(57)【要約】【課題】噴射室の噴射口の拡開を防止し、しかも簡素で強固な構造を有する除塵ヘッドを提供する。【解決手段】洗浄エアの流入口１ｊおよび洗浄エアの噴射口１ａが設けられる噴射室１と、噴射室１内で流入口１ｊと噴射口１ａとの間に設けられ、洗浄エアが通過する通過孔１ｃを有する隔壁１ｂと、塵埃を含むエアを吸引する吸引口２ａおよびエアを排気する排気口２ｂを有する二個の吸引室２とを備え、噴射室１、隔壁１ｂおよび、噴射室の両側に隣接する二個の吸引室２が、一体構造であるような除塵ヘッドとした。【選択図】　図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄エアの流入口および洗浄エアの噴射口が設けられる噴射室と、
噴射室内で流入口と噴射口との間に設けられ、洗浄エアが通過する通過孔を有する隔壁と、
を備え、
前記噴射室および前記隔壁が、一体構造であることを特徴とする除塵ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記隔壁は前記噴射口側に近接して設けられることを特徴とする除塵ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射室内に放電部を設けたことを特徴とする除塵ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射室の流入口および前記隔壁の通過孔は略同一径の円であって、中心軸が略一致するように設けられることを特徴とする除塵ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射口は長尺のスリットであることを特徴とする除塵ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記流入口および前記通過孔がスリットの長手方向に沿って複数配置されることを特徴とする除塵ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射室の片側または両側に、エアを吸引する吸引口が設けられた吸引室を備えることを特徴とする除塵ヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射室、前記隔壁および前記吸引室が、一体構造であることを特徴とする除塵ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、除塵対象に対し、単なる清浄エア、超音波周波数で振動する超音波を含むエア、または、プラス・マイナスイオンを含むエア（以下、これらを総称して洗浄エアという）を噴出する除塵ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等に用いられるガラス基板、または、長尺の紙、フィルム等のシートなどの除塵対象（以下、単に除塵対象という）に対して、除塵装置により除塵が行われている。
【０００３】
図５はこのような現行の除塵装置の概略の構成図であって、図５（ａ）は一部破断された外観斜視図、図５（ｂ）は破断面の断面図である。図５（ａ）で示すように、除塵装置１０００は、除塵ヘッド１００、排気配管２００、流入配管３００、ヘッド本体４００、エンドプレート５００を備え、図５（ｂ）で示すように、除塵対象６００に洗浄エアを噴射して、除塵を行う装置である。なお、流路等については後述する。
【０００４】
このうち除塵ヘッド１００は洗浄エアを除塵対象６００に噴出し、塵埃を除塵対象６００から飛散させ、飛散した塵埃をエアとともに吸引する機能を有している。この除塵ヘッド１００について、図を参照しつつ、さらに詳しく説明する。
【０００５】
図６は従来技術の除塵ヘッドの除塵対象側から見た斜視構造図、図７は従来技術の除塵ヘッドのヘッド本体側から見た一部の斜視構造図である。　図６，図７で示すように、除塵ヘッド１００は、中央の一区画の噴射室１０１、この噴射室１０１の両側の二区画の吸引室１０２、噴射室１０１・吸引室１０２を覆って両側にフランジが張り出している天板１０３、プラスイオン・マイナスイオンを生成する放電部１０４（図７のみに図示）を備えている。
【０００６】
なお、実際の使用時では、図５で示すように除塵ヘッド１００の両側の開口部がエンドプレート５００で閉鎖され、閉じられた噴射室１０１・吸引室１０２が形成される。
噴射室１０１は、さらに、図６，図７で示すように、噴射口１０１ａおよび流入口１０１ｂを、吸引室１０２は吸引口１０２ａおよび排気口１０２ｂを備えている。
【０００７】
噴射室１０１の噴射口１０１ａは、図６で示すように。長尺のスリット状に形成されている。このように噴射口１０１ａが細長いため、幅広の除塵対象６００の全領域に余すところなく洗浄エアを吹き付けるようにして除塵対象６００から塵埃を飛散させるため、洗浄エアが吹き付けられずに塵埃が残留する事態が発生しないように配慮されている。
【０００８】
続いて、このような除塵装置１０００における流路について説明する。図５（ｂ）、図７で示すように流入配管３００、ヘッド本体４００内部の流入流路４００ａ、および、除塵ヘッド１００の流入口１０１ｂを通過して、噴射室１０１内に洗浄エアが流入する。洗浄エアは、噴射口１０１ａから除塵対象６００へ噴射され、除塵対象６００に付着する塵埃を飛散させる。
【０００９】
この塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１０２ａを通じて吸引室１０２へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１００の排気口１０２ｂ（図７参照）、ヘッド本体４００の排気流路４００ｂ（図５（ｂ）参照）、および、排気配管２００（図５（ａ）参照）を介して、外部へ排気される。
従来技術の除塵装置１０００はこのような構成・機能を有していた。
【００１０】
しかしながら、この従来技術の除塵ヘッド１００では、噴射室１０１の噴射口１０１ａを図６で示したように長くすることに起因する問題があった。この点について図を参照しつつ説明する。図８は除塵ヘッドの変形を説明する説明図である。運転前で噴射室１０１内が加圧されていない静止時では、図８（ａ）で示すように変形等は生じないが、運転時、つまり噴射室１０１内部が加圧された時では、図８（ｂ）で示すように噴射口１０１ａを通過する洗浄エアが、噴射口１０１ａを拡開し、噴射室１０１が矢印方向に変形するという現象が知見されている。このような現象は圧力が大きければ大きい程、拡開が大きくなることが知られており、このような噴射口１０１ａの変形により洗浄エアの噴射量・噴射速度が設定値から逸脱してしまい、除塵性能に影響を及ぼすという問題があった。
【００１１】
このような噴射口１０１ａの拡開を防ぐため、現状では図９で示すような補強が施されている。図９は、除塵ヘッドの補強を説明する説明図である。例えば、図９（ａ）で示すように、噴射室１０１内に補強材１０５ａを張り渡した状態で、ねじ１０５ｂ・ナット１０５ｃにより固定し、噴射室１０１が変形しないようにすることで噴射口１０１ａの拡開を防止している。
【００１２】
しかし、このような構造は、噴射室１０１の両側にある吸引室１０２からねじ１０５ｂ・ナット１０５ｃを固定する必要が生じ、吸引室１０２の側面に孔を開けて図示しない取付用の作業孔を設けなければならず、吸引室１０２の強度低下による補強工程・作業孔を塞ぐ工程の追加等、コスト上昇が避けられない構造であった。
【００１３】
また、図９（ｂ）で示すように、噴射室１０１、両側の吸引室１０２を覆う天板１０３に補強部材１０６を張り渡し、噴射室１０１が変形しないようにすることで噴射口１０１ａの拡開を防止する構造もある。この場合、図９（ａ）で示す構造よりも取り付けが容易であって、コスト上昇を抑制することが可能である。
【００１４】
しかしながら、噴射室１０１の流入口１０１ｂと補強部材１０６との間を完全密閉にすることが困難なため、洗浄エアの流出が生じるおそれがあり、洗浄エアの流出による噴射量・噴射速度が設定値から逸脱し、除塵性能に影響を及ぼすという問題があった。
【００１５】
また、同様な理由で吸引室１０２の排気口１０２ｂからエアの流出が生じるおそれがあり、収集した塵埃をまた飛散してしまうおそれ等もあるため、別途密閉対策が必要となり、結果として複雑な構造になるという問題があった。
上記した従来技術では、補強に伴い他の構造・機能に影響を及ぼすため、結果として構造の複雑化・機能の低下を招来するという問題があった。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点を解決するためのものであり、その目的は、噴射室の噴射口の拡開を防止し、しかも簡素で強固な構造を有する除塵ヘッドを提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題を解決するため、請求項１に係る発明の除塵ヘッドによれば、
洗浄エアの流入口および洗浄エアの噴射口が設けられる噴射室と、
噴射室内で流入口と噴射口との間に設けられ、洗浄エアが通過する通過孔を有する隔壁と、
を備え、
前記噴射室および前記隔壁が、一体構造であることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項２に係る発明の除塵ヘッドによれば、
請求項１に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記隔壁は前記噴射口側に近接して設けられることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項３に係る発明の除塵ヘッドによれば、
請求項１または請求項２に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射室内に放電部を設けたことを特徴とする。
【００２０】
また、請求項４に係る発明の除塵ヘッドによれば、
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射室の流入口および前記隔壁の通過孔は略同一径の円であって、中心軸が略一致するように設けられることを特徴とする。
【００２１】
また、請求項５に係る発明の除塵ヘッドによれば、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射口は長尺のスリットであることを特徴とする。
【００２２】
また、請求項６に係る発明の除塵ヘッドによれば、
請求項５に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記流入口および前記通過孔がスリットの長手方向に沿って複数配置されることを特徴とする。
【００２３】
また、請求項７に係る発明の除塵ヘッドによれば、
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射室の片側または両側に、エアを吸引する吸引口が設けられた吸引室を備えることを特徴とする。
【００２４】
また、請求項８に係る発明の除塵ヘッドによれば、
請求項７に記載の除塵ヘッドにおいて、
前記噴射室、前記隔壁および前記吸引室が、一体構造であることを特徴とする。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。本実施形態の除塵装置は、図５〜図８を用いて説明した従来技術の除塵装置１０００とほぼ同じ構成を有しているが、除塵ヘッドの構成が相違する。そこで、除塵装置については重複する説明を省略し、相違点である除塵ヘッドついてのみ図を参照しつつ重点的に説明する。
【００２６】
図１は本発明の除塵ヘッドの実施形態の外観斜視図である。図２は除塵ヘッドの内外構造を示す図であって図２（ａ）はＡ矢視図、図２（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図、図２（ｃ）はＣ−Ｃ線断面図である。図３はＣ−Ｃ線断面の斜視図である。図４は除塵ヘッドの内部構造を示す図であって図４（ａ）はＤ−Ｄ線断面図、図４（ｂ）はＥ−Ｅ線断面図である。
本実施形態の除塵ヘッド１０は、図２（ａ）で示すように、噴射室１、吸引室２、天板３を備えている。これら構造については、従来技術と同様であるが、噴射室内が相違する。
【００２７】
この除塵ヘッド１０の個々の構成について説明する。
噴射室１は、さらに詳しくは、図１〜図４で示すように、噴射口１ａ、隔壁１ｂ、通過孔１ｃ、放電部１ｄ、エミッタ１ｅ、溝部１ｆ、通過孔１ｇ、突出部１ｈ、切り欠き部１ｉ、流入口１ｊが含まれる。
【００２８】
噴射口１ａは、図６で示した従来技術の噴射口１０１ａと同様に長尺のスリットである。図６で示す噴射口１０１ａの長手方向に対して略垂直方向から除塵対象が進入してくるため、除塵対象の全領域に洗浄エアを噴射することができる。
隔壁１ｂは、図２（ａ），図４（ｂ）で示すように、噴射口１ａと流入口１ｊとの間に設けられ、好ましくは噴射口１ａ側に近接して配置される。これは、隔壁１ｂの配置が噴射口１ａ側に近づくにつれて、洗浄エアが噴射口１ａを通過することに伴う噴射口１ａの拡開が発生しづらくなるためである。
【００２９】
通過孔１ｃは、図２（ｃ），図４（ｂ）で示すように、隔壁１ｂに複数個設けられ、流入口１ｊから流入する洗浄エアを噴射口１ａまで導通させる。
放電部１ｄは、図２（ｂ），（ｃ）で示すように噴射室１内であって隔壁１ｂよりも上流側に配置され、洗浄エアにプラスイオン・マイナスイオンを放出する機能を有している。
この放電部１ｄにはエミッタ１ｅが取り付けられており、エミッタ１ｅは直流電流または交流電流が印加されてプラスイオン・マイナスイオンをコロナ放電により放出する。
【００３０】
溝部１ｆは、図２（ａ）のａ部拡大図で示すように噴射室１に設けられ、この溝部１ｆに放電部１ｄの突出部１ｈを摺動させつつ挿入し、噴射室１内に取り付けることとなる。
通過孔１ｇは放電部１ｄの配置と同時に形成される。図４（ａ）で示すように放電部１ｄの突出部１ｈに切り欠き部１ｉが設けられており、図２（ａ）のａ部拡大図で示すように突出部１ｈを溝部１ｆに摺動させつつ放電部１ｄを挿入して噴射室１内に取り付けた場合に、図４（ａ）で示すように、切り欠き部１ｉが摺動溝１ｆで覆われて通過孔１ｇとなるものである。
流入口１ｊは、図１，図２（ｃ），図３で示すように、除塵ヘッド１０の上面の天板３に設けられる。
【００３１】
吸引室２は、図１，図２（ｃ），図３で示すように、吸引口２ａと排気口２ｂとを備えている。
吸引口２ａは、図６で示した従来技術の吸引口１０２ａと同様の形状の長尺のスリットであり、噴射口１ａから噴射された洗浄エアにより飛散した塵埃を周辺エアとともに吸引する。
排気口２ｂは、吸引口２ａから吸引された気体を排気するための開口である。除塵ヘッド１０の構成はこのようなものである。
【００３２】
ここで除塵ヘッド１０の製造方法について説明する。
この除塵ヘッド１０は、押し出し成形により製造される。例えば、アルミなどの金属材料を型に押し込んで、噴射室１、吸引室２、隔壁１ｂ、天板３が一体になった除塵ヘッド１０を成形し、端部等の末端処理を行って完成する。なお、押し出し成形終了直後は、流入口１ｊ（図１，図２（ｃ），図３参照）、隔壁１ｂの通過孔１ｃ（図２（ｃ），図４（ｂ）参照）、噴射口１ａおよび吸引口２ａはまだ形成されていない。
【００３３】
このように押し出し成形された除塵ヘッド１０に対して矢印Ｆ方向（図１参照）からドリルを進入させ、流入口１ｊ・通過孔１ｃの孔開けを一度で行う。このような孔開けを多数回行う。
同様に、除塵ヘッド１０に対して矢印Ｆ方向からドリルを進入させ、排気口２ｂの孔開けを行う。このような孔開けを多数回行う。なお、この排気口２ｂは、図７で示した排気口１０２ｂのような配置としても良い。
【００３４】
その後に図６で示した噴出口１０１ａ・吸引口１０２ａと同様の形状の長尺のスリットである噴射口１ａ・吸引口２ａをフライス盤等で切削加工して図１〜図４で示す除塵ヘッド本体を完成させ、さらに噴出室１の側部開口から放電部１ｄを挿入して除塵ヘッド１０を完成させる。この除塵ヘッド１０では、噴射室１、隔壁１ｂおよび吸引室２が一体構造として形成されている。
【００３５】
以上説明した製造方法からも明らかなように、除塵装置１０の製造は大変容易である。
また、従来技術のように、補強用の特別な部材、および、この部材の取り付け作業が不要となり、製造コストを低減することができる。
【００３６】
続いて、除塵ヘッド１０の動作および構造について説明する。
流入口１ｊから洗浄エアを流入させると、放電部１ｄの通過孔１ｇを通過する。この洗浄エアには放電部１ｄから放出されたプラスイオン・マイナスイオンが含まれる。さらに、このような洗浄エアが隔壁１ｂの通過孔１ｃを通過し、噴射口１ａまで到達し、洗浄エアが噴射口１ａから噴射される。
【００３７】
この場合、噴射室１内は高圧となるが、図４（ｂ）で示すように隔壁１ｂが噴射室１内で一体に張り渡されて補強されているため、従来技術のような噴射口１ａの拡開の発生を抑制している。
さらに、隔壁１ｂを噴射口１ａ側に近接した位置に配置したため、噴射口１ａの拡開の発生をさらに抑制している。この隔壁１ｂの位置は噴射口１ａに近い程噴射口１ａの拡開の発生を抑制できるが、その代わりに除塵ヘッド本体の押し出し成形が困難になるため、適宜間隔があけられる。これら間隔は実状に応じて適宜設定される。
このような除塵ヘッド１０の吸引口２ａから塵埃とともに周辺エアが吸引され、排気口２ｂを介して排気される。
除塵ヘッド１０の動作および構造はこのようなものとなる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、噴射室の噴射口の拡開を防止し、しかも簡素で強固な構造を有する除塵ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の除塵ヘッドの実施形態の外観斜視図である。
【図２】除塵ヘッドの内外構造を示す図であって図２（ａ）はＡ矢視図、図２（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図、図２（ｃ）はＣ−Ｃ線断面図である。
【図３】Ｃ−Ｃ線断面の斜視図である。
【図４】除塵ヘッドの内部構造を示す図であって図４（ａ）はＤ−Ｄ線断面図、図４（ｂ）はＥ−Ｅ線断面図である。
【図５】現行の除塵装置の概略の構成図である。
【図６】従来技術の除塵ヘッドの除塵対象側から見た斜視構造図である。
【図７】従来技術の除塵ヘッドのヘッド本体側から見た一部の斜視構造図である。
【図８】除塵ヘッドの変形を説明する説明図である。
【図９】除塵ヘッドの補強を説明する説明図である。
【符号の説明】
１　　　　噴射室
１ａ　　　噴射口
１ｂ　　　隔壁
１ｃ　　　通過孔
１ｄ　　　放電部
１ｅ　　　エミッタ
１ｆ　　　溝部
１ｇ　　　通過孔
１ｈ　　　突出部
１ｉ　　　切り欠き部
１ｊ　　　流入口
２　　　　吸引室
２ａ　　　吸引口
２ｂ　　　排気口
３　　　　天板
１０００　除塵装置
１００　　除塵ヘッド
１０１　　噴射室
１０１ａ　噴射口
１０１ｂ　流入口
１０２　　吸引室
１０２ａ　吸引口
１０２ｂ　排気口
１０３　　天板
１０４　　放電部
１０５　　補強部
１０５ａ　補強材
１０５ｂ　ねじ
１０５ｃ　ナット
１０６　　補強部材
２００　　排気配管
３００　　流入配管
４００　　ヘッド本体
４００ａ　排気流路
４００ｂ　流入流路
５００　　エンドプレート
６００　　除塵対象
【図１】
2004041851.tif 000003
【図２】
2004041851.tif 000004
【図３】
2004041851.tif 000005
【図４】
2004041851.tif 000006
【図５】
2004041851.tif 000007
【図６】
2004041851.tif 000008
【図７】
2004041851.tif 000009
【図８】
2004041851.tif 000010
【図９】
2004041851.tif 000011