(57)【要約】【課題】基板の表面を充分にクリーンな状態とすることのできる基板のクリーニング装置およびその方法を得る。【解決手段】基板の表面に付着した塵埃を除去するためのクリーニング装置基板において、前記基板を搬送するための基板搬送手段と、対向して設けられ前記基板の表面において互いに押し合うように斜めに気体を吹き付けるためのノズルとを設ける。あるいは、基板の表面に付着した塵埃を除去するためのクリーニング装置基板において、基板を搬送するためのキャリアと、該キャリアに超音波振動を発生させる超音波振動発生装置と、前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けるためのノズルとを設ける。【選択図】　　　　図１
2004041914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の面の塵埃を除去するための基板のクリーニング装置において、
前記基板を搬送するための基板搬送手段と略対向した少なくとも２つのノズルを有し対向した該ノズルを前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けるように設けることで該ノズルのそれぞれから吹き出された気体が該基板上で押し合うことを特徴とする基板のクリーニング装置。
【請求項２】
基板の面の塵埃を除去する工程を有する基板の製造方法において、
前記基板を搬送するための基板搬送手段により前記基板を一方向に搬送しながら、略対向した少なくとも２つのノズルを前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けように設け該ノズルのそれぞれから吹き出された気体が前記基板上で押し合うようにして塵を除去する工程を有することを特徴とする基板の製造方法。
【請求項３】
基板の面の塵埃を除去するための基板のクリーニング装置において、
前記基板に振動を生じせしめる振動発生装置と、前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けるためのノズルとを有することを特徴とする基板のクリーニング装置。
【請求項４】
前記ノズルが、略対向した少なくとも２つのノズルよりなりさらに前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けように設けられ該ノズルのそれぞれから吹き出された気体が前記基板上で押し合うようにして塵を除去することを特徴とする請求項３に記載の基板のクリーニング装置。
【請求項５】
前記振動発生装置が前記基板を搬送するためのキャリアに載置されたことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の基板のクリーニング装置。
【請求項６】
基板の面の塵埃を除去する工程を有する基板の製造方法において、
振動発生装置により前記基板に振動を生じせしめると共に、ノズルにより前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けて塵を除去することを特徴とする基板の製造方法。
【請求項７】
前記ノズルが、略対向した少なくとも２つのノズルよりなりさらに前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けように設けられ該ノズルのそれぞれから吹き出された気体が前記基板上で押し合うようにして塵を除去することを特徴とする請求項６に記載の基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶装置に用いる透明基板の表面に付着している塵埃を除去するための、基板のクリーニング装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来における、基板のクリーニング装置は、基板を搬送するための基板搬送手段と、前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けるためのノズルとを有し、前記基板搬送手段により前記基板を一方方向に搬送しながら、ノズルにより前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けることによって、前記基板の表面に付着している塵埃を除去するものであった。
【０００３】
図３は、従来例における基板のクリーニング装置の構成を示す断面図である。
【０００４】
図３を用いて従来例について説明する。後述する基板５１６は複数の搬送ローラ５０１ａ、５０１ｂ等と、複数のローラ５０２によって支えられている。一方の一対の搬送ローラ５０１ａには搬送ベルト５０３ａが掛けられ、他方の一対の搬送ローラ５０１ｂには搬送ベルト５０３ｂが掛けられている。搬送ローラ５０１ａと搬送ローラ５０１ｂにはそれぞれ搬送モータ５０４ａと搬送モータ５０４ｂが連結されており、搬送モータ５０４ａと搬送モータ５０４ｂは同期して回転して、搬送ローラ５０１ａと搬送ローラ５０１ｂとを矢印ｍの方向に回転するように構成されている。
【０００５】
搬送ベルト５０３ａと搬送ベルト５０３ｂとの上には基板５１６が載置されており、搬送ローラ５０１ａと搬送ローラ５０１ｂとが矢印ｍの方向に同期して回転することにより、基板５１６は、矢印ｎの方向に搬送されるように構成されている。
【０００６】
基板５１６の上面と下面にそれぞれ近接して、ノズル５０５ａとノズル５０５ｂが配設され、ノズル５０５ａとノズル５０５ｂにはそれぞれ給気管５０６ａと給気管５０６ｂが接続されており、給気管５０６ａと給気管５０６ｂには、図示せぬコンプレサから空気清浄装置を通って高圧空気を供給することにより、ノズル５０５ａおよびノズル５０５ｂから高圧空気を噴出して、基板５１６に付着していた塵埃５１７を吹き飛ばすように構成されている。また、基板５１６の上面と下面に近接して風切り板５１８ａと風切り板５１８ｂが配設され、ノズル５０５ａとノズル５０５ｂから噴出した高圧空気が吹き飛ばした塵埃５１７を基板５１６の上面と下面から離れる方向に導くように構成されている。
【０００７】
次に、上述した従来例の動作について説明する。従来においては、上述したように搬送モータ５０４ａと搬送モータ５０４ｂを同期起動させ、搬送ローラ５０１ａと搬送ローラ５０１ｂとを矢印ｍの方向に回転させて、基板５１６を矢印ｎの方向に移動させながら、給気管５０６ａと給気管５０６ｂとから高圧空気を送り込み、ノズル５０５ａとノズル５０５ｂから高圧空気を噴出すると、基板５１６の上面と下面に付着していた塵埃５１７は高圧空気に吹き飛ばされて除去され、基板５１６の表面はクリーンな状態になり、飛ばされた塵埃５１７は風切り板５１８ａと風切り板５１８ｂに遮られて基板５１６の方には行かずに放出される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
基板５１６を矢印ｎの方向に移動させながら、ノズル５０５ａとノズル５０５ｂから高圧空気を噴出して基板５１６に上面と下面に付着していた塵埃５１７を高圧空気で吹き飛ばして除去することによって、基板５１６の表面をクリーンな状態とするものであったが、単純に高圧空気で塵埃５１７を吹き飛ばすだけでは、基板５１６の表面のクリーンな状態は不充分なものであった。
【０００９】
本発明の目的は、基板の表面を充分にクリーンな状態とすることのできる基板のクリーニング装置およびその方法を得ようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためのに本発明は、基板の面の塵埃を除去するための基板のクリーニング装置において、前記基板を搬送するための基板搬送手段と略対向した少なくとも２つのノズルを有し対向した該ノズルを前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けるように設けることで該ノズルのそれぞれから吹き出された気体が該基板上で押し合うことを特徴とする。
【００１１】
さらに、上記目的を達成するためのに本発明は、基板の面の塵埃を除去する工程を有する基板の製造方法において、前記基板を搬送するための基板搬送手段により前記基板を一方向に搬送しながら、略対向した少なくとも２つのノズルを前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けように設け該ノズルのそれぞれから吹き出された気体が前記基板上で押し合うようにして塵を除去する工程を有することを特徴とする。
【００１２】
さらに、上記目的を達成するためのに本発明は、基板の面の塵埃を除去するための基板のクリーニング装置において、前記基板に振動を生じせしめる振動発生装置と、前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けるためのノズルとを有することを特徴とする。
また、前記ノズルが、略対向した少なくとも２つのノズルよりなりさらに前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けように設けられ該ノズルのそれぞれから吹き出された気体が前記基板上で押し合うようにして塵を除去することを特徴とする。
また、前記振動発生装置が前記基板を搬送するためのキャリアに載置されたことを特徴とする。
【００１３】
さらに、上記目的を達成するためのに本発明は、基板の面の塵埃を除去する工程を有する基板の製造方法において、振動発生装置により前記基板に振動を生じせしめると共に、ノズルにより前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けて塵を除去することを特徴とする基板の製造方法。
また、前記ノズルが、略対向した少なくとも２つのノズルよりなりさらに前記基板の表面に斜めに気体を吹き付けように設けられ該ノズルのそれぞれから吹き出された気体が前記基板上で押し合うようにして塵を除去することを特徴とする請求項６に記載の基板の製造方法。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る基板のクリーニング装置の第１実施例の構成を示す断面図である。図２は、本発明に係る基板のクリーニング装置の第２実施例の構成を示す断面図である。
【００１５】
図１において、本発明に係る第１実施例の基板のクリーニング装置の構成と動作について説明する。後述する基板１６は複数の搬送ローラ１ａ、１ｂ等と、複数のローラ２によって支えられている。一方の一対の搬送ローラ１ａには搬送ベルト３ａが掛けられ、他方の一対の搬送ローラ１ｂには搬送ベルト３ｂが掛けられている。搬送ローラ１ａと搬送ローラ１ｂにはそれぞれ搬送モータ４ａと搬送モータ４ｂが連結されており、搬送モータ４ａと搬送モータ４ｂは同期して回転して、搬送ローラ１ａと搬送ローラ１ｂとを矢印ａの方向に回転するように構成されている。
【００１６】
搬送ベルト３ａと搬送ベルト３ｂとローラ２の上には基板１６が載置されており、搬送ローラ１ａと搬送ローラ１ｂとが矢印ａの方向に同期して回転することにより、基板１６は、矢印ｂの方向に搬送されるように構成されている。
【００１７】
基板１６の上面には、近接してノズル５ａとノズル５ｂが対向して配設され、ノズル５ａとノズル５ｂにはそれぞれ給気管６ａと給気管６ｂが接続されており、給気管６ａと給気管６ｂには、図示せぬコンプレサから空気清浄装置を通って高圧空気を供給することにより、ノズル５ａおよびノズル５ｂから高圧空気を対向して噴出して、基板１６に付着していた塵埃１７を吹き飛ばすように構成されている。ノズル５ａとノズル５ｂとが対向しているところには、対向して噴出した高圧空気が吹き飛ばした塵埃１７を吸入して排出するための排気管７ａが配設されている。
【００１８】
基板１６の下面にも上面と同様にして、近接してノズル５ｃとノズル５ｄが対向して配設され、ノズル５ｃとノズル５ｄにはそれぞれ給気管６ｃと給気管６ｄが接続されており、給気管６ｃと給気管６ｄには、図示せぬコンプレサから空気清浄装置を通って高圧空気を供給することにより、ノズル５ｃおよびノズル５ｄから高圧空気を対向して噴出して、基板１６に付着していた塵埃１７を吹き飛ばすように構成されている。ノズル５ｃとノズル５ｄとが対向しているところには、対向して噴出した高圧空気が吹き飛ばした塵埃１７を吸入して排出するための排気管７ｂが配設されている。
【００１９】
次に動作について説明する。搬送モータ４ａと搬送モータ４ｂを同期動作させ、搬送ローラ１ａと搬送ローラ１ｂとを矢印ａの方向に回転させて、基板１６を矢印ｂの方向に移動させながら、給気管６ａ、６ｂ、６ｃ、および６ｄから高圧空気を送り込み、ノズル５ａ、５ｂ、５ｃ、および５ｄから高圧空気を噴出すると、ノズル５ａとノズル５ｂから噴出した高圧空気はぶつかって乱流を発生させ、この乱流によって基板１６の上面に付着していた塵埃１７を浮き上がらせる。同様にしてノズル５ｃとノズル５ｄから噴出した高圧空気はぶつかって乱流を発生させ、この乱流によって基板１６の下面に付着していた塵埃１７を浮き上がらせる。このようにして、基板１６の上面と下面に付着していた塵埃１７は高圧空気に吹き飛ばされて除去され、基板１６の表面はクリーンな状態になり、飛ばされた塵埃１７は排気管７ａ、および７ｂによって吸引されて、基板１６に再度付着しないように外部に放出される。
【００２０】
このように、第１実施例における基板１６のクリーニング装置およびその方法によれば、対向するノズル５ａとノズル５ｂ、およびノズル５ｃとノズル５ｄから噴出した高圧空気はぶつかって乱流を発生させ、この乱流によって基板１６の上面および下面に付着していた塵埃１７を浮き上がらせて吹き飛ばすので、基板１６の上面に付着していた塵埃１７が充分に除去され、除去された塵埃１７は、排気管７ａ、および排気管７ｂによって吸引されて基板１６に再度付着しないように外部に放出されるので、基板１６の表面を充分なクリーンな状態とすることができる。
【００２１】
図２を用いて、本発明に係る第２実施例の基板１１６のクリーニング装置の構成と動作について説明する。ベッド１０８の上面にはキャリア１０９が左右方向に摺動自在に配設されている。キャリア１０９にはキャリアねじ受け部１０９ａが設けられており、キャリアねじ受け部１０９ａは、キャリア１０９を左右方向に走行させるための送りねじ１１５と噛み合っている。送りねじ１１５は図示せぬキャリア送りモータに連結されており、キャリア送りモータを回転動作することにより送りねじ１１５を矢印ｆの方向に回転させ、キャリア１０９を矢印ｇの方向に送るように構成されている。
【００２２】
キャリア１０９の上面には載置部材１１１が緩衝部材１１０を介して取りつけられている。
このため、基板への振動伝達機構が簡単になり、製造装置の費用、製造装置のスペースの削減がえられる。
載置部材１１１の上面には、基板１１６を吸着して固定するための複数個の吸着孔１１１ａが設けられており、また、載置部材１１１の側面には、吸着孔１１１ａから空気を吸引させる吸引口１１２が設けられており、吸引口１１２には吸引チューブ１１３が取りつけられている。吸引チューブ１１３は図示せぬサクションポンプに連結され、サクションポンプを起動することにより、吸着孔１１１ａから空気を吸引して、載置部材１１１の上面に基板１１６を吸着固定するように構成されている。また、キャリア１０９の上面には、基板１１６を、波形ｈのように超音波振動をさせるための超音波発振器１１４が配設されており、超音波発振器１１４のアクチュエータが載置部材１１１に取りつけられている。
【００２３】
基板１１６の上面には、近接してノズル１０５配設され、ノズル１０５には給気管１０６が接続されており、給気管１０６には、図示せぬコンプレサから空気清浄装置を通って高圧空気を供給することにより、ノズル１０５から高圧空気を対向して噴出して、基板１１６に付着していた塵埃１１７を吹き飛ばすように構成されている。ノズル１０５から高圧空気が噴出するところには、噴出した高圧空気が吹き飛ばした塵埃１１７を吸入して排出するための排気管１０７が配設されている。
【００２４】
次に動作について説明する。載置部材１１１の上面に基板１１６を置き、図示せぬサクションポンプを起動することにより、吸着孔１１１ａから空気を吸引して、基板１１６を載置部材１１１の上面に吸着固定する。次に、超音波発振器１１４を起動することにより、基板１１６を波形ｈのように超音波振動をさせる。次に、図示せぬキャリア送りモータを回転起動することにより、送りねじ１１５を矢印ｆの方向に回転させてキャリア１０９は矢印ｇの方向に送る。
【００２５】
基板１１６を波形ｈのように超音波振動をさせると共に矢印ｇの方向に送りながら、給気管１０６から高圧空気を送り込み、ノズル１０５から高圧空気を噴出すると、ノズル１０５から噴出した高圧空気は基板１１６の上面に付着していた塵埃１１７を吹き飛ばす。このようにして、基板１１６の上面とに付着していた塵埃１１７は高圧空気に吹き飛ばされて除去され、基板１１６の表面はクリーンな状態になり、飛ばされた塵埃１１７は排気管１０７によって吸引されて、基板１１６に再度付着しないように外部に放出される。
【００２６】
このように、第２実施例の基板１１６のクリーニング装置およびその方法によれば、基板１１６を波形ｈのように超音波振動をさせると共に矢印ｇの方向に送りながら、ノズル１０５から噴出した高圧空気により基板１１６の上面に付着していた塵埃１１７を吹き飛ばすので、基板１１６の上面に付着していた塵埃１１７に衝撃的に繰り返し大きな風圧がかけられるので塵埃１１７が充分に除去され、除去された塵埃１１７は、排気管１０７によって吸引されて基板１１６に再度付着しないように外部に放出されるので、基板１１６の表面を充分なクリーンな状態とすることができる。
実施例２では、超音波振動を用いたが、塵の大きさ、質量、重さにより振動周期（周波数）は、適宜選択すれば良く、このため、超音波振動以外の振動を与えても、本発明の効果はえられる。
【００２７】
ここで、ノズルの本数は、基板の大きさに合わせて複数本のノズルを適宜用いるのがよい。
また、ノズルの先端は、円筒状、或いは長方形状などの形状を適宜選択して用いるのがよい。
また、基板に対するノズルの傾斜角も、ノズル傾斜角を調整できるように装置を構成しておき、適宜傾斜角を調整するのがよい。
【００２８】
【発明の効果】
上述のように、本発明の第１実施例における基板のクリーニング装置およびその方法によれば、対向する２個のノズルから噴出した高圧空気によって基板の表面に付着していた塵埃を浮き上がらせて吹き飛ばすので、基板の上面に付着していた塵埃が充分に除去され、充分にクリーンな基板の表面を得ることができる。
このとき、空気が互いにぶつかり合うので塵が上方に持ち上げられ上方から塵を除去でき、従来の如く基板の一方向であり主に幅方向に広がる塵を防ぐことができる効果を有する。
また、本発明の第２実施例によれば、基板を超音波振動をさせながら、ノズルから噴出した高圧空気により基板の上面に付着していた塵埃を吹き飛ばすので、基板の上面に付着していた塵埃が充分に除去され、充分にクリーンな基板の表面を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板のクリーニング装置の第１実施例の構成を示す断面図である。
【図２】本発明に係る基板のクリーニング装置の第２実施例の構成を示す断面図である。
【図３】従来の基板のクリーニング装置の構成を示す断面図である
【符号の説明】
１ａ、１ｂ　搬送ローラ
２　ローラ
３ａ、３ｂ　搬送ベルト
４ａ、４ｂ　搬送モータ
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、１０５　ノズル
６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、１０６　給気管
７ａ、７ｂ、１０７　排気管
１０８　ベッド
１０９　キャリア
１０９ａ　キャリアねじ受け部
１１０　緩衝部材
１１１　載置部材
１１１ａ　吸着孔
１１２　吸引口
１１３　吸引チューブ
１１４　超音波発振器
１１５　送りねじ
１６、１１６　基板
１７、１１７　塵埃
【図１】
2004041914.tif 000003
【図２】
2004041914.tif 000004
【図３】
2004041914.tif 000005