(57)【要約】　　　（修正有）【課題】アライメント角度が大きく設定でき，高精度でクリーンであり，コンパクトに且つ安価に作製できるアライメントステージ装置を提供する。【解決手段】このアライメントステージ装置は，一次側の電機子コイル３と二次側の界磁マグネット４から成るリニアモータが内蔵されている。電機子コイル３は，扁平で環状に巻回され，ベッド上に所定の曲率の円形平面に放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設されている。界磁マグネット４は，矩形板状であり，ターンテーブル２上に電機子コイル３に対応する位置に磁極を交互に異にして放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設されている。【選択図】　　　　図５
2004072960.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベッド，該ベッドに回転軸受を介して回転支持されたターンテーブル，前記ベッドに対して前記ターンテーブルを相対回転駆動するリニアモータ，及び前記ベッドと前記ターンンテーブルとの相対位置を検知するエンコーダを有するアライメントステージ装置において，
前記リニアモータは一次側の電機子コイルと二次側の界磁マグネットとから構成され，前記電機子コイルは扁平で環状に巻回された巻線でなる３相のコアレスコイルから成り且つ前記ベッド上に予め決められた所定の曲率の円形平面に放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設され，前記界磁マグネットは板状に形成され且つ前記ターンテーブルの下面に前記電機子コイルに対向して予め決められた所定の曲率の円形平面に磁極を交互に異にして放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設されていることを特徴とするリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置。
【請求項２】
前記電機子コイルは矩形環状に形成され且つ前記界磁マグネットは矩形板状に形成され，隣接する前記電機子コイル間及び隣接する前記界磁マグネット間の間隙は，外周側になるに従ってそれぞれ大きくなっていることを特徴とする請求項１に記載のアライメントステージ装置。
【請求項３】
前記リニアモータを構成する最少単位は，３個の前記電機子コイルと５極の前記界磁マグネットから構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のアライメントステージ装置。
【請求項４】
前記ベッドに対する前記ターンテーブルの相対回転のアライメント角度が小さい場合には，一対の最少単位の前記リニアモータによって構成されていることを特徴とする請求項３に記載のアライメントステージ装置。
【請求項５】
前記ベッドに対する前記ターンテーブルの相対回転のアライメント角度が大きい場合には，前記界磁マグネットは前記ターンテーブルの前記円形平面で周方向の全角度領域に配設され，また，前記電機子コイルは前記ベッドの前記円形平面で周方向の予め決められた所定の角度領域に配設されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のアライメントステージ装置。
【請求項６】
前記界磁マグネットは前記ターンテーブルの下面に形成された円形環状溝内に周方向にそれぞれ配設され，前記電機子コイルは前記ベッドの上面に形成された円形環状溝内に配設されたコイル基板に周方向にそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のアライメントステージ装置。
【請求項７】
前記ターンテーブルの外周面に設けられた光学式リニアスケールと前記ベッドに設けられたセンサとから成るリニアエンコーダは，前記ターンテーブルの前記ベッドに対する回転位置を検知することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のアライメントステージ装置。
【請求項８】
前記ベッドに設けられた前記センサに対向する前記ターンテーブルの下面の周方向の予め決められた所定の位置には，原点マークが固設されていることを特徴とする請求項７に記載のアライメントステージ装置。
【請求項９】
前記ターンテーブルの下面に突出するストッパと前記ベッドの上面に設けられたストッパとの当接によって前記ターンテーブルの回転が停止し，前記ターンテーブルの前記ストッパの通過を感知する原点前センサとリミットセンサが前記ベッドの前記ストッパの前方に設けられていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のアライメントステージ装置。
【請求項１０】
前記ターンテーブルの中央部に設けられた透視用孔を形成する環状回転軸部は，前記ベッドに設けられた環状支持軸部に回転軸受を介して回転可能に支持されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のアライメントステージ装置。
【請求項１１】
前記回転軸受の内輪は前記ターンテーブルの前記環状回転軸部の外周面に形成された段部に係止して押え板によって前記ターンテーブルに固定されおり，前記回転軸受の外輪は前記ベッドの前記環状支持軸部の内周面に形成された段部に係止して押え板によって前記ベッドに固定されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のアライメントステージ装置。
【請求項１２】
前記電機子コイルへの電力供給の電源コード，前記ベッドに設けられたセンサへのセンサコード，及び前記原点前センサと前記リミットセンサからの信号を受信する信号コードは，前記ベッドに設けられたコードカバーを通って纏められていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載のアライメントステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，半導体・液晶関連製造装置，測定器，組立機，工作機械，産業用ロボット，搬送機等の機械装置に使用され，例えば，電機子コイルをベッド側に配設し，界磁マグネットをターンテーブル側に配設して構成したリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年，機械装置を用いる各種技術分野におけるＸ−Ｙ等多軸ステージや運動機構部において，ワーク，工具，物品，機器等の移動体を，高速で移動させ，ベースに対して移動体を高精度で位置決め即ちアライメントするため，コンパクトで軽量な構造を有し，高推力，高速，高応答性のスライド装置が求められている。スライド装置には，リニアモータが使用されている。リニアモータには，複数個の電機子コイルを可動子として設けた可動コイル型リニアモータと，界磁マグネットを可動子として取り付けた可動マグネット型のリニアモータとがある。
【０００３】
特開２００１−３５２７４４号公報に開示されている可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置は，最もコンパクトに構成された直線運動ができ，スライダのベッドに対する高速作動性，応答性を向上して，テーブルのベッドに対する位置決めを一層高精度化することができる。上記スライド装置は，電機子組立体への通電を３相通電方式とし，駆動回路を内部から外部のドライバ側に移設し，ベッドの構造を簡単化し，高さを低くできる。界磁マグネットは，希土類磁石（ネオジウム磁石）から構成され，磁束密度が高まり，テーブルに高推力が得られる。テーブルの位置を検出するエンコーダを光学式リニアスケールを有する光学式エンコーダに形成することで，検出精度が向上される。検出用ケーブルが固定側であるので，低発塵性であり，クリーンな環境に適している。
【０００４】
また，特開平７−９９７６６号公報に開示されている駆動ユニットは，該公報の図１と図２に示されるように，所定の曲率を有する円弧状の装置になっており，内蔵されたリニアモータは，平板状且つ円弧状でなるベッドに略矩形環状に巻回された複数の電機子コイルが密接して円弧状に配設され，ベッドに対して相対円弧運動する円弧状でなるテーブルの下面に，界磁マグネットが全体として板状に且つ所定の曲率を有して形成され，５極が交互に並んで固着されている。上記駆動ユニットは，全体が円弧状になっているので，回転中心が装置内に無く配置し難く，取り扱いが困難なものである。また，界磁マグネットが曲率半径が大径であり，アライメント装置に不向きな構造である。
【０００５】
更に，特開昭５８−１０８９６０号公報に開示されている整流子円弧リニアモータは，第２図に示されるように，Ｎ，Ｓ交互に磁化された界磁磁極が旋回基板上に円弧状に平面状に固設され，界磁磁極と相対向して扇枠状に巻回された電機子巻線がプリント基板に平面円弧状に配設されたものである。上記整流子円弧リニアモータは，界磁磁極及び電機子巻線を所定の曲率に一致した扇状（台形状）に形成しなければならず，任意の曲率半径を有するものには良好に適用できない構造である。
【０００６】
更に，特開平５−９１７１０号公報に開示されているスイング動作用モータは，図１に示されるように，固定界磁ヨークには扇状の４個の磁石が固着され，両面から苦干の隙間をもって固定磁界ヨークに挟まれた可動電機子コイル基板に４個の扇形コイルが固設されたものである。上記スイング動作用モータは，上記の従来例と同様に，磁石及びコイルを扇状に形成しなければならず，任意の曲率半径を有するものに，良好に適用できない構造である。
【０００７】
更に，特開平５−１３０７６５号公報に開示された曲路用リニアモータは，リニアモータの一次側コイルを構成する集中巻コイルを有し，集中巻コイルは複数枚の鉄心を重ねた鉄心歯部の外周に施され，必要とされる曲率半径を有する継鉄部に嵌合したものであり，コアを有するコイル群になっており，大形な装置になってしまう。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで，近年では，半導体装置，測定器，組立機等では，従来のスライド装置に比して，更にコンパクトで高精度で高速度に作動できると共に，クリーンで高推力に作動でき，安価に作製できる高応答の角度位置位置決め機構としてのアライメントステージ装置が要望されている。
【０００９】
そこで，本出願人は，リニアモータを内蔵したステージ装置として回転ステージの回転角度が小さいタイプを開発し，該ステージ装置を先に出願した（特願２００１−１３５２１４号参照）。該ステージ装置は，回転ステージを回転駆動するために長手方向に沿って構成された直線運動駆動用のリニアモータが用いられており，リニアモータがステージの一方側に突出して構成され，リニアモータを用いて微小の角度位置決めを可能にし，小型で薄型化して応答性を向上させることができる。上記ステージ装置は，基台に対してＸ方向に移動可能な第１ステージ，第１ステージに対してＹ方向に移動可能な第２ステージ，第２ステージに回転用軸受を介して回転自在に支持された回転ステージ，及び第２ステージに対して回転ステージを回転方向に微小量だけ角度位置決め駆動する回転用リニアモータを有する。回転用リニアモータは，長手方向に沿って第２ステージに並設された電機子コイルの一次側と，長手方向に極性が交互に異なる磁極が回転ステージに並設された界磁マグネットの２次側とで構成されている。
【００１０】
また，本出願人は，角度調整テーブル装置を開発し，先に特許出願した（特願２００１−１４５９１９号参照）。該角度調整テーブル装置は，物体を微小な角度で高精度に回転位置決めし，高さ寸法を低く構成して装置自体をコンパクトに構成したものである。上記角度調整テーブル装置は，ベッドにクロスローラベアリングを介してテーブルを回転支持し，駆動装置によってテーブルに設けたアームを介してテーブルを微小角度回転駆動させる。ねじ装置によるテーブル接線方向の変位は，ベッドと移動台との間に介在した接線方向の移動をガイドする第１直動案内ユニット，移動台と回転台との間に介在した軸受，回転台とアームとの間に介在したテーブル回転中心方向の移動をガイドする第２直動案内ユニットによってテーブルの回転方向の変位として伝達される。しかしながら，上記角度調整テーブル装置は，リニアモータを内蔵したタイプでないので，どうしても高さが高いものになってしまい，また，部品構成も複雑になり，高精度なアライメントを提供するには問題があった。
【００１１】
そこで，可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置において，電機子コイルの通電方式，界磁マグネットの素材，高い分解能を持つエンコーダの選択，及びセンサコードの固定化等の構造について，スライダの作動を軽快にして，コンパクトで軽量に簡素化して構成し，テーブルのベッドに対するアライメント即ち位置決めを一層高精度化し，アライメントを行うのに回転角度が大きく，高さを可及的に低くし，コンパクトに構成し，安価に作製できることが課題であった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，電機子コイルと界磁マグネットとをベッドとターンテーブルとのいずれか一方にそれぞれ配設したリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置であって，アライメント角度即ち位置決め角度が大きく設定でき，装置そのものの高さを可及的に低くし，装置そのものをコンパクトにシンプルに構成し，クリーンで高精度に対応でき，安価に作製することができるリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置を提供する。
【００１３】
この発明は，ベッド，該ベッドに回転軸受を介して回転支持されたターンテーブル，前記ベッドに対して前記ターンテーブルを相対回転駆動するリニアモータ，及び前記ベッドと前記ターンンテーブルとの相対位置を検知するエンコーダを有するアライメントステージ装置において，前記リニアモータは一次側の電機子コイルと二次側の界磁マグネットとから構成され，前記電機子コイルは扁平で環状に巻回された巻線でなる３相のコアレスコイルから成り且つ前記ベッド上に予め決められた所定の曲率の円形平面に放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設され，前記界磁マグネットは板状に形成され且つ前記ターンテーブルの下面に前記電機子コイルに対向して予め決められた所定の曲率の円形平面に磁極を交互に異にして放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設されていることを特徴とするリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置に関する。
【００１４】
このアライメントステージ装置において，前記電機子コイルは矩形環状に形成され且つ前記界磁マグネットは矩形板状に形成され，隣接する前記電機子コイル間及び隣接する前記界磁マグネット間の間隙は，外周側になるに従ってそれぞれ大きくなっている。
【００１５】
このアライメントステージ装置では，前記リニアモータを構成する最少単位は，３個の前記電機子コイルと５極の前記界磁マグネットから構成されている。
【００１６】
このアライメントステージ装置は，前記ベッドに対する前記ターンテーブルの相対回転のアライメント角度が小さい場合には，一対の最少単位の前記リニアモータによって構成されている。又は，このアライメントステージ装置は，前記ベッドに対する前記ターンテーブルの相対回転のアライメント角度が大きい場合には，前記界磁マグネットは前記ターンテーブルの前記円形平面で周方向の全角度領域に配設され，また，前記電機子コイルは前記ベッドの前記円形平面で周方向の予め決められた所定の角度領域に配設されている。
【００１７】
このアライメントステージ装置では，前記界磁マグネットは，前記ターンテーブルの下面に形成された円形環状溝内に周方向にそれぞれ配設され，前記電機子コイルは，前記ベッドの上面に形成された円形環状溝内に配設されたコイル基板に周方向にそれぞれ配設されている。
【００１８】
このアライメントステージ装置では，前記ターンテーブルの外周面に設けられた光学式リニアスケールと前記ベッドに設けられたセンサとから成るリニアエンコーダは，前記ターンテーブルの前記ベッドに対する回転位置を検知するものである。
【００１９】
このアライメントステージ装置は，前記ベッドに設けられた前記センサに対向する前記ターンテーブルの下面の周方向の予め決められた所定の位置には，原点マークが固設されている。
【００２０】
このアライメントステージ装置は，前記ターンテーブルの下面に突出するストッパと前記ベッドの上面に設けられたストッパとの当接によって前記ターンテーブルの相対回転が停止し，また，前記ターンテーブルの前記ストッパの通過を感知する原点前センサとリミットセンサとが前記ベッドの前記ストッパの前方に設けられている。
【００２１】
前記ターンテーブルの中央部に設けられた透視用孔を形成する環状回転軸部は，前記ベッドに設けられた環状支持軸部に回転軸受を介して回転可能に支持されている。更に，前記回転軸受の内輪は前記ターンテーブルの前記環状回転軸部の外周面に形成された段部に係止して押え板によって前記ターンテーブルに固定されおり，また，前記回転軸受の外輪は前記ベッドの前記環状支持軸部の内周面に形成された段部に係止して押え板によって前記ベッドに固定されている。
【００２２】
このアライメントステージ装置において，前記電機子コイルへの電力供給の電源コード，前記ベッドに設けられたセンサへのセンサコード，及び前記原点前センサと前記リミットセンサからの信号を受信する信号コードは，前記ベッドに設けられたコードカバーを通って纏められている。
【００２３】
このアライメントステージ装置は，上記のように構成されているので，電機子コイルと界磁マグネットとが予め決められた所定の曲率の周方向に沿って円形平面にそれぞれ配設されているので，アライメント角度範囲即ち位置決め角度範囲を大きく設定できるし，また，ベッドに対するターンテーブルの相対回転のアライメント角度が小さくて済む場合には，最少単位の３個の電機子コイルと５極の界磁マグネットから成るリニアモータを一対の設ければ高精度の角度位置決めを確保することができる。また，前記電機子コイルが扁平形状であって前記界磁マグネットが矩形板状に構成され，装置全体の高さを可及的に低く構成でき，また，電機子コイルと界磁マグネットとをベッドとターンテーブルとに形成した環状溝に配設すれば，更に高さを低く構成でき，装置そのものをコンパクトにシンプルに構成でき，クリーンで高精度に対応できる。また，電機子コイルと界磁マグネットとは，矩形形状であるので，極めて安価に作製できる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下，図面を参照して，この発明によるリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置の実施例を説明する。この発明によるリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置は，例えば，半導体・液晶関連装置，測定器，組立機，工作機械，産業用ロボット，搬送機等の機械装置に使用され，例えば，電機子コイル３をベッド１側に配設し，界磁マグネット４をターンテーブル２側に配設して構成したリニアモータ５０を内蔵したものである。このアライメントステージ装置は，例えば，直交位置決め装置であるＸＹテーブル装置に搭載されて使用されて角度位置のアライメントを達成するものであり，ベッド１には，基台等に取り付けるための取付け用孔２１が四隅に設けられ，また，ターンテーブル２には，ワーク取付用ねじ穴２２が設けられている。
【００２５】
図１〜図５を参照して，この発明によるリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置の第１実施例を説明する。このアライメントステージ装置は，図１〜図３に示すように，正方形の板状でなるベッド１，ベッド１に回転支持された円形板状でなるターンテーブル２，ターンテーブル２をベッド１に対して回転支持する回転軸受５，ベッド１に対してターンテーブル２を回転駆動するリニアモータ５０，及びターンテーブル２とベッド１との相対位置即ち回転位置を検知するリニアエンコーダ４９から構成され，リニアモータ５０は，一次側の電機子コイル３と二次側の界磁マグネット４とから構成されている。ターンテーブル２の外周面２３は，ベッド１の正方形の外形範囲内に納まっている。ターンテーブル２はベッド１の領域内で回転移動するように形成されている。
【００２６】
図３及び図４に示すように，リニアモータ５０を構成する一次側の電機子コイル３は，扁平形状に矩形環状に巻回された巻線でなる３相のコアレスコイルから成り，ベッド１上に予め決められた所定の曲率の円形平面上で放射状に且つ周方向に沿ってそれぞれ配設されており，円形状周方向の全領域又は部分領域の所定の角度領域間に配設されている。また，電機子コイル３は，ベッド１の上面にドーナツ状に形成された円形環状溝４８内に配設されたコイル基板７に周方向にそれぞれ配設され固定ねじ５３で固定され，コイル組立体６が構成されている。また，ベッド１は，磁路を形成できる鋼製の磁性材料でなり，コイル組立体６の磁路を形成するコイルヨークを兼ねたものであり，環状溝４８と電機子コイル３との間には，絶縁シートが配設されている。更に，ベッド１の中央部は，透視するための孔２９が設けられ，孔２９の内周部である環状支持部４６には，回転軸受５の外輪３９が嵌入し，外輪３９を取り付けるための段部２８が形成されている。
【００２７】
電機子コイル３は，具体的には，例えば，巻線の内部が樹脂モールド成形された芯部を構成している。例えば，電機子コイル３は，本出願人に係る特開２００１−３５２７４４号公報に開示された電機子コイルを使用することができる。各電機子コイル３は，予め決められた所定の曲率の周方向に沿って円形平面に放射状にそれぞれ配設されており，電機子コイル３の総計数は，３の倍数でなり，ドーナツ板状でなるコイル基板７の下面に固着され，コイル組立体６を構成している。第１実施例では，１５個の電機子コイル３が配設されている。
【００２８】
このアライメントステージ装置では，各電機子コイル３が所定の曲率の周方向に沿って円形平面に放射状に配向してそれぞれ配設されているものであり，図４に示すように，矩形状の電機子コイル３は，長方形状に形成され，長辺部が推力に貢献する腕になり，短辺部は推力に貢献しない腕になっている。長辺部の腕の中心間幅をＢｃ，短辺部の腕の中心間長さをＬｃとすると，各電機子コイル３は，中心間幅Ｂｃの中心線が所定の曲率の中心Ｏｂを通る向きに配向されており，中心間長さＬｃの中心線と中心間幅Ｂｃの中心線との交点，即ち，電機子コイル３の中心が所定の曲率半径Ｒｃ上に位置して所定ピッチ角度θｃ毎に互い重なり合うこと無くそれぞれ配設されている。
【００２９】
図３及び図５に示すように，リニアモータ５０を構成する二次側の界磁マグネット４は，矩形板状に形成され，ターンテーブル２の下面に電機子コイル３に対向して予め決められた所定の曲率の円形平面上で放射状に配向して磁極Ｎ，Ｓを交互に異にして周方向に沿ってそれぞれ配設され，第１実施例では円形状周方向の全角度領域に配設されている。界磁マグネット４は，ターンテーブル２の下面にドーナツ状に形成された円形環状溝４７内に周方向にそれぞれ嵌入して配設されている。第１実施例では，界磁マグネット４は，図５に示すように，円形状にエンドレスに配設され，総計数２４個がターンテーブル２の下面又は界磁マグネット固着部材（図７参照）に固着されている。界磁マグネット４は，例えば，本出願人に係る特開２００１−３５２７４４号公報に開示された界磁マグネットを使用することができる。また，ターンテーブル２は，鋼製の磁性材料でなり，界磁マグネット４の磁路を形成するマグネットヨークを兼ねたものになっている。
【００３０】
また，ターンテーブル２には，界磁マグネット４が配設される周方向に下方に延びる外側の段部１８によって形成されたマグネットヨークを形成する支持部３１が設けられている。段部１８の外周面の所定の位置に光学式リニアエンコーダであるリニアスケール８が固着している。また，ターンテーブル２の支持部３１の外側であってターンテーブル２の下面とベッド１の上面との間には，段部空所１９が形成され，段部空所１９には，鋼製のストッパ１２及び原点マーク１０が固設されている。更に，ターンテーブル２の中央部は，透視するための孔２０が設けられている。また，孔２０の外側は，回転軸受５の内輪３８に嵌合する突出部即ち環状回転軸部４５に形成され，環状回転軸部４５の外周に内輪３８を嵌合する取付け段部３０が設けられている。
【００３１】
このアライメントステージ装置では，各界磁マグネット４が予め決められた所定の曲率の周方向に沿って円形平面に放射状に配向してそれぞれ配設されており，図５に示すように，矩形板状の界磁マグネット４は，長方形状即ち矩形形状になっており，短辺の長さ即ち磁極幅Ｂｍ，長辺の長さ即ち磁極長さＬｍとすると，各界磁マグネット４は，磁極幅Ｂｍの中心線が所定の曲率の中心Ｏｔを通る向きに配向されており，磁極長さＬｍの中心線と磁極幅Ｂｍの中心線との交点，即ち，界磁マグネット４の中心が所定の曲率半径Ｒｍ上になって所定ピッチ角度θｍ毎に互い重なり合うこと無くそれぞれ配設されている。
【００３２】
このアライメントステージ装置では，電機子コイル３と界磁マグネット４とは，次のような関連を有している。
（１）ターンテーブル２の回転中心と界磁マグネット４の所定の曲率の中心Ｏｔとが一致し，界磁マグネット４の中心（曲率の中心Ｏｔ）と電機子コイル３の所定の曲率の中心Ｏｂとが一致し，及び界磁マグネット３の曲率半径Ｒｍと電機子コイル３の曲率半径Ｒｃとが一致したものである。
（２）界磁マグネット４の磁極幅Ｂｍは，電機子コイル３の腕の中心間幅Ｂｃと同じ（Ｂｍ＝Ｂｃ）であり，電機子コイル３のコイル角度ピッチθｃは，磁極角度ピッチθｍの４／３倍になっている（θｃ＝４／３θｍ）。第１実施例では，θｃ＝２０°であり，θｍ＝１５°である。界磁マグネット４の磁極長さＬｍは，電機子コイル３の腕の中心間長さＬｃと略同一になっている。
（３）アライメントステージ装置におけるベッド１の外形サイズは，縦横の長さがそれぞれ２００ｍｍであり，高さが３０ｍｍであり，更に，電機子コイル３のコイル組立体６の動作角度θが２８０°の構成になっている。
【００３３】
このアライメントステージ装置では，上記のように構成されているので，電機子コイル３及び界磁マグネット４は，それらの外形がそれぞれ矩形形状に形成されるので，極めて製作が容易で且つ安価な構造になるが，その結果，隣接する電機子コイル３間及び隣接する界磁マグネット４間の間隙は，外周側になるに従ってそれぞれ大きくなっている。言い換えれば，電機子コイル３間と界磁マグネット４間との間隙は，電機子コイル３間と界磁マグネット４との内周側を頂点とする二等辺三角形の形状に形成される。しかしながら，このアライメントステージ装置は，隣接する電機子コイル３間と界磁マグネット４間とに上記のような間隙が存在したとしても，高精度のアライメント角度即ち位置決め角度及びターンテーブル２の回転駆動力が損なわれずに確保できる。また，図示していないが，磁路を形成するコイルヨーク及びマグネットヨークは，ベッド１及びターンテーブル２とは別部品に形成し，ベッド及びターンテーブルをアルミニウム等の軽金属で作製してアライメントステージ装置全体の重量を軽く構成することも可能である。
【００３４】
このアライメントステージ装置では，図４及び図５に示されるように，リニアモータ５０は，ベッド１の上面に配設された一次側の電機子コイル３，及び電機子コイル３に対向するターンテーブル２の下面に配設された２次側の界磁マグネット４から構成されている。リニアモータ５０を構成する最少単位は，３個の電機子コイル３と５極の界磁マグネット４から構成されている。
【００３５】
このアライメントステージ装置では，ターンテーブル２の中央部に設けられた透視用孔２０を形成する環状回転軸部４５は，ベッド１に設けられた環状支持軸部４６に回転軸受５を介して回転可能に支持されている。また，回転軸受４５は，コンパクトな構成にありながら，荷重支持効果が大きいクロスローラベアリングから構成されている。回転軸受４５の内輪３８は，ターンテーブル２の環状回転軸部４５の外周面に形成された段部３０に係止して押え板１７によってターンテーブル２に固定されいる。また，回転軸受４５の外輪３９は，ベッド１の環状支持軸部４６の内周面に形成された段部２８に係止して押え板１６によってベッド１に固定されいる。環状支持軸部４６にはねじ穴２６が形成され，ねじ穴２６に螺入されるねじによって外輪３９がベッド１に固定される。回転軸受４５のクロスローラベアリングは，あらゆる方向の荷重を負荷することができ，内輪３８と外輪３９との間に交互に軸心を交差させて円周方向にそれぞれ配設された多数のローラ５１を有している。
【００３６】
また，このアライメントステージ装置では，電源コード１３，センサコード１５，及び信号コード１４は，ベッド１に設けられたコードカバー１１を通って引き出されている。電源コード１３は，電機子コイル３への電力供給するのに使用される。センサコード１５は，ベッド１に設けられたセンサ９への電力供給及び信号を受信するのに使用される。また，信号コード１４は，原点前センサ２７及びリミットセンサ２５への電力供給及び信号を受信するのに使用される。
【００３７】
このアライメントステージ装置は，図２及び図４に示すように，ターンテーブル２の下面である段部空所には，突出してなる扇状のストッパ１２が固設している。図４に示すように，ターンテーブル２との段部空所部分にあたるベッド１上に，ターンテーブル２のストッパ１２の側面に，それぞれ突き当たるウレタンゴム等の弾性体でなるストッパ２４が動作範囲（θ＝２８０°）の外側に一対設けられている。また，ストッパ２４に近接した位置に近接スイッチであるリミットセンサ２５が一対設けられている。リミットセンサ２５は，ターンテーブル２のストッパ１２を感知するものになっている。また，リミットセンサ２５の上面はストツパ１２が突き当たることなく，上部を近接して通過する位置にある。
【００３８】
また，このアライメントステージ装置では，リニアエンコーダ４９は，ターンテーブル２の外周面に設けられた光学式リニアスケール８と，リニアスケール８に正面部分が対向するようにベッド１に固設された光学的リニアエンコーダであるセンサ９とから構成され，ターンテーブル２のベッド１に対する回転位置を検知するように構成されている。図２に示すように，ターンテーブル２の段部１８になる円筒状の外周面に光学式リニアエンコーダである光学式リニアスケール８を接着剤等により固着されている。更に，ベッド１に設けられたセンサ９の上面に対向してターンテーブル２の下面である段部空所に原点マーク１０が固設されている。第１実施例では，センサ９は，図４に示すように，ストッパ２４間に設置されている。センサ９は，センサ９の上面に対向してターンテーブル２の下面に設けられた原点マーク１０（図５）を感知して原点となる基準位置の信号を発するように構成されている。また，このアライメントステージ装置は，ターンテーブル２の下面に突出するストッパ１２と，ベッド１の上面に設けられたストッパ２４との当接によって，ターンテーブル２のベッド１に対する回転が停止され，回転し過ぎが防止されるように構成されている。
【００３９】
また，ベッド１には，リミットセンサの手前に近接スイッチである原点前センサ２７が設けられている。ベッド１には，ターンテーブル２のストッパ１２の通過を感知する原点前センサ２７とリミットセンサ２５がベッド１のストッパ２４の前方に設けられている。原点前センサ２７は，ターンテーブル２のストッパ１２を感知するものになっており，原点前センサ２７の上面は，ストッパ１２が突き当たることなく，上部を近接に通過する位置にある。
【００４０】
次に，図６〜図１０を参照して，この発明によるリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置の別の実施例を説明する。このアライメントステージ装置は，アライメント角度が小さい場合，例えば，θ＝±７°程度のものに適したタイプに構成されている。第２実施例の説明にあたっては，第１実施例における部品と同一の部品には同一の符号を付し，重複する説明を省略する。
【００４１】
図６及び図７に示すように，このアライメントステージ装置は，ベッド１に対してターンテーブル２を相対回転駆動する回転トルクを増強するために，一対の最少単位のリニアモータ５０で構成されている。リニアモータ５０の最少単位については，３個の電機子コイル３と５極の界磁マグネット５から構成されている。３個の電機子コイル３は，固定用孔４３（図１０）が形成された扇形（図６では全周の１／４円）のコイル基板７に，固定用孔４３と通したねじによって固定され，１つの部品としてのコイル組立体３７に形成されている。また，５極の界磁マグネット５は，ターンテーブル２の下面に取り付けられた扇形（図７では全周の１／４円）の界磁マグネット固着部材４０にそれぞれ固着され，１つの部品としての界磁マグネット組立体５２に形成されている。即ち，ターンテーブル２に固定した５極の界磁マグネット４を固着した一対の界磁マグネット固着部材４０は，ベッド１に固定した３個の電機子コイル３を取り付けた一対のコイル基板７に対応して設けられている。第２実施例は，第ｌ実施例と構造上異なる部分について，リミットセンサ３５及び原点前センサ３６は，例えば，特開２００１−３５２７４４号公報に開示されているように，界磁マグネット４の端部の磁極Ｎを感知して信号を発するホール効果素子に構成されている。また，ベッド１に対するターンテーブル２の停止構造は，ベッド１上に突出して設けられた弾性体でなるストッパ３３と，ストッパ３３に対向してターンテーブル２の下面に形成されたストッパ３３が嵌入するストッパ凹部３４とから構成されている。また，電機子コイル３のコイル角度ピッチθｃ及び磁極角度ビッチθｍは，例えば，θｃ＝１６°及びθｍ＝１２°に設定されている。
【００４２】
図８〜図１０には，リニアモータ５０を構成する最少単位が示されており，図６に示すコイル組立体３７に相当する。電機子コイル３は，扁平で矩形環状に巻回された巻線でなる３相のコアレスコイルから成り，ベッド１上に予め決められた所定の曲率の円形平面に放射状に配向して周方向に沿ってコイル基板７にそれぞれ配設され，コイル基板７に形成された固定用孔４３と固定用孔４３に対応して設置された電機子コイル３のカラー４２とを介して固定用ねじ４１で固定されている。
【００４３】
このアライメントステージ装置について，図１１には，リニアモータ５０の最少単位における界磁マグネット４と電機子コイル３との動作位置関係が示されている。図１１の（Ａ）には，原点領域に位置する電機子コイル３に対する界磁マグネット４の位置関係が示されている。図１１の（Ｂ）には，（Ａ）の位置からターンテーブル２即ち界磁マグネット４が左周り（図では上側）に駆動された中間領域に位置する電機子コイル３に対する界磁マグネット４の位置関係が示されている。図１１の（Ｃ）には，（Ｂ）の位置からターンテーブル２即ち界磁マグネット４が更に左周り（図では上側）に駆動された終端領域に位置する電機子コイル３に対する界磁マグネット４の位置関係が示されている。また，原点位置から右周り（図では下側）への界磁マグネット４の駆動については，回転が逆であるのみで対称的になるので，ここでは図示は省略する。
【００４４】
図１２には，図６及び図７に示す一対の最少単位のリニアモータ５０から構成されたアライメントステージ装置についてのアライメント角度の計測データの作動結果が示されている。図１２に示す計測データは，ターンテーブル２の角度位置を０．５秒（０．５／３６００度）毎に移動即ち駆動し，停止時間４秒毎に休止したときのステップ送り状態を計測したものであり，角度位置５秒の角度範囲における正転と，角度位置５秒の角度範囲における逆転を計測したものである。また，このアライメントステージ装置では，分解能が１パルスで０．２５秒であり，従って，０．５秒の駆動は２パルスの駆動に相当する。図１２から分かるように，このアライメントステージ装置は，高精度にアライメント角度を駆動することができる。
【００４５】
【発明の効果】
この発明によるリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置は，上記のように，電機子コイルと界磁マグネットとが円形平面に配設されているので，アライメント角度範囲即ち位置決め角度範囲を大きく設定でき，前記電機子コイルが扁平形状であって前記界磁マグネットが矩形板状に構成され，装置全体の高さを可及的に低く構成でき，装置そのものをコンパクトにシンプルに構成でき，クリーンで高精度に対応できる。また，このアライメントステージ装置は，従来のスライド装置では電機子コイルと界磁マグネットとが直線上に配設されていたのに対して，スライド装置の構成部材である電機子コイルと界磁マグネットとが安価に作製できる矩形形状であるが，それぞれを円形平面に配設した構成であって隣接する前記電機子コイル間と前記界磁マグネット間とが外周側になるに従ってそれぞれ大きな間隙ができるようなシンプルな簡単化された構成であるにもかかわらず，高精度の位置決め即ちアライメント角度駆動を達成でき，しかも，装置そのものを安価に作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置の実施例を示す平面図である。
【図２】図１のアライメントステージ装置を，図１の左側から見た側面図である。
【図３】図１のアライメントステージ装置を，図１のＡ−Ａ断面で矢視Ａから見た断面図である。
【図４】図１のアライメントステージ装置からターンテーブルを外した状態のベッド側を示す平面図である。
【図５】図１のアライメントステージ装置におけるターンテーブルを示す下面図である。
【図６】この発明によるアライメントステージ装置からターンテーブルを外した状態のベッド側の別の実施例を示し，図４に示すベッド側に相当する平面図である。
【図７】この発明によるアライメントステージ装置におけるターンテーブルの別の実施例を示し，図５に示すターンテーブルに相当する下面図である。
【図８】図６のベッド側におけるコイル組立体を示す下面図である。
【図９】図８のコイル組立体を示す側面図である。
【図１０】図８のコイル組立体を示す背面図である。
【図１１】（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）は，電機子コイルと界磁マグネットとの動作状況の関係を示す説明図である。
【図１２】この発明によるアライメントステージ装置によるテーブルの送りと角度位置の計測データを示すグラフである。
【符号の説明】
１　　ベッド
２　　ターンテーブル
３，３７　コイル組立体
４　　界磁マグネット
５　　回転軸受
６，３７　コイル組立体
７　　コイル基板
８　　光学式リニアスケール
９　　センサ
１０　原点マーク
１１　コードカバー
１２，２４，３３　ストッパ
１３　電源コード
１４　信号コード
１５　センサコード
１６　外輪押え板
１７　内輪押え板
１８　段部
２０　透視用孔
２５，３５　リミットセンサ
２７，３６　原点前センサ
３４　ストッパ凹部
３８　内輪
３９　外輪
４５　環状回転軸部
４６　環状支持軸
４７，４８　環状溝
４９　リニアエンコーダ
５０　リニアモータ
【図１】
2004072960.tif 000003
【図２】
2004072960.tif 000004
【図３】
2004072960.tif 000005
【図４】
2004072960.tif 000006
【図５】
2004072960.tif 000007
【図６】
2004072960.tif 000008
【図７】
2004072960.tif 000009
【図８】
2004072960.tif 000010
【図９】
2004072960.tif 000011
【図１０】
2004072960.tif 000012
【図１１】
2004072960.tif 000013
【図１２】
2004072960.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月20日(2003.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
ベッド，該ベッドに回転軸受を介して回転支持されたターンテーブル，前記ベッドに対して前記ターンテーブルを相対回転駆動するリニアモータ，及び前記ベッドと前記ターンテーブルとの相対位置を検知するエンコーダを有するアライメントステージ装置において，
前記リニアモータは一次側の電機子コイルと二次側の界磁マグネットとから構成され，前記電機子コイルは扁平で環状に巻回された巻線でなる３相のコアレスコイルから成り且つ前記ベッド上に予め決められた所定の曲率の円形平面に放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設され，前記界磁マグネットは板状に形成され且つ前記ターンテーブルの下面に前記電機子コイルに対向して予め決められた所定の曲率の円形平面に磁極を交互に異にして放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設されていることを特徴とするリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記ベッドに対する前記ターンテーブルの相対回転のアライメント角度が小さい場合には，一対の前記最少単位の前記リニアモータによって構成されていることを特徴とする請求項３に記載のアライメントステージ装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
更に，特開平５−９１７１０号公報に開示されているスイング動作用モータは，図１に示されるように，固定界磁ヨークには扇状の４個の磁石が固着され，両面から若干の隙間をもって固定磁界ヨークに挟まれた可動電機子コイル基板に４個の扇形コイルが固設されたものである。上記スイング動作用モータは，上記の従来例と同様に，磁石及びコイルを扇状に形成しなければならず，任意の曲率半径を有するものに，良好に適用できない構造である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
そこで，本出願人は，リニアモータを内蔵したステージ装置として回転ステージの回転角度が小さいタイプを開発し，該ステージ装置を先に出願した（特開２００２−３２８１９１号公報参照）。該ステージ装置は，回転ステージを回転駆動するために長手方向に沿って構成された直線運動駆動用のリニアモータが用いられており，リニアモータがステージの一方側に突出して構成され，リニアモータを用いて微小の角度位置決めを可能にし，小型で薄型化して応答性を向上させることができる。上記ステージ装置は，基台に対してＸ方向に移動可能な第１ステージ，第１ステージに対してＹ方向に移動可能な第２ステージ，第２ステージに回転用軸受を介して回転自在に支持された回転ステージ，及び第２ステージに対して回転ステージを回転方向に微小量だけ角度位置決め駆動する回転用リニアモータを有する。回転用リニアモータは，長手方向に沿って第２ステージに並設された電機子コイルの一次側と，長手方向に極性が交互に異なる磁極が回転ステージに並設された界磁マグネットの二次側とで構成されている。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また，本出願人は，角度調整テーブル装置を開発し，先に特許出願した（特開２００２−３４１０７６号公報参照）。該角度調整テーブル装置は，物体を微小な角度で高精度に回転位置決めし，高さ寸法を低く構成して装置自体をコンパクトに構成したものである。上記角度調整テーブル装置は，ベッドにクロスローラベアリングを介してテーブルを回転支持し，駆動装置によってテーブルに設けたアームを介してテーブルを微小角度回転駆動させる。ねじ装置によるテーブル接線方向の変位は，ベッドと移動台との間に介在した接線方向の移動をガイドする第１直動案内ユニット，移動台と回転台との間に介在した軸受，回転台とアームとの間に介在したテーブル回転中心方向の移動をガイドする第２直動案内ユニットによってテーブルの回転方向の変位として伝達される。しかしながら，上記角度調整テーブル装置は，リニアモータを内蔵したタイプでないので，どうしても高さが高いものになってしまい，また，部品構成も複雑になり，高精度なアライメントを提供するには問題があった。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この発明は，ベッド，該ベッドに回転軸受を介して回転支持されたターンテーブル，前記ベッドに対して前記ターンテーブルを相対回転駆動するリニアモータ，及び前記ベッドと前記ターンテーブルとの相対位置を検知するエンコーダを有するアライメントステージ装置において，前記リニアモータは一次側の電機子コイルと二次側の界磁マグネットとから構成され，前記電機子コイルは扁平で環状に巻回された巻線でなる３相のコアレスコイルから成り且つ前記ベッド上に予め決められた所定の曲率の円形平面に放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設され，前記界磁マグネットは板状に形成され且つ前記ターンテーブルの下面に前記電機子コイルに対向して予め決められた所定の曲率の円形平面に磁極を交互に異にして放射状に配向して周方向に沿ってそれぞれ配設されていることを特徴とするリニアモータを内蔵したアライメントステージ装置に関する。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
前記ターンテーブルの中央部に設けられた透視用孔を形成する環状回転軸部は，前記ベッドに設けられた環状支持軸部に回転軸受を介して回転可能に支持されている。更に，前記回転軸受の内輪は前記ターンテーブルの前記環状回転軸部の外周面に形成された段部に係止して押え板によって前記ターンテーブルに固定されており，また，前記回転軸受の外輪は前記ベッドの前記環状支持軸部の内周面に形成された段部に係止して押え板によって前記ベッドに固定されている。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
このアライメントステージ装置は，上記のように構成されているので，電機子コイルと界磁マグネットとが予め決められた所定の曲率の周方向に沿って円形平面にそれぞれ配設されているので，アライメント角度範囲即ち位置決め角度範囲を大きく設定できるし，また，ベッドに対するターンテーブルの相対回転のアライメント角度が小さくて済む場合には，最少単位の３個の電機子コイルと５極の界磁マグネットから成るリニアモータを一対設ければ，高精度の角度位置決めを確保することができる。また，前記電機子コイルが扁平形状であって前記界磁マグネットが矩形板状に構成され，装置全体の高さを可及的に低く構成でき，また，電機子コイルと界磁マグネットとをベッドとターンテーブルとに形成した環状溝に配設すれば，更に高さを低く構成でき，装置そのものをコンパクトにシンプルに構成でき，クリーンで高精度に対応できる。また，電機子コイルと界磁マグネットとは，矩形形状であるので，極めて安価に作製できる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図３及び図４に示すように，リニアモータ５０を構成する一次側の電機子コイル３は，扁平形状に矩形環状に巻回された巻線でなる３相のコアレスコイルから成り，ベッド１上に予め決められた所定の曲率の円形平面上で放射状に且つ周方向に沿ってそれぞれ配設されており，円形状周方向の全領域又は部分領域の所定の角度領域間に配設されている。また，電機子コイル３は，ベッド１の上面にドーナツ状に形成された円形環状溝４８内に配設されたコイル基板７に周方向にそれぞれ配設され固定ねじ５３で固定され，コイル組立体６が構成されている。また，ベッド１は，磁路を形成できる鋼製の磁性材料でなり，コイル組立体６の磁路を形成するコイルヨークを兼ねたものであり，環状溝４８と電機子コイル３との間には，絶縁シートが配設されている。更に，ベッド１の中央部は，透視するための孔２９が設けられ，孔２９の内周部である環状支持軸部４６には，回転軸受５の外輪３９が嵌入し，外輪３９を取り付けるための段部２８が形成されている。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
このアライメントステージ装置では，電機子コイル３と界磁マグネット４とは，次のような関連を有している。
（１）ターンテーブル２の回転中心と界磁マグネット４の所定の曲率の中心Ｏｔとが一致し，界磁マグネット４の中心（曲率の中心Ｏｔ）と電機子コイル３の所定の曲率の中心Ｏｂとが一致し，及び界磁マグネット４の曲率半径Ｒｍと電機子コイル３の曲率半径Ｒｃとが一致したものである。
（２）界磁マグネット４の磁極幅Ｂｍは，電機子コイル３の腕の中心間幅Ｂｃと同じ（Ｂｍ＝Ｂｃ）であり，電機子コイル３のコイル角度ピッチθｃは，磁極角度ピッチθｍの４／３倍になっている（θｃ＝４／３θｍ）。第１実施例では，θｃ＝２０°であり，θｍ＝１５°である。界磁マグネット４の磁極長さＬｍは，電機子コイル３の腕の中心間長さＬｃと略同一になっている。
（３）アライメントステージ装置におけるベッド１の外形サイズは，縦横の長さがそれぞれ２００ｍｍであり，高さが３０ｍｍであり，更に，電機子コイル３のコイル組立体６の動作角度θが２８０°の構成になっている。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
このアライメントステージ装置では，ターンテーブル２の中央部に設けられた透視用孔２０を形成する環状回転軸部４５は，ベッド１に設けられた環状支持軸部４６に回転軸受５を介して回転可能に支持されている。また，回転軸受５は，コンパクトな構成にありながら，荷重支持効果が大きいクロスローラベアリングから構成されている。回転軸受５の内輪３８は，ターンテーブル２の環状回転軸部４５の外周面に形成された段部３０に係止して押え板１７によってターンテーブル２に固定されている。また，回転軸受５の外輪３９は，ベッド１の環状支持軸部４６の内周面に形成された段部２８に係止して押え板１６によってベッド１に固定されている。環状支持軸部４６にはねじ穴２６が形成され，ねじ穴２６に螺入されるねじによって外輪３９がベッド１に固定される。回転軸受５のクロスローラベアリングは，あらゆる方向の荷重を負荷することができ，内輪３８と外輪３９との間に交互に軸心を交差させて円周方向にそれぞれ配設された多数のローラ５１を有している。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
このアライメントステージ装置は，図２及び図４に示すように，ターンテーブル２の下面である段部空所には，突出してなる扇状のストッパ１２が固設している。図４に示すように，ターンテーブル２との段部空所部分にあたるベッド１上に，ターンテーブル２のストッパ１２の側面に，それぞれ突き当たるウレタンゴム等の弾性体でなるストッパ２４が動作範囲（θ＝２８０°）の外側に一対設けられている。また，ストッパ２４に近接した位置に近接スイッチであるリミットセンサ２５が一対設けられている。リミットセンサ２５は，ターンテーブル２のストッパ１２を感知するものになっている。また，リミットセンサ２５の上面はストッパ１２が突き当たることなく，上部を近接して通過する位置にある。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図６及び図７に示すように，このアライメントステージ装置は，ベッド１に対してターンテーブル２を相対回転駆動する回転トルクを増強するために，一対の最少単位のリニアモータ５０で構成されている。リニアモータ５０の最少単位については，３個の電機子コイル３と５極の界磁マグネット４から構成されている。３個の電機子コイル３は，固定用孔４３（図１０）が形成された扇形（図６では全周の１／４円）のコイル基板７に，固定用孔４３と通したねじによって固定され，１つの部品としてのコイル組立体３７に形成されている。また，５極の界磁マグネット４は，ターンテーブル２の下面に取り付けられた扇形（図７では全周の１／４円）の界磁マグネット固着部材４０にそれぞれ固着され，１つの部品としての界磁マグネット組立体５２に形成されている。即ち，ターンテーブル２に固定した５極の界磁マグネット４を固着した一対の界磁マグネット固着部材４０は，ベッド１に固定した３個の電機子コイル３を取り付けた一対のコイル基板７に対応して設けられている。第２実施例は，第ｌ実施例と構造上異なる部分について，リミットセンサ３５及び原点前センサ３６は，例えば，特開２００１−３５２７４４号公報に開示されているように，界磁マグネット４の端部の磁極Ｎを感知して信号を発するホール効果素子に構成されている。また，ベッド１に対するターンテーブル２の停止構造は，ベッド１上に突出して設けられた弾性体でなるストッパ３３と，ストッパ３３に対向してターンテーブル２の下面に形成されたストッパ３３が嵌入するストッパ凹部３４とから構成されている。また，電機子コイル３のコイル角度ピッチθｃ及び磁極角度ピッチθｍは，例えば，θｃ＝１６°及びθｍ＝１２°に設定されている。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１　　ベッド
２　　ターンテーブル
３　　電機子コイル
４　　界磁マグネット
５　　回転軸受
６，３７　コイル組立体
７　　コイル基板
８　　光学式リニアスケール
９　　センサ
１０　原点マーク
１１　コードカバー
１２，２４，３３　ストッパ
１３　電源コード
１４　信号コード
１５　センサコード
１６　外輪押え板
１７　内輪押え板
１８　段部
２０　透視用孔
２５，３５　リミットセンサ
２７，３６　原点前センサ
３４　ストッパ凹部
３８　内輪
３９　外輪
４５　環状回転軸部
４６　環状支持軸部
４７，４８　環状溝
４９　リニアエンコーダ
５０　リニアモータ