(57)【要約】【課題】信頼性が高く得られると共に、安価にもできるようにする。【解決手段】トルク伝達軸１に作用するトルクによる磁歪材２の透磁率変化をコイル２３，２４により検出するトルクセンサを製造する方法において、トルク伝達軸１の外周面部に転造によって凹凸部３を形成し、その後にその表面にセンタレス研磨を施し、その後にその表面に磁歪材２をメッキにより設けるようにした。これにより、磁歪材２に剥離の可能性が少なくなるから、信頼性が高く得られ、製造性も良くなる。又、凹凸部３では、センタレス研磨により凸部が均一に削り取られて、凹凸部３の精度が高く出、トルク伝達軸１に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力を磁歪材２に均一に及ぼさせ得るようになる。【選択図】　図１
2004037098.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トルク伝達軸の外周面部に磁歪材を設け、そのトルク伝達軸に作用するトルクによる前記磁歪材の透磁率変化をコイルにより検出するトルクセンサを製造する方法において、
前記トルク伝達軸の外周面部に転造によって凹凸部を形成し、その後にその表面にセンタレス研磨を施し、その後にその表面に磁歪材をメッキにより設けることを特徴とするトルクセンサの製造方法。
【請求項２】
センタレス研磨後であって、磁歪材のメッキ前に、トルク伝達軸の凹凸部にショットブラスト又はエアブラスト処理を施すことを特徴とする請求項１記載のトルクセンサの製造方法。
【請求項３】
センタレス研磨後であって、磁歪材のメッキ前に、トルク伝達軸の凹凸部にバレル処理を施すことを特徴とする請求項１記載のトルクセンサの製造方法。
【請求項４】
センタレス研磨後であって、磁歪材のメッキ前に、トルク伝達軸を焼き鈍し処理することを特徴とする請求項１記載のトルクセンサの製造方法。
【請求項５】
トルク伝達軸の凹凸部のパターンをトルクの印加方向に対して約４５度角の傾きで設けると共に、凹凸部の深さを磁歪材のメッキ厚の２倍以上としたことを特徴とする請求項１記載のトルクセンサの製造方法。
【請求項６】
トルク伝達軸の材質を二相ステンレス鋼としたことを特徴とする請求項１記載のトルクセンサの製造方法。
【請求項７】
トルク伝達軸の外周面部に磁歪材を設け、そのトルク伝達軸に作用するトルクによる前記磁歪材の透磁率変化をコイルにより検出するトルクセンサにおいて、
前記トルク伝達軸の外周面部に犠牲アノードとして働く材質のメッキを施し、その外周に磁歪材をメッキにより設けたことを特徴とするトルクセンサ。
【請求項８】
トルク伝達軸の外周面部に磁歪材を設け、そのトルク伝達軸に作用するトルクによる前記磁歪材の透磁率変化をコイルにより検出するトルクセンサにおいて、
前記トルク伝達軸の外周面部に磁歪材をメッキにより設け、その外周に犠牲アノードとして働く材質のメッキを施したことを特徴とするトルクセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、トルク伝達軸に作用するトルクによる磁歪材の透磁率変化をコイルにより検出するトルクセンサを製造するためのトルクセンサの製造方法及びそのトルクセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、この種のトルクセンサにおいては、トルク伝達軸の外周面部に磁歪材を設け、その外周にコイルを配置した構成にて、トルク伝達軸に作用するトルクにより上記磁歪材に引張りや圧縮の応力が及び、それによる逆磁歪効果で磁歪材の透磁率が変化することに合わせ、その透磁率変化をコイルにより検出するものが供されている。
しかして、このものの磁歪材は、例えば特開平７−１１３７０２号公報に記載されているように、軸方向に対して斜状に多数の孔を形成した磁歪合金の箔帯であり、それをトルク伝達軸の外周面に接着により固着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の、磁歪材をトルク伝達軸の外周面に接着により固着していた従来のものでは、磁歪材が剥離する可能性が多分にあって信頼性に乏しく、又、その信頼性が高く得られるように磁歪材を接着する必要があって、作業が難しく、製造性が悪いために、コスト高となっていた。
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、従ってその目的は、信頼性が高く得られ、安価にもできるトルクセンサの製造方法及びトルクセンサを提供するにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のトルクセンサの製造方法は、トルク伝達軸の外周面部に磁歪材を設け、そのトルク伝達軸に作用するトルクによる前記磁歪材の透磁率変化をコイルにより検出するトルクセンサを製造する方法において、前記トルク伝達軸の外周面部に転造によって凹凸部を形成し、その後にその表面にセンタレス研磨を施し、その後にその表面に磁歪材をメッキにより設けることを特徴とする（請求項１の発明）。
【０００５】
この製造方法によれば、磁歪材はトルク伝達軸に要するにメッキにより設けるから、剥離の可能性が少なくて信頼性が高く得られ、作業も難しくはなくて、製造性が良いことにより、製品コストの低廉化ができる。
そして、そのメッキした磁歪材に、トルク伝達軸に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力を顕著に及ぼさせるには、トルク伝達軸の外周面部に凹凸部を形成して、これの表面に磁歪材を設けるのが有効であり、その凹凸部を転造により形成するので、ここでも製造性が良く、製品コストの低廉化ができる。
【０００６】
但し、その転造だけでは、凹部の掘削分の肉盛りで生じる凸部の盛り上がりの均一さに欠けるなど、凹凸部に精度を出し難く、トルク伝達軸に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力を磁歪材に均一に及ぼし難いところ、該凹凸部の表面には磁歪材のメッキ前にセンタレス研磨を施すので、凸部が均一に削り取られて、凹凸部の精度が高く出、トルク伝達軸に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力を磁歪材に均一に及ぼさせ得るようになる。かくして、トルク伝達軸に作用したトルクの検出の精度も、一層高く得られるようにできる。
【０００７】
この場合、上述のセンタレス研磨後であって、磁歪材のメッキ前に、トルク伝達軸の凹凸部にショットブラスト又はエアブラスト処理を施すようにすると良い（請求項２の発明）。
上述のセンタレス研磨を行った段階では、凹凸部の各角部にバリ（先端が先鋭な突条）が発生することがある。このバリが発生すると、その後にメッキして形成される磁歪材の膜がそれによって途切られるようになり、磁歪材の全部に、トルク伝達軸に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力が正しく及びにくくなる。
【０００８】
これに対して、そのセンタレス研磨後であって、磁歪材のメッキ前に、トルク伝達軸の凹凸部にショットブラスト又はエアブラスト処理を施すことにより、上記凹凸部の各角部のバリを取り除くことができる。よって、磁歪材の膜がそれによって途切られることがなくなり、磁歪材の全部に、引張りや圧縮の応力が正しく及ぶようになって、トルク伝達軸に作用したトルクの検出の精度が更に高く得られるようにできる。
【０００９】
又、トルク伝達軸の凹凸部には、上述のショットブラスト又はエアブラスト処理に代わって、バレル処理を施すようにしても良い（請求項３の発明）。
この方法でも、センタレス研磨で生じがちな凹凸部の各角部のバリを取り除くことができるので、上述同様の作用効果を得ることができる。
【００１０】
更に、センタレス研磨後であって、磁歪材のメッキ前には、トルク伝達軸を焼き鈍し処理するようにしても良い（請求項４の発明）。
この方法では、トルク伝達軸の残留磁歪を焼き鈍し処理により取り除くことができるので、それに影響されない純粋な磁歪材の透磁率変化を検出することが可能となり、トルク伝達軸に作用したトルクの検出の精度が、一層高く得られるようにできる。
【００１１】
又、トルク伝達軸の凹凸部のパターンをトルクの印加方向に対して約４５度角の傾きで設けると共に、凹凸部の深さを磁歪材のメッキ厚の２倍以上とすると良い（請求項５の発明）。
この方法では、凹凸部パターンの約４５度角の傾きに応じて、トルク伝達軸に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力が磁歪材に最も有効に及ぶから、これによっても、トルク伝達軸に作用したトルクの検出の精度が、一層高く得られるようにできる。
【００１２】
又、この場合、凹凸部の深さを磁歪材のメッキ厚の２倍以上とすることにより、凹凸部の深さが大きく確保され、ひいてはその凹凸部の各側面部における深さ方向の磁歪材膜の寸法が大きく確保される。これにより、トルク伝達軸に作用するトルクによる磁歪材の透磁率変化がその各側面部においても有効に検出されるようになり、これにても、トルク伝達軸に作用したトルクの検出の精度が、一層高く得られるようにできる。
【００１３】
そして、トルク伝達軸の材質は二相ステンレス鋼とすると良い（請求項６の発明）。
二相ステンレス鋼はオーステナイト相とフェライト相との混合組織から成るものであり、そのうちの非磁性のオーステナイト相により、外部磁界の影響を受けにくくできる。又、オーステナイト相は物性に優れず、応力割れを起こしやすいことや、耐食性に問題を有するが、それを物性に優れたフェライト相により補うことができ、すなわち、応力割れを起こしにくくできると共に、耐食性にも問題を有しないようにできる。
【００１４】
そして、本発明のトルクセンサは、トルク伝達軸の外周面部に磁歪材を設け、そのトルク伝達軸に作用するトルクによる前記磁歪材の透磁率変化をコイルにより検出するものにおいて、前記トルク伝達軸の外周面部に犠牲アノードとして働く材質のメッキを施し、その外周に磁歪材をメッキにより設けたことを特徴とする（請求項７の発明）。
【００１５】
このものでも、磁歪材はトルク伝達軸にメッキにより設けるから、剥離の可能性が少なくて信頼性が高く得られ、製造性も良くて、製品コストの低廉化ができる。又、この場合、特にはトルク伝達軸の外周面部（磁歪材のメッキ前）に施した、犠牲アノードとして働く材質のメッキにより、トルク伝達軸の防錆ができる。
【００１６】
更に、本発明のトルクセンサは、トルク伝達軸の外周面部に磁歪材を設け、そのトルク伝達軸に作用するトルクによる前記磁歪材の透磁率変化をコイルにより検出するものにおいて、前記トルク伝達軸の外周面部に磁歪材をメッキにより設け、その外周に犠牲アノードとして働く材質のメッキを施したことを特徴とする（請求項８の発明）。
【００１７】
このものでも、磁歪材はトルク伝達軸にメッキにより設けるから、剥離の可能性が少なくて信頼性が高く得られ、製造性も良くて、製品コストの低廉化ができる。又、この場合、特にはトルク伝達軸にメッキした磁歪材の外周に施した、犠牲アノードとして働く材質のメッキにより、磁歪材の防錆ができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施例につき、図１ないし図９を参照して説明する。
まず、図１には、トルク伝達軸１を示しており、これは金属製、中でも鉄系で、特にはオーステナイト相とフェライト相との混合組織から成る二相ステンレス鋼をその材質としており、トルク（回転動力）が伝達されるようになっている。上記トルク伝達軸１の外周面部には、例えばニッケルと鉄との合金から成る磁歪材２を、近接した二箇所に設けている。
【００１９】
詳細には、まず、トルク伝達軸１の外周面部の上記二箇所に凹凸部３を形成している。この凹凸部３は、転造により形成したもので、そのパターンはいずれもトルクの印加方向（回転方向）に対して約４５度角の傾きで設けているが、図中左側の凹凸部３と右側の凹凸部３とでは、その傾きの方向を逆にしている。
図２は、上記凹凸部３の転造による形成をした直後の状態を示しており、各凹部３ａを掘削した分の材肉が、隣接する各凸部３ｂを盛り上がらせている。但し、その盛り上がり量は不均一である（詳しくは図示せず）。この状態から、凹凸部３の表面にはセンタレス研磨を施している。
【００２０】
図３及び図４は、そのセンタレス研磨をする研磨装置（センタレス研磨装置）４を示しており、図３で中央部に、研削砥石５と調整砥石６の対が位置している。このうち、研削砥石５は図示の定位置で回転されるものであり、調整砥石６は研削砥石５に対して接近、離間（図３で上下への移動）が可能で、その両位置及びその間で回転される。又、調整砥石６は工作物（この場合、凹凸部３の転造による形成をした直後のトルク伝達軸１）の送り方向先への下降角度（送り角度）も調整されるようになっている。更に、研削砥石５と調整砥石６の対の両側（図３で左右）には、それぞれ一対のガイド７が位置している。
【００２１】
ガイド７はそれぞれ図４に示す研削台８の上部に取付けており、研削台８の上部には又、中央部の溝部８ａに工作物支持用のブレード９を挿入して、両側から複数本のボルト１０により締付けている。溝部８ａの底部（ブレード９の直下）にはライナー１１が存し、これの厚みの選択（厚みの異なるものとの交換）でブレード９の高さ位置が、ひいては工作物の高さ位置が調整されるようになっている。
【００２２】
この構成で、調整砥石６を所定の研削代分、研削砥石５に接近させる。この状態で、研削砥石５と調整砥石６を回転させ、この両砥石５，６間に工作物を通して研磨する。
図５は、このセンタレス研磨をした直後の凹凸部３の状態を示しており、凸部３ｂが均一に削り取られている。
【００２３】
この後、凹凸部３の表面に、ショットブラスト処理を施している。図６は、このショットブラスト処理をする装置（ショットブラスト処理装置）１２を示しており、工作物（この場合、上述のセンタレス研磨をした直後のトルク伝達軸１）を置いた部分Ｓ１に、図示しない駆動源によって回転される羽根車１３により、研磨剤供給路１４を通じて供給された研磨剤１５を飛ばして吹き付けるようになっている。
これにより、前述のセンタレス研磨を行った段階で凹凸部３の各角部３ｃ（図５参照）に間々発生するバリ（先端が先鋭な突条）が取り除かれる。
【００２４】
このバリの除去には、ショットブラスト処理をするのに代えて、エアブラスト処理をするようにしても良い。図７は、このエアブラスト処理をする装置（エアブラスト処理装置）１６を示しており、工作物（この場合も、前述のセンタレス研磨をした直後のトルク伝達軸１）を置いた部分Ｓ２に、ブロワ１７に給気管路１８を介して通じたノズル１９によって、研磨剤溜め部２０から供給される研磨剤２１を飛ばして吹き付けるようになっている。
なお、このエアブラスト処理装置１６において、２２はノズル１９から飛ばされた研磨剤２１を回収する集塵装置を示している。
【００２５】
この後、凹凸部３の表面に、前述の磁歪材２をメッキにより設けている。図８は、この磁歪材２のメッキをした部分を拡大して表しており、磁歪材２のメッキ厚はｔで、それに対し、凹凸部３の深さＤはメッキ厚ｔの２倍以上となっている（Ｄ≧２ｔ）。
しかして、以上のように磁歪材２を設けたトルク伝達軸１の、その磁歪材２の外周囲には、図１に示すように、それぞれコイル２３，２４を囲繞させて近接配置している。
【００２６】
図９は上述のコイル２３，２４を含むトルクセンサ、特にはその検出回路２５を示しており、コイル２３，２４と抵抗２６，２７とによってブリッジ回路２８を形成し、このブリッジ回路２８の入力端子に直流電源Ｅをスイッチング素子２９を介して接続している。スイッチング素子２９は、スイッチング素子制御部３０によってスイッチングが制御されるようになっている。
一方、ブリッジ回路２８の出力端子間に差動増幅器３１を接続し、この差動増幅器３１の出力端子を整流回路３２を介して検出出力端子３３に接続している。
【００２７】
この構成で、ブリッジ回路２８には、直流電源Ｅから、スイッチング素子制御部３０によってスイッチングが制御されたスイッチング素子２９を介して例えば１０〔ｋＨｚ〕程度の高周波の方形波電源が印加されるものであり、それがブリッジ回路２８のコイル２３と抵抗２６とに分圧されると共に、コイル２４と抵抗２７とに分圧されて、ブリッジ回路２８からは電圧Ｖ１、Ｖ２が出力される。
【００２８】
そして、それらが差動増幅器３２に入力されて差動出力されることにより、該差動増幅器３２からは電圧Ｖ３が出力され、その出力電圧Ｖ３が整流回路３２により整流されて、検出出力端子３３からは電圧Ｖｏｕｔが出力される。
【００２９】
こうした状況で、トルク伝達軸１にトルクが伝達されると、トルク検出軸１にはそれに応じた応力が所定の傾き角度で発生する。この応力に対し、トルク検出軸１の外周面部の二箇所に傾きの方向を逆にして設けた磁歪材２のうち、一方の磁歪材２には引張りの応力が及び、他方の磁歪材２には圧縮の応力が及ぶ。このうち、引張りの応力が及んだ一方の磁歪材２では、それの透磁率が大きくなり、圧縮の応力が及んだ他方の磁歪材２では、それの透磁率が小さくなる。このため、コイル２３，２４のうち、引張りの応力が及んだ一方の磁歪材２に対応したコイルでは、インダクタンスが大きくなり、圧縮の応力が及んだ他方の磁歪材２に対応したコイルでは、インダクタンスが小さくなる。
【００３０】
この結果、ブリッジ回路２８からの出力電圧Ｖ１と出力電圧Ｖ２との差が大きくなり、差動増幅器３１の出力電圧Ｖ３が大きくなることによって、検出出力端子３３の出力電圧Ｖｏｕｔも大きくなる。かくして、トルク伝達軸１に伝達されたトルクが検出される。
【００３１】
このように、トルク伝達軸１に作用するトルクによる磁歪材２の透磁率変化をコイル２３，２４により検出するトルクセンサにおいて、それを、本構成のものにおいては、トルク伝達軸１の外周面部に転造によって凹凸部３を形成し、その後にその表面にセンタレス研磨を施し、その後にその表面に磁歪材２をメッキにより設けることによって製造している。
【００３２】
この製造方法によれば、磁歪材２はトルク伝達軸１に要するにメッキにより設けるのであるから、従来の磁歪合金の箔帯を接着により設けた方法と違って、剥離の可能性が少なくて信頼性が高く得られ、作業も難しくはなくて、製造性が良いことにより、製品コストの低廉化ができる。
そして、そのメッキした磁歪材２に、トルク伝達軸１に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力を顕著に及ぼさせるには、トルク伝達軸１の外周面部に凹凸部３を形成して、これの表面に磁歪材２を設けるのが有効であり、本構成のものでは、その凹凸部３を転造により形成しているので、ここでも製造性が良く、製品コストの低廉化ができる。
【００３３】
但し、その転造だけでは、凹部３ａの掘削分の肉盛りで生じる凸部３ｂの盛り上がりの均一さに欠けるなど、凹凸部３に精度を出し難く、トルク伝達軸１に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力を磁歪材２に均一に及ぼし難い。これに対して、本構成のものでは、凹凸部３の表面に磁歪材２のメッキ前にセンタレス研磨を施すようにしており、これによって、凸部３ｂが均一に削り取られるので、凹凸部３の精度が高く出、トルク伝達軸１に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力を磁歪材２に均一に及ぼさせ得るようになる。かくして、トルク伝達軸１に作用したトルクの検出の精度も、一層高く得られるようにできる。
【００３４】
この場合、上述の凹凸部３の形成後には、凹凸部３の表面にセンタレス研磨を施すだけでも良いが、更に本構成のものでは、そのセンタレス研磨後に、トルク伝達軸１の凹凸部３にショットブラスト又はエアブラスト処理を施すようにしている。
【００３５】
これは下記の理由による。すなわち、上述のセンタレス研磨を行った段階では、前述のごとく、凹凸部３の各角部３ｃにバリが発生することがある。このバリが発生すると、その後にメッキして形成される磁歪材２の膜がそれによって途切られるようになり、磁歪材２の全部に、トルク伝達軸１に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力が正しく及びにくくなる。
【００３６】
これに対して、そのセンタレス研磨後であって、磁歪材２のメッキ前に、トルク伝達軸１の凹凸部にショットブラスト又はエアブラスト処理を施すことにより、上記凹凸部３の各角部３ｃのバリを取り除くことができる。よって、磁歪材２の膜がそれによって途切られることがなくなり、磁歪材２の全部に引張りや圧縮の応力が正しく及ぶようになるから、トルク伝達軸１に作用したトルクの検出の精度が更に高く得られるようにできる。
【００３７】
又、トルク伝達軸１の凹凸部３は、そのパターンをトルクの印加方向に対して約４５度角の傾きで設けると共に、凹凸部３の深さＤを磁歪材２のメッキ厚ｔの２倍以上としている。このうち、凹凸部３のパターンの約４５度角の傾きに応じて、トルク伝達軸１に作用するトルクによる引張りや圧縮の応力が磁歪材２に最も有効に及ぶから、これによっても、トルク伝達軸１に作用したトルクの検出の精度が、一層高く得られるようにできる。
【００３８】
一方、凹凸部３の深さＤが磁歪材２のメッキ厚ｔの２倍以上であることにより、凹凸部３の深さ（凹部３ａの深さ）Ｄが大きく確保され、ひいてはその凹凸部３の各側面部３ｄ（図８参照）における深さ方向の磁歪材２の膜の寸法ｄ（同図参照）が大きく確保される。これにより、トルク伝達軸１に作用するトルクによる磁歪材２の透磁率変化がその各側面部３ｄにおいても有効に検出されるようになり、これにても、トルク伝達軸１に作用したトルクの検出の精度が一層高く得られるようにできる。
【００３９】
そして、トルク伝達軸１の材質は二相ステンレス鋼としている。この二相ステンレス鋼はオーステナイト相とフェライト相との混合組織から成るものであり、そのうちの非磁性のオーステナイト相により、外部磁界の影響を受けにくくできる。又、オーステナイト相は物性に優れず、応力割れを起こしやすいことや、耐食性に問題を有するが、それを物性に優れたフェライト相により補うことができ、すなわち、応力割れを起こしにくくできると共に、耐食性にも問題を有しないようにできる。
【００４０】
以上に対して、図１０ないし図１４は本発明の第２ないし第６実施例を示すもので、それぞれ、第１実施例と同一の部分には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。
［第２実施例］
図１０に示す第２実施例においては、トルク伝達軸１の凹凸部３に、前述のショットブラスト又はエアブラスト処理に代わって、バレル処理を施すようにしている。
【００４１】
バレル処理は、バレル処理装置４１が有する撹拌槽（バレル）４２の内部に工作物（センタレス研磨をした直後のトルク伝達軸１）を研磨剤４３と共に入れて、撹拌槽４２を矢印Ａで示すように振動させると共に、矢印Ｂで示すように回転させることで、工作物と研磨剤４３を相対運動させるものであり、これによっても、凹凸部３の各角部３ｃに発生しがちなバリを取ることができるので、前述のショットブラスト又はエアブラスト処理を行ったのと同様の作用効果を得ることができる。
【００４２】
なお、図示はしないが、トルク伝達軸１に対する前述のセンタレス研磨後であって、磁歪材２のメッキ前には、トルク伝達軸１を焼き鈍し処理するようにするのも良い。この焼き鈍し処理の温度は、例えば５５０〜７００〔℃〕の低温が適している。
【００４３】
このようにすることにより、トルク伝達軸１の残留磁歪を取り除くことができる。よって、それに影響されない純粋な磁歪材２の透磁率変化を検出することが可能となり、トルク伝達軸１に作用したトルクの検出の精度が一層高く得られるようにできる。
この焼き鈍し処理は、ショットブラスト処理や、エアブラスト処理、又はバレル処理とは別に行っても良いが、それらと組み合わせて行っても良い。
【００４４】
［第３実施例］
図１１に示す第３実施例においては、トルク伝達軸１の外周面部に、磁歪材２をメッキにより設ける直前に、犠牲アノードとして働く材質のメッキ５１を施している。すなわち、前述の凹凸部３の形成や、センタレス研磨、ショットブラスト処理又はエアブラスト処理、バレル処理、焼き鈍し処理を行った後のトルク伝達軸１の外周面部に犠牲アノードとして働く材質のメッキ５１を施し、その後にその外周に磁歪材２をメッキにより設けている。
【００４５】
この場合、犠牲アノードとして働く材質は、トルク伝達軸１の材質より電極電位の低いものであり、例えば電極電位が−０．４４〔Ｖ〕の鉄系（トルク伝達軸１）に対して、電極電位が−０．７６〔Ｖ〕の亜鉛である。
【００４６】
このものでも、磁歪材２はトルク伝達軸１にメッキにより設けるから、剥離の可能性が少なくて信頼性が高く得られ、製造性も良くて、製品コストの低廉化ができる。又、この場合、特にはトルク伝達軸１の外周面部（磁歪材２のメッキ前）に施した、犠牲アノードとして働く材質のメッキ５１により、トルク伝達軸１の防錆ができる。よって、トルク伝達軸１に伝達されたトルクによる応力が、トルク伝達軸１に生じた錆により磁歪材２に正しく及ばなくなることのないようにできて、高い信頼性を永く得ることができる。
【００４７】
［第４実施例］
図１２に示す第４実施例においては、トルク伝達軸１の外周面部に、磁歪材２をメッキにより設けた後に、犠牲アノードとして働く材質のメッキ６１を施している。すなわち、前述の凹凸部３の形成や、センタレス研磨、ショットブラスト処理又はエアブラスト処理、バレル処理、焼き鈍し処理、そして磁歪材２のメッキを行った後のトルク伝達軸１の外周面部に、犠牲アノードとして働く材質のメッキ６１を施している。
【００４８】
この場合、犠牲アノードとして働く材質は、磁歪材２の材質より電極電位の低いものであり、例えば電極電位が−０．２５〔Ｖ〕のニッケルと−０．４４〔Ｖ〕の鉄との合金（磁歪材２）に対して、電極電位が−０．７６〔Ｖ〕の亜鉛である。
【００４９】
このものでも、磁歪材２はトルク伝達軸１にメッキにより設けるから、剥離の可能性が少なくて信頼性が高く得られ、製造性も良くて、製品コストの低廉化ができる。又、この場合、特にはトルク伝達軸１にメッキした磁歪材２の外周に施した、犠牲アノードとして働く材質のメッキ６１により、磁歪材２の防錆ができる。よって、トルク伝達軸１に伝達されたトルクによる応力が、磁歪材２に生じた錆により磁歪材２に正しく及ばなくなることのないようにできて、この場合にも、高い信頼性を永く得ることができる。
【００５０】
このほか、本発明は上記し且つ図面に示した実施例にのみ限定されるものではなく、特に、図１３に示す第５実施例のように、磁歪材２（凹凸部３）はトルク伝達軸１の一箇所に設けて、コイル７１もそれに対してのみ設けるようにしても良く、又、図１４に示す第６実施例のように、コイル８１，８２を一箇所の磁歪材２に対して二重に設けるようにしても良いなど、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得る。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のトルクセンサの製造方法によれば、トルク伝達軸の外周面部に転造によって凹凸部を形成し、その後にその表面にセンタレス研磨を施し、その後にその表面に磁歪材をメッキにより設けるようにしたことによって、信頼性が高く得られ、安価にもできるという著効を得ることができる。
【００５２】
又、本発明のトルクセンサによれば、トルク伝達軸の外周面部に犠牲アノードとして働く材質のメッキを施し、その外周に磁歪材をメッキにより設けたことによって、信頼性が高く得られ、安価にもできると共に、トルク伝達軸の防錆ができて、高い信頼性を永く得ることができるという著効を得ることができる。
【００５３】
更に、本発明のトルクセンサによれば、トルク伝達軸の外周面部に磁歪材をメッキにより設け、その外周に犠牲アノードとして働く材質のメッキを施したことによって、信頼性が高く得られ、安価にもできると共に、磁歪材の防錆ができて、高い信頼性を永く得ることができるという著効を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示すトルク伝達軸及びコイル部分の縦断面図
【図２】トルク伝達軸の凹凸部転造直後の部分拡大縦断面図
【図３】センタレス研磨装置の平面図
【図４】センタレス研磨装置の正面図
【図５】トルク伝達軸のセンタレス研磨直後の部分拡大縦断面図
【図６】ショットブラスト装置の分解斜視図
【図７】エアブラスト装置の縦断面図
【図８】トルク伝達軸の磁歪材メッキ直後の部分拡大縦断面図
【図９】トルクセンサの検出回路の結線図
【図１０】本発明の第２実施例を示すバレル処理装置の縦断面図
【図１１】本発明の第３実施例を示す図１相当図
【図１２】本発明の第４実施例を示す図１相当図
【図１３】本発明の第５実施例を示す図１相当図
【図１４】本発明の第６実施例を示す図１相当図
【符号の説明】
１はトルク伝達軸、２は磁歪材、３は凹凸部、４はセンタレス研磨装置、１２はショットブラスト処理装置、１６はエアブラスト処理装置、２３，２４はコイル、４１はバレル処理装置、５１，６１は犠牲アノードとして働く材質のメッキ、７１，８１，８２はコイルを示す。
【図１】
2004037098.tif 000003
【図２】
2004037098.tif 000004
【図３】
2004037098.tif 000005
【図４】
2004037098.tif 000006
【図５】
2004037098.tif 000007
【図６】
2004037098.tif 000008
【図７】
2004037098.tif 000009
【図８】
2004037098.tif 000010
【図９】
2004037098.tif 000011
【図１０】
2004037098.tif 000012
【図１１】
2004037098.tif 000013
【図１２】
2004037098.tif 000014
【図１３】
2004037098.tif 000015
【図１４】
2004037098.tif 000016