(57)【要約】　　　（修正有）【課題】密閉蓋の開閉時に発生するシール用パッキンの外れを防止し、密閉蓋の自動開閉が円滑に行われ、自動搬送装置と併せてＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｓｈｉｐｐｉｎｇ　Ｂｏｘ）からウエーハの取り出し、収納が確実に行われる密閉蓋のパッキン外れ防止装置を提供する。【解決手段】収納容器２の密閉蓋３が開いた位置において、パッキン押さえ治具７を駆動シリンダ８を用いて、上下駆動させるか、または、密閉蓋３自体が上下駆動する場合、パッキン押さえ治具７を所定の位置に固定設置し、密閉蓋３の上下駆動により外れかけたパッキンを押さえつけることによりパッキンを元の位置にはめ込み、パッキン外れを防止する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉構造を有する収納容器の密閉蓋が開いた後、パッキン押さえ治具を上下駆動させることにより、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンを押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする密閉蓋のパッキン外れ防止装置。
【請求項２】
パッキン押さえ治具を上下駆動させるものとして駆動シリンダーを用いた請求項１記載の密閉蓋のパッキン外れ防止装置。
【請求項３】
密閉構造を有する収納容器の密閉蓋の開閉動作において、密閉蓋自体が上下駆動する場合、パッキン押さえ治具を所定の位置に固定設置し、密閉蓋の上下駆動により、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンを押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする密閉蓋のパッキン外れ防止装置。
【請求項４】
パッキン押さえ治具のパッキンを押さえつける先端部をテーパー形状とする請求項１，２，３記載の密閉蓋のパッキン外れ防止装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板基板（以下、「ウエーハ」という。）を密閉収納するウエーハ収納容器ＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｓｈｉｐｐｉｎｇ　Ｂｏｘ）の密閉蓋を自動開閉する際の密閉用パッキン外れを防止する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体装置の製造にあたり、ウエーハは、ますます大口径化し、直径３００ｍｍウエーハが通常ロットで流されるようになってきている。また高集積化による微細化も進むにつれ、さらに超クリーン搬送が要求されるようになった。それとともにウエーハ収納容器は、ますます大型化し、且つ収納容器内のウエーハのクリーン度を維持するために密閉構造となっている。ウエーハ搬送における自動化の推進により、これに適合するウエーハ収納容器の密閉蓋を開閉する自動開閉装置（以下、「オープナー」という。）が要求されており、ウエーハの自動搬送装置と組み合わさって一連のウエーハ処理プロセスが行なわれている。
【０００３】
ウエーハ収納容器としてウエーハメーカーから半導体デバイスメーカーにウエーハを納入するための密閉構造の収納容器としてＦＯＳＢがあり，各ウエーハメーカーが出荷用ＦＯＳＢを使用している。ＦＯＳＢとして例えば、図３に示す。ＦＯＳＢ本体２とフック１１を有する密閉蓋３からなり、ＦＯＳＢ本体２と密閉蓋３の密閉を確保するため密閉蓋３にはシール用パッキンが取り付けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のＦＯＳＢのオープナーでは、密閉蓋を開閉するときに、特に、密閉蓋を開くときに、ウエーハ収納容器を密閉するためのシール用パッキンが密閉蓋から外れることがあり、実用に際して問題が多く、自動化に支障をきたしていた。
【０００５】
本発明は、密閉蓋の開閉時に発生する密閉蓋からのシール用パッキンの外れを防止し、密閉蓋の自動開閉が円滑に行われ、自動搬送装置と併せてＦＯＳＢからウエーハの取り出し、ＦＯＳＢへウエーハの収納が確実に行われるように密閉蓋のシール用パッキン外れ防止を行うことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記問題を解決する手段として本発明は、密閉構造を有する収納容器の密閉蓋が開いた後、パッキン押さえ治具を上下駆動させることにより、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンをパッキン押さえ治具により押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする。
また、パッキン押さえ治具を上下駆動させるために駆動シリンダーを用いて、パッキン外れ防止を実現する。
【０００７】
密閉構造を有する収納容器の密閉蓋の開閉動作において、密閉蓋自体が上下駆動する場合、パッキン押さえ治具を所定の位置に固定設置し、密閉蓋の上下駆動により、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンをパッキン押さえ治具により押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする。
また、パッキン押さえ治具としてパッキンを密閉蓋の元の状態にはめ込みし易くするため、パッキンの押さえこむ先端部をテーパー形状とする。
【０００８】
このように、密閉蓋を開くとき、密閉蓋のシール用パッキンが外れかけても、パッキンの外れかけた直後に矯正し、パッキンを元の状態に戻すため、自動化において次工程に移る際、何ら支障なく円滑にウエハー処理プロセスを続行することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
ＦＯＳＢの密閉蓋３を開閉するためオプナー１を用いて自動開閉を行うのであるが、密閉蓋３を開けるとき密閉のために必要なシール材のパッキン１０が密閉蓋３の溝から外れることがある。これはパッキン１０がＦＯＳＢ本体２との密着力が強く、パッキン１０が密閉蓋の溝から引き剥がされることによる。そのため、オプナー１により自動的にパッキンの外れることがなく密閉蓋を開閉することが困難であり、従って、オプナーの密閉蓋の開閉の自動化も困難であった。
【００１０】
そこで、これらの問題を解決する本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図１（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）はＦＯＳＢの密閉蓋を開く一連の工程を示す図である。ＦＯＳＢの密閉蓋３を開閉し、ＦＯＳＢ本体２内に収納されたウエーハを取り出し、ウエーハ処理装置に投入、また処理済のウエーハをＦＯＳＢ本体２内に戻し、収納する一連のハンドリング搬送プロセスを行うためにＦＯＳＢの密閉蓋の開閉を自動的に行うオプナー１（自動密閉蓋開閉装置）を用いる。
【００１１】
図１（ａ）は、ＦＯＳＢ本体２に密閉蓋３が閉じられてオプナー支持台５上のスライドテーブル４載置されている状態を示す。
図１（ｂ）は、スライドテーブル４がオープナ１に向かって移動し、ＦＯＳＢ本体２が、密閉蓋３の開かれる位置に到達し、その位置に待機している状態を示す。またこのプロセスのクリーン度を維持するためこれら一連の工程はクリーンゾーンで行われる。
【００１２】
そこで、この位置は、クリーンゾーン内にあり、密閉蓋３を開き、ＦＯＳＢ本体２内のウエハーを取り出してもウエハー自体は外気の汚染から保護される。
クリーンゾーンとは、クリーン度を必要とする対象物が存在する周囲に必要なクリーン度をクリーンベンチ等により作り出したクリーン領域をいう。ウエハーが収納容器およびウエーハ処理装置間の大気に晒される領域内（特に、密閉蓋が開き、収納容器の内部およびウエハーが外気に晒される部分）にこのクリーンゾーンを設ける。
数種類のＦＯＳＢに対応するＦＯＳＢ密閉蓋の開閉機構を有し、ＦＯＳＢ内から取り出したウエーハをウエーハ処理装置に投入、取り出す機能を有するものを前記クリーンユニット装置内に組み込み、ＦＯＳＢ内のウエーハのクリーン度を維持しつつウエーハ処理装置に投入、取り出すことができる。
【００１３】
図１（ｃ）は、ＦＯＳＢ本体２の密閉蓋３の開かれる位置において、ＦＯＳＢ本体２から密閉蓋３のフック１１が外され密閉蓋３の開かれた状態を示す。
図１（ｄ）は、駆動シリンダー８が働き、上部パッキン押さえ治具７が下降し、密閉蓋３の溝から外れかかったパッキン１０を押さえつけ元の溝にはめ込むことにより、パッキン１０の外れ防止を行う。駆動シリンダーとしてエアーシリンダー、液圧シリンダーまたは電動シリンダーを用いる。
【００１４】
また、密閉蓋３は下降し、下部に固定設置された下部パッキン押さえ治具９により密閉蓋３の下降動作により密閉蓋３の下側の外れかかったパッキン１０を元の溝にはめ込む。この場合であっても下部パッキン外れ防止治具９を駆動シリンダーを用いて、パッキン１０を元の溝にはめ込んでもよい。
【００１５】
説明では、上部パッキン押さえ治具７の下降する駆動源として駆動シリンダーを用いた例を示したが、モーターによる駆動でも本発明の目的を達成することができる。
また、上部および下部のパッキン押さえ治具は、その厚さは、５ｍｍ〜１０ｍｍ程度で、樹脂またはステンレスで作られ、図３に示すように、パッキンに触れる先端部はパッキンをよりはめ込みし易くするためテーパー状とする。
【００１６】
以上のプロセスにより、密閉蓋３の開くときに生ずるパッキンを元の溝にはめ込み直し、パッキン外れを防止し、自動的にウエハーをＦＯＳＢ本体２から取り出し、また投入をすることができる。
【００１７】
【発明の効果】
パッキン押さえ治具を上下駆動させることにより密閉蓋から外れかけたパッキンを押さえつけ元の位置にはめ込むことにより、パッキン外れを防止し、密閉度を維持したまま自動で密閉蓋の開閉及びＦＯＳＢ本体内へのウエハーの取り出し、投入が可能となる。
【００１８】
収納容器の密閉蓋の開閉動作において、密閉蓋自体が上下駆動する場合において、パッキン押さえ治具を所定の位置に固定設置し、密閉蓋自体が上下動作によりパッキンを押さえつけ密閉蓋から外れかけたパッキンを元の位置にはめ込むことにより、パッキン外れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるＦＯＳＢの密閉蓋を開く工程を示す図。
【図２】本発明によるパッキン外れ防止装置を示す図。
【図３】パッキン押さえ治具の形状を示す図。
【図４】ＦＯＳＢの外観を示す斜視図。
【符号の説明】
１　　　オプナー
２　　　ＦＯＳＢ本体
３　　　密閉蓋
４　　　スライドテーブル
５　　　オプナー支持台
６　　　キャリアバッファフレーム
７　　　上部パッキン押さえ治具
８　　　駆動シリンダー
９　　　下部パッキン押さえ治具
１０　　パッキン
１１　　フック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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