(57)【要約】【課題】高転送レート化が図れ、ディスクの製造が容易なディスク、ヘッド、ディスク装置、およびディスクの製造方法を提供する。【解決手段】この磁気ディスク３の記録層３ａの下層３０には、磁気パターンからなるトラッキング用トラック３１が単一螺旋状あるいは同心円状に形成され、記録層３ａの上層３２には、一つのトラッキング用トラック３１に対応して複数の記録トラック３３が形成される。これにより、記録トラックと同数のトラッキング用トラックが形成されていた従来と比べてディスクの製造が容易となり、複数の磁気センサを用いて複数の記録トラックに対して同時に再生を行うことにより、高転送レート化が図れる。【選択図】　　　図３
2004062984.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのトラッキング用トラックと、前記１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが磁気的に形成されたことを特徴とするディスク。
【請求項２】
前記少なくとも１つのトラッキング用トラックは、前記複数の記録トラックの数をＮ、ピッチをＰとするとき、Ｎ×Ｐのピッチで単一螺旋状あるいは同心円状に形成されていることを特徴とする請求項１記載のディスク。
【請求項３】
前記トラッキング用トラックは、トラック方向で磁化方向が交互に反転する面内磁化により構成されていることを特徴とする請求項１記載のディスク。
【請求項４】
前記トラッキング用トラックは、トラック方向と直角な方向で磁化方向が交互に反転する面内磁区により構成されていることを特徴とする請求項１記載のディスク。
【請求項５】
前記トラッキング用トラックは、ディスク面に垂直な方向で磁化方向が交互に反転する垂直磁区により構成されていることを特徴とする請求項１記載のディスク。
【請求項６】
前記トラッキング用トラックは、磁化方向が交互に反転する磁区により構成され、前記磁区のトラック方向の長さを異ならせることによりアドレス信号が書き込まれていることを特徴とする請求項１記載のディスク。
【請求項７】
前記トラッキング用トラックは、トラック方向と垂直な方向の周期的なウォブル（蛇行）によってアドレス信号が書き込まれていることを特徴とする請求項１記載のディスク。
【請求項８】
前記トラッキング用トラックは、記録層の下層部に形成され、
前記複数の記録トラックは、前記記録層の上層部に形成されていることを特徴とする請求項１記載のディスク。
【請求項９】
前記トラッキング用トラックは、記録層の上層部に形成され、
前記複数の記録トラックは、前記記録層の下層部に形成されていることを特徴とする請求項１記載のディスク。
【請求項１０】
前記記録層は、ＣｏＣｒ等の面内磁気記録膜、ＣｏＰｔ等の垂直磁気記録膜、あるいはＴｅＦｅＣｏ等の光磁気記録膜から形成されていることを特徴とする請求項８又は９記載のディスク。
【請求項１１】
１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが形成されたディスク上を浮上走行するヘッドにおいて、
前記複数の記録トラック上を走行して複数の記録信号を検出する複数の磁気センサを備え、
前記複数の磁気センサのうち隣接する一対の磁気センサは、前記１つのトラッキング用トラックの一方の縁側上および他方の縁側上をそれぞれ走行して一対のトラック信号を検出することを特徴とするヘッド。
【請求項１２】
１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが形成されたディスク上を浮上走行するヘッドにおいて、
前記複数の記録トラック上を走行して前記複数の記録トラックに複数の記録信号を記録する複数の磁気トランスデューサと、
前記複数の記録トラック上を走行して前記複数の記録信号を検出する複数の磁気センサとを備え、
前記複数の磁気センサのうち隣接する一対の磁気センサは、前記１つのトラッキング用トラックの一方の縁側上および他方の縁側上をそれぞれ走行して一対のトラック信号を検出することを特徴とするヘッド。
【請求項１３】
１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが形成されたディスク上を浮上走行するヘッドにおいて、
前記複数の記録トラック上を走行して前記複数の記録トラックにレーザ光を照射するレーザ光出射端と、
前記複数の記録トラック上を走行して前記レーザ光の照射によって加熱された前記複数の記録トラックに複数の記録信号を記録する複数の磁気トランスデューサと、
前記複数の記録トラック上を走行して前記複数の記録信号を検出する複数の磁気センサとを備え、
前記複数の磁気センサのうち隣接する一対の磁気センサは、前記１つのトラッキング用トラックの一方の縁側上および他方の縁側上をそれぞれ走行して一対のトラック信号を検出することを特徴とするヘッド。
【請求項１４】
前記複数の磁気トランスデューサの複数の磁気ギャップは、単一の前記レーザ出射端に形成されていることを特徴とする請求項１３記載のヘッド。
【請求項１５】
前記磁気センサは、ジャイアント磁気抵抗センサからなることを特徴とする請求項１１、１２又は１３記載のヘッド。
【請求項１６】
前記磁気センサは、トンネル型磁気抵抗センサからなることを特徴とする請求項１１、１２又は１３記載のヘッド。
【請求項１７】
１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが形成されたディスクと、前記ディスク上を浮上走行するヘッドを有するディスク装置において、
前記ヘッドは、
前記複数の記録トラック上を走行して複数の記録信号を検出する複数の磁気センサを備え、
前記複数の磁気センサのうち隣接する一対の磁気センサは、前記１つのトラッキング用トラックの一方の縁側上および他方の縁側上をそれぞれ走行して一対のトラック信号を検出することを特徴とするディスク装置。
【請求項１８】
１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが形成されたディスクと、前記ディスク上を浮上走行するヘッドを有するディスク装置において、
前記ヘッドは、
前記複数の記録トラック上を走行して前記複数の記録トラックに複数の記録信号を記録する複数の磁気トランスデューサと、
前記複数の記録トラック上を走行して前記複数の記録信号を検出する複数の磁気センサとを備え、
前記複数の磁気センサのうち隣接する一対の磁気センサは、前記１つのトラッキング用トラックの一方の縁側上および他方の縁側上をそれぞれ走行して一対のトラック信号を検出することを特徴とするディスク装置。
【請求項１９】
１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが形成されたディスクと、前記ディスク上を浮上走行するヘッドを有するディスク装置において、
前記ヘッドは、
前記複数の記録トラック上を走行して前記複数の記録トラックにレーザ光を照射するレーザ光出射端と、
前記複数の記録トラック上を走行して前記レーザ光の照射によって加熱された前記複数の記録トラックに複数の記録信号を記録する複数の磁気トランスデューサと、
前記複数の記録トラック上を走行して前記複数の記録信号を検出する複数の磁気センサとを備え、
前記複数の磁気センサのうち隣接する一対の磁気センサは、前記１つのトラッキング用トラックの一方の縁側上および他方の縁側上をそれぞれ走行して一対のトラック信号を検出することを特徴とするディスク装置。
【請求項２０】
前記ヘッドは、トラック方向に交差するように弧状にトラッキングされることを特徴とする請求項１７、１８又は１９記載のディスク装置。
【請求項２１】
ディスク基板上にフォトレジスト膜を形成し、
前記フォトレジスト膜に複数の記録トラックに対応した幅を有する露光光を照射し、
前記露光光が照射された前記フォトレジスト膜を現像して前記露光光が未照射の前記フォトレジスト膜の部分からマクスを形成し、
前記マスクを介して前記ディスク基板をエッチングしてトラッキング用トラックのための溝を形成し、
前記溝にトラッキング用磁性膜を埋設して前記トラッキング用トラックを形成し、
前記トラッキング用トラックが形成された前記ディスク基板上に前記複数の記録トラックが形成される記録用磁性膜を形成することを特徴とするディスクの製造方法。
【請求項２２】
ディスク基板上に記録層を形成し、
前記記録層に所定の幅で変調磁界を印加して磁化方向が交互に反転する磁気パターンを形成し、
前記磁気パターンの一部に一定方向の磁界を印加して前記所定の幅よりも狭い幅のトラッキング用トラックを形成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク，光磁気ディスク等のディスク、ヘッド、ディスク装置、およびディスクの製造方法に関し、特に、高転送レート化が図れ、ディスクの製造が容易なディスク、ヘッド、ディスク装置、およびディスクの製造方法を提供する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハード磁気記録装置（ＨＤＤ）の記録密度は年率１００％で増大しており、実験レベルとしては１００Ｇｂｐｓｉに至っているが、その場合のトラックピッチは、０．１７μｍと短縮されており、それ以下の幅の磁気ギャップの形成や低コストのトラッキング用トラックの形成が困難となってきている。
【０００３】
図９は、従来の磁気ディスクにおけるトラッキング制御機構の概要を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。磁気ディスクは、磁気ディスクを回転モータの軸に組み込んだ後、記録ヘッドの磁界よりも強い磁界を発生するサーボライタにより書き込むことで、図９（ａ）に示すように、上層３２の記録トラック３３に対して下層３０に半ピッチずれた形でトラッキング用トラック３１ａ，３１ｂを形成している。トラッキング用トラック３１の空間周波数は記録マークの空間周波数よりも低いため、トラッキング用トラック３１は下層に書かれても、それの形成する磁場は十分表面まで広がり、磁気抵抗センサ１２により検出することができる。また、トラッキング用トラック３１の磁化の方向は記録方向に対してトラック一つ置きに、左右異なった周期で反転する、あるいは互いに位置をずらして形成されている。
【０００４】
このような磁気ディスクに対して記録・再生する従来の磁気ヘッドは、一対のトラッキング用トラック３１，３１上を走行する磁気抵抗センサ１２と、磁気抵抗センサ１２と平行に配置された磁気ギャップを有する磁気トランスジューサ（図示せず）とを有する。
【０００５】
記録再生時には、磁気ヘッドの磁気抵抗センサ１２を一対のトラッキング用トラック３１，３１の中間を走行させ、一対のトラッキング用トラック３１，３１からの磁気強度信号８１をバンドパスフィルタ８２ａ，８２ｂにより周波数分離して検波して得られた電流変動信号３４ａ，３４ｂから演算回路３５によりトラック位置誤差信号３６を形成する。そして、そのトラック位置誤差信号３６を用いてトラッキング制御を行う。再生時は、磁気抵抗センサ１２により記録トラック３３から記録信号を再生する。記録時は、磁気抵抗センサ１２と平行に形成された磁気ギャップ（図略）からの漏れ磁界により記録を行う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の磁気ディスクによると、記録トラックと同一本数のトラッキング用トラックが必要となり、高密度化に連れて記録トラックの幅が狭くなると、それに合わせてトラッキング用トラックの幅も狭めなければならない。しかし、記録密度を上げるためにトラッキング用トラックの幅を狭めることは、フォトリソグラフィなどの生産設備上困難となっている。
また、トラッキング用トラックは、磁気ディスクを回転モータの軸に組み込んだ後、サーボライタにより書き込むことで形成しているため、トラッキング用トラックの形成に多大の時間を要することも問題である。
これに代わる手段として、トラッキング用のパターンを、電子ビームを使用したリソグラフィプロセスにより予め記録媒体の下側に形成する方法が考えられている。この場合にもやはり、数十ｎｍの幅のパターンが必要となり、作製が困難であるとともに、トラッキング用のトラックのパターン形成後に、記録ディスクを回転モータの軸に取り付けるため、偏芯が従来法に比べて一桁以上大きくなり、トラッキング制御の帯域を一桁以上高める必要が生じ、大幅な困難さが生じる。
【０００７】
従って、本発明の目的は、高転送レート化が図れ、ディスクの製造が容易なディスク、ヘッド、ディスク装置、およびディスクの製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、少なくとも１つのトラッキング用トラックと、前記１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが磁気的に形成されたことを特徴とするディスクを提供する。
この構成によれば、トラッキング用トラックを単一螺旋状あるいは同心円状に形成した場合に、トラッキング用トラック間に複数の記録トラックが形成される。
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するため、１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが形成されたディスク上を浮上走行するヘッドにおいて、前記複数の記録トラック上を走行して複数の記録信号を検出する複数の磁気センサを備え、前記複数の磁気センサのうち隣接する一対の磁気センサは、前記１つのトラッキング用トラックの一方の縁側上および他方の縁側上をそれぞれ走行して一対のトラック信号を検出することを特徴とするヘッドを提供する。
この構成によれば、一対の磁気センサがトラッキングトラックから一対のトラック信号を出力すると、トラック信号の差からトラック位置誤差信号が生成され、このトラック位置誤差信号に基づいてトランキングが行われ、一対の磁気センサを含む複数の磁気センサが記録トラックから記録信号を検出する。
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するため、１つのトラッキング用トラックに対応して複数の記録トラックが形成されたディスクと、前記ディスク上を浮上走行するヘッドを有するディスク装置において、前記ヘッドは、前記複数の記録トラック上を走行して複数の記録信号を検出する複数の磁気センサを備え、前記複数の磁気センサのうち隣接する一対の磁気センサは、前記１つのトラッキング用トラックの一方の縁側上および他方の縁側上をそれぞれ走行して一対のトラック信号を検出することを特徴とするディスク装置を提供する。
この構成によれば、一対の磁気センサが検出した一対のトラック信号に基づいてトラッキングを行い、一対の磁気センサを含む複数の磁気センサにより記録トラックから記録信号を検出する磁気記録ディスク装置が構成される。
【００１１】
本発明は、上記目的を達成するため、ディスク基板上にフォトレジスト膜を形成し、前記フォトレジスト膜に複数の記録トラックに対応した幅を有する露光光を照射し、前記露光光が照射された前記フォトレジスト膜を現像して前記露光光が未照射の前記フォトレジスト膜の部分からマクスを形成し、前記マスクを介して前記ディスク基板をエッチングしてトラッキング用トラックのための溝を形成し、前記溝にトラッキング用磁性膜を埋設して前記トラッキング用トラックを形成し、前記トラッキング用トラックが形成された前記ディスク基板上に前記複数の記録トラックが形成される記録用磁性膜を形成することを特徴とするディスクの製造方法を提供する。
この構成によれば、複数の記録トラックに対応した径の太い露光光を用いることにより、トラッキング用トラックのピッチが大きくなり、トラッキング用トラック間に複数の記録トラックが形成される。従って、記録トラックと同数のトラッキング用トラックが形成されていた従来と比べてトラッキング用トラックの本数が減り、トラッキング用トラックの形成時間が減る。
【００１２】
本発明は、上記目的を達成するため、ディスク基板上に記録層を形成し、前記記録層に所定の幅で変調磁界を印加して磁化方向が交互に反転する磁気パターンを形成し、前記磁気パターンの一部に一定方向の磁界を印加して前記所定の幅よりも狭い幅のトラッキング用トラックを形成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法を提供する。
この構成によれば、書込み用の磁気トランスジューサにより記録層に変調磁界を印加して磁気パターンを形成した後、消去用の磁気トランスジューサにより磁気パターンの一部を消去すると、消去されなかった磁気パターンがトラッキング用トラックとなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るディスク装置を示す。このディスク装置１は、記録層３ａとしてＣｏＣｒを主体とする磁気記録媒体を使用した磁気ディスク３と、その磁気ディスク３を回転する回転モータ４と、記録層３ａ上を浮上走行して、記録層３ａに対して記録・再生を行う磁気ヘッド２と、磁気ヘッド２を支えるスイングアーム５と、スイングアーム５を走査するためのボイスコイルモータ６と、記録・再生用の信号処理部７と、記録・再生時にモータ４およびボイスコイルモータ６を制御する制御部８とを備える。
【００１４】
図２は、磁気ヘッド２の構成を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は要部底面図であり、（ｃ），（ｄ）は後述する磁気抵抗センサを示す。この磁気ヘッド２は、図２（ａ）に示すように、主に、磁気ディスク３の表面を浮上走行する浮上スライダ１１と、浮上スライダ１１の後端面１１ａに積層された磁気抵抗センサ１２および薄膜磁気トランスデューサ１３とを備え、磁気ディスク３の記録層３ａに対して記録・再生を行うものである。
【００１５】
浮上スライダ１１は、例えば、アルチック（Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＯ２）からなり、底面に凹部１１ｂが形成された浮上面１１ｃを有する。
【００１６】
磁気抵抗センサ１２は、図２（ｂ）に示すように、並列に形成された複数（本実施の形態では２つ）の検出部１２ａ，１２ｂを有し、薄膜磁気トランスデューサ１３は、並列に形成された複数（本実施の形態では２つ）の磁気ギャップ１３ａ，１３ｂを有し、複数の記録トラックに独立に同時記録・再生ができるように構成されている。磁気抵抗センサ１２としては、例えば、ＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ　Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）センサを用いることができる。検出部１２ａ，１２ｂおよび磁気ギャップ１３ａ，１３ｂは、それぞれの幅は約５０ｎｍ、間隔は２０ｎｍである。
【００１７】
磁気抵抗センサ１２は、図２（ｃ），（ｄ）に示すように、膜面に垂直に電流を流すタイプ（ＣＰＰ（Ｃｕｒｒｅｎｔ　Ｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒ　ｔｏ　Ｐｌａｎｅ　ＧＭＲ）　Ｈｅａｄ）であり、この検出部１２ａ，１２ｂは、スピンバルブ膜２０ａ，２０ｂをそれぞれ電極２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂに接続したものであり、これらはＳｉＯ２などの絶縁膜２３で被われ、これが２枚の磁気シールド膜２４ａ，２４ｂで挟まれた構造を有する。この構造により、それぞれのスピンバルブ膜２０ａ，２０ｂに独立に電流を流し、その抵抗変化を信号処理部７を通して取り出すことにより、磁気ディスク３の記録層３ａやトラッキングマーク３１からの磁界変化を検出することができる。磁気抵抗センサ１２は、スピンバルブ膜２０ａ，２０ｂに対して垂直に電流を流すため、スピンバルブ膜２０ａ，２０ｂの上下に設けた電極２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂの幅を比較的幅広くでき、複数個集積するのに向いた構成を有する。また、磁気抵抗センサとしては、ＣＰＰ−ＧＭＲだけでなく、絶縁膜を通して流れるトンネル電流を利用するＴＭＲ（ＴｕｎｎｅｌＭａｇｎｅｔｏ−　Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）センサを使用してもよい。
【００１８】
図３は、磁気ディスク３の記録主要部を示し、（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図と信号処理部７を示す図である。磁気ディスク３の記録層３ａは、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、トラッキング用のトラッキング用トラック３１が形成された下層３０と、記録トラック３３に記録マーク３３ａ，３３ｂが形成される上層３２とからなる。記録層３ａとしては、通常のＣｏＣｒ系の磁性膜を用いることができる。トラッキング用トラック３１は、電子ビームを使用したリソグラフィで形成してもよく、また、比較的ギャップ幅が広く、強力な磁界を発生する磁気トランスデューサを使用したサーボライタにより形成してもよい。
【００１９】
信号処理部７は、図３（ｂ）に示すように、トラック信号としての電流変動信号３４ａ，３４ｂの差を演算回路３５を用いて図３（ｂ），（ｃ）に示すトラック位置誤差信号３６を形成するものである。この記録層３ａのトラック信号および記録信号の再生には、スピンバルブ膜２０ａ，２０ｂに流す電流の電流変動信号３４ａ，３４ｂを用いる。すなわち、スピンバルブ膜２０ａ，２０ｂの検出部１２ａ，１２ｂをトラッキング用トラック３１を挟むように走行させ、それらの電流変動信号３４ａ，３４ｂを単独で処理することにより、上層３２の記録マーク３３ａ，３３ｂからの記録信号を再生できる。トラッキング用トラック３１は、単一螺旋状に形成されており、磁気ディスク３が一周すると、検出部１２ａ，１２ｂは、１２ａ’，１２ｂ’の位置に移動する。その移動ピッチｐは、一方の記録マーク３３ａと他方の記録マーク３３ｂの幅に記録トラックの間隔を加えた値としている。
【００２０】
制御部８は、信号処理部７からのトラック位置誤差信号３８を用いてトラッキング制御を行う。なお、図３（ｃ）において３７は、トラッククロス方向を示す。
【００２１】
この実施の形態によれば、トラッキング用トラック３１の本数は、記録トラック３３の本数に対して、磁気ヘッドの磁気センサあるいは磁気ギャップの個数分の一に減らすことができ（ピッチは、磁気センサ等の個数倍となる）、大幅に作製時間を短縮できる。また、従来の複数記録トラックの作製法では、１つの記録トラックに１つのトラッキング用トラックが対応していたため、トラッキング用トラックを磁気センサ等の数だけ、複数螺旋としなければならず、多大の時間と作製精度を要することになっていた。或いは、単一のトラッキング用トラックを複数の磁気センサでトラッキングする場合には、一回転ごとのトラックジャンプが必要となり、制御機構を複雑にしていた。しかし、本実施の形態によれば、トラッキング用トラックは単一螺旋状に形成してよく、トラッキング用トラックの作製が単純になるとともに、その両側に複数の記録トラックが自動的に形成されるため、複数の記録トラックが形成されるのもかかわらず、それぞれの記録トラックをトラックジャンプなしに所謂一筆書きで辿ることができる。また、単一のトラッキング用トラックの左右に配置した一対の磁気センサを、それらの磁気センサの検出部が一部トラッキング用トラックと重なるように走行させて、トラック位置信号を読みとるため、トラッキング用トラックの磁化の方向は媒体構造に合わせて任意にとることができる。磁化反転の周期も記録磁化の周期よりも十分低い周波数であれば、任意に選ぶことができる。信号処理においても別々の磁気センサにより、同一周波数の位置ずれ信号を検出するため、周波数分離が不要であり、処理回路を簡素化できる。さらに、トラッキング用トラック内に、アドレス信号を書き込んでもよく、これによって記録トラック部にアドレス信号を書き込む必要がなく、正味の記録容量を上げることができる。
【００２２】
図４は、本実施の形態に係る磁気ディスク３の一製法を示す。本作製法では、電子ビームを用いたリソグラフィ法を用いた。すなわち、図４（ａ）に示すように、まず、ガラス製のディスク基板５１に、電子露光用のポジ型フォトレジスト膜５２を塗布し、ディスク基板５１を回転させながら、電子ビーム５４を照射し、その現像後に単一螺旋状あるいは同心円状に残されるレジストパターン５２ａをマスクとしてドライエッチングを行い、ディスク基板５１にトラッキング用トラックを埋め込むためのグルーブ５３ａ，５３ｂを形成する。電子ビーム５４の送りのピッチＰは、記録トラック幅Ｔの２倍２Ｔからトラッキング用トラックの幅の１／２の幅を引いた値とする。このため、電子ビーム５４の径は記録トラックあるいはトラッキング用トラックの幅よりも大幅に太くでき、作り易さが大幅に改善される。露光後に、露光部であるレジストパターン５２ａ以外を現像して取り除き、図４（ｂ）に示すレジストパターン５２ａをマスクとしてフッ素系のガスを用いて指向性のイオンビームを用いたドライエッチングを行い、グルーブ５３ａ、５３ｂを形成する。この上に図４（ｃ）に示すように、ＣｏＣｒを主体とする磁性膜５５ａ，５５ｂをスパッタにより被着し、さらにレジストパターン５２ａを溶かすことにより、余分の磁性膜５５ａをリフトオフして取り去り、さらに帯磁させることにより、トラッキング用トラック５５ｃを形成する。さらにその上に、ＣｏＣｒを主体とする磁性膜５６およびＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ−Ｌｉｋｅ　Ｃａｒｂｏｎ）を主体とする表面保護膜５７を形成する。
【００２３】
図５は、本実施の形態に係る磁気ディスク３の他の製法を示し、（ａ）は主要部断面図、（ｂ）は上面図である。この製法は、書込み用と消去用の２個の磁気トランスデューサを有するサーボライタ用磁気ヘッドを用いて、トラッキング用トラックを形成する。なお、図５においては、２個の磁気トランスデューサのそれぞれの磁気ギャップ６１，６２の部分のみを示す。これらの磁気トランスデューサのそれぞれの構造は、通常のものと同じであるが、図５に示すように、磁気ギャップ６１，６２の位置は、トラック垂直方向には、図５（ａ）に示すように、互いにトラッキング用トラック５９の幅だけ、すなわち、本実施の形態では中心がトラック方向に垂直な方向に５０ｎｍだけずれている。また、トラック方向には、それぞれの磁気トランスデューサの厚さ分、すなわち、数μｍだけ離れて形成されている。これらの２個の磁気ギャップ６１，６２を有する磁気ヘッドを磁気ディスクの磁気記録層５８上を走査し、書込み用の磁気ギャップ６１には変調磁界を、消去用の磁気ギャップ６２には一定磁界を出射させ、トラッキング用トラック５９を形成する。すなわち、書込み用の磁気ギャップ６１からの磁界は、記録変調速度よりも十分低い一定の変調速度で変調され、トラック方向に周期的に交番する磁化５９ａを形成し、消去用の磁気ギャップ６２からは、一定方向の磁界が印加され、書込み用の磁気ギャップ６１で形成された磁化５９ａの一部を消去する。このようにして、それぞれの磁気ギャップ６１，６２の幅よりも狭いトラッキング用トラック５９が形成される。これらの磁気ギャップ６１，６２は、記録再生用磁気ヘッド（図略）のギャップ幅よりも十分広く、従って磁気記録層５８の深部の下層３０までトラッキング用トラックが形成される。記録再生時にはその比較的浅い、上層３２に記録マークが形成され、それによってトラッキング用トラックの上部は一部消去されるが、下層３０は保存され、トラッキング制御信号の形成に使用される。
【００２４】
図６は、トラッキング用トラックの例を示す。トラッキング用トラック５９は、図６（ａ）に示すように、トラック方向で磁化方向７１ａが交互に反転する磁区７１ｂから構成され、その上を記録磁気ヘッドの磁気抵抗センサの検出部１２ａ，１２ｂが走査することにより、図３において説明したようにトラック位置誤差信号が形成される。なお、図６中５２ｂは、トラック周辺部の磁化方向を示す。
【００２５】
また、図６（ｂ）に示すように、トラッキング用トラック５９の中に、アドレス用の記録マークを書き込んでもよい。これにより、記録トラック内にアドレスマークを形成する必要がなくなり、実質の記録密度を上げることができる。また、トラッキング用トラックをウォブル（蛇行）させてもよく（図略）、それによりアドレス信号を書き込んでも、同様の効果が得られる。
【００２６】
さらに、図６（ｃ）に示すように、トラッキング用トラック５９は、トラック方向と垂直な方向（トランスバース方向）で磁化方向７１ａが交互に反転する磁区７１ｂにより構成されていてもよい。その場合、磁気抵抗センサの一方の検出部１２ａと他方の検出部１２ｂに入る磁界の方向は常に反対の極性であるため、両者を加算することによってトラック位置誤差信号が形成できる。また、サーボライタの磁気ヘッドの磁気ギャップはトラックに平行に配置して行うため、ギャップ幅は、トラッキング用トラックの磁区の長さ以下であればよいため、１μｍ程度で十分であり、従来のものが使用でき、低コスト化が図れる。
【００２７】
上記の実施の形態のトラッキング用トラックは、記録層の面内方向に磁化を有する所謂面内磁化膜を使用してきたが、図６（ｄ）に示すように、記録層の垂直方向に磁化を有する垂直磁化膜やＴｂＦｅＣｏなどの光磁気膜を使用した場合にも、本実施の形態のトラッキング用トラック５９の形成が可能である。その場合には、トラッキング用トラックの磁化方向７１ａも垂直に形成される。
【００２８】
また、記録層に光磁気膜を使用した場合、図６（ｅ）に示すように、光磁気膜７２の下層３０に面内磁化膜を形成し、それにトラッキング用トラック５９を形成してもよい。これにより、記録層とは独立に漏れ磁界の大きな面内磁化膜を使用でき、品質のよいトラッキング信号の形成が可能となる。また、キューリー温度の高い膜が使用できるので、光磁気膜への書き込み時の熱により、トラッキング用トラック５９の磁化が消去されることがなく、安定した信号形成が可能となる。光磁気膜の他に、ＣｏＰｔなどの垂直記録媒体を用いた場合でも同様の効果が得られる。
【００２９】
図７は、本発明の第２の実施の形態に係る光アシスト磁気記録用の磁気ディスク記録装置に使用する磁気ヘッド２の主要部を示し、（ａ）は断面主要部、（ｂ）は底面のレーザ光出射端を示す図である。この磁気ヘッド２は、浮上スライダ１１の後端面１１ａに、半導体レーザ１５、薄膜磁気トランスデューサ１３および磁気抵抗センサ１２がこの順に積層されている。レーザ光出射端には、図７（ｂ）に示すように、薄膜磁気トランスデューサ１３の二対のヨーク先端部１３ｃ、１３ｄおよび１３ｃ’、１３ｄ’によりレーザ出力光１５ａを遮るように磁気ギャップ１３ａ，１３ｂが形成されており、それらはトラッキング用トラック３１の両側に配置される。この構成により、同一場所にレーザ光と変調磁界とを印加できるとともに、磁気ギャップ１３ａ，１３ｂをトラッキング用トラック３１の両側に来るように近接して配置することが可能となる。また、一つのレーザ出力光１５ａにより、２つの記録トラックに記録マークを同時に形成できるため光利用効率をよくできる。さらに、レーザ光を変調磁界と同期してパルス的に印加することにより、無駄な加熱を防ぐことができ、さらに光利用効率を上げることができる。
【００３０】
図８は、本発明の第３の実施の形態を示し、（ａ）は磁気ヘッドの要部底面図、（ｂ）は磁気ディスクの断面図である。この磁気ヘッド２は、図８（ａ）に示すように、磁気抵抗センサ１２は、並列に形成された４つの検出部１２ａ１，１２ａ２，１２ｂ１，１２ｂ２を有し、薄膜磁気トランスデューサ１３は、並列に形成された４つの磁気ギャップ１３ａ１，１３ａ２，１３ｂ１，１３ｂ２を有し、４つの記録トラックに独立に同時記録・再生ができるように構成されている。このように構成された磁気ヘッド２の記録・再生の対象とする磁気ディスク３は、図８（ｂ）に示すように、基板３ｂ上に下層３０と上層３２からなる記録層３ａが形成され、下層３０には、トラッキング用トラック３１が形成され、上層３２には、４つの記録トラック３３が形成される。この構成によれば、同時に４本の記録トラック３３に対して記録・再生を行えるので、より高転送レート化が図れる。
【００３１】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、さらに多くの磁気ギャップや磁気センサを搭載することが可能である。その場合にもそれらの磁気センサのうちの２つの磁気センサによりトラッキング信号形成を行うことができる。また、残りの磁気センサを含めてトラッククロス信号を形成することにより、シーク動作時の磁気ヘッドと磁気でディスクの相対速度・位置をより正確に計測することも可能である。
また、トラッキング用トラックの幅を記録トラックの幅よりも大きくしてもよい。例えば、２倍とすることにより、引き込み幅、信号強度ともに２倍となる。
【００３２】
【発明の効果】
以上、詳しく説明したように、本発明によれば、記録トラックと同数のトラッキング用トラックが形成されていた従来と比べてトラッキング用トラックの本数が減るので、トラッキング用トラックの形成時間が減り、ディスクの製造が容易となる。また、トラッキング用トラック間に複数の記録トラックが形成できるため、高記録密度化が可能となる。複数の磁気センサを用いて複数の記録トラックに対して同時に再生を行うことにより、高転送レート化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るディスク装置を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るディスク装置に使用する磁気ヘッドに関し、（ａ）は断面図、（ｂ）は要部底面図、（ｃ），（ｄ）は磁気抵抗センサを示す図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るディスク装置に使用する磁気ディスクとをトラック誤差信号の形成法に関し、（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）はトラック位置誤差信号を示す図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態に係るディスク装置に使用する磁気ディスクの製法を示す図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態に係るディスク装置に使用する磁気ディスクの他の製法を示す図である。
【図６】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の実施の形態に係るディスクのトラッキング用トラックを示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る光アシスト磁気記録用の磁気ヘッドに関し、（ａ）は断面主要部、（ｂ）は底面のレーザ光出射端を示す図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドに関し、（ａ）は要部底面図、（ｂ）は磁気ディスクの断面図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）は、従来の磁気ディスクにおけるトラッキング制御機構に関し、（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【符号の説明】
１　磁気ディスク装置
２　磁気ヘッド
３　磁気ディスク
３ａ　記録層
３ｂ　基板
４　回転モータ
５　スイングアーム
６　ボイスコイルモータ
７　信号処理部
８　制御部
１１　浮上スライダ
１１ａ　後端面
１１ｂ　凹部
１１ｃ　浮上面
１２　磁気抵抗センサ
１２ａ，１２ｂ，１２ａ１，１２ａ２，１２ｂ１，１２ｂ２　検出部
１３　薄膜磁気トランスデューサ
１３ａ，１３ｂ，１３ａ１，１３ａ２，１３ｂ１，１３ｂ２　磁気ギャップ
１３ｃ　ヨーク先端部
１５　半導体レーザ
１５ａ　レーザ出力光
２０ａ，２０ｂ　スピンバルブ膜
２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂ　電極
２３　絶縁膜
２４ａ，２４ｂ　磁気シールド膜
３０　下層
３１　トラッキング用トラック
３２　上層
３３　記録トラック
３３ａ，３３ｂ　記録マーク
３４ａ，３４ｂ　電流変動信号
３５　演算回路
３６　トラック位置誤差信号
５１　ディスク基板
５２　ポジ型フォトレジスト膜
５２ａ　レジストパターン
５２ｂ　磁化方向
５３ａ，５３ｂ　グルーブ
５４　電子ビーム
５５ａ，５５ｂ　磁性膜
５５ｃ　トラッキング用トラック
５６　磁性膜
５７　表面保護膜
５８　磁気記録層
５９　トラッキング用トラック
５９ａ　磁化
６１，６２　磁気ギャップ
７１ａ　磁化方向
７１ｂ　磁区
７２　光磁気膜
８１　磁気強度信号
８２ａ，８２ｂ　バンドパスフィルタ
【図１】
2004062984.tif 000003
【図２】
2004062984.tif 000004
【図３】
2004062984.tif 000005
【図４】
2004062984.tif 000006
【図５】
2004062984.tif 000007
【図６】
2004062984.tif 000008
【図７】
2004062984.tif 000009
【図８】
2004062984.tif 000010
【図９】
2004062984.tif 000011