(57)【要約】【課題】長尺リニアーの搬送システムを自由に構成することができ、しかもコスト低減できるリニアモータを提供する。【解決手段】リニアスケールのスケール部４と永久磁石を設けた可動子１と、前記スケール部４を読みとるセンサー３と前記永久磁石に対し移動磁界を発生させるコイルを設けた固定子２とより構成されるリニアモータにおいて、前記固定子１２を単位長さ当たりで独立させた単位モジュールとなし、上位コントローラから前記各モジュールに対する指令で前記単位モジュールを越えて連続して走行・位置決めを行う位置制御装置を前記固定子の内部に備え、前記単位モジュールの少なくとも１個１２Ｔを、水平旋回、水平平行移動、垂直平行移動の少なくともいずれか１つの動作を可能とした。【選択図】　　　図１
2004015894.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアスケールのスケール部と永久磁石を設けた可動子と、前記スケール部を読みとるセンサーと前記永久磁石に対し移動磁界を発生させるコイルを設けた固定子とより構成されるリニアモータにおいて、
前記固定子を単位長さ当たりで独立させた単位モジュールとなし、上位コントローラから前記各モジュールに対する指令で前記単位モジュールを越えて連続して走行・位置決めを行う位置制御装置を前記固定子の内部に備え、
前記単位モジュールの少なくとも１個を、水平旋回、水平平行移動、垂直平行移動の少なくともいずれか１つの動作を可能としたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
前記水平旋回、水平平行移動、垂直平行移動の少なくともいずれか１つを可能とする前記単位モジュールの駆動を前記可動子の停止中に該可動子を駆動させる駆動制御部で行わせることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造装置あるいは工作機械などのＦＡ用搬送装置に用いられる長尺のリニアモータに関するもので、特に水平旋回可能なリニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来公知の長尺リニアモータは、図５のようになっている。
図５はそのリニアモータの側面図である。図５において、５１は可動子、５２は固定子、５３はセンサー、５４はリニアスケールのスケール部、５５はケーブルホースである。リニアモータは、可動子５１に図示しないコイルを有した電機子を配置し、固定子５２に図示しない永久磁石を配置した構造である（ムービングコイル形リニアモータ）。また、当該コイル（不図示）のリード線は給電用のケーブルホース５５等に内挿した電線と結線すると共に図示しないサーボドライブ装置と接続していた。
このような構成において、リニアモータはセンサー５３によって、スケール部５４から可動子５１の現在位置を示すセンサー信号を読みとり、位置指令と現在位置の信号によってサーボドライブ装置（図示せず。）で電流指令を演算し、サーボドライブ装置から制御された電流を、ケーブルホース５５を介して可動子５１に送り、可動子５１を動作させるようになっていた。
ところが、かかる従来技術では、例えばリニアモータの長ストローク化の用途に応じて固定子５２の長さを異常に長くすると、可動子５１に取り付けたケーブルホース５５の長さも長くなる。そのため、リニアモータの可動子５１はケーブルホースを引きずって動くため、可動子５１に作用するイナーシャが大きく、高速動作には適さない、制御性能に悪影響を与えるという問題があった。
また、可動子５１にコイルを有したものでは、イナーシャの問題を解決するためにケーブルホース５５に替えてレールや摺動子などを用いた給電方式を考慮せねばならない。しかしながら、これらの給電方式はシステム全体が大きくなると共に、塵埃が発生するという問題があり半導体製造装置には不向きであった。
【０００３】
このような問題を解決するため、本出願人は、先に発明をし、特願２００２−４０１０７号として特許出願した（以後、先行発明と言う。）。この先行発明は、可動子のストロークが異常に長いリニアモータを半導体製造装置に適用する場合に、イナーシャが小さくて高速動作に適し、制御性が良く、小型化が可能なリニアモータを提供することを目的とするもので、その構成は、リニアスケールのスケール部と永久磁石を設けた可動子と、前記スケール部を読みとるセンサーと前記永久磁石に対して移動磁界を発生させるコイルを設けた固定子とより構成されるリニアモータである（ムービングマグネット形リニアモータ）。前記固定子はその長手方向に向かって単位長さ当たりに分割された複数のモジュールを連結したもので構成され、モータの位置制御を行うためのサーボドライブ装置を介して上位コントローラから当該各々のモジュールに指令を送ることにより、前記可動子を連続して走行位置決めさせるようにしたものである。
【０００４】
以下、先行発明について、図６および図７に基づいて簡単に説明する。
図６は先行発明の実施例を示すリニアモータの側面図、図７は、リニアモータのサーボドライブ装置に設けられた位置検出読みとり用インターフェイス回路の構成図である。
図６において、６１は可動子、６２は固定子、６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚはモジュール、６３はセンサー、６４はスケール部、６９はサーボドライブ装置、６１０はコイルである。
このリニアモータは、リニアスケールのスケール部６４と図示しない永久磁石を設けた可動子６１と、スケール部６４を読みとるセンサー６３と永久磁石（不図示）に対して移動磁界を発生させるコイル６１０を設けた固定子６２とより構成される。そして、固定子６２がその長手方向に向かって単位長さ当たりに分割された複数のモジュール６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚを連結したもので構成され、モータの位置制御を行うための位置制御装置（以下、ここではサーボドライブ装置６９と呼ぶ。）を介して上位コントローラから当該各々のモジュールに指令を送ることにより、可動子６１を連続して走行位置決めさせるようにした点が特徴である。
また、固定子６２を構成する分割されたモジュール６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚは、サーボドライブ装置６９を固定子内部に備えたもので、一体化してある。これらのモジュール６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚは、センサー６３がカウントしたカウンターデータに予めサーボドライブ装置６９に備えられたメモリーに書かれたバイアス値を重畳して得られる現在値データを上位のコントローラに送信する機能を有するものである。
さらに、スケール部６４に、原点信号となるＣ相６４ａの位置にＩＤ信号６４ｂを付して差異を持たせ、この情報を読みとることで可動子６１の識別を行うようにしている。
【０００５】
次に、図６の先行発明に動作について説明する。
固定子６２の各モジュール６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚは各々サーボドライブ装置６９、若しくはインバータで構成されネットワーク対応の物となり、上位コントローラでの指令で動く。各モジュール６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚに取り付けられたセンサー６３の位置に、可動子６１に取り付けられたスケール部６４が移動すると、光学式のもので有れば光量が低下することで可動子６１の位置を検知することができ、図７に示すようにこの情報と最初のＣ相６４ａの原点信号でカウンター６６のデータをラッチ回路６７によりラッチし、このデータをカウンター６６のデータから減ずることでＣ相６４ａからの正確な位置を求めることが可能になる。なお、このラッチ回路６７はスケール部６４がセンサー６３の位置から外れ、再度Ｃ相６４ａが来るまで変化しない。
図７において、センサー６３が検出したＡ、Ｂ相の信号は微分回路６５によりカウンター６６を駆動できる信号となる。そして、このカウンター６６の読み出しデータは固定子６２における可動子６１の位置で有るので、各モジュールは上記のセンサー６３がカウントしたカウンターデータに、予め計測して求められ、図示しないメモリーに書き込まれたバイアス値をこれに重畳しこれを上位コントローラ（不図示）に送信することで、連続したデータとして扱うことができる。
【０００６】
更に、図６のスケール部６４にはＣ相６４ａの位置にＩＤ信号６４ｂを設けておくと、図７ではＣ相のセンサーが読み込んだ信号をＡ相をクロックとしてシフトレジスター６８に取り込みＭＳＢが１になるとクロックを停止させデータを読むことができる、ここで、このデータはスケール部６４から外れるとクリアされる。この様な構成を持ったサーボの各々はネットワークで上位のコントローラ（不図示）に接続され、ここの指令で同期を取り制御される。
したがって、先行発明に係る永久磁石を設けた可動子６１と、コイル６１０を設けた固定子６２とより構成されるリニアモータにおいて、固定子６を長手方向に向かって単位長さ当たりに分割された複数のモジュール６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚを組み合わせて連結したものとして構成したので、可動子６１のストロークが異常に長いリニアモータを半導体製造装置に適用する場合に、あたかも１つの長尺のリニアモータ固定子の様にして組み上げることができる。そして、従来のように可動子がケーブルホースを引きずって動く事はなくなることから、可動子６１に作用するイナーシャが小さくてすみ、高速動作には有利なリニアモータを提供することができる。また、本リニアモータはレールや摺動子などを用いた給電方式を考慮する必要もないので、システム全体が大型化することはなく、塵埃発生の心配も無いことから、信頼性の高いリニアモータを提供することができる。
また、固定子６２を構成する分割されたモジュール６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚにモータの位置制御を行うサーボドライブ装置６９を一体化したので、リニアモータシステム全体の省スペース化並びに小型化を図ることができる。
また、モジュール６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚは、センサー６３がカウントしたカウンターデータに予めサーボドライブ装置９に備えられたメモリーに書かれたバイアス値を重畳して得られる現在値データを上位のコントローラに送信する機能を有したので、リアルタイムに連続したデータを得ることができ、リアルタイム性が保証されるリニアモータの位置制御装置としても有効である。
また、スケール部６４に、原点信号となるＣ相６４ａの位置にＩＤ信号６４ｂを付して差異を持たせ、この情報を読みとることで可動子の識別を行うようにしたので、可動子６１の制御を容易に行うことができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、先行発明は工場内部、特に半導体製造装置の長尺の搬送装置を考慮しており、方向変更は半径の大きいＲの付いたモジュールを想定していた。ところが、直角に方向変更する要求が出てきた場合、先行発明ではこれに対処することができなかった。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、モジュール化された固定子を可動子を乗せた状態で旋回・平行・垂直移動が容易にできるリニアモータを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１記載のリニアモータの発明は、リニアスケールのスケール部と永久磁石を設けた可動子と、前記スケール部を読みとるセンサーと前記永久磁石に対し移動磁界を発生させるコイルを設けた固定子とより構成されるリニアモータにおいて、前記固定子を単位長さ当たりで独立させた単位モジュールとなし、上位コントローラから前記各モジュールに対する指令で前記単位モジュールを越えて連続して走行・位置決めを行う位置制御装置を前記固定子の内部に備え、前記単位モジュールの少なくとも１個を、水平旋回、水平平行移動、垂直平行移動の少なくともいずれか１つの動作を可能としたことを特徴とする。
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のリニアモータにおいて、前記水平旋回、水平平行移動、垂直平行移動の少なくともいずれか１つを可能とする前記単位モジュールの駆動を前記可動子の停止中に該可動子を駆動させる駆動制御部で行わせることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について、図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態を示すリニアモータの平面図であって、（ａ）は可動子が停止の状態、（ｂ）は可動子が回転途中の状態、（ｃ）は可動子の回転後の状態を示し、（ａ）〜（ｃ）はリニアモータ動作の時間的推移を示している。図において、１１は可動子、１２は固定子で、それぞれの形状ならびに永久磁石を可動子に配置し、コイルを有する電機子を固定子に配置した構造（ムービングマグネット形）は図６で説明したものと同じである。図６のリニアモータと異なる点は、縦続する複数の固定子１２のうち特定の固定子１２Ｔだけ平面内で水平旋回が可能となっていること、および固定子１２Ａの他に１個以上の固定子１２Ｂ、１２Ｃが水平旋回固定子１２Ｔを中心に放射状に配設され、各固定子１２Ｂ、１２Ｃの後に固定子１２Ａの場合と同じように多数の固定子が縦続していることである。
水平旋回固定子１２Ｔを回転させる機構は公知の回転装置を用いることができる。例えば固定子１２Ｔの中央下部に回転軸を取り付け、この軸をモータで回転させるようにし、このモータを駆動制御部で駆動させるようにすればよい。
【００１０】
図４（ａ）は第１の実施の形態を旋回機構を制御するためのブロック図を示している。同図において、４１はＣＰＵ、４２は駆動制御部、４３はリニアモータ、４３１は位置検出器である。ここまでは先願発明の備えている構成で、４４が水平旋回固定子１２Ｔを旋回させる駆動モータで、４４１はその駆動モータ４４の位置を検出し、ＣＰＵ４１へ送信する位置検出器である。駆動制御部４２はリニアモータ４３の他に水平旋回固定子駆動モータ４４を駆動制御させている点が第１の実施の形態のもう１つのポイントである。すなわち、図１においてリニアモータの可動子１１は水平旋回固定子１２Ｔが旋回するときは停止している（すなわち、リニアモータの可動子１１を駆動する駆動制御部４２は休止している）ので、水平旋回固定子１２Ｔの駆動制御としてはリニアモータの可動子１１を駆動させていた駆動制御部４２を用いることが可能となるため、この点に着目し、これを用いることによりコスト低減となるのである。
【００１１】
次に、この第１の実施の形態のリニアモータの動作について説明する。
図は可動子１１が固定子１２の上を図で右から左に移動してきて水平旋回固定子１２Ｔの地点で、図の下方へ水平旋回する動作を説明するものである。
図１において、可動子１１が固定子１２の上を図で右から左に移動してきて、水平旋回固定子１２Ｔの上に完全に乗ったとき可動子１１を停止させる。図１（ａ）はこの状態を示している。
次に、この状態で、水平旋回固定子１２Ｔの駆動モータを駆動制御部４２で駆動し、水平旋回固定子１２Ｔを回転させる。図１（ｂ）はこの回転途中の状態を示している。
所望の角度（ここでは、９０度）回転後、水平旋回固定子１２Ｔを停止させると、水平旋回固定子１２Ｔは複数の固定子が後続する先頭の固定子１２Ｃと対向し、この後、駆動制御部４２の駆動により再び可動子１１が移動開始し、水平旋回固定子１２Ｔから固定子１２Ｃの上に移り、さらに移動を続ける。図１（ｃ）はこの状態を示している。
このように、本発明の第１の実施の形態に係るリニアモータによれば、狭い場所で所望の方向に水平旋回することができるので、長尺リニアの搬送システムの水平旋回を自由に構成することができる。
しかも、旋回動作中は可動子１１が停止しているので、旋回動作は旋回させられる固定子１２Ｔを駆動している駆動制御部４２自身で行なうことでコストは低減する。
【００１２】
図２は本発明の第２の実施の形態を示すリニアモータの平面図であって、（ａ）は可動子が停止の状態、（ｂ）は可動子が水平平行移動途中の状態、（ｃ）は可動子の水平平行移動後の状態を示し、（ａ）〜（ｃ）はリニアモータ動作の時間的推移を示している。図において、２１は可動子、２２は固定子で、それぞれの形状ならびムービングマグネット形の構造は図６で説明したものと同じで、図６のリニアモータと異なるのは、縦続する複数の固定子２２のうち特定の固定子２２Ｔだけ水平面内で平行移動（水平平行移動）可能となっていること、および固定子２２Ａの他に１個以上の固定子２２Ｂ、２２Ｃが固定子２２Ａと水平面内で平行に配設され、これら固定子２２Ｂ、２２Ｃの後に固定子２２Ａの場合と同じように多数の固定子が縦続していることである。
水平平行移動固定子２２Ｔを平行移動させる機構は公知の移動装置を用いることができる。例えば固定子２２Ｔの下部に駆動輪を取り付け、この駆動輪にモータを直結させて、これを駆動制御部で駆動させるようにすればよい。
【００１３】
図４（ｂ）は第２の実施の形態を旋回機構を制御するためのブロック図を示している。同図において、４１はＣＰＵ、４２は駆動制御部、４３はリニアモータ、４３１は位置検出器である。ここまでは先願発明の備えている構成で、４６が水平平行移動固定子２２Ｔを旋回させる駆動モータで、４６１はその駆動モータ４６の位置を検出し、ＣＰＵ４１へ送信する位置検出器である。駆動制御部４２はリニアモータ４３の他に水平平行移動固定子駆動モータ４６を駆動制御させている点が第２の実施の形態のもう１つのポイントである。すなわち、図２においてリニアモータの可動子２１は水平平行移動固定子２２Ｔが平行移動するときは停止している（すなわち、リニアモータの可動子２１を駆動する駆動制御部４２は休止している）ので、水平平行移動固定子２２Ｔの駆動制御としてはリニアモータの可動子２１を駆動させていた駆動制御部４２を用いることが可能となるため、この点に着目し、これを用いることによりコスト低減となるのである。
【００１４】
次に、この第２の実施の形態のリニアモータの動作について説明する。
図は可動子２１が固定子２２の上を図で右から左に移動してきて水平平行移動固定子２２Ｔの地点で、図の下方へ移動する動作を説明するものである。
図２において、可動子２１が固定子２２の上を図で右から左に移動してきて、水平平行移動固定子２２Ｔの上に完全に乗ったとき可動子２１を停止させる。図２（ａ）はこの状態を示している。
次に、この状態で、水平平行移動固定子２２Ｔのモータを駆動制御部４２で駆動し、水平平行移動固定子２２Ｔを平行移動させる。図２（ｂ）はこの平行移動途中の状態を示している。
水平平行移動固定子２２Ｔが固定子２２Ｃと対向したところで水平平行移動固定子２２Ｔを停止させる。この後、駆動制御部４２の駆動により再び可動子２１が移動開始し、水平平行移動固定子２２Ｔから固定子２２Ｃの上に移り、さらに移動を続ける。図２（ｃ）はこの状態を示している。
このように、本発明の第２の実施の形態に係るリニアモータによれば、水平面で所望の方向に平行移動することができるので、長尺リニアの搬送システムの平行移動を自由に構成することができる。
しかも、移動動作中は可動子２１が停止しているので、移動動作は移動させられる固定子２２Ｔを駆動している駆動制御部４２自身で行なうことでコストは低減する。
【００１５】
図３は本発明の第３の実施の形態を示すリニアモータの立面図であって、（ａ）は可動子が停止の状態、（ｂ）は可動子が垂直平行移動開始後の状態、（ｃ）は可動子の垂直平行移動完了後の状態を示し、（ａ）〜（ｃ）はリニアモータ動作の時間的推移を示している。図において、３１は可動子、３２は固定子で、それぞれの形状ならびムービングマグネット形の構造は図６で説明したものと同じで、図６のリニアモータと異なるのは、縦続する複数の固定子３２のうち特定の固定子３２Ｔだけ垂直面内で平行移動（垂直平行移動）可能となっていること、および固定子３２Ａの他に１個以上の固定子３２Ｂ、３２Ｃが固定子３２Ａと垂直面内で平行に配設され、これら固定子３２Ｂ、３２Ｃの後に固定子３２Ａの場合と同じように多数の固定子が縦続していることである。
垂直平行移動固定子３２Ｔを垂直方向に平行移動させる機構は公知の移動装置を用いることができる。例えば固定子３２Ｔの下部にモータで駆動されるリフターを設けて、このモータを駆動制御部で駆動させるようにすればよい。
【００１６】
図４（ｃ）は第３の実施の形態を旋回機構を制御するためのブロック図を示している。同図において、４１はＣＰＵ、４２は駆動制御部、４３はリニアモータ、４３１は位置検出器である。ここまでは先願発明の備えている構成で、４８が垂直平行移動固定子３２Ｔを旋回させる駆動モータで、４８１はその駆動モータ４８の位置を検出し、ＣＰＵ４１へ送信する位置検出器である。駆動制御部４２はリニアモータ４３の他に垂直平行移動固定子駆動モータ４８を駆動制御させている点が第３の実施の形態のもう１つのポイントである。すなわち、図３においてリニアモータの可動子３１は垂直平行移動固定子３２Ｔが平行移動するときは停止している（すなわち、リニアモータの可動子３１を駆動する駆動制御部４２は休止している）ので、垂直平行移動固定子３２Ｔの駆動制御としてはリニアモータの可動子３１を駆動させていた駆動制御部４２を用いることが可能となるため、この点に着目し、これを用いることによりコスト低減となるのである。
【００１７】
次に、この第３の実施の形態のリニアモータの動作について説明する。
図は可動子３１が固定子３２の上を図で右から左に移動してきて垂直平行移動固定子３２Ｔの地点で、図の上方へ移動する動作を説明するものである。
図３において、可動子３１が固定子３２の上を図で右から左に移動してきて、垂直平行移動固定子３２Ｔの上に完全に乗ったとき可動子３１を停止させる。図３（ａ）はこの状態を示している。
次に、この状態で、垂直平行移動固定子３２Ｔのリフターモータを駆動制御部４２で駆動し、垂直平行移動固定子３２Ｔを平行移動させる。図３（ｂ）はこの垂直平行移動開始直後の状態を示している。
垂直平行移動固定子３２Ｔが固定子３２Ｃと対向したところで垂直平行移動固定子３２Ｔを停止させる。この後、駆動制御部４２の駆動により再び可動子３１が移動開始し、垂直平行移動固定子３２Ｔから固定子３２Ｃの上に移り、さらに移動を続ける。図３（ｃ）はこの状態を示している。
このように、本発明の第３の実施の形態に係るリニアモータによれば、垂直方向に平行移動することができるので、長尺リニアの搬送システムの移動を自由に構成することができ、また可動子上に搭載された被搬送物の積み卸しにも使用できる。
しかも、移動動作中は可動子３１が停止しているので、移動動作は移動させられる固定子３２Ｔを駆動している駆動制御部４２自身で行なうことでコストは低減する。
【００１８】
また、上記各実施の形態を組み合わせることにより、モジュール化された固定子を可動子を乗せた状態で水平旋回・平行移動・垂直移動が容易にできるリニアモータが得られるので、長尺リニアーの搬送システムを自由に構成することができることとなる。
【００１９】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、リニアスケールのスケール部４と永久磁石を設けた可動子１と、前記スケール部４を読みとるセンサー３と前記永久磁石に対し移動磁界を発生させるコイルを設けた固定子２とより構成されるリニアモータにおいて、前記固定子１２を単位長さ当たりで独立させた単位モジュールとなし、上位コントローラから前記各モジュールに対する指令で前記単位モジュールを越えて連続して走行・位置決めを行う位置制御装置を前記固定子の内部に備え、前記単位モジュールの少なくとも１個１２Ｔを、水平旋回、水平平行移動、垂直平行移動の少なくともいずれか１つの動作を可能としたので、モジュール化された固定子を可動子を乗せた状態で簡単に水平旋回・平行移動・垂直移動できるようになり、長尺リニアーの搬送システムを自由に構成することができることとなる。しかも前記単位モジュールの駆動を前記可動子の停止中に該可動子を駆動させる駆動制御部で行わせるようにしたので、コスト低減できることとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示すリニアモータの平面図であって、（ａ）は可動子が停止の状態、（ｂ）は可動子が回転途中の状態、（ｃ）は可動子の回転後の状態を示している。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示すリニアモータの平面図であって、（ａ）は可動子が停止の状態、（ｂ）は可動子が水平平行移動途中の状態、（ｃ）は可動子の水平平行移動後の状態を示している。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示すリニアモータの立面図であって、（ａ）は可動子が停止の状態、（ｂ）は可動子が垂直平行移動開始後の状態、（ｃ）は可動子の垂直平行移動完了後の状態を示している。ある。
【図４】本発明の移動機構を制御するための制御ブロック図であって、（ａ）は第１の実施形態、（ｂ）は第２の実施形態、（ｃ）は第３の実施形態の場合を示している。
【図５】従来公知のリニアモータの側面図である。
【図６】先行発明に係るリニアモータの側面図である。
【図７】図６のリニアモータのサーボドライブ装置に設けられた位置検出読みとり用インターフェイス回路の構成図である。
【符号の説明】
１１、２１、３１、６１　可動子
１２、２２、３２、６２　固定子
１２Ｔ　水平旋回固定子
２２Ｔ　水平平行移動固定子
３２Ｔ　垂直平行移動固定子
６２ａ、６２ｂ、…６２ｘ、６２ｙ、６２ｚ　モジュール、
６３　センサー、
６４　スケール部、
６５　微分回路、
６６　カウンター、
６７　ラッチ回路、
６８　シフトレジスター、
６９　サーボドライブ装置（位置制御装置）、
６１０　コイル
【図１】
2004015894.tif 000003
【図２】
2004015894.tif 000004
【図３】
2004015894.tif 000005
【図４】
2004015894.tif 000006
【図５】
2004015894.tif 000007
【図６】
2004015894.tif 000008
【図７】
2004015894.tif 000009