(57)【要約】【課題】シールダイヤフラムの接合信頼性を高く維持しながら，コストを抑制した圧力センサを提供すること。【解決手段】圧力センサは，感圧素子を配置した受圧面を有するコネクタハウジングと，コネクタハウジングを挿入するよう構成したセンサハウジング４０と，コネクタハウジングとセンサハウジング４０との間に形成される空間を，シールダイヤフラム５０によって密閉してなる圧力室とを有するセンサである。この圧力センサは，センサハウジング４０に圧入され，センサハウジング４０との間で径方向の応力を作用した状態で固定する固定部材５１を有してなる。そして，シールダイヤフラム５０は，センサハウジング４０と固定部材５１との間に挟持される挟持部５０１を有している。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
感圧素子を配置した受圧面を有するコネクタハウジングと，該コネクタハウジングを挿入するよう構成したセンサハウジングと，上記コネクタハウジングの上記受圧面と上記センサハウジングとの間に形成される空間を，シールダイヤフラムにより密閉してなる圧力室とを有する圧力センサにおいて，該圧力センサは，上記コネクタハウジング又は上記センサハウジングのうちのいずれか一方の圧入用のハウジングに圧入され，該圧入用のハウジングとの間で径方向の応力を作用した状態で固定した固定部材を有してなり，
上記シールダイヤフラムは，上記圧入用のハウジングと上記固定部材との間に挟持される挟持部と，シール材を介設して上記圧入用のハウジングの表面と接触するシール当接面とを有してなることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
請求項１において，上記シールダイヤフラムは，作用する圧力に応じてストロークするよう構成した略円板状のダイヤフラム部を有してなり，上記挟持部は，上記ダイヤフラム部の外周縁から延設された筒状を呈しており，
上記圧入用のハウジングと上記固定部材との間の径方向の応力は，上記シールダイヤフラムの上記挟持部を介在して作用していることを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
請求項２において，上記固定部材をなす材料の線膨張係数は，上記圧入用のハウジングをなす材料の線膨張係数に対して，０．５〜２．０倍の値であることを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において，上記シールダイヤフラムの上記シール当接面は，上記挟持部に配置してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において，上記シール材は，上記圧入用のハウジングの表面とシール当接面とを接着する接着力を有してなることを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，シールダイヤフラムによってシールされた圧力室を備えた圧力センサに関する。
【０００２】
【従来技術】
従来，圧力センサとしては，例えば，シールダイヤフラムにより密閉した圧力室内に，圧力伝達媒体を充填すると共に，感圧素子等を配置してなるセンサがある（例えば，特許文献１参照。）。
上記シールダイヤフラムは，計測対象の圧力が作用した際，圧力室内の圧力と計測対象の圧力とが略一致するように微小にストロークするように構成してある。
そして，上記の圧力センサは，圧力室内の圧力伝達媒体の圧力を上記感圧素子等により計測することで，間接的に計測対象の圧力を計測し得るように構成してある。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１３９９８号公報（明細書中の段落番号「００１４」〜「００１８」，第１図）
【０００４】
【解決しようとする課題】
しかし，上記従来の圧力センサについては，次のような問題がある。すなわち，シールダイヤフラムの接合信頼性や，圧力室のシール性を高く維持するためには，レーザ溶接によりシールダイヤフラムを接合する等，高コストな接合工程が必要になる。
一般に，レーザの照射によりシールダイヤフラムの母材自体を溶融させて接合するレーザ溶接等の溶融接合を実施しようとすると，レーザ装置等，高価な生産設備が必要となり，生産コストの抑制が困難である。
【０００５】
さらにまた，レーザ溶接等による溶融接合の場合には，一般的に，接合箇所に対して局所的に大きな熱エネルギーを供給する必要がある。そのため，接合後のシールダイヤフラムに残留応力が生じ，この残留応力に起因してシールダイヤフラムの物理的特性の変化や，耐久性等の低下を生じるおそれがある。
また，溶接金属がオーステナイト系ステンレス等の場合，溶接時の熱により合金中のＣｒが不足し，粒界腐食を発生しやすくなるという問題もある。
【０００６】
そこで，上記圧力センサの製造に当たって，上記粒界腐食を抑制するために，溶体化処理等の特別な対策を実施する場合もある。
しかし，圧力センサの製造工程に，これらの対策を施す工程を追加すると，さらなる生産効率の低下を招来し，圧力センサの生産コストの上昇を招くおそれがある。
【０００７】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，シールダイヤフラムの接合信頼性を高く維持しながら，コストを抑制した圧力センサを提供しようとするものである。
【０００８】
【課題の解決手段】
本発明は，感圧素子を配置した受圧面を有するコネクタハウジングと，該コネクタハウジングを挿入するよう構成したセンサハウジングと，上記コネクタハウジングの上記受圧面と上記センサハウジングとの間に形成される空間を，シールダイヤフラムにより密閉してなる圧力室とを有する圧力センサにおいて，
該圧力センサは，上記コネクタハウジング又は上記センサハウジングのうちのいずれか一方の圧入用のハウジングに圧入され，該圧入用のハウジングとの間で径方向の応力を作用した状態で固定した固定部材を有してなり，
上記シールダイヤフラムは，上記圧入用のハウジングと上記固定部材との間に挟持される挟持部と，シール材を介設して上記圧入用のハウジングの表面と接触するシール当接面とを有してなることを特徴とする圧力センサにある（請求項１）。
【０００９】
本発明の上記圧力センサでは，上記固定部材と，該固定部材を圧入した上記圧入用のハウジングとの間に上記挟持部を挟持した状態で，上記シールダイヤフラムを固定してある。
そのため，上記圧力センサでは，上記シールダイヤフラムのシール当接面と，上記圧入用のハウジングの表面との接触状態が変動するおそれが少ない。
【００１０】
そして，上記圧力センサでは，上記シールダイヤフラムの上記シール当接面と，上記圧入用のハウジングの表面との間にシール材を充填してある。
そのため，上記圧力センサでは，上記シール当接面と上記圧入用のハウジングの表面との間を，上記シール材により確実に封止し，上記圧力室の耐圧性を高く確保することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の上記シール材としては，フッ素系接着剤，エポキシ系接着剤，合成ゴム系接着剤等のシール材料を適用することができる。
また，上記シールダイヤフラムは，作用する圧力に応じてストロークするよう構成した略円板状のダイヤフラム部を有してなり，上記挟持部は，上記ダイヤフラム部の外周縁から延設された筒状を呈しており，
上記圧入用のハウジングと上記固定部材との間の径方向の応力は，上記シールダイヤフラムの上記挟持部を介在して作用していることが好ましい（請求項２）。
この場合には，上記圧入用のハウジングと上記固定部材との間で径方向の応力が作用する当接箇所に，上記シールダイヤフラムの上記挟持部を配置することにより，該挟持部に上記径方向の応力を作用させた状態で，上記シールダイヤフラムをさらに強固に固定することができる。
【００１２】
また，上記固定部材をなす材料の線膨張係数は，上記圧入用のハウジングをなす材料の線膨張係数に対して，０．５〜２．０倍の値であることが好ましい（請求項３）。
この場合には，上記固定部材を上記圧入用のハウジングに圧入する際に，上記圧入用のハウジングと上記固定部材との間に発生する応力による歪みは，その後の温度変化による寸法変化によって大きく変化せず，固定部材に過度の応力がかかったり，逆にゆるんだりすることを抑制することができる。
そのため，上記固定部材の圧入時に発生し得る応力に起因して起こり得る上記シールダイヤフラムの物理的特性の変化や，耐久性の低下等を抑制することができる。
【００１３】
なお，上記圧入用のハウジングの材質と，上記固定部材の材質との組み合わせとしては，黄銅よりなる圧入用のハウジングと，黄銅又はＰＢＴ，ＰＰＳ，ＰＡ等の樹脂よりなる固定部材との組み合わせや，鉄又はステンレス鋼よりなる圧入用のハウジングと，鉄，黄銅，ＰＢＴ，ＰＰＳ，ＰＡ等の樹脂又はステンレス鋼よりなる固定部材との組み合わせなどが好ましい。
【００１４】
また，上記シールダイヤフラムの上記シール当接面は，上記挟持部に配置してあることが好ましい（請求項４）。
この場合には，上記挟持部を介して上記圧入用のハウジングと上記固定部材との間に作用する上記径方向の応力を，上記シール当接面と上記圧入用のハウジングの表面との間隙に配設したシール材に作用することができる。
そして，応力を印加してなるシール材によれば，上記シール当接面に面した間隙のシール性をさらに向上することができる。
【００１５】
また，上記シール材は，上記圧入用のハウジングの表面とシール当接面とを接着する接着力を有してなることが好ましい（請求項５）。
この場合には，上記シール材の接着力の作用により，上記圧入用のハウジングの表面に対して，上記シールダイヤフラムの上記シール当接面を接合することで，上記圧力室のシール性をさらに確実なものとすることができる。
【００１６】
【実施例】
（実施例１）
本発明の実施例にかかる圧力センサ１について，図１〜図７を用いて説明する。
本例の圧力センサ１は，図７に示すごとく，感圧素子２０を配置した受圧面３２を有するコネクタハウジング３０と，該コネクタハウジング３０を挿入するよう構成したセンサハウジング４０と，コネクタハウジング３０の受圧面３２とセンサハウジング４０との間に形成される空間を，シールダイヤフラム５０によって密閉してなる圧力室５２とを有する圧力センサ１である。
【００１７】
この圧力センサ１は，図７に示すごとく，コネクタハウジング３０又はセンサハウジング４０のうちのいずれか一方の圧入用のハウジング（本例ではセンサハウジング４０）に他方のハウジングが圧入され，該圧入用のハウジングとの間で径方向の応力を作用した状態で圧入固定した固定部材５１を有してなる。
そして，本例のシールダイヤフラム５０は，図２に示すごとく，圧入用のハウジングと固定部材５１との間に挟持される円筒状の挟持部５０１を有していると共に，シール材を介設して圧入用のハウジングの表面と接触するシール当接面５０５を有してなる。
以下，この内容について詳しく説明する。
【００１８】
本例の圧力センサ１は，図７に示すごとく，シールダイヤフラム５０を組み付けたセンサハウジング４０に，ターミナルピン１０と感圧素子２０とを有するコネクタハウジング３０を挿入して組み立てたセンサである。
この圧力センサ１は，シールダイヤフラム５０に作用する圧力を，圧力室５２内に封入した圧力伝達媒体を介して感圧素子２０に伝達するように構成してある。
【００１９】
ここで，本例の感圧素子２０は，シリコン基板上において，該シリコン基板を精密にエッチングしてなるセンサダイヤフラムと，シリコン層を加工してなる歪みゲージとを形成した素子である。
そして，該感圧素子２０は，圧力伝達媒体の圧力の作用によりセンサダイヤフラムに生じた歪みを，上記歪みゲージで計測することによりセンサダイヤフラムに作用した圧力の大きさを計測できるように構成してある。
なお，感圧素子２０としては，上記の素子に限定されるものではなく，その他，作用する圧力に応じて電気的な抵抗値を変化する圧力抵抗効果素子を利用することもできる。
【００２０】
上記センサハウジング４０は，図１に示すごとく，ステンレススチールよりなり，軸芯方向に貫通する貫通孔を有する略円柱外形状を呈する部材である。
このセンサハウジング４０は，同図に示すごとく，上記コネクタハウジング３０（図６参照。）を挿入する側に，その挿入部３５を収容するための凹部４５と，該凹部４５に収容配置した挿入部３５の端部に係合し，該挿入部３５をカシメ固定するカシメ部４１とを有している。
【００２１】
センサハウジング４０における凹部４５は，図１に示すごとく，コネクタハウジング３５の挿入先端部３５１（図６参照。）を挿入する略円柱形状の第１凹部４５１と，該第１凹部４５１よりも大径の略円柱形状であって，コネクタハウジング３５の挿入基部３５３（図６参照。）を挿入するよう構成した第２凹部４５３とを有している。
【００２２】
そして，第２凹部４５３と第１凹部４５１との間には，図１に示すごとく，第１凹部４５１から第２凹部４５３に向けて内径が徐々に拡径するセンサテーパ面４５２を形成してある。
なお，本例では，センサテーパ面４５２の傾きは，コネクタハウジング３０の上記挿入先端部３５１に配設されたＯリング５０（図７）を第１凹部４５１に滑らかに挿入できるよう上記挿入方向とのなす角を２５度に設定してある。
【００２３】
上記第１凹部４５１の底部は，図１に示すごとく，該第１凹部４５１よりもわずかに小径の圧入部４５６と，該圧入部４５６よりもさらに小径のシール部４５７とからなる３重底の構造に形成してある。
ここで，センサハウジング４０における圧入部４５６とシール部４５７との間には，軸方向に略直交する棚面状の受け面４５８を形成してある。
【００２４】
上記圧入部４５６及び上記シール部４５７は，それぞれ，後述する固定部材５１（図３）を圧入するように構成した部分である。
圧入部４５６は，固定部材５１の小径端部５１１（図３）を収容するように構成してある。
シール部４５７は，シールダイヤフラム５０のシール当接面５０５（図２）と接触した状態で，固定部材５１の嵌合部５１２（図３）を収容するように構成してある。
そして，固定部材５１を圧入した際に，上記圧入部４５６及びシール部４５７は，固定部材５１の外周面に対して径方向の応力を作用するように構成してある。
【００２５】
また，センサハウジング４０における被計測環境４４側には，図１に示すごとく，圧力計測対象としての流体，気体等を導入する圧力導入孔４４１を穿孔してある。
この圧力導入孔４４１は，その底部に開口する連通孔４４０を介して，上記凹部４５と連通し，内周面に形成した雄ねじ部４４２を介してネジ結合した配管パイプ等と連通するように構成してある。
【００２６】
上記シールダイヤフラム５０は，図２に示すごとく，析出硬化型ステンレス材ＡＳＬ３５０よりなる板厚０．０２５ｍｍの平板状の部材を加工してなるものである。
このシールダイヤフラム５０は，軸方向に短い略円筒形状を呈する挟持部５０１と，該挟持部５０１の軸方向の一方の端部において有底の端面をなし，受圧面として機能するダイヤフラム板部５０２と，他方の端部において，径方向の外方に向けてツバ状に拡がるツバ部５０８とからなる。
【００２７】
該ツバ部５０８は，シールダイヤフラム５０をセンサハウジング４０に組み付けた際に，図４に示すごとく，センサハウジング４０の棚面状の受け面４５８に対面し，当接するように構成してある。
また，上記円筒形状を呈する挟持部５０１は，その外周面であるシール当接面５０５と上記小径部４５７の内周面とが隙間なく接触するように構成してある。
【００２８】
上記固定部材５１は，図３に示すごとく，ＰＢＴ樹脂よりなり，中央に貫通孔５１０を形成してなる略円板状の部材である。
この固定部材５１は，センサハウジング４０のシール部４５７（図１）に嵌合する小径端部５１１と，圧入部４５６（図１）に嵌合する嵌合部５１２とを，軸方向に隣接して有してなる。
【００２９】
そして，固定部材５１におけるコネクタハウジング３０側となる端面（図７参照。）の外周には，図３に示すごとく，コネクタハウジング３０と組み合わせたとき，そのリング溝３５０（図６）と一体となり，Ｏリング８０（図７）を配置する溝形状を構成するリング溝５１５を形成してある。さらに，この端面の内周には，ボンディングワイヤ２０１（図６）との干渉を避けるためのリング状の凹みである凹部５１６を形成してある。
【００３０】
ここで，センサハウジング４０，シールダイヤフラム５０及び固定部材５１の組み付け構造について，その組み付け手順に沿って説明する。
センサハウジング４０に，シールダイヤフラム５０と固定部材５１とを組み付けるに当たっては，図４に示すごとく，まず，シール当接面５０５にシール材を塗布したシールダイヤフラム５０を，凹部４５の底部に配置する。
ここでは，シールダイヤフラム５０のツバ部５０８が，上記受け面４５８に接触し，軸方向の位置が規制されるようにシールダイヤフラム５０を配置する。
なお，本例では，上記シール材としては，接着性を有するフッ素系接着剤を用いた。
【００３１】
その後，図５に示すごとく，さらに固定部材５１を凹部４５に収容することで，該固定部材５１とセンサハウジング４０との間でシールダイヤフラム５０を挟持して固定する。
ここで，本例の圧力センサ１では，固定部材５１の小径端部５１１とセンサハウジングのシール部４５７とが，シールダイヤフラム５０の挟持部５０１を介設した状態で嵌合すると共に，固定部材５１の嵌合部５１２とセンサハウジング４０の圧入部４５６とが嵌合するように固定部材５１を構成してある。
【００３２】
コネクタハウジング３０は，図６に示すごとく，ＰＰＳ樹脂よりなり，感圧素子２０と電気的に接続するターミナルピン１０をインサート成形してなると共に，センサハウジング４０（図２）に挿入する挿入部３５と，外部機器のコネクタ（図示略）と電気的に接続するためのソケット部３００とを有している。
【００３３】
次に，コネクタハウジング３０における挿入部３５は，上記挿入方向に略平行な軸を中心とした略円柱形状の挿入基部３５３と，該挿入基部３５３よりも小径である略円柱形状の挿入先端部３５１とを有している。そして，該挿入先端部３５１と挿入基部３５３との間には，コネクタテーパ面３５２を配設してある。
【００３４】
さらに，この挿入先端部３５１には，図６に示すごとく，その外周面に，圧力室４２を密閉するためのＯリング８０及びバックアップリング８１（図７）を配設するためのリング溝３５０を設けてある。
なお，本例のリング溝３５０は，上記挿入方向の壁面がない不完全な溝形状を呈しており，上記固定部材５１と組み合わせて完全な溝形状が形成されるよう構成してある。
【００３５】
ソケット部３００は，図６に示すごとく，外部機器（図示略）と電気的に接続するための外部コネクタ（図示略）を挿入するように構成してあると共に，該ソケット部３００の内部には，それぞれのターミナルピン１０における一方の端部を突出させてある。
そして，それぞれのターミナルピン１０は，ソケット部３００に挿入された上記外部コネクタの各電極と電気的に接触するよう構成してある。
【００３６】
コネクタハウジング３０の挿入方向の端面である受圧面３２には，図６に示すごとく，凹状にへこむ部分であって，感圧素子２０を配設するための配設部３２０を設けてある。
そして，受圧面３２における配設部３２０の外周側には，さらに，受圧面３２に向けて突出する３本のターミナルピン１０をそれぞれ配置する３箇所のピン凹部３２２を形成してある。
そしてさらに，受圧面３２における配設部３２０及びピン凹部３２２を除く部分には，略均一面を呈する当たり面３２１を形成してある。
【００３７】
上記配設部３２０の底面には，図６に示すごとく，感圧素子２０を接合してある。そして，この感圧素子２０は，ピン凹部３２２にそれぞれ収容したターミナルピン１０とボンディングワイヤ２０１を介して電気的に接続してある。
なお，上記のターミナルピン１０としては，電源用，グランド用及び信号出力用の３本がある。そして，本例のこれらのターミナルピン１０は，それぞれソケット部３００から受圧面３２へとコネクタハウジング３０を貫通するよう，インサート成形によってコネクタハウジング３０内に配置してある。
さらになお，受圧面３２に露出する各ターミナルピン１０とＰＰＳ樹脂との境界部は，フッ素系シール材からなるシール層３２３によりシールしてあり，圧力室５２（図７）の気密性を，十分に保持し得るように構成されている。
【００３８】
上記のごとく構成したコネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とを組み合わせてなる圧力センサ１では，図７に示すごとく，コネクタハウジング３０を挿入したセンサハウジング４０のカシメ部４１を内径方向に変形させることにより，両者を固定してある。
すなわち，内径方向に変形したカシメ部４１をコネクタハウジング３０の挿入基部３５３に係合させることにより，センサハウジング４０とコネクタハウジング３０とを固定してある。
【００３９】
また，コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０とは，図７に示すごとく，それぞれが有するコネクタテーパ面３５２及びセンサテーパ面４５２を相互に当接することにより，両者の挿入方向の位置を規制してある。
さらに，本例の圧力センサ１では，その位置決め精度を高めるため，コネクタテーパ面３５２とセンサテーパ面４５２との間に挿入方向の荷重を作用させた状態で組み立ててある。
【００４０】
そして，この圧力センサ１では，図７に示すごとく，コネクタハウジング３０と，センサハウジング４０に組み付けたシールダイヤフラム５０とが対峙する空間に，圧力室５２が形成されている。
この圧力室５２には，上記圧力伝達媒体としてシリコンオイルを充填してある。そして，この圧力室５２は，挿入先端部３５１に配設されたリング溝３５０（図６）と，第１凹部４５１（図１）との間隙に装着されたＯリング８０及びバックアップリング８１によりシール性高く密閉してある。
特に，本例のＯリング８０は，高圧にも耐え得るように，リング溝３５０における挿入方向の反対側の端面に係合するバックアップリング８１により保持してある。
【００４１】
以上のごとく構成した圧力センサ１を用いて圧力を計測するに当たっては，該圧力センサ１を，センサハウジング４０に設けたねじ部４４２を介して，圧力計測対象としての流体等を収容する配管パイプ等に取り付ける。
この圧力センサ１は，計測対象である流体を，圧力導入孔４４１を経由してシールダイヤフラム５０側に導入し，その圧力をシールダイヤフラム５０を介して圧力室５２内の圧力伝達媒体に伝達するように構成してある。
【００４２】
特に，本例の圧力センサ１では，上記の固定部材５１を利用して，シールダイヤフラム５０をセンサハウジング４０に強固に固定してある。
固定部材５１は，嵌合部５１２及び小径端部５１１の外周面に対して，センサハウジング４０から径方向の応力が作用した状態で，その収容部４５に嵌合している。そして，固定部材５０の小径端部５１１と，センサハウジング４０のシール部４５７との間には，上記径方向の応力を作用した状態で，シールダイヤフラム５０の挟持部５０１を配置してある。
そのため，センサハウジング４０に対するシールダイヤフラム５０の固定状態は，確実かつ強固である。
【００４３】
さらに，上記径方向の応力を作用して，相互に密着させた挟持部５０１の外周面であるシール当接面５０５と，シール部４５７の内周面との間には，接着性を有するシール材を配設してある。
そのため，本例の圧力センサ１では，シールダイヤフラム５０のシール当接面５０５と，センサハウジング４０のシール部４５７との間を確実にシールして，上記圧力室５２の密閉性を確実に保持し得る。
【００４４】
特に，接着性を有する上記シール材によれば，コネクタハウジング３０に対してシールダイヤフラム５０をさらに強固に接合でき，接合信頼性をさらに向上することができる。
なお，上記シール材として，本例では，接着性を有するものを適用したが，これに代えて，接着性のないシール材を適用することもできる。
本例のシールダイヤフラム５０は，固定部材５１により強固に固定してあるため，シール材の接着力の有無によらず，十分なシール性を実現することができる。
【００４５】
以上のごとく，本例の圧力センサ１では，レーザ溶接等の溶融接合によらず，機械的な嵌合構造を利用してシールダイヤフラム５０を確実性高く固定してある。
そのため，本例のシールダイヤフラム５０の接合構造は，生産コスト及び生産効率が高く，圧力センサ１全体のコスト抑制に貢献し得る構造である。
【００４６】
なお，本例のシールダイヤフラム５０では，円筒形状を呈する挟持部５０１の外周面にシール当接面５０５を配置した。
これに代えて，該シール当接面５０５の配置はそのままにして，上記センサハウジング４０と固定部材５１との間に上記ツバ部５０８を挟持することによりシールダイヤフラム５０を固定するよう，上記圧力センサ１を構成することもできる。
【００４７】
（実施例２）
本例は，実施例１の圧力センサを基にして，圧入用のハウジングをコネクタハウジングに変更して構成した例である。本例について，図８〜図１４を用いて説明する。
本例の圧力センサ１は，図１４に示すごとく，センサハウジング４０に，シールダイヤフラム６０を組み付けてなるコネクタハウジング３０を挿入して組み立てたセンサである。
【００４８】
本例のコネクタハウジング３０は，図８に示すごとく，実施例１のコネクタハウジングを基にして，挿入部３５の構造を変更したものである。
本例の挿入部３５は，ソケット部３００側の略円柱形状の挿入基部３５３と，該挿入基部３５３よりも小径の略円柱形状の圧入部３５１とからなる。
そして，この圧入部３５１に対しては，後述する固定部材６１（図１０）を嵌合するように構成してある。
【００４９】
本例のシールダイヤフラム６０は，図９に示すごとく，略円筒状を呈する挟持部６０１の軸方向の一方の端部に底面を設けてなり，全体として有底の略円筒形状を呈している。このシールダイヤフラム６０は，コネクタハウジング３０の圧入部３５１（図８）に被せるように構成してある。
【００５０】
そして、このシールダイヤフラム６０の底面は、その外周に配置された棚面状を呈する受け面６０８と，該受け面６０８の内周に配置されると共に，受け面６０８よりもさらに奥まって形成されたダイヤフラム板部６０２とを組み合わせてなる。
このダイヤフラム板部６０２は，圧力の作用により微小にストロークするように構成してある。
【００５１】
上記のシールダイヤフラム６０は，図１１及び図１２に示すごとく，該シールダイヤフラム６０を上記コネクタハウジング３０に組み付けたとき，上記受け面６０８が，コネクタハウジング３０の受圧面３２の当たり面３２１に当接することにより，シールダイヤフラム６０の軸方向の位置を規制できるように構成してある。
また，上記円筒形状を呈する挟持部６０１は，その内周面であるシール当接面６０５と，上記コネクタハウジング３０の上記圧入部３５１の外周面とが隙間なく当接するように構成してある。
【００５２】
上記固定部材６１は，図１０に示すごとく，ＰＢＴ樹脂よりなり，中央に貫通孔６１０を形成してなる略円柱状の部材である。
固定部材６１におけるコネクタハウジング３０側の端面には，シールダイヤフラム６０を外挿したコネクタハウジング３０の圧入部３５１に圧入するための凹状にへこむ有底の圧入部６１２を形成してある。
【００５３】
該圧入部６１２の底面は，外周に位置する浅い部分と，その内周に位置する深い部分とからなる２段底形状を呈している。
ここで，外周側に位置する棚面状の当たり面６１８は，図１１及び図１２に示すごとく，シールダイヤフラム６０を介在して，コネクタハウジング３０の受圧面２１の当たり面３２１に対面するように構成してあり，固定部材６１の圧入位置を規制する規制面として機能する面である。
【００５４】
また，固定部材６１における当たり面６１８の内周側には，図１０に示すごとく，シールダイヤフラム６０のダイヤフラム板部６０２との干渉を避け得るよう，上記当たり面６１８からさらに凹む部分を形成してある。
そして，圧入部６１２の底面には，固定部材６１の軸方向に貫通する貫通孔６１０を穿孔してある。
さらに，固定部材６１におけるコネクタハウジング３０と反対側の端面には，上記貫通孔６１０の外周側に，シール用のＯリング８０を配置するためのリング状のＯリング溝６１５を形成してある。
【００５５】
ここで，コネクタハウジング３０，シールダイヤフラム６０及び固定部材６１の組み付け構造について，その組み付け手順に沿って説明する。
コネクタハウジング３０に，シールダイヤフラム６０と固定部材６１とを組み付けるに当たっては，図１１に示すごとく，まず，略円筒形状を呈する挟持部６０１の内周面をなすシール当接面６０５にシール材を塗布したうえ，シールダイヤフラム６０を圧入部３５１に外挿する。
ここでは，シールダイヤフラム６０の受け面６０８が，コネクタハウジング３０の当たり面３２１に当接し，軸方向の位置が規制された状態でシールダイヤフラム６０を装着する。
【００５６】
その後，図１２に示すごとく，シールダイヤフラム６０を外挿した圧入部３５１に対して，さらに固定部材６１を圧入することで，該固定部材６１とコネクタハウジング３０との間において，両者間の径方向の応力が作用した状態で，シールダイヤフラム６０の挟持部６０１を固定する。
【００５７】
次に，上記センサハウジング４０は，図１３に示すごとく，ステンレススチールよりなる略円柱外形状を呈する部材である。このセンサハウジング４０は，軸芯方向に貫通し，固定部材６１の貫通孔６１０（図１０）に連通するよう構成した連通孔４４０を有してなる。
センサハウジング４０のコネクタハウジング３０側には，固定部材６１（図１０）を外挿した挿入部３５を挿入する略円柱形状を呈する凹部４５と，該凹部４５に挿入した挿入部３５を固定するためのカシメ部４１とを有している。
【００５８】
センサハウジング４０における凹部４５の底面の中央には，図１３に示すごとく，上記固定部材６１の貫通孔６１０（図１０）と略同一径をなし，該貫通孔６１０と相互に連通する連通孔４４０を穿孔してある。
そして，凹部４５の底面は，上記固定部材６１のリング溝６１５（図１０）に配置するＯリング８０（図１４）のシール面をなすよう略平坦面として構成してある。
【００５９】
以上のごとく，本例の圧力センサ１では，固定部材６１の圧入部６１２の内周面に対して，コネクタハウジング３０から径方向の応力が作用した状態で固定部材６１を組み付けてある。
また，上記の圧力センサ１では，固定部材６１の圧入部６１２と，コネクタハウジング３０の圧入部３５１との間には，シールダイヤフラム６０の挟持部６０１を配置してある。
そのため，本例の圧力センサ１では，コネクタハウジング３０に対して，シールダイヤフラム６０を強固に固定することができる。
【００６０】
さらに，シールダイヤフラム６０の挟持部６０１の内周に配置されたシール当接面６０５と，コネクタハウジング３０の圧入部３５１の外周面との間には，接着性を有するシール材を配設してある。
そのため，コネクタハウジング３０とシールダイヤフラム６０との間隙をシール材によりシールすることにより，圧力室６２の気密性を高く維持することができる。
なお，その他の構成及び作用効果については実施例１と同様である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，センサハウジングの構造を示す断面図。
【図２】実施例１における，シールダイヤフラムの構造を示す断面図。
【図３】実施例１における，固定部材の構造を示す断面図。
【図４】実施例１における，センサハウジングと，シールダイヤフラムと，固定部材との組み付け構造を示す説明図。
【図５】実施例１における，シールダイヤフラム及び固定部材を組み付けたセンサハウジングの構造を示す断面図。
【図６】実施例１における，コネクタハウジングの構造を示す断面図。
【図７】実施例１における，圧力センサの構造を示す断面図。
【図８】実施例２における，コネクタハウジングの構造を示す断面図。
【図９】実施例２における，シールダイヤフラムの構造を示す断面図。
【図１０】実施例２における，固定部材の構造を示す断面図。
【図１１】実施例２における，コネクタハウジングと，シールダイヤフラムと，固定部材との組み付け構造を示す説明図。
【図１２】実施例２における，シールダイヤフラム及び固定部材を組み付けたコネクタハウジングの構造を示す断面図。
【図１３】実施例２における，センサハウジングの構造を示す断面図。
【図１４】実施例２における，圧力センサの構造を示す断面図。
【符号の説明】
１．．．圧力センサ，
１０．．．ターミナルピン，
２０．．．感圧素子，
３０．．．コネクタハウジング，
４０．．．センサハウジング，
４１．．．かしめ部，
４５．．．収容部，
５０，６０．．．シールダイヤフラム，
５１，６１．．．固定部材，
５０１，６０１．．．挟持部，
５０２，６０２．．．ダイヤフラム板部，
５０５，６０５．．．シール当接面，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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