(57)【要約】【課題】トラックピッチに対するグルーブ幅が５０％程度であっても、シーク動作またはトラッキングサーボに使用できる程度の信号量のＣＴＳ信号を得る。【解決手段】光磁気ディスク上に、グルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％の深いグルーブ６ａ，６ｂと、ランドの略中央部に形成された断面Ｖ字形状の浅いグルーブ７ａ，７ｂとが隣接配置するように形成されている。深いグルーブ６ａ，６ｂがウォブルされ、深いグルーブにのみデータを記録するようになされる。浅いグルーブ７ａ，７ｂは、ランドの略中央位置にでウォブルしないで形成されている。フォトディテクタの和信号（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）でＣＴＳ信号が求められる。ＣＴＳ信号は、充分な振幅を有する。プッシュプル信号は、フォトディテクタ８の差信号（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）によって求められる。【選択図】　図２
2004086942.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、
上記グルーブとして、第１のグルーブと第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％であり、上記第２のグルーブは、浅いグルーブであり、
上記第１のグルーブにのみ記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
請求項１において、
上記第２のグルーブは、断面Ｖ字形状であることを特徴とする光記録媒体。
【請求項３】
請求項１において、
上記第１および第２のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであることを特徴とする光記録媒体。
【請求項４】
請求項１において、
上記記録再生がＤＷＤＤ超解像度光磁気記録再生であることを特徴とする光記録媒体。
【請求項５】
請求項１において、
光ピックアップの光の波長λが７８０ｎｍであり、対物レンズの開口数ＮＡが０．４５であり、トラックピッチが１．２５μｍであることを特徴とする光記録媒体。
【請求項６】
請求項１において、
上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０％であり、記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をＮＡ、光の波長をλとした場合、光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、グルーブの深さ係数をｘ、λ／ｘ×ｎをグルーブの位相深さとしたときに、上記第１のグルーブの深さ係数ｘ１と上記第２のグルーブの深さ係数ｘ２とが以下の条件（１）から（５）のいずれかの関係を満たす位相深さから成ることを特徴とする光記録媒体。
ｘ１＝２．６、　５．８≦ｘ２≦７．０・・・（１）
ｘ１＝２．４、　４．７≦ｘ２≦７．０・・・（２）
ｘ１＝２．２、　４．１≦ｘ２≦７．８・・・（３）
ｘ１＝２．０、　３．９≦ｘ２≦７．４・・・（４）
ｘ１＝１．９、　４．３≦ｘ２≦７．０・・・（５）
【請求項７】
請求項１において、
上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５４％であり、記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をＮＡ、光の波長をλとした場合、光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、グルーブの深さ係数をｘ、λ／ｘ×ｎをグルーブの位相深さとしたときに、上記第１のグルーブの深さ係数ｘ１と上記第２のグルーブの深さ係数ｘ２とが以下の条件（６）から（１１）のいずれかの関係を満たす位相深さから成ることを特徴とする光記録媒体。
ｘ１＝２．８、　９．０≦ｘ２≦１４．０・・・（６）
ｘ１＝２．６、　６．４≦ｘ２≦１４．０・・・（７）
ｘ１＝２．４、　４．９≦ｘ２≦１２．０・・・（８）
ｘ１＝２．２、　４．２≦ｘ２≦１０．０・・・（９）
ｘ１＝２．０、　３．９≦ｘ２≦８．３・・・（１０）
ｘ１＝１．９、　４．０≦ｘ２≦６．５・・・（１１）
【請求項８】
請求項１において、
上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５８％であり、記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をＮＡ、光の波長をλとした場合、光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、グルーブの深さ係数をｘ、λ／ｘ×ｎをグルーブの位相深さとしたときに、上記第１のグルーブの深さ係数ｘ１と上記第２のグルーブの深さ係数ｘ２とが以下の条件（１２）から（１７）のいずれかの関係を満たす位相深さから成ることを特徴とする光記録媒体。
ｘ１＝２．８、　１０．０≦ｘ２≦２４．０・・・（１２）
ｘ１＝２．６、　６．９≦ｘ２≦１２．０・・・（１３）
ｘ１＝２．４、　５．３≦ｘ２≦２４．０・・・（１４）
ｘ１＝２．２、　４．４≦ｘ２≦１４．０・・・（１５）
ｘ１＝２．０、　３．９≦ｘ２≦１０．０・・・（１６）
ｘ１＝１．９、　３．９≦ｘ２≦８．０・・・（１７）
【請求項９】
請求項１において、
上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０％であり、記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をＮＡ、光の波長をλとした場合、光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、グルーブの深さ係数をｘ、λ／ｘ×ｎをグルーブの位相深さとしたときに、上記第１のグルーブの深さ係数ｘ１と上記第２のグルーブの深さ係数ｘ２とが以下の条件（１８）から（２１）のいずれかの関係を満たす位相深さから成ることを特徴とする光記録媒体。
ｘ１＝２．２、　３．２≦ｘ２≦４．１・・・（１８）
ｘ１＝２．０、　３．２≦ｘ２≦４．０・・・（１９）
ｘ１＝１．９、　３．１≦ｘ２≦４．０・・・（２０）
ｘ１＝１．８、　３．２≦ｘ２≦３．８・・・（２１）
【請求項１０】
請求項１において、
上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５４％であり、記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をＮＡ、光の波長をλとした場合、光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、グルーブの深さ係数をｘ、λ／ｘ×ｎをグルーブの位相深さとしたときに、上記第１のグルーブの深さ係数ｘ１と上記第２のグルーブの深さ係数ｘ２とが以下の条件（２２）から（２６）のいずれかの関係を満たす位相深さから成ることを特徴とする光記録媒体。
ｘ１＝２．４、　３．８≦ｘ２≦４．１・・・（２２）
ｘ１＝２．２、　３．３≦ｘ２≦４．３・・・（２３）
ｘ１＝２．０、　３．１≦ｘ２≦４．３・・・（２４）
ｘ１＝１．９、　３．０≦ｘ２≦４．１・・・（２５）
ｘ１＝１．８、　３．０≦ｘ２≦３．９・・・（２６）
【請求項１１】
請求項１において、
上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５８％であり、記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をＮＡ、光の波長をλとした場合、光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、グルーブの深さ係数をｘ、λ／ｘ×ｎをグルーブの位相深さとしたときに、上記第１のグルーブの深さ係数ｘ１と上記第２のグルーブの深さ係数ｘ２とが以下の条件（２７）から（３２）のいずれかの関係を満たす位相深さから成ることを特徴とする光記録媒体。
ｘ１＝２．６、　５．０≦ｘ２≦５．１・・・（２７）
ｘ１＝２．４、　４．１≦ｘ２≦５．４・・・（２８）
ｘ１＝２．２、　３．４≦ｘ２≦５．０・・・（２９）
ｘ１＝２．０、　３．１≦ｘ２≦４．５・・・（３０）
ｘ１＝１．９、　３．０≦ｘ２≦４．３・・・（３１）
ｘ１＝１．８、　２．９≦ｘ２≦４．０・・・（３２）
【請求項１２】
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤であって、
上記グルーブとして、第１のグルーブと第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％であり、上記第２のグルーブは、浅いグルーブであることを特徴とする光記録媒体製造用原盤。
【請求項１３】
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、上記グルーブとして、第１のグルーブと第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％であり、上記第２のグルーブが浅いグルーブとされた光記録媒体を使用する記録再生装置であって、
上記第１のグルーブにのみデータを記録することを特徴とする記録再生装置。
【請求項１４】
請求項１３において、
上記第１および第２のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであり、
上記ウォブルグルーブからウォブル信号を再生することを特徴とする記録再生装置。
【請求項１５】
請求項１３において、
プッシュプル信号でトラッキングサーボを行い、ＣＴＳ信号でシークを行うことを特徴とする記録再生装置。
【請求項１６】
請求項１３において、
ＣＴＳ信号でトラッキングサーボを行い、プッシュプル信号でシークを行うことを特徴とする記録再生装置。
【請求項１７】
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、上記グルーブとして、第１のグルーブと第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、上記第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％であり、上記第２のグルーブが浅いグルーブとされた光記録媒体を使用する記録再生方法であって、
上記第１のグルーブにのみデータを記録することを特徴とする記録再生方法。
【請求項１８】
請求項１７において、
上記第１および第２のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであり、
上記ウォブルグルーブからウォブル信号を再生することを特徴とする記録再生方法。
【請求項１９】
請求項１７において、
プッシュプル信号でトラッキングサーボを行い、ＣＴＳ信号でシークを行うことを特徴とする記録再生方法。
【請求項２０】
請求項１７において、
ＣＴＳ信号でトラッキングサーボを行い、プッシュプル信号でシークを行うことを特徴とする記録再生方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにそのような光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤に関する。また、この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の記録可能なディスク状記録媒体として、ＭＤ（Ｍｉｎｉ　Ｄｉｓｃ），ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ）−Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ），ＣＤ−ＲＷ（ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ），ＤＶＤ（ＤｉｇｉｔａｌＶｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ　またはＤｉｇｉｔａｌ　Ｖｉｄｅｏ　Ｄｉｓｃ）＋ＲＷ（ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ），ＤＶＤ−Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ），ＤＶＤ−ＲＷ（ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ）等が提案されている。これのディスク状記録媒体のフォーマットでは、グルーブに記録するグルーブ記録フォーマットが採用されている。
【０００３】
ＩＳＯ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｏｒｇａｎｉｚａｔｉｏｎ　ｆｏｒ　Ｓｔａｎｄａｒｄｉｚａｔｉｏｎ）の光磁気（ＭＯ；ＭａｇｎｅｔｏＯｐｔｉｃａ１）ディスクの各フォーマットではランド（グルーブとグルーブの間）に記録するランド記録フォーマットが提案されている。ＤＶＤ−ＲＡＭ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｉｄｅｏ　Ｄｉｓｃ−Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）等において、光ディスクの高密度化を実現する一つの方法として、グルーブとグルーブ間（ランド）の両方に記録することにより、トラック密度を従来の２倍にして高密度化を図る方式（ランドグルーブ記録）が提案されている。ここで、グルーブとは、主にトラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラックに沿って形成された、いわゆる案内溝のことである。光ピックアップからからみて近い部分をグルーブと呼び、遠い部分をランドと呼ぶ。なお、グルーブとグルーブの間の部分は、ランドと称される。
【０００４】
そして、図５に示すように、グルーブが形成されてなる光記録媒体では、通常、プッシュプル信号を用いることでトラッキングサーボがなされる。プッシュプル信号は、差信号のことで、光記録媒体に対して光ビームを照射し、光ビームが光記録媒体によって反射された光を、トラック中心に対して対称に配置した二つの光検出器Ａ，Ｂによって検出し、これらの二つの光検出器Ａ，Ｂからの出力の差（Ａ−Ｂ）をとることによって得られる。
【０００５】
また、光ビームが光記録媒体によって反射された光の反射光量は、これら二つの光検出器の和（Ａ＋Ｂ）として検出される。ここで、光ビームが光記録媒体によって光の反射光量を検出した信号、すなわち、二つの光検出器Ａ，Ｂからの出力の和信号は、光ビームのスポットが移動した時にそのスポットが何本のトラックを跨いだかを検出するために使用される信号であり、一般的にクロストラック信号（ＣＴＳ：Ｃｒｏｓｓ　Ｔｒａｃｋ　Ｓｉｇｎａｌ）と称される。
【０００６】
ＭＤやＣＤ−Ｒは、プッシュプル信号、ＣＴＳ信号量が充分に得られるように、グルーブ幅／トラックピッチが１／３程度、または２／３程度に選定されている。すなわち、ＭＤの場合では、グルーブ幅／トラックピッチ＝１．１μｍ／１．６μｍ＝６９％とされ、ＣＤ−Ｒの場合では、グルーブ幅／トラックピッチ＝０．５μｍ／１．６μｍ＝３１％とされている。
【０００７】
さらに、線方向の記録密度を向上させる技術として、ＤＷＤＤ（Ｄｏｍａｉｎ　Ｗａｌｌ　Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ　Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）が提案されている。これは、光磁気ディスクで使用される磁区拡大再生技術の一つである。例えば特開平６−２９０４９６号公報には、ＤＷＤＤ方式についての技術が開示されている。
【０００８】
図６は、上記の公報に開示されている光磁気ディスクの一部断面を拡大して示す。参照符号７１が基板を示し、参照符号７２が第１の誘電体層を示し、参照符号７３が記録層を示し、参照符号７４が第２の誘電体層を示す。また、参照符号７５がグルーブであり、参照符号７６がランドである。
【０００９】
記録層７３は、第１の磁性層、第２の磁性層および第３の磁性層が順次積層されたものである。第１の磁性層が周囲温度近傍の温度において第３の磁性層に比して相対的に磁壁抗磁力が小さく磁壁移動度が大きな垂直磁化膜からなり、第２の磁性層は、第１の磁性層および第３の磁性層よりもキューリ温度が低い磁性層からなり、第３の磁性層が垂直磁化膜とされている。そして、データ信号の記録は、媒体を移動させながら、第３の磁性層がキューリ温度以上になるようなパワーレーザ光を照射しながら外部磁界を変調してなされる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ＤＷＤＤにおいては、グルーブ幅とグルーブ間の幅（ランド幅）が同程度の時に記録再生特性が良好である。しかしながら、グルーブ幅とランド幅が同程度であると、図５に示すように、プッシュプル信号は、最大で充分な信号量となるが、ＣＴＳ信号の信号量が不十分となる。通常のディスク再生装置では、シーク動作のために、トラック本数を数える信号の信号量として約６％から７％程度が必要とされ、トラッキングサーボのための検出信号として、１４％以上の信号量が必要とされる。ここで、信号量は、グルーブ、ピットが形成されていない面（所謂ミー面）で得られる信号を１００％として定義されている。
【００１１】
このように、ＣＴＳ信号の信号量が不十分であると、目的のアドレスに高速に移動するシーク動作時に、横切ったトラックの本数をＣＴＳ信号から正確に検出することができず、ＣＴＳ信号でシークすることが困難な問題があった。勿論、信号量が少ないＣＴＳ信号によってトラッキングサーボをかけることは不可能であった。
【００１２】
したがって、この発明の目的は、グルーブ幅とランド幅が同程度であっても、ＣＴＳ信号の信号量が充分に得られるようにした光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１の発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、
グルーブとして、第１のグルーブと第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％であり、第２のグルーブは、浅いグルーブであり、
第１のグルーブにのみ記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体である。
【００１４】
請求項１２の発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤であって、
グルーブとして、第１のグルーブと第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％であり、第２のグルーブは、浅いグルーブであることを特徴とする光記録媒体製造用原盤である。
【００１５】
請求項１３の発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、グルーブとして、第１のグルーブと第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％であり、第２のグルーブが浅いグルーブとされた光記録媒体を使用する記録再生装置であって、
第１のグルーブにのみデータを記録することを特徴とする記録再生装置である。
【００１６】
請求項１７の発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、グルーブとして、第１のグルーブと第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、第１のグルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％であり、第２のグルーブが浅いグルーブとされた光記録媒体を使用する記録再生方法であって、
第１のグルーブにのみデータを記録することを特徴とする記録再生方法である。
【００１７】
この発明では、グルーブ幅とランド幅が同程度であっても、ランド部に新たに浅いグルーブを設けることにように、プッシュプル信号でトラッキングサーボを安定にかけると共に、ＣＴＳ信号でシークすることも可能である。これと逆に、ＣＴＳ信号でトラッキングサーボを安定にかけると共に、プッシュプル信号でシークすることも可能である。ＤＷＤＤ方式のようなグルーブ幅とランド幅が同程度の時にグルーブの記録再生特性が良好であり、ウォブルグルーブを有する光記録媒体に最適なプリフォーマットを提供できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、ＤＷＤＤ方式の光磁気ディスクを例に挙げ、図面を参照しながら詳細に説明する。この発明を適用した光磁気ディスクについて、要部を拡大した断面図を図１に示す。図１において、参照符号１が光磁気ディスクを示す。
【００１９】
光磁気ディスク１は、円盤状に形成されてなり、磁気光学効果を利用してデータの記録再生が行われる。そして、この光磁気ディスク１は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリカーボネート（ＰＣ）等からなるディスク基板２の上に、光磁気記録がなされる記録層３と、当該記録層３を保護する保護層４とが形成されてなる。ここで、記録層３は、例えば、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）等からなる第１誘電体膜３ａと、磁性膜３ｂと、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）等からなる第２の誘電体膜３ｃと、Ａｌ−Ｔｉ合金等からなる反射膜３ｄとが積層されたものである。また、保護層４は、例えば、記録層３の上に紫外線硬化樹脂がスピンコートされ、紫外線を照射することで形成されている。磁性膜３ｂは、前述したＤＷＤＤ方式の記録を行うために、第１の磁性層、第２の磁性層および第３の磁性層が順次積層されたものである。なお、この発明において、記録層３や保護層４の構成は任意であり、本例に限定されるものではない。
【００２０】
この光磁気ディスク１は、記録領域の一部を拡大した図２に示すように、記録トラックに沿って渦巻き状にグルーブが形成され、光ピックアップ５により所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる。グルーブとして、第１のグルーブ６ａ，６ｂ，・・・と、第２のグルーブ７ａ，７ｂ，・・・とが隣接配置するように形成されている。第１のグルーブ６ａ，６ｂ，・・・は、グルーブの幅／トラックピッチが５０〜５８％の深いグルーブであり、第２のグルーブ７ａ，７ｂ，・・・は、ランドの略中央部に形成された断面Ｖ字形状の浅いグルーブである。そして、第１のグルーブ（以下、適宜深いグルーブと称する）６ａ，６ｂ，・・・にのみ記録するようになされる。ランドは、内面（側壁）がガサガサした浅いグルーブが形成されているために、ＤＷＤＤ方式では、データが記録されにくい。それによって、グルーブのみに記録する場合に、ランドからのクロストークを減少させる効果を生じさせることができる。深いグルーブの場合では、レーザカッティング装置において、フォトレジストを平滑なガラス基板面まで貫通するようにして形成されるので、内面、特に底面が荒れない。一方、浅いグルーブの場合では、フォトレジストを貫通しないために、内面が荒れるのである。
【００２１】
深いグルーブ６ａ，６ｂ，・・・と第２のグルーブ（以下、適宜浅いグルーブと称する）７ａ，７ｂ，・・・の両方または一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブとされる。図２の例では、深いグルーブ６ａ，６ｂ，・・・のみがウォブルグルーブとされている。ウォブルの振幅は、例えば±２５ｎｍとされている。深いグルーブ６ａ，６ｂ，・・・は、トラックピッチの間隔で形成され、浅いグルーブ７ａ，７ｂ，・・・は、深いグルーブ６ａ，６ｂ，・・・の間のランドの略中央位置にてウォブルしないで形成されている。トラックピッチは、深いグルーブの間隔であり、例えば１２５０ｎｍとされる。
【００２２】
図２に示すように、この発明が適用された光磁気ディスク１は、３個のビームによって再生される。センタービームが深いグルーブの中心に位置し、二つのサイドビームが深いグルーブの両側に位置する浅いグルーブの中心とそれぞれ一致するようになされる。センタービームの反射光が４分割フォトディテクタ８によって検出され、サイドビームの反射光が２分割フォトディテクタ９ａおよび９ｂによって検出される。
【００２３】
ＣＴＳ信号は、４分割フォトディテクタ８の和信号（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）で求められる。このように求められたＣＴＳ信号は、トラックピッチの周期に等しい周期であり、充分な振幅を有し、深いグルーブ６ａ，６ｂ，・・・の中心位置で最大となり、浅いグルーブ７ａ，７ｂ，・・・の中心位置で最小となる。和信号によってトラッキングサーボをかける場合では、サイドビーム９ａおよび９ｂのそれぞれの和信号の差（Ｅ＋Ｆ）−（Ｇ＋Ｈ）からトラッキングエラーを求めるようになされる。プッシュプル信号は、４分割フォトディテクタ８のトラック延長方向に対して両側に位置するそれぞれ二つの領域の検出信号の和（Ａ＋Ｄ）および（Ｂ＋Ｃ）を求め、これらの和信号の差（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）によって求められる。このように求められたプッシュプル信号は、トラックピッチの周期に等しい周期であり、深いトラックおよび浅いトラックのそれぞれの中心で０となる。上述したように、データが記録されているのは、深いグルーブ６ａ，６ｂ，・・・のみであり、深いグルーブ６ａ，６ｂ，・・・にシークする時は、プッシュプル信号が０で、ＣＴＳ信号が最大値の位置を探すようになされる。
【００２４】
上述した光磁気ディスク１を製造する際には、光磁気ディスク１の原盤となる光記録媒体製造用原盤を作製する必要があり、そのためにレーザカッティング装置が使用される。以下、光記録媒体製造用原盤の作製に使用されるレーザカッティング装置の一例について、図３を参照して詳細に説明する。
【００２５】
ここで説明するレーザカッティング装置の一例は、光源から出射されたレーザ光をビームスプリッタによって、第１の露光ビーム（ウォブルした深いグルーブ形成用）と第２の露光ビーム（浅いウォブルしないグルーブ形成用）に分割し、第１の露光ビームをウォブルグルーブを形成するために偏向し、二つの露光ビームを適切な間隔で半径方向に配置し、それぞれの露光パワーを適切に選定することによって、深いグルーブと浅いグルーブとが半径方向に交互に等間隔で配置された凹凸パターンを形成する。
【００２６】
図３に示したレーザカッティング装置１０は、ガラス基板１１の上に塗布されたフォトレジスト１２を露光して、当該フォトレジスト１２に潜像を形成するためのものである。このレーザカッティング装置１０でフォトレジスト１２に潜像を形成する際、フォトレジスト１２が塗布されたガラス基板１１は、移動光学テーブル上に設けられた回転駆動装置に取り付けられる。そして、フォトレジスト１２を露光する際、ガラス基板１１は、フォトレジスト１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによって平行移動される。
【００２７】
このレーザカッティング装置１０は、レーザ光を出射する光源１３と、光源１３から出射されたレーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器（ＥＯＭ：Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）１４と、電気光学変調器１４から出射されたレーザ光の光軸上に配された検光子１５と、検光子１５を透過してきたレーザ光を反射光と透過光とに分割する第１のビームスプリッタＢＳ１および第２のビームスプリッタＢＳ２と、第２のビームスプリッタＢＳ２を透過してきたレーザ光を検出するフォトディテクタ（ＰＤ：Ｐｈｏｔｏ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）１６と、電気光学変調器１４に対して信号電界を印加して電気光学変調器１４から出射されるレーザ光強度を調整する光出力制御部（ＡＰＣ：Ａｕｔｏ　Ｐｏｗｅｒ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）１７とを備えている。
【００２８】
光源１３から出射されたレーザ光は、先ず、ＡＰＣ１７から印加される信号電界によって駆動される電気光学変調器１４によって所定の光強度とされた上で検光子１５に入射される。ここで、検光子１５は、Ｓ偏光だけを透過する検光子であり、この検光子１５を透過してきたレーザ光は、Ｓ偏光となる。
【００２９】
なお、光源１３には、任意のものが使用可能であるが、短波長のレーザ光を出射するものが好ましい。具体的には、例えば、波長λが３５１ｎｍのレーザ光を出射するＫｒレーザや、波長λが４４２ｎｍのレーザ光を出射するＨｅ−Ｃｄレーザなどが、光源１３として好適である。
【００３０】
ビームスプリッタＢＳ１およびＢＳ２を透過したレーザ光は、フォトディテクタ１６によって、その光強度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテクタ１６からＡＰＣ１７に送られる。そして、ＡＰＣ１７は、フォトディテクタ１６によって検出される光強度が所定のレベルにて一定となるように、電気光学変調器１４に対して印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学変調器１４から出射するレーザ光の光強度が一定となるように、フィードバック制御がなされ、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。
【００３１】
光源１３より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ１で反射され、ビームスプリッタＢＳ１の反射光は、変調光学系（図３ではＯＭ１と示す）３１に入射される。ビームリレー光学系とその間のＡＯＭ３２をブラッグ条件をみたすように配置する。リレー光学系は、光源１３から出射されたレーザ光を集光レンズＬ１１を用いてＡＯＭ３２に集光するように配置する。このＡＯＭ３２に供給される超音波に基づいてレーザ光が強度変調される。ＡＯＭ３２に対しては、ドライバ３３から駆動信号が供給される。
【００３２】
この駆動信号は、グルーブを形成する場合には直流信号である。若し、ピットを形成する場合には、変調された信号である。直流信号に応じて、レーザ光は、連続変調され、深いグルーブ形成用の第１の露光ビームが形成される。
【００３３】
ＡＯＭ３２によって強度変調されて発散したレーザ光は、レンズＬ１２によって平行ビームとされる。そして、変調光学系３１（ＯＭ１）から出射された露光ビームは、ミラーＭ１によって反射され、移動光学テーブル１８上に水平且つ平行に導かれる。
【００３４】
さらに、光源１３より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ２で反射され、ビームスプリッタＢＳ２の反射光は、変調光学系（図３ではＯＭ２と示す）４１に入射される。ビームリレー光学系（レンズＬ２１およびＬ２２）とその間のＡＯＭ４２をブラッグ条件をみたすように配置する。ＡＯＭ４２に供給される超音波に基づいてレーザ光が強度変調される。ＡＯＭ４２に対しては、ドライバ４３から直流信号が供給される。直流信号のレベルに応じて、レーザ光は、連続変調され、浅いグルーブ形成用の第２の露光ビームが形成される。ＡＯＭ４２によって強度変調されて発散したレーザ光は、レンズＬ２２によって平行ビームとされ、ＨＷＰ（１／２波長板）を介して偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
【００３５】
ミラーＭ１で反射され、移動光学テーブル１８上に水平に導かれたレーザ光（第１の露光ビーム）は、偏向光学系ＯＤによって光学偏向が施された上でミラーＭ３によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
【００３６】
偏向光学系ＯＤは、深いグルーブのウォブルに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施すためのものである。すなわち、偏向光学系ＯＤに入射したレーザ光は、ウェッジプリズム１９を介して音響光学偏向器（ＡＯＤ：Ａｃｏｕｓｔｏ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）２０に入射し、この音響光学偏向器２０によって、所望する露光パターンに対応するように光学偏向が施される。ここで、音響光学偏向器２０に使用される音響光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ２　）からなる音響光学素子が好適である。音響光学偏向器２０によって光学偏向が施されたレーザ光は、ウェッジプリズム２１を介して偏向光学系ＯＤから出射される。
【００３７】
なお、ウェッジプリズム１９、２１は、音響光学偏向器２０の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満たすようにレーザ光が入射するようにすると共に、音響光学偏向器２０によってレーザ光に対して光学偏向を施し、ビーム水平高さを変えるものである。
【００３８】
ここで、音響光学偏向器２０には、音響光学偏向器２０を駆動するための駆動用ドライバ２２が接続されている。駆動用ドライバ２２には、直流電圧と、電圧制御発振器（ＶＣＯ：Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ　Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）２３からの高周波信号がアドレス情報を含む制御信号によりＦＭ変調された信号とが供給される。そして、その信号に応じて駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０が駆動され、これにより、レーザ光に対して光学偏向が施される。
【００３９】
具体的には、例えば、周波数８８．２ｋＨｚをキャリアとしたＦＭ変調信号にてグルーブをウォブルさせることにより、グルーブにアドレス情報が付加される。この場合では、音響光学偏向器２０の位相格子を作り出すために例えば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数を８８．２ｋＨｚをＦＭ変調した信号に重畳した信号を、電圧制御発振器２３から駆動用ドライバ２２に供給する。
【００４０】
そして、この信号に応じて、駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０を駆動し、音響光学偏向器２０の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、その結果、フォトレジスト１２上に集光されるレーザ光の光スポットの位置は、周波数８８．２ｋＨｚ、振幅±２５ｎｍにて、ガラス基板１１の半径方向に振動される。
【００４１】
そして、このような偏向光学系ＯＤによって、ウォブルグルーブのウォブルに対応するように光学偏向が施されたレーザ光は、ミラーＭ３によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。レーザ光は、偏光ビームスプリッタＰＢＳによって反射されて、拡大レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミラーＭ４によって反射されて対物レンズ２４へと導かれ、対物レンズ２４によってフォトレジスト１２上に集光される。上述したように、偏光ビームスプリッタＰＢＳには、ＡＯＭ４２によって強度変調されて発散したレーザ光がレンズＬ２２によって平行ビームとされ、ＨＷＰを介して入射される。
【００４２】
なお、レーザ光をフォトレジスト１２の上に集光するための対物レンズ２４は、より微細なルーブパターンを形成できるようにするために、開口数ＮＡが大きい方が好ましく、具体的には、開口数ＮＡが０．９程度の対物レンズが好適である。
【００４３】
フォトレジスト１２が二つのレーザ光によって露光され、フォトレジスト１２に潜像が形成される。このとき、フォトレジスト１２が塗布されているガラス基板１１は、フォトレジスト１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによってレーザ光が径方向に移動される。この結果、レーザ光の照射軌跡に応じた潜像がフォトレジスト１２の全面にわたって形成されることになる。
【００４４】
一例として、変調光学系３１および４１の集光レンズＬ１１およびＬ２１の焦点距離を８０ｍｍ、コリメートレンズＬ１２およびＬ２２の焦点距離を１００ｍｍ、拡大レンズＬ３の焦点距離を５０ｍｍとそれぞれ設定される。この場合、深いグルーブに関して、レーザパワーが０．４ｍｊ／ｍと選定され、浅いグルーブに関して、レーザパワーが０．２５ｍｊ／ｍと選定される。深いグルーブの場合では、フォトレジスト１２を貫通するように露光するので、深いグルーブの深さ変化がフォトレジスト１２の厚さ変化で得られる。一方、浅いグルーブの場合では、フォトレジスト１２を貫通しないので、浅いグルーブの深さ変化がレーザパワーの変化で得られる。この点を考慮して、二つのグルーブの深さを適切なものに設定される。
【００４５】
次に、図１に示した光磁気ディスク１の製造方法について、具体的な一例を挙げて詳細に説明する。原盤工程では、先ず、表面を研磨した円盤状のガラス基板１１を洗浄し乾燥させ、その後、このガラス基板１１上に感光材料であるフォトレジスト１２を塗布する。次に、上述したレーザカッティング装置１０によって、フォトレジスト１２を露光し、２種類のグルーブに対応した潜像をフォトレジスト１２に形成する。
【００４６】
フォトレジスト１２に潜像を形成した後、フォトレジスト１２が塗布されている面が上面となるように、ガラス基板１１を現像機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターンテーブルを回転させることによりガラス基板１１を回転させながら、フォトレジスト１２上に現像液を滴下して現像処理を施して、ガラス基板１１上に深いグルーブおよび浅いグルーブにそれぞれ対応した凹凸パターンを形成する。
【００４７】
次に、凹凸パターン上に無電界メッキ法によりニッケル等からなる導電化膜を形成し、その後、導電化膜が形成されたガラス基板１１を電鋳装置に取り付け、電気メッキ法により導電化膜上に３００±５〔μｍ〕程度の厚さになるようにニッケルメッキ層を形成する。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキをアセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された面に残存しているフォトレジスト１２を除去する。
【００４８】
以上の工程により、ガラス基板１１上に形成されていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記録媒体製造用原盤、すなわち、深いグルーブおよび浅いグルーブにそれぞれ対応した凹凸パターンが形成された光記録媒体製造用原盤（いわゆるスタンパ）が完成する。
【００４９】
次に、転写工程として、フォトポリマー法（ｐｈｏｔｏ　ｐｏｌｙｍａｒｉｚａｔｉｏｎ法、いわゆる２Ｐ法）を用いて、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板を作製する。具体的には、先ず、光記録媒体製造用原盤の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、次に、当該フォトポリマー層に泡やゴミが入らないようにしながら、フォトポリマー層上にベースプレートを密着させる。ここで、ベースプレートには、例えば、１．２ｍｍ厚のポリメチルメタクリレート（屈折率１．４９）からなるベースプレートを使用する。
【００５０】
その後、紫外線を照射してフォトポリマーを硬化させ、その後、光記録媒体製造用原盤を剥離することにより、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２を作製する。
【００５１】
なお、ここでは、光記録媒体製造用原盤に形成された凹凸パターンがより正確にディスク基板２に転写されるように、２Ｐ法を用いてディスク基板２を作製する例を挙げたが、ディスク基板２を量産するような場合には、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネート等の透明樹脂を用いて射出成形によってディスク基板２を作製するようにしても良いことは言うまでもない。
【００５２】
次に、成膜工程として、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２上に記録層３および保護層４を形成する。具体的には例えば、先ず、ディスク基板２の凹凸パターンが形成された面上に、厚さ３５ｎｍの窒化珪素層による光透過成の第１の誘電体層３ａを形成し、この上に磁性層３ｂとして、厚さ３０ｎｍのＧｄＦｅＣｏＡｌによる移動層と、厚さ１５ｎｍのＴｂＦｅＣｏＡｌによる切断層と、厚さ５５ｎｍのＴｂＦｅＣｏによる記録層とがマグネトロンスパッタリングによって順次成膜される。さらに、磁性層３ｂに対して、厚さ３５ｎｍの窒化珪素からなる第２の誘電体層３ｃがマグネトロンスパッタリングによって成膜される。更に、第２の誘電体膜３ｃ上にＡｌ−Ｔｉ合金等からなる光反射膜３ｄを蒸着によって成膜する。この時、マグネトロンスパッタを行う際に、到達真空度を１×１０−６（Ｐａ）程度まで行い、Ａｒガス又はＡｒ＋Ｎ２ガスを導入し１×１００Ｐａから６×１００（Ｐａ）の雰囲気で成膜を行う。この時の成膜電力は、１ｋｗｈから３ｋｗｈで行った。
【００５３】
その結果、第１の誘電体膜３ａ、磁性層３ｂ、第２の誘電体膜３ｃおよび光反射膜３ｄからなる記録層３が形成される。その後、記録層３上に紫外線硬化樹脂がスピンコート法により塗布され、紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護層４が形成される。以上の工程により、ＤＷＤＤ方式の超解像光磁気ディスク１が完成する。
【００５４】
つぎに、上述のような製造方法（２Ｐ法）、または射出成形によって評価用光磁気ディスクを複数作製し、それらの評価を行った結果について説明する。評価作業は、（波長λ＝７８０ｎｍ、ＮＡ＝０．４５）の光ピックアップを備えるＭＤ評価機を用いてなされる。
【００５５】
評価作業では、グルーブ幅とランド幅が同程度であっても、ランド部に新たに浅いグルーブを設けると共に、深いグルーブと浅いグルーブの深さを適切に選ぶことによって、プッシュプル信号でトラッキングサーボをかけることが可能か、ＣＴＳ信号でシークすることも可能かを評価する。この実施の形態のようなＤＷＤＤ超解像光磁気ディスクにおいて、グルーブ幅とランド幅が同程度の時に、グルーブの記録再生特性、ウォブルグルーブのウォブル再生特性を評価する。
【００５６】
最初に、グルーブ幅とランド幅が同じ場合、すなわち、グルーブ幅／トラックピッチ（デューティと適宜称する）＝５０％の場合において、深いグルーブの深さと、浅いグルーブの深さとに対して、トラッキングサーボをかけることできる信号量（例えば１４％以上）のプッシュプル信号が得られるか、並びにトラック数をカウントできる程度の信号量（例えば６％以上）のＣＴＳ信号が得られるか、どうか、をそれぞれ評価した。表１から表５までの評価値は、深いグルーブのボトムの幅ＷＢ＝７００ｎｍとし、トップの幅ＷＴ＝５５０ｎｍの評価ディスクに関するものである。トラックピッチは、例えば１２５０ｎｍであり、グルーブ幅は、（ＷＢ＋ＷＴ）／２で求まる。
【００５７】
また、表中、λ／ｘｎは、深さ（位相深さと呼ばれる）を表しており、λがレーザ光の波長例えば７８０ｎｍであり、ｎがディスク基板の屈折率例えば１．５８を示し、ｘが係数を示す。ｘの値が変化される。ｘ＝８の場合にプッシュプル信号の信号量が最大となり、ｘ＝４の場合にＣＴＳ信号の信号量が最大となる。信号量の定義は、上述したように、ミラー部で得られる信号量を１００％としたものである。ｘの値によって、グルーブの深さ（ｎｍ）が規定される。例えばｘ＝２．６の場合では、７８０ｎｍ／（２．６×１．５８）＝７８０ｎｍ／４．１０８≒１９０ｎｍとなる。また、ｘ＝８の場合では、７８０ｎｍ／（８×１．５８）＝７８０ｎｍ／１２．６４≒６２ｎｍとなる。
【００５８】
下記の表１は、深いグルーブの深さが１９０ｎｍの例であり、浅いグルーブの深さを順に深くした場合のプッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を示している。評価ディスクとしては、浅いグルーブの各深さに対応して１枚ずつの評価ディスクを製造する。または、１枚のディスク上で浅いグルーブの深さが順に変化する評価ディスクを製造する。ｘ＝８でプッシュプル信号の信号量が最大となっており、ｘ＝４に近くなるほど、ＣＴＳ信号の信号量が増加する。
【００５９】
【表１】
2004086942.tif 000003
【００６０】
また、ＷＢ＝７００ｎｍ、ＷＴ＝５５０ｎｍ、デューティ＝５０％の条件で、深いグルーブの深さのいくつかの値の時に、浅いグルーブの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を下記の表２から表５にそれぞれ示す。
【００６１】
【表２】
2004086942.tif 000004
【００６２】
【表３】
2004086942.tif 000005
【００６３】
【表４】
2004086942.tif 000006
【００６４】
【表５】
2004086942.tif 000007
【００６５】
これらの表１から表５において、太線で囲んで示す範囲は、プッシュプル信号の信号量が１４％以上で、トラッキングサーボのために使用でき、且つＣＴＳ信号の信号量が６％以上で、シークのために使用できる範囲である。すなわち、デューティが５０％でも、プッシュプル信号によってトラッキングサーボを行うことができ、ＣＴＳ信号によってシーク動作を行うことができる。
【００６６】
すなわち、位相深さであるλ／ｘｎの係数ｘにおいて、深いグルーブの深さの係数をｘ１とし、浅いグルーブの深さの係数をｘ２とすると、以下の条件（１）から（７）のいずれかの関係を満たせば、プッシュプル信号でトラッキングサーボ、ＣＴＳ信号でシークを安定して行えることがわかる。ただし、ｘ２＝０は除く。
【００６７】
ｘ１＝２．６、　５．８≦ｘ２≦７．０・・・（１）
ｘ１＝２．４、　４．７≦ｘ２≦７．０・・・（２）
ｘ１＝２．２、　４．１≦ｘ２≦７．８・・・（３）
ｘ１＝２．０、　３．９≦ｘ２≦７．４・・・（４）
ｘ１＝１．９、　４．３≦ｘ２≦７．０・・・（５）
【００６８】
次に、ＷＢ＝７５０ｎｍ、ＷＴ＝６００ｎｍ、デューティ＝５４％の条件で、深いグルーブの深さのいくつかの値の時に、浅いグルーブの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を下記の表６から表１１にそれぞれ示す。
【００６９】
【表６】
2004086942.tif 000008
【００７０】
【表７】
2004086942.tif 000009
【００７１】
【表８】
2004086942.tif 000010
【００７２】
【表９】
2004086942.tif 000011
【００７３】
【表１０】
2004086942.tif 000012
【００７４】
【表１１】
2004086942.tif 000013
【００７５】
これらの表６から表１１から分かるように、デューティが５４％でも、太線で囲んで示す範囲は、プッシュプル信号の信号量が１４％以上で、トラッキングサーボのために使用でき、且つＣＴＳ信号の信号量が６％以上で、プッシュプル信号およびＣＴＳ信号として、充分な振幅を有するものを再生することができる。その結果、プッシュプル信号によってトラッキングサーボを行うことができ、ＣＴＳ信号によってシーク動作を行うことができる。
【００７６】
すなわち、位相深さであるλ／ｘｎの係数ｘにおいて、深いグルーブの深さの係数をｘ１とし、浅いグルーブの深さの係数をｘ２とすると、以下の条件（６）から（１１）のいずれかの関係を満たせば、プッシュプル信号でトラッキングサーボ、ＣＴＳ信号でシークを安定して行えることがわかる。ただし、ｘ２＝０は除く。
【００７７】
ｘ１＝２．８、　９．０≦ｘ２≦１４．０・・・（６）
ｘ１＝２．６、　６．４≦ｘ２≦１４．０・・・（７）
ｘ１＝２．４、　４．９≦ｘ２≦１２．０・・・（８）
ｘ１＝２．２、　４．２≦ｘ２≦１０．０・・・（９）
ｘ１＝２．０、　３．９≦ｘ２≦８．３・・・（１０）
ｘ１＝１．９、　４．０≦ｘ２≦６．５・・・（１１）
【００７８】
次に、ＷＢ＝８００ｎｍ、ＷＴ＝６５０ｎｍ、デューティ＝５８％の条件で、深いグルーブの深さのいくつかの値の時に、浅いグルーブの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を下記の表１２から表１７にそれぞれ示す。
【００７９】
【表１２】
2004086942.tif 000014
【００８０】
【表１３】
2004086942.tif 000015
【００８１】
【表１４】
2004086942.tif 000016
【００８２】
【表１５】
2004086942.tif 000017
【００８３】
【表１６】
2004086942.tif 000018
【００８４】
【表１７】
2004086942.tif 000019
【００８５】
これらの表１２−表１７から分かるように、デューティが５８％でも、太線で囲んで示す範囲は、プッシュプル信号の信号量が１４％以上で、トラッキングサーボのために使用でき、且つＣＴＳ信号の信号量が６％以上で、プッシュプル信号によってトラッキングサーボを行うことができ、ＣＴＳ信号によってシーク動作を行うことができる。
【００８６】
すなわち、位相深さであるλ／ｘｎの係数ｘにおいて、深いグルーブの深さの係数をｘ１とし、浅いグルーブの深さの係数をｘ２とすると、以下の条件（１２）から（１７）のいずれかの関係を満たせば、プッシュプル信号でトラッキングサーボ、ＣＴＳ信号でシークを安定して行えることがわかる。ただし、ｘ２＝０は除く。
【００８７】
ｘ１＝２．８、　１０．０≦ｘ２≦２４．０・・・（１２）
ｘ１＝２．６、　６．９≦ｘ２≦１２．０・・・（１３）
ｘ１＝２．４、　５．３≦ｘ２≦２４．０・・・（１４）
ｘ１＝２．２、　４．４≦ｘ２≦１４．０・・・（１５）
ｘ１＝２．０、　３．９≦ｘ２≦１０．０・・・（１６）
ｘ１＝１．９、　３．９≦ｘ２≦８．０・・・（１７）
【００８８】
したがって、デューティが５０％−５８％の範囲では、深いグルーブと浅いグルーブの深さに対して、プッシュプル信号の信号量が１４％程度以上において安定なトラッキングサーボが可能であり、また、ＣＴＳ信号の信号量が６％以上において安定なシークが可能であった。
【００８９】
また、デューティが５０％−５８％の範囲で、プッシュプル信号の信号量が１４％程度以上で、ＣＴＳ信号の信号量が６％以上となるような適切なグルーブの深さに対して、深いグルーブのみにＤＷＤＤ超解像光磁気の記録再生を行い、ジッターが９％程度の再生が可能であり、良好な記録再生特性を実現できた。さらに、深いウォブルグルーブからウォブル信号の再生が可能であった。
【００９０】
次に、評価ディスクの他のいくつかの例について説明する。最初に、ＷＢ＝７００ｎｍ、ＷＴ＝５５０ｎｍ、デューティ＝５０％の条件で、深いグルーブの深さのいくつかの値の時に、浅いグルーブの深さを変化させた場合、深いグルーブの深さと、浅いグルーブの深さとに対して、トラッキングサーボをかけることできる信号量（例えば１４％以上）のＣＴＳ信号が得られるか、並びにトラック数をカウントできる程度の信号量（例えば６％以上）のプッシュプル信号が得られるか、どうか、をそれぞれ評価した。プッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を下記の表１８から表２１にそれぞれ示す。他の評価ディスクの例では、浅いグルーブの深さを比較的深くし、より大きな振幅量のＣＴＳ信号を得ることが可能なことを示している。
【００９１】
【表１８】
2004086942.tif 000020
【００９２】
【表１９】
2004086942.tif 000021
【００９３】
【表２０】
2004086942.tif 000022
【００９４】
【表２１】
2004086942.tif 000023
【００９５】
さらに、ＷＢ＝７５０ｎｍ、ＷＴ＝６００ｎｍ、デューティ＝５４％の条件で、深いグルーブの深さのいくつかの値の時に、浅いグルーブの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を下記の表２２から表２６にそれぞれ示す。
【００９６】
【表２２】
2004086942.tif 000024
【００９７】
【表２３】
2004086942.tif 000025
【００９８】
【表２４】
2004086942.tif 000026
【００９９】
【表２５】
2004086942.tif 000027
【０１００】
【表２６】
2004086942.tif 000028
【０１０１】
さらに、ＷＢ＝８００ｎｍ、ＷＴ＝６５０ｎｍ、デューティ＝５８％の条件で、深いグルーブの深さのいくつかの値の時に、浅いグルーブの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を下記の表２７から表３２にそれぞれ示す。
【０１０２】
【表２７】
2004086942.tif 000029
【０１０３】
【表２８】
2004086942.tif 000030
【０１０４】
【表２９】
2004086942.tif 000031
【０１０５】
【表３０】
2004086942.tif 000032
【０１０６】
【表３１】
2004086942.tif 000033
【０１０７】
【表３２】
2004086942.tif 000034
【０１０８】
これらの表１８−表３２から分かるように、太線で囲んで示す範囲は、デューティが５０％−５８％の範囲では、深いグルーブと浅いグルーブの深さに対して、ＣＴＳ信号の信号量が１４％程度以上において安定なトラッキングサーボが可能であり、また、プッシュプル信号の信号量が６％以上において安定なシークが可能であった。
【０１０９】
すなわち、デューティが５０％の場合、表１８から表２１に示すように、位相深さであるλ／ｘｎの係数ｘにおいて、深いグルーブの深さの係数をｘ１とし、浅いグルーブの深さの係数をｘ２とすると、以下の条件（１８）から（２１）のいずれかの関係を満たせば、ＣＴＳ信号でトラッキングサーボ、プッシュプル信号でシークを安定して行えることがわかる。ただし、ｘ２＝０は除く。
【０１１０】
ｘ１＝２．２、　３．２≦ｘ２≦４．１・・・（１８）
ｘ１＝２．０、　３．２≦ｘ２≦４．０・・・（１９）
ｘ１＝１．９、　３．１≦ｘ２≦４．０・・・（２０）
ｘ１＝１．８、　３．２≦ｘ２≦３．８・・・（２１）
【０１１１】
デューティが５４％の場合、表２２から表２６に示すように、位相深さであるλ／ｘｎの係数ｘにおいて、深いグルーブの深さの係数をｘ１とし、浅いグルーブの深さの係数をｘ２とすると、以下の条件（２２）から（２６）のいずれかの関係を満たせば、ＣＴＳ信号でトラッキングサーボ、プッシュプル信号でシークを安定して行えることがわかる。ただし、ｘ２＝０は除く。
【０１１２】
ｘ１＝２．４、　３．８≦ｘ２≦４．１・・・（２２）
ｘ１＝２．２、　３．３≦ｘ２≦４．３・・・（２３）
ｘ１＝２．０、　３．１≦ｘ２≦４．３・・・（２４）
ｘ１＝１．９、　３．０≦ｘ２≦４．１・・・（２５）
ｘ１＝１．８、　３．０≦ｘ２≦３．９・・・（２６）
【０１１３】
デューティが５８％の場合、表２７から表３２に示すように、位相深さであるλ／ｘｎの係数ｘにおいて、深いグルーブの深さの係数をｘ１とし、浅いグルーブの深さの係数をｘ２とすると、以下の条件（２２）から（２６）のいずれかの関係を満たせば、ＣＴＳ信号でトラッキングサーボ、プッシュプル信号でシークを安定して行えることがわかる。ただし、ｘ２＝０は除く。
【０１１４】
ｘ１＝２．６、　５．０≦ｘ２≦５．１・・・（２７）
ｘ１＝２．４、　４．１≦ｘ２≦５．４・・・（２８）
ｘ１＝２．２、　３．４≦ｘ２≦５．０・・・（２９）
ｘ１＝２．０、　３．１≦ｘ２≦４．５・・・（３０）
ｘ１＝１．９、　３．０≦ｘ２≦４．３・・・（３１）
ｘ１＝１．８、　２．９≦ｘ２≦４．０・・・（３２）
【０１１５】
また、デューティが５０％−５８％の範囲で、ＣＴＳ信号の信号量が１４％程度以上で、プッシュプル信号の信号量が６％以上となるような適切なグルーブの深さに対して、深いグルーブのみにＤＷＤＤ超解像光磁気の記録再生を行い、ジッターが９％程度の再生が可能であり、良好な記録再生特性を実現できた。さらに、深いウォブルグルーブからウォブル信号の再生が可能であった。
【０１１６】
図４は、上述した光磁気ディスクを使用する記録再生装置の構成例を示す。図４において、参照符号５１が上述したように、深いウォブルグルーブと浅いグルーブが交互に形成された光磁気ディスクである。入力端子５２には、記録するデータが供給される。データ変調器５３は、入力データに対してディジタル変調を施す。例えばＲＬＬ（１，７）によって入力データが変調される。ＲＬＬ（１，７）では、最短マーク長が２Ｔで最長マーク長が８Ｔである。
【０１１７】
データ変調器５３の出力データが記録ヘッド駆動部５４に供給される。記録ヘッド駆動部５４は、記録／再生部５５に含まれる記録ヘッドに変調データを供給する。記録／再生部５４には、光ピックアップが含まれている。記録時では、記録用のレーザ光を光ピックアップが光磁気ディスク５１に対して照射し、データを深いグルーブのみに記録する。
【０１１８】
また、光ピックアップは、光磁気ディスク５１からの反射光からトラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号およびアドレス情報を含むウォブル信号を生成する。トラッキングエラー信号は、プッシュプル信号またはＣＴＳ信号から形成される。記録／再生部５５からのトラッキングエラー信号およびフォーカスエラー信号は、サーボ部５６に対して出力される。サーボ部５６は、記録／再生部５５内の光ピックアップのトラッキングおよびフォーカスを制御する制御信号、光磁気ディスク３１の回転を制御する制御信号、並びに光ピックアップのディスク径方向の移動を制御する制御信号を生成する。
【０１１９】
ウォブル信号は、ウォブル信号検出部５７に出力される。ウォブル信号検出部５７は、ウォブル信号からアドレス情報を復調し、アドレス情報をアドレスデコーダ５８に対して出力する。さらに、ウォブル信号検出部５７は、ウォブル信号から正弦波のキャリア信号を抽出し、サーボ部５６に対して抽出したキャリア信号を供給する。
【０１２０】
アドレスデコーダ５８は、ウォブル信号検出部５７から供給されるアドレス情報信号からアドレスを算出し、そのアドレスをシステムコントローラ５９に対して出力する。システムコントローラ５９は、アドレスデコーダ５８から供給されるアドレス情報にしたがって、所定の制御信号をサーボ部５６に出力すると共に、入力装置６０から所定の操作に対応する信号が供給されると、その操作に応じた制御信号をサーボ部５６に出力し、記録／再生部５５を制御するようになされている。
【０１２１】
光磁気ディスク５１の光ピックアップによって読み出され、記録／再生部５５における処理によって得られた再生データがデータ復調器６１に供給される。データ復調器６１では、記録時に施されたディジタル変調例えばＲＬＬ（１，７）の復調処理がなされる。データ復調器６１の出力端子６２に対して再生データが取り出される。
【０１２２】
この発明は、上述したこの発明の一実施形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能であり、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、再生専用の光記録媒体、繰り返しデータの書き換えが可能な光記録媒体、或いはデータの追記は可能だか消去はできないような光記録媒体のいずれでもよい。
【０１２３】
また、データの記録方法も特に限定されるものではなく、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、予めデータが書き込まれている再生専用の光記録媒体、磁気光学効果を利用してデータの記録再生を行う光磁気記録媒体、或いは記録層の相変化を利用してデータの記録再生を行う相変化型光記録媒体などのいずれでもよい。
【０１２４】
また、この発明は、記録領域の少なくとも一部にグルーブが形成されている光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能である。すなわち、例えば、記録領域全体にグルーブが形成されていてもよいし、或いは、グルーブが形成されることなくエンボスピットによってデータが記録されているような領域が記録領域内に存在していてもよい。
【０１２５】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、この発明によれば、グルーブ幅／トラックピッチが５０％−５８％の場合でも、浅いグルーブを設けることによって、ある程度の信号量の和信号（ＣＴＳ信号）が得られ、ＣＴＳ信号によってシーク動作を行うことが可能となり、ＣＴＳ信号によってトラッキングサーボをかけることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を適用した光磁気ディスクの一例について、その要部を拡大して示す断面図である。
【図２】この発明を適用した光磁気ディスクの記録領域の一部とＣＴＳ信号の波形とプッシュプル信号の波形を示す略線図である。
【図３】この発明に係る記録媒体および記録媒体製造用原盤を作製する際に使用されるレーザカッティング装置の一例について、その光学系の概要を示す略線図である。
【図４】この発明を適用した光磁気ディスクに対して記録再生を行う記録再生装置の一例のブロック図である。
【図５】従来の光磁気ディスクの記録領域の一部とＣＴＳ信号の波形とプッシュプル信号の波形を示す略線図である。
【図６】ＤＷＤＤ超解像度光磁気ディスクの説明に用いる一部断面図である。
【符号の説明】
１・・・光磁気ディスク、２・・・ディスク基板、３・・・記録層、４・・・保護層、１０・・・レーザカッティング装置、１１・・・ガラス基板、・・・１２　　フォトレジスト、１３・・・光源、１４・・・電気光学変調器、２０・・・音響光学偏向器（ＡＯＤ）、２３・・・電圧制御発振器、２４・・・対物レンズ、３１，４１・・・変調光学系、Ｌ３・・・拡大レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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