(57)【要約】【課題】容器本体と蓋体の着脱が容易にでき、ゴミがたまりにくく、外部からの衝撃がウェハーに伝わりにくい構造の半導体ウェハー収納容器を提供する。【解決手段】本発明の半導体ウェハー収納容器１は、容器本体２と該容器本体２を閉蓋する蓋体３とからなり、容器本体２は底面板４と、該底面板４上面より立ち上がって形成されたウェハー収納台状部５および該ウェハー収納台状部５の立ち上がり周縁よりも内側より上方に立ち上がる本体側壁部６によって囲まれたウェハー収納空間と、前記側壁部６の外周面に突設された複数のリブ７とを有し、蓋体３は蓋体上面板１３と該上面板１３の下面より垂下した蓋体側壁部１４とを有し、蓋体側壁部１４は容器本体２に蓋体３を装着した際に、蓋体側壁部１４が容器本体側壁部６、該側壁部６の外周面に突設されたリブ７を覆うとともにウェハー収納台状部の立ち上がり周縁５ａの少なくとも一部を覆う大きさに形成され、容器本体２と蓋体３とは係止手段によって着脱自在に固定されることを特徴とする。【選択図】　　図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と該容器本体を閉蓋する蓋体とからなる半導体ウェハー収納容器であって、容器本体は底面板と、該底面板上面より立ち上がって形成されたウェハー収納台状部および該ウェハー収納台状部の立ち上がり周縁よりも内側より上方に立ち上がる本体側壁部によって囲まれたウェハー収納空間と、前記側壁部の外周面に突設された複数のリブとを有し、蓋体は蓋体上面板と該上面板下面より垂下した蓋体側壁部とを有し、蓋体側壁部は容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁部が容器本体側壁部、該側壁部外周面に突設されたリブを覆うとともにウェハー収納台状部の立ち上がり周縁の少なくとも一部を覆う大きさに形成され、容器本体と蓋体とは係止手段によって着脱自在に固定されることを特徴とする半導体ウェハー収納容器。
【請求項２】
上端部に係止爪を有する係止板を容器本体底面板より立設する一方、蓋体上面板の前記係止板と対応する位置に係止穴を形成し、係止片と係止穴との係合によって容器本体に蓋体を着脱自在に装着する請求項１記載の半導体ウェハー収納容器。
【請求項３】
容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁部内面と容器本体側壁部外周面に突設したリブの突設端縁との間に隙間が形成されている請求項１または２に記載の半導体ウェハー収納容器。
【請求項４】
蓋体側壁部に切り欠き部を有する一方、容器本体側壁部に容器本体を蓋体で閉蓋した際に蓋体側壁部の切り欠き部対応位置にラベル添付用板を設け、容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁部の切り欠き部にラベル添付用板が嵌り込むように構成した請求項１〜３のいずれかに記載の半導体ウェハー収納容器。
【請求項５】
容器本体底面板及び蓋体上面板とが矩形状に形成され、容器本体側壁部及び蓋体側壁部が円筒状に形成されている請求項１〜４のいずれかに記載の半導体ウェハー収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェハー収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハー（以下、単にウェハーと言う。）を次行程に運搬したり保管する収納容器として、ウェハーを複数枚重ねて収納できる筒状の容器本体と、該容器本体の筒状部を被覆する筒状の蓋体とからなり、容器本体と蓋体との間にネジが切ってあり、容器本体に蓋体を螺着することによって装着する構造のものが知られている（例えばＵＳＰ４，７８７，５０８）。
【０００３】
上記ＵＳＰ４，７８７，５０８に記載されている容器は、容器本体に蓋体を装着する場合、筒状の容器本体に筒状の蓋体を被せ、両者を少なくとも３６０°以上回転させて装着する構造を有し、容器本体底部の周面や蓋体上部の周面には、筋状の凹凸溝からなり滑り止めのロートレットが形成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記容器は、容器本体に蓋体を着脱する際、両者を３６０°以上回転させる必要があるため、容器本体と蓋体との着脱作業が面倒であり、しかも一般に容器本体の径は作業員が容易に把持し難い大きさであるため蓋体の着脱時に誤って容器本体を落下させ、半導体を破損する等の作業ミスを生じやすい。またロートレット等の複数の細かい凹凸溝を有するため、この溝にゴミがたまって容易に除去し難くなるという問題もあった。一方、容器本体と蓋体とを係止爪と係止穴との係止により着脱させる康応の容器も知られているが、ゴミがたまりやすい構造であったり、外部からの衝撃に対するウェハーの保護性能において今ひとつ不十分なものであった。
【０００５】
本発明は上記の点に鑑みなされたもので、容器本体と蓋体の着脱が容易にでき、ゴミがたまりにくく、外部からの衝撃がウェハーに伝わりにくい構造の半導体ウェハー収納容器を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、
（１）容器本体と該容器本体を閉蓋する蓋体とからなる半導体ウェハー収納容器であって、容器本体は底面板と、該底面板上面より立ち上がって形成されたウェハー収納台状部および該ウェハー収納台状部の立ち上がり周縁よりも内側より上方に立ち上がる本体側壁部によって囲まれたウェハー収納空間と、前記側壁部の外周面に突設された複数のリブとを有し、蓋体は蓋体上面板と該上面板下面より垂下した蓋体側壁部とを有し、蓋体側壁部は容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁部が容器本体側壁部、該側壁部外周面に突設されたリブを覆うとともにウェハー収納台状部の立ち上がり周縁の少なくとも一部を覆う大きさに形成され、容器本体と蓋体とは係止手段によって着脱自在に固定されることを特徴とする半導体ウェハー収納容器、
（２）上端部に係止爪を有する係止板を容器本体底面板より立設する一方、蓋体上面板の前記係止板と対応する位置に係止穴を形成し、係止片と係止穴との係合によって容器本体に蓋体を着脱自在に装着する上記（１）記載の半導体ウェハー収納容器、
（３）容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁部内面と容器本体側壁部外周面に突設したリブの突設端縁との間に隙間が形成されている上記（１）または（２）記載の半導体ウェハー収納容器、
（４）蓋体側壁部に切り欠き部を有する一方、容器本体側壁部に容器本体を蓋体で閉蓋した際に蓋体側壁部の切り欠き部対応位置にラベル添付用板を設け、容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁部の切り欠き部にラベル添付用板が嵌り込むように構成した上記（１）〜（３）のいずれかに記載の半導体ウェハー収納容器、
（５）容器本体底面板及び蓋体上面板とが矩形状に形成され、容器本体側壁部及び蓋体側壁部が円筒状に形成されている上記（１）〜（４）のいずれかに記載の半導体ウェハー収納容器、
を要旨とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に基づき説明する。
図は本発明の一実施例を示し、図１、図２は本発明の半導体ウェハー収納容器１をし、図３〜６は本発明の容器１を構成する容器本体２を、図７〜９は蓋体３をそれぞれ示す。
【０００８】
本発明の収納容器１を構成する容器本体２、蓋体３は、導電性プラスチックにより形成することが好ましい。導電性プラスチックとしては導電性フィラーを添加したプラスチックやポリマーアロイ処理したプラスチック等が挙げられる。導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末や繊維等が挙げられる。
【０００９】
図３〜６に示すように容器本体２は、底面板４と、該底面板４上面より立ち上がって形成されたウェハー収納台状部５と、該ウェハー収納台状部５の立ち上がり周縁５ａよりも、内側より上方に向かって立ち上がる本体側壁部６を有し、台状部５と本体側壁部６で囲まれる空間がウェハー収納空間を形成している。本体側壁部６の外周面には本体側壁部６の上下方向に伸びるリブ７が複数形成され、該リブ７によって本体側壁部６の強度が高められる。容器本体２の底面板４の隅部には、係止爪８を備えた係止片９が設けられている。
【００１０】
本体側壁部６は円盤状のウェハー形状に応じ、通常は円筒状に形成されている。円盤状のウェハーは、公称５インチ、６インチ、８インチ等のサイズがあり、側壁部６は収納するウェハーサイズに応じた大きさに形成される。本体側壁部６には切り欠き部６ａが設けられ、切り欠き部６ａ上部の側壁部６にはノッチ６ｂが設けられている。切り欠き部６ａは半導体ウェーを取り出す際の、自動機アームの挿入口となる。またノッチ６ｂはウェハーを複数枚重ねて収納する際の上限位置の指標となる。
【００１１】
容器本体側壁部６には、ウェハー識別ラベル等を添付するためのラベル添付用板６ｃが設けられている。容器本体２の底面板４の裏面には図６に示すように、該底面板４の補強のために、複数のリブ１０とリング状リブ１１が設けられている。また容器本体２の底面板４の裏面側の周縁には、リップ１２が設けられている。
【００１２】
蓋体３は図７〜９に示すように、上面板１３と該上面板１３の下面より垂下した蓋体側壁部１４を有している。蓋体３の上面板１３の隅部には、容器本体２の係止片９を係止する係止穴１５が設けられている。蓋体側壁部１４には切り欠き部１４ａが設けられ、容器本体２に蓋体３を装着した際に、容器本体２の側面に設けられたラベル添付用板６ｃが、上記切り欠き部１４ａに嵌り込むように構成されている。蓋体上面板１３の内面側には、蓋体上面板１３の強度を高めるための複数のリング状リブ１６が設けられている。また蓋体側壁部１４には、該側壁部１４の外力による変形、歪みを防止するための補強部１７が設けられている。蓋体上面板１３には上面部にも補強用のリブ１８が設けられ、その周縁にはリップ１９が形成されている（図１０）。
【００１３】
容器本体側壁部６、蓋体側壁部１３は、通常ウェハーの形状に対応した円筒状に形成されるが、容器本体底面板４及び蓋体上面板１３を矩形状に形成すると、蓋体上面板１３や容器本体底面板４のコーナー部を把持し易くなるため、容器１の持ち運び作業が容易となる。また容器１の安定性が向上し、立て置きのみならず横置きも可能となる。
【００１４】
蓋体３の側壁部１４は、容器本体２に蓋体３を装着した際に、蓋体側壁部１４が容器本体側壁部６、該側壁部６外周面に突設されたリブ７を覆うとともにウェハー収納台状部５の立ち上がり周縁（立ち上がり周縁５ａ）の少なくとも一部を覆う大きさに形成されている（図１、図２）。容器本体２と蓋体３とは容器本体２の係止片９を蓋体の係止穴１５に挿入し、係止爪８を係止穴１５周囲の蓋体上面板１３上面部に係止させることによって装着される。蓋体３は係止爪８による係止を解除することにより容易に取り外すことができる。
【００１５】
容器本体底面板４の裏面周縁部におけるリップ１２、蓋体上面板１３の上面部周縁部におけるリップ１９は、いずれか一方を周縁部よりもやや内側に形成しておくと（図示した例では、容器本体底面板４の裏面周縁にリップ１２を設け、蓋体３の上面板１３の上面には周縁よりもやや内側にリップ１９を設けてある。）、容器を上下に複数段に積み重ねが容易となる。
【００１６】
本発明の容器１は、ウェハーを運搬、保管する際等に使用する。この際、図１１に示すように、まず容器本体２のウェハー収納台状部５上に緩衝性を有するシート２０を敷設する。この上にセパレーター２１、ウェハー２２、セパレーター２１、ウェハー２２、セパレーター２１・・・・と順次重ねながら複数のウェハー２２を収納する。この際、容器本体側壁部６の切り欠き部６ａ上部に設けたノッチ６ｂが、ウェハー収納の上限位置となる。最上部のウェハー２１の上にセパレーター２１、緩衝性を有するシート２０をのせ、蓋体３を装着することにより容器１へのウェハー２２の収納が完了する。
【００１７】
蓋体上面板１３の内面側に設けられたリング状リブ１６は、前記したように上面板１３の補強作用を有するが、図１１に示すように複数のウェハー２２を収納した際に、ウェハー２２を押さえてウェハーのガタツキを防止する作用も有している。
【００１８】
本発明の容器１は、図１１に示すように容器本体２に蓋体３を装着した際に、容器本体側壁部６に設けられたリブ７の突設端縁７ａと蓋体側壁部１４内面側との間に隙間が形成されることが好ましい。このような隙間を有すると蓋体側壁部１４に強い外力が加わった場合でも、外力が直接容器本体側壁部６に加わることがないため、ウェハー２２の保護性がさらに向上する。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の半導体ウェハー収納容器は、容器本体と蓋体とを係止手段の係脱のみによって着脱することができるため、容器本体と蓋体とを３６０°以上回転させて蓋体を着脱する従来の容器に比べて蓋体の装着が容易であるため、蓋体を着脱する際に誤ってウェハーを落下破損する虞れが少ない。また容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁部が容器本体側壁部、該側壁部外周面に突設されたリブを覆うとともにウェハー収納台状部の立ち上がり周縁部の少なくとも一部を覆う大きさに形成されているため、蓋体側壁部に外力が加わって変形が生じても蓋体側壁部はウェハー収納大丈夫の立ち上がり部周縁部に支えられ、それ以上変形が生じる虞れがないため、外力によるウェハーの損傷を防止できる。また本発明の容器は深い隙間や細かい溝がないためゴミ等がたまる虞れがなく、清掃も容易である。
【００２０】
更に容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁内面と容器本体側壁外周面に突設したリブの突設端縁との間に隙間が形成されるように構成すると、蓋体側壁部に強い外力が加わった場合でも、外力が直接容器本体側壁部６に加わることがないため、ウェハー２１の保護性がさらに向上する。
【００２１】
また蓋体側壁部に切り欠き部を設けるとともに、容器本体を蓋体で閉蓋した際に容器本体側壁部の蓋体側壁部の切り欠き部と対応する位置にラベル添付用板を設け、容器本体に蓋体を装着した際に、蓋体側壁部の切り欠き部にラベル添付用板が嵌り込むように構成すると、該ラベル添付用板に収納したウェハーの種類等を記載したラベルの添付ができ、蓋体装着前においても蓋体装着後においても、収納したウェハーを識別することができる。
【００２２】
更に、容器本体底面板および蓋体上面板を矩形に形成し、容器本体側壁部および蓋体側壁部を円筒状に形成すると容器の持ち運びが容易となるとともに、容器の安定性が向上し、しかも縦置き横置きの両方の保管が可能となる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明容器の正面図である。
【図２】本発明容器の側面図である。
【図３】容器本体の正面図である。
【図４】容器本体の側面図である。
【図５】容器本体の平面図である。
【図６】容器本体の底面図である。
【図７】蓋体の正面図である。
【図８】蓋体の側面図である。
【図９】蓋体の底面図である。
【図１０】容器本体に蓋体を装着した状態の平面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線に沿う縦断面図である。
【符号の説明】
１　　半導体ウェハー収納容器
２　　容器本体
３　　蓋体
４　　容器本体底面板
５　　ウェハー収納台状部
５ａ　台状部の立ち上がり周縁
６　　容器本体側壁部
６ｃ　ラベル添付用板
７　　リブ
８　　係止爪
９　　係止片
１３　　蓋体上面板
１４　　蓋体側壁部
１４ａ　切り欠き部
１５　　係止穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2004043001.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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