(57)【要約】【課題】スライダーをサスペンションに搭載した場合と同様の条件下で単体のスライダーの特性を正確にかつ容易に試験可能とし、製造費用の削減を図る。【解決手段】媒体のデータの読み取り／書き込みに使用されるスライダー１４の機能を試験するスライダー試験機において、スライダー１４を単体で着脱可能に支持するとともに、試験時に媒体表面から所定間隔離間させてスライダーを浮上させ、媒体へのデータの読み取り／書き込みが可能にスライダーと検査装置とを電気的に接続するセットプレート２０が設けられる。前記セットプレート２０には、スライダー１４を媒体に対して接離可能に、かつ任意方向に傾動可能に支持すべく、金属板にスリットを形成して作製したジンバル３０が装着され、該ジンバル３０にスライダー１４を着脱自在に支持する固定ベース部４０が装着され、該固定ベース部４０を前記媒体に向けて付勢する加圧ピン５１が設けられている。【選択図】　　　　図２
2004086976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体のデータの読み取り／書き込みに使用されるスライダーの機能を試験するスライダー試験機において、
スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに、試験時に媒体表面から所定間隔離間させてスライダーを浮上させ、媒体へのデータの読み取り／書き込みが可能にスライダーと検査装置とを電気的に接続するセットプレートが設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
【請求項２】
前記セットプレートに、スライダーを媒体に対して接離可能に、かつ任意方向に傾動可能に支持すべく、金属板にスリットを形成して作製したジンバルが装着され、
該ジンバルにスライダーを着脱自在に支持する固定ベース部が装着され、
該固定ベース部を前記媒体に向けて付勢する加圧ピンが設けられていることを特徴とする請求項１記載のスライダー試験機。
【請求項３】
前記セットプレートに、スライダーを媒体に対して一定の押圧力により弾性的に付勢するとともに、任意方向に傾動可能に支持すべく、弾性を備えた金属板にスリットを形成して作製したジンバルが装着され、
該ジンバルに前記スライダーを着脱自在に支持する固定ベース部が装着されていることを特徴とする請求項１記載のスライダー試験機。
【請求項４】
前記固定ベース部と加圧ピンとの当接部が、滑らかな球面状に形成されていることを特徴とする請求項２記載のスライダー試験機。
【請求項５】
前記セットプレートが、試験機本体に固定された搭載ベースに着脱自在に装着されるアーム部に装着されていることを特徴とする請求項１、２、３または４記載のスライダー試験機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスク等の媒体のデータの読み取り／書き込みに使用されるスライダー（磁気ヘッド）の機能を試験するスライダー試験機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク等の媒体のデータの読み取り／書き込みに使用されるスライダー（磁気ヘッド）は、媒体を実際に回転させて、媒体表面からの浮上特性、媒体との間でのデータの読み取り／書き込み機能を試験した後、実機に搭載される。従来、このスライダーの機能試験は、サスペンションにスライダーを搭載してスライダー組立体を形成し、このスライダー組立体を試験機にセットして試験している。試験機では、磁気ディスクに相当する媒体を回転駆動して磁気ヘッドを浮上させ、スライダーの浮上量及びデータの読み取り／書き込み特性を検査して良否を判定する。そして、試験不合格と判定されたスライダーはサスペンションとともに廃棄処分とされる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、スライダーの不良率が高い場合には、スライダーとともにサスペンションも廃棄されることになり、スライダーの製作コストと同時に、サスペンションの製造費、スライダー組立体の組立費が無駄になるという問題がある。スライダー組立体に使用されているサスペンションは、媒体の大容量化とともに高機能化し、付加価値の高いものとなっている。したがって、サスペンションの製造費用も無視できない。また、スライダーは、媒体容量が増大するとともに、高機能となり、高度の製造技術が必要となるために製造歩留まりが低下する傾向にある。この結果、スライダー試験で廃棄されるものが多く生じ、製造費用の無駄が増大しているという課題がある。
【０００４】
このため、スライダーをサスペンションに搭載する前の段階でスライダー単体でその機能を試験し、スライダーの良品のみをサスペンションに搭載する方法が考えられている。このようにスライダーを単体で試験する場合も、サスペンションにスライダーを搭載したときと同じように、スライダーの浮上特性、媒体に対するデータの読み取り／書き込み検査を行うから、試験用の媒体を回転駆動した状態で、スライダーをサスペンションによって支持したと同様の条件で試験できるようにしなければならない。
スライダーはその浮上面の形状により、媒体の回転によって生じる表面空気層からの浮上力を受ける。サスペンションはこれと同じ加圧力をスライダーに加えることによって媒体表面から、たとえば数十ｎｍといった浮上距離を維持することができる。
【０００５】
したがって、スライダー試験機では、スライダーが受ける浮上力を阻害しないようにスライダーを支持することができ、一定の加重をスライダーに与えることができる構造を実現することが必要となる。また、試験前後にスライダーを試験機に着脱する操作が容易にできること、スライダーが浮上した状態で試験機との間で電気的な接続が行われるようにすることが必要になる。
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、サスペンションに搭載したと同じ条件で単体のスライダーによる機能試験を可能にし、良品のスライダーを確実に判別して、良品のみ組み立てに使用することで、製造コストの無駄をなくすことを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、媒体のデータの読み取り／書き込みに使用されるスライダーの機能を試験するスライダー試験機において、スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに、試験時に媒体表面から所定間隔離間させてスライダーを浮上させ、媒体へのデータの読み取り／書き込みが可能にスライダーと検査装置とを電気的に接続するセットプレートが設けられていることを特徴とする。
【０００７】
また、前記セットプレートに、スライダーを媒体に対して接離可能に、かつ任意方向に傾動可能に支持すべく、金属板にスリットを形成して作製したジンバルが装着され、該ジンバルにスライダーを着脱自在に支持する固定ベース部が装着され、該固定ベース部を前記媒体に向けて付勢する加圧ピンが設けられていることを特徴とする。これによって、スライダーを搭載するサスペンションによってスライダーを任意の方向に傾動可能とし、浮上時にスライダーに一定の荷重を付加させる機能を発揮させることができる。
また、前記セットプレートに、スライダーを媒体に対して一定の押圧力により弾性的に付勢するとともに、任意方向に傾動可能に支持すべく、弾性を備えた金属板にスリットを形成して作製したジンバルが装着され、該ジンバルに前記スライダーを着脱自在に支持する固定ベース部が装着されていることを特徴とする。この構成によれば加圧ピンを用いずに、スライダーを搭載するサスペンションの機能を発揮させることができ、セットプレートの構造が簡素化できる。
また、前記固定ベース部と加圧ピンとの当接部が、滑らかな球面状に形成されていることにより、ジンバルの自由度を損なうことなく、ジンバルの姿勢に影響されずに安定した加圧が可能になる。
また、前記セットプレートが、試験機本体に固定された搭載ベースに着脱自在に装着されるアーム部に装着されていることにより、スライダーを着脱する作業が容易になり、スライダー着脱機構の設計の自由度を大きくすることができる。
【０００８】
また、前記セットプレートが、試験機本体に固定された搭載ベースに加圧ピンを備えたアーム板が装着され、該アーム板に着脱自在に取り付けられたアーム部に装着されていることにより、アーム板に加圧ピンの構造を付与することによってセットプレートの浮上構造を簡素化することができる。被試験体の数が多く、アーム部を多数個必要とする場合に、セットプレートとアーム部の製作費用を削減することができる。
また、前記搭載ベースの高さ調節機構および／または面方向調整機構が設けられていることにより、スライダーと媒体との平行度および離間間隔の調整を容易に行うことができる。
また、前記セットプレートに搭載されたスライダーの配置を検知する検知部と、該検知部による検知結果をアーム部の位置調整機構にフィードバックしてスライダーを所定位置に位置合わせする制御部が設けられていることにより、スライダーあるいはアーム部のばらつきによる媒体表面に対するスライダーの平行度、離間間隔が自動的に調整され、より高精度の試験が可能になる。
【０００９】
また、前記ジンバル上に、固定ベース部に支持されたスライダーと検査装置とを電気的に接続する配線パターンが設けられていることにより、薄く、微細なパターンに配線を形成することが可能となり、配線による剛性をあらかじめジンバルの剛性に含めて設計することによってジンバルの形状を最適化することができる。
また、前記固定ベース部に、スライダーの端子が形成された側面が押接されてスライダーと検査装置とを電気的に接続するコンタクトブロックと、該コンタクトブロックとの間でスライダーを弾性的に挟圧する押さえバネとが設けられていることにより、限られた領域内でスライダーを容易に着脱して装着する構成とすることができる。
また、前記コンタクトブロックのスライダーの端子が押接されるコンタクト端子が形成された面に、異方導電性シートが貼付されていることにより、スライダーが傾いてセットされた場合のコンタクトブロックとスライダーとの電気的接続の不安定を解消することができる。
また、押さえバネが、スライダーをコンタクトブロックに向けて押接する押接部を固定ベース部に固定された支点から延出端を自由端として延出して形成され、かつ前記支点と押接部とがＵ形に屈曲したベント部を介して連結されていることにより、押さえバネをコンパクトな形状として、かつスライダーを着脱するに十分な開閉量を確保し、押さえバネの耐久性を向上させることが可能になる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付図面と共に詳細に説明する。図１は本発明に係るスライダー試験機の全体構造を示す斜視図である。同図で１０はスライダー試験機の試験機本体である。試験機本体１０には、試験用の媒体１２を実機と同じように回転駆動する駆動部、媒体１２をスライダーがセットされている試験位置に移動させる移動制御部、試験位置で媒体１２を実機と同様に回転させて媒体１２とスライダーとの間でのデータの読み取り／書き込み特性を検査する検査装置が備えられている。
【００１１】
本実施形態のスライダー試験機は、試験機本体１０の上面の各々のコーナー部に１台ずつ被試験体のスライダー１４をセットするセット部が設けられたものである。媒体１２はスピンドル１３に支持され、試験機本体１０の前後方向に所定間隔をあけて配置されたセット部の中間位置で試験機本体１０の一方側と他方側との間を移動し、それぞれの移動位置でスライダーを２つずつ試験できるように配置されている。
【００１２】
被試験体のスライダー１４をセットするセット部は、スライダー１４を支持するセットプレート２０と、セットプレート２０を支持するアーム部２２と、アーム部２２を支持する搭載ベース２４とを備える。搭載ベース２４はセット台１０ａに固定される。アーム部２２は、試験対象となっている２つのスライダー１４に対して、エアの流れ方向が同じになるように、対となってセットされるセット部についてアーム部２２の取り付け方向を逆向きにしている。
【００１３】
媒体１２は媒体面を水平にしてスピンドル１３に支持されている。スピンドル１３は試験機本体１０の上面で、試験機本体１０の前後方向に所定間隔をあけて配置されたセットプレート２０の中間に配置され、試験機本体１０の一方側と他方側との間を移動可能に設けられている。スピンドル１３に支持されて媒体１２が試験機本体１０の一方側と他方側との間を移動することにより、セットプレート２０に装着されたすべてのスライダー１４について試験することができる。セットプレート２０にはスライダー１４を単体で着脱自在に装着することができ、セットプレート２０に被試験体を順次着脱することによってスライダーを単体で試験することができる。
【００１４】
図２はスライダー１４を装着するセットプレート２０でのスライダー１４の取り付け構造を示す。
セットプレート２０はスライダー１４を媒体１２の表面に対して浮上した状態で支持するためのジンバル３０と、スライダー１４を着脱自在に支持するための固定ベース部４０と、固定ベース部４０を加圧して支持するための加圧機構部５０とを備える。
以下、ジンバル３０、固定ベース部４０、加圧機構部５０の構成について順次説明する。
【００１５】
（ジンバルの構成）
ジンバル３０はスライダー１４を固定ベース部４０に支持した状態で、スライダー１４が任意の方向（ピッチング方向とローリング方向）に傾動可能となるように支持するためのものである。実施形態では、金属薄板に円弧状のスリット３２を設けてスライダー１４を任意の方向に傾動可能にジンバル３０に支持した。なお、ジンバル３０はセットプレート２０の上面にその周縁部を貼り付けるようにして取り付ける。ジンバル３０の下方は固定ベース部４０等を配置するとともに、固定ベース部４０を傾動可能とするための空間に形成されている。
【００１６】
図３（ａ）、（ｂ）にジンバル３０に形成したスリット３２の平面図を示す。いずれのジンバル３０も、ジンバル３０の中央部にスライダー１４をセットするセット部３４を設け、セット部３４の中心に対して同芯の円弧状に内側スリット３２ａと外側スリット３２ｂを設けている。
【００１７】
図３（ａ）に示すジンバル３０は、内側スリット３２ａと外側スリット３２ｂをともに一対の半円弧状に形成したものである。セット部３４を挟む対向位置に配置された内側の吊持部３５ａ、３５ａと、外側の吊持部３５ｂ、３５ｂとは互いに９０°偏位した位置に設けられている。吊持部３５ａと吊持部３５ｂとを交差する配置とすることにより、セット部３４は任意の方向に傾動可能に支持される。
【００１８】
図３（ｂ）に示すジンバル３０は、内側スリット３２ａと外側スリット３２ｂをセット部３４をほぼ一周する円弧状に形成したものである。セット部３４は内側の１つの吊持部３５ａと外側の１つの吊持部３５ｂによって支持される。内側の吊持部３５ａと外側の吊持部３５ｂはセット部３４を挟んで対向位置に設けられている。これによってセット部３４は任意の方向に傾動可能に支持される。
【００１９】
ジンバル３０には、固定ベース部４０にスライダー１４を装着した際に、スライダー１４と試験機本体１０に内蔵されている検査部とを電気的に接続するための配線パターンが形成されている。
図４に、ジンバル３０に配線パターン３６を形成した状態の斜視図を示し、図５に平面図を示す。配線パターン３６は、ジンバル３０の内側の吊持部３５ａ、リブ３７および外側の吊持部３５ｂを経由して接続端子３８にまで引き出されている。配線パターン３６はジンバル３０の表面に絶縁層を形成し、導体層を成膜して、リブ３７等を通過する任意のパターンに形成することができる。
【００２０】
被試験体のスライダー１４はセット部３４の中央位置で固定ベース部４０に支持される。図４、５で４２はスライダー１４を固定ベース部４０にセットした際に、スライダー１４の電極と配線パターン３６とを電気的に接続するためのコンタクトブロックである。コンタクトブロック４２の内側面には、スライダー１４の側面に形成されている端子の配置に合わせてコンタクト端子が形成されている。コンタクト端子と配線パターン３６とを電気的に接続することにより、スライダー１４を固定ベース部４０にセットした際にスライダー１４と配線パターン３６とが電気的に接続されることになる。
【００２１】
なお、コンタクトブロック４２の内側面にコンタクト端子を形成する別の方法として、ジンバル３０に配線パターン３６を形成する際に、ジンバル３０でコンタクトブロック４２を配置する位置に合わせて配線パターン３６の端部にコンタクト端子をパターン形成しておき、コンタクトブロック４２の内側面に添わせるようにコンタクト端子を形成した部位のジンバルを切り起こして、コンタクトブロック４２のコンタクト端子とすることも可能である。コンタクトブロック４２はジンバル３０の上方に突出させて配置し、コンタクトブロック４２を配置する部位についてはジンバル３０を開口させるようにするからである。
【００２２】
（固定ベース部の構成）
図２に示すように、固定ベース部４０はジンバル３０の中央に形成されたセット部３４の下面に固定されている。固定ベース部４０はスライダー１４を着脱自在に装着するためのコンタクトブロック４２とこれに対向して配置された押さえバネ４４とを備える。コンタクトブロック４２と押さえバネ４４は、ジンバル３０に設けた開口部からスライダー１４の厚さ分程度突出するように設けられている。
【００２３】
押さえバネ４４はスライダー１４の電極を形成した側面と反対側の側面をコンタクトブロック４２に向けて弾性的に押圧し、コンタクトブロック４２との間でスライダー１４を挟圧して保持する。押さえバネ４４によってスライダー１４をコンタクトブロック４２に向けて弾性的に押圧することにより、スライダー１４の端子がコンタクトブロック４２に設けられたコンタクト端子に押接され、スライダー１４と配線パターン３６とを確実に電気的に導通させることができる。
【００２４】
図６（ａ）は押さえバネ４４によってスライダー１４をコンタクトブロック４２に向けて押圧した際に、スライダー１４がコンタクトブロック４２に正対して押圧されなかった場合でもスライダー１４の端子１４ａとコンタクトブロック４２のコンタクト端子４２ａとが確実に電気的に接続されるように構成した例を示す。図６（ｂ）に示すように、スライダー１４がコンタクトブロック４２に対して傾斜して押圧されると、スライダー１４の端子１４ａとコンタクト端子４２ａとの間に隙間が生じて、スライダー１４の電気的接続がなされないことが生じる。
【００２５】
図６（ａ）は、コンタクトブロック４２のコンタクト端子４２ａを形成した面に異方導電性シート４６を貼り付けたものである。異方導電性シート４６は圧縮された部位が導電作用を生じるから、スライダー１４がコンタクトブロック４２に対して傾いて押圧された場合でも、端子１４ａとコンタクト端子４２ａが対向する部位については異方導電性シート４６が圧縮され、導電作用が生じて電気的接続がなされる。このようにコンタクトブロック４２の内側面に異方導電性シート４６を貼り付けておくことにより、押さえバネ４４によってスライダー１４をコンタクトブロック４２に向けて押圧した際に、スライダー１４が若干傾いて押圧されてもスライダー１４と配線パターン３６とを確実に電気的に接続させることが可能になる。
【００２６】
図７は、固定ベース部４０とスライダー１４との搭載位置関係を示す斜視図である。固定ベース部４０の上面に形成されたコンタクトブロック４２に対向して押さえバネ４４が配置され、スライダー１４をコンタクトブロック４２に位置合わせしてセットするためのサイドストッパー４５が設けられている。
図８は、押さえバネ４４の構成を示す。図８（ａ）に示す押さえバネ４４は、支点４４ａからＶ形に屈曲させた押接部４４ｂを延出して、延出端側を自由端に形成したものである。図８（ｂ）は、Ｕ形のベント部４４ｃを介して支点４４ａとＶ形の押接部４４ｂとを連結したものである。
【００２７】
図８（ｂ）に示すように、Ｕ形のベント部４４ｃを介して押接部４４ｂを支持する形態とした場合は、支点４４ａと押接部４４ｂとの距離を図８（ａ）に示す押さえバネ４４にくらべて長くすることができる。これによって、押さえバネ４４を開閉操作する際のストロークを広くとることが可能になり、開閉操作が容易になり、押さえバネ４４の弾性限界を超えないようにすることができて、押さえバネ４４の耐久性を向上させることができる。
また、Ｕ形のベント部４４ｃを形成することで押接部４４ｂの内側に支点４４ａを配置することができ、固定ベース部４０上の限られた領域内に、コンパクトに押さえバネ４４を配置することが可能になる。これにより、スライダー１４の浮上特性に与える影響を抑えることが可能になる。
【００２８】
（加圧機構部の構成）
加圧機構部５０は、図２に示すように、固定ベース部４０の中央部の下方に配置された加圧ピン５１と加圧ピン５１に外挿して設けたコイルスプリング５２とを備える。コイルスプリング５２は加圧ピン５１の上端面を固定ベース部４０の下面に当接させ、ジンバル３０に支持されたスライダー１４を媒体表面に向けて加圧する荷重を加えるためのものである。コイルスプリング５２の付勢力を調節することにより、媒体の回転によってスライダー１４が浮上した際にスライダー１４に作用する荷重が調節され、媒体表面からのスライダー１４の浮上量を調節することができる。
【００２９】
図９は、加圧ピン５１によって固定ベース部４０を支持する構成例を示す。
図９（ａ）は、加圧ピン５１の上端部５１ａを滑らかな半球状に形成し、スライダー１４が任意の方向に傾動する動作に加圧機構部５０が妨げにならないように形成したものである。
図９（ｂ）は、加圧ピン５１の上端面を平坦面とし、固定ベース部４０の下面で加圧ピン５１に対向する部位に滑らかな半球状の膨出部５４を設けて、加圧ピン５１の上端面が膨出部５４に当接するように形成した例である。このように、加圧ピン５１あるいは固定ベース部４０の当接部分を滑らかな球面状に形成することによって、固定ベース部４０は任意の方向に容易に傾動可能となる。
【００３０】
加圧機構部５０は、媒体１２を回転してスライダー１４の読み取り／書き込み試験を行う際に、スライダー１４をサスペンションに搭載したときと同様の荷重をスライダー１４に作用させるためのものであり、必ずしも図２に示すような加圧機構部５０を設けなければならないわけではない。
図１０は加圧機構部５０としての加圧ピン５１やコイルスプリング５２を設けずにジンバル３０の弾性作用によってスライダー１４に荷重を加えるように構成した例である。ジンバル３０を板バネ等の弾性を有する素材によって形成し、ジンバル３０にスリット３２を形成することによりジンバル３０自体に弾性を付与することができる。このジンバル３０自体の弾性を、スライダー１４が浮上する際の浮上力に抗する荷重として利用することによってスライダー１４の浮上量を調節することができる。
【００３１】
（セットプレートの搭載部の構成）
前述したように、スライダー１４はアーム部２２に取り付けたセットプレート２０に着脱自在に装着されて試験される。図１１は、アーム部２２を搭載ベース２４に対して分離する構造とした例を示す。図１１（ａ）はアーム部２２を搭載ベース２４にセットした状態、図１１（ｂ）はアーム部２２を搭載ベース２４から取り外した状態を示す。２６はアーム部２２を搭載ベース２４に位置決めしてセットするための位置決めピンである。アーム部２２は、搭載ベース２４に位置決めし、エア吸着してセットすることができる。
【００３２】
被試験体であるスライダー１４は機種によって端子の配置位置や大きさ等がさまざまであるから、セットプレート２０に設けられているジンバル３０やコンタクトブロック４２、押さえバネ４４は、製品によってその寸法等が異なるものとなっている。したがって、アーム部２２を搭載ベース２４に対して分離可能とし、品種によってセットプレート２０とともにアーム部２２ごと交換してセットできるようにすることは、多品種のスライダー１４を試験する装置として有用である。
【００３３】
図１２は、搭載ベース２４にアーム板２２ａを取り付け、アーム板２２ａにアーム部２２を交換して取り付ける構成としたものである。アーム板２２ａの先端部側に加圧ピン５１を取り付け、アーム部２２をアーム板２２ａにセットすることによって、アーム部２２にセットされているセットプレート２０の固定ベース部４０が加圧ピン５１によって押圧されるように構成されている。この場合もセットプレート２０を含めてアーム部２２を交換することによって多品種に対応することができる。もちろん、アーム板２２ａを品種によって交換して使用することもできる。
【００３４】
図１３は、搭載ベース２４に搭載ベース２４の高さ調整機構と搭載ベースの面方向調節機構を設けた例である。６０がマイクロメータ、６２がマイクロメータ６０によって押動されるスライドブロック、６４が傾斜板、６６が平行板である。スライドブロック６２はマイクロメータ６０の操作によって進退移動可能に設けられ、スライドブロック６２の進退移動位置を調節することによって搭載ベース２４の高さ寸法を調節することができる。
６８ａ、６８ｂは搭載ベース２４の上面の面方向を調節するための調節ねじである。搭載ベース２４の面方向は調節ねじ６８ａ、６８ｂの突出量を調節することによって調節することができる。
スライダー１４の品種によってスライダー１４自体の厚さが相違したり、媒体１２の表面との離間距離が相違したりする。搭載ベース２４の高さ調整機構と面方向調節機構はこのような品種交換の際に、搭載ベース２４の高さ等を精度よく調節できるようにしたものである。
【００３５】
図１４は、スライダー１４をセットプレート２０に搭載した状態でスライダー１４の配置を検知し、その検知結果に基づいてアーム部２２の配置を自動調節する機構を設けた例である。７０はスライダー１４の高さ位置、傾きを検知する検知部である。検知部７０は、たとえばレーザ光をスライダー１４に照射してスライダー１４の傾き等を検知するように構成することができる。７２はスライダー１４の傾き等の検知結果に基づいてマイクロメータ６０を駆動し、スライダー１４を所定配置にセットする制御部である。マイクロメータ６０は試験機本体１０に固定された搭載ベース板２４ａとアーム部２２との間に作用ロッド６０ａを係合させ、個々のマイクロメータ６０の作用ロッド６０ａの突出長を調節することによってアーム部２２の高さ位置、傾きを調節し、スライダー１４の位置を調節することができる。検知部７０はマイクロメータ６０を駆動し、調節結果をフィードバックすることによって正確にスライダー１４の位置調整をすることができる。
【００３６】
このようにスライダー１４の位置情報を制御部にフィードバックしてスライダー１４のセット位置を調節する方法によれば、個々のアーム部２２やセットプレート２０等の位置ずれやばらつきを解消して、正確にスライダー１４をセットすることができるという利点がある。
なお、本実施形態では位置調節機構としてマイクロメータ６０を使用したが、マイクロメータ以外に、たとえばサーボモータによって調節ねじを駆動して調節するといった他の構成によることももちろん可能である。
【００３７】
本実施形態のスライダー試験機によれば、上述したように、被試験体のスライダーを単体でセットプレート２０に容易に着脱して試験を行うことができ、試験の作業性を向上させることができる。媒体に対するスライダーの浮上量を実機に搭載したと略同一の条件で設定できることから、スライダーのデータの読み取り／書き込み試験を所要の精度で行うことができてスライダーの良否判定を確実に行うことができる。これによって、良品のスライダーのみをサスペンションに搭載することができ、作業効率を向上させるとともに、製造歩留まりを向上させ、製造工程全体としての製造コストを効果的に削減することが可能になる。
【００３８】
（付記１）　媒体のデータの読み取り／書き込みに使用されるスライダーの機能を試験するスライダー試験機において、
スライダーを単体で着脱可能に支持するとともに、試験時に媒体表面から所定間隔離間させてスライダーを浮上させ、媒体へのデータの読み取り／書き込みが可能にスライダーと検査装置とを電気的に接続するセットプレートが設けられていることを特徴とするスライダー試験機。
（付記２）　前記セットプレートに、スライダーを媒体に対して接離可能に、かつ任意方向に傾動可能に支持すべく、金属板にスリットを形成して作製したジンバルが装着され、
該ジンバルにスライダーを着脱自在に支持する固定ベース部が装着され、
該固定ベース部を前記媒体に向けて付勢する加圧ピンが設けられていることを特徴とする付記１記載のスライダー試験機。
（付記３）　前記セットプレートに、スライダーを媒体に対して一定の押圧力により弾性的に付勢するとともに、任意方向に傾動可能に支持すべく、弾性を備えた金属板にスリットを形成して作製したジンバルが装着され、
該ジンバルに前記スライダーを着脱自在に支持する固定ベース部が装着されていることを特徴とする付記１記載のスライダー試験機。
（付記４）　前記固定ベース部と加圧ピンとの当接部が、滑らかな球面状に形成されていることを特徴とする付記２記載のスライダー試験機。
（付記５）　前記セットプレートが、試験機本体に固定された搭載ベースに着脱自在に装着されるアーム部に装着されていることを特徴とする付記１、２、３または４記載のスライダー試験機。
（付記６）　前記セットプレートが、試験機本体に固定された搭載ベースに加圧ピンを備えたアーム板が装着され、該アーム板に着脱自在に取り付けられたアーム部に装着されていることを特徴とする付記２または４記載のスライダー試験機。
（付記７）　前記搭載ベースの高さ調節機構および／または面方向調整機構が設けられていることを特徴とする付記５または６記載のスライダー試験機。
（付記８）　前記セットプレートに搭載されたスライダーの配置を検知する検知部と、該検知部による検知結果をアーム部の位置調整機構にフィードバックしてスライダーを所定位置に位置合わせする制御部が設けられていることを特徴とする付記５または６記載のスライダー試験機。
（付記９）　前記ジンバル上に、固定ベース部に支持されたスライダーと検査装置とを電気的に接続する配線パターンが設けられていることを特徴とする付記２〜８のいずれか一項記載のスライダー試験機。
（付記１０）　前記固定ベース部に、スライダーの端子が形成された側面が押接されてスライダーと検査装置とを電気的に接続するコンタクトブロックと、
該コンタクトブロックとの間でスライダーを弾性的に挟圧する押さえバネとが設けられていることを特徴とする付記２〜９のいずれか一項記載のスライダー試験機。
（付記１１）　前記コンタクトブロックのスライダーの端子が押接されるコンタクト端子が形成された面に、異方導電性シートが貼付されていることを特徴とする付記１０記載のスライダー試験機。
（付記１２）　押さえバネが、スライダーをコンタクトブロックに向けて押接する押接部を固定ベース部に固定された支点から延出端を自由端として延出して形成され、かつ前記支点と押接部とがＵ形に屈曲したベント部を介して連結されていることを特徴とする付記１０または１１記載のスライダー試験機。
【００３９】
【発明の効果】
本発明に係るスライダー試験機によれば、上述したように、スライダーをサスペンションに搭載したと同様の条件下で単体のスライダーの特性を正確に試験することができ、スライダーの良否を正確に判定することができる。また、スライダー単体でスライダーの良否を判定できることから、スライダーをサスペンションに搭載する作業やサスペンションの製造コストの無駄を省くことができ、製造コストの削減を効果的に図ることが可能になる。また、より高密度化する媒体に対応して製造されるスライダーやサスペンションの製造費用の無駄を省いて、高密度対応のスライダー等の製造コストの削減に役立てることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】スライダー試験機の全体構成を示す説明図である。
【図２】セットプレートでスライダーを支持する構成を示す説明図である。
【図３】ジンバルに設けるスリットの配置例を示す平面図である。
【図４】ジンバルに配線パターンを形成した状態の斜視図である。
【図５】ジンバルに配線パターンを形成した状態の平面図である。
【図６】異方導電性シートを用いてスライダーとコンタクト端子とを接続する状態を示す説明図である。
【図７】固定ベース部にスライダーを搭載した状態の斜視図である。
【図８】押さえバネの構成例を示す説明図である。
【図９】加圧機構部の構成を示す説明図である。
【図１０】セットプレートの他の構成を示す説明図である。
【図１１】搭載ベースにアーム部を着脱可能とした構成を示す説明図である。
【図１２】アーム板にアーム部を着脱可能とした構成を示す説明図である。
【図１３】搭載ベースの高さおよび面方向を調節可能とした構成を示す説明図である。
【図１４】スライダーの面方向を自動調節可能とした構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１０　試験機本体
１０ａ　セット台
１２　媒体
１３　スピンドル
１４　スライダー
１４ａ　端子
２０　セットプレート
２２　アーム部
２４　搭載ベース
２４ａ　搭載ベース板
３０　ジンバル
３２　スリット
３２ａ　内側スリット
３２ｂ　外側スリット
３４　セット部
３５ａ、３５ｂ　吊持部
３６　配線パターン
３７　リブ
３８　接続端子
４０　固定ベース部
４２　コンタクトブロック
４２ａ　コンタクト端子
４４　押さえバネ
４４ａ　支点
４４ｂ　押接部
４４ｃ　ベント部
４６　異方導電性シート
５０　加圧機構部
５１　加圧ピン
５２　コイルスプリング
６０　マイクロメータ
６２　スライドブロック
６８ａ、６８ｂ　調節ねじ
７０　検知部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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