(57)【要約】【課題】歪みの少ない鮮明な画像を記録することが可能なサーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタを提供すること。【解決手段】上面に多数の発熱抵抗体３及び複数の回路導体を有するヘッド基板１と、上面に前記回路導体と金属細線を介して電気的に接続される複数の配線導体を有する配線基板７とを併設するとともに、前記金属細線を帯状の樹脂材１０で共通に封止してなるサーマルヘッドにおいて、前記帯状の樹脂材１０を、その長手方向中央域に配される硬質樹脂部１０ａと、長手方向両端域に配される軟質樹脂部１０ｂとで構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に多数の発熱抵抗体及び複数の回路導体を有するヘッド基板と、上面に前記回路導体と金属細線を介して電気的に接続される複数の配線導体を有する配線基板とを併設するとともに、前記金属細線を帯状の樹脂材で共通に封止してなるサーマルヘッドにおいて、
前記帯状の樹脂材は、その長手方向中央域に配される硬質樹脂部と、長手方向両端域に配される軟質樹脂部とから成ることを特徴とするサーマルヘッド。
【請求項２】
前記樹脂材の軟質樹脂部よりも硬い樹脂材料からなる枠体が前記樹脂材の外周に沿って配されており、前記軟質樹脂部が平面視状態で前記枠体と前記硬質樹脂部とで囲繞されていることを特徴とする請求項１に記載のサーマルヘッド。
【請求項３】
前記枠体が前記硬質樹脂部と同じ材料により形成されていることを特徴とする請求項２に記載のサーマルヘッド。
【請求項４】
前記枠体の高さが前記軟質樹脂部の上面よりも高く設定されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載のサーマルヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のサーマルヘッドと、該サーマルヘッド上に記録媒体を搬送する搬送手段とを具備することを特徴とするサーマルプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ファクシミリやビデオプリンタ等のプリンタ機構として組み込まれるサーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ファクシミリやビデオプリンタ等のプリンタ機構として組み込まれるものとしてサーマルヘッドが知られている。
【０００３】
かかる従来のサーマルヘッドとしては、例えば図８及び図９に示す如く、上面に多数の発熱抵抗体２３、複数の回路導体２４及びドライバーＩＣ２５等を有するアルミナセラミックス製のヘッド基板２１と、上面に前記回路導体２４と金属細線２９を介して電気的に接続される複数の配線導体２８を有するガラスエポキシ樹脂製の配線基板２７とを併設するとともに、前記金属細線２９を帯状の樹脂材３０で共通に封止した構造のものが知られており、感熱記録紙等の記録媒体をプラテンローラ等の搬送手段によって発熱抵抗体２３上に搬送しながら、多数の発熱抵抗体２３をドライバーＩＣ２５の駆動に伴って個々に選択的にジュール発熱させるとともに、これらの熱を記録媒体に伝達させることによって感熱記録紙に所定の画像が形成される。
【０００４】
尚、前記帯状の樹脂材３０は、エポキシ樹脂等の比較的硬い樹脂材料により形成されており、液状に成したエポキシ樹脂の前駆体をディスペンサー等を用いてヘッド基板２１と配線基板２７との境界部に塗布し、これを高温で加熱・重合させることによって形成されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のサーマルヘッドにおいては、ヘッド基板２１を構成するアルミナセラミックスと配線基板２７を構成するガラスエポキシ樹脂とは線膨張係数が相違しているため、樹脂材３０の形成にあたり、エポキシ樹脂の前駆体を加熱・重合させる際、ヘッド基板２１や配線基板２７に大きな熱応力が印加されることがある。
【０００６】
しかしながら、上述した従来のサーマルヘッドの樹脂材全体が比較的硬いエポキシ樹脂等により形成されていることから、ヘッド基板２１、配線基板２７に生じる熱応力が樹脂材３０によってあまり吸収されず、サーマルヘッドが弓状に湾曲し、発熱抵抗体２３の配列の直線性が喪失されてしまう。その結果、記録紙に形成される画像に歪みが生じる欠点を有していた。
【０００７】
そこで上記欠点を解消すべく、前記樹脂材全体をシリコーン樹脂等の比較的軟い樹脂材料により形成し、ヘッド基板２１と配線基板２７の線膨張係数の違いに起因した熱応力を樹脂材３０で吸収し、サーマルヘッドの湾曲を防止することが提案されている。
【０００８】
しかしながら、樹脂材３０としてシリコーン樹脂等の軟質樹脂材料を用いた場合、ヘッド基板２１と配線基板２７との接着強度がそれ程十分ではないことから、記録動作時、記録媒体が樹脂材３０の表面に摺接すると、その摩擦力や押圧力によりヘッド基板２１と配線基板２７の位置関係が微妙にずれ、発熱抵抗体２３の位置ズレが起こり、依然として画像に歪みが生じる欠点を誘発する。
【０００９】
本発明は上記欠点に鑑み案出されたものであり、その目的は、歪みの少ない鮮明な画像を記録することが可能なサーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のサーマルヘッドは、上面に多数の発熱抵抗体及び複数の回路導体を有するヘッド基板と、上面に前記回路導体と金属細線を介して電気的に接続される複数の配線導体を有する配線基板とを併設するとともに、前記金属細線を帯状の樹脂材で共通に封止してなるサーマルヘッドにおいて、前記帯状の樹脂材は、その長手方向中央域に配される硬質樹脂部と、長手方向両端域に配される軟質樹脂部とから成ることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明のサーマルヘッドは、前記樹脂材の軟質樹脂部よりも硬い樹脂材料からなる枠体が前記樹脂材の外周に沿って配されており、前記軟質樹脂部が平面視状態で前記枠体と硬質樹脂部とで囲繞されていることを特徴とするものである。
【００１２】
更に、本発明のサーマルヘッドは、前記枠体が前記硬質樹脂部と同じ材料により形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
また更に、本発明のサーマルヘッドは、前記枠体の高さが前記軟質樹脂部の上面よりも高く設定されていることを特徴とするものである。
【００１４】
そして、本発明のサーマルプリンタは、上述したサーマルヘッドと、該サーマルヘッド上に記録媒体を搬送する搬送手段とを具備することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明によれば、上面に多数の発熱抵抗体及び複数の回路導体を有するヘッド基板と、上面に前記回路導体と金属細線を介して電気的に接続される複数の配線導体を有する配線基板とを併設するとともに、前記金属細線を帯状の樹脂材で共通に封止してなるサーマルヘッドにおいて、前記帯状の樹脂材を長手方向中央域に配される硬質樹脂部と、長手方向両端域に配される軟質樹脂部とで形成したことから、ヘッド基板と配線基板との線膨張係数の差に起因した熱応力を樹脂材の長手方向両端域に配される軟質樹脂部で適度に吸収し、サーマルヘッドが弓状に湾曲することを有効に防止することができることに加え、長手方向中央域に配される硬質樹脂部でヘッド基板と配線基板とが強固に接着され、両基板同士の位置関係を初期状態より保持することができる。従って、歪みの少ない鮮明な画像を記録することが可能な高品質のサーマルヘッド及びサーマルプリンタが実現される。
【００１６】
また、本発明によれば、前記樹脂材の軟質樹脂部よりも硬い樹脂材料からなる枠体を前記樹脂材の外周に沿って配設するとともに、前記枠体と硬質樹脂部とで前記軟質樹脂部を平面視状態で囲繞することにより、樹脂材の形成時に、軟質樹脂部を構成する流動性の高い軟質樹脂材料が周囲に広がろうとしても、枠体や硬質樹脂部によって良好に堰きとめられることとなり、それ故、樹脂材を所望の領域に容易に形成することができるようになり、サーマルヘッド及びサーマルプリンタの生産性を高く維持することが可能となる。
【００１７】
更に、本発明によれば、前記枠体を前記硬質樹脂部と同じ材料により形成することにより、枠体と樹脂材の硬質樹脂部とを同一工程で同時に形成することができ、枠体を形成することによって製造工程が複雑化することを有効に防止することができる。
【００１８】
また更に、本発明によれば、前記枠体の高さを前記軟質樹脂部の上面よりも高く設定することにより、記録動作時、記録媒体が樹脂材に直接当たることはほとんどなく、従って、記録媒体の摺接に伴う樹脂材への衝撃によって金属細線が破損するといった不具合を有効に防止され、信頼性の高いサーマルヘッド及びサーマルプリンタが得られるという利点がある。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態にかかるサーマルヘッドの平面図、図２は図１のサーマルヘッドのＡ−Ａ線断面図であり、同図に示すサーマルヘッドは、大略的にヘッド基板１と配線基板７とを併設させて構成されている。
【００２０】
前記ヘッド基板１は、アルミナセラミックス等の絶縁材料や表面を酸化膜で被覆した単結晶シリコン等、種々の材料により長尺状に形成されたベースプレート２の上面に多数の発熱抵抗体３や複数の回路導体４、ドライバーＩＣ５等が被着させた構造を有しており、その上面で発熱抵抗体３や複数の回路導体４、ドライバーＩＣ５等を支持するための支持母材として機能する。
【００２１】
尚、前記ヘッド基板１は、アルミナセラミックスからなる場合、例えば、アルミナ、シリカ、マグネシア等のセラミックス材料粉末に適当や有機溶媒、溶媒を添加・混合して泥漿状に成すとともに、これを従来周知のドクターブレード法、あるいはカレンダーロール法を採用することによってセラミックグリーンシートを得、しかる後、該グリーンシートを所定の長方形状に打ち抜いた上、高温（約１６００℃）で焼成することによって製作される。
【００２２】
また、前記ヘッド基板１の上面に設けられている多数の発熱抵抗体３は、ヘッド基板１の長辺に沿って例えば６００ｄｐｉ（ｄｏｔ　ｐｅｒ　ｉｎｃｈ）の密度で直線状に配列されており、その各々がＴａＳｉＯ，ＴｉＳｉＯ等の電気抵抗材料により形成されているため、各発熱抵抗体３の両端に接続される回路導体４等を介して電力が印加されるとジュール発熱を起こし、記録媒体に印画を形成するのに必要な所定の温度、例えば１５０℃〜２５０℃の温度となる。
【００２３】
更に、前記複数の回路導体４は、アルミニウムや銅等の金属から成り、発熱抵抗体３やドライバーＩＣ５に電源電力や電気信号等を供給するための給電線もしくは信号線として機能するものであり、一端がドライバーＩＣ５を介してヘッド基板１の他方の長辺近傍まで導出され、該導出部と前記配線基板７上の配線導体８が金属細線９を介して電気的に接続されている。
【００２４】
尚、前記発熱抵抗体３及び複数の回路導体４は、従来周知の薄膜形成技術、例えばスパッタリング、フォトリソグラフィー技術、エッチング技術等を採用することによってヘッド基板１の上面に所定厚み、所定パターンに被着・形成される。
【００２５】
また、前記ヘッド基板１上に搭載されている複数個のドライバーＩＣ５は、先に述べた発熱抵抗体３の配列に対して略平行な状態で、間に所定の間隔を空けて取着・配列されている。
【００２６】
このようなドライバーＩＣ５は、外部からの画像データに基づいて発熱抵抗体３への通電のオン・オフを制御するためのものであり、かかるドライバーＩＣ５としてはフリップチップ型ＩＣが好適に用いられる。
【００２７】
例えば、フリップチップ型のドライバーＩＣ５を用いる場合、シリコンウエハの下面にシフトレジスタ、ラッチ、スイッチングトランジスタ等の電子回路や入・出力端子等が設けられ、従来周知のフェースダウンボンディング法によって回路導体４上の所定位置に搭載される。
【００２８】
一方、前記ヘッド基板１の他方の長辺側、すなわち回路導体４の導出部側には、配線基板７が併設されている。
【００２９】
前記配線基板７は、ガラス布基材エポキシ樹脂等からなるベース基板７ａの上面に銅やアルミニウム等の金属材料からなる複数の配線導体８を所定パターンに被着させた構造を有しており、ヘッド基板１側の端面がヘッド基板１の端面に対して近接配置されている。
【００３０】
また前記配線基板７上の配線導体８には、ヘッド基板１側にボンディング用のパッドが設けられており、該パッドとヘッド基板１の回路導体４の導出部とを金属細線９でボンディングしておくことにより、外部からの画像データや電気信号、電源電力等がヘッド基板１上の発熱抵抗体３やドライバーＩＣ５等に供給される。
【００３１】
尚、前記配線基板７は、ベース基板７ａがガラス布基材エポキシ樹脂から成る場合、まずガラス糸を用いて形成したガラス布基材に液状のエポキシ樹脂を含浸・硬化させて、これを所定形状に切断することによってベース基板７ａが形成され、その一主面に銅箔などの金属箔を貼り付けた上、これを従来周知のフォトリソグラフィー技術及びエッチング技術により所定パターンに加工することで配線導体８が形成される。
【００３２】
そして、前記ヘッド基板１と配線基板７との境界部に位置する両基板１，７の上面には、前記金属細線９を共通に封止する帯状の樹脂材１０が被着されている。
【００３３】
前記樹脂材１０は、記録媒体の摺接に伴い金属細線９に印加される衝撃などから金属細線９を良好に保護するとともに、ヘッド基板１と配線基板７とを固着して、両基板１，７の位置関係を略一定に保持するためのものであり、このような帯状の樹脂材１０は、その長手方向中央域に配される硬質樹脂部１０ａと、長手方向両端域に配される軟質樹脂部１０ｂとで構成されている。
【００３４】
前記樹脂材１０は、硬質樹脂部１０ａがエポキシ樹脂等の比較的硬い樹脂材料（例えばショア硬さＤで７５〜９８の樹脂材料）により、軟質樹脂部１０ｂが前記硬質樹脂部１０ａよりも軟らかいシリコーン樹脂等の樹脂材料（例えばショア硬さＡで２０〜６０の樹脂材料）によりそれぞれ形成されており、長手方向中央域の硬質樹脂部１０ａでヘッド基板１と配線基板７とを強固に接着しつつ、両端域の軟質樹脂部１０ｂでヘッド基板１や配線基板７に印加される熱応力を吸収・緩和するようになっている。
【００３５】
このため、樹脂材１０を形成するにあたり、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂の前駆体を加熱・重合させる際に、ヘッド基板１と配線基板７との間に、両者の線膨張係数の差に起因した熱応力が発生した場合であっても、樹脂材１０の長手方向両端域に配される軟質樹脂部１０ｂが適度に変形して熱応力が吸収・緩和され、サーマルヘッドが弓状に湾曲することを有効に防止することができることに加え、長手方向中央域に配される硬質樹脂部１０ａでヘッド基板１と配線基板７とを強固に接着することで、両基板同士の位置関係を初期状態より略一定に保持することができる。従って、歪みの少ない鮮明な画像を記録することが可能な高品質のサーマルヘッド及びサーマルプリンタが実現される。
【００３６】
ここで、前記帯状の樹脂材１０を、その長手方向中央域に硬質樹脂部１０ａが、両端域に軟質樹脂部１０ｂが配されるように形成するのは、樹脂材１０の長手方向中央域に軟質樹脂部を、両端域に硬質樹脂部を配置させた場合、ヘッド基板１と配線基板７の境界部の両端が強固に固着されてしまうため、熱応力が上記境界部の中央域に集中しやすくなり、サーマルプリンタが中央域で大きく湾曲しやすくなる。従って、前記帯状の樹脂材１０を、その長手方向中央域に硬質樹脂部１０ａが、両端域に軟質樹脂部１０ｂが配置されるように形成することが重要である。
【００３７】
尚、前記帯状の樹脂材１０は、液状になしたエポキシ樹脂の前駆体及びシリコーン樹脂の前駆体をヘッド基板上面と配線基板上面の所定領域にディスペンサー等を用いて塗布し、これを例えば５０℃〜２００℃の温度で加熱・重合させることにより両基板１，７を跨ぐようにして形成される。
【００３８】
次に、上述したサーマルヘッドを用いてサーマルプリンタについて図３を用いて説明する。図３は上述したサーマルプリンタを用いて構成されたサーマルプリンタの概略図であり、同図に示すサーマルプリンタは、筐体内に上述のサーマルヘッドＴｈと、プラテンローラ１１及び搬送ローラ１２からなる搬送手段Ｔｒとで構成されている。
【００３９】
前記プラテンローラ１１は、ＳＵＳ等により形成された円柱状の軸心の表面にシリコーンゴムやブタジエンゴム等の弾性材をロール状に巻きつけて構成されており、サーマルヘッドＴｈ上の所定位置に回転可能に支持され、図示しないモーター等によってその回転が制御される。
【００４０】
このようなプラテンローラ１１は、記録動作時、その表面でサーマルヘッド上の発熱抵抗体３に対して記録媒体を押圧し、記録媒体に適度な印圧を与えるとともに、記録媒体を発熱抵抗体３の配列と直交する方向に所定の速度で走行させるためのものである。
【００４１】
また、前記搬送ローラ１２は、上述したプラテンローラ１１と同様にＳＵＳ製の軸心にシリコーンゴム製の弾性材を巻きつけた構造を有し、サーマルヘッドＴｈに対して記録媒体の搬送方向上流側と下流側に、回転可能な状態で配設されている。
【００４２】
このような搬送ローラ１２は、プラテンローラ１１と同様に図示しないモーターなどによって回転が制御されるようになっており、記録媒体を発熱抵抗体３上に安定的に送り込む作用を為している。
【００４３】
かくして上述したサーマルプリンタは、感熱記録紙などの記録媒体を搬送ローラ１２やプラテンローラ１１を用いて発熱抵抗体３上に搬送しながら、発熱抵抗体３を外部からの画像データに基づいて個々に選択的にジュール発熱させるとともに、該発熱した熱を記録媒体に伝達させ、記録媒体に所定の画像を記録することによってサーマルプリンタとして機能する。
【００４４】
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００４５】
例えば、上述の実施形態において、図４及び図５に示す如く、前記樹脂材１０の軟質樹脂部１０ｂよりも硬い樹脂材料からなる枠体１３を帯状の樹脂材１０の外周に沿って配設するとともに、前記枠体１３と樹脂材１０の硬質樹脂部１０ｂとで前記樹脂材１０の軟質樹脂部１０ｂを平面視状態で囲繞するようにしておけば、樹脂材１０の軟質樹脂部１０ｂを形成する際に、流動性の高い軟質樹脂材料が周囲に広がろうとしても、先に形成された枠体１０や硬質樹脂部１０ａによって良好に堰きとめられることとなり、それ故、樹脂材１０を所望する領域に容易に形成することができ、サーマルヘッド及びサーマルプリンタの生産性を高く維持することが可能となる。尚、この場合、樹脂材１０の長手方向両端に配される枠体１０は、非常に薄く（主走査方向の幅Ｗが１ｍｍ以下）被着されているので、この枠体１０によってサーマルヘッドが湾曲しやすくなるという不具合が有効に防止されている。
【００４６】
このとき、前記枠体１３を前記樹脂材１０の硬質樹脂部１０ａと同じ材料により形成するようにしておけば、枠体１３と樹脂材１０の硬質樹脂部１０ａとを同一工程で一括的に形成することができ、サーマルヘッド及びサーマルプリンタの製造工程が複雑化することを有効に防止することができる。
【００４７】
また、前記枠体１３の高さを前記樹脂材１０の軟質樹脂部１０ｂの上面よりも高く設定しておけば、記録動作時、記録媒体が樹脂材１０の表面に直接当たることはほとんどなく、従って、記録媒体の摺接に伴う樹脂材１０への強い衝撃によって金属細線９が破損するといった不具合を有効に防止され、信頼性の高いサーマルヘッド及びサーマルプリンタが得られるという利点がある。
【００４８】
更に、図６に示す如く、前記枠体１３の一部をドライバーＩＣ５側に延出することによりドライバーＩＣ５を被覆するようにすれば、ドライバーＩＣ５を被覆する保護膜と枠体とを別々に形成することが不要となり、サーマルヘッド及びサーマルプリンタの製造工程を簡略化することができる。
【００４９】
また更に、上述の実施形態において、前記樹脂材の下部領域を、ヘッド基板１‐配線基板７間に形成される隙間を介してヘッド基板１の下面及び配線基板７の下面まで延在させ、該延在部を含めた樹脂材でもってヘッド基板１及び配線基板７を固着させるようにすれば、両基板１，７をより強固に接着しておくことができるようになるという利点もある。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、上面に多数の発熱抵抗体及び複数の回路導体を有するヘッド基板と、上面に前記回路導体と金属細線を介して電気的に接続される複数の配線導体を有する配線基板とを併設するとともに、前記金属細線を帯状の樹脂材で共通に封止してなるサーマルヘッドにおいて、前記帯状の樹脂材を長手方向中央域に配される硬質樹脂部と、長手方向両端域に配される軟質樹脂部とで形成したことから、ヘッド基板と配線基板との線膨張係数の差に起因した熱応力を樹脂材の長手方向両端域に配される軟質樹脂部で適度に吸収し、サーマルヘッドが弓状に湾曲することを有効に防止することができることに加え、長手方向中央域に配される硬質樹脂部でヘッド基板と配線基板とが強固に接着され、両基板同士の位置関係を初期状態より保持することができる。従って、歪みの少ない鮮明な画像を記録することが可能な高品質のサーマルヘッド及びサーマルプリンタが実現される。
【００５１】
また、本発明によれば、前記樹脂材の軟質樹脂部よりも硬い樹脂材料からなる枠体を前記樹脂材の外周に沿って配設するとともに、前記枠体と硬質樹脂部とで前記軟質樹脂部を平面視状態で囲繞することにより、樹脂材の形成時に、軟質樹脂部を構成する流動性の高い軟質樹脂材料が周囲に広がろうとしても、枠体や硬質樹脂部によって良好に堰きとめられることとなり、それ故、樹脂材を所望の領域に容易に形成することができるようになり、サーマルヘッド及びサーマルプリンタの生産性を高く維持することが可能となる。
【００５２】
更に、本発明によれば、前記枠体を前記硬質樹脂部と同じ材料により形成することにより、枠体と樹脂材の硬質樹脂部とを同一工程で同時に形成することができ、枠体を形成することによって製造工程が複雑化することを有効に防止することができる。
【００５３】
また更に、本発明によれば、前記枠体の高さを前記軟質樹脂部の上面よりも高く設定することにより、記録動作時、記録媒体が樹脂材に直接当たることはほとんどなく、従って、記録媒体の摺接に伴う樹脂材への衝撃によって金属細線が破損するといった不具合を有効に防止され、信頼性の高いサーマルヘッド及びサーマルプリンタが得られるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかるサーマルヘッドの平面図である。
【図２】図１のサーマルヘッドのＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１のサーマルヘッドを組み込んで構成したサーマルプリンタの概略図である。
【図４】本発明の他の実施形態にかかるサーマルヘッドの平面図である。
【図５】図４のサーマルヘッドのＡ−Ａ線断面図である。
【図６】本発明の他の実施形態にかかるサーマルヘッドの平面図である。
【図７】図６のサーマルヘッドのＡ−Ａ線断面図である。
【図８】従来のサーマルヘッドの平面図である。
【図９】図８のサーマルヘッドのＡ−Ａ線断面図である。
【符号の説明】
１・・・ヘッド基板
２・・・ベースプレート
３・・・発熱抵抗体
４・・・回路導体
５・・・ドライバーＩＣ
７・・・配線基板
７ａ・・・ベース基板
８・・・配線導体
９・・・金属細線
１０・・・樹脂材
１０ａ・・・硬質樹脂部
１０ｂ・・・軟質樹脂部
１１・・・プラテンローラ
１２・・・搬送ローラ
１３・・・枠体
Ｔｈ・・・サーマルヘッド
Ｔｒ・・・搬送手段
【図１】
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【図２】
2004058541.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2004058541.tif 000007
【図６】
2004058541.tif 000008
【図７】
2004058541.tif 000009
【図８】
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【図９】
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