(57)【要約】　　　（修正有）【課題】表面ＳＨ波による音弾性応力測定用探蝕子と試験体の間に介在する接触媒質の影響を取り除くことができる表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及び測定用センサを提供する。【解決手段】４個の超音波受信子を同一受信子用楔部材上に直線上に配設すると共に、該受信子用楔部材は２個所に試験体に接触媒質を介して接触する超音波受信用底面を有し、該超音波受信用底面の略中央に対し超音波の臨界入射角θに略等しい角度で内側に向けて互いに対向する位置に該４個の送信子を一対宛２組を該２つの超音波受信用底面間の距離に等しい距離を隔てて配設し、該超音波送信子から超音波パルスを発射して試験体表面に表面ＳＨ波を浸入させ、該表面ＳＨ波を２個の受信子で受信しで２個の受信子に超音波パルスが到達するまでの時間差から、試験体中の表面ＳＨ波の伝播時間を測定する、表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及びこれに用いるセンサ。【選択図】　　　　図６
2004037436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
４個の超音波受信子を同一受信子用楔部材上に直線上に配設すると共に、該受信子用楔部材は、平面図上で該直線と同一直線上で互に一定距離を隔てて２個所に、試験体に接触媒質を介して密着する超音波受信用底面を有し、各該超音波受信用底面の略中央に対し超音波の臨界入射角θに略等しい角度になるように内側に向けて互いに対向する位置にそれぞれ一対の該送信子を該各底面の中央から同一距離の位置に配設し、該４個の受信子と平面図上で同一直線上で、且つ該受信子用楔部材の両側に、送信子用楔部材に固着した超音波送信子を臨界入射角θに略等しい角度で互に内側に向けて配設すると共に、該送信子用楔部材及び受信子用楔部材を試験体表面に接触媒質を介して密着させ、一方の該超音波送信子から超音波パルスを発射して試験体表面に表面ＳＨ波を侵入させ、該表面ＳＨ波を２個の受信子で受信して２個の受信子に該超音波パルスが到達するまでの時間差を求め、同様に他方の該超音波送信子から超音波パルスを発射して同様に２個の受信子に超音波パルスが到達するまでの時間差を求め、両該時間差を平均することにより、該受信子用楔部材の該底面と試験体の間に介在する接触媒質の影響を除去しつつ、試験体中の表面ＳＨ波の伝播時間を測定する、表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法。
【請求項２】
該超音波パルスの送受信をシングアラウンド法により、極めて多数回繰り返して行う請求項１記載の表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法。
【請求項３】
同一直線上に配設した４個の受信子と、平面図上で該直線と同一直線上で互に一定距離を隔てて下面の２個所に配設され、試験体に接触媒質を介して密着するさせるための超音波受信用底面を有する受信子用楔部材と、該受信子用楔部材の両側に配設するための、超音波送信子を有する２個の送信子用楔部材とからなり、該受信子は各該超音波受信用底面の略中央に対し超音波の入射角θに略等しい角度になるように内側に向けて互いに対向する位置にそれぞれ一対ずつ、該各底面の中央から同一距離の位置に配設され、該送信子は該送信子用楔部材の底面に対し入射角θに略等しい角度で配設した表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサ。
【請求項４】
該入射角θが試験体の材質に応じて、入射する超音波の屈折角が９０°となる臨界角に略等しい入射角である請求項３記載の表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及び表面ＳＨ波による応力測定に用いられる、超音波の送信子と受信子を対設した応力測定用センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
固体中を伝播する振動には、固体を構成する粒子が音の進行方向に動く縦波と、音の進行方向に対して垂直方向に振動する横波があり、更にこの横波には、固体表面に対して垂直な振動成分を有するＳＶ波と、固体表面に対して平行に振動するＳＨ波とがある。表面に沿って進行するＳＨ波を表面ＳＨ波という。
【０００３】
構造物の内部に存在する応力には、外部から加えられた負荷応力と、外部負荷を取り去ってもなお存在する残留応力とがある。残留応力は、製造工程における圧延や塑性変形、溶接、及び供用中の不等沈下や熱応力等により発生する。この残留応力と負荷応力が重畳することにより、設計以上の応力が加わり、変形や応力腐食割れ、疲労強度の低下や脆性破壊の原因となる。このため、残留応力の値を正しく評価することは、構造物の安全上非常に重要である。
【０００４】
橋梁、鉄管、鉄塔、タンク等の鋼構造物の応力を測定する方法として、鋼材内部の超音波の伝播速度が応力により変化する現象を利用して、鋼材表面に密着した超音波送信子から放射したパルス状の超音波を受信子により受信して、超音波の伝播時間を測定することにより応力を測定する音弾性測定法は、非破壊測定法であり、装置が比較的簡易であるため有効である。ところが音弾性測定では非常に高い音速測定精度が要求され、材料の製造工程で生ずる組織異方性を無視できない。そのため音弾性により応力を評価する場合、応力異方性と組織異方性の分離が問題となる。
【０００５】
この両異方性の分離を行う方法として、表面ＳＨ波を用いる方法が提案されている。この方法は原理的に、材料の組織異方性の影響を全く受けず、正確に残留応力が測定できるが、接触媒質や表面粗さ等の影響により、音速測定が困難であり、測定精度に問題がある。
【０００６】
固体内を伝播する超音波の音速が媒質の応力によって変化する現象を音弾性と言うが、表面ＳＨ波を互いに垂直な方向に伝播させて音響異方性を求めるのが表面ＳＨ波音弾性である。図１に示すように、表面ＳＨ波音弾性は、
2004037436.tif 000003
で表される。ここでΦＳは音響異方性、ＶＳ１と、７Ｓ２は偏向方向がそれぞれＸ１、Ｘ２方向の主応力、μは剛性率、σ１とσ２はそれぞれＸ１、Ｘ２方向の主応力、σ１−σ２は主応力差である。
【０００７】
この音響異方性には、組織異方性が全く関係せず、応力異方性と一対一の関係にある。このため、残留応力を測定するための最も有効な手段である。なお、この測定で得られる応力は、送受信子間隔によって多少変化するが、略適用する超音波の波長程度の深さまでの表面近傍の平均主応力差である。
【０００８】
従来の表面ＳＨ波法による応力測定に用いられるセンサは、図２及び図３に示すように超音波を発信し鋼材内に放射する送信子と、鋼材内を伝播した超音波を受信する受信子を一対にして、両者を互に一定の距離を隔てて、互に斜め内側に向き合うように振動子を対設、固定したものが用いられる。送信子及び受信子の振動子としては、それぞれ水晶をＹカットした横波用圧電素子、ＰＺＴ圧電素子その他各種セラミックスよりなる圧電素子が用いられる。
【０００９】
図２及び図３に示すように、表面ＳＨ波用の送信子４及び受信子５の圧電素子１、８は、それぞれアクリル樹脂やポリスチレン樹脂等の合成樹脂よりなる楔２、９と合成樹脂等よりなる背面材３の間に挟着して、楔２及び楔９の底部を除き送信子４及び受信子５の背部の略全体を連結部材３Ａに埋設して、送信子４又は受信子５を構成する。送信子４の圧電素子１の底面７に対する角度、即ち試験体６への超音波の入射角θは、鋼材に入射する超音波の屈折角が丁度９０度となる、臨界角に略等しい角度とし、又受信子５の圧電素子８の角度も同じ角度とするのが送・受信効率を上げるために必要である。
【００１０】
図４に示すように、送信子４の圧電素子１からアクリル樹脂やポリスチレン樹脂の楔２を介して、試験体６表面に対して平行で進行方向に垂直に振動する横波を入射すると、試験体６に入射された横波は表面ＳＨ波となり、圧電素子１の高さによるが、試験体６表面から約２０°の範囲の広がりをもって進行する横波として伝播する。
【００１１】
試験体６の表面近傍を伝播した表面ＳＨ波の一部は、受信子５の楔９の底面で屈折して、圧電素子８の方向に屈折伝播し、圧電素子８を振動させ、検出電圧を出力する。
【００１２】
上記従来の表面ＳＨ波法による応力測定において、測定の精度を上げるためには、送信子４と受信子５の中心間距離ｄを常に一定に保ち、且つ送信子４及び受信子５の底面７をそれぞれ試験体６表面に密着させる必要がある。このため送信子４及び受信子５を図２及び図３に示すように連結部材３Ａに埋設して、送信子と受信子５の間隔を常に一定不変に保ち、且つ送信子４と受信子５の底面７を完全に平面状に研磨する。
【００１３】
このようにし一体に構成した送信子４及び受信子５の底面に、粘稠液よりなる接触媒質（音響結合剤）を薄く塗布して試験体６表面に密着させ、その接触媒質の薄層を介して超音波をできるだけ効率よく伝達させる。その際に送信子４及び受信子５の底面７と試験体６表面の間の面の平行精度が数μ以内になるように、試験体６表面を平面に研磨し、大きな力で送信子４及び受信子５よりなるセンサを試験体６表面に押し付ける必要がある。
【００１４】
普通鋼の設計許容応力は１２０ＭＰａ程度であるが、鋼構造物の応力測定には１０ＭＰａ程度の測定精度が必要である。しかし試験体６の表面と送信子４及び受信子５の底面７の平面度がよくないと、送信子４及び受信子５を３ｋｇｆ以上の力で試験体６表面に押し付けても、応力の測定精度は３０〜４０ＭＰａより悪くなってしまう。試験体６表面を平面に研磨するのは極めて困難であり、又センサ全体を試験体６表面に強い力で密着させるのも容易ではない。
【００１５】
そこで本願発明者らは、試験体６表面の研磨精度をあまり上げる必要がなく、比較的弱い押圧力でセンサを試験体６表面に押し付けるだけで、送信子４と受信子５の間の距離を変えることなく、センサの送信子４及び受信子５の底面７を試験体６の表面に密着させ、比較的高精度で応力測定をすることができるセンサとして、送信子４と受信子５を例えば断面凹字状の剛性の比較的大なる弾性板よりなる連結板１０の両側面にそれぞれ固着し、送信子４及び受信子５の底面７に応力を加えることにより、両底面のなす平面が僅かに撓むことができるようにすることにより、完全な平面に研磨されていない試験体６表面にでも、センサの送信子４及び受信子５の底面７を略完全に密着させることができ、その結果応力の測定精度を容易に向上させることができることを見出し、特願平５−９８８１０（特開平６−３１３７３９、特許第２５５５５２５号）に、図５に示すような、一対の圧電素子をそれぞれ合成樹脂等の楔上に接合し、その背面にそれぞれ背面部材を接合してなる送信子及び受信子を、互に一定の距離を隔てて、該圧電素子が互いに斜め内側に向くように対向して配設した表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサにおいて、該送信子及び受信子を適度の弾性を有する連結板１０により連結して、該送信子及び受信子の該楔の底面を試験体表面に押圧したときに、該連結板１０の僅かな変形により、送信子と受信子の間の距離を変えることなく、該底面が試験体表面に沿って密着するようにした、表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサを提案した。
【００１６】
しかし、上記弾性を有する連結板１０で連結したセンサを用いても、センサと試験体６表面の間に介在させる粘度の高い接触媒質の厚み等の塗布状態が異なると音弾性測定の測定精度を上げることができない。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
従って本発明は表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサと試験体６の間に介在する接触媒質の影響を取り除くことができる表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及び測定用センサを提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明らが鋭意研究を重ねた結果、２つの超音波送信子と４つの超音波受信子よりなるセンサを用い、４つの受信子を２個の受信子を互に対向して内向きに傾けて配設したもの２組を一体の合成樹脂製等の受信子用楔部材上に一列に配設し、その受信子用楔部材と分離して、超音波送信子を備えた送信子用楔部材２つ、受信子用楔部材の両側に、且つ２つの送信子と４つの受信子が同一直線上に位置するように配設し、２つの送信子からそれぞれ発射した超音波パルスをそれぞれ２つずつの受信子で受信することより、接触媒質の影響を取り除くことができることを見出し、本発明を完成するに到った。
【００１９】
すなわち、本発明は４個の超音波受信子を同一受信子用楔部材上に直線上に配設すると共に、該受信子用楔部材は、平面図上で該直線と同一直線上で互に一定距離を隔てて２個所に、試験体に接触媒質を介して密着する超音波受信用底面を有し、各該超音波受信用底面の略中央に対し超音波の臨界入射角θに略等しい角度になるように内側に向けて互いに対向する位置にそれぞれ一対の該送信子を該各底面の中央から同一距離の位置に配設し、該４個の受信子と平面図上で同一直線上で、且つ該受信子用楔部材の両側に、送信子用楔部材に固着した超音波送信子を臨界入射角θに略等しい角度で互に内側に向けて配設すると共に、該送信子用楔部材及び受信子用楔部材を試験体表面に接触媒質を介して密着させ、一方の該超音波送信子から超音波パルスを発射して試験体表面に表面ＳＨ波を侵入させ、該表面ＳＨ波を２個の受信子で受信して２個の受信子に該超音波パルスが到達するまでの時間差を求め、同様に他方の該超音波送信子から超音波パルスを発射して同様に２個の受信子に超音波パルスが到達するまでの時間差を求め、両該時間差を平均することにより、該受信子用楔部材の該底面と試験体の間に介在する接触媒質の影響を除去しつつ、試験体中の表面ＳＨ波の伝播時間を測定する、表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法を要旨とする。
【００２０】
他の本発明は同一直線上に配設した４個の受信子と、平面図上で該直線と同一直線上で互に一定距離を隔てて下面の２個所に配設され、試験体に接触媒質を介して密着するさせるための超音波受信用底面を有する受信子用楔部材と、該受信子用楔部材の両側に配設するための、超音波送信子を有する２個の送信子用楔部材とからなり、該受信子は各該超音波受信用底面の略中央に対し超音波の入射角θに略等しい角度になるように内側に向けて互いに対向する位置にそれぞれ一対ずつ、該各底面の中央から同一距離の位置に配設され、該送信子は該送信子用楔部材の底面に対し入射角θに略等しい角度で配設した表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサ要旨とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
次に本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及び測定用センサを図面により詳細に説明する。図６は本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサの一例の正面図である。１１ａ、１１ｂは送信子、１２ａ１、１２ａ２、１２ｂ１、１２ｂ２はそれぞれ受信子であり、受信子用楔部材１３上に一列に配設されている。受信子用楔部材１３の超音波受信用の底面１４ａ、１４ｂの中心Ａ、Ｂから底面１４ａ、１４ｂに垂直に立てた垂線Ｉに対し、受信子１２ａ１と１２ｂ１及び受信子１２ａ２と１２ｂ２はそれぞれ、互いに内向き所定の入射角θだけ傾けて、対向して面対称形に配設されており、受信子１２ａ１、１２ａ２、１２ｂ１、１２ｂ２の中心から受信子の面に垂直に立てた中心線Ｊはそれぞれ底面１４ａ、１４ｂの中心Ａ、Ｂを通る位置に配設される。
【００２２】
送信子１１ａ、１１ｂはそれぞれ送信子用楔部材１５ａ、１５ｂ上に入射角θとなるように固定され、送信子用楔部材１５ａ、１５ｂは受信子用楔部材１３の両側に一定距離を隔てて配設され、送信子１１ａ、１１ｂ及び受信子１２ａ１、１２ａ２、１２ｂ１、１２ｂ２は平面図上で一直線上に並ぶように配置される。入射角θは試験体６や楔部材の材質により異なるが、鋼材の試験体６に対し、ポリスチレン樹脂の楔部材の場合は、鋼材に入射する超音波の屈折角が丁度９０度となる臨界角、２０．７°に一致させるのが好ましい。
【００２３】
送信子用楔部材１５ａ、１５ｂ及ひ受信子用楔部材１３の材質は特に制限はないが、例えばポリスチレン樹脂、アクリル樹脂等の合成樹脂製のものが好ましい。送信子１１ａ、１１ｂ及び受信子１２ａ１、１２ａ２、１２ｂ１、１２ｂ２には、例えばＰＺＴ横波用超音波送受信素子が用いられる。
【００２４】
送信子１１ａから発射されて、送信子用楔部材１５ａの底面１７ａから試験体６に入り、その表面近傍に沿って伝播した超音波の一部は受信子用楔部材１３の底面１４ａから受信子用楔部材１３に入り、受信子１２ａ１で受信され、その超音波の一部は底面１４ｂから受信子用楔部材１３に入り、受信子１２ａ２で受信される。一方送信子１１ｂから発射されて送信子用楔部材１５ｂの底面１７ｂから試験体に入射された超音波の一部は受信子用楔部材１３の底面１４ｂから受信子用楔部材１３に入り、受信子１２ｂ２で受信され、その超音波の一部は底面１４ａから受信子用楔部材１３に入り、受信子１２ｂ１で受信される。
【００２５】
受信子用楔部材１３の底面１４ａ、１４ｂと試験体６の間に介在する接触媒質１６中の伝播時間をそれぞれα、β、試験体６中のＡＢ間の伝播時間をΔＴとする。受信子用楔部材１３中の伝播時間を、Ａ点から受信子１２ａ１、１２ｂ１までの伝播時間をｔａ１、ｔｂ１、Ｂ点から受信子１２ａ２、１２ｂ２までの伝播時間をｔａ２、ｔｂ２とする。
【００２６】
送信子１１ａから発射した超音波を受信子１２ａ１、１２ａ２で受信するまでの試験体６のＡ、Ｂ間の伝播時間をΔＴａとすると、
ΔＴａ＝ｔａ２＋β−（ｔａ１＋α）　　　　　　　　　　　　　（３）
となる。
【００２７】
同様に、送信子１１ｂから発射した超音波を受信子１２ｂ１、１２ｂ２で受信するまでの試験体６のＡ、Ｂ間の伝播時間をΔＴｂとすると、
ΔＴｂ＝ｔｂ１＋α−（ｔｂ２＋β）　　　　　　　　　　　　　（４）
となる。
【００２８】
式（３）と式（４）の平均をとると、
ΔＴ＝（ΔＴａ＋ΔＴｂ）／２
＝（ｔａ２−ｔａ１＋ｔｂ１−ｔｂ２）／２　　　　　　　　（５）
となり、接触媒質１６中の伝播時間α、βを消去することができる。又、送信子用楔部材１５ａ、１５ｂと受信子用楔部材１３の間の距離も測定に影響を与えない。
【００２９】
上記の表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサにより、超音波の伝播時間△Ｔを正確に測定するには、超音波の送受信及び音速測定を公知のシングアラウンド法で行う。シングアラウンド法は、超音波の送信、受信を極めて短いサイクルで極めて多数回繰り返し、積算された伝播時間から平均伝播時間を求める方法である。例えば１０ＭＨｚのクロックカウンターを用いて１０４回繰り返し測定を行うことにより、測定時間の分解能を１０ｐｓ〜１ｎｓ程度にまで高めることができる。図７にシングアラウンド装置の一例のブロック線図を示す。
【００３０】
【実施例１】
試験体６として軟鋼ＳＳ４００から切り出した、寸法５００×６０×１０ｍｍの短軸引張り試験片を用いた。試験片表面は研磨仕上げし、送受信子と試験片の接触状態を良くした。接触媒質１６としてソニー株式会社製のソニーコートＨＮ−３０を使用した。
【００３１】
図６に示す本発明のセンサとして、受信子間距離１２ｍｍのセンサを用いて、無応力状態で音速の測定精度を評価した。最初に１分間隔で１０分間測定し、時間経過による音速の変化を調べた。測定方向は圧延方向で、シングアラウンド周期が安定してから測定を開始した。この結果を図８に示す。測定精度は３２５８．９５±０．０４ｍ／ｓとなり、時間経過による音速の変化は極めて小さかった。
【００３２】
次に音速測定の再現性を調べた。測定方法は、センサを少し動かして接触状態を変化させた後、同じ位置に戻して測定した。この作業を１０回繰り返し行った。その結果を図９及び図１０に示す。圧延方向とこれに垂直方向の音速はほぼ同じであり、表面ＳＨ波音弾性では、組織異方性の影響を受けないことが確認された。また、接触媒質の影響が残っている状態で測定した時に、式（３）、式（４）で得られた伝播時間を用いた。その精度は、それぞれ３２５５．４７±０．３７ｍ／ｓ、３２６２．１７±０．４６ｍ／ｓとなり、式（５）を用いることにより、測定精度が大幅に向上することが分かる。このことから、接触媒質の影響をほぼ取り除くことができることを確認した。
【００３３】
【実施例２】
試験片に応力を負荷した状態で応力測定を行った。応力は０から１２０ＭＰａまで変化させ、荷重方向及びこれに垂直方向の測定を行った。この結果を図１１及び図１２に示す。圧延方向及び応力方向において、両方向共、音速と応力とが線形関係にあることが確認された。
【００３４】
【発明の効果】
本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサ、及びこれを用いる音弾性測定法によれば、センサと試験体の間に介在させる必要のある接触媒質の影響をほぼ完全に取り除くことができる。その結果、音速は約±０．１ｍ／ｓ以上の精度なり、受信子間距離が約１０ｍｍの小さいセンサで主応力差を５ＭＰａ以下の誤差範囲内で測定可能となり、従来法に比較して測定精度が大幅に改善される。
【図面の簡単な説明】
【図１】表面ＳＨ波による音弾性応力測定の概念図である。
【図２】従来の表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサの平面図である。
【図３】従来の表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサの正面図である。
【図４】送信子から放射された超音波の表面ＳＨ波の伝播を示す止面断面図である。
【図５】弾性板よりなるＵ字状連結板により送受信子を連結した従来の表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサの正面図。
【図６】本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定用センサの一例の正面図である。
【図７】シングアラウンド装置の一例のブロック線図である。
【図８】本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法における、時間経過による音速の変化を示すグラフである。
【図９】本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及により測定した、試験片の圧延方向の音速測定の再現性を示すグラフである。
【図１０】本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及により測定した、試験片の圧延方向に対し垂直方向の音速測定の再現性を示すグラフである。
【図１１】本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及により測定した、試験片の荷重方向の応力に対する音速の変化を示すグラフである。
【図１２】本発明の表面ＳＨ波による音弾性応力測定方法及により測定した、試験片の荷重方向に対し垂直方向の応力に対する音速の変化を示すグラフである。
【符号の説明】
１、８　　圧電素子
２、９　　楔
３　　背面部材
３Ａ　連結部材
４　　送信子
５　　受信子
６　　試験体
７　　底面
１０　　連結板
１１ａ、１１ｂ　　送信子
１２ａ１、１２ａ２、１２ｂ１、１２ｂ２　　受信子
１３　　受信子用楔部材
１４ａ、１４ｂ　　底面
１５ａ、１５ｂ　　送信子用楔部材
１６　　接触媒質
１７ａ、１７ｂ　　底面
【図１】
2004037436.tif 000004
【図２】
2004037436.tif 000005
【図３】
2004037436.tif 000006
【図４】
2004037436.tif 000007
【図５】
2004037436.tif 000008
【図６】
2004037436.tif 000009
【図７】
2004037436.tif 000010
【図８】
2004037436.tif 000011
【図９】
2004037436.tif 000012
【図１０】
2004037436.tif 000013
【図１１】
2004037436.tif 000014
【図１２】
2004037436.tif 000015