(57)【要約】【課題】生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき、生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムおよび方法を提供する。【解決手段】生産対象としての生産ロットのそれぞれについて生産処理を行う製造装置８Ｂと、前記各生産ロットを製造装置８Ｂによる生産処理に関連してそれぞれ搬送する搬送装置７Ｂとを備え、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む各生産ロットの属性情報に応じて製造装置８Ｂで処理される次処理ロットを決定する進捗制御部５を設けた。【選択図】　　　　図２
2004086638.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産対象としての生産ロットのそれぞれについて生産処理を行う生産手段と、前記各生産ロットを前記生産手段による生産処理に関連してそれぞれ搬送する搬送手段とを備え、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットに関する処理順序を決定する制御手段を設けたことを特徴とする生産進捗制御システム。
【請求項２】
生産対象としての生産ロットのそれぞれについて生産処理を行う複数の生産手段と、前記各生産ロットについて処理工程毎に仕掛りロットの処理優先順位を設定する工程進捗管理手段と、前記生産手段の稼働能力および負荷を管理する生産能力管理手段と、前記生産ロットを集結配置し前記生産手段へ生産対象としての生産ロットを供給するための生産処理用配置手段と、前記生産手段により生産処理された生産ロットを搬送するため集結配置する搬送処理用配置手段と、前記生産処理用配置手段と前記搬送処理用配置手段との間で前記生産ロットを搬送する搬送手段と、作業者に生産ロット処理用作業指示および生産ロット運搬用作業指示を伝達する作業指示手段と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性状態を逐次把握し前記各生産ロットの属性情報を導出するロット状態管理手段とを備え、前記ロット状態管理手段により導出される前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットに関する処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示情報を前記搬送手段，生産手段および作業指示手段に伝達する制御手段を設けたことを特徴とする生産進捗制御システム。
【請求項３】
前記制御手段は、前記制御手段により決定された生産ロットの処理順序に関し優先度の高い生産ロットのロケーション状況を前記ロット状態管理手段からの情報によって把握し、その生産ロットが前記生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報を前記搬送手段および作業指示手段へ伝達し、作業の進捗を促進することを特徴とする請求項２に記載の生産進捗制御システム。
【請求項４】
前記制御手段は、前記生産手段での負荷率と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報とに応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択することを特徴とする請求項１ないし請求項３に記載の生産進捗制御システム。
【請求項５】
前記生産手段の負荷率が予め設定された基準値を超えている場合に、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを前記制御手段によって選択することを特徴とする請求項４に記載の生産進捗制御システム。
【請求項６】
生産対象としての生産ロットのそれぞれについて生産処理を行う生産手段へ前記各生産ロットを搬送して前記生産手段による生産処理を進めるにあたり、前記搬送手段による搬送によって生じる前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットの処理順序を決定することを特徴とする生産進捗制御方法。
【請求項７】
前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットの処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた搬送処理および生産処理を行うとともに、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示を作業者に与えることとを特徴とする請求項６に記載の生産進捗制御方法。
生産進捗制御方法。
【請求項８】
前記決定された生産ロットの処理順序に関し優先度の高い生産ロットのロケーション状況を把握し、その生産ロットが前記生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報に基づいて搬送処理を行うとともに、作業員にそのロケーション情報に基づく作業指示を与え、作業の進捗を促進することを特徴とする請求項７に記載の生産進捗制御方法。
【請求項９】
前記生産手段での負荷率と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報とに応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択することを特徴とする請求項６ないし請求項８に記載の生産進捗制御方法。
【請求項１０】
前記生産手段の負荷率が予め設定された基準値を超えている場合に、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択することを特徴とする請求項９に記載の生産進捗制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、生産進捗制御システムおよび方法、特に、ウエハラインのような同一装置で複数品種および複数工程を担当する製造装置で構成される半導体製造ラインにおける処理ロットを選択する生産進捗制御システムおよび方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程等の生産ラインにおいて、製造装置により生産処理するための生産ロットについて、工程別の仕掛ロット群の中から次処理ロットを選び出す場合、従来は、例えば、ＦＩＦＯ（先入れ先出し；Ｆｉｒｓｔ＿Ｉｎ＿Ｆｉｒｓｔ＿Ｏｕｔ）や進捗遅れ順などのように所定の進捗ルールに基づき決定された優先順位を設定し、その優先順位にしたがい製造装置へロットを搬送して作業させる手法をとっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の技術においては、生産ロットのロケーションおよび生産ロットが進捗停止となっている等の属性状態に関わらずロット処理の指示を出しているため、製造装置がアイドルの状態でも、そのロットの到着を待ち続けるか、または、そのロットを探すことが必要になり、製造装置の稼働能力低下あるいは作業混乱を発生する原因となる等の問題点がある。
【０００４】
この発明は、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムおよび方法を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
第１の発明に係る生産進捗制御システムでは、生産対象としての生産ロットのそれぞれについて生産処理を行う生産手段と、前記各生産ロットを前記生産手段による生産処理に関連してそれぞれ搬送する搬送手段とを備え、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットに関する処理順序を決定する制御手段を設けたものである。
【０００６】
第２の発明に係る生産進捗制御システムでは、生産対象としての生産ロットのそれぞれについて生産処理を行う複数の生産手段と、前記各生産ロットについて処理工程毎に仕掛りロットの処理優先順位を設定する工程進捗管理手段と、前記生産手段の稼働能力および負荷を管理する生産能力管理手段と、前記生産ロットを集結配置し前記生産手段へ生産対象としての生産ロットを供給するための生産処理用配置手段と、前記生産手段により生産処理された生産ロットを搬送するため集結配置する搬送処理用配置手段と、前記生産処理用配置手段と前記搬送処理用配置手段との間で前記生産ロットを搬送する搬送手段と、作業者に生産ロット処理用作業指示および生産ロット運搬用作業指示を伝達する作業指示手段と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性状態を逐次把握し前記各生産ロットの属性情報を導出するロット状態管理手段とを備え、前記ロット状態管理手段により導出される前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットに関する処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示情報を前記搬送手段，生産手段および作業指示手段に伝達する制御手段を設けたものである。
【０００７】
第３の発明に係る生産進捗制御システムでは、第２の発明において、前記制御手段は、前記制御手段により決定された生産ロットの処理順序に関し優先度の高い生産ロットのロケーション状況を前記ロット状態管理手段からの情報によって把握し、その生産ロットが前記生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報を前記搬送手段および作業指示手段へ伝達し、作業の進捗を促進するものである。
【０００８】
第４の発明に係る生産進捗制御システムでは、第１ないし第３の発明において、前記制御手段は、前記生産手段での負荷率と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報とに応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択するものである。
【０００９】
第５の発明に係る生産進捗制御システムでは、第４の発明において、前記生産手段の負荷率が予め設定された基準値を超えている場合に、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段により処理される次の生産ロットを前記制御手段によって選択するものである。
【００１０】
第６の発明に係る生産進捗制御方法では、生産対象としての生産ロットのそれぞれについて生産処理を行う生産手段へ前記各生産ロットを搬送して前記生産手段による生産処理を進めるにあたり、前記搬送手段による搬送によって生じる前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットの処理順序を決定するものである。
【００１１】
第７の発明に係る生産進捗制御方法では、第６の発明において、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットの処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた搬送処理および生産処理を行うとともに、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示を作業者に与えるものである。
【００１２】
第８の発明に係る生産進捗制御方法では、第７の発明において、前記決定された生産ロットの処理順序に関し優先度の高い生産ロットのロケーション状況を把握し、その生産ロットが前記生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報に基づいて搬送処理を行うとともに、作業員にそのロケーション情報に基づく作業指示を与え、作業の進捗を促進するものである。
【００１３】
第９の発明に係る生産進捗制御方法では、第８の発明において、前記生産手段での負荷率と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報とに応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択するものである。
【００１４】
第１０の発明に係る生産進捗制御方法では、第９の発明において、前記生産手段の負荷率が予め設定された基準値を超えている場合に、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択するものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
この発明による実施の形態について、図１ないし図６を参照して詳細に説明する。図１は、この発明による実施の形態における全体構成を示すブロック図である。図２は、この発明による実施の形態における配置構成を示すブロック図である。図３は、この発明による実施の形態における工程とロットの状態とロケーションの関係を示す説明図である。図４は、この発明による実施の形態における製造装置の負荷率が高い場合での次処理ロットを決定する手法を示す説明図である。図５は、この発明による実施の形態における製造装置の負荷率が低い場合での次処理ロットを決定する手法を示す説明図である。図６は、この発明による実施の形態における次処理ロットを設定するための進捗処理動作の流れを示すフローチャートである。
【００１６】
図１を参照すると、この発明による実施の形態における生産進捗制御システムは、基準情報管理部１と、装置能力管理部２と、ロット状態管理部３と、工程進捗管理部４と、進捗制御部５と、ストッカ制御部６と、搬送装置制御部７と、製造装置制御部８と、作業指示部９と、から構成される。
これらの構成要素間は有線または無線による通信手段ＣＮで接続され、制御信号または作業指示情報を授受する。
【００１７】
基準情報管理部１は、ロットの工程手順，製造装置群の構成，作業条件，処理時間，搬送ルート，搬送手段の構成，搬送条件，製造装置の稼動データなどの情報を管理する。
基準情報管理部１は、装置能力管理部２へ製造装置の稼働データ，処理時間，生産計画数などの情報を伝送する。
また、基準情報管理部１は、工程進捗管理部４および進捗制御部５へロットの工程手順，製造装置群の構成，作業条件，搬送ルートおよび搬送手段の構成，搬送条件などの情報を伝送する。
【００１８】
装置能力管理部２は、基準情報管理部１から伝送された稼動データ，処理時間，生産計画数などの情報から製造装置群別の能力時間および負荷時間を算出する。
【００１９】
ロット状態管理部３は、ＦＡ／マニュアル等の既存の処理ルール如何に関わらず、例えば、トラブル等による評価や営業要因による進捗停止などを含めた生産ロットの属性状態や、生産ロットがストッカ，搬送装置，評価室，製造装置などのいずれのロケーションに位置するかのロケーション状況を、自動または作業者の入力により把握し、それらの属性情報およびロケーション情報をリアルタイムで管理する。
さらに、予め生産ロットの属性状態およびロケーション毎に生産ロットが製造装置により生産処理可能であるかの情報を保有し常に修正されており、生産ロットが製造装置により即時処理可能な状態にあるか否かをリアルタイムで判定する。
【００２０】
工程進捗管理部４は、基準情報管理部１から伝送されたロットの工程手順，製造装置群の構成，作業条件，搬送ルート，搬送手段，搬送条件と、装置能力管理部２から伝送された装置群別負荷率データおよびロット仕掛データとから、ロット優先順位を算出し、進捗制御部５へその結果を伝送する。
【００２１】
進捗制御部５は、基準情報管理部１から伝送された搬送ルート，搬送手段，搬送条件と、装置能力管理部２から伝送された装置群別負荷率データおよびロット仕掛データと、工程進捗管理部４から伝送されたロット優先順位と、ロット状態管理部３から伝送された生産ロットのロケーションおよび属性状態とから、現在時点で次に処理すべき生産ロットを選択する。
また、処理優先順位が高く、しかも、そのロケーション状況により即時処理できない生産ロットについては、そのアラーム情報を作成する。
【００２２】
ストッカ制御部６および搬送装置制御部７は、進捗制御部５から伝送された処理ロット情報に基づきストッカから払出し、ロット優先順位に基づきロットの搬送するための入出庫，搬送を行う。
【００２３】
製造装置制御部８は、進捗制御部５からのロット処理指示に基づき、搬送装置６または作業者からロット受け取りロット処理を行い、処理開始および処理完了時に工程進捗データを工程進捗管理部４へ伝送する。
【００２４】
作業指示部９は、ロット処理作業者に対し現在処理すべきロットを指示し、搬送作業者に対しロット優先順位に基づくロット搬送を指示するための表示手段である。
【００２５】
この発明による実施の形態における生産ラインの配置構成を示す図２について、この発明による実施の形態における処理動作を説明する。
図２に示す生産ラインは処理工程Ａおよび処理工程Ｂにより構成されている。製造装置８Ａは、工程Ａに属し、製造装置８Ｂは、工程Ｂに属する。
【００２６】
図において、１は基準情報管理部、２は装置能力管理部、３はロット状態管理部、４は工程進捗管理部、５は進捗制御部、６はストッカ制御部、７は搬送装置制御部、８は製造装置制御部、９は作業指示部である。
６ＡＳ，６ＡＴ，６ＢＳ，６ＢＴはストッカ、７Ａ，７Ｂ，７Ｃは搬送装置、８Ａは第１の製造装置群を構成する製造装置Ａ、８Ｂは第２の製造装置群を構成する製造装置Ｂ、８ＡＰ，８ＢＰは製造装置８Ａ，８Ｂに設けられた装置前ロット配置部、８ＡＱ，８ＢＱは製造装置８Ａ，８Ｂに設けられた処理済ロット配置部である。
【００２７】
ここで、工程進捗管理部４は、工程Ａおよび工程Ｂのそれぞれについて、基準情報管理部１から伝送された生産ロットの工程手順，製造装置８Ａ，８Ｂの構成，作業条件，搬送ルート，搬送手段，搬送条件と、装置能力管理部２から伝送された製造装置８Ａ，８Ｂ別の負荷率データおよび工程Ａ，工程Ｂ別のロット仕掛データとから、製造装置８Ａ，８Ｂにおいて生産処理すべき生産ロットの処理優先順位を算出し、進捗制御部５へその結果を伝送する。
【００２８】
進捗制御部５は、工程Ａおよび工程Ｂのそれぞれについて、工程進捗管理部４による処理優先順位の算出結果、ならびに、基準情報管理部１による生産ロットの工程手順，製造装置８Ａ，８Ｂの構成，作業条件，搬送ルート，搬送手段，搬送条件と、装置能力管理部２による製造装置８Ａ，８Ｂ別の負荷率データおよび工程Ａ，工程Ｂ別のロット仕掛データとの伝送を受けるものである。
【００２９】
工程Ａにおいて、製造装置８Ａに複数個のウエハ等からなる生産ロットを供給するための生産処理用ストッカ６ＡＳは搬送装置７Ａにより搬送されてきた前工程で処理済の生産ロットを集結配置している。
生産処理用ストッカ６ＡＳに集結配置された生産ロットは、進捗制御部５の指示に応じて、製造装置８Ａに設けられた装置前ロット配置部８ＡＰに配置され、「待ち」状態となる。
【００３０】
製造装置８Ａは、進捗制御部５の指示に応じて、指定された生産ロットについてウエハ加工等の所定の生産処理を行う。
生産処理済の生産ロットは、製造装置８Ａに設けられた処理済ロット配置部８ＡＱに配置され、その生産ロットは、搬送のため搬送処理用ストッカ６ＡＴに集結配置される。
【００３１】
工程Ｂにおいて、搬送処理用ストッカ６ＡＴに集結配置された複数個のウエハ等からなる生産ロットは、進捗制御部５の指示に応じて、搬送装置７により、生産処理用ストッカ６ＢＳに搬送されて集結配置される。
生産処理用ストッカ６ＢＳに集結配置された生産ロットは、進捗制御部５の指示に応じて、製造装置８Ｂに設けられた装置前ロット配置部８ＢＰに配置され、「待ち」状態となる。
【００３２】
製造装置８Ｂは、進捗制御部５の指示に応じて、指定された生産ロットについてウエハ加工等の所定の生産処理を行う。
生産処理済の生産ロットは、製造装置８Ｂに設けられた処理済ロット配置部８ＢＱに配置され、その生産ロットは、搬送のため搬送処理用ストッカ６ＢＴに集結配置される。
【００３３】
ここで、進捗制御部５は、前述の通り、基準情報管理部１，装置能力管理部２，ロット状態管理部３および工程進捗管理部４から次のような情報の伝送を受ける。
基準情報管理部１から搬送ルート，搬送手段の構成，搬送条件等に関する情報が伝送される。
装置能力管理部２から製造装置８Ａ，８Ｂのそれぞれについての稼働能力時間および負荷時間に関する情報が伝送される。
ロット状態管理部３から製造装置８Ａ，８Ｂによって生産処理される各生産ロットのロケーション状況を含む属性状態に関する情報が伝送されるとともに、各生産ロットが製造装置８Ａ，８Ｂによって即時生産処理可能かどうかの情報が伝送される。
工程進捗管理部４から各生産ロットについてどの生産ロットを優先して生産処理するかのロット優先順位決定結果に関する情報が伝送される。
【００３４】
進捗制御部５は、装置能力管理部２，ロット状態管理部３および工程進捗管理部４から伝送された情報に基づき、次のような情報処理を行う。
基準情報管理部１から伝送された搬送ルート，搬送手段の構成，搬送条件等に関する情報と、ロット状態管理部３から伝送された各生産ロットのロケーション状況を含む属性状態に関する情報と、工程進捗管理部４から伝送された各生産ロットについてのロット優先順位に関する情報とから、時間の経過にしたがって各時点で、製造装置８Ａ，８Ｂにおいて次に生産処理すべき生産ロットを選択するように、逐次リアルタイムで情報処理を行う。
そして、処理優先順位が相対的に高い特定の生産ロットに着目し、その生産ロットが製造装置８Ａ，８Ｂにおいて即時生産処理できるかどうかを判別する。即時生産処理できない場合には、その生産ロットについてアラーム情報を生成し、この情報を搬送装置７および作業指示部９へ伝送し、当該生産ロットを製造装置８Ａ，８Ｂの処理前ロット配置部８ＡＰ，８ＢＰに搬送および移送して即時生産可能な状態とするよう搬送装置７および作業員へ作業指示を与える。
進捗制御部５は、生産ロットが製造装置８Ａ，８Ｂにおいて即時生産処理できるかどうかを判別するための基準として、予め設定された定義を有する。その定義は、対象の生産ロットが製造装置８Ａの装置前ロット配置部８ＡＰまたは生産処理用ストッカ６ＡＳに存在する場合に、製造装置８Ａによって即時生産処理可能とし、対象の生産ロットが製造装置８Ｂの装置前ロット配置部８ＢＰまたは生産処理用ストッカ６ＢＳに存在する場合に、製造装置８Ｂによって即時生産処理可能とするものである。
【００３５】
図２において、ある生産ロットに注目することとし、その処理工程の流れを追ってみると、次の通りである。
工程Ａにおいて、搬送装置７Ａにより生産処理用ストッカ６ＡＳに集結配置された生産ロットは、進捗制御部５によって製造装置８Ａで次に生産処理されるべき生産ロットとして選択されると、その情報は生産処理用ストッカ６ＡＳまたは作業指示部９に伝送され、生産処理用ストッカ６ＡＳから運搬装置によって製造装置８Ａの装置前ロット配置部８ＡＰへ移送されるか、運搬作業員による運搬によって製造装置８Ａの装置前ロット配置部８ＡＰへ移送される。
製造装置８Ａでの生産処理が終了すると、生産ロットは製造装置８Ａの処理後ロット配置部８ＡＱへ配置される。
【００３６】
工程Ｂにおいて、製造装置８Ａの処理後ロット配置部８ＡＱへ配置された生産ロットは、進捗制御部５による作業指示によって、運搬装置によって搬送処理用ストッカ６ＡＴへ移送されるか、運搬作業員による運搬によって搬送処理用ストッカ６ＡＴへ移送され、搬送処理用ストッカ６ＡＴで集結配置される。
搬送処理用ストッカ６ＡＴに集結配置された生産ロットは、進捗制御部５による作業指示によって搬送装置７Ｂにより、生産処理用ストッカ６ＢＳに搬送される。
生産処理用ストッカ６ＢＳに集結配置された生産ロットは、進捗制御部５によって製造装置８Ｂで次に生産処理されるべき生産ロットとして選択されると、その情報は生産処理用ストッカ６ＢＳまたは作業指示部９に伝送され、生産処理用ストッカ６ＢＳから運搬装置によって製造装置８Ｂの装置前ロット配置部８ＢＰへ移送されるか、運搬作業員による運搬によって製造装置８Ｂの装置前ロット配置部８ＢＰへ移送される。
製造装置８Ｂでの生産処理が終了すると、生産ロットは製造装置８Ｂの処理後ロット配置部８ＢＱへ配置される。
製造装置８Ｂの処理後ロット配置部８ＢＱへ配置された生産ロットは、進捗制御部５による作業指示によって、運搬装置によって搬送処理用ストッカ６ＢＴへ移送されるか、運搬作業員による運搬によって搬送処理用ストッカ６ＢＴへ移送され、搬送装置７Ｃによる次工程への搬送のため搬送処理用ストッカ６ＢＴで集結配置される。
【００３７】
次に、生産ロットについてのロケーション状況を含む属性状態について図３に基づき説明する。図３は各工程における生産ロットについてのロケーション状況を含む属性状態を示す説明図である。
図３を参照すると、例えば工程Ｂについて、その工程の中を生産ロットのロケーション状況で分割すれば、通常のロケーション状況は「移送１」，「搬送」，「移送２」，「待ち」，「処理」に分類される。
ここで、「移送１」は処理完了後の装置からストッカまでのロット運搬を指し、「移送２」は処理開始前のストッカから装置までのロット運搬を指す。「待ち」は、一般的に処理前の「待ち」を指すが、移送および搬送中にも「待ち」は発生する。
そして、このような「移送１」から「処理」までのロケーション状況の移行が正常に推移する『正常ロット』の他、検査により異常が発見された場合や工程異常により進捗不能となる場合など、ロット進捗を故意に停止させ、ストッカまたは検査装置エリアに待機させるような、「品質異常」や「工程異常」等を含む『異常ロット』が存在する場合もある。
【００３８】
図３に示す「ロット状態１」は、『正常ロット』における属性状態としてのロケーション状況の推移を生産ロットの一つを挙げて例示すものである。
この生産ロットは、次の（１）〜（５）のようなロケーション状況の推移をたどる。
（１）工程Ａにおいて装置Ａにより生産処理された後、処理後ロット配置部８ＡＱから搬送処理用ストッカ６ＡＴ（図２参照）へ運搬移動される（「移送１」）。
（２）搬送処理用ストッカ６ＡＴから生産処理用ストッカ６ＢＳへ搬送装置７Ｂにより搬送移動される（「搬送」）。
（３）生産処理用ストッカ６ＢＳから製造装置８Ｂの装置前ロット配置部８ＢＰへ運搬移動される（「移送２」）。
（４）製造装置８Ｂの装置前ロット配置部８ＢＰにおいて製造装置８Ｂによる生産処理のため待機する（「待ち」）。
（５）製造装置８Ｂにより生産処理される（「処理」）。
【００３９】
また、「ロット状態２」は、『異常ロット』におけるロケーション状況を含む属性状態の推移を生産ロットの他の一つを挙げて例示すものである。
この生産ロットは、次の（１）〜（６）のようなロケーション状況の推移をたどる。
（１）工程Ａにおいて装置Ａにより生産処理された後、処理後ロット配置部８ＡＱから搬送処理用ストッカ６ＡＴへ運搬移動される（「移送１」）。
（２）搬送処理用ストッカ６ＡＴにおいて、「工程異常」を原因とする進捗停止により、待機する（「待ち」）。
（３）「工程異常」の解消により、搬送処理用ストッカ６ＡＴから生産処理用ストッカ６ＢＳへ搬送装置７Ｂにより搬送移動される（「搬送」）。
（４）生産処理用ストッカ６ＢＳから製造装置８Ｂの装置前ロット配置部８ＢＰへ運搬移動される（「移送２」）。
（５）製造装置８Ｂの装置前ロット配置部８ＢＰにおいて製造装置８Ｂによる生産処理のため待機する（「待ち」）。
（６）製造装置８Ｂにより生産処理される（「処理」）。
【００４０】
続いて、次処理ロットを決定する手法について図４および図５に基づき説明する。図４は製造装置の負荷率が高い場合に生産ロットのロケーション状況を加味して次処理ロットを決定する手法を示す説明図である。図５は製造装置の負荷率が低い場合に生産ロットのロケーション状況に関係なく次処理ロットを決定する手法を示す説明図である。
【００４１】
生産ロットについての製造装置によるロット処理順序を設定するロット進捗ルールとして、ＦＩＦＯ（先入れ先出し；Ｆｉｒｓｔ＿Ｉｎ＿Ｆｉｒｓｔ＿Ｏｕｔ）や予定日程からの遅れ順などが適用されている。
図４および図５に示すように、これらの進捗ルールにより設定した優先順位１〜７が工程進捗管理部４によって生産ロット（ＩＤ１〜７）毎に設定される。
【００４２】
工程進捗管理部４によって生産ロット毎に設定された「優先順位」、ならびに、図４および図５において「ロット状態」および「ロケーション」として示されたロケーション状況を含む各生産ロットの属性状態は、ロット状態管理部３および工程進捗管理部４から進捗制御部５に伝送されており、進捗制御部５は工程進捗管理部４によって設定された優先順位を基に、ロケーション状況を含む各生産ロットの属性状態に応じて、生産処理を行う製造装置による次処理ロットを選択し生産ロットの生産処理順序を設定する。
【００４３】
このような進捗制御部５による次処理ロットの選択処理は、生産処理を行う製造装置の負荷率に応じて実行される。
負荷率は次のように参照する。
負荷率＝負荷時間／能力時間　または　負荷率＝負荷数／能力数
この製造装置群の負荷率がある基準値以上である場合、すなわち負荷量に対して稼働能力に余裕がなくネック工程になり易い装置では、製品待ち時間を少なくして、ロット処理を優先することが必要である。
逆に負荷率が基準値以下である場合、すなわち能力に余裕がある装置では、稼動ロスの発生よりロット進捗順序を遵守して納期遵守や工期短縮を図ることが必要である。
【００４４】
したがって、進捗制御部５は装置能力管理部２から製造装置８Ａ，８Ｂに関する負荷率データの伝送を受け、図４に示すように、製造装置Ｂでの負荷率が８５％と高い場合には、優先順位が比較的低い「４」ではあるがロケーション状況が製造装置Ｂによる処理待ちの生産ロット（ＩＤ４）を製造装置Ｂによる次処理ロットとして選択するように生産ロットのロケーション状況を含む属性状態を加味して選択処理を行う。
【００４５】
図５に示すように、製造装置Ｂでの負荷率が５０％と低い場合には、工程進捗管理部４によって設定された優先順位にしたがい、優先順位が「１」である生産ロット（ＩＤ１）を次処理ロットとして選択する。
【００４６】
以上のように、次処理ロットは負荷率基準を参照として所定時間内に処理開始できるロットをロット状態とロケーションを勘案して選択される。
【００４７】
なお、負荷率が常に高いと推定されるような製造装置の場合等には、負荷率に係らず、進捗制御部５によるロケーション状況を加味した次処理ロットの選択処理を常時行うようにすることもできる。
【００４８】
次に、次処理ロットを設定するための進捗処理動作の流れを説明する。図６は次処理ロットを設定するための進捗処理動作の流れを示すフローチャートである。
【００４９】
図６を参照すると、先ず、工程進捗管理部４は、基準情報管理部１から伝送される生産ロットの工程手順，製造装置８Ａ，８Ｂの構成，作業条件，搬送ルート，搬送手段，搬送条件等の、ロット進捗ルールを適用するための情報を収集して、生産処理を行う製造装置８Ａ，８Ｂにおけるロット処理優先順位を設定する（ステップＳ５０１）。
【００５０】
次に、進捗制御部５は、ロット状態管理部３から各生産ロットのロケーション状況データを含む生産ロットの属性状態等に関する情報を収集するとともに、装置能力管理部２から製造装置８Ａ，８Ｂに関する負荷率等の装置能力情報を収集する（ステップＳ５０２）。
【００５１】
続いて、進捗制御部５は、工程進捗管理部４により設定されたロット処理優先順位情報ならびに前記ステップＳ５０２において収集された情報から、図２ないし図５について前述した処理動作により、製造装置８Ａ，８Ｂにおける次処理ロットを設定する（ステップＳ５０３）。
【００５２】
進捗制御部５は、ステップＳ５０３において設定した次処理ロット情報に基づく作業指示を、ストッカ５と、搬送装置６と、製造装置７と、作業指示部９とに与え、前ロットの作業処理が完了した時点で、次処理ロットについてそれぞれ連携して処理を実行させる（ステップＳ５０４）。
【００５３】
前ロットの作業処理が未だ完了していない場合には、進捗制御部５は、ストッカ５と、搬送装置６と、作業指示部９とに対し、次処理ロット情報に基づき、搬送優先ロットを特定する作業や異常ロット解除の優先処理を進めるよう指示する（ステップＳ５０５）。
【００５４】
以上のように、この発明による実施の形態では、製造装置の負荷率に対応した処理ロット指示およびその指示に近づけるようなロット運搬指示あるいは異常ロット解除処理を指示することができる。
したがって、負荷率が高い装置に対してはロット処理を優先するため、能力のロスを小さくしてこの工程における処理能力を高くし、結果的に工期を短縮することができる。
【００５５】
この発明による実施の形態によれば、生産対象としての生産ロットのそれぞれについて生産処理を行う製造装置８Ａ，８Ｂからなる複数の生産手段と、前記各生産ロットについて処理工程毎に仕掛りロットの処理優先順位を設定する工程進捗管理部４からなる工程進捗管理手段と、前記製造装置８Ａ，８Ｂからなる生産手段の稼働能力および負荷を管理する装置能力管理部２からなる生産能力管理手段と、前記生産ロットを集結配置し前記製造装置８Ａ，８Ｂからなる生産手段へ生産対象としての生産ロットを供給するための生産処理用ストッカ６ＡＳ，６ＢＳからなる生産処理用配置手段と、前記製造装置８Ａ，８Ｂからなる生産手段により生産処理された生産ロットを搬送するため集結配置する搬送処理用ストッカ６ＡＴ，６ＢＴからなる搬送処理用配置手段と、前記生産処理用ストッカ６ＡＳ，６ＢＳからなる生産処理用配置手段と前記搬送処理用ストッカ６ＡＴ，６ＢＴからなる搬送処理用配置手段との間で前記生産ロットを搬送する搬送装置７Ｂからなる搬送手段と、作業者に生産ロット処理用作業指示および生産ロット運搬用作業指示を伝達する作業指示部９からなる作業指示手段と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性状態を逐次把握し前記各生産ロットの属性情報を導出するロット状態管理部３からなるロット状態管理手段とを備え、前記工程進捗管理部４からなる工程進捗管理手段により設定される処理優先順位情報ならびに前記ロット状態管理部３からなるロット状態管理手段により導出される前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記製造装置８Ａ，８Ｂからなる生産手段で処理される次処理ロットについての生産ロットに関する処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示情報を前記搬送装置７Ｂからなる搬送手段，製造装置８Ａ，８Ｂからなる生産手段および作業指示部９からなる作業指示手段に伝達する進捗制御部５からなる制御手段を設けたので、搬送手段による搬送によって生じる生産ロットのロケーション移動状況を含む各生産ロットの属性情報に応じて生産手段で処理される生産ロットの処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示情報を前記搬送手段，生産手段および作業指示手段に伝達することにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムを提供することができる。
【００５６】
また、この発明による実施の形態によれば、前項の構成において、前記進捗制御部５からなる制御手段により決定された生産ロットの処理順序に関し優先度の高い生産ロットのロケーション状況を前記ロット状態管理部３からなるロット状態管理手段によって把握し、その生産ロットが前記製造装置８Ａ，８Ｂからなる生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報を前記搬送装置７Ｂからなる搬送手段および作業指示部９からなる作業指示手段へ伝達し、作業の進捗を促進するようにしたので、優先度の高い生産ロットが生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報を搬送手段および作業指示手段へ伝達することにより、作業の進捗を促進し、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムを提供することができる。
【００５７】
さらに、この発明による実施の形態によれば、前項の構成において、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて、前記生産手段の負荷率が予め設定された基準値を超えている場合に、前記製造装置８Ａ，８Ｂからなる生産手段により処理される次の生産ロットを前記進捗制御部５からなる制御手段によって選択するようにしたので、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムを提供することができる。
【００５８】
さらにまた、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて前記生産手段で処理される生産ロットの処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた搬送処理および生産処理を行うとともに、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示を作業者に与えるようにしたので、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御方法を提供することができる。
【００５９】
そして、この発明による実施の形態によれば、前項の方法内容において、前記決定された生産ロットの処理順序に関し優先度の高い生産ロットのロケーション状況を把握し、その生産ロットが前記生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報に基づいて搬送処理を行うとともに、作業員にそのロケーション情報に基づく作業指示を与え、作業の進捗を促進するようにしたので、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御方法を提供することができる。
【００６０】
そしてまた、この発明による実施の形態によれば、前項の方法内容において、前記生産手段の負荷率が予め設定された基準値を超えている場合に、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択するようにしたので、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御方法を提供することができる。
【００６１】
【発明の効果】
第１の発明によれば、生産ロットのロケーション移動状況を含む各生産ロットの属性情報に応じて生産手段で処理される生産ロットに関する処理順序を決定することにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムを提供することができる。
【００６２】
第２の発明によれば、生産ロットのロケーション移動状況を含む各生産ロットの属性情報に応じて生産手段で処理される生産ロットに関する処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示情報を前記搬送手段，生産手段および作業指示手段に伝達することにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムを提供することができる。
【００６３】
第３の発明によれば、優先度の高い生産ロットが生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報を搬送手段および作業指示手段へ伝達することにより、作業の進捗を促進し、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムを提供することができる。
【００６４】
第４の発明によれば、第１ないし第３の発明において、前記生産手段での負荷率と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報とに応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを前記制御手段によって選択することにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムを提供することができる。
【００６５】
第５の発明によれば、第４の発明において、前記生産手段の負荷率が予め設定された基準値を超えている場合に、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを前記制御手段によって選択することにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御システムを提供することができる。
【００６６】
第６の発明によれば、搬送によって生じる生産ロットのロケーション移動状況を含む各生産ロットの属性情報に応じて生産手段で処理される生産ロットの処理順序を決定することにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御方法を提供することができる。
【００６７】
第７の発明によれば、第６の発明において、搬送によって生じる生産ロットのロケーション移動状況を含む各生産ロットの属性情報に応じて生産手段で処理される生産ロットの処理順序を決定し、決定された生産ロットの処理順序に応じた搬送処理および生産処理を行うとともに、決定された生産ロットの処理順序に応じた作業指示を作業者に与えることにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御方法を提供することができる。
【００６８】
第８の発明によれば、第７の発明において、優先度の高い生産ロットが生産手段により即時処理可能なロケーションに存在しない場合には、そのロケーション情報に基づいて搬送処理を行うとともに、作業者にそのロケーション情報に基づく作業指示を与えて、作業の進捗を促進し、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御方法を提供することができる。
【００６９】
第９の発明によれば、第６ないし第８の発明において、前記生産手段での負荷率と、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報とに応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択することにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御方法を提供することができる。
【００７０】
第１０の発明によれば、第９の発明において、前記生産手段の負荷率が予め設定された基準値を超えている場合に、前記生産ロットのロケーション移動状況を含む前記各生産ロットの属性情報に応じて、前記生産手段により処理される次の生産ロットを選択することにより、生産ロットについて生産処理を行う生産手段の稼働能力を有効に活用でき生産進捗を的確に遂行できる生産進捗制御方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による実施の形態における全体構成を示すブロック図である。
【図２】この発明による実施の形態における配置構成を示すブロック図である。
【図３】この発明による実施の形態における工程とロットの状態とロケーションの関係を示す説明図である。
【図４】この発明による実施の形態における製造装置の負荷率が高い場合での次処理ロットを決定する手法を示す説明図である。
【図５】この発明による実施の形態における製造装置の負荷率が低い場合での次処理ロットを決定する手法を示す説明図である。
【図６】この発明による実施の形態における次処理ロットを設定するための進捗処理動作の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
１　基準情報管理部、２　装置能力管理部、３　ロット状態管理部、４　工程進捗管理部、５　進捗制御部、６　ストッカ制御部、６ＡＳ，６ＡＴ，６ＢＳ，６ＢＴ　ストッカ、７　搬送装置制御部、７Ａ，７Ｂ，７Ｃ　搬送装置、８　製造装置制御部、８Ａ，８Ｂ　製造装置、８ＡＰ，８ＢＰ　装置前ロット配置部、８ＡＱ，８ＢＱ　処理後ロット配置部、９　作業指示部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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