(57)【要約】【課題】光磁気ディスクのトラック密度を高密度化し、且つ安定したトラッキングサーボおよびシークを行えるようにする。【解決手段】光磁気ディスク上に、深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧと、深いグルーブ間の略中央部に形成された断面Ｖ字形状の浅いグルーブ７ａＧ，７ｂＧとが隣接配置するように形成されている。深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧがウォブルされ、深いグルーブおよび深いグルーブ間の浅いグルーブで仕切られた２つのランド６ａＬ，６ｂＬ、ランド７ａＬ，７ｂＬの３トラックにデータを記録するようになされる。浅いグルーブ７ａＧ，７ｂＧは、ウォブルされていない。フォトディテクタの和信号（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）でＣＴＳ信号が求められる。ＣＴＳ信号は、充分な振幅を有する。プッシュプル信号は、フォトディテクタ８の差信号（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）によって求められる。【選択図】　　　　図２
2004086943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、
上記グルーブとして、第１のグルーブと、上記第１のグルーブに比して浅い第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
上記第１のグルーブ間の上記第２のグルーブにより分けられた２つのランドをそれぞれ形成し、
上記第１のグルーブと上記２つのランドに対して信号を記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
請求項１において、
上記第２のグルーブは、断面Ｖ字形状であることを特徴とする光記録媒体。
【請求項３】
請求項１において、
上記第１のグルーブおよび上記第２のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであることを特徴とする光記録媒体。
【請求項４】
請求項１において、
上記２つのランドのそれぞれの幅と上記第１のグルーブのトップの幅とがほぼ同じであることを特徴とする光記録媒体。
【請求項５】
請求項１において、
記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をＮＡ、光の波長をλとした場合に、２×ＮＡ／λで表されるカットオフ周波数よりも、トラックピッチの空間周波数が大きいことを特徴とする光記録媒体。
【請求項６】
請求項１において、
記録およびまたは再生に用いられる対物レンズの開口数をＮＡ、光の波長をλとした場合、光入射面からグルーブに至る媒質の屈折率をｎ、グルーブの深さ係数をｘ、λ／ｘ×ｎをグルーブの位相深さとしたときに、上記第１のグルーブの深さ係数ｘ１と上記第２のグルーブの深さ係数ｘ２とが以下の条件（１）から（７）のいずれかの関係を満たす位相深さから成ることを特徴とする光記録媒体。
ｘ１＝２．８、　ｘ２≧５．５・・・（１）
ｘ１＝３．０、　ｘ２≧４．８・・・（２）
ｘ１＝２．７、　ｘ２≧５．２・・・（３）
ｘ１＝２．４、　ｘ２≧７．４　または　４．３≧ｘ２≧３．２・・・（４）
ｘ１＝２．２、　ｘ２≧１０．０　または　５．２≧ｘ２≧３．３・・・（５）
ｘ１＝２．０、　ｘ２＝１４．０　または　５．８≧ｘ２≧３．６・・・（６）
ｘ１＝１．９、　５．７≧ｘ２≧４．０・・・（７）
【請求項７】
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤であって、
上記グルーブとして、第１のグルーブと、上記第１のグルーブに比して浅い第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
上記第１のグルーブ間の上記第２のグルーブにより分けられた２つのランドをそれぞれ形成し、
上記第１のグルーブと上記２つのランドに対して信号を記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体製造用原盤。
【請求項８】
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、上記グルーブとして、第１のグルーブと、上記第１のグルーブに比して浅い第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、上記第１のグルーブ間の上記第２のグルーブにより分けられた２つのランドがそれぞれ形成された光記録媒体を使用する記録再生装置であって、
上記第１のグルーブと上記２つのランドとの合計３つのトラックにデータを記録することを特徴とする記録再生装置。
【請求項９】
請求項８において、
上記第１のグルーブおよび上記第２のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであり、
上記ウォブルグルーブからウォブル信号を再生することを特徴とする記録再生装置。
【請求項１０】
請求項８において、
プッシュプル信号でトラッキングサーボを行い、ＣＴＳ信号でシークを行うことを特徴とする記録再生装置。
【請求項１１】
請求項８において、
ＣＴＳ信号でトラッキングサーボを行い、プッシュプル信号でシークを行うことを特徴とする記録再生装置。
【請求項１２】
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、上記グルーブとして、第１のグルーブと、上記第１のグルーブに比して浅い第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、上記第１のグルーブ間の上記第２のグルーブにより分けられた２つのランドがそれぞれ形成された光記録媒体を使用する記録再生方法であって、
上記第１のグルーブと上記２つのランドとの合計３つのトラックにデータを記録することを特徴とする記録再生方法。
【請求項１３】
請求項１２において、
上記第１のグルーブおよび上記第２のグルーブの少なくとも一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブであり、
上記ウォブルグルーブからウォブル信号を再生することを特徴とする記録再生方法。
【請求項１４】
請求項１２において、
プッシュプル信号でトラッキングサーボを行い、ＣＴＳ信号でシークを行うことを特徴とする記録再生方法。
【請求項１５】
請求項１２において、
ＣＴＳ信号でトラッキングサーボを行い、プッシュプル信号でシークを行うことを特徴とする記録再生方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにそのような光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤に関する。また、この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体に対する記録および／または再生処理を行う記録再生装置および記録再生方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の記録可能なディスク状記録媒体として、ＭＤ（Ｍｉｎｉ　Ｄｉｓｃ），ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ）−Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ），ＣＤ−ＲＷ（ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ），ＤＶＤ（ＤｉｇｉｔａｌＶｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ　またはＤｉｇｉｔａｌ　Ｖｉｄｅｏ　Ｄｉｓｃ）＋ＲＷ（ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ），ＤＶＤ−Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ），ＤＶＤ−ＲＷ（ＲｅＷｒｉｔａｂｌｅ）等が提案されている。これのディスク状記録媒体のフォーマットでは、グルーブに記録するグルーブ記録フォーマットが採用されている。
【０００３】
ＩＳＯ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｏｒｇａｎｉｚａｔｉｏｎ　ｆｏｒ　Ｓｔａｎｄａｒｄｉｚａｔｉｏｎ）の光磁気（ＭＯ；ＭａｇｎｅｔｏＯｐｔｉｃａ１）ディスクの各フォーマットではランド（グルーブとグルーブの間）に記録するランド記録フォーマットが提案されている。ＤＶＤ−ＲＡＭ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｉｄｅｏ　Ｄｉｓｃ−Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）等において、光ディスクの高密度化を実現する一つの方法として、グルーブとグルーブ間（ランド）の両方に記録することにより、トラック密度を従来の２倍にして高密度化を図る方式（ランド・グルーブ記録）が提案されている。ここで、グルーブとは、主にトラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラックに沿って形成された、いわゆる案内溝のことである。光ピックアップからからみて近い部分をグルーブと呼び、遠い部分をランドと呼ぶ。なお、グルーブとグルーブの間の部分は、ランドと称される。
【０００４】
そして、図５に示すように、グルーブが形成されてなる光記録媒体では、通常、プッシュプル信号を用いることでトラッキングサーボがなされる。プッシュプル信号は、差信号のことで、光記録媒体に対して光ビームを照射し、光ビームが光記録媒体によって反射された光を、トラック中心に対して対称に配置した二つの光検出器Ａ，Ｂによって検出し、これらの二つの光検出器Ａ，Ｂからの出力の差（Ａ−Ｂ）をとることによって得られる。
【０００５】
また、光ビームが光記録媒体によって反射された光の反射光量は、これら二つの光検出器の和（Ａ＋Ｂ）として検出される。ここで、光ビームが光記録媒体によって光の反射光量を検出した信号、すなわち、二つの光検出器Ａ，Ｂからの出力の和信号は、光ビームのスポットが移動した時にそのスポットが何本のトラックを跨いだかを検出するために使用される信号であり、一般的にクロストラック信号（ＣＴＳ：Ｃｒｏｓｓ　Ｔｒａｃｋ　Ｓｉｇｎａｌ）と称される。
【０００６】
ＭＤやＣＤ−Ｒは、プッシュプル信号、ＣＴＳ信号量が充分に得られるように、グルーブ幅／トラックピッチが１／３程度、または２／３程度に選定されている。すなわち、ＭＤの場合では、グルーブ幅／トラックピッチ＝１．１μｍ／１．６μｍ＝６９％とされ、ＣＤ−Ｒの場合では、グルーブ幅／トラックピッチ＝０．５μｍ／１．６μｍ＝３１％とされている。
【０００７】
さらに、線方向の記録密度を向上させる技術として、ＤＷＤＤ（Ｄｏｍａｉｎ　Ｗａｌｌ　Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ　Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）が提案されている。これは、光磁気ディスクで使用される磁区拡大再生技術の一つである。例えば特開平６−２９０４９６号公報には、ＤＷＤＤ方式についての技術が開示されている。
【０００８】
図６は、上記の公報に開示されている光磁気ディスクの一部断面を拡大して示す。参照符号７１が基板を示し、参照符号７２が誘電体層を示し、参照符号７３が記録層を示し、参照符号７４が誘電体層を示す。また、参照符号７５がグルーブであり、参照符号７６がランドである。
【０００９】
記録層７３は、第１の磁性層、第２の磁性層および第３の磁性層が順次積層されたものである。第１の磁性層が周囲温度近傍の温度において第３の磁性層に比して相対的に磁壁抗磁力が小さく磁壁移動度が大きな垂直磁化膜からなり、第２の磁性層は、第１の磁性層および第３の磁性層よりもキューリ温度が低い磁性層からなり、第３の磁性層が垂直磁化膜とされている。そして、データ信号の記録は、媒体を移動させながら、第３の磁性層がキューリ温度以上になるようなパワーレーザ光を照射しながら外部磁界を変調してなされる。
【００１０】
また、特願平１０−０９１９９０号、特願平１０−２０８３９０号では、ランド・グルーブ記録と同等な記録密度であり、２つのグルーブの深さを適切に変化させ、異なる深さの２つのグルーブを隣接するように配置し、カットオフ周波数を超えても充分なＣＴＳ信号振幅およびプッシュプル信号振幅を得られるプリフォーマットが提案されている。このプリフォーマットは、カットオフ周波数を超えたトラックピッチにおいて、安定したトラッキングサーボを実現している。このプリフォーマットでは、深いグルーブと浅いグルーブを隣接配置し、深いグルーブの間隔（または浅いグルーブの間隔）をトラックピリオド（１．０μｍ）とし、深いグルーブと浅いグルーブとの間隔をトラックピッチ（０．５μｍ）としている。深いグルーブに挟まれた浅いグルーブの両側の２つのランド（トラックＡ、トラックＢ）が記録領域である。したがって、このプリフォーマットでのトラック密度は、従来の２倍の高密度、すなわち、ランド・グルーブ記録の記録密度と同等である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち、ランド・グルーブ記録のトラック密度は、従来の２倍程度であり、上述したプリフォーマットにおいても記録領域は、浅いグルーブの両側の２つのランド（トラックＡ、トラックＢ）であり、ランド・グルーブ記録の記録密度と同等である。したがって、トラック密度を従来の２倍以上の高密度化とすることは困難であった。
【００１２】
また、ランド・グルーブ記録は、グルーブ幅とランド幅が同程度である。グルーブ幅とランド幅が同程度であると、図５に示すように、プッシュプル信号は、最大で充分な信号量となるが、ＣＴＳ信号の信号量が不十分となる。通常のディスク再生装置では、シーク動作のために、トラック本数を数える信号の信号量として約６％から７％程度が必要とされ、トラッキングサーボのための検出信号として、１４％程度の信号量が必要とされる。ここで、信号量は、グルーブ、ピットが形成されていない面（所謂ダミー面）で得られる信号を１００％として定義されている。
【００１３】
このように、ＣＴＳ信号の信号量が不十分であると、目的のアドレスに高速に移動するシーク動作時に、横切ったトラックの本数をＣＴＳ信号から正確に検出することができず、ＣＴＳ信号でシークすることが困難な問題があった。勿論、信号量が少ないＣＴＳ信号によってトラッキングサーボをかけることは不可能であった。
【００１４】
また、これら必要な信号量のプッシュプル信号、ＣＴＳ信号を得るためには、トラックピッチの空間周波数を再生装置の光ピックアップのカットオフ周波数の１／２〜２／３程度とする必要があった。ここで、カットオフ周波数とは、再生信号振幅がほぼ０となる周波数のことであり、データの再生に使用するレーザ光の波長をλとし、対物レンズの開口数をＮＡとしたときに、２ＮＡ／λで表されるものである。
【００１５】
したがって、この発明の目的は、トラック密度の高密度化を実現し、且つグルーブ幅とランド幅が同程度であっても、プッシュプル信号およびＣＴＳ信号の信号量が充分に得られるようにした光記録媒体、光記録媒体製造用原盤、記録再生装置および記録再生方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１の発明は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、
グルーブとして、第１のグルーブと、第１のグルーブに比して浅い第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
第１のグルーブ間の第２のグルーブにより分けられた２つのランドをそれぞれ形成し、
第１のグルーブと２つのランドに対して信号を記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体である。
【００１７】
請求項７の発明は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体を製造する際に使用される光記録媒体製造用原盤であって、
グルーブとして、第１のグルーブと、第１のグルーブに比して浅い第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、
第１のグルーブ間の第２のグルーブにより分けられた２つのランドをそれぞれ形成し、
第１のグルーブと２つのランドに対して信号を記録するようにしたことを特徴とする光記録媒体製造用原盤である。
【００１８】
請求項８の発明は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、グルーブとして、第１のグルーブと、第１のグルーブに比して浅い第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、第１のグルーブ間の第２のグルーブにより分けられた２つのランドがそれぞれ形成された光記録媒体を使用する記録再生装置であって、
第１のグルーブと２つのランドとの合計３つのトラックにデータを記録することを特徴とする記録再生装置である。
【００１９】
請求項１２の発明は、
記録トラックに沿ってグルーブが形成され、所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる光記録媒体であって、グルーブとして、第１のグルーブと、第１のグルーブに比して浅い第２のグルーブとが隣接配置するように形成されてなり、第１のグルーブ間の第２のグルーブにより分けられた２つのランドがそれぞれ形成された光記録媒体を使用する記録再生方法であって、
第１のグルーブと２つのランドとの合計３つのトラックにデータを記録することを特徴とする記録再生方法である。
【００２０】
この発明では、記録領域を２つのランドおよび第１のグルーブの３トラックにすることにより、トラック密度を従来の３倍程度と格段に高密度化することが可能である。また、第１のグルーブと第２のグルーブの深さを適切に設定することにより、プッシュプル信号量およびＣＴＳ信号量が充分得られ、安定したトラッキングサーボおよびシークが可能であり、さらに記録再生特性が良好である光記録媒体に最適なプリフォーマットを提供できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。この発明を適用した光磁気ディスクについて、要部を拡大した断面図を図１に示す。図１において、参照符号１が光磁気ディスクを示す。
【００２２】
光磁気ディスク１は、円盤状に形成されてなり、磁気光学効果を利用してデータの記録再生が行われる。そして、この光磁気ディスク１は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリカーボネート（ＰＣ）等からなるディスク基板２の上に、光磁気記録がなされる記録層３と、当該記録層３を保護する保護層４とが形成されてなる。ここで、記録層３は、例えば、ＳｉＮ等からなる誘電体膜３ａと、磁性膜３ｂと、ＳｉＮ等からなる誘電体膜３ｃと、Ａｌ等からなる反射膜３ｄとが積層されたものである。また、保護層４は、例えば、記録層３の上に紫外線硬化樹脂がスピンコートされることで形成されている。磁性膜３ｂは、データ記録を行うために、第１の磁性層、第２の磁性層および第３の磁性層が順次積層されたものである。なお、この発明において、記録層３や保護層４の構成は任意であり、本例に限定されるものではない。
【００２３】
この光磁気ディスク１は、記録領域の一部を拡大した図２に示すように、記録トラックに沿って渦巻き状にグルーブが形成され、光ピックアップ５により所定の波長λの光が照射されて記録およびまたは再生がなされる。グルーブとして、第１のグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・と、第２のグルーブ７ａＧ，７ｂＧ，・・・とが隣接配置するように形成されている。
【００２４】
第１のグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・は、深いグルーブであり、第２のグルーブ７ａＧ，７ｂＧ，・・・は、深いグルーブ間の略中央部に形成された断面Ｖ字形状の浅いグルーブである。そして、第１のグルーブ（以下、適宜深いグルーブと称する）６ａＧ，６ｂＧ，・・・、および第１のグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・と第２のグルーブ７ａＧ，７ｂＧ，・・・との間のランド６ａＬ，６ｂＬ・・・、ランド７ａＬ，７ｂＬ，・・・に信号を記録するようになされる。すなわち、この光磁気ディスク１では、記録可能な第１のグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・、ランド６ａＬ，６ｂＬ，・・・およびランド７ａＬ，７ｂＬ，・・・の３トラックが形成されている。
【００２５】
この３つのトラックは、記録再生特性の違いの分だけグルーブとランドとでは、若干ピッチが異なるが、ほぼ同じピッチで形成されている。すなわち、深いグルーブのトップの幅Ｌ１とランドの幅Ｌ２およびＬ３とがほぼ同じピッチで形成されている。３つのトラックのピッチを同じとすることで、これら３トラックの記録再生特性を良好にすることができる。
【００２６】
深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・と第２のグルーブ（以下、適宜浅いグルーブと称する）７ａＧ，７ｂＧ，・・・の両方または一方が蛇行するように形成されたウォブルグルーブとされる。図２の例では、深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・のみがウォブルグルーブとされている。ウォブルの振幅は、例えば±２５ｎｍとされている。深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・の間隔（または浅いグルーブ７ａＧ，７ｂＧ，・・・の間隔）であるトラックピリオドは、例えば１．０μｍで構成され、深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・と浅いグルーブ７ａＧ，７ｂＧ，・・・との間隔は、例えば０．５μｍで構成される。このように、３トラックを形成することで、光磁気ディスク１は、従来の３倍近いトラック密度とすることができる。
【００２７】
図２に示すように、この発明が適用された光磁気ディスク１は、３個のビームによって再生される。センタービームが深いグルーブの中心に位置し、二つのサイドビームが深いグルーブの両側に位置する浅いグルーブの中心とそれぞれ一致するようになされる。センタービームの反射光が４分割フォトディテクタ８によって検出され、サイドビームの反射光が２分割フォトディテクタ９ａおよび９ｂによって検出される。
【００２８】
ＣＴＳ信号は、４分割フォトディテクタ８の和信号（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）で求められる。このように求められたＣＴＳ信号は、トラックピリオドの周期に等しい周期であり、充分な振幅を有し、深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・の中心位置で最大となり、浅いグルーブ７ａＧ，７ｂＧ，・・・の中心位置で最小となる。和信号によってトラッキングサーボをかける場合では、サイドビーム９ａおよび９ｂのそれぞれの和信号の差（Ｅ＋Ｆ）−（Ｇ＋Ｈ）からトラッキングエラーを求めるようになされる。プッシュプル信号は、４分割フォトディテクタ８のトラック延長方向に対して両側に位置するそれぞれ二つの領域の検出信号の和（Ａ＋Ｄ）および（Ｂ＋Ｃ）を求め、これらの和信号の差（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）によって求められる。このように求められたプッシュプル信号は、トラックピリオドの周期に等しい周期であり、深いトラックおよび浅いトラックのそれぞれの中心で０となる。上述したように、データが記録されているのは、深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・およびランド６ａＬ，６ｂＬ，・・・、ランド７ａＬ，７ｂＬ，・・・である。深いグルーブ６ａＧ，６ｂＧ，・・・にシークする時は、プッシュプル信号が０で、ＣＴＳ信号が最大値の位置を探すようになされる。ランド６ａＬ，６ｂＬ，・・・にシークする時は、プッシュプル信号が最大値の９０％であり、ＣＴＳ信号が右下がりである位置を探すようになされる。ランド７ａＬ，７ｂＬ，・・・にシークする時は、プッシュプル信号が最小値の９０％であり、ＣＴＳ信号が右上がりである位置を探すようになされる。
【００２９】
上述した光磁気ディスク１を製造する際には、光磁気ディスク１の原盤となる光記録媒体製造用原盤を作製する必要があり、そのためにレーザカッティング装置が使用される。以下、光記録媒体製造用原盤の作製に使用されるレーザカッティング装置の一例について、図３を参照して詳細に説明する。
【００３０】
ここで説明するレーザカッティング装置の一例は、光源から出射されたレーザ光をビームスプリッタによって、第１の露光ビーム（ウォブルした深いグルーブ形成用）と第２の露光ビーム（浅いウォブルしないグルーブ形成用）に分割し、第１の露光ビームをウォブルグルーブを形成するために偏向し、二つの露光ビームを適切な間隔で半径方向に配置し、それぞれの露光パワーを適切に選定することによって、深いグルーブと浅いグルーブとが半径方向に交互に等間隔で配置された凹凸パターンを形成する。
【００３１】
図３に示したレーザカッティング装置１０は、ガラス基板１１の上に塗布されたフォトレジスト１２を露光して、当該フォトレジスト１２に潜像を形成するためのものである。このレーザカッティング装置１０でフォトレジスト１２に潜像を形成する際、フォトレジスト１２が塗布されたガラス基板１１は、移動光学テーブル上に設けられた回転駆動装置に取り付けられる。そして、フォトレジスト１２を露光する際、ガラス基板１１は、フォトレジスト１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによって平行移動される。
【００３２】
このレーザカッティング装置１０は、レーザ光を出射する光源１３と、光源１３から出射されたレーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器（ＥＯＭ：Ｅ１ｅｃｔｒｏ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）１４と、電気光学変調器１４から出射されたレーザ光の光軸上に配された検光子１５と、検光子１５を透過してきたレーザ光を反射光と透過光とに分割する第１のビームスプリッタＢＳ１および第２のビームスプリッタＢＳ２と、第２のビームスプリッタＢＳ２を透過してきたレーザ光を検出するフォトディテクタ（ＰＤ：Ｐｈｏｔｏ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）１６と、電気光学変調器１４に対して信号電界を印加して電気光学変調器１４から出射されるレーザ光強度を調整する光出力制御部（ＡＰＣ：Ａｕｔｏ　Ｐｏｗｅｒ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）１７とを備えている。
【００３３】
光源１３から出射されたレーザ光は、先ず、ＡＰＣ１７から印加される信号電界によって駆動される電気光学変調器１４によって所定の光強度とされた上で検光子１５に入射される。ここで、検光子１５は、Ｓ偏光だけを透過する検光子であり、この検光子１５を透過してきたレーザ光は、Ｓ偏光となる。
【００３４】
なお、光源１３には、任意のものが使用可能であるが、短波長のレーザ光を出射するものが好ましい。具体的には、例えば、波長λが３５１ｎｍのレーザ光を出射するＫｒレーザや、波長λが４４２ｎｍのレーザ光を出射するＨｅ−Ｃｄレーザなどが、光源１３として好適である。
【００３５】
ビームスプリッタＢＳ１およびＢＳ２を透過したレーザ光は、フォトディテクタ１６によって、その光強度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテクタ１６からＡＰＣ１７に送られる。そして、ＡＰＣ１７は、フォトディテクタ１６によって検出される光強度が所定のレベルにて一定となるように、電気光学変調器１４に対して印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学変調器１４から出射するレーザ光の光強度が一定となるように、フィードバック制御がなされ、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。
【００３６】
光源１３より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ１で反射され、ビームスプリッタＢＳ１の反射光は、変調光学系（図３ではＯＭ１と示す）３１に入射される。ビームリレー光学系とその間のＡＯＭ３２をブラッグ条件をみたすように配置する。リレー光学系は、光源１３から出射されたレーザ光を集光レンズＬ１１を用いてＡＯＭ３２に集光するように配置する。このＡＯＭ３２に供給される超音波に基づいてレーザ光が強度変調される。ＡＯＭ３２に対しては、ドライバ３３から駆動信号が供給される。
【００３７】
この駆動信号は、グルーブを形成する場合には直流信号である。若し、ピットを形成する場合には、変調された信号が直流信号である。直流信号に応じて、レーザ光は、連続変調され、深いグルーブ形成用の第１の露光ビームが形成される。
【００３８】
ＡＯＭ３２によって強度変調されて発散したレーザ光は、レンズＬ１２によって平行ビームとされる。そして、変調光学系３１（ＯＭ１）から出射された露光ビームは、ミラーＭ１によって反射され、移動光学テーブル１８上に水平且つ平行に導かれる。
【００３９】
さらに、光源１３より出射されたレーザ光は、ビームスプリッタＢＳ２で反射され、ビームスプリッタＢＳ２の反射光は、変調光学系（図３ではＯＭ２と示す）４１に入射される。ビームリレー光学系（レンズＬ２１およびＬ２２）とその間のＡＯＭ４２をブラッグ条件をみたすように配置する。ＡＯＭ４２に供給される超音波に基づいてレーザ光が強度変調される。ＡＯＭ４２に対しては、ドライバ４３から直流信号が供給される。直流信号のレベルに応じて、レーザ光は、連続変調され、浅いグルーブ形成用の第２の露光ビームが形成される。ＡＯＭ４２によって強度変調されて発散したレーザ光は、レンズＬ２２によって平行ビームとされ、ＨＷＰ（１／２波長板）を介して偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
【００４０】
ミラーＭ１で反射され、移動光学テーブル１８上に水平に導かれたレーザ光（第１の露光ビーム）は、偏向光学系ＯＤによって光学偏向が施された上でミラーＭ３によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。
【００４１】
偏向光学系ＯＤは、深いグルーブのウォブルに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施すためのものである。すなわち、偏向光学系ＯＤに入射したレーザ光は、ウェッジプリズム１９を介して音響光学偏向器（ＡＯＤ：Ａｃｏｕｓｔｏ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ）２０に入射し、この音響光学偏向器２０によって、所望する露光パターンに対応するように光学偏向が施される。ここで、音響光学偏向器２０に使用される音響光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ２）からなる音響光学素子が好適である。音響光学偏向器２０によって光学偏向が施されたレーザ光は、ウェッジプリズム２１を介して偏向光学系ＯＤから出射される。
【００４２】
なお、ウェッジプリズム１９、２１は、音響光学偏向器２０の音響光学素子の格子面に対してブラッグ条件を満たすようにレーザ光が入射するようにすると共に、音響光学偏向器２０によってレーザ光に対して光学偏向を施し、ビーム水平高さを変えるためのものである。
【００４３】
ここで、音響光学偏向器２０には、音響光学偏向器２０を駆動するための駆動用ドライバ２２が接続されている。駆動用ドライバ２２には、直流電圧と、電圧制御発振器（ＶＣＯ：Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ　Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）２３からの高周波信号がアドレス情報を含む制御信号によりＦＭ変調された信号とが供給される。そして、その信号に応じて駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０が駆動され、これにより、レーザ光に対して光学偏向が施される。
【００４４】
具体的には、例えば、周波数８４．６７２ｋＨｚをキャリアとしたＦＭ変調信号にてグルーブをウォブルさせることにより、グルーブにアドレス情報が付加される。この場合では、音響光学偏向器２０の位相格子を作り出すために例えば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数を８４．６７２ｋＨｚをＦＭ変調した信号に重畳した信号を、電圧制御発振器２３から駆動用ドライバ２２に供給する。
【００４５】
そして、この信号に応じて、駆動用ドライバ２２によって音響光学偏向器２０を駆動し、音響光学偏向器２０の音響光学素子のブラッグ角を変化させ、その結果、フォトレジスト１２上に集光されるレーザ光の光スポットの位置は、周波数８４．６７２ｋＨｚ、振幅±１５ｎｍにて、ガラス基板１１の半径方向に振動される。
【００４６】
そして、このような偏向光学系ＯＤによって、ウォブルグルーブのウォブルに対応するように光学偏向が施されたレーザ光は、ミラーＭ３によって反射されて進行方向が９０°曲げられた上で偏光ビームスプリッタＰＢＳに入射する。レーザ光は、偏光ビームスプリッタＰＢＳによって反射されて、拡大レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミラーＭ４によって反射されて対物レンズ２４へと導かれ、対物レンズ２４によってフォトレジスト１２上に集光される。上述したように、偏光ビームスプリッタＰＢＳには、ＡＯＭ４２によって強度変調されて発散したレーザ光がレンズＬ２２によって平行ビームとされ、ＨＷＰを介して入射される。
【００４７】
なお、レーザ光をフォトレジスト１２の上に集光するための対物レンズ２４は、より微細なグルーブパターンを形成できるようにするために、開口数ＮＡが大きい方が好ましく、具体的には、開口数ＮＡが０．９程度の対物レンズが好適である。
【００４８】
フォトレジスト１２が二つのレーザ光によって露光され、フォトレジスト１２に潜像が形成される。このとき、フォトレジスト１２が塗布されているガラス基板１１は、フォトレジスト１２の全面にわたって所望のパターンでの露光がなされるように、回転駆動装置によって回転駆動されると共に、移動光学テーブルによってレーザ光が径方向に移動される。この結果、レーザ光の照射軌跡に応じた潜像がフォトレジスト１２の全面にわたって形成されることになる。
【００４９】
一例として、変調光学系３１および４１の集光レンズＬ１１およびＬ２１の焦点距離を８０ｍｍ、コリメートレンズＬ１２およびＬ２２の焦点距離を１２０ｍｍ、拡大レンズＬ３の焦点距離を５０ｍｍとそれぞれ設定される。この場合、深いグルーブに関して、レーザパワーが０．４ｍｊ／ｍと選定され、浅いグルーブに関して、レーザパワーが０．２５ｍｊ／ｍと選定される。深いグルーブの場合では、フォトレジスト１２を貫通するように露光するので、深いグルーブの深さ変化がフォトレジスト１２の厚さ変化で得られる。一方、浅いグルーブの場合では、フォトレジスト１２を貫通しないので、浅いグルーブの深さ変化がレーザパワーの変化で得られる。この点を考慮して、二つのグルーブの深さを適切なものに設定される。
【００５０】
次に、図１に示した光磁気ディスク１の製造方法について、具体的な一例を挙げて詳細に説明する。原盤工程では、先ず、表面を研磨した円盤状のガラス基板１１を洗浄し乾燥させ、その後、このガラス基板１１上に感光材料であるフォトレジスト１２を塗布する。次に、上述したレーザカッティング装置１０によって、フォトレジスト１２を露光し、２種類のグルーブに対応した潜像をフォトレジスト１２に形成する。
【００５１】
フォトレジスト１２に潜像を形成した後、フォトレジスト１２が塗布されている面が上面となるように、ガラス基板１１を現像機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターンテーブルを回転させることによりガラス基板１１を回転させながら、フォトレジスト１２上に現像液を滴下して現像処理を施して、ガラス基板１１上に深いグルーブおよび浅いグルーブにそれぞれ対応した凹凸パターンを形成する。
【００５２】
次に、凹凸パターン上に無電界メッキ法によりニッケル等からなる導電化膜を形成し、その後、導電化膜が形成されたガラス基板１１を電鋳装置に取り付け、電気メッキ法により導電化膜上に３００±５〔μｍ〕程度の厚さになるようにニッケルメッキ層を形成する。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキをアセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された面に残存しているフォトレジスト１２を除去する。
【００５３】
以上の工程により、ガラス基板１１上に形成されていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記録媒体製造用原盤、すなわち、深いグルーブおよび浅いグルーブにそれぞれ対応した凹凸パターンが形成された光記録媒体製造用原盤（いわゆるスタンパ）が完成する。
【００５４】
次に、転写工程として、フォトポリマー法（ｐｈｏｔｏ　ｐｏｌｙｍａｒｉｚａｔｉｏｎ法、いわゆる２Ｐ法）を用いて、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板を作製する。具体的には、先ず、光記録媒体製造用原盤の凹凸パターンが形成された面上にフォトポリマーを平滑に塗布してフォトポリマー層を形成し、次に、当該フォトポリマー層に泡やゴミが入らないようにしながら、フォトポリマー層上にベースプレートを密着させる。ここで、ベースプレートには、例えば、１．２ｍｍ厚のポリメチルメタクリレート（屈折率１．４９）からなるベースプレートを使用する。
【００５５】
その後、紫外線を照射してフォトポリマーを硬化させ、その後、光記録媒体製造用原盤を剥離することにより、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２を作製する。
【００５６】
なお、ここでは、光記録媒体製造用原盤に形成された凹凸パターンがより正確にディスク基板２に転写されるように、２Ｐ法を用いてディスク基板２を作製する例を挙げたが、ディスク基板２を量産するような場合には、ポリメチルメタクリレートやポリカーボネート等の透明樹脂を用いて射出成形によってディスク基板２を作製するようにしても良いことは言うまでもない。
【００５７】
次に、成膜工程として、光記録媒体製造用原盤の表面形状が転写されてなるディスク基板２上に記録層３および保護層４を形成する。具体的には例えば、先ず、ディスク基板２の凹凸パターンが形成された面上に、スパッタリング装置等を用いて、窒化シリコン（Ｓｉ３Ｎ４）等からなる第１の誘電体膜３ａ、コバルト鉄テルビウム（ＴｂＦｅＣｏ）等からなる光磁気記録層である磁性層３ｂ、窒化シリコン（Ｓｉ３Ｎ４）等からなる第２の誘電体膜３ｃ、アルミニウム合金（例えばＡｌ−Ｔｉ）等からなる光反射膜３ｄの順に成膜する。
【００５８】
その結果、第１の誘電体膜３ａ、磁性層３ｂ、第２の誘電体膜３ｃおよび光反射膜３ｄからなる記録層３が形成される。その後、記録層３上に基板の全体をほぼ覆うように、紫外線硬化樹脂がスピンコート法等により平滑に塗布され、紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させることにより、保護層４が形成される。以上の工程により、磁気ディスク１が完成する。
【００５９】
つぎに、上述のような製造方法（２Ｐ法）、または射出成形によって評価用光磁気ディスクを複数作製し、それらの評価を行った結果について説明する。評価作業は、（波長λ＝６６０ｎｍ、ＮＡ＝０．５２）の光ピックアップを備えるＭＤ評価機を用いてなされる。
【００６０】
評価作業では、グルーブ幅とランド幅が同程度であっても、ランド部に新たに浅いグルーブを設けると共に、深いグルーブと浅いグルーブの深さを適切に選ぶことによって、プッシュプル信号でトラッキングサーボをかけることが可能か、ＣＴＳ信号でシークすることも可能かを評価する。この実施の形態のような光磁気ディスクにおいて、３トラックの記録再生特性、ウォブルグルーブのウォブル再生特性を評価する。
【００６１】
グルーブ幅とランド幅が同じである場合において、深いグルーブの深さと、浅いグルーブの深さとに対して、トラッキングサーボをかけることできる信号量（例えば１４％近傍以上）のプッシュプル信号が得られるか、並びにトラック数をカウントできる程度の信号量（例えば６％近傍以上）のＣＴＳ信号が得られるかどうかをそれぞれ評価した。表１から表７までの評価値は、深いグルーブのボトムの幅ＷＢ＝３００ｎｍとし、トップの幅ＷＴ＝２００ｎｍの評価ディスクに関するものである。トラックピリオドは、１０００ｎｍであり、両ランドの幅は、２１０ｎｍであり、浅いグルーブの幅は、２８０ｎｍである。
【００６２】
また、表中、λ／ｘｎは、深さ（位相深さと呼ばれる）を表しており、λがレーザ光の波長例えば６６０ｎｍであり、ｎが光入射面からグルーブに至るディスク基板の屈折率例えば１．５８を示し、ｘが係数を示す。ｘの値が変化される。ｘの値によって、グルーブの深さ（ｎｍ）が規定される。例えばｘ＝８の場合では、６６０ｎｍ／（８×１．５８）＝６６０ｎｍ／１２．６４≒５２ｎｍとなる。
【００６３】
下記の表１は、深いグルーブの深さが１７６ｎｍの例であり、浅いグルーブの深さを順に深くした場合のプッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を示している。評価ディスクとしては、浅いグルーブの各深さに対応して１枚ずつの評価ディスクを製造する。または、１枚のディスク上で浅いグルーブの深さが順に変化する評価ディスクを製造する。ｘ＝２４でプッシュプル信号の信号量が最大となっており、ｘ＝５に近くなるほど、ＣＴＳ信号の信号量が減少する。
【００６４】
【表１】
2004086943.tif 000003
【００６５】
また、深いグルーブの深さのいくつかの値の時に、浅いグルーブの深さを変化させた場合のプッシュプル信号とＣＴＳ信号の振幅変化を下記の表２から表７にそれぞれ示す。
【００６６】
【表２】
2004086943.tif 000004
【００６７】
【表３】
2004086943.tif 000005
【００６８】
【表４】
2004086943.tif 000006
【００６９】
【表５】
2004086943.tif 000007
【００７０】
【表６】
2004086943.tif 000008
【００７１】
【表７】
2004086943.tif 000009
【００７２】
これらの表１から表７において、太線で囲んで示す範囲は、プッシュプル信号（絶対値が約１４％以上の信号量）をトラッキングサーボのために使用でき、且つＣＴＳ信号（絶対値が約６％以上の信号量）をシークのために使用できる範囲である。すなわち、グルーブ幅とランド幅が同じ場合でも、プッシュプル信号によってトラッキングサーボを行うことができ、ＣＴＳ信号によってシーク動作を行うことができる。また、点線で囲んで示す範囲は、ＣＴＳ信号（絶対値が約１４％以上の信号量）をトラッキングサーボのために使用でき、且つプッシュプル信号（絶対値が約６％以上の信号量）をシークのために使用できる範囲である。すなわち、グルーブ幅とランド幅が同じ場合でも、ＣＴＳ信号によってトラッキングサーボを行うことができ、プッシュプル信号によってシーク動作を行うことができる。
【００７３】
すなわち、位相深さであるλ／ｘｎの係数ｘにおいて、深いグルーブの深さの係数をｘ１とし、浅いグルーブの深さの係数をｘ２とすると、以下の条件（１）から（７）のいずれかの関係を満たせば、トラッキングサーボおよびシークを安定して行えることがわかる。ただし、ｘ２＝０は除く。
【００７４】
ｘ１＝２．８、　ｘ２≧５．５・・・（１）
ｘ１＝３．０、　ｘ２≧４．８・・・（２）
ｘ１＝２．７、　ｘ２≧５．２・・・（３）
ｘ１＝２．４、　ｘ２≧７．４　または　４．３≧ｘ２≧３．２・・・（４）
ｘ１＝２．２、　ｘ２≧１０．０　または　５．２≧ｘ２≧３．３・・・（５）
ｘ１＝２．０、　ｘ２＝１４．０　または　５．８≧ｘ２≧３．６・・・（６）
ｘ１＝１．９、　５．７≧ｘ２≧４．０・・・（７）
【００７５】
また、プッシュプル信号の信号量が１４％以上で、且つＣＴＳ信号の信号量が６％以上となる深いグルーブと浅いグルーブの適切な深さの３トラック、すなわちランド６ａＬ，６ｂＬ，・・・、ランド７ａＬ，７ｂＬ，・・・および深いグルーブのすべての記録領域において、光磁気の記録再生を行った。そのときのジッタ値は、１０％程度であり、良好な記録再生特性であることがわかった。
【００７６】
さらに、ウォブル振幅±１５ｎｍの深い（ウォブル）グルーブ、ウォブルしていない浅い（ＤＣ）グルーブのすべての部分において、ウォブル信号の再生が可能であった。
【００７７】
また、レーザ光の波長λが６６０ｎｍであり、対物レンズの開口数ＮＡが０．５２であることから、光ピックアップのカットオフ周波数２ＮＡ／λは、およそ１５７６ｍｍ−１である。一方、評価用光ディスクは、深いグルーブと浅いグルーブとの間隔をトラックピッチとすると、トラックピッチは５００ｎｍとなるため、その空間周波数は、２０００ｍｍ−１となる。したがって、光ピックアップのカットオフ周波数よりも大きいトラックピッチの空間周波数の光ディスクにおいても、十分なレベルのプッシュプル信号、ＣＴＳ信号を得られ、安定したトラッキングサーボ、シークが可能であることがわかる。
【００７８】
図４は、上述した光磁気ディスクを使用する記録再生装置の構成例を示す。図４において、参照符号５１が上述したように、深いウォブルグルーブと浅いグルーブが交互に形成された光磁気ディスクである。入力端子５２には、記録するデータが供給される。データ変調器５３は、入力データに対してディジタル変調を施す。例えばＲＬＬ（１，７）によって入力データが変調される。ＲＬＬ（１，７）では、最短マーク長が２Ｔで最長マーク長が８Ｔである。
【００７９】
データ変調器５３の出力データが記録ヘッド駆動部５４に供給される。記録ヘッド駆動部５４は、記録／再生部５５に含まれる記録ヘッドに変調データを供給する。記録／再生部５４には、光ピックアップが含まれている。記録時では、記録用のレーザ光を光ピックアップが光磁気ディスク５１に対して照射し、データを深いグルーブのみに記録する。
【００８０】
また、光ピックアップは、光磁気ディスク５１からの反射光からトラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号およびアドレス情報を含むウォブル信号を生成する。トラッキングエラー信号は、プッシュプル信号またはＣＴＳ信号から形成される。記録／再生部５５からのトラッキングエラー信号およびフォーカスエラー信号は、サーボ部５６に対して出力される。サーボ部５６は、記録／再生部５５内の光ピックアップのトラッキングおよびフォーカスを制御する制御信号、光磁気ディスク３１の回転を制御する制御信号、並びに光ピックアップのディスク径方向の移動を制御する制御信号を生成する。
【００８１】
ウォブル信号は、ウォブル信号検出部５７に出力される。ウォブル信号検出部５７は、ウォブル信号からアドレス情報を復調し、アドレス情報をアドレスデコーダ５８に対して出力する。さらに、ウォブル信号検出部５７は、ウォブル信号から正弦波のキャリア信号を抽出し、サーボ部５６に対して抽出したキャリア信号を供給する。
【００８２】
アドレスデコーダ５８は、ウォブル信号検出部５７から供給されるアドレス情報信号からアドレスを算出し、そのアドレスをシステムコントローラ５９に対して出力する。システムコントローラ５９は、アドレスデコーダ５８から供給されるアドレス情報にしたがって、所定の制御信号をサーボ部５６に出力すると共に、入力装置６０から所定の操作に対応する信号が供給されると、その操作に応じた制御信号をサーボ部５６に出力し、記録／再生部５５を制御するようになされている。
【００８３】
光磁気ディスク５１の光ピックアップによって読み出され、記録／再生部５５における処理によって得られた再生データがデータ復調器６１に供給される。データ復調器６１では、記録時に施されたディジタル変調例えばＲＬＬ（１，７）の復調処理がなされる。データ復調器６１の出力端子６２に対して再生データが取り出される。
【００８４】
以上説明した一実施形態による光磁気ディスク１では、トラック密度を従来の３倍程度と格段に高密度化することができ、安定したトラッキングサーボおよびシークが行え、記録領域である深いグルーブと２つのランドとの合計３つのトラックの記録再生特性が良好であり、ウォブル再生特性も良好である。また、レーザカッティング装置１０は、上述した光磁気ディスク１の作成に用いることができ、図４を参照して説明した記録再生装置では、上述した光磁気ディスク１の記録または再生が可能である。
【００８５】
この発明は、上述したこの発明の一実施形態に限定されるものでは無く、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。この発明は、記録トラックに沿ってグルーブが形成されてなる光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能であり、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、再生専用の光記録媒体、繰り返しデータの書き換えが可能な光記録媒体、或いはデータの追記は可能だか消去はできないような光記録媒体のいずれでもよい。
【００８６】
また、データの記録方法も特に限定されるものではなく、この発明の対象となる光記録媒体は、例えば、予めデータが書き込まれている再生専用の光記録媒体、磁気光学効果を利用してデータの記録再生を行う光磁気記録媒体、或いは記録層の相変化を利用してデータの記録再生を行う相変化型光記録媒体などのいずれでもよい。
【００８７】
また、この発明は、記録領域の少なくとも一部にグルーブが形成されている光記録媒体、並びにその製造に使用される光記録媒体製造用原盤に対して広く適用可能である。すなわち、例えば、記録領域全体にグルーブが形成されていてもよいし、或いは、グルーブが形成されることなくエンボスピットによってデータが記録されているような領域が記録領域内に存在していてもよい。
【００８８】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、この発明によれば、記録領域を第１のグルーブと２つのランドとの合計３トラックにすることにより、トラック密度の高密度化を実現することができる。また、第１のグルーブ間に浅い第２のグルーブを設け、２つのランドを形成し、これらグルーブの深さを適切に設定することにより、プッシュプル信号およびＣＴＳ信号の信号量が充分得られ、安定したトラッキングサーボおよびシークが可能であり、さらに記録再生特性も良好とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を適用した光磁気ディスクの一例について、その要部を拡大して示す断面図である。
【図２】この発明を適用した光磁気ディスクの記録領域の一部とＣＴＳ信号の波形とプッシュプル信号の波形を示す略線図である。
【図３】この発明に係る記録媒体および記録媒体製造用原盤を作製する際に使用されるレーザカッティング装置の一例について、その光学系の概要を示す略線図である。
【図４】この発明を適用した光磁気ディスクに対して記録再生を行う記録再生装置の一例のブロック図である。
【図５】従来の光磁気ディスクの記録領域の一部とＣＴＳ信号の波形とプッシュプル信号の波形を示す略線図である。
【図６】ＤＷＤＤ超解像度光磁気ディスクの説明に用いる一部断面図である。
【符号の説明】
１・・・光磁気ディスク、２・・・ディスク基板、３・・・記録層、４・・・保護層、１０・・・レーザカッティング装置、１１・・・ガラス基板、・・・１２　　フォトレジスト、１３・・・光源、１４・・・電気光学変調器、２０・・・音響光学偏向器（ＡＯＤ）、２３・・・電圧制御発振器、２４・・・対物レンズ、３１，４１・・・変調光学系、Ｌ３・・・拡大レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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