(57)【要約】【課題】動圧軸受の製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑える。【解決手段】動圧軸受４は、シャフト１５と、摺動筒状部１７と、ラジアル動圧軸受部２２とを備えている。摺動筒状部１７は、シャフト１５に相対回転可能に配置されている。ラジアル動圧軸受部２２は、両部材が相対回転すると動圧を発生するための機構であって、微少間隙を介して対向する壁面（３７，５３）と、微少間隙に保持された潤滑油８と、壁面（５３）に一方向に並んで形成された複数の動圧発生用溝２６とを有する。動圧発生用溝２６は、プレス加工によって形成された、動圧発生用溝部２６ａと、動圧発生用溝部２６ａの端部から連続しつつ所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部２６ｂとを有している。【選択図】　　　図５
2004019755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、
前記第１部材に相対回転可能に配置された第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが相対回転すると動圧を発生するための機構であって、微少間隙を介して対向する前記第１及び第２部材の壁面と、前記微少間隙に保持された流体と、前記壁面に一方向に並んで形成された複数の動圧発生用溝とを有する動圧軸受部とを備え、
前記動圧発生用溝は、プレス加工によって形成された、動圧発生用溝部と、前記動圧発生用溝部の端部から連続しつつ所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部とを有している、
動圧軸受。
【請求項２】
前記ダミー溝部は、前記動圧発生用溝部とは異なる方向に延びており、それにより前記ダミー溝部は所定以上の動圧を発生できない、請求項１に記載の動圧軸受。
【請求項３】
前記動圧発生用溝部は、並び方向から所定角度傾斜して延びる複数の溝部からなる形状であり、
前記ダミー溝部は並び方向から５０〜９０度の範囲で傾斜して延びている、請求項２に記載の動圧軸受。
【請求項４】
前記動圧発生用溝部が形成された部分は、隣接する溝部の間に形成される丘部の並び方向幅に対する溝部の並び方向幅の大きさである所定の丘溝比を有しており、
前記ダミー溝部が形成された部分は、隣接する溝部の間に形成される丘部の並び方向幅に対する溝部の並び方向幅の大きさである所定の丘溝比を有しており、前記ダミー溝部が形成された部分の丘溝比は前記動圧発生用溝部が形成された部分の丘溝比と異なっており、それにより前記ダミー溝部は所定以上の動圧を発生できない、請求項１に記載の動圧軸受。
【請求項５】
丘溝比とは、１つの溝部と１つの丘部からなる領域の並び方向幅を１とした場合に溝部が占める割合をいい、
前記ダミー溝部が形成された部分の丘溝比は０．２以下か又は０．８以上の範囲である、請求項４に記載の動圧軸受。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の動圧軸受と、
前記第１部材及び前記第２部材の一方に固定されたステータと、
前記ステータに対向するように前記第１部材及び前記第２部材の他方に固定され、前記ステータとともに磁気回路部を構成するロータマグネットと、
を備えたスピンドルモータ。
【請求項７】
ハウジングと、
前記ハウジングの内部に固定された、請求項６に記載のスピンドルモータと、前記第１部材及び前記第２部材の前記他方に固定された、情報を記録できる円板状記録媒体と、
前記記録媒体の所要の位置に情報を書込又は読み出すための情報アクセス手段と、
を備えた記録ディスク駆動装置。
【請求項８】
第１部材と、
前記第１部材に相対回転可能に配置された第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが相対回転すると動圧を発生するための機構であって、微少間隙を介して対向する前記第１及び第２部材の壁面と、前記微少間隙に保持された流体と、前記壁面に一方向に並んで形成された複数の動圧発生用溝とを有する動圧軸受部とを備えた動圧軸受の製造方法であって、
前記第１部材及び第２部材を用意する準備工程と、
前記壁面に、動圧発生用溝部と、前記動圧発生用溝部の端部から連続しつつ所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部とからなる動圧発生用溝を、プレス加工によって同時に形成するプレス加工工程と、
前記第１部材と前記第２部材を組み付ける工程と、
を備えた動圧軸受の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、動圧軸受、前記動圧軸受が採用されたスピンドルモータ及び記録ディスク駆動装置、並びに動圧軸受の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスク等の記録ディスク駆動装置は、記録ディスクと同心に配置された回転駆動用のスピンドルモータを装置内に有している。このスピンドルモータは、主に、電機子コイルを有するステータが固定された静止部材と、ステータに対向するロータマグネットが固定された回転部材と、回転部材を静止部材に回転自在に支持する軸受手段とから構成されている。
【０００３】
同装置の高性能化に伴い、この軸受手段としては、高精度化を目的に動圧軸受が採用されている。動圧軸受は、例えば、中空円筒状部材と、その中に相対回転可能に配置されたシャフトによって形成されている。シャフトは、例えば、シャフト本体と、その端部に形成されたスラストフランジとを有している。中空円筒状部材は、シャフト本体の外周面に微少間隙を介して半径方向に対向する内周面と、スラストフランジに微少間隙を介して軸線方向に対向するスラスト面とを有している。各微少間隙内にはオイル等の潤滑油が充填され、ラジアル軸受部及びスラスト軸受部がそれぞれ構成されている。シャフト及び中空円筒状部材の一方が他方に対して回転を開始すると、各軸受部において動圧が発生し、回転側の部材が静止側の部材に対して回転自在に非接触にて支持される。
【０００４】
このような動圧軸受では、微少間隙を構成する壁面に動圧発生用の溝が形成されている。この溝は、比較的浅い溝であり、形状はヘリングボーン状、スパイラル状等様々である。なお、複数の動圧発生用溝は、交互に配置された丘部と溝部とによって構成されていると見ることができ、丘部と溝部との高低差がその溝深さになっている。
【０００５】
この動圧発生用溝の成形方法としては、電解加工、転造、プレス等があるが、低コスト化の観点からプレス加工が選択されることがある。プレス加工では、溝型を動圧軸受の壁面に押し付け、複数の溝を一度に形成するため、電解加工や転造加工に比べて、製造が容易となり、コストダウンを図ることができる。
プレス加工の具体例として、中空円筒状部材の内周面に動圧発生用溝を形成する場合を説明する。この場合、プレス機の金型は、軸線方向孔が形成されたダイと、ダイの孔内に挿通・移動が可能な筒状の上下パンチと、上下パンチ内に延び外周面に溝成形部が形成されたコアロッドとから構成されている。中空円筒状部材となる円筒状素材は、上下パンチに挟まれた状態でコアロッドの溝成形部の回りに配置される。素材としては、銅系や鉄系等を主成分とする金属粉を圧粉成形し、さらに焼結して得られた焼結金属が用いられる。この状態で上下パンチと円筒状素材が連動して下降すると、素材はダイの孔内に圧入され、両パンチ及びダイによって押圧された状態になる。そのため、素材の肉は内周側に移動し、コアロッドの溝成形部に押し付けられる。このとき、溝成形部の凹部分に対応して素材側に丘部が形成され、さらに溝成形部の凸部分に対応して素材側に溝部が形成される。つまり、丘部と溝部が同時に形成されることで、複数の動圧発生用溝が素材の内周面に形成されている。続いて、上下パンチ及びコアロッドを連動させて上昇させ、成形した素材をダイの孔から抜き出す。すると、素材はスプリングバックして（半径方向外側に戻って）、コアロッドの成形部から離れることができる。
【０００６】
別の具体例としては、一般的な金属からなる円板状部材の平面に動圧発生用溝を形成する場合がある。この場合、プレス機にて溝形成部が設けられた金型が基台に対して上下方向に移動自在であって、その基台上に載置した素材に金型を押圧することで素材に動圧発生用溝が成形される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
一般にプレス加工によって動圧発生用溝を成形すると、溝の端部がダレてしまいやすい。言い換えると、その素材を変形させる圧力のばらつきにより、溝の端部では中央部に比べて十分な深さを確保しにくい。このダレの程度によって動圧発生用溝全体で得られるポンピング作用が所望の通りに作用せずに十分な動圧発生性能が得られない可能性がある。また、このダレの程度は部品の寸法誤差によってばらつくため、動圧発生用溝全体で得られるポンピング作用の大きさが動圧軸受ごとに異なってしまう可能性がある。このように製品間で動圧発生性能にばらつきがあると、所望の軸受支持機能を十分に有さない動圧軸受も製造されることになり、その動圧軸受では、回転部材の支持方向の安定性が低下してしまい、高速回転が困難である。
【０００８】
本発明の課題は、動圧発生用溝がプレス加工により形成された動圧軸受の動圧発生性能を品質の向上を図り、製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑えることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の動圧軸受は、第１部材と、第２部材と、動圧軸受部とを備えている。第２部材は、第１部材に相対回転可能に配置されている。動圧軸受部は、第１部材と第２部材とが相対回転すると動圧を発生するための機構であって、微少間隙を介して対向する第１及び第２部材の壁面と、微少間隙に保持された流体と、壁面に一方向に並んで形成された複数の動圧発生用溝とを有する。動圧発生用溝は、プレス加工によって形成された、動圧発生用溝部と、動圧発生用溝部の端部から連続しつつ所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部とを有している。
【００１０】
この動圧軸受では、プレス加工によって動圧発生用溝の端部ではダレが生じ、溝深さが浅くなっている。しかし、動圧発生用溝の端部は所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部であるため、動圧発生用溝の端部が溝全体の動圧発生性能に影響を与えることがほとんどない。一方、ダミー溝部にてダレが形成される代わりに動圧発生用溝部は所望の形状（溝深さ及び丘高さ）で形成される。この結果、プレス加工によって動圧発生用溝の端部のダレの形状がばらついていても、動圧発生用溝部は正しく形成されているため、その動圧軸受は所望の動圧発生性能を発揮することができる、さらに動圧軸受の製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑えられている。
【００１１】
なお、「所定以上の動圧を発生できない」とは、ポンピング能力を全く有さない場合から多少のポンピング能力を有していても最適な（最も高い圧力を得られる）丘溝比・溝角度のときに発生可能な動圧に対してわずかでしかない動圧を発生する場合までを含む。
請求項２に記載の動圧軸受では、請求項１において、ダミー溝部は、動圧発生用溝部とは異なる方向に延びており、それによりダミー溝部は所定以上の動圧を発生できない。
【００１２】
請求項３に記載の動圧軸受では、請求項２において、動圧発生用溝部は、並び方向から所定角度傾斜して延びる複数の溝部からなる形状であり、ダミー溝部は並び方向から５０〜９０度の範囲で傾斜して延びている。ここでの動圧発生用溝部とは、例えばスパイラル形状、ヘリングボーン形状等をあげることができる。ここでの並び方向とは、個々の溝部が並ぶ方向であり、通常は回転方向のことをいう。
【００１３】
請求項４に記載の動圧軸受では、請求項１において、動圧発生用溝部が形成された部分は、隣接する溝部の間に形成される丘部の並び方向幅に対する溝部の並び方向幅の大きさである所定の丘溝比を有している。ダミー溝部が形成された部分は、隣接する溝部の間に形成される丘部の並び方向幅に対する溝部の並び方向幅の大きさである所定の丘溝比を有しており、ダミー溝部が形成された部分の丘溝比は動圧発生用溝部が形成された部分の丘溝比と異なっており、それによりダミー溝部は所定以上の動圧を発生できない。なお、「動圧発生用溝部が形成された部分」とは、動圧発生用溝部とその間に形成された丘部とからなる部分をいい、「ダミー溝部が形成された部分」とは、ダミー溝部とその間に形成された丘部とからなる部分をいう。
【００１４】
請求項５に記載の動圧軸受では、請求項４において、丘溝比とは、１つの溝部と１つの丘部からなる領域の並び方向幅を１とした場合に溝部が占める割合をいい、ダミー溝部が形成された部分の丘溝比は０．２以下か又は０．８以上の範囲である。
請求項６に記載のスピンドルモータは、請求項１〜５のいずれかに記載の動圧軸受と、第１部材及び第２部材の一方に固定されたステータと、ステータに対向するように第１部材及び第２部材の他方に固定され、ステータとともに磁気回路部を構成するロータマグネットとを備えている。
【００１５】
このスピンドルモータでは、請求項１〜５のいずれかに記載の動圧軸受を用いているため、軸受支持機能を十分に有さない動圧軸受が生じにくくなり、どの動圧軸受でも、回転部材の支持方向の安定性が向上し、高速回転が可能である。
請求項７に記載の記録ディスク駆動装置は、ハウジングと、ハウジングの内部に固定された請求項６に記載のスピンドルモータと、第１部材及び第２部材の他方に固定された情報を記録できる円板状記録媒体と、記録媒体の所要の位置に情報を書込又は読み出すための情報アクセス手段とを備えている。
【００１６】
このスピンドルモータでは、請求項６に記載のスピンドルモータを用いているため、高速回転が可能となっている。
請求項８に記載の動圧軸受の製造方法は、第１部材と、第１部材に相対回転可能に配置された第２部材と、第１部材と第２部材とが相対回転すると動圧を発生するための機構であって、微少間隙を介して対向する第１及び第２部材の壁面と、微少間隙に保持された流体と、壁面に一方向に並んで形成された複数の動圧発生用溝とを有する動圧軸受部とを備えた動圧軸受の製造方法であって、以下の工程を備えている。
【００１７】
◎第１部材及び第２部材を用意する準備工程
◎第１部材及び第２部材の壁面に、動圧発生用溝部と、動圧発生用溝部の端部から連続しつつ所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部とからなる動圧発生用溝を、プレス加工によって同時に形成するプレス加工工程
◎第１部材と第２部材を組み付ける工程
この動圧軸受の製造方法では、第１部材及び第２部材の壁面に、動圧発生用溝部と、動圧発生用溝部の端部から連続しつつ所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部とからなる動圧発生用溝をプレス加工によって同時に形成する。プレス加工によって動圧発生用溝の端部ではダレが生じ、溝深さが低くなる（或いは丘高さが低くなる）。しかし、動圧発生用溝の端部は所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部であるため、動圧発生用溝の端部が溝全体の動圧発生性能に影響を与えることがほとんどない。一方、ダミー溝部にてダレが形成される代わりに動圧発生用溝部は所望の形状（溝深さ及び丘高さ）で形成される。この結果、プレス加工によって動圧発生用溝の端部のダレの形状がばらついていても、動圧軸受の製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑えられている。
【００１８】
なお、「所定以上の動圧を発生できない」とは、ポンピング能力を全く有さない場合から多少のポンピング能力を有していても最適な（最も高い圧力を得られる）丘溝比・溝角度のときに発生可能な動圧に対してわずかでしかない動圧を発生する場合までを含む。
【００１９】
【発明の実施の形態】
（１）スピンドルモータの構成
図１は、本発明の第１実施形態としてのスピンドルモータ１の概略構成を模式的に示す縦断面図である。このスピンドルモータ１は記録ディスク駆動用スピンドルモータであり、ハードディスク等の記録ディスク装置の一部を構成している。なお、図１に示すＯ−Ｏがスピンドルモータ１の回転軸線である。また、本実施形態の説明では便宜上図１の上下方向を「軸線上下方向」とするが、スピンドルモータ１の実際の取付状態における方向を限定するものではない。
【００２０】
図１において、このスピンドルモータ１は、主に、静止部材２と、回転部材３と、回転部材３を静止部材２に回転自在に支持するための動圧軸受４とを備えている。スピンドルモータ１は、さらに、静止部材２に固定されたステータコアとこのステータコアに巻装されたコイルとからなるステータ６と、回転部材３に固定されたロータマグネット７を備えており、両部材によって、回転部材３に対して回転力を与えるための磁気回路部が構成されている。
【００２１】
▲１▼静止部材
静止部材２は、ブラケット１０と、このブラケット１０の中央開口内に固定されたスリーブ１１とから構成されている。より詳細には、ブラケット１０は、アルミニウム製でブラケット１０の中央開口縁には軸線方向上側に延びる筒状部１０ａが形成されており、その内周面にはスリーブ１１の外周面が嵌合されている。また筒状部１０ａの外周面には、ステータ６が固定されている。
【００２２】
スリーブ１１は、中空円筒状のスリーブ本体１６と、スリーブ本体１６の内周面に嵌合された摺動筒状部１７と、摺動筒状部１７の上部に設けられた環状のシール部材１８とから構成されている。
摺動筒状部１７は、シャフト本体４５の外周面に対して微小間隙を介して半径方向に対向する中空円筒状の部材である。摺動筒状部１７の中心孔は貫通孔５１であり、内周面５３を有している。摺動筒状部１７は、含油性焼結体からなる部材である。ここで、含油性焼結体とは、各種金属粉末や金属化合物粉末、非金属粉末を原料として成形型により加圧成形したものを焼結して得られた多孔質性素材に油を含浸させたものであり、その内部には微細な連続空孔が形成されている。例えば、原料としては、銅系材料（例えば、Ｃｕ−Ｆｅ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ｃｕ−Ｓｎ−Ｐｂ等）を主成分としたものが用いられる。このため、摺動筒状部１７は、その内部に形成された連続空孔に潤滑油８を保持できるようになっている。
【００２３】
スリーブ本体１６は、銅系合金製で一般的な金属からなる（ここでの一般的な金属とは焼結体のような多孔質性ではないということ）。よって、摺動筒状部１７とスリーブ本体１６の熱膨張係数はほぼ等しいものとなり、両部材間で熱膨張に伴う歪み等はほとんど発生しない。
摺動筒状部１７はスリーブ本体１６より短いため、スリーブ本体１６の内周面上下部分は摺動筒状部１７に覆われていない。スリーブ本体１６の内周面上部には環状のシール部材１８が固定されており、スリーブ本体１６の内周面下部は後述のスラストフランジ４６が収容される空間を形成している。
【００２４】
スラストカバー１２は、円形の板状部材であり、スリーブ本体１６の下端に固定されて貫通孔５１の下端開口を閉鎖している。
▲２▼回転部材
回転部材３は、スリーブ１１に対して動圧軸受４を介して回転自在に支持された部材であって、外周部に記録ディスク（図示しない）が載置されるロータハブ１４と、ロータハブ１４の内周側に位置し、動圧軸受４を介してスリーブ１１に軸支されるシャフト１５とを備えている。
【００２５】
ロータハブ１４は、磁性を有するステンレス製で、スリーブ１１やステータ６の上方に近接して覆う中央孔を有するカップ形状で、内径が大である筒状部の下端内周面には、接着手段によってロータマグネット７が固定され、内径が小であるボス部の内周面は、スリーブ１１の上部外周面に微小間隙をもって対向している。そのボス部の外周面には、記録ディスクが嵌合されそのボス部下方の拡径部に載置され、ボス部の上端面に取り付けられる記録ディスク固定手段にてディスクが固定される。ロータマグネット７はステータ６に半径方向に微小間隙をもって対向している。そして、ステータ６のコイルに通電することにより、ステータ６とロータマグネット７との電磁相互作用が発生し、回転部材３にトルクが作用する。
【００２６】
シャフト１５は、ロータハブ１４とほぼ同質のステンレス製で、この軸線方向上側端部は、ロータハブ１４の中心孔内に嵌合されている。シャフト１５の下端には、スラストフランジ４６が一体に形成されている。つまり、シャフト１５は、円筒形状のシャフト本体４５とスラストフランジ４６とから構成されていることになる。
【００２７】
シャフト本体４５は、概ね、スリーブ１１の貫通孔５１に沿って配置され、その外周面３７が内周面５３に対して半径方向に微少間隙を介して対向している。スラストフランジ４６は、シャフト１５のシャフト本体４５の下端の外周面からスリーブ１１のスリーブ本体１６の内周面下部に対して微小間隙を形成する位置まで半径方向外側に延びる環状かつ円板状の部分である。スラストフランジ４６は、シャフト本体４５側の上側スラスト面４７と、その反対側の下側スラスト面４８とを有している。上側スラスト面４７は摺動筒状部１７の下端面であるスラスト面５６に対して軸線方向に微少間隙を介して対向しており、下側スラスト面４８はスラストカバー１２のスラスト面１２ａに対して軸線方向に微少間隙を介して対向している。
【００２８】
スリーブ１１の下部は、貫通孔５１の下端において段部５２を形成している。段部５２は、シャフト１５のスラストフランジ４６を収容するための環状の凹部又は空間である。段部５２は、内周面５３より大径であり、摺動筒状部１７の下端面であるスラスト面５６と、スリーブ本体１６の内周面下部から構成されている。また、段部５２の下方は、スラストカバー１２の軸線方向上側端面であるスラスト面１２ａによって閉ざされている。
【００２９】
（２）軸受手段の構成
図２は、スピンドルモータ１の動圧軸受４付近を示す図であって、図１の部分拡大図である。
動圧軸受４は、回転部材３を静止部材２に対して、より具体的には、ロータハブ１４及びシャフト１５をスリーブ１１に対して潤滑油８を介して回転自在に支持するための動圧軸受である。動圧軸受４は、第１及び第２ラジアル軸受部２１，２２と、第１及び第２スラスト軸受部２３，２４とを有している。以下、スリーブ１１，スラストカバー１２及びシャフト１５の構造に触れながら、各軸受部２１〜２４の構造を説明する。なお、図１及び図２では各動圧発生用溝２５、２６，２７、２８を断面上に記入しているが、実際には図３及び図４に示すように各部材の表面に形成されている。また、図１〜図４における各動圧発生用溝２５、２６，２７、２８は模式的に簡略化して表現されている。
【００３０】
▲１▼ラジアル軸受部
内周面５３には、潤滑油８中に動圧を発生するためのヘリングボーン状の動圧発生用溝２５、２６が軸線方向に並んで形成されている。動圧発生用溝２５、２６は、図３に示すように、回転方向に対して相反する方向に傾斜する一対のスパイラル溝を連結してなる略「く」の字状の溝が複数個、回転方向に並んだものである。動圧発生用溝２５の軸線方向寸法は、軸線方向上側のスパイラル溝が下側よりも大きく形成され、上側のスパイラル溝によるポンピング圧が下側よりも大きく発生する。一方、動圧発生用溝２６の軸線方向寸法は、軸線方向上側及び下側のスパイラル溝が実質的に同等に形成され、両ポンピング圧も同等に発生する。なお、動圧発生用溝２６の詳細構造については後述する。
【００３１】
このように、スリーブ１１の内周面５３と、シャフト１５のシャフト本体４５の外周面３７と、その間の潤滑油８とによって、第１及び第２ラジアル軸受部２１、２２が軸線方向に並んで構成されている。
▲２▼スラスト軸受部
摺動筒状部１７のスラスト面５６には、シャフト１５の回転にともない潤滑油８中に動圧を発生するためのスパイラル状の動圧発生用溝２７が形成されている。動圧発生用溝２７は、回転方向に対して傾斜するスパイラル溝が複数個、回転方向に並んで構成され、潤滑油８が半径方向内周側に向かうようにポンピング圧が作用する。このように、スリーブ１１のスラスト面５６とスラストフランジ４６の上側スラスト面４７とその間の潤滑油８によって、第１スラスト軸受部２３が形成されている。
【００３２】
スラストカバー１２のスラスト面１２ａには、図４に示すように、シャフト１５の回転にともない潤滑油８中に動圧を発生するためのスパイラル状の動圧発生用溝２８が形成されている。動圧発生用溝２８は、回転方向に傾斜するスパイラル溝が複数個、回転方向に並んで構成され、潤滑油８が半径方向内周側に向かうようにポンピング圧が発生する。このように、スラストフランジ４６の下側スラスト面４８と、スラストカバー１２のスラスト面１２ａと、その間の潤滑油８とによって、第２スラスト軸受部２４が形成されている。
【００３３】
表面張力シール部２９は、第１ラジアル軸受部２１からの潤滑油８の漏れを防止するための構造であり、第１ラジアル軸受部２１の軸線方向外側端部において、シール部材１８とシャフト１５とによって構成されている。
シール部材１８は、スリーブ１１の上部内周面に圧入固定され、その内周面がシャフト１５の外周面３７に設けられた環状溝３０に半径方向に対向している。シール部材１８の材質は、スリーブ本体１６と同じ銅系合金製である。環状溝３０は、シャフト１５の外周面３７の軸線方向において第１ラジアル軸受部２１より軸線方向外側の部分において、スリーブ１１の内周面（具体的にはシール部材１８の内周面）との間の空隙が軸線方向外側に向かって拡大するよう形成されている。以上に述べた構造より、軸受部に保持された潤滑油８の表面張力と外気の空気圧等とがバランスされ、潤滑油８のメニスカスは環状溝３０の傾斜面に位置している。この結果、潤滑油８がさらに外方に移動しようとすると液面の曲率が大きくなろうとし、それが抵抗となって潤滑油８が軸受外部に移動するのが抑制される。
【００３４】
以上に述べたように、この動圧軸受４は、ラジアル軸受部２１、２２、スラスト軸受部２３、２４とから構成されており、各軸受部内を潤滑油８が連続して満たしている。さらに、各軸受部内の潤滑油８は、シャフト１５の外周面とスリーブ１１の内周面との間の隙間の軸線方向上側部分に形成された表面張力シール部２９によってシールされている。また、各軸受部２１〜２４を構成する間隙は完全に潤滑油８が満たされており（空気によって遮断された部分を有しておらず）、表面張力シール部２９のみにて外気に通じるいわゆるフルフィル構造となっている。
【００３５】
▲３▼軸支持方法
スピンドルモータ１の回転に応じて、第１及び第２ラジアル軸受部２１，２２によるポンピング圧が高まり、ラジアル方向（半径方向）の荷重を支持するために必要な支持圧を発生すると同時に、潤滑油８を軸線方向下側に押し込むようにポンピング圧が作用する。また、定常回転時において第１及び第２ラジアル軸受部２１，２２からのポンピング圧は、第１スラスト軸受部２３の半径方向内周側に作用するポンピング圧よりも大きいため、幾分相殺されて潤滑油８を半径方向外周側へ押し込むように作用する。第１スラスト軸受部２３は、ここで発生する半径方向内周側のポンピング圧と第１及び第２ラジアル軸受部２１、２２からのポンピング圧とが相互作用してスラスト方向（軸線方向）の荷重を支持する。さらにこのポンピング圧は、スラストフランジ４６の外周面に形成される微小間隙を介して第２スラスト軸受部２４に伝搬し、この軸受部の半径方向内周側のポンピング圧と第１及び第２ラジアル軸受部２１，２２からの押し込み圧とが相互作用する。これにより、第２スラスト軸受部２４の中心が高圧になってスラスト方向の荷重を支持する。
【００３６】
このようにして動圧軸受４は回転部材３を静止部材２に対して回転自在に非接触支持する。なお、微小間隙の潤滑油８の保持量は、スピンドルモータの回転動作や温度等により適宜変化するが、表面張力シール部２９が構成される空隙が油溜めとして作用するため、そのような変化があっても潤滑油８が不足したり或いは漏洩することはない。
【００３７】
（４）ハードディスク装置の構成
次に、スピンドルモータ１を備えた記録ディスク駆動装置としてのハードディスク装置を例に説明する。
図１１に、一般的なハードディスク装置８０の内部構成を模式図として示す。ハウジング８１の内部は塵・埃等が極度に少ないクリーンな空間を形成しており、その内部に情報を記憶する円板状の記録ディスク８３が装着されたスピンドルモータ１が設置されている。加えてハウジング８１の内部には、記録ディスク８３に対して情報を読み書きする磁気ヘッド移動機構８７が配置され、この磁気ヘッド移動機構８７は、記録ディスク上の情報を読み書きするヘッド８６、このヘッドを支えるアーム８５、およびヘッドおよびアームをディスク上の所要の位置に移動させるアクチュエータ部８４により構成される。
【００３８】
（５）動圧発生用溝の形状
以下、動圧発生用溝の形状及び成形方法について詳細に説明するが、ここでは代表例として特に動圧発生用溝２６を取り扱う。
図５は、動圧発生用溝２６の詳細図である。動圧発生用溝２６は、概ね「く」の字又はＶ字形状であり、回転方向（図５では左右方向）に並んで形成されている。溝２６は、溝部（２６ａ，２６ｂ）と、隣接する溝部間に形成される丘部３２とによって形成されていると考えてもよい。この丘部３２の最上面は、図６に示すように摺動筒状部１７の内周面と同一である。各溝２６は、動圧発生用溝部２６ａと、その端部に連続して形成されたダミー溝部２６ｂとを有している。ダミー溝部２６ｂは、動圧発生用溝２６全体の端部を形成しており、動圧発生用溝部２６ａと同時にプレス加工で形成されている。丘部３２は、動圧発生用溝部２６ａ同士間のＶ字状丘部３２ａと、ダミー溝部２６ｂ同士間の端丘部３２ｂとを有している。これより、動圧発生用溝部２６ａとＶ字状丘部３２ａとの高低差が動圧発生用溝部２６ａの溝深さとなっており、ダミー溝部２６ｂと端丘部３２ｂとの高低差がダミー溝部２６ｂの溝深さとなっている。
【００３９】
動圧発生用溝部２６ａは、動圧発生用溝２６の並び方向（図５の左右方向）に対して傾斜しており、その角度θ１は約４０度である。そのため、シャフト１５が回転する（図５では右から左へ）動圧発生用溝部２６ａは十分に大きな動圧を発生可能である。動圧発生用溝部２６ａが形成された部分（動圧発生用溝部２６ａとＶ字状丘部３２ａとからなる領域）は、隣接する溝部の間に形成される丘部の並び方向幅に対する溝部の並び方向幅の大きさである所定の丘溝比を有している。具体的には、丘溝比は、１つの溝部と１つの丘部からなる領域の並び方向幅を１とした場合に溝部が占める割合をいい、この実施形態では０．４〜０．６の範囲にある。また、丘溝比は、０．５付近である場合が最も大きなポンピング性能を発揮するが、０．３〜０．７の範囲であれば十分に大きな動圧を発生することができる。なお、動圧発生用溝部２６ａ及びダミー溝部２６ｂの並び方向幅はそれぞれ均一である。
【００４０】
ダミー溝部２６ｂは、動圧発生用溝２６の並び方向に対して傾いており、その角度θ２は約９０度である。したがって、ダミー溝部２６ｂは所定以上の動圧を発生することができない。なお、「所定以上の動圧を発生できない」とは、ポンピング能力を全く有さない場合から多少のポンピング能力を有していても最適な（最も高い圧力を得られる）丘溝比・溝角度のときに発生可能な動圧に対してわずかでしかない動圧を発生する場合までを含む。特に角度θ２が９０度付近であればポンピング能力は全くなく、５０〜９０度の範囲にあれば多少のポンピング能力を有していても最適な（最も高い圧力を得られる）丘溝比・溝角度のときに発生可能な動圧に対してわずかでしかない。
【００４１】
なお、ダミー溝部２６ｂは並び方向幅が動圧発生用溝部２６ａと概ね同じでありしかも一定であるため、丘溝比が動圧発生用溝部２６ａと同程度である。
（６）動圧発生用溝の成形方法
動圧発生用溝２５，２６の形成について説明する。プレス機の金型は、軸線方向孔が形成されたダイと、ダイの孔内に挿通・移動が可能な筒状の上下パンチと、上下パンチ内に延び外周面に溝成形部が形成されたコアロッドとから構成されている。摺動筒状部１７となる円筒状素材は、上下パンチに挟まれた状態でコアロッドの溝成形部の回りに配置される。素材としては、銅系や鉄系等を主成分とする金属粉を圧粉成形し、さらに焼結して得られた焼結金属が用いられる。この状態で上下パンチと円筒状素材が連動して下降すると、素材はダイの孔内に圧入され、両パンチ及びダイによって押圧された状態になる。そのため、素材の肉は内周側に移動し、コアロッドの成形部に押し付けられる。このとき、溝成形部の凹部分に対応して素材側に丘部が形成され、さらに溝成形部の凸部分に対応して素材側に溝部が形成される。つまり、丘部と溝部が同時に形成されることで、複数の動圧発生用溝２５，２６が素材の内周面に形成される。続いて、上下パンチ及びコアロッドを連動させて上昇させて、成形した素材をダイの孔から抜き出す。すると、素材はスプリングバックして（半径方向外側に戻って）、コアロッドの成形部から離れることができる。
【００４２】
以上に述べたように、各溝２６は一度のプレスで動圧発生用溝部２６ａとダミー溝部２６ｂが同時に形成される。図６に示すように、各溝２６のＶ字状丘部３２ａはその端部まで一定の高さを有しているため、動圧発生用溝部２６ａは全体にわたって一定の溝深さを有している。その一方、ダミー溝部２６ｂはダレており（端部に向かって徐々に浅くなっていき）、動圧発生用溝部２６ａより浅くなっている。つまり、各溝２６の端部の溝深さが中央部に比べて浅くなっている。この問題は特にラジアル軸受部にヘリングボーン状の溝を成形する際に顕著になる。つまり、中空円筒体の内周面又は円柱体の外周面は曲面であって、プレス加工によって被加工面に均一に圧力を作用させることが難しい（つまり、動圧発生用溝部２６ａに比べてダミー溝部２６ｂのような端部は所望の圧力が及びにくい）。また、ヘリングボーン状の溝は「く」の字状であり（つまり屈曲部を有し）、複雑な構造であるため、加工精度をだすことが比較的困難である。
【００４３】
しかし、各溝２６の端部が所定以上の動圧を発生できない形状のダミー溝部２６ｂとなっているため、溝の深さが浅くなった部分が動圧発生用溝２６全体の動圧発生性能に影響を与えることはほとんどない。この結果、プレス加工によって動圧発生用溝２６の端部のダレの形状がばらついていても、この動圧発生用溝２６は正しく形成されているため、第２ラジアル軸受部２２は所望の動圧発生性能を発揮することができ、さらに動圧軸受４の製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑えられている。
【００４４】
なお、以上の効果を実現するためには、ダミー溝部２６ｂの長さを十分に確保して、ダレがダミー溝部２６ｂ内に収まるようにする必要がある。
（７）他の実施形態における動圧発生用溝の形状及び形成方法
図７は、本発明の第２実施形態における動圧発生用溝３５の詳細図である。動圧発生用溝３５は、概ね「く」の字又はＶ字形状であり、回転方向（図７では左右方向）に並んで形成されている。溝３５は、溝部（３５ａ，３５ｂ）と、隣接する溝部同士間に形成される丘部３６によって形成されていると考えてもよい。各溝３５は、動圧発生用溝部３５ａと、その端部に連続して形成されたダミー溝部３５ｂとを有している。丘部３６は、動圧発生用溝部３５ａ同士間のＶ字状丘部３６ａと、ダミー溝部３５ｂ同士間の端丘部３６ｂとを有している。ダミー溝部３５ｂは、動圧発生用溝３５全体の端部を形成しており、動圧発生用溝部３５ａと同時にプレス加工で形成されている。これより、動圧発生用溝部３５ａとＶ字状丘部３６ａとの高低差が動圧発生用溝部３５ａの溝深さとなっており、ダミー溝部３５ｂと端丘部３６ｂとの高低差がダミー溝部３５ｂの溝深さとなっている。
【００４５】
動圧発生用溝部３５ａは、動圧発生用溝３５の並び方向（図７の左右方向）に対して傾斜しており、その角度θ１は約４０度である。そのため、シャフト１５が回転する（図７では右から左へ）ときに動圧発生用溝部３５ａは十分に大きな動圧を発生可能である。また、動圧発生用溝部３５ａは並び方向幅が一定であり、したがってＶ字状丘部３６ａの並び方向幅も一定である。
【００４６】
動圧発生用溝部３５ａが形成された部分（動圧発生用溝部３５ａとＶ字状丘部３６ａからなる領域）の丘溝比について説明する。丘溝比とは、隣接する溝部の間に形成される丘部の並び方向幅に対する溝部の並び方向幅の大きさであって、具体的には、１つの溝部と１つの丘部からなる領域の並び方向幅を１とした場合に溝部が占める割合で表現する。この実施形態では、Ｖ字状丘部３６ａの並び方向幅をＡとし、動圧発生用溝部３５ａの並び方向幅をＢとすると、動圧発生用溝部３５ａが形成された部分の丘溝比はＢ／（Ａ＋Ｂ）であり、０．４〜０．６の範囲にある。また、丘溝比は、０．５付近である場合が最も大きなポンピング性能を発揮するが、０．３〜０．７の範囲であれば十分に大きな動圧を発生することができる。
【００４７】
ダミー溝部３５ｂは、動圧発生用溝部３５ａより並び方向幅が短くなっており、動圧発生溝部３５ａのＶ字凹部側に片寄って形成されている。つまり、ダミー溝部３５ｂのＶ字凹側縁は動圧発生用溝部３５ａの縁からそのまま直線状に延びているが、Ｖ字凸側縁は動圧発生用溝部３５ａの並び方向中間部分から延びている。ダミー溝部３５ｂの並び方向幅は延びる方向にわたって一定であり、したがって端丘部３６ｂの並び方向幅も一定である。
【００４８】
ダミー溝部３５ｂが形成された部分（ダミー溝部３５ｂと端丘部３６ｂとからなる領域であり、図７において上下２カ所の一対の波線間の部分をいう。以下同じ。）の丘溝比について説明する。端丘部３６ｂの並び方向幅をＡ’とし、ダミー溝部３５ｂの並び方向幅をＢ’とすると、ダミー溝部３５ｂが形成された部分の丘溝比はＢ’／（Ａ’＋Ｂ’）であり、この実施形態では０．２である。
【００４９】
ダミー溝部３５ｂが形成された部分の丘溝比は０．２以下の範囲（０．０１〜０．２０）であることが好ましく、その場合はダミー溝部３５ｂは所定以上の動圧を発生することができない。なお、「所定以上の動圧を発生できない」とは、ポンピング能力を全く有さない場合から多少のポンピング能力を有していても最適な（最も高い圧力を得られる）丘溝比・溝角度のときに発生可能な動圧に対してわずかでしかない動圧を発生する場合までを含む。
【００５０】
溝３５を形成するためのプレス加工方法は前記実施形態と同様である。つまり、各溝３５は一度のプレスで動圧発生用溝部３５ａとダミー溝部３５ｂが同時に形成される。各溝３５のＶ字状丘部３６ａはその端部まで一定の高さを有しているため、動圧発生用溝部３５ａは全体にわたって一定の溝深さを有している。その一方、端丘部３６ｂはダレており（端部に向かって徐々に低くなっていき）、Ｖ字状丘部３６ａより低くなっている。つまり、各溝３５の端部の溝深さが中央部に比べて低くなっている。しかし、各溝３５の端部が所定以上の動圧を発生できない形状のダミー溝部３５ｂとなっているため、溝の深さが浅くなった部分が動圧発生用溝３５全体の動圧発生性能に影響を与えることは生じにくい。この結果、プレス加工によって動圧発生用溝３５の端部のダレの形状がばらついていても、この動圧発生用溝３５は正しく形成されているため、ラジアル軸受部は所望の動圧発生性能を発揮することができ、さらに動圧軸受４の製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑えられている。
【００５１】
以上の場合、ダミー溝部は所定以上の動圧を発生できない形状を有しているため、ダミー溝部は動圧発生用溝全体の動圧発生性能に影響を与えない。
なお、以上の効果を実現するためには、ダミー溝部３５ｂの長さを十分に確保して、ダレがダミー溝部３５ｂ内に収まるようにする必要がある。
〔第１変形例〕
前記第２実施形態ではダミー溝部は延びる方向全体にわたって一定の並び方向幅を有しているが、ダミー溝部は延びる方向にわたって並び方向幅が変化していてもよい。
【００５２】
そのような一例を図８を用いて説明する。動圧発生用溝７０は、丘部７１と並び方向に交互に形成されており、動圧発生用溝部７０ａと、その端部に連続して形成されたダミー溝部７０ｂとから構成されている。丘部７１は、Ｖ字状丘部７１ａと、その端部に連続して形成された端丘部７１ｂとから構成されている。
ダミー溝部７０ｂは、端部にいくにしたがって徐々に並び方向幅が狭くなるように形成されている（つまり、端丘部７１ｂは、端部にいくにしたがって徐々に並び方向幅が狭くなるように形成されている）。この結果、ダミー溝部７０ｂが形成された部分の丘溝比も端部にいくにしたがって小さくなるように変化している。なお、ダミー溝部７０ｂが形成された部分の丘溝比が最大の部分は動圧発生用溝部７０ａとの境界部分であり、その最大部分の丘溝比は、この実施形態では０．２である。つまり、この変形例ではダミー溝部７０ｂが形成された部分の丘溝比は０．２以下の範囲（０．０１〜０．２０）にあり、前記第２実施形態と同様の効果が得られる。
【００５３】
なお、動圧発生用溝部７０ａの端部のＶ字凸部側縁は、屈曲部側直線から折れ曲がってＶ字凹側縁側に延びる直線となっており、ダミー溝部７０ｂのＶ字凸側縁に対して一直線につながっている。このように、動圧発生用溝７０全体の端部（動圧発生用溝部７０ａの端部及びダミー溝部７０ｂ）は、端側にいくにしたがって徐々に並び方向幅が狭くなっている。
【００５４】
〔第２変形例〕
前記第２実施形態ではダミー溝部は動圧発生用溝部より並び方向幅が小さくなっているが、並び方向幅が大きくなっていてもよい。
そのような一例を図９を用いて説明する。動圧発生用溝７５は、丘部７６と並び方向に交互に形成されており、動圧発生用溝部７５ａと、その端部に連続して形成されたダミー溝部７５ｂとから構成されている。丘部７６は、Ｖ字状丘部７６ａと、その端部に連続して形成された端丘部７６ｂとから構成されている。ダミー溝部７５ｂは、動圧発生用溝部７５ａより並び方向幅が大きく、その回転方向反対側部分（図９の右側）が動圧発生用溝部７５ａに連続している。具体的には、ダミー溝部７５ｂのＶ字凹部側縁は動圧発生用溝部７５ａのＶ字凹側縁から続く直線であるが、Ｖ字凸部側縁は動圧発生用溝部７５ａのＶ字凹側縁から回転方向側（図９の左側）の動圧発生用溝７５に近接する並び方向位置に形成されている。このようにダミー溝部７５ｂの並び方向幅は動圧発生用溝部７５ａの並び方向幅より大きくなっているため、ダミー溝部７５ｂが形成された部分の丘溝比は、動圧発生用溝部７５ａが形成された部分の丘溝比より大きくなっている。なお、ダミー溝部７５ｂのＶ字凸部側縁はＶ字凹部側縁に平行に延びる直線であって、ダミー溝部７５ｂの並び方向幅は溝が延びる方向にわたって一定である。つまり、ダミー溝部７５ｂが形成された部分の丘溝比は一定である。
【００５５】
ダミー溝部７５ｂが形成された部分の丘溝比は、この実施形態では０．８である。ダミー溝部７５ｂが形成された部分の丘溝比は０．８以上の範囲（０．８０〜０．９９）にあることが好ましく、その場合はダミー溝部７５ｂは所定以上の動圧を発生することができない。
〔第３変形例〕
前記第２変形例ではダミー溝部は延びる方向全体にわたって一定幅を有しているが、延びる方向にわたって並び方向幅が変化するようになっていてもよい。
【００５６】
そのような一例を図１０を用いて説明する。動圧発生用溝７８は、丘部７９と並び方向に交互に形成されており、動圧発生用溝部７８ａと、その端部に連続して形成されたダミー溝部７８ｂとから構成されている。丘部７９は、Ｖ字状丘部７９ａと、その端部に連続して形成された端丘部７９ｂとから構成されている。ダミー溝部７８ｂは、端部にいくにしたがって徐々に並び方向幅が広くなるように形成されている（つまり、端丘部７９ｂは、端部にいくにしたがって徐々に並び方向幅が狭くなるように形成されている）。この結果、ダミー溝部７８ｂが形成された部分の丘溝比も、端側にいくにしたがって大きくなるように変化している。なお、ダミー溝部７８ｂが形成された部分の丘溝比が最小の部分は動圧発生用溝部７８ａとの境界部分であり、その丘溝比は０．８である。つまり、この変形例ではダミー溝部７８ｂが形成された部分の丘溝比は０．８以上の範囲（０．８０〜０．９９）にあり、ダミー溝部７８ｂは所定以上の動圧を発生することができない。
【００５７】
なお、動圧発生用溝部７８ａの端部のＶ字凸部側縁は、屈曲部側直線から折れ曲がってＶ字凹側縁側と反対側に延びる直線となっており、回転方向側の動圧発生用溝７８のＶ字凹部側縁まで到達している。このように、動圧発生用溝７８全体の端部（動圧発生用溝部７８ａの端部及びダミー溝部７８ｂ）は、端側にいくにしたがって徐々に並び方向幅が広くなっている。
【００５８】
（８）他の実施形態
本発明はかかる上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
▲１▼前記実施形態ではプレス加工による溝形成の説明では、焼結体からなる筒状部材の内周面にラジアル軸受部用のヘリングボーン状溝を取り上げたが、本発明はそれに限定されない。以下、具体的に説明する。
【００５９】
溝が形成される部位は、筒状部材の内周面でなく、シャフトの外周面、摺動筒状部のスラスト面端面、スラストフランジのスラスト面又はスラストカバーのスラスト面であってもよい。
ラジアル軸受部又はスラスト軸受部以外に、コーン型動圧軸受部にも本発明を適用できる。コーン型動圧軸受部とは、シャフトの外周面とスリーブの内周面とが軸線方向一方側へ径が増大する略円錐状面を有し、円錐状面同士間の微少間隙と、微少間隙に保持された流体とによって形成された軸受をいう。
【００６０】
プレス加工される素材は、焼結体でなく一般的な金属であってもよいし、さらにセラミック等の金属以外のものでもよい。
ダミー溝部が形成される動圧発生用溝の種類は、ヘリングボーン状でなく、スパイラル状、直線状など他のものであってもよい。
ダミー溝部の形状は前記実施形態に限定されない。
【００６１】
▲２▼潤滑流体としては、オイルに限定されず、気体であってもよい。
図示の実施形態では、シャフトがロータハブに固定され、回転部材を構成する、いわゆる軸回転型のスピンドルモータを例に上げて説明したが、シャフトが静止部材の一部を構成する、いわゆる軸固定型のスピンドルモータにも本発明は適用可能である。
【００６２】
本発明に係るスピンドルモータは、ハードディスク記録装置以外にも、他の記録ディスク駆動装置、レーザービームプリンタのポリゴンミラー駆動装置、及びプロジェクタに使用されるカラーホイール駆動装置などにも採用され得る。
【００６３】
【発明の効果】
本発明の動圧軸受では、動圧発生用溝は、プレス加工によって形成された、動圧発生用溝部と、動圧発生用溝部の端部から連続しつつ所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部とを有している。
この動圧軸受では、プレス加工によって動圧発生用溝の端部のダレの形状がばらついていても、この動圧発生用溝は正しく形成されているため、動圧軸受部は所望の動圧発生性能を発揮することができ、さらに動圧軸受の製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑えられている。
【００６４】
特に動圧軸受では、動圧発生用溝の形状のばらつきは、ただ単にそこで発生する動圧の大きさが変動するだけでなく、その潤滑流体の流動方向に影響して他の動圧軸受部との相互作用が崩れて負圧領域を形成したり、表面張力シールとのバランスが崩れて流体漏洩を起こすといった種々の性能低下の原因となるため、この動圧発生用溝が所望の通りに形成できることは動圧軸受の品質の向上につながり、製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑えることにつながる。
【００６５】
本発明のスピンドルモータでは、請求項１〜５のいずれかに記載の動圧軸受を用いているため、軸受支持機能を十分に有さない動圧軸受が生じにくくなり、どの動圧軸受でも、回転部材の支持方向の安定性が向上し、動圧軸受の特徴をいかした高速回転等が可能である。
本発明の記録ディスク駆動装置では、請求項６に記載のスピンドルモータを用いているため、動圧軸受の特徴をいかした高速回転等が可能で高性能な装置となっている。
【００６６】
本発明の動圧軸受の製造方法は、第１部材及び第２部材の壁面に、動圧発生用溝部と、動圧発生用溝部の端部から連続しつつ所定以上の動圧を発生できない形状を有しているダミー溝部とからなる動圧発生用溝を、プレス加工によって同時に形成するプレス加工工程を備えている。
この動圧軸受の製造方法では、動圧発生用溝が正しく形成されているため、動圧軸受の品質の向上につながり、動圧軸受の製品同士を比較した場合の動圧発生性能のばらつきを抑えられている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態のスピンドルモータの縦断面概略図。
【図２】第１実施形態のスピンドルモータの動圧軸受付近を示す図であって、図１の部分拡大図。
【図３】摺動筒状部の縦断面。
【図４】スラストプレートの平面図。
【図５】動圧発生用溝の拡大図。
【図６】動圧発生用溝の端部の断面図。
【図７】第２実施形態における動圧発生用溝の拡大図。
【図８】第２実施形態における動圧発生用溝の第１変形例。
【図９】第２実施形態における動圧発生用溝の第２変形例。
【図１０】第２実施形態における動圧発生用溝の第３変形例。
【図１１】一般的なハードディスク装置の概略構成図。
【符号の説明】
１　　スピンドルモータ
２　　静止部材
３　　回転部材
４　　動圧軸受
１５　　シャフト
１７　　摺動筒状部
２５，２６，２７，２８　　動圧発生用溝
２６ａ　動圧発生用溝部
２６ｂ　ダミー溝部
【図１】
2004019755.tif 000003
【図２】
2004019755.tif 000004
【図３】
2004019755.tif 000005
【図４】
2004019755.tif 000006
【図５】
2004019755.tif 000007
【図６】
2004019755.tif 000008
【図７】
2004019755.tif 000009
【図８】
2004019755.tif 000010
【図９】
2004019755.tif 000011
【図１０】
2004019755.tif 000012
【図１１】
2004019755.tif 000013