(57)【要約】【課題】単純な構成により，簡単な操作のみで微量の液体を定量的に扱うことができるようにすること。【解決手段】液体を導入することのできる，互いに空間的に隔離された第１の流路ならびに第２の流路が，一部が大気圧に開放されている第３の流路によって接続されている構造を有し，前記第１の流路に導入された液体もしくは前記第２の流路に導入された液体の少なくともどちらか一方に圧力をかけ，液体を前記第３の流路に進入させた時に，前記第３の流路において前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体の間に大気と隔離された気体を生じることなく，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が接触するようにする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を導入することのできる，互いに空間的に隔離された第１の流路ならびに第２の流路が，一部が大気圧に開放されている第３の流路によって接続されている構造を有し，前記第１の流路に導入された液体もしくは前記第２の流路に導入された液体の少なくともどちらか一方に圧力をかけ，液体を前記第３の流路に進入させた時に，前記第３の流路において前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体の間に大気と隔離された気体を生じることなく，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が接触する液体制御機構。
【請求項２】
液体を導入することのできる，互いに空間的に隔離された第１の流路ならびに第２の流路が，一部が大気圧に開放されている第３の流路によって接続されている構造を有し，前記第１の流路に導入された液体もしくは前記第２の流路に導入された液体の少なくともどちらか一方に圧力をかけ，液体を前記第３の流路に進入させた時に，前記第３の流路において前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体の間に大気と隔離された気体を生じることなく，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が接触する系を少なくとも２つ有し，前記二つの系は互いに，前記第１の流路または前記第２の流路を共有する液体制御機構。
【請求項３】
請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が，親水的な場合には前記第３の流路の表面状態が疎水的であり，疎水的な場合には前記第３の流路の表面状態が親水的であり，親水的でも疎水的でもない場合には前記第３の流路の表面状態が前記液体に対して接触角９０度以上である液体制御機構。
【請求項４】
請求項１，請求項２または請求項３のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体のうち，一方は液体であり，もう一方は固体である液体制御機構。
【請求項５】
請求項１，請求項２，請求項３または請求項４のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第３の流路が，幅，深さ，長さ，径などのいずれかのスケールにおいて，少なくとも部分的にミリメートル以下のオーダーである液体制御機構。
【請求項６】
請求項１，請求項２，請求項３，請求項４または請求項５のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路と前記第２の流路のいずれかが少なくとも，所定の方向に延長され，その壁面において開口して前記第３の流路と結合する第４の流路を部分的に，少なくとも１つ有する構造である液体制御機構。
【請求項７】
請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の液体制御機構において，
前記第１の流路と前記第２の流路のいずれかが少なくとも，幅，深さ，長さ，径などのいずれかのスケールにおいて，少なくとも部分的に，前記第３の流路よりは大きく，かつミリメートル以下のオーダーである液体制御機構。
【請求項８】
請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５，請求項６または請求項７のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路と前記第２の流路のいずれかが少なくとも，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が，親水的な場合には表面状態が疎水的であり，疎水的な場合には表面状態が親水的であり，親水的でも疎水的でもない場合には前記液体に対して接触角９０度以上である液体制御機構。
【請求項９】
請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５，請求項６，請求項７または請求項８のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路，前記第２の流路，前記第３の流路の全て，或いはいずれかが少なくとも，マイクロチップに形成されたマイクロチャネルである液体制御機構。
【請求項１０】
請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５，請求項６，請求項７，請求項８または請求項９のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路，前記第２の流路，前記第４の流路のいずれかが少なくとも，ｎｌ（ナノリットル）オーダーの大きさに形成されている液体制御機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，液体制御機構に関し，さらに詳細には，各種サンプルを用いた分析や化学反応を行う際などに用いて好適な液体制御機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，電気泳動やクロマトグラフィーなどに用いられる各種装置において，サンプルなどの液体を定量的にインジェクションするための方法が各種提案されているが，いずれの方法においても実際の分析に必要なサンプル量以上のサンプルが必要となり，デッドボリュームを減らすことが出来ないという問題点がある。
【０００３】
また，液体を定量的に扱うための方法において，電圧を印加する方法や圧力を用いる方法などが知られているが，装置自体が大きく複雑で，分析装置全体の省スペースや省コスト化を実現することが難しいという問題点がある。
【０００４】
さらに，微少なサンプルなどの液体を用いた化学反応や分析などにおいては，微少な流路によって構成されるマイクロチップが用いられることがある。こうしたマイクロチップを用いる場合においても，液体を定量的に扱うことが可能であるが，そのための各種複雑な構成が必要となり，またその構成を扱うための操作，特に圧力操作が煩雑になるという問題点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は，従来の技術の有する上記のような種々の問題点に鑑みてなされたものであり，その目的とするところは，単純な構成により，簡単な操作のみで液体を定量的に扱うことができるようにした液体制御機構を提供しようとするものである。
【０００６】
また，本発明の目的とするところは，定量的な液体の扱いが必要とされる各種分析技術において，サンプルの必要量を減らし，省スペース，省コスト化を可能にするとともに，簡単な操作によって多種類の液体を定量的に合一することにより新たな反応，分離，分析場の構築を可能にする液体制御機構を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために，本発明は，液体操作時の圧力と液体の表面張力に着目してなされたものである。
【０００８】
図１（ａ）（ｂ）（ｃ）には，本発明の原理を説明するための概念説明図が示されている。
【０００９】
図１におけるＡ，Ｂは液体を導入することのできる，互いに空間的に隔離された２つの流路であり，Ｃはその空間的に隔離された２つの流路を接続するための第３の流路であり，Ｄは第３の流路において大気と接する部分である。
【００１０】
一方の液体中に，もう一方の液体を導入する場合，もしくは２種類の液体を混合する場合，それらの２種類の液体を導入する流路は空間的に連結されている必要があり，そのための流路が図１に示された流路Ｃである。
【００１１】
しかし，図１（ａ）に示すように，流路Ｃが大気に対し開放された部分Ｄを持たない場合，一方の流路Ａが液体で満たされている場合には，流路Ｂ内に空気が残っているため，流路Ｂの中に液体を導入することが困難になり，可能だとしても，流路Ｂ内の空気が流路Ａ内に入ってしまうという問題が生じる。
【００１２】
そこで，図１（ｂ）（ｃ）のように，流路Ｃ内に大気に対し開放された部分Ｄを持たせることで，一方の流路Ａが液体で満たされている場合にも，流路Ｂへの液体の導入が非常に容易になる。
【００１３】
しかし，流路Ｂ内の液体を流路Ａ内へと導入する時，図１（ｂ）に示すように，混合する２つの液体が接触する前に，流路３における２つの液体の間に，大気と隔離された気体Ｅが生じてしまうと，流路Ｂ内の液体はより圧力のかからないＤ方向へと流れてしまうため，２液の接触が非常に難しくなる。
【００１４】
この場合には，流路Ｂ内に液体を導入した後に，Ｄを塞ぐことにより，２液の接触が可能であるが，操作が煩雑になる上，気体Ｅが流路Ａ内に入るという問題点がある。
【００１５】
そこで，そのような問題を防ぐための構造が図１（ｃ）に示されており，この構造は，流路Ｃにおいて流路Ａに導入された液体と流路Ｂに導入された液体の間に大気と隔離された気体を生じる前に，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が接触するようにしたものである。
【００１６】
本発明のうち請求項１に記載の発明は，液体を導入することのできる，互いに空間的に隔離された第１の流路ならびに第２の流路が，一部が大気圧に開放されている第３の流路によって接続されている構造を有し，前記第１の流路に導入された液体もしくは前記第２の流路に導入された液体の少なくともどちらか一方に圧力をかけ，液体を前記第３の流路に進入させた時に，前記第３の流路において前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体の間に大気と隔離された気体を生じる前に，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が接触するようにしたものである。
【００１７】
したがって，本発明のうち請求項１に記載の発明によれば，電圧操作などの煩雑な操作を伴わず，単純な圧力操作のみによって，２種類の液体を混合することが可能となり，また，液体中に空気などの気体が混入することなく，一方の液体にもう一方の液体を導入することができる。
【００１８】
また，本発明のうち請求項２に記載の発明は，液体を導入することのできる，互いに空間的に隔離された第１の流路ならびに第２の流路が，一部が大気圧に開放されている第３の流路によって接続されている構造を有し，前記第１の流路に導入された液体もしくは前記第２の流路に導入された液体の少なくともどちらか一方に圧力をかけ，液体を前記第３の流路に進入させた時に，前記第３の流路において前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体の間に大気と隔離された気体を生じる前に，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が接触する系を少なくとも２つ有し，前記二つの系は互いに，前記第１の流路または前記第２の流路を共有する，というものである。
【００１９】
したがって，本発明のうち請求項２に記載の発明によれば，少なくとも２つの系が互いに第１の流路または第２の流路を共有するので，たとえば１つの液体に対し２種類以上の液体を導入することが可能になり，あるいは，１つの液体を異なる２種類以上の液体中に導入することが可能となる。
【００２０】
また，本発明のうち請求項３に記載の発明は，請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体が，親水的な場合には前記第３の流路の表面状態が疎水的であり，疎水的な場合には前記第３の流路の表面状態が親水的であり，親水的でも疎水的でもない場合には前記第３の流路の表面状態が前記液体に対して接触角９０度以上である，というものである。
【００２１】
したがって，本発明のうち請求項３に記載の発明によれば，液体は第３の流路に進入しにくくなるため，圧力による液体の制御を容易に行うことができるようになる。
【００２２】
また，本発明のうち請求項４に記載の発明は，請求項１，請求項２または請求項３のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路に導入された液体と前記第２の流路に導入された液体のうち，一方は液体であり，もう一方は固体である，というものである。
【００２３】
したがって，本発明のうち請求項４に記載の発明によれば，ゲルなどの固体に対し，液体の接触を容易に行うことができるようになる。
【００２４】
また，本発明のうち請求項５に記載の発明は，請求項１，請求項２，請求項３または請求項４のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第３の流路が，幅，深さ，長さ，径などのいずれかのスケールにおいて，少なくとも部分的にミリメートル以下のオーダーである，というものである。
【００２５】
したがって，本発明のうち請求項５に記載の発明によれば，液体は第３の流路により進入しにくくなるため，圧力による液体の制御を容易に行うことができるようになる。
【００２６】
また，本発明のうち請求項６に記載の発明は，請求項１，請求項２，請求項３，請求項４または請求項５のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路と前記第２の流路のいずれかが少なくとも，所定の方向に延長され，その壁面において開口して前記第３の流路と結合する第４の流路を部分的に，少なくとも１つ有する構造である，というものである。
【００２７】
したがって，本発明のうち請求項６に記載の発明によれば，サンプルなどの液体を第１または第２の流路に導入した場合，一定量の液体が第４の流路に残され，余分な液体を取り除くことができるため，簡単な操作による一定量の液滴の秤取が可能となる。
【００２８】
また，本発明のうち請求項７に記載の発明は，請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５または請求項６のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路と前記第２の流路のいずれかが少なくとも，幅，深さ，長さ，径などのいずれかのスケールにおいて，少なくとも部分的に，前記第３の流路よりは大きく，かつミリメートル以下のオーダーである，というものである。
【００２９】
したがって，本発明のうち請求項７に記載の発明によれば，第３の流路に液体が進入しにくい状態を保ちつつ，必要な液体の体積を減少させることができるため，装置自体の大きさの縮小が可能となり，
【００３０】
また，本発明のうち請求項８に記載の発明は，請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５，請求項６または請求項７のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路と前記第２の流路のいずれかが少なくとも部分的に，前記第１の流路に導入された液体または前記第２の流路に導入された液体が，親水的な場合には表面状態が疎水的であり，疎水的な場合には表面状態が親水的であり，親水的でも疎水的でもない場合には前記液体に対して接触角９０度以上である，というものである。
【００３１】
したがって，本発明のうちの請求項８に記載の発明によれば，前記第１の流路または前記第２の流路が液体をはじく構造を持つため，液体の体積をより正確に制御することが可能となる。
【００３２】
また，本発明のうち請求項９に記載の発明は，請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５，請求項６，請求項７または請求項８のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路，前記第２の流路，前記第３の流路の全て，或いはいずれかが少なくとも，マイクロチップに形成されたマイクロチャネルである，というものである。
【００３３】
したがって，本発明のうち請求項９に記載の発明によれば，簡単な製造プロセスを用いて，上記の構成を満たす構造を作成でき，また，装置自体の縮小，装置の並列化，操作の自動化などが容易に可能になる。
【００３４】
また，本発明のうち請求項１０に記載の発明は，請求項１，請求項２，請求項３，請求項４，請求項５，請求項６，請求項７，請求項８または請求項９のいずれか１項に記載の液体制御機構において，前記第１の流路，前記第２の流路，前記第４の流路のいずれかが少なくとも，ｎｌ（ナノリットル）オーダーの大きさに形成されている，というものである。
【００３５】
したがって，本発明のうち請求項１０に記載の発明によれば，単純な構成により，簡単な操作のみで，ｎｌオーダーの微少体積の液体を定量的に作成，操作することができる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下，添付の図面に基づいて，本発明による液体操作の実施の形態を詳細に説明するものとする。
【００３７】
図２（ａ）（ｂ）には，本発明による液体制御機構の第１の実施形態を備えたマイクロチップ１０が示されており，図２（ａ）は図２（ｂ）におけるＡ矢視図であり，図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＢ−Ｂ線による断面図である。
【００３８】
このマイクロチップ１０は，ＤＮＡのサンプルインジェクションと電気泳動を行うマイクロチップであり，高分子（ポリマー）材料，例えば，ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）により形成された，表面が疎水的な２枚の平板状の基板１１と基板１２により形成された平板状の構造を有している。
【００３９】
そして，そして，基板１１の下面１１ａと基板１２の上面１２ａには，それぞれ深さのがＤ１，Ｄ２であるマイクロチャネルが形成されており，その深さは例えば，Ｄ１が１５０μｍ，Ｄ２が１０μｍ程度であるが，この値は１μｍから１ｃｍまでの任意の値に設定することが可能である。
【００４０】
ポート１３，ポート１４はそれぞれサンプル溶液の入口，出口であり，流路１５はサンプル溶液導入用流路，流路１６は流路１６の壁面から流路１７方向へ延長される液滴秤取用流路である。
【００４１】
なお，インジェクションする液体の体積は，流路１６の体積にひとしく，この場合は例えば１ｐｌ（ピコリットル）以上の任意の値に設定することが可能である。
【００４２】
また，流路１７は，液滴秤取用流路１７と電気泳動のキャピラリー２１を接続する流路であり，その一部分が，大気に対し開放されているポート１８に接続されている。
【００４３】
ポート１９，ポート２０は，電気泳動用流路２１に分離用ゲル溶液を導入するための入口と出口であり，ポイント２２は泳動されたサンプルの検出ポイントである。
【００４４】
以上の構成において，上記したマイクロチップ１０を用いた液体制御について説明する。
【００４５】
まず，電気泳動用流路２１内に，分離用ゲル溶液を充填する。この時，流路１７は細く薄い構造であり，表面状態が疎水的であるため，ゲル溶液が１７に進入することはない。
【００４６】
次に，ポート１３からサンプル溶液を導入する。導入されたサプル溶液は，次いで流路１６内を溶液で満たしつつ，ポート１４方向へ進行し，引き続いて空気をポート１３から導入することで，余分なサンプルはポート１４から出て行くため，流路１６内にその体積と等しい体積の液体が秤取される。この時，やはり流路１７は細く薄い構造であり，表面状態が疎水的であるため，サンプル溶液が１７に進入することはない。
【００４７】
さらに，流路１５の圧力を高めることで，ポート１６内のサンプル溶液は流路１７内に進入するが，マイクロチップ１０のような構造の場合には，サンプル溶液とゲル溶液の間の空気は，ポート１８を通して常に大気に対して開放されており，圧力が上昇することがないので，サンプルはスムーズに電気泳動用流路２１へと進み，最終的に電気泳動のキャピラリー２１内にインジェクトされる。
【００４８】
以上の操作は，例えばポート１３に取り付けたシリンジを用いて行うことができるが，実際にはシリンジを押す速度を２段階に調節するだけで可能であり，ポート１８における圧力を制御する必要はないために，非常に容易に行うことができる。
【００４９】
インジェクションを行った後に，電気泳動用流路２１の両端のポート１９，２０の間に電圧を印加することで，電気泳動を行う。
【００５０】
なお，検出ポイントは電気泳動用流路２１の中のポイント２２であり，例えば顕微鏡とＣＣＤカメラを用いて検出を行うことができる。
【００５１】
実際に，上記のマイクロチップを用いて，数分以内にＤＮＡの分離，分析に成功している。
【００５２】
次に，図３（ａ）（ｂ）には，本発明による液体制御機構の第２の実施形態を備えたマイクロチップ２３が示されており，図３（ａ）は図３（ｂ）におけるＡ矢視図であり，図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＢ−Ｂ線による断面図である。また図３（ｃ）は図３（ａ）における部分Ｃを拡大したものである。
【００５３】
このマイクロチップ２３は，３種類の定量的な液体を段階的に５つ混合するためのマイクロチップであり，そのうち２種類は共通であるため，例えば，５種類のサンプルに対して２種類の共通な試薬を段階的に反応させることができる。
【００５４】
なお，このマイクロチップ２３は，マイクロチップ１０と同様，高分子（ポリマー）材料，例えば，ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）により形成された，表面が疎水的な３枚の平板状の基板２４，基板２５，基板２６により形成された平板状の構造を有している。
【００５５】
そして，そして，基板２４の下面２４ａ，基板２５の下面２５ａ，基板２６の上面２６ａには，それぞれ深さのがＤ１，Ｄ２，Ｄ３であるマイクロチャネルが形成されており，その深さは例えば，Ｄ１とＤ２が１５０μｍ，Ｄ３が１０μｍ程度であるが，この値は１μｍから１ｃｍまでの任意の値に設定することが可能である。
【００５６】
このマイクロチップ２３は，形状が同じ５つの液体混合用流路２７，２８，２９，３０，３１を有しており，それぞれの混合用流路は，共通の液体導入用流路３２，３３と個別の液体導入用流路（３４〜３８のいずれか），大気に対し開放された流路３９と連結されている。なお，液体導入用流路はそれぞれ出入りロポートを備えており，大気に対し開放された流路３９はポート４０を介して大気に開放されている。
【００５７】
図３（ａ）における部分Ｃを拡大したものが図３（ｃ）である。液体導入用流路３２，３３，３５は，それぞれその壁面に，液体秤取用流路４１，４２，４３を備えており，液体の定量的な操作が可能となる。
【００５８】
そして，液体導入用流路３２，３３，３５は混合用流路２８とそれぞれ流路４４，４５，４６を介して接続されており，流路４４，４５，４６は流路４７を介して，大気に対して開放されたポート３９に接続されている。また，流路２８も流路４８，４７を介して，大気に対して開放されたポート３９に接続されている。
【００５９】
以上の構成において，上記したマイクロチップ２３を用いた液体制御について説明する。
【００６０】
まず，流路３２に液体ａを導入すると，５つの液体秤取用流路（図３（ｃ）における流路４１はそのうちの一つ）に液体が導入され，次いで流路３２に空気を導入することで，秤取用流路流路内にのみ液体が定量的に取り残される。
【００６１】
次に，流路３２内の圧力を高めると，秤取された５つの液体ａは，（図３（ｃ）においては流路４４を通り），それぞれ混合用流路流路２７〜３１内に導入される。
【００６２】
次に，同様の操作を，サンプル液体１〜５をもちいてそれぞれ流路３４〜３８について行うことにより，液体ａに対しサンプル液体１〜５を混合，反応させることができる。なお，図３（ｃ）における流路４６は，その一部分が常に大気に対して開放されているので，流路２８内が液体で満たされている場合においても，簡単な操作による液体混合が可能となる。
【００６３】
さらに，上記
【００６０】
【００６１】において行った操作と同様の操作を，一定の時間間隔をおいて，液体ｂを用いて流路３３について行うことにより，流路２７〜３１内に第３の液体ｂを導入，混合し，反応させることができる。
【００６４】
なお，マイクロチップ２３を用いた場合，混合用流路の数は５であり，混合する液体の数は３であったが，これらの数はデザインの変更によって，例えば前者は１から１０００，後者は１から２０程度の任意の値に設定することができる。
【００６５】
また，混合する液体の体積は，デザインの変更によって，例えば１ｐｌ（ピコリットル）から１ｍｌまでの任意の値に設定することが可能である。
【００６６】
実際に，このマイクロチップ２３を用いた同時多サンプル多段階液体混合に成功している。
【００６７】
【発明の効果】
本発明は，以上説明したように構成されているので，単純な構成により，簡単な操作のみで液体を定量的に操作できるという優れた効果を発揮する。
【００６８】
また，本発明は，以上説明したように構成されているので，定量的な液体の扱いが必要とされる各種装置において，サンプルや試薬のデッドボリュームを減らすことができるとともに，多種類の液体を段階的に混合し，反応させる微少な系を実現することができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）（ｂ）（ｃ）は，本発明の原理を説明するための概念説明図である。
【図２】本発明による液体制御機構の第１の実施形態を備えたマイクロチップを示し，図２（ａ）は図２（ｂ）におけるＡ矢視図であり，図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＢ−Ｂ線による断面図である。
【図３】本発明による液体制御機構の第２の実施形態を備えたマイクロチップを示し，図３（ａ）は図３（ｂ）におけるＡ矢視図であり，図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＢ−Ｂ線による断面図である。また，図３（ｃ）は図３（ａ）における部分Ｃの拡大図である。
【符号の説明】
１０              マイクロチップ
１１              基板
１１ａ            基板１１下面
１２              基板
１２ａ            基板１２上面
１３              ポート
１４              ポート
１５              流路
１６              流路
１７              流路
１８              ポート
１９              ポート
２０              ポート
２１              電気泳動用流路
２２              検出ポイント
２３              マイクロチップ
２４              基板
２４ａ            基板２４下面
２５              基板
２５ａ            基板２５下面
２６              基板
２６ａ            基板２６上面
２７              液体混合用流路
２８              液体混合用流路
２９              液体混合用流路
３０              液体混合用流路
３１              液体混合用流路
３２              流路
３３              流路
３４              流路
３５              流路
３６              流路
３７              流路
３８              流路
３９              流路
４０              ポート
４１              流路
４２              流路
４３              流路
４４              流路
４５              流路
４６              流路
４７              流路
４８              流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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