(57)【要約】【課  題】外乱による影響を抑えること。【解決手段】荷電粒子ビームの通路が形成された鏡筒（２）下部に連結され、内部に荷電粒子ビーム（Ｂ）が照射される試料を支持する試料室が形成される試料室外壁（１７）と、試料室外壁（１７）の下端部を支持するベースプレート（１９）と、試料室外壁（１７）に形成された分光器連通孔と、試料室外壁（１７）に支持され且つ、内部が分光器連通孔を介して試料室に連通する分光器外壁（３１）と、荷電粒子ビームが照射された試料表面から発生するＸ線を分光して検出する分光器を支持する分光器外壁（３１）と、ベースプレート（１９）に固定支持され且つ分光器外壁（３１）の下端部を固定支持する分光器外壁支持部材（３４）とを備えた電子プローブマイクロアナライザ（１）。【選択図】      図２
2004234960.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ０１）〜（Ａ０８）を備えたことを特徴とする電子プローブマイクロアナライザ、
（Ａ０１）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビームの通路が内部に形成された鏡筒、
（Ａ０２）前記鏡筒下部に連結され、内部に試料室が形成される試料室外壁、
（Ａ０３）前記試料室内部に配置され且つ、前記荷電粒子ビームが照射される試料を支持する試料ステージ、
（Ａ０４）前記試料室外壁の下端部を支持するベースプレート、
（Ａ０５）前記試料室外壁に形成された分光器連通孔、
（Ａ０６）前記試料室外壁に支持され且つ、内部が前記分光器連通孔を介して前記試料室に連通する分光器外壁、
（Ａ０７）前記荷電粒子ビームが照射された前記試料表面から発生するＸ線を分光して検出する分光器を支持する前記分光器外壁、
（Ａ０８）前記ベースプレートに固定支持され且つ前記分光器外壁の下端部を固定支持する分光器外壁支持部材。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ０９），（Ａ０１０）を備えた請求項１記載の電子プローブマイクロアナライザ、
（Ａ０９）複数の前記分光器連通孔が形成された前記試料室外壁、
（Ａ０１０）前記分光器外壁内部と連通しない前記分光器連通孔を閉塞する連通孔閉塞部と、前記ベースプレートに固定支持されるベースプレート固定部とを有する連通孔閉塞部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷電粒子ビームが照射された試料表面から発生するＸ線を検出する電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏ  Ａｎａｌｙｚｅｒ）に関し、特に、試料の分析を行うための波長分散型のＸ線分光器（ＷＤＳ：Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）を有する電子プローブマイクロアナライザに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子ビームが照射された試料表面から発生するＸ線を分光して検出し、試料の分析を行うための波長分散型の分光器を有する従来の電子プローブマイクロアナライザでは、検出可能なＸ線の波長の範囲（即ち、分析可能な元素の範囲）を広くするために複数個（複数チャンネル）の分光器を備えた電子プローブマイクロアナライザが使用されている。
次の図面により電子プローブマイクロアナライザの従来例について説明する。なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、右左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【０００３】
図５は複数の分光器を備えた従来の電子プローブマイクロアナライザの斜視説明図である。
図６は従来の電子プローブマイクロアナライザの試料室外壁の拡大説明図である。
図５において、従来の電子プローブマイクロアナライザ０１は、上下方向に延び内部に電子ビームの通路が形成された鏡筒０２を有する。図５、図６において、前記鏡筒０２の下部には、内部に試料室が形成される試料室外壁０３が連結されている。図６において、前記試料室外壁０３には、鏡筒０２の下部が貫通して連結される鏡筒連結孔０３ａと、試料室に保持される試料を出入するための試料出入口０３ｂと、複数の分光器連通口０３ｃと、試料表面を観察する光学顕微鏡（図示せず）が連結される顕微鏡装着口０３ｄが形成されている。図５において、前記試料室外壁０３の各分光器連通口０３ｃの部分には、分光結晶とＸ線検出器とを有する分光器を移動可能に支持する分光器外壁０４が連結されている。そして、前記試料室外壁０３の下端部はベースプレート０６に固定支持されている。また、前記鏡筒０２には真空排気管０７が連結されており、鏡筒０２内部や試料室外壁０３内部（試料室）が真空状態に排気される。
【０００４】
前記構成を備えた従来の電子プローブマイクロアナライザ０１では、鏡筒０２内の図示しない電子銃からの電子ビームが絞られて電子プローブとなり、電子プローブが試料室内に保持された試料に照射される。電子プローブが試料に照射されると試料表面からＸ線が発生し、試料表面から発生したＸ線は、分光器連通口０３ｃを通じて分光器外壁０４内部に到達する。分光器外壁０４内部に到達したＸ線は、分光器外壁０４内部の分光器（図示せず）の分光結晶で特定の波長のＸ線が選り分けられ（分光され）、分光されたＸ線がＸ線検出器で検出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来の電子プローブマイクロアナライザ０１は、図６に示すように、試料室外壁０３には、試料出入口０３ｂや複数の分光器連通口０３ｃ等が形成されているので、構成上剛性を高めることが困難であり、外部からの振動（即ち、外乱）の影響を受けやすい構造となっている。前記外乱（特に低周波数の外乱）の要因としては、（ａ）電子プローブマイクロアナライザ０１が収容された部屋内のエアの流れやエアの流れの音、（ｂ）電子プローブマイクロアナライザ０１が収容された建造物の付近を通過する自動車等による振動、（ｃ）前記電子プローブマイクロアナライザ０１が収容された建造物の風による揺れ、及び付近の高層建造物の風による揺れに基づく地面の揺れ、（ｄ）近くに配置された発電機等の振動源、等が考えられる。
その上、従来の電子プローブマイクロアナライザ０１は、分光器外壁０４が試料室外壁０３の周囲に羽を広げたような形で支持されているので、外乱によって揺れやすい構造となっている。
【０００６】
従来の電子プローブマイクロアナライザ０１では、試料に照射する電子を発生させる電子銃として、Ｗフィラメント（タングステン・フィラメント：熱陰極）等の電子銃が使用されていたが、近年、ＦＥ−ＧＵＮ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ−ＧＵＮ：電界放出型電子銃）が使用されるようになった。前記ＦＥ−ＧＵＮを使用した場合、Ｗフィラメント型電子銃より電子ビームを細く絞ることが可能となり、観察・分析可能な面積を小さくでき、Ｗフィラメント型電子銃より高倍率での高分解能の像観察と、より微細領域の分析が可能となる。このように、ＦＥ−ＧＵＮでは高倍率で高分解能条件での像観察及び分析が可能となるが、外乱による影響で鏡筒０２等が振動（共振）した場合に、電子ビームが照射される試料の位置（観察位置）がずれ、観察像に振動ノイズが発生して、分解能を低下させる問題が発生する。また、分析においては、試料表面に沿う方向の振動によって分析点（分析位置）が移動したり、試料表面に垂直方向の振動によって焦点がずれて分析領域が広がったりしてしまい、微細領域の分析ができなくなる問題が発生する。
【０００７】
また、波長分散型の分光器（ＷＤＳ）を備えた電子プローブマイクロアナライザでは、電子ビームが照射される試料表面と、分光結晶と、Ｘ線検出器とがローランド円（試料表面及び分光結晶を結ぶ線分と分光結晶の位置の円の接線とが成す角と、Ｘ線検出器及び分光結晶を結ぶ線分と分光結晶の位置の円の接線とが成す角とが同一になる円）の円周上に配置されている必要がある。しかし、外乱の影響によって電子ビームの照射位置がずれてしまうと、照射位置、分光結晶及びＸ線検出器がローランド円から外れる可能性があり、観察したい試料表面から発生したＸ線を検出できない等の悪影響が発生し易くなる。
【０００８】
本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載内容（Ｏ０１）を課題とする。
（Ｏ０１）外乱による影響を抑えること。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施の形態の要素との対応を容易にするため、実施の形態の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施の形態の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施の形態に限定するためではない。
【００１０】
（本発明）
前記課題を解決するために、本発明の電子プローブマイクロアナライザは、下記の構成要件（Ａ０１）〜（Ａ０８）を備えたことを特徴とする。
（Ａ０１）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビーム（Ｂ）の通路が内部に形成された鏡筒（２）、
（Ａ０２）前記鏡筒（２）下部に連結され、内部に試料室（１６）が形成される試料室外壁（１７）、
（Ａ０３）前記試料室（１６）内部に配置され且つ、前記荷電粒子ビーム（Ｂ）が照射される試料（Ｗ）を支持する試料ステージ（ＳＴ）、
（Ａ０４）前記試料室外壁（１７）の下端部を支持するベースプレート（１９）、
（Ａ０５）前記試料室外壁（１７）に形成された分光器連通孔（１７ｃ）、
（Ａ０６）前記試料室外壁（１７）に支持され且つ、内部が前記分光器連通孔（１７ｃ）を介して前記試料室（１６）に連通する分光器外壁（３１）、
（Ａ０７）前記荷電粒子ビーム（Ｂ）が照射された前記試料（Ｗ）表面から発生するＸ線を分光して検出する分光器（３９）を支持する前記分光器外壁（３１）、
（Ａ０８）前記ベースプレート（１９）に固定支持され且つ前記分光器外壁（３１）の下端部を固定支持する分光器外壁支持部材（３４）。
【００１１】
前記構成要件（Ａ０１）〜（Ａ０８）を備えた本発明の電子プローブマイクロアナライザでは、鏡筒（２）内部のビーム通路を通過した荷電粒子ビーム（Ｂ）が試料室（１６）内の試料ステージ（ＳＴ）に支持された試料（Ｗ）に照射され、試料（Ｗ）表面からＸ線が発生する。試料室（１６）内で発生したＸ線は、前記分光器連通孔（１７ｃ）を介して試料室（１６）と連通する分光器外壁（３１）内部に支持された分光器（３９）によって分光されて検出される。
前記試料室外壁（１７）の下端部（下端面または側壁下部）を支持するベースプレート（１９）によって固定支持された分光器外壁支持部材（３４）は、前記分光器外壁（３１）の下端部を固定支持する。即ち、ベースプレート（１９）は試料室外壁（１７）を支持すると共に、分光器外壁支持部材（３４）を介して分光器外壁（３１）を固定支持している。
【００１２】
したがって、本発明の電子プローブマイクロアナライザは、試料室外壁（１７）に支持された分光器外壁（３１）の下端部が、分光器外壁支持部材（３４）を介してベースプレート（１９）に固定支持されているので、全体の剛性が高まる。したがって、電子プローブマイクロアナライザ全体の固有振動数（共振周波数）の最小値が高くなり、外乱によって振動（共振）しにくくなり、外乱（特に低周波数の外乱）による悪影響を抑えることができる。この結果、外乱との共振による悪影響を低減できるので、振動ノイズによる分解能の低下や、分析点の移動や広がりを抑えることができ、試料（Ｗ）表面の観察したい位置に荷電粒子ビーム（Ｂ）を精確に照射することができる。また、振動による悪影響を低減できるので、試料（Ｗ）や分光器（３９）がローランド円から外れることを抑えることができる。したがって、試料（Ｗ）表面の観察したい位置から発生するＸ線を精確に分光して検出し、試料（Ｗ）を精確に分析することができる。
【００１３】
また、前記構成要件（Ａ０１）〜（Ａ０８）を備えた本発明の電子プローブマイクロアナライザでは、下記の構成要件（Ａ０９），（Ａ０１０）を備えることができる。
（Ａ０９）複数の前記分光器連通孔（１７ｃ）が形成された前記試料室外壁（１７）、
（Ａ０１０）前記分光器外壁（３１）内部と連通しない前記分光器連通孔（１７ｃ）を閉塞する連通孔閉塞部（４１ａ）と、前記ベースプレート（１９）に固定支持されるベースプレート固定部（４１ｂ）とを有する連通孔閉塞部材（４１）。
前記構成要件（Ａ０９）、（Ａ０１０）を備えた本発明の電子プローブマイクロアナライザでは、試料室外壁（１７）に形成された複数の前記分光器連通孔（１７ｃ）の内、前記分光器外壁（３１）内部と連通しない前記分光器連通孔（１７ｃ）が連通孔閉塞部材（４１）の連通孔閉塞部（４１ａ）によって閉塞される。そして、前記連通孔閉塞部材（４１）はベースプレート固定部（４１ｂ）によってベースプレート（１９）に固定支持されている。
【００１４】
したがって、本発明の電子プローブマイクロアナライザでは、分光器外壁（３１）が取り付けられない分光器連通孔（１７ｃ）を閉塞する連通孔閉塞部材（４１）がベースプレート（１９）に固定支持されているので、試料室外壁（１７）が連通孔閉塞部材（４１）を介してベースプレート（１９）に固定支持されている。したがって、分光器連通孔（１７ｃ）を単に閉塞するだけの部材を設ける場合と比較して、試料室外壁（１７）とベースプレート（１９）との連結を強固にすることができ、電子プローブマイクロアナライザ全体の剛性を高めることができる。この結果、電子プローブマイクロアナライザの固有振動数の最小値（１次モードの固有振動数）が高くなり、外乱による悪影響を抑えることができ、振動ノイズや分析点の移動等を低減でき、試料（Ｗ）から発生するＸ線を精確に検出することができる。
【００１５】
【実施の形態】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザを説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザの説明図である。
図２は実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザの斜視図である。
【００１６】
図１，図２において、実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１は、上下方向（Ｚ軸方向）に延び内部に電子ビームＢの通路が形成された円筒状の鏡筒２を有する。図１において、前記鏡筒２は、上部の大径部２ａと、下部の小径部２ｂとを有している。前記大径部２ａの側面には真空排気口２ｃが形成され、前記鏡筒２の小径部２ｂ側面には顕微鏡用貫通孔２ｄが形成されている。前記真空排気口２ｃには、図示しない真空ポンプに接続された排気管３（図２参照）が連結されており、真空ポンプ（図示せず）によって鏡筒２内部が真空状態に排気される。
図１において、前記鏡筒２の大径部２ａ内部の上端部には電界放出型電子銃４が支持されており、電界放出型電子銃４の下方には、電界放出型電子銃４から出射された電子ビームＢを集束させる集束レンズ６が配置されている。前記集束レンズ６の下方には電子ビームＢを走査する走査コイル７が配置され、走査コイル７の下方には電子ビームＢを細く絞って電子プローブ状にする電磁対物レンズ８が配置されている。そして、前記電磁対物レンズ８近傍には、光学対物レンズ１１が配置されており、光学対物レンズ１１の上方には光学反射鏡１２，１２が配置されている。
【００１７】
図３は実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザの試料室外壁の斜視図であり、前記図６の従来の試料室外壁に対応する図である。
図１〜図３において、前記鏡筒２の下方には、内部に試料室１６が形成された円筒状の試料室外壁１７が配置されている。前記試料室１６の上壁には鏡筒連結孔１７ａ（図３参照）が形成されており、鏡筒２の小径部２ｂが前記鏡筒連結孔１７ａを貫通した状態で鏡筒２と試料室外壁１７とが連結されている。前記試料室外壁１７の側壁には、前記図６に示す従来の試料室外壁０３と同様に、試料Ｗを出入するための試料出入口１７ｂ（図３参照）と、５つの分光器連通孔１７ｃと、顕微鏡装着孔１７ｄとが形成されている。そして、前記試料室外壁１７の下端部は、試料室支持部材１８（図１、図２参照）を介してベースプレート１９に固定支持されている。
図１において、前記試料室１７内部の鏡筒２の下方には、試料Ｗを保持する試料ホルダＨが支持される試料ステージＳＴが配置されている。前記試料ステージＳＴは、試料Ｗの位置をＸＹ平面内で回転調節可能な回転ステージＳＴｒ、Ｘ方向に位置調節可能なＸステージＳＴｘ、Ｙ方向に位置調節可能なＹステージＳＴｙ及びＺ方向に位置調節可能なＺステージＳＴｚを有している。
【００１８】
前記試料ステージＳＴに保持される試料Ｗ及び試料ホルダＨは、試料出入口１７ｂに接続された交換室外壁２１内部の試料交換室２２に配置された試料交換部材２３によって交換される。
前記試料室外壁１７の顕微鏡装着孔１７ｄには、観察窓２６ａが形成された接眼レンズ収容部材２６が支持されており、接眼レンズ収容部材２６内部には接眼レンズ２７が収容されている。前記光学対物レンズ１１、光学反射鏡１２、接眼レンズ収容部材２６及び接眼レンズ２７等によって光学顕微鏡２８が構成されており、前記光学顕微鏡２８により、作業者が試料Ｗ表面のどの位置に電子プローブＢが照射されているのか等を観察窓２６ａから観察することができる。
【００１９】
図１，図２において、前記試料室外壁１７の５つの分光器連通孔１７ｃの部分には、それぞれ分光器外壁３１が支持されており、前記分光器外壁３１内部は前記分光器連通孔１７ｃを介して前記試料室１６に連通している。前記分光器外壁３１には移動部材装着孔３１ａと、操作窓３１ｂと、配線貫通孔３１ｃが形成されている。そして、前記各分光器外壁３１の下端面は、前記ベースプレート１９と一体に形成されたリブ３２の上部に固定支持された分光器外壁支持部３３によって固定支持されている。なお、実施の形態１では、リブ３２をベースプレート１９に一体に形成したが、別体に構成されたリブを溶接等によりベースプレート１９に固着することも可能である。
前記リブ３２及び分光器外壁支持部３３等によって分光器外壁支持部材３４が構成されている。
【００２０】
図１において、前記試料室１６に連通している分光器外壁３１内部には、電子プローブＢが照射された試料Ｗ表面から発生したＸ線の中から特定の波長のＸ線のみ選り分ける（分光する）分光結晶３６と、前記分光結晶３６で分光されたＸ線を検出するＸ線検出器３７とが配置されている。前記分光結晶３６及びＸ線検出器３７は、前記移動部材装着孔３１ａを貫通して配置された移動調節部材３８によって、位置調節可能に支持されている（Ｘ線検出器３７を移動調節する機構は図示せず）。
前記分光結晶３６、Ｘ線検出器３７及び移動調節部材３８等によって分光器３９が構成されている。
【００２１】
前記移動調節部材３８を操作することによって、分光結晶３６及びＸ線検出器３７は、前記試料Ｗ表面、分光結晶３６及びＸ線検出器３７がローランド円の円周上に配置される様に移動し、位置調節される。前記分光結晶３６及びＸ線検出器３７を移動調節することによって、分光結晶３６で分光するＸ線の波長を変更・調節することができる。そして、前記分光結晶３６等の位置を前記操作窓３１ｂから観察でき、Ｘ線検出器３７からの検出信号が配線貫通孔３１ｃを貫通する検出信号伝達用の配線（図示せず）によって外部に伝達される。
１つの分光器３９で検出できるＸ線の波長の範囲は限定されるので、実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１では、５つの分光器外壁３１内に配置された分光器３９それぞれで検出可能なＸ線の波長の範囲が異なるように設定されている。したがって、５つ（５チャンネル）の分光器３９の検出結果を総合することによって、検出できるＸ線の波長の範囲が広くなり、分析可能な元素の種類が増加する。
【００２２】
（実施の形態１の作用）
前記構成を備えた実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１では、電界放出型電子銃４から出射された電子ビームＢが集束レンズ６、対物レンズ８で集束されて電子プローブＢとなり、試料Ｗに照射される。電子プローブＢが照射された試料Ｗ表面から発生したＸ線は、分光器連通孔１７ｃを介して試料室１６に連通する分光器外壁３１内部に到達する。前記分光器外壁３１内部に到達したＸ線は、分光器外壁３１内部に配置された分光結晶３６で分光されて、分光された特定の波長のＸ線がＸ線検出器３７で検出される。前記移動調節部材３８を操作し、分光結晶３６及びＸ線検出器３７を移動させることによって、分光されるＸ線の波長を変化させ、電子プローブＢが照射されている試料Ｗ表面（観察中の表面）から発生したＸ線を波長毎に検出する。そして、検出したＸ線の波長から元素を特定し、５チャンネルの分光器３９の検出結果を総合することによって、観察中の試料Ｗ表面に含まれている元素を分析する。そして、前記走査コイル７によって電子プローブＢを走査したり、試料ステージＳＴをＸ，Ｙ，Ｚ軸方向及びＸＹ平面で回転させたりして試料Ｗの位置を移動調節することによって、試料Ｗの任意の表面を分析することができる。
【００２３】
前記実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１では、試料室外壁１７に支持された分光器外壁３１の下端面が分光器外壁支持部材３４によってベースプレート１９に固定支持されている。したがって、前記図５に示す試料室外壁０３に支持された分光器外壁０４の下端面がベースプレート０６に支持されていない従来の電子プローブマイクロアナライザ０１と比較して、実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１の全体の剛性は高くなる。その上、実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１では、ベースプレート１９にリブ３２が設けられているので、ベースプレート１９の剛性が高くなり、電子プローブマイクロアナライザ１全体の剛性もさらに高くなっている。
【００２４】
（シミュレーション）
前記図５に示す従来の電子プローブマイクロアナライザ０１（真空排気管０７含む）及び図２に示す実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１（真空排気管３を含む）について、構造解析（有限要素法）によりシミュレーションを実施した。
シミュレーションの結果、図２に示す実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１では１次モードの固有振動数が、図５に示す従来の電子プローブマイクロアナライザ０１の１次モードの固有振動数と比較して約１．５倍高くなった。したがって、分光器外壁３１の下端面を分光器外壁支持部材３４を介してベースプレート１９に固定支持した実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１は、従来と比較して１次モードの固有振動数、即ち、固有振動数の最小値が高くなっており、電子プローブマイクロアナライザ１全体の剛性が高くなっていることが確認された。
【００２５】
この結果、実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１は剛性が高くなり、固有振動数（共振周波数）の最小値が高くなり、外乱（特に、低周波数の振動）によって共振しにくくなっている。したがって、外乱による影響が抑えられるので、振動ノイズによる分解能の低下や、分析点の移動や広がりを抑えることができ、電子プローブＢを試料Ｗ表面の観察したい微細領域に精確に照射することができる。また、振動によって試料Ｗ、分光結晶３６及びＸ線検出器３７がローランド円から外れることが抑えられる。この結果、実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザ１は、観察位置から発生したＸ線を精確に分光して検出することができ、観察位置の試料Ｗ表面に含まれる元素を精確に分析することができる。
【００２６】
（実施の形態２）
実施の形態２の説明において、前記実施の形態１と同一の構成要素には同一の符号を使用してその詳細な説明は省略する。実施の形態２では、以下の点において前記実施の形態１と相違するがその他の構成は実施の形態１と同様に構成されている。
図４は実施の形態２の電子プローブマイクロアナライザの斜視図であり、前記実施の形態１の図２に対応する図である。
図４において、実施の形態２の電子プローブマイクロアナライザ１は、試料室外壁１７には２つの分光器外壁３１しか支持されていない。前記分光器外壁３１が支持されていない試料室外壁１７の分光器連通孔１７ｃには連通孔閉塞部材４１が支持されている。前記連通孔閉塞部材４１は、分光器連通孔１７ｃを閉塞した状態で試料室外壁１７にボルトで固定支持されるプレート状の連通孔閉塞部４１ａと、前記分光器外壁支持部３３にボルトで固定支持されるプレート状のベースプレート固定部４１ｂと、前記連通孔閉塞部４１ａとベースプレート固定部４１ｂとを連結する連結部４１ｃとを有している。
【００２７】
（実施の形態２の作用）
前記構成を備えた実施の形態２の電子プローブマイクロアナライザ１では、５つの分光器連通孔１７ｃが形成された試料室外壁１７に対して、２つの分光器外壁３１しか装着されていない。分析する試料Ｗの構成元素の種類等がある程度限定される場合や、特定の元素だけを検出したい場合等では、５チャンネル（フルチャンネル）の分光器３９を試料室外壁１７に支持しなくても（装着しなくても）、十分試料Ｗを分析することができる。
しかしながら、分光器３９がフルチャンネル装着されていない場合に、分光器連通孔１７ｃを単にプレートで閉塞した場合、試料出入口１７ｂや５つの分光器連通孔１７ｃ等が形成されているために構造的に剛性が低い試料室外壁１７によって、電子プローブマイクロアナライザ１全体の剛性が十分高くならない場合がある。
【００２８】
したがって、実施の形態２の電子プローブマイクロアナライザ１では、分光器連通孔１７ｃを単に閉塞するだけでなく、連通孔閉塞部材４１によって分光器連通孔１７ｃを閉塞しつつ連通孔閉塞部材４１及び分光器外壁支持部材３４を介して、試料室外壁１７とベースプレート１９とを連結することによって、全体の剛性を高めている。この結果、分光器外壁３１がフルチャンネル装着されない場合でも、電子プローブマイクロアナライザ１の全体の剛性を高めることができる。したがって、剛性が高くなり、固有振動数（共振周波数）の最小値が大きくなっているので、外乱による影響を抑えることができ、電子プローブＢを試料Ｗ表面の観察位置に精確に照射して、観察したい位置の試料Ｗ表面に含まれる元素を精確に分析することができる。
【００２９】
（変更例）
以上、本発明の実施の形態を詳述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ０１）〜（Ｈ０８）を下記に例示する。
（Ｈ０１）前記実施の形態１，２の電子プローブマイクロアナライザ１は、Ｘ線を分光して検出する分光器３９を備えているが、これに加え、反射電子を検出する反射電子検出器や、２次電子を検出する２次電子検出器、試料を透過する透過電子を検出する透過電子検出器、試料に吸収された吸収電子を検出する吸収電子検出器、発生する光（カソード・ルミネッセンス）を検出する光検出器等を備えることも可能である。前記各検出器を備えることによって、元素の分析だけでなく、試料の組成物質や試料の幾何学的形状、試料の元素濃度等を検出することも可能となる。
【００３０】
（Ｈ０２）前記実施の形態１，２において、分光器外壁支持部材３４がベースプレート１９と一体に形成されたリブ３２と分光器外壁支持部３３とによって構成されているが、ベースプレート１９とは別体に構成され且つベースプレート１９に固定支持されたベースプレート支持部と分光器外壁を支持する分光器外壁支持部と有する分光器外壁支持部材を使用することも可能である。
（Ｈ０３）前記実施の形態１，２において、試料室外壁１７には、５つの分光器連通孔１７ｃが形成されているが、分光器連通孔１７ｃの数、大きさ、形状等は任意に変更可能である。
（Ｈ０４）前記実施の形態１，２において、電子銃として電界放出型電子銃を使用したが、従来のタングステン・フィラメント等の熱陰極の電子銃を使用することも可能である。本発明は、電子銃として電界放出型電子銃を使用する場合に外乱の影響を抑える効果が特に大きいが、タングステン・フィラメント等の熱陰極を使用する電子銃を使用した場合でも外乱の影響を抑えることができる。
【００３１】
（Ｈ０５）前記実施の形態２において、連通孔閉塞部材４１によって試料室外壁１７とベースプレート１９とを連結しなくても電子プローブマイクロアナライザ１の剛性が十分大きな場合、連通孔閉塞部材４１を設けず単なるプレートで分光器連通孔１７ｃを閉塞することも可能である。
（Ｈ０６）前記実施の形態２において、分光器外壁３１が装着されない３つの分光器連通孔１７ｃの全てに連通孔閉塞部材４１を固定支持するのではなく、例えば、１つの分光器連通孔１７ｃを連通孔閉塞部材４１で閉塞し、他の２つは単なるプレートで閉塞するよう構成することも可能である。
【００３２】
（Ｈ０７）前記実施の形態２において、連通孔閉塞部材４１は分光器外壁支持部材３４を介してベースプレート１９に固定支持されているが、分光器外壁支持部材３４を介さず、直接ベースプレート１９に固定することも可能である。
（Ｈ０８）前記実施の形態１，２において、分光器外壁支持部材３４によって分光器外壁３１の下端面を固定支持するよう構成したが、分光器外壁３１の側壁下部に連結される分光器外壁支持部材を介して、分光器外壁３１下端部（側壁下部）とベースプレート１９とを固定支持するよう構成することも可能である。
【００３３】
【発明の効果】
前述の本発明の電子プローブマイクロアナライザは、下記の効果（Ｅ０１）〜（Ｅ０４）を奏することができる。
（Ｅ０１）全体の剛性を高めることによって、外乱による影響を抑えることができる。
（Ｅ０２）外乱による影響を抑えることによって、試料の分析を精確に行うことができる。
（Ｅ０３）連通孔閉塞部材を使用することによって、分光器がフルチャンネル装着されていない場合でも、電子プローブマイクロアナライザ全体の剛性を高めることができる。
（Ｅ０４）ベースプレートのリブを利用して分光器外壁を固定支持することによって、リブによりベースプレートの剛性が高まり、結果として電子プローブマイクロアナライザ全体の剛性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザの説明図である。
【図２】図２は実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザの斜視図である。
【図３】図３は実施の形態１の電子プローブマイクロアナライザの試料室外壁の斜視図であり、前記図６の従来の試料室外壁に対応する図である。
【図４】図４は実施の形態２の電子プローブマイクロアナライザの斜視図であり、前記実施の形態１の図２に対応する図である。
【図５】図５は複数の分光器を備えた従来の電子プローブマイクロアナライザの斜視説明図である。
【図６】図６は従来の電子プローブマイクロアナライザの試料室外壁の拡大説明図である。
【符号の説明】
Ｂ…荷電粒子ビーム、ＳＴ…試料ステージ、Ｗ…試料、２…鏡筒、１６…試料室、１７…試料室外壁、１７ｃ…分光器連通孔、１９…ベースプレート、３１…分光器外壁、３４…分光器外壁支持部材、３９…分光器、４１…連通孔閉塞部材、４１ａ…連通孔閉塞部、４１ｂ…ベースプレート固定部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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