(57)【要約】【課題】線状試料物を作業者の手によって極めて簡単に且つ希望通りの姿勢で試料ホルダに取り付けることができるようにする。【解決手段】線状試料物１８，３８を支持する試料ホルダ９である。この試料ホルダ９は、線状試料物１８，３８の側面を受ける衝立部１４と、衝立部１４に設けられていて線状試料物１８の側面に接触する断面Ｖ字状の溝１７とを有する。線状試料物１８，３８は、接着剤等によって衝立部１４又は基台１３に固着される。溝１７は、断面Ｖ字形状であるので、線状試料物１８の試料支持棒１１や線状試料物３８のキャピラリチューブ１５を常に一定の位置に位置決めできる。【選択図】　　　　図３
2004037345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
線状試料物を支持する試料ホルダにおいて、
前記線状試料物の側面を受ける衝立部と、
該衝立部に設けられていて前記線状試料物の側面に接触する断面Ｖ字状の溝とを有することを特徴とする試料ホルダ。
【請求項２】
請求項１において、前記衝立部における前記線状試料物を受ける面の反対側の面は方形の平らな面であることを特徴とする試料ホルダ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、前記溝部に前記衝立部を貫通する穴を有することを特徴とする試料ホルダ。
【請求項４】
請求項１から請求項３の少なくともいずれか１つにおいて、Ｘ線装置の試料支持部に取り付けられる被取付け部を有することを特徴とする試料ホルダ。
【請求項５】
試料に照射するＸ線を発生するＸ線発生手段と、該試料から出る散乱Ｘ線を検出するＸ線検出手段とを有するＸ線装置において、請求項１から請求項４の少なくともいずれか１つに記載した試料ホルダを支持する試料支持手段を有することを特徴とするＸ線装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料を支持するための試料ホルダ及びそれを用いたＸ線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線装置や、その他の測定装置においては、測定対象である試料を所定の位置に置かなければならない。例えば、Ｘ線装置においては、Ｘ線の光路上の所定位置に試料を置かなければならない。また、Ｘ線装置を用いた測定においては、微小な試料、例えば一辺が０．３ｍｍ程度の立方体又はそれよりも小さい試料に関して測定を行う場合がある。
【０００３】
従来、このような微小な試料に関して測定を行う場合、その試料が固形状態であれば、図７（ａ）に示すようにガラス等から成る試料支持棒５１の先端に試料Ｓを接着剤等によって固着し、その試料支持棒５１を試料ホルダ５２に接着剤等によって固着し、その試料ホルダ５２をＸ線装置等といった測定装置の所定位置に装着するという方法が知られている。
【０００４】
また、試料が粉末状態であれば、図７（ｂ）に示すように、ガラス等によって形成されたキャピラリチューブ５３内の適宜の位置に試料Ｓを詰め込み、そのキャピラリチューブ５３を試料ホルダ５２に接着剤等によって固着し、その試料ホルダ５２を測定装置の所定位置に装着するという方法が知られている。以上のように微小な試料を測定対象とするのは、試料が微小量しか得られない場合があったり、試料によってＸ線が吸収されてしまうことが無視できない場合があったりするからである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図７において、試料支持棒５１やキャピラリチューブ５３を試料ホルダ５２に装着する際には、試料支持棒５１等の下端を基台５６の上に載せ、試料支持棒５１等の側面を衝立部５４に設けた溝５７に挿入し、この状態で接着剤等によって試料支持棒５１等を試料ホルダ５２に取り付けていた。
【０００６】
従来用いられていた試料ホルダ５２は、一般に、測定装置の所定位置に装着される部分の外径がＤ５１＝３ｍｍ程度で、高さがＨ５１＝１２ｍｍ程度であった。また、試料支持棒５１やキャピラリチューブ５３を受ける衝立部５４の高さはＨ５２＝３〜４ｍｍ程度であった。このように、従来の試料ホルダ５２はその外形形状が非常に小さくて、作業者がこれを手で取り扱うことが非常に難しかった。
【０００７】
また、従来の試料ホルダ５２の衝立部５４に設けられる溝５７は、その断面形状がＵ字形状であった。このＵ字形状は、試料支持棒５１等を収容する必要性から試料支持棒５１等よりもわずかに大きい寸法に形成されていたので、試料支持棒５１等はどうしてもその溝５７の中で位置的に動く可能性があった。
【０００８】
図７において、微小試料Ｓを支持する試料支持棒５１やキャピラリチューブ５３は、試料Ｓが微小であるが故に、それら自体非常に細く形成されており、従って、作業者がこれらを手で取り扱うことが非常に難しかった。また、従来の試料ホルダ５２においては、その外形形状が非常に小さい上、溝５７の断面形状がＵ字形状であったので、試料支持棒５１等は溝５７の中で傾いてしまい、それを基台５６上に真直ぐに立てた状態で固着することが非常に難しかった。
【０００９】
なお、本明細書では、微小試料Ｓを固着した細い試料支持棒５１や、粉末試料Ｓを詰め込んだ細いキャピラリチューブ５３等といった線状の物体を「線状試料物」ということにする。このような線状試料物には、上記のような試料支持棒５１を用いるものや，キャピラリチューブ５３を用いるものの他、繊維試料のように、試料それ自体が線状に細い物質も含まれる。
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、上記の線状試料物を作業者の手によって極めて簡単に且つ希望通りの姿勢で試料ホルダに取り付けることができるようにすることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
（１）上記の目的を達成するため、本発明に係る試料ホルダは、線状試料物を支持する試料ホルダにおいて、前記線状試料物の側面を受ける衝立部と、該衝立部に設けられていて前記線状試料物の側面に接触する断面Ｖ字状の溝とを有することを特徴とする。
【００１２】
線状試料物としては、例えば、ガラス等から成る細長い支持棒の先端に試料を固着した物、ガラス等から成る細長いキャピラリチューブの中に粉末試料を詰め込んだ物、繊維試料のようにそれ自体が細長い試料、等が考えられる。
【００１３】
上記構成の試料ホルダによれば、線状試料物の試料ホルダ上における位置を決めるための溝の断面形状をＶ字形状にしたので、線状試料物の側面をこの溝に入れれば、該線状試料物の位置は自動的に決められ、該線状試料物が溝の中で位置的に動くということがなくなる。これにより、作業者は線状試料物を手によって試料ホルダ上における希望位置に希望する姿勢で簡単に取り付けることができる。
【００１４】
（２）　上記の試料ホルダにおいて、前記衝立部における前記線状試料物を受ける面の反対側の面は方形の平らな面であることが望ましい。図７に示した従来の試料ホルダ５２では、衝立部５４における線状試料物を受ける面の反対側の面は、平面ではなく、曲面であった。このため、従来の試料ホルダ５２を横に倒してテーブル上に置いた場合には、その試料ホルダ５２はテーブルの上で転がってしまい、取り扱いが非常に難しかった。これに対し、本実施態様のように、衝立部の裏面を方形の平らな面に形成すれば、試料ホルダを横にしてテーブル上に置いた場合、その試料ホルダはテーブル上で転がることがなくなるので、その取り扱いが非常に容易になる。
【００１５】
（３）　上記構成の試料ホルダにおいては、前記溝部に前記衝立部を貫通する穴を設けることが望ましい。こうすれば、衝立部に溝を形成する際の加工が容易になる。
【００１６】
（４）　上記構成の試料ホルダは、Ｘ線装置の試料支持部に取り付けられる被取付け部を、さらに有することが望ましい。こうすれば、試料ホルダをＸ線装置に簡単に取り付けることができる。なお、試料支持部としては、例えば、ゴニオメータヘッドが考えられる。
【００１７】
（５）　次に、本発明に係るＸ線装置は、試料に照射するＸ線を発生するＸ線発生手段と、該試料から出る散乱Ｘ線を検出するＸ線検出手段とを有するＸ線装置において、以上に記載した構成の試料ホルダを支持する試料支持手段を有することを特徴とする。この試料支持手段によって試料ホルダを支持したとき、その試料ホルダによって支持される試料が本Ｘ線装置における所定位置に置かれる。
【００１８】
本発明に係るＸ線装置によれば、試料ホルダへの試料の取り付けを簡単且つ高い位置精度で行うことができるので、Ｘ線装置を用いた測定を高い信頼性で行うことができる。
【００１９】
（６）　上記の試料ホルダにおいて、前記衝立部における前記線状試料物を受ける面は方形の平らな面であることが望ましい。ここで、「方形」とは、長方形又は正方形のことである。図７に示す従来の試料ホルダ５２では、衝立部５４の受け面が上方へ向かってすぼまる形状で、しかもその面積が非常に小さかったので、線状試料物を衝立部５４に載せるという作業が難しかった。これに対し、本実施態様のように衝立部の受け面を方形の平らな面にすれば、線状試料物を衝立部に取り付ける作業を行い易くできる。
【００２０】
（７）　上記構成の試料ホルダにおいて、前記衝立部における前記線状試料物を受ける面の幅は５ｍｍ以上であることが望ましい。図７に示す従来の試料ホルダ５２においては、衝立部５４の受け面の幅は、せいぜい、３ｍｍ程度であった。これでは、作業者がこの試料ホルダ５２を手でつまもうとした場合に、それを正確につまめないということがあった。これに対し、本実施態様のように、衝立部の受け面の幅を５ｍｍ以上にすれば、作業者が手で取り扱う際の作業性が非常に向上する。
【００２１】
（８）　上記構成の試料ホルダにおいて、前記衝立部の長さは１０ｍｍ以上であることが望ましい。図７に示した従来の試料ホルダ５２においては、衝立部５４の長さはＨ５２＝３〜４ｍｍ程度であった。これでは、作業者が手で線状試料物を衝立部５４の受け面上に載せようとするとき、線状試料物をその受け面上に安定して載せることが難しかった。これに対し、本実施態様のように衝立部の受け面の長さを１０ｍｍ以上とすれば、線状試料物を衝立部の受け面上に安定して置くことができる。
【００２２】
（９）　上記構成の試料ホルダにおいて、前記衝立部は基台の上に設けることが望ましい。基台を設けておけば線状試料物をその基台上に立てることができるので好都合である。また、作業者はその基台を持って作業ができるので、試料ホルダに関する作業性が向上する。
【００２３】
（１０）　基台を設けた上記構成の試料ホルダにおいて、前記基台は円柱形状又は角柱形状とすることができる。基台を円柱形状にすれば、作業者が試料ホルダを手でつまむときの感触が向上する。また、基台を角柱形状にすれば、試料ホルダをテーブル上で横に置いたとき、試料がテーブル上で転がることを防止できるので、試料ホルダに線状試料物を装着する際の作業が行い易くなったり、その他の際の試料ホルダの取り扱いが簡単になる。
【００２４】
（１１）　上記構成の試料ホルダにおいては、前記溝の途中に前記衝立部を貫通する穴を設けることが望ましい。このような貫通穴は、例えばＸ線装置を用いた測定を行う場合を考えれば、その貫通穴の部分に試料を置くことにより、試料にＸ線を透過させて行う測定を行うことができる。そしてその際、貫通穴の径をできるだけ試料の大きさに近づけることにより、貫通穴を形成している試料ホルダの部分を試料以外の部分で散乱された散乱線が通過することを防止するための隔壁部として活用できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る試料ホルダをＸ線装置に用いる場合を例に挙げて説明する。図１は、単結晶試料Ｓに連続Ｘ線を照射して行う、ラウエ法に従ったＸ線回折法を実行するＸ線装置を示している。
【００２６】
ここに示すＸ線装置１は、Ｘ線を発生するＸ線発生装置２と、単結晶試料Ｓを支持する試料支持手段としてのゴニオメータヘッド３と、単結晶試料Ｓから出たＸ線を検出するＸ線検出手段としての２次元Ｘ線検出器４とを有する。Ｘ線発生装置２とゴニオメータヘッド３との間には、発散するＸ線を平行ビームに形成するためのコリメータ６が配置されている。
【００２７】
なお、実際のＸ線光学系においては、Ｘ線発生装置２から出たＸ線や、試料Ｓから散乱されたＸ線の進行方向を規制するために各種のスリットが用いられる場合もあるが、図１ではそれらのスリットについての図示は省略してある。また、実際の測定の場合には、Ｘ線が外部へ漏れ出ることを防止するための防Ｘ線カバーがＸ線光学系の全体を覆うように設けられることが多いが、図１ではその防Ｘ線カバーの図示も省略してある。
【００２８】
２次元Ｘ線検出器４としては、例えば、Ｘ線フィルム、蓄積性蛍光体を用いたＸ線検出器、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ：電荷結合素子）を平面的に並べて成るＸ線検出器等を用いることができる。例えば、このＸ線検出器４を蓄積性蛍光体を用いたＸ線検出器によって構成すれば、このＸ線検出器４にＸ線が当たると、その当たった部分にエネルギが蓄積される。当たったＸ線の強度が強ければ強い程、蓄積されるエネルギ量が大きくなる。Ｘ線検出器４に蓄積されたエネルギは、図１には示していない読取り装置の読取り位置に装着され、この読取り装置により、エネルギが蓄積された位置及び蓄積量が読み取られる。
【００２９】
図１において、Ｘ線発生装置２は、例えば、通電によって発熱して熱電子を放出するフィラメント７と、該フィラメント７に対向して配置されたターゲット８とを有する。フィラメント７とターゲット８との間には、通常、高電圧が印加されており、フィラメント７から放出された熱電子は、高速度でターゲット８の表面に衝突する。このようにして電子が衝突した領域がＸ線焦点であり、このＸ線焦点からＸ線が発生する。Ｘ線焦点が衝突するターゲット８の表面は、例えばＣｕ（銅）によって形成される。
【００３０】
このＸ線装置１によれば、Ｘ線発生装置２から発生した連続Ｘ線、すなわち白色Ｘ線がコリメータ６によって微小径の平行Ｘ線ビームに形成され、このＸ線ビームが単結晶試料Ｓに入射する。ここで、Ｘ線の波長（λ）と格子面角度（θ）とが、いわゆるブラッグの回折条件を満足すると、Ｘ線の回折が生じ、この回折線がＸ線検出器４に到達してこれを露光し、その露光位置に回折線の強度に応じたエネルギ量の潜像を形成する。
【００３１】
Ｘ線検出器４の全面にわたって上記のエネルギ潜像の形成位置及びエネルギ強度を測定すれば、回折線を発生した試料２についての結晶方位が特定できたり、結晶の特性を判断できる。
【００３２】
単結晶試料Ｓは、図２に示すように、試料ホルダ９に固着された試料支持棒１１の先端に接着剤等によって接着されて固着されている。この単結晶試料Ｓの大きさは、１辺が０．３ｍｍの立方体程度、またはそれ以下であって、非常に小さい。試料ホルダ９は、図３に示すように、円柱形状の被取付け部１２と、その被取付け部１２の上に設けられた円柱形状の基台１３と、その基台１３の上に設けられた平板状の衝立部１４とを有する。これらの各部１２，１３，１４は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）の棒材を切削加工することによって一体の構造物として形成できる。もちろん、各部をそれぞれに形成した後にそれらを接着することによっても形成できる。
【００３３】
被取付け部１２に関しては、その長さはＬ１＝３〜４ｍｍ程度に形成し、その外形はφ１＝３ｍｍ程度に形成する。また、基台１３に関しては、その外形はφ２＝６〜８ｍｍ、望ましくは７ｍｍ程度に形成し、その高さはＨ２＝３〜５ｍｍ、望ましくは４ｍｍ程度に形成する。
【００３４】
衝立部１４の試料受け面１４ａは長方形状の平らな面に形成されており、その反対側の面１４ｂも長方形状の平らな面に形成されている。これらの面は、正方形状とすることもできる。衝立部１４の試料受け面１４ａの幅はＷ３＝５ｍｍ以上、望ましくは６〜８ｍｍ、より望ましくは７ｍｍ程度に形成される。また、その高さはＨ３＝１０ｍｍ以上、望ましくは１１〜１３ｍｍ、より望ましくは１２．５ｍｍ程度に形成される。
【００３５】
衝立部１４の試料受け面１４ａの略中央の基台１３との境界部には、衝立部１４を貫通する貫通穴１６が形成されている。そして、この貫通穴１６の上端から衝立部１４の上端辺にわたって溝１７が形成されている。この溝１７は、図４に示すように断面Ｖ字形状に形成されている。この溝１７の寸法は特定の値に限定されないが、例えば溝１７の角度はα＝９０°程度に設定できる。図３において、溝１７の下端部に穴１６を設けることにより、溝１７を加工によって形成する際にその加工が行い易くなる。
【００３６】
図３において、単結晶試料Ｓを試料支持棒１１に固着して成る線状試料物１８は、試料支持棒１１の下端を試料ホルダ９の基台１３の上に載せ、試料支持棒１１の側面を図４に示すように衝立部１４の溝１７に接触させた状態で、接着剤等によって衝立部１４に接着によって固着され、これにより、図２に示す状態となる。
【００３７】
図２において、ゴニオメータヘッド３は、昇降部１９と、その昇降部１９に載置された平行移動部２１と、その平行移動部２１に載置された円弧移動部２２と、その円弧移動部２２に載置されたヘッド２３とを有する。昇降部１９は、ネジ入力部２４を回すことにより、その上に載置された要素を図２の上下方向へ移動、すなわち昇降移動させることができる。
【００３８】
また、平行移動部２１においては、Ｘテーブル２１ｘのネジ入力部２６を回すことにより、その上に載置された要素をＸ方向へ平行移動させることができる。また、Ｙテーブル２１ｙのネジ入力部２７を回すことにより、その上に載置された要素をＸ方向と直交するＹ方向へ平行移動させることができる。
【００３９】
また、円弧移動部２２においては、Ｘ方向アークテーブル２２ｘのネジ入力部２８を回すことにより、その上に載置された要素をＸ方向へ円弧移動させることができる。また、Ｙ方向アークテーブル２２ｙのネジ入力部２９を回すことにより、その上に載置された要素、すなわちヘッド２３をＸ方向に直交するＹ方向へ円弧移動させることができる。なお、Ｘ方向アークテーブル２２ｘ及びＹ方向アークテーブル２２ｙの円弧移動の中心点は、図１におけるＸ線光軸Ｘ０上であって試料Ｓを置くべき位置である。
【００４０】
ゴニオメータヘッド３のヘッド２３の上面には取付け用穴３１が設けられている。試料ホルダ９は、その被取付け部１２をその取付け用穴３１に挿入し、さらに適宜の締結手段、例えば止めネジで固定することによって、図１に示すように、ゴニオメータヘッド３のヘッド２３に固定される。この固定状態で、ゴニオメータヘッド３が置かれたベース面３２から試料Ｓまでの距離Ｈ５が決められた高さ、例えば、ＩＵＣｒ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｕｎｉｏｎ　ｏｆ　Ｃｒｙｓｔａｌｌｏｇｒａｐｈｙ：国際結晶学連合）の規格に規定される高さになる。
【００４１】
なお、試料ホルダ９をヘッド２３に取り付けただけでは、必ずしも、試料ＳをＸ線光軸Ｘ０（図１参照）上であって、且つＨ５の高さに一致する点に会わせることができないことがある。一般的には、このような場合の方が多いかもしれない。この場合には、ゴニオメータヘッド３の昇降部１９、平行移動部２１及び円弧移動部２２のいずれか又は全部を操作して、ヘッド２３を動かすことにより、試料ＳをＸ線光軸Ｘ０上であって高さＨ５の点に合わせることができる。
【００４２】
以上に説明した本実施形態に係る試料ホルダ９によれば、図３において、線状試料物１８の試料支持棒１１に嵌合する溝１７の断面形状がＶ字形状になっているので、図４に示すように、試料支持棒１１は必ず１つの決められた位置に置かれることになる。このため、図３において、線状試料物１８を衝立部１４に取り付ける際、線状試料物１８が溝１７の中で位置的に動くということがなくなり、常に、一定位置に置くことが可能となる。
【００４３】
また、図３において、衝立部１４の試料受け面１４ａは長方形状に平面であるので、図７のような方形状でない場合に比べて、線状試料物１８の取り付けが容易である。
【００４４】
また、図７に示す従来例では、衝立部５４の試料受け面の反対面は曲面となっていた。このため、試料ホルダ５２を横にしてテーブル上に置くと試料ホルダ５２は転がってしまって安定しなかった。これに対し、図３に示す本実施形態では、衝立部１４の試料受け面１４ａの反対面１４ｂも方形状の平面に形成したので、試料ホルダ９を横にしてテーブル上に置いた場合、その試料ホルダ９は反対面１４ｂの働きのために転がることなく、安定状態を維持する。これにより、試料ホルダ９の取り扱いが容易になる。また、試料ホルダ９をテーブル（図示せず）上で横にして線状試料物１８をその衝立部１４上に装着する際には、その作業を極めて容易に行うことが可能となる。
【００４５】
また、衝立部１４の試料受け面１４ａの幅はＷ３＝５ｍｍ以上、望ましくは６〜８ｍｍ、より望ましくは７ｍｍ程度に形成されるので、図７に示した従来例に比べて横幅が大きくなり、作業者が手でつまみ易くなっている。これにより、線状試料物１８の装着作業も非常に行い易くなる。
【００４６】
また、衝立部１４の長さはＨ３＝１０ｍｍ以上、望ましくは１１〜１３ｍｍ、より望ましくは１２．５ｍｍ程度に形成されるので、図７に示した従来例に比べて、線状試料物１８を受ける面が広くなっており、このため、線状試料物１８を受け面１４ａに載せる作業が非常に行い易くなる。なお、衝立部１４の長さＨ３は、それに取り付けられる線状試料物１８の長さの１／２よりも長いことが望ましい。こうすれば、線状試料物１８を衝立部１４に載せる作業が行い易くなる。
【００４７】
また、衝立部１４と被取付け部１２との間には基台１３が設けられているので、作業者はこの基台１３をつまむことにより、試料ホルダ９を容易に取り扱うことができる。また、基台１３によって線状試料物１８の試料支持棒１１の下端を支持することができるようになる。
【００４８】
（第２実施形態）
図１に示した実施形態では、図３（ａ）に示すように、単結晶資料Ｓを試料支持棒１１の先端に固着した。これに代えて、図３（ｂ）に示すように、粉末試料Ｓをガラス等によって形成されたキャピラリチューブ１５に詰め込むことによって線状試料物３８を構成し、この線状試料物３８を図３の試料ホルダ９の衝立部１４の溝１７に固定することができる。そして、その試料ホルダ９を図１のようにゴニオメータヘッド３に取り付けて、Ｘ線測定を行うことができる。
【００４９】
なお、この場合には、粉末法に従ったＸ線回折法が実行されることになり、粉末試料Ｓには特性Ｘ線、例えばＣｕＫα線を照射する必要がある。そのため、図１においてＸ線発生装置２とコリメータ６との間には、連続Ｘ線から特定Ｘ線を取り出すためのモノクロメータが配設される。この粉末法に従った測定の場合には、Ｘ線検出器４には、いわゆるデバイ環が得られる。
【００５０】
さらに、本実施形態では、図３（ａ）に示すような、試料支持棒１１の先端に試料Ｓを固着して成る線状試料物や、図３（ｂ）に示すような、粉末試料Ｓをキャピラリチューブ１５の中に詰め込んで成る線状試料物３８を線状試料物として供することができる他に、繊維試料のように試料自体が細くて長いものを線状試料物として供することもできる。
【００５１】
（第３実施形態）
図５は、本発明に係る試料ホルダの他の実施形態を示している。ここに示す試料ホルダ３９が図３に示した試料ホルダ９と異なる点は、基台３３が角柱形状に形成されている点である。こうすれば、試料ホルダ３９を横にしてテーブル上に置いたとき、この試料ホルダ３９がテーブル上で転がることを防止できるので、作業者による取り扱いが非常に容易になる。また、横にした試料ホルダ３９は転がり難いので、試料ホルダ３９を横にして行う線状試料物の衝立部１４への装着作業が非常に簡単になる。
【００５２】
（第４実施形態）
図６は、本発明に係る試料ホルダのさらに他の実施形態を示している。ここに示す試料ホルダ４９が、図３に示した試料ホルダ９と異なる点は、溝１７の端部に貫通穴１６を設けることに加えて、溝１７の途中にも衝立部１４を貫通する穴４６を設けたことである。
【００５３】
この試料ホルダ４９は、線状試料物としてキャピラリチューブ１５の内部の適所に粉末試料Ｓを詰め込んだ構造の線状試料物を用いる場合に有利である。何故ならば、線状試料物４８を衝立部１４に取り付けたときに、粉末試料Ｓが穴４６の所に来るようにしておけば、Ｘ線が試料Ｓを通過できるからである。なお、このときには、穴４６の径は、できるだけ、試料Ｓに近い寸法に設定することが望ましい。こうすれば、余分なＸ線が試料Ｓの周りを通過してＸ線検出器に向かうことを衝立部１４によって遮蔽できる。
【００５４】
なお、試料ホルダ４９や試料Ｓを高温や低温に保持するために試料ホルダ４９等を高温装置や低温装置等といったアタッチメントに収容するような場合には、コリメータ６を試料位置に十分に近づけることができないので、入射Ｘ線は試料Ｓに到達する前に空気やその他の散乱体にぶつかって散乱することが考えられる。そして、この散乱Ｘ線が検出器によって検出されると、いわゆるバックグラウンドを高めるおそれがある。これに対し、上記のように、穴４６の径を試料Ｓに近い寸法に設定すれば、それらの散乱Ｘ線を衝立部１４によって遮蔽できる。
【００５５】
なお、溝１７の下端に穴１６を設けると、溝１７の加工が容易になることは既に説明したが、場合によっては、この穴１６に位置的に合うように試料Ｓをキャピラリチューブ１５の中に詰め込み、この穴１６をＸ線通過用の穴として使うこともできる。
【００５６】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【００５７】
例えば、以上の説明では、本発明に係る試料ホルダをＸ線回折装置に適用したが、その試料ホルダはＸ線回折装置以外のＸ線装置に用いることもできるし、あるいは、Ｘ線装置以外の測定装置に用いることもできる。
【００５８】
また、図１の実施形態では、昇降移動系１９、面内移動系２１及び円弧移動系２２といった各移動系を有するゴニオメータヘッド３に試料ホルダ９を取り付ける場合を例示したが、試料ホルダ９はその他の構成のゴニオメータヘッドに取り付けることもできるし、あるいは、ゴニオメータヘッド以外の任意の試料支持手段に取り付けることもできる。
【００５９】
また、本発明に係る試料ホルダを用いる場合には、図２に示したような、昇降部１９、平行移動部２１及び円弧移動部２２の各移動部を備えたゴニオメータヘッド３は、必ずしも必要ではない。これに代えて、Ｙ移動とＲｘ傾斜移動だけを備えた簡単なゴニオメータヘッドを用いることもできる。こうすれば、コストの削減ができ、さらに操作が簡単になる等といったメリットが得られる。
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、線状試料物が挿入される溝を断面Ｖ字形状にしたので、線状試料物を作業者の手によって極めて簡単に且つ希望通りの姿勢で試料ホルダに取り付けることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る試料ホルダ及びＸ線装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すＸ線装置の試料支持部を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る試料ホルダの一実施形態を示す斜視図である。
【図４】図３に示す試料ホルダの平面図である。
【図５】本発明に係る試料ホルダの他の実施形態を示す斜視図である。
【図６】本発明に係る試料ホルダのさらに他の実施形態を示す斜視図である。
【図７】従来の試料ホルダの一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１　　　　　　Ｘ線装置（測定装置）
２　　　　　　Ｘ線発生装置
３　　　　　　ゴニオメータヘッド（試料支持部，試料支持手段）
４　　　　　　Ｘ線検出器
６　　　　　　コリメータ
９，３９，４９　試料ホルダ
１１　　　　　　試料支持棒
１２　　　　　　被取付け部
１３　　　　　　基台
１４　　　　　　衝立部
１４ａ　　　　　試料受け面
１４ｂ　　　　　反対面
１６　　　　　　貫通穴
１７　　　　　　溝
１８，４８　　　線状試料物
１９　　　　　　昇降部
２１　　　　　　平行移動部
２２　　　　　　円弧移動部
２３　　　　　　ヘッド
３２　　　　　　ベース面
４３　　　　　　キャピラリチューブ
４６　　　　　　穴
Ｓ　　　　　　試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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