(57)【要約】【課題】製造コストを大幅に上昇させることなく、高い曲げ剛性を得ることができるサスペンション、このサスペンションを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたＨＤＤを提供する。【解決手段】隣接する層の弾性率が互いに異なる少なくとも３つの層を積層した多層板部材によって形成されており、剛性を必要とする領域における多層板部材の一部の層のみの両方の側縁端が折り曲げ加工されている。【選択図】      図４
2004342224.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隣接する層の弾性率が互いに異なる少なくとも３つの層を積層した多層板部材によって形成されており、剛性を必要とする領域における前記多層板部材の一部の層のみの両方の側縁端が折り曲げ加工されていることを特徴とするサスペンション。
【請求項２】
剛性を必要とする領域における前記多層板部材の一方の表面側の層のみの両方の側縁端が折り曲げ加工されていることを特徴とする請求項１に記載のサスペンション。
【請求項３】
剛性を必要とする領域における前記多層板部材の一方の表面側の層及び該表面側の層に隣接する層のみの両方の側縁端が折り曲げ加工されていることを特徴とする請求項１に記載のサスペンション。
【請求項４】
隣接する層の弾性率が互いに異なる少なくとも３つの層を積層した多層板部材によって形成されており、剛性を必要とする領域における前記多層板部材の表面側の層上の両方の側縁端部のみにさらに補強層が積層されていることを特徴とするサスペンション。
【請求項５】
前記補強層が、金属薄板層又は樹脂層の単層構造であることを特徴とする請求項４に記載のサスペンション。
【請求項６】
前記補強層が、金属薄板層と、互いに弾性率の異なる金属薄板層又は樹脂層とが積層された多層構造であることを特徴とする請求項４に記載のサスペンション。
【請求項７】
前記多層板部材の少なくとも１つの層が他の層と異なる平面形状を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のサスペンション。
【請求項８】
前記多層板部材が、第１の金属薄板層と、該第１の金属薄板層上に積層された樹脂層と、該樹脂層上に積層された第２の金属薄板層とを含むことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のサスペンション。
【請求項９】
前記多層板部材が、第１の金属薄板層と、該第１の金属薄板層上に積層されており該第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層と、該第２の金属薄板層上に積層されており該第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層とを含むことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のサスペンション。
【請求項１０】
前記多層板部材が、第１の金属薄板層と、該第１の金属薄板層上に積層された第１の樹脂層と、該第１の樹脂層上に積層された第２の金属薄板層と、該第２の金属薄板層上に積層された第２の樹脂層と、該第２の樹脂層上に積層された第３の金属薄板層とを含むことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のサスペンション。
【請求項１１】
前記多層板部材が、第１の金属薄板層と、該第１の金属薄板層上に積層されており該第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層と、該第２の金属薄板層上に積層されており該第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層と、該第３の金属薄板層上に積層されており該第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層と、該第４の金属薄板層上に積層されており該第４の金属薄板層とは弾性率の異なる第５の金属薄板層とを含むことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のサスペンション。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載のサスペンションと、該サスペンション上に搭載されており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のヘッドジンバルアセンブリを少なくとも１つ備えたことを特徴とするディスクドライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド素子又は光ヘッド素子等を搭載する浮上型ヘッドスライダを支持するためのサスペンション、このサスペンションを用いたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）及びＨＧＡを備えたディスクドライブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスクドライブ装置（ＨＤＤ）では、ＨＧＡのサスペンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクからの再生を行う。
【０００３】
このようなＨＤＤに用いられている従来のサスペンションでは、ステンレススチール薄板によってロードビームを構成し、このロードビームの高い剛性を要求される部分については、その両方の側縁端に折り曲げ部（リブ）を形成することによって曲げ剛性を高めることが行われていた（例えば特許文献１）。
【０００４】
固定位置で使用するデスクトップ型コンピュータやサーバー型コンピュータに搭載されるＨＤＤにおいては、振動や衝撃による負荷がさほど大きくないので、このような構造であっても問題は生じなかった。しかしながら、持ち運びできる移動型コンピュータに主として搭載される２．５インチ以下のＨＤＤにおいては、ロードビームの曲げ剛性が不足であり、耐衝撃性が不十分となってしまう。
【０００５】
このようなサスペンションの剛性不足を解消する対策として、ステンレススチール薄板の代わりに、２つの金属箔を接着剤又は接着シートで貼り合わせた金属積層体（例えば特許文献２）を用いることが検討されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−５７０３２号公報
【特許文献２】
特開２００２−３５２５４０号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ロードビームにこのような金属積層体を用いたとしても、板厚が薄いため、２．５インチ以下のＨＤＤに要求される曲げ剛性を満たすことは非常に難しい。接着シートの厚みを著しく厚くすれば、要求される曲げ剛性にある程度近づけられるが、これは製造コストの大幅な上昇を招くという問題を有している。
【０００８】
従って本発明の目的は、製造コストを大幅に上昇させることなく、高い曲げ剛性を得ることができるサスペンション、このサスペンションを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたＨＤＤを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、隣接する層の弾性率が互いに異なる少なくとも３つの層を積層した多層板部材によって形成されており、剛性を必要とする領域における多層板部材の一部の層のみの両方の側縁端が折り曲げ加工されているサスペンションが提供される。
【００１０】
さらに本発明によれば、このサスペンションと、サスペンション上に搭載されており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたＨＧＡ、及び少なくとも１つのＨＧＡを備えたＨＤＤが提供される。
【００１１】
このように、３層以上の多層板部材を用いたサスペンションでは全く行われない両方の側縁端の折り曲げ加工をあえて行い、しかも、この折り曲げ加工を多層板部材の一部の層のみについて行っている。これにより、多層板部材の各層の厚みを増大させて重量や製造コストを増大化させることがなく、しかも、加工が容易となると共に必要な曲げ剛性を得られる。
【００１２】
剛性を必要とする領域における多層板部材の一方の表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）のみの両方の側縁端が折り曲げ加工されているか、多層板部材の一方の表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）及びこの表面側の層に隣接する層のみの両方の側縁端が折り曲げ加工されていることが好ましい。
【００１３】
本発明によれば、さらにまた、隣接する層の弾性率が互いに異なる少なくとも３つの層を積層した多層板部材によって形成されており、剛性を必要とする領域における多層板部材の表面側の層上の両方の側縁端部のみにさらに補強層が積層されているサスペンションが提供される。
【００１４】
さらに本発明によれば、このサスペンションと、サスペンション上に搭載されており、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたＨＧＡ、及び少なくとも１つのＨＧＡを備えたＨＤＤが提供される。
【００１５】
サスペンションに３層以上の多層板部材を用いた場合にその表面側の層上の両方の側縁端部のみにさらに補強層を積層することにより、多層板部材の厚みを増大させて重量や製造コストを増大化させることなく、必要な曲げ剛性を得ている。
【００１６】
この補強層が、金属薄板層又は樹脂層の単層構造であるか、又は金属薄板層と、互いに弾性率の異なる金属薄板層又は樹脂層とが積層された多層構造であることが好ましい。
【００１７】
多層板部材の少なくとも１つの層が他の層と異なる平面形状を有することが好ましい。
【００１８】
多層板部材が、第１の金属薄板層と、第１の金属薄板層上に積層された樹脂層と、樹脂層上に積層された第２の金属薄板層とを含むことも好ましい。
【００１９】
多層板部材が、第１の金属薄板層と、第１の金属薄板層上に積層されており第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層と、第２の金属薄板層上に積層されており第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層とを含むことも好ましい。
【００２０】
多層板部材が、第１の金属薄板層と、第１の金属薄板層上に積層された第１の樹脂層と、第１の樹脂層上に積層された第２の金属薄板層と、第２の金属薄板層上に積層された第２の樹脂層と、第２の樹脂層上に積層された第３の金属薄板層とを含むことも好ましい。
【００２１】
多層板部材が、第１の金属薄板層と、第１の金属薄板層上に積層されており第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層と、第２の金属薄板層上に積層されており第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層と、第３の金属薄板層上に積層されており第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層と、第４の金属薄板層上に積層されており第４の金属薄板層とは弾性率の異なる第５の金属薄板層とを含むことも好ましい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態として、磁気ディスクドライブ装置（ＨＤＤ）の要部の構成を概略的に示す斜視図であり、図２は本実施形態におけるＨＧＡ全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た斜視図であり、図３はＨＧＡ全体を図２とは反対側から見た斜視図であり、図４は本実施形態におけるサスペンションを図２と同じ側から見た分解斜視図である。
【００２３】
図１において、１０は軸１１の回りを回転する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダ１３をトラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置１２は、軸１４を中心にして角揺動可能なキャリッジ１５と、このキャリッジ１５を角揺動駆動する例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を備えたアクチュエータ１６とから主として構成されている。
【００２４】
キャリッジ１５には、軸１４に沿った方向にスタックされた複数の駆動アーム１７の基部が取り付けられており、各駆動アーム１７の先端部にはＨＧＡ１８が固着されている。各ＨＧＡ１８は、その先端部に設けられている磁気ヘッドスライダ１３が、各磁気ディスク１０の表面に対して対向するように駆動アーム１７の先端部に設けられている。
【００２５】
図２〜図４に示すように、ＨＧＡは、サスペンション２０の先端部に、磁気ヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダ２１（１３）を固着して構成される。
【００２６】
サスペンション２０は、ロードビーム２２と、このロードビーム２２上に固着支持された弾性を有するフレクシャ２３と、ロードビーム２２の基部に固着されたベースプレート２４とから主として構成されている。
【００２７】
ロードビーム２２は、図４に明確に示されているように、本実施形態では、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第１の金属薄板層２２ａと、例えば７５μｍ程度の厚さのポリイミド樹脂等による樹脂層２２ｂと、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第２の金属薄板層２２ｃとをこの順序で積層した多層板部材を形状加工して形成されている。
【００２８】
特に本実施形態では、表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）である第１の金属薄板層２２ａのみの両方の側縁端がこれに隣接する樹脂層２２ｂから遠ざかる方向に折り曲げ加工されており、これにより折り曲げ部（リブ）２２ｄ及び２２ｅが構成されている。リブ２２ｄ及び２２ｅは、ロードビーム２２の高い剛性が要求される領域の両方の側縁端のみに形成されている。磁気ヘッドスライダ２１を磁気ディスク方向に押えつける力を与えるための荷重発生曲げ領域２２ｆには、リブ２２ｄ及び２２ｅが設けられておらず、ロードビーム２２のこの領域２２ｆは弾性を有している。
【００２９】
フレクシャ２３は、ロードビーム２２に設けられたディンプル（図示なし）に押圧される軟らかい舌部２３ａを一方の端部に有しており、この舌部２３ａ上には、磁気ヘッドスライダ２１が固着されている。フレクシャ２３は、例えば厚さ約２０μｍ程度のステンレススチール薄板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）によって構成されており、舌部２３ａで磁気ヘッドスライダ２１を柔軟に支えるような弾性が与えられている。なお、ロードビーム２２とフレクシャ２３との固着、及びロードビーム２２とベースプレート２４との固着は、複数個所のピンポイント溶接によってなされている。本実施形態において、フレクシャ２３はロードビーム２２の第２の金属薄板層２２ｃ側に固着されており、前述したように磁気ヘッドスライダ２１はフレクシャ２３上に固着されている。従って、ロードビーム２２のリブ２２ｄ及び２２ｅは、サスペンション２０の磁気ヘッドスライダ２１が取り付けられている面とは反対側の面から突出するように折り曲げられている。
【００３０】
ベースプレート２４は、本実施形態では、約１５０μｍ厚のステンレススチール薄板で構成されている。このベースプレート２４が駆動アーム１７（図１）に取り付けられる。
【００３１】
なお、ＨＧＡとしては、磁気ヘッド素子に接続される、積層薄膜パターンによる複数のリード導体を含む可撓性の配線部材がフレクシャ２３上に形成又は載置されているが、図２〜４では省略されている。配線部材は、例えば、フレクシブルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成されている。
【００３２】
表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）である第１の金属薄板層２２ａのみの両方の側縁端がリブ加工されているため、折り曲げ加工が非常に容易であるのみならず板厚が薄くても充分な曲げ剛性を得ることができる。特に、各層を厚くする必要がないので、全体の重量が増大せず製造コストも増加しない。
【００３３】
図５は本発明の他の実施形態として、サスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は全体の分解斜視図、（Ｂ）はその先端部の斜視図である。
【００３４】
この実施形態では、ロードビームは、荷重発生部を有しておらず全体が高い剛性を有するように構成されている。荷重は、他の何らかの手段によって発生される。
【００３５】
図５に明確に示されているように、本実施形態では、ロードビーム５２は、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第１の金属薄板層５２ａと、例えば７５μｍ程度の厚さのポリイミド樹脂等による樹脂層５２ｂと、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第２の金属薄板層５２ｃとが上からこの順序で積層配置された多層板部材を形状加工して形成されている。
【００３６】
特に本実施形態では、表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）である第１の金属薄板層５２ａのみの両方の側縁端が樹脂層５２ｂから遠ざかる方向に折り曲げ加工されており、これにより折り曲げ部（リブ）５２ｄ及び５２ｅが構成されている。リブ５２ｄ及び５２ｅは、ロードビーム５２の取付け部を除くほぼ全域に渡る両方の側縁端に形成されている。
【００３７】
このような構造のロードビームは、例えば、あらかじめ必要な形状、即ち表面側の層である第１の金属薄板層５２ａのみの両方の側縁端がその平面上で外部に拡がるような形状に加工したシート５２ａ、５２ｂ及び５２ｃを貼り合わせ、その拡がった両方の側縁端を例えば金型等を用いたプレス加工で折り曲げするか、同一形状のシート５２ａ、５２ｂ及び５２ｃを貼り合わせ、エッチング等によってその表面側の層である第１の金属薄板層５２ａのみの両方の側縁端が外部に拡がるような必要な形状に加工し、その拡がった両方の側縁端を例えば金型等を用いたプレス加工で折り曲げすることによって形成される。
【００３８】
表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）である第１の金属薄板層５２ａのみの両方の側縁端がリブ加工されているため、折り曲げ加工が非常に容易であるのみならず板厚が薄くても充分な曲げ剛性を得ることができる。特に、各層を厚くする必要がないので、全体の重量が増大せず製造コストも増加しない。
【００３９】
以下この点について詳しく説明する。
【００４０】
図６、図７及び図８は、従来技術による及び本願出願人が検討したサスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はその分解斜視図である。
【００４１】
図６に示すように、ロードビームの構成材料をステンレススチール薄板のみから第１の金属薄板層６２ａ、樹脂層６２ｂ及び第２の金属薄板層６２ｃを順次積層した多層板部材に変更しただけの従来構造のサスペンションでは、板厚が薄いことから充分な曲げ剛性を得ることができない。
【００４２】
そこで、図７に示すように、ロードビームを第１の金属薄板層７２ａ、樹脂層７２ｂ及び第２の金属薄板層７２ｃを順次積層した多層板部材とすると共に樹脂層７２ｂの厚さを大幅に厚くした構造、図８に示すように、ロードビームを第１の金属薄板層８２ａ、樹脂層８２ｂ及び第２の金属薄板層８２ｃを順次積層した多層板部材とすると共にこれら多層板部材の全ての層の両方の側縁端にリブ８２ｄ及び８２ｅを形成した構造をシミュレーション解析して曲げ剛性の検討を行なった。その結果が表１に示されている。ただし、図６の構造において、第１の金属薄板層６２ａ及び第２の金属薄板層６２ｃは５１μｍ厚のステンレススチール薄板、樹脂層６２ｂは７５μｍ厚のエンジニアプラスチック層とし、図７の構造において、第１の金属薄板層７２ａ及び第２の金属薄板層７２ｃは５１μｍ厚のステンレススチール薄板、樹脂層７２ｂは３００μｍ厚のエンジニアプラスチック層とし、図８の構造において、第１の金属薄板層８２ａ及び第２の金属薄板層８２ｃは５１μｍ厚のステンレススチール薄板、樹脂層８２ｂは７５μｍ厚のエンジニアプラスチック層とした。
【００４３】
【表１】
2004342224.tif 000003
【００４４】
表１から分かるように、図６の構造は、１次の曲げモードが１５００Ｈｚ以下であり、剛性が不充分である。一方、図７及び図８の構造は、１次の曲げモードが２０００Ｈｚを越えて剛性は充分であるが、図７の構造は、重量が増大してサスペンションとしての特性上問題があるのみならず、厚い樹脂層を用いるので製造コストが大幅に増大するため、製品化は難しい。図８の構造は、全ての層を曲げ加工してリブを形成することが製造工程上、非常に難しいため、製品化は難しい。
【００４５】
【表２】
2004342224.tif 000004
【００４６】
表２から分かるように、表面側の層である第１の金属薄板層５２ａのみについてリブ加工した図５の構造によれば、１次の曲げモードがほぼ２０００Ｈｚに近い値となっており、充分な曲げ剛性を得ることができている。
【００４７】
なお、本実施形態における層構成は、第１の金属薄板層、樹脂層及び第２の金属薄板層の３層構成であるが、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層及びこの第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層の３層構成であっても良い。ステンレススチール薄板に対して弾性率の異なる金属薄板としては、例えばアルミニウム薄板やチタン薄板が適用可能である。さらに、第１の金属薄板層、第１の樹脂層、第２の金属薄板層及び第２の樹脂層の４層構成であっても、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層、この第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層及びこの第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層の４層構成であっても良い。さらにまた、第１の金属薄板層、第１の樹脂層、第２の金属薄板層、第２の樹脂層及び第３の金属薄板層の５層構成又はそれ以上の層数の多層構成であっても、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層、この第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層、この第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層及びこの第４の金属薄板層とは弾性率の異なる第５の金属薄板層の５層構成又はそれ以上の層数の多層構成であっても良い。
【００４８】
図９は本発明のさらに他の実施形態として、サスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は全体の分解斜視図、（Ｂ）はその先端部の斜視図である。
【００４９】
この実施形態においても、ロードビームは、荷重発生部を有しておらず全体が高い剛性を有するように構成されている。荷重は、他の何らかの手段によって発生される。
【００５０】
図９に明確に示されているように、本実施形態では、ロードビーム９２は、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第１の金属薄板層９２ａと、例えば７５μｍ程度の厚さのポリイミド樹脂等による樹脂層９２ｂと、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第２の金属薄板層９２ｃとが上からこの順序で積層配置された多層板部材を形状加工して形成されている。
【００５１】
特に本実施形態では、表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）である第３の金属薄板層９２ｃのみの両方の側縁端が樹脂層９２ｂに近づく方向に折り曲げ加工されており、これにより折り曲げ部（リブ）９２ｄ及び９２ｅが構成されている。リブ９２ｄ及び９２ｅは、ロードビーム９２の取付け部を除くほぼ全域に渡る両方の側縁端に形成されている。
【００５２】
このような構造のロードビームは、例えば、あらかじめ必要な形状、即ち表面側の層である第３の金属薄板層９２ｃのみの両方の側縁端がその平面上で外部に拡がるような形状に加工したシート９２ａ、９２ｂ及び９２ｃを貼り合わせ、その拡がった両方の側縁端を例えば金型等を用いたプレス加工で折り曲げするか、同一形状のシート９２ａ、９２ｂ及び９２ｃを貼り合わせ、エッチング等によってその表面側の層である第３の金属薄板層９２ｃのみの両方の側縁端が外部に拡がるような必要な形状に加工し、その拡がった両方の側縁端を例えば金型等を用いたプレス加工で折り曲げすることによって形成される。
【００５３】
表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）である第３の金属薄板層９２ｃのみの両方の側縁端がリブ加工されているため、折り曲げ加工が非常に容易であるのみならず板厚が薄くても充分な曲げ剛性を得ることができる。特に、各層を厚くする必要がないので、全体の重量が増大せず製造コストも増加しない。即ち、表２に示すように、本実施形態である図９の構造によれば、１次の曲げモードがほぼ２０００Ｈｚに近い値となっており、充分な曲げ剛性を得ることができている。ただし、表２から分かるように、本実施形態の構造では、曲げ加工する際の金型が入る隙間がリブの内側に必ず残るため、図５の構造に比して振動特性が若干劣るが隙間自体が小さいので実用上は問題が生じない。
【００５４】
なお、本実施形態における層構成は、第１の金属薄板層、樹脂層及び第２の金属薄板層の３層構成であるが、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層及びこの第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層の３層構成であっても良い。ステンレススチール薄板に対して弾性率の異なる金属薄板としては、例えばアルミニウム薄板やチタン薄板が適用可能である。さらに、第１の金属薄板層、第１の樹脂層、第２の金属薄板層及び第２の樹脂層の４層構成であっても、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層、この第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層及びこの第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層の４層構成であっても良い。さらにまた、第１の金属薄板層、第１の樹脂層、第２の金属薄板層、第２の樹脂層及び第３の金属薄板層の５層構成又はそれ以上の層数の多層構成であっても、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層、この第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層、この第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層及びこの第４の金属薄板層とは弾性率の異なる第５の金属薄板層の５層構成又はそれ以上の層数の多層構成であっても良い。
【００５５】
図１０は本発明のまたさらに他の実施形態として、サスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は全体の分解斜視図、（Ｂ）はその先端部の斜視図である。
【００５６】
この実施形態においても、ロードビームは、荷重発生部を有しておらず全体が高い剛性を有するように構成されている。荷重は、他の何らかの手段によって発生される。
【００５７】
図１０に明確に示されているように、本実施形態では、ロードビーム１０２は、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第１の金属薄板層１０２ａと、例えば７５μｍ程度の厚さのポリイミド樹脂等による樹脂層１０２ｂと、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第２の金属薄板層１０２ｃとが上からこの順序で積層配置された多層板部材を形状加工して形成されている。
【００５８】
特に本実施形態では、表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）である第１の金属薄板層１０２ａの両方の側縁端と樹脂層１０２ｂの両方の側縁端とが第２の金属薄板層１０２ｃから遠ざかる方向に折り曲げ加工されており、これにより折り曲げ部（リブ）１０２ｄ及び１０２ｅが構成されている。リブ１０２ｄ及び１０２ｅは、ロードビーム１０２の取付け部を除くほぼ全域に渡る両方の側縁端に形成されている。
【００５９】
このような構造のロードビームは、例えば、あらかじめ必要な形状、即ち表面側の層である第１の金属薄板層１０２ａ及び樹脂層１０２ｂの両方の側縁端が外部に拡がるような形状に加工したシート１０２ａ、１０２ｂ及び１０２ｃを貼り合わせ、その拡がった両方の側縁端を例えば金型等を用いたプレス加工で折り曲げするか、同一形状のシート１０２ａ、１０２ｂ及び１０２ｃを貼り合わせ、エッチング等によってその表面側の層である第１の金属薄板層１０２ａ及び樹脂層１０２ｂの両方の側縁端が外部に拡がるような必要な形状に加工し、その拡がった両方の側縁端を例えば金型等を用いたプレス加工で折り曲げすることによって形成される。
【００６０】
表面側の層である第１の金属薄板層１０２ａ及び樹脂層１０２ｂのみの両方の側縁端がリブ加工されているため、折り曲げ加工が非常に容易であるのみならず板厚が薄くても充分な曲げ剛性を得ることができる。特に、各層を厚くする必要がないので、全体の重量が増大せず製造コストも増加しない。即ち、表２に示すように、本実施形態である図１０の構造によれば、１次の曲げモードがほぼ２０００Ｈｚに近い値となっており、充分な曲げ剛性を得ることができている。
【００６１】
なお、本実施形態における層構成は、第１の金属薄板層、樹脂層及び第２の金属薄板層の３層構成であるが、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層及びこの第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層の３層構成であっても良い。ステンレススチール薄板に対して弾性率の異なる金属薄板としては、例えばアルミニウム薄板やチタン薄板が適用可能である。さらに、第１の金属薄板層、第１の樹脂層、第２の金属薄板層及び第２の樹脂層の４層構成であっても、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層、この第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層及びこの第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層の４層構成であっても良い。さらにまた、第１の金属薄板層、第１の樹脂層、第２の金属薄板層、第２の樹脂層及び第３の金属薄板層の５層構成又はそれ以上の層数の多層構成であっても、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層、この第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層、この第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層及びこの第４の金属薄板層とは弾性率の異なる第５の金属薄板層の５層構成又はそれ以上の層数の多層構成であっても良い。
【００６２】
図１１は本発明のさらに他の実施形態として、サスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は全体の分解斜視図、（Ｂ）はその斜視図、（Ｃ）はその先端部の斜視図である。
【００６３】
この実施形態においても、ロードビームは、荷重発生部を有しておらず全体が高い剛性を有するように構成されている。荷重は、他の何らかの手段によって発生される。
【００６４】
図１１に明確に示されているように、本実施形態では、ロードビーム１１２は、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第１の金属薄板層１１２ａと、例えば７５μｍ程度の厚さのポリイミド樹脂等による樹脂層１１２ｂと、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による第２の金属薄板層１１２ｃとが上からこの順序で積層配置された多層板部材を形状加工して形成し、さらに、この多層板部材の表面側の層（積層方向において上表面（頂面）又は下表面（底面）の層）である第１の金属薄板層１１２ａ上の両方の側縁端部に、両方の側縁端にそれぞれ沿ったストリップ形状の補強層を積層して形成されている。補強層は、本実施形態では、例えば５１μｍ程度の厚さのステンレススチール等による金属薄板層１１２ｆと、例えば７５μｍ程度の厚さのポリイミド樹脂等による樹脂層１１２ｇとを上からこの順序で積層配置した多層板部材である。
【００６５】
補強層１１２ｆ及び１１２ｇは、ロードビーム１１２の取付け部を除くほぼ全域に渡る両方の側縁端部に形成されている。
【００６６】
このような構造のロードビームは、例えば、あらかじめ必要な形状、即ち補強層１１２ｆ及び１１２ｇが両方の側縁端部のみに存在するように形状加工したシート１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｆ及び１１２ｇを貼り合わせるか、同一形状のシート１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｆ及び１１２ｇを貼り合わせ、エッチング等によってその全体の形状を加工し、さらに、補強層１１２ｆ及び１１２ｇについては、両方の側縁端部のみに存在するように形状加工することによって形成される。
【００６７】
補強層１１２ｆ及び１１２ｇが両方の側縁端部に形成されているため、折り曲げ加工が不要であるのみならず充分な曲げ剛性を得ることができる。特に、各層を厚くする必要がないので、全体の重量が増大せず製造コストも増加しない。
【００６８】
【表３】
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【００６９】
表３から分かるように、補強層１１２ｆ及び１１２ｇが両方の側縁端部のみに存在するように加工した図１１の構造によれば、１次の曲げモードがほぼ２０００Ｈｚに近い値となっており、充分な曲げ剛性を得ることができている。
【００７０】
なお、本実施形態におけるロードビームの基本層構成は、第１の金属薄板層、樹脂層及び第２の金属薄板層の３層構成であるが、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層及びこの第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層の３層構成であっても良い。ステンレススチール薄板に対して弾性率の異なる金属薄板としては、例えばアルミニウム薄板やチタン薄板が適用可能である。さらに、第１の金属薄板層、第１の樹脂層、第２の金属薄板層及び第２の樹脂層の４層構成であっても、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層、この第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層及びこの第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層の４層構成であっても良い。さらにまた、第１の金属薄板層、第１の樹脂層、第２の金属薄板層、第２の樹脂層及び第３の金属薄板層の５層構成又はそれ以上の層数の多層構成であっても、第１の金属薄板層、この第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層、この第２の金属薄板層とは弾性率の異なる第３の金属薄板層、この第３の金属薄板層とは弾性率の異なる第４の金属薄板層及びこの第４の金属薄板層とは弾性率の異なる第５の金属薄板層の５層構成又はそれ以上の層数の多層構成であっても良い。
【００７１】
また、本実施形態における補強層の層構成は、金属薄板層及び樹脂層の２層構成であるが、第１の金属薄板層及びこの第１の金属薄板層とは弾性率の異なる第２の金属薄板層の２層構成であっても良い。ステンレススチール薄板に対して弾性率の異なる金属薄板としては、例えばアルミニウム薄板やチタン薄板が適用可能である。さらに、それ以上の層数の多層構成であっても良い。さらにまた、金属薄板層又は樹脂層の単層構成であってももちろん良い。
【００７２】
本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの形状や構造は、以上述べた構造に限定されるものではないことは明らかである。
【００７３】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００７４】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明では、隣接する層の弾性率が互いに異なる少なくとも３つの層を積層した多層板部材によって形成されており、剛性を必要とする領域における多層板部材の一部の層のみの両方の側縁端が折り曲げ加工されている。３層以上の多層板部材を用いたサスペンションでは全く行われない両方の側縁端の折り曲げ加工をあえて行い、しかも、この折り曲げ加工を多層板部材の一部の層のみについて行っている。これにより、多層板部材の各層の厚みを増大させて重量や製造コストを増大化させることがなく、しかも、加工が容易となると共に必要な曲げ剛性を得られる。
【００７５】
本発明によれば、さらに、隣接する層の弾性率が互いに異なる少なくとも３つの層を積層した多層板部材によって形成されており、剛性を必要とする領域における多層板部材の表面側の層上の両方の側縁端部のみにさらに補強層が積層されている。サスペンションに３層以上の多層板部材を用いた場合にその表面側の層上の両方の側縁端部のみにさらに補強層を積層することにより、多層板部材の厚みを増大させて重量や製造コストを増大化させることなく、必要な曲げ剛性を得ている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として、磁気ディスクドライブ装置の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡ全体を磁気ヘッドスライダ取付け側から見た斜視図である。
【図３】ＨＧＡ全体を図２とは反対側から見た斜視図である。
【図４】図１の実施形態におけるサスペンションを図２と同じ側から見た分解斜視図である。
【図５】本発明の他の実施形態として、サスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は全体の分解斜視図、（Ｂ）はその先端部の斜視図である。
【図６】従来技術によるサスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はその分解斜視図である。
【図７】本願出願人が検討したサスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はその分解斜視図である。
【図８】本願出願人が検討したサスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はその分解斜視図である。
【図９】本発明のさらに他の実施形態として、サスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は全体の分解斜視図、（Ｂ）はその先端部の斜視図である。
【図１０】本発明のまたさらに他の実施形態として、サスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は全体の分解斜視図、（Ｂ）はその先端部の斜視図である。
【図１１】本発明のさらに他の実施形態として、サスペンションのベースプレートを兼用するロードビームの構成を概略的に示しており、（Ａ）は全体の分解斜視図、（Ｂ）はその斜視図、（Ｃ）はその先端部の斜視図である。
【符号の説明】
１０  磁気ディスク
１１、１４  軸
１２  アセンブリキャリッジ装置
１３、２１  磁気ヘッドスライダ
１５  キャリッジ
１６  アクチュエータ
１７  駆動アーム
１８  ＨＧＡ
２０  サスペンション
２２、５２、９２、１０２、１１２  ロードビーム
２２ａ、５２ａ、６２ａ、７２ａ、８２ａ、９２ａ、１０２ａ、１１２ａ  第１の金属薄板層
２２ｂ、５２ｂ、６２ｂ、７２ｂ、８２ｂ、９２ｂ、１０２ｂ、１１２ｂ  樹脂層
２２ｃ、５２ｃ、６２ｃ、７２ｃ、８２ｃ、９２ｃ、１０２ｃ、１１２ｃ  第２の金属薄板層
２２ｄ、２２ｅ、５２ｄ、５２ｅ、８２ｄ、８２ｅ、９２ｄ、９２ｅ  リブ
２３  フレクシャ
２３ａ  舌部
２４  ベースプレート
１１２ｆ、１１２ｇ  補強層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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