(57)【要約】　　　（修正有）【課題】停電等により弁切り換え途中で停止したときにも正常に再度運転でき、簡易化、小型化、メンテナンス性に優れた横型ベローズポンプを提供する。【解決手段】吸入通路２及び吐出通路３を形成しているポンプヘッド１０と、シリンダケース１１，１２に配設されて吸排気される駆動流体により交互に伸縮するベローズ１７，１８と、吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止弁２５とを備え、各ベローズ１７，１８が交互に伸長・収縮されることにより対応する逆止弁を介し、液体を吸入通路２から吸引し、吐出通路３から吐出し一方向へ移送する横型ベローズポンプにおいて、ポンプヘッド１０は両側に設けられて吸入通路２に独立して連通している導入穴６，７を有していると共に、吸込用逆止弁２０は両導入穴６，７にそれぞれ装着されて、弁体２２の自重により閉弁となる自重式一方向弁からなる。【選択図】　　図３
2004124838.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸入通路及び吐出通路を形成しているポンプヘッドと、前記ポンプヘッドの両側に設けられたシリンダケースと、前記各シリンダケースに配設されて、各シリンダケースに吸排気される駆動流体により交互に伸縮するベローズと、前記吸入通路及び吐出通路に対応して前記ポンプヘッドに設けられた吸込用逆止弁及び吐出用逆止弁とを備え、前記各ベローズが交互に伸長・収縮されることにより前記対応する逆止弁を介し、液体を前記吸入通路から吸引し、前記吐出通路から吐出し一方向へ移送する横型ベローズポンプにおいて、
前記ポンプヘッドは両側に設けられて前記吸入通路に独立して連通している導入穴を有していると共に、
前記吸込用逆止弁は前記両側の導入穴にそれぞれ装着されて、弁体の自重により閉弁となる自重式一方向弁からなることを特徴とする横型ベローズポンプ。
【請求項２】
前記各導入穴が前記ポンプヘッドの両端面にあって水平方向に位置をずらし、かつ、前記吸入通路に下穴部分をそれぞれ連通した状態に設けられている請求項１に記載の横型ベローズポンプ。
【請求項３】
前記自重式一方向弁が、下側の入口及び上側の出口を形成していると共に、前記導入穴に対し前記出口側と隙間を保って装着される略蒲鉾形状の弁ケースを有している請求項１又は２に記載の横型ベローズポンプ。
【請求項４】
前記ポンプヘッドが前記各ベローズ内を連通している連通孔を有し、前記吐出用逆止弁が前記連通孔に収まるよう設けられて、ばね部材を使用しないフローチャッキからなる請求項１から３の何れかに記載の横型ベローズポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、横型ベローズポンプのうち、ポンプヘッドの両側にシリンダケースを設けた２連式に好適なベローズポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図８は２連横型タイプのベローズポンプ構造を示している。このベローズポンプは、主部材がポンプヘッド６０と、シリンダケース６１，６２と、ベローズ６７，６８とからなる。ポンプヘッド６０は、吸入通路７０及び吐出通路７１と、これら通路の一方に連通している２つの挿入孔７２，７３とを形成し、その各挿入孔の両側に逆止弁７４，７５（逆止弁７４ａ，７４ｂは吸込用、逆止弁７５ａ，７５ｂは吐出用）を装着している。各対の逆止弁７４，７５は、対応するベローズ６７，６８内に突出配置された状態となっている。シリンダケース６１，６２は、ポンプヘッド６０の対応側面に接合されたケース本体６３，６５と、カバー６４，６６とにより区画形成され、対応するベローズ６７，６８を伸縮自在に収納し、又、駆動流体用出入口６１ａ，６２ａ、近接センサ６９ａ，６９ｂ、リークセンサ７９ａ，７９ｂ等を有している。そして、吸入通路７０はポンプヘッド６０の周面から中心に向け略水平に延び、液体貯蔵部との間にパイプを介して接続される。吐出通路７１はポンプヘッド６０の真上から下向きに延び、液体を送る移送部との間にパイプ７７を介して接続される。各シリンダケース６１，６２には出入口６１ａ，６２ａから交互に駆動流体が導入される。すると、各ベローズ６７，６８は、交互に伸長・収縮されることにより、前記対応する吸込用逆止弁７４ａ又は７４ｂと、吐出用逆止弁７５ａ又は７５ｂの作動を介して、液体をベローズ６７又は６８内に吸入通路７０から吸引し、逆にベローズ６８又は６７から吐出通路７１及びパイプ７７を通じ一方向へ移送する。符号８０は、ポンプヘッド６０とシリンダケース６１，６２とを結合している連結ボルトである。
【０００３】
以上のポンプ構造は、下記文献１に例示されるごとく細部的に改良されてはいるが、ポンプヘッド６０に付設される各逆止弁７４，７５は弁部材をばね部材により付勢したスプリングチャッキである。作動的には、例えば、吸込用のうち左側逆止弁７４ａが開、右側逆止弁７４ｂがスプリング圧を受けて閉、吐出用のうち右側逆止弁７５ｂが開、左側逆止弁７５ａがスプリング圧を受け閉となる。ベローズの内圧は、液体を吸入した後、供給される駆動流体の圧力により収縮されて液体を吐出す過程で最大となる。このときの駆動流体は、吐出側のベローズの内圧Ｖ０に加え、対応する逆止弁のスプリング圧Ｖｓに比例した圧が必要となり、駆動流体圧をより小さくして省エネを図ることが難しい。また、各逆止弁７４，７５を構成しているスプリングは、継続使用により次第に減衰し、初期スプリング圧を長期に維持できなくなる。このような背景から、本発明者らは、先に、下記文献２に示されるように上記逆止弁としてフローチャッキ、つまり弁部材が軸の両側に弁部を有し、該弁部材を前記挿入孔に直接又は弁ケースを介して配置すると共に、両側の弁部に対応して弁座を前記挿入孔の両側に設けることにより、前記した問題を解消できるようにした。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１７４１８０号公報（第４−５頁、図２）
【特許文献２】
特開２０００−２１３４６５号公報（第２−５頁、図１−図４）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記文献２のフローチャッキ構造において、特に、吸込側の逆止弁は、両ベローズ内を連通している挿通孔に配置される２個の弁ケースと、両弁ケースの内径をガイドとして摺動自在に配置される弁部材と、前記挿通孔内にあって弁ケースの両側に設けられる弁座とから構成されているため、複雑化であり弁部材の安定した切換作動を維持し難く、ポンプ故障や停電等により弁部材の切り換え途中で停止した後、再駆動するときに正常に運転できなくなったり逆流するという虞があった。これは、特にポンプが高い箇所に設置されるような場合に問題となる。また、ポンプ構造としては、ポンプの小型化やメンテナンス性を向上する点から、ポンプヘッドをよりコンパクトにしたり各ベローズ内へ突出する部材を極力なくしたい。
【０００６】
本発明は以上のような背景から開発されたものである。その目的は、前記したフローチャッキ構造を更に改良することにより、低圧駆動（例えば、駆動流体圧が１Ｋｇ／ｃｍ２）を可能し、従来スプリングに起因する短寿命やダスト発生要因をなくしてポンプ性能を向上することに加え、停電等により弁切り換え途中で停止したときにも正常に再度運転でき、簡易化と小型化及びメンテナンス性に優れた横型ベローズポンプを実現することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するため本発明は、図１〜図５の例で特定すると、吸入通路２及び吐出通路３を形成しているポンプヘッド１０と、前記ポンプヘッド１０の両側に設けられたシリンダケース１１，１２と、前記各シリンダケースに配設されて、各シリンダケースに吸排気される駆動流体により交互に伸縮するベローズ１７，１８と、前記吸入通路２及び吐出通路３に対応して前記ポンプヘッド１０に設けられた吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止弁２５とを備え、前記各ベローズ１７，１８が交互に伸長・収縮されることにより前記対応する逆止弁を介し、液体を前記吸入通路２から吸引し、前記吐出通路３から吐出し一方向へ移送する横型ベローズポンプにおいて、前記ポンプヘッド１０は両側に設けられて前記吸入通路２に独立して連通している導入穴６，７を有していると共に、前記吸込用逆止弁２０は前記両側の導入穴６，７にそれぞれ装着されて、弁体２２の自重により閉弁となる自重式一方向弁からなることを特徴としている。
【０００８】
以上のポンプ構造では、吸込用逆止弁として、ポンプヘッドに設けられて吸入通路と独立して対応するベーロズ内と連通している両側の導入穴に対し自重式一方向弁を装着したものである。この自重式一方向弁は、図５〜図７の例のごとく弁体２２が自重により閉弁となる簡易なものであり、各一方向弁がポンプの非駆動時に、対応ベローズ内と吸入通路とを閉じた閉弁状態となる。このため、上記したフローチャッキに対しポンプが不用意に停止したしても、常に閉弁に切り換えられ、逆流等の虞を解消できる。加えて、ポンプヘッドへ簡単に組み込むことができ、各ベローズ内への突出状態をなくしてメンテナンス性も改善できる。
【０００９】
以上の本発明は請求項２〜４のように具体化されることがより好ましい。
（請求項２）前記各導入穴６，７が前記ポンプヘッド１０の両端面にあって水平方向に位置をずらし、かつ、前記吸入通路２に下穴部分をそれぞれ連通した状態に設けられている構成である。この構造では、例えば、導入穴６，７が水平方向にずらされているため、ポンプヘッド１０として幅寸法（軸方向の肉厚）を小さくし易くなり、ポンプヘッドの小型化を達成できる。
（請求項３）前記自重式一方向弁が、下側の入口（２１ｂ）及び上側の出口（２３ａ）を形成していると共に、前記導入穴６，７に対し前記出口（２３ａ）側と隙間を保って装着される略蒲鉾形状の弁ケース２１を有している構成である。この構造では、導入穴６，７を円形穴にし、該円形穴に弁ケース２１を圧入できるため自重式一方向弁の取付性を良好にできる。
（請求項４）前記ポンプヘッド１０が前記各ベローズ１７，１８内を連通している連通孔８を有し、前記吐出用逆止弁２５が前記連通孔８に収まるよう設けられて、ばね部材を使用しないフローチャッキからなる構成である。この構造では、両シリンダケース内に交互に供給される駆動流体として、従来のスプリングチャッキに対しスプリング圧に相当する分だけ低くすることが可能となり、該低圧駆動（駆動流体圧が１Ｋｇ／ｃｍ２程度）の実現により省エネ等が図られる。吸込用逆止弁が自重式一方向弁で、吐出用逆止弁がフローチャッキであるため、スプリングの短寿命という問題やスプリングの接触部から発生するダストの問題も一掃でき、逆止弁等の交換頻度を少なくして信頼性を向上できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明を適用した実施形態について図面を参照し説明する。図１はベローズポンプを示す概略縦断面図である。図２はベローズポンプを構成しているポンプヘッドを示し、同（ａ）は正面図、同（ｂ）は（ａ）のＡ方向から見た側面図、同（ｃ）は（ａ）のＢ方向から見た側面図である。図３（ａ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ線断面図、同（ｂ）は図２（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。図４はポンプヘッドと吸込用逆止弁との関係を示す模式図である。図５は吸込用逆止弁の作動を模式的に示し、同（ａ）は閉弁状態を示し、同（ｂ）は開弁状態を示している。図６と図７は前記吸込用逆止弁を変形した２例を模式的に示している。なお、図５（ａ）では自重式一方向弁だけを示し、図５（ｂ）では自重式一方向弁をポンプヘッドに装着した状態で示している。以下の説明では、図１〜図５のポンプ基本構造、弁構造、弁切換作動を詳述した後、変形例に言及する。
【００１１】
（ポンプ基本構造）図１〜図５に示すベローズポンプ１は、構成主部材として、ポンプヘッド１０と、左右のシリンダケース１１，１２と、シリンダケース１１，１２内に配置されたプラスチック製のベローズ１７，１８と、ポンプヘッド１０に設けられている吸込用逆止弁２０及び吐出用逆止弁２５等を備えている。
【００１２】
ここで、ポンプヘッド１０は、略円盤状をなし、周面から内径方向に延びている吸入通路２及び吐出通路３と、両側に設けられて吸入通路２と連通している導入穴６，７と、両側を貫通した状態に設けられて吐出通路３と連通している連通孔８と、外周側に位置して軸方向に貫通されている複数のボルト用貫通孔９ａ及び複数のシャフト用貫通孔９ｂと、両端面に設けられたベローズ用取付溝１０ａとを有している。このうち、吸入通路２は、図３のごとく中心より少し下側にあってヘッド側面から水平に延び、従来よりも長く形成されている。ここにはパイプ４が装着されて、液体移送部から液体を導入する。吐出通路３は、ヘッド真上から中心付近まで垂直に延びている。ここにはパイプ５が装着されて液体を目的の箇所へ移送する。導入穴６，７は、吸入通路２より径の大きな円状の穴であり、ポンプヘッド１０の両端面にあって水平方向に位置をずらし、かつ、吸入通路２に下穴部分をそれぞれ連通した状態に設けられている。従って、ポンプヘッド１０の側面からは導入穴６，７の一方しか見えない。各導入穴６，７には後述する吸込用逆止弁２０がそれぞれ装着される。これに対し、連通孔８は、両側の導入穴６，７よりも上側中間に位置し、かつ、吐出通路３の下端と連通した状態に設けられている。この連通孔８には後述する吐出用逆止弁２５が装着される。
【００１３】
シリンダケース１１，１２は、略筒状ケース本体１３，１５と、ケース本体１３，１５の後方開口を閉じるカバー１４，１６とからなる。ケース本体１３，１５は、前側開口がポンプヘッド１０の対応端面側にそれぞれ接合配置され、後側開口がカバー１４，１６で閉じられている。カバー１４，１６には、エアー等の駆動流体をシリンダケース１１，１２内に導入する出入口１１ａ，１２ａと、脚部１４ａ，１６ａとが形成されている。各端面側には、ベローズ１７，１８の後端面に対向配置された近接センサ１９ａ，１９ａと、内低部に沿って配置されたリークセンサ１９ｂ，１９ｂとを有している。近接センサ１９ａは、ベローズ１７，１８の伸長状態を検出し、その検出信号を特許第２７９８６６４号に記載の如く駆動流体用の２位置方向切換弁の制御用として用い、駆動流体が出入口１４ａと出入口１６ａとから交互に導入可能にする。リークセンサ１９ｂは、ベローズ１７，１８内からの液漏れを検出して異常自体の発生を教示可能にする。
【００１４】
ベローズ１７，１８は、水平方向に伸縮自在の円筒状をなし、一端側が開口され、他端側が閉じられている。開口された一端側は、ケース１１，１２内においてポンプヘッド１０の対応取付溝１０ａに装着され、一部がケース本体１３，１５の対応部分で押え込まれる。各ベローズ１７，１８の他端側には、外側中央部に金具３０が埋設されており、該金具３０に対し連結板３１がボルト３２によりそれぞれ取り付けられている。前記連結板３１同士は、図面上省略しているが、両ベローズの外側前後位置に配置されたシャフトで連結されて、一方のベローズが収縮すると、他方のベローズがそのシャフトを介しそれに連動して伸長可能にする。このシャフトは、前記したポンプヘッド１０の貫通孔９ｂに挿通される。また、符号３４は、以上のポンプヘッド１０とシリンダケース１１，１２とを結合している複数（この例では４本）の連結ボルトであり、前記したポンプヘッド１０の貫通孔９ａに挿通されている。符号３５は、ポンプヘッド１０とケース本体１３，１５との間に介在されたシール部材である。符号３６は、ケース本体１３，１５とカバー１４，１６との間に介在されたシール部材である。なお、ポンプ構造としては、前記シャフトや連結ボルト３４がポンプヘッド１０等の外周に沿って配置されるタイプであっても差し支えない。
【００１５】
（弁構造）前記各導入穴６，７に装着される吸込用逆止弁（自重式一方向弁）２０は、吸入通路２から供給される液体を各逆止弁２０を介し対応するベローズ１７，１８内に交互に導入可能にする。前記連通孔８に装着される吐出用逆止弁（フローチャッキ）２５は、各ベローズ１７，１８の液体を逆止弁２５を介し吐出通路３に交互に移送して、パイプ５を通じて目的の箇所へ供給可能にする。このような弁作動は、図８等の従来構造と同様であるが、各導入穴６，７及び弁機構が全く異なっている。
【００１６】
即ち、吸込用逆止弁２０は、図３〜図５のごとく樹脂製の弁ケース２１と、弁体２２と、ガイド兼用蓋２３とからなり、弁体２２が自重で閉弁状態となる自重式一方向弁である。弁ケース２１は、全体が導入穴６，７における円形穴内の下略半分以上を埋める略蒲鉾形状であり、又、前後略中間に上下孔を形成している。該上下孔は、上側が大きく下側が絞られている。下孔側は、下孔縁２１ｂが吸入通路２の内部に入り込む設計であり、この上に位置した傾斜内面が弁座部２１ｃに設定されている。弁体２２は、概略団子形状であり、中心に設けられた有底穴２２ａを有し、又、弁ケース２１の孔内に収容された状態で前記弁座部２１ｃと密接して閉弁状態となる。蓋２３は、弁ケース２１の孔内と外部とを連通する複数の開口２３ａと、中心に下設されたガイド軸２３ｂとを有している。そして、蓋２３は、弁ケース２１に対し、ガイド軸２３ｂを弁体２２の有底穴２２ａに挿入した状態にして、上孔縁２１ａに設けられた段差に装着される。
【００１７】
以上の逆止弁２０は、各導入穴６，７に圧入され、必要に応じて当該導入穴と反対側のヘッド端面からねじ２４で取り付けられる。取付状態において、各逆止弁２０は、図３（ａ）の左側と図５（ａ）のごとく弁体２２が下孔縁２１ｂを閉じた閉弁状態となっており、又、蓋体２３の開口２３ａが各導入穴６，７の上穴部分に通じている。そして、この自重式一方向弁２０では、閉弁から、対応するベローズ１７，１８が収縮状態から伸長されるときに、弁体２２が該ベローズの内圧により開弁状態に切り換えられる。即ち、各弁ケース２１内の弁体２２は、ベローズ１７，１８の収縮と伸長の切り換えに応じて、一方が開又は閉に、他方が閉又は開というように切り換えられる。
【００１８】
これに対し、吐出用逆止弁２５は、連通孔８に摺動自在に配置される弁部材２６と、連通孔８の両孔縁内に装着されたリング形の弁座２７とからなる。弁部材２６は、軸の両端に設けられた弁部を有し、全寸が連通孔８の長さよりも小さくなっている。取付操作では、弁部材２６が連通孔８に挿入された後、各弁座２７が連通孔８の両孔縁に装着される。そして、このフローチャッキ２５では、弁部材２６の摺動方向により対応する弁座２７に対し一方弁部が内側から開又は閉に、他方弁部が内側から閉又は開というように切り換えられる。なお、この構造では、文献２のフローチャッキより簡略化されているが、吐出用逆止弁２５としては文献２のようなフローチャッキにしても差し支えない。
【００１９】
（弁切換作動）次に、以上のベローズポンプの作動について説明する。ベローズポンプ１は、駆動流体が出入口１１ａ，１２ａに交互に導入されると、該駆動流体圧により各ベローズ１７，１８が交互に伸長・収縮される。図１の状態は、シリンダケース１２内に駆動流体が出入口１２ａから導入され、シリンダケース１１内の駆動流体が排気されている。ベローズ１８は収縮し、ベローズ１７は上記したシャフトを介して連動して伸長する。逆止弁２０のうち、ベローズ１８側の逆止弁２０は図５（ａ）のごとく弁体２２が自重で弁座２１ｃと密接した閉弁状態、ベローズ１７側の逆止弁２０は図５（ｂ）のごとく弁体２２がベローズ内圧に引かれて弁座部２１ｃから離れ開弁状態となる。また、逆止弁２５は、図１のごとく弁部材２６がベローズ１８の内圧と吐出通路２１の圧との圧力差により左側へ摺動されて、弁部材２６の左側弁部がベローズ１７側の弁座２７に当たって閉弁、右側弁部がベローズ１８側の弁座２７から離れて開弁となる。この結果、ベローズ１８内の液体は弁座２７の中心孔、連通孔８、吐出通路３、パイプ５を通じて目的の液体移送部へ移送される。同時に、ベローズ１７内には、液体がパイプ４、吸入通路２、ベローズ１７側の逆止弁２を形成している弁ケース２１内、蓋２３の開口２３ａ、導入穴６の上穴部分を通って導入される。
【００２０】
以上の各ベローズ１７，１８の液体吸入と吐出は、ベローズ１７が設計値まで伸長されたことを近接センサ１９ａで検出し、該検出信号に基づいて駆動流体の供給経路が切り換えられるまで継続される。切り換えられると、今度は駆動流体が出入口１１ｂからシリンダケース１１内に導入され、シリンダケース１２内の駆動流体が排気される。すると、ベローズ１７は収縮しつつその内圧が高くなり、ベローズ１８は連動して伸長する。各逆止弁２０のうち、ベローズ１７側の逆止弁２０は閉弁状態、ベローズ１８側の逆止弁２０は弁体２２がベローズ内圧に引かれて弁座部２１ｃから離れ開弁状態となる。また、逆止弁２５は、弁部材２６がベローズ１７の内圧と吐出通路３の圧との圧力差により右側へ摺動され、左側弁部がベローズ１７側の弁座２７から離れて開弁、右側弁部がベローズ１８側の弁座２７に当たって閉弁となる。そして、ベローズ１７が収縮しつつ内部の液体を前記と同様に吐出通路３及びパイプ５を通じて液体移送部へ移送する。ベローズ１８は伸長しつつ、内部に液体が吸入通路２、ベローズ１８側の逆止弁２を形成している弁ケース２１内、蓋２３の開口２３ａ、導入穴７の上穴部分を通って導入される。このように、ベローズポンプ１は、ベローズ１７，１８が交互に伸縮作動され、液体を吸入通路２からベローズ１７又は１８内、対応する逆止弁２０，２５を介し吐出通路３を通じて移送することになる。
【００２１】
（変形例）図６と図７は上記吸込用逆止弁つまり自重式一方向弁２０の変形例を示している。各変形例では、上記形態と作動的に同じ部材及び部位に同一符号を付して、変更点だけを説明する。図６の自重式一方向弁２０Ａは、上記形態に対し弁体２２のガイド機構を変更した例である。即ち、この構造では、弁体２２が上面に突設されたガイド軸２２ｂを有し、該ガイド軸２２ｂを蓋２３に設けられた通し孔２３ｃに挿通することにより、上記形態のガイド軸２３ｂと有底穴２２ａとの関係と同じく、閉弁と開弁の切り換えが安定かつ良好に行えるようにする。これに対し、図７の自重式一方向弁２０Ｂは、弁体２２として所定荷重の球状ボールを用いることにより、上記２例よりも簡略化した例である。このように、本発明は、請求項で特定される要件を充足する範囲で種々変形可能なものである。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明に係る横型ベローズポンプでは、吸込用逆止弁として、ポンプヘッドの両側に対の導入穴を設け、各導入穴に弁体の自重により閉弁となる自重式一方向弁を装着したことから、従来スプリングに起因する短寿命やダスト発生要因をなくしてポンプ性能を向上でき、文献２に比べて停電等により弁切り換え途中で停止したときにも常に閉弁状態にして液体が逆流するという虞を解消できる。また、自重式一方向弁は、簡易であり、コンパクト化も容易なため、ポンプヘッドの幅寸法を抑えたり、逆止弁をベローズ内に突出配置することなく、同一移送容量のポンプ設計において小型化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したベローズポンプの模式縦断面図である。
【図２】図１のポンプヘッドを示す構成図である。
【図３】図２のポンプヘッド要部を示す拡大断面図である。
【図４】上記ポンプヘッドと吸込用逆止弁との関係を示す模式図である。
【図５】上記吸込用逆止弁の構成及び作動図である。
【図６】上記吸込用逆止弁の変形例を示す構成及び作動図である。
【図７】上記吸込用逆止弁の他の変形例を示す構成図である。
【図８】従来ベーズポンプの縦断面図である。
【符号の説明】
１…ベローズポンプ
２…吸入通路（４はパイプ）
３…吐出通路（５はパイプ）
６，７…導入穴
８…連通孔
１０…ポンプヘッド
１１，１２…シリンダケース
１７，１８…ベローズ
２０…吸込用逆止弁（自重式一方向弁、２１は弁ケース、２２は弁体）
２０Ａ，２０Ｂ…吸込用逆止弁（自重式一方向弁）
２５…吐出用逆止弁（フローチャッキ、２６は弁部材、２７は弁座）
【図１】
2004124838.tif 000003
【図２】
2004124838.tif 000004
【図３】
2004124838.tif 000005
【図４】
2004124838.tif 000006
【図５】
2004124838.tif 000007
【図６】
2004124838.tif 000008
【図７】
2004124838.tif 000009
【図８】
2004124838.tif 000010