(57)【要約】【課題】同期モータにおける推力脈動の抑制を十分に行うことができるようにする。【解決手段】速度起電力高調波と電機子電流基本波とにより生じる同期モータの第１の推力脈動を、同期モータ１０への電機子電流Ｉに高調波電流を重畳させ速度起電力基本波と電機子電流高調波とにより生じさせた第２の推力脈動によって相殺するようにする。これにより、同期モータ１０の低騒音化や低振動化が図れるばかりか、同期モータ１０の定速度運転や高度位置決め運転を容易なものとすることができる。また、たとえば空心構造の同期モータ１０において速度起電力高調波が多く誘起される場合であっても、速度起電力高調波による推力脈動も確実に抑制することができる。【選択図】　　図１
2004080906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同期モータの推力脈動を抑制する同期モータの推力脈動抑制装置であって、
速度起電力高調波と電機子電流基本波とにより生じる前記同期モータの第１の推力脈動を、前記同期モータへの電機子電流に高調波電流を重畳させ速度起電力基本波と電機子電流高調波とにより生じさせた第２の推力脈動によって相殺する制御手段を備えることを特徴とする同期モータの推力脈動抑制装置。
【請求項２】
前記第１の推力脈動の周波数が電源周波数に対して６の倍数次数であるのに対し、前記第２の推力脈動の周波数を電源周波数に対して３の倍数次数とすることを特徴とする請求項１に記載の同期モータの推力脈動抑制装置。
【請求項３】
前記電機子電流高調波は、６の倍数次数の前記第１の推力脈動を抑制する場合、奇数の次数の高調波であり、前記６の倍数次数の前記第１の推力脈動を含む３の倍数次数の推力脈動を抑制する場合、奇数及び／又は偶数の次数の高調波であることを特徴とする請求項１又は２に記載の同期モータの推力脈動抑制装置。
【請求項４】
同期モータの推力脈動を抑制する同期モータの推力脈動抑制方法であって、
速度起電力高調波と電機子電流基本波とにより生じる前記同期モータの第１の推力脈動を、前記同期モータへの電機子電流に高調波電流を重畳させ速度起電力基本波と電機子電流高調波とにより生じさせた第２の推力脈動によって相殺する工程を有することを特徴とする同期モータの推力脈動抑制方法。
【請求項５】
前記第１の推力脈動の周波数が電源周波数に対して６の倍数次数であるのに対し、前記第２の推力脈動の周波数を電源周波数に対して３の倍数次数となるように前記第２の推力脈動を生じさせる工程が含まれることを特徴とする請求項４に記載の同期モータの推力脈動抑制方法。
【請求項６】
前記電機子電流高調波は、６の倍数次数の前記第１の推力脈動を抑制する場合、奇数の次数の高調波であり、前記６の倍数次数の前記第１の推力脈動を含む３の倍数次数の推力脈動を抑制する場合、奇数及び／又は偶数の次数の高調波であることを特徴とする請求項４又は５に記載の同期モータの推力脈動抑制方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、同期モータの推力脈動抑制装置に係り、特に、同期モータの構造によって生じる推力脈動を打ち消すような高調波電流を電機子電流に重畳させることで速度起電力高調波による同期モータの推力脈動を抑制する同期モータの推力脈動抑制装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周波数制御によって駆動される同期モータは、小型ＯＡ機器の駆動やＦＡ機器の駆動、さらには超電導磁気浮上式鉄道の駆動方式への適用など幅広い分野で用いられている。また、適用分野に応じて、その構造も非常に小型なものから浮上式鉄道に見られるような大規模なものまで多数存在している。また、同期モータは回転機やリニアを問わず、速度制御が容易であったり、位置決め運転が比較的容易であったりするといった特長を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような同期モータを、周波数制御によって駆動する場合、駆動回路を構成する半導体素子のスイッチングに伴い、その出力に発生する高調波成分に起因して同期モータに推力脈動が生じてしまう。そのため一般に駆動回路においては、より正弦波に近い電機子電流が通電されるような制御が行われる。しかしながら、可動子の運動方向における界磁磁束空間分布に高調波が含まれる場合には、この界磁磁束が電機子コイルを横切ることによって誘起される速度起電力に高調波が含まれることになる。そして、界磁磁束空間高調波の振幅・ピッチと電機子コイル幅との関係により誘起される速度起電力高調波の振幅や位相が決まり、その速度起電力高調波の振幅や位相に応じて推力脈動が生じてしまう。この推力脈動は、騒音や振動といった障害を引き起こしてしまうばかりか、定速度運転や高度位置決め運転を困難なものにしてしまう。
【０００４】
この場合、界磁磁束空間高調波の振幅・ピッチと電機子コイル幅との組合わせを考慮することで、特定の速度起電力高調波を消去することは可能であるが、特に、集中巻電機子配置の場合には、限られた次数の速度起電力高調波しか消去できないために、推力脈動の抑制が不十分なものとなってしまう。また、界磁磁束空間高調波の振幅・ピッチと電機子コイル幅との組合わせを考慮した電機子構造は、同じ界磁を利用する場合において、一般に出力が低下する電機子構造となる。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、同期モータにおける推力脈動の抑制を十分に行うことができる同期モータの推力脈動抑制装置を提供することができるようにするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の同期モータの推力脈動抑制装置は、同期モータの推力脈動を抑制する同期モータの推力脈動抑制装置であって、速度起電力高調波と電機子電流基本波とにより生じる前記同期モータの第１の推力脈動を、前記同期モータへの電機子電流に高調波電流を重畳させ速度起電力基本波と電機子電流高調波とにより生じさせた第２の推力脈動によって相殺する制御手段を備えることを特徴とする。
また、前記第１の推力脈動の周波数が電源周波数に対して６の倍数次数であるのに対し、前記第２の推力脈動の周波数を電源周波数に対して３の倍数次数とするようにすることができる。
また、前記電機子電流高調波は、６の倍数次数の前記第１の推力脈動を抑制する場合、奇数の次数の高調波であり、前記６の倍数次数の前記第１の推力脈動を含む３の倍数次数の推力脈動を抑制する場合、奇数及び／又は偶数の次数の高調波であるようにすることができる。
また、同期モータの推力脈動を抑制する同期モータの推力脈動抑制方法であって、速度起電力高調波と電機子電流基本波とにより生じる前記同期モータの第１の推力脈動を、前記同期モータへの電機子電流に高調波電流を重畳させ速度起電力基本波と電機子電流高調波とにより生じさせた第２の推力脈動によって相殺する工程を有するようにすることができる。
また、前記第１の推力脈動の周波数が電源周波数に対して６の倍数次数であるのに対し、前記第２の推力脈動の周波数を電源周波数に対して３の倍数次数となるように前記第２の推力脈動を生じさせる工程が含まれるようにすることができる。
また、前記電機子電流高調波は、前記６の倍数次数の前記第１の推力脈動を抑制する場合、奇数の次数の高調波であり、前記６の倍数次数の前記第１の推力脈動を含む３の倍数次数の推力脈動を抑制する場合、奇数及び／又は偶数の次数の高調波であるようにすることができる。
本発明に係る同期モータの推力脈動抑制装置においては、速度起電力高調波と電機子電流基本波とにより生じる同期モータの第１の推力脈動を、同期モータへの電機子電流に高調波電流を重畳させ速度起電力基本波と電機子電流高調波とにより生じさせた第２の推力脈動によって相殺するようにする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【０００８】
図１は本発明の同期モータの推力脈動抑制装置の一実施の形態を示すブロック図、図２〜図１０は、図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制方法を説明するための図である。
【０００９】
図１に示す同期モータの推力脈動抑制装置は、加算器１ａ，１ｂと、電流制御回路２と、パルス幅変調回路３と、インバータ４と、電流／電圧検出器５と、高調波重畳回路６と、制御部７と、位置検出センサ８とを備えている。ここで、制御手段は、電流／電圧検出器５と、高調波重畳回路６と、制御部７とで構成されている。
【００１０】
加算器１ａは、外部より瞬時値として与えられる出力電流指令値Ｉ＊　と、電流／電圧検出器５により検出された電機子電流Ｉとを差し引いて、電流偏差Ｉｅｒｒを算出し、この電流偏差Ｉｅｒｒを電流制御回路２に与えるものである。加算器１ｂは、電流制御回路２からの出力電圧指令値ｅ＊　に、高調波重畳回路６からの同期モータ１０の構造によって生じる推力脈動を打ち消すような後述する高調波電圧指令値を加算するものである。電流制御回路２は、加算器１ａからの電流偏差Ｉｅｒｒ　から出力電圧指令値ｅ＊　を算出して出力するものである。パルス幅変調回路３は、加算器１ｂからの高調波を含んだ電圧指令値をパルス幅変調信号に変換して出力するものである。
【００１１】
インバータ４は、同期モータ１０を周波数制御駆動させるものであり、パルス幅変調回路３からのパルス幅変調信号に基づき、内部の各半導体素子がスイッチング動作を行う。このとき、インバータ４は、出力電圧ｅの３相交流電力を発生し、負荷である同期モータ１０に出力電流指令値Ｉ＊　及び制御部７によって算定される後述の高調波電流の和と同じ電流を与える。
【００１２】
電流／電圧検出器５は、インバータ４の出力である電流及び電圧を検出する。高調波重畳回路６は、制御部７によって算定された高調波電圧指令値を発生するものである。この高調波電圧指令値は、同期モータ１０の構造によって生じる推力脈動を打ち消すためものであるが、その詳細は後述する。なお、図１では、高調波重畳回路６を１個の場合で示しているが、発生させるべき高調波電流の次数に応じて複数設けるようにしてもよい。
【００１３】
制御部７は、同期モータ１０の推力脈動を抑制するために、高調波重畳回路６による高調波電流の発生動作を制御するものである。すなわち、推力脈動抑制に必要な高調波電流を算定した後、その高調波電流を得るための高調波電圧指令値の算定を行い、高調波重畳回路６に対してその算定した高調波電圧指令値を発生させるものである。位置検出センサ８は、同期モータ１０の電機子又は界磁磁極の位置を検出するものである。
【００１４】
ここで、同期モータ１０は、たとえば図２（ａ），（ｂ）に示すような空心リニア同期モータとしている。また、その同期モータ１０は、集中巻で１２０度配置の矩形コイルを電機子とする構成となっている。なお、同期モータ１０は、空心リニア同期モータに限らず、回転機のものであってもよいことは勿論である。
【００１５】
次に、このような構成の同期モータの推力脈動抑制装置による推力脈動抑制方法について説明する。
【００１６】
制御部７により、高調波重畳回路６による高調波電流の発生動作を制御する場合、電流／電圧検出器５からの電圧及び電流より算出される速度起電力Ｅと実効値で与えられる電流指令値Ｉａ＊とを用いて、同期モータ１０の構造によって生じる推力脈動を打ち消すような高調波電流の発生制御が行われる。又は、電流／電圧検出器５からの電圧及び電流より速度起電力Ｅを得ることが困難である場合や速度起電力以外に起因する推力脈動が影響する場合は、高調波を含まない電圧を持つ交流電力を加えた場合に発生する同期モータ１０の推力脈動を予め測定しておき、予め測定した同期モータ１０の推力脈動の測定結果と位置検出センサ８からの検出結果と電流／電圧検出器５からの電流を用いて、同期モータ１０の構造によって生じる推力脈動を打ち消すような高調波電流の発生制御が行われる。ちなみに、後者の方法においては、電圧情報が不要になることから、電流／電圧検出器５からは電流のみの情報が得られればよく、電流／電圧検出器５の代りに電流検出器を用いてもよい。なお、同期モータ１０の構造によって生じる推力脈動を打ち消すような高調波電流の詳細については後述する。
【００１７】
このとき、加算器１ａは、外部より瞬時値として与えられる出力電流指令値Ｉ＊と、電流／電圧検出器５により検出された電機子電流Ｉとを差し引いて、電流偏差Ｉｅｒｒを算出し、この電流偏差Ｉｅｒｒを電流制御回路２に与える。電流制御回路２は、与えられた電流偏差Ｉｅｒｒから出力電圧指令値ｅ＊を算出して出力する。またこのとき、加算器１ｂにより、出力電圧指令値ｅ＊に高調波重畳回路６からの同期モータ１０の構造によって生じる推力脈動を打ち消すような高調波電流に応じた高調波電圧指令が加算され、この加算値がパルス幅変調回路３の電圧指令として与えられる。そして、パルス幅変調回路３により、高調波電流が加算された加算値がパルス幅変調信号に変換されると、インバータ４の各半導体素子がスイッチング動作を行う。そして、インバータ４により、出力電圧ｅの３相交流電力が発生され、負荷である同期モータ１０に推力脈動を打ち消すように制御された電機子電流Ｉが与えられることで、同期モータ１０が駆動する。このとき、同期モータ１０での推力脈動は後述するように低減されたものとなる。
【００１８】
次に、同期モータ１０の推力脈動の低減につき、実験結果に基づいて説明する。
【００１９】
まず、図２（ａ），（ｂ）に示す同期モータ１０にあっては、その電機子コイルをほぼ正方形とし、ポールピッチに対する電機子コイル中心間（ギャップ方向）の距離をたとえば１／１１程度とした。なお、以下に説明する解析にはフーリエ級数を用いた解析的手法を用いており、導体断面積についても考慮している。
【００２０】
ここで、同期モータ１０のたとえばＵ相における速度起電力Ｅの波形（基本波振幅を１とする）と高調波含有率Ｅｎ＊とを、図３及び図４に示す。なお、図３の波形は、基本波と高調波成分とが混在したものであり、図４は、図３の高調波成分を分析した結果である。同期モータ１０の電機子配置では、速度起電力Ｅの波形が高調波の影響により正弦波波形に比べピーク値付近が増加しているため、図３のように若干三角波波形に近づいている。周波数分析の結果、図４に示すように、高調波含有率Ｅｎ＊については３次調波と９次調波が突出していることが分かる。数値としては大きいものから順に３次が１２％、９次が７．７％、１１次が２．５％、７次が１．５％、５次が１．３％程度となっている。
【００２１】
次に、同期モータ１０における速度起電力Ｅと電機子電流Ｉとを同相で駆動した場合の推力波形Ｆｘ（時間平均値を１とする）とその脈動成分Ｆｘ，ｋの周波数の分析結果とを、図５及び図６に示す。
【００２２】
ここで、推力脈動の次数ｋとは、電源周波数に対する推力脈動周波数の次数をいう。図６から、同期モータ１０は電源周波数に対して１２次の推力脈動が顕著に見られる。数値としては大きいものから順に１２次が８．５％、１８次が１．５％、６次が１．０％程度となっている。図４に示した速度起電力高調波においては、３次、９次、１１次調波が突出していたのに対し、推力脈動は６の倍数の次数において観測されることが分かる。
【００２３】
ここで、速度起電力高調波と推力脈動の関係について整理する。ある相の速度起電力Ｅｐｈ，ｌと電機子電流Ｉｐｈ，ｌについて、それぞれの高調波成分を考慮すると（１），（２）式で表現される。
【式１】
2004080906.tif 000003
【００２４】
ここで、ｎ，ｍはそれぞれ速度起電力高調波の次数、電機子電流高調波の次数であり、Ｅｎ，Ｉｍはそれぞれ速度起電力高調波の振幅、電機子電流高調波の振幅を表す。また，Ｎ，Ｍはそれぞれの高調波の最高次数を表している。通常の電機子電流高調波を考慮しない場合においてはＭ＝１である。また，ωは同期角速度である。αｎ，βｍはそれぞれ速度起電力高調波、電機子電流高調波の位相を示しており、速度起電力基本波を位相基準にとるものとする。すなわち、α１＝０である。推力Ｆｘは３相出力Ｐ３ｐｈを速度ｖｘで除したものであるので、これらの式より（３）式を得ることができる。
【００２５】
【式２】
2004080906.tif 000004
３相分の和をとると、（３）式中の推力脈動の周波数次数を表す部分のｎ−ｍ，ｎ＋ｍが３の倍数のときにのみ脈動が現れ、それ以外では脈動は３相間で相殺されることが分かる。ここで、通常、速度起電力高調波の次数ｎは奇数であり、基本波電流の次数ｍ＝１も奇数であるため、ｎ−１，ｎ＋１は偶数である。したがって、ｎ−１，ｎ＋１が６の倍数のときに脈動を生じることになる。言い換えると、３相機においては６ｎ±１次の速度起電力高調波から６ｎ次の推力脈動が生じることになる。
【００２６】
ここで、速度起電力高調波により発生する第１の推力脈動である推力脈動についてのまとめを、図７に示す。ただし、ここでは電機子電流Ｉについては基本波（ｍ＝１）のみを想定している。速度起電力高調波に起因する推力脈動の発生を表現した上記の（３）式は、速度起電力Ｅと電機子電流Ｉについて対称式を成している。よって、電機子電流Ｉに高調波が含有されていても同じメカニズムで推力脈動を生じることになる。これを積極的に利用することにより、速度起電力高調波による推力脈動を相殺することができる。ここで、電機子電流高調波による推力脈動振幅はＥｎ・Ｉｍに比例するが、速度起電力高調波振幅Ｅｎの中では基本波Ｅ１が卓越しているため、Ｅ１・Ｉｍのみに着目しても差し支えない。
【００２７】
ここで、電機子電流高調波により発生できる第２の推力脈動である推力脈動についてのまとめを、図８に示す。つまり、図７による推力脈動を図８による推力脈動で相殺することにより、推力脈動抑制を行うことができる。なお、図８では電機子電流Ｉの偶数次高調波についても記している。偶数次高調波により、速度起電力高調波に起因する推力脈動の次数とは異なる推力脈動も発生できることが分かる。つまり、奇数・偶数両方の電機子電流高調波を利用することで、３の倍数次数の推力脈動を発生させることができる。これを利用することで、速度起電力高調波以外に起因する推力脈動の抑制も考えられる。
【００２８】
ここで，位相条件も考慮した脈動抑制法の詳細について説明する。
１）速度起電力高調波Ｅｋ＋１によりｋ次の推力脈動を生じている場合、推力脈動は上記の（３）式より次の（４）式のように表現される。
【式３】
2004080906.tif 000005
これに対し，高調波電流Ｉｋ＋１を次の（５），（６）式の条件にて重畳することにより、同様な脈動を逆位相で発生し、元の脈動を抑制することができる。
【００２９】
【式４】
2004080906.tif 000006
【００３０】
又は、電流Ｉｋ−１を次の（７），（８）式の条件にて重畳しても脈動を相殺することができる。
【式５】
2004080906.tif 000007
【００３１】
２）速度起電力高調波Ｅｋ−１によりｋ次の推力脈動を生じている場合、推力脈動は（３）式より次の（９）式のように表現される。
【式６】
2004080906.tif 000008
【００３２】
これに対し、高調波電流Ｉｋ＋１を次の（１０），（１１）式の条件にて重畳すると、脈動を相殺できる。
【式７】
2004080906.tif 000009
【００３３】
又は、電流Ｉｋ−１を次の（１２），（１３）式の条件にて重畳しても脈動を相殺することができる。
【式８】
2004080906.tif 000010
【００３４】
上記の１），２）の何れの場合においても、高調波電流Ｉｋ＋１とＩｋ−１の２つの何れかを重畳することにより推力脈動を抑制することができるが、Ｉｋ＋１とＩｋ−１の相違は位相がπ（ｒａｄ）異なることのみである（上式では振幅条件に−を付して表現した）。これはＩｋ＋１とＩｋ−１とでは相回転が正逆反対であるためであると理解できる。あるＩｋ＋１で脈動抑制条件が成立するとき，同じ大きさのＩｋ−１を逆極性で重畳しても脈動抑制条件が成立することを意味する。
【００３５】
ここで、図５及び図６に見られる１２次の推力脈動について、１１次の高調波電流を重畳することにより抑制した場合の推力波形と周波数分析結果を図９及び図１０にそれぞれ示す。これらの図から、１２次の推力脈動が完全に抑制され、６次と１８次の推力脈動が残留するのみである様子が分かる。ちなみに、図５及び図６に見られる１２次の推力脈動は、図８から１３次の高調波電流を重畳することでも抑制することができる。よって、図５及び図６に見られる１２次の推力脈動を抑制する場合には、１１次の高調波電流及び１３次の高調波電流のうち何れか一方、もしくは両方を電機子電流Ｉに重畳させればよい。また、図１０に示すように残留している６次と１８次の推力脈動を抑制する場合には、図８から５次及び／又は７次の高調波電流と１７次及び／又は１９次の高調波電流とを電機子電流Ｉに重畳させればよい。
【００３６】
このように、本実施の形態では、速度起電力高調波と電機子電流基本波とにより生じる同期モータの第１の推力脈動を、同期モータ１０への電機子電流Ｉに高調波電流を重畳させ速度起電力基本波と電機子電流高調波とにより生じさせた第２の推力脈動によって相殺するようにしたので、同期モータ１０における推力脈動の抑制を十分に行うことができる。その結果、同期モータ１０の低騒音化や低振動化が図れるばかりか、同期モータ１０の定速度運転や高度位置決め運転を容易なものとすることができる。また、たとえば空心構造の同期モータ１０において界磁・電機子間が短い場合等に見られるように、電機子側に鎖交する界磁磁束空間分布に多くの高調波が含まれるとき、その分速度起電力高調波も多く誘起されることになるが、このような速度起電力高調波による推力脈動も確実に抑制することができる。
【００３７】
また、速度起電力高調波による同期モータ１０の推力脈動のモータ構造上の低減対策を講じることが不要となり、同期モータ１０の簡素化や小型化を図ることができるばかりか、同期モータ１０の構造設計を行うに際して、高出力に有利な設計を容易に行うことができる。また、推力脈動の低減により同期モータ１０の長寿命化も図ることができる。
【００３８】
また、本実施の形態では、第１の推力脈動の周波数が電源周波数に対して６の倍数次数であるのに対し、第２の推力脈動の周波数が電源周波数に対して３の倍数次数となるようにその第２の推力脈動を生じさせることができるので、第１の推力脈動の抑制を確実に行うことができる。
【００３９】
また、本実施の形態では、図８で示したように、奇数及び偶数の次数の電機子電流高調波を用いるようにしたので、速度起電力高調波以外に起因する同期モータ１０の推力脈動の抑制も電源周波数に対して３の倍数次数において可能となる。
【００４０】
【発明の効果】
以上の如く本発明に係る同期モータの推力脈動抑制装置によれば、速度起電力高調波と電機子電流基本波とにより生じる同期モータの第１の推力脈動を、同期モータへの電機子電流に高調波電流を重畳させ速度起電力基本波と電機子電流高調波とにより生じさせた第２の推力脈動によって相殺するようにしたので、同期モータにおける推力脈動の抑制を十分に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の同期モータの推力脈動抑制装置の一実施の形態を示すブロック図である。
【図２】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための空心リニア同期モータを示す図である。
【図３】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための波形であって、速度起電力の波形を示す図である。
【図４】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための速度起電力高調波含有率を示すものであって、図３の高調波成分を分析した結果を示す図である。
【図５】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための推力波形を示す図である。
【図６】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための推力脈動率を示す図である。
【図７】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための速度起電力高調波による推力脈動を示す図である。
【図８】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための電機子電流高調波による推力脈動を示す図である。
【図９】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための推力波形を示す図である。
【図１０】図１の同期モータの推力脈動抑制装置における推力脈動抑制を説明するための推力脈動率を示す図である。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ　加算器
２　電流制御回路
３　パルス幅変調回路
４　インバータ
５　電流／電圧検出器
６　高調波重畳回路
７　制御部
８　位置検出センサ
１０　同期モータ
【図１】
2004080906.tif 000011
【図２】
2004080906.tif 000012
【図３】
2004080906.tif 000013
【図４】
2004080906.tif 000014
【図５】
2004080906.tif 000015
【図６】
2004080906.tif 000016
【図７】
2004080906.tif 000017
【図８】
2004080906.tif 000018
【図９】
2004080906.tif 000019
【図１０】
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