(57)【要約】【課題】高品質の正極および電池を効率よく作製することができる正極の製造方法および電池の製造方法を提供する。【解決手段】基板１２Ａを、対向配置された一対のターゲット２５とターゲット２６との間の対向領域外に配置し、直流放電スパッタにより、基板１２ＡにＬｉと遷移金属とを含む複合酸化物層を成膜する。そののち、スパッタなどの乾式成膜法により酸化窒化リチウリンなどよりなる電解質を成膜する。そののち、電解質に抵抗加熱蒸着法などの乾式成膜法により金属Ｌｉよりなる負極を成膜する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置された一対のターゲット間にプラズマを発生させ、基板の上に、リチウム（Ｌｉ）と遷移金属とを含む複合酸化物層を成膜する工程を含むことを特徴とする正極の製造方法。
【請求項２】
リチウムとコバルト（Ｃｏ）とを含む複合酸化物層を成膜することを特徴とする請求項１記載の正極の製造方法。
【請求項３】
正極および負極と共にそれらの間に電解質を備えた電池の製造方法であって、
対向配置された一対のターゲット間にプラズマを発生させ、基板の上に、リチウム（Ｌｉ）と遷移金属とを含む複合酸化物層を成膜することにより、この複合酸化物層を有する正極を形成する工程を含むことを特徴とする電池の製造方法。
【請求項４】
リチウムとコバルト（Ｃｏ）とを含む複合酸化物層を成膜することを特徴とする請求項３記載の電池の製造方法。
【請求項５】
複合酸化物層を成膜する前または後に、基板の上に、負極および電解質を積層する工程を含むことを特徴とする請求項３記載の電池の製造方法。
【請求項６】
金属リチウムよりなる層を成膜することにより、この層を有する負極を形成することを特徴とする請求項５記載の電池の製造方法。
【請求項７】
酸化窒化リチウムリンを含む層を成膜することにより、この層を有する電解質を形成することを特徴とする請求項５記載の電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板にリチウム（Ｌｉ）と遷移金属とを含む複合酸化物層を成膜する正極の製造方法、およびこれを用いた電池の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、無線チップや非接触型ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ；集積回路）カードなどのように超小型の機器や半導体チップに電力を供給する用途が増大している。このような機器に対して従来の電解液を使用した電池はサイズが大きすぎるので、これに代わるものとして、半導体プロセスで製造でき、チップに直接実装できる全固体型薄膜電池が注目されている。しかし、この全固体型薄膜電池では、所望の特性を得るには正極の厚みを数μｍと厚くする必要があるため、正極の成膜に時間がかかるという問題がある。
【０００３】
成膜速度を向上させる手法としては化学気層成長法がある。しかし、全固体型薄膜電池の正極活物質としては、コバルト酸リチウム（ＬｉＣｏＯ２  ）などのリチウムと遷移金属とを含む複合酸化物が充放電容量が大きく、かつ酸化還元電位も高いので適しているが、複合酸化物の構成元素であるリチウムの化合物には揮発性のあるものが少ない。また、リチウムよりもコバルト（Ｃｏ）などの遷移金属の方が揮発性が高いため、蒸着原料を加熱すると各成分が均一に揮発せず、蒸着膜の成分が原料と異なる問題があった。そこで原料と膜の成分とが比較的一致するスパッタが注目されている。
【０００４】
スパッタとしては、例えば、図６に示したように、処理室１００の内部に対向配置された一対の電極１０１，１０２のそれぞれに、基板１０３とターゲット１０４とを対向するように配置し、基板１０３とターゲット１０４との間に、電源１０５により電圧を印加し、直流放電あるいは高周波放電によりプラズマを発生させる直流放電スパッタあるいは高周波放電スパッタが一般的に行われている（例えば、非特許文献１参照。）。
【０００５】
【非特許文献１】
ジェイ・ビー・ベイト（Ｊ．  Ｂ．  Ｂａｔｅ），エヌ・ジェイ・ダドニー（Ｎ．  Ｊ．  Ｄｕｄｎｅｙ），ビー・ノイデッカー（Ｂ．  Ｎｅｕｄｅｃｋｅｒ），エイ・ウエダ（Ａ．  Ｕｅｄａ  ），シー・ディー・エバンス（Ｃ．  Ｄ．  Ｅｖａｎｓ  ），シンフィルム・リチウム・アンド・リチウムイオン・バッテリーズ（Ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ  ｌｉｔｈｉｕｍ  ａｎｄ  ｌｉｔｈｉｕｍ−ｉｏｎ  ｂａｔｔｅｒｉｅｓ  ），「ソリッド・ステイト・イオニック（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｉｏｎｉｃｓ）」，２０００年，第１３５巻，ｐ．３３−４５
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、複合酸化物は比較的導電性が小さいので、成膜速度の大きな直流放電スパッタで成膜すると、ターゲット１０４の帯電による微小アーク放電が多発し、成膜された膜に損傷を与え、放電容量の大きい正極を得ることが難しいという問題があった。一方、高周波放電スパッタを用いると、成膜速度が遅くなってしまうという問題があった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、高品質の正極および電池を効率よく作製することができる正極の製造方法および電池の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明による正極の製造方法は、対向配置された一対のターゲット間にプラズマを発生させ、基板の上に、リチウムと遷移金属とを含む複合酸化物層を成膜する工程を含むものである。
【０００９】
本発明による電池の製造方法は、正極および負極と共にそれらの間に電解質を備えた電池を製造するものであって、対向配置された一対のターゲット間にプラズマを発生させ、基板の上に、リチウムと遷移金属とを含む複合酸化物層を成膜することにより、この複合酸化物層を有する正極を形成する工程を含むものである。
【００１０】
本発明による正極の製造方法および電池の製造方法では、対向配置された一対のターゲット間にプラズマが発生し、このプラズマによりターゲットがスパッタされ、基板に複合酸化物層が成膜される。このとき、基板に電圧が印加されることが防止されるので、微小アーク放電が複合酸化物層に到達することが抑制される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る電池の製造方法により製造する二次電池の構成を表すものである。この二次電池は、いわゆるコイン型といわれるものであり、電解質１１を介して積層された円板状の正極１２と円板状の負極１３とが外装缶１４および外装カップ１５の内部に収納されたものである。正極１２は外装缶１４側に位置し、負極１３は外装カップ１５側に位置している。また、外装缶１４および外装カップ１５の周縁部は絶縁性のガスケット１６を介してかしめることにより密閉されている。
【００１３】
図２は、図１に示した正極１２を製造する際に用いる対向ターゲット式スパッタ装置の水平方向の断面図を表すものである。この対向ターゲット式スパッタ装置は、処理室２０の内部に、例えば所定の間隔で対向配置された電極２１および電極２２を備えており、基板ホルダ２３が、電極２１と電極２２との間の対向領域外に配置されている。これら電極２１，２２および基板ホルダ２３は、それぞれ鉛直方向に平行に配置されている。また、電極２１，２２は、それぞれ直流電源２４に接続されている。
【００１４】
この対向ターゲット式スパッタ装置を用い、まず、図２に示したように、電極２１と電極２２とのそれぞれに、リチウムと遷移金属とを含む複合酸化物のいずれか１種または２種以上を含有する焼結体よりなるターゲット２５，２６を対向するように配置すると共に、基板ホルダ２３にアルミニウム（Ａｌ）などよりなり集電体としても機能する基板１２Ａを配置する。複合酸化物は正極活物質として機能するものであり、充放電容量が大きく酸化還元電位も高いので好ましい。
【００１５】
複合酸化物としては、例えば、遷移金属として、コバルト，ニッケル（Ｎｉ），マンガン（Ｍｎ）および鉄（Ｆｅ）からなる群のうちの少なくとも１種を含むものが好ましく、長周期型周期表におけるリチウム以外の１族元素あるいは２族元素、またはアルミニウム，ガリウム（Ｇａ），インジウム（Ｉｎ），ゲルマニウム（Ｇｅ），スズ（Ｓｎ），鉛（Ｐｂ），アンチモン（Ｓｂ），ビスマス（Ｂｉ），ケイ素（Ｓｉ），リン（Ｐ）およびホウ素（Ｂ）からなる群のうちの少なくとも１種を含んでいてもよい。このような複合酸化物としては、コバルト酸リチウム、ニッケル酸リチウム（ＬｉＮｉＯ２  ）、鉄酸リチウム（ＬｉＦｅＯ２  ）、リチウムマンガン酸化物（ＬｉＭｎＯ２  ）、これらの混合酸化物（ＬｉＮｉａ  Ｃｏｂ  Ｆｅｃ  Ｍｎｄ  Ｏ２  （ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１））、リチウムマンガンスピネル（ＬｉＭｎ２  Ｏ４  ）が挙げられる。また、複合酸化物としては、他にも、リン酸鉄リチウム（ＬｉＦｅＰＯ４  ）などのオリビン構造酸化物が挙げられる。
【００１６】
次いで、処理室２０の内部にアルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスを導入する一方、直流電源２４によりターゲット２５とターゲット２６との間に、例えば、５００Ｖの直流電圧を印加してアルゴンのプラズマを発生させ、そのアルゴンのプラズマによりターゲット２５，２６をスパッタし、基板１２Ａにリチウムと遷移金属とを含む複合酸化物層１２Ｂを成膜する。これにより正極１２が得られる。このように対向配置された一対のターゲット２５とターゲット２６との間の対向領域外に配置された基板１２Ａに、直流放電スパッタにより複合酸化物層１２Ｂを成膜することにより、基板１２Ａに電圧が印加されることが防止され、微小アーク放電が複合酸化物層１２Ｂに到達することが抑制されると共に、速い速度で複合酸化物層１２Ｂが成膜される。
【００１７】
次いで、正極１２を対向ターゲット式スパッタ装置から取り出し、複合酸化物層１２Ｂに、例えば、真空蒸着法，レーザーアブレーション法，イオンプレーティング法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ；化学気相成長）法、あるいはスパッタなどの乾式成膜法により、無機伝導体あるいは固体高分子のいずれか１種または２種以上を含む層を成膜し固体状の電解質１１を積層する。
【００１８】
無機伝導体としては、酸化窒化リチウムリン，リチウム含有ペロブスカイト，硫化リチウム−硫化ケイ素−硫化リン複合体，ヨウ化リチウムあるいは窒化リチウムなどを用いることができ、固体高分子としては、ポリオキシエチレン系固体高分子などを用いることができる。中でも酸化窒化リチウムリンを用いることが好ましい。酸化窒化リチウムリンは酸化還元に安定であり、また、空気中で取り扱うことが可能なリン酸リチウムをターゲットとして用いた窒素の反応性スパッタで容易に成膜することができるからである。
【００１９】
次いで、電解質１１に、例えば、真空蒸着法、レーザーアブレーション法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、あるいはスパッタなどの乾式成膜法、または電解めっき法あるいは無電解めっき法などの湿式成膜法により、金属材料あるいは合金材料よりなる集電体層、あるいは、負極活物質のいずれか１種または２種以上を含む活物質層を成膜し、負極１３を形成する。または、集電体層と活物質層とを順次成膜し積層して負極１３を形成する。なお、負極１３は電解質１１と異なる成膜装置により成膜するようにしてもよいが、同一あるいは連結された成膜装置により連続して成膜するようにしてもよい。
【００２０】
集電体層を構成する金属材料あるいは合金材料としては、例えば、銅（Ｃｕ），ニッケル，チタン（Ｔｉ），モリブデン（Ｍｏ），タンタル（Ｔａ），それらのうちの少なくとも１種を含む合金，あるいはステンレスなどのリチウムとの反応性が低いものが好ましい。
【００２１】
負極活物質としては、金属リチウム、あるいはリチウムと合金を形成可能な元素の単体または化合物を用いることができる。リチウムと合金を形成可能な元素としては、例えば、マグネシウム（Ｍｇ），ホウ素，ヒ素（Ａｓ），アルミニウム，ガリウム，インジウム，ケイ素，ゲルマニウム，スズ，鉛，アンチモン，ビスマス，カドミウム（Ｃｄ），銀（Ａｇ），亜鉛（Ｚｎ），ハフニウム（Ｈｆ），ジルコニウム（Ｚｒ），イットリウム（Ｙ），パラジウム（Ｐｄ）あるいは白金（Ｐｔ）が挙げられ、好ましくはマグネシウム，アルミニウム，ケイ素あるいはスズである。これらの化合物としては、例えば化学式Ｍａｓ  Ｍｂｔ  で表されるものが挙げられる。この化学式において、Ｍａはリチウムと合金を形成可能な元素のうちの少なくとも１種を表し、ＭｂはＭａ以外の元素のうちの少なくとも１種を表す。ｓおよびｔの値はそれぞれｓ＞０、ｔ≧０である。なお、合金には２種以上の金属元素からなるものに加えて、１種以上の金属元素と１種以上の半金属元素とからなるものも含める。その組織には固溶体，共晶（共融混合物），金属間化合物あるいはそれらのうちの２種以上が共存するものがある。
【００２２】
正極１２，電解質１１および負極１３を形成したのち、これらを外装缶１４と外装カップ１５との中に入れ、それらをかしめる。これにより、図１に示した二次電池が完成する。
【００２３】
このように本実施の形態では、対向配置された一対のターゲット２５とターゲット２６との間にプラズマを発生させるようにしたので、基板１２Ａに電圧が印加されることが防止され、ターゲット２５，２６に複合酸化物を用いるようにしても、微小アーク放電が複合酸化物層１２Ｂに到達することを抑制することができ、放電容量などに優れた高品質の正極１２を作製することができる。
【００２４】
特に、直流放電によりプラズマを発生させるようにすれば、速い速度で複合酸化物層１２Ｂを成膜することができる。よって、正極１２および電池の製造に要する時間を短縮することができ、生産量の増大および生産費用の低減を図り、生産性を向上させることができる。また、短時間で複合酸化物層１２Ｂの厚みを厚くし、電池の容量を大きくすることができる。
【００２５】
以下、本発明の他の実施の形態（第２および第３の実施の形態）について説明するが、これら実施の形態においては第１の実施の形態と同一の構成要素には同一の符号を付し、同一部分についての詳細な説明は省略する。
【００２６】
［第２の実施の形態］
図３は、本発明の第２の実施の形態に係る電池の製造方法により製造する二次電池の構成を表すものである。この二次電池は、正極１２と負極１３とが電解質が含浸されたセパレータ３１を介して積層されたことを除き、図１に示した二次電池と同一の構成を有している。本実施の形態では、まず、第１の実施の形態と同様に、図２に示した対向ターゲット式スパッタ装置を用い、集電体１２Ａに複合酸化物層１２Ｂを成膜し、正極１２を作製する。
【００２７】
また、例えば、金属材料あるいは合金材料よりなり、集電体として機能する基板を用意すると共に、負極活物質のいずれか１種または２種以上とポリフッ化ビニリデンなどの結着剤とを混合して負極合剤を調製し、この負極合剤を基板に塗布することにより合剤層を形成し、負極１３を作製する。
【００２８】
基板を構成する金属材料あるいは合金材料としては、例えば、第１の実施の形態において説明したリチウムとの反応性が低いものが好ましい。また、負極活物質としては、例えば、第１の実施の形態において説明したリチウムと合金を形成可能な元素の単体および化合物の他、リチウムを吸蔵および離脱することが可能な炭素材料，金属酸化物あるいは高分子材料などを用いることができる。炭素材料としては、難黒鉛化性炭素，人造黒鉛，コークス類，グラファイト類，ガラス状炭素類，有機高分子化合物焼成体，炭素繊維，活性炭あるいはカーボンブラック類などが挙げられる。このうち、コークス類には、ピッチコークス，ニードルコークスあるいは石油コークスなどがあり、有機高分子化合物焼成体というのは、フェノール類やフラン類などの高分子材料を適当な温度で焼成して炭素化したものをいう。また、金属酸化物としては、酸化鉄，酸化ルテニウムあるいは酸化モリブデンなどが挙げられ、高分子材料としてはポリアセチレンあるいはポリピロールなどが挙げられる。
【００２９】
正極１２および負極１３を作製したのち、正極１２と負極１３とを、複合酸化物層１２Ｂの側と合剤層の側とを対向させ、電解質が含浸されたセパレータ３１を介して積層し、外装缶１４と外装カップ１５との中に入れ、それらをかしめる。その際、電解質としては、例えば、液状の電解質である電解液、高分子化合物に電解液を保持させたいわゆるゲル状電解質を用いることができる。
【００３０】
電解液としては、例えば、有機溶媒などの非水溶媒に電解質塩であるリチウム塩を溶解させたものが好ましい。溶媒としては、プロピレンカーボネート、エチレンカーボネート、ジエチルカーボネート、メチルエチルカーボネート、１，２−ジメトキシエタン、１，２−ジエトキシエタン、γ−ブチロラクトン、テトラヒドロフラン、２−メチルテトラヒドロフラン、１，３−ジオキソラン、４−メチル−１，３−ジオキソラン、ジエチルエーテル、スルホラン、メチルスルホラン、アセトニトリル、プロピルニトリル、アニソール、酢酸エステルあるいはプロピオン酸エステルなどが挙げられる。溶媒は、いずれか１種または２種以上を混合して用いてもよい。
【００３１】
リチウム塩としては、例えば、ＬｉＣｌＯ４  ，ＬｉＡｓＦ６  ，ＬｉＰＦ６  ，ＬｉＢＦ４  ，ＬｉＢ（Ｃ６  Ｈ５  ）４  ，ＬｉＣＨ３  ＳＯ３  ，ＬｉＣＦ３  ＳＯ３  ，ＬｉＣｌあるいはＬｉＢｒが挙げられる。リチウム塩は、いずれか１種または２種以上を混合して用いてもよい。
【００３２】
ゲル状電解質の高分子化合物としては、例えば、ポリフッ化ビニリデン，ポリエチレンオキサイド，ポリプロピレンオキサイド，ポリアクリロニトリルあるいはポリメタクリロニトリル、またはこれらを繰り返し単位に含むものが挙げられる。特に、酸化還元安定性の点からは、フッ素系高分子化合物が望ましい。以上の工程により、図３に示した二次電池が完成する。なお、電解質としては、電解液およびゲル状電解質だけでなく、第１の実施の形態において説明した固体状の電解質を用いることができる。この場合、電解質はセパレータ３１に含浸させずに、正極１２と負極１３との間に介在させる。
【００３３】
本実施の形態の効果は、第１の実施の形態と同一である。
【００３４】
［第３の実施の形態］
図４は、本発明の第３の実施の形態に係る電池の製造方法により製造する二次電池の構成を表すものである。この二次電池は、成膜用基体４１に、正極４２，電解質１１および負極１３がこの順に積層された構造を有している。本実施の形態では、まず、例えば、ガラス，シリコン（Ｓｉ），二酸化ケイ素（ＳｉＯ２  ），酸化アルミニウム（Ａｌ２  Ｏ３  ），アルチック（Ａｌ２  Ｏ３  −ＴｉＣ）系セラミックスあるいはプラスチックよりなる成膜用基体４１を用意し、この成膜用基体４１に、例えば、真空蒸着法、レーザーアブレーション法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、あるいはスパッタなどの乾式成膜法、または電解めっき法あるいは無電解めっき法などの湿式成膜法により、アルミニウムなどよりなる集電体層４２Ａを成膜する。次いで、集電体層４２Ａに、第１の実施の形態と同様に、図２に示した対向ターゲット式スパッタ装置を用い、複合酸化物層１２Ｂを成膜する。これにより正極４２が形成される。なお、ここでは、成膜用基体４１が、本発明における「基板」の一具体例に対応する。
【００３５】
次いで、第１の実施の形態と同様に、電解質１１および負極１３を順次成膜する。これにより、図４に示した二次電池が完成する。
【００３６】
本実施の形態の効果は、第１の実施の形態と同一である。
【００３７】
【実施例】
更に、本発明の具体的な実施例について詳細に説明する。
【００３８】
（実施例１）
第１の実施の形態において説明した電池の製造方法により図１に示した二次電池を作製した。まず、図２に示した対向ターゲット式スパッタ装置を用い、直流放電スパッタにより、厚み２０μｍ、直径１５ｍｍのアルミニウム箔よりなる基板１２Ａの上にコバルト酸リチウムよりなる厚み２μｍの複合酸化物層１２Ｂを成膜し正極１２を作製した。その際、ターゲット２５，２６には、コバルト酸リチウムの焼結体を用い、プロセスガスにはアルゴンを用いた。成膜時間は２時間半であった。
【００３９】
次いで、図６に示したようにリン酸リチウム（Ｌｉ３  ＰＯ４  ）の焼結体よりなるターゲット１０４を１枚用い、プロセスガスとして窒素ガスを用いた高周波放電スパッタにより、正極１２の複合酸化物層１２Ｂに酸化窒化リチウムリンよりなる層を成膜し厚み０．２μｍの電解質１１を形成した。成膜時間は１時間半であった。
【００４０】
次いで、電解質１１に抵抗加熱蒸着により金属リチウムよりなる層を成膜し厚み５μｍの負極１３を形成した。最後に、空気が入らないように、作製した正極１２，電解質１１および負極１３を外装缶１４と外装カップ１５との中に封入し、それらをかしめた。
【００４１】
また、本実施例に対する比較例１として、図６に示したようにコバルト酸リチウムの焼結体よりなるターゲット１０４を１枚用い、プロセスガスとしてアルゴンを用いた直流放電スパッタにより厚み２μｍの複合酸化物層１２Ｂを成膜したことを除き、他は本実施例と同様にして二次電池を作製した。複合酸化物層１２Ｂの成膜時間は２時間半であった。また、本実施例に対する比較例２として、直流放電スパッタに代えて高周波放電スパッタにより厚み２μｍの複合酸化物層１２Ｂを成膜したことを除き、他は比較例１と同様にして二次電池を作製した。複合酸化物層１２Ｂの成膜時間は１０時間であった。
【００４２】
図５に、これら作製した実施例１および比較例１，２の二次電池に対して１ｍＡで充放電を繰り返した時の充放電効率を示す。図５から分かるように、実施例１は、比較例１に比べて充放電効率が優れており、比較例２に対しては、充放電効率は同等であるものの、同じ厚みの複合酸化物層１２Ｂを成膜するのに必要な成膜時間は４分の１であった。すなわち、対向配置された一対のターゲット２５，２６間にプラズマを発生させ、基板１２Ａに複合酸化物層１２Ｂを成膜するようにすれば、高品質の正極１２および電池を効率よく作製することができることが分かった。
【００４３】
以上、実施の形態および実施例を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態および実施例では、集電体１２Ａあるいは集電体層４２Ａに複合酸化物層１２Ｂを成膜するようにしたが、集電体あるいは集電体層と複合酸化物層との間、または、複合酸化物層上に他の層を形成するようにしてもよい。
【００４４】
また、上記第１および第３の実施の形態並びに実施例では、正極１２，電解質１１および負極１３をこの順で成膜するようにしたが、負極１３，電解質１１および正極１２の順で成膜するようにしてもよい。
【００４５】
更に、上記実施の形態および実施例では、正極１２と負極１３とを積層した単層型の二次電池について説明したが、正極と負極とを積層し、巻回した巻回型の二次電池、あるいは正極と負極とを複数積層した積層型の二次電池についても同様に適用することができる。
【００４６】
加えて、上記第１および第２の実施の形態並びに実施例では、コイン型の二次電池について説明したが、例えばいわゆる円筒型、角型、ボタン型、カード型、あるいは正極，負極および電解質をフィルム状の外装部材の内部に封入した二次電池などの他の形状の二次電池についても適用することができる。更に、二次電池に限らず、一次電池についても適用することができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明による正極の製造方法および電池の製造方法によれば、対向配置された一対のターゲット間にプラズマを発生させ、基板に複合酸化物層を成膜するようにしたので、基板に電圧が印加されることが防止され、微小アーク放電が複合酸化物層に到達することが抑制される。従って、放電容量などに優れた高品質の正極を作製することができる。また、直流放電によりプラズマを発生させることができ、速い速度で酸化物層を成膜することができる。よって、正極および電池の製造に要する時間を短縮することができ、生産量の増大および生産費用の低減を図り、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る電池の製造方法を用いて製造する二次電池の構成を表す断面図である。
【図２】図１に示した二次電池を製造する際に用いる対向ターゲット式スパッタ装置の構成を表す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る電池の製造方法を用いて製造する二次電池の構成を表す断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態に係る電池の製造方法を用いて製造する二次電池の構成を表す断面図である。
【図５】本発明の実施例１に係る充放電効率を表す特性図である。
【図６】正極を作製する従来のスパッタを表す断面図である。
【符号の説明】
１１…電解質、１２，４２…正極、１２Ａ，１０３…基板、１２Ｂ…複合酸化物層、１３…負極、１４…外装缶、１５…外装カップ、１６…ガスケット、２０，１００…処理室、２１，２２，１０１，１０２…電極、２３…基板ホルダ、２４…直流電源、２５，２６，１０４…ターゲット、３１…セパレータ、４１…成膜用基体、４２Ａ…集電体層、１０５…電源。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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