(57)【要約】【課題】複数の有効パターン部を形成するための第一金属マスク及び第二金属マスクをたるみを生じることなくトレイに固定することが可能な構造の多面付けマスク装置及びその組立方法を提供する。【解決手段】トレイ２２の両端に複数の溝３０を形成しておき、その溝３０に第一金属マスク２３を構成するテープ状薄板２３ａを挿入した状態でトレイ２２上に、多数のスリットを並べた構造のすだれ部２８を備えた第一金属マスク２４を乗せ且つ縦方向に張力を付与してトレイ２２に固定し、両端の不要部分を除去した後、テープ状薄板２３ａに張力を付与してたるみを無くし、その状態でトレイ２２に固定することで、多面付けマスク装置を組み立てる構成とする。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦横に複数列ずつ配置された複数の有効パターン部を備えた多面付けマスク装置であって、前記有効パターン部を配置する領域に開口を備えた額縁形状のトレイと、該トレイの表面に、互いに重ねた状態で且つ縦方向に張力を付与した状態で固定され、前記複数の有効パターン部を形成する第一金属マスク及び第二金属マスクとを備え、前記第一金属マスクが、横方向に並んだ有効パターン部と有効パターン部の間の無孔部を形成する複数のテープ状薄板で構成されており、前記第二金属マスクが、前記トレイの開口を覆う大きさの薄板で形成されると共に、横方向に並んだ有効パターン部の各列に対応する領域に、縦方向のスリットを多数並べた構造のすだれ部を形成しており、更に、前記トレイは前記第一金属マスクの各テープ状薄板を取り付ける位置に、前記テープ状薄板の厚さにほぼ等しい深さで且つ前記トレイの開口から外周に通じる溝を形成し、その溝内に前記テープ状薄板を挿入して取り付けていることを特徴とする多面付けマスク装置。
【請求項２】
前記第一金属マスクと第二金属マスクが前記トレイに対してスポット溶接により固定されていることを特徴とする請求項１記載の多面付けマスク装置。
【請求項３】
請求項１に記載の多面付けマスク装置を組み立てる方法であって、前記第一金属マスクを構成するテープ状薄板として、前記トレイよりも長い長さのテープ状薄板を用意し、該テープ状薄板の両端部分を前記トレイに形成している溝に通して該トレイよりも外側に延び出させ、前記トレイの外側に配置している保持用バーに固定し、次いで、前記第二金属マスクを縦方向に張力を付与した状態で前記トレイ及びテープ状薄板の上に配置し、その両端部分を前記トレイに固定し、その後、前記保持用バーを前記トレイから離れる方向に移動させて前記テープ状薄板に縦方向の張力を加え、この状態で該テープ状薄板を前記トレイに固定し、その後、前記保持用バー及び前記テープ状薄板の不要部分を除去することを特徴とする多面付けマスク装置の組立方法。
【請求項４】
前記保持用バーが複数の調整ボルトを備えており、該調整ボルトによって前記トレイと保持用バーの間隔を拡げて前記テープ状薄板に張力を加えることを特徴とする請求項３記載の多面付けマスク装置の組立方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、有機ＥＬ素子製造において有機層やカソード電極を真空蒸着によって形成する際に用いるのに好適な、多面付けマスク装置並びにその組立方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開２００３−６８４５３号公報
【特許文献２】特開２００３−６８４５４号公報
従来、有機ＥＬ素子製造において真空蒸着が行われており、その蒸着マスクとして、多数のスリットを備えた開口部（パターン部という）を有する金属薄板が使用されている。そして蒸着に当たってはその蒸着マスクを、前記パターン部よりも大きい開口を備えた剛性の大きい額縁形状のトレイに磁石等によって取り付けていた。しかしながら、近年、パターニングの微細化が進み、パターン部に形成しているスリットが微細になり且つ蒸着マスクの板厚自体も薄くなってくると、蒸着マスクを単にトレイに磁石等を用いて固定しただけでは、パターン部にゆがみやたるみが生じ、スリット精度を維持できなくなるという問題が生じた。そこで、本出願人は先に、蒸着マスクをトレイに取り付けた状態で、その蒸着マスクをパターン部のスリット方向に引張った状態に保持することの可能な蒸着マスクの保持治具を開発した（特許文献１参照）。この保持治具を用いると、パターン部のスリットを構成する細線部分を長手方向に引っ張った状態に保持できるので、スリットを直線状に且つ一定ピッチに保持でき、高精細パターニングが可能であるという利点が得られる。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載の蒸着マスクは、１枚の蒸着マスクに１個のパターン部を形成しているのみであるので、生産性が悪いという問題点があった。そこで、生産性を上げるには、図８に示すように、１枚の蒸着マスク１に、多数のスリットを備えたパターン部２を複数個、形成した多面付けマスクを用いれば良いと考えられる。ところが、多数のパターン部２を備えた多面付けマスクでは、その両端を引張って各パターン部２のスリットを引き揃えようとした場合、パターン部と無孔部とで剛性が異なるため、パターン部２にゆがみやたるみが生じ、所望のスリットパターンが得られないという問題があった。
【０００４】
そこで、この問題点を解決するものとして、本出願人は先に、蒸着範囲を定める開口を複数個形成した第一金属マスクと多数の微細なスリットを広い面積に形成した第二金属マスクを重ね、各開口とそれに重なるスリットによって有効パターン部を形成する構成とし、これらの第一金属マスクと第二金属マスクをベースプレートに取り付けると共に第二金属マスクをスリット方向に引張った状態に保持することの可能な多面付けマスク装置を開発した（特許文献２参照）。この多面付けマスク装置では、第二金属マスクのほぼ全幅に渡ってスリットを形成しているので、全体を均一に引張ってスリットを平行に揃えることが可能であり、多面付けでありながら高精細パターニングが可能であるという利点が得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２に記載の多面付けマスク装置は、第二金属マスクを張力を付加した状態に保持するために、第二金属マスクの一端をベースプレートに対して移動可能なスライダに固定し、そのスライダに圧縮コイルバネでばね力を付与する構造としているため、構造が複雑であるという問題があった。そこで、本発明者らは多面付けマスク装置の構造を簡略化すべく検討の結果、スライダや圧縮コイルバネを用いなくても、第二金属マスクに張力を加えた状態で額縁形状のトレイに直接固定することで、第二金属マスクのスリットを整列させた状態に保持することができることを見出し、図９〜図１１に示す多面付けマスク装置５を開発した。この多面付けマスク装置５は、大きい開口１０を備えた額縁形状のトレイ６とその表面に重ねて取り付けられる第一金属マスク７及び第二金属マスク８を備えたものであり、その第一金属マスク７は、縦方向（Ｙ−Ｙ方向）に延びる開口１１を複数個有し、第二金属マスク８は、多数のスリットを並べて形成した帯状のすだれ部１２を複数個、縦方向に適当な間隔をあけて形成しており、各開口１１とすだれ部１２の重なる領域で所定サイズの有効パターン部１３を形成している。なお、本明細書において、縦方向（Ｙ−Ｙ方向）とは、第二金属マスクに形成したスリットの方向を、横方向（Ｘ−Ｘ方向）とはそのスリットに直交する方向を示すものとする。そして、この多面付けマスク装置５を組み立てるに当たっては、図１０（ａ）に示すように、第一金属マスク７を縦方向に引っ張り、その状態でその両端領域をトレイ６にスポット溶接して固定し（図中、符号１４はスポット溶接部を示す）、次いで、図１０（ｂ）に示すように、第一金属マスク７の上に第二金属マスク８を乗せ、その第二金属マスク８を縦方向に引っ張り、その状態でその両端領域をトレイ６にスポット溶接して（図中、符号１５はスポット溶接部を示す）固定していた。この構成の多面付けマスク装置５は、トレイ６に第一金属マスク７と第二金属マスク８を取り付けた構造であるので、構造が簡単であり、しかも、第二金属マスク８は張力を付与した状態でトレイ６に固定されているので、スリットが平行に整列された状態に維持されており、高精細パターニングが可能であり、また多面付けが可能であるので生産性が良いという利点を有している。
【０００６】
ところが、この構成の多面付けマスク装置５にも更に改良すべき点のあることが判明した。すなわち、第二金属マスク８のすだれ部１２に形成しているスリットを整列させるには、第二金属マスク８に縦方向の大きい張力を付与することが必要であり、そのため、第二金属マスク８に大きい張力を付与した状態でその第二金属マスク８をトレイ６にスポット溶接して固定した時、トレイ６の剛性が低い場合には、図１２に示すように、第二金属マスク８の張力によってトレイ６に矢印方向のたわみが生じることがあり、これによって先に固定していた第一金属マスク７にたるみを生じ、問題となることがあった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、第一金属マスクや第二金属マスクを、たるみを生じることなく組み立てることができる、構造簡単な且つ高精細パターニングが可能な多面付けマスク装置及びその組立方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべくなされた本発明の多面付けマスク装置は、額縁形状のトレイに、第一金属マスクと第二金属マスクを重ねた状態で且つ縦方向に張力を付与した状態で取り付けることによって、縦横に複数列ずつ配置された複数の有効パターン部を形成する構成とし、その第二金属マスクを、横方向に並んだ有効パターン部の各列に対応する領域に、縦方向のスリットを多数並べた構造のすだれ部を有する構造とし、更に、前記第一金属マスクを、横方向に並んだ有効パターン部と有効パターン部の間の無孔部を形成する複数のテープ状薄板で構成すると共に前記トレイの、前記テープ状薄板を取り付ける位置に、前記テープ状薄板の厚さにほぼ等しい深さで且つトレイの開口から外周に通じる溝を形成し、その溝内に前記テープ状薄板を挿入して取り付ける構成としたものである。この構成により、多面付けマスク装置の組立に当たって、まず、第一金属マスクを構成するテープ状薄板をトレイ表面の溝に通して外側に延び出させ、次いで、第二金属マスクに張力を付与した状態でトレイ表面に固定し、その後、第一金属マスクのテープ状薄板の両端を引張ってそのテープ状薄板に張力を付与し、たるみを無くした状態でトレイ表面に固定するという操作を行うことができる。この際、第一金属マスクに付与する張力は第二金属マスクに付与した張力よりもかなり小さくて良いので、第一金属マスクに張力を付与してトレイ表面に固定した時に、先に固定していた第一金属マスクがたるむということはなく、このため、剛性の低いトレイに対しても第一金属マスク及び第二金属マスクを共にたるみの無い状態で固定することができる。
【０００９】
ここで、前記第一金属マスクと第二金属マスクを前記トレイに対して固定する手段として、レーザによるスポット溶接を採用することが好ましい。スポット溶接を用いることで、固定のための部品を必要としないので構造が簡単となり、且つ固定作業を容易に実施できる。
【００１０】
本発明の組立方法は、上記した構成の本発明の多面付けマスク装置を組み立てる方法であって、前記第一金属マスクを構成するテープ状薄板として、前記トレイよりも長い長さのテープ状薄板を用意し、該テープ状薄板の両端部分を前記トレイに形成している溝に通して該トレイよりも外側に延び出させ、前記トレイの外側に配置している保持用バーに固定し、次いで、前記第二金属マスクを縦方向に張力を付与した状態で前記トレイ及びテープ状薄板の上に配置し、その両端部分を前記トレイに固定し、その後、前記保持用バーを前記トレイから離れる方向に移動させて前記テープ状薄板に縦方向の張力を加え、この状態で該テープ状薄板を前記トレイに固定し、その後、前記保持用バー及び前記テープ状薄板の不要部分を除去することを特徴とするものであり、この構成により、剛性の低いトレイに対しても第一金属マスク及び第二金属マスクを共にたるみの無い状態で固定することができる。
【００１１】
ここで、テープ状薄板の取り付けに使用する保持用バーには複数の調整ボルトを設け、その調整ボルトによって前記トレイと保持用バーの間隔を拡げて前記テープ状薄板に張力を加える構成とすることが好ましい。この構成とすることで、簡単な操作でテープ状薄板に適度な張力を加えることができ、多面付けマスク装置の組立を容易に実施できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の多面付けマスク装置は、蒸着操作用のマスク装置として任意の蒸着に使用できるが、特に精密さを要求される有機ＥＬ素子の有機層又はカソード電極の蒸着に用いることが好適である。以下、有機ＥＬ素子の有機層又はカソード電極の蒸着に用いる多面付けマスク装置を例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。図１は本発明の実施の形態に係る多面付けマスク装置２１の概略斜視図、図２はその多面付けマスク装置２１の概略下面図、図３はその多面付けマスク装置２１の分解斜視図である。本実施の形態に係る多面付けマスク装置２１は、額縁形状のトレイ２２と、そのトレイ２２の表面に、縦方向（図３のＹ−Ｙ方向）に張力を付与した状態で固定された第一金属マスク２３及び第二金属マスク２４を備えている。第一金属マスク２３と第二金属マスク２４は、両者を重ね合わせてトレイ２２に固定することにより、所定サイズの有効パターン部２５を縦横に複数列ずつ配置した構造を形成するものである。トレイ２２は、前記第一金属マスク２３と第二金属マスク２４を縦方向に張力を付与した状態で保持するためのものであり、前記有効パターン部２５を配置する領域に開口２６を備えている。
【００１３】
第一金属マスク２３は、横方向に並んだ有効パターン部２５と有効パターン部２５の間の無孔部を形成する複数のテープ状薄板２３ａで構成されている。第二金属マスク２４は、トレイ２２の開口２６を覆う大きさの薄板で形成されると共に、横方向に並んだ有効パターン部２５の各列に対応する領域に、縦方向のスリットを多数並べた構造のすだれ部２８を形成している。かくして、この第一金属マスク２３と第二金属マスク２４を重ねることにより、縦横にならんだ複数の有効パターン部２５を形成できる。図３から良く分かるように、トレイ２２は、第一金属マスク２３の各テープ状薄板２３ａを取り付ける位置に、そのテープ状薄板２３ａの厚さにほぼ等しい深さで且つ開口２６から外周に通じる溝３０を形成しており、その溝３０内にテープ状薄板２３ａを挿入しうる構成となっている。多面付けマスク装置２１を形成するトレイ２２、第一金属マスク２３、第二金属マスク２４はそれぞれ金属材料で形成される。例えば、トレイ２２には、ＳＵＳ３０４などのステンレス鋼、インバー材などが使用され、第一及び第二金属マスク２３、２４には、４２アロイ、ステンレス鋼、インバー材などが使用される。第一金属マスク２３及び第二金属マスク２４で形成する有効パターン部２５の寸法やその中に形成しているスリットの寸法、各マスクの厚さ等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、有効パターン部２５の長さＬ（図２参照）は５０〜７０ｍｍ、幅Ｗは３０〜５０ｍｍ、スリットの幅は５０〜１００μｍ、スリットを構成する金属細線の幅は１００〜１５０μｍ、第一金属マスク２３の厚さは３０〜２００μｍ、第二金属マスク２４の厚さは３０〜２００μｍ等を例示できる。
【００１４】
次に、上記構造の多面付けマスク装置２１の組立方法を説明する。図４は多面付けマスク装置２１を組み立てる前の各構成部品を示す概略斜視図である。組立前には、第一金属マスク２３を構成するテープ状薄板２３ａとして、トレイ２２よりも長い長さのテープ状薄板を用意し、そのテープ状薄板２３ａの両端近傍に、折り曲げることで容易に切断可能な、溝形態などの易切断線３２を形成しておく。なお、易切断線３２は、テープ状薄板２３ａに加える引張力には耐え得る強度を備えたものである。また、第二金属マスク２４としても、トレイ２２上に固定して残す領域よりも長い長さのものを用意し、その両端近傍に、折り曲げることで容易に切断可能な、溝形態などの易切断線３３を形成しておく。なお、易切断線３３も、第二金属マスク２４に加える引張力には耐え得る強度を備えたものである。一方、トレイ２２の縦方向の両端の外側には、保持用バー３５をトレイ２２に対して接近及び離間方向に移動可能な形態で設けておく。この保持用バー３５には複数のねじ穴３６を形成しており、そのねじ穴３６に調整ボルト３７を取り付けている。この構造により、この調整ボルト３７をねじ込んで行くことで、その調整ボルト３７先端でトレイ２２を押し、保持用バー３５をトレイ２２から離れる方向に移動させることができる。
【００１５】
組立に当たっては、まず、図５（ａ）に示すように、第一金属マスク２３を形成するテープ状薄板２３ａをトレイ２２の溝３０に通して該トレイ２２よりも外側に延び出させ、且つ横方向（Ｘ−Ｘ方向）の位置決めを行う。この位置決めは、溝３０をテープ状薄板２３ａとほぼ同一幅に形成しておき、その溝３０にテープ状薄板２３ａを嵌合させることで行っても良いし、位置決めピンと位置決め穴を用いても良い。また、この位置決めの際、テープ状薄板２３ａには縦方向（Ｙ−Ｙ方向）の小さい張力を付与してたるみの無い状態としておく。これにより、位置決めを正確に行うことができる。次いで、テープ状薄板２３ａの両端を保持用バー３５に固定する。この固定は、溶接、接着剤による固定、ボルト止め等任意であるが、この実施の形態ではレーザによるスポット溶接により行う（図中、符号３８はスポット溶接部を示す）。
【００１６】
次に、図５（ｂ）に示すように、トレイ２２及び第一金属マスク２３の上に第二金属マスク２４を配置し、その第二金属マスク２４の両端をクランプ（図示せず）で把持し、引っ張ることで第二金属マスク２４に縦方向に張力を付与して、各すだれ部２８のスリットを平行に引き揃える。この際、各すだれ部２８は第二金属マスク２４のほぼ全幅に渡って形成されているので、第二金属マスク２４の両端を引張ってすだれ部２８に大きい張力を加え、スリットを平行に引き揃えても、第二金属マスク２４に不安定なゆがみやたわみが生じることはなく、従って、各すだれ部２８のスリットが高精細なものであっても正確なパターンに整列させることができる。第二金属マスク２４に張力を付与して各スリットを整列させた後、その状態でその第二金属マスク２４をトレイ２２に対して縦横両方向に位置決めし、次いでトレイ２２に固定する。この固定も、溶接、接着剤による固定、ボルト止め等任意であるが、この実施の形態ではレーザによるスポット溶接により行う（図中、符号３９はスポット溶接部を示す）。この際、テープ状薄板２３ａは、その厚さにほぼ等しい深さの溝３０内に挿入されているので、その上に乗せた第二金属マスク２４はトレイ２２の表面及びテープ状薄板２３ａに密着した状態とすることができる。その後、図５（ｃ）に示すように、第二金属マスク２４の両端近傍の易切断線３３を利用して、その外側の不要部分を切り離し、除去する。これにより、第二金属マスク２４はトレイ２２に固定、保持され、第二金属マスク２４は張力を付加した状態に維持される。なお、トレイ２２には第二金属マスク２４に付加していた張力が作用することとなるので、トレイ２２は、わずかではあるが変形することとなり、先に張ったテープ状薄板２３ａにたるみが生じることがある。
【００１７】
そこで、テープ状薄板２３ａを固定している保持用バー３５の調整ボルト３７をねじ込んで、保持用バー３５をトレイ２２から離れる方向に移動させ、テープ状薄板２３ａに張力を付与してたるみを除去する。この時に付与する張力は、テープ状薄板２３ａのたるみを除去できる程度の小さいものでよく、第二金属マスク２４に付与している張力に比べるとはるかに小さいので、トレイ２２はほとんど変形しない。従って、第二金属マスク２４に付与している張力が小さくなってスリットの整列が乱れるといったことは生じない。テープ状薄板２３ａのたるみを除去した後、その状態で、第二金属マスク２４の上からテープ状薄板２３ａをトレイ２２に固定する。この固定も、溶接、接着剤による固定、ボルト止め等任意であるが、この実施の形態ではレーザによるスポット溶接により行う（図中、符号４０はスポット溶接部を示す）。その後、保持用バー３５及びそれに固定しているテープ状薄板２３ａの不要部分を易切断線３２を利用して切り離し除去する。以上により、図１、図２に示す構造の多面付けマスク装置２１が組み立てられる。
【００１８】
得られた多面付けマスク装置２１は、多数の有効パターン部２５を備えており且つこの有効パターン部２５を形成する第一金属マスク２３及び第二金属マスク２４が共に縦方向の張力を加えた状態に保持されているため、各有効パターン部２５の外形が正確な形に保たれると共にスリットが正確に整列された状態となっている。かくして、この多面付けマスク装置２１を、有機ＥＬ素子の有機層やカソード電極の真空蒸着に用いることにより、高精細なパターンの蒸着を正確に行うことができ、有機ＥＬ素子の有機層やカソード電極を品質よく且つ生産性良く形成できる。
【００１９】
なお、上記した実施の形態では、第一金属マスク２３を形成するテープ状薄板２３ａをその全長に渡って一定幅としており、図６（ａ）に示すように、トレイ２２に形成した溝３０の幅も、そのテープ状薄板２３ａの幅に等しく設定しているが、テープ状薄板２３ａの幅は必要に応じ変更してもよい。例えば、図６（ｂ）に示すテープ状薄板２３ｂは、トレイ２２に固定する領域の幅を狭くし、トレイ２２に形成する溝３０ｂの幅もそれに合わせて狭くしたものである。この構成とすると、トレイ２２の溝３０ｂと溝３０ｂとの間隔が広くなり、第二金属マスクの固定に使用可能な領域が広くなって、大きい張力を付加した状態の第二金属マスクを安定して固定することができる。また、上記した実施の形態では、第一金属マスク２３のテープ状薄板２３ａをトレイ２２に固定するに際し、第二金属マスク２４の上からレーザによるスポット溶接を行っており、第二金属マスク２４と第一金属マスク２３をスポット溶接部４０によりトレイ２２に固定しているが、本発明はこの構成に限らず、テープ状薄板２３ａのみをトレイ２２に固定するようにしてもよい。図７はその場合の実施の形態を示すものである。この実施の形態では、第二金属マスク２４をトレイ２２よりも短くし、その下に配置したテープ状薄板２３ａの両端を露出させ、スポット溶接部４０によりトレイ２２に固定している。
【００２０】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、第一金属マスクと第二金属マスクを重ねることで複数の有効パターン部を形成可能な構成の多面付けマスク装置において、剛性の低いトレイに対しても第一金属マスクと第二金属マスクをたるみの無い状態で固定することができ、各有効パターン部に高精細スリットを形成した場合においてもスリットを正確に整列させた状態に保持できる。かくして、本発明の多面付けマスク装置を用いて蒸着操作を行うことで、高精細パターニングを高品質で且つ生産性良く行うことができ、例えば、有機ＥＬ素子の有機層或いはカソード電極を高品質で且つ生産性良く形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る多面付けマスク装置の概略斜視図
【図２】図１に示す多面付けマスク装置の概略下面図
【図３】図１に示す多面付けマスク装置を分解して示す概略斜視図
【図４】図１に示す多面付けマスク装置を、組み立てる前の状態で示す概略斜視図
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、図１に示す多面付けマスク装置を組み立てる手順を示す概略斜視図
【図６】（ａ）は図１の多面付けマスク装置におけるトレイとそれに取り付けたテープ状薄板の一部を示す概略平面図
（ｂ）はトレイとテープ状薄板の変形例を示す、上記（ａ）と同一部分の概略平面図
【図７】本発明の他の実施の形態を示す概略平面図
【図８】多面付けマスクの１例を示す概略平面図
【図９】先に開発した多面付けマスク装置の分解斜視図
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、図９に示す多面付けマスク装置を組み立てる手順を示す概略斜視図
【図１１】図９に示す多面付けマスク装置を組み立てた状態で示す概略下面図
【図１２】図１１に示す多面付けマスク装置の概略断面図
【符号の説明】
２１  多面付けマスク装置
２２  トレイ
２３  第一金属マスク
２３ａ  テープ状薄板
２４  第二金属マスク
２５  有効パターン部
２６  開口
２８  すだれ部
３０  溝
３２、３３  易切断線
３５  保持用バー
３６  ねじ穴
３７  調整ボルト
３８、３９、４０  スポット溶接部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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