(57)【要約】【課題】電気的な信頼性の高い積層型圧電素子を提供すること。【解決手段】積層型圧電素子１０は、セラミック層１１１と電極層１１２とを交互に積層してなるセラミック積層体１１の側面１１５に、一層おきの電極層１１２と電気的に接続した側面電極１６を接合してなる素子である。そして、この積層型圧電素子１０では、側面電極１６は、この側面電極１６から延設された電極端子１７を介して、外部電源から電力を供給するための外部電極３１と電気的に接続してある。ここで、電極端子１７は、外部電極３１を軸方向に挿入可能であると共に軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制する機械的な接続構造を有している。【選択図】図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック層と電極層とを交互に積層してなるセラミック積層体の側面に、一層おきに上記電極層と電気的に接続した側面電極を接合してなる積層型圧電素子において、
上記側面電極は、該側面電極から延設された電極端子を介して、外部電源から電力を供給するための外部電極と電気的に接続してあり、
上記電極端子は、上記外部電極を軸方向に挿入可能であると共に軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制する機械的接続構造を有していることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】
請求項１において、上記電極端子は、上記外部電極と電気的に接続し、軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制するとともに、軸方向の動きを許容する収容部を有していることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記積層型圧電素子の軸方向の一方の端面には絶縁部材を接合してあり、上記電極端子は上記絶縁部材に配設してあることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項４】
請求項１又は２において、上記電極端子は、上記積層型圧電素子の側面、又は、該積層型圧電素子の端部に積層した圧電効果を生じない不活性層の側面に固定してあることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において、上記電極端子は、ピン形状を呈する上記外部電極の先端部を挿入する収容部を有しており、該収容部は、上記外部電極を把持する押圧力を生じるよう構成してあることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項６】
請求項５において、上記外部電極の軸方向に直交する断面の外周形状は、上記収容部の軸方向に直交する断面の内周形状と略同一であることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項７】
請求項５又は６において、上記収容部の軸方向に直交する断面形状は、略円環状、略半円環状、略楕円環状、略Ｕ字形状、略クリップ形状、略四角形状、略半四角形状、略長方形状のいずれかを呈することを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項において、上記外部電極の軸方向に直交する断面形状は、略円形状、略楕円形状、略四角形状、略長方形状のいずれかを呈することを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項において、上記電極端子は、上記側面電極と一体的に形成してあることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項において、上記外部電極と上記電極端子とは、上記機械的接続構造により接続した上、さらに、上記電極端子と上記外部電極との間を溶接、はんだ付け、かしめ、ろう付け又は接着の少なくとも１種以上の接合方法によって接続してあることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項において、上記側面電極は、波状の金属板、メッシュ状の金属板、スポンジ状の金属板、編み込み状の金属板又は多数の穴を設けた金属板であることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項において、上記側面電極は、はんだ付け又は導電性接着剤による接着のいずれかにより上記電極層に接合してあることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項において、上記積層型圧電素子は、内燃機関に燃料を噴射するインジェクタに内蔵されるインジェクタ駆動用の素子であることを特徴とする積層型圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック層と電極層とを交互に積層してなるセラミック積層体よりなる積層型圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック層と電極層とを交互に積層してなる積層型圧電素子では、隣り合う上記電極層間に電圧を印加することで各セラミック層に歪みを生じさせることができる。
そこで、積層型圧電素子の側面には、各電極層と一層おきに接続した一対の側面電極を配設するのが一般的である。この一対の側面電極のうちの一方と電気的に接続した電極層は、他方の側面電極と電気的に接続しないように構成される。
【０００３】
そして、上記積層型圧電素子では、外部電源からの電力を供給する外部電極を介して、一対の側面電極間に電圧を印加することにより、各セラミック層への電力供給を可能としてある（例えば、特許文献１参照。）。
そして、上記積層型圧電素子は、各セラミック層に歪みを生じさせることで、積層型圧電素子全体として大きな伸長変位量を実現できるように構成されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２２９２２７号公報（明細書中の段落番号「００２４」、第３図）
【０００５】
しかしながら、上記従来の積層型圧電素子では次のような問題がある。すなわち、積層型圧電素子自体の伸縮による応力や外力等により、側面電極と外部電極等との接続箇所に断線等の電気的なトラブルを生じやすいという問題がある。
積層型圧電素子は、その積層方向に予荷重を印加して使用する必要があることが一般に知られている。このことから、我々は、積層型圧電素子が外部から振動等の外力を受けた場合、積層型圧電素子の積層方向、即ち、軸方向の振動は予荷重によって抑制されるが、軸方向と直交する方向の振動は積層型圧電素子の側面電極と外部電極の接続箇所に加えられ、過大な応力が作用することを見出した。
また、外部電極がクランプ等により固定され、外部から熱が加えられるような場合においては、積層型圧電素子と外部電極との熱膨張差により、側面電極と外部電極の接合箇所に応力が作用する。
特に、内燃機関の燃料噴射用のインジェクタに内蔵する積層型圧電素子の場合には、側面電極上に外部電極をはんだ付けやロウ付け等の接続手段を用いて接続しているような積層型圧電素子においては、内燃機関の振動や高温等、過酷な使用条件が加わり、一層、側面電極と外部電極の間の接続箇所にトラブルを生じるおそれが高くなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、電気的な信頼性の高い積層型圧電素子を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、セラミック層と電極層とを交互に積層してなるセラミック積層体の側面に、一層おきに上記電極層と電気的に接続した側面電極を接合してなる積層型圧電素子において、
上記側面電極は、該側面電極から延設された電極端子を介して、外部電源から電力を供給するための外部電極と電気的に接続してあり、
上記電極端子は、上記外部電極を軸方向に挿入可能であると共に軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制する機械的接続構造を有していることを特徴とする積層型圧電素子にある（請求項１）。
【０００８】
本発明の積層型圧電素子では、上記側面電極から延設された電極端子を介して、上記側面電極と、外部電源から電力を供給するための外部電極とを電気的に接続してある。
すなわち、上記積層型圧電素子では、外部から受ける振動等の外力による応力の影響が作用するおそれのある上記側面電極と上記外部電極との間に上記電極端子を介在させてある。
そのため、外部から受ける振動等の外力による応力等が、上記外部電極と積層型圧電素子の側面電極との電気的な接続状態に影響するおそれが少ない。
【０００９】
さらに、上記電極端子は、少なくとも、外部電極の軸方向に挿入可能であり、軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制する機械的接続構造を有している。
すなわち、上記電極端子は、上記外部電極を挿入した上で、軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制しつつ、上記外部電極を保持する構造を有している。
【００１０】
そのため、上記外部電極と上記電極端子とを接続させる組付けを行った際には、上記積層型圧電素子の軸方向に直交する断面内での、上記外部電極と上記電極端子との位置を一致させて確実に接続でき、さらに、両者の間に軸方向における不要な応力が作用しない最適な位置関係を確保することができる。
【００１１】
また、該電極端子の有する上記機械的接続構造のみにより、上記外部電極と上記電極端子とを接続した状態においては、外部から受ける軸方向と直交する方向の振動等の外力による相対的な動きを規制することにより、積層型圧電素子の側面電極と外部電極の間に生じるおそれのある応力を低減させ、両者の電気的な接続状態を良好に維持し得る。
また、外部電極と側面電極の上記接続状態により両者の相対的な動きが規制されるとともに、上記外部電極が外部電源側でクランプ等により固定された状態においても、積層型圧電素子と外部電極との熱膨張差に起因して外部電極と側面電極の接合箇所に生じるおそれのある応力を上記電極端子によって吸収し、両者の電気的な接続状態を良好に維持し得る。
【００１２】
以上のごとく、本発明の積層型圧電素子は、上記外部電極と上記側面電極との間の電気的な導通を、長期間の使用に渡って安定的に確保し得る電気的信頼性の高い素子である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明においては、上記電極端子は、上記外部電極と電気的に接続し、軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制するとともに、軸方向の動きを許容する収容部を有していることが好ましい（請求項２）。
この場合には、軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制するとともに、軸方向の動きを許容する上記収容部を利用して、上記電極端子を確実性高く上記外部電極に保持でき、両者の電気的な接続信頼性を向上することができる。
また、上記積層型圧電素子の軸方向の一方の端面には絶縁部材を接合してあり、上記電極端子は上記絶縁部材に配設してあることが好ましい（請求項３）。
この場合には、上記積層型圧電素子の端面に接合した上記絶縁部材に上記電極端子を配設することにより、該電極端子の絶縁性を適宜十分に確保して、上記積層型圧電素子の電気的信頼性を一層高くすることができる。
【００１４】
また、上記電極端子は、上記積層型圧電素子の側面、又は、該積層型圧電素子の端部に積層した圧電効果を生じない不活性層の側面に固定してあることが好ましい（請求項４）。
上記積層型圧電素子の側面に上記電極端子を固定する場合には、上記積層型圧電素子の軸方向の長さを小型にすることができる。
また、上記積層型圧電素子の上記不活性層の側面に上記電極端子を固定する場合には、上記積層型圧電素子の圧電変位による応力等が、上記電極端子と上記側面との接合面に作用するおそれを少なくして、接合剥離等のトラブルを抑制することができる。
【００１５】
また、上記電極端子は、ピン形状を呈する上記外部電極の先端部を挿入する収容部を有しており、該収容部は、上記外部電極を把持する押圧力を生じるよう構成してあることが好ましい（請求項５）。
【００１６】
この場合には、上記収容部に上記外部電極を挿入することにより、上記電極端子と上記外部電極とを機械的に接続することができる。
そして、上記収容部と上記外部電極とを、上記のごとく機械的に接続すれば、両者間の電気的な接続信頼性を向上して、接続不良等のトラブルを抑制することができる。
なお、上記押圧力としては、上記外部電極を挿入した上記収容部の弾性変形に伴う弾性力等の力がある。
【００１７】
また、上記外部電極の軸方向に直交する断面の外周形状は、上記収容部の軸方向に直交する断面の内周形状と略同一であることが好ましい（請求項６）。
この場合には、上記外部電極と上記収容部との間の接触面積を十分に広くして、両者間の電気的な導通を良好に維持することができる。
【００１８】
また、上記収容部の軸方向に直交する断面形状は、略円環状、略半円環状、略楕円環状、略Ｕ字形状、略クリップ形状、略四角形状、略半四角形状、略長方形状のいずれかを呈することが好ましい（請求項７）。
この場合には、上記外部電極を把持するのに適した断面形状を呈する上記収容部により、挿入された上記外部電極を確実に保持することができる。
また、周方向の一部において開口する上記各断面形状の上記収容部であれば、上記外部電極を挿入する作業を容易に実施できると共に、多少の寸法精度誤差を生じた場合であっても上記外部電極の挿入が可能である。
【００１９】
また、上記外部電極の軸方向に直交する断面形状は、略円形状、略楕円形状、略四角形状、略長方形状のいずれかを呈することが好ましい（請求項８）。
この場合には、上記外部電極の剛性を十分に確保して、上記電極端子との接続構造の信頼性を向上することができる。
特に好ましくは、上記のごとく、略円形状の断面形状を有する外部電極であれば、比較的、容易に加工することができる。
加えて、断面円形状を呈する外部電極であれば、その外周面と、上記電極端子の表面との間で、接触面積を広く確保することが容易である。
そのため、上記外部電極を挿入する上記電極端子について、要求される形状精度を低く抑制でき、上記電極端子の加工を容易にできる。
【００２０】
また、上記電極端子は、上記側面電極と一体的に形成してあることが好ましい（請求項９）。
この場合には、上記側面電極と上記電極端子との間の接続箇所を省略して、両者間の電気的な接続の信頼性をさらに向上することができる。
【００２１】
また、上記外部電極と上記電極端子とは、上記機械的接続構造により接続した上、さらに、上記電極端子と上記外部電極との間を溶接、はんだ付け、かしめ、ろう付け又は接着の少なくとも１種以上の接合方法によって接続してあることが好ましい（請求項１０）。
この場合には、上記のごとく、電極端子の上記機械的接続構造により、挿入方向における不要な応力を発生することなく最適な位置関係を確保した上記外部電極を、その最適な位置関係を維持したまま上記電極端子に接合して、最良な接合状態を得ることができる。
そして、上記外部電極と上記電極端子との接続をさらに強固なものとして、電気的な接続信頼性を一層高めることができる。
【００２２】
また、上記側面電極は、波状の金属板、メッシュ状の金属板、スポンジ状の金属板、編み込み状の金属板又は多数の穴を設けた金属板であることが好ましい（請求項１１）。
この場合には、上記積層型圧電素子の圧電変位によって上記側面電極に生じるおそれのある応力を、該側面電極自体が有する伸縮性により吸収することができる。
そのため、上記側面電極は、上記積層型圧電素子の側面から剥離等するおそれが少なく、各電極層との電気的な接続信頼性を長期間に渡って維持することができる。
【００２３】
なお、上記波状の金属板とは、長手方向に交互に山と谷とが現れるように屈曲させた金属板をいう。そして、上記波状の金属板は、隣接する山或いは谷の間隔を伸縮することにより、高い伸縮性を呈するよう構成してある。
上記メッシュ状の金属板は、メッシュ状の網目を形成してなる金属板である。そして、このメッシュ状の金属板は、メッシュ状の網目を変形することにより高い伸縮性を呈するように構成してある。
【００２４】
さらに、上記スポンジ状の金属板とは、いわば”金属たわし”のような相互に絡まった金属細線を板状に延ばした金属板である。そして、このスポンジ状の金属板は、その金属細線の絡まり具合を変更することにより、高い伸縮性を呈するように構成してある。
上記編み込み状の金属板とは、金属細線を編み込んだ金属板である。そして、この金属板は、網目形状を変形することにより、高い伸縮性を呈するように構成してある。
上記多数の穴を設けた金属板とは、いわゆるパンチングメタルと呼ばれるものである。そして、この金属板は、穴と穴との間の低剛性部分に弾性変形を生じさせることにより、高い伸縮性を呈するように構成してある。
【００２５】
また、上記側面電極は、はんだ付け又は導電性接着剤による接着のいずれかにより、上記電極層に接合してあることが好ましい(請求項１２）。
この場合には、上記積層型圧電素子の側面に対して、上記側面電極を信頼性高く接合して、上記側面電極と上記各電極層、或いは、上記側面電極と上記各電極層をまとめて接続した金属膜状の電極層との間の電気的な接続を長期間に渡って良好に維持することができる。
【００２６】
また、上記積層型圧電素子は、内燃機関に燃料を噴射するインジェクタに内蔵されるインジェクタ駆動用の素子であることが好ましい（請求項１３）。
この場合には、上記積層型圧電素子は、激しい振動や高温等、過酷な使用環境で使用されるため、電気的な信頼性を向上するという本発明の効果が特に有効となる。
【実施例】
【００２７】
（実施例１）
本例の積層型圧電素子１０について、図１〜図１６を用いて説明する。
本例の積層型圧電素子１０は、図１０〜図１２に示すごとく、セラミック層１１１と電極層１１２とを交互に積層してなるセラミック積層体１１の側面１１５に、一層おきに上記電極層１１２と電気的に接続した側面電極１６を接合してなる素子である。
この積層型圧電素子１０では、図１５に示すごとく、側面電極１６は、該側面電極１６から延設された電極端子１７を介して、外部電源から電力を供給するための外部電極３１と電気的に接続してある。
ここで、電極端子１７は、外部電極３１を軸方向に挿入可能であると共に軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制する機械的な接続構造を有している。
以下に、この内容について詳しく説明する。
【００２８】
上記積層型圧電素子１０は、図１０及び図１１に示すごとく、セラミック層１１１と電極層１１２とを交互に積層し絶縁部材１２と伝達部材１３とを接合してなる素子である。
そして、上記セラミック積層体１１は、３０〜１００μｍ厚のセラミック層１１１と１〜２μｍ厚の電極層１１２とを、１０〜５００層交互に積層してなる。
【００２９】
上記絶縁部材１２は、図１０及び図１１に示すごとく、アルミナ等の絶縁材料よりなる略円柱形状の部材であって、セラミック積層体１１と略同一径を有している。
そして、この絶縁部材１２におけるセラミック積層体１１の反対側の端部付近には、軸方向に略直交する方向に横断する凹状溝１２３を形成してある。そして、該凹状溝１２３の両側部には、一対の突出部１２５を形成してある。
【００３０】
本例の積層型圧電素子１０では、図１１及び図１２に示すごとく、側面１１５の周方向位置に略一致して凹状溝１２３が開口するように、上記絶縁部材１２を接合してある。
また、側面１１５の周方向位置に略一致した側面は、側面１１５と同様に平面加工が施され、電極端子１７の後述するジョイント部１７１（図６）を接合してある。
【００３１】
また、上記伝達部材１３は、積層型圧電素子１０の圧電変位に伴う駆動力を外部に向けて伝達するための部材である。
そして、本例の積層型圧電素子１０は、収納ケース２０の駆動板２２に伝達部材１３の端部を当接した状態で設置されるように構成してある。
【００３２】
上記セラミック積層体１１は、図２及び図３に示すごとく、電極部５０３と控え部５０４とを形成した略円形状のシート片５２１を積層してなる部分電極構造を呈する積層体である。
そして、セラミック積層体１１の外周面のうち、１層おきに電極部５０３が露出する側面には、図３に示すごとく、軸方向に平行で、相互に対向する一対の側面１１５を配置してある。したがって、セラミック積層体１１の積層方向に直交する断面は略樽形状を呈している。
なお、セラミック積層体１１の断面形状としては、本例の略樽形状に限定されるものではなく、その他、四角形、八角形等の多角形状とすることもできる。
【００３３】
各側面１１５には、図１１に示すごとく、側面電極１６を接合してある。そして、各側面電極１６は、各側面１１５において一層おきに露出する電極部５０３を含む電極層１１２と電気的に接続してあり、かつ、一方の側面電極１６と電気的に接続した電極層１１２は、他方の側面電極１６と電気的に絶縁した状態にしてある。そして、上記各側面電極１６の一方の端部は、同図に示すごとく、上記絶縁部材１２の側面に接合した電極端子１７とカシメ固定してある。
【００３４】
特に、本例の側面電極１６は、図８及び図９に示すごとく、表面に穿設した切り込み１６９（図７参照。）によるメッシュ状を呈するメッシュ部１６５と、平板状の端部１６６とからなる。
本例では、側面電極１６は、そのメッシュ部１６５を活性なセラミック層１１１の側面に接合した状態で、セラミック積層体１１の側面１１５に接合してある。そして、側面電極１６は、メッシュ部１６５が呈する高い伸縮性により側面１１５との接合面に作用する応力を吸収できるように構成してある。
なお、伸縮性を備えた側面電極としては、本例のメッシュ状の金属板に限定されるものではなく、その他、波状の金属板、スポンジ状の金属板、編み込み状の金属板又は一部に穴を設けた金属板等が考えられる。
【００３５】
上記電極端子１７は、図４〜図６に示すごとく、側面電極１６の端部１６６をカシメ固定するためのジョイント部１７１と、略円形断面形状を呈するピン状の外部電極３１を挿入する収容部１７３とを有する部材である。
上記ジョイント部１７１は、略平板状であって、かつ、側面電極１６よりも幅広の背板１７６と、該背板１７６の両側端部において挿入方向に略平行に伸びる屈曲部１７５を介して連なると共に、該背板１７６と対面するように折り返された左右一対の折り返し板１７４とからなる。そして、この一対の折り返し板１７４は、相互に、上記屈曲部１７５と反対側の端部を対面配置するように構成してある。
【００３６】
上記収容部１７３の挿入方向に略直交する断面形状は、図４に示すごとく、外部電極３１の挿入方向に略一定形状を呈すると共に、略円形断面形状を呈する外部電極３１の外周面に沿う略円弧状に形成してある。
本例では、同図に示すごとく、上記収容部１７３の円弧を約２７０度の角度に渡って形成してあり、一箇所において開口するよう構成してある。
【００３７】
ここで、上記収容部１７３の円弧形状の内径は、図１４に示すごとく、外部電極３１の外径よりも若干小さく形成してある。
そのため、上記外部電極３１を挿入した際、収容部１７３は弾性変形を生じることとなり、その弾性力によって内挿した外部電極３１の外周面を押圧して、該外部電極３１を把持するように構成してある。
【００３８】
さらに、本例の電極端子１７は、図４から図６に示すごとく、ジョイント部１７１と収容部１７３との間に、外部電極３１の挿入方向に略直交して延びる連結部１７２を介設してある。
そして、この電極端子１７では、挿入方向に直交する断面内におけるジョイント部１７１と収容部１７３との配置を、連結部１７２により切り替えてある。
そのため、本例の積層型圧電素子１０では、図１０に示すごとく、絶縁部材１２の外周面にジョイント部１７１を固定すると共に、絶縁部材１２の上記凹状溝１２３内に収容部１７３を配置した状態で、電極端子１７を配設することができる。
また、連結部１７２は、外部電極３１を収容する収容部１７３と略直交する方向に折り曲げて形成されていることから、外部電極３１が外部電源側でクランプ等により固定された状態においても、積層型圧電素子１０と外部電極３１との熱膨張差に起因して外部電極３１と側面電極１６の接合箇所に生じるおそれのある応力が吸収されるため、外部電極３１と電極端子１７との接合箇所に応力等が作用するおそれが少ない。
【００３９】
本例の外部電極３１は、図１３に示すごとく、積層型圧電素子１０と略同軸上に組み付ける略円柱形状を呈する基台３０に配設してある。
該基台３０では、軸方向に穿孔された一対の貫通孔１３０それぞれに、外部電極３１を貫通配置してあり、貫通孔１３０と外部電極との間をガラスによるハーメチックシール１３５によってシールしてある。
【００４０】
そして、本例では、図１５に示すごとく、絶縁部材１２の突出部１２５の突出方向の端部と、基台３０の軸方向の端部とを当接させた状態で、積層形圧電素子１０と基台３０とを同軸上に組み立ててある。
そして、基台３０を組み付けた積層型圧電素子１０は、基台３０に貫通配置した外部電極３１が電極端子１７の収容部１７３に挿入（図１４参照。）されて機械的な接続を確保できるように構成してある。
なお、本例では、外部電極３１と収容部１７３とを機械的に接続したうえ、スポット照射によるレーザ溶接により接合してある。
【００４１】
次に、本例の積層型圧電素子１０を製造する方法について説明する。
上記積層型圧電素子１０を製造する工程は、図１１に示すごとく、セラミック積層体１１を作製する素子形成工程と、電極端子１７を作製する端子作製工程と、側面電極１６を作製する電極作製工程と、積層型圧電素子１０の側面に側面電極１６及び電極端子１７を接合する工程とを含む工程である。
以下に、この内容について説明する。
【００４２】
まず、セラミック積層体１１を作製する上記素子形成工程について説明する。
上記セラミック積層体１１を作製するに当たっては、予め、圧電素子材料であるグリーンシート用のスラリーからグリーンシート５００（図１参照）を作製する。
このスラリーは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電セラミックスになるセラミック原料にバインダーと微量の可塑剤及び消泡剤を添加した後、有機溶媒中に分散させたものである。
【００４３】
本例では、ドクターブレード法によって図示しないキャリアフィルム上に、上記スラリーを塗布し、厚さ１００μｍのグリーンシート５００（図１）を生成した。なお、スラリーからグリーンシート５００を生成する方法としてはドクターブレード法の他、押出成形法その他種々の方法を採用することができる。
【００４４】
そして、図１に示すごとく、グリーンシート５００における積層面５０１となる領域に、導電材料であるＡｇ−Ｐｄペーストをスクリーン印刷により塗布する。ここで、積層面５０１の外周部に当たる１箇所を残してＡｇ−Ｐｄペーストを塗布することにより、積層面５０１上に電極部５０３と控え部５０４とからなる電極用印刷パターン５０２を形成することができる。
【００４５】
また、本例では、図１及び図２に示すごとく、グリーンシート５００を打ち抜くごとに、シート片５２１における控え部５０４の配置が交互に入れ替わるように、図１に示すごとく、グリーンシート５００表面に鏡像関係にある２種類の電極用印刷パターン５０２を形成した。
【００４６】
その後、図２に示すごとく、グリーンシート５００から電極用印刷パターン５０２を含むシート片５２１を打ち抜き、打ち抜いたシート片５２１を順次、積層する。
ここでは、同図に示すごとく、鏡像関係にある２種類の電極用印刷パターン５０２を有するシート片５２１を交互に積層して中間積層体（図示略）を作製すると共に、これを焼成してセラミック積層体１１（図示略）を作製する。
【００４７】
そうすると、上記積層面５０１に塗布した電極部５０３は、図３に示すごとく、セラミック積層体１１において層状をなす電極層１１２を形成することとなる。そして、セラミック積層体１１では、各電極層１１２は、対向する側面において１層おきに電極部５０３を露出させており、かつ、一方の側面に電極部５０３を露出する電極層１１２は、他方の側面では控え部５０４を露出するように構成される。
そして、本例の積層型圧電素子１０は、図１０に示すごとく、このセラミック積層体１１の一方の端面に上記絶縁部材１２を接合すると共に、他方の端部に伝達部材１３を接合した素子である。
【００４８】
なお、本例の積層型圧電素子１０は、積層方向の一層おきの電極部５０３及び控え部５０４が交互に露出する側面を平面加工してなり、一対の略平面状の側面１１５（図１２参照。）を形成したものである。該側面１１５は、上記側面電極１６を接合するための平面である。
【００４９】
次に、上記電極端子１７の作製方法について説明する。
本例の電極端子１７は、図４〜図７に示すごとく、ステンレス等の金属板よりなり、板厚０．２ｍｍの平板状部材（図示略）から所定形状を切り出し、該所定形状の部材を適宜、折り曲げてなる端子である。
【００５０】
ここでは、まず、上記平板状部材から電極端子１７の展開形状を切り出す。
そして、この展開形状に切り出した部材について、第１のプレス加工を行い、図４〜図７に示すごとく、収容部１７３を略円弧状に成形すると共に、該収容部１７３の挿入方向と略直交するように上記連結部１７２の折り曲げ加工を行う。
【００５１】
さらに、第２のプレス加工を行い、図４〜図７に示すごとく、上記ジョイント部１７１を折り曲げ加工する。ここでは、上記折り返し板１７４となる部分を連結部１７２側とは反対側に折り返して、背板１７６と折り返し板１７４とが所定の間隙を空けて対面するように加工する。
【００５２】
次に、上記側面電極１６の作製方法について説明する。
本例の側面電極１６は、図８及び図９に示すごとく、ステンレス等の金属板よりなる板厚０．１ｍｍの平板状の部材を加工してなるものである。
本例では、まず、図７に示すごとく、上記の平板状の部材１６０の表面に、スリット状の切り込み１６９を幅方向に等間隔に配置してなる切り込みパターン１６１、１６２を長手方向に略等間隔に形成する。
【００５３】
ここで、上記の切り込みパターン１６１、１６２としては、切り込み位置が相互に反転している２種類の切り込みパターンを形成する。そして、上記部材１６０の長手方向には、切り込みパターン１６１及び１６２を交互に配置する。
そして、本例では、図７に示すごとく、上記端部１６６を形成する上記部材１６０の一方の端部を残して上記の切り込み加工を実施した。
【００５４】
そして、上記側面電極１６は、図８及び図９に示すごとく、上記切り込み加工を施した部材１６０（図７）を、その長手方向に引っ張って所定の長さに成形したものである。
この側面電極１６は、表面の切り込み１６９（図７参照。）によりメッシュ状を呈し、図９に示すごとく、該メッシュ状の構造により長手方向に高い伸縮性を呈する。
【００５５】
次に、上記積層型圧電素子１０への側面電極１６及び電極端子１７の接合方法について説明する。
積層型圧電素子１０に側面電極１６及び電極端子１７を接合するに当たって、予め、側面電極１６と電極端子１７とを接合した。
【００５６】
まず、電極端子１７のジョイント部１７１の背板１７６と折り返し板１７４との間隙に、側面電極１６の端部１６６を挿入する。そして、折り返し板１７４と背板１７６との間に、間隙を減縮する方向に圧縮荷重を作用し、内部に挿入した端部１６６をカシメ接合する。
【００５７】
なお、ジョイント部１７１と側面電極１６とは、本例のカシメ接合のほか、はんだ付け、溶接、導電性接着材による接着、ロー付け、ネジ締め付け等により接合することもできるほか、これらの接合方法を組み合わせて接合することもできる。
【００５８】
そしてその後、図１１に示すごとく、積層型圧電素子１０の側面１１５に、樹脂と銀粉よりなる導電性接着剤を介して側面電極１６を接合すると共に、絶縁部材１２の外周面に、電極端子１７のジョイント部１７１を接合する。
ここで、上記のごとく電極端子１７の連結部１７２は、図１２に示すごとく、ジョイント部１７１から内方に向けて延設してある。
そのため、絶縁部材１２の外周面にジョイント部１７１を接合した電極端子１７では、該電極端子１７の収容部１７３が絶縁部材１２の凹状溝１２３内に配置されることとなる。
【００５９】
その後、さらに、図１５に示すごとく、絶縁部材１２の突出部１２５の突出方向の端部と、基台３０の端部とを当接させた状態で、積層型圧電素子１０と基台３０とを組み付ける。
このとき同時に、基台３０に貫通配置した外部電極３１が電極端子１７の収容部１７３に挿入（図４参照。）されるようにする。そうすると、収容部１７３に挿入した外部電極３１は、収容部１７３から作用する押圧力により内部に把持されることになり、両者間の電気的な導通を確保できる。
【００６０】
本例では、さらに、図１５に示すごとく、外部電極３１と収容部１７３とを、スポット照射によるレーザ溶接により接合してある。
なお、本例では、上記挿入構造と、レーザ溶接との組み合わせにより外部電極３１と収容部１７３とを接合しているが、上記挿入構造のみにより接合することもできる。また、はんだ付け、ロー付け、導電性接着材による接着などの接合と、上記挿入構造との組み合わせにより、外部電極３１と収容部１７３とを接続することもできる。
【００６１】
以上のように、上記積層型圧電素子１０では、側面電極１６は、該側面電極１６から延設された電極端子１７を介して、外部電源から電力を供給するための外部電極３１と電気的に接続してある。
そのため、積層型圧電素子１０では、外部から受ける振動等による過大な外力等の影響が、外部電極３１と電極端子１７との接合箇所に作用するおそれが少ない。
【００６２】
さらに、電極端子１７は、外部電極３１の軸方向に挿入可能であると共に軸方向に略直交する方向の相対的な動きを規制する機械的接続構造を有している。
また、外部電極３１を収容する収容部１７３と略直交する方向に折り曲げて形成された連結部１７２を有している。
そのため、このような機械的接続構造を備えた電極端子１７によれば、積層型圧電素子１０の積層方向と直交する方向の振動により過大な外力等が作用しても、電極端子１７と外部電極３１との接続箇所に電気的なトラブルを生じるおそれが少ない。
また、積層型圧電素子１０と外部電極３１との熱膨張差に伴う応力等が作用しても、電極端子１７と外部電極３１との接続箇所に電気的なトラブルを生じるおそれが少ない。
【００６３】
なお、本例では、電極端子１７を絶縁部材１２の外周面に接合したが、この構成に代えて、積層型圧電素子の外周面に電極端子１７を接合することもできる。さらに、積層型圧電素子の端部に圧電効果を生じない不活性層を配置し、該不活性層の外周面に電極端子１７を接合することもできる。
【００６４】
また、本例の積層型圧電素子１０は、図１６に示すごとく、収納ケース２０に収容して圧電アクチュエータ４として構成することができる。
この収納ケース２０は、筒状の胴部２４と、該胴部２４の少なくとも一部に形成した伸縮部２１と、胴部２４の一方の端部にレーザ溶接してなる駆動板２２とからなるコップ状を呈するケースである。
【００６５】
収納ケース２０の伸縮部２４は、図１６に示すごとく、内部に収容した積層型圧電素子１０の変位に応じて伸縮するよう構成してある。そして、収納ケース２０は、圧電アクチュエータ４の動作面４０として上記駆動板２２をストロークできるように構成してある。
同図に示すごとく、収納ケース２０内に積層型圧電素子１０を収容すると共に、収納ケース２０の端部に基台３０をレーザ溶接することにより、密閉型の圧電アクチュエータ４を構成することができる。
【００６６】
（実施例２）
本例は、実施例１の側面電極と電極端子とを一体的に成形した例である。
本例の側面電極１８は、図１７に示すごとく、一方の端部に、実施例１の電極端子と略同一形状の端子部１８１を有している。
すなわち、本例の側面電極１８は、実施例１の側面電極に電極端子を接続した部材（図１４参照。）について、両者間のカシメ接合部を省略して一体化したごとき形状を呈している。
【００６７】
次に、本例の側面電極１８の作製方法について説明する。
本例では、ステンレス等の金属板よりなる板厚０．１ｍｍを呈する平板状の部材から、図１７に示すごとく側面電極１８の展開形状の部材を切断加工する。
そして、同図に示すごとく、一方の端部を残して実施例１と同様のスリット状の切り込みを穿設して、メッシュ状構造を構成する。
さらに、上記一方の端部について、実施例１に記載した第１のプレス加工と略同様のプレス加工を実施して、図１７に示すごとく、収容部１８３と連結部１８２とからなる端子部１８１を形成する。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例１と同様である。
【００６８】
（実施例３）
本例は、実施例１の電極端子を基にして、収容部の形状を変更した例である。
以下に、本例の内容について、図１８〜図２４を用いて説明する。
なお、図２２〜図２４の外部電極３１については、その断面形状を略四角形状に形成してある。
【００６９】
本例のうち、図１８〜図２１は、断面略円形状を呈する外部電極３１と嵌合する収容部１７３を示している。
また、図２２〜図２４は、断面略四角形状を呈する外部電極３１と嵌合する収容部１７３を示している。
【００７０】
そして、図１８及び図２２は、外部電極３１の断面形状の外周全周と接触するように構成した収容部１７３を示している。
また、図１９〜図２１、図２３及び図２４は、外部電極３１の断面形状の外周の一部と接触するように構成した収容部１７３を示している。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例１と同様である。
【００７１】
（実施例４）
本例は、実施例１を基にして、電極端子の収容部の形状及び外部電極の断面形状を変更した例である。以下に、本例の内容について、図２５〜図２７を用いて説明する。
本例のうち、図２５は、断面略楕円形状を呈する外部電極３１と、該外部電極３１に嵌合する楕円環状を呈する収容部１７３との嵌合構造を示している。
また、図２６は、断面略円形状を呈する外部電極３１と楕円環状を呈する収容部１７３との嵌合構造を示している。
さらに、図２７は、断面長方形状を呈する外部電極３１と長方形状を呈する収容部１７３との嵌合構造を示している。
【００７２】
本例のうち、図２５及び図２７は、外部電極３１の断面形状の外周全周と接触するように構成した収容部１７３を示している。
また、図２６は、外部電極３１の断面形状の外周の一部と接触するように構成した収容部１７３を示している。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例１と同様である。
【００７３】
（実施例５）
本例は、実施例１の積層型圧電素子１を内蔵したインジェクタに関する例である。この内容について図２８を用いて説明する。
本例のインジェクタ６は、図２８に示すごとく、実施例１の積層型圧電素子１０を収容した圧電アクチュエータ８を動力源とするものである。そして、このインジェクタ６は、図示しないコモンレール内に蓄えたおよそ１８０ＭＰａの高圧の燃料を、エンジンシリンダ内に噴射するように構成してある。
【００７４】
このインジェクタ６は、図２８に示すごとく、上記圧電アクチュエータ８が収容されるハウジング８０と、インジェクションノズル６５を含む噴射ノズル部６１を形成したノズルハウジング６０とを組み付けてなるものである。
【００７５】
略円柱状の外形を呈するハウジング８０は、図２８に示すごとく、中心軸から偏芯してコネクタ７０側の端面から穿孔された断面略円形状を呈する凹部８１と、該凹部８１と略同軸上に、ノズルハウジング６０側の端面から穿孔された断面略円形状を呈する第１シリンダ８３と、該第１シリンダ８３及び凹部８１に隣接して同端面から穿孔された燃料供給通路８２とを有している。
【００７６】
凹部８１と第１シリンダ８３とは、図２８に示すごとく、凹部８１の底部から略同軸上に穿孔された連通穴８４により連通している。本例では、この連通穴８４は、凹部８１及び第１シリンダ８３よりも小径に形成してある。また、燃料供給通路８２は、ハウジング８０におけるコネクタ７０側の端部に配設されたジョイント部８２０に開口し、該ジョイント部８２０に収容した燃料導入管８２５を介して、図示しないコモンレールと接続してある。
さらに、ハウジング８０の後端側に形成されたジョイント部８８０は、後述する三方弁６２に連通するドレイン通路８８を穿設してあり、該ドレイン通路８８には燃料を排出する燃料導出管８８５を連接してある。
【００７７】
ハウジング８０は、図２８に示すごとく、凹部８１内に上記圧電アクチュエータ８を有している。また、第１シリンダ８３内には、第１プランジャ８３０を収容してある。この第１プランジャ８３０は、第１シリンダ８３内を摺動する胴部８３１と、上記連通穴８４に貫通する軸部８３２とを有している。
そして、軸部８３２の端面において、駆動伝達ユニット８５を介して、圧電アクチュエータ８の動作面としての駆動板２２に当接している。
【００７８】
駆動伝達ユニット８５は、軸方向の両端部で第１プランジャ８３０と圧電アクチュエータ８に当接する付勢ロッド８５３と、該付勢ロッド８５３を圧電アクチュエータ８に向けて付勢するコイルスプリング８５２と、スプリングシート８５１とを有してなる。
【００７９】
付勢ロッド８５３は、圧電アクチュエータ８側の端部付近にコイルスプリング８５２よりも大径のシート部８５４を形成してある。そして、付勢ロッド８５３は、コイルスプリング８５２がシート部８５４に作用する付勢力により、圧電アクチュエータ８に向けて押圧されている。
【００８０】
スプリングシート８５１は、凹部８１から連通穴８４に至る棚部に係合してコイルスプリング８５２の一方の端部の軸方向の位置を規制するように構成してある。そして、該スプリングシート８５１の中央部には、上記付勢ロッド８５３を挿通させる貫通穴を穿孔してある。
【００８１】
また、インジェクタ６は、該コネクタ７０に収容した一対の電極（図示略）に所定の電圧を印加することにより、上記基台３０に貫通配置した外部電極３１（図１５参照。）を介して積層型圧電素子１の各セラミック層１１１（図１０参照。）に電圧を印加できるように構成してある。
【００８２】
ノズルハウジング６０は、図２８に示すごとく、ハウジング８０側の端面から同軸上に穿孔された第２シリンダ６３と、燃料供給通路８２又はドレイン通路８８に連通する三方弁６２と、噴射ノズル部６１とを有している。
ノズルハウジング６０をハウジング８０に組み付けたとき、上記第１シリンダ８３と連通するように第２シリンダ６３を形成してある。そして、上記第２シリンダ６３には、第２プランジャ６３０を摺動自在に収容してある。
したがって、第１プランジャ８３０と第２プランジャ６３０との間には、第１シリンダ８３から第２シリンダ６３にかけて１つの圧力室８０６が形成されている。
【００８３】
本例では、図２８に示すごとく、この圧力室８０６内に作動流体を充填し、第１プランジャ８３０に従動して第２プランジャ６３０をストロークさせることができるように構成してある。
ここで、第２シリンダ６３は、第１シリンダ８３よりも小径に形成してある。そのため、本例のインジェクタ６では、第１プランジャ８３０のストロークを増幅して、第２プランジャ６３０をストロークさせることができるように構成してある。
【００８４】
上記三方弁６２は、図２８に示すごとく、燃料供給通路８２又はドレイン通路８８と、後述する背圧室６１０とを選択的に連通させる弁体（図示略）を有している。この弁体は、第２プランジャ６３０のノズルハウジング６０側方向のストロークによって作用して、ドレイン通路８８と背圧室６１０とを連通させるように構成されている。
【００８５】
また、第２プランジャ６３０がハウジング８０側に位置するときには、弁体は、燃料供給通路８２と背圧室６１０とを連通させるよう構成されている。
すなわち、本例のインジェクタ６の背圧室６１０は、通常、高圧の燃料が導入されて高圧に保持されており、第２プランジャ６３０のノズルハウジング６０側に向かうストロークにより、背圧室６１０とドレイン通路８８との連通により、背圧室６１０内が減圧されるように構成してある。
【００８６】
上記噴射ノズル部６１は、図２８に示すごとく、ノズルハウジング６０の先端側に配設されたインジェクションノズル６５と、該インジェクションノズル６５を開閉するノズルニードル６１５と、噴射する燃料を蓄える燃料溜まり６１２とを有している。
【００８７】
インジェクションノズル６５は、図２８に示すごとく、軸芯と同軸上に穿孔されたニードル穴６５０を有している。そして、このニードル穴６５０は、燃料を噴出する噴孔として、インジェクションノズル６５の先端に開口している。
上記ノズルニードル６１５は、先端方向が小径である２段の略円柱形状を呈しており、直径が変化する段部６１６が上記燃料溜まり６１２に位置するよう上記ニードル穴６５０内に収容されている。また、ノズルニードル６１５は、その球状を呈する先端部６１３により、インジェクションノズル６５先端の噴孔を開閉できるように構成してある。
【００８８】
また、ノズルニードル６１５の他方の端部側には、図２８に示すごとく、三方弁６２と連通する背圧室６１０を形成してある。この背圧室６１０に配置されたスプリング６１８は、インジェクションノズル６５先端の噴孔を閉じる方向にノズルニードル６１５を付勢するように構成してある。
【００８９】
さらに、ノズルニードル６１５の段部６１６の外周に形成された、略断面円形状を呈する燃料溜まり６１２には、図２８に示すごとく、高圧の燃料を供給する燃料供給通路５２を連通させてある。燃料溜まり６１２の高圧の燃料は、該ノズルニードル６１５をハウジング８０側に後退させる方向の圧力を、ノズルニードル６１５の段部６１６に作用するように構成してある。
【００９０】
以下に、図示しないディーゼルエンジンのコモンレール噴射システムに適用した本例のインジェクタ６の動作について説明する。
上記のインジェクタ６を動作させて、インジェクションノズル６５からエンジンシリンダ内へ、１８０ＭＰａという高圧の燃料を噴射するには、図２８に示すごとく、圧電アクチュエータ８に所定の電圧を印加する。
電圧の印加による圧電アクチュエータ８の伸長により、該圧電アクチュエータ８の動作面１００に当接した駆動伝達ユニット８５の付勢ロッド８５３は、上記第１プランジャ８３０に向けてストロークさせる。
【００９１】
そして、付勢ロッド８５３に当接してストロークした第１プランジャ８３０は、第１シリンダ８３内をノズルハウジング６０側に移動する。第１プランジャ８３０の移動により第１シリンダ８３内の容積が減少されることにより、圧力室８０６の作動流体は、第２シリンダ６３内に流入し、第２シリンダ６３内の容積を増大させるよう第２プランジャ６３０をインジェクションノズル６５側に向けて移動させる。
【００９２】
第２プランジャ６３０のストロークにより、三方弁６２の弁体は、図２８に示すごとく、インジェクションノズル６５側に向けて押し下げられる。この弁体の押し下げにより、燃料供給通路８２から背圧室６１０に至る通路が遮断されて、代わりに、ドレイン通路８８から背圧室６１０に至る通路が連通される。そして、背圧室６１０内に充填されていた燃料は、ドレイン通路８８を介して燃料導出管８８５より外部へ排出され、背圧室６１０内が減圧される。
【００９３】
背圧室６１０の圧力低下に伴って該背圧室６１０と燃料溜まり６１２との間に生じた圧力差は、図２８に示すごとく、ノズルニードル６１５をハウジング８０側に押し上げる力を発生する。そして、ノズルニードル６１５のハウジング８０側への移動により、ノズルニードル６１５の先端部６１３により閉じられていたインジェクションノズル６１５先端の噴孔が開口する。そして、噴孔が開口すると、燃料溜まり６１２内の高圧の燃料がエンジンシリンダ内へ噴射される。
なお、本例では、エンジンを制御するエンジンＥＣＵ（図示略）により、各エンジンシリンダに取り付けたインジェクタ６を制御して、的確なタイミングにより、上記のごとく燃料の噴射を繰り返し実施した。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例１と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】実施例１における、電極用印刷パターンの印刷手順を示す説明図。
【図２】実施例１における、セラミック積層体の積層手順を示す説明図。
【図３】実施例１における、セラミック積層体の積層構造を示す断面図。
【図４】実施例１における、電極端子を示す上面図。
【図５】実施例１における、電極端子を示す正面図。
【図６】実施例１における、電極端子の構造を示す側面断面図。
【図７】実施例１における、側面電極形成用の部材を示す正面図。
【図８】実施例１における、側面電極を示す正面図。
【図９】実施例１における、図８の側面電極のＡ部を拡大して示す拡大図。
【図１０】実施例１における、積層型圧電素子の構造を示す側面断面図。
【図１１】実施例１における、積層型圧電素子を示す正面図。
【図１２】実施例１における、積層型圧電素子を示す上面図。
【図１３】実施例１における、基台の構造を示す断面図。
【図１４】実施例１における、電極端子と外部電極との挿入構造を示す図で、絶縁部材及び基台を省略して示す斜視図。
【図１５】実施例１における、基台を組み付けた積層型圧電素子の構造を示す断面図。
【図１６】実施例１における、積層型圧電素子を内蔵した圧電アクチュエータの構造を示す断面図。
【図１７】実施例２における、側面電極を示す正面図。
【図１８】実施例３における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その１を示す断面図。
【図１９】実施例３における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その２を示す断面図。
【図２０】実施例３における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その３を示す断面図。
【図２１】実施例３における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その４を示す断面図。
【図２２】実施例３における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その５を示す断面図。
【図２３】実施例３における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その６を示す断面図。
【図２４】実施例３における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その７を示す断面図。
【図２５】実施例４における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その１を示す断面図。
【図２６】実施例４における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その２を示す断面図。
【図２７】実施例４における、収容部に外部電極を挿入した断面構造その３を示す断面図。
【図２８】実施例５における、実施例１の積層型圧電素子を内蔵したインジェクタの断面構造を示す断面図。
【符号の説明】
【００９５】
１０  積層型圧電素子
１１  セラミック積層体
１２  絶縁部材
１３  伝達部材
１６  側面電極
１６０  部材
１７  電極端子
１７１  ジョイント部
１７２  連結部
１７３  収容部
１１６、１８  側面電極
４  圧電アクチュエータ
４０  動作面
５００  グリーンシート
５０３  電極部
５０４  控え部
６  インジェクタ
【図１】
2004319967.tif 000003
【図２】
2004319967.tif 000004
【図３】
2004319967.tif 000005
【図４】
2004319967.tif 000006
【図５】
2004319967.tif 000007
【図６】
2004319967.tif 000008
【図７】
2004319967.tif 000009
【図８】
2004319967.tif 000010
【図９】
2004319967.tif 000011
【図１０】
2004319967.tif 000012
【図１１】
2004319967.tif 000013
【図１２】
2004319967.tif 000014
【図１４】
2004319967.tif 000015
【図１５】
2004319967.tif 000016
【図１６】
2004319967.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図１３】
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【図２３】
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