(57)【要約】【課題】マルチアンプ読み出しにより高速読み出しを可能とし、かつアンプ特性のばらつきが画質に影響しないＣＣＤ型固体撮像素子を提供する。【解決手段】カラーフィルタを備えたＣＣＤ型固体撮像素子１０において、撮像領域１１上の光検出器の奇数列と偶数列とでそれぞれ、上下に配置された水平ＣＣＤ１４，１５に対して、別々の方向に垂直ＣＣＤ１２，１３から信号電荷を転送する。水平ＣＣＤ１４，１５の各々の最終段に置かれたアンプ１６，１７では、それぞれ異なる色情報を読み出すため、アンプ特性のばらつきをカラーフィルタ特性により吸収でき、アンプ特性のばらつきが画質に影響することなく高速で読み出せる。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像領域に複数の光検出器を２次元配列してなるＣＣＤ型固体撮像素子であって、
前記複数の光検出器に重ねられ、かつ奇数列と偶数列とで同じ色を持たず、又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタと、
前記複数の光検出器のうちの奇数列の光検出器の信号電荷を垂直方向へ上向き又は下向きに転送するための第１の垂直ＣＣＤと、
前記複数の光検出器のうちの偶数列の光検出器の信号電荷を前記第１の垂直ＣＣＤとは逆向きに転送するための第２の垂直ＣＣＤと、
前記第１の垂直ＣＣＤから受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第１の水平ＣＣＤと、
前記第２の垂直ＣＣＤから受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第２の水平ＣＣＤと、
前記第１の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第１のアンプと、
前記第２の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第２のアンプとを備え、
前記第１及び第２のアンプから、それぞれ奇数列、偶数列の信号電荷を別々に読み出すことを特徴とするＣＣＤ型固体撮像素子。
【請求項２】
撮像領域に複数の光検出器を２次元配列してなるＣＣＤ型固体撮像素子であって、
前記複数の光検出器に重ねられ、かつ奇数行と偶数行とで同じ色を持たず、又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタと、
前記複数の光検出器の信号電荷を垂直方向に転送するための垂直ＣＣＤと、
前記複数の光検出器のうちの奇数行の光検出器の信号電荷を前記垂直ＣＣＤから受け取り、該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第１の水平ＣＣＤと、
前記複数の光検出器のうちの偶数行の光検出器の信号電荷を前記垂直ＣＣＤから受け取り、該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第２の水平ＣＣＤと、
前記第１の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第１のアンプと、
前記第２の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第２のアンプとを備え、
前記第１及び第２のアンプから、それぞれ奇数行、偶数行の信号電荷を別々に読み出すことを特徴とするＣＣＤ型固体撮像素子。
【請求項３】
撮像領域に複数の光検出器を２次元配列してなるＣＣＤ型固体撮像素子であって、
前記複数の光検出器に重ねられ、奇数列と偶数列とで同じ色を持たず、又は同じ色であっても異なる隣接色を持ち、かつ奇数行と偶数行とで同じ色を持たず、又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタと、
前記複数の光検出器のうちの奇数列の光検出器の信号電荷を垂直方向へ上向き又は下向きに転送するための第１の垂直ＣＣＤと、
前記複数の光検出器のうちの偶数列の光検出器の信号電荷を前記第１の垂直ＣＣＤとは逆向きに転送するための第２の垂直ＣＣＤと、
前記複数の光検出器のうちの奇数行かつ奇数列の光検出器の信号電荷を前記第１の垂直ＣＣＤから受け取り、該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第１の水平ＣＣＤと、
前記複数の光検出器のうちの偶数行かつ奇数列の光検出器の信号電荷を前記第１の垂直ＣＣＤから受け取り、該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第２の水平ＣＣＤと、
前記第１の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第１のアンプと、
前記第２の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第２のアンプと、
前記複数の光検出器のうちの奇数行かつ偶数列の光検出器の信号電荷を前記第２の垂直ＣＣＤから受け取り、該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第３の水平ＣＣＤと、
前記複数の光検出器のうちの偶数行かつ偶数列の光検出器の信号電荷を前記第２の垂直ＣＣＤから受け取り、該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第４の水平ＣＣＤと、
前記第３の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第３のアンプと、
前記第４の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第４のアンプとを備え、
前記第１〜第４のアンプから、それぞれ奇数行かつ奇数列、偶数行かつ奇数列、奇数行かつ偶数列、偶数行かつ偶数列の信号電荷を別々に読み出すことを特徴とするＣＣＤ型固体撮像素子。
【請求項４】
請求項１又は３に記載のＣＣＤ型固体撮像素子において、
前記第１及び第２の垂直ＣＣＤは、前記複数の光検出器からの信号電荷のプログレッシブ読み出しが可能であり、かつ、同一の駆動パルス列により互いに逆向きに信号電荷を転送することができる転送ゲート構造を持つことを特徴とするＣＣＤ型固体撮像素子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のＣＣＤ型固体撮像素子を用いたカメラシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＣＤ型固体撮像素子とそれを用いたカメラシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＣＣＤ型固体撮像素子はプロセスの微細化により高画素化が進み、より高精細な画が撮れるようになってきた。しかし一方で、高画素化に伴い読み出し速度が課題となっている。この課題を解決するために、様々な試みがなされてきた。
【０００３】
第１の従来技術によれば、三板式の高精細（ＨＤ）テレビ方式における個々の固体撮像素子の撮像領域の片側に複数段の水平ＣＣＤを設け、各水平ＣＣＤの最終段に設けたアンプで信号電荷を読み出す。ただし、アンプ特性（ゲイン、オフセット等）のばらつきが問題となるため、これを補正するための基準信号を各水平ＣＣＤへ振り分ける（特開平２−７８３８２号公報）。
【０００４】
また、第２の従来技術によれば、撮像領域を左右に２分割して信号電荷を水平ＣＣＤへ転送し、各ブロックの信号電荷を水平方向互いに逆向きに転送したうえ、水平ＣＣＤの両端に設けられた各アンプで信号電荷を読み出す（特開平３−２２４３７１号公報）。
【０００５】
更に、第３の従来技術によれば、インターレース読み出し（画素加算読み出し）方式の固体撮像素子において、撮像領域の上下両側にそれぞれ水平ＣＣＤを設け、奇数列の信号電荷を下側の水平ＣＣＤへ、偶数列の信号電荷を上側の水平ＣＣＤへそれぞれ転送し、各水平ＣＣＤの最終段に設けたアンプで信号電荷を読み出す（特開平８−１２５１５８号公報）。
【０００６】
一方、非ＣＣＤ型の固体撮像素子における１つの従来技術として、カラーフィルタ配列は従来のままで各出力端子に常に同色の出力を行う技術が知られている（特開平９−４６４８０号公報）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、アンプ特性の全く揃った素子を製造するのは困難である。したがって、上記第１〜第３の従来技術では、アンプ特性のばらつきを補正するための手段が不可欠である。
【０００８】
本発明は、読み出し速度を上げるために複数の読み出しアンプを採用した場合に、アンプ特性が異なっていても画質に影響を与えない単板式のＣＣＤ型固体撮像素子と、それを用いたカメラシステムとを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、同じ色情報が異なるアンプを通ることがないように構成したものである。例えば、同じＲ（赤）の情報が、特性の揃っていない２つのアンプを通ることがないようにする。ただし、カラーフィルタの色配列において、例えばＲ（赤）に挟まれたＧ（緑）と、Ｂ（青）に挟まれたＧ（緑）とは異なる色として扱える。
【００１０】
本発明によれば、各水平ＣＣＤの最終段に置かれたアンプでは、それぞれ異なる色情報を読み出す。このため、アンプ特性のばらつきをカラーフィルタ特性により吸収でき、アンプ特性のばらつきが画質に影響することなく高速で読み出せる。
【００１１】
具体的に説明すると、請求項１の発明は、図１に例示したように、撮像領域に複数の光検出器を２次元配列してなるＣＣＤ型固体撮像素子において、複数の光検出器に重ねられかつ奇数列と偶数列とで同じ色を持たず又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタと、複数の光検出器のうちの奇数列の光検出器の信号電荷を垂直方向へ上向き又は下向きに転送するための第１の垂直ＣＣＤと、複数の光検出器のうちの偶数列の光検出器の信号電荷を第１の垂直ＣＣＤとは逆向きに転送するための第２の垂直ＣＣＤと、第１の垂直ＣＣＤから受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第１の水平ＣＣＤと、第２の垂直ＣＣＤから受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第２の水平ＣＣＤと、第１の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第１のアンプと、第２の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第２のアンプとを備え、第１及び第２のアンプからそれぞれ奇数列、偶数列の信号電荷を別々に読み出すこととしたものである。
【００１２】
また、請求項２の発明は、図２に例示したように、撮像領域に複数の光検出器を２次元配列してなるＣＣＤ型固体撮像素子において、複数の光検出器に重ねられかつ奇数行と偶数行とで同じ色を持たず又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタと、複数の光検出器の信号電荷を垂直方向に転送するための垂直ＣＣＤと、複数の光検出器のうちの奇数行の光検出器の信号電荷を垂直ＣＣＤから受け取り該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第１の水平ＣＣＤと、複数の光検出器のうちの偶数行の光検出器の信号電荷を垂直ＣＣＤから受け取り該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第２の水平ＣＣＤと、第１の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第１のアンプと、第２の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第２のアンプとを備え、第１及び第２のアンプからそれぞれ奇数行、偶数行の信号電荷を別々に読み出すこととしたものである。
【００１３】
更に、請求項３の発明は、図３に例示したように、撮像領域に複数の光検出器を２次元配列してなるＣＣＤ型固体撮像素子において、複数の光検出器に重ねられ奇数列と偶数列とで同じ色を持たず又は同じ色であっても異なる隣接色を持ち、かつ奇数行と偶数行とで同じ色を持たず又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタと、複数の光検出器のうちの奇数列の光検出器の信号電荷を垂直方向へ上向き又は下向きに転送するための第１の垂直ＣＣＤと、複数の光検出器のうちの偶数列の光検出器の信号電荷を第１の垂直ＣＣＤとは逆向きに転送するための第２の垂直ＣＣＤと、複数の光検出器のうちの奇数行かつ奇数列の光検出器の信号電荷を第１の垂直ＣＣＤから受け取り該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第１の水平ＣＣＤと、複数の光検出器のうちの偶数行かつ奇数列の光検出器の信号電荷を第１の垂直ＣＣＤから受け取り該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第２の水平ＣＣＤと、第１の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第１のアンプと、第２の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第２のアンプと、複数の光検出器のうちの奇数行かつ偶数列の光検出器の信号電荷を第２の垂直ＣＣＤから受け取り該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第３の水平ＣＣＤと、複数の光検出器のうちの偶数行かつ偶数列の光検出器の信号電荷を第２の垂直ＣＣＤから受け取り該受け取った信号電荷を水平方向に転送するための第４の水平ＣＣＤと、第３の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第３のアンプと、第４の水平ＣＣＤの最終段に設けられた第４のアンプとを備え、第１〜第４のアンプからそれぞれ奇数行かつ奇数列、偶数行かつ奇数列、奇数行かつ偶数列、偶数行かつ偶数列の信号電荷を別々に読み出すこととしたものである。
【００１４】
請求項４の発明では、図４〜図７に例示したように、上記請求項１又は３の発明に係るＣＣＤ型固体撮像素子において、第１及び第２の垂直ＣＣＤは複数の光検出器からの信号電荷のプログレッシブ読み出し（全画素非加算読み出し）が可能であり、かつ同一の駆動パルス列により互いに逆向きに信号電荷を転送することができる転送ゲート構造を持つこととした。
【００１５】
請求項５の発明は、図８、図９に例示したように、上記請求項１〜４の発明のいずれかに係るＣＣＤ型固体撮像素子を用いたカメラシステムである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
図１〜図３に単板式のＣＣＤ型固体撮像素子の概略図を示す。いずれもベイヤ配列のカラーフィルタを持つＣＣＤ型固体撮像素子である。例示したカラーフィルタ配列において、Ｒは赤、ＧｒとＧｂはどちらも緑、Ｂは青である。Ｇｒは水平方向でＲの隣の緑であり、Ｇｂは水平方向でＢの隣の緑である。ＧｒとＧｂはどちらも緑であるが、左右に位置するフィルタが異なっているので、異なる色として扱う。
【００１８】
図１のＣＣＤ型固体撮像素子１０は、撮像領域１１に複数の光検出器（フォトダイオード）を２次元配列し、その上にカラーフィルタを重ねたものである。ＲとＧｂのカラーフィルタを持つ光検出器で変換された電荷は垂直ＣＣＤ１２を介して下側に配置された水平ＣＣＤ１４に転送される。一方、ＧｒとＢのカラーフィルタを持つ光検出器で変換された電荷は垂直ＣＣＤ１３を介して上側に配置された水平ＣＣＤ１５に転送される。これより、ＲとＧｂの色情報を持つ信号電荷が下側の水平ＣＣＤ１４の最終段にあるアンプ１６で、ＧｒとＢの色情報を持つ信号電荷が上側の水平ＣＣＤ１５の最終段にあるアンプ１７でそれぞれ読み出される。これにより、アンプ１６，１７ではそれぞれ異なる色情報を読み出すため、アンプ特性のばらつきをカラーフィルタ特性により吸収でき、アンプ特性のばらつきが画質に影響することなく高速で読み出せる。なお、奇数列と偶数列とで同じ色を持たず、又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタであれば、上記ベイヤ配列に限らず色再現可能な任意のカラーフィルタを採用することができる。
【００１９】
図２のＣＣＤ型固体撮像素子２０は、撮像領域２１に複数の光検出器を２次元配列し、その上にカラーフィルタを重ねたものである。ＲとＧｒのカラーフィルタを持つ光検出器で変換された電荷は垂直ＣＣＤ２２，２３を介して下側に２段配置された水平ＣＣＤ２４，２５のうち上側の水平ＣＣＤ２４に転送される。一方、ＧｂとＢのカラーフィルタを持つ光検出器で変換された電荷は同じく垂直ＣＣＤ２２，２３を介して下側に２段配置された水平ＣＣＤ２４，２５のうち下側の水平ＣＣＤ２５に転送される。これより、ＲとＧｒの色情報を持つ信号電荷が上側の水平ＣＣＤ２４の最終段にあるアンプ２６で、ＧｂとＢの色情報を持つ信号電荷が下側の水平ＣＣＤ２５の最終段にあるアンプ２７でそれぞれ読み出される。これにより、アンプ２６，２７ではそれぞれ異なる色情報を読み出すため、アンプ特性のばらつきをカラーフィルタ特性により吸収でき、アンプ特性のばらつきが画質に影響することなく高速で読み出せる。なお、奇数行と偶数行とで同じ色を持たず、又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタであれば、上記ベイヤ配列に限らず色再現可能な任意のカラーフィルタを採用することができる。
【００２０】
図３のＣＣＤ型固体撮像素子３０は、撮像領域３１に複数の光検出器を２次元配列し、その上にカラーフィルタを重ねたものである。図１と同様にＲとＧｂのカラーフィルタを持つ光検出器で変換された電荷は垂直ＣＣＤ３２を介して下側に、ＧｒとＢのカラーフィルタを持つ光検出器で変換された電荷は垂直ＣＣＤ３３を介して上側にそれぞれ転送される。そのとき、Ｒの電荷は下側に並んでいる２段の水平ＣＣＤ３４，３５のうち上側の水平ＣＣＤ（第１の水平ＣＣＤ）３４に、Ｇｂの電荷は下側の水平ＣＣＤ（第２の水平ＣＣＤ）３５にそれぞれ転送される。また、Ｇｒの電荷は上側に並んでいる２段の水平ＣＣＤ３８，３９のうち上側の水平ＣＣＤ（第３の水平ＣＣＤ）３８に、Ｂの電荷は下側の水平ＣＣＤ（第４の水平ＣＣＤ）３９にそれぞれ転送される。これより、Ｒの色情報を持つ信号電荷が第１の水平ＣＣＤ３４の最終段にあるアンプ３６で、Ｇｂの色情報を持つ信号電荷が第２の水平ＣＣＤ３５の最終段にあるアンプ３７で、Ｇｒの色情報を持つ信号電荷が第３の水平ＣＣＤ３８の最終段にあるアンプ４０で、Ｂの色情報を持つ信号電荷が第４の水平ＣＣＤ３９の最終段にあるアンプ４１でそれぞれ読み出される。これにより、アンプ３６，３７，４０，４１ではそれぞれ異なる色情報を読み出すため、アンプ特性のばらつきをカラーフィルタ特性により吸収でき、アンプ特性のばらつきが画質に影響することなく高速で読み出せる。なお、奇数列と偶数列とで同じ色を持たず、又は同じ色であっても異なる隣接色を持ち、かつ奇数行と偶数行とで同じ色を持たず、又は同じ色であっても異なる隣接色を持つカラーフィルタであれば、上記ベイヤ配列に限らず色再現可能な任意のカラーフィルタを採用することができる。
【００２１】
図４、図５に、図１及び図３の逆方向電荷転送を可能とする垂直ＣＣＤ１２，１３；３２，３３の電極構造の一例を示す。ここでは、信号電荷のプログレッシブ読み出し（全画素非加算読み出し）が可能であり、２層ポリシリコンプロセスを用いて４相転送を行う。
【００２２】
図４は転送ゲートの電極構造を上から見た図であり、図５（ａ）、図５（ｂ）はそれぞれ図４に表したＡ−Ａ’、Ｂ−Ｂ’の断面を表示したものである。図５（ａ）、図５（ｂ）においてＰＤと表してあるのはフォトダイオードのことで、実際には断面上にはないが電極との位置関係を示すために点線で示してある。ここで、ＰＤからの信号電荷読み出しのための電極はφＶ１である。
【００２３】
図４、図５の電極構造をとることにより、奇数列では下向きにφＶ１→φＶ２→φＶ３→φＶ４と並ぶのが、偶数列では上向きにφＶ４→φＶ３→φＶ２→φＶ１と並ぶことになりそれぞれ逆方向に信号電荷が転送されることになる。
【００２４】
図６、図７に逆方向転送のタイミングチャートを示す。図６はφＶ１、φＶ２、φＶ３、φＶ４に印加するパルス波形を示したもので、図７は転送の様子を模式的に示したものである。図４、図５に示した４相のゲート電極に図６で示す転送パルスを印加した場合、奇数列では上から下にφＶ１→φＶ２→φＶ３→φＶ４の順にゲート電極が並んでいるため電荷が下側の水平ＣＣＤに転送され、偶数列では下から上にφＶ４→φＶ３→φＶ２→φＶ１の順にゲート電極が並んでいるため電荷が上側の水平ＣＣＤに転送される。これより１列毎に交互に逆方向転送が行われる。
【００２５】
図８に、図１又は図２のＣＣＤ型固体撮像素子１０，２０を用いたカメラシステムの例を示す。図８において、５０はレンズであり、５１はＣＣＤ型固体撮像素子１０，２０を駆動するための駆動回路である。ＣＣＤ型固体撮像素子１０，２０の上下２段のアンプから読み出された信号は、それぞれ独立にＣＤＳ（相関二重サンプリング）回路５２ａ，５２ｂと、ＡＤＣ（アナログ・デジタル変換）回路５３ａ，５３ｂとを通る。ＡＤＣを行った後にメモリコントロール回路５５で制御し、メモリ回路５４内で並べ替えを行い、２つのアンプから読み出したデータを１枚の画に合成する。合成後に回路５６で画像処理を行い、画像データとして出力する。
【００２６】
図９に、図３のＣＣＤ型固体撮像素子３０を用いたカメラシステムの例を示す。図９において、５０はレンズであり、５１はＣＣＤ型固体撮像素子３０を駆動するための駆動回路である。ＣＣＤ型固体撮像素子３０の上下２段ずつ４段のアンプから読み出された信号は、それぞれ独立にＣＤＳ回路５２ａ〜５２ｄと、ＡＤＣ回路５３ａ〜５３ｄとを通る。ＡＤＣを行った後にメモリコントロール回路５５で制御し、メモリ回路５４内で並べ替えを行い、４つのアンプから読み出したデータを１枚の画に合成する。合成後に回路５６で画像処理を行い、画像データとして出力する。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明してきたとおり、本発明によれば、アンプ毎に読み出す信号電荷の色情報を変えたので、マルチアンプ読み出しによる高速化を実現し、かつアンプ特性のばらつきに伴う画質劣化を生じない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＣＣＤ型固体撮像素子の第１の構成例を示すブロック図である。
【図２】本発明に係るＣＣＤ型固体撮像素子の第２の構成例を示すブロック図である。
【図３】本発明に係るＣＣＤ型固体撮像素子の第３の構成例を示すブロック図である。
【図４】図１又は図３中の垂直ＣＣＤの転送ゲート構造の一例を示す平面図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ図４のＡ−Ａ’及びＢ−Ｂ’断面図である。
【図６】図４、図５中の転送ゲートの４相駆動パルス波形の例を示すタイミングチャート図である。
【図７】図４中の互いに隣接する２つの垂直ＣＣＤにおける逆方向電荷転送の様子を示す図である。
【図８】図１又は図２のＣＣＤ型固体撮像素子を用いたカメラシステムの構成例を示すブロック図である。
【図９】図３のＣＣＤ型固体撮像素子を用いたカメラシステムの構成例を示すブロック図である。
【符号の説明】
１０　ＣＣＤ型固体撮像素子
１１　撮像領域
１２，１３　垂直ＣＣＤ
１４，１５　水平ＣＣＤ
１６，１７　アンプ
２０　ＣＣＤ型固体撮像素子
２１　撮像領域
２２，２３　垂直ＣＣＤ
２４，２５　水平ＣＣＤ
２６，２７　アンプ
３０　ＣＣＤ型固体撮像素子
３１　撮像領域
３２，３３　垂直ＣＣＤ
３４，３５　水平ＣＣＤ
３６，３７　アンプ
３８，３９　水平ＣＣＤ
４０，４１　アンプ
５０　レンズ
５１　駆動回路
５２ａ〜５２ｄ　ＣＤＳ回路
５３ａ〜５３ｄ　ＡＤＣ回路
５４　メモリ回路
５５　メモリコントロール回路
５６　画像処理回路
ＰＤ　フォトダイオード（光検出器）
Ｒ，Ｇｒ，Ｇｂ，Ｂ　カラーフィルタ
φＶ１〜φＶ４　転送ゲート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2004080690.tif 000006
【図５】
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【図６】
2004080690.tif 000008
【図７】
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【図８】
2004080690.tif 000010
【図９】
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