(57)【要約】【課題】本発明は、発振装置の合否判定を効率的かつ確実に行うことが可能な検査装置・検査方法と、該検査に適した発振装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る検査装置Ｂは、各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器１１〜１ｎを有する発振装置Ａの合否判定を行う検査装置であって、発振装置Ａの出力ＬＯが所望周波数でロックしているか否かを判定するロック判定部Ｂ１と、ロック判定部Ｂ１の判定結果に基づいて各発振器１１〜１ｎにおける発振周波数可変域の端点周波数を検出する端点検出部Ｂ２と、端点検出部Ｂ２の検出結果に基づいて各発振器ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数可変域が端部で互いに重複していることを検査する検査処理部Ｂ５と、を有する。【選択図】　　　図１
2004072646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器を有する発振装置の合否判定を行う検査装置であって、前記発振装置の出力が所望周波数でロックしているか否かを判定するロック判定部と、該ロック判定部の判定結果に基づいて各発振器における発振周波数可変域の端点周波数を検出する端点検出部と、該端点検出部の検出結果に基づいて各発振器の発振周波数可変域が端部で互いに重複していることを検査する検査処理部と、を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記端点検出部は、各発振器における発振周波数可変域の端点周波数を挟むようにその発振周波数を収束変化させながら逐次ロック判定を行い、該判定結果に基づいて前記端点周波数を検出することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記端点検出部は、各発振器の発振周波数を変化させながら逐次ロック状態となるまでの時間を計測し、該計測時間と所定時間との比較結果に基づいて前記端点周波数を検出することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記ロック判定部は、前記発振装置からの参照信号が所定期間継続して同一状態を維持したときに、前記発振装置の出力がロック状態或いはアンロック状態であると判定することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記端点周波数の検出を行うに際し、前記発振装置を実使用時と異なる設定にして、発振周波数がロック状態となるまでの時間を短縮することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】
前記端点周波数の検出を行うに際し、前記発振装置を実使用時と異なる設定にして、各発振器の発振周波数可変域を狭めることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の検査装置。
【請求項７】
各発振器の発振周波数可変域を狭めて端点周波数を検出した後、発振周波数可変域を元に戻して該端点周波数でのロック判定を行うことを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
各発振器の発振周波数を制御するための制御電圧をモニタし、そのモニタ結果を前記検査処理部に送出する制御電圧モニタ部を有することを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器と、該複数の発振器で生成された発振信号のいずれかを選択して装置外部に出力するセレクタと、該セレクタで選択された出力信号が所望周波数となるように前記発振器をフィードバック制御する位相固定ループ回路と、を有する発振装置において、
前記位相固定ループ回路の内部信号に基づいて前記出力信号が所望周波数でロックしているか否かを示す２値のロック検出信号を生成するロック検出信号生成部を有することを特徴とする発振装置。
【請求項１０】
実使用時は別用途で使用される外部端子を流用して、前記ロック検出信号を検査装置に出力することを特徴とする請求項９に記載の発振装置。
【請求項１１】
各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器と、該複数の発振器で生成された発振信号のいずれかを選択して装置外部に出力するセレクタと、該セレクタで選択された出力信号が所望周波数となるように前記発振器をフィードバック制御する位相固定ループ回路と、を有する発振装置において、
前記位相固定ループ回路は、その構成要素であるチャージポンプの駆動電流やループフィルタの回路定数を制御可能な構成であることを特徴とする発振装置。
【請求項１２】
各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器と、該複数の発振器で生成された発振信号のいずれかを選択して装置外部に出力するセレクタと、該セレクタで選択された出力信号が所望周波数となるように前記発振器をフィードバック制御する位相固定ループ回路と、を有する発振装置において、
前記発振器は、その発振周波数可変域を制御可能な構成であることを特徴とする発振装置。
【請求項１３】
各発振器の発振周波数を制御するための制御電圧について、発振周波数可変域を狭めたときの端点周波数における制御電圧値と、そこから発振周波数可変域を通常状態に戻したときの制御電圧値を各々モニタしてその変化量を求め、該変化量と所定閾値との大小関係に応じた比較信号を生成する制御電圧モニタ部を有することを特徴とする請求項１２に記載の発振装置。
【請求項１４】
各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器と、該複数の発振器で生成された発振信号のいずれかを選択して装置外部に出力するセレクタと、該セレクタで選択された出力信号が所望周波数となるように前記発振器をフィードバック制御する位相固定ループ回路と、を有する発振装置において、
装置外部から入力されたシリアル制御信号を一旦格納してからパラレル制御信号に変換し、該パラレル制御信号を前記位相固定ループ回路各部に送出するレジスタを有することを特徴とする発振装置。
【請求項１５】
各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器を有する発振装置の合否判定を行う検査方法であって、前記発振装置の出力が所望周波数でロックしているか否かを判定するステップと、該ロック判定部の判定結果に基づいて各発振器における発振周波数可変域の端点周波数を検出するステップと、該端点検出部の検出結果に基づいて各発振器の発振周波数可変域が端部で互いに重複していることを検査するステップと、を有することを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器を有する発振装置、その合否判定を行う検査装置及び検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
送受信装置などに搭載されるローカル周波数信号発生装置の中には、その発振源として、各々発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器（以下、ＶＣＯ［Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ　Ｏｓｃｉｌａｔｏｒ］と呼ぶ）を有し、各ＶＣＯを適宜切り替えることでローカル周波数信号を広範に変化させることが可能なものがある。
【０００３】
上記構成から成るローカル周波数信号発生装置は、各ＶＣＯの発振周波数可変域が互いに断絶していると正常に動作するができない。そのため、製品出荷時等には、隣接するＶＣＯの発振周波数可変域がその端部で互いに重複していることを検査する必要がある。
【０００４】
ここで、発振源を構成するＶＣＯが少数（２、３個）である場合には、各ＶＣＯの制御電圧可変範囲を十分広く設定することが可能である。また、各ＶＣＯの発振周波数を決める外付けタンク回路も少数で済むので、外部定数（タンク回路を構成するインダクタや可変容量素子のサイズ）の調整によって回路規模が大幅に増大することはなく、隣接するＶＣＯ間における発振周波数可変域の重複範囲に余裕を持たせることも可能である（図１４（ａ）参照）。
【０００５】
従って、該ローカル周波数信号発生装置を検査する検査装置では、回路素子定数のばらつきや温度・電圧変動に依ることなく各ＶＣＯの周波数可変域を固定として扱い、隣接するＶＣＯ毎に共通の検査周波数ｆｔを予め設定しておくことができるので、その合否判定を容易かつ迅速に行うことが可能であった。また、前述したように、隣接するＶＣＯ間における発振周波数可変域の重複範囲には余裕を持たせてあったので、合格と判定されたローカル周波数信号発生装置において各ＶＣＯが感度不良領域（図１５参照）で使用されることは少なかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
一方、近年では、ローカル周波数信号発生装置の低電圧化を実現するために、ＶＣＯを増やして各制御電圧可変範囲を狭めた構成が提案されている。このように、発振源を構成するＶＣＯが多数である場合には、各ＶＣＯ毎の外付けタンク回路も多数必要となるので、外部定数の調整によっては回路規模の大幅な増大を招きかねず、隣接するＶＣＯ間における発振周波数可変域の重複範囲に十分な余裕を持たせることが難しい。また、回路の集積化が進むにつれて、ＩＣ製造プロセスのばらつきが増大するため、各ＶＣＯの周波数可変域も大きくばらつくことが予想される（図１４（ｂ）参照）。
【０００７】
従って、該ローカル周波数信号発生装置を検査する検査装置では、各ＶＣＯの周波数可変域を固定として扱うことができなくなるため、従来の検査方法（隣接するＶＣＯ毎に検査周波数を設定し、該検査周波数で両ＶＣＯが正常動作するか否かを確認する方法）をそのまま採用しようとすると、まず隣接するＶＣＯ毎に適切な検査周波数を見つけ、該検査周波数を逐一設定した上で検査を始めなければならず、本来の検査を行う以前に膨大な時間を要するという課題があった。また、前述したように、隣接するＶＣＯ間における発振周波数可変域の重複範囲には余裕がないので、検査周波数の設定によっては、合格と判定されたローカル周波数信号発生装置であっても、各ＶＣＯが感度不良領域（図１５参照）で使用されるおそれがあった。
【０００８】
なお、検査時間短縮を最優先とし、検査対象としたローカル周波数信号発生装置が必要最低限の任意周波数で正常動作するか否かのみを確認する検査装置も考えられるが、発振源を構成するＶＣＯの個数増大に伴って各周波数可変域のばらつきが大きくなると、このような合否判定では問題となるおそれがあった。
【０００９】
本発明は、上記の問題点に鑑み、発振装置の合否判定を効率的かつ確実に行うことが可能な検査装置・検査方法と、該検査に適した発振装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る検査装置は、各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器を有する発振装置の合否判定を行う検査装置であって、前記発振装置の出力が所望周波数でロックしているか否かを判定するロック判定部と、該ロック判定部の判定結果に基づいて各発振器における発振周波数可変域の端点周波数を検出する端点検出部と、該端点検出部の検出結果に基づいて各発振器の発振周波数可変域が端部で互いに重複していることを検査する検査処理部とを有する構成としている。このような構成とすることにより、従来方式の検査装置に比べて、効率的に検査を行うことが可能となる。
【００１１】
なお、上記構成から成る検査装置において、前記端点検出部は、各発振器における発振周波数可変域の端点周波数を挟むようにその発振周波数を収束変化させながら逐次ロック判定を行い、該判定結果に基づいて前記端点周波数を検出する構成にするとよい。又は、各発振器の発振周波数を変化させながら逐次ロック状態となるまでの時間を計測し、該計測時間と所定時間との比較結果に基づいて前記端点周波数を検出する構成にしてもよい。このような構成とすることにより、各発振器における発振周波数可変域の両端周波数を短時間で検出することができるため、該検出結果に基づいて行われる発振装置の合否判定も短時間で完了することが可能となる。
【００１２】
また、上記構成から成る検査装置において、前記ロック判定部は、前記発振装置からの参照信号が所定期間継続して同一状態を維持したときに、前記発振装置の出力がロック状態或いはアンロック状態であると判定する構成にするとよい。このような構成とすることにより、各発振器の感度不良領域で前記参照信号が不安定となった場合であっても、誤ったロック判定を行うおそれが少なくなる。
【００１３】
また、上記構成から成る検査装置は、前記端点周波数の検出を行うに際し、前記発振装置を実使用時と異なる設定にして、発振周波数がロック状態となるまでの時間を短縮する構成にするとよい。このような構成とすることにより、各発振器における発振周波数可変域の両端周波数を短時間で検出することができるようになるため、該検出結果に基づいて行われる発振装置の合否判定も短時間で完了することが可能となる。
【００１４】
また、上記構成から成る検査装置は、前記端点周波数の検出を行うに際し、前記発振装置を実使用時と異なる設定にして、各発振器の発振周波数可変域を狭める構成にするとよい。このような構成とすることにより、前記発振装置の合否判定を厳格に行うことが可能となる。従って、合格と判定された発振装置にて、各発振器が感度不良領域で使用されるおそれを低減することができる。
【００１５】
なお、上記構成から成る検査装置は、各発振器の発振周波数可変域を狭めて端点周波数を検出した後、発振周波数可変域を元に戻して該端点周波数でのロック判定を行う構成にするとよい。このような構成とすることにより、前記発振装置の実使用時における信頼性をより高めることが可能となる。
【００１６】
また、上記構成から成る検査装置は、各発振器の発振周波数を制御するための制御電圧をモニタし、そのモニタ結果を前記検査処理部に送出する制御電圧モニタ部を有する構成にするとよい。このような構成とすることにより、発振周波数可変域を狭めたときの端点周波数における制御電圧値と、そこから発振周波数可変域を通常状態に戻したときの制御電圧値を各々モニタして求めた両者の変化量に基づいて、各発振器が感度不良領域で使用されるおそれがある旨を適切に報知することが可能となる。
【００１７】
また、上記目的を達成するために、本発明に係る発振装置は、各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器と、該複数の発振器で生成された発振信号のいずれかを選択して装置外部に出力するセレクタと、該セレクタで選択された出力信号が所望周波数となるように前記発振器をフィードバック制御する位相固定ループ回路と、を有する発振装置において、前記位相固定ループ回路の内部信号に基づいて前記出力信号が所望周波数でロックしているか否かを示す２値のロック検出信号を生成するロック検出信号生成部を有する構成としている。このような構成とすることにより、該発振装置の合否判定を行う検査装置は、ロック検出信号の出力レベルを確認するだけで前記出力信号が所望周波数でロックされているか否かを判定することができるようになるので、検査装置を構成するロック判定部を簡略化して、検査装置の規模縮小を実現することが可能となる。
【００１８】
なお、上記構成から成る発振装置は、実使用時は別用途で使用される外部端子を流用して、前記ロック検出信号を検査装置に出力する構成にするとよい。このような構成とすることにより、不必要に外部端子数を増加させることがない。
【００１９】
また、本発明に係る発振装置において、前記位相固定ループ回路は、その構成要素であるチャージポンプの駆動電流やループフィルタの回路定数を制御可能な構成としている。このような構成とすることにより、各発振器における発振周波数可変域の端点周波数を検出するに際し、該発振装置を実使用時と異なる設定にして、発振周波数がロック状態となるまでの時間を短縮することが可能となる。従って、各発振器における発振周波数可変域の両端周波数を短時間で検出することができるようになるので、該検出結果に基づいて行われる発振装置の合否判定も短時間で完了することが可能となる。
【００２０】
また、本発明に係る発振装置において、前記発振器は、その発振周波数可変域を制御可能な構成としている。このような構成とすることにより、各発振器における発振周波数可変域の端点周波数を検出するに際し、該発振装置を実使用時と異なる設定にして、各発振器の発振周波数可変域を狭めることが可能となる。従って、前記発振装置の合否判定を厳格に行うことができるようになるので、合格と判定された発振装置にて、各発振器が感度不良領域で使用されるおそれを低減することが可能となる。
【００２１】
なお、上記構成から成る発振装置は、各発振器の発振周波数を制御するための制御電圧について、発振周波数可変域を狭めたときの端点周波数における制御電圧値と、そこから発振周波数可変域を通常状態に戻したときの制御電圧値を各々モニタしてその変化量を求め、該変化量と所定閾値との大小関係に応じた比較信号を生成する制御電圧モニタ部を有する構成にするとよい。このような構成とすることにより、他の検査でも一般的に用いられるロジックテスタを流用して、各発振器が感度不良領域で使用されるおそれがあるか否かを検査することができるので、不必要に検査設備費用を増大することがない。
【００２２】
また、本発明に係る発振装置は、各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器と、該複数の発振器で生成された発振信号のいずれかを選択して装置外部に出力するセレクタと、該セレクタで選択された出力信号が所望周波数となるように前記発振器をフィードバック制御する位相固定ループ回路と、を有する発振装置において、装置外部から入力されたシリアル制御信号を一旦格納してからパラレル制御信号に変換し、該パラレル制御信号を前記位相固定ループ回路各部に送出するレジスタを有する構成としている。このような構成とすることにより、発振装置と検査装置をシリアルバスで接続することができるようになるので、外部端子数を大幅に削減することが可能となる。
【００２３】
また、上記目的を達成するために、本発明に係る検査方法は、各々発振周波数可変域の異なる複数の発振器を有する発振装置の合否判定を行う検査方法であって、前記発振装置の出力が所望周波数でロックしているか否かを判定するステップと、該ロック判定部の判定結果に基づいて各発振器における発振周波数可変域の端点周波数を検出するステップと、該端点検出部の検出結果に基づいて各発振器の発振周波数可変域が端部で互いに重複していることを検査するステップと、を有する構成としている。このような構成とすることにより、従来方式の検査方法に比べて、効率的に検査を行うことが可能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の第１実施形態について説明する。図１は本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第１実施形態を示すブロック図である。本実施形態のローカル周波数信号発生装置Ａは、発振回路部Ａ１と、ＶＣＯセレクタＡ２と、位相固定ループ回路部Ａ３（以下、ＰＬＬ［Ｐｈａｓｅ−Ｌｏｃｋｅｄ−Ｌｏｏｐ］回路部Ａ３と呼ぶ）と、セレクタ制御部Ａ４と、を有して成る。
【００２５】
発振回路部Ａ１は、ローカル周波数信号発生装置Ａの発振源であり、各々発振周波数可変域の異なるｎ個（ｎ≧２）のＶＣＯ１１〜１ｎから成る。なお、ＶＣＯ１１〜１ｎ各々の発振周波数は、ＰＬＬ回路部Ａ３から入力される制御電圧ＶＴによって可変制御される。
【００２６】
ＶＣＯセレクタＡ２は、セレクタ制御部Ａ４の指示に応じて、ＶＣＯ１１〜１ｎで生成された発振信号のいずれか１つを選択し、該発振信号をローカル周波数信号ＬＯとして装置外部に出力する。
【００２７】
ＰＬＬ回路部Ａ３は、ローカル周波数信号ＬＯを所定分周比で分周するプリスケーラ３１と、プリスケーラ３１の出力信号を制御信号に応じた分周比で分周する第１分周器３２と、基準発振信号を生成する基準発振器３３と、基準発振器３３の出力信号を制御信号に応じた分周比で分周する第２分周器３４と、第１、第２分周器３２、３４から各々出力された分周信号の位相比較を行い、その位相差に応じたパルス信号を出力する位相比較器３５と、位相比較器３５の出力信号を昇圧するチャージポンプ３６と、チャージポンプ３６の出力信号を平滑化して、ＶＣＯ１１〜１ｎの制御電圧ＶＴを生成するループフィルタ３７と、を有して成る。上記構成から成るＰＬＬ回路部Ａ３では、第１、第２分周器３２、３４の各分周信号間の位相差がなくなるようにフィードバック制御が行われ、ローカル周波数信号ＬＯが所望の周波数にロックされる。
【００２８】
また、ＰＬＬ回路部Ａ３で生成された制御電圧ＶＴは、ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数可変制御に用いられるだけでなく、検査装置Ｂにおけるローカル周波数信号ＬＯのロック判定にも用いられる。なお、制御電圧ＶＴを検査装置Ｂに送出するための外部端子としては、実使用時にのみ使用され、検査時には使用されない外部端子を流用する構成とすればよい。このような構成とすることにより、不必要に外部端子数を増加させることがない。
【００２９】
セレクタ制御部Ａ４は、ローカル周波数信号発生装置Ａの検査時には検査装置Ｂから指示を受けてＶＣＯセレクタＡ２の切替制御を行い、実使用時にはセット（送受信装置など）の周波数コントローラ（不図示）から指示を受けてＶＣＯセレクタＡ２の切替制御を行う。
【００３０】
なお、本実施形態のローカル周波数信号発生装置Ａは、検査装置Ｂと第１、第２分周器３２、３４及びセレクタ制御部Ａ４を接続するための外部端子として、実使用時にセットの周波数コントローラと各部３２、３４、Ａ４を接続するための外部端子を流用した構成としている。すなわち、ローカル周波数信号発生装置Ａの検査時には、本図に示す通り、第１、第２分周器３２、３４及びセレクタ制御部Ａ４に検査装置Ｂが接続されるが、実使用時には、各部３２、３４、Ａ４にセットの周波数コントローラが同端子を介して接続されることになる。このような構成とすることにより、不必要に外部端子数を増加させることがない。
【００３１】
一方、本実施形態の検査装置Ｂは、ロック判定部Ｂ１と、端点検出部Ｂ２と、周波数コントローラＢ３と、メモリＢ４と、検査処理部Ｂ５と、結果報知部Ｂ６と、を有して成る。
【００３２】
ロック判定部Ｂ１は、ローカル周波数信号発生装置Ａから入力された制御電圧ＶＴに基づいて、ローカル周波数信号ＬＯが所望周波数でロックされているか否かを判定し、その判定結果を端点検出部Ｂ２に送出する。なお、制御電圧ＶＴに基づくロック判定を行うために、ロック判定部Ｂ１は、各種演算処理回路や判定処理回路（例えば、制御電圧ＶＴの変化率を算出する演算処理回路や、該変化率と経験則データを照合してロック判定を行う判定処理回路）を含んでいる。
【００３３】
端点検出部Ｂ２は、ロック判定部Ｂ１の出力信号に基づいて、周波数コントローラＢ３を制御し、後ほど詳述する手順に従って各ＶＣＯ１１〜１ｎにおける発振周波数可変域の両端周波数を検出する。また、端点検出部Ｂ２は、各ＶＣＯ１１〜１ｎの両端周波数を検出する度にそのデータをメモリＢ４に格納していき、全てのＶＣＯについて両端周波数の検出が完了した時点で、検査処理部Ｂ５に対し、メモリＢ４の格納データに基づいてローカル周波数信号発生装置Ａの合否検査を開始するように指示を送る。
【００３４】
周波数コントローラＢ３は、端点検出部Ｂ２の指示に応じて、セレクタ制御部Ａ４経由でＶＣＯセレクタＡ２を制御し、ＶＣＯ１１〜１ｎのいずれか１つを検査対象として指定する。また、周波数コントローラＢ３は、端点検出部Ｂ２の指示に応じて、第１、第２分周器３２、３４の分周比等を設定し、後ほど詳述する手順に従って、検査対象として指定されたＶＣＯの発振周波数を遷移させる。
【００３５】
メモリＢ４は、端点検出部Ｂ２から渡されるデータ（ＶＣＯ１１〜１ｎの両端周波数に関する検出データ）を格納するとともに、検査処理部Ｂ５からの要求に応じたデータを送出する記憶部である。なお、メモリＢ４としては、小容量のＲＡＭ［Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ］を設ければ足りるため、不必要に装置規模を増大することはない。また、さらなる装置規模縮小を図るのであれば、装置のロジック動作全般に必要なワークＲＡＭ（不図示）を一部流用する構成としてもよい。
【００３６】
検査処理部Ｂ５は、端点検出部Ｂ２の指示に応じて、メモリＢ４の格納データを読み出し、該格納データに基づいて各発振器ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数可変域が端部で互いに重複していることを検査する。そして、該検査結果に基づいて、ローカル周波数信号発生装置Ａの合否判定を行う。該合否判定手順について具体的に述べると、検査処理部Ｂ５は、隣接するＶＣＯ毎に低域側ＶＣＯの上端周波数と高域側ＶＣＯの下端周波数を比較し、全ての組合わせで低域側ＶＣＯの上端周波数が高域側ＶＣＯの下端周波数よりも高ければ、各ＶＣＯの発振周波数可変域は互いに重複しながら連続しているとみなして合格判定を行う。一方、低域側ＶＣＯの上端周波数が高域側ＶＣＯの下端周波数よりも低い組合わせが１つでもあれば、各ＶＣＯの発振周波数可変域はどこかで断絶しているとみなして不合格判定を行う。なお、検査処理部Ｂ５で得られた合否判定結果は、結果報知部Ｂ６に送出される。
【００３７】
結果報知部Ｂ６は、検査処理部Ｂ５で得られた合否判定結果を検査者に報知する手段である。結果報知部Ｂ６の具体的構成としては、液晶ディスプレイやモニタ、発光ダイオードなどの視覚的報知手段であってもよいし、ブザーやスピーカなどの聴覚的報知手段であってもよい。なお、結果報知部Ｂ６に代えて、前記合否判定結果を外部に伝送するためのインターフェイス部を設ければ、該合否判定結果を装置外部のコンピュータで管理することができるので、製品の出荷可否を判断して自動分別を行う出荷検査システムを構築することが可能となる。
【００３８】
上記したように、本実施形態の検査装置Ｂは、従来方式の検査装置（隣接するＶＣＯ毎に検査周波数を設定し、該検査周波数で両ＶＣＯが正常動作するか否かを確認する方式の検査装置）とは異なり、ＶＣＯ１１〜１ｎ各々の発振周波数可変域についてその両端周波数を検出し、該検出結果を総合してローカル周波数信号発生装置Ａの合否を判定する構成である。このような構成とすることにより、従来方式の検査装置に比べて、効率的に検査を行うことが可能となる。
【００３９】
なお、上記ではＶＣＯ１１〜１ｎ全ての両端周波数を検出し、該検出結果に基づいてローカル周波数信号発生装置Ａの合否判定を行う構成を例に挙げて説明を行ったが、本発明の構成はこれに限定されるものではなく、例えば、各ＶＣＯ１１〜１ｎの端点検出を１つおきに行い、端点検出を行わなかったＶＣＯについては、前後のＶＣＯで検出された上端周波数・下端周波数における動作確認のみを行う構成としてもよい。このような構成とすることにより、検査のさらなる迅速化を図ることが可能となる。
【００４０】
また、検査装置Ｂを構成するロック判定部Ｂ１、端点検出部Ｂ２、及び検査処理部Ｂ５については、各々をハードウェアで構成してもよいし、各部の動作をソフトウェアによって実現する構成としてもよい。
【００４１】
続いて、端点検出部Ｂ２における各ＶＣＯ１１〜１ｎの端点検出方法について詳細な説明を行う。
【００４２】
まず、第１の端点検出方法について、図２及び図３を参照しながら詳細に説明する。図２は第１の端点検出方法の手順を示すフローチャートであり、図３は第１の端点検出方法におけるＶＣＯ発振周波数の設定例を模式的に示す図である。なお、本方法は、各発振器ＶＣＯ１１〜１ｎにおける発振周波数可変域の端点周波数を挟むようにその発振周波数を収束変化させながら逐次ロック判定を行い、該判定結果に基づいて各ＶＣＯ１１〜１ｎの端点を検出する構成である。
【００４３】
本方法を採用した検査装置Ｂでは、まずステップＳ１０５にて、周波数コントローラＢ３による検査対象ＶＣＯの発振周波数設定が行われる。ここでは、検査対象ＶＣＯの発振周波数が可変域外（低域側周波数ｆｏ）に設定される。そして続くステップＳ１１０にて、所定時間（ＰＬＬ回路部Ａ３によって検査対象ＶＣＯの発振周波数がロックするのに十分な時間）の経過が待たれた後、ステップＳ１１５にて、ロック判定部Ｂ１による検査対象ＶＣＯのロック判定が行われる。
【００４４】
ステップＳ１１５にて、検査対象ＶＣＯの発振周波数がロック状態でないと判定された場合、フローはステップＳ１２０に進められる。ステップＳ１２０では端点検出部Ｂ２から周波数コントローラＢ３に対して発振周波数のステップアップが指示される。そして、該指示を受けた周波数コントローラＢ３によって、第１、第２分周器３２、３４の分周比等が制御され、検査対象ＶＣＯの発振周波数が現状よりシフト量Ｓａだけ高められる。その後、フローはステップＳ１１０に戻され、該発振周波数における検査対象ＶＣＯのロック判定が繰り返される。つまり、本ループ動作では、ロック判定部Ｂ１にてロック状態が検出されるまで、検査対象ＶＣＯの発振周波数がシフト量Ｓａずつステップアップされる。
【００４５】
一方、上記ループ動作によって、検査対象ＶＣＯの発振周波数がその可変域内（下端周波数以上）に至ると、検査対象ＶＣＯは該発振周波数でロック状態となるため、ステップＳ１１５ではＹＥＳ判定が為され、フローはステップＳ１２５に進められる。ステップＳ１２５では、端点検出部Ｂ２から周波数コントローラＢ３に対して発振周波数のステップダウンが指示される。そして、該指示を受けた周波数コントローラＢ３によって、第１、第２分周器３２、３４の分周比等が制御され、検査対象ＶＣＯの発振周波数が現状よりシフト量Ｓｂ（Ｓｂ＜Ｓａ、例えばＳｂ＝Ｓａ／２）だけ低下される。その後、続くステップＳ１３０で所定時間の経過が待たれた後、ステップＳ１３５でロック判定部Ｂ１による検査対象ＶＣＯのロック判定が行われる。
【００４６】
ステップＳ１３５にて、検査対象ＶＣＯの発振周波数がアンロック状態でないと判定された場合、フローはステップＳ１２５に戻され、発振周波数のステップダウンとロック判定が繰り返される。つまり、本ループ動作では、ロック判定部Ｂ１にてアンロック状態が検出されるまで、検査対象ＶＣＯの発振周波数がシフト量Ｓｂずつステップダウンされる。
【００４７】
一方、上記ループ動作によって、検査対象ＶＣＯの発振周波数がその可変域外（下端周波数以下）に至ると、検査対象ＶＣＯは該発振周波数でアンロック状態となるため、ステップＳ１３５ではＹＥＳ判定が為され、フローはステップＳ１４０に進められる。ステップＳ１４０では、アンロック直前に設定されていた発振周波数が検査対象ＶＣＯの下端周波数ｆａとして採用され、該データがメモリＢ４に格納される。
【００４８】
上記ステップＳ１０５〜Ｓ１４０における下端周波数ｆａの検出後、続くステップＳ１４５では、端点検出部Ｂ２から周波数コントローラＢ３に対して、再び発振周波数のステップアップが指示される。そして、該指示を受けた周波数コントローラＢ３によって、第１、第２分周器３２、３４の分周比等が制御され、検査対象ＶＣＯの発振周波数が現状よりシフト量Ｓａだけ高められる。そして、続くステップＳ１５０で所定時間の経過が待たれた後、ステップＳ１５５でロック判定部Ｂ１による検査対象ＶＣＯのロック判定が行われる。
【００４９】
ステップＳ１５５にて、検査対象ＶＣＯの発振周波数がアンロック状態でないと判定された場合、フローはステップＳ１４５に戻され、発振周波数のステップアップとロック判定が繰り返される。つまり、本ループ動作では、ロック判定部Ｂ１にてアンロック状態が検出されるまで、検査対象ＶＣＯの発振周波数がシフト量Ｓａずつステップアップされる。
【００５０】
一方、上記ループ動作によって、検査対象ＶＣＯの発振周波数がその可変域外（上端周波数以上）に至ると、検査対象ＶＣＯは該発振周波数でアンロック状態となるため、ステップＳ１５５ではＹＥＳ判定が為され、フローはステップＳ１６０に進められる。ステップＳ１６０では、端点検出部Ｂ２から周波数コントローラＢ３に対して発振周波数のステップダウンが指示される。そして、該指示を受けた周波数コントローラＢ３によって、第１、第２分周器３２、３４の分周比等が制御され、検査対象ＶＣＯの発振周波数が現状よりシフト量Ｓｂだけ低下される。そして、続くステップＳ１６５で所定時間の経過が待たれた後、ステップＳ１７０にてロック判定部Ｂ１による検査対象ＶＣＯのロック判定が行われる。
【００５１】
ステップＳ１７０にて、検査対象ＶＣＯの発振周波数がロック状態でないと判定された場合、フローはステップＳ１６０に戻され、発振周波数のステップダウンとロック判定が繰り返される。つまり、本ループ動作では、ロック判定部Ｂ１にてロック状態が検出されるまで、検査対象ＶＣＯの発振周波数がシフト量Ｓｂずつステップダウンされる。
【００５２】
一方、上記ループ動作によって、検査対象ＶＣＯの発振周波数がその可変域内（上端周波数以下）に至ると、検査対象ＶＣＯは該発振周波数でロック状態となるため、ステップＳ１７０ではＹＥＳ判定が為され、フローはステップＳ１７５に進められる。ステップＳ１７５では、ロックに至った現発振周波数が検査対象ＶＣＯの上端周波数ｆｂとして採用され、該データがメモリＢ４に格納される。
【００５３】
なお、上記ステップＳ１４５〜Ｓ１７５における上端周波数ｆｂの検出後は、端点検出部Ｂ２から周波数コントローラＢ３に対し、別のＶＣＯを検査対象として同様の両端周波数検出を継続するように指示が送られる。
【００５４】
このように、各発振器ＶＣＯ１１〜１ｎにおける発振周波数可変域の端点周波数を挟むようにその発振周波数を収束変化させながら逐次ロック判定を行い、該判定結果に基づいて各ＶＣＯ１１〜１ｎの端点を検出する方法であれば、各ＶＣＯ１１〜１ｎにおける発振周波数可変域の両端周波数を短時間で検出することができるため、該検出結果に基づいて行われるローカル周波数信号発生装置Ａの合否判定も短時間で完了することが可能となる。
【００５５】
なお、上記実施形態では、一端点検出に際して発振周波数のステップアップ・ステップダウンを各々１回ずつ行う構成を例に挙げて説明を行ったが、端点検出精度をより高めたい場合には、上記と同様のステップアップ・ステップダウンを複数回繰り返す構成とすればよい。このような構成とすることにより、検出される端点周波数は真値に収束するため、その検出精度を高めることが可能となる。
【００５６】
次に、第２の端点検出方法について、図４及び図５を参照しながら詳細に説明する。図４は第２の端点検出方法の手順を示すフローチャートであり、図５はＶＣＯ発振周波数とロック時間（発振周波数の設定後、ロック状態であると判定されるまでに要する時間）との相関関係を示す図である。なお、本方法は、ＶＣＯ発振周波数の両端付近（感度不良領域；図１５参照）ほどロック時間が長いことに鑑み、各発振器ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数を変化させながら逐次ロック時間を計測し、該ロック時間と所定時間との比較結果に基づいて各ＶＣＯ１１〜１ｎの端点を検出する構成である。
【００５７】
本方法を採用した検査装置Ｂでは、まずステップＳ２０５にて、周波数コントローラＢ３による検査対象ＶＣＯの発振周波数設定が行われる。なお、本実施形態では、検査対象ＶＣＯの発振周波数が可変域内（周波数ｆｏ）に設定される。
【００５８】
続くステップＳ２１０では、ロック判定部Ｂ１による検査対象ＶＣＯのロック判定に基づいて、端点検出部Ｂ２によるロック時間ｔの計測が行われる。なお、本実施形態のロック判定部Ｂ１では、周波数設定から所定時間経過後の一瞬間にロック判定が行われるのではなく、周波数設定時から検査対象ＶＣＯの発振周波数がロック状態となるまでの間、継続的にロック判定が行われる。
【００５９】
ステップＳ２１０にてロック時間ｔが計測されると、続くステップＳ２１５では、端点検出部Ｂ２によってロック時間ｔと所定の参照時間ｔｃ（検査対象ＶＣＯの感度不良領域にて発振周波数がロックするまでに要すると想定される時間）との比較が行われる。ここで、ロック時間ｔが参照時間ｔｃよりも短いと判定された場合、フローはステップＳ２２０に進められる。
【００６０】
ステップＳ２２０では、端点検出部Ｂ２から周波数コントローラＢ３に対して発振周波数のステップダウンが指示される。そして、該指示を受けた周波数コントローラＢ３によって、第１、第２分周器３２、３４の分周比等が制御され、検査対象ＶＣＯの発振周波数が現状より所定シフト量だけ低下される。その後、フローはステップＳ２１０に戻され、該発振周波数におけるロック判定が繰り返される。つまり、本ループ動作では、ロック時間ｔが参照時間ｔｃを上回るまで、検査対象ＶＣＯの発振周波数が所定シフト量ずつステップダウンされる。
【００６１】
一方、上記ループ動作によって、検査対象ＶＣＯの発振周波数がその可変域外（下端周波数以下）に至ると、ロック時間ｔが参照時間ｔｃを上回るため、ステップＳ２１５でＹＥＳ判定が為され、フローはステップＳ２２５に進められる。ステップＳ２２５では、直前に設定されていた発振周波数が検査対象ＶＣＯの下端周波数ｆａとして採用され、該データがメモリＢ４に格納される。
【００６２】
上記ステップＳ２０５〜Ｓ２２５における下端周波数ｆａの検出後、続くステップＳ２３０では、周波数コントローラＢ３によって検査対象ＶＣＯの発振周波数設定が再び可変域内（周波数ｆｏ）に設定される。そして、続くステップＳ２３５では、ロック判定部Ｂ１による検査対象ＶＣＯのロック判定に基づいて、端点検出部Ｂ２によるロック時間ｔの計測が行われる。
【００６３】
ステップＳ２３５にてロック時間ｔが計測されると、続くステップＳ２４０では、端点検出部Ｂ２によってロック時間ｔと所定の参照時間ｔｃとの比較が行われる。ここで、ロック時間ｔが参照時間ｔｃよりも短いと判定された場合、フローはステップＳ２４５に進められる。
【００６４】
ステップＳ２４５では、端点検出部Ｂ２から周波数コントローラＢ３に対して発振周波数のステップアップが指示される。そして、該指示を受けた周波数コントローラＢ３によって、第１、第２分周器３２、３４の分周比等が制御され、検査対象ＶＣＯの発振周波数が現状より所定シフト量だけ高められる。その後、フローはステップＳ２３５に戻され、該発振周波数におけるロック判定が繰り返される。つまり、本ループ動作では、ロック時間ｔが参照時間ｔｃを上回るまで、検査対象ＶＣＯの発振周波数が所定シフト量ずつステップアップされる。
【００６５】
一方、上記ループ動作によって、検査対象ＶＣＯの発振周波数がその可変域外（上端周波数以上）に至ると、ロック時間ｔが参照時間ｔｃを上回るため、ステップＳ２４０でＹＥＳ判定が為され、フローはステップＳ２５０に進められる。ステップＳ２５０では、直前に設定されていた発振周波数が検査対象ＶＣＯの上端周波数ｆｂとして採用され、該データがメモリＢ４に格納される。
【００６６】
なお、上記ステップＳ２３０〜Ｓ２５０における上端周波数ｆｂの検出後は、端点検出部Ｂ２から周波数コントローラＢ３に対し、別のＶＣＯを検査対象として同様の両端周波数検出を継続するように指示が送られる。
【００６７】
このように、各発振器ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数を変化させながら逐次ロック時間を計測し、該ロック時間と所定時間との比較結果に基づいて各ＶＣＯ１１〜１ｎの端点を検出する方法であれば、各ＶＣＯ１１〜１ｎにおける発振周波数可変域の両端周波数を短時間で検出することができるため、該検出結果に基づいて行われるローカル周波数信号発生装置Ａの合否判定も短時間で完了することが可能となる。
【００６８】
なお、上記実施形態では、検査対象ＶＣＯの発振周波数可変域内から両端検出を始める構成を例に挙げて説明を行ったが、本発明の構成はこれに限定されるものではなく、発振周波数可変域外から両端検出を始める構成としても構わない。ただし、発振周波数可変域外では検査対象ＶＣＯの発振周波数がロックせず、ロック時間検出に長時間を要するため、より迅速な両端検出を図るのであれば本構成を採用することが望ましいと言える。
【００６９】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図６は本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第２実施形態を示すブロック図である。本実施形態は前出の第１実施形態に改良を加えた構成であり、その構成及び動作は第１実施形態とほぼ同様である。そこで、第１実施形態と同様の部分については、図１と同一符号を付すことで説明を省略し、以下では本実施形態の特徴部分（ローカル周波数信号発生装置Ａにロック検出信号生成部Ａ５を設けた点）について重点を置いた説明を行うことにする。
【００７０】
ロック検出信号生成部Ａ５は、第１、第２分周器３２、３４の各出力信号が所定条件を満たしているか否か（例えば両位相差が連続して所定範囲内に収まっているか否か）を監視し、その監視結果に基づいて、ローカル周波数信号ＬＯが所望周波数でロックされているか否かを示すロック検出信号ＬＤ（ハイレベル・ローレベルの２値信号）を生成する。
【００７１】
生成されたロック検出信号ＬＤは検査装置Ｂのロック判定部Ｂ１に送出され、検査対象ＶＣＯのロック判定に用いられる。従って、ロック検出信号ＬＤを受けたロック判定部Ｂ１は、制御電圧ＶＴに基づいてロック判定を行う第１実施形態とは異なり、ロック検出信号ＬＤの出力レベルを確認するだけで、ローカル周波数信号ＬＯが所望周波数でロックされているか否かを判定することができる。
【００７２】
このような構成とすることにより、制御電圧ＶＴに基づいてロック判定を行う第１実施形態に比べて、ロック判定部Ｂ１を簡略化することができるので、検査装置Ｂの規模縮小を実現することが可能となる。なお、ロック検出信号生成部Ａ５は、前述したように、第１、第２分周器３２、３４の各出力信号の位相差が連続して所定範囲内に収まっているか否かを監視するだけの簡易な構成で実現できるため、該ロック検出信号生成部Ａ５の追加によってローカル周波数信号発生装置Ａの規模増大が招かれることはない。
【００７３】
また、本実施形態のロック判定部Ｂ１は、ロック検出信号ＬＤの出力レベルが所定期間継続して同一状態を維持したときに、ローカル周波数信号ＬＯがロック状態（或いはアンロック状態）であると判定する構成としている。このような構成とすることにより、検査対象ＶＣＯの感度不良領域（図１５参照）でロック検出信号ＬＤの出力レベルが不安定となった場合であっても、ロック状態を誤判定してしまうおそれが少なくなる。
【００７４】
なお、ロック検出信号ＬＤを検査装置Ｂに送出するための外部端子としては、実使用時にのみ使用され、検査時には使用されない外部端子を流用する構成とすればよい。このような構成とすることにより、不必要に外部端子数を増加させることがない。
【００７５】
また、本実施形態のローカル周波数信号発生装置Ａは、ロック検出信号生成部Ａ５で生成されたロック検出信号ＬＤをセレクタ制御部Ａ４にも送出する構成としている。このような構成とすることにより、ローカル周波数信号発生装置Ａは必要に応じてＶＣＯを自律選択することが可能となる。
【００７６】
なお、上記実施形態では、ロック検出信号生成部Ａ５をローカル周波数信号発生装置Ａに設けた構成を例に挙げて説明を行ったが、本発明の構成はこれに限定されるものではなく、同様のロック検出信号生成部を検査装置Ｂに設けた構成としても構わない。
【００７７】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図７は本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第３実施形態を示すブロック図である。本実施形態は前出の第２実施形態に改良を加えた構成であり、その構成及び動作は第２実施形態とほぼ同様である。そこで、第２実施形態と同様の部分については、図６と同一符号を付すことで説明を省略し、以下では本実施形態の特徴部分（チャージポンプ３６の駆動電流やループフィルタ３７の回路定数を制御可能とした点）について重点を置いた説明を行うことにする。
【００７８】
上記したように、本実施形態のローカル周波数信号発生装置Ａは、検査装置Ｂの指示に応じて、ＰＬＬ回路部Ａ３を構成するチャージポンプ３６の駆動電流やループフィルタ３７の回路定数を制御可能とした構成である。このような構成とすることにより、ローカル周波数信号発生装置Ａの検査時には、チャージポンプ３６の駆動電流やループフィルタ３７の回路定数（すなわち位相比較器３５のパルス出力周期やループフィルタ３７のカットオフ周波数）を実使用時と異なる設定にして、ロック時間を短縮することができる。従って、各ＶＣＯ１１〜１ｎにおける発振周波数可変域の両端周波数を短時間で検出することができるようになるため、該検出結果に基づいて行われるローカル周波数信号発生装置Ａの合否判定も短時間で完了することが可能となる。
【００７９】
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図８は本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第４実施形態を示すブロック図である。本実施形態は前出の第３実施形態に改良を加えた構成であり、その構成及び動作は第３実施形態とほぼ同様である。そこで、第３実施形態と同様の部分については、図７と同一符号を付すことで説明を省略し、以下では本実施形態の特徴部分（ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数可変域を制御可能とした点）について重点を置いた説明を行うことにする。
【００８０】
上記したように、本実施形態のローカル周波数信号発生装置Ａは、検査装置Ｂの指示に応じて、発振回路部Ａ１を構成するＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数可変域を制御可能とした構成である。このような構成とすることにより、各ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数可変域を一時的に狭めた状態（図９参照）で該発振周波数可変域の両端検出を行うことができるようになるので、ローカル周波数信号発生装置Ａの合否判定を厳格に行うことが可能となる。従って、合格と判定されたローカル周波数信号発生装置Ａにて、各ＶＣＯ１１〜１ｎが感度不良領域（図１５参照）で使用されるおそれを低減することができる。
【００８１】
なお、各ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数可変域を狭めて端点周波数を検出した後、発振周波数可変域を元に戻して該端点周波数でのロック判定を行う構成とすれば、ローカル周波数信号発生装置Ａの実使用時における信頼性をより高めることが可能となる。さらに、発振周波数可変域を狭めて端点周波数を検出した後、発振周波数可変域を元に戻して再び端点周波数を検出する構成とすれば、各ＶＣＯにおける発振周波数可変域の一部区間を参照するだけで、本実施形態における周波数可変域制御機能が正常に動作しているか否かを確認することができる。
【００８２】
続いて、発振周波数可変域を制御可能なＶＣＯ１１〜１ｎの具体的構成について説明する。図１０は第４実施形態におけるＶＣＯ１１〜１ｎの一構成例を示す回路図である。なお、本図（ａ）は発振周波数可変域が固定された一般的なＶＣＯを示しており、（ｂ）は発振周波数可変域が制御可能なＶＣＯを示している。
【００８３】
本図（ａ）に示すように、発振周波数可変域が固定された一般的なＶＣＯは、インダクタＬａ、Ｌｂと可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂから成る共振回路と、ｎｐｎ型トランジスタＱａ、Ｑｂから成る能動回路（負性抵抗回路）と、定電流源Ｉと、を有して成る。なお、可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂとしては、可変容量ダイオードやＭＯＳ電界効果トランジスタのゲート容量などが一般的に用いられる。
【００８４】
インダクタＬａ、Ｌｂの各一端は電源電圧ラインに接続されており、各他端はトランジスタＱａ、Ｑｂの各コレクタに接続されている。トランジスタＱａ、Ｑｂの各エミッタは互いに接続されており、その接続ノードは定電流源を介して接地されている。トランジスタＱａ、Ｑｂの各ベースは、互いのコレクタにたすき接続されている。トランジスタＱａ、Ｑｂのコレクタ間には、可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂが直列接続されており、両可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂの接続ノードには、制御電圧ＶＴが印加されている。
【００８５】
上記構成から成るＶＣＯにおいて、可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂの接続ノードに印加される制御電圧ＶＴを変化させると、各可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂに加わる電圧が変化して各可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂの容量が変化する。従って、制御電圧ＶＴを変化させることで、各種の寄生素子を含む共振回路の共振周波数（すなわちＶＣＯの発振周波数）を変化させることができる。ただし、本構成では、可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂの容量可変幅が固定であるため、ＶＣＯ発振周波数可変域も固定となる。
【００８６】
これに対して、本図（ｂ）に示すように、発振周波数可変域が制御可能な本実施形態のＶＣＯは、上記構成の可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂに代えて、６つの可変容量素子ＶＣａ１〜ＶＣａ３、ＶＣｂ１〜ＶＣｂ３と、２つのスイッチ回路ＳＷ１、ＳＷ２と、を有して成る。これらの可変容量素子は、図示のように３組に分けられ、各々トランジスタＱａ、Ｑｂのコレクタ間に並列接続されている。なお、可変容量素子ＶＣａ１〜ＶＣａ３、ＶＣｂ１〜ＶＣｂ３の合計容量は、それぞれ可変容量素子ＶＣａ、ＶＣｂの容量と等しくなるように調整されている。
【００８７】
可変容量素子ＶＣａ１、ＶＣｂ１の接続ノードには、制御電圧ＶＴが直接印加される。可変容量素子ＶＣａ２、ＶＣｂ２の接続ノードには、制御電圧ＶＴと電源電圧のいずれか一方がスイッチ回路ＳＷ１によって選択印加される。可変容量素子ＶＣａ３、ＶＣｂ３の接続ノードには、制御電圧ＶＴとグランド電圧のいずれか一方がスイッチ回路ＳＷ２によって選択印加される。なお、スイッチ回路ＳＷ１、ＳＷ２は、電界効果トランジスタ等によって構成されており、そのスイッチング動作は検査装置Ｂによって制御される。
【００８８】
上記構成から成るＶＣＯにおいて、可変容量素子ＶＣａ２、ＶＣｂ２と可変容量素子ＶＣａ３、ＶＣｂ３の両接続ノードに対してともに制御電圧ＶＴを印加すれば、本構成は本図（ａ）と等価になるため、ＶＣＯの発振周波数可変域は通常状態となる。一方、可変容量素子ＶＣａ２、ＶＣｂ２の接続ノードに電源電圧を印加すれば、該可変容量素子ＶＣａ２、ＶＣｂ２が制御電圧ＶＴによる制御を受けなくなるため、ＶＣＯの発振周波数可変域（低域側）が制限される。同様に、可変容量素子ＶＣａ３、ＶＣｂ３の接続ノードを接地すれば、該可変容量素子ＶＣａ３、ＶＣｂ３が制御電圧ＶＴによる制御を受けなくなるため、ＶＣＯの発振周波数可変域（高域側）が制限される。なお、可変容量素子ＶＣａ２、ＶＣｂ２の接続ノードに印加する電圧は、周波数上限に相当する電圧であればよいため、必ずしも電源電圧とする必要はない。
【００８９】
次に、本発明の第５実施形態について説明する。図１１は本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第５実施形態を示すブロック図である。本実施形態は前出の第４実施形態に改良を加えた構成であり、その構成及び動作は第４実施形態とほぼ同様である。そこで、第４実施形態と同様の部分については図８と同一符号を付すことで説明を省略し、以下では本実施形態の特徴部分（検査装置Ｂで制御電圧ＶＴをモニタするようにした点）について重点を置いた説明を行うことにする。
【００９０】
上記したように、本実施形態の検査装置Ｂは、ＶＣＯ１１〜１ｎの発振周波数を制御するための制御電圧ＶＴをモニタし、そのモニタ結果を検査処理部Ｂ５に送出する制御電圧モニタ部Ｂ７を有して成る。なお、ローカル周波数信号発生装置Ａは、制御電圧ＶＴを検査装置Ｂに送出する外部端子として、実使用時にのみ使用され、検査時には使用されない外部端子を流用する構成とすればよい。このような構成とすることにより、不必要に外部端子数を増加させることがない。
【００９１】
制御電圧モニタ部Ｂ７の動作について、図１２を参照して詳細な説明を行う。図１２は制御電圧ＶＴとＶＣＯ発振周波数との相関関係を示す図である。なお、本図中の実線はＶＣＯの発振周波数可変域が通常状態である場合を示しており、破線はＶＣＯの発振周波数可変域の下端が狭められている場合を示している。
【００９２】
制御電圧モニタ部Ｂ７は、ＶＣＯの発振周波数可変域を狭めて検出した端点周波数（ここでは下端周波数ｆａ）での制御電圧値Ｖａと、そこからＶＣＯの発振周波数可変域を通常状態に戻したときの制御電圧値Ｖｂをモニタして、制御電圧ＶＴの変化量ΔＶＴ（＝｜Ｖａ−Ｖｂ｜）を求め、そのモニタ結果を検査処理部Ｂ５に送出する。検査処理部Ｂ５は、変化量ΔＶＴがＶＣＯの感度不良領域に近いほど大きくなることに鑑み、該変化量ΔＶＴに基づいて結果報知部Ｂ６に対する結果報知指示を行う。
【００９３】
このような構成とすることにより、例えば、変化量ΔＶＴが所定値を上回っている場合には、合格と判定されたローカル周波数信号発生装置Ａであっても、各ＶＣＯ１１〜１ｎが感度不良領域（図１５参照）で使用されるおそれがある旨を適切に報知することが可能となる。従って、該報知を受けたローカル周波数信号発生装置Ａの検査者は、迅速に適切な措置（周波数可変域の制限強化や合格判定の取消しなど）をとることができるようになる。
【００９４】
なお、上記実施形態では、制御電圧モニタ部Ｂ７を検査装置Ｂに設けた場合を例に挙げて詳細な説明を行ったが、該制御電圧モニタ部Ｂ７は、ローカル周波数信号発生装置Ａに内蔵しても構わない。その場合、制御電圧モニタ部は、制御電圧ＶＴの変化量ΔＶＴと所定閾値との大小関係に応じた比較信号（ハイレベル・ローレベルの２値信号）を生成するコンパレータを有する構成にするとよい。このような構成とすることにより、他の検査でも一般的に用いられるロジックテスタを流用して、各ＶＣＯ１１〜１ｎが感度不良領域（図１５参照）で使用されるおそれがあるか否かを検査することができるので、不必要に検査設備費用を増大することがない。
【００９５】
次に、本発明の第６実施形態について説明する。図１３は本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第６実施形態を示すブロック図である。本実施形態は前出の第５実施形態に改良を加えた構成であり、その構成及び動作は第５実施形態とほぼ同様である。そこで、第４実施形態と同様の部分については図１１と同一の符号を付すことで説明を省略し、以下では本実施形態の特徴部分（ローカル周波数信号発生装置Ａにシリアルバスインターフェイスを設けた点）について重点を置いた説明を行うことにする。
【００９６】
上記したように、本実施形態のローカル周波数信号発生装置Ａは、シリアルバスインターフェイスとして機能するレジスタＡ６を有する。レジスタＡ６は、入力されたシリアル制御信号を一旦格納してからパラレル制御信号に変換し、該パラレル制御信号をＶＣＯ１１〜１ｎ、第１、第２分周器３２、３４、チャージポンプ３６、ループフィルタ３７、及びセレクタ制御部Ａ４に各々送出する。
【００９７】
このような構成とすることにより、ローカル周波数信号発生装置Ａと検査装置Ｂをシリアルバスで接続することができるようになるので、外部端子数を大幅に削減することが可能となる。なお、両装置Ａ、Ｂを接続するシリアルバスとしては、外部端子数がデータラインとクロックラインの２系統で済むＩ２Ｃバスを用いるとよい。特に、衛星放送受信装置等にはＩ２Ｃバスが標準採用されているため、このような機器に搭載するローカル周波数信号発生装置Ａについては、そのＩ２Ｃバスを流用する構成とすればよい。
【００９８】
【発明の効果】
上記で説明したように、本発明によれば、発振装置の合否判定を効率的かつ確実に行うことが可能な検査装置・検査方法と、該検査に適した発振装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第１実施形態を示すブロック図である。
【図２】第１の端点検出方法の手順を示すフローチャートである。
【図３】第１の端点検出方法におけるＶＣＯ発振周波数の設定例を模式的に示す図である。
【図４】第２の端点検出方法の手順を示すフローチャートである。
【図５】ＶＣＯ発振周波数とロック時間との相関関係を示す図である。
【図６】本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第２実施形態を示すブロック図である。
【図７】本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第３実施形態を示すブロック図である。
【図８】本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第４実施形態を示すブロック図である。
【図９】ＶＣＯの発振周波数可変域を一時的に狭めた状態（下側のみ）を示す図である。
【図１０】第４実施形態におけるＶＣＯ１１〜１ｎの一構成例を示す回路図である。
【図１１】本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第５実施形態を示すブロック図である。
【図１２】制御電圧ＶＴとＶＣＯ発振周波数との相関関係を示す図である。
【図１３】本発明に係るローカル周波数信号発生装置及び検査装置の第６実施形態を示すブロック図である。
【図１４】ＶＣＯ発振周波数可変域の一例を示す図である。
【図１５】制御電圧とＶＣＯ発振周波数との相関関係を示す図である。
【符号の説明】
Ａ　　ローカル周波数信号発生装置
Ａ１　　発振回路部
１１〜１ｎ　　電圧制御発振器（ＶＣＯ）
Ａ２　　ＶＣＯセレクタ
Ａ３　　位相固定ループ回路部（ＰＬＬ回路部）
３１　　プリスケーラ
３２　　第１分周器
３３　　基準発振器
３４　　第２分周器
３５　　位相比較器
３６　　チャージポンプ
３７　　ループフィルタ
Ａ４　　セレクタ制御部
Ａ５　　ロック検出信号生成部（ＬＤ生成部）
Ａ６　　レジスタ
Ｂ　　検査装置
Ｂ１　　ロック判定部
Ｂ２　　端点検出部
Ｂ３　　周波数コントローラ
Ｂ４　　メモリ
Ｂ５　　検査処理部
Ｂ６　　結果報知部
Ｂ７　　制御電圧モニタ部（ＶＴモニタ部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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