(57)【要約】【課題】外部の気圧が変化する際にも、梱包材の内部への不純物の侵入を防止できる露光装置本体の梱包構造を提供する。【解決手段】梱包材１１は、ガスの透過を防止する素材からなり、露光装置本体１０の少なくとも一部または露光装置本体１０を構成する部材を覆う。梱包材１１には開口１２が設けられ、開口１２を通過するガスに含まれる不純物はフィルタ１３によって除去される。【選択図】    図１
2004342902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置本体の梱包構造であって、
ガスの透過を防止する素材からなり、前記露光装置本体の少なくとも一部または前記露光装置本体を構成する部材を覆う梱包材と、
前記梱包材に設けられる開口と、
前記開口を通過するガスに含まれる不純物を除去するフィルタとを備えることを特徴とする露光装置本体の梱包構造。
【請求項２】
前記梱包材は、ガスバリア性のフィルムからなることを特徴とする請求項１に記載の露光装置本体の梱包構造。
【請求項３】
前記梱包材は、多重に配されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置本体の梱包構造。
【請求項４】
前記フィルタは、ガス状不純物を除去するケミカルフィルタを含むことを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかに記載の露光装置本体の梱包構造。
【請求項５】
前記フィルタは、多段に配される複数のフィルタを含むことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれかに記載の露光装置本体の梱包構造。
【請求項６】
さらに、前記開口を開閉するバルブを備えることを特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれかに記載の露光装置本体の梱包構造。
【請求項７】
前記バルブは、ガスの流れを一方向のみに開放する逆止弁を含むことを特徴とする請求項６に記載の露光装置本体の梱包構造。
【請求項８】
前記開口に接続され、主ガス中に含まれる不純物の濃度が低い高純度ガスを貯溜するガス貯溜部を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置本体の梱包構造。
【請求項９】
請求項１から請求項８のうちのいずれかに記載された梱包構造によって梱包されることを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣＤ等）、薄膜磁気ヘッド等の電子デバイスの製造工程等で使用される露光装置本体の梱包構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子や液晶表示素子等の電子デバイスをフォトリソグラフィ工程で製造する際に、パターンが形成されたマスクあるいはレチクル（以下、レチクルと称する）のパターン像を投影光学系を介して感光材（レジスト）が塗布された基板上の各投影（ショット）領域に投影する投影露光装置が使用されている。電子デバイスの回路は、上記投影露光装置で被露光基板上に回路パターンを露光することにより転写され、後処理によって形成される。
【０００３】
近年、集積回路の高密度集積化、すなわち、回路パターンの微細化が進められている。そのため、投影露光装置における露光用照明ビーム（露光光）が短波長化される傾向にある。すなわち、これまで主流だった水銀ランプに代わって、ＫｒＦエキシマレーザ（波長：２４８ｎｍ）といった短波長の光源が用いられるようになり、さらに短波長のＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）を用いた露光装置の実用化も最終段階に入りつつある。また、さらなる高密度集積化をめざして、Ｆ２レーザ（１５７ｎｍ）を用いた露光装置の開発が進められている。
【０００４】
波長約１９０ｎｍ以下のビームは真空紫外域に属し、これらのビームは、空気を透過しない。これは、空気中に含まれる酸素分子・水分子・二酸化炭素分子などの物質（以下、吸光物質と称する）によってビームのエネルギーが吸収されるからである。真空紫外域の露光光を用いた露光装置において、被露光基板上に露光光を十分な照度で到達させるには、露光光の光路上の空間から吸光物質を低減もしくは排除する必要がある。そのため、露光装置では、光路上の空間を筐体で囲い、露光光を透過する透過性のガスでその筐体内の空間を充填している場合が多い。
【０００５】
さて、露光装置の本体部分（以下、「露光装置本体」と称する）を梱包する際には、上述した吸光物質などの不純物が梱包材の内側に侵入しないことが求められる。梱包材の内部に不純物が侵入するとそれが露光装置本体内の光学部材の表面に付着し、光学特性の低下を招くおそれがあるからである。露光装置本体の梱包構造としては、シート材などの梱包材によって露光装置本体を気密に覆う技術がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−２０３６７８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
露光装置本体を梱包材によって気密に覆う技術では、航空輸送時などにおいて、外部環境の気圧が変化すると、梱包材の内外の気圧差による大きな負荷が梱包材にかかることから、梱包材の密閉状態が崩れ、わずかな隙間から梱包材の内側に不純物が侵入するおそれがある。
【０００８】
本発明は、上述する事情に鑑みてなされたものであり、外部の気圧が変化する際にも、梱包材の内部への不純物の侵入を防止できる露光装置本体の梱包構造を提供することを目的とする。
また、本発明の別の目的は、輸送や保管に伴う光学特性の低下が少ない露光装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の露光装置本体の梱包構造は、ガスの透過を防止する素材からなり、前記露光装置本体（１０）の少なくとも一部または前記露光装置本体を構成する部材を覆う梱包材（１１）と、前記梱包材に設けられる開口（１２）と、前記開口を通過するガスに含まれる不純物を除去するフィルタ（１３）とを備えることを特徴とする。
この梱包構造では、梱包材に設けられた開口を介してガスが出入りすることにより、梱包材の内外の気圧差が解消される。そのため、外部環境の気圧が変化する際にも、気圧差に伴う梱包材への負荷が軽減されるとともに、上記開口とは別の場所でのガスの出入りが防止される。また、開口を通過するガスに含まれる不純物はフィルタによって除去される。その結果、この梱包構造では、外部の気圧が変化する際にも、梱包材の内部への不純物の侵入が防止される。
【００１０】
上記の梱包構造においては、気圧変化に伴う梱包材への負荷が軽減されることから、前記梱包材（１１）として、ガスバリア性のフィルムが好ましく用いられる。フィルムは、軽量かつ柔軟性が高く、梱包作業性の向上が図られる。
【００１１】
また、上記の梱包構造において、前記梱包材（２０，２１）が、多重に配されることにより、梱包材内への不純物の侵入がより確実に防止される。
【００１２】
また、前記フィルタ（１３）が、ガス状不純物を除去するケミカルフィルタを含むことにより、前記開口を通過するガスに含まれるガス状不純物が除去される。これにより、露光装置本体の光学部材へのガス状不純物の付着が防止され、露光装置の光学特性の低下が防止される。
【００１３】
さらに、前記フィルタが、多段に配される複数のフィルタ（１３ａ，１３ｂ）を含むことにより、前記開口を通過するガスに含まれる不純物がより確実に除去される。
【００１４】
また、上記の梱包構造において、前記開口（１２）を開閉するバルブ（１８）を備えてもよい。前記バルブを備えることにより、気圧変化が少ない際には前記開口を閉状態とするなど、前記開口の開閉制御が可能となり、梱包材内への不純物の侵入がより確実に防止される。
【００１５】
この場合、前記バルブは、ガスの流れを一方向のみに開放する逆止弁（１９ａ，１９ｂ）を含んでもよい。前記逆止弁を備えることにより、気圧変化に伴うガスの流れ方向を制御することで、フィルタの消耗を抑制することが可能となる。
【００１６】
また、上記の梱包構造においては、前記開口（３１）に接続され、主ガス中に含まれる不純物の濃度が低い高純度ガスを貯溜するガス貯溜部（３２）を備えてもよい。この場合、梱包材内への不純物の侵入がより確実に防止される。
【００１７】
また、本発明の露光装置は、上記記載の梱包構造によって梱包されることを特徴とする。
本発明の露光装置では、上記梱包構造により、光学部材への不純物の付着が防止されることから、輸送や保管に伴う光学特性の低下が少ない。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例について説明する。
図１は、本発明に係る露光装置本体の梱包構造の第１の実施形態例を模式的に示している。
【００１９】
図１において、露光装置本体１０は、輸送あるいは保管に際して、フィルム材料（あるいはシート材料）からなる梱包材１１に覆われる。梱包材１１としては、露光装置本体が備える光学系の光学特性の低下を招く不純物の透過を防止する素材からなるのが好ましく、本例では、エチレン−ビニルアルコール共重合樹脂（例えば、エバール（登録商標））、ポリイミドフィルム（例えば、カプトン（登録商標））、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（例えば、マイラー（登録商標））などのガスバリア性のフィルムが用いられる。その他に、梱包材として、例えば、四フッ化エチレン（いわゆるテフロン（登録商標））、テトラフルオロエチレン−テルフルオロ（アルキルビニールエーテル）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロペン共重合体等の各種フッ素ポリマー、あるいはナイロン（ＯＮＹ重合）−片面シリカコートペット樹脂（ＰＥＴ１２）−ポリエチレン（ＰＥＦ６０）からなる三層構造のいわゆるハイバリアシート、等の材料などを用いることができる。
【００２０】
梱包材１１には通気用の開口１２が設けられ、その開口１２にはフィルタ１３が配設された配管１４が接続されている。フィルタ１３は、吸着、吸収、あるいは濾過といった作用により、開口１２を通過するガスに含まれる不純物を除去するものであり、本例では、ガス状不純物（後述する吸光物質）を除去するケミカルフィルタが用いられている。ケミカルフィルタとしては、露光装置本体が備える光学系の光学特性の低下を招く不純物に対して有効なものが適宜選択され、例えば、ゼオライトフィルタ、ジルコニアフィルタ、シリカゲルなどが用いられる。アンモニア、アミン系の化合物、イオン系、シロキサン、シラザン、シラノール等のシリコン系の有機物や、可塑剤（フタルサンエステル等）、難燃剤（燐酸、塩素系物質）などの不純物を除去するためのフィルタとしては、活性炭フィルタやゼオライトフィルタを用いることができる。
【００２１】
図２は、露光装置本体１０の構成を示す図であり、（ａ）は実稼動時、（ｂ）は梱包時の様子を模式的に示している。
図２（ａ）に示す実稼動時において、露光装置本体１０は、クリーンルーム内の床面上に設置された箱状のチャンバ１０１内に設置される。チャンバ１０１内には不図示の空調装置からその外部のクリーンルーム内の空気よりも更に厳密に管理された気体（後述する透過ガス）が供給される。露光装置本体１０において、チャンバ１０１内に設置された定盤１０２上に複数の脚部を有するコラム１０３が植設され、定盤１０２に支持された支持板上にウエハステージＷＳが移動自在に配置され、ウエハステージＷＳ上にウエハホルダ１０４を介して、フォトレジストが塗布された露光対象のウエハＷが吸着保持される。また、コラム１０３の架台１０３ａに投影光学系ＰＬが固定され、コラム１０３の架台１０３ｂにレチクルステージＲＳが移動自在に配置され、レチクルステージＲＳ上に不図示のレチクルホルダを介して、露光対象のパターンが形成されたレチクルＲが吸着保持される。また、コラム１０３の照明系支持板１０３ｃに照明系ＩＵの一部が設置されている。この照明系ＩＵにビームマッチングユニットＢＭＵの一端（出射端）が接続され、ビームマッチングユニットＢＭＵの他端（入射端）がチャンバ１０１外に設置された不図示の光源に接続されている。
【００２２】
光源としては、波長約１２０ｎｍ〜約１８０ｎｍの真空紫外光域に属する光を発する光源、例えば発振波長１５７ｎｍのフッ素レーザ（Ｆ２レーザ）、発振波長１４６ｎｍのクリプトンダイマーレーザ（Ｋｒ２レーザ）、発振波長１２６ｎｍのアルゴンダイマーレーザ（Ａｒ２レーザ）などが用いられる。真空紫外域の波長の光を露光ビームとする場合、係る波長帯域の光に対し強い吸収特性を有する物質（以下、吸光物質と称する）を光路から排除する必要がある。真空紫外域のビームに対する吸光物質としては、酸素（Ｏ２）、水（水蒸気：Ｈ２Ｏ）、炭酸ガス（二酸化炭素：ＣＯ２）、有機物、及びハロゲン化物等がある。一方、露光ビームＩＬが透過する気体（エネルギ吸収がほとんど無い物質）としては、窒素ガス（Ｎ２）の他に、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）、キセノン（Ｘｅ）、ラドン（Ｒｎ）よりなる希ガスがある。以降、この窒素ガス及び希ガスをまとめて「透過ガス」と呼ぶことにする。なお、窒素ガスは波長が１５０ｎｍ程度以下の光に対しては吸光物質として作用し、ヘリウムガスは波長１００ｎｍ程度まで透過ガスとして使用することができる。また、ヘリウムガスは熱伝導率が窒素ガスの約６倍であり、気圧変化に対する屈折率の変動量が窒素ガスの約１／８であるため、特に高透過率と光学系の結像特性の安定性や冷却性とで優れている。
【００２３】
一方、図２（ｂ）に示す梱包時において、露光装置本体１０は、クリーンルーム内で上述した梱包材１１を用いて梱包される。本例では、梱包に先立って、先の図２（ａ）に示した照明系ＩＵ、及びビームマッチングユニットＢＭＵを取り外し、これらを露光装置本体１０とは分けて梱包する。また、必要に応じて、光学面が露出している光学部材（投影光学系ＰＬにおける光路端に配されるレンズなど）を所定の部材（キャップ１５）で覆い、光学部材の光学表面への不純物の付着を防止する。梱包作業は、例えば、露光装置本体１０を梱包材１１で包み、その梱包材１１の端部の合わせ目を熱溶着することにより梱包材１１の内外を密閉する。あるいは、ホースクランプなどの結合手段を用いて梱包材１１を露光装置本体１０に結合する。また、必要に応じてパッキンなどを用いて梱包材１１の内外の密閉を保つ。さらに、作業時における不純物の侵入を防ぐために、Ｎ２ などの上記透過ガスを梱包材１１内に適宜供給するとよい。なお、梱包作業の手順の一例は、特開２０００−２０３６７８号公報に記載されている。
【００２４】
図１に戻り、本実施形態の梱包構造では、梱包材１１に開口１２が設けられていることから、梱包材１１の外部環境の気圧が変化する際、開口１２を介してガスが出入りすることにより、梱包材１１の内外の気圧差が解消される。すなわち、梱包材１１の内部の気圧が外部に比べて低い場合には、上記開口１２を介して、外部から梱包材１１内にガス（空気）が流入することにより、梱包材１１の内外の間で気圧がほぼ等しくなる。一方、梱包材１１の内部の気圧が外部よりも高い場合には、上記開口１２を介して、梱包材１１内から外部にガスが流出することにより、梱包材１１の内外の間で気圧がほぼ等しくなる。このように、梱包材１１の内外の気圧差が解消されることにより、航空輸送時等において外部環境の気圧が変化する際にも、気圧差に伴う梱包材１１への負荷が軽減されるとともに、開口１２とは別の場所でのガスの出入りが防止される。また、梱包材１１の開口１２をガスが通過する際、そのガスに含まれる不純物（空気に含まれる吸光物質など）はフィルタ１３によって除去される。その結果、この梱包構造では、外部の気圧が変化する際にも、梱包材１１の内部への不純物の侵入が防止される。そして、この梱包構造によって梱包される露光装置では、梱包時における光学部材の光学表面への不純物の付着が防止されることから、輸送や保管に伴う露光装置の光学特性の低下が抑制される。
【００２５】
ここで、本実施形態では、上述したように、梱包材１１の内部の気圧が調整されることで、気圧変化に伴う梱包材１１への負荷が軽減される。すなわち、梱包材１１に圧力がほとんどかからない。そのため、梱包材１１として、上述したフィルム材料（あるいはシート材料）が好ましく用いられる。つまり、梱包材として金属板等の板状の材料を用い、それを隔壁とする耐圧構造を形成することも可能であるが、コスト、重量、作業性等の点で課題が多い。これに対して、フィルム材料あるいはシート材料は、軽量かつ柔軟性が高く、梱包作業性の向上が図られる。また、フィルム材料あるいはシート材料は、十分な破断強度を有するとは限らないものの、本実施形態においては、上記負荷の軽減により破断並びに損傷が起こる可能性が低減される。なお、本発明における梱包材は、フィルム材料あるいはシート材料に限定されるものではない。また、梱包材としては、上述した吸光物質などの露光装置本体が備える光学系の光学特性の低下を招く不純物の放出（ガス放出）が少ない素材を用いるのが好ましい。
【００２６】
露光装置本体が備える光学系の光学特性の低下を招く不純物としては、Ｏ２、Ｈ２Ｏ、ＣＯ２、有機物、及びハロゲン化物等の上記吸光物質の他に、Ｓｉ化合物、アンモニア、塵（パーティクル）等が挙げられる。フィルタとしては、ガス状不純物を除去するケミカルフィルタに限らず、他のフィルタ、例えば、塵除去用のＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等を用いてもよい。さらに、複数のフィルタを組み合わせて用いてもよい。フィルタの種類、梱包材に設けられる開口の数や位置、形状等は適宜定められる。
【００２７】
図３、図４、及び図５は、フィルタの配置構成の変形例を示している。
図３の例では、梱包材１１に設けられた開口１２に対して、複数（ここでは２つ）のフィルタ１３ａ，１３ｂが多段に配置されている。具体的には、梱包材１１の開口１２の側にケミカルフィルタ１３ａが配置され、その外側に塵フィルタ１３ｂ（ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等）が配置されている。この構成では、フィルタ１３ａ，１３ｂが、多段に配されることにより、開口１２を通過するガスに含まれる不純物がより確実に除去される。すなわち、梱包材１１の外部から内部にガス（空気）が流入する際、まず始めに、そのガスに含まれる塵（パーティクル）が塵フィルタ１３ｂによって除去され、その後、そのガスに含まれるガス状不純物がケミカルフィルタ１３ａによって除去される。そのため、塵によるケミカルフィルタ１３ａの消耗が抑制されるとともに、２つのフィルタ１３ａ，１３ｂによってガスに含まれる不純物が確実に除去される。
【００２８】
複数のフィルタを多段に配置する場合、上記例のように異なる種類のフィルタを組み合わせてもよく、同じ種類のフィルタを組み合わせてもよい。異種フィルタの組み合わせとしては、上記例の他に、例えば、アンモニア除去用のフィルタ（高分子不純物用フィルタ）と水除去用のフィルタとの組み合わせ等が挙げられる。水除去用のフィルタとしては、シリカゲルの他に、例えば、塩化カルシウム、生石灰、天然ゼオライトなどを用いたフィルタが挙げられる。アンモニア除去用フィルタと水除去用フィルタとの組み合わせの場合、アンモニアは水分濃度が低い環境下では除去が困難となることから、梱包材１１の開口１２の側に水分除去用フィルタ、その外側にアンモニア除去用のフィルタを配置するとよい。
【００２９】
図４の例では、梱包材１１に設けられた開口１２に対して、その開口１２を開閉するためのバルブ１８が配設されている。バルブ１８は、開口１２に対してフィルタ１３の外側に配置されている。この構成では、開口１２を開閉するバルブ１８を備えることにより、気圧変化が少ない際に開口１２を閉状態とするなど、開口１２の開閉制御が可能となり、梱包材１１内への不純物の侵入がより確実に防止される。なお、バルブ１８の制御は、自動でもよく手動でもよい。自動制御の場合、例えば、外部環境の気圧変化を検知するセンサを備えるとよい。
【００３０】
図５の例では、梱包材１１に設けられた２つの開口１２ａ，１２ｂのそれぞれに対して、その開口１２ａ，１２ｂを開閉するためのバルブとして逆止弁１９ａ，１９ｂが配設されている。逆止弁１９ａ，１９ｂは、所定の気圧差が生じることで一方向にのみ流体の流れを開放し、反対方向の流体の流れを阻止するものであり、いずれも開口１２ａ，１２ｂに対してフィルタ１３ｃ，１３ｄの外側に配置されている。また、一方の逆止弁１９ａは、外部から梱包材１１の内部に流入する方向のみに開放するように配置され、他方の逆止弁１９ｂは、梱包材１１の内部から外部に流出する方向のみに開放するように配置されている。
【００３１】
この構成では、梱包材１１の内部の気圧が外部に比べて所定圧力差を越えて低い場合に、逆止弁１９ａが開状態となり、フィルタ１３ｃ及び開口１２ａを介して、外部から梱包材１１内にガスが流入し、これにより、梱包材１１の内外の気圧差が解消される。一方、梱包材１１の内部の気圧が外部よりも高い場合には、逆止弁１９ｂが開状態となり、フィルタ１３ｄ及び開口１２ｂを介して、梱包材１１内から外部にガスが流出し、これにより、梱包材１１の内外の気圧差が解消される。この構成では、所定圧力差を超えない状態においては、逆止弁１９ａ，１９ｂが開状態とならないことから、フィルタ１３ｃ，１３ｄが梱包材１１の外の空気に触れる機会が限定される。その結果、フィルタ１３ｃ，１３ｄの消耗が抑制される。
【００３２】
図６は、本発明に係る露光装置本体の梱包構造の第２の実施形態例を模式的に示している。
本実施形態では、上述した第１実施形態例と異なり、露光装置本体１０に対して、梱包材２０，２１が多重（本例では２重）に配されている。すなわち、露光装置本体１０は、まず、梱包材２０によって気密に覆われ、その外側が梱包材２１によって気密に覆われている。梱包材２０，２１としてはそれぞれ、第１実施形態例と同様に、ガスバリア性を有するフィルム材料（あるいはシート材料）が用いられる。梱包材２０，２１として、互いに同じ種類の材料を用いてもよく、異なる種類の材料を用いてもよい。また、梱包材２０，２１のそれぞれに通気用の開口２２，２３が設けられており、各開口２２，２３にはフィルタ２４，２５が配設された配管２６，２７が接続されている。また、内側の梱包材２０に接続されたフィルタ２４は、外側の梱包材２１の内側に配されている。
【００３３】
この構成により、本実施形態では、梱包材２０，２１が多重に配されていることから、露光装置本体１０が配されている梱包材２０の内部への不純物の侵入が確実に防止される。すなわち、ガスバリア性を有するフィルム材料であっても、不純物（ガス状不純物）をわずかに透過する可能性があるが、梱包材２０，２１が多重に配されることで、梱包材２０と梱包材２１との間の空間にわずかに不純物が侵入しても、さらにその内側の梱包材２０の内部へ不純物が侵入する可能性は極めて低くなる。なお、３重以上の梱包構造とすることにより、その可能性がさらに低くなる。
【００３４】
また、本実施形態では、上記第１実施形態例と同様に、各梱包材２０，２１に設けられた開口２２，２３を介してガスが出入りすることにより、梱包材２０，２１の内外の気圧差が解消される。このとき、外側の梱包材２１の開口２３を通過するガスに含まれる不純物はフィルタ２５によって除去され、内側の梱包材２０の開口２２を通過するガスに含まれる不純物はフィルタ２４によって除去される。つまり、多段に配されたフィルタ２４，２５によって、梱包材２０の内部に流入するガスに含まれる不純物が確実に除去される。
【００３５】
図７は、本発明に係る露光装置本体の梱包構造の第３の実施形態例を模式的に示している。
本実施形態では、上述した各実施形態例と異なり、梱包材３０に設けられた通気用の開口３１が、主ガス中に含まれる不純物の濃度が低い高純度ガスを貯溜するガス貯溜部３２に接続されている。具体的には、露光装置本体１０が梱包材３０によって気密に覆われ、梱包材３０の通気用の開口３１にフィルタ３３が配設された配管３４が接続され、その配管３４の他端が上記ガス貯溜部３２に接続されている。ガス貯溜部３２は、フィルム材などの柔軟性のある素材を袋状に形成した形態からなる。また、梱包材３０及びガス貯溜部３２の内部には、上記高純度ガスとして、Ｎ２ などの不活性ガスが充填されている。この不活性ガスは露光光が透過する透過性を有する。なお、高純度ガスをガス貯溜部３２の内部に充填する際、ガス貯溜部３２がさらに膨らむ余裕のある状態にしておく。例えば、梱包時において、ガス貯溜部３２に高純度ガスを限界まで満たした後、所定量の高純度ガスをガス貯溜部３２から外部に排出し、ガス貯溜部３２をある程度収縮させておく。
【００３６】
この構成により、本実施形態では、外部環境の気圧変化に伴ってガス貯溜部３２の内容積が変化することにより、梱包材３０の内外の気圧差が解消される。すなわち、梱包材３０の内部の気圧が外部に比べて低い場合には、開口３１を介して、ガス貯溜部３２からガスが梱包材３０内に流入することにより、梱包材３０の内外の気圧差が解消される。このとき、ガス貯溜部３２はガスの流出に伴い収縮する。一方、梱包材３０の内部の気圧が外部に比べて高い場合には、開口３１を介して、梱包材３０内からガス貯溜部３２にガスが流出することにより、梱包材３０の内外の気圧差が解消される。このとき、ガス貯溜部３２はガスの流入に伴い膨張する。その結果、梱包材３０に設けられた開口３１を通過するガスが常に高純度ガスとなり、圧力調整に伴う梱包材３０内への不純物の侵入が防止される。
【００３７】
また、本実施形態では、開口３１をガスが通過する度に、そのガスに含まれる不純物がフィルタ３３によって除去される。そのため、仮に梱包材３０の内部あるいはガス貯溜部３２の内部から不純物（透過性ガスなど）が放出することがあっても、その不純物がフィルタ３３によって適宜除去される。そのため、梱包材３０内の不純物の濃度が低い状態が安定的に維持される。なお、不純物の内部放出がほとんど生じない場合は、梱包材とガス貯溜部との間のフィルタを省く構成としてもよい。
【００３８】
なお、上記各実施形態例で示した梱包構造は、露光装置本体の一部の構成部材（照明光学系、レンズ単体、小物部品など）や交換部品などに対しても同様に適用可能である。
【００３９】
また、梱包材の内部に不純物濃度の低い高純度ガスを適宜供給するように構成してもよい。
【００４０】
高純度ガスの主ガスとしては、窒素、水素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスの他に、クリーンエア・エアを用いてもよい。エアの場合、好ましくは、化学的にクリーンなドライエア（レンズの曇りの原因となる物質、例えば、クリーンルーム内を浮遊するアンモニウムイオン等が除去されたエア、又は湿度が５％以下のエア）を用いる。
【００４１】
また、各ケーシングや鏡筒、ガスの供給配管等は、研磨などの処理によって、表面粗さが低減されたステンレス（ＳＵＳ）等の材質を用いることにより、脱ガスの発生を抑制できる。
【００４２】
また、露光装置を構成する配線、ケーブル、供給管等も、不純物ガス発生抑制材料として、ステンレス鋼、四フッ化エチレンまたはテトラフルオロエチレン−テルフルオロ（アルキルビニールエーテル）またはテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロペン共重合体等の各種フッ素ポリマーで形成されているのが好ましい。
【００４３】
また、露光装置は、半導体製造用に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の投影露光装置や、薄膜磁気ヘッド、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤなど）、マイクロマシン、及びＤＮＡチップなどの他のマイクロデバイス（電子デバイス）製造用の投影露光装置等であってもよく、これらの露光装置にも本発明の技術を適用することができる。さらに、投影光学系を用いない、例えばプロキシミティ方式の露光装置などに対しても本発明を適用できる。
【００４４】
さらに、投影光学系についても、全反射系、全屈折系、反射屈折系のいずれでもよく、その倍率は、縮小系、等倍、拡大系のいずれであってもよい。光源の種類もＡｒＦエキシマレーザー（１９３ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザー（２４８ｎｍ）、Ｆ２レーザー（１５７ｎｍ）、あるいはＹＡＧレーザーや金属蒸気レーザーであってもよい。
【００４５】
また、投影光学系として、エキシマレーザなどの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英、蛍石、フッ素をドープした石英、フッ化バリウム、フッ化リチウムなどの遠紫外線を透過する材料を用いるとよい。
【００４６】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば以下の効果を得ることができる。
本発明の露光装置本体の梱包構造によれば、梱包材の外部の気圧が変化する際にも、フィルタが配された開口を介して梱包材の内外の気圧差が解消されることから、梱包材内への不純物の侵入を防止できる。
また、本発明の露光装置では、梱包時における光学部材への不純物の付着が防止されることから、輸送や保管に伴う光学特性の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る露光装置本体の梱包構造の第１の実施形態例を模式的に示す図である。
【図２】露光装置本体の構成を示す図であり、（ａ）は実稼動時、（ｂ）は梱包時の様子を模式的に示している。
【図３】フィルタの配置構成の変形例を示す図である。
【図４】フィルタの配置構成の変形例を示す図である。
【図５】フィルタの配置構成の変形例を示す図である。
【図６】本発明に係る露光装置本体の梱包構造の第２の実施形態例を模式的に示す図である。
【図７】本発明に係る露光装置本体の梱包構造の第２の実施形態例を模式的に示す図である。
【符号の説明】
１０…露光装置本体、１１，２０，２１，３０…梱包材、１２，２２，２３，３１…開口、１３，２４，２５，３３…フィルタ、１８…バルブ，１９ａ，１９ｂ…逆止弁（バルブ）、３２…ガス貯溜部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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