(57)【要約】【課題】改質器の全量燃焼排ガスから改質工程で発生する熱源を利用して回収しさらに圧縮して、この圧縮二酸化炭素の一部を合成ガスの原料ガスとし、残部を地中等の系外に排出して大気中への二酸化炭素の放出をほぼゼロにすることが可能な合成ガスの製造方法を提供する。【解決手段】天然ガスと水蒸気を外部加熱方式の改質器に供給し、水素及び一酸化炭素を主成分とする合成ガスを製造する合成ガスの製造方法において、前記改質器の改質管を加熱するための燃焼輻射部より排出される全量の燃焼排ガスより二酸化炭素を二酸化炭素回収装置により回収し、回収した該二酸化炭素を圧縮機で圧縮してその一部又は全部を前記改質器へ供給される前の前記天然ガスに混合し合成ガスの原料とすることを特徴とする。【選択図】    図１
2004168553.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天然ガスと水蒸気を外部加熱方式の改質器に供給し、水素及び一酸化炭素を主成分とする合成ガスを製造する合成ガスの製造方法において、
前記改質器の改質管を加熱するための燃焼輻射部より排出される全量の燃焼排ガスより二酸化炭素を二酸化炭素回収装置により回収し、回収した該二酸化炭素を圧縮機で圧縮してその一部又は全部を前記改質器へ供給される前の前記天然ガスに混合し合成ガスの原料とすることを特徴とする合成ガスの製造方法。
【請求項２】
前記二酸化炭素回収装置により二酸化炭素を回収される前記燃焼排ガスの量は、流路面積可変手段により可変であることを特徴とする請求項１記載の合成ガスの製造方法。
【請求項３】
前記改質器で合成された合成ガスと水とで熱交換をしてスチームを発生させ、このスチームで圧縮機駆動用スチームタービンを駆動させることを特徴とする請求項１または２記載の合成ガスの製造方法。
【請求項４】
前記燃焼輻射部で発生する燃焼排ガスの熱を前記改質器で合成ガスの合成反応に供した後、さらに水と熱交換してスチームを発生させ、このスチームで圧縮機駆動用スチームタービンを駆動させることを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載の合成ガスの製造方法。
【請求項５】
合成ガスの原料として使用されない前記圧縮された二酸化炭素の残部は、地中に供給されて固定化されることを特徴とする請求項１ないし４いずれか記載の合成ガスの製造方法。
【請求項６】
製造された合成ガスは、メタノール、ジメチルエーテル、またはフィッシャ・トロプシュ反応系でのガソリン、灯油および軽油の合成に使用されることを特徴とする請求項１ないし５いずれか記載の合成ガスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばメタノールの合成、ジメチルエーテルの合成、またはフィッシャ・トロプシュ反応系でのガソリン、灯油および軽油の合成に用いられる合成ガスの製造方法に関する。
【０００２】
さらに詳しくは、系内で発生する二酸化炭素を合成ガスの原料として用い、さらに残部が生じた場合も大気に放出しないで地球温暖化防止に寄与し、系内で発生した熱の有効活用もできる省エネルギーの合成ガスの製造方法に関する。
【０００３】
【従来の技術】
水素（Ｈ２）と一酸化炭素（ＣＯ）を主成分とする合成ガスは、例えばメタノール、ジメチルエーテル（ＤＭＥ）、またはフィッシャ・トロプシュ反応系でのＧＴＬ（Ｇａｓ  ｔｏ  Ｌｉｑｕｉｄ）プロセスによるガソリン等の合成に用いられている。
【０００４】
ところで、本願出願人が出願の特許文献１には加湿器内に天然ガスおよび改質器の燃焼排ガスから回収した二酸化炭素を供給して蒸気が添加された天然ガス、二酸化炭素を含む原料ガスを調製し、この原料ガスを前記改質器に供給して改質反応を行うことによって合成ガスを製造する方法が開示されている。
【０００５】
このような合成ガスの製造方法は、前記改質器で発生した燃焼排ガスから二酸化炭素を一部回収し、合成ガスの原料ガスとして利用するため、合成ガスの増産化とともに、煙突から大気に排出される二酸化炭素の放出量を削減でき、地球の温暖化防止に寄与する。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−９７９０５
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
近年、地球の温暖化現象対策の一つとして、化石燃料等を燃焼させた場合に発生する二酸化炭素の大気への放出量を極力低減することが、強く望まれている。
【０００８】
しかしながら、従来の合成ガスの製造方法では相当量の二酸化炭素が煙突から大気に放出される。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み二酸化炭素の大気放出をほぼゼロとする合成ガスの製造方法を提供し、地球環境保全に大きく寄与することを目的とする。
【００１０】
さらに、本発明は系内で発生する熱の系内有効利用を図り、系外放出量を最小限とする省エネルギーの合成ガスの製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る合成ガスの製造方法は、天然ガスと水蒸気を外部加熱方式の改質器に供給し、水素及び一酸化炭素を主成分とする合成ガスを製造する合成ガスの製造方法において、
前記改質器の改質管を加熱するための燃焼輻射部より排出される全量の燃焼排ガスより二酸化炭素を二酸化炭素回収装置により回収し、回収した該二酸化炭素を圧縮機で圧縮してその一部又は全部を前記改質器へ供給される前の前記天然ガスに混合し合成ガスの原料とすることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明に係る合成ガスの製造方法において、前記二酸化炭素回収装置により二酸化炭素を回収される前記燃焼排ガスの量は流路面積可変手段により可変であることが好ましい。
【００１３】
本発明に係る合成ガスの製造方法において、前記改質器で合成された合成ガスと水とで熱交換をしてスチームを発生させ、このスチームで圧縮機駆動用スチームタービンを駆動させることを許容する。
【００１４】
本発明に係る合成ガスの製造方法において、前記燃焼輻射部で発生する燃焼排ガスの熱を前記改質器で合成ガスの合成反応に供した後、さらに水と熱交換してスチームを発生させ、このスチームで圧縮機駆動用スチームタービンを駆動させることを許容する。
【００１５】
本発明に係る合成ガスの製造方法において、合成ガスの原料として使用されない前記圧縮された二酸化炭素の残部は、地中に供給されて固定化されることを許容する。
【００１６】
本発明に係る合成ガスの製造方法において、製造された合成ガスはメタノール、ジメチルエーテル、またはフィッシャ・トロプシュ反応系でのガソリン、灯油および軽油の合成に使用されることを許容する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る合成ガスの製造方法を、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
図１は、この実施形態に係る合成ガスの製造プラントを示す概略図、図２は図１の合成ガス製造プラントに組み込まれた二酸化炭素回収装置を示す概略図である。
【００１９】
改質器１０は、水蒸気改質用反応管１１と、この反応管１１の周囲に配置された燃焼輻射部１２と、この燃焼輻射部１２に対流部（廃熱回収部）１３を備え、煙突１４へ連通されている。前記反応管１１内には、合成ガス合成用の触媒（例えばニッケル系触媒）が充填されている。
【００２０】
燃料導入用流路２０１は、前記改質器１０の燃焼輻射部１２に接続されている。原料ガス導入用流路２０２は、前記改質器１０の対流部１３を経由して前記反応管１１の上端に接続されている。この流路２０２には、脱硫器（図示せず）を介装してもよい。スチーム（水蒸気）導入流路２０３は、原料ガス導入用流路２０２の前記対流部１３交差する前の上流側に接続されている。また、被加熱流体、例えばボイラ水が流通される流路２０４は、前記改質器１０の対流部１３に交差してその対流部１３の燃焼排ガスと前記ボイラ水とが熱交換され、燃焼排ガスを冷却するとともにボイラ水自身が加熱されてスチームが生成され、後述するスチームタービンに供給される。ここで、ボイラ水の圧力や熱交換伝導面積等を変えることにより、スチームタービン側のニーズに対応して中圧スチーム又は高圧スチームにして供給することができる。なお、このスチームの一部を合成ガスの合成に使用するため、前記スチーム導入流路２０３を通して原料ガス導入用流路２０２に供給しもよい。
【００２１】
合成ガス流通用流路２０５は、前記改質器１０の反応管１１下端に接続されている。熱交換器３１は、合成ガス流通用流路２０５に介装されている。前記熱交換器３１は、流路２０６が交差され、この流路２０６を流通する被加熱流体、例えばボイラ水を加熱してスチームを生成し、後述するスチームタービンに供給される。ここで、ボイラ水圧力や熱交換伝導面積等を変えることにより、スチームタービン側のニーズに対応して中圧スチーム又は高圧スチームにして供給することができる。
【００２２】
二酸化炭素回収装置４０は、燃焼排ガス導入用流路２０７を通して前記改質器１０の対流部１３に接続されている。この二酸化炭素回収装置４０は、図２に示すように互いに隣接して配列された冷却塔４１、二酸化炭素吸収塔４２および吸収液再生塔４３を備えている。前記冷却塔４１には、気液接触部材４４が内蔵されている。前記二酸化炭素吸収塔４２には、二酸化炭素を含んだ燃焼排ガスと、該燃焼排ガスから二酸化炭素を吸収除去する吸収液とを効率良く接触させるための気液接触部材４５ａが再生された吸収液のオーバーフロー部４６の上部に、また、前記オーバーフロー部４６の下部に前記同様の気液接触部材４５ｂが具備されている。前記吸収液再生塔４３には、上部側と下部側の２つの気液接触部材４７ａ，４７ｂが内蔵されている。
【００２３】
前記冷却塔４１は、前記対流部１３に前記燃焼排ガス導入用流路２０７を通して接続されている。そして、対流部１３内に設けられた流路面積可変手段（例えば、ダンパ１５）により、前記対流部１３を前記燃焼排ガス導入用流路２０７の分岐の後流側で全閉することによって、前記燃焼排ガスの全量を二酸化炭素回収装置４０へ導入することができるようになっている。また、ダンパ１５の開度を調整することにより、二酸化炭素回収装置４０のメインテナンスや故障時、その他の事情に応じて燃焼排ガスの全量叉は一部を二酸化炭素回収装置４０へ導入せずに煙突１４より系外へ排出することもできるようになっている。
【００２４】
冷却水は、流路２０８を通して前記冷却塔４１の上部より噴射され、前記燃焼排ガス導入用流路２０７を通して導入された燃焼排ガスと前記気液接触部材４４で効率良く接触し、該燃焼排ガスを冷却している。前記冷却塔４１の頂部は、流路２０９を通して前記二酸化炭素吸収塔４２の下部付近と接続され、かつこの流路２０９にはブロワ４８が介装されている。
【００２５】
前記吸収塔４２の底部は、流路２０１０を通して前記吸収液再生塔４３の２つの上部側と下部側の２つの気液接触部材４７ａ，４７ｂの間に位置するところに接続されている。ホンプ４９および熱交換器５０は、前記流路２０１０に前記吸収塔４２側から順次介装されている。
【００２６】
前記吸収液再生塔４３の底部は、前記熱交換器５０を経由する流路２０１１を通して前記吸収塔４２のオーバーフロー部４６が位置する上部に接続されている。ポンプ５１は、前記吸収液再生塔４３の底部と前記熱交換器５０の間に位置する前記流路２０１１に介装されている。流路２０１２は、一端が前記吸収塔４２の前記オーバーフロー部４６の個所に接続され、他端がポンプ５２を経由して前記吸収塔４２の上部側の気液接触部材４５ａ上の箇所に接続されている。熱交換器５６は、前記流路２０１２に介装されている。排気流路２０１３は、一端が前記吸収塔４２の頂部に接続され、他端が前記改質器１０の対流部１３に接続されている。
【００２７】
流路２０１４は、一端が前記吸収液再生塔４３の下部付近に接続され、他端が同じく前記吸収液再生塔４３の前記気液接触部材４７ｂの直下に位置する箇所に接続されている。ポンプ５３および前記熱交換器５４は、前記流路２０１４に前記吸収液再生塔４３の下部付近側から順次介装されている。後述するスチームタービンからの低圧スチームが流通する流路２０１５は、前記熱交換器５４に交差され、その低圧スチームが前記流路２０１４を流通する再生液と熱交換され、それ自身が凝縮される。流路２０１６は、一端が前記再生塔４３の頂部に接続され、他端が冷却用熱交換器５５を経由して後述する圧縮機に接続されている。前記冷却用熱交換器５５より下流側の前記流路２０１６には、前記再生塔４３の前記上部側気液接触部材４７ａの上部に接続される流路２０１７が分岐されている。
【００２８】
スチームタービン６１により駆動される圧縮機６２は、前記二酸化炭素回収装置４０に前記流路２０１６を通して接続されている。この圧縮機６２は、流路２０１８を経由して前記改質器１０の上流側である前記原料ガス導入用流路２０２に接続されている。圧縮二酸化炭素を系外に排出するための流路２０１９は、前記流路２０１８から分岐されている。
【００２９】
前記スチームが流通される流路２０４，２０６は、前記スチームタービン６１に接続され、このスチームタービン６１には前述した二酸化炭素回収装置４０の熱交換器５４に交差される前記低圧スチーム流通流路２０１５が接続されている。
【００３０】
次に、前述した図１および図２に示す合成プラントを参照して合成ガスの製造方法を説明する。
【００３１】
まず、燃焼用燃料は燃料導入用流路２０１を通して改質器１０の燃焼輻射部１２に供給され、ここで空気とともに燃焼されて反応管１１を所定の温度に加熱する。この燃焼輻射部１２で発生し反応管１１を所定温度に加熱した燃焼排ガスは、対流部１３へと流れ、この対流部１３と交差する原料ガス導入用流路２０２内を流通する原料ガスを予熱し、流路２０４内を流通するボイラ水と熱交換されて冷却されるとともに、ボイラ水は中圧、叉は高圧のスチームになる。
【００３２】
ボイラ水等により熱の一部を回収された燃焼排ガスは、通常は、ダンパ１５により対流部１３側と煙突１４側とを遮断しておくこととにより、全量が燃焼排ガス導入用通路２０７へと流れ二酸化炭素回収装置４０の冷却塔４１へ導入される。この冷却塔４１では、導入された前記燃焼排ガスが、流路２０８を通して供給され噴霧された冷却水と気液接触部材４４により効率よく気液接触され冷却される。冷却された燃焼排ガスは、前記冷却塔４１の頂部から出てブロワ４８の駆動により流路２０９を通して二酸化炭素吸収塔４２の下部付近に供給され、その内部の下部側気液接触部材４５ｂを上昇する間、吸収液再生塔４３から熱交換器５０を経由する流路２０１１を通して前記吸収塔４２の気液接触部の上部に供給された再生吸収液と接触してその燃焼排ガス中の二酸化炭素がアミン液に吸収される。燃焼排ガスは、さらに前記オーバーフロー部４６を経由して上部側気液接触部材４５ａを上昇する間、ポンプ５２の駆動により流路２０１２と熱交換器５６を通して前記吸収塔４２の頂部付近に供給された水により二酸化炭素吸収熱により上昇した燃焼排ガスが冷却される。
【００３３】
二酸化炭素が除去された燃焼排ガスは、排気流路２０１３を通して煙突１４側へ送出され外に排出される。前記二酸化炭素吸収アミン液は、前記吸収塔４２の底部に貯留され、ここからポンプ４９の駆動により流路２０１０を通して前記吸収液再生塔４３の２箇所の気液接触部材４７ａ，４７ｂの間に供給される。このとき、前記二酸化炭素を吸収したアミン液は流路２０１０に介装された熱交換器５０を流通する間、前記再生塔４３の底部に接続した流路２０１１を流通する比較的温度の高い再生アミン液と熱交換されて加熱されるとともに、その再生アミン液が冷却される。加熱された二酸化炭素吸収アミン液は、前記再生塔４３の下部側気液接触部材４７ｂを流下する間に二酸化炭素と再生アミン液に分離される。このとき、前記再生塔４３底部に貯留された再生アミン液はポンプ５３の駆動により流路２０１４を通して循環され、後述するスチームタービンから排出された低圧スチームが流通する流路２０１５が交差される熱交換器５４で熱交換されて加熱され、これにより前記再生塔４３自体を加熱して二酸化炭素と再生アミン液との分離の熱源を付与する。
【００３４】
前記再生アミン液は、前記再生塔４３底部に貯留され、ポンプ５１の駆動により前記流路２０１１を通して前記吸収塔４２に返送される。前記二酸化炭素は、上部側気液接触部材４７ａを上昇し、再生塔４３頂部から流路２０１６を通して排出される間、冷却用熱交換器５５で冷却され、二酸化炭素と共に持ち運ばれる水蒸気アミン水蒸気が凝縮され、その凝縮水は分岐された流路２０１７を通して前記再生塔４３に戻される。
【００３５】
前記二酸化炭素回収装置４０で前記燃焼排ガス中の二酸化炭素を回収した後、この二酸化炭素は前記流路２０１６を通して圧縮機６２に供給される。このとき、前記改質器１０の対流部１３と交差して熱交換することにより生成されたスチームおよび後述する熱交換器３１で熱交換することにより生成されたスチームを流路２０４，２０６を通してスチームタービン６１に供給して駆動し、この駆動力により前記圧縮機６２を作動することによって、この圧縮機６２に供給された二酸化炭素が圧縮される。なお、前記燃焼排ガスと熱交換してスチームを生成させる際に、ボイラ水流量や熱交換伝導面積等を変えることにより、スチームタービン側のニーズに対応して中圧スチームや高圧スチームにして供給することができる。
【００３６】
前記圧縮二酸化炭素の一部は、流路２０１８を通して後述する天然ガスが流通する流路２０２に供給し、合成ガスの原料として使用することができる。圧縮二酸化炭素の残部は、流路２０１８，２０１９を通して系外（例えば尿素プラント、地中）に排出してもよい。
【００３７】
また、前記スチームタービン６１から排出された低圧スチームは流路２０１５を通して前記二酸化炭素回収装置４０に供給され、その熱交換器５４で流路２０１４を通して循環される再生アミン液と熱交換されてその再生アミン液を加熱し、自身が冷却されて凝縮水になる。この凝縮水は、前述したボイラ水として前記流路２０１５を通して流路２０４，２０６に返送される。
【００３８】
メタンを主成分とする天然ガスは、原料ガス導入用流路２０２に供給される。この時、前記圧縮機４０で昇圧された二酸化炭素は流路２０１８を経由して原料ガス導入用流路２０２を流通する前記天然ガスに所定量添加される。また、水蒸気（スチーム）は水蒸気導入用流路２０３を通して前記天然ガスに所定量添加される。なお、この水蒸気は熱交換器３４でボイラ水を合成ガスと熱交換することにより生成された水蒸気、または改質器１０の対流部１３でボイラ水を燃焼排ガスと熱交換することにより生成され水蒸気が利用されてもよい。
【００３９】
二酸化炭素および水蒸気が添加された天然ガスは、前記原料ガス導入用流路２０２内を流通し、前記改質器１０の対流部１３を通過する間に加熱（予備加熱）され、その後前記反応管１１に供給される。前記改質器１０の反応管１１に供給されたメタン（ＣＨ４）を主成分とする天然ガス、水蒸気および二酸化炭素は、その反応管１１内の触媒の存在下でメタンが主に水蒸気改質され、水素、一酸化炭素および二酸化炭素を含む合成ガスが製造される。この改質反応は、吸熱反応であるため、前述したように改質器１０の燃焼輻射部１２で燃料ガスと空気を燃焼させて前記反応管１１内を例えば８５０〜９００℃に加熱する。得られた合成ガスは、合成ガス流通用流路２０５を経由して熱交換器３１に供給され、ここで流路２０６を流通するボイラ水を加熱し、水蒸気を発生させるとともに、それ自体が冷却される。この水蒸気は、前記スチームタービン６１に供給され、その駆動に利用される。
【００４０】
以上、本発明の実施形態によれば改質器１０に天然ガスおよび水蒸気を含む原料ガスを供給する改質工程により水素および一酸化炭素を含む合成ガスを製造するにあたり、前記改質器１０で発生した全量の燃焼排ガス中の二酸化炭素を二酸化炭素回収装置４０により回収し、この二酸化炭素を圧縮機６２に供給するとともに、この圧縮機６２を前記改質工程で発生する熱源を利用して駆動することにより二酸化炭素を圧縮する。具体的には、前記改質器１０の対流部１３と交差して熱交換することにより生成されたスチームおよび熱交換器３１で熱交換することにより生成されたスチームを流路２０４，２０６を通してスチームタービン６１に供給して駆動し、このスチームタービン６１の駆動力により前記圧縮機６２を作動することによって、改質工程で発生する余剰のスチームを利用して二酸化炭素を圧縮することができる。
【００４１】
このような圧縮二酸化炭素の一部を天然ガスおよび水蒸気を含む前記原料ガスに供給し、この圧縮二酸化炭素を含む原料ガスを前記改質器１０の反応管１１に供給して改質反応を行うことによって、合成ガスの増産化を図ることができる。また、二酸化炭素回収装置４０の故障時やその他の事情に応じて、ダンパ１５の開度を調節することにより、燃焼排ガスの全量叉は一部を二酸化炭素回収装置４０へ導入せずに煙突１４より系外へ排出することもできるようになる。
【００４２】
一方、前記圧縮二酸化炭素に残部がある場合は系外の設備を使用するなどして有効に利用することができる。さらに油田のような地中に排出して固定化することもできる。
【００４３】
したがって、合成ガスの増産化を図ることができるとともに、前記改質工程での余剰の熱源を有効に利用して、例えばその余剰熱でスチームを生成してスチームタービンに供給し、また、煙突からの二酸化炭素の放出をほぼゼロにでき、二酸化炭素排出税の削減による経済性の向上、地球の温暖化防止に寄与できる。
【００４４】
また、得られた合成ガスはフィッシャ・トロプシュ反応系でのガソリン等の合成、メタノールの合成またはジメチルエーテルの合成に適用することができる。ただし、フィッシャ・トロプシュ反応系でのガソリン等の合成に適用する場合はモル比でＨ２／ＣＯが１〜２．０の組成を有する合成ガスを用いることが好ましい。
【００４５】
なお、前述した実施形態では図１に示すように燃焼排ガスを対流部１３から流路２０７を経由、分岐して二酸化炭素回収装置４０に導入したが、図３に示すように燃焼排ガスが対流部１３からそのまま二酸化炭素回収装置４０に導入されるようにして、常時全量処理をするようにしてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、系内で発生する燃焼排ガスの全量から二酸化炭素を回収し、合成ガスの原料として使用して合成ガスの増産化に寄与できるとともに、該二酸化炭素の大気中への放出をほぼゼロとし、地球温暖化防止上の観点から地球環境保全に大きく寄与することができる。
【００４７】
また、前記二酸化炭素を合成ガスの原料として使用してさらに残部が生じた場合においても、回収された二酸化炭素は地中に固定化する等ができ、大気中へ放出すること無く処理することができる。
【００４８】
さらに、本発明によれば熱が合成ガスの合成に使用された後の燃焼排ガスに、なおも有する熱エネルギーを、ボイラー水から中圧叉は高圧スチームを生成するために有効に利用し、この生成したスチームで、系内の二酸化炭素回収装置で回収された二酸化炭素を原料ガスとして送りこむ等のために圧縮（昇圧）する圧縮機用スチームタービンを駆動すると共に二酸化炭素回収装置系内の加熱源として利用できるようにしたことにより、熱エネルギーを系外へ放出することなく、省エネルギーで合成ガスを合成できる。
【００４９】
また、前記生成したスチームの一部を原料ガスに供給できるようにしたことにより、系外からのスチーム供給をゼロにする叉は減らすことができ、省エネルギーと合成ガスの増産化に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に用いられる合成ガス製造の要部を示す概略図。
【図２】図１に組み込まれた二酸化炭素回収装置を示す概略図。
【図３】本発明の他の実施形態に用いられる合成ガス製造の要部を示す概略図。
【符号の説明】
１０…改質器、
１１…反応管、
１２…燃焼輻射部、
１３…対流部、
１５…ダンパ、
２０１…燃料導入用流路、
２０２…原料ガス導入用流路、
３１…熱交換器、
４０…二酸化炭素回収装置、
４１…冷却塔、
４２…二酸化炭素吸収塔、
４３…吸収液再生塔、
５４…再生塔用熱交換器。
６１…スチームタービン、
６２…圧縮機。
【図１】
2004168553.tif 000003
【図２】
2004168553.tif 000004
【図３】
2004168553.tif 000005