(57)【要約】【課題】計測精度の高い圧力センサを提供すること。【解決手段】感圧素子２０を配置した受圧面３２を有するコネクタハウジング３０と，該コネクタハウジング３０を挿入するセンサハウジング４０と，圧力計測対象である流体を充填してある相手部材に取り付けるための取り付け部を有すると共に，センサハウジング４０に接続されたアウターハウジング４００とを有する圧力センサ１である。ここで，センサハウジング４０とコネクタハウジング３０との間に形成される圧力室４２には，感圧素子２０を収容してある。アウターハウジング４００とセンサハウジング４０との間には，両者の間を絶縁するための絶縁部材６０が配設されている。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
感圧素子を配置した受圧面を有するコネクタハウジングと，該コネクタハウジングを挿入するセンサハウジングと，圧力計測対象である流体を充填してある相手部材に取り付けるための取り付け部を有すると共に，上記センサハウジングに接続されたアウターハウジングと，上記センサハウジングと上記コネクタハウジングとの間に形成される圧力室とを有し，該圧力室に上記感圧素子を収容してある圧力センサにおいて，
上記アウターハウジングと上記センサハウジングとの間には，両者の間を電気的に絶縁するための絶縁部材が配設されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
請求項１において，上記絶縁部材を介して対峙する上記センサハウジングと上記アウターハウジングとの間隔は，１ｍｍ以上であることを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
請求項１又は２において，上記絶縁部材は，上記センサハウジングと当接するセンサ当接面及び上記アウターハウジングと当接するアウター当接面に，それぞれメタライズ処理を施して被膜を形成してあると共に，該被膜を介して上記センサハウジング及び上記アウターハウジングにろう付け接合されており，
上記センサ当接面に施された上記被膜と，上記アウター当接面に施された上記被膜とは，電気的に絶縁してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において，上記センサハウジング及び上記コネクタハウジングの外表面のうち導電性を有する面には，電気的な絶縁性を図るための絶縁膜を配設してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において，上記センサハウジングは，シールダイヤフラムを有しており，上記圧力室は，上記シールダイヤフラムにより密閉されるよう構成されていると共に，該圧力室の中には，圧力伝達媒体が充填されていることを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，感圧素子により圧力を計測する圧力センサに関する。
【０００２】
【従来技術】
圧力センサは，シリコン基板上に形成した歪ゲージと，シリコン基板を精密にエッチングして形成した圧力検知用のダイヤフラムとを有する感圧素子を利用したセンサである。そして，この圧力センサは，上記歪ゲージにより，圧力によるダイヤフラムのひずみ量を計測することにより圧力を測定する。
【０００３】
感圧素子を配置する受圧面を有するコネクタハウジングと，センサハウジングとからなる圧力センサにおいて，上記の感圧素子は，センサハウジングに挿入したコネクタハウジングと，センサハウジングとの間の圧力室に収容されるよう構成されている。
【０００４】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来の圧力センサにあっては，次のような問題がある。
即ち，上記の圧力センサにおいては，上記センサハウジング又は上記コネクタハウジングと上記感圧素子との間に電位差を生じると，上記圧力室内の媒体に誘電分極を生じるおそれがある。そして，誘電分極を生じた媒体は，上記感圧素子に影響を及ぼし，その圧力計測に誤差を発生させるおそれがある。
【０００５】
本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，圧力計測精度の高い圧力センサを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題の解決手段】
本発明は，感圧素子を配置した受圧面を有するコネクタハウジングと，該コネクタハウジングを挿入するセンサハウジングと，圧力計測対象である流体を充填してある相手部材に取り付けるための取り付け部を有すると共に，上記センサハウジングに接続されたアウターハウジングと，上記センサハウジングと上記コネクタハウジングとの間に形成される圧力室とを有し，該圧力室に上記感圧素子を収容してある圧力センサにおいて，
上記アウターハウジングと上記センサハウジングとの間には，両者の間を電気的に絶縁するための絶縁部材が配設されていることを特徴とする圧力センサにある（請求項１）。
【０００７】
本発明の圧力センサは，上記アウターハウジングと上記センサハウジングとの間に，上記絶縁部材を有している。そのため，上記相手部材に上記アウターハウジングを取り付けた状態において，アウターハウジングとセンサハウジングとの間を電気的に絶縁できる。それ故，アウターハウジングと感圧素子との間に電位差を生じた場合であっても，上記絶縁部材の存在によって，センサハウジングの電位とアウターハウジングの電位とが等電位となることを防止できる。そしてそれ故，センサハウジングと感圧素子との間の電位差を抑制することができる。
【０００８】
そのため，上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間に形成される上記圧力室において，該圧力室中の媒体の誘電分極を抑制することができる。そして，上記圧力センサは，上記圧力室内に存在する媒体の誘電分極を抑制することにより，常に精度良く圧力計測を実施することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の圧力センサにおいて，上記絶縁部材を上記アウターハウジング及び上記センサハウジングに取り付ける方法としては，様々な方法をとることができる。例えば，接合すべき部分にそれぞれ設けた雄ネジ部と雌ネジ部とを係合させるネジ結合方法や，接着材によって接着する方法等がある。
また，上記絶縁部材は，例えば，アルミナ系セラミックス，ジルコニア系セラミックス，ＰＰＳ樹脂等より作製することができる。この中でも，特に，ハウジングとの接触部の耐圧性が高く，機械的強度も高いアルミナ系セラミックスより作製するのが良い。
【００１０】
また，上記絶縁部材を介して対峙する上記センサハウジングと上記アウターハウジングとの間隔は，１ｍｍ以上であることが好ましい（請求項２）。
この場合には，上記センサハウジングと上記アウターハウジングとの間を確実に絶縁して，上記感圧素子とセンサハウジングとの間の電位差を，さらに抑制できる。そして，上記圧力室における媒体の誘電分極を抑制して，上記圧力センサによる圧力計測精度をさらに向上できる。
一方，上記センサハウジングと上記アウターハウジングとの間隔が，１ｍｍ未満であると，上記圧力室における媒体の誘電分極を十分抑制できず，圧力計測誤差を生じるおそれがある。
【００１１】
また，上記絶縁部材は，上記センサハウジングと当接するセンサ当接面及び上記アウターハウジングと当接するアウター当接面に，それぞれメタライズ処理を施して被膜を形成してあると共に，該被膜を介して上記センサハウジング及び上記アウターハウジングにろう付け接合されており，
上記センサ当接面に施された上記被膜と，上記アウター当接面に施された上記被膜とは，電気的に絶縁してあることが好ましい（請求項３）。
【００１２】
この場合には，上記絶縁部材における上記センサ当接面と上記アウター当接面とにメタライズ処理を施して被膜を形成することにより，センサ当接面及びアウター当接面の濡れ性を向上することができる。そのため，アウターハウジング及びセンサハウジングに対して，上記絶縁部材を強固にろう付け接合することができる。
【００１３】
さらに，上記センサ当接面に施されたメタライズ処理による被膜と，上記アウター当接面に施されたメタライズ処理による被膜とは，電気的に絶縁してある。そのため，上記絶縁部材の表面に施されたメタライズ処理に関わらず，上記アウターハウジングと上記センサハウジングとの間を，確実に絶縁することができる。
【００１４】
また，上記センサハウジング及び上記コネクタハウジングの外表面のうち導電性を有する面には，電気的な絶縁性を図るための絶縁膜を配設してあることが好ましい（請求項４）。
この場合には，上記圧力センサの外周面に水滴等が付着した場合であっても，上記アウターハウジングと上記センサハウジングとの間を，確実に絶縁して，上記センサハウジングと上記感圧素子との間に生じる電位差を抑制することができる。
【００１５】
また，上記センサハウジングは，シールダイヤフラムを有しており，上記圧力室は，上記シールダイヤフラムにより密閉されるよう構成されていると共に，該圧力室の中には，圧力伝達媒体が充填されていることが好ましい（請求項５）。この場合には，例えば，上記シールダイヤフラムが，上記感圧素子と対面するよう配設されている場合に，上記シールダイヤフラムと上記感圧素子との間の上記圧力伝達媒体の誘電分極を抑制でき，本発明による効果が特に高い。
【実施例】
（実施例１）
本発明の実施例にかかる圧力センサ１について，図１〜図４を用いて説明する。
本発明の圧力センサ１は，図１，図２に示すごとく，感圧素子２０を配置した受圧面３２を有するコネクタハウジング３０と，該コネクタハウジング３０を挿入するセンサハウジング４０と，圧力計測対象である流体を充填してある相手部材に取り付けるための取り付け部を有すると共に，センサハウジング４０に接続されたアウターハウジング４００とを有している。そして，センサハウジング４０とコネクタハウジング３０との間に形成される圧力室４２には，上記感圧素子２０を収容してある。
この圧力センサ１においては，アウターハウジング４００とセンサハウジング４０との間には，両者の間を絶縁するための絶縁部材６０が配設されている。以下に，この内容について詳しく説明する。
【００１６】
本例の圧力センサ１は，図１，図２に示すごとく，シールダイヤフラム４３を有するセンサハウジング４０に，ターミナルピン１０と感圧素子２０とを有するコネクタハウジング３０を挿入して組み立て，さらに，絶縁部材６０及びアウターハウジング４００とを組み付けてなるセンサである。
【００１７】
圧力センサ１は，シールダイヤフラム４３により密閉されると共に，圧力計測対象である流体とは隔離された圧力室４２を有している。そして，この圧力センサ１は，シールダイヤフラム４３に作用する上記流体の圧力を，圧力室４２に封入した圧力伝達媒体を介して，感圧素子２０により検知できるよう構成されている。
感圧素子２０は，シリコン層を加工して歪ゲージを形成するとともに，シリコン基板を精密にエッチングしてセンサダイヤフラムを形成したものである。
【００１８】
コネクタハウジング３０は，ＰＰＳ樹脂により，後述するごとくターミナルピン１０をインサートして一体成形されていると共に，センサハウジング４０に挿入する挿入部３５と，外部機器のコネクタ（図示略）と電気的に接続するためのソケット部３００とを有している。
【００１９】
コネクタハウジング３０における挿入部３５は，上記挿入方向に略平行な軸を中心とした略円柱形状の挿入基部３５３と，該挿入基部３５３よりも小径である略円柱形状の挿入先端部３５１とを有している。そして，該挿入先端部３５１と上記挿入基部３５３との間に，上記コネクタテーパ面３５２が配設されている。
【００２０】
さらに，この挿入先端部３５１は，その外周面に，圧力室４２を密閉するためのＯリング５０及びバックアップリング５１を配設できるよう構成されており，挿入先端部３５１の外周面に，Ｏリング５０及びバックアップリング５１を配設するためのリング溝３５０を設けてある。
なお，本例のリング溝３５０は，上記挿入方向の壁面がない不完全な溝形状を呈しており，後述するごとくセンサハウジング４０の内表面と組み合わされて溝形状が形成されるよう構成してある。
【００２１】
ソケット部３００は，外部機器と電気的に接続するための電極を配設したコネクタを挿入することができるよう構成されていると共に，該ソケット部３００の内部には，それぞれのターミナルピン１０における一方の端部を突出させてある。そして，それぞれのターミナルピン１０は，ソケット部３００に挿入された上記コネクタの各電極と電気的に接触するよう構成されている。
【００２２】
コネクタハウジング３０の挿入方向の端面である受圧面３２には，図２に示すごとく，ターミナルピン１０の他方の端部を露出させてあると共に，感圧素子２０を配置してある。
上記のターミナルピン１０としては，電源用，グランド用及び信号出力用の３本があり，これらのターミナルピン１０は，すべてソケット部３００から受圧面３２へとコネクタハウジング３０を貫通するように，インサート成形によってコネクタハウジング３０内に一体的に配置されている。
【００２３】
受圧面３２に露出する各ターミナルピン１０とＰＰＳ樹脂との境界部は，シリコーン系シール材からなるシール層１２によりシールされ，圧力室４２の気密性を保持できるように構成されている。
そして，各ターミナルピン１０は，図１，図２に示すごとく，感圧素子２０とボンディングワイヤ３４により相互に電気的に接続されている。
【００２４】
センサハウジング４０は，ステンレススチールよりなると共に，図１に示すごとく，上記シールダイヤフラム４３のコネクタハウジング３０側に，上記挿入部３５を挿入する凹部４５と，該凹部４５に挿入部３５を挿入した状態で挿入部３５と係合するカシメ部４１とを有している。
【００２５】
センサハウジング４０における凹部４５は，図１，図２に示すごとく，上記挿入先端部３５１を挿入する略円柱形状の内周面を形成する第１凹部４５１と，上記挿入基部３５３を挿入する略円柱形状の第２凹部４５３とを有している。そして，該第２凹部４５３と上記第１凹部４５１との間に，センサテーパ面４５２が配設されている。
【００２６】
センサテーパ面４５２は，コネクタハウジング３０の上記挿入先端部３５１に配設されたＯリング５０を第１凹部４５１に滑らかに挿入できるよう上記挿入方向とのなす角Ｒ（図２参照）を２５度に設定してある。
また，図２に示すごとく，シールダイヤフラム４３は，その外周部をシールリング４３１により保持された状態で，凹部４５における挿入方向に略直交する底面に配置されている。そして，該シールダイヤフラム４３は，センサハウジング４０に対して，シールリング４３１と共にレーザ溶接され，溶接部４３５をセンサハウジング４０に達するように設けることにより，センサハウジング４０に強固に固定してある。
【００２７】
さらに，センサハウジング４０は，図１に示すごとく，シールダイヤフラム４３の被計測環境４４側に，圧力計測対象としての流体を導入する圧力導入室４４０と，コネクタハウジング３０と反対側の面に，絶縁部材６０をろう付けするための取り付け面４６０とを有している。
【００２８】
アウターハウジング４００は，図１に示すごとく，被計測対象である流体を密閉する配管パイプ等に対して圧力センサ１を取り付けるための銅系合金（黄銅）よりなるジョイント用の部材である。このアウターハウジングは，略円筒状の部材であって，軸方向にある一方の端部には，その内周面に，上記配管パイプ等に取り付けるためのネジ部４４２を配設した取り付け部４４８を有している。
【００２９】
また，アウターハウジング４００における他方の端面には，絶縁部材６０と取り付けるための取り付け面６４０を設けてある。そして，アウターハウジング４００には，センサハウジング４０側に，圧力計測対象である流体を導入するための圧力導入孔４４１が配設されている。
【００３０】
絶縁部材６０は，図１，図２に示すごとく，アルミナ系セラミックスよりなり，電気的絶縁性を有している。この絶縁部材６０は，略円筒形状の挿入パイプ部６０１と，その軸方向中央において大径化されたツバ状の部分であって，軸方向の長さが１ｍｍのリング部６１を有している。
【００３１】
絶縁部材６０における挿入パイプ部６０１は，図１に示すごとく，センサハウジング４０の上記圧力導入室４４０及びアウターハウジング４００の圧力導入孔４４１に挿入できるよう構成されている。また，挿入パイプ部６０１には，アウターハウジング４００側とセンサハウジング４０側との間において，圧力計測対象である流体を自由に流通させることができるよう貫通穴６４を設けてある。
【００３２】
絶縁部材６０におけるリング部６１の軸方向の両表面であるセンサ当接面６３及びアウター当接面６２には，モリブデン−マンガンをメタライズし，その上にＮｉメッキを施した被膜が形成してある。なお，センサ当接面６３及びアウター当接面６２における被膜は，独立して形成されており，両者の間が電気的に接触しないようにしてある。
【００３３】
さらに，センサハウジング４０に挿入されたコネクタハウジング３０と，センサハウジング４０との間に形成される圧力室４２には，図１，図２に示すごとく，スペーサ７０が配設してある。
スペーサ７０の一方の面は，受圧面３２のうち，コネクタハウジング３０における挿入先端部３５１の端面に当接すると共に，他方の面は，上記のごとくシールダイヤフラム４３を保持するシールリング４３１に当接するよう構成されている。そして，スペーサ７０は，コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０との間において，両者間の挿入方向の荷重を負担できるよう構成されている。
また，スペーサ７０は，シールダイヤフラム４３側と感圧素子２０側との間で，圧力伝達媒体を流通させることができるよう流通孔７１を有している。
【００３４】
上記のごとく構成されたコネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とを組み立てて製造された圧力センサ１は，図１に示すごとく，コネクタハウジング３０を収容したセンサハウジング４０のカシメ部４１を内径方向に変形させ，挿入基部３５３に係合させることにより固定してある。
【００３５】
また，図２に示すごとく，コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とは，コネクタテーパ面３５２とセンサテーパ面４５２とを当接させて位置決めすると共に，この当接部に上記カシメ部４１（図１）をカシメることにより生ずる荷重を受け止める構造としてある。そのため，上記コネクタハウジング３０の先端面（受圧面３２）とスペーサ７０との間には所定の隙間が設けられている。
【００３６】
さらに，絶縁部材６０は，図１，図２に示すごとく，そのセンサ当接面６３とセンサハウジング４０の端面である取り付け面４６０とを銀ろうによるろう付けにより，センサハウジング４０に接合されている。さらにまた，絶縁部材６０のアウター当接面６２には，ろう付けによりアウターハウジング４００を接合してある。
そして，以上のごとく構成された圧力センサ１を用いて，圧力を計測するに当たっては，アウターハウジング４００のネジ部４４２により，被計測対象である流体を密閉する配管パイプ等に圧力センサ１を取り付ける。
【００３７】
本例の圧力センサ１は，図１に示すごとく，センサハウジング４０とアウターハウジング４００との間を絶縁する絶縁部材６０を有している。そのため，上記の配管パイプ等及びこの部材に当接するアウターハウジング４００と，センサハウジング４０との間を電気的に絶縁できる。それ故，アウターハウジング４００と感圧素子２０との間に電位差を生じた場合であっても，センサハウジング４０がアウターハウジング４００と等電位となることがない。そしてそれ故，センサハウジング４０と感圧素子２０との間に大きな電位差を生じることがない。
【００３８】
したがって，センサハウジング４０のシールダイヤフラム４３と，コネクタハウジング３０の受圧面３２との間に形成される圧力室４２において，その圧力室４２内の圧力伝達媒体に誘電分極を生じることがない。
このように，本例の圧力センサ１は，圧力室４２における圧力伝達媒体の誘電分極を抑制して，精度良く圧力計測を実施することができる。
【００３９】
なお，本例の圧力センサ１における外部と隔離された圧力室４２に代えて，上記シールダイヤフラム４３を廃し，外部に開放した圧力室４２としてもよい。この場合には，圧力計測対象である流体が，直接上記感圧素子２０のセンサダイヤフラム（図示略）に作用することとなる。
【００４０】
次に，絶縁部材６０におけるリング部６１の軸方向の長さと，絶縁部材６０の静電容量及び圧力伝達媒体に印加される電圧との関係を図３及び図４を用いて説明する。
図３は，横軸にリング部６１の長さを，縦軸にリング部６１の静電容量を示している。また，図４は横軸にリング部６１の長さを示していると共に，縦軸には，アウターハウジング４００と感圧素子２０との間に１００ボルトの電位差を生じた場合における，圧力室４２の圧力伝達媒体に印加される電圧を示している。
【００４１】
図３，図４によれば，リング部６１の長さが長いほど，その静電容量が低く，圧力室４２における圧力伝達媒体に印加される電圧が低くなる傾向にあることが明白である。
そのため，圧力伝達媒体の誘電分極を抑制するという目的に対しては，リング部６１の長さは長いほど抑制効果を完全にすることができる一方，圧力センサ１の大型化を招来する。
【００４２】
センサが出力異常を発生しない印加電圧に押さえようとした場合，本実施例においては，リング部６１の長さを１ｍｍとすることにより，誘電分極の抑制効果を十分に得られると共に，圧力センサ１を必要以上に大型化することがない。
【００４３】
すなわち，リング部６１の長さを１ｍｍとすれば，アウターハウジング４００と感圧素子２０との間に１００ボルト程度の高電圧が生じた場合でも，センサハウジング４０と感圧素子２０との間の電位差をセンサが出力異常を発生しない程度に抑制でき，圧力室４２内における圧力伝達媒体の誘電分極を有効に抑制できる。
【００４４】
なお，上記メタライズ処理としては，本例のほか，Ｍｏ，Ｍｏ−Ｗ，Ｍｏ−Ｍｎ−Ｔｉを用いたメタライズ処理を採用することができ，さらには，メタライズ処理に代えて，セラミックフリット法，活性金属法，ＰＶＤ，ＣＶＤ法等の処理方法を適用することもできる。
さらに，絶縁部材６０は，本例に示す材質のほか，窒化珪素，炭化珪素などの各種セラミックス材料，ガラス，ＰＢＴ樹脂などの樹脂材料により作製することもできる。
【００４５】
（実施例２）
本例の圧力センサ１は，実施例１の圧力センサ１に基づいて，絶縁部材６０の取り付け方法を変更した例である。
本例の圧力センサ１における絶縁部材６０は，図５に示すごとく，略円筒形状のリング部６１と，このリング部６１と同軸上に連接すると共にアウターハウジング４００に挿入可能な挿入パイプ部６０１とを有している。
【００４６】
リング部６１は，その軸方向の両面に，センサハウジング４０と当接するセンサ当接面６３及び，アウターハウジング４００に当接するアウター当接面６２を有している。
そして，リング部６１における貫通穴６４の内周面には，後述するセンサハウジング４０におけるネジ部４０１と係合可能なよう構成された雌ネジ６４２を有している。
絶縁部材６０における挿入パイプ部６０１は，その外周面に雄ネジ６４１を有している。該雄ネジ６４１は，後述するアウターハウジング４００におけるネジ部４４４に係合可能なように構成されている。
【００４７】
また，絶縁部材６０におけるセンサ当接面６３及びアウター当接面６２は，シール面をなし，センサ当接面６３及びアウター当接面６２には，Ｏリング６２１，６３１が配設されている。該Ｏリング６２１，６３１は，アウターハウジング４００及びセンサハウジング４０と，絶縁部材６０との間において，圧力計測対象である流体を密閉できるよう構成されている。
なお，絶縁部材６０には，実施例１と同様，アウターハウジング４００側とセンサハウジング４０側との間において圧力伝達媒体を自由に流通させることができるよう貫通穴６４を設けてある。
【００４８】
センサハウジング４０は，絶縁部材６０におけるセンサ当接面６３と当接する取り付け面４６０から突出する略円筒形状のネジ部４０１を有している。このネジ部４０１は，絶縁部材６０における雌ネジ６４２と係合可能なように構成されている。
【００４９】
アウターハウジング４００は，その内周面に，絶縁部材６０における挿入パイプ部６０１の外周面に配設された雄ネジ６４１と係合可能なようにネジ部４４４を有している。
なお，その他の構成及び，作用効果については，実施例１と同様である。
絶縁部材６０は，本例のほか，さらに圧入，接着剤による接着等の接合方法により取り付けることもできる。
【００５０】
（実施例３）
本例の圧力センサ１は，実施例１の圧力センサ１に基づいて，センサハウジング４０の外表面に絶縁膜を配設した例である。
本例の圧力センサ１においては，図６に示すごとく，センサハウジング４０コネクタハウジング４０の外表面のうち，導電性を有する面にパリレンコート（ポリパラキシリレン）よりなる厚さ５μｍの絶縁膜４９を，ＣＶＤ法により形成してある。
【００５１】
本例の圧力センサ１１によれば，その外周面に水滴等が付着した場合であっても，センサハウジング４０とアウターハウジング４００とが電気的に接続されることがない。そのため，センサハウジング４０のシールダイヤフラム４３と感圧素子２０との間に電位差を生じることがなく，誘電分極を生じた圧力伝達媒体により圧力計測結果が影響を受けることもない。
【００５２】
このように本例の圧力センサ１は，粉塵や，水滴等が発生する環境にも適用しうる対環境性に優れたセンサである。
なお，その他の構成及び作用効果については，実施例１と同様である。
また，本例のコネクタハウジング３０は，ＰＰＳ樹脂よりなる電気的な絶縁性を有するものであるため，その外周面に絶縁膜を配設する必要がない。コネクタハウジング３０を，導電性を有する金属等により作製した場合には，その外周面に絶縁膜を配設することが好ましい。
【００５３】
なお，絶縁膜としては，本例による処理方法のほか，セラミックコーティング，絶縁塗料，各種絶縁コーティング等の処理により形成することもできる。
また，コネクタハウジング３０における導電性を有する外表面が，外部に露出している場合には，本例の圧力センサ１におけるセンサハウジング４０の外表面に形成した絶縁膜４９に加えて，コネクタハウジング３０の外表面に絶縁膜を形成することも有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，圧力センサの構造を示す断面図。
【図２】実施例１における，圧力センサの圧力室近傍の構造を示す拡大説明図。
【図３】実施例１における，絶縁部材における接合部の長さと，接合部の静電容量との関係を示すグラフ。
【図４】実施例１における，絶縁部材における接合部の長さと，圧力室内の圧力伝達媒体に印加される電圧との関係を示すグラフ。
【図５】実施例２における，圧力センサの構造を示す断面図。
【図６】実施例３における，圧力センサの構造を示す断面図。
【符号の説明】
１．．．圧力センサ，
１２．．．シール層，
２０．．．感圧素子，
３０．．．コネクタハウジング，
３２．．．受圧面，
３４．．．ボンディングワイヤ，
４０．．．センサハウジング，
４３．．．シールダイヤフラム，
４６０．．．取り付け面，
４００．．．アウターハウジング，
５０．．．Ｏリング，
５１．．．バックアップリング，
６０．．．絶縁部材，
７０．．．スペーサ，
７１．．．流通孔，
６２．．．アウター当接面，
６３．．．センサ当接面，
６４．．．貫通穴，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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