(57)【要約】【課題】マイクロレンズアレイを不要として小型化が図れ且つ光の利用効率を増大できる光プリンタヘッドを提供する。【解決手段】ガラス基板１０の一面１１側に形成された発光素子としての無機ＥＬ素子２０を光源１００とする光プリンタヘッドにおいて、ガラス基板１０のうち一面１１とは反対側の他面１２が無機ＥＬ素子２０の発光部２６からの光取り出し側の面となっており、ガラス基板１０の他面１２には、レンズ作用を有するレンズ部３０がガラス基板１０と一体に設けられている。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板（１０）の一面（１１）側に形成された発光素子（２０）を光源とする光プリンタヘッドにおいて、
前記ガラス基板のうち前記一面とは反対側の他面（１２）が前記発光素子の光取り出し側の面となっており、
前記ガラス基板の前記他面に、レンズ作用を有するレンズ部（３０）が一体に設けられていることを特徴とする光プリンタヘッド。
【請求項２】
前記レンズ部（３０）は、前記ガラス基板（１０）自体に形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載の光プリンタヘッド。
【請求項３】
前記レンズ部（３０）は、前記ガラス基板（１０）に直接接続されたものであることを特徴とする請求項１に記載の光プリンタヘッド。
【請求項４】
前記ガラス基板（１０）の前記他面（１２）において前記レンズ部（３０）の周囲には遮光性を有する遮光膜（４０）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の光プリンタヘッド。
【請求項５】
基板（１０）の一面側に形成された発光素子（２０）を光源とする光プリンタヘッドにおいて、
前記基板の一面側には、前記発光素子を被覆するカバーガラス（５０）が設けられており、
前記カバーガラスを通して前記発光素子の光が取り出されるようになっており、
前記カバーガラスには、レンズ作用を有するレンズ部（３０）が一体に設けられていることを特徴とする光プリンタヘッド。
【請求項６】
前記発光素子は、エレクトロルミネッセンス素子（２０）であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の光プリンタヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板上に作製した発光素子を光源とした光プリンタヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタは、主に事務用として使われ高速処理が期待されるぺージプリンタと、主に家庭用として使われ低コストで作製することが期待されるインクジェットプリンタに大別される。
【０００３】
このうちぺージプリンタは、光学系が大きいが比較的コストが安いレーザープリンタと、光学系は小さいが比較的コストが高い光プリンタとに大別される。光プリンタとは、潜像形成ドラムなどの感光体への露光を行うための光源を用いるプリンタのことである。
【０００４】
光プリンタの光源には、複数のＬＥＤ（発光ダイオード）を一列に並べて用いられるのが一般的であり、このようなものはＬＥＤプリンタと呼ばれている。また、光源をＬＥＤからＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子にすることで、光量の均一化する方法も特開昭６３−１０３２８８号公報などに提案されている。
【０００５】
このような光プリンタに用いられる光プリンタヘッドの一般的な構成を図７に示す。図７に示す光プリンタヘッドでは、光源１００ａとして上記ＬＥＤやＥＬ素子などの自発光素子が用いられ、光源１００ａはアレイ状に形成されている。
【０００６】
そして、光源１００ａと感光体である潜像形成ドラム２００との間には、マイクロレンズアレイ３００が介在設定されており、光源１００ａからの光を、マイクロレンズアレイ３００を通して、正立等倍像を潜像形成ドラム２００に形成するようにする。
【０００７】
すなわち、光源１００ａから発せられる光はいったん広がるが、マイクロレンズアレイ３００によって収束し、ドラム２００上では、光源１００ａの出発点の光と同じ大きさおよび同じ位置の光の像が形成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の光プリンタヘッドでは、光源１００ａである発光素子から放出された光がマイクロレンズアレイ３００を介して、感光体であるドラム２００の面に正立等倍結像させる機能を有している。
【０００９】
このようなマイクロレンズアレイ３００においては、図７中に示すＴＣ（Ｔｏｔａｌ　Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ　Ｌｅｎｇｔｈ）が、光源に用いる波長によって異なるけれどもある程度の長さ（例えば１２ｍｍ以上）必要である。そのため、図７に示す光源１００ａからマイクロレンズアレイ３００の入り口までの距離Ｌもある程度（例えば数ｍｍ）必要となる。
【００１０】
このような構成であるため、光源１００ａである発光素子が発する光は、光源１００ａから拡散して出て行くが、そのうちマイクロレンズアレイ３００に到達する光はその一部となり、残りの光はマイクロレンズアレイ３００に到達しないことになる。
【００１１】
例えば、光源１００ａから発せられる光パワーに対して、マイクロレンズアレイ３００を通して発せられる光パワーは、本発明者らの測定では最大でも１０％にしかならなかった。つまり、残りの９０％の光パワーが無駄になっていることになる。
【００１２】
このため、従来の光プリンタヘッドにおいては、光源１００ａとなる発光素子はより大きな光パワーを出すことが要求され、制御回路を大きくする必要があった。さらに、大きな光パワーを発するために、発光素子の発熱が大きくなり、素子を構成する基板の伸縮による光学系のずれや、耐熱部品の使用によるコストアップ等の問題があった。
【００１３】
そこで、本発明は上記問題に鑑み、マイクロレンズアレイを不要として小型化が図れ且つ光の利用効率を増大できる光プリンタヘッドを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、例えばＥＬ素子のようなガラス基板に形成された発光素子を光源として形成した光プリンタヘッドについて、鋭意検討した結果なされたものである。
【００１５】
請求項１に記載の発明では、ガラス基板（１０）の一面（１１）側に形成された発光素子（２０）を光源とする光プリンタヘッドにおいて、ガラス基板のうち一面とは反対側の他面（１２）が発光素子の光取り出し側の面となっており、ガラス基板の他面に、レンズ作用を有するレンズ部（３０）が一体に設けられていることを特徴とする。
【００１６】
それによれば、レンズ作用を有するレンズ部が光源である発光素子と一体に設けられた形となる。そして、レンズ部の形状等を調整することにより、発光素子からの光をレンズ部を通してある位置に収束させたり、平行光としたりすることが、上記マイクロレンズアレイを設ける従来のものに比べて、より光源に近い部分にて行える。そのため、発光素子の光出力が小さくてもプリンタヘッドとしての機能を満足させることができる。
【００１７】
このようなことから、本発明では、マイクロレンズアレイを用いなくても、感光体の面に正立等倍像を形成したり光を収束させることができるので、光の利用効率を増大させることができる。また、従来必要であったマイクロレンズアレイが不要となることから、光源と感光体との距離を近づけることができる。
【００１８】
このように、本発明によれば、マイクロレンズアレイを不要として小型化が図れ且つ光の利用効率を増大できる光プリンタヘッドを提供することができる。
【００１９】
ここで、レンズ部（３０）は、ガラス基板（１０）を加工するなどによりガラス基板自体に形成されたものにしたり、ガラス基板（１０）に直接接続されたものにできる。
【００２０】
また、請求項４に記載の発明では、ガラス基板（１０）の他面（１２）においてレンズ部（３０）の周囲には遮光性を有する遮光膜（４０）が設けられていることを特徴とする。
【００２１】
それによれば、レンズ部以外の部位からの光漏れを防止することができ、解像度向上のために好ましい。
【００２２】
また、請求項５に記載の発明では、基板（１０）の一面側に形成された発光素子（２０）を光源とする光プリンタヘッドにおいて、基板の一面側には、発光素子を被覆するカバーガラス（５０）が設けられており、カバーガラスを通して発光素子の光が取り出されるようになっており、カバーガラスには、レンズ作用を有するレンズ部（３０）が一体に設けられていることを特徴とする。
【００２３】
このように、カバーガラスを設け、このカバーガラスを通して発光素子の光を取り出すような構成とした場合にも、カバーガラスを上記したガラス基板とみなせば、このカバーガラスに発光素子が形成された光プリンタヘッドの構成となる。
【００２４】
そして、本発明においても、当該カバーガラスと一体にレンズ部を設ければ、レンズ部が光源である発光素子と一体に設けられた形となる。そのため、上記請求項１の発明と同様、マイクロレンズアレイを不要として小型化が図れ且つ光の利用効率を増大させた光プリンタヘッドを実現することができる。
【００２５】
また、本発明の光プリンタヘッドにおいても、レンズ部は、カバーガラス自体に形成されたものにしたり、カバーガラスに直接接続されたものにできる。また、カバーガラスにおいてレンズ部の周囲には遮光性を有する遮光膜が設けられているものにしても良い。
【００２６】
また、上記各手段の光プリンタヘッドにおける発光素子としては、エレクトロルミネッセンス素子（２０）や発光ダイオードなどの自発光素子を採用することができる。
【００２７】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００２８】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る光プリンタヘッドにおける光源１００を示す図である。本実施形態では、光源１００としてガラス基板１０の一面１１に形成された無機ＥＬ素子（発光素子）２０を用いており、図１において（ａ）はガラス基板１０の他面１２側の平面図、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。
【００２９】
ガラス基板１０は発光素子としての無機ＥＬ素子２０から発せられる光に対して透明性を有する絶縁性の基板であり、ガラス基板１０の他面１２側から当該光が取り出されるようになっている。つまり、ガラス基板１０のうち無機ＥＬ素子２０の形成面である一面１１とは反対側の他面１２が発光素子の光取り出し側の面となっている。
【００３０】
まず、無機ＥＬ素子２０について述べる。図１（ｂ）に示すように、無機ＥＬ素子２０は、ガラス基板１０の一面１１側から第１電極２１、第１絶縁層２２、発光層２３、第２絶縁層２４、第２電極２５が順次積層されて構成されたものである。
【００３１】
本実施形態では、第１電極２１、第１絶縁層２２は、無機ＥＬ材料からなる発光層２３からの光を取り出すために透明な材料にて構成されている。その他、これら各層２１〜２５を構成する材料や膜構成等は通常の無機ＥＬ素子に用いることの可能な材料や膜構成を採用することができる。
【００３２】
具体的な一例としては、第１電極２１をＩＴＯ（インジウムチンオキサイド）膜、第１絶縁層２２としてＡｌ２Ｏ３層（第１の層）と酸化チタンＴｉＯ２層（第２の層）を交互に積層したＡｌ２Ｏ３／ＴｉＯ２積層構造膜（以下、ＡＴＯ膜と呼ぶ）、発光層２３にＳｒＳ：Ｃｅ膜、第２絶縁層２４も第１絶縁層２１と同様のＡＴＯ膜、第２電極２５としてＡｌ膜を用いることができる。
【００３３】
このような無機ＥＬ素子２０においては、第１電極２１と第２電極２５との重なり合う部分が発光部２６として構成される。つまり、第１電極２１と第２電極２５との間に電圧を印加することにより、発光部２６において発光層２３が発光し、その光が第１絶縁層２２、第１電極２１およびガラス基板１０を透過して、ガラス基板１０の他面１２から取り出されるようになっている。
【００３４】
なお、電極の幅や間隔はプリンタの解像度によって決定され、例えば、６００ｄｐｉの解像度が必要な場合、第１電極２１の線幅は約４２μｍで、第２電極２５の線間隔は約４２μｍとなる。
【００３５】
さらに、本実施形態独自の構成として、ガラス基板１０の光取り出し側の面である他面１２には、レンズ作用を有するレンズ部３０がガラス基板１０と一体に設けられている。ここでは、レンズ部３０は、ガラス基板１０の他面１２をエッチングなどにて加工することにより、ガラス基板１０自体に形成されている。つまり、ガラス基板１０自体にレンズ機能を持たせている。
【００３６】
また、図１に示すように、このレンズ部３０は無機ＥＬ素子２０の一つの発光部２６に対応して一つ設けられており、一つのライン状に形成されている。また、個々のレンズ部３０の大きさは、図１（ａ）に示すように一つの発光部２６を覆うようにすればよい。
【００３７】
この図１に示すような光源１００では、上記図７に示したレンズ作用を有するマイクロレンズアレイを光源とは離れた位置に設けたものとは異なり、レンズ部３０が光源である無機ＥＬ素子２０と一体に設けられた形となる。
【００３８】
そして、レンズ部３０の形状等を調整することにより、発光素子からの光をレンズ部を通してある位置に収束させたり、あるいは図１（ｂ）中の矢印Ｙに示すように平行光としたりすることが、より光源に近い部分にて行える。そのため、無機ＥＬ素子２０の光出力が小さくてもプリンタヘッドとしての機能を満足させることができる。
【００３９】
そして、このような光源１００とすることにより、マイクロレンズアレイを用いなくても、感光体の面に正立等倍像を形成したり光を収束させることができるので、光の利用効率を増大させることができる。
【００４０】
上記図１に示す光源１００を有する本実施形態の光プリンタヘッドの構成を図２に示す。本実施形態の光プリンタヘッドでは、光源１００と潜像形成ドラム２００との間に上記マイクロレンズアレイを持たない。それにより、従来の光プリンタヘッドに比べて、光源１００と感光体である潜像形成ドラム２００との距離を近づけることができる。
【００４１】
このように、本実施形態によれば、マイクロレンズアレイを不要として小型化が図れ且つ光の利用効率を増大できる光プリンタヘッドを提供することができる。
【００４２】
また、マイクロレンズアレイを不要とできることから、部品点数が低減されてプリンタヘッドを安く作れる。また、光の利用効率も向上するので、発光部２６に印加する電圧を調整するなどにより光出力を低減することもでき、結果、ＥＬ素子２０の負荷を小さくできて信頼性を高めることも可能となる。
【００４３】
次に、本実施形態の光源１００すなわちガラス基板１０上に形成された無機ＥＬ素子２０の製造方法について述べる。なお、無機ＥＬ素子２０は通常の方法で製造できるものであるが、上記した具体的な一例に基づいて述べる。
【００４４】
まず、ガラス基板１０の一面１１上に、第１電極２１として光学的に透明であるＩＴＯ膜をスパッタ法やフォトリソグラフ技術を用いてパターニング形成する。
【００４５】
ここで、第１電極２１は光取り出し側にあるので、その透過率は７０％以上にし、１本の第１電極２１には多数の素子が形成され負荷が大きくなるので、そのシート抵抗は１０Ω／口以下にすることが望ましい。このためには、ＩＴＯ膜厚を２５０ｎｍ以上にすることが好ましい。
【００４６】
その上に、第１絶縁層２２として、ＡＴＯ膜をＡＬＥ（Ａｔｏｍｉｃ　Ｌａｙｅｒ　Ｅｐｉｔａｘｙ）法で形成する。具体的な形成方法について以下説明する。
【００４７】
まず、第１のステップとして、アルミニウム（Ａｌ）の原料ガスとして三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）、酸素（Ｏ）の原料ガスとして水（Ｈ２Ｏ）を用いて、Ａｌ２Ｏ３層をＡＬＥ法で形成する。ＡＬＥ法では１原子層ずつ膜を形成していくために、原料ガスを交互に供給する。
【００４８】
従って、この場合には、ＡｌＣｌ３をアルゴン（Ａｒ）のキャリアガスで反応炉に１秒導入した後に、反応炉内のＡｌＣｌ３ガスを排気するのに十分なパージを行う。次に、Ｈ２Ｏを同様にＡｒキャリアガスで反応炉に１秒導入した後に、反応炉内のＨ２Ｏを排気するのに十分なパージを行う。このサイクルを繰り返して所定の膜厚のＡｌ２Ｏ３層を形成する。
【００４９】
第２のステップとして、Ｔｉの原料ガスとして四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）、酸素の原料ガスとしてＨ２Ｏを用いて、酸化チタン層を形成する。
【００５０】
具体的には、第１のステップと同様にＴｉＣｌ４をＡｒキャリアガスで反応炉に１秒導入した後に、反応炉内のＴｉＣｌ４を排気するのに十分なパージを行う。次に、Ｈ２Ｏを同様にＡｒキャリアガスで反応炉に１秒導入した後に、反応炉内のＨ２Ｏを排気するのに十分なパージを行う。このサイクルを繰り返して所定の膜厚の酸化チタン層を形成する。
【００５１】
そして、上述した第１のステップと第２のステップを繰り返し、所定膜厚のＡｌ２Ｏ３／ＴｉＯ２積層構造膜を形成して、これを第１絶縁層２２とする。具体的には、Ａｌ２Ｏ３層、ＴｉＯ２層とも、１層当たりの厚さを５ｎｍとし、それぞれ３０層積層した構造とすることができる。なお、このようなＡＴＯ膜の最初の層と最後の層は、Ａｌ２Ｏ３層とＴｉＯ２層のいずれであってもよい。
【００５２】
ＡＬＥ法を用いて原子層オーダで膜を形成する場合、０．５ｎｍよりも薄い膜では絶縁体として機能せず、また１層当たりの膜厚が１００ｎｍよりも厚い場合には、積層構造による耐電圧の向上効果が低下してしまう。従って、積層構造膜の１層当たりの膜厚は０．５ｎｍから１００ｎｍ、好ましくは１ｎｍから１０ｎｍとするのがよい。
【００５３】
次に、第１絶縁層２２の上に、ＳｒＳを母体材料とし、発光中心としてＣｅを添加した硫化ストロンチウム：セリウム（ＳｒＳ：Ｃｅ）からなる発光層２３を蒸着法により形成する。
【００５４】
具体的には、所定の化学量論的組成の蒸着ペレットを作製し、そこに電子ビームを照射して成膜する。この際、所定の硫黄が膜中に含まれないこともあるので、成膜中において反応チャンバ内に、硫黄を硫化水素等のガスとして添加するようにしてもよい。
【００５５】
発光層２３の膜厚は、感光体２００の性能や所望の光出力等といったプリンタの構成要因を考慮して決めればよい。例えば、上記ＳｒＳ：Ｃｅ膜の膜厚は５００〜２０００ｎｍにすることができる。これは、５００ｎｍより薄くなると、発光に寄与しない領域が多くなり発光効率が極端に低下し、２０００ｎｍより厚くすれば応力が大きくなり、膜剥がれやクラックが生じてしまうためである。
【００５６】
次に、上述したのと同じ方法で、第２絶縁膜２４としてのＡＴＯ膜をＡＬＥ法で成膜する。最後に、第２電極２５としてＡｌ膜をスパッタ法やフォトリソグラフ技術を用いてパターニング形成する。このようにして、プリンタヘッドに使用できる無機ＥＬ素子２０を作製することができる。
【００５７】
次に、レンズ部３０の作製方法について説明する。ガラス基板１０に無機ＥＬ素子２０を完成させた完成後、該ＥＬ素子２０を保護するために、ＥＬ素子２０が形成されたガラス基板１０の一面にカバーガラスを貼り付ける。この工程は、これ以降の工程でＥＬ素子２０が損傷することがなければ、省くことが可能である。
【００５８】
その後、ガラス基板１０におけるＥＬ素子２０が形成されていない側の面である他面１２を、フッ酸を用いたウェットエッチングなどのエッチング法やブラスト法等の手法にて加工することにより、当該他面１２自体にレンズ部３０を形成する。
【００５９】
このとき、作製されたレンズ部３０は、発光部２６のより近くにあることが好ましい。つまり、ガラス基板１０を薄くして発光部２６とレンズ部３０とのガラス基板１０の厚さ方向における距離を短くすることが好ましい。
【００６０】
レンズ部３０と発光部２６とを近づけることで、▲１▼光の取り出し効率が良くなる、▲２▼隣のレンズ部３０に漏れる光量が小さくなり、クロストークの発生が抑えられる等のメリットがある。そのため、できるだけガラス基板１０は薄くするとよい。
【００６１】
特に、上記したように無機ＥＬ素子２０を保護するために、該ＥＬ素子２０が形成されたガラス基板１０の一面にカバーガラスを貼り付けた場合、ガラス基板１０の強度は貼り合わせられたカバーガラスによって確保できる。そこで、この場合には、ガラス基板１０の厚さは、０．４ｍｍ以下好ましくは０．１ｍｍ以下にまで薄くでき、それによる上記したメリットを有効に発揮できる。
【００６２】
さらに、上記図１のように、レンズ部３０を１ラインのみエッチング処理によって作製する場合には、エッチングレートを制御しにくくなるときがある。その場合には、次の図３に示すように、さらに、使用されるレンズ部３０のラインの周囲にダミーのレンズ部３０のラインを設けることで、レンズ部３０を平面上に作製すればよい。
【００６３】
さらに、レンズ部３０をガラス基板１０自体に形成した構成以外にも、ガラス基板１０の他面１２に対して別のガラスで作製されたレンズ部３０を直接貼り付けてもよい。なお、このときも、ガラス基板１０の厚みはできるだけ薄くした方がよいのは上述のとおりである。
【００６４】
このように、レンズ部３０を、ガラス基板１０に直接接続されたものとする場合、その接続は、例えばガラス基板１０及びレンズ部３０に屈折率が近い透明な接着材を用いて行う。具体的には透明な樹脂接着剤を用いてガラス基板１０とレンズ部３０とを接続することができる。
【００６５】
なお、上記図１（ａ）や図３では、無機ＥＬ素子２０における発光部２６の平面形状は正方形として示したが、レンズ部３０で所定の大きさ以内に収束できれば、第１電極２１や第２電極２５の幅などを変えて長方形などにしても良く、特に制限はない。
【００６６】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、無機ＥＬ素子２０における一つの発光部２６に一つのレンズ部３０が対応して設けられた場合を述べたが、本第２実施形態では一つの発光部２６に複数個のレンズ部３０が対応する場合について説明する。この場合も、上記第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００６７】
図４は、一つの発光部２６の大きさと一つのレンズ部３０の大きさのと関係を示す平面図であり、（ａ）は上記第１実施形態の場合、（ｂ）は本第２実施形態の場合を示している。図４（ｂ）に示す構成も、上記したガラス基板１０自体を加工したり、レンズ部３０を直接基板に接続することにより形成可能である。
【００６８】
図４（ｂ）に示すように、一つの発光部２６に対応して、複数個（図示例では３６個）のレンズ部３０がガラス基板１０の他面１２側に形成されている。このとき、一つの発光部２６に対してより多くのレンズ部３０を対応させることがでされば、発光部２６とレンズ部３０の位置合わせがほぼ不要になり、製造コストを低減できる等のメリットが出てくる。
【００６９】
（第３実施形態）
図５は本発明の第３実施形態に係る光プリンタヘッドにおける光源１００を示す図である。図１において（ａ）はガラス基板１０の他面１２側の平面図、（ｂ）は（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿った概略断面図である。
【００７０】
本実施形態では、上記第１実施形態に示した光源１００において、更に、ガラス基板１０の他面１２においてレンズ部３０の周囲に遮光性を有する遮光膜４０を設けたことを特徴とするものである。この遮光膜４０は図５（ａ）では識別のため便宜上ハッチングを施してある。
【００７１】
この遮光膜４０は、材料として樹脂膜や金属膜等を用いればよく、その製法としては全面に該材料を形成した後、これをフォトエッチングすればよい。それによれば、発光部２６から発せられた光がレンズ部３０以外の部位から漏れるのを防止することができる。そのため、プリンタにおける一つのドットの境界がぼやけずに明確化でき、解像度向上のために好ましい。
【００７２】
なお、図５では上記図１に示す構成に対して遮光膜４０を設けた例を示しているが、この遮光膜４０を設けた構成は、上記図３や図４（ｂ）に示したレンズ部３０の構成に対しても適用することができる。
【００７３】
（第４実施形態）
図６は、本発明の第４実施形態に係る光プリンタヘッドにおける光源１００’を示す概略断面図である。本実施形態においても、ガラス基板１０の一面１１側に形成された発光素子としての無機ＥＬ素子２０を光源とするものである。
【００７４】
ここで、本実施形態では、ガラス基板１０の一面１１側には、無機ＥＬ素子２０を被覆するカバーガラス５０が設けられており、このカバーガラス５０を通して無機ＥＬ素子２０における発光部２６の光が取り出されるようになっている。つまり、上記実施形態とは逆の方向から光の取り出しを行うようにしたものである。
【００７５】
このカバーガラス５０は、透明な樹脂接着剤等からなる接着剤５１によって取り付けられている。無機ＥＬ素子２０は、接着剤５１およびカバーガラス５０によって封止されることで保護された形となる。カバーガラス５０としては、無機ＥＬ素子２０から発せられる光に対して透明性を有するガラスからなる。
【００７６】
ここで、本実施形態では、カバーガラス５０から光取り出しが行われるため、無機ＥＬ素子２０が形成される基板としては、ガラス基板１０に変えてアルミナなどの絶縁性のセラミック基板を用いて良い。また、第１電極２１はＩＴＯ膜等の透明電極以外にもＡｌ膜等の金属電極でもよい。さらに、第２電極２５はＩＴＯ膜等の透明電極である必要がある。
【００７７】
このようなカバーガラス５０を有する本実施形態の光源１００’においては、カバーガラス５０の光取り出し側の面に、レンズ作用を有するレンズ部３０が一体に設けられている。
【００７８】
本実施形態においても、レンズ部３０は、上記実施形態と同様に、カバーガラス５０自体に形成されたものにしたり、カバーガラス５０に直接接続されたものにできる。また、一つの発光部２６に対応して複数個のレンズ部３０を設けたり、カバーガラス５０においてレンズ部３０の周囲に上記遮光膜を設けたものにしても良い。
【００７９】
そして、本実施形態においても、カバーガラス５０と一体にレンズ部３０を設けることにより、レンズ部３０が発光素子と一体に設けられた形となるため、上記実施形態と同様、マイクロレンズアレイを不要として小型化が図れ且つ光の利用効率を増大させた光プリンタヘッドを実現することができる。
【００８０】
（他の実施形態）
なお、レンズ部としては、ガラス基板１０やカバーガラス５０の光取り出し側の面に一体に形成されたもの以外にも、これらのガラス自体を厚さ方向にレンズ形状に加工することにより形成されたものであってもよい。
【００８１】
また、上記実施形態では、発光素子として無機ＥＬ素子２０を採用した例を述べたが、発光素子としてはそれ以外にも有機ＥＬ素子や発光ダイオード等、自発光素子を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光プリンタヘッドにおける光源を示す図である。
【図２】上記第１実施形態に係る光プリンタヘッドの構成を示す図である。
【図３】上記第１実施形態の変形例を示す平面図である。
【図４】一つの発光部の大きさと一つのレンズ部の大きさのと関係を示す図であって、（ａ）は上記第１実施形態の場合を示す平面図、（ｂ）は本発明の第２実施形態の場合を示す平面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る光プリンタヘッドにおける光源を示す図である。
【図６】本発明の第４実施形態に係る光プリンタヘッドにおける光源を示す概略断面図である。
【図７】光プリンタヘッドの一般的な構成を示す図である。
【符号の説明】
１０…ガラス基板、１１…ガラス基板の一面、１２…ガラス基板の他面、
２０…無機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子、３０…レンズ部、
４０…遮光膜、５０…カバーガラス。
【図１】
2004058448.tif 000003
【図２】
2004058448.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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