(57)【要約】【課題】電極への膜の付着を防止できるプラズマ成膜装置を提供する。【解決手段】プラズマ成膜装置には、電界印加手段４に接続された２つの第１電極５１と、接地された２つの第２電極５２とが、第２電極５２、第１電極５１、第１電極５１、第２電極５２の順に並べられている。中央の第１電極５１どうし間に形成された同極電極対向空間５０ｍには、膜の原料ガス（第１ガス）が供給される。両側の第１及び第２電極５１，５２どうし間に形成された異極電極対向空間５０ｆ，５０ｒには、プラズマによって上記原料を膜化可能に励起される一方、それ自体は励起するだけでは膜化されない励起ガス（第２ガス）が供給される。これら空間５０ｆ，５０ｍ，５０ｒを通過後の各ガスが、吹出し口２５ｍの辺りで合流する。【選択図】　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマの作用で基材の表面に膜を形成するプラズマ成膜装置において、
複数の第１電極と、それと同数又は１つ多い第２電極と、これら第１、第２電極間にプラズマ生成のための電界を印加する電界印加手段と、上記膜の原料となる第１ガスの供給手段と、プラズマによって上記原料を膜化可能に励起される一方、それ自体は励起するだけでは膜化されない第２ガスの供給手段とを備え、
上記第１及び第２電極が、同極の電極どうし間に形成される同極対向空間と異極の電極どうし間に形成される異極対向空間とが交互に配されるようにして並べられ、
上記同極対向空間に上記第１ガス供給手段が接続され、上記異極対向空間に上記第２ガス供給手段が接続され、
これら対向空間における上記供給手段の接続部とは逆側部に、これら対向空間を通過したガスを基材へ向けて吹き出す吹出し口が配されていることを特徴とするプラズマ成膜装置。
【請求項２】
上記第１電極が、上記電界印加手段に接続される一方、上記第２電極が接地されており、この第２電極のうち２つが、上記並び方向の両端部に位置していることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ成膜装置。
【請求項３】
プラズマの作用で基材の表面に膜を形成するプラズマ成膜装置において、
電界印加手段に接続された２つの第１電極と、接地された２つの第２電極とが、第２電極、第１電極、第１電極、第２電極の順に並べられ、
中央の第１電極どうし間に形成された同極電極対向空間には、上記膜の原料となる第１ガスの供給手段が接続され、
両側の第１及び第２電極どうし間に形成された異極電極対向空間には、プラズマによって上記原料を膜化可能に励起される一方、それ自体は励起するだけでは膜化されない第２ガスの供給手段が接続され、
これら対向空間における上記供給手段の接続部とは逆側部に、これら対向空間を通過したガスを基材へ向けて吹き出す吹出し口が配されていることを特徴とするプラズマ成膜装置。
【請求項４】
上記第１及び第２電極が、これら電極の並び方向と上記接続部から逆側部へのガス通し方向とに直交する向きに延びており、
上記第１電極の長手方向の一端部に上記電界印加手段への給電線が接続され、
上記第２電極の長手方向の他端部に接地線が接続されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のプラズマ成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プラズマ成膜装置に関し、特に電極間の外に基材を配置し、これにプラズマ流を吹き付けて成膜を行なう所謂リモート式のプラズマ成膜装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば特許文献１では、互いに極性の異なる電極を交互に配置し、これら電極間に処理ガスを通してプラズマ化させ、基材に吹き付けるプラズマ処理装置が記載されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−２２６２５８号公報（第１頁、第１図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上掲の従来装置を成膜目的に使用した場合、膜の原料を含む処理ガスが電極間を通過中にプラズマ化し、上記原料が膜になって電極の表面に付着してしまう。このため、電極の取り替えや洗浄等のメンテナンスを頻繁に行なわなければならず、原料のロスも多くなるという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明の第１態様は、プラズマの作用で基材の表面に膜を形成するプラズマ成膜装置において、複数の第１電極と、それと同数又は１つ多い第２電極と、これら第１、第２電極間にプラズマ生成のための電界を印加する電界印加手段と、上記膜の原料となる第１ガスの供給手段と、プラズマによって上記原料を膜化可能に励起（プラズマ化）される一方、それ自体は励起するだけでは膜化されない第２ガスの供給手段とを備え、上記第１及び第２電極が、同極の電極どうし（第１電極と第１電極、又は第２電極と第２電極）間に形成される同極対向空間と異極の電極どうし（第１電極と第２電極）間に形成される異極対向空間とが交互に配されるようにして並べられ、上記同極対向空間に上記第１ガス供給手段が接続され、上記異極対向空間に上記第２ガス供給手段が接続され、これら対向空間における上記供給手段の接続部とは逆側部に、これら対向空間を通過したガスを基材へ向けて吹き出す吹出し口が配されていることを特徴とする。これによって、第１ガスは、同極対向空間内を通過するため電極内での膜化を防止できる。一方、第２ガスは、異極対向空間内を通過してプラズマ化されるが、電極内では膜化されない。この結果、第１及び第２電極への膜の付着を防止でき、原料のロスを低減できるとともに、電極の取替えや洗浄などのメンテナンスの手間を軽減することができる。各々の対向空間を通過後の第１ガスとプラズマ化された第２ガスとは、第１、第２電極の上記逆側部に設けられた吹出し口形成部材と基材との間で合流、接触させることができ、これによって、第１ガスを反応させて基材表面に膜化させることができる。上記吹出し口形成部材は、第１、第２電極とは別の部材で構成してもよく、これら電極自体の上記逆側部どうしによって構成してもよい。
【０００６】
本発明の第２態様は、上記第１態様において、上記第１電極が、上記電界印加手段に接続される一方、上記第２電極が接地されており、この第２電極のうち２つが、上記並び方向の両端部に位置していることを特徴とする。これによって、これら複数の第１、第２電極からなる電極群の外への電界の漏れを防止できる。また、接地されるべき電極ひいては装置全体の接地を容易に取ることができる。
【０００７】
本発明の第３態様は、プラズマの作用で基材の表面に膜を形成するプラズマ成膜装置において、電界印加手段に接続された２つの第１電極と、接地された２つの第２電極とが、第２電極、第１電極、第１電極、第２電極の順に並べられ、中央の第１電極どうし間に形成された同極電極対向空間には、上記膜の原料となる第１ガスの供給手段が接続され、両側の第１及び第２電極どうし間に形成された異極電極対向空間には、プラズマによって上記原料を膜化可能に励起される一方、それ自体は励起するだけでは膜化されない第２ガスの供給手段が接続され、これら対向空間における上記供給手段の接続部とは逆側部に、これら対向空間を通過したガスを基材へ向けて吹き出す吹出し口が配されていることを特徴とする。これによって、上記第１態様及び第２態様と同様の作用効果を得ることができる。
【０００８】
本発明の第４態様は、上記第２又は第３態様において、上記第１及び第２電極が、これら電極の並び方向と上記接続部から逆側部へのガス通し方向とに直交する向きに延びており、上記第１電極の長手方向の一端部に上記電界印加手段への給電線が接続され、上記第２電極の長手方向の他端部に接地線が接続されていることを特徴とする。これによって、給電線と接地線とがショートするのを確実に防止することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るプラズマ成膜装置Ｍ１を示したものである。プラズマ成膜装置Ｍ１は、架台（図示せず）に支持されたヘッドユニット３と、このヘッドユニット３に接続されたガス源１，２及び電源４を備えている。ヘッドユニット３の下方には、大面積の板状の基材（被処理物）Ｗが搬送手段（図示せず）によって矢印ａに示す方向に沿って（後方から前方へ）送られて来る。勿論、基材Ｗが固定されてヘッドユニット３が移動されるようになっていてもよい。プラズマ成膜装置Ｍ１は、この基材Ｗの上面に例えばアモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）や窒化シリコン（ＳｉＮ）等の膜Ａ（図９）を形成するようになっている。
【００１０】
原料ガス源１（第１ガス源）には、上記アモルファスシリコン等の膜Ａとなる原料ガス（第１ガス、例えばシラン（ＳｉＨ４））が貯えられている。励起ガス源２（第２ガス源）には、プラズマで励起されることにより、上記シラン等の原料を反応させてアモルファスシリコン等の膜Ａを生成する励起ガス（第２ガス、例えば水素や窒素）が貯えられている。励起ガスは、プラズマによって励起されるが、励起によってそれ自体が単独のみで膜化される成分は含まれていない。
【００１１】
パルス電源４（電界印加手段）は、後記電極５１にパルス電圧を出力するようになっている。このパルスの立上がり時間及び／又は立下り時間は、１０μｓ以下、電界強度は１〜１０００ｋＶ／ｃｍ、周波数は０．５ｋＨｚ以上であることが望ましい。
【００１２】
ヘッドユニット３は、外筐１０と、この外筐１０内に収容されたノズルヘッド２０とを備えている。外筐１０は、例えば正面視半円形状の前後の壁１１と、これら壁１１の下端部どうしを繋ぐ左右の低い壁１２とを有して、平面視四角形状をなしている。この外筐１０は、排気ダクトを兼ねている。すなわち、図３、図６〜図８に示すように、外筐１０の前後左右の壁１１，１２は中空になっている。これら中空部１０ｂの下端部は、壁１１，１２の下端面に開口することによってノズルヘッド２０の下端の外周を囲む吸い込み口１０ａを形成している。図１に示すように、前後の壁１１の上端部には、中空部１０ｂに連なる横長の開口１１ｂが設けられている。これら上端開口１１ｂから排気路１３がそれぞれ延びている。排気路１３は、互いに合流した後、真空ポンプ１４（排気手段）に連なっている。
【００１３】
ノズルヘッド２０は、左右に長い略直方体形状をなし、前後左右の壁１１，１２に囲まれるようにして、外筐１０に収容されている。ノズルヘッド２０の外筐１０への支持構造について説明する。
図３及び図８に示すように、外筐１０の前後の壁１１の内壁面の下端縁には、内フランジ１１ｄが設けられている。この内フランジ１１ｄに、ノズルヘッド２０の後記ロアフレーム２４の前後の辺が引掛けられるようにして載せられている。図５及び図８に示すように、外筐１０の左右の壁１２にも、同様の内フランジ１２ｄが設けられており、これにロアフレーム２４の左右の辺が載せられている。また、図１に示すように、左右の壁１２の上端面には、逆三角形状の谷部１２ｂ（ノズル支持部）が形成されており、この谷部１２ｂに、ノズルヘッド２０の壁部材２３の被支持部２３ａが、嵌め合わされるようにして載置されている（図５参照）。
【００１４】
図１〜図３に示すように、ノズルヘッド２０は、ガス均一化部３０とノズル部２１とを上下に重ねることによって構成されている。上側のガス均一化部３０には、ガス源１，２からのガスが導入される。ガス均一化部３０は、このガスをノズルヘッド２０の長手方向に均一化させて、下側のノズル部２１へ供給するようになっている。
【００１５】
詳述すると、図２及び図４に示すように、ガス均一化部３０は、左右に延びる複数の鋼製のプレート３１〜３８を積層することによって構成されている。これらプレート３１〜３８すなわちガス均一化部３０の全体には、前後に３つのガス流通領域３０Ｆ，３０Ｍ，３０Ｒが仮想的に設定されている。
【００１６】
図１に示すように、２段目のプレート３２の左端部（一端部）には、３つのガスプラグ３２Ｐが、領域３０Ｆ，３０Ｍ，３０Ｒに対応して前後に並んで設けられている。中央の原料ガス流通領域３０Ｍにおけるガスプラグ３２Ｐには、原料ガス管１ａを介して上記原料ガス源１が接続されている。前後の励起ガス流通領域３０Ｆ，３０Ｒにおけるガスプラグ３２Ｐには、励起ガス管２ａを介して上記励起ガス源２が接続されている。なお、励起ガス管２ａは、励起ガス源２から１本の管の状態で延び、それが２つに分岐されて各領域３０Ｆ，３０Ｒのガスプラグ３２Ｐに連なっている。
【００１７】
図２に示すように、２段目から最下段までのプレート３２〜３８には、領域３０Ｆ，３０Ｍ，３０Ｒごとにガス均一化路３０ａが形成されている。これらガス均一化路３０ａは、互いに同一構成になっている。
【００１８】
図２及び図４に示すように、各領域３０Ｆ，３０Ｍ，３０Ｒのガス均一化路３０ａとして、２段目のプレート３２には、左端部に上記ガスプラグ３２Ｐの接続されるインレットポート３２ｂが形成されるとともに、このポート３２ｂからプレート３２の左右中央部まで延びる深い逆さ凹溝３２ａが下面に開口するように形成されている。３段目のプレート３３の左右中央部には、逆さ凹溝３２ａに連なる前後一対の連通孔３３ａ，３３ｂが形成されている。４段目のプレート３４には、上記連通孔３３ａに連なるとともに右方へ延びる条溝３４ａ及びこの条溝３４ａの終端（右端）から下面へ達する連通孔３４ｃ、並びに上記連通孔３３ｂに連なるとともに左方へ延びる条溝３４ｂ及びこの条溝３４ｂの終端（左端）から下面へ達する連通孔３４ｄが形成されている。５段目のプレート３５には、上記連通孔３４ｃに連なるとともに左右長手方向の略全長にわたって延びる条溝３５ａ、及び上記連通孔３４ｄに連なるとともに左右長手方向の略全長にわたって延びる条溝３５ｂ、並びに各条溝３５ａ，３５ｂから下面へ延びるとともに左右に等ピッチで並べられた多数の細孔（圧損形成路）３５ｃ，３５ｄが形成されている。６段目のプレート３６には、上記細孔３５ｃ，３５ｄに連なるとともに左右長手方向の略全長にわたって延びる幅広の条溝（膨張室）３６ａ、及びこの条溝３６ａから下面へ延びるとともに左右に等ピッチで千鳥状に二列に並べられた多数の細孔（圧損形成路）３６ｂが形成されている。７段目のプレート３７には、上記細孔３６ｂに連なるとともに左右長手方向の略全長にわたって延びる幅広の条溝（膨張室）３７ａ、及びこの条溝３７ａから下面へ延びるとともに左右に等ピッチで千鳥状に二列に並べられた多数の細孔（圧損形成路）３７ｂが形成されている。最下段のプレート３８には、上記細孔３７ｂに連なるとともに左右長手方向の略全長にわたって延びる幅広の貫通孔（膨張室）３８ａが形成されている。この貫通孔３８ａが、ガス均一化路３０ａの下流端を構成している。後述するように、貫通孔３８ａは、後記絶縁プレート２７の誘導路２７ｆ，２７ｍ，２７ｒに連通されている。
【００１９】
なお、最上段のプレート３１には、各領域３０Ｆ，３０Ｍ，３０Ｒのガス均一化路３０ａを加温するための薄肉細長状のプレートヒータ３１Ｈが左右に延びるようにして収容されている。２段目から最下段までのプレート３２〜３８には、領域３０Ｆ，３０Ｍ，３０Ｒの境に沿ってスリット３０ｓが形成されている。これによって、領域３０Ｆ，３０Ｍ，３０Ｒごとに熱的に縁切りされている。
図１及び図２において、符号３９Ｓは、最上段と２段目のプレート３１，３２を連結するボルトであり、符号３９Ｌは、２段目から最下段までのプレート３２〜３８を連結するボルトである。
【００２０】
次に、ノズルヘッド２０のノズル部２１について説明する。図３に示すように、ノズル部２１は、電極ホルダ２１Ｘと、この電極ホルダ２１Ｘの内部に収容された電極ユニット５０と、このユニット５０上に被せられた絶縁プレート２７とを備えている。図３、図５〜図８に示すように、電極ホルダ２１Ｘは、左右に長く延びる金属製の前後の壁部材２２と、これら壁部材２２の左右の端部どうし間に架け渡された絶縁樹脂製の左右の壁部材２３とを有して、左右に長い箱状をなしている。これら前後左右の壁部材２２，２３の下縁部には、長方形の枠状をなす金属製のロアフレーム２４と、このロアフレーム２４によって四隅が支持された長方形状のノズルプレート２５（吹出し口形成部材）とが配されている。上述したように、ロアフレーム２４は、外筐１０の内フランジ１１ｄ，１２ｄに支持されている。このロアフレーム２４の前後の辺に壁部材２２が載置されている。壁部材２２は、ボルト２６Ａによってガス均一化部３０の最下段のプレート３８に連結されている。なお、ロアフレーム２４は、壁部材２２にボルト等で連結されていてもよい。
【００２１】
ノズルプレート２５は、例えばアルミナ等のセラミック（誘電体、絶縁体）で構成されている。図３、図５、図８に示すように、ノズルプレート２５の上面には、左右に延びる幅広の浅い凹部２５ａが形成されるとともに、前後幅方向の中央部には、左右に延びるスリット状の吹出し口２５ｍが形成されている。
【００２２】
図１〜図４に示すように、セラミック（絶縁体）からなる絶縁プレート２７は、上記ガス均一化部３０の最下段のプレート３８と電極ユニット５０とによって上下から挟持されている。図３及び図４に示すように、絶縁プレート２７には、左右長手方向の略全長にわたって延びる３つのガス誘導路２７ｆ，２７ｍ，２７ｒが互いに前後に離れて形成されている。中央の原料ガス誘導路２７ｍは、絶縁プレート２７を垂直に貫通している。前側の励起ガス誘導路２７ｆは、絶縁プレート２７の上面から下に向かうにしたがって後方へ傾き、プレート２７の下面へ達している。後側の励起ガス誘導路２７ｒは、絶縁プレート２７の上面から下に向かうにしたがって前方へ傾き、プレート２７の下面へ達している。
【００２３】
図３、図５〜図７に示すように、電極ユニット５０は、縦長の四角形断面をなして左右に長く延びるとともに互いに前後に平行に並べられた４本の電極５１，５２と、これら電極５１，５２を前後から挟む押えプレート５３と、左右から挟む保持プレート５４とを備えている。４本の電極５１，５２のうち、中側の２本は、電界印加電極５１（第１電極）であり、前後両端（並び方向の両端）の２本は、接地電極５２（第２電極）である（前側から接地電極５２、電界印加電極５１、電界印加電極５１、接地電極５２の順に並べられている）。
【００２４】
すなわち、図５、図６、図８に示すように、中側の２本の電極５１の例えば左端部（長手方向の一端部）には、給電ピン４０がそれぞれ埋め込まれている。給電ピン４０の頭部は、左側の保持プレート５４から突出されている。この給電ピン４０の頭部に給電線４ａが接続されている。給電線４ａは、左側の壁部材２３の上面と絶縁プレート２７との間を通ってノズルヘッド２０の外へ引き出され、上記パルス電源４に接続されている（図１参照）。
【００２５】
同様に、図７及び図８に示すように、前後両端の２本の電極５２の右端部（長手方向の他端部）には、給電ピン４０Ａがそれぞれ埋め込まれている。給電ピン４０Ａの頭部は、右側の保持プレート５４から突出されている。この給電ピン４０Ａの頭部に接地線４ｂが接続されている。接地線４ｂは、右側の壁部材２３の上面と絶縁プレート２７との間を通ってノズルヘッド２０の外へ引き出され、接地されている。
【００２６】
前側の接地電極５２と電界印加電極５１との間には、隙間５０ｆ（異極対向空間）が形成されている。中側の２本の電界印加電極５１どうしの間には、隙間５０ｍ（同極対向空間）が形成されている。後側の接地電極５２と電界印加電極５１との間には、隙間５０ｒ（異極対向空間）が形成されている。したがって、前側から異極対向空間、同極対向空間、異極対向空間の順に配されている。すなわち、異極対向空間と同極対向空間とが交互に配されている。
【００２７】
４本の電極５１，５２の長手方向の両端面には、絶縁樹脂からなる上記保持プレート５４がそれぞれ宛がわれている。各保持プレート５４には、絶縁樹脂からなる３つの板片状スペーサ５５が設けられている。これら板片状スペーサ５５が、各電極５１，５２間に挿し入れられることにより、上記隙間５０ｆ，５０ｍ，５０ｒが確保されている。
【００２８】
前後の接地電極５２の背面（電極５１との対向側とは逆側の面）に、絶縁体からなる上記押えプレート５３がそれぞれ添えられている。押えプレート５３の背面に、壁部材２２から捩じ込まれたボルト２６が突き当てられている。これによって、電極ユニット５０が、電極ホルダ２１Ｘ内に正確に位置決めされて保持されている。
【００２９】
図３に示すように、接地電極５２は、上記ノズルプレート２５における凹部２５ａより前後外側の上面に載せられている。一方、図３及び図５に示すように、電界印加電極５１は、凹部２５ａの上に離れて配されている。これによって、前側の電界印加電極５１の下面とノズルプレート２５との間には、隙間２１ｆが形成されている。この隙間２１ｆが、前側の電極５１，５２間の隙間５０ｆ及び上記絶縁プレート２７の誘導路２７ｆを介してガス均一化部３０の前側の領域３０Ｍの貫通孔３８ａに連なっている。同様に、後側の電界印加電極５１の下面とノズルプレート２５との間には、隙間２１ｒが形成され、この隙間２１ｒが、後側の電極５１，５２間の隙間５０ｒ及び上記絶縁プレート２７の誘導路２７ｒを介してガス均一化部３０の後側の領域３０Ｍの貫通孔３８ａに連なっている。
励起ガス源２、励起ガス路２ａ、ガス均一化部３０の前後の励起ガス流通領域３０Ｆ，３０Ｒ、及び絶縁プレート２７の前後の誘導路２７ｆ，２７ｒによって「励起ガス供給手段（第２ガス供給手段）」が構成されている。隙間５０ｆ，５０ｒの上端部は、「第２ガス供給手段との接続部」を構成している。
【００３０】
中央の隙間５０ｍの上端部は、上記絶縁プレート２７の誘導路２７ｍを介してガス均一化部３０の中央領域３０Ｍの貫通孔３８ａにストレートに連なり、下端部は、前後の隙間５０ｆ，５０ｒと連通するとともに上記ノズルプレート２５の吹出し口２５ｍへストレートに連なっている。
原料ガス源１、原料ガス路１ａ、ガス均一化部３０の中央の原料ガス流通領域３０Ｍ、及び絶縁プレート２７の中央の誘導路２７ｍによって「原料ガス供給手段（第１ガス供給手段）」が構成されている。隙間５０ｍの上端部は、「第１ガス供給手段との接続部」を構成している。
なお、図３、図５〜図７に示すように、金属導体からなる各電極５１，５２における隙間５０ｆ，５０ｒに面する側面すなわち異極の電極との対向面、及び上下の面には、セラミック等の誘電体が溶射されることにより、固体誘電体層５９が被膜されている。固体誘電体層として、この溶射膜５９に代えて、電極５１，５２を取出し可能に収容する誘電体製のケースを用いてもよく、電極５１，５２に貼り付けられるテトラフルオロエチレン等の樹脂製シートを用いてもよい。
【００３１】
上記のように構成されたプラズマ成膜装置Ｍ１の動作について説明する。
励起ガス源２からの水素等の励起ガスが、ガス管２ａを経て、ノズルヘッド２０の前後２つのプラグ３２Ｐから領域３０Ｆ，３０Ｒのガス均一化路３０ａに導入され、これら路３０ａによって左右長手方向に均一化された後、誘導路２７ｆ，２７ｒを経て前後の隙間５０ｆ，５０ｒへ誘導される。
【００３２】
一方、パルス電源４からのパルス電圧が、電界印加電極５１と接地電極５２との間に印加される。これによって、図９に示すように、前後の異極電極５１，５２どうし間の隙間５０ｆ，５０ｒ内にグロー放電が発生し、励起ガスがプラズマ化（励起、活性化）される。このプラズマ化された励起ガスが、前後の隙間５０ｆ，５０ｒからそれぞれ電界印加電極５１の下側の隙間２１ｆ，２１ｒへ流れ込み、中央の隙間５０ｍとの連通部へ向かって流れる。この励起ガス自体には、励起によってセラミック等の表面に付着、堆積するような成分は含まれていない。したがって、電界印加電極５１と接地電極５２どうしの対向面（隙間５０ｆ，５０ｒ形成面）においても、電界印加電極５１の下面にも、ノズルプレート２５の上面においても、膜が形成されることはない。
【００３３】
上記励起ガスの流通と同時併行して、原料ガス源１からのシラン等の原料ガスが、ガス管１ａを経て、ノズルヘッド２０の中央のガスプラグ３２Ｐから領域３０Ｍのガス均一化路３０ａに導入されて左右長手方向に均一化された後、誘導路２７ｍを経て２本の電界印加電極５１間の隙間５０ｍへ導入される。各電界印加電極５１には上記パルス電界が印加されているが、隙間５０ｍでは放電が起きないので、原料ガスは、プラズマ化されずにそのまま通過する。したがって、電界印加電極５１どうしの対向面（隙間５０ｍ形成面）に膜が形成されることはない。
よって、４本の電極５１，５２には、どこにも膜が付着することがない。これによって、電極５１，５２のメンテナンスの手間を省くことができる。また、電極通過時の原料のロスを無くすことができる。
【００３４】
その後、原料ガスが、電極５１間の隙間５０ｍから下方の隙間２１ｆ，２１ｒとの連通部へ出る。他方、プラズマ化された励起ガスが、前後の隙間２１ｆ，２１ｒから上記連通部へそれぞれ出る。これによって、励起ガスが、原料ガスの流れに押される等して下に曲がり、吹出し口２５ｍの前後の縁に添う。そして、これら前後の励起ガス流の間に原料ガスが挟まれる。こうして、励起ガスと原料ガスが層流状態になって吹出し口２５ｍ内を通過し、下方へ向かう。この層流のガスどうしの境では、原料ガスが、プラズマ化された励起ガスに触れて分解や励起等の反応を起し、ラジカルな反応生成物ｐが生成される。この反応生成物ｐは、励起ガス流の介在によって吹出し口２５ｍの縁に触れるのを阻止されるので、吹出し口２５ｍの縁に膜が形成されるのを防止することができる。この結果、原料のロスを一層低減することができる。
【００３５】
そして、励起ガスと原料ガスの層流が吹出し口２５ｍから吹き出される。これによって、原料ガス中の反応生成物ｐが、吹出し口２５ｍの直下の基材Ｗに吹き付けられる。この結果、基材Ｗの表面（上面）に所望の膜Ａを形成することができる。上記ガス均一化部３０によってガスが左右方向に均一化されているので、左右方向に均質な膜Ａを一度に形成することができる。
【００３６】
その後、励起ガスと原料ガスは、ノズルヘッド２０と基材Ｗとの間を、励起ガスが上側に偏った層流状態を維持しながら、吹出し口２５ｍから離れる向きへ流れて行く。これによって、原料ガスが、ノズルプレート２５及びロアフレーム２４の下面に触れて膜が出来るのを防止することができ、これら部材２５，２４のメンテナンスの手間を省くことができる。
【００３７】
更に、励起ガス及び原料ガスは、真空ポンプ１４の駆動によって外筐１０の吸い込み口１０ａから吸い込まれ、排出される。この真空ポンプ１４の吸い込み圧等を調節することにより、上記の層流状態を一層確実に維持することができ、プレート２５の下面等への被膜を確実に防止することができる。
【００３８】
プラズマ成膜装置Ｍ１によれば、ノズルヘッド２０の一端部から給電線４ａが引き出され、他端部から接地線４ｂが引き出されているので（図５及び図８）、これら線４ａ，４ｂがショートするおそれを防止できる。
また、２本の接地電極５２が２本の電界印加電極５１を挟むように前後外側に配置されているので、外部への電界の漏れを防止でき、ヘッドユニット３全体の接地も容易である。
なお、装置Ｍ１においては、例えばノズルプレート２５に他の接地電極を、各電界印加電極５１の下面と対向させて埋め込むことにしてもよい。そうすると、電界印加電極５１とノズルプレート２５との間の隙間２１ｆ，２１ｒをもプラズマ空間にして、励起ガスによるプラズマ密度を一層高めることができる。また、電界印加電極５１と基材Ｗとの間の異常放電のおそれを無くすことができるので、ノズルヘッド２０ひいては吹出し口２５ｍと基材Ｗとの距離を短くすることができ、ひいては反応生成物ｐを失活しないうちに基材Ｗに確実に到達させることができ、成膜を確実かつ効率的に行なうことができる。
【００３９】
次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において既述の実施形態と同様の構成に関しては図面に同一符号を付して説明を簡略化する。
図１０及び図１１は、本発明の第２実施形態を示したものである。この実施形態に係るプラズマ成膜装置Ｍ２では、吹出し口が、電極５１，５２間の隙間５０ｆ，５０ｍ，５０ｒごとに設けられている。詳述すると、図１１に示すように、ノズルプレート２５には、左右に延びる３本のスリット状の吹出し口２５ｆ，２５ｍ，２５ｒが平行をなして前後に等間隔で並んで形成されている。
【００４０】
図１０に示すように、前側の吹出し口２５ｆは、前側の接地電極５２と電界印加電極５１との間の隙間５０ｆの下方にストレートに連なっている。中央の吹出し口２５ｍは、電界印加電極５１間の隙間５０ｍの下方にストレートに連なっている。後側の吹出し口２５ｒは、後側の接地電極５２と電界印加電極５１との間の隙間５０ｒの下方にストレートに連なっている。ノズルプレート２５の上面には、上記第１実施形態における凹部２５ａひいては隙間２１ｆ，２１ｒが設けられておらず、電界印加電極５１の下面が当接されている。
【００４１】
中央の隙間５０ｍに導入された原料ガスは、そのまま吹出し口２５ｍから吹出された後、ノズルプレート２５と基材Ｗとの間を前後２方向に分かれて流れる。一方、前後の隙間５０ｆ，５０ｒに導入された励起ガスは、異極電極５１，５２間の電界によりプラズマ化された後、吹出し口２５ｆ，２５ｒから吹出される。この吹出し後の励起ガスに上記基材Ｗ上を流れて来た原料ガスが触れて反応が起きる。これによって、基材Ｗに膜Ａが形成される。その後、励起ガスと原料ガスは、上下に重なる層流をなして吸い込み口１０ａへ向けて流れ、排出される。
【００４２】
図１２は、本発明の第３実施形態を示したものである。この実施形態に係るプラズマ成膜装置Ｍ３のノズルヘッド２０には、金属導体からなるノズルボディ２０Ｂ内に、８つの電極５１，５２が等間隔ごとに平行に並べられている。これら電極は、図において左側から接地電極５２、電界印加電極５１、電界印加電極５１、接地電極５２、接地電極５２、電界印加電極５１、電界印加電極５１、接地電極５２の順に配置されている。これにより、励起ガスを通すべき異極対向空間５０ａと、原料ガスを通すべき同極対向空間５０ｂとが交互に形成されている。両外側（並び方向の両端部）の接地電極５２は、背面がノズルボディ２０Ｂに添うように当てられ、このノズルボディ２０Ｂと電気的に導通している。具体的図示は省略するが、中側の２つの接地電極５２は、長手方向（図１２の紙面と直交する方向）の両端部がノズルボディ２０Ｂに突き当てられ、このノズルボディ２０Ｂと電気的に導通している。そして、ノズルボディ２０Ｂが接地線４ｂを介して接地されている。これにより、ノズルヘッド２０全体の接地を取ると同時に、接地電極５２の接地を取ることができる。
なお、この第３実施形態では、両外側の接地電極５２をノズルボディ２０Ｂと一体に形成してもよい。すなわち、ノズルボディ２０Ｂが、両外側の接地電極５２を兼ねていてもよい。
【００４３】
本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の改変が可能である。
例えば、電極は、上記実施形態に挙げた４つ又は８つに限られず、３つでもよく、５つ〜７つでもよく、９つ以上でもよい。これら電極は、第２ガスを通すべき異極対向空間と第１ガスを通すべき同極対向空間とが交互に形成されるように並べる。すなわち、…第２電極、第１電極、第１電極、第２電極、第２電極、第１電極、第１電極、第２電極、第２電極、第１電極、第１電極、第２電極…の順に並べる。最も外側には、接地電極としての第２電極を配置するのが望ましい。電極数が全体で偶数のときは、第１電極と第２電極は同数であり、奇数のときは、第２電極が第１電極より１つ多くなる。最も外側とその１つ内側に同極の電極（接地電極が望ましい）を配置して、最も外側の対向空間に第１ガスを通すことにしてもよい。
大面積の基材の全長に及ぶ長尺の第１及び第２電極を、上記の配置順にしたがって多数本、基材の全幅に行き亘るように配置し、基材全体を一度に成膜できるようにしてもよい。
電界印加手段として、第１、第２電極間に高周波電界を印加する高周波電源を用いてもよい。
本発明のプラズマ成膜装置は、常圧下、減圧下の何れでも適用できる。
本発明のプラズマ成膜装置は、上記実施形態で例示したａ−ＳｉやＳｉＮのほか、ＳｉＯ２等、種々の種類の成膜に適用できるのは言うまでもない。ａ−Ｓｉを成膜する場合の第１ガスは、ＳｉＨ４を用い、第２ガスは、Ｈ２を用いる。ＳｉＮを成膜する場合の第１ガスは、ＳｉＨ４を用い、第２ガスは、Ｎ２を用いる。ＳｉＯ２を成膜する場合の第１ガスは、ＴＥＯＳ又はＴＭＯＳを用い、第２ガスは、Ｏ２を用いる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、第１及び第２電極への膜の付着を防止でき、原料のロスを低減できるとともに、電極の取替えや洗浄などのメンテナンスの手間を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るプラズマ成膜装置の概略図である。
【図２】上記プラズマ成膜装置のノズルヘッドのガス均一化部の側面断面図である。
【図３】上記ノズルヘッドのノズル部の側面断面図である。
【図４】上記ガス均一化部の長手方向に沿う正面断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿う上記ノズルヘッドのノズル部の正面断面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う上記ノズル部の左側部の平面断面図である。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う上記ノズル部の右側部の平面断面図である。
【図８】上記ノズルヘッドの底面図である。
【図９】上記プラズマ成膜装置による成膜動作を示すノズルヘッドのガス吹出し部分の拡大図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るプラズマ成膜装置におけるノズルヘッドのノズル部の側面断面図である。
【図１１】上記第２実施形態のノズルヘッドの底面図である。
【図１２】本発明の第３実施形態に係るプラズマ成膜装置の側面断面図である。
【符号の説明】
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３　プラズマ成膜装置
Ｗ　基材
１　原料ガス源（第１ガス源）
２　励起ガス源（第２ガス源）
４　パルス電源（電界印加手段）
４ａ　給電線
４ｂ　接地線
５１　電界印加電極（第１電極）
５２　接地電極（第２電極）
５０ｆ，５０ｒ　隙間（異極対向空間）
５０ｍ　隙間（同極対向空間）
５０ａ　異極対向空間
５０ｂ　同極対向空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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