(57)【要約】【課題】ケーシング内で固形化または液状化した生成物等がポンプロータの回転を妨げるような場合でも、真空ポンプを正常に起動させることができる真空ポンプ及びその起動方法を提供する。【解決手段】ケーシング２内に回転自在に配置されたポンプロータ１，１と、このポンプロータ１を回転駆動するモータ３とを備える真空ポンプにおいて、真空ポンプの起動時に、所定のパターンに沿ってポンプロータ１，１を正方向又は逆方向に回転させるポンプロータ制御部１５を設けた。【選択図】　図１
2004138047.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング内に回転自在に配置されたポンプロータを備える真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプの起動時に所定のパターンに沿って前記ポンプロータを正方向又は逆方向に回転させるポンプロータ制御部を設けたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記所定のパターンは、前記ポンプロータの正方向への回転動作、前記ポンプロータの逆方向への回転動作、及び前記ポンプロータの停止動作のうちの少なくとも２つの動作の組み合わせを含むことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記ポンプロータが正方向への回転、停止、正方向への回転の順に駆動されるように前記所定のパターンが前記ポンプロータ制御部に設定されていることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記ポンプロータが逆方向、正方向の順に回転するように前記所定のパターンが前記ポンプロータ制御部に設定されていることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記ポンプロータが正常に回転しているか否かを判断する状態判断手段を備え、前記状態判断手段によって前記ポンプロータが正常に回転していないと判断された場合に、前記ポンプロータ制御部を作動させるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
ケーシング内に回転自在に配置されたポンプロータを備える真空ポンプの起動方法において、
前記真空ポンプの起動時に、所定のパターンに沿って前記ポンプロータを正方向又は逆方向に回転させ、
定常状態にて前記ポンプロータを正方向に回転させて気体の排気を行うことを特徴とする真空ポンプの起動方法。
【請求項７】
前記所定のパターンは、前記ポンプロータの正方向への回転動作、前記ポンプロータの逆方向への回転動作、及び前記ポンプロータの停止動作のうちの少なくとも２つの動作の組み合わせを含むことを特徴とする請求項６に記載の真空ポンプの起動方法。
【請求項８】
前記ポンプロータが正方向への回転、停止、正方向への回転の順に駆動されるように前記所定のパターンが設定されていることを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプの起動方法。
【請求項９】
前記ポンプロータが逆方向、正方向の順に回転するように前記所定のパターンが設定されていることを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプの起動方法。
【請求項１０】
前記ポンプロータが正常に回転しているか否かを判断し、前記ポンプロータが正常に回転していないと判断された場合には、前記パターンに沿って前記ポンプロータを回転させることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載の真空ポンプの起動方法。
【請求項１１】
ポンプロータが正常に回転しているか否かを判断し、
前記ポンプロータが正常に回転していないと判断された場合には、真空ポンプの起動時に所定のパターンに沿って前記ポンプロータを正方向又は逆方向に回転させ、
定常状態にて前記ポンプロータを正方向に回転させて気体の排気を行うことを特徴とする真空ポンプの起動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空ポンプ及びその起動方法に係り、特に、半導体製造装置等のチャンバを真空に排気するために用いられる真空ポンプ及びその起動方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置では、半導体製造工程に使用されるガスをチャンバから排気するため、及びチャンバ内に真空環境を作り出すために真空ポンプが広く使用されている。このような真空ポンプとしては、ルーツ型やスクリュー型のポンプロータを備えた容積式タイプの真空ポンプが知られている。
【０００３】
一般に、容積式の真空ポンプは、ケーシング内に配置された一対のポンプロータと、このポンプロータを回転駆動するためのモータとを備えている。一対のポンプロータ間及びポンプロータとケーシングの内面との間には微小なクリアランスが形成されており、ポンプロータはケーシングに非接触で回転するように構成されている。そして、一対のポンプロータが同期しつつ互いに反対方向に回転することにより、ケーシング内の気体が吸入側から吐出側に移送され、吸入口に接続されるチャンバなどから気体が排気される。
【０００４】
半導体製造工程に使用されるガスには、ガスの温度が低下すると固形化あるいは液状化する成分が含まれるものがある。通常、上述した真空ポンプは、ガスを移送する過程で圧縮熱が発生するため、運転中の真空ポンプはある程度高温となっている。従って、真空ポンプが高温を維持している間は、上記真空ポンプを用いて上述した成分を含むガスを排気した場合でも成分が固形化または液状化せず、良好な真空排気が行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、真空ポンプの運転を停止し、真空ポンプの温度が徐々に低下すると、ガス中に含まれる成分が固形化あるいは液状化し、ポンプロータやケーシングの間の隙間などに堆積してしまう（以下、この固形化、液状化した成分を生成物という）。このため、生成物がポンプロータの回転を妨げ、モータの起動トルクではポンプロータを回転させることができずに真空ポンプの再起動に失敗するという問題が生じていた。また、このような状態では、真空ポンプの再起動ができないだけでなく、モータに過剰な負荷が掛かってモータが過熱するおそれがあり、真空ポンプの安全な運転が阻害されるという問題も生じさせていた。
【０００６】
更に、近年では、周波数変換器を用いて誘導電動機やブラシレスＤＣモータなどを駆動するモータドライブ技術が発達してきている。このようなモータドライブ技術を真空ポンプに使用した場合、真空ポンプを起動するときのモータのトルクは、周波数変換器で使用されている各構成部品の容量により決定されてしまう。このため、モータは一定以上のトルクを発生させることができず、真空ポンプの起動が更に厳しくなりつつある。
【０００７】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたもので、ケーシング内で固形化または液状化した生成物等がポンプロータの回転を妨げるような場合でも、真空ポンプを正常に起動させることができる真空ポンプ及びその起動方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明は、ケーシング内に回転自在に配置されたポンプロータを備える真空ポンプにおいて、前記真空ポンプの起動時に所定のパターンに沿って前記ポンプロータを正方向又は逆方向に回転させるポンプロータ制御部を設けたことを特徴とする。
ここで、ポンプロータの正方向への回転とは、ケーシング内の気体が吸入側から吐出側に移送されるような方向へのポンプロータの回転をいう。また、ポンプロータの逆方向への回転とは、正方向とは反対方向へのポンプロータの回転をいう。
【０００９】
本発明の好ましい一態様は、前記所定のパターンは、前記ポンプロータの正方向への回転動作、前記ポンプロータの逆方向への回転動作、及び前記ポンプロータの停止動作のうちの少なくとも２つの動作の組み合わせを含むことを特徴とする。
本発明の好ましい一態様は、前記ポンプロータが正方向への回転、停止、正方向への回転の順に駆動されるように前記所定のパターンが前記ポンプロータ制御部に設定されていることを特徴とする。
本発明の好ましい一態様は、前記ポンプロータが逆方向、正方向の順に回転するように前記所定のパターンが前記ポンプロータ制御部に設定されていることを特徴とする。
【００１０】
このように構成された本発明によれば、ケーシング内に固形化または液状化した生成物等がポンプロータの回転を妨げるような場合であっても、所定のパターンに沿って回転するポンプロータによってこの生成物等を除去することができ、真空ポンプを正常に起動することが可能となる。
【００１１】
本発明の好ましい一態様は、前記ポンプロータが正常に回転しているか否かを判断する状態判断手段を備え、前記状態判断手段によって前記ポンプロータが正常に回転していないと判断された場合に、前記ポンプロータ制御部を作動させるように構成されていることを特徴とする。これにより、ポンプロータが正常に回転駆動できる場合は、通常の起動動作が行われるので、真空ポンプを速やかに起動させることができる。
【００１２】
本発明の他の態様は、ケーシング内に回転自在に配置されたポンプロータを備える真空ポンプの起動方法において、前記真空ポンプの起動時に、所定のパターンに沿って前記ポンプロータを正方向又は逆方向に回転させ、定常状態にて前記ポンプロータを正方向に回転させて気体の排気を行うことを特徴とする。
本発明の好ましい一態様は、前記所定のパターンは、前記ポンプロータの正方向への回転動作、前記ポンプロータの逆方向への回転動作、及び前記ポンプロータの停止動作のうちの少なくとも２つの動作の組み合わせを含むことを特徴とする。
本発明の好ましい一態様は、前記ポンプロータが正方向への回転、停止、正方向への回転の順に駆動されるように前記所定のパターンが設定されていることを特徴とする。
本発明の好ましい一態様は、前記ポンプロータが逆方向、正方向の順に回転するように前記所定のパターンが設定されていることを特徴とする。
本発明の好ましい一態様は、前記ポンプロータが正常に回転していない場合に、前記パターンに沿って前記ポンプロータを回転させることを特徴とする。
【００１３】
本発明の他の態様は、ポンプロータが正常に回転しているか否かを判断し、前記ポンプロータが正常に回転していないと判断された場合には、真空ポンプの起動時に所定のパターンに沿って前記ポンプロータを正方向又は逆方向に回転させ、定常状態にて前記ポンプロータを正方向に回転させて気体の排気を行うことを特徴とする真空ポンプの起動方法である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、本実施形態に係る真空ポンプは、半導体製造装置のチャンバ内のガスを排気するために使用される真空ポンプであるが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１は本発明の第１の実施形態に係る真空ポンプの断面図を示す。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態に係る真空ポンプは、ねじ溝を有する一対のポンプロータ１，１と、ポンプロータ１，１が収容されるケーシング２と、ポンプロータ１，１を回転駆動するモータ３とを備えている。ケーシング２はガスを吸入する吸入口７と、ガスを吐出する排気口８とを備えている。各ポンプロータ１，１は、軸受５，５により回転自在に支持された２本の軸４，４にそれぞれ固定されている。
【００１６】
一方の軸４にはモータロータ３ａが固定されており、このモータロータ３ａの周りにはモータステータ３ｂが配置されている。そして、このモータロータ３ａ及びモータステータ３ｂによりモータ３が構成される。なお、本実施形態では、モータ３として誘導電動機が使用されている。２本の軸４，４の端部には、それぞれタイミングギヤ６，６が固定され、このタイミングギヤ６，６により、一対のポンプロータ１，１が互いに同期しつつ反対方向に回転するようになっている。一対のポンプロータ１，１間及びポンプロータ１，１とケーシング２の内面との間には微小な隙間が形成されており、各ポンプロータ１，１は、ケーシング２に非接触で回転するようになっている。
【００１７】
このような構成において、モータ３を駆動させて一対のポンプロータ１，１が回転することにより、吸入口７から吸入されたガスが各ポンプロータ１，１のねじ溝に従って排気側に移送され、排気口８から排気される。そして、吸入側から排気側にガスが連続して移送されることにより、吸入口７に接続されるチャンバ（図示せず）内のガスの真空排気が達成される。このチャンバは半導体製造装置に組み込まれるものである。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態に係る真空ポンプは、真空ポンプの運転を制御する制御システム１０を備えており、この制御システム１０には、ポンプロータ１の回転及び停止動作を制御するポンプロータ制御部１５が内蔵されている。
図２は本発明の第１の実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
図２に示すように、制御システムは、３相電源１１と、漏電遮断器（ＥＬＢ）１２と、電磁接触器１３と、サーマルプロテクタ１４とを備えている。３相電源１１は漏電遮断器（ＥＬＢ）１２を介して電磁接触器１３に接続され、電磁接触器１３はサーマルプロテクタ１４を介してモータ３に接続されている。また、電磁接触器１３には、ポンプロータ１，１（図２では１つのポンプロータ１のみを示す）の回転及び停止動作を制御するポンプロータ制御部１５が接続されている。なお、漏電遮断器（ＥＬＢ）に代えて、サーキットブレーカ（ＣＢ）を用いてもよい。
【００１９】
ポンプロータ制御部１５には真空ポンプの起動スイッチ（図示せず）が接続されており、この起動スイッチが操作されると、ポンプロータ制御部１５から電磁接触器１３に起動指令が送信されるようになっている。電磁接触器１３は起動指令を受けて作動し、３相電源１１から３相電圧がモータ３に印加される。そして、モータ３からポンプロータ１，１に正方向への回転トルクが与えられ、これにより真空ポンプが起動される。なお、サーマルプロテクタ１４は、モータ３に過負荷が掛かった場合には３相電源１１からの電流を遮断して真空ポンプの運転を停止させるように構成され、これにより、モータ３の過負荷や過熱が防止される。
【００２０】
ポンプロータ制御部１５にはタイマー１６が内蔵されており、真空ポンプを起動した際に、予めタイマー１６に設定された所定のパターンに沿ってポンプロータ１，１を回転又は停止させるようになっている。本実施形態では、正転（正方向への回転）、停止、正転の順にポンプロータ１，１が駆動されるようにタイマー１６のパターンが設定されている。ポンプロータ１，１が正方向へ回転すると、ポンプロータ１，１のうちの一方はある方向（例えば右回り）に回転し、他方は反対方向（例えば左回り）に回転する。この場合、ガスは吸入口７からケーシング２に吸い込まれて排気口８側に移送され、そして排気口８から吐出される。すなわち、ポンプロータ１，１の正方向への回転とは、ケーシング２内のガスが吸入口７から排気口８に向かって移送されるような方向へのポンプロータ１，１の回転をいう。
【００２１】
従って、本実施形態に係る真空ポンプを起動すると、まず、ポンプロータ１，１を正方向に回転させる回転トルクがモータ３からポンプロータ１，１に与えられる。その後、一旦ポンプロータ１，１に与えられる回転トルクが０になる。その後、再び、ポンプロータ１，１を正方向に回転させる回転トルクがモータ３からポンプロータ１，１に与えられる。
【００２２】
このように、真空ポンプの起動時に、ポンプロータ１，１を回転させた後、一旦停止し、再度ポンプロータ１，１を回転させることにより、ポンプロータ１，１とケーシング２との間などに堆積した生成物に、ポンプロータ１，１の力を加えることができる。その結果、例えば、固形化した生成物を脆くすることができ、真空ポンプを起動させることが可能となる。なお、ポンプロータ１，１が回転動作と停止動作を数回繰り返すようなパターンをタイマー１６に設定すれば、さらに確実に生成物を除去することができる。真空ポンプが正常に起動した後は、定常状態にてポンプロータ１，１が正方向に回転して、ガスの排気が行われる。
【００２３】
次に、本発明の第２の実施形態について図３を参照して説明する。なお、真空ポンプの基本的構成は第１の実施形態と同様であるので、重複する説明を省略する。
図３は本実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【００２４】
図３に示すように、本実施形態に係る制御システムは、３相電源１１と、漏電遮断器（ＥＬＢ）１２と、周波数変換器２１とを備えている。３相電源１１は漏電遮断器（ＥＬＢ）１２を介して周波数変換器２１に接続され、周波数変換器２１はモータ３に接続されている。周波数変換器２１は、整流部２２と、モータ３を回転させる波形を生成するパワートランジスタ部２３と、周波数変換器２１を制御する周波数変換制御部２４とを備えている。また周波数変換器２１には、ポンプロータ１，１の回転及び停止動作を制御するポンプロータ制御部１５が接続されている。
【００２５】
ポンプロータ制御部１５には、第１の実施形態と同様に、タイマー１６が内蔵されている。即ち、図示しない起動スイッチが操作されると、ポンプロータ制御部１５から周波数変換器２１に起動指令信号が送信され、予めタイマー１６に設定された所定のパターンに基づいてポンプロータ１，１が回転する。本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、正転、停止、正転の順でモータ３を作動させるように、タイマー１６のパターンが設定されている。なお、正転、停止、正転を数回繰り返すパターンを設定してもよい。
【００２６】
本実施形態では、モータとして誘導電動機が使用されているが、周波数変換制御部２４をブラシレスＤＣモータ制御部に置き換えることにより、誘導電動機に代えてブラシレスＤＣモータを使用することができる。この場合でも、誘導電動機を用いた場合と同様に、所定のパターンに基づいてポンプロータを回転させることが可能である。
【００２７】
次に本発明の第３の実施形態について図４を参照して説明する。なお、真空ポンプの基本的構成及び同一名称が付された制御システムの各構成については第１の実施形態と同様であるので重複する説明を省略する。
図４は、本実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【００２８】
図４に示すように、制御システムは、３相電源１１と、漏電遮断器（ＥＬＢ）１２と、第１の電磁接触器１３Ａ及び第２の電磁接触器１３Ｂと、サーマルプロテクタ１４とを備えている。また、モータとして誘導電動機が使用されている。第１の電磁接触器１３Ａ及び第２の電磁接触器１３Ｂは、それぞれポンプロータ制御部１５に接続されており、ポンプロータ制御部１５からの作動指令を受けることによって作動するようになっている。３相電源１１は漏電遮断器（ＥＬＢ）１２を介して第１の電磁接触器１３Ａ及び第２の電磁接触器１３Ｂに接続され、第１の電磁接触器１３Ａ及び第２の電磁接触器１３Ｂはサーマルプロテクタ１４を介してモータ３に接続されている。第１の電磁接触器１３Ａは、３相電源１１からの３相電圧をそのままの相順でモータ３に印加するようになっている。一方、第２の電磁接触器１３Ｂは、３相電源１１からの３相電圧の相順を反転させるように構成されている。
【００２９】
ポンプロータ制御部１５は、第１の電磁接触器１３Ａ及び第２の電磁接触器１３Ｂを介して予め設定された所定のパターンに沿ってポンプロータ１，１を正方向又は逆方向に回転させるように構成されている。より具体的には、ポンプロータ制御部１５から第１の電磁接触器１３Ａ又は第２の電磁接触器１３Ｂに、所定のパターンに基づいて動作指令が交互に送信されるようになっている。なお、ポンプロータ制御部１５に設定されるパターンは、逆方向、正方向の順にモータ３を回転させるように設定されている。ポンプロータ１，１が正方向へ回転すると、ポンプロータ１，１のうちの一方はある方向（例えば右回り）に回転し、他方は反対方向（例えば左回り）に回転する。この場合、ガスは吸入口７からケーシング２に吸い込まれ、排気口８から吐出される。一方、ポンプロータ１，１が逆方向へ回転すると、ポンプロータ１，１が正方向へ回転するときとは反対方向に回転する。すなわち、ポンプロータ１，１の逆方向への回転とは、正方向とは反対方向へのポンプロータ１，１の回転をいう。
【００３０】
このように構成された本実施形態の具体的な動作について説明する。真空ポンプの起動スイッチを操作すると、まず、ポンプロータ制御部１５から第２の電磁接触器１３Ｂに動作指令が送信される。そして、第２の電磁接触器１３Ｂが作動することにより、相順が反転した３相電圧がモータ３に印加され、これにより、モータ３からポンプロータ１，１には逆方向に回転させる回転トルクが与えられる。その後、第２の電磁接触器１３Ｂの動作指令が停止され、同時に、ポンプロータ制御部１５から第１の電磁接触器１３Ａへ動作指令が送信される。そして、第１の電磁接触器１３Ａが作動することにより、３相電源１１からの３相電圧がそのままの相順でモータ３に印加され、これにより、モータ３からポンプロータ１，１には正方向に回転させる回転トルクが与えられる。
【００３１】
このように、真空ポンプの起動時に、逆方向又は正方向にポンプロータ１，１を回転させることにより、ポンプロータ１，１とケーシング２との間などに堆積した生成物にポンプロータ１，１の力を加えることができる。その結果、生成物が除去され、真空ポンプを起動させることが可能となる。
【００３２】
次に本発明の第４の実施形態について図５を参照して説明する。なお、本実施形態に係る真空ポンプの基本的構成及び同一名称が付された制御システムの各構成については第２の実施形態と同様であるので重複する説明を省略する。
図５は、本実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【００３３】
図５に示すように、ポンプロータ制御部１５は、真空ポンプを起動させる起動指令１０１と、所定のパターンに沿ってポンプロータ１，１を正方向又は逆方向に回転させるための制御信号１０２とを周波数変換制御部２４に送信するようになっている。なお、本実施形態に係るポンプロータ制御部１５には、第３の実施形態と同様に、真空ポンプ起動時のポンプロータ１，１が、逆方向、正方向の順に回転するパターンが設定されている。
【００３４】
図５に示す本実施形態に係る制御システムによる起動動作は次のようになる。即ち、図示しない起動スイッチを操作すると、ポンプロータ制御部１５から周波数変換制御部２４に起動指令１０１が送信される。同時に、ポンプロータ制御部１５から周波数変換制御部２４には、モータ３を逆方向に回転させる制御信号１０２が送信され、これにより、モータ３からポンプロータ１，１に逆方向に回転させる回転トルクが与えられる。その後、ポンプロータ制御部１５から、モータ３を正方向に回転させる制御信号１０２が送信され、これにより、モータ３からポンプロータ１，１に正方向に回転させる回転トルクが与えられる。
【００３５】
なお、本実施形態では、モータとして誘導電動機が使用されているが、周波数変換制御部２４をブラシレスＤＣモータ制御部に置き換えることにより、誘導電動機に代えてブラシレスＤＣモータを使用することができる。この場合でも、誘導電動機を用いた場合と同様に、所定のパターンに基づいてポンプロータを正方向または逆方向に回転させることが可能である。
【００３６】
次に本発明の第５の実施形態について図６を参照して説明する。なお、本実施形態に係る真空ポンプ及び制御システムの基本的構成は第４の実施形態と同様であるので重複する説明を省略する。
図６は、本実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【００３７】
本実施形態に係る真空ポンプは、起動時のポンプロータ１，１が正常に回転しているか否かを判断する状態判断手段として、モータ３に供給される電流を監視する電流監視器２７を備えている。この電流監視器２７は、モータ３に供給される電流に異常がみられた場合には、ポンプロータ１，１が正常に回転していないと判断するようになっている。即ち、ケーシング２内に堆積した生成物等がポンプロータ１，１の回転を妨げている場合はモータ３に供給される電流に異常がみられるので、この電流監視器２７によってポンプロータ１，１が正常に回転していないと判断することができる。
【００３８】
さらに、電流監視器２７によりポンプロータ１，１の回転が異常であると判断された場合には、電流監視器２７からポンプロータ制御部１５に作動信号が送信されるようになっている。そして、ポンプロータ制御部１５は、この信号を受けることにより作動し、予め設定された所定のパターンに沿ってモータ３を回転させるようになっている。
【００３９】
即ち、本実施形態では、電流監視器２７からポンプロータ制御部１５に作動信号が送信されない限り、ポンプロータ制御部１５は作動しない。従って、ポンプロータ１，１がスムーズに回転できる場合には通常の起動動作が行われ、真空ポンプを速やかに起動させることができる。
【００４０】
なお、状態判断手段として、ポンプロータ１，１の回転を監視する回転監視手段や、ケーシング２内に堆積する生成物の堆積量を監視する生成物監視器などを設けてもよい。生成物監視器を設ける場合は、光学センサや熱電対などを用いてケーシング２内に堆積した生成物の堆積量を測定し、この生成物の堆積量が所定の値にまで達したときは、生成物監視器からポンプロータ制御部１５に作動信号を送信するようにすればよい。
【００４１】
本発明の実施形態に係る真空ポンプは、互いに噛み合う２つのポンプロータを備えているが、本発明は単一のポンプロータを有する真空ポンプや、３つ以上のポンプロータを有する真空ポンプにも適用することができる。これらの場合でも、ポンプロータの正方向への回転とは、ガスを吸入側から排気側に移送するような方向へのポンプロータの回転をいい、ポンプロータの逆方向への回転とは、正方向とは反対方向へのポンプロータへの回転をいう。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ケーシング内に固形化または液状化した生成物等がポンプロータの回転を妨げるような場合であっても、所定のパターンに沿って回転するポンプロータによってこの生成物等を除去することができ、真空ポンプを正常に起動することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る真空ポンプの断面図を示す。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【図５】本発明の第４の実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【図６】本発明の第５の実施形態に係るポンプロータ制御部を含む制御システムを示す概略図である。
【符号の説明】
１　　　ポンプロータ
２　　　ケーシング
３　　　モータ
４　　　軸
５　　　軸受
６　　　タイミングギヤ
７　　　吸入口
８　　　排気口
１０　　　制御システム
１１　　　３相電源
１２　　　漏電遮断器（ＥＬＢ）
１３　　　電磁接触器
１４　　　サーマルプロテクタ
１５　　　ポンプロータ制御部
１６　　　タイマー
２１　　　周波数変換器
２２　　　整流部
２３　　　パワートランジスタ部
２４　　　周波数変換制御部
２７　　　電流監視器（状態判断手段）
【図１】
2004138047.tif 000003
【図２】
2004138047.tif 000004
【図３】
2004138047.tif 000005
【図４】
2004138047.tif 000006
【図５】
2004138047.tif 000007
【図６】
2004138047.tif 000008