(57)【要約】【課題】モアレの影響をできるだけ排除して、より真の値に近い振幅値を算出可能とするモアレ処理方法を提供すること。【解決手段】モアレが発生した周期的パターンの測定結果に対して、発生したモアレの周期を求める第１のステップと、第１のステップで求めた周期以上の間隔でデータを区切り、区切られた各領域内で最大値・最小値を求める第２のステップと、第２のステップで求めた最大値・最小値をそれぞれ平均化する第３のステップと、第３のステップで求めた最大値・最小値の平均値の差を振幅値とする第４のステップとを有することを特徴とするモアレ処理方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モアレが発生した周期的パターンの測定結果に対して、
発生したモアレの周期を求める第１のステップと、
第１のステップで求めた周期以上の間隔でデータを区切り、区切られた各領域内で最大値・最小値を求める第２のステップと、
第２のステップで求めた最大値・最小値をそれぞれ平均化する第３のステップと、
第３のステップで求めた最大値・最小値の平均値の差を振幅値とする第４のステップと
を有することを特徴とするモアレ処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、モアレ処理方法に関し、より具体的には、モアレによって劣化した測定データから、より真の値に近いデータを算出可能とするモアレ処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、写真感光材料の解像度や空間周波数応答性を調べる場合には、対象となる写真感光材料に露光されたＣＴＦ（Ｃｏｎｔｒａｓｔ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ　Ｆｕｎｃｔｉｏｎ　）パターン（通常、周期的な矩形波状の強度プロファイルを持つ画像）、またはＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ　Ｆｕｎｃｔｉｏｎ　）パターン（通常、周期的な正弦波状の強度プロファイルを持つ画像）の振幅測定を行うが、この際に、上述の線画像の周波数とサンプリング間隔によってはモアレが生じるため、真の振幅値を得ることが困難である。
【０００３】
例えば、４０ｃｙｃｌｅ／ｍｍのＣＴＦパターンを測定する場合を考えると、このパターンを、パターンの周波数に対して極めて細かい測定間隔で測定する場合には、図３に示すように、もとの周期構造がそのまま測定できるが、パターンの周波数に対してあまり差のない測定間隔で測定する場合（例えば、４０ｃｙｃｌｅ／ｍｍ＝２５μｍに対して、８μｍ（０．００８ｍｍ）ピッチ（開口も８μｍ）のＣＣＤで測定を行うような場合）には、図４に示すようなモアレが生じる。
【０００４】
図４に示すモアレは、周期が５ｃｙｃｌｅ／ｍｍであって、大きく波打っている形状になっている。上述のような目的の測定において、このようなモアレが生じると、もとの周期構造の振幅がそのままでは測定できなくなる。すなわち、図４に示すようなモアレが生じると、全体として振幅が縮まってしまうとともに、波打っているため、どこを振幅と見るかが判らなくなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、前者の、全体として縮まってしまった振幅については対応することが難しいが、後者の、波打っているため振幅が判らなくなっているという点については、これを何らかの方法で処理して、できるだけ真の値に近い振幅値を測定できるようにすることが好ましい。
【０００６】
すなわち、本発明の目的は、従来の技術における前述のような問題点に対して、現実的な一つの対応方法を提供することにある。より具体的には、モアレの影響をできるだけ排除して、より真の値に近い振幅値を算出可能とするモアレ処理方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係るモアレ処理方法は、モアレが発生した周期的パターンの測定結果に対して、発生したモアレの周期を求める第１のステップと、第１のステップで求めた周期以上の間隔でデータを区切り、区切られた各領域内で最大値・最小値を求める第２のステップと、第２のステップで求めた最大値・最小値をそれぞれ平均化する第３のステップと、第３のステップで求めた最大値・最小値の平均値の差を振幅値とする第４のステップとを有することを特徴とする。
【０００８】
ここで、前記最大値・最小値の平均値を求めるステップ（第３のステップ）では、測定データを適切な間隔で分割することが好ましく、また、この分割数を決定する際には、前記モアレのピッチ（空間周波数の逆数）の数倍、より好ましくはモアレのピッチの１〜３倍とするのがよい。
【０００９】
また、モアレの空間周波数は、下記の式（１）で求められる。
【数１】
2004072597.tif 000003
【００１０】
本発明によれば、モアレの発生により劣化した測定データから、より真の値に近いデータを算出することが可能になる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面に基づいて、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１２】
以下に説明する実施形態においては、先に説明した４０ｃｙｃｌｅ／ｍｍ（以下、ｃ／　ｍｍと略す）のＣＴＦパターンを測定する場合を例に挙げる。このパターンの周波数に対して極めて細かい測定間隔で測定する場合には、図３に示したようにもとの周期構造がそのまま測定できることは前述の通りである。
【００１３】
ここでは、先に説明したと同じ、パターンの周波数に対してあまり差のない８μｍ（０．００８ｍｍ）ピッチ（開口も８μｍ）のＣＣＤで測定を行うものとする。この場合には、前述のように、図４に示すようなモアレが生じる。これに対して、本実施形態においては、図１の動作フロー図に示すように、下記のステップを順次実行する。
【００１４】
▲１▼：モアレの周期を求める（ステップ１１）。
▲２▼：▲１▼で求めた周期より長い領域で、得られた測定データを区切る（ステップ１２）。
▲３▼：区切った各領域内での、測定データの最大値・最小値を抜き出し、それらの平均値を求める（ステップ１２，１３）。
▲４▼：▲３▼で求めた最大値・最小値それぞれの平均値の差をＣＴＦ値とする（ステップ１４）。
【００１５】
以下、上記各ステップについて、より具体的に説明する。
▲１▼のモアレの周期（空間周波数）の算出は、目視によっても可能であるが、計算で求める場合には、以下の式（１）を用いて行う。
【００１６】
【数２】
2004072597.tif 000004
【００１７】
ここでは、４０ｃｙｃｌｅ／ｍｍのＣＴＦパターンを、８μｍピッチのＣＣＤで測定したので、以下の式（２）に示すように、５ｃｙｃｌｅ／ｍｍのモアレが生じる。
【数３】
2004072597.tif 000005
【００１８】
次に、▲２▼の測定データを区切るステップ（データ分割）について説明する。ここで測定の対象となる線画像データは、空間周波数と振幅の揃った一連のデータであるが、実際の測定データでは、サンプルやプリンタによって生じる粒状度，測定装置のノイズなどの影響を受けるため、必ずしも、図４に示すような揃った振幅波形にはならない。
【００１９】
そこで、それらの平均的な値を求めることが必要である。すなわち、ＣＣＤにより測定された同一空間周波数の振幅波形データについて平均値をとるためには、適切な間隔で分割する必要がある。ここで、分割間隔を決める際に上で求めたモアレの空間周波数の値を用いるのが、本発明の特徴の一つである。
【００２０】
ここでは、モアレの山と谷の平均をとるために、一連のデータを式（１）で求めたモアレのピッチＰ（空間周波数の逆数）の整数倍の値で区切る方法を提案するものである。なお、この場合、あまり大きな倍数とすると、分割領域の数が少なくなり、平均値の精度が悪くなるので、分割間隔は上述のピッチＰの１〜３倍程度とするのがよい。
【００２１】
図２に、分割間隔を上述のピッチＰ、つまり１倍とした例を示した。図２中、Ｘ１〜Ｘ５が、分割間隔を示している。
ここでは、分割間隔を１倍としたので、各分割領域内に、最大値と最小値が１つずつあるはずであり、これを利用して、それぞれの領域内で、最大値と最小値とを抜き出す。
【００２２】
なお、図２は、図４に対応するものであり、測定系のノイズなどが含まれている状況を示す、実際の測定データのグラフである。すなわち、図２と図４との違いは、各領域内の測定波形に含まれるノイズ成分等の影響の有無（図２は有り、図４は無し）に有り、図２の方に多少変動が見られる点である。
【００２３】
次に、▲３▼，▲４▼の各領域での最大値，最小値の算出並びに振幅値の算出について説明する。
前述のようにして分割した各領域内のデータから、まず、最大値（ｍａｘｉ　）ｉ個と最小値（ｍｉｎｉ　）ｉ個（図２では、ｉ＝１〜５）を求め、次に、これらのｉ個の最大値，最小値の平均値を求めた。
【００２４】
ここでは、最大値の平均値ｍａｘａｖｅ　＝０．８９，最小値の平均値ｍｉｎａｖｅ　＝０．　０８となり、これから、振幅値は０．　８９−０．　０８＝０．　８１を得た。
この振幅値０．　８１は、真の値ではないが、図２に示した測定データに基づく値としては、より真の値に近い振幅値である。
【００２５】
上記実施形態によれば、モアレが生じているため、全体として縮まってしまった振幅については対応できないものの、モアレが生じて波打っているため振幅が判らなくなっているという点については、これを解消して、できるだけ真の値に近い振幅値を測定できるようになるという効果が得られる。
【００２６】
上記実施形態においては、本発明を、ＣＴＦパターンを測定する場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、前述のＭＴＦパターンの測定，写真感光材料の解像度の測定あるいはレンズの解像度の測定等、各種の測定に応用可能である。
【００２７】
なお、上記実施形態は本発明の一例を示したものであり、本発明はこれに限定されるべきものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜の変更または改良を行ってもよいことはいうまでもない。
【００２８】
例えば、本発明に係るモアレ処理方法における測定装置は、測定対象の画像の周波数等に応じて適切なものを自由に選定してよく、特定の装置に限定されるものではない。
【００２９】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、モアレの影響をできるだけ排除して、より真の値に近い振幅値を算出可能とするモアレ処理方法を実現できるという顕著な効果を奏するものである。
【００３０】
より具体的には、ＣＣＤ等を用いた高いサンプリング周波数での測定においてモアレが発生した場合でも、その影響を最小限に抑えてより真の値に近い振幅値を得ることを可能とする測定方法を実現できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るモアレ処理方法における処理の流れを示すフローチャートである。
【図２】実施形態において、モアレが生じている場合のＣＴＦ画像測定データの例を示すグラフである。
【図３】モアレが生じていない場合のＣＴＦ画像測定データの例を示すグラフ（模式図）である。
【図４】図２に対応する、モアレが生じている場合のＣＴＦ画像測定データの例を示すグラフ（模式図）である。
【符号の説明】
１１〜１４　処理ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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