(57)【要約】【課題】使用中の温度上昇によるマスク部の弛みを抑制したメタルマスクおよびその製造方法を提供する。【解決手段】マスク部と、該マスク部を外周から保持するフレーム部とを具備するメタルマスクであって、マスク部は、２０〜３００℃の線熱膨張係数αＭ（２０〜３００℃）≦１０×１０−６の材料からなり、フレーム部は、その２０〜３００℃の線熱膨張係数αＦ（２０〜３００℃）が［αＭ（２０〜３００℃）／αＦ（２０〜３００℃）］≧１の材料からなり、マスク部が張力を維持してフレーム部に保持されているメタルマスクである。そして、マスク部をフレーム部に溶接して、該マスク部の外周を保持するメタルマスクの製造方法であって、該溶接時に達するマスク部の温度ＴＭ、フレーム部の温度ＴＦに対し、［αＭ（２０℃〜ＴＭ）／αＦ（２０℃〜ＴＦ）］≧１の関係を満たすマスク部とフレーム部を溶接するメタルマスクの製造方法である。【選択図】　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク部と、該マスク部を外周から保持するフレーム部とを具備するメタルマスクであって、マスク部は、その２０〜３００℃の線熱膨張係数αＭ（２０〜３００℃）が１０×１０−６以下の材料からなり、フレーム部は、その２０〜３００℃の線熱膨張係数αＦ（２０〜３００℃）がマスク部の線熱膨張係数αＭ（２０〜３００℃）との関係において［αＭ（２０〜３００℃）／αＦ（２０〜３００℃）］≧１の材料からなり、マスク部が張力を維持してフレーム部に保持されていることを特徴とするメタルマスク。
【請求項２】
マスク部は、質量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％を含むＦｅ−Ｎｉ系材料、もしくはＮｉ：２５〜５２％、Ｃｏ：１〜６％を含むＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系材料からなることを特徴とする請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項３】
フレーム部は、質量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％を含むＦｅ−Ｎｉ系材料、もしくはＮｉ：２５〜５２％、Ｃｏ：１〜６％を含むＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系材料からなることを特徴とする請求項１または２に記載のメタルマスク。
【請求項４】
マスク部をフレーム部に溶接して、該マスク部の外周を保持するメタルマスクの製造方法であって、該溶接時に達するマスク部の温度ＴＭ、フレーム部の温度ＴＦに対し、［αＭ（２０℃〜ＴＭ）／αＦ（２０℃〜ＴＦ）］≧１の関係を満たすマスク部とフレーム部を溶接することを特徴とするメタルマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＦＰＤの高精細化に伴い、蛍光体を塗布するのに精度の良いメタルマスクとその製造方法を提案するものである。
【０００２】
【従来の技術】
テレビやモニターの分野ではＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）と総称される、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）、ＦＥＤ（電界放出型ディスプレイ）などに代表される平面薄型の表示装置の開発・製品化が盛んに行なわれている。これらの製造過程において、例えば有機ＥＬの蛍光体生成工程には、ガラスといった基板上の所定の位置に赤（Ｒ）・青（Ｂ）・緑（Ｇ）の蛍光体を蒸着するためのステンシルの役目をするメタルマスクと呼ばれる金属板が使用される。
【０００３】
通常、メタルマスクは、所定のステンシルパターンに従った開孔部がエッチングなどにより穿孔されたマスク部と、このマスク部を外周から保持するフレーム部とを具備して構成されている。そして、その材質については、従来、マスク部にはステンレス鋼が用いられ、フレーム部には鉄またはステンレス鋼が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
メタルマスクは、その使用中に温度が上昇し、特にマスク部は数百℃に昇温する。これにより、マスク部には、その材質に応じた熱膨張が生じる。ＦＰＤの画像品質を維持するために、基板上に形成される蛍光体には正確な位置制度が求められるところ、上記のようなマスク部の熱膨張は、マスク部の変形とともに、マスク面に微少な弛み（タルミ）を発生することとなるため、蛍光体の正確な位置精度に支障をきたす要因となる。
【０００５】
そこで本発明は、マスク部に変形や弛みのないメタルマスクとして供給することで、その使用中の温度上昇によるマスク部の弛みを補償したメタルマスク、そして、そのための製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のメタルマスクは、そのマスク部には熱膨張量自体が小さく、基板との熱膨張量差による不整合も少ない材料を使用することで、使用中の昇温に伴う位置ずれを最小限にするものである。そして、そのフレーム部には熱膨張量がマスク部よりも小さい材料、あるいはマスク部と同じ材料を用いることで、常温でのマスク部が張った状態で維持できるメタルマスクが達成でき、使用中の昇温によるマスク部の弛みが補償されるものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、マスク部と、該マスク部を外周から保持するフレーム部とを具備するメタルマスクであって、マスク部は、その２０〜３００℃の線熱膨張係数αＭ（２０〜３００℃）が１０×１０−６以下の材料からなり、フレーム部は、その２０〜３００℃の線熱膨張係数αＦ（２０〜３００℃）がマスク部の線熱膨張係数αＭ（２０〜３００℃）との関係において［αＭ（２０〜３００℃）／αＦ（２０〜３００℃）］≧１の材料からなり、マスク部が張力を維持してフレーム部に保持されていることを特徴とするメタルマスクである。
【０００８】
好ましくは、マスク部は、質量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％を含むＦｅ−Ｎｉ系材料、もしくはＮｉ：２５〜５２％、Ｃｏ：１〜６％を含むＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系材料からなり、あるいはさらに、フレーム部は、質量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％を含むＦｅ−Ｎｉ系材料、もしくはＮｉ：２５〜５２％、Ｃｏ：１〜６％を含むＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系材料からなるメタルマスクである。
【０００９】
そして、本発明のメタルマスクの製造方法は、マスク部をフレーム部に溶接して、該マスク部の外周を保持するメタルマスクの製造方法であって、該溶接時に達するマスク部の温度ＴＭ、フレーム部の温度ＴＦに対し、［αＭ（２０℃〜ＴＭ）／αＦ（２０℃〜ＴＦ）］≧１の関係を満たすマスク部とフレーム部を溶接することを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の特徴は、ＦＰＤの製造において、メタルマスクを使用した蛍光体塗布工程で生じる位置ずれを、そのメタルマスク材料に適正な熱膨張特性を有する材料を用いることで大幅に軽減したところにある。そして、マスク部に発生する弛みを除去し、使用時に生じる弛みを補償できるメタルマスクの製造方法を見いだしたところにある。
【００１１】
まず、使用中のメタルマスクに生じる温度上昇状況を調査したところ、そのマスク表面は１００℃〜３００℃にも温度上昇していることが予想され、マスク部自体、常温から上記の高温域での熱膨張量が小さい材料を用いる必要があることを知見した。また、ＦＰＤの製造条件によっては、基板も同時に昇温する場合がある。よって、このような場合にも対応できるように、マスク部には、主にメタルマスクのみが昇温される場合には熱膨張をできるだけ小さく調整でき、基板が同時に昇温される場合には基板の熱膨張と整合がとれる材料を適用することが必要である。
【００１２】
つまり、本発明のメタルマスクは、そのマスク部が、２０〜３００℃の線熱膨張係数αＭ（２０〜３００℃）≦１０×１０−６の材料からなる。そして、小さい熱膨張が維持できる範囲で、その調整を行なうのに好ましい材質として、本発明のマスク部材料は、質量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％を含むＦｅ−Ｎｉ系材料、もしくはＮｉ：２５〜５２％、Ｃｏ：１〜６％を含むＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系材料からなるものである。
【００１３】
この場合、例えば主にメタルマスクのみが温度上昇する場合には熱膨張係数の小さい３６％Ｎｉ−Ｆｅ系合金や３１％Ｎｉ−５％Ｃｏ−Ｆｅ系合金の選択が可能であり、基板も同時に昇温される場合には、基板の熱膨張に合わせてＮｉ量を増やす等の成分調整を行なうことができる。基板がガラスであれば、そのガラスの熱膨張に合わせて、例えば４６％Ｎｉ−Ｆｅ系合金や５０％Ｎｉ−Ｆｅ系合金の選択が可能である。
【００１４】
なお、上記マスク部材料の成分組成については、ＮｉやＣｏ以外の部分が実質Ｆｅで構成されることが低熱膨張特性を維持する上で望ましいが、熱膨張量を調整するため、あるいは強度といった他の特性を付与する目的で、Ｃｒなどの他の元素を含んでも良い。
【００１５】
次に、使用中のマスク部の弛みについて述べる。本発明のメタルマスクは、そのマスク部に熱膨張の小さい材料を適用するが、使用中、３００℃にも達することが予想されることから、やはり熱膨張による変形や弛みを生じることが懸念される。そこで、本発明では、使用前の常温にて、マスク部が予め張った（張力が維持された）状態でフレーム部に保持されているメタルマスクとすることで、その使用・昇温時の熱膨張と相殺され、弛みが補償される手段を採用するものである。
【００１６】
ここで、本発明の「予め張った状態」を達成するための、好ましい手段について説明すると、それは、マスク部をフレーム部に保持する方法に溶接といった加熱手段を適用し、そして、その加熱により達するマスク部の温度ＴＭ、フレーム部の温度ＴＦに対して、［αＭ（２０℃〜ＴＭ）／αＦ（２０℃〜ＴＦ）］≧１の関係を満たすようなマスク部材料とフレーム部材料を採用する方法である。
【００１７】
溶接中のマスク部およびフレーム部は、各々がその常温からの到達温度ＴＭ、ＴＦに相当した熱膨張を来たしており、その状態で溶接保持が行なわれる。つまり、溶接時には、マスク部の常温からの熱膨張量をフレーム部のそれよりも大きくしておけば、溶接後の冷却過程には逆に熱収縮が起こることから、結果、常温でのメタルマスクは、収縮量の大きいマスク部が張られた状態となる。また、マスク部とフレーム部の常温からの熱膨張量が同じであっても、溶接時のマスク部に張力を付加してやれば、マスク部の張った状態が達成できる。よって、その提供する状態にてマスク部には変形や弛みがなく、そして、使用中のマスク部の弛みを補償できるメタルマスクとなる。
【００１８】
なお、使用時のマスク部の弛みについて厳密に言うと、本発明のメタルマスクの製造方法は、その保持手段に溶接を採用することで、溶接中のマスク部およびフレーム部の到達温度は使用中のそれぞれが到達する温度に比して高いものである。この場合、溶接中の各部の到達温度と、あくまでも“使用中の到達温度”との温度差で生じた熱収縮量がマスク部の弛みの有無を決定し、この熱収縮量がフレーム部＞マスク部の場合にマスク部に弛みが発生する。
【００１９】
よって、好ましくは、より確実なマスク部の弛み防止手段として、溶接中および使用中の達成温度における各部の膨張量・収縮量を調査し、（マスク部における、溶接時と使用時の差で生じる熱収縮量）／（フレーム部における、溶接時と使用時の差で生じる熱収縮量）の値が１以上となるような製造・使用方法が望ましい。
【００２０】
以上、本発明のメタルマスクは、マスク部に張力が維持された状態にて提供することで、使用時のマスク部の弛みを相殺できる効果を有する。そして、このような効果を有する本発明のメタルマスクは、その使用時に想定されるマスク部の昇温温度を基準にして、フレーム部の２０〜３００℃の線熱膨張係数αＦ（２０〜３００℃）が、マスク部の線熱膨張係数αＭ（２０〜３００℃）未満か、あるいは同じものである。
【００２１】
なお、フレーム部材料については、特に材質を特定しないが、その溶接といった加熱保持工程中の熱膨張が小さいことがマスク部に張力を付与する上で好ましい。この場合、小さい熱膨張が維持できる範囲で、マスク部との線熱膨張係数の関係を調整するのに好ましい材質として、質量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％を含むＦｅ−Ｎｉ系材料、もしくはＮｉ：２５〜５２％、Ｃｏ：１〜６％を含むＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系材料が適用できる。また、ＮｉやＣｏ以外の部分が実質Ｆｅで構成されることが低熱膨張特性を維持する上で望ましいが、熱膨張量を調整するため、あるいは強度といった他の特性を付与する目的で、Ｃｒなどの他の元素を含んでも良い。
【００２２】
【実施例】
真空溶解を経て、表１に示す成分組成の合金インゴットを溶製し、これを熱間加工して熱延コイルを得た。そして、この熱延コイルを冷間圧延して板厚０．０５ｍｍの薄板コイルとし、これよりマスク材を得た。そして、メタルマスクとしての、使用時の位置ずれを評価するために、所定の開孔部をエッチング穿孔し、マスク部に仕上げた。一方で、上記の合金インゴットに熱間および冷間加工を行なってフレーム材を準備し、これをフレーム部に仕上げた。なお、これら材料の線熱膨張係数α２０〜３００℃は表１に記載する通りである。
【００２３】
次に、これらフレーム部とマスク部を、表１に示す組み合わせにて、マスク部の外周が保持されるよう、フレーム部にマスク部を溶接して評価試料とした。なお、マスク部およびフレーム部の溶接時の到達温度における、それら２０℃からの線熱膨張係数の大小関係は、その２０〜３００℃での線熱膨張係数の大小関係に変わらず、また、マスク部とフレーム部を同材料で構成したものは、その溶接時のマスク部に若干の張力を付与して保持した。
【００２４】
そして、そのマスク部より加熱して、マスク部が３００℃に到達した時のマスク部の弛み、そして位置ずれを評価した。弛みの評価は、そのたわみ変位を測定して、変位の無視できるものを○、変位が確認されるものの、実用に支障を来たさない程度のものを△、実用に耐えないものを×とした。また、位置ずれについては、開孔間の寸法変位を測定して、変位の無視できるものを◎、変位が確認されるものの、実用に支障を来たさないものを、その程度に応じて○と△、そして実用に耐えないものを×とした。これら結果も併せて、表１に示す。
【００２５】
【表１】
2004058601.tif 000002
【００２６】
表１より、本発明を満たすメタルマスクは、位置ずれおよびマスク部の弛みが抑制されており、メタルマスクとしての良好な総合評価を達成している。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、マスク部に変形や弛みのないメタルマスクとして供給することで、その使用中の温度上昇によるマスク部の弛みを補償でき、蒸着時の蛍光体の位置ずれおよびマスク部の弛みを抑制できる。