(57)【要約】【課題】紫外線硬化型粘着剤によりウェーハに貼着された支持体の搬送中の剥離を防止することが出来る半導体ウェーハ収納用容器を提供する。【解決手段】紫外線硬化型粘着剤により支持体が貼着された肉薄のウェーハ２が収納される容器本体１１と蓋体１２とからなり、波長が５００ｎｍ以下の光線を遮断するようなされている。【選択図】　　図１
2004015010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線硬化型粘着剤により支持体が貼着された肉薄のウェーハが収納される容器本体と蓋体とからなり、波長が５００ｎｍ以下の光線の透過を遮断するようなされていることを特徴とする半導体ウェーハ収納用容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェーハ収納用容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体素子は、ウェーハ（基板）表面の熱酸化工程、イオン注入による不純物添加、拡散工程、ＣＶＤ法もしくはスパッタ堆積法による薄膜形成工程、写真技術を使ってレジスト表面にパターンを写し込むリソグラフィ工程、薄膜の不必要な部分を除去するエッチング工程、裏面を研削するバックグラインド工程等を経て製造される。
【０００３】
各工程間の搬送時に汚損されるのを防止する為に、ウェーハは並設された隔壁により多数の独立した区画に分離された非導電性のカセットに複数枚収納された後、更に非導電性の蓋付収納用容器に収納されて搬送される。
【０００４】
バックグラインド工程で裏面を研削されて肉薄となされたウェーハは、搬送中に反り、割れが発生し易くなるので、表面に熱、紫外線等で硬化して粘着力を失う粘着剤で保護部材（支持体）を貼着して裏面を研削し、次工程に搬送後に支持体を除去することにより、反り等の不良発生を防止することは、特開平１０−９２７７６号公報に示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、紫外線硬化型粘着剤で支持体を貼着したウェーハは、搬送中に収納容器内部に透過された紫外線によって粘着力が低下し、支持体が剥離されてしまい、反り等の不良を生じることがあるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点を解消し、紫外線硬化型粘着剤によりウェーハに貼着された支持体の搬送中の剥離を防止することが出来る半導体ウェーハ収納用容器を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体ウェーハ収納用容器は、紫外線硬化型粘着剤により支持体が貼着された肉薄のウェーハが収納される容器本体と蓋体とからなり、波長が５００ｎｍ以下の光線の透過を遮断するようなされていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の半導体ウェーハ収納用容器に於いて、容器本体及び蓋体の材質は、特に限定されず、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）等の硬質熱可塑性樹脂が挙げられ、蓋体は容器本体から分離可能となされていても、容器本体に枢着もしくは軸着されていてもよい。
【０００９】
波長が５００ｎｍ以下の光線の透過を遮断する手段は、特に限定されず、例えば、容器本体及び蓋体の原料樹脂に紫外線吸収剤もしくは紫外線散乱剤を添加しても、容器本体及び蓋体の表面に紫外線吸収層を設けても、何れでもよい。
【００１０】
原料樹脂に添加される紫外線吸収剤としては、特に限定されず、例えば、ｐ−アミノ安息香酸、グリセリルｐ−アミノベンゾエート、イソアミルｐ−ジメチルアミノベンゾエート、２−エチルヘキシル−４−ジメチルアミノベンゾエート、エチル−ｐ−アミノベンゾエート等のｐ−アミノ安息香酸系紫外線吸収剤、２−エトキシエチル−ｐ−メトキシシンナメート、エチルヘキシル−ｐ−メトキシシンナメート、ジ−イソプロピルエチルシンナメート、ジ−イソプロピルメチルシンナメート、グリセリルオクタノエートジ−ｐ−メトキシシンナメート、イソプロピルメトキシシンナメート、ｐ−イソプロピルメトキシシンナメート・ジ−イソプロピルシンナメートエステル混合物、カリウムｐ−メトキシシンナメート等の桂皮酸系紫外線吸収剤、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン−５−スルホン酸（トリ−ハイドレート）、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２，２’−ジヒドロキシ−４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、二ナトリウム−２，２’−ジヒドロキシ−４，４’−ジメトキシ−５，５’−ジスルホベンゾフェノン、２，２’−４，４’−テトラオキシベンゾフェノン、ナトリウムヒドロキシメトキシベンゾフェノンスルホネート等のベンゾフェノン系紫外線吸収剤、ジプロピレングリコールサリチレート、２−エチルヘキシルサリチレート、３，３，５−トリメチル−シクロヘキシルサリチレート等のサリチル酸系紫外線吸収剤等が挙げられる。
【００１１】
原料樹脂に添加される紫外線散乱剤としては、特に限定されず、例えば、二酸化チタンや酸化亜鉛の微粉末が挙げられる。紫外線吸収剤もしくは紫外線散乱剤の添加量は、容器の肉厚に反比例して決定され特に限定されない。
【００１２】
容器本体及び蓋体の表面に紫外線吸収層を設ける手段は、特に限定されず、例えば、紫外線吸収剤もしくは紫外線散乱剤を含有する塗料等を塗装しても、紫外線吸収剤もしくは紫外線散乱剤を含有する熱可塑性樹脂フィルムで被覆しても、何れでもよい。
【００１３】
本発明の半導体ウェーハ収納用容器に於いて、ウェーハに紫外線硬化型粘着剤により貼着された支持体の材質は、波長５００ｎｍ以下の光線を一部もしくは全領域透過することが出来、ウェーハの変形防止に充分な強度を有していれば特に限定されず、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）等の硬質熱可塑性樹脂、ガラス等のセラミックスが挙げられる。
【００１４】
本発明の半導体ウェーハ収納用容器に於いて、複数枚のウェーハが収納される、並設された隔壁により多数の区画に分離された非導電性のカセットの材質は、特に限定されず、例えば、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等の硬質熱可塑性樹脂が挙げられる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の半導体ウェーハ収納用容器の１例を示す断面図、図２は図１に示されている本発明の半導体ウェーハ収納用容器に収納されている半導体ウェーハの断面図である。
【００１６】
図１に於いて、１は容器本体１１と蓋体１２とからなる半導体ウェーハ収納用容器である。容器本体１１と蓋体１２とは、波長が５００ｎｍ以下の光線の透過を遮断する紫外線吸収剤が添加されたポリプロピレンにより成形されており、蓋体１２は容器本体１１に分離可能に嵌着されている。
【００１７】
２は、図２に示されているように、表面に紫外線硬化型粘着剤３により平板状のポリプロピレン製支持体４が貼着されたウェーハであって、ウェーハ２はバックグラインド工程により裏面が研削されて肉薄となされている。
【００１８】
５は並設された隔壁により２５の区画に分離された非導電性のカセットであって、ＰＦＡにより成形されている。カセット５の夫々の区画には２５枚のウェーハ２が互いに接触しないよう収納された後、その儘半導体ウェーハ収納用容器１に収納されて次の工程に搬送される。
【００１９】
【発明の効果】
本発明の半導体ウェーハ収納用容器は、叙上の通り構成されているので、搬送中に収納容器内部に透過された紫外線によって粘着力が低下して、紫外線硬化型粘着剤によりウェーハに貼着された支持体が剥離するのを防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体ウェーハ収納用容器の１例を示す断面図。
【図２】図１に示されている本発明の半導体ウェーハ収納用容器に収納されている半導体ウェーハの断面図。
【符号の説明】
１　半導体ウェーハ収納用容器
２　　ウェーハ
３　紫外線硬化型粘着剤
４　支持体
５　カセット
１１　容器本体
１２　　蓋体
【図１】
2004015010.tif 000003
【図２】
2004015010.tif 000004