(57)【要約】【課題】レンズ作用を有しない光学系の有効利用を図ることができる露光装置を提供する。【解決手段】アウトプットカプラー３を備える露光装置であって、アウトプットカプラーを、光の透過領域として未使用の領域を位置せしめるべく光軸に対して垂直な平面内において可動自在に支持する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ作用を有しない光学系を備える露光装置であって、
前記光学系は、光の透過領域として未使用の領域を位置せしめるべく光軸に対して垂直な平面内において可動自在に支持された
ことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光装置に関する。詳しくは、レンズ作用を有しない光学系を備える露光装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体デバイスの製造工程の１つであるリソグラフィー工程においては、マスクまたはレクチルに形成された回路パターンをレジストが塗布されたウェーハまたはガラスプレート等の基板上に転写する種々の露光装置が用いられている。例えば、近年における集積回路の高集積化に伴うパターンの最小線幅の微細化に応じて、マスクまたはレクチルのパターンを投影光学系を用いてウェーハ上に縮小転写する縮小投影露光装置が主として用いられている。
【０００３】
ここで、従来の露光装置は、図２で示す様に、狭帯化モジュール１０１、レーザーチャンバー１０２及び安定化モジュール１０３を備え、図３で示す様に、レーザーチャンバーと安定化モジュールの間にプレート１０４が配設され、このプレートにアウトプットカプラー１０５が取り付けられると共に、ビームチューブ１０６でカバーされた構成を採っている。なお、アウトプットカプラーはプレートに固定されており、可動することができない様に構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ここで、露光装置内のレーザーチャンバーで造られたレーザーは、アウトプットカプラーを透過して対象物に照射されるのであるが、使用を続けていくうちに、レーザーが当たっている領域に酸化膜が付着する等の理由によりアウトプットカプラーに劣化が生じてしまう。なお、劣化が生じたアウトプットカプラーはレーザーの照度強さが低下してしまい露光装置の状態が悪化してしまうために、アウトプットカプラーは推定寿命に達した際に交換を行っている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００３−８１２２号公報  （第３−１１頁、第９図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、酸化膜の付着等によってアウトプットカプラーに劣化が生じる領域は、レーザーが透過する領域である図４中符号Ａで示すアウトプットカプラーの一部分に過ぎず、その他の領域、即ち、レーザーが透過していない領域は劣化が生じていないにも拘らず、アウトプットカプラーが可動することができない様な構成を採っているために、レーザーが透過する一部分の領域に劣化が生じた場合にはアウトプットカプラーそのものを交換しなければならなかった。
【０００７】
本発明は、以上の点に鑑みて創案されたものであって、レンズ作用を有しない光学系の有効利用を図ることができる露光装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る露光装置は、レンズ作用を有しない光学系を備える露光装置であって、前記光学系は、光の透過領域として未使用の領域を位置せしめるべく光軸に対して垂直な平面内において可動自在に支持された。
【０００９】
ここで、光学系が光の透過領域として未使用の領域を位置せしめるべく光軸に対して垂直な平面内において可動自在に支持されたことによって、使用により光学系に劣化が生じた場合に劣化が生じていない未使用の領域を使用領域として位置せしめることができ、光学系の有効利用を図ることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
【００１１】
図１は本発明を適用した露光装置の一例を説明するための模式的な構成図であり、ここで示す露光装置は、上記した従来の露光装置と同様に、狭帯化モジュール、レーザーチャンバー及び安定化モジュール（いずれも図示せず）を備え、レーザーチャンバーと安定化モジュールの間にレーザーチャンバーで造られたレーザーが通過するレーザー通過孔１が形成されたプレート２が配置され、このプレートのチャンバーとは反対側、即ち、安定化モジュール側に図１中符号ａで示す上下方向及び図１中符号ｂで示す左右方向に可動自在であり、上下方向からアウトプットカプラー３を挟み込む様に固定するアウトプットカプラーケース４にアウトプットカプラーが取り付けられると共に、アウトプットカプラーカバー５及びビームチューブ６でカバーされた構成を採っている。
【００１２】
ここで、アウトプットカプラーケースは、使用によってアウトプットカプラーにおけるレーザーの透過領域が劣化した際に、レーザーの透過領域としてアウトプットカプラーにおける未使用の領域を位置せしめることができれば充分であり、必ずしも上下方向及び左右方向に可動自在である必要は無く、上下方向または左右方向のいずれかのみに可動自在であっても良い。
【００１３】
同様に、アウトプットカプラーケースは、使用によってアウトプットカプラーにおけるレーザーの透過領域が劣化した際に、レーザーの透過領域としてアウトプットカプラーにおける未使用の領域を位置せしめることができれば充分であり、アウトプットカプラーの固定方法は、上下から挟み込むことによる固定方法に限定されない。
【００１４】
また、上記した本発明を適用した露光装置の一例では、長方形の形状であるアウトプットカプラーを例に挙げて説明を行ったが、アウトプットカプラーの形状は必ずしも長方形の形状である必要は無く、例えば、円形の形状等であっても良く、アウトプットカプラーの形状によってアウトプットカプラーケースやアウトプットカプラーカバーの形状も異なってくる。
【００１５】
更に、アウトプットカプラーケースの可動方法は、手動式あるいは電動式のいずれであっても構わない。
【００１６】
また、上記した本発明を適用した露光装置の一例では、光学系としてアウトプットカプラーを例に挙げて説明を行ったが、光が透過することによってその一部分が劣化するレンズ作用を有しない光学系であれば、必ずしもアウトプットカプラーに限定されるものでは無い。なお、レンズ作用を有する光学系においては、収差の問題が生じてしまうために、光学系を可動することは困難であると考えられる。
【００１７】
本発明を適用した露光装置の一例では、アウトプットカプラーの大幅な延命が可能となり、露光装置のランニングコストの削減を図ることができる。即ち、従来は、使用時間がアウトプットカプラーの推定寿命に達した場合にはアウトプットカプラーそのものの交換を行う必要があったが、本発明を適用した露光装置の一例では、使用時間がアウトプットカプラーの推定寿命に達したとしても、レーザーの透過領域としてアウトプットカプラーにおける未使用の領域を位置せしめることによって、アウトプットカプラーの継続使用が可能であり、アウトプットカプラーの有効利用を通じてアウトプットカプラーの大幅な延命が可能となる。
【００１８】
また、アウトプットカプラーの大幅な延命が可能になることによって、露光装置のメンテナンスが軽減され、設備の可動率が向上すると共に、安定した製品の品質を確保できる。
【００１９】
【発明の効果】
以上述べてきた如く、本発明の露光装置では、レンズ作用を有しない光学系の有効利用を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した露光装置の一例を説明するための模式的な構成図である。
【図２】従来の露光装置を説明するための模式的な図である。
【図３】従来の露光装置を説明するための模式的な拡大図である。
【図４】アウトプットカプラーの劣化領域を説明するための図である。
【符号の説明】
１    レーザー通過孔
２    プレート
３    アウトプットカプラー
４    アウトプットカプラーケース
５    アウトプットカプラーカバー
６    ビームチューブ
【図１】
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【図２】
2004335587.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004335587.tif 000006