(57)【要約】【課題】光スイッチ、光アッテネータ、光カップラ等として用いることができ、長時間用いた場合にも、光導波路の伝送損失が増大することがなく、信頼性に優れる光導波路部品を提供する。【解決手段】変形可能な光導波路と、上記光導波路を変形させる変形手段とを備え、上記光導波路を変形させることにより、光信号の伝送を制御する光導波路部品であって、上記光導波路の変形は、上記光導波路を曲げることにより行うことを特徴とする光導波路部品。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形可能な光導波路と、前記光導波路を変形させる変形手段とを備え、前記光導波路を変形させることにより、光信号の伝送を制御する光導波路部品であって、
前記光導波路の変形は、前記光導波路を曲げることにより行うことを特徴とする光導波路部品。
【請求項２】
前記光導波路を、光信号の伝送方向と略平行な方向であって、前記伝送方向と同方向および／または前記伝送方向の逆方向に押すことにより、前記光導波路を曲げる請求項１に記載の光導波路部品。
【請求項３】
前記光導波路は、分岐部を有する請求項１または２に記載の光導波路部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光スイッチ等として機能することができる光導波路部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、通信分野においては、高速、大容量通信を達成するために、光通信技術が注目を集めており、光通信システムの機能が急速に高度化している。
このような光通信システムの高度化に伴い、多数の光通信用デバイスを接続する必要が生じており、光通信用デバイスを接続する際には、端末装置や光ファイバケーブルの切り替え等を行うための光スイッチが不可欠とされている。
【０００３】
さらに、光通信網が基幹網のみならず、基幹網と端末機器との通信網や、端末機器同士の通信網に拡大するにともない、光スイッチとしては信頼性に優れることは勿論のこと、安価で大量生産に適したものが求められている。
【０００４】
従来の光スイッチとしては、例えば、フィルム状のポリマー導波路が、上下の押さえ板によって挟まれ、ポリマー導波路の導波路交差部に切り込み加工が施された構造を有する光スイッチがある（例えば、特許文献１参照）。この光スイッチは、切り込み加工が施された導波路交差部をプッシュロッドを用いて開閉させることにより、光の透過と反射との切り替えを行い、光スイッチとして機能させるものである。
【０００５】
しかしながら、この光スイッチは、光導波路交差部に切り込みが形成されており、この切り込み部を開閉させて光信号の伝送性を制御しているため、切り込み部の開閉を繰り返し行った際に、切り込みの壁面が磨耗したり、切り込み部を閉じた際に光導波路のズレが生じたり、切り込み部に異物が挟まることにより、光導波路交差部での光信号の伝送損失が大きくなるという問題があった。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−２７４７８４号公報
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者は、上述したような問題が発生しない光導波路部品について鋭意検討を重ね、その結果、光導波路を曲げることにより、該光導波路を変形させて光信号の伝送を制御する光導波路部品では、上述したような問題が生じないことを見出し、本発明の光導波路部品を完成した。
【０００８】
すなわち、本発明の光導波路部品は、変形可能な光導波路と、上記光導波路を変形させる変形手段とを備え、上記光導波路を変形させることにより、光信号の伝送を制御する光導波路部品であって、
上記光導波路の変形は、上記光導波路を曲げることにより行うことを特徴とする。
【０００９】
本発明の光導波路部品は、上記光導波路を光信号の伝送方向と略平行な方向であって、上記伝送方向と同方向および／または上記伝送方向の逆方向に押すことにより、上記光導波路を曲げる光導波路部品であることが望ましい。
【００１０】
また、上記光導波路部品において、上記光導波路は、分岐部を有することが望ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の光導波路部品は、変形可能な光導波路と、上記光導波路を変形させる変形手段とを備え、上記光導波路を変形させることにより、光信号の伝送を制御する光導波路部品であって、
上記光導波路の変形は、上記光導波路を曲げることにより行うことを特徴とする。
【００１２】
本発明の光導波路部品は、例えば、光スイッチとしての機能を有しており、光スイッチとして、ＯＮ／ＯＦＦ操作を繰り返し行ったり、光路の切り替えを繰り返し行ったりした場合にも、光導波路の伝送損失が増大することがなく、信頼性に優れる。
また、本発明の光導波路部品は、後述するように、例えば、光アッテネータ（光減衰器）や光カップラ（光合分波器）等として用いることができ、光アッテネータや光カップラとして長時間用いた場合にも、光導波路の伝送損失が増大することがなく、信頼性に優れる。
また、本発明の光導波路部品は、例えば、光導波路の自己形成方法を利用して製造することができるため、安価に大量生産することができる。
【００１３】
本発明の光導波路部品において、光導波路が分岐部を有さない１本のものからなる場合には、本発明の光導波路部品は、例えば、１×１光スイッチ（ＯＮ／ＯＦＦスイッチ）として用いることができる。
また、上記光導波路が分岐部を有する場合には、該分岐部の数に応じて、ｍ×ｎ光スイッチとして用いることができる。
【００１４】
以下、本発明の光導波路部品について、図面を参照しながら説明する。
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明の光導波路部品の実施形態の一例を模式的に示す断面図である。なお、図１には、光導波路が分岐部を有さず、１×１光スイッチとして機能することができる光導波路部品を示す。
【００１５】
図１に示すように、本発明の光導波路部品１００は、光導波路のコア１０１の両端がそれぞれ光配線１０３、１０４と接続されており、光配線１０３、１０４には、コア１０１を変形させるための変形手段（図示せず）が配設されている。
また、光導波路部品１００に形成された光導波路は、変形可能な程度に硬化したコア１０１と、このコア１０１の周囲に満たされた液状のクラッド１０２とから構成されている。
このような構成からなる光導波路部品１００は、例えば、１×１光スイッチとして用いることができる。
【００１６】
上記コアの材料としては、変形可能なコアを形成することができるものであれば特に限定されず、例えば、有機材料等が挙げられる。
上記有機材料の具体例としては、例えば、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、重水素化ＰＭＭＡ、重水素フッ素化ＰＭＭＡ、フッ素化ＰＭＭＡ等の樹脂成分に、必要に応じて、単量体、光重合開始剤、増感剤、溶剤等が配合された感光性組成物；エポキシ樹脂、フッ素化エポキシ樹脂、ポリオレフィン系樹脂、シリコーン樹脂、重水素化シリコーン樹脂等のシリコーン樹脂、ベンゾシクロブテンからなる樹脂等の樹脂成分に、必要に応じて、各種添加剤が配合された樹脂組成物等が挙げられる。
【００１７】
また、上記樹脂組成物は、感光性組成物であってもよく、感光性組成物を用いる場合には、上記エポキシ樹脂やオレフィン系樹脂等に感光性を付与し、これらの樹脂に、必要に応じて、単量体、光重合開始剤、増感剤等を配合したものを感光性組成物として用いることができる。
なお、上記エポキシ樹脂や、ポリオレフィン系樹脂等に感光性を付与する方法としては、これらの樹脂の末端や側鎖にアリル基やアクリロイル基を付与する方法等が挙げられる。
【００１８】
また、アリル基やアクリロイル基を分子の末端または側鎖にもつポリエン化合物と、ポリチオール化合物と、光重合開始剤と、必要に応じて、各種添加剤や溶剤等とを含むものも感光性組成物として用いることができる。
【００１９】
また、上記感光性組成物としては、光を照射することにより硬化反応が進行するものであればよく、例えば、エポキシ樹脂と、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ヨードニウム塩等の光を照射することによりルイス酸を発生する光開始剤とを含むものも用いることができる。
さらに、ベンゾインアルキルエーテル、アセトフェノン誘導体類、ベンゾフェノンやその誘導体等の光を照射することによりラジカルを生成する光開始剤と、ラジカル重合機構により重合が進行する樹脂成分とを含むものや、塩素化アセトフェノンやその誘導体等の光を照射することにより強酸が遊離する光開始剤と、酸により重合が進行する樹脂成分とを含むものも感光性組成物として用いることができる。
【００２０】
なお、本明細書において、感光性組成物には、光の照射により化学反応を起す高分子のみならず、光の照射により、光重合反応が進行する単量体、例えば、（メタ）アクリル酸メチル等も含むものとし、さらには、２種類以上の樹脂成分および／または単量体が、光の照射により化学反応を起し、樹脂複合体を形成するものも含むものとする。
【００２１】
また、上記コアは、これらの有機材料を用いて形成されたもののなかでも、可撓性を有するものであることが望ましい。
これは、上記コアは、光ファイバや光導波路に応力を掛けにくいものであることが望ましく、さらに、光スイッチのような繰り返しの動作が加わる場合、可撓性を有するもののほうがより耐久性に優れるからである。
【００２２】
また、上記コアには、樹脂粒子、無機粒子、金属粒子等の粒子が含まれていてもよい。粒子を配合することにより、光導波路の熱膨張係数を調整することができるからである。
【００２３】
上記樹脂粒子としては、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、感光性樹脂、熱硬化性樹脂の一部が感光性化された樹脂、熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂複合体、感光性樹脂と熱可塑性樹脂との複合体等からなるものが挙げられる。
【００２４】
具体的には、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリオレフィン樹脂、フッ素樹脂等の熱硬化性樹脂；これらの熱硬化性樹脂の熱硬化基（例えば、エポキシ樹脂におけるエポキシ基）にメタクリル酸やアクリル酸等を反応させ、アクリル基を付与した樹脂；フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）、ポリスルフォン（ＰＳＦ）、ポリフェニレンスルホン（ＰＰＳ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＥＳ）、ポリフェニルエーテル（ＰＰＥ）、ポリエーテルイミド（ＰＩ）等の熱可塑性樹脂；アクリル樹脂等の感光性樹脂等からなるものが挙げられる。
また、上記熱硬化性樹脂と上記熱可塑性樹脂との樹脂複合体や、上記アクリル基を付与した樹脂や上記感光性樹脂と上記熱可塑性樹脂との樹脂複合体からなるものを用いることもできる。
また、上記樹脂粒子としては、ゴムからなる樹脂粒子を用いることもできる。
【００２５】
また、上記無機粒子としては、例えば、アルミナ、水酸化アルミニウム等のアルミニウム化合物、炭酸カルシウム、水酸化カルシウム等のカルシウム化合物、炭酸カリウム等のカリウム化合物、マグネシア、ドロマイト、塩基性炭酸マグネシウム等のマグネシウム化合物、シリカ、ゼオライト等のケイ素化合物等からなるものが挙げられる。
また、上記無機粒子として、リンやリン化合物からなるものを用いることもできる。
【００２６】
上記金属粒子としては、例えば、金、銀、銅、パラジウム、ニッケル、白金、鉄、亜鉛、鉛、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム等からなるものが挙げられる。
これらの樹脂粒子、無機粒子および金属粒子は、単独で用いても良いし、２種以上併用してもよい。
【００２７】
また、上記粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、楕円球状、破砕状、多面体状等が挙げられる。これらのなかでは、球状、または、楕円球状が望ましい。球状や楕円球状の粒子には角がないため、光導波路にクラック等が発生しにくいからである。
【００２８】
また、上記粒子の粒径は、通信波長より短いことが望ましい。粒径が通信波長より長いと光信号の伝送を阻害することがあるからである。
なお、本明細書において、粒子の粒径とは、粒子の一番長い部分の長さをいう。
【００２９】
上記光導波路に粒子が含まれる場合、その配合量の下限は、硬化後の配合量で１０重量％であることが望ましく、２０重量％であることがより望ましい。また、上記配合量の上限は、８０重量％であることが望ましく、７０重量％であることがより望ましい。粒子の配合量が１０重量％未満であると、粒子を配合させる効果があまり得られないことがあり、一方、粒子の配合量が８０重量％を超えると、光信号の伝送が阻害されることがあるからである。
【００３０】
光導波路部品１００に形成された光導波路は、変形可能な程度に硬化したコアと、その周囲の液状のクラッドとからなるものであるが、本発明の光導波路部品において、光導波路を構成するクラッドは、必ずしも液状のものに限定されるわけではなく、コアの変形を阻害しないものであれば、変形可能な固体であってもよいし、気体、さらには真空であってもよい。
従って、上記クラッドの材料としては、例えば、上述したコアの材料と同様の樹脂組成物や感光性組成物、空気等の気体等が挙げられる。また、上記クラッドの材料が樹脂組成物や感光性組成物の場合、コアと同様、粒子が含まれていてもよい。
なお、上述したように、上記クラッドは、コアの変形を阻害しないものであれば、固体であってもよいし、気体であってもよいので、上記樹脂組成物や感光性組成物は硬化していてもよいし、未硬化であってもよい。
【００３１】
上記コアの形状は特に限定されず、伝送光の進行方向に沿って平行な形状、すなわち円柱状、四角柱状等であってもよいし、テーパー型、紡錘型など、伝送光の進行方向の垂直方向に任意に切った断面形状がそれぞれ異なっている形状であってもよい。
【００３２】
また、本発明の光導波路部品は、光信号の伝送を制御するために、光導波路を変形させるための変形手段を備えている。
上記変形手段は、上記光導波路を変形させることができるものであれば特に限定されず、その具体例としては、例えば、圧電素子や、ソレノイド等の各種アクチュエータ等が挙げられる。
本発明の光導波路部品では、光導波路を変形させることができるように変形手段が配設されていれば、該変形手段は、光導波路に直接配設されていてもよいし、光導波路部品を構成する光配線等に配設されていてもよい。
また、上記変形手段は、例えば、光学微動台等であってもよく、この場合には、上記光導波路の端部や上記光配線を光学微動台上に載置し、この光学微動台によって、光配線を変形させてもよい。
【００３３】
また、上記光導波路部品が備える変形手段の数は特に限定されず、上記光導波路部品の構成等を考慮して適宜選択すればよい。具体的には、例えば、図１に示したような構成の１×１の光スイッチの場合には、所定の機能を持たせるための最小数（すなわち、１個）であっても良いし、同等またはそれ以上の機能を持たせるために複数個（例えば、２個）であってもよい。また、例えば、後述する図２に示すような構成の１×２の光スイッチの場合には、所定の機能を持たせるための最小数（１個）であっても良いし、同等またはそれ以上の機能を持たせるために複数個（２個や３個）であってもよい。これは、光導波路部品の構成にもよるが、所定の機能を持たせるための最小数よりも多くの変形手段を配設することにより、光導波路部品がよりスムーズに動作し、その性能が向上することがあるからである。
【００３４】
次に、図１に示した、１×１光スイッチとして用いることができる光導波路部品１００の動作について説明する。
具体的には、図１（ａ）に示すように、光導波路部品１００において、コア１０１の形状が直線状である場合には、この光導波路を介して、光信号を伝送することができる。
【００３５】
一方、光導波路部品１００は、光信号の伝送方向（コア１０１の光軸方向）と略平行な方向であって、上記伝送方向と同方向および上記伝送方向の逆方向にコア１０１を押すことにより、図１（ｂ）に示すように、コア１０１の一部が変形して湾曲することとなる。
コア１０１の形状がこのような一部が湾曲した形状となることにより、光導波路を介して光信号を伝送することができなくなる。
なお、図１（ｂ）では、コアをその両側から押すことにより光導波路を曲げているが、本発明の光導波路部品では、必ずしもコアをその両側から押す必要はなく、該コアを光信号の伝送方向と略平行な方向であって、上記伝送方向と同方向か、または、上記伝送方向の逆方向のいずれか一の方向からコアを押すことにより、コアを曲げてもよい。
【００３６】
また、図１（ｂ）に示すような、その一部が湾曲した形状のコアを、図１（ａ）に示すようにコアの形状を直線状に戻すことにより、再び、光導波路を介して光信号を伝送することができるようになる。
従って、図１に示した光導波路部品１００は、１×１光スイッチとして機能することができる。
【００３７】
また、図１に示した光導波路部品１００では、光導波路の両端（コアの両端）に光配線が接続されているが、本発明の光導波路部品においては、光導波路の両端（コアの両端）のそれぞれ、または、いずれか一方には、光配線に代えて光学部品が接続されていてもよい。
また光導波路の間に別の光学部品が接続されていても良い。これについては後述する。
上記光学部品としては、例えば、ｐｉｎ−ＰＤ（ＰＮ接合型フォトダイオード）、ＡＰＤ（アバランシェフォトダイオード）等の受光素子や、ＦＰ−ＬＤ（ファブリペロー型半導体レーザ）、ＤＦＢ−ＬＤ（分布帰還型−半導体レーザ）、ＶＣＳＥＬ（面発光レーザ）、ＬＥＤ（発光ダイオード）等の発光素子、ミラー、プリズム、フィルター等の光学部品が挙げられる。
【００３８】
なお、本明細書において、光配線とは、紫外線、可視光、赤外線等の光を通し、それにより情報を伝達するためのものであれば特に限定されず、その具体例としては、例えば、光ファイバ、光導波路等が挙げられる。
また、上記光配線は、コアのみからなるものであってもよいし、コアとクラッドとからなるものであってもよい。
上記光配線の材料としては、紫外線、可視光、赤外線等の光を通す材料であれば特に限定されず、無機材料であってもよいし、有機材料であってもよい。
【００３９】
また、図１に示した光導波路部品１００が、光スイッチとして用いることができることは、上述したとおりであるが、本発明の光導波路部品は、光スイッチのみならず、光アッテネータとしても用いることができる。
例えば、図１に示した光導波路部品１００では、コアをその両側から押して光導波路を曲げる際に、光導波路を曲げる度合いを調節することより、光信号の伝送が完全に遮断させず、伝送される光信号の強度を所望の値に低下させることができ、固定、または可変の光アッテネータとして用いることができる。
【００４０】
本発明の光導波路部品の実施形態は、光導波路を変形させることにより光信号の伝送を制御することができ、光導波路の変形を該光導波路を曲げることにより行うものであれば、図１に示した実施形態に限定されるわけではなく、例えば、図２〜図４に示すような実施形態であってもよい。
【００４１】
図２は、本発明の光導波路部品の実施形態の別の一例を模式的に示す断面図である。なお、図２には、光導波路が１箇所の分岐部を有し、１×２光スイッチとして機能することができる光導波路部品を示す。
【００４２】
図２（ａ）に示す光導波路部品２００では、１箇所の分岐部２０１ａを有するＹ字状のコア２０１の端部のそれぞれに光配線２０３、２０４、２０５が接続されており、光配線２０５には、コア２０１を変形させるための変形手段（図示せず）が配設されている。
また、光導波路部品２００に形成された光導波路は、変形可能な程度に硬化したコア２０１と、このコア２０１の周囲に満たされた液状のクラッド２０２とから構成されている。
【００４３】
このような構成からなる光導波路部品２００は、１×２光スイッチとして用いることができる。
具体的には、図２（ａ）に示すように、光導波路部品２００において、光配線２０４と光配線２０５とがコア２０１を介して一直線状にある場合には、光配線２０４と光配線２０５との間で光信号を伝送することができる。
なお、図２（ａ）に示した形態では、光配線２０３と光配線２０５との間では光信号を伝送することができない。
【００４４】
一方、光配線２０５に配設された変形手段を用いて、コア２０１をその分岐部２０１ａで曲げ、図２（ｂ）に示すように、光配線２０３と光配線２０５とがコア２０１を介して一直線状にあるように変形することにより、光配線２０３と光配線２０５との間で光信号を伝送することができるようになる。
なお、図２（ｂ）に示した形態では、光配線２０４と光配線２０５との間では光信号を伝送することができない。
【００４５】
また、図２（ｂ）に示すような光配線２０３と光配線２０５とがコア２０１を介して一直線状にある形態を、図２（ａ）に示すような光配線２０４と光配線２０５とがコア２０１を介して一直線状にある形態に戻すことにより、再び、光配線２０４と光配線２０５との間で光信号を伝送することができるようになる。
従って、図２に示した光導波路部品２００は、１×２光スイッチとして用いることができる。
【００４６】
図３は、本発明の光導波路部品の実施形態の別の一例を模式的に示す断面図である。なお、図３には、光導波路が２箇所の分岐部を有し、２×２光スイッチとして機能することができる光導波路部品を示す。
【００４７】
図３（ａ）に示す光導波路部品３００では、２箇所の分岐部３０１ａ、３０１ｂを有するコア３０１の端部のそれぞれに光配線３０３、３０４、３０５、３０６が接続されており、光配線３０３〜３０６のそれぞれには、コア３０１を変形させるための変形手段（図示せず）が配設されている。
また、光導波路部品３００に形成された光導波路は、変形可能な程度に硬化したコア３０１と、このコア３０１の周囲に満たされた液状のクラッド３０２とから構成されている。
【００４８】
このような構成からなる光導波路部品３００は、２×２光スイッチとして用いることができる。
具体的には、図３（ａ）に示すように、光導波路部品３００において、光配線３０４と光配線３０６とがコア３０１を介して一直線状にある場合には、光配線３０４と光配線３０６との間で光信号を伝送することができる。
なお、（ａ）に示した形態では、光配線３０３を介して光信号の伝送を行うことができず、また、光配線３０５を介して光信号の伝送を行うこともできない。
【００４９】
一方、図３（ａ）の状態にある光導波路部品において、光配線３０３および光配線３０４に配設された変形手段（図示せず）を用いて、コア３０１をその分岐部３０１ａで曲げ、図３（ｂ）に示すように、光配線３０３と光配線３０６とが一直線状にあるように変形することにより、光配線３０３と光配線３０６との間で光信号を伝送することができるようになる。
なお、（ｂ）に示した形態では、光配線３０４を介して光信号の伝送を行うことができず、また、光配線３０５を介して光信号の伝送を行うこともできない。
【００５０】
また、図３（ａ）の状態にある光導波路部品において、光配線３０５および光配線３０６に配設された変形手段（図示せず）を用いて、コア３０１をその分岐部３０１ｂで曲げ、図３（ｃ）に示すように、光配線３０４と光配線３０５とが一直線状にあるように変形することにより、光配線３０４と光配線３０５との間で光信号を伝送することができるようになる。
なお、（ｃ）に示した形態では、光配線３０３を介して光信号の伝送を行うことができず、また、光配線３０６を介して光信号の伝送を行うこともできない。
【００５１】
さらに、図３（ａ）の状態にある光導波路部品において、光配線３０３および光配線３０４に配設された変形手段（図示せず）を用いて、コア３０１をその分岐部３０１ａで曲げるとともに、光配線３０５および光配線３０６に配設された変形手段（図示せず）を用いて、コア３０１をその分岐部３０１ｂで曲げ、図３（ｄ）に示すように、光配線３０３と光配線３０５とが一直線状にあるように変形することにより、光配線３０３と光配線３０５との間で光信号を伝送することができるようになる。
なお、（ｄ）に示した形態では、光配線３０４を介して光信号の伝送を行うことができず、また、光配線３０６を介して光信号の伝送を行うこともできない。
【００５２】
このような図３（ａ）〜（ｄ）のいずれかの形態となるように、光導波路部品３００の光導波路を曲げて、変形させることにより、光配線３０３と光配線３０５もしくは光配線３０６との間、または、光配線３０４と光配線３０５もしくは光配線３０６との間で光信号を伝送することができるようになる。
従って、図３に示した光導波路部品３００は、２×２光スイッチとして用いることができる。
【００５３】
図４は、本発明の光導波路部品の実施形態の別の一例を模式的に示す断面図である。なお、図４には、光導波路が１箇所の分岐部を有し、１×２光スイッチとして機能することができる光導波路部品を示す。
【００５４】
図４（ａ）に示す光導波路部品４００では、１箇所の分岐部４０１ａを有するＹ字状のコア４０１の端部のそれぞれに光配線４０３、４０４、４０５が接続されており、光配線４０３〜４０５のそれぞれには、コア４０１を変形させるための変形手段（図示せず）が配設されている。
また、光導波路部品４００に形成された光導波路は、変形可能な程度に硬化したコア４０１と、このコア４０１の周囲に満たされた液状のクラッド４０２とから構成されている。
【００５５】
また、図４（ａ）に示した光導波路部品４００は、（ａ）に示した形態では、光配線４０３と光配線４０４との間、および、光配線４０３と光配線４０５との間のそれぞれで光信号を伝送することができるように構成されている。従って、図４（ａ）の形態にある光導波路部品４００は、光カップラとして機能することができる。
【００５６】
また、上述したように光導波路部品４００は、１×２光スイッチとして機能することもできる。
具体的には、図４（ａ）に示すような、光配線４０３と光配線４０４との間、および、光配線４０３と光配線４０５との間のそれぞれで光信号を伝送することができる形態の光導波路部品４００において、光配線４０４に配線された変形手段により、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０４との間の部分を所定の方向に押すことにより、図４（ｂ）に示すように、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０４と間の部分を湾曲させることができ、このようにコア４０１の一部を湾曲させることにより、光配線４０３と光配線４０５との間でのみ光信号を伝送することができることとなり、光配線４０３と光配線４０４との間では、光信号の伝送を行うことができなくなる。
なお、ここで、コア４０１を押す方向は、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０４との間の部分の光信号の伝送方向と略平行な方向であって、上記伝送方向と同方向か、または、上記伝送方向の逆方向である。
【００５７】
一方、図４（ａ）に示すような形態の光導波路部品４００において、光配線４０５に配線された変形手段により、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０５との間の部分を所定の方向に押すことにより、図４（ｃ）に示すように、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０５との間の部分を湾曲させることができ、このようにコア４０１の一部を湾曲させることにより、光配線４０３と光配線４０４との間でのみ光信号を伝送することができることとなり、光配線４０３と光配線４０５との間では、光信号の伝送を行うことができなくなる。
なお、ここで、コア４０１を押す方向は、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０４との間の部分の光信号の伝送方向と略平行な方向であって、上記伝送方向と同方向か、または、上記伝送方向の逆方向である。
【００５８】
また、図４（ａ）に示すような形態の光導波路部品４００において、光配線４０３に配線された変形手段により、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０３との間の部分を所定の方向に押すことにより、図４（ｃ）に示すように、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０３との間の部分を湾曲させることができ、このようにコア４０１の一部を湾曲させることにより、光配線４０３と光配線４０４との間、および、光配線４０３と光配線４０５との間で光信号の伝送を行うことができなくなる。
なお、ここで、コア４０１を押す方向は、コア４０１における分岐部４０１ａと光配線４０３との間の部分の光信号の伝送方向と略平行な方向であって、上記伝送方向と同方向か、または、上記伝送方向の逆方向である。
従って、図４に示した光導波路部品４００は、１×２光スイッチとして機能することができ、さらには、光カップラとして機能することができる。
【００５９】
また、図４に示した光導波路部品４００は、図４（ｂ）〜（ｄ）に示すように、コア４０１の一部を湾曲させる際に、その湾曲の度合いを調節することにより、図１に示した光導波路部品１００と同様の光アッテネータ機能を備えた光カップラとしても用いることができる。
【００６０】
図１１は、本発明の光導波路部品の実施形態の別の一例を模式的に示す断面図である。なお、図１１には、光導波路の間に光学部品が接続された構成を有し、１×１光スイッチとして機能することができる光導波路部品を示す。
【００６１】
図１１（ａ）に示す光導波路部品５００では、その間にミラー５０５が接続されたコア５０１（５０１Ａ、５０１Ｂからなる）の端部のそれぞれに光配線５０３、５０４が接続されており、光配線５０３には、コア５０１を変形させるための変形手段（図示せず）が配設されている。
また、光導波路部品５００に形成された光導波路は、変形可能な程度に硬化したコア５０１と、このコア５０１の周囲に満たされた液状のクラッド５０２とから構成されている。
【００６２】
図１１に示した光導波路部品５００は、（ａ）に示した形態では、光配線５０３と光配線５０４との間で、光導波路とミラー５０５とを介して光信号を伝送することができるように構成されている。すなわち、コア５０１Ａ側から入射された光信号は、ミラー５０５で反射した後、コア５０１Ｂを介して伝送されることとなり、コア５０１Ｂ側から入射された光信号は、ミラー５０５で反射した後、コア５０１Ｂを介して伝送されることとなるように構成されている。
【００６３】
図１１に示した光導波路部品５００では、光導波路の間（コアの間）に、ミラーが接続されており、このミラーを介して伝送されることとなる。このような構成の光導波路部品において、光導波路の間に接続される光学部品はミラーに限定されるわけではなく、ＬＤ（レーザダイオード）、ＰＤ（フォトダイオード）、プリズム、フィルター等の上述したような光学部品であってもよい。
【００６４】
このような構成からなる光導波路部品５００は、１×１光スイッチとして用いることができる。
具体的には、図１１（ａ）に示すように、光導波路部品５００において、コア５０１Ａ、５０１Ｂの部分がそれぞれ直線状であり、さらに、コア５０１Ａの光軸とミラー５０５の反射面の法線とのなす角と、コア５０１Ｂの光軸とミラー５０５の反射面の法線とのなす角とが同一である場合には、光配線５０３と光配線５０４との間で最小損失にて光信号を伝送することができる。
【００６５】
一方、光配線５０３に配設された変形手段を用いて、コア５０１Ａの一部を、所定の方向（光信号の伝送方向と略平行な方向）に押すことにより、図１１に示すように、コア５０１Ａの一部が変形して湾曲することとなる。
コア５０１Ａの形状が、このような一部が湾曲した形状となることにより、コア５０１を介して信号を伝送することができなくなる。
また、図１１（ｂ）に示すような、その一部が湾曲した形状のコアを、図１１（ａ）に示すような直線状のコアに戻すことにより、再び、光導波路を介して光信号を伝送することができるようになる。
従って、図１１に示した光導波路部品５００は、１×１光スイッチとして機能することができる。なお、光導波路部品５００は、コアを湾曲させる度合いを調節することにより、固定、または可変の光アッテネータとしても機能することができる。
【００６６】
なお、光導波路部品５００では、光配線５０３に変形手段が配設されており、コア５０１Ａを湾曲させたり、直線状に戻したりすることにより、光信号伝送のＯＮ／ＯＦＦを行っているが、このような構成に限定されるわけではなく、変形手段を光配線５０４に配設しておき、コア５０１Ｂを変形（湾曲）させることにより、光信号伝送のＯＮ／ＯＦＦを行うような構成としてもよい。
【００６７】
また、図１１（ａ）に示すような構造を有する光導波路部品では、コアを光信号の伝送方向と略平行な方向に押すことにより、光信号の伝送性を制御しているが、光信号の伝送性を制御するためにコアを変形させる方法はこのような方法に限定されるわけではない。
従って、図１１（ａ）に示す構造を有する光導波路部品では、例えば、コア５０１Ａとミラー５０５の反射面の法線とのなす角θＡと、コア５０１Ｂとミラー５０５の反射面の法線とのなす角θＢとが、同一とならないように、コア５０１Ａおよび／またはコア５０１Ｂを変形させることにより、光信号伝送のＯＮ／ＯＦＦを行ってもよい。
【００６８】
なお、本発明の光導波路部品の実施形態は、図１〜４や図１１に示した実施形態に限定されるわけではなく、ｍ×ｎ光スイッチ、光アッテネータ、光カップラとして機能に応じて、光導波路に設ける分岐部の数や位置等を適宜選択すればよい。
【００６９】
次に、本発明の光導波路部品の製造方法について説明する。
本発明の光導波路部品を製造する方法は特に限定されず、例えば、光導波路の自己形成方法を利用する方法等を用いることができる。
以下、この方法について図面を参照しながら説明する。ここでは、まず、図１に示した実施形態の光導波路部品を製造する方法を例に説明する。
【００７０】
図５（ａ）〜（ｄ）は、本発明の光導波路部品を製造する方法の一例を説明するための模式図である。
この製造方法では、まず、異なる光導波路のそれぞれの一端が向き合い、かつ、少なくとも向き合った一端がともに未硬化の感光性組成物中に浸漬されるように、上記光配線を配置する。
【００７１】
具体的には、まず、光配線１２、１２′を、それぞれの一端が向き合うように配置し、この光配線１２、１２′の端部間を包囲するように感光性組成物１１を塗布する等により、光配線１２、１２′の端部をともに、感光性組成物１１中に浸漬する（図５（ａ）参照）。
【００７２】
次に、感光性組成物１１を硬化させるための光を、一方の光配線１２から、向き合うように配置された光配線１２′に向けて照射する（図５（ｂ）参照）。
このように、一方の光配線１２から他方の光配線１２′に向かって光を照射することにより、感光性組成物１１が、光の経路に応じて，光配線１２側から除々に硬化し、光配線１２と光配線１２′とを接続する光導波路のコアが形成されることとなる（図５（ｃ）〜（ｄ）参照）。その後、各種アクチュエータ等を変形手段として取り付けることにより、光導波路部品を製造することができる。
なお、本明細書においては、光を照射することにより成長させる硬化物には、半硬化物も含むこととする。従って、光を照射することにより感光性組成物を硬化させることには、感光性組成物を半硬化させることも含むこととする。
なお、この光導波路部品では、未硬化の感光性組成物がクラッドとしての役割を果たすこととなる。
【００７３】
上述した２本の光配線を接続する光導波路部品の製造方法では、１本の光配線のみを介して、光を照射しているが、この方法に代えて、２本の光配線のそれぞれから他方の光配線に向かって光を照射してもよい。この場合、２本の光配線を介して同時に光を照射してもよいし、それぞれの光配線から交互に光を照射してもよい。
【００７４】
この製造方法において、感光性組成物を硬化させる際に照射する光としては特に限定されず、感光性組成物の組成を考慮して適宜選択すればよく、例えば、上記感光性組成物が紫外線領域にて感光性を有する組成物であれば、紫外線領域の波長の光を照射すればよい。また、紫外線領域の波長の光を照射する光源としては、例えば、高圧水銀ランプ等を用いることができる。また、メタルハライドランプやキセノンランプ、レーザ等も使用することができる。
【００７５】
この製造方法では、照射した光の経路に応じて、光を照射した光配線側から除々にコアが形成されていくこととなる。
従って、この製造方法で用いる感光性組成物は、硬化後に、その屈折率が硬化前よりも高くなるものであることが望ましい。硬化後に屈折率が高くなることにより、光配線を介して照射した光が形成されたコアに閉じ込められつつ、先端から集中的に照射されることとなり、光の経路に応じた光導波路をより確実に製造することができるからである。
【００７６】
また、この製造方法で光導波路部品を製造する際に用いる感光性組成物の屈折率の大きさは特に限定されるものではなく、光配線と光導波路との接続形態等を考慮して適宜選択すればよい。
すなわち、光配線と光導波路とを直線状に接続する場合には、光配線のコアの屈折率と、感光性組成物の硬化後の屈折率との差が小さいことが望ましい。
屈折率の差が小さい場合には、上記光配線の端面に特に平坦化処理が施されていない場合や、上記光配線の端面のＪＩＳ  Ｂ  ０６０１に基づく面粗度が０．１μｍ以上であっても、該光配線との接続性に優れた光導波路のコアを形成することができるからである。
【００７７】
なお、本明細書において、屈折率とは、Ｎａの輝線５８９ｎｍの光を通過させたときの屈折率を意味する。
また、光配線や光導波路に用いる樹脂等の屈折率は、その波長に依存して変化するが、その比（光導波路のコアの屈折率／光配線のコアの屈折率）は、例えば、紫外線領域〜近赤外線領域において殆ど変わらない。
【００７８】
さらに、光配線と光導波路とを直線状に接続する場合には、上記感光性組成物の硬化前の屈折率、すなわち、上記感光性組成物自体の屈折率もまた、光配線のコアとの屈折率の差が小さいことが望ましい。
【００７９】
また、光配線と光導波路とをその接続部で折れ曲がった形状に接続する場合には、光配線の屈折率と光導波路の屈折率とは異なることが望ましい。
屈折率の異なる光配線と光導波路との間で光信号を伝送する場合、光配線と光導波路との界面で光が屈折することとなるため、光配線と光導波路とがその接続部で折れ曲がった形状に接続されている場合にも、確実に光信号を伝送することができるからである。なお、上記光配線および上記光導波路のそれぞれの屈折率は、光配線と光導波路との接続部での折れ曲がり具合等を考慮して、適宜選択すればよい。
【００８０】
また、この製造方法では、所望の屈折率を有する感光性組成物を選択して使用することが望ましいが、上記した範囲外の屈折率となる感光性組成物であっても、その屈折率を調整して使用することができる。また、ここで、感光性組成物等の屈折率を調整する場合には、硬化前後の屈折率が所望の大きさとなるように調整することが望ましい。
【００８１】
一般に、高分子の屈折率は、分子屈折と分子容との比が大きければ大きくなるため、分子屈折および／または分子容を調整することにより、高分子の屈折率を調整することができる。
【００８２】
具体的には、分子屈折（高分子の折り返し単位を構成する個々の基の原子屈折の総和）を調整する場合には、例えば、塩素、イオウ等の分極率の大きな基を導入すると原子屈折が上がるため、分子屈折を大きくすることができる。
また、二重結合基や芳香族環基を導入し、分子の対称性を下げた場合にも分極率が大きくなり、原子屈折が上がるため、分子屈折を大きくすることができる。
【００８３】
また、分子容（分子量／密度）を調整する場合には、例えば、密度を調整すればよく、この場合には、例えば、架橋点間分子量を小さくすることにより密度を大きくすることができる。
また、例えば、フッ素は分極率に比してその体積が大きいため、フッ素を含む基を導入することによっても密度を大きくすることができる。
【００８４】
なお、本明細書において、光配線のコアの屈折率とは、光配線のコアがステップインデックス光ファイバ（ＳＩ型光ファイバ）のコアのように単一の屈折率を有するものである場合には、その屈折率をいい、グレーデッドインデックス光ファイバのようにある範囲の屈折率を有するものである場合には、そのピーク屈折率をいう。
【００８５】
このような工程を経ることにより、コアからなる光導波路の両端のそれぞれが光配線と接続された光導波路部品を製造することができる。
なお、上述した工程を経て製造した光導波路部品では、コアからなる光導波路の周囲に、未硬化のまま残る液状の感光性組成物が、クラッドとしての役割を果たすこととなる。
【００８６】
また、上述した製造方法により、コアからなる光導波路を製造した場合には、このコアの周囲に変形可能な程度にまで硬化したクラッドを形成してもよい。
具体的には、例えば、コアからなる光導波路を形成した後、その周囲の未硬化の感光性組成物を除去し、続いて、上記コアを別の樹脂組成物（感光性組成物であってもよいし、感光性組成物でなくてもよい）に浸漬した後、この樹脂組成物に硬化処理を施すことにより硬化したクラッドを形成してもよい。
しかしながら、この方法は、未硬化の感光性組成物を除去する際等に、コアの取り扱いを極めて慎重に行わなければならず、あまり実用的ではなかった。
【００８７】
従って、コアの周囲に変形可能な程度にまで硬化したクラッドを形成する場合には、例えば、下記のような方法を用いることが望ましい。
すなわち、光導波路のコアを形成するための感光性組成物（以下、コア形成用樹脂ともいう）中に、予め、別途、クラッドを形成するための樹脂（以下、クラッド形成用樹脂ともいう）を混合しておく。
ここで、クラッド形成用樹脂としては、上記コアを形成するための感光性組成物よりも強い強度の光を受けて初めて重合する感光性組成物であって、硬化前後の屈折率がともにコアの屈折率よりも小さいものを選択しておく。上記クラッド形成用樹脂としては、上記した特性を有するものであれば、上述した感光性組成物を適宜選択して使用することができる。
【００８８】
そして、上述したように、光配線を介して光を照射する。その際、コア形成用樹脂の重合は可能であるが、クラッド形成用樹脂の重合は実質的に殆ど不可能な強度の光を照射する。
すると、感光性組成物のうち感光性がより高いコア形成用樹脂が選択的に重合を開始する。コア形成用樹脂およびクラッド形成用樹脂を含む感光性組成物のうち、コア形成用樹脂が重合を始めると、未硬化のクラッド形成用樹脂は、流動性を保っているため、硬化していくコア形成用樹脂から排除されていく。また、コアの屈折率は未硬化のクラッド形成用樹脂の屈折率よりも大きいため、光配線を介して照射した光は形成されたコアに閉じ込められつつ、先端に集中的に照射される。その結果、光配線の一端から照射された光によって、光の経路に応じてコア形成用樹脂が優先的に硬化し、その光の経路に応じたコアが形成され、その周囲を未硬化の感光性組成物が包囲した状態となる。
【００８９】
この後、例えば、光源からの光を未硬化の感光性組成物全体に照射することができるようにし、光源の出力を上げてクラッド形成用樹脂を重合させることが可能な強度の光を照射する。すると、クラッド形成用樹脂および未硬化のコア形成用樹脂が硬化してコアからなる光導波路の周囲に硬化したクラッドを形成することができる。
【００９０】
このように、予め重合反応が進行する光の強度が異なる２種類の感光性組成物を混合しておき、コアとクラッドとを形成する場合、コア形成用樹脂およびクラッド形成用樹脂としては、例えば、互いに異なる重合反応機構を経て重合反応が進行する樹脂を選択することができる。
すなわち、アクリル系樹脂に代表されるようなラジカルによる逐次重合反応によって重合が進むラジカル重合系の感光性組成物と、エポキシ系樹脂に代表されるようなイオン対を介して重合が進むカチオン重合系の感光性組成物とを選択することができる。これらを選択した場合、ラジカル重合系の感光性組成物の方が、カチオン重合系の感光性組成物よりも重合反応が急速に進行するため、光の強度が弱い場合には、アクリル系樹脂だけが選択的に重合することになる。
【００９１】
また、より確実に一方の感光性組成物の重合が進行するように、上述の２種類の感光性組成物の重合の進み具合にさらに差をつけてもよい。
これは、例えば、ラジカル重合系の感光性組成物の重合反応速度を速くすることにより行うことができる。具体的には、アクリル系樹脂を例にとると、アクリル系樹脂の単位質量あたりに含まれるアクリル基の数を多く（すなわち、アクリル当量を少なく）したり、単量体の濃度を高めたりすることにより、重合に関与する反応基の濃度を高くして重合反応速度を速くすることができる。また、光重合開始剤の量子収率（光子量あたりのラジカル生成量）や濃度を高くして重合反応速度を速くすることもできる。
【００９２】
また、２種類の感光性組成物の重合の進み具合に差をつけることは、カチオン重合系の感光性組成物の重合反応速度を遅くすることによっても行うことができる。具体的には、エポキシ系樹脂を例にとると、エポキシ系樹脂の単位質量あたりに含まれるエポキシ基の数を少なく（すなわち、エポキシ当量を多く）したり、単量体の濃度を低くしたりすることにより、重合に関与する反応基の濃度を低くして重合反応速度を遅くすることができる。また、重合に関与するイオン対の非求核性を低くしたり、または、光重合開始剤の量子収率（光子量あたりのカチオン生成量）を低くしたりすることにより重合反応速度を遅くすることもできる。
【００９３】
また、同一の機構を経て重合反応が進行する感光性組成物同士を混合しても、どちらか一方の感光性組成物のみを選択的に重合させることができる。この場合、同一の機構で反応が進行するため、光重合開始剤や増感剤の異なる感光性組成物同士を混合しても選択的に重合させることは困難であるが、マトリクスであるオリゴマ分子に反応基の濃度差をつけることにより一方の感光性組成物のみを選択的に重合させることができる。例えば、ラジカル重合系のアクリル樹脂であれば、反応基であるアクリル当量に差をつければ、ある照射光にて反応基の多い（すなわち、アクリル当量の少ない）方が選択的に重合する。
【００９４】
このようなコア形成用樹脂およびクラッド形成用樹脂を用いて光導波路を形成する場合、１種類の光源で両者の重合反応を行うことができるため、設備コストや工程数を少なくすることができる。
なお、コア形成用樹脂とクラッド形成用樹脂とを選択する際に、両者の硬化波長が全く同一でない場合でも、増感剤等を添加することにより、１種類の光源で両者の重合反応を行うことができる。これは、照射する光の波長域に吸収を持たないか、または、少量しか持たない感光性組成物であっても、その波長域に吸収を持つ適当な増感剤を添加し、その増感剤が吸収したエネルギーを利用することにより、重合反応を進行させることができるからである。すなわち、増感剤を添加すると照射光の波長域内に大きな吸収を持たせ、結果として感度を増大させることができる。一般にこのような増感された吸収波長域はラジカル発生剤本来の持つ吸収波長域よりもより長波長側に拡大され、光源の発する光子を効率よく利用することができるので、感度が上昇する。
【００９５】
また、上記クラッド形成用樹脂として、上記した特性を有する感光性組成物に代えて、加熱処理を行うことにより始めて重合が進行する樹脂組成物を選択し、さらに、コアを形成した後、強度の強い光を未硬化の感光性組成物全体に照射する方法に代えて、未硬化の樹脂を加熱硬化させる方法を用いて、変形可能な程度に硬化したクラッドを形成し、光導波路としてもよい。
【００９６】
さらには、クラッド形成用樹脂として、上記コア形成用樹脂とは異なる波長の光を照射することにより初めて重合し、硬化後の屈折率が硬化後のコア形成用樹脂の屈折率よりも小さいものを選択しておき、コアを形成した後、未硬化の感光性組成物全体にクラッド形成用樹脂が重合する波長の光を照射する方法を用いてクラッドを形成し、コアの周囲に安定なクラッドを形成してもよい。
なお、２種類以上の感光性組成物（例えば、コア形成用樹脂とクラッド形成用樹脂）を含むものを用いる場合、その混合比は特に限定されない。
このような製造方法を用いることにより、光配線との接続性に優れるとともに、系全体が固体化して安定性に優れる光導波路を製造することができる。
【００９７】
ここでは、感光性組成物中に光配線の一端を浸漬して光導波路を製造する方法について説明したが、このとき、光配線に代えて、発光素子等の光学部品を使用し、その発光面（発光部）を感光性組成物中に浸漬したり、該発光面に感光性組成物を塗り付けたりすることにより、光学部品の発光面に直接取り付けられたコアを形成することができる。
このように、コアが直接取り付けられた光配線や光学部品では、光導波路（コア）と光配線等との間で位置合わせが不要である。
【００９８】
また、上述した方法で光導波路部品を製造する場合には、対向配置する２本の光配線の光軸は必ずしも一致していなくてもよい。このような場合であっても、２本のそれぞれに接続された光導波路のコアを形成することができるからである。
【００９９】
すなわち、まず、２本の光配線のそれぞれの少なくとも一端を感光性組成物に浸漬する。ここで、２本の光配線同士は、その光軸はずれているが、光配線の一端同士はほぼ対向するよう光配線を配置する。
次に、２本の光配線のそれぞれから、感光性組成物を硬化させるための光を相手側の光配線に向けて照射する。この場合、２本の光配線から出射される互いの出射光が重なり合う部分において、光の強度が高くなる。そのため、この光が重なり合う部分における光の強度のみが、コア形成用樹脂の重合可能な強度となるように、照射光の強度を設定することにより、その両端のそれぞれが光配線に接続された光導波路のコアを形成することができる。
【０１００】
なお、ここでは、感光性組成物を用いて光導波路を製造する方法について説明したが、本発明の光導波路部品を構成する光導波路が感光性組成物以外の樹脂組成物からなる場合には、例えば、以下のような方法により光導波路を製造することができる。
すなわち、異なる光配線をそれぞれの一端が向き合うように配置し、それぞれの一端の間に、例えば、熱硬化性樹脂等を含む樹脂組成物が充填された筒状のコア形成用部材を配置して、所定の温度で加熱することにより、異なる光配線間を接続するコアを形成し、その後、上記コアを残してコア形成用部材を取り除くことにより、光導波路のコアを形成することができる。
【０１０１】
ここまでは、光導波路の自己形成方法を利用して光導波路が分岐部を有さない光導波路部品を製造する方法について説明したが、光導波路が分岐部を有する光導波路部品もまた光導波路の自己形成方法を利用して製造することができる。
【０１０２】
以下、光導波路の自己形成方法を利用して、光導波路が分岐部を有する光導波路部品を製造する方法について図面を参照しながら説明する。ここでは、図６を参照しながら説明した実施形態の光導波路部品を製造する方法について説明する。図６（ａ）〜（ｄ）は、本発明の光導波路部品を製造する方法の別の一例を説明するための模式図である。
【０１０３】
（１）この製造方法では、まず、未硬化の感光性組成物２１等を光配線２２の一端を包み込むように塗布する等により、光配線２２の一端を感光性組成物２１中に浸漬する。
次に、感光性組成物２１を硬化させるための光を、光配線２２を介して感光性組成物２１中に照射する。このように感光性組成物２１中に光を照射することにより、感光性組成物２１が光の経路に応じて、光配線側から除々に硬化し、光の経路に応じた光導波路を形成することができる。
【０１０４】
また、この方法では、感光性組成物２１中に光を照射する際に、予め、光の経路上にあて板２５を配置しておく。このように、あて板を配置することにより、光導波路２４の光配線２２側と反対側の端部に、光導波路２４の光軸とのなす角が所望の角度（鋭角）の端面を形成することができる（図６（ａ）、（ｂ）参照）。
【０１０５】
（２）次に、未硬化の感光性組成物２１を取り除き、硬化後の屈折率が光導波路２４の屈折率と異なる別の感光性組成物２６を、少なくとも光導波路２４の光配線２２側と反対側の端部を包み込むように塗布する。
その後、光配線２２および光導波路４を介して感光性組成物２６中に光を照射する（図６（ｃ）参照）。
【０１０６】
なお、ここで、硬化後の屈折率が光導波路２４の屈折率と異なる別の感光性組成物を用いる理由を簡単に説明しておく。すなわち、この製造方法で得られる光配線接続体では、光導波路が分岐部で折れ曲がることとなるが、上記分岐部を挟んで屈折率が異なることとなる場合には、光導波路を介して伝送される光が分岐部で屈折することとなるため、光導波路が折れ曲がっていても、光が確実に伝送されることとなるからである。
【０１０７】
このような方法を用いて、感光性組成物２６に光を照射する場合、光配線２２および光導波路２４を介して照射する光の一部は、光導波路２４の端面を透過して感光性組成物２６中に照射されることとなる。また、光配線２２および光導波路２４を介して照射する光の他の一部は、光導波路２４の光配線２２側と反対側の端面で反射し、この光導波路２４の端部の側面を介して感光性組成物２６中に照射されることとなる。
なお、ここで、光導波路の端部の側面とは、光導波路の端部の近傍の側面を意味する。
【０１０８】
このようにして感光性組成物２６中に光を照射することにより、光導波路２４の端面を介して照射した光と、光導波路２４の端部の側面を介して照射した光とのそれぞれの光の経路に応じた光導波路２７ａおよび光導波路２７ｂが形成されることとなる。
【０１０９】
（３）次に、光導波路２７ａ、２７ｂの光導波路２４と接続された側と反対側のそれぞれの端部に、光配線（図示せず）を接続し、さらに、変形手段を取り付けることにより、本発明の光導波路部品とすることができる。
ここで、光配線を接続する方法としては、接着剤を介して光配線を接続してもよいし、図５を参照しながら説明した製造方法と同様、光導波路２４の端面を介して照射する光、および、光導波路２４の端部の側面を介して照射する光のそれぞれの光路上に、予め、別の光配線を配置しておくことにより、光導波路２７ａ、２７ｂとこれらの光配線とを接続してもよい。
このような工程を経ることにより、光導波路が分岐部を有する光導波路部品を製造することができる。
【０１１０】
また、上述したような光導波路の間に光学部品が接続された構成の光導波路を製造する場合も、光導波路の光導波路の自己形成方法を利用する方法を用いることができる。
この場合には、まず、上述したように、光配線の一端を感光性組成物に浸漬し、該感光性組成物中に光を照射する際に、予め、その光路上にミラー等の光学部品を配置しておき、さらに、このミラーを介して反射する照射光の光路上に別の光配線を載置しておく。その後、光配線を介して感光性組成物中に光を照射することにより、光導波路およびミラーを介して光配線同士が接続され、光導波路の間に光学部品が接続された構成を有する光導波路部品が得られる。
【０１１１】
また、本発明の光導波路部品を製造する方法としては、例えば、反応性イオンエッチングを用いた方法、露光現像法、金型形成法、レジスト形成法、これらを組み合わせた方法等を用いて所望の形状の光導波路を形成し、その後、変形手段の配設と、必要に応じて光配線の接続とを行う方法等を用いることもできる。
【０１１２】
上記反応性イオンエッチング用いた方法を利用する方法では、
（ｉ）まず、基板、離型フィルム、または、クラッド用樹脂層上にコア形成用樹脂を塗布し、さらに、必要に応じて、硬化処理を施すことによりコア形成用樹脂層とする。
（ｉｉ）次に、上記コア形成用樹脂層上に、マスク形成用の樹脂層を形成し、次いで、このマスク形成用の樹脂層に露光現像処理を施すことにより、コア形成用樹脂層上にマスク（エッチングレジスト）を形成する。
（ｉｉｉ）コア形成用樹脂層に反応性イオンエッチングを施すことにより、マスク非形成部分のコア形成用樹脂層を除去し、コアを形成する。このような工程を経ることにより、光導波路のコアを製造することができる。
【０１１３】
また、コアを形成した後、このコアを覆うようにクラッド形成用樹脂を塗布し、さらに、必要に応じて、硬化処理を施すことにより、上記コアを覆うクラッド用樹脂層を形成してもよい。
なお、クラッド用樹脂層上にコアを形成し、さらに、コアを覆うようにクラッド用樹脂層を形成した場合には、コアがクラッド用樹脂にすべて囲まれた光導波路を形成することができる。
【０１１４】
このような方法により光導波路を製造した後は、この光導波路の端部に、必要に応じて、接着剤等を介して光配線を接続した後、基板等から光導波路を剥離し、さらに、変形手段を取り付けることにより本発明の光導波路部品とすることができる。
【０１１５】
また、上記露光現像法を利用する方法では、
（ｉ）まず、基板、離型フィルム、または、クラッド用樹脂層上にコア形成用樹脂を塗布し、さらに、必要に応じて、半硬化処理を施すことによりコア形成用樹脂層を形成する。
（ｉｉ）次に、上記コア形成用樹脂層上に、コア形成部分に対応したパターンが描画されたマスクを載置し、その後、露光現像処理を施すことによりコアを形成する。このような工程を経ることにより、光導波路のコアを製造することができる。
【０１１６】
また、コアを形成した後、このコアを覆うようにクラッド形成用樹脂を塗布し、さらに、必要に応じて、硬化処理を施すことにより、上記コアを覆うクラッド用樹脂層を形成してもよい。
なお、クラッド用樹脂層上にコアを形成し、さらに、コアを覆うようにクラッド用樹脂層を形成した場合には、コアがクラッド用樹脂にすべて囲まれた光導波路を形成することができる。
【０１１７】
このような方法により光導波路を製造した後は、上述した方法と同様の方法で、光配線の接続や、基板等の剥離、変形手段の取り付けを行うことにより本発明の光導波路部品とすることができる。
【０１１８】
また、上記金型形成法を利用する方法では、
（ｉ）まず、基板、離型フィルム、または、クラッド用樹脂層上に金型形成によりコアを形成するための溝を形成する。
（ｉｉ）次に、上記溝内にコア形成用樹脂を印刷により充填し、その後、硬化処理を施すことによりコアを形成する。このような工程を経ることにより、光導波路のコアを製造することができる。
【０１１９】
また、コアを形成した後、このコアを覆うようにクラッド形成用樹脂を塗布し、さらに、必要に応じて、硬化処理を施すことにより、上記コアを覆うクラッド用樹脂層を形成してもよい。
なお、クラッド用樹脂層上にコアを形成し、さらに、コアを覆うようにクラッド用樹脂層を形成した場合には、コアがクラッド用樹脂にすべて囲まれた光導波路を形成することができる。
【０１２０】
このような方法により光導波路を製造した後は、上述した方法と同様の方法で、光配線の接続や、基板等の剥離、変形手段の取り付けを行うことにより本発明の光導波路部品とすることができる。
【０１２１】
また、上記レジスト形成法を利用する方法では、
（ｉ）まず、基板、離型フィルム、または、クラッド用樹脂層上にレジスト用樹脂組成物を塗布した後、露光現像処理を施すことにより、上記基板等上のコア非形成部分に、コア形成用レジストを形成する。
（ｉｉ）次に、上記レジスト非形成部分にコア形成用樹脂の塗布し、さらに、コア形成用樹脂を硬化した後、上記コア形成用レジストを剥離することによりコアを形成する。このような工程を経ることにより、光導波路のコアを形成することができる。
【０１２２】
また、コアを形成した後、このコアを覆うようにクラッド形成用樹脂を塗布し、さらに、必要に応じて、硬化処理を施すことにより、上記コアを覆うクラッド用樹脂層を形成してもよい。
なお、クラッド用樹脂層上にコアを形成し、さらに、コアを覆うようにクラッド用樹脂層を形成した場合には、コアがクラッド用樹脂にすべて囲まれた光導波路を形成することができる。
【０１２３】
このような方法により光導波路を製造した後は、上述した方法と同様の方法で、光配線の接続や、基板等の剥離、変形手段の取り付けを行うことにより本発明の光導波路部品とすることができる。
【０１２４】
また、これらの方法で光導波路部品を製造する場合において、光導波路のコアのみを形成した場合には、光配線と接続したり、変形手段を取り付けたりした後、このコアの周囲をクラッドとして機能することができる液状の樹脂組成物で満たしてもよい。
本発明の光導波路部品は、このような種々の方法を用いて製造することができる。
【０１２５】
【実施例】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
【０１２６】
（実施例１：図７参照）
（１）端面処理を施した長さ１ｍ程度のＧＩ型石英製マルチモードファイバ（フジクラ社製、コア／クラッド＝５０μｍ／１２５μｍ）を２本用意した。
（２）それぞれのファイバ１２、１２′の片端より、２５０Ｗの高圧水銀ランプを光源とした紫外線照射装置１５（松下マシンアンドビジョン社製、５２５２Ｌ）より主に２００〜５００ｎｍの波長範囲に分光分布を持つ紫外線を入力して、出射側とするそれぞれのファイバ１２、１２′のもう一方の端から照射される紫外線照度を紫外線照射計（ウシオ電機社製、ＵＩＴ−１５０）を用いて０．３ｍＷ／ｃｍ２になるように調整した。
【０１２７】
（３）次に、ファイバ１２、１２′のそれぞれを２台の光学微動台（ＸＹステージ）（図示せず）上に載置した光ファイバ固定台のそれぞれに固定し、それぞれの出射側のファイバ１２、１２′の端部を２０００μｍ程度の間隔をあけて光ファイバ用Ｖ溝基板１６（モリテックス社製、石英Ｖ溝）につき合わせて位置させ、さらに、そのつき合わせ部全体に、感光性組成物１１（Ｌｏｃｔｉｔｅ社製、ＬｏｃｔｉｔｅＮｏ．３５８；波長５８９ｎｍにおける硬化後の屈折率が１．５１）をファイバ１２、１２′間に隙間なく埋まるように塗布した。その後、Ｖ溝押さえ板にて、つき合わせ部および感光性組成物１１を挟みこんで固定した。但し、後述するファイバの押しこみを考慮して、光学微動台にてファイバが可動な程度に挟み込み量を調整した。
【０１２８】
（４）次に、上記（３）の状態にファイバ１２、１２′を保持したまま、上記（２）で照度を調整した紫外線をそれぞれのファイバ１２、１２′の出射端より同時に感光性組成物１１中に１０秒間照射してコアを形成し、変形手段として光学微動台を用いた光導波路部品とした。
その後、形成したコアの形状を顕微鏡（キーエンス社製、ＶＨ−７０００）を用いて観察した。その結果、双方のファイバ１２、１２′の出射端よりコアが形成され、それぞれのコアが真中付近で結合していることが顕微鏡で観察された。
【０１２９】
さらに、上記（１）〜（４）の工程を経て製造した光導波路部品において、可視光をファイバ１２の出射端より照射し、光導波路からの漏光を観察することによっても、光導波路形状に沿って漏光が観察され、形成した光導波路に出射した光が上記光導波路内に閉じ込められていることが確認された。
【０１３０】
また、波長８５０ｎｍの赤外線を、ファイバ１２の光導波路と接続された側と反対側の端部より入射し、光導波路内を導波させ、ファイバ１２′の光導波路と接続された側と反対側の端部から出射される赤外線強度を測定し、光損失を算出した。その結果、光導波路部品の光損失は、１．８ｄＢであった。
【０１３１】
次に、上記光学微動台を用いて、光信号の伝送方向と略平行な方向に、光導波路を片側から、その端部を５０μｍ押し込んだ。この状態の光導波路を顕微鏡で観察したところ、光導波路の一部が湾曲していることが確認された。
また、このような湾曲した状態の光導波路において、可視光をファイバ１２の出射端より照射し、光導波路からの漏光を観察したところ、光導波路の湾曲した部分で放射光が観察され、光導波路内に光が閉じ込められていないことが確認された。
【０１３２】
また、光導波路の一部が湾曲した状態の光損失について、上述した方法と同様の方法を用いて測定、算出したところ、３２ｄＢであった。この光量は、光導波路を押し込む前に測定した光量に比べ、１０００分の１（３０ｄＢ）以上に減じている。
このような結果より、実施例１で作製した光導波路部品は、消光比３０ｄＢ以上の光アッテネータとして機能することが明らかとなった。
【０１３３】
さらに、上記光学微動台を用いて、光信号の伝送方向と略平行な方向に、光導波路を片側から、その端部を５０μｍ引き戻して元の長さに戻した。この状態の光導波路を顕微鏡で観察したところ、光導波路は初期の状態のようにまっすぐになっており、可視光をファイバ１２の出射端より照射し、光導波路からの漏光を観察することによっても、光導波路形状に沿って漏光が観察され、形成した光導波路に出射した光が上記光導波路内に閉じ込められていることが確認された。この状態の光損失について、上述した方法と同様の方法を用いて光損失を測定したところ、１．８ｄＢと元と等価な状態に復帰していた。
このような結果より、実施例１で作製した光導波路部品は、消光比３０ｄＢ以上の光アッテネータのみならず、ＯＮ／ＯＦＦ機能を有する光スイッチとして機能することが明らかとなった。
【０１３４】
さらに、上記光学微動台を用いて光導波路を形状を直線状に一旦戻し、その後、光信号の伝送方向と略平行な方向に、光導波路を片側から、１０μｍずつ、５０μｍまで、段階的に押し込んでいった。この状態の光導波路を顕微鏡で観察したところ、光導波路の一部が徐々に湾曲していくことが確認された。
このような段階的に湾曲していく状態の光導波路において、可視光をファイバ１２の出射端より照射し、光導波路からの漏光を観察したところ、光導波路の形状に沿った漏光が観察されたものの、光導波路の段階的に湾曲していく部分では放射光も観察され、その度合いは押し込み量とともに増していき、光導波路内に完全に光が閉じ込められているわけではないものと考えられた。
【０１３５】
また、上記と同様に段階的に湾曲していく光導波路について、その押し込み量に伴う光損失の変化を、上述した方法と同様の方法を用いて測定、算出した。その結果を表１２に示した。
表１２の結果から明らかなように、その光損失は、それぞれの押し込み量（１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍ）に対して、３．５ｄＢ、９．５ｄＢ、１９．５ｄＢ、２６．５ｄＢ、３２ｄＢと段階的に変化していった。このような結果より、実施例１で製造した光導波路部品は、可変の光アッテネータとしても機能することが明らかとなった。
【０１３６】
また、上記（１）〜（４）の工程を経て作製した光スイッチにおいて、２０００μｍの光導波路についてのＯＮ／ＯＦＦ切り替え操作、即ち、光導波路を５０μｍ押し込む操作（ＯＦＦ）と光導波路を５０μｍ引き戻す操作（ＯＮ）とを１０００回繰り返した。
このような繰り返しの切り替え操作において、その応答波形を測定した。その結果の一部を図１３に示した。なお、図１３は、切り替え操作における１００〜１０３回目の応答波形を示す。
図１３の応答波形からも明らかなように、測定される測定値は、いずれも再現性よく３２ｄＢ以上（ＯＦＦ時）／１．８ｄＢ（ＯＮ時）を維持しており、繰り返しの操作に耐えうることが確認された。なお、図１３には、１０００回の切り替え操作を行った際に得られた応答波形のうちの一部であるが、１回目〜１０００回目の応答の切り替え操作において、同様の応答波形が得られている。
従って、上述したような、繰り返し切り替え操作を行うことにより、本実施例に係る光導波路部品は、光導波路の変位量が５０μｍと非常に少ないため、光学微動台の移動も迅速に行うことができ、図１３に示したように略矩形の応答波形を得ることができることが明らかとなった。
【０１３７】
上述したように、実施例１にかかる光スイッチは充分に光スイッチとしての機能を有するものであったが、この光スイッチでは、スイッチング時間が短くなるに伴い、図１３に示した応答波形において、ＯＦＦからＯＮへの切り替えの際にみられる若干のなだらかな損失値の上昇がスイッチとしての機能を鈍らせることとなる。従って、光スイッチとしてより良好な応答を得るためには、さらに、矩形の応答波形が望まれることとなる。
【０１３８】
また、スイッチング時間を短縮した際のなだらかな損失値の上昇は、ＯＦＦからＯＮへの切り替えの際に、コアが、その周囲に存在する液状のクラッドの影響を受け、湾曲した状態から直線状の状態にすぐに戻ることができないことを原因とするものと推察される。
そこで、光スイッチの応答性を改善すべく、以下の実施例を行った。
【０１３９】
（実施例２）
実施例１の（１）〜（４）の工程と同様の工程を経て光スイッチを作製し、２０００μｍの光導波路についてのＯＮ／ＯＦＦ切り替え操作を行った。ここで、光導波路を５０μｍ押し込む操作をおこなってＯＦＦにした後、光導波路を引き戻してＯＮにする際に、一旦６０μｍ引き戻し、即ち、一旦過剰に引き戻し（ＯＮ１）、その後すぐに、１０μｍ戻して所定の位置に返す（ＯＮ２）という操作を経て光導波路をＯＮにした。
このようなＯＮ／ＯＦＦ操作を繰り返すことにより得られた応答波形を図１４に示す。なお、応答波形は実施例１と同様の方法により測定した。
【０１４０】
その結果、実施例１で測定した応答波形と比べて、明らかにより矩形状の応答波形がえられた。
このように、光導波路をＯＮに切り替える際に、一旦６０μｍ引き戻した状態（ＯＮ１）では、１０μｍ過剰に引き戻されているため、光導波路のコアに張力が掛かることとなる。従って、コアが所定の状態に戻りやすくなっており、このとき１０μｍ返す操作（ＯＮ２）を行うとコアはすぐに所定の状態にもどることができる。その結果、実施例１と比べて矩形状の、即ち応答性に優れる応答波形を得ることができる。
【０１４１】
なお、張力のかかった導波路については、特開２００３−１２１６７７号公報に記載されているように、この構造自体は安定に存在し、この意味では引っ張ったままの状態を維持しておいても矩形な応答は得られる。しかしながら、同公報に記載されているように、引圧をかけたままではその損失値が元の状態に比べて減少することがあるので、実施例２では、すぐに１０μｍ戻してコアを元の位置に返すという操作を行っている。勿論、引圧を掛けたままでも損失値が減少しない場合や、減少、また何らの理由で上昇しても問題が発生しない場合には、この操作は必要ない。
このように、実施例１で得られた応答波形は、実施例２のような少しの操作改善により、改善することが可能である。
【０１４２】
（実施例３：図８参照）
（１）平坦な石英のガラス板３８（波長５８９ｎｍにおける屈折率：１．４６）上に、実施例１で使用した感光性組成物（ＬｏｃｔｉｔｅＮｏ．３５８）をスピンコートで、硬化後の膜厚が４０μｍとなるように塗布し、コア形成用樹脂層を形成した。
【０１４３】
（２）次に、一箇所の分岐部３４ａを有するコアパターン（幅４０μｍ）が描画されたマスク（図示せず）を、コア形成用樹脂層上に載置し、その後、露光処理を施してコア３４（３４Ａ、３４Ｂおよび３４Ｃからなる）を形成した。なお、ここでは分岐したコアのうち、実質的にいずれか一方のコア（３４Ｂまたは３４Ｃ）にのみ光が伝送される形状にコアを設計した（図８（ａ）参照）。
【０１４４】
（３）次に、上記コア３４（３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ）のそれぞれの端部に、上記感光性組成物を接着剤として用いファイバ３２、３５、３６を接続し、石英のガラス板を取り除くことにより光導波路部品とした（図８（ｂ）参照）。また、ここで接続したファイバは光ファイバ固定台で固定されており、さらに、分岐していない側のコアに接続されたファイバ３２を固定した光ファイバ固定台は、光学微動台（ＸＹステージ）（図示せず）上に載置した。従って、本実施例で製造した光導波路部品は、変形手段として光学微動台を用いている。
なお、本実施例で製造した光導波路部品は、クラッドが空気から構成されていることとなる。
【０１４５】
次に、このようにして製造した光導波路部品について、波長８５０ｎｍの赤外線を、ファイバ３２の光導波路と接続した側と反対側の端部より入射し、ファイバ３５、３６のそれぞれの光導波路と接続した側と反対側の端部から出射される赤外線強度を測定し、ファイバ３２とファイバ３５との間の光損失、および、ファイバ３２とファイバ３６との間の光損失を算出した。
その結果、ファイバ３２とファイバ３６との間の光損失は、１ｄＢであった。一方、ファイバ３５から出射される赤外線強度より算出した光損失は３５ｄＢであった。従って、ここで作製した光導波路部品は、ファイバ３２とファイバ３６を接続するための、ほぼ単独の光導波路として機能することが明らかとなった。
【０１４６】
次に、光学微動台を用いて、ファイバ３２を動かすことにより、光導波路３４を変形させ（光導波路３４Ａを分岐部３４ａで曲げ）、ファイバ３２とファイバ３５とが一直線状（光導波路３４Ａと光導波路３４Ｃとが一直線状）にあるようにした（図９参照）。
その後、上述した方法と同様の方法を用いて、ファイバ３２とファイバ３５との間の光損失、および、ファイバ３２とファイバ３６との間の光損失を算出した。その結果、ファイバ３２とファイバ３５との間の光損失は、１ｄＢであった。一方、ファイバ３６から出射される赤外線強度より算出した光損失は３５ｄＢであった。したがってこの変形により当光導波路部品は、ファイバ３２とファイバ３５を接続するための、ほぼ単独の光導波路として機能することが明らかとなった。
このような結果より、実施例３で製造した光導波路部品は、光スイッチとして機能することが明らかとなった。
【０１４７】
（実施例４：図１０参照）
（１）端面処理を施した長さ１ｍ程度のＧＩ型石英製マルチモードファイバ（フジクラ社製、コア／クラッド＝５０μｍ／１２５μｍ）を３本用意した。また、ここで準備した３本のファイバのそれぞれは、光学微動台（ＸＹステージ）（図示せず）上に載置した光ファイバ固定台に固定しておいた。
【０１４８】
（２）まず、一本のファイバの一端に、感光性組成物４１（Ｌｏｃｔｉｔｅ社製、ＬｏｃｔｉｔｅＮｏ．３５８；波長５８９ｎｍにおける硬化後の屈折率：１．５１）を塗り付け、２５０Ｗの高圧水銀ランプを光源とした紫外線照射装置２５（松下マシンアンドビジョン社製、５２５２Ｌ）より２００〜５００ｎｍの波長範囲に分光分布を持つ紫外線を入射して、ファイバ４２の他端から出射される紫外線照度を紫外線照度計（ウシオ電機社製、ＵＩＴ−１５０）を用いて０．３ｍＷ／ｃｍ２になるように調整した。
【０１４９】
（３）次に、出射側のファイバ４２の端部を光ファイバ用Ｖ溝基板（図示せず）（モリテックス社製、石英Ｖ溝）に位置させ、その後、照射光の光路上に石英ガラスからなるあて板４５を、ファイバ４２の光軸とのなす角が１３°となるように配置し、さらに、そのファイバ４２の端部全体に、上記（２）で用いた感光性組成物４１を隙間なく埋まるように塗布した。その後、Ｖ溝押さえ板にてファイバ４２の端部および感光性組成物４１を動かないように挟み込んだ。
【０１５０】
（４）次に、上記（３）の状態にファイバ４２を保持したまま、上記（２）にて照度を調整した紫外線をファイバ４２の出射端より感光性組成物４１中に照射し（図１０（ａ）参照）、ファイバ４２と接続された側と反対側に、光軸とのなす角が１３°の端面が形成された光導波路４４を形成した（図１０（ｂ）参照）。
【０１５１】
（５）上記（４）の工程が終了した後、Ｖ溝押さえ板を除去し、光導波路４４をファイバ４２ごとＶ溝より引き上げ、周囲の未硬化の樹脂組成物４１、あて板４５を除去し、その後、平坦なガラス板の上に位置させ、光導波路の光軸とのなす角が１３°の端面全体に、感光性組成物４３（ダイキン社製、オプトダイン；波長５８９ｎｍにおける硬化後の屈折率：１．４８）を隙間なく埋まるように塗布した。
次に、２５０Ｗの高圧水銀ランプを光源とした紫外線照射装置（松下マシンアンドビジョン社製、５２５２Ｌ）を用い、ファイバ４２および光導波路４４を介して、主に２００〜５００ｎｍの波長範囲に分光分布を持つ紫外線をその照度０．３ｍＷ／ｃｍ２で感光性組成物４３（オプトダイン）に照射した。
【０１５２】
この工程で紫外線を照射した場合、１３°の角度をなす端部において、紫外線の一部は、端面を介して感光性組成物４３中に照射され、また、紫外線の他の一部は、光導波路４４の端部で反射し、光導波路４４の端部の側面を介して、感光性組成物４３中に照射されることとなる（図１０（ｃ）参照）。
そのため、本実施例においては、光導波路４４の端面を介して照射される紫外線の光路上、および、光導波路４４の端面で反射し、その端部の側面を介して照射される紫外線の光路上のそれぞれに、予め、ファイバ４８、４９を配置しておき、さらに、これらのファイバおよび感光性組成物を押さえ板で挟み込んで固定した。但し、後述するファイバの押し込み量を考慮して、光学微動台にてファイバが可動な程度に挟み込み量を調整してある。
【０１５３】
このように、光路上に予めファイバを配置しておくことより、光導波路４４の端部側から感光性組成物４３が除々に硬化していき、別途配置した２本のファイバ４８、４９のそれぞれと接続された光導波路が形成されることとなる（図１０（ｄ）参照）。
【０１５４】
次に、本実施例で形成した一体化した光導波路４４、４６、４７を顕微鏡（キーエンス社製、ＶＨ−７０００）を用いて観察したところ、光導波路４４の端部の側面に光導波路４７が接続されるとともに、光導波路４４の端面に光導波路４６が接続されていた。
さらに、可視光を光導波路４４に接続されたファイバ４２の光導波路４４と接続された側と反対側の端部より入射したところ、一体化した光導波路の形状、すなわち、分岐した形状に沿って漏光が観察された。
また、ファイバ４８およびファイバ４９のそれぞれの端部からの漏光の強度を比較したところ、おおよそファイバ４８：ファイバ４９＝１０：１であり、本実施例で製造した光導波路部品が光カップラとして機能することが明らかとなった。
【０１５５】
また、波長８５０ｎｍの赤外線を、光導波路４４に接続されたファイバ４２の光導波路４４と接続された側と反対側の端部より入射し、光導波路４６および光導波路４７のそれぞれに接続されたファイバ４８、４９の端部から出射される赤外線強度を測定し、光損失を測定した。その結果、光導波路４４および光導波路４６を介した光損失は、２ｄＢであり、光導波路４４および光導波路４７を介した光損失は、２０ｄＢであった。
【０１５６】
次に、光学微動台を用いて、光導波路４６を光進行の伝送方向と略平行な方向に２０μｍ押し込んだ。この状態の光導波路を顕微鏡で観察したところ、光導波路４６の一部が湾曲していることが確認された。
さらに、この状態で、上記と同様の方法を用いて、光導波路内に可視光を導入したところ、光導波路４４と光導波路４７とには光が閉じ込められていることが確認されたが、光導波路４６では、その湾曲した部分で放射光が観察され、光導波路内に光が閉じ込められていないことが確認された。
また、上記と同様の方法を用いて光損失を測定したところ、光導波路４４および光導波路４７を介した光損失は変化していなかったが、光導波路４４および光導波路４７を介した光損失は３５ｄＢであった。この光量は、光導波路を押し込む前に測定した光量に比べ、１０００分の１（３０ｄＢ）以上に減じている。
【０１５７】
さらに、上記光導波路４６を元の直線状に戻し、続いて、光学微動台を用いて光導波路４７を光進行の伝送方向と略平行な方向に１０μｍ押し込んだ。この状態の光導波路を顕微鏡で観察したところ、光導波路４７の一部が湾曲していることが確認された。
さらに、この状態で、上記と同様の方法を用いて、光導波路内に可視光を導入したところ、光導波路４４と光導波路４６とには光が閉じ込められていることが確認されたが、光導波路４７では、その湾曲した部分で放射光が観察され、光導波路内に光が閉じ込められていないことが確認された。
また、上記と同様の方法を用いて光損失を測定したところ、光導波路４４および光導波路４６を介した光損失は変化していなかったが、光導波路４４および光導波路４７を介した光損失は４５ｄＢであった。この光量は、光導波路を押し込む前に測定した光量に比べ、１００分の１（２０ｄＢ）以上に減じている。
【０１５８】
さらに、上記光導波路４７を元の直線状に戻し、続いて、光学微動台を用いて光導波路４４を光信号の伝送方向と略平行な方向に２０μｍ押し込んだ。この状態の光導波路を顕微鏡で観察したところ、光導波路４４の一部が湾曲していることが確認された。
さらに、この状態で、上記と同様の方法を用いて、光導波路内に可視光を導入したところ、光導波路４４の湾曲した部分で放射光が観察され、光導波路内に光が閉じ込められていないことが確認された。
また、上記と同様の方法を用いて光損失を測定したところ、光導波路４４および光導波路４６を介した光損失、ならびに、光導波路４４および光導波路４７を介した光損失はそれぞれ３５ｄＢ、４５ｄＢであった。この光量は、光導波路を押し込む前に測定した光量に比べ、それぞれ１０００分の１、１００分の１（２０ｄＢ）以上に減じている。
なお、本実施例で形成した光導波路において、光導波路４４と光導波路４６との合計長、および、光導波路４４と光導波路４７の合計長は、それぞれ、１５００μｍ、１０６０μｍである。
【０１５９】
また、光導波路４４、光導波路４６および光導波路４７のそれぞれを、光信号の伝送方向と略平行な方向に押す際に、その押す距離をそれぞれ１０分の１に短くした場合には、いずれの光導波路を押した場合も、光導波路の光損失は増大するものの、光導波路４４および光導波路４７を介した光損失はそれぞれ５ｄＢ、２５ｄＢであった。ここではそれぞれ３ｄＢ、５ｄＢの損失は発生しているもののある程度の信号が伝送されていることが確認され、本実施例で製造した光導波路部品は、光アッテネータ機能付の光カップラとしても用いることができることが明らかとなった。
【０１６０】
（比較例１）
（１）端面処理を施した長さ１ｍ程度のＧＩ型石英製マルチモードファイバ（フジクラ社製、コア／クラッド＝５０μｍ／１２５μｍ）を２本用意した。
（２）次に、２本のファイバ１１２、１１２′のそれぞれを２台の光学微動台（ＸＹステージ）上に載置した光ファイバ固定台のそれぞれに固定し、それぞれの出射側のファイバの端部１１２ａ、１１２ａ′を光ファイバ用Ｖ溝基板１１６（モリテックス社製、石英Ｖ溝）につき合わせ、両ファイバの出射側の端部の間隙が実質的に無くなるように位置させた（図１５参照）。その後、Ｖ溝押さえ板にて、つき合わせ部を挟みこんで固定した。但し、後述するファイバの移動を考慮して、光学微動台にてファイバが可動な程度に挟み込み量を調整してある。
【０１６１】
（３）波長８５０ｎｍの赤外線を、ファイバ１１２の、ファイバ１１２′の端部１１２ａ′と対向した側と反対側の端部より入射し、ファイバ内を導波させ、ファイバ１１２′の、ファイバ１１２の端部１１２ａと対向した側と反対側の端部から出射される赤外線強度を測定し、光損失を算出した。その結果、光導波路部品の光損失は、０．５ｄＢであった。
【０１６２】
（４）次に、上記光学微動台を用いて、光信号の伝送方向と略平行な方向に、光ファイバ１１２を、少しずつ移動させ、間隙量を増加させていった。（３）と同様の方法により、間隙によって生じた損失値を測定した。
【０１６３】
その結果、ファイバ端部の間隙量の増加ともに、損失値は増加していった、具体的には、図１６に示すような損失量の増加の挙動がみられた。
この結果より、間隙量が増えるにしたがってその損失値は増加していき、この操作によっても可変のアッテネータとして働くことが分かったが、実施例１で作製した光アッテネータとして機能する光導波路部品と比較した場合、本比較例の損失の変化量は、ファイバの変位量（＝間隙量）に対して非常に鈍感であり、１０ｄＢの損失値を得るのに約６００μｍ、２０ｄＢの損失値を得るのに約７０００μｍの変位量を必要とした。また、損失値は変位量によって増加はしていくものの、その増加は変位量が約４０００μｍを超えた以降は非常になだらかになっており、実施例１で得られた３０ｄＢ以上の損失値を得るためには数ｃｍ単位の変位量が必要なことが推察され、それに伴い変位に必用な作業を要し、アッテネータ装置自体を大型にする必要があるものと考えられる。
【０１６４】
また、実施例１と同様、光スイッチとして機能させることも間隙量の調整により行うことはできるが、消光比２０ｄＢの光スイッチとして機能させるには、ＯＮ／ＯＦＦの動作に対して約７０００μｍの繰り返し変位を与えなければならない。そのため、比較例１に係る光スイッチは、非常に緩慢な応答波形あり、実施例１に係る光スイッチと同様の変位スピードでは、矩形の応答が得られないことは明白である。
【０１６５】
さらに、ＯＮ／ＯＦＦの切り替え操作でファイバ同士を突き合わせるとき（ＯＮに切り替える時）、細心の注意を払わないとファイバ同士の接触のためにファイバ端面が欠けてしまい、その破断状態や、欠けた屑がファイバ間に介在してしまうことによっては、繰り返し操作を行った場合に、再現性が得られず、実施例１にかかる光スイッチで得られたような繰り返し再現性を得るためには非常に精密な実験操作を行わなければならない。これに対して、実施例１の光導波路部品の操作においては直接ファイバ同士が接触することが起こり得ない（ファイバ間隔２０００μｍに対し、その変位量（押し込み量が５０μｍがあるため）ので、ファイバ、光導波路の破損などを全く気にせずに操作を行うことができる。
【０１６６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光導波路部品は、例えば、光スイッチとしての機能を有しており、光スイッチとして、ＯＮ／ＯＦＦ操作を繰り返し行ったり、光路の切り替えを繰り返し行ったりした場合にも、光導波路の伝送損失が増大することがなく、信頼性に優れる。
また、本発明の光導波路部品は、例えば、光アッテネータ（光減衰器）や光カップラ（光合分波器）等としても用いることができ、光アッテネータや光カップラとして長時間用いた場合にも、光導波路の伝送損失が増大することがなく、信頼性に優れる。
また、本発明の光導波路部品は、例えば、光導波路の自己形成方法を利用して製造することができるため、安価に大量生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光導波路部品の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明の光導波路部品の別の一例を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明の光導波路部品の別の一例を模式的に示す断面図である。
【図４】本発明の光導波路部品の別の一例を模式的に示す断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の光導波路部品を製造する方法の一例を説明するための模式図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の光導波路部品を製造する方法の一例を説明するための模式図である。
【図７】実施例で行った光導波路部品の製造方法を説明するための概略図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は、実施例２の光導波路部品の製造方法を説明するための模式図である。
【図９】実施例２で製造した光導波路部品を説明するための模式図である。
【図１０】（ａ）〜（ｄ）は、実施例２の光導波路部品の製造方法を説明するための模式図である。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は、本発明の光導波路部品の別の一例を模式的に示す断面図である。
【図１２】実施例１の光導波路部品におけるファイバの押し込み量と、損失値の関係を示すグラフである。
【図１３】実施例１の光導波路部品を光スイッチとして繰り返し使用した場合の応答波形の一部を示すチャートである。
【図１４】実施例２の光導波路部品を光スイッチとして繰り返し使用した場合の応答波形の一部を示すチャートである。
【図１５】比較例１で製造した光導波路部品を説明するための模式図である。
【図１６】比較例１の光導波路部品におけるファイバの変位量と、損失値の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１００、２００、３００、４００、５００  光導波路部品
１０１、２０１、３０１、４０１、５０１  コア
１０２、２０２、３０２、４０２、５０２  クラッド
１０３、１０４、２０３、２０４、２０５、３０３、３０４、３０５、３０６、４０３、４０４、４０５、５０３、５０４  光配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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