(57)【要約】【課題】  異なる光ディスクそれぞれに対応した、２種類の波長の反射光を、光検出器上のほぼ同一の場所に集光する。【解決手段】  波長λ1のレーザチップ１０１と、波長λ２のレーザチップ１０１の波長（λ1＜λ2）との２種類の光源と、コリメータレンズ２と、ハーフミラー３と、立上げミラー４と、対物レンズ５からなり光ディスク６に光を集光する出射光学系と、光ディスク６からの反射光を、対物レンズ５と、立上げミラー４と、立上げミラー４からの光を透過するハーフミラー３と、集光レンズ８及びシリンドリカルレンズ９とを介して光検出器１０にて受光する検出光学系とから構成された光ピックアップにおいて、補正プリズム７を検出光学系に配置することにより、光ディスク６に対応した２つの波長のそれぞれの反射光が、光検出器１０のほぼ同じ位置に集光する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の波長λ１と、この第１の波長λ１よりも長い第２の波長λ２の光を出射するレーザチップを１つのパッケージに収めた光源と、この光源から出射されるそれぞれの光をコリメータレンズを介して光ディスク上に集光する出射光学系とを具備する光ピックアップにおいて、
前記第１の波長λ１の光線の光軸は、前記コリメータレンズの光軸に一致する位置に配置されており、
前記第２の波長λ２の光線の光軸は、前記コリメータレンズの光軸に対してずれた位置に配置されており、
前記第１の波長λ１と前記第２の波長λ２のそれぞれの発光点の間隔が略１０９μｍであることを特徴とする光ピックアップ。
【請求項２】
前記レーザチップが１つであり、該レーザチップから、前記第１波長のλ１の光と前記第２の波長λ２の光とが出射される請求項１記載の光ピックアップ。
【請求項３】
前記第１の波長λ１が６４５ｎｍであり、前記第２の波長λ２が７８０ｎｍである請求項１記載の光ピックアップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長依存性を有する光ディスクに対し、波長の異なる２種類の光を用いて、情報を記録または再生するように２波長の光を使用する光ピックアップに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光ディスクは、記憶媒体としての大容量化が進んでおり、それに伴い、光ピックアップに用いる光源の短波長化が進められている。一般に、光ディスクの光スポットサイズは、光源の波長に比例しており、光ディスクの容量は、波長の２乗に反比例して増大する。しかし、従来の光ディスクには、光反射率、記録パワーなどに強い波長依存性を持つものが有り、光の波長が他の光ディスクに使用されている光の波長と異なると、その光ディスクに対して情報の再生あるいは記録が行えないという問題がある。従って、１つの光ピックアップを、通常の光ディスクと、大容量化に適した光ディスクとに併用できるようにするためには、通常使用されている波長の光と、その光の波長よりも短い波長の光、例えば、波長７８０ｎｍの光と６４５ｎｍの波長の光を使用して、２種類の光ディスクの情報の再生あるいは記録ができる光ディスク装置が必要である。
【０００３】
図８は、異なる波長の光をそれぞれ出射する２つの光源を有する光ピックアップの一般的な光学的構成を示す概略図である。この光ピックアップは、光源として、２つのレーザチップ２１１及びレーザチップ２１２を有している。一方の、レーザチップ２１１は波長λ1（例えば、６４５ｎｍ）の光を出射し、他方のレーザチップ２１２は波長λ2（例えば、７８０ｎｍ）の光を出射する。レーザチップ２１１から出射した光は、コリメータレンズ２２１によってほぼ平行光とされてハーフミラー２３１にて９０度にわたって屈曲された後に、立上げミラー２４０によって更に９０度にわたって屈曲され、対物レンズ２５０により光ディスク２６０上に集光される。また、他方のレーザチップ２１２から出射された波長λ2の光も同様に、コリメータレンズ２２２によってほぼ平行光とされてハーフミラー２３２にて９０度にわたって屈曲され、ハーフミラー２３１を透過して、立上げミラー２４０によって９０度にわたって屈曲された後に、対物レンズ２５０により光ディスク２６０上に集光される。この集光された光スポットにより、光ディスク２６０に対する情報の再生及び記録が行われる。なお、使用される光の波長は光ディスク２６０の種類によって適宜選択される。
【０００４】
光ディスク２６０によって反射された光は、波長λ1の光及び波長λ2の光のいずれもが、対物レンズ２５０によって再びほぼ平行光とされて、立上げミラー２４０によって９０度にわたって屈曲された後に、ハーフミラー２３１及び２３２を透過した後、集光レンズ２８０によって収束光とされ、シリンドリカルレンズ２９０によって非点収差が与えられて光検出器３００によって受光される。そして、この光検出器３００によって受光される光量に基づいて、情報信号及びサーボ信号が検出される。
【０００５】
しかしながら、このように、異なる波長の光をそれぞれ出射するレーザチップ２１１及びレーザチップ２１２を光源として設けて、それぞれの波長の光に対して２組のコリメータレンズ２２１及び２１２と、ハーフミラー２３１及び２３２とをそれぞれ設ける構成では、収納スペース増加による装置の大型化と、装置の部品数増加によるコスト高を招くという問題がある。
【０００６】
図９は、従来の他の光ピックアップの光学的構成を示す概略図である。光源部４１０は、互いに波長の異なる２種類の光を出射する一対のレーザチップを１つのパッケージに収めて構成されている。一方のレーザチップ４１１が出射する光の波長λ1は６４５ｎｍであり、他方のレーザチップ４１２が出射する光の波長λ2は７８０ｎｍである。これらの２つの光源は使用する２種類の光ディスク４６０に対応して選択的に用いられる。一方の、レーザチップ４１１から出射された波長λ１の光の光線は、コリメータレンズ４２０の光軸に一致しており、コリメータレンズ４２０によってほぼ平行光とされてハーフミラー４３０にて９０度にわたって屈曲された後に、立上げミラー４４０によって更に９０度にわたって屈曲され、対物レンズ４５０により光ディスク４６０上に集光される。これに対して、他方のレーザチップ４１２から出射された波長λ２の光の光線は、コリメータレンズ４２０の光軸に対してずれて出射されており、ハーフミラー４３０にて屈曲された後に、立上げミラー４４０によって更に屈曲され、対物レンズ４５０の光軸に対して傾斜した状態で透過して、光ディスク４６０上に集光される。従って、情報の記録と再生とが行われる異なる種類の光ディスク４６０上の光スポットの位置は、波長λ１の光と波長λ2の光とでは、それぞれ異なる。
【０００７】
光ディスク４６０で反射された波長λ１の光は、対物レンズ４５０によって再びほぼ平行光とされ、立上げミラー４４０によって更に９０度にわたって屈曲され、ハーフミラー４３０を透過した後、集光レンズ４８０により収束光とされ、シリンドリカルレンズ４９０によって非点収差が与えられる。この光は光検出器５００により受光されて、情報信号及びサーボ信号が検出される。他方、光ディスク４６０にて反射された波長λ２の光は、対物レンズ４５０を再び透過して、立上げミラー４４０によって屈曲された後、ハーフミラー４３０を透過する。ハーフミラー４３０を透過した光は、集光レンズ４８０及びシリンドリカルレンズ４９０を透過した後に光検出器５００に受光される。この場合、集光レンズ４８０に入射される光は、集光レンズ４８０の光軸に対して傾斜しており、従って、集光レンズ４８０から出射されて、シリンドリカルレンズ４９０を透過した後に光検出器５００に受光される光スポットの位置は、波長λ１の光のスポット位置とは一致しない。このため、光検出器５００の受光焦点を、一方の波長λ１の光に基づいて調整すると、他方の波長λ２の光に対しては適切な信号が得られなくなるおそれがある。
【０００８】
図９の光ピックアップにおいて、波長λ１の光を出射するレーザチップ４１１と波長λ２の光を出射するレーザチップ４１２の発光点の間隔を１８．６μｍ、コリメータレンズ４２０の焦点距離を２０．７ｍｍ、集光レンズ４８０の焦点距離を２６．０ｍｍとした場合に、光検出器５００にて得られるＦＥＳ（フォーカス誤差信号）の波形を図１０に示す。図１０において、Ｘ軸に対物レンズ４５０の移動量（ｍｍ）が示されており、Ｙ軸にＦＥＳの出力レベルが示されている。波長７８０ｎｍの光の場合は、光スポット中心が光検出器５００の中心より離れるために出カレベルの低下が見られる。ここで、波長λ１の光を出射するレーザチップ４１１と波長λ２の光を出射するレーザチップ４１２の発光点の間隔が１０９μｍになると、光検出器５００の受光エリアの外形が８８μｍ×１２０μｍの条件下では、波長７８０ｎｍの光スポットは受光エリアから外れることになり、情報信号及びサーボ信号を得ることができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述のように、２種類の光源を有する光ピックアップでは、波長λ1の光の光源の光軸をコリメータレンズ４２０の光軸に一致させた場合、波長λ２の光はコリメータレンズ４２０の光軸に対して傾斜状態で出射され、対物レンズ４５０にもその光軸に対して傾斜状態で入射することになる。更に、光ディスク４６０によって反射された波長λ２の光は集光レンズ４８０に傾斜状態で入射するため、光検出器５００上に集光する波長λ２の光スポットは、波長λ１の光スポットの位置とは一致しない。その結果、一方の波長λ１の光で光検出器５００を調整すると、他方の波長λ２の光に対しては精度のよい信号が得られないおそれがある。
【００１０】
本発明はこのような問題を解決するものであり、その目的とするところは、光ディスクに対応した２種類の波長の光の反射光を光検出器上のほぼ同一の場所に集光できる、２波長対応の光ピックアップを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の光ピックアップは、第１の波長λ１と、この第１の波長λ１よりも長い第２の波長λ２の光を出射するレーザチップを１つのパッケージに収めた光源と、この光源から出射されるそれぞれの光をコリメータレンズを介して光ディスク上に集光する出射光学系とを具備する光ピックアップにおいて、前記第１の波長λ１の光線の光軸は、前記コリメータレンズの光軸に一致する位置に配置されており、前記第２の波長λ２の光線の光軸は、前記コリメータレンズの光軸に対してずれた位置に配置されており、前記第１の波長λ１と前記第２の波長λ２のそれぞれの発光点の間隔が略１０９μｍであることを特徴とする。
【００１２】
前記レーザチップが１つであり、該レーザチップから、前記第１波長のλ１の光と前記第２の波長λ２の光とが出射される。
【００１３】
前記第１の波長λ１が６４５ｎｍであり、前記第２の波長λ２が７８０ｎｍである。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明の光ピックアップは、波長の異なる２種類の光源を有する光ディスクの装置において、光ディスクに対応した２種類の波長の反射光を光検出器上のほぼ同一の場所に集光することができる。本発明の光ピックアップは、１種類の光源を有する光ピックアップの検出光学系に、新たに補正プリズムを配置すればよく、従って、製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【００１６】
図１は、本発明の光ピックアップの光学的構成を示す概略図である。この光ピックアップは、光に対応した２種類の光ディスク６のいずれにも適用できるように、異なる波長の２種類の光を出射する光源１を有している。図２は光源１の概略構成図である。光源１は、波長λ１の光を出射するレーザチップ１０１と、波長λ２の光を出射するレーザチップ１０２とを有している。波長λ１及び波長λ2は、互いに異なる波長であって、例えば、波長λ１は６４５nm、波長λ２は７８０ｎｍである。光ディスク６が波長依存性を有する場合には、短い波長λ１の光を出射するレーザチップ１０１が動作され、波長λ２の光を出射するレーザチップ１０２は動作されない。また、他の通常の光ディスク６に対しては、λ２の光を出射するレーザチップ １０２が動作され、波長λ１の光を出射するレーザチップ１０１は動作されない。
【００１７】
波長λ１のレーザチップ１０１はコリメータレンズ２の光軸上に配置されており、レーザチップ１０１から出射される光線とコリメータレンズ２の光軸とが一致している。レーザチップ１０１から出射された波長λ1の光は、コリメータレンズ２によってほぼ平行光とされ、ハーフミラー３にて９０度にわたって屈曲された後に、立上げミラー４によって更に９０度にわたって屈曲され、対物レンズ５によって光ディスク６上に集光される。この集光された光スポットによって光ディスク６に対して情報の再生及び記録が行われる。
【００１８】
光ディスク６にて反射された光は、対物レンズ５により再びほぼ平行光とされ、立上げミラー４によって９０度にわたって屈曲され、ハーフミラー３を透過した後、補正プリズム７によって屈曲される。補正プリズム７によって屈曲された光は、集光レンズ８によって集光されて、シリンドリカルレンズ９によって非点収差が与えられて、光検出器１０にて受光される。
【００１９】
波長λ２の光を出射するレーザチップ１０２は、出射される光の光線がコリメータレンズ２の光軸に対してずれた位置に配置される。そのため、波長λ２の光線は、コリメータレンズ２の光軸とは一致せず、ハーフミラー３で屈曲されて、立上げミラー４によって更に屈曲されると、対物レンズ５をその光軸に対して傾斜した状態で光ディスク６上に集光される。従って、波長λ１の光と波長λ2の光とによって、光ディスク６における異なる位置に、それぞれの情報の記録及び再生が行われることになる。光ディスク６にて反射された波長λ２の光は、対物レンズ５を再び透過した後、立上げミラー４によって屈曲されて、ハーフミラー３を透過した後に補正プリズム７に出射される。補正プリズム７に出射された光は、補正プリズム７によって屈曲されて、集光レンズ８によって集光されて、シリンドリカルレンズ９によって非点収差が与えられて、光検出器１０にて受光される。光検出器１０にて受光された光スポットの位置が、波長λ１の光と波長λ2の光とでほぼ一致するように補正プリズム７が配置される。
【００２０】
このような構成の光ピックアップにおいて、光源１を光源とし、光源１から出射された光により光ディスク６に対して情報の再生及び記録が行われる一連の光学系を出射光学系とし、光ディスク６によって反射された光が光検出器１０にて受光されるまでの一連の光学系を検出光学系とすると、補正プリズム７は検出光学系に配置されている。
【００２１】
このように、本実施の形態の光ピックアップでは、波長の異なる２つの光を、光検出器１０上のほぼ同じ位置に集光するために、検出光学系のハーフミラー３と集光レンズ４との間に補正プリズム７が配置されている。従って、出射光学系において、各波長λ１及び波長λ2の光は補正プリズム７によって影響されず、各光ディスク６上の所定位置に光スポットをそれぞれ確実に形成することができる。これに対して、補正プリズム７を、光源１から出射された光を光ディスク６に集光させる出射光学系に配置した場合、収差の発生等により光ディスク６上に集光される光スポットが乱れ、情報信号、サーボ信号などを正確に検出できないおそれが有る。
【００２２】
補正プリズム７を構成する光学ガラスの屈折率は、光の波長に対して変化し、光の波長が小さくなるほど光学ガラスの屈折率は大きくなる。このために、補正プリズム７は、短波長であるλ１の光が長波長のλ２の光に接近するように配置される。例えば、レーザチップ１０１及び１０２の発光点の間隔が、１８．６μｍの場合、コリメータレンズ２の焦点距離を２０．７ｍｍ、補正プリズム７の硝材をＳＦ１１、レーザチップ１０１から出射される光の波長λ１を６４５ｎｍ、レーザチップ１０２から出射される光の波長λ２を７８０ｎｍとすれば、波長λ１の光に対する補正プリズム７の屈折率は１．７７７２１であり、波長λ２の光に対する補正プリズム７の屈折率は１．７６５９５であることから、補正プリズム７の頂角を４．５６°とすることにより、光検出器１０上にて各波長の光スポットをほぼ一致させることができる。このときの６４５ｎｍの波長λ１と７８０ｎｍの波長λ２の光によるＦＥＳ波形を図３に示す。図３のＦＥＳ波形では、Ｘ軸に対物レンズ５の移動量（ｍｍ）、Ｙ軸にＦＥＳ出力レベルがそれぞれ示されている。図３では、波長６４５ｎｍと波長７８０ｎｍの両光において、ＦＥＳ波形の出力レベルは十分高くなっており、しかも、両波長の光において対物レンズ５の移動量に対する出力レベルはほぼ一致している。
【００２３】
２波長の発光点の間隔が広がり、例えば、発光点の間隔が１０９μｍの場合でも、コリメータレンズ２の焦点距離を２０．７ｍｍ、補正プリズム７の硝材をＳＦ１１、波長λ１を６４５nm、波長λ２を７８０ｎｍとすれば、波長λ1の光の屈折率は１．７７７２１であり、波長λ２の屈折率は１．７６５９５なので、補正プリズム７の頂角を２５．０５度とすれば、光検出器１０上での２波長の光スポットをほぼ一致させることができる。
【００２４】
図４は、補正プリズム７における入射角度と偏角（入射光線と出射光線との間の角）の関係を示すグラフである。図４においてＸ軸には波長λ１（６４５ｎｍ）の光の入射角度を示し、Ｙ軸に補正プリズム７の偏角を示している。補正プリズム７は、入射角度が２２度のときに偏角がほぼ最小の２０度（最小偏角）となっている。従って、波長λ１（６４５ｎｍ）の光の場合、補正プリズム７ヘの光の入射角度を２２度前後にすれば、偏角は、ほぼ２０度になり、光の入射角度に対する依存性が低くなるので、装置の光学部品の配置に許容幅ができ、特に、短波長の光を扱うために配置公差を小さくする必要がある光学部品でも、設計が比較的容易になるという利点がある。
【００２５】
図５は、光源１の他の例を示す概略構成図である。光源１は波長λ１及び波長λ２の異なる光を出射する１つのレーザチップ１７を有している。このレーザチップ１７における２波長の光の発光点の間隔が狭いために、補正プリズム７による光の偏角を小さくすることができる。補正プリズム７の頂角は例えば、４．５６度とされる。すなわち、２波長の光の発光点の間隔が短くなっていることにより、補正プリズム７による補正量が小さくなり、補正プリズム７の光の偏角の変動などの影響も少なく、従って、光検出器１０上での各光スポットの位置合わせが容易になる。
【００２６】
図６（ａ）は、光検出器１０の構成を示している。光検出器１０の受光部１５は、全体が正方形に構成されており、しかも、相互に対向する各辺の中点同士を結んだ一対の受光部分割線１４によって、４つの正方形の分割領域１５ａ〜１５ｄが形成されている。そして、一方の受光部分割線１４が、補正プリズム７による波長λ１及び波長λ２の光の偏向方向に沿って形成されている。受光部１５の各分割領域１５ａ〜１５ｄは、光スポット１６を受光した際のそれぞれの光量に応じた信号を出力する。分割領域１５ａ〜１５ｄの出力信号をそれぞれＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄすると、フォーカス誤差信号は｛（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）｝によって表される。
【００２７】
例えば、半導体レーザによって構成されたレーザチップ１０１及び１０２は、稼働時の温度により、その波長が０．２ｎｍ／℃で変動することが知られているが、この波長変動により補正プリズム７における光の偏角が変化し、最終的に、光検出器１０上での光スポット位置が変化する。その結果、非点収差法などにより得られるフォーカス誤差信号にオフセットが生じる場合がある。
【００２８】
しかしながら、図６（ａ）に示すように、光検出器１０の受光部１５の一方の受光部分割線１４を補正プリズム７による光の偏向方向に沿うように配置することにより、光源１から出射される光の波長変動等によって補正プリズム７での光の偏角が変化しても、光スポット１６は、受光部分割線１４に沿ってずれるために、フォーカス誤差信号がオフセット状態になるおそれがなく、正確なフォーカス誤差信号が得られる。すなわち、補正プリズム７での光の偏角が変化した場合にも、光スポット１６は受光部分割線１４に沿ってずれるために、一方の対角位置の一対の分割領域１５ａ及び１５ｄ出力信号の和（Ａ＋Ｄ）と、他方の対角位置の一対の分割領域１５ｂ及び１５ｃ出力信号の和（Ｂ＋Ｃ）との割合が変化しない。
【００２９】
図６（ｂ）は、オフセット状態にないフォーカス誤差信号と光ディスク６に対する対物レンズ５の移動量との関係を示すグラフである。
【００３０】
図７（ａ）は、光検出器の受光部１５における受光部分割線１４が補正プリズム７の光の偏向方向に対して４５度傾斜した場合を示す。光源１から出射される光の波長変動等によって補正プリズム７での光の偏角が変化すると、光スポット１６は、受光部分割線１４に対して傾斜してずれるために、分割領域１５ａ及び１５ｄ出力信号の和（Ａ＋Ｄ）と、分割領域１５ｂ及び１５ｃ出力信号の和（Ｂ＋Ｃ）との割合に変化が生じ、フォーカス誤差信号がオフセット状態になり、正確なフォーカス誤差信号が得られない。
【００３１】
図７（ｂ）は、オフセット状態にあるフォーカス誤差信号と光ディスク６に対する対物レンズ５の移動量との関係を示すグラフである。
【００３２】
従って、図６（ａ）のように、光検出器１０の受光部分割線１４を、補正プリズム７による光の偏向方向、すなわち、光検出器１０上での光スポット移動方向１３とほぼ同じ方向にした場合、フォーカス誤差信号にオフセットが入らず、光検出器１０にて正確にフォーカス誤差信号を検出することができる。従って、本発明の光ピックアップの光検出器１０の受光部分割線１４の方向は、補正プリズム７による偏向方向とほぼ同じ方向にすることが好ましい。
【００３３】
また、図１において、光源１内にある、より短い波長λ１のレーザチップ１０１をコリメータレンズ２の光軸上に配置することにより、短い波長λ１の光の光線がコリメータレンズ２の光軸に一致し、対物レンズ５に対して短い波長λ１の光を理想的な状態で入射させることができるから、光ディスク６上に良好な光スポットを形成することができる。すなわち、光ディスク容量の拡大に適したより短い波長λ１の光を、コリメータレンズ２及び対物レンズ５に理想的な状態で入射させることにより、径が小さく精度の厳しい光スポットを、光ディスク６上に高精度で得ることができるので、高容量の光ディスクの機能を十分発揮させることができる。
【００３４】
従って、本発明の光ピックアップは、出射光学系にあるコリメータレンズ２の光軸が、より短い波長の光線に一致していることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の光ピックアップの実施の形態の光学的構成を示す概略図である。
【図２】その光ピックアップに使用される２チップレーザからなる２波長レーザを示す概略図である。
【図３】図１に示す本発明の光ピックアップのＦＥＳ波形を示すグラフである。
【図４】硝材ＳＦ１１、波長６４５ｎｍ、プリズム角度２５．０５°の場合のプリズムの偏角の入射角度依存性を示すグラフである。
【図５】本発明の光ピックアップに使用される１チップレーザからなる２波長レーザを示す概略図である。
【図６】（ａ）は本発明の光ピックアップにおける光検出器の構成を示す概略図、（ｂ）はその光検出器のフォーカス誤差信号を示すグラフである。
【図７】（ａ）は光検出器の構成の他の例を示す概略図、（ｂ）はその光検出器のフォーカス誤差信号を示すグラフである。
【図８】従来の光ピックアップの一般的な光学的構成を示す概略図である。
【図９】従来の他の光ピックアップの光学的構成を示す概略図である。
【図１０】図９に示す光ピックアップのＦＥＳ波形を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３６】
１      光源
２      コリメータレンズ
３      ハーフミラー
４      立上げミラー
５      対物レンズ
６      光ディスク
７      補正プリズム
８      集光レンズ
９      シリンドリカルレンズ
１０    光検出器
１０１  レーザチップ
１０２  レーザチップ
１３    光スポット移動方向
１４    受光部分割線、
１５    受光部
１５ａ  分割領域
１５ｂ  分割領域
１５ｃ  分割領域
１５ｄ  分割領域
１６    光スポット
１７    レーザチップ
２１１  レーザチップ
２１２  レーザチップ
２２１  コリメータレンズ
２２２  コリメータレンズ
２３１  ハーフミラー
２３２  ハーフミラー
２４０  立上げミラー
２５０  対物レンズ
２６０  光ディスク
２８０  集光レンズ
２９０  シリンドリカルレンズ
３００  光検出器
４１０  光源部
４１１  レーザチップ
４１２  レーザチップ
４２０  コリメータレンズ
４３０  ハーフミラー
４４０  立上げミラー
４５０  対物レンズ
４６０  光ディスク
４８０  集光レンズ
４９０  シリンドリカルレンズ
５００  光検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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