート検出およびリペアが施され（Ｓ８０８）、ショート欠陥のないカラム電極が作製される。
【００８７】
ショートが除去された後、ガラスと接着剤を用いて封止することにより（Ｓ８０９）、無機ＥＬディスプレイパネルが完成する。さらに、この無機ＥＬディスプレイパネルがドライバ回路、電源回路その他の各構成要素と結合されて、無機ＥＬディスプレイ装置が完成する。
【００８８】
本発明は、以上の実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【００８９】
例えば、前記実施形態においては、無機ＥＬディスプレイ装置に使用される無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極間あるいはカラム電極間のショート検出およびリペアを行う場合を例に説明しているが、これに限定されるものではなく、平行かつ近接して配列された複数の帯状電極の隣り合う電極間のショートを検出し、リペアする場合であれば、適用することができる。
【００９０】
また例えば、前記実施形態においては、抵抗値と、ショート位置の理論値と、ショート位置の実測値をデータベースに登録し、理論値と実測値の誤差がフィードバックされる場合を説明したが、これに限定されるものではなく、例えばショート位置（理論値）から±１５ｍｍ以内で固定する等、観察領域を固定値に設定しておいても構わない。
【００９１】
また、前記実施形態においては、プローブを用いて測定した電極間の抵抗値を補正した後、当該補正後の抵抗値からショート位置の理論値を求めているが、測定した抵抗値からショート位置を直接求めるようにしても構わない。
【００９２】
さらにまた、前記実施形態においては、光透過性を有する基板上にロウ電極を形成する場合を例に説明したが、光透過性を有しない基板上に電極を形成した場合であっても、電極間のショートを検出し、リペアすることは可能である。この場合には、基板上の観察領域に落射光を当てて、その反射光をＣＣＤカメラで読み取るようにすればよい。
【００９３】
さらにまた、前記実施形態においては、電極が形成されていない基板面の方から光を照射し、その透過光を前記基板面と反対側に設けられたＣＣＤカメラによって受光することにより、観察領域内の画像を撮像する場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、透過光と落射光とを併用してもよい。また落射光のみを用いて観察領域内に光を照射しても構わない。
【００９４】
さらにまた、前記実施形態においては、画像処理方法として、撮像されたカラー画像を二値化し、二値化された画像の明るい部分の重心を求め、前記重心に沿って濃度分布を求め、濃度分布に表れたピーク形状からショート部分を特定する方法を例に説明しているが、これに限定されるものではなく、種々の画像処理方法を採用することができる。
【００９５】
さらにまた、前記実施形態においては、前記レーザリペア装置５００が、電極間のショート部分を自動的に検出する機構を備えているが、この自動検出機構とともに、目視検査による手動検査機構を併せて備えた構成であってもよい。このようにすれば、最終的に異常終了した少数のワークについて、当該レーザリペア装置５００を用いて、目視検査することが可能となる。
【００９６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、無機ＥＬディスプレイ装置に使用される無機ＥＬディスプレイパネルのロウ電極やカラム電極のような、平行かつ近接して配列された複数の帯状電極の隣り合う電極間のショートを、自動で検出し、リペアすることが可能な、電極間のショート検出方法および装置、リペア方法および装置、ならびにショート欠陥のない電極を製造する方法および装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、無機ＥＬディスプレイパネルの配線構造を示す略平面図である。
【図２】図２は、画素１０３の構造を概略的に示す図であり、（ａ）はその略平面図、（ｂ）はＡ−Ａ線に沿った略断面図である。
【図３】図３は、本発明の好ましい実施形態にかかる電極間ショート検出方法の概略を説明するための模式図である。
【図４】図４は、ロウ電極の抵抗値とショート距離との相関関係を示すグラフである。
【図５】図５は、レーザリペア装置の概略的な構成を示す略正面図である。
【図６】図６は、ショート検出／リペア部の構成を示す略ブロック図である。
【図７】図７は、ショート検出およびリペアの流れを示すフローチャートである。
【図８】図８は、上述した電極間のショート検出およびリペア方法を利用して、無機ＥＬディスプレイ装置を製造する方法を示したフローチャートである。
【符号の説明】
１０１　走査配線（ロウ電極）
１０２　データ配線（カラム電極）
１０３　ロウドライバ
１０４　カラムドライバ
１０５　画素
１０６　基板
１０７ａ　第１の誘電体層
１０７ｂ　第２の誘電体層
１０８　無機発光層
１０９　ガラス
２０１　リード端子
２１１　リード電極
３０１ａ，３０１ｂ　プローブ
３０２　ショート部分
３０３　ショートの存在しうる所定領域
５００　レーザリペア装置
５０１　ワーク
５０２　搬送テーブル
５１０　ローダ／アンローダ部
５１１　カセット
５１２　移載アーム
５１３　ワークハンドリング部
５２０　アライメント調整部
５２１　アライメント確認用のＣＣＤカメラ
５３０　プローバ部
５３１　プローブカード
５３２　サーボモータ
５３３　ガイド機構
５４０　ショート検出／リペア部
５４１　顕微鏡
５４１ａ　対物レンズ
５４２　ＣＣＤカメラ
５４２ａ　画像処理部
５４２ｂ　モニタ
５４３　レーザ部
５４３ａ　レーザ発振器
５４３ｂ　レーザ制御部
５４４　落射・透過照明部
５４４ａ　光源
５４４ｂ　光ファイバ
５４５ａ　ハーフミラー
５４５ｂ　ミラー
５５０　制御部
５５１　ディスプレイ
【図１】
2004037178.tif 000003
【図２】
2004037178.tif 000004
【図３】
2004037178.tif 000005
【図４】
2004037178.tif 000006
【図５】
2004037178.tif 000007
【図６】
2004037178.tif 000008
【図７】
2004037178.tif 000009
【図８】
2004037178.tif 000010