(57)【要約】【目的】スプリアスを抑制して共振特性に優れた高周波用の水晶振動子及びその製造方法を提供する。【構成】外周領域よりも厚みの小さい振動領域を有し、前記振動領域に励振電極を形成してなる水晶振動子において、前記振動領域及び前記励振電極ともに円状とした構成とする。また、外周領域よりも厚みの小さい振動領域を有し、前記振動領域に励振電極を形成して前記外周領域に前記励振電極と両主面間で重畳しない引出電極を延出してなる水晶振動子の製造方法において、前記水晶片の両主面の全面に金属膜を設けて、前記金属膜に電着レジストを塗布してエッチングにより前記励振電極及び引出電極を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周領域よりも厚みの小さい振動領域を有し、前記振動領域に励振電極を形成してなる水晶振動子において、前記振動領域及び前記励振電極ともに円状としたことを特徴とする水晶振動子。
【請求項２】
外周領域よりも厚みの小さい振動領域を有し、前記振動領域に励振電極を形成して前記外周領域に前記励振電極と両主面間で重畳しない引出電極を延出してなる水晶振動子の製造方法において、前記水晶片の両主面の全面に金属膜を設けて、前記金属膜に電着レジストを塗布してエッチングにより前記励振電極及び引出電極を形成したことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は高周波用（概ね１００ＭＨｚ以上）の水晶振動子及びその製造方法を産業上の技術分野とし、特に外周領域よりも厚みの小さい振動領域を有する凹状とした水晶振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
（発明の背景）水晶振動子は周波数制御素子として発振器等に広く採用され、近年では光伝送システムの台頭等により高周波化が進行している。これらに対応すべく凹状とした水晶振動子がある。
【０００３】
（従来技術の一例）第４図は一従来例を説明する水晶振動子の図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。
水晶振動子は、ＡＴカットからなる矩形状とした水晶片１の中央領域に一主面側から矩形状の穴部を設けて、外周領域２よりも厚みの小さい振動領域３を形成する。振動領域３の両主面には対向する円形状の励振電極４を形成して、引出電極５を外周領域２の例えば一端部両側に延出する。
【０００４】
ここでは、穴部を有する一主面側では、振動領域３の全面及び外周領域２を含めて引出電極５を形成する。要するに、穴部を有するために電極パターンの形成が困難で、マスクを設けることなく全面に引出電極５を形成する。これにより、特に斜面角部での電気的な短絡を確保する。平坦面とした他主面側では励振電極４の直径とほぼ同一幅の引出電極５を延出する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の水晶振動子では、厚みすべり振動の主振動に対し、スプリアスが発生して共振特性が悪化する問題があった。これは、後述するように振動領域３を矩形状とすることによって発生すると推定される。
【０００６】
また、振動領域３を矩形状とすることによってまた、凹部を有する一主面側を全面電極とするので、他主面側の引出電極５と対向する。したがって、励振電極４以外の部分でも振動が励起されて、主振動の近傍にスプリアスが発生する問題もあった。
【０００７】
（発明の目的）本発明はスプリアスを抑制して共振特性に優れた高周波用の水晶振動子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、外周よりも厚みの小さい振動領域及び励振電極ともに円状とした構成とする。これにより、以下の実施例（実験例）で説明するように、スプリアスを抑制して共振特性を良好にする。また、電着レジストを用いて励振電極及び引出電極を形成する。これにより、凹面側にも電極パターンを形成できる。以下、本発明の一実施例を製造方法とともに説明する。
【０００９】
【実施例】
第１図は本発明の一実施例を説明する水晶振動子の図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。
水晶振動子は、前述したように一主面側に凹部を設けて外周領域２よりも厚みの小さい振動領域３を有する水晶片１からなる。ここでは、振動領域３及び励振電極４とともに円状とする。但し、エッチングによって形成されるため、エッチングに対する水晶の異方性により、一端側に傾斜面を生じて内底面は概ね楕円状になる。そして、励振電極４を振動領域３の中央部に形成する。そして、引出電極５を振動領域３内においては互いに反対方向の両端側に放射状に延出し、さらに両端外周領域２の幅方向に形成する。
【００１０】
具体的には、先ず、図示しない水晶ウェハに振動領域３となる穴部をフッ酸液等を用いたエッチングによって形成する。次に、水晶片１の両主面の全面に一層目をＣｒとして、２層目をＡｕとした金属膜を形成する。次に、両主面に電着レジストを塗布する。電着レジストは、イオン化したレジスト液中に＋電位とした水晶ウェハを直立投入して、両主面側に−電位とした電極板を設けて電気的に塗布される。
【００１１】
次に、電着レジストを露光現像して電極パターンを形成する。そして、金属膜の例えば露出部分をエッチングによって剥離して電着レジストを除去し、励振電極４及び引出電極５を形成する。そして、水晶ウェハを個々の水晶片１に分割する。
【００１２】
このような構成であれば、電着レジストとするので斜面角部に確実に塗布できる。したがって、凹部とした一主面側を全面電極にすることなく、パターニングした励振電極４及び引出電極５を形成できる。これにより、引出電極５は両主面間で重畳しないので励振電極４部以外では振動は励起されず、主振動の近傍にスプリアスを生じない。また、ここでは、振動領域３及び励振電極４ともに円状とする。したがって、スプリアスを抑制する。
【００１３】
第２図は、従来例と比較した本実施例での共振特性図である。なお、第２図（ａ）は本実施例の振動領域３及び励振電極４を円状とした場合、同図（ｂ）は振動領域３を矩形状として振動領域３を円状とした場合「第３図（ａ）」、同図（ｃ）は振動領域３及び励振電極４を矩形状とした場合である「同図（ｂ）」。また、振動周波数（基本波）ｆ０は６２２ＭＨｚであり、周波数領域は振動周波数ｆ０を中心として１０ＭＨｚの範囲での共振特性図である。
【００１４】
これらの図から明らかなように、本実施例の振動領域３及び励振電極４ともに円状とした場合にはスプリアスが殆どない共振特性になる「同図（ａ）」。これに対して、振動領域３が矩形状の場合にはいずれもスプリアスが発生する「同図（ｂｃ）。そして、特に、励振電極４をも矩形状とした場合には、スプリアスのレベルが高くなる。これらのことから、振動領域３は円状とした方が有利であることが理解される。
【００１５】
【発明の効果】
本発明は、外周よりも厚みの小さい振動領域及び励振電極ともに円状としたので、スプリアスを抑制して共振特性に優れた高周波用の水晶振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。
【図２】本発明の作用効果を説明する従来例と比較した共振特性図である。
【図３】従来例を示す水晶振動子の平面図である。
【図４】従来例を説明する水晶振動子の図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。
【符号の説明】
１　水晶片、２　外周領域、３　振動領域、４　励振電極、５　引出電極．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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