(57)【要約】【課題】複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使い被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、原パターン記載の原ガラスと被転写ガラスとの位置決めと微調整を１個の部材で精度良く安価で確実に行う位置決め構造を提供する。【解決手段】スライド面を持つ固定台と、原パターンが記載された１個の原ガラス又は異なる原パターンが記載された二つの原ガラスを固定し、該固定台上に搭載して左右の転写位置にスライドして原パターンを被転写ガラスに重ね合せる可動台と、原ガラス及び被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する該可動台及び該固定台の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、位置決めする各収納部とを備える。【選択図】　図２
2004037658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、
スライド面を持つ固定台と、
原パターンが記載された１個の原ガラス又は異なる原パターンが記載された二つの原ガラスを固定し、該固定台上に搭載して該スライド面をスライドして原パターンを左右の転写位置において被転写ガラスと重ね合わせる可動台と、
原ガラスを３個の支持ピンで該スライド面に対向する該可動台の面に対して平行に保持するとともに原ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する該可動台の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、原ガラスを該可動台に位置決めする原ガラス収納部と、
被転写ガラスを３個の支持ピンで該スライド面に対して平行に保持するとともに被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する該固定台の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、被転写ガラスを該固定台に位置決めする被転写ガラス収納部とを備える、
ことを特徴とする露光装置の位置決め構造。
【請求項２】
前記位置決め構造は、
前記原ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを前記原ガラス収納部に設けて、原ガラスを前記可動台に固定する手段と、
前記被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを被転写ガラス収納部に設けて、被転写ガラスを前記固定台に固定する手段とを有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置の位置決め構造。
【請求項３】
前記位置決め構造は、
被転写ガラスを保持する前記支持ピンが吸引パイプを内蔵する場合、又は／及び原ガラスを保持する前記支持ピンが吸引パイプを内蔵する場合に、被転写ガラス、又は／及び原ガラスを吸引パイプによる吸引にて固定可能とする手段を有する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置の位置決め構造。
【請求項４】
前記位置決め構造は、
前記固定台に設けたスライド面から立ち上がりスライド方向に沿った基準となる主側壁面を備えるとともに、該主側壁面に対向する位置に従側壁面を備え、
前記可動台は該従側壁面の押付けを行う付圧ピンを該従側壁面に対向する側に備えるとともに、上下１対の突当て突起を該主側壁面に対向する側の略両端に備え、
前記固定台は左右の各転写位置で前記可動台の略両端に設ける上下１対の該突当て突起が上側又は下側のどちらか一方の側だけ該主側壁面に当接するように該主側壁面に溝を備える、
ことを特徴とする請求項１、２、３のいずれか１項に記載の露光装置の位置決め構造。
【請求項５】
前記位置決め構造は、
前記可動台が左右に各１個の調整用突起を備え、
前記固定台がスライド面の左右の各転写位置で前記可動台のスライドを停止させる合計二個の固定ピンを備えるとともに、前記付圧ピンの突入を受け入れて固定する２個のＶ溝を備え、
前記可動台を前記固定台上の各転写位置に移動させた場合に、該調整用突起が前記固定台が備える該固定ピンに突き当ると同時に前記付圧ピンが該Ｖ溝にはまり込む構造で、該調整用突起が該固定ピンに当接した状態で、前記可動台を該固定ピン方向に押し付けるように前記付圧ピンのセンターと該Ｖ溝のセンターとが合致しない位置に該Ｖ溝を形成する、
ことを特徴とする請求項１、２、３、４のいずれか１項に記載の露光装置の位置決め構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、原パターンが記載された原ガラスと被転写ガラスとの位置決め及び微調整を１個の部材で、精度良く、安価で確実に行える位置決め構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、パターン転写前のパターンの位置決めは、従来、例えば原ガラスの原パターンそれぞれに、予め四方の隅に位置決め用のトンボなる印を付けておき、１枚目のパターン転写後、２枚目のパターン転写を行う際に、被転写ガラスに転写された１枚目のパターンの四方の隅のトンボと、２枚目の原パターンのトンボが上下、左右とも重なるように、目視で確認して位置決めを行っていた。また、そのトンボをＣＣＤセンサなどで読みとって被転写ガラスに転写されたパターンのトンボと、重ね合わせを行う原パターンのトンボとが上下、左右とも重なるように原ガラスを自動で動かして位置決めが行われてきた。なお、ここでＣＣＤとは、Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅの略であり、光情報を電気信号に変換する半導体素子を意味する。
【０００３】
しかしながら、目視確認で位置決めを行った場合に、位置合わせに時間がかかるという問題や、トンボを人が目視しての位置決めゆえに、位置合わせにバラツキが少なからずあり、高精度の位置決めはできないという問題があった。
【０００４】
トンボの位置合わせを自動化すると、位置決めを早くできるものの、位置決め冶具が高価になるという問題や、ＣＣＤセンサのもつ読取り誤差から高精度の位置決めはできないという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そのため、本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、課題は以下のとおりである。
【０００６】
複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、原パターンが記載された原ガラスと被転写ガラスとの位置決め及び微調整を１個の部材で精度良く、安価で確実に行える位置決め構造を提供することが課題である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するために、この発明では、以下の手段を採った。
【０００８】
複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、スライド面を持つ固定台と、原パターンが記載された１個の原ガラス又は異なる原パターンが記載された二つの原ガラスを固定し、該固定台上に搭載して該スライド面をスライドして原パターンを左右の転写位置において被転写ガラスと重ね合わせる可動台と、原ガラスを３個の支持ピンで該スライド面に対向する該可動台の面に対して平行に保持するとともに原ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する該可動台の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、原ガラスを該可動台に位置決めする原ガラス収納部と、被転写ガラスを３個の支持ピンで該スライド面に対して平行に保持するとともに被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する該固定台の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、被転写ガラスを該固定台に位置決めする被転写ガラス収納部とを備える。
【０００９】
このように構成される位置決め構造によれば、原パターンが記載された原ガラスは原ガラス収納部の３個の支持ピン上に置いて、直交する２辺のガラス端面が当接する可動台の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、可動台に位置決めし、被転写ガラスは被転写ガラス収納部の３個の支持ピン上に置いて、直交する２辺のガラス端面が当接する固定台の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、固定台に位置決めし、該固定台上に搭載した該可動台を左右の各転写位置にスライドし、該原パターンを該被転写ガラスに重ね合わせる。これにより、原パターンが記載された原ガラス、及び原パターンが転写される被転写ガラスのそれぞれ可動台、固定台への位置決めを高精度で確実にでき、該可動台を該固定台の各転写位置にスライドして該原パターンを該被転写ガラスに重ね合わせて、原パターンが記載された原ガラスと、原パターンが転写される被転写ガラスとの位置決めを精度よく、確実に行え、かつ、位置決め冶具を固定台と可動台との１個の部材で構成できる。
【００１０】
これにより、複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、原パターンが記載された原ガラスと被転写ガラスとの位置決めを１個の部材で、精度良く、安価で確実に行える位置決め構造を提供する。
【００１１】
また、前記位置決め構造は、前記原ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを前記原ガラス収納部に設けて、原ガラスを前記可動台に固定する手段と、前記被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを被転写ガラス収納部に設けて、被転写ガラスを前記固定台に固定する手段とを有する。
【００１２】
このように構成される位置決め構造によれば、前記原ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを前記原ガラス収納部に設けて、前記原ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を該板バネにより押し付けて、前記可動台に固定する。また、前記被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを被転写ガラス収納部に設けて、前記被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を該板バネにより押し付けて前記固定台に固定する。
【００１３】
これにより、原パターンが記載された原ガラスを前記可動台に固定でき、被転写ガラスを前記固定台に固定できる。
【００１４】
また、前記位置決め構造は、被転写ガラスを保持する前記支持ピンが吸引パイプを内蔵する場合、又は／及び原ガラスを保持する前記支持ピンが吸引パイプを内蔵する場合に、被転写ガラス、又は／及び原ガラスを吸引パイプによる吸引にて固定可能とする手段を有する。
【００１５】
このように構成される位置決め構造によれば、原ガラスを可動台に位置決めした後、又は／及び被転写ガラスを固定台に位置決めした後、吸引パイプによる吸引により固定する。
【００１６】
これにより、前記位置決め構造において、原ガラス又は／及び被転写ガラスの取り付け、取りはずしが更に容易となる。
【００１７】
また、前記位置決め構造は、前記固定台に設けたスライド面から立ち上がりスライド方向に沿った基準となる主側壁面を備えるとともに、該主側壁面に対向する位置に従側壁面を備え、前記可動台は該従側壁面の押付けを行う付圧ピンを該従側壁面に対向する側に備えるとともに、上下１対の突当て突起を該主側壁面に対向する側の略両端に備え、前記固定台は左右の各転写位置で前記可動台の略両端に設ける上下１対の該突当て突起が上側又は下側のどちらか一方の側だけ該主側壁面に当接するように該主側壁面に溝を備える。
【００１８】
このように構成される位置決め構造によれば、前記固定台上のスライド面の各転写位置での可動台のスライド方向に対する傾きを該突当て突起の高さを調整することで微調整できる。
【００１９】
これにより、前記固定台上のスライド面の各転写位置での原パターンのスライド方向に対する傾きを微調整できる。
【００２０】
また、前記位置決め構造は、前記可動台が左右に各１個の調整用突起を備え、前記固定台がスライド面の左右の各転写位置で前記可動台のスライドを停止させる合計二個の固定ピンを備えるとともに、前記付圧ピンの突入を受け入れて固定する２個のＶ溝を備え、前記可動台を前記固定台上の各転写位置に移動させた場合に、該調整用突起が前記固定台が備える該固定ピンに突き当ると同時に前記付圧ピンが該Ｖ溝にはまり込む構造で、該調整用突起が該固定ピンに当接した状態で、前記可動台を該固定ピン方向に押し付けるように前記付圧ピンのセンターと該Ｖ溝のセンターとが合致しない位置に該Ｖ溝を形成する。
【００２１】
このように構成される位置決め構造によれば、可動台を固定台上の各転写位置に移動させて、調整用突起を前記固定台が備える固定ピンに突き当てると同時に前記付圧ピンが前記固定台に設けられたＶ溝にはまり込み、前記可動台を該固定ピン方向に押し付ける。ここで、可動台左右の調整用突起高さを調整することで、可動台位置の左方向、右方向への微調整ができる。
【００２２】
これにより、固定台上の各転写位置での原パターン位置の左方向、右方向への微調整ができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明は、次に示す実施の形態を取った。
【００２４】
図１は本発明の露光装置の位置決め構造を適用した位置決め冶具を例示する図である。また、図２は該位置決め冶具の分解図である。
【００２５】
固定台２は、スライド面７を持つ。なお、固定台２のスライド面７には、被転写ガラスを３個の支持ピン２５で該スライド面７に対して平行に保持するとともに、被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する固定台２の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、被転写ガラスを固定台２に位置決めする被転写ガラス収納部２４が設けられる。
【００２６】
また、被転写ガラス収納部２４は、前記被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを備え、被転写ガラスを前記固定台２に固定する。
【００２７】
可動台１は、原パターンが記載された１個の原ガラス又は異なる原パターンが記載された二つの原ガラスを固定し、固定台２上に搭載して左右の転写位置にスライドして原パターンを被転写ガラスに重ね合わせる。なお、可動台１には、原ガラスを３個の支持ピンでスライド面７に対向する可動台１の面に対して平行に保持するとともに原ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する可動台１の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、原ガラスを可動台１に位置決めする原ガラス収納部２２が設けられる。
【００２８】
また、前記原ガラス収納部２２は、前記原ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを備え、原ガラスを前記可動台１に固定する。
【００２９】
また、固定台２で被転写ガラスをスライド面７に対して平行に保持する支持ピン２５が吸引パイプを内蔵する場合、又は／及び可動台１で原ガラスをスライド面７に対向する可動台１の面に対して平行に保持する支持ピンが吸引パイプを内蔵する場合に、被転写ガラス、又は／及び原ガラスを吸引パイプによる吸引にて固定可能とする。
【００３０】
また、固定台２は前記スライド面７から立ち上がりスライド方向に沿った基準となる主側壁面８を備えるとともに、該主側壁面８に対向する位置に従側壁面９を備える。
【００３１】
可動台１は該従側壁面９の押付けを行う付圧ピン５を該従側壁面９に対向する側に備えるとともに、上下１対の突当て突起２１を該主側壁面８に対向する側の略両端に備える。
【００３２】
また、固定台２は左右の各転写位置で前記可動台１の略両端に設ける上下１対の該突当て突起２１が上側又は下側のどちらか一方の側だけ該主側壁面８に当接するように該主側壁面８に溝１０を備える。
【００３３】
また、可動台１は左右に各１個の調整用突起４を備え、固定台２がスライド面７の左右の各転写位置で可動台１のスライドを停止させる合計二個の固定ピン３を備えるとともに、前記付圧ピン５の突入を受け入れて固定する２個のＶ溝６を備え、可動台１を固定台２上の各転写位置に移動させた場合に、調整用突起４が固定台１が備える固定ピン３に突き当ると同時に付圧ピン５がＶ溝６にはまり込む構造で、調整用突起４が固定ピン３に当接した状態で、可動台１を固定ピン３方向に押し付けるように付圧ピン５のセンターとＶ溝６のセンターとが合致しない位置にＶ溝６を形成する。
【００３４】
図１に示すように、複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、
スライド面７を持つ固定台２と、
原パターンが記載された１個の原ガラス又は異なる原パターンが記載された二つの原ガラスを固定し、該固定台２上に搭載して該スライド面７をスライドして原パターンを左右の転写位置において被転写ガラスと重ね合わせる可動台１と、原ガラスを３個の支持ピンでスライド面７に対向する可動台１の面に対して平行に保持するとともに原ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する該可動台１の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、原ガラスを該可動台１に位置決めする原ガラス収納部２２と、
被転写ガラスを３個の支持ピン２５で該スライド面７に対して平行に保持するとともに被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面が当接する該固定台２の３個所の突起にガラス端面を突き当てて、被転写ガラスを該固定台２に位置決めする被転写ガラス収納部２４とを備える。
【００３５】
上記の形態をとることにより、複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、原パターンが記載された原ガラスと被転写ガラスの位置決めを１個の部材で、精度良く、安価で確実に行える位置決め構造を提供する。
【００３６】
また、前記位置決め構造は、前記原ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを前記原ガラス収納部２２に設けて、原ガラスを前記可動台１に固定する手段と、
前記被転写ガラスの直交する２辺のガラス端面に対向する２辺のガラス端面を押し付けする２個の板バネを被転写ガラス収納部２４に設けて、被転写ガラスを前記固定台２に固定する手段とを有する。
【００３７】
上記の形態をとることにより、原パターンが記載された原ガラスを前記可動台１に固定でき、被転写ガラスを前記固定台２に固定できる。
【００３８】
また、前記位置決め構造は、被転写ガラスを保持する前記支持ピン２５が吸引パイプを内蔵する場合、又は／及び原ガラスを保持する前記支持ピンが吸引パイプを内蔵する場合に、被転写ガラス、又は／及び原ガラスを吸引パイプによる吸引にて固定可能とする手段を有する。
【００３９】
上記の形態をとることにより、前記位置決め構造において、原ガラス又は／及び被転写ガラスの取り付け、取りはずしが更に容易となる。
【００４０】
また、前記位置決め構造は、
前記固定台２に設けたスライド面７から立ち上がりスライド方向に沿った基準となる主側壁面８を備えるとともに、該主側壁面８に対向する位置に従側壁面９を備え、
前記可動台１は該従側壁面９の押付けを行う付圧ピン５を該従側壁面９に対向する側に備えるとともに、上下１対の突当て突起２１を該主側壁面８に対向する側の略両端に備え、
前記固定台２は左右の各転写位置で前記可動台１の略両端に設ける上下１対の該突当て突起２１が上側又は下側のどちらか一方の側だけ該主側壁面８に当接するように該主側壁面８に溝１０を備える。
【００４１】
上記の形態をとることにより、前記固定台２上のスライド面の各転写位置での原パターンのスライド方向に対する傾きを微調整できる。
【００４２】
また、前記位置決め構造は、
前記可動台１が左右に各１個の調整用突起４を備え、
前記固定台２がスライド面７の左右の各転写位置で前記可動台１のスライドを停止させる合計二個の固定ピン３を備えるとともに、前記付圧ピン５の突入を受け入れて固定する２個のＶ溝６を備え、
前記可動台１を前記固定台２上の各転写位置に移動させた場合に、該調整用突起４が前記固定台１が備える該固定ピン３に突き当ると同時に前記付圧ピン５が該Ｖ溝６にはまり込む構造で、該調整用突起４が該固定ピン３に当接した状態で、前記可動台１を該固定ピン３方向に押し付けるように前記付圧ピン５のセンターと該Ｖ溝６のセンターとが合致しない位置に該Ｖ溝６を形成する。
【００４３】
上記の形態をとることにより、固定台２上の各転写位置での原パターン位置の左方向、右方向への微調整ができる。
【００４４】
【実施例】
この発明による代表的な実施例を以下に説明する。なお、以下において、同じ箇所は同一の符号を付しており、詳細な説明を省略することがある。
【００４５】
図１は本発明の露光装置の位置決め構造を適用した位置決め冶具を例示する図である。また、図２は該位置決め冶具の分解図である。
【００４６】
また、図３、図５、図６、図７、図８、図９、図１０、図１２は該位置決め冶具の詳細説明図である。以降、これらの図を基に詳しく説明する。
【００４７】
図１、図２に示すように、該位置決め冶具は、固定台２と、可動台１とからなる。なお、固定台２と、可動台１の材質は金属、例えばアルミ材などを加工して製作する。
【００４８】
また、固定台２はスライド面７と、該スライド面から立ち上がりスライド方向に沿った基準となる主側壁面８と、該主側壁面８に対向する側に従側壁面９と、可動台１のスライドを左右の転写位置で停止させる着脱可能な合計２つの固定ピン３と、被転写ガラスを３個の支持ピン２５で該スライド面７に平行に保持するとともに該固定台２へ位置決め及び固定を行う被転写ガラス収納部２４とを備える。
【００４９】
また、主側壁面８は、固定台２の左右の各転写位置で可動台１の略両端に設ける上下１対の突当て突起２１が上側又は下側のどちらか一方の側だけ主側壁面８に当接するように溝１０を備える。
【００５０】
また、従側壁面９は、従側壁面９の押し付けを行う付圧ピン５の突入を受け入れて固定する２個のＶ溝６を備え、可動台１を固定台２上の各転写位置に移動させた場合に、可動台１が備える調整用突起４が固定台２が備える固定ピン３に突き当ると同時に付圧ピン５が該Ｖ溝６にはまり込む構造で、該調整用突起４が該固定ピン３に当接した状態で、可動台１を該固定ピン３方向に押し付けるように付圧ピン５のセンターと該Ｖ溝６のセンターとが合致しない位置に該Ｖ溝６を形成する。
【００５１】
また、可動台１は、従側壁面９の押付けを行う付圧ピン５を従側壁面９に対向する側に備えるとともに、上下１対の突当て突起２１を主側壁面８に対向する側の略両端に備える。なお、付圧ピン５は図２に示すように、付圧ピン５と同じ直径を持つ圧縮バネ２３と一緒に用いて押し付けを行う力を持たせており、従側壁面９に対向する側の側面に垂直に、付圧ピン５より大きめの直径を持たせ、圧縮バネ２３の長さと付圧ピン５の半分程度の長さとを加えた長さを奥行きとした円筒形の穴を空けて、圧縮バネ２３、付圧ピン５の順でその穴に挿入して、可動台１に取り付け、図１のように、可動台１を固定台２に装着してスライドした場合に、付圧ピン５が従側壁面９をＶ溝６が切られた箇所も含めて押し付けされるようにする。
【００５２】
ここで、可動台１の突当て突起２１の例を図５の（イ）に示す。なお、図５の（イ）は可動台１を裏側から見た図を示す。
【００５３】
また、可動台１は左右に各１個の調整用突起４を備えるとともに、原ガラスを位置決め及び固定する原ガラス収納部２２を二つ備える。
【００５４】
図３に示すように、被転写ガラス収納部２４は、３箇所の突起４１、３つの支持ピン２５、二つの板バネ４３を備える。なお、３箇所の突起４１は主側壁面８側に設けられ、３つの支持ピン２５はスライド面７と平行な面に垂直に立てて設けられ、二つの板バネ４３は従側壁面９側に設けられる。
【００５５】
また、図６に示すように、可動台１は、原パターンが記載された１個の原ガラス５３又は異なる原パターンが記載された二つの原ガラス５３を固定し、固定台２上に搭載して左右の転写位置にスライドして原パターンを被転写ガラス４４に重ね合わせる。なお、可動台１には、原ガラス５３の可動台１への位置決め及び固定を行う原ガラス収納部２２が設けられる。
【００５６】
また、図５の（ハ）に示すように、前記原ガラス収納部２２は、３箇所の突起４１、３個の支持ピン４５、二つの板バネ４３を備える。なお、３箇所の突起４１は、主側壁面側に設けられ、二つの板バネ４３は従側壁面側に設けられる。
【００５７】
また、図１２の（ロ）に示すように、固定台２で被転写ガラス４４をスライド面７に平行に保持する３個の支持ピン２５が吸引パイプ６１を内蔵し、かつ可動台１で原ガラス５３をスライド面７に対向する可動台１の面に対して平行に保持する３個の支持ピン４５が吸引パイプ６１を内蔵する場合に、被転写ガラス４４、原ガラス５３の位置決め後の固定を吸引パイプ６１による吸引にて行える。なお、この場合は、原ガラス５３及び被転写ガラス４４を位置決め後に固定するための板バネ４３を不要とできる。
【００５８】
また、図８の（ロ）に主側壁面８に造形される溝１０の例を示す。この図８の（ロ）は、図８の（イ）に示す固定台２の平面図で、矢印方向に見た断面図である。
【００５９】
また、図９の（イ）に固定台２上の左側の転写位置での可動台１の位置を点線で示した図を示し、また、図９の（ロ）に図９の（イ）の矢印方向を見た断面図を示し、更に図９の（ハ）に図９の（イ）を上から見た平面図を示す。この実施例では、左側の転写位置では、可動台１の下側にある二つの突当て突起２１ａが固定台２の該主側壁面８に当接する。
【００６０】
また、図１０の（イ）に固定台２上の右側の転写位置での可動台１の位置を点線で示した図を示し、また、図１０の（ロ）に図１０の（イ）の矢印方向を見た断面図を示し、更に、図１０の（ハ）に図１０の（イ）を上から見た平面図を示す。この実施例では、右側の転写位置では、可動台１の上側にある二つの突当て突起２１ｂが固定台２の該主側壁面８に当接する。
【００６１】
また、図５の（イ）に可動台１が備える調整用突起４の外観例を示す。
【００６２】
また、図６の（イ）は可動台１を固定台２上の左側の転写位置に移動させた場合に、調整用突起４が固定台２が備える固定ピン３に突き当ると同時に付圧ピン５が固定台２に切られたＶ溝６にはまり込む様子を示す。なお、図６の（イ）のＡ部付近を拡大した図を図７に示す。図７に示すように、可動台１を固定台２上の左側転写位置に移動させた場合に、調整用突起４が固定台２の備える固定ピン３に突き当ると同時に付圧ピン５が固定台２に切られたＶ溝６にはまり込んでいて、調整用突起４が固定ピン３に当接した状態で、可動台１を固定ピン３方向に押し付けるように付圧ピン５のセンターとＶ溝６のセンターとが合致しない位置にＶ溝６が形成されている。これにより、調整用突起４の高さを調整することで、可動台１の位置の左方向への微調整ができる。
【００６３】
また、図６の（ロ）に可動台１を固定台２上の右側の転写位置に移動させた場合に、調整用突起４が固定台２が備える固定ピン３に突き当ると同時に付圧ピン５が固定台２に切られたＶ溝６にはまり込む様子を示す。
【００６４】
ついで、図４、図５、図６、図７、図９、図１０、図１１、図１２を基に本発明の露光装置の位置決め構造を適用した１実施例として、１個の位置決め冶具で、異なる原パターンが記載された二種の原ガラスと被転写ガラスとの位置決め及び微調整を精度良く、安価で確実に行えるようにした動作を説明する。
【００６５】
まず、原ガラス５３、被転写ガラス４４のそれぞれ可動台１、固定台２への装着、位置決め、固定は、以下のように行う。
【００６６】
図５の（ハ）に示すように、まず、原ガラス５３は、二つの原ガラス収納部２２のうち一方の原ガラス収納部２２の３個の支持ピン４５上に置き、原ガラス５３の直交する２辺のガラス端面を板バネ４３に押付けて、板バネ４３の反発力で同図点線矢印方向に押し、対向するガラス端面が当接する該原ガラス収納部２２の３個所の突起４１に突き当てられて、位置決め及び固定される。なお、図５の（ロ）は原ガラス収納部２２に原ガラス５３が位置決め・固定された様子を示す、図５の（イ）を矢印方向に見た断面図である。なお、図５の（ロ）に示すように、可動台１には原ガラス５３を可動台１に押し付ける固定金具５４をビス５５を用いて取り付けて、位置決め・固定された原ガラス５３がずり落ちることがないようにすることが望ましい。なお、同様な動作で、もう一方の原ガラス収納部２２にもう一つの原ガラス５３を装着、位置決め、固定する。
【００６７】
また、図６の（ハ）に示すように、固定台２の右側の固定ピン３を取り外して、可動台１を右側に寄せて、被転写ガラス収納部２４の前面を空けて、被転写ガラスを被転写ガラス収納部２４に装着できるようにする。
【００６８】
ついで、図４の（イ）に示すように、被転写ガラス４４は、３個の支持ピン２５の上に載せ、被転写ガラス４４の直交する２辺のガラス端面を被転写ガラス収納部２４の板バネ４３に押し付けることで、板バネ４３の反発力で同図点線矢印方向に押し、対向するガラス端面が当接する該被転写ガラス収納部２４の３個所の突起４１に突き当てられて、位置決め及び固定される。なお、図４の（イ）は被転写ガラス収納部２４に被転写ガラス４４が位置決め、固定された様子を示す平面図である。また、図４の（ロ）は図４の（イ）の図の実線矢印の向きを見た断面図である。
【００６９】
また、図１２を基に、固定台２で被転写ガラス４４をスライド面７に平行に保持する３個の支持ピン２５が吸引パイプ６１を内蔵し、かつ可動台１で原ガラス５３を載せる３個の支持ピン４５が吸引パイプ６１を内蔵する場合の原ガラス５３及び被転写ガラス４４の装着、位置決め、固定動作を以下に説明する。
【００７０】
図１２の（イ）は原ガラス５３毎に、原ガラス５３を載せる３個の支持ピン４５がそれぞれ吸引パイプ６１を内蔵する可動台１の断面図である。下側が原ガラス収納部６４であり、原ガラス５３を装着する場合は原ガラス収納部６４を上向きとし、原ガラス５３は３個の支持ピン４５上に置いて、直交する２辺のガラス端面を原ガラス収納部６４の３箇所の突起４１に突き当てて位置決めし、吸引パイプ６１が接続された、図示しない空気を吸い取る吸引機のスイッチを入れて吸引パイプ６１に原ガラス５３を吸い付けて固定する。
【００７１】
なお、原ガラス５３の直交する２辺のガラス端面を原ガラス収納部６４の３箇所の突起４１に突き当てて位置決めした後、原ガラス５３を可動台１に押し付けるように固定する固定金具６３を取り付ける場合は、原ガラス５３を固定する吸引パイプ６１の吸気が途絶えた場合でも、原ガラス５３の位置決め後の固定を持続できる。なお、当実施例の原ガラス５３の可動台１への固定は、原ガラス５３を装着、位置決めした後、固定金具６３で固定し、固定金具６３が可動台１から脱落せねようネジ６２でネジ留めとしている。
【００７２】
また、図１２の（ロ）に示すように被転写ガラス４４は、被転写ガラス４４の直交する２辺のガラス端面を被転写ガラス収納部６５の３箇所の突起４１に突き当てて位置決めし、支持ピン２５に内蔵の吸引パイプ６１に接続された、図示しない空気を吸い取る吸引機のスイッチを入れて吸引パイプ６１に被転写ガラス４４を吸い付けて固定する。
【００７３】
ついで、原ガラス５３に記載された原パターンを被転写ガラス４４に重ね合せるための位置決めは、先ず、可動台１の右側の原ガラス５３の原パターンを被転写ガラス４４に重ね合せる場合は、図６（イ）に示すように、可動台１を固定台２上の左側の転写位置、すなわち、可動台１を固定台２の左側にスライドし、固定ピン３に突き当てて位置決めする。また、可動台１の左側の原ガラス５３の原パターンを被転写ガラス４４に重ね合せる場合は、図６（ロ）に示すように、可動台１を固定台２上の右側の転写位置、すなわち、可動台１を固定台２の右側にスライドし、固定ピン３に突き当てて位置決めする。
【００７４】
また、先に図９と、図１０とを基に説明したように固定台２上のスライド面の各転写位置での原パターンのスライド方向に対する傾きの微調整は、左側の転写位置では下側の左右の突当て突起２１ａを、右側の転写位置では上側の左右の突当て突起２１ｂを使用する。ここでは、図１１に示すように、固定台２上のスライド面の各転写位置での原パターンのスライド方向に対する傾きの微調整について、左側転写位置で該傾きの微調整を行う場合を代表させて説明する。また、ここでは、微調整に使用する左、右の突当て突起をそれぞれ突当て突起２１ｃ、突当て突起２１ｄと名称をつけて説明する。
【００７５】
まず、図１１の（イ）に示すように、固定台２上のスライド面の左側の転写位置での原パターンをスライド方向に対して右側に傾かせる場合は左側の突当て突起２１ｃの高さを低くして、可動台１を右側に傾けて調整する。
【００７６】
また、図１１の（ロ）に示すように、固定台２上のスライド面の左側の転写位置での原パターンをスライド方向に対して左側に傾かせる場合は右側の突当て突起２１ｄの高さを低くして、可動台１を左側に傾けて調整する。
【００７７】
また、先に図６と、図７とを基に説明したように固定台２上の各転写位置で可動台１を固定ピン３に突き当てた状態で原パターンを左方向、右方向へ移動させる微調整は、可動台１の左右の調整用突起４の高さを調整することで行える。すなわち、図６（イ）に示す転写位置で原パターンを左側に移動させる場合は可動台１の左側の調整用突起４の高さを移動分だけ低くして調整し、図６（ロ）に示す転写位置で原パターンを右側に移動させる場合は可動台１の右側の調整用突起４の高さを移動分だけ低くして調整する。
【００７８】
本発明は、複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、原パターンが記載された原ガラスと被転写ガラスとの位置決め及び微調整を１個の部材で、精度良く、安価で確実に行える位置決め構造に適用できる。
【００７９】
【発明の効果】
この発明の露光装置の位置決め構造により、以下に示すような効果が期待できる。
【００８０】
本発明は、複数の原パターンを被転写ガラスに重ね合わせ、該複数の原パターンを光を使って被転写ガラスに転写する露光装置の位置決め構造において、原パターンが記載された原ガラスと被転写ガラスとの位置決め及び微調整を１個の部材で、精度良く、安価で確実に行える。
【００８１】
また、前記位置決め構造は、被転写ガラスを保持する支持ピンが吸引パイプを内蔵する場合、又は／及び原ガラスを保持する支持ピンが吸引パイプを内蔵する場合に、被転写ガラス、又は／及び原ガラスの位置決め後の固定を吸引パイプによる吸引で行えて、原ガラス又は／及び被転写ガラスの取り付け、取りはずしが更に容易となる。
【００８２】
また、前記位置決め構造は、前記固定台に設けたスライド面から立ち上がりスライド方向に沿った基準となる主側壁面を備えるとともに、該主側壁面に対向する位置に従側壁面を備え、前記可動台は該従側壁面の押付けを行う付圧ピンを該従側壁面に対向する側に備えるとともに、上下１対の突当て突起を該主側壁面に対向する側の略両端に備え、前記固定台は左右の各転写位置で前記可動台の略両端に設ける上下１対の該突当て突起が上側又は下側のどちらか一方の側だけ該主側壁面に当接するように該主側壁面に溝を備えた場合に、前記固定台上のスライド面の各転写位置での原パターンのスライド方向に対する傾きを微調整できる。
【００８３】
また、前記位置決め構造は、前記可動台が左右に各１個の調整用突起を備え、前記固定台がスライド面の左右の各転写位置で前記可動台のスライドを停止させる合計二個の固定ピンを備えるとともに、前記付圧ピンの突入を受け入れて固定する２個のＶ溝を備え、前記可動台を前記固定台上の各転写位置に移動させた場合に、該調整用突起が前記固定台が備える該固定ピンに突き当ると同時に前記付圧ピンが該Ｖ溝にはまり込む構造で、該調整用突起が該固定ピンに当接した状態で、前記可動台を該固定ピン方向に押し付けるように前記付圧ピンのセンターと該Ｖ溝のセンターとが合致しない位置に該Ｖ溝を形成した場合に、原パターン位置の左方向、右方向への微調整ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の斜視図である。
【図２】本発明の一実施例の分解図である。
【図３】本発明の一実施例の説明図である。
【図４】本発明の一実施例の説明図である。
【図５】本発明の一実施例の説明図である。
【図６】本発明の一実施例の説明図である。
【図７】本発明の一実施例の説明図である。
【図８】本発明の一実施例の説明図である。
【図９】本発明の一実施例の説明図である。
【図１０】本発明の一実施例の説明図である。
【図１１】本発明の一実施例の説明図である。
【図１２】本発明の一実施例の説明図である。
【符号の説明】
１：可動台
２：固定台
３：固定ピン
４：調整用突起
５：付圧ピン
６：Ｖ溝
７：スライド面
８：主側壁面
９：従側壁面
２１：突当て突起
２２：原ガラス収納部
２４：被転写ガラス収納部
２５：支持ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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