(57)【要約】【課題】複数の液滴吐出ヘッドのワイピングを短時間で効率良く行うことができる液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびワイピング方法、液滴吐出装置、電気光学装置および電気光学装置の製造方法、並びに電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】複数の液滴吐出ヘッド８のノズル面２２のそれぞれに、走行する単一のワイピングシートＳを摺接させて拭取り動作させるワイピング装置９であって、ワイピングシートＳを送るシート送り手段３２と、各液滴吐出ヘッド８に対応して設けられ、各液滴吐出ヘッド８のノズル面２２にワイピングシートＳを相対的に押し付ける複数のシート押付け部材５１と、各シート押付け部材５１間において、送り方向下流側の液滴吐出ヘッド８に供するワイピングシートをプールする複数のプール手段６４と、を備えたことを特徴とする。【選択図】　図３
2004138713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液滴吐出ヘッドのノズル面のそれぞれに、走行する単一のワイピングシートを摺接させて拭取り動作させる液滴吐出ヘッドのワイピング装置であって、
前記ワイピングシートを送るシート送り手段と、
前記各液滴吐出ヘッドに対応して設けられ、前記各液滴吐出ヘッドのノズル面に前記ワイピングシートを相対的に押し付ける複数のシート押付け部材と、
前記各シート押付け部材間において、送り方向下流側の液滴吐出ヘッドに供するワイピングシートをプールする複数のプール手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項２】
前記各シート押付け部材は、少なくとも前記各ノズル面の全ノズルを網羅するように、前記各ノズル面に対し前記ワイピングシートを押し付けることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項３】
前記各シート押付け部材は、前記ワイピングシートを前記各液滴吐出ヘッドに弾力的に押し付ける自由回転可能な拭取りローラで構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項４】
前記ノズル面に形成したノズル列の延在方向と、前記ワイピングシートの送り方向とが略直交していることを特徴とする請求項１、２または３に記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項５】
前記各プール手段は、前記ワイピングシートに摺接し、前記各シート押付け部材間で前記ワイピングシートを略Ｕ字状に屈曲させる摺接部材を有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項６】
前記各プール手段は、前記摺接部材を緩急屈曲方向に移動させて、前記各シート押付け部材間の前記ワイピングシートのプール長さを調整する調整機構を、更に有していることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項７】
前記摺接部材と前記調整機構との間には、前記摺接部材を急屈曲方向に付勢して、走行する前記ワイピングシートにテンションを付与する張力付与手段が配設されていることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項８】
送り方向の上流端に設けられ、前記ワイピングシートを繰出リールに繰出し自在に巻回した繰出し手段と、
送り方向の下流端に設けられ、前記ワイピングシートの使用部分を巻き取って回収する巻取り手段と、を備え、
前記繰出し手段は、前記繰出リールを制動回転させるトルクリミッタを有し、
前記巻取り手段は、前記シート送り手段を兼ねていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項９】
前記各液滴吐出ヘッドを前記各シート押付け部材に対し離接方向に相対的に移動させる移動手段と、
前記巻取り手段および前記移動手段を制御する制御手段と、を更に備え、
前記制御手段は、前記巻取り手段を制御し、前記液滴吐出ヘッドへの前記拭取り動作において前記ワイピングシートを低速送りし、当該拭取り動作後に前記移動手段を制御して前記各液滴吐出ヘッドを前記シート押付け部材から離間させた後、前記巻取り手段を制御し、前記ワイピングシートの回収動作においてその使用済み部分を高速送りすることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項１０】
前記繰出し手段、前記複数のシート押付け部材、前記複数のプール手段、および前記巻取り手段、を一体に支持する共通支持ベースを備え、
前記移動手段は、前記共通支持ベースを介して前記各液滴吐出ヘッドに対し、前記各シート押付け部材を移動させることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置。
【請求項１１】
複数の液滴吐出ヘッドのノズル面に、走行する単一のワイピングシートを摺接させて、前記複数のノズル面の拭取り動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピング方法であって、
前記各液滴吐出ヘッドの送り方向上流側に、１タクトの拭取り長さ分のワイピングシートがプールされるように、当該ワイピングシートの送り経路を迂回させ、
この状態で前記ワイピングシートを送りながら前記複数のノズル面に摺接させることを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピング方法。
【請求項１２】
拭取り動作終了後、前記ワイピングシートと前記複数の液滴吐出ヘッドとを相対的に離間させ、前記ワイピングシートの使用部分全体を高速で巻き取ることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドのワイピング方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドのワイピング装置と、
前記複数の液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出装置を用いて、前記複数の液滴吐出ヘッドから選択的に吐出した機能液滴により形成された成膜部を有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の液滴吐出装置を用いて、前記複数の液滴吐出ヘッドから機能液滴を選択的に吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項１４に記載の電気光学装置または請求項１５に記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングして、ノズル面を清掃する液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびワイピング方法、液滴吐出装置、電気光学装置および電気光学装置の製造方法、並びに電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタにおける従来のワイピングは、ゴム製のワイパーブレードに対しインクジェットヘッドのノズル面を押し当てた状態で、これを微少移動させることで、ノズル面に付着したインクミストを拭き払うようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
ところで、インクジェットヘッドの応用技術として、カラーフィルタや有機ＥＬデバイスの製造が期待されている。このような応用技術では、インクのような比較的粘度の低い液体の他、樹脂液のような比較的粘度の高い液体も吐出する必要がある。このため、ワイピングにあっても、ワイピングブレードに代えて溶剤を含浸させた布製のワイピングシートを用い、これを強く押し付けて液滴ミストを拭き取ることが考えられる。
ワイピングシート式のワイピング装置は、例えば、ワイピングシートを繰り出し自在に巻回した繰出リールと、繰り出されたワイピングシートを巻き取る巻取リールと、繰出リールおよび巻取リール間に介設され、ワイピングシートを液滴吐出ヘッドのノズル面に押し付ける拭取りローラと、を備えたものが想定される。なお、これに近似するものとして、本件出願人は未開示であるが特願２００１−３２４０３１号を提案している。
インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）をワイピングする場合、液滴吐出ヘッドをワイピングシートを挟んで拭取りローラに接触させた状態で、ワイピング装置を駆動してワイピングシートを走行させると共に、これに同期して、液滴吐出ヘッドを拭取りローラに対し滑らすように相対移動させることで、ノズル面に付着した液滴ミストをワイピングシートで拭き取るようにしている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２７７５２６号公報（第８頁、第９図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この種の応用技術では複数の液滴吐出ヘッドが使用されており、かかる場合のワイピングにおいては、複数の液滴吐出ヘッドに対し、１つずつ順に拭取り動作が行われている。このため、全ての液滴吐出ヘッドのワイピングが終了するまでにその数分の時間を要し、タクトタイムへの影響、ひいては全体の製造処理が滞る問題があった。
もっとも、ワイピング時間を短縮するべく、液滴吐出ヘッドの数分、ワイピング装置を設けることも考えられるが、配置スペースを広く占有するのはもとより、全体としてコストアップとなる。
【０００５】
本発明は、複数の液滴吐出ヘッドのワイピングを短時間で効率良く行うことができる液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびワイピング方法、液滴吐出装置、電気光学装置および電気光学装置の製造方法、並びに電子機器を提供することをその目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出ヘッドのワイピング装置は、複数の液滴吐出ヘッドのノズル面のそれぞれに、走行する単一のワイピングシートを摺接させて拭取り動作させるワイピング装置であって、ワイピングシートを送るシート送り手段と、各液滴吐出ヘッドに対応して設けられ、各液滴吐出ヘッドのノズル面にワイピングシートを相対的に押し付ける複数のシート押付け部材と、各シート押付け部材間において、送り方向下流側の液滴吐出ヘッドに供するワイピングシートをプールする複数のプール手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、シート送り手段が駆動すると、シート押付け部材間のワイピングシートのプール部分が送られ、この送られてゆく各プール部分が、送り方向下流側のシート押付け部材の位置において、各液滴吐出ヘッドのノズル面を押し付けるように摺接することで、ノズル面に付着した液滴ミストが拭き取られ、ノズル面の清掃が行われる（ワイピング）。
このように、走行するワイピングシートの拭取り動作において、全ての液滴吐出ヘッドに対して同時にワイピングが行われるため、ワイピングに要するタクトタイムを極めて短縮することができる。また、複数の液滴吐出ヘッドのワイピングを、単一のワイピングシート（一のワイピング装置）で行えるため、ワイピング装置を搭載する例えばカラーフィルタの製造装置において、その設置スペースを占有することもない。さらに、ワイピング時の各液滴吐出ヘッドには、常にきれいなワイピングシート（プール部分）を供することができるため、ノズルのメニスカスを適切に確保することができる。
なお、ワイピングシートのプール部分の長さ（プール長さ）は、１タクトの拭取り動作に供する長さであることが好ましい。また、ワイピングシートは、溶剤を含ませた柔軟性を有する不織布で構成すればよい。
【０００８】
この場合、各シート押付け部材は、少なくとも各ノズル面の全ノズルを網羅するように、各ノズル面に対しワイピングシートを押し付けることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、シート押付け部材が、ノズル面に対しワイピングシートとの密着面積を十分に確保するため、シート押付け部材と液滴吐出ヘッドとを相互に移動させることなく、ワイピングを行うことができる。これにより、ワイピングの制御を簡単にして、タクトタイムをより一層短縮することができる。
【００１０】
これらの場合、各シート押付け部材は、ワイピングシートを各液滴吐出ヘッドに弾力的に押し付ける自由回転可能な拭取りローラで構成されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、拭取りローラにより、ワイピングシートの走行を含めワイピングを円滑に行うことができると共に、液滴吐出ヘッドに対してワイピングシートを十分に広い面積で押し付けることができる。これにより、ノズル面に付着した液滴ミストを迅速且つ確実に拭き取ることができる。
【００１２】
これらの場合、ノズル面に形成したノズル列の延在方向と、ワイピングシートの送り方向とが略直交していることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、ノズル面が「横拭き」される状態となるため、ノズル列の延在方向にワイピングシートを送ること（「縦拭き」）に比べて、ノズル面に極力、ワイピングシートのきれいな部分（未拭取り部分）を供することができる。なお、シート押付け部材が上記の拭取りローラである場合には、その軸方向とノズル列の延在方向とを平行に構成すればよく、これによれば、拭取りローラのローラ径を極力細径に構成でき、複数の液滴吐出ヘッドが集約配置されている場合であっても、各拭取りローラを適切に配置することができる。
【００１４】
これらの場合、各プール手段は、ワイピングシートに摺接し、各シート押付け部材間でワイピングシートを略Ｕ字状に屈曲させる摺接部材を有していることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、摺接部材およびこれを挟む両シート押付け部材の間で略Ｕ字状になるワイピングシートの屈曲部分により、１の液滴吐出ヘッドのワイピングに供するプール部分を適切に構成することができる。また、走行時に摺接部材が摺接するワイピングシートのジャミングの発生を適切に防止することができる。このため、摺接部材もローラで構成することが好ましい。
【００１６】
この場合、各プール手段は、摺接部材を緩急屈曲方向に移動させて、各シート押付け部材間のワイピングシートのプール長さを調整する調整機構を、更に有していることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、調整機構により移動される摺接部材により、ワイピングシートの屈曲角度が変更され、屈曲部分の長さ（プール長さ）が変更される。これにより、例えば液滴吐出ヘッドに導入する機能液の粘性等の性状に基づいて、プール長さを適宜調整することで、機能液（の液滴ミスト）を確実に拭取ることができる。
【００１８】
この場合、摺接部材と調整機構との間には、摺接部材を急屈曲方向に付勢して、走行するワイピングシートにテンションを付与する張力付与手段が配設されていることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、ワイピングシートの屈曲部分が、張力付与手段により張った状態となるため、屈曲部分の走行が安定し、これを伴うワイピングが適切に行われることになる。
【００２０】
これらの場合、送り方向の上流端に設けられ、ワイピングシートを繰出リールに繰出し自在に巻回した繰出し手段と、送り方向の下流端に設けられ、ワイピングシートの使用部分を巻き取って回収する巻取り手段と、を備え、繰出し手段は、繰出リールを制動回転させるトルクリミッタを有し、巻取り手段は、シート送り手段を兼ねていることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、上記のシート送り手段を兼ねる巻取り手段が駆動すると、ワイピングシートは繰出リールから繰り出され、各プール部分がノズル面の拭取りに供された後、その使用部分（拭取り済み部分）が巻取り手段に巻き取られる。これにより、使用済みのワイピングシートを適切に回収することができると共に、併せて、次のワイピングの準備も完了することができる。また、巻取り手段を有効に利用して、ワイピングシートを送ることができると共に、繰出リールの制動回転により、ワイピングシートを張った状態で走行させることができる。
【００２２】
この場合、各液滴吐出ヘッドを各シート押付け部材に対し離接方向に相対的に移動させる移動手段と、巻取り手段および移動手段を制御する制御手段と、を更に備え、制御手段は、巻取り手段を制御し、液滴吐出ヘッドへの拭取り動作においてワイピングシートを低速送りし、当該拭取り動作後に移動手段を制御して各液滴吐出ヘッドをシート押付け部材から離間させた後、巻取り手段を制御し、ワイピングシートの回収動作においてその使用済み部分を高速送りすることが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、ワイピングシートの送り速度を、これをノズル面に摺接させる拭取り動作と、ノズル面から離間させる回収動作との間で変則的に行っている。これにより、低速送りとなる拭取り動作の場合には、確実にワイピングすることができ、一方、高速送りとなる回収動作の場合には、拭取り動作に比べシート送り量が大きくなっても、高速送りする分、使用済み部分の回収を含めた次のワイピング準備に要する時間を短縮して行うことができる。もちろん、回収動作において、ワイピングシートの汚れた部分（使用済み部分）により、拭取り動作後の各ノズル面を汚すこともない。
【００２４】
この場合、繰出し手段、複数のシート押付け部材、複数のプール手段、および巻取り手段、を一体に支持する共通支持ベースを備え、移動手段は、共通支持ベースを介して各液滴吐出ヘッドに対し、各シート押付け部材を移動させることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、複数のシート押付け部材を含め、ワイピング装置を構成する各種手段を一体に支持する共通支持ベース移動させることで、各液滴吐出ヘッドから各シート押付け部材を離接させることができる。これにより、複数のシート押付け部材または複数の液滴吐出ヘッドの相対移動を簡単に行うことができる。
【００２６】
本発明の液滴吐出ヘッドのワイピング方法は、複数の液滴吐出ヘッドのノズル面に、走行する単一のワイピングシートを摺接させて、複数のノズル面の拭取り動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピング方法であって、各液滴吐出ヘッドの送り方向上流側に、１タクトの拭取り長さ分のワイピングシートがプールされるように、ワイピングシートの送り経路を迂回させ、この状態でワイピングシートを送りながら複数のノズル面に摺接させることを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、一連のワイピングにおいては、各液滴吐出ヘッド間で迂回したワイピングシートの各部分（１タクトの拭取り長さ分のワイピングシートのプール部分）が、その送り方向下流側の液滴吐出ヘッドにそれぞれ供され、各ノズル面に摺接する。これにより、各液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した液滴ミストが拭き取られ、ノズル面の清掃が行われる。
このように、単一のワイピングシートを送ることで、全ての液滴吐出ヘッドを一括してワイピングすることができるため、これに要するタクトタイムを極めて短縮することができる。また、ワイピング時の各液滴吐出ヘッドには、常にきれいなワイピングシートを供することができるため、ノズルのメニスカスを適切に確保することができる。なお、１タクトの拭取り長さは、液滴吐出ヘッドに導入する機能液の粘性に基づいて調整することが好ましい。また、ワイピングシートは、溶剤を含ませた柔軟性を有する不織布で構成すればよい。
【００２８】
この場合、拭取り動作終了後、ワイピングシートと複数の液滴吐出ヘッドとを相対的に離間させ、ワイピングシートの使用部分全体を高速で巻き取ることが、好ましい。
【００２９】
この構成によれば、１タクトの拭取り動作後において、複数の液滴吐出ヘッドをワイピングシートから離間させてから、これを巻き取るようにしているため、ワイピングシートの使用部分により、拭取り動作後の各ノズル面が汚染されることを防止できる。また、拭取り動作終了後には、高速送りする分、使用部分全体の回収を含めた次のワイピング準備に要する時間を短縮して行うことができる。
【００３０】
本発明の液滴吐出装置は、上記した本発明の液滴吐出ヘッドのワイピング装置と、複数の液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００３１】
この構成によれば、ワイピング装置によりノズルの適切なメニスカスを維持して機能液滴を吐出することができるため、液滴吐出ヘッドにより各種の描画を適切に行うことができる。また、短時間でのワイピングとなるため、描画に要するタクトタイムを全体として短縮することができる。加えて、液滴吐出装置において、ワイピング装置のための配置スペースを極力とらなくて済む。なお、液滴吐出装置は、紙などの記録媒体を吐出対象とするインクジェットプリンタの他、ガラス等で構成される基板を吐出対象として、カラーフィルタや後述する電気光学装置を製造する装置等である。
【００３２】
本発明の電気光学装置は、上記した本発明の液滴吐出装置を用いて、複数の液滴吐出ヘッドから選択的に吐出した機能液滴により形成された成膜部を有することを特徴とする。
同様に、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した本発明の液滴吐出装置を用いて、複数の液滴吐出ヘッドから機能液滴を選択的に吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
【００３３】
この構成によれば、ワイピング時間を短縮することができる液滴吐出装置を用いての製造であるため、電気光学装置自体を効率良く製造することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ　Ｅｍｉｓｓｉｏｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が含まれる。
【００３４】
本発明の電子機器は、上記した本発明の電気光学装置または上記した本発明の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３５】
この構成によれば、製造効率の良い電子機器を提供することができる。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態である液滴吐出ヘッドのワイピング装置・方法、および液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、有機ＥＬ装置等の電気光学装置における、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造装置に適用されるものであり、インクジェット方式により、基板（ワーク）に対し液滴吐出ヘッドからフィルタ材料や発光材料等の機能液滴を選択的に吐出することで描画を行い、基板上に所望の成膜部を形成するものである。また、この液滴吐出装置には、液滴吐出ヘッドのノズル面を清掃するワイピング装置が搭載されている。
【００３７】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上に設置したＸ軸テーブル４およびこれに直交するＹ軸テーブル５から成るＸ・Ｙ移動機構３と、Ｙ軸テーブル５に移動自在に取り付けたメインキャリッジ６とを備え、メインキャリッジ６のサブキャリッジ７には、複数の液滴吐出ヘッド８が搭載されている。ワークである基板Ｗは、Ｘ軸テーブル４に搭載されている。また、液滴吐出装置１は、複数の液滴吐出ヘッド８のノズル面をワイピングするワイピング装置９を備えていると共に、このワイピング装置９や、上記のＸ・Ｙ移動機構３および複数の液滴吐出ヘッド８等を統括制御するコントローラ１０（制御手段、図３参照）が組み込まれている。
【００３８】
さらに、図示では省略したが、液滴吐出装置１には、ワイピング装置９以外にも、液滴吐出ヘッド８を保全するものとして、液滴吐出ヘッド８の機能液吸引および保管を行う吸引ユニットや、液滴吐出ヘッド８の定期的なフラッシング（全ノズルからの機能液の捨て吐出）を受けるフラッシングユニットが組み込まれている。また、液滴吐出装置１には、複数の液滴吐出ヘッド８に機能液を供給する機能液供給機構が組み込まれている。
【００３９】
Ｘ・Ｙ移動機構３は、いわゆるＸ・Ｙロボットであり、Ｘ軸テーブル４は、図外のモータ駆動により、基板ＷをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸テーブル４の上方に位置するＹ軸テーブル５は、図外のモータ駆動により、メインキャリッジ６をＹ軸方向に移動させる。
【００４０】
本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液を基板Ｗ上に吐出する描画工程では、Ｘ軸テーブル４による基板Ｗの移動に同期して液滴吐出ヘッド８が吐出駆動する構成であり、液滴吐出ヘッド８のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル４による基板ＷのＸ軸方向への往復動動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル５による液滴吐出ヘッド８のＹ軸方向への往動動作により行われる。そして、上記走査における液滴吐出ヘッド８の吐出駆動は、コントローラ１０に記憶する描画データに基づいて行われる。
【００４１】
また、描画工程開始前や描画工程中に行われる液滴吐出ヘッド８のワイピング処理では、Ｘ・Ｙ移動機構３により、メインキャリッジ６を介して複数の液滴吐出ヘッド８を移動させ、複数の液滴吐出ヘッド８を基板Ｗから外れたワイピング装置９の直上部に臨ませる（図示仮想線参照）。そして、機台２上に設置した昇降機構３５により、ワイピング装置９を上昇させた状態で、全液滴吐出ヘッド８を一括してワイピングする（詳細は後述する）。なお、ワイピング処理は、基本的に、上記の吸引ユニットによる吸引処理の後、行われる。
【００４２】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド８は、いわゆる２連のものであり、そのヘッド本体２１は、ノズル面２２を有するノズル形成プレート２３と、ノズル形成プレート２３に連なる直方体形状のポンプ部２４とで構成されている。液滴吐出ヘッド８は、ヘッド本体２１がサブキャリッジ７の下面から突出しており、ヘッド本体２１の下面、すなわちノズル面２２には、２本のノズル列２５が相互に平行に形成されている。各ノズル列２５は、１８０個（図示では模式的に示している）のノズル２６が等ピッチで並べられて、構成されている。
【００４３】
この場合、ノズル列２５は、副走査方向（Ｙ軸方向）に延在しており、サブキャリッジ７に搭載された３つ（複数）の液滴吐出ヘッド８は、各ノズル面２２が同一の高さレベルに位置している。また、３つの液滴吐出ヘッド８は、主走査方向（Ｘ軸方向）に沿って配列している（図３参照）。なお、図１では、説明のために、３つの液滴吐出ヘッド８をＹ軸方向に並ぶように表している。
【００４４】
もっとも、複数の液滴吐出ヘッド８の配列パターンは、Ｘ軸方向に平行な同一直線状に並べるものであってもよいし、あるいはＹ軸方向にずらして並べた階段状のものであってもよく、そもそもその数も３つに限るものではない。したがって、液滴吐出ヘッド８の数および配置等に対応して、ワイピング装置９の後述する各構成部品が設けられている。
【００４５】
また、液滴吐出ヘッド８のノズル２６数、ノズル列２５数、ノズル列２５の延在方向も任意であり、その配列パターンも含めてこれらの要素は、基板Ｗの種別に応じて設定してもよい。さらに、本実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド８に対し、基板Ｗを主走査方向に移動させるようにしているが、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、基板Ｗを固定とし、複数の液滴吐出ヘッド８を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４６】
ワイピング装置９は、図３に示すように、複数の液滴吐出ヘッド８のノズル面２２のそれぞれに、走行するロール状のワイピングシートＳを摺接させて、各ノズル面２２の拭取り動作を行うものである。ワイピングシートＳは、溶剤を含ませた柔軟性を有する不織布等で構成され、その送り方向とノズル面２２に形成したノズル列２５の延在方向とが直交している。
【００４７】
ワイピング装置９は、ワイピングシートＳを繰出し自在に供給する繰出し機構３１と、繰り出したワイピングシートＳを巻き取って回収する巻取り機構３２と、繰出し機構３１と巻取り機構３２との間に介設され、ワイピングシートＳを液滴吐出ヘッド８に臨ませる拭取り機構３３と、これら繰出し機構３１、巻取り機構３２および拭取り機構３３を一体に支持する共通支持ベース３４とを備え、共通支持ベース３４には、ワイピング装置９を昇降させる上記の昇降機構３５が連結されている。
【００４８】
昇降機構３５は、上記のコントローラ１０に接続されており、ワイピング装置９を液滴吐出ヘッド８のワイピング処理に臨ませるワイピング位置と、ワイピング位置の下方の退避位置との間で、ワイピング装置９を昇降させる。なお、昇降機構３５を機台２上に設置する構造に代えて、メインキャリッジ６に設けた構造であってもよい。この場合には、メインキャリッジ６が固定的なワイピング装置９に向かって下降した後、液滴吐出ヘッド８のワイピング処理が行われる。
【００４９】
繰出し機構３１は、ロール状のワイピングシートＳを繰出し自在に巻回した繰出リール４１と、繰出リール４１に軸着されこれを制動回転させるトルクリミッタ４２とを有している。巻取り機構３２は、ワイピングシートＳを巻き取る巻取りリール４３と、巻取りリール４３を回転駆動させる巻取りモータ４４とを有し、巻取りモータ４４は、上記のコントローラ１０に接続されている。
【００５０】
すなわち、巻取り機構３２は、ワイピングシートＳを走行経路に沿って送るシート送り機構を兼ねている。そして、巻取りモータ４４の回転により、ワイピングシートＳは、繰出リール４１から繰り出されて走行を開始し、走行経路上の第１中間ローラ４８を経て、拭取り機構３３に送り込まれた後、走行経路下流側の第２中間ローラ４９を経て、巻取りリール４３に巻き取られる。
【００５１】
拭取り機構３３は、ワイピングシートＳを液滴吐出ヘッド８のノズル面２２に押し付ける３つの拭取りローラ５１と、各拭取りローラ５１，５１間でワイピングシートＳを略Ｕ字状に屈曲させる２つの摺接ローラ５２とを走行経路上に有し、これらに摺接するワイピングシートＳが波状に迂回するように経路変更している。
【００５２】
また、拭取り機構３３は、各拭取りローラ５１の各ノズル面２２に対するワイピングシートＳの押付け力を調整する押付け力調整機構５３と、各摺接ローラ５２を緩急屈曲方向（上下方向）に移動させて、各拭取りローラ５１，５１間のワイピングシートＳを長さ調整する長さ調整機構５４とを備えている。押付け力調整機構５３および長さ調整機構５４は、コントローラ１０に接続されている。
【００５３】
３つ（複数）の拭取りローラ５１は、３つの液滴吐出ヘッド８に対応する位置に設けられ、それぞれ同一の高さレベルに位置している。各拭取りローラ５１は、ローラ軸と、ローラ軸に装着したローラ本体とから成るフリーローラで構成されており（図示省略）、このローラ軸が、これを上方に付勢する図外のばねを有する押付け力調整機構５３に連結されている。各拭取りローラ５１は、押付け力調整機構５３により、ワイピングシートＳを各液滴吐出ヘッド８に弾力的に押し付けるようになっている。この場合、押付け力調整機構５３による押付け力は、機能液の粘性等その性状に応じてコントローラ１０により調整されている。
【００５４】
また、各拭取りローラ５１は、その軸方向が各ノズル面２２の長辺方向に合致して設けられており、押付け力調整機構５３とも相俟って、各ローラ本体が少なくとも各ノズル面２２の全ノズル２６を網羅するように、各ノズル面２２に対しワイピングシートＳを押し付ける。このため、各ノズル面２２は、いわゆる横拭きされる状態となり、各拭取りローラ５１と各液滴吐出ヘッド８とを相互に移動させることなく、ワイピングシートＳの走行のみで、ワイピングを行うことができるようになっている。なお、拭取りローラ５１のローラ径は、複数の液滴吐出ヘッド８の配列を加味して設定される。
【００５５】
２つ（複数）の摺接ローラ５２は、ローラ軸と、ローラ軸に装着したローラ本体とから成るフリーローラでそれぞれ構成されており（図示省略）、このローラ軸が、引張りばね５５を介して上記の長さ調整機構５４に連結されている。すなわち、各摺接ローラ５２と長さ調整機構５４との間には引張りばね５５が介設され、引張りばね５５は、摺接ローラ５２を急屈曲方向（下方）に付勢して、走行するワイピングシートＳにテンション（張力）を付与する。これにより、ワイピングシートＳは、繰出し機構３１の繰り出しから巻取り機構３２による巻き取りまで、走行経路を張った状態で送られるようになっている。
【００５６】
なお、ワイピングシートＳ走行時に作用する各摺接ローラ５２間の張力ばらつきを好適に抑制するべく、引張りばね５５に代えてあるいはこれと共に、各摺接ローラ５２と長さ調整機構５４との間にダンパーを設けることが好ましい。これにより、ワイピングシートＳ走行時に各摺接ローラ５２の位置がばらつくのを防止できると共に、ワイピングシートＳの弛みを防止できる。もちろん、この種の防止効果を作用させるべく、各摺接ローラ５２に作用させる付勢力（張力）を個別に制御するようにしてもよい。また、摺接ローラ５２は、フリー回転しない固定式のもので構成してよいし、このローラ径も複数の液滴吐出ヘッド８の配列を加味して設定されるのはいうまでもない。
【００５７】
長さ調整機構５４は、引張りばね５５の下端を支持するベースプレート６１と、モータやエアーシリンダなどのアクチュエータ６２と、アクチュエータ６２の動力をベースプレート６１に伝達する動力伝達部６３とを備え、アクチュエータ６２はコントローラ１０に接続されている。なお、動力伝達部を上記のダンパーとして構成してもよい。アクチュエータ６２が駆動すると、動力伝達部６３およびベースプレート６１を介して各摺接ローラ５２が、同時に且つ一体に上下動する。
【００５８】
これにより、各拭取りローラ５１，５１間で構成されるワイピングシートＳの屈曲部分の長さを調整することができるようになっている。すなわち、摺接ローラ５２および長さ調整機構５４により、拭取りローラ５１，５１間において、該摺接ローラ５２の送り方向下流側の液滴吐出ヘッド８に供するワイピングシートＳをプールするプール機構６４が構成され、プール機構６４は、各拭取りローラ５１の間の数分、すなわち本実施形態では２つ設けられている。
【００５９】
そして、図４に示すように、各プール機構６４によるワイピングシートＳのプール長さ（屈曲部分の長さ）は、１つの液滴吐出ヘッド８に対する１タクト（１回）の拭取り長さに相当している。このため、ワイピング装置９を駆動しての１タクト（拭取り動作用に駆動させる巻取りモータ４４の１回の駆動およびその後の停止）の拭取り動作では、このプール長さ分だけワイピングシートＳの送りが行われ、各プール部分が、その送り方向下流側の拭取りローラ５１の位置において、各液滴吐出ヘッド８のノズル面２２を押し付けるように摺接する。
【００６０】
これにより、各ノズル面２２に付着した液滴ミストが各プール部分に拭き取られ、ノズル面２２の清掃が行われる。なお、送り方向最上流側の拭取りローラ５１は、第１中間ローラ４８を経て供給されるワイピングシートＳを、このローラに対応するノズル面２２に押し付けてこれを清掃するようになっている。
【００６１】
このように、１タクトの拭取り動作では、全ての液滴吐出ヘッド８に対して、同時に一括してワイピング処理が行われると共に常にきれいで未処理のワイピングシートＳを供することができるようになっている。なお、１タクトの拭取り長さは、機能液の性状や基板Ｗの種別に基づいて、コントローラ１０により設定されるようになっている。
【００６２】
コントローラ１０は、いずれも図示しないが、ワイピング装置９など上記各構成装置を制御するための制御プログラム等を記憶するＲＯＭ、制御処理のための作業領域となるＲＡＭ、各手段の駆動のための駆動回路、およびそれらを使用して各種制御を行うＣＰＵを備えている。
【００６３】
ここで、図３を参照して、ワイピング処理を行う場合のコントローラ１０による一連の制御について簡単に説明する。先ず、Ｘ・Ｙ移動機構３を駆動して、複数の液滴吐出ヘッド８をワイピング装置９の直上部に移動させる。また、これに相前後して、長さ調整機構５４を駆動して、複数の拭取りローラ５１に対して複数の摺接ローラ５２を稼働させ、各拭取りローラ５１，５１間で１タクトの拭取り長さをプールする。
【００６４】
続いて、昇降機構３５を駆動して、ワイピング装置９をワイピング位置に上昇させ、ワイピングシートＳを各拭取りローラ５１と各液滴吐出ヘッド８との間で挟み込む。この状態で、巻取りモータ４４を駆動して、ワイピングシートＳを１タクトの拭取り長さ分送る。これにより、全ノズル面２２のワイピング処理が同時に行われる。
【００６５】
ワイピング装置９の拭取り動作が完了したところで、再び昇降機構３５を駆動して、ワイピング装置９を退避位置に下降させ、ワイピングシートＳから各液滴吐出ヘッド８を離間させる。このとき、複数の液滴吐出ヘッド８は、次の描画工程に臨むべく、Ｘ・Ｙ移動機構３により移動して基板Ｗに対峙することになる。
【００６６】
この状態で、再び巻取りモータ４４を駆動して、ワイピングシートＳを送り、この汚れた使用済み部分全体が巻取り機構３２に回収する。これにより、描画工程後における次のワイピング処理の準備も併せて完了することができる。なお、次のワイピング処理が、先とは異なる基板Ｗ等に行われるなど１タクトの拭取り長さのパラメータが変わる場合には、長さ調整機構５４は再駆動される。
【００６７】
もっとも、プール長さを、２タクトなど複数タクトの拭取り長さに相当するものとしてもよいし、１つの基板Ｗへの描画工程の数分に相当するものとしてもよい。後者の場合には、複数回のワイピング処理の後、ワイピングシートＳは一括して回収動作されることになる。
【００６８】
また、ワイピングシートＳの回収動作は、その拭取り動作に比べワイピングシートＳを高速送りすることで行われるように設定されている。これにより、低速送りとなる拭取り動作の場合には、確実にワイピングすることができ、一方、高速送りとなる回収動作の場合には、高速送りする分、次のワイピング準備に要する時間を短縮することができるようになっている。
【００６９】
以上のように、本実施形態のワイピング装置９によれば、複数の液滴吐出ヘッド８を全て同時にワイピング処理できるため、これに要するタクトタイムを極めて短縮することができる。一方、液滴吐出装置１によれば、ワイピング時間が短縮されるため、基板Ｗに対する描画処理にかかる時間を全体として短縮することができる。
【００７０】
なお、ワイピングシートＳが、溶剤を含ませた柔軟性を有する不織布等で構成されているとして説明したが、実際には、第１中間ローラ４８とこれに臨む拭取りローラ５１との間に洗浄液供給ヘッド（図外）が介設されており、この位置でワイピングシートＳは、洗浄液となる溶剤が含浸されることとなる。
【００７１】
ところで、本実施形態の液滴吐出装置１は、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。もちろん、液晶表示装置等に用いるカラーフィルタの製造にも適用することができる。また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。そして、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【００７２】
そこで、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、簡単に説明する。
【００７３】
図５は、液晶表示装置の断面図である。同図に示すように、液晶表示装置４５０は、上下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより構成されている。また、カラーフィルタ４００および対向基板４６６間には、配向膜４６１、４６４が構成され、対向基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。
【００７４】
カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素の境目は、バンク４１３により区切られている。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのフィルタ材料（機能液）が導入されている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１と、遮光性のバンク４１３とを備えている。バンク４１３が形成されていない（除去された）部分は上記画素を構成し、この画素に導入された各色のフィルタ材料は着色層４２１を構成する。バンク４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【００７５】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、バンク４１３で区切られて形成された画素内に、液滴吐出ヘッド８により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色の機能液を着色層形成領域毎に選択的に吐出している。そして、塗布した機能液を乾燥させることにより、成膜部となる着色層４２１を得るようにしている。また、液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド８により、オーバーコート層４２２など各種の成膜部を形成している。もちろん、これらの描画工程において、上記のワイピング装置９が活用されている。
【００７６】
同様に、図６を参照して、有機ＥＬ装置とその製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ装置５００は、ガラス基板５０１上に回路素子部５０２が積層され、回路素子部５０２上に主体を為す有機ＥＬ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５０５が形成されている。
【００７７】
有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層５１２ａおよびこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂによりバンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マトリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂいずれかの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した対向電極５０３で覆われている。
【００７８】
そして、本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａの成膜部を形成するようにしている。また、液滴吐出装置１では、正孔注入／輸送層５１０ａを形成した後に、液滴吐出ヘッド８に導入する機能液としてＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向電極５０３を形成する等している。もちろん、これらの描画工程において、上記のワイピング装置９が活用されている。
【００７９】
【発明の効果】
本発明の液滴吐出ヘッドのワイピング装置およびワイピング方法によれば、複数の液滴吐出ヘッドに対応して、単一のワイピングシートにプール部分を構成しているため、ワイピングシートを送るだけで、全ての液滴吐出ヘッドに対して同時にワイピングを行うことができる。したがって、複数の液滴吐出ヘッドのワイピングを短時間で効率良く行うことができる。
【００８０】
本発明の液滴吐出装置によれば、ワイピング時間を短縮することができるため、全体として、液滴吐出ヘッドにより各種の描画を迅速に行うことができると共に、より多くの数の液滴吐出ヘッドを搭載した場合であっても、ワイピング装置のための設置スペースを省スペースで構成することができる。
【００８１】
本発明の電気光学装置および電気光学装置の製造方法によれば、ワイピング時間を短縮することができる液滴吐出装置を用いての製造であるため、電気光学装置自体を効率良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に示す正面図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図３】実施形態に係るワイピング装置を模式的に示す正面図である。
【図４】ワイピング装置における１タクトの拭取り長さに関する説明図である。
【図５】液晶表示装置の構造を示す断面図である。
【図６】有機ＥＬ装置の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１　液滴吐出装置
３　Ｘ・Ｙ移動機構
８　液滴吐出ヘッド
９　ワイピング装置
１０　コントローラ（制御手段）
２２　ノズル面
２５　ノズル列
２６　ノズル
３１　繰出し機構
３２　巻取り機構
３３　拭取り機構
３４　共通支持ベース
３５　昇降機構
４１　繰出しリール
４２　トルクリミッタ
５１　拭取りローラ
５２　摺接ローラ（摺接部材）
５４　長さ調整機構
５５　引張りばね（張力付与手段）
６４　プール機構
Ｓ　ワイピングシート
Ｗ　基板
４５０　液晶表示装置
５００　有機ＥＬ装置
【図１】
2004138713.tif 000003
【図２】
2004138713.tif 000004
【図３】
2004138713.tif 000005
【図４】
2004138713.tif 000006
【図５】
2004138713.tif 000007
【図６】
2004138713.tif 000008