(57)【要約】【課題】ステージの制御性能を向上させ、露光装置の露光精度を向上させることができるステージ装置を提供する。【解決手段】被駆動体を駆動して移動させるステージ装置であって、被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、可動スライダの出発位置、及び可動スライダが移動すべき目標位置に基づいて、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻における可動スライダ駆動部による駆動量を算出するフィードフォアワード補償器と、可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻において、可動スライダが移動すべき目標位置、及び可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置に基づいて、可動スライダ駆動部による駆動量を算出するフィードバック補償器とを備える。【選択図】  図９
2004319902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動体を駆動して移動させるステージ装置であって、
前記被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、
前記可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、
前記可動スライダの出発位置、及び前記可動スライダが移動すべき目標位置に基づいて、前記可動スライダが前記出発位置から前記目標位置まで移動するときの各時刻における前記可動スライダ駆動部による駆動量であるフィードフォアワード駆動量を算出するフィードフォアワード補償器と、
前記可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、
前記可動スライダが前記出発位置から前記目標位置まで移動するときの各時刻において、前記可動スライダが移動すべき目標位置、及び前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置に基づいて、前記可動スライダ駆動部による駆動量であるフィードバック駆動量を算出するフィードバック補償器と
を備えるステージ装置。
【請求項２】
前記可動スライダの出発位置、及び前記可動スライダが移動すべき前記目標位置に基づいて、前記可動スライダが前記出発位置から前記目標位置まで移動するときの各時刻における前記可動スライダ駆動部の理想位置であるフィルタリング目標位置を算出する目標位置フィルタをさらに備え、
前記フィードバック補償器は、前記可動スライダが前記出発位置から前記目標位置まで移動するときの各時刻において、前記目標位置フィルタが算出した前記フィルタリング目標位置、及び前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置に基づいて、前記フィードバック駆動量を算出する請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記フィードフォアワード補償器は、時刻から前記可動スライダの位置を求める第１関数と、前記可動スライダの位置から前記可動スライダ駆動部による駆動量を求める第２関数との合成関数を用いて前記フィードフォアワード駆動量を算出し、
前記第２関数は、ラプラス逆変換した場合に発散するラプラス空間上の関数により表され、
前記第１関数は、前記合成関数をラプラス逆変換した場合に収束させる関数により表され、
前記目標位置フィルタは、前記第１関数を用いて、前記可動スライダが前記出発位置から前記目標位置まで移動するときの各時刻における前記可動スライダ駆動部の位置であるフィルタリング目標位置を算出する請求項２に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記可動スライダに設けられ、前記可動スライダの加速度を検出する加速度センサをさらに備え、
前記フィードバック補償器は、前記可動スライダが移動すべき目標位置、前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置、及び前記加速度センサが検出した前記可動スライダの前記加速度に基づいて、前記フィードバック駆動量を算出する請求項１に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記可動スライダを案内する固定ガイド軸と、
前記可動スライダと前記固定ガイド軸との間に設けられた圧力板と、
前記可動スライド及び前記固定ガイド軸によって前記圧力板の左右に形成された２つのシリンダ室と、
前記２つのシリンダ室の圧力をそれぞれ検出する２つの圧力センサと
をさらに備え、
前記フィードバック補償器は、前記可動スライダが移動すべき目標位置、前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置、及び前記２つの圧力センサがそれぞれ検出した前記２つのシリンダ室の前記圧力に基づいて、前記フィードバック駆動量を算出する請求項１に記載のステージ装置。
【請求項６】
ウェハを露光する電子ビーム露光装置であって、
前記ウェハを載置させて移動させるステージ装置と、
前記ステージ装置に載置された前記ウェハを露光する露光部とを
備え、
前記ステージ装置は、
前記被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、
前記可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、
前記可動スライダの出発位置、及び前記可動スライダが移動すべき目標位置に基づいて、前記可動スライダが前記出発位置から前記目標位置まで移動するときの各時刻における前記可動スライダ駆動部による駆動量であるフィードフォアワード駆動量を算出するフィードフォアワード補償器と、
前記可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、
前記可動スライダが前記出発位置から前記目標位置まで移動するときの各時刻において、前記可動スライダが移動すべき目標位置、及び前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置に基づいて、前記可動スライダ駆動部による駆動量であるフィードバック駆動量を算出するフィードバック補償器と
を有する露光装置。
【請求項７】
被駆動体を駆動して移動させるステージ装置であって、
前記被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、
前記可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、
前記可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、
前記可動スライダに設けられ、前記可動スライダの加速度を検出する加速度センサと、
前記可動スライダが移動すべき目標位置、前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置、及び前記加速度センサが検出した前記可動スライダの前記加速度に基づいて、前記可動スライダ駆動部による駆動量を制御する可動スライダ位置補償器と
を備えるステージ装置。
【請求項８】
前記可動スライダを案内する固定ガイド軸と、
前記可動スライダと前記固定ガイド軸との間に設けられた圧力板と、
前記可動スライド及び前記固定ガイド軸によって前記圧力板の左右に形成され、前記可動スライダ駆動部によって内部の圧力が制御されることにより、前記可動スライダを前記固定ガイド軸に沿って移動させる２つのシリンダ室と
をさらに備え、
前記加速度センサは、前記２つのシリンダ室のいずれかの内部に設けられる請求項７に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記加速度センサと前記可動スライダ位置補償器とを電気的に接続する配線は、前記固定ガイド軸に埋設される請求項８に記載のステージ装置。
【請求項１０】
画像を取得して画像解析を行う画像解析部をさらに備え、
前記加速度センサは、検出した前記可動スライダの前記加速度を表示し、
前記画像解析部は、前記加速度センサが表示する前記可動スライダの前記加速度を撮影して画像解析を行うことにより、前記可動スライダの前記加速度を取得し、前記可動スライダ位置補償器に出力する請求項７に記載のステージ装置。
【請求項１１】
ウェハを露光する電子ビーム露光装置であって、
前記ウェハを載置させて移動させるステージ装置と、
前記ステージ装置に載置された前記ウェハを露光する露光部と
を備え、
前記ステージ装置は、
前記被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、
前記可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、
前記可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、
前記可動スライダに設けられ、前記可動スライダの加速度を検出する加速度センサと、
前記可動スライダが移動すべき目標位置、前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置、及び前記加速度センサが検出した前記可動スライダの前記加速度に基づいて、前記可動スライダ駆動部による駆動量を制御する可動スライダ位置補償器と
を有する露光装置。
【請求項１２】
被駆動体を駆動して移動させるステージ装置であって、
前記被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、
前記可動スライダを案内する固定ガイド軸と、
前記可動スライダと前記固定ガイド軸との間に設けられた圧力板と、
前記可動スライド及び前記固定ガイド軸によって前記圧力板の左右に形成された２つのシリンダ室と、
前記２つのシリンダ室の圧力を制御することにより、前記可動スライダを前記固定ガイド軸に沿って駆動する可動スライダ駆動部と、
前記可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、
前記２つのシリンダ室の圧力をそれぞれ検出する２つの圧力センサと、
前記可動スライダが移動すべき目標位置、前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置、及び前記２つの圧力センサがそれぞれ検出した前記２つのシリンダ室の前記圧力に基づいて、前記可動スライダ駆動部による駆動量を制御する圧力補償器と
を備えるステージ装置。
【請求項１３】
前記２つの圧力センサのそれぞれは、前記２つのシリンダ室のそれぞれの内部に設けられる請求項１２に記載のステージ装置。
【請求項１４】
前記２つの圧力センサは、前記圧力板の左右にそれぞれ固定される請求項１３に記載のステージ装置。
【請求項１５】
前記圧力センサと前記圧力補償器とを電気的に接続する配線は、前記固定ガイド軸に埋設される請求項１３に記載のステージ装置。
【請求項１６】
ウェハを露光する電子ビーム露光装置であって、
前記ウェハを載置させて移動させるステージ装置と、
前記ステージ装置に載置された前記ウェハを露光する露光部とを
備え、
前記ステージ装置は、
前記被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、
前記可動スライダを案内する固定ガイド軸と、
前記可動スライダと前記固定ガイド軸との間に設けられた圧力板と、
前記可動スライド及び前記固定ガイド軸によって前記圧力板の左右に形成された２つのシリンダ室と、
前記２つのシリンダ室の圧力を制御することにより、前記可動スライダを前記固定ガイド軸に沿って駆動する可動スライダ駆動部と、
前記可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、
前記２つのシリンダ室の圧力をそれぞれ検出する２つの圧力センサと、
前記可動スライダが移動すべき目標位置、前記可動スライダ位置センサが検出した前記可動スライダの位置、及び前記２つの圧力センサがそれぞれ検出した前記２つのシリンダ室の前記圧力に基づいて、前記可動スライダ駆動部による駆動量を制御する圧力補償器と
を有する露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ステージ装置及び露光装置に関する。特に本発明は、ウェハを露光する露光装置、及び露光装置においてウェハを載置するステージ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ボールベアリングを含む車輪駆動型の駆動手段を有するウェハステージによりウェハを移動させ、ウェハを露光する露光装置が広く利用されている。また近時では、空気圧アクチュエータを利用してウェハを高精度に移動させるウェハステージが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１８４６８６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年の半導体デバイスの微細化に伴い、露光装置に要求される露光精度はより厳しくなっている。そして、露光装置の露光精度を向上させるためには、ウェハを載置させて移動させるウェハステージの駆動精度を向上させることが重要な課題となる。
【０００５】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできるステージ装置及び露光装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の第１の形態によると、被駆動体を駆動して移動させるステージ装置であって、被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、可動スライダの出発位置、及び可動スライダが移動すべき目標位置に基づいて、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻における可動スライダ駆動部による駆動量であるフィードフォアワード駆動量を算出するフィードフォアワード補償器と、可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻において、可動スライダが移動すべき目標位置、及び可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置に基づいて、可動スライダ駆動部による駆動量であるフィードバック駆動量を算出するフィードバック補償器とを備える。
【０００７】
可動スライダの出発位置、及び可動スライダが移動すべき目標位置に基づいて、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻における可動スライダ駆動部の理想位置であるフィルタリング目標位置を算出する目標位置フィルタをさらに備え、フィードバック補償器は、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻において、目標位置フィルタが算出したフィルタリング目標位置、及び可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置に基づいて、フィードバック駆動量を算出してもよい。
【０００８】
フィードフォアワード補償器は、時刻から可動スライダの位置を求める第１関数と、可動スライダの位置から可動スライダ駆動部による駆動量を求める第２関数との合成関数を用いてフィードフォアワード駆動量を算出し、第２関数は、ラプラス逆変換した場合に発散するラプラス空間上の関数により表され、第１関数は、合成関数をラプラス逆変換した場合に収束させる関数により表され、目標位置フィルタは、第１関数を用いて、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻における可動スライダ駆動部の位置であるフィルタリング目標位置を算出してもよい。
【０００９】
可動スライダに設けられ、可動スライダの加速度を検出する加速度センサをさらに備え、フィードバック補償器は、可動スライダが移動すべき目標位置、可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置、及び加速度センサが検出した可動スライダの加速度に基づいて、フィードバック駆動量を算出してもよい。
【００１０】
可動スライダを案内する固定ガイド軸と、可動スライダと固定ガイド軸との間に設けられた圧力板と、可動スライド及び固定ガイド軸によって圧力板の左右に形成された２つのシリンダ室と、２つのシリンダ室の圧力をそれぞれ検出する２つの圧力センサとをさらに備え、フィードバック補償器は、可動スライダが移動すべき目標位置、可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置、及び２つの圧力センサがそれぞれ検出した２つのシリンダ室の圧力に基づいて、フィードバック駆動量を算出してもよい。
【００１１】
本発明の第２の形態によると、ウェハを露光する電子ビーム露光装置であって、ウェハを載置させて移動させるステージ装置と、ステージ装置に載置されたウェハを露光する露光部とを備え、ステージ装置は、被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、可動スライダの出発位置、及び可動スライダが移動すべき目標位置に基づいて、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻における可動スライダ駆動部による駆動量であるフィードフォアワード駆動量を算出するフィードフォアワード補償器と、可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻において、可動スライダが移動すべき目標位置、及び可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置に基づいて、可動スライダ駆動部による駆動量であるフィードバック駆動量を算出するフィードバック補償器とを有する。
【００１２】
本発明の第３の形態によると、被駆動体を駆動して移動させるステージ装置であって、被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、可動スライダに設けられ、可動スライダの加速度を検出する加速度センサと、可動スライダが移動すべき目標位置、可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置、及び加速度センサが検出した可動スライダの加速度に基づいて、可動スライダ駆動部による駆動量を制御する可動スライダ位置補償器とを備える。
【００１３】
可動スライダを案内する固定ガイド軸と、可動スライダと固定ガイド軸との間に設けられた圧力板と、可動スライド及び固定ガイド軸によって圧力板の左右に形成され、可動スライダ駆動部によって内部の圧力が制御されることにより、可動スライダを固定ガイド軸に沿って移動させる２つのシリンダ室とをさらに備え、加速度センサは、２つのシリンダ室のいずれかの内部に設けられてもよい。加速度センサと可動スライダ位置補償器とを電気的に接続する配線は、固定ガイド軸に埋設されてもよい。
【００１４】
画像を取得して画像解析を行う画像解析部をさらに備え、加速度センサは、検出した可動スライダの加速度を表示し、画像解析部は、加速度センサが表示する可動スライダの加速度を撮影して画像解析を行うことにより、可動スライダの加速度を取得し、可動スライダ位置補償器に出力してもよい。
【００１５】
本発明の第４の形態によると、ウェハを露光する電子ビーム露光装置であって、ウェハを載置させて移動させるステージ装置と、ステージ装置に載置されたウェハを露光する露光部とを備え、ステージ装置は、被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、可動スライダに設けられ、可動スライダの加速度を検出する加速度センサと、可動スライダが移動すべき目標位置、可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置、及び加速度センサが検出した可動スライダの加速度に基づいて、可動スライダ駆動部による駆動量を制御する可動スライダ位置補償器とを有する。
【００１６】
本発明の第５の形態によると、被駆動体を駆動して移動させるステージ装置であって、被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、可動スライダを案内する固定ガイド軸と、可動スライダと固定ガイド軸との間に設けられた圧力板と、可動スライド及び固定ガイド軸によって圧力板の左右に形成された２つのシリンダ室と、２つのシリンダ室の圧力を制御することにより、可動スライダを固定ガイド軸に沿って駆動する可動スライダ駆動部と、可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、２つのシリンダ室の圧力をそれぞれ検出する２つの圧力センサと、可動スライダが移動すべき目標位置、可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置、及び２つの圧力センサがそれぞれ検出した２つのシリンダ室の圧力に基づいて、可動スライダ駆動部による駆動量を制御する圧力補償器とを備える。
【００１７】
２つの圧力センサのそれぞれは、２つのシリンダ室のそれぞれの内部に設けられてもよい。２つの圧力センサは、圧力板の左右にそれぞれ固定されてもよい。圧力センサと圧力補償器とを電気的に接続する配線は、固定ガイド軸に埋設されてもよい。
【００１８】
本発明の第６の形態によると、ウェハを露光する電子ビーム露光装置であって、ウェハを載置させて移動させるステージ装置と、ステージ装置に載置されたウェハを露光する露光部とを備え、ステージ装置は、被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、可動スライダを案内する固定ガイド軸と、可動スライダと固定ガイド軸との間に設けられた圧力板と、可動スライド及び固定ガイド軸によって圧力板の左右に形成された２つのシリンダ室と、２つのシリンダ室の圧力を制御することにより、可動スライダを固定ガイド軸に沿って駆動する可動スライダ駆動部と、可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、２つのシリンダ室の圧力をそれぞれ検出する２つの圧力センサと、可動スライダが移動すべき目標位置、可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置、及び２つの圧力センサがそれぞれ検出した２つのシリンダ室の圧力に基づいて、可動スライダ駆動部による駆動量を制御する圧力補償器とを有する。
【００１９】
なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態に係る電子ビーム露光装置１００の構成の一例を示す。電子ビーム露光装置１００は、電子ビームによりウェハ４４に所定の露光処理を施すための露光部１５０と、露光部１５０に含まれる各構成の動作を制御する制御部１４０とを備える。
【００２２】
露光部１５０は、筐体８内部で複数の電子ビームを発生し、電子ビームの断面形状を所望に成形する電子ビーム成形手段１１０と、複数の電子ビームをウェハ４４に照射するか否かを、電子ビーム毎に独立に切替える照射切替手段１１２と、ウェハ４４に転写されるパターンの像の向き及びサイズを調整するウェハ用投影手段１１４とを含む電子光学系を備える。また、露光部１５０は、パターンを露光すべきウェハ４４を載置するウェハステージ４６を備える。ウェハ４４は、本発明の被駆動体の一例である。
【００２３】
電子ビーム成形手段１１０は、複数の電子ビームを発生させる電子銃１０と、電子ビームを通過させることにより、電子ビームの断面形状を成形する複数の開口部を有する第１成形部材１４及び第２成形部材２２と、複数の電子ビームを独立に集束し、電子ビームの焦点を調整する第１多軸電子レンズ１６と、第１成形部材１４を通過した複数の電子ビームを独立に偏向する第１成形偏向部１８及び第２成形偏向部２０とを有する。
【００２４】
照射切替手段１１２は、複数の電子ビームを独立に集束し、電子ビームの焦点を調整する第２多軸電子レンズ２４と、複数の電子ビームを電子ビーム毎に独立に偏向させることにより、ウェハ４４に照射するか否かを電子ビーム毎に独立に切替えるブランキング電極アレイ２６と、電子ビームを通過させる複数の開口部を含み、ブランキング電極アレイ２６で偏向された電子ビームを遮蔽する電子ビーム遮蔽部材２８とを有する。他の例においてブランキング電極アレイ２６は、ブランキング・アパーチャ・アレイであってもよい。
【００２５】
ウェハ用投影手段１１４は、複数の電子ビームを独立に集束し、電子ビームの照射径を縮小する第３多軸電子レンズ３４と、複数の電子ビームを独立に集束し、電子ビームの焦点を調整する第４多軸電子レンズ３６と、複数の電子ビームを電子ビーム毎に独立にウェハ４４の所望の位置に偏向する偏向部３８と、ウェハ４４に対する対物レンズとして機能し、複数の電子ビームを独立に集束する第５多軸電子レンズ５２とを有する。
【００２６】
制御部１４０は、統括制御部１３０及び個別制御部１２０を備える。個別制御部１２０は、電子ビーム制御部８０、多軸電子レンズ制御部８２、成形偏向制御部８４、ブランキング電極アレイ制御部８６、偏向制御部９２、及びウェハステージ制御部９６を有する。統括制御部１３０は、例えばワークステーションであって、個別制御部１２０に含まれる各制御部を統括的に制御する。
【００２７】
電子ビーム制御部８０は、電子銃１０を制御する。多軸電子レンズ制御部８２は、第１多軸電子レンズ１６、第２多軸電子レンズ２４、第３多軸電子レンズ３４、第４多軸電子レンズ３６、及び第５多軸電子レンズ５２に供給する電流を制御する。成形偏向制御部８４は、第１成形偏向部１８及び第２成形偏向器２０を制御する。ブランキング電極アレイ制御部８６は、ブランキング電極アレイ２６に含まれる偏向電極に印加する電圧を制御する。偏向制御部９２は、偏向部３８に含まれる複数の偏向器が有する偏向電極に印加する電圧を制御する。ウェハステージ制御部９６は、ウェハステージ４６を制御して所定の位置に移動させる。なお、ウェハステージ４６及びウェハステージ制御部９６は、本発明のステージ装置の一例である。
【００２８】
図２は、本実施形態に係るウェハステージ４６の構造の一例を示す。ウェハステージ４６は、ウェハ４４が載置されるウェハ載置台６４と、ウェハ載置台６４を所定の方向Ａに案内するステージガイド６６と、ステージガイド６６を当該所定の方向と略垂直な方向Ｂに案内する２つのガイドレール６８とを有する。ガイドレール６８は、ステージガイド６６の両端においてステージガイド６６と系合するように設けられる。ステージガイド６６及びガイドレール６８は、空気圧アクチュエータであり、ウェハステージ４６は、３つの空気圧アクチュエータを用いて構成されることによって、ウェハ４４の２自由度制御を実現する。
【００２９】
図３は、本実施形態に係るステージガイド６６の構造の一例を示す。なお、ガイドレール６８は、以下に示すステージガイド６６と同様の構造であり、同様の動作をするので説明を省略する。
【００３０】
ステージガイド６６は、ウェハ４４を載置させて移動する可動スライダ２００と、可動スライダ２００を案内する固定ガイド軸２０２と、可動スライダ２００と固定ガイド軸２０２との間に設けられた圧力板２０４と、可動スライダ２００及び固定ガイド軸２０２によって圧力板２０４の左右に形成された２つのシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂとを有する。
【００３１】
２つのシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂは、内部の圧力が制御されることによりシリンダ室２０６ａとシリンダ室２０６ｂとの圧力差を形成され、固定ガイド軸２０２に沿って非接触で可動スライダ２００を直線的に移動させる。具体的には、シリンダ室２０６ａに圧縮空気が注入され、シリンダ室２０６ｂから圧縮空気を流出させ、シリンダ室２０６ａの内部の圧力をシリンダ室２０６ｂの内部の圧力より大きくすることによって、可動スライダ２００は、シリンダ室２０６ｂからシリンダ室２０６ａの方向に移動する。反対に、シリンダ室２０６ｂに圧縮空気が注入され、シリンダ室２０６ａから圧縮空気を流出させ、シリンダ室２０６ｂの内部の圧力をシリンダ室２０６ａの内部の圧力より大きくすることによって、可動スライダ２００は、シリンダ室２０６ａからシリンダ室２０６ｂの方向に移動する。
【００３２】
図４は、本実施形態に係るウェハステージ制御部９６の構成の第１の例を示す。本例に係るウェハステージ制御部９６は、可動スライダ２００の位置を検出する可動スライダ位置センサ３００と、可動スライダ２００に設けられ、可動スライダ２００の加速度を検出する加速度センサ３０２と、可動スライダ２００を駆動する可動スライダ駆動部の一例であるサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂと、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂによる可動スライダ２００の駆動量を制御する可動スライダ位置補償器３０６と、可動スライダ位置補償器３０６の制御に基づいてサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度をそれぞれ調整する開度補償器３０８ａ及び３０８ｂと、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂに供給する電力をそれぞれ増幅する駆動用アンプ３１０ａ及び３１０ｂと、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を検出する開度検出器３１２ａ及び３１２ｂとを有する。
【００３３】
可動スライダ位置補償器３０６は、可動スライダ２００が移動すべき目標位置を示す目標位置信号３２０を統括制御部１３０から取得する。また、可動スライダ位置補償器３０６は、可動スライダ位置センサ３００が検出した可動スライダ２００の位置を示す可動スライダ位置信号３２２を取得する。また、可動スライダ位置補償器３０６は、加速度センサ３０２が検出した可動スライダ２００の加速度を示す可動スライダ加速度信号３２４を加速度センサ３０２から取得する。そして、可動スライダ位置補償器３０６は、可動スライダ２００が移動すべき目標位置、可動スライダ２００の位置、及び可動スライダ２００の加速度に基づいて、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を制御するサーボバルブ開度指令値３２６を出力する。
【００３４】
開度補償器３０８ａは、可動スライダ位置補償器３０６からサーボバルブ開度指令値３２６を取得する。また、開度補償器３０８ａは、開度検出器３１２ａが検出したサーボバルブ３０４ａの開度を示す開度検出信号３２８ａを開度検出器３１２ａから取得する。そして、開度補償器３０８ａは、サーボバルブ開度指令値３２６及び開度検出信号３２８ａに基づいて、サーボバルブ３０４ａの開度を調整する。そして、サーボバルブ３０４ａは、シリンダ室２０６ａへの圧縮空気の注入又は流出を調整する。
【００３５】
開度補償器３０８ｂは、可動スライダ位置補償器３０６が出力したサーボバルブ開度指令値３２６をインバータ３１４がＮＯＴ演算して出力したサーボバルブ開度指令値３２７をインバータ３１４から取得する。また、開度補償器３０８ｂは、開度検出器３１２ｂが検出したサーボバルブ３０４ｂの開度を示す開度検出信号３２８ｂを開度検出器３１２ｂから取得する。そして、開度補償器３０８ｂは、サーボバルブ開度指令値３２７及び開度検出信号３２８ｂに基づいて、サーボバルブ３０４ｂの開度を調整する。そして、サーボバルブ３０４ｂは、シリンダ室２０６ｂへの圧縮空気の注入又は流出を調整する。
【００３６】
なお、ステージガイド６６には、シリンダ室２０６ａ及び２０６ｂに圧縮空気を注入又は流出ための配管が設けられており、加速度センサ３０２と可動スライダ位置補償器３０６とを電気的に接続する配線は、配管上に配管に沿って設けられてもよい。
【００３７】
本例に係るウェハステージ制御部９６によれば、可動スライダ２００に直接取り付けられた加速度センサ３０２によって可動スライダ２００の加速度を検出するため、可動スライダ位置センサ３００によって検出された可動スライダ２００の位置の変動を微分することによって可動スライダ２００の加速度を求める場合に比べ、可動スライダ２００の加速度に応じた制御を精度よく行うことができる。可動スライダ２００の位置の変動を微分することによって可動スライダ２００の加速度を求める場合、微分信号が含む高周波域のノイズや、微分信号の演算処理による時間遅れによって制御性能の劣化が生じるが、本例に係るウェハステージ制御部９６によれば、これらの制御性能の劣化要因が除去され、ウェハステージ４６の制御性能が向上し、ひいては電子ビーム露光装置１００の露光精度を向上させることができる。
【００３８】
図５は、本実施形態の第１の例に係る加速度センサ３０２の一例を示す。加速度センサ３０２は、２つのシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂのいずれかの内部に設けられることが好ましい。そして、加速度センサ３０２と可動スライダ位置補償器３０６とを電気的に接続する配線３３０は、固定ガイド軸２０２に埋設されることが好ましい。
【００３９】
ウェハステージ４６が配置されるチャンバー内は、非常に高い真空度に保たれているため、加速度センサ３０２等の異物がチャンバー内に挿入されることによって真空度を低減させてしまうおそれがある。そのため、加速度センサ３０２をシリンダ室２０６ａ又は２０６ｂの内部に設けることによって、チャンバー内の真空度を低減させることなく加速度センサ３０２を可動スライダ２００に取り付けることができる。また、配線３３０を固定ガイド軸２０２に埋設することによって、配線３３０が電子ビームの軌道に与えるに影響を低減することができ、電子ビーム露光装置１００の露光精度を向上させることができる。なお、配線３３０を固定ガイド軸２０２に埋設する場合であっても、埋設しない場合であっても、配線３３０の周囲に磁気シールドを形成することが好ましい。
【００４０】
図６は、本実施形態に係るウェハステージ制御部９６の第２の例を示す。以下に説明する部分を除き、本例に係るウェハステージ制御部９６の構成及び動作は、図４に示した第１の例に係るウェハステージ制御部９６と同様であるので説明を省略する。
【００４１】
本例に係るウェハステージ制御部９６は、図４に示した構成要素に加え、撮影部３３２及び画像解析部３３４をさらに備える。加速度センサ３０２は、検出した可動スライダ２００の加速度を表示する。そして、撮影部３３２は、加速度センサ３０２が表示する可動スライダ２００の加速度を撮影する。そして、画像解析部３３４は、撮影部３３２が撮影した画像を取得して画像解析を行うことにより、可動スライダ２００の加速度を取得し、可動スライダ位置補償器３０６に出力する。
【００４２】
例えば、加速度センサ３０２は、外部から視認可能に設けられた振り子によって、可動スライダ２００の加速度を表現する。そして、画像解析部３３４は、撮影部３３２が撮影した加速度センサ３０２の画像を解析することにより振り子の振れ角を検出して、可動スライダ２００の加速度を算出する。また、加速度センサ３０２は、外部から視認可能に設けられた表示部により、検出した可動スライダ２００の加速度の数値を表示してもよい。そして、画像解析部３３４は、撮影部３３２が撮影した加速度センサ３０２の表示部の画像を解析することにより、可動スライダ２００の加速度の数値を検出してもよい。
【００４３】
本例に係るウェハステージ制御部９６によれば、加速度センサ３０２と可動スライダ位置補償器３０６とを配線によって接続することなく、加速度センサ３０２が検出した可動スライダ２００の加速度を取得することができる。そのため、配線が電子ビームの軌道に与えるに影響を除去することができ、電子ビーム露光装置１００の露光精度を向上させることができる。
【００４４】
図７は、本実施形態に係るウェハステージ制御部９６の構成の第３の例を示す。本例に係るウェハステージ制御部９６は、可動スライダ２００の位置を検出する可動スライダ位置センサ３００と、２つのシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂの圧力を検出する２つの圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂと、可動スライダ２００を駆動するサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂと、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂによる可動スライダ２００の駆動量を制御する可動スライダ位置補償器３０６と、圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂが検出したシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂの圧力に基づいて可動スライダ２００の駆動量を制御する圧力補償器３３８ａ及び３３８ｂと、圧力補償器３３８ａ及び３３８ｂの制御に基づいてサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度をそれぞれ調整する開度補償器３０８ａ及び３０８ｂと、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂに供給する電力をそれぞれ増幅する駆動用アンプ３１０ａ及び３１０ｂと、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を検出する開度検出器３１２ａ及び３１２ｂとを有する。
【００４５】
可動スライダ位置補償器３０６は、可動スライダ２００が移動すべき目標位置を示す目標位置信号３２０を統括制御部１３０から取得する。また、可動スライダ位置補償器３０６は、可動スライダ位置センサ３００が検出した可動スライダ２００の位置を示す可動スライダ位置信号３２２を取得する。そして、可動スライダ位置補償器３０６は、可動スライダ２００が移動すべき目標位置、及び可動スライダ２００の位置に基づいて、２つのシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂの圧力をそれぞれ制御するシリンダ室内圧力指令値３４０ａ及び３４０ｂを出力する。
【００４６】
圧力補償器３３８ａ及び３３８ｂは、可動スライダ位置補償器３０６からシリンダ室内圧力指令値３４０ａ及び３４０ｂをそれぞれ取得する。また、圧力補償器３３８ａ及び３３８ｂは、２つの圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂがそれぞれ検出した２つのシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂの圧力を示す圧力信号３４２ａ及び３４２ｂをそれぞれ取得する。そして、圧力補償器３３８ａ及び３３８ｂは、シリンダ室内圧力指令値３４０ａ及び３４０ｂ並びに圧力信号３４２ａ及び３４２ｂに基づいて、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を制御するサーボバルブ開度指令値３２６ａ及び３２６ｂをそれぞれ出力する。
【００４７】
開度補償器３０８ａ及び３０８ｂは、圧力補償器３３８ａ及び３３８ｂからサーボバルブ開度指令値３２６ａ及び３２６をそれぞれ取得する。また、開度補償器３０８ａ及び３０８ｂは、開度検出器３１２ａ及び３１２ｂがそれぞれ検出したサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を示す開度検出信号３２８ａ及び３２８ｂを開度検出器３１２ａ及び３１２ｂからそれぞれ取得する。そして、開度補償器３０８ａ及び３０８ｂは、サーボバルブ開度指令値３２６ａ及び３２６ｂ並びに開度検出信号３２８ａ及び３２８ｂに基づいて、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度をそれぞれ調整する。そして、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂは、シリンダ室２０６ａ及び２０６ｂへの圧縮空気の注入又は流出をそれぞれ調整する。
【００４８】
なお、ステージガイド６６には、シリンダ室２０６ａ及び２０６ｂに圧縮空気を注入又は流出ための配管が設けられており、圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂと可動スライダ位置補償器３０６とを電気的に接続する配線は、配管上に配管に沿って設けられてもよい、
【００４９】
本例に係るウェハステージ制御部９６によれば、シリンダ室２０６ａ及び２０６ｂの圧力を直接検出して圧力の制御にフィードバックさせるため、シリンダ室２０６ａ及び２０６ｂの圧力の変動に対する応答性を向上することができる。したがって、ウェハステージ４６の制御性能が向上し、ひいては電子ビーム露光装置１００の露光精度を向上させることができる。
【００５０】
図８は、本実施形態の第３の例に係る圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂの一例を示す。２つの圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂは、２つのシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂのそれぞれの内部に設けられる。また、２つの圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂは、圧力板２０４の左右にそれぞれ固定されることが好ましい。そして、圧力センサ３３６ａと圧力補償器３３８ａとを電気的に接続する配線３４４ａ、及び圧力センサ３３６ｂと圧力補償器３３８ｂとを電気的に接続する配線３４４ｂは、圧力眼２０４及び固定ガイド軸２０２に埋設されることが好ましい。
【００５１】
配線３４４ａ及び３４４ｂを圧力板２０４及び固定ガイド軸２０２に埋設することによって、配線３４４ａ及び３４４ｂが電子ビームの軌道に与えるに影響を低減することができ、電子ビーム露光装置１００の露光精度を向上させることができる。なお、配線３４４ａ及び３４４ｂを固定ガイド軸２０２に埋設する場合であっても、埋設しない場合であっても、配線３４４ａ及び３４４ｂの周囲に磁気シールドを形成することが好ましい。
【００５２】
図９は、本実施形態に係るウェハステージ制御部９６の構成の第４の例を示す。本例に係るウェハステージ制御部９６は、可動スライダ２００の位置を検出する可動スライダ位置センサ３００と、可動スライダ２００を駆動するサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂと、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂによる可動スライダ２００の駆動量であるフィードフォアワード駆動量を算出するフィードフォアワード補償器３４６と、可動スライダ２００が移動すべき目標位置を示す目標位置信号３２０をフィルタリングするローパスフィルタである目標位置フィルタ３４８と、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂによる可動スライダ２００の駆動量であるフィードバック駆動量を算出するフィードバック補償器３５０と、フィードフォアワード駆動量とフィードバック駆動量とを加算してサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂに供給する加算器３５２とを有する。
【００５３】
フィードフォアワード補償器３４６は、可動スライダ２００の出発位置を示す出発位置信号３５６を統括制御部１３０又は可動スライダ位置センサ３００から取得する。また、フィードフォアワード補償器３４６は、可動スライダ２００が移動すべき目標位置を示す目標位置信号３２０を統括制御部１３０から取得する。そして、フィードフォアワード補償器３４６は、可動スライダ２００の出発位置、及び可動スライダ２００が移動すべき目標位置に基づいて、フィードフォアワード駆動量としての、可動スライダ２００が出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻におけるサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を示すフィードフォアワード補償開度信号３５８を算出して出力する。
【００５４】
具体的には、フィードフォアワード補償器３４６は、時刻から可動スライダ２００の位置を求める関数と、可動スライダ２００の位置から可動スライダ２００の位置からサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂによる駆動量に対応するサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を求める関数との合成関数を用いてサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を算出する。
【００５５】
例えば、フィードフォアワード補償器３４６には、空気圧アクチュエータの伝達関数（数１）の逆伝達関数（数２）を利用する。
【００５６】
【数１】
2004319902.tif 000003
【数２】
2004319902.tif 000004
ｘは可動スライダ２００の目標位置、Ｓｅはサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度、Ｋｎは開度定数、ωｓはＫｎの時定数、ωｎは固有振動数、ζは減衰係数、ｓはラプラス演算子を示す。
【００５７】
ここで、空気圧アクチュエータの逆伝達関数（数２）は、プロパーではない、即ちラプラス逆変換した場合に発散するラプラス空間上の関数より表されるため、可動スライダ２００の理想位置からサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を算出することが困難である。そこで、フィードフォアワード補償器３４６が用いる合成関数をラプラス逆変換した場合に、合成関数を収束させるように、例えば関数（数３）を利用する。
【００５８】
【数３】
2004319902.tif 000005
ｘｒは可動スライダ２００の理想位置、α、β、γは空気圧アクチュエータや環境の特性により定められる係数を示す。
【００５９】
したがって、フィードフォアワード補償器３４６は、空気圧アクチュエータの逆伝達関数（数２）と関数（数３）とを乗じた下記の合成関数（数４）を用いてサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を算出する。
【００６０】
【数４】
2004319902.tif 000006
【００６１】
目標位置フィルタ３４８は、可動スライダ２００の出発位置を示す出発位置信号３５６を統括制御部１３０又は可動スライダ位置センサ３００から取得する。また、目標位置フィルタ３４８は、可動スライダ２００が移動すべき目標位置を示す目標位置信号３２０を統括制御部１３０から取得する。そして、目標位置フィルタ３４８は、可動スライダ２００の出発位置、及び可動スライダ２００が移動すべき目標位置に基づいて、可動スライダ２００が出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻における可動スライダ２００の理想位置であるフィルタリング目標位置を示すフィルタリング目標位置信号３６０を算出して出力する。
【００６２】
具体的には、目標位置フィルタ３４８は、合成関数を収束させる関数（数３）と同一の関数を用いて、可動スライダ２００が出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻における可動スライダ２００の理想位置であるフィルタリング目標位置を算出する。
【００６３】
フィードバック補償器３５０は、可動スライダ２００が出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻において、目標位置フィルタ３４８が算出したフィルタリング目標位置信号３６０を目標位置フィルタ３４８から取得する。また、フィードバック補償器３５０は、可動スライダ２００が出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻において、可動スライダ位置センサ３００が検出した可動スライダ２００の位置を示す可動スライダ位置信号３２２を取得する。そして、フィードバック補償器３５０は、可動スライダ２００が出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻において、フィルタリング目標位置及び稼働スライダ２００の位置に基づいて、フィードバック駆動量としての、可動スライダ２００が出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻におけるサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を示すフィードバック補償開度信号３６２を算出して出力する。
【００６４】
加算器３５２は、フィードフォアワード補償器３４６からフィードフォアワード補償開度信号３５８を取得する。また、加算器３５２は、フィードバック補償器３５０からフィードバック補償開度信号３６２を取得する。そして、加算器３５２は、フィードフォアワード補償開度信号３５８とフィードバック補償開度信号３６２とを加算することにより、サーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を示すサーボバルブ開度信号３６４を算出して出力する。
【００６５】
サーボバルブ３０４ａは、加算器３５２が算出したサーボバルブ開度信号３６４を加算器３５２から取得する。そして、サーボバルブ３０４ａは、加算器３５２から取得したサーボバルブ開度信号３６４が示すサーボバルブ３０４ａの開度に応じてシリンダ室２０６ａへの圧縮空気の注入又は流出を調整する。また、サーボバルブ３０４ｂは、加算器３５２が算出したサーボバルブ開度指令値３６４をインバータ３５４がＮＯＴ演算して出力したサーボバルブ開度指令値３６５をインバータ３５４から取得する。そして、サーボバルブ３０４ｂは、インバータ３５４から取得したサーボバルブ開度信号３６５が示すサーボバルブ３０４ｂの開度に応じてシリンダ室２０６ｂへの圧縮空気の注入又は流出を調整する。
【００６６】
図１０は、本実施形態の第４の例に係る可動スライダ２００の変位と時刻との関係の一例を示す。図１０（ａ）は、図９に示したフィードフォアワード補償器３４６及び目標位置フィルタ３４８を構成要素としない場合の、フィードバック補償器３５０に入力される可動スライダ２００の目標位置と、可動スライダ２００の計測位置を示す。図１０（ｂ）は、図９に示した構成要素のすべてを構成要素とする場合の、フィードバック補償器３５０に入力される可動スライダ２００のフィルタリング目標位置と、可動スライダ２００の計測位置を示す。
【００６７】
図１０（ａ）に示すように、ウェハステージ制御部９６がフィードフォアワード補償器３４６及び目標位置フィルタ３４８を有しない場合、可動スライダ２００の計測位置が目標位置（１０μｍ）に収束するために、約０．５秒の時間を要している。しかしながら、図１０（ｂ）に示すように、図９に示したウェハステージ制御部９６によれば、可動スライダ２００の計測位置が目標位置（１０μｍ）に収束するために、約０．１３秒の時間しか要していない。
【００６８】
本例に係るウェハステージ制御部９６によれば、フィードフォアワード補償器３４６及びフィードバック補償器３５０を用いてサーボバルブ３０４ａ及び３０４ｂの開度を制御することにより、可動スライダ２００の目標位置への収束性を向上させることができる。そのため、ウェハステージ４６の制御性能が向上し、ひいては電子ビーム露光装置１００の露光精度を向上させることができる。
【００６９】
また、本実施形態に係るウェハステージ制御部９６の第５の例として、図４に示した第１の例に係るウェハステージ制御部９６と、図９に示した第４の例に係るウェハステージ制御部９６とを組み合わせて構成してもよい。即ち、図９に示したフィードバック補償器３５０は、図４に示した可動スライダ位置補償器３０６を有し、可動スライダ２００が移動すべき目標位置、可動スライダ位置センサ３００が検出した可動スライダ２００の位置、及び加速度センサ３０２が検出した可動スライダ２００の加速度に基づいて、フィードバック駆動量を算出してもよい。
【００７０】
また、本実施形態のウェハステージ制御部９６の第６の例として、図７に示した第３の例に係るウェハステージ制御部９６と、図９に示した第４の例に係るウェハステージ制御部９６とを組み合わせて構成してもよい。即ち、図９に示したフィードバック補償器３５０は、図７に示した可動スライダ位置補償器３０６並びに圧力補償器３３８ａ及び３３８ｂを有し、可動スライダ２００が移動すべき目標位置、可動スライダ位置センサ３００が検出した可動スライダ２００の位置、及び２つの圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂがそれぞれ検出した２つのシリンダ室２０６ａ及び２０６ｂの圧力に基づいて、フィードバック駆動量を算出してもよい。
【００７１】
本実施形態に係る電子ビーム露光装置１００によれば、可動スライダ２００の加速度の演算処理による制御性能の劣化要因を除去することができ、シリンダ室２０６ａ及び２０６ｂの圧力の変動に対する応答性を向上することができ、また可動スライダ２００の目標位置への収束性を向上させることができる。そのため、ウェハステージ４６の制御性能が向上させることができ、ひいては電子ビーム露光装置１００の露光精度を向上させることができる。
【００７２】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００７３】
【発明の効果】
上記説明から明らかなように、本発明によれば、ウェハステージ４６の制御性能を向上させることができ、ひいては電子ビーム露光装置１００の露光精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電子ビーム露光装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】ウェハステージ４６の構造の一例を示す図である。
【図３】ステージガイド６６の構造の一例を示す図である。
【図４】ウェハステージ制御部９６の構成の第１の例を示す図である。
【図５】第１の例に係る加速度センサ３０２の一例を示す図である。
【図６】ウェハステージ制御部９６の第２の例を示す図である。
【図７】ウェハステージ制御部９６の構成の第３の例を示す図である。
【図８】第３の例に係る圧力センサ３３６ａ及び３３６ｂの一例を示す図である。
【図９】ウェハステージ制御部９６の構成の第４の例を示す図である。
【図１０】第４の例に係る可動スライダ２００の変位と時刻との関係の一例を示す図である。
【符号の説明】
８      筐体                        １０    電子銃
１４    第１成形部材                １６    第１多軸電子レンズ
１８    第１成形偏向部              ２０    第２成形偏向部
２２    第２成形部材                ２４    第２多軸電子レンズ
２６    ブランキング電極アレイ      ２８    電子ビーム遮蔽部材
３４    第３多軸電子レンズ          ３６    第４多軸電子レンズ
３８    偏向部                      ４４    ウェハ
４６    ウェハステージ              ５２    第５多軸電子レンズ
６４    ウェハ載置台                ６６    ステージガイド
６８    ガイドレール                ８０    電子ビーム制御部
８２    多軸電子レンズ制御部        ８４    成形偏向制御部
８６    ブランキング電極アレイ制御部
９２    偏向制御部                  ９６    ウェハステージ制御部
１００  電子ビーム露光装置          １１０  電子ビーム成形手段
１１２  照射切替手段                １１４  ウェハ用投影手段
１２０  個別制御部                  １３０  統括制御部
１４０  制御部                      １５０  露光部
２００  可動スライダ                ２０２  固定ガイド軸
２０４  圧力板                      ２０６  シリンダ室
３００  可動スライダ位置センサ      ３０２  加速度センサ
３０４  サーボバルブ                ３０６  可動スライダ位置補償器
３０８  開度補償器                  ３１０  駆動用アンプ
３１２  開度検出器                  ３１４  インバータ
３２０  目標位置信号                ３２２  可動スライダ位置信号
３２４  可動スライダ加速度信号      ３２６  サーボバルブ開度指令値
３２７  サーボバルブ開度指令値      ３２８  開度検出信号
３３０  配線                        ３３２  撮影部
３３４  画像解析部                  ３３６  圧力センサ
３３８  圧力補償器                  ３４０  シリンダ室内圧力指令値
３４２  圧力信号                    ３４４  配線
３４６  フィードフォアワード補償器  ３４８  目標位置フィルタ
３５０  フィードバック補償器        ３５２  加算器
３５４  インバータ                  ３５６  出発位置信号
３５８  フィードフォアワード補償開度信号
３６０  フィルタリング目標位置信号  ３６２  フィードバック補償開度信号
３６４  サーボバルブ開度信号        ３６５  サーボバルブ開度信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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