(57)【要約】【課題】製造工程の煩雑性及び大型化を招くことなく、隣接する表面波素子間における表面波の伝搬による特性の劣化が生じ難い、表面波装置を提供する。【解決手段】表面波基板２上に、第１，第２の表面波フィルタ素子３，４が２段構成のフィルタ装置を構成するように形成されており、第１，第２の表面波フィルタ素子３，４を接続している段間接続部１０の内部に貫通孔１０ａを形成することにより、自由表面部分１６が設けられている、表面波装置１。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面波基板と、
前記表面波基板に形成された複数の表面波素子と、
前記複数の表面波素子により複数段構成を実現するために、前記複数の表面波素子を電気的に接続している１または２以上の段間接続部とを備え、
少なくとも１つの前記段間接続部の内部に自由表面部分が設けられていることを特徴とする、表面波装置。
【請求項２】
前記自由表面部分が、前記段間接続部に形成された貫通孔内の領域である、請求項１に記載の表面波装置。
【請求項３】
前記貫通孔が、長さ方向を有するスリットである、請求項２に記載の表面波装置。
【請求項４】
前記スリットが、該スリットが設けられている段間接続部に接続されている前記表面波素子を伝搬する表面波の伝搬方向と平行に設けられている、請求項３に記載の表面波装置。
【請求項５】
前記スリットが、該スリットが設けられている段間接続部に接続されている前記表面波素子を伝搬する表面波の伝搬方向と交叉するように設けられている、請求項３に記載の表面波装置。
【請求項６】
前記スリットが、前記表面波の伝搬方向と直交する方向に配置されている、請求項５に記載の表面波装置。
【請求項７】
前記スリットが、複数本設けられている、請求項３〜６のいずれかに記載の表面波装置。
【請求項８】
表面波基板と、
前記表面波基板に形成された複数の表面波素子と、
前記複数の表面波素子により複数段構成を実現するために、前記複数の表面波素子を電気的に接続している１または２以上の段間接続部とを備え、
前記段間接続部に少なくとも１つの切欠が形成されて該切欠の少なくとも片側に少なくとも１つの突出部が設けられており、前記切欠が自由表面部分を構成していることを特徴とする、表面波装置。
【請求項９】
前記切欠が複数設けられている、請求項８に記載の表面波装置。
【請求項１０】
前記段間接続部がＡｌよりも重い金属により構成されている、請求項１〜９のいずれかに記載の表面波装置。
【請求項１１】
前記Ａｌよりも重い金属が、Ｔａ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｍｎ及びＴｉからなる群から選択した１種の金属または該金属を主体とする合金である、請求項１０に記載の表面波装置。
【請求項１２】
前記表面波基板が、圧電単結晶基板により構成されている、請求項１〜１１のいずれかに記載の表面波装置。
【請求項１３】
前記表面波素子が、表面波共振子または、表面波フィルタ素子である、請求項１〜１２のいずれかに記載の表面波装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば共振子や帯域フィルタとして用いられる表面波装置に関し、より詳細には、複数段構成を有する表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複数の表面波フィルタ素子を縦続接続することにより、減衰量の増大が図られている表面波装置が種々提案されている。この種の弾性表面波装置の一例を図９に平面図で示す。
【０００３】
表面波装置１０１は、圧電基板１０２を有する。圧電基板１０２上に、縦結合型の第１の表面波フィルタ素子１０３及び縦結合型の第２の表面波フィルタ素子１０４が構成されている。表面波フィルタ素子１０３，１０４は、段間接続部１０５により電気的に接続されている。表面波フィルタ素子１０３，１０４を構成するインターデジタルトランスデューサ及び反射器並びに段間接続部１０５は、Ａｌなどの金属材料により構成されている。
【０００４】
ところで、表面波装置１０１のように、複数の表面波素子を接続することにより複数段構成とされた表面波装置では、表面波素子で励振された表面波が漏洩し、他の表面波素子に伝わり特性が劣化するという問題があった。すなわち、上記表面波の漏洩により例えば帯域外減衰量が小さくなり、複数段構成による効果が得られないことがあった。
【０００５】
このような問題を解決するものとして、多重モード表面波フィルタ間に吸音材を配置した表面波装置が下記の特許文献１に開示されている。また、下記の特許文献２には、複数段の横結合多重モード表面波フィルタ間に表面波吸収能の高い樹脂パターンが形成されている表面波装置が開示されている。さらに、下記の特許文献３にも、隣接する表面波フィルタ素子間に吸音材を塗布した表面波装置が開示されている。
【０００６】
他方、下記の特許文献４には、複数の表面波素子が縦続接続されている弾性表面波装置が開示されている。ここでは圧電基板表面に溝が形成されており、溝により表面波の吸収または散乱が可能とされている。
【０００７】
【特許文献１】
実公昭６３−１２９３０号公報
【特許文献２】
特開平１０−１９０４０４号公報
【特許文献３】
特開平７−６６６７８号公報
【特許文献４】
特開平５−１０２７８３号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した吸音材や樹脂パターンなどを表面波素子間に配置した構成では、吸音材などを配置するスペースが必要であった。従って、表面波装置の寸法が大きくならざるを得なかった。また、吸音材などの余分な材料を必要とし、かつ吸音材などを塗布する工程などを実施しなければならなかった。従って、生産性が低下し、コストが高くつくという問題があった。
【０００９】
他方、上記特許文献４のように、隣接する表面波素子間において圧電基板に溝を形成した構造では、溝を形成しなければならないため表面波装置の寸法が大きくならざるを得なかった。加えて、溝の形成に際し、圧電基板に割れや欠けが生じる恐れもあった。さらに、溝を形成する工程を実施しなければならないため、生産工程が煩雑となり、かつ良品率が低下するという問題もあった。
【００１０】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、小型化、生産工程の煩雑化及び良品率の低下等を招くことなく、表面波素子から他の表面波素子側へ伝搬する表面波の影響による特性の劣化を抑制することができる表面波装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る表面波装置は、表面波基板と、前記表面波基板に形成された複数の表面波素子と、前記複数の表面波素子により複数段構成を実現するために、前記複数の表面波素子を電気的に接続している１または２以上の段間接続部とを備え、少なくとも１つの前記段間接続部の内部に自由表面部分が設けられていることを特徴とする。自由表面部分と段間接続部を構成している電極膜との境界において、表面波素子から伝搬してきた振動が反射及び散乱される。従って、表面波素子から隣接する表面波素子へ伝搬する表面波による特性の劣化が抑制される。
【００１２】
上記自由表面部分は、様々な形態で構成され得る。本発明のある特定の局面では、上記自由表面部分は、段間接続部に形成された貫通孔内の領域により構成される。貫通孔の形状は特に限定されないが、本発明のある特定の局面では、貫通孔は、長さ方向を有するスリットである。
【００１３】
また、長さ方向を有するスリットを用いて自由表面部分を構成する場合、スリットの向きは特に限定されないが、本発明のある特定の局面では、上記スリットは、該スリットが設けられている段間接続部に接続されている表面波素子を伝搬する表面波の伝搬方向と平行に設けられ、他の特定の局面では、該伝搬方向と交叉する方向に設けられる。また、本発明のさらに他の特定の局面では、上記スリットが、表面波伝搬方向と直交する方向に配置される。
【００１４】
本発明のさらに別の特定の局面では、上記スリットが複数本設けられる。
また、本発明の別の広い局面では、表面波基板と、前記表面波基板に形成された複数の表面波素子と、前記複数の表面波素子により複数段構成を実現するために、前記複数の表面波素子を電気的に接続している１または２以上の段間接続部とを備え、前記段間接続部に少なくとも１つの切欠が形成されて該切欠の少なくとも片側に少なくとも１つの突出部が設けられており、前記切欠が自由表面部分を構成していることを特徴とする、表面波装置が提供される。
【００１５】
本発明に係る表面波装置のさらに他の特定の局面では、上記段間接続部がＡｌよりも重い金属により構成される。Ａｌよりも重い金属により段間接続部が構成されている場合、段間接続部のメタライズ部分における音速が非常に遅くなり、メタライズ部分と自由表面部分との音速差が大きくなる。従って、そのためにメタライズ部分により集中して漏洩してきた表面波の影響による特性の劣化がより大きな問題となる。しかしながら、Ａｌよりも重い金属を用いて段間接続部を構成した場合であっても、本発明に従って自由表面部分を設けることにより、漏洩してきた表面波が自由表面部分とメタライズ部分との境界で反射及び散乱される。従って、特性の劣化を効果的に抑制することができる。よって、本発明は、Ａｌよりも重い金属により段間接続部が構成されている表面波装置に好適に用いられる。
【００１６】
Ａｌよりも重い金属は特に限定されないが、例えば、Ｔａ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｍｎ及びＴｉからなる群から選択した１種の金属または該金属を主体とする合金が挙げられる。
【００１７】
本発明に係る表面波装置の別の特定の局面では、上記表面波基板は、圧電単結晶基板により構成される。
本発明のさらに他の特定の局面では、上記表面波素子として、表面波共振子または表面波フィルタ素子が用いられる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施例に係る表面波装置を示す平面図である。
表面波装置１は、矩形板状の表面波基板２を有する。表面波基板２は、本実施例では、Ｙカット９０°Ｘ方向伝搬水晶基板により構成されている。もっとも、表面波基板２は、他の圧電単結晶により構成されてもよく、あるいは圧電セラミックスにより構成されてもよい。
【００２０】
また、表面波基板２は、絶縁基板上に圧電薄膜を形成することにより、あるいは圧電基板上に圧電薄膜を形成することにより構成されてもよい。
表面波基板２には、縦結合型の第１，第２の表面波フィルタ素子３，４が構成されている。第１の表面波フィルタ素子３は、ＩＤＴ５，６及び反射器７，８を有する。
【００２１】
ＩＤＴ５の一方の櫛歯電極が入力端子９に電気的に接続される。他方、ＩＤＴ６の一方の櫛歯電極が段間接続部１０に電気的に接続されている。
第２の表面波フィルタ素子４は、ＩＤＴ１１，１２及び反射器１３，１４を有する。ＩＤＴ１１の一方の櫛歯電極が段間接続部１０に接続されている。また、ＩＤＴ１２の一方の櫛歯電極が出力端子１５に接続されている。ＩＤＴ５，６，１１，１２の言及されていない側の櫛歯電極はアース電位に接続される。また、各ＩＤＴの端子アース間に差動入力してもよい。
【００２２】
表面波装置１では、第１，第２の表面波フィルタ素子３，４が段間接続部１０により接続され、２段構成の表面波フィルタ装置が構成されている。
なお、上記ＩＤＴ５，６，１１，１２及び反射器７，８，１３，１４並びに段間接続部１０は、表面波基板２上にＴａ膜を全面に形成した後、パターニングすることにより形成されている。
【００２３】
本実施例の特徴は、段間接続部１０に、矩形の貫通孔１０ａが形成されており、それによって貫通孔１０ａ内が自由表面部分１６を構成していることにある。表面波装置１では、駆動に際し入力信号が入力端子９から与えられ、第１の表面波フィルタ素子３の出力が段間接続部１０を介して第２の表面波フィルタ素子４に与えられ、第２の表面波フィルタ素子４のＩＤＴ１２に接続された出力端子１５から取り出される。第１，第２の表面波フィルタ素子３，４が上記のように縦続接続されているため、１段の弾性表面波フィルタ素子のみを用いた場合に比べて帯域外減衰量を拡大することができる。
【００２４】
前述したように、第１の表面波フィルタ素子３で励振された表面波が第２の表面波フィルタ素子４側に機械的に伝搬し、帯域外減衰量が小さくなるという問題がある。しかしながら、本実施例では、段間接続部１０が自由表面部分１６を有する。従って、段間接続部１０を伝搬してきた表面波は、自由表面部分１６とメタライズ層との境界、すなわち貫通孔１０ａの周縁において反射及び散乱される。そのため、表面波フィルタ素子３から表面波フィルタ素子４への段間接続部１０を経由した表面波の伝搬が効果的に抑制される。よって、段間接続部１０を経由した表面波の伝搬による特性の劣化が生じ難い。
【００２５】
また、上記実施例では、表面波基板２がＹカット−９０°Ｘ伝搬水晶基板で構成されており、Ｙカット−９０°Ｘ伝搬水晶基板では、基板表面に電極がない場合、基板内部へのバック波への変換に伴う漏洩成分が大きく、基板自体が表面波を伝搬させにくい性質を有する。従って、段間接続部１０に自由表面部分１６を設けることにより、自由表面部分により伝搬してきた表面波の一部が吸収されると考えられる。すなわち、本実施例では表面波は、自由表面部分を設けたことにより、反射及び散乱により表面波フィルタ素子４側へ伝搬し難いだけでなく、上記吸収作用によっても表面波フィルタ素子４側への伝搬が抑制される。なお、ＬｉＮｂＯ３やＬｉＴａＯ３基板を用いた場合も同様である。
【００２６】
さらに、本実施例では、Ａｌよりも重い金属であるＴａにより段間接続部１０が形成されている。この場合、メタライズ層の音速が、自由表面部分１６の音速に比べて非常に遅くなる。そのため、上記段間接続部１０を経由した表面波による特性の劣化が特に大きな問題となるが、本実施例では、自由表面部分１６が設けられているため、特性の劣化を効果的に抑制することができる。
【００２７】
本発明では、段間接続部１０を伝って伝搬する表面波の特性への影響が大きいことに鑑み、段間接続部１０に自由表面部分１６が設けられている。すなわち、従来の溝や吸音材を段間のスペースに配置した構成では、隣接する表面波素子間の全領域に渡って溝や吸音材が配置されていた。これに対して、本実施例では、段間接続部１０を伝搬する表面波の影響が大きいことに鑑み、段間接続部１０に自由表面部分１６が設けられているだけである。すなわち、表面波フィルタ素子３，４間の全スペースにおいて、溝の加工や吸音材の付与といった加工を必要としないので、本実施例では、段間接続部１０のみを自由表面部分１６を有するように形成すればよい。
【００２８】
図２は、本発明の第２の実施例に係る表面波装置を示す平面図である。第２の実施例の表面波装置２１では、段間接続部１０に設けられた自由表面部分の形状が異なることを除いては第１の実施例と同様に構成されている。従って、自由表面部分以外の構造については、第１の実施例の説明を援用することにより省略する。
【００２９】
第２の実施例の表面波装置２１では、段間接続部１０において、貫通孔として複数本の細長い形状のスリット２２が形成されている。このスリット２２内が自由表面部分を構成している。本実施例では、スリット２２は、その長さ方向が、第１，第２の表面波フィルタ素子３，４における表面波伝搬方向と直交する方向とされている。
【００３０】
このように、本発明においては、自由表面部分を構成するための貫通孔として、長さ方向を有するスリット２２を設けてもよい。
図３は、第２の実施例の変形例に係る表面波装置を示す平面図である。図２に示した表面波装置２１では、複数本のスリット２１は、表面波フィルタ素子３，４における表面波伝搬方向と直交する方向に延びるように形成されていたが、図３に示す表面波装置２３のように、複数本のスリット２４が、表面波フィルタ素子３，４における表面波伝搬方向と平行な方向に設けられていてもよい。
【００３１】
図４は、第２の実施例のさらに他の変形例を示す平面図である。図４に示す表面波装置２５では、複数本のスリット２６は、表面波フィルタ素子３，４における表面波伝搬方向と平行とはされておらず、かつ直交する方向に延びるようにも配置されていない。すなわち、表面波フィルタ素子３，４における表面波伝搬方向と角度θ（但し、θは０＞θ＞９０°）の角度をなす方向に配置されている。このように、本発明においては、貫通孔を構成するスリットは、表面波フィルタ素子３，４における表面波伝搬方向と斜め方向に交叉するように設けられていてもよい。
【００３２】
なお、本発明において、表面波伝搬方向と「交叉する」方向に延びるスリットにおける「交叉する」方向とは、上記斜め方向に交叉する場合、並びに図３に示されているように表面波伝搬方向と直交する方向をも含むものとする。
【００３３】
図５は、第１の実施例の変形例の表面波装置３１を示す平面図である。第１の実施例の表面波装置１では、段間接続部１０に矩形の貫通孔１０ａが形成されることにより自由表面部分１６が形成されていたが、図５に示すように、周縁部が凹凸形状を有するように貫通孔１０ｂが形成され、それによって自由表面部分１６が形成されていてもよい。
【００３４】
すなわち、段間接続部１０に設けられる貫通孔周縁部は、直線状である必要は必ずしもなく、多数の凹凸を有するものであってもよく、あるいは曲線状であってもよく、さらに波打った形状であってもよい。
【００３５】
図６は、本発明の第３の実施例に係る表面波装置を示す平面図である。
第１及び第２の実施例並びに上述した各種変形例の各表面波装置では、段間接続部に貫通孔が設けられ、該貫通孔内が自由表面部分を構成していた。第３の実施例の表面波装置４１では、貫通孔に代えて、段間接続部１０において、複数の切欠４２が形成されており、該切欠４２内の領域が自由表面部分１６を構成している。このように、自由表面部分を設けるにあたっては、段間接続部１０内に貫通孔を設けた場合に限らず、外周縁に開いた１以上の切欠を、切欠の少なくとも片側に突出部４２Ａが形成されるように構成することにより、段間接続部内１０に自由表面部分１６を設けてもよい。なお、突出部４２Ａは、切欠４２の形成により形成されるので、突出部４２Ａは段間接続部内に位置しているものである。
【００３６】
図１〜図６に示した第１〜第３の実施例及び各変形例から明らかなように、段間接続部に自由表面部分を設ける態様は特に限定されるものではなく、自由表面部分を設けた場合、自由表面部分と段間接続部を構成している金属膜との境界において、漏洩してきた表面波が反射及び散乱され、それによって第１の実施例と同様に、表面波の第２のフィルタ素子４側への伝搬を効果的に抑制することができる。
【００３７】
次に、具体的な実験例に基づき、本発明の効果をより具体的に説明する。
実験例１
第２の実施例の表面波装置２１を以下の要領で抑制した。表面波基板２として、Ｙ−９０°Ｘ方向伝搬水晶基板を用意した。この表面波基板２上に、７００μｍの厚みのＴａ膜を全面に成膜した後、パターニングすることにより、第２の実施例の表面波装置２１を得た。ここで、表面波フィルタ素子３，４における電極指の対数は１３対とし、電極指ピッチは１５μｍとした。また、図２の矢印Ａで示す縦方向寸法が２００μｍ、該縦方向と直交する方向の寸法が２５０μｍであり、１２０μｍ×幅１０μｍの矩形のスリット２２が４本形成されるように段間接続部１０を構成した。比較のために、上記スリット２２が形成されていないことを除いては第２の実施例と同様にして構成された表面波装置を用意した。
【００３８】
上記のようにして、作製された、第２の実施例及び比較例の表面波装置の減衰量周波数特性を図７に示す。
図７において、実線Ｘが第２の実施例の結果を、破線Ｙが比較例の結果を示す。
【００３９】
図７から明らかなように、スリット２２が形成されている第２の実施例によれば、比較例の表面波装置に比べて、帯域外減衰量を大幅に改善し得ることがわかる。
【００４０】
実験例２
実験例１で作製された第２の実施例の表面波装置と同様にして、図３に示した変形例の表面波装置２３を作製した。なお、スリット２４の寸法は、１５０μｍ×１０μｍとし、３本のスリット２４を形成した。このようにして得られた図３に示した変形例の表面波装置２３の減衰量周波数特性を図８に実線Ｚで示す。また、実験例１で用意した比較例の表面波装置の減衰量周波数特性を図８に破線Ｙで示す。
【００４１】
図８から明らかなように、図３に示した変形例の表面波装置においても、比較例の表面波装置に比べて帯域外減衰量を大幅に拡大し得ることがわかる。
従って、実験例１，２の結果からも明らかなように、本発明によれば、段間接続部に自由表面部分を設けることにより、隣り合っている表面波フィルタ素子間における表面波の伝搬の影響による特性の劣化を確実に抑制し得ることがわかる。従って、複数段構成の表面波フィルタ装置において、複数段構成による帯域外減衰量の拡大を確実に図ることができる。
【００４２】
なお、上述してきた実施例及び変形例では、第１，第２の縦結合型の表面波フィルタ素子３，４が段間接続部１０により接続されていたが、接続される表面波素子は、縦結合型の表面波フィルタ素子に限らず、横結合型の表面波フィルタ素子であってもよく、また表面波フィルタ素子以外の表面波共振子などの他の表面波素子であってもよい。
【００４３】
さらに、３以上の表面波素子が複数の段間接続部を介して接続されている構成であってもよい。その場合には、複数の段間接続部のうち、少なくとも１つの段間接続部において、本発明に従って自由表面部分が設けられておれば、本発明の効果を得ることができる。もっとも、好ましくは、全ての段間接続部において、本発明に従って自由表面部分が設けられることが望ましい。
【００４４】
なお、上述した実施例では、段間接続部１０はＴａにより形成されていたが、Ａｌなどの他の金属により段間接続部１０が構成されている場合にも、本発明と同様の効果を得ることができる。もっとも、好ましくは、前述したようにＡｌよりも重い金属により段間接続部１０が形成されている場合に、本発明の効果がより大きくなる。このようなＡｌよりも重い金属としては、特に限定されないが、Ｔａ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｍｎ及びＴｉを挙げることができる。
【００４５】
また、本発明はレイリー波を利用した表面波装置に限らず、ＳＨタイプの表面波を利用した表面波装置など様々な表面波装置に適用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明に係る表面波装置では、請求項１に記載のように、複数段構成を実現するために複数の表面波素子が段間接続部により電気的に接続されており、少なくとも１つの段間接続部の内部に自由表面部分が設けられているため、あるいは、請求項８に記載のように、段間接続部に切欠が形成されて突出部が設けられており、かつ該切欠内が自由表面部分とされているため、自由表面部分が設けられている段間接続部の一方の側の表面波素子から他方の側の表面波素子へ段間接続部を介しての表面波の伝搬が、自由表面部分を設けたことにより、反射及び散乱等により確実に抑制される。従って、表面波の伝搬による帯域外減衰量の劣化のような特性の劣化を確実に防止することができ、複数段構成を採用したことによる特性を確実に発揮し得る表面波装置を提供することが可能となる。
【００４７】
また、従来の溝や吸音材を設けた表面波装置の製造に際しては、溝の加工や吸音材の付与などの煩雑な工程を実施しなければならなかったのに対し、本発明では、段間接続部の形成に際し、自由表面部分を同時にかつ容易に形成することができる。従って、製造工程の増大を招くことなく、かつコストの上昇を招くことなく、表面波の伝搬による特性の劣化を抑制することができる。
【００４８】
また、従来の隣接する表面波素子間に溝を形成した表面波装置では、圧電基板の割れや欠けが生じることがあったのに対し、本発明では、溝の加工を必要としないので、表面波基板における割れや欠けも生じ難い。
【００４９】
加えて、溝や吸音材を配置する必要がないため、表面波装置の大型化を招くこともない。
よって、本発明によれば、製造工程の煩雑化及び大型化を招くことなく、良好なフィルタ特性や共振特性を有する表面波装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に係る表面波装置の平面図。
【図２】本発明の第２の実施例に係る表面波装置の平面図。
【図３】第２の実施例の表面波装置の変形例を示す平面図。
【図４】第２の実施例の他の変形例の表面波装置を示す平面図。
【図５】第１の実施例の表面波装置の変形例を示す平面図。
【図６】本発明の第３の実施例の表面波装置を示す平面図。
【図７】第２の実施例の表面波装置及び比較例の表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図８】図３に示した変形例の表面波装置と比較例の表面波装置の減衰量周波数特性を示す図。
【図９】従来の表面波装置の一例を示す平面図。
【符号の説明】
１…表面波装置
２…表面波基板
３，４…第１，第２の表面波フィルタ素子
５，６，１１，１２…ＩＤＴ
７，８，１３，１４…反射器
９…入力端子
１０…段間接続部
１０ａ…貫通孔
１０ｂ…貫通孔
１５…出力端子
１６…自由表面部分
２１…表面波装置
２２…スリット
２３…表面波装置
２４…スリット
２５…表面波装置
２６…スリット
３１…表面波装置
４１…表面波装置
４２…切欠
４２Ａ…突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004072719.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2004072719.tif 000009
【図８】
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【図９】
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