(57)【要約】【課題】紙、布、ゴム等のように表面が微細形状をしている測定対象物や反射率の低い測定対象物の段差又は厚さを測定することもできる干渉式非接触測定装置を提供する。【解決手段】対物レンズを駆動して測定対象物の表面に焦点を合わせることにより該測定対象物の段差又は厚さを測定するようにした非接触式測定装置であって、測定対象物６を照射する光源１と、該光源１からの光束を測定対象物６側と参照鏡３側に分割するビームスプリッター２と、該ビームスプリッター２と測定対象物６の間に設けた第１対物レンズ４と、前記ビームスプリッター２と前記参照鏡３の間で且つ前記ビームスプリッター２からの距離が前記第１対物レンズ４と等価な位置に設けた前記第１対物レンズ４と等質な第２対物レンズ５と、該第２対物レンズ５の焦点位置に設けた参照鏡３とからなり、前記測定対象物６と前記参照鏡３からの反射光の干渉によって生じる干渉縞により焦点を合わせる合焦機構１０を備えた干渉式非接触測定装置。【選択図】　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズを駆動して測定対象物の表面に焦点を合わせることにより該測定対象物の段差又は厚さを測定するようにした非接触式測定装置であって、測定対象物を照射する光源と、該光源からの光束を測定対象物側と参照鏡側に分割するビームスプリッターと、該ビームスプリッターと測定対象物の間に設けた第１対物レンズと、前記ビームスプリッターと前記参照鏡の間で且つ前記ビームスプリッターからの距離が前記第１対物レンズと等価な位置に設けた前記第１対物レンズと等質な第２対物レンズと、該第２対物レンズの焦点位置に設けた参照鏡とからなり、前記測定対象物と前記参照鏡からの反射光の干渉によって生じる干渉縞により焦点を合わせる合焦機構を備えた干渉式非接触測定装置。
【請求項２】
測定対象物の上側及び下側に前記合焦機構を設けた請求項１に記載の干渉式非接触測定装置。
【請求項３】
測定対象物の少なくとも上側の合焦機構の第２対物レンズ側に開閉可能な遮蔽板を設けた請求項１又は２に記載の干渉式非接触測定装置。
【請求項４】
前記参照鏡を焦点方向に調整可能に設けると共に、２対の押ねじにより光軸に対して上下方向及び左右方向に調整可能に設けた請求項１乃至３のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置。
【請求項５】
測定対象物の上側及び下側の前記合焦機構に測長器を設け、これらの測長器の値から測定対象物の厚さを演算する演算処理機能を備えた請求項２乃至４のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置。
【請求項６】
測定対象物をＸＹ方向に動かすＸＹステージを設けると共に、該ＸＹステージに測長器を設けた請求項１乃至５のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置。
【請求項７】
対物レンズ筒を駆動する駆動系のスライダー部に直接接続して測長器を設けた請求項１乃至６のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置。
【請求項８】
前記対物レンズの結像位置にＣＣＤカメラを設けた請求項１乃至７のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定対象物の段差又は厚みを非接触で測定する干渉式非接触測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、測定対象物の段差又は厚さを非接触で測定する測定装置として、対物レンズを駆動して測定対象物の表面に焦点を合わせることにより該測定対象物の段差又は厚さを測定するようにした非接触式測定装置があった。本装置において、合焦操作を行うにあたり合焦判断を容易にするために、本装置の照明系にターゲットマークを設置して、ターゲットマークを投影レンズによって対物レンズに導入し、測定対象物の表面にターゲットマークを投影することは知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、対物レンズと測定対象物との間に光源からの光束を測定対象物側と参照鏡側に分割するビームスプリッターを設け、測定対象物及び参照鏡からの反射光束の干渉により干渉縞を発生させ、この干渉縞により測定対象物の表面形状を測定する干渉対物レンズ装置は知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２２１０１３号公報
【特許文献２】
実開平５−８４８０３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１のように、測定対象物の表面にターゲットマークを投影して合焦操作を行う測定装置では、ターゲットマークを測定対象物の表面に投影するための投影レンズ等が必要で光学系が複雑になると共に、ターゲットマークを測定箇所に正確に投影するための光学系の調整が煩雑であった。また、測定対象物の表面の反射率が低い場合や形状が複雑な場合には、ターゲットマークの視認性が悪く目視による合焦操作が困難であるという課題があった。
【０００６】
また、特許文献２のように、対物レンズと測定対象物との間にビームスプリッターを設けた干渉対物レンズ装置は、比較的広い範囲に干渉法を適用して干渉縞により測定対象物の平面度等の表面形状を測定するものであり、測定対象物の表面の微細形状部に対して焦点を合わせて測定対象物の段差又は厚さを測定することが困難であるのみならず、測定対象物及び参照鏡からの反射光束を干渉させて干渉縞が発生するように参照鏡の向き及び位置を調整する調節機構が複雑になるという課題があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は、上記課題を解決するために、対物レンズを駆動して測定対象物の表面に焦点を合わせることにより該測定対象物の段差又は厚さを測定するようにした非接触式測定装置であって、測定対象物を照射する光源と、該光源からの光束を測定対象物側と参照鏡側に分割するビームスプリッターと、該ビームスプリッターと測定対象物の間に設けた第１対物レンズと、前記ビームスプリッターと前記参照鏡の間で且つ前記ビームスプリッターからの距離が前記第１対物レンズと等価な位置に設けた前記第１対物レンズと等質な第２対物レンズと、該第２対物レンズの焦点位置に設けた参照鏡とからなり、前記測定対象物と前記参照鏡からの反射光の干渉によって生じる干渉縞により焦点を合わせる合焦機構を備えた干渉式非接触測定装置を提供するものである。
【０００８】
本発明によれば、ビームスプリッターと測定対象物の間に第１対物レンズを設けると共に、ビームスプリッターと参照鏡の間に第２対物レンズを設けたことにより、第１対物レンズ自体の作動距離がそのまま生かされ、測定対象物の表面の微細部分に干渉法を適用して干渉縞を発生させることができ、微細形状の段差又は厚さを測定することができる。また、測定対象物の表面が光を反射すれば干渉縞が発生するから、紙、布、ゴム等のように表面が微細形状をしている測定対象物や反射率の低い測定対象物の段差又は厚さを測定することもできる。
【０００９】
また、本発明は、測定対象物の上側及び下側に前記合焦機構を設けた請求項１に記載の干渉式非接触測定装置を提供するものである。
本発明によれば、測定対象物の上側及び下側に設けた合焦機構によって、測定対象物の上側の表面及び下側の表面に焦点を合わせて、測定対象物の厚さを測定することができる。
【００１０】
また、本発明は、測定対象物の少なくとも上側の合焦機構の第２対物レンズ側に開閉可能な遮蔽板を設けた請求項１又は２に記載の干渉式非接触測定装置を提供するものである。
本発明によれば、第２対物レンズ側を遮蔽板によって遮蔽することにより、参照鏡への光束が遮断されて干渉縞が発生しないから、測定対象物側の第１対物レンズからの像のみが結象されて明視野顕微鏡として使用することができ、特に、測定対象物のＸＹ測定時には干渉縞が発生しないので測定し易い。
【００１１】
また、本発明は、前記参照鏡を焦点方向に調整可能に設けると共に、２対の押ねじにより光軸に対して上下方向及び左右方向に調整可能に設けた請求項１乃至３のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置を提供するものである。
本発明によれば、２対の押ねじを操作することにより参照鏡の方向を容易に微調整することができ、参照鏡の方向を調整して干渉縞を発生させるための向き及び間隔を微調整することができる。
【００１２】
また、本発明は、測定対象物の上側及び下側の前記合焦機構に測長器を設け、これらの測長器の値から測定対象物の厚さを演算する演算処理機能を備えた請求項２乃至４のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置を提供するものである。
本発明によれば、測長器により対物レンズの位置を測ることができ、合焦時の上側の対物レンズの位置と下側の対物レンズの位置から演算処理機能によって測定対象物の厚さを求めることができる。
【００１３】
また、本発明は、測定対象物をＸＹ方向に動かすＸＹステージを設けると共に、該ＸＹステージに測長器を設けた請求項１乃至５のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置を提供するものである。
本発明によれば、ＸＹステージに測長器を設けたから、測定対象物のＸＹ方向の位置を測ることができ、測定対象物の測定箇所をＸＹ方向の数値により把握することができる。また、パソコンと接続して、測定対象物のＸＹ方向の位置をパソコン管理することができる。
【００１４】
また、本発明は、対物レンズ筒を駆動する駆動系のスライダー部に直接接続して測長器を設けた請求項１乃至６のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置を提供するものである。
本発明によれば、対物レンズ筒を駆動する駆動系のスライダー部の移動を測長器により直接測るから、測長器による測定誤差を小さくすることができる。
【００１５】
また、本発明は、前記対物レンズの結像位置にＣＣＤカメラを設けた請求項１乃至７のいずれかに記載の干渉式非接触測定装置を提供するものである。
本発明によれば、ＣＣＤカメラによってモニターを通して干渉縞の発生を確認することができるから、容易に合焦操作を行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図示の実施例に基づいて説明する。
本発明に係る干渉式非接触測定装置は、対物レンズを駆動して測定対象物の表面に焦点を合わせることにより該測定対象物の段差又は厚さを測定するようにした非接触式測定装置であって、測定対象物を照射する光源１と、該光源１からの光束を測定対象物６側と参照鏡３側に分割するビームスプリッター２と、該ビームスプリッター２と測定対象物６の間に設けた第１対物レンズ４と、前記ビームスプリッター２と前記参照鏡３の間で且つ前記ビームスプリッター２からの距離が前記第１対物レンズ４と等価な位置に設けた前記第１対物レンズ４と等質な第２対物レンズ５と、該第２対物レンズ５の焦点位置に設けた参照鏡３とからなり、前記測定対象物６と前記参照鏡３からの反射光の干渉によって生じる干渉縞により焦点を合わせる合焦機構１０を備えてある。
【００１７】
図１又は図２に示す実施例において、合焦機構１０を備えた第１対物レンズ４は、測定対象物６を載せるＸＹステージ７の上側及び下側に設けてあり、測定対象物６の上面及び下面に合焦操作を行って第１対物レンズ４，４の位置から測定対象物６の厚さを測定することができるように構成してある。
【００１８】
合焦機構１０は、マイケルソン干渉計の原理により測定対象物６を焦点位置に置いたときに干渉縞を発生するようにしてあり、干渉縞の発生により第１対物レンズ４の合焦位置を確認して焦点合わせを行うものである。
図示の実施例では、第１対物レンズ４には、顕微鏡用超長作動距離の４０倍対物レンズを使用し、作動距離（１５ｍｍ）を確保すると共に、干渉縞の分解能を高め焦点深度を浅くすることによって測定精度を向上（±０．２μｍ）させている。
【００１９】
図１又は図２に示す実施例において、光源１は、ハロゲンランプ（図示せず）からの光束を導くライトガイド１１と、光を増強するコンデンサレンズ１２とからなり、第１対物レンズ４の光軸に垂直な方向からビームスプリッター２に向けて光を照射するように構成してある。
また、計測パネル４０には、光源１の光源スイッチ４１と調光ボリューム４２を設けて、干渉縞を見易い照度に調光することができるようにしてある。
【００２０】
図３に示すように、ビームスプリッター２は、２個の等質なプリズムを合わせた構成にしてあり、合わせ面を半透鏡面にしてある。このビームスプリッター２は、ビームスプリッターケース４６内の支持部４７に支持されており、ビームスプリッターケース４６には上下の第１対物レンズ４側及び第２対物レンズ５側並びに光源１側に透孔４８，４８を形成してある。また、ビームスプリッター２は、第１対物レンズ４の光軸と光源１からの光束の軸の交点を中心に設けてあり、光源１からの光束がビームスプリッター２を通過することによって、直角方向に曲げられて測定対象物６へ向かう光束と、真直ぐ通過して参照鏡３へ向かう光束とに分けることができるようにしてある。
【００２１】
図３に示すように、第２対物レンズ５には、第１対物レンズと等質な顕微鏡用超長作動距離の４０倍対物レンズを使用し、ビームスプリッター２からの距離が光学的に等しい位置に設けてある。
【００２２】
図３に示すように、参照鏡３は、平面鏡からなり、第２対物レンズ５の焦点位置に設けてある。また、参照鏡３は、角度調整機構１９により光軸に対して上下方向及び左右方向、並びに焦点方向に調整可能に設けてあり、第１対物レンズ４の焦点位置と同じ距離になるように微調整してあり、且つ、反射する位置により光路差が生じて干渉縞を発生させることができるようにしてある。
【００２３】
角度調整機構１９は、図５乃至図７に示すように、上下に対に設けた割り溝２０と左右に対に設けた割り溝２１と参照鏡３を保持する参照鏡保持具５３とからなり、２対の押ねじ２２，２３により第２対物レンズ５の光軸に対して上下方向及び左右方向に参照鏡３の向きを調整することができるようにしてある。
図５又は図７に示すように、参照鏡保持具５３は、円柱状をなし先端に参照鏡３を保持してあり、側面にはＶ溝５４を設けてガイドピン５５により角度調整機構１９内を焦点方向に摺動可能に設けてある。参照鏡保持具５３は、調整ビス５２を緩めて調整ねじ２４を廻すことにより、バネ５１を介して参照鏡３を第２対物レンズ５の光軸上に直進又は後退することができるように構成してある。
【００２４】
図１又は図２に示す実施例において、８はＣＣＤカメラであり、対物レンズ筒２６を介して対物レンズ４，５の結像位置に設けてある。ＣＣＤカメラ８により撮像された画像は、モニター９に映し出され、モニター９を見ながら合焦操作を行うことができる。
【００２５】
また、ビームスプリッターケース４６内には、第２対物レンズ５側の透孔４８を開閉する遮蔽部１３を設けてある。遮蔽部１３は、図４に示すように、回転軸１４に設けた回転基板４９と、この回転基板４９に突設した遮蔽板１５と、位置決め用のプランジャー１６とからなり、ビームスプリッター２の周りを回転可能に設けてある。回転軸１４には、開閉用ハンドル１７を設けてあり、開閉用ハンドル１７によって遮蔽部１３を回転させると、遮蔽位置と開放位置に設けた凹部１８にプランジャー１６の先端部が係合して、遮蔽位置又は開放位置に遮蔽板１５を固定することができるようにしてある。
遮蔽板１５は、図３では開放位置にあり、破線で示す位置（遮蔽位置）まで回転させることにより第２対物レンズ５への光束を遮断して、測定対象物６側の第１対物レンズ４からの像のみが結象されて明視野顕微鏡として使用することができるように構成してある。
【００２６】
図１又は図２に示す実施例において、対物レンズ筒２６には、対物レンズ筒２６を滑らかに上下方向にスライドすることができるようにスライダー部３３を設けてある。スライダー部３３は、図８又は図９に示すように、スライダー３４と直動ラック３２と摺動部３５からなる。摺動部３５には、Ｖ溝形状の２平面を軌道面とした２本の軌道台の間に保持器付円筒ころを組み込んだ直動案内器を設けてある。
【００２７】
図１又は図２に示す実施例において、２５は、対物レンズ筒２６の駆動機構である。駆動機構２５は、図８又は図９に示すように、粗動ハンドル２７と微動ハンドル２８を同一の駆動軸５６に設け、歯車２９，３０，３１を介して直動ラック３２に歯車５０を直結してあり、粗動ハンドル２７又は微動ハンドル２８を操作することにより対物レンズ筒２６を上下方向に駆動するように構成してある。また、駆動軸５６には、粗動ハンドル２７の内側に軸メタル５７とロックハンドル４５とからなるロック機構を設けてある。軸メタル５７には、スリ割部５８を設けてあり、ロックハンドル４５を廻すことにより軸メタル５７が駆動軸５６を締め付けて駆動系をロックすることができるようにしてある。
【００２８】
図８において、３６は、測長器（ドイツ国ハイデンハイン社製：ＭＴ２５０１）であり、対物レンズ筒２６を駆動する駆動系のスライダー部３３に直接接続して設けてある。測長器３６は、測長器３６内の弾性体により測長ロッド３８にラック３２方向に拡圧弾力を付与して、ラック３２の端部に設けた当て金具３７に測長ロッド３８の先端を当接してある。従って、測長器３６は、ラック３２の移動によって測長ロッド３８が出入して、スライダー部３３の上下方向の移動距離を直接測ることにより対物レンズ筒２６の移動距離を測定でき、駆動系のクリアランスによるガタツキによる誤差を小さくしてある。
【００２９】
また、図１において、４３は、スケールカウンターであり、測長器３６の測定値をデジタル表示することができるようにしてある。スケールカウンター４３には、上側及び下側の対物レンズ筒２６，２６に設けた測長器３６，３６の測定値から測定対象物の厚さを演算する演算処理機能を備えてあり、測定対象物の厚さをデジタル表示することができるように構成してある。また、上下方向の変位量のデジタル信号をＲＳ−２３２Ｃインターフェースを介してパソコンに接続することができ、パソコン管理することができるようにしてある。
【００３０】
図１又は図２に示す実施例において、ＸＹステージ７には、Ｘ軸方向の駆動部とＹ軸方向の駆動部に測長器３９，３９（（株）ミツトヨ製：ＭＴ１１２）を設けてあり、測定対象物６をＸＹ方向に動かして、測定対象物６における段差又は厚さの測定箇所をＸＹ軸カウンター４４にデジタル表示することができるように構成してある。また、ＸＹ方向の変位量のデジタル信号をＲＳ−２３２Ｃインターフェースを介してパソコンに接続することができ、測定対象物のＸＹ方向の位置をパソコン管理することができるようにしてある。
【００３１】
次に、本発明に係る干渉式非接触測定装置の作用について説明する。
ＸＹステージ７に基準ゲージブロックを載せ、この基準ゲージブロックの上面に対して上側の対物レンズの合焦操作を行い、下面に対して下側の対物レンズの合焦操作を行う。このとき、対物レンズ筒２６を上下方向に移動させると合焦位置付近で、基準ゲージブロックの表面からの反射光と参照鏡３からの反射光の干渉により干渉縞が発生する。この干渉縞の中で０次の干渉縞（最も濃度の濃い干渉縞）をＣＣＤカメラ８で撮影したモニター９画面の中央に来るように合わせると基準ゲージブロックの上面又は下面に焦点が合う。
例えば、厚さが２．００３ｍｍの基準ゲージブロックを使用した場合は、合焦操作後に、スケールカウンター４３に２．００３と入力する。
【００３２】
そして、基準ゲージブロックを取外し、ＸＹステージ７に測定対象物６を載せ、基準ゲージブロックのときと同様に測定対象物６の上面及び下面に対して合焦操作を行う。測定対象物６の上面及び下面に焦点が合ったときのスケールカウンター４３の表示値が測定対象物６の測定箇所における厚さを示している。
測定対象物６の他の箇所の厚さを測定する場合には、ＸＹステージ７により測定対象物６をＸＹ方向に移動させて、測定対象物６の上面及び下面に対して合焦操作を行うことにより、その測定箇所の厚さを測定することができる。
【００３３】
なお、測定対象物６の段差を測定する場合には、上側の対物レンズのみを使用して測定することができるから、基準ゲージブロックを使用した基準合せ操作は不要である。このときは、測定対象物６の段差の一方の測定箇所に対して合焦操作をし、スケールカウンター４３に０を入力する。そして、他方の測定箇所に対して合焦操作をしたときのスケールカウンター４３の表示値が測定箇所における段差を示している。
本明細書において、段差とは２点間の高低差をいい、凹凸の高低差、凹部又は溝等の深さ、凸部又は峰等の高さも含まれる。
【００３４】
【発明の効果】
以上の通り、本発明に係る干渉式非接触測定装置によれば、対物レンズを駆動して測定対象物の表面に焦点を合わせることにより該測定対象物の段差又は厚さを測定するようにした非接触式測定装置であって、測定対象物を照射する光源と、該光源からの光束を測定対象物側と参照鏡側に分割するビームスプリッターと、該ビームスプリッターと測定対象物の間に設けた第１対物レンズと、前記ビームスプリッターと前記参照鏡の間で且つ前記ビームスプリッターからの距離が前記第１対物レンズと等価な位置に設けた前記第１対物レンズと等質な第２対物レンズと、該第２対物レンズの焦点位置に設けた参照鏡とからなり、前記測定対象物と前記参照鏡からの反射光の干渉によって生じる干渉縞により焦点を合わせる合焦機構を備えた構成を有することにより、ビームスプリッターと測定対象物の間に第１対物レンズを設けると共に、ビームスプリッターと参照鏡の間に第２対物レンズを設けたことによって、第１対物レンズ自体の作動距離がそのまま生かされ、測定対象物の表面の微細部分に干渉法を適用して干渉縞を発生させることができ、微細形状の段差又は厚さを測定することができる。また、測定対象物の表面が光を反射すれば干渉縞が発生するから、紙、布、ゴム等のように表面が微細形状をしている測定対象物や反射率の低い測定対象物の段差又は厚さを測定することもできる効果がある。
【００３５】
また、本発明は、測定対象物の上側及び下側に前記合焦機構を設けた請求項１に記載の構成を有することにより、測定対象物の上側及び下側に設けた合焦機構によって、測定対象物の上側の表面及び下側の表面に焦点を合わせて、測定対象物の厚さを測定することができる効果がある。
【００３６】
また、本発明は、測定対象物の少なくとも上側の合焦機構の第２対物レンズ側に開閉可能な遮蔽板を設けた請求項１又は２に記載の構成を有することにより、第２対物レンズ側を遮蔽板によって遮蔽することによって、参照鏡への光束が遮断されて干渉縞が発生しないから、測定対象物側の第１対物レンズからの像のみが結象されて明視野顕微鏡として使用することができる効果がある。特に、測定対象物のＸＹ測定時には干渉縞が発生しないので測定し易い。
【００３７】
また、本発明は、前記参照鏡を焦点方向に調整可能に設けると共に、２対の押ねじにより光軸に対して上下方向及び左右方向に調整可能に設けた請求項１乃至３のいずれかに記載の構成を有することにより、２対の押ねじを操作することにより参照鏡の方向を容易に微調整することができ、参照鏡の方向を調整して干渉縞を発生させるための向き及び間隔を微調整することができる効果がある。
【００３８】
また、本発明は、測定対象物の上側及び下側の前記合焦機構に測長器を設け、これらの測長器の値から測定対象物の厚さを演算する演算処理機能を備えた請求項２乃至４のいずれかに記載の構成を有することにより、測長器により対物レンズの位置を測ることができ、合焦時の上側の対物レンズの位置と下側の対物レンズの位置から演算処理機能によって測定対象物の厚さを求めることができる効果がある。
【００３９】
また、本発明は、測定対象物をＸＹ方向に動かすＸＹステージを設けると共に、該ＸＹステージに測長器を設けた請求項１乃至５のいずれかに記載の構成を有することにより、ＸＹステージに測長器を設けたから、測定対象物のＸＹ方向の位置を測ることができ、測定対象物の測定箇所をＸＹ方向の数値により把握することができる効果がある。また、パソコンと接続して、測定対象物のＸＹ方向の位置をパソコン管理することができる効果もある。
【００４０】
また、本発明は、対物レンズ筒を駆動する駆動系のスライダー部に直接接続して測長器を設けた請求項１乃至６のいずれかに記載の構成を有することにより、対物レンズ筒を駆動する駆動系のスライダー部の移動を測長器により直接測るから、測長器による測定誤差を小さくすることができる効果がある。
【００４１】
また、本発明は、前記対物レンズの結像位置にＣＣＤカメラを設けた請求項１乃至７のいずれかに記載の構成を有することにより、ＣＣＤカメラによってモニターを通して干渉縞の発生を確認することができるから、容易に合焦操作を行うことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明非接触測定装置の一実施例を示す正面図
【図２】その一実施例を示す側面図
【図３】その一実施例の要部を示す一部縦断正面図
【図４】その要部を示す一部横断正面図
【図５】その要部の詳細を示す一部縦断正面図
【図６】その詳細を示す一部横断平面図
【図７】その詳細を示す側面図
【図８】その一実施例の駆動系を示す一部縦断側面図
【図９】その駆動系を示すＡ−Ａ線断面図
【符号の説明】
１　光源
２　ビームスプリッター
３　参照鏡
４　第１対物レンズ
５　第２対物レンズ
６　測定対象物
７　ＸＹステージ
８　ＣＣＤカメラ
９　モニター
１０　合焦機構
１１　ライトガイド
１２　コンデンサレンズ
１３　遮蔽部
１４　回転軸
１５　遮蔽板
１６　プランジャー
１７　開閉用ハンドル
１８　凹部
１９　角度調整機構
２０，２１　割り溝
２２，２３　押ねじ
２４　調整ねじ
２５　駆動機構
２６　対物レンズ筒
２７　粗動ハンドル
２８　微動ハンドル
２９，３０，３１　歯車
３２　直動ラック
３３　スライダー部
３４　スライダー
３５　摺動部
３６　測長器
３７　当て金具
３８　測長ロッド
３９　測長器
４０　計測パネル
４１　光源スイッチ
４２　調光ボリューム
４３　スケールカウンター
４４　ＸＹ軸カウンター
４５　ロックハンドル
４６　ビームスプリッターケース
４７　支持部
４８　透孔
４９　回転基板
５０　歯車
５１　バネ
５２　調整ビス
５３　参照鏡保持具
５４　Ｖ溝
５５　ガイドピン
５６　駆動軸
５７　軸メタル
５８　スリ割部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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