(57)【要約】【課題】相対運動する２部材の同軸度及び軸方向位置ズレの許容値を大きくとった場合、あるいは、スリーブの内側隅部Ｒが大きい場合においても、所望のシール耐圧を確保することができる磁性流体シール装置を提供する。【解決手段】軸２側に配置された第１のスリーブ４と、ハウジング１側に配置された第２のスリーブ３と、磁界を形成する磁界形成手段５と、磁性流体６，７と、を備え、磁界形成手段５と第１のスリーブ４との径方向及び軸方向隙間の大きさをそれぞれＲ１，Ｗ１、磁界形成手段５と第２のスリーブ３との径方向及び軸方向隙間の大きさをそれぞれＲ２，Ｗ２とした場合、Ｒ１＜Ｗ１かつＲ２＞Ｗ２かつＲ１＜Ｒ２、またはＲ１＞Ｗ１かつＲ２＜Ｗ２かつＲ１＞Ｒ２であることを特徴とする。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、
前記２部材の内一方の部材側に配置され、前記２部材の内他方の部材側に凹部を有する第１のスリーブと、
前記他方の部材側に配置され、前記一方の部材側に凹部を有する第２のスリーブと、
前記第１のスリーブと第２のスリーブの凹部の間に配置され、磁界を形成する磁界形成手段と、
該磁界形成手段と前記２つのスリーブとの間の隙間で磁気的に保持されて該隙間を密封する磁性流体と、
を備え、
前記磁界形成手段が前記磁性流体間で浮遊する磁性流体シール装置において、
前記磁界形成手段と前記第１のスリーブとの径方向隙間の大きさをＲ１、
前記磁界形成手段と前記第１のスリーブとの軸方向隙間の大きさをＷ１、
前記磁界形成手段と前記第２のスリーブとの径方向隙間の大きさをＲ２、
前記磁界形成手段と前記第２のスリーブとの軸方向隙間の大きさをＷ２、
とした場合、
Ｒ１＜Ｗ１かつＲ２＞Ｗ２かつＲ１＜Ｒ２、またはＲ１＞Ｗ１かつＲ２＜Ｗ２かつＲ１＞Ｒ２であることを特徴とする磁性流体シール装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、相対運動する磁性流体シール装置に関するものであり、例えば、半導体製造装置、液晶パネルディスプレイ製造装置、ハードディスク製造装置、光学部品製造装置等の生産機のダストシールや、カメラ、ハードディスクドライブ、光学部品等の製品に内蔵するダストシールとして適用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の磁性流体シール装置は、２部材間の隙間を、２部材の内一方の部材側に保持された磁性流体で他方の部材表面に接触して隙間を密封していた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この磁性流体シール装置の構成例を図７に示す。一般に軸方向に着磁された磁石１０３を２枚のポールピース１０４で挟んで接着して非磁性のハウジング１０１に設置し、ポールピース１０４と磁性材のシャフト１０２との隙間に磁性流体１０５を充填する構成がとられる。
【０００４】
しかしながら、この磁性流体シール装置は、ハウジング１０１に固定されるため、ハウジング１０１とシャフト１０２との偏芯の許容値は、ポールピース１０４とシャフト１０２との隙間以下となり、ハウジング１０１とシャフト１０２との同軸度に高い精度が必要であった。
【０００５】
また、このような構成では、磁性流体１０５の充填を装置組立後に行なわなければならないという煩雑さと磁性流体充填量の管理が難しいといった欠点があった。
【０００６】
かかる問題を解決するために、本発明者等は、図８に示すように、特願２００１−１５２４１８号にて、ハウジング１及びシャフト２にそれぞれ嵌合された断面凹状の非磁性体のスリーブ３，４と、該スリーブ３，４間に形成される空間部に配置された環状の磁石５と、該磁石５と上記スリーブ３，４との隙間に充填された磁性流体６，７とで構成されている磁性流体シール装置を提案している。
【０００７】
これは、環状磁石５の表面近傍には磁場勾配が発生しており、その磁場勾配下に置かれた磁性流体６，７は高磁場側（環状磁石５の表面）に吸引され、その反作用として非磁性体からなるスリーブ３，４は低磁場側への斥力を受ける。その結果、環状磁石５はスリーブ３，４と非接触の状態で磁性流体６，７中に浮遊し、同時に磁性流体６，７が環状磁石５とスリーブ３，４との隙間を密封する機能を発揮するというものである。
【０００８】
また、かかる構成とすることで、以下のような効果を奏する。
【０００９】
（１）環状磁石５が磁性流体６，７間で浮遊しているため、環状磁石５とスリーブ３，４との間に形成される径方向隙間（シャフト側のスリーブおよびハウジング側のスリーブと磁石との隙間の２ヶ所）の和が、ハウジング１とシャフト２との同軸度の許容値（環状磁石５とスリーブ３，４とが接触しない条件）となる。また、環状磁石５とスリーブ３，４との間に形成される軸方向隙間（２ヶ所）の和が、ハウジング１とシャフト２との相対位置の軸方向ズレを許容するため、各部材の加工精度ならびに組立精度が低い場合でもシール性能を発揮することができる。
【００１０】
（２）環状磁石５とスリーブ３，４との隙間に予め磁性流体６，７を充填した状態で出荷することができ、そのままの状態で装着することができるため、磁性流体シール装置を回転機械等へ装着する作業が容易になるとともに、磁性流体の充填量を磁性流体シール装置を生産するメーカー側で管理することが可能になる（図７に示す従来の磁性流体シール装置では磁性流体の充填を磁性流体シール装置を回転機械等に使用するユーザー側が実施していた）。
【００１１】
（３）環状磁石５が磁性流体６，７間で浮遊しているため、シャフト２が回転すると磁性流体の粘性抵抗によって環状磁石５も回転する（速度はシャフトのそれ以下）。すなわち、従来の磁性流体シール装置と比較して磁性流体のせん断速度が減少するため、磁性流体のせん断による劣化を抑制することができ、長寿命である。
【００１２】
（４）密封機能に加えて、環状磁石５を慣性体、磁性流体６，７を粘性減衰手段とする回転イナーシャダンパとしての効果も発揮する。
【００１３】
【特許文献１】
特開２００１−１２４２１６号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来技術の場合には、以下のような問題が生じていた。
【００１５】
（１）図７の磁性流体シール装置は、磁気回路を形成してシール部の磁場強度を高めることによってシール耐圧の向上を図っている。これに対し、図８の磁性流体シール装置は、環状磁石５表面の磁場を利用するため、形成される磁場は弱く、その為シール耐圧の向上が困難である。すなわち、図８の磁性流体シール装置においては、形成される磁場が弱いので、所望するシール耐圧を確保するために、磁石とスリーブとの隙間を小さく設定する必要がある。このため、所望のシール耐圧を確保しつつ、ハウジング１とシャフト２との同軸度及び軸方向位置ズレの許容値をより大きくとることは難しい。
【００１６】
（２）また、スリーブ３，４を製作する際、方法によってはスリーブ内側の隅部にＲが残る。かかる場合に、シール耐圧を確保するために、環状磁石５とスリーブ３，４との隙間を小さく設定しようとすると、環状磁石５の角がスリーブ３，４の内側の隅部に接触してしまう（図９（ａ）参照）。ゆえに、図９（ｂ）に示すようにスリーブの内側の隅部のＲ寸法に応じて環状磁石５とスリーブ３，４との隙間を広く設定すればよいが、その場合上述の理由によりシール耐圧向上が困難となる。
【００１７】
また、上記（２）の問題を解決すべく、環状磁石５の角部を、スリーブ内側の隅部のＲよりも大きく面取りするあるいはスリーブ内側の隅部のＲに沿ったＲ形状とする方法を採用しても、それによって環状磁石５角部の磁場が大幅に減少してしまうため、シール耐圧を向上する上では好ましくない。
【００１８】
これに対して、上記の問題点を解決する方法として、環状磁石５の材質を磁力の強いものに変更する、あるいは環状磁石５を多極着磁する等が考えられるが、どちらの方法を採用するにしてもコストアップしてしまう。
【００１９】
本発明は上記の従来技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、相対運動する２部材の同軸度及び軸方向位置ズレの許容値を大きくとった場合、あるいは、スリーブの内側隅部Ｒが大きい場合においても、所望のシール耐圧を確保することができる磁性流体シール装置を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る磁性流体シール装置にあっては、互いに相対移動可能に組付けられる２部材間をシールする磁性流体シール装置であって、前記２部材の内一方の部材側に配置され、前記２部材の内他方の部材側に凹部を有する第１のスリーブと、前記他方の部材側に配置され、前記一方の部材側に凹部を有する第２のスリーブと、前記第１のスリーブと第２のスリーブの凹部の間に配置され、磁界を形成する磁界形成手段と、該磁界形成手段と前記２つのスリーブとの間の隙間で磁気的に保持されて該隙間を密封する磁性流体と、を備え、前記磁界形成手段が前記磁性流体間で浮遊する磁性流体シール装置において、前記磁界形成手段と前記第１のスリーブとの径方向隙間の大きさをＲ１、前記磁界形成手段と前記第１のスリーブとの軸方向隙間の大きさをＷ１、前記磁界形成手段と前記第２のスリーブとの径方向隙間の大きさをＲ２、前記磁界形成手段と前記第２のスリーブとの軸方向隙間の大きさをＷ２、とした場合、Ｒ１＜Ｗ１かつＲ２＞Ｗ２かつＲ１＜Ｒ２、またはＲ１＞Ｗ１かつＲ２＜Ｗ２かつＲ１＞Ｒ２であることを特徴とする。
【００２１】
ここで、磁界形成手段としては、単体で磁力を発生する磁石等の磁力発生手段、および該磁力発生手段を磁性材で覆った物等が該当する。
【００２２】
かかる構成とすることにより、磁界形成手段と第１のスリーブの径方向隙間あるいは磁界形成手段と第２のスリーブの径方向隙間のどちらか小さい方の隙間で該隙間を形成するスリーブと磁界形成手段との間の密封機能を確保しつつ、他方の大きい方の隙間で２部材間の径方向の位置ズレを吸収し、かつ、径方向の隙間が大きい部材間の軸方向隙間を小さくして該隙間を形成するスリーブと磁界形成手段との間の密封機能を確保し、径方向の隙間が小さい部材間の軸方向隙間を大きくして２部材間の軸方向の位置ズレを吸収することができるので、２部材間の径方向の位置ズレおよび軸方向の位置ズレの許容値を大きくとりつつ、所望の密封機能を確保することが可能であり、また、スリーブの内側隅部に大きなＲが残る場合においても、所望の密封機能を確保することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、この発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２４】
図１を参照して、実施の形態に係る磁性流体シール装置について説明する。
【００２５】
図１は、磁性流体シール装置の断面構成図であり、磁性流体シール装置は、圧力差のある高圧側Ｈ及び低圧側Ｌの２領域間にまたがり、２部材としてのハウジング１とシャフト２間の環状隙間に備えられている。
【００２６】
ハウジング１とシャフト２とは相対回転運動が行なわれるものであり、本実施の形態ではシャフト２だけが回転する。なお、ハウジング１とシャフト２は非磁性材で構成されている。
【００２７】
この磁性流体シール装置は、シャフト２に嵌合されたシャフト側スリーブ（第１のスリーブ）４と、ハウジング１に嵌合されたハウジング側スリーブ（第２のスリーブ）３と、シャフト側スリーブ４とハウジング側スリーブ３の間に配置されて軸方向に着磁され、磁界を形成する磁界形成手段である環状磁石５と、該環状磁石５とハウジング側スリーブ３との隙間に保持された磁性流体６と、環状磁石５とシャフト側スリーブ４との隙間に保持された磁性流体７と、を備え、環状磁石５が、磁性流体６と磁性流体７との間に浮遊している。
【００２８】
すなわち、環状磁石５の内外周端部には磁性流体６，７が磁気的にそれぞれ保持されて、磁性流体６，７がスリーブ３，４に対して接触している。
【００２９】
この環状磁石５としては、単極あるいは多極着磁された金属または磁石粉を充填した有機材料等からなる永久磁石を用いることができ、本実施の形態では環状磁石の一例として、磁性流体６，７の間に浮遊させることができるように比重の小さいプラスチック磁石を用いる。その他、ゴム磁石等の環状磁石５を用いることもできる。また、環状磁石５の代わりに、単極あるいは多極着磁された金属または磁石粉を充填した有機材料等からなる永久磁石を鉄等の磁性材で覆った物で代用しても良い。
【００３０】
一方、磁性流体としては、Ｆｅ３Ｏ４等の微粒子を炭化水素油の中にコロイド状に分散させた炭化水素油ベース磁性流体を用いている。
【００３１】
スリーブ３，４は、円筒状の非磁性材であるステンレス製のもので、軸方向両端部で突出部が突出するように中央部が凹んで溝が形成されており、この溝の中に環状磁石５の内外周端部が隙間を有して配置される。そして、磁性流体６，７が環状磁石５の内外周端とスリーブ３，４の溝との隙間に充填されている。
【００３２】
また、かかる構成の磁性流体シール装置は、環状磁石５とスリーブ３，４との間に予め磁性流体６，７を充填した状態で、ハウジング１とシャフト２の間にワンタッチで容易に装着されるものである。
【００３３】
そして、このような磁性流体シール装置では、環状磁石５が磁性流体６，７間に浮遊しており、装置がどのような向きに置かれても環状磁石５が浮遊する。
【００３４】
また、かかる構成とすることにより、ハウジング１に対して、シャフト２が環状磁石５の内外周面とスリーブ３，４との２つの隙間の合計分偏芯した場合であっても密封機能を発揮することができる。
【００３５】
そして、本実施の形態においては、図２に示すように、
環状磁石５とシャフト側スリーブ４との径方向隙間の大きさをＲ１、
環状磁石５とシャフト側スリーブ４との軸方向隙間の大きさをＷ１、
環状磁石５とハウジング側スリーブ３との径方向隙間の大きさをＲ２、
環状磁石５とハウジング側スリーブ３との軸方向隙間の大きさをＷ２、
とした場合、
Ｒ１＞Ｗ１かつＲ２＜Ｗ２かつＲ１＞Ｒ２を満足するような形状としている。
【００３６】
かかる構成とすることにより、径方向隙間の小さい環状磁石５とハウジング側スリーブ３間の隙間で主に環状磁石５とハウジング側スリーブ３との間の密封機能を担わせ、径方向隙間の大きい環状磁石５とシャフト側スリーブ４間の隙間で主にハウジング１とシャフト２の径方向の位置ズレを吸収させることができる。
【００３７】
また、かかる構成とすることにより、軸方向隙間の小さい環状磁石５とシャフト側スリーブ４間の隙間で主に環状磁石５とシャフト側スリーブ４間の密封機能を担わせ、軸方向隙間の大きい環状磁石５とハウジング側スリーブ３間の隙間で主にハウジングとシャフトの軸方向の位置ズレを吸収させることができる。
【００３８】
すなわち、かかる構成の磁性流体シール装置のシール耐圧は、環状磁石５に対向するスリーブ３，４の面上の磁場強度Ｈと正の相関があり、また、スリーブ３，４の面上の磁場強度Ｈと、環状磁石５とスリーブ３，４との隙間の大きさｇとの間には負の相関があり、一般には、Ｈ＝ａＸｇｂ（ａは正、ｂは負）という式で表される。したがって、密封機能を高めるにはシール耐圧を大きくする必要があり、そのためには、環状磁石５とスリーブ３，４との隙間は可能な限り小さい方が望ましい。
【００３９】
ゆえに、ハウジング１とシャフト２間の密封機能を高めるには上記Ｒ１，Ｒ２，Ｗ１，Ｗ２は全て小さい方が望ましい（図５の条件Ａ参照。なお、図５は環状磁石とスリーブとの隙間の設定値と、シール耐圧および位置ズレの許容値との関係を示したものである。）。
【００４０】
しかしながら、Ｒ１，Ｒ２を共に小さくすると、径方向の位置ズレの許容値が小さくなってしまう（図５の条件Ａ，Ｆ参照）。同様に、Ｗ１，Ｗ２を共に小さくすると、軸方向の位置ズレの許容値が小さくなってしまう（図５の条件Ａ，Ｅ参照）。
【００４１】
これに対して、ハウジング１とシャフト２との径方向，軸方向の位置ズレの許容値を大きくするためには、Ｒ１，Ｒ２，Ｗ１，Ｗ２は全て大きい方が望ましい（図５の条件Ｂ参照）。
【００４２】
しかしながら、Ｒ１，Ｗ１を共に大きくすると、環状磁石５とシャフト側スリーブ４間のシール耐圧が小さくなり、環状磁石５とハウジング側スリーブ３間のシール耐圧に関わらず、磁性流体シール装置全体のシール耐圧が小さくなり（図５の条件Ｂ，Ｄ参照）ハウジング１とシャフト２間の密封機能が低くなってしまう。同様に、Ｒ２，Ｗ２を共に大きくすると、環状磁石５とハウジング側スリーブ３間のシール耐圧が小さくなり、環状磁石５とシャフト側スリーブ４間のシール耐圧に関わらず、磁性流体シール装置全体のシール耐圧が小さくなり（図５の条件Ｂ，Ｃ参照）ハウジング１とシャフト２間の密封機能が低くなってしまう。
【００４３】
そこで、ハウジングとシャフト間の密封機能を確保しつつハウジングとシャフトの径方向および軸方向の位置ズレの許容値を大きくするには、環状磁石５とシャフト側スリーブ４間および環状磁石５とハウジング側スリーブ３間の隙間それぞれに、径方向か軸方向のいずれか一方の隙間を小さく設定することによってシール耐圧を確保すると共に、環状磁石５とスリーブ３，４間の隙間それぞれに、径方向か軸方向のいずれか一方の隙間を大きく設定することによって、ハウジング１とシャフト２との径方向および軸方向の位置ズレの許容値を大きくすることが望ましい（図５の条件Ｇ，Ｈ参照）。
【００４４】
そのためには、Ｒ１＜Ｗ１かつＲ２＞Ｗ２かつＲ１＜Ｒ２（図５の条件Ｈ）、またはＲ１＞Ｗ１かつＲ２＜Ｗ２かつＲ１＞Ｒ２（図５の条件Ｇ）のいずれかの条件を満足することが必要であるが、本実施の形態においては、ハウジングは固定され、シャフトが回転することから、環状磁石５とシャフト側スリーブ４間の径方向隙間（Ｒ１）を環状磁石５とハウジング側スリーブ３間の径方向隙間（Ｒ２）よりも大きくする、つまり、Ｒ１＞Ｗ１かつＲ２＜Ｗ２かつＲ１＞Ｒ２となるようにしている。かかる構成とすることにより、シャフトが径方向に大きく振れ回る場合にも、環状磁石５とハウジング側スリーブ３間の径方向隙間（Ｒ２）を環状磁石５とシャフト側スリーブ４間の径方向隙間（Ｒ１）よりも大きくする場合に比べると、環状磁石５の運動を安定させることができる。
【００４５】
なお、シャフトが固定され、ハウジングが回転し、ハウジングが径方向に大きく振れ回る場合には、環状磁石５の運動を安定させるために環状磁石５とハウジング側スリーブ３間の径方向隙間（Ｒ２）を環状磁石５とシャフト側スリーブ間の径方向隙間（Ｒ１）よりも大きくする、つまり、Ｒ１＜Ｗ１かつＲ２＞Ｗ２かつＲ１＜Ｒ２である方が望ましい。
【００４６】
また、かかる構成とすることにより、両スリーブ３，４の環状磁石５が設けられている側の内側隅部Ｒが大きい場合においても、環状磁石５とシャフト側スリーブ４の隙間および環状磁石５とハウジング側スリーブ３の隙間のそれぞれにおいて、径方向あるいは軸方向のいずれか一方の隙間は大きいことから、両スリーブ３，４の内側隅部Ｒと環状磁石５の角部が干渉することを防止することができる。
【００４７】
さらに、環状磁石５を磁性流体６，７中に浮遊させるために必要な磁気浮遊力の大きさも、上記のシール耐圧と同様、環状磁石５と両スリーブ３，４間の磁場強度Ｈと正の相関があるが、本実施の形態とすることにより、環状磁石５の径方向および軸方向に一ヶ所ずつ狭い隙間を設けているため、環状磁石５を磁性流体６，７中に浮遊した状態で安定に保つことができる。
【００４８】
次に、本実施の形態に係る磁性流体シール装置（実施例）と従来の技術に係る磁性流体シール装置（比較例）との性能比較実験結果について説明する。
【００４９】
＜実験条件＞
実施例と比較例とでは、環状磁石５と両スリーブ３，４との隙間の大きさを異なるようにしただけであり、その他の条件等は全て同じに設定した。
【００５０】
環状磁石５と両スリーブ３，４との隙間の大きさは、実施例が、図２に示すように、Ｒ１＞Ｗ１かつＲ２＜Ｗ２かつＲ１＞Ｒ２を満足する値である、Ｒ１＝０．３（ｍｍ）、Ｒ２＝０．１（ｍｍ）、Ｗ１＝０．１（ｍｍ）、Ｗ２＝０．３（ｍｍ）とし、比較例が、図３に示すように、Ｒ１＝Ｒ２＝Ｗ１＝Ｗ２＝０．２（ｍｍ）とした。
【００５１】
その他の条件等は実施例と比較例ともに同じであり、以下のように設定した。
【００５２】
（１）磁性流体シール装置寸法；内径（シャフト側スリーブ４の内径）＝φ４０（ｍｍ）、外径（ハウジング側スリーブ３の外径）＝φ５０（ｍｍ）、厚さ＝５（ｍｍ）（図４参照）
（２）シャフト回転数；１００（ｒｐｍ）
（３）ハウジングに対するシャフトの径方向振れ量（片振り幅）；０〜０．４（ｍｍ）
（４）ハウジングとシャフトとの相対位置の軸方向ズレ量；０〜０．４（ｍｍ）
（５）環状磁石材質；フェライト系プラスチック磁石
（６）環状磁石寸法；内径４２．６（ｍｍ）、外径４７．４（ｍｍ）、厚さ２．４（ｍｍ）
（７）磁性流体；炭化水素系
【００５３】
＜実験結果＞
ハウジングに対するシャフトの径方向振れ量（片振幅）をパラメータとして、実施例の磁性流体シール装置のシール耐圧と、比較例の磁性流体シール装置のシール耐圧を比較した結果を図６（ａ）に示す（但し、ハウジングとシャフトとの相対位置の軸方向ズレ量は０ｍｍ）。また、ハウジングとシャフトとの相対位置の軸方向ズレ量をパラメータとして、実施例のシール耐圧と、比較例のシール耐圧を比較した結果を図６（ｂ）に示す（但し、ハウジングに対するシャフトの径方向振れ量は０ｍｍ）。
【００５４】
なお、図６（ａ），（ｂ）においては、ハウジングに対するシャフトの径方向振れ量およびハウジングとシャフトとの相対位置の軸方向ズレ量がともに０ｍｍである場合の比較例のシール耐圧を１とした比で表している。また、ハウジングに対するシャフトの径方向振れ量およびハウジングとシャフトとの相対位置の軸方向ズレ量は、ともに実験データの一部である０〜０．３（ｍｍ）までのデータを記載した。
【００５５】
図６（ａ），（ｂ）に示すように、実施例の磁性流体シール装置のシール耐圧は、いずれの条件においても比較例のそれより高いことが確認された。特に、シャフトの振れ量が大きな場合（０．３（ｍｍ））、実施例のシール耐圧は比較例のそれの約２倍となった。
【００５６】
なお、これまで、シール耐圧を向上するために、環状磁石とスリーブとの隙間を狭くし磁場強度を高めるほど良いという事実に基づいて検討してきたが、シール耐圧を向上するためには、その他に（１）環状磁石の磁力を強くする、あるいは（２）環状磁石の形状を変更することによっても可能である。上記（２）の場合について詳述すると、（環状磁石の断面の着磁方向長さ）／（他方の長さ）の値が大きいほど良い。ただし、環状磁石に作用する磁気浮遊力のバランス（軸方向・径方向）を良くするためには、（環状磁石の断面の着磁方向長さ）／（他方の長さ）＝１であることが望ましい。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、相対運動する２部材の同軸度及び軸方向位置ずれの許容値を大きくとった場合、あるいは、スリーブの内側隅部が大きなＲである場合においても、所望のシール耐圧を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態に係る磁性流体シール装置の半断面図である。
【図２】図１のＡ部の拡大図である。
【図３】比較例１の磁性流体シール装置の寸法を表す図である。
【図４】実施例１及び比較例１の磁性流体シール装置全体の寸法を表す図である。
【図５】磁性流体シール装置の環状磁石とスリーブとの隙間の設定値と、シール耐圧および位置ズレの許容値との関係を示す図である。
【図６】実験結果を表す図である。
【図７】従来の技術の磁性流体シール装置の半断面図である。
【図８】従来の技術の他の磁性流体シール装置の半断面図である。
【図９】従来の技術の他の磁性流体シール装置においてスリーブ４の内側隅部Ｒが大きい場合の状態図である。
【符号の説明】
１　ハウジング
２　シャフト（軸）
３　ハウジング側スリーブ
４　シャフト側スリーブ
５　環状磁石（磁界形成手段）
６，７　磁性流体
【図１】
2004138138.tif 000003
【図２】
2004138138.tif 000004
【図３】
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【図４】
2004138138.tif 000006
【図５】
2004138138.tif 000007
【図６】
2004138138.tif 000008
【図７】
2004138138.tif 000009
【図８】
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【図９】
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