(57)【要約】【課題】装置を全体として小型化しながら、最大フィルタ検査可能域を大きく取る。【解決手段】装置基台に支持した第１フレームに第２フレームを第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、第２フレームにフィルタ検査具の取付部を第１方向と直交する第２方向への走行移動が自在な状態に支持するとともに、第１フレームを装置基台に対し第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、第２フレームを第１フレームに対し第１方向への走行移動とは独立して第２方向への走行移動が自在な状態に支持してある。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置基台に支持した第１フレームに第２フレームを第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、その第２フレームにフィルタ検査具の取付部を前記第１方向と直交する第２方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記第１フレームを前記装置基台に対し前記第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、前記第２フレームを前記第１フレームに対し前記第１方向への走行移動とは独立して前記第２方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項２】
前記第１方向に延びる姿勢で平行に配置した一対の第１フレーム部材を前記装置基台に対し前記第１方向への走行移動が自在な状態に支持して、これら第１フレーム部材により前記第１フレームを構成し、
前記第２フレームを前記第１フレームに対し前記第１方向への走行移動と前記第２方向への走行移動とが自在な状態に支持するのに、一対の前記第１フレーム部材に対し中間フレームを前記第１方向への走行移動が自在な状態に横架して、この中間フレームに第２フレームを前記第２方向への走行移動が自在な状態に支持してある請求項１記載のフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項３】
前記第１フレーム、前記第２フレーム、前記フィルタ検査具取付部それぞれの走行移動を制御する制御手段を、
前記第１フレームの前記第１方向への走行移動と前記第２フレームの第１方向への走行移動との同時進行を許可する状態で、それら第１フレーム及び第２フレームの第１方向への走行移動を駆動手段に実行させ、
かつ、前記第２フレームの前記第２方向への走行移動と前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動との同時進行を許可する状態で、それら第２フレーム及びフィルタ検査具取付部の第２方向への走行移動を駆動手段に実行させる構成にしてある請求項１又は２記載のフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項４】
前記制御手段を、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記第１方向への走行移動において、前記装置基台の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第１フレームの走行移動よりも第２フレームの走行移動を優先的に前記駆動手段に実行させ、かつ、前記装置基台の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆に第２フレームの走行移動よりも第１フレームの走行移動を優先的に前記駆動手段に実行させる構成にするとともに、
前記第２フレーム及び前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動において、前記装置基台の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第２フレームの走行移動よりもフィルタ検査具取付部の走行移動を優先的に前記駆動手段に実行させ、かつ、前記装置基台の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆にフィルタ検査具取付部の走行移動よりも第２フレームの走行移動を優先的に前記駆動手段に実行させる構成にしてある請求項１又は２記載のフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項５】
前記制御手段を、
前記第１フレームの前記第１方向への走行移動と前記第２フレームの前記第１方向への走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎを、前記フィルタ検査具取付部の前記第１方向への一定速度の移動を保つ状態で前記駆動手段に実行させる、
又は、前記第２フレームの前記第２方向への走行移動と前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎを、前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への一定速度の移動を保つ状態で前記駆動手段に実行させる構成にしてある請求項３又は４記載のフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項６】
前記第２方向視でＳ字形状に屈曲させた多関節構造のケーブルキャリアの一端部を前記装置基台に連結し、かつ、他端部を前記第２フレームの側に連結するとともに、そのＳ字形状における中央部を前記第１フレームに連結し、
前記装置基台から前記第２フレームの側にわたらせる第２ケーブル類を前記ケーブルキャリアの一端部から他端部にかけて収納するとともに、前記装置基台から前記第１フレームにわたらせる第１ケーブル類を前記ケーブルキャリアの一端部から中央部にかけて前記第２ケーブル類と共に収納してある請求項１〜５のいずれか１項に記載のフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項７】
装置基台に支持した第１フレームに第２フレームを第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、その第２フレームにフィルタ検査具の取付部を前記第１方向と直交する第２方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置であって、
前記第１フレームを前記第１方向への伸縮が自在な構造にし、前記第２フレームを前記第２方向への伸縮が自在な構造にしてあるフィルタ検査用スキャン装置。
【請求項８】
前記装置基台を、その装置基台の設置高さの調整を行なう高さ調整手段に対して取り付け可能な構成にしてある請求項１〜７のいずれか１項に記載のフィルタ検査用スキャン装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルタ検査用スキャン装置に関し、詳しくは、装置基台に支持した第１フレームに第２フレームを第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、その第２フレームにフィルタ検査具の取付部を前記第１方向と直交する第２方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種のフィルタ検査用スキャン装置は、図７に示すように、制御装置を内蔵してある装置基台１００の上面に固定された第１フレーム１０１の上を第１方向へのみ走行移動が可能な第２フレーム１０２と、その第２フレーム１０２の上を第１方向と直交する第２方向へのみ走行移動が可能でかつ高さ調整可能なフィルタ検査具取付部１０３とから構成されていて、そのフィルタ検査具取付部１０３の上方先端に、手作業による長さ調整が可能なアーム１０４をフィルタ検査具取付部１０３に対し回動自在に挟持する保持部１０３ａが設けられているとともに、アーム１０４の先端にはプローブ１０５ａと吸引チューブ１０６とから構成されるフィルタ検査具１０５を取り付けている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
意匠登録第１０２８４９６号
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この構成では、図８に示すように第１方向における第１フレーム１０１の長さと第２方向における第２フレーム１０２の長さとから形成される範囲がフィルタ検査具取付部１０３の移動域（すなわち、装置の最大フィルタ検査可能域Ｓ）となることから、大きなフィルタを検査するには、必然的に第１フレーム１０１及び第２フレーム１０２を大きくする必要があり、それによって装置が全体として大型化してしまい、多数の機材が存在する場所での使用が困難である。また、第１フレーム１０１及び第２フレーム１０２の大型化に伴ってそれら第１フレーム１０１と第２フレーム１０２の剛性も強化する必要が生じ、それによって、装置が重量化してしまうことから装置の移動性が低下するとともに、剛性の高い材料で製作することで製作コストが高騰化してしまう。
なお、装置基台１００の位置から離間した位置にある検査対象のフィルタに対してフィルタ検査具１０５を位置させるためにアーム１０４を伸長させても、フィルタ検査時は一定長さで固定されているので、装置の最大フィルタ検査可能域Ｓを拡大することにはならない。
【０００５】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、上記問題を合理的な改良を以って効果的に解消する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
〔１〕請求項１に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
装置基台に支持した第１フレームに第２フレームを第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、その第２フレームにフィルタ検査具の取付部を前記第１方向と直交する第２方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記第１フレームを前記装置基台に対し前記第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、前記第２フレームを前記第１フレームに対し前記第１方向への走行移動とは独立して前記第２方向への走行移動が自在な状態に支持してある点にある。
【０００７】
つまり、この構成によれば、第１フレームが装置基台に対し第１方向へ走行移動できるので、装置基台に対する第１フレームの第１方向への移動分と第１フレームに対する第２フレームの第１方向への移動分とをもって第１方向における第２フレームの移動域を長く確保でき、また、第２フレームが第１フレームに対し第１方向への走行移動とは独立して第２方向へ走行移動できるので、第１フレームに対する第２フレームの第２方向への移動分と第２フレームに対するフィルタ検査具取付部の移動分とをもって第２方向におけるフィルタ検査具取付部の移動域を長く確保できる。
従って、従来装置に比べ、第１フレーム及び第２フレームを短尺にして装置全体を小型化しながら、フィルタ検査具取付部の移動域（すなわち、装置の最大フィルタ検査可能域）を大きくすることができるので、装置を重量化することもなく、よって、汎用性及び移動性も良好で、製造コスト面においても有利なものにすることができる。
【０００８】
〔２〕請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記第１方向に延びる姿勢で平行に配置した一対の第１フレーム部材を前記装置基台に対し前記第１方向への走行移動が自在な状態に支持して、これら第１フレーム部材により前記第１フレームを構成し、
前記第２フレームを前記第１フレームに対し前記第１方向への走行移動と前記第２方向への走行移動とが自在な状態に支持するのに、一対の前記第１フレーム部材に対し中間フレームを前記第１方向への走行移動が自在な状態に横架して、この中間フレームに第２フレームを前記第２方向への走行移動が自在な状態に支持してある点にある。
【０００９】
つまり、この構成によれば、第２フレームを第２方向への走行移動が自在な状態に支持する中間フレームを一対の第１フレーム部材に対して第１方向への走行移動が自在な状態に横架する状態に設けることで、第２フレームが支持しているフィルタ検査具取付部により第２フレームにかかる荷重を中間フレームによって二つのフレーム部材に分散させることができ、よって、装置全体を安定させた状態で精度よくフィルタ検査を実施することができる。
【００１０】
〔３〕請求項３に係る発明は、請求項１又は２に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記第１フレーム、前記第２フレーム、前記フィルタ検査具取付部それぞれの走行移動を制御する制御手段を、
前記第１フレームの前記第１方向への走行移動と前記第２フレームの第１方向への走行移動との同時進行を許可する状態で、それら第１フレーム及び第２フレームの第１方向への走行移動を駆動手段に実行させ、
かつ、前記第２フレームの前記第２方向への走行移動と前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動との同時進行を許可する状態で、それら第２フレーム及びフィルタ検査具取付部の第２方向への走行移動を駆動手段に実行させる構成にしてある点にある。
【００１１】
つまり、第１フレームの第１方向への走行移動と第２フレームの第１方向への走行移動との同時進行を許可すれば、その同時進行を完全に禁止した状態で第１フレーム及び第２フレームのそれぞれを第１方向へ走行移動させるのに比べ、第１フレーム及び第２フレームのそれぞれをどのような相互関係で第１方向に走行移動させるのか選択範囲を広くすることができて、その分、第１フレームの第１方向への走行移動と第２フレームの第１方向への走行移動とを１つの駆動手段で実施する駆動手段の単一化など、走行移動構成の簡素化を容易にすることができる。
また同様に、第２フレームの第２方向への走行移動とフィルタ検査具取付部の第２方向への走行移動との同時進行を許可すれば、その同時進行を完全に禁止した状態で第２フレーム及びフィルタ検査具取付部のそれぞれを第２方向へ走行移動させるのに比べ、第２フレーム及びフィルタ検査具取付部のそれぞれをどのような相互関係で第２方向に走行移動させるかの選択範囲を広くすることができて、その分、第２フレームの第２方向への走行移動とフィルタ検査具取付部の第２方向への走行移動とを１つの駆動手段で実施する駆動手段の単一化など、走行移動構成の簡素化を容易にすることができ、これらのことにより、装置全体とし製造コストの低廉化を図ることができる。
【００１２】
〔４〕請求項４に係る発明は、請求項１又は２に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記制御手段を、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記第１方向への走行移動において、前記装置基台の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第１フレームの走行移動よりも第２フレームの走行移動を優先的に前記駆動手段に実行させ、かつ、前記装置基台の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆に第２フレームの走行移動よりも第１フレームの走行移動を優先的に前記駆動手段に実行させる構成にするとともに、
前記第２フレーム及び前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動において、前記装置基台の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第２フレームの走行移動よりもフィルタ検査具取付部の走行移動を優先的に前記駆動手段に実行させ、かつ、前記装置基台の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆にフィルタ検査具取付部の走行移動よりも第２フレームの走行移動を優先的に前記駆動手段に実行させる構成にしてある点にある。
【００１３】
つまり、この構成によれば、第１方向への第１フレームの走行移動と第２フレームの走行移動、及び、第２方向への第２フレームの走行移動とフィルタ検査具取付部の走行移動において、それらを継続的に同時進行させることなく、装置基台の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第１フレームよりも第２フレームを、第２フレームよりもフィルタ検査具取付部を優先的に走行移動させ、装置基台の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、フィルタ検査具取付部よりも第２フレームを、第２フレームよりも第１フレームを優先的に走行移動させるので、フィルタの検査時において、常に第１フレーム、第２フレーム及び装置基台のそれぞれにかかるモーメントを極力小さくすることができ、装置を安定させた状態でフィルタ検査を実施することができる。
【００１４】
〔５〕請求項５に係る発明は、請求項３又は４に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記制御手段を、
前記第１フレームの前記第１方向への走行移動と前記第２フレームの前記第１方向への走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎを、前記フィルタ検査具取付部の前記第１方向への一定速度の移動を保つ状態で前記駆動手段に実行させる、
又は、前記第２フレームの前記第２方向への走行移動と前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎを、前記フィルタ検査具取付部の前記第２方向への一定速度の移動を保つ状態で前記駆動手段に実行させる構成にしてある点にある。
【００１５】
フィルタ検査において、正確な検査結果を求めるためには、フィルタ検査具を取り付けてあるフィルタ検査具取付部を一定速度に保った状態で第１方向又は第２方向へ移動させなければならないが、この構成によれば、制御手段が、第１方向への第１フレームの走行移動と第２フレームの走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎをフィルタ検査具取付部の第１方向への移動を一定速度に保つように駆動手段に実行させる、又は、第２方向への第２フレームの走行移動とフィルタ検査具取付部の走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎをフィルタ検査具取付部の第２方向への移動を一定速度に保つように駆動手段を実行させるので、フィルタ検査において、測定精度を向上させることができ、正確な検査を実施することができる。
【００１６】
〔６〕請求項６に係る発明は、請求項１〜５のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記第２方向視でＳ字形状に屈曲させた多関節構造のケーブルキャリアの一端部を前記装置基台に連結し、かつ、他端部を前記第２フレームの側に連結するとともに、そのＳ字形状における中央部を前記第１フレームに連結し、
前記装置基台から前記第２フレームの側にわたらせる第２ケーブル類を前記ケーブルキャリアの一端部から他端部にかけて収納するとともに、前記装置基台から前記第１フレームにわたらせる第１ケーブル類を前記ケーブルキャリアの一端部から中央部にかけて前記第２ケーブル類と共に収納してある点にある。
【００１７】
つまり、この構成によれば、第１ケーブル類と第２ケーブル類を第２方向視でＳ字状に屈曲させたケーブルキャリアに収納してあることで、第１及び第２ケーブル類を個別のケーブルキャリアに収納するのに比べ、第１及び第２ケーブル類をコンパクトに収納することができるとともに、第１フレーム及び第２フレームの走行移動に対して第１及び第２ケーブル類が邪魔になることを回避し、スムーズなフィルタ検査を実施することができる。
【００１８】
〔７〕請求項７に係る発明はフィルタ検査用スキャン装置に係り、その特徴は、
装置基台に支持した第１フレームに第２フレームを第１方向への走行移動が自在な状態に支持し、その第２フレームにフィルタ検査具の取付部を前記第１方向と直交する第２方向への走行移動が自在な状態に支持してあるフィルタ検査用スキャン装置において、
前記第１フレームを前記第１方向への伸縮が自在な構造にし、前記第２フレームを前記第２方向への伸縮が自在な構造にしてある点にある。
【００１９】
つまり、この構成によれば、第１フレームが装置基台に対し第１方向へ伸縮できるので、装置基台に対する短縮状態にある第１フレームの第１方向への伸長分と第１フレームに対する第２フレームの第１方向への移動分とをもって第２フレームの移動域を長く確保でき、また、第２フレームが第１フレームに対し第１方向への伸縮とは独立して第２方向へ伸縮できるので、第１フレームに対する第２フレームの第２方向への伸長分と第２フレームに対するフィルタ検査具取付部の第２方向への移動分とをもってフィルタ検査具取付部の移動域を長く確保できる。
従って、従来装置に比べ、短縮状態の第１フレーム及び第２フレームを短尺にして装置全体を小型化しながら、フィルタ検査具取付部の移動域（すなわち、装置の最大フィルタ検査可能域）を大きくすることができるので、装置を重量化することもなく、よって、汎用性及び移動性も良好で、製造コスト面においても有利なものにすることができる。
【００２０】
〔８〕請求項８に係る発明は、請求項１〜７のいずれか１項に係る発明の実施に好適な実施形態を特定するものであり、その特徴は、
前記装置基台を、その装置基台の設置高さの調整を行なう高さ調整手段に対して取り付け可能な構成にしてある点にある。
【００２１】
つまり、この構成によれば、装置基台を高さ調整手段に取り付けることで、高い天井面のフィルタを検査する場合でも、フィルタ検査具と検査対象フィルタとの間を検査最適間隔に調整することができる。
なお、装置が軽量化されているので、高さ調整手段を小型化することができ、よって、装置全体としての床面の設置面積を小さくすることができ、床面上にある機材を取り払う必要性も少なくなり、汎用性や移動性の面においても装置が軽量化されているので良好である。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は内部室用の空気浄化フィルタに対する検査機能を備えさせたクリーンブースを示し、ブース１内に形成する浄化対象室２の天井部に格子状のフィルタ支持フレーム３を設け、このフィルタ支持フレーム３によるフィルタ支持で、多数のフィルタ４（例えば、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ）を天井部に並列に配置することにより、浄化対象室２の天井面の全面を並置フィルタ群Ｇの出口面からなる清浄空気吹出口にしてある。
【００２３】
ブース１内において、並置フィルタ群Ｇの上方空間（換言すれば天井裏空間）は、並置フィルタ群Ｇを介して空気を浄化対象室２へ供給する給気チャンバ５にし、また、浄化対象室２の隣には、室壁６を仕切りとして、その室壁６の下部に設けた排気口７と給気チャンバ５とを連通させる還気路８を形成し、この還気路８に、給気チャンバ５−浄化対象室２−還気路８の順で空気循環させる循環ファン９を内装してある。つまり、この空気循環においてフィルタ４により浄化した清浄空気を並置フィルタ群Ｇの出口面の全面（すなわち、天井面の全面）から下向き層流状に室内に吹き出させることで、浄化対象室２の室内を、例えば薬品の製造や半導体部品の製造などに適した高清浄度空間にする。
【００２４】
排気口７は、一連の長尺開口構造ないし複数口の列状配置により浄化対象室２の長辺方向（図１における紙面奥行き方向）の全長に亘って設けられ、また、還気路８も浄化対象室２の長辺方向の全長に亘る風路幅にし、更に、循環ファン９は浄化対象室２の長辺方向に並べて複数台を還気路８に内装し、これにより、浄化対象室２の室内における気流状態を浄化対象室２の長辺方向で均一化して、室内の高清浄度化を促進する。
【００２５】
室内清浄度の保証のためフィルタ４に対しては適時検査を実施するが、このフィルタ検査には、図１に示すように、フィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いる。
【００２６】
１０はフィルタ検査用スキャン装置Ｍの装置基台、１１，１２，１３はその装置基台１０の上部に設けられた複数のフレーム、１４はフィルタ検査具取付部、１５はフィルタ検査具であり、１６は各フレーム１１，１２，１３及びフィルタ検査具取付部１４の走行移動を制御しフィルタ検査具１５によるフィルタ検査を実行する制御手段である制御装置である。
【００２７】
装置基台１０は、矩形に枠組みされた二つの長辺部１０ａ，１０ｂと二つの短辺部１０ｃ，１０ｄとから構成され、二つの長辺部１０ａ，１０ｂのそれぞれの枠内側近傍には、装置基台１０に支持された長辺方向（第１方向であるＹ方向）に長い一対のレール部１０Ａ，１０Ｂが設けられ、それらレール部１０Ａ，１０ＢのＹ方向でかつ上下方向周りにはベルト１７が巻装されている。
【００２８】
１８は両レール部１０Ａ，１０Ｂに巻装されたベルト１７をＹ方向に回転移動させるための駆動手段である第１モータ、１９はその第１モータ１８の動力を両レール部１０Ａ，１０Ｂのベルト１７に伝達するための第１シャフトである。
【００２９】
第１フレーム１１は、装置基台１０に設けられているレール部１０Ａ，１０Ｂ上をレール部１０Ａ，１０Ｂに沿ってＹ方向に移動可能で、その第１フレーム１１の両長辺部を構成する第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのＹ方向中央部分には、装置基台１０の各レール部１０Ａ，１０Ｂに対し上方から抱込む状態で係合し、各レール部１０Ａ，１０Ｂのベルト１７に対して噛合する支持部１９が設けられている。
つまり、第１モータ１８を作動しベルト１７を回転移動させることで、装置基台１０のレール部１０Ａ，１０Ｂ上の第１フレーム１１をＹ方向に移動させることができ、しかも、支持部１９が第１フレーム１１の両第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのＹ方向中央部分に設けられているので、第１フレーム１１をＹ方向における装置基台１０の枠外に延出させることができる。
【００３０】
２０は第１フレーム１１の両第１フレーム部材１１ａ，１１ｂにＹ方向でかつ上下方向に巻装されたベルト２１をＹ方向に回転移動させるための駆動手段である第２モータ、２２はその第２モータ２０の動力を各第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのベルト２１に伝達するための第２シャフトである。
【００３１】
中間フレーム１２は第１フレーム１１の両第１フレーム部材１１ａ，１１ｂ上をＹ方向に移動可能で、この中間フレーム１２は第１フレーム１１の長辺方向（Ｙ方向）に対し直交する短辺方向（第２方向であるＸ方向）で第１フレーム１１の両長辺部に跨る状態で設けられている。２３は第１フレームの各第１フレーム部材１１ａ，１１ｂに対し上方から抱込む状態で係合し、第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのベルト２１に対して噛合する支持部である。
つまり、第２モータ２０を作動し第１フレーム部材１１ａ，１１ｂのベルト２１を回転移動させることで、第１フレーム部材１１ａ，１１ｂ上の中間フレーム１２をＹ方向に移動させることができる。
【００３２】
２４は中間フレーム１２にＸ方向でかつ上下方向に巻装されたベルト２５をＸ方向に回転移動させるための駆動手段である第３モータである。
【００３３】
第２フレーム１３は中間フレーム１２上をＸ方向に移動可能で、その第２フレーム１３のＸ方向中央部分には、中間フレーム１２に対し上方から抱込む状態で係合し、中間フレーム１２のベルト２５に対して噛合する支持部２６が設けられている。
つまり、第３モータ２４を作動し中間フレーム１２のベルト２５を回転移動させることで、中間フレーム１２上の第２フレーム１３をＸ方向に移動させることができ、しかも、支持部２６が第２フレーム１３のＸ方向中央部分に設けられているので、第２フレーム１３がＸ方向における中間フレーム１２の枠外に延出することができる。
【００３４】
２７は第２フレーム１３にＸ方向でかつ上下方向に巻装されたベルト２８をＸ方向に回転移動させるための駆動手段である第４モータである。
【００３５】
フィルタ検査具取付部１４は第２フレーム１３の上をＸ方向に移動可能で、フィルタ検査具取付部１４には、第２フレーム１３に対し上方から抱込む状態で係合し、第２フレーム１３のベルト２８に対して噛合する支持部２９が設けられているとともに、フィルタ検査具１５をその先端に付設した支持アーム１４ａを挟持する挟持部１４ｂが設けられていて、挟持部１４ｂは支持アーム１４ａをＸ方向又はＹ方向のいずれの方向にも延設させることができるように構成されている。
そして、第４モータ２７を作動し第２フレーム１３のベルト２８を回転移動させることで、第２フレーム１３上のフィルタ検査具取付部１４をＸ方向に移動させることができる。
【００３６】
フィルタ検査具１５は、制御装置１６と接続してある微粒子計数器３０に繋がってある吸引チューブ３１の先端に矩形でロート状のプローブ１５ａを取り付けたものである。
【００３７】
３２Ａは一端を装置基台１０と連結し、他端を中間フレーム１２と連結し、中央部を第１フレーム１１と連結してあるＸ方向視Ｓ字形状に屈曲した多関節構造の第１ケーブルキャリア、３２Ｂは一端を中間フレーム１２と連結し、他端を第２フレーム１３と連結してあるＹ方向視横向きＵ字形状に屈曲した多関節構造の第２ケーブルキャリア、３２Ｃは一端を中間フレーム１２と連結し、他端をフィルタ検査具取付部１４と連結してあるＹ方向視横向きＵ字形状に屈曲した多関節構造の第３ケーブルキャリアである。
【００３８】
３３は装置基台１０から第１フレーム１１にわたらせる第１ケーブル類であり、その第１ケーブル類３３は第１フレーム１１に設けた第１フレーム１１に設けた第２モータ２０を制御装置１６による制御により駆動させるためのケーブルＣから構成されている。
【００３９】
３４は装置基台１０から中間フレーム１２にわたらせる第２ケーブル類であり、その第２ケーブル類３４は中間フレーム１２に設けた第３モータ２４を制御装置１６による制御により駆動させるためのケーブルＣから構成されている。
【００４０】
３５は中間フレーム１２から第２フレーム１３にわたらせる第３ケーブル類であり、その第３ケーブル類３５は第２フレーム１３に設けられた第４モータ２５を制御装置１６による制御により駆動させるためのケーブルＣから構成されている。
【００４１】
第１ケーブルキャリア３２Ａ内には、第１ケーブル類３３と、第２ケーブル類３４と、第３ケーブル類３５と、フィルタ検査具１５のプローブ１５ａにおいて吸引された粉状体Ｐを微粒子計数器３０に送る吸引チューブ３１とが収納され、第２ケーブルキャリア３２Ｂ内には、第３ケーブル類３５と、吸引チューブ３１とが収納され、第３ケーブルキャリア３２Ｃ内には吸引チューブ３１が収納されていることで、第１フレーム１１，中間フレーム１２，第２フレーム１３及びフィルタ検査具取付部１４と制御装置を接続するケーブルＣがそれら各々の走行移動の妨げになることを回避する。
【００４２】
制御装置１６は、フィルタ検査よる検査結果の整理や表示または保管などの処理を行うとともに、フィルタ検査時において、第１フレーム１１のＹ方向への走行移動と中間フレーム１２のＹ方向への走行移動との継続的な同時進行と、第２フレームのＸ方向への走行移動とフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動との継続的な同時進行とを禁止しながら、第２フレーム１３のＸ方向への走行移動とフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動との相互間での走行移動の受け継ぎをフィルタ検査具取付部のＸ方向への移動を一定速度に保った状態で実行するように装置基台１０のレール部１１Ａ，１１Ｂ及び第１フレーム１１，中間フレーム１２，第３フレーム１３に設けられた第１モータ１８，第２モータ２０，第３モータ２４，第４モータ２７の切り替え制御を行なう。
なお、装置基部１０のレール部１０Ａ，１０Ｂ及び第１フレーム１１，中間フレーム１２，第２フレーム１３にセンサＳを設けて、その検出信号に基づいて制御を行なうようにしてもよい。
【００４３】
また、制御装置１６は、第１フレーム１１及び第２フレーム１３のＹ方向への走行移動において、装置基台１０の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第１フレーム１１の走行移動よりも第２フレーム１３の走行移動を優先的に実行させ、かつ、装置基台１０の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆に第２フレーム１３の走行移動よりも第１フレーム１１の走行移動を優先的に実行させるとともに、第２フレーム１３及びフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動において、装置基台１０の中央部からの偏りが大きくなる側への走行移動については、第２フレーム１３の走行移動よりもフィルタ検査具取付部１４の走行移動を優先的に実行させ、かつ、装置基台１０の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆にフィルタ検査具取付部１４の走行移動よりも第２フレーム１３の走行移動を優先的に実行させることで、如何なる面積のフィルタ４に対しても検査時の装置全体を安定させることができる。
【００４４】
１６ａは制御装置１６に接続されたフィルタ検査具１５の位置を操作するコントローラである。
【００４５】
３６は装置基台１０に対して取り付け自在でフィルタ検査用スキャン装置Ｍ全体の高さ位置を調整することができ、かつ、設置場所の変更が可能な可搬式の高さ調整手段である支持架台であり、その支持架台３６は、装置基台戴置部３７と、高さ調整部３８と、その高さ調整部３８を操作する高さ調整操作部３８ａと、基部３９とから構成され、その基部３９には４つのキャスター３９ａが取り付けられている。
【００４６】
上記構成のフィルタ検査用スキャン装置Ｍを用いることで、図５に示すように、装置Ｍの最大フィルタ検査可能域Ｓを装置基台１０の面積よりも広域にすることができるので、種々の大きさのフィルタ４に対応して使用することができる。
【００４７】
そして、フィルタ検査としては、フィルタ検査具１５を検査対象フィルタの出口面に沿う姿勢で位置させるとともに、循環ファン９の運転下で、給気チャンバ５内においてフィルタリーク検査用の粉状体Ｐ（例えば、エアロゾル化したフタル酸ジオプチル（ＤＯＰ）など）を煙状の分散状態で充満させ、この状態で、フィルタ検査具１５により吸引捕集したサンプリング空気中の粉状体Ｐの粒子量（すなわち、検査用粉状体Ｐの室内側へのリーク量）を測定してフィルタのリーク検査を行なう。
【００４８】
浄化対象室２のリーク検査におけるフィルタ検査用スキャン装置Ｍの検査動作を説明する。
【００４９】
はじめに、装置Ｍを支持架台３６に取付け、フィルタ検査具１５が装置基台１０よりも広域の検査対象フィルタ４に対して約２．５ｃｍの位置に支持されるように高さ調整をし、次に、コントローラ１６ａを操作してプローブ１５ａの位置を検査対象フィルタ４の検査対象域ｓの３頂点の位置に合わせてそれらの位置を指定することで、制御装置１６にフィルタ４の検査対象域ｓを設定入力する。また、制御装置１６にはプローブ１５ａの口径サイズを入力してある。
なお、フィルタ４に対するプローブ１５ａの位置合わせにおいて、フィルタ検査具１５のプローブ１５ａにレーザーポインタを取付けて、そのレーザー指標を目視しながら合わせるように構成してもよい。
【００５０】
リーク検査開始を指示すると、制御装置１６が第１モータ１８，第２モータ２０，第３モータ２４，第４モータ２７を駆動させて、第１フレーム１１と中間フレーム１２をＹ方向に走行移動させ、第２フレーム１３とフィルタ検査具１５を取付けたフィルタ検査具取付部１４をＸ方向に走行移動させて、フィルタ検査具１５を検査スタート位置Ｐ１（ｘ１，ｙ１）に配置して、リーク検査を開始する。この時、フィルタ検査具取付部１４は第２フレーム１３のＸ方向における一側端上に位置し、第２フレーム１３及び中間フレーム１２は第１フレーム１１のＹ方向における一側端上に位置する。
【００５１】
リーク検査が開始すると、図６の（イ），（ロ）に示すように、先ず制御装置１６が第３モータ２４を作動させて、第２フレーム１３をＸ方向における中間フレーム１２の他側端側に中間フレーム１２と完全重合する状態にまで走行移動させる。そして、この第２フレーム１３の走行移動が完了（すなわち、第２フレーム１３と中間フレーム１２とがＸ方向において完全重合する状態）する直前に、制御装置１６がフィルタ検査具取付部１４を走行移動させる第４モータ２７を作動させ、第３モータ２４の回転速度の減速に反比例する形態で第４モータ２７の回転速度を加速してフィルタ検査具取付部１４を走行移動させることで、Ｘ方向における第２フレーム１３からフィルタ検査具取付部１４への走行移動の受け継ぎを一定速度でスムーズに実行できる。
【００５２】
次に、図６の（ロ），（ハ）に示すように、第４モータ２７により第２フレーム１３上をＸ方向における第２フレーム１３の他側端側へ走行移動しているフィルタ検査具取付部１４が第２フレーム１３の他側端まで走行移動すると、そのフィルタ検査具取付部１４の走行移動が完了する直前に、制御装置１６が第３モータ２４を作動させ、第４モータ２７の回転速度の減速に反比例する形態で第３モータ２４の回転速度を加速させることで、Ｘ方向におけるフィルタ検査具取付部１４から第２フレーム１３への走行移動の受け継ぎをスムーズに一定速度で実行することができ、従って、フィルタ検査具１５のＸ方向への移動を一定速度で行なうことができる。
【００５３】
そして、フィルタ検査具１５のＸ方向への移動がフィルタ検査対象域ｓにおけるＸ方向の他側端ｘ２に到着すると、制御装置１６が第３モータ２４を停止させるとともに第２モータ２０を作動させて中間フレーム１２をＹ方向における第１フレーム１１の他側端側に走行移動させる。この時の中間フレーム１２の移動幅は、検査漏れがないようプローブ１５ａのＹ方向幅よりもやや小さい幅である。
【００５４】
中間フレーム１２のＹ方向への移動後、図６の（ニ），（ホ）に示すように、制御装置１６が第２モータ２０を停止させるとともに第３モータ２４を作動させて、第２フレーム１３をＸ方向における一側端側（すなわち、Ｘ方向における検査スタート位置側）に中間フレーム１２と完全重合するまで走行移動させ、その第２フレーム１３の走行移動が完了する直前に、制御装置１６が再び第４モータ２７を作動させ、第３モータ２４の回転速度の減速に反比例する形態で第４モータ２７の回転速度を加速させて、Ｘ方向における第２フレーム１３からフィルタ検査具取付部１４への走行移動の受け継ぎをスムーズに一定速度で行なう。
【００５５】
続いて、フィルタ検査具取付部１４をＸ方向における第２フレーム１３の一側端側へ第２フレーム１３の一側端まで走行移動させ、このフィルタ検査具取付部１４の走行移動が完了する直前に、制御装置１６が再び第３モータ２４を作動させて、第４モータ２７の回転速度の減速に反比例する形態で第３モータ２４の回転速度を加速させて、Ｘ方向におけるフィルタ検査具取付部１４から第２フレーム１３への走行移動の受け継ぎをスムーズに一定速度で行なう。
【００５６】
そして、フィルタ検査具１５のＸ方向への移動がフィルタ検査対象域ｓにおけるＸ方向の一側端ｘ１に到着すると、他側端に到着したときと同様に、制御装置１６が第３モータ２４を停止させるとともに第２モータ２０を作動させて、プローブ１５ａのＹ方向幅よりもやや小さい幅分、中間フレーム１２をＹ方向における第１フレーム１１の他側端側に走行移動させる。
【００５７】
上記の動作を繰り返し行い、中間フレーム１２がＹ方向における第１フレーム１１の他側端ｙ２に到着したとき、制御装置１６が第２モータ２０を停止させ、第１モータ１８を作動させて第１フレーム１１をＹ方向に走行移動させることで、フィルタ検査具１５のＹ方向への移動を行ない、フィルタ検査具１５が検査スタート位置Ｐ１の対角にある検査終了位置Ｐ２（ｘ２，ｙ２）に到着することで検査を終了する。
【００５８】
このようにすることで、フィルタ検査具１５をフィルタ４に対し一定の移動速度で検査を行うことができ、正確なフィルタ検査が可能となる。
【００５９】
４０はリーク検査時において、還気路８の通過空気にフィルタリーク検査用の粉状体Ｐを混入する粉状体混入装置、４１はリーク検査時に給気チャンバ５内の各部の空気を選択的に吸引捕集するように並置フィルタ群Ｇのフィルタ並置方向で給気チャンバ内部の全域にわたらせて分散配置した複数の吸引具、４２はリーク検査時に吸引具４１で吸引捕集した給気チャンバ５内の空気を制御装置１６に取り入れる取入口である。
【００６０】
微粒子計数器３０は、フィルタ検査具１５で吸引捕集したフィルタ４の下流側サンプリング空気中における粉状体粒子量を測定する下流側微粒子計数器３０Ａと、複数の吸引具４１で吸引捕集したフィルタ４の上流側サンプリング空気中の粉状体粒子量を測定する上流側微粒子計数器３０Ｂとがあり、これらの微粒子計数器３０Ａ，３０Ｂの測定により、フィルタ４の上流側（すなわち、給気チャンバ５内）の空気中における粉状体Ｐの濃度のバラツキを原因とするリーク検査の誤差を防止するとともに、これらによる検査結果に基づき、制御装置１６はフィルタ４のリーク判定を実行し、検査終了後、フィルタ４の陽性判定箇所については自動的に再検査を行なって、極めて正確な検査結果を得る。
【００６１】
〔別の実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
【００６２】
前記実施形態では、第１フレーム１１を一対の第１フレーム部材１１ａ，１１ｂから構成し、第１フレーム１１と第２フレーム１３との間に中間フレーム１２を介したが、第１フレーム１１を一本の第１フレーム部材から構成してもよく、その場合、中間フレーム１２を第１フレーム１１と第２フレーム１３との間に設けなくてもよい。
【００６３】
前記実施形態では、駆動手段として４つのモータ１８，２０，２４，２７を設けて、各フレーム１１，１２，１３及びフィルタ検査具取付部１４を各別に走行移動させていたが、本発明の請求項３に記載の発明を実施するにあたり、第１フレーム１１の第１方向への走行移動と中間フレーム１２の第１方向への走行移動とを１つのモータで実行させ、第２フレーム１３の第２方向への走行移動とフィルタ検査具取付部１４の第２方向への走行移動とを１つのモータで実行させる構成にしてもよい。
【００６４】
本発明の請求項７に記載の発明の実施するにあたり、第１フレーム１１を装置基台１０上をＹ方向に走行移動可能でかつＹ方向に伸縮可能な構成にし、第２フレーム１３を第１フレーム１１上をＹ方向に走行移動可能でかつＸ方向に伸縮可能な構成にしてもよい。
この構成において、第１フレーム１１、第２フレーム１３、フィルタ検査具取付部１４それぞれの走行移動及び伸縮を制御する制御装置１６を、第１フレーム１１のＹ方向への伸縮及び第２フレーム１３のＹ方向への走行移動において、装置基台１０の中央部からの偏りが大きくなる側への移動については、第１フレーム１１の伸縮よりも第２フレーム１３の走行移動を優先的に第１モータ１８及び第２モータ２０に実行させ、かつ、装置基台１０の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆に第２フレーム１３の走行移動よりも第１フレーム１１の伸縮を優先的に第１モータ１８及び第２モータ２０に実行させ、
第２フレーム１３のＸ方向への伸縮及びフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動において、装置基台１０の中央部からの偏りが大きくなる側への移動については、第２フレーム１３の伸縮よりもフィルタ検査具取付部１４の走行移動を優先的に第３モータ２４及び第４モータ２７に実行させ、かつ、装置基台１０の中央部からの偏りが小さくなる側への走行移動については、逆にフィルタ検査具取付部１４の走行移動よりも第２フレーム１３の伸縮を優先的に第３モータ２４及び第４モータ２７に実行させるとともに、
第１フレーム１１のＹ方向への伸縮と第２フレーム１３のＹ方向への走行移動との相互間での移動の受け継ぎを、フィルタ検査具取付部１４のＹ方向への一定速度の移動を保つ状態で第１モータ１８及び第２モータ２０に実行させる、又は、第２フレーム１３のＸ方向への伸縮とフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動との相互間での移動の受け継ぎを、フィルタ検査具取付部１４のＸ方向への一定速度の移動を保つ状態で第３モータ２４及び第４モータ２７に実行させる構成にすることが望ましい。
また、第１フレーム１１のＹ方向への伸縮と第２フレーム１３のＹ方向への走行移動、及び、第２フレーム１３のＸ方向への伸縮とフィルタ検査具取付部１４のＸ方向への走行移動について、それらの継続的な同時進行を許可する構成にしてもよい。
【００６５】
前記実施形態では、フィルタ検査用スキャン装置Ｍを支持架台３６に取付けて浄化対象室２のフィルタ検査を行なうが、例えば半導体部品製造工場等内のベルトコンベアに設けられるクリーントンネル等の高さの低い位置に設置されたフィルタに対しては、装置Ｍを支持架台３６から取り外して使用することができる。
【００６６】
前記実施形態では、浄化対象室２の天井面に並列配置した複数のフィルタ４を検査対象とする場合を示したが、検査対象のフィルタ４は複数のものでなくてもよく、単数のフィルタであってもよい。
【００６７】
前記実施形態では、フィルタ４の検査対象域ｓの設定入力方法として、検査対象域ｓの３頂点を指定する方法を採用したが、４頂点を指定する方法やフィルタ４のサイズが既知である場合における２頂点と対角方向を指定する方法など種々の方法でフィルタ４の検査対象域ｓを設定してもよい。
【００６８】
給気チャンバ５に対する空気供給風路は、還気路８のような風路構造に限定されるものではなく、どのような風路構造のものであってもよい。
【００６９】
フィルタリーク検査用の粉状体Ｐは、エアロゾル化したフタル酸ジオプチル（ＤＯＰ）に限定されるものではなく、その他にも種々のものを適用できる。
【００７０】
浄化対象室２の用途は、薬品や食品の製造室、あるいは、半導体部品の製造室に限られるものではなく、どのような用途であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンブースの全体構造を示す正面視断面図
【図２】フィルタ検査用スキャン装置の平面図
【図３】フィルタ検査用スキャン装置の側面図
【図４】フィルタ検査用スキャン装置の正面図
【図５】フィルタ検査用スキャン装置の最大フィルタ検査可能域を示す図
【図６】フィルタ検査用スキャン装置の検査時における動作を示す図
【図７】従来のフィルタ検査用スキャン装置の斜視図
【図８】従来のフィルタ検査用スキャン装置の最大フィルタ検査可能域を示す図
【符号の説明】
１０                      装置基台
１１                      第１フレーム
１１ａ，１１ｂ            第１フレーム部材
１２                      中間フレーム
１３                      第２フレーム
１４                      フィルタ検査具取付部
１５                      フィルタ検査具
１６                      制御手段
１８，２０，２４，２７    駆動手段
３２Ａ                    ケーブルキャリア
３３                      第１ケーブル類
３４                      第２ケーブル類
３６                      高さ調整手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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