(57)【要約】【課題】簡単な構造で、偏光依存損失を確実に低減することができる光可変減衰器および光モジュールを提供する。【解決手段】光可変減衰器１は平面導波路２を有し、この平面導波路２には、入力用光路Ａ及び出力用光路Ｂを形成する光導波路コア３が設けられている。平面導波路２の上面には片持ち梁６が設けられ、この片持ち梁６の先端部には、入力用光路Ａ上を通る光を出力用光路Ｂに向けて反射させる可動ミラー８が固定されている。また、平面導波路２の上面には電極９が設けられている。片持ち梁６と電極９とは電圧源１１を介して接続されており、この電圧源１１により片持ち梁６と電極９との間に電圧を印加することで、両者間に静電気力を発生させて片持ち梁６の先端側部分を電極９側に撓ませる。これにより、可動ミラー８が電極９側に移動する。【選択図】　図１
2004086191.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光信号を入力する入力用光路と前記光信号を出力する出力用光路とを有するベース部材と、
前記入力用光路上を通る光信号を前記出力用光路に向けて反射させる可動ミラーと、
前記可動ミラーを移動させる駆動手段とを備えることを特徴とする光可変減衰器。
【請求項２】
前記可動ミラーは、微小電子機械システム技術により形成されたものであることを特徴とする請求項１記載の光可変減衰器。
【請求項３】
前記ベース部材は、前記入力用光路及び前記出力用光路を構成する２本の光導波路コアを有する平面導波路であり、
前記平面導波路には、前記入力用光路及び前記出力用光路とつながる溝部が設けられ、
前記可動ミラーは、前記溝部内に挿入された状態で移動可能となるように設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の光可変減衰器。
【請求項４】
前記入力用光路と前記出力用光路との仮想交差角度が９度以上であることを特徴とする請求項３記載の光可変減衰器。
【請求項５】
前記溝部内には、前記光導波路コアと同等の屈折率を有するマッチングオイルが充填されていることを特徴とする請求項３または４記載の光可変減衰器。
【請求項６】
前記可動ミラーは、前記ベース部材上に片持ち支持された片持ち梁に取り付けられており、
前記駆動手段は、前記ベース部材上に設けられた電極と、前記片持ち梁と前記電極との間に静電気力を発生させる手段とを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の光可変減衰器。
【請求項７】
前記片持ち梁には、複数の第１櫛歯が設けられており、
前記電極には、前記各第１櫛歯間に挿入される複数の第２櫛歯が設けられていることを特徴とする請求項６記載の光可変減衰器。
【請求項８】
前記可動ミラー、前記片持ち梁及び前記電極は、導電性を有するＳｉで形成され、
前記可動ミラーの表面には、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌのいずれかがコーティングされていることを特徴とする請求項６または７記載の光可変減衰器。
【請求項９】
光減衰量１０ｄＢにおける偏光依存損失が０．２ｄＢよりも小さいことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載の光可変減衰器。
【請求項１０】
前記ベース部材は、前記入力用光路と対向するように設けられ、前記光信号の光量をモニタするためのモニタ用光路を更に有し、
前記可動ミラーは、前記入力用光路と前記モニタ用光路との間に配置されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項記載の光可変減衰器。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項記載の光可変減衰器を備えたことを特徴とする光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信等で用いられる光可変減衰器および光モジュールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光可変減衰器としては、例えば非特許文献１に記載されているものが知られている。この文献に記載の光可変減衰器は、２本の光ファイバを対向させ、この間の空間にシャッターを出し入れして、光減衰量を制御するものである。
【０００３】
【非特許文献１】
電子情報通信学会　信学技報　ＰＳ２００１−３１
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術においては、シャッターのエッジ部での光ビームの回折が原因で発生する偏光依存損失（減衰量波長依存性）を低減するために、２枚のシャッターを使用している。しかし、この場合には、２枚のシャッターを個別に駆動するためのアクチュエータが必要となるため、光可変減衰器の構造が複雑化・大規模化してしまう。
【０００５】
本発明の目的は、簡単な構造で、偏光依存損失を確実に低減することができる光可変減衰器および光モジュールを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の光可変減衰器は、光信号を入力する入力用光路と光信号を出力する出力用光路とを有するベース部材と、入力用光路上を通る光信号を出力用光路に向けて反射させる可動ミラーと、可動ミラーを移動させる駆動手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００７】
このような光可変減衰器において、可動ミラーが所定の位置にあるときは、入力用光路からの光が可動ミラーで全反射して出力用光路に導かれ、その結果として光減衰量が最も小さい状態となる。この状態から、駆動手段により可動ミラーを移動させると、入力用光路からの光の一部だけが可動ミラーで反射するようになり、その結果として光減衰量が増加する。そして、可動ミラーが入力用光路及び出力用光路から完全に外れた位置に達すると、可動ミラーでの光の反射は全く起きないため、反射光が出力用光路に導かれることはなく、その結果として減衰無限大の状態となる。このように本発明の光可変減衰器は、可動ミラーによる光の反射を利用したものであるため、可動ミラーのエッジ部における光の回折の影響を受けずに済む。また、光減衰量を変えるための部材として単なるシャッターを使用する場合と異なり、可動ミラーは一つあればよい。従って、簡単な構造でもって、光の回折効果に起因した偏光依存損失を確実に低減することができる。このとき、光減衰量１０ｄＢにおける偏光依存損失を０．２ｄＢよりも小さくすることが可能となる。
【０００８】
好ましくは、可動ミラーは、微小電子機械システム技術により形成されたものである。これにより、可動ミラーのサイズを小さくできるため、光可変減衰器の小型化を図ることが可能となる。
【０００９】
また、好ましくは、ベース部材は、入力用光路及び出力用光路を構成する２本の光導波路コアを有する平面導波路であり、平面導波路には、入力用光路及び出力用光路とつながる溝部が設けられ、可動ミラーは、溝部内に挿入された状態で移動可能となるように設けられている。このように入力用光路及び出力用光路を有するベース部材を平面導波路で形成することにより、半導体製造技術を用いてベース部材を容易に製作することが可能となり、低コスト化が図れる。
【００１０】
この場合、好ましくは、入力用光路と出力用光路との仮想交差角度が９度以上である。ここで、仮想交差角度とは、入力用光路及び出力用光路をそのまま真っ直ぐに延ばしたと仮定した時に交差する角度をいう。このような仮想交差角度を９度以上とすることにより、可動ミラーで反射して入力用光路に戻る光が低減されるため、戻り光による光損失を低く抑えることができる。
【００１１】
また、好ましくは、溝部内には、光導波路コアと同等の屈折率を有するマッチングオイルが充填されている。これにより、入力用光路及び出力用光路と可動ミラーとの間における光の挿入損失を低減することができる。
【００１２】
さらに、好ましくは、可動ミラーは、ベース部材上に片持ち支持された片持ち梁に取り付けられており、駆動手段は、ベース部材上に設けられた電極と、片持ち梁と電極との間に静電気力を発生させる手段とを有する。このように静電気力を利用して可動ミラーを駆動する構成とすることにより、電流を流さずに済むため、消費電力を小さくすることができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、片持ち梁には、複数の第１櫛歯が設けられており、電極には、各第１櫛歯間に挿入される複数の第２櫛歯が設けられている。これにより、片持ち梁及び電極の表面積が大きくなるため、小さな印加電圧で、片持ち梁と電極との間に大きな静電気力を発生させることができる。また、片持ち梁と電極とが近接するようになるため、印加電圧に対する可動ミラーの移動量の線形性、つまり印加電圧に対する光減衰量の線形性が良くなる。従って、光減衰量を制御しやすくなる。
【００１４】
また、好ましくは、可動ミラー、片持ち梁及び電極は、導電性を有するＳｉで形成され、可動ミラーの表面には、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌのいずれかがコーティングされている。このように導電性を有するＳｉで可動ミラー、片持ち梁及び電極を形成することにより、これらの構造体を安価に製作することができる。また、可動ミラーの表面にＡｕ、Ａｇ、Ａｌのいずれかをコーティングすることにより、反射率の良い高性能な可動ミラーを得ることができる。
【００１５】
さらに、好ましくは、ベース部材は、入力用光路と対向するように設けられ、光信号の光量をモニタするためのモニタ用光路を更に有し、可動ミラーは、入力用光路とモニタ用光路との間に配置されている。このような構成では、入力用光路からの光信号のうち可動ミラーで反射した光が出力用光路に入射され、残りの光は、可動ミラーで反射されずに透過してモニタ用光路に入射されることになる。従って、そのモニタ用光路に入射された透過光の光量を測定することで、減衰後の光信号の光量を確認することが可能となる。この場合には、光方向性結合器等を用いて減衰後の光信号の一部を分岐させなくて済むので、光損失を増大させることなく、減衰後の光信号の光量をモニタすることができる。
【００１６】
また、本発明の光モジュールは、上記の光可変減衰器を備えたことを特徴とするものである。このように可動ミラーによる光の反射を利用して光減衰量を調整する光可変減衰器を設けることにより、上述したように、簡単な構造でもって、光の回折効果に起因した偏光依存損失を確実に低減することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光可変減衰器および光モジュールの好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は、本発明に係る光可変減衰器の一実施形態を示す平面図であり、図２は、その光可変減衰器の垂直方向断面図である。図１及び図２において、本実施形態の光可変減衰器１は平面導波路２を有し、この平面導波路２には、光路Ａ〜Ｄを形成する光導波路コア３が設けられている。ここで、光路Ａは、光信号を入力する入力用光路を構成し、光路Ｂは、光信号を出力する出力用光路を構成している。平面導波路２には、平面導波路２の幅方向に延在し光路Ａ〜Ｄとつながる溝部４が設けられている。
【００１９】
入力用光路Ａと出力用光路Ｂは、溝部６に対して同じ側に略Ｖ字状に形成されている。また、光路Ａと光路Ｄは、溝部４を挟んで対向するように形成され、光路Ｂと光路Ｃは、溝部４を挟んで対向するように形成されている。
【００２０】
このような光路Ａ〜Ｄ及び溝部４を有する平面導波路２は、以下のようにして製作される。即ち、まずクロス状に配置された２本の光導波路コアを有する平面導波路を形成する。続いて、例えば反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を用いて、２本の光導波路コアの交差部に溝部４を形成する。これにより、光路Ａ〜Ｄが形成されることになる。
【００２１】
平面導波路２上には、微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）技術を用いて形成されたアクチュエータ構造体５が設けられている。アクチュエータ構造体５は、平面導波路２の上面に片持ち支持された片持ち梁６を有し、この片持ち梁６は、平面導波路２の一端部から溝部４の位置まで延びている。片持ち梁６の先端側部分には、複数本の櫛歯７が設けられている。片持ち梁６は、好ましくは、低コスト化の観点から、導電性を有するシリコン（Ｓｉ）で形成されている。
【００２２】
片持ち梁６の先端部には、入力用光路Ａ上を通る光信号を出力用光路Ｂに向けて反射させる可動ミラー８が固定されている。この可動ミラー８は、平面導波路２の溝部４内に入り込むように構成されている。なお、可動ミラー８は、例えば厚さが３０μｍ、高さが５０μｍ、幅が５０μｍという寸法を有している。
【００２３】
ここで、光路Ａと光路Ｄとを線で結び、光路Ｂと光路Ｃとを線で結んだときに、これらの線が交差する角度（入力用光路Ａと出力用光路Ｂとの仮想交差角度）θは、９度以上であるのが好ましい（図３参照）。これにより、入力用光路Ａからの光が可動ミラー８で反射したときに、その反射光が入力用光路Ａに戻ることはほとんど無いため、戻り光（漏れ光）による光損失（リターンロス）が低減される。このとき、所望な光反射率を確保しつつ、平面導波路２の幅方向の寸法を小さくするには、入力用光路Ａと出力用光路Ｂとの仮想交差角度θを９〜２０度の範囲内とするのがより好ましい。
【００２４】
可動ミラー８は、片持ち梁６と同様に、導電性を有するＳｉで形成されている。そして、可動ミラー８の表面には、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）等がコーティングされている。これにより、赤外光のような光通信用波長帯域の光に対して反射率が高くなるため、出力用光路Ｂに対する光の挿入損失を低減することができる。
【００２５】
また、アクチュエータ構造体５は、平面導波路２の上面に設けられた電極９を有している。この電極９には、片持ち梁６の各櫛歯７間に挿入される複数本の櫛歯１０が設けられている。電極９も、片持ち梁６と同様に、導電性を有するＳｉで形成されている。
【００２６】
このような片持ち梁６、可動ミラー８及び電極９からなるアクチュエータ構造体５は、例えば誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング（ＩＣＰ−ＲＩＥ）により製作される。
【００２７】
以上の平面導波路２及びアクチュエータ構造体５は、平面導波路２の両端側に配置されたファイバアレイ（図示せず）と共に、パッケージ（図示せず）に収納されている。そして、このパッケージ内には、光導波路コア３と同等の屈折率を有するマッチングオイル（例えばシリコーン樹脂）が充填されている。これにより、平面導波路２の溝部４内にも、マッチングオイルが満たされることになる。従って、入力用光路Ａ及び出力用光路Ｂと可動ミラー８との間で屈折率の不連続面が生じないため、出力用光路Ｂに対する光の挿入損失を低減することができる。
【００２８】
また、片持ち梁６と電極９とは電圧源１１を介して接続されており、この電圧源１１により片持ち梁６と電極９との間に電圧を印加することで、両者間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力によって片持ち梁６の先端側部分が電極９に引き寄せられて撓み、それに伴って可動ミラー８が平面導波路２の溝部４内に挿入された状態で電極９側に移動する（図３参照）。このように片持ち梁６と電極９との間に静電気力を発生させて可動ミラー８を駆動するので、省電力化を図ることができる。
【００２９】
このとき、片持ち梁６には櫛歯７が設けられ、電極９には櫛歯１０が設けられているので、片持ち梁６及び電極９の表面積が全体的に大きくなる。従って、その分だけ片持ち梁６と電極９との間に発生する静電気力が増大するため、片持ち梁６と電極９との間に印加する電圧を低くすることができる。
【００３０】
以上のような光可変減衰器１において、電圧源１１による供給電圧がオフの状態では、図１に示すように片持ち梁６が真っ直ぐに延びている。この状態では、入力用光路Ａから出射された光は、可動ミラー８で全反射して出力用光路Ｂに入射されるため、光減衰器としては最小な光減衰量が得られることになる。
【００３１】
このような初期状態から、電圧源１１により片持ち梁６と電極９との間に電圧を印加すると、片持ち梁６と電極９との間に生じる静電気力によって可動ミラー８が電極９側に移動する。この状態では、入力用光路Ａから出射された光の一部だけが、可動ミラー８で反射して出力用光路Ｂに入射され、残りの光は光路Ｄに入射されるため、光減衰量が大きくなる。
【００３２】
そして、片持ち梁６と電極９との間に印加する電圧を更に上げると、図３に示すように、可動ミラー８が入力用光路Ａ及び出力用光路Ｂから完全に外れる。この状態では、入力用光路Ａから出射された光は、可動ミラー８で反射することなく、全て光路Ｄに入射されるため、光減衰量は無限大（いわゆるシャッター状態）となる。
【００３３】
このように光可変減衰器１においては、片持ち梁６と電極９との間に印加する電圧を変えて、可動ミラー８での反射光の光量を可変させることにより、光減衰量を調整する。このとき、片持ち梁６には櫛歯７が設けられ、電極９には櫛歯１０が設けられており、片持ち梁６の先端側部分と電極９とが近接している。このため、印加電圧に対する光減衰量の線形性が良好となるので、光減衰量の制御が容易に行えるようになる。
【００３４】
以上のように本実施形態の光可変減衰器１にあっては、可動ミラー８による反射光を利用する構成としたので、可動ミラー８のエッジ部に生じる光の回折の影響を受けることは無い。従って、そのような光の回折効果に起因した偏光依存損失（ＰＤＬ）を低く抑えることができる。また、光の回折を低減すべく可動ミラー８のエッジ部分を十分薄く（例えば１μｍ以下）する必要は無いので、可動ミラー８の製作が容易に行える。さらに、使用する可動ミラー８は一つであるため、可動ミラー８を駆動するアクチュエータも一組あれば足り、光可変減衰器の構造が簡素化される。
【００３５】
図４は、上記の光可変減衰器において挿入損失（光減衰量）とＰＤＬとの相関関係を示した実測データである。この実測データの横軸は、片持ち梁と電極との間に供給した電圧を示し、実測データの左側縦軸は挿入損失を示し、実測データの右側縦軸はＰＤＬを示している。同図から分かるように、１０ｄＢ減衰時のＰＤＬは、約０．１５ｄＢと非常に小さくなっている。
【００３６】
図５は、本発明に係る光可変減衰器の他の実施形態を示す平面図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００３７】
図５において、本実施形態の光可変減衰器１Ａは、上記のアクチュエータ構造体５と同等のアクチュエータ構造体５Ａを有している。このアクチュエータ構造体５Ａは、初期状態において可動ミラー８が入力用光路Ａ及び出力用光路Ｂから完全に外れるように構成されている。この状態では、入力用光路Ａからの光は可動ミラー８で全く反射しないため、光減衰量は無限大となる。
【００３８】
このような初期状態から、電圧源１１により片持ち梁６と電極９との間に電圧を印加すると、両者間に生じる静電気力によって可動ミラー８が電極９側に移動する。この状態では、入力用光路Ａからの光の一部が可動ミラー８で反射して出力用光路Ｂに導かれるため、光減衰量が小さくなる。そして、可動ミラー８が図６に示すような位置に達すると、入力用光路Ａからの光が可動ミラー８で全反射して出力用光路Ｂに導かれるため、光減衰量は最小となる。
【００３９】
図７は、上述した光可変減衰器１を備えた光モジュールの一例を示したものである。同図において、光モジュール１２は、波長多重化された信号の中から任意波長の信号をＡｄｄ／Ｄｒｏｐする機能を有する光分岐挿入マルチプレクサ（ＯＡＤＭ）である。
【００４０】
ＯＡＤＭ１２は、複数の２×２光スイッチ１３を有する光スイッチアレイ１４と、複数の光可変減衰器１を有する光可変減衰器アレイ１５とを備えている。各光スイッチ１３と各光可変減衰器１は、主導波路１６（上述した入力用光路Ａに相当）を介してそれぞれ接続されている。
【００４１】
各光スイッチ１３は、主導波路１７を介して分波器１８と接続されている。この分波器１８は、１本の光ファイバ１９を伝搬してきた波長の異なる複数の光信号を各波長毎に分波する。また、各光スイッチ１３には、Ａｄｄ用導波路２４及びＤｒｏｐ用導波路２５が接続されている。
【００４２】
各光可変減衰器１は、主導波路２０（上述した出力用光路Ｂに相当）を介して合波器２１と接続されている。この合波器２１は、各波長の光信号を合波して１本の光ファイバ２２に導く。
【００４３】
各主導波路２０には、光可変減衰器１で減衰された光信号のパワー（光量）を検出する光モニタ２３がそれぞれ設けられている。光モニタ２３は、光可変減衰器１で減衰された光信号の一部を分岐させる光方向性結合器２７と、この光方向性結合器２７で分岐された光を受光する受光器２８とを有している。受光器２８は、例えばフォトダイオード（ＰＤ）である。
【００４４】
各光スイッチ１３、各光可変減衰器１及び各光モニタ２３は、コントローラ２６と接続されている。このコントローラ２６は、各光スイッチ１３に電圧を供給する複数の電圧源と、各光可変減衰器１に電圧を供給する複数の電圧源（前述の電圧源１１に相当）とを有している。コントローラ２６は、光モニタ２３の検出値に基づいて、出力光量（光減衰量）が所望値となるように光可変減衰器１に電圧信号を送出する。また、コントローラ２６は、光スイッチ１３に電圧信号を送出し、導波路１６，１７，２４，２５の光路切換を行う。
【００４５】
図８は、本発明に係る光可変減衰器の更に他の実施形態を示す平面図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４６】
図８において、本実施形態の光可変減衰器５０は、上述した光可変減衰器１と同じ構造を有している。溝部４を挟んで入力用光路Ａと対向する光路Ｄは、光信号の光量をモニタするためのモニタ用光路を構成しており、このモニタ用光路Ｄには、ＰＤ等の受光器５１が接続される。
【００４７】
入力用光路Ａから出射された光信号のうち可動ミラー１０で反射されない光は、溝部４内を透過してモニタ用光路Ｄに入射される。従って、受光器５１によって、モニタ用光路Ｄに入射された光の強度（光量）を測定することで、可動ミラー１０で反射された減衰後の光信号の光量を確認することができる。
【００４８】
図９は、上述した光可変減衰器５０を備えたＯＡＤＭの一例を示したものである。図中、図７に示すＯＡＤＭと同一の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４９】
図９において、ＯＡＤＭ６０は、図７で示した光可変減衰器１の代わりに、図８に示すような光可変減衰器５０を有している。各光可変減衰器５０のモニタ用光路Ｄには、受光器５１が接続されている。このような構成とすることにより、図７に示すように各主導波路２０に光方向性結合器を接続して光信号の一部を分岐させなくても、減衰量制御後の光信号の光量をモニタすることが可能である。従って、光信号の一部を分岐させることによる光損失を抑えることができる。また、光モジュールの部品点数を削減できると共に、光モジュールの小型化が図れる。
【００５０】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、片持ち梁６と電極９との間に生じる静電気力によって可動ミラー８を駆動させる静電アクチュエータを用いたが、電磁力を利用して可動ミラー８を駆動させる電磁アクチュエータ等を用いてもよい。
【００５１】
また、上記実施形態では、入力用光路Ａ及び出力用光路Ｂを横切る平面導波路２の幅方向に可動ミラー８を駆動させる構成としたが、可動ミラー８を上下方向等に駆動させる構成としてもよい。
【００５２】
さらに、上記実施形態では、入力用光路及び出力用光路を光導波路コアで構成したが、本発明は、入力用光路及び出力用光路を光ファイバで構成したものにも適用可能である。
【００５３】
【発明の効果】
本発明によれば、入力用光路上を通る光信号を出力用光路に向けて反射させる可動ミラーと、この可動ミラーを移動させる駆動手段とを設けたので、簡単な構造でもって、光の回折により生じる偏光依存損失を確実に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光可変減衰器の一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１に示す光可変減衰器の垂直方向断面図である。
【図３】図１に示すアクチュエータ構造体の動作状態を示す平面図である。
【図４】図１に示す光可変減衰器において挿入損失と偏光依存損失との相関関係を示した実測データである。
【図５】本発明に係る光可変減衰器の他の実施形態を示す平面図である。
【図６】図５に示すアクチュエータ構造体の動作状態を示す平面図である。
【図７】図１に示す光可変減衰器を備えた光モジュールの一例を示す図である。
【図８】本発明に係る光可変減衰器の更に他の実施形態を示す平面図である。
【図９】図８に示す光可変減衰器を備えた光モジュールの一例を示す図である。
【符号の説明】
１，１Ａ…光可変減衰器、２…平面導波路（ベース部材）、３…光導波路コア、４…溝部、６…片持ち梁、７…櫛歯（第１櫛歯）、８…可動ミラー、９…電極（駆動手段）、１０…櫛歯（第２櫛歯）、１１…電圧源（駆動手段）、１２…光モジュール、５０…光可変減衰器、６０…光モジュール、Ａ…入力用光路、Ｂ…出力用光路、Ｄ…モニタ用光路。
【図１】
2004086191.tif 000003
【図２】
2004086191.tif 000004
【図３】
2004086191.tif 000005
【図４】
2004086191.tif 000006
【図５】
2004086191.tif 000007
【図６】
2004086191.tif 000008
【図７】
2004086191.tif 000009
【図８】
2004086191.tif 000010
【図９】
2004086191.tif 000011