(57)【要約】【課題】磁気ディスク装置において、磁気ヘッド取り付けの位置精度の向上を図りデータアクセス時の動作性能を高める。【解決手段】磁気ディスク装置１が備える磁気ヘッドアッセンブリ１５先端のジンバル２１には、ロードビーム２０先端のディンプル２９によって支持されるべき部位、すなわち、磁気ヘッドスライダ５の重心部分が置かれるタング部２５上の位置に、開口部３０が形成されている。したがって、磁気ヘッドスライダ５をタング部２５へ搭載する側から、タング部２５を挟んで裏側に配置されることになるディンプル２４の位置が視覚的に認識可能となる。また、この開口部３０を閉塞するために光透過性を有する開口閉塞用シート３１をタング部２５上に貼着する。これにより、磁気ヘッドスライダ５を所望の位置に高精度に位置決めでき、データアクセス時の動作性能を高めることができる。【選択図】　　　図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク媒体から情報を再生するためのヘッド素子が搭載されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを前記ディスク媒体の半径方向に移動させるためのアーム部材と、
前記アーム部材に支持されたサスペンション部材と、
前記サスペンション部材に支持されていると共に前記ヘッドスライダが搭載されたスライダ搭載部を備えるジンバル部材と、
前記サスペンション部材に設けられ前記スライダ搭載部における前記ヘッドスライダの非搭載側から前記ヘッドスライダの重心部分を支持する突起部と、
前記スライダ搭載部へ前記ヘッドスライダを搭載する側から前記突起部の位置を視覚的に認識可能になるように前記スライダ搭載部に形成された開口部と
を具備することを特徴とするヘッドアッセンブリ。
【請求項２】
前記開口部を閉塞する光透過性の閉塞部材をさらに具備することを特徴とする請求項１記載のヘッドアッセンブリ。
【請求項３】
前記突起部又は前記スライダ搭載部と、前記ヘッドスライダとの電気的接触が回避されるように、前記閉塞部材が、電気絶縁性材料で形成され且つ前記スライダ搭載部と前記ヘッドスライダとの間に介在されていることを特徴とする請求項２記載のヘッドアッセンブリ。
【請求項４】
請求項１ないし３いずれか１項に記載のヘッドアッセンブリと、
前記ディスク媒体を回転駆動するディスク駆動機構と、
前記ヘッドスライダが前記ディスク媒体の半径方向に移動するように前記ヘッドアッセンブリが備える前記アーム部材を駆動するアーム部材駆動機構と
を具備することを特徴とするディスク装置。
【請求項５】
ディスク媒体から情報を再生するためのヘッド素子が搭載されたヘッドスライダを前記ディスクの半径方向に移動させるためのアーム部材と、前記ヘッドスライダの重心部分を支持するための突起部を備えたサスペンション部材とを接合する工程と、
前記ヘッドスライダが搭載されるスライダ搭載部を備えると共に前記スライダ搭載部に開口部が形成されたジンバル部材を、前記開口部を通じて前記突起部の位置を視覚的に認識可能になるように前記サスペンション部材上に接合する工程と、
前記サスペンション部材上に接合された前記サスペンション部材の前記スライダ搭載部に形成された前記開口部を通じて、前記突起部と前記ヘッドスライダの重心部分とを位置決めしつつ前記スライダ搭載部上に前記ヘッドスライダを接合する工程と
を有することを特徴とするヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項６】
前記スライダ搭載部上に前記ヘッドスライダを接合する工程の実施前に、前記開口部を光透過性の閉塞部材で閉塞する工程を実施することを特徴とする請求項５記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク媒体から情報を再生するために用いられるヘッドアッセンブリ、ディスク装置及びヘッドアッセンブリの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、コンピュータの例えば外部記憶装置として磁気ディスク装置や光ディスク装置等を始めとするディスク装置が広く利用されている。このようなディスク装置、例えば前記磁気ディスク装置は、一般に磁気ヘッド素子を搭載したヘッドスライダを磁気ディスク媒体上で移動させるヘッド駆動ユニットとして磁気ヘッドアッセンブリを備えている。
【０００３】
磁気ヘッドアッセンブリは、磁気ディスク媒体の半径方向に回動可能に設けられたヘッドアームと、主に板ばね等で形成されヘッドアームから延出したサスペンション部材等とを有している。サスペンション部材は、ヘッドアームに基端部が弾性的に支持された細長い板状のロードビームと呼ばれる部材である。このロードビーム上には、さらにジンバルと呼ばれる板ばねが支持されている。磁気ヘッドスライダは、ジンバルの先端部にスライダ搭載部として形成されたタング部上に接着剤等で接合されている。
【０００４】
このようにして磁気ヘッドアッセンブリに搭載されている磁気ヘッドスライダは、磁気ディスク媒体の表面に近接する方向に微弱なばね力で付勢される。ここで、上記ジンバル先端のタング部は、その周縁部のほとんどが、ジンバルの本体部分から切り離された領域として形成されている。さらに、このタング部は、ロードビームの先端部に形成された突起状のディンプルによって、磁気ヘッドスライダの非搭載面側から支持されている。つまり、磁気ヘッドスライダは、その重心部分が、ジンバル先端のタング部を介しロードビーム先端のディンプルによって支持されるように、上記タング部上に位置決めされて接合される。
【０００５】
したがって、タング部上の磁気ヘッドスライダは、磁気ディスク媒体の回転に伴って生ずる、いわゆる流体動圧効果により、サスペンション部材の付勢力に抗しつつディスク媒体の表面に対して僅かに浮上した状態で、ディンプルを支点とし、ディスクトラックの接線方向及び法線方向にその姿勢を自由に可変するように動作する。
【０００６】
ここで、上述した磁気ヘッドスライダとディンプルとは、タング部を挟むかたちで各々が配置されるため、磁気ヘッドスライダの重心部分とディンプルとの位置決めは、例えば、ジンバルに予め形成された規準穴や、ジンバル上に設けられた配線パターンのエッジ部等を基準として、設計上のディンプル位置を求めること等により行われる。また、例えばＵＳＰ６，１８１，５２２で開示された発明には、フレクシャを介して磁気ヘッドスライダを支持するためのボールをロードビーム先端のエッチングホールに埋め込み、このボールの位置を、フレクシャにおけるスライダの非搭載面側（ロードビームにおけるフレクシャの非支持面側）から光学的に検出し、磁気ヘッドスライダを位置決めする方法が紹介されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の位置決め方法では、磁気ヘッドスライダの搭載側からタング部を挟んで裏側に配置されることになる上記ディンプルの位置を、スライダの搭載側から直接的に確認することができない。このため、上述した前者の位置決め方法等では、ロードビームとジンバルとを接合する際の取り付け誤差や、ロードビーム上におけるディンプル位置の成形誤差等の影響を受け、磁気ヘッドスライダの重心部分をディンプルに対し高精度に位置決めすることが困難である。また、これにより、磁気ヘッドアッセンブリの組み立て作業の効率の低下を招いている。
【０００８】
また、今日、磁気ディスク装置には、高密度記録化や小型化等が絶えず求められており、これに伴い磁気ヘッドスライダやサスペンション部材も、より小型化が図られて行くことが予想される。すなわち、今後、磁気ディスク装置においては、磁気ディスク媒体へのデータのアクセス動作等に影響を与える磁気ヘッドスライダの取り付け位置の精度を、より一層向上させる必要がある。
【０００９】
そこで本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、ヘッド取り付けの位置精度の向上や取り付け作業の効率化を図れると共に、データアクセス時の動作性能を高めることができるヘッドアッセンブリ、ディスク装置及びヘッドアッセンブリの製造方法の提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るヘッドアッセンブリは、ディスク媒体から情報を再生するためのヘッド素子が搭載されたヘッドスライダと、前記ヘッドスライダを前記ディスク媒体の半径方向に移動させるためのアーム部材と、前記アーム部材に支持されたサスペンション部材と、前記サスペンション部材に支持されていると共に前記ヘッドスライダが搭載されたスライダ搭載部を備えるジンバル部材と、前記サスペンション部材に設けられ前記スライダ搭載部における前記ヘッドスライダの非搭載側から前記ヘッドスライダの重心部分を支持する突起部と、前記スライダ搭載部へ前記ヘッドスライダを搭載する側から前記突起部の位置を視覚的に認識可能になるように前記スライダ搭載部に形成された開口部とを具備することを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、ジンバル部材のスライダ搭載部に形成された開口部を通じて、スライダ搭載部上にヘッドスライダを搭載する側からサスペンション部材の突起部の位置を視覚的に認識できるので、ヘッドスライダの重心部分とこの部位を支持すべき突起部とを高精度に位置合わせして互いを接合でき、これにより、ヘッド取り付け位置の精度の向上を図ることができる。
【００１２】
また、本発明に係るヘッドアッセンブリは、前記開口部を閉塞する光透過性の閉塞部材をさらに具備することを特徴とする。
この発明によれば、上記閉塞部材が光透過性を有することから、突起部の位置の視覚的な認識効果を確保した上で、ヘッドスライダをスライダ搭載部に接合する際に用いる例えば接着剤等が、開口部から流れ出すこと等を阻止することができる。
【００１３】
さらに、本発明に係るヘッドアッセンブリは、前記突起部又は前記スライダ搭載部と、前記ヘッドスライダとの電気的接触が回避されるように、前記閉塞部材が、電気絶縁性材料で形成され且つ前記スライダ搭載部と前記ヘッドスライダとの間に介在されていることを特徴とする。
この発明によれば、上述した発明の効果に加え、突起部とヘッドスライダとの電気的接触、及びスライダ搭載部とヘッドスライダとの電気的接触を阻止できるので、ヘッドスライダ上のヘッド素子からリード／ライトの際に安定的な磁気特性を得ることができる。
【００１４】
また、本発明に係るディスク装置は、上述したいずれかのヘッドアッセンブリと、前記ディスク媒体を回転駆動するディスク駆動機構と、前記ヘッドスライダが前記ディスク媒体の半径方向に移動するように前記ヘッドアッセンブリが備える前記アーム部材を駆動するアーム部材駆動機構とを具備することを特徴とする。
この発明のディスク装置によれば、ヘッドが所望の位置に高精度に位置決めされて形成されるヘッドアッセンブリを備えているので、ディスク媒体へのデータアクセスの精度、つまりシーク動作の精度を高めることができる。これにより、例えばシーク時間の短縮化等を図ることができる。
【００１５】
さらに、本発明に係るヘッドアッセンブリの製造方法は、ディスク媒体から情報を再生するためのヘッド素子が搭載されたヘッドスライダを前記ディスクの半径方向に移動させるためのアーム部材と、前記ヘッドスライダの重心部分を支持するための突起部を備えたサスペンション部材とを接合する工程と、前記ヘッドスライダが搭載されるスライダ搭載部を備えると共に前記スライダ搭載部に開口部が形成されたジンバル部材を、前記開口部を通じて前記突起部の位置を視覚的に認識可能になるように前記サスペンション部材上に接合する工程と、前記サスペンション部材上に接合された前記サスペンション部材の前記スライダ搭載部に形成された前記開口部を通じて、前記突起部と前記ヘッドスライダの重心部分とを位置決めしつつ前記スライダ搭載部上に前記ヘッドスライダを接合する工程とを有することを特徴とする。
【００１６】
この発明のヘッドアッセンブリの製造方法によれば、ジンバル部材のスライダ搭載部に形成された開口部を通じて、スライダ搭載部上にヘッドスライダを搭載する側からサスペンション部材の突起部の位置を視覚的に認識できるので、ヘッドスライダの重心部分とこの部位を支持すべき突起部とを高精度に位置合わせして互いを接合することができる。これにより、ヘッド取り付けの位置精度を向上できると共にヘッド取り付け作業の効率化を図ることができる。
【００１７】
また、本発明に係るヘッドアッセンブリの製造方法は、前記スライダ搭載部上に前記ヘッドスライダを接合する工程の実施前に、前記開口部を光透過性の閉塞部材で閉塞する工程を実施することを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る磁気ヘッドアッセンブリを備えた磁気ディスク装置を示す斜視図である。
同図に示すように、この磁気ディスク装置１は、上面の開口した矩形箱状のケース２と、複数のねじによりケースにねじ止めされケース２上面の開口を閉塞するトップカバー（図示せず）とを備えている。
【００１９】
ケース２内には、磁気ディスク媒体である例えば２枚の磁気ディスク３と、この磁気ディスク３を支持及び回転させるディスク駆動機構としてのスピンドルモータ４と、磁気ディスク３に対し情報の書き込み、読み出しを行なうヘッド素子を搭載した磁気ヘッドスライダ５と、磁気ヘッドスライダ５を磁気ディスク３に対して移動自在に支持したヘッドアクチュエータ６と、ヘッドアクチュエータ６が備えるヘッドアーム７を回動及び位置決めするアーム部材駆動機構としてのボイスコイルモータ８と、磁気ヘッドスライダ５が磁気ディスク３の最外周に移動した際、磁気ヘッドスライダ５を磁気ディスク３から離間した退避位置に保持するランプ９と、ヘッドＩＣ等を有する基板ユニット１０等とが収容されている。
【００２０】
また、ケース２の底壁外面には、基板ユニット１０を介してスピンドルモータ４、ボイスコイルモータ８、およびヘッド素子の制御を行うプリント回路基板（図示せず）がねじ止めされている。
【００２１】
磁気ディスク３は、例えば直径６５ｍｍ（２．５インチ）に形成されており、上面及び下面に磁気記録層を有している。例えば２枚の磁気ディスク３は、スピンドルモータ４のハブ（図示せず）の外周に嵌合されていると共に、クランプばね１１によって固定されている。これら２枚の磁気ディスク３は、スピンドルモータ４を駆動することで一体的に回転駆動される。
【００２２】
ヘッドアクチュエータ６は、ケース２の底壁上に固定された軸受ユニット１２を備えている。軸受ユニット１２は、ケース２の底壁に対し垂直に立設されたベアリングシャフト１３と、ベアリングシャフト１３に一対の軸受を介して回転自在に支持された円筒形状のハブ１４とを備えている。また、ヘッドアクチュエータ６は、ハブ１４に取り付けられた複数のスペーサリングと、ヘッドアッセンブリ１５とを備えている。
【００２３】
ボイスコイルモータ８は、ヘッドアクチュエータ６の支持枠１６に固定されたボイスコイル１７と、ボイスコイル１７を挟み込むようにケース１２上に固定された一対のヨーク１８と、一方のヨーク１８に固定された磁石１９とを備えている。
【００２４】
次に、本実施形態に係る磁気ヘッドアッセンブリ１５の構造を図２ないし図５に基づいて説明する。図２は、磁気ヘッドアッセンブリ１５を示す平面図、図３は、磁気ヘッドアッセンブリ１５の先端部の構造を示す分解斜視図、図４は、磁気ヘッドアッセンブリ１５の先端部を詳細に示す平面図、図５は、その先端部を側面からみた断面図である。
【００２５】
これらの図に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１５は、磁気ヘッドスライダ５を実質的に磁気ディスク３の半径方向に移動させるための前述したヘッドアーム７と、細長い板状のばね材等で構成され、ヘッドアーム７に基端部が弾性的に支持されたサスペンション部材であるロードビーム２０と、ロードビーム２０上に支持されたジンバル２１とから主に構成されている。
【００２６】
ヘッドアーム７は、図２に示すように、例えばＳＵＳ３０４等のステンレス系の材料により、板厚２５０μｍ程度の平板状に形成されており、互いが積層された状態で、個々の基端部の透孔が、軸受ユニット１２のハブ１４に挿通されている。また、上記スペーサリングは、ヘッドアーム７間に挟まれた状態でハブ１４の外周に嵌合されている。これにより、４本のヘッドアーム７は、互いが所定の間隔をおいて平行に配置され、ハブ１４から各々同一方向へ延出している。磁気ヘッドスライダ５は、磁気ディスク３の上面及び下面に各々のスライダ面２２が対向し、磁気ディスク３を両面から挟持するかたちで配置される。
【００２７】
磁気ヘッドアッセンブリ１５は、その先端から延出したタブ２３を一体に備えており、このタブ２３がランプ９と係合する。また、磁気ヘッドアッセンブリ１５は、磁気ヘッドスライダ５が、ランプ９の退避位置から回動した際に、ヘッドアーム７、ジンバル２１等が磁気ディスク３と重ならないように、つまり、磁気ディスク３の厚さ方向で干渉しないように構成されている。磁気ディスク３上を旋回する磁気ヘッドスライダ５は、図３に示すように、ほぼ矩形状に形成されており、記録再生用のヘッド素子としてＭＲ素子（磁気抵抗効果素子）２４を搭載している。
【００２８】
さらに、ここで、磁気ヘッドアッセンブリ１５の磁気ヘッドスライダ５の支持構造及びその部位の製造方法について図３ないし図５に基づき詳述する。
これらの図に示すように、ロードビーム２０と同様、板ばね材で形成されているジンバル２１には、スライダ搭載部として先端部にタング部２５が形成されており、磁気ヘッドスライダ５は、このタング部２５上に接着剤等で接合されている。磁気ヘッドスライダ５には、磁気ディスク３の回転に伴って生ずる流体の流出端側面に複数の電極パッド２６が設けられており、これら電極パッド２６とジンバル２１上に配線された配線パターン２７とは、超音波接合の一種である例えばＧＢＢ（Ｇｏｌｄ　Ｂａｌｌ　Ｂｏｎｄｉｎｇ）２８等で電気的に接続されている。配線パターン２７は、ＭＲ素子２４に対し磁気データの書き込みや読み出し動作を行わせる前記ヘッドＩＣに接続されている。
【００２９】
このようにして磁気ヘッドアッセンブリ１５に搭載される磁気ヘッドスライダ５は、磁気ディスク３の表面に近接する方向に、ロードビーム２０、ジンバル２１による微弱なばね力で付勢される。ここで、ジンバル２１先端のタング部２５は、その周縁部のほとんどが、ジンバル２１の本体部分から切り離された領域として形成されている。さらに、ロードビーム２０の先端部には、例えばパンチ加工等により突起状のディンプル２９が形成されており、タング部２５上の磁気ヘッドスライダ５は、このディンプル２９によって、タング部２５における磁気ヘッドスライダ５の非搭載面側から支持されている。つまり、磁気ヘッドスライダ５は、設計上理想的な配置としては、その重心部分が、ジンバル２１先端のタング部２５を介しロードビーム２０先端のディンプル２９によって支持されるように、上記タング部２５上に高精度に位置決めされていることが好ましい。
【００３０】
この場合、タング部２５上の磁気ヘッドスライダ５は、磁気ディスク３の回転に伴って生ずる、いわゆる流体動圧効果により、ロードビーム２０、ジンバル２１の付勢力に抗しつつ磁気ディスク３の表面に対して僅かに浮上した状態で、ディンプル２９を支点とし、ディスクトラックの接線方向及び法線方向にその姿勢を自由に可変し好適に動作することになる。
【００３１】
ここで、本実施形態のジンバル２１には、ディンプル２９によって支持されるべき部位、すなわち、磁気ヘッドスライダ５の重心部分が置かれるタング部２５上の位置に、エッチング加工等により円形状に穿孔された開口部（貫通穴）３０が形成されている。したがって、磁気ヘッドスライダ５をタング部２５へ搭載する側から、当該タング部２５を挟んで裏側（磁気ヘッドスライダ５の非搭載側）に配置されることになるディンプル２９の位置が視覚的に認識可能となる。これにより、磁気ヘッドスライダ５の重心部分とこの部位を支持すべきディンプル２９とを高精度に位置合わせして互いを接合でき、ヘッド取り付けの位置精度の向上を図ることができる。
【００３２】
さらに、タング部２５上には、開口部３０を閉塞するための電気絶縁性及び光透過性を有する例えばポリイミド製の開口閉塞用シート３１が、タング部２５（のスライダ搭載面）と磁気ヘッドスライダ５との間に介在されるかたちで貼着されている。開口閉塞用シート３１は、開口部３０よりも大きいサイズで円形状に形成されている。開口閉塞用シート３１は、光透過性を有することから、ディンプル２４の位置の視覚的な認識効果を確保できることに加え、磁気ヘッドスライダ５とタング部２５とを接合する際に用いる例えば接着剤等が開口部３１から流れ出してしまうこと等を阻止することができる。また、開口閉塞用シート３１により、タング部２５又はディンプル２９と、磁気ヘッドスライダ５との電気的接触を阻止できるので、磁気ヘッドスライダ５上のＭＲ素子２４からリード／ライトの際に安定的な磁気特性を得ることができる。
【００３３】
したがって、図５に示すように、磁気ヘッドスライダ５の重心部分は、開口閉塞用シート３１を介して間接的にディンプル２９に支持される。なお、図４に示すように、タング部２５の表面に対し磁気ヘッドスライダ５の姿勢を平行に保つために、スライダ姿勢補整用シート３２、３３が、タング部２５と磁気ヘッドスライダ５の周縁部との間に介在されている。
【００３４】
したがって、このような構造の磁気ヘッドアッセンブリ１５を製造する場合には、まず、サブアッセンブリとして、開口部３０を塞ぐように、タング部２１における磁気ヘッドスライダ５の搭載面側に開口閉塞用シート３１を貼着すると共に、磁気ヘッドスライダ５のタング部２５と対向する側の面の周縁部にスライダ姿勢補整用シート３２、３３を貼着する。
【００３５】
次に、光透過性の開口閉塞用シート３１が貼着されたタング部２５の開口部３０の位置と、ディンプル２９の位置とが適合するように、ジンバル２１上の本体部分に形成された基準穴３４を基準に、溶接部３５を通じてロードビーム２０とジンバル２１とをスポット溶接等により接合する。
【００３６】
次に、開口閉塞用シート３１が貼着されたタング部２５の開口部３０を通じて、ディンプル２９の実際の位置を視覚的に把握した上で、ディンプル２９と磁気ヘッドスライダ５の重心部分とを位置決めしつつ、開口閉塞用シート３１及びスライダ姿勢補整用シート３２、３３を挟むかたちでタング部２５上に磁気ヘッドスライダ５を接着剤などにより接合する。この際、周知の画像認識技術等を適用することにより、接合作業の効率向上を図ることができる。
【００３７】
この後、磁気ヘッドスライダ５上の電極パッド２６とジンバル２１上の配線パターン２７とを、ＧＢＢ２８等により接続する。さらに、ヘッドアーム７の先端部に、ジンバル２１を支持するロードビーム２０の基端部を接続する。勿論、ロードビーム２０とジンバル２１とを接合する前に、ロードビーム２０とヘッドアーム７とを接合しておいてもよい。
【００３８】
このように、本実施形態に係る磁気ディスク装置１では、磁気ヘッドスライダ５が理想的な設計位置に対し高精度に位置決めされた磁気ヘッドアッセンブリ１５を備えているので、磁気ディスク３へのデータアクセスの精度、つまりシーク動作の精度を高めることができる。これにより、この磁気ディスク装置１によれば、例えばシーク時間の短縮化等を図ることができる。
【００３９】
以上、本発明を実施の形態により具体的に説明したが、本発明は前記実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、本実施形態では、磁気ヘッドアッセンブリ、磁気ディスク装置及びその製造方法に本発明を適用した場合について説明したが、磁気的な記録／再生方式を採るディスクドライブ装置のみならず、基本構造が類似していれば、他の記録／再生方式を採用したディスク装置やその製造方法等に本発明を適用してもよい。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ジンバル部材のスライダ搭載部に形成された開口部を通じて、スライダ搭載部上にヘッドスライダを搭載する側からサスペンション部材の突起部の位置を視覚的に認識できるので、ヘッドスライダの重心部分とこの部位を支持すべき突起部とを高精度に位置合わせして互いを接合することができる。これにより、ヘッド取り付けの位置精度の向上及びヘッド取り付け作業の効率化を図ることができると共に、ディスク媒体へのデータアクセス時の動作性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る磁気ヘッドアッセンブリを備えた磁気ディスク装置を示す斜視図である。
【図２】図１の磁気ヘッドアセンブリを示す平面図である。
【図３】図２の磁気ヘッドアッセンブリの先端部の構造を示す分解斜視図である。
【図４】図２の磁気ヘッドアッセンブリの先端部を詳細に示す平面図である。
【図５】図４の磁気ヘッドアッセンブリの先端部を側面からみた断面図である。
【符号の説明】
１…磁気ディスク装置、３…磁気ディスク、４…スピンドルモータ、５…磁気ヘッドスライダ、７…ヘッドアーム、８…ボイスコイルモータ、１５…磁気ヘッドアッセンブリ、２０…ロードビーム、２１…ジンバル、２４…ＭＲ素子（磁気抵抗効果素子）、２５…タング部、２９…ディンプル、３０…開口部、３１…開口閉塞用シート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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