(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドを構成する板状部材の接合における接着剤の塗布において、微細領域にまで接着剤を確実に塗布できるようにする。【解決手段】相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、板状部材の一つであるアクチュエータユニットにより板状部材の他の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、圧力室内のインク液を板状部材のさらに他の一つであるノズル板６に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、ノズル板６における接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部６ａを形成し、当該親水化処理部６ａの一部に接着剤１５を塗布して接着剤１５を親水化処理部６ａに濡れ広げてその全域に行き渡らせた後、接着剤１５を介して接合対象となる板状部材と接合する。【選択図】　図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、前記板状部材の一つであるアクチュエータユニットにより前記板状部材の他の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、前記圧力室内のインク液を前記板状部材のさらに他の一つであるノズル板に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドであって、
少なくとも一つの前記板状部材は、接合面の接着部分のみが親水化処理されて親水化処理部が形成され、当該親水化処理部の全域に接着剤が塗布されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記親水化処理部が形成されてその全域に前記接着剤が塗布された前記板状部材は、前記ノズル板、またはインク共通液室および前記ノズル孔に連通するインク流路孔が形成されて前記ノズル板に接合されるインク共通液室板であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記接着剤は所定粒径のスペーサ部材を含有することを特徴とする請求項１または２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット式記録装置。
【請求項５】
一方の部材における他方の部材との接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、
当該親水化処理部の一部に接着剤を塗布してこの接着剤を前記親水化処理部に濡れ広げてその全域に行き渡らせた後、
前記接着剤を介して２つの部材を接合することを特徴とする接合方法。
【請求項６】
一方の部材における他方の部材との接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、
当該親水化処理部における広域部に接着剤を塗布してこの接着剤を前記親水化処理部の狭隘部に濡れ広げてその全域に行き渡らせた後、
前記接着剤を介して２つの部材を接合することを特徴とする接合方法。
【請求項７】
相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、前記板状部材の一つであるアクチュエータユニットにより前記板状部材の他の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、前記圧力室内のインク液を前記板状部材のさらに他の一つであるノズル板に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
少なくとも一つの前記板状部材における接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、
当該親水化処理部の一部に接着剤を塗布して前記接着剤を前記親水化処理部に濡れ広げてその全域に行き渡らせた後、
前記接着剤を介して接合対象となる前記板状部材と接合することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記親水化処理部が形成されてその全域に前記接着剤が行き渡らされた前記板状部材は、前記ノズル板、またはインク共通液室および前記ノズル孔に連通するインク流路孔が形成されて前記ノズル板に接合されるインク共通液室板であることを特徴とする請求項７記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記親水化処理は、レーザ光、電子線または紫外光の照射、あるいはプラズマ処理で行うことを特徴とする請求項７または８記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記親水化処理に先立って、前記接合面全体に撥水処理を施すことを特徴とする請求項７〜９の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記親水化処理部は、硬化前の前記接着剤と前記接合面との接触角が２０°以下とされていることを特徴とする請求項７〜１０の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記接合面における前記親水化処理部以外の領域では、硬化前の前記接着剤と前記接合面との接触角が２５〜９０°とされていることを特徴とする請求項７〜１１の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記接着剤の塗布量は、前記接着剤が親水化処理部の全域に濡れ広がったときの前記接着剤と前記接合面との接触角が、前記接合面における前記親水化処理部以外の領域における前記接着剤と前記接合面との接触角となるときの塗布量以下とすることを特徴とする請求項７〜１２の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記接着剤は所定粒径のスペーサ部材を含有することを特徴とする請求項７〜１３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドおよびその製造方法、接合方法，インクジェット式記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット式記録装置のインクジェットヘッドは、ノズル孔が形成されたノズル板、インク共通液室およびノズル孔に連通するインク流路孔が形成されたインク共通液室板、インク共通液室に連通するインク供給孔およびインク流路孔に連通する接続孔が形成されたインク供給孔板、インク供給孔および接続孔に連通する圧力室が形成された圧力室板、およびアクチュエータユニットが順次積層された構造を有しており、アクチュエータユニットにより圧力室の容積を変化させて圧力室内のインク液をノズル孔から吐出させている。
【０００３】
このような積層構造において、ノズル板とインク共通液室板、インク供給孔板と圧力室板、圧力室板とアクチュエータユニットは、それぞれ接着剤で接合されている。
【０００４】
インクジェットヘッドにおける接着技術としては、振動板の圧電素子側の露出した面に接着剤で濡れない処理をし、圧電素子と脚部を接着剤で接合するときに、接着剤が脚部の側面を伝わって振動板の露出した面に付着することを防ぎ、振動板の剛性が局部的に高くなることを防止する技術が開示されている。（例えば特許文献１を参照）。また、チャンバ室に圧力を加える振動板とヘッド駆動部との接合部とそれ以外の部分とを、相対的な撥水力の差を持たせるよう加工・形成することにより接着剤が所望の面積外へはみ出さないようにし、ノズル間の性能特性にばらつきのない安価なインクジェットヘッドを得る技術が開示されている。（例えば特許文献２を参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−１２１６９４号公報（第５頁）
【特許文献２】
特開平１１−２０１６０号公報（第３頁）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
今日におけるインクジェットヘッドの高密度、狭ピッチ化の要請からノズル孔などの開口部は微細化の一途を辿っており、これに伴って、接着剤を入り込んだ狭い領域にまで正確に塗布することが要求される。
【０００７】
しかしながら、前述した技術では、接着剤を微細領域にまで塗布することができない。
【０００８】
これでは、ノズル間のインク吐出特性にバラツキが発生し、高品質な印字画像を安定して得ることができない。
【０００９】
そこで、本発明は、微細領域にまで接着剤を確実に塗布することのできる技術を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドは、相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、板状部材の一つであるアクチュエータユニットにより板状部材の他の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、圧力室内のインク液を板状部材のさらに他の一つであるノズル板に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドであって、少なくとも一つの板状部材は、接合面の接着部分のみが親水化処理されて親水化処理部が形成され、当該親水化処理部の全域に接着剤が塗布されているものである。
【００１１】
また、この課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、板状部材の一つであるアクチュエータユニットにより板状部材の他の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、圧力室内のインク液を板状部材のさらに他の一つであるノズル板に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、少なくとも一つの板状部材における接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、当該親水化処理部の一部に接着剤を塗布して接着剤を親水化処理部に濡れ広げてその全域に行き渡らせた後、接着剤を介して接合対象となる板状部材と接合するようにしたものである。
【００１２】
このように、接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、この親水化処理部の一部に接着剤を塗布して濡れ広げ、全域に行き渡らせるようにしているので、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、板状部材の一つであるアクチュエータユニットにより板状部材の他の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、圧力室内のインク液を板状部材のさらに他の一つであるノズル板に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドであって、少なくとも一つの板状部材は、接合面の接着部分のみが親水化処理されて親水化処理部が形成され、当該親水化処理部の全域に接着剤が塗布されているインクジェットヘッドであり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００１４】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１記載の発明において、親水化処理部が形成されてその全域に接着剤が塗布された板状部材は、ノズル板、またはインク共通液室およびノズル孔に連通するインク流路孔が形成されてノズル板に接合されるインク共通液室板であるインクジェットヘッドであり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００１５】
本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、接着剤は所定粒径のスペーサ部材を含有しているインクジェットヘッドであり、接着される２つの板状部材を相互に押圧してもスペーサ部材があるために両者が完全に密着しないので、接着剤が親水化処理部である接着部分以外の領域にまで広がることが防止されるという作用を有する。
【００１６】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載のインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置であり、安定したインク吐出により高画質の印字を行うことが可能になるという作用を有する。
【００１７】
本発明の請求項５に記載の発明は、一方の部材における他方の部材との接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、当該親水化処理部の一部に接着剤を塗布してこの接着剤を親水化処理部に濡れ広げてその全域に行き渡らせた後、接着剤を介して２つの部材を接合する接合方法であり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００１８】
本発明の請求項６に記載の発明は、一方の部材における他方の部材との接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、当該親水化処理部における広域部に接着剤を塗布してこの接着剤を親水化処理部の狭隘部に濡れ広げてその全域に行き渡らせた後、接着剤を介して２つの部材を接合する接合方法であり、直接塗布では行き渡らない微細領域である狭隘部にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００１９】
本発明の請求項７に記載の発明は、相互に積層して接合された複数の板状部材を備え、板状部材の一つであるアクチュエータユニットにより板状部材の他の一つである圧力室板に形成された圧力室の容積を変化させ、圧力室内のインク液を板状部材のさらに他の一つであるノズル板に形成されたノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、少なくとも一つの板状部材における接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、当該親水化処理部の一部に接着剤を塗布して接着剤を親水化処理部に濡れ広げてその全域に行き渡らせた後、接着剤を介して接合対象となる板状部材と接合するインクジェットヘッドの製造方法であり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００２０】
本発明の請求項８に記載の発明は、請求項７記載の発明において、親水化処理部が形成されてその全域に接着剤が行き渡らされた板状部材は、ノズル板、またはインク共通液室およびノズル孔に連通するインク流路孔が形成されてノズル板に接合されるインク共通液室板であるインクジェットヘッドの製造方法であり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００２１】
本発明の請求項９に記載の発明は、請求項７または８記載の発明において、親水化処理は、レーザ光、電子線または紫外光の照射、あるいはプラズマ処理で行うインクジェットヘッドの製造方法であり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００２２】
本発明の請求項１０に記載の発明は、請求項７〜９の何れか一項に記載の発明において、親水化処理に先立って、接合面全体に撥水処理を施すインクジェットヘッドの製造方法であり、接着剤が濡れ広がる領域である親水化処理部以外の領域では撥水性を示すので、接着剤を確実に親水化処理部のみに濡れ広げることが可能になるという作用を有する。
【００２３】
本発明の請求項１１に記載の発明は、請求項７〜１０の何れか一項に記載の発明において、親水化処理部は、硬化前の接着剤と接合面との接触角が２０°以下とされているインクジェットヘッドの製造方法であり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００２４】
本発明の請求項１２に記載の発明は、請求項７〜１１の何れか一項に記載の発明において、接合面における親水化処理部以外の領域では、硬化前の接着剤と接合面との接触角が２５〜９０°とされているインクジェットヘッドの製造方法であり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００２５】
本発明の請求項１３に記載の発明は、請求項７〜１２の何れか一項に記載の発明において、接着剤の塗布量は、接着剤が親水化処理部の全域に濡れ広がったときの接着剤と接合面との接触角が、接合面における親水化処理部以外の領域における接着剤と接合面との接触角となるときの塗布量以下とするインクジェットヘッドの製造方法であり、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという作用を有する。
【００２６】
本発明の請求項１４に記載の発明は、請求項７〜１３の何れか一項に記載の発明において、接着剤は所定粒径のスペーサ部材を含有するインクジェットヘッドの製造方法であり、接着される２つの板状部材を相互に押圧してもスペーサ部材があるために両者が完全に密着しないので、接着剤が親水化処理部である接着部分以外の領域にまで広がることが防止されるという作用を有する。
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、図１から図７を用いて説明する。なお、これらの図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。
【００２８】
図１は本発明の一実施の形態である強誘電体素子が用いられたインクジェット式記録装置の全体概略構成を示す斜視図、図２は図１のインクジェット式記録装置におけるインクジェットヘッドの要部を示す斜視図、図３は図２のインクジェットヘッドの分解斜視図、図４は図２のインクジェットヘッドの断面図、図５は図２にインクジェットヘッドにおけるノズル板に対する親水化処理の手順を示す説明図、図６は親水化処理されたノズル板に塗布された接着剤を示す説明図、図７は図６の接着剤における濡れ広がり前と濡れ広がり後の状態を示す説明図である。
【００２９】
図１に示すインクジェット式記録装置４０は、強誘電体素子の圧電効果を利用して記録を行う本発明のインクジェットヘッド４１を備え、このインクジェットヘッド４１から吐出したインク滴を紙等の記録媒体４２に着弾させて、記録媒体４２に記録を行うものである。インクジェットヘッド４１は、主走査方向Ｘに配置したキャリッジ軸４３に設けられたキャリッジ４４に搭載されていて、キャリッジ４４がキャリッジ軸４３に沿って往復動するのに応じて、主走査方向Ｘに往復動する。さらに、インクジェット式記録装置４０は、記録媒体４２をインクジェットヘッド４１の幅方向（すなわち、主走査方向Ｘ）と略垂直方向の副走査方向Ｙに移動させる複数個のローラ（移動手段）４５を備える。
【００３０】
図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド４１は、ノズル孔１４が形成されたノズル板６と、ノズル孔１４に連通するインク流路孔１３が形成されるとともにインク共通液室１２が形成されたインク共通液室板５と、インク共通液室１２に連通するインク供給孔１０およびインク流路孔１３に連通する接続孔１１が形成されたインク供給孔板４と、インク供給孔１０および接続孔１１に連通する圧力室９が形成された圧力室板３と、圧力室９の容積を変化させて圧力室９内のインク液をノズル孔１４から吐出させるアクチュエータユニット２とを備え、これらの板状部材２，３，４，５，６が順次積層して接合された構造を有している。そして、インク共通液室１２はインク液供給方向に並ぶ圧力室９間で共用されており、また、アクチュエータユニット２や圧力室９などは整列配置されている。なお、板状部材２〜６はこれらに限定されるものではなく、たとえばさらに他の板状部材を付加したり、これらに代わる板状部材を用いたり、これらの板状部材の一部を一体化してもよい。
【００３１】
図４に詳しく示すように、アクチュエータユニット２は、圧力室９を覆うようにして圧力室板３上に固定された振動板兼共通電極８ａ、振動板兼共通電極８ａ上に形成された強誘電体膜７、強誘電体膜７上に形成された個別電極８ｂとを有している。そして、個別電極８ｂと振動板兼共通電極８ａとは、圧力室９の容積を変化させる方向に強誘電体膜７を相互に協働して変位させる。
【００３２】
ここで、ノズル板６、インク共通液室板５およびインク供給孔板４は、たとえばＳＵＳからなる。圧力室板３は、たとえば感光性ガラスにフォトリソグラフィ技術により圧力室９を形成して焼成したものからなる。また、ノズル孔１４およびインク供給孔１０はたとえばマイクロ放電加工により形成され、インク流路孔１３、インク共通液室１２および接続孔１１はたとえばケミカルエッチングにより形成されている。
【００３３】
さらに、アクチュエータユニット２を構成する個別電極８ｂは例えばＰｔ（白金）で、強誘電体膜７は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で、振動板兼共通電極８ａは例えばＣｒ（クロム）やＮｉ（ニッケル）で、それぞれ形成されている。また、個別電極８ｂは例えば厚さ０．２μｍに、強誘電体膜７は例えば厚さ３μｍに、振動板兼共通電極８ａは例えば厚さ２μｍに、各々成膜されている。
【００３４】
個別電極８ｂ、強誘電体膜７、振動板兼共通電極８ａなどの形成方法は、公知の各種の膜形成法、例えばスクリーン印刷の如き厚膜法やディッピング等の塗布法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、真空蒸着法、ゾルゲル法、メッキ等の薄膜形成法等が適宜採用され得るが、それらに何等限定されるものではない。
【００３５】
なお、本実施の形態では共通電極と振動板とを一体とした構造（振動板が共通電極を兼ねている構造）となっているが、両者は別々に形成されていてもよい。その場合には、圧力室板３の上に振動板を固定し、その上に共通電極が形成されることになる。
【００３６】
さらに、本実施の形態に示す振動板兼共通電極８ａ、強誘電体膜７、個別電極８ｂのそれぞれの膜間には、例えばそれぞれの膜の接合を良くするなどの目的で、これら以外の層を介在させてもよい。
【００３７】
前述した積層構造において、ノズル板６とインク共通液室板５、インク供給孔板４と圧力室板３、圧力室板３とアクチュエータユニット２は、それぞれ接着剤１５で接合されている。
【００３８】
そして、圧力室板３とアクチュエータユニット２とは、たとえばアクリル樹脂からなる接着剤１５を電着、押圧して加熱硬化させて相互に固定されている。また、インク供給孔板４と圧力室板３とは、たとえばエポキシ樹脂からなる接着剤１５をフィルム塗布したものを転写し、押圧、加熱硬化させて相互に固定されている。そして、ノズル板６とインク共通液室板５とは、たとえばエポキシ樹脂からなる接着剤１５をスクリーン印刷により塗布し、押圧、加熱硬化させて固定されている。
【００３９】
ここで、ノズル板６とインク共通液室板５とを接合している接着剤１５の塗布技術について、図５〜図７を用いて詳細に説明する。
【００４０】
なお、本実施の形態では、以下に説明する塗布技術をノズル板６への接着剤１５の塗布に適用しているが、インク共通液室板５への接着剤１５の塗布に適用してもよい。また、他の接合箇所、たとえば圧力室板３とアクチュエータユニット２との接合、インク供給孔板４と圧力室板３との接合における接着剤１５の塗布に適用してもよい。
【００４１】
まず最初に、図５（ａ）に示すように、ノズル板６におけるインク共通液室板５との接合面Ｆの接着部分のみを親水化処理して親水化処理部６ａを形成する。すなわち、親水化処理部のパターンが形成された光学マスク１６を使用し、この光学マスク１６を介してノズル板６における親水化処理部６ａのエリアのみに、たとえばＵＶ（紫外）光やエキシマＵＶ光を照射する。なお、親水化処理は、レーザ光や電子線、プラズマ処理など、他の手段で行ってもよい。この場合には、光学マスク１６は不要になる。
【００４２】
接着部分のみを親水化処理して親水化処理部６ａを形成したならば、図５（ｂ）に示すように、この親水化処理部６ａの一部に、たとえばスクリーン印刷法を用いて接着剤１５を塗布する。なお、親水化処理部６ａを複数形成した場合には、連続した領域の親水化処理部６ａ毎に接着剤１５を塗布する。
【００４３】
図６（ａ）に示すように、接着剤１５を塗布するエリアは、たとえばスクリーンの最小メッシュピッチまたはエリアよりも広いエリア、すなわち微細領域以外のエリアとする。すなわち、親水化処理部６ａにおいて、接着剤１５が塗布可能な広さを有する領域（このような領域を、本明細書において「広域部」という。）とする。
【００４４】
親水化処理部６ａの一部に接着剤１５を塗布して所定時間放置あるいは所定の処理を加え、図５（ｃ）および図６（ｂ）に示すように、接着剤１５を親水化処理部６ａに濡れ広げ、つまり接着剤１５の存在しない親水化処理部６ａには親水化による濡れ現象を利用して広げ、その全域に行き渡らせる。すなわち、親水化処理部６ａの広域部に接着剤１５を塗布して、この接着剤１５を親水化処理部６ａにおいて接着剤１５が塗布できない程度に狭い領域（このような領域を、本明細書において「狭隘部」という。）に濡れ広げてその全域に行き渡らせる。
【００４５】
このようにして親水化処理部６ａの全域、つまり接着部分に接着剤１５を塗布したならば、ノズル板６とインク共通液室板５とを位置合わせして接着剤１５を押圧して加熱硬化させると、ノズル板６とインク共通液室板５とが相互に固定される。
【００４６】
以上説明したように、本実施の形態によれば、接着部分のみを親水化処理して親水化処理部６ａを形成し、この親水化処理部６ａの一部、つまり広域部に接着剤１５を塗布してこれを濡れ広げ、全域に行き渡らせるようにしている。これにより、直接塗布できない微細領域である狭隘部にまで接着剤１５を確実に塗布することが可能になり、接着剤１５の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができる。
【００４７】
これにより、接着剤１５をインクジェットヘッドの微細領域にまで塗布することが可能になるので、ノズル間のインク吐出特性を安定化させることができる。
【００４８】
そして、このようなインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置によれば、安定したインク吐出により高画質の印字を行うことが可能になる。
【００４９】
なお、前述した親水化処理に先立って、接合面Ｆ全体に撥水処理を施すようにしてもよい。これによれば、接着剤１５が濡れ広がる領域である親水化処理部６ａ以外の領域では撥水性を示すので、接着剤１５を確実に親水化処理部６ａのみに濡れ広げることが可能になる。
【００５０】
なお、親水化処理部６ａは、硬化前の接着剤１５と接合面Ｆとの接触角θが、たとえば２０°以下となるよう調整されている。接触角は、レーザ光、ＵＶ（紫外線）、ＥＢ（電子線）の照射またはプラズマ処理の強度および時間により調整される。
【００５１】
また、接合面Ｆにおける親水化処理部６ａ以外の領域（親水化処理をされていない領域、および撥水処理された領域）では、硬化前の接着剤１５と接合面Ｆとの接触角が、たとえば２５〜９０°となるよう調整されている。接触角は、液状撥水処理剤の塗布や揮発性撥水処理剤への雰囲気暴露により調整される。
【００５２】
そして、図７において、接着剤１５の塗布量（図７（ａ））は、接着剤１５が親水化処理部６ａの全域に濡れ広がったときの接着剤１５と接合面Ｆとの接触角θ（図７（ｂ））が、接合面Ｆにおける親水化処理部以外の領域における接着剤６ａと接合面Ｆとの接触角となるときの塗布量以下とするのが適当と考えられる。
【００５３】
なお、接着剤１５には、所定粒径（たとえば１〜２０μｍ）のスペーサ部材を含有したものを用いることができる。スペーサ部材の入った接着剤１５を用いれば、接着される２つの板状部材を相互に押圧してもスペーサ部材があるために両者が完全に密着しないので、接着剤１５が親水化処理部６ａである接着部分以外の領域にまで広がることがない。
【００５４】
なお、以上の説明においては、本発明をインクジェットヘッド４１における板状部材の接合に適用した場合を説明したが、本発明は微細領域への接着剤の塗布に広く適用することができる。
【００５５】
つまり、相互に接合される一方の部材における他方の部材との接合面Ｆの接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、この親水化処理部の一部に接着剤を塗布して接着剤を親水化処理部に濡れ広げてその全域に行き渡らせ、接着剤を介して２つの部材を接合することができる。
【００５６】
また、一方の部材における他方の部材との接合面の接着部分のみを親水化処理して親水化処理部を形成し、この親水化処理部における広域部に接着剤を塗布してこの接着剤を親水化処理部の狭隘部に濡れ広げてその全域に行き渡らせ、接着剤を介して２つの部材を接合することができる。
【００５７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、直接塗布では行き渡らない微細領域にまで接着剤を確実に塗布することが可能になり、接着剤の塗布パターンを確実に所望の形状とすることができるという有効な効果が得られる。
【００５８】
所定粒径のスペーサ部材を含有した接着剤を用いれば、接着される２つの板状部材を相互に押圧してもスペーサ部材があるために両者が完全に密着しないので、接着剤が親水化処理部である接着部分以外の領域にまで広がることが防止されるという有効な効果が得られる。親水化処理に先立って、接合面全体に撥水処理を施せば、接着剤が濡れ広がる領域である親水化処理部以外の領域では撥水性を示すので、接着剤を確実に親水化処理部のみに濡れ広げることが可能になるという有効な効果が得られる。
【００５９】
そして、本発明のインクジェットヘッドを備えたインクジェット式記録装置によれば、安定したインク吐出により高画質の印字を行うことが可能になるという有効な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である強誘電体素子が用いられたインクジェット式記録装置の全体概略構成を示す斜視図
【図２】図１のインクジェット式記録装置におけるインクジェットヘッドの要部を示す斜視図
【図３】図２のインクジェットヘッドの分解斜視図
【図４】図２のインクジェットヘッドの断面図
【図５】図２にインクジェットヘッドにおけるノズル板に対する親水化処理の手順を示す説明図
【図６】親水化処理されたノズル板に塗布された接着剤を示す説明図
【図７】図６の接着剤における濡れ広がり前と濡れ広がり後の状態を示す説明図
【符号の説明】
２　アクチュエータユニット
３　圧力室板
４　インク供給孔板
５　インク共通液室板
６　ノズル板
６ａ　親水化処理部
９　圧力室
１０　インク供給孔
１１　接続孔
１２　インク共通液室
１３　インク流路孔
１４　ノズル孔
１５　接着剤
４０　インクジェット式記録装置
４１　インクジェットヘッド
Ｆ　接合面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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