(57)【要約】【課題】有底容器に付着している水滴、特に有底容器の内壁面に付着している水滴を効果的に水切りすることのできる有底容器の水切り装置及び水切り方法を提供する。【解決手段】有底容器に空気を吹き付けて水切りを行う有底容器の水切り装置であって、少なくとも、空気を噴射する主ノズルと、該主ノズルを上下に移動させる主ノズル上下機構と、前記主ノズルに空気を供給する空気供給手段とを具備し、前記主ノズルが前記主ノズル上下機構によって、底面が上となるように配置された有底容器の開放端から有底容器内に挿入されて、該有底容器の内壁面に空気を吹き付けることによって水切りを行うものであることを特徴とする有底容器の水切り装置、及び有底容器の水切り方法。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底容器に空気を吹き付けて水切りを行う有底容器の水切り装置であって、少なくとも、空気を噴射する主ノズルと、該主ノズルを上下に移動させる主ノズル上下機構と、前記主ノズルに空気を供給する空気供給手段とを具備し、前記主ノズルが前記主ノズル上下機構によって、底面が上となるように配置された有底容器の開放端から有底容器内に挿入されて、該有底容器の内壁面に空気を吹き付けることによって水切りを行うものであることを特徴とする有底容器の水切り装置。
【請求項２】
前記主ノズルに、上方向に空気を噴射する上方向噴出口と横方向に３６０°で空気を噴射する横方向噴出口が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項３】
前記主ノズルは、前記有底容器に空気を吹き付けながら下降するものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項４】
前記主ノズルが、前記有底容器の内部形状に沿った形状を有するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項５】
前記主ノズルが、前記有底容器内に挿入されたときに該主ノズルと有底容器との間に５〜２０ｍｍの間隔が形成されるものであることを特徴とする請求項４に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項６】
前記水切りを行う有底容器に上から被さり、該有底容器の外面に空気を吹き付ける外側ノズルを具備することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項７】
前記外側ノズルは、前記有底容器の外部形状に沿った内部形状を有するものであり、また該外側ノズルを有底容器に被せたときに該外側ノズルと有底容器との間に５〜２０ｍｍの間隔が形成されるものであることを特徴とする請求項６に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項８】
前記主ノズル及び／または外側ノズルから噴射される空気を加熱する空気加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項９】
前記有底容器を所定の位置で固定する固定手段が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項１０】
前記有底容器を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部とを具備することを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項１１】
前記搬送ベルト部が、Ｏ−リングベルトで構成されているものであることを特徴とする請求項１０に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項１２】
前記ベルト駆動部が、少なくとも、前記搬送ベルト部を駆動させる駆動シャフトと、該駆動シャフトの両端に取り付けられた駆動チェーンと、該駆動チェーンを介して前記駆動シャフトに回転を与えるモーターと、該モーターの回転速度を制御して前記搬送ベルト部の搬送速度を制御する制御装置とを具備することを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項１３】
前記搬送ベルト部で搬送されてきた有底容器を感知する位置センサーと、該位置センサーからの情報に基づいて前記主ノズル上下機構の駆動を制御する上下機構制御器とを具備することを特徴とする請求項１０ないし請求項１２のいずれか一項に記載の有底容器の水切り装置。
【請求項１４】
有底容器に空気を吹き付けて水切りを行う有底容器の水切り方法であって、前記有底容器を底面が上となるように配置し、該有底容器の開放端から有底容器内に空気を噴射する主ノズルを挿入した後、該主ノズルから有底容器の内壁面に空気を吹き付けることによって有底容器の水切りを行うことを特徴とする有底容器の水切り方法。
【請求項１５】
前記主ノズルを前記有底容器内に挿入した後、先ず該主ノズルから上方向に空気を噴射して有底容器の内壁上面に空気を吹き付け、次に前記主ノズルから空気を上方向に噴射するとともに横方向にも３６０°で噴射して有底容器の内壁横面に空気を吹き付けながら、該主ノズルを下降させることを特徴とする請求項１４に記載の有底容器の水切り方法。
【請求項１６】
前記主ノズルを前記有底容器の内部形状に沿った形状を有するものとすることを特徴とする請求項１４または請求項１５に記載の有底容器の水切り方法。
【請求項１７】
前記有底容器に上から被せる外側ノズルを用いて、該外側ノズルから有底容器の外面にも空気を吹き付けて有底容器外面の水切りを行うことを特徴とする請求項１４ないし請求項１６のいずれか一項に記載の有底容器の水切り方法。
【請求項１８】
前記主ノズル及び／または外側ノズルから加熱した空気を吹き付けることを特徴とする請求項１４ないし請求項１７のいずれか一項に記載の有底容器の水切り方法。
【請求項１９】
前記水切りを行う有底容器をウエーハのキャリアボックスとすることを特徴とする請求項１４ないし請求項１８のいずれか一項に記載の有底容器の水切り方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有底容器に空気を吹き付けて水切りを行う有底容器の水切り装置及び水切り方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、物品に例えば洗浄及び乾燥等の処理を施す際に、先ず物品に対して純水や洗浄剤等を吹き付けて洗浄処理を行い、その後加熱した清浄空気（クリーンドライエア、以下、ＣＤＡと略すことがある）等を吹き付けて乾燥処理を行う方法が広く用いられている。
【０００３】
例えば、半導体ウエーハを出荷する際にウエーハを保持・収納するキャリアボックスには、通常ウエーハへの汚染を防止するために非常に清浄なものが求められている。そのため、一般的にウエーハを収納する前にキャリアボックスに洗浄及び乾燥等の処理を施し、キャリアボックスに付着している塵（パーティクル）や有機物等を除去することが行われている。このようなキャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が知られている。
【０００４】
ここで、キャリアボックスの洗浄方法について簡単に説明する。
通常、このようなキャリアボックスに洗浄及び乾燥処理を行う場合、キャリアボックスは、先ず、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解され、その各パーツに分解されたキャリアボックスに純水による前洗浄を行う。続いて、前洗浄を行ったキャリアボックスに界面活性剤等の薬液を用いた薬液洗浄を行うことによって、付着しているパーティクルや有機物等を除去し、その後純水によるリンス（水洗）を十分に行う。
【０００５】
リンスが行われた後、キャリアボックスを十分に乾燥させる。キャリアボックスの乾燥を行う方法としては、リンス後のキャリアボックスを例えばクリーンオーブン内に搬送し、オーブン内を６０℃程度に保持して温風の循環により乾燥を行ったり、あるいはキャリアボックスの乾燥装置としてユニット内に組み込まれた回転機構を用いてキャリアボックスを装置内で回転させるとともに清浄な温風を吹き付ける、いわゆるスピンを利用した方法等を用いることによりキャリアボックスの乾燥が行われる。
【０００６】
また、上記のようなキャリアボックスの洗浄及び乾燥処理では、キャリアボックスに洗浄処理を行った後、乾燥を行う前にキャリアボックスに付着している水滴を落としておくことにより乾燥処理での乾燥時間を短縮できることから、キャリアボックスの水切りが行われている。例えば、リンスが施されたキャリアボックスに対して、ＣＤＡを高速で吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等をキャリアボックスの外部からボックス全体に施すことによって、キャリアボックスに付着している水滴を落とす水切りが行われている。
【０００７】
しかしながら、このような従来のＣＤＡブローやエアーナイフ等によるキャリアボックスの水切りでは、キャリアボックスに空気を吹き付けた際に空気の流れが不規則で乱流状態を形成し易く、多量の空気をキャリアボックスに吹き付けても空気の供給量に対して十分な水切りの効果を得ることが難しいという欠点があった。そのため、キャリアボックスに付着している水滴を十分に水切りできているとは言えず、特にＣＤＡブローやエアーナイフ等を施しにくいキャリアボックスの内側には多くの水滴が残存していた。したがって、その後の乾燥処理でキャリアボックスを完全に乾燥させるためには依然長い処理時間が必要とされ、スループットの低下やコストアップの要因の一つとなっている。
【０００８】
そして、このような水切りの効果が低いことにより乾燥処理に時間がかかるという問題は、半導体ウエーハのキャリアボックスを洗浄する場合に限定されて引き起こされるものではなく、様々な物品、特にキャリアボックスのような開放端を有する有底容器に対して洗浄及び乾燥処理を行う場合に共通して引き起こされる問題である。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−１５６０３４号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、有底容器に付着している水滴、特に有底容器の内壁面に付着している水滴を効果的に水切りすることのできる有底容器の水切り装置及び水切り方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、有底容器に空気を吹き付けて水切りを行う有底容器の水切り装置であって、少なくとも、空気を噴射する主ノズルと、該主ノズルを上下に移動させる主ノズル上下機構と、前記主ノズルに空気を供給する空気供給手段とを具備し、前記主ノズルが前記主ノズル上下機構によって、底面が上となるように配置された有底容器の開放端から有底容器内に挿入されて、該有底容器の内壁面に空気を吹き付けることによって水切りを行うものであることを特徴とする有底容器の水切り装置が提供される（請求項１）。
【００１２】
このように、少なくとも、主ノズル、主ノズル上下機構、空気供給手段を具備し、主ノズルが底面が上となるように配置された有底容器の開放端から有底容器内に挿入されて有底容器の内壁面に空気を吹き付けることによって水切りを行う有底容器の水切り装置であれば、有底容器の内壁面に付着している水滴等を十分に落とし、有底容器の水切りを効果的に行うことができる水切り装置とすることができる。
【００１３】
このとき、前記主ノズルに、上方向に空気を噴射する上方向噴出口と横方向に３６０°で空気を噴射する横方向噴出口が形成されていることが好ましい（請求項２）。
上記の空気を噴射する主ノズルに、上方向に空気を噴射する上方向噴出口と横方向に３６０°で空気を噴射する横方向噴出口が形成されていることによって、主ノズルが有底容器内に挿入されたときに、有底容器内側の内壁上面及び内壁横面に空気を十分に吹き付けることができるので、有底容器内壁面の水切りを非常に効果的に行うことのできる水切り装置となる。
【００１４】
この場合、前記主ノズルは、前記有底容器に空気を吹き付けながら下降するものであることが好ましい（請求項３）。
このように、主ノズルが有底容器に空気を吹き付けながら下降するものであれば、有底容器の内壁横面に対して上部から下部にかけて連続的に空気を吹き付けていくことが可能となるので、内壁横面に付着している水滴を一層効果的に水切りすることができる。
【００１５】
また、本発明の有底容器の水切り装置では、前記主ノズルが、前記有底容器の内部形状に沿った形状を有するものであることが好ましく（請求項４）、特に前記主ノズルが、前記有底容器内に挿入されたときに該主ノズルと有底容器との間に５〜２０ｍｍの間隔が形成されるものであることがより好ましい（請求項５）。
【００１６】
このように、主ノズルが有底容器の内部形状に沿った形状を有するものであれば、主ノズルを有底容器内に挿入して空気を噴射した際に、主ノズルから容器に吹き付けられた空気が乱流状態を形成せずに有底容器の内壁面に沿って流れるように空気の流れを制御することができるので、極めて効果的な水切りを容易に行うことができる装置となる。さらにこの場合、主ノズルが有底容器内に挿入されたときに主ノズルと有底容器との間に５〜２０ｍｍの間隔が形成されるものであれば、水切りの効果を著しく高めることができ、短時間で十分な水切りを行うことができる有底容器の水切り装置となる。
【００１７】
さらに、本発明の水切り装置は、前記水切りを行う有底容器に上から被さり、該有底容器の外面に空気を吹き付ける外側ノズルを具備することが好ましく（請求項６）、特に前記外側ノズルは、前記有底容器の外部形状に沿った内部形状を有するものであり、また該外側ノズルを有底容器に被せたときに該外側ノズルと有底容器との間に５〜２０ｍｍの間隔が形成されるものであることがより好ましい（請求項７）。
【００１８】
このように、本発明の水切り装置が、水切りを行う有底容器に上から被さり、有底容器の外面に空気を吹き付ける外側ノズルを具備するものであれば、有底容器外面の水切りも非常に効果的に行うことができるものとなる。さらにこの場合、外側ノズルが有底容器の外部形状に沿った内部形状を有するものであり、またこの外側ノズルを有底容器に被せたときに外側ノズルと有底容器との間に５〜２０ｍｍの間隔が形成されるものであれば、水切りの効果を著しく高めることができるので、容器外面の水切りを非常に効果的にまた短時間で行うことができる水切り装置となる。
【００１９】
このような本発明の有底容器の水切り装置において、前記主ノズル及び／または外側ノズルから噴射される空気を加熱する空気加熱手段が設けられていることが好ましい（請求項８）。
このように本発明の有底容器の水切り装置に空気加熱手段が設けられていれば、主ノズル及び／または外側ノズルから噴射する空気を加熱できるので、有底容器に加熱した空気（温風）を吹き付けることが可能となり、有底容器に付着している水滴を一層効率的に水切りすることができる。
【００２０】
さらに、前記有底容器を所定の位置で固定する固定手段が設けられていることが好ましい（請求項９）。
このように有底容器を所定の位置で固定する固定手段が設けられていれば、有底容器を常に所定の位置で固定することができる。したがって、上記主ノズルを有底容器内へ挿入する際、さらには外側ノズルを有底容器に被せる際に、主ノズルと有底容器との間隔、また外側ノズルと有底容器との間隔を高精度に制御することが可能となり、接触してしまうようなこともない。
【００２１】
また本発明では、前記有底容器を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部とを具備することが好ましい（請求項１０）。
このように、本発明の有底容器の水切り装置が搬送ベルト部とベルト駆動部とを具備するものであれば、有底容器を搬送ベルト部上に載置して、所定の位置まで容易に安定して搬送することができるものとなる。
【００２２】
このとき、前記搬送ベルト部が、Ｏ−リングベルトで構成されているものであることが好ましい（請求項１１）。
このように、搬送ベルト部がＯ−リングベルトで構成されているものであれば、搬送ベルト部が網状の構造を有するものとなるので、主ノズルから有底容器の内壁面に吹き付けた空気を円滑に排出することができるし、また水切りされた水滴も搬送ベルト部から落とすことができ、排水が容易となる。さらに、主ノズルの形状によっては主ノズルを搬送ベルト部の下から搬送ベルト部を通過させて有底容器内に挿入することが可能となり、水切り装置を簡単な構成で組立てることができる。尚、ここで言うＯ−リングベルトとは、円筒状の弾性樹脂やゴムなどを環状に一体成形あるいは接着により形成した、いわゆるＯ−リングを物品搬送用のベルトとして用いたものを言う。
【００２３】
また、前記ベルト駆動部が、少なくとも、前記搬送ベルト部を駆動させる駆動シャフトと、該駆動シャフトの両端に取り付けられた駆動チェーンと、該駆動チェーンを介して前記駆動シャフトに回転を与えるモーターと、該モーターの回転速度を制御して前記搬送ベルト部の搬送速度を制御する制御装置とを具備することが好ましい（請求項１２）。
【００２４】
ベルト駆動部が、このように、少なくとも駆動シャフト、駆動チェーン、モーター、制御装置を具備するものであれば、構成が簡単で組立ても容易であり、また搬送ベルト部の搬送速度を制御して安定して搬送ベルト部を駆動させることができるものとなる。
【００２５】
さらにこの場合、前記搬送ベルト部で搬送されてきた有底容器を感知する位置センサーと、該位置センサーからの情報に基づいて前記主ノズル上下機構の駆動を制御する上下機構制御器とを具備することが好ましい（請求項１３）。
【００２６】
本発明の水切り装置が、搬送されてきた有底容器を感知する位置センサーを具備するものであれば、有底容器を所定の位置まで精度良く搬送することができる。また、この位置センサーからの情報に基づいて主ノズル上下機構の駆動を制御する上下機構制御器を具備していれば、有底容器が所定の位置に搬送されてきたときに主ノズル上下機構を確実に駆動させて、有底容器の開放端から主ノズルを円滑に挿入させることができる。
【００２７】
また、本発明によれば、有底容器に空気を吹き付けて水切りを行う有底容器の水切り方法であって、前記有底容器を底面が上となるように配置し、該有底容器の開放端から有底容器内に空気を噴射する主ノズルを挿入した後、該主ノズルから有底容器の内壁面に空気を吹き付けることによって有底容器の水切りを行うことを特徴とする有底容器の水切り方法が提供される（請求項１４）。
【００２８】
このように、有底容器を底面が上となるように配置し、この有底容器の開放端から容器内に主ノズルを挿入した後、主ノズルから有底容器の内壁面に空気を吹き付けることによって有底容器の水切りを行うことによって、有底容器内壁面に付着している水滴等を十分に落として、有底容器の水切りを効果的に行うことができる。
【００２９】
このとき、前記主ノズルを前記有底容器内に挿入した後、先ず該主ノズルから上方向に空気を噴射して有底容器の内壁上面に空気を吹き付け、次に前記主ノズルから空気を上方向に噴射するとともに横方向にも３６０°で噴射して有底容器の内壁横面に空気を吹き付けながら、該主ノズルを下降させることが好ましい（請求項１５）。
【００３０】
有底容器内に主ノズルを挿入した後、先ず主ノズルから上方向に空気を噴射して有底容器の内壁上面に空気を吹き付け、次に主ノズルから空気を上方向に噴射するとともに横方向にも３６０°で噴射して有底容器の内壁横面に空気を吹き付けながら主ノズルを下降させることにより、有底容器内壁上面及び横面に付着している水滴を強制的に落とすことができ、有底容器の内壁面に対して非常に効果的な水切りを行うことができる。
【００３１】
また、前記主ノズルを前記有底容器の内部形状に沿った形状を有するものとすることが好ましい（請求項１６）。
このように主ノズルを有底容器の内部形状に沿った形状を有するものとすれば、主ノズルを有底容器内に挿入して空気を噴射した際に、主ノズルから容器に吹き付けられた空気が乱流状態を形成せずに有底容器の内壁面に沿って流れるように空気の流れを制御することができるので、非常に効果的な水切りを短時間で容易に行うことができる。
【００３２】
さらに、前記有底容器に上から被せる外側ノズルを用いて、該外側ノズルから有底容器の外面にも空気を吹き付けて有底容器外面の水切りを行うことが好ましい（請求項１７）。
このように有底容器に上から被せる外側ノズルを用いて有底容器の外面にも空気を吹き付けることによって、有底容器外面の水切りも非常に効果的にかつ効率的に行うことができる。
【００３３】
この場合、前記主ノズル及び／または外側ノズルから加熱した空気を吹き付けることが好ましい（請求項１８）。
このように主ノズル及び／または外側ノズルから加熱した空気を吹き付けることにより、有底容器に付着している水滴を非常に効率的に水切りすることができ、短時間で効果的な水切りを実現することができる。
【００３４】
そして、本発明では、前記水切りを行う有底容器をウエーハのキャリアボックスとすることができる（請求項１９）。
本発明の有底容器の水切り方法は、ウエーハのキャリアボックスに水切りを行う際に特に好適に用いることができる。キャリアボックスを上記本発明の水切り方法を用いて水切りすることによって、非常に効果的な水切りを効率的に行うことができ、キャリアボックスに付着している水滴を短時間で十分に落とすことができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
先ず、本発明に係る有底容器の水切り装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１は、本発明の有底容器の水切り装置の一例を示す概略説明図である。
【００３６】
本発明の有底容器の水切り装置１は、少なくとも、空気を噴射する主ノズル２１と、主ノズル２１を上下に移動させる主ノズル上下機構２２と、主ノズル２１に空気を供給する空気供給手段３８とを具備するものであり、そして主ノズル２１が主ノズル上下機構２２によって、底面が上となるように配置された有底容器２０の開放端から有底容器２０内に挿入されて、この有底容器２０の内壁面に空気を吹き付けることによって水切りを行う水切り装置である。
【００３７】
この有底容器の水切り装置１において、主ノズル２１の先端部には、図４（ａ）に示すように空気供給手段から供給された空気を上方向に噴射する上方向噴出口３２と横方向に３６０°で空気を噴射する横方向噴出口３３が形成されている。このとき、横方向噴出口３３は５〜１０°程度の傾斜角度で下側に傾斜していることが好ましい。横方向噴出口３３がこのような角度で空気を噴射するものであれば、主ノズル２１から有底容器に吹き付けた空気に乱流状態を形成させずに円滑に流通させることができるので、非常に効果的な水切りを行うことが可能となる。
また、この主ノズル２１は、上方向噴出口３２及び横方向噴出口３３にそれぞれ空気を供給できるように図４（ｂ）に示すような２重管構造を有している。
【００３８】
上記の主ノズル上下機構２２は、例えばモーター３５とモーター駆動ギア３４とからなり、このモーター駆動ギア３４と主ノズル２１の一部に等間隔で取り付けられている歯３６とを噛み合わせておき、モーター３５でモーター駆動ギア３４を回転させることによって、主ノズル２１を容易に上下に移動させることができる。
【００３９】
また、この水切り装置１は、有底容器２０を載置して搬送する搬送ベルト部２と、この搬送ベルト部２を駆動させるベルト駆動部３とを具備するものであり、有底容器２０を主ノズル２１が設置されている所定の位置まで安定して搬送することができる。
【００４０】
このとき、搬送ベルト部２は、図２（ａ）に示すように、Ｏ−リングベルト４で構成されており、網状の構造を有している。このように搬送ベルト部２がＯ−リングベルト４で構成されているものであれば、搬送ベルト部２に有底容器２０を安定して載置し、搬送することができる。また、この搬送ベルト部２は網状の構造を有するものであるため、主ノズル２１を搬送ベルト部２の下から搬送ベルト部２の隙間を通過させて有底容器２０内に容易に挿入することができる。なお、このＯ−リングベルト４としては、例えば弾性を有するゴム製のものを使用することができる。
【００４１】
ベルト駆動部３は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、搬送ベルト部２を駆動させる駆動シャフト５と、駆動シャフト５の両端にチェーンボックス６内でギア７を介して取り付けられた駆動チェーン８と、駆動チェーン８を介して駆動シャフト５に回転動力を与えるモーター９と、モーター９の回転速度を制御して搬送ベルト部２の搬送速度を制御する制御装置１０とを具備するものである。
【００４２】
また、このベルト駆動部３では、駆動チェーン８とモーター９とが変速ギアボックス１１を介して連結されており、搬送ベルト部の搬送速度を容易にかつ円滑に制御することができるようになっている。さらに、上記のような駆動シャフト５や駆動チェーン８等は、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵の問題や有底容器の金属汚染を防止することができる。
このとき、駆動シャフト５の幅Ｗ及び各駆動シャフト５間の間隔Ｄ１の大きさは搬送する有底容器の寸法や形状を考慮して調整すれば良く、特に限定されるものではない。
【００４３】
このようなベルト駆動部３において、各駆動シャフト５は、図２（ｂ）に示すように、チェーンボックス６内で支持体１２に支持されている中空ベアリング１３で保持されている。この中空ベアリング１３としては、例えば図３に示すような転がり接触させる構造のものを用いることができ、駆動シャフト５を回転可能に保持することができる。さらに、中空ベアリング１３の外側には、ずり落ち防止ガイド１４がギア７及び駆動チェーン８を挟み込むようにして配置されている。また、駆動シャフト５の表面には、Ｏ−リングベルト４のズレを防止するための突起物や溝を形成しておくことが好ましい。
【００４４】
さらに、搬送ベルト部２には、有底容器を搬送する際に有底容器が搬送ベルト部の外部へ落ちないようにするために滑り落ち防止手段１５が設置されていることが好ましい。滑り落ち防止手段１５は、チェーンボックス６の外壁にボルト等により固定することができ、その材質は、例えばステンレスにフッ素樹脂をコートしたものを用いれば、金属等の汚染を防止すると同時に、有底容器が接触しても滑りやすい表面なので摩擦による引っ掛かりがなく、スムーズな搬送を行うことができる。
【００４５】
また、本発明の水切り装置１には、搬送ベルト部２で搬送されてきた有底容器２０を感知する位置センサー２６と、この位置センサー２６からの情報に基づいて主ノズル上下機構２２の駆動を制御する上下機構制御器２７とが設置されている。この位置センサー２６が設置されていることにより、搬送ベルト２で搬送されてきた有底容器２０を感知することができ、その位置センサー２６で得られた情報に基づいて、例えば上記のベルト駆動部３の制御装置１０で搬送ベルト部２の搬送速度を制御することにより有底容器２０を所定の位置まで搬送することができる。さらに、上下機構制御器２７では、位置センサー２６からの情報に基づいて、有底容器２０が所定の位置に搬送されてきたときに主ノズル上下機構２２を確実に駆動させて、主ノズル２１を有底容器２０の開放端から円滑に挿入させることができる。
【００４６】
さらに、本発明の有底容器の水切り装置１には、例えばオートバルブ２９、圧力計３０、フローメータ３１等が設置されており、空気供給手段３８から主ノズル２１に供給される空気の圧力を圧力計３０で計測したり、また空気の流量をフローメータ３１で計測しながら、オートバルブ２９で空気の供給量を調節することによって、主ノズル２１から噴射する空気の強さを調節できるようになっている。特に、オートバルブ２９が上記の上下機構制御器２７と連動するガス供給コントローラー２８によって制御されているものであれば、主ノズル２１の上下の移動に応じて、空気の供給量を適切に調節することが可能となり、主ノズル２１から噴射する空気の強さを高精度に制御することができる。
【００４７】
またこのとき、主ノズル２１と空気供給手段３８との間には、主ノズルから噴射される空気を加熱する空気加熱手段２３が設けられていることが好ましい。空気加熱手段２３は、例えば空気供給手段３８から主ノズル２１に供給される空気を加熱するヒーター２４と、このヒーター２４の温度を制御するヒーターコントローラー２５とから構成することができ、フィルター３９を通して主ノズル２１で噴射する空気を所望の温度に容易に加熱できる。
【００４８】
さらに、この水切り装置１には、有底容器の外面の水切りを行う外側ノズルが設置されている。本発明において、この有底容器外面の水切りを行う外側ノズルの形態は特に限定されるものではないが、例えば図１に示したように、水切りを行う有底容器２０に上から被さり、この有底容器２０の外面に空気を吹き付ける外側ノズル３７を用いることができる。このような外側ノズル３７が設置されていれば、有底容器外面の水切りを非常に効果的に行うことができる水切り装置となる。
【００４９】
この場合、水切り装置１には、外側ノズル３７が上下方向に移動できるように、例えば上述の主ノズル上下機構２２と同様の構成を有する外側ノズル上下機構（不図示）が設置されており、また外側ノズル３７に空気を供給するための空気供給手段（不図示）が設けられている。さらに、この空気供給手段と外側ノズル３７との間には、オートバルブ、圧力計、フローメータ、フィルター、空気加熱手段等が設置されていることが好ましく、それによって外側ノズル３７から噴射する空気の強さや温度を適切に制御することが可能となる。
【００５０】
次に、本発明の有底容器の水切り方法について、図１に示した有底容器の水切り装置１を参照しながら詳細に説明する。
本発明の有底容器の水切り方法では、先ず、有底容器２０を底面が上となるように搬送ベルト部２上に載置して所定の位置まで搬送する。このとき、搬送ベルト部２で搬送されてきた有底容器２０は位置センサー２６で感知され、この位置センサー２６からの情報に基づいて、例えばベルト駆動部３の制御装置１０で搬送ベルト部２の搬送速度を制御することによって、有底容器２０を所定の位置まで精度良く搬送することができる。
【００５１】
次に、所定の位置に底面が上となるように配置された有底容器２０の開放端から有底容器２０内に空気を噴射する主ノズル２１を挿入する。主ノズル２１は、主ノズル上下機構２２を駆動させて主ノズル２１を上方向に移動させることにより、有底容器２０内に挿入することができる。このとき、主ノズル上下機構２２の駆動は、位置センサー２６からの情報に基づいて上下機構制御器２７で制御されているので、主ノズル２１を所定の位置まで搬送されてきた有底容器２０内に確実に挿入することができる。
【００５２】
主ノズル２１を有底容器２０内に挿入した後、主ノズル２１から有底容器２０の内壁面に空気を吹き付ける。このとき、主ノズル２１は、図５（ａ）及び（ｂ）に縦断面説明図及び横断面説明図を示すように、先ず上方向に空気を噴射して有底容器２０の内壁上面に空気を吹き付け、次に主ノズル２１から空気を上方向に噴射するとともに横方向にも３６０°で有底容器の内壁横面に空気を吹き付けながら、主ノズルを下降させることが好ましい。このようにして主ノズルから有底容器の内壁面に空気を吹き付けることによって、有底容器内壁上面及び横面に付着している水滴を強制的に落とすことができ、有底容器の内壁面に対して非常に効果的な水切りを行うことができる。さらにこの場合、前述のように横方向噴出口から空気を５〜１０°程度下側に傾斜して噴射することにより、乱流状態を形成させずに空気を円滑に流通させ下方に排出することができる。
【００５３】
また、上記のようにして主ノズル２１を有底容器２０内に挿入して有底容器２０の内壁面に空気を吹き付けると同時に、有底容器２０の外面の水切りを行うために、外側ノズル３７を有底容器２０に上から被せて有底容器２０の外面にも空気を吹き付けることによって、有底容器外面の水切りを効果的に行うことができる。
【００５４】
このとき、主ノズル２１及び／または外側ノズル３７から噴射する空気を空気加熱手段２３等で加熱し、有底容器２０に対して加熱した空気（温風）を吹き付けることが好ましい。このように主ノズル及び／または外側ノズルから加熱した空気を吹き付けることにより、有底容器に付着している水滴を非常に効率的に水切りすることができ、効果的な水切りを短時間で行うことが可能となるし、同時に乾燥することも可能である。
【００５５】
このように、本発明の有底容器の水切り方法によって有底容器２０の水切りを行うことによって、有底容器内壁面及び外面に付着している水滴をすばやく十分に落とすことができ、有底容器の水切りを効果的にかつ短時間で行うことができる。
【００５６】
そして、このような本発明の水切り方法は、前述のようなウエーハを保持・収納するキャリアボックスの水切りを行う際に特に好適に用いることができる。ウエーハのキャリアボックスを上記本発明の水切り方法で水切りすることによって、キャリアボックスに付着している水滴、特にキャリアボックス内壁面に付着している水滴を十分に落とすことができ、非常に効率的なキャリアボックスの水切りを実現することができる。
また、このように本発明の水切り方法で水切りされたキャリアボックスは、付着している水滴の量が非常に低減しているので、その後乾燥処理を行う際にキャリアボックスの乾燥を短い時間で十分に行うことができるし、必要とあらば水切り工程で乾燥も同時に行うことも可能となる。
【００５７】
続いて、本発明の有底容器の水切り装置の別の形態について、図６を参照しながら詳細に説明する。
図６に示した有底容器の水切り装置４１は、少なくとも、空気を噴射する主ノズル４２と、この主ノズル４２を上下に移動させる主ノズル上下機構（不図示）と、主ノズル４２に空気を供給する空気供給手段（不図示）とを具備するものである。尚、水切り装置４１において、主ノズル上下機構及び空気供給手段は、図１に示した有底容器の水切り装置１で用いた主ノズル上下機構２２及び空気供給手段３８と同様のものを使用し、さらに主ノズル４２と空気供給手段との間には、オートバルブ、圧力計、フローメータ、フィルター、空気加熱手段等が設置されており、主ノズル４２から噴射する空気の強さや温度を高精度に制御することができるように構成されている。
【００５８】
このような有底容器の水切り装置４１において、主ノズル４２は有底容器２０の内部形状に沿った形状を有するものである。主ノズル４２が、図６に示すように有底容器２０の内部形状に沿った形状を有するものであれば、主ノズル４２を有底容器２０内に挿入して空気を噴射した際に、主ノズル４２から吹き付けられた空気が乱流状態を形成せずに有底容器の内壁面に沿って流れるように空気の流れを制御することができ、極めて効果的な水切りを容易に行うことが可能となる。
【００５９】
この場合、主ノズル４２が有底容器２０内に挿入されたときに主ノズル４２と有底容器２０との間に５〜２０ｍｍの間隔、特に５〜１０ｍｍの間隔が形成されるものであることが好ましい。主ノズル４２と有底容器２０との間にこのような大きさの間隔が形成されるものであれば、主ノズル４２による水切り効率を著しく高めることができ、有底容器内壁面の水切りを短時間で十分に行うことができる有底容器の水切り装置となる。このとき、主ノズル４２と有底容器２０との間隔が小さい程水切り効率を高めることができるが、主ノズル４２と有底容器２０との間隔が小さ過ぎると、主ノズル４２を挿入する際に主ノズル４２が有底容器２０に当たって主ノズル４２の挿入を円滑に行うことができなくなる恐れがあり、また主ノズル４２から有底容器に空気を吹き付けた際に空気の流れが妨げられることも考えられるので、５ｍｍ以上の間隔が形成されるものであることが好ましい。
【００６０】
また、上記の水切り装置４１には、有底容器２０に上から被さって有底容器２０の外面に空気を吹き付ける外側ノズル４３が設置されている。この外側ノズル４３にも、不図示の外側ノズル上下機構及び空気供給手段が設けられており、さらに空気供給手段と外側ノズル４３との間には、オートバルブ、圧力計、フローメータ、フィルター、空気加熱手段等が設置されている。
【００６１】
この外側ノズル４３は、有底容器２０の外部形状に沿った内部形状を有するものであり、また外側ノズル４３を有底容器２０に被せたときに外側ノズル４３と有底容器２０との間に５〜２０ｍｍの間隔、特に５〜１０ｍｍの間隔が形成されるものであることが好ましい。外側ノズル４３がこのような構成を有するものであれば、外側ノズル４３による水切りの効果を著しく高めることができるので、有底容器２０の外面の水切りを非常に効果的にまた短時間で行うことが可能となる。
【００６２】
さらに、このような主ノズル４２及び外側ノズル４３には、噴出口から噴射される空気の流れを促す整流板が設けられていることが好ましい。例えば図７（ａ）に主ノズル４２の噴出口４４を示すように、主ノズル４２の噴出口４４から四方向に整流板４５を配置しておくことにより、噴出口４４から噴射された空気を各方向に均一的に流すことができる。また同様に、図７（ｂ）に示すように外側ノズル４３の噴出口４６に整流板４７を配置しておくことによって、噴出口４６から噴射された空気を各方向に均一的に流すことができる。
【００６３】
そして、このような有底容器の水切り装置４１を用いて有底容器２０に水切りを行う場合、図６（ａ）に示したように、有底容器２０を底面が上となるように例えば搬送機構４８に配置する。このとき、例えば図８に示すように、搬送機構４８に固定手段として固定溝４９が設けられていれば、有底容器２０を常に所定の位置で固定することができる。したがって、主ノズル４２を有底容器２０内へ挿入するとき、また外側ノズル４３を有底容器２０に被せるときに、主ノズル４２と有底容器２０との間隔、また外側ノズル４３と有底容器２０との間隔を例えば５〜２０ｍｍとなるように高精度に制御することが容易になる。
【００６４】
有底容器２０を上記のようにして配置した後、有底容器２０の開放端から有底容器２０内に主ノズル４２を空気を噴射しながら挿入し、また同時に外側ノズル４３を空気を噴射しながら有底容器２０に上から被せる（図６（ｂ））。
【００６５】
そして、主ノズル４２及び外側ノズル４３を、それぞれ有底容器２０との間隔が５〜２０ｍｍとなるように主ノズル上下機構等で調節して保持しながら、空気を各ノズルから有底容器２０に吹き付ける（図６（ｃ））。このとき、ノズルから噴射される空気の流量や圧力は有底容器２０の大きさや形状に応じて前記オートバルブ等で適切に制御することができる。
【００６６】
このようにして主ノズル４２及び外側ノズル４３から有底容器２０に空気を吹き付けることによって、有底容器２０に吹き付けられた空気が乱流状態を形成せずに有底容器の内壁面及び外面に沿って流れるように空気の流れ（排気方向）を制御することができるので、極めて効果的な水切りを短時間で容易に行うことができる。さらにこのとき、各ノズルから噴射する空気を空気加熱手段等で加熱することにより、有底容器に付着している水滴を一層効率的に水切りすることができ、水切り時間をさらに短縮して数秒程度で水切りを完了させることが可能となる。
【００６７】
そして、ある一定時間主ノズル４２及び外側ノズル４３から空気を有底容器２０に吹き付けた後、主ノズル４２を下降させると同時に外側ノズル４３を上昇させることにより、水滴を十分に落とした有底容器２０を取り出すことができる（図６（ｄ））。
【００６８】
また、このような本発明の水切り方法においては、有底容器に噴射する空気の流量を多くしたり、空気の温度を非常に高くすること等によって、有底容器に水切りを行うと同時に容器を乾燥させることが可能となる。したがって、例えば水切り後に別途に乾燥処理を施さなくても有底容器の乾燥を行うことができるので、有底容器の乾燥にかかる処理時間の大幅な短縮を図ることができる。
【００６９】
そして、上記のような水切り方法もウエーハのキャリアボックスに水切りを行う際に特に好適に用いることができる。例えば、本発明の水切り方法によって、洗浄処理等が行われたキャリアボックスに付着している水滴を短時間で十分に落とすことができ、非常に効果的で効率的なキャリアボックスの水切りを行うことができる。さらに、キャリアボックスに吹き付ける空気の流量や温度を調節することによってキャリアボックスの乾燥も同時に行うことも可能となる。
【００７０】
また、キャリアボックスのボックス本体には、強度補強や持ち易くするため、開口端に折り返し部が形成されていることが多く、この折り返し部に洗浄液や洗浄水が溜まりやすく水切りを困難にする要因の一つとなっている。本発明では、ボックス本体の折り返し部の極近傍まで外側ノズル端を近づけたり、あるいは、折り返し部形状に沿ってノズルを形成したりすることができる。従って、吹き付けるガス流速を落とすことなく折り返し部に空気を吹き付けることができるので、非常に効率良く水切りすることが可能である。
【００７１】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）
実施例１として、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、図１に示した有底容器の水切り装置１を用いて、洗浄処理が行われたキャリアボックスのボックス本体の水切りを行った。
【００７２】
先ず、上記の洗浄処理を行ったボックス本体を底面が上となるように配置した後、主ノズルをボックス本体の開放端から挿入するとともに外側ノズルを上から被せた。その後、主ノズルはＣＤＡを噴射しながら下降させ、また外側ノズルはボックス本体に被せたままＣＤＡを噴射して、ボックス本体の内壁面及び外面の水切りを約１分間行った。
【００７３】
この水切り装置１による水切りの効果を確かめるために、洗浄処理が行われる前のボックス本体の重量を予め求めておき、そして洗浄処理直後の水滴の付着したボックス本体の重量、及び水切りされたボックス本体の重量を測定して洗浄処理前のボックス本体の重量との差を算出することによって、それぞれの段階でボックス本体に付着している水滴の量を求めた。
【００７４】
その結果、洗浄処理直後にボックス本体に付着している水滴の量はおよそ２０ｇ、水切り後にボックス本体に付着している水滴の量は３．１ｇであることが分かった。
【００７５】
（実施例２）
実施例２として、上記実施例１と同様に、先ずキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、図６に示した水切り装置４１を用いてしてキャリアボックスのボックス本体の水切り行った。
【００７６】
先ず、水切り装置４１の搬送機構に、洗浄処理を行ったボックス本体を底面が上となるように配置した後、ＣＤＡを噴射しながら、主ノズルをボックス本体の開放端から挿入するとともに外側ノズルを上から被せて、それぞれのノズルとボックス本体との間隔が１０ｍｍとなるように保持することによって、ボックス本体の内壁面及び外面の水切りを約１０秒間行った。
【００７７】
ボックス本体に水切りを行った後、水切り効果を確かめるために、上記実施例１と同様に、洗浄処理が行われる前のボックス本体の重量を予め求めておき、そして洗浄処理直後の水滴の付着したボックス本体の重量、及び水切りされたボックス本体の重量を測定することによって、それぞれの段階でボックス本体に付着している水滴の量を求めた。
その結果、洗浄処理直後にボックス本体に付着している水滴の量はおよそ２０ｇ、水切り後の水滴の量は２．６ｇであることが分かった。
【００７８】
（比較例）
比較例として、先ずキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、キャリアボックスのボックス本体を搬送しながらボックス本体の外部からＣＤＡを吹き付ける従来のＣＤＡブローによる水切り方法を用いてボックス本体の水切りを約５分間行った。
【００７９】
この従来のＣＤＡブローによる水切りの効果を確かめるために、洗浄処理が行われる前のボックス本体の重量を予め求めておき、そして洗浄処理直後の水滴の付着したボックス本体の重量、及びＣＤＡブロー後のボックス本体の重量を測定することによって、それぞれの段階でボックス本体に付着している水滴の量を求めた。
【００８０】
その結果、洗浄処理直後にボックス本体に付着している水滴の量はおよそ２０ｇ、ＣＤＡブロー後の水滴の量は１５ｇであることが分かった。このように、ＣＤＡブローによるボックス本体の水切りでは、水切り時間が実施例１及び実施例２に比べて長いにも関わらず、水切りの効果が非常に低いことがわかった。
【００８１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００８２】
例えば、上記説明では、有底容器の外面の水切りを外側ノズルを用いて行っているが、本発明はこれに限定されるものではなく、従来のようにＣＤＡブローやエアーナイフ等を外側から吹き付けることによって、有底容器外面の水切りを行っても良い。
【００８３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、有底容器内にノズルを挿入して空気を吹き付けることによって、有底容器に付着している水滴、特に有底容器の内壁面に付着している水滴を短時間で十分に落として、有底容器の水切りを効果的にかつ効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の有底容器の水切り装置の一例を示す構成概略図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、搬送ベルト部及びベルト駆動部の構成を示す構成概略図である。
【図３】中空ベアリングの構成を示す構成概略図である。
【図４】（ａ）は、主ノズルの縦断面を示す縦断面図であり、（ｂ）は、主ノズルの横断面を示す横断面図である。
【図５】（ａ）は、主ノズルによる有底容器への空気の吹き付けを説明する縦断面説明図であり、（ｂ）は、横断面説明図である。
【図６】本発明の有底容器の水切り装置の別の例を示す構成概略図である。
【図７】（ａ）は、主ノズルの噴出口を示す概略平面図であり、（ｂ）は、外側ノズルの噴出口を示す概略平面図である。
【図８】固定手段を説明する概略説明図である。
【符号の説明】
１…有底容器の水切り装置、  ２…搬送ベルト部、
３…ベルト駆動部、  ４…Ｏ−リングベルト、
５…駆動シャフト、  ６…チェーンボックス、  ７…ギア、
８…駆動チェーン、  ９…モーター、  １０…制御装置、
１１…変速ギアボックス、  １２…支持体、
１３…中空ベアリング、  １４…ずり落ち防止ガイド、
１５…滑り落ち防止手段、  ２０…有底容器、
２１…主ノズル、  ２２…主ノズル上下機構、
２３…空気加熱手段、  ２４…ヒーター、
２５…ヒーターコントローラー、  ２６…位置センサー、
２７…上下機構制御器、  ２８…ガス供給コントローラー、
２９…オートバルブ、  ３０…圧力計、  ３１…フローメータ、
３２…上方向噴出口、  ３３…横方向噴出口、
３４…モーター駆動ギア、  ３５…モーター、  ３６…歯、
３７…外側ノズル、  ３８…空気供給手段、  ３９…フィルター、
４１…有底容器の水切り装置、
４２…主ノズル、  ４３…外側ノズル、
４４…主ノズルの噴出口、  ４５…整流板、
４６…外側ノズルの噴出口、  ４７…整流板、
４８…搬送機構、  ４９…固定溝（固定手段）、
Ｄ１…駆動シャフトの間隔、  Ｗ…駆動シャフトの幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004335798.tif 000008
【図７】
2004335798.tif 000009
【図８】
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