(57)【要約】【課題】冷陰極電界放出に起因する電子の偏在を平均化して輝度むらをなくし，かつ，陽極基板と陰極基板の高精度の位置合わせを不要にする。【解決手段】電界放出表示装置の陰極基板１４にカーボンナノチューブ製の平面状の冷陰極１５を形成し，透明な陽極基板１０には，ストライプ状の透明な陽極ストリップ２０ａと，これに交差するストライプ状の選択グリッドストリップ３０ａと，格子状の電子引き出し電極３８を形成する。冷陰極１５から放出された電子は，冷陰極１５と電子引き出しグリッド３８との間の電子滞留領域５５に滞留して電子雲５６を形成する。いずれかの選択グリッドストリップ３０ａといずれかの陽極ストリップ２０ａとに電圧が印加されると，電子流７６が電子引き出しグリッド３８の開口と選択グリッドストリップ３０ａの開口とを通過して，陽極ストリップ２０ａ上の蛍光体１８に衝突し，光５８が放出される。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の構成を備える電界放出表示装置。
（ａ）透明な陽極基板。
（ｂ）前記陽極基板に対向する陰極基板
（ｃ）前記陰極基板に形成されていて，電子放出部が平面状になっている冷陰極。
（ｄ）前記陽極基板に形成されていて，互いに平行に配置された複数の透明な陽極ストリップ。
（ｅ）前記各陽極ストリップ上に形成された蛍光体。
（ｆ）前記陽極基板に形成された複数の選択グリッドストリップであって，前記陽極ストリップよりも前記冷陰極の側に配置され，前記陽極ストリップに対して直交するようにかつ互いに平行になるように配置され，前記各陽極ストリップと重なる位置には第１開口が形成されている選択グリッドストリップ。
（ｇ）前記陽極基板に形成された電子引き出しグリッドであって，前記選択グリッドストリップよりも前記冷陰極の側に配置され，前記第１開口と重なる位置には第２開口が形成されている電子引き出しグリッド。
【請求項２】
請求項１に記載の電界放出表示装置において，前記冷陰極の前記電子放出部がカーボンナノチューブでできていることを特徴とする電界放出表示装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電界放出表示装置において，次の構成を備えることを特徴とする電界放出表示装置。
（イ）前記陽極基板に形成された格子状の第１リブ。
（ロ）前記第１リブの表面に形成された前記選択グリッドストリップ。
（ハ）前記第１リブの表面に，前記選択グリッドストリップを完全には覆わないように形成された格子状の第２リブ。
（ニ）前記第２リブの表面に形成された前記電子引き出しグリッド。
【請求項４】
冷陰極と，これに対向するストライプ状の多数の陽極ストリップとの間の空間において，冷陰極の側から順に，電子引き出しグリッドと，前記陽極ストリップに交差するストライプ状の多数の選択グリッドストリップとを配置して，前記冷陰極と前記電子引き出しグリッドとの間の電子滞留領域に，冷陰極から放出された電子を滞留させて，前記選択グリッドストリップと前記陽極ストリップとに選択的に電圧を印加することで，前記電子滞留領域に存在する電子を前記陽極ストリップ上の蛍光体に衝突させてこれを発光させることを特徴とする電界放出表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，電界によって冷陰極から電子を放出させて，この電子を蛍光体に当てることで蛍光体を発光させるようにした電界放出表示装置（フィールドエミッションディスプレイ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この明細書で従来技術として引用する文献は次のものである。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１‐１４３６１９号公報
【特許文献２】
特開２０００‐１７３５１４号公報
【０００４】
特許文献１は冷陰極としてカーボンナノチューブを用いる電界放出表示装置を開示している。また，特許文献２は熱陰極（カソードフィラメント）とリブ方式のグリッドとを用いる蛍光表示装置を開示している。
【０００５】
電界放出表示装置の冷陰極としては，かつては，スピント型と呼ばれる先端の尖った陰極を用いるものが研究されたが，これはほとんど実用化に至らず，最近では，カーボンナノチューブを用いるものが研究されている。冷陰極としてカーボンナノチューブを用いる電界放出表示装置としては，例えば，上述の特許文献１に開示された装置が知られている。特許文献１の装置は，陰極側では，陰極基板上にストライプ状の第１リブを形成して，隣り合う第１リブに挟まれたストライプ状の領域に陰極を形成している。そして，特許文献１は陰極の電子放出部にカーボンナノチューブを使うことに言及している。第１リブの表面には電子引き出しグリッドを載せていて，この電子引き出しグリッドを，上述のストライプ状の陰極に直交するようにストライプ状に分割している。この電子引き出しグリッドには電子を引き出すための開口部が形成されている。ストライプ状の陰極と，これに直交するストライプ状の電子引き出しグリッドとの交差部が，ひとつの画素を構成している。
【０００６】
一方，陽極側は次のような構成である。透明なガラス基板からなる陽極基板には，上述の第１リブと交差するように第２リブがストライプ状に形成されている。この第２リブは上述のストライプ状の電子引き出しグリッドの間に位置している。そして，隣り合う第２リブに挟まれた領域に，透明導電膜からなる陽極が形成されている。この陽極上に蛍光体が形成されている。
【０００７】
陰極基板において特定の列の陰極と特定の行の電子引き出しグリッドとを選択してこれらに電圧を印加すると，その交差部において，陰極から放出された電子が電子引き出しグリッドから引き出されて，上述の蛍光体に衝突する。この蛍光体で発光した光が透明な陽極基板を通して外部に放出される。
【０００８】
一方，熱陰極を用いる蛍光表示装置のうちで，本発明に関連が深いものとして，上述の特許文献２に開示されたものがある。この蛍光表示装置は，表示基板に多数のドット状の陽極を形成して，この陽極を格子状のリブで取り囲んでいる。陽極の表面には蛍光体が形成されている。ドット状の陽極は行毎に共通の陽極配線に接続されている。格子状のリブの表面にはグリッド（リブ・グリッド）が形成されている。リブ・グリッドは，上述の陽極配線に交差するようにストライプ状に分割されている。したがって，ストライプ状の陽極配線とストライプ状のリブ・グリッドとが交差し，この交差部に位置する各陽極がひとつの画素を構成している。リブ・グリッドの上方にはカソードフィラメントが張り渡されている。カソードフィラメントから放出された熱電子は，選択された陽極配線と選択されたリブ・グリッドとの交差部のところに引き出されて，そこに位置する陽極上の蛍光体に衝突して，そこから光が発生する。この光は，表示基板に対向する透明なカバー・ガラス板を通して外部に放出される。この特許文献２の蛍光表示装置では，表示基板に，陽極と，リブ・グリッドと，カソードフィラメントのすべてを搭載しているので，表示基板とカバー・ガラス板との封止の際に，二つの基板の位置合わせを精密に行う必要がない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上述の特許文献１に開示された電界放出表示装置には次の問題がある。第１に，カーボンナノチューブで構成した冷陰極は，放出電子密度に疎密が生じやすく，電子が偏在する傾向がある。したがって，対向する陽極上の蛍光体において，電子の偏在に起因する輝度むらが生じやすい。第２に，陰極基板（第１リブ，陰極及び電子引き出しグリッドが形成されている）と陽極基板（第２リブ及び陽極が形成されている）との間で，精密な位置合わせ作業が必要になる。したがって，陰極基板と陽極基板とを加熱装置あるいは真空加熱装置の中で封止する場合に，両者の位置合わせ精度をきわめて高く保ったまま封止作業をしなければならない。
【００１０】
ところで，上述の特許文献２は，熱陰極を使う蛍光表示装置に関するものではあるが，表示基板に陽極とリブ・グリッドとカソードフィラメントのすべてを搭載しているので，表示基板とカバー・ガラス板との精密な位置合わせは不要である。このような構造を特許文献１のような電界放出表示装置にも適用すれば，少なくとも基板の精密な位置合わせ作業の問題は解決できるはずである。しかし，電界放出表示装置では，陽極基板に対向するものは単なるカバー・ガラス板ではなくて，冷陰極を形成した陰極基板なので，特許文献２のような構造は，そのままでは採用できない。また，たとえ位置合わせの問題が解決できたとしても，カーボンナノチューブ製の冷陰極が持つ問題点，すなわち，電子の偏在に起因する輝度むらは解決できない。
【００１１】
本発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり，その目的は，冷陰極電界放出に起因する電子の偏在を平均化して輝度むらをなくし，かつ，陽極基板と陰極基板の高精度の位置合わせを不要にした電界放出表示装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の電界放出表示装置は，陰極基板に平面状の冷陰極を形成し，陽極基板には陽極ストリップと選択グリッドストリップと電子引き出し電極のすべてを形成した点に特徴がある。すなわち，本発明の電界放出表示装置は次の構成を備えている。（ａ）透明な陽極基板。（ｂ）前記陽極基板に対向する陰極基板。（ｃ）前記陰極基板に形成されていて，電子放出部が平面状になっている冷陰極。（ｄ）前記陽極基板に形成されていて，互いに平行に配置された複数の透明な陽極ストリップ。（ｅ）前記各陽極ストリップ上に形成された蛍光体。（ｆ）前記陽極基板に形成された複数の選択グリッドストリップであって，前記陽極ストリップよりも前記冷陰極の側に配置され，前記陽極ストリップに対して直交するようにかつ互いに平行になるように配置され，前記各陽極ストリップと重なる位置には第１開口が形成されている選択グリッドストリップ。（ｇ）前記陽極基板に形成された電子引き出しグリッドであって，前記選択グリッドストリップよりも前記冷陰極の側に配置され，前記第１開口と重なる位置には第２開口が形成されている電子引き出しグリッド。
【００１３】
冷陰極から放出された電子は，冷陰極と電子引き出しグリッドとの間の電子滞留領域に滞留して電子雲を形成する。これにより，冷陰極電界放出に起因する電子の偏在が平均化される。いずれかの選択グリッドストリップといずれかの陽極ストリップとに電圧が印加されると，これらのストリップの交差位置に存在する，電子引き出しグリッドの第２開口と，陽極ストリップの第１開口とを通って，電子が陽極ストリップ上の蛍光体に衝突する。これにより，蛍光体が発光し，この光が透明な陽極ストリップと透明な陽極基板とを通過して外部に放出される。したがって，選択グリッドストリップと陽極ストリップとの交差する位置に存在する各蛍光体が，電界放出表示装置の各画素を構成している。
【００１４】
陽極基板には陽極ストリップと選択グリッドストリップと電子引き出し電極のすべてが形成されているので，陽極基板の構成だけで画素の位置が決まる。一方，陰極基板には大きなサイズの平面状の冷陰極が形成されているだけである。したがって，陽極基板と陰極基板とを精密に位置合わせする必要がなく，電界放出表示装置を安価に製造できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に，本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の電界放出表示装置の第１の実施形態を示す分解斜視図である。この図面では，側壁１２の一部を切り欠いて示している。この電界放出表示装置は，陽極基板１０と側壁１２と陰極基板１４とで構成されている。これらの部品を互いに接着して封止することで気密容器を作ることができる。気密容器の内部は真空状態に維持される。陽極基板１０と陰極基板１４は互いに対向している。陽極基板１０には，後述するように，陽極と２種類のグリッドが形成されている。この陽極基板１０は透明なガラス基板でできていて，例えば，ホウ珪酸ガラス，ソーダライムガラスなどで作ることができる。陰極基板１４には冷陰極１５が形成されている。この陰極基板１４はガラスまたはセラミックで作ることができる。枠状の側壁１２はセラミック，ガラスまたは金属で作ることができる。
【００１６】
陰極基板１４の内面（容器の内部空間に面する表面）には，導電膜（例えば，金属膜）製の冷陰極１５が１枚の平面状に形成されている。その上に，カーボンナノチューブ膜が形成されている。このカーボンナノチューブ膜が冷陰極１５の電子放出部となる。冷陰極１５のサイズは，表示エリア全体のサイズと同等かそれ以上である。カーボンナノチューブ膜は印刷法やＣＶＤ法で作ることができる。
【００１７】
図２は陽極基板１０と側壁１２とを示す平面図である。陽極基板１０の内面（容器の内部空間に面する表面）には格子状のリブ１６が形成されていて，そのリブ１６で取り囲まれたそれぞれの矩形領域に蛍光体１８が見えている。この蛍光体１８が表示素子の画素を構成する。この図面では（ほかの図面でも同様であるが），図面を見やすくするために，８行×８列＝６４個の画素を示している。ただし，実際には，もっと多数の画素を形成することができる。
【００１８】
図３は，製造途中における，陽極基板上の構造を拡大して示した斜視図である。陽極基板の内面には，透明導電膜（例えば，ＩＴＯ膜）でできたストライプ状の陽極２０が形成されている。すなわち，陽極２０は，多数の細長い陽極ストリップ２０ａ，２０ｂ，…，２０ｎからなり（図５を参照），これらの陽極ストリップはＸ方向に延びていて，かつ，所定の間隔を隔てて互いに平行に配列されている。陽極２０の上には，絶縁物でできた格子状の第１リブ２２が印刷形成されている。第１リブ２２の材質は，印刷可能なガラスを主成分とした絶縁物である。この第１リブ２２の高さは３０〜１００μｍである。第１リブ２２のＸ方向に延びる部分２４は，隣り合う陽極ストリップ２０ａ，２０ｂの間に位置していて，直接，陽極基板の上に載っている。一方，第１リブ２２のＹ方向に延びる部分２６は，陽極ストリップ２０ａ，２０ｂの上に載っている。格子状の第１リブ２２のそれぞれの開口部２８のところでは陽極ストリップ２０ａ，２０ｂが露出している。
【００１９】
第１リブ２２の表面（図３における上面）には，導電膜でできた選択グリッド３０が形成されている。選択グリッド３０の材質は，第１リブ２２に熱膨張係数が近い厚膜印刷用導電ペーストであり，銀を主成分としたものである。この選択グリッド３０は，Ｙ方向に延びる隙間３１以外の部分で，第１リブ２２の表面の全体を覆っている。隙間３１の存在により，選択グリッド３０はＹ方向に延びるストライプ状になっている。ストライプを構成する各選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂ，…３０ｍ（図５を参照）には，第１リブ２２の開口部２８と同じ形状の第１開口３３が存在する。Ｘ方向に延びる陽極ストリップ２０ａ，２０ｂと，Ｙ方向に延びる選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂは，互いに直交することになる。そして，それらの交差点のところには，第１リブ２２の各開口部２８が存在している。そして，選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂが陽極ストリップ２０ａ，２０ｂに重なる位置では，各選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂに第１開口３３が形成されていることになる。
【００２０】
図４は完成状態での図３と同様の斜視図である。格子状の第１リブ２２の上に，さらに，絶縁物でできた格子状の第２リブ３２が印刷形成されている。第２リブ３２の材質は第１リブ２２と同様である。第２リブ３２の幅は第１リブ２２の幅よりも狭くなっている。したがって，選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂのかなりの部分は第２リブ３２に覆われることなく露出している。第２リブ３２のＸ方向に延びる部分３４は，間隙３１（図３）以外の部分では選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂの上に載っている。第２リブ３２のＹ方向に延びる部分３６は，間隙３１（図３）のところで第１リブ２２の上に直接載っている。第２リブ３２の表面（図４における上面）には，その全面に，導電膜でできた電子引き出しグリッド３８が形成されている。したがって，電子引き出しグリッド３８は格子状である。電子引き出しグリッド３８の材質は選択グリッド３０と同様である。電子引き出しグリッド３８に形成された第２開口３９は，選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂ，…３０ｍに形成された第１開口３３と重なる位置に存在する。
【００２１】
電子引き出しグリッド３８を形成したあとで，第１リブ２２の開口部２８の中に露出する陽極ストリップ２０ａ，２０ｂの表面に蛍光体１８を形成する。蛍光体１８は，インクジェット法，フォトグラフィ法，沈殿法，電着法などで形成できる。
【００２２】
陽極基板上の構造を上から見ると，格子状の電子引き出しグリッド３８の第２開口３９の中に，選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂが枠状に見えていて，その選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂの第１開口３３の中に矩形の蛍光体１８が見えることになる。
【００２３】
また，電子引き出しグリッド３８の表面上には，適当な複数箇所に，柱状のスペーサ４０が形成されている。このスペーサ４０は陰極基板の中央部分を支えるものである。スペーサ４０の高さは３０〜２００μｍである。このスペーサ４０は，図示の例では，断面が十字形になっているが，これに限らず任意の断面形状にできる。このスペーサ４０は，絶縁物を印刷形成したり，ガラスビーズを接着したりして，作ることができる。
【００２４】
図５は陽極基板に搭載する３種類の電極を分解斜視図で示したものである。陽極基板の内面上には，Ｘ方向に延びる多数の陽極ストリップ２０ａ，２０ｂ，…２０ｎがあり，その上方には，Ｙ方向に延びる選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂ，…３０ｍがあり，さらにその上方には，格子状の電子引き出しグリッド３８がある。陽極ストリップ２０ａ，２０ｂ，…２０ｎの表面には，ドット状に蛍光体１８が形成されている。
【００２５】
次に，この電界放出表示装置の製造手順を説明する。図４に示すように陽極基板の構造を完成させたら，図１において，側壁１２の底面をフリットガラスなどで陽極基板１０に封着する。さらに，冷陰極１５を形成した陰極基板１４を，側壁１２の上面に載せて，真空雰囲気中で，フリットガラスや低融点金属を用いてロウ付け封止を行う。
【００２６】
本発明では，陽極基板１０の側に，ストライプ状の多数の陽極ストリップと，ストライプ状の多数の選択グリッドストリップ，及び電子引き出し電極のすべてを搭載しており，一方で，陰極基板１４には１枚の平面状の冷陰極１５を形成しているだけなので，上述の封止作業において，陽極基板１０と陰極基板１４とを高精度に位置合わせする必要が全くない。したがって，封止作業が簡単になる。
【００２７】
次に，電気回路を説明する。図６は選択グリッド３０に関する電気回路である。各選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂ，…，３０ｍは駆動トランジスタ４８ａ，４８ｂ，…，４８ｍの出力端子に接続されている。駆動トランジスタの電源端子には選択グリッド電圧源５０が接続されている。各駆動トランジスタのゲートには，列選択回路５２から選択信号が順次入力される。選択信号が例えば駆動トランジスタ４８ａに入力すると，その駆動トランジスタ４８ａがオンになり，その出力端子に接続されている選択グリッドストリップ３０ａに選択グリッド電圧が印加される。
【００２８】
図７は陽極２０に関する電気回路である。各陽極ストリップ２０ａ，２０ｂ，…，２０ｎは駆動トランジスタ４２ａ，４２ｂ，…，４２ｎの出力端子に接続されている。駆動トランジスタの電源端子には陽極電圧源４４が接続されている。駆動トランジスタのゲートには，行データ回路４６からデータ信号が入力される。データ信号が例えば駆動トランジスタ４２ａに入力すると，その駆動トランジスタ４２ａがオンになり，その出力端子に接続されている陽極ストリップ２０ａに陽極電圧が印加される。
【００２９】
図８は電界放出表示装置の一部の断面図と全体的な電気回路図とを組み合わせた動作説明面である。断面図の部分は上下方向を誇張して描いてある。陽極ストリップ２０ａには駆動トランジスタ４２ａを介して陽極電圧源４４から陽極電圧が選択的に印加される。選択グリッドストリップ３０ａには駆動トランジスタ４８ａを介して選択グリッド電圧源５０から選択グリッド電圧が選択的に印加される。電子引き出しグリッド３８には接地電位が常時印加されている。冷陰極１５には冷陰極電圧源５４から冷陰極電圧が常時印加されている。電子引き出しグリッド３８の電位（すなわち接地電位）に対して，陽極電圧はプラス１０〜１００Ｖ程度，選択グリッド電圧もプラス１０〜１００Ｖ程度である。
【００３０】
真空中において，カーボンナノチューブ膜を被覆した冷陰極１５と電子引き出しグリッド３８との間に電圧を印加すると，冷陰極１５から電子が放出される。カーボンナノチューブからの冷陰極放出では，１〜５Ｖ／μｍの電界をかけることで電子が放出されることが分かっている。図４のスペーサ４０の高さ（すなわち，冷陰極１５から電子引き出しグリッド３８までの距離）を１００μｍと仮定すると，冷陰極電圧源５４の電圧を１００〜５００Ｖに設定すれば，冷陰極１５から電子が放出される。冷陰極１５から放出された電子は，冷陰極１５と電子引き出しグリッド３８との間の電子滞留領域５５に滞留して，電子雲５６を形成する。
【００３１】
選択グリッドストリップ３０ａ，３０ｂ，…，３０ｍのいずれかに選択グリッド電圧が印加されると，電子滞留領域５５からグリッド選択領域７２に電子が引き出される。さらに，陽極ストリップ２０ａに陽極電圧が印加されると，陽極選択領域７４にも電子が引き出されて，この電子流７６が蛍光体１８に衝突する。これにより，蛍光体１８が発光し，その光５８は，透明導電膜製の陽極ストリップ２０ａと透明ガラス製の陽極基板１０とを通過して，外部に出て行く。
【００３２】
以上説明したように，本発明では，電子滞留領域５５に電子を溜めることで，カーボンナノチューブから放出される電子の偏在を平均化できる。そして，選択グリッドストリップと陽極ストリップの選択を組み合わせることで，所望の画素位置に，電子流７６を整形して引き出し，電子密度の均一な電子流７６を蛍光体１８に当てることができる。
【００３３】
図８において，陽極ストリップ配線６４，選択グリッドストリップ配線６６，電子引き出しグリッド配線６８，及び冷陰極配線７０は，図面を見やすくするために側壁１２を通過するように図示しているが，実際は，これらの配線は陽極基板１０または陰極基板１４の内面上に形成されていて，これらの基板と側壁１２の間の封止部のところから容器の外部に引き出される。
【００３４】
次に，電子引き出しグリッドの変更例を説明する。図９はこの変更例を示す分解斜視図である。電子引き出しグリッド３８が第２リブ３２の表面に形成されているところまでは，図４に示す実施形態と同じである。この変更例では，さらに，電子引き出しグリッド３８の上にメッシュグリッド６０を溶接している。メッシュグリッド６０は導電性の薄板に微細な開口６２を多数形成したものである。具体的には，ステンレス鋼などでできた薄板（厚さは０．０５〜０．２ｍｍ程度）にエッチング法またはパンチング法によって多数の開口６２を形成する。メッシュの透過度（開口率）は３０〜７０％の範囲が適当である。メッシュグリッド６０を電子引き出しグリッド３８に固定するには，抵抗溶接やレーザービーム溶接などの溶接法，あるいはロウ付け法を用いることができる。
【００３５】
この場合，もともとの電子引き出しグリッド３８とメッシュグリッド６０とを組み合わせたものが，電子引き出しグリッドとなる。
【００３６】
図８の電子滞留領域５５に滞留している電子は，メッシュグリッド６０の開口６２を通過して蛍光体１８に向かうことになる。電子引き出し電極３８だけでは電流密度が足りないときに，このようなメッシュグリッド６０を使うと効果的である。また，メッシュグリッド６０を使うと，電子の引き出し電界が均一化する。
【００３７】
図９において，電子引き出しグリッド３８を省略して，メッシュグリッド６０を第２リブ３２の表面に直接固定することもできる。その場合は，メッシュグリッド６０が電子引き出しグリッドの役割を果たす。そして，メッシュグリッド６０の多数の開口６２のうちで，第２リブ３２に遮られないもの，すなわち，選択グリッドストリップの第１開口に重なる位置に存在するものが，電子引き出しグリッドの第２開口の役割を果たす。
【００３８】
以上の実施形態では，冷陰極の電子放出部にカーボンナノチューブを用いていたが，本発明は，それ以外の冷陰極，例えば，多孔質ポリシリコンを使った冷陰極にも適用できる。多孔質ポリシリコン製の冷陰極を使った表示装置はＢＳＤ（Ｂａｌｌｉｓｔｉｃ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｓｐｌａｙ）して知られている。
【００３９】
【発明の効果】
本発明の電界放出表示装置は，冷陰極と電子引き出しグリッドとの間の電子滞留領域に放出電子を溜めるようにしているので，冷陰極電界放出に起因する電子の偏在を平均化できて，輝度むらをなくすことができる。また，陽極基板の側に，陽極ストライプと，これと交差する選択グリッドストライプと，電子引き出し電極のすべてを搭載していて，陰極基板の側には平面状の冷陰極だけを形成しているので，陽極基板と陰極基板を高精度に位置合わせする必要がなくなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電界放出表示装置の第１の実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】陽極基板と側壁とを示す平面図である。
【図３】製造途中における，陽極基板上の構造を拡大して示した斜視図である。
【図４】完成状態での図３と同様の斜視図である。
【図５】陽極基板に搭載する３種類の電極の分解斜視図である。
【図６】選択グリッドに関する電気回路である。
【図７】陽極に関する電気回路である。
【図８】電界放出表示装置の一部の断面図と全体的な電気回路図とを組み合わせた動作説明面である。
【図９】電子引き出しグリッドの変更例を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１０  陽極基板
１２  側壁
１４  陰極基板
１５  冷陰極
１６  格子状のリブ
１８  蛍光体
２０  陽極
２０ａ  陽極ストリップ
２２  第１リブ
２８  開口部
３０  選択グリッド
３０ａ  選択グリッドストリップ
３２  第２リブ
３３  第１開口
３８  電子引き出しグリッド
３９  第２開口
５５  電子滞留領域
５６  電子雲
【図１】
2004335385.tif 000003
【図２】
2004335385.tif 000004
【図３】
2004335385.tif 000005
【図４】
2004335385.tif 000006
【図５】
2004335385.tif 000007
【図６】
2004335385.tif 000008
【図７】
2004335385.tif 000009
【図８】
2004335385.tif 000010
【図９】
2004335385.tif 000011