(57)【要約】【課題】真空排気の高速化を図ることができるとともに、排気管のチップオフ時に発生する不純ガスの残留量を減少させ得るフラットパネルディスプレイ装置の製造方法を提供する。【解決手段】フラットパネルディスプレイ装置１１０は、前面板１０と背面板２０間のスペースを高真空状態とするため、互いに管径の異なる排気管６０ｃ、６０ｄが、背面板２０に設けられた透孔部５０ｃ、５０ｄに各々取り付けられており、これら排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置は互いに近接した位置とされている。２本の排気管６０ｃ、６０ｄを用いて略目標圧力まで真空排気した後の排気管チップオフ処理時において、まず大径の排気管６０ｃについてのチップオフ処理を行う。このとき小径の排気管６０ｄによる真空排気処理を継続して行い、最後に小径の排気管６０ｄについてのチップオフ処理を行う。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方に所定の蛍光材料が塗布された状態で対向配置された前面板および背面板の間を高真空状態に設定することが必要とされるフラットパネルディスプレイ装置の製造方法において、
該フラットパネルディスプレイ装置に、大径の排気管と小径の排気管が少なくとも１本ずつ含まれる複数本の排気管を取り付けて、前記前面板および前記背面板の間を真空排気することを特徴とするフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項２】
前記前面板および前記背面板の間を所定の圧力となるまで真空排気した後、前記大径の排気管のチップオフ処理を行うとともに前記小径の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後前記小径の排気管のチップオフ処理を行うことを特徴とする請求項１記載のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項３】
前記小径の排気管を用いて真空排気処理を行った後、該小径の排気管を用いて放電ガスの導入を行い、この後前記小径の排気管のチップオフ処理を行うことを特徴とする請求項１記載のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項４】
少なくとも一方に所定の蛍光材料が塗布された状態で対向配置された前面板および背面板の間を高真空状態に設定することが必要とされるフラットパネルディスプレイ装置の製造方法において、
該フラットパネルディスプレイ装置に、複数本の排気管を取り付け、これら複数本の排気管を用いて前記前面板および前記背面板の間を所定の圧力となるまで真空排気した後、前記複数本の排気管のうち一部のチップオフ処理を行うとともにその余の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後前記その余の排気管のチップオフ処理を行うことを特徴とする請求項１記載のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項５】
前記前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定した後に、放電ガスを封入することが必要とされる場合に、前記フラットパネルディスプレイ装置に取り付けられた前記複数本の排気管のうち少なくとも一部の排気管を用いて前記放電ガスの導入を行うことを特徴とする請求項４記載のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項６】
前記前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定した後に、乾燥ガスを封入する場合に、前記フラットパネルディスプレイ装置に取り付けられた前記複数本の排気管のうち少なくとも一部の排気管を用いて前記乾燥ガスの導入を行うことを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか１項記載のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項７】
前記放電ガスが前記乾燥ガスとされていることを特徴とする請求項６記載のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項８】
前記放電ガスは、窒素Ｎ、ならびにヘリウムＨｅ、ネオンＮｅ、アルゴンＡｒ、キセノンＸｅおよびクリプトンＫｒ等の希ガスのうちいずれか１つの単ガスまたは複数の混合ガスであることを特徴とする請求項３、５および７のうちいずれか１項記載のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【請求項９】
前記前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定した後に、複数種のガスを混合してなる放電ガスを封入することが必要とされる場合に、前記複数本の排気管の各排気管毎に互いに異なる種類のガスを導入することを特徴とする請求項１、２および５〜８のうちいずれか１項記載のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）や電界放出ディスプレイ（フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ））等のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法に関し、詳しくは、ディスプレイパネルを構成する前面板と背面板との間の空間を真空排気する製造工程の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、高輝度、高精細で薄型大画面を達成し得るプラズマディスプレイ（以下ＰＤＰと称する）の開発が活発化している。さらに、消費電力を大幅に低減し得る次世代の薄型大画面用のディスプレイとしてフィールドエミッションディスプレイ（以下ＦＥＤと称する）の開発も進められている。
【０００３】
ＰＤＰやＦＥＤは動作原理が異なるものの、いずれも、画像形成用パネルを構成する前面板と背面板を微小間隔をもって対向させ、この間のスペースを放電ガス雰囲気または高真空状態とするために、これら前面板と背面板を貼り合せて封着する必要がある。
【０００４】
このようなＰＤＰやＦＥＤについての構造や製造方法を紹介する文献は従来より知られており、特に、カラーＰＤＰについては、構造および製造方法の概略が下記非特許文献１に記載されており、またシール層形成・貼合せ・封着・排気・封入プロセス等についての具体例が下記非特許文献２に開示されている。
【０００５】
上述したカラーＰＤＰは、一般に、パネルに取り付けた１本の排気管を用いて真空排気を行うとともに、その後放電ガスを封入するように構成されている。この後、この排気管をチップオフし、放電電圧を下げるとともにセル間のばらつきを少なくするエージング工程を経てパネルの製作が終了する。
【０００６】
【非特許文献１】
“４２形ハイビジョンＤＣ−ＰＤＰの開発”，関  昌彦  他，映像情報メディア学会誌発行，Ｖｏｌ．  ５４，Ｎｏ．  ２，ｐｐ．  ３０１〜３０９（２０００）
【非特許文献２】
“最新プラズマディスプレイ製造技術”，内藤  豊，株式会社プレスジャーナル，平成９年１２月１日発行，ｐｐ．  １１８〜１２３
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、一般のカラーＰＤＰにおいては、前面板と背面板の隙間が０．１ｍｍ程度と、パネル面の面積に比して極めて小さい値となっており、しかもその途中にはリブが設けられていることもあって、構造上のコンダクタンスが極めて小さい値とされている。
【０００８】
このため、真空排気時において、パネル内の圧力は排気側で測定される圧力よりもかなり高い状態とされており、室温状態で２０インチ級のパネルの真空排気処理を行う場合に、パネル内において、排気側と、その反対側では圧力が３桁程度も相違するという結果が得られている。
【０００９】
特に、カラーＰＤＰは、５０〜６０インチ級の大型パネルが主流とされており、真空排気に長時間を要する。その結果、効率的な量産ラインを構築する上で真空排気工程が律速工程になる。
【００１０】
このような問題を解決するためには、排気管をできるだけ大径のものとすればよいと考えられるが、排気管を単純に大径のものとした場合には以下のような問題が発生する。
【００１１】
すなわち、前述したようにカラーＰＤＰにおいては真空排気処理および放電ガス封入処理を行った後に、またＦＥＤにおいては真空排気処理を行った後に、各々排気管のガラスを高温にして溶融しチップオフする作業を行うが、チップオフする際には、温度上昇により排気管から水、炭酸ガス、さらにはメタンガス等の不純ガスが大量に放出され、パネル内に大量の不純ガスが残留することになる。この不純ガスの放出量をできるだけ少なくするためには、表面積の小さい小径の排気管とすることが好ましく、上述した真空排気の高速化という観点から排気管を大径とする要求とは相反する要求となる。
【００１２】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、真空排気の高速化を図ることができるとともに、排気管のチップオフ時に発生する不純ガスの残留量を減少させ得るフラットパネルディスプレイ装置の製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法は、少なくとも一方に所定の蛍光材料が塗布された状態で対向配置された前面板および背面板の間を高真空状態に設定することが必要とされるフラットパネルディスプレイ装置の製造方法において、
該フラットパネルディスプレイ装置に、大径の排気管と小径の排気管が少なくとも１本ずつ含まれる複数本の排気管を取り付けて、前記前面板および前記背面板の間を真空排気することを特徴とするものである。
【００１４】
この場合において、前記前面板および前記背面板の間を所定の圧力となるまで真空排気した後、前記大径の排気管のチップオフ処理を行うとともに前記小径の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後前記小径の排気管のチップオフ処理を行うことが好ましい。
【００１５】
すなわち、排気管を複数本取り付けて真空排気することで、真空排気の高速化が可能となる。また、真空排気後において、大径の排気管のチップオフ処理を行いつつ小径の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後、表面積の小さい前記小径の排気管のチップオフ処理を行うことで、チップオフ時における温度上昇に伴う排気管から発生する不純ガスの残留量を大幅に減少させることが可能となる。
【００１６】
また、本発明のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法は、少なくとも一方に所定の蛍光材料が塗布された状態で対向配置された前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定することが必要とされるフラットパネルディスプレイ装置の製造方法において、
該フラットパネルディスプレイ装置に、複数本の排気管を取り付け、これら複数本の排気管を用いて前記前面板および前記背面板の間を所定の圧力となるまで真空排気した後、前記複数本の排気管のうち一部のチップオフ処理を行うとともにその余の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後前記その余の排気管のチップオフ処理を行うことを特徴とするものである。
【００１７】
この場合にも、真空排気の高速化を図ることができるとともに、排気管のチップオフ時に発生する不純ガスの残留量を減少させることが可能となる。
【００１８】
また、ＰＤＰ等においては、前記前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定した後に放電ガスを封入することが必要とされるが、このような場合に、前記フラットパネルディスプレイ装置に取り付けられた前記複数本の排気管のうち少なくとも一部の排気管を用いて前記放電ガスの導入を行うことが望ましい。
【００１９】
さらに、上述した製造方法において、前記前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定した後に、乾燥ガスを封入する場合に、前記フラットパネルディスプレイ装置に取り付けられた前記複数本の排気管のうち少なくとも一部の排気管を用いて前記乾燥ガスの導入を行うようにすれば、パネル内の障壁や電極さらにはガラス面等の種々の部分に含まれている水分を取り除くことができ、残留ガスによる封入ガスの純度低下を抑えることが可能となる。
【００２０】
特に、電極保護層（例えばＭｇＯ等）と水が反応すると、放電電圧の特性や電極寿命等を低下させることになるので、真空排気時における高温加熱処理に加えて乾燥ガスを用いることで、このような問題の発生を抑制することができる。
なお、上記「乾燥ガス」とは、水（Ｈ２Ｏ）および酸素（Ｏ２）の除去処理がなされたガスのことを称するものとする。
【００２１】
また、前記前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定した後に、放電ガスを封入することが必要とされる場合に、この放電ガスを前記乾燥ガスとすれば、作業工程を効率の良いものとすることができる。
【００２２】
また、前記放電ガスは、窒素Ｎ、ならびにヘリウムＨｅ、ネオンＮｅ、アルゴンＡｒ、キセノンＸｅおよびクリプトンＫｒ等の希ガスのうちのいずれか１つまたは複数の混合ガスであることが望ましい。
【００２３】
また、前記前面板および前記背面板の間を高真空状態に設定した後に、複数種のガスを混合してなる放電ガスを封入することが必要とされる場合に、前記複数本の排気管（またはその一部）の各排気管毎に異なる種類のガスを導入し、パネル内部で混合ガス化することにより、予めボンベ内に充填するガスを混合ガスとせずともよくなり、ガス混合比の変更が容易となる。
【００２４】
また、前述したようにＰＤＰでは放電ガスを封入することが必要となることから、真空排気工程において、▲１▼大径と小径の全ての排気管で真空排気、▲２▼大径の排気管をチップオフ、▲３▼小径の排気管で真空排気（▲２▼と同時に行うことも可能）、▲４▼小径の排気管で放電ガスを封入、▲５▼小径の排気管をチップオフ、という順で各処理を行うようにすれば、真空排気の高速化を図ることができるとともに、排気管のチップオフ時に発生する不純ガスの残留量を減少させることが可能となり、さらに作業性を向上させることができる。
【００２５】
なお、ＦＥＤにおいては放電ガスを封入する処理が不要であり、真空排気した状態でチップオフすることになるが、大径の排気管接続位置と小径の排気管接続位置の距離を短く設定することにより、大径の排気管のチップオフ時における、小径の排気管を用いた真空排気処理を極めて効率良く行うことができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係る、カラーＰＤＰ、ＦＥＤ等のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法について図面を用いて説明する。なお、以下では、特にカラーＰＤＰやＦＥＤの製造方法について説明するが、同種のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法にも勿論適用可能である。
【００２７】
図１は、第１の本実施形態方法を用いて製造されたフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）の断面図を示すものである。
図示するように、このフラットパネルディスプレイ装置１００は、所定間隔を空けて対向配置された前面板１０と背面板２０の間に、シール層ペーストとして機能する貼合せ用フリットガラス４０を介在させて、前面板１０と背面板２０の封着を行ったものであり、これら前面板１０と背面板２０に配設された電子源または電極、蛍光体、障壁等の部材は図示を省略されている。なお、前面板１０と背面板２０の間に、間隔保持用のガラススペーサを介在させることも可能である。
【００２８】
また、前面板１０および背面板２０に電子源または電極、蛍光体、障壁等の部材を配設する手法は従来から周知の印刷技術や薄膜技術を用いて行われる。
また、これら前面板１０と背面板２０の間のスペースを高真空状態とするため、背面板２０に設けた各透孔部５０ａ、５０ｂに各々排気管６０ａ、６０ｂが取り付けられている。なお、排気管６０ａ、６０ｂは真空ポンプ（図３に示す）に接続されており、真空排気作業が完了した後にチップオフされる。また、排気管６０ａ、６０ｂは上記貼合せ用フリットガラス４０と同様のペースト効果を有するフリットガラス等により背面板２０に取り付けられる。
【００２９】
また、図１に示す例では２本の排気管６０ａ、６０ｂが設けられているが、図３に示す如く３本以上の排気管６０を設けることも可能である。
【００３０】
このように、複数本の排気管６０ａ、６０ｂを用いて真空排気処理を行うことにより、またパネルの、互いに離間した位置に排気管６０ａ、６０ｂを取り付けることにより真空排気を高速化することができ、排気時間の短縮化を図ることができる。
【００３１】
ところで、本実施形態方法における特徴的な構成の１つは、排気管チップオフ処理が、真空排気処理が全て終了した後に行われるのではなく、真空排気処理を行いながら順に行われていく点にある。すなわち、図１の例では、２本の排気管６０ａ、６０ｂを用いて略目標圧力まで真空排気した後、例えば一方の排気管６０ａについてのチップオフ処理を行う。このとき他方の排気管６０ｂによる真空排気処理は継続して行われており、最後にこの排気管６０ｂについてのチップオフ処理を行う。これにより、前面板１０と背面板２０の間のスペースに残留するチップオフ処理に伴う不純ガスは排気管６０ｂのチップオフ処理によるものが大半となり、複数本の排気管を設けても、排気管チップオフ処理に伴う不純ガスの残留量が増加することがなくなる。
このような作用効果は、排気管数が多くなるにつれて、より顕著である。
【００３２】
図３は、上述した真空排気工程において使用されるフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）１００（特にＰＤＰ）の真空排気システムの一例を示すものである。なお、上述したように、この例においては３本の排気管６０が設けられており、３本の排気管６０が１系統の真空排気システムに接続されている。ただし、排気管６０毎に異なる真空排気システムに接続するように構成することも可能である。
【００３３】
図３に示すように、フラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）１００は、各排気管６０が接続された状態で電気炉２００内に配設され、不純ガスを放出させるために高温加熱される。各排気管６０は排気管ジョイント２１０を介して１つの排気路に統合される。この排気路には、高真空状態まで真空排気するための複数種類の真空ポンプ群（油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ等）２２０、高真空状態までの各真空状態を計測するための複数種類の真空計群（圧力計、イオンゲージ、ピラニゲージ等）２３０および、所定比率に混合調整された放電ガスをフラットパネルディスプレイ装置１００に導入するための放電ガス源２４０（複数種類の放電ガスが各々充填された複数本のガスボンベ、ガス混合機等）が接続されている。また、図示するように枝分かれした各排気路の途中には、各バルブが配設されている。
【００３４】
本実施形態方法においては、上述したように複数本の排気管６０ａ、６０ｂを用いて真空排気を行うようにしている。
これは、従来、１本の排気管を真空ポンプに接続して真空排気を行い、かつ放電ガスの導入（封入）についても同じ１本の排気管を、放電ガス（必要であれば混合ガスとする）を充填したボンベに接続して導入していたため、作業効率が悪かったことに鑑み、その作業効率の改善を図るためになされたものである。すなわち、複数本の排気管６０ａ、６０ｂを用いて真空排気および／または放電ガスの導入を行うことで真空排気処理を高速化し、真空排気時間を短縮することができる。
【００３５】
また、上記真空排気時間をより短縮するために、一部の排気管６０ａ、６０ｂを用いて乾燥ガスを導入するとともに、その余の排気管６０ｂ、６０ａを用いて真空排気を行うようにしてもよい。図１の例では排気管が２本設けられているので、そのうちの１本を用いて乾燥ガスの導入を行い、これと同時に他の１本を用いて真空排気を行うことになる。なお、この場合には、図３の真空排気系とは異なり、少なくとも１本の排気管６０ａ、６０ｂはバルブの切替えにより、他の排気管６０ｂ、６０ａとは独立に乾燥ガス導入の経路に切替えられるように構成しておく必要がある。
【００３６】
このように乾燥ガスを導入することにより、パネル内の障壁や電極さらにはガラス面等の種々の部分に含まれている水分や酸素を取り除くことができ、残留ガスによる封入ガスの純度低下を抑えることが可能となる。
【００３７】
また、上記乾燥ガスは、化学的に安定な単ガスあるいは混合ガスであり、窒素Ｎ、ならびにヘリウムＨｅ、ネオンＮｅ、アルゴンＡｒ、キセノンＸｅおよびクリプトンＫｒ等の希ガスのうちのいずれか１つの単ガスまたは複数の混合ガスであることが好ましい。
【００３８】
また、ＰＤＰの場合には、前面板１０と背面板２０の間のスペースを真空排気した後、放電ガスを導入することになるので、上記乾燥ガスとして放電ガスに用いられるものと同じガスを用いることが作業性向上のために望ましい。
【００３９】
なお、ＰＤＰに封入される放電ガスは、一般に、イオン化エネルギの大きな希ガス（例えば、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｘｅ等の混合ガス）であるから、このような放電ガスを上記乾燥ガスとすることが可能である。
ただし、このようなＸｅ等の希ガスは一般に高価であるから、このような希ガスを上記乾燥ガスとする場合には、排気工程の最終段階で乾燥ガスの導入を行うことが望ましい。
【００４０】
次に、図２を用いて第２の実施形態方法について説明する。この第２の実施形態方法は、基本的には上記第１の実施形態方法と同様に構成されているが、複数本の排気管が互いに管径が異なるものとされている。すなわち、このフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）１１０は、前面板１０と背面板２０の間のスペースを高真空状態とするため、互いに管径の異なる排気管６０ｃ、６０ｄが、背面板２０に設けられた透孔部５０ｃ、５０ｄに各々取り付けられており、これら排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置は互いに近接した位置とされている。なお、排気管６０ｃ、６０ｄが真空ポンプ等に接続されている点では上記第１の実施形態方法のものと同様である。
【００４１】
また、上記第１の実施形態方法のものと同様に、３本以上の排気管を設けることも可能である。
【００４２】
この第２の実施形態方法においては、排気管チップオフ処理時において、２本の排気管６０ｃ、６０ｄを用いて略目標圧力まで真空排気した後、まず大径の排気管６０ｃについてのチップオフ処理を行う。このとき小径の排気管６０ｄによる真空排気処理は継続して行われており、最後に小径の排気管６０ｄについてのチップオフ処理を行う。これにより、前面板１０と背面板２０の間のスペースに残留するチップオフ処理に伴う不純ガスは小径の排気管６０ｄのチップオフ処理によるものが大半となる。排気管チップオフ処理時において、内部表面積の小さい小径の排気管６０ｄから放出される不純ガスは、大径の排気管６０ｃから放出される不純ガスに比べて少ないので、上述した第１の実施形態方法よりも、さらに排気管チップオフ処理に伴う不純ガスの残留量を少なくすることができる。
【００４３】
また、上述したように、排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置は互いに近接した位置とされているので、大径の排気管６０ｃについてのチップオフ処理を行う際に、小径の排気管６０ｄによる真空排気処理がより効率的となる。このように、排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置を互いに近接した位置とする構成は、放電ガスの導入が不要とされるＦＥＤの製造において特に有用である。
なお、排気管６０ｃ、６０ｄの取付位置を、図１に示す例のように互いに離間させるように構成することも可能である。
【００４４】
なお、本発明のフラットパネルディスプレイの製造方法は、上記実施形態に限られるものではなく、その他の種々の態様の変更が可能である。例えば、放電ガスを導入（封入）する際に、排気管毎に、互いに異なる種類のガスを充填したボンベに接続し、これら複数種類のガスをパネル内に導入して混合ガス化する手法を採用すれば、混合ガスを充填したボンベや混合機を必要せず、混合比の変更も容易である。ただし、この場合には、図３の真空排気系とは異なり、排気管毎に、互いに異なる種類のガスを充填したボンベに接続され得るように構成しておく必要がある。
【００４５】
【発明の効果】
本発明のフラットパネルディスプレイ装置の製造方法は、フラットパネルディスプレイ装置に、複数本の排気管を取り付け、これら複数本の排気管を用いて前面板および背面板の間を所定の圧力となるまで真空排気した後、複数本の排気管のうち一部のチップオフ処理を行うとともにその余の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後上記その余の排気管のチップオフ処理を行うようにしている。
これにより、真空排気の高速化を図ることができるとともに、排気管のチップオフ時に発生する不純ガスの残留量を減少させることが可能となる。
【００４６】
真空排気の高速化を図ることで製品価格を低減することができ、また、不純ガスの残留量を減少させることで、放電電圧の特性や電極寿命等を向上させることができる。
また、ＦＥＤ等では、不純ガスの残留量を減少させ真空度を向上させることで、放電破壊を起こりにくくすることができ、歩留まりを向上させることができる。
【００４７】
また、上記複数本の排気管を、大径の排気管と小径の排気管が少なくとも１本ずつ含まれるようにし、大径の排気管のチップオフ処理を行うとともに小径の排気管を用いて真空排気処理を行い、この後小径の排気管のチップオフ処理を行うようにすれば、内部表面積の小さい小径の排気管から放出される不純ガスは、大径の排気管から放出される不純ガスに比べて少ないので、上述した第１の実施形態方法よりも、さらに排気管チップオフ処理に伴う不純ガスの残留量を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態方法に係るフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）を示す概略断面図
【図２】本発明の第２の実施形態方法に係るフラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）を示す概略断面図
【図３】本発明の実施形態方法において用いられる真空排気システムの一例を示す概略図
【符号の説明】
１０      前面板
２０      背面板
４０      貼合せ用フリットガラス
５０ａ〜ｄ      透孔部
６０、６０ａ〜ｄ      排気管
１００、１１０    フラットパネルディスプレイ装置（パネル部分）
２００    電気炉
２１０    排気管ジョイント
２２０    真空ポンプ群
２３０    真空計群
２４０    放電ガス源
【図１】
2004342445.tif 000003
【図２】
2004342445.tif 000004
【図３】
2004342445.tif 000005