(57)【要約】【課題】窒化ガリウム系の半導体基板の表面にダメージを与えることなく、安定化が可能な表面安定化方法を提供する。【解決手段】触媒化学気相反応装置を用いて、窒化ガリウム系の半導体基板の表面を安定化する方法において、触媒化学気相反応装置内に窒化ガリウム系の半導体基板を配置する工程と、触媒化学気相反応装置内に窒素含有ガスを導入する工程と、窒素含有ガスを触媒反応を用いて分解して、原子状窒素を形成する分解工程と、原子状窒素を半導体基板に接触させて、半導体基板の表面を窒化する工程とを含む。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
触媒化学気相反応装置を用いて、窒化ガリウム系の半導体基板の表面を安定化する方法であって、
触媒化学気相反応装置内に窒化ガリウム系の半導体基板を配置する工程と、
該触媒化学気相反応装置内に窒素含有ガスを導入する工程と、
該窒素含有ガスを触媒反応を用いて分解して、原子状窒素を形成する分解工程と、
該原子状窒素を該半導体基板に接触させて、該半導体基板の表面を窒化する工程とを含むことを特徴とする表面安定化方法。
【請求項２】
上記分解工程が、
加熱された触媒体に上記窒素含有ガスを接触させて、該窒素含有ガスを分解する工程であることを特徴とする請求項１に記載の表面安定化方法。
【請求項３】
窒化ガリウム系半導体を用いた半導体装置の製造方法であって、
窒化ガリウム系半導体からなる表面を有する基板を準備する工程と、
該表面を、窒素含有ガスを触媒反応を用いて分解した原子状窒素に接触させて窒化する窒化工程と
該表面上に、ゲート電極と、該ゲート電極を挟んで対向配置されたソース電極及びドレイン電極を形成する電極形成工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
上記窒化工程が、上記表面を選択的に窒化する工程であり、
上記電極形成工程が、選択的に窒化した該表面に、上記電極を形成する工程であることを特徴とする請求項３に記載の製造方法。
【請求項５】
窒化ガリウム系半導体を用いた半導体装置の製造方法であって、
窒化ガリウム系半導体からなる表面を有する基板を準備する工程と、
該表面上に、ゲート電極と、該ゲート電極を挟んで対向配置されたソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
該ソース電極とゲート電極とに挟まれた領域、及び該ドレイン電極と該ゲート電極とに挟まれた領域の、該表面を、窒素含有ガスを触媒反応を用いて分解した原子状窒素に接触させて窒化する窒化工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
上記窒化工程が、
上記表面にアルミニウム層を形成し、該アルミニウム層からなる表面を窒化する工程であることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
窒化ガリウム系半導体を用いた半導体装置の製造方法であって、
窒化ガリウム系半導体からなる表面を有する基板を準備する工程と、
該表面上に、ゲート電極と、該ゲート電極を挟んで対向配置されたソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
全面を覆うように、絶縁膜又はアルミニウム膜を形成する工程と、
該ソース電極とゲート電極とに挟まれた領域、及び該ドレイン電極と該ゲート電極とに挟まれた領域の、該表面を、窒素含有ガスを触媒反応を用いて分解した原子状窒素に接触させて窒化する窒化工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
上記窒化工程が、上記絶縁膜又はアルミニウム膜を通過した上記原子状窒素を上記表面に接触させて、これを窒化する工程であることを特徴とする請求項７に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、窒化ガリウム系半導体の表面安定化方法、及びそれを用いた半導体装置の製造方法に関し、特に、触媒化学気相反応装置を用いた方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
窒化ガリウム（ＧａＮ）系半導体を基板材料に用いた電界効果トランジスタでは、良好なＤＣ特性や高周波特性が得られなかった。これは、基板表面にトラップが存在するためであり、表面の安定化が必要とされる。そこで、従来は、Ｎ２プラズマやＮＨ３プラズマを基板に照射し、窒化ガリウム基板表面に存在する窒素原子の空孔や酸素原子を、窒素原子で置換して（即ち、窒化して）、表面の安定化を図っていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−２４４４０９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板表面にプラズマを照射した場合、プラズマによるダメージの発生が不可避であり、かかる基板を用いて作製した半導体装置の電気的特性等に悪い影響を与えていた。
【０００５】
そこで、本発明は、表面にダメージを与えることなく、表面の安定化が可能な表面安定化方法の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、触媒化学気相反応装置を用いて、窒化ガリウム系の半導体基板の表面を安定化する方法であって、触媒化学気相反応装置内に窒化ガリウム系の半導体基板を配置する工程と、触媒化学気相反応装置内に窒素含有ガスを導入する工程と、窒素含有ガスを触媒反応を用いて分解して、原子状窒素を形成する分解工程と、原子状窒素を半導体基板に接触させて、半導体基板の表面を窒化する工程とを含むことを特徴とする表面安定化方法である。
かかる表面安定化方法を用いることにより、従来のようなプラズマ入射に起因する表面ダメージを防止しながら、表面を窒化して安定化することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は、全体が５０で表される、本実施の形態に用いられる触媒化学気相反応装置の内部の概略図である。
触媒化学気相反応装置５０は、チャンバ（図示せず）内に、基板ステージ１を有する。基板ステージ１の上には、表面の安定化処理が行なわれるウエハ２が配置される。また、チャンバ内には、基板ステージ１とほぼ対向するようにガス導入部３が設けられている。ガス導入部３には、例えば複数の孔が設けられており、かかる孔を通って反応性ガス４が供給される。
【０００８】
ガス導入部３の近傍には、例えばタングステンワイヤからなる熱触媒体５が設けられている。基板ステージ１と熱触媒体５との距離は、例えば約２０ｍｍ〜約１００ｍｍ程度である。
基板ステージ１と熱触媒体５との間にはシャッタ６が設けられており、シャッタ６を開くことより、ウエハ２の表面安定化処理が開始され、シャッタ６を閉じることにより、ウエハ２の表面安定化処理が終了する。
【０００９】
次に、図１を参照しながら、窒化ガリウム系基板の表面安定化処理について簡単に説明する。
まず、上述のように、基板ステージ１の上に、窒化ガリウム系半導体からなるウエハ２を配置する。基板ステージ１にはヒータが設けられており、ウエハ２の温度を例えば１００℃に保持する。
【００１０】
次に、ガス導入部３から、例えばＮ２やＮＨ３等からなる窒素含有ガス４を導入する。ＮＨ３を用いた場合、例えば、ガス流量を１００ｓｃｃｍ、チャンバ内の真空度を１０Ｐａとする。また、例えばタングステンからなる熱触媒体５の表面温度は１５００℃とする。
【００１１】
ガス導入部３から供給された窒素含有ガス４は、熱触媒体５による触媒反応により、原子状の窒素に分解される。
【００１２】
かかる条件設定は、シャッタ６を閉じた状態で行なわれ、条件が安定した後にシャッタ６が開けられる。シャッタ６が開いた状態で、ウエハ２の表面に、原子状の窒素が供給され、表面の窒化、即ち安定化が行なわれる。表面安定化を終了する場合は、シャッタ６を閉じた後に、窒素含有ガス４の供給等を停止する。
【００１３】
このように、窒化ガリウム系半導体からなるウエハ２の表面に、原子状の窒素を供給することにより、ウエハ２の表面に存在する窒素空孔や酸素原子（自然酸化膜）を窒素原子で置換して、ウエハ２の表面安定化が可能となる。
【００１４】
なお、本実施の形態では、窒化ガリウム系半導体からなるウエハ２の表面を窒化して安定化したが、窒化ガリウム系半導体からなるウエハ２の表面に、Ａｌ層を予め形成しておき、これを窒化してＡｌＮ層を形成して、表面安定化を行なってもよい。
かかる方法では、触媒化学気相反応装置５０にウエハ２を入れる前に、ウエハ２の表面にＡｌ層を蒸着しておく。Ａｌ層の膜厚は約１０Å〜約５０Å、好適には約２０Åである。
【００１５】
また、窒化ガリウム系半導体には、ＧａＮのほか、ＡｌＧａＮ等のＧａＮのＧａ及び／又はＮを他の原子で置き換えた半導体も含まれる。
【００１６】
【実施例】
以下の実施例に、本実施の形態にかかる表面安定化方法を半導体装置の製造に適用した例を示す。ここでは、電界効果トランジスタを例に説明するが、ＨＥＭＴ等の他の半導体装置に適用してもかまわない。
【００１７】
実施例１．
図２は、全体が１００で表される、本実施例１にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。かかる製造工程は、以下の工程１〜４を含む。
【００１８】
工程１：図２（ａ）に示すように、まず、ＳｉＣ又はサファイア基板１１上に、ＧａＮのエピタキシャル層１２を形成した基板１０を準備する。
【００１９】
工程２：図２（ｂ）に示すように、上述の触媒化学気相反応装置５０を用いて、エピタキシャル層１２の表面を窒化し、ＧａＮ表面窒化層（安定化層）２０を形成する。
【００２０】
工程３：図２（ｃ）に示すように、ＧａＮ表面窒化層２０の上に、ゲート電極１４と、これを挟んで対向配置するソース電極１５、ドレイン電極１６を形成する。
【００２１】
工程４：図２（ｄ）に示すように、ゲート電極１５等を覆うように、例えば窒化シリコンからなるパッシベーション膜１７を形成する。かかる工程で、電界効果トランジスタ１００が完成する。
【００２２】
電界効果トランジスタ１００では、ゲート電極１４、ソース電極１５、ドレイン電極１６、及びパッシベーション膜１６と、ＧａＮエピタキシャル層１２との界面を安定化させることができる。
【００２３】
本実施例１では、ＧａＮエピタキシャル層１２の表面を直接窒化したが、エピタキシャル層１２の上にアルミニウム層を蒸着した後、アルミニウム層を窒化して窒化アルミニウム層として表面の安定化を図っても構わない。以下の実施例２〜５においても同様である。
【００２４】
実施例２．
図３は、全体が２００で表される、本実施例２にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。図３中、図２と同一符号は、同一又は相当箇所である。かかる製造工程は、以下の工程１〜３を含む。
【００２５】
工程１：図３（ａ）に示すように、まず、ＳｉＣ又はサファイア基板１１上に、ＧａＮのエピタキシャル層１２を形成した基板１０を準備する。続いて、エピタキシャル層１２の上に、ゲート電極１４、ソース電極１５、及びドレイン電極１６を形成する。
【００２６】
工程２：図３（ｂ）に示すように、触媒化学気相反応装置５０を用いて、ソース電極１５とゲート電極１４とに挟まれた領域、及びドレイン電極１６とゲート電極１４とに挟まれた領域の、エピタキシャル層１２の表面を窒化し、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。
【００２７】
工程３：図３（ｃ）に示すように、ゲート電極１５等を覆うように、窒化シリコンからなるパッシベーション膜１７を形成する。かかる工程で、電界効果トランジスタ２００が完成する。
【００２８】
電界効果トランジスタ２００では、パッシベーション膜１７の形成直前にＧａＮ表面窒化層２０を形成するため、より良好なパッシベーション膜１７／エピタキシャル層１２界面が得られる。
【００２９】
実施例３．
図４は、全体が３００で表される、本実施例３にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。図４中、図２と同一符号は、同一又は相当箇所である。かかる製造工程は、以下の工程１〜５を含む。
【００３０】
工程１：図４（ａ）に示すように、まず、ＳｉＣ又はサファイア基板１１上に、ＧａＮのエピタキシャル層１２を形成した基板１０を準備する。続いて、エピタキシャル層１２の上に、レジストマスク１９を形成し、ソース／ドレイン領域に開口部を設ける。更に、レジストマスク１９を用いて、ソース／ドレイン領域の表面を窒化して、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。
【００３１】
工程２：図４（ｂ）に示すように、例えばレジストマスク１９を用いたリフトオフ法によりソース電極１５、ドレイン電極１６を形成する。ソース電極１５、ドレイン電極１６は、ＧａＮ表面窒化層２０の上に形成される。
【００３２】
工程３：図４（ｃ）に示すように、エピタキシャル層１２の上に、レジストマスク２１を形成し、ゲート領域に開口部を設ける。更に、レジストマスク２１を用いて、ゲート領域の表面を窒化して、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。
【００３３】
工程４：図４（ｄ）に示すように、例えばレジストマスク２１を用いたリフトオフ法により、ＧａＮ表面窒化層２０の上にゲート電極１４を形成する。更に、残りのＧａＮエピタキシャル層１２の表面を安定化し、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。
【００３４】
工程５：図４（ｅ）に示すように、全面を覆うように、窒化シリコンからなるパッシベーション膜１７を形成する。かかる工程で、電界効果トランジスタ３００が完成する。
【００３５】
電界効果トランジスタ３００では、ＧａＮエピタキシャル層１２の表面を安定化し、ＧａＮ表面窒化層２０を形成した直後に、ゲート電極１４、ソース電極１５、及びドレイン電極１６をそれぞれ形成するため、ゲート電極１４、ソース電極１５、及びドレイン電極１６と、ＧａＮエピタキシャル層１２との界面状態が良好となる。この結果、電界効果トランジスタ３００の特性が向上する。
【００３６】
実施例４．
図５は、全体が４００で表される、本実施例４にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。図５中、図２と同一符号は、同一又は相当箇所である。かかる製造工程は、以下の工程１〜６を含む。
【００３７】
工程１：図５（ａ）に示すように、まず、ＳｉＣ又はサファイア基板１１上に、ＧａＮのエピタキシャル層１２を形成した基板１０を準備する。更に、基板１０の上に、酸化シリコンのスペーサ層３１を形成する。
【００３８】
工程２：図５（ｂ）に示すように、スペーサ層３１上に、レジストマスク３２を形成し、ゲート領域に開口部を設ける。更に、レジストマスク３２を用いて、ゲート領域の表面を窒化して、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。
【００３９】
工程３：図５（ｃ）に示すように、レジストマスク３２を除去した後、ゲート電極３４を形成する。ゲート電極３４は、断面がＴ字型になるようにパターニングする。ゲート電極３４を形成した後、バッファード弗化水素酸（ＢＨＦ）を用いてスペーサ層３１を選択的に除去する。
【００４０】
工程４：図５（ｄ）に示すように、レジストマスク３３を形成し、ソース／ドレイン領域に開口部を設ける。更に、レジストマスク３３を用いて、ソース／ドレイン領域の表面を窒化して、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。
【００４１】
工程５：図５（ｅ）に示すように、例えばレジストマスク３３を用いたリフトオフ法により、ＧａＮ表面窒化層２０の上にソース電極１５、ドレイン電極１６を形成する。続いて、レジストマスク３３を除去する。
【００４２】
工程６：図５（ｆ）に示すように、全面を覆うように、窒化シリコンからなるパッシベーション膜１７を形成する。かかる工程で、電界効果トランジスタ４００が完成する。
【００４３】
このように、Ｔ字型ゲート３４を有する電界効果トランジスタ４００においてもＧａＮエピタキシャル層１２の表面を安定化することにより、電界効果トランジスタ４００の特性が向上する。
【００４４】
実施例５．
図６は、全体が５００で表される、本実施例５にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。図６中、図２と同一符号は、同一又は相当箇所である。かかる製造工程は、以下の工程１〜６を含む。
【００４５】
工程１：図６（ａ）に示すように、まず、ＳｉＣ又はサファイア基板１１上に、ＧａＮのエピタキシャル層１２を形成した基板１０を準備する。続いて、触媒化学気相反応装置５０を用いて基板１０を処理し、ＧａＮエピタキシャル層１２の表面にＧａＮ表面窒化層２０を形成する。更に、同じ装置を用いて、ＧａＮ表面窒化層２０の上に、例えば窒化シリコンからなる第１パッシベーション膜４１を形成する。続いて、第１パッシベーション膜４１の上に、例えば酸化シリコンからなるスペーサ層４２を形成する。
【００４６】
工程２：図６（ｂ）に示すように、スペーサ層４２上に、レジストマスク４３を形成し、ゲート領域に開口部を設ける。更に、レジストマスク４３を用いて、ゲート領域の表面を窒化して、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。
【００４７】
工程３：図６（ｃ）に示すように、レジストマスク４３を除去した後、ゲート電極４４を形成する。ゲート電極４４は、断面がＴ字型になるようにパターニングする。
【００４８】
工程４：図６（ｄ）に示すように、ゲート電極４４を形成した後、スペーサ層４２を、バッファード弗化水素酸（ＢＨＦ）を用いて選択的に除去する。
【００４９】
工程５：図６（ｅ）に示すように、レジストマスク４５を形成し、ソース／ドレイン領域に開口部を設ける。更に、レジストマスク４５を用いて、ソース／ドレイン領域の表面を窒化して、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。
【００５０】
工程５：図６（ｆ）に示すように、例えばレジストマスク４５を用いたリフトオフ法により、ＧａＮ表面窒化層２０の上にソース電極１５、ドレイン電極１６を形成する。続いて、レジストマスク４５を除去し、更に、全面を覆うように、窒化シリコンからなる第２パッシベーション膜１７を形成する。かかる工程で、電界効果トランジスタ５００が完成する。
【００５１】
電界効果トランジスタ５００では、予め基板１０の表面にＧａＮ表面窒化層２０を形成した後に、Ｔ字型のゲート電極４４を形成するため、Ｔ字型ゲート４４の傘下部においてもＧａＮ表面窒化層２０を均一に形成できる。このため、特に、傘下部においても、ＧａＮエピタキシャル層１２と第２パッシベーション膜４７との界面状態が良好となる。
【００５２】
実施例６．
図７は、全体が６００で表される、本実施例６にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。図７中、図２と同一符号は、同一又は相当箇所である。かかる製造工程は、以下の工程１〜４を含む。
【００５３】
工程１：図７（ａ）に示すように、まず、ＳｉＣ又はサファイア基板１１上に、ＧａＮのエピタキシャル層１２を形成した基板１０を準備する。続いて、エピタキシャル層１２の上に、ゲート電極１４、及びこれを挟んで対向配置されたソース電極１５、ドレイン電極１６を形成する。
【００５４】
工程２：図７（ｂ）に示すように、全面を覆うように、薄膜の絶縁膜４８を形成する。絶縁膜４８は、例えば窒化シリコンからなり、膜厚は約１０Å〜約５０Å、好適には約２０Åである。絶縁膜４８の代わりに、同程度の膜厚のアルミニウム膜を形成しても構わない。
【００５５】
工程３：図７（ｃ）に示すように、触媒化学気相反応装置５０を用いて、ＧａＮのエピタキシャル層１２を窒化し、ＧａＮ表面窒化層２０を形成する。かかるエピタキシャル層１２の窒化は、絶縁膜４８（又はアルミニウム膜）を通った原子状窒素により行なわれる。
【００５６】
工程４：図７（ｄ）に示すように、全面を覆うように、窒化シリコンからなるパッシベーション膜１７を形成する。パッシベーション膜１７と絶縁膜４８とはともに窒化シリコンからなり、一体の膜となる。かかる工程で、電界効果トランジスタ６００が完成する。
【００５７】
電界効果トランジスタ６００では、最初に各電極を形成した後に、薄膜の絶縁膜４８でＧａＮのエピタキシャル層１２を覆い、更に、絶縁膜４８を通してエピタキシャル層１２の表面を窒化する。このため、エピタキシャル層１２上に直接パッシベーション膜を形成した場合にパッシベーション膜形成の初期段階においてエピタキシャル層１２で発生する窒素抜け（窒素空孔の形成）を防止でき、エピタキシャル層１２とパッシベーション膜１７（絶縁膜４８）との界面を良好な状態にできる。
【００５８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明にかかる表面安定化方法、及び半導体装置の製造方法では、表面にダメージを与えることなく、窒化ガリウム系半導体基板の表面を窒化し、安定化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に用いられる触媒化学気相反応装置の概略図である。
【図２】実施例１にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。
【図３】実施例２にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。
【図４】実施例３にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。
【図５】実施例４にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。
【図６】実施例５にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。
【図７】実施例６にかかる電界効果トランジスタの製造工程の断面図である。
【符号の説明】
１  基板ステージ、２  ウエハ、３  ガス導入部、４  反応性ガス、５  熱触媒体、６  シャッタ、５０  触媒化学気相反応装置。
【図１】
2004335828.tif 000003
【図２】
2004335828.tif 000004
【図３】
2004335828.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004335828.tif 000009