(57)【要約】【課題】ガラス基板等の脆性基板を搬送台車に搭載して搬送するにあたり、振動や衝撃による該脆性基板の異常発生の有無及び異常の状態を定量的かつ経時的に検知することにより、該脆性基板の破損防止処置を的確な時期に無駄なく行うことを可能として、該脆性基板の破損を未然に防止し得る脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法を提供する。【解決手段】搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視手段において、前記脆性基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記脆性基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする。【選択図】　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視装置において、前記脆性基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記脆性基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする脆性基板の異常監視装置。
【請求項２】
前記振れ検出器あるいは歪検出器からの振れあるいは歪の検出データ、前記異常判定手段における判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガ、及び電流増幅器等の計測関連機器が収納された密閉容器を前記搬送台車上に搭載してなることを特徴とする請求項１記載の脆性基板の異常監視装置。
【請求項３】
前記密閉容器は、平滑な絶縁表面を有する箱状のケース部材の内周に断熱部材層を形成し該断熱部材層の内側に前記データロガ及び計測関連機器が収納されてなることを特徴とする請求項２記載の脆性基板の異常監視装置。
【請求項４】
真空中を走行する搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板の異常の有無を監視する太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視装置において、前記ガラス基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記ガラス基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする脆性基板の異常監視装置。
【請求項５】
搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視方法において、前記脆性基板の振れ及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪の何れか一方または双方を検出し、前記振れあるいは歪の検出値と該振れあるいは歪の許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定し、該異常の有無判定データをデータロガに格納しておき、該データロガをバッチ的に開き、前記脆性基板に異常の判定があったとき該脆性基板の破損防止処置を行うことを特徴とする脆性基板の異常監視方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池生産システムに用いられる太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視システム等に適用され、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５は太陽電池生産システムの概略配置を示す。図において、１０３は真空に保持された製膜室、１０５は回転中心周りに複数個放射状に配置された回転室、１０４は該回転室１０５と製膜室１０３との間に設置されたガラス基板搬送台車の待機室である。
かかる太陽電池生産システムにおいては、台車フレームに支持されたガラス基板を搭載した搬送台車をレール５に沿って転送し、回転室１０５から待機室１０４に搬入して所定時間待機させた後、製膜室１０３に搬入して所定の作業を行っている。
【０００３】
かかるガラス基板を搭載した搬送台車の転送時において、脆性材料からなるガラス基板が、製膜室１０３内における搬送台車の車輪とレール５との間に堆積したパーティクルへの台車の乗り上げ、レール５間の隙間５ａにおける段差変化、台車フレームとガラス基板との間の位置決め誤差等によって損傷を生じることがある。
前記のようなガラス基板の損傷の主因である搬送台車の振動や衝撃を抑制するため、従来は、水平クロスローラの追設、ガラス基板支持部の構造面及び材料面の強化、ガラス基板支持部における振動吸収装置の設置等の処置を施している。
【０００４】
また、特許文献１（特開平１１−１７６９１１号公報）においては、半導体基板のキャリアを搬送するキャリア搬送装置と露光装置との間にインターフェース装置を設け、該インターフェース装置により、露光装置とキャリア搬送装置との間で基板を受け渡す際に、露光装置とキャリア搬送装置との位置決めを行い、基板の受渡しを安全かつ確実に行うように構成されている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１７６９１１号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
脆性材料からなるガラス基板を搬送する搬送台車の移動時あるいは製膜室１０３内での作業時においては、前記のように搬送台車に作用する振動や衝撃によってガラス基板が破損し易い状態にあるが、従来は、かかる破損の要因となる振動や衝撃を抑制するため前記のような処置を施している。
しかしながら、かかる従来技術にあっては、前記ガラス基板の振動や衝撃による異常状態の発生状況を定量的にかつ経時的に検知することなく前記のような処置を施しているのが実情であり、このため前記ガラス基板の振動や衝撃に対する抑制処置を的確な時期に無駄なくかつ充分に行うことが困難となる、
また、前記特許文献１においては、半導体基板の受渡しを安全かつ確実に行う手段が開示されているにとどまり、基板に振動や衝撃が作用する場合についての対処はなされていない、
等の問題点を有している。
【０００７】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑み、ガラス基板等の脆性基板を搬送台車に搭載して搬送するにあたり、振動や衝撃による該脆性基板の異常発生の有無及び異常の状態を定量的かつ経時的に検知することにより、該脆性基板の破損防止処置を的確な時期に無駄なく行うことを可能として、該脆性基板の破損を未然に防止し得る脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明はかかる課題を解決するため、請求項１記載の発明として、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視装置において、前記脆性基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記脆性基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする脆性基板の異常監視装置を提案する。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１に加えて、前記振れ検出器あるいは歪検出器からの振れあるいは歪の検出データ、前記異常判定手段における判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガ、及び電流増幅器等の計測関連機器が収納された密閉容器を前記搬送台車上に搭載してなることを特徴とする。
請求項２において、好ましくは請求項３記載のように、前記密閉容器は、平滑な絶縁表面を有する箱状のケース部材の内周に断熱部材層を形成し該断熱部材層の内側に前記データロガ及び計測関連機器が収納されてなるのがよい。
【００１０】
請求項５記載の発明は、請求項１ないし３の発明に係る脆性基板の異常監視装置を使用する方法の発明に係り、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視方法において、前記脆性基板の振れ及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪の何れか一方または双方を検出し、前記振れあるいは歪の検出値と該振れあるいは歪の許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定し、該異常の有無判定データをデータロガに格納しておき、該データロガをバッチ的に開き、前記脆性基板に異常の判定があったとき該脆性基板の破損防止処置を行うことを特徴とする。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項１ないし３及び５の発明を実施する方法に係り、前記脆性基板の異常監視装置を太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視に適用したもので、真空中を走行する搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板の異常の有無を監視する太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視装置において、前記ガラス基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記ガラス基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする。
【００１２】
かかる発明によれば、請求項４におけるガラス基板を含む脆性基板を支持する搬送台車フレームの上端部等の、振動、衝撃等の振れが大きい部位に振れ検出器を設置するか、あるいは前記脆性基板を前記フレームに取り付けるための支持具の該脆性基板に近接した部位に歪検出器を設置するか、あるいは前記振れ検出器及び歪検出器の双方を設置し、該振れ検出器にて検出された脆性基板の振れの検出信号及び歪検出器にて検出された脆性基板支持部の歪の検出信号を異常判定手段に入力する。
【００１３】
そして、該異常判定手段において、前記振れの検出値と許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定し、あるいは歪の検出値と許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定するとともに異常状態への接近度合いを検出し、かかる異常の有無判定データ及び異常状態への接近度合い検出データをデータロガに格納しておき、該データロガをバッチ的に開き、前記脆性基板の異常状態への接近度合いを検知し把握するとともに、異常の有無判定データに前記脆性基板の異常の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行う。
【００１４】
従ってかかる発明によれば、脆性基板に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは脆性基板に近接した支持部に発生している歪の検出値と許容値とを比較し該脆性基板の異常の有無を判定することにより該脆性基板の異常発生状況を監視して、異常発生の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行うので、該脆性基板の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
これにより、該脆性基板の破損防止処置を破損に至る以前の的確な時期に無駄なく行うことが可能となり、振動、衝撃による該脆性基板の破損を未然に防止することができる。
【００１５】
また請求項２、３のように構成すれば、前記脆性基板の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガを搬送台車上に搭載された密閉容器内に格納しておき、該データロガをバッチ的に開いて該データロガに格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器を一定期間毎に開いて該密閉容器内のデータロガに格納されたデータを検知するのみで前記脆性基板の異常発生状況を把握することができる。これにより、脆性基板の異常監視を少ない工数でかつ能率的に行うことが可能となる。
【００１６】
また、請求項３のように、前記データロガ及び計測関連機器類が収納されている密閉容器を平滑な絶縁表面を有する箱状のケース部材の内周に断熱部材層を設けて形成したので、該データロガ及び計測関連機器類を外部からの電気的、熱的影響を受けることなく高精度で以って長時間保持することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示した実施例を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
【００１８】
図１は本発明の実施例に係る太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板及びその異常監視装置の概略側面図、図２は図１のＡ―Ａ部分矢視図である。図３は前記異常監視装置における密閉容器の片側を開放した斜視図である。図４は前記実施例における異常監視の制御フローチャートである。
【００１９】
本発明の実施例を示す図１〜２において、５はレール、１００は該レール５上を走行する搬送台車である。２は該搬送台車１００の台車フレームで、該台車フレーム２の下部には複数の車輪４が取り付けられている。
１はガラス基板（脆性基板）で、図２に示されるように、前記台車フレーム２の側部に隅部の複数箇所（この例では４箇所）を、支持具３を介して該台車フレーム２に固定されている。６は後述する構成を備えた密閉容器で、前記台車フレーム２内の走行に伴う振れが少なくかつ温度の低い部位に着脱可能に設置されている。
【００２０】
７は前記ガラス基板１に作用する振動、衝撃等の動的な振れを検出する加速度検出器で、前記搬送台車フレーム２の上端部等の、前記動的な振れの大きい部位に設置されている。８は歪検出器で、前記４個の支持具３のガラス基板１に近接した部位に取り付けられている。そして前記加速度検出器７及び各歪検出器８の検出信号は検出回線０７及び０８を介して前記密閉容器６内のデータロガ６４（図３参照）に伝送されている。
【００２１】
１１は前記搬送台車１００に搭載された異常判定手段で、前記加速度検出器７からの振れの検出値と許容値とを比較してガラス基板１の異常の有無を判定し、あるいは前記歪検出器８からの歪の検出値と許容値とを比較してガラス基板１の異常の有無を判定するとともに、前記振れの検出値と許容値とを比較値、あるいは前記歪の検出値と許容値とを比較値から、ガラス基板１がどの程度異常状態へ接近しているかという接近度合いを検出して、これらの判定結果及び検出結果を回線１０及び接続端子９を介して前記データロガ６４（図３参照）に伝送するようになっている。
【００２２】
前記密閉容器６の詳細を示す図３において、６１は平滑な絶縁表面を有する箱状のケースで、表面にアルマイト処理を施したアルミニウム板、表面に絶縁被膜が形成されたステンレス板等からなる。６２は前記ケース６１の内周に一定厚さで以って貼りつけられた断熱材で、該断熱材６２の内側に前記データロガ６４並びに前記加速度検出器７からの検出回線０７及び前記歪検出器８からの検出回線０７が接続される増幅器６３等の計測関連機器が収納されている。
このように、該データロガ６４及び増幅器６３等の計測関連機器類を平滑な絶縁表面を有するケース内に断熱材６２を介して収納したので、該データロガ６４及び計測関連機器類を外部からの電気的、熱的影響を受けることなく高精度に長時間維持することが可能となる。
【００２３】
かかる構成からなるガラス基板及びその異常監視装置において、前記加速度検出器７により検出された振動、衝撃等の振れの検出信号、並びに前記歪検出器８にて検出されたガラス基板１の支持具３における歪の検出信号が前記異常判定手段１１に入力されると、該異常判定手段１１においては、次のような動作を行う。
【００２４】
即ち図４において、前記振れの検出信号及び歪の検出信号が入力されると（ステップ（１）、（２））、該振れの検出値と予め設定されている振れの許容値とを比較しその偏差を算出する（ステップ（３））。また歪の検出値と予め設定されている歪の許容値とを比較しその偏差を算出する（ステップ（４））。
そして、前記振れの検出値が許容値よりも大きくなっているとき即ち前記偏差≧０のとき、ガラス基板１に作用している振れが異常状態にあるものと判定する（ステップ（５））、また前記歪の検出値が許容値よりも大きくなっているとき即ち前記偏差≧０のとき、ガラス基板１に発生している歪が異常状態にあるものと判定する（ステップ（６））。
【００２５】
また、前記振れの検出値が許容値よりも小さいとき該検出値と許容値との偏差から、ガラス基板１の振れがどの程度異常状態へ接近しているかという振れの接近度合いを検出するとともに、前記歪の検出値が許容値よりも小さいとき該検出値と許容値との偏差から、ガラス基板１に発生している歪がどの程度異常状態へ接近しているかという歪の接近度合いを検出する。
【００２６】
前記加速度検出器７からの振れの検出データ、前記歪検出器８からの歪の検出データ、前記異常判定手段１１からの前記振れ及び歪の異常状態の有無の判定データ並びに該振れ及び歪の異常状態への接近度合いの検出データは、それぞれ前記データロガ６４に格納される。
そして、該データロガ６４を一定期間毎にバッチ的に開き、前記ガラス基板１の異常状態への接近度合いを把握するとともに、異常の有無判定データに前記ガラス基板１の異常判定があったときには該ガラス基板１について破損防止処置を行う。
この場合、前記振れまたは歪の何れか一方の判定データが異常状態であれば、該ガラス基板１について破損防止処置を行う（ステップ（７））。
【００２７】
尚、前記実施例において、前記加速度検出器７による振れの検出から異常判定手段１１における振れの異常判定及び接近度合い検出処理、あるいは前記歪検出器８による歪の検出から異常判定手段１１における歪の異常判定及び接近度合い検出処理については、かかる２つの検出及び処理の何れか一方のみを行うようにしてもよい。
【００２８】
かかる実施例によれば、ガラス基板１に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは該ガラス基板１近接した支持具３に発生している歪の検出値と許容値とを比較して該ガラス基板１の異常の有無を判定することにより該ガラス基板１の異常発生状況を監視し、異常発生の判定があったときには該ガラス基板１について破損防止処置を行うので、該ガラス基板１の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
【００２９】
また、前記ガラス基板１の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガ６４を搬送台車上に搭載された密閉容器６に格納しておき、該データロガ６４をバッチ的に開いて該データロガ６４に格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器６を一定期間毎に開いて該密閉容器６内のデータロガ６４に格納されたデータを検知するのみでガラス基板１の異常発生状況を把握することができる。
【００３０】
また、本発明は、前記ガラス基板１に限らず、セラミック基板、プラズマ基板等の脆性材からなる脆性基板、特に高真空度の環境中で作業がなされる脆性基板に広く適用できる。
【００３１】
【発明の効果】
以上記載の如く本発明によれば、脆性基板に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは脆性基板に近接した支持部に発生している歪の検出値と許容値とを比較し該脆性基板の異常の有無を判定することにより該脆性基板の異常発生状況を監視して、異常発生の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行うので、該脆性基板の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
これにより、該脆性基板の破損防止処置を破損に至る以前の的確な時期に無駄なく行うことが可能となり、振動、衝撃による該脆性基板の破損を未然に防止することができる。
【００３２】
また請求項２、３のように構成すれば、前記脆性基板の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガを搬送台車上に搭載された密閉容器内に格納しておき、該データロガをバッチ的に開いて該データロガに格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器を一定期間毎に開いて該密閉容器内のデータロガに格納されたデータを検知するのみで前記脆性基板の異常発生状況を把握することができる。これにより、脆性基板の異常監視を少ない工数でかつ能率的に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板及びその異常監視装置の概略側面図である。
【図２】図１のＡ―Ａ部分矢視図である。
【図３】前記異常監視装置における密閉容器の片側を開放した斜視図である。
【図４】前記実施例における異常監視の制御フローチャートである。
【図５】本発明が適用される太陽電池生産システムの概略配置を示す側面図である。
【符号の説明】
１　　　ガラス基板
２　　　台車フレーム
３　　　支持具
５　　　レール
６　　　密閉容器
７　　　加速度検出器
８　　　歪検出器
６１　　ケース
６２　　断熱材
６４　　データロガ
１００　搬送台車
１０３　製膜室
【図１】
2004137059.tif 000003
【図２】
2004137059.tif 000004
【図３】
2004137059.tif 000005
【図４】
2004137059.tif 000006
【図５】
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