(57)【要約】【課題】小片移載装置において、移載物と移載物が移載されるワークの供給速度・ピッチの変化に対応し、位置精度の確保と高速移載を実現する。【解決手段】移載装置１は、移載物２を供給する第１担持体３と、移載先のワーク４を担持する第２担持体５と、第１担持体３から移載物２を受け取って、ワーク４に移載する６つのエンドエフェクタ７１〜７６を有する互いに同軸で回転する同軸回転体１０からなる移載エンジン６を備えている。各エンドエフェクタは、同軸回転体１０と同軸の同一円周上に配設され、それぞれ互いの配置順番を保って相対速度が略ゼロの状態で第１担持体３から移載物２を受け取り、相対速度が略ゼロの状態で該第２担持体５上に担持されたワーク４の所定位置に移載物２を引き渡す。各エンドエフェクタに対し、周回運動の間に周期変速制御が行われ、受け取り及び引き渡しのためのタイミング調整と速度調整がなされる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
小片でなる移載物を担持して供給する第１担持体と、該移載物が移載されるワークを担持する第２担持体と、前記第１担持体から移載物を受け取ってその移載物を前記第２担持体に担持されたワークに移載する複数のエンドエフェクタを有する互いに同軸で回転する移載用の同軸回転体と、を備えた移載装置において、
前記各エンドエフェクタは、前記同軸回転体と同軸の同一円周上に配設され、それぞれ互いの配置順番を保って第１担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第１担持体から移載物を受け取り、第２担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第２担持体上に担持されたワークの所定位置に該移載物を引き渡す周回運動を行い、受け取りと引き渡しを含む周回運動の間にそれぞれ独立に周期変速制御されることを特徴とする移載装置。
【請求項２】
前記各同軸回転体は、複数の同軸軸受の互いに隣接する一方の軸受の内輪と他方の軸受の外輪とを一体的に連結した複数の軸受を有し、それぞれの軸受の内輪に前記各エンドエフェクタが一体的に固定されており、それぞれの外輪に回転駆動力が付与されることを特徴とする請求項１記載の移載装置。
【請求項３】
前記各同軸回転体は、サーボ回転制御部により個別に独立に周期変速・位相制御を含む回転制御されて個別の回転位置調整がなされることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の移載装置。
【請求項４】
前記第１担持体に担持された移載物の運動速度及び／又は第２担持体に担持されたワークにおける移載位置の運動速度を計測する計測部をさらに備え、該計測部による計測結果に基づいて前記サーボ回転制御部により前記同軸回転体の回転制御を行うことを特徴とする請求項３記載の移載装置。
【請求項５】
前記各エンドエフェクタは、前記第１担持体と第２担持体の運動速度が異なる場合においても第１担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第１担持体から移載物を受け取り、第２担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第２担持体上に担持されたワークの所定位置に該移載物を引き渡すことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか記載の移載装置。
【請求項６】
前記第１及び第２の各担持体は、自転する円柱形状体又はコンベアベルトからなり、その表面上に移載物又は移載物が移載されるワークを担持するものであることを特徴とする請求項５記載の移載装置。
【請求項７】
前記移載物がチップ状の電子部品であり、前記ワークがシート状のＩＣカードの部品又はＲＦ−ＴＡＧの部品であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の移載用エンドエフェクタを周回させながらワークに部品を移載する移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、小片からなる部品を受け取り、ワークにその部品を受け渡してワーク上に配置、貼り付け、又は電気的実装などを行う装置として、半導体製造分野における電子部品実装装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に示される電子部品実装装置は、複数の移載ヘッドを循回させ、次々にワークに部品を実装するロータリータイプのものである。移載ヘッドは主軸の周囲に同心円状に配置されており、移載ヘッドが循回する円軌道上の一定点に、部品供給部から部品を吸着させる吸着ステージや部品をワークに実装する実装ステージなどの動作ステージが定められている。移載ヘッドは、各動作ステージにおいて停止して部品の受け渡しを行う。この間に主軸の回転を停止させないで動作させるために、この実装装置は、主軸から移載ヘッドに伝達される回転速度をキャンセルして移載ヘッドを見かけ上停止させるカム曲線を備えた固定カムを有しており、主軸を連続回転させたまま部品を実装することができる部品実装装置を実現している。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−１４５０９１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような部品実装装置においては、移載ヘッドが機械カムにより固定された周期運動を行って受け渡しを行うものであり、移載ヘッドの運動が主軸の回転運動と連動した運動しかできないものとなっている。近年の情報技術の高度化と情報管理の省力化の要求により、例えば、使い捨て方式のＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）による物品管理を行う場合、安価なＲＦＩＤ用タグ（ＲＦ−ＴＡＧ、無線タグ）を大量に生産することが求められている。ＲＦ−ＴＡＧを安価に大量生産するために、ＲＦ受発信処理用の電子部品（移載物）を静止させることなく一定間隔（ピッチ）で連続的に供給し、その部品を静止することなく受け取り、同じく静止することなく一定間隔で連続的に移動しているアンテナ素子の形成されたシート状のワークにその部品を受け渡して配置、貼り付け、電気的接続等を行うことが要求される。このような場合、移載ヘッドの周期運動が固定されたものだと、寸法の異なる製品毎にカムを交換する手間が必要なことはもとより、部品供給間隔やワーク間隔の変化に移載ヘッドの運動が追随できないので、任意のピッチ変化、およびリアルタイムな微調整に対応できなく、高精度な移載位置精度が得られなくなる。また、従来、移載機構の一つとしてモータ１軸による電子カムを利用した周期変速を実現するものが挙げられるが、モータ１軸、従って１つの移載ヘッドによっては、移載位置精度が保証されたとしても高速生産に対応できない。
【０００５】
本発明は、上記課題を解消するものであって、移載物と移載物が移載されるワークのそれぞれの供給速度及び供給ピッチの変化に対応でき、高精度な配置位置精度及び高速移載を実現できるランダム周期変速可能な小片移載装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
上記課題を達成するために、請求項１の発明は、小片でなる移載物を担持して供給する第１担持体と、該移載物が移載されるワークを担持する第２担持体と、前記第１担持体から移載物を受け取ってその移載物を前記第２担持体に担持されたワークに移載する複数のエンドエフェクタを有する互いに同軸で回転する移載用の同軸回転体と、を備えた移載装置において、前記各エンドエフェクタは、前記同軸回転体と同軸の同一円周上に配設され、それぞれ互いの配置順番を保って第１担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第１担持体から移載物を受け取り、第２担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第２担持体上に担持されたワークの所定位置に該移載物を引き渡す周回運動を行い、受け取りと引き渡しを含む周回運動の間にそれぞれ独立に周期変速制御される移載装置である。
【０００７】
上記構成においては、互いに同軸で回転する移載用の同軸回転体の有する各エンドエフェクタを、同軸回転体と同軸の同一円周上に配設し、それぞれ互いの配置順番を保って第１担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第１担持体から移載物を受け取り、第２担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第２担持体上に担持されたワークの所定位置に該移載物を引き渡す周回運動を行い、受け取りと引き渡しを含む周回運動の間にそれぞれ独立に周期変速制御するようにしたので、移載物と移載物が移載されるワークのそれぞれの供給速度及び供給ピッチの変化に対応して、高精度な配置位置精度及び高速移載を実現できる。例えば、独立に回転制御される６つのエンドエフェクタを用いることにより、周回速度の概略６倍の移載物供給速度に対応して移載物を受け取ることができる。また、移載物を静止させることなく一定間隔（ピッチ）で連続的に供給し、その部品を静止することなく受け取り、同じく静止することなく一定間隔で連続的に移動しているワークにその部品を受け渡しすることができる。
【０００８】
また、第２担持体上に担持されているワークのピッチの変動に対して、エンドエフェクタの速度を増速又は減速して、ワーク上の所定の位置に移載物を精度良く移載することができる。このように、各エンドエフェクタを独立に回転制御することにより移載物及びワークの自由なピッチ変化とリアルタイムな微調整を可能にでき、高速かつ高精度の移載を実現することができる。さらに、このように個別の位置補正動作を加えることによって、数十ミクロンから数ミクロンの高精度を実現して、生産性と実装品質の向上が図れる効果がある。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１記載の移載装置において、前記各同軸回転体は、複数の同軸軸受の互いに隣接する一方の軸受の内輪と他方の軸受の外輪とを一体的に連結した複数の軸受を有し、それぞれの軸受の内輪に前記各エンドエフェクタが一体的に固定されており、それぞれの外輪に回転駆動力が付与されるものである。
【００１０】
上記構成においては、複数の同軸軸受の互いに隣接する一方の軸受の内輪と他方の軸受の外輪とを一体的に連結した軸受構造とされ、それぞれの軸受の内輪に各エンドエフェクタが一体的に固定され、それぞれの外輪に回転駆動力が付与されるので、複数の同軸回転体が互いに他の構造を支持した構造になっており、例えば３つの同軸回転体からなる場合、回転駆動力の付与を３方向から行うことにより、軸受の軸芯への外圧を平均化して分散させることができる。また、各同軸回転体の回転運動は独立しているので、個々の軸受外輪に周設した駆動力伝達用の駆動ホイールに対して、個々に汎用サーボ制御系原動機を結合し、変速位相制御及び位置補正制御を行うことができる。また、軸受外輪の外部は空間的に余裕があるので、汎用サーボ制御系原動機の代わりにより高精度な機構・制御を可能にするダイレクトドライブ機構を設けて駆動制御することができる。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２記載の移載装置において、前記各同軸回転体は、サーボ回転制御部により個別に独立に周期変速・位相制御を含む回転制御されて個別の回転位置調整がなされるものである。
【００１２】
上記構成においては、同軸回転体が、サーボ回転制御部により個別に独立に周期変速・位相制御を含む回転制御され個別の回転位置調整がなされるので、各エンドエフェクタを独立に回転制御することにより移載物及びワークの自由なピッチ変化とリアルタイムな微調整を可能にでき、高速かつ高精度の移載を実現することができる。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項３記載の移載装置において、前記第１担持体に担持された移載物の運動速度及び／又は第２担持体に担持されたワークにおける移載位置の運動速度を計測する計測部をさらに備え、該計測部による計測結果に基づいて前記サーボ回転制御部により前記同軸回転体の回転制御を行うものである。
【００１４】
上記構成においては、第１担持体に担持された移載物の運動速度及び／又は第２担持体に担持されたワークにおける移載位置の運動速度を計測した計測結果に基づいてサーボ回転制御部により同軸回転体の回転制御を行うので、第１担持体の運動及び／又は第２担持体の運動制御情報による間接的な情報によることなく、移載物の運動及び／又はワークの運動を直接把握して高精度・リアルタイムに同軸回転体の回転制御ができ、高速かつ高精度の移載を実現することができる。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか記載の移載装置において、前記各エンドエフェクタは、前記第１担持体と第２担持体の運動速度が異なる場合においても第１担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第１担持体から移載物を受け取り、第２担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第２担持体上に担持されたワークの所定位置に該移載物を引き渡すものである。
【００１６】
上記構成においては、各エンドエフェクタは、第１担持体と第２担持体の運動速度が異なる場合においても第１担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で第１担持体から移載物を受け取り、第２担持体の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で第２担持体上に担持されたワークの所定位置に移載物を引き渡すので、移載物を移載物の寸法より大きなワークに移載する場合のように、第１担持体の運動速度で決まる移載物の供給速度よりも第２担持体の運動速度できまるワークの移動速度が大きい場合においても高速かつ高精度の移載を実現することができる。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項５記載の移載装置において、前記第１及び第２の各担持体は、自転する円柱形状体又はコンベアベルトからなり、その表面上に移載物又は移載物が移載されるワークを担持するものである。
【００１８】
上記構成においては、第１及び第２の各担持体は、自転する円柱形状体又はコンベアベルトの表面上に移載物又は移載物が移載されるワークを担持するので、同軸回転体の有するエンドエフェクタが、これらの表面上に担持された移載物やワークに接近して移載物を受け取り、ワークに移載物を受け渡しすることができる。
【００１９】
請求項７の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか記載の移載装置において、前記移載物がチップ状の電子部品であり、前記ワークがシート状のＩＣカードの部品又はＲＦ−ＴＡＧの部品であるものである。
【００２０】
上記構成においては、移載物がチップ状の電子部品であり、ワークがシート状のＩＣカードの部品又はＲＦ−ＴＡＧの部品であるので、上記に述べた移載装置の作用及び効果により、ＩＣカードやＲＦ−ＴＡＧの生産性と品質を向上することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態に係る小片移載用の移載装置について、図面を参照して説明する。本発明の移載装置は、図１に示すように、小片でなる移載物２を担持して供給する第１担持体３と、この移載物２が移載されるワーク４を担持する第２担持体５と、前記第１担持体３から移載物２を受け取ってその移載物２をワーク４に移載する６つのエンドエフェクタ７１〜７６を有する互いに同軸で回転する同軸回転体１０からなる移載エンジン６とを備えている。
【００２２】
上述の構成において、各エンドエフェクタ７１〜７６は、同軸回転体１０と同軸の同一円周上に配設され、それぞれ互いの配置順番を保って第１担持体３の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で第１担持体３から移載物２を受け取り、第２担持体５の運動に同期して相対速度が略ゼロの状態で該第２担持体５上に担持されたワーク４の所定位置に移載物２を引き渡す。また、各エンドエフェクタ７１〜７６は共通回転軸回りの周回運動を行い、受け取りと引き渡しを含む周回運動の間にそれぞれ独立に、周回軌道上で受け取りと引き渡しのためのタイミング調整及びその時の速度調整のため周期変速制御が行われる。
【００２３】
また、図１に示す移載装置１の状態は、エンドエフェクタ７１が回転位置Ｑ１において第１担持体３から移載物２を受け取り、エンドエフェクタ７２が回転位置Ｑ２において第２担持体５に向けて移動回転中であり、エンドエフェクタ７３が回転位置Ｑ３においてワーク上に移載物２を受け渡し（移載）したところであり、エンドエフェクタ７４，７５，７６が各回転位置Ｑ４，Ｑ５，Ｑ６において移動回転中の状態である。
【００２４】
また、第１担持体３は、円柱状回転体であり、点Ｐ０で隣接する移載物供給装置３０から移載物を受け取り、点Ｐ１において同軸回転体１０に移載物２を引き渡す。また、通常、第１担持体３は一定の回転速度で回転し、その表面上には、移載物２が一定間隔で担持されている。移載物の担持は、例えば第１担持体の表面に設けられた孔から吸引して行い、移載物の切り離しは、所定位置で吸引解除又は正圧付加により行うことができる。また、移載物供給装置３０は、テープ上に移載物を仮止めして図示したような円形状のローラで送り出して供給するものの他、図示した円形状ローラのかわりに、連続体状態で供給される移載物素材を個片に切り離して移載物として後、その移載物を第１担持体３に供給する個片化供給装置としてもよい。
【００２５】
また、第２担持体５は、例えば、ローラ５１〜５４によって移動するベルト状の移動体であって、その始端は図示しないロールから繰り出され、その終端は図示しないロールに巻き取られる。
【００２６】
また、第１及び第２担持体３，５はそれぞれ図示しない駆動源及び駆動制御系によって一定速度で運動するように調整される。また、移載前の移載物２及びワーク４の状態が、例えば撮像装置（計測部）１０３，１０６，１０５によって撮影され、画像処理により、例えばピッチ異常、姿勢異常、異物存在などの異常検出が行われる。また、これらの計測部により移載前の移載物２及びワーク４の運動速度を計測して同軸回転体の回転制御をすることができる。
【００２７】
このような移載装置１は、例えばＲＦ−ＴＡＧ製造の場合、図２（ａ）（ｂ）に示すように、アンテナ４１が形成されたＲＦ−ＴＡＧ部品をワーク４とし、ＲＦ受発信処理用の電子部品を移載物２として移載処理を行う。ワーク４の形態として、ベルト状の第２担持体５の上にワーク４が担持されたものや、テープ状のフレキシブル基板を第２担持体としてワーク４がその上に印刷技術や写真技術等により一体的に形成されたものがある。移載物２は、例えば予め電気接続用の導電性樹脂が塗布されたアンテナ４１の２つの端子４２間に配置して実装される。ＲＦ−ＴＡＧはゴマ粒チップと言われるほどの小ささであり、移載物２の配置精度として、数十ミクロンから数ミクロンの精度を実現する必要があり、本装置によりこれが実現される。また、安価なＲＦ−ＴＡＧを大量に製造するため、ワーク４を停止することなく連続して搬送しながら上記の実装をすることができる。なお、本発明の移載装置は、ＲＦ−ＴＡＧ部品製造に限らず、例えばＩＣカード部品への電子部品移載・実装に用いることができる。
【００２８】
上述の高速かつ高精度の移載を実現するエンドエフェクタの周回運動について説明する。図３はエンドエフェクタの回転角度の時間変化を示す。各曲線Ｃ１〜Ｃ６は、図１における各エンドエフェクタ７１〜７６の運動に対応する。また、時間ｔ１におけるグラフ上の点ｑ１〜ｑ６は図１における回転位置Ｑ１〜Ｑ６に対応する。回転角度θの原点を図１における第１担持体３と同軸回転体１０の回転中心を結んだ方向（回転位置Ｑ１）とし、回転方向は図１に示すように左回り（反時計回り）とする。図３における周期Ｔ１は、第１担持体からエンドエフェクタが移載物を受け取る周期（移載物供給ピッチ）であり、第１担持体の回転速度とその上の移載物の担持間隔により決定される。また周期Ｔ２は、６つのエンドエフェクタが順番に移載処理を行った後、再度移載処理の順番が回ってくるまでの時間間隔（周回周期）であり、短時間ではＴ２≒６×Ｔ１の関係があり、長時間における平均ではＴ２＝６×Ｔ１である。本実施形態の場合、独立に回転制御される６つのエンドエフェクタを用いており、周回速度の概略６倍の移載物供給速度に対応して移載処理を行うことができる。
【００２９】
ひとつのエンドエフェクタに注目してその周回運動について説明する。図４（ａ）（ｂ）はエンドエフェクタ７１の周回運動における回転角度の時間変化を示す。エンドエフェクタ７１は、時間ｔ１、回転角度０において、速度Ｖ１で移載物２を受け取り、時間ｔ２、回転角度θ１において速度Ｖ２で移載物２をワークに受け渡し、その後、時間ｔ３（＝ｔ１＋Ｔ２）、回転角度２πにおいて初期回転位置に復帰する。時間区間ａ１，ａ３，ａ５は、移載物受け取り、及び受け渡しのため、第１担持体上の移載物及び第２担持体上のワークの移動速度に同期して相対速度を略ゼロとする一定速度を保った区間である。また、時間区間ａ２，ａ４は周回軌道移動及び回転速度の増速と減速のための区間である。
【００３０】
また、この時間区間ａ２、ａ４においては、速度調整の他に時間調整も行われる。例えば、第２担持体上に担持されているワークのピッチの変動が、図１における撮像装置１０５により計測され、時間Δｔだけ早めに受け渡しする必要が発生した場合、エンドエフェクタの速度を増速し、図４（ｂ）に示す曲線が点ｆの代わりに点ｆ１を通るようにして、ワーク上の所定の位置に移載物を精度良く移載することができる。このように、各エンドエフェクタを独立に回転制御することにより高速かつ高精度の移載を実現することができる。
【００３１】
次に、同軸回転体及び移載エンジンの構成を説明する。図５は移載エンジンのエンドエフェクタ先端部、図６は移載エンジン、図７と図８は同軸回転体を示す。エンドエフェクタの先端部分は、図５に示すように、移載物を負圧吸着して受け取り、また、この負圧を常圧又は正圧にして受け渡しをする、例えば空気圧制御のための孔を設けた吸着パッド７０を有しており、各吸着パッド７０は、エンドエフェクタの回転と共に同一円周上を回転する。また、６つのエンドエフェクタは、エンドエフェクタ７１，７３，７５、及びエンドエフェクタ７２、７４，７６のように３つ１組で移載エンジンを構成し（図６参照）、２つの移載エンジン６を対向させ、互いにエンドエフェクタを１つ置きに配置した構成で用いられる。
【００３２】
移載エンジン６は、図６（ａ）に示すように３つのエンドエフェクタ７１，７３，７５を有している。また、移載エンジン６は、図６（ｂ）に示すように、固定枠体６０ａ，６０ｂ，６０ｃと、固定枠体６０ａ，６０ｃに挟持された４つの大径ベアリングと、固定枠体６０ａに固定された中空軸６０、及び中空軸６０に固定された３組の小径ベアリングを備えている。エンドエフェクタは、中心軸ＣＬから偏芯して配置され中心軸ＣＬと平行な方向に延びた棒状材である。このエンドエフェクタが、大径ベアリングと小径ベアリングとにより、中心軸ＣＬを共通の回転軸として回転自在に軸支され、これらが一体となって同軸回転体が構成される（図７，図８参照）。エンドエフェクタは各同軸回転体に含まれ、移載エンジン６は３つのエンドエフェクタを有するので、移載エンジン６は３つの同軸回転体を有している。
【００３３】
同軸回転体の回転機構について説明する。エンドエフェクタ７１を有する同軸回転体において、エンドエフェクタ７１は、その先端側（吸着パッド７０側）をベアリング６１により中空軸６０に軸支され、その根本側を大径ベアリングの内輪８１に一体的に固定されている。大径ベアリングの内輪８１は、連結部材９１により、隣接する大径ベアリングの外輪８２に一体的に固定されている。さらに、連結部材９１の外周を覆うようにして連結部材９１と大径ベアリングの外輪８２に一体的に固定された駆動ホイール９２が設けられその外周表面には、例えばタイミングベルトによる回転駆動のための伝導用噛み合い溝（精密ギアー等）が設けられている。
【００３４】
上述したエンドエフェクタ７１を有する同軸回転体と同様に、エンドエフェクタ７３，７５を有する同軸回転体が構成される（図７、図８参照）。移載エンジン６全体としてみると、３つの同軸回転体は互いに他の構造を支持した構造になっている。つまり、４つの同軸軸受（大径ベアリング）の互いに隣接する一方の軸受の内輪と他方の軸受の外輪とを一体的に連結した軸受構造が形成され、それぞれの軸受の内輪に各エンドエフェクタが一体的に固定され、それぞれの外輪に駆動ホイールを介して回転駆動力が付与される構造になっている。
【００３５】
上述の軸受構造において、回転駆動力の付与を、例えば３つの同軸回転体毎に異なる３方向から行うことにより、駆動ホイールの軸芯に向かう外圧を分散（相殺）させることができる。また、各同軸回転体の回転運動は独立しているので、個々の駆動ホイールに対して、個々に汎用サーボ制御系原動機を結合し、変速位相及び位置補正の制御を行うことができる。なお、駆動ホイールの外周空間は開放空間であり、ここに各種機構部を設けることができるので、汎用サーボ制御系原動機の代わりに、より高精度な機構・制御を可能にするダイレクトドライブ機構を設けることができる。
【００３６】
エンドエフェクタによる移載物の吸着・切り離しについて説明する。移載物吸着用の負圧は、図６（ｂ）に示すように、エンドエフェクタ７１の吸着パッド７０の孔から、エンドエフェクタ７１の内部空間、ベアリング６１の孔及びスリット、中空軸６０に設けられた貫通孔７０ａ、そして中空軸６０の中心軸上に設けられた貫通孔７０ｂを介して接続された図示しない装置附帯の圧空制御器により与えられる。移載物切り離しは、例えば、吸着用の配管系とは別に設けた配管系（不図示）に、エンドエフェクタ７１の回転に伴うベアリング６１の回転に従い、ベアリング６１に設けた図示しない切り離し用圧力制御孔が接続されるようにすることで実現できる。
【００３７】
なお、本発明は、上記構成に限られることなく種々の変形が可能である。例えば、移載物の供給側（上流）において連続体状態で供給される移載物素材を個片に切り離して移載物としてその移載物を第１担持体に所定間隔で供給する場合、定ピッチ化補正、姿勢補正を行う整列手段を設け、第２担持体上のワーク供給間隔を無停止で一定化する無停止位相同調機構を設ける構成とすることにより、移載装置を、さらに高効率化できる。また、本願発明の移載装置は、コンパーティングマシン、印刷機、ラベラー、半導体製造装置等における連続及び枚葉体上への塗布薬液類の転写装置、関係小片・ラベル等の移載・転移・貼り付け装置としても用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による移載装置の概念図。
【図２】（ａ）は同上移載装置を用いた移載の状況を示す移載物及び移載先のワークの斜視図、（ｂ）は移載物及びワークの斜視図。
【図３】同上移載装置におけるエンドエフェクタの周回運動を示す回転角度時間変化のグラフ。
【図４】（ａ）は同上移載装置における１つのエンドエフェクタに注目した周回運動説明図、（ｂ）は（ａ）に示した周回運動を示す回転角度時間変化のグラフ。
【図５】同上移載装置におけるエンドエフェクタ先端部の斜視図。
【図６】（ａ）は同上移載装置における移載エンジンの正面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ｂ−Ｃ−Ｏ−Ｄ断面図。
【図７】同上移載装置における同軸回転体の分解斜視図。
【図８】（ａ）〜（ｂ）は同上移載装置における同軸回転体の断面図。
【符号の説明】
１  移載装置
２  移載物
３  第１担持体
４  ワーク
５  第２担持体
６  移載エンジン
１０  同軸回転体
７１〜７６  エンドエフェクタ
８１，８３，８５  内輪
８２，８４，８６  外輪
１０３，１０５，１０６  計測部
【図１】
2004265920.tif 000003
【図２】
2004265920.tif 000004
【図３】
2004265920.tif 000005
【図４】
2004265920.tif 000006
【図５】
2004265920.tif 000007
【図６】
2004265920.tif 000008
【図７】
2004265920.tif 000009
【図８】
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