(57)【要約】【課題】第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する陰極サポート１２の偏心量および偏心方向を正確に測定できる電子銃の検査方法を提供する。【解決手段】電子銃構体１１は、順に配置される陰極サポート１２、第１電極１３および第２電極１４を含む複数の電極を有し、これら電極にビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂをそれぞれ有する。基準ピン２５を陰極サポート１２と反対の電極側からビーム通過孔１８Ｇに挿入し、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｇの中心を基準に電子銃構体１１を位置決めする。測定子２８を陰極サポート１２側から陰極サポート１２内に挿入する。測定子２８を基準ピン２５で位置決めした第１電極１３のビーム通過孔１３Ｇの中心を基準に回転させて陰極サポート１２の内面との距離を測定する。測定した距離から、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｇの中心に対する陰極サポート１２の偏心量および偏心方向を求める。【選択図】　　　　図１
2004014298.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極サポート、第１電極および第２電極を含む複数の電極が順に配置されるとともにこれら電極にビーム通過孔がそれぞれ形成された電子銃構体に対し、基準ピンを陰極サポートと反対の電極側からビーム通過孔に挿入して第１電極のビーム通過孔の中心を基準に電子銃構体を位置決めし、
径方向の距離を測定する測定子を陰極サポート側から陰極サポート内に挿入するとともに、測定子を基準ピンで位置決めした第１電極のビーム通過孔の中心を基準に回転させて陰極サポートの内面との距離を測定し、
測定した距離から第１電極のビーム通過孔の中心に対する陰極サポートの偏心量および偏心方向を求める
ことを特徴とする電子銃の検査方法。
【請求項２】
測定子にエアマイクロメータのエアノズルを用い、このエアノズルを陰極サポート内に挿入し、陰極サポートの内面に対向するエアノズルの周面に設けた噴出口からエアを噴出させ、噴出口から噴出するエアの流量に応じて陰極サポートの内面との距離を測定する
ことを特徴とする請求項１記載の電子銃の検査方法。
【請求項３】
基準ピンを陰極サポートと反対の電極側からビーム通過孔に挿入して第１電極のビーム通過孔の中心を基準に電子銃構体を位置決めする工程では、基準ピンの先端の挿入部を第２電極のビーム通過孔に挿入し、挿入部が突設された基準ピンの当接面を第２電極に当接させる
ことを特徴とする請求項１または２記載の電子銃の検査方法。
【請求項４】
３個の陰極サポートが配列されるとともに各電極に３個のビーム通過孔が配列された電子銃構体に対し、基準ピンを各ビーム通過孔に順に挿入して各陰極サポートについて測定する
ことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載の電子銃の検査方法。
【請求項５】
基準ピンが陰極サポートと反対の最終電極のビーム通過孔と第３電極のビーム通過孔とに位置決め嵌合する
ことを特徴とする請求項１ないし４いずれか記載の電子銃の検査方法。
【請求項６】
陰極サポート、第１電極および第２電極を含む複数の電極が順に配置されるとともにこれら電極にビーム通過孔がそれぞれ形成された電子銃構体に対し、陰極サポートと反対の電極側からビーム通過孔に挿入され、第１電極のビーム通過孔の中心を基準に電子銃構体を位置決めする基準ピンと、
径方向の距離を測定する測定子を有し、この測定子を陰極サポート側から陰極サポート内に挿入するとともに基準ピンで位置決めした第１電極のビーム通過孔の中心を基準に回転させて陰極サポートの内面との距離を測定する測定手段と、
この測定手段で測定した距離から第１電極のビーム通過孔の中心に対する陰極サポートの偏心量および偏心方向を求める演算手段と
を具備していることを特徴とする電子銃の検査装置。
【請求項７】
測定子は、陰極サポート内に挿入可能とするとともに陰極サポートの内面に対向してエアを噴出する噴出口およびこの噴出口に連通する略Ｌ字形のエア流路が設けられたエアノズルを有し、
測定手段は、エアノズルの噴出口から噴出するエアの流量に応じて陰極サポートの内面との距離を測定するエアマイクロメータを有している
ことを特徴とする請求項６記載の電子銃の検査装置。
【請求項８】
基準ピンの先端に、第２電極のビーム通過孔に挿入される挿入部、およびこの挿入部が突設され第２電極に当接する当接面が設けられている
ことを特徴とする請求項６または７記載の電子銃の検査装置。
【請求項９】
３個の陰極サポートが配列されるとともに各電極に３個のビーム通過孔が配列された電子銃構体に対し、基準ピンを各ビーム通過孔に順に挿入して各陰極サポートについて測定する
ことを特徴とする請求項６ないし８いずれか記載の電子銃の検査装置。
【請求項１０】
基準ピンは、陰極サポートと反対の最終電極のビーム通過孔と第３電極のビーム通過孔とに位置決め嵌合する
ことを特徴とする請求項６ないし９いずれか記載の電子銃の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子銃構体の第１電極のビーム通過孔の中心に対する陰極サポートの偏心量および偏心方向を測定する電子銃の検査方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、カラーブラウン管、カラーディスプレイ管などに用いられるインライン電子銃の製造工程において、電子銃構体の第１電極のビーム通過孔の中心と陰極サポートの中心との偏心量および偏心方向を測定するために、基準ピンを陰極サポートと反対の電極側からビーム通過孔に挿入して第３電極における第２電極側のビーム通過孔に当接させ、測定ピンを陰極サポート側から陰極サポート内に挿入する。このとき、陰極サポート側から挿入する測定ピンに関しては径を変えた各測定ピンを作業者の手作業により挿入し、それら測定ピンのある任意のピン径の挿入可否により、第１電極のビーム通過孔の中心と陰極サポートの中心との偏心の合否を検査する方法がある。
【０００３】
しかし、この方法では、ある任意の径の測定ピンを挿入し判定するため、第１電極のビーム通過孔の中心と陰極サポートの中心の偏心量および偏心方向を正確に測定することができない問題がある。しかも、ある任意径の測定ピンを挿入する際の加圧力のばらつきにより合否判定がばらつく問題があり、さらに、測定ピンの製作時の径公差や、繰返し測定による磨耗などの問題がある。また、陰極サポートが、電子銃構体の管軸方向に対して、傾いている場合、ある任意径の測定ピンと陰極サポートの内部との点接触で挿入可否を判定するため、誤判定してしまう。さらに、陰極サポート内の任意の位置の偏心量および偏心方向を測定することが不可能である。
【０００４】
また、基準ピンを陰極サポートと反対の電極側からビーム通過孔に挿入して第３電極における第２電極側のビーム通過孔に当接させ、陰極サポート側から画像処理を用いて、第１電極のビーム通過孔を基準とし、陰極サポートの内側端部の第１電極のビーム通過孔の中心を基準にした位置を測定し、第１電極のビーム通過孔の中心と陰極サポートの中心との偏心量および偏心方向を測定する検査方法がある。
【０００５】
しかし、この方法では、筒状の陰極サポートの内側端部の位置測定となるため、陰極サポートが管軸方向に対して傾いていたり、陰極サポートの内部の任意の位置を測定できないという問題がある。さらに、陰極サポートの端部がフレア状になっている場合、正確な位置を測定できない場合があり、繰返し精度がばらつく問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、カラーブラウン管では、高画質、高品質および高輝度化の要求が厳しく、電子銃の組立精度の向上が求められている。
【０００７】
カラーブラウン管の重要な特性の１つにカットオフ特性がある。この特性は、第１電極の板厚、第１電極のビーム通過孔の径、第１電極と第２電極との間の距離、陰極と第１電極との距離などによって決定される。ところが、高画質、高品質および高輝度化の要求に伴ない、陰極と第１電極との間の距離が縮小されている。それ故に、陰極と第１電極との距離が、縮小されるのに比例して、カットオフ特性に与える影響が大きくなるだけでなく、画質フォーカス特性ばらつきに与える影響も大きくなり、高精度にて組み立てる必要がある。
【０００８】
そのため、陰極と第１電極との間の距離を設定し、陰極を陰極サポートに溶接する装置において、陰極サポートの中心と第１電極のビーム通過孔の中心とに偏心があった場合、この偏心により、陰極と陰極サポートとを溶接する際に、陰極に傾きが発生し、陰極と第１電極との間の距離がばらつき、さらに、陰極の傾きにより、ビーム軌道が変化するために、画質フォーカス特性の劣化を招く問題がある。
【０００９】
このようなことから、第１電極のビーム通過孔の中心と陰極サポートの中心との偏心量および偏心方向を正確に測定することが必要になっている。
【００１０】
しかし、上述したように、測定ピンを陰極サポートに挿入する方法、画像処理を用いる方法では、測定誤差やばらつきが大きく、第１電極のビーム通過孔の中心に対する陰極サポートの偏心量および偏心方向を正確に測定できない問題がある。
【００１１】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、第１電極のビーム通過孔の中心に対する陰極サポートの偏心量および偏心方向を正確に測定できる電子銃の検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、陰極サポート、第１電極および第２電極を含む複数の電極が順に配置されるとともにこれら電極にビーム通過孔がそれぞれ形成された電子銃構体に対し、基準ピンを陰極サポートと反対の電極側からビーム通過孔に挿入して第１電極のビーム通過孔の中心を基準に電子銃構体を位置決めし、径方向の距離を測定する測定子を陰極サポート側から陰極サポート内に挿入するとともに、測定子を基準ピンで位置決めした第１電極のビーム通過孔の中心を基準に回転させて陰極サポートの内面との距離を測定し、測定した距離から第１電極のビーム通過孔の中心に対する陰極サポートの偏心量および偏心方向を求めるものである。
【００１３】
そして、基準ピンを陰極サポートと反対の電極側からビーム通過孔に挿入して第１電極のビーム通過孔の中心を基準に電子銃構体を位置決めし、測定子を陰極サポート側から陰極サポート内に挿入するとともに、測定子を基準ピンで位置決めした第１電極のビーム通過孔の中心を基準に回転させて陰極サポートの内面との距離を測定することにより、第１電極のビーム通過孔の中心に対する陰極サポートの偏心量および偏心方向が正確に測定される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は電子銃の検査装置を拡大した概略図、図２は検査装置を用いた検査方法を（ａ）（ｂ）（ｃ）の順に説明する説明図、図３は検査装置の構成図である。
【００１６】
電子銃構体１１は、図示しない陰極が配置される円筒状の陰極サポート１２、第１電極１３と第２電極１４と第３電極１５とを含む複数の電極が管軸方向に順に配置され、電子銃構体１１の管軸方向と交差する両側に配置される絶縁支持体１７によって一体に固定されている。電極は、第１の電極１３から最終電極としての第７電極１６までを備え、これら各電極１３〜１６を貫通して円形の３個のビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂが管軸方向と交差したインライン方向に並列に形成されている。これらビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂは電子銃構体１１の全体のビーム通過孔を示しており、第１電極１３にはビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ、第２電極１４にはビーム通過孔１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ、第３電極１５にはビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ……第７電極１６にはビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂがそれぞれ同軸上に形成されている。また、陰極サポート１２は、３個備えて、各ビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂと同軸上に配列されている。
【００１７】
検査装置２１は、下側に配置される一方の基準体２２、および上側に配置される他方の基準体２３を有している。
【００１８】
一方の基準体２２には、電子銃構体１１のビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂに対応したピッチで５本の円柱状のピン２４が管軸方向と交差したインライン方向に並んで突設され、これらピン２４のうちの中央の１本のピン２４の先端部が他のピン２４の先端位置より突出されて基準ピン２５として構成されている。これらピン２４は、電子銃構体１１のビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂに対して、陰極サポート１２と反対の第７電極１６側から挿入される。
【００１９】
基準ピン２５は、先端部が先細り状に形成され、先端面に管軸方向と直交する平面状の当接面２５ａが形成されており、その当接面２５ａが第２電極１４のビーム通過孔１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂの周縁部で第３電極１５に対向する面に当接されるまで挿入される。基準ピン２５の当接面２５ａには、第２電極１４のビーム通過孔１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂに挿入される円柱状の挿入部２５ｂが突設されており、この挿入部２５ｂは、基準ピン２５の中心と同軸で、第２電極１４のビーム通過孔１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂの径よりも小さく、ビーム通過孔１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂに挿入されて貫通するとともに、先端部が第１電極１３と第２電極１４との中間部まで挿入される。
【００２０】
基準ピン２５を除く各ピン２４は、先端が球面状に形成されており、その先端が第３電極１５のビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂを貫通するまで挿入されるが、基準ピン２５の当接部２５ａと第２電極１４との当接によって第２電極１４に接触しない位置で挿入が規制される。
【００２１】
各ピン２４の基端側には、第７電極１６の外面に臨む側のビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂ内に位置決め嵌合される位置決め軸部２６が形成されている。各ピン２４の先端側には、第３電極１５の第２電極１４に臨む側のビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ内に位置決め嵌合される位置決め軸部２７が形成されている。これらピン２４の位置決め軸部２６および位置決め軸部２７の各外径とビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂおよびビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの各内径との差は０．０２〜０．０４ｍｍの範囲内に設定されている。
【００２２】
また、他方の基準体２３には、基準ピン２５と同軸上に、径方向の距離を測定するための測定子２８としてのエアノズル２９が突設されている。このエアノズル２９は、ノズル本体３０を有し、このノズル本体３０の先端に陰極サポート１２内に挿入される円柱状のノズル部３１が形成されている。ノズル部３１の周面にはエアノズル２９の軸方向と交差する方向へ向けてエアを噴出する噴出口３２が形成され、エアノズル２９内には噴出口３２に連通してエアを送るエア流路３３が形成されている。エア流路３３は、エアノズル２９の軸方向に平行な流路部３４とエアノズル２９の軸方向と交差する流路部３５とで略Ｌ字形に形成されている。例えば、エアノズル２９の噴出口３２およびエア流路３３は直径が０．４ｍｍ程度に形成されており、陰極サポート１２の内径とエアノズル２９の外径との差は、０．１５ｍｍ程度に設定されている。
【００２３】
また、一方の基準体２２を電子銃構体１１の管軸方向に移動させる一方の管軸方向駆動手段４１、他方の基準体２３を電子銃構体１１の管軸方向に移動させる他方の管軸方向駆動手段４２およびエアノズル２９をその管軸中心で回転させる回転駆動手段４３を備えている。
【００２４】
他方の基準体２３のエアノズル２９には、このエアノズル２９の噴出口３２から噴出するエアの流量に応じて陰極サポート１２の内面との距離Ｌを測定するエアマイクロメータ４４が接続されている。このエアマイクロメータ４４による測定値の最小単位は、１μｍ程度にできる。そして、エアノズル２９とともに、管軸方向駆動手段４２および回転駆動手段４３にて、エアノズル２９を陰極サポート１２内に挿入するとともに基準ピン２５の中心すなわち第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心を基準に回転させて陰極サポート１２の内面との距離Ｌを測定する測定手段４５が構成されている。
【００２５】
電子銃構体１１を管軸方向に移動可能に支持する図示しない電子銃構体支持体を有し、この電子銃構体支持体を介して電子銃構体１１を管軸方向と交差する方向に移動させ、すなわち、電子銃構体１１の中央のビーム通過孔１８Ｇが基準ピン２５とエアノズル２９との間に一致する測定位置Ｓ１、一側のビーム通過孔１８Ｒが基準ピン２５とエアノズル２９との間に一致する測定位置Ｓ２、他側のビーム通過孔１８Ｂが基準ピン２５とエアノズル２９との間に一致する測定位置Ｓ３に移動させる移動手段４６を備えている。
【００２６】
測定手段４５には、この測定手段４５で測定した距離Ｌに基づき、陰極サポート１２の中心を求めるとともに、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する陰極サポート１２の偏心量および偏心方向を求める演算手段４７が接続されている。
【００２７】
また、演算手段４７で求められた第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する陰極サポート１２の偏心量および偏心方向の情報は、陰極と第１電極１３との間の距離の設定、および陰極を陰極サポート１２に溶接する製造装置５１に送られる。この製造装置５１では、得られた情報に基づいて、陰極の軸中心を補正することにより、陰極と第１電極１３との間の距離のばらつきを低減し、カットオフ特性の安定化を図ることができる。
【００２８】
次に、検査装置２１による電子銃構体１１の検査方法について説明する。
【００２９】
まず、図２（ａ）に示すように、管軸方向駆動手段４１で一方の基準体２２を下降させるとともに、管軸方向駆動手段４２で他方の基準体２３を上昇させ、これら基準体２２，２３間に、図示しない電子銃構体支持体を介して電子銃構体１１を配置する。このとき、例えば、電子銃構体１１の中央のビーム通過孔１８Ｇが基準ピン２５とエアノズル２９との間に一致する測定位置Ｓ１に配置する。
【００３０】
続いて、図２（ｂ）に示すように、管軸方向駆動手段４１で一方の基準体２２を上昇させ、基準ピン２５を電子銃構体１１の中央のビーム通過孔１８Ｇに、基準ピン２５の両側のピン２４を電子銃構体１１の両側のビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｂに対し、それぞれ第７電極１６側から挿入する。
【００３１】
これら基準ピン２５および両側のピン２４は第３電極１５のビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂを貫通し、基準ピン２５の先端の挿入部２５ｂが第２電極１４のビーム通過孔１４Ｇを貫通して第１電極１３と第２電極１４との中間位置まで挿入され、さらに基準ピン２５の当接面２５ａが第２電極１４のビーム通過孔１４Ｇの周縁部に当接するまで挿入される。両側のピン２４は先端部が第２電極１４に接触しない第３電極１５と第２電極１４との間の位置まで挿入される。
【００３２】
一方の基準ピン２５の当接面２５ａが第２電極１４のビーム通過孔１４Ｇの周縁部に当接した後には、継続されている一方の基準体２２の上昇に伴って、一方の基準体２２と一体に電子銃構体１１を少し持ち上げる。この電子銃構体１１を少し持ち上げた保持位置で、一方の基準体２２が所定の測定高さ位置に到達し、管軸方向駆動手段４１による一方の基準体２２の上昇を停止させる。
【００３３】
電子銃構体１１を少し持ち上げた保持状態では、第７電極１６の外面に臨む側の各ビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂ内と各ピン２４の位置決め軸部２６とが位置決め嵌合し、第３電極１５の第２電極１４に臨む側の各ビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ内と各ピン２４の位置決め軸部２７とが位置決め嵌合する。これら電子銃構体１１とピン２４とを、第３電極１５と第７電極１６との管軸方向に最も離れた２箇所で位置決めすることにより、電子銃構体１１とピン２４との各軸の平行度が得られ、確実に位置決めできる。しかも、各ピン２４の位置決め軸部２６および位置決め軸部２７の各外径とビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂおよびビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの各内径との差を０．０２〜０．０４ｍｍの範囲内に設定しているため、ピン２４の挿入性を損なわず、確実に位置決めできる。
【００３４】
続いて、図２（ｃ）に示すように、管軸方向駆動手段４２で他方の基準体２３を下降させ、エアノズル２９を中央の陰極サポート１２内に挿入する。エアノズル２９を中央の陰極サポート１２内に挿入する位置は、例えば、陰極サポート１２の端部から２ｍｍ程度の位置とする。
【００３５】
回転駆動手段４３でエアノズル２９を管軸中心に回転させながら、エアノズル２９の噴出口３２からエアを噴出させ、エアマイクロメータ４４によってエアノズル２９と陰極サポート１２の内周面との距離Ｌを測定する。
【００３６】
測定した距離Ｌに基づき、演算手段４７で、陰極サポート１２の中心を算出するとともに、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｇの中心に対する陰極サポート１２の中心の偏心量および偏心方向を算出する。
【００３７】
測定後は、他方の基準体２３を上昇させるとともに、一方の基準体２２を下降させ、図２（ａ）に示す初期状態に戻す。
【００３８】
また、図３に示すように、移動手段４６で電子銃構体１１を、一側のビーム通過孔１８Ｒが基準ピン２５とエアノズル２９との間に一致する測定位置Ｓ２に移動させ、または、他側のビーム通過孔１８Ｂが基準ピン２５とエアノズル２９との間に一致する測定位置Ｓ３に移動させ、それぞれ同様に測定する。したがって、１つの電子銃構体１１について測定動作を３回繰り返すことにより、３個のビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂの位置において、エアノズル２９と陰極サポート１２の内周面との距離Ｌを測定し、第１電極１３の各ビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する各陰極サポート１２の中心の偏心量および偏心方向を求める。
【００３９】
そして、演算手段４７で求められた第１電極１３の各ビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する各陰極サポート１２の偏心量および偏心方向の情報は、陰極と第１電極１３との間の距離の設定、および陰極を陰極サポート１２に溶接する製造装置５１に送られる。この製造装置５１では、得られた情報に基づいて、陰極の軸中心を補正することにより、陰極と第１電極１３との間の距離のばらつきを低減し、カットオフ特性の安定化を図ることができる。
【００４０】
以上のように、基準ピン２５を陰極サポート１２と反対の第７電極１６側からビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂのいずれか１つに挿入して第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心を基準に電子銃構体１１を位置決めし、径方向の距離を測定するためのエアノズル２９を陰極サポート１２側から陰極サポート１２内に挿入するとともに、エアノズル２９を基準ピン２５で位置決めした第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心を基準に回転させて陰極サポート１２の内面との距離Ｌを測定することにより、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する陰極サポート１２の偏心量および偏心方向を正確に測定できる。
【００４１】
また、測定子２８にエアマイクロメータ４４のエアノズル２９を用い、このエアノズル２９を陰極サポート１２内に挿入し、陰極サポート１２の内面に対向するエアノズル２９の周面に設けた噴出口３２からエアを噴出させ、噴出口３２から噴出するエアの流量に応じて陰極サポート１２の内面との距離Ｌを測定するため、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する陰極サポート１２の偏心量および偏心方向を正確に測定できる。
【００４２】
また、基準ピン２５の先端の挿入部２５ｂを第２電極１４のビーム通過孔１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂに挿入し、挿入部２５ｂが突設された基準ピン２５の当接面２５ａを第２電極１４に当接させるため、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心を基準に電子銃構体１１を正確に位置決めできる。
【００４３】
また、複数のピン２４を陰極サポート１２と反対の第７電極１６側から各ビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂに挿入することにより、電子銃構体１１とピン２４とを互いに位置決め固定できる。
【００４４】
さらに、ピン２４が陰極サポート１２と反対の最終電極である第７電極１６のビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂと第３電極１５のビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂとに位置決め嵌合するため、電子銃構体１１とピン２４とを、第３電極１５と第７電極１６との管軸方向に最も離れた２箇所で位置決めでき、電子銃構体１１とピン２４との各軸の平行度が得られ、確実に位置決めできる。しかも、各ピン２４の位置決め軸部２６および位置決め軸部２７の各外径とビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂおよびビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの各内径との差を０．０２〜０．０４ｍｍの範囲内に設定するため、ピン２４の挿入性を損なわず、確実に位置決めできる。
【００４５】
なお、孔の内径とピン２４の外径との差が０．０２ｍｍ未満の場合、電子銃構体１１を保持する部分が３箇所以上の場合、管軸方向駆動手段４１による自動運転によりピン２４を上昇させたとき、ピン２４が電子銃構体１１のビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂの縁部に引っ掛り、電子銃構体１１を同時に上昇させてしまったり、電子銃構体１１の各ビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂの中心軸ずれやピン２４の表面粗さなどの影響によって、電子銃構体１１が斜めに保持されるときがあり、電子銃構体１１を安定して保持できない不具合が生じやすくなる。また、孔の内径とピン２４の外径との差が０．０４ｍｍを超える場合は、電子銃構体１１を保持したときの電子銃構体１１とピン２４とのがたつきが大きく、電子銃構体１１を安定して保持できない不具合が生じやすくなる。したがって、３本のピン２４により電子銃構体１１を自動運転にて安定して保持するためには、ピン２４が陰極サポート１２と反対の最終電極である第７電極１６のビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂと第３電極１５のビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂとの２箇所に位置決め嵌合し、かつ、ピン２４の外径とそれらビーム通過孔１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂおよびビーム通過孔１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの内径との差を０．０２〜０．０４ｍｍの範囲内に設定することがよい。
【００４６】
また、中央に基準ピン２５が配置される５本のピン２４を一方の基準体２２に一体に設けたため、基準ピン２５を電子銃構体１１の各ビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂに順に挿入し、各ビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂの位置に対応した第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する陰極サポート１２の偏心量および偏心方向を測定できる。
【００４７】
なお、陰極サポート１２内の管軸方向における任意の位置を測定することが可能であるため、陰極サポート１２内の管軸方向における複数位置について測定すれば、陰極サポート１２の管軸方向に対する傾きを測定できる。この場合も、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する陰極サポート１２の中心の偏心量および偏心方向と同様に、測定結果に基づいて陰極サポート１２の管軸方向に対する傾きを演算手段４７で求める。
【００４８】
また、測定手段４５および測定子２８としては、エアマイクロメータ４４およびエアノズル２９に限らず、例えば、レーザ変位計を用い、このレーザ変位計の測定部を陰極サポート１２内に挿入するとともに陰極サポート１２の内面に対してレーザ光を照射した状態で回転させることによって光学的に測定することができ、あるいは、三次元測定器を用い、この三次元測定器の接触子を陰極サポート１２内に挿入するとともに陰極サポート１２の内面に接触させた状態で回転させることによって測定することができる。
【００４９】
また、前記実施の形態では、各ビーム通過孔１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂの位置に対応して、第１電極１３のビーム通過孔１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの中心に対する陰極サポート１２の偏心量および偏心方向を測定するために、電子銃構体１１側を移動させたが、各基準体２２，２３側を移動させても、同様の作用効果が得られる。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、基準ピンを陰極サポートと反対の電極側からビーム通過孔に挿入して第１電極のビーム通過孔の中心を基準に電子銃構体を位置決めし、径方向の距離を測定する測定子を陰極サポート側から陰極サポート内に挿入するとともに、測定子を基準ピンで位置決めした第１電極のビーム通過孔の中心を基準に回転させて陰極サポートの内面との距離を測定することにより、第１電極のビーム通過孔の中心に対する陰極サポートの偏心量および偏心方向を正確に測定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す電子銃の検査装置を拡大した概略図である。
【図２】同上検査装置を用いた検査方法を（ａ）（ｂ）（ｃ）の順に説明する説明図である。
【図３】同上検査装置の構成図である。
【符号の説明】
１１　　電子銃構体
１２　　陰極サポート
１３　　第１電極
１４　　第２電極
１５　　第３電極
１６　　最終電極としての第７電極
１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂ　　ビーム通過孔
２１　　検査装置
２５　　基準ピン
２５ａ　当接面
２５ｂ　挿入部
２８　　測定子
２９　　エアノズル
３２　　噴出口
３３　　エア流路
４４　　エアマイクロメータ
４５　　測定手段
４７　　演算手段
【図１】
2004014298.tif 000003
【図２】
2004014298.tif 000004
【図３】
2004014298.tif 000005