(57)【要約】【課題】プリント基板等の被洗浄物を自動洗浄・乾燥するシステムにおいて，リンス液の寿命を伸ばし，タクトタイムを短縮したシステムを提供する。【解決手段】洗浄槽，リンス槽，乾燥槽，の順に被洗浄物を槽間搬送させて自動処理するシステムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，第１乾燥槽に対して遠心力脱液乾燥手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って制御器によって，洗浄槽及びリンス槽への注液指令，液面コントロール及び排液指令，と槽間洗浄物搬送機の隣接槽への移送運転・待機指令，と各処理槽の運転・停止指令との連動制御運転が実行されるようにして解決した。【選択図】　図２
2004041860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，第１乾燥槽に対して遠心力脱液乾燥手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って制御器によって，洗浄槽及びリンス槽への注液指令，液面コントロール及び排液指令，と槽間洗浄物搬送機の隣接槽への移送運転・待機指令，と各処理槽の運転・停止指令との連動制御運転が実行されることを特徴とする洗浄・乾燥連動システム。
【請求項２】
操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，洗浄槽に対して超音波放射手段又は洗浄物揺動手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする請求項１記載の洗浄・乾燥連動システム。
【請求項３】
操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，洗浄槽を複数個設けて各洗浄槽に対して，超音波放射手段又は洗浄物揺動手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする請求項２記載の洗浄・乾燥連動システム。
【請求項４】
操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，仕上げ乾燥槽に対して，遠心力脱液乾燥手段又は熱風乾燥手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする請求項１乃至３記載の洗浄・乾燥連動システム。
【請求項５】
操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，仕上げ乾燥槽を複数個設けて，各仕上げ乾燥槽に対して，遠心力脱液乾燥手段または熱風乾燥手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする請求項４記載の洗浄・乾燥連動システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，半導体基板やプリント基板などのフラックス洗浄・乾燥を自動的に行う洗浄・乾燥連動システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４は従来の洗浄・乾燥連動システム構成図である。１３は半導体基板やプリント基板などの被洗浄物で，複数の洗浄槽３により洗浄される。７は洗浄槽でこの洗浄槽に洗浄液７３が注入されている。被洗浄物１３は槽間洗浄物搬送機４によって洗浄槽７に搬送され，超音波放射手段７１又は洗浄物揺動手段７２によって洗浄される。洗浄槽７によって洗浄された被洗浄物１３は槽間洗浄物搬送機４によって第１の乾燥槽８に搬送され，熱風乾燥手段８０によって乾燥される。乾燥された被洗浄物１３は槽間洗浄物搬送機４によってリンス液９２が注入されたリンス槽９に搬送され，洗浄物揺動手段９１によってリンスされる。リンスされた被洗浄物１３は槽間洗浄物搬送機４によって第２の乾燥槽１０に搬送され，熱風乾燥手段１０１によって乾燥される。
【０００３】
この図４において，１の操作盤で設定した設定条件を制御器２が記憶・指令し，設定条件に従って４の槽間洗浄物搬送機と連動した制御をし，７の洗浄槽，８の第１乾燥槽，９のリンス槽，１０の仕上げ乾燥槽に付帯した各作動手段が駆動・停止して洗浄から乾燥まで自動的に実行される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし，リンス液に対し洗浄物に付いた洗浄液が持ち込まれてリンス液が汚れる為，リンス液の寿命が短くなる欠点があった。加えて，洗浄・乾燥連動システム全体のタクトタイムを速くしたい要求が高まってきており，乾燥に時間が掛かるなどの問題があった。
【０００５】
上記のようなリンス液取り替え頻度が高い欠点を改良し，システム全体のタクトタイムを短縮した洗浄・乾燥連動システムを提供することが本発明の目的である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は，操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，第１乾燥槽に対して遠心力脱液乾燥手段を具備して高速で回転させて洗浄物に付着した洗浄液を除去すると，熱風乾燥の半分の時間で同等以上の乾燥品質が確保できることが確認できた。操作盤のボタンで設定した設定条件を制御器が記憶し，制御器の指令によって，洗浄槽及びリンス槽への注液指令，液面コントロール及び排液指令，と槽間洗浄物搬送機の隣接槽への移送運転・待機指令，と各処理槽の運転・停止指令との連動制御運転が実行される洗浄・乾燥連動システムとした。
【０００７】
請求項２に関しては，洗浄槽における洗浄時間を短縮させるために，多様な洗浄物の汚れ物質の種類に対応してそれぞれに効果を発揮する２つの作動手段を選択して設けた。操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，洗浄槽に対しては，超音波放射手段又は洗浄物揺動手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとした。
【０００８】
請求項３に関しては，このシステム全体のタクトタイムを短縮するために，操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，各処理槽の中で最も短時間に処理が完了するリンス槽の処理時間で洗浄を終えて次の洗浄槽に移送させて洗浄を追加して実行させることで解決できた。洗浄槽を複数個設けて各洗浄槽に対して，超音波放射手段又は洗浄物揺動手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとした。
【０００９】
請求項４に関しては，タクトタイム短縮の為に，上記の構成で最も長い時間を必要としていた仕上げ乾燥槽に着目した。操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，仕上げ乾燥槽に対して，遠心力脱液乾燥手段又は熱風乾燥手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとして解決できた。
【００１０】
請求項５に関しては，仕上げ乾燥のスピードアップが可能ならば，洗浄液の改善と超音波能力増強で洗浄速度の改善が可能でありシステム全体のタクトタイム短縮が可能であると判断し，仕上げ乾燥槽を複数個設けて解決した。操作盤，制御器，複数の処理槽，槽間洗浄物搬送機で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽が洗浄槽，第１乾燥槽，リンス槽，仕上げ乾燥槽の順序に連結して形成されており，仕上げ乾燥槽を複数個設けて，各仕上げ乾燥槽に対して，遠心力脱液乾燥手段又は熱風乾燥手段を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとした。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明による実施の形態について図１の洗浄・乾燥連動システム構成図によって説明する。この洗浄・乾燥連動システムは操作盤１，制御器２，複数の処理槽３，槽間洗浄物搬送機４で構成される。複数の処理槽３が洗浄槽７，第１乾燥槽８，リンス槽９，仕上げ乾燥槽１０の順序に連結して形成されている。洗浄槽において洗浄される半導体基板やプリント基板などの被洗浄物１３は槽間洗浄物搬送機４によって洗浄液７３が注入された洗浄槽７に搬送され，超音波放射手段７１又は洗浄物揺動手段７２によって洗浄される。洗浄された被洗浄物１３は槽間洗浄物搬送機４によって第１の乾燥槽８に搬送される。
【００１２】
第１乾燥槽８には回転槽８２と，この回転槽８２を高速回転させる遠心力脱液乾燥手段８１を具備し，遠心力脱液乾燥手段８１の高速回転によって洗浄液が除かれ乾燥される。乾燥された被洗浄物１３は槽間洗浄物搬送機４によってリンス液９２が注入されたリンス槽９に搬送され，洗浄物揺動手段９１によってリンスされる。リンスされた被洗浄物１３は槽間洗浄物搬送機４によって第２の乾燥槽１０に搬送され，熱風乾燥手段１０１によって乾燥される。
【００１３】
すなわち，第１乾燥槽８に対して遠心力脱液乾燥手段８１を具備し，操作盤１で設定した設定条件に従って制御器２によって，洗浄槽７及びリンス槽９への注液指令，液面コントロール及び排液指令，槽間洗浄物搬送機４の各隣接槽への移送運転・待機指令，各処理槽の運転・停止指令との連動制御運転が実行される様にした洗浄・乾燥連動システムである。遠心力脱液乾燥手段８１は従来の熱風乾燥手段８０に比較して基板の様な表面の滑らかな洗浄物に対しては格段に速く乾燥させることが出来，一方，従来の様な熱風乾燥では洗浄物の間隔が狭いときに乾燥スピードの向上が期待できない方法であることを確認した。
【００１４】
さらに，洗浄槽における洗浄時間を短縮させるために，多様な被洗浄物の汚れ物質の種類に対応してそれぞれに効果を発揮する２つの作動手段，超音波放射手段又は洗浄物揺動手段を選択して具備した。操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとした。例えば従来，タクトタイムがネックとなっていた洗浄処理がリンス処理に近い時間にまで短縮できたので，従来の（５分間のタクトタイムが３分間）になった。システムの償却費４０％削減が実現するシステムとなった。
【００１５】
図２は本発明の他の実施例の構成図であり，操作盤１，制御器２，複数の処理槽３，槽間洗浄物搬送機４で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽３が洗浄槽５，６，第１乾燥槽８，リンス槽９，仕上げ乾燥槽１０の順序に連結して形成されている。洗浄槽を複数個設けて各洗浄槽５，６に対して，超音波放射手段５１、６１又は洗浄物揺動手段５２、６２を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとした。そして，各処理槽の中で最も短時間に処理が完了するリンス槽９の処理時間に合わせて洗浄を終えて次の洗浄槽に移送させて洗浄を追加して実行させることで解決できた。さらに，洗浄液の除去と乾燥によるリンス液の長寿命化と，タクトタイム短縮の為に，第１乾燥槽に対して，遠心力脱液乾燥手段８１を具備し，また，仕上げ乾燥槽に対して，遠心力脱液乾燥手段１０２を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとして解決できた。また，仕上げ乾燥槽１０に遠心力脱液乾燥手段１０２の他に熱風を送り出す乾燥手段（図示しない）を追加することによりさらにより速く乾燥させることができる。
【００１６】
図示していないが，仕上げ乾燥のスピードアップが可能ならば，洗浄液の改善と超音波能力増強で洗浄速度の改善が可能でありシステム全体のタクトタイム短縮が可能であると判断し，仕上げ乾燥槽を複数個設けて解決した。
【００１７】
図３は本発明による他の実施例の構造説明図である。操作盤１，制御器２，複数の処理槽３，槽間洗浄物搬送機４で構成される洗浄・乾燥連動システムにおいて，複数の処理槽３が洗浄槽５，６，第１乾燥槽８，リンス槽９，仕上げ乾燥槽１０の順序に連結して形成されており，各処理槽の中で最も短時間に処理が完了するリンス槽の処理時間で洗浄を終えて次の洗浄槽に移送させて洗浄を追加して実行させる。洗浄槽を複数個設けて各洗浄槽に対して，超音波放射手段５１、６１又は洗浄物揺動手段５２、６２を具備し，操作盤で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとした。さらに，洗浄液の除去と乾燥によるリンス液の長寿命化と，タクトタイム短縮の為に，第１乾燥槽に対して，遠心力脱液乾燥手段８１を具備し，また，タクトタイム短縮の為に，仕上げ乾燥槽に対して，遠心力脱液乾燥手段１０２を具備し，操作盤１で設定した設定条件に従って上記手段の駆動を制御器２によってコントロールする洗浄・乾燥連動システムとした。以上の５つの槽の，前段にロードコンベア１１１によって洗浄物が運び入れられる準備室１１と，後段にアンロードコンベア１２１によって洗浄物が運び出される取出し室１２が連結されていて槽間洗浄物搬送機４が上記の全ての室と槽に対し洗浄物を移送して洗浄から仕上げ乾燥まで自動的に処理される。また，仕上げ乾燥槽１０に遠心力脱液乾燥手段１０２の他に熱風を送り出す乾燥手段（図示しない）を追加することによりさらにより速く乾燥させることができる。
【００１８】
【発明の効果】
本発明の洗浄・乾燥連動システムによれば従来の類似のシステムに対し，タクトタイムが６０％に短縮される。洗浄に必要なエネルギーも半減し洗浄工程の経済効率が２倍になった。洗浄液の脱液が確実に行われるため，リンス液の寿命が従来より長くなり，消耗費と交換工数の人件費が削減できた。省資源，省エネルギーにも寄与し工業的価値が大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態による，洗浄・乾燥連動システム構成図である。
【図２】本発明の他の実施形態による，洗浄・乾燥連動システム構成図である。
【図３】本発明の他の実施形態による，洗浄・乾燥連動システムの構成図である。
【図４】従来の洗浄・乾燥連動システムの構成図である。
【符号の説明】
１　　　操作盤
２　　　制御器
３　　　処理槽
４　　　槽間洗浄物搬送機
５　　　第１洗浄槽
６　　　第２洗浄槽
７　　　洗浄槽
８　　　第１乾燥槽
９　　　リンス槽
１０　　　仕上げ乾燥槽
１１　　　準備室
１２　　　取出し室
１３　　　被洗浄物
１４　　　ロードコンベア
１５　　　アンロードコンベア
５１，６１　超音波放射手段
５２，６２　洗浄物揺動手段
７０　　　洗浄物揺動手段又は超音波放射手段
７１　　　超音波放射手段
７２　　　洗浄物揺動手段
８０　　　熱風乾燥手段
８１　　　遠心力脱液乾燥手段
９１　　　洗浄物揺動手段
１０２　　遠心力脱液乾燥手段
【図１】
2004041860.tif 000003
【図２】
2004041860.tif 000004
【図３】
2004041860.tif 000005
【図４】
2004041860.tif 000006