(57)【要約】【課題】　オリフィスに目詰まりを生ずることなく又はオリフィス内の内部通路を非湿潤性材料で被覆することなくオリフィス板の外側に非湿潤性表面を提供する。【解決手段】　オリフィス板を被覆するための方法及び非湿潤性被覆を有するオリフィス板が提供される。オリフィス板６３０を形成するために、非湿潤性材料層６１５ａが移転ブロック６１０の表面として提供される。非湿潤性材料はテフロン（商標、トリテトラフルオロエチレン）であるのが好ましい。非湿潤性材料からなる移転ブロック６１０の表面が好ましくは加熱条件下でオリフィス板６３０に押し付けられる。本発明の一実施態様では、非湿潤性表面が好ましくは加熱条件下でオリフィス板に対し押し付けられているスペーサ板６３５に対し押し付けられる。非湿潤性材料はオリフィス板６３０の表面に蒸着され、オリフィス板６３０を非湿潤性材料で被覆するが、オリフィスの内部は被覆しない。【選択図】　　　図６
2004142466.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
　選択された材料に対して非湿潤性を有する材料でオリフィス板を被覆するための方法において、
　オリフィス壁により画定される少なくとも一つのオリフィスを画定する板を提供し、該板は前表面を有すると共に非湿潤性材料から形成される移転表面を提供し、
　スペーサを前記移転表面と前記板との間に配置しつつ前記移転表面を前記板に隣接させて位置決めし、該スペーサは前記移転表面と前記オリフィスに隣接する前記板の表面との間に流体が流通するための開放空間を提供するために構成されており、
　非湿潤性材料を気化させるのに有効な温度まで前記移転表面を加熱すると共に気化した非湿潤性材料が前記板に隣接する前記板の表面を被覆できるようにし、オリフィスの縁端に隣接して該縁端まで拡がる前記板の表面を実質的に被覆ししかしながら前記オリフィス壁の表面は実質的に被覆しないように前記移転表面、前記スペーサ及び前記板が構成され、配置され、有効温度まで加熱される、
各段階を具備する方法。
【請求項２】
　前記非湿潤性材料を含んでなる組成物を移転ブロックの表面に噴霧することによって前記移転表面が形成されている請求項１に記載の方法。
【請求項３】
　前記オリフィス板がインクジェット印刷ヘッド用オリフィス板として機能するような寸法及び形状に形成されている請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は概して、流体ジェットプリンタ用のオリフィス板に関し、より詳細には流体ジェットオリフィスが目詰まりすることなくオリフィス板の表面に非湿潤性被覆を付着ないし堆積させるための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
　流体ジェットプリンタは文字や画像を生成するために被印刷物上に流体滴を放出することによって被印刷物上に画像を形成する。流体ジェットプリンタには「連続」タイプのものがあり、このような連続タイプの流体ジェットプリンタではインクのような流体滴が帯電状態で印刷ヘッドのオリフィスを介し連続的に噴射される。次いで、帯電流体滴は静電界を利用して印刷が所望されるときには被印刷物上に向けて送られ、印刷が所望されないときにはガターないし排液溝内に送られる。
【０００３】
　他のタイプの流体ジェットプリンタとしては、「オンデマンド（要求即応）」タイプのプリンタがある。インクのような流体滴は印刷が所望されるときには印刷ヘッドのオリフィスを介し選択的に噴射され、印刷が所望されないときには噴射されない。
【０００４】
　一般に、印刷ヘッドにはインク流通路を介してインク貯蔵チャンバが接続され、一定流量のインクが印刷ヘッドに供給される。インクジェットヘッドは通常、インクとインクジェットヘッド内の通路との間の毛管作用を利用してインクを適正な噴射及び流体滴形成のためにインクジェットヘッド内の適正な位置に位置決めする。このため、印刷ヘッドの外部が高圧であると、毛管作用に打ち勝ってインクが好ましくなく印刷ヘッド内に戻されるおそれがある。印刷ヘッドの外部が低圧であると、インクが好ましくなく印刷ヘッドから吸い出されるおそれがある。
【０００５】
　インクは一般に、オリフィス板を貫通するよう形成されているオリフィスを介し放出される。オリフィスに材料が蓄積すると、表面張力の相互作用及び液滴形成が影響を受け、適正な作用が乱れる場合がある。オリフィス表面にインクが蓄積すると、埃、紙繊維その他の屑が引き寄せられ、オリフィスが目詰まりする場合もある。また、オリフィスの表面に存在するインクによってインク汚れが生じ、オリフィスと被印刷物間の距離を増加させなければならなくなる場合があり、このため印刷品質が低下する。従って、オリフィス板の表面がオリフィスを介し噴射される流体に対して湿潤性を有しないのが望ましい。
【０００６】
　また、インク通路の内側は湿潤性を有しているないし濡れているのが有利である。内側が湿潤性を有していると、インクが全ての内側表面を覆って印刷ヘッド内の適正な位置に進み、空気が印刷ヘッド内のインク通路から流出するのを助勢するようになる。印刷ヘッドの内部に空気が存在しインクが適正な位置に移動しなければ、噴射が適正に行われないおそれがある。
【０００７】
　一般に知られている様々な非湿潤性被覆方法では不十分であることが確認されている。オリフィス板の穴は一般に小さく、通常、直径が約０．０５ｍｍ（０．００２インチ）である。このため、被覆作用の際にこれら穴をマスクで覆うのが非常に困難になる。従って、オリフィス板の表面を被覆することを伴う方法では、不注意にもオリフィスの内部が被覆され、斯くして流体通路内に目詰まりが生ずるか又は流体通路内の湿潤特性が適正でなくなることがある。非湿潤性被覆材料のなかには、インクに接触すると、又はオリフィス板から乾いたインクを取り除くために使用される様々な清掃用溶剤でもってオリフィス板が清掃されると、オリフィス板の表面から除去されやすい被覆材料もある。
【発明の開示】
【０００８】
　従って、オリフィスに目詰まりを生ずることなく又はオリフィス内の内部通路を非湿潤性材料で被覆することなくオリフィス板の外側に非湿潤性表面を提供する、オリフィス板を被覆する改良型方法を提供するのが望ましい。
【０００９】
　本発明によれば一般的に言うと、オリフィス板を被覆するための方法と、非湿潤性被覆を有するオリフィス板とが提供される。
【００１０】
　このオリフィス板を形成するために、非湿潤特性を有した材料が移転ブロックの表面として提供され得る。非湿潤性材料はテフロン（商標）を含んでなるのが好ましい。本発明の一実施態様では、移転ブロックは比較的柔らかい材料であり、アルミニウムのような優れた熱伝達特性を有しているのが好ましい。本発明の他の実施態様では、移転ブロックは非湿潤性材料から形成されており、又は少なくとも一つの表面上に厚い非湿潤性材料の層を有している。本発明の他の実施態様では、移転ブロックの表面上に薄い非湿潤性材料の層が設けられている。本発明のさらに他の実施態様では、非湿潤性材料がシリコーンといった耐熱エラストマのような適合材料の表面上に配設されている。
【００１１】
　非湿潤性材料を含んでなる移転ブロックの表面は好ましくは加熱条件下でオリフィス板に対し押し付けられ得る。本発明の一実施態様では、非湿潤性表面が２次移転ブロックに対し押し付けられて２次移転ブロックが非湿潤性材料により被覆され、この２次移転ブロックの被覆済み表面が好ましくは加熱条件下でオリフィス板に対し押し付けられる。オリフィスの実質的に縁端まで、しかしながらオリフィスを画定するオリフィス板の内側表面上にはほとんど蓄積されることなくオリフィス板の表面に移転されるのに適切な厚さ及び他の特性を有する被覆済み表面を実現するために、追加の移転作用を行うことができる。このようにして、適正な印刷作用を実現でき、インク及びその他の埃をオリフィス板の表面に寄せ付けなくすることができる。
【００１２】
　本発明のさらに他の実施態様では、非湿潤性材料の層が移転ブロックの表面として提供される。少なくとも一つの開口が形成されたスペーサ板が移転ブロックの表面に接して位置決めされ、スペーサ板のこの少なくとも一つの開口はオリフィス、一つのオリフィス群、又は複数のオリフィス群に対し整列される。非湿潤性材料を含んでなる移転ブロックの表面を加熱条件下でスペーサ板に対し押し付けてスペーサ板が移転ブロックとオリフィス板間に位置するようにすることもできる。非湿潤性材料は気化せしめられ、オリフィス板へ移転されて付着する。オリフィスの実質的に縁端まで、しかしながらオリフィスを画定するオリフィス板の内側表面上にはほとんど蓄積されることなく適切な厚さ及び他の特性を有する被覆済み表面を実現するために、同一の移転ブロックから多様なオリフィス板へ多様な移転作用を行うことができる。このようにして、適正な印刷作用を実現でき、インク及びその他の埃をオリフィス板の表面に寄せ付けなくすることができる。
【００１３】
　移転作用が行われる温度は移転されるべき材料の熱特性及び耐熱性に依存する。テフロン（商標）が移転させられる場合、約２０４°Ｃ（４００°Ｆ）以上、さらに好ましくは約２６０°Ｃ（５００°Ｆ）以上、最も好ましくは約２８８°Ｃ〜約３４３°Ｃ（５５０°Ｆ〜６５０°Ｆ）の範囲の温度が使用され得る。オリフィス板と移転されるべき材料とのうち一方又は両方を非湿潤性材料が劣化し始める程度まで加熱しないように、注意を払うべきである。オリフィスが目詰まりし若しくは被覆され又は印刷ヘッドの動作が悪影響を受けないように、オリフィス板の表面上に非湿潤性材料を移転させるのに十分な熱及び圧力（もしあれば）とすべきである。
【００１４】
　従って、本発明の目的は流体ジェットプリンタ用オリフィス板上に非湿潤性被覆を提供するための改良型方法を提供することにある。
【００１５】
　本発明の他の目的は外側表面上に非湿潤性被覆を有する流体ジェット印刷ヘッドのための改良型オリフィス板を提供することにある。
【００１６】
　第１発明によれば、選択された材料に対して非湿潤性を有する材料でオリフィス板を被覆するための方法において、オリフィス壁により画定される少なくとも一つのオリフィスを画定する板を提供し、該板は前表面を有すると共に非湿潤性材料から形成される移転表面を提供し、スペーサを前記移転表面と前記板との間に配置しつつ前記移転表面を前記板に隣接させて位置決めし、該スペーサは前記移転表面と前記オリフィスに隣接する前記板の表面との間に流体が流通するための開放空間を提供するために構成されており、非湿潤性材料を気化させるのに有効な温度まで前記移転表面を加熱すると共に気化した非湿潤性材料が前記板に隣接する前記板の表面を被覆できるようにし、オリフィスの縁端に隣接して該縁端まで拡がる前記板の表面を実質的に被覆ししかしながら前記オリフィス壁の表面は実質的に被覆しないように前記移転表面、前記スペーサ及び前記板が構成され、配置され、有効温度まで加熱される、各段階を具備する方法が提供される。
【００１７】
　第２発明によれば第１発明において、前記非湿潤性材料を含んでなる組成物を移転ブロックの表面に噴霧することによって前記移転表面が形成されている。
【００１８】
　本願第３発明によれば第１発明において、前記オリフィス板がインクジェット印刷ヘッド用オリフィス板として機能するような寸法及び形状に形成されている。
【００１９】
　本発明をより完全に理解するために、必ずしも縮尺に合わせて描かれていない添付図面を参照する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
　本発明によるオリフィス板は非湿潤性を有する非湿潤性表面を有し、この非湿潤性表面はインクその他の流体物質及び屑がオリフィス板の表面から落下可能となるようにするのを助勢し、蓄積の問題を防止するのを助勢する。
【００２１】
　本発明によれば、非湿潤性を有する材料は好ましくはオリフィス板を目詰まりさせることなく又はオリフィス板の噴射性能に悪影響を与えることなく、熱又は圧力好ましくはこれら両方によってオリフィス板の外側表面に移転される。
【００２２】
　本発明の好ましい実施態様では、樹脂を含まない潤滑剤のようなテフロン（ポリテトラフルオロエチレン、商標）系固相フィルム潤滑材、例えば樹脂を含まないもの、例えば例えば米国カリフォルニア州ハンティントンビーチのＴｉｏｄｉｚｅ社から販売されているＴｉｏｌｏｎ　Ｘ２０（商標）、が移転ブロックの移転表面上に例えばスプレー被覆によってコーティング（被覆）される。他の公知のテフロン（商標）ベースの非湿潤性材料、例えばＥｎｄｕｒａ　Ｃｏａｔｉｎｇ社のＥｎｄｕｒａ（商標）、Ｔｉｏｄｉｚｅ社のＡ−２０、Ｅ−２０、１０００−Ｓ２０、ＦＥＰ　Ｇｒｅｅｎ、ＰＴＦＥ及びＸ−４０（それぞれ商標）、ＡＥ　Ｙａｌｅ社のＣａｍｍｉｅ２０００（商標）、Ｌａｄｄ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ社の２１８４５（商標）、Ｍｉｌｌｅｒ−Ｓｔｅｐｈｅｓｏｎ社のＭＳ１２２−２２、ＭＳ　１２２ＤＦ、ＭＳ−１４３ＤＦ、ＭＳ−１２２Ｖ、ＭＳ−１２２ＶＭ、ＭＳ−１４３Ｖ、ＭＳ−１３６Ｗ、ＭＳ−１４５Ｗ、Ｕ０３１６Ａ２、Ｕ０３１６Ｂ２、ＭＳ−１２３、ＭＳ−１２５、ＭＳ−３２２及びＭＳ−３２４（それぞれ商標）、並びにＯａａｏ　Ｂｏｃｋ社の６３３Ｔ２（商標）を使用することもできる。様々な非テフロン（商標）ベースの非湿潤性潤滑剤タイプの材料には、ＡＲＴ社のＤｙｌｙｎ（商標）、Ｎｙｅｂａｒ、Ｄｉａｍｏｎｅｘ、ＮｉＬＡＤ、ＴＩ−ＤＬＮ、Ｋｉｓｓ−Ｃｏｔｅ（それぞれ商標）、酸化チタン、３Ｍ社のＦｌｕｏｃａｄ　Ｆｌｕｏｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｃｏａｔｉｎｇ　ＦＣ−７２２（商標）、Ｄｕｐｏｎｔ社のＰｅｒｍａｃｏｔｅ（商標）、Ｐｌａｓｍａ　Ｔｅｃｈ社のＰｌａｓｍａ　Ｔｅｃｈ　１６３３（商標）、並びにシリコーンスプレーが含まれる。これら材料は噴射されるべき材料と噴射が行われる被印刷物ないし基板とを考慮した後に選択されるべきである。従って、噴射されるべき流体が水性ベースであれば、非湿潤性材料は疎水性とされるべきである。被印刷物が油又は接着剤で覆われているならば、油又は接着剤に対して非湿潤性を示す材料を選択することができる。
【００２３】
　有効量の力と熱とのうち一方又は両方を付与しながら移転ブロックの被覆済み表面を印刷ヘッドの外側となるオリフィス板（又はオリフィス板及びチャンバ板「ＣＰ／ＯＰ」）の表面に押し付けて有効量の非湿潤性被覆材料がオリフィス板及びチャンバ板の外側表面に移転し、特に水性ベース流体、更に特にインクといった流体に対する外側表面の非湿潤特性が大幅に改善されるようにすることができる。また、本発明による移転作用はオリフィスを画定する板の内側表面上に非湿潤性物質が付着するようになるのを概ね防止することができる。
【００２４】
　移転工程を行う前に移転ブロック、オリフィス板の表面、又はその両方を加熱するのが有利である。熱量は移転されるべき物質によって変動する。移転された被覆が薄くなるのを確保するのに有効な高温まで加熱すべきであり、しかしながらオリフィスの目詰まりを生じさせ得る材料の劣化や流動化を引き起こすのに十分高い温度までは加熱すべきでない。非湿潤性材料がテフロン（商標）であるとき、約２０４°Ｃ（４００°Ｆ）以上、好ましくは２６０°Ｃ（５００°Ｆ）以上、最も好ましくは約２８８°Ｃ〜約３４３°Ｃ（５５０°Ｆ〜６５０°Ｆ）の範囲に加熱されるべきである。
【００２５】
　非湿潤性材料が劣化しないように加熱段階の温度及び持続時間を制御すべきである。加熱の持続時間は炉の特性と、オリフィス板及び接触移転表面の放熱特性とに基づいて変動し得る。また、加熱作用の温度と持続時間とのうち一方又は両方を、所望される非湿潤性被覆が形成されるように最適化することができる。
【００２６】
　許容可能な移転表面には、金属、木、プラスチック、シリコーン、ヴァイトン（商標）から形成される表面、又は非湿潤性被覆材料をオリフィス板に効果的かつほぼ略均一に移転させしかしオリフィス部分には移転させないようにオリフィス板と接触するのに十分なあらゆる他の表面が含まれる。移転表面は非湿潤性材料で被覆されており、加熱及び加圧下で非湿潤性被覆材料を十分に解放できるべきである。本発明の一実施態様では、移転表面を有する移転ブロックは研磨アルミニウムである。他の実施態様では、移転ブロックはステンレス鋼であり、より好ましくは非湿潤性材料で被覆された適合材料の層を有するステンレス鋼である。あるいはまた、第１の被覆段階が不要となるように、移転ブロック自体を非湿潤性材料から形成してもよく、例えばテフロン（商標）製移転ブロックを用いることができる。
【００２７】
　結果として得られたオリフィス板はテフロン（商標）のような非湿潤性材料からなる薄い層を有しているはずであり、この非湿潤性材料の層は様々な典型的な清掃作業に耐えることができ、許容可能な期間の間にわたり優れた非湿潤特性を示すことができる。移転表面上のテフロン（商標、又は他の非湿潤性材料）被覆の厚さはオリフィスの孔の寸法、移転されたテフロン（商標）のタイプその他の設計基準を含むオリフィス板の特徴に基づいて調整されるべきである。さらに、再被覆が必要となる前に、被覆済み移転表面を用いて２つ、３つ、多くの場合は３つよりも多いオリフィス板に適切なテフロン（商標）被覆を許容可能な程度で移転させることができることがわかっている。最終的な被覆の厚さは特定の用途に依存する。多くの用途には約０．０５ｍｍ（約０．０００２インチ）が適している。他の用途には約０．００１から約０．０１０ｍｍ（０．００００４インチから０．０００４インチ）の被覆がより適しているであろう。
【００２８】
　本発明の好ましい実施態様によるオリフィス板は約２．５ｃｍ（１インチ）当たり７２〜１４０個のオリフィスを有し、オリフィスを、約７個のオリフィスからなる円形配置された群、又は７番目のオリフィスを中央に配置して六角形状に配置された群の形にすることができる。各オリフィスは内径が約０．０２５から約０．６１ｍｍ（約０．００１から０．０２４インチ）、ピッチが約０．１０から約０．３８ｍｍ（約０．００４から０．０１５インチ）であるのが有利である。好ましいオリフィスの直径は約０．０５ｍｍ（０．００２インチ）である。
【００２９】
　図面を参照すると、図１はチャンバ板孔１１１が貫通するチャンバ板（ＣＰ）１１０と、オリフィス１２１が貫通しかつチャンバ板１１０の前面１１１ａに取り付けられたオリフィス板（ＯＰ）１２０とを具備したチャンバ板／オリフィス板（ＣＰ／ＯＰ）１００を示す。非湿潤性被覆１２２がオリフィス板１２０及びチャンバ板１１０上に施されている。図３（ａ）、３（ｂ）及び３（ｃ）には、チャンバ板孔１１１’が貫通するチャンバ板１１０’と、オリフィス１２１’が貫通しかつチャンバ板１１０’の前表面１１１ａ’上に取り付けられたオリフィス板１２０’と、オリフィス板１２０’上に施された非湿潤性被覆１２２’とを有する、平坦表面型のＣＰ／ＯＰ構造１００’が示されている。
【００３０】
　非湿潤性材料によって被覆されるべきチャンバ板１１０及びオリフィス板１２０の表面が複雑な形状を有している場合（例えば、図１及び図２に示されているように平坦でない場合）、押圧板１３４ａにシリコーンパッド１３０のようなエラストマシートを適用し、その上にスプレーコーティングなどによって非湿潤性材料（例えば、テフロン（商標））の被覆を施してもよい。有効な被覆１２２がシリコーンパッド１３０からＣＰ／ＯＰ１００に移転するのに十分な接触を被覆済みシリコーンパッド１３０と、ＣＰ／ＯＰ１００と、押圧板１３４ａ，１３４ｂとの間に確保するために、一つ又は複数の押圧板１３４でもって圧力を付与することにより非湿潤性材料１３２をＣＰ／ＯＰ１００の望ましい表面上に移転するようにすることができ、押圧板１３４にはＣＰ／ＯＰ１００の輪郭形状に適合する輪郭形状を有する押圧板１３４ａが含まれる。背側の押圧板１３４ｂはＣＰ／ＯＰ１００の背部を保護するために使用することができる。
【００３１】
　図５（ａ）から図５（ｃ）を参照すると、ＣＰ／ＯＰ５４０のオリフィス板５３０を被覆する方法が示される。テフロン（商標）被覆５１５が第１の移転ブロック５１０上に噴霧され、テフロン被覆層５１５ａが形成される。このようにして得られた層５１５ａは多くの場合に過度に厚く、被覆層５１５ａを有する第１の移転ブロック５１０の表面がオリフィス板に押し付けられるとオリフィスの孔が目詰まりすることが確認されている。そこで、まず、得られた層５１５ａを第２の移転ブロック５２０に対し押し付け、炉５５０内で有効時間だけ加熱して第２の移転ブロック５２０上にテフロン（商標）の層５１５ｂを形成することができる。この時点で、他のブロックへの移転作用を更に行ってもよく、即ち図５（ｃ）に示されるように炉５５０内において加熱条件下で第２の移転ブロック５２０上の層５１５ｂをＣＰ／ＯＰ５４０のオリフィス板５３０に対し押し付けて非湿潤性被覆をオリフィス板５３０上に付着させることもできる。
【００３２】
　図４にはＣＰ／ＯＰのオリフィス板に移転ブロックを押し付けるための押圧装置ないしプレス４００がより詳細に示されている。押圧装置４００は固定顎部４１０と可動顎部４２０とを含んでいる。ノブ４３０を回転させることにより、可動顎部４２０を固定顎部４１０に向け前進させてＣＰ／ＯＰ４４０の前表面をアルミニウム製移転ブロック４５０の被覆済み表面４５１に対し押し付けることができる。ＣＰ／ＯＰ４４０の背部を保護するために、アルミニウムのような比較的柔らかい材料から形成されるべき支持ブロック４６０を用いることができる。次に、組立体全体を炉内に入れることができる。誘導加熱法や押圧装置４００内に加熱要素を配置するといった他の加熱方法を採用することもできる。また、可動顎部４２０に対する配置を逆にすることもできる。
【００３３】
　図６（ａ）、図６（ｂ）、図７、図８及び図９を参照すると、ＣＰ／ＯＰ６４０のオリフィス板を被覆する他の方法が示されている。ＣＰ／ＯＰ６４０は少なくとも一つのオリフィス６４１が形成されたオリフィス板６３０と、チャンバ板６２５とを具備する。図６（ａ）に示されるように、移転ブロック６１０上にテフロン（商標）被覆６１５が噴霧されるか又は別の方法により適用されて移転ブロック６１０上にテフロン（商標）被覆層６１５ａが形成される。本発明のいくつかの実施例では、全体が非湿潤性材料で製造されたブロックが使用され得る。図６（ｂ）に示されるように、被覆層６１５ａを有する移転ブロック６１０とオリフィス板６３０間にスペーサ板６３５を配置するのが有利である。スペーサ板６３５の材料として許容される材料には、ステンレス鋼、ニッケル、又は同様の性質を有する他の材料が含まれる。
【００３４】
　スペーサ板６３５は加熱工程中に非湿潤性材料から蒸気が許容可能な程度に移転できるようにするのに十分薄くすべきである。しかしながら、適用されるべき材料の層よりも厚くなければならない。スペーサ板６３５の許容可能な厚さは約０．０１３から約０．７９ｍｍ（０．０００５から０．０３１インチ）の範囲であり、さらに好ましくは約０．０２５から約０．２５ｍｍ（０．００１から０．０１０インチ）の範囲である。
【００３５】
　被覆層６１５ａを有する移転ブロック６１０、少なくとも一つの開口６３７が形成されたスペーサ板６３５、及びチャンバ板６２５とオリフィス板６３０とを具備するＣＰ／ＯＰ６４０は一緒に配置され、炉５５０内で有効時間だけ加熱されてオリフィス板６３０上に非湿潤被覆を蒸着させる。スペーサ板６３５の開口６３７によって、被覆層６１５ａの一部がオリフィス板６３０に蒸着することができるようになる。この方法では、オリフィス板６３０に形成されたオリフィス６４１が目詰まりすることなく、非湿潤性被覆の有効量がオリフィス板６３０へ移転するように定められている。機構は完全には理解されていないが、オリフィス６４１の直径がかなり小さいのでオリフィス内に流入する非湿潤性材料分子が比較的少ないと考えられている。従って、ほぼ全ての材料がオリフィス板６３０の表面に付着し、オリフィス６４１の内部を被覆することがほとんどない。
【００３６】
　図７に示されるようにスペーサ板６３５の開口６３７を、オリフィス６４１の表面を露出するのに充分な幅を有するスロット形状にまで細長くすることができる。本発明の好ましい実施例では、図８及び図９を参照すると複数の開口５３７’が示されており、各開口５３７’の直径はオリフィス６４１を囲むオリフィス板６３０の表面を露出するのに十分になっている。約１．３ｍｍ（約０．０５２インチ）の直径を有する開口５３７’は許容可能であり、開口５３７’の許容可能な直径は他に約０．２５から約２．０ｍｍ（約０．０１０から約０．０８０インチ）の範囲にあり得る。
【００３７】
　図７、図８及び図９を更に参照すると、チャンバ板６２５とオリフィス板６３０とを具備するＣＰ／ＯＰ６４０が示される。オリフィス板６３０は貫通するよう形成された複数のオリフィス６４１と共に示されており、これら複数のオリフィス６４１はオリフィス群６４２の形で設けられる。図９に最も明確に示されるように、オリフィス群６４２のオリフィス６４１を各頂点に一つずつ配置し７番目を中央に配置して六角形状に形成することができる。当然、他の配置も許容可能である。各オリフィス群を一群当たり１個から１５個のオリフィス、及びさらに多くのオリフィスでもって形成することができる。オリフィス板６３０はオリフィス６４１の複数の群、好ましくは２０個から４０個のオリフィス群を有して示される。
【００３８】
　さらに、図７は本発明に従い、貫通するよう形成された単一の開口６３７’を有するスペーサ板６３５’を示す。図８は本発明に従い、貫通するよう形成された複数の開口５３７’を有するスペーサ板５３５’を示す。
【００３９】
　従って、上述の説明から明らかにされた目的のうち上述された目的が有効に達成されていることがわかり、上記方法の実施及び図示された物品を本発明の精神及び範囲から逸脱することなく変更し得るので、上述の説明に含まれている全ての事項及び添付図面に示されている全ての事項は例示として解釈されるべきであり限定的に解釈されるべきではないということを意図している。
【００４０】
　また、特許請求の範囲は本明細書に記載されている発明の全ての包括的及び具体的特徴と、文言上その範囲にあると言える本発明の範囲の全ての記述とを網羅することを意図したものであると理解されるべきである。
【００４１】
　特に、特許請求の範囲において、単数で記載されている要素又は成分は意味的に許容し得る限りにおいてこのような構成要素の互換可能な混合物を含むことを意図するものと理解されべきである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】チャンバ板／オリフィス板（ＣＰ／ＯＰ）の断面図である。
【図２】シリコーン被覆されたパッドに関連した本発明の実施態様による図１のＣＰ／ＯＰの断面図であり、パッドが押圧板と共にＣＰ／ＯＰに対し押し付けられる前の状態を示している。
【図３】本発明の実施態様によるＣＰ／ＯＰの（ａ）平面図、（ｂ）端面図、及び（ｃ）側面図である。
【図４】ＣＰ／ＯＰに非湿潤被覆を適用するための装置の略図である。
【図５】本発明の実施態様によるＣＰ／ＯＰに非湿潤性被覆を適用するための各段階を示す略図である。
【図６】本発明の実施態様によるＣＰ／ＯＰに非湿潤性被覆を適用するための各段階を示す略図である。
【図７】スペーサ板に関連した本発明の実施態様によるＣＰ／ＯＰの斜視図であり、スペーサ板がＣＰ／ＯＰに対し押し付けられる前の状態を示している。
【図８】スペーサ板に関連した本発明の実施態様によるＣＰ／ＯＰの斜視図であり、スペーサ板がＣＰ／ＯＰに対し押し付けられる前の状態を示している。
【図９】スペーサ板に関連した本発明の実施態様による図８のＣＰ／ＯＰの拡大部分斜視図であり、スペーサ板がＣＰ／ＯＰに対し押し付けられる前の状態を示している。
【符号の説明】
【００４３】
１００；１００’；４４０；５４０；６４０…チャンバ板／オリフィス板（ＣＰ／ＯＰ）
１１０；１１０’；６２５…チャンバ板（ＣＰ）
１１１；１１１’；…チャンバ板孔
１１１ａ；１１１ａ’；…チャンバ板の前表面
１２０；１２０’；５３０；６３０…オリフィス板（ＯＰ）
１２１；１２１’；６４１…オリフィス
１２２；１２２’；…非湿潤性被覆
１３４ａ，１３４ｂ…押圧板
４５０；５１０，５２０；６１０…移転ブロック
５１５；６１５…被覆
５１５ａ，５１５ｂ；６１５ａ…被覆層
５３５’；６３５；６３５’…スペーサ板
５３７’；６３７’…開口
５５０…炉
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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