(57)【要約】【課題】浮上型スライダを用いた光学ヘッド装置や情報処理装置において、塵埃による影響を低減して、記録再生性能の劣化を防止する。【解決手段】光学ヘッド装置は、ディスク状記録媒体の回転に伴う空気流により浮上するスライダ２８を備えており、該スライダのうちディスク状記録媒体との対向面には、平行なレール部２８Ａ、２８Ｂが空気流の方向に沿って形成されている。両レール部の中間にレール部２９を形成し、対物レンズにより集光されるビーム光を、透明材料で形成されたレール部２９に透過させる。スライダとディスク状記録媒体との間にゴミが流入しても、光学的な影響を受け難くすることができる。【選択図】          図６
2004265460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状記録媒体の回転に伴う気流により該ディスク状記録媒体に対して浮上するとともに、レンズにより集光されるビーム光が透過されてディスク状記録媒体に照射されるように構成された浮上型スライダにおいて、
上記ディスク状記録媒体と対向する面に、対をなす平行なレール部を気流の方向に沿って形成するとともに、該気流の方向に直交する両レール部の幅方向のほぼ中央において気流の方向に延びかつ両レール部よりも幅狭とされた中間のレール部又は突出部を形成し、該レール部又は突出部に上記ビーム光を透過させるようにした
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項２】
請求項１に記載した浮上型スライダにおいて、
対をなす浮上用の第一のレール部と第二のレール部の間に形成される溝を基準として、上記中間のレール部又は突出部の高さが、上記第一及び第二のレール部の高さよりも低くされることによって、上記中間のレール部又は突出部と、上記第一及び第二のレール部との間に段差が形成されている
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項３】
請求項１に記載した浮上型スライダにおいて、
ディスク状記録媒体の半径方向における浮上用の各レール部の幅が、各レール部に対応するディスク状記録媒体上の位置における線速度の差に応じて異なる
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項４】
請求項１に記載した浮上型スライダにおいて、
ディスク状記録媒体の回転に伴う気流により浮上した状態では、上記中間のレール部又は突出部においてディスク状記録媒体との対向面に設けられたレンズが該ディスク状記録媒体の表面に対してほぼ平行とされる
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項５】
請求項１に記載した浮上型スライダにおいて、
透明材料で形成された基材の凹部に該透明材料とは異なる屈折率の透明材料を充填してレンズが形成されている
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項６】
請求項５に記載した浮上型スライダにおいて、
上記基材がガラス材料で形成されている
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項７】
請求項１に記載した浮上型スライダにおいて、
上記対をなすレール部又は上記中間のレール部若しくは突出部が、スライダの形成材料よりも硬い材料を用いて形成されている
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項８】
請求項１に記載した浮上型スライダにおいて、
ディスク状記録媒体との対向面に、潤滑材料がコーティング又は塗布されている
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項９】
請求項１に記載した浮上型スライダにおいて、
ディスク状記録媒体との対向面に粗面加工が施されている
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項１０】
請求項１に記載した浮上型スライダにおいて、
浮上用のレール部におけるディスク状記録媒体との対向面が、該ディスク状記録媒体側に凸の球面とされている
ことを特徴とする浮上型スライダ。
【請求項１１】
ディスク状記録媒体への光照射のために設けられる光源と、該ディスク状記録媒体の回転に伴う気流により浮上するスライダを備え、該スライダに対物レンズを含む光学系又は該光学系及び磁界発生部が配置されるとともに、該スライダとディスク状記録媒体との間に形成される気層によるベアリング作用を利用してフォーカス方向のヘッド駆動制御を行う光学式ヘッド装置において、
上記スライダのうち上記ディスク状記録媒体と対向する面に、対をなす平行なレール部を気流の方向に沿って形成するとともに、該気流の方向に直交する両レール部の幅方向のほぼ中央において気流の方向に延び、かつ両レール部よりも幅狭とされた中間のレール部又は突出部を形成し、上記対物レンズにより集光されるビーム光を該レール部又は突出部に透過させるようにした
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載した光学式ヘッド装置において、
対をなす浮上用の第一のレール部と第二のレール部の間に形成される溝を基準として、上記中間のレール部又は突出部の高さが、上記第一及び第二のレール部の高さよりも低くされることによって、上記中間のレール部又は突出部と、上記第一及び第二のレール部との間に段差が形成されている
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載した光学式ヘッド装置において、
ディスク状記録媒体の半径方向における上記浮上用の各レール部の幅が、各レール部に対応するディスク状記録媒体上の位置における線速度の差に応じて異なる
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項１４】
請求項１１に記載した光学式ヘッド装置において、
ディスク状記録媒体の回転に伴う気流により上記スライダが浮上した状態では、上記中間のレール部又は突出部においてディスク状記録媒体との対向面に設けられたレンズが該ディスク状記録媒体の表面に対してほぼ平行とされる
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項１５】
請求項１１に記載した光学式ヘッド装置において、
上記スライダの基材に透明材料が用いられ、該基材の凹部に該透明材料とは異なる屈折率の透明材料を充填してレンズが形成されている
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載した光学式ヘッド装置において、
上記基材がガラス材料で形成されている
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項１７】
請求項１１に記載した光学式ヘッド装置において、
上記対をなすレール部又は上記中間のレール部若しくは突出部が、上記スライダの形成材料よりも硬い材料を用いて形成されている
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項１８】
請求項１１に記載した光学式ヘッド装置において、
上記スライダのうちディスク状記録媒体と対向する面に、潤滑材料がコーティング又は塗布されている
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項１９】
請求項１１に記載した光学式ヘッド装置において、
上記スライダのうちディスク状記録媒体との対向面に粗面加工が施されている
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項２０】
請求項１１に記載した光学式ヘッド装置において、
上記スライダを構成する浮上用のレール部について、そのディスク状記録媒体との対向面が該ディスク状記録媒体側に凸の球面とされている
ことを特徴とする光学式ヘッド装置。
【請求項２１】
ディスク状記録媒体を回転させる回転手段を備え、該ディスク状記録媒体への情報記録又は情報再生を行う光学式ヘッド装置が、該ディスク状記録媒体への光照射のために設けられる光源と、該ディスク状記録媒体の回転に伴う気流により浮上するスライダを有し、該スライダに対物レンズを含む光学系又は該光学系及び磁界発生部が配置されるとともに、該スライダと該ディスク状記録媒体との間に形成される気層によるベアリング作用を利用してフォーカス方向のヘッド駆動制御が行われるように構成された情報処理装置において、
上記スライダのうち上記ディスク状記録媒体と対向する面に、対をなす平行なレール部を気流の方向に沿って形成するとともに、該気流の方向に直交する両レール部の幅方向のほぼ中央において気流の方向に延びかつ両レール部よりも幅狭とされた中間のレール部又は突出部を形成し、上記対物レンズにより集光されるビーム光を該レール部又は突出部に透過させるようにした
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載した情報処理装置において、
対をなす浮上用の第一及び第二のレール部の間に形成される溝を基準として、上記中間のレール部又は突出部の高さが、上記第一及び第二のレール部の高さよりも低くされることによって、上記中間のレール部又は突出部と、上記第一及び第二のレール部との間に段差が形成されている
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２３】
請求項２１に記載した情報処理装置において、
ディスク状記録媒体の半径方向における上記浮上用の各レール部の幅が、各レール部に対応するディスク状記録媒体上の位置における線速度の差に応じて異なる
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２４】
請求項２１に記載した情報処理装置において、
ディスク状記録媒体の回転に伴う気流により上記スライダが浮上した状態では、上記中間のレール部又は突出部においてディスク状記録媒体との対向面に設けられたレンズが該ディスク状記録媒体の表面に対してほぼ平行とされる
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２５】
請求項２１に記載した情報処理装置において、
上記スライダの基材に透明材料が用いられ、該基材の凹部に該透明材料とは異なる屈折率の透明材料を充填してレンズが形成されている
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２６】
請求項２５に記載した情報処理装置において、
上記基材がガラス材料で形成されている
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２７】
請求項２１に記載した情報処理装置において、
上記対をなすレール部又は上記中間のレール部若しくは突出部が、上記スライダの形成材料よりも硬い材料を用いて形成されている
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２８】
請求項２１に記載した情報処理装置において、
上記スライダのうちディスク状記録媒体と対向する面に、潤滑材料がコーティング又は塗布されている
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２９】
請求項２１に記載した情報処理装置において、
上記スライダのうちディスク状記録媒体との対向面に粗面加工が施されている
ことを特徴とする情報処理装置。
【請求項３０】
請求項２１に記載した情報処理装置において、
上記スライダを構成する浮上用のレール部について、そのディスク状記録媒体との対向面が該ディスク状記録媒体側に凸の球面とされている
ことを特徴とする情報処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク状記録媒体の回転に伴う気流により浮上するスライダ及び該スライダを備えた光学式ヘッド装置及び情報処理装置において、スライダとディスク状記録媒体との間に流入するゴミ等の影響を低減してエラー発生を防止するための塵埃対策の技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクや光磁気ディスク等の光学式記録媒体を用いたドライブ装置として、ディスク状記録媒体の回転に伴う空気流によって浮上するスライダ（浮上型スライダ）を用いた所謂フライングヘッド構造の光学式ヘッドを備えたものが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２を参照。）。
【０００３】
スライダの底面形状（記録媒体側からから見た形状）については、負圧型と正圧型の２種類のタイプに類別することができる。
【０００４】
図２５に示す負圧型スライダａでは、例えば、その底面にコ字状をしたレール部ｂが形成され、数μｍ乃至数十μｍ程度の深さをもった深溝ｃが形成された構成を備えている。そして、レール部ｂのうちエアー流入側（上流側）の部分には、１μｍ以下の深さをもった浅溝ｄが形成されている。深溝ｃにおいて○印で示す「Ｓ」は図示しない対物レンズにより集光されるビームの通過路（位置）を示しており、ディスク状記録媒体の回転時には、この場所よりもやや上流側に寄ったところ（ｅ部）で負圧が発生する（この部分にゴミが溜まる虞がある。）。
【０００５】
他方、図２６に示す正圧型スライダｆでは、２本の平行なレール部ｇとｇとの間に深溝ｈが形成された構成を備えている。そして、各レール部ｇのうち、エアー流入側（上流側）の部分には、浅溝ｉがそれぞれ形成されている。尚、深溝ｈのほぼ中央に○印で示す「Ｓ」は、図示しない対物レンズにより集光されるビームの通過路（位置）を示しており、深溝ｈ内に示す矢印はエアーの流れを表している。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−１８４７０４号公報（段落番号００４５、００４６、図３）
【特許文献２】
特開２００２−２５１７７０号公報（段落番号００１７乃至００１９、図１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のスライダ形状にあっては、塵埃による影響への対策が充分に講じられていないことが問題である。
【０００８】
例えば、図２５や図２６に示したスライダの底面形状に関して、空気流の分布（Ｍａｓｓ  Ｆｌｏｗ）や気圧分布をシミュレーション結果等により検討してみると、深溝部分にゴミ等が流入する可能性が高いことが判明する。
【０００９】
一般環境における実際のゴミ分布に関して、ディスクカートリッジのシャッターを開放したままの状態で測定した結果からは、粒径が小さいほどゴミが多いこと、そして、粒径１００μｍくらいまでのゴミが存在することが分かっている。
【００１０】
図２７は、横軸にダスト粒径（単位：μｍ）をとり、縦軸には、ある粒径のダスト量が全ダスト量に占める比率（統計値）をとって両者の関係を例示したものである。縦軸に示す比率の対数値は、ダスト粒径の１〜２乗にほぼ比例して減少し、例えば、粒径１０乃至２０μｍでは単位面積当たり１０００乃至１５００個程度、粒径２０乃至３０μｍでは単位面積当たり２００乃至５００個程度である。
【００１１】
スライダに形成された深溝部分へのゴミの流入がディフェクト原因となり、エラー発生率が高くなると、記録再生性能の低下を引き起こす要因となる。
【００１２】
そこで、本発明は、情報の光学読取方式に使用される浮上型スライダの構造的な改良によって塵埃の影響を低減し、記録再生性能の低下を防止することを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記した課題を解決するために、ディスク状記録媒体の回転に伴う気流により浮上する浮上型スライダにおいて、下記に示す構成を備えたものである。
【００１４】
・ディスク状記録媒体と対向する面には、対をなす平行なレール部が気流の方向に沿って形成されていること。
【００１５】
・気流の方向に直交する両レール部の幅方向の中央において気流の方向に延びかつ両レール部よりも幅狭とされた中間のレール部又は突出部が形成されており、ビーム光が該中間のレール部又は突出部を透過すること。
【００１６】
従って、本発明によれば、対をなす平行なレール部の間に形成された中間のレール部又は突出部をビーム光が透過するので、気流に伴ってスライダとディスク状記録媒体との間に塵埃が流入しても、ビームの通過路への光学的な影響を排除することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明は、浮上型スライダ及びこれを用いた光学式ヘッド装置や情報処理装置に関するものであり、例えば、光ディスク、光磁気ディスク等の光学式ディスクドライブ装置（例えば、光ハードディスクドライブや光フレキシブルディスクドライブ等）に適用することができる。尚、情報処理装置への適用において、ディスク状記録媒体に係る情報の再生又は記録の如何を問わないので、再生専用装置、記録再生装置、記録専用装置のいずれの形態でも構わない。
【００１８】
図１は本発明に係る情報処理装置の基本構成について一例を示す概略図である。
【００１９】
情報処理装置１は、ディスク状記録媒体２を回転させる回転手段３として、スピンドルモータを備えている。ディスク状記録媒体（以下、単に「ディスク」という。）としては、読み出し専用のＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）媒体や、書き込み可能でランダムアクセス可能なＲＡＭ媒体、例えば、相変化型媒体（ＰＣ）、有機色素系媒体等が挙げられるが、本発明の適用において記録媒体の如何は問わない。
【００２０】
光学式ヘッド装置４は、ディスク２に係る情報記録又は情報再生を行うものであり、ディスクへの光照射のために設けられる光源５を備えている。例えば、レーザ光源（レーザダイオード）が使用される。
【００２１】
本発明では、ディスクの回転に伴う気流を利用したフライングヘッド構造を有することが前提とされる。即ち、光学式ヘッド装置４は、ディスク２の回転に伴う気流により浮上するスライダ６を備えている。該スライダ６はディスク２との間の気層（空気や窒素等）により浮上するものであり、対物レンズを含む光学系が配置される。尚、光磁気記録方式の場合には、後述のように磁界発生手段（破線で示すＨ部）がスライダに搭載される。
【００２２】
ディスク２からの戻り光は受光部７によって検出され、信号処理部８に送出される。尚、信号処理部８は、再生データの復調処理や記録データの変調処理、ＥＣＣ（誤り訂正符号）処理、アドレス情報の復号処理等を行う。
【００２３】
制御部９は、回転手段３の駆動制御に係るスピンドルサーボ制御や、ディスク２の半径方向における光学式ヘッド装置４の位置制御、対物レンズを含む光学系に係るフォーカス制御等を行うものである。この他、レーザ光源のパワー制御回路等が制御部９に含まれている。
【００２４】
図２は、フライングヘッド構造を備えた光学式ヘッド装置の構成例１０を概略的に示すものである。
【００２５】
ガラス等の透明材料を用いて形成される浮上型スライダ６は、ディスク２の回転に伴う空気流によって、ある間隔をもって浮上した状態となり、ディスク面２ａに対向する面（以下、この面を「底面」という。）が所定の姿勢を維持するように構成されている。つまり、ディスク２の回転に伴ってスライダ６とディスク２との間に形成される空気層１１（図には誇張的に示す。）によってエアーベアリングの作用でスライダ６の浮上状態が維持され、フォーカス方向（図の矢印「Ｆ」参照）のヘッド位置制御が行われる。
【００２６】
本例では、スライダ６に設けられる光学系１２が２つのレンズ１２ａ及びレンズ１２ｂを含む集光レンズ系とされているが、これに限らず、１つの対物レンズだけをスライダに設けた構成形態でも構わない。
【００２７】
スライダ６は、金属等の弾性部材で形成される支持部材（サスペンション）１３によって支持されている。例えば、ジンバル構造を用いる形態には、互いに直交する各軸回りにスライダが回動自在の状態とされる。
【００２８】
ディスク２とは反対側においてスライダ６に対向するように設けられた基部１４には、コリメータレンズ１５やミラー１６が配置されている。図示しない光源部から発したビーム光は、光ファイバー等の導光部材１７を介してミラー１６で光路変更を受けてからコリメータレンズ１５を透過して平行光となる。そして、光学系１２を介してディスク２の記録層に向けて光照射が行われる。また、ディスク２からの戻り光は逆の経路を辿って図示しない光検出部に到達して光電変換される。
【００２９】
スライダ６は、回転するディスク２に対して浮上した状態で、ディスク半径方向に移動される。例えば、ヘッド部の移送手段として、ディスク半径方向と平行に延びるガイド軸及び該ガイド軸に沿って摺動自在に設けられたキャリッジ（あるいは移動ベース）を備えた機構と、キャリッジに推進力を与えるための駆動源（ボイスコイルモータ等）を用いた構成が挙げられる。
【００３０】
尚、本例ではディスク２の各面に記録層がそれぞれ形成された両面記録又は再生タイプの記録媒体が示されているが、これに限らず、ディスクの一方の面に記録層が形成された片面タイプの記録媒体を用いた形態に適用できることは勿論である。
【００３１】
図３はディスク２として光磁気（ＭＯ：Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｏｐｔｉｃａｌ）ディスクを用いる場合のヘッド装置について構成例１８を概略的に示すものである。
【００３２】
磁界変調方式等への適用において、スライダ１９には、対物レンズ２０及び磁界発生部２１が設けられる。例えば、図示するように、磁界発生部２１を構成する磁界変調コイル２１ａがディスク面２ａに対向する状態でスライダ１９に搭載されている。尚、磁界変調コイル２１ａへの供給電流は、図示しない駆動回路によって制御される。
【００３３】
スライダ１９の支持部材（サスペンション）２２には金属等の弾性材料が使用されており、該支持部材の先端部にスライダ１９が取り付けられている。
【００３４】
ディスク２とは反対側においてスライダ１９の対物レンズ２０に対向するように設けられたコリメータレンズ２３は、透明基材で形成された部材２４に設けられており、該コリメータレンズ２３は駆動手段２５により、矢印Ｆで示すフォーカス方向において位置制御される。尚、駆動手段２５には電磁式や圧電式のアクチュエータが使用され、コリメータレンズ２３の位置制御によってフォーカス方向の補正が行われる。
【００３５】
送受光部２６には、例えば、ＬＤ（レーザダイオード）カプラー等の、集積型光学素子が用いられ、内部に発光部と受光部を収容した構造を備えている。送受光部２６内の発光部（レーザダイオード）から発したビーム光は、コリメータレンズ２３を透過して平行光となり、対物レンズ２０を介してディスク２の記録層に向けて光照射が行われる。また、ディスク２からの戻り光は逆の経路を辿って送受光部２６内の光検出部（フォトディテクタ）に到達して光電変換される。
【００３６】
本発明に係るスライダの構成を説明する前に、図４及び図５を用いて、浮上型スライダとディスクとの隙間に入り込むゴミの影響について説明する。
【００３７】
図４において、（Ａ）図は対物レンズにより集光されるビームの面積とゴミサイズを概念的に示し、（Ｂ）図はディスク２とスライダ２７との間に形成される空気流入口とゴミサイズの関係について概略的に示している。
【００３８】
（Ａ）図に示す「Ｓ」はビーム形状（円形状）及びその面積（ディスク面に対して投影されるビーム面積）を表しており、ゴミについては一辺の長さ「Ｇ」の正方形としてモデル化して示している（つまり、ゴミの形状は様々であるが、ディスク面上でのビームスポットの影響を考慮する場合には、ゴミの体積ではなく、ディスク面から見たゴミの面積が問題とされるので、該面積に等しい面積を有する正方形を等価的なゴミ形状と仮定する。）。
【００３９】
（Ａ）図に矢印で示すように、浮上型スライダとディスクとの隙間にゴミが混入してビームを横切ると、光学的な悪影響が生じ、ディフェクト原因となる。
【００４０】
（Ｂ）図に示す「Ｇｉｎ」はディスク２とスライダ２７との間に形成される空気流入口のサイズ（間隙長）を示しており、例えば、０．５乃至１μｍ程度である。また、「ｔ」はディスク２のカバーコート層厚（例えば、１０〜２０μｍ程度とされる）を示しており、記録層２ｂからディスク面２ａまでの厚みを示す。
【００４１】
上記したように一辺「Ｇ」の正方形でモデル化されるゴミは、間隙長「Ｇｉｎ」未満の場合（Ｇ＜Ｇｉｎ）においてスライダとディスク表面との間を通過し、ゴミサイズに応じてビームに影響を与える。
【００４２】
矢印Ａで示すように、空気流入口から入り込むゴミの影響により、エラーを発生させないための条件としてカバーコート層厚「ｔ」の下限値を、下式から計算することができる。
【００４３】
【数１】
2004265460.tif 000003
【００４４】
尚、上式中の「ＮＡ」は対物レンズを含む光学系の開口数を表し、「ｎ」はカバーコート層の屈折率を表しており、「ｓｉｎ」の右肩に「−１」を付して逆正弦関数を示し、「ｔａｎ」は正接関数を示す。また、「Ｋ」は、ビーム面積とゴミ面積との比を示している（その最大面積比は、ディスクドライブ装置の検出能力を表す指標とされる。）。つまり、下式に示すように、Ｋは上記したＧの２乗（ゴミ面積）をビーム面積Ｓで割った量として定義される。
【００４５】
【数２】
2004265460.tif 000004
【００４６】
［数１］式の導出過程に関する詳細な説明は省略するが、「ＮＡ」とカバーコート層及び記録層へのビーム入射角の関係式から求まるビーム半径と、［数２］式の変形式「Ｇ２＝Ｋ・Ｓ」、そして、エラー発生の防止に係る条件式「Ｇｉｎ≦Ｇ」（つまり、ゴミサイズが間隙長以上であること）から、カバーコート層厚「ｔ」に係る不等式が得られる。
【００４７】
図５は、ゴミサイズとエラー発生との関係について例示したグラフ図であり、横軸にダストサイズ（単位：μｍ）をとり、縦軸にエラー長（単位：μｍ）を示している。尚、「エラー長」（Ｅｒｒｏｒ  Ｐｒｏｐａｇａｔｉｏｎ）は、信号においてエラーが持続して発生する範囲の物理的な長さを示しており、再生ＲＦ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）信号のレベルを、Ｋ値に対して予め決められた閾値（Ｅｒｒｏｒ  ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ）と比較した場合に、信号レベルが該閾値を下回った範囲の長さとして定義される。
【００４８】
本図には、ｔ＝ｔ１、ｔ２、ｔ３で示す３種類の異なるカバーコート層厚について例示しており、「ｔ１＜ｔ２＜ｔ３」である。
【００４９】
図から分かるように、カバーコート層厚ｔが薄くなると小さなゴミでも影響が生じてくる。例えば、ｔ１の場合には、２０μｍ以下のゴミでもエラー発生を招く原因となる。尚、ｔ＝１０〜２０（μｍ）の場合、エラーを発生させないＧの限界値は２乃至６μｍ程度である（ｔ値が大きい程、限界値が大きくなる。）。
【００５０】
図２５や図２６に示したスライダ底面のレール部間の溝に入り込むゴミの影響に関して、カバーコート層厚「ｔ」が薄い場合には、小さなゴミでもエラーが発生し易くなってしまう。
【００５１】
そこで、本発明は、スライダの底面に形成される平行なレール部の間に、別のレール部又は突出部を形成し、この部分をビーム光が透過するように構成するものである。例えば、スライダの底面に３つの平行なレール部を設ける形態と、スライダの底面に形成された２つのレール部の間に突出部を設ける形態が挙げられる。
【００５２】
図６は、スライダの形状例を示す底面図であり、３つのレール部を形成した構成例を示している。尚、矢印Ａで示す空気の流入方向を基準として、スライダのピッチ（ｐｉｔｃｈ）方向にＸ軸を設定し、ロール（ｒｏｌｌ）方向にＹ軸を設定している。Ｚ軸についてはスライダの厚み（高さ）方向に設定し、座標軸の原点をスライダの左下隅に設定している。また、ディスクの外周方向及び内周方向を太矢印でそれぞれに示している。
【００５３】
ガラス等の透明材料で形成されたスライダ２８のうち、ディスクと対向する面（底面）には、対をなす平行な第一のレール部２８Ａ及び第二のレール部２８Ｂが形成されており、これらによってスライダ２８の浮上力が得られる。そして、両レール部の中間には第三のレール部２９が形成されている。尚、図中に示す「ｙ１」がＹ軸方向におけるレール部２８Ａ、２８Ｂの幅を示しており、例えば、０．６〜０．７ｍｍ程度とされる。本例では、レール部２８Ａ、２８Ｂがロール方向に同じ幅をもっているが、各レール部の幅が異なる形態も勿論可能である。
【００５４】
「ｗ１」は、スライダ２８のＹ軸方向の幅を示し、「ｗ２」は、ディスク外周寄りに位置するレール部２８Ａの側面（外周側）と、ディスク内周寄りに位置するレール部２８Ｂの側面（内周側）との間の距離を示す。
【００５５】
レール部（センターレール）２９については、レール部２８Ａ、２８Ｂの幅方向の中央において空気流の方向に延び、両レール部よりも幅狭とされている。つまり、Ｙ軸方向の幅「ｙ２」（例えば、０．２ｍｍ程度）がレール部２８Ａ、２８ＢのＹ軸方向の幅「ｙ１」より狭くされており、レール部２９によって２分される空気流が、レール部２９と各レール部２８Ａ、２８Ｂとの間で円滑に形成される。尚、「ｙ３」はレール部２９と２８Ａ又は２８Ｂとの間に形成された溝３０、３０のＹ軸方向の幅（０．２〜０．４ｍｍ程度）を示している。
【００５６】
「ｘ１」はスライダ２８のＸ軸方向における長さを示し、「ｘ２」は各レール部のＸ軸方向における長さを示しており、本例ではレール部２８Ａ、２８Ｂ、２９についてＸ軸方向の長さが等しくされ、例えば、２．６〜２．８ｍｍ程度とされる。
【００５７】
レール部２８Ａ、２８Ｂ、２９と、それら以外の部分との間の高さの差（Ｚ軸方向の差）は、カバーコート層厚等を考慮して２０μｍ程度とされている。本例では、各レール部の高さがいずれもほぼ同じとされている（正確には、レール部２８Ａ、２８Ｂの底面については球面研磨が施されており、ディスク面側に僅かに突出した球面とされている。）が、これに限らず、レール部２８Ａ、２８Ｂの間に形成される溝を基準として、中間レール部２９の高さがレール部２８Ａ、２８Ｂの高さよりも低くされることで、中間レール部２９とレール部２８Ａ、２８Ｂとの間に段差が形成された構成形態でも良い（中間レール部がゴミの影響により傷つき難くなる。）。
【００５８】
対物レンズにより集光されるビーム光は、レール部２９を透過してディスクに照射されるようになっており、本例では、空気流の下流側の位置でピッチ方向の安定姿勢が得られ易いことを考慮して、ビーム光の透過位置がＸ軸方向におけるレール部２９の中央ではなく、空気流の下流側（図の右方）に寄った場所とされている（勿論、これに限らず、レール部２９上であれば、Ｘ軸上の任意の位置を選ぶことができる。）。
【００５９】
図７は、スライダ２８のロール方向（Ｙ軸方向）におけるセンター部分において対物レンズによる集光ビームを通過させる理由について説明するためのグラフ図であり、横軸にディスクの半径方向における位置（単位：ｍｍ）をとり、縦軸にはスライダの浮上高さ（Ｆｌｙｉｎｇ  Ｈｅｉｇｈｔ：単位ｎｍ）をとってシミュレーション結果を例示したものである（分かり易いように高さ変動が大きい場合を示す。）。尚、シミュレーションポイントは、図６に示すように、Ｘ座標の等しいＰ１（レール部２８Ｂ上の点）、Ｐ２（レール部２９上のビーム通過点）、Ｐ３（レール部２８Ａ上の点）の３点をとっている（グラフ線ｆ１がＰ１、ｆ２がＰ２、ｆ３がＰ３の場合をそれぞれ示す。）。
【００６０】
グラフ線ｆ２から分かるように、スライダ２８の幅方向における中央部の位置（浮上高さ）の変動が最も少ない。これが、レール部２９に集光ビームを通過させる理由である。尚、スライダがディスク内周に位置している場合とディスク外周に位置している状態では、ロール姿勢が異なることが分かる。
【００６１】
また、図６に示したスライダの底面形状について、空気流や空気圧分布のシミュレーション結果を検討してみると、各レール部間に形成される深溝部分にはゴミ等の流入の可能性がある。従って、対物レンズにより集光されたビームをレール部２９に通過させることはゴミ対策として有効である。
【００６２】
図８は、３つのレール部を有するスライダの形状例を示した底面図であり、レール部の高さをゼロ基準として、２段階の溝（浅溝と深溝）を形成した例を示している。
【００６３】
平行な３つのレール部のうち、空気流入方向Ａを基準として、スライダ３１の幅方向における端寄りに位置する２つのレール部３２Ａ、３２Ｂはほぼ同じ幅及び長さをもち、両レール部には、各レール部の平坦面（白地範囲）を基準（０μｍ）として、深さ０．５μｍ程度の浅溝（梨地模様で示す範囲）がそれぞれに形成されている。つまり、各レール部のうち、空気流入側（上流側）の部分には、空気流による浮上力等を考慮して浅溝３３、３３が形成されている。そして、各レール部のうち、両側縁寄りの部分の高さが少し低くされることで浅溝３４、３４、…が形成されている。
【００６４】
空気流入方向Ａを基準として、スライダ３１の幅方向における中央に形成されたレール部３５、即ち、レール部３２Ａ、３２Ｂとの中間に位置されてこれらのレール部よりも幅狭とされたレール部には、該レール部の平坦面を基準（０μｍ）として、空気流入寄りのところに深さ０．５μｍ程度の浅溝３６が形成されている（梨地模様で示す範囲）。そして、レール部３５の長手方向において、その中央に示す円形枠３７は、対物レンズにより集光されたビームの通過路を示している（ビーム径を誇張的に示す。）。
【００６５】
各レール部の周辺部分やレール部の間には、各レール部の平坦面を基準（０μｍ）として、例えば、深さ２０〜３０μｍの深溝３８、３８が形成されており、レール部３２Ａとレール部３５との間及びレール部３２Ｂとレール部３５との間にそれぞれ形成される深溝に流れる空気流を矢印で示している。
【００６６】
本構成によれば、スライダ３１の浮上高さが、例えば、１μｍ程度とされる場合において、ゴミがスライダ底面とディスク面の間に入り込んでも、これによってエラーを発生させないように設計することが可能である。
【００６７】
図９及び図１０は、３つのレール部を有しかつレンズ（単レンズ）を設けたスライダの形状例を示した斜視図であり、いずれもガラス材料を使用している。
【００６８】
図９に示す例では、スライダ３９の底面に形成された３つのレール部４０Ａ、４０Ｂ、４１のうち、中央のレール部４１にレンズ４２が設けられた構成例を示している。
【００６９】
また、図１０では、２層構造とされた構成例を示している。つまり、スライダ４３を構成する下層部分４４Ｌの底面に、３つのレール部４５Ａ、４５Ｂ、４６が形成されている。そして、スライダ４３を構成する上層部分４４Ｕには、レンズ４７が設けられており、部分４４Ｕと４４Ｌとが接合されてスライダが構成される。
【００７０】
尚、上記スライダ３９や４３の基材は、ビーム光の透過性を考慮した透明材料で形成され、コスト等を考慮した場合にガラス系材料が好ましいが、ゴミや傷等の影響を受け難くするためには、硬度等の観点からサファイヤ、水晶、フッ化マグネシウム等を用いることが好ましい。また、レンズについては、基材に凹部を形成し、これに基材に用いた透明材料とは異なる屈折率をもつ透明材料を充填することで形成され、これによって球面レンズや非球面レンズを作ることができる。
【００７１】
図１１はスライダの形状例４８を示す底面図であり、３つのレール部を形成した構成例を示している。尚、矢印Ａの意味や、Ｘ軸、Ｙ軸の設定については図６で説明した通りである。
【００７２】
図６に示した構成との相違点は、レール部４９についてＸ軸方向（ピッチ方向）の長さが短くされていることである（従って、本例において、図６に示した部分と同じ部分については、当該部分に付した符号と同じ符号を使用することによりその説明を省略する。）。
【００７３】
レール部２８Ａと２８Ｂの間に位置されたレール部４９によって、溝５０、５０が形成されており、該レール部４９は空気流の上流側及び下流側の位置においてレール部２８Ａ、２８Ｂよりも短くなっている。つまり、レール部４９の上流側の端部が、レール部２８Ａ、２８Ｂの端部に比して下流側に引っ込んでおり、空気流の導入や浮上力等に与える影響が少なく、浮上時のスタビリティー（安定度）が高いといった利点が得られる。
【００７４】
尚、本例でもレール部２８Ａ、２８Ｂの底面には球面研磨が施されており、また、レール部４９上でのビームの通過路は後尾（下流側の位置、点Ｐ２参照）とされている。
【００７５】
上記した構成例では、スライダの底面に３つのレール部を設けた形態とされ、空気流入方向において、第一及び第二のレール部（浮上用レール部）よりも長さの短いレール部をスライダに形成したが、これに限らず、例えば、下記のように、第一及び第二のレール部の中間に突出部を形成した構成形態が挙げられる。
【００７６】
・第一及び第二のレール部の間に楔状又は流線形状の突出部を設けた形態（図１２、図１５参照）
・第一及び第二のレール部の間に円柱状の突出部を設けた形態（図１６、図１７参照）。
【００７７】
例えば、図１２に示すスライダ５１は、下記に示す特徴を有する。
【００７８】
・対をなす浮上用レール部５２Ａ、５２Ｂの底面に球面研磨が施されていること（曲率半径５ｍ程度）。
【００７９】
・レール部５２Ａ、５２Ｂの間を流れる空気流が突出部５３により二分されること。
【００８０】
・突出部５３の上流側の先端が鋭角部とされていること。
【００８１】
本例では、細幅に形成された突出部５３がスライダ底面において下流側の位置に設けられており、その上流側の先端部５４が、ディスク表面に直交する方向から見て三角形状（その頂角が鋭角とされる）に形成され、その他の部分は矩形状に形成されている。
【００８２】
尚、レール部５２Ａ、５２Ｂの高さを基準とした場合において、両レール部の間に形成される溝の深さは、例えば、２０μｍ程度である。
【００８３】
また、レール部５２Ａ、５２Ｂの高さを基準とした場合に、突出部５３の高さが０．３〜数μｍ程度低くなっている。つまり、本例では突出部５３の高さが、レール部５２Ａ、５２Ｂの高さよりも低くされることによって、突出部５３とレール部５２Ａ、５２Ｂとの間に段差が形成されており、浮上時におけるスライダ５１のスタビリティーが向上し、ビーム通過路に対するゴミや傷等の影響を突出部５３が受け難いといった効果が得られる。
【００８４】
このように、スライダ底面におけるレール部や突出部の高さが同じである必要はないので、浮上用レール部よりも中間のレール部や突出部の方が低くされていても良い。
【００８５】
図１３は空気流に沿う方向から見たスライダ５５の正面図、図１４はスライダ５５のロール方向から見た側面図を概略的に示している。
【００８６】
浮上用レール部５６Ａ、５６Ｂの間に、レール部又は突出部５７が形成されており、レンズ５８が設けられている。
【００８７】
レール部５６Ａ、５６Ｂの高さは同じとされ、図中に示す「γ」は、両レール部とレール部又は突出部５７との間にそれぞれ形成される溝の深さを示している。
【００８８】
また、レール部又は突出部５７の高さは、レール部５６Ａ、５６Ｂの高さよりも僅かに低くなっており、図中に示す「δ」は、レール部５６Ａ、５６Ｂとレール部又は突出部５７との間に形成される段差を示している。
【００８９】
この段差によって、スライダとディスクとの間に入り込めるゴミの大きさが増すことになるが、ゴミの粒径とエラー長との関係において、例えば、ディスクのカバーコート層厚が２０μｍ程度であれば、粒径５μｍ以下のゴミではエラーが発生しないことが分かっている。従って、カバーコート層厚を考慮してエラーを発生させない粒径の限界値を求めて、上記段差値の設計を行うことが望ましい。
【００９０】
尚、本例のように浮上用のレール部５６Ａ、５６Ｂよりもレール部又は突出部５７の高さを低くした形態では、ゴミ対策の効果を損うことなく、スライダの浮上高さ変動に起因する集光ビームへの影響（パワーダウン等）を低減することができる。また、スライダの浮上高さは、レール部５６Ａ、５６Ｂとディスク表面との間隔により決まるので、これよりもレール部又は突出部５７の底面とディスク表面との間隙を大きくした場合には、その分広い空間が生じることになる（ゴミ等によってレール部又は突出部が傷つかないように保護できる。）。
【００９１】
そして、上記スライダ５１のように、浮上用レール部の底面がディスク側に凸の曲面とされた構成であって、例えば、球面研磨が施されたタイプのスライダでは、該スライダを支持するサスペンションの取付上のバラツキ（ロール方向やピッチ方向、浮上高さ方向）に起因するトルクの発生や、サスペンション自身が有するロール方向、ピッチ方向のトルクによって、浮上高さ（Ｆｌｙｉｎｇ  Ｈｅｉｇｈｔ）の最低値が低下し難いという利点が得られる。これは、レール部の底面がディスク側に凸の球面であるため、スライダにトルクが加わっても該球面の一点が常に最下点となることに依る。
【００９２】
次に、レール部に平坦面を有するスライダについて説明する。
【００９３】
図１５に示すスライダ５９は、下記に示す特徴を有している。
【００９４】
・対をなす浮上用レール部６０Ａ、６０Ｂの底面は、その大半部が平坦面とされ、空気流の上流側の位置に浅溝６１、６１がそれぞれ形成されていること。
【００９５】
・レール部６０Ａ、６０Ｂの間を流れる空気流が突出部６２により二分されること。
【００９６】
・突出部６２は、スライダ底面に直交する方向からみて流線形状を有すること。
【００９７】
本例では、流線形の突出部６２がスライダ底面において下流側の位置に設けられており、空気流に対して抵抗の少ない構成とされている。
【００９８】
また、レール部６０Ａ、６０Ｂの高さを基準とした場合に、突出部６２の高さが０．３〜数μｍ程度低くなっており、突出部６２とレール部６０Ａ、６０Ｂとの間に段差が形成されている（浮上時におけるスライダのスタビリティーが向上し、ビーム通過路に対するゴミや傷等の影響を突出部が受け難いといった効果が得られる。）。
【００９９】
尚、レール部６０Ａ、６０Ｂの高さを基準とした場合において、両レール部と突出部６２の間に形成される溝の深さは、例えば、２０μｍ程度である。
【０１００】
また、レール部６０Ａ、６０Ｂにおける上流側の先端部には、浮上力を考慮して、０．５μｍ程度の浅溝６１、６２がそれぞれに形成されている。
【０１０１】
そして、レール部６０Ａの長手方向（ピッチ方向）における側縁部には、０．５μｍ程度の浅溝６３、６３が形成されており、同様に、レール部６０Ｂの長手方向における側縁部には、０．５μｍ程度の浅溝６４、６４が形成されている。これらの浅溝の形成によって、ディスク半径方向におけるレール部６０Ａの幅とレール部６０Ｂの幅が互いに異なっている。つまり、各レール部に対応するディスク上の位置における線速度の差を考慮して浮上量が均等に得られるようにし、ロール姿勢の安定化を図っている（ディスク外周側で線速度が大きいので、浮上量を減らすためにロール方向において外周側のレール部の幅（浅溝を除いた幅）を相対的に狭めている。）。
【０１０２】
本例のように、レール部の底面に平坦面が形成とされたフラットタイプのスライダによれば、例えば、下記に示す利点が得られる。
【０１０３】
・ロール特性に優れており、ディスク内周と外周とでロール姿勢（スライダの幅方向における傾き）の変化が少ないこと
・スライダを支持するサスペンションの取付上のバラツキ（ロール方向やピッチ方向、浮上高さ方向）に起因するトルクや、サスペンション自身が有するロール方向、ピッチ方向のトルクが加わってもロール方向やピッチ方向の変化が比較的少ないこと
・ディスク上の突起物を乗り越えた場合の浮上高さ（Ｆｌｙｉｎｇ  Ｈｅｉｇｈｔ）の変化が比較的少ないこと。
【０１０４】
尚、突出部については各種形態が挙げられるので、例えば、図１２の突出部５３と、図１５の突出部６２とを入れ替えるといった構成形態が可能である。
【０１０５】
次に、円柱状をした突出部を有するスライダについて説明する。
【０１０６】
図１６に示すスライダ６５では、レール部６６Ａと６６Ｂの間に円柱状の突出部６７が設けられている。尚、レール部６６Ａ、６６Ｂについては図１５の例と同様にフラットタイプとされ、上流側の端部及び両側縁部に浅溝６８、６８、…が形成されている。
【０１０７】
また、図１７に示すスライダ６９では、レール部７０Ａ、７０Ｂの内側面部に湾曲した凹面７１（円筒面等）をそれぞれ形成することで、これら凹面７１と突出部７２の側面との間に空気がスムーズに流れ、ビームの通過路の近辺にゴミが溜まらないように防止できる。尚、レール部７０Ａ、７０Ｂについては図１５の例と同様にフラットタイプとされ、上流側の端部及び両側縁部に浅溝７３、７３、…が形成されている。
【０１０８】
上記したいずれの形態でも、対物レンズによる集光ビームが突出部（５３、６２、６７、７２）を透過する構成とされている。
【０１０９】
ところで、スライダがディスク面に対して浮上した状態において、ピッチ方向の姿勢が傾いた状態となる。つまり、空気流に対してスライダの上流側の部分が下流側の部分よりもディスク面にから相対的に浮き上がった姿勢になる。これに伴って、レール部や突出部に形成されたレンズに傾きが生じると光学的な影響が起き得る。
【０１１０】
そこで、ディスクの回転に伴う空気流によってスライダが浮上した状態では、レール部又は突出部におけるディスクとの対向面がディスク表面に対してほぼ平行とされる姿勢が好ましい。
【０１１１】
図１８は、ディスク回転に伴う空気流によりスライダ７４が浮上している状態を概略的に示したものであり、スライダの厚みを誇張的に示している。尚、「ｄ」はディスク面とレール部７５（浮上用レール部の間に設けられた中間のレール部）との間隔を示している。
【０１１２】
レール部７５において、対物レンズ７６により集光されるビーム光が透過する面（破線参照）が、ディスク面に対してほぼ平行となっているので、対物レンズ７６がディスク面に対して傾かない。即ち、レ−ル部７５とその両側の浮上用レール部との間に形成される段差「δ」が一定でなはく、スライダのピッチ方向に沿って下流に行くに従って大きくされており（図には、ピッチ方向における「δ」の変化や溝深さ「γ」を誇張的に示している。）、スライダの浮上状態でのピッチ姿勢を考慮して、レンズ面がディスク面とほぼ平行な状態に維持されるように設計されている。
【０１１３】
次に、上記したスライダの底面に対する加工法等について説明する。
【０１１４】
スライダ底面については、スライダの形成材料よりも硬質の材料を用いることによって、ゴミ等から底面を保護することが好ましい。
【０１１５】
図１９、図２０は各種態様を例示したものである。
【０１１６】
図１９はスライダ底面にＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）の保護層を形成した例を示す。
【０１１７】
（Ａ）図は、底面にＤＬＣを形成する前の状態を示しており、ガラス製スライダ７７の底面にはレール部７８Ａ、７８Ｂと、レール部又は突出部７９が形成されており、レール部７８Ａと７８Ｂとの中間に位置する部分（７９）にレンズ８０が形成されている。
【０１１８】
（Ｂ）図は、スライダ７７の底面にＤＬＣ８１をコーティングした状態を示しており、ＤＬＣの厚みについては、光学的な影響を与えない値にする必要がある（この点については後述する。）。
【０１１９】
ＤＬＣの他には、硬度の高い材料として、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や石英等が挙げられ、例えば、スライダの底面にこれらを堆積膜として形成する。
【０１２０】
尚、スライダにおけるディスクとの対向面に硬い材料をコーティングする場合には、該対向面の全面に亘ってコーティングを行う形態と、対向面の一部（レール部等）にコーティングを行う形態が挙げられる。
【０１２１】
図２０は、スライダ底面にＤＬＣ等の保護層を形成する場合の、透過率への影響を例示したグラフ図であり、横軸に波長（単位：ナノメートル（ｎｍ））をとり、縦軸に透過率（０．５〜１）をとって両者の関係を示したものである。
【０１２２】
使用サンプルの条件は、下記の通りである。
【０１２３】
（１）ガラス材料のみを用いた場合（グラフ曲線ｇ１参照）
（２）（１）のガラス材料にＳｉ（シリコン）を厚み１ｎｍで形成したものを用いた場合（グラフ曲線ｇ２参照）
（３）（１）のガラス材料にＳｉを厚み１．５ｎｍで形成したものを用いた場合（グラフ曲線ｇ３参照）
（４）（２）に対してさらにＤＬＣを厚み１ｎｍで形成したものを用いた場合（グラフ曲線ｇ４参照）
（５）（３）に対してさらにＤＬＣを厚み３．５ｎｍで形成したものを用いた場合（グラフ曲線ｇ５参照）。
【０１２４】
図から分かるように、グラフ曲線ｇ１とｇ２との比較では両曲線がほぼ一致しており、Ｓｉの厚みが薄い場合には透過率が殆ど変らないが、グラフ曲線ｇ３では厚みの増加に起因してやや透過率が低くなっている。また、さらにＤＬＣを形成した場合には、グラフ曲線ｇ４で示すように、グラフ曲線ｇ２との比較では透過率が下がっているが、４００ｎｍ以上の波長では低下の度合いが少ないことが分かる。但し、ＤＬＣの厚みが大きくなると、グラフ曲線ｇ５に示すように、さらに透過率が低下する（特に６００ｎｍ以下の範囲）ことに注意を要する。
【０１２５】
このような結果を踏まえた上で、光学的に問題の少ない材質を選んでその厚みを規定することが望ましい（例えば、使用波長における透過率として０．９以上を目安にする等。）。
【０１２６】
ゴミの付着等に関しては、スライダの底面に、潤滑作用をもつ材料をコーティング又は塗布することが好ましい。
【０１２７】
図２１乃至図２４は、各種態様を例示したものである。
【０１２８】
図２１は、スライダ底面に潤滑材料を直接塗布した例を示す。
【０１２９】
潤滑材料としては、フッ素系コーティング材等が挙げられ、これをスライダ７７の底面に塗布することにより、塗膜８２を形成する。尚、膜厚については、上記と同様に光学的な影響を与えない値にすべきである。
【０１３０】
図２２は、スライダ７７の底面にＤＬＣや、アルミナ、石英等の堆積膜８３を形成した上に潤滑材料を塗布して、塗膜８４を形成した例を示す。
【０１３１】
また、スライダが、ガラス基板と、レール部が形成される底面部との二層構造を有する例として、該底面部をアルミナ、石英等の堆積膜又は基板で形成した構成形態を図２３や図２４に示す。
【０１３２】
図２３では、スライダ８５の底面部８６をアルミナ、石英等の堆積膜で形成し、これに潤滑材料を塗布して、塗膜８７を形成している。つまり、レンズ８０が設けられる部分が透明材料（ガラス材料）で形成され、浮上用レール部８６Ａ、８６Ｂと、レール部又は突出部８６Ｍが形成された部分が堆積膜として形成されている。
【０１３３】
また、図２４に示すスライダ８８では、基板を用いて底面部８９を形成し、これに潤滑材料を塗布して、塗膜９０を形成している。つまり、レンズ８０が設けられる部分が透明材料（ガラス材料）で形成され、この部分を、浮上用レール部８９Ａ、８９Ｂ、レール部又は突出部８９Ｍが形成された底面部８９と接合（陽極接合等）して一体化させることでスライダ全体が作成される。尚、作業工程としては、底面部８９に塗膜９０を形成した後に接合を行っても良いし、また、接合の後で底面部８９に塗膜９０を形成しても良い。
【０１３４】
上記のように、スライダにおけるディスクとの対向面に、光学的に問題の少ない厚みで潤滑材料をコーティングし又は塗布することにより、スライダ底面へのゴミ等の付着を防止し、あるいはスライダ底面とディスク表面との間でゴミを往なし易くする効果が得られる。そして、摩擦係数を低減し、スライダとディスクとの貼り付き等を防止することができる。
【０１３５】
また、スライダの底面に研磨等で粗面加工を施すことによって、スライダとディスクとの貼り付き等を防止することで摩擦を減らすことができる。例えば、１〜１０ｎｍの粗度（凹凸）をもって表面加工を行うことが好ましい。
【０１３６】
しかして、上記した構成によれば、下記に示す利点を得ることができる。
【０１３７】
・空気の流入方向から見たスライダの幅方向（ロール方向）において、浮上用レール部の中央部にレール部や各種形状の突出部を形成し、これにビームを透過させることで、ゴミの影響を排除できる。そして、スライダの浮上高さに係る変動が最も少ない部分である中間のレール部又は突出部にビームを透過させることで安定性を確保できる。つまり、ディスクの周方向との関係において、スライダの外周及び内周寄りの部分では、浮上高さの変動が比較的大きい（図７参照。）ことを考慮して、ビームの通過路を中央のレール部や突出部に設定することが望ましい。
【０１３８】
・対をなす浮上用レール部と、それらの間のレール部又は突出部との高さを同じにしないで、両者間に高さの差を設けること、つまり、該レール部又は突出部の高さを相対的に低くして段差をつけることによって、ゴミ対策の効果を損うことなく、浮上高さ変動によるビームへの影響を低減することができる。また、ゴミによるレール部又は突出部への損傷を防止できる。
【０１３９】
・スライダとディスクとの間に形成されるエアーベアリングを利用した構造（フライングヘッド構造）の採用によって、光学式、光磁気式のディスクドライブ装置（ＲＯＭ，ＲＡＭ／ＷＯ等）に係る薄型化を実現することができ、しかも、充分なゴミ対策を講じることにより、性能低下を防止し、品質及び信頼性を高めることができる。
【０１４０】
【発明の効果】
以上に記載したところから明らかなように、請求項１、１１、２１に係る発明によれば、中間のレール部又は突出部をビーム光が透過するので、気流とともにスライダとディスク状記録媒体との間にゴミ等が流入した場合の光学的な影響を排除することができ、記録性能や再生性能の低下を防止することができる。
【０１４１】
請求項２、１２、２２に係る発明によれば、段差の形成によって、スライダの浮上時における安定度が向上し、ビームへの影響が低減され、また、ゴミによるスライダ底面への損傷を緩和することができる。
【０１４２】
請求項３、１３、２３に係る発明によれば、浮上状態でのスライダの姿勢（ロール姿勢）を安定化させることができる。
【０１４３】
請求項４、１４、２４に係る発明によれば、浮上姿勢でのレンズの傾きを防ぐことで光学的な影響を低減することができる。
【０１４４】
請求項５、１５、２５に係る発明によれば、基材に対してレンズが一体化されたスライダを作製することができ、薄型化や高精度化に適する。
【０１４５】
請求項６、１６、２６に係る発明によれば、コストや加工性の面で有利である。
【０１４６】
請求項７、１７、２７に係る発明によれば、スライダ底面をゴミ等から保護し、耐久性を高めることができる。
【０１４７】
請求項８、１８、２８に係る発明によれば、摩擦係数を減らし、スライダ底面へのゴミの付着等を防止することができる。
【０１４８】
請求項９、１９、２９に係る発明によれば、スライダがディスクに貼り付いて密着しないように防止することができる。
【０１４９】
請求項１０、２０、３０に係る発明によれば、スライダの浮上高さが必要以上に低下しないように防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る情報処理装置の基本構成例を示す概略図である。
【図２】本発明に係る光学式ヘッド装置の構成例を示す概略図である。
【図３】本発明に係る光磁気式のヘッド装置の構成例を示す概略図である。
【図４】図５とともに、スライダとディスクとの隙間に入り込むゴミの影響について説明するためのものであり、本図は空気流入口とゴミサイズ、ビーム面積の説明図である。
【図５】カバーコート層厚の違いについてゴミサイズとエラー発生との関係を例示したグラフ図である。
【図６】スライダの形状例を示す底面図である。
【図７】スライダのロール方向における位置について、ディスク半径方向の位置と浮上高さとの関係を説明するためのグラフ図である。
【図８】３つのレール部を有するスライダの形状例を示した底面図である。
【図９】３つのレール部を有するスライダの一例を示した斜視図である。
【図１０】３つのレール部を有するスライダの別例を示した斜視図である。
【図１１】スライダの形状について別例を示す底面図である。
【図１２】２つの浮上用レール部の間に突出部を形成した例を示すスライダの底面図である。
【図１３】図１４とともに、中間レール部又は突出部の高さを、浮上用レール部の高さよりも低くすることで段差をつけた構成例を示すものであり、本図は、空気流入方向からみたスライダを概略的に示す正面図である。
【図１４】ロール方向からみたスライダを概略的に示す側面図である。
【図１５】２つの浮上用レール部の間に突出部を形成したスライダの別例を示す底面図である。
【図１６】図１７とともに、浮上用レール部の間に円柱状の突出部を形成したスライダの構成例を示すものであり、本図は、２つのレール部の中間に突出部を形成した構成を示すスライダの底面図である。
【図１７】浮上用レール部に凹面を形成した構成を示すスライダの底面図である。
【図１８】スライダの浮上状態においてレンズがディスク面に対して平行な姿勢を維持している様子を概念的に示した側面図である。
【図１９】スライダ底面にＤＬＣの保護層を形成した例を示す図である。
【図２０】スライダ底面に保護層を形成する場合において、透過率への影響を例示したグラフ図である。
【図２１】スライダ底面に潤滑材料を直接塗布した例を示す説明図である。
【図２２】スライダ底面にＤＬＣや堆積膜を形成した上で潤滑材料を塗布した例を示す説明図である。
【図２３】スライダの底面部を堆積膜で形成して潤滑材料を塗布した例を示す説明図である。
【図２４】スライダの底面部を基板により形成して潤滑材料を塗布した例を示す説明図である。
【図２５】図２６とともに、従来のスライダの底面形状を示す図であり、本図は負圧型スライダの一例を示す図である。
【図２６】正圧型スライダの一例を示す図である。
【図２７】ゴミの分布例を示すグラフ図である。
【符号の説明】
１…情報処理装置、２…ディスク状記録媒体、３…回転手段、４…光学式ヘッド装置、５…光源、６…浮上型スライダ、１０…光学式ヘッド装置、１２…光学系、１２ａ、１２ｂ…レンズ、１８…光学式ヘッド装置、１９…浮上型スライダ、２０…レンズ、２１…磁界発生部、２７…浮上型スライダ、２８…浮上型スライダ、２８Ａ…第一のレール部、２８Ｂ…第二のレール部、２９…中間のレール部、３１…浮上型スライダ、３２Ａ…第一のレール部、３２Ｂ…第二のレール部、３５…中間のレール部、３９…浮上型スライダ、４０Ａ…第一のレール部、４０Ｂ…第二のレール部、４１…中間のレール部、４２…レンズ、４３…浮上型スライダ、４５Ａ…第一のレール部、４５Ｂ…第二のレール部、４６…中間のレール部、４７…レンズ、４８…浮上型スライダ、４９…中間のレール部、５１…浮上型スライダ、５２Ａ…第一のレール部、５２Ｂ…第二のレール部、５３…突出部、５５…浮上型スライダ、５６Ａ…第一のレール部、５６Ｂ…第二のレール部、５７…レール部又は突出部、５９…浮上型スライダ、６０Ａ…第一のレール部、６０Ｂ…第二のレール部、６２…突出部、６５…浮上型スライダ、６６Ａ…第一のレール部、６６Ｂ…第二のレール部、６７…突出部、６９…浮上型スライダ、７０Ａ…第一のレール部、７０Ｂ…第二のレール部、７２…突出部、７４…浮上型スライダ、７５…中間のレール部、７６…レンズ、７７…浮上型スライダ、７８Ａ、７８Ｂ…レール部、７９…レール部又は突出部、８０…レンズ、８５…浮上型スライダ、８６Ａ、８６Ｂ…レール部、８６Ｍ…レール部又は突出部、８８…浮上型スライダ、８９Ａ、８９Ｂ…レール部、８９Ｍ…レール部又は突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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