(57)【要約】【課題】振動子を挿入する貫通穴が高密度に形成され、貫通穴に対応する位置に形成された加圧室に高い剛性を確保することが可能なハウジングを備えたインクジェットプリントヘッドの提供。【解決方法】ハウジングの上面に長手方向に延びる第１の溝を形成し、下面には幅方向に延びる複数の第２の溝を形成することにより、第１の溝と第２の溝が交差する部分に貫通穴が形成される。かかる構成を有するハウジングの下面を振動板へ接着すると、貫通穴の側壁を形成する肉薄部が振動板に接着されるので、加圧室の剛性を高くできる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを蓄える複数の加圧室が第１の方向に列状に形成されたチャンバプレートと、
該チャンバプレートに接着された振動板と、
第１の面が該振動板に接着され、該振動板を挟んで該加圧室に対向する位置に複数の貫通孔が形成されたハウジングと、
該貫通孔に収容され、一端が該振動板に接着された複数の振動子とを備え、
前記ハウジングの第１の面には、前記複数の加圧室に対応する位置に、第１の方向に垂直の第２の方向に延びる第１の溝が複数個形成されており、
第１の面に対向する第２の面には、前記複数の加圧室に対応する位置に、第１の方向に延びる第２の溝が形成されており、第１の溝と第２の溝が交差する部分に前記貫通孔が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記貫通孔を除く前記第１の溝には樹脂が埋められており、前記第１の面と該樹脂は同一平面を形成していることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記ハウジングの第１の溝はダイサーによって形成されることを特徴とする請求項又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ハウジングの第１の溝はワイヤソーによって形成されることを特徴とする請求項１乃３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４記載のインクジェットが複数個配列されてなるヘッドユニットを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項６】
長手方向に配列された複数の加圧室が形成されたインクジェットヘッドに使用されるハウジングを形成するハウジング形成方法であって、
前記長手方向に延びる第１の溝を第１の面に形成するステップと、
前記複数の加圧室に対応する位置に前記長手方向と垂直の幅方向に延びる複数の第２の溝を、該第１の面と対向する第２の面に形成することによって、第１の溝と第２の溝が交差する部分に複数の貫通孔を形成するステップと、を備えることを特徴とするハウジング形成方法。
【請求項７】
前記貫通孔の部分を除く第２の溝に樹脂を埋め込むステップと、第１の面を研磨して第１の面と該樹脂により同一平面を形成するステップとを更に備えることを特徴とする請求項６記載のハウジング形成方法。
【請求項８】
長手方向に配列された複数の加圧室が形成されたインクジェットヘッドに使用されるハウジングを形成するハウジング形成方法であって、
原盤の第１の面に前記長手方向に延びる溝を形成することにより、肉薄部を形成するステップと、
該溝が形成された肉薄部に、複数の貫通孔を所定ピッチで穿孔するステップと、
を備えることを特徴とするハウジング形成方法。
【請求項９】
前記貫通孔は、前記溝の内側に配置され複数の孔が所定ピッチで形成された金型と、前記第１の面と反対側の第２の面側に配置されたパンチと、を用いて穿孔されることを特徴とする、請求項８記載のハウジング形成方法。
【請求項１０】
インクを蓄える複数の加圧室が長手方向に列状に形成されたチャンバプレートと、
該チャンバプレートに接着された振動板と、
第１の面が該振動板に接着され、該振動板を挟んで該加圧室に対向する位置に複数の貫通孔が形成されたハウジングと、
該貫通孔にそれぞれ収容され一端が該振動板に接着された複数の振動子と、を備えるインクジェットヘッドであって、
前記ハウジングは請求項８または９記載のハウジング形成方法で形成されたハウジングであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は高密度ノズルを実現するインクジェットヘッド用のハウジング形成方法と、該ハウジング形成方法によって形成されたハウジングを備えるインクジェット及びインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェットヘッドの一例を図１２に示す。このインクジェットヘッドでは、圧電素子等の振動子２２５を駆動させてフット２２４を矢印方向へ振動させることにより、圧力室２００内のインクに圧力を加え、オリフィス２０２からインク滴を吐出させるように構成されている。この種のヘッドは、低電圧駆動及びある程度まではノズルの高密度化が可能で、優れた吐出特性を備えている。
しかしながら、個々のフット２２４が挿入されるハウジング２０６の貫通孔２０６ａが機械加工で形成されるため、更なる高密度化が難しい（例えば、参考文献１）。
【０００３】
この問題を解決するため、振動子のための貫通孔を複数個形成する代わりに、一つの長穴を形成してインクジェットヘッドを形成する方法が提案されている（例えば、参考文献２）。この場合、機械加工により個々に小さな穴加工を施す必要がないため、ノズルの更なる高密度化が可能である。
【０００４】
【参考文献１】
特開昭５８−１１９８７２号公報
【参考文献２】
特許第３１８５３７２号
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一つの長穴を形成してインクジェットヘッドを形成する構成では、加圧室と加圧室とを仕切る側壁がハウジングに接着されないため、振動子を駆動させることにより加圧室が変形してノズル間で干渉が発生し、速度ばらつき等による吐出特性の低下が問題となっていた。
【０００６】
そこで本発明は、高密度に実装された加圧室の剛性を高めてインク吐出特性の低下を防ぐインクジェットヘッド、記録装置、及びハウジングの製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明によるインクジェットヘッドは、インクを蓄える複数の加圧室が第１の方向に列状に形成されたチャンバプレートと、該チャンバプレートに接着された振動板と、第１の面が該振動板に接着され、該振動板を挟んで該加圧室に対向する位置に複数の貫通孔が形成されたハウジングと、該貫通孔に収容され、一端が該振動板に接着された複数の振動子とを備え、前記ハウジングの第１の面には、前記複数の加圧室に対応する位置に、第１の方向に垂直の第２の方向に延びる第１の溝が複数個形成されており、第１の面に対向する第２の面には、前記複数の加圧室に対応する位置に、第１の方向に延びる第２の溝が形成されており、第１の溝と第２の溝が交差する部分に前記貫通孔が形成されていることを特徴としている。
【０００８】
かかる構成によれば、加圧室に対応する位置に微細な貫通孔が容易に精度よく形成される。また、隣接する貫通孔の間に位置する側壁が振動板に接着されるので、貫通孔に対向する位置に形成された加圧室の剛性が高くなる。さらに、第１の溝と第２の溝を形成することにより複数の貫通孔が形成されているので、個別に穴加工を施すことなく貫通孔を形成できる。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のインクジェットヘッドであって、前記貫通孔を除く前記第１の溝には樹脂が埋められていて、該第１の面と該樹脂は同一平面を形成していることを特徴としている。かかる構成によれば、隣接する貫通孔の間に位置する側壁だけでなく、貫通孔の周囲全体が振動板に接着されるため、加圧室の剛性が最大になる。なお、前記第１の溝はダイサー又はワイヤソーによって形成されるのが好ましい。係る構成によれば、高密度の貫通孔が容易に形成される。
【００１０】
請求項５記載のインクジェット記録装置は、請求項１乃至４記載のインクジェットが複数個配列されてなるヘッドユニットを備えることを特徴としている。係る構成によれば、剛性の高い加圧室が形成されたインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供できる。
【００１１】
請求項６記載のハウジング形成方法は、長手方向に配列された複数の加圧室が形成されたインクジェットヘッドに使用されるハウジングを形成するハウジング形成方法であって、前記長手方向に延びる第１の溝を第１の面に形成するステップと、前記複数の加圧室に対応する位置に前記長手方向と垂直の幅方向に延びる複数の第２の溝を、該第１の面と対向する第２の面に形成することによって、第１の溝と第２の溝が交差する部分に複数の貫通孔を形成するステップとを備えることを特徴としている。かかる構成によれば、微細な貫通孔が容易に精度よく形成される。また、ハウジングの第１の面を振動板に接着したとき、貫通孔の両側が振動板に接着されるので、加圧室の剛性が高くなる。さらに、第１の溝と第２の溝を形成することにより複数の貫通孔が形成されているので、個別に穴加工を施すことなく貫通孔が形成される。
【００１２】
請求項７記載の発明は、請求項６記載のハウジング形成方法であって、前記貫通孔の部分を除く第２の溝に樹脂を埋め込むステップと、第１の面を研磨して第１の面と該樹脂により同一平面を形成するステップとを更に備えることを特徴としている。かかる構成によれば、貫通孔の両側だけでなく、貫通孔の周囲全体が振動板に接着されるので、加圧室の剛性が最大になる。
【００１３】
請求項８記載の発明は、長手方向に配列された複数の加圧室が形成されたインクジェットヘッドに使用されるハウジングを形成するハウジング形成方法であって、原盤の第１面に前記長手方向に延びる溝を形成することにより肉薄部を形成するステップと、該溝が形成された肉薄部に、複数の貫通孔を所定ピッチで穿孔するステップとを備えることを特徴としている。かかる構成によれば、微細な貫通孔が容易に精度よく形成される。また、ハウジングの第１の面を振動板に接着したとき、貫通孔の両側が振動板に接着されるので、加圧室の剛性が高くなる。
【００１４】
請求項９記載の発明は、請求項８記載のハウジング形成方法であって、前記貫通孔は、前記溝の内側に配置され複数の孔が所定ピッチで形成された金型と、前記第１の面と反対側の第２の面側に配置されたパンチと、を用いて穿孔されることを特徴としている。かかる構成によれば、貫通孔が容易に形成される。
【００１５】
請求項１０記載の発明は、インクを蓄える複数の加圧室が長手方向に列状に形成されたチャンバプレートと、該チャンバプレートに接着された振動板と、第１の面が該振動板に接着され、該振動板を挟んで該加圧室に対向する位置に複数の貫通孔が形成されたハウジングと、該貫通孔にそれぞれ収容され一端が該振動板に接着された複数の振動子と、を備えるインクジェットヘッドであって、前記ハウジングは請求項８または９記載のハウジング形成方法で形成されたハウジングであることを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態によるインクジェットヘッドを用いたインクジェット記録装置について説明する。
【００１７】
図１に示すように、インクジェット記録装置１００は、筺体３０と、ヘッドベース３１とを備える。図示しないが、筺体３０の内部にはロール紙搬送装置や制御装置が収納されていて、筺体３０の裏側にはロール紙供給装置が配置されている。ロール紙搬送装置はロール紙供給装置から供給されるロール紙３３を矢印方向に搬送する。
【００１８】
筺体３０の上部には左右フレーム３９、４０が形成され、フレーム３９、４０の間にはロッド３７、３８が設けられている。ロッド３７、３８には支持体３５、３６が摺動可能に支持されている。ヘッドベース３１は支持体３５，３６に取付けられている。また、ヘッドベース３１には４個のヘッドユニット３２が搭載されている。かかる構成により、支持体３５、３６をロール紙３３の幅方向に摺動させることによってヘッドユニット３２をヘッドクリーニング機構４０の位置まで移動させることができる。
【００１９】
４個のヘッドユニット３２には、図示しないインクタンクからシアン、マジェンタ、イエロー、ブラックのインクが４本のインク供給管３４を介して供給される。また、各ヘッドユニット３２はロール紙３３の幅方向に配列された図２に示すインクジェットヘッド３２Ａを複数個（例えば２０個）備えている。
【００２０】
図２に示すように、各インクジェットヘッド３２Ａは、下から順に層状に貼り合わされたオリフィスプレート１３と、加圧室プレート１２と、リストリクタプレート１１と、振動板３と、支持板１４と、フィルタプレート１６と、ハウジング１５とを有する。オリフィスプレート１３には複数個（図２には１個だけ示す）のオリフィス１が形成されている。加圧プレート１２にはオリフィス１を開口端とする複数の加圧室２が形成され、リストリクタプレート１１には複数のリストリクタ７が形成されている。フィルタプレート１６はフィルタ９を形成するものである。ハウジング１５の開口部１７には振動子としての圧電素子４が挿入されている。圧電素子４の一端はシリコン接着剤等の弾性を有する接着剤１０により振動板３に連結されていて、圧電素子４の他端は圧電素子固定板６に固定されている。圧電素子固定板６の側面から圧電素子４の側面にかけて１対の信号入力端子５ａ、５ｂが設けられていて、信号入力端子５ａと５ｂの間に電位差が印加されると圧電素子４は伸縮し、信号入力端子５ａと５ｂ間に電位差が無くなれば伸縮前の形に戻るように構成されている。ハウジング１５には更に共通インク流路２０が形成されていて、その内部にはインクが共通インク流路２０から外部へ漏れ出さないようにインク供給管８が設けられている。支持板１４は振動板３を補強するものである。
【００２１】
これら構成要素のうち、オリフィス１、加圧室２，リストリクタ７，圧電素子４等によりノズル５０が構成されており、本実施の形態における各インクジェットヘッド３２Ａには合計１２８個のノズル５０が形成されている。これら１２８個のノズル５０はハウジング１５の長手方向Ｌ（図３）、つまり図２の紙面に対し垂直な方向に配列されている。
【００２２】
振動板３、リストリクタプレート１１、加圧室プレート１２、支持板１４は、例えばステンレス材から作られ、オリフィスプレート１３はニッケル材あるいはステンレス材から作られている。また、圧電素子固定板６は、セラミックス，ポリイミドなどの絶縁物から作られている。ハウジング１５はステンレス鋼（ＳＵＳ）で作られている。
【００２３】
かかる構成において、インクは図示しないインクタンクから共通インク流路２０へ供給され、フィルタ９を介して各リストリクタ７へ分配される。リストリクタ７はインクの流入を制御しながら加圧室２及びオリフィス１へインクを供給する。信号入力端子５ａと５ｂの間に電位差が印加されると圧電素子４が伸縮し、これによって加圧室２内のインクに圧力が加わり、オリフィス１からインク滴が吐出される。吐出されたインク滴はロール紙３３に着弾し、画像を形成する。
【００２４】
図３にハウジング１５の斜視図を示す。ハウジング１５の上面１５ｂには長手方向Ｌに延びる溝１７が形成されていて、振動板３と接着される下面１５ａには加圧室２と対向する位置に幅方向Ｗに延びる複数の溝１８が形成されている。溝１７と溝１８が交差する部分には圧電素子４を挿入するための貫通孔１９が形成されている。また、溝１７と平行にハウジング１５を厚さ方向Ｔに貫通する共通インク流路２０が形成されている。
【００２５】
次にハウジング１５の製作工程を図４を参照して説明する。まず、図４（ａ）に示すように、厚さ１０ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる原盤を用意し、共通インク流路２０としての貫通孔を形成すると共に、上面１５ｂに幅２ｍｍ、深さ７ｍｍの溝１７を形成する。次に図４（ｂ）に示すように、下面１５ａの加圧室２に対応する位置に深さ３．５ｍｍの溝１８を０．３３８ｍｍピッチで１２８個形成する。溝１８は０．２ｍｍ幅のブレードを用いたダイサー又はワイヤソーにより形成される。このように溝１７と溝１８とをハウジング１５の両面１５ｂ、１５ａに形成することにより、溝１７と溝１８が交差する部分には、ハウジング１５を厚さ方向Ｔに貫通する幅０．２５ｍｍ、長さ２ｍｍの貫通孔１９が形成される。
【００２６】
次に図４（ｃ）に示すように下面１５ａを研磨して、貫通孔１９を形成する周囲の薄肉部（側壁）２１の厚さを１ｍｍ、平面度を５ミクロンに仕上げる。なお、薄肉部２１の厚さは振動子４の長さより薄ければ１ｍｍでなくても良い。また、平面度は振動子４と振動板３のギャップに影響するため１０ミクロン以下が好ましい。
【００２７】
ハウジング１５をこのように製造し、ハウジング１５の振動板３と接着される下面１５ａにスプレー、転写等の一般的な方法で接着剤を塗布することにより、図２に示すように、リストリクタプレート１１の一部である加圧室２の側壁が振動板３を介してハウジング１５の一部である薄肉部２１に接着されるため、加圧室２の剛性が高まり、ノズル間の干渉を抑えることができる。本発明者等は前記構成を有するインクジェットヘッド３２Ａの同時駆動ノズル本数がインク吐出速度に与える影響について調べるための実験を行った。その実験結果を図５に示す。
【００２８】
図５より、同時に吐出を行うノズル５０の本数が増加してもインク吐出速度の変動が少なく、良好なインク吐出特性が得られることがわかる。これは、前述のように加圧室２の側壁が振動板３を介して薄肉部２１に接着されるため、加圧室２の剛性が高まり、ノズル間の干渉が抑えられているためである。
【００２９】
次に、本発明の第２の実施の形態によるインクジェットヘッドについて説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッドは図６に示すハウジング１１５を備える点で前記第１の実施の形態におけるものと異なる。ハウジング１１５は前述のハウジング１５と類似するものであるが、ハウジング１１５の貫通孔１９部分を除く溝１８に樹脂２２が詰められている点で異なっている。このように構成することにより、貫通孔１９の４辺全てが振動板３と接着されるため、加圧室２の剛性がさらに増加し、ノズル５０間の干渉に起因する速度ばらつきを更に低下することができる。また、共通インク通路２０のエッジ部が同一平面状で振動板３と接着されるため、インク供給管８を設けなくても十分な剛性を得ることができる。
【００３０】
次にハウジング１１５の製作工程について図７を参照して説明する。先ず、図７（ａ）、図７（ｂ）に示すように、ハウジング１５と同様の方法により厚さ１０ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる原盤を用意し、共通インク流路２０としての貫通孔を形成すると共に、上面１５ｂに溝１７を、下面１５ａに複数の溝１８を形成する。次に、図７（ｃ）に示すように貫通孔１９部分を除く溝１８にエポキシ樹脂などの樹脂２２を詰め込んで１５０℃に加熱して熱硬化を行う。そして図７（ｄ）に示すように下面１５ａの研磨を行い、貫通孔１９周囲の薄肉部２１の厚さを１ｍｍとし、且つハウジング１１５と樹脂２２を同一平面とする。
樹脂２２としてはエポキシ樹脂、例えばアラルダイトスタンダード（チバガイギー製）を用いることができるが、材料はこれに限定されない。また、樹脂の硬化方法は材料の種類に応じて適合する硬化方法が選択される。
【００３１】
次に、本発明の第３の実施の形態によるインクジェットヘッドについて説明する。本実施の形態によるインクジェットヘッドは、図８に示すハウジング２１５を備える点で前記第１の実施の形態におけるものと異なる。ハウジング２１５には、前述のハウジング１５と同様に、溝１７及び共通インク流路２０が形成されているが、ハウジング２１５の貫通孔１９は図９に示すようなパンチ６０によって形成される。より具体的には、図１０（ａ）、図１０（ａ’）に示すように、まず厚さ１０ｍｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる原盤を用意し、共通インク流路２０としての貫通孔を形成すると共に、上面１５ｂに深さ７ｍｍの溝１７を形成して薄肉部２１を形成する。次に、複数の溝６２が所定のピッチで予め形成されている下金型６１に、ハウジング１５を下面１５ａを上にして配置し、パンチ６０によって薄肉部２１に貫通孔１９を形成する。所定数の貫通孔１９を形成した後、下金型６１から外し、研磨等の仕上げを施すことにより、図１０（ｃ）、図１０（ｃ’）に示すようにハウジング２１５が完成する。このように、パンチ６０及び下金型６１を用いることにより、ハウジング２１５をより簡単に形成することができる。
【００３２】
なお、パンチによる穴あけは、複数個同時に行っても良い。より具体的には、図１１（ａ）、図１１（ｂ）に示すように、前述の方法で薄肉部２１が形成されたステンレス鋼（ＳＵＳ）を下金型６１に設置し、複数のパンチ６１を用いて奇数番目の貫通孔１９を形成する。次に、図１１（ｃ）に示すようにパンチ６１をずらして偶数番目の貫通孔１９を形成する。その後、研磨等の仕上げを行うことにより図１１（ｄ）に示すようなハウジング２１５が完成する。このように一度に複数個の貫通孔１９を形成することで、加工時間の短縮を図ることができ、また、貫通孔１９形成時の応力による寸法ずれを抑えることができ、寸法精度が向上する。
【００３３】
本発明のインクジェット記録装置は前述した実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載した範囲で種々の変形や改良が可能である。例えば、本発明は前述のインクジェット記録装置のほか、汎用の小形のインクジェット記録装置や産業用のディスプレイ製造装置等のディスペンサーにも応用できる。また、ハウジングの厚さや溝の深さ等は前記具体的寸法に限定されない。
【００３４】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、加圧室に対応する位置に微細な貫通孔が容易に精度よく形成されるので、高密度のノズルを備えたプリンタヘッドを容易に製造できる。また、隣接する貫通孔の間に位置する側壁が振動板に接着されることによって加圧室の剛性が高くなるので、ノズル間の干渉を防ぐことができ、かかる干渉に起因するインク吐出速度等の低下に伴う画像低下を防止することができる。更に、第１の溝と第２の溝を形成することにより、個別に穴加工を施すことなく複数の貫通孔を形成できるので、ノズルの高密度化を容易に実現できる。
【００３５】
請求項２記載の発明によれば、貫通孔の周囲全体が振動板に接着されることによって加圧室の剛性が最大になるので、ノズル間の干渉をより一層効果的に防止することができ、画像低下を防止して良好な画像形成の実行が可能になる。第１の溝をダイサー又はワイヤソーによって形成すれば、高密度の貫通孔を容易且つ安価に形成できる。
【００３６】
請求項５記載の発明によれば、請求項１乃至４記載のインクジェットヘッドを備えているので、前述の効果を備えたインクジェット記録装置を提供できる。
【００３７】
請求項６記載の発明によれば、微細な貫通孔が容易に精度よく形成できるので、ハウジングの製造工程を簡単にできる。また、加圧室の剛性が高くできるので、ノズル間の干渉を防ぐことができ、かかる干渉に起因するインク吐出速度等の低下に伴う画像低下を防止して、良好な画像形成可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供できる。
【００３８】
請求項７記載の発明によれば、貫通孔の両側だけでなく、貫通孔の周囲全体が振動板に接着されるので、加圧室の剛性が最大になり、ノズル間の干渉をより一層効果的に防止して良好な画像形成可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供できる。更に、第１の溝と第２の溝を形成することにより、個別に穴加工を施すことなく複数の貫通孔を形成できるので、ノズルの高密度化を容易に実現できる。
【００３９】
請求項８記載のハウジング形成方法によれば、微細な貫通孔が容易に精度よく形成できるので、ハウジングの製造工程を簡単にできる。また、加圧室の剛性が高くできるので、ノズル間の干渉を防ぐことができ、かかる干渉に起因するインク吐出速度等の低下に伴う画像低下を防止して、良好な画像形成可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供できる。また、請求項９の構成によれば、複数の孔が所定ピッチで形成された金型とパンチとを用いることにより、貫通孔を容易に形成できる。
【００４０】
請求項１０記載の発明は、前記ハウジングは請求項８または９記載のハウジング形成方法で形成されたハウジングを備えているので、請求項８または９と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態によるインクジェット記録装置を示す外観図。
【図２】本発明の実施の形態によるインクジェットヘッドを示す断面図。
【図３】本発明の第１の実施の形態によるハウジングを示す斜視図。
【図４】本発明の第１の実施の形態によるハウジングの製造工程を示す説明図。
【図５】本発明のインクジェットヘッドの液滴速度と駆動ノズル本数の関係を示すグラフ。
【図６】本発明の第２の実施の形態によるハウジングを示す斜視図。
【図７】本発明の第２の実施の形態によるハウジングの製造工程を示す説明図。
【図８】本発明の第３の実施の形態によるハウジングを示す斜視図。
【図９】本発明の第３の実施の形態によるハウジングの製造に用いられるパンチを示す斜視図。
【図１０】本発明の第３の実施の形態によるハウジングの製造工程を示す説明図であって、（ａ）は共通インク流路および溝が形成された状態を示す断面図、（ａ’）は（ａ）に示すハウジングの下面図、（ｂ）はパンチによる貫通孔の形成過程を示す断面図、（ｂ’）は（ｂ）に示すハウジングの下面図、（ｃ）は完成したハウジングの断面図、（ｃ’）は（ｃ）に示すハウジングの下面図。
【図１１】本発明の第３の実施の形態によるハウジングの製造工程の変型例示す説明図であって、（ａ）は共通インク流路および溝が形成された状態を示し、（ｂ）はパンチにより奇数番目の貫通孔が形成された状態を示し、（ｃ）はパンチにより奇数番目の貫通孔を形成する過程を示し、（ｄ）は完成したハウジングを示す断面図。
【図１２】従来のインクジェットヘッドを示す断面図。
【符号の説明】
１　オリフィス
２　加圧室
３　振動板
４　圧電素子
５ａ、５ｂ　信号入力端子
６　圧電素子固定基板
７　リストリクタ
８　共通インク供給路
９　フィルタ
１０　接着剤
１１　リストリクタプレート
１２　加圧室プレート
１３　オリフィスプレート
１４　支持板
１５、１１５、２１５　ハウジング
１５ａ　下面
１５ｂ　上面
１６　フィルタプレート
１７、１８　溝
１９　貫通孔
２０　共通インク流路
２１　薄肉部
２２　樹脂
６０　パンチ
６１　下金型
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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