(57)【要約】【課題】ウエーハの周縁部に発生する外周ダレを防止できる長寿命のリテーナを提供すること。【解決手段】回転する研磨パッド１１にウエーハＷを押し付けて上記ウエーハＷの表面を研磨する際、上記ウエーハＷが脱離しないようその周縁部を保持するリテーナ２３において、上記ウエーハＷの周囲を包囲するとともに、上記研磨パッド１１に当接される第１のリング２３ａと、この第１のリング２３ａの径方向外側に配置されるとともに、上記研磨パッド１１に当接され、上記第１のリング２３ａよりも耐磨耗性が高い環状の第２のリング２３ｂとを具備する。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが脱離しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、
上記ウエーハの周囲を包囲するための環状の第１の部材と、
この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高い環状の第２の部材と、
を具備することを特徴とするリテーナ。
【請求項２】
上記第１の部材は、上記研磨パッドと対向する面に溝部を備えていることを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
【請求項３】
上記第２の部材は、その径方向外側に向かうにつれて耐磨耗性が順に高くなるように配置された複数の環状の部材によって構成されていることを特徴とする請求項１記載のリテーナ。
【請求項４】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが離脱しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、
上記ウエーハの径方向外側に向かうにつれて耐磨耗性が徐々に高くなる環状の傾斜機能材料により形成されていることを特徴とするリテーナ。
【請求項５】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが離脱しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、
上記ウエーハの周囲を包囲するための環状の第１の部材と、
この第１の部材の径方向外側に、上記第１の部材よりも上記研磨パッド側に突出して配置される環状の第２の部材と、
上記第１の部材に対する上記第２の部材の突出量を調整する調整手段と、
を具備することを特徴とするリテーナ。
【請求項６】
上記第１の部材は、取り付け部材に固定されており、上記調整手段は、この取り付け部材と上記第１の部材の間に着脱自在に介装される調整板であることを特徴とする請求項５記載のリテーナ。
【請求項７】
上記第２の部材は、取り付け部材に固定されており、上記調整手段は、この取り付け部材と上記第２の部材の間に着脱自在に介装される調整板であることを特徴とする請求項５記載のリテーナ。
【請求項８】
回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置において、
上記ウエーハを保持するとともに、このウエーハを上記研磨パッドに押し当てるキャリアと、
このキャリアの外周側に配置されるとともに、上記研磨パッドに当接されるリテーナと、
を具備し、
上記リテーナは、
上記ウエーハの周囲を包囲して、その周縁部を保持する環状の第１の部材と、
この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高い環状の第２の部材と、
から構成されていることを特徴とするウエーハ研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置に係り、特にウエーハの周縁部を保持するリテーナの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウエーハ製造工程には、ウエーハの表面を鏡面に仕上げるポリッシング工程がある。この工程では、回転する研磨パッドの表面にウエーハを押し付けて、上記ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置が用いられる。
【０００３】
ウエーハ研磨装置は、駆動軸により回転される研磨テーブルを有している。研磨テーブルの上面には研磨パッドが設けられ、さらにその上面側にはウエーハを保持して回転するウエーハ保持ヘッドが配設されている。
【０００４】
ウエーハ保持ヘッドは上下駆動機構を有しており、保持したウエーハを研磨パッドの表面に所望の接触圧力で押し付けることができる。研磨パッドに押し付けられたウエーハの表面は、研磨パッドとの摩擦によって研磨されて、鏡面に仕上げられる。
【０００５】
研磨中のウエーハには、回転する研磨パッドとの摩擦によって、ウエーハ保持ヘッドの径方向外側に向かって大きな力が作用している。そのため、ウエーハ保持ヘッドの下面外側にリテーナを配置し、このリテーナによってウエーハの周縁部を保持することで、回転するウエーハがウエーハ保持ヘッドの下面側から飛び出すのを防止している。
【０００６】
ところで、通常研磨パッドは粘弾性材料によって形成されている。粘弾性材料は、応力が変形速度に比例する粘性領域を有しているため、図８に示すように、ウエーハＷの移動方向先方における研磨パッド１０１（圧縮されていない部分）がウエーハＷの下面側に入り込むときに、ウエーハＷの周縁部に研磨パッド１０１の圧縮変形による大きな圧力が作用する。それによって、図１０に示すように、ウエーハＷの周縁部がウエーハＷの中央部に比べてより多く研磨される、いわゆる外周ダレが生じるという問題がある。
【０００７】
そこで、最近では、図９に示すように、上記リテーナ１０２を研磨パッド１０１に押し付けることで、ウエーハＷの移動方向先方における研磨パッド１０１を予め圧縮するようにしている。
【０００８】
こうすることで、研磨パッド１０１がウエーハＷの下面側に入り込むとき、ウエーハＷの周縁部に上述の大きな圧力が作用することがないから、ウエーハＷに外周ダレが発生するのを防止することができる。
【０００９】
このウエーハ保持ヘッドの構成を図１１に示す。
【００１０】
このウエーハ保持ヘッド１０３では、ウエーハＷとリテーナ１０２に１つの定盤１０４を介して荷重をかけることで、ウエーハＷとリテーナ１０２を研磨パッド１０１に当接させている。
【００１１】
このような構成では、装置の構成を簡単化することができる一方、研磨パッド１０１との摩擦によってリテーナ１０２の下面が磨耗するため、時間が経過するにつれて研磨パッド１０１に所望の荷重をかけられなくなるという問題がある。
【００１２】
リテーナ１０２が研磨パッド１０１にかける荷重が低下すると、リテーナ１０２の下面側における研磨パッド１０１の厚さが厚くなり、ウエーハＷの下面側における研磨パッド１０１の厚さに対してギャップが形成されてしまう。
【００１３】
そのため、ウエーハＷの周縁部には、研磨パッド１０１の圧縮変形による応力で外周ダレが発生することがある。
【００１４】
そこで、このような問題を解決するために、ウエーハＷにかける荷重とリテーナ１０２にかける荷重をそれぞれ独立に制御したウエーハ保持ヘッドが使用されている。このウエーハ保持ヘッドの構成を図１２に示す。
【００１５】
このような構成にすることで、研磨パッド１０１との摩擦によってリテーナ１０２が磨耗しても、常に同じ荷重で研磨パッド１０１を押さえ付けることができる。
【００１６】
しかしながら、上述のように、リテーナ１０２がウエーハＷの周縁部を保持するという役割を担っているため、ウエーハＷの外周に近接して配設される必要があり、リテーナ１０２が研磨パッド１０１を押し付けることで研磨パッド１０１に形成される盛り上がり部１１０がウエーハＷの周縁部に干渉し、外周ダレを発生させることがある。
【００１７】
そこで、リテーナ１０２の径方向内側に盛り上がり部１１０を逃がすための溝部１０７を設け、リテーナ２３の研磨パッド１０１を押え付ける部分とウエーハＷを保持する部分とを離間させたウエーハ保持ヘッド１０８が開発されている（例えば特許文献１参照。）。このウエーハ保持ヘッド１０８の構成を図１３に示す。
【００１８】
このウエーハ保持ヘッド１０８では、ウエーハＷにかける荷重とリテーナ１０２にかける荷重を独立に制御することができるから、研磨パッド１０１を常に一定の荷重で押え付けることができる。しかも、リテーナ１０２の径方向内側に形成される盛り上がり部１１０がウエーハＷの周縁部に干渉しないから、外周ダレが発生することがない。
【００１９】
【特許文献１】
特開２００２−１８７０９号公報。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、リテーナ１０２の径方向内側に溝部１０７を形成したウエーハ研磨装置１０６では、研磨パッド１０１との摩擦によって、リテーナ１０２の研磨パッド１０１との接触部分が徐々に磨耗していく。その結果、リテーナ１０２の下面に形成された溝部１０７が徐々に浅くなり、最終的に溝部１０７が無くなってしまう。
【００２１】
こうなると、上述したようにリテーナ１０２の下面全体が研磨パッド１０１を押え付けることになり、リテーナ１０２の径方向内側に形成される盛り上がり部１１０によってウエーハＷの周縁部に外周ダレが発生することになる。
【００２２】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ウエーハＷの周縁部に発生する外周ダレを防止できる長寿命のリテーナ、及びウエーハ研磨装置を提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明のリテーナ及びウエーハ研磨装置は次のように構成されている。
【００２４】
（１）回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが脱離しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、上記ウエーハの周囲を包囲するための環状の第１の部材と、この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高い環状の第２の部材とを具備することを特徴とする。
【００２５】
（２）（１）に記載されたリテーナであって、上記第１の部材は、上記研磨パッドと対向する面に溝部を備えていることを特徴とする。
【００２６】
（３）（１）に記載されたリテーナであって、上記第２の部材は、その径方向外側に向かうにつれて耐磨耗性が順に高くなるように配置された複数の環状の部材によって構成されていることを特徴とする。
【００２７】
（４）回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが離脱しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、上記ウエーハの径方向外側に向かうにつれて耐磨耗性が徐々に高くなる環状の傾斜機能材料により形成されていることを特徴とする。
【００２８】
（５）回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨する際、上記ウエーハが離脱しないようその周縁部を保持するリテーナにおいて、上記ウエーハの周囲を包囲するための環状の第１の部材と、この第１の部材の径方向外側に、上記第１の部材よりも上記研磨パッド側に突出して配置される環状の第２の部材と、上記第１の部材に対する上記第２の部材の突出量を調整する調整手段とを具備することを特徴とする。
【００２９】
（６）（５）に記載されたリテーナであって、上記第１の部材は、取り付け部材に固定されており、上記調整手段は、この取り付け部材と上記第１の部材の間に着脱自在に介装される調整板であることを特徴とする。
【００３０】
（７）（５）に記載されたリテーナであって、上記第２の部材は、取り付け部材に固定されており、上記調整手段は、この取り付け部材と上記第２の部材の間に着脱自在に介装される調整板であることを特徴とする。
【００３１】
（８）回転する研磨パッドにウエーハを押し付けて上記ウエーハの表面を研磨するウエーハ研磨装置において、上記ウエーハを保持するとともに、このウエーハを上記研磨パッドに押し当てるキャリアと、このキャリアの外周側に配置されるとともに、上記研磨パッドに当接されるリテーナとを具備し、上記リテーナは、上記ウエーハの周囲を包囲して、その周縁部を保持する環状の第１の部材と、この第１の部材の径方向外側に配置され、上記第１の部材よりも耐磨耗性が高い環状の第２の部材とから構成されていることを特徴とする。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【００３３】
図１は本発明の第１の実施の形態に係るウエーハ研磨装置の構成を示す斜視図である。
【００３４】
このウエーハ研磨装置は、研磨テーブル１０とウエーハ保持ヘッド２０から構成される。
【００３５】
研磨テーブル１０は円盤状に形成され、上面には研磨パッド１１が貼付されている。研磨パッド１１の材質は、ウエーハＷの研磨層の材質によって適宜選択される。
【００３６】
研磨テーブル１０の下部には、駆動軸１２が固定されている。この駆動軸１２には、モータ１３の出力軸（布図示）が連結されており、上記モータ１３を駆動することによって、研磨テーブル１０を矢印Ａ方向に回転できるようになっている。
【００３７】
研磨テーブル１０に貼付された研磨パッド１１の上面には、供給ノズル（不図示）によって研磨液が供給される。研磨溶液としては、コロイダルシリカを含むアルカリ溶液が使用される。
【００３８】
ウエーハ保持ヘッド２０は、昇降装置（布図示）によって上下方向に移動自在に設けられている。ウエーハ保持ヘッド２０の下面には、研磨対象としてのウエーハＷが着脱可能に保持され、上記昇降装置によってウエーハ保持ヘッド２０を下降させることで、保持したウエーハＷを研磨パッド１１に押圧できるようになっている。
【００３９】
上記昇降装置には、制御装置（不図示）が接続されている。この制御装置は、ウエーハ保持ヘッド２０に加える荷重を制御し、ウエーハＷと研磨パッド１１の間の接触圧力を所望の値に調整する。
【００４０】
なお、図１では１台のウエーハ保持ヘッド２０のみ示しているが、これに限定されるものではなく、例えば駆動軸１２を中心とする円周上に複数台のウエーハ保持ヘッド２０を所定の間隔で設置してもよい。
【００４１】
図２はウェーハ保持ヘッド２０の構成を示す縦断面図である。
【００４２】
このウエーハ保持ヘッド２０は、ヘッド本体２１、キャリア２２、リテーナ２３などから構成される。
【００４３】
ヘッド本体２１は、開口部２１ａを下方に向けて配置された有底筒体からなり、上面には回転軸２４が固定されている。この回転軸２４にはモータ（不図示）が接続されており、上記モータを駆動することにより、ヘッド本体２１を矢印Ｂ方向に回転できるようになっている。
【００４４】
キャリア２２は、略円柱状をしており、ヘッド本体２１の内側にヘッド本体２１と同軸となるよう固定されている。キャリア２２の下端部は、ヘッド本体２１の開口部２１ａから下側に突出しており、その下面には上述した研磨対象としてのウエーハＷが保持される。キャリア２２の下面に保持されたウエーハＷは、上記モータを駆動することで、キャリア２２と共に矢印Ｂ方向に回転するようになっている。
【００４５】
リテーナ２３は、ウエーハＷの外周に配置される環状の第１のリング２３ａ（第１の部材）と、この第１のリング２３ａの径方向外側に配置される環状の第２のリング２３ｂ（第１の部材）から構成される。これら第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂは、共にヘッド本体２１の下端面にヘッド本体２１と同軸に固定されている。
【００４６】
なお、本実施の形態では、第１のリング２３ａ及び第２のリング２３ｂを環状の部材によって形成しているが、これに限定される必要はなく、複数の部材を組み合わせて全体として環状に形成してもよい。
【００４７】
第１のリング２３ａは、ウエーハＷの周囲を包囲することで、研磨中のウエーハＷがキャリア２２の下面側から飛び出さないよう周縁部を保持している。一方、第２のリング２３ｂは、研磨中のウエーハＷの径方向外周側における研磨パッド１１を押圧している。
【００４８】
なお、第１のリング２３ａは、耐磨耗性の低い素材、例えばポリカーボネート樹脂等によって形成されており、第２のリング２３ｂは、耐磨耗性の高い素材、例えばＭＣナイロン樹脂、ポリイミド（ベスペル）、ＰＥＴ、ＰＰＳ、ポリアセタール樹脂（ジュラコン、デルリン）等によって形成されている。
【００４９】
第２のリング２３ｂの下端部は、第１のリング２３ａよりも研磨パッド１１側に突出している。それによって、リテーナ２３の下面には、径方向内側に研磨パッド１１の盛り上がりを逃がすための溝部２５が環状に形成されている。
【００５０】
この溝部２５は、後述する「ならし研磨」によって形成されるもので、第１のリング２３ａの素材、第２のリング２３ｂの素材、研磨パッド１１の素材、ウエーハ保持ヘッド２０の回転速度、研磨テーブル１０の回転速度等によって変化する。
【００５１】
次に、上述の「慣らし研磨」によってリテーナ２３の下面に溝部２５を形成する工程について図３を用いて説明する。
【００５２】
図３はリテーナ２３の下面に溝部２５を形成する工程におけるリテーナ２３の形状とリテーナ２３に作用する圧力分布を示す概略図である。
【００５３】
まず、図３（ａ１）に示すように、段差を有していないリテーナ２３をヘッド本体２１に取り付ける。そして、昇降装置（不図示）を駆動してウエーハ保持ヘッド２０を研磨パッド１１に所定の荷重で押圧する。このとき、第１のリング２３ａ及び第２のリング２３ｂに作用する接触圧力は、図３（ａ２）に示すように、略等しくなっている。
【００５４】
次に、図３（ｂ１）に示すように、ウエーハ保持ヘッド２０と研磨テーブル１０をウエーハＷの研磨時と同じ条件の下で駆動する。それによって、リテーナ２３の下面は、研磨パッド１１との摩擦により研磨され、耐磨耗性の異なる第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂの間に段差が形成される。
【００５５】
この段差は、リテーナ２３の研磨が進むにつれて徐々に拡大するため、第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂに作用する接触圧力に変化が生じてくる。そして、第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂの磨耗速度が等しくなったら、ウエーハ保持ヘッド２０と研磨テーブル１０の駆動を停止し、ならし研磨を終了する。
【００５６】
ならし研磨の終了後には、リテーナ２３の下面に上述の溝部２５が形成されている。このとき、第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂに作用する接触圧力には、図３（ｂ２）に示すように、所定の差が生じている。
【００５７】
すなわち、第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂに、図３（ｂ２）に示すような圧力の差が生じているとき、第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂの耐磨耗性の差とバランスがとれて、これらの磨耗速度が略等しくなる。
【００５８】
次に、上記構成のウエーハ研磨装置を用いてウエーハを研磨する際の作用について説明する。
【００５９】
上述の「ならし研磨」が終了したら、ウエーハ保持ヘッド２０を上昇させ、その下面に研磨対象としてのウエーハＷを供給する。そして、ウエーハ保持ヘッド２０を下降させ、制御装置によってリテーナ２３を研磨パッド１１に所定の荷重で押し付ける。なお、この荷重値は、研磨パッド１１の厚さが、研磨中のウエーハＷの下面側における研磨パッド１１と略等しくなるように設定される。
【００６０】
次に、ウエーハ保持ヘッド２０と研磨テーブル１０を駆動し、保持したウエーハＷを研磨パッド１１によって研磨する。このとき、リテーナ２３の第２のリング２３ｂが、ウエーハＷの移動方向先方における研磨パッド１１をウエーハＷの下面側における研磨パッド１１と略同じ厚さに圧縮しているから、外周ダレが発生することがない。
【００６１】
しかも、研磨パッド１１を押え付ける第２のリング２３とウエーハＷとの間に第１のリング２３ａを備えたことで、ウエーハＷと第２のリング２３ｂを第１のリング２３ａの径方向の厚さ分だけ離間することができるから、第２のリング２３ｂが研磨パッド１１を押え付けることで第２のリング２３ｂの径方向内側に発生する盛り上がり部分によって、ウエーハＷの周縁部が過剰に研磨されるのを防止できる。
【００６２】
また、図３（ｃ１）に示すように、ウエーハＷの研磨中には、第２のリング２３ｂの下面が研磨パッド１１に当接しているため、第２のリング２３ｂは徐々に磨耗してゆく。しかしながら、ウエーハＷの研磨中には、リテーナ２３の溝部２５に収容された盛り上がり部分も、終始第１のリング２３ａを磨耗させている。
【００６３】
しかも、第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂは、略同じ速度で磨耗してゆくから、第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂに作用する接触圧力は、図３（ｃ２）に示すように、上述のならい研磨終了時における差を維持している。
【００６４】
そのため、ウエーハＷの研磨中、リテーナ２３の下面に形成された溝部２５の深さが維持されるから、上述した効果を常に得ることができる。
【００６５】
また、上述のように、リテーナ２３の磨耗が進行しても、溝部２５の深さが維持されるから、上述した効果が最後まで維持される。その結果、リテーナ２３の上下方向の寸法を大きくしておくことで、リテーナ２３の寿命を飛躍的に延ばすことができる。
【００６６】
さらに、慣らし研磨によってそれぞれの加工条件に最適な形状にすることができるから、種々のバリエーションを用意する必要がない。
【００６７】
図４は同実施の形態に係るリテーナの第１変形例を示す断面図である。
【００６８】
この変形例に係るリテーナ２３Ａは、第１のリング２３ａの下面に周方向に沿って溝３１を備えている。
【００６９】
このように、第１のリング２３ａの下面に溝３１を形成しておくことで、第１のリング２３ａと研磨パッド１１（図４には図示せず）との接触面積が低減するから、ならし研磨に要する時間を短縮することができる。
【００７０】
図５は同実施の形態に係るリテーナの第２変形例を示す断面図である。
【００７１】
この変形例に係るリテーナ２３Ｂは、その径方向内側（図５中左側）から径方向外側に向かって耐磨耗性が順に大きくなるように配設された複数、この変形例では３つのリング２３ｃ〜２３ｅによって構成されている。
【００７２】
このような構成にしても、上記第１の実施の形態とほぼ同様の効果を得ることができる。
【００７３】
図６は同実施の形態に係るリテーナの第３の変形例を示す断面図である。
【００７４】
この変形例に係るリテーナ２３Ｃは、その径方向内側から径方向外側に向かって耐磨耗性が徐々に大きくなる、いわゆる傾斜機能材料によって構成されている。
【００７５】
このような構成にしても、上記第１の実施の形態とほぼ同様の効果を得ることができる。
【００７６】
次に、図７を参照しながら本発明の第２の実施の形態について説明する。なお、ここでは、第１の実施の形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略する。
【００７７】
図７は本発明の第２の実施の形態に係るリテーナ３２の構成を示す断面図である。
【００７８】
このリテーナ３２は、ヘッド本体２１と第１のリング２３ａとの間に、ヘッド本体２１と第１のリング２３ａの間の距離を調整するための複数のシム３３（調整板）を備えている。
【００７９】
第１のリング２３ａは、第２のリング２３ｂに比べて予め上下方向の厚さが薄く形成されており、リテーナ３２の下面には第１のリング２３ａと第２のリング２３ｂの厚さの差によって溝部２５が形成されている。
【００８０】
この溝部２５の深さは、シム３３を抜き差しすることで調整可能であり、ウエーハＷの研磨時にその周縁部に外周ダレが発生しないように設定される。
【００８１】
これによって、ならし研磨を行わずしてリテーナ３２の下面に所望の深さの溝部２５を形成することができるから、ウエーハＷの周縁部に外周ダレが発生するのを防止することができる。
【００８２】
しかも、ウエーハＷの研磨によって溝部２５が浅くなったとき、シム３３を抜き取るだけで、溝部２５を適切な深さに調整することができるから、リテーナ２３の寿命を飛躍的に延ばすことができる。
【００８３】
また、本実施の形態では、ヘッド本体２１と第１のリング２３ａの間に複数のシム３３を配設し、第２のリング２３ｂの磨耗の進行に伴って上記シム３３を抜き取るようにしているが、これに限定されるものではなく、第２のリング２３ｂの磨耗の進行に伴ってヘッド本体２１と第２のリング２３ｂとの間に順次シム３３を差し込むようにしてもよい。
【００８４】
これによっても、リテーナ２３の下面に所望の深さの溝部２５を形成することができるから、ウエーハＷの周縁部に外周ダレが発生するのを防止することができる。
【００８５】
なお、本発明は、上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００８６】
【発明の効果】
本発明によれば、ウエーハの周縁部に発生する外周ダレを防止でき、さらにリテーナの寿命を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るウエーハ研磨装置の構成を示す斜視図。
【図２】同実施の形態に係るウェーハ保持ヘッドの構成を示す縦断面図。
【図３】同実施の形態に係るリテーナに溝部を形成する工程におけるリテーナの形状とリテーナに作用する圧力分布を示し、（ａ）は初期状態の状態を示す概略図、（ｂ）は慣らし研磨時の状態を示す概略図、（ｃ）は慣らし研磨終了後の状態を示す概略図。
【図４】同実施の形態に係るリテーナの第１変形例を示す断面図。
【図５】同実施の形態に係るリテーナの第２変形例を示す断面図。
【図６】同実施の形態に係るリテーナの第３変形例を示す断面図。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係るリテーナの構成を示す断面図。。
【図８】リテーナを研磨パッドに当接してないウエーハ研磨装置を使用した場合における外周ダレの発生メカニズムを説明する説明図。
【図９】リテーナを研磨パッドに当接したウエーハ研磨装置を使用した場合における外周ダレの低減メカニズムを説明する説明図。
【図１０】従来のリテーナを用いてウエーハを研磨したときのウエーハの厚さを示す断面図。
【図１１】ウエーハとリテーナに１つの定盤を介して荷重を加える従来のウエーハ保持ヘッドの構成を示す概略図。
【図１２】ウエーハにかける荷重とリテーナにかける荷重をそれぞれ独立に制御する従来のウエーハ保持ヘッドの構成を示す概略図。
【図１３】リテーナの下面に盛り上がり部を逃がすための溝部を備えた従来のウエーハ保持ヘッドの構成を示す概略図。
【符号の説明】
１１…研磨パッド、２１…ヘッド本体（取り付け部材）、２２…キャリア、２３、２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ…リテーナ、２３ａ…第１のリング（第１の部材）、２３ｂ…第２のリング（第２の部材）、３３…シム（調整板）、Ｗ…ウエーハ。
【図１】
2004342830.tif 000003
【図２】
2004342830.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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