(57)【要約】【課題】観測手段による観測軸Ｃと同軸方向から対象物Ｗに光照射可能な光照射装置１において、大幅な扁平小型化が可能なものを提供する。【解決手段】間に微細な隙間Ｓが形成されるように並べ設けた多数の反射部４と、前記各反射部４に直接的に光を照射可能な位置に設置した光源部５とを備え、前記反射部４で反射した光を対象物Ｗに照射可能に構成するとともに、前記対象物Ｗで反射した光を前記隙間Ｓを通して反対側に透過可能に構成した。【選択図】図１ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隙間が形成されるように並べ設けた多数の反射部と、前記各反射部に直接的に光を照射可能な位置に設置した光源部とを備え、前記反射部で反射した光を対象物に照射可能に構成するとともに、前記対象物で反射した光を前記隙間を通して反対側に透過可能に構成していることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記反射部を支持する扁平板状の透明支持体をさらに備えている請求項１記載の光照射装置。
【請求項３】
前記反射部を、前記透明支持体における対象物側の面に並べ設けている請求項２記載の光照射装置。
【請求項４】
前記反射部が光を反射する反射層とその反射層の反対象物側に形成した光を吸収又は遮断する光遮断層とを備えたものである請求項１、２又は３記載の光照射装置。
【請求項５】
前記反射層に光拡散部材を含有させている請求項４記載の光照射装置。
【請求項６】
前記光源部が、環状に並べ設けた複数のＬＥＤを有するものである請求項１、２、３、４又は５記載の光照射装置。
【請求項７】
前記光源部の光射出方向側に配置した多数の透過拡散部をさらに備え、前記光源部からそれら透過拡散部及び透過拡散部間の隙間を通って光が射出されるように構成している請求項６記載の光照射装置。
【請求項８】
観測孔を除く略全天から前記対象物を覆うことが可能な発光面を有した全天照明装置とともに用いられるものであって、前記観測孔に前記反射部を配置するようにしている請求項１、２、３、４、５又は６記載の光照射装置。
【請求項９】
前記対象物を撮像する撮像手段に取り付けるための取付部をさらに備えたものであり、撮像手段に取り付けた状態において、前記反射部が撮像手段の撮像面に対応する大きさ及び形状の領域であってその前方に位置するように構成してある請求項１、２、３、４、５、６、７又は８記載の光照射装置。
【請求項１０】
前記各反射部が、平面視異形状をなし、なおかつ互いに形状の異なるものである請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は９記載の光照射装置。
【請求項１１】
前記各反射部間のピッチがランダムに設定してある請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は９記載の光照射装置。
【請求項１２】
前記反射部を覆って光の拡散作用を増加させる透明膜をさらに備えている請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０又は１１記載の光照射装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば工場等において製品等の対象物に光を照射するものであって、その外観検査や表面に記載された記号読取の際に好適に用いられる光照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば製品等の対象物に光を照射して好適な照明環境を作り出した上で、当該対象物をＣＣＤカメラで撮像し、自動外観検査や自動記号読取を行うようにしたシステムが知られている。
【０００３】
このようなシステムにおいて、対象物の全面に照明する場合等、カメラ等の観測軸（撮像軸）と同軸方向からも光を照射する必要がある場合、従来は特許文献１に示すような構成で行っている。具体的には、図２５に原理図を示すように、カメラ６等の観測軸Ｃ上に４５°傾斜させて設置したハーフミラ−ＨＭと、その側方から光を照射する光源部Ａ５とを備えた光照射装置Ａ１を用いるようにしている。このような構成によれば、光源部Ａ５から射出された光がハーフミラーＨＭで反射して前記観測軸Ｃと同軸方向に進行し、前記対象物Ｗに照射される。また対象物Ｗからの光はハーフミラーＨＭを透過してカメラ６に届くため、対象物の撮像も可能である。
【特許文献１】特開平１０−２１７２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、そのような光照射装置Ａ１であると４５°に傾斜させたハーフミラーＨＭを有する関係上、装置全体が特に観測軸Ｃ方向に大型化する不都合がある。
【０００５】
また、このような大型の光照射装置Ａ１が対象物Ｗとカメラ６との間に介在するため、カメラ６を対象物Ｗに接近させることができず、例えば前記図２４に示すようにドーム型全天照明装置７に設けた観察孔７ｂから対象物Ｗを撮像する場合等において視野が狭くなり、小さな領域しか撮像できないという不具合も生じる。
【０００６】
さらに、光源部Ａ５から対象物Ｗへの光路長を、ハーフミラーＨＭを介在させることから大きくせざるを得ないため、垂直に近い角度でしか対象物Ｗへ光を照射することができない。そしてこのように平行光に近づきすぎることによって、例えば対象物Ｗがハンダメッキされた基板のような場合には、表面のわずかな凹凸によって陰影ができるため、この陰影によって読みとるべきアラインメントマークの検出が阻害されたり、あるいは対象物Ｗが半導体ウェハーのように鏡面状のものである場合には、わずかの傾きで撮像画像が暗くなるため、この結果やはり表面記号の読み取りができなくなるといった検査に不都合が生じる場合がある。
【０００７】
加えて光源部Ａ５から対象物Ｗへの光路長を大きくせざるを得ないことにより、前述したようにカメラ６を対象物Ｗにある程度以上接近させられないこととあいまって、光源部Ａ５の発光量を大きくする必要が生じ、熱の問題等が発生し得る。
【０００８】
そこで本発明は、観測手段による観測軸と同軸方向から対象物に光照射可能なこの種の光照射装置において、その大幅な扁平小型化を可能とし、前記問題点を一挙に解決することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち本発明にかかる光照射装置は、間に微細な隙間が形成されるように並べ設けた多数の反射部と、前記各反射部に直接的に光を照射可能な位置に設置した光源部とを備え、前記反射部で反射した光を対象物に照射可能に構成するとともに、前記対象物で反射した光を前記隙間を通して反対側に透過可能に構成していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
このようなものであれば、反射部での反射光によりそのカメラ等の観測軸と同軸方向からの照明が行えるとともに、前記対象物を隙間を介して反対側で目視したりＣＣＤカメラで捉えたりすることにより、当該対象物の検査等を行うことができる。なお、ここで「反射」とは乱反射（散乱）も含む意味である。
【００１１】
しかして、これら反射部は微細な隙間をあけて例えば平面上に並べ設ければよく、光源部も例えばそれら反射部の周囲に環状に設ければよいため、装置全体を特に観測軸に沿って寸法の小さい扁平なものにできる。
【００１２】
そしてその結果、従来に比べカメラ等の観測手段を対象物に大きく接近させることができ、視野を広げることが可能になる。
【００１３】
また、反射部と対象物との距離を近接させることにより、対象物に、より大きな入射角度の光を照射することができるようになる。このことによって、より均一性の高い散乱光で対象物を照明できることとなり、検査等にかかる照明の質を向上させることができる。
【００１４】
さらに、光源部からの光が直接的に反射部に到達してそこで反射するため、対象物へ効率よく光源部からの光を伝達することができる。また、このことに加えて前述したようにカメラ等の観測手段を対象物に接近させることができるため、従来のような大きな光量の光源部が必要なくなり、熱の問題が発生しにくく、さらなる小型化も可能となる。ここで「直接的に」とは、途中で反射した光を含まない、という意味で、例えば光源部からガラス等の透明媒体を通過して反射部に到達することも「直接的に」という意味に含まれる。
【００１５】
具体的には、前記反射部を扁平板状の透明支持体で支持させる構成が好ましい。
【００１６】
前記反射部を形成するうえでの好適な実施態様としては、反射部を前記透明支持体における照明対象物側の面に設けているものを挙げることができる。
【００１７】
前記反射部が前記反射面を形成する反射層とその反射層の裏面側に形成した光遮断層とを備えたものであれば、カメラ等で対象物を観測する場合に、反射部で光が乱反射することを防止して検査等を好適に行うことができる。この光遮断層は、全部の光を吸収又は遮断することが望ましいが、一部の光を吸収又は遮断するものでも構わない。
【００１８】
対象物に均一化されたより強い拡散光を照射できるようにするには、前記反射層に光拡散部材を含有させているものが好ましい。
【００１９】
扁平化を促進するためには、前記光源部が、環状に並べ設けた複数のＬＥＤを有するものであることが望ましい。
【００２０】
対象物を全体から取り囲んでより均一な光を照射できるようにする一態様としては、前記ＬＥＤ群の光射出方向側に配置した多数の透過拡散部をさらに備え、ＬＥＤからそれら透過拡散部及び透過拡散部間の隙間を通って光が射出されるように構成しているものを挙げることができる。
【００２１】
観測孔を除く略全天から前記対象物を覆うことが可能な発光面を有した全天照明装置、すなわちいわゆるドーム照明とともに用いる場合には、前記観測孔に前記反射部を配置するように構成すればよい。
【００２２】
本発明に係る光照射装置は、このように薄型にできることから、前記対象物を撮像するＣＣＤカメラ等の撮像手段に直接的に取り付け可能な構成にすることも考えられる。その場合、撮像手段に取り付けた状態において、前記反射部が撮像手段の撮像面に対応する大きさ及び形状の領域であってその前方に位置するように構成してあるものが好ましい。
【００２３】
反射部を同じ形状で規則的に並べると、回折の影響等で干渉縞が生じる場合がある。これを有効に回避するには、前記各反射部間のピッチをランダムに設定して各反射部を非規則的に並べたり、平面視異形状をなし、なおかつ互いに形状の異なるものとしたりすることが望ましい。
【００２４】
前記反射部で光が反射する際の拡散作用を強めるには、前記反射部を覆って光の拡散作用を増加させる透明膜をさらに備えているものが好ましい。このようなものであれば、この透明膜に光が入射する際に屈折し、透明膜が無いものと比べて反射部の表面に対してより垂直に近い角度で光があたって反射するため、その際の拡散作用が増大することになる。またこの透明膜は反射部の保護作用をも営むものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２６】
本実施形態に係る光照射装置１は、図１〜図４に示すように、環状をなす枠体２と、その枠体２の上端部内周に嵌め込んで保持させた等厚平板状をなす透明支持体３と、その透明支持体３の底面（下面）３ａに並べ設けた多数の反射部４と、前記枠体２の下端部内周に周回するように設けた光源部５とを備えており、前記透明支持体３の下面３ａを、対象物Ｗに対向させるように配置して、その対象物Ｗの表面に光を照射するものである。なおこの説明中で記載される上下は、図面からみた便宜的な方向であり、この光照射装置１の絶対的な設置方向を定めるものではない。
【００２７】
各部を詳述する。
【００２８】
枠体２は、図１、図２に示すように、平面視正方形の環状をなすもので、枠体本体２１とその枠体本体２１の下面に取り付けた薄板状の底板２２とを備えてなる。
【００２９】
透明支持体３は、平面視四角形の等厚平板状をなすガラス等で形成したものであり、その周縁部を前記枠体本体２１の内周上端部に設けた溝部２ａに嵌め込んである。
【００３０】
反射部４は、図３、図４に示すように、その一つ一つが非常に小さくしかもミクロンオーダーの極めて薄いものであり、互いの間に微細な隙間Ｓが形成されるように、前記透明支持体３の周縁部を除く下面３ａの略全面に亘って約０．２ｍｍ間隔で縦横に並べ設けてある。各反射部４は、平面視少なくともその一部が互いに形状の異なる雲形状のもので、光を乱反射する反射層４１とその反射層４１の反対象物側の面である上面を覆うとともに透明支持体３の下面３ａに直接貼り付けられた光遮断層４２とを備えた層構造をなす。なお、図３は模式図であり、反射部の厚みを誇張して表現してある。
【００３１】
反射層４１は、光拡散部材である粒子状の反射フィラ（図示しない）を含有させた例えば白色の顔料で形成したもので、その表面で主として光を反射する。なお、このものは非常に薄いため若干の光透過性を有するが、内部に侵入した光の一部は前記反射フィラで、拡散させて反射する。一方、光遮断層４２は、酸化クロム（ＣｒＯ２）等のつや消し黒色系（例えば茶色や灰色等）素材を用いて形成したもので、この実施形態では、反射率をより向上させる理由から、酸化クロム層４２１の上面に鏡面状をなすクロム層４２２をさらに設けた構成にしている。すなわち、前記反射層４１内に侵入した光をこのクロム層４２２の表面で反射するようにしている。
【００３２】
これら反射部４は、例えば図５〜図７に示すような方法で形成している。まず透明支持体３の下面３ａをクロム層４２２及び酸化クロム層４２１によりこの順で被覆し、さらにその酸化クロム層４２１の下面をフォトポリマーＰＰにより覆う。次に前記隙間Ｓを形成する部位にレーザ光を照射し、その部位のフォトポリマーＰＰを除去する。そしてレーザ光照射によりフォトポリマーＰＰが除かれて露出したクロム層４２２及び酸化クロム層４２１をエッチングにより除去する。その後フォトポリマーＰＰを取り除くことによって、まず雲形の光遮断層４２のみを形成する。最後に、図示しないが、それら光遮断層４２の下面に、印刷技術を利用して前記反射層４１を形成するための顔料を塗布することにより反射部４を形成する。なお、印刷等のズレが多少生じても、これを許容するために、この実施形態では反射層４１を光遮断層４２よりも小さくしている。
【００３３】
光源部５は、前記枠体２の下端部内周に沿って環状をなすように等間隔で配置した多数のＬＥＤ５１と、それらＬＥＤ５１を保持する基板５２とを備えたものである。そして、前記枠体本体２１と底板２２とによって形成した光源部保持溝２ｂに、ＬＥＤ５１の光軸をやや上方斜めに向けた姿勢で保持させることにより、ＬＥＤ５１から射出された光の少なくとも一部が、直接的に前記反射部４に到達するように構成している。
【００３４】
かかる光照射装置１は、前記透明支持体３の下面３ａを対象物Ｗに対向させるように配置するとともに、透明支持体３の上側に例えばＣＣＤカメラ６等の観測手段を配置して、当該対象物Ｗの表面検査や記号読取を行う場合に好適に用いることができる。
【００３５】
具体的にその作用を以下に説明する。
【００３６】
まず、光源部５から光が照射されると、その光が反射部４の反射層４１で乱反射し、均一化された拡散光として対象物Ｗに照射される。このことにより、対象物Ｗは一様な光で照明される。
【００３７】
一方、前記対象物Ｗで反射した光は、反射部４の間の隙間Ｓを介して透明支持体３を通過しＣＣＤカメラ６で捕捉される。すなわち、上述のごとく照明された対象物ＷをＣＣＤカメラ６で撮像し、当該対象物Ｗの表面検査や記号読取を行うことができる。なお、隙間Ｓや反射部４の大きさ、あるいはピッチは、ＣＣＤカメラ６と反射部４との離間距離、ＣＣＤカメラ６と対象物Ｗとの離間距離等をパラメータとして観測に支障がでない最適なものに定めればよい。例えばＣＣＤカメラ６と反射部４との離間距離が小さい場合には、隙間Ｓや反射部４の大きさ、あるいはピッチを相応に大きくし、逆の場合は小さく設定すればよい。
【００３８】
具体的に、ＣＣＤカメラ６と対象物Ｗとの離間距離をＤ、反射部４間のピッチをＰ、反射部４と対象物Ｗとの離間距離をＬ、対象物Ｗの観測径をｄ、ＣＣＤカメラ６の焦点深度をＢ、反射率をδ（ミラーは１．０）とすれば、
【００３９】
Ｐ＝ａ・Ｌ・ｄ／（Ｄ・Ｂ・δ）と表すことができる。
【００４０】
ここでａは係数である。
【００４１】
このように本実施形態によれば、反射部４での反射光によりＣＣＤカメラ６の観測軸Ｃと同軸方向からの照明が行えるとともに、前記対象物Ｗを隙間Ｓを介してＣＣＤカメラ６で撮像し、検査等を行うことができる。
【００４２】
しかして、これら反射部４が薄板状の透明支持体下面３ａに並べ設けてあり、光源部５もＬＥＤ５１を利用してそれら反射部４の周囲に環状に設けてあるため、装置１全体を、観測軸Ｃに沿った寸法の小さい扁平なものにできる。
【００４３】
そしてその結果、従来に比べＣＣＤカメラ６を対象物Ｗに大きく接近させることができ、その視野を広げることが可能になる。
【００４４】
また、反射部４と対象物Ｗとの距離を近接させることも可能であるため、対象物Ｗに、より大きな入射角度の光を照射することができるようになる。そしてこのことによって、より均一性の高い散乱光で対象物Ｗを照明できることとなり、検査等にかかる照明の質を向上させることができる。
【００４５】
さらに、光源部５からの光が直接的に反射部４に到達してそこで反射するため、対象物Ｗへ効率よく光源部５からの光を伝達することができる。また、このことに加えて前述したようにＣＣＤカメラ６を対象物Ｗに接近させることができるため、従来のような大きな光量の光源部が必要なくなり、熱の問題が発生しにくく、さらなる小型化も可能となる。
【００４６】
特に本実施形態では、光遮断層４２により反射部４で光が透過あるいはカメラ６側に乱反射することを防止して検査等を好適に行うことができる。また、反射部４が極めて薄い構造であるため、その側面での光の反射をも防止できる。
【００４７】
加えて、反射部４と対象物Ｗとの距離を近接させれば、光源部５からでた光の一部が直接対象物Ｗを照射することとなるので、ローアングル照明をも同時に行うことができる。したがって、従来、２つの光照射装置１を用いてローアングル照明と同軸照明とをそれぞれ行っていたものを、単一の装置で行えることとなる。もちろんＬＥＤ５１は、その光軸がラジアル方向を向くように設置しても構わないし、やや下方に向くようにしても構わない。
【００４８】
また、通常正方形状の領域で画像処理を行うところ、反射部４を並び設けている領域を四角形にしているため、無駄なく対象物Ｗの画像を撮像することができる。
【００４９】
次に、本発明の第２の実施の形態について以下に説明する。
【００５０】
本実施形態では図８、図９及び図１０に示すように、反射部４を更に小さく薄くし、およそ５０ｕｍの径と０．１〜０．２ｕｍの厚みを有するものにしている。なお、前実施形態同様に雲形状のものでもよいのはもちろんである。具体的にこのものは透明支持体３の下面３ａに直接貼り付けられた中間層４３と、その中間層４２の下面及び側面を覆い光を乱反射する反射層４１とを備えた層構造をなす。
【００５１】
反射層４１は例えばニッケル（Ｎｉ）やクロム（Ｃｒ）などの金属で形成したもので、その表面には荒れた状態とすることで複数の凹凸を設けてあり、主として光を拡散させて反射する。一方、中間層４３は導電性の薄膜であるＩＴＯ膜であり、金属をその表面にメッキ等により被覆できる性質を有する。
【００５２】
これらの反射部４は、例えば以下に示すように、透明支持体３に貼り付ける。
【００５３】
まず、図１１に示すように透明支持体３の下面３ａにスパッタリングや蒸着等の方法でＩＴＯ膜を被着することで中間層４３を形成し、更にその中間層４３の下面をフォトポリマーＰＰにより覆う。次に図１２に示すように前記隙間Ｓを形成する部位にレーザ光等を照射し、その部位のフォトポリマーＰＰを除去する。そして図１３に示すようにフォトポリマーＰＰが除かれて露出した中間層４３をエッチングにより除去し、その後フォトポリマーＰＰを取り除くことによって、円盤状の中間層４３のみを形成する。その後図９に示すようにこれら透明支持体３の下面３ａにメッキを行う。このときメッキはガラスには付着せず、ＩＴＯ膜のみに付着することから、ＩＴＯ膜の下面及び側面にのみ前記反射層４１としてニッケル（Ｎｉ）又はクロム（Ｃｒ）等の金属の層が形成され、反射部４が生成されることとなる。又、このときＩＴＯ膜が無く透明支持体３の露出した部分には金属の層は形成されず反射部４間の隙間Ｓとなる。
【００５４】
従ってこのような構成にした本実施形態によれば、前記透明支持体３の下面３ａを一様にメッキするだけで、エッチング後に残留した中間層４３をなすＩＴＯ膜の下面及び側面のみにズレなく高い精度で前記反射層４１が形成できるだけでなく、更に反射層４１を印刷技術を用いて形成する方法で要するような位置合わせ操作も不要となることから省力化にもなる。
【００５５】
またこのように高い精度で反射層４１を形成できることより、より小さな反射部４を形成することが可能となることから、例えば、隙間Ｓを大きくすることで、対象物Ｗで反射した光をＣＣＤカメラ６で効率よく捕捉することや、透明支持体３の下面３ａにより多くの反射部４を設けることで、均一性の高い散乱光で対象物Ｗを照明することができる。
【００５６】
更に加えて、中間層４３をなすＩＴＯ膜は前実施形態にある光遮断層４２を形成するクロムに比べ極めて薄くすることが可能であるため、このように形成することでＬＥＤ５１から射出され反射部４の側面で反射した対象物Ｗに因らない光がＣＣＤカメラ６に入射するのをより完全に防止できる。
【００５７】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００５８】
例えば、図１４、図１５に示すように、前記光源部５の光射出方向側に、互いの間に微細な隙間ＳＡをあけて配置した多数の透過拡散部４Ａをさらに設けても構わない。この透過拡散部４Ａは、前記反射部４とは異なり、光を透過拡散させる透過拡散層４１Ａのみからなる雲形のもので、前記透明支持体３の下方に垂直に配置した薄平板状の第２透明支持体３Ａの内面に、前記透過拡散層４１Ａが内向きとなるように並び設けてある。そしてその隙間ＳＡを通ってＬＥＤ５１からの光の一部が直接射出され、他の光は透過拡散部４Ａを通って射出されるように構成している。
【００５９】
このようにすれば、反射部４及び透過拡散部４Ａにより、対象物Ｗを周囲からほぼ完全に取り囲んで均一照明することが可能になる。
【００６０】
また、対象物Ｗを周囲からほぼ完全に取り囲んで均一照明する他の方式として、図１６に示すように、観測孔７ｂを除く略全天から前記対象物Ｗを覆うことが可能な半凹球面状の発光面７ａを有した全天照明装置（いわゆるドーム照明装置）７とともに用いるようにしてもよい。この場合には、前記観測孔７ｂの上方に前記反射部４を近接させて臨ませるように光照射装置１を配置する。
【００６１】
また、透明支持体３そのものを図１７に示すように、部分球状乃至半球状のものにしても構わない。
【００６２】
さらに、このように薄型にできることから、図１８に示すように、前記ＣＣＤカメラ６等の撮像手段に直接的に取り付け可能なように取付部８を備えた構成にしてもよい。その場合、撮像手段６に取り付けた状態において、前記反射部４が撮像手段の撮像面に対応する大きさ及び形状の領域であってその前方に位置するように構成してあるものが好ましい。この例では、透明支持体３を、図示しないが平面視円形状のものにしている。
【００６３】
加えて、反射部を透明支持体の上面、すなわち反対象物側の面に設けてもよい。その場合でも反射層が対象物側を向くように配置するのはいうまでもない。
【００６４】
また、例えば図１９に示すように各反射部４を網目をなすように連続的に設けてシート状にし、これを直接枠体に張設して、透明支持体を有さない構造としてもよいし、図２３に示すように反射部４あるいは透過拡散部４Ａを等形状にし、なおかつ規則的に等ピッチ配置しても構わない。
【００６５】
さらに反射部のうち中央のものほど光源部から照射される光の強度が弱くなるため、中央の反射部の表面積が最も大きく、端にいくほど小さくなるようにしておけば、対象物においてより均一な強度の光を照射できる。
【００６６】
また、反射部は略等厚なものに限られず、図２０、図２１に示すように、反射面が湾曲していたり傾いていたりしてもよいし、各反射部毎に反射面の傾きや湾曲度がランダムになっていても構わない。さらに、例えば図２２に示すように各反射部が環状をなし、同心円状に配置されていても構わない。
【００６７】
図２４では、透明支持体３に貼り付けた反射部４の表面を樹脂等を素材とした透明膜Ｆで覆うようにしている。この図では、透明膜Ｆは反射部４の表面のみならず、透明支持体３の表面３ａをも覆うようにしているが、もちろん反射部４の表面のみを覆うようにしても構わない。
【００６８】
このようなものであれば、同図に示すように、この透明膜Ｆに光が入射する際に屈折し、透明膜が無いものと比べ、反射部４の表面に対してより垂直に近い角度で光があたるため、反射の際の拡散作用が増大することになる。またこの透明膜は反射部の保護作用をも営むものとなる。
【００６９】
もちろん、光源部としてＬＥＤ以外の発光源を利用しても構わない。反射部も雲形に限られないし、その配置も縦横に限られず、隙間さえあければどのような配置態様でも構わない。
【００７０】
この他に、別の実施形態にある中間層は薄く、ＩＴＯ膜に限らず例えば透明支持体上に形成可能でメッキが可能な薄膜であれば同様の作用を得ることができる。
【００７１】
また、前記中間層をなす膜が更に透明であり、限定的にメッキを行うことが可能なものであれば、反射部を形成するためにエッチングを行わずとも良いことから反射部の形成作業を省力化することが可能である。
【００７２】
更に、反射部と隙間とを形成する方法として、中間層にメッキを行った後にフォトポリマーを塗布し、エッチングを行うことでメッキに用いた金属と中間層とをを取り除くか、このとき中間層が透明な膜であれば、メッキに用いた金属のみを取り除くようにしても構わない。
【００７３】
その他本発明は、上記図示例に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の一実施形態における光照射装置の内部構造を示す中央縦正端面図。
【図２】同実施形態における光照射装置の平面図。
【図３】同実施形態における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大正面図。
【図４】同実施形態における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大底面図。
【図５】同実施形態における反射部の製作手順を示す手順説明図。
【図６】同実施形態における反射部の製作手順を示す手順説明図。
【図７】同実施形態における反射部の製作手順を示す手順説明図。
【図８】第２の実施形態における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大正面図。
【図９】図８における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大図。
【図１０】第２の実施形態における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大底面図。
【図１１】第２の実施形態における反射部の製作手順を示す手順説明図。
【図１２】第２の実施形態における反射部の製作手順を示す手順説明図。
【図１３】第２の実施形態における反射部の製作手順を示す手順説明図。
【図１４】本発明の他の実施形態における光照射装置の内部構造を示す中央縦正端面図。
【図１５】図１４におけるＡ部詳細図。
【図１６】本発明のさらに他の実施形態における光照射装置等を示す中央縦正端面図。
【図１７】本発明のさらに他の実施形態における光照射装置を示す中央縦正端面図。
【図１８】本発明のさらに他の実施形態における光照射装置を示す中央縦正端面図。
【図１９】本発明のさらに他の実施形態における反射部を示す部分底面図。
【図２０】本発明のさらに他の実施形態における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大正面図。
【図２１】本発明のさらに他の実施形態における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大正面図。
【図２２】図２１における底面図。
【図２３】本発明のさらに他の実施形態における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大底面図。
【図２４】本発明のさらに他の実施形態における反射部を主として示す部分断面図。
【図２５】従来における光照射装置を含む検査システム示す原理説明図。
【符号の説明】
【００７５】
１…光照射装置
３…透明支持体
４…反射部
４１…反射層
４２…光遮断層
５…光源部
５１…ＬＥＤ
６…撮像手段（ＣＣＤカメラ）
７…全天照明装置
７ａ…発光面
７ｂ…観測孔
８…取付部
４Ａ…透過拡散部
Ｓ…隙間
Ｗ…対象物
Ｆ…透明膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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