(57)【要約】【課題】点灯中にランプ破損事故が発生したり、また充電中に地絡事故が発生しても、充電回路等を破損させることのないフラッシュランプ点灯装置を提供することにある。【解決手段】フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮ、および該フラッシュランプに対して、インダクタンスＬ１、Ｌ２・・・ＬＮとフラッシュランプに対する発光エネルギーを供給するコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮとからなる直列回路を並列に接続してなる複数個の発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮと、該複数の発光回路の各コンデンサに対して共通のダイオードＤを介して充電電流を供給する充電回路Ｉとを少なくとも含むフラッシュランプ点灯装置において、前記ダイオードと前記各コンデンサとの間に直列にダイオード電流制限手段Ｒｙを設けることにより、点灯中のランプ破損事故発生時、または充電中の地絡事故発生時における、充電回路のダイオードＤの破損を防止することができる。【選択図】        図１
2004342379.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラッシュランプ、および該フラッシュランプに対して、インダクタンスとフラッシュランプに対する発光エネルギーを供給するコンデンサとからなる直列回路を並列に接続してなる複数個の発光回路と、該複数の発光回路の各コンデンサに対して共通のダイオードを介して充電電流を供給する充電回路とを少なくとも含むフラッシュランプ点灯装置において、
前記ダイオードと前記各コンデンサとの間に直列にダイオード電流制限手段を設けたことを特徴とするフラッシュランプ点灯装置。
【請求項２】
前記ダイオード電流制限手段が、前記各コンデンサへの充電終了後に流路を開放するリレーであることを特徴とする請求項１に記載のフラッシュランプ点灯装置。
【請求項３】
前記ダイオード電流制限手段が、前記複数個の各発光回路に対して設けた共通の抵抗であることを特徴とする請求項１に記載のフラッシュランプ点灯装置。
【請求項４】
前記ダイオード電流制限手段が、前記複数個の各発光回路内に設けた抵抗であることを特徴とする請求項１に記載のフラッシュランプ点灯装置。
【請求項５】
前記複数個の各発光回路に設けられるフラッシュランプは、隣り合うランプ同士の電極の極性が異なるように交互に隣接して配置されると共に、反射ミラーに近接して配置されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つの請求項に記載のフラッシュランプ点灯装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フラッシュランプ点灯装置に係わり、特に、同一平面上に複数本配列したフラッシュランプを一斉に発光させて、半導体ウエハの表面の熱処理、食肉の殺菌、ＤＶＤの貼り合わせ等を行うフラッシュランプ点灯装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体の集積回路の製造工程には、酸化やアニール等の熱処理を行うための加熱工程が設けられている。中でも浅い拡散層であるｐｎ接合の形成プロセスは重要な熱処理工程といわれる。ｐｎ接合を形成する場合、イオン注入によってシリコン基板中に不純物を導入し、続いて熱処理によって注入された不純物の活性化処理を行うものであるが、かつては、活性化処理に拡散炉を使用していたが、近年ではハロゲンランプを用いて急速加熱処理が行われるようになってきた。
【０００３】
しかし、より近年では、一層の高集積化の進展により、ｐｎ接合深さは２０ｎｍオーダーが求められるようになり、最早ハロゲンランプによる急速加熱では薄い拡散層を制御することは困難になってきた。そのため、このような要望に応える加熱手段として、特開２００２−１５１２９１号公報にも示されるように、点灯時間が極めて短く高い照射エネルギーが得られるフラッシュランプを用い、被処理物の大きさに応じてその配列本数を適宜設定したフラッシュランプ点灯装置が知られている。
【０００４】
図６は、同公報に示されるフラッシュランプ点灯装置の構成を示す回路図である。
このフラッシュランプ点灯装置の動作は、まず、ホストコンピュータＨから制御回路Ｓに充電指令信号が送信されると、制御回路Ｓは充電回路Ｉのインバータ回路ＩＮＶに制御信号を送信して、充電回路Ｉの動作を開始する。充電回路Ｉからの充電電流がダイオードＤを介して、各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けられるコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮを充電する。各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電電圧は各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けられる分圧抵抗Ｒ１１，Ｒ１２、Ｒ２１，Ｒ２２・・・ＲＮ１，ＲＮ２によって検出され、その各検出値ａ１、ａ２・・・ａＮは電圧比較回路Ｄに送信される。電圧比較回路Ｄには図示略のオペアンプ等が内蔵されており、制御回路Ｓからこのオペアンプの基準電圧が送信されると共に、オペアンプで測定した結果の出力信号が制御回路Ｓに送信される。制御回路Ｓにおいて、コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電電圧が各々のフラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮを発光できるだけの値に達すると、制御回路Ｓからインバータ回路ＩＮＶに停止信号が送信され、これにより充電動作が停止されると共に、ホストコンピュータＨに充電完了信号が送信される。各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮを構成する素子のバラツキ等により、各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮが充電される時間は若干異なるが、制御回路Ｓから出力される停止信号は、全ての発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮのコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電が終了したときに発せられる。
【０００５】
充電動作の停止後、ホストコンピュータＨから発光指令信号が制御回路Ｓに送信されると、制御回路Ｓは各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに設けられるトリガ回路Ｔｒ１、Ｔｒ２・・・ＴｒＮにトリガ信号ｂ１、ｂ２・・・ｂＮを送信し、各トリガ回路Ｔｒ１、Ｔｒ２・・・ＴｒＮはトリガ電圧を各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに印加する。各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは、トリガ電圧が印加されると絶縁破壊して、各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮから各々のフラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに放電電流が流れ、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは一斉に発光する。
【０００６】
半導体ウエハ処理に供される大出力のフラッシュランプの場合は、比較的長い時間、例えば、数１００ｍ秒〜数１００秒かけて各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮに、例えば、充電電圧４６００Ｖにも達する充電を行い、トリガ信号の印加によって極めて短時間、例えば、数１００μ秒〜数ｍ秒で放電を行う。つまり、充電時間に比較して放電時間は極めて短く、最大ピーク値が数１００Ａ〜１０００Ａに達する放電電流が流れる。各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮのコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮ、ランプ電流波形制御用のインダクタンスＬ１、Ｌ２・・・ＬＮおよび配線材料は、この放電電流に対して十分低抵抗になるように設計されている。
【０００７】
図７（ａ）は、図６に示したフラッシュランプ点灯装置を使用して正常に発光させたときの各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮのランプ電流波形Ｉｘ３、および図７（ｂ）は同じく各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの電圧波形Ｖｃ３を示す図である。
これらの図に示すように、各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮでは、フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮの発光時の等価抵抗成分Ｒ、インダクタンスＬ１、Ｌ２・・・ＬＮのインダクタンス成分Ｌ、およびコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの容量成分Ｃの大きさを適正に設定することにより、ランプ電流Ｉｘ３は振動電流とならないようになっている。
【０００８】
また、特開２００２−２３１４８８号公報には、複数本のフラッシュランプを同一平面上に近接配置して、被処理物上での照度ムラを無くすると共に、各フラッシュランプの管型封体に加わるローレンツ力を軽減するために、隣合う電極の極性を交互に入れ替えて配置した、半導体や液晶基板等の熱処理用熱源として用いるランプ装置が開示されている。
【０００９】
図８（ａ）は同公報に示されるランプ装置の複数のフラッシュランプの配列構成を示す平面図であり、図８（ｂ）は同断面図である。
このランプ装置は、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは、外径形状がほぼ同一の管型封体３内の略両端部に陽極１と陰極２とが設けられ、その外表面には同一形状のトリガーワイヤー４が配設されている。各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは互いに隣接するフラッシュランプ同士の放電電流の流れる方向が、ローレンツ力を軽減するために逆向きとなるように配設されている。各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮのトリガーワイヤー４にトリガー電圧が印加されると、管型封体３内にトリガーワイヤー４の直線部４１および保持部４２に沿って微放電が起こり、この微放電を契機に各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮが主放電に移行し、フラッシュ光からの直射光とフラッシュランプの背面に近接配置された金属反射ミラー５からの反射光とによって被処理物が照射されるようになっている。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００２−１５１２９１号公報
【００１１】
【特許文献１】
特開２００２−２３１４８８号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記特開２００２−１５１２９１号公報に示されるフラッシュランプ点灯装置において、充電回路Ｉから各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮのコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮへの充電電流は、上記のごとく、小さい電流を長い時間かけて流すため、充電回路Ｉを構成するダイオードＤへの配線は、放電回路の配線抵抗や接続部品の接触抵抗のように低く設定するようには配慮されていない。そのため、コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮから巨大な放電電流が、このような放電電流が流れることが想定されていない箇所に流れるようなことがあると、回路を破損してしまう。例えば、そのような放電電流が充電回路Ｉに入り込むと、ダイオードＤやダイオードＤ以外にも、図示されていないコネクタ等のように大きなピーク電流に耐えられない箇所が焼損したりや発火するおそれがある。
【００１３】
さらには、上記特開２００２−２３１４８８号公報に示したランプ装置のように、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮが近接しかつ隣合う電極の極性を交互に入れ替えて配置しているような場合には、ランプの破裂により、両電極がランプの背面に近接配置されている金属反射ミラー５を介して電流が流れたり、また１本のランプの破裂により、隣接するランプが次々と破裂を誘発するために、図６に示すような各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮにおける各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮと各インダクタンスＬ１、Ｌ２・・・ＬＮと地絡部分とによって形成される振動回路には、加速度的に大きな振動電流が流れる。この大きな振動電流は、充電回路Ｉに入り込み、ダイオードＤを破損し、さらにはダイオードＤのみならず、各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けた分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮをも破損し、装置に大きな被害をもたらす。
【００１４】
また、ランプ破裂以外にも、例えば、各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮから各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮ間に設けられるフッ素樹脂製被膜で被覆された給電配線の樹脂被膜にピンホールが生じているような場合は、充電中に、このピンホールが筐体等の接地部分と地絡事故を起こすと、上記と同様の大きな振動電流が発生し、ダイオードＤ等を破損し、装置に大きな被害を与える。
【００１５】
このような問題を回避するために、各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮと並列に振動電流バイパス用のダイオードを接続して、ダイオードＤや分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮを保護することも考えられるが、そのような方法は高価であり、また大容量のダイオードを必要とする等のために採用することはできない。
【００１６】
本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、点灯中にランプ破損事故が発生したり、また充電中に地絡事故が発生しても、充電回路等を破損させることのないフラッシュランプ点灯装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第１の手段は、フラッシュランプ、および該フラッシュランプに対して、インダクタンスとフラッシュランプに対する発光エネルギーを供給するコンデンサとからなる直列回路を並列に接続してなる複数個の発光回路と、該複数の発光回路の各コンデンサに対して共通のダイオードを介して充電電流を供給する充電回路とを少なくとも含むフラッシュランプ点灯装置において、前記ダイオードと前記各コンデンサとの間に直列にダイオード電流制限手段を設けたことを特徴とする。
【００１８】
第２の手段は、第１の手段において、前記ダイオード電流制限手段が、前記各コンデンサへの充電終了後に流路を開放するリレーであることを特徴とする。
【００１９】
第３の手段は、第１の手段において、前記ダイオード電流制限手段が、前記複数個の各発光回路に対して設けた共通の抵抗であることを特徴とする。
【００２０】
第４の手段は、第１の手段において、前記ダイオード電流制限手段が、前記複数個の各発光回路内に設けた抵抗であることを特徴とする。
【００２１】
第５の手段は、第１の手段ないし第４の手段のいずれか１つの手段において、前記複数個の各発光回路に設けられるフラッシュランプは、隣り合うランプ同士の電極の極性が異なるように交互に隣接して配置されると共に、反射ミラーに近接して配置されることを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施形態を図１乃至図２を用いて説明する。
図１は、本実施形態の発明に係るフラッシュランプ点灯装置の構成を示す回路図である。
同図において、Ｉは充電回路、ＩＮＶはインバータ回路、Ｄはダイオード、Ｒｙは制御回路Ｓから出力されるリレー信号により充電回路Ｉと各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮ間の流路に設けられるリレー接点を開閉するリレー、Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮは発光回路、Ｄ１、Ｄ２・・・ＤＮは放電時に１つの発光回路に発生した放電電流が他の発光回路に流出することを防止する分配ダイオード、Ｒ１１，Ｒ１２、Ｒ２１，Ｒ２２・・・ＲＮ１，ＲＮ２は各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電電圧を検出するために設けられた分圧抵抗、Ｃ１、Ｃ２・・・ＣＮは各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに対する発光エネルギーを供給するコンデンサ、Ｌ１、Ｌ２・・・ＬＮは放電時のランプ電流波形を制御するために設けられたインダクタンス、Ｘ１、Ｘ２・・・ＸＮはフラッシュランプ、Ｈはホストコンピュータ、Ｓは制御回路、Ｔは電圧比較回路である。
【００２３】
このフラッシュランプ点灯装置の動作について説明すると、ホストコンピュータＨから制御回路Ｓに充電指令信号が送信されると、制御回路ＳからリレーＲｙにリレー信号が出力され、リレーＲｙの接点が閉成され、その後、制御回路Ｓからインバータ回路ＩＮＶに制御信号が出力され、充電回路Ｉにおける充電動作が開始される。充電回路Ｉからの充電電流がダイオードＤ、リレーＲｙの接点を介して、各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けられるコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮを充電する。各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電電圧は各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けられる分圧抵抗Ｒ１１，Ｒ１２、Ｒ２１，Ｒ２２・・・ＲＮ１，ＲＮ２により検出され、その各検出値ａ１、ａ２・・・ａＮが電圧比較回路Ｄに送信される。電圧比較回路Ｄで測定した結果の出力信号が制御回路Ｓに送信される。制御回路Ｓにおいて、コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電電圧がフラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮを発光できるだけの値に達すると、制御回路Ｓからインバータ回路ＩＮＶに停止信号が送信され、これによって充電動作が停止されると共に、ホストコンピュータＨに充電完了信号が送信される。制御回路Ｓから出力される停止信号は、全ての発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮのコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電が終了したときに発せられる。
【００２４】
充電動作の停止後、ホストコンピュータＨから発光指令信号が制御回路Ｓに送信されると、まず、制御回路ＳからリレーＲｙにリレー信号が出力され、リレーＲｙの接点が開放され、その後、制御回路Ｓからトリガー回路Ｔｒ１、Ｔｒ２・・・ＴｒＮにトリガー信号ｂ１、ｂ２・・・ｂＮが出力され、各トリガ回路Ｔｒ１、Ｔｒ２・・・ＴｒＮはトリガ電圧を各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに印加する。各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは、トリガ電圧が印加されると絶縁破壊して、各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮから各々のフラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに放電電流が流れ、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは一斉に発光する。
【００２５】
また、このフラッシュランプ点灯装置は、図８（ａ）、（ｂ）に示したランプ装置と同様に、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは、外径形状がほぼ同一の管型封体３内の略両端部に陽極１と陰極２とが設けられ、その外表面には同一形状のトリガーワイヤー４が配設され、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは互いに隣接するフラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮ同士の放電電流の流れる方向が逆向きとなるように配設されている。また、フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮの背面には金属反射ミラー５が近接して配置されている。
【００２６】
本実施形態のフラッシュランプ点灯装置において、ランプが破裂した場合、両電極間を流れる電流が金属反射ミラーを介して流れ、さらには１本のランプの破裂により、隣接するランプが次々と破裂を誘発し、ランプが破裂した発光回路におけるコンデンサとインダクタンスと地絡部分とによって各々振動回路が形成され、各々の振動回路には大きな振動電流が流れる事態が発生する。しかし、本実施形態の発明によれば、各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮへの充電後はリレーＲｙの接点は開放されているため、各々の振動回路に発生した振動電流は充電回路Ｉには流入せず、ダイオードＤを破損したり、また各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けられる分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮの破損を防止することができる。
【００２７】
図２は、点灯中にランプ破裂により地絡事故が発生したときの、ランプが破裂した発光回路に流れる振動電流Ｉｘ１および同じくコンデンサの電圧波形Ｖｃ１を示す図である。
同図に示すように、ハッチングを施した部分の電圧Ｖｃ１が開放したリレーＲｙの接点間に印加されるため、大きな振動電流Ｉｘ１はダイオードＤや分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮに流れることがなく、これらの破損を防止することができる。
【００２８】
次に、本発明の第２の実施形態を図３乃至図４を用いて説明する。
図３は、本実施形態の発明に係るフラッシュランプ点灯装置の構成を示す回路図である。
同図において、Ｒｘは充電回路Ｉと各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮ間に設けた共通のダイオード電流制限用抵抗である。なお、その他の構成は図１に示した同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【００２９】
ここで、ダイオード電流制限用抵抗Ｒｘは、例えば、１０Ω〜２００Ωに設定される。この抵抗の上限は、充電時のエネルギーの許容損失を２０％以内にとどめることから設定され、また下限は、ダイオードＤのピーク許容電流値に対する発光時のコンデンサの充電電圧に対する比から設定される。また、充電時のダイオード電流制限用抵抗Ｒｘに流れる充電電流による損失を小さくするために、充電回路Ｉは定電力制御乃至定電流制御される。
【００３０】
本実施形態のフラッシュランプ点灯装置は、第１の実施形態に示したフラッシュランプ点灯装置と比べて、リレーＲｙに代えてダイオード電流制限用抵抗Ｒｘを設けた点で相違する。
【００３１】
このフラッシュランプ点灯装置の動作について説明すると、ホストコンピュータＨから制御回路Ｓに充電指令信号が送信されると、制御回路Ｓは充電回路Ｉのインバータ回路ＩＮＶに制御信号を送信し、充電回路Ｉは動作を開始する。充電回路Ｉからの充電電流がダイオードＤおよびダイオード電流制限用抵抗Ｒｘを介して、各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けられるコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮに充電される。各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電電圧は各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けられる分圧抵抗Ｒ１１，Ｒ１２、Ｒ２１，Ｒ２２・・・ＲＮ１，ＲＮ２によって検出され、その各検出値ａ１、ａ２・・・ａＮは電圧比較回路Ｄに送信される。電圧比較回路Ｄで測定した結果の出力信号が制御回路Ｓに送信される。制御回路Ｓにおいて、コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電電圧がフラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮを発光できるだけの値に達すると、制御回路Ｓからインバータ回路ＩＮＶに停止信号が送信され、これにより充電動作が停止されると共に、ホストコンピュータＨに充電完了信号を送信する。制御回路Ｓから出力される停止信号は、全ての発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮのコンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの充電が終了したときに発せられる。
【００３２】
充電動作の停止後、ホストコンピュータＨから発光指令信号が制御回路Ｓに送信されると、制御回路Ｓは各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに設けられるトリガ回路Ｔｒ１、Ｔｒ２・・・ＴｒＮにトリガ信号ｂ１、ｂ２・・・ｂＮを送信し、各トリガ回路Ｔｒ１、Ｔｒ２・・・ＴｒＮはトリガ電圧を各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに印加する。各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは、トリガ電圧が印加されると絶縁破壊して、各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮから各々のフラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮに放電電流が流れ、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは一斉に発光する。
【００３３】
また、このフラッシュランプ点灯装置も、図８（ａ）、（ｂ）に示したランプ装置と同様に、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは、外径形状がほぼ同一の管型封体３内の略両端部に陽極１と陰極２とが設けられ、その外表面には同一形状のトリガーワイヤー４が配設され、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮは互いに隣接するフラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮ同士の放電電流の流れる方向が逆向きとなるように配設されている。また、各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮの背面には金属反射ミラー５が近接して配置されている。
【００３４】
本実施形態のフラッシュランプ点灯装置において、ランプが破裂した場合、両電極間を流れる電流が金属反射ミラーを介して流れ、さらには１本のランプの破裂により、隣接するランプが次々と破裂を誘発し、ランプが破裂した発光回路におけるコンデンサとインダクタンスと地絡部分とによって各々振動回路が形成され、各々の振動回路には大きな振動電流が流れる事態が発生する。しかし、本実施形態の発明によれば、各々の振動電流は充電回路ＩのダイオードＤを流れるものの、ダイオード電流制限用抵抗Ｒｘを介して流れるため電流の大きさは制限され、ダイオードＤにとっては過大な電流とはならず、破損を防止することができる。また同様に各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮに設けられる分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮも同様に破損を防止することができる。
【００３５】
また、ランプ破裂以外にも、フッ素樹脂製被膜で被覆された給電配線の樹脂被膜にピンホールが生じているような場合は、充電中に、このピンホールが筐体等の接地部分と地絡事故を起こし、上記と同様の大きな振動電流が発生するが、本実施形態の発明によれば、上記と同様に、ダイオードＤおよび分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮの破損を防止することができる。
【００３６】
図４は、点灯中にランプ破裂により地絡事故が発生したり、また充電中に地絡事故が発生した発光回路に流れる振動電流Ｉｘ２、同じくコンデンサの電圧波形Ｖｃ２、およびダイオードＤを流れる電流Ｉｄ２を示す図である。
同図に示すように、ハッチングを施した部分の電圧Ｖｃ２の殆どがダイオード電流制限用抵抗Ｒｘに印加されるので、ダイオードＤや分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮに流れる脈流電流Ｉｄは小さくすることができ、ダイオードＤや分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮの破損を防止することができる。
【００３７】
次に、本発明の第３の実施形態を図５を用いて説明する。
図５は、本実施形態の発明に係るフラッシュランプ点灯装置の構成を示す回路図である。
同図において、Ｒｘ１、Ｒｘ２・・・ＲｘＮは各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮ内の充電回路Ｉ側に設けたダイオード電流制限用抵抗である。なお、その他の構成は図１に示した同符号の構成に対応するので説明を省略する。
【００３８】
本実施形態のフラッシュランプ点灯装置は、第２の実施形態のフラッシュランプ点灯装置が充電回路Ｉと各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮ間に共通のダイオード電流制限用抵抗Ｒｘを設けていたのに対して、各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮ内の充電回路Ｉ側に各々ダイオード電流制限用抵抗Ｒｘ１、Ｒｘ２・・・ＲｘＮを設けた点で相違する。
【００３９】
本実施形態のフラッシュランプ点灯装置も、第２の実施形態のフラッシュランプ点灯装置と同様に、点灯中にランプ破裂により地絡事故が発生したり、また充電中に地絡事故が発生したときでも、ダイオードＤや分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮの破損を防止することができる。
【００４０】
また、第２の実施形態のフラッシュランプ点灯装置では、ダイオード電流制限用抵抗Ｒｘには、各発光回路Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮの各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮに流れる充電電流を合計した大きな充電電流が流れるため、ダイオード電流制限用抵抗Ｒｘは大きな抵抗値とすることができないのに対して、本実施形態のフラッシュランプ点灯装置では、各ダイオード電流制限用抵抗Ｒｘ１、Ｒｘ２・・・ＲｘＮは個々の発光回路の充電電流が流す箇所に設けられるので相対的に大きな値をとること可能である。そのため、地絡事故時にはより一層ダイオードＤや分配ダイオードＤ１、Ｄ２・・・ＤＮに流れる電流の大きさを制限することができる。さらに、分配ダイオードの破損時には、破損した分配ダイオードの発光回路から他の発光回路への放電電流の流出を防止することにも役立つ。
【００４１】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、フラッシュランプ、および該フラッシュランプに対して、インダクタンスとフラッシュランプに対する発光エネルギーを供給するコンデンサとからなる直列回路を並列に接続してなる複数個の発光回路と、該複数の発光回路の各コンデンサに対して共通のダイオードを介して充電電流を供給する充電回路とを少なくとも含むフラッシュランプ点灯装置において、前記ダイオードと前記各コンデンサとの間に直列にダイオード電流制限手段を設けたので、点灯中にランプ破損事故が発生したり、また充電中に地絡事故が発生しても、充電回路等の破損を防止することができる。
【００４２】
請求項２に記載の発明によれば、前記ダイオード電流制限手段として、前記各コンデンサへの充電終了後に流路を開放するリレーを設けたので、点灯中にランプ破損事故が発生しても、ダイオード等の破損を確実に防止することができる。
【００４３】
請求項３に記載の発明によれば、前記ダイオード電流制限手段として、前記複数個の各発光回路に対して共通の抵抗を設けたので、点灯中にランプ破損事故が発生したり、また充電中に地絡事故が発生しても、ダイオード等の破損を防止することができ、また、リレーに比べて抵抗損を発生するが耐久性に優れた装置とすることができる。
【００４４】
請求項４に記載の発明によれば、前記ダイオード電流制限手段として、前記複数個の各発光回路内に抵抗を設けたので、点灯中にランプ破損事故が発生したり、また充電中に地絡事故が発生しても、ダイオード等の破損を防止することができ、また、リレーに比べて抵抗損を発生するが耐久性に優れた装置とすることができる。さらに、請求項３に記載の発明における共通の抵抗に比べて、充電時における抵抗損を減少させることができる。
【００４５】
請求項５に記載の発明によれば、前記複数個の各発光回路に設けられるフラッシュランプが、隣り合うランプ同士の電極の極性が異なるように交互に隣接して配置されると共に、反射ミラーに近接して配置されているような状態において、点灯中にランプ破損事故が発生しても、ダイオード等の破損を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の発明に係るフラッシュランプ点灯装置の構成を示す回路図である。
【図２】点灯中にランプ破裂により地絡事故が発生したときの、ランプが破裂した発光回路に流れる振動電流波形Ｉｘ１および同じくコンデンサの電圧波形Ｖｃ１を示す図である。
【図３】第２の実施形態の発明に係るフラッシュランプ点灯装置の構成を示す回路図である。
【図４】点灯中にランプ破裂により地絡事故が発生したり、また充電中に地絡事故が発生したときの、発光回路に流れる振動電流波形Ｉｘ２、同じくコンデンサの電圧波形Ｖｃ２、およびダイオードＤを流れる電流波形Ｉｄ２を示す図である。
【図５】第３の実施形態の発明に係るフラッシュランプ点灯装置の構成を示す回路図である。
【図６】特開２００２−１５１２９１に示されるフラッシュランプ点灯装置の構成を示す回路図である。
【図７】図６に示したフラッシュランプ点灯装置を使用して正常に発光させたときの各フラッシュランプＸ１、Ｘ２・・・ＸＮのランプ電流波形Ｉｘ３および各コンデンサＣ１、Ｃ２・・・ＣＮの電圧波形Ｖｃ３を示す図である。
【図８】特開２００２−２３１４８８号公報に示されるランプ装置の複数のフラッシュランプの配列構成を示す平面図および断面図である。
【符号の説明】
Ｉ  充電回路
ＩＮＶ  インバータ回路
Ｄ  ダイオード
Ｒｙ  リレー
Ｈ１、Ｈ２・・・ＨＮ  発光回路
Ｄ１、Ｄ２・・・ＤＮ    分配ダイオード
Ｒ１１，Ｒ１２、Ｒ２１，Ｒ２２・・・ＲＮ１，ＲＮ２    分圧抵抗
Ｃ１、Ｃ２・・・ＣＮ    コンデンサ
Ｌ１、Ｌ２・・・ＬＮ    インダクタンス
Ｘ１、Ｘ２・・・ＸＮ    フラッシュランプ
Ｈ  ホストコンピュータ
Ｓ  制御回路
Ｔ  電圧比較回路
Ｒｘ  ダイオード電流制限用抵抗
Ｒｘ１、Ｒｘ２・・・ＲｘＮ    ダイオード電流制限用抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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