(57)【要約】【課題】装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体の外部への飛散を防止する磁性流体シール装置を提供する。【解決手段】環状磁石３及び磁性流体４，５を配置した隣で一対のスリーブ６，７間の隙間を遮蔽する遮蔽機構（リップ部１２，１３）を設けた。この構成では、磁性流体シール装置の装置側面のスリーブ６，７間に隙間があっても、そこにリップ部１２，１３が設けられて装置内部と外部とが仕切られた状態となる。このため、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体４，５の外部への飛散を防止することができる。【選択図】　図１
2004138223.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、
２部材間内で２部材の両方側にそれぞれ配置された一対のスリーブと、
該一対のスリーブ間に配置された磁力を発生する磁力発生手段と、
該磁力発生手段に磁気的に保持されて前記磁力発生手段と前記一対のスリーブとの間の２つの隙間を密封する磁性流体と、
を備え、
前記磁性流体で前記磁力発生手段を浮揚支持し、前記磁力発生手段及び前記磁性流体で２部材間をシールする磁性流体シール装置において、
前記磁力発生手段及び前記磁性流体を配置した隣で前記一対のスリーブ間の隙間を遮蔽する遮蔽機構を設けたことを特徴とする磁性流体シール装置。
【請求項２】
互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、
２部材間内で２部材の両方側にそれぞれ配置された一対のスリーブと、
該一対のスリーブ間に配置された磁力を発生する磁力発生手段と、
該磁力発生手段に磁気的に保持されて前記磁力発生手段と前記一対のスリーブとの間の２つの隙間を密封する磁性流体と、
を備え、
前記磁性流体で前記磁力発生手段を浮揚支持し、前記磁力発生手段及び前記磁性流体で２部材間をシールする磁性流体シール装置において、
前記磁力発生手段及び前記磁性流体を配置した隣で前記一対のスリーブ間の隙間を遮蔽するリップ部を設けたことを特徴とする磁性流体シール装置。
【請求項３】
前記一対のスリーブの２部材と嵌合する側を弾性体で覆い、
前記リップ部は、前記弾性体から延長して形成されたことを特徴とする請求項２に記載の磁性流体シール装置。
【請求項４】
互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、
２部材間内で２部材の両方側にそれぞれ配置された一対のスリーブと、
該一対のスリーブ間に配置された磁力を発生する磁力発生手段と、
該磁力発生手段に磁気的に保持されて前記磁力発生手段と前記一対のスリーブとの間の２つの隙間を密封する磁性流体と、
を備え、
前記磁性流体で前記磁力発生手段を浮揚支持し、前記磁力発生手段及び前記磁性流体で２部材間をシールする磁性流体シール装置において、
前記磁力発生手段及び前記磁性流体を配置した隣で前記一対のスリーブの内少なくとも一方から前記一対のスリーブ間の隙間を極小隙間とするように径方向に突出した突出部を形成したことを特徴とする磁性流体シール装置。
【請求項５】
前記突出部が前記一対のスリーブの両方から一対対峙して形成され、
前記一対の突出部は、先端部分に軸方向において極小隙間を隔てて重なる部分を有することを特徴とする請求項４に記載の磁性流体シール装置。
【請求項６】
前記突出部にトラップ部を設けたことを特徴とする請求項４又は５に記載の磁性流体シール装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、相対運動する磁性流体シール装置に関するものであり、例えば半導体製造装置、液晶パネルディスプレイ製造装置、ハードディスク製造装置、光学部品製造装置等の生産機のダストシールや、カメラ、ハードディスクドライブ、光学部品等の製品に内蔵するダストシールとして適用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の相対運動する磁性流体シール装置は、２部材間の隙間を、２部材の内一方の部材側に保持された磁性流体で他方の部材表面に接触して隙間を密封していた（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−１２４２１６号公報
【０００４】
従来の特許文献１に代表される磁性流体シール装置の構成例を図９に示す。一般に軸方向に着磁された磁石１０３を２枚のポールピース１０４で挟んで接着して非磁性のハウジング１０１に設置し、ポールピース１０４と磁性材のシャフト１０２との隙間に磁性流体１０５を充填する構成が採られる。
【０００５】
しかしながら、この磁性流体シール装置は、ハウジング１０１に固定されるため、ハウジング１０１とシャフト１０２との偏芯の許容値は、ポールピース１０４とシャフト１０２との隙間以下となり、ハウジング１０１とシャフト１０２との同軸度に高い精度が必要であった。
【０００６】
また、このような構成では、磁性流体１０５の充填を装置組立後に行わなければならないという煩雑さと磁性流体充填量の管理が難しいといった欠点があった。
【０００７】
さらに、磁石１０３とポールピース１０４及びポールピース１０４とハウジング１０１を接着しなければならないという欠点もあった。
【０００８】
このような問題を解決するために、本発明者等は、特願２００１−１５２４１８号にて、図１０に示すような、ハウジング１及びシャフト２にそれぞれ嵌合された一対のスリーブ６，７と、一対のスリーブ６，７間に形成される空間部に配置された環状磁石３と、環状磁石３と一対のスリーブ６，７とのそれぞれの隙間に充填された磁性流体４，５とで構成されている磁性流体シール装置を提案している。
【０００９】
これは、環状磁石３の表面近傍には磁場勾配が発生しており、その磁場勾配下に置かれた磁性流体４，５は高磁場側（環状磁石３の表面）に吸引され、その反作用として一対のスリーブ６，７は低磁場側への斥力を受ける。その結果、環状磁石３は一対のスリーブ６，７と非接触の状態で磁性流体４，５中に浮揚支持される。そして、同時に磁性流体４，５が環状磁石３と一対のスリーブ６，７とのそれぞれの隙間を密封する機能を発揮するというものである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の図１０に示すような従来技術の場合でも、下記のような問題が生じていた。
【００１１】
図１０に示す磁性流体シール装置は、装置両側面の一対のスリーブ６，７間に隙間があるため、磁性流体シール装置を装着した使用中に、例えばボールベアリングＢＢ側の装置側面からボールベアリングＢＢから発生するグリース、摩耗粉等のダストが侵入するおそれがあった。また、装着中に、磁性流体シール装置の装置両側面から浮遊しているダストが侵入するおそれがあった。
【００１２】
一方、磁性流体シール装置がバーストを起こすと、装置側面の一対のスリーブ６，７間の隙間から磁性流体４，５が飛散し、装置外部の環境を汚すおそれがあった。
【００１３】
本発明は上記従来技術に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体の外部への飛散を防止する磁性流体シール装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明にあっては、互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、２部材間内で２部材の両方側にそれぞれ配置された一対のスリーブと、該一対のスリーブ間に配置された磁力を発生する磁力発生手段と、該磁力発生手段に磁気的に保持されて前記磁力発生手段と前記一対のスリーブとの間の２つの隙間を密封する磁性流体と、を備え、前記磁性流体で前記磁力発生手段を浮揚支持し、前記磁力発生手段及び前記磁性流体で２部材間をシールする磁性流体シール装置において、前記磁力発生手段及び前記磁性流体を配置した隣で前記一対のスリーブ間の隙間を遮蔽する遮蔽機構を設けたことを特徴とする。
【００１５】
この構成では、磁性流体シール装置の装置側面の一対のスリーブ間に隙間があっても、そこに遮蔽機構が設けられて装置内部と外部とが仕切られた状態となる。このため、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体の外部への飛散を防止することができる。
【００１６】
ここで、遮蔽機構としては、リップ部、突出部を用いた遮蔽する機構がある。
【００１７】
互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、２部材間内で２部材の両方側にそれぞれ配置された一対のスリーブと、該一対のスリーブ間に配置された磁力を発生する磁力発生手段と、該磁力発生手段に磁気的に保持されて前記磁力発生手段と前記一対のスリーブとの間の２つの隙間を密封する磁性流体と、を備え、前記磁性流体で前記磁力発生手段を浮揚支持し、前記磁力発生手段及び前記磁性流体で２部材間をシールする磁性流体シール装置において、前記磁力発生手段及び前記磁性流体を配置した隣で前記一対のスリーブ間の隙間を遮蔽するリップ部を設けたことを特徴とする。
【００１８】
この構成では、リップ部により装置内部と外部とが仕切られた状態となる。このため、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に装置外部への磁性流体の飛散を防止することができる。
【００１９】
前記一対のスリーブの２部材と嵌合する側を弾性体で覆い、前記リップ部は、前記弾性体から延長して形成されたことが好適である。
【００２０】
この構成では、リップ部を弾性体と同じ材料で一体に形成でき、コストダウンを図ることができる。
【００２１】
互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、２部材間内で２部材の両方側にそれぞれ配置された一対のスリーブと、該一対のスリーブ間に配置された磁力を発生する磁力発生手段と、該磁力発生手段に磁気的に保持されて前記磁力発生手段と前記一対のスリーブとの間の２つの隙間を密封する磁性流体と、を備え、前記磁性流体で前記磁力発生手段を浮揚支持し、前記磁力発生手段及び前記磁性流体で２部材間をシールする磁性流体シール装置において、前記磁力発生手段及び前記磁性流体を配置した隣で前記一対のスリーブの内少なくとも一方から前記一対のスリーブ間の隙間を極小隙間とするように径方向に突出した突出部を形成したことを特徴とする。
【００２２】
この構成では、一対のスリーブ間の隙間を極小隙間とするように径方向に突出した突出部により装置内部と外部とが仕切られた状態となる。このため、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体の外部への飛散を防止することができる。
【００２３】
前記突出部が前記一対のスリーブの両方から一対対峙して形成され、前記一対の突出部は、先端部分に軸方向において極小隙間を隔てて重なる部分を有することが好適である。
【００２４】
この構成では、装置を一対の突出部同士を重ねた状態で押し込んで装着することができ、装置を治具無しに安全確実に装着できる。
【００２５】
前記突出部にトラップ部を設けたことが好適である。
【００２６】
この構成では、油やグリース等のダストをトラップ部で捕集でき、ダストの装置内部への侵入を防止することができる。また、装置内部から飛散する磁性流体をトラップ部で捕集でき、磁性流体の装置外部への飛散を防止することができる。
【００２７】
また、一対のスリーブが取り付けられる２部材の表面に、一対のスリーブの固定位置を定めるように段差を形成することも好適である。
【００２８】
この構成では、装置を押し込んで装着する際に、一対のスリーブの相対位置がずれていても、段差で固定位置が定められているので、容易に固定位置へ装着することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、以下の説明で一度説明した部材についての材質、形状などは、特に改めて記載しない限り初めの説明と同様のものである。
【００３０】
（第１の実施の形態）
図１を用いて第１の実施の形態に係る磁性流体シール装置の構成について説明する。図１は第１の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【００３１】
図１に示す磁性流体シール装置は、回転移動可能な２部材としての筒状のハウジング１と、ハウジング１に挿入されたシャフト２と、の間に備えられている。ハウジング１とシャフト２とは相対回転運動が行われるものであり、本形態ではシャフト２だけが回転する。ハウジング１とシャフト２は非磁性材で構成されている。
【００３２】
磁性流体シール装置は、径方向に着磁されてハウジング１とシャフト２との間に配置された環状磁石３（磁力発生手段）と、環状磁石３の内外周端部にそれぞれ保持された磁性流体４，５と、ハウジング１及びシャフト２にそれぞれ嵌合されたスリーブ６，７と、環状磁石３及び磁性流体４，５を配置した隣で一対のスリーブ６，７間の隙間を遮蔽する遮蔽機構としてのリップ部１２，１３と、を備える。
【００３３】
即ち、環状磁石３の磁極である内外周端部には磁性流体４，５が磁気的にそれぞれ保持されて、磁性流体４，５がそれぞれスリーブ６，７に対して接触している。
【００３４】
また、環状磁石３としては、単極或いは多極着磁された金属又は磁石粉を充填した有機材料等からなる永久磁石を用いることができ、本実施の形態では一例としてプラスチックマグネットを用いる。その他、ゴムマグネット等の磁力発生手段も用いることができる。
【００３５】
さらに、本実施の形態では環状磁石３は径方向に単極着磁されている。なお、環状磁石３はその他径方向或いは軸方向に単極或いは多極着磁されているものを用いてもよい。
【００３６】
さらにまた、環状磁石３だけが磁力発生手段というわけではなく、例えば磁石に磁性体を取り付けた構造のものも磁力発生手段といえる。つまり、磁力発生手段としては、内外周端部に磁性流体４，５を磁気的にそれぞれ保持できる構造のものであればよい。
【００３７】
一方、磁性流体４，５としては、Ｆｅ３Ｏ４やＭｎ・Ｆｅ２Ｏ４等の微粒子を油，水，有機溶媒等の中にコロイド状に分散させたものを用いている。
【００３８】
スリーブ６，７は、円筒状の非磁性材（非磁性ステンレス、アルミ合金、銅合金、チタン等の非磁性金属製又はポリフェニレンオキサイド、ポリカーボネート、テフロン（登録商標）等の樹脂製）で、軸方向両端部が径方向に突出するように中央部が凹んで溝が形成されており、この溝の中に環状磁石３の内外周端部が隙間を有してそれぞれ配置される。
【００３９】
このスリーブ６，７は、スリーブ６，７の溝内に環状磁石３を挿入可能とする弾性変形特性を有しており、環状磁石３のスムーズな装着ができる。
【００４０】
そして、磁性流体４，５が環状磁石３の内外周端とスリーブ６，７の溝との隙間に充填されている。
【００４１】
リップ部１２は、ゴム状弾性部８から延長して一体で形成されている。また、リップ部１３は、ゴム状弾性部９から延長して一体で形成されている。
【００４２】
これにより、リップ部１２，１３をゴム状弾性部８，９と同じ材料で一体に形成でき、コストダウンを図ることができる。
【００４３】
リップ部１２，１３は、ゴム状弾性部８，９から環状磁石３及び磁性流体４，５を配置した両隣で、スリーブ６，７のそれぞれ反対となる方から径方向に突出する。つまり、本実施の形態では、リップ部１２は、スリーブ６の図示左側に取り付けられて、シャフト２へ向けて突出し、また、リップ部１３は、スリーブ７の図示右側（ボールベアリングＢＢ側）に取り付けられて、ハウジング１へ向けて突出している。
【００４４】
なお、図示する本実施の形態とは反対に、リップ部１２は、スリーブ６の図示右側に取り付けられて、シャフト２へ向けて突出し、また、リップ部１３は、スリーブ７の図示左側（ボールベアリングＢＢ側）に取り付けられて、ハウジング１へ向けて突出する構成としてもよいことはいうまでもない。
【００４５】
また、スリーブ６，７には、ハウジング１及びシャフト２との取付面に弾性体としてのゴム状弾性部８，９が焼き付けられている。ゴム状弾性部８，９は、リップ部１２，１３と同じ材料で一体に形成されており、本実施の形態ではゴム状弾性体（ＮＢＲ（ニトリルゴム）、ＨＮＢＲ（水素添加ニトリルゴム）、ＡＣＭ（アクリルゴム）、ＶＭＱ（シリコーンゴム）、ＦＫＭ（フッ素ゴム）等）を材質として用いている。このゴム状弾性部８，９によって、スリーブ６，７のハウジング１及びシャフト２との嵌合面に対して接着の必要もなくなる。
【００４６】
なお、リップ部１２，１３は、上記のゴム状弾性部８，９と一体に形成される構成の他に接着等によりスリーブ６，７に取り付けられることもできる。この場合には、リップ部１２，１３が交換可能であり、引き剥がして新たなリップ部１２，１３を取り付けることもできる。この交換可能なリップ部１２，１３の材質としては、上記のものその他金属や樹脂を用いていてもよい。
【００４７】
以上の磁性流体シール装置は、環状磁石３とスリーブ６，７との間に予め磁性流体４，５を充填した状態で、ハウジング１とシャフト２の間にワンタッチで容易に装着される。そして、環状磁石３と磁性流体４，５とで、ハウジング１とシャフト２間のシールを行う。
【００４８】
そして、リップ部１２がスリーブ６，７間の隙間を遮蔽して磁性流体４，５の配置された装置内部と外部とが仕切られた状態となる。このため、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体４，５のクリーン環境の外部への飛散を防止することができる。
【００４９】
また、リップ部１３がスリーブ６，７間の隙間を遮蔽して磁性流体４，５の配置された装置内部と外部とが仕切られた状態となる。このため、装置内部への特にボールベアリングＢＢからのグリース、摩耗粉等のダストの侵入を防止すると共に磁性流体４，５のボールベアリングＢＢ側の外部への飛散を防止することができる。
【００５０】
（第２の実施の形態）
図２は第２の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第２の実施の形態は、第１の実施の形態においてスリーブ６，７をそれぞれ２分割した断面Ｌ字状部材で構成したものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
【００５１】
本実施の形態は、図２に示すように、スリーブ６，７がそれぞれ２分割した２つの断面Ｌ字状部材から構成されている。２つの断面Ｌ字状部材は、軸方向部と軸方向部から各々軸方向で反対側の端部で径方向に突出した径方向部とからなり、２つの断面Ｌ字状部材の軸方向部が重ね合わされて径方向部間が溝を構成して１つのスリーブ６，７となる。
【００５２】
ここで、磁性流体４，５と軸方向部が接触する断面Ｌ字状部材に予め環状磁石３の配置及び磁性流体４，５の充填を行うと共に、ハウジング１及びシャフト２に軸方向部が接触する断面Ｌ字状部材に予めゴム状弾性部８，９及びリップ部１２，１３を焼き付け等で取り付け、その後にその状態で磁性流体４，５と軸方向部が接触する断面Ｌ字状部材とその周りを囲むハウジング１及びシャフト２に軸方向部が接触する断面Ｌ字状部材とを重ね合わせることで容易に装置を構成することができる。
【００５３】
これにより、第１の実施の形態の効果に加えて、環状磁石３のスリーブ６，７の溝内への配置が容易になる。また、環状磁石３やスリーブ６，７といった構成部品が弾性変形性を有しなくても装置を構成できるので、材料選定の自由度が大きくなる。
【００５４】
なお、図示する本実施の形態とは反対に、装置を左右反転させて装着することもできる。この場合、スリーブ６，７のそれぞれ２分割して２つの断面Ｌ字状部材が有する径方向部の位置関係が図示とは左右逆となる。そして、リップ部１２は、スリーブ６の図示右側に取り付けられて、シャフト２へ向けて突出し、また、リップ部１３は、スリーブ７の図示左側（ボールベアリングＢＢ側）に取り付けられて、ハウジング１へ向けて突出する。
【００５５】
（第３の実施の形態）
図３は第３の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第３の実施の形態は、第１〜第２の実施の形態と異なりリップ部は設けておらず、スリーブ６，７間の隙間、即ち突出部６ａ，７ａ間の対向隙間を極小となるように突出部６ａ，７ａを径方向に延出して遮蔽機構としたものである。その他の構成は第１の実施の形態と同じ構成である。
【００５６】
磁性流体シール装置は、径方向に着磁されてハウジング１とシャフト２との間に配置された環状磁石３（磁力発生手段）と、環状磁石３の内外周端部にそれぞれ保持された磁性流体４，５と、ハウジング１及びシャフト２にそれぞれ嵌合されたスリーブ６，７と、スリーブ６，７のハウジング１やシャフト２との取付面に焼き付けられた弾性体としてのゴム状弾性部８，９と、スリーブ６，７間の隙間を極小とするようにスリーブ６，７から対峙して径方向に延出した突出部６ａ，７ａと、を備える。
【００５７】
本実施の形態では、突出部６ａ，７ａ間の隙間は軸方向に平行な環状隙間となっている。突出部６ａ，７ａ間の隙間は極小隙間で遮蔽性を有する。
【００５８】
これにより、極小隙間を介して対峙する突出部６ａ，７ａがスリーブ６，７間の隙間を遮蔽して磁性流体４，５の配置された装置内部と外部とが仕切られた状態となる。このため、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体４，５のクリーン環境の外部への飛散を防止することができる。
【００５９】
なお、この突出部６ａ，７ａは、ボールベアリングＢＢ側にも構成できる。このため、ボールベアリングＢＢ側に突出部６ａ，７ａを構成した場合には、装置内部への特にボールベアリングＢＢからのグリース、摩耗粉等のダストの侵入を防止すると共に磁性流体４，５のボールベアリングＢＢ側の外部への飛散を防止することができる。
【００６０】
また、突出部６ａ，７ａは、第１の実施の形態におけるリップ部１２，１３のように磁性流体４，５の配置された装置内部の両側に構成できる。このため、磁性流体４，５の配置された装置内部の両側に突出部６ａ，７ａを構成した場合には、使用中の装置内部への特にボールベアリングＢＢからのグリース、摩耗粉等のダストの侵入を防止及び反ボールベアリングＢＢ側からの装着中のダストの侵入を防止すると共に磁性流体４，５のボールベアリングＢＢ側の外部への飛散及びクリーン環境の外部への飛散を防止することができる。
【００６１】
ここで、本実施の形態では、突出部６ａ，７ａによって遮蔽機構を形成したが、突出部６ａ，７ａのどちらかを他方のスリーブ６，７まで延出することによって極小な隙間をスリーブ６，７間に形成して遮蔽機構としてもよい。
【００６２】
（第４の実施の形態）
図４は第４の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第４の実施の形態は、遮蔽機構を形成する突出部６ａ，７ａの先端部分が軸方向において極小な隙間を隔てて重なる部分を有するラビリンス構造のものである。その他の構成は第３の実施の形態と同じ構成である。
【００６３】
図４に示す突出部６ａ，７ａの先端部分は、軸方向の肉厚を一部減らし、互いが軸方向で極小な隙間を隔てて重なるように構成されている。
【００６４】
なお、突出部６ａ，７ａの軸方向で極小な隙間を隔てて重なる先端の関係は、図４に限られるものではない。図５は図４のＡ部を拡大して突出部６ａ，７ａの先端部分の関係を例示したものである。この図５（ａ）〜（ｄ）のようにラビリンス構造を有するようにした種々の変形が可能である。
【００６５】
特に図５（ｄ）では、突出部７ａの先端部分にトラップ部Ｔを形成してある。これにより、油やグリース等のダストをトラップ部Ｔで捕集でき、ダストの装置内部への侵入を防止することができる。また、装置内部から飛散する磁性流体４，５をトラップ部Ｔで捕集でき、磁性流体４，５の装置外部への飛散を防止することができる。
【００６６】
従来では、治具によってスリーブ６，７を同時に押し込むことによって装置を装着する方法が採られていた。それは、片方のスリーブ、例えばスリーブ６だけが押し込まれてしまった場合、スリーブ６が環状磁石３に荷重をかけてしまい、その荷重により環状磁石３が破損する可能性があったからである。故に、このような片方のスリーブだけが押し込まれてしまうことがないようにするために、一対のスリーブの突出部に上記の構成を設け、この問題を解決した。
【００６７】
この構成をした装置では、図６に示すようにして装着が行われる。すなわち、まず図６（ａ）のように装置をハウジング１とシャフト２間に嵌め込む。その後、スリーブ６側を押し込んでいく。
【００６８】
そして、図６（ｂ）のように突出部６ａの先端が突出部７ａの先端に重なると、スリーブ６に伴ってスリーブ７も押し込まれていく。
【００６９】
さらに、スリーブ６側を押し込んで行くと、図６（ｃ）のようにスリーブ６がハウジング１に当接して停止する。
【００７０】
この図６（ｃ）の状態から今度はスリーブ７側を押し込めば、図６（ｄ）のようにスリーブ７がシャフト２の段差に当接し、装置の装着が完了する。
【００７１】
このような装着が可能なように、スリーブ６，７が取り付けられるハウジング１とシャフト２の表面に、スリーブ６，７の固定位置を定めるように段差を形成してある。このため、装置を押し込んで装着する際に、スリーブ６，７の相対位置がずれていても、段差で固定位置が定められているので、容易に固定位置へ装着することができる。
【００７２】
以上のように、突出部６ａ，７ａの先端部分が軸方向において極小な隙間を隔てて重なる部分を有することで、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体４，５のクリーン環境の外部への飛散を防止することができると同時に、装置を突出部６ａ，７ａ同士を重ねた状態で押し込んで装着することができ、装置を治具無しに安全確実に装着できる。
【００７３】
（第５の実施の形態）
図７は第５の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第５の実施の形態は、突出部６ａ，７ａの先端部分が軸方向において極小な隙間を隔てて重なる部分を有するものである。その他の構成は第３の実施の形態と同じ構成である。
【００７４】
突出部６ａ，７ａは、各スリーブ６，７から軸方向位置をずらして突出しており、互いが軸方向において極小な隙間を隔てて重なるように構成されている。
【００７５】
本形態でも、第４の実施の形態と同様の効果がある。
【００７６】
（第６の実施の形態）
図８は第６の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示している。第６の実施の形態は、突出部６ａ，７ａの先端部分が軸方向で極小な隙間を隔てて重なる部分を有するものである。その他の構成は第３の実施の形態と同じ構成である。
【００７７】
突出部６ａ，７ａの先端は、テーパ隙間を形成するようにテーパ状に加工してある。このため、突出部６ａ，７ａの先端間の隙間は断面で斜めの対向隙間となっており、互いが軸方向で極小な隙間を隔てて重なることが可能に構成されている。
【００７８】
本形態でも、第４の実施の形態と同様の効果がある。
【００７９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、磁性流体シール装置の装置側面の一対のスリーブ間に隙間があっても、そこに遮蔽機構が設けられて装置内部と外部とが仕切られた状態となる。このため、装置内部へのダストの侵入を防止すると共に磁性流体の外部への飛散を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【図２】第２の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【図３】第３の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【図４】第４の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【図５】第４の実施の形態に係る磁性流体シール装置のラビリンス構造の例を示す説明図である。
【図６】第４の実施の形態に係る磁性流体シール装置の装着状態を示す説明図である。
【図７】第５の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【図８】第６の実施の形態に係る磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【図９】従来技術の磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【図１０】従来技術の磁性流体シール装置を示す半断面図である。
【符号の説明】
１　ハウジング
２　シャフト
３　環状磁石
４，５　磁性流体
６，７　スリーブ
６ａ，７ａ　突出部
８，９　ゴム状弾性部
１２，１３　リップ部
ＢＢ　ボールベアリング
Ｔ　トラップ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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