(57)【要約】【課題】クリーンルーム、クリーンチャンバー、クリーンボックスなどの清浄空間の清浄度を短時間でしかも高精度に測定評価できる清浄度評価装置を提供する。【解決手段】本発明に係る清浄度評価装置Ｍは、超純水Ｗを霧化して霧化水滴を形成するネブライザーＷ４と、ネブライザーＷ４で形成された霧化水滴と測定対象のサンプルガスＳとを気液接触させ当該サンプルガスＳ中の不揮発性成分を霧化水滴に吸収させる吸収管Ｈ１と、吸収管Ｈ１で水溶性成分を霧化水滴に吸収させたサンプルガスＳを乾燥させ当該サンプルガスＳ中の不揮発性成分を析出凝固させて粒子化する蒸発管Ｈ２と、蒸発管Ｈ２で形成された粒子の数を計数する凝縮核カウンター（ＣＮＣ）Ｈ４と、上記各部へ順次流れる気流を発生させる真空ポンプＨ５や三方弁ＳＶなどを備える。【選択図】　　　図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
環境空間の気中に含まれる微量の不揮発性成分の濃度を測定することで環境空間の清浄度を評価する清浄度評価装置であって、
超純水を霧化して霧化水滴を形成する霧化水滴形成部と、
前記霧化水滴形成部で形成された霧化水滴と清浄度評価対象の空気とを気液接触させ当該空気中の前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させる気液接触反応部と、
前記気液接触反応部で前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させた前記清浄度評価対象の空気を乾燥させ当該空気中の前記不揮発性成分を析出凝固させて粒子化する乾燥部と、
前記乾燥部で形成された粒子の数を計数するカウンター装置と、
前記霧化水滴形成部、前記気液接触反応部、前記乾燥部、前記カウンター装置へと順次流れる気流を発生させる送気機構と
を具備することを特徴とする清浄度評価装置。
【請求項２】
前記霧化水滴形成部が、エゼクター型アトマイザーノズルを備えることを特徴とする請求項１記載の清浄度評価装置。
【請求項３】
前記霧化水滴形成部が、超音波発振器を備えることを特徴とする請求項１記載の清浄度評価装置。
【請求項４】
前記気液接触反応部へ導入される前記清浄度評価対象の空気の導入部分にエアーフィルターを備えることを特徴とする請求項１記載の清浄度評価装置。
【請求項５】
前記カウンター装置が、凝縮核カウンター装置であることを特徴とする請求項１記載の清浄度評価装置。
【請求項６】
前記気液接触反応部で前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させた前記清浄度評価対象の空気を冷却して凝縮し凝縮水として回収する冷却凝縮部をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の清浄度評価装置。
【請求項７】
環境空間の気中に含まれる微量の不揮発性成分の濃度を測定することで環境空間の清浄度を評価する清浄度評価方法であって、
超純水を霧化して霧化水滴を形成する霧化水滴形成工程と、
前記霧化水滴形成工程で形成された霧化水滴と清浄度評価対象の空気とを気液接触させ当該空気中の不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させる気液接触工程と、
前記気液接触工程にて前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させた前記清浄度評価対象の空気を乾燥させ当該空気中の前記不揮発性成分を析出凝固させて粒子化する粒子化工程と、
前記粒子化工程で前記不揮発性成分を析出凝固させて形成された粒子の数を計数する粒子計数工程と
を有することを特徴とする清浄度評価方法。
【請求項８】
前記霧化水滴形成工程の実施後、前記清浄度評価対象の空気の導入を停止して気液接触工程を実施し、さらに粒子化工程、粒子計数工程を実施することにより、ブランク測定を行うことを特徴とする請求項７記載の清浄度評価方法。
【請求項９】
前記気液接触工程にて前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させた前記清浄度評価対象の空気を冷却して凝縮し凝縮水として回収する工程を有することを特徴とする請求項７記載の清浄度評価方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、環境空間の気中に含まれる微量の不揮発性成分の濃度を測定することで環境空間の清浄度を評価する装置及び清浄度評価方法であって、特に、クリーンルーム、クリーンチャンバー、クリーンボックスなどの清浄空間の清浄度を測定評価する清浄度評価装置及び清浄度評価方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場などのクリーンルーム内の空気清浄度は、ＮＡＳＡ規格クラス１０などで表現される光散乱式自動粒子計測器（パーティクルカウンターとも呼ばれている）で測定された空気中の浮遊微粒子の個数などで表現される。また、清浄度は、日本工業規格ＪＩＳ　Ｂ　９９２０（クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法及びクリーンルームの空気清浄度の評価方法）で規定されている浮遊微粒子の個数などでも評価される。
【０００３】
ところで、半導体は、近年では、１Ｇｂｉｔ（ギガビット）以上もの高集積度になってきており、空気中の汚れ成分であるナトリウムイオン（Ｎａ＋）、カルシウムイオン（Ｃａ２＋）、マグネシウムイオン（Ｍｇ２＋）などの金属イオン成分、塩素イオン（Ｃｌ−）、硝酸イオン（ＮＯ３−）、硫酸イオン（ＳＯ４２−）などの無機酸成分、ＴＯＣ（全有機炭素）で表示される有機化合物成分が、基板の汚染をはじめ、製造工程上問題になっている。これらの不揮発性成分は前記浮遊微粒子と併せて蒸発残渣成分となる。したがって、クリーンルームなどでは、浮遊微粒子が除去さているので、これら不揮発成分が汚れ成分であり蒸発残渣成分と考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これらの汚れ成分を分析するためのサンプリングとして「インピンジャー法」と呼ばれれる、環境空間中の空気を吸引して超純水中に一定時間バブリングさせて空気中の汚れ成分を回収して、原子吸光分析法、イオンクロマト質量分析法、ガスクロマトグラフ法などで分析を行う方法が利用されている。また、「インピンジャー法」を応用して、液中に移行した汚れ成分を凝縮核カウンターで測定する方法が特開平９−１４５６１６号公報で開示されている。その他、「テナックス法」と呼ばれる、テナックス管に空気中の汚れ成分を吸引吸着させ、吸着された汚れ成分（特に有機化合物）をガスクロマトグラフ法などで分析評価する方法も利用されている。これらの分析法は、微量分析であるため、分析精度が要求され、手間がかかり、場合によっては１週間以上もの多くの日数を要するのが現状である。
【０００５】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、クリーンルーム内などの清浄度を短時間でしかも高精度に測定評価できる清浄度評価装置及び清浄度評価方法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る清浄度評価装置は、環境空間の気中に含まれる微量の不揮発性成分の濃度を測定することで環境空間の清浄度を評価する清浄度評価装置であって、超純水を霧化して霧化水滴を形成する霧化水滴形成部と、前記霧化水滴形成部で形成された霧化水滴と清浄度評価対象の空気とを気液接触させ当該空気中の前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させる気液接触反応部と、前記気液接触反応部で前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させた前記清浄度評価対象の空気を乾燥させ当該空気中の前記不揮発性成分を析出凝固させて粒子化する乾燥部と、前記乾燥部で形成された粒子の数を計数するカウンター装置と、前記霧化水滴形成部、前記気液接触反応部、前記乾燥部、前記カウンター装置へと順次流れる気流を発生させる送気機構とを具備することを特徴とする。
【０００７】
すなわち、本発明の清浄度評価装置によれば、清浄度評価対象の空気中の不揮発性成分を超純水の霧化水滴との気液接触により確実に捕捉することができると共に、カウンター装置、例えば凝縮核カウンターなどで測定可能な粒子サイズになるように、霧化水滴に吸収させた清浄度評価対象の空気を乾燥させ当該空気中の不揮発性成分を析出凝固させて粒子化を行うようにしているので、クリーンルーム内やクリーンチャンバー内などの清浄度を短時間でしかも高精度に測定することができる。
【０００８】
また、本発明の清浄度評価装置は、前記霧化水滴形成部が、エゼクター型アトマイザーノズルを備えることを特徴とする。
さらに、本発明の清浄度評価装置は、前記霧化水滴形成部が、超音波発振器を備えることを特徴とする。
また、本発明の清浄度評価装置は、前記気液接触反応部へ導入される前記清浄度評価対象の空気の導入部分にエアーフィルターを備えることを特徴とする。
さらに、本発明の清浄度評価装置は、前記カウンター装置が、凝縮核カウンター装置であることを特徴とする。
【０００９】
本発明の清浄度評価方法は、前記気液接触反応部で前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させた前記清浄度評価対象の空気を冷却して凝縮し凝縮水として回収する冷却凝縮部をさらに具備することを特徴とする。
この発明によれば、全蒸発残渣の各成分を測定できるように、不揮発性成分を霧化水滴に吸収させた清浄度評価対象の空気を冷却・凝縮させて凝縮水として回収し、例えば、原子吸光分析法、イオンクロマト質量分析法、ガスクロマトグラフ法などで清浄度評価対象の空気の分析を行うことが可能となる。
【００１０】
本発明の清浄度評価方法は、環境空間の気中に含まれる微量の不揮発性成分の濃度を測定することで環境空間の清浄度を評価する清浄度評価方法であって、超純水を霧化して霧化水滴を形成する霧化水滴形成工程と、前記霧化水滴形成工程で形成された霧化水滴と清浄度評価対象の空気とを気液接触させ当該空気中の不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させる気液接触工程と、前記気液接触工程にて前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させた前記清浄度評価対象の空気を乾燥させ当該空気中の前記不揮発性成分を析出凝固させて粒子化する粒子化工程と、前記粒子化工程で前記不揮発性成分を析出凝固させて形成された粒子の数を計数する粒子計数工程とを有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の清浄度評価方法は、前記霧化水滴形成工程の実施後、前記清浄度評価対象の空気の導入を停止して気液接触工程を実施し、さらに粒子化工程、粒子計数工程を実施することにより、ブランク測定を行うことを特徴とする。
この発明によれば、気液接触工程で清浄度評価対象の空気を導入しないブランク測定の結果（ブランク測定時の粒子計数値）を、気液接触工程で実際に清浄度評価対象の空気を導入したサンプル測定の結果（サンプル測定時の粒子計数値）から減算することで、評価結果として余分な外乱成分の影響を排除することができ、より高精度な清浄度評価を行うことができる。
【００１２】
本発明の清浄度評価方法は、前記気液接触工程にて前記不揮発性成分を前記霧化水滴に吸収させた前記清浄度評価対象の空気を冷却して凝縮し凝縮水として回収する工程を有することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る清浄度評価装置を機能的に示すブロックフロー図、図２は、この装置のブランク測定時の稼動状態を示すマテリアルフロー図、図３は、この装置のサンプル測定時の稼動状態を示すマテリアルフロー図、図４は、図２に対応する模式図、図５は、図３に対応する模式図である。
【００１４】
これらの図に示すように、この清浄度評価装置Ｍは、全蒸発残渣計「ハイピュアモニター」（野村マイクロ・サイエンス株式会社製：商品名：ＮＰＳ［エヌパス］）の技術を応用して、上記クリーンルームなどの清浄度（クリーン度）を連続的に測定することを可能なものにした。
【００１５】
すなわち、清浄度評価装置Ｍは、環境空間、例えばクリーンルームなどの気中に含まれる微量の不揮発性成分の濃度を測定するものであって、霧化水滴形成部としてのネブライザーＷ４と、気液接触反応部としての吸収管Ｈ１と、乾燥部としての電気ヒーターを備えた蒸発管Ｈ２と、粒子化された不揮発性成分の粒子数を計数する凝縮核カウンター（ＣＮＣ）Ｈ４と、真空ポンプＨ５や三方弁ＳＶなどを含む送気機構とから主に構成されている。
【００１６】
ネブライザーＷ４は、例えば、エゼクター型アトマイジングノズル（二流体ノズルとも呼ばれている）などが内蔵されており、超純水Ｗを霧化して霧化水滴を形成する。
吸収管Ｈ１では、ネブライザーＷ４によって形成された霧化水滴と清浄度評価対象の空気であるサンプルガスＳとを気液接触させ当該サンプルガスＳ中の水溶性成分である不揮発性成分（蒸発残渣成分）を霧化水滴に吸収（溶解）させる。蒸発管Ｈ２では、吸収管Ｈ１で水溶性成分を霧化水滴に吸収させたサンプルガスＳを乾燥させ当該サンプルガスＳ中の水溶性成分を析出凝固させて粒子化する。
凝縮核カウンター（ＣＮＣ）Ｈ４は、蒸発管Ｈ２で形成された粒子の数を計数する。
真空ポンプＨ５などを含む送気機構は、主に、ネブライザーＷ４、吸収管Ｈ１、蒸発管Ｈ２、凝縮核カウンターＨ４へと真空ポンプＨ５の吸引により順次流れる気流を発生させる。
【００１７】
超純水ＷをネブライザーＷ４へ供給するための供給系には、ニードルバルブＷ１、ペルチェ素子を適用した冷却器Ｗ２、超純水Ｗの流量調整を行うキャピラリーＷ３が順に配置されている。冷却器Ｗ２は、超純水Ｗへの気体の溶解性能を向上させる。つまり、冷却器Ｗ２は、ネブライザーＷ４で生成された霧化水滴へのサンプルガスＳ中の不揮発性成分の溶解性能を向上させるために、超純水Ｗを２０℃に冷却（温度調節）する。
【００１８】
（サンプル測定時において）サンプルガスＳ２は、吸収管Ｈ１に供給される前に、エグゼクターＣ５により圧力ガスであるクリーンエアー（クリーンガス）Ｃと混合される。また、クリーンエアーＣは、超純水Ｗを霧化するために、ネブライザーＷ４にも供給される。クリーンエアーＳの供給系には、減圧弁Ｃ１、エアーフィルターＣ２、圧力計Ｃ４、オリフィスＣ３、Ｃ６などが配置されている。上記オリフィスＣ３の後段には、例えば、装置本体から取り出し可能なドレンボックスＣ７が設けられている。ドレンボックスＣ７には、超純水Ｗの供給系の一部が接続されている。
【００１９】
さらに、サンプルガスＳの供給系には、三方弁ＳＶが設けられている。三方弁ＳＶは、エグゼクターＣ５（又は吸収管Ｈ１）へのサンプルガスＳの供給／非供給をブランク測定時とサンプル測定時とで切り替える。蒸発管Ｈ２と凝縮核カウンター（ＣＮＣ）Ｈ４との間には、拡散沈着により、比較的大きな径の粒子を通過させ、比較的小径な粒子の通過を阻止するスクリーンメッシュＨ３が配置されている。凝縮核カウンター（ＣＮＣ）Ｈ４は、図６にも示すように、スクリーンメッシュＨ３を通過した粒子をアルコール雰囲気中でその粒径を成長させ、レーザ光の照射を利用して光学的に粒子数の計数、つまり蒸発残渣濃度を計測する。
【００２０】
ここで、図７、図８は、粒子径と全表面積との関係を計算式により計算した値を示したもので、粒子の全表面積は、粒子径の２乗に反比例することから、霧化水滴とサンプルガスＳ中の不揮発成分との気液接触面積を増加させる意味では、霧化水滴を、極力小径で形成するようにしてもよいが、スクリーンメッシュＨ３を通過させ且つ凝縮核カウンターＨ４により計数させるべき水溶性成分粒子のサイズを考慮すると、上記霧化水滴の粒径は、例えば、２０μｍオーダー以下の範囲内で形成されることが好ましい。
【００２１】
次に、このように構成された清浄度評価装置１を用いて、サンプルガスＳの清浄度を実際に測定する場合について説明する。
まず、図２、４に示すように、吸収管Ｈ１にサンプルガスＳを導入させずにブランク測定を行う。すなわち、三方弁ＳＶをクリーンエアーＣ側に切り替える事により、オリフィスＣ６で調整されたクリーンエアーＣは、エゼクターＣ５に吸引され、吸収管Ｈ１にはクリーンエアーＣ（３Ｌ／ｍｉｎ）のみが送られる。このようなブランク測定状態で凝縮核カウンターＨ４による粒子数のカウントを行う。
続いて、図３、５に示すように、吸収管Ｈ１にサンプルガスＳを導入するようにしてサンプル測定を実施する。つまり、三方弁ＳＶをサンプルガスＳ側に切り替える事により、サンプルガスＳは、エゼクターＣ５に吸引され、吸収管Ｈ１にサンプルガスＳ（１Ｌ／ｍｉｎ）とクリーンエアーＣ（２Ｌ／ｍｉｎ）が送られる。このようなサンプル測定状態で凝縮核カウンターＨ４による粒子数のカウントを行う。
【００２２】
最後に、サンプル測定状態で計数された粒子数から、ブランク測定状態で計数された粒子数を減算することで、清浄度評価対象の室内空気の清浄度が求められる。
すなわち、図６に示すような工程を経て、クリーンブース内、分析室内、実験室内における空気の清浄度を図９に示すようにそれぞれ短時間で測定することができた。
【００２３】
このように、本実施形態の清浄度評価装置Ｍによれば、清浄度評価対象の空気中の不揮発性成分を、超純水の霧化水滴との気液接触により効率的に捕捉する（霧化水滴に溶解させる）ことができると共に、凝縮核カウンターＨ４で測定可能な粒子サイズになるように、霧化水滴に吸収させた清浄度評価対象の空気を乾燥させ当該空気中の不揮発性成分を析出凝固させて粒子化を行うようにしているので、クリーンルーム内やクリーンチャンバー内などの清浄度を短時間でしかも高精度に測定することができる。
【００２４】
超微細な霧化水滴を生成するネブライザーＷ４にはエジェクター型アトマイザーノズル（別名二流体ノズルとも呼ばれている）が内蔵され、クリーンエアー（圧力ガス）を圧力：０．２Ｍｐａ、風量：２Ｌ／ｍｉｎで超純水：１Ｌ／ｍｉｎを吸引アトマイジングして超微細水滴を吸収管Ｈ１に送気して気液接触反応に供している。また、超純水Ｗを０．１Ｍｐａ〜０．２Ｍｐａに加圧して送気する場合もある。更に周波数帯域が２〜４ＭＨｚの超音波発振子の上部にテフロン（登録商標）加工した容器を設置して超純水Ｗを挿入して霧化させる。また、クリーンエアー（圧力ガス）Ｃを圧力：０．２Ｍｐａ、風量：２Ｌ／ｍｉｎで送気して気液接触反応に供しても同様の結果が得られた。
【００２５】
霧化水滴と気液接触させた清浄度評価対象の空気を乾燥させる蒸発管Ｈ２は電気ヒーターで加熱温度を１２０℃±５℃に制御して、この空気中の蒸発残渣成分を粒子化し、さらにこの粒子を計測する凝縮核カウンター（ＣＮＣ）Ｈ４は日本カノマック（株）製を用いて計数している。
【００２６】
使用するユーティリティである、超純水は予め蒸発残渣分が５ｐｐｂ以下であることを分析確認をしておく必要がある。１０ｐｐｂを超えるとバックグラウンドに乱れが生じる。またクリーンエアー（圧力ガス）Ｃが得られない場合は窒素ガス（ボンベでも液化ガスでも良い）が利用できる。
【００２７】
以上、本発明を実施の形態により具体的に説明したが、本発明は前記実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。すなわち、上記実施形態のように、図１ないし図３に示したＮＰＵＳブロックフロー中のサンプルガスが、例えばクリーンルームから供給されるガスなどの場合には、フィルターは不要であるが、サンプルガスが、例えば大気などである場合には、固体状微粒子が多いため、三方弁ＳＶの前段などに粗さ精度０．０３μｍ程度の超精密フィルターを配置することが望ましい。この超精密フィルターとしては、例えばボストン製超精密フィルター（コード番号９９００−０５−ＢＫ）などが好適である。
【００２８】
次に、本発明を実施例により詳述する。この実施例では発明の実施の形態で説明した清浄度評価装置Ｍを使用する。
（実施例１）
ネブライザーＷ４の霧化にはエゼクター型アトマイジングノズルを用いて、クリーンエアーには乾空を用い、超純水Ｗは導電度：１７．５ＭΩ・ｃｍ、蒸発残渣分：４ｐｐｂを用いた。また、蒸発管Ｈ２は１２０℃±５℃に制御した。
【００２９】
まず、ブランク測定では、クリーンエアーをサンプルとして用い、まずオリフィスＣ６より圧力：０．２Ｍｐａ、流量：２Ｌ／ｍｉｎで送り、三方弁ＳＶで１Ｌ／ｍｉｎに絞込みサンプルガスとしてエジェクターＣ５に吸引させた。一方、圧力：０．２Ｍｐａ、流量：２Ｌ／ｍｉｎのキャリアーガスとしてクリーンエアーをエゼクターＣ５に送気して、併せて３Ｌ／ｍｉｎを吸収管Ｈ１の送気する。ネブライザーＷ４へは圧力：０．２Ｍｐａ、流量：２Ｌ／ｍｉｎのクリーンエアーをエゼクター型アトマイジングノズルに送気して超純水：２Ｌ／ｍｉｎをアトマイジングして吸収管Ｈ１へ送気して超微細水滴にガス中の汚れ成分を吸収させる。吸収管Ｈ１からは流量：２Ｌ／ｍｉｎを１２０℃に加熱された蒸発管Ｈ２で乾燥してスクリーンメッシュＨ３で拡散沈着法により重量補正した後、凝縮核カウンター（ＣＮＣ）Ｈ４で計測する。
【００３０】
一方、サンプル測定では、三方弁ＳＶをサンプルガス側に切り替え、ブランク測定と同じく風量：１Ｌ／ｍｉｎをエジェクターＣ５に送気する工程のみがブランク測定と相違するのみで、後の工程はまったく同じである。
図８にそれぞれの箇所でのサンプル測定の結果を示した。
浮遊粒子がＣｌａｓｓ１のクリーンブースは、湿式洗浄処理とケミカルフィルターとＵＬＰＡフフィルターで処理されたブースで蒸発残渣成分が３ｐｐｂ以下のブースであるため、ブランク測定と同程度の値を示している。
浮遊粒子がＣｌａｓｓ１，０００の分析室では、金属イオン成分、無機酸成分、ＴＯＣ成分を分析しているため一般の実験室より多く計測されている。
浮遊粒子がＣｌａｓｓ１０，０００の一般の実験室では、分析室よりは少ないが、多い値が計測されている。
【００３１】
これらの結果から、清浄度評価装置Ｍは、半導体製造ラインに悪影響を与える金属イオン成分、無機酸成分、ＴＯＣ成分など蒸発残渣分のモニタリング監視に非常に有効な手段であることが実証された。
【００３２】
（実施例２）
実施例１では、全蒸発残渣分をモニターリング（監視）できたが、全蒸発残渣の各成分を測定するためには、吸収管Ｈ１からの霧化水滴を冷却・凝縮させて凝縮水として回収し、原子吸光分析法、イオンクロマト質量分析法、ガスクロマトグラフ法などで分析する必要がある。
【００３３】
そこで、本実施例では、凝縮水の回収を行えるように、実施例１の清浄度評価装置Ｍに代えて、冷却凝縮部として冷却器Ｄ１及び凝縮水貯留器Ｄ２を備える清浄度評価装置Ｍ２を使用する。すなわち、本実施例では、図１０に示した如く、吸収管Ｈ１までの各工程は、実施例１と同じ方法で行われる。吸収管Ｈ１からの流量：５Ｌ／ｍｉｎを真空ポンプＨ５で吸引しながら、ペルチェ素子で−２０℃に冷却された冷却器Ｄ１で気中の水分を凝縮して凝縮水貯留器Ｄ２に回収する。本回収液を上記各分析法で分析し、金属イオン成分、無機酸成分、ＴＯＣ成分のそれぞれの項目を測定する。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、清浄度評価対象の空気中の不揮発性成分を超純水の霧化水滴との気液接触により確実に捕捉することができると共に、カウンター装置、例えば凝縮核カウンターなどで測定可能な粒子サイズになるように、霧化水滴に吸収させた清浄度評価対象の空気を乾燥させ当該空気中の不揮発性成分を析出凝固させて粒子化を行うようにしているので、クリーンルーム内やクリーンチャンバー内などの清浄度を短時間でしかも高精度に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る清浄度評価装置を機能的に示すブロックフロー図である。
【図２】図１の清浄度評価装置のブランク測定時の稼動状態を示すマテリアルフロー図である。
【図３】図１の清浄度評価装置のサンプル測定時の稼動状態を示すマテリアルフロー図である。
【図４】図２のマテリアルフロー図に対応する模式図である。
【図５】図３のマテリアルフロー図に対応する模式図である。
【図６】図１の清浄度評価装置による清浄度の測定工程を概略的に説明するための図である。
【図７】粒子径と全表面積との関係計算値である。
【図８】粒子径と全表面積との相対的な関係を示す図（グラフ）である。
【図９】実施例１における清浄度評価装置に設けられた凝縮核カウンターによる各場所での清浄度の実測値である。
【図１０】実施例２の清浄度評価装置による凝縮水の回収を示すマテリアルフロー図である。
【符号の説明】
Ｃ…クリーンエアー（圧力ガス）、Ｃ１…減圧弁、Ｃ２…エアーフィルター、Ｃ３…オリフィス、Ｃ４…圧力計、Ｃ５…エゼクター、Ｃ６…オリフィス、Ｃ７…ドレンＢＯＸ（ドレンボックス）、Ｄ１…冷却管（ペルチェ）、Ｄ２…凝縮水貯留器、Ｈ…排気、Ｈ１…吸収管、Ｈ２…蒸発管、Ｈ３…スクリーンメッシュ、Ｈ４…凝縮核カウンター（ＣＮＣ）、Ｈ５…真空ポンプ、Ｍ，Ｍ２…清浄度評価装置、Ｓ…サンプルガス、ＳＶ…三方弁、Ｗ…超純水、Ｗ１…ニードルバルブ、Ｗ２…冷却器（ペルチェ）、Ｗ３…キャビラリー、Ｗ４…ネブライザー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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