(57)【要約】【課題】内部を流体の収容空間として用いる被検査物に対して、洩れの有無を簡易かつ正確に検査し、検査効率の向上を図る。【解決手段】被検査物（例えば、シリンダブロック２）の内側に密閉された第１の密閉空間１１を形成すると共に、被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第２の密閉空間１２を形成し、第１の密閉空間１１に大気圧以上の気体を供給すると共に第２の密閉空間１２を非圧縮性流体で密封し、第２の密閉空間１２の圧力変化を捉えることで被検査物の漏れの有無を判定する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側を流体の収容空間として用いる被検査物の漏れを検査する漏れ検査方法において、
前記被検査物の内側に密閉された第１の密閉空間を形成すると共に、前記被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第２の密閉空間を形成し、
前記第１の密閉空間と前記第２の密閉空間との一方に大気圧以上の気体を供給すると共に他方に非圧縮性流体を密封し、
前記非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えることで前記被検査物の漏れの有無を判定するようにしたことを特徴とする漏れ検査方法。
【請求項２】
前記大気圧以上の気体を前記第１の密閉空間に供給し、前記非圧縮性流体を前記第２の密閉空間に密封することを特徴とする請求項１記載の漏れ検査方法。
【請求項３】
前記大気圧以上の気体は、空気であることを特徴とする請求項１又は２記載の漏れ検査方法。
【請求項４】
前記非圧縮性流体は、水であることを特徴とする請求項１又は２記載の漏れ検査方法。
【請求項５】
前記非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、前記被検査物の漏れの有無を判定する前に非圧縮性流体以外の流体を除去する処理を施すことを特徴とする請求項１記載の漏れ検査方法。
【請求項６】
内側を流体の収容空間として用いる被検査物の漏れを検査する漏れ検査装置において、
前記被検査物を収容し、前記被検査物の内側に密閉された第１の密閉空間を形成すると共に、前記被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第２の密閉空間を形成する被検査物収容器と、
前記第１の密閉空間と前記第２の密閉空間との一方に加圧気体を供給する加圧気体供給手段と、
前記第１の密閉空間と前記第２の密閉空間との他方に非圧縮性流体を供給して密封する非圧縮性流体密封手段と、
前記非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えることで前記被検査物の漏れの有無を判定する判定手段と
を有することを特徴とする漏れ検査装置。
【請求項７】
前記加圧気体供給手段は前記第１の密閉空間に加圧気体を供給するものであり、前記非圧縮性流体密封手段は前記第２の密閉空間に非圧縮性流体を密封するものであることを特徴とする請求項５記載の漏れ検査装置。
【請求項８】
前記加圧気体は、空気であることを特徴とする請求項６又は７記載の漏れ検査装置。
【請求項９】
前記非圧縮性流体は、水であることを特徴とする請求項６又は７記載の漏れ検査装置。
【請求項１０】
前記非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、非圧縮性流体以外の流体を除去する手段を更に設けたことを特徴とする請求項６記載の漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、圧縮機のハウジングの一部を構成するシリンダブロック等のように、内側を流体の収容空間として用いる被検査物の漏れを検査する場合に適した漏れ検査方法とその方法に用いられる装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、車両用空調装置に用いられる圧縮機は、軽量化の観点からアルミダイカストのハウジングを利用する場合が多いが、このようなハウジングにおいては、冷媒漏れに対して的確な検査が必要となる。このため、現行においては、組付けが完了した圧縮機を最終検査工程においてヘリウムリーク検査装置等で漏れの有無を検査するようにしており（特許文献１参照）、漏れが検出された場合には、圧縮機を分解して漏れの原因となる該当部品を交換した上で再度組付け直す作業が行われている。
【０００３】
ところが、このような方法によれば、洩れが検出される都度、圧縮機を組付け直す必要があるので、手間がかかり、生産効率が悪いものであった。このため、圧縮機を構成するハウジング単体で漏れの有無を検査することが望ましいが、ヘリウム試験装置は、非常に高価で大掛かりなものであるので、ハウジング単体を１つづつ検査するには不向きである。このため、従来においては、ハウジングを治具によって気密状態に形成した上で水槽に水没させ、ハウジング内部に高圧空気を印加することで、空気が洩れて気泡が出ないかどうかを検査する方法等が考えられている（特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−２３５３８６号公報（０００３欄参照）
【特許文献２】
特開２０００−３１０５７９号公報（０００３欄参照）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような水没検査においては、気泡の有無を目視によって判断する方法がとられているので、ハウジングを１つ１つ検査するには効率が悪く、また、正確に検査できる保証もなかった。
【０００６】
そこで、この発明においては、内部を流体の収容空間として用いるハウジングなどの被検査物に対して、洩れの有無を簡易かつ正確に検査し、検査効率の向上を図ることが可能な漏れ検査方法とその方法の実施に用いられる装置を提供することを主たる課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために、この発明に係る漏れ検査方法は、内側を流体の収容空間として用いる被検査物の漏れを検査する漏れ検査方法において、前記被検査物の内側に密閉された第１の密閉空間を形成すると共に、前記被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第２の密閉空間を形成し、前記第１の密閉空間と前記第２の密閉空間との一方に大気圧以上の気体を供給すると共に他方に非圧縮性流体を密封し、前記非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えることで前記被検査物の漏れの有無を判定するようにしたことを特徴としている（請求項１）。
【０００８】
特に、被検査物の内圧を利用してシーリングが施されるような被検査物においては、大気圧以上の気体を第１の密閉空間に供給し、非圧縮性流体を第２の密閉空間に密封することが好ましい（請求項２）。ここで、気体としては、空気を利用し、非圧縮性流体としては、水を利用してもよい（請求項３，４）。
【０００９】
したがって、被検査物の内側又は外側の一方には、高圧気体が供給される密閉空間が形成され、他方には、非圧縮性流体が密封される密閉空間が形成されるので、一方の密閉空間に供給された高圧気体が被検査物を介して洩れた場合には、他方の密閉空間の圧力が上昇する。このため、他方の密閉空間（非圧縮性流体が密封された密閉空間）の圧力変化の有無を捉えることで被検査物の漏れの有無を判定することが可能となり、目視などによる人的判断に頼る必要がなくなり、漏れに対する的確な検査が可能となる。尚、検査精度を高めるために、非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、被検査物の漏れの有無を判定する前に非圧縮性流体以外の流体を除去する処理を行うようにしてもよい（請求項５）。
【００１０】
また、以上のような検査方法を実現するための検査装置としては、被検査物を収容し、被検査物の内側に密閉された第１の密閉空間を形成すると共に、被検査物の外側に該被検査物を取り囲む密閉された第２の密閉空間を形成する被検査物収容器と、第１の密閉空間と第２の密閉空間との一方に加圧気体を供給する加圧気体供給手段と、第１の密閉空間と第２の密閉空間との他方に非圧縮性流体を供給して密封する非圧縮性流体密封手段と、非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えることで被検査物の漏れの有無を判定する判定手段とを有するものが考えられる（請求項６）。
【００１１】
ここで、加圧気体供給手段は加圧気体を第１の密閉空間に供給し、非圧縮性流体密封手段は非圧縮性流体を第２の密閉空間に密封するものであっても（請求項７）、また、気体として空気を利用し、非圧縮性流体として水を利用してもよい（請求項８，９）。また、検出精度を高めるために、非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、非圧縮性流体以外の流体を除去する手段を更に設けるようにしてもよい（請求項１０）。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の態様を図面に基づいて説明する。
図１において、被検査物の漏れを検査する漏れ検査装置１が示されている。ここで、被検査物は、内側が流体の収容空間として用いられる物で、この例においては、圧縮機のハウジングの一部を構成するシリンダブロック２を対象としている。
【００１３】
漏れ検査装置１は、シリンダブロック２を収容する凹部３が形成された基体４と、この基体４にシール部材５を介して気密よく取り付けられ、基体４との間でシリンダブロック２の収容空間を形成する蓋体６とを備えた被検査物収容器７を有している。
【００１４】
ここで、シリンダブロック２は、筒状体をなしているもので、基体４の内側壁から離して略中央に形成された支持部８に固定されるようになっており、シリンダブロック２の端面が当接する基体４の内面にオーリングなどのシール部材９が設けられ、基体４とシリンダブロック２との間が気密に当接されるようになっている。また、シリンダブロック２を基体４に取り付けた状態で蓋体６が取り付けられると、蓋体６とこれに対峙するシリンダブロック２の端面との間がオーリングなどのシール部材１０を介して気密に当接されるようになっている。
【００１５】
したがって、基体４にシリンダブロック２を収容し、蓋体６を取り付けると、シリンダブロック２の内側が基体４と蓋体６とによって閉塞され、このシリンダブロック２の内側に密閉された第１の密閉空間１１が画成される。また、シリンダブロック２の外側が基体４と蓋体６とによって閉塞され、シリンダブロック２の外側に密閉された第２の密閉空間１２がシリンダブロック２を取り囲むように画成される。
【００１６】
そして、被検査物収容器７の基体４には、第１の密閉空間１１に連通する第１の配管コネクタ１３と、第２の密閉空間１２に連通する第２及び第３の配管コネクタ１４，１５とが取り付けられている。
【００１７】
第１の配管コネクタ１３には、２つのポペット弁型電磁弁１６，１７が並列的に配管接続されている。一方のポペット弁型電磁弁１６は、気体を加圧圧送するポンプ１８の吐出側に接続され、ポンプ１８から圧送される気体を第１の密閉空間１１に供給するためのエア供給バルブを構成している。また、他方のポペット弁型電磁弁１７は、第１の密閉空間１１を大気に開放し、第１の密閉空間１１に供給されたの加圧気体を排出するための排気バルブを構成している。
【００１８】
第２の配管コネクタ１４には、２つのポペット弁型電磁弁１９，２０が並列的に配管接続されている。一方のポペット弁型電磁弁１９は、非圧縮性流体を加圧圧送するポンプ２１の吐出側に接続され、ポンプ２１から圧送される非圧縮性流体を第２の密閉空間１２に供給するための流体供給バルブを構成している。また、他方のポペット弁型電磁弁２０は、第２の密閉空間１２内に供給された非圧縮性流体をタンク２２へ排出させるための排出バルブを構成している。
【００１９】
第３の配管コネクタ１５は、被検査物収容器７の上部に配設されているもので、この配管コネクタには、２つのポペット弁型電磁弁２３，２４が並列的に接続されている。一方のポペット弁型電磁弁２３は、空気を加圧圧送するポンプ２５の吐出側に接続され、第２の密閉空間１２から非圧縮性流体を抜く際に空気を第２の密閉空間１２に供給するためのプレッシャバルブを構成している。また、他方のポペット弁型電磁弁２４は、第２の密閉空間１２を大気に開放し、第２の密閉空間１２へ非圧縮性流体を供給する際に第２の密閉空間１２から空気を抜くためのエアパージバルブを構成している。
【００２０】
前記第３の配管コネクタ１５と２つのポペット弁型電磁弁２３，２４の分岐点との間には、管内圧が所定圧以上となった場合に圧力をリリーフさせるためのセイフティーバルブ２６と、非圧縮性流体の圧力が所定圧力以上となったことを検出する圧力スイッチ２７とが接続されている。
【００２１】
ここで、第１の密閉空間１１に供給される気体としては、例えば空気が用いられ、また、第２の密閉空間１２に供給される非圧縮性流体としては、例えば水が用いられる。第１の密閉空間１１に供給される空気は、ポンプ１８によって大気圧以上（例えば、１０〜３０ｋｇ／ｃｍ２）に加圧され、第２の密閉空間１１に供給される水は、加圧してもよいが、この例においては、加圧しない状態を想定している。
【００２２】
そして、各ポペット弁型電磁弁（１６，１７，１９，２０，２３，２４）や各ポンプ（１８，２１，２５）は、コントロールユニット２８からの出力信号に基づいて制御されるようになっている。コントロールユニット２８は、図示しない中央演算処理装置（ＣＰＵ）、読出専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、入出力ポート（Ｉ／Ｏ）等を備えると共に、各ポペット弁型電磁弁やポンプを駆動制御する駆動回路等を有して構成され、圧力スイッチ２７からの信号等が入力され、メモリに与えられた所定のプログラムにしたがって入力信号を処理し、ポペット弁型電磁弁の切り換えや、ポンプのオンオフ等を制御し、被検査物（シリンダブロック２）の漏れの有無を検査するようにしている。
【００２３】
図２において、被検査物の漏れ検査する処理例がフローチャートとして示され、以下、このフローチャートに基づいて漏れ検査の処理を説明する。
【００２４】
先ず、被検査物（シリンダブロック２）の漏れを検査するにあたり、ステップ５０において、基体４にシリンダブロック２からなるワークをセットし、次のステップ５２において、コントロールユニット３６に通電してメモリチェックを行うなどの初期設定を行う。
【００２５】
そして、ステップ５４において、基体４に蓋体６を取り付けて被検査物（シリンダブロック２）をこれらで挟み込んでクランプし、シリンダブロック２の内側に第１の密閉空間１１を、また、シリンダブロック２の外側に第２の密閉空間１２を形成する。
【００２６】
その後、ステップ５６において、ポペット弁型電磁弁１６を開状態（ＯＮ）に切り換えてポンプ１８により圧縮空気を第１の配管コネクタ１３を介して第１の密閉空間１１へ供給し、また、ポペット弁型電磁弁１９を開状態（ＯＮ）に切り換えてポンプ２１により水を第２の配管コネクタ１４を介して第２の密閉空間１２へ供給する。
【００２７】
そして、これと同時に、ステップ５８において、ポペット弁型電磁弁２４を開状態（ＯＮ）に切り換えて第２の密閉空間１２を大気に開放し、第２の密閉空間１２への水の流入に伴い行き場が無くなった同空間内の空気を大気へ逃す。
【００２８】
その後、第２の密閉空間１２が水で満たされた後にポペット弁型電磁弁（エアパージバルブ）２４を閉状態（ＯＦＦ）にして第２の密閉空間１２を水で密封する状態を形成し、その状態で待機する（ステップ６０，６２）。また、ポペット弁型電磁弁１９を閉状態（ＯＦＦ）にして第２の密閉空間１２への給水を停止し、この状態で第２の密閉空間１２内の圧力が安定するのを待つ（ステップ６４，６６）。
【００２９】
そして、圧力が安定した後に、圧力スイッチ２７から出力される信号を圧力データとして読み取り、この計測状態を所定時間継続させる（ステップ６８，７０）。その後、ステップ７２において、圧力スイッチ３５からの信号に基づき、被検査物（シリンダブロック２）の漏れ判定を行う。
【００３０】
加圧空気が供給される第１の密閉空間１１の周囲には、被検査物（シリンダブロック２）を介して非圧縮性流体を密封した第２の密閉空間が設けられているので、被検査物に気漏れが生じるような場合には、圧縮空気が第２の密閉空間の非圧縮性流体内に漏出され、第２の密閉空間内の圧力が高められることとなる。このため、圧力スイッチ２７の動作点を洩れのない状態で作動しないような所定圧に調節しておけば、第２の密閉空間１２の圧力が所定圧以上となって圧力スイッチ２７が作動した場合には、被検査物（シリンダブロック２）に洩れがあると認められるので、この場合には、被検査物を不良品（ＮＧ）とみなして、ステップ７４〜８４において、不良品を仕分ける処理を行う。また、第２の密閉空間１２の圧力が所定時間経過した後でも圧力変動がなく、圧力スイッチ２７が作動しない場合には、被検査物（シリンダブロック２）に洩れがないと認められるので、被検査物を良品（ＯＫ）とみなして、ステップ８６〜９６において、良品を仕分ける処理を行う。
【００３１】
具体的には、洩れ判定の結果、被検査物に洩れがあると判定された場合には、ポペット弁型電磁弁１６を閉状態（ＯＦＦ）、ポペット弁型電磁弁１７を開状態（ＯＮ）にして第１の密閉空間１１の圧縮空気を排出し、また、ポペット弁型電磁弁１９を閉状態（ＯＦＦ）、ポペット弁型電磁弁２０を開状態（ＯＮ）にして第２の密閉空間１２の水を排出し、この状態をしばらく継続させる（ステップ７４、７６）。その後、ポペット弁型電磁弁２０を閉状態（ＯＦＦ）にして排水処理を停止し（ステップ７８）、蓋体６を外して被検査物収容器７内に保持されたシリンダブロック２をアンクランプし（ステップ８０）、この被検査物（ワーク）を基体４から取り外して（ステップ８２）、不良品を回収するコンベアへ振分ける（ステップ８４）。
【００３２】
これに対して、洩れ判定の結果、被検査物の洩れがないと判定された場合には、ポペット弁型電磁弁１６を閉状態（ＯＦＦ）、ポペット弁型電磁弁１７を開状態（ＯＮ）にして第１の密閉空間１１の圧縮空気を排出し、また、ポペット弁型電磁弁１９を閉状態（ＯＦＦ）、ポペット弁型電磁弁２０を開状態（ＯＮ）にして第２の密閉空間１２の水を排出し、この状態をしばらく継続させる（ステップ８６、８８）。その後、ポペット弁型電磁弁２０を閉状態（ＯＦＦ）にして排水処理を停止し（ステップ９０）、蓋体６を外して被検査物収容器７内に保持されたシリンダブロック２をアンクランプし（ステップ９２）、この被検査物（ワーク）を基体４から取り外して（ステップ９４）、良品を回収するコンベアへ振分ける。
【００３３】
したがって、以上の漏れ検査方法によれば、第２の密閉空間１２の圧力変化を圧力スイッチ２７により捉えることで被検査物のリークの有無を判別することが可能となるので、目視などによる人的判断に頼る必要がなくなる。よって、ヘリウムリーク検査装置のような大掛かりな装置を用いなくても、簡易な装置で被検査物を個々に漏れ検査することが可能となり、検査対象となる全ての被検査物を簡易にかつ正確に検査することが可能となる。
【００３４】
また、上述の検査方法によれば、最終製品にする前の段階で被検査物の全数を予め検査し、漏れが生じる不良品と漏れのない良品とを仕分けすることが可能となるので、不良品が組み付けられる不都合もなくなる。
【００３５】
以上のように、上述した漏れ検査の手法によれば、圧縮空気が第２の密閉空間に漏れた際に生じる圧力変化を捉えることで漏れ検査を行うようにしているので、このような手法においては、水（非圧縮性流体）に混在する空気（気体）は、予め完全に除去しておく方が精度の高い検査を行う上で望ましい。
【００３６】
図３において、この点を踏まえて奪気処理を加えた漏れ検査装置１の構成例が示されており、以下この装置について、前記構成例と異なる部分を中心に説明する。
【００３７】
この例において、被検査物収容器７の第２の配管コネクタ１４には、２つのポペット弁型電磁弁３０，３１が逆止弁の向きを反対にして直列に接続され、この電磁弁３０，３１を介して水槽３２に接続されている。また、第３の配管コネクタ１５には、ポペット弁型電磁弁３２を介してフロートスイッチ３３ａを備えた水位制御タンク３３が接続されている。この水位制御タンク３３は、第２の密閉空間１２が水で完全に満たされた状態となった後に所定の水位に達し、フロートスイッチ３３ａが作動（ＯＮ）するもので、フロートスイッチ３３ａが動作することで第２の密閉空間１２が満液状態であることを検知できるようになっている。
【００３８】
そして、この水位制御タンク３３の気相領域には、ミストセパレータ３４が接続され、このミストセパレータ３４の下部には、２つのポペット弁型電磁弁３５，３６が逆止弁の向きを反対にして直列に接続され、ミストセパレータ３４で分離された水をこのポペット弁型電磁弁３５，３６を介してタンク３７へ排出するようにしている。また、ミストセパレータ３４には、バキュームバルブを構成するポペット弁型電磁弁３８とバッファタンク３９とを介してバキュームポンプ４０が接続され、ミストセパレータ３４によって分離された空気を吸引するようにしている。
【００３９】
また、ミストセパレータ３４には、２つのポペット弁型電磁弁４１，４２が並列的に接続され、一方のポペット弁型電磁弁４１は、空気を加圧圧送するポンプ４３の吐出側に接続され、第２の密閉空間１２に密封された水を排水する際に第２の密閉空間１２に対して加圧空気を供給し、排水を促すためのエア供給バルブを構成している。また、他方のポペット弁型電磁弁４２は、レギュレータ４４を介してポンプ４３に接続され、バキュームポンプ４０で奪気した後に第２の密閉空間１２を若干大気圧以上に戻すための低圧調整バルブを構成している。
【００４０】
そして、第３の配管コネクタ１５には、ポペット弁型電磁弁４５を介して、第２の密閉空間１２が所定圧以上となった場合に圧力をリリーフするためのセイフティーバルブ４６と、非圧縮性流体（水）の圧力が所定圧力以上となった場合に動作する圧力スイッチ４７とが接続されている。尚、その他の構成は前記構成例と同様であるので、同一箇所に同一番号を付して説明を省略する。
【００４１】
図４に、この検査装置を用いて被検査物の漏れを検査する処理例がフローチャートとして示されている。この例においては、図２のステップ５８〜６４に代えて、ステップ１００〜１０６の処理が行われるもので、以下、この点について説明すると、ステップ５６において、第１の密閉空間１１に高圧空気が供給され、また、第２の密閉空間１２に水が供給されると、次のステップ１００で、水位制御タンク３３のフロートスイッチ３３ａが作動して第２の密閉空間１２が満液状態となるまで待機し、フロートスイッチ３３ａがオンとなった時点で吸水を停止させる（ステップ１０２）。
【００４２】
その後、バキュームポンプ４０を作動させて奪気を開始し、一旦第２の密閉空間１２の圧力を大気圧よりも低く低下させ、その後、若干正圧に戻すために低圧調整バルブ（ポペット弁型電磁弁４２）を作動させて低圧空気を供給する（１０４，１０６）。そして、この状態で密封し、第２の密閉空間内の圧力が安定するのを待つ（ステップ６６）。尚、他の処理は、前記構成例と同様であるので、同一箇所に同一番号を付して説明を省略する。
【００４３】
したがって、このような検査方法においては、第２の密閉空間１２に供給された水に溶け込んでいる空気やワーク（シリンダブロック２）の袋状部分に残存する空気を強制的に奪取し（ステップ１０４）、その後に第２の密閉空間１２の圧力変化を捉えるようにしているので、精度よく被検査物の漏れを検査することができ、誤判定をなくすことが可能となる。
【００４４】
尚、上述の構成においては、第２の密閉空間１２の圧力変化を所定の圧力で作動する圧力スイッチ２７を利用して捉えるようにしたが、第２の密閉空間１２の圧力を圧力センサによってリアルタイムに検出し、この圧力センサで検出された圧力が所定条件を満たすように変化したことを捉えて被検査物の漏れの有無を判定するようにしてもよい。或いは、圧力データをシーケンサーに取り込まず、圧力が安定したところでパネルメータ（圧力スイッチのアンプ）をゼロリセットし、一定時間後にパネルメータに設定された所定値を超えたら被検査物を不良品（ＮＧ）と判定するようにしてもよい。
【００４５】
また、上述においては、被検査物としてシリンダブロックを用いた例を示したが、内側を流体の収容空間として用いる被検査物であれば、同様の手法を用いて漏れ検査を行うことが可能であり、シリンダブロックに限定されるものではない。例えば、圧縮機を構成するシリンダヘッドに対して漏れ検出を行う場合に利用してもよく、また、被検査物収容器の被検査物を保持する治具次第で個々のパーツを組付けた組立品の漏れを検査するために利用してもよい。
【００４６】
圧縮機のような組立品に対して漏れ検査を行う場合には、鉄系素材に対しては腐食が、また、シール材に対しては侵食がそれぞれ問題となるので、非圧縮性流体として水を用いる代わりに、適切な流体で代用することが望ましい。特に、検査後の速乾性なども考慮し、ＨＣＦＣ系溶剤や、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤など用途に応じて非圧縮性流体を選定することが望ましい。
【００４７】
さらに、上述の漏れ検査装置を用いた漏れ検査方法としては、被検査物を密閉して加圧気体を内部に充填しておき、この被検査物を被検査物収容器にセットして周囲に非圧縮性流体を充満させ、圧力変化を同様に捉えるようにしてもよい。
【００４８】
以上の検査装置においては、被検出物の内側に大気圧以上の圧力を印加し、外側に封入された非圧縮流体の圧力変化を検知することで漏れ検出を行う構成であったが、気体と非圧縮流体の導入箇所を逆にし、被検査物の内側に非圧縮流体を封入し、外側に大気圧以上の圧力を印加する構成としてもよい。
ワークを被検査物収容器７にセットして内側に大気圧以上の内圧を印加する場合には、漏れないようにクランプ圧を大きくしてジグを相当なシート力でワークに押し付ける必要があり、ともすればワークの変形ないしは破損の恐れが懸念されるが、外側に大気圧以上の圧力を印加する構成では、クランプ圧を小さくすることが可能となり、ワークの変形や破損の恐れを無くすことができる利点を有する。
【００４９】
【発明の効果】
以上述べたように、この発明によれば、内側を流体の収容空間として用いる被検査物に対して、その内側に密閉された第１の密閉空間を形成し、その外側に被検査物を取り囲む密閉された第２の密閉空間を形成し、一方の密閉空間に大気圧以上の気体を供給すると共に他方の密閉空間を非圧縮性流体で密封し、非圧縮性流体を密封した密閉空間の圧力変化を捉えて被検査物の漏れの有無を判定するようにしたので、目視などによる人的判断に頼る必要がなくなり、簡易かつ正確に被検査物の漏れを検査することが可能となり、検査効率の向上を図ることが可能となる。
【００５０】
また、非圧縮性流体が密封された密閉空間に対して、被検査物の漏れの有無を判定する前に非圧縮性流体以外の流体を除去する処理を施すことで、漏れの検査精度を一層高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、漏れ検査装置の構成例を示す図である。
【図２】図２は、図１で示される漏れ検査装置を用いた漏れ検査の方法を説明するフローチャートである。
【図３】図３は、漏れ検査装置の他の構成例を示す図である。
【図４】図４は、図３で示される漏れ検査装置を用いた漏れ検査の方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
１  漏れ検査装置
２  シリンダブロック
１１  第１の密閉空間
１２  第２の密閉空間
【図１】
2004347496.tif 000003
【図２】
2004347496.tif 000004
【図３】
2004347496.tif 000005
【図４】
2004347496.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月20日(2004.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2004347496.tif 000007