(57)【要約】【課題】製造コストが低く、かつ、乾式エッチングに対する耐性を十分に確保すると共に、下部膜質に対する優れた接着特性を有する感光性ポリマーを提供する。【解決手段】下記化学式１で示される共重合体を含むことを特徴とする感光性ポリマーにより上記課題は解決される。【化１】2004043807.tif 000020（式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ１は水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は酸により分解可能なＣ４〜Ｃ２０の炭化水素基であり、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４である。）【選択図】　　　　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記化学式１で示される共重合体を含むことを特徴とする感光性ポリマー。
【化１】
2004043807.tif 000014
（式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ１は水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は酸により分解可能なＣ４〜Ｃ２０の炭化水素基であり、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４である。）
【請求項２】
３，０００〜５０，０００の重量平均分子量を有することを特徴とする請求項１に記載の感光性ポリマー。
【請求項３】
前記Ｒ２はｔ−ブチル基、テトラヒドロピラニル基、または１−エトキシエチル基であることを特徴とする請求項１に記載の感光性ポリマー。
【請求項４】
前記Ｒ２は脂環式炭化水素基であることを特徴とする請求項に記載１の感光性ポリマー。
【請求項５】
前記Ｒ２は２−メチル−２−ノルボルニル基、２−エチル−２−ノルボルニル基、２−メチル−２−イソボルニル基、２−エチル−２−イソボルニル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、２−メチル−２−アダマンチル基、２−エチル−２−アダマンチル基、２−プロピル−２−アダマンチル基、２−メチル−２−フェンチル基、または２−エチル−２−フェンチル基であることを特徴とする請求項４に記載の感光性ポリマー。
【請求項６】
下記化学式２で示される共重合体を含むことを特徴とする感光性ポリマー。
【化２】
2004043807.tif 000015
（式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ３は水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、ニトリル基、アルキル基、アルコキシ基、スルホン酸基、または酸により分解可能なＣ４〜Ｃ２０のエステル基であり、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．３〜０．５、ｓ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．２〜０．５である。）
【請求項７】
３，０００〜３０，０００の重量平均分子量を有することを特徴とする請求項６に記載の感光性ポリマー。
【請求項８】
前記Ｒ３はｔ−ブチルエステル基、テトラヒドロピラニルエステル基、または１−エトキシエチルエステル基であることを特徴とする請求項６に記載の感光性ポリマー。
【請求項９】
前記Ｒ３は２−メチル−２−ノルボルニルエステル基、２−エチル−２−ノルボルニルエステル基、２−メチル−２−イソボルニルエステル基、２−エチル−２−イソボルニルエステル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、２−メチル−２−アダマンチルエステル基、２−エチル−２−アダマンチルエステル基、２−プロピル−２−アダマンチルエステル基、２−メチル−２−フェンチルエステル基、または２−エチル−２−フェンチルエステル基であることを特徴とする請求項６に記載の感光性ポリマー。
【請求項１０】
下記化学式３で示される共重合体を含むことを特徴とする感光性ポリマー。
【化３】
2004043807.tif 000016
（式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ１は水素原子またはメチル基であり、Ｒ２はＣ４〜Ｃ２０の炭化水素基であり、Ｒ３は水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、ニトリル基、アルキル基、アルコキシ基、スルホン酸基、またはＣ４〜Ｃ２０のエステル基であり、Ｒ２及びＲ３のうち少なくとも一つは酸により分解可能な基を含み、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．３、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．４、ｓ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．３である。）
【請求項１１】
３，０００〜３０，０００の重量平均分子量を有することを特徴とする請求項１０に記載の感光性ポリマー。
【請求項１２】
前記Ｒ２はｔ−ブチル基、テトラヒドロピラニル基、または１−エトキシエチル基であることを特徴とする請求項１０に記載の感光性ポリマー。
【請求項１３】
前記Ｒ２は２−メチル−２−ノルボルニル基、２−エチル−２−ノルボルニル基、２−メチル−２−イソボルニル基、２−エチル−２−イソボルニル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、２−メチル−２−アダマンチル基、２−エチル−２−アダマンチル基、２−プロピル−２−アダマンチル基、２−メチル−２−フェンチル基、または２−エチル−２−フェンチル基であることを特徴とする請求項１０に記載の感光性ポリマー。
【請求項１４】
前記Ｒ３はｔ−ブチルエステル基、テトラヒドロピラニルエステル基、または１−エトキシエチルエステル基であることを特徴とする請求項１０に記載の感光性ポリマー。
【請求項１５】
前記Ｒ３は２−メチル−２−ノルボルニルエステル基、２−エチル−２−ノルボルニルエステル基、２−メチル−２−イソボルニルエステル基、２−エチル−２−イソボルニルエステル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、２−メチル−２−アダマンチルエステル基、２−エチル−２−アダマンチルエステル基、２−プロピル−２−アダマンチルエステル基、２−メチル−２−フェンチルエステル基、または２−エチル−２−フェンチルエステル基であることを特徴とする請求項１０に記載の感光性ポリマー。
【請求項１６】
（ａ）下記化学式１で示される共重合体を含む感光性ポリマーと、
【化４】
2004043807.tif 000017
（式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ１は水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は酸により分解可能なＣ４〜Ｃ２０の炭化水素基であり、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４である。）
（ｂ）ＰＡＧと、を含むことを特徴とするレジスト組成物。
【請求項１７】
前記感光性ポリマーは３，０００〜５０，０００の重量平均分子量を有することを特徴とする請求項１６に記載のレジスト組成物。
【請求項１８】
前記Ｒ２はｔ−ブチル基、テトラヒドロピラニル基、または１−エトキシエチル基であることを特徴とする請求項１６に記載のレジスト組成物。
【請求項１９】
前記Ｒ２は２−メチル−２−ノルボルニル基、２−エチル−２−ノルボルニル基、２−メチル−２−イソボルニル基、２−エチル−２−イソボルニル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、２−メチル−２−アダマンチル基、２−エチル−２−アダマンチル基、２−プロピル−２−アダマンチル基、２−メチル−２−フェンチル基、または２−エチル−２−フェンチル基であることを特徴とする請求項１６に記載のレジスト組成物。
【請求項２０】
前記ＰＡＧは前記感光性ポリマーの質量を基準に１．０〜１５質量％の量で含まれることを特徴とする請求項１６に記載のレジスト組成物。
【請求項２１】
前記ＰＡＧはトリアリールスルホニウム、ジアリールヨードニウム、スルホネートまたはその混合物よりなることを特徴とする請求項１６に記載のレジスト組成物。
【請求項２２】
有機塩基をさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載のレジスト組成物。
【請求項２３】
前記有機塩基は前記ＰＡＧ濃度を基準に０．０１〜２．０質量％の量で含まれることを特徴とする請求項２２に記載のレジスト組成物。
【請求項２４】
前記有機塩基はトリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリオクチルアミン、トリイソデシルアミン、トリエタノールアミンまたはその混合物であることを特徴とする請求項２２に記載のレジスト組成物。
【請求項２５】
（ａ）下記化学式２で示される共重合体を含む感光性ポリマーと、
【化５】
2004043807.tif 000018
（式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ３は水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、ニトリル基、アルキル基、アルコキシ基、スルホン酸基、または酸により分解可能なＣ４〜Ｃ２０のエステル基であり、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．３〜０．５、ｓ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．２〜０．５である。）
（ｂ）ＰＡＧとを含むこと、を特徴とするレジスト組成物。
【請求項２６】
前記感光性ポリマーは３，０００〜３０，０００の重量平均分子量を有することを特徴とする請求項２５に記載のレジスト組成物。
【請求項２７】
前記Ｒ３はｔ−ブチルエステル基、テトラヒドロピラニルエステル基、または１−エトキシエチルエステル基であることを特徴とする請求項２５に記載のレジスト組成物。
【請求項２８】
前記Ｒ３は２−メチル−２−ノルボルニルエステル基、２−エチル−２−ノルボルニルエステル基、２−メチル−２−イソボルニルエステル基、２−エチル−２−イソボルニルエステル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、２−メチル−２−アダマンチルエステル基、２−エチル−２−アダマンチルエステル基、２−プロピル−２−アダマンチルエステル基、２−メチル−２−フェンチルエステル基、または２−エチル−２−フェンチルエステル基であることを特徴とする請求項２５に記載のレジスト組成物。
【請求項２９】
前記ＰＡＧは前記感光性ポリマーの質量を基準に１．０〜１５質量％の量で含まれることを特徴とする請求項２５に記載のレジスト組成物。
【請求項３０】
前記ＰＡＧはトリアリールスルホニウム、ジアリールヨードニウム、スルホネートまたはその混合物よりなることを特徴とする請求項２５に記載のレジスト組成物。
【請求項３１】
有機塩基をさらに含むことを特徴とする請求項２５に記載のレジスト組成物。
【請求項３２】
前記有機塩基は前記ＰＡＧ濃度を基準に０．０１〜２．０質量％の量で含まれることを特徴とする請求項３１に記載のレジスト組成物。
【請求項３３】
前記有機塩基はトリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリオクチルアミン、トリイソデシルアミン、トリエタノールアミンまたはその混合物であることを特徴とする請求項３１に記載のレジスト組成物。
【請求項３４】
（ａ）下記化学式３で示される共重合体を含む感光性ポリマーと、
【化６】
2004043807.tif 000019
（式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ１は水素原子またはメチル基であり、Ｒ２はＣ４〜Ｃ２０の炭化水素基であり、Ｒ３は水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、ニトリル基、アルキル基、アルコキシ基、スルホン酸基、またはＣ４〜Ｃ２０のエステル基であり、Ｒ２及びＲ３のうち少なくとも一つは酸により分解可能な基を含み、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．３、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．４、ｓ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．３である。）
（ｂ）ＰＡＧとを含むこと、を特徴とするレジスト組成物。
【請求項３５】
前記感光性ポリマーは３，０００〜３０，０００の重量平均分子量を有することを特徴とする請求項３４に記載のレジスト組成物。
【請求項３６】
前記Ｒ２はｔ−ブチル基、テトラヒドロピラニル基、または１−エトキシエチル基であることを特徴とする請求項３４に記載のレジスト組成物。
【請求項３７】
前記Ｒ２は２−メチル−２−ノルボルニル基、２−エチル−２−ノルボルニル基、２−メチル−２−イソボルニル基、２−エチル−２−イソボルニル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、２−メチル−２−アダマンチル基、２−エチル−２−アダマンチル基、２−プロピル−２−アダマンチル基、２−メチル−２−フェンチル基、または２−エチル−２−フェンチル基であることを特徴とする請求項３４に記載のレジスト組成物。
【請求項３８】
前記Ｒ３はｔ−ブチルエステル基、テトラヒドロピラニルエステル基、または１−エトキシエチルエステル基であることを特徴とする請求項３４に記載のレジスト組成物。
【請求項３９】
前記Ｒ３は２−メチル−２−ノルボルニルエステル基、２−エチル−２−ノルボルニルエステル基、２−メチル−２−イソボルニルエステル基、２−エチル−２−イソボルニルエステル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、２−メチル−２−アダマンチルエステル基、２−エチル−２−アダマンチルエステル基、２−プロピル−２−アダマンチルエステル基、２−メチル−２−フェンチルエステル基、または２−エチル−２−フェンチルエステル基であることを特徴とする請求項３４に記載のレジスト組成物。
【請求項４０】
前記ＰＡＧは前記感光性ポリマーの質量を基準に１．０〜１５質量％の量で含まれることを特徴とする請求項３４に記載のレジスト組成物。
【請求項４１】
前記ＰＡＧはトリアリールスルホニウム、ジアリールヨードニウム、スルホネートまたはその混合物よりなることを特徴とする請求項３４に記載のレジスト組成物。
【請求項４２】
有機塩基をさらに含むことを特徴とする請求項３４に記載のレジスト組成物。
【請求項４３】
前記有機塩基は前記ＰＡＧ濃度を基準に０．０１〜２．０質量％の量で含まれることを特徴とする請求項４２に記載のレジスト組成物。
【請求項４４】
前記有機塩基はトリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリオクチルアミン、トリイソデシルアミン、トリエタノールアミンまたはその混合物であることを特徴とする請求項４２に記載のレジスト組成物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は感光性ポリマー及び化学増幅型レジスト組成物に係り、特にアダマンチルアルキルビニルエーテルの共重合体を含む感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程が複雑になり、半導体素子の集積度が高まるにつれて微細なパターン形成が要求されている。さらに、半導体素子の容量が１ギガビットレベル以上の素子において、デザインルールが０．２μｍ以下のパターンサイズが要求され、それにより既存のＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）を利用したレジスト材料を使用するのには限界がある。従って、新しいエネルギー露光源であるＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）を利用したリソグラフィ技術が登場した。
【０００３】
かようなＡｒＦエキシマレーザを利用したリソグラフィに使われるレジスト材料は既存のレジスト材料に比べて商用化するには多くの問題点がある。最も代表的な問題点としてポリマーの透過度及び乾式エッチングに対する耐性が挙げられる。
【０００４】
これまでに知られている従来のＡｒＦレジストとして、アクリル系またはメタクリル系ポリマーが主に使われてきた。その中で、ポリ（メタクリレート）系の高分子材料が最も普遍的に使われている。このようなポリマーの深刻な問題は、乾式エッチングに対する耐性が非常に悪いということである。すなわち、これらの材料は半導体素子製造工程中にプラズマガスを利用した乾式エッチング工程にて選択比が低すぎてエッチング工程を進め難いのである。
【０００５】
従って、乾式エッチングに対する耐性を高めるために乾式エッチングに強い耐性を有する物質の脂環式化合物、例えばイソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデカニル基などをポリマーの主鎖に導入する方法が利用されている。しかし、これらはポリマー中において脂環式基が占める割合が小さいために相変らず乾式エッチングに対する耐性が弱い。
【０００６】
また、脂環式化合物は疎水性であってポリマー構造に脂環式化合物が含まれていれば、前記のようなポリマーから得られるレジスト膜の下部膜質に対する接着特性が悪くなる。
【０００７】
他の従来技術によるポリマーとしてＣＯＭＡ（ＣｙｃｌｏＯｌｅｆｉｎ−Ｍａｌｅｉｃ　Ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）交互重合体が提案されている。ＣＯＭＡシステムのような共重合体の製造においては、原料の製造コストは低いのに反し、ポリマー製造時の合成収率が顕著に低くなる問題がある。また、短波長領域、例えば１９３ｎｍ領域にてポリマーの透過度が非常に低いという短所を有している。さらに、前記構造にて合成されたポリマーは非常に疎水性の強い脂環式基を主鎖に有しているので、膜質に対する接着特性が悪い。
【０００８】
また、前記構造を有するポリマーは主鎖の構造的特性により約２００℃以上の高いガラス転移温度を有する。その結果、前記構造のポリマーから得られるレジスト膜内に存在する自由体積を除去するためのアニーリング工程を適用し難く、従って周囲環境による影響を多く受け、例えばレジストパターンにてＴ−トッププロファイルが引き起こされることがあり、ＰＥＤ（Ｐｏｓｔ−Ｅｘｐｏｓｕｒｅ　Ｄｅｌａｙ）時にもレジスト膜の周囲雰囲気に対する安全性が低下し、前記レジスト膜を利用する工程において多くの問題点を誘発しうる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、前記の従来技術の問題点を解決しようとするところにあり、製造コストが低く、かつ、乾式エッチングに対する耐性を十分に確保すると共に、下部膜質に対する優れた接着特性を有する感光性ポリマーを提供することである。
【００１０】
本発明の他の目的は、２４８ｎｍほどのＤＵＶ（Ｄｅｅｐ　ＵＶ）領域はもとより、１９３ｎｍほどの短波長領域の光源を利用するリソグラフィ工程でも優秀なリソグラフィパフォーマンスを提供できるレジスト組成物を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の第１様態による感光性ポリマーは下記化学式１に示される共重合体を含む。
【００１２】
【化７】
2004043807.tif 000002
【００１３】
式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ１は水素原子またはメチル基であり、Ｒ２は酸により分解可能なＣ４〜Ｃ２０の炭化水素基であり、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４である。前記感光性ポリマーは３，０００〜５０，０００の重量平均分子量を有する。
【００１４】
望ましくは、前記Ｒ２はｔ−ブチル基、テトラヒドロピラニル基、または１−エトキシエチル基である。また望ましくは、前記Ｒ２は脂環式炭化水素基、例えば２−メチル−２−ノルボルニル基、２−エチル−２−ノルボルニル基、２−メチル−２−イソボルニル基、２−エチル−２−イソボルニル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル基、２−メチル−２−アダマンチル基、２−エチル−２−アダマンチル基、２−プロピル−２−アダマンチル基、２−メチル−２−フェンチル基、または２−エチル−２−フェンチル基である。
【００１５】
前記目的を達成するために、本発明の第２様態による感光性ポリマーは化学式２に示される共重合体を含む。
【００１６】
【化８】
2004043807.tif 000003
【００１７】
式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ３は水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、ニトリル基、アルキル基、アルコキシ基、スルホン酸基、または酸により分解可能なＣ４〜Ｃ２０のエステル基であり、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．３〜０．５、ｓ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．２〜０．５である。前記感光性ポリマーは３，０００〜３０，０００の重量平均分子量を有する。
【００１８】
望ましくは、Ｒ３はｔ−ブチルエステル基、テトラヒドロピラニルエステル基、または１−エトキシエチルエステル基である。また望ましくは、前記Ｒ３は２−メチル−２−ノルボルニルエステル基、２−エチル−２−ノルボルニルエステル基、２−メチル−２−イソボルニルエステル基、２−エチル−２−イソボルニルエステル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、２−メチル−２−アダマンチルエステル基、２−エチル−２−アダマンチルエステル基、２−プロピル−２−アダマンチルエステル基、２−メチル−２−フェンチルエステル基、または２−エチル−２−フェンチルエステル基である。
【００１９】
前記目的を達成するために、本発明の第３様態による感光性ポリマーは化学式３に示される共重合体を含む。
【００２０】
【化９】
2004043807.tif 000004
【００２１】
式中、ｘは１〜４の整数であり、Ｒ１は水素原子またはメチル基であり、Ｒ２はＣ４〜Ｃ２０の炭化水素基であり、Ｒ３は水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、ニトリル基、アルキル基、アルコキシ基、スルホン酸基、またはＣ４〜Ｃ２０のエステル基であり、Ｒ２及びＲ３のうち少なくとも一つは酸により分解可能な基を含み、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．３、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．４、ｓ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．３である。前記感光性ポリマーは３，０００〜３０，０００の重量平均分子量を有する。
【００２２】
前記他の目的を達成するために、本発明によるレジスト組成物は化学式１、化学式２または化学式３に示される共重合体を含む感光性ポリマーと、ＰＡＧ（Ｐｈｏｔｏａｃｉｄ　Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ：光酸発生剤）と、を含む。
【００２３】
望ましくは、前記ＰＡＧは前記感光性ポリマーの質量を基準に１．０〜１５質量％の量で含まれる。前記ＰＡＧは、例えばトリアリールスルホニウム、ジアリールヨードニウム、スルホネートまたはその混合物よりなる。
【００２４】
本発明によるレジスト組成物は有機塩基をさらに含みうる。前記有機塩基は前記ＰＡＧ濃度を基準に０．０１〜２．０質量％の量で含まれることが望ましい。前記有機塩基は、例えばトリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリオクチルアミン、トリイソデシルアミン、トリエタノールアミンまたはその混合物よりなる。
【００２５】
本発明による感光性ポリマーは、アダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーと無水マレイン酸との共重合体から得られ、下部膜質に対して優れた接着力を提供できると共に乾式エッチングに対する耐性に優れるレジスト組成物が得られる。また、本発明による感光性ポリマーは既存のレジスト製造のためのポリマー材料に比べてバックボーン構造が非常に柔軟なために、相対的に低いガラス転移温度を有する。従って、これにより得られるレジスト組成物をフォトリソグラフィ工程に適用した場合に、非常に優れたリソグラフィパフォーマンスが得られる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による感光性ポリマーおよびこれを含む化学増幅型レジスト組成物について説明する。
【００２７】
本発明の感光性ポリマーは、下記化学式１によって表わされる。
【００２８】
【化１０】
2004043807.tif 000005
【００２９】
式中、ｘは１〜４の整数である。ｘが１未満だと感光性ポリマーのガラス転移温度が所望の値（１５０〜１８０℃）より高くなる恐れがあり、４を超えると感光性ポリマーのガラス転移温度が所望の値より低くなる恐れがあるため、上記範囲が望ましい。
【００３０】
Ｒ１は、水素原子またはメチル基である。
【００３１】
Ｒ２は、酸により分解可能なＣ４〜Ｃ２０の炭化水素基である。前記炭化水素基として、望ましくは、ｔ−ブチル基、テトラヒドロピラニル基、または１−エトキシエチル基、が挙げられる。
【００３２】
また、Ｒ２は、脂環式炭化水素基であってもよい。望ましくは、２−メチル−２−ノルボルニル、２−エチル−２−ノルボルニル、２−メチル−２−イソボルニル、２−エチル−２−イソボルニル、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニル、２−メチル−２−アダマンチル、２−エチル−２−アダマンチル、２−プロピル−２−アダマンチル、２−メチル−２−フェンチル、または２−エチル−２−フェンチル基などの脂環式炭化水素基が挙げられる。
【００３３】
また前記感光性ポリマーにおいて、樹脂の接着特性および溶解度特性の観点から、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ）＝０．１〜０．４である。ｐ、ｑ、および、ｒは、それぞれ１種単独でもよく、２種以上の単量体からなってもよい。ｐ、ｑ、および、ｒの合計量がそれぞれ上記範囲に含まれればよい。
【００３４】
前記ポリマーの重量平均分子量は、３，０００〜５０，０００が望ましい。重量平均分子量が３，０００以上であるとガラス転移点（Ｔｇ）が上がり溶解度特性が向上し、５０，０００以下であると樹脂の接着特性および溶解度特性が向上するため、上記範囲が望ましい。
【００３５】
また、本発明の感光性ポリマーは、下記化学式２で表わされる。
【００３６】
【化１１】
2004043807.tif 000006
【００３７】
式中、ｘは１〜４の整数である。ｘが１未満だと感光性ポリマーのガラス転移温度が所望の値（１５０〜１８０℃）より高くなる恐れがあり、４を超えると感光性ポリマーのガラス転移温度が所望の値より低くなる恐れがあるため、上記範囲が望ましい。
【００３８】
Ｒ３は、水素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、ニトリル基、アルキル基、アルコキシ基、スルホン酸基、またはＣ４〜Ｃ２０の酸により分解可能なエステル基である。
【００３９】
Ｒ３は、望ましくは、ｔ−ブチルエステル基、テトラヒドロピラニルエステル基、または１−エトキシエチルエステル基などのＣ４〜Ｃ２０の酸により分解可能なエステル基である。より望ましくは、Ｒ３は、２−メチル−２−ノルボルニルエステル基、２−エチル−２−ノルボルニルエステル基、２−メチル−２−イソボルニルエステル基、２−エチル−２−イソボルニルエステル基、８−メチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、８−エチル−８−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルエステル基、２−メチル−２−アダマンチルエステル基、２−エチル−２−アダマンチルエステル基、２−プロピル−２−アダマンチルエステル基、２−メチル−２−フェンチルエステル基、または２−エチル−２−フェンチルエステル基などが挙げられる。
【００４０】
前記感光性ポリマーにおいて、下部膜式への優れた接着性および溶解度特性の観点から、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．１〜０．４、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．３〜０．５、ｓ／（ｐ＋ｑ＋ｓ）＝０．２〜０．５である。ｐ、ｑ、および、ｓは、それぞれ１種単独でもよく、２種以上の単量体からなってもよい。ｐ、ｑ、および、ｓの合計量がそれぞれ上記範囲に含まれればよい。
【００４１】
前記ポリマーの重量平均分子量は、３，０００〜３０，０００が望ましい。重量平均分子量が３，０００以上であるとガラス転移点（Ｔｇ）が上がり溶解度特性が向上し、３０，０００を以下だと樹脂の接着特性および溶解度特性が向上するため、上記範囲が望ましい。
【００４２】
さらに、本発明の感光性ポリマーは、下記化学式３で表わされる。
【００４３】
【化１２】
2004043807.tif 000007
【００４４】
ここで、Ｒ１、Ｒ２、および、Ｒ３は、上述したのと同様であるため、ここではその説明を省略する。
【００４５】
式中、ｘは１〜４の整数である。ｘが１未満だと感光性ポリマーのガラス転移温度が所望の値（１５０〜１８０℃）より高くなる恐れがあり、４を超えると感光性ポリマーのガラス転移温度が所望の値より低くなる恐れがあるため、上記範囲が望ましい。
【００４６】
前記感光性ポリマーにおいて、下部膜式への優れた接着性および溶解度特性の観点から、ｐ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．３、ｑ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．２〜０．５、ｒ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．４、ｓ／（ｐ＋ｑ＋ｒ＋ｓ）＝０．１〜０．３である。ｐ、ｑ、ｒ、および、ｓは、それぞれ１種単独でもよく、２種以上の単量体からなってもよい。ｐ、ｑ、ｒ、および、ｓの合計量がそれぞれ上記範囲に含まれればよい。
【００４７】
前記ポリマーの重量平均分子量は、３，０００〜３０，０００が望ましい。重量平均分子量が３，０００以上であるとガラス転移点（Ｔｇ）が上がり溶解度特性が向上し、３０，０００以下だと樹脂の接着特性および溶解度特性が向上するため、上記範囲が望ましい。
【００４８】
上記化学式１〜３により示される本発明による感光性ポリマーは、アダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーをその基本構造とする。本発明において、アダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーとは、アダマンチル基とビニルエーテル基との間にＣ１〜Ｃ４の線型メチレン基を有する化合物を意味する。かような構造を有する本発明の感光性ポリマーから得られるレジスト組成物は、既存のレジスト材料に比べて乾式エッチング特性に非常に優れ、さらには、下部膜質に対して優れた接着力を有するものである。
【００４９】
また、上記化学式１〜３により示される本発明による感光性ポリマーは、アダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーユニットに含まれているアルキル鎖により柔軟性が与えられる。従って、本発明による感光性ポリマーは主鎖の構造が非常に柔軟なために、相対的に低いガラス転移温度を有している。
【００５０】
次に、本発明による化学増幅型レジスト組成物について説明する。
【００５１】
本発明によるレジスト組成物は上記化学式１〜３で示される共重合体を含む感光性ポリマーと、ＰＡＧと、を含む。
【００５２】
望ましくは、ＰＡＧは前記感光性ポリマーの質量を基準に１．０〜１５質量％の量で含まれる。ここでＰＡＧの含有量が１質量％以上であると感度が向上して解像度が上がり、また、１５質量％以下だと透過度特性及び溶解度特性が向上するため上記範囲が望ましい。
【００５３】
ＰＡＧとしては、無機オニウム塩または有機スルホネートが単独にまたは２種以上が混合されたものを使用できる。例えば、トリアリールスルホニウムトリプレート、ジアリールヨードニウムトリプレート、トリアリールスルホニウムノナプレート、ジアリールヨードニウムノナプレート、スクシンイミジルトリプレート、２，６−ジニトロベンジルスルホネートなどのＰＡＧが挙げられ、望ましくはトリアリールスルホニウム、ジアリールヨードニウム、スルホネート、および、これらの混合物が挙げられる。
【００５４】
本発明によるレジスト組成物は、さらに、有機塩基を含みうる。前記有機塩基は前記ＰＡＧ濃度を基準に０．０１〜２．０質量％の量で含まれることが望ましい。ここで、有機塩基の含有量が、０．０１質量％未満であると、フォトレジストが環境に敏感になる虞があり、例えばＴ−トッププロファイル減少が発生する虞があるため望ましくない。また、２．０質量％を超えると、感度の低下や解像度の劣化が発生する虞があるため望ましくない。
【００５５】
前記有機塩基としては、アミン類よりなる有機塩基を用いることが望ましく、例えば、トリエチルアミン、トリイソブチルアミン、トリオクチルアミン、トリイソデシルアミン、トリエタノールアミン、またはその混合物などが挙げられる。
【００５６】
有機塩基は、露光後、露光部に発生した酸が非露光部に拡散し、非露光部を構成するフォトレジスト組成物をも加水分解して、パターンを変形させる問題点を防止するために添加される。
【００５７】
本発明による感光性ポリマーに用いられるモノマーの合成方法としては、各種公知技術を用いて合成してもよく、市販のものを用いてもよい。
【００５８】
例えば、１−アダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーの合成方法としては、アルキルビニルエーテル化合物を、酢酸水銀などの有機溶媒の存在下において、１−アダマンタンエタノールなど付加させたい化合物と還流条件下で反応させた後、真空蒸留などにより反応結果物から所望するモノマーの生成物を分離する方法である。
【００５９】
本発明による感光性ポリマーは、無水マレイン酸のような電子吸引特性を有するモノマーと、交互共重合体の形成が容易な所望のビニルエーテル化合物との重合により得られる。
【００６０】
重合体の重合方法としては、各種公知技術を用いた方法を使用でき、例えば、無水ジオキサン、ＴＨＦ（ＴｅｔｒａＨｙｄｒｏＦｕｒａｎ）などの有機溶媒に、上記式（１）において、ビニルエーテル化合物、無水マレイン酸などの所望のモノマーをｐ：ｑ：ｒが上述の範囲になるような量で溶解し、ＡＩＢＮ（ａｚｏｂｉｓｉｓｏｂｕｔｙｒｏｎｉｔｒｉｌｅ）などの重合開始剤を添加することにより重合を行い、窒素ガスなどの不活性ガスなどにでパージした後に、適切な条件下で重合反応を行う方法である。その後、得られた反応物を過量の用場（例えば、イソプロピルアルコール）などに滴下して沈殿させ、任意の方法により精製して目的のポリマーを分離する。
【００６１】
本発明によるレジスト組成物の製造方法としては下記の方法が挙げられる。
【００６２】
まず、上述した感光性ポリマーを、ＰＡＧと共に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルラクテート、シクロヘキサノン等の溶剤に溶かしてレジスト溶液を作る。
【００６３】
前記レジスト溶液に、必要な場合アミン類よりなる有機塩基をＰＡＧの重量を基準に約０．０１〜２．０質量％の量で添加する。
【００６４】
また、レジスト膜の全体的な溶解速度を調節するために溶解抑制剤を前記ポリマーの質量を基準に約５〜２５質量％の量で添加してもよい。
【００６５】
次に、リソグラフィ工程を進めるために、前記レジスト溶液を０．２μｍメンブレンフィルタなどにより、ろ過を行いレジスト組成物を得る。
【００６６】
上述した方法により得られたレジスト組成物を利用して、所望のパターンを形成するために次のような工程が利用され得る。
【００６７】
ベアシリコンウェーハまたは上面にシリコン酸化膜、シリコン窒化膜またはシリコン酸化窒化膜のような下部膜質が形成されているシリコンウェーハを準備し、前記シリコンウェーハをＨＭＤＳ（ｈｅｘａｍｅｔｈｙｌｄｉｓｉｌａｚａｎｅ）で処理する。その後、前記シリコン酸化膜上に前記レジスト組成物を約０．３μｍの厚さにコーティングしてレジスト膜を形成する。
【００６８】
前記レジスト膜が形成された前記シリコンウェーハを約１２０〜１４０℃の温度範囲にて６０〜９０秒間ほどプレベーキングして溶剤を除去し、さまざまな露光源、例えばＫｒＦまたはＡｒＦのようなＤＵＶ、ＥＵＶ（Ｅｘｔｒｅｍｅ　ＵＶ）、Ｅビーム、またはＸ線を利用して露光した後、前記レジスト膜の露光領域にて化学反応を起こさせるために、１１０〜１４０℃ほどの温度範囲にて６０〜９０秒ほどＰＥＢ（露光後焼成；Ｐｏｓｔ−Ｅｘｐｏｓｕｒｅ　Ｂａｋｉｎｇ）を行う。
【００６９】
この時、前記レジスト膜の露光部では、ほとんど２．３８質量％ＴＭＡＨ（Ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ　Ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）溶液などの現像液に非常に大きな溶解度特性を示すため、現像時によく溶解し除去される。使われた露光源がＡｒＦエキシマレーザの場合、８〜２５ｍＪ／ｃｍ２ほどのドーズにて１２０〜１４０ｎｍのラインアンドスペースパターンを形成できる。
【００７０】
前述のような工程から得られたレジストパターンをマスクとして使用し、特定のエッチングガス、例えば、ハロゲンガスまたはＣｘＦｙガスなどのプラズマを使用して、シリコン酸化膜のような前記下部膜質をエッチングする。次に、ストリッパを使用して、ウェーハ上に残っているレジストパターンを除去し、所望のシリコン酸化膜パターンを形成する。
【００７１】
上述した通り、本発明による感光性ポリマーは、アダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーと無水マレイン酸との共重合体から得られ、下部膜質に対して優れた接着力を提供できると共に、乾式エッチングに対する耐性に優れるレジスト組成物が得られる。また、本発明による感光性ポリマーは既存のレジスト製造のためのポリマー材料に比べて主鎖の構造が非常に柔軟なために、相対的に低いガラス転移温度を有する。従って、これから得られるレジスト組成物をフォトリソグラフィ工程に適用すると、非常に優れたリソグラフィパフォーマンスが得られる。
【００７２】
【実施例】
合成例１
１−アダマンチルエチルビニルエーテルの合成
【００７３】
【化１３】
2004043807.tif 000008
【００７４】
１−アダマンタンエタノール（３６ｇ，０．２ｍｏｌ）とエチルビニルエーテル（７２ｇ，１．０ｍｏｌ）とを丸底のフラスコに入れてＴＨＦ（１００ｍＬ）に溶解した後、そこに酢酸水銀（５ｍｏｌ％）を共に入れた。その後、前記反応物を還流条件下で約１２時間反応させた。
【００７５】
反応が終わった後、反応結果物から真空蒸留を利用して所望のモノマー生成物を得た（収率５０％）。
【００７６】
１Ｈ−ＮＭＲ（ｐｐｍ、ＣＤＣｌ３）；１．４〜２．２（１７Ｈ）、３．８（２Ｈ、ｍ）、４．０（１Ｈ、ｍ）、４．２（１Ｈ、ｍ）、６．４（１Ｈ、ｍ）
合成例２
１−アダマンチルメチルビニルエーテルの合成
１−アダマンタンエタノールの代わりに１−アダマンタンメタノールを利用して合成例１と同じ方法で所望のモノマー生成物を得た（収率４０％）。
【００７７】
実施例１
感光性ポリマーの合成
【００７８】
【化１４】
2004043807.tif 000009
【００７９】
合成例１にて合成したモノマー（２．０ｇ、１０ｍｍｏｌ）、無水マレイン酸（１．０ｇ、１０ｍｍｏｌ）、そして２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート（２．４ｇ、１０ｍｍｏｌ）をＡＩＢＮ（０．１５ｇ、３ｍｏｌ％）と共にＴＨＦ（１０ｇ）に溶解した後、窒素ガスを利用してパージさせた。その後、６５℃の温度にて約２０時間、重合させた。
【００８０】
重合が終わった後、反応物を過量のイソプロピルアルコールに徐々に滴下して沈殿させ、生成された沈殿物を濾過した後、もう一度沈殿物を適当量のＴＨＦに溶解して、ｎ−ヘキサン中に再沈殿させた。その後、得られた沈殿物を５０℃に保持される真空オーブン内で約２４時間乾燥し、前記構造式のようなターポリマーを回収した（収率７０％）。
【００８１】
この時、得られた生成物の重量平均分子量（Ｍｗ）は９，７００であり、多分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は１．７であった。
【００８２】
実施例２
感光性ポリマーの合成
【００８３】
【化１５】
2004043807.tif 000010
【００８４】
合成例１にて合成したモノマー（２．０ｇ、１０ｍｍｏｌ）、無水マレイン酸（１．０ｇ、１０ｍｍｏｌ）、そして２−メチル−２−アダマンチルアクリレート（２．２ｇ、１０ｍｍｏｌ）をＡＩＢＮ（３ｍｏｌ％）と共にＴＨＦ（１０ｇ）に溶かした後、実施例１と同じ方法で重合して前記構造式のようなターポリマーを回収した（収率６８％）。
【００８５】
この時、得られた生成物の重量平均分子量は１０，７００であり、多分散度は１．９であった。
【００８６】
実施例３
感光性ポリマーーの合成
【００８７】
【化１６】
2004043807.tif 000011
【００８８】
合成例１にて合成したモノマー（２．０ｇ、１０ｍｍｏｌ）、無水マレイン酸（２．０ｇ、２０ｍｍｏｌ）、そして５−ノルボルネン−２−カルボキシレート（２．０ｇ、１０ｍｍｏｌ）をＡＩＢＮ（３ｍｏｌ％）と共にＴＨＦ（１２ｇ）に溶かした後、実施例１と同じ方法で重合して前記構造式のようなターポリマーを回収した（収率５５％）。
【００８９】
この時、得られた生成物の重量平均分子量は８，６００であり、多分散度は１．９であった。
【００９０】
実施例４
感光性ポリマーの合成
【００９１】
【化１７】
2004043807.tif 000012
【００９２】
合成例１にて得られたモノマー（２．０ｇ、１０ｍｍｏｌ）、無水マレイン酸（１．５ｇ、１５ｍｍｏｌ）、ノルボルネン（０．５ｇ、５ｍｍｏｌ）、そして２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート（３．５ｇ、１５ｍｍｏｌ）をＡＩＢＮ（３ｍｏｌ％）と共にＴＨＦ（１５ｇ）に溶解した後、実施例１と同じ方法で重合して、前記構造式のようなテトラポリマーを回収した（収率７０％）。
【００９３】
この時、得られた生成物の重量平均分子量は９，８００であり、多分散度は１．８であった。
【００９４】
実施例５
レジスト組成物の製造及びリソグラフィパフォーマンス
実施例１〜４にて合成した感光性ポリマー（１ｇ）をそれぞれトリフェニルスルホニウム（ＴＰＳ）トリプレート、ＴＰＳノナプレート、またはそれらの混合物よりなるＰＡＧと共に、シクロヘキサン（８ｇ）に溶解した後、ここに有機塩基のトリイソオクチルアミン（２ｍｇ）またはトリイソブチルアミン（２ｍｇ）を入れて完全に溶解した。その後、０．２μｍのメンブレンフィルタを利用してレジスト溶液を濾過してレジスト組成物を得た。
【００９５】
前記レジスト組成物をＨＭＤＳ処理したベアシリコンウェーハ上に０．３μｍの厚さにコーティングした後、表１にそれぞれ示された温度及び時間条件によりプレベーキング（ＳＢ：Ｓｏｆｔ　Ｂａｋｉｎｇ）し、ＡｒＦステッパ（０．６ＮＡ、σ＝０．７５）を利用して露光した。次に、表１にそれぞれ示された温度及び時間条件によりＰＥＢ（露光後焼成；Ｐｏｓｔ−Ｅｘｐｏｓｕｒｅ　Ｂａｋｉｎｇ）を実施した後、２．３８ｗｔ％のＴＭＡＨ溶液で６０秒間現像した。その結果、得られた解像度を表１に示した。
【００９６】
表１にて、実施例５−１の場合は有機塩基としてトリイソオクチルアミンを使用し、実施例５−２ないし実施例５−８の場合は有機塩基としてトリイソブチルアミンを使用した。
【００９７】
【表１】
2004043807.tif 000013
【００９８】
表１から分かるように、それぞれの場合いずれも１１〜１７ｍＪ／ｃｍ２のドーズにて１２０〜１４０ｎｍのきれいなラインアンドスペースパターンが得られた。
【００９９】
以上、本発明を望ましい実施例を挙げて詳細に説明したが、本発明は前記実施例に限定されず、本発明の技術的思想範囲内で当分野にて当業者によりさまざまな変形が可能である。
【０１００】
【発明の効果】
本発明による感光性ポリマーは無水マレイン酸のような電子吸引特性を有するモノマーとの重合において、交互共重合体形成が容易なビニルエーテル化合物から得られる。特に、本発明による感光性ポリマーはアダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーをその基本構造とする。アダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーはＣ１〜Ｃ４の線型メチレン基よりなる化合物である。本発明による感光性ポリマーから得られるレジスト組成物は既存のレジスト材料に比べて乾式エッチング特性に非常に優れ、下部膜質に対して優秀な接着力を提供できる。
【０１０１】
また、本発明による感光性ポリマーはアダマンチルアルキルビニルエーテルモノマーユニットに含まれているアルキル鎖により柔軟性が与えられる。従って、本発明による感光性ポリマーは主鎖の構造が非常に柔軟なために相対的に低いガラス転移温度を有している。従って、本発明による感光性ポリマーより製造されたレジスト膜はベーキング工程時における十分なアニーリング効果により、前記レジスト膜内の自由体積が減少し、ゆえに、ＰＥＤ時にもレジスト膜の周囲雰囲気に対する安定性が向上する。従って、本発明によるレジスト組成物をフォトリソグラフィ工程に適用する時に非常に優れたリソグラフィパフォーマンスを示すことにより、今後次世代半導体素子を製造するにあたって非常に有用に使われ得る。