(57)【要約】【課題】ダイヤフラム部の背面側空間に存在する被制御流体の透過ガスを排出し、弁体作動部を保護することができるダイヤフラム弁の透過ガス排出構造を提供する。【解決手段】バルブブロック１１に外周部３２を固定されたダイヤフラム部３０の中心部に弁座１６に対して進退する弁体部２０を一体に有するダイヤフラム弁１０において、前記バルブブロック１１に前記ダイヤフラム部３０の背面側空間４０と連通するパージ用気体の流入部４１及び流出部４２を設け、前記ダイヤフラム部３０の背面側空間４０に存在する被制御流体の透過ガスをパージ用気体の流通によって外部へ排出するようにしたことを特徴とするダイヤフラム弁１０の透過ガス排出構造。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブブロックに外周部を固定されたダイヤフラム部の中心部に弁座に対して進退する弁体部を一体に有するダイヤフラム弁において、
前記バルブブロックに前記ダイヤフラム部の背面側空間と連通するパージ用気体の流入部及び流出部を設け、前記ダイヤフラム部の背面側空間に存在する被制御流体の透過ガスをパージ用気体の流通によって外部へ排出するようにしたことを特徴とするダイヤフラム弁の透過ガス排出構造。
【請求項２】
前記パージ用気体の流出部側の配管系にガス濃度又は液漏れを検知する手段が配置された請求項１に記載のダイヤフラム弁の透過ガス排出構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、流体制御に使用されるダイヤフラム弁に関し、特にはその透過ガス排出構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体の製造ラインあるいは各種薬品の製造ライン等では、純水、腐食性流体、有機溶剤、オゾン水、電解水等の各種の流体が使用され、これらの流体の流通の切換あるいは流量を制御するためにダイヤフラム弁が使用されている。
【０００３】
ダイヤフラム弁は、バルブブロックに外周部を固定されたダイヤフラム部の中心部に設けられた弁体部が弁室内を進退し、弁座との間の開口を開閉し又は開口量を変化させることによって、被制御流体の流通を制御する。この種ダイヤフラム弁にあっては、そのダイヤフラム部が弁室内で被制御流体と接触しており、被制御流体に由来するガス成分が該ダイヤフラム部を透過し、ダイヤフラム部の背面側空間へ移行することがある。
【０００４】
このガス成分としては、オゾンガスやアミン系ガス等の腐蝕性を有する場合があり、ダイヤフラム部の背面側に配置された弁体作動部を腐食させるおそれがある。また、バルブボディから漏出することによって、周辺の環境を悪化させかねない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は前記の点に鑑みなされたもので、ダイヤフラム部の背面側空間に存在する被制御流体の透過ガスを外部へ排出し、弁体作動部を保護し、あわせて周辺の環境を悪化させないダイヤフラム弁の透過ガス排出構造を提案するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
すなわち、請求項１の発明は、バルブブロックに外周部を固定されたダイヤフラム部の中心部に弁座に対して進退する弁体部を一体に有するダイヤフラム弁において、前記バルブブロックに前記ダイヤフラム部の背面側空間と連通するパージ用気体の流入部及び流出部を設け、前記ダイヤフラム部の背面側空間に存在する被制御流体の透過ガスをパージ用気体の流通によって外部へ排出するようにしたことを特徴とするダイヤフラム弁の透過ガス排出構造に係る。
【０００７】
請求項２の発明は、前記パージ用気体の流出部側の配管系にガス濃度又は液漏れを検知する手段が配置された請求項１に記載のダイヤフラム弁の透過ガス排出構造に係る。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図１はこの発明の一実施例に係るダイヤフラム弁の開状態を示す縦断面図、図２は同じくダイヤフラム弁の閉状態を示す縦断面図である。
【０００９】
図示したように、このダイヤフラム弁１０は、バルブブロック１１（１１ａ、１１ｂ）に外周部３２を固定されたダイヤフラム部３０の中心部に、弁座１６に対して進退する弁体部２０を一体に有する。図において符号１２は被制御流体の流入部、１３は流出部、１５は弁室、１６は弁座である。また、符号５０は前記弁体部２０を進退する弁体作動部を表し、符号５１はシリンダ室、５２はピストン部材、５３及び５４はピストン部材５２を作動する流体（ここではエア）の流出入部である。ピストン５２と前記弁体部２０とは図示のように作動連結部材５５によって接続されている。
【００１０】
このダイヤフラム弁１０により制御される流体としては、純水、腐食性流体、有機溶剤、オゾン水、電解水、ガス等、各種の液体及び気体が挙げられる。そのため、バルブブロック１１や弁体部２０及びダイヤフラム部３０は、いずれもフッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成されることが望ましい。なお、バルブブロック１１は、組付の便宜上、図の下側から順に第一ブロック１１ａ、第二ブロック１１ｂ、第三ブロック１１ｃに分割されている。
【００１１】
そして、前記バルブブロック１１（ここでは第二ブロック１１ｂ）には、前記ダイヤフラム部３０の背面側空間４０と連通するパージ用気体の流入部４１及び流出部４２が設けられていて、前記ダイヤフラム部３０の背面側空間４０に存在する被制御流体由来の透過ガスが外部へ排出されるようになっている。
【００１２】
すなわち、パージ用気体の流入部４１からダイヤフラム部３０の背面側空間４０内に透過ガスをパージするためのパージ用気体（空気や窒素ガス等）を流入し、前記背面側空間４０内のパージ用気体をパージ用気体の流出部４２から流出することによって背面側空間４０に存在する透過ガスを排出するのである。この実施例では、図示のように、ピストン５２と前記弁体部２０とを接続する作動連結部材５５の外周に大径空間４３が形成されており、かつ該大径空間４３はダイヤフラム部３０の背面側空間４０と連通したものであるから、前記パージ用気体の流入部４１及び流出部４２からの流路４１Ａ及び４２Ａはいずれも該大径空間４３に接続されている。もちろん、これらの流路４１Ａ及び４２Ａはダイヤフラム部３０の背面側空間４０と直接連通してもよいことはいうまでもない。
【００１３】
パージ用気体の流出部４２からパージ用気体とともに流出した透過ガスは、配管６０を介してバルブ１０外の所定排出先に送り込まれ、必要により図示しない公知の処理装置を経て廃棄される。これによって、作業環境の悪化や周辺の空気汚染等を防止することが可能となる。
【００１４】
さらに、請求項２の発明として規定したように、前記パージ用気体の流出部４２側の配管６０系にガス濃度又は液漏れを検知する手段６５を配置してもよい。これによって、ダイヤフラム部３０の背面側空間４０の透過ガス量の変移や液漏れ等の状態を検知することができる。被制御流体の流通状況やダイヤフラム部の状態も知ることができる。なお、ガス濃度又は液漏れを検知する手段としては公知の検知機器を用いることができる。
【００１５】
【発明の効果】
以上図示し説明したように、この発明のダイヤフラム弁の透過ガス排出構造によれば、バルブブロックにダイヤフラム部の背面側空間と連通するパージ用気体の流入部及び流出部を設け、前記流入部からダイヤフラム部の背面側空間へパージ用気体を送り、前記流出部から流出することにより、ダイヤフラム部の背面側空間に存在する被制御流体の透過ガスを排出することができ、弁体作動部が透過ガスの影響により腐食するのを防ぐことができる。
【００１６】
また、前記透過ガスはパージ用気体の流出部からバルブ外の所定排出先に送り込まれ、必要により処理装置を経て廃棄され、これによって、作業環境の悪化や周辺の空気汚染等を防止することが可能となる。
【００１７】
また、請求項２の発明のように、パージ用気体の流出部側の配管系にガス濃度又は液漏れを検知する手段を配置すれば、ダイヤフラム部の背面側空間の透過ガス量の変移や液漏れ等の状態を検知することができ、さらに、被制御流体の流通状況やダイヤフラム部の状態も知ることができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例に係るダイヤフラム弁の開状態を示す縦断面図である。
【図２】同ダイヤフラム弁の閉状態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１０　ダイヤフラム弁
１１　バルブブロック
１６　弁座
２０　弁体部
３０　ダイヤフラム部
３２　外周部
４０　背面側空間
４１　流入部
４２　流出部
【図１】
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【図２】
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